(57)【要約】【課題】構造を複雑化せずに研磨面の主たる温度調節対象として意図する領域を優先的かつ効率的に温度調節し、ワーク研磨に伴い研磨面の温度が部分的に変化、または、それに関連して研磨条件が部分的に逸脱することを抑制できる研磨装置を提供すること。【解決手段】下定盤２の研磨面の裏側に形成された温度調節構造４０は、温度調節用流体を供給する給水口４１と、温度調節用流体が排出される排水口４２と、下定盤２の径方向に並んだ複数の同心円に沿って延在する流路４３と、下定盤２の径方向に延在して同心円を仕切る仕切壁４４と、を有している。そして、温度調節用流体は、給水口４１から第３同心円Ｒ３に沿う第３流路４３ｃ内を第１の方向に流れて、仕切壁４４に沿って折り返して第４同心円Ｒ４に沿う第４流路４３ｄに流れ込み、この第４流路４３ｄ内を第１の方向とは逆の方向に流れて排水口４２から排出される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを研磨する研磨面の裏側に、温度調節用流体が流れる温度調節構造が形成された定盤を備えた研磨装置において、
前記温度調節構造は、前記温度調節用流体を供給する給水口と、前記温度調節用流体が排出される排水口と、前記給水口と前記排水口とを連通すると共に、前記定盤の径方向に並んだ複数の同心円に沿って延在する流路と、前記定盤の径方向に延在して前記同心円を仕切る仕切壁と、を有し、
前記給水口から供給された温度調節用流体は、第１の同心円に沿った流路内を第１の方向に流れてから前記仕切壁に沿って折り返して第２の同心円に沿った流路に流れ込み、前記第２の同心円に沿った流路内を前記第１の方向とは逆の方向に流れて前記排水口から排出される
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
請求項１に記載された研磨装置において、
前記給水口は、前記定盤の最内周に位置する同心円に沿った第１流路、又は、前記定盤の最内周から二番目に位置する同心円に沿った第２流路のいずれかに形成され、
前記排水口は、前記給水口が前記第１流路に形成された場合には前記第２流路に形成され、前記給水口が前記第２流路に形成された場合には前記第１流路に形成されている
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載された研磨装置において、
前記給水口は、所定の同心円に沿った流路の延在方向に並んで複数形成されている
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載された研磨装置において、
前記排水口は、所定の同心円に沿った流路の延在方向に並んで複数形成されている
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載された研磨装置において、
前記定盤は、前記研磨面が形成された平板部材と、前記平板部材に固定される共に前記温度調節構造が形成されたジャケット部材と、を有し、
前記平板部材と前記ジャケット部材とは、線膨張係数が異なる材料によって形成されている
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項６】
請求項５に記載された研磨装置において、
前記平板部材は、前記ジャケット部材よりも線膨張係数が小さい材料によって形成されている
ことを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨面の裏側に温度調節用流体が流れる温度調節構造が形成された研磨装置に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
従来から、シリコンウェーハ等のワークを研磨する定盤の冷却等の温度調節を行うため、ワークに接触する研磨面の裏側に温度調節用の流体が流れる温度調節構造が設けられた研磨装置が知られている。この研磨装置における温度調節構造では、例えば、定盤の内縁部近傍に設けられた給水口から、外縁部近傍に形成された排水口に向かって渦巻き状に延びる温度調節用流体流路を有するもの（例えば、特許文献１参照）や、定盤の周方向に延びる複数の流路を有し、各流路を流れる温度調節用流体の温度等を個別に調節可能としたもの（例えば、特許文献２,３参照）がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭５９-１５１６５５号公報
【特許文献２】特開２００２-３７３８７５号公報
【特許文献３】特開２００２-２３３９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、渦巻き状に延在した流体流路を有する温度調節構造では、研磨面の温度調節効率が定盤中心部から外縁部に向かって次第に低下していく。そのため、ワーク研磨中にワークとの接触割合が高い領域等の主たる温度調節対象として意図する領域を優先的かつ効率的に温度調節することができない。そのため、ワーク研磨に伴って生じる研磨熱の影響により、研磨面が部分的に温度上昇し、あるいは、それに関連して研磨条件が部分的に逸脱するという問題が発生する。
一方、複数の流路を流れる温度調節用流体の温度等を個別に調節可能とした温度調節構造では、流体の給排経路を複数系統にする必要があり、装置が大型化したり、制御が複雑になる等の問題が生じる。
【０００５】
本発明は、上記問題に着目してなされたもので、構造を複雑化することなく研磨面の主たる温度調節対象として意図する領域を優先的かつ効率的に温度調節し、ワークの研磨に伴って研磨面の温度が部分的に変化し、あるいは、それに関連して研磨条件が部分的に逸脱することを抑制できる研磨装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明は、ワークを研磨する研磨面の裏側に、温度調節用流体が流れる温度調節構造が形成された定盤を備える研磨装置である。
前記温度調節構造は、前記温度調節用流体を供給する給水口と、前記温度調節用流体が排出される排水口と、前記給水口と前記排水口とを連通すると共に、前記定盤の径方向に並んだ複数の同心円に沿って延在した流路と、前記定盤の径方向に延在して前記同心円を仕切る仕切壁と、を有している。
