(57)【要約】【課題】ダイアフラム弁体に接続された往復動部材の中心軸が振れることに起因するパーティクルの発生を抑制することのできるダイアフラム弁を提供する。【解決手段】流体の流路２１及び弁室２２が形成されたハウジング２０，３０と、ハウジングにおいて、弁室に対する流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座２４と、弁室を流体の流路と非流路とに区画し、弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体４０と、ダイアフラム弁体に接続され、弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材６１と、往復動部材に力を加えてダイアフラム弁体を弁座に押し付ける押付部７０，１２と、金属により薄板状に形成され所定方向に貫通した往復動部材の外縁に取り付けられ、往復動部材の往復動を所定方向に変形して許容し、且つ所定方向に垂直な方向への往復動部材の移動を規制する規制部材９１，９４と、を備えるダイアフラム弁１８。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流路及び弁室が形成されたハウジングと、
前記ハウジングにおいて、前記弁室に対する前記流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座と、
前記弁室を前記流体の流路と非流路とに区画し、前記弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体と、
前記ダイアフラム弁体に接続され、前記弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材と、
前記往復動部材に力を加えて前記ダイアフラム弁体を前記弁座に押し付ける押付部と、
金属により薄板状に形成され前記所定方向に貫通した前記往復動部材の外縁に取り付けられ、前記往復動部材の前記往復動を前記所定方向に変形して許容し、且つ前記所定方向に垂直な方向への前記往復動部材の移動を規制する規制部材と、
を備えるダイアフラム弁。
【請求項２】
前記規制部材は、第１規制部材と、前記弁座から前記第１規制部材よりも離れた位置で前記往復動部材の外縁に取り付けられた第２規制部材とを含んでいる請求項１に記載のダイアフラム弁。
【請求項３】
前記第１規制部材は、前記往復動部材において前記弁座側の端部に取り付けられており、
前記第２規制部材は、前記往復動部材において前記弁座と反対側の端部に取り付けられている請求項２に記載のダイアフラム弁。
【請求項４】
前記往復動部材を中心とした前記ハウジングに対する前記規制部材の回転が規制されている請求項１〜３のいずれか１項に記載のダイアフラム弁。
【請求項５】
前記規制部材は、金属により形成された金属ダイアフラムである請求項１〜４のいずれか１項に記載のダイアフラム弁。
【請求項６】
前記金属ダイアフラムは、中央を通る厚み方向の断面の形状が波状である波状金属ダイアフラムである請求項５に記載のダイアフラム弁。
【請求項７】
前記往復動部材は、前記ハウジングに対して前記所定方向に往復動する第１往復動部材と、前記第１往復動部材に支持され前記第１往復動部材に対して前記所定方向に往復動する第２往復動部材とを含んでおり、
前記押付部は、前記ハウジングに対して前記所定方向に前記第１往復動部材を往復動させる第１アクチュエータと、前記弁座と前記ダイアフラム弁体との間に所定隙間がある状態で前記第１往復動部材の前記弁座に近付く方向への移動を止めるストッパと、前記第１往復動部材に対して前記所定方向に前記第２往復動部材を往復動させる第２アクチュエータとを含んでいる請求項１〜６のいずれか１項に記載のダイアフラム弁。
【請求項８】
前記第１アクチュエータは、前記第１往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ付勢する第１付勢部材を備え、第１気体圧により前記第１往復動部材を前記弁座から離れる方向へ移動させる気体圧アクチュエータであり、
前記第２アクチュエータは、前記第２往復動部材を前記弁座から離れる方向へ付勢する第２付勢部材を備え、第２気体圧により前記第２往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させる気体圧アクチュエータである請求項７に記載のダイアフラム弁。
【請求項９】
請求項８に記載のダイアフラム弁を備え、前記ダイアフラム弁を制御する制御装置であって、
前記第１アクチュエータによって、前記第１往復動部材を前記弁座から離れる方向へ移動させた状態から前記第１気体圧を低下させることで、前記第１往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ前記ストッパにより止められるまで移動させた後、
前記第２アクチュエータによって、前記第２気体圧を上昇させることで、前記第２往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させて前記ダイアフラム弁体を前記弁座に押し付けさせるダイアフラム弁の制御装置。
【請求項１０】
前記第１アクチュエータにより前記第１往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させる速度は、前記第２アクチュエータにより前記第２往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させる速度よりも高く設定されている請求項９に記載のダイアフラム弁の制御装置。
【請求項１１】
前記第２往復動部材が前記弁座に近付く方向へ移動を開始する前の前記第２気体圧の上昇速度は、前記第２往復動部材が前記弁座に近付く方向へ移動を開始した後の前記第２気体圧の上昇速度よりも高く設定されている請求項９又は１０に記載のダイアフラム弁の制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイアフラム弁体を往復動部材に接続して、往復動部材を往復動させることでダイアフラム弁体により流路を開閉するダイアフラム弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のダイアフラム弁において、第１ばねにより弁座に近付ける方向へ付勢される第１ピストン部と、ハウジングボディ内に摺動可能に収容され、第１ピストン部を内部に収容して第２ばねにより弁座に近付ける方向へ付勢される第２ピストン部とを備えるものがある（特許文献１参照）。特許文献１に記載のものでは、第１ピストン部が第２ピストン部よりも先行して降下し、その後に第２ピストン部が降下することにより、弁体が弁座に着座する時の衝撃を緩和して、パーティクルの発生を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１０７６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に記載のものは、弁体が弁座に着座する時の衝撃によるパーティクルの発生を抑制している。しかしながら、特許文献１に記載のものは、第１ピストン及び第２ピストン（往復動部材）の中心軸が振れることに起因して、弁体と弁座がこすれることによるパーティクルの発生や、弁体が傾いて弁座に当たることによるパーティクルの発生を抑制することはできない。
