(57)【要約】【課題】測定対象物からの反射光を適切に撮像することができる光学測定装置を提供する。【解決手段】光学測定装置１Ａは、測定対象物２に対してそれぞれ近赤外光を含む測定光Ｌ１及び測定光Ｌ２を照射する一対の照射部１０と、測定対象物２からの反射光Ｌｒを撮像する撮像部２０と、を備える。測定光Ｌ１の光軸と反射光Ｌｒの光軸とがなす角度θ１は、測定光Ｌ２の光軸と反射光Ｌｒの光軸とがなす角度θ２よりも大きく、測定光Ｌ１の強度は、測定光Ｌ２の強度よりも高い。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物に対してそれぞれ近赤外光を含む第１測定光及び第２測定光を照射する照射部と、
前記測定対象物からの反射光を撮像する撮像部と、を備え、
前記第１測定光の光軸と前記反射光の光軸とがなす第１角度は、前記第２測定光の光軸と前記反射光の光軸とがなす第２角度よりも大きく、
前記第１測定光の強度は、前記第２測定光の強度よりも高い、光学測定装置。
【請求項２】
前記照射部は、光源部と、前記光源部に対して前記測定対象物の反対側に配置された反射部と、を有し、
前記反射部は、前記光源部から出射された光を前記第１測定光として反射する第１反射領域と、前記光源部から出射された光を前記第２測定光として反射する第２反射領域と、を有し、
前記第１反射領域の反射率は、前記第２反射領域の反射率よりも高い、請求項１に記載の光学測定装置。
【請求項３】
前記光源部は、一次元方向に延びるロッド光源を含んでいる、請求項２に記載の光学測定装置。
【請求項４】
前記光源部から出射された光のうち、前記反射部を介して前記測定対象物に向かう光の強度は、前記測定対象物に直接向かう光の強度よりも高い、請求項２又は３に記載の光学測定装置。
【請求項５】
前記照射部は、前記測定対象物に対して前記第１測定光を照射する第１光源部と、前記測定対象物に対して前記第２測定光を照射する第２光源部と、を有している、請求項１に記載の光学測定装置。
【請求項６】
前記第１光源部及び前記第２光源部は、一次元方向に並ぶ複数のハロゲンランプをそれぞれ含んでいる、請求項５に記載の光学測定装置。
【請求項７】
前記複数のハロゲンランプのうち、一部のハロゲンランプの色温度は他のハロゲンランプの色温度と異なっている、請求項６に記載の光学測定装置。
【請求項８】
前記撮像部は、前記反射光を一次元方向に延びる視野領域から受光して撮像する、請求項１〜７のいずれか一項に記載の光学測定装置。
【請求項９】
前記撮像部は、前記反射光を分光して撮像する、請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば特許文献１には、測定対象物に対して光を照射する光源と、測定対象物からの反射光を撮像する撮像部と、を備えた光学測定装置が開示されている。この光学測定装置では、光学特性が互いに異なる複数の背景材料を用いて繰り返し測定を行うことにより、測定対象物が背景と判定される誤判定を減らすことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−９０４７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の光学測定装置では、光源として点光源が用いられている。このため、例えば測定対象物の形状によっては、測定対象物に十分に光を照射することができず、測定対象物からの反射光を適切に撮像できない場合がある。
【０００５】
本発明は上記を鑑みてなされたものであり、測定対象物からの反射光を適切に撮像することができる光学測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る光学測定装置は、測定対象物に対してそれぞれ近赤外光を含む第１測定光及び第２測定光を照射する照射部と、測定対象物からの反射光を撮像する撮像部と、を備え、第１測定光の光軸と反射光の光軸とがなす第１角度は、第２測定光の光軸と反射光の光軸とがなす第２角度よりも大きく、第１測定光の強度は、第２測定光の強度よりも高い。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、測定対象物からの反射光を適切に撮像することができる光学測定装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態に係る光学測定装置の概略構成図である。
