(57)【要約】【課題】薬品耐性および透明性を備え、かつ、スラッジ等の析出物が付着しにくい特性を備えた防汚性透明積層体を提供する。【解決手段】防汚性透明積層体は、ガラスをエッチングするエッチング液またはエッチング雰囲気に接触し得る箇所に配置される。この防汚性透明積層体は、エッチング液に対する耐性を備えた透明樹脂からなる本体１と、本体１におけるエッチング液との接触箇所に貼付されたポリメチルペンテンフィルム３とを含む。通常、ポリメチルペンテンフィルム３は、エッチング液との接触面の反対面に改質面を有し、改質面が透明粘着層２を介して本体１に貼り付けられるように構成される。【選択図】図８
2018052050.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスをエッチングするエッチング液またはエッチング雰囲気に接触し得る箇所に配置可能な防汚性透明積層体であって、
エッチング液またはエッチング雰囲気に対する耐性を備えた透明樹脂からなる本体と、
前記本体におけるエッチング液またはエッチング雰囲気との接触箇所に貼付されたポリメチルペンテンフィルムと、
を含む防汚性透明積層体。
【請求項２】
前記ポリメチルペンテンフィルムは、エッチング液またはエッチング雰囲気との接触面の反対面に改質面を有し、前記改質面が透明粘着層を介して前記本体に貼り付けられるように構成されることを特徴とする請求項１に記載の防汚性透明積層体。
【請求項３】
前記本体が透明ポリ塩化ビニル樹脂で構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の防汚性透明積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスをエッチングするエッチング液またはエッチング雰囲気に接触し得る箇所に配置される防汚性透明積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイにおいて薄型ガラス基板が広く利用されてきた。ガラス基板の薄型化は、通常、機械研磨方式または化学研磨方式（エッチング）によって行われている。特に、化学研磨方式（エッチング）は、ガラス基板の薄型化加工の際に傷を発生させることがなく、薄型化加工後のガラス基板の強度を高めることが可能であるため、近年ますます好まれるようになっている。
【０００３】
ところが、ガラスに対して化学研磨方式（エッチング）を行うエッチング装置では、腐食性の強いフッ酸を含むエッチング液を使用することが余儀なくされる。このため、エッチング装置を構成する部品は耐エッチング性を備えることが求められる。十分な耐エッチング性を備えない素材を用いた場合、エッチング装置の腐食による劣化が著しくなり、エッチング装置のライフを大幅に縮めてしまうというリスクがあった。
【０００４】
そこで、従来のエッチング装置においては、フッ酸等のエッチング液と触れる場所には、耐エッチング性を備えた材料（塩化ビニル系樹脂やポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂）が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。このように、エッチング装置において、配管、隔壁、その他エッチング液と接触する箇所やエッチング雰囲気の箇所に適切に耐エッチング性部材を配置することにより、エッチング装置の劣化等の不都合の発生を抑制してきた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許５５１８１３３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、塩化ビニル系樹脂は、機械的剛性や透明化可能性に優れる一方で、エッチング液に対する耐性面においてフッ素樹脂に劣る。このため、長期間の使用において劣化が発生する可能性があり、頻度の高いメンテナンスが必要となる。また、フッ素樹脂は、エッチング液に対する耐性面に優れる一方で、材料コストや加工性（溶着および溶接等）の問題があり、さらに透明化することが極めて困難であるといった不都合があった。
【０００７】
