(57)【要約】【課題】配線パターン上に配置されるチップ部品への応力を緩和し、使用温度範囲を拡大できるパワーモジュールを提供する。【解決手段】電力用半導体装置と、電力用半導体装置と電気的に接続された第１および第２の回路パターン上に、該第１および第２の回路パターンを跨ぐように配置されたチップ部品と、を備え、チップ部品は、第１および第２の回路パターン上に、それぞれ第１および第２の電極が位置するように配置され、第１および第２の電極と、第１および第２の回路パターンとが、それぞれハンダ層によって接合され、チップ部品の下面と第１および第２の回路パターンとの間に、それぞれ第１および第２の電極寄りの位置に２つのスペーサが互いに平行して設けられ、ハンダ層は、平行する前記２つのスペーサの内側には設けられていない。【選択図】図２
2018200918.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電力用半導体装置と、
前記電力用半導体装置と電気的に接続された第１および第２の回路パターン上に、該第１および第２の回路パターンを跨ぐように配置されたチップ部品と、を備え、
前記チップ部品は、
前記第１および第２の回路パターン上に、それぞれ第１および第２の電極が位置するように配置され、前記第１および第２の電極と、前記第１および第２の回路パターンとが、それぞれハンダ層によって接合され、
前記チップ部品の下面と前記第１および第２の回路パターンとの間に、それぞれ前記第１および第２の電極寄りの位置に２つのスペーサが互いに平行して設けられ、
前記ハンダ層は、平行する前記２つのスペーサの内側には設けられていない、パワーモジュール。
【請求項２】
前記２つのスペーサは、
平面視で前記チップ部品の側面より外側にはみ出すように設けられている、請求項１記載のパワーモジュール。
【請求項３】
前記チップ部品は、
前記第１および第２の回路パターンをそれぞれ跨ぐように配置され、互いに平行するように配列された複数のチップ部品を有し、
前記２つのスペーサは、それぞれ前記複数のチップ部品を搭載する長さを有すると共に、平面視で、前記複数のチップ部品の配列の側面より外側にはみ出すように設けられている、請求項１記載のパワーモジュール。
【請求項４】
前記２つのスペーサはワイヤ線で構成され、ワイヤボンディングにより前記第１および第２の回路パターンに接合される、請求項２または請求項３記載のパワーモジュール。
【請求項５】
前記２つのスペーサの断面形状は円形である、請求項１記載のパワーモジュール。
【請求項６】
前記２つのスペーサは、
前記ハンダ層を構成するハンダ材との濡れ性が比較的低い金属で構成される、請求項１記載のパワーモジュール。
【請求項７】
前記電力用半導体装置は、
ワイドギャップ半導体装置で構成される、請求項１記載のパワーモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はパワーモジュールに関し、特に、使用温度範囲を拡大できるパワーモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
電力用半導体装置を含むパワーモジュールに実装されているチップ部品は、電力用半導体装置の発熱による変化および環境温度の変化に曝される。コンデンサ、抵抗、ダイオードおよびサーミスタなどのチップ部品のうち、例えばコンデンサなどはセラミックで構成されているが、パワーモジュール内の配線パターンは金属であるため、部材間の線膨張係数差が大きい。従来の実装方法では、チップ部品と配線パターンの間のハンダ厚みはコントロールしないため、ハンダの厚みは非常に薄くなっていた。そのため、パワーモジュールの使用温度範囲を拡大させるためには、熱応力に強いがコストの高い特殊な電極構造を持つチップ部品を使う必要があった。
【０００３】
また、チップ部品を近接して実装する場合、従来の実装方法では隣り合ったチップ部品同士のハンダが接合しないように、チップ部品間隔を広くするか、チップ部品間にレジスト材で壁を設ける必要があった。
