(57)【要約】【課題】半導体、液晶ディスプレイ基板の製造に使用される薬液の濃度を管理する役務の提供に使われる濃度管理装置及び薬液を再生処理する役務の提供に使われる薬液再生装置、並びに、これらの装置を用いて提供される役務の提供に係る料金の算出方法及びシステムを提供する。【解決手段】濃度管理装置１は補充液を補給する配管に積算流量計５１〜５３を備える。薬液再生装置２は再生薬液を供給する配管に積算流量計５４を備える。薬液の濃度管理や再生処理の料金は、積算流量計により計測された所定期間における積算流量に基づいて算出される。積算流量計２２１〜２２５は通信機能を備えることでネットワーク２０１に接続される。積算流量は、ネットワークを介してサーバシステム２０２に受信され記憶される。サーバシステム２０２は、積算流量計ごとに所定期間の積算流量に基づいて料金を算出する算出部２０５を備える。【選択図】図１
2018200940.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液を繰り返し使用する設備に配管で接続され、前記設備で使用される前記薬液に前記配管を介して補充液を供給して前記薬液の濃度を管理する薬液の濃度管理装置であって、
前記配管に積算流量計を備える薬液の濃度管理装置。
【請求項２】
前記積算流量計が通信機能を備える請求項１に記載の薬液の濃度管理装置。
【請求項３】
薬液を使用する設備で繰り返し使用されている前記薬液に、積算流量計を備えた配管を介して補充液を供給する濃度管理装置により供給される補充液の積算流量を前記積算流量計により計測し、
前記積算流量計により計測された所定期間の前記補充液の積算流量に基づいて、前記薬液の濃度管理の料金を算出すること、
を含む薬液の濃度管理料金の算出方法。
【請求項４】
薬液を使用する設備で繰り返し使用されている前記薬液に補充液を供給する濃度管理装置の前記補充液を供給する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、サーバシステムと、が接続されたネットワークを利用して、前記薬液の濃度管理の料金を算出する方法において、
前記サーバシステムが前記ネットワークを介してそれぞれの前記積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、
前記サーバシステムが前記ネットワークを介して取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、
前記サーバシステムが前記履歴に基づいて、前記設備ごとに所定期間における前記薬液の濃度管理の料金を算出するステップと、
を含む薬液の濃度管理料金の算出方法。
【請求項５】
薬液を使用する設備で繰り返し使用されている前記薬液に補充液を供給する濃度管理装置の前記補充液を供給する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、
前記積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、
前記サーバシステムは、
前記ネットワークを介して前記積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、
前記受信部で受信した前記積算流量の履歴を、前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、
前記記憶部で記憶した前記履歴に基づいて、前記設備ごとに所定期間における前記薬液の濃度管理の料金を算出する算出部と、
を備える薬液の濃度管理料金算出システム。
【請求項６】
使用済みの薬液を再利用可能に再生し、再生された再生薬液を使用する設備に供給する薬液再生装置であって、
前記再生薬液を前記設備に供給する配管に積算流量計を備える薬液再生装置。
【請求項７】
前記積算流量計が通信機能を備える請求項６に記載の薬液再生装置。
【請求項８】
薬液を使用する設備に、使用済みの前記薬液を再利用可能に再生する薬液再生装置により再生された再生薬液を、積算流量計を備えた配管を介して、前記積算流量計により積算流量を計測しながら供給し、
前記積算流量計により計測された所定期間の前記再生薬液の積算流量に基づいて、前記薬液の再生処理の料金を算出すること、
を含む薬液の再生処理料金の算出方法。
【請求項９】
使用済みの薬液を再利用可能に再生する薬液再生装置により再生された再生薬液を、前記薬液を使用する設備に供給する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、サーバシステムと、が接続されたネットワークを利用して、前記薬液の再生処理の料金を算出する方法において、
前記サーバシステムが前記ネットワークを介してそれぞれの前記積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、
前記サーバシステムが取得した前記積算流量の履歴を前記積算流量計ごとに記憶するステップと、
前記サーバシステムが前記履歴に基づいて、前記設備ごとに所定期間における前記薬液の再生処理の料金を算出するステップと、
を含む薬液の再生処理料金の算出方法。
【請求項１０】
使用済みの薬液を再利用可能に再生する薬液再生装置により再生された再生薬液を、前記薬液を使用する設備に供給する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、
前記積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、
前記サーバシステムは、
前記ネットワークを介して前記積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、
前記受信部で受信した前記積算流量の履歴を、前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、
前記記憶部で記憶した前記履歴に基づいて、前記設備ごとに所定期間における前記薬液の再生処理の料金を算出する算出部と、
を備える薬液の再生処理料金算出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体又は液晶ディスプレイ基板の製造プロセスで繰り返し用いられる各種の薬液の濃度を管理する薬液の濃度管理装置、濃度管理装置を用いて提供される薬液の濃度を管理する役務における薬液の濃度管理料金の算出方法及び濃度管理料金算出システムに関する。本発明は、半導体又は液晶ディスプレイ基板の製造プロセスで使用された各種の薬液を再生する薬液再生装置、薬液再生装置を用いて提供される薬液を再生する役務における薬液の再生処理料金の算出方法及び再生処理料金算出システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体又は液晶ディスプレイ基板の製造プロセスでは、例えば、現像液、エッチング液、剥離液、帯電防止剤、洗浄液など、各種の薬液（以下、これらの薬液の具体的な区別を必要としない場合にはこれらをまとめて「薬液」という。）が使用されている。薬液は、その性能が最大限に発揮されるように、必要に応じた所定の濃度に維持管理されて使用される。また、使用された薬液は、再利用可能に再生処理されて使用されることもある。
【０００３】
従来は、薬液を使用する者（以下「薬液使用者」ということがある。）は、薬液の濃度を維持管理するために、薬液の濃度管理装置を購入して使用していた。また、薬液使用者は、使用された薬液を再利用可能に再生処理するために、薬液の再生処理装置を購入して使用していた。
【０００４】
例えば、薬液の濃度管理装置として次の特許文献が開示されている。特許文献１では、現像液のアルカリ濃度と溶解樹脂濃度とを管理する現像液濃度管理装置が開示されている。また、特許文献２では、酸濃度と溶解インジウム濃度とを管理するエッチング液管理装置が開示されている。薬液の再生処理装置としては、特許文献３に、現像廃液を精密ろ過により再生する現像廃液の再生処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２５６１５７８号公報
【特許文献２】特許第２７４７６４７号公報
【特許文献３】特開２００５−１７５１１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来のように濃度管理装置や薬液再生装置を購入して使用する態様では、薬液使用者が、濃度管理装置や薬液再生装置を購入し、これらを運転し維持管理することが必要であった。また、従来の態様では、濃度管理装置や薬液再生装置を製造販売する者（以下「装置販売者」ということがある。）にとっても、装置販売時点しかこれらの装置の対価を得る機会がなかった。
【０００７】
そのため、薬液使用者は、濃度管理装置や薬液再生装置を購入するための一時的に多額の費用負担と、購入後の運転及び維持管理に係る数々の手間や負担と、を背負わなければならなかった。また、装置販売者は、限られた市場の中で、装置の購入を希望する薬液使用者を次々に探して装置を販売しなければ、充分な利益を上げることが難しい、という問題を抱えていた。
【０００８】
本発明は、上記の諸課題に鑑みなされたものである。発明者は、濃度管理装置を用いて薬液の濃度を管理する役務、及び、薬液再生装置を用いて使用後の薬液を再生処理する役務、を提供することを発案した。すなわち、本発明は、薬液使用者が上記のような負担を背負うことなく薬液を使用することができ、かつ、装置販売者が継続して収益を上げることのできる、上記発案の新規なビジネスモデルにおいて使用される薬液の濃度管理装置及び薬液再生装置、並びに、薬液の濃度管理や再生処理に係る役務の提供の料金を算出する料金算出方法及び料金算出システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明の薬液の濃度管理装置は、薬液を繰り返し使用する設備に配管で接続され、設備で使用される薬液に配管を介して補充液を供給して薬液の濃度を管理する薬液の濃度管理装置であって、配管に積算流量計を備える。
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明の薬液再生装置は、使用済みの薬液を再利用可能に再生し、再生された再生薬液を使用する設備に供給する薬液再生装置であって、再生薬液を設備に供給する配管に積算流量計を備える。
【００１１】
本発明の濃度管理装置又は薬液再生装置によれば、補充液を供給する配管又は再生薬液を供給する配管に積算流量計が備え付けられているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとに薬液使用者の設備に供給した補充液又は再生薬液の量を把握することができる。そのため、例えば、この所定期間における補充液又は再生薬液の供給量にこれらの単位量当たりの料金を乗じて得た供給料金に、その他の諸経費などに基づく基本料金を加算した金額を、薬液の濃度管理の料金又は薬液の再生処理の料金として算出することが可能となる。そして、算出した料金を薬液使用者に請求することが可能となる。
【００１２】
前記目的を達成するために、本発明の薬液の濃度管理装置又は薬液再生装置は、積算流量計が通信機能を備える。
【００１３】
