(57)【要約】【課題】大型化してもコストの上昇および製造の長期化が抑えられ、かつガイド機能を安定的に確保できる形状測定装置を提供する。【解決手段】形状測定装置１は、プローブ７を支持する移動機構１０の門型構造を形成する第１コラム１１および第２コラム１２と、第１材質（鉄鋼）で形成されかつ第１コラム１１をガイドする第１ガイド部２１と、第１ガイド部２１と平行かつ第１材質とは異なる第２材質（石材）で形成されかつ第２コラム１２をガイドする第２ガイド部２２と、第１ガイド部２１を基礎９に支持する第１支持体３１と、第２ガイド部２２を基礎９に支持する第２支持体３２と、第１ガイド部２１と第２ガイド部２２との熱膨張差を補償する熱膨張補償部４０と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブを支持する移動機構の門型構造を形成する第１コラムおよび第２コラムと、
第１材質で形成されかつ前記第１コラムをガイドする第１ガイド部と、
前記第１ガイド部と平行かつ前記第１材質とは異なる第２材質で形成されかつ前記第２コラムをガイドする第２ガイド部と、
前記第１ガイド部を支持する第１支持体と、
前記第２ガイド部を支持する第２支持体と、
前記第１ガイド部、前記第２ガイド部、前記第１支持体および前記第２支持体の少なくともいずれかに設けられ、前記第１ガイド部と前記第２ガイド部との熱膨張差を補償する熱膨張補償部と、を有することを特徴とする形状測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の形状測定装置において、
前記第１ガイド部および前記第２ガイド部の少なくともいずれかの温度を検出する温度センサを有し、
前記熱膨張補償部は、前記温度センサからの温度を参照して前記第１ガイド部と前記第２ガイド部との熱膨張差を補償することを特徴とする形状測定装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の形状測定装置において、
前記熱膨張補償部は、前記第１支持体および前記第２支持体の少なくとも一方に形成された高さ調整機構を有することを特徴とする形状測定装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の形状測定装置において、
前記熱膨張補償部は、前記第１ガイド部および前記第２ガイド部を加熱または冷却可能な温度調整装置を有することを特徴とする形状測定装置。
【請求項５】
門型構造を形成する第１コラムおよび第２コラムを有する移動機構と、
前記移動機構で支持されたプローブと、
第１材質で形成されかつ前記第１コラムをガイドする第１ガイド部と、
前記第１ガイド部と平行かつ前記第１材質とは異なる第２材質で形成されかつ前記第２コラムをガイドする第２ガイド部と、
前記移動機構を制御しかつ前記プローブからの信号に基づいて測定値を演算する演算装置と、を有し、
前記演算装置は、前記第１ガイド部と前記第２ガイド部との熱膨張差に基づいて前記測定値を補正する測定値補正部を有することを特徴とする形状測定装置。
【請求項６】
請求項５に記載の形状測定装置において、
前記第１ガイド部および前記第２ガイド部の少なくともいずれかの温度を検出する温度センサを有し、
前記測定値補正部は、前記温度センサからの温度を参照して前記測定値を補正することを特徴とする形状測定装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の形状測定装置において、
前記第１材質は石材であり、前記第２材質は金属であることを特徴とする形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形状測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定対象（ワーク）の形状や寸法、表面位置などを測定するために、座標測定機や三次元測定機などの形状測定装置が用いられている。
形状測定装置では、接触式または非接触式のプローブをワークの測定部位に接触または近接させるために、プローブを三次元移動させる三次元移動機構を用いている。
三次元移動機構としては、例えば、ワークを載置するテーブル（載物台）を跨ぐように、一対のコラムおよびクロスバーからなる門型構造が設置される。クロスバーには、サドルを介してスピンドルが設置され、スピンドルの下端にはプローブが装着される。
門型構造は、Ｘ軸移動機構により、テーブルの辺縁に沿って移動可能である。サドルは、Ｙ軸移動機構により、クロスバーに沿って移動可能である。スピンドルは、Ｚ軸移動機構により、サドルに対してＺ軸方向に昇降移動可能である。
