(57)【要約】      （修正有）【課題】高い照明効率で暗視野観察法を行うことができるような顕微鏡装置、及び、暗視野照明装置を提供する。【解決手段】顕微鏡装置１０は、標本からの光を取り込む対物レンズ１２と、暗視野観察用の照明光を射出する複数の光源部５と、対物レンズ１２の外側に配置された光学系であって、複数の光源部５から射出される照明光を標本Ｓへ導光し、標本Ｓを照明する暗視野照明光学系２０と、を備え暗視野照明光学系２０は、対物レンズ１２の光軸に平行であり、互いに接触せず空気を隔てて配置される、複数の光学部材を含み、照明光を複数の光学部材を介して導光する導光部と、導光部により導光された照明光を光軸へ向けて偏向することで標本Ｓに照射する単一の部材からなる偏向部と、を有する。【選択図】図１
2018081134.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
標本からの光を取り込む対物レンズと、
暗視野観察用の照明光を射出する複数の光源部と、
前記対物レンズの外側に配置された光学系であって、前記複数の光源部から射出される前記照明光を前記標本へ導光し、前記標本を照明する暗視野照明光学系と、を備え、
前記暗視野照明光学系は、
前記対物レンズの光軸に平行であり、互いに接触せず空気を隔てて配置される、複数の光学部材を含み、前記照明光を前記複数の光学部材を介して導光する導光部と、
前記導光部により導光された前記照明光を前記光軸へ向けて偏向することで前記標本に照射する単一の部材からなる偏向部と、を有する
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
請求項１に記載の顕微鏡装置であって、
前記複数の光学部材の各々は、前記対物レンズの前記光軸に垂直な平面において円または正多角形である断面形状を有し、前記断面形状は、前記光軸方向に異なる位置毎に相似又は合同である
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項３】
請求項２に記載の顕微鏡装置であって、
前記複数の光学部材の各々は、柱状または錐台状である
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の顕微鏡装置であって、
前記複数の光学部材は、前記対物レンズの前記光軸に回転対称に配置される
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項５】
請求項４に記載の顕微鏡装置であって、
前記複数の光源部は、前記対物レンズの前記光軸に回転対称に配置される
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項６】
請求項５に記載の顕微鏡装置であって、
前記複数の光学部材の各々の前記照明光の入射端面の面積は、前記複数の光源部のいずれの面積よりも大きい
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項７】
請求項６に記載の顕微鏡装置であって、
前記複数の光源部の各々は、前記複数の光学部材のうちいずれかの光学部材の断面形状の中心軸に回転対称に配置される
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項８】
請求項２乃至請求項７のいずれか１項に記載の顕微鏡装置であって、
前記複数の光学部材の各々における、前記複数の照明光の入射端面は、平面、または、球面、または、コーニック面のいずれかで形成される
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項９】
請求項２乃至請求項８のいずれか１項に記載の顕微鏡装置であって、
前記複数の光学部材の各々は、可塑性の単一の素材で形成される
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項１０】
請求項２乃至請求項９のいずれか１項に記載の顕微鏡装置であって、
前記複数の光学部材の各々は、光ファイバーで形成される
ことを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項１１】
暗視野観察用の照明光を射出する複数の光源部と、
互いに平行であり、接触せず空気層を隔てて配置される、複数の光学部材を通して前記光源部から射出される前記照明光を導光する導光部と、
前記導光部により導光された前記照明光を偏向する単一の部材からなる偏向部と、を有する