本発明の薬液の濃度管理装置又は薬液再生装置によれば、各薬液使用者の工場で使われている薬液の濃度管理装置又は薬液再生装置の積算流量計は、通信機能を備えているので、ネットワークに接続することができる。したがって、積算流量計の測定する補充液や再生薬液の積算流量などの各種測定データを、当該ネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で監視することが可能となる。積算流量計のメーターを検針するために薬液使用者の工場に出向く必要がない。
【００１４】
前記目的を達成するために、本発明の薬液の濃度管理料金の算出方法は、薬液を使用する設備で繰り返し使用されている薬液に、積算流量計を備えた配管を介して補充液を供給する濃度管理装置により供給される補充液の積算流量を積算流量計により計測し、積算流量計により計測された所定期間の補充液の積算流量に基づいて、薬液の濃度管理の料金を算出すること、を含む。
【００１５】
前記目的を達成するために、本発明の薬液の再生処理料金の算出方法は、薬液を使用する設備に、使用済みの薬液を再利用可能に再生する薬液再生装置により再生された再生薬液を、積算流量計を備えた配管を介して、積算流量計により積算流量を計測しながら供給し、積算流量計により計測された所定期間の再生薬液の積算流量に基づいて、薬液の再生処理の料金を算出すること、を含む。
【００１６】
本発明の薬液の濃度管理料金又は再生処理料金の算出方法によれば、薬液の濃度管理や再生処理の役務を提供する者（以下「役務提供者」ということがある。）が、濃度管理装置や再生処理装置を薬液使用者の工場に置いて薬液を使用する設備に接続して濃度管理や再生処理を行うので、薬液使用者は濃度管理装置又は薬液再生装置を購入する必要がない。役務提供者の所有物件として装置を設置するので、薬液使用者はこれを維持管理する負担も負わない。薬液使用者は、何もせずに、繰り返し使用している薬液の濃度が所定の濃度に管理されるのであり、また、再生薬液の供給を受けることができる。役務提供者は、薬液の濃度管理や再生処理の役務の提供に係る料金を、積算流量計により計測された積算流量に基づいて合理的に計算することが可能となる。
【００１７】
前記目的を達成するために、本発明の薬液の濃度管理料金の算出方法は、薬液を使用する設備で繰り返し使用されている薬液に補充液を供給する濃度管理装置の補充液を供給する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、サーバシステムと、が接続されたネットワークを利用して、薬液の濃度管理の料金を算出する方法において、サーバシステムがネットワークを介してそれぞれの積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、サーバシステムがネットワークを介して取得した積算流量の履歴を積算流量計ごとに記憶するステップと、サーバシステムが履歴に基づいて、設備ごとに所定期間における薬液の濃度管理の料金を算出するステップと、を含む。
【００１８】
前記目的を達成するために、薬液の濃度管理料金算出システムは、薬液を使用する設備で繰り返し使用されている薬液に補充液を供給する濃度管理装置の補充液を供給する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、サーバシステムは、ネットワークを介して積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、受信部で受信した積算流量の履歴を、積算流量計ごとに記憶する記憶部と、記憶部で記憶した履歴に基づいて、設備ごとに所定期間における薬液の濃度管理の料金を算出する算出部と、を備える。
【００１９】
前記目的を達成するために、本発明の薬液の再生処理料金の算出方法は、使用済みの薬液を再利用可能に再生する薬液再生装置により再生された再生薬液を、薬液を使用する設備に供給する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、サーバシステムと、が接続されたネットワークを利用して、薬液の再生処理の料金を算出する方法において、サーバシステムがネットワークを介してそれぞれの積算流量計の計測した積算流量を取得するステップと、サーバシステムが取得した積算流量の履歴を積算流量計ごとに記憶するステップと、サーバシステムが履歴に基づいて、設備ごとに所定期間における薬液の再生処理の料金を算出するステップと、を含む。
【００２０】
前記目的を達成するために、薬液の再生処理料金算出システムは、使用済みの薬液を再利用可能に再生する薬液再生装置により再生された再生薬液を、薬液を使用する設備に供給する配管に備えられた通信機能を有する積算流量計と、積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、サーバシステムは、ネットワークを介して積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、受信部で受信した積算流量の履歴を、積算流量計ごとに記憶する記憶部と、記憶部で記憶した履歴に基づいて、設備ごとに所定期間における薬液の再生処理の料金を算出する算出部と、を備える。
【００２１】
本発明の薬液の濃度管理料金の算出方法若しくは薬液の再生処理料金の算出方法、又は、薬液の濃度管理料金算出システム若しくは薬液の再生処理料金算出システムによれば、各薬液使用者の工場で使われている積算流量計をネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で一元的に監視することができる。積算流量計のメーターを検針するために薬液使用者の工場に出向く必要がない。薬液使用者の設備に供給した補充液又は再生薬液の所定期間における積算流量に応じた、薬液の濃度を管理する役務又は薬液の再生処理をする役務の合理的な提供料金を算出することができ、これを薬液使用者に請求することが可能となる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、積算流量計を備えた薬液の濃度管理装置により、薬液の濃度を管理する役務を提供するという、この業界に今まで無かった新しいビジネスの方法を実現することができる。本発明によれば、積算流量計を備えた薬液再生装置により、薬液の再生処理をする役務を提供するという、この業界に今まで無かった新しいビジネスの方法を実現することができる。そのため、本発明によれば、役務提供者は、装置を販売していた従来の場合と比べ、限られた市場の中で装置購入希望者を次々と探さなくても、継続的に安定な収益を確保することができる。
【００２３】
本発明によれば、薬液使用者は、薬液の濃度管理装置を購入したり運転したり維持管理したりする負担を背負わずに、薬液の濃度管理のために補給された補充液の積算流量に基づいた薬液の濃度管理の役務提供の料金を支払うだけで、常時所定の濃度に管理された薬液を使用することができる。本発明によれば、薬液使用者は、薬液再生装置を購入したり運転したり維持管理したりする負担を背負わずに、供給を受けた再生薬液の積算流量に基づいた薬液の再生処理の役務提供の料金を支払うだけで、再生薬液を入手し使用することができる。
【００２４】
本発明によれば、薬液販売者は、複数の薬液使用者の工場（サイト）で使用されている各濃度管理装置や各薬液再生装置の積算流量計を遠隔で一元的に監視することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】薬液濃度管理装置の模式図である。
【図２】薬液再生装置の模式図である。
【図３】薬液の濃度管理料金の算出方法のフローチャート図である。
【図４】薬液の再生処理料金の算出方法のフローチャート図である。
【図５】薬液の濃度管理料金算出システム又は再生処理料金算出システムの構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、適宜図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。ただし、これらの実施の形態に記載されている装置等の形状、大きさ、寸法比、その相対配置などは、とくに特定的な記載がない限り、本発明の範囲に図示されているもののみに限定するものではない。単なる説明例として、模式的に図示しているに過ぎない。
【００２７】
また、以下の説明では、半導体又は液晶ディスプレイの製造プロセスで用いられる薬液の具体例として、現像工程で現像液として主に使われる２．３８％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（以下、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドをＴＭＡＨという。）を、適宜用いて説明する。
【００２８】
ただし、本発明が適用される薬液はこれに限定されるものではない。本発明が適用できる他の薬液の例としては、現像液のほかに、エッチング液、剥離液、帯電防止剤、又は、洗浄液などを挙げることができる。
【００２９】
これらの薬液は、それぞれ、さらに多様な種類や組成の薬液が存在する。例えば、現像液としては、他に、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウムなどの無機化合物の水溶液や、トリメチルモノエタノールアンモニウムハイドロオキサイド（コリン）などの有機化合物の水溶液などを挙げることができる。例えば、エッチング液としては、シュウ酸水溶液、硫酸と過酸化水素の混合水溶液、硫酸銅溶液、燐酸と酢酸と硝酸の混合水溶液、熱燐酸、硝酸第二セリウムアンモニウム水溶液、塩化第二鉄溶液などを挙げることができる。例えば、剥離液としては、ジメチルスルホキシド系原液と純水との溶液、Ｎ−メチルピロリドン系原液と純水との溶液、アルカノールアミンとグライコールエーテルと純水との溶液などの水系レジスト剥離液や、モノエタノールアミンとブチルジグリコールと添加剤との混合溶液などの非水系レジスト剥離液などを挙げることができる。
【００３０】
従来、上記の各種の薬液の薬液使用者は、濃度管理装置や薬液再生装置を製造販売する企業等から装置を購入し、これを現像設備やエッチング設備等の薬液を使用する設備に接続し、これらの装置を運転して、薬液の濃度管理や再生処理を行っていた。そのため、薬液使用者は、濃度管理装置や薬液再生装置を購入する際の一時的に多額の費用負担、装置の運転の際の補充液や必要材料の調達の負担、装置の運転や維持管理に関連するその他の数々の手間や負担を負わなければならなかった。
【００３１】
また、装置販売者側から見ると、従来の装置を販売するビジネスでは、装置販売時点にしか装置の対価回収の機会がなく、装置購入希望者を次々探して装置を売らなければ十分な利益を上げることが難しかった。
【００３２】
本発明者は、これらの諸点に鑑み、新規なビジネスの方法を発案した。すなわち、薬液の濃度管理装置を用いて薬液使用者の繰り返し使用する薬液の濃度を所定の濃度に管理する役務を提供するビジネスである。薬液再生装置を用いて薬液使用者の使用した薬液を再利用可能に再生処理する役務を提供するビジネスである。この新規なビジネスの方法について説明する。
【００３３】
まず、薬液の濃度を管理する役務を提供するビジネスについて説明する。
【００３４】