【０００５】
本発明は、こうした課題を解決するためになされたものであり、ダイアフラム弁体に接続された往復動部材の中心軸が振れることに起因するパーティクルの発生を抑制することのできるダイアフラム弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための第１の手段は、ダイアフラム弁であって、
流体の流路及び弁室が形成されたハウジングと、
前記ハウジングにおいて、前記弁室に対する前記流路の開口の周囲に環状に設けられた弁座と、
前記弁室を前記流体の流路と非流路とに区画し、前記弁座に当接及び離間する樹脂製のダイアフラム弁体と、
前記ダイアフラム弁体に接続され、前記弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動する往復動部材と、
前記往復動部材に力を加えて前記ダイアフラム弁体を前記弁座に押し付ける押付部と、
金属により薄板状に形成され前記所定方向に貫通した前記往復動部材の外縁に取り付けられ、前記往復動部材の前記往復動を前記所定方向に変形して許容し、且つ前記所定方向に垂直な方向への前記往復動部材の移動を規制する規制部材と、
を備える。
【０００７】
上記構成によれば、ハウジングに流体の流路及び弁室が形成されている。ハウジングにおいて、弁室に対する流路の開口の周囲に環状に弁座が設けられている。樹脂製のダイアフラム弁体により弁室が流体の流路と非流路とに区画されており、ダイアフラム弁体が弁座に当接及び離間させられる。ダイアフラム弁体に往復動部材が接続されており、往復動部材が弁座に接近及び離間する方向である所定方向に往復動させられる。押付部により、往復動部材に力を加えられ、ダイアフラム弁体が弁座に押し付けられる。そして、ダイアフラム弁体が弁座に押し付けられると流路が閉じられ、ダイアフラム弁体が弁座から離間させられると流路が開かれる。
【０００８】
ここで、ダイアフラム弁体は樹脂製であり、ダイアフラム部分は可撓性が必要であるため、弁座に当接及び離間する方向以外の方向へも変形し得る。このため、往復動部材が所定方向に往復動させられる際に、往復動部材の中心軸が振れることをダイアフラム弁体が規制する効果は小さい。そして、往復動部材の中心軸が振れた場合、ダイアフラム弁体と弁座がこすれたり、ダイアフラム弁体が傾いて弁座に当たったりすることで、パーティクルが発生するおそれがある。
【０００９】
この点、上記構成によれば、金属により薄板状に形成された規制部材を、往復動部材が上記所定方向に貫通しており、往復動部材の外縁に規制部材が取り付けられている。規制部材は、金属により薄板状に形成されているため、樹脂製のダイアフラム弁体のダイアフラム部分よりも強度が高い。そして、規制部材は、往復動部材の往復動を所定方向に変形して許容し、且つ所定方向に垂直な方向への往復動部材の移動を規制する。このため、往復動部材が所定方向に往復動してダイアフラム弁体が流路を開閉することを許容しつつ、往復動部材の中心軸が振れることを抑制することができる。その結果、ダイアフラム弁体に接続された往復動部材の中心軸が振れることに起因するパーティクルの発生を抑制することができる。
【００１０】
往復動部材の外縁に規制部材が１つのみ取り付けられている場合、その規制部材の位置では上記所定方向に垂直な方向への往復動部材の移動を規制することができる。しかしながら、その規制部材の位置を支点として、往復動部材の中心軸が傾くおそれがある。
【００１１】
この点、第２の手段では、前記規制部材は、第１規制部材と、前記弁座から前記第１規制部材よりも離れた位置で前記往復動部材の外縁に取り付けられた第２規制部材とを含んでいる。このため、第１規制部材の位置と、弁座から第１規制部材よりも離れた位置で往復動部材の外縁に取り付けられた第２規制部材の位置とで、所定方向に垂直な方向への往復動部材の移動を規制することができる。したがって、往復動部材の中心軸が傾くことを抑制することができ、パーティクルの発生を更に抑制することができる。
【００１２】
具体的には、第３の手段のように、前記第１規制部材は、前記往復動部材において前記弁座側の端部に取り付けられており、前記第２規制部材は、前記往復動部材において前記弁座と反対側の端部に取り付けられているといった構成を採用することができる。こうした構成によれば、第１規制部材と第２規制部材との間隔を広くすることができ、往復動部材の中心軸が傾くことを効果的に抑制することができる。
【００１３】
第４の手段では、前記往復動部材を中心とした前記ハウジングに対する前記規制部材の回転が規制されている。
【００１４】
上記構成によれば、往復動部材を中心としたハウジングに対する規制部材の回転が規制されているため、往復動部材及びダイアフラム弁体の回転を規制することができる。このため、弁座に当接するダイアフラム弁体の箇所を毎回同じにすることができるとともに、弁座に対してダイアフラム弁体が往復動部材を中心とした回転方向にこすれることを抑制することができる。したがって、パーティクルの発生を更に抑制することができる。
【００１５】
第５の手段では、前記規制部材は、金属により形成された金属ダイアフラムである。
【００１６】
上記構成によれば、規制部材は、金属により形成された金属ダイアフラムであるため、往復動部材の中心軸の振れを抑制するとともに、流体の浸入を防ぐダイアフラムとして機能させることができる。
【００１７】
第６の手段では、前記金属ダイアフラムは、中央を通る厚み方向の断面の形状が波状である波状金属ダイアフラムである。
【００１８】
上記構成によれば、金属ダイアフラムは、中央を通る厚み方向の断面の形状が波状である波状金属ダイアフラムである。このため、金属ダイアフラムは、上記所定方向に変形し易く、所定方向に垂直な方向に変形しにくい特性を有する。したがって、往復動部材が所定方向に往復動することを適切に許容しつつ、往復動部材の中心軸が振れることを効果的に抑制することができる。
【００１９】
