(57)【要約】【課題】シール性能を低下させることなく、軸方向の全長が長くなるのを抑制することができるロータリジョイントを提供する。【解決手段】ロータリジョイント１は、内周側で開口する第一流路１３４が形成された筒形のケース体２と、ケース体２内に相対回転可能として設けられ、外周側で開口する第二流路１１８Ａ及び内周側で開口する第三流路１１８Ｂが形成された外筒体５と、外筒体内に相対回転可能として設けられ、外周側で開口する第四流路１６５が形成された内軸体６と、ケース体２と外筒体５との間に形成された第一環状空間Ａを区画して第一流路１３４と第二流路１１８Ａとを繋ぐ流路１６Ａ，１７Ａを形成するための第一メカニカルシール７Ａと、外筒体５と内軸体６との間に形成された第二環状空間Ｂを区画して第三流路１１８Ｂと第四流路１６５とを繋ぐ流路１６Ｂ，１７Ｂを形成するための第二メカニカルシール７Ｂと、を備える。【選択図】図１
2018031409.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周側で開口する第一流路が形成されている筒形のケース体と、
前記ケース体内に相対回転可能として設けられ、外周側で開口する第二流路及び内周側で開口する第三流路が形成されている外筒体と、
前記外筒体内に相対回転可能として設けられ、外周側で開口する第四流路が形成されている内軸体と、
前記ケース体と前記外筒体との間に形成された第一環状空間に設けられ、当該第一環状空間を区画して前記第一流路と前記第二流路とを繋ぐ流路を形成するための第一メカニカルシールと、
前記外筒体と前記内軸体との間に形成された第二環状空間に設けられ、当該第二環状空間を区画して前記第三流路と前記第四流路とを繋ぐ流路を形成するための第二メカニカルシールと、を備えるロータリジョイント。
【請求項２】
前記第一メカニカルシールは、前記第一環状空間の軸方向に複数設けられ、
前記第二メカニカルシールは、前記第二環状空間の軸方向に複数設けられている、請求項１に記載のロータリジョイント。
【請求項３】
前記第一環状空間には、前記第一メカニカルシールと前記ケース体との間に封液が供給される第一封液領域が形成され、
前記第二環状空間には、前記第二メカニカルシールと前記内軸体との間に封液が供給される第二封液領域が形成され、
前記外筒体には、その外周面と内周面とにわたって径方向に貫通する貫通孔が形成され、
前記第一メカニカルシールの一部を利用して形成され、前記第一封液領域と前記貫通孔の一端側の開口とを連通する第一連通路と、
前記第二メカニカルシールの一部を利用して形成され、前記第二封液領域と前記貫通孔の他端側の開口とを連通する第二連通路と、をさらに備える請求項１又は２に記載のロータリジョイント。
【請求項４】
前記内軸体の軸方向一端部および前記ケース体を、前記外筒体の軸方向一端部を跨いで連結している連結体をさらに備える請求項１〜３のいずれか１項に記載のロータリジョイント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メカニカルシールを備えているロータリジョイントに関する。
【背景技術】
【０００２】
ロータリジョイントは、固定側部材の流路と回転側部材の流路とを接続するために用いられている。例えば、半導体ウエハの表面研磨処理を行うためにＣＭＰ装置（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ装置）が用いられており、このＣＭＰ装置では、回転側部材（ターンテーブル又はトップリング）と、これを支持する固定側部材（ＣＭＰ装置本体）との間を、研磨液、加圧用空気、洗浄水、純水、エアーブロー用空気、研磨残渣液等の被密封流体が流れる。
【０００３】
このような被密封流体が混ざることなく前記回転側部材と前記固定側部材との間を流れるために、これら部材間を接続するジョイント部には、独立した流体通路が複数必要である。そこで、このようなジョイント部として、例えば特許文献１に開示されている多ポート式のロータリジョイントが用いられる。
【０００４】
図８は、従来のロータリジョイントの縦断面図である。このロータリジョイントは、筒形のケース体８０と、このケース体８０内に回転可能として設けられている軸体８３と、これらケース体８０と軸体８３との間の環状空間８４において軸方向（図８の上下方向）に並べて設けられた複数のメカニカルシール８６とを備えている。
【０００５】
メカニカルシール８６は、ケース体８０に取り付けられている一対の静止密封環９１と、軸体８３と一体回転する回転密封環９２と、複数のコイルスプリング９７とを有している。そして、このロータリジョイントには複数の独立した流体通路８５が設けられている。
【０００６】
軸体８３は、軸本体８７と、この軸本体８７に外嵌しているスリーブ８９とを有している。スリーブ８９は、メカニカルシール８６の回転密封環９２と、軸方向に沿って交互に配置されている。そして、押し付け部材９０がボルト９０ａによって軸本体８７に締め付けられることにより、スリーブ８９及び回転密封環９２は軸方向に押し付けられる。この押し付け部材９０の押し付け力により、回転密封環９２とスリーブ８９とを相互に押し付けた状態とし、相互間の摩擦力によって全てのスリーブ８９及び回転密封環９２が、軸本体８７と一体回転可能となる。
【０００７】
ケース体８０には、外周側及び内周側で開口する第一流路８１が形成されている。そして、軸本体８７及びスリーブ８９を含む軸体８３には、外周側で開口する第二流路８２が形成されている。なお、軸本体８７に、前記第二流路８２の一部となる流路孔８７ａが形成されており、スリーブ８９の軸方向中央部に、前記第二流路８２の他部となる貫通孔８８が形成されている。この貫通孔８８は、流路孔８７ａと繋がっており、第二流路８２の外周側の開口孔となる。
また、軸本体８７とスリーブ８９と回転密封環９２との間にＯリング９３が設けられており、各第二流路８２を流れる被密封流体が他の流路へ浸入したり外部へ漏れたりするのを防いでいる。
【０００８】
一つの第一流路８１と一つの第二流路８２とは、軸方向同じ高さ位置で開口しており、これら第一流路８１と第二流路８２とにより一つの独立した流体通路８５が構成される。このために、前記環状空間８４にメカニカルシール８６が設けられている。すなわち、スリーブ８９の径方向外側であってそのスリーブ８９を挟んで隣り合う回転密封環９２，９２の間に、メカニカルシール８６の静止密封環９１，９１が設けられており、これら静止密封環９１，９１同士の間には、第二流路８２（貫通孔８８）と第一流路８１とを繋ぐ環状の流路９６が形成されている。静止密封環９１は、その一部に設けられている爪部（凹部）９４等に、ケース体８０に固定されたドライブピン９５を係合させることによって、ケース体８０に回り止めされている。
【０００９】
メカニカルシール８６が有するコイルスプリング９７は、回転密封環９２に対して静止密封環９１を軸方向に向かって押し付けており、静止密封環９１が、その軸方向隣に位置する回転密封環９２に接触し、この接触している面の間から被密封流体が漏れるのを防止する。つまり、静止密封環９１の軸方向側面の一部がシール面９１ａとなり、回転密封環９２の環状側面の一部が、前記シール面９１ａと摺接するシール面９２ａとなる。なお、これらシール面９１ａ，９２ａ間には、封液によって潤滑膜が形成され、潤滑効果を得ている。
【００１０】
以上より、ケース体８０に対して、軸本体８７、スリーブ８９、及び回転密封環９２は一体となって回転可能となり、回転する回転密封環９２が、静止側となる静止密封環９１に摺接してメカニカルシール８６としての機能が発揮され、これにより、独立した流体通路８５を形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−４２３０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記ロータリジョイントでは、流体通路８５の個数（ポート数）と同数のメカニカルシール８６を環状空間８４において軸方向に並べて設ける必要がある。このため、ロータリジョイントの軸方向の全長が長くなり、装置によってはロータリジョイントを搭載することができないという問題があった。
【００１３】
そこで、ロータリジョイントの軸方向の全長が長くなるのを抑えるために、使用するメカニカルシール８６における構成部品の一つ一つを小さく設計することが考えらえるが、この場合には、メカニカルシール８６のシール性能が低下するという新たな問題が生じる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、シール性能を低下させることなく、軸方向の全長が長くなるのを抑制することができるロータリジョイントを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のロータリジョイントは、内周側で開口する第一流路が形成されている筒形のケース体と、前記ケース体内に相対回転可能として設けられ、外周側で開口する第二流路及び内周側で開口する第三流路が形成されている外筒体と、前記外筒体内に相対回転可能として設けられ、外周側で開口する第四流路が形成されている内軸体と、前記ケース体と前記外筒体との間に形成された第一環状空間に設けられ、当該第一環状空間を区画して前記第一流路と前記第二流路とを繋ぐ流路を形成するための第一メカニカルシールと、前記外筒体と前記内軸体との間に形成された第二環状空間に設けられ、当該第二環状空間を区画して前記第三流路と前記第四流路とを繋ぐ流路を形成するための第二メカニカルシールと、を備える。
