(57)【要約】【課題】大型化を防止することができる把持装置を提供する。【解決手段】電動ハンド装置１００は、Ｘ方向に沿って移動する第１のハンド部材１４０ａ、第２のハンド部材１４０ｂ、第１の振動型アクチュエータ１０１ａ及び第２の振動型アクチュエータ１０１ｂを備える。第１の振動型アクチュエータ１０１ａは、Ｘ方向に沿う長尺状の第１の移動体１１０ａと、これをＸ方向に直接駆動する第１の振動体１０２ａとを有する。第２の振動型アクチュエータ１０１ｂは、Ｘ方向に沿う長尺状の第２の移動体１１０ｂと、これをＸ方向に直接駆動する第２の振動体１０２ｂとを有する。第１のハンド部材１４０ａは第１の移動体１１０ａに取り付けられる。第２のハンド部材１４０ｂは第２の移動体１１０ｂに取り付けられる。第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂはＹ方向において互いに異なる位置に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の把持部材と、
前記第１の把持部材と第１の方向において対向する第２の把持部材と、
前記第１の把持部材を前記第１の方向に沿って駆動する第１の振動型アクチュエータと、
前記第２の把持部材を前記第１の方向に沿って駆動する第２の振動型アクチュエータと、を備え、
前記第１の振動型アクチュエータは、前記第１の把持部材が取り付けられている第１の移動体と、前記第１の移動体に加圧接触し且つ励起された振動によって前記第１の移動体を駆動して前記第１の方向に沿って移動させる第１の振動体とを有し、
前記第２の振動型アクチュエータは、前記第２の把持部材が取り付けられている第２の移動体と、前記第２の移動体に加圧接触し且つ励起された振動によって前記第２の移動体を駆動して前記第１の方向に沿って移動させる第２の振動体とを有し、
前記第１の移動体と前記第２の移動体とは、前記第１の方向と直交する第２の方向において互いに異なる位置に配置されていることを特徴とする把持装置。
【請求項２】
前記第１の移動体及び前記第２の移動体は、前記第１の方向に沿う長尺状を呈し、
前記第１の移動体の前記第２の把持部材の側の端部は、前記第１の移動体に取り付けられた前記第１の把持部材よりも前記第２の把持部材へ向けて突出し、
前記第２の移動体の前記第１の把持部材の側の端部は、前記第２の移動体に取り付けられた前記第２の把持部材よりも前記第１の把持部材へ向けて突出することを特徴とする請求項１記載の把持装置。
【請求項３】
前記第１の把持部材と前記第２の把持部材とが最も接近した際、前記第２の方向において、前記第１の移動体と前記第２の移動体とが互いに重畳することを特徴とする請求項１又は２記載の把持装置。
【請求項４】
前記第１の振動体は、前記第２の方向、又は、前記第１の方向及び前記第２の方向のそれぞれと直交する第３の方向に沿って前記第１の移動体へ加圧接触し、
前記第２の振動体は、前記第２の方向、又は、前記第３の方向に沿って前記第２の移動体へ加圧接触することを特徴とする請求項３記載の把持装置。
【請求項５】
前記第１の振動型アクチュエータは、前記第１の振動体と異なる第３の振動体を有し、前記第１の振動体は前記第２の方向に沿って前記第１の移動体と加圧接触し、前記第３の振動体は前記第１の方向及び前記第２の方向のそれぞれと直交する第３の方向に沿って前記第１の移動体と加圧接触し、
前記第２の振動型アクチュエータは、前記第２の振動体と異なる第４の振動体を有し、前記第２の振動体は前記第２の方向に沿って前記第２の移動体と加圧接触し、前記第４の振動体は前記第３の方向に沿って前記第２の移動体と加圧接触することを特徴とする請求項３記載の把持装置。
【請求項６】
前記第１の移動体は、前記第１の把持部材と前記第２の把持部材とが最も接近した際に、前記第２の把持部材から逃げるための逃げ部を有し、
前記第２の移動体は、前記第１の把持部材と前記第２の把持部材とが最も接近した際に、前記第１の把持部材から逃げるための他の逃げ部を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の把持装置。
【請求項７】
前記第１の把持部材と前記第２の把持部材とが最も接近した際、前記逃げ部は前記第２の把持部材と接触せず、前記他の逃げ部は前記第１の把持部材と接触しないことを特徴とする請求項６記載の把持装置。
【請求項８】
前記第１の把持部材は、前記第１の移動体の取付部に取り付けられ、前記取付部の前記第１の方向に関する長さ、及び前記逃げ部の前記第１の方向に関する長さは、前記第１の把持部材の前記第１の方向に関する長さと等しく、
前記第２の把持部材は、前記第２の移動体の他の取付部に取り付けられ、前記他の取付部の前記第１の方向に関する長さ、及び前記他の逃げ部の前記第１の方向に関する長さは、前記第２の把持部材の前記第１の方向に関する長さと等しいことを特徴とする請求項６又は７記載の把持装置。
【請求項９】
前記第１の移動体及び前記第２の移動体は、前記第１の方向に沿う長尺状を呈し、
前記第１の把持部材と前記第２の把持部材とが最も離間した際、前記第１の移動体の前記第２の把持部材の側の端部及び前記第２の移動体の前記第１の把持部材の側の端部が、前記把持装置の前記第１の方向に関する中央に位置することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の把持装置。
【請求項１０】
前記第１の振動型アクチュエータと前記第２の振動型アクチュエータとは加圧ばねをさらに有し、前記加圧ばねは、前記第１の振動体と前記第１の移動体とを加圧接触させ、且つ前記第２の振動体と前記第２の移動体とを加圧接触させることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の把持装置。
【請求項１１】
前記第１の振動型アクチュエータと前記第２の振動型アクチュエータとは磁石をさらに有し、前記磁石は磁力によって前記第１の振動体と前記第１の移動体とを加圧接触させ、且つ前記第２の振動体と前記第２の移動体とを加圧接触させることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の把持装置。
【請求項１２】
前記第１の振動体は前記第１の移動体に接触する突起部を有し、前記第２の振動体は前記第２の移動体に接触する突起部を有し、前記第１の振動体と前記第２の振動体とにおいて励起された振動が、前記第１の方向及び前記突起部の突出方向で規定される面内において、前記突起部の先端に楕円運動を行わせることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の把持装置。
【請求項１３】
前記第１の把持部材及び前記第２の把持部材はそれぞれ、振動減衰部材を介して前記第１の移動体及び前記第２の移動体に取り付けられることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の把持装置。
【請求項１４】
前記振動減衰部材はゴム材料によって形成されることを特徴とする請求項１３記載の把持装置。
【請求項１５】
前記振動減衰部材は、前記第１の移動体、前記第２の移動体、前記第１の把持部材及び前記第２の把持部材よりも剛性が低い樹脂材料によって形成されることを特徴とする請求項１３記載の把持装置。