濃度管理の役務提供者は、濃度管理装置を用いて薬液使用者が繰り返し使用している薬液を薬液使用者の望む所定の濃度又は所定の濃度範囲に管理する。濃度管理は、繰り返し使用されている薬液に補充液を補給することにより行われる。濃度管理装置は、繰り返し使用されている薬液の濃度を繰り返し測定して常時監視し、適切な補充液が必要量補給されるように補充液を補給する配管に備えられた制御弁を制御する。補充液は、補充液を補給する配管に備えられた積算流量計により積算流量を計測されながら、補給される。役務提供者は、補給された補充液の積算流量を監視することで、所定期間ごと（例えば、一週間ごととか一か月ごととか）の積算流量に基づいて、濃度管理の役務提供に係る料金を算出し、これを当該所定期間ごとに薬液使用者に請求する。これが、薬液の濃度を管理する役務を提供するビジネスの概要である。
【００３５】
薬液の濃度を管理する役務に使用する濃度管理装置は、役務提供者の所有物件として、役務提供者が運転及び維持管理を行い、濃度管理に使用する。したがって、薬液使用者は、濃度管理装置を購入する必要がないし、その運転や維持管理をする必要もない。ただ単に、役務提供者に薬液の濃度を管理してもらうだけである。
【００３６】
役務提供者は、自らの所有する濃度管理装置を薬液使用者の工場に置かせてもらい、薬液使用者の運用する薬液を使用する設備（以下「薬液使用設備」ともいう。）に接続する。ここで、薬液を使用する設備とは、薬液が現像液であれば現像装置、エッチング液であればエッチング装置、剥離液であれば剥離装置、などのことである。
【００３７】
濃度管理は、薬液の濃度測定と、測定された薬液の濃度に基づく補充液の補給と、により実現される。ただし、これに限定されない。例えば、使用された薬液の再生処理を組み合わせるなどして、濃度管理してもよい。
【００３８】
例えば、現像処理工程で多用されているＴＭＡＨ水溶液を２．３８％の濃度に管理する場合には、特許文献１にあるように、次のような濃度管理がなされる。すなわち、現像液管理装置はアルカリ成分濃度と溶解樹脂濃度を繰り返し測定して常時監視し、アルカリ成分濃度がおよそ２．３８％の濃度になるように、及び、溶解樹脂濃度が所定の設定濃度を越えないように、補充液を補給して濃度管理する。
【００３９】
この場合、補充液としては、現像液の原液、現像液の新液、純水、などが補給される。現像液の原液とは、濃度の濃い現像液、例えば、２０％ないし２５％程度のＴＭＡＨ水溶液である。現像液の新液とは、未使用の現像液、つまり溶解樹脂等の不要物を含まない新鮮な現像液である。例えば、未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液である。使用された現像液から溶解樹脂などの不要物を除去した現像液の再生液を補充液として使用してもよい。
【００４０】
濃度測定は、現像設備で繰り返し使用されている現像液をサンプリングし、濃度管理装置の測定部で行われる。アルカリ成分濃度は現像液の導電率を測定することで、また、溶解樹脂濃度は現像液の特定波長における吸光度を測定することで、行われる。これらの成分濃度と対応する現像液の物性値との間には、良好な相関関係があることが知られている（特許文献１参照）。このような相関関係を用いれば、測定された導電率値からアルカリ成分濃度が、測定された吸光度値から溶解樹脂濃度が、導き出される。
【００４１】
濃度測定の結果、アルカリ成分濃度が２．３８％より低い時には、濃度管理装置は、補充液として現像液の原液を補給する。逆に、２．３８％より高い時には、濃度管理装置は、補充液として純水又は現像液の新液を補給する。同様に、溶解樹脂濃度が所定の設定濃度を越えたときには、濃度管理装置は、補充液として現像液の新液を補給する。
【００４２】
補充液は、配管を介して、補充液を貯留している貯留容器や補充液を供給する設備から薬液使用者の薬液使用設備へ送液される。補充液が補給される配管には、濃度管理装置により制御される制御弁と積算流量計が設置されている。制御弁が開の時に単位時間あたりに流れる流量が制御弁ごとに予め設定されていれば、濃度管理装置は、補給すべき補充液の流れる配管に設けられた制御弁を所定時間開にすることで、適量の補充液を補給することができる。補充液の補給の際、積算流量計は、補充液の積算流量を測定する。これは、薬液使用設備に供給された補充液の供給量である。
【００４３】
役務提供者は、例えば一か月ごとなどの所定期間ごとに、積算流量計により測定された補充液の積算流量（供給量）に基づいて薬液の濃度管理料金を算出する。役務提供者は、薬液の濃度を管理する役務の提供の対価として、算出した濃度管理料金を薬液使用者に請求する。
【００４４】
薬液使用者は、所定期間ごとに薬液の濃度管理料金を支払うことで、濃度管理装置の購入や運転及び維持管理をすることなく、濃度管理された薬液を使用し続けることができる。一方、役務提供者は、装置を販売していた時と比べて、継続して安定な収益を上げることが可能となる。
【００４５】
ここで、薬液の濃度管理料金としては、種々の態様があり得る。以下に、薬液の濃度管理料金の具体例を、いくつか例示する。ただし、薬液の濃度管理料金の算出の仕方は、これらに限定されない。本発明の薬液の濃度管理料金の算出の仕方は、補充液の積算流量（供給量）に基づく各種の料金算出方法を含むものである。
【００４６】
第一に、薬液の濃度管理料金として、所定期間に供給した補充液の供給料金を基準に料金を計算するものがある。補充液を販売する、という考え方によるものである。
【００４７】
例えば、所定期間をひと月ごととする。積算流量計で補充液の積算流量を計測しているので、今月検針時点における積算流量から前月検針時点における積算流量を差し引くことにより、今月補給した補充液の供給量が求められる。これをＱ（Ｌ／月）とする。補充液の供給単価をＡ（円／Ｌ）とする。そうすると、今月の補充液の供給料金が、Ｑ×Ａ（円／月）と求められる。補充液が複数ある場合には、複数ある補充液のそれぞれについて、供給量をＱ１、Ｑ２、Ｑ３、・・・（Ｌ／月）、供給単価をＡ１、Ａ２、Ａ３、・・・（円／Ｌ）として、補充液の供給料金は、ΣＱｉ×Ａｉ （ｉ＝１、２、３、・・・）  （円／Ｌ）と求められる。これを、今月の薬液の濃度管理料金として、薬液使用者に請求する。
【００４８】
この変形例として、上記のように計算した補充液の供給料金に各種の料金を加算して得た料金を、月々の薬液の濃度管理料金とするものがある。加算する各種の料金の代表的なものとして、基本料金がある。濃度管理の役務提供に係る契約時に、月々の基本料金を定め、これを補充液の供給の有無に関わらず、薬液の濃度管理料金に含めて請求するものである。もちろん、基本料金という名目いかんに関わらず、設備維持管理費や装置運転員の人件費、原料調達費、その他の諸経費などを、加算する料金に含めてもよい。加算される料金（例えば基本料金）をＺ（円／月）とすれば、月々の薬液の濃度管理料金は、Ｑ×Ａ＋Ｚ（円／月）となる。補充液が複数あり、加算される料金が種々の料金の和Ｚ＝ΣＺｊであるときは、月々の薬液の濃度管理料金は、ΣＱｉ×Ａｉ ＋ΣＺｊ（ｉ、ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）となる。
【００４９】
また別の変形例としては、補充液の供給料金に割増率Ｂをかけて得た金額を、月々の薬液の濃度管理料金とする場合もある。例えば、補充液の原料の調達にかかる諸経費や装置の維持管理費などは、補充液の供給量（これは装置の運転時間とも関係する。）に連動するものととらえることが合理的である。このような場合には、割増率Ｂを補充液の供給料金Ｑ×Ａ（円／月）にかけて、月々の薬液の濃度管理料金は、Ｑ×Ａ×Ｂ（円／月）と求められる。割増率Ｂを補充液の供給単価Ａ（円／Ｌ）に含めてしまうのでもよい。さらに、基本料金などが加算される場合には、月々の薬液の濃度管理料金は、Ｑ×Ａ×Ｂ＋Ｚ（円／月）となる。より一般的には、月々の薬液の濃度管理料金は、（ΣＱｉ×Ａｉ）×Ｂ ＋ΣＺｊ（ｉ、ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）と求められる。
【００５０】
第二に、薬液の濃度管理料金として、所定期間に提供した薬液の濃度管理の役務により薬液使用者にもたらされた経済的な利益に所定の割合をかけて得た額を、薬液使用者に請求する、というものである。濃度管理の役務の提供により薬液使用者に生じさせた経済的な利益を、薬液使用者と役務提供者とで分け合いましょう、という考え方によるものである。これは、例えば、薬液の濃度管理を実施していなかった薬液使用者に対して、薬液の濃度管理の役務を提供する場合などに、好適に適用される。
【００５１】
薬液の濃度管理をしない場合、薬液使用者は、薬液を所定回数使用したのち全量廃棄して、新しい薬液に交換していた。このため、薬液の液性能は、液の交換のたびに大きく変動していた。一方、薬液の濃度管理を実施すると、薬液使用者は、次のような様々な効能を享受することができる。すなわち、薬液の使用量が大幅に削減される。薬液の廃液量も大幅削減される。また、薬液の液性能が常時一定となるため、半導体や液晶基板の製造品質が安定し、製造歩留まりが向上する。液交換のために製造装置を停止する必要がなく、製造装置の稼働率が向上し、半導体や液晶基板の製造量が増加する。
【００５２】
このような場合における薬液の濃度管理料金の算出の具体例として、薬液使用量の削減による薬液コストの軽減額の数割分を所定期間の薬液の濃度管理料金とするもの、を挙げることができる。
【００５３】
例えば、所定期間をひと月ごととする。薬液使用者が本発明に係る薬液の濃度管理の役務の提供を受ける前、すなわち、薬液の濃度管理を実施していなかった頃に、薬液使用者が購入したひと月当たりの薬液の購入量をＲ（Ｌ／月）とし、その購入単価をＣ（円／Ｌ）とする。薬液購入量Ｒの変動が大きい場合には、過去の適当な期間における薬液購入量の平均値をＲとする。
【００５４】
本発明に係る薬液の濃度管理の役務の提供により供給される補充液の供給量は、積算流量計により測定された積算流量から、Ｑ（Ｌ／月）と求められる。補充液の供給単価Ａ（円／Ｌ）をかけて、月々の補充液の供給料金は、Ｑ×Ａ（円／月）と求められる。
【００５５】
そうすると、薬液使用者が本発明に係る薬液の濃度管理の役務の提供を受けたことにより得ることのできる薬液コストの軽減額は、Ｒ×Ｃ−Ｑ×Ａ（円／月）となる。月々の薬液の濃度管理料金は、割合をＤとして、（Ｒ×Ｃ−Ｑ×Ａ）×Ｄ（円／月）と求められる。もちろん、これに基本料金などを加算してもよい。割合Ｄとしては、例えば、一割（０．１）とか、二割（０．２）とか、三割（０．３）などである。
【００５６】
変形例として、薬液の廃液量の削減による廃液処理コストの軽減額の数割分を所定期間の薬液の濃度管理料金としてもよい。
【００５７】
濃度管理実施前の薬液の月々の廃液処理費用をＳ（円／月）、濃度管理実施後の月々の廃液処理費用をＴ（円／月）（ただしＳ＞Ｔとする。）とすると、濃度管理により削減された廃液処理費用の軽減額は、Ｓ−Ｔ（円／月）である。薬液使用者は、濃度管理により、月々Ｑ×Ａ（円／月）の補充液の供給料金を支払うから、薬液使用者の廃液量削減に絡む経済的な利益の額は、（Ｓ−Ｔ）−Ｑ×Ａ（円／月）となる。月々の薬液の濃度管理料金は、これに割合Ｄをかけて、（（Ｓ−Ｔ）−Ｑ×Ａ）×Ｄ（円／月）と求められる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００５８】
