(57)【要約】【課題】液体の吐出精度を改善できる技術を提供する。【解決手段】液体吐出装置は、液体を収容する液室と、前記液室の前記液体を吐出するノズルと、を有するヘッド本体部と、前記液室の壁部の一部を構成する振動板と、前記振動板と前記ヘッド本体部との間に配置され、前記振動板を支持する弾性部材と、前記振動板に接続され、前記弾性部材を弾性変形させて前記振動板を変位させ、前記ノズルから前記液体を吐出させる外力を前記振動板に付与する駆動部と、前記弾性部材が圧縮された状態で前記振動板を支持するように、前記駆動部と、前記振動板と、前記ヘッド本体部と、を締結する締結部と、を備える。【選択図】図３
2018202664.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体吐出装置であって、
液体を収容する液室と、前記液室の前記液体を吐出するノズルと、を有するヘッド本体部と、
前記液室の壁部の一部を構成する振動板と、
前記振動板と前記ヘッド本体部との間に配置され、前記振動板を支持する弾性部材と、
前記振動板に接続され、前記弾性部材を弾性変形させて前記振動板を変位させ、前記ノズルから前記液体を吐出させる外力を前記振動板に付与する駆動部と、
前記弾性部材が圧縮された状態で前記振動板を支持するように、前記駆動部と、前記振動板と、前記ヘッド本体部と、を締結する締結部と、
を備える、液体吐出装置。
【請求項２】
請求項１記載の液体吐出装置であって、
前記締結部による前記弾性部材の圧縮量は、前記駆動部の駆動条件に応じて調整されている、液体吐出装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の液体吐出装置であって、
前記締結部は、前記弾性部材の圧縮量を調整する調整部を有する、液体吐出装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記振動板と前記ヘッド本体部との間に、前記弾性部材の圧縮を制限するスペーサーを有する、液体吐出装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記ヘッド本体部は、前記振動板の下方に、前記液室を囲み、前記液室に向かって下降傾斜し、前記振動板の方に向く傾斜壁面を有し、
前記弾性部材は、前記傾斜壁面と前記振動板とに挟まれて配置されている、液体吐出装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記ヘッド本体部は、複数の前記液室を有しており、
前記ノズルと前記振動板と前記駆動部と前記弾性部材とはそれぞれ、前記液室のそれぞれにひとつずつ設けられており、
前記ヘッド本体部と、複数の前記振動板と、複数の前記駆動部と、複数の前記弾性部材と、は共通の前記締結部によって締結される、液体吐出装置。
【請求項７】
請求項３に従属する請求項６記載の液体吐出装置であって、
前記締結部は、前記調整部として、前記弾性部材のそれぞれの圧縮量を個別に調整する複数の個別調整部を有する、液体吐出装置。
【請求項８】
請求項３に従属する請求項６記載の液体吐出装置であって、
前記締結部は、前記調整部として、前記弾性部材のそれぞれの圧縮量を共通に調整する共通調整部を有する、液体吐出装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記ヘッド本体部は、さらに、
前記液室に接続された前記液体の流路であって、少なくとも、前記液室に前記液体を供給するための流入路を含む流路と、
前記液室から前記流路への前記液体の流入を制御して、前記液室から前記流路への圧力の伝達を調整する圧力伝達調整部と、
を備える、液体吐出装置。
【請求項１０】
請求項９記載の液体吐出装置であって、
前記駆動部と前記圧力伝達調整部とを制御して、前記ノズルから前記液体を吐出させる吐出処理を実行する制御部を備え、
前記制御部は、前記吐出処理において、
（ｉ）前記圧力伝達調整部によって前記液室から前記流路への圧力の伝達が抑制されている状態において、前記駆動部に、前記液室の容積を低減させて前記液室の圧力を増大させ、前記ノズルからの前記液体の流出を開始させる加圧処理と、
（ｉｉ）前記ノズルから前記液体が流出している間において、予め決められた経過時間が経過したときに、前記圧力伝達調整部と前記駆動部の少なくとも一方を駆動することによって、前記液室の圧力を低減させて、前記ノズルの前記液体から液滴を分離させて飛翔させる減圧処理と、
のうちの少なくとも一方を実行する、液体吐出装置。
【請求項１１】
請求項９または請求項１０記載の液体吐出装置であって、
前記圧力伝達調整部は、前記流入路の容積を変更して、前記流入路から前記液室への前記液体の流入量を変更する流入量変更部であり、
前記流入路は、前記液室において開口している接続開口を介して前記液室に連通し、
前記ノズルは、前記液室において開口している連通口を介して前記液室に連通し、
前記連通口は、前記液室において、前記振動板の中心よりも前記接続開口側に位置する、液体吐出装置。
【請求項１２】
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記ヘッド本体部は、さらに、前記液室に前記液体を流入させる流入路と、前記液室の前記液体を流出させる流出路と、を有する、液体吐出装置。
【請求項１３】
請求項９から請求項１１のいずれか一項に記載の液体吐出装置であって、
前記流路は、さらに、前記液室の前記液体を流出させる流出路を含む、液体吐出装置。
【請求項１４】
液体吐出装置の製造方法であって、
液体を収容する液室と、前記液室の前記液体を吐出するノズルと、を有するヘッド本体部に対して、前記液室の壁部の一部を構成する振動板を、前記ヘッド本体部との間に、弾性部材を挟んで配置し、前記弾性部材を弾性変形させて前記振動板を変位させ、前記ノズルから前記液体を吐出させる外力を前記振動板に付与する駆動部を前記振動板に接続する組立工程と、
前記弾性部材が圧縮された状態で前記振動板を支持するように、前記駆動部と、前記振動板と、前記ヘッド本体部と、を締結する締結工程と、
を備え、
前記締結工程は、前記弾性部材の圧縮量を調整する工程を含む、製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置および液体吐出装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子（ピエゾ素子）などのアクチュエーターによって、液室に取り付けられている振動板を変位させて、液室に収容されているインクなどの液体を、液室に連通しているノズルから吐出する液体吐出装置が知られている（例えば、下記の特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２９０７０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の特許文献１の技術では、圧電素子の伸長によって弾性部材を圧縮し、振動板を変位させることによって、ノズルから液体を吐出させており、圧電素子の伸縮によって振動板を撓み変形させる構成よりも、液体吐出のためのエネルギー損失が抑制されている。しかしながら、特許文献１の技術では、振動板と圧電素子とが接着材によって接着されている（特許文献１の段落００１６）。そのため、その接着材の剥離が生じ、圧電素子の収縮に振動板が追従できくななり、液体の吐出精度が低下してしまうという問題があった。また、液体吐出装置においては、液体の吐出特性によっては、その駆動条件によって、液体の吐出精度が変化してしまう可能性があった。このように、液体吐出装置においては、液体の吐出精度について、依然として改善の余地がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。
【０００６】
［１］本発明の一の形態は、液体吐出装置として提供される。この形態の液体吐出装置は、液体を収容する液室と、前記液室の前記液体を吐出するノズルと、を有するヘッド本体部と；前記液室の壁部の一部を構成する振動板と；前記振動板と前記ヘッド本体部との間に配置され、前記振動板を支持する弾性部材と；前記振動板に接続され、前記弾性部材を弾性変形させて前記振動板を変位させ、前記ノズルから前記液体を吐出させる外力を前記振動板に付与する駆動部と；前記弾性部材が圧縮された状態で前記振動板を支持するように、前記駆動部と、前記振動板と、前記ヘッド本体部と、を締結する締結部と；を備える。
この形態の液体吐出装置によれば、締結部によって、弾性部材が圧縮された状態で、駆動部と振動板とヘッド本体部とが締結されるため、駆動部と振動板とが乖離して、駆動部の駆動に振動板が追従しなくなってしまうことが抑制される。よって、駆動部に対する振動板の追従性の低下に起因して液体の吐出精度が低下してしまうことが抑制される。
【０００７】
［２］上記形態の液体吐出装置において、前記締結部による前記弾性部材の圧縮量は、前記駆動部の駆動条件に応じて調整されてよい。
この形態の液体吐出装置によれば、弾性部材の圧縮量を調整して、駆動部の駆動条件に適合するように、液体の吐出特性を変化させることができる。よって、駆動部の駆動条件の相違に起因する液体の吐出精度のばらつきの発生を抑制することができる。
【０００８】
［３］上記形態の液体吐出装置において、前記締結部は、前記弾性部材の圧縮量を調整する調整部を有してよい。
この形態の液体吐出装置によれば、調整部によって、弾性部材の圧縮量を調整することができるため、液体の吐出特性を簡易に調整することができる。よって、液体の吐出精度の管理が容易化される。
