(57)【要約】【課題】測定環境に関する物理量の値に応じて被測定量を的確に補正する補正値を算出する。【解決手段】電気部品１００についての被測定量の測定値を補正する際の補正値を算出する処理部１７と、基準環境状態において測定された基準測定値と、第１の環境状態において測定された第１の測定値と、第２の環境状態において測定された第２の測定値と、第３の環境状態において測定された第３の測定値と、第４の環境状態において測定された第４の測定値とを記憶可能な記憶部１５とを備え、処理部１７は、各測定値並びに各環境状態における第１の物理量および第２の物理量に基づいて補正値を算出する。【選択図】図１
2018031609.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定環境に関する第１の物理量および第２の物理量の変化と被測定量の変化とがそれぞれ線形関係にある当該被測定量を測定対象について測定した測定値を、前記第１の物理量の値が第１基準値で前記第２の物理量の値が第２基準値である基準環境状態における値に補正する際の補正値を算出する処理を実行する処理部を備え、
前記基準環境状態において測定された前記測定値としての基準測定値と、前記第１の物理量の値が前記第１基準値よりも大きい第１の環境値で前記第２の物理量の値が前記第２基準値以上の第２の環境値である第１の環境状態において測定された前記測定値としての第１の測定値と、前記第１の物理量の値が前記第１基準値以下の第３の環境値で前記第２の物理量の値が前記第２基準値よりも大きい第４の環境値である第２の環境状態において測定された前記測定値としての第２の測定値と、前記第１の物理量の値が前記第１基準値よりも小さい第５の環境値で前記第２の物理量の値が前記第２基準値以下の第６の環境値である第３の環境状態において測定された前記測定値としての第３の測定値と、前記第１の物理量の値が前記第１基準値以上の第７の環境値で前記第２の物理量の値が前記第２基準値よりも小さい第８の環境値である第４の環境状態において測定された前記測定値としての第４の測定値とを記憶可能な記憶部を備え、
前記処理部は、前記第１の物理量を横軸として前記第２の物理量を縦軸とすると共に前記第１基準値および前記第２基準値によって特定される座標を原点とする直交座標系を設定し、
前記測定対象の被測定量を測定したときの前記第１の物理量の値および前記第２の物理量の値によって特定される座標としての対象座標が、前記第１の環境値および前記第２の環境値によって特定される座標としての第１の座標を通って前記原点を起点する半直線と前記第３の環境値および前記第４の環境値によって特定される座標としての第２の座標を通って当該原点を起点とする半直線とで挟まれた内角部分の領域である第１領域に属しているときには、前記第１の座標および前記第２の座標を結ぶ線分である第１線分と前記対象座標および前記原点を結ぶ線分である対象線分との交点の座標としての第１交点座標を特定し、前記第１交点座標から前記第１の座標までの距離、前記第１交点座標から前記第２の座標までの距離、前記第１の測定値と前記基準測定値との差分値、および前記第２の測定値と前記基準測定値との差分値に基づいて、前記第１の物理量および前記第２の物理量の各値が前記第１交点座標に対応する各値のときに測定されるべき前記測定値と前記基準測定値との差分値である第１差分値を算出し、前記原点から前記第１交点座標までの距離、前記原点から前記対象座標までの距離、および前記第１差分値に基づいて前記補正値を算出し、
前記第２の座標を通って前記原点を起点とする半直線と前記第５の環境値および前記第６の環境値によって特定される座標としての第３の座標を通って当該原点を起点とする半直線とで挟まれた内角部分の領域である第２領域に前記対象座標が属しているときには、前記第２の座標および前記第３の座標を結ぶ線分である第２線分と前記対象線分との交点の座標としての第２交点座標を特定し、前記第２交点座標から前記第２の座標までの距離、前記第２交点座標から前記第３の座標までの距離、前記第２の測定値と前記基準測定値との差分値、および前記第３の測定値と前記基準測定値との差分値に基づいて、前記第１の物理量および前記第２の物理量の各値が前記第２交点座標に対応する各値のときに測定されるべき前記測定値と前記基準測定値との差分値である第２差分値を算出し、前記原点から前記第２交点座標までの距離、前記原点から前記対象座標までの距離、および前記第２差分値に基づいて前記補正値を算出し、
前記第３の座標を通って前記原点を起点とする半直線と前記第７の環境値および前記第８の環境値によって特定される座標としての第４の座標を通って当該原点を起点とする半直線とで挟まれた内角部分の領域である第３領域に前記対象座標が属しているときには、前記第３の座標および前記第４の座標を結ぶ線分である第３線分と前記対象線分との交点の座標としての第３交点座標を特定し、前記第３交点座標から前記第３の座標までの距離、前記第３交点座標から前記第４の座標までの距離、前記第３の測定値と前記基準測定値との差分値、および前記第４の測定値と前記基準測定値との差分値に基づいて、前記第１の物理量および前記第２の物理量の各値が前記第３交点座標に対応する各値のときに測定されるべき前記測定値と前記基準測定値との差分値である第３差分値を算出し、前記原点から前記第３交点座標までの距離、前記原点から前記対象座標までの距離、および前記第３差分値に基づいて前記補正値を算出し、
前記第４の座標を通って前記原点を起点とする半直線と前記第１の座標を通って当該原点を起点とする半直線とで挟まれた内角部分の領域である第４領域に前記対象座標が属しているときには、前記第４の座標および前記第１の座標を結ぶ線分である第４線分と前記対象線分との交点の座標としての第４交点座標を特定し、前記第４交点座標から前記第４の座標までの距離、前記第４交点座標から前記第１の座標までの距離、前記第４の測定値と前記基準測定値との差分値、および前記第１の測定値と前記基準測定値との差分値に基づいて、前記第１の物理量および前記第２の物理量の各値が前記第４交点座標に対応する各値のときに測定されるべき前記測定値と前記基準測定値との差分値である第４差分値を算出し、前記原点から前記第４交点座標までの距離、前記原点から前記対象座標までの距離、および前記第４差分値に基づいて前記補正値を算出する処理装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記第１の測定値、前記第２の測定値、前記第３の測定値および前記第４の測定値のうちの１つの当該測定値と、前記基準測定値とが前記記憶部に予め記憶され、前記第１の測定値から前記第４の測定値のうちの他の当該３つの測定値が当該記憶部に予め記憶されていないときには、
前記１つの測定値に対応する前記座標を前記原点を中心として９０°、１８０°および２７０°それぞれ回動させた各座標にそれぞれ対応する前記各物理量の各値を前記１つの測定値を除く前記他の３つの測定値に対応する前記環境値として設定して前記記憶部に記憶させると共に、
前記９０°回動させた座標に対応する前記測定値および前記２７０°回動させた座標に対応する前記測定値として、前記基準測定値をそれぞれ設定して前記記憶部に記憶させ、
前記１８０°回動させた座標に対応する前記測定値として、前記基準測定値の２倍の値から前記１つの測定値を減算した値を設定して前記記憶部に記憶させる第１の設定処理を実行する請求項１記載の処理装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記第１の測定値、前記第２の測定値、前記第３の測定値および前記第４の測定値のうちの、前記直交座標系における互いに隣接する２つの象限に位置する２つの前記座標にそれぞれ対応する２つの当該測定値と、前記基準測定値とが前記記憶部に予め記憶され、前記第１の測定値から前記第４の測定値のうちの他の当該２つの測定値が当該記憶部に予め記憶されていないときには、
