(57)【要約】【課題】撥水膜の不均一性による画像品質の劣化を抑制することができる液滴吐出ヘッドの製造方法、画像形成装置の製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッドの製造方法は、ノズル形成基板の吐出側表面及びノズル孔の内部に撥水膜を形成する工程と、ノズル形成基板の吐出側表面の撥水膜表面に保護フィルムを貼り付ける工程と、ノズル孔の内部の撥水膜をプラズマ処理により除去する工程と、保護フィルムを剥離する工程と、を有し、保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、液滴吐出ヘッドと媒体との相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向である。【選択図】図１７
2018202833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル孔を有するノズル形成基板の吐出側表面及び前記ノズル孔の内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、
前記ノズル形成基板の前記吐出側表面に形成された前記撥水膜の表面に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼付工程と、
前記ノズル孔の内部の前記撥水膜をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、
前記保護フィルムを前記ノズル形成基板から剥離する保護フィルム剥離工程と、を有し、
前記保護フィルム貼付工程にて前記ノズル形成基板に対して前記保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、前記ノズル形成基板を含んで構成される液滴吐出ヘッドと前記ノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体との相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向である液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
複数のノズル孔を有するノズル形成基板の吐出側表面及び前記ノズル孔の内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、
前記ノズル形成基板の前記吐出側表面に形成された前記撥水膜の表面に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼付工程と、
前記ノズル孔の内部の前記撥水膜をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、
前記保護フィルムを前記ノズル形成基板から剥離する保護フィルム剥離工程と、を有し、
前記保護フィルム貼付工程にて前記ノズル形成基板に対して前記保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、前記複数のノズル孔の配列パターンによって構成されるノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向である液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記ノズル孔の形状が四角形である請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
ウエハ内に複数個の前記ノズル形成基板のダイを形成する工程を有し、
前記ウエハ内の前記複数個のダイの向きは揃っており、
前記撥水膜形成工程における前記撥水膜の形成は、前記複数個のダイを含むウエハの状態で行われ、
前記保護フィルム貼付工程における前記保護フィルムの貼り付けは、前記複数個のダイを含むウエハの状態で行われる請求項１から３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
複数のノズル孔を有するノズル形成基板の吐出側表面及び前記ノズル孔の内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、
前記ノズル形成基板の前記吐出側表面に形成された前記撥水膜の表面に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼付工程と、
前記ノズル孔の内部の前記撥水膜をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、
前記保護フィルムを前記ノズル形成基板から剥離する保護フィルム剥離工程と、
を経て前記ノズル形成基板を含む液滴吐出ヘッドを製造する工程と、
前記製造された前記液滴吐出ヘッドと前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体とを相対移動させる相対移動機構と、前記液滴吐出ヘッドとを組み合わせて配置する組立工程と、
を有し、
前記保護フィルム貼付工程にて前記ノズル形成基板に対して前記保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、前記相対移動機構による前記媒体と前記液滴吐出ヘッドとの相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向であり、
前記組立工程は、前記保護フィルムの前記貼付方向と前記相対移動機構による前記相対移動方向との成す角度が−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θになる位置関係を満たして前記相対移動機構と前記液滴吐出ヘッドとを配置する画像形成装置の製造方法。
【請求項６】
複数のノズル孔を有するノズル形成基板の吐出側表面及び前記ノズル孔の内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、
前記ノズル形成基板の前記吐出側表面に形成された前記撥水膜の表面に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼付工程と、
前記ノズル孔の内部の前記撥水膜をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、
前記保護フィルムを前記ノズル形成基板から剥離する保護フィルム剥離工程と、
を経て前記ノズル形成基板を含む液滴吐出ヘッドを製造する工程と、
前記製造された前記液滴吐出ヘッドと前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体とを相対移動させる相対移動機構と、前記液滴吐出ヘッドとを組み合わせて配置する組立工程と、
を有し、
前記保護フィルム貼付工程にて前記ノズル形成基板に対して前記保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、前記複数のノズル孔の配列パターンによって構成されるノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向であり、
前記組立工程は、前記相対移動機構による前記液滴吐出ヘッドと前記媒体との相対移動方向と前記ノズル孔配列方向とが直交する位置関係を満たして前記相対移動機構と前記液滴吐出ヘッドとを配置する画像形成装置の製造方法。
【請求項７】
前記液滴吐出ヘッドと前記媒体との前記相対移動方向への１回の相対移動によって前記媒体への画像の記録を完成させるシングルパス方式の画像形成装置を製造する請求項５又は６に記載の画像形成装置の製造方法。
【請求項８】
前記液滴吐出ヘッドを用いて構成されるラインヘッドであるインクジェットヘッドバーを備える画像形成装置を製造する請求項５から７のいずれか一項に記載の画像形成装置の製造方法。
【請求項９】
前記液滴吐出ヘッドとしてのヘッドモジュールが前記相対移動方向と直交する前記媒体の幅方向に複数個繋ぎ合わされて構成される前記インクジェットヘッドバーを備える画像形成装置を製造する請求項８に記載の画像形成装置の製造方法。
【請求項１０】
同色インクを吐出する複数本の前記インクジェットヘッドバーを備える画像形成装置を製造する請求項８又は９に記載の画像形成装置の製造方法。
【請求項１１】
複数のノズル孔を有するノズル形成基板と、
前記ノズル形成基板の吐出側表面に形成された撥水膜と、
を備える液滴吐出ヘッドであって、
前記ノズル孔の周囲の前記撥水膜は、前記液滴吐出ヘッドと前記ノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体との相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、前記撥水膜の不良箇所が偏在している液滴吐出ヘッド。
【請求項１２】
複数のノズル孔を有するノズル形成基板と、
前記ノズル形成基板の吐出側表面に形成された撥水膜と、
を備える液滴吐出ヘッドであって、
前記ノズル孔の周囲の前記撥水膜は、前記複数のノズル孔の配列パターンによって構成されるノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、前記撥水膜の不良箇所が偏在している液滴吐出ヘッド。
【請求項１３】
複数のノズル孔を有するノズル形成基板を含んで構成される液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させる相対移動機構と、を備える画像形成装置であって、
前記ノズル形成基板の吐出側表面に撥水膜が形成されており、
前記ノズル孔の周囲の前記撥水膜は、前記相対移動機構による前記液滴吐出ヘッドと前記媒体との相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、前記撥水膜の不良箇所が偏在している画像形成装置。
【請求項１４】
複数のノズル孔を有するノズル形成基板を含んで構成される液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させる相対移動機構と、を備える画像形成装置であって、
前記ノズル形成基板の吐出側表面に撥水膜が形成されており、
前記ノズル孔の周囲の前記撥水膜は、前記複数のノズル孔の配列パターンによって構成されるノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、前記撥水膜の不良箇所が偏在している画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドの製造方法、画像形成装置の製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置に係り、特に、液滴の吐出口であるノズル孔の周囲に撥水膜を有する液滴吐出ヘッドの製造技術、及び液滴吐出ヘッドを用いる画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置などに用いられる液滴吐出ヘッドは、ノズル孔が配列されたノズルプレートの吐出側表面に撥水膜が形成されている。特許文献１−２には、撥水膜を含む液滴吐出ヘッドの製造方法が示されている。特許文献１に記載の液滴出ヘッドの製造方法は、ノズル孔を有するノズル形成基板及びノズル孔内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、ノズル形成基板表面の撥水膜表面に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼付工程と、ノズル孔内部の撥水膜をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、保護フィルムを剥離する保護フィルム剥離工程と、を含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−９９８８０号公報
