(57)【要約】【課題】基板の製造に使用される薬液を最適な状態に管理する役務に最適な基板処理装置の薬液管理システム、基板処理装置の薬液管理料金の算出方法、及び、基板処理装置の薬液管理料金算出システムを提供する。【解決手段】基板処理装置の薬液管理システムは、基板処理装置と、薬液の新液を調製する薬液調製装置、使用後の薬液を再生する薬液再生装置等とが、積算流量計を備える配管により接続されている。濃度管理装置は基板処理装置の薬液の濃度を測定し、薬液の原液や新液、再生液を補充し、薬液を常時最適な濃度に管理する。供給された補充液の積算流量は積算流量計により計測される。積算流量計がネットワークに直接接続される。【選択図】  図４
2018200942.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液を繰り返し用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理システムであって、
前記基板処理装置で用いられる前記薬液を新液として調製する薬液調製部と、前記薬液調製部で調製された前記新液を貯留する新液貯留部と、前記新液貯留部に貯留された前記新液を前記基板処理装置に送液する新液送液手段と、を備え、前記新液が流通する新液用配管により前記基板処理装置と接続された薬液調製装置と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する補充液用配管により前記基板処理装置と接続された、前記補充液を前記基板処理装置に送液する補充液送液手段と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液の濃度が、所定の濃度値又は所定の濃度範囲内となるように、前記新液送液手段、及び、前記補充液送液手段、のうち少なくともいずれか一つを制御する濃度管理装置と、を備え、
前記新液用配管、及び、前記補充液用配管、に積算流量計を備える基板処理装置の薬液管理システム。
【請求項２】
薬液を繰り返し用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理システムであって、
前記基板処理装置で使用された前記薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生部と、前記薬液再生部で再生された前記再生液を貯留する再生液貯留部と、前記再生液貯留部に貯留された前記再生液を前記基板処理装置に送液する再生液送液手段と、を備え、前記再生液が流通する再生液用配管により前記基板処理装置と接続された薬液再生装置と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する補充液用配管により前記基板処理装置と接続された、前記補充液を前記基板処理装置に送液する補充液送液手段と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液の濃度が、所定の濃度値又は所定の濃度範囲内となるように、前記再生液送液手段、及び、前記補充液送液手段、のうち少なくともいずれか一つを制御する濃度管理装置と、を備え、
前記再生液用配管、及び、前記補充液用配管、に積算流量計を備える基板処理装置の薬液管理システム。
【請求項３】
薬液を繰り返し用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理システムであって、
前記基板処理装置で用いられる前記薬液を新液として調製する薬液調製部と、前記薬液調製部で調製された前記新液を貯留する新液貯留部と、前記新液貯留部に貯留された前記新液を前記基板処理装置に送液する新液送液手段と、を備え、前記新液が流通する新液用配管により前記基板処理装置と接続された薬液調製装置と、
前記基板処理装置で使用された前記薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生部と、前記薬液再生部で再生された前記再生液を貯留する再生液貯留部と、前記再生液貯留部に貯留された前記再生液を前記基板処理装置に送液する再生液送液手段と、を備え、前記再生液が流通する再生液用配管により前記基板処理装置と接続された薬液再生装置と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する補充液用配管により前記基板処理装置と接続された、前記補充液を前記基板処理装置に送液する補充液送液手段と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液の濃度が、所定の濃度値又は所定の濃度範囲内となるように、前記新液送液手段、前記再生液送液手段、及び、前記補充液送液手段、のうち少なくともいずれか一つを制御する濃度管理装置と、を備え、
前記新液用配管、前記再生液用配管、及び、前記補充液用配管、に積算流量計を備える基板処理装置の薬液管理システム。
【請求項４】
前記積算流量計が通信機能を備える請求項１から３のいずれか一項に記載の基板処理装置の薬液管理システム。
【請求項５】
薬液を用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理料金の算出方法であって、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に、積算流量計を備えた配管を介して供給される、薬液調製装置により新たに調製された前記薬液、及び、補充液、の積算流量を前記積算流量計により計測し、
前記積算流量計により計測された所定期間の積算流量に基づいて、前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出すること、
を含む基板処理装置の薬液管理料金の算出方法。
【請求項６】
薬液を用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理料金の算出方法であって、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に、積算流量計を備えた配管を介して供給される、薬液再生装置により前記基板処理装置で使用された前記薬液から再利用可能なように再生された再生液、及び、補充液、の積算流量を前記積算流量計により計測し、
前記積算流量計により計測された所定期間の積算流量に基づいて、前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出すること、
を含む基板処理装置の薬液管理料金の算出方法。
【請求項７】
薬液を用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理料金の算出方法であって、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に、積算流量計を備えた配管を介して供給される、薬液調製装置により新たに調製された前記薬液、薬液再生装置により前記基板処理装置で使用された前記薬液から再利用可能なように再生された再生液、及び、補充液、の積算流量を前記積算流量計により計測し、
前記積算流量計により計測された所定期間の積算流量に基づいて、前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出すること、
を含む基板処理装置の薬液管理料金の算出方法。
【請求項８】
薬液を用いて基板を処理する基板処理装置に接続され、薬液調製装置により新たに調製された前記薬液が流通する配管、及び、補充液が流通する配管、にそれぞれ備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出する方法において、
前記サーバシステムが前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、
前記サーバシステムが取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、
前記サーバシステムが前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出するステップと、
を含む基板処理装置の薬液管理料金の算出方法。
【請求項９】
薬液を用いて基板を処理する基板処理装置に接続され、薬液再生装置により前記基板処理装置で使用された前記薬液から再利用可能なように再生された再生液が流通する配管、及び、補充液が流通する配管、にそれぞれ備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出する方法において、
前記サーバシステムが前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、
前記サーバシステムが取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、
前記サーバシステムが前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出するステップと、
を含む基板処理装置の薬液管理料金の算出方法。
【請求項１０】
薬液を用いて基板を処理する基板処理装置に接続され、薬液調製装置により新たに調製された前記薬液が流通する配管、薬液再生装置により前記基板処理装置で使用された前記薬液から再利用可能なように再生された再生液が流通する配管、及び、補充液が流通する配管、にそれぞれ備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出する方法において、
前記サーバシステムが前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、
前記サーバシステムが取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、
前記サーバシステムが前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出するステップと、
を含む基板処理装置の薬液管理料金の算出方法。
【請求項１１】
薬液を用いて基板を処理する基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される新たに調製された前記薬液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、
前記各積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、
前記サーバシステムは、
前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、
受信した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、
前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出する演算部と、
を備える基板処理装置の薬液管理料金算出システム。
【請求項１２】
薬液を用いて基板を処理する基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される使用された前記薬液を再利用可能に再生した再生液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、
前記各積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、
前記サーバシステムは、
前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、
受信した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、
前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出する演算部と、
を備える基板処理装置の薬液管理料金算出システム。
【請求項１３】
薬液を用いて基板を処理する基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される新たに調製された前記薬液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される使用された前記薬液を再利用可能に再生した再生液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、
前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、
前記各積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、
前記サーバシステムは、
前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、
受信した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、
前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出する演算部と、
を備える基板処理装置の薬液管理料金算出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体又は液晶ディスプレイ基板の製造プロセスで繰り返し用いられる各種の薬液を用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理システム、基板処理装置の薬液管理料金の算出方法、及び、基板処理装置の薬液管理料金算出システム、に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体又は液晶ディスプレイ基板の製造プロセスでは、例えば、現像液、エッチング液、剥離液、帯電防止剤、洗浄液など、各種の薬液が使用されている。これらの薬液（以下、これらの薬液の具体的な区別を必要としない場合にはこれらをまとめて「薬液」という。）は、その性能が最大限に発揮されるように、必要に応じた所定の濃度に維持管理されて使用される。薬液の濃度管理は、薬液の濃度の監視と測定された濃度に基づく補充液の補給によりなされる。補給される補充液としては、薬液の原液や純水のほか、新しく調製された薬液（以下「新液」ともいう。）や再利用可能に再生処理された薬液（以下「再生液」ともいう。）などが用いられる。