【００１５】
上記のように構成されたロータリジョイントには、外筒体の外周側となる第一環状空間に設けた第一メカニカルシールにより、ケース体の第一流路と外筒体の第二流路とが第一メカニカルシールの流路を介して繋がった一の流体通路が形成される。また、ロータリジョイントには、外筒体の内周側となる第二環状空間に設けた第二メカニカルシールにより、外筒体の第三流路と内軸体の第四流路とが第二メカニカルシールの流路を介して繋がった他の流体通路が形成される。
【００１６】
すなわち、外筒体の外周側と内周側とに形成された二つの環状空間にそれぞれメカニカルシールを設けることで、互いに異なる二つの流体通路を形成することができる。したがって、従来のように一つの環状空間においてメカニカルシールを軸方向に並べて設ける場合に比べて、ロータリジョイントの軸方向の全長が長くなるのを抑制することができる。また、メカニカルシールにおける各構成部品を小さく形成する必要がないので、シール性能が低下することもない。
【００１７】
上記ロータリジョイントにおいて、前記第一メカニカルシールは、前記第一環状空間の軸方向に複数設けられ、前記第二メカニカルシールは、前記第二環状空間の軸方向に複数設けられているのが好ましい。
流体通路の個数を増加させる場合には、外筒体の外周側（第一環状空間）と内周側（第二環状空間）とにそれぞれメカニカルシールを軸方向に並べて設けることで、互いに異なる流体通路それぞれを複数形成することができる。したがって、各流体通路の個数が増加しても、従来のように一つの環状空間にカニカルシールを軸方向に並べて設ける場合に比べて、ロータリジョイントの軸方向の全長が長くなるのを抑制することができる。
【００１８】
上記ロータリジョイントにおいて、前記第一環状空間には、前記第一メカニカルシールと前記ケース体との間に封液が供給される第一封液領域が形成され、前記第二環状空間には、前記第二メカニカルシールと前記内軸体との間に封液が供給される第二封液領域が形成され、前記外筒体には、その外周面と内周面とにわたって径方向に貫通する貫通孔が形成され、前記第一メカニカルシールの一部を利用して形成され、前記第一封液領域と前記貫通孔の一端側の開口とを連通する第一連通路と、前記第二メカニカルシールの一部を利用して形成され、前記第二封液領域と前記貫通孔の他端側の開口とを連通する第二連通路と、をさらに備えるのが好ましい。
【００１９】
この場合、第一封液領域と第二封液領域とは、第一連通路、外筒体の貫通孔、及び第二連通路を介して繋がるため、第一封液領域及び第二封液領域のうち、一方の領域に封液を供給することで、他方の領域にも封液を供給することができる。したがって、ロータリジョイントには封液の入口流路を一箇所だけ形成すればよいので、構造を簡素化することができる。
【００２０】
上記ロータリジョイントにおいて、前記内軸体の軸方向一端部および前記ケース体を、前記外筒体の軸方向一端部を跨いで連結している連結体をさらに備えるのが好ましい。
この場合、連結体によって内軸体の軸方向一端部とケース体とが一体化されるので、ケース体に対して外筒体の軸方向一端部を相対回転可能に支持する軸受、及び外筒体の軸方向一端部に対して内軸体の軸方向一端部を相対回転可能に支持する軸受のうち、一方の軸受を設ける必要がない。これにより、部品点数を削減することができるので、さらに構造の簡素化や製造コストの低減を図ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明のロータリジョイントによれば、シール性能を低下させることなく、軸方向の全長が長くなるのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係るロータリジョイントを示す縦断面図であり、ケース体及び外筒体の説明図である。
【図２】外筒体を下側から見た平面図である。
【図３】上記ロータリジョイントを示す縦断面図であり、内軸体及び連結体の説明図である。
【図４】上記ロータリジョイントを上方から見た平面図である。
【図５】上記ロータリジョイントを示す縦断面図であり、メカニカルシール及び封液流路の説明図である。
【図６】下側に配置された第一及び第二メカニカルシール及びその周囲を示す断面図である。
【図７】第一封液領域と第二封液領域との連通構造の変形例を示す断面図である。
【図８】従来のロータリジョイントの縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
［全体構成］
図１は、本発明の一実施形態に係るロータリジョイントを示す縦断面図である。図１において、このロータリジョイント１（以下、ジョイント１ともいう。）は、回転機器の固定側部材（例えば、ＣＭＰ装置本体）に取り付けられる筒形のケース体２、連結体４および内軸体６と、この回転機器の回転側部材（例えば、ＣＭＰ装置のトップリング又はターンテーブル）に取り付けられる外筒体５とを備えている。
【００２４】
なお、ジョイント１の姿勢は、図１に示す姿勢以外であってもよいが、本実施形態では、図１に示す上側をジョイント１の「上」とし、下側をジョイント１の「下」とする。また、本発明において、「軸方向」とは、ロータリジョイント１の中心線に沿った方向（この中心線に平行な方向も含む）であり、ケース体２、連結体４、外筒体５、内軸体６、及び、後述するメカニカルシール７Ａ，７Ｂそれぞれの中心線は、このロータリジョイント１の中心線と一致するようにして構成されている。また、本発明において「径方向」とは、ロータリジョイント１の中心線に対して直交する方向である。
【００２５】
［ケース体］
ケース体２は、上下に配置されたＮ個（Ｎ＝１以上の整数であり、図例ではＮ＝２）の流路フランジ１３２と、これらの流路フランジ１３２の上下に配置された上部フランジ１３０及び下部フランジ１３１と、下部フランジ１３１の下側に配置された支持フランジ１３３とによって構成されている。
【００２６】
これらフランジ１３０〜１３３は円環状に形成されており、ボルト１０９Ａによってフランジ１３０，１３２，１３１が上下方向に積み重ねた状態で連結固定され、ボルト１０９Ｂによってフランジ１３１，１３３が上下方向に積み重ねた状態で連結固定されている。これにより、ケース体２は、全体として筒形の構造体となっている。
隣り合う流路フランジ１３２，１３２の間、隣り合う上部フランジ１３０と流路フランジ１３２との間、及び隣り合う下部フランジ１３１と流路フランジ１３２との間には、それぞれＯリング１０６が設けられている。
【００２７】
上部フランジ１３０及び下部フランジ１３１は、径方向内側へ突出している環状の突出部１５６，１５７を有している。同様に、流路フランジ１３２それぞれは、径方向内側へ突出している環状の突出部１３５を有している。そして、各流路フランジ１３２に、被密封流体が流れる第一流路１３４が、突出部１３５内を通過するように径方向に貫通して形成されている。被密封流体としては、研磨液、加圧用空気、洗浄水、純水、エアーブロー用空気、研磨残渣液等の流体が挙げられる。本実施形態では、被密封流体として空気が用いられている。
【００２８】
第一流路１３４の両端部は、流路フランジ１３２の内周側と外周側とで開口しており、本実施形態では、流路フランジ１３２の外周側の開口部が、前記固定側部材の複数の配管それぞれが接続される接続ポートとなる。以上より、ケース体２には、第一流路１３４が複数形成された構成となる。
【００２９】
［外筒体］
外筒体５は、ケース体２の内部に同心上に配置されており、上下方向に長い直線状の筒本体１１０と、筒本体１１０に外嵌された外スリーブ１１１と、筒本体１１０に内嵌された内スリーブ１１２とを有している。
【００３０】
筒本体１１０の外周には、外スリーブ１１１の他に、後述する第一メカニカルシール７Ａの円環形の回転密封環１２Ａが外嵌されている。外スリーブ１１１と回転密封環１２Ａとは、軸方向に沿って交互に配置されている。外スリーブ１１１はＮ個設けられ、回転密封環１２Ａは（Ｎ＋１）個設けられている。
【００３１】
筒本体１１０の外周において、最も上側に配置された回転密封環１２Ａの上方、及び最も下側に配置された回転密封環１２Ａの下方には、円環形の外スペーサ１１３Ａを介して、後述する端部メカニカルシール９Ａの円環形の回転密封環１５Ａが外嵌されている。また、筒本体１１０の外周において、下側の回転密封環１５Ａの下方には、端部スリーブ１１４Ａがさらに外嵌されている。