【０００９】
［４］上記形態の液体吐出装置は、前記振動板と前記ヘッド本体部との間に、前記弾性部材の圧縮を制限するスペーサーを有してよい。
この形態の液体吐出装置によれば、弾性部材が圧縮されすぎて劣化し、その弾性力が低下してしまうことを抑制することができる。よって、弾性部材の劣化に起因して、液体の吐出精度が低下してしまうことを抑制することができる。
【００１０】
［５］上記形態の液体吐出装置において、前記ヘッド本体部は、前記振動板の下方に、前記液室を囲み、前記液室に向かって下降傾斜し、前記振動板の方に向く傾斜壁面を有し、前記弾性部材は、前記傾斜壁面と前記振動板とに挟まれて配置されてよい。
この形態の液体吐出装置によれば、駆動部によって振動板を変位させるときに、弾性部材が液室の外方に向かって膨張するように変形することが傾斜壁面によって抑制される。そのため、液室の外方へと向かう弾性部材の膨張変形によって、液体の吐出のためのエネルギーが減殺されてしまうことを抑制することができる。
【００１１】
［６］上記形態の液体吐出装置において、前記ヘッド本体部は、複数の前記液室を有しており；前記ノズルと前記振動板と前記駆動部と前記弾性部材とはそれぞれ、前記液室のそれぞれにひとつずつ設けられており；前記ヘッド本体部と、複数の前記振動板と、複数の前記駆動部と、複数の前記弾性部材と、は共通の前記締結部によって締結されてよい。
この形態の液体吐出装置によれば、単一の締結部で、複数組の駆動部と振動板と弾性部材とヘッド本体部とを締結することができるため、液体吐出装置の部品点数を低減することができる。また、液体吐出装置を小型化できる。
【００１２】
［７］上記形態の液体吐出装置において、前記締結部は、前記調整部として、前記弾性部材のそれぞれの圧縮量を個別に調整する複数の個別調整部を有してよい。
この形態の液体吐出装置によれば、個別調整部によって、各弾性部材の圧縮量を個別に調整できるため、ノズルごとの液体の吐出精度の調整が可能になる。
【００１３】
［８］上記形態の液体吐出装置において、前記締結部は、前記調整部として、前記弾性部材のそれぞれの圧縮量を共通に調整する共通調整部を有してよい。
この形態の液体吐出装置によれば、複数の弾性部材の圧縮量をまとめて調整できるため、液体の吐出精度の調整を効率的におこなうことができる。
【００１４】
［９］上記形態の液体吐出装置において、前記ヘッド本体部は、さらに、前記液室に接続された前記液体の流路であって、少なくとも、前記液室に前記液体を供給するための流入路を含む流路と、前記液室から前記流路への前記液体の流入を制御して、前記液室から前記流路への圧力の伝達を調整する圧力伝達調整部と、を備えてよい。
この形態の液体吐出装置によれば、圧力伝達調整部を有することによって、液室内に液体の吐出のための圧力変化を効率的に生じさせることができるため、液体の吐出効率が高められる。
【００１５】
［１０］上記形態の液体吐出装置は、前記駆動部と前記圧力伝達調整部とを制御して、前記ノズルから前記液体を吐出させる吐出処理を実行する制御部を備え、前記制御部は、前記吐出処理において、（ｉ）前記圧力伝達調整部によって前記液室から前記流路への圧力の伝達が抑制されている状態において、前記駆動部に、前記液室の容積を低減させて前記液室の圧力を増大させ、前記ノズルからの前記液体の流出を開始させる加圧処理と、（ｉｉ）前記ノズルから前記液体が流出している間において、予め決められた経過時間が経過したときに、前記圧力伝達調整部と前記駆動部の少なくとも一方を駆動することによって、前記液室の圧力を低減させて、前記ノズルの前記液体から液滴を分離させて飛翔させる減圧処理と、のうちの少なくとも一方を実行してよい。
この形態の液体吐出装置によれば、加圧処理や減圧処理によって、液体吐出装置における液体の吐出効率や液体吐出の制御性を高めることができる。
【００１６】
［１１］上記形態の液体吐出装置において、前記圧力伝達調整部は、前記流入路の容積を変更して、前記流入路から前記液室への前記液体の流入量を変更する流入量変更部であり、前記流入路は、前記液室において開口している接続開口を介して前記液室に連通し、前記ノズルは、前記液室において開口している連通口を介して前記液室に連通し、前記連通口は、前記液室において、前記振動板の中心よりも前記接続開口側に位置してよい。
この形態の液体吐出装置によれば、流入量変更部による流入路の容積を変更する動作によって生じる圧力変化を、ノズルまで効率的に伝達させやすい。従って、流入量変更部による液室内における圧力変化の制御性を高めることができる。
【００１７】
［１２］上記形態の液体吐出装置において、前記ヘッド本体部は、さらに、前記液室に前記液体を流入させる流入路と、前記液室の前記液体を流出させる流出路と、を有してよい。
この形態の液体吐出装置によれば、液室内に、流入路から流出路へと向かう液体の流れを生じさせることができる。よって、液室に液体が滞留することを抑制でき、液体の滞留に起因する液体の吐出不良を抑制できる。また、液室の気泡を、流出路から、液体とともに排出することができ、液室の気泡に起因する液体の吐出不良の発生を抑制することができる。
【００１８】
［１３］上記形態の液体吐出装置において、前記流路は、さらに、前記液室の前記液体を流出させる流出路を含んでよい。
この形態の液体吐出装置によれば、流入路から流出路へと向かう液体の流れによって、液室に液体が滞留することを抑制でき、液体の滞留に起因する液体の吐出不良を抑制できる。また、液室の気泡を、流出路から、液体とともに排出することができる。
【００１９】
［１４］本発明の他の形態は、液体吐出装置の製造方法として提供される。この形態の製造方法は、液体を収容する液室と、前記液室の前記液体を吐出するノズルと、を有するヘッド本体部に対して、前記液室の壁部の一部を構成する振動板を、前記ヘッド本体部との間に、弾性部材を挟んで配置し、前記弾性部材を弾性変形させて前記振動板を変位させ、前記ノズルから前記液体を吐出させる外力を前記振動板に付与する駆動部を前記振動板に接続する組立工程と；前記弾性部材が圧縮された状態で前記振動板を支持するように、前記駆動部と、前記振動板と、前記ヘッド本体部と、を締結する締結工程と；を備える。前記締結工程は、前記弾性部材の圧縮量を調整する工程を含む。
この形態の液体吐出装置の製造方法によれば、弾性部材の圧縮量によって、液体の吐出精度が調整された液体吐出装置を得ることができる。
【００２０】
上述した本発明の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、上述した本発明の一形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部を上述した本発明の他の形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部と組み合わせて、本発明の独立した一形態とすることも可能である。
【００２１】
本発明は、液体吐出装置やその制御方法以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、液体吐出システムや、液体を吐出するヘッド部として実現することができる。他にも、液体吐出装置、液体吐出システム、および、ヘッド部の製造方法や組立方法、吐出特性の調整方法等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】第１実施形態における液体吐出装置の構成を示す概略ブロック図。
【図２】第１実施形態におけるヘッド部の概略分解斜視図。
【図３】第１実施形態におけるヘッド部の概略断面図。
【図４Ａ】弾性部材の圧縮量によるヘッド部の吐出特性の変化を示す第１の説明図。
【図４Ｂ】弾性部材の圧縮量によるヘッド部の吐出特性の変化を示す第２の説明図。
【図５】第１実施形態の液体吐出装置の製造工程のフロー図。
【図６】第２実施形態の液体吐出装置が備えるヘッド部の概略断面図。
【図７】第３実施形態の液体吐出装置が備えるヘッド部の概略断面図。
【図８】第４実施形態の液体吐出装置が備えるヘッド部の概略分解斜視図。
【図９】第５実施形態の液体吐出装置が備えるヘッド部の概略分解斜視図。
【図１０】第６実施形態の液体吐出装置が備えるヘッド部の概略断面図。
【図１１】第６実施形態の吐出処理における制御工程を示すフロー図。
【図１２】第７実施形態の液体吐出装置が備えるヘッド部の概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態における液体吐出装置１００Ａの全体構成を示す概略ブロック図である。第１実施形態の液体吐出装置１００Ａは、タンク１０と、加圧ポンプ１１と、供給路１２と、排出路１５と、液体貯留部１６と、負圧発生源１７と、循環路１８と、ヘッド部２０Ａと、制御部２５と、を備える。
【００２４】
タンク１０には液体が収容されている。液体は、例えば、所定の粘度を有するインクである。タンク１０内の液体は、ヘッド部２０Ａに接続されている供給路１２を通じてヘッド部２０Ａに供給される。加圧ポンプ１１は、タンク１０内の液体を、供給路１２を通じてヘッド部２０Ａに供給する。
【００２５】
ヘッド部２０Ａは、供給路１２から供給された液体を吐出する。ヘッド部２０Ａの動作は、制御部２５により制御される。ヘッド部２０Ａの構成については後述する。排出路１５は、ヘッド部２０Ａと液体貯留部１６とを接続している。ヘッド部２０Ａによって吐出されなかった液体は、排出路１５を通じて液体貯留部１６に排出される。
【００２６】