前記２つの測定値の一方に対応する前記座標を前記原点を中心として１８０°回動させた座標に対応する前記各物理量の各値を前記他の２つの測定値の一方に対応する前記環境値として設定して前記記憶部に記憶させると共に、前記測定値の一方として、前記基準測定値の２倍の値から前記２つの測定値の一方を減算した値を設定して前記記憶部に記憶させ、
前記２つの測定値の他方に対応する前記座標を前記原点を中心として１８０°回動させた座標に対応する前記各物理量の各値を前記他の２つの測定値の他方に対応する前記環境値として設定して前記記憶部に記憶させると共に、前記測定値の他方として、前記基準測定値の２倍の値から前記２つの測定値の他方を減算した値を設定して前記記憶部に記憶させる第２の設定処理を実行する請求項１記載の処理装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記第１の測定値、前記第２の測定値、前記第３の測定値および前記第４の測定値のうちの、前記直交座標系における互いに対角関係にある２つの象限に位置する２つの前記座標にそれぞれ対応する２つの当該測定値と、前記基準測定値とが前記記憶部に予め記憶され、前記第１の測定値から前記第４の測定値のうちの他の当該２つの測定値が当該記憶部に予め記憶されていないときには、
前記２つの座標を通る直線に直交しかつ前記原点を通る直線上に位置し、前記２つの座標にそれぞれ対応する前記第１の物理量の各値のいずれか一方から他方を減算した値の２乗値と前記２つの座標にそれぞれ対応する前記第２の物理量の各値のいずれか一方から他方を減算した値の２乗値との合計値の平方根の値だけ前記原点から離間した２つの座標にそれぞれ対応する前記各物理量の各値を前記他の２つの測定値に対応する前記環境値として設定して前記記憶部に記憶させると共に、前記基準測定値を前記他の２つの測定値として設定して前記記憶部に記憶させる第３の設定処理を実行する請求項１記載の処理装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記第１の測定値、前記第２の測定値、前記第３の測定値および前記第４の測定値のうちの３つの当該測定値と、前記基準測定値とが前記記憶部に予め記憶され、前記第１の測定値から前記第４の測定値のうちの他の当該１つの測定値が当該記憶部に予め記憶されていないときには、
前記直交座標系における４つの象限のうちの前記３つの測定値に対応する前記各座標が位置する各象限を除く他の１つの象限に対して対角関係にある象限に位置する前記座標を前記原点を中心として１８０°回動させた座標に対応する前記各物理量の各値を前記他の１つの測定値に対応する前記環境値に設定して前記記憶部に記憶させると共に、
前記他の１つの測定値として、前記基準測定値の２倍の値から前記対角関係にある象限に位置する前記座標に対応する前記測定値を減算した値を設定して前記記憶部に記憶させる第４の設定処理を実行する請求項１記載の処理装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の処理装置と、前記各物理量および前記被測定量を測定する測定部と、前記測定対象について測定された前記被測定量の測定値を前記処理装置によって算出された前記補正値で補正する補正部とを備えている測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象について測定した被測定量の測定値を補正する際の補正値を算出する処理を実行する処理装置、およびその処理装置を備えた測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の測定装置として、下記特許文献１において出願人が開示したＬＣＲテスタが知られている。このＬＣＲテスタは、外部信号源から出力された測定用交流電圧を被測定試料の両端間に供給しつつ、この試料を流れる交流電流の電流値と、試料の両端間電圧の電圧値とを測定し、各測定値を用いた演算処理によって測定対象（試料）のインダクタンス、キャパシタンスおよびレジスタンス等の被測定量（パラメータ）を測定可能に構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平６−３０７７９号公報（第１５−１９頁、第１−５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記したＬＣＲテスタには、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このＬＣＲテスタを含むこの種の測定装置で測定される被測定量は、一般的に測定環境によって異なる（誤差を生じる）ため、測定したときの測定環境に応じて測定値を補正するのが好ましい。しかしながら、上記のＬＣＲテスタには、測定環境に応じた測定値の補正機能が備えられていないため、測定値の精度の向上が困難となっており、この点の改善が望まれている。
【０００５】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、測定環境に関する物理量の値に応じて被測定量を的確に補正する補正値を算出し得る処理装置および測定装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の処理装置は、測定環境に関する第１の物理量および第２の物理量の変化と被測定量の変化とがそれぞれ線形関係にある当該被測定量を測定対象について測定した測定値を、前記第１の物理量の値が第１基準値で前記第２の物理量の値が第２基準値である基準環境状態における値に補正する際の補正値を算出する処理を実行する処理部を備え、前記基準環境状態において測定された前記測定値としての基準測定値と、前記第１の物理量の値が前記第１基準値よりも大きい第１の環境値で前記第２の物理量の値が前記第２基準値以上の第２の環境値である第１の環境状態において測定された前記測定値としての第１の測定値と、前記第１の物理量の値が前記第１基準値以下の第３の環境値で前記第２の物理量の値が前記第２基準値よりも大きい第４の環境値である第２の環境状態において測定された前記測定値としての第２の測定値と、前記第１の物理量の値が前記第１基準値よりも小さい第５の環境値で前記第２の物理量の値が前記第２基準値以下の第６の環境値である第３の環境状態において測定された前記測定値としての第３の測定値と、前記第１の物理量の値が前記第１基準値以上の第７の環境値で前記第２の物理量の値が前記第２基準値よりも小さい第８の環境値である第４の環境状態において測定された前記測定値としての第４の測定値とを記憶可能な記憶部を備え、前記処理部は、前記第１の物理量を横軸として前記第２の物理量を縦軸とすると共に前記第１基準値および前記第２基準値によって特定される座標を原点とする直交座標系を設定し、前記測定対象の被測定量を測定したときの前記第１の物理量の値および前記第２の物理量の値によって特定される座標としての対象座標が、前記第１の環境値および前記第２の環境値によって特定される座標としての第１の座標を通って前記原点を起点する半直線と前記第３の環境値および前記第４の環境値によって特定される座標としての第２の座標を通って当該原点を起点とする半直線とで挟まれた内角部分の領域である第１領域に属しているときには、前記第１の座標および前記第２の座標を結ぶ線分である第１線分と前記対象座標および前記原点を結ぶ線分である対象線分との交点の座標としての第１交点座標を特定し、前記第１交点座標から前記第１の座標までの距離、前記第１交点座標から前記第２の座標までの距離、前記第１の測定値と前記基準測定値との差分値、および前記第２の測定値と前記基準測定値との差分値に基づいて、前記第１の物理量および前記第２の物理量の各値が前記第１交点座標に対応する各