(57)【要約】【課題】厚さ５μｍ以上、２５μｍ以下の圧延金属箔に開口部を開けた圧延金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版において、圧延金属箔メッシュ部材の破断が発生し難いスクリーン印刷版を提供する。【解決手段】スクリーン印刷版は、厚さが５μｍ以上、２５μｍ以下の圧延金属箔の一方向に沿って複数の開口部が配置され、フィンガー電極を設けるためのフィンガー電極用パターンを有する圧延金属箔メッシュ部材と、複数の開口部の一部を覆う樹脂と、を備え、圧延金属箔メッシュ部材は、フィンガー電極用パターンの開口部が延在する一方向に沿った張力よりも一方向に垂直な方向に沿った張力が小さくなるように支持されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さが５μｍ以上、２５μｍ以下の圧延金属箔の一方向に沿って複数の開口部が配置され、フィンガー電極を設けるためのフィンガー電極用パターンを有する圧延金属箔メッシュ部材と、
前記複数の開口部の一部を覆う樹脂と、
を備え、
前記圧延金属箔メッシュ部材は、前記フィンガー電極用パターンの前記開口部が延在する前記一方向の張力よりも前記一方向に垂直な方向の張力が小さくなるように支持されている、スクリーン印刷版。
【請求項２】
前記圧延金属箔メッシュ部材は、前記垂直方向に支持する張力が２．４ａｈ／ｐｗ（Ｎ／ｃｍ）以下であって、
前記ａは、前記圧延金属箔メッシュ部材の前記フィンガー電極用パターンの延在する前記一方向と交差する深さ方向で前記開口部を構成するリブの断面を矩形形状近似した場合における（上底＋下底）の値（μｍ）であって、
前記ｈは、前記リブの断面の近似された矩形形状の高さ（μｍ）であって、
前記ｐｗは、前記リブの前記一方向に沿ったピッチ（μｍ）である、請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
前記圧延金属箔メッシュ部材は、前記フィンガー電極用パターンの前記一方向に支持する張力が、２０Ｎ／ｃｍ以上、３０Ｎ／ｃｍ以下の範囲である、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷版。
【請求項４】
前記圧延金属箔メッシュ部材は、前記一方向と垂直な方向に沿って複数の開口部が配置され、前記フィンガー電極と垂直方向に延在するバスバー電極を設けるためのバスバー電極用パターンを有し、
前記バスバー電極用パターンの前記開口部を構成するリブについて、前記垂直方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積が、前記フィンガー電極用パターンの前記開口部を構成するリブについて、前記一方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積より大きい、請求項１から３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池表面及び裏面の集電電極の形成、あるいはその他用途においてスクリーン印刷を行う際に用いられるスクリーン印刷版に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池においては、太陽光によって生成された電子・正孔対が多いほど、その発電性能は高い。電子・正孔対の生成を増やす為には、太陽電池において受光する太陽光を増やす必要がある。一方、生成した電子及び正孔をそれぞれ集める為には、フィンガー電極と呼ばれる集電電極を太陽光の受光面に配置する必要がある。しかし、このフィンガー電極が配置された箇所では太陽光が遮光されるため、フィンガー電極の幅を極力細くし、太陽光の遮光面積を小さくする必要がある。
【０００３】