そして、前記給水口から供給された温度調節用流体は、第１の同心円に沿った流路内を第１の方向に流れてから前記仕切壁に沿って折り返して第２の同心円に沿った流路に流れ込み、前記第２の同心円に沿った流路内を前記第１の方向とは逆の方向に流れて、前記排水口から排出される。
【発明の効果】
【０００７】
この結果、構造を複雑化することなく研磨面の主たる温度調節対象として意図する領域を優先的かつ効率的に温度調節し、ワークの研磨に伴って研磨面の温度が部分的に変化し、あるいは、それに関連して研磨条件が部分的に逸脱することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施例１の研磨装置の全体構成を概略的に示す断面図である。
【図２】実施例１の研磨装置の冷却構造を示す平面図である。
【図３】定盤の研磨面を区分けしたときの領域を説明する説明図である。
【図４】比較例の研磨装置の冷却構造を示す平面図である。
【図５】比較例の冷却構造による研磨面の冷却状態を示す説明図である。
【図６】実施例１の冷却構造における冷却水の流れ方向を示す説明図である。
【図７】実施例１の冷却構造による研磨面の冷却状態を示す説明図である。
【図８】実施例１の冷却構造の第１変形例を示す平面図である。
【図９】実施例１の冷却構造の第２変形例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の研磨装置を実施するための形態を、図面に示す実施例１に基づいて説明する。なお、以下の実施形態においては、本発明の温度調節構造を冷却構造として説明する。
【００１０】
（実施例１）
まず、構成を説明する。
実施例１における研磨装置１は、半導体ウェーハ、水晶ウェーハ、サファイアウェーハ、ガラスウェーハ或いはセラミックウェーハといった、薄板状のワークＷの表裏両面を研磨加工する両面研磨装置である。以下、実施例１の研磨装置１の構成を、「全体構成」、「定盤の詳細構成」、「冷却構造の詳細構成」に分けて説明する。
【００１１】
［全体構成］
図１は、実施例１の研磨装置の全体構成を概略的に示す断面図である。以下、図１に基づき、実施例１の研磨装置の全体構成を説明する。
【００１２】
実施例１の研磨装置１は、図１に示すように、軸線Ｌ１を中心とする同心に配置された下定盤２及び上定盤３と、下定盤２及び上定盤３の中心部に回転自在に配置されたサンギヤ４と、下定盤２及び上定盤３の外周側に配置されたインターナルギヤ５と、下定盤２及び上定盤３の間に配置され且つワーク保持穴（不図示）が形成されたキャリアプレート６と、を有している。また、下定盤２の上面には研磨パッド２ａが貼付され、上定盤３の下面には研磨パッド３ａが貼付されている。なお、各研磨パッド２ａ,３ａの表面がワークＷを研磨する研磨面となる。
【００１３】
下定盤２と、サンギヤ４と、インターナルギヤ５とは、それぞれ駆動軸７ａ,７ｂ,７ｃを介して図示しない駆動装置に連結され、回転駆動される。
【００１４】
また、キャリアプレート６は、サンギヤ４とインターナルギヤ５に噛合する。そして、このキャリアプレート６は、サンギヤ４とインターナルギヤ５の回転により自転しながら軸線Ｌ１周りに公転する。このキャリアプレート６の自転及び公転と、下定盤２及び上定盤３の回転により、ワーク保持穴内に配置されたワークＷの両面が研磨パッド２ａ,３ａによって研磨される。
【００１５】
上定盤３は、上定盤３の上面に取り付けられた定盤吊り８ａを介して、昇降用アクチュエータ８のロッド８ｂに吊り下げ支持されている。ここで、ロッド８ｂの先端部には、調芯軸受８ｃが介装されている。これにより、上定盤３は、昇降用アクチュエータ８によって揺動可能且つ回転可能に吊り下げ支持される。
【００１６】
一方、サンギヤ４が固定された駆動軸７ｂには、図示しない駆動装置によって回転されるドライバ用駆動軸９が貫挿され、このドライバ用駆動軸９の上端部９ａが駆動軸７ｂの上端開口７ｄから突出している。この上端部９ａにはドライバ１０が固定されており、ドライバ１０はドライバ用駆動軸９と一体となって回転する。また、ドライバ１０の外周面には、上定盤３に設けたフック３ｂが係合する溝部（不図示）が形成されている。そして、ロッド８ｂが伸長して上定盤３が下方に移動し、フック３ｂがドライバ１０の溝部に係合することで、ドライバ１０の回転に上定盤３が一体となって回転するようになっている。
【００１７】
すなわち、上定盤３は、ロッド８ｂの伸縮動作により上下動し、ドライバ用駆動軸９の回転動作により回転する。また、上定盤３には研磨スラリーを供給する供給孔（図示せず）が設けられている。
【００１８】
［定盤の詳細構成］
実施例１の研磨装置１の下定盤２は、ワークＷの研磨加工時に生じる摩擦熱による研磨面（研磨パッド２ａの表面）の部分的な温度変化を抑制するため、研磨面の裏側に冷却構造４０（温度調節構造）が形成されている。この下定盤２は、図１に示すように、下側平板部材２１と、下側ジャケット部材２２と、下側定盤受部材２３と、を有している。
【００１９】
下側平板部材２１は、研磨パッド２ａが貼付される表面が平坦に形成された板部材であり、下定盤２の最上面に位置する。この下側平板部材２１は、線膨張係数が小さくて熱変形しにくい低熱膨張材によって形成されている。
【００２０】
下側ジャケット部材２２は、下側平板部材２１の裏側（下面）に固定される板部材であり、下側平板部材２１に対向する面に冷却構造４０が形成されている。なお、この冷却構造４０の流路４３を区画する区画壁４６（図２参照）の先端が下側平板部材２１に固定されている。また、下側ジャケット部材２２は、下側平板部材２１及び下側定盤受部材２３よりも線膨張係数が大きく、且つ剛性が高いステンレスによって形成されている。
【００２１】
下側定盤受部材２３は、下側ジャケット部材２２の裏側（下面）に固定されると共に、駆動軸７ａが固定された板部材である。
【００２２】
実施例１の研磨装置１の上定盤３は、ワークＷの研磨加工時に生じる摩擦熱による研磨面（研磨パッド３ａの表面）の部分的な温度変化を抑制するため、研磨面の裏側に冷却構造４０（温度調節構造）が形成されている。この上定盤３は、図１に示すように、上側平板部材３１と、上側ジャケット部材３２と、を有している。
【００２３】
上側平板部材３１は、研磨パッド３ａが貼付される表面が平坦に形成された板部材であり、上定盤３の最下面に位置する。この上側平板部材３１は、線膨張係数が小さくて熱変形しにくい低熱膨張材によって形成されている。
【００２４】