他の変形例として、薬液使用者の経済的な利益の額に、薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額の代わりに、歩留まり向上や製品品質の向上、装置稼働率の向上等によりもたらされた薬液使用者側の収益増加額などを用いるようにしてもよい。また、薬液コストの軽減額、廃液処理費用の軽減額、薬液使用者の収益増加額などを総和した額から補充液の供給料金Ｑ×Ａ（円／月）を差し引いた額を、薬液使用者の濃度管理による総合的な経済的利益の額とみて、月々の濃度管理料金を算出するのでもよい。この場合、収益増加額等を総和して得られた額をＵ（円／月）とすれば、濃度管理料金は、（Ｕ−Ｑ×Ａ）×Ｄ（円／月）となる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００５９】
さらなる変形例として、既に薬液の濃度管理を実施していた薬液使用者に、本発明に係る薬液の濃度管理の役務を提供することにより、薬液使用者に様々な経済的利益を生じさせることができる。これらを、同様に、月々の薬液の濃度管理料金として計算し、薬液使用者に請求する。
【００６０】
多くの薬液使用者は、既に薬液の濃度管理を実施している場合であっても、依然として、濃度管理装置を購入して、自ら運転し、維持管理して、薬液の濃度管理をしている。そのため、薬液使用者は、薬液の濃度管理に、原料や資材の調達の諸経費や装置の運転員の人件費などの費用を負担している。また、古い濃度管理装置をいまだに使っていたり、薬液ごとに充分最適化されていない濃度測定原理に基づいた濃度管理装置を使っていたりすることも多い。
【００６１】
このような場合の薬液使用者に対し、従来の濃度管理を本発明に係る薬液の濃度管理の役務に置き換えることで、薬液使用者に、薬液コストや廃液コストの削減、歩留まり向上、製品品質の向上と安定、設備稼働率の向上、製品製造数量の向上などに伴う経済的な利益をもたらすことができる。このような場合にも、上記と同様に、補充液の積算流量に基づいて得た経済的利益の額の数割分を、薬液の濃度管理料金として算出して、薬液使用者に請求することが可能である。
【００６２】
次に、使用された薬液を再利用可能に再生処理する役務を提供するビジネスについて説明する。
【００６３】
薬液の再生処理の役務提供者は、薬液再生装置を用いて薬液使用設備で使用された薬液に蓄積した不要成分を取り除き、薬液使用者の望む所定の濃度又は所定の濃度範囲に調整し、再利用可能に再生する。再生処理は、濾過、電析、晶析、膜分離などの技術を使って、蓄積された不要成分を除去することにより、行われる（再生処理の方式は、これらに限定されない。対象とする薬液や除去すべき成分に応じて、適宜好適な技術が選択され、適用される。）。薬液再生装置は、再生された薬液を供給する配管に備えられた制御弁を開とすることにより、再生薬液を薬液使用設備に供給する。再生薬液は、再生薬液を供給する配管に備えられた積算流量計により積算流量を計測されながら、供給される。役務提供者は、供給された再生薬液の積算流量を監視することで、所定期間ごと（例えば、一週間ごととか一か月ごととか）の積算流量に基づいて、薬液の再生処理の役務提供に係る料金を算出し、これを当該所定期間ごとに薬液使用者に請求する。これが、使用された薬液を再生処理する役務を提供するビジネスの概要である。
【００６４】
使用された薬液を再生処理する役務に使用する薬液再生装置は、役務提供者の所有物件として、役務提供者が運転及び維持管理を行い、薬液の再生処理に使用する。したがって、薬液使用者は、薬液再生装置を購入する必要がないし、その運転や維持管理をする必要もない。ただ単に、役務提供者に薬液の再生処理をしてもらうだけである。
【００６５】
役務提供者は、自らの所有する薬液再生装置を薬液使用者の工場に置かせてもらい、薬液使用者の運用する薬液使用設備に接続する。ここで、薬液使用設備とは、薬液が現像液であれば現像装置、エッチング液であればエッチング装置、剥離液であれば剥離装置、などのことである。
【００６６】
再生処理は、薬液が使用されたことにより薬液中に蓄積された不要物を、濾過、電析、晶析、膜分離などの分離除去技術を用いて薬液中から取り除くことにより実現される。適宜、補充液の補給などにより、薬液の各成分を調節するようになっていてもよい。ただし、再生処理に使用される分離技術は、これらに限定されない。薬液中に蓄積された不要物とは、例えば、現像液の場合では、現像処理により基板から溶出したレジスト成分などである。
【００６７】
再生された薬液は、配管を介して、薬液使用者の薬液使用設備へ送液される。再生薬液が補給される配管には、制御弁と積算流量計が設置されている。制御弁が開の時に単位時間あたりに流れる流量が予め設定されていれば、この制御弁を所定時間開にすることで、適量の再生薬液を供給することができる。再生薬液の供給の際、積算流量計は、再生薬液の積算流量を測定する。これは、薬液使用設備に供給された再生薬液の供給量である。
【００６８】
役務提供者は、例えば一か月ごとなどの所定期間ごとに、積算流量計により測定された再生薬液の積算流量（供給量）に基づいて薬液の再生処理料金を算出する。役務提供者は、薬液の再生処理をする役務の提供の対価として、算出した薬液の再生処理料金を薬液使用者に請求する。
【００６９】
薬液使用者は、所定期間ごとに薬液の再生処理料金を支払うことで、薬液再生装置の購入や運転及び維持管理をすることなく、再生処理された薬液を入手して使用することができる。一方、役務提供者は、装置を販売していた時と比べて、継続して安定な収益を上げることが可能となる。
【００７０】
ここで、薬液の再生処理料金としては、種々の態様があり得る。以下に、薬液の再生処理料金の具体例を、いくつか例示する。ただし、薬液の再生処理料金の算出の仕方は、これらに限定されない。本発明の薬液の再生処理料金の算出の仕方は、再生薬液の積算流量（供給量）に基づく各種の料金算出方法を含むものである。
【００７１】
第一に、薬液の再生処理料金として、所定期間に供給した再生薬液の供給料金を基準に料金を計算するものがある。再生薬液を販売する、という考え方によるものである。
【００７２】
例えば、所定期間をひと月ごととする。積算流量計で再生薬液の積算流量を計測しているので、今月検針時点における積算流量から前月検針時点における積算流量を差し引くことにより、今月供給した再生薬液の供給量が求められる。これをＫ（Ｌ／月）とする。再生薬液の供給単価をＥ（円／Ｌ）とする。そうすると、今月の再生薬液の供給料金が、Ｋ×Ｅ（円／月）と求められる。これを、今月の薬液の再生処理料金として、薬液使用者に請求する。
【００７３】
この変形例として、上記のように計算した再生薬液の供給料金に各種の料金を加算して得た料金を、月々の薬液の再生処理料金とするものがある。加算する各種の料金の代表的なものとして、基本料金がある。薬液の再生処理の役務提供に係る契約時に、月々の基本料金を定め、これを再生薬液の供給の有無に関わらず、薬液の再生処理料金に含めて請求するものである。もちろん、基本料金という名目いかんに関わらず、設備維持管理費や装置運転員の人件費、原料調達費、その他の諸経費などを、加算する料金に含めてもよい。加算される料金（例えば基本料金）をＺ（円／月）とすれば、月々の薬液の再生処理料金は、Ｋ×Ｅ＋Ｚ（円／月）となる。加算される料金が種々の料金の和Ｚ＝ΣＺｊであるときは、月々の薬液の再生処理料金は、Ｋ×Ｅ ＋ΣＺｊ（ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）となる。
【００７４】
また別の変形例としては、再生薬液の供給料金に割増率Ｂをかけて得た金額を、月々の薬液の再生処理料金とする場合もある。例えば、再生薬液の資材や原料の調達にかかる諸経費、装置の維持管理費などは、再生薬液の供給量（これは装置の運転時間とも関係する。）に連動するものととらえることが合理的である。このような場合には、割増率Ｆを再生薬液の供給料金Ｋ×Ｅ（円／月）にかけて、月々の薬液の再生処理料金は、Ｋ×Ｅ×Ｆ（円／月）と求められる。割増率Ｆを再生薬液の供給単価Ｅ（円／Ｌ）に含めてしまうのでもよい。さらに、基本料金などが加算される場合には、月々の薬液の再生処理料金は、Ｋ×Ｅ×Ｆ＋Ｚ（円／月）となる。より一般的には、月々の薬液の薬液処理料金は、（Ｋ×Ｅ）×Ｆ ＋ΣＺｊ（ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）と求められる。
【００７５】
第二に、薬液の再生処理料金として、所定期間に提供した薬液の再生処理の役務により薬液使用者にもたらされた経済的な利益に所定の割合をかけて得た額を、薬液使用者に請求する、というものである。薬液の再生処理の役務の提供により薬液使用者に生じさせた経済的な利益を、薬液使用者と役務提供者とで分け合いましょう、という考え方によるものである。これは、例えば、薬液の再生処理を実施していなかった薬液使用者に対して、薬液の再生処理の役務を提供する場合などに、好適に適用される。
【００７６】
薬液の再生処理をしない場合、薬液使用者は、薬液を所定回数使用したのち全量廃棄して、新しい薬液に交換していた。このため、薬液の廃液量が非常に多く、新たな薬液も多量に調達しなければならなかった。一方、薬液を再生処理して再利用すると、薬液使用者は、次のような様々な効能を享受することができる。すなわち、新たな薬液の使用量が大幅に削減される。薬液の廃液量も大幅削減される。
【００７７】
このような場合における薬液の再生処理料金の算出の具体例として、薬液使用量の削減による薬液コストの軽減額の数割分を所定期間の薬液の再生処理料金とするもの、を挙げることができる。
【００７８】
例えば、所定期間をひと月ごととする。薬液使用者が本発明に係る薬液の再生処理の役務の提供を受ける前、すなわち、薬液の再生処理を実施していなかった頃に、薬液使用者が購入したひと月当たりの薬液の購入量をＭ（Ｌ／月）とし、その購入単価をＧ（円／Ｌ）とする。薬液購入量Ｍの変動が大きい場合には、過去の適当な期間における薬液購入量の平均値をＭとする。
【００７９】
本発明に係る薬液の再生処理の役務の提供により供給される再生薬液の供給量は、積算流量計により測定された積算流量から、Ｋ（Ｌ／月）と求められる。補充液の供給単価Ｅ（円／Ｌ）をかけて、月々の再生薬液の供給料金は、Ｋ×Ｅ（円／月）と求められる。
【００８０】
そうすると、薬液使用者が本発明に係る薬液の再生処理の役務の提供を受けたことにより得ることのできる薬液コストの軽減額は、Ｍ×Ｇ−Ｋ×Ｅ（円／月）となる。月々の薬液の再生処理料金は、割合をＦとして、（Ｍ×Ｇ−Ｋ×Ｅ）×Ｆ（円／月）と求められる。もちろん、これに基本料金などを加算してもよい。割合Ｆとしては、例えば、一割（０．１）とか、二割（０．２）とか、三割（０．３）などである。
【００８１】
変形例として、薬液の廃液量の削減による廃液処理コストの軽減額の数割分を所定期間の薬液の再生処理料金としてもよい。
【００８２】
再生処理実施前の薬液の月々の廃液処理費用をＮ（円／月）、再生処理実施後の月々の廃液処理費用をＰ（円／月）（ただしＮ＞Ｐとする。）とすると、薬液の再生処理により削減された廃液処理費用の軽減額は、Ｎ−Ｐ（円／月）である。薬液使用者は、薬液の再生処理により、月々Ｋ×Ｅ（円／月）の再生薬液の供給料金を支払うから、薬液使用者の廃液量削減に絡む経済的な利益の額は、（Ｎ−Ｐ）−Ｋ×Ｅ（円／月）となる。月々の薬液の再生処理料金は、これに割合Ｆをかけて、（（Ｎ−Ｐ）−Ｋ×Ｅ）×Ｆ（円／月）と求められる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００８３】