エッチング装置の配管や隔壁やその他エッチング液と接触する箇所には、エッチング液に対する耐性に優れた部材が好ましいことは当然として、ガラスから溶解した化合物が析出することによって発生するスラッジ等の析出物の視認性を高めるために透明部材を用いることが好ましい。さらに好ましくは、スラッジ等の析出物が付着しにくい特性を有することである。
【０００８】
本発明の目的は、薬品耐性および透明性を備え、かつ、スラッジ等の析出物が付着しにくい特性を備えた防汚性透明積層体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明に係る防汚性透明積層体は、ガラスをエッチングするエッチング液やエッチング雰囲気に接触し得る箇所に配置可能に構成される。ガラスをエッチングするエッチング液の例としては、フッ酸や塩酸を含む薬液が挙げられる。また、防汚性透明積層体の配置位置の例としては、エッチング液を通液する配管、エッチング液を吐出するノズル、エッチング雰囲気に触れる位置の隔壁や点検窓等が挙げられるがこれらには限定されない。
【００１０】
この防汚性透明積層体は、エッチング液やエッチング雰囲気に対する耐性を備えた透明樹脂からなる本体と、本体におけるエッチング液やエッチング雰囲気との接触箇所に貼付されたポリメチルペンテンフィルムとを少なくとも備える。ポリメチルペンテンは、耐薬品性、透明性、低表面張力性を持つ樹脂材料であり、これをフィルムにした場合でもその特性は変わりがない。このため、ポリメチルペンテンフィルムが添付された本体は、薬品耐性および透明性を備えることになる。また、スラッジが付着しにくい特性も備えることになり、防汚性にも優れるようになる。
【００１１】
上述の防汚性透明積層体は、ポリメチルペンテンフィルムが、エッチング液やエッチング雰囲気との接触面の反対面に改質面を有し、改質面が透明粘着層を介して本体に貼り付けられるように構成されることが好ましい。その理由は、ポリメチルペンテンは、一般的に、低表面張力性という特性を有し、物が付着しにくいため、他の材料に付着させることが難しいからである。例えば、ポリメチルペンテンフィルムの表面にコロナ処理等の表面改質処理を施すことによって、改質面に粘着剤を塗布し易くなる。
【００１２】
粘着剤が塗布されることによって粘着層が形成されたポリメチルペンテンフィルムは、透明塩化ビニル樹脂等のからなる本体に貼り付け易くなる。このようにして構成された積層体は、薬品耐性および透明性が高くなる。さらに、エッチング液やエッチング雰囲気に接触する可能性のある箇所が、物が付着しにくいポリメチルペンテンによって構成されているため、スラッジ等の析出物が付着しにくい特性を備えることになる。しかも、ポリメチルペンテンはフッ素樹脂に比較して安価であり、かつ、積層体の大部分をポリメチルペンテンよりも安価な材料で構成することも可能であるため、防汚性透明積層体の生産コストが抑えられる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、薬品耐性および透明性を備え、かつ、スラッジ等の析出物が付着しにくい特性を備えた防汚性透明積層体を実現することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る防汚性透明積層体が適用されるスプレイエッチング装置の構成の一例を示す図である。
【図２】本発明に係る防汚性透明積層体が適用されるエッチングチャンバの構成の一例を示す図である。
【図３】本発明に係る防汚性透明積層体が適用されるエッチングチャンバの構成の一例を示す図である。
【図４】スプレイエッチング装置の駆動ユニットの概略構成を示す図である。
【図５】本発明に係る防汚性透明積層体が適用されるスプレイ配管ユニットの構成の一例を示す図である。
【図６】本発明に係る防汚性透明積層体が適用されるスプレイ配管ユニットの構成の一例を示す図である。
【図７】本発明に係る防汚性透明積層体の概略構成の一例を示す図である。
【図８】本発明に係る防汚性透明積層体の概略構成の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図を用いて本発明に係るスプレイエッチング装置の一実施形態を説明する。図１（Ａ）および図１（Ｂ）に示すように、スプレイエッチング装置１０は、導入部１２、前処理チャンバ１４、５つのエッチングチャンバ１６、洗浄チャンバ１８、および排出部２０を備える。前処理チャンバ１４、エッチングチャンバ１６、および洗浄チャンバ１８にはそれぞれ、隔壁の一部にガラス基板１００が通過可能なスリット状の開口部が形成されている。以下の実施形態では、被処理基板がガラス基板１００である例を説明するが、ガラス基板１００以外の基板（例：セラミック基板、プリント基板、半導体基板等）の処理にスプレイエッチング装置１０を用いることも可能である。
