(57)【要約】【課題】管状部材の管内部の塞がり具合を判定することで品質を保証することができる管状部材の判定方法を提供する。【解決手段】ポンプ４が、第２のケース３１ｂの真空引きを行うステップと、大気供給バルブ６１ａが、第１のケース３１ａへ供給される大気を開放するステップと、判定制御装置１がが、第２のケース３１ｂの真空引きが完了したと判断してから設定時間経過後、圧力測定装置が測定した第２のケース３１ｂにおける圧力が第１の閾値以上であれば、管状部材に塞がりがないと判定するステップとを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のケースおよび第２のケースに両端がそれぞれ収納される管状部材と、前記第２のケースに接続されるポンプと、前記第１のケースへ供給される大気を制御する大気供給バルブと、前記第２のケース内の圧力を測定する圧力測定装置と、判定制御装置とによって、前記管状部材の品質を判定する品質判定方法であって、
前記ポンプが、前記第２のケースの真空引きを行うステップと、
前記大気供給バルブが、前記第１のケースへ供給される大気を開放するステップと、
前記判定制御装置が、前記第２のケースの真空引きが完了したと判断してから設定時間経過後、前記圧力測定装置が測定した前記第２のケースにおける圧力が第１の閾値以上であれば、前記管状部材に塞がりがないと判定するステップ
とを備えた管状部材の品質判定方法。
【請求項２】
前記圧力測定装置をヘリウムリークディテクタとし、
前記管状部材の、前記第１のケースおよび第２のケースに収納されていない部分を密封する第３のケースをさらに備え、
前記判定制御装置が、前記管状部材に塞がりがないと判定した場合に、
前記大気供給バルブが、前記第１のケースへ供給される大気を閉鎖させるステップと、
前記ポンプが、前記第２のケースの真空引きを行うステップと、
前記判定制御装置が、前記ヘリウムリークディテクタに対し、前記第３のケース内に充填されたヘリウムガスのヘリウムリークテストを実施させ、前記管状部材の溶接部分の漏れを判定するステップ
とをさらに備えた請求項１記載の管状部材の品質判定方法。
【請求項３】
第１のケースおよび第２のケースに両端がそれぞれ収納される管状部材と、前記第２のケースに接続されるポンプと、前記第１のケースへ供給される大気を制御する大気供給バルブと、前記第２のケース内の圧力を測定する圧力測定装置と、判定制御装置とを備える管状部材の品質判定システムであって、
前記ポンプが、前記第２のケースの真空引きを行い、
前記大気供給バルブが、前記第１のケースへ供給される大気を開放し、
前記判定制御装置がが、前記第２のケースの真空引きが完了したと判断してから設定時間経過後、前記圧力測定装置が測定した前記第２のケースにおける圧力が第１の閾値以上であれば、前記管状部材に塞がりがないと判定する
ことを特徴とする管状部材の品質判定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、管内部の塞がり具合によって品質の判定を行う、管状部材の品質判定方法、および、品質判定システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ヘリウムリークディテクタを用いて、部材の気密性を判定する技術が知られている。例えば、特許文献１には、ヘリウムリークディテクタを用いて、半導体圧力センサの気密試験を行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−３３７２３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されているような、従来の気密試験方法では、気密性に関し、品質が保証された部材を提供できるようになる。
一方、例えば、検査対象となる部材が、管状部材である場合、気密性だけでなく、当該管状部材の管内部に塞がりがないことも、当該管状部材の品質を保証する上で重要である。
しかし、特許文献１に開示されているような技術では、当該管状部材の管内部の塞がり具合を試験する機能は備えていないため、試験対象が管状部材である場合に、必ずしも品質が保証できているとは言えないという課題があった。