以上の理由から、太陽電池の高性能化においてはフィンガー電極の細線化が求められている。圧延金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版においては、フィンガー電極幅の細線化にあたっては、パターン開口幅の細線化だけでなくペーストの透過体積を減らす必要がある。つまり、フィンガー電極用パターンの乳剤開口幅を細くしても、圧延金属箔が厚いままでは透過体積が大きいため吐出するペースト量が多くなり、フィンガー電極を細くできない。そこで、細線化のためには圧延金属箔メッシュ部材の厚さも薄くする必要がある。
【０００４】
一方、圧延金属箔メッシュ部材の厚さを薄くした場合、本発明者は、この圧延金属箔メッシュ部材のＸＹ平面方向及びＺ方向の張力に対する破断が懸念されるという問題点を見出した。
【０００５】
なお、従来、厚膜領域にある厚さ２０〜１００μｍのメタルマスクに対して、メタルマスク単体では所定寸法形状を維持することが出来ないという課題が挙げられている（例えば、特許文献１参照）。この課題に対して、スクリーンメッシュのＸＹ方向のそれぞれに異方性を保ちながら張設することで、メタルマスクの寸法形状および回路パターンを維持した、コンビネーションマスクに関する技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−６４４６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記コンビネーションマスクに関する技術では、所定寸法形状を維持するためにスクリーンメッシュのＸＹ方向のそれぞれに異方性を保ちながら張設しているにすぎなかった。また、上記技術では、破断に関する課題を考慮したものではなく、破断を避けるために、いずれの方向の張力を大きく、あるいは小さくするかについて何ら示唆するものではなかった。
【０００８】
本発明の目的は、厚さ５μｍ以上、２５μｍ以下の圧延金属箔に開口部を開けた圧延金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版において、圧延金属箔メッシュ部材の破断が発生し難いスクリーン印刷版を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るスクリーン印刷版は、厚さが５μｍ以上、２５μｍ以下の圧延金属箔の一方向に沿って複数の開口部が配置され、フィンガー電極を設けるためのフィンガー電極用パターンを有する圧延金属箔メッシュ部材と、
前記複数の開口部の一部を覆う樹脂と、
を備え、
前記圧延金属箔メッシュ部材は、前記フィンガー電極用パターンの前記開口部が延在する前記一方向に沿った張力よりも前記一方向に垂直な方向に沿った張力が小さくなるように支持されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るスクリーン印刷版によれば、厚さ５μｍ以上、２５μｍ以下の圧延金属箔に開口部を設けた圧延金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版において、圧延金属箔メッシュ部材の破断が発生し難い。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施の形態１に係るスクリーン印刷版の概要を示す平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ方向に見た概略断面図である。
【図３Ａ】図１のスクリーン印刷版のフィンガー電極用パターンの領域Ｉの部分拡大平面図である。
【図３Ｂ】図３ＡのＢ−Ｂ方向に見た概略断面図である。
【図３Ｃ】図３ＡのＣ−Ｃ方向に見た概略断面図である。
【図４】図１のスクリーン印刷版のフィンガー電極用パターン及びバスバー電極用パターンの角部の部分拡大図である。