値のときに測定されるべき前記測定値と前記基準測定値との差分値である第１差分値を算出し、前記原点から前記第１交点座標までの距離、前記原点から前記対象座標までの距離、および前記第１差分値に基づいて前記補正値を算出し、前記第２の座標を通って前記原点を起点とする半直線と前記第５の環境値および前記第６の環境値によって特定される座標としての第３の座標を通って当該原点を起点とする半直線とで挟まれた内角部分の領域である第２領域に前記対象座標が属しているときには、前記第２の座標および前記第３の座標を結ぶ線分である第２線分と前記対象線分との交点の座標としての第２交点座標を特定し、前記第２交点座標から前記第２の座標までの距離、前記第２交点座標から前記第３の座標までの距離、前記第２の測定値と前記基準測定値との差分値、および前記第３の測定値と前記基準測定値との差分値に基づいて、前記第１の物理量および前記第２の物理量の各値が前記第２交点座標に対応する各値のときに測定されるべき前記測定値と前記基準測定値との差分値である第２差分値を算出し、前記原点から前記第２交点座標までの距離、前記原点から前記対象座標までの距離、および前記第２差分値に基づいて前記補正値を算出し、前記第３の座標を通って前記原点を起点とする半直線と前記第７の環境値および前記第８の環境値によって特定される座標としての第４の座標を通って当該原点を起点とする半直線とで挟まれた内角部分の領域である第３領域に前記対象座標が属しているときには、前記第３の座標および前記第４の座標を結ぶ線分である第３線分と前記対象線分との交点の座標としての第３交点座標を特定し、前記第３交点座標から前記第３の座標までの距離、前記第３交点座標から前記第４の座標までの距離、前記第３の測定値と前記基準測定値との差分値、および前記第４の測定値と前記基準測定値との差分値に基づいて、前記第１の物理量および前記第２の物理量の各値が前記第３交点座標に対応する各値のときに測定されるべき前記測定値と前記基準測定値との差分値である第３差分値を算出し、前記原点から前記第３交点座標までの距離、前記原点から前記対象座標までの距離、および前記第３差分値に基づいて前記補正値を算出し、前記第４の座標を通って前記原点を起点とする半直線と前記第１の座標を通って当該原点を起点とする半直線とで挟まれた内角部分の領域である第４領域に前記対象座標が属しているときには、前記第４の座標および前記第１の座標を結ぶ線分である第４線分と前記対象線分との交点の座標としての第４交点座標を特定し、前記第４交点座標から前記第４の座標までの距離、前記第４交点座標から前記第１の座標までの距離、前記第４の測定値と前記基準測定値との差分値、および前記第１の測定値と前記基準測定値との差分値に基づいて、前記第１の物理量および前記第２の物理量の各値が前記第４交点座標に対応する各値のときに測定されるべき前記測定値と前記基準測定値との差分値である第４差分値を算出し、前記原点から前記第４交点座標までの距離、前記原点から前記対象座標までの距離、および前記第４差分値に基づいて前記補正値を算出する。
【０００７】
また、請求項２記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記処理部は、前記第１の測定値、前記第２の測定値、前記第３の測定値および前記第４の測定値のうちの１つの当該測定値と、前記基準測定値とが前記記憶部に予め記憶され、前記第１の測定値から前記第４の測定値のうちの他の当該３つの測定値が当該記憶部に予め記憶されていないときには、前記１つの測定値に対応する前記座標を前記原点を中心として９０°、１８０°および２７０°それぞれ回動させた各座標にそれぞれ対応する前記各物理量の各値を前記１つの測定値を除く前記他の３つの測定値に対応する前記環境値として設定して前記記憶部に記憶させると共に、前記９０°回動させた座標に対応する前記測定値および前記２７０°回動させた座標に対応する前記測定値として、前記基準測定値をそれぞれ設定して前記記憶部に記憶させ、前記１８０°回動させた座標に対応する前記測定値として、前記基準測定値の２倍の値から前記１つの測定値を減算した値を設定して前記記憶部に記憶させる第１の設定処理を実行する。
【０００８】
また、請求項３記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記処理部は、前記第１の測定値、前記第２の測定値、前記第３の測定値および前記第４の測定値のうちの、前記直交座標系における互いに隣接する２つの象限に位置する２つの前記座標にそれぞれ対応する２つの当該測定値と、前記基準測定値とが前記記憶部に予め記憶され、前記第１の測定値から前記第４の測定値のうちの他の当該２つの測定値が当該記憶部に予め記憶されていないときには、前記２つの測定値の一方に対応する前記座標を前記原点を中心として１８０°回動させた座標に対応する前記各物理量の各値を前記他の２つの測定値の一方に対応する前記環境値として設定して前記記憶部に記憶させると共に、前記測定値の一方として、前記基準測定値の２倍の値から前記２つの測定値の一方を減算した値を設定して前記記憶部に記憶させ、前記２つの測定値の他方に対応する前記座標を前記原点を中心として１８０°回動させた座標に対応する前記各物理量の各値を前記他の２つの測定値の他方に対応する前記環境値として設定して前記記憶部に記憶させると共に、前記測定値の他方として、前記基準測定値の２倍の値から前記２つの測定値の他方を減算した値を設定して前記記憶部に記憶させる第２の設定処理を実行する。
【０００９】
また、請求項４記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記処理部は、前記第１の測定値、前記第２の測定値、前記第３の測定値および前記第４の測定値のうちの、前記直交座標系における互いに対角関係にある２つの象限に位置する２つの前記座標にそれぞれ対応する２つの当該測定値と、前記基準測定値とが前記記憶部に予め記憶され、前記第１の測定値から前記第４の測定値のうちの他の当該２つの測定値が当該記憶部に予め記憶されていないときには、前記２つの座標を通る直線に直交しかつ前記原点を通る直線上に位置し、前記２つの座標にそれぞれ対応する前記第１の物理量の各値のいずれか一方から他方を減算した値の２乗値と前記２つの座標にそれぞれ対応する前記第２の物理量の各値のいずれか一方から他方を減算した値の２乗値との合計値の平方根の値だけ前記原点から離間した２つの座標にそれぞれ対応する前記各物理量の各値を前記他の２つの測定値に対応する前記環境値として設定して前記記憶部に記憶させると共に、前記基準測定値を前記他の２つの測定値として設定して前記記憶部に記憶させる第３の設定処理を実行する。
【００１０】
また、請求項５記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記処理部は、前記第１の測定値、前記第２の測定値、前記第３の測定値および前記第４の測定値のうちの３つの当該測定値と、前記基準測定値とが前記記憶部に予め記憶され、前記第１の測定値から前記第４の測定値のうちの他の当該１つの測定値が当該記憶部に予め記憶されていないときには、前記直交座標系における４つの象限のうちの前記３つの測定値に対応する前記各座標が位置する各象限を除く他の１つの象限に対して対角関係にある象限に位置する前記座標を前記原点を中心として１８０°回動させた座標に対応する前記各物理量の各値を前記他の１つの測定値に対応する前記環境値に設定して前記記憶部に記憶させると共に、前記他の１つの測定値として、前記基準測定値の２倍の値から前記対角関係にある象限に位置する前記座標に対応する前記測定値を減算した値を設定して前記記憶部に記憶させる第４の設定処理を実行する。
【００１１】