【００３２】
筒本体１１０の外周の上端部には、回転密封環１５Ａ、外スペーサ１１３Ａ、回転密封環１２Ａ、外スリーブ１１１、及び端部スリーブ１１４Ａを下方に押し付ける円筒形の押し付け部材１１５Ａが、ボルト１１９Ａによって固定されている。
【００３３】
筒本体１１０の下部側（軸方向一方側）には径方向外側に突出する外規制部１１０Ａが形成されている。この外規制部１１０Ａは、筒本体１１０に外嵌された、回転密封環１５Ａ、外スペーサ１１３Ａ、回転密封環１２Ａ、外スリーブ１１１、及び端部スリーブ１１４Ａが下側へ移動するのを規制している。
【００３４】
以上より、ボルト１１９Ａによって押し付け部材１１５Ａを締め付けることで、全ての回転密封環１５Ａ、全ての外スペーサ１１３Ａ、全ての回転密封環１２Ａ、全ての外スリーブ１１１、及び端部スリーブ１１４Ａは、筒本体１１０の外規制部１１０Ａに向かって軸方向に押し付けられている。
【００３５】
押し付け部材１１５Ａによる押し付け力（軸方向の締め付け力）は、周方向で均等となる。この押し付け力により、外スリーブ１１１は回転密封環１２Ａに押し付けられ、外スペーサ１１３Ａは回転密封環１２Ａ及び回転密封環１５Ａに押し付けられた状態となる。また、端部スリーブ１１４Ａは、回転密封環１５Ａ及び外規制部１１０Ａに押し付けられた状態となる。
【００３６】
これにより、全ての回転密封環１５Ａ、全ての外スペーサ１１３Ａ、全ての回転密封環１２Ａ、全ての外スリーブ１１１、及び端部スリーブ１１４Ａは、筒本体１１０と一体化され、相互間の摩擦力によって筒本体１１０と一体回転可能となる。
【００３７】
筒本体１１０の内周には、内スリーブ１１２の他に、後述する第二メカニカルシール７Ｂの円環形の回転密封環１２Ｂが内嵌されており、内スリーブ１１２と回転密封環１２Ｂとは、軸方向に沿って交互に配置されている。内スリーブ１１２はＭ個（Ｍ＝１以上の整数であり、図例ではＭ＝２）設けられ、回転密封環１２Ｂは（Ｍ＋１）個設けられている。
【００３８】
筒本体１１０の内周において、最も上側に配置された回転密封環１２Ｂの上方、及び最も下側に配置された回転密封環１２Ｂの下方には、円環形の内スペーサ１１３Ｂを介して、後述する端部メカニカルシール９Ｂの円環形の回転密封環１５Ｂが内嵌されている。また、筒本体１１０の内周において、下側の回転密封環１５Ｂの下方には、端部スリーブ１１４Ｂがさらに内嵌されている。
【００３９】
筒本体１１０の内周の上端部には、回転密封環１５Ｂ、内スペーサ１１３Ｂ、回転密封環１２Ｂ、内スリーブ１１２、及び端部スリーブ１１４Ｂを下方に押し付ける円筒形の押し付け部材１１５Ｂが、ボルト１１９Ｂによって固定されている。
【００４０】
筒本体１１０の下部側（軸方向一方側）には径方向内側に突出する内規制部１１０Ｂが形成されている。この内規制部１１０Ｂは、筒本体１１０に内嵌された、回転密封環１５Ｂ、内スペーサ１１３Ｂ、回転密封環１２Ｂ、内スリーブ１１２、及び端部スリーブ１１４Ｂが下側へ移動するのを規制している。
【００４１】
以上より、ボルト１１９Ｂによって押し付け部材１１５Ｂを締め付けることで、全ての回転密封環１５Ｂ、全ての内スペーサ１１３Ｂ、全ての回転密封環１２Ｂ、全ての内スリーブ１１２、及び端部スリーブ１１４Ｂは、筒本体１１０の内規制部１１０Ｂに向かって軸方向に押し付けられている。
【００４２】
押し付け部材１１５Ｂによる押し付け力（軸方向の締め付け力）は、周方向で均等となる。この押し付け力により、内スリーブ１１２が回転密封環１２Ｂに押し付けられ、内スペーサ１１３Ｂは回転密封環１２Ｂ及び回転密封環１５Ｂに押し付けられた状態となる。また、端部スリーブ１１４Ｂは、回転密封環１５Ｂ及び内規制部１１０Ｂに押し付けられた状態となる。
【００４３】
これにより、全ての回転密封環１５Ｂ、全ての内スペーサ１１３Ｂ、全ての回転密封環１２Ｂ、全ての内スリーブ１１２、及び端部スリーブ１１４Ｂは、筒本体１１０と一体化され、相互間の摩擦力によって筒本体１１０と一体回転可能となる。
【００４４】
［外筒体の流路］
図２は、外筒体５を下側から見た平面図である。図１及び図２において、筒本体１１０の内部（厚み部）には、被密封流体が流れるＮ本（図例では２本）の第二流路孔１４２Ａ、及びＭ本（図例では２本）の第三流路孔１４２Ｂが上下方向（軸方向）に延びて形成されている。
【００４５】
第二流路孔１４２Ａそれぞれは、筒本体１１０の周方向に例えば１８０°の間隔をあけて形成されている。また、第二流路孔１４２Ａそれぞれの上端側は、筒本体１１０の外周面において上下方向で異なる高さ位置で開口している。第二流路孔１４２Ａの下端側は筒本体１１０の下端面で開口しており、この下端面の開口に、前記回転側部材の複数の配管それぞれが接続される。
【００４６】
第三流路孔１４２Ｂそれぞれは、筒本体１１０の周方向において、例えば１８０°の間隔をあけて形成され、かつ各第二流路孔１４２Ａから等間隔（９０°）をあけて形成されている。また、第三流路孔１４２Ｂそれぞれの上端側は、筒本体１１０の内周面において上下方向で互いに異なる高さ位置で開口している。第三流路孔１４２Ｂの下端側は筒本体１１０の下端面で開口しており、この下端面の開口に、前記回転側部材の複数の配管それぞれが接続される。
【００４７】
外スリーブ１１１には、複数の貫通孔１１１ａが周方向等間隔で径方向に貫通して形成されている。また、外スリーブ１１１の径方向内側には、筒本体１１０の外周面との間に環状の隙間１３９Ａが形成されており、各貫通孔１１１ａは、この環状の隙間１３９Ａと繋がっている。また、この環状の隙間１３９Ａは、筒本体１１０の第二流路孔１４２Ａと繋がっている。そして、筒本体１１０内の一つの第二流路孔１４２Ａと、一つの外スリーブ１１１内の環状の隙間１３９Ａと、その外スリーブ１１１の複数の貫通孔１１１ａとにより、被密封流体が流れる一つの第二流路１１８Ａが構成されている。
【００４８】
筒本体１１０と外スリーブ１１１と回転密封環１２Ａとの間、筒本体１１０と押し付け部材１１５Ａと回転密封環１５Ａとの間、及び筒本体１１０と端部スリーブ１１４Ａと回転密封環１５Ａとの間には、それぞれＯリング１１７Ａが設けられている。最上部および最下部のＯリング１１７Ａは、後述する第一封液領域Ｒａを流れるクエンチ流体が他の流路へ浸入するのを防いでいる。その他のＯリング１１７Ａは、各第二流路１１８Ａを流れる被密封流体が他の流路へ浸入したり外部へ漏れたりするのを防いでいる。
【００４９】
以上より、外筒体５には、外周側で開口する第二流路１１８ＡがＮ本形成された構成となり、外スリーブ１１１に形成されている各貫通孔１１１ａは、第二流路１１８Ａの外周側の開口孔となる。そして、これら第二流路１１８Ａそれぞれは、ケース体２の内周側に向かって開口しており、しかも、上下方向（軸方向）で異なる位置で開口している。
【００５０】
内スリーブ１１２には、複数の貫通孔１１２ａが周方向等間隔で径方向に貫通して形成されている。また、内スリーブ１１２の径方向外側には、筒本体１１０の内周面との間に環状の隙間１３９Ｂが形成されており、各貫通孔１１２ａは、この環状の隙間１３９Ｂと繋がっている。また、この環状の隙間１３９Ｂは、筒本体１１０の第三流路孔１４２Ｂと繋がっている。そして、筒本体１１０内の一つの第三流路孔１４２Ｂと、一つの内スリーブ１１２外の環状の隙間１３９Ｂと、その内スリーブ１１２の複数の貫通孔１１２ａとにより、被密封流体が流れる一つの第三流路１１８Ｂが構成されている。
【００５１】
筒本体１１０と内スリーブ１１２と回転密封環１２Ｂとの間、筒本体１１０と押し付け部材１１５Ｂと回転密封環１５Ｂとの間、及び筒本体１１０と端部スリーブ１１４Ｂと回転密封環１５Ｂとの間には、それぞれＯリング１１７Ｂが設けられている。最上部および最下部のＯリング１１７Ｂは、後述する第二封液領域Ｒｂを流れるクエンチ流体が他の流路へ浸入するのを防いでいる。その他のＯリング１１７Ｂは、各第三流路１１８Ｂを流れる被密封流体が他の流路へ浸入したり外部へ漏れたりするのを防いでいる。
【００５２】
以上より、外筒体５には、内周側で開口する第三流路１１８ＢがＭ本形成された構成となり、内スリーブ１１２に形成されている各貫通孔１１２ａは、第三流路１１８Ｂの内周側の開口孔となる。そして、これら第三流路１１８Ｂそれぞれは、内軸体６の外周側に向かって開口しており、しかも、上下方向（軸方向）で異なる位置で開口している。
【００５３】
［内軸体］
図３は、図１と同じ図であり、ジョイント１を示す縦断面図である。図３において、内軸体６は、外筒体５の内部に同心上に配置されており、Ｍ個（図例では２個）の分割軸部１６０と、これらの分割軸部１６０の上下に配置された上軸部１６１及び下軸部１６２とによって構成されている。これらの軸部１６０〜１６２は円柱状に形成されており、上下方向に積み重ねた状態でボルト１６３によって連結固定されている。これにより、内軸体６は、全体として円柱形の構造体となっている。なお、内軸体６は、全体として円筒形等の他の形状に形成されていてもよい。