液体貯留部１６には、負圧発生源１７が接続されている。負圧発生源１７は、液体貯留部１６内を負圧にすることにより、排出路１５を通じてヘッド部２０Ａから液体を吸引する。負圧発生源１７は、各種のポンプによって構成される。
【００２７】
液体吐出装置１００Ａでは、加圧ポンプ１１および負圧発生源１７が、供給路１２と排出路１５とに差圧を発生させてヘッド部２０Ａに液体を供給する液体供給部として機能する。なお、加圧ポンプ１１および負圧発生源１７のいずれか一方を省略して、加圧ポンプ１１または負圧発生源１７のいずれか単体で液体供給部を構成してもよい。
【００２８】
循環路１８は、排出路１５を通じてヘッド部２０Ａから排出される液体を、ヘッド部２０Ａへと再び循環させるための流路である。循環路１８は、液体貯留部１６とタンク１０とを接続している。ヘッド部２０Ａから排出され、排出路１５を通じて液体貯留部１６に貯留された液体は、循環路１８を通じてタンク１０に戻され、再び、加圧ポンプ１１によってヘッド部２０Ａに供給される。なお、循環路１８には、液体貯留部１６から液体を吸引するためのポンプが備えられていてもよい。
【００２９】
液体吐出装置１００Ａでは、循環路１８を備えていることによって、ヘッド部２０Ａから排出された液体を再利用することができる。よって、液体が無駄に消費されてしまうことを抑制することができ、液体の利用効率が高められている。なお、液体貯留部１６やタンク１０には、再利用される液体の濃度や粘度、温度など、種々の状態を調整する調整部が設けられていてもよい。また、排出路１５や循環路１８には、液体に含まれる気泡や異物を除去するためのフィルター部が設けられていてもよい。
【００３０】
制御部２５は、ＣＰＵやメモリーを備えたコンピューターとして構成されており、メモリーに記憶された制御プログラムや命令をＣＰＵが読み出して実行することにより、液体吐出装置１００Ａを制御するための種々の機能を実現する。制御プログラムは、一時的でない有形な種々の記録媒体に記録されていてもよい。制御部２５は、回路によって構成されていてもよい。制御部２５は、例えば、ヘッド部２０Ａの駆動部（後述）に印加する電圧を制御して、ヘッド部２０Ａに液体を吐出させる吐出処理を実行する。
【００３１】
図２および図３を参照して、第１実施形態のヘッド部２０Ａの構成を説明する。図２は、ヘッド部２０Ａの概略分解斜視図である。図３は、図２に示す３−３切断におけるヘッド部２０Ａの概略断面図である。なお、図３では、台座部５１の図示は省略されている。
【００３２】
ヘッド部２０Ａは、ヘッド本体部３０と、振動板４０と、弾性部材４２と、駆動部４５と、締結部５０と、を備える（図３）。ヘッド本体部３０は、内部空間ＳＰを有する。ヘッド本体部３０の内部空間ＳＰは、液室３１と、流入路３２と、流出路３３と、ノズル３５と、を構成する。
【００３３】
液室３１は、ヘッド部２０Ａが吐出する液体ＬＱを収容し、後述するように圧力室として機能する。流入路３２は、液室３１に液体ＬＱを流入させる流路である。流出路３３は、液室３１から液体ＬＱを流出させる流路である。第１実施形態では、液室３１は略円柱形状の空間として構成されている。流入路３２と流出路３３とは、液室３１を挟んで互いに対向する位置に形成された直線状の流路として構成されている。
【００３４】
なお、流入路３２には、制御部２５の制御下において、流入路３２における液体ＬＱの流れを制御する弁部が設けられている（図示は省略）。弁部は、例えば、ピエゾ素子などのアクチュエーターにより流入路３２の壁面を変位させて、流入路３２の開口断面積を変化させることにより、流入路３２の流路抵抗を変更する構成によって実現される。なお、流入路３２の弁部は省略されてもよい。また、流出路３３に同様な弁部が設けられてもよい。
【００３５】
ヘッド本体部３０は、液室３１に連通し、液室３１の液体ＬＱを吐出するノズル３５を有する。第１実施形態では、ノズル３５は、液室３１の底面において開口する貫通孔によって構成されている。ノズル３５は、ヘッド本体部３０の底面において開口する吐出口３５ｏに向かって縮径するテーパー部３５ｔを有する。
【００３６】
ヘッド本体部３０は、開口部３６と、流入口３７と、流出口３８と、を有する。開口部３６の内部空間は、液室３１の一部を構成する。第１実施形態では、開口部３６の開口形状は、略円形である。開口部３６は、後述するように、振動板４０によって閉塞される。
【００３７】
流入口３７は、流入路３２の上流側の端部において開口している。流入口３７には、供給路１２が接続される。流出口３８は、流出路３３の下流側の端部において開口している。流出口３８には、排出路１５が接続される。
【００３８】
第１実施形態では、ヘッド本体部３０は、３枚の積層板３０ａ，３０ｂ，３０ｃが積層されることによって構成されている（図２）。各積層板３０ａ〜３０ｃは、板面が四角形形状を有している平板な金属板によって構成されており、厚み以外のサイズがほぼ同じである。なお、各積層板３０ａ〜３０ｃの板面は、略四角形状を有していなく、例えば、円形形状を有していてもよい。また、各積層板３０ａ〜３０ｃの厚みはほぼ同じであってもよいし、板面のサイズや形状が互いに異なっていてもよい。また、各積層板３０ａ〜３０ｃは異なる種類の金属によって構成されてもよい。各積層板３０ａ〜３０ｃは金属以外の材料によって構成されてもよい。各積層板３０ａ〜３０ｃの境界面は気密に接着されている。
【００３９】
第１積層板３０ａは、液室３１の底面壁部を構成する。第１積層板３０ａには、ノズル３５を構成する貫通孔が設けられている。第２積層板３０ｂは、第１積層板３０ａの上に積層されている。第２積層板３０ｂの中央には、液室３１の一部を構成する略円形断面を有する貫通孔３１ｐと、当該貫通孔３１ｐに連結され、流入路３２と流出路３３とを構成するスリット３２ｓ，３３ｓと、が形成されている。第３積層板３０ｃは、第２積層板３０ｂの上に積層されている。第３積層板３０ｃには、開口部３６と、流入口３７と、流出口３８とが貫通孔として設けられている。
【００４０】
振動板４０は、ヘッド本体部３０の開口部３６を閉塞するように配置される（図２）。振動板４０は、液室３１の壁部の一部を構成する（図３）。第１実施形態では、振動板４０は、第３積層板３０ｃの上に配置され、液室３１の上面壁部を構成する。振動板４０は、例えば、金属板によって構成される。
【００４１】
弾性部材４２は、ヘッド本体部３０と振動板４０との間に配置される（図２）。弾性部材４２は、振動板４０を支持する。なお、後述するように、弾性部材４２は、締結部５０の締結力によって圧縮された状態で振動板４０を支持する。第１実施形態では、弾性部材４２は、環状の樹脂部材によって構成され、第３積層板３０ｃの上面に、開口部３６を囲むように配置される（図３）。弾性部材４２は、例えば、ウレタン系、スチレン系、オレフィン系、エステル系、アミド系、ＰＶＣ系、フッ素などの熱可塑性エラストマー材料やによって構成される。より具体的には、スチレン・ブタジエンゴムや、イソプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴムなどのジエン系ゴムや、ブチルゴム（ＩＩＲ）ウレタンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、シリコーンゴム、フッ素系ゴム等の非ジエン系ゴムによって構成される。また、ＰＥＥＫ、ＰＰＳ、ＰＣ、ＰＥ、ＰＰなどのスーパーエンプラとも呼ばれるプラスチック材料やその他の汎用プラスチック材料によって構成されてもよい。あるいは、弾性部材４２は、ポリウレタンや、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、シリコン樹脂などの硬化性樹脂によって構成されてもよい。弾性部材４２を構成する樹脂材料は、上記の材量に限定されることはない。
【００４２】
第１実施形態では、弾性部材４２は、交換可能なＯリングとして構成される。第１実施形態では、弾性部材４２の内周の空間は液室３１の一部を構成し、その内周面は液室３１の壁面の一部を構成している（図２）。弾性部材４２は液体ＬＱの漏洩を抑制するシール部としても機能する。
【００４３】
駆動部４５は、振動板４０に接続されている（図３）。駆動部４５は、振動板４０に外力を付与できるように配置されている。駆動部４５は、弾性部材４２を弾性変形させて、振動板４０を変位させ、ノズル３５から液体ＬＱを吐出させる外力を振動板４０に付与する。第１実施形態では、駆動部４５は、圧電素子によって構成されている。駆動部４５は、振動板４０と弾性部材４２の積層方向に伸縮するように配置される。振動板４０と弾性部材４２の積層方向は、振動板４０からノズル３５に向かう方向でもある。
【００４４】
第１実施形態では、振動板４０に当接している駆動部４５の底面は、弾性部材４２の上側の面全体を押圧可能な平坦面によって構成されている。これによって、駆動部４５を伸縮させたときに振動板４０が撓み変形することが抑制されている。なお、第１実施形態では、駆動部４５と振動板４０との間には接着材によって構成されている接着部や、溶着や溶接などによって構成されている接合部は設けられていない。
【００４５】
締結部５０は、ヘッド本体部３０と、振動板４０と、駆動部４５と、を締結する（図２）。第１実施形態では、締結部５０は、台座部５１と、サポート部材５２と、締結ネジ５３と、押圧板５４と、調整ネジ５５と、を備える。台座部５１は、土台部６０と、２つの側壁部６３，６４と、を有する。
【００４６】
土台部６０は、ヘッド本体部３０が積層される板状の部材によって構成されている。土台部６０の上面には、ヘッド本体部３０が嵌合して固定される凹部６１が設けられている。凹部６１の底面には、ヘッド本体部３０の底面に設けられているノズル３５を、土台部６０の下面から露出させるための開口部６２が設けられている。