上側ジャケット部材３２は、上側平板部材３１の裏側（上面）に固定されると共に、定盤吊り８ａによって吊り下げ支持される板部材である。この上側ジャケット部材３２は、上側平板部材３１に対向する面に冷却構造４０が形成されている。なお、この冷却構造４０の流路４３を区画する区画壁４６の先端が下側平板部材２１に固定されている。また、上側ジャケット部材３２は、上側平板部材３１よりも線膨張係数が大きく、且つ剛性が高いステンレスによって形成されている。
【００２５】
［冷却構造の詳細構成］
図２は、実施例１の研磨装置の冷却構造を示す平面図である。以下、図２に基づいて、実施例１の冷却構造の詳細構成を説明する。
【００２６】
実施例１の下側ジャケット部材２２及び上側ジャケット部材３２には、いずれも冷却構造４０が形成されている。この冷却構造４０は、図示しない冷却水循環装置から供給される冷却水（温度調節用流体）を流通させ、この冷却水と下側平板部材２１又は上側平板部材３１との間で熱交換を行うことで、下側平板部材２１や上側平板部材３１を冷却するものである。なお、下側ジャケット部材２２に形成された冷却構造４０と、上側ジャケット部材３２に形成された冷却構造４０は同様の構成になっているため、以下では下側ジャケット部材２２に形成された冷却構造４０について説明する。
【００２７】
実施例１の冷却構造４０は、図２に示すように、冷却水を供給する給水口４１と、冷却水が排出される排水口４２と、給水口４１と排水口４２とを連通する流路４３と、下定盤２の径方向に沿って延在した仕切壁４４と、を有している。
【００２８】
給水口４１は、下側ジャケット部材２２を軸線Ｌ１方向に貫通した縦穴の開口部であり、図示しない冷却水循環装置の吐水口に接続した給水路（不図示）に連通している。なお、給水路は、駆動軸７ａの内部を軸方向に延びる縦穴と、下側定盤受部材２３の内部を水平方向に延びる横穴と、を有している。
【００２９】
排水口４２は、下側ジャケット部材２２を軸線Ｌ１方向に貫通した縦穴の開口部であり、冷却水循環装置の吸水口に接続した排水路（不図示）に連通している。この排水口４２の開口面積は、給水口４１と同等の大きさに設定されている。なお、排水路は、駆動軸７ａの内部を軸方向に延びる縦穴と、下側定盤受部材２３の内部を水平方向に延びる横穴と、を有している。
【００３０】
流路４３は、給水口４１から排水口４２に向かって冷却水が流れる溝である。この流路４３は、下側ジャケット部材２２に形成された区画壁４６によって区画されており、下定盤２の径方向に並んだ複数の同心円に沿って延在されている。この実施例１の流路４３は、下定盤２の内縁部αから外縁部βに向かって順に並んだ複数の同心円（ここでは５つの同心円、第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）にそれぞれ沿った第１流路４３ａ、第２流路４３ｂ、第３流路４３ｃ、第４流路４３ｄ、第５流路４３ｅを有している。
【００３１】
なお、最内周に位置する第１同心円Ｒ１に沿い、内縁部αに最も近い位置に形成された第１流路４３ａの内部には、この第１流路４３ａの延在方向に並ぶ複数（ここでは２個）の排水口４２が形成されている。また、最内周から二番目に位置する第２同心円Ｒ２に沿い、第１流路４３ａに隣接する第２流路４３ｂの内部には、この第２流路４３ｂの延在方向に並ぶ複数（ここでは２個）の給水口４１が形成されている。つまり、この実施例１では、排水口４２の方が、給水口４１よりも下定盤２の内側に形成されている。
【００３２】
そして、この流路４３は、複数の同心円（第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）に沿って延在されて下定盤２の周方向に延びているものの、仕切壁４４に沿って折り返している。すなわち、流路４３のうち、第２流路４３ｂと第３流路４３ｃは第１折返部４５ａで連通し、第３流路４３ｃと第４流路４３ｄは第２折返部４５ｂで連通し、第４流路４３ｄと第５流路４３ｅは第３折返部４５ｃで連通し、第５流路４３ｅと第１流路４３ａは第４折返部４５ｄで連通している。そして、この第１〜第５流路４３ａ〜４３ｅは、下定盤２の周方向に沿った途中位置が折り返すことで、全体としてつながった１本の冷却水ルートを形成している。
【００３３】
仕切壁４４は、下定盤２の径方向に延在した壁面である。この仕切壁４４により、流路４３が沿う複数の同心円（第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）の途中位置が仕切られている。また、実施例１の仕切壁４４は、第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５のすべてを仕切る第１仕切壁４４ａと、第２,第３,第４同心円Ｒ２,Ｒ３,Ｒ４を仕切る第２仕切壁４４ｂと、を有している。
すなわち、第１仕切壁４４ａに沿って第１折返部４５ａ及び第３折返部４５ｃが形成され、第２仕切壁４４ｂに沿って第２折返部４５ｂが形成されている。さらに、第１仕切壁４４ａと第２仕切壁４４ｂとの間に、第５流路４３ｅと第１流路４３ａを連通する第４折返部４５ｄが形成されている。
【００３４】
次に、作用を説明する。
まず、比較例の冷却構造を有する定盤の構成と課題を説明し、続いて、実施例１の研磨装置の作用を「研磨加工中の定盤冷却作用」、「異材料組み合わせ作用」、「給水口及び排水口の形成位置による特徴的作用」、「その他の特徴的作用」に分けて説明する。
【００３５】
［比較例の冷却構造を有する定盤の構成と課題］
図３は、定盤の研磨面を区分けした領域を示す説明図であり、図４は、比較例の研磨装置の冷却構造を示す平面図であり、図５は比較例の冷却構造による研磨面の表面温度を示す説明図である。以下、図３〜図５に基づき、比較例の冷却構造を有する定盤の構成と課題を説明する。
【００３６】
一般的に、シリコンウェーハ等のワークを研磨する研磨装置では、下定盤と上定盤との間にキャリアプレートを挟み込み、このキャリアプレートに形成されたワーク保持穴の内側にワークを配置する。そのため、ワークの移動範囲はキャリアプレートによって制限される。一方、キャリアプレートは、サンギヤとインターナルギヤに噛合している。そのため、ワーク保持穴は、キャリアプレートの内周縁や外周縁に対して所定の距離をあけて形成する必要がある。
【００３７】
