(57)【要約】【課題】銅箔の変形を防止でき被測定物の誘電率の測定の効率を高める。【解決手段】平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具１０は、フィルム部１２と、銅箔部１４とを備えている。フィルム部１２は、１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さのフィルムで円形に形成されている。銅箔部１４は、フィルム部１２の上に取着されている。フィルム部１２の円形の中心と銅箔部１４の円形の中心とは合致している。銅箔部１４は、励振口よりも大きくフィルム部１２よりも小さい外径で円形に形成され、例えば直径が１５ｍｍで、厚さは０．５μｍである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具であって、
１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料で円形に形成されたフィルム部と、
０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで前記フィルム部よりも小さい外径の円形に形成され前記フィルム部の上に取着された銅箔部とを有し、
前記フィルム部の中心と前記銅箔部の中心とは合致している、
ことを特徴とする平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具。
【請求項２】
１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料で円形に形成されたフィルム部と、０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで前記フィルム部よりも小さい外径の円形に形成され前記フィルム部の上に取着された銅箔部とを有し、前記フィルム部の中心と前記銅箔部の中心とは合致している平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具の製造方法であって、
１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料で前記フィルム部よりも大きいフィルムを得る工程と、
前記フィルムの厚さ方向の一方の面の全域に０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで銅箔を蒸着により取着して銅箔付きフィルムを得る工程と、
次に前記銅箔付きフィルムを前記フィルム部と同一外径の円形に加工して銅箔付き円形フィルムを得る工程と、
前記銅箔付き円形フィルムに取着されている銅箔の外周部をエッチングにより除去して前記フィルム部と前記銅箔部とからなるキャリブレーション用治具を得る工程と、
を備えることを特徴とする平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具の製造方法。
【請求項３】
１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料で円形に形成されたフィルム部と、０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで前記フィルム部よりも小さい外径の円形に形成され前記フィルム部の上に取着された銅箔部とを有し、前記フィルム部の中心と前記銅箔部の中心とは合致している平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具の製造方法であって、
１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料を円形に形成して前記フィルム部を得る工程と、
前記フィルム部の厚さ方向の一方の面の全域に０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで銅箔を蒸着により取着して銅箔付き円形フィルムを得る工程と、
前記銅箔付き円形フィルムに取着されている銅箔の外周部をエッチングにより除去して前記フィルム部と前記銅箔部とからなるキャリブレーション用治具を得る工程と、
を備えることを特徴とする平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は共振器キャビティ構造に関し、より詳細には平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
平衡形円板共振器を用いて誘電体の誘電率を測定する方法が知られている。
平衡形円板共振器は、導体からなる円板状の上板および下板を有しており、それら上板および下板の中心に電磁波を通過させる励振口が形成されている。
この測定方法では、上板の励振口と下板の励振口の軸心を合致させてそれら上板と下板との間に測定物を挟持し、その状態で上板または下板の一方の励振口から被測定物に電磁波を放射し、被測定物を通過した電磁波を上板または下板の他方の励振口を介して測定することにより被測定物の誘電率を測定する。
【０００３】
ところでこの測定方法では、被測定物の測定を行なう前に、測定時の誤差を補正するキャリブレーション（ゼロ点調整）が行なわれる。
下板には、キャリブレーションを行なうため、励振口を中心とする円形の位置決め部が誘電率の低い材料で形成されている。
キャリブレーションを行なうにあたっては、以下の治具が用いられている。
