(57)【要約】【課題】結像光学系に対してステージを移動させて観察対象の像を観察する観察装置および方法並びに観察装置制御プログラムにおいて、ステージの移動に伴う鉛直方向の位置変動の影響を低減し、高精度にオートフォーカス制御を行う。【解決手段】結像光学系１４の観察領域が培養容器５０内の観察位置に到達する前に、先行して観察位置における培養容器５０の鉛直方向の位置をオートフォーカス用変位センサにより検出し、その位置に基づいて対物レンズを光軸方向に移動させる場合において、先行して検出される観察位置におけるステージ５１の鉛直方向の位置と、上記観察位置まで結像光学系１４の観察領域が走査された時点におけるステージ５１の鉛直方向の位置との誤差を取得し、その誤差に基づいて、対物レンズを光軸方向に移動させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象が収容された容器が設置されるステージと、
前記容器内の前記観察対象の像を結像させる対物レンズを有する結像光学系と、
前記対物レンズを光軸方向に移動させる結像光学系駆動部と、
前記ステージを水平面内において移動させる水平方向駆動部と、
該水平方向駆動部を制御して前記ステージを主走査方向および該主走査方向に直交する方向に移動させることによって、前記容器内における各観察位置を前記結像光学系の観察領域で走査する走査制御部と、
前記結像光学系の観察領域の主走査方向への走査によって、該観察領域が前記容器内の観察位置に到達する前に、先行して前記観察位置における前記容器の鉛直方向の位置を検出するオートフォーカス用変位センサを有する検出部と、
前記検出部によって検出された前記容器の鉛直方向の位置に基づいて、前記観察位置が前記結像光学系の観察領域で走査される際の前記結像光学系駆動部の動作を制御する結像光学系制御部と、
前記オートフォーカス用変位センサによって前記観察位置における前記容器の鉛直方向の位置が先行して検出される時点における前記ステージの鉛直方向の位置と、前記観察位置まで前記結像光学系の観察領域が走査された時点における前記ステージの鉛直方向の位置との誤差を取得する鉛直方向誤差取得部とを備え、
前記結像光学系制御部が、前記結像光学系の観察領域によって前記観察位置を走査する際、前記オートフォーカス用変位センサによって先行して検出された前記観察位置における前記容器の鉛直方向の位置と、前記鉛直方向誤差取得部によって取得された誤差とに基づいて、前記結像光学系駆動部の動作を制御して前記対物レンズを光軸方向に移動させる観察装置。
【請求項２】
前記水平方向駆動部が、前記ステージを前記主走査方向について往復移動させながら、かつ前記主走査方向に直交する副走査方向に移動させ、
前記鉛直方向誤差取得部が、前記ステージが往路移動している場合と前記ステージが復路移動している場合とで、それぞれ別々の前記誤差を取得する請求項１記載の観察装置。
【請求項３】
前記検出部が、前記対物レンズを挟んで前記主走査方向について並べて設けられた少なくとも２つの前記オートフォーカス用変位センサを有し、
前記鉛直方向誤差取得部が、前記２つのオートフォーカス用変位センサによって検出された前記ステージの鉛直方向の位置に基づいて、前記結像光学系の観察領域の走査位置における前記ステージの鉛直方向の位置を取得する請求項１または２記載の観察装置。
【請求項４】
前記主走査方向について前記オートフォーカス用変位センサと同じ位置であって、前記オートフォーカス用変位センサを挟んで前記副走査方向について並べて設けられた２つの第１のステージ位置測定用変位センサを有し、
前記鉛直方向誤差取得部が、前記２つの第１のステージ位置測定用変位センサによって検出された前記ステージの鉛直方向の位置に基づいて、前記オートフォーカス用変位センサの位置における前記ステージの鉛直方向の位置を取得する請求項１または２項記載の観察装置。
【請求項５】
前記主走査方向について前記結像光学系と同じ位置であって、前記結像光学系を挟んで前記副走査方向について並べて設けられた２つの第２のステージ位置測定用変位センサを有し、
前記鉛直方向誤差取得部が、前記２つの第２のステージ位置測定用変位センサによって検出された前記ステージの鉛直方向の位置に基づいて、前記結像光学系の観察領域の走査位置おける前記ステージの鉛直方向の位置を取得する請求項１、２および４いずれか１項記載の観察装置。
【請求項６】
前記鉛直方向誤差取得部が、前記容器内の各観察位置と該各観察位置における前記誤差とを対応付けたテーブルを有する請求項１から５いずれか１項記載の観察装置。
【請求項７】
前記テーブルが、予め設定された時期毎に更新されるものである請求項６記載の観察装置。
【請求項８】
前記結像光学系駆動部が、圧電素子を備え、該圧電素子を用いて前記対物レンズを光軸方向に移動させる請求項１から７いずれか１項記載の観察装置。
【請求項９】
前記オートフォーカス用変位センサが、レーザ変位センサである請求項１から８いずれか１項記載の観察装置。
【請求項１０】
観察対象が収容された容器が設置されるステージを、前記容器内の前記観察対象の像を結像させる対物レンズを有する結像光学系に対して主走査方向および該主走査方向に直交する副走査方向に移動させることによって、前記容器内における各観察位置を前記結像光学系の観察領域で走査し、
前記結像光学系の観察領域の主走査方向への走査によって、該観察領域が前記容器内の観察位置に到達する前に、先行して前記観察位置における前記容器の鉛直方向の位置をオートフォーカス用変位センサによって検出し、該検出した前記容器の鉛直方向の位置に基づいて、前記観察位置が前記結像光学系の観察領域で走査される際の前記対物レンズの光軸方向への移動を制御する観察方法であって、
前記オートフォーカス用変位センサによって先行して検出される前記観察位置における前記ステージの鉛直方向の位置と、前記観察位置まで前記結像光学系の観察領域が走査された時点における前記ステージの鉛直方向の位置との誤差を予め取得し、
前記結像光学系の観察領域によって前記観察位置を走査する際、前記予め取得した誤差と、前記オートフォーカス用変位センサによって先行して検出された前記観察位置における前記容器の鉛直方向の位置とに基づいて、前記対物レンズを光軸方向に移動させる観察方法。
【請求項１１】
観察対象が収容された容器が設置されるステージを、前記容器内の前記観察対象の像を結像させる対物レンズを有する結像光学系に対して主走査方向および該主走査方向に直交する副走査方向に移動させることによって、前記容器内における各観察位置を前記結像光学系の観察領域で走査する手順と、
前記結像光学系の観察領域の主走査方向への走査によって、該観察領域が前記容器内の観察位置に到達する前に、先行して前記観察位置における前記容器の鉛直方向の位置をオートフォーカス用変位センサによって検出し、該検出した前記容器の鉛直方向の位置に基づいて、前記観察位置が前記結像光学系の観察領域で走査される際の前記対物レンズの光軸方向への移動を制御する手順とをコンピュータに実行させる観察装置制御プログラムであって、
