(57)【要約】【課題】搬送ベルトのベルト面の付着物を事前に発見することができるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置は、搬送装置２の搬送ベルト２ａ上に載置されて搬送される被検査物ＷにＸ線を照射し、被検査物Ｗを透過するＸ線のＸ線透過データを出力するＸ線検出器４から取得される透過画像に基づいて被検査物Ｗの検査を行うものであり、搬送ベルト２ａ上に被検査物Ｗが載置されていない状態の透過画像から搬送ベルト２ａのベルト面の異常を検出するベルト面異常検出モードを設定する設定入力部５と、設定入力部５にてベルト面異常検出モードが設定されていると、搬送ベルト２ａが所定時間回転するように搬送装置２を制御し、搬送ベルト２ａのベルト面の異常の有無を判定する信号処理部６とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送装置（２）の搬送ベルト（２ａ）上に載置されて搬送される被検査物（Ｗ）にＸ線を照射し、前記被検査物を透過するＸ線のＸ線透過データを出力するＸ線検出器（４）から取得される透過画像に基づいて前記被検査物の検査を行うＸ線検査装置（１）において、
前記搬送ベルト上に前記被検査物が載置されていない状態の透過画像から前記搬送ベルトのベルト面の異常を検出するベルト面異常検出モードを設定する設定入力部（５）と、
前記設定入力部にて前記ベルト面異常検出モードが設定されていると、前記搬送ベルトが所定時間回転するように前記搬送装置を制御し、前記搬送ベルトのベルト面の異常の有無を判定する信号処理部（６）とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記信号処理部は、前記搬送ベルトのベルト面の異常を検出したときに、その異常箇所を含む画像を表示部（７）に表示することを特徴とする請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記信号処理部は、前記搬送ベルトの動作に連動して前記画像の所定区間を更新表示することを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記信号処理部は、前記搬送ベルトが１回転する長さの画像を前記表示部に表示することを特徴とする請求項２又は３記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記信号処理部は、前記搬送ベルトを寸動したときに、前記画像の表示位置を前記搬送ベルトの動作に連動させることを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記信号処理部は、前記被検査物の検査よりも低管電圧出力、低搬送速度としたときの前記Ｘ線透過データの濃淡レベルが検出リミット値を超えるか否かにより前記搬送ベルトのベルト面の異常の有無を判定することを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送される被検査物にＸ線を照射し、このＸ線を照射したときのＸ線透過量を用いて例えば異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの検査を行うＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査装置は、製品ライン上を順次搬送されてくる被検査物（例えば、生肉、魚、加工食品、医薬など）にＸ線を照射し、このＸ線を照射したときのＸ線透過量を用いて被検査物中に異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの検査を行う装置として従来より知られている。
【０００３】
この種のＸ線検査装置において、搬送部に搬送ベルトを採用して被検査物を搬送する場合、搬送ベルトのベルト面にゴミ、汚れ、かす、水滴などが付着し、これらが付着したまま被検査物の検査を行うと、付着物が影響して正常な検査が行えなくなる。そこで、搬送部のベルト面の付着物を取り除くため、例えば下記特許文献１や特許文献２などに開示されるように、搬送部の清掃が行える構成を採用している。特許文献１のＸ線検査装置では、Ｘ線発生部が支持された装置筐体に対し、Ｘ線検出部が収容されるとともに搬送部が配された収容箱を引き出し可能とし、収容箱が引き出された位置で搬送部を洗浄するための洗浄水および汚れが搬送部の部位に滞留することなく流れ落ちることで清掃を適宜行えるようにしている。また、特許文献２のＸ線検査装置では、片持ちフレームで搬送部を支持するように構成し、搬送部のベルトなどを取り出し易くして清掃を行えるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−０６９３８６号公報