【請求項１６】
電動グリッパであることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の把持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の把持部材で被把持物を把持する把持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
製品の製造工程における部品（ワーク）の組み付け、搬送、検査等において、ワークを把持する電動ハンド装置（電動グリッパ）が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この電動ハンド装置は、モータにて回転されるカム部材と、レールに沿って直線移動する一対のハンド部材とを備える。カム部材では、各ハンド部材が有するカムフォロアを嵌合させる一対のカム溝が螺旋状に形成され、カム部材の回転によって一対のハンド部材がカム駆動され、レールに沿って移動し、各カム部材が互いに近接する際、間にワークを把持する。この電動ハンド装置では、カム溝がアルキメデスの渦巻き線に沿う螺旋状に形成されているため、モータの回転トルクによって生じるハンド部材の推力が一定となる。
【０００３】
また、モータとして超音波モータを用いた電動ハンド装置も知られている（例えば、特許文献２参照。）。この電動ハンド装置は１つの超音波モータを有し、超音波モータの回転軸に固定されたピニオンギアを一対の把持部材のそれぞれに固定されたラックギアに噛合させ、超音波モータの回転駆動力によって各把持部材を直線移動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−５９１１８号公報
【特許文献２】特開２００８−１４９４０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の電動ハンド装置では、カム部材の回転をカム溝によって各ハンド部材の直線移動に変換するため、各ハンド部材の移動量を確保するために、カム溝の長さを所定の長さ以上に設定する必要がある。その結果、カム部材が大きくなり、電動ハンド装置が大型化する。
【０００６】
特許文献２記載の電動ハンド装置では、超音波モータの回転軸に固定されたピニオンギアを各把持部材に固定されたラックギアに噛合させるため、把持部材の移動方向に対して垂直に超音波モータの回転軸を配置する必要がある。その結果、超音波モータが各ラックギアから突出するように位置し、電動ハンド装置が大型化する。
【０００７】
本発明の目的は、大型化を防止することができる把持装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の把持装置は、第１の把持部材と、前記第１の把持部材と第１の方向において対向する第２の把持部材と、前記第１の把持部材を前記第１の方向に沿って駆動する第１の振動型アクチュエータと、前記第２の把持部材を前記第１の方向に沿って駆動する第２の振動型アクチュエータと、を備え、前記第１の振動型アクチュエータは、前記第１の把持部材が取り付けられている第１の移動体と、前記第１の移動体に加圧接触し且つ励起された振動によって前記第１の移動体を駆動して前記第１の方向に沿って移動させる第１の振動体とを有し、前記第２の振動型アクチュエータは、前記第２の把持部材が取り付けられている第２の移動体と、前記第２の移動体に加圧接触し且つ励起された振動によって前記第２の移動体を駆動して前記第１の方向に沿って移動させる第２の振動体とを有し、前記第１の移動体と前記第２の移動体とは、前記第１の方向と直交する第２の方向において互いに異なる位置に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、把持装置の大型化を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る把持装置としての電動ハンド装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】図１における電動アクチュエータの構成を概略的に示す分解斜視図である。
【図３】図２における振動型アクチュエータの振動体において励起される各振動モードを説明するための斜視図である。
【図４】各被駆動体ユニットが最も離間した場合の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示す図である。
【図５】各被駆動体ユニットが最も離間した状態から最も接近した状態へ移行する場合の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示す図である。
【図６】各被駆動体ユニットが最も接近した場合の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示す図である。
【図７】各移動体が重畳して配置されない電動ハンド装置（比較例）の構成を概略的に示す断面図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る把持装置としての電動ハンド装置の構成を概略的に示す図である。
【図９】各被駆動体ユニットが移動する際の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示す断面斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。しかしながら、以下の実施の形態に記載されている構成はあくまで例示に過ぎず、本発明の範囲は実施の形態に記載されている構成によって限定されることはない。まず、本発明の第１の実施の形態について説明する。
【００１２】
図１は、本実施の形態に係る把持装置としての電動ハンド装置の構成を概略的に示す図である。特に、図１（Ａ）は電動ハンド装置の斜視図であり、図１（Ｂ）は電動ハンド装置の分解斜視図であり、図１（Ｃ）は電動ハンド装置の平面図（Ｚ方向に沿って眺めたときの図）である。図２は、図１における電動アクチュエータの構成を概略的に示す分解斜視図である。なお、各図において、Ｘ方向（第１の方向）、Ｙ方向（第２の方向）及びＺ方向（第３の方向）は互いに直交し、各Ｘ方向、各Ｙ方向及び各Ｚ方向のそれぞれは一致する。また、説明を容易にするために、図１（Ａ）以外の図では、把持部材としての第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの図示が省略される。電動ハンド装置１００は、直動型（リニア型）の第１の振動型アクチュエータ１０１ａ及び直動型の第２の振動型アクチュエータ１０１ｂを備える。さらに、電動ハンド装置１００は、第１の被駆動体ユニット１２０ａ、第２の被駆動体ユニット１２０ｂ、基台１３０、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂ（第１の把持部材、第２の把持部材）を備える。第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂはそれぞれＹ方向から眺めた際にＬ字状を呈する板状部材を有し、対応する第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂへ取り付けられる。