前記オートフォーカス用変位センサによって先行して検出される前記観察位置における前記ステージの鉛直方向の位置と、前記観察位置まで前記結像光学系の観察領域が走査された時点における前記ステージの鉛直方向の位置との誤差を予め取得する手順と、
前記結像光学系の観察領域によって前記観察位置を走査する際、前記予め取得した誤差と、前記オートフォーカス用変位センサによって先行して検出された前記観察位置における前記容器の鉛直方向の位置とに基づいて、前記対物レンズを光軸方向に移動させる手順とを前記コンピュータに実行させる観察装置制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、観察対象が収容された容器が設置されたステージを、観察対象の像を結像させる結像光学系に対して移動させることによって、観察対象全体の像を観察する観察装置および方法並びに観察装置制御プログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＥＳ（Embryonic Stem）細胞およびｉＰＳ（Induced Pluripotent Stem）細胞などの多能性幹細胞や分化誘導された細胞などを顕微鏡などで撮像し、その画像の特徴を捉えることで細胞の分化状態などを判定する方法が提案されている。
【０００３】
ＥＳ細胞およびｉＰＳ細胞などの多能性幹細胞は、種々の組織の細胞に分化する能力を備えたものであり、再生医療、薬の開発、および病気の解明などにおいて応用が可能なものとして注目されている。
【０００４】
一方、上述したように細胞を顕微鏡で撮像する際、高倍率な広視野画像を取得するため、たとえばウェルプレートなどの培養容器の範囲内を結像光学系によって走査し、観察位置毎の画像を撮像した後、その観察位置毎の画像を結合する、いわゆるタイリング撮影を行うことが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−７２０１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、上述したような観察位置毎の画像を撮像する際、培養容器の底面に結像光学系の焦点位置を合わせることが多いが、培養容器の底部の厚さには、ミリオーダーでの製造公差があり、高倍率な撮影を行う場合には、観察位置毎に焦点位置を合わせる必要がある。一方、細胞の撮影時間は短い方が望ましく、高速撮影可能な装置が望まれている。
【０００７】
しかしながら、従来のオートフォーカス制御方法では、観察位置毎に２秒程度の時間を要し、たとえば観察位置の数が３００である場合には、オートフォーカス制御に要する時間だけで１０分かかることになり、高速撮影が不可能であった。
【０００８】
特許文献１においては、撮影時間を短縮するため、結像光学系の観察領域が観察位置に到達する前に、先行して変位計によってウェルプレートの位置を検出しておき、観察領域が観察位置に到達する前に対物レンズを光軸方向に移動させてオートフォーカス制御を行う方法が提案されている。
【０００９】
しかしながら、特許文献１のように、ＸＹテーブルを移動させながら、ＸＹテーブルに設置されたウェルプレート内の観察対象の像を観察する場合、ＸＹテーブルのＺ方向の位置は常に一定ではなく、ＸＹテーブルを移動させる機構の機械的な精度に起因して、ＸＹテーブルの位置によってＺ方向の位置が異なる。すなわち、ＸＹテーブルの移動に、いわゆる「うねり」が生じる。
【００１０】
したがって、特許文献１のように、先行してウェルプレートのＺ方向の位置を検出し、その位置に基づいて、対物レンズの光軸方向の移動を制御するようにした場合、変位計と対物レンズとはＸ方向の位置が異なるため、ウェルプレートの所定位置について、変位計によるＺ方向の位置の検出タイミングと対物レンズによる観察タイミングとが異なる。
【００１１】
よって、変位計によってウェルプレートのＺ方向の位置を検出した時点におけるＸＹステージのＺ方向の位置と、その後、変位計による検出位置が対物レンズの位置まで移動した時点におけるＸＹステージのＺ方向の位置とが異なる場合には、このＸＹステージのＺ方向の位置の誤差によって適切なオートフォーカス制御を行うことができず、ピンボケした画像となってしまう。
【００１２】
本発明は、上記の問題に鑑み、ステージの移動に伴う鉛直方向の位置変動に影響されることなく、高精度にオートフォーカス制御を行うことができる観察装置および方法並びに観察装置制御プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の観察装置は、観察対象が収容された容器が設置されるステージと、容器内の観察対象の像を結像させる対物レンズを有する結像光学系と、対物レンズを光軸方向に移動させる結像光学系駆動部と、ステージを水平面内において移動させる水平方向駆動部と、水平方向駆動部を制御してステージを主走査方向および主走査方向に直交する方向に移動させることによって、容器内における各観察位置を結像光学系の観察領域で走査する走査制御部と、結像光学系の観察領域の主走査方向への走査によって、その観察領域が容器内の観察位置に到達する前に、先行して観察位置における容器の鉛直方向の位置を検出するオートフォーカス用変位センサを有する検出部と、検出部によって検出された容器の鉛直方向の位置に基づいて、観察位置が結像光学系の観察領域で走査される際の結像光学系駆動部の動作を制御する結像光学系制御部と、オートフォーカス用変位センサによって観察位置における容器の鉛直方向の位置が先行して検出される時点におけるステージの鉛直方向の位置と、観察位置まで結像光学系の観察領域が走査された時点におけるステージの鉛直方向の位置との誤差を取得する鉛直方向誤差取得部とを備え、結像光学系制御部が、結像光学系の観察領域によって観察位置を走査する際、オートフォーカス用変位センサによって先行して検出された観察位置における容器の鉛直方向の位置と、鉛直方向誤差取得部によって取得された誤差とに基づいて、結像光学系駆動部の動作を制御して対物レンズを光軸方向に移動させる。
【００１４】
また、上記本発明の観察装置において、水平方向駆動部は、ステージを主走査方向について往復移動させながら、かつ主走査方向に直交する副走査方向に移動させることができ、鉛直方向誤差取得部は、ステージが往路移動している場合とステージが復路移動している場合とで、それぞれ別々の誤差を取得することができる。
【００１５】
また、上記本発明の観察装置において、検出部は、対物レンズを挟んで主走査方向について並べて設けられた少なくとも２つのオートフォーカス用変位センサを有し、鉛直方向誤差取得部は、２つのオートフォーカス用変位センサによって検出されたステージの鉛直方向の位置に基づいて、結像光学系の観察領域の走査位置におけるステージの鉛直方向の位置を取得することができる。