【図２】第２実施形態に係る光学測定装置の概略構成図である。
【図３】図２に示される光源部の斜視図である。
【図４】図２に示される光源部の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［本願発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。
【００１０】
本発明の一態様に係る光学測定装置は、測定対象物に対してそれぞれ近赤外光を含む第１測定光及び第２測定光を照射する照射部と、測定対象物からの反射光を撮像する撮像部と、を備え、第１測定光の光軸と反射光の光軸とがなす第１角度は、第２測定光の光軸と反射光の光軸とがなす第２角度よりも大きく、第１測定光の強度は、第２測定光の強度よりも高い。ここで、本願において、「反射光」は「拡散反射光」を含む。
【００１１】
この光学測定装置では、第１測定光の光軸と反射光の光軸とがなす第１角度は、第２測定光の光軸と反射光の光軸とがなす第２角度よりも大きい。したがって、第１測定光の反射光の強度は、第２測定光の反射光の強度よりも低下し易い。しかしながら、第１測定光の強度は、第２測定光の強度よりも高いので、第１測定光の反射光の強度の低下を抑制することができる。これにより、測定対象物からの反射光を適切に撮像することができる。
【００１２】
本発明の一態様に係る光学測定装置では、照射部は、光源部と、光源部に対して測定対象物の反対側に配置された反射部と、を有し、反射部は、光源部から出射された光を第１測定光として反射する第１反射領域と、光源部から出射された光を第２測定光として反射する第２反射領域と、を有し、第１反射領域の反射率は、第２反射領域の反射率よりも高くてもよい。この場合、第１測定光の強度が第２測定光の強度よりも高い構成を容易に実現することができる。
【００１３】
本発明の一態様に係る光学測定装置では、光源部は、一次元方向に延びるロッド光源を含んでいてもよい。この場合、一次元方向に均一な光量の光を照射することができる。
【００１４】
本発明の一態様に係る光学測定装置では、光源部から出射された光のうち、反射部を介して測定対象物に向かう光の強度は、測定対象物に直接向かう光の強度よりも高くてもよい。この場合、測定対象物を照射する光を反射部により制御し易い。
【００１５】
本発明の一態様に係る光学測定装置では、照射部は、測定対象物に対して第１測定光を照射する第１光源部と、測定対象物に対して第２測定光を照射する第２光源部と、を有していてもよい。この場合、例えば、第１光源部及び第２光源部の出力を変更することにより、第１測定光及び第２測定光の強度を容易に変更することができる。
【００１６】
本発明の一態様に係る光学測定装置では、第１光源部及び第２光源部は、一次元方向に並ぶ複数のハロゲンランプをそれぞれ含んでいてもよい。この場合、第１光源部及び第２光源部により、一次元方向に均一な光量の光をそれぞれ照射することができる。
【００１７】
本発明の一態様に係る光学測定装置では、複数のハロゲンランプのうち、一部のハロゲンランプの色温度と、他のハロゲンランプの色温度とは、互いに異なっていてもよい。この場合、複数のハロゲンランプの色温度が全て同じである場合に比べて、波長特性の広帯域化及び平坦化をそれぞれ図ることができる。
【００１８】
本発明の一態様に係る光学測定装置では、撮像部は、反射光を一次元方向に延びる視野領域から受光して撮像してもよい。この場合、測定対象物を一次元方向において撮像することができる。
【００１９】
本発明の一態様に係る光学測定装置では、撮像部は、反射光を分光して撮像してもよい。この場合、測定対象物の分光画像を得ることができる。
【００２０】
［本願発明の実施形態の詳細］
本発明に係る光学測定装置の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【００２１】