【特許文献２】特開平１１−１８３４０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、この種のＸ線検査装置における搬送部のベルト面の清掃は、Ｘ線検査の開始前又は終了後に作業者によって行われるが、ベルト面の付着物の位置を作業者が把握した状態で行われるとは限らず、清掃作業にも個人差がある。また、ゴミ、汚れ、かす、水滴などの付着物は、被検査物が搬送されるベルト面の表面側だけに付着するものとは限らず、ベルト面の裏面側にも付着する場合がある。このため、ベルト面全体を清掃したつもりであっても、付着物の種類やその付着度合いによってはベルト面の一部に付着物が残ってしまうことがある。
【０００６】
そして、付着物がベルト面に残ったままＸ線検査が開始された場合には、付着物がＸ線検査の誤判別を引き起こす要因となってしまい、正常な検査を行うことができない。このため、搬送部の清掃を行うにあたって、搬送ベルトのベルト面の付着物を事前に発見できる構成が望まれていた。
【０００７】
そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、搬送ベルトのベルト面の付着物を事前に発見することができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載されたＸ線検査装置は、搬送装置２の搬送ベルト２ａ上に載置されて搬送される被検査物ＷにＸ線を照射し、前記被検査物を透過するＸ線のＸ線透過データを出力するＸ線検出器４から取得される透過画像に基づいて前記被検査物の検査を行うＸ線検査装置１において、
前記搬送ベルト上に前記被検査物が載置されていない状態の透過画像から前記搬送ベルトのベルト面の異常を検出するベルト面異常検出モードを設定する設定入力部５と、
前記設定入力部にて前記ベルト面異常検出モードが設定されていると、前記搬送ベルトが所定時間回転するように前記搬送装置を制御し、前記搬送ベルトのベルト面の異常の有無を判定する信号処理部６とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載されたＸ線検査装置は、請求項１のＸ線検査装置において、
前記信号処理部は、前記搬送ベルトのベルト面の異常を検出したときに、その異常箇所を含む画像を表示部７に表示することを特徴とする。
【００１０】
請求項３に記載されたＸ線検査装置は、請求項１又は２のＸ線検査装置において、
前記信号処理部は、前記搬送ベルトの動作に連動して前記画像の所定区間を更新表示することを特徴とする。
【００１１】
請求項４に記載されたＸ線検査装置は、請求項２又は３のＸ線検査装置において、
前記信号処理部は、前記搬送ベルトが１回転する長さの画像を前記表示部に表示することを特徴とする。
【００１２】
請求項５に記載されたＸ線検査装置は、請求項２〜４の何れかのＸ線検査装置において、
前記信号処理部は、前記搬送ベルトを寸動したときに、前記画像の表示位置を前記搬送ベルトの動作に連動させることを特徴とする。
【００１３】
請求項６に記載されたＸ線検査装置は、請求項１〜５の何れかのＸ線検査装置において、
前記信号処理部は、前記被検査物の検査よりも低管電圧出力、低搬送速度としたときの前記Ｘ線透過データの濃淡レベルが検出リミット値を超えるか否かにより前記搬送ベルトのベルト面の異常の有無を判定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るＸ線検査装置によれば、搬送ベルトが所定時間回転するように搬送装置を制御し、搬送ベルトのベルト面の異常の有無を判定することにより、Ｘ線検査の誤判別を引き起こすベルト面の付着物を事前に発見することができる。また、付着物の位置を表示で確認して把握することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】（ａ），（ｂ）搬送ベルトを所定時間自動的に動作させたときの搬送ベルトの動作前後における表示画面の一例を示す図である。
【図３】（ａ），（ｂ）搬送ベルトを寸動させたときの搬送ベルトの動作前後における表示画面の一例を示す図である。
【図４】（ａ），（ｂ）搬送ベルトのベルト長分の片面表示による表示画面の一例を示す図である。