治具は、円形の銅箔と環板状のフィルムとを備えている。
銅箔は、励振口よりも大きな外径の円形を有し、厚さは例えば５０μｍと極めて薄い。
フィルムは誘電率が低く、中心に円形の銅箔の外径と同一内径の中心孔が形成されており、厚さは、銅箔よりも薄く、外径は、下板に設けられた円形の位置決め部に合致する寸法で形成されている。
【０００４】
治具の使用方法は以下の通りである。
まず、フィルムの外周を下板の位置決め部に当て付けて下板の上面に載置する。
次に、銅箔の外周をフィルムの中心孔の外周に合わせ、銅箔を中心孔に挿入しフィルムの内側で下板の上面に載置する。
次に、上板の励振口と下板の励振口の軸心を合致させてそれら上板と下板との間に銅箔を挟持する。
その状態で上板または下板の一方の励振口から被測定物に電磁波を放射し、銅箔を通過した電磁波を上板または下板の他方の励振口を介して測定し、その測定結果に基づいてキャリブレーションを行なう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−３４４４６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来技術では、銅箔が薄いため、銅箔の外周をフィルムの中心孔の外周に合わせ、銅箔を中心孔に挿入する作業が容易ではないことから、銅箔の外周部がフィルムの中心孔からはみ出すことがある。
この状態で上板と下板とで銅箔が挟持されると、銅箔が変形して使用不能となるため、被測定物の誘電率の測定の効率を高めることができず、何らかの改善が求められている。
本発明は上記事情に鑑みなされたものであって、その目的は、銅箔の変形を防止でき被測定物の誘電率の測定の効率を高める上で有利な平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具であって、１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料で円形に形成されたフィルム部と、０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで前記フィルム部よりも小さい外径の円形に形成され前記フィルム部の上に取着された銅箔部とを有し、前記フィルム部の中心と前記銅箔部の中心とは合致していることを特徴とする。
請求項２記載の発明は、１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料で円形に形成されたフィルム部と、０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで前記フィルム部よりも小さい外径の円形に形成され前記フィルム部の上に取着された銅箔部とを有し、前記フィルム部の中心と前記銅箔部の中心とは合致している平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具の製造方法であって、１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料で前記フィルム部よりも大きいフィルムを得る工程と、前記フィルムの厚さ方向の一方の面の全域に０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで銅箔を蒸着により取着して銅箔付きフィルムを得る工程と、次に前記銅箔付きフィルムを前記フィルム部と同一外径の円形に加工して銅箔付き円形フィルムを得る工程と、前記銅箔付き円形フィルムに取着されている銅箔の外周部をエッチングにより除去して前記フィルム部と前記銅箔部とからなるキャリブレーション用治具を得る工程とを備えることを特徴とする。
請求項３記載の発明は、１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料で円形に形成されたフィルム部と、０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで前記フィルム部よりも小さい外径の円形に形成され前記フィルム部の上に取着された銅箔部とを有し、前記フィルム部の中心と前記銅箔部の中心とは合致している平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具の製造方法であって、
１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料を円形に形成して前記フィルム部を得る工程と、前記フィルム部の厚さ方向の一方の面の全域に０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで銅箔を蒸着により取着して銅箔付き円形フィルムを得る工程と、前記銅箔付き円形フィルムに取着されている銅箔の外周部をエッチングにより除去して前記フィルム部と前記銅箔部とからなるキャリブレーション用治具を得る工程とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
請求項１記載の発明のキャリブレーション用治具によれば、従来のような銅箔の外周をフィルムの中心孔の外周に合わせ、銅箔を中心孔に挿入して下板の上面に載置する面倒な作業を省略でき、また、銅箔が変形して使用不能となる不具合を解消でき、被測定物の誘電率の測定の効率を高める上で有利となる。
請求項２，３記載の発明によれば、上記のキャリブレーション用治具を簡単に確実に得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】キャリブレーション用治具の平面図である。