第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂはＸ方向において互いに対向するように配置されるため、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂもＸ方向において互いに対向するように配置される。また、第１の振動型アクチュエータ１０１ａ及び第２の振動型アクチュエータ１０１ｂは、対応する第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂをＸ方向に沿って駆動する。これにより、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂに取り付けられた第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂはＸ方向において接近、離間する。電動ハンド装置１００では、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂが互いに接近する際、間に被把持物としてのワーク（図示しない）を把持する。
【００１３】
基台１３０は、Ｘ方向に沿って配置され、断面が上向きのコの字状を呈する直方体部材である。基台１３０はＸ方向に沿って形成された収容溝１３５、及び該収容溝１３５の底部を構成する連結部１３４を有し、収容溝１３５の各側壁には加圧ばね受け部１３１、２つのガイドピン１３２及びガイド溝部１３３が形成される。加圧ばね受け部１３１は円柱状の凹部を有し、各ガイドピン１３２はＹ方向に沿って突出する細円柱部材を有し、ガイド溝部１３３はＸ方向に沿って形成されたＶ字状の溝である。連結部１３４には不図示のロボットアームが連結される。収容溝１３５の各側壁に形成された各加圧ばね受け部１３１、各ガイドピン１３２及び各ガイド溝部１３３はそれぞれ対向する。
【００１４】
第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂはそれぞれ収容溝１３５に収容可能な方体状の本体１２１を有する。さらに第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂはそれぞれ本体１２１の上面に形成された複数の取付穴１２２及び本体１２１の収容溝１３５の各側壁と対向する各側面に形成されたローラー１２３を有する。各取付穴１２２はねじ穴であり、不図示のねじを螺合させることにより、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂが各本体１２１へ締結される。なお、各取付穴１２２をねじ穴によって構成する必要は無く、例えば、一の取付穴１２２をピン穴とし、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの底部に設けられたピンと嵌合させてもよい。ローラー１２３はＸ方向に配列された複数の円筒ころを有し、各円筒ころが各ガイド溝部１３３へ遊合することにより、クロスローラーガイドとして本体１２１をＸ方向に高精度に案内する。各ローラー１２３は本体１２１においてＹ方向において対向する２側面に設けられるため、各ローラー１２３が各ガイド溝部１３３に遊合することにより、本体１２１が安定的に支持される。なお、ローラー１２３はＸ方向に配列された複数のボールを有してもよい。この場合、ローラー１２３は、ボールガイドとして本体１２１をＸ方向に高精度に案内する。
【００１５】
第１の振動型アクチュエータ１０１ａ及び第２の振動型アクチュエータ１０１ｂは、収容溝１３５内にてＹ方向において互いに異なる位置に配置される。具体的には、第１の振動型アクチュエータ１０１ａ及び第２の振動型アクチュエータ１０１ｂは、収容溝１３５の各側壁へＹ方向において互いに対向するように配置される。また、電動ハンド装置１００では、電動ハンド装置１００のＸ方向の中心を通るＹ方向の中心線Ｌを挟み、且つＸ方向に沿って第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが配置される。ここで、第１の振動型アクチュエータ１０１ａは中心線Ｌよりも第１の被駆動体ユニット１２０ａ寄りに配置され、第２の振動型アクチュエータ１０１ｂは中心線Ｌよりも第２の被駆動体ユニット１２０ｂ寄りに配置される。第１の振動型アクチュエータ１０１ａは、後述する構成により、カムや減速機等を介することなく第１の被駆動体ユニット１２０ａを直接駆動する。また、第２の振動型アクチュエータ１０１ｂも、カムや減速機等を介することなく第２の被駆動体ユニット１２０ｂを直接駆動する。
【００１６】
第１の振動型アクチュエータ１０１ａは、第１の振動体１０２ａ、第１の移動体１１０ａ、第１の支持部材１０４ａ、フェルト１０５、イコライズプレート１０６及び加圧ばね１０７を有する。第１の振動型アクチュエータ１０１ａでは、第１の移動体１１０ａ、第１の振動体１０２ａ、第１の支持部材１０４ａ、フェルト１０５、イコライズプレート１０６及び加圧ばね１０７がこの順でＹ方向において重畳されるように配置される。第１の振動体１０２ａは、弾性体１０２２、弾性体１０２２の一方の面（以下、「接触面」という。）に設けられた２つの突起部１０２３、接触面とは反対側の面に設けられた圧電素子１０２１及び固定部１０２４を有する。本実施の形態では、第１の振動体１０２ａとして、２つの突起部１０２３を有する構成について説明するが、少なくとも１つの突起部１０２３が接触面に設けられればよい。弾性体１０２２は、例えば、マルテンサイト系のステンレス等の金属材料である長方形状の板状部材によって構成される。固定部１０２４は第１の振動体１０２ａを第１の支持部材１０４ａに固定するために用いられ、弾性体１０２２の長手方向（Ｘ方向）に関する両端に設けられる。突起部１０２３は、ばね性を有する形状で形成され、例えば、弾性体１０２２を構成する板状部材とプレス加工等によって一体的に形成される。なお、突起部１０２３は弾性体１０２２と一体的に形成に形成される必要は無く、例えば、各突起部１０２３が別部材として構成され、溶接等によって弾性体１０２２に固定されていてもよい。突起部１０２３の先端部は、後述するように、第１の移動体１１０ａの摺動面１１１と摩擦摺動する。したがって、突起部１０２３の先端部には、耐摩耗性を高めるための焼入処理等の硬化処理が施されることが好ましい。
【００１７】
圧電素子１０２１は電気−機械エネルギー変換素子であり、接着剤を用いて弾性体１０２２に接合される。圧電素子１０２１は、長方形状の圧電セラミックスの両面に所定形状の電極が形成された構造を有する。圧電素子１０２１の電極には、不図示のフレキシブル配線板等を介して、所定の周波数の駆動電圧（交流電圧）が印加される。これにより、第１の振動体１０２ａに後述する第１の振動モードと第２の振動モードの振動が励起される。励起された振動は弾性体１０２２へ伝達され、２つの突起部１０２３を結ぶ方向（Ｘ方向）と突起部１０２３の突出方向（Ｙ方向）で規定される面内において、突起部１０２３の先端部に楕円運動を行わせることができる。後述するように、突起部１０２３は第１の移動体１１０ａに加圧接触するため、突起部１０２３が行う楕円運動によって第１の移動体１１０ａは摩擦駆動され、第１の移動体１１０ａを第１の振動体１０２ａに対して相対的にＸ方向に移動させる。なお、本実施の形態では、後述するように、第１の振動体１０２ａは、第１の支持部材１０４ａに支持されてＸ方向に移動することがないため、第１の移動体１１０ａが絶対的にＸ方向に移動する。