【００１６】
スプレイエッチング装置１０は、最上流位置の導入部１２から最下流位置の排出部２０にかけて配列された複数の搬送ローラ３０を備えている。搬送ローラ３０は、導入部１２にセット（ローディング）されたガラス基板１００を前処理チャンバ１４、エッチングチャンバ１６、および洗浄チャンバ１８を順次経由させつつ排出部２０まで搬送するように構成される。
【００１７】
前処理チャンバ１４は、エッチングチャンバ１６に導入される前のガラス基板１００を洗浄するように構成される。この実施形態では、前処理チャンバ１４においてガラス基板１００に対して上下から洗浄水が噴きつけられることによってガラス基板１００が水洗いされる。エッチングチャンバ１６は、ガラス基板１００に対してエッチング液を噴きつけることによってガラス基板１００を薄型化するように構成される。この実施形態では、スプレイエッチング装置１０は５つのエッチングチャンバ１６を備えているが、エッチングチャンバ１６の数は適宜増減させることが可能である。エッチングチャンバ１６の構成については後述する。
【００１８】
洗浄チャンバ１８は、エッチングチャンバ１６にてエッチング処理がされたガラス基板１００を洗浄するように構成される。洗浄チャンバ１８においても、前処理チャンバ１４と同様、ガラス基板１００に対して上下から洗浄水が噴きつけられることによってガラス基板１００が水洗いされる。排出部２０には、エッチング処理および洗浄処理がされたガラス基板１００が排出される。排出部２０においてガラス基板１００の取り出し（アンローディング）が行われる。
【００１９】
図１（Ｂ）に示すように、エッチングチャンバ１６および洗浄チャンバ１８には、ガラス基板１００上の液体を除去するための乾燥手段（例：エアナイフ、脱水ローラ等）が設けられており、適宜、エッチング液の除去および洗浄水の除去が行われる。また、スプレイエッチング装置１０には、スクラバ等を含む排気システム（図示省略）およびフィルタープレス等を含む排水系システム（図示省略）に接続されており、排気および排水が適切に行われている。
【００２０】
続いて、図２を用いてエッチングチャンバ１６の構成を説明する。５つのエッチングチャンバ１６は原則として同一構成であるため、ここでは単一のエッチングチャンバ１６について説明する。エッチングチャンバ１６は、上側スプレイ配管ユニット１６２、下側スプレイ配管ユニット１６４、上側ホースユニット１６６、下側ホースユニット１６７（図３参照。）およびガイドシャフト５８を少なくとも備える。
【００２１】
上側スプレイ配管ユニット１６２は、搬送ローラ３０上を搬送されるガラス基板１００の上方に所定の距離を設けて配置される。上側スプレイ配管ユニット１６２は、エッチング液を吐出する吐出ノズルを複数備えた配管を並列的に複数配置するように構成される。この実施形態では、並行に５本配置された各配管に６個の吐出ノズルが設けられる例を説明するが、配管や吐出ノズルの数はこれに限定されるものではない。
【００２２】
ここでは、上側スプレイ配管ユニット１６２のフレーム部材、吐出ノズル、および配管がポリ塩化ビニルを基体とする複合透明樹脂材料によって構成されているが、その詳細については後述する。下側スプレイ配管ユニット１６４は、搬送ローラ３０上を搬送されるガラス基板１００の下方に所定の距離を設けて配置される。下側スプレイ配管ユニット１６４の基本的構成は上側スプレイ配管ユニット１６２と同一であるため、説明を割愛する。
【００２３】
上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４はそれぞれ底部の４箇所（この実施形態では、４つの角部）に、脚部となるベース部材１７０を備えている。このベース部材１７０は、エッチングチャンバ１６内の所定位置に設けられた８つのガイド部材１７２にスライド可能な状態で支持されている。ベース部材１７０は、その底部がテーパ加工されており、ガイド部材１７２は、ベース部材１７０の底部にフィットする形状の溝部を有している。ベース部材１７０がガイド部材１７２の溝部に沿って往復直線移動することにより、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４がガラス基板１００の搬送方向に直交する幅方向において往復直線移動をすることになる。
