(57)【要約】【課題】発熱抵抗素子の基板対向面に電気接続領域が設けられ、発熱抵抗素子の周囲の泡溜まりの発生が抑えられる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは基板２と、基板２上に位置し液体を吐出するための熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子４と、液体が流れる流路を形成し、発熱抵抗素子４の一部を取り囲むように設けられた側壁を備える流路形成部材７と、を有している。発熱抵抗素子４は互いに対向する一対の辺を有し、発熱抵抗素子の基板２に面する面に、一対の辺に沿って且つ一対の辺のそれぞれから間隔をおいて、発熱抵抗素子４に電気エネルギーを供給する電気接続領域２０ａ，２０ｂがそれぞれ設けられている。側壁の少なくとも一つの隅部は丸められた曲面、または一対の辺に対して斜めに交差する方向に沿う交差面とされ、側壁の少なくとも一つの隅部に対向する発熱抵抗素子４の角部は丸められ、または面取りされている。【選択図】図２
2018202860.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板上に位置し液体を吐出するための熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子と、前記液体が流れる流路を形成し、前記発熱抵抗素子の一部を取り囲むように設けられた側壁を備える流路形成部材と、を有し、
前記発熱抵抗素子は互いに対向する一対の辺を有し、前記発熱抵抗素子の前記基板に面する面に、前記一対の辺に沿って且つ前記一対の辺のそれぞれから間隔をおいて、前記発熱抵抗素子に電気エネルギーを供給する電気接続領域がそれぞれ設けられ、
前記側壁の少なくとも一つの隅部は丸められた曲面、または前記一対の辺に対して斜めに交差する方向に沿う交差面とされ、前記側壁の前記少なくとも一つの隅部に対向する前記発熱抵抗素子の角部は丸められ、または面取りされている、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記基板を平面視した場合に、前記側壁の前記少なくとも一つの隅部と前記側壁の前記少なくとも一つの隅部に対向する前記発熱抵抗素子の角部とは重複していない、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記基板を平面視した場合に前記発熱抵抗素子は略矩形形状である、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記側壁のすべての前記隅部は前記曲面または前記交差面とされ、前記発熱抵抗素子のすべての前記角部は丸められ、または面取りされている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記側壁と前記基板との間に位置し、前記側壁と前記基板との間に配された中間層を有し、前記中間層の前記発熱抵抗素子と対向する内側縁部は前記発熱抵抗素子と前記側壁との間に位置している、請求項１から４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
少なくとも一つの前記中間層の前記内側縁部は、丸められた曲面、または前記一対の辺に対して斜めに交差する方向に沿う交差面である、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記発熱抵抗素子を覆う保護膜を有する、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記保護膜を覆う耐キャビテーション膜を有する、請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記流路形成部材は前記液体が発泡する発泡室を前記基板とともに形成し、
前記基板と前記流路形成部材との間に位置し、前記発泡室に液体を供給する液体供給流路を有し、前記発泡室の前記液体供給流路との接続部の反対側は行き止まりとなっており、一対の前記電気接続領域は前記液体の供給方向と交差する方向に延びている、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記流路形成部材は前記液体が発泡する発泡室を前記基板とともに形成し、
前記基板と前記流路形成部材との間に位置し、前記発泡室に液体を供給する液体供給流路を有し、前記発泡室の前記液体供給流路との接続部の反対側は行き止まりとなっており、一対の前記電気接続領域は前記液体の供給方向に沿う方向に延びている、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記流路形成部材は前記液体が発泡する発泡室を前記基板とともに形成し、
前記基板と前記流路形成部材との間且つ前記発泡室の両側に位置し、それぞれが前記発泡室と連通する一対の液体流路を有し、一対の前記電気接続領域は前記液体の流通方向と交差する方向に延びている、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記流路形成部材は前記液体が発泡する発泡室を前記基板とともに形成し、