【００４７】
第１側壁部６３と第２側壁部６４とは、上方に向かって突出するように、土台部６０の上面に立てられている。第１側壁部６３と第２側壁部６４とは、ヘッド本体部３０を挟んで互いに対向する位置に配置されている。第１側壁部６３と第２側壁部６４のそれぞれの上端面には、締結ネジ５３をねじ止めするネジ穴６５が設けられている。
【００４８】
サポート部材５２は、板状の梁部材であり、ヘッド本体部３０と、振動板４０と、駆動部４５の上方に配置され、土台部６０の２つの側壁部６３，６４の上端面にわたって略水平に架設される。サポート部材５２の水平方向の両端には、締結ネジ５３が挿入される貫通孔５２ｐが設けられている。また、サポート部材５２の中央には、サポート部材５２を貫通し、調整ネジ５５がねじ止めされるネジ溝（図示は省略）が切られている調整ネジ穴５２ｓが設けられている。調整ネジ穴５２ｓは、駆動部４５の上方に位置している。
【００４９】
押圧板５４は、サポート部材５２と駆動部４５との間に配置されている。押圧板５４は、サポート部材５２の調整ネジ穴５２ｓの下方に配置されている。
【００５０】
サポート部材５２は、締結ネジ５３が土台部６０の側壁部６３，６４のネジ穴６５にねじ止めされることによって土台部６０に固定される。サポート部材５２が土台部６０に固定されると、駆動部４５は、サポート部材５２から、押圧板５４を介して、振動板４０と駆動部４５の積層方向に押圧力を受ける。この押圧力を締結力として、ヘッド本体部３０と、振動板４０と、駆動部４５と、は締結される。また、その締結力によって、振動板４０を支持している弾性部材４２は圧縮された状態にされる。
【００５１】
調整ネジ５５が、サポート部材５２の調整ネジ穴５２ｓにねじ込まれ、調整ネジ穴５２ｓから、その先端部が突出すると、調整ネジ５５の先端部によって、押圧板５４は、駆動部４５の方へと押される（図３）。これによって、弾性部材４２がさらに圧縮される。調整ネジ５５が、調整ネジ穴５２ｓを介してサポート部材５２から突出する長さを調整することによって、弾性部材４２の圧縮量を調整することができる。
【００５２】
「弾性部材４２の圧縮量」とは、外力が付与されていないときの弾性部材４２の厚みと、駆動部４５が駆動していない状態で、締結部５０からの締結力によって圧縮されているときの弾性部材４２の厚みの差の絶対値を意味する。「弾性部材４２の厚み」とは、ヘッド部２０Ａに組み付けられたときに振動板４０によって押圧される方向における弾性部材４２の高さを意味する。また、「駆動部４５が駆動していない状態」とは、駆動部４５に伸縮変形のための電圧が印加されていない状態である。なお、「駆動部４５が駆動していない状態」とは、駆動部４５が予め決められた基準長で静止している状態であると解釈することもできる。
【００５３】
このように、ヘッド部２０Ａでは、サポート部材５２と押圧板５４と調整ネジ５５とは、弾性部材４２の圧縮量を調整する調整部７０として機能する。なお、押圧板５４は省略されてもよい。後述するように、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａでは、弾性部材４２の圧縮量が調整されていることによって、ヘッド部２０Ａの吐出特性が調整されている。
【００５４】
図３を参照して、ヘッド部２０Ａによる液体ＬＱの吐出動作を説明する。まず、制御部２５は、駆動部４５の伸縮方向における長さを予め決められた基準長にする。第１実施形態では、基準長は、駆動部４５に電圧が印加されていないときの長さである。また、制御部２５は、図１に示されている加圧ポンプ１１と負圧発生源１７とを制御して、液室３１の圧力を、ノズル３５のメニスカス耐圧以下の予め決められた基準圧力に調整する。
【００５５】
制御部２５は、液体ＬＱの吐出タイミングが到来したときに、駆動部４５を、液体ＬＱの吐出量に応じた長さだけ、瞬発的に伸長させる。これによって、振動板４０が駆動部４５に押圧されて、弾性部材４２が弾性収縮し、振動板４０が液室３１に向かって変位し、液室３１内に液体ＬＱを吐出するための圧力が生じる。この圧力を駆動力として、ノズル３５からの液滴の流出が開始される。その後、制御部２５は、駆動部４５を初期の基準長まで瞬発的に収縮させる。すると、振動板４０が弾性部材４２の弾性力によって駆動部４５の下端部に追従して変位し、液室３１内に負圧が発生する。この負圧によって、ノズル３５の液体ＬＱから液滴が分離し、液滴が吐出対象に向かって飛翔する。
【００５６】
図４Ａおよび図４Ｂを参照して、弾性部材４２の圧縮量の調整によるヘッド部２０Ａの吐出特性の調整を説明する。図４Ａは、弾性部材４２の圧縮量をａ，ｂ（０＜ａ＜ｂ）に調整したときの駆動部４５の駆動周波数に対する振動板４０の速度の変化を示すグラフである。グラフＧ１ａ，Ｇ２ａは、弾性部材４２の圧縮量をａとしたときのグラフであり、グラフＧ１ｂ，Ｇ２ｂは、弾性部材４２の圧縮量をｂとしたときのグラフである。グラフＧ１ａ，Ｇ１ｂは、駆動部４５が伸長するときの振動板４０の速度を示しており、グラフＧ２ａ，Ｇ２ｂは、駆動部４５が収縮するときの振動板４０の速度を示している。図４Ｂは、弾性部材４２の圧縮量をａ，ｂに調整したときの駆動部４５の駆動周波数に対する振動板４０の変位量の変化を示すグラフである。グラフＧａが、弾性部材４２の圧縮量をａとしたときのグラフであり、グラフＧｂが、弾性部材４２の圧縮量をｂとしたときのグラフである。
【００５７】
本発明の発明者は、実験により、図４Ａ，図４Ｂのグラフに示されているように、弾性部材４２の圧縮量を変えることによって、駆動部４５の駆動周波数に対する振動板４０の変位速度や変位量が変化するとの知見を得た。振動板４０の速度や変位量は、ヘッド部２０Ａにおける液体ＬＱの吐出特性に影響する。これは、弾性部材４２の圧縮量を変えることによって、ヘッド部２０Ａの液体ＬＱの吐出特性を変化させることができることを意味する。
【００５８】
なお、本明細書において、「ヘッド部２０Ａの液体ＬＱの吐出特性」とは、液体ＬＱを吐出させるために駆動部４５に印加される一定のパルス信号に対する応答性能を意味する。ヘッド部２０Ａの液体ＬＱの吐出特性は、当該パルス信号が印加されたときの液体ＬＱの吐出量や、液体ＬＱの吐出速度、液体ＬＱの吐出が開始されるタイミングなどの応答結果によって知ることができる。
【００５９】
ここで、ヘッド部２０Ａの液体ＬＱの吐出精度は、ヘッド部２０Ａの液体ＬＱの吐出特性によって決まり、駆動部４５の駆動条件によって変化する。「液体ＬＱの吐出精度」とは、目標とする液滴の飛行状態や着弾状態に対する精度を意味する。「駆動部４５の駆動条件」には、印加される電圧の大きさや、駆動部４５の駆動周期であるパルス電圧の周期、外力の印加対象である液体ＬＱの種類や粘度が含まれる。
【００６０】
第１実施形態の液体吐出装置１００Ａでは、一定基準の吐出精度が得られるように、締結部５０による弾性部材４２の圧縮量が、そうした駆動部４５の駆動条件に応じて調整されている。弾性部材４２の圧縮量が駆動部４５の駆動条件に応じて調整されているか否かは、上述した駆動条件が変えられている液体吐出装置１００Ａ同士において、弾性部材４２の圧縮量が変更されているか否かによって検証することができる。
【００６１】
このように、液体吐出装置１００Ａによれば、締結部５０による弾性部材４２の圧縮により、駆動部４５の駆動条件に応じて、液体ＬＱの吐出精度を適切に調整することができる。特に、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａでは、締結部５０が調整部７０を有しており、調整部７０の調整ネジ５５によって、弾性部材４２の圧縮量を簡易に調整することができる。
【００６２】
図２，図５を参照して、液体吐出装置１００Ａの製造工程を説明する。図５は、液体吐出装置１００Ａのヘッド部２０Ａの製造工程を示すフロー図である。工程１は、ヘッド部２０Ａの吐出機構を構成する各部材を積層する組立工程である。工程１では、製造者は、まず、３つの積層板３０ａ，３０ｂ，３０ｃを積層して、ヘッド本体部３０を構成する。そして、ヘッド本体部３０に対して、液室３１の壁部の一部を構成する振動板４０を、液室３１の上方に配置する。このとき、ヘッド本体部３０と振動板４０との間に弾性部材４２を挟む。さらに、振動板４０の上方に、駆動部４５を設置し、振動板４０と駆動部４５とを接続する。
【００６３】
工程２は、弾性部材４２が圧縮された状態で振動板４０を支持するように、駆動部４５と、振動板４０と、ヘッド本体部３０と、を締結する締結工程である。工程２では、製造者は、弾性部材４２と振動板４０と駆動部４５とが積層されているヘッド本体部３０を締結部５０の土台部６０の凹部６１に配置する。次に、駆動部４５の上に、押圧板５４を配置し、その上に、さらにサポート部材５２を配置する。そして、締結ネジ５３によって、台座部５１とサポート部材５２とを締結する。この締結力によって、弾性部材４２が圧縮された状態にされる。
【００６４】
工程２は、弾性部材４２の圧縮量を調整する工程を含む。工程２では、製造者は、調整部７０によって、弾性部材４２の圧縮量を、予め決められている駆動部４５の駆動条件に応じて、予め試験によって得られている好適な値に調整する。製造者は、例えば、駆動部４５の駆動周波数に対して、振動板４０の目標変位速度や目標変位量が得られるように、弾性部材４２の圧縮量を調整する。あるいは、吐出対象である液体ＬＱの粘度に対して、振動板４０の目標変位速度や目標変位量が得られるように、弾性部材４２の圧縮量を調整する。このように、製造者は、駆動部４５の駆動条件に対して、目標とする液体ＬＱの吐出性能が得られるように、弾性部材４２の圧縮量を調整する。なお、工程２での弾性部材４２の圧縮量の調整を行う際には、駆動部４５を予め基準となる長さに伸縮させた状態でおこなわれる。駆動部４５の基準となる長さは、例えば、上述した吐出処理のときの基準長であってもよいし、駆動部４５を最も伸長させたときの長さであってもよい。