これにより、定盤研磨面Ｋを図３に示すように、定盤中心部に位置する中央領域Ａと、定盤外縁部に沿った外縁領域Ｃと、中央領域Ａと外縁領域Ｃとの間に位置する中間領域Ｂとに分けた場合、ワークの研磨に伴ってワークと接触する割合が最も高い中間領域Ｂが、ワークとの間に生じる摩擦熱（以下「加工熱」という）で中央領域Ａや外縁領域Ｃよりも高温になることが分かっている。
【００３８】
これに対し、比較例の冷却構造１００（温度調節構造）では、図４に示すように、径方向に延在する分割壁面１０１によって定盤全体を放射状に１５等分し、各分割領域内にそれぞれ給水口１０２及び排水口１０３と、内縁部αから外縁部βに向かって延びる流路形成壁１０４とが形成されている。ここで、給水口１０２と排水口１０３は、流路形成壁１０４を挟んだ位置であって、いずれも定盤の内縁部αの近傍に形成されている。
【００３９】
このような比較例の冷却構造１００では、給水口１０２から流れ出た冷却水（温度調節用流体）は、図４において矢印で示すように、流路形成壁１０４に沿って定盤の外縁部βに向かって流れる。そして、この冷却水は、流路形成壁１０４と外縁部βに沿って形成された外周壁１０５との間の隙間１０６を通過した後、流路形成壁１０４に沿って定盤の内縁部αに向かって流れ、排水口１０３に流れ込む。
【００４０】
すなわち、この比較例の冷却構造１００では、冷却水が放射状に１５等分された分割領域内をそれぞれ径方向に流れ、外縁部βに沿って折り返す構成になっている。そのため、この冷却構造１００を有する定盤Ｘの研磨面は全面がほぼ均等に冷却される。これにより、この定盤Ｘの研磨面は、ワーク研磨中に発生する加工熱の影響によって、図５に示すように、ワークと接触する確率の高い中間領域Ｂが約２３℃〜２４℃程度になり、２３℃以下に抑えられる中央領域Ａや外縁領域Ｃよりも高温になってしまう。つまり、この比較例の冷却構造１００を有する定盤Ｘでは、ワークの研磨に伴って研磨面温度が部分的に上昇してしまい、研磨面の一部分が熱変形して歪んだり、維持又は一定率内の変化が望ましい微細な研磨条件が局部的に逸脱してしまう。また、局部的に研磨パッドの表面の変質を促進してしまうおそれがある。これらの現象のうちの一つ又は複合の作用により、ワーク表面を均一に研磨することができなくなり、研磨精度の低下が発生することも考えられる。
【００４１】
また、比較例の冷却構造１００では、定盤の径方向に沿った流路を形成するために、分割壁面１０１及び流路形成壁１０４が定盤の径方向に延在している。そのため、定盤Ｘを搬送時に吊り下げたとき、曲げモーメント力は分割壁面１０１及び流路形成壁１０４に付与される。ここで、分割壁面１０１や流路形成壁１０４が同心円に形成されている場合、曲げモーメント力は同心円上に流れて働くので力を分散することができる。しかし、比較例の冷却構造１００の場合では、曲げモーメント力に対する抗力は、分割壁面１０１及び流路形成壁１０４の剛性に依存する。そのため、分割壁面１０１及び流路形成壁１０４の剛性を大きくしない限りは、定盤の撓み変形を生じやすい傾向がある。
そのため、例えば定盤粗加工時の固定方法に工夫を要したり、定盤製造中の搬送時間（吊り下げ時間）の短縮化を図ったり、機械加工後に所定の硬化時間を要したりする必要がある上、定盤Ｘの品質にバラつきに影響が生じたり、納期遅延が発生するという問題がある。
【００４２】
さらに、この比較例の冷却構造１００では、分割壁面１０１及び流路形成壁１０４が定盤の径方向に延在していることから、この分割壁面１０１や流路形成壁１０４の先端を切削加工した際、切削加工面が定盤Ｘの径方向に連続することになる。そのため、この切削加工によって発生した残留応力の影響による定盤Ｘの径方向の撓みが大きくなるという問題も生じる。
【００４３】
［研磨加工中の定盤冷却作用］
図６は、実施例１の冷却構造における冷却水の流れ方向を示す説明図であり、図７は、実施例１の冷却構造による研磨面の表面温度を示す説明図である。以下、図６及び図７に基づき、実施例１の研磨装置１における研磨加工中の定盤冷却作用を説明する。なお、下定盤２における冷却構造４０と、上定盤３における冷却構造４０とでは、同様の作用を奏することができる。そのため、以下では、下定盤２に形成された冷却構造４０についてのみ説明する。
【００４４】
実施例１の研磨装置１が有する下定盤２の冷却構造４０では、図示しない冷却水循環装置から冷却水が供給されると、この冷却水は、下側ジャケット部材２２及び下側定盤受部材２３の内部に形成された給水路（不図示）を通り、給水口４１から流れ出る。このとき、給水口４１は、第２流路４３ｂの延在方向に沿って複数（２個）設けられているが、すべての給水口４１からほぼ同時に同量の冷却水が流れ出る。
【００４５】
給水口４１から流れ出た冷却水は、まず、この給水口４１が形成された流路４３の第２流路４３ｂ内に充満し、その後、図６において矢印で示すように、第１折返部４５ａを介して第３流路４３ｃに流れ込む。第３流路４３ｃに流れ込んだ冷却水は、第３流路４３ｃ内を図６に示す反時計回り方向に流れ、第２折返部４５ｂを介して第４流路４３ｄに流れ込む。そして、第４流路４３ｄに流れ込んだ冷却水は、第４流路４３ｄ内を図６に示す時計回り方向に流れ、第３折返部４５ｃを介して第５流路４３ｅに流れ込む。さらに、第５流路４３ｅに流れ込んだ冷却水は、第５流路４３ｅ内を図６に示す反時計回り方向に流れ、第４折返部４５ｄを介して第１流路４３ａに流れ込む。
【００４６】
そして、第１流路４３ａに流れ込んだ冷却水は、この第１流路４３ａ内に形成された排水口４２から排出される。なお、このとき、排水口４２は、第１流路４３ａの延在方向に沿って複数（２個）設けられているが、すべての排水口４２から同量の冷却水が排出される。
【００４７】
そして、このように流路４３を流れる冷却水と、研磨パッド２ａが設けられた下側平板部材２１との間で熱交換が行われ、研磨パッド２ａの表面（研磨面）が冷却される。
【００４８】
ここで、実施例１の冷却構造４０では、冷却水が、給水口４１→第２流路４３ｂ→第３流路４３ｃ→第４流路４３ｄ→第５流路４３ｅ→第１流路４３ａ→排水口４２と流れる。そのため、流路４３は、研磨面の全面を１本の冷却ルートで冷却することになる。これにより、給排水経路を単純な構造にすることができ、構造が複雑化することを防止できる。また、流路４３が１本のルートであることから、この流路４３を流れる冷却水の流速を向上させることができる。そのため、冷却水による熱伝達率が高くなり、温度調節効率の向上を図ることができる。
【００４９】