前記基板と前記流路形成部材との間且つ前記発泡室の両側に位置し、それぞれが前記発泡室と連通する一対の液体流路を有し、一対の前記電気接続領域は前記液体の流通方向に沿う方向に延びている、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記発泡室の液体は前記一対の液体流路を通って、前記発泡室の外部との間で循環される、請求項１１または１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記基板上に設けられ、内部に電気配線を備える絶縁膜と、前記絶縁膜の中を延び、前記電気配線と一対の前記電気接続領域とをそれぞれ接続する接続部材と、を有する請求項１から１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記一対の電気接続領域はそれぞれ前記接続部材である複数のプラグと接続されている、請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記側壁の少なくとも一つの隅部は丸められた曲面であり、前記側壁の前記少なくとも一つの隅部に対向する前記発熱抵抗素子の角部は面取りされている、請求項１から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
基板と、前記基板上に位置し液体を吐出するための熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子と、前記液体が流れる流路を形成し、前記発熱抵抗素子の一部を取り囲むように設けられた側壁を備える流路形成部材と、を有し、
前記発熱抵抗素子は互いに対向する一対の辺を有し、前記発熱抵抗素子の前記基板に面する面に、前記一対の辺に沿って且つ前記一対の辺のそれぞれから間隔をおいて、前記発熱抵抗素子に電気エネルギーを供給する電気接続領域がそれぞれ設けられ、
前記電気接続領域の延在する方向および前記延在する方向に交差する方向における前記電気接続領域の外側に位置する前記発熱抵抗素子の少なくとも一つの角部は、丸められ、または面取りされており、前記発熱抵抗素子の前記少なくとも一つの角部に対向する前記側壁の隅部は、丸められた曲面、または前記一対の辺に対して斜めに交差する方向に沿う交差面とされている、液体吐出ヘッド。
【請求項１８】
前記基板を平面視した場合に、前記側壁の前記少なくとも一つの隅部と前記側壁の前記少なくとも一つの隅部に対向する前記発熱抵抗素子の角部とは重複していない、請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１９】
前記基板を平面視した場合に前記発熱抵抗素子は略矩形形状である、請求項１７または１８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項２０】
前記側壁のすべての前記隅部は前記曲面または前記交差面とされ、前記発熱抵抗素子のすべての前記角部は丸められ、または面取りされている、請求項１９に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッドに関し、特に発熱抵抗素子を備えた液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ等における情報出力装置として、所望される文字や画像等の情報を用紙やフィルム等のシート状の記録媒体に記録を行う記録装置が広く用いられている。特許文献１には、このような記録装置に用いられる、発熱抵抗素子を用いた液体吐出ヘッドが開示されている。この液体吐出ヘッドは、基板と、基板上に設けられ、液体を吐出するための熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子と、液体が吐出する吐出口を備えた吐出口形成部材と、を有している。吐出口形成部材は、発熱抵抗素子を内包し液体が発泡する発泡室を基板とともに形成している。発熱抵抗素子の基板に面する面（以下、基板対向面という）に、発熱抵抗素子に電気エネルギーを供給する第１及び第２の電気接続領域が設けられ、電流は第１の電気接続領域と第２の電気接続領域との間を流れる。第１及び第２の電気接続領域は、その下方から延びるプラグと接続されている。
【０００３】
発熱抵抗素子の発泡室に面する面（以下、発泡室対向面という）に第１及び第２の電気接続領域を設ける場合、発熱抵抗素子と比べて膜厚が大きい電気配線を発泡室対向面に形成する必要がある。このため、発熱抵抗素子を覆う保護膜は、電気配線の発熱抵抗素子側の端部に形成される段差を確実に覆うために大きな膜厚を必要とする。厚い保護膜は発熱抵抗素子の熱量を効率良く液体に伝える点で不利であるため、液体吐出ヘッドの消費電力が増加する。特許文献１に記載の液体吐出ヘッドは発熱抵抗素子の基板対向面に第１及び第２の電気接続領域が設けられるため、上述の段差が発生しない。そのため、保護膜を薄く形成することができ、従来の液体吐出ヘッドと比べて消費電力を抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−１３７７０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された液体吐出ヘッドでは、プラグと第１及び第２の電気接続領域との確実な接続のために、第１及び第２の電気接続領域を発熱抵抗素子の縁部から離して設ける必要がある。しかし、液体を膜沸騰させる発泡領域は電流が流れる第１の電気接続領域と第２の電気接続領域との間にしか形成されない。換言すれば、第１及び第２の電気接続領域と発熱抵抗素子の縁部との間には電気の流れない領域が生じる。このような領域は発熱の生じない非発熱領域となる。非発熱領域では液体の淀みと、これに伴う泡溜りが発生しやすい。泡溜りは発泡圧を吸収し、所望の発泡圧を生じさせることを困難にし、吐出量、吐出速度等の吐出性能に影響を及ぼす可能性がある。このため、非発熱領域はできるだけ縮小することが望ましい。