第７の手段では、前記往復動部材は、前記ハウジングに対して前記所定方向に往復動する第１往復動部材と、前記第１往復動部材に支持され前記第１往復動部材に対して前記所定方向に往復動する第２往復動部材とを含んでおり、前記押付部は、前記ハウジングに対して前記所定方向に前記第１往復動部材を往復動させる第１アクチュエータと、前記弁座と前記ダイアフラム弁体との間に所定隙間がある状態で前記第１往復動部材の前記弁座に近付く方向への移動を止めるストッパと、前記第１往復動部材に対して前記所定方向に前記第２往復動部材を往復動させる第２アクチュエータとを含んでいる。
【００２０】
上記構成によれば、第１アクチュエータにより第１往復動部材を弁座に近付ける方向へ移動させ、ストッパにより移動を止めさせることで、弁座とダイアフラム弁体との間に所定隙間がある状態にすることができる。このため、弁座とダイアフラム弁体とを当接させる前に、弁座とダイアフラム弁体との間に所定隙間がある状態を確実に実現することができる。そして、その状態から、第２アクチュエータにより第１往復動部材に対して第２往復動部材を弁座に近付ける方向へ移動させることで、弁座とダイアフラム弁体との衝突を緩和しつつ、弁座にダイアフラム弁体を当接させることができる。
【００２１】
第８の手段では、前記第１アクチュエータは、前記第１往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ付勢する第１付勢部材を備え、第１気体圧により前記第１往復動部材を前記弁座から離れる方向へ移動させる気体圧アクチュエータであり、前記第２アクチュエータは、前記第２往復動部材を前記弁座から離れる方向へ付勢する第２付勢部材を備え、第２気体圧により前記第２往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させる気体圧アクチュエータである。
【００２２】
上記構成によれば、第１付勢部材により、第１往復動部材が弁座に近付く方向へ付勢される。そして、第１気体圧により、第１往復動部材が弁座から離れる方向へ移動させられる。このため、第１気体圧を低下させることで第１往復動部材を弁座に近付く方向へ移動させることができ、第１往復動部材の移動がストッパにより止められた状態を容易に実現することができる。
【００２３】
また、第２付勢部材により、第２往復動部材が弁座から離れる方向へ付勢される。そして、第２気体圧により、第２往復動部材が弁座に近付く方向へ移動させられる。このため、第２気体圧を調節することで、ダイアフラム弁体が弁座に近付く速度、及びダイアフラム弁体が弁座に押し付けられる力を調節することができる。
【００２４】
第９の手段は、第８の手段のダイアフラム弁を備え、前記ダイアフラム弁を制御する制御装置であって、
前記第１アクチュエータによって、前記第１往復動部材を前記弁座から離れる方向へ移動させた状態から前記第１気体圧を低下させることで、前記第１往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ前記ストッパにより止められるまで移動させた後、
前記第２アクチュエータによって、前記第２気体圧を上昇させることで、前記第２往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させて前記ダイアフラム弁体を前記弁座に押し付けさせる。
【００２５】
上記構成によれば、第１アクチュエータによって、第１往復動部材を弁座から離れる方向へ移動させた状態から第１気体圧を低下させることで、第１往復動部材が弁座に近付く方向へストッパにより止められるまで移動させられる。このため、第１往復動部材の移動がストッパにより止められた状態を容易に実現することができる。
【００２６】
その後、第２アクチュエータによって、第２気体圧を上昇させることで、第２往復動部材を弁座に近付ける方向へ移動させてダイアフラム弁体を弁座に押し付けさせる。このため、弁座とダイアフラム弁体との間に所定隙間がある状態から、第２気体圧を調節することで、ダイアフラム弁体が弁座に近付く速度、及びダイアフラム弁体が弁座に押し付けられる力を調節することができる。
【００２７】
第１０の手段では、前記第１アクチュエータにより前記第１往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させる速度は、前記第２アクチュエータにより前記第２往復動部材を前記弁座に近付ける方向へ移動させる速度よりも高く設定されている。
【００２８】
上記構成によれば、第１往復動部材を弁座に近付ける方向へストッパにより止められるまで移動させた後に、それよりも遅い速度でダイアフラム弁体を弁座に押し付けさせることができる。したがって、ダイアフラム弁体により流路を閉じるのに要する時間が長くなることを抑制しつつ、弁座とダイアフラム弁体との衝突を緩和することができる。
【００２９】
第１１の手段では、前記第２往復動部材が前記弁座に近付く方向へ移動を開始する前の前記第２気体圧の上昇速度は、前記第２往復動部材が前記弁座に近付く方向へ移動を開始した後の前記第２気体圧の上昇速度よりも高く設定されている。
【００３０】
第２往復動部材は、弁座から離れる方向へ第２付勢部材により付勢されている。このため、第２気体圧を上昇させても、第２付勢部材が第２往復動部材を付勢する力よりも、第２気体圧により第２往復動部材が押される力が小さい間は、第２往復動部材は弁座に近付く方向へ移動を開始しない。
【００３１】
この点、上記構成によれば、第２往復動部材が弁座に近付く方向へ移動を開始する前に第２気体圧を上昇させ、第２往復動部材が弁座に近付く方向へ移動を開始した後にそれよりも遅い速度で第２気体圧を上昇させることができる。したがって、弁座とダイアフラム弁体との間に所定隙間がある状態から、ダイアフラム弁体により流路を閉じるのに要する時間が長くなることを抑制しつつ、弁座とダイアフラム弁体との衝突を緩和することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】中立状態においてダイアフラム弁の制御装置を示す断面図。
【図２】中立状態における弁座及びダイアフラム弁体を示す拡大断面図。
【図３】第２ポート加圧圧力と弁座押し付け力との関係を示すグラフ。
【図４】閉状態における弁座及びダイアフラム弁体を示す拡大断面図。
【図５】ダイアフラム弁の作動状態を示すタイムチャート。
【図６】開状態においてダイアフラム弁の制御装置を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、一実施形態について図面を参照しつつ説明する。本実施形態では、半導体製造装置等において、薬液（流体）の流路を開閉するダイアフラム弁を制御する制御装置として具現化している。
【００３４】