【００１６】
また、上記本発明の観察装置においては、主走査方向についてオートフォーカス用変位センサと同じ位置であって、オートフォーカス用変位センサを挟んで副走査方向について並べて設けられた２つの第１のステージ位置測定用変位センサを有することができ、鉛直方向誤差取得部は、２つの第１のステージ位置測定用変位センサによって検出されたステージの鉛直方向の位置に基づいて、オートフォーカス用変位センサの位置におけるステージの鉛直方向の位置を取得することができる。
【００１７】
また、上記本発明の観察装置においては、主走査方向について結像光学系と同じ位置であって、結像光学系を挟んで副走査方向について並べて設けられた２つの第２のステージ位置測定用変位センサを有することができ、鉛直方向誤差取得部は、２つの第２のステージ位置測定用変位センサによって検出されたステージの鉛直方向の位置に基づいて、結像光学系の観察領域の走査位置おけるステージの鉛直方向の位置を取得することができる。
【００１８】
また、上記本発明の観察装置において、鉛直方向誤差取得部は、容器内の各観察位置とその各観察位置における上記誤差とを対応付けたテーブルを有することができる。
【００１９】
また、上記本発明の観察装置において、上記テーブルは、予め設定された時期毎に更新されるものであることが好ましい。
【００２０】
また、上記本発明の観察装置において、結像光学系駆動部は、圧電素子を備え、圧電素子を用いて対物レンズを光軸方向に移動させることができる。
【００２１】
また、上記本発明の観察装置において、オートフォーカス用変位センサは、レーザ変位センサであることが好ましい。
【００２２】
本発明の観察方法は、観察対象が収容された容器が設置されるステージを、容器内の観察対象の像を結像させる対物レンズを有する結像光学系に対して主走査方向および主走査方向に直交する副走査方向に移動させることによって、容器内における各観察位置を結像光学系の観察領域で走査し、結像光学系の観察領域の主走査方向への走査によって、その観察領域が容器内の観察位置に到達する前に、先行して観察位置における容器の鉛直方向の位置をオートフォーカス用変位センサによって検出し、その検出した容器の鉛直方向の位置に基づいて、観察位置が結像光学系の観察領域で走査される際の対物レンズの光軸方向への移動を制御する観察方法であって、オートフォーカス用変位センサによって先行して検出される観察位置におけるステージの鉛直方向の位置と、観察位置まで結像光学系の観察領域が走査された時点におけるステージの鉛直方向の位置との誤差を予め取得し、結像光学系の観察領域によって観察位置を走査する際、予め取得した誤差と、オートフォーカス用変位センサによって先行して検出された観察位置における容器の鉛直方向の位置とに基づいて、対物レンズを光軸方向に移動させる。
【００２３】
本発明の観察装置制御プログラムは、観察対象が収容された容器が設置されるステージを、容器内の観察対象の像を結像させる対物レンズを有する結像光学系に対して主走査方向および主走査方向に直交する副走査方向に移動させることによって、容器内における各観察位置を結像光学系の観察領域で走査する手順と、結像光学系の観察領域の主走査方向への走査によって、その観察領域が容器内の観察位置に到達する前に、先行して観察位置における容器の鉛直方向の位置をオートフォーカス用変位センサによって検出し、その検出した容器の鉛直方向の位置に基づいて、観察位置が結像光学系の観察領域で走査される際の対物レンズの光軸方向への移動を制御する手順とをコンピュータに実行させる観察装置制御プログラムであって、オートフォーカス用変位センサによって先行して検出される観察位置におけるステージの鉛直方向の位置と、観察位置まで結像光学系の観察領域が走査された時点におけるステージの鉛直方向の位置との誤差を予め取得する手順と、結像光学系の観察領域によって観察位置を走査する際、予め取得した誤差と、オートフォーカス用変位センサによって先行して検出された観察位置における容器の鉛直方向の位置とに基づいて、対物レンズを光軸方向に移動させる手順とをコンピュータに実行させる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の観察装置および方法並びに観察装置制御プログラムによれば、結像光学系の観察領域が容器内の観察位置に到達する前に、先行してその観察位置における容器の鉛直方向の位置をオートフォーカス用変位センサを用いて検出し、その検出された容器の鉛直方向の位置に基づいて、結像光学系の対物レンズを光軸方向に移動させる場合において、オートフォーカス用変位センサによって先行して検出される観察位置におけるステージの鉛直方向の位置と、その観察位置まで結像光学系の観察領域が走査された時点におけるステージの鉛直方向の位置との誤差を取得し、結像光学系の観察領域によって観察位置を走査する際、予め取得した誤差と、オートフォーカス用変位センサによって先行して検出された観察位置における容器の鉛直方向の位置とに基づいて、対物レンズを光軸方向に移動させるようにしたので、ステージの移動に伴う鉛直方向の位置変動に影響されることなく、高精度にオートフォーカス制御を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の観察装置の一実施形態を用いた顕微鏡観察システムの概略構成を示す図
【図２】ステージの構成を示す斜視図
【図３】結像光学系の構成を示す模式図
【図４】ステージの移動に伴うＺ方向の位置変動を説明するための図
【図５】本発明の観察装置の一実施形態を用いた顕微鏡観察システムの概略構成を示すブロック図
【図６】培養容器内における結像光学系の観察領域の走査位置を示す図
【図７】ステージのＺ方向の位置の誤差が設定されたテーブルの取得方法を説明するためのフローチャート
【図８】ステージのＺ方向の位置の誤差が設定されたテーブルの取得方法を説明するための模式図
【図９】ステージのＺ方向の位置の誤差が設定されたテーブルの取得方法を説明するための模式図
【図１０】本発明の観察装置の一実施形態を用いた顕微鏡観察システムの作用を説明するためのフローチャート
【図１１】ステージが往路移動している場合における顕微鏡観察システムの作用を説明するための模式図
【図１２】ステージが往路移動している場合における顕微鏡観察システムの作用を説明するための模式図
【図１３】本発明の観察装置のその他の実施形態を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の観察装置および方法並びに観察装置制御プログラムの一実施形態を用いた顕微鏡観察システムについて、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本実施形態の顕微鏡観察システムにおける顕微鏡装置１０の概略構成を示すブロック図である。