【図５】（ａ），（ｂ）搬送ベルトの動作前後における搬送ベルトのベルト長分の片面表示による表示画面の一例を示す図である。
【図６】（ａ）搬送ベルトの１回転分の長さを上面と下面に分けて平面視画像を２段表示したときの表示画面の一例を示す図である。  （ｂ）ベルト面異常検出モード時に搬送ベルトの上面と下面の付着物を識別表示したときの表示画面の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１７】
本発明に係るＸ線検査装置は、例えば搬送ラインの一部に組み込まれ、一定間隔おきに順次搬送されてくる被検査物（物品）にＸ線を照射し、このＸ線を照射したときのＸ線透過量を用いて被検査物の所定の検査（例えば被検査物中の異物混入の有無、包装材に包装された内容物のシール部への噛み込みによるシール部不良の有無、内容物の欠品の有無など）を行うものである。
【００１８】
図１に示すように、本実施の形態のＸ線検査装置１は、搬送装置２、Ｘ線発生器３、Ｘ線検出器４、設定入力部５、信号処理部６、表示部７を含んで概略構成される。
【００１９】
搬送装置２は、検査対象の被検査物Ｗを搬送路上で所定間隔おきに順次搬送するもので、例えば装置本体に対して水平に配置されたベルトコンベアで構成される。
【００２０】
搬送装置としてのベルトコンベア２は、Ｘ線を透過しやすい材料（原子量の大きい元素以外の元素）からなる搬送ベルト２ａを備える。
【００２１】
ベルトコンベア２は、被検査物Ｗが搬送されない状態、すなわち、搬送ベルト２ａ上に被検査物Ｗが載置されていない状態で搬送ベルト２ａのベルト面の異常を検出するベルト面異常検出モード時に、後述する搬送制御手段６ｃの制御に基づく駆動モータＭの回転により、予め設定入力部５にて設定される搬送速度で搬送ベルト２ａを所定時間（少なくとも搬送ベルト２ａが１回転する時間）動かす。
【００２２】
また、ベルトコンベア２は、被検査物Ｗの検査を行う運転モード時に、後述する搬送制御手段６ｃの制御に基づく駆動モータＭの回転により、予め設定入力部５にて設定される搬送速度で搬送ベルト２ａを動かし、搬入口から搬入された被検査物Ｗを搬出口側に向けて図１の搬送方向Ｘに搬送する。
【００２３】
Ｘ線発生器３は、搬入口から搬出口に向かって搬送方向Ｘに搬送路上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するもので、電圧を印可して加速させた電子をターゲットに射突させてＸ線を発生させる円筒状のＸ線管と、Ｘ線管が発生させたＸ線をＸ線検出器４に向けて照射するための照射スリットとを有する。
【００２４】
Ｘ線管は、例えば金属製の箱体内部に設けられる円筒状のＸ線管を絶縁油により浸漬した構成であり、Ｘ線管の陰極からの電子ビームを陽極ターゲットに照射させてＸ線を生成する。Ｘ線管は、その長手方向が被検査物Ｗの搬送方向（図１のＸ方向）の平面上で直交する方向に設けられ、生成したＸ線を、下方のＸ線検出器４に向けて、長手方向に沿った照射スリットによりスクリーン状にして照射する。
【００２５】
Ｘ線検出器４は、搬送される被検査物Ｗの搬送方向Ｘの平面上で搬送方向Ｘと直交する方向に複数の素子が一直線上に配置されたものであり、ライン状に整列して配設された複数のフォトダイオードと、ライン状のフォトダイオード上に設けられたシンチレータとを備えてアレイ状に構成される。
【００２６】
Ｘ線検出器４は、複数の素子（フォトダイオードとシンチレータのアレイ）により、ベルト面異常検出モード時には搬送ベルト２ａを透過するＸ線を検出し、運転モード時には被検査物Ｗおよび搬送ベルト２ａを透過するＸ線を検出し、この検出した検出データを素子毎に複数の素子数を１ラインとして順次出力する。
【００２７】
設定入力部５は、装置本体に設けられる例えばキー、押しボタン、スイッチ、表示部７の表示画面上のソフトキーなどで構成される。設定入力部５は、搬送装置２の搬送ベルト２ａ上に被検査物Ｗが載置されていない状態の透過画像から搬送ベルト２ａのベルト面の異常を検出するベルト面異常検出モードと、搬送装置２の搬送ベルト２ａ上に被検査物Ｗを載置して被検査物Ｗを搬送した状態の透過画像から被検査物Ｗの検査を行う運転モードとの何れかのモードを動作モードとして設定する。
【００２８】