ことを特徴とする暗視野照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、暗視野観察法を行う顕微鏡装置、及び、暗視野照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、対物レンズの外側から照明光を照射することで、標本上で散乱した光を対物レンズで取り込む観察手法である、暗視野観察法が知られている。暗視野観察法では、明視野観察法と比べ、標本の形状に由来するコントラストがより鮮明に表れるため、標本上の微細な構造の観察や微小な標本の観察等を行う場合に効果的な観察手法であるといえる。
【０００３】
特許文献１には、対物レンズの外周の領域に中空円筒状の光学部材を配置した照明系を利用して、対物レンズの外周側からリング状の光束を照射する技術が記載されている。この方法によれば、より多くの照明光が照射されることで、照明強度を向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特表２００２−５０７７７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
暗視野観察法において、より鮮明に微細構造の観察を行うためには、照明強度のみならず、高い照明効率で標本を照明することを要する。上記特許文献１では、照明強度は向上するものの、中空円筒状の光学部材中の円周方向に光が発散してしまい、標本上の観察位置に照明光が十分に集まらない恐れがある。
【０００６】
即ち、照明強度の向上に加えて、高い照明効率を実現し、暗視野観察法を行うことができるような技術が望まれている。
【０００７】
従って、本発明では、高い照明効率で暗視野観察法を行うことができるような顕微鏡装置、及び、暗視野照明装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様における顕微鏡装置は、標本からの光を取り込む対物レンズと、暗視野観察用の照明光を射出する複数の光源部と、前記対物レンズの外側に配置された光学系であって、前記複数の光源部から射出される前記照明光を前記標本へ導光し、前記標本を照明する暗視野照明光学系と、を備え、前記暗視野照明光学系は、前記対物レンズの光軸に平行であり、互いに接触せず空気を隔てて配置される、複数の光学部材を含み、前記照明光を前記複数の光学部材を介して導光する導光部と、前記導光部により導光された前記照明光を前記光軸へ向けて偏向することで前記標本に照射する単一の部材からなる偏向部と、を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の一態様における暗視野照明装置は、暗視野観察用の照明光を射出する複数の光源部と、互いに平行であり、接触せず空気層を隔てて配置される、複数の光学部材を通して前記光源部から射出される前記照明光を導光する導光部と、前記導光部により導光された前記照明光を偏向する単一の部材からなる偏向部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の顕微鏡装置、及び、暗視野照明装置によれば、高い照明効率で暗視野観察法を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態における顕微鏡装置の構成を示す図。
【図２】第１の実施形態における暗視野照明光学系の斜視図。
【図３】第１の実施形態における暗視野照明光学系を真横から見た図。
【図４】第１の実施形態における暗視野照明光学系を光源側から見た図。
【図５】第１の実施形態における光源部と、光学部材との配置関係を示す図。
【図６】第１の実施形態における光学部材及び偏向部と、標本上の照明領域との配置関係を示す図。
【図７】第１の実施形態における暗視野照明光学系を用いて標本上を照明したときの、標本平面上の照度分布を示す図。
【図８】従来技術による暗視野照明光学系の斜視図。
【図９】従来技術による暗視野照明光学系を真横から見た図。
【図１０】従来技術による暗視野照明光学系を光源側から見た図。
【図１１】従来技術による暗視野照明光学系を用いて標本上を照明したときの、標本平面上の照度分布を示す図。
【図１２】一変形例による顕微鏡装置の構成を示す図。
【図１３】他の一変形例による顕微鏡装置の構成を示す図。
【図１４】第２の実施形態における暗視野照明光学系の斜視図。
【図１５】第２の実施形態における暗視野照明光学系を真横から見た図。
【図１６】第２の実施形態における暗視野照明光学系を光源側から見た図。
【図１７】第２の実施形態における暗視野照明光学系を用いて標本上を照明したときの、標本平面上の照度分布を示す図。
【図１８】第３の実施形態における暗視野照明光学系の斜視図。
【図１９】第３の実施形態における暗視野照明光学系を真横から見た図。
【図２０】第３の実施形態における暗視野照明光学系を光源側から見た図。
【図２１】第３の実施形態における暗視野照明光学系を用いて標本上を照明したときの、標本平面上の照度分布を示す図。