【図５Ａ】図４のスクリーン印刷版のフィンガー電極用パターンの領域ＩＩの部分拡大図である。
【図５Ｂ】図５Ａのフィンガー電極用パターンの領域Ｖの部分拡大図である。
【図６】図４のスクリーン印刷版のフィンガー電極用パターン及びバスバー電極用パターンの領域ＩＩＩの部分拡大図である。
【図７】図４のスクリーン印刷版のフィンガー電極用パターン及びバスバー電極用パターンの領域ＩＶの部分拡大図である。
【図８】スクリーン印刷の概要を示す概略図である。
【図９】スクリーン印刷版のフィンガー電極用パターンの延在する一方向の最大張力（Ｔｘ（Ｎ／ｃｍ））とそれに垂直な方向の最大張力（Ｔｙ１（Ｎ／ｃｍ）、Ｔｙ２（Ｎ／ｃｍ））の例を示す棒グラフである。
【図１０Ａ】テンションゲージの読み取り値のニュートン目盛り（Ｎ／ｃｍ）と荷重落としこみミリ目盛り（ｍｍ）の換算表(株式会社プロテック社製ＳＴＧ−７５ＮＡを使用した場合)である。
【図１０Ｂ】テンションゲージの読み取り値のニュートン目盛り（Ｎ／ｃｍ）と荷重落としこみミリ目盛り（ｍｍ）の換算表(株式会社プロテック社製ＳＴＧ−７５ＮＡを使用した場合)である。
【図１０Ｃ】テンションゲージの読み取り値のニュートン目盛り（Ｎ／ｃｍ）と荷重落としこみミリ目盛り（ｍｍ）の換算表(株式会社プロテック社製ＳＴＧ−７５ＮＡを使用した場合)である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
第１の態様に係るスクリーン印刷版は、厚さが５μｍ以上、２５μｍ以下の圧延金属箔の一方向に沿って複数の開口部が配置され、フィンガー電極を設けるためのフィンガー電極用パターンを有する圧延金属箔メッシュ部材と、
前記複数の開口部の一部を覆う樹脂と、
を備え、
前記圧延金属箔メッシュ部材は、前記フィンガー電極用パターンの前記開口部が延在する前記一方向に沿った張力よりも前記一方向に垂直な方向に沿った張力が小さくなるように支持されている。
【００１３】
第２の態様に係るスクリーン印刷版は、上記第１の態様において、前記圧延金属箔メッシュ部材は、前記垂直方向に支持する張力が２．４ａｈ／ｐｗ（Ｎ／ｃｍ）以下であって、
前記ａは、前記圧延金属箔メッシュ部材の前記フィンガー電極用パターンの延在する前記一方向と交差する深さ方向で前記開口部を構成するリブの断面を矩形形状近似した場合における（上底＋下底）の値（μｍ）であって、
前記ｈは、前記リブの断面の近似された矩形形状の高さ（μｍ）であって、
前記ｐｗは、前記リブの前記一方向に沿ったピッチ（μｍ）であってもよい。
【００１４】
第３の態様に係るスクリーン印刷版は、上記第１又は第２の態様において、前記圧延金属箔メッシュ部材は、前記フィンガー電極用パターンの前記一方向に支持する張力が、２０Ｎ／ｃｍ以上、３０Ｎ／ｃｍ以下の範囲であってもよい。
【００１５】
第４の態様に係るスクリーン印刷版は、上記第１から第３のいずれかの態様において、前記圧延金属箔メッシュ部材は、前記一方向と垂直な方向に沿って複数の開口部が配置され、前記フィンガー電極と垂直方向に延在するバスバー電極を設けるためのバスバー電極用パターンを有し、
前記バスバー電極用パターンの前記開口部を構成するリブについて、前記垂直方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積が、前記フィンガー電極用パターンの前記開口部を構成するリブについて、前記一方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積より大きくてもよい。
【００１６】
以下、実施の形態に係るスクリーン印刷版について、添付図面を参照しながら説明する。なお、図面において実質的に同一の部材については同一の符号を付している。
【００１７】
（実施の形態１）
＜スクリーン印刷版＞