【特許文献２】特開２０１０−１４３１０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の方法を適用して製造された液滴吐出ヘッドは、保護フィルム貼付工程の際に、ノズル形成基板に対して保護フィルムを貼り付ける貼付方向と平行な方向に撥水膜の不均一性が生じる。例えば、保護フィルム貼付工程においてノズル孔の近傍において保護フィルムの貼付方向に保護フィルムの浮き上がりが発生し、その浮き上がり部分にプラズマが進入することで撥水膜の一部が除去されてしまい、ノズル孔周囲の撥水膜が不均一になる。
【０００５】
また、保護フィルム貼付工程において保護フィルムの一部がノズル孔の中に押し込まれてしまい、プラズマ処理にてノズル孔内部の撥水膜が部分的に除去されずに、ノズル孔内部に撥水膜が残存することによっても撥水膜の不均一性が生じる。
【０００６】
ノズル孔周囲の撥水膜が不均一であると、ノズル孔から吐出される液滴の吐出方向が曲がり、吐出された液滴は、目標とする着弾位置からずれた位置に着弾する。液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出された液滴を媒体に付着させることにより媒体上に画像を形成する画像形成装置の場合、撥水膜の不均一性に起因する吐出曲がりによって媒体上でのドット形成位置がずれてしまい、媒体上に形成される画像の品質が劣化する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、撥水膜の不均一性による画像品質の劣化を抑制することができる液滴吐出ヘッドの製造方法、画像形成装置の製造方法、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
課題を解決するため、次の発明態様を提供する。
【０００９】
態様１に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、複数のノズル孔を有するノズル形成基板の吐出側表面及びノズル孔の内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、ノズル形成基板の吐出側表面に形成された撥水膜の表面に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼付工程と、ノズル孔の内部の撥水膜をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、保護フィルムをノズル形成基板から剥離する保護フィルム剥離工程と、を有し、保護フィルム貼付工程にてノズル形成基板に対して保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、ノズル形成基板を含んで構成される液滴吐出ヘッドとノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体との相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向である。
【００１０】
態様１によれば、保護フィルムの貼り付け方のばらつきによって、ノズル孔周囲の撥水膜が不均一になる場合であっても、その不均一な撥水膜の不良箇所が発生する方向は、画像形成時における液滴吐出ヘッドと媒体の相対移動方向と略平行な方向である。このため、撥水膜の不均一性に起因する吐出曲がりの方向、つまり、吐出液滴の着弾位置（ドット形成位置）がずれる方向は、相対移動方向と略平行な方向であり、着弾位置ずれによる画像欠陥が視認され難い。ここでいう略平行は、−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θの許容範囲を含む平行若しくは非平行を指す。かかる角度θの許容範囲は、保護フィルムを貼り付ける作業における貼付方向の許容し得るばらつきに基づくものである。
【００１１】
態様２に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、複数のノズル孔を有するノズル形成基板の吐出側表面及びノズル孔の内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、ノズル形成基板の吐出側表面に形成された撥水膜の表面に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼付工程と、ノズル孔の内部の撥水膜をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、保護フィルムをノズル形成基板から剥離する保護フィルム剥離工程と、を有し、保護フィルム貼付工程にてノズル形成基板に対して保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、複数のノズル孔の配列パターンによって構成されるノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向である。
【００１２】
複数のノズル孔がノズル形成基板に一次元配列されている場合のノズル孔配列方向は、一次元配列のノズル孔の並び方向である。
【００１３】
複数のノズル孔がノズル形成基板に二次元配列されている場合、二次元配列の配列パターンによって構成されるノズル列は、実質的に一列のノズル列と等価なものと見做すことができる実質的なノズル列を意味する。この実質的なノズル列は、二次元配列された複数のノズル孔をノズル孔配列方向に並ぶように投影した投影ノズル列に相当する。
【００１４】
態様３は、態様１又は態様２の液滴吐出ヘッドの製造方法において、ノズル孔の形状が四角形である液滴吐出ヘッドの製造方法である。
【００１５】
ノズル孔の形状が四角形の四角ノズルは、ノズル孔の形状が円形のノズルに比べて、保護フィルムを貼り付ける貼付方向に依存した撥水膜の剥がれのばらつきが大きいため、本発明の適用が一層有益である。
【００１６】
態様４は、態様１から態様３のいずれか一態様の液滴吐出ヘッドの製造方法において、ウエハ内に複数個のノズル形成基板のダイを形成する工程を有し、ウエハ内の複数個のダイの向きは揃っており、撥水膜形成工程における撥水膜の形成は、複数個のダイを含むウエハの状態で行われ、保護フィルム貼付工程における保護フィルムの貼り付けは、複数個のダイを含むウエハの状態で行われる液滴吐出ヘッドの製造方法である。
【００１７】
態様４によれば、ウエハの状態のまま、複数個のノズル形成基板に対して一括して撥水膜の形成を行い、かつ、保護フィルムの貼り付けを行うため、製造工程が容易である。
【００１８】
態様５に係る画像形成装置の製造方法は、複数のノズル孔を有するノズル形成基板の吐出側表面及びノズル孔の内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、ノズル形成基板の吐出側表面に形成された撥水膜の表面に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼付工程と、ノズル孔の内部の撥水膜をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、保護フィルムをノズル形成基板から剥離する保護フィルム剥離工程と、を経てノズル形成基板を含む液滴吐出ヘッドを製造する工程と、製造された液滴吐出ヘッドと液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体とを相対移動させる相対移動機構と、液滴吐出ヘッドとを組み合わせて配置する組立工程と、を有し、保護フィルム貼付工程にてノズル形成基板に対して保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、相対移動機構による媒体と液滴吐出ヘッドとの相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向であり、組立工程は、保護フィルムの貼付方向と相対移動機構による相対移動方向との成す角度が−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θになる位置関係を満たして相対移動機構と液滴吐出ヘッドとを配置する。
【００１９】
態様５によれば、撥水膜の不均一性に起因する画像品質の劣化を抑えることができる画像形成装置を得ることができる。
【００２０】
態様６に係る画像形成装置の製造方法は、複数のノズル孔を有するノズル形成基板の吐出側表面及びノズル孔の内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、ノズル形成基板の吐出側表面に形成された撥水膜の表面に保護フィルムを貼り付ける保護フィルム貼付工程と、ノズル孔の内部の撥水膜をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、保護フィルムをノズル形成基板から剥離する保護フィルム剥離工程と、を経てノズル形成基板を含む液滴吐出ヘッドを製造する工程と、製造された液滴吐出ヘッドと液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体とを相対移動させる相対移動機構と、液滴吐出ヘッドとを組み合わせて配置する組立工程と、を有し、保護フィルム貼付工程にてノズル形成基板に対して保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、複数のノズル孔の配列パターンによって構成されるノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向であり、組立工程は、相対移動機構による液滴吐出ヘッドと媒体との相対移動方向とノズル孔配列方向とが直交する位置関係を満たして相対移動機構と液滴吐出ヘッドとを配置する。
【００２１】
態様６によれば、撥水膜の不均一性に起因する画像品質の劣化を抑えることができる画像形成装置を得ることができる。
【００２２】
態様７は、態様５又は態様６の画像形成装置の製造方法において、液滴吐出ヘッドと媒体との相対移動方向への１回の相対移動によって媒体への画像の記録を完成させるシングルパス方式の画像形成装置を製造する方法である。
【００２３】
シングルパス方式の画像形成装置は、吐出曲がりによる画像劣化の影響を受けやすいため、本発明の適用が一層有益である。
【００２４】
態様８は、態様５から態様７のいずれか一態様の画像形成装置の製造方法において、液滴吐出ヘッドを用いて構成されるラインヘッドであるインクジェットヘッドバーを備える画像形成装置を製造する方法である。
【００２５】
態様９は、態様８の画像形成装置の製造方法において、液滴吐出ヘッドとしてのヘッドモジュールが相対移動方向と直交する媒体の幅方向に複数個繋ぎ合わされて構成されるインクジェットヘッドバーを備える画像形成装置を製造する方法である。
【００２６】
態様１０は、態様８又は態様９の画像形成装置の製造方法において、同色インクを吐出する複数本のインクジェットヘッドバーを備える画像形成装置を製造する方法である。
【００２７】