設定入力部５は、動作モードに応じた検査パラメータ（Ｘ線発生器３の管電圧出力、搬送装置２の搬送ベルト２ａの搬送速度、検出リミット値）を適宜設定する。すなわち、動作モードとしてベルト面異常検出モードが設定される場合は、Ｘ線源の発熱を抑制してベルト面の異常検出を行うため、Ｘ線発生器３の管電圧出力がＸ線の透過しにくい低電圧に設定され、搬送装置２の搬送ベルト２ａの搬送速度が運転モード時よりも低速に設定され、ゴミ、汚れ、かす、水滴などの付着物による搬送ベルト２ａのベルト面の異常を検出するための検出リミット値（例えば図２（ｂ）や図３（ｂ）のＶｔｈ）が付着物の種類に応じて設定される。
【００２９】
また、動作モードとして運転モードが設定される場合は、Ｘ線発生器３の管電圧出力がベルト面異常検出モード時よりも高電圧に設定され、搬送装置２の搬送ベルト２ａの搬送速度がベルト面異常検出モード時よりも高速で被検査物Ｗの品種や検査内容などに応じて設定され、被検査物の品種や異物の種類など検査内容（被検査物Ｗ中の異物の混入の有無、被検査物Ｗのシール部におけるシール不良の有無、被検査物Ｗ中の内容物の欠品の有無などの検査）に応じた検出リミット値が設定される。
【００３０】
なお、被検査物Ｗのシール不良の有無を検査する場合には、被検査物Ｗのシール部の幅寸法（例えば外形が矩形状であれば、外形の４辺から内側に向かう寸法）、シール部を有する箇所の数などのシール部に関する各種情報を設定する際に設定入力部５が操作される。
【００３１】
信号処理部６は、記憶手段６ａ、モード判別手段６ｂ、搬送制御手段６ｃ、異常判定手段６ｄ、検査手段６ｅ、表示制御手段６ｆを含んで構成される。
【００３２】
記憶手段６ａは、ベルト面異常検出モード時に、Ｘ線検出器４からの検出データに基づく所定区間のＸ線透過データを所定周期で更新して記憶する。又は、搬送ベルト２ａが動いている間だけＸ線検出器４からの検出データに基づくＸ線透過データを記憶する。このときのＸ線透過データは、Ｘ線検出器４からの検出データを不図示のＡ／Ｄ変換器によりＡ／Ｄ変換して得られる。
【００３３】
なお、所定区間とは、例えばＸ線検出器４による検出データのライン数（例えば１００ライン）に相当する区間、搬送ベルト２ａの１回転分の長さに相当する区間などを意味する。また、所定周期とは、例えば搬送ベルト２ａが１回転又は複数回転する時間、３０秒や１分などの指定された時間などを意味する。
【００３４】
記憶手段６ａは、運転モード時に、Ｘ線検出器４からの検出データに基づく各被検査物Ｗ毎のＸ線透過データを記憶する。具体的には、１つの被検査物Ｗの検査を行う毎に、Ｘ線検出器４の１ライン（Ｙ方向）あたり例えば数百個のＸ線透過データを、少なくとも搬送される被検査物Ｗの搬送方向の長さ（前端から後端までの検出期間に相当）に対応した所定ライン数（例えば数百ライン）だけ格納する。
【００３５】
モード判別手段６ｂは、設定入力部５にて設定された動作モードがベルト面異常検出モードか運転モードかを判別し、判別したモードの搬送条件や搬送速度にて搬送装置２の搬送ベルト２ａを駆動制御するための駆動制御信号を搬送制御手段６ｃに出力する。
【００３６】
搬送制御手段６ｃは、設定入力部５にて設定された搬送条件や搬送速度に基づくモード判別手段６ｂからの駆動制御信号により駆動モータＭを正回転又は逆回転制御する。
【００３７】
搬送制御手段６ｃは、ベルト面異常検出モード時に、駆動モータＭにより搬送ベルト２ａが所定時間（少なくとも搬送ベルト２ａが１回転する時間）動くように搬送装置２を制御する。また、搬送制御手段６ｃは、搬送ベルト２ａを動作させているときに、異常判定手段６ｄがベルト面の異常を検出すると、搬送ベルト２ａが停止するように駆動モータＭを停止制御する。
【００３８】
また、搬送制御手段６ｃは、運転モード時に、駆動モータＭにより搬送ベルト２ａを搬送方向Ｘに進行させて被検査物ＷがＸ線検出器４上を通過して搬送方向Ｘに搬送されるように搬送装置２を制御する。
【００３９】
異常判定手段６ｄは、ベルト面異常検出モード時に、搬送制御手段６ｃにて搬送ベルト２ａが所定時間動作して記憶手段６ａに記憶されたＸ線透過データから搬送ベルト２ａのベルト面の異常の有無を判定し、判定結果を表示制御手段６ｆに出力する。
【００４０】
検査手段６ｅは、Ｘ線検出器４の各素子が検出したＸ線に対応してＸ線検出器４から出力されるＸ線透過データに基づいて被検査物Ｗに対して所定の検査を行い、選別信号を外部出力するとともに、検査結果（判別結果）を表示制御手段６ｆに出力する。検査手段６ｅは、例えば異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無を検査する場合、異物判別手段、シール部不良判別手段、欠品判別手段を含んで構成される。