図１は、実施の形態１に係るスクリーン印刷版２０の概要を示す平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ方向に見た概略断面図である。図３Ａは図１のスクリーン印刷版のフィンガー電極用パターンの領域Ｉの部分拡大平面図である。
このスクリーン印刷版２０は、図１、図２に示すように、アルミ製の枠２２にポリエステル細線を編んだメッシュ織物２４等を介して上記圧延金属箔メッシュ部材１０を配置している。このスクリーン印刷版２０は、上記圧延金属箔メッシュ部材と、図３Ａに示すように一方向に沿って配置されている複数の開口部１４を覆う樹脂１６と、１０μｍ以上６０μｍ以下の範囲の幅で樹脂１６を開口して画成されたラインパターン１８と、を有する。上記ラインパターン１８は、長手方向が一方向であって、リブ１２の間に画成された開口部１４にわたって設けられている。また、ラインパターン１８の上記幅は、長手方向と交差する方向である。上記幅は、例えば、長手方向と角度をなして交差する方向であってもよい。あるいは、上記幅は、長手方向に垂直な方向であってもよい。
【００１８】
このスクリーン印刷版２０は、厚さが５μｍ以上、２５μｍ以下の圧延金属箔の一方向に沿って複数の開口部１４が配置された圧延金属箔メッシュ部材１０と、複数の開口部１４の一部を覆う樹脂１６と、を備える。圧延金属箔メッシュ部材１０は、上記一方向に沿って複数の開口部が配置され、フィンガー電極を設けるためのフィンガー電極用パターン２を有する。また、スクリーン印刷版２０において、圧延金属箔メッシュ部材１０は、フィンガー電極用パターン２の開口部が延在する一方向に沿った張力Ｔｘよりも一方向に垂直な方向に沿った張力Ｔｙが小さくなるように支持されている。
【００１９】
＜作用効果＞
スクリーン印刷版２０を構成する際、圧延金属箔メッシュ部材１０をポリエステル樹脂等の繊維布上に接着するコンビネーション工程において、圧延金属箔メッシュ部材１０に掛かるＸＹ平面方向への張力は一般的に２４Ｎ／ｃｍ〜２８Ｎ／ｃｍ程度とされている。
図９は、スクリーン印刷版のフィンガー電極用パターンの延在する一方向の最大張力（Ｔｘ（Ｎ／ｃｍ））とそれに垂直な方向の最大張力（Ｔｙ１（Ｎ／ｃｍ）、Ｔｙ２（Ｎ／ｃｍ））の例を示す棒グラフである。本発明者が実施した引張試験より、圧延金属箔メッシュ部材１０の破断耐性は、フィンガー電極用パターン２の平行方向Ｔｘと垂直方向Ｔｙ（Ｔｙ１、Ｔｙ２）で異なることがわかった。つまり、平行方向Ｔｘでは７８．３Ｎ／ｃｍ以上、垂直方向Ｔｙ１では５８．１Ｎ／ｃｍ以上で破断し、Ｔｙ２ではおよそ２４．７Ｎ／ｃｍ（Ｎ１）あるいは３６Ｎ／ｃｍ（Ｎ２）以上で破断する結果を得た。
なお、Ｔｙ１は、図４に示す領域ＩＩの試験片について、Ｔｙ２は、図４に示す領域ＩＩＩの試験片について、Ｔｘは、図４に示す領域ＩＶの試験片について、後述の引張試験によって得られたものである。また、破断は、フィンガー電極用パターンの開口部を構成する細く薄いリブ１２等の比較的弱い部分について発生すると考えられる。
【００２０】
圧延金属箔メッシュ部材１０にかかるＸＹ平面方向への一般的な張力（２４Ｎ／ｃｍ〜２８Ｎ／ｃｍ）に対して、圧延金属箔メッシュ部材１０のフィンガー電極用パターン２に平行方向Ｔｘは７８．３Ｎ／ｃｍ以下の破断耐性がある。一方、垂直方向Ｔｙ２の破断耐性は、印加される負荷と同等程度（２４．７Ｎ／ｃｍ、３６Ｎ／ｃｍ）しかないことから、コンビネーション工程や印刷使用時において圧延金属箔メッシュ部材１０の破断が懸念される。これが本発明にて解決しようとする課題である。
【００２１】
