(57)【要約】【課題】洗浄後の物品が汚染されることを回避できる物品搬送設備を提供する。【解決手段】容器２が搬入される搬入用ポート７と、第１洗浄機ＣＬ１により洗浄される前の物品１を収容した容器２を支持する第１洗浄用ポート１１と、第１洗浄機ＣＬ１により洗浄された後の物品１を支持する第２洗浄用ポート１２と、物品１を搬送する第１搬送装置５と、容器２を搬送する第２搬送装置６と、を備え、第２搬送装置６は、容器２の搬入用ポート７から第１洗浄用ポート１１への搬送、物品１が取り出された後の容器２の第１洗浄用ポート１１から第２搬送先への搬送を行い、第１搬送装置５は、物品１の第２洗浄用ポート１２から第１搬送先への搬送を行う。【選択図】図１
2018052724.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を収容した容器が搬入される搬入用ポートと、
前記物品を洗浄する第１洗浄機に対応する位置に設置されて前記第１洗浄機により洗浄される前の前記物品を収容した前記容器を支持する第１洗浄用ポートと、
前記第１洗浄機に対応する位置に設置され、前記容器から取り出されて前記第１洗浄機により洗浄された後の前記物品を支持する第２洗浄用ポートと、
前記物品を搬送する第１搬送装置と、
前記容器を搬送する第２搬送装置と、を備え、
前記第２洗浄用ポートは、前記第１洗浄用ポートとは別に設置され、
前記第２搬送装置は、前記容器の前記搬入用ポートから前記第１洗浄用ポートへの搬送、前記物品が取り出された後の前記容器の前記第１洗浄用ポートから第２搬送先への搬送を行い、
前記第１搬送装置は、前記物品の前記第２洗浄用ポートから第１搬送先への搬送を行う物品搬送設備。
【請求項２】
前記物品が取り出された後の前記容器を洗浄する第２洗浄機に対応する位置に設置されて前記第２洗浄機により洗浄される前の前記容器を支持する第３洗浄用ポートと、
前記第２洗浄機に対応する位置に設置されて前記第２洗浄機により洗浄された後の前記容器を支持する第４洗浄用ポートと、を更に備え、
前記第４洗浄用ポートは、前記第３洗浄用ポートとは別に設置され、又は前記第３洗浄用ポートと共用され、
前記第２搬送装置は、前記物品が取り出された後の前記容器の前記第１洗浄用ポートから前記第２搬送先としての前記第３洗浄用ポートへの搬送、及び、前記容器の前記第４洗浄用ポートから第３搬送先への搬送を行う請求項１に記載の物品搬送設備。
【請求項３】
前記第１洗浄機と前記第２洗浄機とが並ぶ方向を並び方向とし、前記並び方向における前記第２洗浄機に対して前記第１洗浄機が存在する方向を第１方向、その反対方向を第２方向として、
前記第１搬送装置及び前記第２搬送装置の夫々は、前記並び方向に移動可能に構成され、
前記第１搬送装置は、前記第２搬送装置に対して前記第１方向側にあり、
前記第１搬送装置の移動経路と前記第２搬送装置の移動経路とが、前記並び方向で重なる部分を有する請求項２に記載の物品搬送設備。
【請求項４】
前記物品を保管するための第１保管部と、前記容器を保管するための第２保管部と、を更に備え、
前記第１搬送装置は、前記物品の前記第２洗浄用ポートから前記第１搬送先としての前記第１保管部への搬送も行い、
前記第２搬送装置は、前記容器の前記第４洗浄用ポートから前記第３搬送先としての前記第２保管部への搬送も行う請求項２又は３に記載の物品搬送設備。
【請求項５】
前記第２洗浄機に対して前記第１洗浄機が存在する方向を第１方向、その反対方向を第２方向として、
前記第１洗浄用ポートと前記第２洗浄用ポートと前記第３洗浄用ポートと前記第４洗浄用ポートと前記搬入用ポートとのうち、前記第２洗浄用ポートが最も前記第１方向側に設置されると共に前記第４洗浄用ポートが最も前記第２方向側に設置され、
前記第２洗浄用ポートより前記第１方向には、前記第１保管部と前記第２保管部とのうちの前記第１保管部のみが設置され、
前記第４洗浄用ポートより前記第２方向には、前記第１保管部と前記第２保管部とのうち前記第２保管部のみが設置されている請求項４に記載の物品搬送設備。
【請求項６】
前記物品を収容した前記容器を搬出するための搬出用ポートを更に備え、
前記第２搬送装置は、前記物品を収容していない前記容器を前記搬出用ポートに搬送し、
前記第１搬送装置は、前記第１洗浄機により洗浄された前記物品を前記搬出用ポートに位置する前記容器に収容させるように当該物品を前記搬出用ポートに搬送する請求項１から５のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品を搬送する第１搬送装置と、容器を搬送する第２搬送装置と、を備えた物品搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる物品搬送設備の一例が、特開２０００−０９１４０１号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の物品搬送設備では、１つの搬送装置（移載ロボット７６）と、物品（レチクル）を収容した容器（カセット）が搬入される搬入用ポート（入出庫口８１）と、物品用の保管部（棚７２Ａ）と、容器用の保管部（カセット棚７２Ｂ）と、が備えられている。搬送装置は、カセット用ハンド７７とレチクル用ハンド７８とを備えており、１つの搬送装置が、物品を搬送する搬送装置である第１搬送装置と容器を搬送する搬送装置である第２搬送装置とに兼用されている。そして、搬送装置は、カセット用ハンド７７を用いて、搬入用ポートに搬入された容器を容器用の保管部に搬送する。また、搬送装置は、レチクル用ハンド７８を用いて、容器用の保管部に保管された保管中の容器内から物品を取り出して物品用の保管部に搬送すると共に、物品用の保管部の物品を保管中の容器内に収容する。
【０００３】
このような物品搬送設備を利用して、物品や容器を洗浄することが考えられる。つまり、物品用の保管部に代えて、物品洗浄用ポートを設置し、容器用の保管部に代えて、容器洗浄用ポートを設置する。物品洗浄用ポートは、物品を洗浄する第１洗浄機に対応する位置に設置されたポートであり、容器洗浄用ポートは、容器を洗浄する第２洗浄機に対応する位置に設置されたポートである。