態様１０によれば、複数のノズル孔の吐出方向が揃って特定の一方向に吐出がシフトするようなばらつきモードである場合に、同色インクを吐出する複数本のインクジェットヘッドバーの組み合わせ方による画像のシフトが目立ち難く、画像品質の劣化を効果的に抑えることができる。
【００２８】
態様１１に係る液滴吐出ヘッドは、複数のノズル孔を有するノズル形成基板と、ノズル形成基板の吐出側表面に形成された撥水膜と、を備える液滴吐出ヘッドであって、ノズル孔の周囲の撥水膜は、液滴吐出ヘッドとノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体との相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、撥水膜の不良箇所が偏在している。
【００２９】
態様１１の液滴吐出ヘッドを用いることにより、撥水膜の不均一性に起因する吐出曲がりの影響による画像欠陥が目立ち難い良好な画質の画像を形成することができる。
【００３０】
態様１２に係る液滴吐出ヘッドは、複数のノズル孔を有するノズル形成基板と、ノズル形成基板の吐出側表面に形成された撥水膜と、を備える液滴吐出ヘッドであって、ノズル孔の周囲の撥水膜は、複数のノズル孔の配列パターンによって構成されるノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、撥水膜の不良箇所が偏在している。
【００３１】
態様１２の液滴吐出ヘッドを用いることにより、撥水膜の不均一性に起因する吐出曲がりの影響による画像欠陥が目立ち難い良好な画質の画像を形成することができる。
【００３２】
態様１３に係る画像形成装置は、複数のノズル孔を有するノズル形成基板を含んで構成される液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体と液滴吐出ヘッドとを相対移動させる相対移動機構と、を備える画像形成装置であって、ノズル形成基板の吐出側表面に撥水膜が形成されており、ノズル孔の周囲の撥水膜は、相対移動機構による液滴吐出ヘッドと媒体との相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、撥水膜の不良箇所が偏在している。
【００３３】
態様１３によれば、撥水膜の不均一性に起因する吐出曲がりの影響による画像欠陥が目立ち難い良好な画質の画像を形成することができる。
【００３４】
態様１４に係る画像形成装置は、複数のノズル孔を有するノズル形成基板を含んで構成される液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドのノズル孔から吐出される液滴を付着させる媒体と液滴吐出ヘッドとを相対移動させる相対移動機構と、を備える画像形成装置であって、ノズル形成基板の吐出側表面に撥水膜が形成されており、ノズル孔の周囲の撥水膜は、複数のノズル孔の配列パターンによって構成されるノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、撥水膜の不良箇所が偏在している。
【００３５】
態様１４によれば、撥水膜の不均一性に起因する吐出曲がりの影響による画像欠陥が目立ち難い良好な画質の画像を形成することができる。
【発明の効果】
【００３６】
本発明によれば、撥水膜の不均一性による画像品質の劣化を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】図１は、液滴吐出ヘッドの製造工程の例を模式的に示した部分断面図である。
【図２】図２は、液滴吐出ヘッドの製造工程の例を模式的に示した部分断面図である。
【図３】図３は、液滴吐出ヘッドの製造工程の例を模式的に示した部分断面図である。
【図４】図４は、液滴吐出ヘッドの製造工程の例を模式的に示した部分断面図である。
【図５】図５は、液滴吐出ヘッドの製造工程の例を模式的に示した部分断面図である。
【図６】図６は、液滴吐出ヘッドのノズル孔から液滴を吐出した様子を示す模式図である。
【図７】図７は、保護フィルム貼付工程の様子を模式的に示した部分断面図である。
【図８】図８は、プラズマ照射工程の様子を模式的に示した部分断面図である。
【図９】図９は、保護フィルム剥離工程の様子を模式的に示した部分断面図である。
【図１０】図１０は、図７から図９に示した工程を経て製造された液滴吐出ヘッドの使用時における様子を模式的に示した部分断面図である。
【図１１】図１１は、保護フィルム貼付工程の様子を模式的に示した部分断面図である。
【図１２】図１２は、プラズマ照射工程の様子を模式的に示した部分断面図である。
【図１３】図１３は、保護フィルム剥離工程の様子を模式的に示した部分断面図である。
【図１４】図１４は、図１１から図１２に示した工程を経て製造された液滴吐出ヘッドの使用時における様子を模式的に示した部分断面図である。
【図１５】図１５は、比較例に係る液滴吐出ヘッドのノズル面の一部を示す平面図である。
【図１６】図１６は、比較例に係る液滴吐出ヘッドを用いて、用紙にベタ画像を記録した場合の印刷結果を模式的に示した図である。
【図１７】図１７は、実施形態１に係る液滴吐出ヘッドのノズル面の一部を示す平面図である。
【図１８】図１８は、実施形態１に係る液滴吐出ヘッドを用いて、用紙にベタ画像を記録した場合の印刷結果を模式的に示した図である。
【図１９】図１９は、シングルバー方式のインクジェット記録装置におけるインクジェットヘッドバーの配置形態の一例を示した平面透視図である。
【図２０】図２０は、デュアルバー方式のインクジェット記録装置におけるインクジェットヘッドバーの配置形態の一例を示した平面透視図である。
【図２１】図２１は、ノズル孔周囲の撥水膜の状態の例を示す図である。
【図２２】図２２は、ノズル孔周囲の撥水膜の状態の例を示す図である。
【図２３】図２３は、図２１に示した撥水膜の状態を有する液滴吐出ヘッドの吐出曲がりの様子を模式的に示した側面図である。
【図２４】図２４は、図２２に示した撥水膜の状態を有する液滴吐出ヘッドの吐出曲がりの様子を模式的に示した側面図である。
【図２５】図２５は、本発明の技術を適用することによって得られる撥水膜の状態を示す図である。
【図２６】図２６は、本発明の技術を適用することによって得られる撥水膜の状態を示す図である。
【図２７】図２７は、ウエハにパターニングされた複数個のヘッドモジュールのダイの平面図である。
【図２８】図２８は、インクジェットヘッドバーの斜視図である。
【図２９】図２９は、インクジェットヘッドバーをノズル面側から見た拡大図である。
【図３０】図３０は、ヘッドモジュールのノズル面の一例を示す平面図である。
【図３１】図３１は、ヘッドモジュールの１ノズル分の液滴吐出素子の内部構造例を示す断面図である。
【図３２】図３２は、実施形態に係るインクジェット記録装置の構成を示す側面図である。
【図３３】図３３は、インクジェット記録装置の制御系の概略構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００３９】
《液滴吐出ヘッドの製造方法》
図１から図５は、液滴吐出ヘッドの製造工程の例を模式的に示した部分断面図である。図１から図５までの一連の図面群は、液滴吐出ヘッドの製造方法の手順を示す工程図に相当する。図１から図５では、液滴吐出ヘッドのノズルプレートの部分に相当するノズル形成基板１０を図示する。液滴吐出ヘッドは、以下に示す手順１から手順５を経て製造される。
【００４０】
手順１：ノズル形成基板を準備する工程
図１に示すように、まず、ノズル形成基板１０を準備する。ノズル形成基板１０は、ノズル孔１２を有する基板である。ノズル形成基板１０は、例えば、シリコン基板を用いて作製される。ノズル孔１２は、エッチング加工により形成することができる。例えば、ノズル孔１２は、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ：Reactive Ion Etching）などの異方性エッチングによって加工される。
【００４１】
ノズル形成基板１０は、ノズル孔１２に連通する図示せぬ他の流路構造を有する流路形成基板等が接合された積層構造物の状態であってもよい。また、ノズル形成基板１０は、他の流路形成基板等が接合される前の基板単独の状態であってもよい。ノズル形成基板１０は、図１の上側に図示せぬ流路形成基板や圧電素子等が配置され、ノズル孔１２から図１の下側に向かって液滴が吐出される。図１においてノズル形成基板１０の下側の面が吐出側表面１０Ａである。
【００４２】
手順２：撥水膜形成工程
次いで、図２に示すように、ノズル形成基板１０の表面に撥水膜１４を付ける。撥水膜１４の材料や形成方法については、様々な形態があり得る。撥水膜１４は、例えば、フッ素系シランカップリング剤を用いて形成することができる。撥水膜１４は、例えば、蒸着法などの物理的気相成長法を利用して成膜することができる。撥水膜１４は、ノズル形成基板１０の吐出側表面１０Ａ及びノズル内部表面１０Ｂに形成される。
【００４３】
手順３：保護フィルム貼付工程
ノズル形成基板１０の表面に形成された撥水膜１４のうち、吐出側表面１０Ａに付された撥水膜１４のみを残し、ノズル内部表面１０Ｂに付された撥水膜１４を除去する必要がある。そのため、図３に示すように、撥水膜１４を残したい箇所に、つまり、ノズル形成基板１０の吐出側表面１０Ａに形成された撥水膜１４の表面に、保護フィルム１６を貼り付ける。
【００４４】
保護フィルム１６は、基材としてのフィルムの片側面に粘着剤が塗布されたフィルム粘着テープである。保護フィルム１６としては、例えば、厚み８０μｍのポリエステルフィルムを基材ベースとし、粘着剤にオレフィン系エラストマーを用いた弱粘着性フィルムを用いることができる。保護フィルム１６の粘着剤側を撥水膜１４に接触させることにより、保護フィルム１６を撥水膜１４の表面に貼り付ける。図３の矢印Ａは、保護フィルム１６を貼り付ける貼付方向を表している。貼付方向は、保護フィルム１６を貼り進める方向（向き）を意味している。図３において、矢印Ａの方向に向かって保護フィルム１６の貼り付けが進んでいく。
【００４５】
手順４：プラズマ照射工程
次いで、図４に示すように、ノズル内部をプラズマ処理することにより、ノズル内部の撥水膜１４の除去を行う。すなわち、ノズル形成基板１０に対して保護フィルム１６と反対側から（ノズル孔１２に繋がる流路側から）、プラズマ処理を行い、ノズル内部表面１０Ｂに付されている撥水膜１４を除去する。プラズマ処理の方法としては、例えば、真空チャンバ中にノズル形成基板１０を配置してから真空引き後、酸素置換を行い、酸素プラズマを発生させる。
【００４６】
プラズマは、図示せぬ流路形成基板に形成された圧力室その他の流路を経由してノズル内部に到達し得る。プラズマ曝露された領域の撥水膜１４が除去される。
【００４７】
なお、プラズマ照射工程は、真空減圧プラズマを用いる処理に限定されず、ガスフローによる大気圧プラズマを用いることもできる。この場合、例えば、ガスフローに乾燥空気又は窒素を用いることができる。
【００４８】
手順５：保護フィルム剥離工程
次いで、図５に示すように、保護フィルム１６をノズル形成基板１０から剥離して取り去る。こうして、ノズル形成基板１０の吐出側表面１０Ａに撥水膜１４が形成されたノズルプレートを含む液滴吐出ヘッドが得られる。
【００４９】
図６は、手順１から手順５を含む液滴吐出ヘッドの製造方法を経て生成された液滴吐出ヘッドの使用時における様子を模式的に示した断面図である。ノズル内部にはインク２０が充填され、図示せぬ圧電素子の駆動によって、ノズル孔１２からインクの液滴２２が吐出される。
【００５０】
《課題の説明》
