(57)【要約】【課題】高いピークでかつ短い幅のパルス光を出力可能なフラッシュランプ装置を提供する。【解決手段】フラッシュランプ装置（１００）は、並列接続された複数のフラッシュランプ（１０）及び複数のフラッシュランプの各々に沿って近接配置された少なくとも１本のトリガ線（１１）を有するフラッシュランプユニット（１）と、蓄電素子（２２）、蓄電素子からフラッシュランプユニットへの電流経路に挿入接続されたコイル（２３）及び複数のフラッシュランプを同時に絶縁破壊させるためのトリガ電圧を少なくとも１本のトリガ線に印加するための始動回路（２４）を有する点灯装置（２）とを備える。【選択図】  図１Ａ
2018029043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラッシュランプ装置であって、
並列接続された複数のフラッシュランプ及び該複数のフラッシュランプの各々に沿って近接配置された少なくとも１本のトリガ線を有するフラッシュランプユニットと、
蓄電素子、該蓄電素子から前記フラッシュランプユニットへの電流経路に挿入接続されたコイル、及び前記複数のフラッシュランプを同時に絶縁破壊させるためのトリガ電圧を前記少なくとも１本のトリガ線に印加するための始動回路を有する点灯装置と
を備えたフラッシュランプ装置。
【請求項２】
フラッシュランプ装置であって、
並列接続された複数のフラッシュランプ及び該複数のフラッシュランプの各々に沿って近接配置された少なくとも１本のトリガ線を有するフラッシュランプユニットと、
磁気パルス圧縮回路、該磁気パルス圧縮回路を動作開始させる制御部、及び所定のタイミングで前記複数のフラッシュランプを同時に絶縁破壊させるためのトリガ電圧を前記少なくとも１本のトリガ線に印加する始動手段を有する点灯装置と
を備えたフラッシュランプ装置。
【請求項３】
フラッシュランプユニットであって、
相互に平行に配置され、各々が一端及び他端にそれぞれ電極を有する複数の直管状のフラッシュランプと、
前記複数のフラッシュランプの各々に一対一に対応して近接配置され、かつ前記複数のフラッシュランプ及び該複数のフラッシュランプの照射方向によって画定される領域に含まれないように配置された複数のトリガ線と、
前記複数のフラッシュランプの前記一端側の複数の電極に共通に接続された第１の配線と、
前記複数のフラッシュランプの前記他端側の複数の電極に共通に接続された第２の配線と、
前記複数のフラッシュランプを保持する保持部材と
を備えたフラッシュランプユニット。
【請求項４】
前記複数のフラッシュランプの長手方向に垂直な断面において、前記複数のフラッシュランプのうちの最外フラッシュランプに対応するトリガ線が、当該最外フラッシュランプの円周上で、前記背面方向端部の第１の位置から当該最外フラッシュランプに隣接するフラッシュランプから離れる方向に９０度回転した第２の位置との間の範囲に配置された、請求項３に記載のフラッシュランプユニット。
【請求項５】
フラッシュランプユニットであって、
相互に平行に配置され、各々が一端及び他端にそれぞれ電極を有する複数の直管状のフラッシュランプと、
前記複数のフラッシュランプのうちの隣接フラッシュランプ間において当該隣接フラッシュランプの双方に近接配置された少なくとも１本のトリガ線と、
前記複数のフラッシュランプの前記一端側の複数の電極に共通に接続された第１の配線と、
前記複数のフラッシュランプの前記他端側の複数の電極に共通に接続された第２の配線と、
前記複数のフラッシュランプを保持する保持部材と
を備えたフラッシュランプユニット。
【請求項６】
前記複数のフラッシュランプが３本のフラッシュランプからなり、前記少なくとも１本のトリガ線が１本のトリガ線からなり、前記複数のフラッシュランプの長手方向に垂直な断面において、前記１本のトリガ線が、前記３本のフラッシュランプによって画定される領域に配置された、請求項５に記載のフラッシュランプユニット。
【請求項７】
フラッシュランプユニットであって、
相互に平行に配置され、各々が一端及び他端にそれぞれ電極を有する複数の直管状のフラッシュランプと、
前記複数のフラッシュランプの一部のフラッシュランプに一対一に対応して近接配置され、かつ前記複数のフラッシュランプ及び該複数のフラッシュランプの照射方向によって画定される領域に含まれないように配置された少なくとも１本の第１のトリガ線と、
前記複数のフラッシュランプのうちの残余の隣接するフラッシュランプ間において当該隣接するフラッシュランプの双方に近接配置された少なくとも１本の第２のトリガ線と、
前記複数のフラッシュランプの前記一端側の複数の電極に共通に接続された第１の配線と、
前記複数のフラッシュランプの前記他端側の複数の電極に共通に接続された第２の配線と、
前記複数のフラッシュランプを保持する保持部材と
を備えたフラッシュランプユニット。
【請求項８】
フラッシュランプ装置であって、
請求項３から７のいずれか一項に記載のフラッシュランプユニットと、
蓄電素子、該蓄電素子から前記フラッシュランプユニットへの電流経路に挿入接続されたコイル、及び前記複数のフラッシュランプを絶縁破壊させるためのトリガ電圧を前記少なくとも１本のトリガ線に印加するための始動回路を有する点灯装置と
を備えたフラッシュランプ装置。
【請求項９】
フラッシュランプ装置であって、
請求項３から７のいずれか一項に記載のフラッシュランプユニットと、
磁気パルス圧縮回路、該磁気パルス圧縮回路を動作開始させる制御部、及び所定のタイミングで前記複数のフラッシュランプを絶縁破壊させるためのトリガ電圧を前記少なくとも１本のトリガ線に印加する始動手段を有する点灯装置と
を備えたフラッシュランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラッシュランプ装置及びフラッシュランプユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１のフラッシュランプ装置は、フラッシュランプと、フラッシュランプにエネルギーを供給するためのコンデンサと、コンデンサとフラッシュランプの間に接続されたコイルと、フラッシュランプに巻回されたトリガ電極と、トリガ電極に接続されたトリガ回路を備える。コンデンサが充電された状態でトリガ回路がトリガ電極に高電圧を印加すると、フラッシュランプが絶縁破壊され、コンデンサからの電流が投入される。これにより、フラッシュランプにはコンデンサの容量とコイルのインダクタンスによって決まるパルス状のランプ電流が流れ、閃光点灯が行われる。
【０００３】
特許文献２の熱処理装置は、上記のような構成において、フラッシュランプに直列接続されたＩＧＢＴ等の半導体スイッチング素子をさらに備え、半導体スイッチング素子が所定のパルス幅及びパルス間隔でオン／オフされる。これにより、半導体スイッチング素子のオン期間に対応する幅のパルス電流がフラッシュランプに投入され、このパルス電流に応じた光パルスが被処理物に照射される。すなわち、半導体スイッチング素子のオン期間を調整することによってランプ電流及び出力光のパルス幅が調整される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許４１４０２７９号公報
【特許文献２】特開２００９−７０９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の装置においては、高いピークで短い幅のパルスからなるランプ電流を生成することが難しく、そのため被照射物に対する高温かつ短時間の閃光照射を実現することができない。例えば、コンデンサの充電電圧を増加させて高いピークのパルス電流及び出力光を生成することは可能であるものの、コンデンサの充電中にフラッシュランプの絶縁破壊が起こる、いわゆる自己絶縁破壊の問題が生じてしまう。また、フラッシュランプの低抵抗化によってもパルス電流の高ピーク化が可能であるが、フラッシュランプを低抵抗化するにはランプ構造の制約としてランプ径を大きくかつランプ長を短くする必要があり、結果としてランプ照射範囲が狭まり、大面積の照射が困難となる。また、コンデンサの容量を増加させることによってもパルス電流の高ピーク化が可能であるが、同時にパルス幅、すなわちパルス波形の裾野が拡がり、詳細を後述するように被照射物における余剰な加熱が問題となる。
【０００６】