【００６５】
第１実施形態の液体吐出装置１００Ａによれば、上述した吐出処理において、振動板４０をほぼ撓み変形させることなく、液室３１に液体ＬＱを吐出させるための圧力を発生させることができる。よって、駆動部４５が振動板４０に付与する外力が、振動板４０の弾性変形によって吸収されてしまうことが抑制されるため、液体ＬＱの吐出のためのエネルギーロスが低減される。従って、液体ＬＱの吐出を効率的に実行することができる。
【００６６】
特に、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａでは、上述したように、駆動部４５の底面は、弾性部材４２の上側の面全体を押圧可能な平坦面によって構成されている。これによって、駆動部４５の駆動による振動板４０の撓み変形がさらに抑制されており、液体ＬＱの吐出のためのエネルギーロスがより一層、低減されている。
【００６７】
第１実施形態の液体吐出装置１００Ａによれば、締結部５０によって、弾性部材４２が圧縮された状態で振動板４０と駆動部４５とが締結されている。これによって、吐出処理において、駆動部４５を瞬発的に収縮させたときでも、振動板４０と駆動部４５とが乖離してしまうことが抑制される。このように、締結部５０による振動板４０と駆動部４５の締結によって、駆動部４５の伸縮に対する振動板４０の追従性が高められており、液体ＬＱの吐出精度が高められている。
【００６８】
第１実施形態の液体吐出装置１００Ａでは、振動板４０と駆動部４５との間の接着部や接合部が省略されている。そのため、振動板４０と駆動部４５との接着や接合のための加工工程や管理工程を省略できる分だけ、液体吐出装置１００Ａの製造工程の簡略化が可能であり、その製造コストが低減され、製造効率が高められる。また、駆動部４５を高周波数で駆動させたときに、振動板４０と駆動部４５との間の接着部や接合部が劣化して、振動板４０と駆動部４５とが乖離してしまうという問題の発生が抑制される。
【００６９】
第１実施形態の液体吐出装置１００Ａによれば、上述した駆動部４５の駆動条件に応じて、弾性部材４２の圧縮量が調整されている。そのため、駆動部４５の駆動条件によって、液体吐出装置１００Ａの液体ＬＱの吐出精度がばらついてしまうことが抑制される。また、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａによれば、弾性部材４２の圧縮量を調整するための調整部７０が締結部５０に設けられているため、そうした弾性部材４２の圧縮量の調整を簡易に精度よくおこなうことができる。
【００７０】
第１実施形態の液体吐出装置１００Ａの製造工程によれば、簡易な部材の積層作業と締結作業とによって、液体吐出装置１００Ａのヘッド部２０Ａを作製することができる。また、ヘッド部２０Ａにおける弾性部材４２の圧縮量の調整により、液体吐出装置１００Ａの吐出性能のばらつきの発生を抑制することができる。
【００７１】
以上のように、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａによれば、圧縮された状態で配置されている弾性部材４２によって、駆動部４５に対する振動板４０の追従性が高められており、液体吐出装置１００Ａの液体ＬＱの吐出精度が高められている。また、弾性部材４２の圧縮量によって、液体吐出装置１００Ａの液体ＬＱの吐出特性が適切に調整されており、液体吐出装置１００Ａの液体ＬＱの吐出精度のばらつきの発生が抑制されている。その他に、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａおよびその製造方法によれば、上記実施形態中で説明した種々の作用効果を奏することができる。
【００７２】
Ｂ．第２実施形態：
図６は、第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂが備えるヘッド部２０Ｂの構成を示す概略断面図である。第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂの構成は、第１実施形態のヘッド部２０Ａの代わりに、第２実施形態のヘッド部２０Ｂを備えている点以外は、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａの構成とほぼ同じである（図１）。第２実施形態のヘッド部２０Ｂの構成は、スペーサー７２を備えている点以外は、第１実施形態のヘッド部２０Ａの構成とほぼ同じである。
【００７３】
スペーサー７２は、振動板４０とヘッド本体部３０との間に設けられている。スペーサー７２は、弾性部材４２の圧縮を制限するための部材である。第２実施形態では、スペーサー７２は、環状の部材によって構成され、弾性部材４２を囲むように配置される。スペーサー７２の厚みは、駆動部４５が駆動していない状態における弾性部材４２の厚みよりも小さい。「スペーサー７２の厚み」とは、振動板４０と弾性部材４２の積層方向におけるスペーサー７２の高さを意味する。スペーサー７２の厚みは、圧縮により弾性部材４２の弾性力が著しく低下する弾性部材４２の限界の厚みよりも大きい。
【００７４】
第２実施形態のヘッド部２０Ａによれば、駆動部４５を伸長させたときや、調整部７０によって弾性部材４２の圧縮量を増大させたときに、スペーサー７２によって、弾性部材４２が限界よりも圧縮されすぎてしまうことが抑制される。よって、圧縮による弾性部材４２の劣化が抑制され、弾性部材４２の劣化に起因する液体吐出装置１００Ｂの液体ＬＱの吐出精度の低下が抑制される。その他に、第２実施形態の液体吐出装置１００Ｂによれば、第１実施形態で説明した種々の作用効果を奏することができる。
【００７５】
Ｃ．第３実施形態：
図７は、第３実施形態の液体吐出装置１００Ｃが備えるヘッド部２０Ｃの構成を示す概略断面図である。第３実施形態の液体吐出装置１００Ｃの構成は、第１実施形態のヘッド部２０Ａの代わりに、第３実施形態のヘッド部２０Ｃを備えている点以外は、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａとほぼ同じである（図１）。第３実施形態のヘッド部２０Ｃの構成は、開口部３６の内周縁に傾斜壁面７５が設けられている点以外は、第１実施形態のヘッド部２０Ａの構成とほぼ同じである。
【００７６】
第３実施形態のヘッド部２０Ｃでは、ヘッド本体部３０は、振動板４０の下方に、液室３１を囲み、液室３１に向かって下降傾斜し、振動板４０の方に向く傾斜壁面７５を有している。傾斜壁面７５は、振動板４０が変位する方向に対して傾斜している。弾性部材４２は、傾斜壁面７５と振動板４０とに挟まれて配置されている。
【００７７】
ヘッド部２０Ｃでは、駆動部４５により振動板４０を変位させたときに、弾性部材４２が液室３１の外方に向かって、振動板４０の変位方向に直交する方向へと膨張することが傾斜壁面７５によって抑制される。そのため、そうした弾性部材４２の膨張変形によって、液体ＬＱの吐出のためのエネルギーが吸収されて低減されてしまうことが抑制される。よって、液体吐出装置１００Ｃにおける液体ＬＱの吐出効率が高められる。その他に、第３実施形態の液体吐出装置１００Ｃによれば、第１実施形態で説明した種々の作用効果を奏することができる。
【００７８】
Ｄ．第４実施形態：
図８は、第４実施形態の液体吐出装置１００Ｄが備えるヘッド部２０Ｄの概略分解斜視図である。第４実施形態の液体吐出装置１００Ｄの構成は、第１実施形態のヘッド部２０Ａの代わりに、第４実施形態のヘッド部２０Ｄを備えている点以外は、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａとほぼ同じである（図１）。
【００７９】
第４実施形態のヘッド部２０Ｄでは、ヘッド本体部３０Ｄが、複数の液室３１を有している。図８には、ヘッド本体部３０Ｄが、２つの液室３１を有している構成が例示されている。ヘッド本体部３０Ｄが有する液室３１の数は２つに限定されない。ヘッド本体部３０Ｄは、３つ以上の液室３１を有していてもよい。
【００８０】
ヘッド本体部３０Ｄを構成する第１積層板３０ａには、ノズル３５を構成する貫通孔が、複数の液室３１のそれぞれに対してひとつずつ設けられている。第２積層板３０ｂには、液室３１を構成する複数の貫通孔３１ｐと、液室３１ごとに流入路３２を構成するスリット３２ｓと流出路３３を構成するスリット３３ｓとが設けられている。第３積層板３０ｃには、開口部３６が、複数の液室３１のそれぞれに対してひとつずつ設けられている。また、流入口３７を構成する貫通孔が、複数の液室３１のそれぞれに対してひとつずつ設けられ、流出口３８を構成する貫通孔が、複数の液室３１のそれぞれに対してひとつずつ設けられている。
【００８１】
ヘッド部２０Ｄでは、振動板４０と駆動部４５と弾性部材４２とがそれぞれ、複数の液室３１のそれぞれに対応してひとつずつ設けられている。締結部５０の押圧板５４は、複数の駆動部４５の上端に跨がって配置されている。これによって、ヘッド部２０Ｄでは、複数の振動板４０と、複数の駆動部４５と、複数の弾性部材４２と、が共通の締結部５０によって締結される。また、締結部５０の調整部７０は、複数の弾性部材４２のそれぞれの圧縮量をまとめて調整する共通調整部として機能する。