【０００３】
従来は、薬液を使用して基板を処理する者（以下「基板製造者」ということがある。）は、薬液の濃度を維持管理するために、薬液の濃度管理装置を購入して使用していた。基板製造者は、薬液の濃度を管理すべく補給される補充液として、薬液の原液や新液などを調達しなければならなかった。基板製造者は、基板製造者自身で薬液の新液を調製するときは、薬液をその原料から自動で調製する薬液調製装置を購入し、これを運用しなければならなかった。また、基板製造者は、再生液を基板製造者自身で用意するには、使用された薬液を再利用可能に再生処理する薬液の再生処理装置を購入しなければならなかった。
【０００４】
薬液の濃度管理装置として、例えば、次の特許文献が開示されている。特許文献１では、現像液のアルカリ濃度と溶解樹脂濃度とを管理する現像液濃度管理装置が開示されている。また、特許文献２では、酸濃度と溶解インジウム濃度とを管理するエッチング液管理装置が開示されている。薬液の再生処理装置としては、例えば、特許文献３に、現像廃液を精密ろ過により再生する現像廃液の再生処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２５６１５７８号公報
【特許文献２】特許第２７４７６４７号公報
【特許文献３】特開２００５−１７５１１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来のように濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を購入して使用する態様では、基板製造者が、濃度管理装置や薬液再生装置を購入し、これらを運転し維持管理することが必要であった。また、従来の態様では、濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を製造販売する者（以下「装置販売者」ということがある。）にとっても、装置販売時点しかこれらの装置の対価を得る機会がなかった。
【０００７】
そのため、基板製造者は、濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を購入するための一時的に多額の費用負担と、購入後の運転及び維持管理に係る数々の手間や負担と、を背負わなければならなかった。また、装置販売者は、限られた市場の中で、装置の購入を希望する基板製造者を次々に探して装置を販売しなければ、充分な利益を上げることが難しい、という問題を抱えていた。
【０００８】
本発明は、上記の諸課題に鑑みなされたものである。発明者は、装置を販売するのではなく、濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を用いて基板の処理に最適な所望の状態に薬液を維持管理する役務を基板製造者に提供すること、を発案した。本発案の新規なビジネスモデルでは、基板製造者が上記のような負担を背負うことなく常に最適な状態に維持された薬液を使用することができ、かつ、装置販売者が継続して収益を上げることができる。本発明は、上記発案の新規なビジネスモデルにおいて、上記役務を提供する者がその役務の提供に用いる濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置により構成され基板製造者の運用する基板処理装置に接続する上記役務を提供するのに最適な基板処理装置の薬液管理システム、基板処理装置の薬液管理料金の算出方法、及び、基板処理装置の薬液管理料金算出システム、を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明の薬液を繰り返し用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理システムは、前記基板処理装置で用いられる前記薬液を新液として調製する薬液調製部と、前記薬液調製部で調製された前記新液を貯留する新液貯留部と、前記新液貯留部に貯留された前記新液を前記基板処理装置に送液する新液送液手段と、を備え、前記新液が流通する新液用配管により前記基板処理装置と接続された薬液調製装置と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する補充液用配管により前記基板処理装置と接続された、前記補充液を前記基板処理装置に送液する補充液送液手段と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液の濃度が、所定の濃度値又は所定の濃度範囲内となるように、前記新液送液手段、及び、前記補充液送液手段、のうち少なくともいずれか一つを制御する濃度管理装置と、を備え、前記新液用配管、及び、前記補充液用配管、に積算流量計を備える。
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明の薬液を繰り返し用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理システムは、前記基板処理装置で使用された前記薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生部と、前記薬液再生部で再生された前記再生液を貯留する再生液貯留部と、前記再生液貯留部に貯留された前記再生液を前記基板処理装置に送液する再生液送液手段と、を備え、前記再生液が流通する再生液用配管により前記基板処理装置と接続された薬液再生装置と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する補充液用配管により前記基板処理装置と接続された、前記補充液を前記基板処理装置に送液する補充液送液手段と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液の濃度が、所定の濃度値又は所定の濃度範囲内となるように、前記再生液送液手段、及び、前記補充液送液手段、のうち少なくともいずれか一つを制御する濃度管理装置と、を備え、前記再生液用配管、及び、前記補充液用配管、に積算流量計を備える。
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明の薬液を繰り返し用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理システムは、前記基板処理装置で用いられる前記薬液を新液として調製する薬液調製部と、前記薬液調製部で調製された前記新液を貯留する新液貯留部と、前記新液貯留部に貯留された前記新液を前記基板処理装置に送液する新液送液手段と、を備え、前記新液が流通する新液用配管により前記基板処理装置と接続された薬液調製装置と、前記基板処理装置で使用された前記薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生部と、前記薬液再生部で再生された前記再生液を貯留する再生液貯留部と、前記再生液貯留部に貯留された前記再生液を前記基板処理装置に送液する再生液送液手段と、を備え、前記再生液が流通する再生液用配管により前記基板処理装置と接続された薬液再生装置と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する補充液用配管により前記基板処理装置と接続された、前記補充液を前記基板処理装置に送液する補充液送液手段と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液の濃度が、所定の濃度値又は所定の濃度範囲内となるように、前記新液送液手段、前記再生液送液手段、及び、前記補充液送液手段、のうち少なくともいずれか一つを制御する濃度管理装置と、を備え、前記新液用配管、前記再生液用配管、及び、前記補充液用配管、に積算流量計を備える。
【００１２】
本発明の基板処理装置の薬液管理システムによれば、補充液が流通する補充液用配管、薬液調製装置により調製された薬液の新液が流通する新液用配管、及び、薬液再生装置により再生された薬液が流通する再生液用配管に積算流量計が備え付けられているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとに基板処理装置に供給した補充液、新液又は再生液の量を把握することができる。そのため、例えば、この所定期間における補充液、新液又は再生液の供給量にこれらの単位量当たりの料金を乗じて得た供給料金に、その他の諸経費などに基づく基本料金を加算した金額を、基板処理のために提供した薬液管理の役務の提供に係る料金、すなわち、「薬液管理料金」として算出することが可能となる。そして、算出した料金を基板製造者に請求することが可能となる。
【００１３】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理装置の薬液管理システムにおいて、積算流量計が通信機能を備える。
【００１４】
本発明の基板処理装置の薬液管理システムによれば、基板製造者の工場で使われている積算流量計をネットワークに接続することができるので、積算流量計の測定する補充液、新液又は再生液の積算流量の各種測定データを、当該ネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で監視することが可能となる。積算流量計のメーターを検針するために基板製造者の工場に出向く必要がない。
【００１５】
前記目的を達成するために、本発明の薬液を用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理料金の算出方法は、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に、積算流量計を備えた配管を介して供給される、薬液調製装置により新たに調製された前記薬液、及び、補充液、の積算流量を前記積算流量計により計測し、前記積算流量計により計測された所定期間の積算流量に基づいて、前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出すること、を含む。
【００１６】
前記目的を達成するために、本発明の薬液を用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理料金の算出方法は、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に、積算流量計を備えた配管を介して供給される、薬液再生装置により前記基板処理装置で使用された前記薬液から再利用可能なように再生された再生液、及び、補充液、の積算流量を前記積算流量計により計測し、前記積算流量計により計測された所定期間の積算流量に基づいて、前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出すること、を含む。
【００１７】
前記目的を達成するために、本発明の薬液を用いて基板を処理する基板処理装置の薬液管理料金の算出方法は、薬液を用いて基板を処理する前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に、積算流量計を備えた配管を介して供給される、薬液調製装置により新たに調製された前記薬液、薬液再生装置により前記基板処理装置で使用された前記薬液から再利用可能なように再生された再生液、及び、補充液、の積算流量を前記積算流量計により計測し、前記積算流量計により計測された所定期間の積算流量に基づいて、前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出すること、を含む。
【００１８】
本発明の基板処理装置の薬液管理料金の算出方法によれば、薬液の濃度管理の役務を提供する者（以下「役務提供者」ということがある。）が、薬液調製装置、濃度管理装置や薬液再生装置を基板製造者の工場に置いて薬液を使用する設備（基板処理装置）に接続して濃度管理を行うので、基板製造者は薬液調製装置、濃度管理装置又は薬液再生装置を購入する必要がない。役務提供者の所有物件として濃度管理装置、薬液管理装置又は薬液再生装置を設置するので、基板製造者はこれを維持管理する負担も負わない。基板製造者は、何もせずに、繰り返し使用している薬液の濃度が所定の濃度に管理されるのであり、また、新液や再生薬液の供給を受けることができる。役務提供者は、薬液の濃度管理の役務の提供に係る料金を、積算流量計により計測された積算流量に基づいて合理的に計算することが可能となる。
【００１９】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理装置の薬液管理料金の算出方法は、薬液を用いて基板を処理する基板処理装置に接続され、薬液調製装置により新たに調製された前記薬液が流通する配管、及び、補充液が流通する配管、にそれぞれ備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出する方法において、前記サーバシステムが前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、前記サーバシステムが取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、前記サーバシステムが前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出するステップと、を含む。