つまり、搬送装置のカセット用ハンドを用いて、洗浄前の容器を搬入用ポートから容器洗浄用ポートに搬送し、搬送装置のレチクル用ハンドを用いて、容器洗浄用ポートに位置する容器内から洗浄前の物品を取り出してこの洗浄前の物品を物品洗浄用ポートに搬送するとともに、第１洗浄機により洗浄された洗浄後の物品を物品洗浄用ポートから容器洗浄用ポートに位置する容器内に収容することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−０９１４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述のように、搬送装置により容器や物品を搬送すると、レチクル用ハンドにより、洗浄前の物品と洗浄後の物品との双方を搬送する。そのため、レチクル用ハンドにより洗浄前の物品を搬送したときに、洗浄前の物品に付着している塵埃等の汚染物質がレチクル用ハンドに付着し、レチクル用ハンドにより洗浄後の物品を搬送したときに、レチクル用ハンドに付着した汚染物質が洗浄後の物品に付着することで、洗浄後の物品が汚染されることが考えらえる。
【０００６】
そこで、洗浄後の物品が汚染されることを回避できる物品搬送設備の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記に鑑みた、物品搬送設備の特徴構成は、物品を収容した前記容器が搬入される搬入用ポートと、前記物品を洗浄する第１洗浄機に対応する位置に設置されて前記第１洗浄機により洗浄される前の前記物品を収容した前記容器を支持する第１洗浄用ポートと、前記第１洗浄機に対応する位置に設置され、前記容器から取り出されて前記第１洗浄機により洗浄された後の前記物品を支持する第２洗浄用ポートと、前記物品を搬送する第１搬送装置と、前記容器を搬送する第２搬送装置と、を備え、前記第２洗浄用ポートは、前記第１洗浄用ポートとは別に設置され、前記第２搬送装置は、前記容器の前記搬入用ポートから前記第１洗浄用ポートへの搬送、前記物品が取り出された後の前記容器の前記第１洗浄用ポートから第２搬送先への搬送を行い、前記第１搬送装置は、前記物品の前記第２洗浄用ポートから第１搬送先への搬送を行う点にある。
【０００８】
このような構成により、搬入用ポートに搬入された容器は、第２搬送装置により搬入用ポートから第１洗浄用ポートに搬送される。このとき第２搬送装置により搬送される容器は、第２洗浄機に洗浄される前の容器であり、この容器には、第１洗浄機に洗浄される前の物品が収容されている。そして、物品については、第１洗浄用ポートに位置する容器から取り出されて第１洗浄機により洗浄された後、第２洗浄用ポートに載せられる。そして、この洗浄された後の物品は、第１搬送装置により第２洗浄用ポートから第１搬送先に搬送される。また、物品が取り出されて空になった容器は、第２搬送装置により、第１洗浄用ポートから第２搬送先に搬送される。
【０００９】
第１洗浄機により洗浄される前の物品は、容器に収容された状態で搬入用ポートに搬入され、容器に収容された状態で第２搬送装置により搬入用ポートから第１洗浄用ポートに搬送される。そして、第１洗浄機により洗浄された後の物品は、第１搬送装置により第２洗浄用ポートから搬送先に搬送される。このように、第１搬送装置は、第１洗浄機により洗浄される前の物品を搬送せず、洗浄された後の物品の搬送のみを行うため、洗浄される前の物品を搬送することによって汚れた第２搬送装置により洗浄した後の物品を搬送することにより、洗浄した後の物品が汚染されるということを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】物品搬送設備の平面図
【図２】物品搬送設備の側面図
【図３】第２スタッカークレーンによる容器の搬送の説明図
【図４】第１スタッカークレーンにより板状体の搬送の説明図
【図５】第１スタッカークレーンによる板状体の搬送と第２スタッカークレーンによる容器の搬送との説明図
【図６】第１スタッカークレーンによる板状体の搬送と第２スタッカークレーンによる容器の搬送との説明図
【図７】第２スタッカークレーンによる容器の搬送の説明図
【図８】第１スタッカークレーンにより板状体の搬送の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に係る物品搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示すように、物品搬送設備には、板状体１及び容器２を保管する保管棚４と、板状体１を搬送する第１スタッカークレーン５と、容器２を搬送する第２スタッカークレーン６と、容器搬入用の搬入用ポート７と、容器搬出用の搬出用ポート８と、を備えている。また、物品搬送設備には、壁体Ｗが備えられており、保管棚４と第１スタッカークレーン５と第２スタッカークレーン６とは、壁体Ｗに囲まれた内部に設置されている。
【００１２】
壁体Ｗの外部には、当該壁体Ｗに隣接する状態で第１洗浄機ＣＬ１と第２洗浄機ＣＬ２とが設置されている。第１洗浄機ＣＬ１は、板状体１を洗浄するための洗浄機であり、第２洗浄機ＣＬ２は、板状体１が取り出された後の容器２を洗浄するための洗浄機である。そして、物品搬送設備には、第１洗浄機ＣＬ１に対して設置された第１洗浄用ポート１１及び第２洗浄用ポート１２と、第２洗浄機ＣＬ２に対して設置された第３洗浄用ポート１３及び第４洗浄用ポート１４が備えられている。第１洗浄用ポート１１は、第２洗浄用ポート１２とは別に設置され、第４洗浄用ポート１４は、第３洗浄用ポート１３とは別に設置されている。
【００１３】
本実施形態では、板状体１は、フォトマスクであり、平面視での形状が矩形状に形成されている。尚、板状体１が物品に相当する。容器２は、規定枚数の板状体１を収容可能な容器である。容器２として、蓋が備えられており蓋の開閉が必要な密閉された密閉式の容器、蓋が備えられておらず蓋の開閉が不要な解放式の容器、のいずれの容器を用いてもよい。ただし、密閉式の容器を用いる場合は、蓋の開閉が必要な位置（例えば、後述する搬出用ポート８等）には、容器２の蓋を開閉する開閉装置を備える必要がある。