また、請求項６記載の測定装置は、請求項１から５のいずれかに記載の処理装置と、前記各物理量および前記被測定量を測定する測定部と、前記測定対象について測定された前記被測定量の測定値を前記処理装置によって算出された前記補正値で補正する補正部とを備えている。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１記載の処理装置、および請求項６記載の測定装置では、基準環境状態において測定された基準測定値と、第１の環境状態において測定された第１の測定値と、第２の環境状態において測定された第２の測定値と、第３の環境状態において測定された第３の測定値と、第４の環境状態において測定された第４の測定値とを記憶可能な記憶部を備え、処理部が、各測定値並びに各環境状態における第１の物理量および第２の物理量に基づいて補正値を算出する。このため、この処理装置および測定装置によれば、測定環境に関する物理量としての第１の物理量および第２の物理量に応じて被測定量の測定値を的確に補正する補正値を確実に算出することができる結果、測定値の精度を十分に向上させることができる。
【００１３】
また、請求項２記載の処理装置、および請求項６記載の測定装置では、処理部が、第１の測定値〜第４の測定値のうちの１つと、基準測定値とが記憶部に予め記憶され、他の測定値が記憶部に予め記憶されていないときには、第１の設定処理を実行して他の３つの測定値並びに各測定値に対応する第１の物理量および第２の物理量を設定する。このため、この処理装置および測定装置によれば、第１の測定値〜第４の測定値のうちの１つを除く他の測定値が記憶部に予め記憶されていない場合においても、測定値を的確に補正する補正値を確実に算出することができる。
【００１４】
また、請求項３記載の処理装置、および請求項６記載の測定装置では、処理部が、第１の測定値〜第４の測定値のうちの、直交座標系における互いに隣接する２つの象限に位置する２つの座標にそれぞれ対応する２つの測定値と基準測定値とが記憶部に予め記憶され、他の２つの測定値が記憶部に予め記憶されていないときには、第２の設定処理を実行して他の２つの測定値並びに各測定値に対応する第１の物理量および第２の物理量を設定する。このため、この処理装置および測定装置によれば、第１の測定値〜第４の測定値のうちの、互いに隣接する２つの象限に位置する２つの座標にそれぞれ対応する２つの測定値を除く他の２つの測定値が記憶部に予め記憶されていない場合においても、測定値を的確に補正する補正値を確実に算出することができる。
【００１５】
また、請求項４記載の処理装置、および請求項６記載の測定装置では、処理部が、第１の測定値〜第４の測定値のうちの、直交座標系における互いに対角関係にある２つの象限に位置する２つの座標にそれぞれ対応する２つの測定値と基準測定値とが記憶部に予め記憶され、他の２つの測定値が記憶部に予め記憶されていないときには、第３の設定処理を実行して他の２つの測定値並びに各測定値に対応する第１の物理量および第２の物理量を設定する。このため、この処理装置および測定装置によれば、第１の測定値〜第４の測定値のうちの、互いに対角関係にある２つの象限に位置する２つの座標にそれぞれ対応する２つの測定値を除く他の２つの測定値が記憶部に予め記憶されていない場合においても、測定値を的確に補正する補正値を確実に算出することができる。
【００１６】
また、請求項５記載の処理装置、および請求項６記載の測定装置では、処理部が、第１の測定値〜第４の測定値のうちの３つと基準測定値とが記憶部に予め記憶され、他の１つの測定値が記憶部に予め記憶されていないときには、第３の設定処理を実行して他の１つの測定値並びにその測定値に対応する第１の物理量および第２の物理量を設定する。このため、この処理装置および測定装置によれば、第１の測定値〜第４の測定値のうちの、１つの測定値が記憶部に予め記憶されていない場合においても、測定値を的確に補正する補正値を確実に算出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】測定装置１の構成を示す構成図である。
【図２】補正処理５０のフローチャートである。
【図３】補正処理５０を説明する第１の説明図である。
【図４】補正処理５０を説明する第２の説明図である。
【図５】補正処理５０を説明する第３の説明図である。
【図６】補正処理５０を説明する第４の説明図である。
【図７】補正処理５０を説明する第５の説明図である。
【図８】第１の設定処理を説明する説明図である。
【図９】第２の設定処理を説明する説明図である。
【図１０】第３の設定処理を説明する説明図である。
【図１１】第４の設定処理を説明する説明図である。
【図１２】座標Ｐ１〜Ｐ４の位置を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、処理装置および測定装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１９】
最初に、測定装置の一例としての図１に示す測定装置１の構成について説明する。測定装置１は、同図に示すように、信号生成部１１、温湿度センサ１２、測定部１３、操作部１４、記憶部１５、表示部１６および処理部１７を備え、測定対象としての電気部品１００についての被測定量（一例として、抵抗）を測定すると共に、被測定量の測定値を測定環境に関する物理量（一例として、温度および湿度）の値に応じて補正可能に構成されている。この場合、記憶部１５および処理部１７によって処理装置が構成される。
【００２０】
信号生成部１１は、測定部１３の指示に従って測定用の電気信号（例えば、直流電流）を生成する。温湿度センサ１２は、温度Ｔおよび湿度Ｈを検出して検出信号を出力する。この場合、温度Ｔが測定環境に関する第１の物理量に相当し、湿度Ｈが測定環境に関する第２の物理量に相当する。
【００２１】
測定部１３は、測定処理を実行し、信号生成部１１によって生成された直流電流が電気部品１００に供給されているときに電気部品１００に生じる電圧を検出して、その電圧に基づいて電気部品１００の抵抗を測定すると共に、温湿度センサ１２から出力された検出信号に基づいて温度Ｔおよび湿度Ｈを測定する。
【００２２】
操作部１４は、各種のボタンやキーを備え、処理部１７に対する各種の処理の実行を指示する操作が可能に構成されている。
【００２３】
記憶部１５は、測定部１３によって測定された抵抗の測定値（以下「抵抗値Ｒ」ともいう）、温度Ｔおよび湿度Ｈを記憶可能に構成されている。また、記憶部１５は、処理部１７によって実行される後述する補正処理５０（図２参照）において算出される補正値Ｃｉを記憶可能に構成されている。また、記憶部１５は、補正処理５０において補正された抵抗値Ｒ（補正後の抵抗値Ｒ）を記憶可能に構成されている。
【００２４】
表示部１６は、処理部１７の制御に従い、測定部１３によって測定された抵抗値Ｒや処理部１７によって補正された補正後の抵抗値Ｒを表示する。
【００２５】
処理部１７は、操作部１４から出力される操作信号に従って測定装置１を構成する各構成要素を制御する。また、処理部１７は、図２に示す補正処理５０を実行して、測定部１３によって測定された電気部品１００の抵抗値Ｒを補正する際に用いる補正値Ｃｉを算出する。また、処理部１７は、補正部として機能し、補正処理５０において、測定部１３によって測定された抵抗値Ｒを補正値Ｃｉを用いて補正する。
【００２６】
次に、測定装置１を用いて電気部品１００の抵抗値Ｒを測定する方法について図面を参照して説明する。なお、測定環境に関する第１の物理量としての温度Ｔと被測定量としての抵抗値Ｒの変化、および第２の物理量としての湿度Ｈの変化と被測定量としての抵抗値Ｒの変化は、それぞれ線形関係にあるものとする。
【００２７】