【００４１】
異物判別手段は、被検査物Ｗの内容物領域において、内容物領域内でＸ線透過データの濃淡レベルが他と違う部分を異物として判別し、異物有りを示す選別信号を外部出力するとともに、判別結果を表示制御手段６ｆに出力する。
【００４２】
シール部不良判別手段は、Ｘ線透過データによる全体画像から被検査物Ｗの外形領域（被検査物の輪郭から内側の面積を示す領域）を抽出し、抽出した外形領域からシール部領域を算出し、シール部領域内に被検査物Ｗの内容物が存在するか否かによりシール不良の有無を判別し、シール不良を示す選別信号を外部出力するとともに、判別結果を表示制御手段６ｆに出力する。
【００４３】
欠品判別手段は、被検査物Ｗの内容物領域の欠品検出領域における濃淡レベルを予め設定される値と比較することにより欠品の有無を判別し、欠品有りを示す選別信号を外部出力するとともに、判別結果を表示制御手段６ｆに出力する。
【００４４】
なお、各手段による判別は、異物検出リミット値、シール部不良の検出リミット値、欠品検出リミット値を用いて行われ、これらの値は、それぞれ被検査物毎にその内容物に応じて設定入力部５から適宜設定入力可能である。
【００４５】
また、検査手段６ｅは、異常判定手段６ｄが搬送ベルト２ａのベルト面の異常を検出したときに、Ｘ線透過データによる被検査物Ｗの検査を禁止するようにしてもよい。
【００４６】
表示制御手段６ｆは、設定入力部５からの入力情報（被検査物Ｗに関する情報、搬送速度、検出リミット値）、Ｘ線検出器４からの（記憶手段６ａを介した）Ｘ線透過データ、異常判定手段６ｄからの判定結果、検査手段６ｅからの検査結果（判別結果）を処理して表示部７の表示を制御する。
【００４７】
表示部７は、表示制御手段６ｆにより制御される例えば液晶表示器などの表示装置で構成される。
【００４８】
表示部７は、ベルト面異常検出モード時に、図２や図３に示すようなＸ線検出器４の１ラインの現在のＸ線透過量に応じた濃淡レベル、ベルト面の異常箇所を含む所定区間のＸ線透過データの画像、図４〜図６に示すような搬送ベルト２ａの画像（平面視画像、側面視画像）などのベルト面異常に関する画像や情報をベルト面監視表示として表示制御手段６ｆの制御により表示画面に表示する。
【００４９】
また、表示部７は、ベルト面異常検出モード時に、搬送ベルト２ａを寸動又は所定時間動作させると、図２乃至図６の表示画面上の所定区間のＸ線透過データの画像、搬送ベルト２ａの平面視画像や側面視画像の表示位置が搬送ベルト２ａの動作に連動して変わるように表示制御手段６ｆにより制御される。
【００５０】
さらに、表示部７は、運転モード時に、被検査物Ｗの全体画像、外形領域の画像、シール部領域の画像、判別結果に基づく被検査物Ｗを平面視したＸ線透過画像、「ＯＫ」や「ＮＧ」の良否判定結果、総検査数、良品数、ＮＧ総数などの検査結果情報を表示制御手段６ｆの制御により表示画面に表示する。
【００５１】
次に、上記のように構成されるＸ線検査装置１にて搬送ベルト２ａのベルト面の異常検出を行うときの動作について説明する。
【００５２】
なお、搬送ベルト２ａのベルト面の異常検出を行う場合、設定入力部５にて動作モードがベルト面異常検出モードに設定される。このベルト面異常検出モードでは、Ｘ線発生器３の管電圧出力が低電圧に設定され、搬送ベルト２ａの搬送速度が運転モード時よりも低速に設定され、付着物によるベルト面の異常を検出するための検出リミット値が設定される。
【００５３】
そして、ベルト面異常検出モード時の搬送ベルト２ａのベルト面の異常検出は、搬送ベルト２ａを所定時間自動的に動作させて行う方法と、設定入力部５のキー操作により搬送ベルト２ａを寸動させて行う方法がある。
【００５４】
まず、搬送ベルト２ａを所定時間自動的に動作させて搬送ベルト２ａのベルト面の異常検出を行う方法について図２（ａ），（ｂ）を参照しながら説明する。なお、図２（ａ），（ｂ）の点線の基準線Ｃは、搬送方向Ｘと直角をなすＸ線検出器４の検出面のライン方向の仮想中心線である。
【００５５】
設定入力部５にて動作モードをベルト面異常検出モードに設定し、図２（ａ）の表示画面に設定入力部５のソフトキーとして表示される自動動作キー５ａを押下すると、搬送ベルト２ａが所定時間（少なくとも搬送ベルト２ａが１回転する時間）自動的に動作するように搬送制御手段６ｃが駆動モータＭを回転制御する。
【００５６】