【０００５】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、管状部材の管内部の塞がり具合を判定することで品質を保証することができる管状部材の判定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係る管状部材の判定方法は、第１のケースおよび第２のケースに両端がそれぞれ収納される管状部材と、第２のケースに接続されるポンプと、第１のケースへ供給される大気を制御する大気供給バルブと、第２のケース内の圧力を測定する圧力測定装置と、判定制御装置とによって、管状部材の品質を判定する品質判定方法であって、ポンプが、第２のケースの真空引きを行うステップと、大気供給バルブが、第１のケースへ供給される大気を開放するステップと、判定制御装置が、第２のケースの真空引きが完了したと判断してから設定時間経過後、圧力測定装置が測定した第２のケースにおける圧力が第１の閾値以上であれば、管状部材に塞がりがないと判定するステップとを備えたものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、管状部材の管内部の塞がり具合を判定することで品質を保証することができる管状部材の判定方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】この発明の実施の形態１における管状部材の品質判定システムの構成の一例を説明する図である。
【図２】差圧センサシステムにおいて導圧管が用いられる構成の一例を示す図である。
【図３】図２に示す導圧管の構成の一例を示す図であって、図３Ａは導圧管の全体構成を示す図であり、図３Ｂは、図３ＡにおいてＡで示す部分の断面図である。
【図４】実施の形態１の品質判定システムにおける判定のうちの、導圧管の塞がり具合の判定の動作を説明するフローチャートである。
【図５】実施の形態１の品質判定システムにおける判定のうちの、ヘリウムリークテストの動作を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１における管状部材の品質判定システムの構成の一例を説明する図である。
図１に示すような管状部材の品質判定システムにおいて、管状部材の管内部の塞がり、または、気密性の判定を行う。
この実施の形態１では、管状部材を、例えば、差圧センサシステムにおいて、圧力容器（タンク）の内部の差圧を計測するために用いられる、圧力伝達用の細管である導圧管５１とする。
【００１０】
ここで、図２は、差圧センサシステムにおいて導圧管５１が用いられる構成の一例を示す図である。
図２に示すように、導圧管５１は、高圧の流体を保持するタンク１００ａ，１００ｂに溶接され、配管接続される。
そして、導圧管５１は、タンク１００ａ，１００ｂが内部に有する所定のセンサで差圧を計測するための圧力伝達を行う。なお、差圧を計測するセンサは、例えば、タンク１００ａ，１００ｂのいずれか一方の内部に備えられる。
【００１１】
図３は、図２に示す導圧管５１の構成の一例を示す図であって、図３Ａは導圧管５１の全体構成を示す図であり、図３Ｂは、図３ＡにおいてＡで示す部分の断面図である。
図３Ａ，図３Ｂに示すように、導圧管５１には、適宜の位置に、ワッシャ２００ａ，２００ｂが通され、当該ワッシャ２００ａ，２００ｂが導圧管５１にレーザ溶接等によって接合されている（例えば、図３ＢにおいてＢで示す部分）。なお、導圧管５１の全周においてワッシャ２００ａ，２００ｂの溶接が行われる。導圧管５１およびワッシャ２００ａ，２００ｂは、金属製の部材である。
【００１２】
この実施の形態１における管状部材の品質判定システムでは、図２，３に示すような導圧管５１に、塞がりがないこと、または、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂの気密性、すなわち、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分に漏れ（リーク）が生じていないことを判定する。導圧管５１が塞がっていると、当該導圧管５１における圧力を測定できなくなり、その結果、タンク１００ａ，１００ｂの差圧が正しく計測できなくなる。また、ワッシャ２００ａ，２００ｂの溶接部分に漏れが生じている場合も、正しく圧力を測定できなくなる。