他の変形例として、薬液使用者の経済的な利益の額に、薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額などを総和した額を用いてもよい。薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額などを総和した額から補充液の供給料金Ｋ×Ｅ（円／月）を差し引いた額を、薬液使用者の薬液の再生処理による総合的な経済的利益の額とみて、月々の薬液処理料金を算出してもよい。この場合、薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額などを総和した額をＶ（円／月）とすれば、薬液の再生処理料金は、（Ｖ−Ｋ×Ｅ）×Ｆ（円／月）となる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００８４】
さらなる変形例として、既に薬液の再生処理を実施していた薬液使用者に、本発明に係る薬液の再生処理の役務を提供することにより、薬液使用者に様々な経済的利益を生じさせることができる。これらを、同様に、月々の薬液の再生処理料金として計算し、薬液使用者に請求する。
【００８５】
多くの薬液使用者は、既に薬液の再生処理を実施している場合であっても、依然として、薬液再生装置を購入して、自ら運転し、維持管理して、薬液の再生処理をしている。そのため、薬液使用者は、薬液の再生処理に、原料や資材の調達の諸経費や装置の運転員の人件費などの費用を負担している。また、古い再生処理装置をいまだに使っていることも多い。
【００８６】
このような場合の薬液使用者に対し、従来の再生処理を本発明に係る薬液の再生処理の役務に置き換えることで、薬液使用者に、薬液コストや廃液コストの削減などに伴う経済的な利益をもたらすことができる。このような場合にも、上記と同様に、補充液の積算流量に基づいて得た経済的利益の額の数割分を、薬液の再生処理料金として算出して、薬液使用者に請求することが可能である。
【００８７】
次に、本発明に係る薬液の濃度管理装置について、説明する。本発明の薬液の濃度管理の役務を提供するビジネスを実現するには、濃度管理に要する補充液の供給量を測定することが可能な、補充液の供給配管に積算流量計を備えた濃度管理装置が必要不可欠である。以下に、このような積算流量計を備えた濃度管理装置を、図面を参照しながら説明する。
【００８８】
〔薬液の濃度管理装置〕
図１は、本実施形態の薬液の濃度管理装置を説明するための模式図である。本実施形態の説明においては、薬液として２．３８％濃度のＴＭＡＨ水溶液（現像液）を例に、補充液として、２０％ＴＭＡＨ水溶液（現像液の原液）と未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液（現像液の新液）と純水とを補給して濃度管理をする薬液の濃度管理装置を説明する。
【００８９】
図１では、説明の便宜のために、現像液（薬液）の濃度管理装置１は、現像工程設備（薬液使用設備）１００と接続された態様で図示している。そのほか、現像液（薬液）の濃度管理装置１は、補充液の貯留容器９１、９２等とも接続されている。
【００９０】
まず、現像工程設備（薬液使用設備）１００について簡単に説明する。ただし、図１の現像工程設備（薬液使用設備）１００は現像工程設備（薬液使用設備）の例示であり、これに限定されない。本発明の現像液（薬液）の濃度管理装置が接続される現像工程設備（薬液使用設備）は、図１とは異なる各種の態様のものも含まれ得る。
【００９１】
現像工程設備１００は、主に、現像液貯留槽１６１、オーバーフロー槽１６２、現像室フード１６４、ローラーコンベア１６５、現像液シャワーノズル１６７などからなる。現像液貯留槽１６１には、現像処理に繰り返し使用されている現像液（薬液）が貯留されている。現像液貯留槽１６１は、液面計１６３とオーバーフロー槽１６２を備え、補充液を補給することによる液量の増加を管理している。現像液貯留槽１６１と現像液シャワーノズル１６７とは、現像液管路１８０により接続される。現像液貯留槽１６１内に貯留された現像液は、現像液管路１８０に設けられた循環ポンプ１７２により、フィルター１７３を介して、現像液シャワーノズル１６７に送液される。ローラーコンベア１６５は、現像液貯留槽１６１の上方に備えられ、フォトレジスト膜の製膜された基板１６６を搬送する。現像液は現像液シャワーノズル１６７から滴下される。ローラーコンベア１６５により搬送される基板１６６は、滴下される現像液の中を通過することで、現像液に浸される。その後、現像液は、現像液貯留槽１６１に回収され、再び貯留される。現像液貯留槽１６１に貯留されている現像液は、循環ポンプ１７４により抜き取られ、フィルター１７５を備えた循環管路１８５を介して、再び現像液貯留槽１６１に戻される。循環管路１８５を介した現像液の循環により、現像液貯留槽１６１内の現像液は、常に攪拌される。なお、劣化した現像液は、廃液ポンプ１７１を作動することにより廃液（ドレン）される。
【００９２】
次に、本実施形態の濃度管理装置１について説明する。
【００９３】
本実施形態の濃度管理装置１は、主に、測定部１０、演算部２０、制御部３０、及び、補充液供給配管８１、８２、８３に備えられた制御弁４１、４２、４３と積算流量計５１、５２、５３と、を備えている。
【００９４】
測定部１０は、サンプリング配管１５及び戻り配管１６により現像液貯留槽１６１と接続されている。測定部１０は、測定データ用信号線１７、１８により、演算部２０と接続されている。
測定部１０は、サンプリングポンプ１４と、測定手段１１及び１２を備えている。測定手段１１及び１２は、例えば、現像液のアルカリ成分の濃度を測定するための導電率計とか、現像液の溶解樹脂濃度を測定するための吸光光度計などである。測定手段１１、１２は、サンプリングポンプ１４の後に直列に接続される。サンプリング配管１５は、サンプリングポンプ１４に接続され、戻り配管１６は、測定手段末端の配管と接続されている。
【００９５】
測定部１０は、測定精度を高めるために、さらに、サンプリングした現像液を所定の温度に安定させる温度調節手段（図示せず）を備えていることが望ましい。この際、温度調節手段は、測定手段の直前に設けられていることが好ましい。
【００９６】
演算部２０は、測定部１０で測定された測定データから現像液の成分濃度（例えば、アルカリ成分濃度や溶解樹脂濃度など）を算出するための演算ブロック２１を含んでいる。演算ブロック２１では、測定部１０で測定された測定データから現像液の成分濃度が算出される。
【００９７】
演算部２０は、信号線２２により、制御部３０と接続されている。演算部と制御部とは、例えばコンピュータなどにより、一体に構成されていてもよい。
【００９８】
制御部３０は、制御ブロック３１を含む。制御部３０は、補充液供給配管８１、８２、８３に設けられた制御弁４１、４２、４３と、制御用信号線３２、３３、３４により、接続されている。制御ブロック３１は、演算部２０で算出された現像液の濃度に応じて、どの補充液をどれだけ補充するかを決め、補充液を送液する配管に設けられた制御弁を開閉制御する。
【００９９】
補充液供給配管８１、８２、８３には、さらに、それぞれ、供給された補充液の積算流量を測る積算流量計５１、５２、５３が備えられている。純水の補充液供給配管８３には、積算流量計を設けないこともある。
【０１００】
現像液（薬液）の濃度管理装置１の動作は、次のようになる。
【０１０１】
まず、現像工程設備１００で繰り返し使用されている現像液をサンプリングポンプ１４でサンプリングし、適宜温度調節など測定条件を整えた後、測定手段１１及び１２で例えばその導電率と吸光度を測定する。測定された現像液の導電率値と吸光度値は、測定データ用信号線１７、１８を介して、演算部２０に送られる。
【０１０２】
演算部２０は、測定部１０の測定手段１１及び１２で測定された現像液の導電率や吸光度などの特性値に基づいて、対応する現像液の成分の濃度を算出する。算出された現像液の成分濃度は、信号線２２を介して、制御部３０に送られる。
【０１０３】
制御部３０は、演算部２０で算出された現像液の成分濃度と予め記憶しておいた成分濃度の管理目標値とを比較する。制御部３０は、成分濃度を管理目標値に維持するために補給することが必要な補充液の選択、補充液の供給量の計算又は補充液を送液する配管に設けられた制御弁を開とすべき時間の計算をする。制御部３０は、制御用信号線３２、３３、３４を介して、補充液供給配管８１、８２、８３に設けられた制御弁４１、４２、４３のいずれか適切な制御弁に、開閉制御の信号を送る。
【０１０４】
制御信号を受けた制御弁は、その制御信号に基づいて、所定時間流路を開にする。制御弁は、予め開時の流量が設定されている。そのため、所定時間流路を開にすることで、所定量の補充液が供給される。
【０１０５】
例えば、ＴＭＡＨ水溶液（現像液）のアルカリ成分濃度を２．３８％に管理する制御は次のようになる。なお、ここでは、貯留容器９１に現像液の原液（２０％ＴＭＡＨ水溶液）が貯留されており、貯留容器９２に現像液の新液（未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液）が貯留されている例で説明する。測定部１０と演算部２０とにより測定され算出されたアルカリ成分の濃度が２．３８％よりも低い時は、補充液供給配管（現像液原液供給配管）８１に設けられた制御弁４１を所定時間開けて、貯留容器（現像液原液貯留容器）９１に用意しておいた現像液の原液（２０％ＴＭＡＨ水溶液）を補給する。アルカリ成分の濃度が２．３８％よりも高い時は、補充液供給配管（純水供給配管）８３に設けられた制御弁４３を所定時間開けて、純水を補給する。
【０１０６】
同様に、溶解樹脂濃度を所定の管理濃度以下に管理する制御は、次のようになる。測定部１０と演算部２０とにより測定され算出された溶解樹脂の濃度が所定の管理値よりも高い時は、補充液供給配管（現像液新液供給配管）８２に設けられた制御弁４２を所定時間開けて、貯留容器（現像液新液貯留容器）９２に用意しておいた現像液の新液（未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液）を補給する。
【０１０７】
貯留容器９１及び貯留容器９２は、窒素ガス用配管８５を介して導入される窒素ガスで加圧される。貯留容器９１及び９２内の補充液は、制御弁４１、４２が開くことにより、圧送される。貯留容器９１に窒素ガスを導く窒素ガス用配管８５には制御弁４７が、貯留容器９２に窒素ガスを導く窒素ガス用配管８５には制御弁４６が備えられている。制御弁４６、４７は、各貯留容器９１及び９２内の液の減少具合に応じて適宜開閉制御され、各貯留容器９１及び９２の内圧が維持される。補充液供給配管８１の貯留容器９１側、及び、補充液供給配管８２の貯留容器９２側には、バルブ４４及び４５を備える。バルブ４４、４５は、通常、常時開となっているが、貯留容器９１及び９２内が空になったときは、バルブ４４、４５を閉じ、補充液で充たされた新しい貯留容器９１、９２に交換する。
【０１０８】
このようにして、ＴＭＡＨ水溶液のアルカリ成分濃度が２．３８％に、溶解樹脂濃度が所定の管理値以下に、濃度管理される。濃度管理は、例えば、ＰＩＤ制御などにより行われる。
【０１０９】
