(57)【要約】      （修正有）【課題】位置センサは、磁気歪み材料から成り、測定区間に沿って延在し、磁気歪みにより誘発される機械的な衝撃を伝えるように構成されている導波路と、該導波路のカバーとを備える。【解決手段】少なくとも一部領域で弾性を有する位置決め要素２７が設けられる。該要素は、変形状態でカバー内に保持され、且つ中空部５０を備える。この中空部は測定区間に沿って延在して導波路１９の収容部となる。中空部が、測定区間に沿って延在するスリットを備え、該スリットが、横断面で見たときに位置決め要素の収容部から縁部に達し、導波路を横方向から収容部に入れることを可能にしている。更に位置センサを製造する方法も含む。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気歪み材料から成り、測定区間に沿って延在し、磁気歪みにより誘発される機械的な衝撃を伝えるように構成されている導波路（１９）と、
前記導波路（１９）のカバー、特に筒状のカバー（１３）と、
少なくとも一部領域で弾性を有し、変形状態で前記カバー（１３）内に保持され、中空部（５０、５０'、５０''）を有する位置決め要素であって、前記中空部が前記測定区間に沿って延在して前記導波路（１９）の収容部となる位置決め要素（２７、２７'、２７''）と
を備える位置センサにおいて、
前記中空部（５０、５０''５０''）が前記測定区間に沿って延在するスリット（５２）を備え、該スリットが、横断面で見たときに前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）の収容部（５１）から縁部に達し、前記導波路（１９）を横方向から前記収容部（５１）に入れることを可能にしていることを特徴とする位置センサ（１１）。
【請求項２】
前記導波路（１９）が少なくとも部分的に、好ましくは測定区間の全長にわたって、遊びをもって前記中空部（５０、５０'、５０''）に収容されていることを特徴とする請求項１に記載の位置センサ。
【請求項３】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）が変形状態で前記カバー（１３）内に保持されているとき、該位置決め要素が、前記中空部（５０、５０'、５０''）内に収容された前記導波路（１９）を周方向に完全に取り囲むことを特徴とする請求項１又は２に記載の位置センサ。
【請求項４】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）が変形状態で前記カバー（１３）内に保持されているとき、該位置決め要素が、位置センサ（１１）の横断面において前記カバー（１３）の内壁（５７）上又は該内壁（５７）に密着した追加部品（２９、２９'）の表面上で全周にわたって支持されてはいないことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項５】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）が無変形の初期状態にあるとき、前記中空部（５０、５０'、５０''）が前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）の側面側に開いていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項６】
前記位置決め要素（２７）が無変形の初期状態にあるとき、前記中空部（５０）が鍵穴状の横断面を有していることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項７】
前記位置決め要素（２７、２７'）が無変形の初期状態にあるとき、該位置決め要素の横断面の外形が台形状であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項８】
前記中空部（５０、５０'、５０''）が、前記カバー（１３）の横断面に関して中心に配置された収容部（５１）を備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項９】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）が完全に弾性材料で作られていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項１０】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）が非磁性材料で作られ、特に完全に非磁性材料で作られていることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項１１】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）が、１又は複数のポリマーを含む材料、特にシリコーンを含む材料で作られていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項１２】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）が押し出し成形物として仕上げられていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項１３】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）が、少なくとも一部領域で柔軟性を持つ中間パイプ内（２９）に収容され、該中間パイプが前記カバー（１３）の内壁（５７）に密着することを特徴とする請求項１〜１２のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項１４】
前記中間パイプ（２９）が摩擦低減性の材料で作られている及び／又は摩擦低減性の被膜を備えていることを特徴とする請求項１３に記載の位置センサ。
【請求項１５】
前記中間パイプ（２９）が少なくとも部分的にポリテトラフルオロエチレン又はシリコーンで作られていることを特徴とする請求項１３又は１４に記載の位置センサ。
【請求項１６】
前記中間パイプ（２９）が前記測定区間に沿って延在する少なくとも１つのスリット（５５）を備えていることを特徴とする請求項１３〜１５のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項１７】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）が少なくとも一部領域で柔軟性を持つ少なくとも２つの別体のシェル要素（６１、６２）から成る装置（２９'）に収容され、該シェル要素が前記カバー（１３）の内壁（５７）に密着することを特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項１８】
前記カバー（１３）が剛性を持つ非磁性材料、特にステンレス鋼で作られていることを特徴とする請求項１〜１７のいずれかに記載の位置センサ。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれかに記載の位置センサを製造する方法であって、
無変形の初期状態にある前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）を用意する手順と、
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）の前記中空部（５０、５０'、５０''）に前記導波路（１９）を挿入する手順と、
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）を変形させつつ、前記中空部（５０、５０'、５０''）に収容された前記導波路（１９）とともに前記カバー（１３）に挿入する手順と
を含む方法において、
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）の前記中空部（５０、５０'、５０''）への前記導波路（１９）の挿入を、前記測定区間に沿って延在する、位置決め要素（２７、２７'、２７''）のスリット（５２）を通して半径方向に行うこと
を特徴とする方法。
【請求項２０】
前記位置決め要素（２７、２７'、２７''）を、前記中空部（５０、５０'、５０''）に収容された前記導波路（１９）とともに、柔軟性を持つ中間パイプ（２９）内に挿入し、該中間パイプごと前記カバー（１３）内に挿入することを特徴とする請求項１９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気歪み材料から成る導波路であって、測定区間に沿って延在し、磁気歪みにより誘発される機械的な衝撃を伝えるように構成されている導波路と、該導波路のカバー、特に筒状のカバーとを備える位置センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
このようなセンサは例えば特許文献１及び非特許文献１に開示されており、特に工業的な測定技術の分野において位置、長さ又は進んだ距離の測定に好適に用いられる。導波路としては、例えば鉄、ニッケル又はコバルト等の強磁性材料から成る細い棒や針金、パイプが挙げられ、その長さは例えば数センチから数メートルになり得る。位置を検出する必要のある部品上には通例、いわゆる「位置磁石」が例えば永久磁石の形で取り付けられ、この磁石が導波路内に磁場を生成する。位置磁石は例えば円環状であって導波路を囲むものとすることができる。電流パルスが導波路を通じて送られると、導波路の周囲では、位置磁石により生成された磁場に加えて、時間的及び位置的に変化する別の磁場が発生する。位置磁石の場所における２つの磁場の相互作用により、例えば縦方向及び／又はねじり方向の衝撃のような機械的な衝撃が導波路内に発生させることができ、これが測定区間に沿って進む。位置センサには通例、導波路から伝えられる機械的な衝撃を位置信号に変換するための測定用変換器がある。測定用変換器は例えばコイル又は圧電型測定素子を含むものとすることができる。測定用変換器は例えば特許文献２に記載のように構成することができる。機械的な衝撃の伝播時間を測定することにより最終的に位置磁石の位置を求めることができる。磁気歪みの測定原理に基づく位置センサは非接触で作動し、絶対値を出力する。このセンサは再較正を必要とせず、劣悪な使用条件にも適している。このセンサは直線位置センサとしてよく用いられる。