【００１３】
このように、この実施の形態１では、管状部材を図２，３で示したような導圧管５１とし、当該導圧管５１の管内部の塞がり、または、当該導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分との気密性の判定を行うものとするが、これは一例に過ぎず、内部が管になっている管状部材であれば、その他のものであってもよい。
【００１４】
図１の説明に戻る。
図１に示すように、この実施の形態１の品質判定システムは、判定制御装置１、ヘリウムリークディテクタ２、治具３、ポンプ４、大気供給バルブ６１ａ、ヘリウム供給源７、ＭＣＦ（Ｍａｓｓ  Ｆｌｏｗ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）７１、ヘリウム供給バルブ６２ａ，６２ｂ、および、表示装置８を備える。
判定制御装置１は、ヘリウムリークディテクタ２、大気供給バルブ６１ａ、ポンプ４、ヘリウム供給源７、ＭＣＦ７１、および、ヘリウム供給バルブ６２ａ，６２ｂと、ネットワークを介して接続される。
【００１５】
また、判定制御装置１は、表示装置８と、ネットワークを介して接続される。
なお、これは一例に過ぎず、判定制御装置１は、ヘリウムリークディテクタ２、大気供給バルブ６１ａ、ポンプ４、ヘリウム供給源７、ＭＣＦ７１、および、ヘリウム供給バルブ６２ａ，６２ｂと、直接接続されるようにしてもよい。また、判定制御装置１は、表示装置８と、直接接続されるようにしてもよいし、判定制御装置１が表示装置８を備えるようにしてもよい。
【００１６】
治具３は、導圧管５１の両端をそれぞれ室内に収納する第１のケース３１ａおよび第２と、導圧管５１の、第１のケース３１ａおよび第２のケースに収納されていない部分を密封する第３のケース３２とからなる。
第１のケース３１ａと第２のケース３１ｂと第３のケース３２とは独立している。なお、第１のケース３１ａ，第２のケース３１ｂは、図２で説明したタンク１００ａ，１００ｂとしてもよい。
【００１７】
導圧管５１は、少なくともワッシャ２００ａ，２００ｂの溶接部分が第１のケース３１ａ，第２のケース３１ｂに収納され、第１のケース３１ａ，第２のケース３１ｂとワッシャ２００ａ，２００ｂとはそれぞれシールされる。
また、導圧管５１は、上述のとおり、両端がそれぞれ第１のケース３１ａおよび第２のケース３１ｂの室内に収納され、導圧管５１の内部を流通する大気は、当該導圧管５１の端部から第１のケース３１ａ，第２のケース３１ｂに開放されるようになっている。
【００１８】
第３のケース３２は、導圧管５１の、第１のケース３１ａおよび第２のケース３１ｂに収納されていない部分を密封し、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分のヘリウムリークテスト実施時に当該第３のケース３２に充填されるヘリウムガスがケース外に漏れないように設置される。ヘリウムリークテストの詳細については後述する。
なお、図１では、第３のケース３２が、第１のケース３１ａおよび第２のケース３１ｂに蓋をするようにし、第１のケース３１ａと第２のケース３１ｂと第３のケース３２とで、導圧管５１を密封するようなイメージとしているが、これに限らず、例えば、第３のケース３２が、導圧管５１を、第１のケース３１ａおよび第２のケース３１ｂごとケース内に収納するようにしてもよい。第３のケース３２は、導圧管５１の、第１のケース３１ａおよび第２のケース３１ｂに収納されていない部分を密封し、第３のケース３２内に充填されるヘリウムガスが第３のケース３２の外部に漏れないようになっていればよい。
この実施の形態１では、第１のケース３１ａと第２のケース３１ｂとを真空室、第３のケース３２をヘリウム充填室ともいうものとする。
【００１９】
ヘリウム充填室には、ヘリウムリークテストの際にヘリウムガスが充填される。ヘリウムリークテストについては後述する。
【００２０】
大気供給バルブ６１ａは、判定制御装置１のバルブ開閉制御部１１からの制御に基づき、マフラー等の排気装置（図示省略）から排出され第１のケース３１ａへ供給される大気を開放または閉鎖させる。なお、排気装置と第１のケース３１ａとは、例えば、配管で接続され、大気供給バルブ６１ａは、当該配管に設置される。