補充液供給配管８１、８２、８３には、積算流量計５１、５２、５３が設けられている。積算流量計５１、５２、５３は、補充液供給配管８１、８２、８３を介して供給された補充液の積算流量を測定する。濃度管理装置１から供給された補充液は、積算流量計５１、５２、５３を通過した後、合流管路８４で合流し、循環管路１８５を介して、現像液貯留槽１６１に補給される。積算流量計５１、５２、５３は、通信機能を備えていることが望ましい。通信機能を備えていれば、積算流量計をネットワークに接続することができる。測定された積算流量の測定値を、ネットワークを介して、把握することができる。
【０１１０】
積算流量計５１、５２、５３は、直接的にネットワークに接続される場合に限らず、間接的にネットワークに接続されるのでもよい。例えば、積算流量計５１、５２、５３が、濃度管理装置１内で、濃度管理装置１の演算や制御の機能をつかさどるコンピュータに接続され、ネットワークには濃度管理装置１が接続されるような態様で、間接的にネットワークに接続されるのでもよい。
【０１１１】
また、積算流量計が接続されるネットワークは、工場内のローカルエリアネットワークでもよいし、インターネットなどの広域的なネットワークでもよい。
【０１１２】
以上のように、本発明の薬液の濃度管理装置により、薬液の濃度管理が実現され、供給された補充液の積算流量が計測される。
【０１１３】
図１に示した本実施形態の濃度管理装置１は、あくまで例示である。本発明の薬液の濃度管理装置はこの態様に限定されない。図１の濃度管理装置１では、各構成要素が一体に構成された装置を描いたが、測定部１０や補充液供給配管８１、８２、８３などが、別体となっていてもよい。測定部１０の内部構成なども、図１に限定されず、薬液の種類などにより各種の態様を取りうる。
【０１１４】
本発明の薬液の濃度管理装置は、要するに、繰り返し使用される薬液に補充液を補給してその薬液の濃度を管理することができる濃度管理装置における補充液を補給する配管に、積算流量計を備えていること、を特徴とするものである。さらに、その積算流量計が通信機能を備えていること、を特徴とするものである。
【０１１５】
通信機能を備えた積算流量計としては、例えば、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどが知られている。通信ユニットを取り付けることにより、測定した積算流量データなどの様々なデータを、パソコンなどと通信することができる。したがって、積算流量を遠隔でモニターすることができる。
【０１１６】
〔薬液再生装置〕
図２は、本実施形態の薬液再生装置を説明するための模式図である。本実施形態の説明においては、現像液中に蓄積されたレジスト成分をフィルターにより除去することにより現像液を再生処理する薬液再生装置を説明する。ただし、これに限定されない。薬液再生装置としては、フィルター除去によるもののほか、薬液の種類や薬液中の不要成分の性質などに応じて、例えば、電析や晶析、膜分離などの技術により不要成分を除去するものなど、各種の態様であってよい。
【０１１７】
図２では、説明の便宜のために、薬液再生装置（現像液再生装置）２は、現像工程設備（薬液使用設備）１００と接続された態様で図示している。現像工程設備（薬液使用設備）１００は、図１と同様であるので、その説明を省略する。
【０１１８】
本実施形態の薬液再生装置（現像液再生装置）２は、主に、フィルター６１、６２、６３、再生薬液貯留容器（再生現像液貯留容器）９３、送液ポンプ７０、積算流量計５４、制御部３５などを備えている。
【０１１９】
現像工程設備１００から廃液（ドレン）された使用後の現像液は、廃液回収配管８６を介して、薬液再生装置２のフィルター６１、６２、６３に導かれる。フィルター６１、６２、６３では、使用された現像液中のレジスト成分などを濾過して除去する。薬液再生装置２のフィルターは、図２のように、複数を並列に接続して備えていることが望ましい。現像液の再生処理能力を高めるとともに、フィルター目詰まり時のメンテナンス性に優れるためである。
【０１２０】
フィルター６１、６２、６３で不要物を除去され再生された再生現像液は、再生薬液貯留容器９３に貯留される。再生薬液貯留容器９３に貯留された再生現像液は、送液ポンプ７０により、再生薬液供給配管（再生現像液供給配管）８７を介して、現像工程設備１００に戻される。
【０１２１】
再生薬液供給配管８７には、送液ポンプ７０のほか、制御弁４８及び積算流量計５４が備えられている。制御弁４８と送液ポンプ７０とは、ともに、制御用信号線３７、３８を介して、制御部３５に含まれる制御ブロック３６と接続されている。制御ブロック３６は、再生現像液を現像工程設備１００に送液するために、送液ポンプ７０及び制御弁４８を動作制御する。再生現像液は、制御ブロック３６の制御信号により送液ポンプ７０が駆動し制御弁４８が開くことにより、送液される。
【０１２２】
再生現像液の送液に際し、再生薬液供給配管８７に備えられた積算流量計５４により、再生薬液供給配管８７を介して供給された再生現像液の積算流量が測定される。
【０１２３】
積算流量計５４は、通信機能を備えていることが望ましい。通信機能を備えていれば、積算流量計をネットワークに接続することができる。測定された積算流量の測定値を、ネットワークを介して、把握することができる。
【０１２４】
積算流量計５４は、直接的にネットワークに接続される場合に限らず、間接的にネットワークに接続されるのでもよい。例えば、現像液（薬液）再生装置２がネットワークに接続されることで、間接的に、積算流量計５４がネットワークに接続されるのでもよい。
【０１２５】
また、積算流量計が接続されるネットワークは、工場内のローカルエリアネットワークでもよいし、インターネットなどの広域的なネットワークでもよい。
【０１２６】
以上のように、本発明の薬液再生装置により、薬液の再生処理が実現され、供給された再生薬液の積算流量が計測される。
【０１２７】
図２に示した本実施形態の薬液再生装置２は、あくまで例示である。本発明の薬液再生装置はこの態様に限定されない。図２の薬液再生装置２では、各構成要素が一体に構成された装置を描いたが、制御部３５や再生薬液貯留容器９３、フィルター６１、６２、６３などが、別体に構成されていてもよい。また、再生薬液が、薬液の濃度管理における補充液の一つとして補給される場合には、薬液再生装置が制御部３５を備えている必要はなく、濃度管理装置１により制御弁４８や送液ポンプ７０が制御されるのでもよい。
【０１２８】
本発明の薬液の薬液再生装置は、要するに、使用された薬液を再利用可能に再生処理することができる薬液再生装置における再生薬液を供給する配管に、積算流量計を備えていること、を特徴とするものである。さらに、その積算流量計が通信機能を備えていること、を特徴とするものである。
【０１２９】
通信機能を備えた積算流量計としては、例えば、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどが知られている。通信ユニットを取り付けることにより、測定した積算流量データなどの様々なデータを、パソコンなどと通信することができる。したがって、積算流量を遠隔でモニターすることができる。
【０１３０】
〔薬液の濃度管理料金の算出方法〕
次に、本実施形態の薬液の濃度管理料金の算出方法について説明する。図３は、本実施形態の薬液の濃度管理料金の算出方法を説明するためのフローチャート図である。
【０１３１】
本実施形態の薬液の濃度管理料金の算出方法を説明するにあたり、濃度管理装置は、図１に示したように、薬液使用設備に接続されているものとする。すなわち、濃度管理装置で薬液使用設備の薬液貯留槽に貯留された薬液の濃度を計測できるように、濃度管理装置が薬液使用設備の薬液貯留槽とサンプリング配管で接続されており、同時に、薬液使用設備の薬液貯留槽に補充液を補給できるように、濃度管理装置が薬液使用設備と積算流量計を備えた配管により接続されているものとする。
【０１３２】
本実施形態の薬液の濃度管理料金の算出方法は、図３に示したように、薬液使用設備で繰り返し使用されている薬液の濃度を測定する濃度計測ステップＳ１と、濃度計測ステップＳ１で測定された濃度に基づいて補充液の補給の要否を判断する補充液補給要否判断ステップＳ２と、薬液使用設備に補充液を供給して薬液の濃度を管理する補充液供給ステップＳ３と、補給された補充液の積算流量を計測する積算流量計測ステップＳ４と、濃度管理を行った期間が所定期間経過したか判断する所定期間経過判断ステップＳ５と、積算流量計測ステップＳ４で計測された積算流量から薬液の濃度管理料金を算出する濃度管理料金算出ステップＳ６と、を含んでいる。
【０１３３】
このうち、濃度計測ステップＳ１、補充液補給要否判断ステップＳ２、補充液供給ステップＳ３は、多くの場合、薬液の濃度管理方法が通常有しているステップである。本発明の薬液の濃度管理料金の算出方法は、積算流量計測ステップＳ４と、所定期間経過判断ステップＳ５と、濃度管理料金算出ステップＳ６と、を有することに特徴がある。
【０１３４】
以下、Ｓ１〜Ｓ６の各ステップについて、具体的に説明する。
【０１３５】
濃度計測ステップＳ１は、濃度管理装置が、薬液使用設備で繰り返し使用されている薬液の濃度を計測するステップである。濃度管理装置は、薬液貯留槽から薬液をサンプリングして、その成分濃度を測定する。測定される成分濃度は、濃度管理の対象となっている薬液の成分の濃度である。
【０１３６】
濃度管理装置は、計測した薬液の濃度に基づいて、薬液に補充液を補給する必要があるか否か、を判断する。補充液を補給する必要がある場合には、どの補充液をどれくらいの量補給すべきか、についても濃度管理装置が判断をする。これが補充液補給要否判断ステップＳ２である。
【０１３７】
濃度計測ステップＳ１と補充液補給要否判断ステップＳ２とは、常に繰り返されるループを形成している。つまり、濃度を計測し、補充液を補給する必要があるか否か判断する、ということが繰り返される。このループにより、薬液の濃度が常時監視される。
【０１３８】
補充液補給要否判断ステップＳ２で、補充液の補給が「要」であると判断されると、適切な補充液が適量補給される。これが補充液供給ステップＳ３である。補充液補給要否判断ステップＳ２で補充液の補給が「否」であると判断されると、補充液は補給されない。適切な補充液が適量補給されることにより、薬液の濃度が所望の濃度に管理される。
【０１３９】
例えば、現像液であるＴＭＡＨ水溶液を２．３８％に濃度管理する場合、濃度計測ステップＳ１で計測された濃度が２．３８％よりも低ければ、補充液として現像液の原液を補給し、逆に、２．３８％よりも高ければ、補充液として純水（又は現像液の新液）を補給する。こうして現像液が常に２．３８％に維持され、管理される。
【０１４０】
補充液供給ステップＳ３で薬液に補充液が補給される際、補充液を送液するための配管に備えられた積算流量計により、供給された補充液の積算流量が計測される。これが、積算流量計測ステップＳ４である。補充液供給ステップＳ３と積算流量計測ステップＳ４とは、通常、同時に実行される。つまり、補充液を供給しながら、その積算流量の計測が行われる。
【０１４１】
所定期間経過判断ステップＳ５で、所定期間が経過したか否かを判断する。所定期間が経過していない場合、ステップＳ１〜ステップＳ４を繰り返し行うことで、薬液使用設備で繰り返し使用されている薬液の濃度の管理を行うとともに、補充液の積算流量の計測を行う。所定期間が経過した場合、次の濃度管理料金算出ステップＳ６に進む。
【０１４２】