図３で説明した保護フィルム貼付工程の際に、保護フィルム１６の貼り付け状態がばらつき、ノズル孔近傍に保護フィルム１６の浮き上がりが発生し得る。「浮き上がり」とは、本来密着しているべきところが遊離して、保護フィルム１６と撥水膜１４との間に隙間ができている状態をいう。
【００５１】
図７から図１０の図面群は、保護フィルム１６の浮き上がりに起因する吐出曲がりの説明図である。図７は、保護フィルム貼付工程の様子を模式的に示した部分断面図である。保護フィルム貼付工程にて許容される保護フィルム１６の貼り付け状態のばらつきの範囲で、図７に示すように、ノズル孔近傍に保護フィルム１６の浮き上がり２６が発生し得る。図７の例ではノズル孔１２の左側に、つまり、保護フィルム貼付方向の上流側に、浮き上がり２６による空間が発生している。
【００５２】
図８は、プラズマ照射工程の様子を模式的に示した部分断面図である。保護フィルム１６の浮き上がり２６がある状態でプラズマ照射を行うと、浮き上がり２６の部分に露出している撥水膜１４が除去される。
【００５３】
図９は、保護フィルム剥離工程の様子を模式的に示した部分断面図である。図８に示したプラズマ照射工程の後に、ノズル形成基板１０から保護フィルム１６を剥離すると、図９に示すように、ノズル形成基板１０の吐出側表面１０Ａに撥水膜１４が形成されたノズルプレートが得られる。図９と図４を比較すると明らかなように、図９の例では、ノズル孔１２近傍の撥水膜１４の一部が剥がれて撥水膜不良部３０が生じており、ノズル孔１２周囲の撥水膜１４が不均一になっている。
【００５４】
図１０は、図７から図９で説明した工程を経て生成された液滴吐出ヘッドの使用時における様子を模式的に示した部分断面図である。ノズル内部にはインク２０が充填され、図示せぬ圧電素子の駆動によって、ノズル孔１２からインクの液滴２２が吐出される。このとき、液滴２２の吐出方向は、撥水膜不良部３０の方に曲がる。
【００５５】
図１１から図１４の図面群は、図７から図１０の図面群と対比される保護フィルム１６の浮き上がりに起因する吐出方向曲がりの説明図である。
【００５６】
図１１は、保護フィルム貼付工程の様子を模式的に示した部分断面図である。保護フィルム貼付工程にて許容される保護フィルム１６の貼り付け状態のばらつきの範囲で図１１に示すように、ノズル孔近傍に保護フィルム１６の浮き上がり２６が発生し得る。図１１の例ではノズル孔１２の右側に、つまり、保護フィルム貼付方向の下流側に、浮き上がり２６による空間が発生している。
【００５７】
図１２は、プラズマ照射工程の様子を模式的に示した部分断面図である。保護フィルム１６の浮き上がり２６がある状態でプラズマ照射を行うと、浮き上がり２６の部分に露出している撥水膜１４が除去される。
【００５８】
図１３は、剥離工程の様子を模式的に示した断面図である。図１２に示したプラズマ照射工程の後に、ノズル形成基板１０から保護フィルム１６を剥離すると、図１３に示すように、ノズル形成基板１０の吐出側表面１０Ａに撥水膜１４が形成されたノズルプレートが得られる。図１３と図４を比較すると明らかなように、図１３の例では、ノズル孔１２近傍の撥水膜１４の一部が剥がれて撥水膜不良部３０が生じており、ノズル孔１２近傍の撥水膜１４が不均一になっている。
【００５９】
図１４は、図１１から図１３で説明した工程を経て生成された液滴吐出ヘッドの使用時における様子を模式的に示した断面図である。ノズル内部にはインク２０が充填され、図示せぬ圧電素子の駆動によって、ノズル孔１２からインクの液滴２２が吐出される。液滴２２の吐出方向は、撥水膜不良部３０の方に曲がる。
【００６０】
図７から図１４を用いて説明したように、保護フィルム貼付工程で生じる保護フィルム１６の浮き上がりに起因して、ノズル孔１２周囲の撥水膜１４が不均一になり、その結果、保護フィルム貼付方向と平行な方向に液滴の吐出方向が曲がってしまう。このことを考慮しないと、液滴吐出ヘッドを用いて形成する画像の品質が劣化する。
【００６１】
特許文献１及び特許文献２には、保護フィルムの貼付方向について記載されていない。また、特許文献１及び特許文献２には、画像形成時における用紙と液滴吐出ヘッドとの相対移動方向と、保護フィルム貼付方向との関係について何ら記載されていない。
【００６２】
本開示では、保護フィルム１６の貼り付け方に起因する撥水膜の不均一性（ばらつき）が発生したとしても、ノズル孔から吐出する液滴によって形成される画像品質の劣化を抑制し得る液滴吐出ヘッドの製造方法、及び、画像形成装置の製造方法を提供する。また、本開示では、ノズル孔から吐出する液滴によって形成される画像品質の劣化を抑制し得る液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供する。
【００６３】
本明細書において、画像形成時における用紙と液滴吐出ヘッドとの相対移動方向を「用紙−ヘッド相対移動方向」と表記する。用紙は「媒体」の一例である。ラインヘッドを用いてシングルパス方式により用紙上に画像を形成するインクジェット記録装置の場合、「用紙−ヘッド相対移動方向」は、用紙搬送方向に相当する。
【００６４】
《実施形態１の概要》
実施形態１に係る液滴吐出ヘッドの製造方法では、保護フィルム貼付工程にて、保護フィルム１６を貼り付ける方向を、用紙−ヘッド相対移動方向（θ＝０°）にする。これにより、ノズル孔１２周囲の撥水膜１４が不均一になっても、用紙−ヘッド相対移動方向への吐出方向曲がりは画質不良としては目立ち難いため、画像欠陥として現れ難い。
【００６５】
このことを図１５から図１８を用いて具体的に説明する。ここでは、ラインヘッドを用いてシングルパス方式によって画像を形成するインクジェット記録装置を例示する。シングルパスのインクジェット記録装置の場合、「用紙−ヘッド相対移動方向」は、用紙搬送方向に相当する。ラインヘッドにおけるノズル孔１２の並び方向をＸ方向と定義し、用紙搬送方向をＹ方向と定義する。Ｘ方向は主走査方向に相当し、Ｙ方向は副走査方向に相当する。
【００６６】
〈比較例〉
図１５は、比較例に係る液滴吐出ヘッドのノズル面の一部を示す平面図である。図１５には、ノズル孔周囲の撥水膜の状態が模式的に示されている。液滴吐出ヘッド４０のノズル面には、複数のノズル孔１２が二次元配列されている。図１５では、図示の便宜上、４行３列に並ぶ４×３個のノズル孔１２のみを示した。ノズル孔１２は、平面視で四角形の形状を有する。
【００６７】
図１５において矢印Ｂは、保護フィルム貼付工程での保護フィルム貼付方向を示している。液滴吐出ヘッド４０は、保護フィルム貼付方向がＸ方向と平行な方向（θ＝９０°）であり、ノズルのＸ方向と平行な方向の端部に撥水膜不良部３０が発生している。
【００６８】
図１５に示す液滴吐出ヘッド４０をインクジェット記録装置に搭載し、Ｙ方向に用紙を搬送して画像を記録すると、図１６のようになる。
【００６９】
図１６は、液滴吐出ヘッド４０を用いて、用紙４４にベタ画像を記録した場合の印刷結果を模式的に示した図である。ベタ画像とは、単一色による均一濃度の画像を指す。図１６中の上向き矢印は用紙搬送方向を示している。
【００７０】
図１６に示したＹ方向の線４６の各々は、図１５に示した４×３個のノズル孔１２の各々からのインクの吐出によって記録されたラインを示している。各ノズル孔１２は、撥水膜１４の剥がれ（撥水膜不良部３０）の影響により、吐出方向がＸ方向にばらつく。そのため、用紙４４に記録された画像は、スジむらが目立つ。
【００７１】
〈実施形態１〉
これに対し、図１７は、実施形態１に係る液滴吐出ヘッドのノズル面の一部を示す平面図である。図１７には、ノズル孔１２周囲の撥水膜１４の状態が模式的に示されている。液滴吐出ヘッド５０のノズル面には、複数のノズル孔１２が二次元配列されている。図１７において矢印Ｃは、保護フィルム貼付工程での保護フィルム貼付方向を示している。液滴吐出ヘッド５０は、保護フィルム貼付方向がＹ方向と平行な方向であり、ノズルのＹ方向と平行な方向の端部に撥水膜不良部３０が発生している。
【００７２】
図１７に示す液滴吐出ヘッド５０をインクジェット記録装置に搭載し、Ｙ方向に用紙を搬送して画像を記録すると、図１８のようになる。
【００７３】
図１８は、液滴吐出ヘッド５０を用いて、用紙４４にベタ画像を記録した場合の印刷結果を模式的に示した図である。図１８に示したＹ方向の線４６の各々は、図１７に示した４×３個のノズル孔１２の各々からのインクの吐出によって記録されたラインを示している。図１７に示した液滴吐出ヘッド５０の各ノズル孔１２は、撥水膜１４の剥がれの影響により、吐出方向がＹ方向に曲がるものの、Ｘ方向には各ノズル孔１２のＸ座標に対して正確に吐出される。すなわち、本実施形態１によれば、製造プロセス上回避が困難な保護フィルム１６の浮き上がりなどに起因する吐出方向曲がりの影響が、用紙−ヘッド相対移動方向と一致する方向になるため、印刷画像の画質上の欠陥として現れ難い。
【００７４】
なお、人間の目は、用紙搬送方向につながる画像欠陥を視認しやすい。図１８に示したように、各線４６の印刷開始部と印刷完了部の各位置がＹ方向について異なることによるＹ方向のばらつき（印刷開始部と印刷完了部の凸凹）は実際の印刷物では視認され難い。
【００７５】
本開示の技術は、用紙搬送方向と垂直方向のＸ方向の吐出方向曲がりによってスジむらが発生しやすいシングルパスのインクジェット記録装置に対して適用することにより、より一層の効果が得られる。
【００７６】
〈保護フィルムの貼付方向と用紙−ヘッド相対移動方向の関係〉
保護フィルムの貼付方向は、用紙−ヘッド相対移動方向と平行であることが望ましいが、厳密に平行であることまで要求されない。実際の保護フィルムの貼付作業の作業ばらつきなどの許容範囲を考慮すると、保護フィルムを貼り付ける貼付方向は、用紙−ヘッド相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向であればよい。
【００７７】
また、別の観点から表現すると、保護フィルムの貼付方向は、二次元ノズル配列の配列パターンによって構成される実質的なノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向であればよい。
【００７８】
実施形態１に係る液滴吐出ヘッドの製造方法を適用して製造された液滴吐出ヘッドは、ノズル孔の周囲の撥水膜が、用紙−ヘッド相対移動方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、撥水膜の不良箇所が偏在しているものとなる。
【００７９】
また、別の観点から表現すると、実施形態１に係る液滴吐出ヘッドの製造方法を適用して製造された液滴吐出ヘッドは、ノズル孔の周囲の撥水膜が、二次元ノズル配列の配列パターンによって構成される実質的なノズル列のノズル孔配列方向と直交する方向に対して−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θを満たす方向に、撥水膜の不良箇所が偏在しているものとなる。
【００８０】
〈ノズル孔の形状について〉
実施形態１では、四角形状のノズル孔について説明した。ノズル孔形状が四角形である場合と、ノズル孔形状が円形である場合とを比較すると、ノズル孔形状が四角形である方が、保護フィルムの貼り付けの均一化が難しい。保護フィルムをノズル形成基板１０に貼り付ける際に、円形ノズルの方が段差がないため、浮き上がりが発生し難く、きれいに貼り付けることができる。
【００８１】
よって、ノズル孔形状が四角形の方が、ノズル孔形状が円形よりも、ノズル孔周囲に発生する撥水膜ばらつきも発生しやすい。本発明を実施するに際して、ノズル孔の形状については、特に限定されないが、特に、四角形ノズルを有する液滴吐出ヘッドに対して、本発明の適用がより効果的である。なお、ここでいう四角形とは、正方形と長方形を指し、四角形ノズルとは、正方形ノズルと長方形ノズルのことを意味する。