【図２２】第３の実施形態の変形例における暗視野照明光学系を用いて標本上を照明したときの、標本平面上の照度分布を示す図。
【図２３】第４の実施形態における暗視野照明光学系の斜視図。
【図２４】第４の実施形態における暗視野照明光学系を真横から見た図。
【図２５】第４の実施形態における暗視野照明光学系を光源側から見た図。
【図２６】第４の実施形態における暗視野照明光学系を用いて標本上を照明したときの、標本平面上の照度分布を示す図。
【図２７】第４の実施形態における光源部と、光学部材との配置関係を示す図。
【図２８】第５の実施形態における暗視野照明光学系の斜視図。
【図２９】第５の実施形態における暗視野照明光学系を真横から見た図。
【図３０】第５の実施形態における暗視野照明光学系を光源側から見た図。
【図３１】第５の実施形態における暗視野照明光学系を用いて標本上を照明したときの、標本平面上の照度分布を示す図。
【図３２】第６の実施形態における暗視野照明光学系の斜視図。
【図３３】第６の実施形態における暗視野照明光学系を真横から見た図。
【図３４】第６の実施形態における暗視野照明光学系を光源側から見た図。
【図３５】第６の実施形態における暗視野照明光学系を用いて標本上を照明したときの、標本平面上の照度分布を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の第１の実施形態における顕微鏡装置１０について、図面を用いながら説明する。図１は、顕微鏡装置１０の構成を示す。尚、顕微鏡装置１０は、暗視野観察法を行うために、暗視野照明用の光源及び光学系を備えた落射照明型の顕微鏡装置である。
【００１３】
顕微鏡装置１０は、明視野観察用の照明光を射出する光源部１と、リレーレンズ２、３と、ハーフミラー４と、暗視野観察用の照明光を射出する複数の光源部５と、暗視野照明光学系２０と、対物レンズ１２と、結像レンズ６と、ハーフミラー７と、接眼レンズ９と、光検出器１１を備えている。暗視野照明光学系２０は、対物レンズの外側に配置される光学系であって、複数の光源部５からの照明光を導光し、標本Ｓへ照射するものである。
【００１４】
明視野観察時には、光源部１より射出された照明光を、リレーレンズ２、３及び、ハーフミラー４、対物レンズ１２を介して標本Ｓに向けて照射する。対物レンズ１２は、標本Ｓで反射した光を取り込み、結像レンズ６で一次像を結像する。ここで、ハーフミラー７で反射され、形成された一次像は、接眼レンズ９を通して使用者の瞳へ投影される。ハーフミラー７を透過した光は、結像レンズ６によって光検出器１１で結像される。
【００１５】
暗視野観察時には、光源部５より射出された照明光を、暗視野照明光学系２０を介して標本Ｓへ向けて照射する。対物レンズ１２は、標本Ｓで散乱した光を取り込む。その後の、接眼レンズ９及び光検出器１１までの光の伝達は、明視野観察時と同様に行われる。以下、図面を用いて、暗視野照明光学系２０の構成について詳細に説明する。
【００１６】
図２は、暗視野照明光学系２０の斜視図である。暗視野照明光学系２０は、対物レンズ１２の周囲に配置される導光部２１と、偏向部２２を含む。導光部２１は、対物レンズの光軸に平行に、また、互いに接触せず空気を隔てて配置される複数の光学部材（光学部材２１ａ、２１ｂ、・・・）を含んでいる。複数の光学部材内の媒質は、空気よりも屈折率の高い公知の導光素材で形成されており、例えば、アクリルで形成される。
【００１７】
複数の光学部材は、互いに同様の形状を有しており、光源部５側に位置する照明光の入射面である端面Ａと、偏向部２２側に位置する導光した照明光の出射面である端面Ｂと、側面Ｃとにより構成される。また、複数の光学部材は、柱状に形成されており、それぞれの断面形状は円である。また、複数の光学部材の柱状の長手方向に伸びる回転対称軸は対物レンズの光軸と平行になっている。
【００１８】
導光部２１は、照明光を複数の光学部材を介して導光する。より詳しくは、導光部２１は、複数の光学部材の各々の、光源部５側の端面Ａより入射した照明光を光学部材内部で反射させることで導光し、偏向部２２側の端面Ｂから偏向部２２へ向けて射出する。このとき、光学部材の媒質が外部の空気の屈折率より高いことから、側面Ｃにおいて照明光の反射角は臨界角以上となり、全反射によって、側面Ｃより外部に光が漏れることがない。
【００１９】