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る光学測定装置の概略構成図である。図１に示されるように、光学測定装置１Ａは、一対の照射部１０と、撮像部２０と、を備えている。光学測定装置１Ａは、搬送状態における測定対象物２に対して測定光を照射し、その反射光を撮像部２０で検出することで、測定対象物２に係る測定を行う装置である。光学測定装置１Ａは、例えば、生産ラインにおいて測定対象物２をインラインで検査する検査装置に適用される。なお、光学測定装置１Ａは、少なくとも１つの照射部１０を備えていればよい。
【００２２】
測定対象物２は、特に限定されない。測定対象物２として、例えば、食品、薬品、工業製品、又は生体組織等が挙げられる。測定対象物２は、例えばベルトコンベア（スライダー）３上に配置され、ベルトコンベア３により搬送される。以下の説明では、ベルトコンベア３の搬送方向をｘ方向、ベルトコンベア３の幅方向をｙ方向、ベルトコンベア３に直交する方向をｚ方向とする。ｘ方向、ｙ方向及びｚ方向は互いに直交している。
【００２３】
一対の照射部１０は、ベルトコンベア３の搬送方向（ｘ方向）において互いに対向するようにベルトコンベア３上に配置されている。照射部１０は、ベルトコンベア３上における測定対象物２に対して測定光を照射する。具体的には、照射部１０は、ベルトコンベア３上における所定の照射領域Ａに向けて測定光を照射する。照射領域Ａは、測定対象物２が載置されるベルトコンベア３の表面と重なる領域である。照射領域Ａは、ベルトコンベア３上において、ベルトコンベア３の幅方向（ｙ方向）に延びると共に、ベルトコンベア３の搬送方向（ｘ方向）に所定の幅を有している。
【００２４】
照射部１０が照射する測定光の波長範囲は、測定対象物２に合わせて適宜選択される。測定光としては、波長範囲が９００ｎｍ以上２５００ｎｍ以下の近赤外光が好適に用いられ、波長範囲が１０００ｎｍ以上２３００ｎｍ以下の近赤外光が特に好適に用いられる。測定光には、近赤外光とは異なる波長範囲の光が含まれていてもよい。照射部１０は、光源部１１と、反射部１２と、を有している。
【００２５】
光源部１１は、一次元方向に延びるロッド光源１３を含んでいる。本実施形態では、ロッド光源１３は、ベルトコンベア３の幅方向（ｙ方向）に延びている。ロッド光源１３は、例えば、光源及びガラスロッドを含んでいる。ガラスロッドは、光源に対して光学的に接続されると共に、ベルトコンベア３の幅方向に延びて、ベルトコンベア３の幅方向に均一な光量の光を出射する。ガラスロッドは、例えば石英ガラスにより形成される。
【００２６】
反射部１２は、光源部１１に対して測定対象物２の反対側に配置されている。反射部１２は、いわゆる凹面鏡であり、湾曲された反射面１２ａを有している。反射部１２は、反射面１２ａがロッド光源１３及び測定対象物２を向くように配置されている。反射面１２ａは、光源部１１から出射された光を測定光として反射する。反射面１２ａは、測定光が測定対象物２に向かうように湾曲されている。測定光には、後述する測定光Ｌ１，Ｌ２が含まれる。反射面１２ａは、ベルトコンベア３の幅方向（ｙ方向）から見て、円弧状又は楕円弧状を呈している。反射面１２ａは、ｙ方向には湾曲されていない。
【００２７】
反射部１２は、撮像部２０側に配置された円弧または楕円弧の一端１２ｂと、ベルトコンベア３側に配置された円弧または楕円弧の他端１２ｃと、を有している。一端１２ｂ及び他端１２ｃは、ベルトコンベア３に平行である。反射面１２ａから測定対象物２に照射される測定光の光軸と、測定対象物２から撮像部２０に向かう反射光Ｌｒの光軸とのなす角度は、一端１２ｂから他端１２ｃに向かうにつれて大きくなる。
【００２８】
反射面１２ａは、例えば金又はアルミニウム等の金属膜により形成されている。反射面１２ａの反射率は、２μｍ以上の波長の光に対して、例えば８０％以上に設定されている。反射面１２ａの反射率は、一端１２ｂから他端１２ｃに向かうにつれて高くなると共に、ｙ方向において一定となるように設定されている。よって、反射面１２ａは、円弧または楕円弧の一端１２ｂと他端１２ｃとの間に並ぶと共に、それぞれｙ方向に延在する帯状の複数の反射領域を有していると言える。１つの反射領域内では、反射率は一定値を示す。反射面１２ａの反射率の変化は、連続的であっても断続的であってもよい。連続的な場合における反射領域の数は無限大である。断続的な場合における反射領域の数は、少なくとも２以上であればよい。このような反射率の変化により、反射面１２ａにおいて反射により生成される測定光の強度は、一端１２ｂから他端１２ｃに向かうにつれて高くなる。つまり、他端１２ｃ側の反射領域ほど、生成される測定光の強度が高い。