さらに、第３流路４３ｃは、最内周から三番目に位置する第３同心円Ｒ３に沿って形成されている。そして、第４流路４３ｄは、最内周から四番目に位置する第４同心円Ｒ４に沿って形成されている。ここで、この第３流路４３ｃ及び第４流路４３ｄは、ワーク研磨中にワークＷと接触する割合が最も高い中間領域Ｂ（図３参照）に対向する位置に形成された流路である。
【００５０】
一方、この冷却構造４０では、給水口４１が形成された第２流路４３ｂから流れ出た冷却水は、第３流路４３ｃに流れ込み、続いて第４流路４３ｄへと順に流れる構成になっている。このため、実施例１の冷却構造４０では、比較的温度が低い冷却水を、ワーク研磨時に比較的高温になる中間領域Ｂに対向する流路（第３流路４３ｃ及び第４流路４３ｄ）に流すことができる。すなわち、温度調節効率の高くなる第３流路４３ｃ及び第４流路４３ｄを、効率的に冷却したいという要求のある研磨面の中間領域Ｂに対向させることができ、冷却要求の高い領域を優先的に冷却することができる。
【００５１】
なお、給水口４１が形成された第２流路４３ｂでは、冷却水温度は最も低くなるが、第１流路４３ｂの延在方向に沿って並んだ複数の給水口４１から同時に冷却水が供給されるため、第３流路４３ｃや第４流路４３ｄと比べて流速が低くなる。つまり、第２流路４３ｂの定盤温度調節効率は、第３流路４３ｃや第４流路４３ｄよりも低くなる。しかしながら、温度調節効率が低い第２流路４３ｂは、下定盤２の中央領域Ａに対向しているため、研磨面の冷却状態に大きな影響を与えることを防止できる。
【００５２】
また、この実施例１の冷却構造４０では、複数の同心円（第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）を仕切る仕切壁４４により流路４３が折り返しており、冷却水は、この仕切壁４４に沿って折り返して流れていく。つまり、冷却水の流れ方向は、定盤周方向に一周流れるごとに反転する。そのため、例えば流路を螺旋状に形成した場合と異なり、任意の周方向領域の冷却水の温度分布を均等にすることができる。
【００５３】
これにより、実施例１の研磨装置１の下定盤２では、研磨面の中でも冷却要求の高い領域（中間領域Ｂ）を効率よく優先的に冷却することができ、図７に示すように、ワーク研磨中に加工熱が生じても、研磨パッド２ａの全面をほぼ２３℃以下の均等な温度に調節することができる。そして、研磨パッド２ａの表面（研磨面）の温度が部分的に変化（ここでは上昇）することを抑制することができて、下定盤２の熱変形を抑制し、及び／又は研磨装置における研磨パッド２ａの表面（研磨面）全面での微細な研磨条件を維持することができる。これにより、研磨精度の低下等の研磨中のワークＷへの悪影響も防止することができる。
【００５４】
［異材料組み合わせ作用］
一般的に、下定盤や上定盤といった研磨装置の定盤は、年単位の長時間を経ると経時変化をもたらし、研磨面に歪みが生じることがある。この場合には、下定盤を回転させる駆動軸や、上定盤を吊り下げ支持するロッドから、下定盤や上定盤を取り外し、研磨面のラップ加工をし直して形状を修正する必要がある。
【００５５】
これに対し、実施例１の研磨装置１の下定盤２は、下側平板部材２１と、下側ジャケット部材２２と、下側定盤受部材２３と、を有している。そして、下側平板部材２１及び下側定盤受部材２３は、下側ジャケット部材２２よりも線膨張係数の小さい低熱膨張材によって形成され、下側ジャケット部材２２は、これらよりも線膨張係数が大きく、且つ剛性が高いステンレスによって形成されている。
【００５６】
すなわち、この下定盤２では、ワークＷに接触して加工熱が直接伝わる下側平板部材２１と、この下側平板部材２１の裏側に固定されると共に冷却構造４０が形成された下側ジャケット部材２２とは、線膨張係数の異なる材料によって形成されている。
【００５７】
そのため、下定盤２の全体が、熱膨張率が異なる２枚の金属板を貼り合わせたバイメタルのような構造になる。これにより、冷却構造４０を流れる冷却水の温度を調節することで、下定盤２の撓み量を制御することができる。
【００５８】
また、実施例１の研磨装置１の上定盤３は、上側平板部材３１と、上側ジャケット部材３２と、を有し、上側平板部材３１は、上側ジャケット部材３２よりも線膨張係数の小さい低熱膨張材によって形成され、上側ジャケット部材３２は、これよりも線膨張係数が大きく、且つ剛性が高いステンレスによって形成されている。
【００５９】
すなわち、この上定盤３では、ワークＷに接触して加工熱が直接伝わる上側平板部材３１と、この上側平板部材３１の裏側に固定されると共に冷却構造４０が形成された上側ジャケット部材３２とは、線膨張係数の異なる材料によって形成されている。
【００６０】
そのため、上定盤３の全体も、熱膨張率が異なる２枚の金属板を貼り合わせたバイメタルのような構造になる。これにより、冷却構造４０を流れる冷却水の温度を調節することで、上定盤３の撓み量を制御することができる。
【００６１】
そして、下定盤２及び上定盤３において、いずれも冷却水の温度調節を行うことで定盤撓み量の制御を行うことができるので、経時変化に伴う研磨面の歪みが生じた場合であっても、冷却水の温度を調節すれば、歪みを緩和することができる。そのため、研磨面のラップ加工のし直しを不要にすることが可能となる。
【００６２】
また、実施例１では、下側平板部材２１が下側ジャケット部材２２よりも線膨張係数が小さく、上側平板部材３１が上側ジャケット部材３２よりも線膨張係数が小さい。つまり、ワークＷに接触して摩擦熱が直接伝わる下側平板部材２１や上側平板部材３１が、熱変形しにくい線膨張係数が小さい材料によって形成されている。そのため、ワーク研磨時に発生する加工熱によって下側平板部材２１や上側平板部材３１が熱変形することを防止し、下定盤２及び上定盤３の変形を抑制しつつ、定盤撓みの制御を可能とすることができる。
【００６３】
さらに、一般的に、ステンレスは、低熱膨張材と比べて廉価な材料である。そのため、定盤全体を低熱膨張材によって形成した場合と比べて、実施例１の研磨装置１のように、下側ジャケット部材２２や上側ジャケット部材３２をステンレスに代替して製作することで、コストダウンを図ることが可能となる。
【００６４】
また、実施例１の上定盤３では、ワーク研磨中の加工熱が直接伝達される上側平板部材３１を、線膨張係数が小さくて熱変形しにくい低熱膨張材によって形成し、上側ジャケット部材３２を廉価なステンレスによって形成している。これにより、上定盤３において、上側平板部材３１の熱変形を抑制しつつ、コストダウンを図ることが可能となる。