【００５４】
分割軸部１６０それぞれは、径方向外側へ突出している環状の突出部１７０を有している。同様に、上軸部１６１及び下軸部１６２は、径方向外側へ突出している環状の突出部１７４，１７８を有している。
【００５５】
各分割軸部１６０の上端面の中央部には、上方へ突出する係合凸部１７１が形成され、各分割軸部１６０の下端面の中央部には、係合凹部１７２が形成されている。同様に、上軸部１６１の上端面の中央部には、上方へ突出する係合凸部１７５が形成され、上軸部１６１の下端面の中央部には、係合凹部１７６が形成されている。また、下軸部１６２の上端面の中央部には、上方へ突出する係合凸部１７９が形成されている。
【００５６】
下軸部１６２の係合凸部１７９は、その上側に隣接する分割軸部１６０の係合凹部１７２に係合されており、その分割軸部１６０の係合凸部１７１は、その上側に隣接する分割軸部１６０の係合凹部１７２に係合されている。上軸部１６１の係合凹部１７６には、その下側に隣接する分割軸部１６０の係合凸部１７１が係合されている。
【００５７】
互いに係合する係合凸部１７９の根元外周と係合凹部１７２の開口縁との間、互いに係合する係合凸部１７１の根元外周と係合凹部１７２の開口縁との間、及び互いに係合する係合凸部１７１の根元外周と係合凹部１７６の開口縁との間には、それぞれＯリング１６４が設けられている。なお、本実施形態では、係合凸部１７９（１７１，１７１）の軸方向の長さ寸法は、それぞれが係合する係合凹部１７２（１７２，１７６）の軸方向の深さ寸法よりも短く設定されている。
【００５８】
［連結体］
図４は、ジョイント１を上方から見た平面図である。図３及び図４において、連結体４は、円板状に形成されており、その外径はケース体２の外径と同一寸法に設定されている。連結体４の下面中央部には、係合凹部１８１が形成されており、この係合凹部１８１に、上軸部１６１の係合凸部１７５が係合することで、連結体４は上軸部１６１の上端面に同心上に載置されている。係合凸部１７５の根元外周と係合凹部１８１の開口縁との間には、Ｏリング１８７が設けられている。なお、本実施形態では、係合凸部１７５の軸方向の長さ寸法は、係合凹部１８１の軸方向の深さ寸法よりも短く設定されている。
【００５９】
連結体４の中央付近は、複数（図４では３個）のボルト１８５によって上軸部１６１に連結固定されている。また、連結体４の外周部は、複数（図４では６個）のボルト１８６によってケース体２の上部フランジ１３０の上端面に当接した状態で連結固定されている。
以上より、連結体４は、内軸体６の上端部（軸方向一端部）とケース体２の上端部とを、外筒体５の上端部（軸方向一端部）を跨いで連結しており、内軸体６はケース体２と一体化されている。
【００６０】
内軸体６の上軸部１６１と、外筒体５側の押し付け部材１１５Ｂとの間には、転がり軸受１２０が設けられている。また、内軸体６の下軸部１６２と、外筒体５の筒本体１１０との間には、転がり軸受１２１が設けられている。これにより、外筒体５は、内軸体６に対して回転可能とされている。
【００６１】
外筒体５の筒本体１１０と、ケース体２の支持フランジ１３３との間には、転がり軸受１２２が設けられている。これにより、外筒体５は、ケース体２に対して回転可能とされている。
なお、本実施形態では、外筒体５側の押し付け部材１１５Ａと、ケース体２の上部フランジ１３０との間に転がり軸受を設けていないが、前記転がり軸受１２０の代わりに、押し付け部材１１５Ａと上部フランジ１３０との間に転がり軸受を設けてもよい。
【００６２】
［内軸体の流路］
内軸体６には、被密封流体が流れるＭ本の第四流路１６５が主に上下方向に延びて形成されている。
それぞれの第四流路１６５は、内軸体６の内部において互いに所定間隔をおいて形成されている。また、第四流路１６５それぞれの下端側は、互いに異なる分割軸部１６０の外周面で開口している。これにより、第四流路１６５それぞれの下端側は、上下方向で互いに異なる高さ位置で開口している。
【００６３】
本実施形態では、内軸体６に２本の第四流路１６５が形成されており、そのうちの一方の第四流路１６５は内軸体６の中心線上に形成され、他方の第四流路１６５は内軸体６において前記一方の第四流路１６５よりも外周側に形成されている。
前記一方の第四流路１６５は、上軸部１６１の中央部で軸方向に貫通して形成された流路孔１７７Ａと、各分割軸部１６０の中央部で軸方向に貫通して形成された流路孔１７３Ａとを有している。
【００６４】
上軸部１６１の流路孔１７７Ａの両端部は、係合凸部１７５の上端面と係合凹部１７６の底面とで開口している。これにより、流路孔１７７Ａは、係合凹部１７６を介して、下側に隣接する分割軸部１６０の流路孔１７３Ａと繋がっている。
同様に、各分割軸部１６０の流路孔１７３Ａの両端部は、係合凸部１７１の上端面と係合凹部１７２の底面とで開口している。これにより、隣り合う分割軸部１６０の流路孔１７３Ａ，１７３Ａは、上側の分割軸部１６０の係合凹部１７２を介して繋がっている。
【００６５】
下側の分割軸部１６０には、径方向に延びる流路孔１７３Ｂが形成されている。流路孔１７３Ｂの径方向内端は流路孔１７３Ａの途中部に連通し、流路孔１７３Ｂの径方向外端は分割軸部１６０の外周面で開口している。
【００６６】
したがって、内軸体６の中央部に形成される前記一方の第四流路１６５は、上軸部１６１の流路孔１７７Ａ及び係合凹部１７６と、上側の分割軸部１６０の流路孔１７３Ａ及び係合凹部１７２と、下側の分割軸部１６０の流路孔１７３Ａ及び流路孔１７３Ｂとによって構成されている。
【００６７】
前記他方の第四流路１６５は、上軸部１６１において軸方向に貫通して形成された流路孔１７７Ｂと、上軸部１６１の下側に隣接する分割軸部１６０において軸方向に延びて形成された流路孔１７３Ｃとを有している。
流路孔１７７Ｂの両端部は、上軸部１６１の上端面及び下端面で開口している。流路孔１７３Ｃの上端側は、分割軸部１６０の上端面において、流路孔１７７Ｂの下端側の開口と対向する位置で開口している。これにより、流路孔１７７Ｂの下端は、流路孔１７３Ｃの上端と繋がっている。
【００６８】
流路孔１７３Ｃが形成されている分割軸部１６０には、径方向に延びる流路孔１７３Ｄが形成されている。流路孔１７３Ｄの径方向内端は流路孔１７３Ｃの下端部に連通し、流路孔１７３Ｄの径方向外端は分割軸部１６０の外周面で開口している。
【００６９】
したがって、前記他方の第四流路１６５は、上軸部１６１の流路孔１７７Ｂと、上側の分割軸部１６０の流路孔１７３Ｃ及び流路孔１７３Ｄとによって構成されている。なお、流路孔１７７Ｂの上端開口縁と連結体４の下面との間、及び流路孔１７３Ｃの上端開口縁と上軸部１６１の下面との間には、それぞれＯリング１６６が設けられている。
【００７０】
以上より、本実施形態の内軸体６には、外周側で開口する第四流路１６５が２本形成された構成となり、各分割軸部１６０に形成されている流路孔１７３Ｂ，１７３Ｄは、第四流路１６５の外周側の開口孔となる。そして、これら第四流路１６５それぞれは、外筒体５の内周側に向かって開口しており、しかも、上下方向（軸方向）で異なる位置で開口している。
【００７１】
［連結体の流路］
連結体４には、被密封流体が流れるＭ本の第五流路１８２が主に径方向に延びて形成されている。それぞれの第五流路１８２は、連結体４の周方向に所定間隔をあけて形成されている。
【００７２】
第五流路１８２それぞれの径方向内端側は、連結体４の下面側で開口しており、この下面側の開口に、Ｍ本の第四流路１６５の上端それぞれが接続されている。また、第五流路１８２それぞれの径方向外端側は、連結体４の外周面において互いに周方向に異なる位置で開口しており、この外周側の開口部が、前記固定側部材の複数の配管それぞれが接続される接続ポートとなる。
【００７３】
本実施形態では、連結体４に２本の第五流路１８２が形成されている。そのうち、一方の第五流路１８２は、連結体４の中心線上から径方向外側に延びて形成されている。そして、他方の第五流路１８２は、前記一方の第五流路１８２よりも外周側から連結体４の径方向外側に延びて形成されており、前記一方の第五流路１８２に対して、例えば周方向に１８０°の間隔をあけて形成されている。
【００７４】
前記一方の第五流路１８２は、連結体４の中央部で軸方向（厚み方向）に延びる流路孔１８３Ａと、連結体４の径方向に延びる流路孔１８４Ａとによって構成されている。
流路孔１８３Ａの下端側は、係合凹部１８１の底面で開口しており、この係合凹部１８１を介して、内軸体６の上軸部１６１の流路孔１７７Ａと繋がっている。
【００７５】
流路孔１８３Ａの上端側は、流路孔１８４Ａの径方向内端と繋がっている。流路孔１８４Ａの径方向外端は、連結体４の外周面で開口している。なお、前記一方の第五流路１８２は、流路孔１８３Ａのみで構成してもよい。この場合、流路孔１８３Ａの上端側を、連結体４の上面で開口させればよい。