【００１４】
以下、物品搬送設備の各構成について説明するが、上下方向Ｚに見て、第１洗浄機ＣＬ１と第２洗浄機ＣＬ２とが並ぶ方向を並び方向Ｙとし、この並び方向Ｙに対して直交する方向を前後方向Ｘとして説明する。また、前後方向Ｘにおいて、保管棚４に対して第１スタッカークレーン５や第２スタッカークレーン６が存在する方向を前方Ｘ１とし、その反対方向を後方Ｘ２として説明する。また、並び方向Ｙにおいて、第２洗浄機ＣＬ２に対して第１洗浄機ＣＬ１が存在する方向を第１方向Ｙ１とし、その反対方向を第２方向Ｙ２として説明する。
【００１５】
図２に示すように、物品搬送設備の天井部には、第１ファンフィルタユニット１６が設置されている。この第１ファンフィルタユニット１６は、保管棚４や第１スタッカークレーン５や第２スタッカークレーン６より上方に設置されており、上方の空気を吸引して下方に空気を吐出する。これにより、壁体Ｗの内部には、天井側から床側に向けて清浄空気が下向きに流動するダウンフローが形成されている。
また、壁体Ｗには、第２ファンフィルタユニット１７が設置されている。第２ファンフィルタユニット１７は、保管棚４に対して後方Ｘ２側に位置するように設置されている。そして、第２ファンフィルタユニット１７は、後方Ｘ２の空気を吸引して前方Ｘ１に吐出する。これにより、保管棚４内に清浄空気が後方Ｘ２から前方Ｘ１に流れる清浄空気の流れが形成されている。
物品搬送設備が設置される床部Ｆは、下部床Ｆ１と、下部床Ｆ１よりも上側に配設された上部床Ｆ２とにより構成されており、下部床Ｆ１と上部床Ｆ２との間に床下空間が形成され、上部床Ｆ２と天井との間に作業空間が形成されている。上部床Ｆ２は、グレーチング床であり、上下方向Ｚに貫通する通気孔が複数形成されている。下部床Ｆ１は、通気孔を有さない床であり、本実施形態では、無孔状のコンクリートによって構成されている。
【００１６】
〔搬入出用コンベヤ〕
図１に示すように、物品搬送設備には、搬入用コンベヤ１９と搬出用コンベヤ２０との夫々が壁体Ｗを貫通する状態で設置されている。搬入用コンベヤ１９や搬出用コンベヤ２０は、板状体１を収容した容器２を搬送する。
搬入用コンベヤ１９は、壁体Ｗの外部に位置する第１搬入位置から壁体Ｗの内部に位置する第２搬入位置に容器２を搬送する。搬入用コンベヤ１９における壁体Ｗより内側に位置する、搬入用コンベヤ１９の前方Ｘ１の端部により搬入用ポート７が構成されている。換言すれば、搬入用ポート７は、第２搬入位置に位置する容器２を支持するためのポートである。そして、搬入用コンベヤ１９により容器２を第１搬入位置から第２搬入位置に搬送することで、容器２が搬入用ポート７に搬入される。このように、搬入用ポート７は、板状体１を収容した容器２が搬入されるポートである。
搬出用コンベヤ２０は、壁体Ｗの内部に位置する第１搬出位置から壁体Ｗの外部に位置する第２搬出位置に容器２を搬送する。搬出用コンベヤ２０における壁体Ｗより内側に位置する、搬出用コンベヤ２０の前方Ｘ１の端部により搬出用ポート８が構成されている。換言すれば、搬出用ポート８は、第１搬出位置に位置する容器２を支持するためのポートである。そして、搬出用コンベヤ２０により容器２を第１搬出位置から第２搬出位置に搬送することで、容器２が搬出用ポート８から搬出される。このように、搬出用ポート８は、板状体１を収容した容器２を搬出するためのポートである。
【００１７】
〔洗浄用コンベヤ〕
また、図１に示すように、物品搬送設備には、第１洗浄用コンベヤ２１と第２洗浄用コンベヤ２２と第３洗浄用コンベヤ２３と第４洗浄用コンベヤ２４との夫々が、壁体Ｗを貫通する状態で設置されている。第１洗浄用コンベヤ２１及び第２洗浄用コンベヤ２２は、第１洗浄機ＣＬ１に対して設置されており、第３洗浄用コンベヤ２３及び第４洗浄用コンベヤ２４は、第２洗浄機ＣＬ２に対して設置されている。
【００１８】
第１洗浄用コンベヤ２１は、壁体Ｗの内部に位置する第１位置Ｐ１から第１洗浄機ＣＬ１に密着する位置に容器２を搬送すると共に、第１洗浄機ＣＬ１に密着する位置から第１位置Ｐ１に容器２を搬送する。第１洗浄機ＣＬ１には、容器２から板状体１を取り出すロボット（図示せず）が装備されている。そのため、第１洗浄用コンベヤ２１により第１位置Ｐ１から第１洗浄機ＣＬ１に密着する位置に搬送される容器２には板状体１が収容されているが、第１洗浄用コンベヤ２１により第１洗浄機ＣＬ１に密着する位置から第１位置Ｐ１に搬送される容器２には板状体１は収容されていない。このように、第１洗浄用コンベヤ２１は、板状体１を収容した容器２及び板状体１を収容していない容器２の双方を搬送する。尚、第１洗浄用コンベヤ２１により搬送される容器２及びこれに収容されている板状体１は、洗浄機により洗浄される前の容器２（洗浄前の容器２）及び板状体１（洗浄前の板状体１）である。第１洗浄用コンベヤ２１における壁体Ｗより内側に位置する、第１洗浄用コンベヤ２１の前方Ｘ１の端部により第１洗浄用ポート１１が構成されている。換言すれば、第１洗浄用ポート１１は、第１位置Ｐ１に位置する容器２を支持するためのポートである。尚、この第１洗浄用ポート１１は、板状体１を洗浄する第１洗浄機ＣＬ１に対応する位置に設置されて第１洗浄機ＣＬ１により洗浄される前の板状体１を収容した容器２を支持するポートに相当する。
【００１９】
第２洗浄用コンベヤ２２は、第１洗浄機ＣＬ１内から壁体Ｗの内部に位置する第２位置Ｐ２に板状体１を搬送する。第１洗浄機ＣＬ１では、当該第１洗浄機ＣＬ１にて洗浄された後の板状体１（洗浄後の板状体１）が第２洗浄用コンベヤ２２に載せられる。そのため、第２洗浄用コンベヤ２２により第１洗浄機ＣＬ１内から第２位置Ｐ２に搬送される板状体１は、洗浄後の板状体１である。第２洗浄用コンベヤ２２における壁体Ｗより内側に位置する、第２洗浄用コンベヤ２２の前方Ｘ１の端部により第２洗浄用ポート１２が構成されている。換言すれば、第２洗浄用ポート１２は、第２位置Ｐ２に位置する板状体１を支持するためのポートである。尚、この第２洗浄用ポート１２は、第１洗浄機ＣＬ１に対応する位置に設置され、容器２から取り出されて第１洗浄機ＣＬ１により洗浄された後の板状体１を支持するポートに相当する。