【００６５】
さらに、下側ジャケット部材２２や上側ジャケット部材３２を形成するステンレスは、比較的剛性の高い材質である。このため、この下側ジャケット部材２２や上側ジャケット部材３２を低熱膨張材によって形成した場合と比べて下定盤２や上定盤３の剛性を向上させることができる。これにより、例えば下定盤２や上定盤３を製造途中で吊り下げることがあっても、撓みを抑制して製造しやすさの向上を図ることができる。
【００６６】
［給水口及び排水口の形成位置による特徴的作用］
実施例１において、図示しない冷却水循環装置に接続した給水路は、駆動軸７ａの内部に垂直方向に形成された縦穴と、下側定盤受部材２３の内部を水平方向に延びた横穴と、を有している。また、排水路についても給水路と同様の構成であり、駆動軸７ａの内部に垂直方向に形成された縦穴と、下側定盤受部材２３の内部を水平方向に延びた横穴と、を有している。
【００６７】
これに対し、この実施例１の冷却構造４０では、図２に示すように、排水口４２が、下定盤２の内縁部αに最も近い位置、つまり下定盤２の最内周に位置する第１同心円Ｒ１に沿った第１流路４３ａに形成され、給水口４１が、最内周から二番目に位置する第２同心円Ｒ２に沿い、第１流路４３ａに隣接する第２流路４３ｂに形成されている。つまり、給水口４１及び排水口４２は、いずれも駆動軸７ａの近傍位置に形成されている。
【００６８】
これにより、給水口４１や排水口４２を下定盤２の外縁部β近傍に形成した場合と比べて、給水路や排水路のうち、下側定盤受部材２３の内部を水平方向に延びる横穴部分の長さを短縮化することができる。すなわち、冷却構造４０が複雑化することをさらに抑制することができ、定盤の作りやすさの向上を図ることができる。
【００６９】
特に、直径寸法が２メートルを超えるような大型の下定盤２において給水口４１や排水口４２を下定盤２の外縁部β近傍に形成してしまうと、下側定盤受部材２３の内部を水平方向に延びる長い横穴が必要になる。しかしながら、長い横穴を形成することは非常に困難であり、実現できても加工費の高騰が免れない。しかし、実施例１の研磨装置１では、給水口４１及び排水口４２を内縁部αの近傍位置に形成したことで、下側定盤受部材２３の内部を水平方向に延びる長い横穴が不要になり、加工費の高騰を抑制することができる。
【００７０】
さらに、この実施例１では、給水口４１及び排水口４２がそれぞれ複数（２個）形成されている。そして、すべての給水口４１からほぼ同時に同量の冷却水が流れ出て、すべての排水口４２からほぼ同時に同量の冷却水が排出される。これは、定盤給水口までの当該機内の水路設計や、排水口からの機内の水路設計の制約に応じたものに過ぎない。そのため、必ずしも、この個数に限られるものではない。すなわち、給水口４１や排水口４２の数は、所望流量や流速を許容耐圧内で得るための設計であることが要諦となる。
【００７１】
また、この実施例１では、複数の給水口４１が、この給水口４１が形成された第２流路４３ａの延在方向に並んで形成されている。そのため、複数の給水口４１から流れ出た冷却水の干渉を抑制し、冷却水の円滑な流れを妨げないようにできる。そして、冷却水が円滑に流れることで、流速を確保し、定盤温度調節効率の向上を図ることができる。
【００７２】
さらに、複数の排水口４２についても、この排水口４２が形成された第１流路４３ａの延在方向に並んで形成されており、冷却水の流れを乱すことなく速やかに排出することが可能となる。この結果、冷却水の円滑な流れを妨げることがなく、冷却水の流速を確保して定盤温度調節効率をさらに向上させることができる。
【００７３】
［その他の特徴的作用］
実施例１の冷却構造４０では、流路４３が下定盤２の径方向に並んだ複数の同心円（第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）に沿って形成されている。そのため、第１流路４３ａ〜第５流路４３ｅをそれぞれ区画する区画壁４６が下定盤２の周方向に延在する。
【００７４】
そして、区画壁４６が下定盤２の周方向に延在していることで、下定盤２を搬送する際に吊り下げるときの吊り下げ位置と、下定盤２の内縁部αと、外縁部βとが連続することがない。これにより、下定盤２を搬送するときの定盤径方向の撓み変形を抑制することができる。すなわち、製造中の下定盤２の変形を小さくすることができて、下定盤２の製造時間の短縮化や、製造の容易性を向上させることができる。
【００７５】
さらに、実施例１の冷却構造４０では、流路４３が下定盤２の径方向に並んだ複数の同心円（第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）に沿っていることから、第１流路４３ａ〜第５流路４３ｅをそれぞれ区画する区画壁４６の先端は、定盤径方向に不連続になる。そのため、この区画壁４６の先端に切削加工をした際に生じる残留応力の影響を小さくして、下定盤２の径方向の撓みをさらに抑制することができる。
【００７６】
次に、効果を説明する。
実施例１の研磨装置１にあっては、下記に列挙する効果を得ることができる。
【００７７】
(1) ワークＷを研磨する研磨面（研磨パッド２ａ,３ａの表面）の裏側に、冷却水が流れる冷却構造４０が形成された定盤（下定盤２,上定盤３）を備えた研磨装置１において、
前記冷却構造４０は、前記冷却水を供給する給水口４１と、前記冷却水が排出される排水口４２と、前記給水口４１と前記排水口４２とを連通すると共に、前記定盤（下定盤２,上定盤３）の径方向に並んだ複数の同心円（第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）に沿って延在する流路４３と、前記定盤（下定盤２,上定盤３）の径方向に延在して前記同心円（第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）を仕切る仕切壁４４と、を有し、
前記給水口４１から供給された冷却水は、第１の同心円（第３同心円Ｒ３）に沿った流路（第３流路４３ｃ）内を第１の方向（反時計回り方向）に流れてから前記仕切壁４４に沿って折り返して第２の同心円（第４同心円Ｒ４）に沿った流路（第４流路４３ｄ）に流れ込み、前記第２の同心円（第４同心円Ｒ４）に沿った流路（第４流路４３ｄ）内を前記第１の方向（反時計回り方向）とは逆の方向（時計回り方向）に流れて、前記排水口４２から排出される構成とした。