測定対象の電気部品１００の抵抗値Ｒの測定に先立ち、測定装置１を用いて抵抗値Ｒを補正する際に用いる補正値Ｃｉを算出する。この補正値Ｃｉの算出処理では、温度Ｔおよび湿度Ｈを調節可能な測定場所において、良品であることが知れている電気部品１００（以下、この電気部品１００を「電気部品１００ａ」ともいう）を用意し、測定装置１を用いて、電気部品１００ａの抵抗値Ｒを測定すると共に、抵抗値Ｒを測定したときの温度Ｔおよび湿度Ｈを測定する。具体的には、測定場所の温度Ｔおよび湿度Ｈを、予め決められた基準温度Ｔｃ（「第１基準値」に相当する）および基準湿度Ｈｃ（「第２基準値」に相当する）となるように空気調節する。なお、測定場所の温度Ｔが基準温度Ｔｃで湿度Ｈが基準湿度Ｈｃの状態を以下「基準環境状態」ともいう。
【００２８】
次いで、電気部品１００ａの両端に信号生成部１１の出力端子（図示せず）を接続し、続いて、操作部１４を操作して測定の開始を指示する。この際に、処理部１７が、操作部１４から出力された操作信号に従い、測定部１３を制御して測定処理を実行させる。
【００２９】
この測定処理では、測定部１３は、信号生成部１１に測定用の電気信号（直流電流）を生成させる。この際に、生成された電気信号が電気部品１００ａに供給される。次いで、測定部１３は、直流電流の供給によって電気部品１００の両端部に生じる電圧を検出し、その電圧に基づいて電気部品１００の抵抗値Ｒを測定する。なお、以下の説明において、基準環境状態で測定した抵抗値Ｒを、「抵抗値Ｒｃ」（基準測定値）ともいう。また、測定部１３は、温湿度センサ１２から出力された検出信号に基づき、抵抗値Ｒｃを測定したときの温度Ｔ（つまり、基準温度Ｔｃ）および湿度Ｈ（つまり、基準湿度Ｈｃ）を測定する。続いて、処理部１７が測定部１３によって測定された抵抗値Ｒｃ、基準温度Ｔｃおよび基準湿度Ｈｃを記憶部１５に記憶させる。
【００３０】
次いで、測定場所における温度Ｔを基準温度Ｔｃよりも高い（大きい）温度Ｔ１（第１の環境値）に設定すると共に、湿度Ｈを基準湿度Ｈｃ以上の湿度Ｈ１（第２の環境値）に設定する。なお、測定場所の温度Ｔが基準温度Ｔ１で湿度Ｈが基準湿度Ｈ１の状態を以下「第１の環境状態」ともいう。続いて、上記した手順で抵抗値Ｒ、温度Ｔおよび湿度Ｈを測定させて（測定処理を実行させて）記憶部１５に記憶させる。なお、以下の説明において、第１の環境状態で測定した抵抗値Ｒを、「抵抗値Ｒ１」（第１の測定値）ともいい、第１の環境状態で測定した温度Ｔおよび湿度Ｈを、設定した温度Ｔおよび湿度Ｈと同じ「温度Ｔ１」および「湿度Ｈ１」ともいう。
【００３１】
次いで、測定場所における温度Ｔを基準温度Ｔｃ以下の温度Ｔ２（第３の環境値）に設定すると共に、湿度Ｈを基準湿度Ｈｃよりも高い湿度Ｈ２（第４の環境値）に設定する。なお、測定場所の温度Ｔが基準温度Ｔ２で湿度Ｈが基準湿度Ｈ２の状態を以下「第２の環境状態」ともいう。続いて、上記した手順で抵抗値Ｒ、温度Ｔおよび湿度Ｈを測定させて記憶部１５に記憶させる。なお、以下の説明において、第２の環境状態で測定した抵抗値Ｒを、「抵抗値Ｒ２」（第２の測定値）ともいい、第２の環境状態で測定した温度Ｔおよび湿度Ｈを、設定した温度Ｔおよび湿度Ｈと同じ「温度Ｔ２」および「湿度Ｈ２」ともいう。
【００３２】
次いで、測定場所における温度Ｔを基準温度Ｔｃよりも低い（小さい）温度Ｔ３（第５の環境値）に設定すると共に、湿度Ｈを基準湿度Ｈｃ以下の湿度Ｈ３（第６の環境値）に設定する。なお、測定場所の温度Ｔが基準温度Ｔ３で湿度Ｈが基準湿度Ｈ３の状態を以下「第３の環境状態」ともいう。続いて、上記した手順で抵抗値Ｒ、温度Ｔおよび湿度Ｈを測定させて記憶部１５に記憶させる。なお、以下の説明において、第３の環境状態で測定した抵抗値Ｒを、「抵抗値Ｒ３」（第３の測定値）ともいい、第３の環境状態で測定した温度Ｔおよび湿度Ｈを、設定した温度Ｔおよび湿度Ｈと同じ「温度Ｔ３」および「湿度Ｈ３」ともいう。
【００３３】
次いで、測定場所における温度Ｔを基準温度Ｔｃ以上の温度Ｔ４（第７の環境値）に設定すると共に、湿度Ｈを基準湿度Ｈｃよりも低い湿度Ｈ４（第８の環境値）に設定する。なお、測定場所の温度Ｔが基準温度Ｔ４で湿度Ｈが基準湿度Ｈ４の状態を以下「第４の環境状態」ともいう。続いて、上記した手順で抵抗値Ｒ、温度Ｔおよび湿度Ｈを測定させて記憶部１５に記憶させる。なお、以下の説明において、第４の環境状態で測定した抵抗値Ｒを、「抵抗値Ｒ４」（第４の測定値）ともいい、第４の環境状態で測定した温度Ｔおよび湿度Ｈを、設定した温度Ｔおよび湿度Ｈと同じ「温度Ｔ４」および「湿度Ｈ４」ともいう。以上により電気部品１００ａについての測定処理が終了する。
【００３４】
次に、測定対象の電気部品１００の抵抗値Ｒを測定する。具体的には、上記した手順と同様にして、測定対象の電気部品１００の両端に信号生成部１１の出力端子を接続し、次いで、操作部１４を操作して測定の開始を指示する。続いて、測定部１３が処理部１７の制御に従って上記した測定処理を実行して、電気部品１００についての抵抗値Ｒ、並びに抵抗値Ｒの測定時における温度Ｔおよび湿度Ｈを測定し、処理部１７が、抵抗値Ｒ、温度Ｔおよび湿度Ｈを記憶部１５に記憶させる。なお、以下の説明において、測定対象の電気部品１００の抵抗値Ｒを「抵抗値Ｒｓ」ともいい、抵抗値Ｒｓの測定時の温度Ｔおよび湿度Ｈをそれぞれ「温度Ｔｓ」および「湿度Ｈｓ」ともいう。以上により測定対象の電気部品１００についての測定処理が終了する。
【００３５】
次いで、操作部１４を操作して補正処理の実行を指示する。この際に、処理部１７が、操作信号に従って図２に示す補正処理５０を実行する。この補正処理５０では、処理部１７は、各測定処理によって測定された抵抗値Ｒ（抵抗値Ｒｃ，Ｒ１〜Ｒ４）、温度Ｔ（基準温度Ｔｃ、温度Ｔ１〜Ｔ４）および湿度Ｈ（基準湿度Ｈｃ、湿度Ｈ１〜Ｈ４）を記憶部１５から読み出す（ステップ５１）。
【００３６】
続いて、処理部１７は、図３に示すように、第１の物理量としての温度ＴをＸ軸（横軸）とし、第２の物理量としての湿度ＨをＹ軸（縦軸）とすると共に、基準温度Ｔｃおよび基準湿度Ｈｃによって特定される座標を原点ＯとするＸＹ座標（直交座標系）を設定する（ステップ５２）。
【００３７】
次いで、処理部１７は、図３に示すように、温度Ｔ１および湿度Ｈ１によって特定されるＸＹ座標における座標Ｐ１（第１の座標）、温度Ｔ２および湿度Ｈ２によって特定されるＸＹ座標における座標Ｐ２（第２の座標）、温度Ｔ３および湿度Ｈ３によって特定されるＸＹ座標における座標Ｐ３（第３の座標）、並びに温度Ｔ４および湿度Ｈ４によって特定されるＸＹ座標における座標Ｐ４（第４の座標）を特定する（ステップ５３）。
【００３８】
続いて、処理部１７は、図３に示すように、原点Ｏを起点して座標Ｐ１を通る半直線Ｌｈ１、原点Ｏを起点して座標Ｐ２を通る半直線Ｌｈ２、原点Ｏを起点して座標Ｐ３を通る半直線Ｌｈ３、および原点Ｏを起点して座標Ｐ４を通る半直線Ｌｈ４を特定する（ステップ５４）。
【００３９】
次いで、処理部１７は、図３に示すように、ＸＹ座標平面を、半直線Ｌｈ１と半直線Ｌｈ２とに挟まれた内角部分の領域Ｆ１（第１領域）、半直線Ｌｈ２と半直線Ｌｈ３とに挟まれた内角部分の領域Ｆ２（第２領域）、半直線Ｌｈ３と半直線Ｌｈ４とに挟まれた内角部分の領域Ｆ３（第３領域）、および半直線Ｌｈ４と半直線Ｌｈ１とに挟まれた内角部分の領域Ｆ４（第４領域：以下、領域Ｆ１〜Ｆ４を区別しないときには「領域Ｆ」ともいう））に区画する（ステップ５５）。
【００４０】
次いで、処理部１７は、温度Ｔｓおよび湿度Ｈｓによって特定される座標Ｐｓ（対象座標）を特定し、座標Ｐｓが領域Ｆ１〜Ｆ４のいずれに属するかを判定（座標Ｐｓが属する領域Ｆを特定）する（ステップ５６）。続いて、処理部１７は、補正値算出処理を実行して、補正値Ｃｉを算出する（ステップ５７）。
【００４１】
この場合、処理部１７は、ステップ５６において、座標Ｐｓが領域Ｆ１に属していると判定したときには、補正値算出処理（ステップ５７）において、図４に示すように、座標Ｐ１および座標Ｐ２を結ぶ線分Ｓ１（第１線分）と座標Ｐｓおよび原点Ｏを結ぶ対象線分Ｓｓとの交点の座標である交点座標Ｐｉ１（第１交点座標）を特定する。