【００８２】
《シングルバー方式とデュアルバー方式について》
図１９は、シングルバー方式のインクジェット記録装置におけるインクジェットヘッドバーの配置形態の一例を示した平面透視図である。シングルバー方式は、インクの色ごとに単一のインクジェットヘッドバーを備える装置構成である。インクジェットヘッドバーは、ラインヘッドを構成するバー状のインクジェットヘッドを指す。
【００８３】
例えば、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）及びブラック（Ｋ）の４色のインクを用いるインクジェット記録装置の場合、図１９に示すように、各色について１本のインクジェットヘッドバー７０Ｋ、７０Ｃ、７０Ｍ、７０Ｍ、７０Ｙを備える。
【００８４】
図１９の例では、用紙搬送方向の上流側から（図１９の下から）下流側に向かって、ブラックインク吐出量のインクジェットヘッドバー７０Ｋ、シアンインク吐出用のインクジェットヘッドバー７０Ｃ、マゼンタインク吐出量のインクジェットヘッドバー７０Ｍ、及びイエローインク吐出用のインクジェットヘッドバー７０Ｙの順に並んで配置されているが、インクの色数（色種の数）及びインクジェットヘッドバーの配列順については特に限定されない。
【００８５】
図２０は、デュアルバー方式のインクジェット記録装置におけるインクジェットヘッドバーの配置形態の一例を示した平面透視図である。デュアルバー方式は、インクの色ごとに２本のインクジェットヘッドバーを備える装置構成である。つまり、デュアルバー方式は、同色インク吐出用のインクジェットヘッドバーを２本有する方式である。例えば、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）及びブラック（Ｋ）の４色のインクを用いるインクジェット記録装置の場合、図２０に示すように、各色について２本のインクジェットヘッドバー７０Ｋ１、７０Ｋ２、７０Ｃ１、７０Ｃ２、７０Ｍ１、７０Ｍ２、７０Ｙ１、７０Ｙ２を備える。
【００８６】
デュアルバー方式の場合も、インクの色数（色種の数）及びインクジェットヘッドバーの配列順については特に限定されない。
【００８７】
また、デュアルバー方式に限らず、同色インク吐出用のインクジェットヘッドバーを３本以上有する装置構成もあり得る。同色インク吐出用のインクジェットヘッドバーを複数本有する方式は、シングルバー方式と比較して、印刷速度の向上が可能である。
【００８８】
《撥水膜の剥がれの傾向（ばらつきモード）について》
撥水膜の剥がれの傾向を示す「ばらつきモード」は、何種類かある。図３に示したように、ノズル孔周囲の撥水膜１４の剥がれが保護フィルム貼付方向の上流側及び／又は下流側にランダムに（不規則に）発生するランダムな剥がれのモード以外にも、図２１及び図２２に示すように、撥水膜１４が剥がれる向きが一方向に決まる場合がある。
【００８９】
図２１及び図２２は、ノズル孔周囲の撥水膜の状態の例を示す図である。図２１は、ノズル孔周囲において保護フィルム貼付方向の上流側に撥水膜の剥がれが発生する傾向を持つ場合の例を示す。図２２は、ノズル孔周囲において保護フィルム貼付方向の下流側に撥水膜の剥がれが発生する傾向を持つ場合の例を示す。
【００９０】
図２３は、図２１に示した撥水膜の状態を有する液滴吐出ヘッド４１の吐出曲がりの様子を模式的に示した側面図である。図２１で説明したように、ノズル孔周囲の撥水膜１４の剥がれ方に一定の規則性がある場合、図２３のように、各ノズル孔からの液滴の吐出曲がりの方向が全て同じ方向に揃い、各ノズル孔から吐出される液滴の着弾位置が同じ方向にシフトする。
【００９１】
図２４は、図２２に示した撥水膜の状態を有する液滴吐出ヘッド４２の吐出曲がりの様子を模式的に示した側面図である。図２２で説明したように、ノズル孔周囲の撥水膜１４の剥がれ方に一定の規則性がある場合、図２４のように、各ノズル孔からの液滴の吐出曲がりの方向が同じ方向に揃い、各ノズル孔から吐出される液滴の着弾位置が同じ方向にシフトする。
【００９２】
図２１又は図２２に示した撥水膜の状態を有する液滴吐出ヘッド４１又は４２を用いたシングルバー方式のインクジェット記録装置の場合、各ノズル孔から吐出されるインクの液滴が図２３又は図２４に示すように、全体的に同じ方向にシフトするだけなので、印刷画像は概ねきれいに描画される。
【００９３】
これに対し、図２１に示した撥水膜の状態を有する液滴吐出ヘッド４１と、図２２に示した撥水膜の状態を有する液滴吐出ヘッド４２とをデュアルバー方式として並べて用いると、同色インクの液滴の吐出方向が逆方向に曲がるため、印刷画像のシフトが目立つ。デュアルバー方式の場合、２本のバーに対して画像のデータを分割して送るのが通常であり、各インクジェットヘッドバーによって記録される２枚の画像がＸ方向にずれる。
【００９４】
よって、デュアルバー方式を適用する場合、図２１又は図２２に示した撥水膜の状態を有するばらつきモードでも画像不良の原因となる。この点、本発明の技術を適用することにより、図２１又は図２２で説明したような一定の規則性を示す撥水膜のばらつきモードであっても画像不良の発生を避けることができる。
【００９５】
図２５及び図２６は、図２１及び図２２に代わって、本発明の技術を適用することによって得られる撥水膜の状態を示す図である。
【００９６】
図２５は、ノズル孔周囲において保護フィルム貼付方向の上流側に撥水膜の剥がれが発生する傾向を持つ場合の例を示す。図２６は、ノズル孔周囲において保護フィルム貼付方向の下流側に撥水膜の剥がれが発生する傾向を持つ場合の例を示す。
【００９７】
図２６及び図２６のどちらの場合も、撥水膜の剥がれは、用紙搬送方向と平行なＹ方向に発生する。したがって、このような撥水膜の状態を有する液滴吐出ヘッドをデュアルバー方式に適用することにより、２枚の画像はＹ方向にずれるものの、Ｘ方向のずれはなく、Ｙ方向のずれは人間の目に認知され難い。
【００９８】
したがって、本発明は、デュアルバー方式においてより効果的である。また、デュアルバー方式だけではなく、同色インク吐出用のインクジェットヘッドバーを２本以上備えるマルチバー方式について、本発明の適用が有益である。
【００９９】
《ウェハプロセスについて》
インクジェットヘッドバーは、複数個のヘッドモジュールをＸ方向に繋ぎ合わせて構成される。ヘッドモジュールは、シリコン基板を加工して作製される。図２７は、ウエハ６０にパターニングされた複数個のノズル形成基板１０のダイ６２の平面図であり、ヘッドモジュールを構成する複数個のダイ６２のパターンの例が示されている。
【０１００】
実施形態に係る液滴吐出ヘッドの製造方法は、ウエハ６０内に複数個のノズル形成基板１０のダイ６２を形成する工程を含んでもよい。
【０１０１】
ウエハ６０内の複数個のダイ６２の向きは揃っている。撥水膜形成工程における撥水膜の形成は、複数個のダイ６２を含むウエハ６０の状態で行われる。また、保護フィルム貼付工程における保護フィルム１６の貼り付けは、複数個のダイ６２を含むウエハ６０の状態で行われる。
【０１０２】
図２７のように、複数個のダイ６２の向きを揃えることで、保護フィルム１６をウエハ６０全体に同じ向きに貼ることができる。これにより製造プロセスが容易になる。
【０１０３】
《撥水膜の不均一性の検証方法について》
液滴吐出ヘッドのノズル面に形成された撥水膜１４の不均一性は肉眼で確認することが困難な場合がある。ノズル孔周囲の撥水膜の分布は、以下のような方法を用いて調査することができる。
【０１０４】
［方法１］飛行時間型二次イオン質量分析装置（ＴＯＦ−ＳＩＭＳ：Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry）を用いて、フッ素の分布を調べる。
【０１０５】
［方法２］表面張力が低い液体でノズル孔の周囲を濡らし、撥水膜有無を顕微鏡で観察する。
【０１０６】
《インクジェットヘッドバーの構成例》
実施形態に係るインクジェット記録装置に用いられるインクジェットヘッドバーの構成例について説明する。
【０１０７】
図２８は、インクジェットヘッドバー１１０の斜視図である。インクジェットヘッドバー１１０は、シングルパス方式のインクジェット記録装置における描画部に設置されるプリントヘッドであり、複数個のヘッドモジュール１１２−ｉをＸ方向に並べて長尺化したフルライン型のラインヘッドとなっている。フルライン型のラインヘッドはページワイドヘッドとも呼ばれる。
【０１０８】
インクジェットヘッドバー１１０は、複数個（２以上の整数ｎ個）のヘッドモジュール１１２−ｉ（ｉ＝1,2,…ｎ）をＸ方向に繋ぎ合わせて構成される。ここでは１７個（ｎ＝１７）のヘッドモジュール１１２−ｉを並べた例を示している。複数個のヘッドモジュール１１２−ｉ（ｉ＝1,2,…ｎ）は共通のフレーム１１６に取り付けられて一体化され、バー状のラインヘッド（インクジェットヘッドバー）が構成される。
【０１０９】
フレーム１１６は、複数個のヘッドモジュール１１２−ｉを固定するための枠体として機能する。各ヘッドモジュール１１２−ｉは、ノズル面１２０を共通の方向に向けてフレーム１１６に固定されている。各ヘッドモジュール１１２−ｉの構造は共通している。
【０１１０】
各ヘッドモジュール１１２−ｉは、既に説明した実施形態１に係る液滴吐出ヘッドの製造方法を適用して製造されたものである。
【０１１１】
各ヘッドモジュール１１２−ｉには、それぞれフレキシブル基板１１８が接続される。フレキシブル基板１１８を介して各ヘッドモジュール１１２−ｉに駆動信号及び吐出制御信号等が供給される。
【０１１２】
図２９は、インクジェットヘッドバー１１０をノズル面１２０側から見た拡大図である。各ヘッドモジュール１１２−ｉは、Ｙ方向の両側からヘッドモジュール保持部材１２２によって支持され、Ｘ方向における両端部はヘッド保護部材１２４によって支持されている。
【０１１３】
図３０は、ヘッドモジュール１１２−ｉのノズル面１２０の一例を示す平面図である。ヘッドモジュール１１２−ｉは、Ｘ方向に対して角度γの傾きを有するｖ方向に沿った長辺側の端面と、Ｙ方向に対して角度αの傾きを持つｗ方向に沿った短辺側の端面とを有する平行四辺形の平面視形状である。ヘッドモジュール１１２−ｉのノズル面１２０には、ノズル孔１２が二次元配列されている。なお、図３０ではノズル孔１２の形状が円形である例を示しているが、ノズル孔１２の形状は四角形であってよい。二次元配列された複数のノズル孔１２がＸ方向に並ぶように投影される投影ノズル列ＬＮは、記録解像度を達成するノズル密度でノズル孔１２が等間隔で並ぶ一列のノズル列と等価なものである。
【０１１４】
ヘッドモジュール１１２−ｉをＸ方向に複数個繋ぎ合わせることにより（図２９参照）、インクジェットヘッドバー１１０は、用紙の全印刷範囲をカバーするノズル列が形成される。
【０１１５】
シングルパス方式に適用されるフルライン型のインクジェットヘッドバーは、用紙の全面を印刷範囲とする場合に限らず、用紙の一部が印刷領域となっている場合（例えば、記録媒体の周囲に余白部を設ける場合等）には、印刷に必要な範囲のノズル列が形成されていればよい。
【０１１６】
ヘッドモジュール１１２−ｉのノズル数、ノズル密度、及びノズルの配列形態は特に限定されない。ヘッドモジュール１１２−ｉの各々は「液滴吐出ヘッド」の一例に相当する。
【０１１７】
《ヘッドモジュールの内部構造例》
ヘッドモジュール１１２−ｉは、各ノズル孔１２に対応してインク吐出に必要な吐出エネルギーを発生させる吐出エネルギー発生素子を備えている。吐出エネルギー発生素子は、例えば、圧電素子又は発熱素子であってよい。ヘッドモジュール１１２−ｉは、フレキシブル基板１１８を介して供給される駆動信号及び吐出制御信号に従い、オンデマンドでインクの液滴を吐出する。