また、特許文献２の装置においては、ランプ電流の経路に半導体スイッチング素子が挿入されるため、この半導体スイッチング素子の部品調達及びコストの観点から装置の大容量化（高電圧大電流化）が難しいという問題がある。例えば、ランプ電圧数ｋ〜数１０ｋＶ、ランプ電流数１００Ａ以上が必要となる場合、このような耐電圧及び電流容量の半導体スイッチング素子は、市場での入手が困難であるか、又は非常に高コストとなる。このように、ランプ電流の経路に半導体スイッチング素子が含まれる構成は、理論的には高いピークかつ短い幅のパルス電流を生成することができても、フラッシュランプ装置の出力仕様によっては現実的でない場合がある。
【０００７】
そこで、本発明は、高いピークでかつ短い幅のパルス光を出力可能なフラッシュランプ装置及びそれに適したランプユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示の第１の形態によるフラッシュランプ装置は、並列接続された複数のフラッシュランプ及び複数のフラッシュランプの各々に沿って近接配置された少なくとも１本のトリガ線を有するフラッシュランプユニットと、蓄電素子、その蓄電素子からフラッシュランプユニットへの電流経路に挿入接続されたコイル、及び複数のフラッシュランプを同時に絶縁破壊させるためのトリガ電圧を少なくとも１本のトリガ線に印加するための始動回路を有する点灯装置とを備える。
【０００９】
本開示の第２の形態によるフラッシュランプ装置は、並列接続された複数のフラッシュランプ及び複数のフラッシュランプの各々に沿って近接配置された少なくとも１本のトリガ線を有するフラッシュランプユニットと、磁気パルス圧縮回路、その磁気パルス圧縮回路を動作開始させる制御部、及び所定のタイミングで複数のフラッシュランプを同時に絶縁破壊させるためのトリガ電圧を少なくとも１本のトリガ線に印加する始動手段を有する点灯装置とを備える。
【００１０】
上記第１及び第２の形態のフラッシュランプ装置によると、フラッシュランプユニットにおいて、並列接続された複数のフラッシュランプに点灯装置からのエネルギーが同時に投入されるように構成される。したがって、フラッシュランプユニットのインピーダンスを低下させ、高いピークでかつ短い幅のパルス電流を複数のフラッシュランプに通電することが可能となり、これによりフラッシュランプ装置は高いピークかつ短い幅のパルス光を出力することが可能となる。
【００１１】
本開示の第３の形態によるフラッシュランプユニットは、相互に平行に配置されて各々が一端及び他端にそれぞれ電極を有する複数の直管状のフラッシュランプと、複数のフラッシュランプの各々に一対一に対応して近接配置され、かつ複数のフラッシュランプ及びその複数のフラッシュランプの照射方向によって画定される領域に含まれないように配置された複数のトリガ線と、複数のフラッシュランプの一端側の複数の電極に共通に接続された第１の配線と、複数のフラッシュランプの他端側の複数の電極に共通に接続された第２の配線と、複数のフラッシュランプを保持する保持部材とを備える。
【００１２】
上記構成によると、複数のフラッシュランプを１つのランプ構造体として扱うことができ、複数のフラッシュランプの設置における作業性が高まる。また、複数のトリガ線が、複数のフラッシュランプの各々に一対一に対応して近接配置され、かつ照射方向に含まれないように配置されるので、並列接続された複数のフラッシュランプを同時に点灯させる構成においても、トリガ線が照射の妨げとならない。すなわち、トリガ線自体が照射における影とならずに、高い照射量が確保される。
【００１３】
ここで、フラッシュランプの長手方向に垂直な断面において、複数のフラッシュランプのうちの最外フラッシュランプに対応するトリガ線が、当該最外フラッシュランプの円周上で、背面方向端部の第１の位置から当該最外フラッシュランプに隣接するフラッシュランプから離れる方向に９０度回転した第２の位置までの範囲に配置されることが好ましい。これにより、トリガ線間の離隔距離が増加してトリガ線同士の干渉が最小化される。また、対応しないトリガ線とフラッシュランプとの離隔距離が増加し、トリガ線とフラッシュランプとの一対一の関係性が強化される。したがって、トリガ線から対応のフラッシュランプへの均等な作用による確実なランプ始動が促進される。
【００１４】
本開示の第４の形態によるフラッシュランプユニットは、相互に平行に配置されて各々が一端及び他端にそれぞれ電極を有する複数の直管状のフラッシュランプと、複数のフラッシュランプのうちの隣接フラッシュランプ間において当該隣接フラッシュランプの双方に近接配置された少なくとも１本のトリガ線と、複数のフラッシュランプの一端側の複数の電極に共通に接続された第１の配線と、複数のフラッシュランプの他端側の複数の電極に共通に接続された第２の配線と、複数のフラッシュランプを保持する保持部材とを備える。
【００１５】
上記構成によると、複数のフラッシュランプを１つのランプ構造体として扱うことができ、複数のフラッシュランプの設置における作業性が高まる。また、トリガ線の本数をフラッシュランプの本数以下とすることができ、特にトリガ線の本数がフラッシュランプの本数未満となる場合には、トリガ線がフラッシュランプに一対一で配置される場合と比べてコスト上有利である。また、フラッシュランプの長手方向に垂直な断面において、トリガ線が複数のフラッシュランプの外接形状内に実質的に収容されるので、高いスペース効率が得られる。
【００１６】
また、複数のフラッシュランプが３本のフラッシュランプからなり、少なくとも１本のトリガ線が１本のトリガ線からなり、複数のフラッシュランプの長手方向に垂直な断面において、１本のトリガ線が、３本のフラッシュランプに囲まれる領域に配置されるようにしてもよい。これにより、３本のフラッシュランプを最小数のトリガ線で始動させることができ、コスト上一層有利となる。
【００１７】
また、第５の形態として、上記第３の形態と第４の形態を融合してもよく、この場合のフラッシュランプユニットは、相互に平行に配置されて各々が一端及び他端にそれぞれ電極を有する複数の直管状のフラッシュランプと、複数のフラッシュランプの一部のフラッシュランプに一対一に対応して近接配置され、かつ複数のフラッシュランプ及びその複数のフラッシュランプの照射方向によって画定される領域に含まれないように配置された少なくとも１本の第１のトリガ線と、複数のフラッシュランプのうちの残余の隣接するフラッシュランプ間において当該隣接するフラッシュランプの双方に近接配置された少なくとも１本の第２のトリガ線と、複数のフラッシュランプの一端側の複数の電極に共通に接続された第１の配線と、複数のフラッシュランプの他端側の複数の電極に共通に接続された第２の配線と、複数のフラッシュランプを保持する保持部材とを備える。このように、種々のフラッシュランプの配置に応じてトリガ線の適切な配置が可能となる。
【００１８】
上記第３から第５の形態によるフラッシュランプユニットは、並列接続された複数のフラッシュランプを同時点灯するのに適する。したがって、これらのフラッシュランプユニットは、上記第１及び第２の形態のフラッシュランプ装置のフラッシュランプユニットとして好適に適用される。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１Ａ】第１の実施形態によるフラッシュランプ装置の回路図である。
【図１Ｂ】フラッシュランプ装置における始動回路の一例を示す回路図である。
【図２】第１の実施形態によるフラッシュランプ装置の動作を説明する図である。
【図３】第１の実施形態によるフラッシュランプ装置の動作を説明する図である。
【図４】第２の実施形態によるフラッシュランプ装置の回路図である。
【図５】第２の実施形態によるフラッシュランプ装置の動作を説明する図である。
【図６】第２の実施形態の他の例によるフラッシュランプ装置の回路図である。
【図７Ａ】第２の実施形態における点灯装置の一例を示す回路図である。
【図７Ｂ】第２の実施形態における点灯装置の一例を示す回路図である。
【図７Ｃ】第２の実施形態における点灯装置の一例を示す回路図である。
【図７Ｄ】第２の実施形態における点灯装置の一例を示す回路図である。
【図７Ｅ】第２の実施形態における点灯装置の一例を示す回路図である。
【図８】第３の実施形態によるフラッシュランプユニットを示す図である。
【図９Ａ】第３の実施形態の他の例のフラッシュランプユニットを示す断面図である。
【図９Ｂ】第３の実施形態の他の例のフラッシュランプユニットを示す断面図である。
【図１０】第４の実施形態によるフラッシュランプユニットを示す図である。
【図１１Ａ】第４の実施形態の他の例のフラッシュランプユニットを示す断面図である。