偏向部２２は、導光部２１により導光された照明光を対物レンズ１２の光軸の方向へ向けて偏向する、即ち、光軸に向かう方向へ偏向することで標本Ｓ上に照射するものであり、単一の部材から形成される。偏向部２２は、使用する対物レンズ１２の開口数に合わせた構成とすることが望ましい。例えば、作動距離が短い高開口数の対物レンズを使用する場合には、狭い範囲へ光を集光させるために照明光の集光具合を大きくする必要がある。そのようなときには、偏向部２２として円環状のミラーを用いることで照明光の集光具合を大きくすると良い。逆に、作動距離の長い低開口数の対物レンズを使用する場合には、広範囲へ光を集光させる必要がある。そのようなときには、偏向部２２として円環状のレンズを用いることで、上記の円環状のミラーよりも広範囲へ光を集光させることができる。円環状のレンズの有する屈折力については使用する対物レンズ１２に応じて適宜調整されるとよい。円環状のレンズとして用いられるレンズは、例えば、フレネルレンズであってもよい。尚、図２に示される偏向部２２は、対物レンズ１２の光軸を含む断面で見たときに標本Ｓ側が平面で光源側が凸面のレンズを、対物レンズ１２の光軸と軸中心が一致する円筒で内部がくり貫かれた形状の円環状のレンズで形成されている。
【００２０】
図３は、暗視野照明光学系２０を真横から見た図である。図４は、暗視野照明光学系２０を光源５側から見た図である。尚、図３では、暗視野照明光学系２０を納めるメカ枠の記載を省略している。
【００２１】
図３における、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ各部位の曲率半径を示す。また、図３における、Ｔ１〜Ｔ３、及び、図４におけるＤ１〜Ｄ４は、それぞれ各部位の長さを示す。より詳細には、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はそれぞれ、光学部材入射端面の曲率半径、光学部材出射端面の曲率半径、偏向部入射端面の曲率半径、偏向部出射端面の曲率半径である。また、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ、光学部材入射端面から光学部材出射端面までの長さである光学部材長、偏向部入射端面から偏向部出射端面までの長さである偏向部長、偏向部出射端面から標本面までの長さ、である。また、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４はそれぞれ、対物レンズ１２の光軸から光源部までの距離である光源部動径、光学部材外径、偏向部内半径、偏向部外半径である。Ｒ１〜Ｒ４、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の各数値については、下記表１を参照されたい。尚、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の単位は全てミリメートルである。
【表１】
2018081134.tif 000003
【００２２】
以上の構成を有する暗視野照明光学系２０を含む顕微鏡装置１０によれば、複数の光学部材を通して照明光を導光することで、高い照明効率で暗視野観察法を行うことができる。特に、暗視野照明光学系２０では、光源部５からの照明光を導光する複数の光学部材について、設計時にそれぞれの光学部材の光軸方向の長さや光学部材外径を変更することで、各光学部材の出射端面における照明光の分布を容易に調整し、ひいては標本Ｓ上に照射される領域を調整することができる。そのため、光源部５からの照明光が導光中に発散してしまうといったこともなく、標本Ｓ上の意図しない領域に照明光が照射されてしまうといった事態を防ぐことができ、照明効率の向上を図ることができる。
【００２３】
また、複数の光学部材は、光学部材の内部で臨界角を作り、通過する光を全反射させることができるように、空気の屈折率よりも大きい屈折率を有するような単一の素材で形成されている。そのため、複数の媒質により光学部材を形成するような構成と比較して、製造、組み立てを容易に行うことができる。
【００２４】
また、暗視野照明光学系２０は、一つの媒質から構成される光学部材と、単一の部材からなる偏向部２２とによって構成されていることからも、組み立て性が良い。そのため、開口数の異なる対物レンズ１２を使用する場合であっても、使用する対物レンズに応じて、複数の光学部材の光軸方向の長さや光学部材径、偏向部２２の構成を変えるだけで観察に適した暗視野照明光学系２０を用意することができる。
【００２５】
以下、暗視野照明光学系２０のより望ましい構成について説明する。
【００２６】
導光部２１が含む複数の光学部材の各々は、対物レンズ１２の光軸に垂直な平面において円または正多角形である断面形状を有しており、且つ、対物レンズ１２の光軸方向の異なる位置毎に相似または合同な断面形状を有していることが望ましい。断面形状が円または正多角形であることで、複数の光学部材の各々において、導光される照明光が等方的な配光特性を有する。そのため、各光学部材の出射端面Ｂから標本Ｓへ照射される照明光により、その照明領域において等方的な照度分布が形成され、照明ムラを低減することができる。また、光学部材外径を適宜調整することで、光学部材出射端面Ｂの照明分布の大きさを調整することができる。従って、光学部材出射端面Ｂの照明分布の大きさを標本Ｓ上で視野領域に合わせることで、光源部５からの照明光が発散して、対物レンズ１２の視野領域外へ照射されることを抑制することが可能である。