本発明は、発熱抵抗素子の基板対向面に電気接続領域が設けられ、発熱抵抗素子の周囲の泡溜まりの発生が抑えられる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドは、基板と、基板上に位置し液体を吐出するための熱エネルギーを発生する発熱抵抗素子と、液体が流れる流路を形成し、発熱抵抗素子の一部を取り囲むように設けられた側壁を備える流路形成部材と、を有している。発熱抵抗素子は互いに対向する一対の辺を有し、発熱抵抗素子の基板に面する面に、一対の辺に沿って且つ一対の辺のそれぞれから間隔をおいて、発熱抵抗素子に電気エネルギーを供給する電気接続領域がそれぞれ設けられている。側壁の少なくとも一つの隅部は丸められた曲面、または一対の辺に対して斜めに交差する方向に沿う交差面とされ、側壁の少なくとも一つの隅部に対向する発熱抵抗素子の角部は丸められ、または面取りされている。
【発明の効果】
【０００７】
一般に、発泡室の隅部は液体の淀みが発生しやすい領域である。本発明によれば側壁の少なくとも一つの隅部が、丸められた曲面、または一対の辺のいずれに対しても傾斜した交差面で構成されている。このため、隅部の非発熱領域の面積が減少し、隅部における液体の淀みと、これに伴う泡溜りの発生がより抑えられる。従って、本発明によれば、発熱抵抗素子の基板対向面に電気接続領域が設けられ、発熱抵抗素子の周囲の泡溜まりの発生が抑えられる液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態の液体吐出ヘッドの基板の平面図である。
【図２】図１に示す液体吐出ヘッドの部分平面図と部分断面図である。
【図３】図１に示す液体吐出ヘッドの部分斜視図である。
【図４】比較例の液体吐出ヘッドの部分平面図である。
【図５】図２に示す液体吐出ヘッドの変形例の部分平面図である。
【図６】第２の実施形態の液体吐出ヘッドの部分平面図である。
【図７】第３の実施形態の液体吐出ヘッドの部分平面図と部分断面図である。
【図８】第４の実施形態の液体吐出ヘッドの部分平面図である。
【図９】第５の実施形態の液体吐出ヘッドの部分平面図である。
【図１０】その他の実施形態の液体吐出ヘッドを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の液体吐出ヘッドのいくつかの実施形態について説明する。以下に説明する液体吐出ヘッドはインクを吐出するインクジェットヘッドに関するが、本発明はインク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッドにも適用することができる。以下の説明では発熱抵抗素子に電流が流れる方向をＸ方向、発熱抵抗素子の面内方向と平行であってＸ方向と直交する方向をＹ方向とする。Ｙ方向は発熱抵抗素子ないし吐出口が配列する方向と平行である。Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向とする。Ｚ方向は吐出口形成部材における吐出口が形成された吐出口形成面と直交し、液体が吐出する方向と平行である。
【００１０】
（第１の実施形態）
図１は第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド１の基板の平面図であり、後述する吐出口形成部材の図示は省略している。基板２の中央部には長手方向（Ｙ方向）に延びるインク供給口３が設けられている。インク供給口３の両側には、インクを吐出するための熱エネルギーを発生する複数の発熱抵抗素子４がそれぞれ列状に配列されている。基板２のインク供給口３を挟んだ両側には発熱抵抗素子４を駆動するための駆動回路５が設けられている。駆動回路５は基板２の長手方向Ｙにおける両端に設けられた電極パッド６に接続され、電極パッド６を介して液体吐出ヘッド１の外部から供給される記録信号に応じて、発熱抵抗素子４の駆動電流を生成する。
【００１１】
図２（ａ）は図１のＡ部の拡大平面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。図３は図１のＡ部の概略斜視図である。液体吐出ヘッド１は基板２と、吐出口形成部材７と、を有している。基板２は絶縁体であるＳｉＯで形成されたＳｉＯ基板８と、ＳｉＯ基板８上に形成された絶縁膜９とを含んでいる。発熱抵抗素子４は絶縁膜９上に形成されている。発熱抵抗素子４はＴａＳｉＮなどのＴａ化合物から形成されている。発熱抵抗素子４はＺ方向にみて概ね矩形の平面形状を有している。具体的には、発熱抵抗素子４は互いに平行に延びる第１及び第３の辺４１ａ，４１ｃと、第１及び第３の辺４１ａ，４１ｃと直交し互いに平行に延びる第２及び第４の辺４１ｂ，４１ｄと、を有している。第１の辺４１ａと第３の辺４１ｃは互いに平行でなくてもよく、第２の辺４１ｂと第４の辺４１ｄも互いに平行でなくてもよい。また、第１及び第３の辺４１ａ，４１ｃと第２及び第４の辺４１ｂ，４１ｄは直交していなくてもよい。すなわち、発熱抵抗素子４は互いに並行して延びる第１及び第３の辺４１ａ，４１ｃと、第１及び第３の辺４１ａ，４１ｃと異なる方向に互いに並行して延びる第２及び第４の辺４１ｂ，４１ｄと、を有する概ね四角の形状を有している。