【００２０】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理装置の薬液管理料金の算出方法は、薬液を用いて基板を処理する基板処理装置に接続され、薬液再生装置により前記基板処理装置で使用された前記薬液から再利用可能なように再生された再生液が流通する配管、及び、補充液が流通する配管、にそれぞれ備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出する方法において、前記サーバシステムが前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、前記サーバシステムが取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、前記サーバシステムが前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出するステップと、を含む。
【００２１】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理装置の薬液管理料金の算出方法は、薬液を用いて基板を処理する基板処理装置に接続され、薬液調製装置により新たに調製された前記薬液が流通する配管、薬液再生装置により前記基板処理装置で使用された前記薬液から再利用可能なように再生された再生液が流通する配管、及び、補充液が流通する配管、にそれぞれ備えられた通信機能を有する積算流量計、及び、サーバシステム、が接続されたネットワークを利用して前記基板処理装置の薬液管理の料金を算出する方法において、前記サーバシステムが前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、前記サーバシステムが取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、前記サーバシステムが前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出するステップと、を含む。
【００２２】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理装置の薬液管理料金算出システムは、薬液を用いて基板を処理する基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される新たに調製された前記薬液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、前記積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、前記サーバシステムは、前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、受信した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出する演算部と、を備える。
【００２３】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理装置の薬液管理料金算出システムは、薬液を用いて基板を処理する基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される使用された前記薬液を再利用可能に再生した再生液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、前記積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、前記サーバシステムは、前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、受信した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出する演算部と、を備える。
【００２４】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理装置の薬液管理料金算出システムは、薬液を用いて基板を処理する基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される新たに調製された前記薬液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される使用された前記薬液を再利用可能に再生した再生液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、前記基板処理装置で繰り返し使用されている前記薬液に補給される補充液が流通する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、前記各積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、前記サーバシステムは、前記ネットワークを介して前記各積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、受信した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、前記履歴に基づいて前記基板処理装置ごとに所定期間における薬液管理の料金を算出する演算部と、を備える。
【００２５】
本発明の基板処理装置の薬液管理料金の算出方法、又は基板処理装置の薬液管理料金算出システムによれば、各基板製造者の工場で使われている積算流量計をネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で一元的に監視することができる。積算流量計のメーターを検針するために基板製造者の工場に出向く必要がない。基板製造者の設備に供給した補充液、新液又は再生液の所定期間における積算流量に応じた、薬液管理の役務の合理的な提供料金を算出することができ、これを基板製造者に請求することが可能となる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、基板処理装置に補充液、新液又は再生液を補給する配管に積算流量計を備えるので、所定期間に補給した補充液、新液又は再生液の供給量を把握することができ、この供給量に基づいた合理的な料金の計算が可能となる。このため、基板の処理に最適な所望の状態に薬液を維持管理する役務を基板製造者に提供するという、この業界に今まで無かった新しいビジネスの方法を実現することができる。そのため、本発明によれば、この役務を提供する者は、装置を販売していた従来の場合と比べ、限られた市場の中で装置購入希望者を次々と探さなくても、継続的に安定な収益を確保することができる。
【００２７】
本発明によれば、基板製造者は、薬液の濃度を管理する管理装置、薬液を新たに調製する薬液調製装置、薬液を再生処理する薬液再生装置などを購入したり運転したり維持管理したりする負担を背負わずに、薬液に供給された補充液、新液又は再生液の積算流量に基づいた薬液管理の役務提供の料金を支払うだけで、常時所望の状態に管理された薬液を使用することができる。
【００２８】
本発明によれば、この役務を提供する者は、複数の基板製造者の工場で使用されている各濃度管理装置や各薬液再生装置の積算流量計を遠隔で一元的に監視することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】薬液調製装置と濃度管理装置と積算流量計とを備える実施形態の基板処理装置の薬液管理システムの模式図である。
【図２】薬液再生装置と濃度管理装置と積算流量計とを備える基板処理装置の薬液管理システムの模式図である。
【図３】薬液調製装置と薬液再生装置と濃度管理装置と積算流量計とを備える基板処理装置の薬液管理システムの模式図である。
【図４】通信機能を有する積算流量計がネットワークに接続される実施形態の基板処理装置の薬液管理システムの模式図である。
【図５】通信機能を有する積算流量計がネットワークに接続される別の実施形態の基板処理装置の薬液管理システムの模式図である。
【図６】基板処理装置の薬液管理料金算出システムの構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、適宜図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。ただし、これらの実施の形態に記載されている装置等の形状、大きさ、寸法比、その相対配置などは、とくに特定的な記載がない限り、本発明の範囲に図示されているもののみに限定するものではない。単なる説明例として、模式的に図示しているに過ぎない。
【００３１】
また、以下の説明では、半導体又は液晶ディスプレイ基板の製造プロセスで用いられる薬液の具体例として、現像工程で現像液として主に使われる２．３８％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（以下、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドをＴＭＡＨという。）を、適宜用いて説明する。
【００３２】
ただし、本発明が適用される薬液はこれに限定されるものではない。本発明が適用できる他の薬液の例としては、現像液のほかに、エッチング液、剥離液、帯電防止剤、又は、洗浄液などを挙げることができる。
【００３３】
これらの薬液は、それぞれ、さらに多様な種類や組成の薬液が存在する。現像液としては、例えば、他に、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウムなどの無機化合物の水溶液や、トリメチルモノエタノールアンモニウムハイドロオキサイド（コリン）などの有機化合物の水溶液などを挙げることができる。エッチング液としては、例えば、シュウ酸水溶液、硫酸と過酸化水素の混合水溶液、硫酸銅溶液、燐酸と酢酸と硝酸の混合水溶液、熱燐酸、硝酸第二セリウムアンモニウム水溶液、塩化第二鉄溶液などを挙げることができる。剥離液としては、例えば、ジメチルスルホキシド系原液と純水との溶液、Ｎ−メチルピロリドン系原液と純水との溶液、アルカノールアミンとグライコールエーテルと純水との溶液などの水系レジスト剥離液や、モノエタノールアミンとブチルジグリコールと添加剤との混合溶液などの非水系レジスト剥離液などを挙げることができる。
【００３４】
従来、上記の各種の薬液を用いて基板を処理して基板の製造をする基板製造者は、濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を購入し、これを現像設備やエッチング設備等の薬液を使用する基板処理設備に接続し、これらの装置を運転して、薬液を使用した基板の処理を行っていた。そのため、基板製造者は、濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を購入する際の一時的に多額の費用負担、装置の運転の際の補充液や必要原料の調達の負担、装置の運転や維持管理に関連するその他の数々の手間や負担を負わなければならなかった。
【００３５】
また、装置販売者側から見ると、従来の装置そのものを販売するビジネスでは、装置販売時点にしか装置の対価回収の機会がなく、装置購入希望者を次々探して装置を売らなければ十分な利益を上げることが難しかった。
【００３６】
本発明者は、これらの諸点に鑑み、新規なビジネスの方法を発案した。すなわち、濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を用いて基板製造者の繰り返し使用する薬液の濃度を所定の濃度値、又は所定の濃度範囲に管理する役務を提供するビジネスである。この新規なビジネスの方法について説明する。
【００３７】
まず、薬液を管理する役務を提供するビジネスについて説明する。
【００３８】
薬液管理の役務提供者は、薬液管理装置（以下「濃度管理装置」ともいう。）を用いて基板製造者が繰り返し使用している薬液を基板製造者の望む所定の濃度又は所定の濃度範囲に管理する。薬液の濃度管理は、繰り返し使用されている薬液に補充液を補給することにより行われる。薬液管理装置は、繰り返し使用されている薬液の濃度を繰り返し測定して常時監視し、適切な補充液が必要量補給されるように補充液を補給する配管に備えられた制御弁を制御する。補充液は、補充液を補給する配管に備えられた積算流量計により積算流量を計測されながら、補給される。役務提供者は、補給された補充液の積算流量を監視することで、所定期間ごと（例えば、一週間ごととか一か月ごととか）の積算流量に基づいて、薬液管理の役務提供に係る料金を算出し、これを当該所定期間ごとに基板製造者に請求する。これが、薬液の濃度を管理する役務を提供するビジネスの概要である。
【００３９】
薬液の濃度を管理する役務に使用する薬液管理装置は、役務提供者の所有物件として、役務提供者が運転及び維持管理を行い、濃度管理に使用する。したがって、基板製造者は、薬液管理装置を購入する必要がないし、その運転や維持管理をする必要もない。ただ単に、役務提供者に薬液の濃度を管理してもらうだけである。
【００４０】
役務提供者は、自らの所有する薬液管理装置を基板製造者の工場に設置し、基板製造者の運用する薬液を使用して基板を処理する基板処理設備（以下「基板処理装置」ともいう。）に接続する。ここで、薬液を使用して基板を処理する基板処理設備とは、薬液が現像液であれば現像装置、エッチング液であればエッチング装置、剥離液であれば剥離装置、などのことである。
【００４１】
濃度管理は、薬液の濃度測定と、測定された薬液の濃度に基づく補充液の補給と、により実現される。ただし、これに限定されない。例えば、薬液の新液の調製や使用された薬液の再生処理を組み合わせるなどして、濃度管理してもよい。
【００４２】
例えば、現像処理工程で多用されているＴＭＡＨ水溶液を２．３８％の濃度に管理する場合には、特許文献１にあるように、次のような濃度管理がなされる。すなわち、現像液管理装置はアルカリ成分濃度と溶解樹脂濃度を繰り返し測定して常時監視し、アルカリ成分濃度がおよそ２．３８％の濃度になるように、及び、溶解樹脂濃度が所定の設定濃度を越えないように、補充液を補給して濃度管理する。