【０００４】
一方、例えば特許文献１には、チップ部品の直下にスペーサ部材を置き、チップ部品を浮かすことでチップ部品と配線基板との距離を確保する構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−２８５１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の構成においては、スペーサがハンダの中に埋まった構造となり、スペーサをハンダ内部に入れるため、ハンダ領域を広くする必要があった。このためハンダとチップ部品との接合面積が大きくなり、ハンダとチップ部品とが必要以上に強固に接合されることとなり、チップ部品への応力が大きくなる。
【０００７】
パワーモジュールの使用温度範囲の拡大を行うと、部材間の線膨張係数差による反りが大きくなり、チップ部品への曲げ応力も大きくなることが考えられる。そのため、ハンダとチップ部品との接合面積を小さくする必要があったが、特許文献１の構成では、構造的な限界があった。
【０００８】
本発明は上記のような問題を解決するためになされたものであり、配線パターン上に配置されるチップ部品への応力を緩和し、使用温度範囲を拡大できるパワーモジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るパワーモジュールは、電力用半導体装置と、前記電力用半導体装置と電気的に接続された第１および第２の回路パターン上に、該第１および第２の回路パターンを跨ぐように配置されたチップ部品と、を備え、前記チップ部品は、前記第１および第２の回路パターン上に、それぞれ第１および第２の電極が位置するように配置され、前記第１および第２の電極と、前記第１および第２の回路パターンとが、それぞれハンダ層によって接合され、前記チップ部品の下面と前記第１および第２の回路パターンとの間に、それぞれ前記第１および第２の電極寄りの位置に２つのスペーサが互いに平行して設けられ、前記ハンダ層は、平行する前記２つのスペーサの内側には設けられていない。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るパワーモジュールによれば、配線パターン上に配置されるチップ部品への応力を緩和し、使用温度範囲を拡大できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る実施の形態のパワーモジュールの構成を示す平面図である。
【図２】本発明に係る実施の形態のパワーモジュールの構成を示す断面図である。
【図３】スペーサの変形例を示す断面図である。
【図４】スペーサの変形例を示す断面図である。
【図５】スペーサの変形例を示す断面図である。
【図６】複数のチップ部品を実装した構成を示す平面図である。
【図７】複数のチップ部品を実装した構成を示す断面図である。
【図８】複数のチップ部品を電気的に直列に接続した構成を示す平面図である。
【図９】電力用半導体装置にチップ部品を並列に接続した構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜実施の形態＞
図１は本発明に係る実施の形態のパワーモジュール１００の構成を示す平面図である。図１に示すようにパワーモジュール１００は、電力用半導体装置２０と、電力用半導体装置２０の主電極と電気的に接続された回路パターンＣＴ１およびＣＴ２上に、当該回路パターンＣＴ１およびＣＴ２を跨ぐように配置されたチップ部品１０とを備えている。
【００１３】
電力用半導体装置２０の上面側の主電極は、複数のワイヤ線ＷＲ１を介してワイヤボンディングにより回路パターンＣＴ２に電気的に接続され、電力用半導体装置２０の下面側の主電極は、回路パターンＣＴ１にハンダ（図示せず）を介して電気的に接続されている。また、電力用半導体装置２０の上面側には制御電極（図示せず）が設けられ、当該制御電極はワイヤ線ＷＲ２を介してワイヤボンディングにより図示されない制御回路などに接続される。なお、回路パターンＣＴ１およびＣＴ２は、絶縁基板上に配設されているが、絶縁基板の図示は省略している。