【図１１Ｂ】第４の実施形態の他の例のフラッシュランプユニットを示す断面図である。
【図１１Ｃ】第４の実施形態の他の例のフラッシュランプユニットを示す断面図である。
【図１２】第５の実施形態によるフラッシュランプユニットを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以降に説明する実施形態によるフラッシュランプ装置は、例えば、フレキシブル有機ＥＬ基板をガラス基板等から剥離する工程において使用される。具体的には、この剥離工程の前に、ガラス基板上に柔軟な有機ＥＬ基板が形成される。これは、（後にフレキシブル有機ＥＬ基板となる）有機ＥＬ基板は非常に柔軟であるため、形状的に安定したガラス基板上で有機ＥＬ基板に対する回路部品等の実装処理を行う必要があるためである。有機ＥＬ基板がガラス基板上に形成された後、有機ＥＬ基板及びガラス基板がフラッシュランプによってガラス基板側からパルス照射される。このパルス照射に応じて、有機ＥＬ基板とガラス基板との熱膨張率の差に起因して両基板間に応力が発生し、この応力によって双方の結合が解かれる。そして、このように結合が解かれた状態で有機ＥＬ基板がガラス基板から剥離され、フレキシブル有機ＥＬ基板が完成する。
【００２１】
ここで、フラッシュランプによるパルス照射において、光のパルスのピークが充分に高くない場合、すなわち、ランプ電流のパルス波形のピーク値が充分に高くない場合には、両基板の結合が解除されない。また、光のパルスのピークが充分に高くてもパルス幅が広い場合、すなわち、ランプ電流のパルス波形の半値幅、１／３値幅等が大きい場合には、両基板の結合は解除されるものの、ピーク後に継続する余剰な照射熱によって有機ＥＬ基板内の回路素子が損傷を受ける可能性がある。したがって、有機ＥＬ基板をガラス基板から剥離する工程では、高いピークでかつ短い幅の光のパルス、すなわち、これに対応するランプ電流のパルス波形が生成されることが望ましい。以降の各実施形態によるフラッシュランプ装置は、このようなパルス波形のランプ電流及び光出力を実現するものである。
【００２２】
＜第１の実施形態＞
図１Ａに、本発明の第１の実施形態によるフラッシュランプ装置１００を示す。フラッシュランプ装置１００は、フラッシュランプユニット１（以下、「ランプユニット１」という）及びランプユニット１に電力を供給するための点灯装置２を備える。ランプユニット１は並列接続された複数のフラッシュランプ（以下、「ランプ」という）を含む。本例では、ランプユニット１は、３本のランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃ並びに対応のトリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃを含む。
【００２３】
ランプユニット１において、並列接続されたランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃは同一のランプからなり、キセノンランプ等の閃光放電に適したランプである。トリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃは導電性の金属線からなり、それぞれランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃに近接配置され、始動回路２４からトリガ電圧が印加される。トリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃは、相互に短絡しないように配置される。なお、以降の説明において、ランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃ（さらには後述の実施形態におけるランプ１０ｅ〜１０ｊ）の全体を総称して、又はその一部を代表してランプ１０という場合もある。また、トリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃ（さらには後述の実施形態におけるトリガ線１１ｅ〜１１ｇ）の全体を総称して、又はその一部を代表してトリガ線１１という場合もある。各トリガ線１１と各対応のランプ１０の放電空間内のそれぞれの電位差によって放電空間内に電子が供給され、ランプ１０の始動が促進される。
【００２４】
点灯装置２は、充電回路２１、蓄電素子２２、コイル２３、始動回路２４、制御部２５及び電圧検出回路２６を備える。充電回路２１は直流電源回路である。充電回路２１は、例えば、商用電源等の交流電源が入力される場合には、例えば、交流電圧を全波整流する全波整流器、全波整流出力を平滑する平滑コンデンサ、平滑電圧を高周波で交流変換するフルブリッジ回路、交流変換出力を昇圧する昇圧トランス、及び昇圧トランスの２次出力を整流する整流回路を含む。
【００２５】
蓄電素子２２は、充電回路２１からの昇圧出力を蓄電する。本実施形態では、蓄電素子２２としてコンデンサ（例えば、オイルコンデンサ）を示すが、蓄電素子は電気二重層コンデンサ、バッテリ、電解コンデンサ等であってもよい（以下、「コンデンサ２２」ともいう）。
【００２６】
コイル２３は、コンデンサ２２からランプユニット１へのランプ電流経路上に挿入接続される。コイル２３は、コンデンサ２２からランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃに流れるランプ電流のパルス波形を調整するために通常接続される回路要素である。
【００２７】
始動回路２４は、ランプ１０の点灯時に、制御部２５からの始動信号に応じてトリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃに高電圧パルスを発生させ、ランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃをそれぞれほぼ同時に絶縁破壊させる。始動回路２４は３組の同じパルス生成回路２４ａ、２４ｂ及び２４ｃを含み、パルス生成回路２４ａ〜２４ｃの各々は、図１Ｂに一例を示すように、トランス２４１、トランス２４１の１次巻線２４１ｐに直列接続されたコンデンサ２４２及びスイッチ素子２４３、並びにコンデンサ２４２を充電する電圧源２４４及び抵抗２４５を含む。そして、パルス生成回路２４ａ〜２４ｃの各々におけるトランス２４１の２次巻線２４１ｓが、トリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃにそれぞれ接続される。パルス生成回路２４ａ〜２４ｃの各々において、コンデンサ２４２が充電された状態でスイッチ素子２４３が導通するとコンデンサ２４２からの放電電流により１次巻線２４１ｐに１次パルス電圧が発生する。１次パルス電圧がトランス２４１の巻数比に応じて昇圧され、２次巻線２４１ｓに発生する昇圧された２次パルス電圧が対応のトリガ線１１に印加される。
【００２８】
なお、本実施形態では、３組のパルス生成回路２４ａ、２４ｂ及び２４ｃが３本のトリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃにそれぞれ接続されるものとするが、１組のパルス生成回路が３本のトリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃに対して共通に接続される構成としてもよい。この場合、図１Ｂにおいて、２次巻線２４１ｓからの配線が３本のトリガ線１１に分岐される。また、第４及び第５の実施形態において後述するように、トリガ線１１の接続数がランプ１０の接続数未満である場合もある。
【００２９】
制御部２５は、充電回路２１及び始動回路２４を制御する。制御部２５は、例えば装置外部から点灯指令を受けると、充電回路２１に充電開始信号を出力してコンデンサ２２を充電させる。例えば分圧抵抗（高抵抗素子）からなる電圧検出回路２６によって検出されるコンデンサ２２の充電電圧が所定値に達すると、充電回路２１は充電を停止し、充電完了信号を制御部２５に出力する。あるいは、電圧検出回路２６による電圧検出値が制御部２５に直接入力されるようにして、電圧検出値が所定値に達した時点で制御部２５が充電完了信号を充電回路２１に出力して充電動作を停止させるようにしてもよい。制御部２５は、充電完了信号を受信又は出力すると、始動信号を始動回路２４に出力して始動回路２４ａ〜２４ｃを同時に作動させる（すなわち、それぞれのスイッチ素子２４３を同時にオンする）。
【００３０】