初めに図１を参照して、制御装置１０の概要を説明する。同図に示すように、制御装置１０は、ダイアフラム弁１８、第１加減圧ユニット１１、第２加減圧ユニット１２、及びコントローラ１３を備えている。ダイアフラム弁１８のＡポート２５には、薬液の流入通路が接続されている。ダイアフラム弁１８のＢポート２６には、薬液の流出通路が接続されている。
【００３５】
そして、ポンプ等により加圧された薬液が、Ａポート２５からダイアフラム弁１８へ流入する。ダイアフラム弁１８は、Ａポート２５からＢポート２６へ繋がる薬液の流路を開閉する。すなわち、ダイアフラム弁１８は、薬液を流通させる状態と遮断する状態とを切り替える。
【００３６】
コントローラ１３は、ＣＰＵや、各種メモリ、入出力インターフェース等からなるマイクロコンピュータを主体として構成された電子制御装置である。コントローラ１３には、制御装置１０を統括して管理する管理コンピュータ（ホストコンピュータ）等から、ダイアフラム弁１８を開閉する指令信号が入力される。コントローラ１３は、それら各入力に基づいてダイアフラム弁１８の開閉状態を制御する。
【００３７】
次に、ダイアフラム弁１８の構成について詳細に説明する。ダイアフラム弁１８は、第１ハウジング２０、ダイアフラム弁体４０、第２ハウジング３０、第１ピストン６２、第１圧縮ばね７１、ロッド６１、第３ハウジング５０、第２ピストン８２、第２圧縮ばね８３、第１金属ダイアフラム９１、第２金属ダイアフラム９４等を備えている。
【００３８】
第１ハウジング２０（ハウジング）には、薬液（流体）の流入するＡポート２５と、薬液の流出するＢポート２６とが形成されている。第１ハウジング２０は、耐薬品性を有するフッ素樹脂、例えばＰＴＦＥ（Poly Tetra Fluoro Ethylene）で形成されている。第１ハウジング２０の内部には、Ａポート２５に接続された第１流路２１（流路）と、Ｂポート２６に接続された第２流路２３（流路）と、これら流路２１，２３を接続する弁室２２とが設けられている。弁室２２は、円柱状の空間として形成されており、第１ハウジング２０の上面（所定面）に開口している。弁室２２と第１流路２１との接続部、すなわち弁室２２に対する第１流路２１の開口の周囲には、環状の弁座２４が設けられている。
【００３９】
弁室２２は、ダイアフラム弁体４０により、流路（流路２１，２３側）と非流路（第２ハウジング３０側）とに区画されている。ダイアフラム弁体４０は、耐薬品性を有するフッ素樹脂、例えばＰＴＦＥで形成されている。ダイアフラム弁体４０は、弁体部４１とダイアフラム部４２とを備えている。弁体部４１は円柱状に形成されている。ダイアフラム部４２の外縁部４２ａは、第１ハウジング２０と押圧部材２８とで挟持されている。押圧部材２８は、耐薬品性を有するフッ素樹脂、例えばＰＴＦＥで円筒状に形成されている。ダイアフラム弁体４０は、弁室２２内に収容されており、弁体部４１が弁座２４に対向するように配置されている。弁体部４１が弁座２４に当接して押し付けられることにより、第１流路２１から弁室２２への薬液の流通が遮断される。
【００４０】
第１ハウジング２０の上部には、第２ハウジング３０が取り付けられている。第２ハウジング３０は、ステンレスや耐薬品性を有するフッ素樹脂等で形成されている。第２ハウジング３０の内部には、弁室３２と、円柱状の空間である第１収容部３１と、第１収容部３１よりも径の大きい円柱状の空間である第２収容部３３とが形成されている。弁室３２は上記弁室２２と連通している。第１収容部３１の一端は弁室３２と連通しており、第１収容部３１の他端は第２収容部３３と連通している。第２収容部３３は第２ハウジング３０の上面（所定面）に開口している。上記弁室２２、弁室３２、第１収容部３１、及び第２収容部３３は、互いの中心軸線が一致している。
【００４１】
第１収容部３１及び第２収容部３３で形成される空間内に、第１ピストン６２が収容されている。第１ピストン６２（第１往復動部材）は、金属や樹脂等により、円筒状に形成されており、小径部６２ａと大径部６２ｂとを備えている。小径部６２ａと大径部６２ｂとは、互いの中心軸線が一致している。
【００４２】
第１収容部３１に小径部６２ａが挿入されており、第２収容部３３に大径部６２ｂが挿入されている。第１収容部３１と小径部６２ａとの間がシール部材６３によりシールされており、第２収容部３３と大径部６２ｂとの間がシール部材６５によりシールされている。第２収容部３３の中心軸線と大径部６２ｂの中心軸線とが一致しており、第１収容部３１の中心軸線と小径部６２ａの中心軸線とが一致している。
【００４３】
第２ハウジング３０の内部には、第２ハウジング３０の内周面と第１ピストン６２の外周面とで区画された圧力室３５が形成されている。圧力室３５は、第１ポート３６を通じて第１加減圧ユニット１１に接続されている。
【００４４】
第１加減圧ユニット１１（第１アクチュエータ、気体圧アクチュエータ）は、圧縮空気の供給源、電磁弁等を備える空気圧回路により構成されている。第１加減圧ユニット１１は、圧力室３５への圧縮空気の供給、及び圧力室３５の大気開放を制御することにより、圧力室３５内の圧力を調整する。そして、圧力室３５内の圧力調整に基づいて、大径部６２ｂ（第１ピストン６２）に中心軸線方向（往復動方向、所定方向）の静荷重が作用させられる。具体的には、第１加減圧ユニット１１は、圧縮空気の圧力により、第１ピストン６２を弁座２４から離れる方向へ付勢する。第１加減圧ユニット１１は、上記コントローラ１３により制御される。
【００４５】
第２ハウジング３０の上部には、第３ハウジング５０が取り付けられている。第３ハウジング５０は、ステンレスや、耐薬品性を有するフッ素樹脂、例えばＰＶＤＦ（Poly Vinylidene Di Fluoride）等で形成されている。第３ハウジング５０の内部には、円柱状の空間である第３収容部５５が形成されている。第３収容部５５の一端は第２収容部３３と連通しており、第３収容部５５の他端は第２ポート５６と連通している。第３収容部５５に第２ピストン８２が収容されている。第２ピストン８２は、金属や樹脂等により、円柱状に形成されている。第３収容部５５と第２ピストン８２との間がシール部材６７によりシールされている。第３ハウジング５０の内部には、第３ハウジング５０の内周面と第２ピストン８２の外周面とで区画された圧力室５７が形成されている。第３収容部５５において、シール部材６７よりも第２ハウジング３０側の部分は、大気に開放された呼吸通路６８に接続されている。
【００４６】