【００２０】
第３洗浄用コンベヤ２３は、壁体Ｗの内部に位置する第３位置Ｐ３から第２洗浄機ＣＬ２内に容器２を搬送する。第３洗浄用コンベヤ２３により搬送される容器２は、第２洗浄機ＣＬ２により洗浄される前の容器２（洗浄前の容器２）である。第３洗浄用コンベヤ２３における壁体Ｗより内側に位置する、第３洗浄用コンベヤ２３の前方Ｘ１の端部により第３洗浄用ポート１３が構成されている。換言すれば、第３洗浄用ポート１３は、第３位置Ｐ３に位置する容器２を支持するためのポートである。尚、この第３洗浄用ポート１３は、第２洗浄機ＣＬ２に対応する位置に設置されて第２洗浄機ＣＬ２により洗浄される前の容器２を支持するポートに相当する。
【００２１】
第４洗浄用コンベヤ２４は、第２洗浄機ＣＬ２内から壁体Ｗの内部に位置する第４位置Ｐ４に容器２を搬送する。第４洗浄用コンベヤ２４により搬送される容器２は、第２洗浄機ＣＬ２により洗浄された後の容器２（洗浄後の容器２）である。第４洗浄用コンベヤ２４における壁体Ｗより内側に位置する、第４洗浄用コンベヤ２４の前方Ｘ１の端部により第４洗浄用ポート１４が構成されている。換言すれば、第４洗浄用ポート１４は、第４位置Ｐ４に位置する容器２を支持するためのポートである。この第４洗浄用ポート１４は、第２洗浄機ＣＬ２に対応する位置に設置されて第２洗浄機ＣＬ２に洗浄された後の容器２を支持するポートに相当する。
【００２２】
〔保管棚〕
保管棚４は、複数の保管部２６を備えている。保管棚４は、上下方向Ｚ及び並び方向Ｙに複数並ぶ状態で保管部２６を備えている。保管棚４には、保管部２６として、板状体１を保管するための第１保管部２７と、容器２を保管するための第２保管部２８とを備えている。保管棚４は、並び方向Ｙにおいて、第１保管部２７が第２保管部２８に対して第１方向Ｙ１に位置するように、第１保管部２７及び第２保管部２８を備えている。
また、保管棚４には、更に、搬入用ポート７（搬入用コンベヤ１９）、搬出用ポート８（搬出用コンベヤ２０）、第１洗浄用ポート１１（第１洗浄用コンベヤ２１）、第２洗浄用ポート１２（第２洗浄用コンベヤ２２）、第３洗浄用ポート１３（第３洗浄用コンベヤ２３）、第４洗浄用ポート１４（第４洗浄用コンベヤ２４）、後述する検査部２９が備えられている。
【００２３】
本実施形態では、前後方向Ｘに並ぶ状態で保管棚４が一対設置されており、前後方向Ｘにおいて、一対の保管棚４の間に第１スタッカークレーン５及び第２スタッカークレーン６が設置されている。一対の保管棚４のうちの一方の保管棚４に、搬入用ポート７及び搬出用ポート８が設けられており、一対の保管棚４のうちの他方の保管棚４に、第１洗浄用ポート１１、第２洗浄用ポート１２、第３洗浄用ポート１３、第４洗浄用ポート１４及び検査部２９が備えられている。第１保管部２７及び第２保管部２８の夫々は、一対の保管棚４の双方に備えられている。また、本実施形態では、検査部２９として、第１検査部３０と第２検査部３１との２つの検査部２９を備えている。第１検査部３０は、パーティクルやパターンの欠陥等の板状体１の外観を検査する。第２検査部３１は、板状体１の長さ、幅及び厚み等の板状体１の大きさを計測（測長）する。
【００２４】
図２に示すように、第２保管部２８として、洗浄後の容器２を保管するための洗浄後の第２保管部２８Ａと、洗浄前の容器２を保管するための洗浄前用の第２保管部２８Ｂと、がある。洗浄前用の第２保管部２８Ｂは、洗浄後の第２保管部２８Ａより下方に備えられている。上下方向Ｚに隣り合う洗浄後用の第２保管部２８Ａと洗浄前用の第２保管部２８Ｂとは、仕切体３２により仕切られている。仕切体３２は、上下方向Ｚに隣り合う洗浄後用の第２保管部２８Ａと洗浄後用の第２保管部２８Ｂとを互いに空気が流動しないように、無孔状の板状材により構成されている。
【００２５】
〔スタッカークレーン〕
図１に示すように、第１スタッカークレーン５及び第２スタッカークレーン６の夫々は、並び方向Ｙに移動可能に構成されている。第１スタッカークレーン５は、板状体１を搬送するスタッカークレーンである。第２スタッカークレーン６は、容器２を搬送するスタッカークレーンである。第１スタッカークレーン５は、第２スタッカークレーン６に対して第１方向側にある。第１スタッカークレーン５の移動経路Ｍ１と第２スタッカークレーン６の移動経路Ｍ２とが、並び方向Ｙで重なる部分を有する。尚、第１スタッカークレーン５は、板状体１を搬送する第１搬送装置に相当し、第２スタッカークレーン６は、容器２を搬送する第２搬送装置に相当する。
【００２６】
図２に示すように、第２スタッカークレーン６は、並び方向Ｙに走行する走行台車３３と、走行台車３３に立設されたマスト３４と、マスト３４に沿って昇降する昇降体３５と、昇降体３５に支持されている移載装置３６と、を備えている。詳細な説明は省略するが、移載装置３６には、容器２を支持する支持体と、当該支持体を前後方向Ｘに沿って移動させるリンク機構と、を備えている。移載装置３６は、第２搬送元Ｓ２から自己に容器２を移載可能で且つ自己から第２搬送先Ｇ２に容器２を移載可能に構成されている。第１スタッカークレーン５は、移載装置３６の支持体にて板状体１を支持する点以外は、第２スタッカークレーン６と同様に構成されている。
【００２７】
〔ポートの位置関係〕
第１洗浄用ポート１１と第２洗浄用ポート１２と第３洗浄用ポート１３と第４洗浄用ポート１４と搬入用ポート７と搬出用ポート８とのうち、第２洗浄用ポート１２が最も第１方向Ｙ１側に設置されると共に第４洗浄用ポート１４が最も第２方向Ｙ２側に設置されている。本実施形態では、第１洗浄用ポート１１と第２洗浄用ポート１２と第３洗浄用ポート１３と第４洗浄用ポート１４とは、第２方向Ｙ２に向けて、第２洗浄用ポート１２、第１洗浄用ポート１１、第３洗浄用ポート１３、第４洗浄用ポート１４の順に並んでいる。このように、第１スタッカークレーン５が搬送元又は搬送先とする第２洗浄用ポート１２は、第２スタッカークレーン６が搬送元又は搬送先とする第１洗浄用ポート１１、第３洗浄用ポート１３及び第４洗浄用ポート１４よりも、第１方向Ｙ１に位置するように設置されている。