充電回路２１によってコンデンサ２２が充電され、始動回路２４及びトリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃからの始動電圧によってランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃが絶縁破壊されると、コンデンサ２２のエネルギーが、コイル２３を介してランプユニット１に投入され、閃光点灯が行われる。
【００３１】
ここで、本実施形態のようにランプユニット１において３本のランプ１０ａ〜１０ｃが並列接続される場合、及び比較例としてランプユニット１において１本のみのランプ１０が接続されたとした場合おけるランプ電流を比較する。ランプ１０の各々のインピーダンスをＺとし、本実施形態における３本のランプ１０ａ〜１０ｃの合計ランプ電流をｉ３とし、比較例における１本のランプ１０のランプ電流をｉ１とする。いずれの場合においても、コンデンサ２２の充電電圧はＥであり、静電容量はＣであるものとする。
【００３２】
仮にコイル２３のインピーダンスを無視した場合、コンデンサ２２の放電時において、
ｉ１＝Ｅ／Ｚ×ｅ−ｔ／ＣＺ
ｉ３＝Ｅ／（Ｚ／３）×ｅ−３ｔ／ＣＺ
が成り立つ。したがって、この仮定において、ｔ＝０の値を参照すると、ランプ電流ｉ３のピーク値はランプ電流ｉ１のピーク値の３倍となる。また、ｅの指数部分に着目すると、ランプ電流ｉ３の時定数はランプ電流ｉ１の時定数の３分の１となる。したがって、本実施形態のランプユニット１から照射されるパルス光は、比較例のランプユニットから照射されるパルス光に比べて、相対的に尖塔化されることが分かる。実際にはコイル２３にはパルス波形調整に寄与するインピーダンスがあること、コンデンサ２２にも内部抵抗があること、ランプ１０のインピーダンスＺが完全な抵抗体ではないこと（一般には負性抵抗であること）等に起因して、ランプ電流ｉ１及びｉ３の関係は上記理論通りではないものの、ランプ電流ｉ３がランプ電流ｉ１に対して尖塔化される傾向は充分に得られる。
【００３３】
以下に、ランプユニット１において１本のみのランプ１０を接続した場合（比較例Ｃ１）、２本のランプ１０を接続した場合（実施例Ｐ２）及び３本のランプ１０を接続した場合（実施例Ｐ３）について、実際にランプユニット１を点灯させた場合の測定結果を示す。測定において、コンデンサ２２の充電電圧Ｅは３．６ｋＶであり、静電容量Ｃは３００μＦであり、コイル２３のインダクタンスは７０μＨである。
【００３４】
図２に、比較例Ｃ１、実施例Ｐ２及び実施例Ｐ３の測定結果をそれぞれ線Ｃ１、線Ｐ２及び線Ｐ３として示す。図２の横軸は時間であり、縦軸は電流である。ランプ電流のピーク値は、比較例Ｃ１（線Ｃ１）では約１．３ｋＡであり、実施例Ｐ２（線Ｐ２）では約２．１ｋＡであり、実施例Ｐ３（線Ｐ３）では約２．５ｋＡであった。線Ｃ１、Ｐ２及びＰ３のパルスの半値幅は、それぞれ約０．５２ｍｓｅｃ、０．４２ｍｓｅｃ及び０．４２ｍｓｅｃであった。また、線Ｃ１、Ｐ２及びＰ３のパルスの１／３値幅は、それぞれ約０．７２ｍｓｅｃ、０．５１ｍｓｅｃ及び０．５０ｍｓｅｃであった。このように、ランプユニット１において複数のランプ１０を並列接続することによって、単一のランプ１０を接続する場合と比べて、パルスを狭幅化することができる。
【００３５】
図３に、比較のために、線Ｐ２及びＰ３におけるピーク値を比較例Ｃ１と同じ１．３ｋＡまで低下させたとした場合の仮想的なランプ電流波形をそれぞれ線Ｐ１２及び線Ｐ１３として示す。図３の横軸及び縦軸は、図２のものと同じである。ランプ電流のピーク値の低下は、充電電圧Ｅの低下によって得られる。上記の電流値ｉ１及びｉ３の式から分かるように、ランプ電流は充電電圧Ｅに比例するので、線Ｐ１２及びＰ１３はそれぞれ線Ｐ２及びＰ３を単純に縦軸方向に縮小したものとする（したがって、線Ｐ１２の半値幅及び１／３値幅は線Ｐ２のものと同じであり、線Ｐ１３の半値幅及び１／３値幅は線Ｐ３のものと同じである）。
【００３６】
図３において、特に０．５ｍｓｅｃ以降に注目すると、線Ｃ１においては相当量の漸減電流が継続しているのに対し、この漸減電流が線Ｐ１２では大幅に低減され、線Ｐ１３ではさらに低減されていることが分かる。すなわち、比較例Ｃ１と比べて、実施例Ｐ２及びＰ３によると、照射対象物への電流ピークによる加熱後の過剰な余熱が防止されることになる。
【００３７】
以上のように、本実施形態のフラッシュランプ装置１００は、ランプユニット１及び点灯装置２を備える。そして、ランプユニット１は、並列接続された複数のランプ１０、及び複数のランプ１０の各々に沿って近接配置されたトリガ線１１を有する。点灯装置２は、コンデンサ２２、コンデンサ２２からランプユニット１への電流経路に挿入接続されたコイル２３、及び複数のランプ１０を同時に絶縁破壊させるためのトリガ電圧をトリガ線１１に印加するための始動回路２４を有する。このように、ランプユニット１において、並列接続された複数のランプ１０に点灯装置２（コンデンサ２２）からのエネルギーが同時に投入されるように構成される。したがって、ランプユニット１のインピーダンスを低下させ、高いピークでかつ短い幅のパルス電流をランプ１０に通電することが可能となり、これによりフラッシュランプ装置１００は高いピークかつ短い幅のパルス光を出力することができる。したがって、フレキシブル有機ＥＬ基板の製造において、有機ＥＬ基板の回路素子を損傷することなく有機ＥＬ基板をガラス基板から剥離することが可能となり、フレキシブル有機ＥＬ基板の生産性が高まる。
【００３８】
＜第２の実施形態＞
上記第１の実施形態では、点灯装置において蓄電素子から直接ランプ電流を生成する構成を示したが、本実施形態では、磁気パルス圧縮回路からランプ電流を生成する構成を示す。
【００３９】
図４に、第２の実施形態によるフラッシュランプ装置１０１を示す。フラッシュランプ装置１０１はランプユニット１及び点灯装置３を備え、点灯装置３の構成が第１の実施形態の点灯装置２の構成とは異なる。本実施形態において、第１の実施形態のフラッシュランプ装置１００と同様の構成には同様の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００４０】
点灯装置３は磁気パルス圧縮回路３０、制御部４０及び始動手段５０を備える。磁気パルス圧縮回路３０は、充電回路３１、蓄電素子３２、トランス３３、スイッチ素子３４、可飽和インダクタ３５−０〜３５−ｎ及びコンデンサ３６−１〜３６−ｎ＋１を含む（本実施形態では、ｎ＝２）。また、最終段のコンデンサ３６−ｎ＋１（すなわち、コンデンサ３６−３）をコンデンサ３６ｐと表記する場合もある。
【００４１】
充電回路３１は、制御部４０からの充電開始信号に応じて蓄電素子３２を充電する。蓄電素子３２は、オイルコンデンサ、電気二重層コンデンサ、バッテリ、電解コンデンサ等であればよい。充電回路３１には、蓄電素子３２の充電電圧を検出する電圧検出回路（不図示）が設けられ、充電電圧が設定値に達した時点で充電を停止するように構成される。また、充電回路３１が蓄電素子３２の充電完了に応じて充電完了信号を制御部４０に出力するようにしてもよい。
【００４２】
トランス３３は、１次巻線３３ｐ及び２次巻線３３ｓを有する昇圧トランスである。スイッチ素子３４は、ＩＧＢＴ等の半導体スイッチである。可飽和インダクタ３５−０は、いわゆる磁気スイッチであり、その両端間の印加電圧の時間積分値が所定値（特性値）を超えると飽和し、インピーダンスが急峻に低下する。蓄電素子３２、可飽和インダクタ３５−０、１次巻線３３ｐ及びスイッチ素子３４はループを構成するように接続される。なお、可飽和インダクタ３５−０は、スイッチ素子３４のオン時において（スイッチ素子３４にかかる電圧と電流の間に位相差を形成して）スイッチング損失を軽減するためのものであり、損失設計によっては省略可能である。
【００４３】
可飽和インダクタ３５−１及び３５−２は、上記の可飽和インダクタ３５−０と同様の機能を有する。コンデンサ３６−１、３６−２及び３６−３（３６ｐ）は、例えば、フィルムコンデンサからなる。また、コンデンサ３６−１、可飽和インダクタ３５−１及びコンデンサ３６−２が直列回路（以下、「第１の閉ループ」という）を構成するように接続され、コンデンサ３６−２、可飽和インダクタ３５−２及びコンデンサ３６−３（３６ｐ）が直列回路（以下、「第２の閉ループ」という）を構成するように接続される。コンデンサ３６−１はトランス３３の２次巻線３３ｓに並列接続され、可飽和インダクタ３５−１と可飽和インダクタ３５−２の接続ノードにコンデンサ３６−２が接続される。この連続構成を一般化すると、１≦ｋ≦ｎ、１≦ｎについて、コンデンサ３６−ｋ、可飽和インダクタ３５−ｋ及びコンデンサ３６−ｋ＋１によって閉ループが構成されるとともに、コンデンサ３６−ｋと可飽和インダクタ３５−ｋの接続ノードに可飽和インダクタ３５−ｋ＋１が接続されることになる。なお、本実施形態では、ｎ＝２であるが、ｎは１又は３以上であってもよい。