【００２７】
顕微鏡装置１０は、観察対象である培養された細胞の位相差画像を撮像するものである。具体的には、顕微鏡装置１０は、図１に示すように、白色光を出射する白色光源１１と、コンデンサレンズ１２と、スリット板１３と、結像光学系１４と、結像光学系駆動部１５と、撮像素子１６と、検出部１８とを備えている。
【００２８】
そして、スリット板１３と結像光学系１４および検出部１８との間に、ステージ５１が設けられている。ステージ５１上には、観察対象である細胞が収容された培養容器５０が設置される。図２は、ステージ５１の一例を示す図である。ステージ５１の中央には、矩形の開口５１ａが形成されている。この開口５１ａを形成する部材の上に培養容器５０が設置され、培養容器５０内の細胞の位相差画像が開口５１ａを通過するように構成されている。
【００２９】
培養容器５０としては、シャーレ、ディッシュまたはウェルプレートなどを用いることができる。また、培養容器５０に収容される細胞としては、ｉＰＳ細胞およびＥＳ細胞といった多能性幹細胞、幹細胞から分化誘導された神経、皮膚、心筋および肝臓の細胞、並びに人体から取り出された皮膚、網膜、心筋、血球、神経および臓器の細胞などがある。
【００３０】
ステージ５１は、水平方向駆動部１７（図５参照）によって互いに直交するＸ方向およびＹ方向に移動するものである。Ｘ方向およびＹ方向は、Ｚ方向に直交する方向であり、水平面内において互いに直交する方向である。本実施形態においては、Ｘ方向を主走査方向とし、Ｙ方向を副走査方向とする。
【００３１】
スリット板１３は、白色光源１１から出射された白色光を遮光する遮光板に対して白色光を透過するリング形状のスリットが設けられたものであり、白色光がスリットを通過することによってリング状の照明光Ｌが形成される。
【００３２】
図３は、結像光学系１４の詳細な構成を示す図である。結像光学系１４は、図３に示すように、位相差レンズ１４ａおよび結像レンズ１４ｄを備えている。そして、位相差レンズ１４ａは、対物レンズ１４ｂおよび位相板１４ｃを備えている。位相板１４ｃは、照明光Ｌの波長に対して透明な透明板に対して位相リングを形成したものである。なお、上述したスリット板１３のスリットの大きさは、位相板１４ｃの位相リングと共役な関係にある。
【００３３】
位相リングは、入射された光の位相を１／４波長ずらす位相膜と、入射された光を減光する減光フィルタとがリング状に形成されたものである。位相リングに入射された直接光は、位相リングを通過することによって位相が１／４波長ずれるとともに、その明るさが弱められる。一方、観察対象によって回折された回折光は大部分が位相板１４ｃの透明板を通過し、その位相および明るさは変化しない。
【００３４】
対物レンズ１４ｂを有する位相差レンズ１４ａは、図１に示す結像光学系駆動部１５によって対物レンズ１４ｂの光軸方向に移動するものである。なお、本実施形態においては、対物レンズ１４ｂと光軸方向とＺ方向（鉛直方向）とは同じ方向である。位相差レンズ１４ａのＺ方向への移動によってオートフォーカス制御が行われ、撮像素子１６によって撮像される位相差画像のコントラストが調整される。
【００３５】
また、位相差レンズ１４ａの倍率を変更可能な構成としてもよい。具体的には、異なる倍率を有する位相差レンズ１４ａまたは結像光学系１４を交換可能に構成するようにしてもよい。位相差レンズ１４ａまたは結像光学系１４の交換は、自動的に行うようにしてもよいし、ユーザが手動で行うようにしてもよい。
【００３６】
結像光学系駆動部１５は、たとえば圧電素子のようなアクチュエータを備えたものであり、後述する結像光学系制御部２１から出力された制御信号に基づいて駆動するものである。なお、結像光学系駆動部１５は、位相差レンズ１４ａを通過した位相差画像をそのまま通過させる構成となっている。また、結像光学系駆動部１５の構成は圧電素子に限らず、位相差レンズ１４ａをＺ方向に移動可能なものであればよく、その他の公知な構成を用いることができる。
【００３７】
結像レンズ１４ｄは、位相差レンズ１４ａおよび結像光学系駆動部１５を通過した位相差画像が入射され、これを撮像素子１６に結像するものである。
【００３８】
撮像素子１６は、結像レンズ１４ｄによって結像された位相差画像を撮像するものである。撮像素子１６としては、ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）イメージセンサなどが用いられる。撮像素子としては、ＲＧＢ（Red Green Blue）のカラーフィルタが設けられた撮像素子を用いてもよいし、モノクロの撮像素子を用いるようにしてもよい。
【００３９】
検出部１８は、ステージ５１に設置された培養容器５０内の各観察位置におけるＺ方向（鉛直方向）の位置を検出するものである。検出部１８は、具体的には、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａおよび第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂを備えたものである。第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａおよび第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂは、結像光学系１４（対物レンズ１４ｂ）を挟んで、図１に示すＸ方向に並べて設けられている。本実施形態における第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａおよび第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂはレーザ変位計であり、培養容器５０にレーザ光を照射し、その反射光を検出することによって、培養容器５０の底面のＺ方向の位置を検出するものである。なお、培養容器５０の底面とは、培養容器５０の底部と観察対象である細胞との境界面であり、すなわち観察対象設置面である。
【００４０】
検出部１８によって検出された培養容器５０のＺ方向の位置情報は、結像光学系制御部２１に出力され、結像光学系制御部２１は、入力された位置情報に基づいて、結像光学系駆動部１５を制御し、オートフォーカス制御を行う。
【００４１】
より具体的には、本実施形態の顕微鏡装置１０においては、結像光学系１４の観察領域がステージ５１上の培養容器５０内の各観察位置に到達する前に、先行してその観察位置における培養容器５０のＺ方向の位置情報を第１または第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂによって検出し、その位置情報に基づいて、結像光学系駆動部１５を制御し、オートフォーカス制御を行う。