このような三次元移動機構により、テーブル上のワークの任意部位にプローブを近接させることができる。
【０００３】
三次元移動機構のうち、Ｘ軸移動機構では、テーブルの一部をガイドとして利用している。具体的には、Ｘ軸に沿って延びる側面、上面のＸ軸方向の側面に沿った領域、あるいはＸ軸方向の溝や突条などの表面が用いられる。コラムには、ガイドとなるテーブルの一部に対向してエアパッドまたはエアベアリングが設置され、前述したガイドの表面を滑らかに摺動可能である（特許文献１参照）。
【０００４】
形状測定装置のテーブルとして、連続した石材製（主に斑れい岩）の定盤が用いられている。石材製のテーブルは、硬度を高くできるとともに、非磁性体であるというメリットがある。さらに、ガイドとして用いられる表面においては、石材の表面を精密研磨することで高い平滑度が得られ、エアパッドとの間の空気膜を極薄化し、移動を円滑かつ高精度にすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−０４２２６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述した形状測定装置に対して、ワークおよび測定機を大型化したいとの要望がある。形状測定装置を大型化するためには、前述した三次元移動機構の拡張が必要である。
しかし、従来の形状測定装置のテーブルは石材製であり、長尺のテーブルを製造するには、コストの上昇、製造の長期化が問題となる。さらに、長尺に切り出せる石材自体が得にくく、運搬も困難になるという問題があった。
【０００７】
これに対し、金属製のテーブルとすることが考えられる。金属材料であれば、素材からの成形が容易であり、複数を継ぎ合わせて長尺のテーブルとすることも容易である。
しかし、金属製のテーブルを製造するためには、複数の継ぎ合わせを高精度に行うとともに、継ぎ目の溶接跡を含めた表面の平滑化加工が不可欠である。また、表面を高い平滑度に仕上げたとしても、錆や傷が発生して平滑性が損なわれ易いという問題もある。とくに、コラムのエアパッドが対向配置される部分において、錆や傷が生じると、ガイドとしての機能を安定的に確保できないという問題がある。
【０００８】
本発明の目的は、大型化してもコストの上昇および製造の長期化が抑えられ、かつガイド機能を安定的に確保できる形状測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の形状測定装置は、プローブを支持する移動機構の門型構造を形成する第１コラムおよび第２コラムと、第１材質で形成されかつ前記第１コラムをガイドする第１ガイド部と、前記第１ガイド部と平行かつ前記第１材質とは異なる第２材質で形成されかつ前記第２コラムをガイドする第２ガイド部と、前記第１ガイド部を支持する第１支持体と、前記第２ガイド部を支持する第２支持体と、前記第１ガイド部、前記第２ガイド部、前記第１支持体および前記第２支持体の少なくともいずれかに設けられ、前記第１ガイド部と前記第２ガイド部との熱膨張差を補償する熱膨張補償部と、を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明では、第１支持体および第２支持体により第１ガイド部および第２ガイド部が基礎上に支持される。移動機構の第１コラムおよび第２コラムは、それぞれ第１ガイド部および第２ガイド部によりガイドされ、これにより移動機構およびプローブは第１ガイド部および第２ガイド部の長手方向へ移動可能となる。
第１ガイド部および第２ガイド部は、それぞれ第１材質および第２材質で形成される。このため、気温の変化などがあった場合、第１ガイド部および第２ガイド部には各々の材質の熱膨張係数の相違に基づいて、支持高さあるいは長さなどが異なる変化を生じる。
しかし、本発明では、熱膨張補償部により、第１ガイド部と第２ガイド部との熱膨張差を補償することができる。
【００１１】
本発明では、第１材質および第２材質を、例えば石材および金属の組み合わせとすることができる。すなわち、第１ガイド部および第２ガイド部の両方が石材でないことで、大型化してもコストの上昇、製造の長期化を抑制することができる。また、石材製の第２ガイド部では、錆や傷が発生して平滑性が損なわれることがなく、ガイドとしての機能を安定的に確保できる。
【００１２】
本発明の形状測定装置において、前記第１ガイド部および前記第２ガイド部の少なくともいずれかの温度を検出する温度センサを有し、前記熱膨張補償部は、前記温度センサからの温度を参照して前記第１ガイド部と前記第２ガイド部との熱膨張差を補償することが好ましい。
本発明では、第１ガイド部および第２ガイド部の実際の温度に基づいて、第１ガイド部と第２ガイド部との熱膨張差を補償することができ、第１材質および第２材質が異なっていても適切な補償を行うことができる。