【００１２】
発熱抵抗素子４はＺ方向の膜厚を有し、概ね直方体の形状を有している。発熱抵抗素子４は第１〜第４の辺４１ａ〜４１ｄに対応する第１〜第４の側面４２ａ〜４２ｄと、第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄと、を有している。第１の角部４３ａは第１の側面４２ａと第２の側面４２ｂとの間に位置し、第２の角部４３ｂは第２の側面４２ｂと第３の側面４２ｃとの間に位置している。第３の角部４３ｃは、第３の側面４２ｃと第４の側面４２ｄとの間に位置し、第４の角部４３ｄは第４の側面４２ｄと第１の側面４２ａとの間に位置している。さらに発熱抵抗素子４は基板２に面する基板対向面４４ａと、基板対向面４４ａの裏面で、後述する発泡室１１と対向する発泡室対向面４４ｂと、を有している。
【００１３】
絶縁膜９の発熱抵抗素子４が形成された面には吐出口形成部材７（流路形成部材）が設けられている。吐出口形成部材７は各発熱抵抗素子４に対応した吐出口１０を有している。吐出口形成部材７は、それぞれが吐出口１０と連通した複数の発泡室１１を、基板２とともに形成している。基板２と吐出口形成部材７との間には、発泡室１１にインクを供給するインク供給流路（液体供給流路）１２が形成されている。発泡室１１はインク供給流路１２を介してインク供給口３と連通しており、インク供給口３から供給されるインクが発泡室１１に導入される。発泡室１１のインク供給流路１２との接続部１３の反対側は行き止まりとなっている。吐出口形成部材７の側壁７１は第１の角部４３ａと対向する第１の隅部７２ａと、第２の角部４３ｂと対向する第２の隅部７２ｂと、第３の角部４３ｃと対向する第３の隅部７２ｃと、第４の角部４３ｄと対向する第４の隅部７２ｄと、を有している。また、吐出口形成部材７の側壁７１は第２の側面４２ｂと対向する第２の壁面７３ｂと、第３の側面４２ｃと対向する第３の壁面７３ｃと、第４の側面４２ｄと対向する第４の壁面７３ｄと、を有している。第１の側面４２ａはインク供給流路１２と対向しているため、第１の側面４２ａと対向する位置には、吐出口形成部材７の側壁７１は設けられていない。
【００１４】
絶縁膜９内には、発熱抵抗素子４に電流を供給するための電気配線１４が延びている。電気配線１４は絶縁膜９の内部に埋め込まれている。電気配線１４は例えばアルミニウムを含んで構成される。電気配線１４は後述の第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂを介して、発熱抵抗素子４を駆動回路５と電気的に接続している。駆動回路５から供給された電流によって発熱抵抗素子４が発熱し、高温となった発熱抵抗素子４は発泡室１１内のインクを加熱して膜沸騰を発生させる。この膜沸騰によって発生した気泡により、吐出口１０の近傍のインクが吐出口１０から吐出し、記録が行われる。
【００１５】
発熱抵抗素子４はＳｉＮからなる保護膜１６で覆われている。保護膜１６はＳｉＯまたはＳｉＣで形成してもよい。保護膜１６は例えばＴａなどの金属材料からなる耐キャビテーション膜１７で覆われている。耐キャビテーション膜１７はＩｒやＴａとＩｒとの積層膜として形成してもよい。なお、本明細書の図２（ａ）などの液体吐出ヘッドの部分平面図や図３では、発熱抵抗素子４の形状をわかりやすく示すために保護膜１６や耐キャビテーション膜１７を省略している。
【００１６】
絶縁膜９内には、複数の第１の接続部材１５ａと複数の第２の接続部材１５ｂが設けられている。第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂは絶縁膜９を膜厚方向（Ｚ方向）に延び、発熱抵抗素子４を電気配線１４と接続している。第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂは吐出口形成部材７側からＺ方向にみて、発熱抵抗素子４に覆われている。第１の接続部材１５ａは、発熱抵抗素子４の第１の辺４１ａの近傍で、発熱抵抗素子４を電気配線１４と接続している。第２の接続部材１５ｂは、発熱抵抗素子４の第３の辺４１ｃの近傍で、発熱抵抗素子４を電気配線１４と接続している。従って、電流は発熱抵抗素子４を第１の方向Ｘに流れる。
【００１７】