【００４２】
ここで、本実施形態のように、ステージ５１をＸ方向およびＹ方向に移動させながら、ステージ５１上に設置された培養容器５０内の観察対象の像を観察する場合、ステージ５１のＺ方向の位置は常に一定ではなく、ステージ５１を移動させる後述する水平方向駆動部１７の機械的な精度に起因して、ステージ５１のＸ方向の位置によってＺ方向の位置が異なる。すなわち、ステージ５１の移動に、いわゆる「うねり」が生じる。
【００４３】
したがって、本実施形態のように、第１または第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂによって先行して培養容器５０の観察位置におけるＺ方向の位置情報を検出し、その位置情報に基づいて、対物レンズ１４ｂの光軸方向の移動を制御するようにした場合、第１または第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂと対物レンズ１４ｂとはＸ方向の位置が異なるため、培養容器５０内の所定の観察位置について、第１または第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂによるＺ方向の位置の検出タイミングと対物レンズ１４ｂによる観察タイミングとが異なる。
【００４４】
よって、たとえば図４に示すように培養容器５０内の観察位置Ａについて、第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂによってＺ方向の位置を検出した時点におけるステージ５１のＺ方向の位置（offset(x2,y2)）と、その後、観察位置Ａが結像光学系１４の観察領域の位置まで移動した時点におけるステージ５１のＺ方向の位置（offset(x1,y1）)とが異なる場合には、適切なオートフォーカス制御を行うことができない。
【００４５】
そこで、本実施形態においては、図４に示す第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂによって観察位置ＡのＺ方向の位置が検出される時点におけるステージ５１のＺ方向の位置（offset(x2,y2)）とその観察位置Ａまで結像光学系１４の観察領域が移動した時点におけるステージ５１のＺ方向の位置（offset(x1,y1)）との誤差（offset(x2,y2)-offset(x1,y1））を取得し、その誤差を考慮してオートフォーカス制御を行う。このステージ移動の「うねり」による誤差を考慮したオートフォーカス制御については、後で詳述する。
【００４６】
次に、顕微鏡装置１０を制御する顕微鏡制御装置２０の構成について説明する。図５は、本実施形態の顕微鏡観察システムの構成を示すブロック図である。なお、顕微鏡装置１０については、顕微鏡制御装置２０の各部により制御される一部の構成のブロック図を示している。
【００４７】
顕微鏡制御装置２０は、顕微鏡装置１０全体を制御するものであり、特に、結像光学系制御部２１、走査制御部２２、表示制御部２３および鉛直方向誤差取得部２４を備えたものである。
【００４８】
顕微鏡制御装置２０は、中央処理装置、半導体メモリおよびハードディスクなどを備えたコンピュータから構成されるものであり、ハードディスクに本発明の観察装置制御プログラムの一実施形態がインストールされている。そして、この観察装置制御プログラムが中央処理装置によって実行されることによって、図４に示す結像光学系制御部２１、走査制御部２２、表示制御部２３および鉛直方向誤差取得部２４が機能する。
【００４９】
結像光学系制御部２１は、上述したように検出部１８によって検出された培養容器５０のＺ方向の位置情報に基づいて、結像光学系駆動部１５を制御するものである。そして、結像光学系駆動部１５の駆動によって結像光学系１４の対物レンズ１４ｂが光軸方向に移動し、オートフォーカス制御が行われる。
【００５０】
走査制御部２２は、水平方向駆動部１７を駆動制御し、これによりステージ５１をＸ方向およびＹ方向に移動させるものである。水平方向駆動部１７は、圧電素子などを有するアクチュエータから構成されるものである。
【００５１】
本実施形態においては、上述したように走査制御部２２による制御によってステージ５１をＸ方向およびＹ方向に移動させ、結像光学系１４の観察領域を培養容器５０内において２次元状に走査し、培養容器５０内の各観察位置の位相差画像を撮像する。図６は、培養容器５０内における観察領域の走査位置を実線Ｍで示した図である。なお、本実施形態においては、培養容器５０として６つのウェルＷを有するウェルプレートを用いる。
【００５２】
図６に示すように、結像光学系１４の観察領域は、ステージ５１のＸ方向およびＹ方向の移動によって走査開始点Ｓから走査終了点Ｅまで実線Ｍに沿って走査される。すなわち、結像光学系１４の観察領域は、Ｘ方向の正方向（図６の右方向）に走査された後、Ｙ方向（図６の下方向）に走査され、逆の負方向（図６の左方向）に走査される。次いで、結像光学系１４の観察領域は、再びＹ方向に走査され、再びＸ方向の正方向に走査される。このように、結像光学系１４の観察領域は、ステージ５１の移動によって、Ｘ方向についての往復走査とＹ方向への走査を繰り返し行うことによって、培養容器５０内を２次元状に走査される。
【００５３】
鉛直方向誤差取得部２４は、上述したステージ５１の移動の「うねり」によって生じるＺ方向の位置の誤差を取得するものである。具体的には、鉛直方向誤差取得部２４には、ステージ５１上に設置された培養容器５０内における各観察位置について、それぞれステージ５１のＺ方向の位置の誤差が予め設定されたテーブルが記憶されている。鉛直方向誤差取得部２４は、このテーブルを参照しながら培養容器５０内の各観察位置におけるステージ５１のＺ方向の位置の誤差を取得する。以下、図７に示すフローチャート、図８および図９を参照しながら、上記テーブルの設定方法について説明する。
【００５４】
まず、ステージ５１の往路移動を開始し、図８に示すように、ステージ５１の所定位置ＢのＺ方向の位置を第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによって検出する（Ｓ１０）。なお、ステージ５１のＺ方向の位置とは、本実施形態においては、ステージ５１の底面の位置とする。
【００５５】
次に、図８に示すように、さらにステージ５１を往路移動させ（Ｓ１４）、ステージ５１の所定位置Ｂが第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂの位置まで移動した時点において、その所定位置ＢのＺ方向の位置を検出する（Ｓ１６）。
【００５６】