ポンプ４は、判定制御装置１の回路制御部１４からの制御に基づき、第２のケース３１ｂの真空引きを行う。なお、ポンプ４と第２のケース３１ｂとは、例えば、配管で接続される。ポンプ４は、ヘリウムリークディテクタ２に備えられるものとしてもよい。
【００２１】
ヘリウムリークディテクタ２は、分析管（図示省略）によって、ヘリウム充填室に充填されたガスについて、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの接合部分を介して第２のケース３１ｂに漏れる、ヘリウムガスの漏れ量を検出する。ヘリウムリークディテクタ２と第２のケース３１ｂとは、例えば、配管で接続される。
ヘリウムリークディテクタ２は、検出したヘリウムガスの漏れ量の情報を、判定制御装置１のリーク判定制御部１３に通知する。
また、ヘリウムリークディテクタ２は、第２のケース３１ｂにおける圧力を計測する。ヘリウムリークディテクタ２は、計測した圧力の情報を、判定制御装置１の塞がり判定制御部１２に通知する。
【００２２】
なお、ヘリウムリークディテクタ２は、一般的に知られているヘリウムリークディテクタとすればよい。また、この実施の形態１では、ヘリウムリークディテクタ２を用いて、内部真空吹き付け法によってヘリウムリークテストを行うものとする。
【００２３】
判定制御装置１は、品質判定システムを構成する各部を制御する。
判定制御装置１は、バルブ開閉制御部１１と、塞がり判定制御部１２と、リーク判定制御部１３と、回路制御部１４と、表示制御部１５とを備える。なお、判定制御装置１の各部は、ソフトウェアに基づくＣＰＵを用いたプログラム処理によって制御される。
バルブ開閉制御部１１は、バルブの開閉制御を行う。具体的には、例えば、バルブ開閉制御部１１は、大気供給バルブ６１ａに対して、第１のケース３１ａへ供給される大気を開放または閉鎖させる。また、例えば、バルブ開閉制御部１１は、ヘリウム供給バルブ６２ａ，６２ｂに対して、ヘリウム供給源７からのヘリウムガスを開放または閉鎖させる。
【００２４】
塞がり判定制御部１２は、ヘリウムリークディテクタ２が計測した第２のケース３１ｂの圧力が予め設定された閾値（第１の閾値）以上であるかどうかによって、導圧管５１に塞がりがあるかどうかを判定する。
【００２５】
リーク判定制御部１３は、ヘリウムリークディテクタ２が検出した、第２のケース３１ｂにおけるヘリウムガスの漏れ量が予め決められた閾値（第２の閾値）以下であるかどうかによって、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分の漏れを検出する。
【００２６】
回路制御部１４は、ポンプ４の動作を制御する。また、回路制御部１４は、ヘリウム供給源７およびＭＣＦ７１の動作を制御する。
【００２７】
表示制御部１５は、塞がり判定制御部１２による導圧管５１の塞がり判定結果、または、リーク判定制御部１３による漏れ検出結果を、表示装置８に表示させる。
【００２８】
表示装置８は、ディスプレイ等であり、導圧管５１の塞がり判定の判定結果、または、ヘリウムリークテストによる漏れ判定の判定結果を表示する。
【００２９】
ヘリウム供給源７は、回路制御部１４の制御に基づき、ヘリウム充填室に吹きかけるヘリウムガスを供給する。
ＭＣＦ７１は、回路制御部１４の制御に基づき、ヘリウム供給源７から供給されるヘリウムガスの流量制御を行う。
【００３０】
図４，図５は、実施の形態１の品質判定システムにおける、導圧管５１の塞がり具合の判定、または、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分の漏れの判定、すなわち、ヘリウムリークテストの動作を説明するためのフローチャートである。
品質判定システムでは、まず、導圧管５１の塞がり具合の判定が行われ、塞がりがないと判定された導圧管５１に対して、ヘリウムリークテストが行われる。
図４は、当該実施の形態１の品質判定システムにおける判定のうちの、導圧管５１の塞がり具合の判定の動作を説明するフローチャートであり、図５は、実施の形態１の品質判定システムにおける判定のうちの、ヘリウムリークテストの動作を説明するフローチャートである。