この搬送ベルト２ａの動作に伴い、Ｘ線発生器３からのＸ線が搬送ベルト２ａを透過してＸ線検出器４に検出されると、図２（ａ）に示すように、ベルト面監視表示として、現在のＸ線検出器４によるＸ線透過データの濃淡レベルと、現在のＸ線透過データを中心（図２（ａ）の基準線Ｃ）とする前後所定ライン数のＸ線透過データとを表示部７の表示画面に表示する。
【００５７】
そして、Ｘ線検出器４によるＸ線透過データの濃淡レベルの中に検出リミット値Ｖｔｈを超える濃淡レベルがあれば、ベルト面に付着物Ｆによる異常が有ると異常判定手段６ｄが判定し、搬送制御手段６ｃが駆動モータＭを停止制御して搬送ベルト２ａの動作を停止する。この状態で、搬送ベルト２ａは、直ぐには停止せずにベルト面の付着物ＦがＸ線検出器４上を通りすぎた位置で停止する。
【００５８】
そこで、搬送制御手段６ｃは、駆動モータＭを停止制御して搬送ベルト２ａを停止した後に駆動モータＭを逆転させ、図２（ｂ）の表示画面に示すように、ベルト面の付着物Ｆが図２の基準線Ｃ付近、すなわち、Ｘ線検出器４の検出範囲内に位置するように搬送ベルト２ａを所定量動かす。これにより、ベルト面の付着物ＦがＸ線検出器４の直上付近にあることが判り、付着物Ｆの位置を把握した上で搬送ベルト２ａの清掃を行うことができる。
【００５９】
なお、駆動モータＭを逆転させるときの搬送ベルト２ａの動作量は、駆動モータＭのブレーキの制動時間、制動距離などから事前に計算で求め、駆動モータＭを逆転するときの情報として予め記憶手段６ａに記憶しておく。
【００６０】
このように、搬送制御手段６ｃは、搬送ベルト２ａを動作させて、検出リミット値Ｖｔｈを超える濃淡レベルがあった場合に駆動モータＭを停止制御し、さらに、付着物Ｆが図２の基準線Ｃ付近にくるよう駆動モータＭを逆転制御して停止するように制御する。なお、搬送制御手段６ｃは、搬送ベルト２ａが１回転するまでの時間を上述した所定時間とし、検出リミット値Ｖｔｈを超える濃淡レベルがある度に上述した制御を所定時間に達するまで行うようにすることもできる。その場合には、図２（ｂ）のソフトキーとして表示される自動動作キー５ａを用いることで停止状態から自動動作を再開させることができる。
【００６１】
次に、設定入力部５のキー操作により搬送ベルト２ａを寸動させて搬送ベルト２ａのベルト面の異常検出を行う方法について図３（ａ），（ｂ）を参照しながら説明する。なお、図３（ａ），（ｂ）の点線の基準線Ｃは、図２（ａ），（ｂ）と同様に、搬送方向Ｘと直角をなすＸ線検出器４の検出面のライン方向の仮想中心線である。
【００６２】
設定入力部５にてベルト面異常検出モードが設定されると、図３（ａ）の表示画面に設定入力部５のソフトキーとして表示される矢印キー５ｂ（又は５ｃ）を押すごとに搬送ベルト２ａがほんの少しだけ動くような短い時間だけ搬送制御手段６ｃが駆動モータＭを回転制御し、搬送ベルト２ａを寸動させる。なお、寸動は、矢印キー５ｂ（又は５ｃ）を押している間だけ駆動モータＭを回転制御するようにしても良い。
【００６３】
この搬送ベルト２ａの寸動に伴い、Ｘ線発生器３からのＸ線が搬送ベルト２ａを透過してＸ線検出器４に検出されると、図３（ａ）の表示画面に示すように、ベルト面監視表示として、現在のＸ線検出器４によるＸ線透過データの濃淡レベルと、現在のＸ線透過データを中心（図３（ａ）の基準線Ｃ）とする前後所定ライン数のＸ線透過データを表示部７の表示画面に表示する。
【００６４】
そして、搬送ベルト２ａの寸動により、図３（ｂ）の表示画面に示すように、ベルト面の付着物Ｆが図３（ｂ）の中心線Ｃ付近、すなわち、Ｘ線検出器４の検出範囲内に位置し、Ｘ線検出器４によるＸ線透過データの濃淡レベルが検出リミット値Ｖｔｈを超える表示がなされたときに矢印キー５ｂ（又は５ｃ）の押下を止める。これにより、ベルト面の付着物ＦがＸ線検出器４の直上付近にあることが判り、付着物Ｆの位置を把握した上で搬送ベルト２ａの清掃を行うことができる。
【００６５】
なお、搬送ベルト２ａを寸動させて搬送ベルト２ａのベルト面の異常検出を行うにあたっては、ベルト面異常検出モードが設定された後、搬送ベルト２ａが所定時間（少なくとも搬送ベルト２ａが１回転する時間）内で、異常判定手段６ｄが付着物Ｆが有ると判定するまで自動的に動作するように搬送制御手段６ｃが駆動モータＭを回転制御するようにしてもよい。この場合、異常判定手段６ｄが付着物Ｆ有りと判定すると搬送ベルト２ａの動作が停止して図３（ａ）に示す表示画面となり、図３（ａ）に示す表示画面から図３（ｂ）に示す表示画面になるように、ベルト面の付着物ＦがＸ線検出器４の検出範囲内に位置するまで矢印キー５ｂ（又は５ｃ）を操作して搬送ベルト２ａを寸動させる。
【００６６】