そして、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによって検出された所定位置ＢのＺ方向の位置ｚ１と、第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂによって検出された所定位置ＢのＺ方向の位置ｚ２とに基づいて、結像光学系１４の観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置を算出する（Ｓ１８）。具体的には、本実施形態においては、結像光学系１４が、Ｘ方向について、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａと第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂとの中間位置に配置されているので、Ｚ方向の位置ｚ１とＺ方向の位置ｚ２との平均値を、結像光学系１４の観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置ｚ３として算出する。
【００５７】
そして、ステージ５１の１往路の移動が終了するまでは（Ｓ２０，ＮＯ）、Ｓ１０〜Ｓ１８までの処理が繰り返され、往路について、結像光学系１４の観察領域の各走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置ｚ３が取得される。
【００５８】
次いで、ステージ５１の１往路の移動が終了し、ステージ５１の移動が復路移動に切り換えられた場合には（Ｓ２０，ＹＥＳ、Ｓ２２）、図９に示すように、ステージ５１の所定位置ＣのＺ方向の位置を第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂによって検出する（Ｓ２４）。
【００５９】
次に、図９に示すように、さらにステージ５１を復路移動させ（Ｓ２６）、ステージ５１の所定位置Ｃが第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａの位置まで移動した時点において、その所定位置ＣのＺ方向の位置を検出する（Ｓ２８）。
【００６０】
そして、第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂによって検出された所定位置ＢのＺ方向の位置ｚ４と、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによって検出された所定位置ＢのＺ方向の位置ｚ５とに基づいて、結像光学系１４の観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置ｚ６を算出する（Ｓ３０）。具体的には、往路移動の場合と同様に、Ｚ方向の位置ｚ４とＺ方向の位置ｚ５との平均値を、結像光学系１４の観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置ｚ６として算出する。
【００６１】
そして、ステージ５１の１復路の移動が終了するまでは（Ｓ３２，ＮＯ）、Ｓ２４〜Ｓ３０までの処理が繰り返され、復路について、結像光学系１４の観察領域の各走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置ｚ６が取得される。
【００６２】
次いで、ステージ５１の１復路の移動が終了した時点において、全ての観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置が算出されていない場合には（Ｓ３２，ＹＥＳ，Ｓ３４，ＮＯ）、再び、ステージ５１の移動が往路移動に切り換えられ、Ｓ１０〜Ｓ３２までの処理が繰り返して行われる。一方、ステージ５１の１復路の移動が終了した時点において、全ての観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置が算出されている場合には（Ｓ３４，ＹＥＳ）、そのまま処理を終了する。
【００６３】
そして、往路移動については、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによって検出されたステージ５１のＺ方向の位置ｚ１から、そのＺ方向の位置ｚ１を用いて算出されたステージ５１のＺ方向の位置ｚ３が減算されてステージ５１のＺ方向の位置の誤差が算出される。同様にして、培養容器５０内の各観察位置について、ステージ５１のＺ方向の位置の誤差が算出され、テーブルとして鉛直方向誤差取得部２４に設定される。
【００６４】
また、復路移動については、第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂによって検出されたステージ５１のＺ方向の位置ｚ４から、そのＺ方向の位置ｚ４を用いて算出されたステージ５１のＺ方向の位置ｚ６が減算されてステージ５１のＺ方向の位置の誤差が算出される。同様にして、培養容器５０内の各観察位置について、ステージ５１のＺ方向の位置の誤差が算出される。そして、培養容器５０内の各観察位置と各観察位置におけるステージ５１のＺ方向の位置の誤差とを対応付けたテーブルが鉛直方向誤差取得部２４に設定される。
【００６５】
なお、鉛直方向誤差取得部２４に設定されるテーブルは、予め設定された時期毎に更新されることが望ましい。具体的には、たとえばタイムラプス撮影など経時的に複数回の撮影を行う場合には、その撮影毎にテーブルを更新することが望ましい。なお、これに限らず、１日毎および一か月毎など定期的にテーブルを更新するようにしてもよい。このようにテーブルを更新することによって、経時によるステージの移動機構の劣化などに起因する変化にも対応することができる。
【００６６】
また、本実施形態においては、上記テーブルを取得する際、ステージ５１が往路移動している場合とステージ５１が復路移動している場合とで、それぞれ別々の誤差を取得するようにしている。ステージ５１は、往路移動と復路移動とでＺ方向の位置変動が異なる場合があるので、上述したように往路移動と復路移動とで別々の誤差を取得することによって、より高精度な誤差の計測が可能である。
【００６７】
次に、図５に戻り、表示制御部２３は、顕微鏡装置１０によって撮像された各観察位置の位相差画像を結合することによって、１枚の合成位相差画像を生成し、その合成位相差画像を表示装置３０に表示させるものである。
【００６８】
表示装置３０は、上述したように表示制御部２３によって生成された合成位相差画像を表示するものであり、たとえば液晶ディスプレイなどを備えたものである。また、表示装置３０をタッチパネルによって構成し、入力装置４０と兼用するようにしてもよい。
【００６９】
入力装置４０は、マウスやキーボードなどを備えたものであり、ユーザによる種々の設定入力を受け付けるものである。本実施形態の入力装置４０は、たとえば位相差レンズ１４ａの倍率の変更指示およびステージの移動速度の変更指示などの設定入力を受け付けるものである。