【００３１】
まず、図４に沿って導圧管５１の塞がり具合の判定の動作を説明する。
回路制御部１４は、ポンプ４を動作させ、第２のケース３１ｂの真空引きを開始する（ステップＳＴ４０１）。
【００３２】
バルブ開閉制御部１１は、大気供給バルブ６１ａに対して、第１のケース３１ａへ供給される大気を開放させる（ステップＳＴ４０２）。
なお、バルブ開閉制御部１１は、ステップＳＴ４０１において、大気供給バルブ６１ａに対して、第１のケース３１ａへ供給される大気を開放させた状態としてもよいし、ステップＳＴ４０１では、大気供給バルブ６１ａに対して第１のケース３１ａへ供給される大気を閉鎖させた状態としておき、当該ステップＳＴ４０２で開放させるようにしてもよい。
【００３３】
当該ステップＳＴ４０１，４０２において、ポンプ４の排気量が大きいことによって、第２のケース３１ｂの真空度が下がる。なお、このときの真空度の目安は、例えば、ヘリウムリークディテクタ２のヘリウムリークテスト時の粗引きを基準とし、１０００Ｐａレベル程度とすればよい。当該目安の真空度になると、ステップＳＴ４０３へ移る。具体的には、例えば、塞がり判定制御部１２が、ヘリウムリークディテクタ２から真空度の情報を取得し、目安の真空度になったか否かを判断し、目安の真空度になると、真空引きが完了したと判断し、ステップＳＴ４０３の処理を実行するようにする。
なお、ワッシャ２００ａ，２００ｂと真空室とはシールされているため、真空室内の大気がヘリウム充填室に連通することはない。
【００３４】
塞がり判定制御部１２は、第２のケース３１ｂが目安の真空度になり真空引きが完了したと判断すると、当該真空引き完了後、一定時間が経過するまで待機する（ステップＳＴ４０３の“ＮＯ”の場合）。一定時間は、例えば、１０秒等、ユーザが予め設定しておくようにする。
【００３５】
真空引き完了後、一定時間が経過したと判断すると（ステップＳＴ４０３の“ＹＥＳ”の場合）、塞がり判定制御部１２は、ヘリウムリークディテクタ２から、第２のケース３１ｂの圧力を取得し、当該圧力は予め設定された第１の閾値以上かどうかを判定する（ステップＳＴ４０４）。当該ステップＳＴ４０４で判定する第１の閾値は、例えば、２００Ｐａ等、ユーザが予め適宜設定しておくようにする。
なお、ヘリウムリークディテクタ２は圧力測定機能を備えているので、この実施の形態１では、当該ヘリウムリークディテクタ２の圧力測定機能を用いて、第２のケース３１ｂの圧力を測定するものとするが、圧力測定方法はこれに限らない。例えば、ヘリウムリークディテクタ２以外の圧力測定装置が、第２のケース３１ｂの圧力を測定し、塞がり判定制御部１２は、当該圧力測定装置が測定した圧力を取得し、第１の閾値以上かどうかを判定するようにしてもよい。
【００３６】
ステップＳＴ４０４において、圧力は予め設定された第１の閾値以上ではない場合（ステップＳＴ４０４の“ＮＯ”の場合）、塞がり判定制御部１２は、導圧管５１の管内に塞がりがあると判断し、当該判断結果を表示制御部１５に出力する（ステップＳＴ４０７）。
【００３７】
導圧管５１の管内に塞がりがある場合、大気供給バルブ６１ａが排気装置から排出される大気の流路を開放したことによって第１のケース３１ａに供給された大気が、導圧管５１の管内を通過することができず、一定時間経過後、第２のケース３１ｂ内の圧力が降下する。塞がり判定制御部１２は、一定時間経過後の第２のケース３１ｂ内の圧力降下を判断し、導圧管５１の塞がりを検出する。
なお、上述のとおり、塞がり判定制御部１２は、第２のケース３１ｂの圧力が予め設定された第１の閾値以上かどうかによって導圧管５１の塞がりを検出するため、完全に塞がっている状態かそれ以外かの判定ではなく、塞がり具合を定量的に判定できる。
塞がり判定制御部１２は、判定結果を表示制御部１５に出力する。
【００３８】
表示制御部１５は、導圧管５１に塞がりがある旨の情報を表示装置８に表示させ（ステップＳＴ４０８）、処理終了する。
表示制御部１５が表示装置８に表示させる、導圧管５１に塞がりがある旨の情報は、例えば、「ＮＧ」、「塞がりあり」等のメッセージ等である。なお、これは一例に過ぎず、ユーザが表示装置８を確認して、導圧管５１に塞がりがあると判定されたことがわかるようになっていればよい。