【００２７】
また、導光部２１が含む複数の光学部材は、対物レンズ１２の光軸に回転対称に配置されることが望ましい。一般に、特定の方向からの照明光や特定の方向成分における強度が強い照明光が照射された場合、標本Ｓの凹凸形状がその方向由来の陰影をもつことになる。一方、導光部２１の構成において複数の光学部材が回転対称に配置されることで、照明光の方向成分の偏りを軽減し、標本Ｓの凹凸形状が特定の方向由来の陰影をもつことを抑制できる。これにより、一般的な室内・屋内照明時と同様の写りが得られる。特に、複数の光学部材が同径、同ピッチに配置されていることで、より照明光の方向成分の偏りを軽減するという効果を奏する。
【００２８】
また、複数の光源部５についても対物レンズ１２の光軸に回転対称に配置されることで、複数の光源部５の各々から射出された照明光の標本Ｓまでの光路長が略等しくなり、照明ムラを低減することができる。
【００２９】
また、導光部２１が含む複数の光学部材は、本実施形態では柱状であるが、標本Ｓ側において広がりをもつ錐台状、または、光源部５側において広がりをもつ錐台状に形成されていてもよい。使用する対物レンズ１２の開口数に応じて上記構成を適切に選択することで、より照明効率を向上させることができるが、そのような構成については後述の実施形態で説明される。尚、断面形状が対物レンズ１２の光軸方向の異なる位置毎に相似であっても、標本Ｓ上の照度分布の等方性は維持される。
【００３０】
また導光部２１の複数の光学部材を形成する端面Ａ、Ｂは、光が均一に出入りするような形状であることが望ましく、例えば、平面、または、球面、または、コーニック面のいずれかで形成される。特に、端面Ａ、Ｂを球面またはコーニック面とし、その曲率半径を調整することで、端面Ａ、Ｂは、照明領域への照明光を集光させる機能を有する。例えば、より狭い照明領域を照明したい場合であっても、端面Ａ、Ｂを適切な曲率半径の球面形状またはコーニック面形状とすることで、照明光の集光力を増やすことができる。
【００３１】
また、導光部２１の複数の光学部材の各々は、可塑性の単一の素材で形成されていてもよい。光学部材を可塑性とすることで、暗視野照明光学系２０の組み立て性が向上する。例えば、導光部２１の複数の光学部材は、光ファイバーであってもよい。
また、導光部２１の複数の光学部材の各々について、光学部材の出射端面が標本Ｓの表面に対して角度を有していてもよい。即ち、光学部材の出射端面は、標本Ｓの表面と平行な形状に限らない。例えば、光学部材の出射端面が対物レンズ１２の視野領域へ向けられるように出射端面が角度を有することで、より多くの光が視野領域へ到達するため、照明効率を向上させることができる。
【００３２】
また、導光部２１の複数の光学部材の各々は、対物レンズ１２の光軸と平行に配置されるが、光学部材の入射端面と出射端面の間の導光径路が対物レンズ１２の光軸方向に対して角度を有するような形状であってもよい。導光径路が角度を有することで、光学部材出射端面の照明分布の位置が変更され、標本Ｓ上での照明領域の位置が変更される。このように、複数の光学部材の導光径路を予め角度をもたせて形成することで、照明領域の位置を微調整してもよい。
【００３３】
以下、光源部５、導光部２１、偏向部２２のより望ましい配置について、図面を用いて説明する。図５は、光源部５のうち一つの光源部と、導光部２１が含む光学部材のうち一つの光学部材（ここでは、代表として光学部材２１ａ）との配置関係を示す図である。図５において、ｄ、θ、Ｄ、Ｈはそれぞれ、光源部径、配光角、光学部材外径、光源端部から導光部入射面までの長さを表す。ここで、光源部からの照明光が光学部材２１ａの入射端を全て通過するために以下の条件式を満たしていることが望ましい。
【数１】
2018081134.tif 000004
【００３４】
上記条件式は、光学部材外径Ｄが、光源部径ｄの光源部から射出される照明光の照射範囲の直径よりも大きいという条件から導かれる。
【００３５】
また、従来技術として、光源部から射出した光をコリメートレンズを介して、標本Ｓへ集光するための集光レンズへ向けてリレーする構成は存在した。一方で、使用するコリメートレンズの焦点距離とによって、光源部と該コリメートレンズ間の距離が限定されてしまう。対して、本実施形態の顕微鏡装置１０では、上記条件式[数１]に示されるように、導光部２１の外径の設計次第で、光源部５と導光部２１との間の距離を任意に調整可能である。そのため、装置内の配置の自由度を高くすることができる。
【００３６】
図６は、導光部２１が含む光学部材のうち一つの光学部材（ここでは、代表として光学部材２１ａ）及び偏向部２２と、標本Ｓ上の照明領域との配置関係を示す図である。図６において、θ、Ｄ、ｒ、ＷＤはそれぞれ、光源部５の配光角、光学部材外径、光学部材の中心軸から対物レンズ１２の光軸までの距離、対物レンズ１２の作動距離である。