【００１３】
本発明の形状測定装置において、前記熱膨張補償部は、前記第１支持体および前記第２支持体の少なくとも一方に形成された高さ調整機構を有することが好ましい。
本発明では、第１ガイド部および第２ガイド部の支持高さが温度により変化しても、高さ調整機構により第１支持体および前記第２支持体の高さを補償することができる。
【００１４】
本発明の形状測定装置において、前記熱膨張補償部は、前記第１ガイド部および前記第２ガイド部を加熱または冷却可能な温度調整装置を有することが好ましい。
本発明では、第１ガイド部および第２ガイド部の支持高さや長さなどが温度により変化しても、温度調整機構により第１ガイド部および第２ガイド部の温度変化ないし熱膨張を相殺することができる。
【００１５】
本発明の形状測定装置は、門型構造を形成する第１コラムおよび第２コラムを有する移動機構と、前記移動機構で支持されたプローブと、第１材質で形成されかつ前記第１コラムをガイドする第１ガイド部と、前記第１ガイド部と平行かつ前記第１材質とは異なる第２材質で形成されかつ前記第２コラムをガイドする第２ガイド部と、前記移動機構を制御しかつ前記プローブからの信号に基づいて測定値を演算する演算装置と、を有し、前記演算装置は、前記第１ガイド部と前記第２ガイド部との熱膨張差に基づいて前記測定値を補正する測定値補正部を有することを特徴とする。
【００１６】
本発明では、第１支持体および第２支持体により第１ガイド部および第２ガイド部が基礎上に支持される。移動機構の第１コラムおよび第２コラムは、それぞれ第１ガイド部および第２ガイド部によりガイドされ、これにより移動機構およびプローブは第１ガイド部および第２ガイド部の長手方向へ移動可能となる。
第１ガイド部および第２ガイド部は、それぞれ第１材質および第２材質で形成される。このため、気温の変化などがあった場合、第１ガイド部および第２ガイド部には各々の材質の熱膨張係数の相違に基づいて、支持高さあるいは長さなどが異なる変化を生じる。そして、このような変化により、演算装置で演算される測定値に誤差が生じることがある。
しかし、本発明では、熱膨張補正部により、温度に応じて演算装置で演算される測定値を補正することができる。
本発明では、第１材質および第２材質を、例えば石材および金属の組み合わせとすることができる。すなわち、第１ガイド部および第２ガイド部の両方が石材でないことで、大型化してもコストの上昇、製造の長期化を抑制することができる。また、石材製の第２ガイド部では、錆や傷が発生して平滑性が損なわれることがなく、ガイドとしての機能を安定的に確保できる。
【００１７】
本発明の形状測定装置において、前記第１ガイド部および前記第２ガイド部の少なくともいずれかの温度を検出する温度センサを有し、前記測定値補正部は、前記温度センサからの温度を参照して前記測定値を補正することが好ましい。
本発明では、第１ガイド部および第２ガイド部の実際の温度に基づいて、演算装置における測定値の補正を行うことができ、第１材質および第２材質が異なっていても適切な測定値を得ることができる。
【００１８】
本発明の形状測定装置において、前記第１材質は石材であり、前記第２材質は金属であることが好ましい。
本発明では、第１ガイド部および第２ガイド部を、石材と金属との組み合わせとすることができ、大型化してもコストの上昇および製造の長期化が抑えられ、かつガイド機能を安定的に確保できる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、大型化してもコストの上昇および製造の長期化が抑えられ、かつガイド機能を安定的に確保できる形状測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態を示す斜視図。
【図２】本発明の第２実施形態を示す斜視図。
【図３】本発明の第３実施形態を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
〔第１実施形態〕
図１には、本発明の第１実施形態の形状測定装置１が示されている。
形状測定装置１は、作業現場の床面などの安定した基礎９に設置されている。基礎９には測定対象物であるワーク８が固定されている。形状測定装置１は、ワーク８を検出するプローブ７を有し、プローブ７はワーク８を跨ぐ三次元移動機構１０に支持されている。
本実施形態では、大型のワーク８の測定を可能とするべく、石材製定盤を用いた既存のテーブルを省略し、ワーク８を基礎９に直接固定している。
【００２２】