【００１４】
チップ部品１０の両端面にそれぞれ設けられた電極１１と回路パターンＣＴ１およびＣＴ２とが、ハンダ層１２によって接合されることでチップ部品１０と回路パターンＣＴ１およびＣＴ２とが電気的に接続されている。また、チップ部品１０の下面側には、チップ部品１０の電極１１と平行するように、２つの電極１１寄りの位置にそれぞれスペーサ１３が互いに平行して設けられている。
【００１５】
２本のスペーサ１３は、上方から見た場合に、チップ部品１０の側面より外側にはみ出すように設けられており、チップ部品１０の外側においてワイヤボンディングによりボンディングパッドＢＤ部分で回路パターンＣＴ１およびＣＴ２に接合されている。
【００１６】
図１におけるチップ部品１０のＡ−Ａ線での断面構成を図２に示す。図２に示すように回路パターンＣＴ１およびＣＴ２は絶縁基板１上に配設されており、チップ部品１０の下面と回路パターンＣＴ１およびＣＴ２との間に、断面形状が円形のスペーサ１３が設けられている。ハンダ層１２はチップ部品１０の電極１１の表面と回路パターンＣＴ１およびＣＴ２の上面との間を接合するように設けられているが、スペーサ１３の内側（電極１１とは反対側）にはハンダ層１２は存在していない。
【００１７】
これは、スペーサ１３を設けることでチップ部品１０と回路パターンＣＴ１およびＣＴ２との間隔が空いているため、ハンダ材の溶融時に表面張力によりハンダ材が電極１１の下に留まり、スペーサ１３の内側にまでハンダ材が侵入しないためである。このため、ハンダ層１２の配設領域が限定的となり、ハンダ層１２とチップ部品１０とのハンダ接合面積を従来より小さくでき、ハンダ層１２とチップ部品１０とが必要以上に強固に接合されることが防止され、チップ部品１０への熱応力を低減することができる。
【００１８】
なお、スペーサ１３の断面形状を円形とすることで、チップ部品１０に部分的に応力が集中することを防止できる。
【００１９】
また、スペーサ１３を設けることでハンダ層１２の厚さをコントロールできるため、ハンダの厚みをコントロールしていなかった従来に比べて、チップ部品１０への熱応力を軽減できる。なお、スペーサ１３としてアルミ（Ａｌ）のワイヤ線を用いる場合、その高さは２０〜５００μｍとなる。これは、一般的に使用されるＡｌのワイヤ線の直径に相当する。
【００２０】
また、スペーサ１３をチップ部品１０の側面より外側にはみ出す長さに設定することで、チップ部品１０の実装時のずれによるスペーサ１３からの脱落を抑制できる。
【００２１】
なお、スペーサ１３としてはワイヤ線を使用することで、ワイヤ線の直径でハンダ層１２の厚みをコントロールできるため、ハンダ材の特性に合わせてチップ部品１０の組み立て条件を最適化できる。
【００２２】
また、スペーサ１３としてワイヤ線を使用することで、図１に示したように、ワイヤボンディングにより回路パターンＣＴ１およびＣＴ２に接合することができ、スペーサ１３の固定作業を電力用半導体装置２０のボンディング装置を用いて行うことができるので、製造コストの増加を抑制できる。
【００２３】
スペーサ１３としてＡｌのワイヤ線を使用する場合のパワーモジュール１００の組み立て手順の概要は以下の通りである。
【００２４】
絶縁基板１上の回路パターンＣＴ１およびＣＴ２のスペーサ１３を設ける位置にＡｌのワイヤ線を超音波ボンディングで接合してスペーサ１３を固定する。次に、板状のハンダ材をチップ部品１０および電力用半導体装置２０を設ける位置に搭載し、その上にチップ部品１０および電力用半導体装置２０を搭載する。そして、リフロー工程によってハンダ材を溶融し、ハンダ材によりチップ部品１０および電力用半導体装置２０と、回路パターンＣＴ１およびＣＴ２とを接合する。
【００２５】
なお、ハンダ材にクリームハンダを使用する場合は、ハンダ材を所定位置に印刷した後、スペーサ１３を設ける位置にＡｌのワイヤ線を超音波ボンディングで接合することが望ましい。これにより、Ａｌのワイヤ線によりクリームハンダの印刷が阻害されることを回避できる。