このように、搬送ベルト２ａを自動的に動作させる方法と搬送ベルト２ａを寸動させる方法とを併用すれば、ベルト面の付着物ＦがＸ線検出器４の検出範囲内に位置するように搬送ベルト２ａを動かすことができ、ベルト面の付着物Ｆが発見しやすい。
【００６７】
ところで、上述したベルト面の異常検出は、感度補正に対するゴミなどの誤差影響を無くすため、Ｘ線検出器４の各素子の感度補正前の暗電流補正後に実施するのが好ましい。この場合、一つの検出リミット値をＸ線検出器４の各素子に反映させ、ベルト面の異常検出の判定を行う。
【００６８】
また、ベルト面の異常検出をＸ線検出器４の感度補正後に実施する場合には、Ｘ線検出器４の各素子毎にＸ線の放射角度に応じて検出リミット値を設定し、ベルト面の異常検出の判定を行う。
【００６９】
さらに、ベルト面異常検出モードでは、運転モード時の搬送方向Ｘと反対の方向に進行するように駆動モータＭを逆回転させて搬送ベルト２ａを制御するのが好ましい。これにより、例えばベルト面異常検出モード中に作業者が誤って未検査の被検査物を搬送ベルト上に乗せて搬入してしまった場合や未検査の被検査物Ｗが搬送ベルト２ａ上に存在する場合であっても、被検査物ＷがＸ線検出器４を通過して未検査のまま搬出口側に搬送されることがない。
【００７０】
そして、上述した搬送ベルト２ａのベルト面の異常検出では、搬送ベルト２ａのベルト面監視表示として、現在のＸ線検出器４によるＸ線透過データの濃淡レベルと、現在のＸ線透過データを中心とする前後所定ラインのＸ線透過データとをベルト面監視表示として表示した場合を例にとって説明したが、これに限定されるものではなく、少なくとも搬送ベルト２ａを１回転させたときのＸ線透過データを元に図４乃至図６に示すベルト面監視表示を採用してもよい。
【００７１】
図４（ａ），（ｂ）はベルト面異常検出モード時に搬送ベルト２ａのベルト長分の片面表示を行ったときのベルト面監視表示を含む表示画面の一例を示す図である。
【００７２】
図４（ａ），（ｂ）の表示画面では、ベルト面監視表示として、付着物Ｆを含む搬送ベルト２ａのベルト長分の片面（上面又は下面）の平面視画像と、付着物Ｆを含む搬送ベルト２ａの側面視画像とが上下に並んで表示される。図４（ａ），（ｂ）の表示画面では、搬送ベルト２ａの上面に２つの付着物Ｆ１，Ｆ２が表示され、搬送ベルト２ａの下面に１つの付着物Ｆ３が表示された状態を示している。
【００７３】
なお、表示画面の右側には、例えば被検査物Ｗの品種、搬送ベルト２ａの搬送速度、被検査物Ｗの検査総数、良品数（ＯＫ）、不良品数（ＮＧ）などの検査情報が表示される。また、表示画面の下端部には、搬送ベルト２ａの寸動を指示するための矢印キー５ｂ，５ｃ、搬送ベルト２ａの平面視画像を上面又は下面に切り替えるための下面画像キー５ｄ、上面画像キー５ｅを含む各種ソフトキーが表示される。
【００７４】
そして、図４（ａ）の付着物Ｆを含む搬送ベルト２ａのベルト長の上面の平面視画像が表示された状態において、下面画像キー５ｄを押下すると、図４（ｂ）に示すように、付着物Ｆを含む搬送ベルト２ａのベルト長の下面の平面視画像に切り替え表示される。これにより、表示画面に表示された画面切替用のソフトキー（下面画像キー５ｄ、上面画像キー５ｅ）を操作するだけで搬送ベルト２ａのベルト面の全面に渡って付着物Ｆの位置を確認することができる。
【００７５】
図５（ａ），（ｂ）はベルト面異常検出モード時に搬送ベルト２ａのベルト長分の片面表示で設定入力部５のキー操作により搬送ベルト２ａを寸動させたときのベルト面監視表示を含む表示画面の一例を示す図である。
【００７６】
図５（ａ），（ｂ）の表示画面では、ベルト面監視表示として、搬送ベルト２ａの片面（例えば上面）の平面視画像と側面視画像とが上下に並んで表示される。そして、図５（ａ）の表示画面において、矢印キー５ｂ，５ｃを操作すると、この矢印キー５ｂ，５ｃを操作している間だけ搬送ベルト２ａを寸動し、図５（ｂ）の表示画面に示すように、この搬送ベルト２ａの動きに合わせてベルト面上の付着物Ｆの表示位置が変わる。すなわち、図５（ａ）の表示画面では、搬送ベルト２ａの上面の平面視画像に２つの付着物Ｆ１，Ｆ２が表示され、搬送ベルト２ａを寸動することにより、図５（ｂ）の表示画面では、搬送ベルト２ａの上面の平面視画像に２つの付着物Ｆ１，Ｆ２に加え、搬送ベルト２ａの寸動前に搬送ベルト２ａの下面に存在していた付着物Ｆ３が一緒に表示される。
【００７７】
次に、図６（ａ）はベルト面異常検出モード時に搬送ベルト２ａの１回転分の長さを上面と下面に分けて平面視画像を２段表示したときのベルト面監視表示を含む表示画面の一例を示す図である。