【００２４】
ベース部材１７０およびガイド部材１７２は常時互いに擦れ合うため、耐酸性を備え、かつ、摺動特性や耐摩耗性が高い素材を用いることが好ましい。この実施形態では、ベース部材１７０にポリテトラフルオロエチレン、ガイド部材１７２に超高分子量ポリエチレン樹脂（Ｕ−ＰＥ）を採用しているが、素材についてはこれらに限定されるものではない。例えば、フレーム部材、吐出ノズル、および配管に採用されている複合透明樹脂材料を用いることも可能である。
【００２５】
上側ホースユニット１６６は、可撓性を備えた耐酸性ホースの束で構成されており、上側スプレイ配管ユニット１６２と送液ユニット４０とを接続するように構成される。下側ホースユニット１６７は、可撓性を備えた耐酸性ホースの束で構成されており、下側スプレイ配管ユニット１６４と送液ユニット４０とを接続するように構成される（図５参照。）。ガイドシャフト５８は、駆動ユニット５０からの駆動力を上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４に伝達するように構成される。
【００２６】
図３に示すように、駆動ユニット５０は、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４に対してガイドシャフト５６を介して駆動力を伝達するように構成される。ガイドシャフト５８は、エッチングチャンバ１６の側壁を貫通することになるため、水密性および気密性を保つためシール軸受５８等のシール機構が用いられる。シール軸受５８は、ガイドシャフト５６をスライド自在に支持するように構成される。ガイドシャフト５６の一端は上側スプレイ配管ユニット１６２または下側スプレイ配管ユニット１６４に接続されている。ガイドシャフト５６の他端は、ＬＭガイド（Linear Motion Guide）６４にスライド自在に支持された可動フレーム６０に接続されている。
【００２７】
駆動ユニット５０は、駆動源としてのモータやその駆動回路等を有するモータユニット５２を備えている。モータユニット５２には回転シャフト５４が接続される。回転シャフト５４の両端部には回転円板７０が取り付けられている。
【００２８】
図４（Ａ）に示すように、回転円板７０には、カムフォロア７２が取り付けられている。一方で、可動フレーム６０には、カムフォロア７２がフィットするサイズの溝が形成されたガイド部材６２が取り付けられている。図４（Ａ）においては、説明の便宜上、回転円板７０のカムフォロア７２と可動フレームのガイド部材６２とが分離した状態を示しているが、実際の使用時においてはカムフォロア７２がガイド部材６２にスライド自在な状態で嵌っている。
【００２９】
モータユニット５２の駆動力により回転シャフト５４が回転すると、回転円板７０の回転力が可動フレーム６０を往復移動させるための駆動力として可動フレーム６０に伝達する。可動フレーム６０に伝達した駆動力は、ガイドシャフト５６を介して上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４に伝達する。
【００３０】
上述した駆動ユニット５０の構成は一例であり、これに限定されるものではない。例えば、図４（Ｂ）に示すように、回転円板７０に代えて、所望の長径と短径との差を有するカム板７４を用いることの可能である。この場合は、可動フレーム６０に所定の方向に常に力を加え（弾性部材や磁性部材等による付勢力）、この力に抗してカム板７４が可動フレーム６０を押圧するような構成を採用すると良い。その他にも適宜最適なカム機構を選択することも可能である。
【００３１】