【０１１８】
図３１は、ヘッドモジュール１１２−ｉの１ノズル分の液滴吐出素子の内部構造例を示す断面図である。ヘッドモジュール１１２−ｉは、インク滴の吐出口であるノズル孔１２が形成されたノズルプレート１３０と、ノズル孔１２に対応する圧力室１３２、供給口１３４、及び共通流路１３６等の流路が形成された流路形成板１３８とを含んでいる。ノズルプレート１３０は、ノズル形成基板１０に相当する部材である。
【０１１９】
流路形成板１３８は、圧力室１３２の側壁部を構成するとともに、共通流路１３６から圧力室１３２にインクを導く個別供給路の絞り部（最狭窄部）としての供給口１３４を形成する流路形成部材である。流路形成板１３８は一枚の基板で構成してもよいし、複数枚の基板を積層した構造であってもよい。ノズルプレート１３０及び流路形成板１３８は、シリコンを材料として半導体製造技術を利用して所要の形状に加工することが可能である。
【０１２０】
共通流路１３６には複数の圧力室１３２がそれぞれの供給口１３４を介して接続されている。共通流路１３６にはヘッドモジュール１１２−ｉの外部からインクが供給される。
【０１２１】
圧力室１３２の一部の面（図３１において天面）を構成する振動板１４０には、圧力室１３２毎に個別電極１４２を備えた圧電素子１４４が設けられている。本例の振動板１４０は、圧電素子１４４の下部電極に相当する共通電極１４６として機能する導電層付きのシリコンから成り、各圧力室１３２に対応して配置される圧電素子１４４の共通電極を兼ねる。なお、樹脂等の非導電性材料によって振動板を形成する態様も可能であり、この場合は、振動板部材の表面に金属等の導電性材料による共通電極層が形成される。また、ステンレス鋼等の金属（導電性材料）によって共通電極を兼ねる振動板を構成してもよい。
【０１２２】
個別電極１４２に駆動電圧を印加することによって圧電素子１４４が変形して圧力室１３２の容積が変化し、これに伴う圧力変化によりノズル孔１２からインクが吐出される。インク吐出後、共通流路１３６から供給口１３４を通って新しいインクが圧力室１３２に再充填される。
【０１２３】
ヘッドモジュール１１２−ｉは、個別電極１４２に印加する駆動電圧を選択することによって、各ノズル孔１２から相対的にインク量の少ない小滴、小滴よりも相対的にインク量の多い中滴、及び中滴よりも相対的にインク量の多い大滴、の３種類のインク滴のうちいずれかのインク滴を吐出することができる。
【０１２４】
ノズル孔１２、圧力室１３２、供給口１３４、及び圧電素子１４４を含んだインク室ユニット１５０が、１画素の記録を担う記録素子単位としての液滴吐出素子である。ヘッドモジュール１１２−ｉは、図３０で説明した二次元ノズル配列に対応した複数のインク室ユニット１５０を備えている。ノズル孔１２を含むノズル部を「ノズル」と表記する場合がある。インク室ユニット１５０は、液滴の吐出機構としてのイジェクタの一例である。
【０１２５】
《インクジェット記録装置の装置構成例》
図３２は、実施形態に係るインクジェット記録装置２０１の構成を示す側面図である。インクジェット記録装置２０１は、画像形成装置の一例である。インクジェット記録装置２０１は、給紙部２１０と、処理液付与部２２０と、処理液乾燥部２３０と、描画部２４０と、インク乾燥部２５０と、集積部２６０と、を備える。
【０１２６】
給紙部２１０は、用紙Ｐを１枚ずつ自動で給紙する。給紙部２１０は、給紙装置２１２と、フィーダボード２１４と、給紙ドラム２１６と、を備える。用紙Ｐの種類は、特に限定されないが、例えば、上質紙、コート紙、アート紙などのセルロースを主体とする印刷用紙を用いることができる。用紙Ｐは、画像が形成される媒体の一形態に相当する。用紙Ｐは、多数枚が積層された束の状態で給紙台２１２Ａに載置される。
【０１２７】
給紙装置２１２は、給紙台２１２Ａにセットされた束の状態の用紙Ｐを上から順に１枚ずつ取り出して、フィーダボード２１４に給紙する。フィーダボード２１４は、給紙装置２１２から受け取った用紙Ｐを給紙ドラム２１６へと搬送する。
【０１２８】
給紙ドラム２１６は、フィーダボード２１４から給紙される用紙Ｐを受け取り、受け取った用紙Ｐを処理液付与部２２０へと搬送する。
【０１２９】
処理液付与部２２０は、用紙Ｐに処理液を塗布する。処理液は、インク中の色材成分を凝集、不溶化ないし増粘させる機能を備えた液体である。処理液付与部２２０は、処理液塗布ドラム２２２と、処理液塗布装置２２４と、を備える。
【０１３０】
処理液塗布ドラム２２２は、給紙ドラム２１６から用紙Ｐを受け取り、受け取った用紙Ｐを処理液乾燥部２３０へと移送する。処理液塗布ドラム２２２は、周面にグリッパ２２３を備え、そのグリッパ２２３で用紙Ｐの先端部を把持して回転することにより、用紙Ｐを周面に巻き付けて搬送する。
【０１３１】
処理液塗布装置２２４は、処理液塗布ドラム２２２によって搬送される用紙Ｐに処理液を塗布する。処理液はローラで塗布される。
【０１３２】
処理液乾燥部２３０は、処理液が塗布された用紙Ｐを乾燥処理する。処理液乾燥部２３０は、処理液乾燥ドラム２３２と、温風送風機２３４と、を備える。処理液乾燥ドラム２３２は、処理液塗布ドラム２２２から用紙Ｐを受け取り、受け取った用紙Ｐを描画部２４０へと移送する。処理液乾燥ドラム２３２は、周面にグリッパ２３３を備える。処理液乾燥ドラム２３２は、グリッパ２３３で用紙Ｐの先端部を把持して回転することにより、用紙Ｐを搬送する。
【０１３３】
温風送風機２３４は、処理液乾燥ドラム２３２の内部に設置される。温風送風機２３４は、処理液乾燥ドラム２３２によって搬送される用紙Ｐに温風を吹き当てて、処理液を乾燥させる。
【０１３４】
描画部２４０は、描画ドラム２４２と、ヘッドユニット２４４と、画像読取装置２４８と、を備える。描画ドラム２４２は、処理液乾燥ドラム２３２から用紙Ｐを受け取り、受け取った用紙Ｐをインク乾燥部２５０へと移送する。描画ドラム２４２は、周面にグリッパ２４３を備え、グリッパ２４３で用紙Ｐの先端を把持して回転することにより、用紙Ｐを周面に巻き付けて搬送する。描画ドラム２４２は、図示しない吸着機構を備え、周面に巻き付けられた用紙Ｐを周面に吸着させて搬送する。吸着には、負圧が利用される。描画ドラム２４２は、周面に多数の吸着穴を備え、この吸着穴を介して内部から吸引することにより、用紙Ｐを周面に吸着させる。
【０１３５】
ヘッドユニット２４４は、インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋを備える。インクジェットヘッド２４６Ｃ、シアン（Ｃ）のインクの液滴を吐出する記録ヘッドである。インクジェットヘッド２４６Ｍは、マゼンタ（Ｍ）のインクの液滴を吐出する記録ヘッドである。インクジェットヘッド２４６Ｙは、イエロー（Ｙ）のインクの液滴を吐出する記録ヘッドである。インクジェットヘッド２４６Ｋは、ブラック（Ｋ）のインクの液滴を吐出する記録ヘッドである。インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋのそれぞれには、対応する色のインク供給源である不図示のインクタンクから不図示の配管経路を介して、インクが供給される。
【０１３６】
インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋの各々は、図２８から図３１を用いて説明したインクジェットヘッドバー１１０である。
【０１３７】
インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋの各々は、用紙幅に対応したラインヘッドで構成され、各々のノズル面が描画ドラム２４２の周面に対向して配置される。ここでいう用紙幅は、用紙Ｐの搬送方向と直交する方向の用紙幅を指す。インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋは、描画ドラム２４２による用紙Ｐの搬送経路に沿って一定の間隔をもって配置される。
【０１３８】
図には示さないが、インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋの各々のノズル面には、インクの吐出口である複数個のノズル孔が二次元配列されている。「ノズル面」とは、ノズルが形成されている吐出面をいい、「インク吐出面」或いは「ノズル形成面」などの用語と同義である。二次元配列された複数個のノズルのノズル配列を「二次元ノズル配列」という。
【０１３９】
インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋの各々は、複数個のヘッドモジュールを用紙幅方向に繋ぎ合わせて構成することができる。インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋの各々は、用紙Ｐの搬送方向と直交する用紙幅方向に関して用紙Ｐの全記録領域を１回の走査で規定の記録解像度による画像記録を完成させることが可能なノズル列を有するフルライン型の記録ヘッドである。規定の記録解像度とは、インクジェット記録装置２０１によって予め定められた記録解像度であってもよいし、ユーザの選択により、若しくは、印刷モードに応じたプログラムによる自動選択により設定される記録解像度であってもよい。記録解像度として、例えば、１２００ｄｐｉとすることができる。用紙Ｐの搬送方向と直交する用紙幅方向をラインヘッドのノズル列方向と呼び、用紙Ｐの搬送方向をノズル列垂直方向と呼ぶ場合がある。
【０１４０】
二次元ノズル配列を有するインクジェットヘッドの場合、二次元ノズル配列における各ノズルをノズル列方向に沿って並ぶように投影（正射影）した投影ノズル列は、ノズル列方向について、最大の記録解像度を達成するノズル密度で各ノズルが概ね等間隔で並ぶ一列のノズル列と等価なものと考えることができる。「概ね等間隔」とは、インクジェット記録装置で記録可能な打滴点として実質的に等間隔であることを意味している。例えば、製造上の誤差や着弾干渉による媒体上での液滴の移動を考慮して僅かに間隔を異ならせたものなどが含まれている場合も「等間隔」の概念に含まれる。投影ノズル列（「実質的なノズル列」ともいう。）を考慮すると、ノズル列方向に沿って並ぶ投影ノズルの並び順に、各ノズルにノズル位置を表すノズル番号を対応付けることができる。
【０１４１】
インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋの各々におけるノズルの配列形態は限定されず、様々なノズル配列の形態を採用することができる。例えば、マトリクス状の二次元配列の形態に代えて、一列の直線配列、Ｖ字状のノズル配列、Ｖ字状配列を繰り返し単位とするＷ字状などのような折れ線状のノズル配列なども可能である。
【０１４２】
描画ドラム２４２によって搬送される用紙Ｐに向けて、インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋからインクの液滴が吐出され、吐出された液滴が用紙Ｐに付着することにより、用紙Ｐに画像が記録される。
【０１４３】
描画ドラム２４２は、インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋと用紙Ｐとを相対移動させる手段として機能している。描画ドラム２４２は、インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋに対して用紙Ｐを相対的に移動させる相対移動機構の一形態に相当する。インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋのそれぞれの吐出タイミングは、描画ドラム２４２に設置されたロータリエンコーダから得られるロータリエンコーダ信号に同期させる。図３２においてロータリエンコーダの図示は省略されている。吐出タイミングとは、インクの液滴を吐出するタイミングであり、打滴タイミングと同義である。