【００２８】
搬入用ポート７と搬出用ポート８とは、第２方向Ｙ２に向けて、搬入用ポート７、搬出用ポート８の順に並んでいる。搬入用ポート７及び搬出用ポート８は、並び方向Ｙにおいて、第２洗浄用ポート１２の第１方向Ｙ１側の端部と、第４洗浄用ポート１４の第２方向Ｙ２側の端部と、の間に位置するように設置されている。そして、これら搬入用ポート７及び搬出用ポート８は、第１スタッカークレーン５及び第２スタッカークレーン６の双方の搬送元又は搬送先となるため、並び方向Ｙにおいて、第１スタッカークレーン５の移動経路Ｍ１と第２スタッカークレーン６の移動経路Ｍ２とが重なる領域内に設置されている。第２洗浄用ポート１２より第１方向Ｙ１には、第１保管部２７と第２保管部２８とのうちの第１保管部２７のみが設置されており、第４洗浄用ポート１４より第２方向Ｙ２には、第１保管部２７と第２保管部２８とのうちの第２保管部２８のみが設置されている。
【００２９】
〔搬送の形態〕
第１スタッカークレーン５は、第１搬送元Ｓ１から第１搬送先Ｇ１に板状体１を搬送する。第１スタッカークレーン５は、第２洗浄用ポート１２、第１検査部３０、第２検査部３１及び第１保管部２７を第１搬送元Ｓ１とし、第１検査部３０、第２検査部３１、第１保管部２７及び搬出用ポート８を第１搬送先Ｇ１としている。つまり、具体例を挙げると、第１スタッカークレーン５は、次のように第１搬送元Ｓ１から第１搬送先Ｇ１に板状体１を搬送する。
図４に示すように、第１スタッカークレーン５は、第２洗浄用ポート１２を第１搬送元Ｓ１とし、第１検査部３０を第１搬送先Ｇ１として、板状体１の第２洗浄用ポート１２から第１検査部３０への搬送を行う。図５に示すように、第１スタッカークレーン５は、第１検査部３０を第１搬送元Ｓ１とし、第２検査部３１を第１搬送先Ｇ１として、板状体１の第１検査部３０から第２検査部３１への搬送を行う。図６に示すように、第１スタッカークレーン５は、第２検査部３１を第１搬送元Ｓ１とし、第１保管部２７を第１搬送先Ｇ１として、板状体１の第２検査部３１から第１保管部２７への搬送を行う。図８に示すように、第１スタッカークレーン５は、第１保管部２７を第１搬送元Ｓ１とし、搬出用ポート８を第１搬送先Ｇ１として、板状体１の第１保管部２７から搬出用ポート８への搬送を行う。具体的には、第１スタッカークレーン５は、第１保管部２７を第１搬送元Ｓ１とし、搬出用ポート８に位置する容器２を第１搬送先Ｇ１として、板状体１の第１保管部２７から搬出用ポート８の容器２への搬送を行う。
また、第１スタッカークレーン５は、第２検査部３１を第１搬送元Ｓ１とし、搬出用ポート８を第１搬送先Ｇ１として、第２検査部３１から搬出用ポート８に板状体１を搬送する場合等もあり、第１スタッカークレーン５により板状体１が搬送される搬送元と搬送先の組み合わせは図示したものに限られない。
【００３０】
第２スタッカークレーン６は、第２搬送元Ｓ２から第２搬送先Ｇ２に容器２を搬送する。第２スタッカークレーン６は、搬入用ポート７、第１洗浄用ポート１１、第４洗浄用ポート１４及び第２保管部２８を第２搬送元Ｓ２とし、搬出用ポート８、第１洗浄用ポート１１、第３洗浄用ポート１３及び第２保管部２８を第２搬送先Ｇ２としている。尚、第２スタッカークレーン６は、搬出用ポート８及び第２保管部２８を第３搬送先としており、第２搬送先Ｇ２のうち、第４洗浄用ポート１４を第２搬送元Ｓ２とした場合に、容器を搬送する先となるポートや保管部２６を第３搬送先としている。
【００３１】
つまり、具体例を挙げると、第２スタッカークレーン６は、次のように第２搬送元Ｓ２から第２搬送先Ｇ２に容器２を搬送する。  図３に示すように、第２スタッカークレーン６は、搬入用ポート７を第２搬送元Ｓ２とし、第１洗浄用ポート１１を第２搬送先Ｇ２として、容器２の搬入用ポート７から第１洗浄用ポート１１への搬送を行う。図５に示すように、第２スタッカークレーン６は、第１洗浄用ポート１１を第２搬送元Ｓ２、第３洗浄用ポート１３を第２搬送先Ｇ２として、第１洗浄用ポート１１から第３洗浄用ポート１３に容器２を搬送する。図６に示すように、第２スタッカークレーン６は、第４洗浄用ポート１４を第２搬送元Ｓ２とし、第２保管部２８を第２搬送先Ｇ２（第３搬送先）として、容器２の第４洗浄用ポート１４から第２保管部２８への搬送を行う。図７に示すように、第２スタッカークレーン６は、第２保管部２８を第２搬送元Ｓ２とし、搬出用ポート８を第２搬送先Ｇ２として、容器２の第２保管部２８から搬出用ポート８への搬送を行う。
また、搬入用ポート７に容器２が搬入されたものの第１洗浄用ポート１１に別の容器２が存在する等にて搬入用ポート７の容器２を第１洗浄用ポート１１に搬送できない場合は、第２スタッカークレーン６は、搬入用ポート７を第２搬送元Ｓ２とし、第２保管部２８を第２搬送先Ｇ２として、搬入用ポート７から第２保管部２８に容器２を搬送する。そして、当該容器２を第１洗浄用ポート１１に搬送できるようになった場合に、第２スタッカークレーン６は、第２保管部２８を第２搬送元Ｓ２とし、第１洗浄用ポート１１を第２搬送先Ｇ２として、第２保管部２８から第１洗浄用ポート１１に容器２を搬送する。このように、第２スタッカークレーン６により容器２が搬送される搬送元と搬送先の組み合わせは図示したものに限られない。
【００３２】
図１に示すように、物品搬送設備には、第１スタッカークレーン５及び第２スタッカークレーン６を制御する制御部Ｈが備えられている。次のようにして板状体１及び容器２を搬送するべく、制御部Ｈにより第１スタッカークレーン５及び第２スタッカークレーン６が制御される。