【００２６】
＜変形例＞
以上説明したパワーモジュール１００においては、スペーサ１３としてＡｌのワイヤ線を使用する例について示したが、これに限定されるものではない。例えば、図３に示されるように、断面形状が三角形のスペーサ１３１を用いても良い。また、図４に示されるように、断面形状が四角形のスペーサ１３２を用いても良い。また、図５に示されるように、断面形状が楕円形のスペーサ１３３を用いても良い。
【００２７】
この場合、スペーサ１３１、１３２および１３３をＡｌなど、ハンダ材との濡れ性が、銅および金などと比べて低い金属で構成することで、ハンダ材がパターンエッジまで流れ広がることを防止でき、ハンダ層１２と回路パターンＣＴ１およびＣＴ２とのハンダ接合面積を小さくでき、ハンダ層１２とチップ部品１０とが必要以上に強固に接合されることが防止され、チップ部品１０への熱応力を低減することができる。
【００２８】
また、スペーサ１３、１３１、１３２および１３３の材質としてはＡｌに限定されるものではなく、ハンダレジストなどの樹脂材、セラミック材など、ハンダ材との濡れ性がＡｌよりも低い材料も使用できる。ハンダレジストなどの樹脂材を用いる場合は、化学的な接合および接着剤による回路パターンへの接合が挙げられ、セラミック材を用いる場合は、ろう付けによる回路パターンへの接合が挙げられる。また、ハンダ材がスペーサの内側に流れ込まないようにできるのであれば、予め回路パターンを部分的に突出させるように加工してスペーサとしても良い。その場合は、スペーサ１３１、１３２および１３３のような断面形状の方が、加工しやすいと言う利点もある。
【００２９】
また、以上説明したパワーモジュール１００においては、図１示したように、電力用半導体装置２０とチップ部品１０とが共通の回路パターンＣＴ１およびＣＴ２上に搭載された構成を示したが、これに限定されるものではない。
【００３０】
＜チップ部品の実装の他の例＞
図１に示したパワーモジュール１００においては、回路パターンＣＴ１およびＣＴ２上に１つのチップ部品１０を実装した例を示したが、実装されるチップ部品１０は１つに限定されるものではなく、本発明は２つ以上のチップ部品１０を実装する場合にも有効である。
【００３１】
図６は、回路パターンＣＴ１およびＣＴ２上に２つのチップ部品１０を並列に実装した構成を示す平面図である。なお、図６では便宜的にチップ部品１０の配列のみを示している。図６に示すように、回路パターンＣＴ１とＣＴ２上に跨るように２つのチップ部品１０が互いに平行するように配列されている。
【００３２】
２つのチップ部品１０のそれぞれの一方端面に設けられた電極１１と回路パターンＣＴ１とがハンダ層１２によって接合され、２つのチップ部品１０のそれぞれの他方端面に設けられた電極１１と回路パターンＣＴ２とがハンダ層１２によって接合されることで２つチップ部品１０が、回路パターンＣＴ１およびＣＴ２との間で電気的に並列に接続されている。
【００３３】
２つのチップ部品１０の下面側には、２つのチップ部品１０のそれぞれの一方の電極１１と平行するように延在するスペーサ１３０と、２つのチップ部品１０のそれぞれの他方の電極１１と平行するように延在するスペーサ１３０が、それぞれ、一方および他方の電極１１寄りの位置に設けられている。
【００３４】
２本のスペーサ１３０は、上方から見た場合に、２つのチップ部品１０の配列の外側側面より外側にはみ出す長さに設けられており、チップ部品１０の配列の外側においてワイヤボンディングによりボンディングパッドＢＤ部分で回路パターンＣＴ１およびＣＴ２に接合されている。
【００３５】
図６におけるチップ部品１０のＢ−Ｂ線での断面構成を図７に示す。図７に示すようにチップ部品１０の下面はスペーサ１３０の上面に接しており、２つのチップ部品１０の配列の両外側のボンディングパッドＢＤ部分で回路パターンＣＴ１およびＣＴ２に接合されることで固定されている。
【００３６】