【００４３】
この場合、補充液としては、現像液の原液、現像液の新液、純水、などが補給される。現像液の原液とは、濃度の濃い現像液、例えば、２０％ないし２５％程度のＴＭＡＨ水溶液である。現像液の新液とは、未使用の現像液、つまり溶解樹脂等の不要物を含まない新鮮な現像液である。例えば、未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液である。使用された現像液から溶解樹脂などの不要物を除去した現像液の再生液を補充液として使用してもよい。また、現像液の新液として、現像液調製装置（以下「薬液調製装置」ともいう。）により調製されたものを用いてもよい。
【００４４】
濃度測定は、現像設備で繰り返し使用されている現像液をサンプリングし、現像液管理装置（以下「濃度管理装置」ともいう。）の測定部で行われる。アルカリ成分濃度は現像液の導電率を測定することで、また、溶解樹脂濃度は現像液の特定波長における吸光度を測定することで、行われる。これらの成分濃度と対応する現像液の物性値との間には、良好な相関関係があることが知られている（特許文献１参照）。このような相関関係を用いれば、測定された導電率値からアルカリ成分濃度が、測定された吸光度値から溶解樹脂濃度が、導き出される。
【００４５】
濃度測定の結果、アルカリ成分濃度が２．３８％より低い時には、現像液管理装置は、補充液として現像液の原液を補給する。逆に、２．３８％より高い時には、現像液管理装置は、補充液として純水又は現像液の新液を補給する。同様に、溶解樹脂濃度が所定の設定濃度を越えたときには、現像液管理装置は、補充液として現像液の新液を補給する。
【００４６】
補充液は、配管を介して、補充液を貯留している貯留容器や新液を調製して供給する薬液調製装置や再生液を供給する薬液再生装置から基板製造者の基板処理装置へ送液される。補充液が補給される配管には、薬液管理装置により制御される制御弁と積算流量計が設置されている。制御弁が開の時に単位時間あたりに流れる流量が制御弁ごとに予め設定されていれば、薬液管理装置は、補給すべき補充液の流れる配管に設けられた制御弁を所定時間開にすることで、適量の補充液を補給することができる。補充液の補給の際、積算流量計は、補充液の積算流量を測定する。これは、基板処理装置に供給された補充液の供給量である。
【００４７】
役務提供者は、例えば一か月ごとなどの所定期間ごとに、積算流量計により測定された補充液の積算流量（供給量）に基づいて基板処理装置の薬液管理料金を算出する。役務提供者は、基板処理に使用する薬液を管理する役務の提供の対価として、算出した基板処理装置の薬液管理料金を基板製造者に請求する。
【００４８】
基板製造者は、所定期間ごとに基板処理装置の薬液管理料金を支払うことで、濃度管理装置の購入や運転及び維持管理をすることなく、濃度管理された薬液を使用し続けることができる。一方、役務提供者は、装置を販売していた時と比べて、継続して安定な収益を上げることが可能となる。
【００４９】
ここで、基板処理装置の薬液管理料金としては、種々の態様があり得る。以下に、基板処理装置の薬液管理料金の具体例を、いくつか例示する。ただし、基板処理装置の薬液管理料金の算出の仕方は、これらに限定されない。本発明に関連する基板処理装置の薬液管理料金の算出の仕方は、補充液の積算流量（供給量）に基づく各種の料金算出方法を含むものである。
【００５０】
第一に、基板処理装置の薬液管理料金として、所定期間に供給した補充液の供給料金を基準に料金を計算するものがある。補充液を販売する、という考え方によるものである。
【００５１】
例えば、所定期間をひと月ごととする。積算流量計で補充液の積算流量を計測しているので、今月検針時点における積算流量から前月検針時点における積算流量を差し引くことにより、今月補給した補充液の供給量が求められる。これをＱ（Ｌ／月）とする。補充液の供給単価をＡ（円／Ｌ）とする。そうすると、今月の補充液の供給料金が、Ｑ×Ａ（円／月）と求められる。補充液が複数ある場合には、複数ある補充液のそれぞれについて、供給量をＱ１、Ｑ２、Ｑ３、・・・（Ｌ／月）、供給単価をＡ１、Ａ２、Ａ３、・・・（円／Ｌ）として、補充液の供給料金は、ΣＱｉ×Ａｉ（ｉ＝１、２、３、・・・）  （円／Ｌ）と求められる。これを、今月の基板処理装置の薬液管理料金として、基板製造者に請求する。
【００５２】
この変形例として、上記のように計算した補充液の供給料金に各種の料金を加算して得た料金を、月々の基板処理装置の薬液管理料金とするものがある。加算する各種の料金の代表的なものとして、基本料金がある。薬液管理の役務提供に係る契約時に、月々の基本料金を定め、これを補充液の供給の有無に関わらず、基板処理装置の薬液管理料金に含めて請求するものである。もちろん、基本料金という名目いかんに関わらず、設備維持管理費や装置運転員の人件費、原料調達費、その他の諸経費などを、加算する料金に含めてもよい。加算される料金（例えば基本料金）をＺ（円／月）とすれば、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、Ｑ×Ａ＋Ｚ（円／月）となる。補充液が複数あり、加算される料金が種々の料金の和Ｚ＝ΣＺｊであるときは、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、ΣＱｉ×Ａｉ＋ΣＺｊ（ｉ、ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）となる。
【００５３】
また別の変形例としては、補充液の供給料金に割増率Ｂをかけて得た金額を、月々の基板処理装置の薬液管理料金とする場合もある。例えば、補充液の原料の調達にかかる諸経費や装置の維持管理費などは、補充液の供給量（これは装置の運転時間とも関係する。）に連動するものととらえることが合理的である。このような場合には、割増率Ｂを補充液の供給料金Ｑ×Ａ（円／月）にかけて、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、Ｑ×Ａ×Ｂ（円／月）と求められる。割増率Ｂを補充液の供給単価Ａ（円／Ｌ）に含めてしまうのでもよい。さらに、基本料金などが加算される場合には、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、Ｑ×Ａ×Ｂ＋Ｚ（円／月）となる。より一般的には、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、（ΣＱｉ×Ａｉ）×Ｂ＋ΣＺｊ（ｉ、ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）と求められる。
【００５４】
第二に、基板処理装置の薬液管理料金として、所定期間に提供した薬液管理の役務により基板製造者にもたらされた経済的な利益に所定の割合をかけて得た額を、基板製造者に請求する、というものである。薬液管理の役務の提供により基板製造者に生じさせた経済的な利益を、基板製造者と役務提供者とで分け合う、という考え方によるものである。これは、例えば、薬液管理を実施していなかった基板製造者に対して、薬液管理の役務を提供する場合などに、好適に適用される。
【００５５】
薬液管理をしない場合、薬液使用者は、薬液を所定回数使用したのち全量廃棄して、新しい薬液に交換していた。このため、薬液の液性能は、液の交換のたびに大きく変動していた。一方、薬液の濃度管理を実施すると、基板製造者は、次のような様々な効能を享受することができる。すなわち、薬液の使用量が大幅に削減される。薬液の廃液量も大幅削減される。また、薬液の液性能が常時一定となるため、半導体や液晶基板の製造品質が安定し、製造歩留まりが向上する。液交換のために製造装置を停止する必要がなく、製造装置の稼働率が向上し、半導体や液晶基板の製造量が増加する。
【００５６】
このような場合における基板処理装置の薬液管理料金の算出の具体例として、薬液使用量の削減による薬液コストの軽減額の数割分を所定期間の薬液管理料金とするもの、を挙げることができる。
【００５７】
例えば、所定期間をひと月ごととする。基板製造者が本発明に係る薬液管理の役務の提供を受ける前、すなわち、薬液の濃度管理を実施していなかった頃に、基板製造者が購入したひと月当たりの薬液の購入量をＲ（Ｌ／月）とし、その購入単価をＣ（円／Ｌ）とする。薬液購入量Ｒの変動が大きい場合には、過去の適当な期間における薬液購入量の平均値をＲとする。
【００５８】
本発明に係る薬液管理の役務の提供により供給される補充液の供給量は、積算流量計により測定された積算流量から、Ｑ（Ｌ／月）と求められる。補充液の供給単価Ａ（円／Ｌ）をかけて、月々の補充液の供給料金は、Ｑ×Ａ（円／月）と求められる。
【００５９】
そうすると、薬液使用者が本発明に係る薬液の濃度管理の役務の提供を受けたことにより得ることのできる薬液コストの軽減額は、Ｒ×Ｃ−Ｑ×Ａ（円／月）となる。月々の基板処理装置の薬液管理料金は、割合をＤとして、（Ｒ×Ｃ−Ｑ×Ａ）×Ｄ（円／月）と求められる。もちろん、これに基本料金などを加算してもよい。割合Ｄとしては、例えば、一割（０．１）とか、二割（０．２）とか、三割（０．３）などである。
【００６０】
変形例として、薬液の廃液量の削減による廃液処理コストの軽減額の数割分を所定期間の基板処理装置の薬液管理料金としてもよい。
【００６１】
薬液管理実施前の薬液の月々の廃液処理費用をＳ（円／月）、薬液管理実施後の月々の廃液処理費用をＴ（円／月）（ただしＳ＞Ｔとする。）とすると、濃度管理により削減された廃液処理費用の軽減額は、Ｓ−Ｔ（円／月）である。薬液使用者は、濃度管理により、月々Ｑ×Ａ（円／月）の補充液の供給料金を支払うから、薬液使用者の廃液量削減に絡む経済的な利益の額は、（Ｓ−Ｔ）−Ｑ×Ａ（円／月）となる。月々の基板処理装置の薬液管理料金は、これに割合Ｄをかけて、（（Ｓ−Ｔ）−Ｑ×Ａ）×Ｄ（円／月）と求められる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００６２】
他の変形例として、基板製造者の経済的な利益の額に、薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額の代わりに、歩留まり向上や製品品質の向上、装置稼働率の向上等によりもたらされた基板製造者側の収益増加額などを用いるようにしてもよい。また、薬液コストの軽減額、廃液処理費用の軽減額、薬液使用者の収益増加額などを総和した額から補充液の供給料金Ｑ×Ａ（円／月）を差し引いた額を、基板製造者の薬液管理による総合的な経済的利益の額とみて、月々の基板処理装置の薬液管理料金を算出するのでもよい。この場合、収益増加額等を総和して得られた額をＵ（円／月）とすれば、基板処理装置の薬液管理料金は、（Ｕ−Ｑ×Ａ）×Ｄ（円／月）となる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００６３】
さらなる変形例として、既に薬液の濃度管理を実施していた基板製造者に、本発明に係る薬液管理の役務を提供することにより、基板製造者に様々な経済的利益を生じさせることができる。これらを、同様に、月々の基板処理装置の薬液管理料金として計算し、基板製造者に請求する。
【００６４】
多くの基板製造者は、既に薬液の濃度管理を実施している場合であっても、依然として、濃度管理装置を購入して、自ら運転し、維持管理して、薬液の濃度管理をしている。そのため、基板製造者は、薬液の濃度管理に、原料や資材の調達の諸経費や装置の運転員の人件費などの費用を負担している。また、古い薬液管理装置をいまだに使っていたり、薬液ごとに充分最適化されていない濃度測定原理に基づいた薬液管理装置を使っていたりすることも多い。
【００６５】
このような場合の基板製造者に対し、従来の薬液管理を本発明に係る薬液管理の役務に置き換えることで、基板製造者に、薬液コストや廃液コストの削減、歩留まり向上、製品品質の向上と安定、設備稼働率の向上、製品製造数量の向上などに伴う経済的な利益をもたらすことができる。このような場合にも、上記と同様に、補充液の積算流量に基づいて得た経済的利益の額の数割分を、基板処理装置の薬液管理料金として算出して、基板製造者に請求することが可能である。
【００６６】
次に、使用された薬液を再利用可能に再生処理して得られた再生液を補充液の一つとして供給して薬液を管理する役務を提供するビジネスについて説明する。
【００６７】
再生液を供給して薬液を管理する役務の役務提供者は、薬液再生装置を用いて基板処理装置で使用された薬液に蓄積した不要成分を取り除き、基板処理装置で使用された薬液の濃度を基板製造者の望む所定の濃度又は所定の濃度範囲に調節し、再利用可能に再生する。再生処理は、濾過、電析、晶析、膜分離などの技術を使って、蓄積された不要成分を除去することにより、行われる。再生処理の方式は、これらに限定されない。対象とする薬液や除去すべき成分に応じて、適宜好適な技術が選択され、適用される。薬液再生装置は、再生された薬液（再生液）を供給する配管に備えられた制御弁を開とすることにより、再生液を基板処理装置に供給する。再生液は、再生液を供給する配管に備えられた積算流量計により積算流量を計測されながら、供給される。役務提供者は、供給された再生液の積算流量を監視することで、所定期間ごと（例えば、一週間ごととか一か月ごととか）の積算流量に基づいて、再生液を供給して薬液を管理する役務の役務提供に係る料金を算出し、これを当該所定期間ごとに基板製造者に請求する。これが、使用された薬液を再生処理して得られた再生液を供給して薬液を管理する役務を提供するビジネスの概要である。
【００６８】
使用された薬液を再生処理して得られた再生液を供給して薬液を管理する役務に使用する薬液再生装置は、役務提供者の所有物件として、役務提供者が運転及び維持管理を行い、薬液の再生処理に使用する。したがって、基板製造者は、薬液再生装置を購入する必要がないし、その運転や維持管理をする必要もない。ただ単に、役務提供者に薬液の再生処理をしてもらうだけである。