上側ホースユニット１６６は、送液ユニット４０からのエッチング液を上側スプレイ配管ユニット１６２に供給するように構成される。下側ホースユニット１６７は、送液ユニット４０からのエッチング液を下側スプレイ配管ユニット１６４に供給するように構成される。上側ホースユニット１６６および下側ホースユニット１６７は、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等の耐酸性部材からなる。上側ホースユニット１６６および下側ホースユニット１６７として、上記複合透明樹脂材料を用いることも可能であり、またこれ以外の耐酸可撓性素材を用いても良い。上側ホースユニット１６６および下側ホースユニット１６７は、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４のスライド動作によって送液ユニット４０と上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４との距離が変化した場合であっても、この変化を吸収できるように十分な撓みを有するように必要量よりも十分長めに設計されている（図５および図６を参照。）。
【００３２】
この実施形態では、上側ホースユニット１６６は送液ユニット４０の下部と上側スプレイ配管ユニット１６２を接続する一方で、下側ホースユニット１６７は送液ユニット４０の上部と下側スプレイ配管ユニット１６４を接続するように構成している。その理由は、上側ホースユニット１６６と下側ホースユニット１６７との長さを長くすることができ、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４が往復スライド移動する場合に、上側ホースユニット１６６と下側ホースユニット１６７が撓みやすくなるからである。
【００３３】
この結果、比較的硬めのフッ素系樹脂を用いる場合であっても上側ホースユニット１６６および下側ホースユニット１６７が本来の機能を発揮し易くなる。また、上側ホースユニット１６６と下側ホースユニット１６７との長さ（特に、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４の外側に位置する部分の長さ）を長くすることが可能になる。そして、上側ホースユニット１６６と下側ホースユニット１６７がエッチング液のスプレイ領域に垂れ下がることを確実に防止できるようになる。
【００３４】
上述のスプレイエッチング装置１０において、オペレータまたはロボット等によってガラス基板１００が導入部１２にローディングされる。ガラス基板１００は、適度な間隔を設けて順次的に導入部１２にローディングされる。ガラス基板１００は、導入部１２からスリット状の開口部を通過して前処理チャンバ１４に導入され、ここで全面が洗浄水によって洗浄される。続いて、ガラス基板１００は、前処理チャンバ１４からスリット状の開口部を通過してエッチングチャンバ１６へと導入される。
【００３５】
エッチングチャンバ１６において、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４からガラス基板１００の上面および下面にそれぞれエッチング液がスプレイされる。このエッチング処理時において、図６（Ａ）および図６（Ｂ）に示すように、上側スプレイ配管ユニット１６２および下側スプレイ配管ユニット１６４は幅方向に往復移動を繰り返すため、エッチング液のスプレイ角度が随時変化することになる。この結果、ガラス基板１００の上面においてスプレイされたエッチング液の滞留が発生しにくくなる。
【００３６】
ガラス基板１００は、複数のエッチングチャンバ１６を順次通過しながら薄型化される。そして、最下流に配置されたエッチングチャンバ１６を通過した後に、エアナイフ等によって液切りがされた上で洗浄チャンバ１８に導入される。ガラス基板１００は、洗浄チャンバ１８において洗浄水によって洗浄される。その後エアナイフ等によって脱水処理がされてから排出部２０に排出される。排出部２０に排出されたガラス基板１００は、オペレータまたはロボットによって回収されて後段の工程に移行される。
【００３７】
上述のような手順で、スプレイエッチング装置１０は大量（例えば、５００枚／日以上）のガラス基板１００に対してスプレイエッチング処理を行うことができる。この実施形態では、ガラス基板１００の薄型化の例を説明しているが、所望のパターニングを有する耐エッチング性のマスキング剤を併用することで、ガラス基板１００の切断処理や端面平滑化処理等を行うことも可能である。
【００３８】