【００８２】
第４実施形態の液体吐出装置１００Ｄによれば、一つの締結部５０で、複数組の駆動部４５と振動板４０とを締結することができるため、部品点数を低減することができ、製造工程の簡略化や、製造コストの低減が可能である。また、液体吐出装置１００Ｄの小型化が可能である。第４実施形態の液体吐出装置１００Ｄによれば、複数の弾性部材４２の圧縮量を、共通調整部である調整部７０によってまとめて調整できるため、液体ＬＱの吐出精度の調整を効率的におこなうことができる。その他に、第４実施形態の液体吐出装置１００Ｄによれば、第１実施形態で説明した種々の作用効果を奏することができる。
【００８３】
Ｅ．第５実施形態：
図９は、第５実施形態の液体吐出装置１００Ｅが備えるヘッド部２０Ｅの概略分解斜視図である。第５実施形態の液体吐出装置１００Ｅの構成は、第１実施形態のヘッド部２０Ａの代わりに、第５実施形態のヘッド部２０Ｅを備えている点以外は、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａの構成とほぼ同じである。第５実施形態のヘッド部２０Ｅの構成は、締結部５０Ｅが、調整部７０の代わりに、個別調整部７０Ｅを有している点以外は、第４実施形態のヘッド部２０Ｄの構成とほぼ同じである。
【００８４】
第５実施形態の締結部５０Ｅの構成は、複数の押圧板５４と、複数の調整ネジ５５と、を有し、サポート部材５２Ｅに複数の調整ネジ穴５２ｓが設けられている点以外は、第４実施形態の締結部５０とほぼ同じである。押圧板５４、調整ネジ５５、調整ネジ穴５２ｓのそれぞれの個数は、ヘッド部２０Ｅの有する液室３１の数と同じである。図９では、２つの液室３１に対して、押圧板５４、調整ネジ５５、調整ネジ穴５２ｓをそれぞれ２つずつ有している構成が例示されている。
【００８５】
複数の押圧板５４は、複数の駆動部４５のそれぞれの上方にひとつずつ配置されている。複数の調整ネジ穴５２ｓは、複数の駆動部４５のそれぞれの上方にひとつずつ設けられている。複数の調整ネジ５５はそれぞれ、対応する調整ネジ穴５２ｓに挿入され、その調整ネジ穴５２ｓの下方に配置されている一つの駆動部４５に押圧力を付与して、その下の弾性部材４２を圧縮する。ヘッド部２０Ｅでは、サポート部材５２Ｅと、複数の押圧板５４と、複数の調整ネジ５５とは、複数の弾性部材４２のそれぞれの圧縮量を個別に調整する個別調整部７０Ｅとして機能する。なお、複数の押圧板５４は省略されてもよい。
【００８６】
第５実施形態の液体吐出装置１００Ｅによれば、個別調整部７０Ｅによって、各弾性部材４２の圧縮量を個別に調整できるため、複数のノズル３５のそれぞれからの液体ＬＱの吐出精度の調整が可能になる。よって、ノズル３５ごとの吐出特性のばらつきがなくなるように、液体ＬＱの吐出特性を調整することができる。あるいは、各ノズル３５ごとに、液体ＬＱの吐出特性を変更することができる。例えば、液体ＬＱの吐出特性を、各ノズル３５ごとに、対応する駆動部４５の駆動条件に適合するように調整することもできる。その他に、第５実施形態の液体吐出装置１００Ｅによれば、第４実施形態で説明した種々の作用効果を奏することができる。
【００８７】
Ｆ．第６実施形態：
図１０は、第６実施形態における液体吐出装置１００Ｆが備えるヘッド部２０Ｆの構成を示す概略図である。第６実施形態の液体吐出装置１００Ｆの構成は、ヘッド部２０Ａの代わりに、第６実施形態のヘッド部２０Ｆを備えている点以外は、第１実施形態の液体吐出装置１００Ａの構成とほぼ同じである（図１）。第６実施形態のヘッド部２０Ｆの構成は、流入路３２に流入量変更部８０が接続され、流出路３３に流出量変更部９０が接続されている点以外は、第１実施形態のヘッド部２０Ａの構成とほぼ同じである。
【００８８】
流入量変更部８０は、制御部２５の制御下において、液室３１への液体ＬＱの流入量を調整する。後述するように、流入量変更部８０は、液室３１から流入路３２Ｆへの液体ＬＱの流入を制御して、液室３１から流入路３２Ｆへの圧力の伝達を調整する圧力伝達調整部として機能する。
【００８９】
流入量変更部８０は、追加流入路８１と、駆動室８３と、弁体８５と、駆動部８６と、を備える。追加流入路８１は、流入路３２に接続されている液体ＬＱの流路である。第６実施形態のヘッド部２０Ｆでは、流入路３２と追加流入路８１とが、液室３１に液体ＬＱを供給するための流入路３２Ｆを構成する。
【００９０】
駆動室８３は、ヘッド部２０Ｆの筐体内に設けられた部屋であり、駆動部８６を収容している。第６実施形態では、駆動室８３は、追加流入路８１の上方に設けられている。追加流入路８１と駆動室８３とは、直線状に延びている貫通孔８４によって連通している。
【００９１】
弁体８５は、金属製の柱状の部材である。弁体８５は、上記の貫通孔８４を介して追加流入路８１と駆動室８３とに跨がって配置されている。以下、弁体８５の追加流入路８１側の端部を「先端部」と呼び、駆動室８３側の端部を「後端部」と呼ぶ。弁体は、先端部を下方とし、後端部を上方として、その長手方向が重力方向に沿うように配置されている。第６実施形態では、弁体８５の先端部は半球形状の凸部として構成されている。なお、追加流入路８１内に配置されている弁体８５の表面は、ヘッド部２０Ｆにおける流入路３２Ｆの内壁面の一部を構成していると解釈できる。
【００９２】
駆動部８６は、弁体８５の後端部の連結されており、弁体８５に外力を付与して、弁体８５を、その長手方向に沿って変位させる。第６実施形態では、駆動部８６は、ピエゾ素子によって構成されており、駆動室８３内において上下方向に伸縮することによって、弁体８５を上下にピストン運動させる。なお、貫通孔８４内には、弁体８５の側面と接触して、駆動室８３を気密にシールするシール部材が配置されている（図示は省略）。弁体８５は、当該シール部の内周面を擦りながらピストン運動する。
【００９３】
図１０には、駆動部８６が収縮して、弁体８５が追加流入路８１に突出している長さが最も短くなっている状態が例示されている。この状態から駆動部８６が伸長すると、弁体８５が下方に移動して、弁体８５が追加流入路８１に突出している長さが増大し、流入路３２Ｆの容積が低減され、流入路３２Ｆの流路抵抗が増大する。逆に、駆動部８６が収縮すると、流入路３２Ｆの容積が増大して、流入路３２Ｆの流路抵抗が低減される。
【００９４】
第６実施形態では、追加流入路８１は、弁座部８２を有している。弁座部８２は、弁体８５の先端部と対向する位置に設けられている。弁座部８２は、弁体８５が追加流入路８１に向かって移動するときの移動方向に徐々に径が縮小するテーパー部として構成されている。弁体８５は、追加流入路８１に最も突出したときに、その先端部が弁座部８２の内壁面に接触して、流入路３２Ｆを閉塞する。なお、この流入路３２Ｆが閉塞された状態では、流入路３２Ｆにおける液体ＬＱの流通が完全に遮断されていなくてもよい。このように、第６実施形態では、流入量変更部８０は、流入路３２Ｆの流路抵抗が増大する方向に弁体８５を移動させて、流入路３２Ｆを閉じる。また、流入路３２Ｆの流路抵抗が低減される方向に弁体８５を移動させて、流入路３２Ｆを開く。
【００９５】
流出量変更部９０は、制御部２５の制御下において、液室３１からの液体ＬＱの流出量を調整する。後述するように、流出量変更部９０は、液室３１から流出路３３Ｆへの液体ＬＱの流入量を調整することによって、液室３１から流出路３３Ｆへと伝達される圧力を調整する圧力伝達調整部として機能する。
【００９６】
流出量変更部９０は、追加流出路９１と、駆動室９３と、弁体９５と、駆動部９６と、を備える。追加流出路９１は、流出路３３に接続されている液体ＬＱの流路である。第６実施形態のヘッド部２０Ｆでは、流出路３３と追加流出路９１とが、液室３１から液体ＬＱを排出させるための流出路３３Ｆを構成する。
【００９７】
流出量変更部９０の駆動部９６および弁体９５は、流入量変更部８０の駆動部８６および弁体８５と同様な構成を有している。駆動室９３は、ヘッド部２０Ｆの筐体内に設けられた部屋であり、駆動部９６を収容している。駆動室９３は、追加流出路９１の上方に設けられている。駆動室９３と追加流出路９１とは、直線状に延びている貫通孔９４によって連通している。
【００９８】
弁体９５は、先端部が追加流出路９１に露出するように、貫通孔９４に配置されている。貫通孔９４内には、流入量変更部８０の貫通孔８４と同様に、シール部材が配置されている（図示は省略）。なお、流出路３３Ｆ内に配置されている弁体９５の表面は、流出路３３Ｆの内壁面の一部を構成していると解釈できる。
【００９９】
流出量変更部９０では、弁体９５の後端部に連結されている駆動部９６が、上下方向に伸縮することによって、弁体９５を上下にピストン運動させる。流出量変更部９０では、駆動部９６が伸長することによって、流出路３３Ｆの容積が低減されて、流出路３３Ｆの流路抵抗が増大する。逆に、駆動部９６が収縮することによって、流出路３３Ｆの容積が増大して、流出路３３Ｆの流路抵抗が低減される。
【０１００】
第６実施形態では、流出路３３Ｆは、追加流入路８１の弁座部８２と同様な弁座部９２を有している。弁座部９２は、流出量変更部９０の弁体９５の先端部と対向する位置に設けられている。弁体９５は、追加流出路９１に最も突出したときに、その先端部が弁座部９２の内壁面に接触して、流出路３３Ｆを閉塞する。このように、流出量変更部９０は、流出路３３Ｆの流路抵抗が増大する方向に弁体９５を移動させて、流出路３３Ｆを閉じる。また、流出路３３Ｆの流路抵抗が低減される方向に弁体９５を移動させて、流出路３３Ｆを開く。
【０１０１】