このスクリーン印刷版２０によれば、圧延金属箔メッシュ部材１０を、フィンガー電極用パターン２の開口部が延在する一方向に沿った張力よりも一方向に垂直な方向に沿った張力が小さくなるように支持している。つまり、圧延金属箔メッシュ部材１０のフィンガー電極用パターン２の開口部を構成する細く薄いリブ１２の延在方向の張力Ｔｙを一方向に沿ったリブ１２の断面積に対応する最大張力よりも小さく設定している。これによって、細く薄いリブ１２が破断し難くしている。そこで、厚さ２５μｍ以下の薄い圧延金属箔を用いたスクリーン印刷版２０であっても、圧延金属箔メッシュ部材１０のフィンガー電極用パターン２が破断し難い効果を得ることができる。
【００２２】
＜金属箔＞
金属箔は、圧延金属箔である。なお、圧延金属箔にかぎられず、電鋳による金属箔であってもよい。また、金属箔は、例えば、ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０１、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６など)、チタン、チタン合金、ニッケル、ニッケル合金、銅、銅合金、アルミ合金の群から選ばれる少なくとも一つを含んでもよい。
また、金属箔は、厚さが５μｍ以上、２５μｍ以下である。好ましくは、２０μｍ以下である。
さらに、金属箔に設ける多数の開口部１４は、化学的エッチング、機械的な孔開け処理、あるいは電鋳方式によって形成されてもよい。
【００２３】
＜フィンガー電極用パターン及びバスバー電極用パターン＞
図４は、図１のスクリーン印刷版２０のフィンガー電極用パターン２及びバスバー電極用パターン４の角部の部分拡大図である。図５Ａは、図４のスクリーン印刷版２０のフィンガー電極用パターン２の領域ＩＩの部分拡大図である。図５Ｂは、図５Ａのフィンガー電極用パターン２の領域Ｖの部分拡大図である。図６は、図４のスクリーン印刷版２０のフィンガー電極用パターン２及びバスバー電極用パターン４の領域ＩＩＩの部分拡大図である。図７は、図４のスクリーン印刷版２０のフィンガー電極用パターン２及びバスバー電極用パターン４の領域ＩＶの部分拡大図である。図３Ｂは、図３ＡのＢ−Ｂ方向に見た概略断面図である。図３Ｃは、図３ＡのＣ−Ｃ方向に見た概略断面図である。
【００２４】
フィンガー電極用パターン２は、フィンガー電極を設けるためのものであって、図３Ａに示すように、複数の開口部１４が一方向に沿って配置されている。このように一方向に配置されているので、樹脂１６を上記一方向に沿って開口すれば、複数の開口部１４にわたるラインパターン１８を画成することができる。また、開口部１４の平面形状は、矩形に限られず、楕円形やその他の形状であってもよい。
さらに、ラインパターン１８の幅は、いわゆる乳剤開口幅であって、形成するフィンガー電極の幅に対応しており、例えば、１０μｍ以上６０μｍ以下の範囲である。
【００２５】
図３Ｂに示すように、開口部１４は、リブ１２の間に画成されている。リブ１２の断面形状は、およそ逆台形形状であり、上底がＵＬ、下底がＢＬ、高さ（厚さ）がｈである。
なお、リブ１２の断面形状は、逆台形形状に限定されるものではなく、例えば、平行四辺形状であってもよい。また、リブ１２は、およそ一定のピッチｐｗで配置されている。
【００２６】
バスバー電極用パターン４は、バスバー電極を設けるためのものであって、複数の開口部１４が、フィンガー電極用パターン２の一方向に垂直な方向に沿って配置されている。
また、複数の開口部１４にわたるラインパターン１８の開口幅の大きさは、フィンガー電極を設けるためのものと異なってもよい。更に、開口部１４の平面形状もフィンガー電極を設けるためのものと異なってもよい。
なお、バスバー電極は、フィンガー電極をさらに集電するために設けるものであるので、バスバー電極用パターン４の本数は、フィンガー電極用パターン２の本数より少ない。
【００２７】
また、バスバー電極用パターン４の開口部１４を構成するリブ１２について、垂直方向に沿った単位長さ当たりのリブ１２の断面積が、フィンガー電極用パターン２の開口部１４を構成するリブ１２について、一方向に沿った単位長さ当たりのリブ１２の断面積より大きくしてもよい。これによって、バスバー電極用パターン４の開口部１４が延在する垂直方向に沿った最大張力を大きくでき、一方向についての破断耐性を高めることができる。