【図２】キャリブレーション用治具の正面図である。
【図３】フィルム部よりも外形が大きいフィルムの平面図である。
【図４】フィルムの厚さ方向の一方の面の全域に銅箔が取着された銅箔付きフィルムの正面図である。
【図５】（Ａ）はフィルム部の一方の面の全域に銅箔が取着された銅箔付き円形フィルムの平面図、（Ｂ）は同正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面にしたがって説明する。
図１、図２に示すように、本実施の形態の平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具１０は、フィルム部１２と、銅箔部１４とを備えている。
フィルム部１２は、１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さのフィルムで円形に形成されている。
フィルム部１２の誘電率が１未満であると材料の入手が困難であり、３を超えると電磁波放射の影響があるためである。
また、フィルム部１２の厚さが１０μｍに満たないとフィルム部１２が薄すぎるため取り扱い性が低下する不具合があり、３００μｍを超えると電磁波放射の影響があるためである。
フィルム部１２の厚さを１０μｍ以上３００μｍ以下としたのは、キャリブレーション時に、フィルム部１２による影響をソフト的に修正でき、ゼロ点調整を正確に行なう上で有利となるためである。
本実施の形態では、フィルム部１２は、市販品である日本ゼオン株式会社の誘電率が２．５、厚さが２３μｍのシクロオレフィンポリマー（ゼオネックス（登録商標））が用いられている。
フィルム部１２の外径は、下板に設けられた円形の位置決め部に合致する寸法で形成され、例えば、５０ｍｍである。
【００１１】
銅箔部１４は、フィルム部１２の上に取着されている。
フィルム部１２の円形の中心と銅箔部１４の円形の中心とは合致している。
銅箔部１４は、励振口よりも大きくフィルム部１２よりも小さい外径で円形に形成され、例えば直径が１５ｍｍで、厚さは０．５μｍである。
【００１２】
次に、キャリブレーション用治具１０の製造方法について説明する。
まず、図３に示すように、１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料でフィルム部１２よりも外形が大きいフィルム２２を得る。
次に、図４に示すように、フィルム２２の厚さ方向の一方の面の全域に０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで銅箔２４を蒸着により取着して銅箔付きフィルム２６を得る。
銅箔２４の厚さを０．５μｍ以上５０μｍ以下としたのは、キャリブレーション時に、フィルム部１２による影響をソフト的に修正でき、ゼロ点調整を正確に行なう上で有利となるためである。
また、銅箔２４の厚さが０．５μｍに満たないと銅箔２４の強度が不足する不利があり、銅箔２４の厚さが５０μｍを超えると電磁波放射の影響があるためである。
次に、図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、銅箔付きフィルム２６を、レーザーカッター加工によりフィルム部１２と同一の形状の円形に加工し、フィルム部１２の一方の面の全域に銅箔２４が取着された銅箔付き円形フィルム２８を複数得る。
次に銅箔付き円形フィルム２８から、蒸着された銅箔２４の外周部をエッチングにより除去し、図１、図２に示すフィルム部１２と銅箔部１４とからなるキャリブレーション用治具１０を得る。
【００１３】
あるいは、次のような製造方法によってもキャリブレーション用治具１０が得られる。
まず、１以上３以下の誘電率を有し１０μｍ以上３００μｍ以下の均一の厚さの材料でフィルム部１２を得る。
次に、フィルム部１２の厚さ方向の一方の面の全域に０．５μｍ以上５０μｍ以下の均一の厚さで銅箔２４を蒸着により取着し、図５に示す銅箔付き円形フィルム２８を得る。
次に銅箔付き円形フィルム２８から、蒸着された銅箔２４の外周部をエッチングにより除去し、図１、図２に示すフィルム部１２と銅箔部１４とからなるキャリブレーション用治具１０を得る。
【００１４】
本実施の形態の平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具１０を用いれば、キャリブレーションを行なうにあたって、フィルム部１２の外周を下板の位置決め部に当て付け、キャリブレーション用治具１０を下板の上面に載置する。
この作業により励振口の中心にその中心を合致した状態で銅箔部１４が下板上に配置されることになる。
したがって、従来のような銅箔の外周をフィルムの中心孔の外周に合わせ、銅箔を中心孔に挿入して下板の上面に載置する面倒な作業を省略でき、また、銅箔が変形して使用不能となる不具合を解消でき、被測定物の誘電率の測定の効率を高める上で有利となる。
また、本実施の形態の平衡形円板共振器のキャリブレーション用治具１０の製造方法によれば、上記のキャリブレーション用治具１０を簡単に確実に得ることが可能となる。
【符号の説明】
【００１５】
１０  キャリブレーション用治具
１２  フィルム部
１４  銅箔部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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