【００３９】
管内に塞がりがあると判断された導圧管５１は、不合格品、すなわち、品質の保証がとれていない導圧管５１であるので、以降のヘリウムリークテストには進まない。
【００４０】
一方、ステップＳＴ４０４において、圧力は予め設定された第１の閾値以上である場合（ステップＳＴ４０４の“ＹＥＳ”の場合）、塞がり判定制御部１２は、導圧管５１の管内に塞がりがないと判定し、当該判断結果を表示制御部１５に出力する（ステップＳＴ４０５）。導圧管５１の管内に塞がりがない場合、大気供給バルブ６１ａが排気装置から排出される大気の流路を開放したことによって第１のケース３１ａに供給された大気が、導圧管５１の管内を通過するので、一定時間経過後も、第２のケース３１ｂ内の圧力は一定レベルで保たれる。
塞がり判定制御部１２は、判定結果を表示制御部１５に出力する。
【００４１】
表示制御部１５は、導圧管５１に塞がりがない旨の情報を表示装置８に表示させ（ステップＳＴ４０６）、処理終了する。
表示制御部１５が表示装置８に表示させる、導圧管５１に塞がりがない旨の情報は、例えば、「ＯＫ」、「塞がりなし」等のメッセージ等である。なお、これは一例に過ぎず、ユーザが表示装置８を確認して、導圧管５１に塞がりがないと判定されたことがわかるようになっていればよい。
【００４２】
管内に塞がりがないと判断された導圧管５１は、合格品、すなわち、品質の保証がとれている導圧管５１であるので、以降のヘリウムリークテストに進む。
【００４３】
一般的な管状部材の管内部の塞がり具合を検査する方法として、例えば、ゲージ棒を用によるＧＯ−ＳＴＯＰ確認がある。当該ＧＯ−ＳＴＯＰ確認では、ゲージ棒が管内を通るか否かによって塞がり具合を検査する。
しかしながら、当該ＧＯ−ＳＴＯＰ確認では、特に、例えば内径φ１．０ｍｍ以下等の細管ではゲージ棒の作成が難しい。また、管が曲がっているような場合も、ゲージ棒の作成が難しい。また、ゲージ棒によるＧＯ−ＳＴＯＰ確認では、ＯＫであるかＮＧであるか、すなわち、ゲージ棒が通るか否かによってしか塞がり具合の確認が行えず、塞がり具合を定量的に判断することができない。
また、一般的な管状部材の管内部の塞がり具合を検査する他の方法として、例えば、外観検査もあげられる。しかし、当該外観検査においても、細管、あるいは、曲がった管では、検査が難しい。また、定量的な塞がり具合の判断も難しい。
そのため、結果として、管状部材の塞がりに関する品質を保証するためには作業時間が長くなる。
【００４４】
これに対し、この実施の形態１の判定システムにおける導圧管５１の塞がり具合の品質判定方法によると、上述のとおり、導圧管５１の管内に大気を通して、一定時間後の圧力降下を定量的に判断して当該導圧管５１の塞がり具合を判断するので、ゲージ棒のような、検査のための道具を作成する必要がない。また、管が曲がっていても、塞がり具合の確認ができる。また、塞がり具合を定量的に判断することができる。
【００４５】
次に図５に沿って、リークテストの動作を説明する。
図４を用いて説明した塞がり具合の判定の結果、導圧管５１の管内に塞がりはないと判定されると、バルブ開閉制御部１１は、大気供給バルブ６１ａに対して、第１のケース３１ａへ供給される大気を閉鎖させる（ステップＳＴ５０１）。
具体的には、塞がり判定制御部１２が、バルブ開閉制御部１１に対して塞がりの判定結果が合格であった旨の判定結果を出力し、当該判定結果を受けて、バルブ開閉制御部１１は、大気供給バルブ６１ａに対して、排気装置から排出され第１のケース３１ａへ供給される大気の流路を閉鎖させる。
【００４６】
ステップＳＴ５０１において、バルブ開閉制御部１１が大気供給バルブ６１ａに対して、第１のケース３１ａへ供給される大気を閉鎖させると、回路制御部１４は、ポンプ４を動作させ、第２のケース３１ｂの真空引きを行う（ステップＳＴ５０２）。
このステップＳＴ５０２において、ヘリウムリークディテクタ２のヘリウムリークテスト時の真空引きのレベルまで、さらに真空引きが行われる。
導圧管５１には塞がりがないことが確認されているので、第２のケース３１ｂの真空引きを行うことで、第１のケース３１ａも真空引きが行われることになる。
【００４７】