【００７６】
前記他方の第五流路１８２は、連結体４において流路孔１８３Ａよりも外周側で軸方向（厚み方向）に延びる流路孔１８３Ｂと、連結体４の径方向に延びる流路孔１８４Ｂとによって構成されている。
流路孔１８３Ｂの下端側は、連結体４の下面において、内軸体６の上軸部１６１の流路孔１７７Ｂに対応する位置で開口しており、当該流路孔１７７Ｂと繋がっている。
【００７７】
流路孔１８３Ｂの上端側は、流路孔１８４Ｂの径方向内端と繋がっている。流路孔１８４Ｂの径方向外端は、連結体４の外周面において流路孔１８４Ａの開口と異なる位置で開口している。なお、前記他方の第五流路１８２は、流路孔１８３Ｂのみで構成してもよい。この場合、流路孔１８３Ｂの上端側を、連結体４の上面で開口させればよい。
【００７８】
以上より、本実施形態の連結体４には、外周側で開口する第五流路１８２が２本形成された構成となり、連結体４に形成されている流路孔１８４Ａ，１８４Ｂは、第五流路１８２の外周側の開口孔となる。そして、これら第五流路１８２それぞれは、連結体４の外周面において周方向に異なる位置で開口している。
【００７９】
［メカニカルシール］
図５は、図１と同じ図であり、ジョイント１を示す縦断面図である。図５において、ケース体２と外筒体５との間には第一環状空間Ａが形成されており、この第一環状空間Ａに第一メカニカルシール７Ａが設けられている。第一メカニカルシール７Ａは、外筒体５に沿って上下にＮ個並べて設けられている。
また、外筒体５と内軸体６との間には第二環状空間Ｂが形成されており、この第二環状空間Ｂに第二メカニカルシール７Ｂが設けられている。第二メカニカルシール７Ｂは、外筒体５に沿って上下にＭ個並べて設けられている。
【００８０】
本実施形態のジョイント１は、第一及び第二メカニカルシール７Ａ，７Ｂそれぞれを軸方向に複数個（図例では２個）配置した多流路ロータリジョイントとなる。
各第一メカニカルシール７Ａは、ケース体２の一つの第一流路１３４と外筒体５の一つの第二流路１１８Ａとにより、第一流体通路８Ａを構成するために設けられている。
各第二メカニカルシール７Ｂは、外筒体５の一つの第三流路１１８Ｂと内軸体６の一つの第四流路１６５と連結体４の一つの第五流路１８２とにより第二流体通路８Ｂを構成するために設けられている。
【００８１】
なお、複数の第一メカニカルシール７Ａそれぞれの機能は同様であり、ここでは、下側に配置される第一メカニカルシール７Ａを代表として説明する。同様に、複数の第二メカニカルシール７Ｂそれぞれの機能は同様であり、ここでは、下側に配置される第二メカニカルシール７Ｂを代表として説明する。
【００８２】
＜第一メカニカルシール＞
図６は、下側に配置された第一及び第二メカニカルシール７Ａ，７Ｂ及びその周囲を示す断面図である。図６において、一つの外スリーブ１１１と一つの流路フランジ１３２とは径方向に対向した配置となっており、外スリーブ１１１で開口する第二流路１１８Ａと、流路フランジ１３２の内周側で開口する第一流路１３４とは、軸方向でほぼ同じ位置で開口している。そして、これらの間に一つの第一メカニカルシール７Ａが設けられている。
【００８３】
第一メカニカルシール７Ａは、静止密封環（第一密封環）１１Ａ、回転密封環（第二密封環）１２Ａ、及び弾性部材としてコイルスプリング１３Ａを有している。
回転密封環１２Ａは上下一対で一組とされ、この一組の回転密封環１２Ａ，１２Ａが、一つの第一メカニカルシール７Ａの構成部材となる。なお、本実施形態では、図中の上側に配置された回転密封環１２Ａは、上側に隣接する第一メカニカルシール７Ａの回転密封環１２Ａも兼ねている。
【００８４】
回転密封環１２Ａは環状の部材からなり、前記のとおり、筒本体１１０に一体回転可能に設けられている。回転密封環１２Ａの軸方向の端面には、外スリーブ１１１の軸方向の端面が接触し、外スリーブ１１１は、回転密封環１２Ａ，１２Ａ間のスペーサとして機能する。
【００８５】
静止密封環１１Ａは上下一対で一組とされ、この一組の静止密封環１１Ａ，１１Ａが、一つの第一メカニカルシール７Ａの構成部材となる。各静止密封環１１Ａは環状の部材からなり、ケース体２に回り止めされている。
【００８６】
本実施形態では、流路フランジ１３２の突出部１３５に、当該突出部１３５を軸方向（上下方向）に貫通する前記ボルト１０９Ａの軸部１３７が挿入して固定されている。静止密封環１１Ａの一部には、この軸部１３７を周方向両側から挟む爪部（凹部）２２Ａが形成されており、この爪部２２Ａが軸部１３７に周方向両側から当接することで、静止密封環１１Ａは回り止めされる。
【００８７】
一組の静止密封環１１Ａ，１１Ａは、外スリーブ１１１よりも径方向外側であってこの外スリーブ１１１を上下方向に挟んで隣り合う回転密封環１２Ａ，１２Ａの間に設けられている。回転密封環１２Ａの端面の径方向内側には、外スリーブ１１１の軸方向の端面が接触している。そして、回転密封環１２Ａの端面の径方向外側に、静止密封環１１Ａが接触している。
【００８８】
つまり、一組の静止密封環１１Ａ，１１Ａは、環状のシール面２１Ａ，２１Ａを有しており、これらシール面２１Ａ，２１Ａは、その軸方向両側（上下）に存在している回転密封環１２Ａ，１２Ａの端面に接触する。そして、回転密封環１２Ａは、その端面の径方向外側に、シール面２１Ａと接触するシール面２３Ａを有している。
【００８９】
コイルスプリング１３Ａは、一対で一組となっている静止密封環１１Ａ,１１Ａの間に、圧縮された状態で介在している。このため、コイルスプリング１３Ａの弾性復元力によって、静止密封環１１Ａは回転密封環１２Ａ側へ向かって軸方向に押され、シール面２１Ａ，２３Ａ間に軸方向の押し付け力が作用する。コイルスプリング１３Ａは周方向に沿って複数設けられている。
【００９０】
コイルスプリング１３Ａは、流路フランジ１３２の突出部１３５において当該突出部１３５を軸方向（上下方向）に貫通して形成された挿通孔１３８に挿入され、この挿通孔１３８により保持されている。挿通孔１３８は、周方向に沿って複数形成されている。挿通孔１３８の数とコイルスプリング１３Ａの数とは同一であり、また、コイルスプリング１３Ａの配置に併せて挿通孔１３８が形成されている。
【００９１】
コイルスプリング１３Ａは、静止密封環１１Ａ,１１Ａを軸方向両側（上下）に向かって押し、この押す力によって、静止密封環１１Ａのシール面２１Ａを回転密封環１２Ａのシール面２３Ａに押し付けることができる。これにより、両シール面２１Ａ，２３Ａ同士を、軸方向に押し付けあった状態で接触させることができる。
【００９２】
したがって、静止密封環１１Ａのシール面２１Ａが、回転密封環１２Ａのシール面２３Ａに摺接することで、これらシール面２１Ａ，２３Ａの間から被密封流体が漏れるのを防止するシール機能が発揮される。つまり、静止密封環１１Ａのシール面２１Ａと回転密封環１２Ａのシール面２３Ａとの相対回転に伴う摺接作用により第一メカニカルシール７Ａのシール機能が発揮される。
【００９３】
一組の静止密封環１１Ａ，１１Ａは、外スリーブ１１１の外周面との間に隙間を有して設けられており、これら静止密封環１１Ａ，１１Ａと外スリーブ１１１との間には、円筒形の流路（円筒空間）１６Ａが形成されている。この流路１６Ａは、外スリーブ１１１の貫通孔１１１ａと繋がっている。そして、シール面２１Ａ，２３Ａによる前記シール機能によって、この流路１６Ａの被密封流体が外部へ漏れるのを防止している。
【００９４】
さらに、一組の静止密封環１１Ａ，１１Ａ同士の間には、環状の流路１７Ａが形成されており、この環状の流路１７Ａは、円筒状の流路１６Ａと繋がっている。そして、流路フランジ１３２の突出部１３５の内周面と、これに対向する静止密封環１１Ａ，１１Ａの外周面との間には、Ｏリング１８Ａが設けられており、このＯリング１８Ａによるシール機能によって、環状の流路１７Ａの被密封流体が外部へ漏れるのを防いでいる。なお、静止密封環１１Ａ，１１Ａは、Ｏリング１８Ａを介して流路フランジ１３２の突出部１３５に対して軸方向に移動可能な状態で嵌合保持されている。
【００９５】
これにより、第一流路１３４と第二流路１１８Ａとの間には、密封された環状の流路１７Ａ及び円筒状の流路１６Ａが介在しており、これら流路１６Ａ,１７Ａは、第一流路１３４と第二流路１１８Ａとを繋ぐ流路となる。このように、第一メカニカルシール７Ａにより構成される流路１６Ａ,１７Ａによって、第一流路１３４と第二流路１１８Ａとが連結され、第一流路１３４、環状の流路１７Ａ、円筒状の流路１６Ａ、及び第二流路１１８Ａ（外スリーブ１１１の貫通孔１１１ａ及び環状の隙間１３９Ａを含む）により、一つの独立した第一流体通路８Ａが構成される。
【００９６】