【００７０】
次に、本実施形態の顕微鏡観察システムの作用について、図１０に示すフローチャートを参照しながら説明する。
【００７１】
まず、観察対象である細胞が収容された培養容器５０が、ステージ５１上に設置される（Ｓ４０）。
【００７２】
次に、ステージ５１が移動して結像光学系１４の観察領域が、図６に示す走査開始点Ｓの位置に設定され、ステージ５１の移動が開始される（Ｓ４２）。
【００７３】
ここで、本実施形態においては、上述したように培養容器５０内の各観察位置について、先行して培養容器５０のＺ方向の位置検出が行われ、その観察位置まで結像光学系１４の観察領域が走査された時点において、位相差画像の撮像が行われる。そして、この培養容器５０のＺ方向の位置検出と位相差画像の撮像は、結像光学系１４の観察領域が走査されながら行われ、ある観察位置の位相差画像の撮像と、その観察位置よりも主走査方向について前側の位置における培養容器５０のＺ方向の位置検出とが並行して行わる。
【００７４】
具体的には、図１１の矢印方向にステージ５１が往路移動している場合には、結像光学系１４よりも主走査方向について前側に位置するオートフォーカス用変位センサ、ここでは第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによって培養容器５０のＺ方向の位置が検出され（Ｓ４４）、その検出された位置情報が、結像光学系制御部２１によって取得される。結像光学系制御部２１は、取得した培養容器５０のＺ方向の位置情報を、培養容器５０の検出位置のＸ−Ｙ座標とともに記憶する（Ｓ４６）。
【００７５】
次いで、Ｓ４４において第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによって培養容器５０の位置検出が行われた観察位置に向かって結像光学系１４の観察領域Ｒが移動する（Ｓ４８）。そして、結像光学系制御部２１は、培養容器５０の位置検出が行われた観察位置に観察領域Ｒが到達する直前において、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによって先行して検出された培養容器５０のＺ方向の位置情報を読み出す（Ｓ５０）。また、結像光学系制御部２１は、鉛直方向誤差取得部２４に設定されたテーブルを参照し、培養容器５０の位置検出が行われた観察位置まで観察領域Ｒが走査された時点におけるその観察位置のステージ５１のＺ方向の位置の誤差を取得する（Ｓ５２）。
【００７６】
そして、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによって検出された培養容器５０のＺ方向の位置情報から上記誤差を減算し、その減算値に基づいて、結像光学系１４の対物レンズ１４ｂのＺ方向への移動量を算出し（Ｓ５４）、その移動量に基づいてオートフォーカス制御を行う（Ｓ５６）。
【００７７】
そして、オートフォーカス制御後、培養容器５０の位置検出が行われた観察位置に観察領域Ｒが到達した時点において、位相差画像の撮像を行う（Ｓ５８）。位相差画像は、撮像素子１６から表示制御部２３に出力されて記憶される。なお、上述したように、Ｓ５８における各観察位置の位相差画像の撮像が行われている間、その観察位置よりも走査方向について前側の位置において培養容器５０のＺ方向の位置検出が並行して行われる。
【００７８】
そして、往路移動が終了し、図１２に示すように復路移動に切り換えられた場合には（Ｓ６０，ＹＥＳ）、使用する変位センサが第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａから第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂに切り換えられる（Ｓ６２）。
【００７９】
そして、この時点において、全ての走査が終了していない場合には（Ｓ６４，ＮＯ）、再び、ステージ５１が復路移動し、Ｓ４４〜Ｓ５８の処理が行われる。
【００８０】
ステージ５１の移動方向が切り換えられる度に使用する変位センサが切り替えられ、全ての走査が終了するまでＳ４４〜Ｓ６２までの処理が繰り返して行われる。そして、観察領域Ｒが、図６に示す走査終了点Ｅの位置に到達した時点において全ての走査が終了する（Ｓ６４，ＹＥＳ）。
【００８１】
全ての走査が終了した後、表示制御部２３は、各観察領域Ｒの位相差画像を結合して合成位相差画像を生成し（Ｓ６６）、その生成した合成位相差画像を表示装置３０に表示させる（Ｓ６８）。
【００８２】
上記実施形態の顕微鏡観察システムによれば、第１または第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂによって各観察位置における培養容器５０の鉛直方向の位置が先行して検出された時点におけるステージ５１の鉛直方向の位置と、各観察位置まで結像光学系１４の観察領域が走査された時点におけるステージ５１の鉛直方向の位置との誤差を取得し、その取得した誤差と、第１または第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂによって検出された培養容器５０の鉛直方向の位置とに基づいて、対物レンズ１４ｂを光軸方向に移動させるようにしたので、ステージ５１の移動に伴う鉛直方向の位置変動に影響されることなく、高精度にオートフォーカス制御を行うことができる。
【００８３】
なお、上記実施形態の顕微鏡観察システムにおいては、第１および第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂを用いてステージ５１のＺ方向の位置を検出するようにしたが、これに限らず、第１および第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂの他にステージ位置測定用変位センサを設けるようにしてもよい。
【００８４】
図１３は、ステージ位置測定用変位センサ６０〜６５を設けた例を示している。なお、ステージ位置測定用変位センサ６０〜６３が、本発明の第１のステージ位置測定用変位センサに相当し、ステージ位置測定用変位センサ６４，６５が、本発明の第２のステージ位置測定用変位センサに相当するものである。具体的には、ステージ位置測定用変位センサ６０，６１は、Ｘ方向について、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａと同じ位置に配置され、第１のオートフォーカス用変位センサを挟んでＹ方向について並べて設けられている。また、ステージ位置測定用変位センサ６２，６３は、Ｘ方向について、第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂと同じ位置に配置され、第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂを挟んでＹ方向について並べて設けられている。また、ステージ位置測定用変位センサ６４，６５は、Ｘ方向について、結像光学系１４と同じ位置に配置され、結像光学系１４を挟んでＹ方向について並べて設けられている。なお、ステージ位置測定用変位センサ６０〜６５は、レーザ変位センサであることが好ましい。