【００４４】
制御部４０は、充電制御部４１及びスイッチ制御部４２を有する。なお、制御部４０は、不図示のＣＰＵ、メモリ及び入出力インターフェイスを含み、ＣＰＵは充電制御部４１及びスイッチ制御部４２を含む。そして、制御部４０内の各構成要素は、適宜のバスを介してデータ又は信号のやり取りが可能な態様で構成されている。
【００４５】
充電制御部４１は、充電回路３１に充電開始信号を出力して充電動作の開始を指示する。スイッチ制御部４２は、スイッチ素子３４のオン／オフを制御する。例えば、スイッチ制御部４２は、充電回路３１から（充電制御部４１を介して、又は直接に）入力された充電完了信号に応じて、スイッチ素子３４を所定の時間幅でオンする。あるいは、スイッチ制御部４２は、充電完了後の所定のタイミングにおいて、スイッチ素子３４を所定の間隔（例えば、ガラス基板及び有機ＥＬ基板を搬送する製造ラインの搬送速度に基づいた間隔等）でかつ所定の時間幅でオンするようにしてもよい。
【００４６】
蓄電素子３２が充電され、スイッチ素子３４がオンされた後、可飽和インダクタ３５−０の両端電圧の積分値が特性値を超えるとそのインピーダンスが急峻に低下し、蓄電素子３２の電荷が可飽和インダクタ３５−０、トランス３３の１次巻線３３ｐ及びスイッチ素子３４を介して放電される。これにより、１次巻線３３ｐから２次巻線３３ｓにエネルギーが伝達され、１次巻線３３ｐに対する２次巻線３３ｓの巻数比に応じて蓄電素子３２の電圧が昇圧される。
【００４７】
始動手段５０は、所定のタイミングでランプ１０ａ〜１０ｃを絶縁破壊させるためのトリガ電圧をトリガ線１１ａ〜１１ｃに同時に印加する。始動手段５０は種々の形態をとることができ、これについては後述する。また、本実施形態でも、トリガ線１１の本数はランプ１０の本数未満である場合もある（第４及び第５の実施形態参照）。
【００４８】
図５は、点灯装置３の動作を説明する図であり、上段に各部電流を示し、下段に各部電圧を示し、横軸は時間である。図５において、コンデンサ３６−１の電圧及び電流をそれぞれＶ１及びＩ１で示し、コンデンサ３６−２の電圧及び電流をそれぞれＶ２及びＩ２で示し、コンデンサ３６ｐの電圧及び電流をそれぞれＶ３及びＩ３で示す。
【００４９】
まず、時刻ｔ０においてスイッチ素子３４がオンされ、２次巻線３３ｓに伝達されたエネルギーに基づいて、昇圧された電圧がコンデンサ３６−１に充電されていく。この過程において、コンデンサ３６−２にも、非飽和状態の（すなわち、高インピーダンス状態の）可飽和インダクタ３５−１を介してわずかに電流が流れ得る。
【００５０】
時刻ｔ１において、コンデンサ３６−１の電圧がピーク付近に達すると、可飽和インダクタ３５−１の両端電圧の積分値が特性値を超え、可飽和インダクタ３５−１が飽和してそのインピーダンスが急峻に低下する。トランス３３による昇圧電圧、コンデンサ３６−１の充電速度等を考慮して、可飽和インダクタ３５−１の特性値が選択されているものとする。可飽和インダクタ３５−１のインピーダンスの低下に応じて、コンデンサ３６−１のエネルギーが可飽和インダクタ３５−１を介してコンデンサ３６−２に放電される。このときの電圧Ｖ２及び電流Ｉ２のパルス波形は、第１の閉ループにおける可飽和インダクタ３５−１、コンデンサ３６−１及びコンデンサ３６−２の共振作用に基づく。この過程において、コンデンサ３６ｐにも、非飽和状態の（すなわち、高インピーダンス状態の）可飽和インダクタ３５−２を介してわずかに電流が流れ得る。
【００５１】
時刻ｔ２において、コンデンサ３６−２の電圧がピーク付近に達すると、可飽和インダクタ３５−２の両端電圧の積分値が特性値を超え、可飽和インダクタ３５−２が飽和してそのインピーダンスが急峻に低下する。トランス３３による昇圧電圧、コンデンサ３６−２の充電速度等を考慮して、可飽和インダクタ３５−２の特性値が選択されているものとする。可飽和インダクタ３５−２のインピーダンスの低下により、コンデンサ３６−２のエネルギーが可飽和インダクタ３５−２を介してコンデンサ３６ｐに放電される。このときの電圧Ｖ３及び電流Ｉ３のパルス波形は、第２の閉ループにおける可飽和インダクタ３５−２、コンデンサ３６−２及びコンデンサ３６ｐの共振作用に基づく。
【００５２】
ここで、可飽和インダクタ３５−２の飽和時における第２の閉ループのインピーダンス及び時定数τ２は、可飽和インダクタ３５−１の飽和時における第１の閉ループのインピーダンス及び時定数τ１よりも小さくなるように設計されている。ここで、コンデンサ３６−ｋ及び３６−ｋ＋１の直列合成容量をＣｋとし、可飽和インダクタ３５−ｋのインダクタンスをＬｋとし、このループの浮遊インダクタンスをＬｘとすると、この閉ループの時定数τｋは、τｋ＝π×｛（Ｌｋ＋Ｌｘ）×Ｃｋ｝１／２  となる。したがって、点灯装置３において、後段の閉ループほど（すなわち、ｋが大きいほど）時定数τが小さくなるように設計される。このような時定数τの設定により、電流Ｉｋ＋１（例えば、電流Ｉ３）のパルス波形は、電流Ｉｋ（例えば、電流Ｉ２）のパルス波形よりも狭幅化及び尖塔化され、より高いピーク及びより短いパルス幅を有することになる。
【００５３】
時刻ｔ２以降のいずれかの時刻において、始動手段５０によってトリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃにトリガ電圧が印加されてランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃが絶縁破壊されると、実質的に電圧Ｖ３及び電流Ｉ３のパルス波形がランプユニット１に印加及び通電される。
【００５４】
なお、磁気パルス圧縮回路３０は、図６に示す回路構成のものであってもよい。図６に示す例では、磁気パルス圧縮回路３０は、充電回路３１、蓄電素子３２、スイッチ素子３４、コイル３７、可飽和インダクタ１５−１〜１５−ｎ及びコンデンサ１６−１〜１６−ｎ＋１を含む。本例においてもｎ＝２の場合を示すが、ｎ＝１又はｎ≧３であってもよい。蓄電素子３２、スイッチ素子３４、コイル３７及びコンデンサ３６−１が直列接続されてループを構成する。コンデンサ３６−１の後段側（すなわち、可飽和インダクタ３５−１〜３５−２及びコンデンサ３６−１〜３６ｐ）の構成及び動作は、図４に関して上述したものと同様である。スイッチ素子３４は、スイッチ制御部４２によって図４の構成と同様の態様でオン／オフ制御される。この構成によると、コイル３７のインピーダンスに起因してスイッチ素子３４の電流が制限されるため、スイッチ素子３４に比較的電流容量の小さいトランジスタ（例えば、ＭＯＳＦＥＴ、バイポーラトランジスタ、ＩＧＢＴ）等の半導体スイッチ素子を用いることができる。
【００５５】
図７Ａ〜図７Ｅを参照して、始動手段５０の種々の例を以下に示す。
図７Ａに示す例では、各トリガ線１１の基端はコンデンサ３６−２と可飽和インダクタ３５−１及び３５−２との接続ノードに電気的に接続され、終端は開放される。本例では、始動手段５０を各トリガ線１１から上記接続ノードまでの配線とみることができる。各トリガ線１１の電圧は、図５に示す電圧Ｖ２と等しい。
【００５６】
あるいは、各トリガ線１１の基端はコンデンサ３６ｐと可飽和インダクタ３５−２との接続ノードに電気的に接続され、終端は開放されるようにしてもよい。この場合、トリガ線１１の電圧は、図５に示す電圧Ｖ３と等しい。いずれの接続構成を採用するのかは、トリガ線１１への電圧印加のタイミングとランプ１０の放電開始のタイミングとの整合を考慮して適宜決定されればよい。これらの構成により、簡素な構成の始動手段５０が実現される。
【００５７】
また、図７Ｂに示す例では、コンデンサ３６−２がコンデンサ３６ａ及び３６ｂの直列回路（コンデンサ分圧回路）からなる。コンデンサ３６ａ及び３６ｂの直列合成容量は、上記各実施形態におけるコンデンサ３６−２の合成容量に等しいものとする。各トリガ線１１はコンデンサ３６ａ及び３６ｂの接続ノード（すなわち分圧点）に電気的に接続され、終端開放される。本例でも、始動手段５０を各トリガ線１１から上記接続ノードまでの配線とみることができる。この場合、トリガ線１１の電圧は、図５に示す電圧Ｖ２の分圧値に等しい。コンデンサ３６ａとコンデンサ３６ｂの容量比は、ランプ１０の絶縁破壊に必要な電圧を考慮して適宜定められる。なお、コンデンサ３６−１又は３６ｐがコンデンサ分圧回路で構成され、この分圧点に各トリガ線１１が電気的に接続されてもよい。コンデンサ分圧回路の分圧比を適正化することによりランプ１０の放電開始電圧を所望値とすることができ、ランプユニット１及び点灯装置３の設計の柔軟性が増す。