第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂは電気配線１４からＺ方向に延びるプラグである。第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂは本実施形態では概ね正方形の断面を有しているが、角部が丸められていてもよく、正方形に限らず長方形、円形、楕円形など他の断面形状をとることもできる。第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂはタングステンで形成されているが、チタン、白金、コバルト、ニッケル、モリブデン、タンタル、ケイ素のいずれか、またはこれらの化合物で形成することもできる。第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂは電気配線１４と一体形成されてもよい。すなわち、電気配線１４の一部を厚さ方向Ｚに切り欠くことで電気配線１４と一体化された接続部材１５ａ，１５ｂを形成してもよい。複数の第１の接続部材１５ａは、第２の方向Ｙに沿って、互いに間隔をおいて配列している。同様に、複数の第２の接続部材１５ｂは、第２の方向Ｙに沿って、互いに間隔をおいて配列している。第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂはそれぞれ、第２の方向Ｙに延びる一体の導電部材であってもよい。
【００１８】
第１の接続部材１５ａは、発熱抵抗素子４の第１の辺４１ａ（第１の側面４２ａ）から間隔Ｇ１をおいて、発熱抵抗素子４に接続されている。同様に、第２の接続部材１５ｂは、発熱抵抗素子４の第３の辺４１ｃ（第３の側面４２ｃ）から間隔Ｇ２をおいて、発熱抵抗素子４に接続されている。間隔Ｇ１と間隔Ｇ２は等しいが異なっていてもよい。従って、発熱抵抗素子４の基板対向面４４ａには、第１の辺４１ａ（第１の側面４２ａ）に沿って且つ第１の辺４１ａ（第１の側面４２ａ）から間隔Ｇ１をおいて、発熱抵抗素子４に電気エネルギーを供給する第１の電気接続領域２０ａが設けられている。また、発熱抵抗素子４の基板対向面４４ａには、第３の辺４１ｃ（第３の側面４２ｃ）に沿って且つ第３の辺４１ｃ（第３の側面４２ｃ）から間隔Ｇ２をおいて、発熱抵抗素子４に電気エネルギーを供給する第２の電気接続領域２０ｂが設けられている。第１の電気接続領域２０ａが第１の辺４１ａ（第１の側面４２ａ）から間隔Ｇ１をおいて設けられるのは、第１の接続部材１５ａが確実に発熱抵抗素子４に接続されるようにするためである。第２の電気接続領域２０ｂが第３の辺４１ｃ（第３の側面４２ｃ）から間隔Ｇ２をおいて設けられるのも同様の理由による。第１の電気接続領域２０ａは、全ての第１の接続部材１５ａを含みかつその四辺がいずれかの第１の接続部材１５ａに外接する最小の長方形の領域である。第２の電気接続領域２０ｂは、全ての第２の接続部材１５ｂを含みかつその四辺がいずれかの第２の接続部材１５ｂに外接する最小の長方形の領域である。第１及び第２の電気接続領域２０ａ，２０ｂは第２の方向Ｙに沿って延びているが、第２の方向Ｙと平行な方向に延びていなくてもよい。すなわち、第１及び第２の電気接続領域２０ａ，２０ｂは第１の方向Ｘと斜め方向に交差する方向に沿って延びていてよい。
【００１９】
発熱抵抗素子４において実際にインクの発泡に寄与する領域、すなわちインクが発泡する領域を発泡領域２１と呼ぶ。発泡領域２１のＸ方向及びＹ方向の寸法は発熱抵抗素子４の周囲の構造や発熱抵抗素子４の熱伝導率等によって決まる。発泡領域２１は発熱抵抗素子４の縁部（第１〜第４の辺４１ａ〜４１ｄ）の内側にあり、発泡領域２１と発熱抵抗素子４の縁部との間の領域はインクの発泡に寄与しない領域（以下、額縁領域１８という）となっている。額縁領域１８のうち、第１の電気接続領域２０ａと第２の電気接続領域２０ｂとの間の領域１８ａは、通電により発熱はするが、周囲への放熱量が多くインクが発泡しない。額縁領域１８のうち第１の電気接続領域２０ａと第１の辺４１ａの間との領域１８ｂ、及び第２の電気接続領域２０ｂと第３の辺４１ｃとの間の領域１８ｃは通電もしない。従って、これらの領域１８ｂ，１８ｃは発熱が生じない非発熱領域であり、インクは発泡しない。非発熱領域１８ｂ，１８ｃは、上述のように第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂが発熱抵抗素子４に確実に電気接続されるためのクリアランスを提供する余剰領域である。
【００２０】
図４（ａ）は、発熱抵抗素子４の基板対向面４４ａに第１及び第２の電気接続領域２０ａ，２０ｂが設けられた比較例１の液体吐出ヘッド１０１の、図２（ａ）と同様の平面図を示している。比較例１の第１及び第２の電気接続領域１２０ａ，１２０ｂは第１の実施形態の第１及び第２の電気接続領域２０ａ，２０ｂと同じ構成である。発泡室１１１は従来と同様矩形であり、発熱抵抗素子１０４の平面形状も矩形である。上述のとおり、このような液体吐出ヘッド１０１はインクを発泡させない額縁領域１１８が大きくなるため、額縁領域１１８に接するインクは発泡による流動が起きにくく、淀みが生じやすい。淀みは特に発泡室１１１の四隅に発生しやすい。淀みの生じるところには泡溜まりが生じやすい。泡溜まりは発泡圧を吸収し、所望の発泡圧を生じさせることを困難にし、吐出量、吐出速度等の吐出性能に影響を及ぼすことがある。また、泡溜まりは吐出したインクの滴形成過程を阻害する要因にもなる。
【００２１】