【００４２】
次いで、処理部１７は、交点座標Ｐｉ１から座標Ｐ１までの距離Ｄ１、交点座標Ｐｉ１から座標Ｐ２までの距離Ｄ２、抵抗値Ｒ１と抵抗値Ｒｃとの差分値Ｒ１ｃ（＝Ｒｃ−Ｒ１）、および抵抗値Ｒ２と抵抗値Ｒｃとの差分値Ｒ２ｃ（＝Ｒｃ−Ｒ２）に基づいて、温度Ｔおよび湿度Ｈが交点座標Ｐｉ１に対応する値のときに測定されるべき抵抗値Ｒと抵抗値Ｒｃとの差分値である差分値Ｖｄ１（第１差分値）を次の式（１）から算出する。
Ｖｄ１＝Ｒ１ｃ＋（Ｒ２ｃ−Ｒ１ｃ）×Ｄ１／（Ｄ１＋Ｄ２）・・・式（１）
【００４３】
続いて、処理部１７は、原点Ｏから交点座標Ｐｉ１までの距離Ｄｉ１、原点Ｏから座標Ｐｓまでの距離Ｄｓ、および差分値Ｖｄ１に基づき、次の式（２）から補正値Ｃｉを算出する。
Ｃｉ＝Ｖｄ１×Ｄｓ／Ｄｉ１・・・式（２）
【００４４】
次いで、処理部１７は、補正値Ｃｉを用いて抵抗値Ｒｓを補正する（ステップ５８）。この場合、処理部１７は、例えば、抵抗値Ｒｓに補正値Ｃｉを加えることにより、抵抗値Ｒｓを基準環境状態（温度Ｔが基準温度Ｔｃで湿度Ｈが基準湿度Ｈｃである状態）における抵抗値Ｒに補正する。続いて、処理部１７は、補正後の抵抗値Ｒｓを記憶部１５に記憶させると共に、表示部１６に表示させて補正処理５０を終了する。
【００４５】
また、処理部１７は、ステップ５６において、座標Ｐｓが領域Ｆ２に属していると判定したときには、補正値算出処理（ステップ５７）において、図５に示すように、座標Ｐ２および座標Ｐ３を結ぶ線分Ｓ２（第２線分）と座標Ｐｓおよび原点Ｏを結ぶ対象線分Ｓｓとの交点の座標である交点座標Ｐｉ２（第２交点座標）を特定する。
【００４６】
次いで、処理部１７は、交点座標Ｐｉ２から座標Ｐ２までの距離Ｄ３、交点座標Ｐｉ２から座標Ｐ３までの距離Ｄ４、抵抗値Ｒ２と抵抗値Ｒｃとの差分値Ｒ２ｃ（＝Ｒｃ−Ｒ２）、および抵抗値Ｒ３と抵抗値Ｒｃとの差分値Ｒ３ｃ（＝Ｒｃ−Ｒ３）に基づいて、温度Ｔおよび湿度Ｈが交点座標Ｐｉ２に対応する値のときに測定されるべき抵抗値Ｒと抵抗値Ｒｃとの差分値である差分値Ｖｄ２（第２差分値）を次の式（３）からを算出する。
Ｖｄ２＝Ｒ２ｃ＋（Ｒ３ｃ−Ｒ２ｃ）×Ｄ３／（Ｄ３＋Ｄ４）・・・式（３）
【００４７】
続いて、処理部１７は、原点Ｏから交点座標Ｐｉ２までの距離Ｄｉ２、原点Ｏから座標Ｐｓまでの距離Ｄｓ、および差分値Ｖｄ２に基づき、次の式（４）から補正値Ｃｉを算出する。
Ｃｉ＝Ｖｄ２×Ｄｓ／Ｄｉ２・・・式（４）
次いで、処理部１７は、補正値Ｃｉを用いて抵抗値Ｒｓを補正し（ステップ５８）、補正後の抵抗値Ｒｓを記憶部１５に記憶させると共に、表示部１６に表示させて補正処理５０を終了する。
【００４８】
また、処理部１７は、ステップ５６において、座標Ｐｓが領域Ｆ３に属していると判定したときには、補正値算出処理（ステップ５７）において、図６に示すように、座標Ｐ３および座標Ｐ４を結ぶ線分Ｓ３（第３線分）と座標Ｐｓおよび原点Ｏを結ぶ対象線分Ｓｓとの交点の座標である交点座標Ｐｉ３（第３交点座標）を特定する。
【００４９】
続いて、処理部１７は、交点座標Ｐｉ３から座標Ｐ３までの距離Ｄ５、交点座標Ｐｉ３から座標Ｐ４までの距離Ｄ６、抵抗値Ｒ３と抵抗値Ｒｃとの差分値Ｒ３ｃ（＝Ｒｃ−Ｒ３）、および抵抗値Ｒ４と抵抗値Ｒｃとの差分値Ｒ４ｃ（＝Ｒｃ−Ｒ４）に基づいて、温度Ｔおよび湿度Ｈが交点座標Ｐｉ３に対応する値のときに測定されるべき抵抗値Ｒと抵抗値Ｒｃとの差分値である差分値Ｖｄ３（第３差分値）を次の式（５）からを算出する。
Ｖｄ３＝Ｒ３ｃ＋（Ｒ４ｃ−Ｒ３ｃ）×Ｄ５／（Ｄ５＋Ｄ６）・・・式（５）
【００５０】
次いで、処理部１７は、原点Ｏから交点座標Ｐｉ３までの距離Ｄｉ３、原点Ｏから座標Ｐｓまでの距離Ｄｓ、および差分値Ｖｄ３に基づき、次の式（６）から補正値Ｃｉを算出する。
Ｃｉ＝Ｖｄ３×Ｄｓ／Ｄｉ３・・・式（６）
続いて、処理部１７は、補正値Ｃｉを用いて抵抗値Ｒｓを補正し（ステップ５８）、補正後の抵抗値Ｒｓを記憶部１５に記憶させると共に、表示部１６に表示させて補正処理５０を終了する。
【００５１】
また、処理部１７は、ステップ５６において、座標Ｐｓが領域Ｆ４に属していると判定したときには、補正値算出処理（ステップ５７）において、図７に示すように、座標Ｐ４および座標Ｐ１を結ぶ線分Ｓ４（第４線分）と座標Ｐｓおよび原点Ｏを結ぶ対象線分Ｓｓとの交点の座標である交点座標Ｐｉ４（第４交点座標）を特定する。
【００５２】
次いで、処理部１７は、交点座標Ｐｉ４から座標Ｐ４までの距離Ｄ７、交点座標Ｐｉ４から座標Ｐ１までの距離Ｄ８、抵抗値Ｒ４と抵抗値Ｒｃとの差分値Ｒ４ｃ（＝Ｒｃ−Ｒ４）、および抵抗値Ｒ１と抵抗値Ｒｃとの差分値Ｒ１ｃ（＝Ｒｃ−Ｒ１）に基づいて、温度Ｔおよび湿度Ｈが交点座標Ｐｉ４に対応する値のときに測定されるべき抵抗値Ｒと抵抗値Ｒｃとの差分値である差分値Ｖｄ４（第４差分値）を次の式（７）からを算出する。
Ｖｄ４＝Ｒ４ｃ＋（Ｒ１ｃ−Ｒ４ｃ）×Ｄ７／（Ｄ７＋Ｄ８）・・・式（７）
【００５３】
続いて、処理部１７は、原点Ｏから交点座標Ｐｉ４までの距離Ｄｉ４、原点Ｏから座標Ｐｓまでの距離Ｄｓ、および差分値Ｖｄ４に基づき、次の式（８）から補正値Ｃｉを算出する。
Ｃｉ＝Ｖｄ４×Ｄｓ／Ｄｉ４・・・式（８）
次いで、処理部１７は、補正値Ｃｉを用いて抵抗値Ｒｓを補正し（ステップ５８）、補正後の抵抗値Ｒｓを記憶部１５に記憶させると共に、表示部１６に表示させて補正処理５０を終了する。
【００５４】
一方、この測定装置１には、抵抗値Ｒｃと、抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの一部（１つ〜３つ）とが記憶部１５に予め記憶され、抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの他の一部が記憶部１５に予め記憶されていないときには、予め記憶されていない抵抗値Ｒ、並びにこの抵抗値Ｒに対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを処理部１７が設定する（補完する）設定処理機能が備えられている。この機能を実行させるときには、操作部１４を操作して設定処理の実行を指示する。
【００５５】
この場合、処理部１７は、抵抗値Ｒｃと、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの１つとが予め記憶部１５に記憶されているとき（抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの３つが記憶部１５に予め記憶されていないとき）には、以下に説明する第１の設定処理を実行する。
【００５６】
この第１の設定処理では、処理部１７は、例えば、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの１つとしての抵抗値Ｒ１および抵抗値Ｒｃだけが記憶部１５に予め記憶されているときには、図８に示すように、抵抗値Ｒ１に対応する座標Ｐ１を原点Ｏを中心として９０°、１８０°および２７０°それぞれ回動させた各座標を座標Ｐ２〜Ｐ４として設定する。続いて、処理部１７は、座標Ｐ２に対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを温度Ｔ２（第３の環境値）および湿度Ｈ２（第４の環境値）として設定し、座標Ｐ３に対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを温度Ｔ３（第５の環境値）および湿度Ｈ３（第６の環境値）として設定し、座標Ｐ４に対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを温度Ｔ４（第７の環境値）および湿度Ｈ４（第８の環境値）として設定して、これらを記憶部１５に記憶させる。また、処理部１７は、９０°回動させた座標Ｐ２に対応する抵抗値Ｒ２を第２の環境状態において測定された抵抗値Ｒとして抵抗値Ｒｃ（基準測定値）に設定すると共に、２７０°回動させた座標Ｐ４に対応する抵抗値Ｒ４を第４の環境状態において測定された抵抗値Ｒとして抵抗値Ｒｃ（基準測定値）に設定して記憶部１５に記憶させる。また、処理部１７は、１８０°回動させた座標Ｐ３に対応する抵抗値Ｒ３を第３の環境状態において測定された抵抗値Ｒとして抵抗値Ｒｃの２倍の値から抵抗値Ｒ１を減算した値（２×Ｒｃ−Ｒ１）に設定して記憶部１５に記憶させる。以上で第１の設定処理が終了する。