濃度管理料金算出ステップＳ６では、積算流量計測ステップＳ４で計測された補充液の積算流量に基づいて、所定期間における薬液の濃度管理料金の算出がなされる。今回検針時における積算流量と前回検針時の積算流量との差分をとれば、今期における補充液の供給量が求められる。このようにして算出した所定期間の補充液の積算流量に補充液の供給単価をかけるなどして、薬液の濃度管理料金が算出される。薬液の濃度管理料金の具体的な計算式は、各種の態様を取り得る。いくつかの計算例は前述したとおりであるので、ここではその具体的な説明を省略する。なお、特に指示が無い場合は、今回の薬液の濃度管理料金の算出が行われた後、次の所定期間内の薬液の濃度管理料金の算出を行うため、濃度計測ステップＳ１が開始される。
【０１４３】
〔薬液の再生料金の算出方法〕
次に、本実施形態の薬液の再生処理料金の算出方法について説明する。図４は、本実施形態の薬液の再生処理料金の算出方法を説明するためのフローチャート図である。
【０１４４】
本実施形態の薬液の再生処理料金の算出方法を説明するにあたり、薬液再生装置は、図２に示したように、薬液使用設備に接続されているものとする。すなわち、薬液再生装置で薬液使用設備の薬液貯留槽に貯留された薬液の再生処理ができるように、薬液再生装置が薬液使用設備の薬液貯留槽の排液配管と接続されており、同時に、薬液使用設備の薬液貯留槽に再生薬液を補給できるように、薬液再生装置が薬液使用設備と積算流量計を備えた配管により接続されているものとする。
【０１４５】
本実施形態の薬液の再生処理料金の算出方法は、薬液使用設備で使用された薬液を再利用可能に再生する薬液再生ステップＳ１１と、薬液使用設備に再生薬液を供給する再生薬液供給ステップＳ１２と、供給された再生薬液の積算流量を計測する積算流量計測ステップＳ１３と、薬液の再生、および、再生薬液の供給を行った期間が所定期間経過したか判断する所定期間経過判断ステップＳ１４と、積算流量計測ステップＳ１３で計測された積算流量から薬液の再生処理料金を算出する再生処理料金算出ステップＳ１５と、を含んでいる。
【０１４６】
このうち、薬液再生ステップＳ１１、再生薬液供給ステップＳ１２は、多くの場合、薬液の再生処理方法が通常有しているステップである。本発明の薬液の再生処理料金の算出方法は、積算流量計測ステップＳ１３と、所定期間経過判断ステップＳ１４と、再生処理料金算出ステップＳ１５と、を有することに特徴がある。
【０１４７】
以下、Ｓ１１〜Ｓ１５の各ステップについて、具体的に説明する。
【０１４８】
薬液再生ステップＳ１１は、薬液再生装置が、薬液使用設備で使用された薬液を再利用可能に再生するステップである。薬液再生装置は、薬液貯留槽から廃液された使用済みの薬液を受け入れ、その中に含まれる不要成分を分離除去することにより、使用済みの薬液を再利用可能に再生する。例えば、使用済み現像液からレジスト成分をフィルターにより精密ろ過する工程などである。
【０１４９】
再生処理された薬液は、再生薬液として、薬液使用設備に供給される。これが再生薬液供給ステップＳ１２である。再生薬液の送液は、積算流量計を備えた配管を介して行われる。
【０１５０】
薬液使用設備に再生薬液が供給されると同時に、配管に備えられた積算流量計は、その供給に係る積算流量を計測する。つまり、再生薬液を供給しながら、その積算流量の計測が行われる。これが積算流量計測ステップＳ１３である。これにより、再生薬液の供給量が把握される。
【０１５１】
所定期間経過判断ステップＳ１４で、所定期間が経過したか否かを判断する。本実施態様では、所定期間が経過していない場合、薬液再生ステップＳ１１、再生薬液供給ステップＳ１２、積算流量計測ステップＳ１３が、繰り返されることで、薬液使用設備の薬液貯留槽に貯留された薬液の再生が行われる。また、再生された再生薬液の薬液貯留槽への供給が行われる。所定期間が経過した場合、次の再生処理料金算出ステップＳ１５に進む。
【０１５２】
再生処理料金算出ステップＳ１５では、積算流量計測ステップＳ１３で計測された再生薬液の積算流量に基づいて、所定期間における薬液の再生処理料金の算出がなされる。今回検針時における積算流量と前回検針時の積算流量との差分をとれば、今期における再生薬液の供給量が求められる。このようにして算出した所定期間の再生薬液の積算流量に再生薬液の供給単価をかけるなどして、薬液の再生処理料金が算出される。薬液の再生処理料金の具体的な計算式は、各種の態様を取り得る。いくつかの計算例は前述したとおりであるので、ここでは省略する。なお、特に指示が無い場合は、今回の薬液の再生処理料金の算出が行われた後、次の所定期間内の薬液の再生処理料金の算出を行うため、薬液再生ステップＳ１１が開始される。
【０１５３】
再生薬液の供給には、いくつかの変形例が考えられる。例えば、薬液使用設備から再生薬液の供給リクエストがあるときだけ、再生薬液を供給するものがある。例えば、濃度管理装置と薬液再生装置とが一緒に使用され、濃度管理のための補充液の一つとして再生薬液を供給するものがある。
【０１５４】
いずれの変形例においても、本発明の薬液の再生処理料金の算出方法は、再生薬液を供給するための配管に備えられた積算流量計により、供給される再生薬液の積算流量を計測しながら、再生薬液を供給し、計測された所定期間の積算流量に基づいて薬液の再生処理の料金を算出すること、に特徴を有するものである。
【０１５５】
〔ネットワークを利用した薬液の濃度管理料金の算出方法及び算出システム〕
次に、通信機能を備えた積算流量計とコンピュータとが接続されたネットワークを利用した薬液の濃度管理料金の算出方法、及び薬液の濃度管理料金算出システムについて説明する。図５は、薬液使用者の工場の積算流量計と、ネットワークを介して接続される薬液の濃度管理の役務提供者のサーバシステムとを備える薬液の濃度管理料金算出システムの模式図である。
【０１５６】
図５に示す本実施形態の薬液の濃度管理料金の算出システム２００は、薬液の濃度を管理する役務の役務提供者が所有する１台のサーバシステム２０２と、ネットワーク２０１を介して接続される薬液使用者の工場２１１、２１２、２１３、２１４、２１５のそれぞれに設置された通信機能を有する積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５（すなわち５か所の工場のそれぞれに設置された５台の積算流量計）と、を備えている。
【０１５７】
薬液の濃度管理料金の算出システム２００を構成する積算流量計及びサーバシステムの数は、図５に記載の数に限定されるものではない。本発明の薬液の濃度管理システムは、少なくとも、ネットワークを介して接続される１台の積算流量計と、１台のサーバシステムとを備えていればよい。
【０１５８】
図５では詳細に図示しなかったが、各工場では、薬液使用設備に薬液の濃度管理装置が接続されている。この濃度管理装置により、薬液使用設備で繰り返し使用されている薬液に補充液が供給されて薬液の濃度が管理される。濃度管理装置により薬液使用設備に補充液を供給するための配管には、通信機能を有する積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５が設置される。積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５は、薬液使用設備に供給される補充液の供給量を積算流量として計測する。
【０１５９】
通信機能を有する積算流量計としては、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどを用いることができる。積算流量などの計測データを、インターネットなどのネットワークを介して、遠隔で取得することができる。
【０１６０】
サーバシステム２０２は、受信部２０３、記憶部２０４、及び算出部２０５を備えている。また、サーバシステム２０２はディスプレイ２０６を備えている。サーバシステム２０２は、ネットワーク２０１に接続されている積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５のそれぞれに対して、順番に、積算流量の測定データを送信するよう、測定データの送信要求信号を発信する。積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５は、送信要求信号に応じて、積算流量の測定データをサーバシステム２０２に送信する。
【０１６１】
このようにしてサーバシステム２０２の受信部２０３は、各積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５から積算流量の測定データを取得する。この際、積算流量の測定データと合わせて、積算流量計の個体識別番号（いわゆる装置ＩＤ）と測定日時（すなわち測定した日付と時刻）とを取得しておく。測定日時でなく、通信日時でもよい。
【０１６２】
サーバシステム２０２は、各積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５の個体識別番号に基づいて、積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５ごとに、取得した積算流量の計測値と測定日時とを、メモリやハードディスクなどで構成される記憶部２０４に追記することにより、記憶する。
【０１６３】
積算流量計から測定データを取得するステップを、所定の時間間隔（例えば１分間隔とか１時間間隔とか）で連続的に繰り返すことにより、補充液の供給量の推移（すなわち積算流量の履歴）が記憶される。
【０１６４】
サーバシステム２０２の記憶部２０４には、積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５ごとにその積算流量の履歴が記憶されているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとの補充液の供給量を把握することができる。例えばひと月ごとに補充液の供給量を把握する場合には、今月の検針日時における積算流量から前月の検針日時の積算流量を差し引くことで、今月の補充液の供給量を求めることができる。
【０１６５】
サーバシステム２０２は、さらに、所定期間における補充液の供給量から、当該所定期間の薬液の濃度管理料金を計算する。例えば、ひと月ごとに薬液の濃度管理料金を算出する必要がある場合には、前述のようにして求められた積算流量に、例えば補充液の単位液量あたりの料金（単価）を乗じるなどして、薬液の濃度管理料金を算出する。濃度管理料金の算出式と計算に必要な定数などをサーバシステム２０２の算出部２０５にプログラミングしておけばよい。
【０１６６】
こうして、濃度管理の役務提供者は、所定期間ごとに、補充液の積算流量に基づいて合理的に算出された薬液の濃度管理料金を薬液使用者に請求することができる。サーバシステム２０２が薬液の濃度管理料金の支払元である薬液使用者のコンピュータとネットワークで接続されていれば、薬液の濃度管理料金の請求は、サーバシステム２０２により自動的に電子的に行うのでもよい。この場合には、サーバシステム２０２は、算出された薬液の濃度管理料金を請求する請求書を電子的に自動で作成し、所定期間ごとに当該請求書を薬液使用者に自動的に電子送付するように、プログラミングされていればよい。
【０１６７】