【００６９】
役務提供者は、自らの所有する薬液再生装置を基板製造者の工場に設置し、基板製造者の運用する基板処理装置に接続する。ここで、基板処理装置とは、薬液が現像液であれば現像装置、エッチング液であればエッチング装置、剥離液であれば剥離装置、などのことである。
【００７０】
再生処理は、薬液が使用されたことにより薬液中に蓄積された不要物を、濾過、電析、晶析、膜分離などの分離除去技術を用いて薬液中から取り除くことにより実現される。適宜、補充液の補給などにより、薬液の各成分を調節するようになっていてもよい。ただし、再生処理に使用される分離技術は、これらに限定されない。薬液中に蓄積された不要物とは、例えば、現像液の場合では、現像処理により基板から溶出したレジスト成分などである。
【００７１】
再生された薬液は、配管を介して、基板製造者の基板処理装置へ送液される。再生液が補給される配管には、制御弁と積算流量計が設置されている。制御弁が開の時に単位時間あたりに流れる流量が予め設定されていれば、この制御弁を所定時間開にすることで、適量の再生液を供給することができる。再生液の供給の際、積算流量計は、再生液の積算流量を測定する。これは、基板処理装置に供給された再生液の供給量である。
【００７２】
役務提供者は、例えば一か月ごとなどの所定期間ごとに、積算流量計により測定された再生液の積算流量（供給量）に基づいて再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金を算出する。役務提供者は、再生液の供給による薬液管理の役務の提供の対価として、算出した基板処理装置の薬液管理料金を基板製造者に請求する。
【００７３】
薬液使用者は、所定期間ごとに再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金を支払うことで、薬液再生装置の購入や運転及び維持管理をすることなく、再生処理された薬液を入手して基板処理に使用することができる。一方、役務提供者は、装置を販売していた時と比べて、継続して安定な収益を上げることが可能となる。
【００７４】
ここで、再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金としては、種々の態様があり得る。以下に、その薬液管理料金の具体例を、いくつか例示する。ただし、基板処理装置の薬液管理料金の算出の仕方は、これらに限定されない。本発明の基板処理装置の薬液管理料金の算出の仕方は、再生液の積算流量（供給量）に基づく各種の料金算出方法を含むものである。
【００７５】
第一に、再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金として、所定期間に供給した再生液の供給料金を基準に料金を計算するものがある。再生液を販売する、という考え方によるものである。
【００７６】
例えば、所定期間をひと月ごととする。積算流量計で再生薬液の積算流量を計測しているので、今月検針時点における積算流量から前月検針時点における積算流量を差し引くことにより、今月供給した再生液の供給量が求められる。これをＫ（Ｌ／月）とする。再生液の供給単価をＥ（円／Ｌ）とする。そうすると、今月の再生液の供給料金が、Ｋ×Ｅ（円／月）と求められる。これを、今月の再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金として、基板製造者に請求する。
【００７７】
この変形例として、上記のように計算した再生液の供給料金に各種の料金を加算して得た料金を、月々の再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金とするものがある。加算する各種の料金の代表的なものとして、基本料金がある。薬液の再生処理による薬液管理の役務提供に係る契約時に、月々の基本料金を定め、これを再生液の供給の有無に関わらず、基板処理装置の薬液管理料金に含めて請求するものである。もちろん、基本料金という名目いかんに関わらず、設備維持管理費や装置運転員の人件費、原料調達費、その他の諸経費などを、加算する料金に含めてもよい。加算される料金（例えば基本料金）をＺ（円／月）とすれば、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、Ｋ×Ｅ＋Ｚ（円／月）となる。加算される料金が種々の料金の和Ｚ＝ΣＺｊであるときは、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、Ｋ×Ｅ＋ΣＺｊ（ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）となる。
【００７８】
また別の変形例としては、再生液の供給料金に割増率Fをかけて得た金額を、月々の再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金とする場合もある。例えば、再生液の資材や原料の調達にかかる諸経費、装置の維持管理費などは、再生液の供給量（これは装置の運転時間とも関係する。）に連動するものととらえることが合理的である。このような場合には、割増率Ｆを再生液の供給料金Ｋ×Ｅ（円／月）にかけて、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、Ｋ×Ｅ×Ｆ（円／月）と求められる。割増率Ｆを再生液の供給単価Ｅ（円／Ｌ）に含めてしまうのでもよい。さらに、基本料金などが加算される場合には、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、Ｋ×Ｅ×Ｆ＋Ｚ（円／月）となる。より一般的には、月々の基板処理装置の薬液管理料金は、（Ｋ×Ｅ）×Ｆ＋ΣＺｊ（ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）と求められる。
【００７９】
第二に、再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金として、所定期間に提供した薬液の再生処理による薬液管理の役務により基板製造者にもたらされた経済的な利益に所定の割合をかけて得た額を、基板製造者に請求する、というものである。薬液の再生処理による薬液管理の役務の提供により基板製造者に生じさせた経済的な利益を、基板製造者と役務提供者とで分け合う、という考え方によるものである。これは、例えば、薬液の再生処理を実施していなかった基板製造者に対して、薬液の再生処理による薬液管理の役務を提供する場合などに、好適に適用される。
【００８０】
薬液の再生処理をしない場合、基板製造者は、薬液を所定回数使用したのち全量廃棄して、新しい薬液に交換していた。このため、薬液の廃液量が非常に多く、新たな薬液も多量に調達しなければならなかった。一方、薬液を再生処理して再利用すると、基板製造者は、次のような様々な効能を享受することができる。すなわち、新たな薬液の使用量が大幅に削減される。薬液の廃液量も大幅削減される。
【００８１】
このような場合における再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金の算出の具体例として、薬液使用量の削減による薬液コストの軽減額の数割分を所定期間の基板処理装置の薬液管理料金とするもの、を挙げることができる。
【００８２】
例えば、所定期間をひと月ごととする。基板製造者が本発明に係る薬液の再生処理による薬液管理の役務の提供を受ける前、すなわち、薬液の再生処理を実施していなかった頃に、基板製造者が購入したひと月当たりの薬液の購入量をＭ（Ｌ／月）とし、その購入単価をＧ（円／Ｌ）とする。薬液購入量Ｍの変動が大きい場合には、過去の適当な期間における薬液購入量の平均値をＭとする。
【００８３】
本発明に係る薬液の再生処理による薬液管理の役務の提供により供給される再生液の供給量は、積算流量計により測定された積算流量から、Ｋ（Ｌ／月）と求められる。補充液の供給単価Ｅ（円／Ｌ）をかけて、月々の再生液の供給料金は、Ｋ×Ｅ（円／月）と求められる。
【００８４】
そうすると、基板製造者が本発明に係る薬液の再生処理による薬液管理の役務の提供を受けたことにより得ることのできる薬液コストの軽減額は、Ｍ×Ｇ−Ｋ×Ｅ（円／月）となる。月々の基板処理装置の薬液管理料金は、割合をＦとして、（Ｍ×Ｇ−Ｋ×Ｅ）×Ｆ（円／月）と求められる。もちろん、これに基本料金などを加算してもよい。割合Ｆとしては、例えば、一割（０．１）とか、二割（０．２）とか、三割（０．３）などである。
【００８５】
変形例として、薬液の廃液量の削減による廃液処理コストの軽減額の数割分を所定期間の薬液の再生処理に伴う基板処理装置の薬液管理料金としてもよい。
【００８６】
再生処理実施前の薬液の月々の廃液処理費用をＮ（円／月）、再生処理実施後の月々の廃液処理費用をＰ（円／月）（ただしＮ＞Ｐとする。）とすると、薬液の再生処理により削減された廃液処理費用の軽減額は、Ｎ−Ｐ（円／月）である。基板製造者は、薬液の再生処理により、月々Ｋ×Ｅ（円／月）の再生薬液の供給料金を支払うから、基板製造者の廃液量削減に絡む経済的な利益の額は、（Ｎ−Ｐ）−Ｋ×Ｅ（円／月）となる。月々の薬液の再生処理に伴う基板処理装置の薬液管理料金は、これに割合Ｆをかけて、（（Ｎ−Ｐ）−Ｋ×Ｅ）×Ｆ（円／月）と求められる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００８７】
他の変形例として、基板製造者の経済的な利益の額に、薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額などを総和した額を用いてもよい。薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額などを総和した額から補充液の供給料金Ｋ×Ｅ（円／月）を差し引いた額を、基板製造者の薬液の再生処理による総合的な経済的利益の額とみて、月々の薬液管理料金を算出してもよい。この場合、薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額などを総和した額をＶ（円／月）とすれば、基板処理装置の薬液管理料金は、（Ｖ−Ｋ×Ｅ）×Ｆ（円／月）となる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００８８】
さらなる変形例として、既に薬液の再生処理を実施していた基板製造者に、本発明に係る薬液の再生処理の役務を提供することにより、基板製造者に様々な経済的利益を生じさせることができる。これらを、同様に、月々の基板処理装置の薬液管理料金として計算し、基板製造者に請求する。
【００８９】
多くの基板製造者は、既に薬液の再生処理を実施している場合であっても、依然として、薬液再生装置を購入して、自ら運転し、維持管理して、薬液の再生処理をしている。そのため、基板製造者は、薬液の再生処理に、原料や資材の調達の諸経費や装置の運転員の人件費などの費用を負担している。また、古い再生処理装置をいまだに使っていることも多い。
【００９０】
このような場合の基板製造者に対し、従来の再生処理を本発明に係る薬液の再生処理による薬液管理の役務に置き換えることで、基板製造者に、薬液コストや廃液コストの削減などに伴う経済的な利益をもたらすことができる。このような場合にも、上記と同様に、補充液の積算流量に基づいて得た経済的利益の額の数割分を、再生液の供給に伴う基板処理装置の薬液管理料金として算出して、基板製造者に請求することが可能である。
【００９１】
基板製造者の望む成分濃度の薬液を薬液の原料から薬液の新液として自動的に調製して供給する薬液調製装置を用いて薬液の新液を調製し、補充液の一つとして基板製造者の運用する基板処理装置に供給することにより、薬液管理の役務を提供するビジネスについても、再生液の供給による薬液管理の役務の場合と同様に考えることができる。この場合の基板処理装置の薬液管理料金については、再生液を新液と置き換えて同じように考えればよく、説明が重複するので、具体的な説明は省略する。
【００９２】
次に、本発明に係る基板処理装置の薬液管理システムについて、説明する。本発明の薬液管理の役務を提供するビジネスを実現するには、薬液の濃度管理に要する補充液の供給量を測定することが可能な、補充液の配管に備えられた積算流量計が必要不可欠である。以下に、このような積算流量計を備えた基板処理装置の薬液管理システムを、図面を参照しながら説明する。
【００９３】
〔第一実施形態〕
図１は、本実施形態の薬液調製装置と濃度管理装置と積算流量計とを備える基板処理装置の薬液管理システムを説明するための模式図である。本実施形態の説明においては、薬液として２．３８％濃度のＴＭＡＨ水溶液（現像液）を例に、補充液として、２０％ＴＭＡＨ水溶液（現像液の原液）と未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液（現像液の新液）と純水とを補給して濃度管理をする薬液管理ついて説明する。
【００９４】
図１では、補充液として供給される薬液の新液の一例である現像液新液が、薬液調製装置の一例である現像液調製装置３により、その原料となる薬液の原液である現像液原液と純水とから自動的に調製され供給される。現像液調製装置３は、新液用配管である配管８４を介して基板処理装置の一例である現像工程設備１と接続されている。配管８４は、制御弁４４と積算流量計５４とを備えている。
【００９５】
積算流量計５１、５３を備えた補充液用配管である配管８１、８３が現像工程設備１に接続されている。配管８１は現像液原液貯留容器９１に接続され、配管８３は純水供給口に接続されている。これらの補充液が、配管８１、８３を介して、現像工程設備１で繰り返し使用される薬液に、供給される。現像液原液貯留容器９１には、薬液に供給される補充液の一つである現像液の原液が貯留されている。現像液原液貯留容器９１が補充液貯留部として機能する。配管８１には、送液ポンプ７１、及びバルブ４８が接続されている。バルブ４８は、通常、常時開となっているが、容器が空になったときは、バルブを閉じ、補充液で充たされた新しい現像液原液貯留容器９１に交換する。