第２ハウジング３０と第３ハウジング５０との間には、ストッパ７０が取り付けられている。ストッパ７０は、金属や樹脂等により、円筒状に形成されており、内側に張り出した内側張出部７０ａと外側に張り出した外側張出部７０ｂとを備えている。外側張出部７０ｂが、第２ハウジング３０と第３ハウジング５０とで挟持されている。すなわち、ストッパ７０は、第２ハウジング３０及び第３ハウジング５０に固定されている。外側張出部７０ｂと大径部６２ｂとの間には、第１圧縮ばね７１（第１付勢部材）が設けられている。第１圧縮ばね７１は、大径部６２ｂ（第１ピストン６２）を上記弁座２４に近付ける方向へ付勢している。なお、第１ハウジング２０、第２ハウジング３０、及び第３ハウジング５０により、ハウジングが構成されている。
【００４７】
ダイアフラム弁体４０における弁座２４と反対側の端部は、接続部材６１ａを介してロッド６１に接続されている。ロッド６１は、ステンレスや耐薬品性を有するフッ素樹脂等により、円柱状に形成されており、第１ピストン６２に挿入されている。ロッド６１の中間部には、中間部材７３が取り付けられている。中間部材７３は、金属や樹脂等により、円筒状に形成されており、外側に張り出した張出部７３ａを備えている。
【００４８】
中間部材７３にロッド６１が挿入されている。ロッド６１におけるダイアフラム弁体４０と反対側の端部には、第２ピストン８２が接続されている。中間部材７３は、ロッド６１と第２ピストン８２とで挟持されている。すなわち、中間部材７３は、ロッド６１及び第２ピストン８２に固定されている。
【００４９】
第１ピストン６２における内周側の段差と中間部材７３の張出部７３ａとの間には、第２圧縮ばね８３（第２付勢部材）が設けられている。第２圧縮ばね８３は、中間部材７３（ロッド６１、第２ピストン８２）を上記弁座２４から離れる方向へ付勢している。すなわち、ロッド６１及び第２ピストン８２は、第２圧縮ばね８３を介して第１ピストン６２に支持されている。
【００５０】
第１ピストン６２の上部（弁座２４と反対側の端部）には、当接部材７５が取り付けられている。当接部材７５は、円筒状に形成されており、内側に張り出した内側張出部７５ａと、外側に張り出した外側張出部７５ｂとを備えている。内側張出部７５ａは中間部材７３の張出部７３ａに対向しており、外側張出部７５ｂはストッパ７０の内側張出部７０ａに対向している。なお、第２収容部３３において、第１ピストン６２の内側の部分及び第１ピストン６２よりも上側（弁座２４と反対側）の部分は呼吸孔７７により大気に開放されている。
【００５１】
第１ピストン６２が第１圧縮ばね７１により弁座２４に近付く方向へ移動させられると、ストッパ７０の内側張出部７０ａに当接部材７５の外側張出部７５ｂが当接して移動が止められる。第１ピストン６２が第１加減圧ユニット１１により弁座２４から離れる方向へ移動させられると、ストッパ７０の内側張出部７０ａに第１ピストン６２が当接して移動が止められる。また、中間部材７３が第２圧縮ばね８３により弁座２４から離れる方向へ移動させられると、当接部材７５の内側張出部７５ａに中間部材７３の張出部７３ａが当接して移動が止められる。なお、ロッド６１、中間部材７３、及び第２ピストン８２により、第２往復動部材が構成されている。そして、上記第１往復動部材及び第２往復動部材により、往復動部材が構成されている。また、第１圧縮ばね７１及び第２加減圧ユニット１２により、押付部が構成されている。
【００５２】
第２加減圧ユニット１２（第２アクチュエータ、気体圧アクチュエータ）は、圧縮空気の供給源、電磁弁、及び真空源等を備える電空レギュレータにより構成されている。第２加減圧ユニット１２は、第２ポート５６を通じて第３収容部５５への圧縮空気の供給、及び第３収容部５５の大気開放を制御することにより、第３収容部５５内の圧力を調整する。そして、第３収容部５５内の圧力調整に基づいて、第２ピストン８２（中間部材７３、ロッド６１）に中心軸線方向（往復動方向、所定方向）の静荷重が作用させられる。具体的には、第２加減圧ユニット１２は、圧縮空気の圧力により、第２ピストン８２を弁座２４に近付ける方向へ付勢する。第２加減圧ユニット１２は、上記コントローラ１３により制御される。
【００５３】
ここで、上記ダイアフラム弁体４０には、薬液により、第１流路２１から弁室２２（第２ハウジング３０）の方向への開弁荷重が作用している。第１圧縮ばね７１が、ダイアフラム弁体４０を上記弁座２４に近付ける方向へ、第１ピストン６２（ロッド６１、ダイアフラム弁体４０）を付勢する荷重（閉弁荷重）の大きさは、上記開弁荷重よりも大きく設定されている。このため、ロッド６１及びダイアフラム弁体４０は、弁座２４に近付く方向へ移動させられ、ストッパ７０により移動が止められている。この状態では、図２に示すように、弁座２４とダイアフラム弁体４０の弁体部４１との間には、所定隙間Ｇが形成されている。なお、図２では、所定隙間Ｇを誇張して示している。所定隙間Ｇは、５０〜２００μｍに設定されており、好ましくは５０〜１００μｍに設定されている。
【００５４】
ダイアフラム弁体４０はフッ素樹脂製であり、ダイアフラム部４２は可撓性が必要であるため、弁座２４に当接及び離間する方向（所定方向）以外の方向へも変形し得る。このため、ロッド６１が所定方向に往復動させられる際に、ロッド６１の中心軸が振れることをダイアフラム弁体４０が規制する効果は小さい。そして、ロッド６１の中心軸が振れた場合、ダイアフラム弁体４０の弁体部４１と弁座２４がこすれたり、弁体部４１が傾いて弁座２４に当たったりすることで、パーティクルが発生するおそれがある。
【００５５】
そこで、本実施形態では、ロッド６１が弁座２４に接近及び離間する方向（所定方向）に往復動する際に、ロッド６１の中心軸が振れることを抑制するために、ロッド６１に第１金属ダイアフラム９１及び第２金属ダイアフラム９４を取り付けている。第１金属ダイアフラム９１（第１規制部材、規制部材）及び第２金属ダイアフラム９４（第２規制部材、規制部材）は、ステンレス等の金属により薄い円板状に形成された金属ダイアフラムである。金属ダイアフラム９１，９４の厚みは、３０〜１００μｍに設定されており、好ましくは５０〜８０μｍに設定されている。金属ダイアフラム９１，９４は、その中央を通る厚み方向の断面（図１で示す断面）の形状が波状である波状金属ダイアフラムである。金属ダイアフラム９１，９４の剛性（強度）は、ダイアフラム弁体４０のダイアフラム部４２よりも高い。特に、金属ダイアフラム９１，９４は、波状金属ダイアフラムであるため、内周側部分と外周側部分とが上記所定方向に相対移動する変形はし易いが、それ以外の変形はしにくい。ただし、第２圧縮ばね８３が中間部材７３（ロッド６１）を上記弁座２４から離れる方向へ付勢する力は、金属ダイアフラム９１，９４が発生する反力よりも大きく設定されている。
【００５６】