三次元移動機構１０は、門型構造を形成する第１コラム１１および第２コラム１２およびクロスバー１３を有する。クロスバー１３には、サドル１４を介してスピンドル１５が設置され、スピンドル１５の下端にプローブ７が装着されている。サドル１４は、Ｙ軸移動機構１６により、クロスバー１３に沿って移動可能である。スピンドル１５は、Ｚ軸移動機構１７により、サドル１４に対してＺ軸方向に昇降移動可能である。
【００２３】
第１コラム１１および第２コラム１２は、それぞれ第１ガイド部２１および第２ガイド部２２で個別に支持されている。
第１ガイド部２１は、第１材質である鉄鋼製の箱型直方体状とされ、複数の第１支持体３１を介して基礎９に固定されている。
第２ガイド部２２は、第２材質である石材製の直方体状とされ、複数の第２支持体３２を介して基礎９に固定されている。
第１ガイド部２１および第２ガイド部２２は、基礎９のワーク８を固定する領域を挟んで両側に設置され、それぞれＸ軸方向へ平行に延びている。
第１支持体３１および第２支持体３２は、それぞれ鉄鋼製の角形箱状とされている。
【００２４】
第１ガイド部２１にはＸ軸移動機構１８が設置され、第１コラム１１をＸ軸方向へ移動可能である。
第２ガイド部２２は上面２２１が平滑に形成され、この上面２２１には第２コラム１２の下端のエアパッド１２１が摺接されている。
従って、Ｘ軸移動機構１８で第１コラム１１をＸ軸方向へ移動させることで、クロスバー１３および第２コラム１２を含む門型構造の全体がＸ軸方向へ移動可能である。
【００２５】
形状測定装置１は制御装置９０を有し、この制御装置９０により、前述したＸ軸移動機構１８、Ｙ軸移動機構１６およびＺ軸移動機構１７によるプローブ７の移動の制御が行われるとともに、プローブ７からの検出信号の処理ないしワーク８の測定値の演算が一括して行われる。
【００２６】
第１支持体３１および第２支持体３２には、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２に接する上面側に、板状の高さ調整機構４１，４２が設置されている。
高さ調整機構４１，４２は、それぞれ圧電素子を積層したものであり、外部からの印加電圧に応じて厚みが変化し、これにより基礎９に対する第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の高さを個別に調整することができる。
第１ガイド部２１および第２ガイド部２２には、その温度を検出する温度センサ４３，４４が装着されている。
【００２７】
高さ調整機構４１，４２および温度センサ４３，４４は、それぞれ制御装置９０に接続されている。
制御装置９０は、予め設定された補償プログラムにより、温度センサ４３，４４からの温度信号が示す温度における、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の熱膨張量を演算し、その差を相殺するように高さ調整機構４１，４２を制御する。
【００２８】
温度が基準温度（例えば２０℃）よりも上昇した場合、第１ガイド部２１は鉄鋼製であり熱膨張率が大きいのに対し、第２ガイド部２２は石材製であり熱膨張率が小さく、従って第１ガイド部２１で支持される第１コラム１１は、第２ガイド部２２で支持される第２コラム１２よりも高い位置に持ち上げられる。これに対し、制御装置９０は、第２支持体３２の高さ調整機構４２の厚みが増加するように制御し、第２ガイド部２２を持ち上げることにより、第１コラム１１および第２コラム１２を同じ高さとなるように調整する。
【００２９】
温度が基準温度（例えば２０℃）よりも低下した場合、第１ガイド部２１で支持される第１コラム１１は、第２ガイド部２２で支持される第２コラム１２よりも低い位置となる。このため、制御装置９０は、第１支持体３１の高さ調整機構４１の厚みが増加するように制御し、第１ガイド部２１を持ち上げることにより、第１コラム１１および第２コラム１２を同じ高さとなるように調整する。
【００３０】
この際、高さ調整機構４１，４２の一方だけを操作するのではなく、他方を逆向きに操作してもよい。例えば、高さ調整機構４１を上昇させる際に、高さ調整機構４２を下降させてもよい。
これらの制御装置９０、高さ調整機構４１，４２および温度センサ４３，４４により、熱膨張補償部４０が構成されている。
【００３１】
第１実施形態によれば、以下の効果が得られる。
本実施形態によれば、熱膨張補償部４０により、気温あるいは動作状態により第１ガイド部２１および第２ガイド部２２に異なる熱膨張が生じても、この熱膨張差を高さ調整機構４１，４２で相殺することで補償し、第１コラム１１および第２コラム１２を同じ高さとなるように調整することができる。
【００３２】
このような熱膨張補償部４０があることで、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の第１材質および第２材質を、石材および金属という異なる材質の組み合わせとすることができる。