【００５８】
また、図７Ｃに示す例では、始動手段５０は、第１の実施形態で説明した始動回路２４からなり、作動されるとトリガ線１１にランプ始動用の所定の高圧パルスを供給する。制御部４０は、充電制御部４１、スイッチ制御部４２及び遅延起動部４３を含む。遅延起動部４３は、スイッチ制御部４２がスイッチ素子３４をオンしてから所定時間だけ遅延させてから始動回路２４を起動（作動）させる。上記の所定時間は、図５に示すような点灯装置３の動作時定数及び始動回路２４の動作時定数を考慮して適宜定められる。これにより、ランプ始動のトリガタイミングを任意に調整することが可能となり、点灯装置３の設計の柔軟性が増す。
【００５９】
また、図７Ｄに示す例では、始動手段５０は、始動回路２４、検出コンデンサ５１及び起動回路５２を有する。検出コンデンサ５１はコンデンサ３６−２に直列接続され、コンデンサ３６−２と検出コンデンサ５１はコンデンサ分圧回路を構成する。検出コンデンサ５１の容量は、コンデンサ３６−２の容量の数１００〜数１０００倍程度である。したがって、コンデンサ３６−２と検出コンデンサ５１の直列合成容量はコンデンサ３６−２の容量に近似し、検出コンデンサ５１を含むループにおけるインピーダンス及び時定数は、検出コンデンサ５１の挿入によっては実質的に影響されない。
【００６０】
起動回路５２は、検出コンデンサ５１に発生する検出電圧、すなわち図５に示す電圧Ｖ２の分圧検出値が所定値を超えると、始動回路２４を起動（作動）させる。なお、本例では、コンデンサ３６−２（ｋ＝２）に検出コンデンサ５１が直列接続される構成を示すが、起動回路５２又は始動回路２４の時定数を考慮して、コンデンサ３６−１（ｋ＝１）に検出コンデンサ５１が直列接続されてもよい。言い換えると、検出コンデンサ５１がコンデンサ３６−２又は３６−１のいずれに接続された場合であってもランプ始動が適切なタイミングとなるように、起動回路５２及び始動回路２４の時定数等が設計される。これにより、ランプ始動のタイミングが、パルス圧縮用の閉ループを構成するコンデンサ３６−ｋ及び検出コンデンサ５１の充電タイミングに同期し、高精度なタイミングでのランプ始動が可能となる。
【００６１】
また、図７Ｅに示す例では、始動手段５０は、始動回路２４、起動回路５２、可飽和インダクタ３５−１の補助巻線３５ｓ、及びダイオード５３を有する。補助巻線３５ｓに発生する電圧（電流）がダイオード５３によって整流され、起動回路５２に入力される。なお、補助巻線３５ｓは、コンデンサ３６−１の電荷がコンデンサ３６−２に放電される際にダイオード５３がオンするような極性で設けられているものとする。
【００６２】
起動回路５２は、この入力電圧、すなわち図５に示す電流Ｉ１に比例する電圧が所定値を超えると、始動回路２４を作動させる。なお、本例では、補助巻線３５ｓは、可飽和インダクタ３５−１（ｋ＝１）に設けられているが、起動回路５２又は始動回路２４の時定数を考慮して、可飽和インダクタ３５−２（ｋ＝２）に設けられてもよい。言い換えると、補助巻線３５ｓが可飽和インダクタ３５−１又は３５−２のいずれに接続された場合であってもランプ始動が適切なタイミングとなるように、起動回路５２及び始動回路２４の時定数等が設計される。これにより、ランプ始動のタイミングが、パルス圧縮用の閉ループを構成する可飽和インダクタ３５−ｋの飽和タイミングに同期し、高精度なタイミングでのランプ始動が可能となる。
【００６３】
以上のように、本実施形態のフラッシュランプ装置１０１は、ランプユニット１と、磁気パルス圧縮回路を含む点灯装置３とを備え、ランプユニット１は、並列接続された複数のランプ１０、及び複数のランプ１０の各々に沿って近接配置されたトリガ線１１を有する。点灯装置３は、磁気パルス圧縮回路３０、磁気パルス圧縮回路３０を動作開始させる制御部４０、及び所定のタイミングで複数のランプ１０を同時に絶縁破壊させるためのトリガ電圧をトリガ線１１に印加する始動手段５０を有する。本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、ランプユニット１のインピーダンスを低下させ、高いピークでかつ短い幅のパルス電流をランプ１０に通電することが可能となり、これによりフラッシュランプ装置１０１は高いピークかつ短い幅のパルス光を出力することができる。また、本実施形態によると、ランプユニット１が１本のランプ１０で構成される場合と比べてパルスを狭幅化することができるので、磁気パルス圧縮回路３０における閉ループ数（すなわち、上述の値ｎ）を減少させることができる。
【００６４】
＜＜第３〜第５の実施形態＞＞
本発明の第３〜第５の実施形態として、上記各実施形態のフラッシュランプ装置１００及び１０１での使用に適したランプユニット１を示す。本実施形態では、特に、ランプ１０とトリガ線１１との配置関係が例示される。ランプ１０の各々は直管状のランプである。トリガ線１１の各々は棒状のトリガ線からなり、種々の態様によってランプ１０に沿って近接配置される。トリガ線１１の各々は、近接配置されるべきランプ１０に対して、接着剤による接着、ワイヤによる繋縛、他の部材からの押圧等により固定されていればよい。
【００６５】
以降の各図において、説明の便宜上、ランプの長手方向（ランプ軸方向）をｚ軸と定義し、ランプの照射方向をｙ軸負方向と定義し、ｚ軸及びｙ軸に垂直な方向をｘ軸と定義する。また、各図の左方向をｘ軸負方向とし、各図の右方向をｘ軸正方向とする。また、各図の下方をｙ軸負方向又は照射方向といい、各図の上方をｙ軸正方向又は背面方向というものとする。ただし、各図面における方向は現実の実施における設置方向を限定するものではなく、図面は必ずしも寸法通りではない。また、各実施形態において、実質的に同じ部材には同じ符号を付し、重複する説明を省略する。
【００６６】
＜第３の実施形態＞
図８に、第３の実施形態によるランプユニット１を示す。図８は、左図に背面方向（ｙ軸正方向）から見たランプユニット１のｘｚ平面図を示し、右図にｘｚ平面図における線Ａ−Ａで切ったｘｙ断面図を示す。ランプユニット１は、ランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃ、トリガ線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃ、配線１２及び１３並びにベース１４及び１５（保持部材）を備える。本実施形態では、ランプ１０とトリガ線１１とが一対一に対応する。したがって、ランプ１０の本数とトリガ線１１の本数は同数である。
【００６７】
ランプ１０ａ〜１０ｃはｚ軸方向に沿って相互に平行に配置され、ランプ軸（ランプ断面円の中心）がｘｙ断面においてｘ軸方向に直線状に配列される。ランプ１０ａ〜１０ｃの一端はベース１４によって固定され、他端はベース１５によって固定される。ランプ１０ａ〜１０ｃは相互に接触していてもよいし、離隔されていてもよい。
【００６８】
配線１２は、ベース１４においてランプ１０ａ〜１０ｃのそれぞれの一方の電極（不図示）に共通に接続され、ベース１４から引き出される。配線１３も同様に、ベース１５においてランプ１０ａ〜１０ｃのそれぞれの他方の電極（不図示）に共通に接続され、ベース１５から引き出される。配線１２及び１３は、ランプユニット１がフラッシュランプ装置１００又は１０１に装着される場合に点灯装置２又は３の適宜のノードに接続される。
【００６９】
ベース１４及び１５は、例えば金属製のカバーである。ベース１４はランプ１０ａ〜１０ｃの一端側を保持及び固定するとともに、ランプ１０ａ〜１０ｃの一端側の電極を相互に電気的に接続する。ベース１５はランプ１０ａ〜１０ｃの他端側を保持及び固定するとともに、ランプ１０ａ〜１０ｃの他端側の電極を相互に電気的に接続する。
【００７０】
トリガ線１１ａ〜１１ｃは、それぞれランプ１０ａ〜１０ｃの背面側に近接配置される。トリガ線１１ａ〜１１ｃは、それぞれランプ１０ａ〜１０ｃの一端付近を経由して、他のトリガ線１１、配線１２及びベース１４の金属部分との絶縁を維持された状態で（又は相互に電磁界の影響を最小化した状態で）、トリガ線１１ａ´、１１ｂ´及び１１ｃ´としてベース１４の内部から引き出される。なお、トリガ線１１ａ´〜１１ｃ´はベース１４の外部で引き出されてもよい。トリガ線１１ａ〜１１ｃのそれぞれの終端はランプ１０ａ〜１０ｃの他端付近で開放される。トリガ線１１ａ´〜１１ｃ´は、電気回路上はトリガ線１１ａ〜１１ｃと同じであり、ランプユニット１がフラッシュランプ装置１００又は１０１に装着される場合に、第１及び第２の実施形態で説明した点灯装置２又は３の適宜のノードに接続される。