第１金属ダイアフラム９１は、ロッド６１において弁座２４側の端部に取り付けられている。第１金属ダイアフラム９１の内縁部は、第１金属ダイアフラム９１を上記所定方向に貫通したロッド６１の外縁に固定部材９３により固定されている。第１金属ダイアフラム９１の外縁部は、スペーサ９２、押圧部材２８、及びダイアフラム部４２の外縁部４２ａを介して、第１ハウジング２０及び第２ハウジング３０に固定されている。このため、第１金属ダイアフラム９１は、ロッド６１を中心とした第２ハウジング３０に対する回転が規制されている。第１金属ダイアフラム９１は、周方向にほとんどねじれ変形しない（変形しにくい）。このため、第１金属ダイアフラム９１は、ロッド６１の中心軸を中心としたロッド６１の回転を規制している。また、第１金属ダイアフラム９１は、弁室３２をダイアフラム弁体４０側の部分と第１ピストン６２側の部分とに区画している。すなわち、第１金属ダイアフラム９１は、流体の浸入を防ぐダイアフラムとしても機能する。
【００５７】
第２金属ダイアフラム９４は、ロッド６１において弁座２４と反対側の端部、すなわち弁座２４から第１金属ダイアフラム９１よりも離れた位置に取り付けられている。これにより、第１金属ダイアフラム９１と第２金属ダイアフラム９４との間隔が広くされている。第２金属ダイアフラム９４の内縁部は、第２金属ダイアフラム９４を上記所定方向に貫通したロッド６１の外縁に、中間部材７３及び第２ピストン８２を介して固定されている。第２金属ダイアフラム９４の外縁部は、ストッパ７０を介して、第２ハウジング３０及び第３ハウジング５０に固定されている。このため、第２金属ダイアフラム９４は、ロッド６１を中心とした第２ハウジング３０に対する回転が規制されている。第２金属ダイアフラム９４は、周方向にほとんどねじれ変形しない（変形しにくい）。このため、第２金属ダイアフラム９４は、ロッド６１の中心軸を中心としたロッド６１の回転を規制している。また、第２金属ダイアフラム９４は、第２収容部３３を第１ピストン６２側の部分と第２ピストン８２側の部分とに区画している。すなわち、第２金属ダイアフラム９４は、流体の浸入を防ぐダイアフラムとしても機能する。
【００５８】
図２に示すように、弁座２４とダイアフラム弁体４０の弁体部４１との間に所定隙間Ｇが形成された状態において、金属ダイアフラム９１，９４は、弁座２４に近付く方向及び弁座２４から離れる方向のいずれにも変形してない自然状態（中立状態）になっている。そして、金属ダイアフラム９１，９４は、ロッド６１の往復動を弁座２４に接近及び離間する方向（所定方向）にそれぞれ弾性変形（変形）して許容する。すなわち、金属ダイアフラム９１，９４は、薄板の面（最も面積が大きい面である主面）に垂直な方向に容易に弾性変形する。一方、金属ダイアフラム９１，９４は、ロッド６１の中心軸線方向（所定方向）に垂直な方向へのロッド６１の移動をそれぞれ規制する。すなわち、金属ダイアフラム９１，９４は、薄板の面に沿った方向（径方向）にほとんど弾性変形（変形）しない（変形しにくい）。
【００５９】
図３は、第２ポート加圧圧力と弁座押し付け力との関係を示すグラフである。第２ポート５６から供給される圧縮空気による加圧圧力が０の状態（大気開放状態）では、図２に示したように弁座２４とダイアフラム弁体４０の弁体部４１との間に所定隙間Ｇが形成されている。そして、加圧圧力を上昇させていくと、第２ピストン８２に作用する力が第２圧縮ばね８３による付勢力よりも大きくなり、ロッド６１及びダイアフラム弁体４０が弁座２４に近付く方向に移動し始める。しかしながら、ダイアフラム弁体４０が所定隙間Ｇの距離を移動するまでは、ダイアフラム弁体４０の弁体部４１を弁座２４に押し付ける力は発生しない。そして、ダイアフラム弁体４０が所定隙間Ｇの距離を移動すると、図４に示すように弁座２４に弁体部４１が当接した状態になる。さらに、加圧圧力を上昇させていくと、図３に示すように弁体部４１を弁座２４に押し付ける力が大きくなっていく。詳しくは、加圧圧力の上昇に比例して押し付け力が大きくなる。このため、加圧圧力を調節することにより、弁体部４１を弁座２４に押し付ける力を調節することができる。
【００６０】
図５は、ダイアフラム弁１８の作動状態を示すタイムチャートである。ダイアフラム弁１８を全開状態から全閉状態にした後に、再び全開状態にする動作を説明する。
【００６１】
時刻ｔ０では、管理コンピュータからコントローラ１３へ、ダイアフラム弁１８を開状態にする指令信号が送信されている。このため、コントローラ１３により、第１加減圧ユニット１１から第１ポート３６へ供給される圧縮空気による操作圧力（第１気体圧）は、操作圧力Ｐ１に設定されている。操作圧力Ｐ１は、第１圧縮ばね７１の付勢力に抗して、第１ピストン６２を弁座２４から離れる方向へ移動させることのできる圧力である。このとき、コントローラ１３により、第２加減圧ユニット１２から第２ポート５６へ供給される圧縮空気による操作圧力（第２気体圧）は、０（大気圧開放）に設定されている。このため、ダイアフラム弁体４０の弁体部４１のストローク位置は、全開位置になっている。
【００６２】
図６に示すように、ダイアフラム弁１８の全開状態では、第１ピストン６２が弁座２４から離れる方向へ移動させられている。そして、第１ピストン６２の大径部６２ｂの上端部（ストッパ７０側の端部）が、ストッパ７０の内側張出部７０ａの下端部（第１ピストン６２側の端部）に当接している。中間部材７３が第２圧縮ばね８３により弁座２４から離れる方向へ付勢されること、及びダイアフラム弁体４０に薬液の圧力が作用することで、ロッド６１及びダイアフラム弁体４０が弁座２４から離れる方向へ移動させられている。そして、中間部材７３の張出部７３ａの上端部（当接部材７５側の端部）が、当接部材７５の内側張出部７５ａの下端部（弁座２４側の端部）に当接している。この状態では、弁座２４とダイアフラム弁体４０の弁体部４１との間に所定隙間Ｇよりも広い隙間が形成されている。金属ダイアフラム９１，９４は、弁座２４から離れる方向へ弾性変形しており、ロッド６１の径方向へのロッド６１の移動をそれぞれ規制している。
【００６３】
時刻ｔ１よりも若干前において、管理コンピュータからコントローラ１３へ、ダイアフラム弁１８を閉状態にする指令信号が送信さる。時刻ｔ１は、第１加減圧ユニット１１の操作圧力を０に設定して弁閉動作を開始する時刻であり、応答遅れ等を考慮して時刻ｔ１よりも若干前に弁閉指令が送信される。そして、時刻ｔ１において、コントローラ１３により、第１加減圧ユニット１１の操作圧力が０（大気圧開放）に設定される。これにより、圧力室３５内の圧力が低下して第１圧縮ばね７１の付勢力により、第１ピストン６２及び当接部材７５が弁座２４に近付く方向に移動させられる。その結果、当接部材７５に当接した中間部材７３と共に、ロッド６１及びダイアフラム弁体４０が弁座２４に近付く方向に移動させられる。この際に、金属ダイアフラム９１，９４により、ロッド６１の中心軸の振れが抑制される。
【００６４】