【００１８】
第１の移動体１１０ａはステンレス等の金属材料である長尺状（長方形状）の板状部材によって構成される。第１の移動体１１０ａは、第１の移動体１１０ａの第２のハンド部材１４０ｂ側の端部（以下、「内側端部」という。）１１５が、第１のハンド部材１４０ａの内側端部よりも第２のハンド部材１４０ｂ寄りになるように、Ｘ方向に沿って配置される。すなわち、Ｘ方向に関し、第１の移動体１１０ａの内側端部１１５が、第１のハンド部材１４０ａの内側端部よりも第２の被駆動体ユニット１２０ｂへ向けて突出する。第１の移動体１１０ａは、各突起部１０２３と接触する側面である摺動面１１１、第１の被駆動体ユニット１２０ａが取り付けられる取付部１１２、及び逃げ部１１３を有する。取付部１１２及び逃げ部１１３は第１の移動体１１０ａにおけるＺ方向に関する同じ端部に設けられる。取付部１１２には、接着剤や溶接等によって第１の被駆動体ユニット１２０ａが接合される。なお、第１の被駆動体ユニット１２０ａへの振動伝達を抑制するために、ブチルゴムやシリコーンゴム等のゴム材料である振動減衰部材（図示しない）を間に介して取付部１１２及び第１の被駆動体ユニット１２０ａが接合されてもよい。また、振動減衰部材として第１の移動体１１０ａや本体１２１よりも剛性の低い樹脂材料を用いてもよい。これにより、第１の被駆動体ユニット１２０ａに取り付けられる第１のハンド部材１４０ａへの第１の振動体１０２ａからの振動伝達が抑制される。また、第１のハンド部材１４０ａからの外力が第１の移動体１１０ａを通じて各突起部１０２３に伝わるのを緩和することができる。逃げ部１１３は、本体１２１の内側端部よりも第２のハンド部材１４０ｂ寄りに設けられ、Ｚ方向において取付部１１２よりも一段低く形成される。これにより、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も接近した際、第２の被駆動体ユニット１２０ｂの本体１２１は、第１の移動体１１０ａの上方へ進入しても第１の移動体１１０ａと接触することがない。なお、本実施の形態では、取付部１１２のＸ方向の長さ、及び逃げ部１１３のＸ方向の長さは、本体１２１のＸ方向の長さと等しい。摺動面１１１は、第１の移動体１１０ａの側面をプレス加工や切削加工等によって平面状に加工し、さらに、ラップ加工等の平滑化加工を施すことによって形成される。また、摺動面１１１には、窒化処理等の硬化処理が施されて耐摩耗性が向上される。第１の移動体１１０ａは、摺動面１１１において、後述する加圧ばね１０７により、Ｙ方向に沿う所定の加圧力で第１の振動体１０２ａ（突起部１０２３）と加圧接触する。
【００１９】
第１の支持部材１０４ａは、長尺状の板状部材によって構成され、２つのガイド穴部１０４１及び２つの支持部１０４２を有する。支持部１０４２は第１の支持部材１０４ａの第１の移動体１１０ａ側の面からＹ方向に突出する受け部である。第１の振動体１０２ａの固定部１０２４が支持部１０４２に対して溶接や接着等によって接合される。固定部１０２４は弾性体１０２２の両端に設けられるため、振動が励起された際でも振幅が小さい。したがって、第１の支持部材１０４ａを介して基台１３０へ大きな振動が伝達されることが無い。また、固定部１０２４を支持部１０４２に固定しても、弾性体１０２２の振動を阻害することが無い。各ガイド穴部１０４１は、Ｙ方向に沿って眺めたとき、各突起部１０２３及び各固定部１０２４の間に設けられる。また、一のガイド穴部１０４１は丸穴形状を呈し、他のガイド穴部１０４１はＸ方向に略平行に伸びた長穴形状を有する。各ガイド穴部１０４１には各ガイドピン１３２が挿通される。ガイドピン１３２の外径及びガイド穴部１０４１の外径の差は、ガイドピン１３２に対して第１の支持部材１０４ａがＸ方向では移動不可となる寸法公差（はめあい公差）に設定される。したがって、ガイドピン１３２によって第１の支持部材１０４ａのＸ方向の移動は規制され、第１の支持部材１０４ａに接合された第１の振動体１０２ａもＸ方向の移動が規制される。一方で、第１の支持部材１０４ａや第１の振動体１０２ａのＹ方向の移動は規制されないため、第１の移動体１１０ａの平面度の公差や傾きを吸収し、Ｙ方向に関する安定した接触を保つことができる。第１の振動体１０２ａは、加圧ばね１０７、イコライズプレート１０６及びフェルト１０５を介して加圧ばね受け部１３１によって支持される。加圧ばね１０７は円錐コイルばねであり、加圧ばね１０７、イコライズプレート１０６及びフェルト１０５は、第１の振動体１０２ａ及び第１の移動体１１０ａをＹ方向において加圧接触させる加圧手段として機能する。なお、加圧ばね１０７は、コイルばねや板ばね等、弾性力を利用したばねを用いる構造であればよい。
【００２０】
次に、第１の振動型アクチュエータ１０１ａの駆動（第１の移動体１１０ａのＸ方向の移動）に用いられる固有振動モードについて説明する。図３は、図２における振動型アクチュエータの振動体において励起される各振動モードを説明するための斜視図であり、図３（Ａ）は第１の振動モードを示し、図３（Ｂ）は第２の振動モードを示す。なお、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）では、理解を容易にするために、変位量が強調して表示される。また、図３（Ａ）及び図３（Ｂ）におけるＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図１（Ａ）〜図１（Ｃ）におけるＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれと一致する。
【００２１】
まず、第１の振動モードは、Ｘ方向において２次の屈曲振動を生じるモードであり、Ｚ方向と略平行な３本の節を有し、各突起部１０２３は、第１の振動モードの振動によってＸ方向において往復運動を行う。このとき、各突起部１０２３を第１の振動モードの振動で節となる位置の近傍に設けることにより、各突起部１０２３のＸ方向に関する変位を大きくすることができる。また、第２の振動モードは、Ｚ方向において１次の屈曲振動を生じるモードであり、Ｘ方向と略平行な２本の節を有し、各突起部１０２３は、第２の振動モードの振動によってＹ方向において往復運動を行う。このとき、各突起部１０２３を第２の振動モードの振動で腹となる位置の近傍に設けることにより、各突起部１０２３のＹ方向に関する変位を大きくすることができる。なお、第１の振動体１０２ａの固定部１０２４は、第１の振動モードの振動振幅が小さくなる節の近傍で、且つ、第２の振動モードの振動振幅が小さくなる節の近傍で、支持部１０４２に固定される。第１の振動モード及び第２の振動モードを組み合わせることにより、突起部１０２３の先端部に略ＸＹ面内において楕円運動を行わせ、これにより、略Ｘ方向に第１の移動体１１０ａを摩擦駆動する駆動力を発生させることができる。このとき、２つの突起部１０２３がそれぞれ、第１の振動モードの節の位置、且つ、第２の振動モードの腹の位置に設けられることで、突起部１０２３の振動変位を最も大きくすることができるため、高い駆動力を得ることができる。