【０００３】
上記のような位置センサは、例えば圧力を受ける油圧シリンダの内部等、過酷な環境で使用されることがよくあるため、導波路のカバーは比較的安定していて抵抗力があるものでなければならない。測定区間は一般に比較的長く、１メートルを超えるものが典型的である。従って、このような長い区間にわたって細い導波路をカバーに挿入し、中心に配置しなければならないことになる。
【０００４】
公知の装置では、導波路がアクリル又はグラスファイバ製のパイプで被覆され、それがカバー内に配置される。導波路と被覆との間や被覆とカバーとの間には不可避的に隙間が生じるため、駆動中に導波路が動いて中心から外れてしまう。しかも、実際にはその被覆が衝撃や振動に対して十分な防護を提供しないことが分かっている。また、メートル長のアクリル又はグラスファイバ製のパイプに導波路を挿入する際、導波路が折れたり引っかかって動かなくなったりすることがある。
【０００５】
特許文献３には絶縁材料から成る軸受内に導波路が横たえられている位置センサが開示されている。組み立ての際、その絶縁材料とともに押圧式の莢体が導波路の軸方向の端部に押し付けられる。
【０００６】
特許文献４には、弾性を有する軸受ゴム管内に導波路が横たえられ、その管が担持パイプ内に配置されている磁気歪み型経路測定装置が開示されている。
【０００７】
弾性を有する軸受要素を備える磁気歪み型経路測定装置は特許文献５〜７にも開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】DE 197 53 805 C2
【特許文献２】EP 0 882 212 B1
【特許文献３】DE 197 53 805 C2
【特許文献４】WO 2016/128021 A1
【特許文献５】US 2004/0090225 A1
【特許文献６】US 2001/0017539 A1
【特許文献７】US 6401883 B1
【特許文献８】DE 20 2006 012 815 U1
【非特許文献】
【０００９】
【非特許文献１】「テンポソニクス・ポジション・センサーズ（Temposonics Position Sensors）」パンフレット551019 A、[online]、エムティーエス社（MTS）、[２０１８年１月１２日検索]、インターネット＜URL: www.mtssensors.com/fileadmin/media/pdfs/551019.pdf＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、できるだけ精密に位置決めされて確実に保持される導波路を有する、容易に製造可能な位置センサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この課題は請求項１に記載の特徴を有する位置センサにより解決される。
【００１２】
本発明に係る位置センサは、少なくとも一部領域で弾性を有し、変形状態でカバー内に保持され、中空部を有する位置決め要素であって、前記中空部が測定区間に沿って延在して導波路の収容部となる位置決め要素を備えている。弾性を有する位置決め要素は位置センサの組み立て時に位置決めの助けとして利用することができる。
【００１３】
位置決め要素はそれ自体の弾性によりカバー内で固定される。こうして位置決め要素が組み立て後にカバー内に確実に保持されるため、押圧式の莢体のような追加の保持要素は不要である。導波路は決まった箇所に設けられた中空部に収容されているため、カバー内での導波路の位置は確実に固定される。筒状のカバー内で導波路を中心に配置することが望まれる場合、位置決め要素は中心配置要素として作用することができる。
【００１４】
組み立て作業の間、位置決め要素の使用により導波路を自動的に中心に配置することができる。特に、一旦導波路を位置決め要素の中空部に収容すれば、もはやその位置決めに気を付ける必要がないため、組み立て作業が簡単になる。カバー内での導波路の位置決めの他、位置決め要素には導波路を衝撃や振動による妨害から保護する機械的な緩衝作用もある。
【００１５】
本発明では、中空部が測定区間に沿って延在するスリットを備え、該スリットが横断面で見たときに位置決め要素の収容部から縁部に達し、導波路を横方向から収容部に入れることを可能にしている。
【００１６】
本発明は、磁気歪みにより誘発されるねじり方向の衝撃を伝送するように構成された導波路との関連で用いることが特に好適である。
【００１７】