その結果、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の両方が石材でないことで、形状測定装置１を大型化しても、コストの上昇、製造の長期化を抑制することができる。また、石材製の第２ガイド部２２では、上面２２１に錆や傷が発生して平滑性が損なわれることがなく、第２コラム１２のエアパッド１２１に対するガイドとしての機能を安定的に確保できる。
【００３３】
なお、本実施形態では、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２に温度センサ４３，４４を設けていたが、簡素化のために温度センサ４３，４４は第１ガイド部２１または第２ガイド部２２のいずれか一方だけに設けてもよい。温度センサ４３，４４は第１ガイド部２１および第２ガイド部２２に一つずつに限らず、複数であってもよく、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２のほか、気温を検出してもよく、門型構造に装着してその温度を検出してもよい。
また、高さ調整機構４１，４２を第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の両方に設けることは必須ではなく、いずれか一方であってもよい。いずれか一方とする際には、予め所定のバイアス量を変位させておき、単独で上昇および下降が行えることが望ましい。
【００３４】
〔第２実施形態〕
図２には、本発明の第２実施形態の形状測定装置２が示されている。
形状測定装置２は、基本構造が前述した第１実施形態の形状測定装置１と同じである。このため、共通する部分については重複する説明を省略し、以下には相違部分について説明する。
【００３５】
本実施形態では、第１実施形態にあった高さ調整機構４１，４２は省略されている。
一方、第１ガイド部２１の側面には、複数の温度センサ５１が装着され、各々の間には複数の温度調整器５２が装着されている。
温度調整器５２は、例えばペルチエ素子などの、外部電力により加熱・冷却が可能な機器が利用できる。温度調整器５２としては、電熱線と水冷装置との組み合わせなどを用いてもよい。
【００３６】
複数の温度センサ５１および複数の温度調整器５２は、それぞれ制御装置９０に接続されている。
制御装置９０は、予め設定された補償プログラムにより、各部の温度センサ５１からの温度信号が示す第１ガイド部２１の温度に基づいて、第１ガイド部２１の温度が一定の温度となるように各部の温度調整器５２を制御する。
【００３７】
これにより、気温の変化あるいは動作熱によって第１ガイド部２１の温度が変化し、熱膨張が生じる状況においても、第１ガイド部２１の温度を一定に維持して熱膨張を抑止することができ、その結果、第１コラム１１および第２コラム１２を常に同じ高さとなるように制御することができる。
これらの制御装置９０、複数の温度センサ５１および複数の温度調整器５２により、熱膨張補償部５０が構成されている。
【００３８】
本実施形態においても、熱膨張補償部５０により第１ガイド部２１の温度を一定に維持することで、第１コラム１１および第２コラム１２を同じ高さに維持することができる。
従って、本実施形態によっても、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の第１材質および第２材質を、石材および金属という異なる材質の組み合わせとすることができる。
その結果、形状測定装置１を大型化しても、コストの上昇、製造の長期化を抑制することができる。また、上面２２１に錆や傷が発生して平滑性が損なわれることがなく、第２コラム１２のエアパッド１２１に対するガイドとしての機能を安定的に確保できる。
【００３９】
なお、本実施形態では、複数の温度センサ５１および複数の温度調整器５２を第１ガイド部２１に設けたが、第２ガイド部２２に設けてもよく、あるいは両方に設けるようにしてもよい。
ただし、本実施形態では第１ガイド部２１が鉄鋼製で熱膨張が生じ易いのに対し、第２ガイド部２２は石材製で熱膨張が生じにくく、本実施形態のような熱膨張補償部５０は熱膨張が大きな第１ガイド部２１に設けるほうが有効である。
【００４０】
〔第３実施形態〕
図３には、本発明の第３実施形態の形状測定装置３が示されている。
形状測定装置３は、基本構造が前述した第１実施形態の形状測定装置１と同じである。このため、共通する部分については重複する説明を省略し、以下には相違部分について説明する。
【００４１】
本実施形態では、第１実施形態にあった高さ調整機構４１，４２は省略されている。