時刻ｔ２において、図１に示すように、当接部材７５の外側張出部７５ｂがストッパ７０の内側張出部７０ａに当接し、第１ピストン６２及び当接部材７５の弁座２４に近付く方向への移動が止められる。このとき、第２圧縮ばね８３の付勢力及び薬液の圧力により、ロッド６１及びダイアフラム弁体４０は弁座２４から離れる方向へ付勢されている。そして、中間部材７３の張出部７３ａが当接部材７５の内側張出部７５ａに当接している。この状態では、図２に示すように、弁座２４とダイアフラム弁体４０の弁体部４１との間に所定隙間Ｇが形成されている。そして、金属ダイアフラム９１，９４は、弁座２４に近付く方向及び弁座２４から離れる方向のいずれにも変形してない自然状態（中立状態）になっている。
【００６５】
時刻ｔ３において、コントローラ１３により、第２加減圧ユニット１２の操作圧力が操作圧力Ｐ２１に設定される。これにより、第２圧縮ばね８３の付勢力及び薬液の圧力に抗して、第２ピストン８２、ロッド６１、及びダイアフラム弁体４０が、弁座２４に近付く方向に移動し始める。その後、コントローラ１３により、第２加減圧ユニット１２の操作圧力をＰ２１から徐々に上昇させる。すなわち、第２ピストン８２及びロッド６１が弁座２４に近付く方向へ移動を開始する前の操作圧力の上昇速度は、第２ピストン８２及びロッド６１が弁座２４に近付く方向へ移動を開始した後の操作圧力の上昇速度よりも高く設定されている。
【００６６】
そして、ダイアフラム弁体４０の弁体部４１のストローク位置は、弁座２４と弁体部４１との間に所定隙間Ｇが形成された弁閉手前の位置から、所定隙間Ｇが０となり弁体部４１が弁座に押し付けられる全閉位置へと徐々に変化する。すなわち、第１圧縮ばね７１により第１ピストン６２を弁座２４に近付ける方向へ移動させる速度は、第２加減圧ユニット１２により第２ピストン８２及びロッド６１を弁座２４に近付ける方向へ移動させる速度よりも高く設定されている。この際に、金属ダイアフラム９１，９４により、ロッド６１の上記所定方向に垂直な方向への移動が規制されることで、ロッド６１の中心軸の振れが抑制される。
【００６７】
時刻ｔ４において、コントローラ１３により、第２加減圧ユニット１２の操作圧力が操作圧力Ｐ２２に設定される。操作圧力Ｐ２２は、図３に示した特性に従って、弁体部４１を弁座２４に最適の力で押し付けることのできる加圧圧力に設定されている。
【００６８】
時刻ｔ５よりも若干前において、管理コンピュータからコントローラ１３へ、ダイアフラム弁１８を開状態にする指令信号が送信さる。時刻ｔ５は、第２加減圧ユニット１２の操作圧力を低下させて弁開動作を開始する時刻であり、応答遅れ等を考慮して時刻ｔ５よりも若干前に弁開指令が送信される。そして、時刻ｔ５から、コントローラ１３により、第２加減圧ユニット１２の操作圧力が操作圧力Ｐ２２から徐々に低下させられる。これにより、圧力室５７内の圧力が低下して第２圧縮ばね８３の付勢力及び薬液の圧力により、第２ピストン８２、ロッド６１、及びダイアフラム弁体４０が弁座２４から離れる方向に移動させられる。この際にも、金属ダイアフラム９１，９４により、ロッド６１の中心軸の振れが抑制される。
【００６９】
時刻ｔ６において、ダイアフラム弁体４０の弁体部４１のストローク位置は、弁座２４と弁体部４１との間に所定隙間Ｇが形成された弁閉手前の位置になる。コントローラ１３により、第２加減圧ユニット１２の操作圧力が０に設定され、第１加減圧ユニット１１の操作圧力が操作圧力Ｐ１に設定される。これにより、圧力室３５内の圧力が上昇して第１圧縮ばね７１の付勢力に抗して、第１ピストン６２及び当接部材７５が弁座２４から離れる方向に移動させられる。その結果、中間部材７３、ロッド６１、及びダイアフラム弁体４０が弁座２４から離れる方向に移動させられる。この際にも、金属ダイアフラム９１，９４により、ロッド６１の中心軸の振れが抑制される。
【００７０】
時刻ｔ７において、時刻ｔ０と同様に、ダイアフラム弁体４０の弁体部４１のストローク位置は、全開位置になる。
【００７１】
以上詳述した本実施形態は、以下の利点を有する。
【００７２】
・金属により薄板状に形成された規制部材としての金属ダイアフラム９１，９４を、ロッド６１が弁座２４に接近及び離間する所定方向に貫通しており、ロッド６１の外縁に規制部材が取り付けられている。規制部材は、金属により薄板状に形成されているため、樹脂製のダイアフラム弁体４０のダイアフラム部４２よりも強度が高い。そして、規制部材は、ロッド６１の往復動を所定方向に変形して許容し、且つ所定方向に垂直な方向へのロッド６１の移動を規制する。このため、ロッド６１が所定方向に往復動してダイアフラム弁体４０が流路を開閉することを許容しつつ、ロッド６１の中心軸が振れることを抑制することができる。その結果、ダイアフラム弁体４０に接続されたロッド６１の中心軸が振れることに起因するパーティクルの発生を抑制することができる。
【００７３】
・ロッド６１の外縁に規制部材が１つのみ取り付けられている場合、その規制部材の位置では上記所定方向に垂直な方向へのロッド６１の移動を規制することができる。しかしながら、その規制部材の位置を支点として、ロッド６１の中心軸が傾くおそれがある。この点、規制部材は、第１規制部材としての第１金属ダイアフラム９１と、弁座２４から第１規制部材よりも離れた位置でロッド６１の外縁に取り付けられた第２規制部材としての第２金属ダイアフラム９４とを含んでいる。このため、第１規制部材の位置と、弁座２４から第１規制部材よりも離れた位置でロッド６１の外縁に取り付けられた第２規制部材の位置とで、所定方向に垂直な方向へのロッド６１の移動を規制することができる。したがって、ロッド６１の中心軸が傾くことを抑制することができ、パーティクルの発生を更に抑制することができる。
【００７４】
・第１規制部材は、ロッド６１において弁座２４側の端部に取り付けられており、第２規制部材は、ロッド６１において弁座２４と反対側の端部に取り付けられている。こうした構成によれば、第１規制部材と第２規制部材との間隔を広くすることができ、ロッド６１の中心軸が傾くことを効果的に抑制することができる。
【００７５】
・ロッド６１を中心とした第２ハウジング３０に対する規制部材の回転が規制されているため、ロッド６１及びダイアフラム弁体４０の回転を規制することができる。このため、弁座２４に当接するダイアフラム弁体４０の箇所を毎回同じにすることができるとともに、弁座２４に対してダイアフラム弁体４０がロッド６１を中心とした回転方向にこすれることを抑制することができる。したがって、パーティクルの発生を更に抑制することができる。
【００７６】
・規制部材は、金属により形成された金属ダイアフラムであるため、ロッド６１の中心軸の振れを抑制するとともに、流体の浸入を防ぐダイアフラムとして機能させることができる。