以上より、第一メカニカルシール７Ａは、ケース体２と外筒体５との間に形成される第一環状空間Ａを区画して第一流路１３４と第二流路１１８Ａとを繋ぐ流路（１６Ａ，１７Ａ）を形成することができる。そして、コイルスプリング１３Ａにより一組の静止密封環１１Ａに軸方向力が与えられているので、静止密封環１１Ａのシール面２１Ａを回転密封環１２Ａのシール面２３Ａに対して押し付けることができる。
【００９７】
これにより、外筒体５が回転すると、その回転方向について静止状態にある静止密封環１１Ａに対して、当該外筒体５と共に回転密封環１２Ａは回転し、静止密封環１１Ａのシール面２１Ａと回転密封環１２Ａのシール面２３Ａとが摺接し、これらシール面２１Ａ，２３Ａの間から被密封流体が外部へ漏れるのを防ぐことができる。
【００９８】
＜第二メカニカルシール＞
一つの内スリーブ１１２と一つの分割軸部１６０とは径方向に対向した配置となっており、内スリーブ１１２で開口する第三流路１１８Ｂと、分割軸部１６０の外周側で開口する第四流路１６５の流路孔１７３Ｂとは、軸方向でほぼ同じ位置で開口している。そして、これらの間に一つの第二メカニカルシール７Ｂが設けられている。
【００９９】
第二メカニカルシール７Ｂは、静止密封環（第三密封環）１１Ｂ、回転密封環（第四密封環）１２Ｂ、及び弾性部材としてコイルスプリング１３Ｂを有している。
回転密封環１２Ｂは上下一対で一組とされ、この一組の回転密封環１２Ｂ，１２Ｂが、一つの第二メカニカルシール７Ｂの構成部材となる。なお、本実施形態では、図中の上側に配置された回転密封環１２Ｂは、上側に隣接する第二メカニカルシール７Ｂの回転密封環１２Ｂも兼ねている。
【０１００】
回転密封環１２Ｂは環状の部材からなり、前記のとおり、筒本体１１０に一体回転可能に設けられている。回転密封環１２Ｂの軸方向の端面には、内スリーブ１１２の軸方向の端面が接触し、内スリーブ１１２は、回転密封環１２Ｂ，１２Ｂ間のスペーサとして機能する。
【０１０１】
静止密封環１１Ｂは上下一対で一組とされ、この一組の静止密封環１１Ｂ，１１Ｂが、一つの第二メカニカルシール７Ｂの構成部材となる。各静止密封環１１Ｂは環状の部材からなり、内軸体６に回り止めされている。
【０１０２】
本実施形態では、分割軸部１６０の突出部１７０に、当該突出部１７０を軸方向（上下方向）に貫通する前記ボルト１６３の軸部１６３ａが挿入して固定されている。静止密封環１１Ｂの一部には、この軸部１６３ａを周方向両側から挟む爪部（凹部）２２Ｂが形成されており、この爪部２２Ｂが軸部１６３ａに周方向両側から当接することで、静止密封環１１Ｂは回り止めされる。
【０１０３】
一組の静止密封環１１Ｂ，１１Ｂは、内スリーブ１１２よりも径方向内側であってこの内スリーブ１１２を上下方向に挟んで隣り合う回転密封環１２Ｂ，１２Ｂの間に設けられている。回転密封環１２Ｂの端面の径方向外側には、内スリーブ１１２の軸方向の端面が接触している。そして、回転密封環１２Ａの端面の径方向内側に、静止密封環１１Ｂが接触している。
【０１０４】
つまり、一組の静止密封環１１Ｂ，１１Ｂは、環状のシール面２１Ｂ，２１Ｂを有しており、これらシール面２１Ｂ，２１Ｂは、その軸方向両側（上下）に存在している回転密封環１２Ｂ，１２Ｂの端面に接触する。そして、回転密封環１２Ｂは、その端面の径方向内側に、シール面２１Ｂと接触するシール面２３Ｂを有している。
【０１０５】
コイルスプリング１３Ｂは、一対で一組となっている静止密封環１１Ｂ,１１Ｂの間に、圧縮された状態で介在している。このため、コイルスプリング１３Ｂの弾性復元力によって、静止密封環１１Ｂは回転密封環１２Ｂ側へ向かって軸方向に押され、シール面２１Ｂ，２３Ｂ間に軸方向の押し付け力が作用する。コイルスプリング１３Ｂは周方向に沿って複数設けられている。
【０１０６】
コイルスプリング１３Ｂは、分割軸部１６０の突出部１７０において当該突出部１７０を軸方向（上下方向）に貫通して形成された挿通孔１７０ａに挿入され、この挿通孔１７０ａにより保持されている。挿通孔１７０ａは、周方向に沿って複数形成されている。挿通孔１７０ａの数とコイルスプリング１３Ｂの数とは同一であり、また、コイルスプリング１３Ｂの配置に併せて挿通孔１７０ａが形成されている。
【０１０７】
コイルスプリング１３Ｂは、静止密封環１１Ｂ,１１Ｂを軸方向両側（上下）に向かって押し、この押す力によって、静止密封環１１Ｂのシール面２１Ｂを回転密封環１２Ｂのシール面２３Ｂに押し付けることができる。これにより、両シール面２１Ｂ，２３Ｂ同士を、軸方向に押し付けあった状態で接触させることができる。
【０１０８】
したがって、静止密封環１１Ｂのシール面２１Ｂが、回転密封環１２Ｂのシール面２３Ｂに摺接することで、これらシール面２１Ｂ，２３Ｂの間から被密封流体が漏れるのを防止するシール機能が発揮される。つまり、静止密封環１１Ｂのシール面２１Ｂと回転密封環１２Ｂのシール面２３Ｂとの相対回転に伴う摺接作用により第二メカニカルシール７Ｂのシール機能が発揮される。
【０１０９】
一組の静止密封環１１Ｂ，１１Ｂは、内スリーブ１１２の内周面との間に隙間を有して設けられており、これら静止密封環１１Ｂ，１１Ｂと内スリーブ１１２との間には、円筒形の流路（円筒空間）１６Ｂが形成されている。この流路１６Ｂは、内スリーブ１１２の貫通孔１１２ａと繋がっている。そして、シール面２１Ｂ，２３Ｂによる前記シール機能、及びＯリング１１７Ｂによるシール機能によって、この流路１６Ｂの被密封流体が外部へ漏れるのを防止している。
【０１１０】
さらに、一組の静止密封環１１Ｂ，１１Ｂ同士の間には、環状の流路１７Ｂが形成されており、この環状の流路１７Ｂは、円筒状の流路１６Ｂと繋がっている。そして、分割軸部１６０の突出部１７０の外周面と、これに対向する静止密封環１１Ｂ，１１Ｂの内周面との間には、Ｏリング１８Ｂが設けられており、このＯリング１８Ｂによるシール機能によって、環状の流路１７Ｂの被密封流体が外部へ漏れるのを防いでいる。なお、静止密封環１１Ｂ，１１Ｂは、Ｏリング１８Ｂを介して分割軸部１６０の突出部１７０に対して軸方向に移動可能な状態で嵌合保持されている。
【０１１１】
これにより、第三流路１１８Ｂと第四流路１６５との間には、密封された環状の流路１７Ｂ及び円筒状の流路１６Ｂが介在しており、これら流路１６Ｂ,１７Ｂは、第三流路１１８Ｂと第四流路１６５とを繋ぐ流路となる。このように、第二メカニカルシール７Ｂにより構成される流路１６Ｂ,１７Ｂによって、第三流路１１８Ｂと第四流路１６５とが連結され、第三流路１１８Ｂ（内スリーブ１１１の貫通孔１１２ａ及び環状の隙間１３９Ｂを含む）、環状の流路１７Ｂ、円筒状の流路１６Ｂ、第四流路１６５、及び連結体４の第五流路１８２（図５参照）により、一つの独立した第二流体通路８Ｂが構成される。
【０１１２】
以上より、第二メカニカルシール７Ｂは、内軸体６と外筒体５との間に形成される第二環状空間Ｂを区画して第三流路１１８Ｂと第四流路１６５とを繋ぐ流路（１６Ｂ，１７Ｂ）を形成することができる。そして、コイルスプリング１３Ｂにより一組の静止密封環１１Ｂに軸方向力が与えられているので、静止密封環１１Ｂのシール面２１Ｂを回転密封環１２Ｂのシール面２３Ｂに対して押し付けることができる。
【０１１３】
これにより、外筒体５が回転すると、その回転方向について静止状態にある静止密封環１１Ｂに対して、当該外筒体５と共に回転密封環１２Ｂは回転し、静止密封環１１Ｂのシール面２１Ｂと回転密封環１２Ｂのシール面２３Ｂとが摺接し、これらシール面２１Ｂ，２３Ｂの間から被密封流体が外部へ漏れるのを防ぐことができる。
【０１１４】
［クエンチ流体の封液領域］
第一メカニカルシール７Ａの静止密封環１１Ａのシール面２１Ａと、回転密封環１２Ａのシール面２３Ａとの間には、クエンチ流体（封液）によって潤滑膜が形成される。同様に、第二メカニカルシール７Ｂの静止密封環１１Ｂのシール面２１Ｂと、回転密封環１２Ｂのシール面２３Ｂとの間には、クエンチ流体によって潤滑膜が形成される。
【０１１５】
クエンチ流体としては、例えば油や水等が用いられ、本実施形態では、クエンチ流体として水が用いられている。このクエンチ流体によってシール面２１Ａ，２３Ａ（２１Ｂ，２３Ｂ）間の摺接状態を良好とし、シール面２１Ａ，２３Ａ（２１Ｂ，２３Ｂ）の摺動抵抗を低減することができ、また、シール面２１Ａ，２３Ａ（２１Ｂ，２３Ｂ）間における異常摩耗や面荒れ等の不具合の発生を抑制することができる。
【０１１６】
図５において、上記クエンチ流体は、ケース体２の下端部から第一環状空間Ａ及び第二環状空間Ｂに供給され、ケース体２の上端部から外部に排出される。
第一環状空間Ａには、ケース体２と第一メカニカルシール７Ａとの間に、クエンチ流体が供給される第一封液領域Ｒａが形成されている。また、第二環状空間Ｂには、内軸体６と第二メカニカルシール７Ｂとの間に、クエンチ流体が供給される第二封液領域Ｒｂが形成されている。
【０１１７】
ケース体２の下部フランジ１３１における周方向の一箇所には、クエンチ流体を第一封液領域Ｒａに供給するための入口流路１５１が形成されている。この入口流路１５１は、下部フランジ１３１の外周面と内周面とにわたって径方向に貫通して形成されている。