一方、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の側面には、それぞれ温度センサ６１、６２が装着されている。
制御装置９０は、温度センサ６１，６２が接続されているとともに、各々で検出された温度に基づいてプローブ７による測定値を補正する補正演算部９０１を備えている。
補正演算部９０１は、予め設定された補正演算プログラムにより、温度センサ６１，６２からの温度信号が示す第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の温度に基づいて、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２に生じる熱膨張差による高さの変位量を演算する。そして、制御装置９０に取得されたプローブ７の位置データのうち、高さ方向のデータを、熱膨張差による高さの変位量で補正する。
【００４２】
これにより、気温の変化あるいは動作熱によって第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の温度が変化し、各々の熱膨張の差による変位が生じる状況においても、その変位量でプローブ７の位置データを補正することができる。
これらの温度センサ６１，６２および補正演算部９０１により、熱膨張補正部６０が構成されている。
【００４３】
本実施形態においては、熱膨張補正部６０により、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の温度が変化し、各々の熱膨張の差による変位が生じる状況においても、その変位量でプローブ７の位置データを補正することができる。
従って、本実施形態によっても、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の第１材質および第２材質を、石材および金属という異なる材質の組み合わせとすることができる。
その結果、形状測定装置１を大型化しても、コストの上昇、製造の長期化を抑制することができる。また、上面２２１に錆や傷が発生して平滑性が損なわれることがなく、第２コラム１２のエアパッド１２１に対するガイドとしての機能を安定的に確保できる。
【００４４】
〔他の実施形態〕
本発明は前述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形などは本発明に含まれる。
前述した各実施形態では、大型のワーク８の測定を可能とするべく、石材製定盤を用いた既存のテーブルを省略し、ワーク８を基礎９に直接固定していた。
これに対し、第１ガイド部２１および第２ガイド部２２の間にテーブルを設け、これにワーク８を固定してもよい。
【００４５】
追加されるテーブルは、例えば第１ガイド部２１および第２ガイド部２２のいずれか一方と連続していてもよい。
ただし、前述した各実施形態のように、第２ガイド部２２が石材製である場合、これに連続する石材製のテーブルとすると、石材製の部分が増し、コストの上昇、製造の長期化、運搬も困難さという課題を解決するためには不適である。一方、鋼鉄製の第１ガイド部２１と連続するテーブルとすれば、石材製の部分を第２ガイド部２２など最小限にでき、コストの上昇、製造の長期化、運搬の困難さという課題を解決することができる。
【００４６】
前述した各実施形態では、第１ガイド部２１の第１材質を鉄鋼とし、第２ガイド部２２の第２材質を石材としたが、各材質はこれらに限定されない。
第１材質は鉄鋼に限らず、他の金属材料であってもよく、所期の剛性が得られれば、繊維強化された合成樹脂材料などでもよい。
第２材質は石材に限らず、他の鉱物質やガラス質、陶磁器材質などでもよく、高精度で熱変形が小さな材質であることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明は、測定対象物の形状や寸法、表面位置などを測定する形状測定装置、とくに大型の形状測定装置に利用できる。
【符号の説明】
【００４８】
１，２，３…形状測定装置、７…プローブ、８…ワーク、９…基礎、１０…三次元移動機構、１１…第１コラム、１２…第２コラム、１２１…エアパッド、１３…クロスバー、１４…サドル、１５…スピンドル、１６…Ｙ軸移動機構、１７…Ｚ軸移動機構、１８…Ｘ軸移動機構、２１…第１ガイド部、２２…第２ガイド部、２２１…上面、３１…第１支持体、３２…第２支持体、４０，５０…熱膨張補償部、４１，４２…高さ調整機構、４３，５１，５２，６１…温度センサ、５２…温度調整器、６０…熱膨張補正部、９０…制御装置、９０１…補正演算部。
【図１】
2018155533.tif 000003
【図２】
2018155533.tif 000004
【図３】
2018155533.tif 000005