【００９６】
補充液送液手段とは、例えば、補充液の供給元が加圧されている場合では、制御弁と配管とにより構成することができ、また、補充液の供給元が加圧されていない場合では、制御弁と送液ポンプと配管とに構成することができる。補充液送液手段は、補充液を送液することができれば、その構成は限定されない。
【００９７】
まず、現像工程設備１について簡単に説明する。ただし、図１の現像工程設備１は基板処理装置の例示であり、これに限定されない。濃度管理装置の一例である現像液管理装置２が接続される現像工程設備１は、現像処理に用いられ得る図１とは異なる各種の態様のものも含まれる。
【００９８】
現像工程設備１は、主に、現像液貯留槽１６１、オーバーフロー槽１６２、現像室フード１６４、ローラーコンベア１６５、現像液シャワーノズル１６７などからなる。現像液貯留槽１６１には、現像処理に繰り返し使用されている現像液（薬液）が貯留されている。現像液貯留槽１６１は、液面計１６３とオーバーフロー槽１６２を備え、補充液を補給することによる液量の増加を管理している。現像液貯留槽１６１と現像液シャワーノズル１６７とは、現像液管路１８０により接続される。現像液貯留槽１６１内に貯留された現像液は、現像液管路１８０に設けられた循環ポンプ１７２により、フィルター１７３を介して、現像液シャワーノズル１６７に送液される。ローラーコンベア１６５は、現像液貯留槽１６１の上方に備えられ、フォトレジスト膜の製膜された基板１６６を搬送する。現像液は現像液シャワーノズル１６７から滴下される。ローラーコンベア１６５により搬送される基板１６６は、滴下される現像液の中を通過することで、現像液に浸される。その後、現像液は、現像液貯留槽１６１に回収され、再び貯留される。現像液貯留槽１６１に貯留されている現像液は、循環ポンプ１７４により抜き取られ、フィルター１７５を備えた循環管路１８５を介して、再び現像液貯留槽１６１に戻される。循環管路１８５を介した現像液の循環により、現像液貯留槽１６１内の現像液は、常に攪拌される。なお、劣化した現像液は、廃液ポンプ１７１を作動することにより廃液（ドレン）される。
【００９９】
次に、本実施形態の濃度管理装置の一例である現像液管理装置２について説明する。
【０１００】
本実施形態の現像液管理装置２は、主に、測定部２１０、演算部２２０、及び、制御部２３０を備えている。
【０１０１】
測定部２１０は、サンプリング配管２１５及び戻り配管２１６により現像液貯留槽１６１と接続されている。測定部２１０は、測定データ用の信号線２５６、２５７により、演算部２２０と接続されている。
【０１０２】
測定部２１０は、サンプリングポンプ２１４と、測定手段２１１、２１２を備えている。測定手段２１１及び２１２は、例えば、現像液のアルカリ成分の濃度を測定するための導電率計とか、現像液の溶解樹脂濃度を測定するための吸光光度計などである。測定手段２１１、２１２は、サンプリングポンプ２１４の後に直列に接続される。サンプリング配管２１５は、サンプリングポンプ２１４に接続され、戻り配管２１６は、測定手段２１２の末端の配管と接続されている。
【０１０３】
測定部２１０は、測定精度を高めるために、さらに、サンプリングした現像液を所定の温度に安定させる温度調節手段（図示せず）を備えていることが望ましい。この際、温度調節手段は、測定手段の直前に設けられていることが好ましい。
【０１０４】
演算部２２０は、測定部２１０で測定された測定データから現像液の成分濃度（例えば、アルカリ成分濃度や溶解樹脂濃度など）を算出するための演算ブロック２２１を含んでいる。演算ブロック２２１では、測定部２１０で測定された測定データから現像液の成分濃度が算出される。
【０１０５】
演算部２２０は、信号線２５８により、制御部２３０と接続されている。演算部と制御部とは、例えばコンピュータなどにより、一体に構成されていてもよい。
【０１０６】
制御部２３０は、制御ブロック２３１を含む。制御部２３０は、補充液用配管である配管８１、８３に設けられた制御弁４１、４３と、制御用の信号線２５１、２５３により、接続されている。また、制御部２３０は、新液用配管である配管８４に設けられた制御弁４４と、制御用の信号線２５４により、接続されている。制御ブロック２３１は、演算部２２０で算出された現像液の濃度に応じて、どの補充液をどれだけ補充するかを決め、補充液を送液する配管に設けられた制御弁を開閉制御する。
【０１０７】
本実施形態では、補充液用配管である配管８１、８３には、それぞれ、供給された補充液の積算流量を測る積算流量計５１、５３が備えられているが、純水を補充液として供給する配管８３には、積算流量計を設けないこともある。
【０１０８】
薬液調製装置の一例である現像液調製装置３は、主に、現像液の新液を調製する新液調製槽３０１と、調製された新液を貯留しておく新液貯留槽３０２と、現像液調製装置３の動作を制御する制御装置３３１を備えている。制御装置３３１として、コンピュータを例示することができる。現像液調製装置３は、現像液原液貯留容器９１と、現像液原液供給配管である配管８６を介して接続されている。現像液原液貯留容器９１は、現像液調製装置３に接続されるものと現像工程設備１に接続されるものとを共通の一つの容器として描いたが、別々に用意されていてもよい。また、現像液調製装置３は、純水供給配管である配管８７と接続されている。本実施形態では、新液調製槽３０１が薬液調製部を構成し、新液貯留槽３０２が新液貯留部を構成するが、これらの構造に限定されない。
【０１０９】
新液調製槽３０１は、配管８６を介して現像液原液貯留容器９１と接続され、現像液の原液の供給を受けることができる。新液調製槽３０１は、配管８７と接続され、純水の供給を受けることができる。配管８６及び配管８７には、制御弁３４１、３４２が備えられている。制御弁３４１、３４２は、制御装置３３１により動作制御される。また、配管８７には、現像液原液を送液するための送液ポンプ７２、及びバルブ４８が備えられている。バルブ４８は、通常、常時開となっているが、容器が空になったときは、バルブを閉じ、補充液で充たされた新しい現像液原液貯留容器９１に交換する。
【０１１０】
新液調製槽３０１は、濃度計３１１と液面計３１２を備える。濃度計３１１及び液面計３１２は、それぞれ信号線３５１、３５２を介して制御装置３３１と接続され、測定した新液調製槽３０１の濃度情報や液面位置情報が制御装置３３１に送られる。また、新液調製槽３０１と新液貯留槽３０２とは、連通管３８０により接続される。新液貯留槽３０２は液面計３２２を備えている。液面計３２２は、信号線３５３により制御装置３３１と接続されており、新液貯留槽３０２の液面位置情報が制御装置３３１に送られる。新液貯留槽３０２は、別途、濃度計を備えていてもよい。
【０１１１】
現像液の新液を調製する際は、制御装置３３１により制御弁３４１及び３４２が適宜動作制御されて、新液調製槽３０１に現像液の原液や純水が供給される。新液調製槽３０１では、現像液の原液と純水とが混合され、所定濃度の現像液が調製される。濃度計３１１は、新液調製槽３０１で調製される現像液の濃度を常時監視する。
【０１１２】
新液調製槽３０１の濃度を監視した結果、例えば、調製された現像液の濃度が薄いときは、制御装置３３１により配管８７に備えられた制御弁３４２が閉じられる。そのため、現像液の原液の供給が相対的に増え、新液調製槽３０１内の現像液の濃度が上昇する。また、例えば、調製された現像液の濃度が濃いときは、制御装置３３１により配管８６に備えられた制御弁３４１が閉じられ、純水により新液調製槽３０１内の現像液の濃度が薄められる。制御装置３３１は、濃度計３１１の濃度情報に基づいて新液調製槽３０１で調製される現像液を所定の濃度にする。
【０１１３】
新液調製槽３０１内の液面位置が所定の下限値より下がったときは、制御装置３３１は、制御弁３４１、３４２を開いて、現像液原液及び純水の供給量を増やし、液面位置の回復を図る。新液調製槽３０１内の液面位置が所定の上限値より上がったときは、制御装置３３１は、制御弁３４１及び３４２を閉じて、現像液原液及び純水の供給をやめる。新液貯留槽３０２の液面位置についても同様である。両槽の液面は、調製された新液を現像工程設備１に供給することにより減少する。制御装置３３１は、液面計３１２、３２２の液面位置情報に基づいて、両槽の液面位置が所定の範囲内に収まるように調製される現像液の液量を制御する。
【０１１４】
新液調製槽３０１内の現像液は、その一部が循環管路３８１に備えられた循環ポンプ３７１により抜き取られ再び戻されることにより、循環攪拌される。新液貯留槽３０２内の現像液も、同様に、その一部が循環管路３８２に備えられた循環ポンプにより抜き取られ再び戻されることにより、循環攪拌される。
【０１１５】
新液調製槽３０１で調製された現像液は、連通管３８０を通って、新液貯留槽３０２に送られる。新液貯留槽３０２内の現像液の液量が減少することにより、新液調製槽３０１内の現像液は、新液貯留槽３０２へ自然送液される。連通管３８０は適度な内径と長さとを備え、新液調製槽３０１内の濃度変動が新液貯留槽３０２に及ばないようにする濃度変動の平準化の効果を有する。
【０１１６】
新液貯留槽３０２に貯留された現像液の新液は、送液ポンプ３７３により、配管８４を介して現像工程設備１に送液される。この際、配管８４に備えられた積算流量計５４により、供給された新液の積算流量が計測される。配管８４の制御弁３４３は信号線３５４を介して制御装置３３１と接続されており、制御弁３４３は制御装置３３１により動作制御される。調製した現像液の新液を送液するときは、制御装置３３１は制御弁３４３を開にする。新液送液手段は、送液ポンプ３７３に限定されない。新液送液液手段とは、例えば、新液の供給元が加圧されている場合では、制御弁と配管とにより構成することができ、また、新液の供給元が加圧されていない場合では、制御弁と送液ポンプと配管とに構成することができる。新液送液手段は、新液を送液することができれば、その構成は限定されない。濃度管理装置の一例である現像液管理装置２の動作は、例えば、次のようになる。
【０１１７】
まず、現像工程設備１で繰り返し使用されている現像液をサンプリングポンプ２１４でサンプリングし、適宜温度調節など測定条件を整えた後、測定手段２１１及び２１２で例えばその導電率と吸光度を測定する。測定された現像液の導電率値と吸光度値は、測定データ用の信号線２５６、２５７を介して、演算部２２０に送られる。
【０１１８】
演算部２２０は、測定部２１０の測定手段２１１及び２１２で測定された現像液の導電率や吸光度などの特性値に基づいて、対応する現像液の成分の濃度を算出する。算出された現像液の成分濃度は、信号線２５８を介して、制御部２３０に送られる。
【０１１９】
制御部２３０は、演算部２２０で算出された現像液の成分濃度と予め記憶しておいた成分濃度の管理目標値とを比較する。制御部２３０は、成分濃度を管理目標値に維持するために補給することが必要な補充液の選択、補充液の供給量の計算又は補充液を送液する配管に設けられた制御弁を開とすべき時間の計算をする。制御部２３０は、制御用の信号線２５１、２５３、２５４を介して、補充液用配管である配管８１、８３に設けられた制御弁４１、４３、新液用配管である配管８４に設けられた制御弁４４のいずれか適切な制御弁に、開閉制御の信号を送る。本実施形態では、補充液として、新液、原液、及び純水を用いた場合を例示する。
【０１２０】
制御信号を受けた制御弁４１、４３，４４は、その制御信号に基づいて、所定時間流路を開にする。制御弁は、予め開時の流量が設定されている。そのため、所定時間流路を開にすることで、所定量の補充液が供給される。
【０１２１】
例えば、ＴＭＡＨ水溶液（現像液）のアルカリ成分濃度を２．３８％に管理する制御は次のようになる。測定部２１０と演算部２２０とにより測定され算出されたアルカリ成分の濃度が２．３８％よりも低い時は、補充液用配管である配管８１に設けられた制御弁４１を所定時間開けて、現像液原液貯留容器９１に用意しておいた現像液の原液（２０％ＴＭＡＨ水溶液）を補給する。現像液の原液は、送液ポンプ７１により配管８１を介して現像工程設備１に送液される。アルカリ成分の濃度が２．３８％よりも高い時は、補充液用配管である配管８３に設けられた制御弁４３を所定時間開けて、補充液として純水を補給する。純水は、配管８３を介して現像工程設備１に送液される。
【０１２２】
同様に、溶解樹脂濃度を所定の管理濃度以下に管理する制御は、次のようになる。測定部２１０と演算部２２０とにより測定され算出された溶解樹脂の濃度が所定の管理値よりも高い時は、新液用配管である配管８４に設けられた制御弁４４を所定時間開けて、新液貯留槽３０２に貯留された現像液の新液（未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液）を補給する。新液貯留槽３０２に貯留された現像液の新液は、送液ポンプ３７３により、配管８４を介して現像工程設備１に送液される。
【０１２３】
例えば、制御装置３３１を現像工程設備１と接続しておく。この場合、現像工程設備１から新液供給リクエスト信号を受けたときに、制御装置３３１が制御弁３４３を開にするようにできる。また、現像液管理装置２と制御装置３３１とを接続しておけば、現像液管理装置２が補充液として新液を補給するタイミングで、現像液調製装置３から現像工程設備１に現像液の新液を供給するようにすることもできる。この場合、新液用配管である配管８４には制御弁４４があるので、制御弁３４３を省略してもよい。このようにして、ＴＭＡＨ水溶液のアルカリ成分濃度が２．３８％に、溶解樹脂濃度が所定の管理値以下に、濃度管理される。濃度管理は、例えば、ＰＩＤ制御などにより行われる。
【０１２４】