図４（ｂ）は、発熱抵抗素子２０４の発泡室対向面４４ｂに第１及び第２の電気接続領域２２０ａ，２２０ｂが設けられた比較例２の液体吐出ヘッド２０１の、図２（ａ）と同様の平面図を示している。発泡室２１１は従来と同様矩形であり、発熱抵抗素子２０４の平面形状も矩形である。第１及び第２の電気配線２１４ａ，２１４ｂは発熱抵抗素子２０４の発泡室対向面４４ｂに設けられ、発熱抵抗素子２０４の第１の辺２４１ａと第３の辺２４１ｃを覆うように設けられている。このような液体吐出ヘッド２０１では、電気接続領域２２０ａ，２２０ｂが発熱抵抗素子２０４の第１の辺２４１ａと第３の辺２４１ｃを起点として形成されるため、上述の余剰領域が不要であり、額縁領域のＸ方向の幅が比較例１より小さくてすむ。従って、淀み領域が小さくなり、泡溜りの発生領域を低減させることができる。しかし、このような構成は上述したとおり、電気配線２１４ａ，２１４ｂの発熱抵抗素子２０４と接続される端部で段差が生じる。このため、保護膜１６の膜厚が大きくなりやすく、消費電力の面から不利である。
【００２２】
本実施形態では、吐出口形成部材７の第１の隅部７２ａが第２の壁面７３ｂに斜めに接続された第１の斜面７２ａで構成されている。同様に、第２の隅部７２ｂは第２の壁面７３ｂ及び第３の壁面７３ｃに斜めに接続された第２の斜面７２ｂで構成されている。第３の隅部７２ｃは第３の壁面７３ｃ及び第４の壁面７３ｄに斜めに接続された第３の斜面７２ｃで構成されている。そして、第４の隅部７２ｄは第４の壁面７３ｄに斜めに接続された第４の斜面７２ｄで構成されている。換言すれば、第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄは第１の辺４１ａ〜第４の辺４１（第１の側面４２ａ〜第４の側面４２ｄ）のいずれに対しても傾斜した斜面で構成されている。すなわち、第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄは、第１の辺４１ａ〜第４の辺４１（第１の側面４２ａ〜第４の側面４２ｄ）のいずれに対しても斜めに交差する方向に沿う交差面で構成されている。
【００２３】
図５に示す変形例のように、第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄは曲面であってもよい。すなわち、第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄは丸められていてもよい。本実施形態では第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄのすべてが斜面または曲面で構成されているが、少なくともいずれかが斜面または曲面で構成されていればよい。また、第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄの一部が斜面で、残りが曲面でもよい。本実施形態では、側壁の少なくとも一つの隅部が、丸められた曲面、または一対の辺に対して傾斜した斜面で構成され、側壁の隅部は発泡室１１の方向に出っ張る凸形状とされていない。言い換えると、この発泡室１１の少なくとも一つの隅部が丸められている、または面取りされた形状とされている。このため、隅部の非発熱領域の面積が減少し、隅部における液体の淀みと、これに伴う泡溜りの発生がより抑えられる。
【００２４】
さらに、本実施形態では第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄの形状に合わせて、発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄも面取りされ（図２（ａ））、または丸められている（図５）。第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄは、第１及び第２の接続部材１５ａ，１５ｂの発熱抵抗素子４との電気接続が可能な範囲で、できるだけ大きく面取りし、または丸めることが好ましい。また、吐出口形成部材７の第２〜第４の壁面７３ｂ〜７３ｄはできるだけ発泡領域２１に近づけることが好ましい。第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄは、吐出口形成部材７の第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄが斜面である場合は直線状の面取りであることが好ましく、第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄが曲面である場合は丸められていることが好ましい。しかし、吐出口形成部材７の第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄが斜面である場合に発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄが丸められていてもよい。また、吐出口形成部材７の第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄが曲面である場合に発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄが直線状の面取りであってもよい。なお、液体の流れやすさの観点からは、吐出口形成部材７の第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄは曲面であることが好ましい。