このように、チップ部品間にはボンディングパッドを設けないことで、チップ部品１０の配設間隔を狭くすることができ、チップ部品１０の実装密度を高めることが可能となる。
【００３７】
すなわち、チップ部品を２つ以上並列に実装する場合、従来技術では各チップ部品でハンダ層を均一な厚さにするため、チップ部品間にハンダレジストを配置する必要があった。このため、チップ部品の配設間隔がハンダレジストの厚さで限定され、ハンダレジストの厚さより小さくすることができなかった。しかし、本発明においては、チップ部品１０間には何も配置する必要がなく、チップ部品１０の実装密度を高めることができる。
【００３８】
なお、図６においては、２つのチップ部品１０が、回路パターンＣＴ１およびＣＴ２との間で電気的に並列に接続された例を示したが、回路パターンの平面視形状を変えれば、電気的に直列に接続することも可能である。
【００３９】
すなわち、図８に示すように、回路パターンＣＴ１が２つの独立した回路パターンＣＴ１１およびＣＴ１２である場合、回路パターンＣＴ１１およびＣＴ１２上に渡るようにスペーサ１３０を配置し、回路パターンＣＴ２上にはスペーサ１３０を配置する。回路パターンＣＴ１１上の電極１１は、ハンダ層１２によって回路パターンＣＴ１１に接合され、回路パターンＣＴ１２上の電極１１は、ハンダ層１２によって回路パターンＣＴ１２に接合されるので、２つのチップ部品１０は、電気的に直列に接続することが可能となる。
【００４０】
この場合、スペーサ１３０は、樹脂材、セラミック材などの絶縁材で形成することで、ハンダ層１２と接触した場合でも２つのチップ部品１０が短絡することがない。
【００４１】
＜ワイドギャップ半導体装置への適用＞
炭化珪素(ＳｉＣ)半導体、窒化ガリウム（ＧａＮ）など、シリコン(Ｓｉ)半導体より広いワイドバンドギャップを有するワイドギャップ半導体を用いたワイドギャップ半導体装置は、Ｓｉ半導体を用いたＳｉ半導体装置と比較して、耐圧性に優れ、許容電流密度も高く、また耐熱性も高いため高温動作も可能である。
【００４２】
図９は、電力用半導体装置としてのＭＯＳトランジスタ２０に、チップ部品としてのコンデンサ１０を並列に接続したモジュールの構成を開示しており、コンデンサ１０はサージ電圧抑制のためのスナバコンデンサとして機能する。なお、ＲＣスナバ回路ではコンデンサに抵抗素子が直列に接続されるが、簡略化のため図示は省略している。
【００４３】
コンデンサ１０のように保護回路を構成するチップ部品は、図１に示したように、電力用半導体装置２０に近接して配置される。電力用半導体装置としてワイドギャップ半導体装置を用いると、高温動作が可能となるため、チップ部品１０に対する熱応力がＳｉ半導体装置を用いる場合よりも大きくなる。
【００４４】
しかし、本発明に係る実施の形態のパワーモジュール１００では、チップ部品１０の下にスペーサ１３を設けることで、ハンダ層１２とチップ部品１０とのハンダ接合面積を小さくでき、ハンダ層１２とチップ部品１０とが必要以上に強固に接合されることが防止され、チップ部品１０への熱応力を低減することができる。また、スペーサ１３を設けることでハンダ層１２の厚さを厚くできるため、チップ部品１０への熱応力を軽減できる。このため、ワイドギャップ半導体装置を用いて高温動作させる場合でも、熱応力によりチップ部品１０に不具合が生じることを低減できる。
【００４５】
なお、以上の説明では、チップ部品１０として面実装のコンデンサを例に採ったが、抵抗、ダイオードおよびサーミスタなどの面実装を前提としたチップ部品であれば本発明の適用は可能である。
【００４６】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  チップ部品、１１  電極、１２  ハンダ層、１３  スペーサ、ＣＴ１，ＣＴ２  回路パターン、２０  電力用半導体装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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