【００５７】
また、処理部１７は、抵抗値Ｒｃおよび抵抗値Ｒ２だけが予め記憶部１５に記憶されているとき、抵抗値Ｒｃおよび抵抗値Ｒ３だけが記憶部１５に予め記憶されているとき、並びに抵抗値Ｒｃおよび抵抗値Ｒ４だけが記憶部１５に予め記憶されているときにも、上記した手順と同様の手順で第１の設定処理を実行する。
【００５８】
また、処理部１７は、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの、ＸＹ座標における互いに隣接する２つの象限に位置する２つの座標（座標Ｐ１〜Ｐ４のうちのいずれか２つの座標）にそれぞれ対応する２つの抵抗値Ｒと抵抗値Ｒｃとが記憶部１５に予め記憶され、他の抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていないときには、以下に説明する第２の設定処理を実行する。
【００５９】
この第２の設定処理では、処理部１７は、例えば、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの、ＸＹ座標における互いに隣接する第１象限・第２象限にそれぞれ位置する座標Ｐ１，Ｐ２に対応する抵抗値Ｒ１，Ｒ２および抵抗値Ｒｃだけが記憶部１５に予め記憶されているときには、図９に示すように、抵抗値Ｒ１（抵抗値Ｒ１，Ｒ２の一方）に対応する座標Ｐ１を原点Ｏを中心として１８０°回動させた座標（同図に示す座標Ｐ３）に対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを、抵抗値Ｒ３（抵抗値Ｒ１，Ｒ２を除く他の２つの抵抗値Ｒ３，Ｒ４の一方）に対応する温度Ｔ３（第５の環境値）および湿度Ｈ３（第６の環境値）として設定して記憶部１５に記憶させる。また、処理部１７は、抵抗値Ｒｃの２倍の値から抵抗値Ｒ１を減算した値（２×Ｒｃ−Ｒ１）を第３の環境状態において測定された抵抗値Ｒ３として設定して記憶部１５に記憶させる。
【００６０】
また、処理部１７は、図９に示すように、抵抗値Ｒ２（抵抗値Ｒ１，Ｒ２の他方）に対応する座標Ｐ２を原点Ｏを中心として１８０°回動させた座標（同図に示す座標Ｐ４）に対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを、抵抗値Ｒ４（抵抗値Ｒ１，Ｒ２を除く他の２つの抵抗値Ｒ３，Ｒ４の他方）に対応する温度Ｔ４（第７の環境値）および湿度Ｈ４（第８の環境値）として設定して記憶部１５に記憶させる。また、処理部１７は、抵抗値Ｒｃの２倍の値から抵抗値Ｒ２を減算した値（２×Ｒｃ−Ｒ２）を第４の環境状態において測定された抵抗値Ｒ４として設定して記憶部１５に記憶させる。
【００６１】
また、処理部１７は、第２象限・第３象限にそれぞれ位置する座標Ｐ２，Ｐ３に対応する抵抗値Ｒ２，Ｒ３および抵抗値Ｒｃだけが記憶部１５に予め記憶されているとき、第３象限・第４象限にそれぞれ位置する座標Ｐ３，Ｐ４に対応する抵抗値Ｒ３，Ｒ４および抵抗値Ｒｃだけが記憶部１５に予め記憶されているとき、並びに第４象限・第１象限にそれぞれ位置する座標Ｐ４，Ｐ１に対応する抵抗値Ｒ４，Ｒ１および抵抗値Ｒｃだけが記憶部１５に予め記憶されているときにも、上記した手順と同様の手順で第２の設定処理を実行する。
【００６２】
また、処理部１７は、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの、ＸＹ座標における互いに対角関係にある２つの象限に位置する２つの座標（座標Ｐ１〜Ｐ４のうちのいずれか２つの座標）にそれぞれ対応する２つの抵抗値Ｒと抵抗値Ｒｃとが記憶部１５に予め記憶され、他の抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていないときには、以下に説明する第３の設定処理を実行する。
【００６３】
この第３の設定処理では、処理部１７は、例えば、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの、ＸＹ座標における互いに対角関係にある第１象限・第３象限にそれぞれ位置する座標Ｐ１，Ｐ３に対応する抵抗値Ｒ１，Ｒ３および抵抗値Ｒｃだけが記憶部１５に予め記憶されているときには、図１０に示すように、座標Ｐ１，Ｐ３を通る直線Ｌａに直交しかつ原点Ｏを通る直線Ｌｂ上に位置し、座標Ｐ１，Ｐ３にそれぞれ対応する温度Ｔ１，Ｔ３のいずれか一方から他方を減算した値（例えば、温度Ｔ１から温度Ｔ３を減算した値）の２乗値と座標Ｐ１，Ｐ３にそれぞれ対応する湿度Ｈ１，Ｈ３のいずれか一方から他方を減算した値（例えば、湿度Ｈ１から湿度Ｈ３を減算した値）の２乗値との合計値の平方根の値（√（（Ｔ１−Ｔ３）２＋（Ｈ１−Ｈ３）２）だけ原点Ｏからそれぞれ離間した２つの座標（同図に示す座標Ｐ２，Ｐ４）にそれぞれ対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを抵抗値Ｒ２，Ｒ４（２つの測定値を除く他の２つの測定値）に対応する温度Ｔ２（第３の環境値）および湿度Ｈ２（第４の環境値）、並びに温度Ｔ４（第７の環境値）および湿度Ｈ４（第８の環境値）として設定して記憶部１５に記憶させる。また、処理部１７は、第２の環境状態において測定された抵抗値Ｒとしての抵抗値Ｒ２、および第４の環境状態において測定された抵抗値Ｒとしての抵抗値Ｒ４をそれぞれ抵抗値Ｒｃに設定して記憶部１５に記憶させる。
【００６４】
また、処理部１７は、ＸＹ座標における第２象限・第４象限にそれぞれ位置する座標Ｐ２，Ｐ４に対応する抵抗値Ｒ２，Ｒ４および抵抗値Ｒｃだけが記憶部１５に予め記憶されているときにも、上記した手順と同様の手順で第３の設定処理を実行する。
【００６５】
また、処理部１７は、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの３つの抵抗値Ｒと抵抗値Ｒｃとが記憶部１５に予め記憶され、他の１つの抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていないときには、以下に説明する第４の設定処理を実行する。
【００６６】
この第４の設定処理では、処理部１７は、例えば、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの抵抗値Ｒ１〜Ｒ３および抵抗値Ｒｃだけが記憶部１５に予め記憶されているときには、図１１に示すように、直交座標系における４つの象限のうちの３つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ３に対応する各座標Ｐ１〜Ｐ３が位置する各象限（同図に示す第１象限〜第３象限）を除く他の１つの象限（同図に示す第４象限）に対して対角関係にある象限（同図に示す第２象限）に位置する座標Ｐ２を原点Ｏを中心として１８０°回動させた座標（同図に示す座標Ｐ４）に対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを抵抗値Ｒ４（他の１つの測定値）に対応する温度Ｔ４（第７の環境値）および湿度Ｈ４（第８の環境値）に設定して記憶部１５に記憶させる。また、処理部１７は、第４の環境状態において測定された抵抗値Ｒ４（他の１つの測定値）として、抵抗値Ｒｃの２倍の値から抵抗値Ｒ２（対角関係にある第２象限に位置する座標に対応する測定値）を減算した値（２×Ｒｃ−Ｒ２）を設定して記憶部１５に記憶させる。