第２のケース３１ｂが真空状態になると、リーク判定制御部１３は、ヘリウム供給バルブ６２ｂ，６２ｃ，ＭＣＦ７１を制御し、ヘリウム充填室にヘリウム供給源７からのヘリウムガスを吹き付けさせる（ステップＳＴ５０３）。なお、上述のとおり、第２のケース３１ｂの真空引きを行うことで、第１のケース３１ａも真空引きが行われるので、第２のケース３１ｂが真空状態になると、第１のケース３１ａも真空状態になる。ここでいう真空状態とは、リークテストを実施するのに十分な真空状態をいう。リーク判定制御部１３は、第２のケース３１ｂが真空状態になったかどうかは、例えば、ヘリウムリークディテクタ２から真空度の情報を取得し、目安の真空度になったか否かを判断すればよい。
【００４８】
ヘリウムリークディテクタ２は、分析管（図示省略）によって、ヘリウム充填室に充填されたガスについて、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの接合部分を介して第２のケース３１ｂに漏れる、ヘリウムガスの漏れ量を検出する（ステップＳＴ５０４）。なお、真空室とワッシャ２００ａ，２００ｂとはシールされているので、真空室へ漏れたヘリウムガスはヘリウム充填室に流出することなく、導圧管５１を介してヘリウムリークディテクタ２で検出される。つまり、ワッシャ２００ａから第１のケース３１ａへ漏れたヘリウムガスは、ヘリウム充填室に流出することなく、導圧管５１を介して第２のケース３１ｂへ流出し、ヘリウムリークディテクタ２で検出されることになる。
ヘリウムリークディテクタ２は、検出したヘリウムガスの漏れ量をリーク判定制御部１３に通知する。
【００４９】
リーク判定制御部１３は、ヘリウムガスの漏れ量が予め設定された第２の閾値以上であるかどうかを判定する（ステップＳＴ５０５）。当該ステップＳＴ５０５で判定する第２の閾値は、例えば、ユーザが予め適宜設定しておくようにする。
【００５０】
ステップＳＴ５０５において、ヘリウムガスの漏れ量が予め設定された第２の閾値以上である場合（ステップＳＴ５０５の“ＹＥＳ”の場合）、リーク判定制御部１３は、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分に漏れが生じていると判定する（ステップＳＴ５０８）。
リーク判定制御部１３は、漏れが生じている旨の判定結果を表示制御部１５に出力する。
【００５１】
表示制御部１５は、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分に漏れが生じている旨の情報を表示装置８に表示させ（ステップＳＴ５０９）、処理終了する。
表示制御部１５が表示装置８に表示させる、漏れが生じている旨の情報は、例えば、「ＮＧ」、「漏れあり」等のメッセージ等である。なお、これは一例に過ぎず、ユーザが表示装置８を確認して、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分に漏れが生じていると判定されたことがわかるようになっていればよい。
【００５２】
ステップＳＴ５０５において、ヘリウムガスの漏れ量が予め設定された第２の閾値以上ではない場合（ステップＳＴ５０５の“ＮＯ”の場合）、リーク判定制御部１３は、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分に漏れが生じていないと判定する（ステップＳＴ５０６）。
リーク判定制御部１３は、漏れが生じていない旨の判定結果を表示制御部１５に出力する。
【００５３】
表示制御部１５は、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分に漏れが生じていない旨の情報を表示装置８に表示させ（ステップＳＴ５０７）、処理終了する。
表示制御部１５が表示装置８に表示させる、漏れが生じていない旨の情報は、例えば、「ＯＫ」、「漏れなし」等のメッセージ等である。なお、これは一例に過ぎず、ユーザが表示装置８を確認して、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分に漏れが生じていないと判定されたことがわかるようになっていればよい。
【００５４】
上述したような、図５のヘリウムリークテストの動作は、従来から知られている、ヘリウムリークディテクタを用いたヘリウムリークテストにおける動作と同様である。