導波路は、少なくとも部分的に、好ましくは測定区間の全体にわたって、若干の遊びをもって中空部に収容されたものとすることができる。このようにすれば、磁気歪みの作用により生じる機械的な衝撃が導波路内で妨害を受けずに伝播できるため、該衝撃の減衰による測定値の劣化が生じない。加えて、導波路の不所望な挟み込みや圧搾が回避される。
【００１８】
本発明の一実施形態では、位置決め要素が変形状態でカバー内に保持されているとき、該位置決め要素が、中空部に収容された導波路を周方向に完全に取り囲むようにする。好ましくは、その完全な取り囲みが測定区間の全長に及ぶ。これにより導波路が確実に位置決めされ、保護される。
【００１９】
位置決め要素が変形状態でカバー内に保持されているとき、該位置決め要素が、位置センサの横断面においてカバーの内壁上又は該内壁に密着した追加部品の表面上で全周にわたって支持されてはいない、というようにすることができる。各支持領域は好ましくは測定区間の全長にわたって延在しており、その領域間の空きスペースは電気配線及び／又は導波路と平行に走る戻り導体の収納に利用できる。原理的には、位置決め要素が、カバーの内壁上又は該内壁に密着した追加部品の表面上で全面にわたって支持されるようにしてもよい。
【００２０】
本発明の別の実施形態では、位置決め要素が無変形の初期状態にあるとき、中空部が位置決め要素の側面側に開いている。このようにすれば、組み立ての際、導波路を中空部内に軸方向に通す必要がない。むしろ、より簡単に導波路を側面側から中空部内に入れることができる。
【００２１】
本発明の特殊な構成では、位置決め要素が無変形の初期状態にあるとき、中空部が鍵穴状の横断面を有するようにする。この構成には、位置決め要素が変形状態になると、鍵穴状の中空部のうち幅の狭いスリット状の部分が閉じることで導波路が周方向に完全に取り囲まれる一方、幅の広い中心部分は開いた状態を維持して導波路の収容部となる、という利点がある。もっとも、基本的には中空部の横断面を長方形状、三角形状又は台形状にすることも可能である。
【００２２】
好ましくは、位置決め要素が無変形の初期状態にあるとき、該位置決め要素の横断面の外形が台形状であるようにする。このような形状にすれば、角領域にある支持箇所の間に自動的に隙間又は空きスペースができ、それを電気配線及び／又は戻り導体の収納に利用できる。好ましくは、台形の長辺が、位置決め要素のうち中空部の開口がある側面側に位置するようにする。この開口が閉じるとこの側面が狭まり、その結果、例えば少なくとも実質的に他の側面と同じ寸法になる。もっとも、原理的には、例えば円形又は楕円形の断面を持つカバーの内壁に位置決め要素の全面を密着させて支持するために、位置決め要素の横断面の外形を円形又は楕円形にすることも可能である。
【００２３】
中空部が、カバーの横断面に関して中心に配置された収容部を備えるようにしてもよい。このような位置決め要素によれば位置センサのカバー内で導波路が自動的に中心に配置される。
【００２４】
本発明の別の実施形態では位置決め要素が完全に弾性材料で作られる。このようにすれば製造が非常に容易になる。
【００２５】
好ましくは、測定値への影響を避けるために、位置決め要素が非磁性材料で作られ、特に完全に非磁性材料で作られる。
【００２６】
好ましくは、位置決め要素が、１又は複数のポリマーを含む材料、特にシリコーンを含む材料で作られる。このような材料は特に高い柔軟性と弾性を示す。
【００２７】
位置決め要素は押し出し成形物として仕上げることができる。このようにすれば非常に簡単且つ低コストの製造が可能になる。
【００２８】
本発明の別の実施形態では、位置決め要素が、少なくとも一部領域で柔軟性を持つ中間パイプに収容され、該中間パイプがカバーの内壁に密着している、というようにする。柔軟性を持つ中間パイプは特に、位置センサの組み立ての際に挿入の助けとなる。中間パイプが全面にわたってカバーの内壁に密着するようにしてもよい。
【００２９】
好ましくは、中間パイプが摩擦低減性の材料で作られている及び／又は摩擦低減性の被膜を備えている。これにより、位置決め要素を中間パイプに挿入すること及び／又は位置決め要素を中間パイプとともにカバーに挿入することが容易になる。
【００３０】
中間パイプは少なくとも部分的にポリテトラフルオロエチレン又はシリコーンで作られたものとすることができる。これらの材料は非常に顕著な摩擦低減作用を示す。
【００３１】
中間パイプは、測定区間に沿って延在する少なくとも１つのスリットを備えるものとすることができる。必要に応じて、位置決め要素を側方から中間パイプに挿入するためにそのスリットを利用することができる。また、そのスリットにより、中間パイプが半径方向に十分な柔軟性を持つようにすることができる。
【００３２】
好ましくは、中間パイプが肉薄に仕上げられている。例えば、中間パイプの壁厚はミリメートル未満にすることができる。
【００３３】
位置決め要素が少なくとも一部領域で柔軟性を持つ少なくとも２つの別体のシェル要素から成る装置に収容され、該シェル要素がカバーの内壁に密着する、というようにしてもよい。このようにすれば、シェル要素を外側から位置決め要素に装着するだけでよいため、組み立てが容易になる。