【００６７】
このように、この処理装置および測定装置１では、基準環境状態において測定された抵抗値Ｒｃと、第１の環境状態において測定された抵抗値Ｒ１と、第２の環境状態において測定された抵抗値Ｒ２と、第３の環境状態において測定された抵抗値Ｒ３と、第４の環境状態において測定された抵抗値Ｒ４とを記憶可能な記憶部１５を備え、処理部１７が、各抵抗値Ｒ並びに各環境状態における温度Ｔおよび湿度Ｈに基づいて補正値Ｃｉを算出する。このため、この処理装置および測定装置１によれば、測定環境に関する物理量としての温度Ｔおよび湿度Ｈに応じて被測定量としての抵抗値Ｒを的確に補正する補正値Ｃｉを確実に算出することができる結果、測定値の精度を十分に向上させることができる。
【００６８】
また、この処理装置および測定装置１では、処理部１７が、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの１つと、抵抗値Ｒｃとが記憶部１５に予め記憶され、他の抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていないときには、第１の設定処理を実行して他の３つの抵抗値Ｒ並びに各抵抗値Ｒに対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを設定する。このため、この処理装置および測定装置１によれば、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの１つを除く他の抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていない場合においても、抵抗値Ｒを的確に補正する補正値Ｃｉを確実に算出することができる。
【００６９】
また、この処理装置および測定装置１では、処理部１７が、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの、ＸＹ座標における互いに隣接する２つの象限に位置する２つの座標Ｐにそれぞれ対応する２つの抵抗値Ｒと、抵抗値Ｒｃとが記憶部１５に予め記憶され、他の２つの抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていないときには、第２の設定処理を実行して他の２つの抵抗値Ｒ並びに各抵抗値Ｒに対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを設定する。このため、この処理装置および測定装置１によれば、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの、互いに隣接する２つの象限に位置する２つの座標Ｐにそれぞれ対応する２つの抵抗値Ｒを除く他の２つの抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていない場合においても、抵抗値Ｒを的確に補正する補正値Ｃｉを確実に算出することができる。
【００７０】
また、この処理装置および測定装置１では、処理部１７が、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの、ＸＹ座標における互いに対角関係にある２つの象限に位置する２つの座標Ｐにそれぞれ対応する２つの抵抗値Ｒと、抵抗値Ｒｃとが記憶部１５に予め記憶され、他の２つの抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていないときには、第３の設定処理を実行して他の２つの抵抗値Ｒ並びに各抵抗値Ｒに対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを設定する。このため、この処理装置および測定装置１によれば、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの、互いに対角関係にある２つの象限に位置する２つの座標Ｐにそれぞれ対応する２つの抵抗値Ｒを除く他の２つの抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていない場合においても、抵抗値Ｒを的確に補正する補正値Ｃｉを確実に算出することができる。
【００７１】
また、この処理装置および測定装置１では、処理部１７が、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの３つと、抵抗値Ｒｃとが記憶部に予め記憶され、他の１つの抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていないときには、第３の設定処理を実行して他の１つの抵抗値Ｒ並びにその抵抗値Ｒに対応する温度Ｔおよび湿度Ｈを設定する。このため、この処理装置および測定装置１によれば、４つの抵抗値Ｒ１〜Ｒ４のうちの、１つの抵抗値Ｒが記憶部１５に予め記憶されていない場合においても、抵抗値Ｒを的確に補正する補正値Ｃｉを確実に算出することができる。
【００７２】
なお、処理装置および測定装置は、上記の構成に限定されない。例えば、温度Ｔを横軸（Ｘ軸）とし湿度Ｈを縦軸（Ｙ）とする例について上記したが、湿度Ｈを横軸（Ｘ軸）とし温度Ｔを縦軸（Ｙ）とする構成を採用することもできる。
【００７３】
また、温度Ｔを測定環境に関する第１の物理量とし、湿度Ｈを測定環境に関する第２の物理量とし、抵抗値Ｒを被測定量する例について上記したが、第１の物理量、第２の物理量および被測定量はこれらに限定されず、第１の物理量および第２の物理量の変化と被測定量の変化とがそれぞれ線形関係にある各種の物理量（例えば、気圧）および被測定量（例えば、空気の屈折率）を対象とすることができる。
【００７４】
また、図３に示すように、各座標Ｐ１〜Ｐ４がＸ軸上およびＹ軸上に位置しないように温度Ｔおよび湿度Ｈを設定する例について上記したが、図１２に示すように、座標Ｐ１〜Ｐ４がＸ軸上およびＹ軸上に位置するように温度Ｔおよび湿度Ｈを設定することもできる。この場合、第１の環境状態において湿度Ｈ１（第２の環境値）を基準湿度Ｈｃ（第２基準値）と同じ値（第２基準値以上の一例）に設定したときには、座標Ｐ１がＸ軸上に位置する。また、第２の環境状態において温度Ｔ２（第３の環境値）を基準温度Ｔｃ（第１基準値）と同じ値（第１基準値以下の一例）に設定したときには、座標Ｐ２がＹ軸上に位置する。また、第３の環境状態において湿度Ｈ３（第６の環境値）を基準湿度Ｈｃ（第２基準値）と同じ値（第２基準値以下の一例）に設定したときには、座標Ｐ３がＸ軸上に位置する。さらに、第４の環境状態において温度Ｔ４（第７の環境値）を基準温度Ｔｃ（第１基準値）と同じ値（第１基準値以上の一例）に設定したときには、座標Ｐ４がＹ軸上に位置する。また、このように各温度Ｔおよび湿度Ｈを設定したとには、第１象限〜第４象限が領域Ｆ１〜Ｆ４となる。そして、このような各環境状態において測定された各抵抗値Ｒを用いた場合においても、上記したように、抵抗値Ｒを的確に補正する補正値Ｃｉを確実に算出することができる。
【符号の説明】
【００７５】
１  測定装置
１３  測定部
１５  記憶部
１７  処理部
１００  電気部品
Ｄ１〜Ｄ８  距離
Ｆ１〜Ｆ４  領域
Ｈ  湿度
Ｌｈ１〜Ｌｈ４  半直線
Ｏ  原点
Ｐ１〜Ｐ４  座標
Ｐｉ１〜Ｐｉ４  交点座標
Ｓ１〜Ｓ４  線分
Ｓｓ  対象線分
Ｔ  温度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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