【００２２】
なお、電動ハンド装置１００では、第２の振動型アクチュエータ１０１ｂも、第２の移動体１１０ｂ、第２の振動体１０２ｂ及び第２の支持部材１０４ｂを除いて第１の振動型アクチュエータ１０１ａと同様の構成を有する。したがって、第２の振動型アクチュエータ１０１ｂの構成、作用については説明を省略する。第２の移動体１１０ｂはステンレス等の金属材料である長尺状の板状部材によって構成される。第２の移動体１１０ｂは、第２の移動体１１０ｂの第１のハンド部材１４０ａ側の端部（以下、「内側端部」という。）１１５が、第２のハンド部材１４０ｂの内側端部よりも第１のハンド部材１４０ａ寄りになるように、Ｘ方向に沿って配置される。すなわち、Ｘ方向に関し、第２の移動体１１０ｂの内側端部１１５が、第２のハンド部材１４０ｂの内側端部よりも第１の被駆動体ユニット１２０ａへ向けて突出する。なお、第２の振動体１０２ｂ及び第２の支持部材１０４ｂはそれぞれ、第１の振動体１０２ａ及び第１の支持部材１０４ａと同様の構成を有する。
【００２３】
次に、電動ハンド装置１００における第１の移動体１１０ａ、第２の移動体１１０ｂ、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂの位置関係について説明する。図４は、各被駆動体ユニットが最も離間した場合の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示す図である。図５は、各被駆動体ユニットが最も離間した状態から最も接近した状態へ移行する場合の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示す図である。図６は、各被駆動体ユニットが最も接近した場合の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示す図である。また、図４（Ａ）、図５（Ａ）及び図６（Ａ）は平面図であり、図４（Ｂ）、図５（Ｂ）及び図６（Ｂ）は、図４（Ａ）、図５（Ａ）及び図６（Ａ）における線Ａ−Ａに沿う断面図であり、図４（Ｃ）、図５（Ｃ）及び図６（Ｃ）は底面図である。
【００２４】
まず、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も離間した場合について説明する。この場合、Ｘ方向に関する第１の被駆動体ユニット１２０ａの本体１２１の第２のハンド部材１４０ｂとは反対側の端部（以下、「外側端部」という。）は、基台１３０のＸ方向に関する一の端部と一致する。また、Ｘ方向に関する第１の移動体１１０ａの外側端部１１４も、基台１３０のＸ方向に関する一の端部と一致する。さらに、Ｘ方向に関する第２の被駆動体ユニット１２０ｂの本体１２１の第１のハンド部材１４０ａとは反対側の端部（以下、「外側端部」という。）は、基台１３０のＸ方向に関する他の端部と一致する。また、Ｘ方向に関する第２の移動体１１０ｂの外側端部１１４も、基台１３０のＸ方向に関する他の端部と一致する。すなわち、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も離間した場合であっても、基台１３０の各端部から第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが突出することがない。また、基台１３０の各端部から第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂも突出することがない。このとき、Ｘ方向に関する第１の移動体１１０ａの内側端部１１５は中心線Ｌと一致する。また、Ｘ方向に関する第２の移動体１１０ｂの内側端部１１５も中心線Ｌと一致する。
【００２５】
次に、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も離間した状態から最も接近した状態へ移行し始めた場合について説明する。この場合、第１の移動体１１０ａの内側端部１１５は中心線Ｌよりも第２の被駆動体ユニット１２０ｂ側に移動する。また、第２の移動体１１０ｂの内側端部１１５は中心線Ｌよりも第１の被駆動体ユニット１２０ａ側へ移動する。このとき、Ｙ方向から第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂを眺めると、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂは一部が互いに重畳する（図５（Ｂ））。ここで、図１（Ｃ）に示すように、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂはＹ方向において互いに異なる位置に配置される。したがって、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂがＸ方向に沿って互いに接近するように移動しても、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂは互いに干渉することがない。
【００２６】
さらに、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も接近した場合について説明する。この場合、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂの本体１２１は中心線Ｌ上において互いに接触する。上述したように、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂには逃げ部１１３が設けられるため、第１の移動体１１０ａは第２の被駆動体ユニット１２０ｂと接触せず、第２の移動体１１０ｂは第１の被駆動体ユニット１２０ａと接触しない。また、このとき、Ｙ方向から第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂを眺めると、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂは殆どの部分が互いに重畳する（図６（Ｂ））。
【００２７】