薬液使用者が薬液の濃度管理料金を支払うことにより、所定期間ごとの薬液の濃度を管理するという役務の提供が完結する。このようにして、ネットワークを利用して、各所の薬液の濃度管理に要する補充液の供給量を遠隔で一元的に監視しながら、薬液の濃度管理に係る濃度管理料金を算出するという、薬液の濃度管理料金の算出方法が実現される。ネットワークを介して、各所で薬液の濃度管理のために供給された補充液の積算流量を遠隔で一元的に監視しながら、薬液の濃度を管理するという役務を提供することができる。
【０１６８】
本実施形態のネットワーク２０１は、別々の工場に設置された積算流量計により構成されたものに限定されない。例えば、規模の大きい工場に複数の製造ラインがあり、そのそれぞれの製造ラインに設置された積算流量計を接続した比較的小規模のローカルネットワークでもよい。例えば、ある積算流量計は中国の工場に設置され、ある積算流量計は台湾の工場に設置され、ある積算流量計は韓国の工場に設置され、またある積算流量計は日本の工場に設置され、といったように、それぞれ世界各国の工場に設置された積算流量計を接続した世界規模のネットワーク（例えばインターネットなど）でもよい。
【０１６９】
〔ネットワークを利用した薬液の再生処理料金の算出方法及び算出システム〕
次に、通信機能を備えた積算流量計とコンピュータとが接続されたネットワークを利用した薬液の再生処理料金の算出方法、及び薬液の再生処理料金算出システムについて説明する。本実施形態の薬液の再生処理料金算出システムは、説明のための模式図としては図５とほとんど同じであるので、図５を用いて説明する。本実施形態では、図５は、薬液使用者の工場の積算流量計と、ネットワークを介して接続される薬液の再生処理の役務提供者のサーバシステムと、を備える薬液の再生処理料金算出システムの模式図である。
【０１７０】
図５に示す本実施形態の薬液の再生処理料金の算出システム２００は、薬液を再生処理する役務の役務提供者が所有する１台のサーバシステム２０２と、ネットワーク２０１を介して接続される薬液使用者の工場２１１、２１２、２１３、２１４、２１５のそれぞれに設置された通信機能を有する積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５（すなわち５か所の工場のそれぞれに設置された５台の積算流量計）と、を備えている。
【０１７１】
薬液の再生処理料金の算出システム２００を構成する積算流量計及びサーバシステムの数は、図５に記載の数に限定されるものではない。本発明の薬液の再生処理料金算出システムは、少なくとも、ネットワークを介して接続される１台の積算流量計と、１台のサーバシステムとを備えていればよい。
【０１７２】
図５では詳細に図示しなかったが、各工場では、薬液使用設備に薬液再生装置が接続されている。この薬液再生装置により、薬液使用設備で使用された薬液が再利用可能に再生され、薬液使用設備に再生薬液が供給される。薬液再生装置により薬液使用設備に再生薬液を供給するための配管には、通信機能を有する積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５が設置される。積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５は、薬液使用設備に供給される再生薬液の供給量を積算流量として計測する。
【０１７３】
通信機能を有する積算流量計としては、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどを用いることができる。積算流量などの計測データを、インターネットなどのネットワークを介して、遠隔で取得することができる。
【０１７４】
サーバシステム２０２は、受信部２０３、記憶部２０４、及び算出部２０５を備えている。また、サーバシステム２０２はディスプレイ２０６を備えている。サーバシステム２０２は、ネットワーク２０１に接続されている積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５のそれぞれに対して、順番に、積算流量の測定データを送信するよう、測定データの送信要求信号を発信する。積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５は、送信要求信号に応じて、積算流量の測定データをサーバシステム２０２に送信する。
【０１７５】
このようにしてサーバシステム２０２の受信部２０３は、各積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５から積算流量の測定データを取得する。この際、積算流量の測定データと合わせて、積算流量計の個体識別番号（いわゆる装置ＩＤ）と測定日時（すなわち測定した日付と時刻）とを取得しておく。測定日時でなく、通信日時でもよい。
【０１７６】
サーバシステム２０２は、各積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５の個体識別番号に基づいて、積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５ごとに、取得した積算流量の計測値と測定日時とを、メモリやハードディスクなどで構成される記憶部２０４に追記することにより、記憶する。
【０１７７】
積算流量計から測定データを取得するステップを、所定の時間間隔（例えば１分間隔とか１時間間隔とか）で連続的に繰り返すことにより、再生薬液の供給量の推移（すなわち積算流量の履歴）が記憶される。
【０１７８】
サーバシステム２０２の記憶部２０４には、積算流量計２２１、２２２、２２３、２２４、２２５ごとにその積算流量の履歴が記憶されているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとの再生薬液の供給量を把握することができる。例えばひと月ごとに再生薬液の供給量を把握する場合には、今月の検針日時における積算流量から前月の検針日時の積算流量を差し引くことで、今月の再生薬液の供給量を求めることができる。
【０１７９】
サーバシステム２０２は、さらに、所定期間における再生薬液の供給量から、当該所定期間の薬液の再生処理料金を計算する。例えば、ひと月ごとに薬液の再生処理料金を算出する必要がある場合には、前述のようにして求められた積算流量に、例えば再生薬液の単位供給量あたりの料金（単価）を乗じるなどして、薬液の再生処理料金を算出する。再生処理料金の算出式と計算に必要な定数などをサーバシステム２０２の算出部２０５にプログラミングしておけばよい。
【０１８０】
こうして、薬液の再生処理の役務提供者は、所定期間ごとに、再生薬液の積算流量に基づいて合理的に算出された薬液の再生処理料金を薬液使用者に請求することができる。サーバシステム２０２が薬液の再生処理料金の支払元である薬液使用者のコンピュータとネットワークで接続されていれば、薬液の再生処理料金の請求は、サーバシステム２０２により自動的に電子的に行うのでもよい。この場合には、サーバシステム２０２は、算出された薬液の再生処理料金を請求する請求書を電子的に自動で作成し、所定期間ごとに当該請求書を薬液使用者に自動的に電子送付するように、プログラミングされていればよい。
【０１８１】
薬液使用者が薬液の再生処理料金を支払うことにより、所定期間ごとの薬液の再生処理という役務の提供が完結する。このようにして、ネットワークを利用して、各所の薬液の再生処理による再生薬液の供給量を遠隔で一元的に監視しながら、薬液の再生処理に係る再生処理料金を算出するという、薬液の再生処理料金の算出方法が実現される。ネットワークを介して、各所で薬液の再生処理により再利用可能に再生された再生薬液の積算流量を遠隔で一元的に監視しながら、使用された薬液を再生するという役務を提供することができる。
【０１８２】
本実施形態のネットワーク２０１は、別々の工場に設置された積算流量計により構成されたものに限定されない。例えば、規模の大きい工場に複数の製造ラインがあり、そのそれぞれの製造ラインに設置された積算流量計を接続した比較的小規模のローカルネットワークでもよい。例えば、ある積算流量計は中国の工場に設置され、ある積算流量計は台湾の工場に設置され、ある積算流量計は韓国の工場に設置され、またある積算流量計は日本の工場に設置され、といったように、それぞれ世界各国の工場に設置された積算流量計を接続した世界規模のネットワーク（例えばインターネットなど）でもよい。
【０１８３】
以上、図面を参照しながら各実施形態について説明してきた内容は、半導体や液晶ディスプレイ基板の製造プロセスで使用される各種の薬液に対しても、同様に実施可能なものである。
【０１８４】
本発明によれば、薬液使用者は、濃度管理装置や薬液再生装置を購入したり運転したり維持管理したりする負担を負わず、濃度管理料金や再生処理料金を支払うだけで、所望の濃度に管理された薬液を使用でき、再生薬液を入手して使用することができる。そのため、薬液使用者は、装置の購入や維持管理に係るコストの削減、薬液調達や廃液処理に係るコストの削減、生産ラインの稼働率や歩留まりの向上、製造する基板の品質の向上などに伴う多様な経済的メリットを享受できる。
【０１８５】
本発明によれば、役務提供者は、本発明により実現可能となるビジネス方法により、装置を販売する場合に比べ、継続的で安定な収益を得ることができる。また本発明によれば、この新しいビジネス方法の実現に不可欠な薬液の濃度管理装置や薬液再生装置を提供することができる。本発明によれば、各使用者の工場で使われている積算流量計をネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で一元的に監視することもできる。
【符号の説明】
【０１８６】
１…濃度管理装置、２…薬液再生装置、１０…測定部、１１、１２…測定手段、１４…サンプリングポンプ、１５…サンプリング配管、１６…戻り配管、１７、１８…測定データ用信号線、２０…演算部、２１…演算ブロック、２２…信号線、３０、３５…制御部、３１、３６…制御ブロック、３２、３３、３４、３７、３８…制御用信号線、４１、４２、４３、４６、４７、４８…制御弁、４４、４５…バルブ、５１、５２、５３、５４、２２１、２２２、２２３、２２４、２２５…積算流量計、６１、６２、６３…フィルター、７０…送液ポンプ、８１、８２、８３…補充液供給配管、８４…合流配管、８５…窒素ガス用配管、８６…廃液回収配管、８７…再生薬液供給配管、９１、９２…貯留容器、９３…再生薬液貯留容器、１００…現像工程設備（薬液使用設備）、１６１…現像液貯留槽、１６２…オーバーフロー槽、１６３…液面計、１６４…現像室フード、１６５…ローラーコンベア、１６６…基板、１６７…現像液シャワーノズル、１７１…廃液ポンプ、１７２、１７４…循環ポンプ、１７３、１７５…フィルター、１８０…現像液管路、１８５…循環管路、２００…算出システム、２０１…ネットワーク、２０２…サーバシステム、２０３…受信部、２０４…記憶部、２０５…算出部、２０６…ディスプレイ、２１１、２１２、２１３、２１４、２１５…工場、Ｓ１…濃度計測ステップ、Ｓ２…補充液補給要否判断ステップ、Ｓ３…補充液供給ステップ、Ｓ４…積算流量計測ステップ、Ｓ５…所定期間経過判断ステップ、Ｓ６…濃度管理料金算出ステップ、Ｓ１１…薬液再生ステップ、Ｓ１２…再生薬液供給ステップ、Ｓ１３…積算流量計測ステップ、Ｓ１４…所定期間経過判断ステップ、Ｓ１５…再生処理料金算出ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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