これにより、構造が複雑化することなく研磨面の主たる温度調節対象として意図する領域（中間領域Ｂ）を優先的かつ効率的に温度調節し、ワークの研磨に伴って研磨面の温度が部分的に変化し、あるいは、それに関連して研磨条件が部分的に逸脱することを抑制できる。
【００７８】
(2) 前記給水口４１は、前記定盤（下定盤２,上定盤３）の最内周から二番目に位置する同心円（第２同心円Ｒ２）に沿った第２流路４３ｂに形成され、
前記排水口４２は、前記給水口４１が前記第２流路４３ｂに形成された場合には前記定盤（下定盤２,上定盤３）の最内周に位置する同心円（第１同心円Ｒ１）に沿った第１流路４３ａに形成されている構成とした。
これにより、(1)の効果に加え、定盤内部に形成される水平方向の給水路及び排水路の長さを短縮化して、冷却構造４０の複雑化をさらに抑制することができる。
【００７９】
(3) 前記給水口４１は、所定の同心円（第２同心円Ｒ２）に沿った流路（第２流路４３ｂ）の延在方向に並んで複数形成されている構成とした。
これにより、(1)又は(2)の効果に加え、冷却水圧による負荷を軽減すると共に、冷却水を円滑に流すことができる。
【００８０】
(4) 前記排水口４２は、所定の同心円（第１同心円Ｒ１）に沿った流路（第１流路４３ａ）の延在方向に並んで複数形成されている構成とした。
これにより、(1)〜(3)のいずれかの効果に加え、冷却水圧による負荷をさらに軽減し、冷却水の流れをさらに円滑にすることができる。
【００８１】
(5) 前記定盤（下定盤２,上定盤３）は、前記研磨面が形成された平板部材（下側平板部材２１,上側平板部材３１）と、前記平板部材（下側平板部材２１,上側平板部材３１）に固定される共に前記冷却構造４０が形成されたジャケット部材（下側ジャケット部材２２,上側ジャケット部材３２）と、を有し、
前記平板部材（下側平板部材２１,上側平板部材３１）と前記ジャケット部材（下側ジャケット部材２２,上側ジャケット部材３２）とは、線膨張係数が異なる材料によって形成されている構成とした。
これにより、(1)〜(4)のいずれかの効果に加え、冷却構造４０に流れる冷却水温度を調節することで、定盤撓み量の制御ができ、経年変化による定盤の歪みを解消することができる。
【００８２】
(6) 前記平板部材（下側平板部材２１,上側平板部材３１）は、前記ジャケット部材（下側ジャケット部材２２,上側ジャケット部材３２）よりも線膨張係数が小さい材料によって形成されている構成とした。
これにより、(5)の効果に加え、ワークＷに接触して摩擦熱が直接伝わる平板部材の熱変形が抑制でき、定盤変形をさらに防止することができる。
【００８３】
(7) 前記定盤（下定盤２）は、前記ジャケット部材（下側ジャケット部材２２）を有し、また、さらにそれらを支持する定盤受部材（下側定盤受部材２３）を有するように設計することも可能である。
その場合、前記上盤受け部材（下側定盤受け部材２３）の線膨張係数設計次第では、変化制御単位量を任意に設定することもできる。これにより、(5)の効果に加え、定盤の熱変形の抑制度合いを調合できる。
【００８４】
以上、本発明の研磨装置を実施例１に基づいて説明してきたが、具体的な構成については、この実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲の各請求項に係る発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。
【００８５】
実施例１では、定盤最内周に位置する第１流路４３ａに排水口４２が形成され、この第１流路４３ａに隣接する第２流路４３ｂに給水口４１が形成された例を示した。しかしながら、これに限らず、例えば第１流路４３ａに給水口４１を形成し、第２流路４３ｂに排水口４２を形成してもよい。この場合では、第１流路４３ａに充満した冷却水が、第５流路４３ｅ→第４流路４３ｄ→第３流路４３ｃと順に流れ、最後に第２流路４３ｂに流れ込むようになる。このように、冷却構造４０を変えずに給水口４１と排出口４２を逆とすることにより、優先的に温度調節を行いたい領域を変えることが可能になる。
しかしながら、このときにも、給水口４１及び排水口４２は駆動軸７ａの近傍位置に形成されることになり、下側定盤受部材２３の内部を水平方向に延びる横穴の長さを短縮化して、冷却構造４０が複雑化することをさらに抑制することができる。
【００８６】
また、実施例１の冷却構造４０では、冷却水が、給水口４１→第２流路４３ｂ（冷却水充満）→第３流路４３ｃ（反時計回り）→第４流路４３ｄ（時計回り）→第５流路４３ｅ（反時計回り）→第１流路４３ａ（冷却水排出）→排水口４２と流れる例を示した。しかしながら、これに限らず、例えば図６の冷却構造を左右反転させた冷却構造とし、冷却水の流れが、それぞれ逆（給水口４１→第２流路４３ｂ（冷却水充満）→第３流路４３ｃ（時計回り）→第４流路４３ｄ（反時計回り）→第５流路４３ｅ（時計回り）→第１流路４３ａ（冷却水排出）→排水口４２）となるようにしてもよい。これにより、給排水経路を単純な構造にすることができ、構造が複雑化することを防止できる。また、流路４３が１本のルートであることから、この流路４３を流れる冷却水の流速を向上させることができる。そのため、冷却水による熱伝達率が高くなり、温度調節効率の向上を図ることができる。また、構造を変えず流路の向きを反転できるため、優先的に温度調節を行いたい領域を変えることができる。
【００８７】
また、給水口４１や排水口４２は、定盤最外周に位置する第５流路４３ｅに形成してもよい。なお、給水口４１又は排水口４２を定盤最外周位置に形成した場合などでは、下側定盤受部材２３等に給排水用の横穴を形成せず、定盤外部に配索されたチューブ等を利用して冷却水を給排水するようにしてもよい。
【００８８】
また、実施例１では、給水口４１及び排水口４２をそれぞれ２個ずつ形成した例を示したが、これに限らない。給水口４１及び排水口４２は、一つでもよいし、２個以上の任意の数だけ形成してもよい。また、給水口４１の数と排水口４２の数とが異なっていてもよい。さらに、給水口４１の開口面積と排水口４２の開口面積を異ならせてもよいし、複数の給水口４１の開口面積を互いに異ならせたり、複数の排水口４２の開口面積を互いに異ならせたりしてもよい。
【００８９】