【００７１】
上記のように、トリガ線１１は、ランプ１０の背面側に配置されることが好ましい。言い換えると、トリガ線１１は、ランプ１０とその照射方向によって画定される領域には配置されないことが好ましい。これにより、トリガ線１１自体の影による照射量の低下を防止することができる。
【００７２】
なお、図８においては、ｘｙ断面において、トリガ線１１ａ〜１１ｃがランプ１０ａ〜１０ｃの背面方向端部（すなわち、ランプ軸に関してｙ軸正方向の直上）に配置されているが、トリガ線１１ａ及び１１ｃの配置はこれに限られない。例えば、図９Ａに示すように、ｘｙ断面において、複数のランプ１０のうちの最外ランプ１０ａ（１０ｃ）に対応するトリガ線１１ａ（１１ｃ）が、最外ランプ１０ａ（１０ｃ）の円周上で、背面方向端部直上位置から最外ランプ１０ａ（１０ｃ）に隣接するランプ１０ｂから離れる方向に９０度回転した水平位置までの範囲に配置されてもよい。すなわち、本例では、トリガ線１１ａはランプ１０ａのランプ軸に対してｘ軸負方向かつｙ軸正方向の範囲にあり、トリガ線１１ｃはランプ１０ｃのランプ軸に対してｘ軸正方向かつｙ軸正方向の範囲にある。図９Ａにおけるトリガ線１１ｂとランプ１０ｂの位置関係は、図８に示すものと同様である。
【００７３】
これにより、トリガ線１１間の離隔距離が増加することによって、トリガ線１１同士の干渉が最小化される。さらに、トリガ線１１間の離隔距離が増加することによって、対応しないトリガ線１１とランプ１０（すなわち、トリガ線１１ａとランプ１０ｂ、及びトリガ線１１ｃとランプ１０ｂ）の離隔距離が増加し、各ランプ１０と各トリガ線１１の一対一の関係性が強化される。したがって、及びトリガ線１１から対応のランプ１０への均等な作用による確実なランプ始動が実現される。
【００７４】
また、図８では、ｘｙ断面において、ランプ１０ａ〜１０ｃが直線状に配置されているが、ランプ１０の配置はこれに限られない。例えば、図９Ｂに示すように、ランプ１０ａ〜１０ｃは、ｘｙ断面において背面方向に頂点を有する楔状（言い換えると、照射方向に底辺を有する三角形状）に配置されていてもよい。この場合のランプ１０ａ〜１０ｃの各々に対するトリガ線１１ａ〜１１ｃの各々の配置は、図９Ａに示す配置と同様であればよい。
【００７５】
また、図８に示す構成においては、ランプ１０及びトリガ線１１の対の数は３に限られず、２又は４以上であってもよい。また、図９Ａ及び図９Ｂに示す構成において、ランプ１０ａ及びトリガ線１１ａ並びにランプ１０ｃ及びトリガ線１１ｃを最外対として、その間に複数対のランプ１０ｂ及びトリガ線１１ｂがｘ軸方向に配列されてもよい。
【００７６】
以上のように、本実施形態のランプユニット１は、相互に平行に配置されて各々が一端及び他端にそれぞれ電極を有する複数の直管状のランプ１０と、複数のランプ１０の各々に一対一に対応して近接配置され、かつ複数のランプ１０及びその複数のランプ１０の照射方向によって画定される領域に含まれないように配置された複数のトリガ線１１と、複数のランプ１０の一端側の複数の電極に共通に接続された配線１２と、複数のランプ１０の他端側の複数の電極に共通に接続された配線１３と、複数のランプ１０を保持する保持部材（ベース１４及び１５）を備える。
【００７７】
この構成によると、複数のランプ１０を１つのランプ構造体として扱うことができ、複数のランプ１０の設置における作業性が高まる。また、複数のトリガ線１１が、複数のランプ１０の各々に一対一に対応して近接配置され、かつ照射方向に含まれないように配置されるので、複数のランプ１０を同時に点灯させる構成においても、トリガ線１１が照射の妨げとならない。すなわち、トリガ線自体が照射における影とならずに、高い照射量が確保される。このようなランプユニット１は、並列接続された複数のランプ１０が用いられる第１及び第２の実施形態のフラッシュランプ装置１００及び１０１に対して好適に適用される。
【００７８】
＜第４の実施形態＞
図１０に、第４の実施形態によるランプユニット１を示す。図１０は、左図に背面方向（ｙ軸正方向）から見たランプユニット１のｘｚ平面図を示し、右図にｘｚ平面図における線Ｂ−Ｂで切ったｘｙ断面図を示す。ランプユニット１は、ランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃ、トリガ線１１、ランプ線１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１３ａ、１３ｂ及び１３ｃ、配線１２及び１３並びにガラス管１６（保持部材）を備える。本実施形態では、トリガ線１１の各々は隣接するランプ１０の間に配置されることを原則とする。したがって、ランプ１０の本数はトリガ線１１の本数以下となる。
【００７９】
ランプ１０ａ〜１０ｃはｚ軸に沿って平行に配置され、かつｘｙ断面においてランプ軸が三角形（好ましくは、正三角形）を形成するように配置される。ランプ１０ａ〜１０ｃは、両端が開口した円筒形のガラス管１６の内部に挿入される。ランプ１０ａ〜１０ｃは各々の外周がガラス管１６の内壁に接するように配置される。言い換えると、例えば、ガラス管１６は、ランプ１０ａ〜１０ｃとの接触部の摩擦によってランプ１０ａ〜１０ｃを内部に保持及び固定するように寸法取りされる。
【００８０】
なお、ガラス管１６は必ずしも円筒形でなくてもよい。ガラス管１６は、その内壁がランプ１０ａ〜１０ｃの各々に接するように構成されていればよく、三角柱形状（例えば、断面が正三角形をなすもの）、三角柱のエッジ部を丸くした形状（例えば、断面が、角の丸い正三角形をなすもの）、その他多角柱形状等であってもよい。また、本例では、ガラス管１６のｚ軸方向長さがランプ１０のｚ軸方向長さよりも短い構成を示すが、ガラス管１６のｚ軸方向長さはランプ１０のｚ軸方向長さ以上であってもよい。またさらに、ランプ１０ａ〜１０ｃを保持する保持部材としてガラス管１６の代わりにベース１４及び１５が用いられてもよい。
【００８１】
ランプ線１２ａ、１２ｂ及び１２ｃは、ランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃのそれぞれの一方の電極（不図示）に接続されるとともに１本の配線１２に結合される。同様に、ランプ線１３ａ、１３ｂ及び１３ｃは、ランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃのそれぞれの他方の電極（不図示）に接続されるとともに１本の配線１３に結合される。配線１２及び１３は、ランプユニット１がフラッシュランプ装置１００又は１０１に装着される場合に点灯装置２又は３の適宜の箇所に接続される。
【００８２】
トリガ線１１は、ｘｙ断面において、ランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃによって画定される領域に配置される。好ましくは、トリガ線１１は、ｘｙ断面において、ランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃのランプ軸によって形成される正三角形の重心に位置するように構成される。トリガ線１１の外径がランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃの内側外接円の直径よりも小さい場合（すなわち、トリガ線１１がランプ１０ａ〜１０ｃの全てに接触しない場合）には、例えば、トリガ線１１が被覆（不図示）を有してその被覆の外周がランプ１０ａ〜１０ｃの各々に外接するように構成されてもよい。トリガ線１１の基端は、ランプ１０ａ〜１０ｃの一端付近を経由してランプ線１２ａ〜１２ｃ及び配線１２との絶縁を維持された状態で（又は相互に電磁界の影響を最小化した状態で）トリガ線１１´としてガラス管１６の外部に引き出される。トリガ線１１の終端はランプ１０ａ〜１０ｃの他端付近で開放される。トリガ線１１´は、電気回路上はトリガ線１１と同じであり、ランプユニット１がフラッシュランプ装置１００又は１０１に装着される場合に、第１及び第２の実施形態で説明した点灯装置２又は３の適宜のノードに接続される。
【００８３】