【００８５】
上記実施形態においては、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによって検出されたステージ５１のＺ方向の位置と第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂによって検出されたステージ５１のＺ方向の位置とに基づいて、結像光学系１４の観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置を算出しているが、第１および第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂと結像光学系１４とはＸ方向の位置が異なるので、結像光学系１４の観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置は必ずしも正確ではない。
【００８６】
これに対し、図１３に示す実施形態においては、ステージ位置測定用変位センサ６４，６５が、Ｘ方向について結像光学系１４と同じ位置に配置されているので、ステージ５１のＸ方向の移動に起因するＺ方向の位置の変動については、上記実施形態よりも高精度に算出することができる。ただし、コスト削減の観点からは、上記実施形態の構成の方が好ましい。
【００８７】
図１３に示す実施形態においては、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａによってステージ５１のＺ方向の位置を検出する代わりに、ステージ位置測定用変位センサ６０，６１を用いて第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａの位置におけるステージ５１のＺ方向の位置を取得する。具体的には、ステージ位置測定用変位センサ６０によって検出されたステージ５１のＺ方向の位置Ｚ６０とステージ位置測定用変位センサ６１によって検出されたステージ５１のＺ方向の位置Ｚ６１との平均値を算出することによって、第１のオートフォーカス用変位センサ１８ａの位置におけるステージ５１のＺ方向の位置Ｚ７０を算出する。
【００８８】
また、第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂによってステージ５１のＺ方向の位置を検出する代わりに、ステージ位置測定用変位センサ６２，６３を用いて第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂの位置におけるステージ５１のＺ方向の位置を取得する。具体的には、ステージ位置測定用変位センサ６２によって検出されたステージ５１のＺ方向の位置Ｚ６２とステージ位置測定用変位センサ６３によって検出されたステージ５１のＺ方向の位置Ｚ６３との平均値を算出することによって、第２のオートフォーカス用変位センサ１８ｂの位置におけるステージ５１のＺ方向の位置Ｚ８０を算出する。
【００８９】
また、図１３に示す実施形態においては、ステージ位置測定用変位センサ６４，６５を用いて結像光学系１４の観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置を取得する。具体的には、ステージ位置測定用変位センサ６４によって検出されたステージ５１のＺ方向の位置Ｚ６４とステージ位置測定用変位センサ６５によって検出されたステージ５１のＺ方向の位置Ｚ６５との平均値を算出することによって、結像光学系１４の観察領域の走査位置におけるステージ５１のＺ方向の位置Ｚ９０を算出する。
【００９０】
そして、図１３に示す実施形態においては、往路移動の場合には、ステージ５１のＺ方向の位置Ｚ７０から位置Ｚ９０を減算することによって、上述したステージ５１のＺ方向の位置の誤差が算出される。また、復路移動の場合には、ステージ５１のＺ方向の位置Ｚ８０から位置Ｚ９０を減算することによって、上述したステージ５１のＺ方向の位置の誤差が算出される。
【００９１】
なお、図１３に示す実施形態においては、６つのステージ位置測定用変位センサ６０〜６５を設けるようにしたが、必ずしもこれらの全てを設けなくてもよく、たとえば６つの変位センサのうちのステージ位置測定用変位センサ６４，６５のみを設けるようにしてもよい。この場合、第１および第２のオートフォーカス用変位センサ１８ａ，１８ｂの位置におけるステージ５１のＺ方向の位置については、これらの変位センサ自身を用いて検出される。
【００９２】
また、上記実施形態は、本発明を位相差顕微鏡に適用したものであるが、本発明は、位相差顕微鏡に限らず、微分干渉顕微鏡および明視野顕微鏡などのその他の顕微鏡に適用するようにしてもよい。
【００９３】
また、上記実施形態においては、結像光学系１４によって結像された位相差画像を撮像素子１６によって撮像するようにしたが、撮像素子を設けることなく、結像光学系１４によって結像された観察対象の位相差像をユーザが直接観察できるように観察光学系などを設けるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００９４】
１０   顕微鏡装置
１１   白色光源
１２   コンデンサレンズ
１３   スリット板
１４   結像光学系
１４ａ 位相差レンズ
１４ｂ 対物レンズ
１４ｃ 位相板
１４ｄ 結像レンズ
１５   結像光学系駆動部
１６   撮像素子
１７   水平方向駆動部
１８   検出部
１８ａ 第１のオートフォーカス用変位センサ
１８ｂ 第２のオートフォーカス用変位センサ
２０   顕微鏡制御装置
２１   結像光学系制御部
２２   走査制御部
２３   表示制御部
２４   鉛直方向誤差取得部
３０   表示装置
４０   入力装置
５０   培養容器
５１   ステージ
５１ａ 開口
Ｌ     照明光
Ｒ     観察領域
Ｗ     ウェル
【図１】
2018054817.tif 000003
【図２】
2018054817.tif 000004
【図３】
2018054817.tif 000005
【図４】
2018054817.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2018054817.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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