なお、バスバー電極用パターン４の開口部１４を構成するリブ１２の単位長さあたりの断面積は、リブ１２のピッチｐｗを狭くすることによっても大きくできる。バスバー電極は、フィンガー電極に比べてその幅を太くできるので、乳剤開口幅を広くできる。そこで、リブ１２のピッチを狭くしても十分な開口面積を確保できる。
【００２８】
＜樹脂＞
樹脂１６は、図３Ａに示すように、一方向に沿って配置されている複数の開口部１４の一部を覆っている。
この樹脂１６は、例えば、感光性乳剤を光硬化させたものである。
【００２９】
＜ラインパターン＞
ラインパターン１８は、離間する２本の直線によって樹脂１６を開口して画成されている。このラインパターン１８は、長手方向が一方向であって複数の開口部１４にわたって設けられている。また、上記幅は、長手方向と交差する方向である。
【００３０】
＜リブの断面積と張力（テンション）との関係について＞
本発明者らは、引張り強度測定結果から、２０μｍ以下の箔厚の圧延金属箔メッシュ部材１０の引張り強度の許容値がＸＹ方向で異なることを見出した。これを活用してスクリーン印刷版において、圧延金属箔メッシュ部材全体としての破断耐性を向上する手段を考案し、本発明に至った。本発明者らはスクリーン印刷版の印刷試験にて、単位長さ（ｍｍ）あたりの圧延金属箔メッシュ部材１０のリブ１２の断面積が５８００μｍ２／ｍｍの条件で、張力が２８Ｎ／ｃｍであっても破断は発生しないという結果を得た。
【００３１】
ここで圧延金属箔メッシュ部材１０のリブ１２の断面を矩形形状近似した場合における（上底ＵＬ＋下底ＢＬ）の値（μｍ）をａとし、リブ１２の断面の矩形形状の高さ（μｍ）をｈとし、リブ１２のピッチ（μｍ）をｐｗとする。この場合、一方向に沿った単位長さ（ｍｍ）あたりの圧延金属箔メッシュ部材１０のリブ１２の断面積は、５００ａｈ／ｐ（μｍ２ ／ｍｍ）と表すことが出来る。
リブ１２の単位長さ（ｍｍ）あたりの断面積と最大張力とは比例関係にある。従って、一方向（ｘ方向）に沿った単位長さ（ｍｍ）あたりの圧延金属箔メッシュ部材１０のリブ１２の断面積（μｍ２）と、この圧延金属箔メッシュ部材１０に印加される垂直方向（ｙ方向）の最大張力（テンション）Ｔ（Ｎ／ｃｍ）とは、次の関係が成り立つ。
５８００：２８＝５００ａｈ／ｐｗ：Ｔ
これより、最大張力値Ｔは、
Ｔ＝２．４１３８ａｈ／ｐｗ（Ｎ／ｃｍ）
と表せる。
したがって、圧延金属箔メッシュ部材１０を支持する垂直方向の張力Ｔ（Ｎ／ｃｍ）は、
Ｔ≦２．４ａｈ／ｐｗ（Ｎ／ｃｍ）
に設定することで、垂直方向の破断耐性を向上することが可能となる。
【００３２】
スクリーン印刷版２０の製造工程において、圧延金属箔メッシュ部材１０をポリエステル樹脂等の繊維布上に貼り付けるコンビネーション工程がある。このスクリーン印刷版２０では、コンビネーション工程において、圧延金属箔メッシュ部材１０のＸＹ平面にかかる張力を、フィンガー電極用パターン２の一方向に沿った張力Ｔｘと垂直方向の張力Ｔｙとが異なるように張設している。具体的には、圧延金属箔メッシュ部材１０を、フィンガー電極用パターン２の一方向の張力Ｔｘよりも垂直方向の張力Ｔｙが小さくなるように支持している。
【００３３】
なお、上記の引張試験においては、図４に示すように、厚さ２０μｍの圧延金属箔メッシュ部材１０から、幅：１０ｍｍ、標点距離：１０ｍｍの試験片（領域ＩＩ、領域ＩＩＩ、領域ＩＶ）を切り出し、引張試験機(インストロン社製)を用いて引張り速度１ｍｍ／分で引張試験を実施した。
【００３４】