【００７７】
・金属ダイアフラム９１，９４は、中央を通る厚み方向の断面の形状が波状である波状金属ダイアフラムである。このため、金属ダイアフラム９１，９４は、上記所定方向に変形し易く、所定方向に垂直な方向に変形しにくい特性を有する。したがって、ロッド６１が所定方向に往復動することを適切に許容しつつ、ロッド６１の中心軸が振れることを効果的に抑制することができる。
【００７８】
・第１圧縮ばね７１により第１ピストン６２を弁座２４に近付ける方向へ移動させ、ストッパ７０により移動を止めさせることで、弁座２４とダイアフラム弁体４０との間に所定隙間Ｇがある状態にすることができる。このため、弁座２４とダイアフラム弁体４０とを当接させる前に、弁座２４とダイアフラム弁体４０との間に所定隙間Ｇがある状態を確実に実現することができる。そして、その状態から、第２加減圧ユニット１２により第１ピストン６２に対してロッド６１を弁座２４に近付ける方向へ移動させることで、弁座２４とダイアフラム弁体４０との衝突を緩和しつつ、弁座２４にダイアフラム弁体４０を当接させることができる。
【００７９】
・第１加減圧ユニット１１によって第１ピストン６２を弁座２４から離れる方向へ移動させた状態から第１ポート３６の操作圧力を低下させることで、第１ピストン６２が弁座２４に近付く方向へストッパ７０により止められるまで移動させられる。このため、第１ピストン６２の移動がストッパ７０により止められた状態を容易に実現することができる。その後、第２加減圧ユニット１２によって、第２ポート５６の操作圧力を上昇させることで、ロッド６１を弁座２４に近付ける方向へ移動させてダイアフラム弁体４０を弁座２４に押し付けさせる。このため、弁座２４とダイアフラム弁体４０との間に所定隙間Ｇがある状態から、第２ポート５６の操作圧力を調節することで、ダイアフラム弁体４０が弁座２４に近付く速度、及びダイアフラム弁体４０が弁座２４に押し付けられる力を調節することができる。
【００８０】
・第１ピストン６２を弁座２４に近付ける方向へストッパ７０により止められるまで移動させた後に、それよりも遅い速度でダイアフラム弁体４０を弁座２４に押し付けさせることができる。したがって、ダイアフラム弁体４０により第１流路２１を閉じるのに要する時間が長くなることを抑制しつつ、弁座２４とダイアフラム弁体４０との衝突を緩和することができる。
【００８１】
・ロッド６１は、弁座２４から離れる方向へ第２圧縮ばね８３の付勢力及び薬液の圧力により付勢されている。このため、第２ポート５６の操作圧力を上昇させても、第２圧縮ばね８３の付勢力及び薬液の圧力による力よりも、第２ポート５６の操作圧力によりロッド６１が押される力が小さい間は、ロッド６１は弁座２４に近付く方向へ移動を開始しない。この点、ロッド６１が弁座２４に近付く方向へ移動を開始する前に第２ポート５６の操作圧力を上昇させ、ロッド６１が弁座２４に近付く方向へ移動を開始した後にそれよりも遅い速度で操作圧力を上昇させている。したがって、弁座２４とダイアフラム弁体４０との間に所定隙間Ｇがある状態から、ダイアフラム弁体４０により第１流路２１を閉じるのに要する時間が長くなることを抑制しつつ、弁座２４とダイアフラム弁体４０との衝突を緩和することができる。
【００８２】
なお、上記実施形態を、以下のように変更して実施することもできる。
【００８３】
・図２の状態において、ロッド６１が弁座２４に近付く方向へ移動を開始する前と後とで、同一の速度で第２ポート５６の操作圧力を徐々に上昇させることもできる。
【００８４】
・第１ポート３６の操作圧力が０になる少し前（所定時間前）に、第２ポート５６の操作圧力の上昇を開始することもできる。
【００８５】
・金属ダイアフラム９１，９４は、波状金属ダイアフラムに限らず、平板状に形成された平板状金属ダイアフラムであってもよい。金属ダイアフラム９１，９４の材料として、ステンレスに限らず、Ｔｉや、Ａｌ、Ｃｕ等を採用することもできる。金属ダイアフラム９１，９４は、ダイアフラムの機能を有しておらず、規制部材の機能のみを有していてもよい。
【００８６】
・金属ダイアフラム９１，９４を、ロッド６１の中心軸線方向の両端部に限らず、ロッド６１の中間部等に取り付けることもできる。その場合であっても、第１金属ダイアフラム９１と第２金属ダイアフラム９４との間隔が広いことが望ましい。また、第１金属ダイアフラム９１及び第２金属ダイアフラム９４だけでなく、同様の第３金属ダイアフラムや第４金属ダイアフラムを設けることもできる。
【００８７】
・ロッド６１を中心とした第２ハウジング３０に対する金属ダイアフラム９１，９４の回転が規制されていない構成を採用することもできる。
【００８８】
・ダイアフラム弁１８により流通状態と遮断状態とを切り替える流体として、薬液に限らず、純水等のその他の液体や、気体を採用することもできる。そして、流体の種類に応じて、ダイアフラム弁体４０の材料として、フッ素樹脂に限らず、その他の樹脂を採用することもできる。
【００８９】
・圧縮ばねにより第１ピストン６２を弁座２４から離れる方向に付勢し、第１ピストン６２に印加する操作圧力を上昇させることで、第１ピストン６２を弁座２４に近付ける方向に移動させる構成を採用することもできる。気体圧として、圧縮空気による圧力に限らず、圧縮窒素等による圧力を採用することもできる。また、ピストン６２，８２を弁座２４に接近及び離間させる方向に往復動させるアクチュエータとして、気体圧アクチュエータに限らず、電磁アクチュエータや、ピエゾ素子アクチュエータ等を採用することもできる。
【００９０】
・ロッド６１が１つのアクチュエータのみにより、弁座２４に接近及び離間する方向に往復動させられる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００９１】
１０…制御装置、１１…第１加減圧ユニット（第１アクチュエータ）、１２…第２加減圧ユニット（第２アクチュエータ）、１８…ダイアフラム弁、２０…第１ハウジング（ハウジング）、２１…第１流路（流路）、２２…弁室、２４…弁座、３０…第２ハウジング（ハウジング）、３２…弁室、４０…ダイアフラム弁体、５０…第３ハウジング（ハウジング）、６１…ロッド（第２往復動部材）、６２…第１ピストン（第１往復動部材）、７０…ストッパ、７１…第１圧縮ばね（第１付勢部材）、８２…第２ピストン（第２往復動部材）、８３…第２圧縮ばね（第２付勢部材）、９１…第１金属ダイアフラム（第１規制部材）、９４…第２金属ダイアフラム（第２規制部材）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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