補充液用配管である配管８１、８３には、積算流量計５１、５３が設けられている。また、新液用配管である配管８４には、積算流量計５４が設けられている。積算流量計５１、５３、５４は、配管８１、８３、８４を介して供給された補充液の積算流量を測定する。現像液管理装置２により供給された補充液は、積算流量計５１、５３、５４を通過した後、循環管路１８５を介して、現像液貯留槽１６１に補給される。積算流量計５１、５３、５４は、通信機能を備えていることが望ましい。通信機能を備えていれば、積算流量計をネットワークに接続することができる。測定された積算流量の測定値を、ネットワークを介して、把握することができる。
【０１２５】
積算流量計５１、５３、５４は、直接的にネットワークに接続される場合に限らず、間接的にネットワークに接続されるのでもよい。例えば、積算流量計５１、５３、５４が、現像液管理装置２内で、現像液管理装置２の演算や制御の機能をつかさどるコンピュータに接続され、ネットワークには現像液管理装置２が接続されるような態様で、間接的にネットワークに接続されるのでもよい。
【０１２６】
また、積算流量計５１、５３、５４が接続されるネットワークは、工場内のローカルエリアネットワークでもよいし、インターネットなどの広域的なネットワークでもよい。
【０１２７】
以上のように、本実施形態の基板処理装置の薬液管理システムにより薬液の濃度管理が実現され、基板製造者は常時最適な状態に管理された薬液を用いて基板を処理することができる。この際、補充液を供給する配管に備えられた積算流量計により、供給された補充液の積算流量が計測される。補充液の積算流量が計測されるので、補充液の供給量に基づく合理的な料金の算出が可能となる。
【０１２８】
図１に示した本実施形態の基板処理装置の薬液管理システムは、あくまで例示である。本発明の薬液調製装置と濃度管理装置と積算流量計とを備えた基板処理装置の薬液管理システムはこの態様に限定されない。濃度管理装置の一例である図１の現像液管理装置２では、各構成要素が一体に構成された装置を描いたが、測定部２１０などが、別体となっていてもよい。測定部２１０の内部構成なども、図１に限定されず、薬液の種類などにより各種の態様を取りうる。
【０１２９】
本発明の薬液調製装置と濃度管理装置と積算流量計とを備えた基板処理装置の薬液管理システムは、要するに、薬液で基板を処理する各種態様の基板処理装置で繰り返し使用される薬液の濃度を測定して補充液を補給することで薬液の濃度を管理する各種態様の濃度管理装置と、薬液の新液を自動的に調製する各種態様の薬液調製装置と、濃度管理装置により基板処理装置の薬液に補給される補充液が送液される配管（補充液用配管、及び、新液用配管の少なくともいずれか）と、その配管に補充液の積算流量を計測する積算流量計と、を備えていること、を特徴とするものである。さらに、その積算流量計が通信機能を備えていると、望ましい。なお、基板処理装置の薬液管理システムにおいて、補充液が流通される全ての配管に積算流量計を設ける必要はない。例えば、純水を供給する配管には積算流量計が省略される場合がある。
【０１３０】
通信機能を備えた積算流量計としては、例えば、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどが知られている。通信ユニットを取り付けることにより、測定した積算流量データなどの様々なデータを、パソコンなどと通信することができる。したがって、積算流量を遠隔でモニターすることができる。
【０１３１】
〔第二実施形態〕
図２は、本実施形態の薬液再生装置と濃度管理装置と積算流量計とを備える基板処理装置の薬液管理システムを説明するための模式図である。
【０１３２】
図２では、基板処理装置の一例である現像工程設備１で使用された薬液が、薬液再生装置の一例である現像液再生装置４により再利用可能に再生される。現像液再生装置４により再生された再生液である再生現像液は、補充液の一つとして現像工程設備１に供給される。現像液再生装置４は、再生液用配管である配管８５を介して現像工程設備１と接続されている。
【０１３３】
また、図２の濃度管理装置の一例である現像液管理装置２は、第一実施形態と異なり、制御弁４１、４２、４３、４５、及び配管８１、８２、８３、８５とが一体の態様である。図２に示されるように、補充液用配管である配管８１、８２、８３は、それぞれ現像液原液貯留容器９１、現像液新液貯留容器９２、及び純水供給口に接続されている。配管８１、８２、８３、８５には、それぞれ積算流量計５１、５２、５３、５５が備えられている。
【０１３４】
積算流量計５１、５２、５３、５５は、配管８１、８２、８３、８５を介して供給された補充液の積算流量を測定する。現像液管理装置２により供給された補充液は、積算流量計５１、５２、５３、５５を通過した後、循環管路１８５を介して、現像液貯留槽１６１に補給される。
【０１３５】
第二実施形態では、配管８２にはバルブ４９を備えられ、配管８２が現像液新液貯留容器９２に接続される。現像液新液貯留容器９２には、予め現像液の新液（未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液）が貯留され、この新液が補充液として現像液貯留槽１６１に補給される。第二実施形態では、第一実施形態と異なり現像液調製装置を用いずに新液が用意される。
【０１３６】
現像液原液貯留容器９１及び現像液新液貯留容器９２は、窒素ガス用配管である配管８９と接続され、配管８９を介して導入される窒素ガスで加圧される。第二実施形態では、第一実施形態と異なり送液ポンプが、配管８１に備えられていない。
【０１３７】
現像液原液貯留容器９１及び現像液新液貯留容器９２の貯留されている補充液は、制御弁４１、４２が開くことにより、圧送される。現像液原液貯留容器９１に窒素ガスを導く配管８９には制御弁４６が、現像液新液貯留容器９２に窒素ガスを導く配管８９には制御弁４７が備えられている。制御弁４６、４７は、各貯留容器内の液の減少具合に応じて適宜開閉制御され、各貯留容器の内圧が維持される。
【０１３８】
現像液管理装置２は制御部２３０を備え、制御部２３０は、補充液供給用の配管８１、８２、８３、８５に設けられた制御弁４１、４２、４３、４５と、制御用の信号線２５１、２５３、２５３、２５５により、接続されている。制御ブロック２３１は、演算部２２０で算出された現像液の濃度に応じて、どの補充液をどれだけ補充するかを決め、補充液を送液する配管に設けられた制御弁を開閉制御する。
【０１３９】
現像工程設備１、及び現像液管理装置２の構成や動作については、第一実施形態と同様であるので、その重複する説明を省略する。
【０１４０】
薬液再生装置の一例である現像液再生装置４は、主に、使用された現像液から不要物を取り除いて現像液を再生するフィルター４６１、４６２、４６３と、再生液を貯留しておく再生液貯留部である再生液貯留槽４９３と、現像液再生装置４の動作を制御する制御装置４３１を備えている。制御装置４３１は例えばコンピュータである。現像液再生装置４は、現像工程設備１から廃液（ドレン）された現像液を貯留する使用済み現像液貯留容器９９と使用済み現像液送液配管である配管８８を介して接続されている。配管８８には送液ポンプ７３が設けられ、使用済み現像液貯留容器９９内の現像液が現像液再生装置４に送液される。
【０１４１】
フィルター４６１、４６２、４６３は、配管８８と接続されており、現像工程設備１から廃液（ドレン）された現像液が送液される。フィルター４６１、４６２、４６３は、現像液中の不要物、例えば現像液中に懸濁したレジスト残渣など、を除去する。フィルター４６１、４６２、４６３により再生された現像液は、再生液貯留槽４９３に貯留される。本実施形態ではフィルター４６１、４６２、４６３が薬液再生部を構成するが、この構造に限定されない。
【０１４２】
再生液貯留槽４９３に貯留された再生液は、送液ポンプ４７１により制御弁４４１を通って、現像液再生装置４と現像工程設備１とを接続する再生液用配管である配管８５に送液され、配管８５を介して現像工程設備１に送液される。この際、配管８５に備えられた積算流量計５５により、供給された再生液の積算流量が計測される。
【０１４３】
制御弁４４１、及び再生液送液手段の一例である送液ポンプ４７１は、それぞれ信号線４５１、４５２により制御装置４３１と接続されている。制御弁４４１及び送液ポンプ４７１は、制御装置４３１により動作制御される。再生液を送液するときは、制御装置４３１は、送液ポンプ４７１を駆動し、制御弁４４１を開にする。再生液送液手段は送液ポンプ４７１に限定されない。
【０１４４】
例えば、制御装置４３１を現像工程設備１と接続しておく。この場合、現像工程設備１から再生液供給リクエスト信号を受けたときに、制御装置４３１が制御弁４４１を開にするようにできる。また、現像液管理装置２と制御装置４３１とを接続しておけば、現像液管理装置２が補充液として再生液を補給するタイミングで、現像液再生装置４から現像工程設備１に再生液を供給するようにすることもできる。この場合、配管８５には制御弁４５があるので、制御弁４４１を省略してもよい。
【０１４５】
図２に示した本実施形態の基板処理装置の薬液管理システムは、あくまで例示である。本発明の薬液再生装置と薬液管理装置と積算流量計を備えた基板処理装置の薬液管理システムは、この態様に限定されない。
【０１４６】
薬液を再生するのに用いられる原理は、フィルターによる濾過に限定されない。例えば、フィルターによる濾過の代わりに、晶析、電析、膜分離など、を用いることができる。薬液や分離すべき不要物の性質などに応じて、適宜ふさわしい原理による設備を用いるのが望ましい。
【０１４７】
また、図２では、フィルターが３つ並列に接続された態様を描いたが、フィルターの個数は３つに限定されない。一つでもよい。フィルターは、使用により経時的に目詰まりを起こすことがあるので、その時のメンテナンスの都合を考慮して、複数のフィルターを並列に備えていることが望ましい。
【０１４８】
本発明の本実施形態の薬液再生装置と濃度管理装置と積算流量計とを備える基板処理装置の薬液管理システムは、要するに、薬液で基板を処理する各種態様の基板処理装置で繰り返し使用される薬液の濃度を測定して補充液を補給することで薬液の濃度を管理する各種態様の濃度管理装置と、使用された薬液を再利用可能に再生する各種態様の薬液再生装置と、薬液管理装置により基板処理装置の薬液に補給される補充液が送液される配管（補充液用配管、及び、再生液用配管の少なくともいずれか）と、その配管に補充液の積算流量を計測する積算流量計と、を備えていること、を特徴とするものである。さらに、その積算流量計が通信機能を備えていると、望ましい。なお、基板処理装置の薬液管理システムにおいて、補充液が流通される全ての配管に積算流量計を設ける必要はない。例えば、純水を供給する配管には積算流量計が省略される場合がある。
【０１４９】
〔第三実施形態〕
図３は、本実施形態の濃度管理装置と薬液調製装置と薬液再生装置と積算流量計とを備える基板処理装置の薬液管理システムを説明するための模式図である。
【０１５０】
本実施形態は、図１に示される第一実施形態の基板処理装置の薬液管理システムに、図２に示される第二実施形態で説明した薬液再生装置の一例である現像液再生装置４を加えたものである。現像工程設備１、現像液管理装置２、現像液調製装置３、及び、その他の本実施形態の構成物品については、第一及び第二実施形態と同様であるので、その重複する説明を省略する。
【０１５１】
図３に示した本実施形態の基板処理装置の薬液管理システムは、あくまで例示である。本発明の濃度管理装置と薬液調製装置と薬液再生装置と積算流量計とを備える基板処理装置の薬液管理システムは、この態様に限定されない。
【０１５２】
本発明の濃度管理装置と薬液調製装置と薬液再生装置と積算流量計とを備える基板処理装置の薬液管理システムは、要するに、薬液で基板を処理する各種態様の基板処理装置で繰り返し使用される薬液の濃度を測定して補充液を補給することで薬液の濃度を管理する各種態様の濃度管理装置と、薬液の新液を自動的に調製する各種態様の薬液調製装置と、使用された薬液を再利用可能に再生する各種態様の薬液再生装置と、濃度管理装置により基板処理装置の薬液に補給される補充液が送液される配管（新液用配管、補充液用配管、及び、再生液用配管の少なくともいずれか）と、その配管に補充液の積算流量を計測する積算流量計と、を備えていること、を特徴とするものである。さらに、その積算流量計が通信機能を備えていると、望ましい。なお、基板処理装置の薬液管理システムにおいて、補充液が流通される全ての配管に積算流量計を設ける必要はない。例えば、純水を供給する配管には積算流量計が省略される場合がある。
【０１５３】
〔第四実施形態〕
図４は、通信機能を有する積算流量計を備えた基板処理装置の薬液管理システムを説明するための模式図である。第一から第三実施形態と同様の構成には同様の符号を付して説明を省略する場合がある。
【０１５４】
図４は、図３を用いて説明した第三実施形態の基板処理装置の薬液管理システムにおける積算流量計５１、５３、５４、５５が、信号線６０によりネットワークに直接接続されている態様を示している。ただし、基板処理装置の薬液管理システムは、これに限定されない。薬液管理システム自体は、第一から第三までの各実施形態で説明したような、いずれの態様の薬液管理システムでもよい。要は、基板処理装置の薬液管理システムが、通信機能を有する積算流量計を備えている、ということである。
【０１５５】
本実施形態の基板処理装置の薬液管理システムは、積算流量計が通信機能を有しているので、積算流量計をネットワークに直接接続することができる。ネットワーク経由で積算流量計が計測する積算流量を監視することができる。
【０１５６】
〔第五実施形態〕
図５は、通信機能を有する積算流量計を備えた別の基板処理装置の薬液管理システムを説明するための模式図である。第一から第四実施形態と同様の構成には同様の符号を付して説明を省略する場合がある。
【０１５７】