スクリーン印刷版の張力について、張力値測定に使用するテンションゲージ(例えば株式会社プロテック社製ＳＴＧ−７５ＮＡ)の読み取り値としてニュートン目盛りと荷重落としこみミリ目盛りの２通りの表記方法がある。本特許においてはニュートン目盛りによる張力値を記載している。図１０Ａから図１０ＣにＳＴＧ−７５ＮＡを使用した場合のニュートン目盛りと荷重落としこみミリ目盛りの換算表(株式会社プロテックより公開)を記載する。
【００３５】
＜圧延金属箔メッシュ部材の製造方法＞
圧延金属箔メッシュ部材１０の開口部１４は、金属箔の片面又は両面からエッチングによって形成できる。開口部１４の所望の形状及び面積、及びその分布等に応じて適宜エッチングを行えばよい。例えば、金属箔にレジストを塗布し、所望の大きさ及び配置で複数の開口部を配列し、印刷したパターンを描画したマスクを使って露光後、現像する。その後、エッチングにより、開口部を開ける部分の金属箔を溶かして、金属箔に開口部１４を開けた圧延金属箔メッシュ部材１０を作製できる。
なお、圧延金属箔メッシュ部材１０の製造方法としては、金属箔へのエッチングに製造方法を限定するものではなく、例えば、機械的な孔開け加工、電鋳による製造法でも実現可能である。
【００３６】
＜スクリーン印刷版の製造方法＞
このスクリーン印刷版２０の製造工程は次の通りである。
１）アルミ製の枠に対してポリエステル樹脂等の繊維にて織り上げた布を貼り付ける（紗張り工程）。
２）上記繊維布上に圧延金属箔メッシュ部材１０を接着し、乾燥後、前記圧延金属箔メッシュ部材と重なった部分の前記繊維布を切断する（コンビネーション工程）。このコンビネーション工程において、圧延金属箔メッシュ部材１０をフィンガー電極用パターン２の開口部が延在する一方向の張力Ｔｘよりも一方向に垂直な方向の張力Ｔｙが小さくなるように支持する。
３）圧延金属箔メッシュ部材１０の全面に対して感光性乳剤を塗布する（乳剤塗布工程）。
４）所望のラインパターンを感光性乳剤上にパターニングする（露光工程）。例えば、開口させるラインパターンに対応する部分をマスクで覆って、マスクで覆った箇所以外を露光する。これによって露光した箇所の樹脂（感光性乳剤）を硬化させる。
５）不要な部分の感光性乳剤を除去する（現像工程）。例えば、マスクで覆った箇所の開口させる部分の樹脂（感光性乳剤）を除去する。
以上によってスクリーン印刷版２０を作製できる。なお、上記作製方法は例示であってこれに限定されるものではない。
【００３７】
＜スクリーン印刷について＞
図８は、スクリーン印刷の概要を示す概略図である。
このスクリーン印刷版２０は、図３Ａ及び図８に示すように、樹脂１６を開口して画成されたラインパターン１８を設けた印刷面４８と、印刷するペースト４３をパターンを介して印刷するスキージ４２を当てるためのスキージ面４７と、を有する。
【００３８】
印刷時には、スクリーン印刷版２０のスキージ面４７を鉛直上面とし、印刷面４８を鉛直下面とする。印刷面４８をスクリーン印刷する印刷対象物４６に対向させる。一方、スキージ面にはペースト４３を載せると共に、スキージ４２を図８の左から右へ移動させる。これにより、ラインパターン１８の開口部（孔）１４にペースト４３を充填すると共に、印刷対象物４６にペースト４３を付着させる。スキージ４２が通過した後は、スクリーン印刷版の張力（テンション）によりスクリーン印刷版と印刷対象物４６とが離れる。一方、ペースト４３は印刷対象物４６に残る。これによって、スクリーン印刷が行われ、ラインパターン１８に露出する開口部１４の配列に対応したペースト４３が印刷される。その後、開口部１４の配置に由来する凹凸を有するペースト４３はレべリング過程を経てフィンガー電極が形成される。
【００３９】
（実施例）
本発明にて提示した手段を実施したスクリーン印刷版を使用した結果、圧延金属箔メッシュ部材１０のＸＹ平面上におけるフィンガー電極用パターン２の一方向の張力Ｔｘよりも垂直方向の張力Ｔｙが小さくなるように、圧延金属箔メッシュ部材１０を張設した場合においても印刷性能に影響が無いことが確認された。