【００７８】
図６（ａ）の表示画面では、設定入力部５のソフトキーとして表示される両面画像キー５ｆを押すと、搬送ベルト２ａの側面視画像を中心として、搬送ベルト２ａの上面の平面視画像と搬送ベルト２ａの下面の平面視画像とが上下に並んで表示される。これにより、搬送ベルト２ａの付着物Ｆの位置を搬送ベルト２ａの全面に渡って確認することができる。
【００７９】
次に、図６（ｂ）はベルト面異常検出モード時に搬送ベルト２ａの上面と下面の付着物を識別表示したときのベルト面監視表示を含む表示画面の一例を示す図である。
【００８０】
図６（ｂ）の表示画面では、設定入力部５のソフトキーとして表示される識別表示キー５ｇを押すと、搬送ベルト２ａの片面（例えば上面）の平面視画像と側面視画像とが上下に並んで表示され、搬送ベルト２ａの片面（上面）の平面視画像に対し、搬送ベルト２ａの上面の付着物Ｆ１，Ｆ２と搬送ベルト２ａの下面の付着物Ｆ３とが識別（例えば色分け）表示される。
【００８１】
このように、本実施の形態のＸ線検査装置１は、設定入力部５にてベルト面異常検出モードを設定し、このベルト面異常検出モード時に、搬送ベルト２ａ上に被検査物Ｗが載置されていない状態で所定時間回転するように搬送装置２を制御し、被検査物Ｗの検査よりも低管電圧出力、低搬送速度としたときのＸ線透過データの濃淡レベルが検出リミット値を超えるか否かにより搬送ベルト２ａのベルト面の異常（ゴミ、汚れ、かす、水滴などの付着による異常）の有無を判定する。そして、搬送ベルト２ａのベルト面の異常を検出すると、その異常箇所を含む画像を表示部７に表示する。これにより、作業者は、搬送ベルト２ａを清掃するにあたって、表示部７の画像を確認することで搬送ベルト２ａのベルト面の付着物による異常箇所を事前に発見し、その位置を把握することができる。そして、作業者は、異常箇所の位置を把握した上でベルト面に付着物が残らないように搬送ベルト２ａを綺麗に清掃することができる。
【００８２】
また、搬送ベルト２ａが１回転する長さの画像を表示部７に表示するので、搬送ベルト２ａのベルト面全体にわたって付着物による異常の有無を判別することができる。
【００８３】
さらに、ベルト面異常検出モード時に、搬送ベルト２ａを自動的に動作し、画像の表示位置を搬送ベルト２ａの動作に連動させる構成とすれば、作業者は特別な操作をすることなく単に表示部７の画像を確認するだけで搬送ベルト２ａのベルト面の異常箇所を認識することができる。
【００８４】
また、ベルト面異常検出モード時に、搬送ベルト２ａを寸動させ、画像の表示位置を搬送ベルト２ａの動作に連動させる構成とすれば、作業者自身が設定入力部５のキー操作にて搬送ベルト２ａを寸動させながら表示部７の画像を確認することでベルト面の異常の有無を発見することができる。
【００８５】
ところで、上述した実施の形態では、被検査物Ｗが搬送される搬送ベルト２ａのベルト面の表面（搬送面）側の付着物Ｆの位置を事前に発見する場合を例にとって説明したが、Ｘ線が搬送ベルト２ａを透過したときのＸ線透過データを用いて付着物の位置を特定するので、ベルト面の裏面側の付着物の位置についても同様の構成および手法によって事前に発見することができる。
【００８６】
以上、本発明に係るＸ線検査装置の最良の形態について説明したが、この形態による記述及び図面により本発明が限定されることはない。すなわち、この形態に基づいて当業者等によりなされる他の形態、実施例及び運用技術などはすべて本発明の範疇に含まれることは勿論である。
【符号の説明】
【００８７】
１  Ｘ線検査装置
２  搬送装置
２ａ  搬送ベルト
３  Ｘ線発生器
４  Ｘ線検出器
５  設定入力部
５ａ  自動動作キー
５ｂ，５ｃ  矢印キー
５ｄ  下面画像キー
５ｅ  上面画像キー
５ｆ  両面画像キー
５ｇ  識別表示キー
６  信号処理部
６ａ  記憶手段
６ｂ  モード判別手段
６ｃ  搬送制御手段
６ｄ  異常判定手段
６ｅ  検査手段
６ｆ  表示制御手段
７  表示部
Ｃ  基準線
Ｆ（Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３）  付着物
Ｍ  駆動モータ
Ｖｔｈ  付着物の検出リミット値
Ｗ  被検査物
【図１】
2018054431.tif 000003
【図２】
2018054431.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2018054431.tif 000008