ただし、この実施の形態１では、ヘリウムリークテストに入る前に、ヘリウムリークディテクタ２の分析管等を大気開放する必要がない。ヘリウムリークテストの前に導圧管５１の管内の塞がり具合の判定を行っており、この際に、真空引きを行っているためである（図４のステップＳＴ４０１）。その結果、ヘリウムリークテストにかかる作業時間を短縮させることができる。
【００５５】
このように、この実施の形態１の品質判定システムにおいては、導圧管５１の塞がり具合の判定と、導圧管５１とワッシャ２００ａ，２００ｂとの溶接部分の漏れの判定とをあわせて実施することができる。上記２つの検査を実施できるため、作業効率の向上、設備機器の簡略化につながる。特に、ヘリウムリークディテクタ２の圧力測定機能を流用し、ヘリウムリークディテクタ２が測定する圧力に基づき導圧管５１の塞がり具合を判定するようにすることで、より作業効率の向上、設備機器の簡略化につながる。
【００５６】
以上のように、この実施の形態１によれば、第１のケース３１ａおよび第２のケース３１ｂに両端がそれぞれ収納される管状部材（導圧管５１）と、第２のケースに接続されるポンプ４と、第１のケース３１ａへ供給される大気を制御する大気供給バルブ６１ａと、第２のケース３１ｂ内の圧力を測定する圧力測定装置と、判定制御装置１とによって、管状部材の品質を判定する品質判定方法であって、ポンプ４が、第２のケース３１ｂの真空引きを行うステップと、大気供給バルブ６１ａが、第１のケース３１ａへ供給される大気を開放するステップと、判定制御装置１が、第２のケース３１ｂの真空引きが完了したと判断してから設定時間経過後、圧力測定装置が測定した第２のケース３１ｂにおける圧力が第１の閾値以上であれば、管状部材に塞がりがないと判定するステップとを備えるようにしたので、検査のための道具を必要とせず、管状部材の管内部が細い、または、管状部材が曲がっていても、当該管状部材の管内部の塞がり具合の確認ができ、品質が保証された管状部材を提供することができる。また、当該管状部材の管内部の塞がり具合を定量的に判断することができる。
【００５７】
また、この実施の形態１によれば、管状部材の品質判定方法において、圧力測定装置をヘリウムリークディテクタ２とし、管状部材の、第１のケース３１ａおよび第２のケース３１ｂに収納されていない部分を密封する第３のケース３２をさらに備え、判定制御装置１が、管状部材に塞がりがないと判定した場合に、大気供給バルブ６１ａが、第１のケース３１ａへ供給される大気を閉鎖させるステップと、ポンプ４が、第２のケース３１ｂの真空引きを行うステップと、判定制御装置１が、ヘリウムリークディテクタ２に対し、第３のケース３２内に充填されたヘリウムガスのヘリウムリークテストを実施させ、管状部材の溶接部分の漏れを判定するステップとをさらに備えるようにしたので、管状部材の塞がり具合の判定と、管状部材の溶接部分の漏れの判定とをあわせて実施することができる。当該２つの検査をあわせて実施できるため、作業効率の向上、設備機器の簡略化につながる。
また、管状部材の塞がり具合の判定後、ヘリウムリークテストに入る前に、ヘリウムリークディテクタ２の分析管等を大気開放する必要がないため、ヘリウムリークテストにかかる作業時間の短縮に繋がる。
【００５８】
なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
【符号の説明】
【００５９】
１  判定制御装置
２  ヘリウムリークディテクタ
３  治具
４  ポンプ
７  ヘリウム供給源
８  表示装置
１１  バルブ開閉制御部
１２  塞がり判定制御部
１３  リーク判定制御部
１４  回路制御部
１５  表示制御部
３１ａ  第１のケース
３１ｂ  第２のケース
３２  第３のケース
５１  導圧管
６１ａ  大気供給バルブ
６２ａ，６２ｂ  ヘリウム供給バルブ
７１  ＭＣＦ
１００ａ，１００ｂ  タンク
２００  ワッシャ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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