図１１は、液体吐出装置１００Ｆにおいて制御部２５が実行する吐出処理における制御工程を示すフロー図である。制御部２５は、駆動部４５と、圧力伝達調整部である流入量変更部８０および流出量変更部９０を制御して、ノズル３５から液体ＬＱを吐出させる吐出処理を実行する。制御部２５は、吐出処理の実行を開始する際には、駆動部４５を、第１実施形態で説明した基準長にし、液室３１の圧力をメニスカス耐圧以下の基準圧力に調整する。
【０１０２】
工程１は、液体ＬＱの流路である流入路３２Ｆへの圧力の伝達が抑制されている状態にして、液室３１の圧力を増大させてノズル３５から液体ＬＱの流出を開始させる加圧工程である。工程１では、制御部２５は、以下の加圧処理を実行する。加圧処理では、制御部２５は、まず、流入量変更部８０に、流入路３２Ｆの流路抵抗を増大させて、液室３１から流入路３２Ｆへの圧力の伝達が抑制される状態にする。制御部２５は、流入量変更部８０の駆動部８６を伸長させて、弁体８５を下方に変位させ、流入路３２Ｆを閉塞する。
【０１０３】
加圧処理では、制御部２５は、流出量変更部９０に、流出路３３Ｆの流路抵抗を増大させて、液室３１から流出路３３Ｆへの圧力の伝達が抑制される状態にする。制御部２５は、流出量変更部９０の駆動部９６を伸長させて、弁体９５を下方に変位させ、流出路３３Ｆを閉塞する。なお、加圧処理では、少なくとも、流入量変更部８０によって液室３１から流入路３２Ｆへの圧力の伝達が抑制された状態にされればよく、前述の流出量変更部９０による流出路３３Ｆの閉塞処理は省略されてもよい。
【０１０４】
加圧処理では、制御部２５は、さらに、駆動部４５に弾性部材４２を圧縮させて、振動板４０を瞬発的に変位させることによって、液室３１の容積を減少させて、液室３１の圧力を増大させる。液室３１内の圧力が増大することによって、ノズル３５から液体ＬＱの流出が開始される。
【０１０５】
加圧処理では、上記のように、液室３１から流入路３２Ｆへの圧力の伝達が抑制される状態にされているため、振動板４０の変位によって生じた圧力が流入路３２Ｆの方に逃げてしまうことが抑制されている。よって、ノズル３５から液体ＬＱを流出させる駆動力が低減されてしまうことが抑制され、ノズル３５からの液体ＬＱの吐出効率が高められている。第６実施形態では、上記のように、液室３１から流出路３３Ｆへの圧力の伝達も抑制された状態にされているため、液室３１内に生じさせた圧力が流出路３３Ｆへと逃げてしまうことが抑制されている。よって、ノズル３５からの液体ＬＱの吐出効率が、さらに高められている。
【０１０６】
工程２は、加圧工程によって、ノズル３５からの液体ＬＱの流出が開始された後、ノズル３５から液体ＬＱが流出している間に、液室３１の圧力を低減させて、ノズル３５の液体ＬＱから液滴を分離させて飛翔させる減圧工程である。工程２では、制御部２５は、以下の減圧処理を実行する。
【０１０７】
減圧処理では、ノズル３５から液体ＬＱが流出している間において、予め決められた経過時間が経過したときに、圧力伝達調整部である流入量変更部８０を駆動することによって、液室３１の圧力を低減させる。「ノズル３５から液体ＬＱが流出している間」とは、ノズル３５の吐出口３５ｏから液体ＬＱが尾を引くように垂下している状態が継続されている間を意味している。この期間は、液室３１の容積が駆動部４５によって初期の容積から低減された状態が維持されている期間であり、液室３１の圧力が、加圧処理の実行前よりも高いままの状態にある期間である。
【０１０８】
制御部２５は、その期間において、流入量変更部８０の駆動部８６を収縮させて、弁体８５を上方に変位させ、流入路３２Ｆを開放する。これによって、流入路３２Ｆの容積が増大し、流入路３２Ｆの流路抵抗が低減される。そのため、液室３１から流入路３２Ｆへと圧力が抜けるのが促進され、液室３１の圧力が低下し、ノズル３５の液体ＬＱを液室３１の方に引き戻す方向に働く負圧が発生する。この負圧により、ノズル３５の液体ＬＱからの液滴の分離が促進され、液滴の飛翔が開始される。
【０１０９】
第６実施形態の液体吐出装置１００Ｆでは、加圧処理を実行する駆動部４５とは別の流入量変更部８０の駆動部８６によって減圧処理が実行される。そのため、加圧処理の実行後の経過時間が、駆動部４５の固有周期より短くても、減圧処理の実行を開始することができる。つまり、減圧処理の開始タイミングが、駆動部４５の動作性能に影響されてしまうことが抑制される。よって、より好適なタイミングで液滴を分離させるための負圧を液室３１内に発生させることができ、ノズル３５からの液滴の吐出の制御性が高められる。
【０１１０】
なお、減圧処理では、流入量変更部８０によって流入路３２Ｆの流路抵抗を増大させる動作の代わりに、あるいは、その動作とともに、駆動部４５の駆動によって、液室３１の容積を増大させ、液室３１に液滴を分離させるための負圧を発生させてもよい。また、減圧処理では、流出量変更部９０の駆動によって流出路３３Ｆを開き、流出路３３Ｆへの液体ＬＱの流出量を増大させて、流出路３３Ｆへの圧力の伝達を促進させることによって、液室３１に液滴を分離させるための負圧を発生させてもよい。減圧処理では、圧力伝達調整部と、駆動部４５の少なくとも一方を駆動することによって、ノズル３５からの液滴の分離が促進されるように、液室３１の圧力を低減させればよい。これによって、液滴を分離させるための負圧を液室３１内に簡易に発生させることができる。
【０１１１】
以上のように、第６実施形態の液体吐出装置１００Ｆによれば、ヘッド部２０Ｆが、圧力伝達調整部を備えていることによって、吐出処理の実行時に液室３１内に圧力変化をより効率的に生じさせることができる。そのため、加圧処理による液体ＬＱの吐出効率を高めることができる。また、減圧処理による液滴の分離効果を高めることができ、液滴が無駄に尾を引いてしまうことや、不要なミストの発生、液滴の形状の崩れなどが抑制される。よって、液滴の飛行状態や着弾状態が劣化してしまうことが抑制され、ヘッド部２０Ｆによる液体吐出の信頼性が高められる。その他に、第６実施形態の液体吐出装置１００Ｆによれば、上記の第１実施形態中で説明した種々の作用効果を奏することができる。
【０１１２】
Ｇ．第７実施形態：
図１２は、第７実施形態の液体吐出装置１００Ｇが備えるヘッド部２０Ｇの構成を示す概略断面図である。図１２には、振動板４０の中心位置を示す中心軸ＣＸを一点鎖線で図示してある。第７実施形態の液体吐出装置１００Ｇの構成は、ヘッド部２０Ｆの代わりに、第７実施形態のヘッド部２０Ｇを備えている点以外は、第６実施形態の液体吐出装置１００Ｆの構成とほぼ同じである。第７実施形態のヘッド部２０Ｇの構成は、ノズル３５の形成位置が異なっている点以外は、第６実施形態のヘッド部２０Ｆの構成とほぼ同じである。液体吐出装置１００Ｇの制御部２５は、第６実施形態で説明した吐出処理を実行する（図１１）。
【０１１３】
流入路３２は、液室３１において開口している接続開口３２ｏを介して液室３１に連通している。また、流出路３３は、液室３１において開口している接続開口３３ｏを介して液室３１に連通している。ノズル３５は、液室３１の底面において開口している連通口３９を介して液室３１に連通している。
【０１１４】
第７実施形態のヘッド部２０Ｇでは、ノズル３５の連通口３９は、振動板４０の中心よりも流入路３２の接続開口３２ｏ側に寄った位置に設けられている。これによって、そのため、流入量変更部８０による流入路３２Ｆの容積を変更する動作に起因して流入路３２Ｆ内に生じる圧力変化が、液室３１のノズル３５にまで到達しやすくなっている。そのため、第６実施形態で説明した流入量変更部８０の駆動よって、液室３１の圧力を低減させる減圧処理において、液室３１内に、液滴を分離させるための負圧をより効率的に生じさせることができる。よって、液体吐出装置１００Ｇによる液体吐出の制御性が、さらに高められる。その他に、第７実施形態の液体吐出装置１００Ｇによれば、上記の第１実施形態や第６実施形態で説明したのと同様な種々の作用効果を奏することができる。
【０１１５】
Ｈ．他の実施形態：
上記の各実施形態で説明した種々の構成は、例えば、以下のように改変することが可能である。以下に説明する他の実施形態のそれぞれの構成はいずれも、上記の各実施形態と同様に、発明を実施するための形態の一例として位置づけられる。
【０１１６】
Ｈ１．他の実施形態１：
上記の各実施形態において、駆動部４５は、ピエゾ素子によって構成されている。これに対して、駆動部４５は、ピエゾ素子以外のアクチュエーターによって構成されていてもよい。駆動部４５は、例えば、エアシリンダーやソレノイド、磁歪素子などの他のアクチュエーターによって構成されてもよい。第６実施形態、第７実施形態における流入量変更部８０の駆動部８６および流出量変更部９０の駆動部９６についても同様である。
【０１１７】
Ｈ２．他の実施形態２：
上記の各実施形態において、締結部５０，５０Ｅは、台座部５１、サポート部材５２，５２Ｅ、締結ネジ５３、押圧板５４、調整ネジ５５を有する構成以外の構成を有していてもよい。締結部５０，５０Ｅは、例えば、調整部７０，７０Ｅとして機能する調整ネジ５５および押圧板５４が省略された構成を有していてもよい。この場合には、例えば、締結ネジ５３によってサポート部材５２，５２Ｅと土台部６０との間の距離を調整することによって、各弾性部材４２の圧縮量が調整されてもよい。また、台座部５１を省略して、サポート部材５２を直接、ヘッド本体部３０，３０Ｄに締結する構成を有していてもよい。あるいは、サポート部材５２とヘッド本体部３０，３０Ｄとで、駆動部４５、振動板４０、弾性部材４２を挟んだ状態で、針金状の部材を巻き付けて締結する構成を有していてもよい。締結部５０，５０Ｅは、弾性部材４２が圧縮した状態になるように押圧力を加えて、駆動部４５と振動板４０とを連結できる構成であればよい。