図３に仮想線（二点鎖線）で示すように、搬入用コンベヤ１９により搬入用ポート７に容器２が搬入される。この搬入用ポート７に搬入された容器２は洗浄前の容器２であり、当該容器２には、洗浄前の板状体１が収容されている。そして、制御部Ｈは、搬入用ポート７に搬入された容器２を搬入用ポート７から第１洗浄用ポート１１に搬送（図３参照）するように、第２スタッカークレーン６を制御する第１容器搬送制御を実行する。第１洗浄用ポート１１に搬送された容器２は、第１洗浄用コンベヤ２１により第１洗浄機ＣＬ１に密着する位置に搬送された後、第１洗浄機ＣＬ１のロボット（図示せず）により容器２から板状体１が取り出されて、板状体１が第１洗浄機ＣＬ１により洗浄される。第１洗浄機ＣＬ１により洗浄された後の板状体１は、第１洗浄機ＣＬ１のロボットにより、第２洗浄用コンベヤ２２上に載せられ、図３に示すように、第２洗浄用コンベヤ２２により第２洗浄用ポート１２に搬送される。板状体１が全て取り出された容器２は、第１洗浄用コンベヤ２１により第１洗浄機ＣＬ１に密着する位置から第１洗浄用ポート１１に搬送される。
【００３３】
制御部Ｈは、第１洗浄用ポート１１の容器２を第１洗浄用ポート１１から第３洗浄用ポート１３に搬送（図５参照）するように、第２スタッカークレーン６を制御する第２容器搬送制御を実行する。この第２容器搬送制御によって第２スタッカークレーン６により搬送される容器２は洗浄前の容器２であり、当該容器２には、洗浄前の板状体１が収容されている。そして、図５に示すように、第３洗浄用ポート１３に搬送された洗浄前の容器２は、第３洗浄用コンベヤ２３により第２洗浄機ＣＬ２内に搬送され、第２洗浄機ＣＬ２により洗浄される。第２洗浄機ＣＬ２により洗浄された後の洗浄後の容器２は、第４洗浄用コンベヤ２４により第４洗浄用ポート１４に搬送される。
【００３４】
制御部Ｈは、第４洗浄用ポート１４の容器２を第４洗浄用ポート１４から第２保管部２８に搬送（図６参照）するように、第２スタッカークレーン６を制御する第３容器搬送制御を実行する。そして、容器２に板状体１を収容して容器２を搬出する場合に、制御部Ｈは、第２保管部２８から搬出用ポート８に搬送（図７参照）するように、第２スタッカークレーン６を制御する第４容器搬送制御を実行する。この第３容器搬送制御や第４容器搬送制御により第２スタッカークレーン６によって搬送される容器２は洗浄後の容器２であり、当該容器２には、板状体１は収容されていない。
【００３５】
制御部Ｈは、第２洗浄用ポート１２の板状体１を第２洗浄用ポート１２から第１検査部３０に搬送（図４参照）するように、第１スタッカークレーン５を制御する第１板状体搬送制御を実行する。制御部Ｈは、第１検査部３０における検査が終了した板状体１を第１検査部３０から第２検査部３１に搬送（図５参照）するように、第１スタッカークレーン５を制御する第２板状体搬送制御を実行する。制御部Ｈは、第２検査部３１における検査が終了した板状体１を第２検査部３１から第１保管部２７に搬送（図６参照）するように、第１スタッカークレーン５を制御する第３板状体搬送制御を実行する。そして、制御部Ｈは、容器２に板状体１を収容して容器２を搬出する場合に、第１保管部２７の板状体１を第１保管部２７から搬出用ポート８に搬送（図８参照）するように、第１スタッカークレーン５を制御する第４板状体搬送制御を実行する。第１板状体搬送制御、第２板状体搬送制御、第３板状体搬送制御及び第４板状体搬送制御により第１スタッカークレーン５によって搬送される板状体１は、洗浄後の板状体１である。そして、第４板状体搬送制御では、第１スタッカークレーン５により搬出用ポート８に板状体１を搬送する場合において、第１スタッカークレーン５は、板状体１を搬出用ポート８に位置する容器２に収容させるように当該板状体１を搬出用ポート８に搬送する。
【００３６】
２．その他の実施形態
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。
【００３７】
（１）上記実施形態では、第１洗浄用ポート１１を、第２洗浄用ポート１２に対して第１方向Ｙ１側に設置したが、第１洗浄用ポート１１及び第２洗浄用ポート１２の設置位置は適宜変更してもよい。例えば、第１洗浄用ポート１１を、第２洗浄用ポート１２に対して第２方向Ｙ２に設置してもよく、また、上下方向Ｚに見て第１洗浄用ポート１１と第２洗浄用ポート１２とを重なるように設置して、第１洗浄用ポート１１と第２洗浄用ポート１２とを並び方向Ｙで同じ位置に設置してもよい。尚、第３洗浄用ポート１３及び第４洗浄用ポート１４の設置位置、並びに、搬入用ポート７及び搬出用ポート８の設置位置についても、第１洗浄用ポート１１及び第２洗浄用ポート１２と同様に、適宜変更してもよい。
また、上記実施形態では、第４洗浄用ポート１４を、第３洗浄用ポート１３とは別に設置したが、第３洗浄用ポート１３に第４洗浄用ポート１４の機能を備えさせて、第３洗浄用ポート１３を第４洗浄用ポート１４と共用してもよい。また、搬出用ポート８を、搬入用ポート７とは別に設置したが、搬入用ポート７に搬出用ポート８の機能を備えさせて、搬入用ポート７を搬出用ポート８と共用してもよい。
【００３８】
（２）上記実施形態では、第２スタッカークレーン６は、第２洗浄機ＣＬ２により洗浄され且つ板状体１を収容していない容器２を搬出用ポート８に搬送し、第１スタッカークレーン５は、第１洗浄機ＣＬ１により洗浄された後の板状体１を搬出用ポート８に位置する容器２に収容させるように当該板状体１を搬出用ポート８に搬送するようにして、容器２に板状体１を収容したが、別の構成により板状体１を容器２に収容してもよい。具体的には、例えば、搬出用ポート８とは別に容器収容用ポートを備えて、第２スタッカークレーン６は、第２洗浄機ＣＬ２により洗浄され且つ板状体１を収容していない容器２を容器収容用ポートに搬送し、第１スタッカークレーン５は、第１洗浄機ＣＬ１により洗浄された後の板状体１を容器収容用ポートに位置する容器２に収容させるように当該板状体１を容器収容用ポートに搬送するようにしてもよい。この場合、第２スタッカークレーン６によって板状体１を収容した容器２を容器収容用ポートから搬出用ポート８に搬送する。また、例えば、搬出用ポート８とは別に板状体用ポートを備えて、第２スタッカークレーン６は、第２洗浄機ＣＬ２により洗浄され且つ板状体１を収容していない容器２を搬出用ポート８に搬送し、第１スタッカークレーン５は、第１洗浄機ＣＬ１により洗浄された後の板状体１を板状体用ポートに搬送する。そして、別途備えた収容ロボットにより、板状体１を搬出用ポート８に位置する容器２に収容させるように、板状体１を板状体用ポートから搬出用ポート８に搬送するようにしてもよい。