【０１４４】
なお、本例では、ＣＭＹＫの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インク、特色インクなどを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出するインクジェットヘッドを追加する構成や、緑色やオレンジ色などの特色のインクを吐出するインクジェットヘッドを追加する構成も可能であり、また、各色のインクジェットヘッドの配置順序も特に限定はない。
【０１４５】
インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋは、画像形成部の一例である。
【０１４６】
画像読取装置２４８は、インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋによって用紙Ｐに記録された画像を光学的に読み取り、その読取画像を示す電子画像データを生成する光学読取装置である。画像読取装置２４８は、用紙Ｐ上に記録された画像を撮像して画像情報を示す電気信号に変換する撮像デバイスを含む。画像読取装置２４８は、撮像デバイスの他、読み取り対象を照明する照明光学系及び撮像デバイスから得られる信号を処理してデジタル画像データを生成する信号処理回路を含んでよい。
【０１４７】
画像読取装置２４８は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）ラインセンサを用いたラインスキャナで構成される。画像読取装置２４８は、カラー画像の読み取りが可能な構成であることが好ましい。本例の画像読取装置２４８は、例えば、撮像デバイスとしてカラーＣＣＤリニアイメージセンサが用いられる。カラーＣＣＤリニアイメージセンサはＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）各色のカラーフィルタを備えた受光素子が直線状に配列したイメージセンサである。なお、カラーＣＣＤリニアイメージセンサに代えて、カラーＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）リニアイメージセンサを用いることもできる。なお、画像読取装置２４８は、描画ドラム２４２による用紙Ｐの搬送中に用紙Ｐ上の画像の読み取りを行う。
【０１４８】
画像読取装置２４８によって読み取られた読取画像のデータを基に、画像の濃度やインクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋの吐出不良などの情報が得られる。
【０１４９】
インク乾燥部２５０は、描画部２４０で画像が記録された用紙Ｐを乾燥処理する。インク乾燥部２５０は、チェーンデリバリ３１０と、用紙ガイド３２０と、温風送風ユニット３３０と、を備える。
【０１５０】
チェーンデリバリ３１０は、描画ドラム２４２から用紙Ｐを受け取り、受け取った用紙Ｐを集積部２６０へと移送する。チェーンデリバリ３１０は、規定の走行経路を走行する一対の無端状のチェーン３１２を備え、その一対のチェーン３１２に備えられたグリッパ３１４で用紙Ｐの先端部を把持して、用紙Ｐを規定の搬送経路に沿って搬送する。グリッパ３１４は、チェーン３１２に一定の間隔で複数備えられる。
【０１５１】
用紙ガイド３２０は、チェーンデリバリ３１０による用紙Ｐの搬送をガイドする部材である。用紙ガイド３２０は、第１用紙ガイド３２２と第２用紙ガイド３２４で構成される。第１用紙ガイド３２２はチェーンデリバリ３１０の第１搬送区間を搬送される用紙Ｐをガイドする。第２用紙ガイド３２４は、第１搬送区間の後段の第２搬送区間を搬送される用紙をガイドする。温風送風ユニット３３０は、チェーンデリバリ３１０によって搬送される用紙Ｐに温風を吹き当てる。
【０１５２】
集積部２６０は、チェーンデリバリ３１０によってインク乾燥部２５０から搬送されてくる用紙Ｐを受け取り、集積する集積装置２６２を備える。
【０１５３】
チェーンデリバリ３１０は、所定の集積位置で用紙Ｐをリリースする。集積装置２６２は、集積トレイ２６２Ａを備え、チェーンデリバリ３１０からリリースされた用紙Ｐを受け取り、集積トレイ２６２Ａの上に束状に集積する。集積部２６０は排紙部に相当する。
【０１５４】
〈インクジェット記録装置の制御系の説明〉
図３３は、インクジェット記録装置２０１の制御系の概略構成を示すブロック図である。インクジェット記録装置２０１は、システムコントローラ３００を備える。システムコントローラ３００は、ＣＰＵ３００Ａ、ＲＯＭ３００Ｂ、及びＲＡＭ３００Ｃを含んで構成される。ＣＰＵは、Central Processing Unitの省略語である。ＲＯＭは、Read Only Memoryの省略語である。ＲＡＭは、Random Access Memoryの省略語である。なお、ＲＯＭ３００Ｂ、ＲＡＭ３００Ｃ等の記憶部は、システムコントローラ３００の外部に設けられていてもよい。
【０１５５】
システムコントローラ３００は、インクジェット記録装置２０１の各部を統括的に制御する全体制御部として機能する。また、システムコントローラ３００は、各種演算処理を行う演算部として機能する。更に、システムコントローラ３００は、ＲＯＭ３００Ｂ、及びＲＡＭ３００Ｃなどのメモリにおけるデータの読み出し、及びデータの書き込みを制御するメモリコントローラとして機能する。
【０１５６】
インクジェット記録装置２０１は、通信部３０２、画像メモリ３０４、搬送制御部３５０、給紙制御部３５２、処理液付与制御部３５４、処理液乾燥制御部３５６、描画制御部３５８、インク乾燥制御部３６０、及び排紙制御部３６４を備えている。これらの各部の要素は、１台又は複数台のコンピュータによって実現することが可能である。つまり、システムコントローラ３００を含む制御系の各要素は、コンピュータのハードウェアとソフトウェアとの組み合わせによって構成することができる。
【０１５７】
通信部３０２は、図示されない通信インターフェースを備え、通信インターフェースと接続されたホストコンピュータ４００との間でデータの送受信を行うことができる。
【０１５８】
画像メモリ３０４は、画像データを含む各種データの一時記憶部として機能する。通信部３０２を介してホストコンピュータ４００から取り込まれた画像データは、一旦画像メモリ３０４に格納される。
【０１５９】
搬送制御部３５０は、インクジェット記録装置２０１における用紙Ｐの搬送系２１１の動作を制御する。搬送系２１１には、図３２に示された給紙ドラム２１６、処理液塗布ドラム２２２、処理液乾燥ドラム２３２、描画ドラム２４２などの用紙搬送機構が含まれる。また、搬送系２１１には、図示せぬ動力源としてのモータ及びモータ駆動回路などの駆動部が含まれる。
【０１６０】
図２２に示された給紙制御部３５２は、システムコントローラ３００からの指令に応じて給紙部２１０を動作させる。給紙制御部３５２は、用紙Ｐの供給開始動作、及び用紙Ｐの供給停止動作などを制御する。
【０１６１】
処理液付与制御部３５４は、システムコントローラ３００からの指令に応じて処理液付与部２２０を動作させる。処理液付与制御部３５４は、処理液の付与量、及び付与タイミングなどを制御する。
【０１６２】
処理液乾燥制御部３５６は、システムコントローラ３００からの指令に応じて処理液乾燥部２３０を動作させる。処理液乾燥制御部３５６は、乾燥温度、乾燥気体の流量、及び乾燥気体の噴射タイミングなどを制御する。
【０１６３】
描画制御部３５８は、システムコントローラ３００からの指令に応じて、描画部２４０の動作を制御する。描画制御部３５８は、画像処理部、波形生成部、波形記憶部、及び駆動回路を含んで構成される。画像処理部、波形生成部、波形記憶部、及び駆動回路の図示は省略される。画像処理部は入力画像データからドットデータを形成する。波形生成部は駆動電圧の波形を生成する。波形記憶部は駆動電圧の波形が記憶される。駆動回路はドットデータに応じた駆動波形を有する駆動電圧を生成する。駆動回路は駆動電圧を液体吐出ヘッドに供給する。
【０１６４】
画像処理部において、入力画像データに対してＲＧＢの各色に分解する色分解処理、ＲＧＢをＣＭＹＫに変換する色変換処理、ガンマ補正、ムラ補正等の補正処理、各色の画素ごとの階調値を元の階調値未満の階調値に変換するハーフトーン処理が施される。
【０１６５】
入力画像データの一例として、０から２５５のデジタル値で表されるラスターデータが挙げられる。ハーフトーン処理の結果として得られるドットデータは、二値でもよいし、三値以上ハーフトーン処理前の階調値未満の多値でもよい。
【０１６６】
画像処理部による処理を経て生成されたドットデータに基づいて、各画素位置の吐出タイミング、インク吐出量が決められ、各画素位置の吐出タイミング、インク吐出量に応じた駆動電圧、各画素の吐出タイミングを決める制御信号が生成され、この駆動電圧が液体吐出ヘッドへ供給され、液体吐出ヘッドから吐出させたインクによってドットが記録される。
【０１６７】
描画制御部３５８は、図示されない補正処理部が備えられていてもよい。補正処理部は異常ノズルに対する補正処理を実行する。補正処理が施されると、異常ノズルの発生に起因する画像品質の低下が抑制される。
【０１６８】
インク乾燥制御部３６０は、システムコントローラ３００からの指令に応じてインク乾燥部２５０を動作させる。インク乾燥制御部３６０は、乾燥気体温度、乾燥気体の流量、又は乾燥気体の噴射タイミングなどを制御する。
【０１６９】
排紙制御部３６４は、システムコントローラ３００からの指令に応じて集積部２６０を動作させる。図３２に示された集積装置２６２が昇降機構を含む場合に、排紙制御部３２４は、用紙Ｐの増減に応じて昇降機構の動作を制御する。
【０１７０】
図３３に示されたインクジェット記録装置２０１は、操作部３３１、表示部３３２、パラメータ記憶部３３４、及びプログラム格納部３３６を備えている。
【０１７１】
操作部３３１は、操作ボタン、キーボード、マウス若しくはタッチパネル又はこれらの組み合わせ等からなる入力装置を含んで構成される。操作部３３１は、複数の種類の操作部材が含まれていてもよい。操作部材の図示は省略される。
【０１７２】
操作部３３１を介して入力された情報は、システムコントローラ３００に送られる。システムコントローラ３００は、操作部３３１から送出された情報に応じて各種処理を実行させる。
【０１７３】
表示部３３２は、液晶パネル等の表示装置（ディスプレイ）を含んで構成される。表示部３３２は、システムコントローラ３００からの指令に応じて、装置の各種設定情報、又は異常情報などの各種情報を表示し得る。操作部３３１と表示部３３２とによってユーザインターフェースが構成される。ユーザは、表示部３３２の画面に表示される内容を見ながら操作部３３１を使って各種パラメータの設定及び各種情報の入力並びに編集が可能である。
【０１７４】
パラメータ記憶部３３４は、インクジェット記録装置２０１に使用される各種パラメータが記憶される。パラメータ記憶部３３４に記憶されている各種パラメータは、システムコントローラ３００を介して読み出され、装置各部に設定される。
【０１７５】
プログラム格納部３３６は、インクジェット記録装置２０１の各部に使用されるプログラムが格納される。プログラム格納部３３６に格納されている各種プログラムは、システムコントローラ３００を介して読み出され、装置各部において実行される。