【０１１８】
Ｈ３．他の実施形態３：
上記の各実施形態の調整部７０，７０Ｅは、サポート部材５２，５２Ｅに取り付けられる調整ネジ５５によって弾性部材４２を与圧する構成以外の構成を有していてもよい。調整部７０，７０Ｅは、例えば、サポート部材５２，５２Ｅと駆動部４５との間に配置される圧電素子やエアバッグ、ジャッキなど、伸縮可能な機構によって構成されてもよい。
【０１１９】
Ｈ４．他の実施形態４：
上記の各実施形態において、弾性部材４２は、環状の樹脂部材によって構成されていなくてもよく、他の弾性力を有する部材によって構成されてもよい。弾性部材４２は、例えば、ばねによって構成されてもよい。また、液室３１の周りに複数の弾性部材が配列される構成を有していてもよい。なお、これらの構成の場合には、液室３１と弾性部材との間には、振動板４０の変位に追従して伸縮し、液室３１の壁部の一部を構成するシール部材が配置される。
【０１２０】
Ｈ５．他の実施形態５：
上記の各実施形態において、ヘッド本体部３０，３０Ｄは、複数の積層板３０ａ〜３０ｃが積層された構成を有している。これに対して、ヘッド本体部３０，３０Ｄは、複数の積層板３０ａ〜３０ｃが積層された構成を有していなくてもよい。ヘッド本体部３０，３０Ｄは、例えば、金属片の内部に、液室３１を構成する内部空間ＳＰを設けることによって作製されてもよい。上記の第４実施形態や第５実施形態において、ヘッド本体部３０Ｄは、液室３１ごとに分離している構成を有していてもよい。
【０１２１】
Ｈ６．他の実施形態６：
上記第２実施形態のスペーサー７２は、環状の部材によって構成されていなくてもよい。スペーサー７２は、弾性部材４２の隣において、振動板４０に向かって突起するヘッド本体部３０の凸部として構成されてもよい。あるいは、スペーサー７２は、振動板４０の外周端部において、ヘッド本体部３０に向かって突起する凸部として構成されていてもよい。
【０１２２】
Ｈ７．他の実施形態７：
上記第２実施形態および他の実施形態４のスペーサー７２や、第３実施形態の傾斜壁面７５は、第３実施形態や第４実施形態、第５実施形態、第６実施形態の液体吐出装置１００Ｄ〜１００Ｇのヘッド部２０Ｄ〜２０Ｇに適用されてもよい。
【０１２３】
Ｈ８．他の実施形態８：
上記各実施形態の液体吐出装置１００Ａ〜１００Ｇにおいて、循環路１８を省略し、液体ＬＱを循環させない構成を適用してもよい。例えば、上記各実施形態の液体吐出装置１００Ａ〜１００Ｇにおいて、ヘッド部２０Ａ〜２０Ｇの流出路３３を通じて排出された液体ＬＱを、そのまま外部に排出する構成を適用してもよい。
【０１２４】
Ｈ９．他の実施形態９：
上記各実施形態の液体吐出装置１００Ａ〜１００Ｇのヘッド部２０Ａ〜２０Ｇにおいて、流出路３３は省略されてもよい。ヘッド部２０Ａ〜２０Ｇにおける液体ＬＱの流路には、少なくとも流入路３２が含まれればよい。この場合には、排出路１５、液体貯留部１６、負圧発生源１７、循環路１８は省略され、加圧ポンプ１１の代わりに、供給路１２を通じてヘッド部２０Ａ〜２０Ｇに供給される液体ＬＱの圧力を予め決められた圧力に調整する圧力調整部が設けられる。圧力調整部は、タンク１０から液体ＬＱを吸引するポンプや、ヘッド部２０Ａ〜２０Ｇの液室３１の圧力が所定の圧力になるように開閉するバルブなどによって構成される。
【０１２５】
Ｈ１０．他の実施形態１０：
上記の各実施形態の液体吐出装置１００Ａ〜１００Ｇにおいて、弾性部材４２の圧縮量は、駆動部４５の駆動条件に応じて調整されていなくてもよい。弾性部材４２の圧縮量は、例えば、目標とする振動板４０の変位速度や変位量が得られるように調整されていてもよい。
【０１２６】
Ｈ１１．他の実施形態１１：
上記の第６実施形態や上記第７実施形態において、上記第４実施形態や第５実施形態のように、ヘッド部２０Ｆ，２０Ｇが、複数の液室３１を有する構成が適用されてもよい。この場合には、液室３１ごとに流入量変更部８０や流出量変更部９０が設けられてもよい。
【０１２７】
Ｈ１２．他の実施形態１２：
上記の第６実施形態や第７実施形態において、加圧処理を実行する加圧工程は省略されてもよい。この場合には、第６実施形態で説明した加圧処理の代わりに、流入量変更部８０や流出量変更部９０による流路３２Ｆ，３３Ｆへの圧力の伝達の調整がされないまま、駆動部４５が液室３１内の圧力を増大させる処理が実行されてもよい。また、上記第６実施形態や第７実施形態において、減圧処理を実行する減圧工程は省略されてもよい。この場合の吐出処理では、液室３１内に負圧を発生させることなく、ノズル３５から流出している液体ＬＱに生じる慣性力によって、液滴を分離させて飛翔させるものとしてもよい。
【０１２８】
Ｈ１３．他の実施形態１３：
上記の第６実施形態、第７実施形態において、流入量変更部８０は、流入路３２Ｆを開閉するように動作している。流入量変更部８０は、流入路３２Ｆを完全に閉塞した状態や開放した状態にしなくてもよい。流入量変更部８０は、流入路３２Ｆの容積を変更する動作によって、流入路３２Ｆの流路抵抗を変化させればよい。この場合、流入路３２Ｆの弁座部８２は省略されてもよい。流出量変更部９０およびその弁座部９２についても同様である。なお、上記の各実施形態において、流入量変更部８０による流入路３２Ｆの容積を変更する動作は、流入路３２Ｆの流路断面積を変更する構成であると解釈することもできる。流出量変更部９０による流出路３３Ｆの容積を変更する動作についても同様である。
【０１２９】
Ｈ１４．他の実施形態１４：
上記第６実施形態、第７実施形態において、流入量変更部８０は、駆動部８６によって弁体８５を変位させて、流入路３２Ｆの容積を変更し、流入路３２Ｆの流路抵抗を変化させている。これに対して、流入量変更部８０は、上記の第６実施形態、第７実施形態とは異なる構成によって、流入路３２Ｆの容積を変更し、流入路３２Ｆの流路抵抗を変化させてもよい。例えば、流入量変更部８０は、流入路３２Ｆの内壁面の一部を構成するダイヤフラムを撓み変形させて流入路３２Ｆの容積を変更してもよい。また、流入量変更部８０は、流入路３２Ｆを横切るように移動するシャッター壁部によって、流入路３２Ｆの容積を変化させて、流入路３２Ｆの流路抵抗を変化させる構成であってもよい。流出量変更部９０おいても、同様な構成の改変が適用されてもよい。
【０１３０】
Ｈ１５．他の実施形態１５：
上記の第１実施形態の液体吐出装置１００Ａにおいて、流入路３２や流出路３３の弁部は省略されてもよい。上記の第６実施形態、第７実施形態において、圧力伝達調整部である流入量変更部８０と流出量変更部９０のうちのいずれか一方は省略されてもよい。
【０１３１】
Ｈ１６．他の実施形態１６：
本発明は、インクを吐出する液体吐出装置に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に本発明は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。
【０１３２】
本明細書において、「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であればよく、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。また、「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。
【０１３３】
本発明は、上述の各実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須ではないと説明されているものに限らず、その技術的特徴が本明細書中に必須であると説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【０１３４】
１０…タンク、１１…加圧ポンプ、１２…供給路、１５…排出路、１６…液体貯留部、１７…負圧発生源、１８…循環路、２０Ａ…ヘッド部、２０Ｂ…ヘッド部、２０Ｃ…ヘッド部、２０Ｄ…ヘッド部、２０Ｅ…ヘッド部、２０Ｆ…ヘッド部、２０Ｇ…ヘッド部、２５…制御部、３０…ヘッド本体部、３０Ｄ…ヘッド本体部、３０ａ…第１積層板、３０ｂ…第２積層板、３０ｃ…第３積層板、３１…液室、３１ｐ…貫通孔、３２…流入路、３２Ｆ…流入路、３２ｏ…接続開口、３２ｓ…スリット、３３…流出路、３３Ｆ…流出路、３３ｏ…接続開口、３３ｓ…スリット、３５…ノズル、３５ｏ…吐出口、３５ｔ…テーパー部、３６…開口部、３７…流入口、３８…流出口、３９…連通口、４０…振動板、４２…弾性部材、４５…駆動部、５０…締結部、５０Ｅ…締結部、５１…台座部、５２…サポート部材、５２Ｅ…サポート部材、５２ｐ…貫通孔、５２ｓ…調整ネジ穴、５３…締結ネジ、５４…押圧板、５５…調整ネジ、６０…土台部、６１…凹部、６２…開口部、６３…第１側壁部、６４…第２側壁部、６５…ネジ穴、７０…調整部、７０Ｅ…個別調整部、７２…スペーサー、７５…傾斜壁面、８０…流入量変更部、８１…追加流入路、８２…弁座部、８３…駆動室、８４…貫通孔、８５…弁体、８６…駆動部、９０…流出量変更部、９１…追加流出路、９２…弁座部、９３…駆動室、９４…貫通孔、９５…弁体、９６…駆動部、１００Ａ…液体吐出装置、１００Ｂ…液体吐出装置、１００Ｃ…液体吐出装置、１００Ｄ…液体吐出装置、１００Ｅ…液体吐出装置、１００Ｆ…液体吐出装置、１００Ｇ…液体吐出装置、ＬＱ…液体、ＳＰ…内部空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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