【００３９】
（３）上記実施形態では、第１スタッカークレーン５を、板状体１の底面を下方から支持するように構成したが、第１スタッカークレーン５における板状体１を支持する構成は適宜変更してもよく、例えば、第１スタッカークレーン５を、板状体１の上面を吸着により上方から支持するように構成してもよい。
第２スタッカークレーン６を、容器２の底面を下方から支持するように構成したが、第２スタッカークレーン６における容器２を支持する構成は適宜変更してもよく、例えば、第２スタッカークレーン６を、容器２の上部を支持して容器２を吊り下げるように支持してもよい。
【００４０】
（４）上記実施形態では、第１洗浄用ポート１１と第２洗浄用ポート１２と第３洗浄用ポート１３と第４洗浄用ポート１４と搬入用ポート７と搬出用ポート８のうち、最も第１方向Ｙ１側に位置するポートより第１方向Ｙ１には、第１保管部２７と第２保管部２８とのうちの第１保管部２７のみを設置したが、最も第１方向Ｙ１側に位置するポートより第１方向Ｙ１に、第１保管部２７と第２保管部２８との双方を設置してもよい。また、第１洗浄用ポート１１と第２洗浄用ポート１２と第３洗浄用ポート１３と第４洗浄用ポート１４と搬入用ポート７と搬出用ポート８のうち、最も第２方向Ｙ２側に位置するポートより第２方向Ｙ２には、第１保管部２７と第２保管部２８とのうちの第２保管部２８のみを設置したが、最も第２方向Ｙ２側に位置するポートより第２方向Ｙ２に、第１保管部２７と第２保管部２８との双方を設置してもよい。
【００４１】
（５）上記実施形態では、第３洗浄用ポート１３及び第４洗浄用ポート１４を、第２スタッカークレーン６が容器２を受け渡し可能な位置に設置したが、第３洗浄用ポート１３及び第４洗浄用ポート１４を設置する位置は適宜変更してもよい。具体的には、例えば、第３洗浄用ポート１３及び第４洗浄用ポート１４を壁体Ｗの外部に設置して、洗浄前で且つ板状体１を収容していない容器２を搬出用ポート８から搬出し、その搬出用ポート８から搬出した容器２を外部の搬送装置により第３洗浄用ポート１３に搬送すると共に、洗浄後で且つ板状体１を収容していない容器２を外部の搬送装置により第４洗浄用ポート１４から搬送して、当該容器２を搬入用ポート７から搬入するようにしてもよい。また、第２洗浄機ＣＬ２、第３洗浄用ポート１３及び第４洗浄用ポート１４を備えなくてもよい。
【００４２】
（６）上記実施形態では、物品をフォトマスクとしたが、ウェハ等の他の板状体１でもよく、また、物品の形状としては、板状以外に立方体状や丸棒状等の他の形状でもよい。
【００４３】
（７）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【００４４】
３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。
【００４５】
物品搬送設備は、物品を収容した前記容器が搬入される搬入用ポートと、前記物品を洗浄する第１洗浄機に対応する位置に設置されて前記第１洗浄機により洗浄される前の前記物品を収容した前記容器を支持する第１洗浄用ポートと、前記第１洗浄機に対応する位置に設置され、前記容器から取り出されて前記第１洗浄機により洗浄された後の前記物品を支持する第２洗浄用ポートと、前記物品を搬送する第１搬送装置と、前記容器を搬送する第２搬送装置と、を備え、前記第２洗浄用ポートは、前記第１洗浄用ポートとは別に設置され、前記第２搬送装置は、前記容器の前記搬入用ポートから前記第１洗浄用ポートへの搬送、前記物品が取り出された後の前記容器の前記第１洗浄用ポートから第２搬送先への搬送を行い、前記第１搬送装置は、前記物品の前記第２洗浄用ポートから第１搬送先への搬送を行う。
【００４６】
このような構成により、搬入用ポートに搬入された容器は、第２搬送装置により搬入用ポートから第１洗浄用ポートに搬送される。このとき第２搬送装置により搬送される容器には、第１洗浄機に洗浄される前の物品が収容されている。そして、物品については、第１洗浄用ポートに位置する容器から取り出されて第１洗浄機により洗浄された後、第２洗浄用ポートに載せられる。そして、この洗浄された後の物品は、第１搬送装置により第２洗浄用ポートから第１搬送先に搬送される。また、物品が取り出されて空になった容器は、第２搬送装置により、第１洗浄用ポートから第２搬送先に搬送される。
【００４７】
第１洗浄機により洗浄される前の物品は、容器に収容された状態で搬入用ポートに搬入され、容器に収容された状態で第２搬送装置により搬入用ポートから第１洗浄用ポートに搬送される。そして、第１洗浄機により洗浄された後の物品は、第１搬送装置により第２洗浄用ポートから搬送先に搬送される。このように、第１搬送装置は、第１洗浄機により洗浄される前の物品を搬送せず、洗浄された後の物品の搬送のみを行うため、洗浄される前の物品を搬送することによって汚れた第２搬送装置により洗浄した後の物品を搬送することにより、洗浄した後の物品が汚染されるということを回避できる。
【００４８】
また、前記物品が取り出された後の前記容器を洗浄する第２洗浄機に対応する位置に設置されて前記第２洗浄機により洗浄される前の前記容器を支持する第３洗浄用ポートと、前記第２洗浄機に対応する位置に設置されて前記第２洗浄機により洗浄された後の前記容器を支持する第４洗浄用ポートと、を更に備え、前記第４洗浄用ポートは、前記第３洗浄用ポートとは別に設置され、又は前記第３洗浄用ポートと共用され、前記第２搬送装置は、前記物品が取り出された後の前記容器の前記第１洗浄用ポートから前記第２搬送先としての前記第３洗浄用ポートへの搬送、及び、前記容器の前記第４洗浄用ポートから第３搬送先への搬送を行うと好適である。