電動ハンド装置１００によれば、第１の移動体１１０ａに加圧接触する第１の振動体１０２ａが、励起された振動により、第１のハンド部材１４０ａが取り付けられた第１の移動体１１０ａを直接駆動してＸ方向に沿って移動させる。また、第２の移動体１１０ｂに加圧接触する第２の振動体１０２ｂが、励起された振動により、第２のハンド部材１４０ｂが取り付けられた第２の移動体１１０ｂを直接駆動してＸ方向に沿って移動させる。これにより、間にワークを把持する第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂのＸ方向の移動の実現にカム溝やカムフォロア、又はピニオンギアやラックギアを用いる必要を無くすことができる。その結果、カム溝を有するカム部材や、ピニオンギア等の減速機を用いること無く電動ハンド装置１００を構成することができ、もって、電動ハンド装置１００の軽量化及び小型化を実現することができる。また、電動ハンド装置１００では、カム溝やカムフォロア、又はピニオンギアやラックギアを用いる必要を無くすことができるため、バックラッシュが発生することがない。その結果、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの位置決め精度を向上させ、さらに、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの位置決めの応答性を向上することができる。また、減速機に起因するエネルギー損失が発生しなくなるため、電動ハンド装置１００を効率よく駆動することができる。さらに、電動ハンド装置１００では、ギア等の駆動音が発生しないため、把持作業において騒音が発生するのを防止することができる。また、電動ハンド装置１００では、Ｚ方向に突出して配置される回転型のモータを用いることなく、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂをＸ方向に沿って移動させることができる。これにより、特に、電動ハンド装置１００をＺ方向において顕著に小型化することができる。
【００２８】
また、電動ハンド装置１００では、加圧ばね１０７が第１の振動体１０２ａを第１の移動体１１０ａに加圧接触させる。また、加圧ばね１０７が第２の振動体１０２ｂを第２の移動体１１０ｂに加圧接触させる。これにより、第１の振動体１０２ａや第２の振動体１０２ｂの圧電素子１０２１へ電力が供給されなくても、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂが自由に移動するのを防止することができる。すなわち、電動ハンド装置１００では、第１の振動型アクチュエータ１０１ａ及び第２の振動型アクチュエータ１０１ｂへ電力が供給されなくてもワークを確実に保持することができる。これにより、ワークを把持するために常に通電が必要なＤＣモータやＡＣモータ等の電磁モータを駆動源とする従来の電動ハンド装置と比べて、電力消費や発熱を抑制することができる。また、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂのブレーキ等も不要となるため、従来の電動ハンド装置と比べて、小型化することができる。
【００２９】
さらに、電動ハンド装置１００では、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂには逃げ部１１３が設けられる。したがって、第１の移動体１１０ａは第２の被駆動体ユニット１２０ｂと接触せず、第２の移動体１１０ｂは第１の被駆動体ユニット１２０ａと接触しない。これにより、第１の移動体１１０ａや第２の移動体１１０ｂの移動量が第１の被駆動体ユニット１２０ａや第２の被駆動体ユニット１２０ｂによって規制されるのを防止することができる。その結果、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの移動量を大きくすることができ、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの間に把持されるワークの大きさに自由度を持たせることができる。
【００３０】
また、電動ハンド装置１００では、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂが振動減衰部材を介して第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂに取り付けられる。これにより、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂへの第１の振動体１０２ａ及び第２の振動体１０２ｂからの振動伝達が抑制される。その結果、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂによって把持されたワークが（振動によって）落下するのを防止することができる。
【００３１】
ところで、２つの被駆動体ユニットをＸ方向において互いに対向するよう配置する場合、例えば、各被駆動体ユニットが取り付けられる各移動体をＹ方向において同じ位置に配置することも考えられる。この場合、Ｙ方向から眺めたときに、各被駆動体ユニットが取り付けられる各移動体は、互いに重畳しないように配置される。図７は、各移動体が重畳して配置されない電動ハンド装置（比較例）の構成を概略的に示す断面図である。図７（Ａ）は比較例において各被駆動体ユニットが最も接近した場合を示し、図７（Ｂ）は比較例において各被駆動体ユニットが最も離間した場合を示す。なお、図７（Ａ），図７（Ｂ）では、比較例において電動ハンド装置１００の各構成要素と対応する各構成要素には同じ符号が付され、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂが省略される。
【００３２】
例えば、比較例では、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂがＸ方向において直列的に配置されるとともに、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂのＹ方向に関する位置が一致する。このとき、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も接近すると、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂの本体１２１は中心線Ｌ上で互いに接触する。また、同時に、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂの内側端部１１５も中心線Ｌ上で互いに接触する。その後、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も離間すると、第１の被駆動体ユニット１２０ａの本体１２１の外側端部は、基台１３０のＸ方向に関する一の端部と一致する。また、第２の被駆動体ユニット１２０ｂの本体１２１の外側端部は、基台１３０のＸ方向に関する他の端部と一致する。しかしながら、第１の移動体１１０ａの外側端部１１４は、基台１３０のＸ方向に関する一の端部と一致せずに、基台１３０から突出する。また、第２の移動体１１０ｂの外側端部１１４も、基台１３０のＸ方向に関する他の端部と一致せずに、基台１３０から突出する。すなわち、比較例の電動ハンド装置はＸ方向において大型化する。一方、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂを短縮して基台１３０から突出するのを防止することが考えられる。しかしながら、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂのＸ方向に関する移動量は第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂの（摺動面１１１の）長さに比例する。したがって、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂを短縮すると、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの移動量が減少し、間に把持されるワークの大きさが制限される。