なお、印刷試験では、印刷機はマイクロテック社製を用いて、スキージ速度：２００ｍｍ／ｓｅｃ、印圧：８０Ｎ、スキージ角度：６０°、クリアランス：１．５ｍｍとした。
またスクリーン印刷版の製版に用いた乳剤種は互応化学社製ＥＲＳ−２Ｐであり、乳剤厚は１０μｍ、乳剤開口幅は、３０μｍ〜４５μｍとした。
【００４０】
なお、本開示においては、前述した様々な実施の形態及び／又は実施例のうちの任意の実施の形態及び／又は実施例を適宜組み合わせることを含むものであり、それぞれの実施の形態及び／又は実施例が有する効果を奏することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明に係るスクリーン印刷版によれば、厚さ５μｍ以上、２５μｍ以下の圧延金属箔に開口部を設けた圧延金属箔メッシュ部材を用いたスクリーン印刷版において、圧延金属箔メッシュ部材の破断が発生し難い。
【符号の説明】
【００４２】
２  フィンガー電極用パターン
４  バスバー電極用パターン
１０  圧延金属箔メッシュ部材
１２  リブ
１４  開口部（孔）
１６  樹脂（感光性乳剤）
１８  ラインパターン
２０  スクリーン印刷版
２２  アルミ枠
２４  ポリエステルメッシュ
４２  スキージ
４３  銀ペースト
４４  スクレッパ
４６  Ｓｉウエハ
４７  スキージ面
４８  印刷面
【図１】
2018029145.tif 000003
【図２】
2018029145.tif 000004
【図３Ａ】
2018029145.tif 000005
【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年2月28日(2017.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さが５μｍ以上、２５μｍ以下の金属箔の一方向に沿って複数の開口部が配置され、フィンガー電極を設けるためのフィンガー電極用パターンを有する金属箔メッシュ部材と、
前記複数の開口部の一部を覆う樹脂と、
を備え、
前記金属箔メッシュ部材は、前記フィンガー電極用パターンの前記開口部が延在する前記一方向の張力よりも前記一方向に垂直な方向の張力が小さくなるように支持されている、スクリーン印刷版。
【請求項２】
前記金属箔メッシュ部材は、前記垂直方向に支持する張力が２．４ａｈ／ｐｗ（Ｎ／ｃｍ）以下であって、
前記ａは、前記金属箔メッシュ部材の前記フィンガー電極用パターンの延在する前記一方向と交差する深さ方向で前記開口部を構成するリブの断面を矩形形状近似した場合における（上底＋下底）の値（μｍ）であって、
前記ｈは、前記リブの断面の近似された矩形形状の高さ（μｍ）であって、
前記ｐｗは、前記リブの前記一方向に沿ったピッチ（μｍ）である、請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
前記金属箔メッシュ部材は、前記フィンガー電極用パターンの前記一方向に支持する張力が、２０Ｎ／ｃｍ以上、３０Ｎ／ｃｍ以下の範囲である、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷版。
【請求項４】
前記金属箔メッシュ部材は、前記一方向と垂直な方向に沿って複数の開口部が配置され、前記フィンガー電極と垂直方向に延在するバスバー電極を設けるためのバスバー電極用パターンを有し、
前記バスバー電極用パターンの前記開口部を構成するリブについて、前記垂直方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積が、前記フィンガー電極用パターンの前記開口部を構成するリブについて、前記一方向に沿った単位長さ当たりの前記リブの断面積より大きい、請求項１から３のいずれか一項に記載のスクリーン印刷版。