【００２９】
複数の反射領域のうち反射領域Ｒ１は、光源部１１から出射された光を測定光Ｌ１として反射し、反射領域Ｒ２は、光源部１１から出射された光を測定光Ｌ２として反射する。反射領域Ｒ１は、反射領域Ｒ２よりも他端１２ｃ側に位置している。したがって、反射領域Ｒ１の反射率は、反射領域Ｒ２の反射率よりも高い。このため、測定光Ｌ１の強度は、測定光Ｌ２の強度よりも高い。また、測定光Ｌ１の光軸と反射光Ｌｒの光軸とがなす角度θ１は、測定光Ｌ２の光軸と反射光Ｌｒの光軸とがなす角度θ２よりも大きい。
【００３０】
ロッド光源１３は、ガラスロッドの測定対象物２側の表面を覆うケース１４を有している。ケース１４は、半円筒形状を呈し、ｙ方向に延在している。ケース１４は、近赤外光に対する透過率が低い材料により形成されている。このため、ロッド光源１３から出射された光が測定対象物２に直接照射されることが抑制される。したがって、光源部１１から出射された光のうち、反射部１２を介して測定対象物２に向かう光の強度は、測定対象物２に直接向かう光の強度よりも高い。なお、ロッド光源１３は、ケース１４を有していなくてもよい。
【００３１】
撮像部２０は、測定対象物２から撮像部２０に向かう反射光Ｌｒを撮像する。撮像部２０は、レンズ２１及びカメラ２２を有している。レンズ２１には、光源部１１から出射された光が測定対象物２において反射された反射光Ｌｒが入射される。カメラ２２は、レンズ２１に入射された反射光Ｌｒを受光する。これにより、撮像部２０は、測定対象物２の撮像を行う。撮像部２０は、例えば、測定対象物２が搬送される間に連続して測定対象物２の撮像を行う。
【００３２】
カメラ２２は、例えば、光を電流に変換して出力する受光素子がライン状又は２次元に配置された受光センサを有している。カメラ２２は、受光センサにおいて発生した電荷をＡ／Ｄ変換器によってデジタル変換し、波長領域ごとに光強度の分布を示すデジタル情報を生成する。生成されたデジタル情報は、図示しない分析部へ送られて、所望の演算処理等を行った後に出力される構成としてもよい。カメラ２２は、ベルトコンベア３上において一次元方向に延びる視野領域Ｂからの光を受光センサにおいて受光して撮像する。視野領域Ｂは、照射領域Ａに含まれている。これにより、測定対象物２を一次元方向において撮像することができる。取得された画像は、後から二次元化することができる。本実施形態では、視野領域Ｂは、ベルトコンベア３の幅方向（ｙ方向）に延びている。視野領域Ｂは、カメラ２２の真下にあるが、この配置は適宜変更することができる。
【００３３】
受光センサとしては、例えば、ＩｎＧａＡｓセンサ、又は水銀、カドミウム及びテルルからなるＭＣＴセンサ等を用いることができる。反射光Ｌｒが近赤外光である場合、受光センサとしては近赤外光に対して感度を有していることが好ましく、特に、１２００ｎｍ〜２３５０ｎｍ内のある波長域の光に対して感度を有していることが好ましい。また、カメラ２２は、受光センサの前段に配置された図示しない分光器を有し、反射光Ｌｒを分光して撮像するように構成されていてもよい。この場合、測定対象物２の分光画像を得ることができる。すなわち、カメラ２２は、例えば、近赤外分光カメラであってもよい。分光器は、例えば、グリズムを含んでいてもよい。この場合、カメラ２２の透過率が向上する。
【００３４】
撮像部２０は、画像を取得するイメージセンサであるが、ハイパースペクトルセンサであってもよい。ハイパースペクトル画像とは、一画素がＮ個の波長データにより構成されている画像であり、画素ごとにそれぞれ複数の波長に対応した反射強度データからなるスペクトル情報が含まれている。すなわち、ハイパースペクトル画像は、画像を構成する画素ごとに、それぞれ複数波長の強度データを持つという特徴から、画像としての二次元的要素と、スペクトルデータとしての要素をあわせ持った三次元的構成のデータである。なお、本実施形態では、ハイパースペクトル画像とは、１画素あたり少なくとも３つの波長帯域における強度データを保有している画素によって構成された画像のことをいう。