ケース体２の上部フランジ１３０における周方向の一箇所には、第一封液領域Ｒａの上端部からクエンチ流体を外部へ排出するための出口流路１５２が形成されている。この出口流路１５２は、上部フランジ１３０の外周面と内周面とにわたって径方向に貫通して形成されている。
【０１１８】
［端部メカニカルシール］
第一封液領域Ｒａの上下両端部には、ケース体２と外筒体５との間をシールする端部メカニカルシール９Ａが設けられている。端部メカニカルシール９Ａは、第一封液領域Ｒａに供給されたクエンチ流体が外部に漏れるのを防ぐために設けられている。
第二封液領域Ｒｂの上下両端部には、外筒体５と内軸体６との間をシールする端部メカニカルシール９Ｂが設けられている。端部メカニカルシール９Ｂは、第二封液領域Ｒｂに供給されたクエンチ流体が外部に漏れるのを防ぐために設けられている。
【０１１９】
なお、上下一対の端部メカニカルシール９Ａそれぞれの機能は同様であり、ここでは、下側に配置される端部メカニカルシール９Ａを代表として説明する。同様に、上下一対の端部メカニカルシール９Ｂそれぞれの機能は同様であり、ここでは、下側に配置される端部メカニカルシール９Ｂを代表として説明する。
【０１２０】
図６において、第一封液領域Ｒａの下側に配置された端部メカニカルシール９Ａは、静止密封環（第五密封環）１４Ａ、回転密封環（第六密封環）１５Ａ、及び弾性部材としてコイルスプリング１９Ａを有している。
回転密封環１５Ａは環状の部材からなり、前記のとおり、筒本体１１０に一体回転可能に設けられている。静止密封環１４Ａは環状の部材からなり、ケース体２に回り止めされている。
【０１２１】
本実施形態では、下部フランジ１３１の突出部１５７（図５の上側に配置された端部メカニカルシール９Ａでは上部フランジ１３０の突出部１５６。以下、同様）に、当該突出部１５７を軸方向（上下方向）に前記軸部１３７が挿入して固定されている。静止密封環１４Ａの一部には、この軸部１３７を周方向両側から挟む爪部（凹部）２６Ａが形成されており、この爪部２６Ａが軸部１３７に周方向両側から当接することで、静止密封環１４Ａは回り止めされる。
【０１２２】
静止密封環１４Ａは、端部スリーブ１１４Ａ（図５の上側に配置された端部メカニカルシール９Ａでは押し付け部材１１５Ａ。以下、同様）よりも径方向外側に設けられている。回転密封環１５Ａの端面の径方向内側には、端部スリーブ１１４Ａの軸方向の端面が接触している。そして、回転密封環１５Ａの端面の径方向外側に、静止密封環１４Ａが接触している。
【０１２３】
つまり、静止密封環１４Ａは、環状のシール面２５Ａを有しており、これらシール面２５Ａは、その軸方向両側（上下）に存在している回転密封環１５Ａの端面に接触する。そして、回転密封環１５Ａは、その端面の径方向外側に、シール面２５Ａと接触するシール面２７Ａを有している。
【０１２４】
コイルスプリング１９Ａは、静止密封環１４Ａと下部フランジ１３１の突出部１５７との間に、圧縮された状態で介在している。このため、コイルスプリング１９Ａの弾性復元力によって、静止密封環１４Ａは回転密封環１５Ａ側へ向かって軸方向に押され、シール面２５Ａ，２７Ａ間に軸方向の押し付け力が作用する。コイルスプリング１９Ａは周方向に沿って複数設けられている。
【０１２５】
コイルスプリング１９Ａは、下部フランジ１３１の突出部１５７において当該突出部１５７の軸方向に形成された挿通穴１５８に挿入され、この挿通穴１５８により保持されている。挿通穴１５８は、周方向に沿って複数形成されている。挿通穴１５８の数とコイルスプリング１９Ａの数とは同一であり、また、コイルスプリング１９Ａの配置に併せて挿通穴１５８が形成されている。
【０１２６】
コイルスプリング１９Ａは、静止密封環１４Ａを軸方向上側に向かって押し、この押す力によって、静止密封環１４Ａのシール面２５Ａを回転密封環１５Ａのシール面２７Ａに押し付けることができる。これにより、両シール面２５Ａ，２７Ａ同士は、軸方向に押し付けあった状態で接触させることができる。
【０１２７】
したがって、静止密封環１４Ａのシール面２５Ａが、回転密封環１５Ａのシール面２７Ａに摺接して、これらシール面２５Ａ，２７Ａの間からクエンチ流体が外部に漏れるのを防止するシール機能が発揮される。つまり、静止密封環１４Ａのシール面２５Ａと回転密封環１５Ａのシール面２７Ａとの相対回転に伴う摺接作用により端部メカニカルシール９Ａのシール機能が発揮される。両シール面２５Ａ，２７Ａの間には、クエンチ流体によって潤滑膜が形成される。
【０１２８】
下部フランジ１３１の突出部１５７の内周面と、これに対向する静止密封環１４Ａの外周面との間には、Ｏリング２８Ａが設けられており、このＯリング２８Ａによるシール機能によって、第一封液領域Ｒａ内のクエンチ流体が外部へ漏れるのを防いでいる。なお、静止密封環１４Ａは、Ｏリング２８Ａを介して下部フランジ１３１の突出部１５７に対して軸方向に移動可能な状態で嵌合保持されている。
【０１２９】
第二封液領域Ｒｂの下側に配置された端部メカニカルシール９Ｂは、静止密封環（第七密封環）１４Ｂ、回転密封環（第八密封環）１５Ｂ、及び弾性部材としてコイルスプリング１９Ｂを有している。
回転密封環１５Ｂは環状の部材からなり、前記のとおり、筒本体１１０に一体回転可能に設けられている。静止密封環１４Ｂは環状の部材からなり、内軸体６に回り止めされている。
【０１３０】
本実施形態では、下軸部１６２の突出部１７８（図５の上側に配置された端部メカニカルシール９Ｂでは上軸部１６１の突出部１７４。以下、同様）に、当該突出部１７８を軸方向（上下方向）に前記軸部１６３ａが挿入して固定されている。静止密封環１４Ｂの一部には、この軸部１６３ａを周方向両側から挟む爪部（凹部）２６Ｂが形成されており、この爪部２６Ｂが軸部１６３ａに周方向両側から当接することで、静止密封環１４Ｂは回り止めされる。
【０１３１】
静止密封環１４Ｂは、端部スリーブ１１４Ｂ（図５の上側に配置された端部メカニカルシール９Ａでは押し付け部材１１５Ｂ。以下、同様）よりも径方向内側に設けられている。回転密封環１５Ｂの端面の径方向外側には、端部スリーブ１１４Ｂの軸方向の端面が接触している。そして、回転密封環１５Ｂの端面の径方向内側に、静止密封環１４Ｂが接触している。
【０１３２】
つまり、静止密封環１４Ｂは、環状のシール面２５Ｂを有しており、これらシール面２５Ｂは、その軸方向両側（上下）に存在している回転密封環１５Ｂの端面に接触する。そして、回転密封環１５Ｂは、その端面の径方向外側に、シール面２５Ｂと接触するシール面２７Ｂを有している。
【０１３３】
コイルスプリング１９Ｂは、静止密封環１４Ｂと下軸部１６２の突出部１７８との間に、圧縮された状態で介在している。このため、コイルスプリング１９Ｂの弾性復元力によって、静止密封環１４Ｂは回転密封環１５Ｂ側へ向かって軸方向に押され、シール面２５Ｂ，２７Ｂ間に軸方向の押し付け力が作用する。コイルスプリング１９Ｂは周方向に沿って複数設けられている。
【０１３４】
コイルスプリング１９Ｂは、下軸部１６２の突出部１７８において当該突出部１７８の軸方向に形成された挿通穴１７８ａに挿入され、この挿通穴１７８ａにより保持されている。挿通穴１７８ａは、周方向に沿って複数形成されている。挿通穴１７８ａの数とコイルスプリング１９Ｂの数とは同一であり、また、コイルスプリング１９Ｂの配置に併せて挿通穴１７８ａが形成されている。
【０１３５】
コイルスプリング１９Ｂは、静止密封環１４Ｂを軸方向上側に向かって押し、この押す力によって、静止密封環１４Ｂのシール面２５Ｂを回転密封環１５Ｂのシール面２７Ｂに押し付けることができる。これにより、両シール面２５Ｂ，２７Ｂ同士は、軸方向に押し付けあった状態で接触させることができる。
【０１３６】
したがって、静止密封環１４Ｂのシール面２５Ｂが、回転密封環１５Ｂのシール面２７Ｂに摺接して、これらシール面２５Ｂ，２７Ｂの間からクエンチ流体が外部に漏れるのを防止するシール機能が発揮される。つまり、静止密封環１４Ｂのシール面２５Ｂと回転密封環１５Ｂのシール面２７Ｂとの相対回転に伴う摺接作用により端部メカニカルシール９Ｂのシール機能が発揮される。両シール面２５Ｂ，２７Ｂの間には、クエンチ流体によって潤滑膜が形成される。
【０１３７】
下軸部１６２の突出部１７８の外周面と、これに対向する静止密封環１４Ｂの内周面との間には、Ｏリング２８Ｂが設けられており、このＯリング２８Ｂによるシール機能によって、第二封液領域Ｒｂ内のクエンチ流体が外部へ漏れるのを防いでいる。なお、静止密封環１４Ｂは、Ｏリング２８Ｂを介して下軸部１６２の突出部１７８に対して軸方向に移動可能な状態で嵌合保持されている。
【０１３８】
［第一封液領域と第二封液領域との連通構造］