発熱抵抗素子４の非発熱領域をできる限り小さくするためには、発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄは直線状に面取りされていることが好ましい。すなわち、吐出口形成部材７の第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄは曲面であり（図５）、発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄは直線状に面取りされている（図２（ａ））という組み合わせが好ましい。また、発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄは、対応する第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄが斜面または曲面とされていない場合、面取りしまたは丸める必要はない。
【００２５】
図４（ｃ）には比較例３の液体吐出ヘッド３０１の図２（ａ）と同様の平面図を示す。発泡室３１１の第１〜第４の隅部３７２ａ〜３７２ｄは斜面で構成されているが、発熱抵抗素子３０４の角部３４３ａ〜３４３ｄは面取りされていない。この結果、吐出口形成部材の側壁３７１が発熱抵抗素子３０４の角部３４３ａ〜３４３ｄを横切って配置される。吐出口形成部材の側壁３７１は発熱抵抗素子２０４の角部３４３ａ〜３４３ｄの段差を横切ることになるため、段差を起点とする剥がれが発生する可能性が高くなる。本実施形態では発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄのうち、第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄの斜面または曲面と対向する角部は面取りされ、または丸められている。この結果、吐出口形成部材７の側壁７１が発熱抵抗素子４の外側に位置し、基板２を平面視した場合に側壁７１の隅部とこれに対向する発熱抵抗素子４の角部は重複していない。これにより、吐出口形成部材７の側壁７１の発熱抵抗素子４との干渉が防止されるため、上記の問題を回避することが可能である。
【００２６】
（第２の実施形態）
図６（ａ）、図６（ｂ）に本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドの図２（ａ）と同様の平面図を示す。説明を省略した構成は第１の実施形態と同じであり、ここでは第１の実施形態との違いのみを説明する。図６（ａ）に示す例では第１及び第２の電気接続領域２０ａ，２０ｂはインクの供給方向に沿って、好ましくは平行な方向に延びている。換言すれば、インクが供給される方向は発熱抵抗素子４の通電方向と直交している。図６（ｂ）に示す例では基板２と吐出口形成部材７との間且つ発泡室１１の両側に一対の液体流路１２ａ，１２ｂが設けられている。それぞれの液体流路１２ａ，１２ｂは発泡室１１と連通している。一対の液体流路１２ａ，１２ｂはＹ方向軸に関して線対称の形状を有している。第１及び第２の電気接続領域２０ａ，２０ｂはインクの流通方向と交差、好ましくは直交する方向に延びている。発泡室１１内の液体は一方の液体流路１２ａから発泡室１１に供給され、吐出されなかったインクが他方の液体流路１２ｂから排出される。この場合、インクは発泡室１１の外部との間で循環されてもよい。あるいは両方の液体流路１２ａ，１２ｂからインクが供給されるようにしてもよい。また、図６（ｂ）に示す例において、第１及び第２の電気接続領域２０ａ，２０ｂがインクの流通方向に沿って、好ましくは平行な方向に延びるように構成してもよい。
【００２７】
（第３の実施形態）
図７に本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッドの図２と同様の図を示す。説明を省略した構成は第１の実施形態と同じであり、ここでは第１の実施形態との違いのみを説明する。本実施形態では、吐出口形成部材７と基板２とを密着させる密着向上層１９が設けられている。密着向上層１９は吐出口形成部材７と基板２との間に設けられた中間層である。密着向上層１９は、吐出口形成部材７の側壁７１と基板２との間に位置し、概ね吐出口形成部材７の側壁７１の底面と同様の形状を有している。従って、密着向上層１９は側壁７１の内面ないし発熱抵抗素子４の縁部（図７に示す実施形態では辺４１ｂ〜４１ｄ）と対向する内側縁部１９ｅと、側壁７１の外面と対向する外側縁部（図示せず）と、を有している。密着向上層１９の内側縁部１９ｅは吐出口形成部材７の側壁７１と発熱抵抗素子４の間に沿って設けられるため、吐出口形成部材７の側壁７１の下面の全面が密着向上層１９に接する。密着向上層１９の内側縁部１９ｅは吐出口形成部材７の側壁７１の形状に沿って、曲面または斜面として形成されている。すなわち、吐出口形成部材７の側壁７１が密着向上層１９の内側縁部１９ｅを横切って配置されることがないため、密着向上層１９の内側縁部１９ｅを起点とする密着向上層１９の剥がれを防止することができる。密着向上層１９の第１〜第４の隅部７２ａ〜７２ｄと対向する角部１９ａ〜１９ｄは、発熱抵抗素子４と同様、面取りされまたは丸められている。以上の構成によって、吐出口形成部材７が密着向上層１９の上に確実に形成されるとともに、非発熱領域が限定され、泡溜まりの発生が抑えられる。なお、密着向上層１９は吐出口形成部材７と基板２との接合性を高められればよく、樹脂材料や無機材料などの材料を用いることができる。また、異なる材料で複数の密着向上層１９を設けてもよく、その場合も複数の密着向上層１９の内側縁部１９ｅを吐出口形成部材７の側壁７１と発熱抵抗素子４の間に沿うように設ければよい。