【００３４】
本発明の別の実施形態では、カバーが剛性を持つ非磁性材料、特にステンレス鋼で作られる。このようにすれば、例えば油圧シリンダの油圧オイルの中など、非常に過酷な環境で位置センサを使用することができる。あるいはカバーをアルミニウム又はプラスチックで作ってもよい。
【００３５】
本発明は前述の位置センサを製造する方法にも関する。該方法は、無変形の初期状態にある位置決め要素を用意する手順と、位置決め要素の中空部内に導波路を挿入する手順と、位置決め要素を変形させつつ、中空部に収容された導波路とともにカバーに挿入する手順とを含む。
【００３６】
つまり、導波路はカバーに直接挿入されるのではなく、位置決め要素の助けを借りて挿入される。この位置決め要素が導波路の位置をカバー内で正しく調節し、更に衝撃や振動を和らげる。
【００３７】
本発明では、位置決め要素の中空部への導波路の挿入を、測定区間に沿って延在する、位置決め要素のスリットを通して半径方向に行う。これは、周方向に閉じた中空部内へ導波路を軸方向に通すよりもはるかに迅速且つ容易に行うことができる。
【００３８】
好ましくは、位置決め要素を、中空部に収容された導波路とともに、柔軟性を持つ中間パイプ内に挿入し、該中間パイプごとカバー内に挿入する。柔軟性を持つ中間パイプは摩擦低減性を有するため、導波路とともに位置決め要素をより長い区間にわたってカバー内に容易に押し込むことができる。中間パイプへの位置決め要素の挿入は、特に中間パイプの側面のスリットを通じて行うようにすることができる。
【００３９】
本発明の発展形態は、従属請求項、明細書及び添付図面にも示されている。
【００４０】
以下、本発明について添付図面を参照しながら模範例により説明する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係る位置センサの分解図。
【図２】本発明に係る位置センサの位置決め要素と導波路の横断面図であって、位置決め要素が無変形の初期状態にあるときの様子を示す図。
【図３】図２の装置を中間パイプに挿入した状態を示す図。
【図４】図３に示した装置を導波路カバーに挿入した状態を示す図。
【図５】図２に示した装置を２つの中間シェルとともに示す図。
【図６】別の構成を有する位置決め要素であって、長方形の横断面を持つ中空部を備えるものを示す図。
【図７】別の構成を有する位置決め要素であって、その横断面の外形が円形であり、中空部の横断面が台形状であるものを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
図１に分解図で示した位置センサ１１はステンレス鋼から成る細長い筒状の導波路カバー１３を備えており、その筒の一端にセンサヘッドケース１５が取り付けられている。筒の他端は端部キャップ１７で塞がれている。導波路カバー１３の内部には磁気歪み材料から成る導波路１９がある。導波路１９は好ましくは強磁性材料から成る針金であり、制御ユニット２１を起点として軸方向に、つまり導波路カバー１３の長軸Ｌと平行に延在し、該カバーを貫通して緩衝要素２３に至る。該要素は莢体２４を用いて導波路カバー１３の内部で保持されている。緩衝要素２３の領域において導波路１９は戻り導体２５へ移行しており、該導体は制御ユニット２１まで戻っている。後でより詳しく説明するように、導波路１９は導波路カバー１３内で位置決め要素２７と中間パイプ２９により保持されている。
【００４３】
制御ユニット２１には測定用変換器３０が配置されている。この変換器は導波路１９に半田付けされた棒磁石３１とそれを囲むコイル３２を含んでいる。測定用変換器３０は導波路１９から伝わるねじり方向の衝撃を電気的な位置信号に変換することができる。これは基本的には例えば特許文献２から公知である。測定用変換器３０には測定用変換器収容部３３が配置されており、これが制御ユニット２１と同様に回路基板３５上に取り付けられている。なお、分かりやすくするため、図１では、制御ユニット２１の個々の部品のうち測定用変換器３０、棒磁石３１、コイル３２及び測定用変換器収容部３３を制御ユニット２１近傍の側方に特に分けて再度描いている。
【００４４】
回路基板３５とその上の実装部品はセンサヘッドケース１５に収納されている。このケースは、固定歯４１を縁部４０に有する蓋部３７で閉じられている。固定歯４１はセンサヘッドケース１５の内側に突出した環状凸部４３を後ろから把持するように構成されている。即ち、蓋部３７はセンサヘッドケース１５に填め込むことが可能であり、その填め込みの際に該ケースと堅固に咬み合った状態になる。センサヘッドケース１５は封止リング４２と支持リング４４を用いて油圧シリンダ内に組み込むことができる。これは例えば特許文献８に開示されている。
【００４５】