【００３５】
測定対象物２からの反射光には、照射部１０からの測定光が測定対象物２の表面で正反射した正反射光と、照射部１０からの照射光が測定対象物２の表面で拡散反射した拡散反射光と、がある。正反射光によれば、光量（強度）は多いものの測定対象物２の情報は少ないため、測定対象物２に係る情報を正確に検出することが困難である。また、撮像部２０に向かう反射光Ｌｒに正反射光が混入すると、カメラ２２のセンサ出力が飽和する場合がある。したがって、撮像部２０に向かう反射光Ｌｒは拡散反射光とし、正反射光が反射光Ｌｒに混入することを抑制する必要がある。特に、反射面１２ａのうち、測定光の光軸と、測定対象物２から撮像部２０に向かう反射光Ｌｒの光軸とのなす角度が小さくなる反射領域ほど、当該反射領域による反射光Ｌｒに正反射光が混入し易い。一方、反射面１２ａのうち、測定光の光軸と、反射光Ｌｒの光軸とのなす角度が大きくなる反射領域ほど、当該反射領域による反射光Ｌｒの強度が低下し易い。このため、測定結果がダークレベル（ダークノイズ）に埋もれ易い。
【００３６】
以上説明したように、光学測定装置１Ａでは、測定光Ｌ１の光軸と反射光Ｌｒの光軸とがなす角度θ１は、測定光Ｌ２の光軸と反射光Ｌｒの光軸とがなす角度θ２よりも大きい。したがって、測定光Ｌ１の反射光Ｌｒの強度は、測定光Ｌ２の反射光Ｌｒの強度よりも低下し易い。そこで、反射面１２ａの反射率は、一端１２ｂから他端１２ｃに向かうにつれて高くなるように設定され、反射領域Ｒ１の反射率は、反射領域Ｒ２の反射率よりも高くなっている。このため、測定光Ｌ１の強度は、測定光Ｌ２の強度よりも高い。したがって、測定光Ｌ１の反射光Ｌｒの強度の低下が抑制され、測定結果がダークレベルに埋もれることが抑制される。また、測定光Ｌ２の反射光Ｌｒの強度が低く抑えられるので、カメラ２２のセンサ出力が飽和することが抑制される。これにより、測定対象物２からの反射光Ｌｒを適切に撮像することができる。
【００３７】
光学測定装置１Ａでは、反射面１２ａの反射率が、一端１２ｂから他端１２ｃに向かうにつれて高くなっているので、測定光Ｌ１の強度が測定光Ｌ２の強度よりも高い構成を容易に実現することができる。また、光源部１１は、ベルトコンベア３の幅方向（ｙ方向）に延びるロッド光源１３を含んでいる。このため、光源部１１は、ベルトコンベア３の幅方向に均一な光量の光を照射することができる。したがって、カメラ２２がラインカメラの場合に、照射部１０は、カメラ２２の視野領域Ｂに均一な光量の測定光を照射することができる。
【００３８】
ロッド光源１３はケース１４を有している。これにより、光源部１１から出射された光のうち、反射部１２を介して測定対象物２に向かう光の強度を、測定対象物２に直接向かう光の強度よりも高くすることができる。このため、測定対象物２を照射する光（すなわち測定光）を反射部１２により制御し易く、低コストで自由度の高い照射条件の制御が可能となる。
【００３９】
例えば測定対象物２が立体物である場合、又は測定対象物２に凹凸が存在している場合、特定の入射角から測定対象物２に測定光を照射する光源では、撮像部２０に向かう反射光Ｌｒに正反射光が混入してセンサ出力が飽和したり、逆に反射光Ｌｒの強度が不足したりして、適切な撮像が行えない可能性がある。入射角を変更するために、光源自体を機械的に移動又は回転させる構成も考えられるが、時間、コスト及び保守の観点から望ましくない。なお、入射角とは、測定光の光軸とベルトコンベア３の上面の法線とのなす角度である。
【００４０】
また、ロッド光源１３の一部に金属膜を形成したり、金属微粒子を分散させたりする構成によっても、ロッド光源１３から出射される光のうち、ＸＹ平面内で選択された所定の半径方向に出射される光の強度を高くすることができる。つまり、この構成によっても、測定光の入射角を選択することができる。しかしながら、この構成では、選択された所定の半径方向及び照射範囲を任意に変更することが難しい上、コストがかかり易い。
【００４１】