図５の基板処理装置の薬液管理システムは、薬液管理システム全体を管理し制御するシステム制御コンピュータ３１を備える。システム制御コンピュータ３１は、現像工程設備１の制御装置１３１、現像液管理装置２の演算制御部２２５、現像液調製装置３の制御装置３３１、及び、現像液再生装置４の制御装置４３１と、それぞれ信号線６１、６２、６３、６４を介して接続される。現像工程設備１の制御装置１３１は、現像工程設備１の各部の状況を監視し、現像工程設備１が円滑かつ適切に動作するように現像工程設備１全体を制御している。なお、現像工程設備１の制御装置１３１と現像工程設備１の各部とを接続する信号線などは図示するのを省略した。制御装置１３１、演算制御部２２５、制御装置３３１、及び、制御装置４３１として、例えば、コンピュータを挙げることができる。
【０１５８】
薬液管理システムのシステム制御コンピュータ３１は、信号線６５により積算流量計５１、５３，５４、５５とも接続される。システム制御コンピュータ３１は、また、信号線６９により、ネットワークに接続される。
【０１５９】
システム制御コンピュータ３１は、現像工程設備１、現像液管理装置２、現像液調製装置３、現像液再生装置４と接続されるので、各装置の状態が把握される。システム制御コンピュータ３１は、薬液の濃度情報や、設備、各装置の動作情報などに基づいて、薬液管理システムが円滑に動作するように、薬液管理システム全体を制御できる。また、システム制御コンピュータ３１は積算流量計５１、５３，５４、５５などとも接続されているので、薬液の濃度情報と同様に、供給された各種補充液（原液、再生液、新液、純水等）の積算流量の情報なども収集できる。さらに、システム制御コンピュータ３１がネットワークに接続されているので、積算流量をはじめ、収集された各種の情報をネットワーク上で監視することができる。
【０１６０】
第四実施形態、又は第五実施形態で説明したように、積算流量計が通信機能を有していれば、直接的か間接的かを問わず、積算流量計をネットワークに接続することができる。現像工程設備１に供給された補充液の供給量（積算流量）をネットワーク上で遠隔監視することができる。基板製造者の工場まで積算流量計を検針しに行かなくても、補充液の供給量（積算流量）に基づいた合理的な薬液管理料金を算出することができる。
【０１６１】
また、積算流量計が接続されるネットワークは、工場内のローカルエリアネットワークでもよいし、インターネットなどの広域的なネットワークでもよい。
【０１６２】
通信機能を備えた積算流量計としては、例えば、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどが知られている。通信ユニットを取り付けることにより、測定した積算流量データなどの様々なデータを、パソコンなどと通信することができる。したがって、積算流量を遠隔でモニターすることができる。
【０１６３】
なお、第四および第五実施形態で示される現像工程設備１、現像液管理装置２、現像液調製装置３、現像液再生装置４は、それぞれ基板処理装置、濃度管理装置、薬液調製装置、薬液再生装置の一例であって、これらの構成に限定されない。
【０１６４】
〔第六実施形態〕
次に、通信機能を備えた積算流量計とサーバシステムとが接続されたネットワークを利用した基板処理装置の薬液管理料金算出システムについて説明する。図６は、基板製造者の工場５１１、５１２、５１３、５１４、５１５の積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５と、ネットワークを介して接続される薬液管理の役務提供者のサーバシステム５０２とを備える基板処理装置の薬液管理料金算出システム５の模式図である。
【０１６５】
図６に示す本実施形態の基板の基板処理装置の薬液管理料金算出システム５は、薬液を管理する役務の役務提供者が所有する１台のサーバシステム５０２と、ネットワーク５０１を介して接続される基板製造者の工場５１１、５１２、５１３、５１４、５１５のそれぞれに設置された通信機能を有する積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５と、を備えている。
【０１６６】
基板処理装置の薬液管理料金算出システム５を構成する積算流量計及びサーバシステムの数は、図６に記載の数に限定されるものではない。本発明の薬液管理料金算出システムは、少なくとも、ネットワークを介して接続される１台の積算流量計と、１台のサーバシステムとを備えていればよい。
【０１６７】
図６では詳細に図示しなかったが、各工場では、これまでに各実施態様で説明してきたような基板処理装置の薬液管理システムが稼働しており、各薬液管理システムでは、基板処理装置に濃度管理装置、薬液調製装置、薬液再生装置などが接続されている。これらにより、基板処理装置で繰り返し使用されている薬液に補充液が供給されて薬液が管理される。基板処理装置に補充液を供給するための配管には、通信機能を有する積算流量計が設置される。積算流量計は、基板処理手段に供給される補充液の供給量を積算流量として計測する。図６の積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５は、各工場におけるこれらの積算流量計をあらわすものとして模式的に描かれたものである。各工場の基板処理システムは、通信機能を有する積算流量計を備えていれば、これまでに説明したいずれの実施態様のものでもよい。
【０１６８】
通信機能を有する積算流量計としては、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどを用いることができる。積算流量などの計測データを、インターネットなどのネットワークを介して、遠隔で取得することができる。
【０１６９】
サーバシステム５０２は、受信部５０３、記憶部５０４、及び演算部５０５を備えている。また、サーバシステム５０２はディスプレイ５０６を備えている。サーバシステム５０２は、ネットワーク５０１に接続されている積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５のそれぞれに対して、順番に、積算流量の測定データを送信するよう、測定データの送信要求信号を発信する。積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５は、送信要求信号に応じて、積算流量の測定データをサーバシステム５０２に送信する。
【０１７０】
このようにしてサーバシステム５０２の受信部５０３は、各積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５から積算流量の測定データを受信し、取得する。この際、積算流量の測定データと合わせて、積算流量計の個体識別番号（いわゆる装置ＩＤ）と測定日時（すなわち測定した日付と時刻）とを取得しておく。測定日時でなく、通信日時でもよい。
【０１７１】
サーバシステム５０２は、各積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５の個体識別番号に基づいて、積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５ごとに、取得した積算流量の計測値と測定日時とを、メモリやハードディスクなどの記憶媒体で構成される記憶部５０４に追記することにより、記憶する。
【０１７２】
積算流量計から測定データを取得するステップを、所定の時間間隔（例えば１分間隔とか１時間間隔とか）で連続的に繰り返すことにより、補充液の供給量の推移（すなわち積算流量の履歴）が記憶される。
【０１７３】
サーバシステム５０２の記憶部５０４には、積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５ごとにその積算流量の履歴が記憶されているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとの補充液の供給量を把握することができる。例えばひと月ごとに補充液の供給量を把握する場合には、今月の検針日時における積算流量から前月の検針日時の積算流量を差し引くことで、今月の補充液の供給量を求めることができる。
【０１７４】
サーバシステム５０２は、さらに、所定期間における補充液の供給量から、当該所定期間の薬液管理の役務の提供に係る基板処理装置の薬液管理料金を計算する。例えば、ひと月ごとに基板処理装置の薬液管理料金を算出する必要がある場合には、前述のようにして求められた積算流量に、例えば補充液の単位液量あたりの料金（単価）を乗じるなどして、基板処理装置の薬液管理料金を算出する。基板処理装置の薬液管理料金の算出式と計算に必要な定数などをサーバシステム５０２の演算部５０５にプログラミングしておけばよい。
【０１７５】
こうして、薬液管理の役務提供者は、所定期間ごとに、補充液の積算流量に基づいて合理的に算出された基板処理装置の薬液管理料金を基板製造者に請求することができる。サーバシステム５０２が基板処理装置の薬液管理料金の支払元である基板製造者のコンピュータとネットワークで接続されていれば、基板処理装置の薬液管理料金の請求は、サーバシステム５０２により自動的に電子的に行うのでもよい。この場合には、サーバシステム５０２は、算出された基板処理装置の薬液管理料金を請求する請求書を電子的に自動で作成し、所定期間ごとに当該請求書を基板製造者に自動的に電子送付するように、プログラミングされていればよい。
【０１７６】
基板製造者が基板処理装置の薬液管理料金を支払うことにより、所定期間ごとに薬液を管理するという役務の提供が完結する。このようにして、ネットワークを利用して、各所の薬液の濃度管理に要する補充液の供給量を遠隔で一元的に監視しながら、薬液の濃度管理の役務の提供に係る薬液管理料金を算出するという、基板処理装置の薬液管理料金の算出方法が実現される。ネットワークを介して、各所で薬液の濃度管理のために供給された補充液の積算流量を遠隔で一元的に監視しながら、薬液の濃度を管理するという役務を提供することができる。
【０１７７】
本実施形態のネットワーク５０１は、別々の工場に設置された積算流量計により構成されたものに限定されない。例えば、規模の大きい工場に複数の製造ラインがあり、そのそれぞれの製造ラインに設置された積算流量計を接続した比較的小規模のローカルネットワークでもよい。例えば、ある積算流量計は中国の工場に設置され、ある積算流量計は台湾の工場に設置され、ある積算流量計は韓国の工場に設置され、またある積算流量計は日本の工場に設置され、といったように、それぞれ世界各国の工場に設置された積算流量計を接続した世界規模のネットワーク（例えばインターネットなど）でもよい。
【０１７８】
以上、図面を参照しながら各実施形態について説明してきた内容は、半導体や液晶ディスプレイ基板の製造プロセスで使用される各種の薬液に対しても、同様に実施可能なものである。
【０１７９】
本発明によれば、基板製造者は、濃度管理装置や薬液再生装置を購入したり運転したり維持管理したりする負担を負わず、基板処理装置の薬液管理料金を支払うだけで、所望の濃度に管理された薬液を使用でき、新液や再生液を入手して使用することができる。そのため、基板製造者は、装置の購入や維持管理に係るコストの削減、薬液調達や廃液処理に係るコストの削減、生産ラインの稼働率や歩留まりの向上、製造する基板の品質の向上などに伴う多様な経済的メリットを享受できる。
【０１８０】
本発明によれば、役務提供者は、本発明により実現可能となるビジネス方法により、装置を販売する場合に比べ、継続的で安定な収益を得ることができる。また本発明によれば、この新しいビジネス方法の実現に不可欠な基板処理装置の薬液管理システムや基板処理装置の薬液管理料金算出システムを提供することができる。本発明によれば、各使用者の工場で使われている積算流量計をネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で一元的に監視することもできる。
【符号の説明】
【０１８１】
１…現像工程設備、２…現像液管理装置、３…現像液調製装置、４…現像液再生装置、５…薬液管理料金算出システム、
３１…システム制御コンピュータ、４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７…制御弁、４８、４９…バルブ、５１、５２、５３、５４、５５…積算流量計、６０、６１、６２、６３、６４、６５、６６、６７、６９…信号線、７１、７２、７３…送液ポンプ、８０…合流配管、８１、８２、８３、８４、８５、８６、８７、８８、８９…配管、９１…現像液原液貯留容器、９２…現像液新液貯留容器、９９…使用済み現像液貯留容器、
１３１…制御装置、１６１…現像液貯留槽、１６２…オーバーフロー槽、１６３…液面計、１６４…現像室フード、１６５…ローラーコンベア、１６６…基板、１６７…現像液シャワーノズル、１７１…廃液ポンプ、１７２、１７４…循環ポンプ、１７３、１７５…フィルター、１８０…現像液管路、１８５…循環管路、
２１０…測定部、２１１、２１２…測定手段、２１４…サンプリングポンプ、２１５…サンプリング配管、２１６…戻り配管、２２０…演算部、２２１…演算ブロック、２２５…演算制御部、２３０…制御部、２３１…制御ブロック、２５１、２５２、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７、２５８、２５９…信号線、
３０１…新液調製槽、３０２…新液貯留槽、３１１…濃度計、３１２、３２２…液面計、３３１…制御装置、３４１、３４２、３４３…制御弁、３５１、３５２、３５３、３５４、３５５…信号線、３７１、３７２…循環ポンプ、３７３…送液ポンプ、３８０…連通管、３８１、３８２…循環管路、
４３１…制御装置、４４１…制御弁、４５１、４５２…信号線、４６１、４６２、４６３…フィルター、４７１…送液ポンプ、４９３…再生液貯留槽、
５０１…ネットワーク、５０２…サーバシステム、５０３…受信部、５０４…記憶部、５０５…演算部、５０６…ディスプレイ、５１１、５１２、５１３、５１４、５１５…工場、５２１、５２２、５２３、５２４、５２５…積算流量計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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