これに対応して、本実施の形態における電動ハンド装置１００では、上述したように、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂはＹ方向において互いに異なる位置に配置される。また、Ｙ方向から第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂを眺めたときに、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂの一部が重畳することがある。これを換言すれば、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂがＹ方向において互いに対向するように配置されることがある。これにより、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂをＸ方向において互いに接近するように移動させても、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂは中心線Ｌ上で互いに接触することが無い。したがって、第１の移動体１１０ａの内側端部１１５を、Ｘ方向に関し、第１のハンド部材１４０ａの内側端部よりも第２の被駆動体ユニット１２０ｂへ向けて突出させることができる。また、第２の移動体１１０ｂの内側端部１１５を、Ｘ方向に関し、第２のハンド部材１４０ｂの内側端部よりも第１の被駆動体ユニット１２０ａへ向けて突出させることができる。これにより、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂを接触させることなく、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂをＸ方向において延伸させることができる。その結果、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの移動量を確保して把持されるワークの大きさに自由度を持たせることができる。さらに、第１の移動体１１０ａを長くしても、第１の被駆動体ユニット１２０ａの本体１２１の外側端部から第１の移動体１１０ａの外側端部１１４が突出する量を減らすことができる。また、第２の移動体１１０ｂを長くしても、第２の被駆動体ユニット１２０ｂの本体１２１の外側端部から第２の移動体１１０ｂの外側端部１１４が突出する量を減らすことができる。すなわち、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂの外側端部１１４が基台１３０から突出するのを防止することができる。これにより、電動ハンド装置１００がＸ方向において大型化するのを防止することができる。
【００３３】
なお、電動ハンド装置１００では、第１の振動体１０２ａを第１の移動体１１０ａへ加圧接触させるために、加圧ばね１０７を用いた。また、第２の振動体１０２ｂを第２の移動体１１０ｂへ加圧接触させるために、加圧ばね１０７を用いた。しかしながら、第１の振動体１０２ａを第１の移動体１１０ａへ加圧接触させ、且つ第２の振動体１０２ｂを第２の移動体１１０ｂへ加圧接触させる手段は加圧ばね１０７に限られない。例えば、第１の振動型アクチュエータ１０１ａや第２の振動型アクチュエータ１０１ｂに永久磁石を配置し、磁力によって第１の振動体１０２ａを第１の移動体１１０ａへ、且つ第２の振動体１０２ｂを第２の移動体１１０ｂに加圧接触させてもよい。この場合、イコライズプレート１０６やフェルト１０５が不要となるため、電動ハンド装置１００の構造を簡素化できる。また、永久磁石は加圧ばね１０７の様に伸縮するためのスペースを確保する必要がないため、電動ハンド装置１００の大型化を確実に防止することができる。
【００３４】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る把持装置としての電動ハンド装置について説明する。第２の実施の形態は、その構成、作用が上述した第１の実施の形態と基本的に同じであるので、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。
【００３５】
図８は、本実施の形態に係る把持装置としての電動ハンド装置の構成を概略的に示す図であり、図８（Ａ）は電動ハンド装置の斜視図であり、図８（Ｂ）は電動ハンド装置の正面図（Ｘ方向に沿って眺めたときの図）である。なお、各図において、Ｘ方向（第１の方向）、Ｙ方向（第２の方向）及びＺ方向（第３の方向）は互いに直交し、各Ｘ方向、各Ｙ方向及び各Ｚ方向のそれぞれは一致する。また、説明を容易にするために、把持部材としての第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの図示が省略される。電動ハンド装置２００は、直動型（リニア型）の第１の振動型アクチュエータ２０１ａ及び直動型の第２の振動型アクチュエータ２０１ｂを備える。さらに、電動ハンド装置２００は、第１の被駆動体ユニット１２０ａ、第２の被駆動体ユニット１２０ｂ、基台１３０、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂ（図示しない）を備える。第１の振動型アクチュエータ２０１ａ及び第２の振動型アクチュエータ２０１ｂは、対応する第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂをＸ方向に沿って駆動する。
【００３６】
第１の振動型アクチュエータ２０１ａ及び第２の振動型アクチュエータ２０１ｂは、収容溝１３５内にてＹ方向において互いに異なる位置に配置される。第１の振動型アクチュエータ２０１ａは、第１の振動型アクチュエータ１０１ａと同様に、カムや減速機等を介することなく第１の被駆動体ユニット１２０ａを直接駆動する。また、第２の振動型アクチュエータ２０１ｂも、第２の振動型アクチュエータ１０１ｂと同様に、カムや減速機等を介することなく第２の被駆動体ユニット１２０ｂを直接駆動する。なお、以下において第１の振動型アクチュエータ２０１ａの構成を詳述する。本実施の形態では、第２の振動型アクチュエータ２０１ｂが、第２の移動体１１０ｂを有すること以外、第１の振動型アクチュエータ２０１ａと同様の構成を有するため、第２の振動型アクチュエータ２０１ｂの構成については説明を省略する。
【００３７】