このように、従来の構成では、測定光を異なる入射角で測定対象物２に照射することが容易ではなかった。これに対して、光学測定装置１Ａの照射部１０によれば、入射角が互いに異なる測定光Ｌ１，Ｌ２が少なくとも含まれる測定光を容易に照射することができる。つまり、光学測定装置１Ａでは、測定光を異なる入射角で測定対象物２に容易に照射することができるので、測定対象物２の形状によらず、測定対象物２に十分に光を照射することができる。
【００４２】
（第２実施形態）
続いて、図２〜図４を参照して、第２実施形態に係る光学測定装置１Ｂについて説明する。図２は、第２実施形態に係る光学測定装置の概略構成図である。図３は、図２に示される光源部の斜視図である。図４は、図２に示される光源部の上面図である。光学測定装置１Ｂは、主に一対の照射部１０の点で、光学測定装置１Ａ（図１参照）と相違している。以下では、光学測定装置１Ａとの相違点を中心にして、光学測定装置１Ｂについて説明する。
【００４３】
図２〜図４に示されるように、照射部１０は、測定対象物２に対して測定光Ｌ３を照射する光源部３１と、測定対象物２に対して測定光Ｌ４を照射する光源部３２と、を有している。光源部３１，３２は、一次元方向に並ぶ複数のハロゲンランプ３３と、冷却部３４と、筐体３５と、をそれぞれ含んでいる。本実施形態では、３つのハロゲンランプ３３がベルトコンベア３の幅方向（ｙ方向）に並んでいる。
【００４４】
視野領域Ｂの延在方向（ｙ方向）と平行になるように、複数のハロゲンランプ３３を配置することにより、各ハロゲンランプ３３と視野領域Ｂとの距離が均一となる。この結果、視野領域Ｂの延在方向に均一な光量の光を照射することができる。冷却部３４は、複数のハロゲンランプ３３の上端部に一体的に配置され、複数のハロゲンランプ３３を冷却する。筐体３５は、複数のハロゲンランプ３３及び冷却部３４を収容する。筐体３５は、例えば直方体形状の箱体である。
【００４５】
測定光Ｌ３の光軸と反射光Ｌｒの光軸とがなす角度θ３は、測定光Ｌ４の光軸と反射光Ｌｒの光軸とがなす角度θ４よりも大きい。このため、測定光Ｌ３の反射光Ｌｒの強度が低下し易い。一方、測定光Ｌ４の反射光Ｌｒには、正反射光が混入し易い。そこで、光源部３１の光出力が光源部３２の光出力よりも高くされている。つまり、測定光Ｌ３の強度が測定光Ｌ４の強度よりも高くなる。したがって、測定光Ｌ３の反射光Ｌｒの強度の低下が抑制され、測定結果がダークレベルに埋もれることが抑制される。また、測定光Ｌ４の反射光Ｌｒの強度が低く抑えられるので、カメラ２２のセンサ出力が飽和することが抑制される。これにより、光学測定装置１Ｂにおいても、測定対象物２からの反射光Ｌｒを適切に撮像することができる。特に、光学測定装置１Ｂでは、照射部１０が、測定光Ｌ３を照射する光源部３１と、測定光Ｌ４を照射する光源部３２を有しているので、測定光Ｌ３，Ｌ４の強度を容易に変更することができる。
【００４６】
複数のハロゲンランプ３３のうち、一部のハロゲンランプ３３の色温度は他のハロゲンランプ３３の色温度と異なっている。すなわち、複数のハロゲンランプ３３のうち、一部のハロゲンランプ３３の波長特性は他のハロゲンランプ３３の波長特性と異なっている。このように、互いに色温度が異なるハロゲンランプ３３を組み合わせることで、複数のハロゲンランプ３３の色温度が全て同じである場合に比べて、光源部３１，３２において、波長特性の広帯域化及び平坦化をそれぞれ図ることができる。このように光学測定装置１Ｂでは、測定光の入射角に加えて、測定光の波長特性を制御することができるので、照射条件の自由度が更に向上する。なお、複数のハロゲンランプ３３の色温度は、互いに全て異なっていてもよい。また、複数のハロゲンランプ３３の色温度は、全て同じであってもよい。また、光源部３１，３２のうちいずれか一方において、一部のハロゲンランプ３３の色温度が他のハロゲンランプ３３の色温度と異なっていてもよいし、光源部３１，３２の両方で、一部のハロゲンランプ３３の色温度が他のハロゲンランプ３３の色温度と異なっていてもよい。
【００４７】
本発明は上述した実施形態に限らず、様々な変形が可能である。
【００４８】
例えば、光学測定装置１Ａでは、反射面１２ａは湾曲面でなくてもよく、１又は複数の平面で構成されていてもよい。また、光源部１１は、１つの点光源により構成されてもよい。この場合、照射領域Ａは、例えば円形を呈する。したがって、カメラ２２は、例えば照射領域Ａに対応した円形の視野領域Ｂからの光を受光して撮像する構成とすることができる。