図５において、筒本体１１０の下部側には、入口流路１５１から第一封液領域Ｒａの下側に供給されたクエンチ流体の一部を、第二封液領域Ｒｂの下側へ導くための貫通孔１４３が形成されている。また、筒本体１１０の上部側には、第二封液領域Ｒｂの下側から上側に導かれたクエンチ流体を、第一封液領域Ｒａの上側へ導くための貫通孔１４４が形成されている。
【０１３９】
図６において、筒本体１１０の下部側に形成された貫通孔１４３は、筒本体１１０の外周面と内周面とにわたって径方向に貫通して形成されている。
筒本体１１０の外周面における貫通孔１４３の開口は、外スぺーサ１１３Ａの径方向内側で開口し、筒本体１１０の内周面における貫通孔１４３の開口は、内スぺーサ１１３Ｂの径方向外側の位置で開口している。
【０１４０】
外スぺーサ１１３Ａには、その外周面と内周面とにわたって径方向に貫通する連通孔１４５Ａが形成されている。これにより、貫通孔１４３の一端側（径方向外端側）の開口は、外スぺーサ１１３Ａの連通孔１４５Ａ、及び当該連通孔１４５Ａの径方向外側において第一メカニカルシール７Ａの回転密封環１２Ａと端部メカニカルシール９Ａの回転密封環１５Ａとの間に形成された隙間３１Ａを介して、第一封液領域Ｒａと連通する。
【０１４１】
したがって、第一メカニカルシール７Ａの一部（回転密封環１２Ａ）を利用して形成された前記隙間３１Ａ、及び外スぺーサ１１３Ａの連通孔１４５Ａは、第一封液領域Ｒａと筒本体１１０の貫通孔１４３の一端側の開口とを連通する第一連通路４１Ａとなる。
【０１４２】
内スぺーサ１１３Ｂには、その外周面と内周面とにわたって径方向に貫通する連通孔１４５Ｂが形成されている。これにより、貫通孔１４３の他端側（径方向内端側）の開口は、内スぺーサ１１３Ｂの連通孔１４５Ｂ、及び当該連通孔１４５Ｂの径方向内側において第二メカニカルシール７Ｂの回転密封環１２Ｂと端部メカニカルシール９Ｂの回転密封環１５Ｂとの間に形成された隙間３１Ｂを介して、第二封液領域Ｒｂと連通する。
【０１４３】
したがって、第二メカニカルシール７Ｂの一部（回転密封環１２Ｂ）を利用して形成された前記隙間３１Ｂ、及び内スぺーサ１１３Ｂの連通孔１４５Ｂは、第二封液領域Ｒｂと筒本体１１０の貫通孔１４３の他端側の開口とを連通する第二連通路４１Ｂとなる。
【０１４４】
図５において、以上より、ケース体２の一箇所に形成された入口流路１５１から第一封液領域Ｒａの下側にクエンチ流体を供給すると、そのクエンチ流体の一部は、第一メカニカルシール７Ａ側の第一連通路４１Ａ、筒本体１１０の貫通孔１４３、及び第二メカニカルシール７Ｂ側の第二連通路４１Ｂの順に通過して、第二封液領域Ｒｂの下側に供給される。
【０１４５】
第一封液領域Ｒａの下側に供給されたクエンチ流体の他部は、各流路フランジ１３２の挿通孔１３８を通過して第一封液領域Ｒａの上側へ導かれる。同様に、第二封液領域Ｒｂの下側に供給されたクエンチ流体は、各分割軸部１６０の挿通孔１７０ａを通過して第二封液領域Ｒｂの上側へ導かれる。
【０１４６】
第二封液領域Ｒｂの上側へ導かれたクエンチ流体は、第二封液領域Ｒｂの上側に形成された第二連通路４１Ｂ、筒本体１１０の上側に形成された貫通孔１４４、及び第一封液領域Ｒａの上側に形成された第一連通路４１Ａの順に通過して、第一封液領域Ｒａの上側に導かれる。
そして、第一封液領域Ｒａの下側から上側に導かれたクエンチ流体、及び第二封液領域Ｒｂの上側から貫通孔１４４等を介して第一封液領域Ｒａの上側に導かれたクエンチ流体は、ケース体２の出口流路１５２から外部に排出される。
【０１４７】
［連通構造の変形例］
図７は、第一封液領域Ｒａと第二封液領域Ｒｂとの連通構造の変形例を示す断面図である。本変形例では、第一及び第二メカニカルシール７Ａ，７Ｂの最も軸方向外側に配置された回転密封環１２Ａ，１２Ｂが、端部メカニカルシール９Ａ，９Ｂの回転密封環１５Ａ，１５Ｂを兼ねている。そして、回転密封環１２Ａ，１２Ｂそれぞれに、外周面と内周面とにわたって径方向に貫通する連通孔１４６Ａ，１４６Ｂが形成されている。
【０１４８】
これにより、筒本体１１０の貫通孔１４３の一端側（径方向外端側）の開口は、回転密封環１２Ａの連通孔１４６Ａを介して、第一封液領域Ｒａと連通する。したがって、第一メカニカルシール７Ａの一部（回転密封環１２Ａ）を利用して形成された前記連通孔１４６Ａは、第一封液領域Ｒａと筒本体１１０の貫通孔１４３の一端側の開口とを連通する第一連通路４１Ａとなる。
【０１４９】
また、筒本体１１０の貫通孔１４３の他端側（径方向内端側）の開口は、回転密封環１２Ｂの連通孔１４６Ｂを介して、第二封液領域Ｒｂと連通する。したがって、第二メカニカルシール７Ｂの一部（回転密封環１２Ｂ）を利用して形成された前記連通孔１４６Ｂは、第二封液領域Ｒｂと筒本体１１０の貫通孔１４３の他端側の開口とを連通する第二連通路４１Ｂとなる。
【０１５０】
以上、本実施形態のロータリジョイント１によれば、外筒体５の外周側と内周側とに形成された二つの環状空間Ａ，Ｂにそれぞれメカニカルシール７Ａ，７Ｂを設けることで、互いに異なる二つの流体通路８Ａ，８Ｂを形成することができる。したがって、従来のように一つの環状空間においてメカニカルシールを軸方向に並べて設ける場合に比べて、ロータリジョイント１の軸方向の全長が長くなるのを抑制することができる。また、メカニカルシール７Ａ，７Ｂにおける各構成部品を小さく形成する必要がないので、シール性能が低下することもない。
【０１５１】
また、第一メカニカルシール７Ａは第一環状空間Ａの軸方向に複数設けられ、第二メカニカルシール７Ｂは第二環状空間Ｂの軸方向に複数設けられているので、複数の第一流体通路８Ａおよび複数の第二流体通路８Ｂを形成することができる。したがって、流体通路８Ａ，８Ｂの個数が増加しても、従来のように一つの環状空間においてメカニカルシールを軸方向に並べて設ける場合に比べて、ロータリジョイント１の軸方向の全長が長くなるのを抑制することができる。その結果、回転側となる外筒体５が軸方向に長くなるのを抑制することができるので、外筒体５の回転中の振動も抑制することができる。
【０１５２】
また、第一封液領域Ｒａと第二封液領域Ｒｂとは、第一連通路４１Ａ、外筒体５の貫通孔１４３，１４４、及び第二連通路４１Ｂを介して繋がるため、第一封液領域Ｒａ及び第二封液領域Ｒｂのうち、一方の領域にクエンチ流体を供給することで、他方の領域にもクエンチ流体を供給することができる。したがって、ロータリジョイント１には封液の入口流路１５１及び出口流路１５２それぞれを一箇所だけ形成すればよいので、構造を簡素化することができる。
【０１５３】
また、連結体４によって内軸体６の上端部とケース体２とが一体化されるので、ケース体２に対して外筒体５の上端部を相対回転可能に支持する転がり軸受、及び外筒体５の上端部に対して内軸体６の上端部を相対回転可能に支持する転がり軸受のうち、一方の転がり軸受を設ける必要がない。これにより、部品点数を削減することができるので、さらに構造の簡素化や製造コストの低減を図ることができる。
【０１５４】
なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【０１５５】
例えば、上記実施形態におけるロータリジョイント１は、その軸方向が上下方向となるように配置されているが、前記軸方向が水平方向となるように配置されていてもよい。
また、上記実施形態におけるロータリジョイント１は、固定側部材にケース体２および内軸体６を取り付け、回転側部材に外筒体５を取り付けているが、固定側部材に外筒体５を取り付け、回転側部材にケース体２および内軸体６を取り付けてもよい。
【０１５６】
また、上記実施形態におけるロータリジョイント１は、ケース体２と内軸体６とを連結体４により連結した構造であるが、連結体４を有しない構造、つまりケース体２と内軸体６とを連結しない構造であってもよい。この場合、押し付け部材１１５Ａと上部フランジ１３０との間に転がり軸受を追加するとともに、内軸体６の上端面に第四流路１６５の上端側を開口し、この開口部を前記接続ポートとすればよい。
【符号の説明】
【０１５７】
１  ロータリジョイント
２  ケース体
４  連結体
５  外筒体
６  内軸体
７Ａ  第一メカニカルシール
７Ｂ  第二メカニカルシール
１６Ａ  流路
１６Ｂ  流路
１７Ａ  流路
１７Ｂ  流路
４１Ａ  第一連通路
４１Ｂ  第二連通路
１１８Ａ  第二流路
１１８Ｂ  第三流路
１３４  第一流路
１４３  貫通孔
１４４  貫通孔
１６５  第四流路
Ａ  第一環状空間
Ｂ  第二環状空間
Ｒａ  第一封液領域
Ｒｂ  第二封液領域
【図１】
2018031409.tif 000003
【図２】
2018031409.tif 000004
【図３】
2018031409.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018031409.tif 000009
【図８】
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