また、流路４３は、定盤（下定盤２,上定盤３）の径方向に並んだ複数の同心円（第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）に沿って延在すると共に、これらの複数の同心円（第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５）が仕切壁４４によって仕切られていればよい。そのため、流路形状は実施例１に示すものに限らず、例えば、図８に示す第１変形例の冷却構造４０Ａや、図９に示す第２変形例の冷却構造４０Ｂのようなものであってもよい。
【００９０】
すなわち、第１変形例である冷却構造４０Ａでは、定盤最内周に位置する第１流路４３ａ内に給水口４１及び排水口４２を形成する。また、仕切壁４７として、第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５のすべてを仕切る第１仕切壁４７ａと、第１同心円Ｒ１〜第４同心円Ｒ４を仕切る第２仕切壁４７ｂと、第２,第３同心円Ｒ２,Ｒ３を仕切る第３仕切壁４７ｃと、第１,第２同心円Ｒ１,Ｒ２を仕切る第４仕切壁４７ｄと、を形成する。
【００９１】
そして、第１仕切壁４７ａと第４仕切壁４７ｄとの間に、第１流路４３ａと第３流路４３ｃを連通する第１折返部４８ａを形成し、第３仕切壁４７ｃに沿って第２流路４３ｂと第３流路４３ｃを連通する第２折返部４８ｂを形成し、第４仕切壁４７ｄに沿って第１流路４３ａと第２流路４３ｂを連通する第３折返部４８ｃを形成し、第２仕切壁４７ｂと第３仕切壁４７ｃとの間に、第１流路４３ａと第４流路４３ｄを連通する第４折返部４８ｄを形成し、第１仕切壁４７ａに沿って第４流路４３ｄと第５流路４３ｅを連通する第５折返部４８ｅを形成し、第１仕切壁４７ａと第２仕切壁４７ｂとの間に、第１流路４３ａと第５流路４３ｅを連通する第６折返部４８ｆを形成する。このとき、給水口４１を第１折返部４８ａ内に形成し、排水口４２を第６折返部４８ｆ内に形成する。
【００９２】
これにより、この第１変形例の冷却構造４０Ａでは、給水口４１から流れ出た冷却水は、給水口４１→第１折返部４８ａ→第３流路４３ｃ→第２折返部４８ｂ→第２流路４３ｂ→第３折返部４８ｃ→第１流路４３ａ→第４折返部４８ｄ→第４流路４３ｄ→第５折返部４８ｅ→第５流路４３ｅ→第６折返部４８ｆ→排水口４２と流れていく。
【００９３】
また、第２変形例である冷却構造４０Ｂでは、定盤最内周に位置する第１流路４３ａ内に給水口４１を形成し、定盤最外周に位置する第５流路４３ｅ内に排水口４２を形成する。また、仕切壁４９は、第１同心円Ｒ１〜第５同心円Ｒ５のすべてを仕切るものだけである。
【００９４】
そして、仕切壁４９を挟んで交互に第１折返部５０ａと、第２折返部５０ｂと、第３折返部５０ｃと、第４折返部５０ｄを形成する。そして、第１折返部５０ａを介して第１,第２流路４３ａ,４３ｂを連通し、第２折返部５０ｂを介して第２,第３流路４３ｂ,４３ｃを連通し、第３折返部５０ｃを介して第３,第４流路４３ｃ,４３ｄを連通し、第４折返部５０ｄを介して第４,第５流路４３ｄ,４３ｅを連通する。
【００９５】
これにより、この第２変形例の冷却構造４０Ｂでは、給水口４１から流れ出た冷却水は、給水口４１→第１流路４３ａ→第１折返部５０ａ→第２流路４３ｂ→第２折返部５０ｂ→第３流路４３ｃ→第３折返部５０ｃ→第４流路４３ｄ→第４折返部５０ｄ→第５流路４３ｅ→排水口４２と流れていく。
【００９６】
また、実施例１では、下定盤２の下側平板部材２１を線膨張係数の小さい低熱膨張材によって形成し、下側ジャケット部材２２を線膨張係数の大きいステンレスによって形成する例を示した。しかしながら、これに限らず、下側平板部材２１、下側ジャケット部材２２等を、例えば、線膨張係数の大きな材料から選ぶ場合は、鋳鉄やアルミニウム、ステンレス等より任意に選べばよい。また、線膨張係数の小さな材料から選ぶ場合は、セラミック、グラナイト、炭素繊維強化材、炭化ケイ素繊維強化材、インバー合金材等より、任意に選べばよい。さらに、その組み合わせ次第で、下側平板部材２１と下側ジャケット部材２２との線膨張係数差に応じて、冷却水温度の調節精度に応じた単位歪み量を設定、制御することができるようになる。すなわち、変形制御特性や機器構成上望ましい剛性等を考慮して選定し組み合わせればよい。なお、上定盤３についても同様である。
また、実施例１にて示した例のように、下側ジャケット部材２２の下に、さらに、下側定盤受部材２３を設け、その材質を、下側ジャケット部材２２と異ならせることで、変形特性を調合することもできる。
【００９７】
また、実施例１では、温度調節構造として冷却構造を例示したが、研磨面の温度を上昇させる加熱流体が流れる加熱構造であっても、本願発明を適用することができる。
【００９８】
また、実施例１では、下定盤２と上定盤３を有し、ワークＷの両面を同時に研磨可能な両面研磨装置を示したが、ワークＷの片面のみを研磨する片面研磨装置であっても、本願発明を適用することができる。
【００９９】
さらに、実施例１では、流路４３が沿う同心円の数を５つとしたが、これに限らず、任意の数の同心円を設定することができる。
【符号の説明】
【０１００】
１  研磨装置
２  下定盤
２ａ  研磨パッド
３  上定盤
３ａ  研磨パッド
３ｂ  フック
４  サンギヤ
５  インターナルギヤ
６  キャリアプレート
２１  下側平板部材
２２  下側ジャケット部材
２３  下側定盤受部材
３１  上側平板部材
３２  上側ジャケット部材
４０  冷却構造（温度調節構造）
４１  給水口
４２  排水口
４３  流路
４３ａ  第１流路
４３ｂ  第２流路
４３ｃ  第３流路
４３ｄ  第４流路
４３ｅ  第５流路
４４  仕切壁
４５ａ  第１折返部
４５ｂ  第２折返部
４５ｃ  第３折返部
４５ｄ  第４折返部
【図１】
2018202580.tif 000003
【図２】
2018202580.tif 000004
【図３】
2018202580.tif 000005
【図４】
2018202580.tif 000006
【図５】
2018202580.tif 000007
【図６】
2018202580.tif 000008
【図７】
2018202580.tif 000009
【図８】
2018202580.tif 000010
【図９】
2018202580.tif 000011