本実施形態の変形例として、図１１Ａ〜図１１Ｃに示すようなｘｙ断面を有するランプユニットの例も可能である。図１１Ａ及び図１１Ｂに示すランプユニット１は、３本のランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃ並びに２本のトリガ線１１ｄ及び１１ｅを備え、図１１Ｃに示すランプユニット１は、３本のランプ１０ａ、１０ｂ及び１０ｃ並びに３本のトリガ線１１ｄ、１１ｅ及び１１ｆを備える。なお、ガラス管１６の図示は省略されている。
【００８４】
図１１Ａに示す例では、ランプ軸がｘｙ断面においてｘ軸方向に直線状に配列されるようにランプ１０ａ〜１０ｃが配置される。図１１Ｂに示す例では、ランプ軸がｘｙ断面において三角形をなすようにランプ１０ａ〜１０ｃが配置される。いずれの場合においても、トリガ線１１ｄがランプ１０ａとランプ１０ｂの間の領域のうちの背面側の領域に近接配置され、トリガ線１１ｅがランプ１０ｂとトランプ１０ｃの間の領域のうちの背面側の領域に近接配置される。また、図１１Ａに示す構成においては、ランプ１０の本数及びトリガ線１１の本数をそれぞれｎ及びｎ−１とした場合のｎ＝３の場合を示すが、ｎ＝２又はｎ≧４であってもよい。
【００８５】
図１１Ｃに示す例では、ランプ軸がｘｙ断面において正三角形をなすようにランプ１０ａ〜１０ｃが配置される。トリガ線１１ｄ及び１１ｅの配置は、図１１Ｂにおける配置と同様である。トリガ線１１ｆは、ｘｙ断面において、ランプ１０ｃ及び１０ａの間の領域のうち照射面側の領域においてランプ１０ｃ及び１０ａの双方に近接配置される。この場合、トリガ線１１ｆが照射方向への照射量に与える影響を考慮する必要があるが、３本のランプ１０に対する３本のトリガ線１１の配置が対称化され、各ランプ１０における始動条件がより均等化される。
【００８６】
以上説明した本実施形態によると、ランプユニット１は、相互に平行に配置されて各々が一端及び他端にそれぞれ電極を有する複数の直管状のランプ１０と、複数のランプ１０のうちの隣接ランプ間において当該隣接ランプの双方に近接配置された少なくとも１本のトリガ線１１と、複数のランプ１０の一端側の複数の電極に共通に接続された配線１２と、複数のランプ１０の他端側の複数の電極に共通に接続された配線１３と、複数のフラッシュランプを保持する保持部材（ガラス管１６又はベース１４及び１５）を備える。
【００８７】
この構成によると、複数のランプ１０を１つのランプ構造体として扱うことができ、複数のランプ１０の設置における作業性が高まる。また、トリガ線１１の本数をランプ１０の本数以下とすることができ、特にトリガ線１１の本数がランプ１０の本数未満となる場合には、トリガ線１１がランプ１０に一対一で配置される場合と比べてコスト上有利である。また、ｘｙ垂直な断面において、トリガ線１１が複数のランプ１０の外接形状内に実質的に収容されるので、高いスペース効率が得られる。このようなランプユニット１は、並列接続された複数のランプ１０が用いられる第１及び第２の実施形態のフラッシュランプ装置１００及び１０１に対して好適に適用される。
【００８８】
また、複数のランプ１０が３本のランプ１０からなり、少なくとも１本のトリガ線１１が１本のトリガ線１１からなり、ｘｙ断面において、１本のトリガ線１１が、３本のランプ１０によって画定される領域に配置される。この構成によると、３本のランプ１０を１本のトリガ線１１のみで始動させることができ、コスト上最も有利である。ランプユニット１だけでなく、点灯装置２及び３においても始動回路２４又は始動手段５０が簡素化され、フラッシュランプ装置１００及び１０１全体としてもコスト上有利となる。
【００８９】
＜第５の実施形態＞
図１２に、第３の実施形態と第４の実施形態を融合した第５の実施形態によるランプユニット１のｘｙ断面を示す。ランプユニット１は、ランプ１０ａ〜１０ｊ及びトリガ線１１ａ〜１１ｇを有する。なお、ランプ１０の端部付近の構造は第３の実施形態と同様であるものとする。すなわち、ランプユニット１は、複数のランプ１０の一端側の複数の電極に共通に接続された配線１２（不図示）と、複数のランプ１０の他端側の複数の電極に共通に接続された配線１３（不図示）と、複数のランプ１０の両端を保持する保持部材としてのベース１４及び１５（不図示）を有するものとする。
【００９０】
ランプ１０ａ〜１０ｊはｚ軸方向において相互に平行に配置される。ｘｙ断面において、ランプ１０ａ〜１０ｃ、ランプ１０ｅ〜１０ｇ及びランプ１０ｈ〜１０ｊがそれぞれ三角形を形成する。別の見方をすると、ｘｙ断面において、ランプ１０ａ、１０ｃ、１０ｄ、１０ｆ、１０ｇ及び１０ｊが照射方向に対して前段に配置され、残余のランプ１０ｂ、１０ｅ及び１０ｉが照射方向に対して後段に配置される。
【００９１】
ランプ１０ａにはトリガ線１１ａが、ランプ１０ｂにはトリガ線１１ｂが、ランプ１０ｃ及び１０ｄにはトリガ線１１ｃが、ランプ１０ｅにはトリガ線１１ｄが、ランプ１０ｆ及び１０ｇにはトリガ線１１ｅが、ランプ１０ｈにはトリガ線１１ｆが、ランプ１０ｊにはトリガ線１１ｇが近接配置される。ｘｙ断面において、トリガ線１１ｂ、１１ｄ及び１１ｆはそれぞれランプ１０ｂ、１０ｅ及び１０ｈの背面側先端に配置され、トリガ線１１ａ及び１１ｇはそれぞれランプ１０ａ及び１０ｊの背面側かつ外側に配置される（第３の実施形態参照）。また、ｘｙ断面において、トリガ線１１ｃはランプ１０ｃとランプ１０ｄの間の背面方向側の領域に配置され、トリガ線１１ｅはランプ１０ｆとランプ１０ｇの間の背面方向側の領域に配置される（第４の実施形態参照）。なお、当業者であれば、ランプ１０及びトリガ線１１の配置は図１２の例に限られずに多数の例が存在し得ることが分かるはずである。
【００９２】
本実施形態によると、ランプユニット１は、相互に平行に配置されて各々が一端及び他端にそれぞれ電極を有する複数の直管状のランプ１０と、複数のランプ１０の一部のランプ１０に一対一に対応して近接配置され、かつ複数のランプ１０及びその複数のランプ１０の照射方向によって画定される領域に含まれないように配置された少なくとも１本の第１のトリガ線１１と、複数のランプのうちの残余の隣接するランプの間において当該隣接するランプ１０の双方に近接配置された少なくとも１本の第２のトリガ線と、上記の配線及び保持部材とを備える。このように、ランプ１０に対するトリガ線１１の配置において、種々の組合せが可能である。このようなランプユニット１は、並列接続された複数のランプ１０が用いられる第１及び第２の実施形態のフラッシュランプ装置１００及び１０１に対して好適に適用される。
【００９３】
＜変形例＞
以上に本発明の好適な実施形態を示したが、本発明は、例えば以下に示すように種々の態様に変形可能である。
【００９４】
（１）反射板の付加
上記第３〜第５の実施形態において、ランプユニット１の背面側に反射板が設けられてもよい。例えば、反射板がベース１４とベース１５とを接続及び固定するようにしてもよい。この場合、反射板が保持部材の一部を構成する。また、ガラス管１６の背面側壁面に、反射膜としての金属コーティング又は反射板としての金属板が設けられてもよい。
【００９５】
（２）フラッシュランプ装置の光源及び用途の変更
上記各実施形態では、キセノンランプであるランプ１０を有するフラッシュランプ装置１００及び１０１がフレキシブル有機ＥＬ基板の剥離工程に用いられることを想定した。一方、ランプ１０は、閃光点灯（フラッシュ点灯）のためのランプであれば他の種類のランプであってもよい。また、本発明のフラッシュランプ装置は、高いピークでかつ短い幅のパルス光を必要とする用途であれば、紫外線硬化（キュアリング）装置などの他の用途にも適用可能である。
【符号の説明】
【００９６】
１  フラッシュランプユニット
２、３  点灯装置
１０、１０ａ〜１０ｊ  フラッシュランプ
１１、１１ａ〜１１ｇ  トリガ線
１２、１３  配線
１４、１５  ベース（保持部材）
１６  ガラス管（保持部材）
２２  蓄電素子
２３  コイル
２４  始動回路
３０  磁気パルス圧縮回路
４０  制御部
５０  始動手段
１００、１０１  フラッシュランプ装置
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図７Ｅ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１１Ｃ】
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【図１２】
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