位置センサ１１を給電装置及び受信ユニット（いずれも図示せず）に接続するため、蓋部３７に接続ピン４５が設けられている。接続プラグ又は接続ソケットを側方から接続可能にするため、このピンは図示したように曲がっている。位置センサ１１により認識すべき位置は位置磁石４７により示されている。この磁石はここではリング状であり、導波路カバー１３を囲んでいる。位置磁石４７は、例えば油圧シリンダの摺動自在なピストン等、その位置を検出すべき部品（図示せず）に固定されている。
【００４６】
図２は導波路１９と位置決め要素２７を横断面図で示している。位置決め要素２７は弾性を有する非磁性材料（例えばシリコーン）で作られており、故に変形可能である。図２に示したように位置決め要素が無変形の初期状態にあるとき、その横断面の外形は台形状である。鍵穴状の横断面を有する中空部５０が位置決め要素２７の全長にわたって軸方向に貫通している。そして導波路１９は中空部５０のうち幅の広い収容部５１内に配置されている。中空部５０のうち幅の狭い挿入部５２は位置決め要素２７の縁部まで延在しているため、導波路１９を半径沿いの挿入方向Ｅに位置決め要素２７内へ挿入することができる。
【００４７】
製造の際は、図３に示したように、収容された導波路１９とともに位置決め要素２７を中間パイプ２９に挿入する。その際、位置決め要素２７を変形し、幅の狭い部分５２を閉じるようにする。中間パイプ２９がポリテトラフルオロエチレン製であることと、中間パイプ２９の全長にわたって軸方向に延在する縦スリット５５が設けられていることから、位置決め要素の挿入は容易である。
【００４８】
導波路１９、位置決め要素２７及び中間パイプ２９により構成されるユニットは、導波路カバー１３の一方の端から図４に示したような状態になるまで該カバー内に挿入される。縦スリット５５を備える中間パイプ２９の柔軟性とポリテトラフルオロエチレンの摩擦低減特性がその挿入作業を容易にする。挿入後は中間パイプ２９の全面がカバー１３の内壁５７に密着する。位置決め要素２７は、横断面の外形が台形状であるため、その全面ではなく角領域５９だけが中間パイプ２９に密着する。これら角領域の間には空きスペース６０が形成されており、これを電気配線及び戻り導体２５（図１）の挿通に利用できる。位置決め要素２７及び中間パイプ２９により、導波路１９は導波路カバー１３の中心に保持されるとともに、過度の振れや衝撃、振動から保護される。
【００４９】
図５は本発明の別の実施形態を示している。この形態では、中間パイプの代わりに、２つの別体のシェル要素６１、６２からなる装置２９'が設けられている。
【００５０】
図６は中空部５０'の横断面が鍵穴状ではなく長方形状である位置決め要素２７'を示している。また、図７に示した位置決め要素２７''では中空部５０''の横断面が鍵穴状ではなく台形状である。更に、図７に示した位置決め要素２７''では横断面の外形が台形ではなく円形である。これは特定の使用状況において有利となる場合がある。この構成の場合、内側パイプの内部の横断面が円形であれば、位置決め要素２７''の外側表面６５の全面がパイプに密着する。
【００５１】
図示せぬ実施形態では、位置決め要素２７が直接、即ち中間パイプを用いずに導波路カバー１３に挿入される。つまり、特に導波路カバー１３が比較的短い場合、挿入の助けとして中間パイプを用いることは必須ではない。
【００５２】
前述の位置決め要素２７、２７'及び２７''は押し出し成形物として仕上げることができる。このようにすれば製造が非常に低コストになる。
【００５３】
本発明に係る位置センサ１１を製造するには、まず無変形の初期状態にある位置決め要素２７、２７'又は２７''を用意する。そして、導波路１９を真っ直ぐ並べて側方から中空部５０、５０'又は５０''に挿入する。続いて、収容された導波路１９とともに位置決め要素２７、２７'又は２７''を中間パイプ２９に挿入し、該中間パイプごと導波路カバー１３内に押し込む。
【００５４】
本発明によれば、導波路カバー１３内で磁気歪み型の導波路１９を自動的に中心に配置することができる。その際に波の伝播を不所望に減衰させる恐れはない。加えて、磁気歪みの原理に基づく位置センサ１１の組み立てが大幅に簡単になる。
【符号の説明】
【００５５】
１１…位置センサ
１３…導波路カバー
１５…センサヘッドケース
１７…端部キャップ
１９…導波路
２１…制御ユニット
２３…緩衝要素
２４…莢体
２５…戻り導体
２７、２７'、２７''…位置決め要素
２９…中間パイプ
２９'…装置
３０…測定用変換器
３１…棒磁石
３２…コイル
３３…測定用変換器収容部
３５…回路基板
３７…蓋部
４０…縁部
４１…固定歯
４２…封止リング
４３…環状凸部
４４…支持リング
４５…接続ピン
４７…位置磁石
５０、５０'、５０''…中空部
５１…収容部
５２…挿入部
５５…縦スリット
５７…内壁
５９…角領域
６０…空きスペース
６１、６２…シェル要素
６５…外側表面
Ｅ…挿入方向
Ｌ…長軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【外国語明細書】
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