【０１７６】
図３３に示されたインクジェット記録装置２０１は、メンテナンス制御部３３８を備える。メンテナンス制御部３３８は、システムコントローラ３００からの指令に応じてメンテナンス部３４０の動作を制御する。メンテナンス部３４０の動作には、図示せぬウェブに対して洗浄液を付与する動作及びウェブによる払拭動作が含まれる。また、メンテナンス部３４０での動作には、インクジェットヘッドのパージ処理や予備吐出などが含まれていてもよい。
【０１７７】
図３３に示したシステムコントローラ３００、搬送制御部３５０、給紙制御部３５２、処理液付与制御部３５４、処理液乾燥制御部３５６、描画制御部３５８、インク乾燥制御部３６０、排紙制御部３６４、及びメンテナンス制御部３３８等の各種の処理を実行する処理部（processing unit）のハードウェア的な構造は、次に示すような各種のプロセッサ（processor）である。
【０１７８】
各種のプロセッサには、プログラムを実行して各種の処理部として機能する汎用的なプロセッサであるＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）などの製造後に回路構成を変更可能なプロセッサであるプログラマブルロジックデバイス（Programmable Logic Device：ＰＬＤ）、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）などの特定の処理を実行させるために専用に設計された回路構成を有するプロセッサである専用電気回路などが含まれる。プログラムは、ソフトウェアと同義である。
【０１７９】
１つの処理部は、これら各種のプロセッサのうちの１つで構成されていてもよいし、同種又は異種の２つ以上のプロセッサで構成されてもよい。例えば、１つの処理部は、複数のＦＰＧＡ、或いは、ＣＰＵとＦＰＧＡの組み合わせによって構成されてもよい。また、複数の処理部を１つのプロセッサで構成してもよい。複数の処理部を１つのプロセッサで構成する例としては、第１に、クライアントやサーバなどのコンピュータに代表されるように、１つ以上のＣＰＵとソフトウェアの組合せで１つのプロセッサを構成し、このプロセッサが複数の処理部として機能する形態がある。第２に、システムオンチップ（System On Chip：ＳｏＣ）などに代表されるように、複数の処理部を含むシステム全体の機能を１つのＩＣ（Integrated Circuit）チップで実現するプロセッサを使用する形態がある。このように、各種の処理部は、ハードウェア的な構造として、上記各種のプロセッサを１つ以上用いて構成される。
【０１８０】
さらに、これらの各種のプロセッサのハードウェア的な構造は、より具体的には、半導体素子などの回路素子を組み合わせた電気回路（circuitry）である。
【０１８１】
《インクジェット記録装置２０１の製造方法について》
実施形態１に係る液滴吐出ヘッドの製造方法を適用して製造されたインクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋと、描画ドラム２４２等の各種要素を組み合わせてインクジェット記録装置２０１を製造することができる。
【０１８２】
インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋと、描画ドラム２４２との位置関係を整えて組み立てる工程が組立工程の一例に相当する。
【０１８３】
インクジェット記録装置２０１を製造する際の組立工程では、保護フィルムの貼付方向と描画ドラム２４２による用紙搬送方向との成す角度が−１０°＜θ＜１０°の範囲の角度θになる位置関係を満たすように、描画ドラム２４２とインクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋとが配置される。
【０１８４】
例えば、実施形態のインクジェット記録装置２０１を組み立てる組立工程においては、描画ドラム２４２による用紙搬送方向と、各インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋの実質的なノズル孔配列方向とが直交する位置関係を満たすように、描画ドラム２４２と、各インクジェットヘッド２４６Ｃ、２４６Ｍ、２４６Ｙ、２４６Ｋとが配置される。インクジェット記録装置２０１を製造する方法は、「画像形成装置の製造方法」の一例に相当する。
【０１８５】
《実施形態の利点》
上述した実施形態によれば、ノズル孔周囲における撥水膜のばらつきがあっても、その撥水膜の不良箇所は、用紙−ヘッド相対移動方向と略平行な方向に偏在しており、吐出曲がりによる画像欠陥が視認され難い。本実施形態によれば、撥水膜の不均一性に起因するスジむらなどの画像欠陥が目立ち難く、良好な品質の画像形成が可能である。
【０１８６】
《液滴吐出ヘッドの吐出方式について》
液滴吐出ヘッドのイジェクタは、液体を吐出するノズルと、ノズルに通じる圧力室と、圧力室内の液体に吐出エネルギーを与える吐出エネルギー発生素子と、を含んで構成される。イジェクタのノズルから液滴を吐出させる吐出方式に関して、吐出エネルギーを発生させる手段は、圧電素子に限らず、発熱素子や静電アクチュエータなど、様々な吐出エネルギー発生素子を適用し得る。例えば、発熱素子による液体の加熱による膜沸騰の圧力を利用して液滴を吐出させる方式を採用することができる。インクジェットヘッドの吐出方式に応じて、相応の吐出エネルギー発生素子が流路構造体に設けられる。
【０１８７】
《変形例１》
上述の実施形態では、画像形成装置の一例として、シングルパス方式のインクジェット記録装置を説明したが、本発明は、液滴吐出ヘッドを用いる様々な形態の画像形成装置に適用し得る。
【０１８８】
《変形例２》
上述の実施形態では、複数個のヘッドモジュールを組み合わせたインクジェットヘッドバーを例示したが、単一の液滴吐出ヘッドを用いる画像形成装置であってもよい。
【０１８９】
《変形例３》
図３２では、シングルバー方式のインクジェット記録装置を例示したが、デュアルバー方式など、同色インクを吐出する複数本のインクジェットヘッドバーを備えるインクジェット記録装置であってもよい。
【０１９０】
《変形例４》
上述の説明では、撥水膜の剥がれによる撥水膜の不均一性を述べたが、ノズル孔の内部に撥水膜の一部が残存することによる撥水膜の不均一性についても、保護フィルムの貼付方向と平行な方向に撥水膜の不良箇所が偏在する点で、剥がれの場合と同様である。
【０１９１】
《用紙について》
「用紙」は、画像の形成に用いられる媒体である。用紙という用語は、記録用紙、印刷用紙、印刷媒体、印字媒体、被印刷媒体、画像形成媒体、被画像形成媒体、受像媒体、被吐出媒体など様々な用語で呼ばれるものの総称である。用紙の材質や形状等は、特に限定されず、シール用紙、樹脂シート、フィルム、布、不織布、その他材質や形状を問わず、様々なシート体を用いることができる。用紙記は枚葉の媒体に限らず、連続紙などの連続媒体であってもよい。また、枚葉の用紙は、予め規定のサイズに整えられたカット紙に限らず、連続媒体から随時、規定のサイズに裁断して得られるものであってもよい。
【０１９２】
《用語について》
「画像形成装置」という用語は、印刷機、プリンタ、印字装置、印刷装置、画像記録装置、画像出力装置、或いは、描画装置などの用語と同義である。
【０１９３】
「画像」は広義に解釈するものとし、カラー画像、白黒画像、単一色画像、グラデーション画像、均一濃度（ベタ）画像なども含まれる。「画像」は、写真画像に限らず、図柄、文字、記号、線画、モザイクパターン、色の塗り分け模様、その他の各種パターン、若しくはこれらの適宜の組み合わせを含む包括的な用語として用いる。
【０１９４】
画像の「形成」とは、画像の記録、印刷、印字、描画、及びプリントなどの用語の概念を含む。「印字」には、デジタルデータに基づくデジタル印刷の概念が含まれる。
【０１９５】
また、「画像」は、色材を含有するインクによって形成されるものに限らず、インク付与前に用紙に付与される処理液、及び／又はインク付与後に用紙に付与されるニス等その他の機能性材料によって形成される画像であってもよい。
【０１９６】
本明細書における「直交」又は「垂直」という用語には、９０°未満の角度、又は９０°を超える角度をなして交差する態様のうち、実質的に９０°の角度をなして交差する場合と同様の作用効果を発生させる態様が含まれる。
【０１９７】
本発明の技術的範囲は、上記の実施形態に記載の範囲には限定されない。各実施形態における構成等は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、各実施形態間で適宜組み合わせることができる。
【符号の説明】
【０１９８】
１０  ノズル形成基板
１０Ａ  吐出側表面
１０Ｂ  ノズル内部表面
１２  ノズル孔
１４  撥水膜
１６  保護フィルム
２０  インク
２２  液滴
３０  撥水膜不良部
４０、４１、４２  液滴吐出ヘッド
４４  用紙
４６  線
５０  液滴吐出ヘッド
６０  ウエハ
６２  ダイ
７０Ｋ、７０Ｃ、７０Ｍ、７０Ｙ  インクジェットヘッドバー
７０Ｃ１、７０Ｃ２、インクジェットヘッドバー
７０Ｋ１、７０Ｋ２  インクジェットヘッドバー
７０Ｍ１、７０Ｍ２  インクジェットヘッドバー
７０Ｙ１、７０Ｙ２  インクジェットヘッドバー
１１０  インクジェットヘッドバー
１１２−ｉ  ヘッドモジュール
１１６  フレーム
１１８  フレキシブル基板
１２０  ノズル面
１２２  ヘッドモジュール保持部材
１２４  ヘッド保護部材
１３０  ノズルプレート
１３２  圧力室
１３４  供給口
１３６  共通流路
１３８  流路形成板
１４０  振動板
１４２  個別電極
１４４  圧電素子
１４６  共通電極
１５０  インク室ユニット
２０１  インクジェット記録装置
２１０  給紙部
２１１  搬送系
２１２  給紙装置
２１２Ａ  給紙台
２１４  フィーダボード
２１６  給紙ドラム
２２０  処理液付与部
２２２  処理液塗布ドラム
２２３  グリッパ
２２４  処理液塗布装置
２３０  処理液乾燥部
２３２  処理液乾燥ドラム
２３３  グリッパ
２３４  温風送風機
２４０  描画部
２４２  描画ドラム
２４３  グリッパ
２４４  ヘッドユニット
２４６Ｋ  インクジェットヘッド
２４６Ｃ  インクジェットヘッド
２４６Ｍ  インクジェットヘッド
２４６Ｙ  インクジェットヘッド
２４８  画像読取装置
２５０  インク乾燥部
２６０  集積部
２６２  集積装置
２６２Ａ  集積トレイ
３００  システムコントローラ
３０２  通信部
３０４  画像メモリ
３１０  チェーンデリバリ
３１２  チェーン
３１４  グリッパ
３１６  処理液乾燥制御部
３２０  用紙ガイド
３２２  第１用紙ガイド
３２４  第２用紙ガイド
３３０  温風送風ユニット
３３１  操作部
３３２  表示部
３３４  パラメータ記憶部
３３６  プログラム格納部
３３８  メンテナンス制御部
３４０  メンテナンス部
３５０  搬送制御部
３５２  給紙制御部
３５４  処理液付与制御部
３５６  処理液乾燥制御部
３５８  描画制御部
３６０  インク乾燥制御部
３６４  排紙制御部
４００  ホストコンピュータ
ＬＮ  投影ノズル列
Ｐ  用紙
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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