【００２８】
（第４の実施形態）
図８は第４の実施形態の液体吐出ヘッドの基板の部分平面図である。列状に配列された複数の発熱抵抗素子４０４の一方の側には発熱抵抗素子４０４の列に沿って複数のインク供給口４０３ａが列状に配列されており、他方の側には発熱抵抗素子４０４の列に沿って複数のインク排出口４０３ｂが列状に配列されている。この場合、インクは発泡室１１の外部との間で循環されてもよい。あるいはインク排出口４０３ｂをインク供給口として用いて、発熱抵抗素子４０４の両側に位置するインク供給口からインクが供給されるようにしてもよい。
【００２９】
また、隣接する発熱抵抗素子４０４の間には側壁４７１が配置されており、複数の側壁４７１が列状に配列されている。発熱抵抗素子４０４の両側に配置された互いに対向する側壁４７１によって発熱抵抗素子４０４の一部が取り囲まれて発泡室４１１が規定されており、発泡室４１１の隅部４７２ａ〜４７２ｄは曲面となっている。また、これに合わせて発熱抵抗素子４０４の第１〜第４の角部４４３ａ〜４４３ｄも曲面となっている。本実施形態のように複数の側壁４７１によって発泡室４１１を構成してもよい。なお、側壁４７１は吐出口形成部材によって形成することができる。また、上述の実施形態のように、発泡室４１１の隅部４７２ａ〜４７２ｄは斜面で構成されていてもよい。また、発熱抵抗素子４０４の角部４４３ａ〜４４３ｄは曲面でなく直線状に面取りされていてもよい。
【００３０】
（第５の実施形態）
図９に本発明の第５の実施形態の液体吐出ヘッドの図６（ｂ）と同様の図を示す。説明を省略した構成は上述の実施形態と同じである。上述の実施形態では略矩形形状の発熱抵抗素子について説明したが、発熱抵抗素子の形状は上述の実施形態で示したものに限らない。
例えば、発熱抵抗素子４は図９に示すような形状であってもよい。図９では、Ｙ方向（電気接続領域２０ａ、２０ｂの延在方向）において、電気接続領域２０ａ、２０ｂが設けられた部分の発熱抵抗素子４の長さが電気接続領域２０ａ、２０ｂに挟まれた発熱抵抗素子４の中央領域４５の長さＷよりも長くなっている。本実施形態では、電気接続領域２０ａ、２０ｂのＹ方向長さを中央領域４５のＹ方向長さに対して独立して設定することができる。このため、中央領域４５の長さの制約を受けることなく電気接続領域２０ａ、２０ｂに接続部材１５ａ、１５ｂを配置し、Ｙ方向に長い電気接続領域２０ａ、２０ｂを設けることが可能である。このような形状の発熱抵抗素子４に関しても上述の実施形態と同様に、発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄは面取りされ（図９）、または丸められている（不図示）。なお、発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄは、電気接続領域２０ａ、２０ｂのそれぞれのＸ方向およびＹ方向の外側に位置する発熱抵抗素子４の角部である。これらの発熱抵抗素子４の第１〜第４の角部４３ａ〜４３ｄのそれぞれに対向する吐出口形成部材７の側壁７１の第１の隅部７２ａ〜第４の隅部７２ｄもそれぞれ斜面（図９）または曲面（不図示）で構成されている。
【００３１】
（その他の実施形態）
図１０（ａ）は、上述した液体吐出ヘッド１とは異なる形状の液体吐出ヘッド１００の基板である。また、図１０（ｂ）はこの基板を適用した液体吐出ヘッドユニット３０の斜視図である。
図１０（ａ）に示すように液体吐出ヘッド１００は、隣接する辺同士が直交しない平行四辺形の形状である。液体吐出ヘッド１００のＸ方向における一端にフレキシブル配線基板４６と電気接続される電極パッド６０が設けられている。また、図１０（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッドユニット３０は、液体吐出ヘッド１００が直線上に１５個配列されてなるライン型の液体吐出ヘッドユニット３０である。液体吐出ヘッドユニット３０は、これら１５個の液体吐出ヘッド１００のそれぞれと、対応する個別のフレキシブル配線基板４６および共通の電気配線基板９０を介して電気的に接続された信号入力端子９１および電力供給端子９２を、さらに備える。信号入力端子９１および電力供給端子９２は記録装置の制御部と電気的に接続され、それぞれ、吐出駆動信号および吐出に必要な電力を液体吐出ヘッド１００に供給する。
【符号の説明】
【００３２】
２  基板
４  発熱抵抗素子
７  吐出口形成部材（流路形成部材）
１０  吐出口
２０ａ，２０ｂ  電気接続領域
４１ａ〜４１ｄ  発熱抵抗素子の辺
４３ａ〜４３ｄ  発熱抵抗素子の角部
７２ａ〜７２ｄ  側壁の隅部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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