第１の振動型アクチュエータ２０１ａは、第１の振動体２０２ａ、第２の振動体２０２ｂ、第１の移動体１１０ａ、第１の支持部材２０４ａ、第２の支持部材２０４ｂ、２つのフェルト、２つのイコライズプレート及び２つの加圧ばねを有する。なお、各フェルト、各イコライズプレート及び各加圧ばねはそれぞれ、フェルト１０５、イコライズプレート１０６及び加圧ばね１０７と同様の構造を有するが図示は省略される。第１の振動型アクチュエータ２０１ａでは、長尺状の板状部材である第１の支持部材２０４ａが収容溝１３５の側壁部においてＸ方向に沿って配置される。第１の移動体１１０ａ、第１の振動体２０２ａ、第１の支持部材２０４ａ、フェルト、イコライズプレート及び加圧ばねがこの順でＹ方向において重畳されるように配置される。また、第１の振動型アクチュエータ２０１ａでは、長尺状の板状部材である第２の支持部材２０４ｂが収容溝１３５の底部においてＸ方向に沿って配置される。第１の移動体１１０ａ、第２の振動体２０２ｂ（第３の振動体、第４の振動体）、第２の支持部材２０４ｂ、フェルト、イコライズプレート及び加圧ばねがこの順でＺ方向において重畳されるように配置される。第１の振動体２０２ａ及び第２の振動体２０２ｂは、第１の振動体１０２ａと同様の構成を有し、それぞれが有する突起部の先端部に楕円運動を行わせることができる。また、第１の振動体２０２ａは、加圧ばねにより、Ｙ方向に沿う所定の加圧力で第１の移動体１１０ａと加圧接触し、第２の振動体２０２ｂは、加圧ばねにより、Ｚ方向に沿う所定の加圧力で第１の振動体２０２ａと加圧接触する。これにより、第１の移動体１１０ａは、第１の振動体２０２ａ及び第２の振動体２０２ｂの突起部によって摩擦駆動され、第１の振動体２０２ａ及び第２の振動体２０２ｂに対して相対的にＸ方向に移動する。また、第１の振動体２０２ａ及び第２の振動体２０２ｂはそれぞれ第１の支持部材２０４ａ及び第２の支持部材２０４ｂに接合され、第１の支持部材２０４ａ及び第２の支持部材２０４ｂはＸ方向に移動しないように構成される。したがって、第１の移動体１１０ａが絶対的にＸ方向に移動する。
【００３８】
次に、電動ハンド装置２００における第１の移動体１１０ａ、第２の移動体１１０ｂ、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂの位置関係について説明する。図９は、各被駆動体ユニットが移動する際の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示す断面斜視図である。図９（Ａ）は、各被駆動体ユニットが最も離間した場合の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示し、図９（Ｂ）は、各被駆動体ユニットが最も接近した場合の各移動体及び各被駆動体ユニットの位置関係を示す。なお、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）のいずれもＸ方向に沿う断面を示し、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの図示を省略する。
【００３９】
第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も離間した場合、Ｘ方向に関する第１の被駆動体ユニット１２０ａの本体１２１の外側端部は、基台１３０のＸ方向に関する一の端部と一致する。また、Ｘ方向に関する第１の移動体１１０ａの外側端部１１４も、基台１３０のＸ方向に関する一の端部と一致する。さらに、Ｘ方向に関する第２の被駆動体ユニット１２０ｂの本体１２１の外側端部は、基台１３０のＸ方向に関する他の端部と一致する。また、Ｘ方向に関する第２の移動体１１０ｂの外側端部１１４も、基台１３０のＸ方向に関する他の端部と一致する。すなわち、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も離間した場合であっても、基台１３０の各端部から第１の被駆動体ユニット１２０ａの第１の移動体１１０ａが突出することがない。また、基台１３０の各端部から第２の被駆動体ユニット１２０ｂの第２の移動体１１０ｂも突出することがない。このとき、Ｘ方向に関する第１の移動体１１０ａの内側端部１１５は基台１３０のＸ方向に関する中央（以下、「基台中央」という。）に位置し、Ｘ方向に関する第２の移動体１１０ｂの内側端部１１５も基台中央に位置する。
【００４０】
第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂが最も接近した場合、第１の被駆動体ユニット１２０ａ及び第２の被駆動体ユニット１２０ｂの各本体１２１は基台中央において互いに接触する。ここで、電動ハンド装置２００でも、電動ハンド装置１００と同様に、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂはＹ方向において互いに異なる位置に配置される。したがって、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂがＸ方向に沿って互いに接近するように移動しても、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂは互いに干渉することがない。また、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂには逃げ部１１３が設けられるため、第１の移動体１１０ａは第２の被駆動体ユニット１２０ｂと接触せず、第２の移動体１１０ｂは第１の被駆動体ユニット１２０ａと接触しない。このとき、Ｙ方向から第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂを眺めると、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂは殆どの部分が互いに重畳する。
【００４１】
電動ハンド装置２００によれば、第１の移動体１１０ａに第１の振動体２０２ａ及び第２の振動体２０２ｂが加圧接触し、第２の移動体１１０ｂにも第１の振動体２０２ａ及び第２の振動体２０２ｂが加圧接触する。これにより、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂに作用する駆動力を高めることができ、第１のハンド部材１４０ａ及び第２のハンド部材１４０ｂの移動速度や把持力を高めることができる。また、電動ハンド装置２００が、電動ハンド装置１００と同様の効果を奏することができることは言うまでもない。
【００４２】
なお、電動ハンド装置２００では、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂのそれぞれに２つの第１の振動体２０２ａ及び第２の振動体２０２ｂが加圧接触したが、１つの移動体に加圧接触する振動体の数は２以下に限られない。例えば、第１の移動体１１０ａ及び第２の移動体１１０ｂのそれぞれに３つ以上の振動体が加圧接触してもよい。
【００４３】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１００  電動ハンド装置
１０１ａ  第１の振動型アクチュエータ
１０１ｂ  第２の振動型アクチュエータ
１０２ａ  第１の振動体
１０２ｂ  第２の振動体
１０２３  突起部
１０４ａ  第１の支持部材
１０４ｂ  第２の支持部材
１０７ａ  加圧ばね
１１０ａ  第１の移動体
１１０ｂ  第２の移動体
１１２  取付部
１１３  逃げ部
１２０ａ  第１の被駆動体ユニット
１２０ｂ  第２の被駆動体ユニット
１４０ａ  第１のハンド部材  
１４０ｂ  第２のハンド部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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