【００４９】
この構成によれば、第２搬送装置により、第１洗浄用ポートから第３洗浄用ポートに搬送され、第２洗浄機により洗浄された容器は、第２搬送装置により、第４洗浄用ポートから第３搬送先に搬送される。このように、第２洗浄機により容器を洗浄できると共に、当該容器を、第２搬送装置により第４洗浄用ポートから第３搬送先に搬送することで、搬送装置を別に備える場合に比べて、物品搬送設備の構成の簡素化を図ることができる。
【００５０】
ここで、前記第１洗浄機と前記第２洗浄機とが並ぶ方向を並び方向とし、前記並び方向における前記第２洗浄機に対して前記第１洗浄機が存在する方向を第１方向、その反対方向を第２方向として、前記第１搬送装置及び前記第２搬送装置の夫々は、前記並び方向に移動可能に構成され、前記第１搬送装置は、前記第２搬送装置に対して前記第１方向側にあり、前記第１搬送装置の移動経路と前記第２搬送装置の移動経路とが、前記並び方向で重なる部分を有すると好適である。
【００５１】
この構成によれば、第１搬送装置の移動経路と第２搬送装置の移動経路とで並び方向で重なる部分に搬送先を配設することで、第１搬送装置と第２搬送装置とで同じ搬送先に物品や容器を搬送することができる。そのため、例えば、第２搬送装置により洗浄した後の容器を搬送先に搬送し、洗浄した後の物品を、搬送先に位置する容器に収容するように搬送先に搬送することもできる。このように、使い勝手がよい物品搬送設備を提供することができる。
【００５２】
また、前記物品を保管するための第１保管部と、前記容器を保管するための第２保管部と、を更に備え、前記第１搬送装置は、前記物品の前記第２洗浄用ポートから前記第１搬送先としての前記第１保管部への搬送も行い、前記第２搬送装置は、前記容器の前記第４洗浄用ポートから前記第３搬送先としての前記第２保管部への搬送も行うと好適である。
【００５３】
この構成によれば、洗浄後の物品を第１保管部に保管することができ、洗浄後の容器を第２保管部に保管することができる。そして、洗浄後の物品を洗浄後の容器に収容する場合であって、物品の洗浄が完了するタイミングと容器の洗浄が完了するタイミングがずれた場合などに、第１保管部や第２保管部を、物品や容器を一時的に保管するバッファとして利用できる。
【００５４】
また、前記第２洗浄機に対して前記第１洗浄機が存在する方向を第１方向、その反対方向を第２方向として、前記第１洗浄用ポートと前記第２洗浄用ポートと前記第３洗浄用ポートと前記第４洗浄用ポートと前記搬入用ポートとのうち、前記第２洗浄用ポートが最も前記第１方向側に設置されると共に前記第４洗浄用ポートが最も前記第２方向側に設置され、前記第２洗浄用ポートより前記第１方向には、前記第１保管部と前記第２保管部とのうちの前記第１保管部のみが設置され、前記第４洗浄用ポートより前記第２方向には、前記第１保管部と前記第２保管部とのうち前記第２保管部のみが設置されていると好適である。
【００５５】
この構成によれば、並び方向において、第１保管部と第２保管部との間に第１洗浄用ポートと第２洗浄用ポートと第３洗浄用ポートと第４洗浄用ポートと搬入用ポートとを設置することで、これらのポートを集約して設置できる。そのため、ポートから別のポートに物品や容器を搬送するときに、物品や容器を効率よく搬送できる。また、最も第１方向側に設置された第２洗浄用ポートより第１方向には、物品を保管するための第１保管部のみが設置されているため、容器を搬送するための第２搬送装置を第２洗浄用ポートより第１方向に移動しないようにして、第２搬送装置の移動経路を短くできる。また、最も第２方向側に設置された第４洗浄用ポートより第２方向には、容器を保管するための第１保管部のみが設置されているため、物品を搬送するための第１搬送装置を第４洗浄用ポートより第２方向に移動しないようにして、第１搬送装置の移動経路を短くできる。このように第１搬送装置及び第２搬送装置の移動経路を短くできるため、第１搬送装置による物品の搬送や第２搬送装置による容器の搬送を効率よく行える。
【００５６】
また、前記物品を収容した前記容器を搬出するための搬出用ポートを更に備え、前記第２搬送装置は、前記第２洗浄機により洗浄され且つ前記物品を収容していない前記容器を前記搬出用ポートに搬送し、前記第１搬送装置は、前記第１洗浄機により洗浄された前記物品を前記搬出用ポートに位置する前記容器に収容させるように当該物品を前記搬出用ポートに搬送すると好適である。
【００５７】
この構成によれば、第２搬送装置により、物品を収容していない容器を搬出用ポートに搬送しておき、その容器に物品を収容させるように、第１搬送装置により、洗浄された後の物品を搬出用ポートに搬送する。このように、搬出用ポートを利用して容器に物品を収容することで、例えば、搬出用ポート以外の場所で、洗浄した後の物品を容器に収容した場合のように、物品を収容した容器を搬出用ポートに搬送する、という搬送処理が必要ないため、容器を効率よく搬出できる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本開示に係る技術は、洗浄機に対応する位置に設置されたポートに物品や容器を搬送する物品搬送設備に利用することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１：板状体（物品）
２：容器
５：第１スタッカークレーン（第１搬送装置）
６：第２スタッカークレーン（第２搬送装置）
７：搬入用ポート
８：搬出用ポート
１１：第１洗浄用ポート
１２：第２洗浄用ポート
１３：第３洗浄用ポート
１４：第４洗浄用ポート
２７：第１保管部
２８：第２保管部
ＣＬ１：第１洗浄機
ＣＬ２：第２洗浄機
Ｍ１：移動経路
Ｍ２：移動経路
Ｙ：並び方向
Ｙ１：第１方向
Ｙ２：第２方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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