スプレイエッチング装置１０のメンテナンス性を考慮すると、エッチングチャンバ１６の天板は開閉可能、または、取り外し可能に構成されていることが好ましい。上側スプレイ配管ユニット１６２は、上側ホースユニット１６６およびガイドシャフト５８を取り外すことにより、容易にエッチングチャンバ１６の天井部から装置外に持ち出すことが可能となる。このとき、上側スプレイ配管ユニット１６２と、上側ホースユニット１６６およびガイドシャフト５８とは、任意に脱着可能な構成（ねじ止め、解除機能付きロック機構等）を介して接続されることが好ましい。
【００３９】
また、搬送ローラ３０群も駆動伝達部との連結を容易に解除できるようにしておくことにより、容易に装置外に持ち出すことが可能となる。さらには、下側スプレイ配管ユニット１６４についても上側スプレイ配管ユニット１６２と同様に天井部から装置外に持ち出すことが可能となる。装置外において上側スプレイ配管ユニット１６２と下側スプレイ配管ユニット１６４とに対してスラッジ等の析出物を除去する等のメンテナンス作業を行うことによりメンテナンス性が向上する。また、スペアの上側スプレイ配管ユニット１６２と下側スプレイ配管ユニット１６４を用意しておけば、スプレイエッチング装置１０の操業を停止する時間を最小限に抑えることが可能となる。
【００４０】
ここで、図７および図８を用いて、上述のスプレイエッチング装置１０の各所に適用可能な複合透明樹脂材料について説明する。この複合透明樹脂材料は、透明なポリ塩化ビニルからなる本体１、本体１におけるエッチング液と触れる可能性がある領域に貼付されたポリメチルペンテンフィルム（以下、ＰＭＰフィルムという。）３、本体１とＰＭＰフィルム３との間に介在するアクリル系の透明粘着層２を備えている。図７（Ａ）では、複合樹脂材料を配管部品５として利用している例を示している。この配管部品５は、内径２５ｍｍ程度の本体１に、２〜３０μｍ（通常は１５μｍ程度）の透明粘着層２を介して、２０〜２００μｍ（通常は５０μｍ程度）のＰＭＰフィルム３が貼りつけられて構成されている。このような配管部品５は、スプレイ配管ユニットや送液ユニット等の各所において利用することが可能である。
【００４１】
また、図７（Ｂ）では、複合樹脂材料をノズル部品６として利用している例を示している。このノズル部品６は、ノズルを構成する透明樹脂材料からなる本体１に、１０μｍ程度のアクリル系の透明粘着層２を介して、２０〜５０μｍのＰＭＰフィルム３が貼りつけられて構成されている。このようなノズル部品６は、主として、スプレイ配管ユニットの吐出ノズルにおいて利用することが可能である。
【００４２】
配管部品５やノズル部品６は、ガラスをエッチングするエッチング液が通る通液路構造体であり、直接的にエッチング液と触れる箇所であるが、薬品耐性の強いＰＭＰフィルム３によって覆われているため、エッチング液による腐食がほとんど発生しない。このため、通液路構造体の長寿命化が実現する。また、通液路構造体が透明性を備えることにより、通液路構造体内部にスラッジ等が発生した場合でも早期に発見することが可能であるため、メンテナンス性に優れトラブルの少ないエッチング装置を実現することが可能になる。
【００４３】
図８（Ａ）および図８（Ｂ）では、スプレイエッチング装置１０のエッチングチャンバ１６や駆動ユニット５０の隔壁の点検窓として機能する透明隔壁部品７の例を示している。この透明隔壁部品７は、板厚５〜２０ｍｍ程度の本体１に、２〜３０μｍ（通常は１５μｍ程度）の透明粘着層２を介して、２０〜２００μｍ（通常は５０μｍ程度）のＰＭＰフィルム３が貼りつけられて構成されている。このような透明隔壁部品７は、エッチングチャンバ１６のように直接エッチング液に触れる可能性のある箇所や、その他、間接的にエッチング雰囲気の影響を受け得る箇所に配置すると良い。
【００４４】
透明隔壁部品７は、薬品耐性の強いＰＭＰフィルム３によって覆われているため、エッチング液による腐食がほとんど発生せず、スラッジ等の析出物が付着しにくいため、長期間にわたって透明性を維持し易い。このため、スプレイエッチング装置１０の内部を点検するための点検窓として極めて好適な機能を発揮することができる。
【００４５】
上述の実施形態において、ＰＭＰフィルム３は、ポリメチルペンテン樹脂を引き延ばし、適用する部品に好適な所定の大きさに裁断された後、コロナ表面処理機によって表面改質処理が施される。表面改質処理は、真空管方式、サイリスター方式等の公知のコロナ放電処理装置を使用して行うことができる。この実施形態では、放電電極とＰＭＰフィルムとの間に０．１〜１０ｍｍ程度の距離を設け、印加電圧を０．１〜５０ｋＶをかけて処理している。ＰＭＰフィルム３における表面改質処理が施された面が他の透明樹脂との貼り付け面となり、その反対側の面がエッチング液またはエッチング雰囲気に接する面となる。