【００４９】
光学測定装置１Ｂでは、光源部３１のハロゲンランプ３３の色温度が、光源部３２のハロゲンランプ３３の色温度よりも高く設定されてもよい。具体的には、例えば、光源部３１のハロゲンランプ３３の色温度が３２００Ｋ、及び光源部３２のハロゲンランプ３３の色温度が２８００Ｋに設定されてもよい。この場合、２μｍを超える長波長側の光強度が光源部３１において低くなる。一方、通常、光源部３２の測定光Ｌ４による拡散反射光強度は、光源部３１の測定光Ｌ３による拡散反射光強度よりも高い。この結果、反射光Ｌｒにおける２μｍを越える長波長側の光強度がより強められる。このように、光源部３１よりも撮像部２０に近い光源部３２の色温度を低くすることで、例えばＩｎＧａＡｓ／ＧａＡｓＳｂセンサ（例えば、ＩｎＧａＡｓ／ＧａＡｓＳｂの量子井戸構造によるｔｙｐｅ−ＩＩ型のセンサ）のように、長波長側ほど感度特性が低いセンサの感度特性を補間することができる。逆にＭＣＴセンサのように、長波長側ほど感度特性が高いセンサの場合、光源部３１よりも撮像部２０に近い光源部３２の色温度を高くすればよい。
【００５０】
光学測定装置１Ｂでは、光源部３１の消費電力が光源部３２の消費電力よりも高く設定されてもよい。また、光源部３１及び光源部３２が互いに異なる電源を有し、光源部３１の電源の出力電圧又は電流が、光源部３２の電源の出力電圧又は電流がよりも大きくなるように光源部３１，３２が制御されてもよい。これらの構成により、測定光Ｌ３の強度を測定光Ｌ４の強度よりも高く設定することができる。
【００５１】
光学測定装置１Ｂでは、光源部３１における複数のハロゲンランプ３３が並列に接続されると共に、各ハロゲンランプ３３に可変抵抗が直列に接続されてもよい。また、光源部３２における複数のハロゲンランプ３３が並列に接続されると共に、各ハロゲンランプ３３に可変抵抗が直列に接続されてもよい。この場合、可変抵抗を調整することにより、測定光Ｌ３の強度を測定光Ｌ４の強度よりも高く設定することができる。
【００５２】
光学測定装置１Ｂでは、光源部３１における複数のハロゲンランプ３３が直列に接続されると共に、各ハロゲンランプ３３に可変抵抗が並列に接続されてもよい。また、光源部３２における複数のハロゲンランプ３３が直列に接続されると共に、各ハロゲンランプ３３に可変抵抗が並列に接続されてもよい。この場合、可変抵抗を調整することにより、測定光Ｌ３の強度を測定光Ｌ４の強度よりも高く設定することができる。
【００５３】
光学測定装置１Ｂでは、光源部３１における複数のハロゲンランプ３３の駆動電圧を互いに異ならせて、測定光Ｌ３の強度がベルトコンベア３の幅方向（ｙ方向）においてより平坦になるように調整してもよい。同様に、光源部３２における複数のハロゲンランプ３３の駆動電圧を互いに異ならせて、測定光Ｌ４の強度がベルトコンベア３の幅方向（ｙ方向）においてより平坦になるように調整してもよい。更に、測定光Ｌ３、Ｌ４それぞれのスペクトル強度の平坦化を図ることも可能となる。
【００５４】
光学測定装置１Ｂでは、照射部１０が光源部３１，３２に加えて、他の光源部を有していてもよい。光源部３１，３２は、複数のハロゲンランプ３３の代わりに、キセノンランプ、及びＳＣ（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｔｉｎｕｕｍ）等の光源を有していてもよい。また、光源部３１，３２は、一次元方向に延びるロッド光源であってもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１Ａ，１Ｂ…光学測定装置、２…測定対象物、１０…照射部、１１…光源部、１２…反射部、１２ａ…反射面、１３…ロッド光源、２０…撮像部、３１，３２…光源部、３３…ハロゲンランプ、Ｂ…視野領域、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４…測定光、Ｌｒ…反射光、Ｒ１，Ｒ２…反射領域、θ１，θ２，θ３，θ４…角度。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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