【００４６】
本発明に係る防汚性透明積層体を用いることにより、フッ酸などの薬品に侵されにくい装置を提供できる。また、スラッジや汚れの付着を防止したり、たとえ付着しても簡単に除去したりすることが可能になる。さらに、透明性を維持できることにより、トラブルの原因が発見し易くなり、メンテナンスが容易になるため、装置の安定稼働に寄与できる。
【００４７】
防汚性透明積層体は新規に装置を設計するときだけでなく、既存の装置にもその仕様を変更することなく適用することが可能である。また、フッ素樹脂に相当する薬品耐性を低コストで実現できるため、装置コストを低減することが可能になる。
【００４８】
生産コストに余裕があれば、ポリメチルペンテン材自体でノズル、パイプ、キャップ、その他の配管等の通液路構造体やその他の部品を成型することも可能である。この場合、複数の樹脂を用いた積層体を構成するよりも、軽量性や透明性に優れた特性を実現することが可能になる。
【００４９】
これに対して、ポリメチルペンテン樹脂をフィルム化して透明ポリ塩化ビニル樹脂等の他の材料と組み合わせた場合、優れた薬品耐性や洗浄性等を享受しつつ低コスト化を実現できる。また、ポリ塩化ビニル樹脂等の機械的強度や溶接容易性に優れた特性の備えた材料と組み合わせることにより、薬品耐性、洗浄性、機械的強度、溶接容易性等の加工容易性のすべてに優れたハイブリッド材料を実現することが可能になる。
【００５０】
上述の実施形態では、スプレイエッチング装置の内部に適用する防汚性透明積層体を適用する例を説明したが、スプレイエッチング装置の周辺の装置にも適用することが好ましい。例えば、スクラバ等の排気システムの構成要素やフィルタープレス等の排水系システムの構成要素に防汚性透明積層体を適用することも可能である。
【００５１】
さらには、防汚性透明積層体はスプレイエッチング装置に適用する以外のその他の状況においてもその機能を発揮することができる。例えば、ポリメチルペンテンフィルムは、優れた防汚特性を有することから、野外設備や施設の耐候性向上にも寄与する事ができる。例えば、太陽光パネルは埃や雨水のステインによって汚れる。その場合、発電効率が低下し、年に数回のパネル洗浄が必要となる。また、野外であるために鳥糞や虫の死骸が部分的な抵抗の上昇を引き起こし、パネル破損の原因になる事がある。表面改質を行ったポリメチルペンテンフィルムを太陽光パネル表面に貼りつけることにより、汚濁の防止、鳥糞の雨中での自動洗浄が可能となり、太陽光パネルの安定化稼働およびランニングコスト削減に寄与する。
【００５２】
また、カーボン系材料とも組み合わせてハイブリッド部材を構成することが可能である。カーボン系材料は近年、構造的に高強度が必要とされる部位や部品に用いられている。しかしながら、フッ酸などの酸環境下では、金属同様に劣化が進行し、折れたり、破損したりするケースが発生し得る。前述のガラス研磨装置においても駆動部分に用いられているが、劣化とスラッジの固着により、破損する場合がある。このカーボン系材の表面に表面改質を行ったポリメチルペンテンフィルムを貼付することによって、その劣化や汚濁を防止することができ、装置の長寿命化に寄与することが可能になる。
【００５３】
上述の実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５４】
１−本体
２−透明粘着層
３−ポリメチルペンテン（ＰＭＰ）フィルム
５−配管部品
６−ノズル部品
７−透明隔壁部品
１０−スプレイエッチング装置
１２−導入部
１４−前処理チャンバ
１６−エッチングチャンバ
１８−洗浄チャンバ
２０−排出部
３０−搬送ローラ
４０−送液ユニット
５０−駆動ユニット
１６２−上側スプレイ配管ユニット
１６４−下側スプレイ配管ユニット
１６６−上側ホースユニット
１６７−下側ホースユニット
【図１】
2018052050.tif 000003
【図２】
2018052050.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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