【００３７】
このとき、図６の偏向部２２の出射端面の中心から照明領域の中心までの距離であるｌは、ｒ、ＷＤを用いて以下の関係式で表される。
【数２】
2018081134.tif 000005
【００３８】
また、図６の偏向部２２の出射端中心から光源配光角θで照射される照明光が標本Ｓ上に照射される領域の半径ａは、ｌを用いて、以下の関係式で表される。尚、φは、偏向部２２の出射端面の中心から、対物レンズ１２の光軸と標本Ｓとの接点までを結んだ線の対物レンズ１２の光軸に対する角度を表す。
【数３】
2018081134.tif 000006
【００３９】
以上から、図６において規定される照明領域の直径は、２ａにＤを足し合わせた値となる。ここでいう照明領域とは、暗視野照明光学系２０を介して照明光が照射される領域を示す。
【００４０】
一方、光学部材端面（端面Ａ、Ｂ）の形状によっては、光学部材の出射端面側の照明光の配光角を、光源部５の配光角よりも狭めることができる。また、光学部材の断面形状によっても照明光が照射される領域を狭めることができる。そのため、図６によって規定される照明領域に対し、光学部材端面の形状や断面形状によって照明領域をさらに狭めることができるため、照明領域の直径をｆとすると、ｆは下記条件式を満たす範囲で決定されるとよい。
【数４】
2018081134.tif 000007
【００４１】
また、対物レンズ１２の作動距離ＷＤを確保するため以下のように配置を調整することが望ましい。導光部２１が含む複数の光学部材の長さと偏向部２２の厚さとを足し合わせた長さは、光源部５から標本Ｓまでの距離から対物レンズ１２の作動距離ＷＤを引いた長さ以下であることが望ましい。
【００４２】
図７は、暗視野照明光学系２０を用いて標本Ｓ上を照明したときの、対物レンズ１２の光軸と垂直な標本Ｓ平面上の位置に対応する照度分布を示す図である。一点鎖線で囲まれる領域Ｆは、対物レンズ１２の視野領域を示す。このように、暗視野照明光学系２０を用いて照明を行うことで、領域Ｆ内に均一に照明光が照射されていることがわかる。
【００４３】
以下、第１の実施形態の顕微鏡装置１０との比較例として、従来技術である中空円筒型の導光部を含むような暗視野照明光学系３０を顕微鏡装置１０の暗視野照明光学系２０の代わりに配置した場合の効果について図面を用いて説明する。
【００４４】
図８は、暗視野照明光学系３０の斜視図である。暗視野照明光学系３０は、単一の中空円筒状の光学部材からなる導光部３１と、偏向部３２と、を有している。
【００４５】
図９は、暗視野照明光学系３０を真横から見た図である。図１０は、暗視野照明光学系３０を光源部側から見た図である。
【００４６】
図９における、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ各部位の曲率半径を示す。また、図９における、Ｔ１〜Ｔ３、及び、図１０におけるＤ１〜Ｄ４は、それぞれ各部位の長さを示す。より詳細には、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はそれぞれ、光学部材入射端面の曲率半径、光学部材出射端面の曲率半径、偏向部入射端面の曲率半径、偏向部出射端面の曲率半径である。また、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ、光学部材長、偏向部長、偏向部出射端面から標本面までの長さ、である。また、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４はそれぞれ、光源部動径、光学部材外径、偏向部内半径、偏向部外半径である。Ｒ１〜Ｒ４、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の各数値については、下記表２を参照されたい。尚、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の単位は全てミリメートルである。
【表２】
2018081134.tif 000008
【００４７】
以上の構成による暗視野照明光学系３０を含む顕微鏡装置４０によって標本Ｓ上を照明したときの、対物レンズ１２の光軸と垂直な標本Ｓ平面上の位置に対応する照度分布を示すと、図１１にようになる。一点鎖線で囲まれる領域Ｆは、対物レンズ１２の視野領域を示す。図７では、領域Ｆ内に照明光が照射されている照明光の一部が、図１１では領域Ｆ外に照射されている。即ち、図１１では、図７の照明領域より外側においても照明光が照射されていることがわかる。これは、中空円筒状の光学部材中の円周方向において、光が円周方向に発散してしまい、本来導光されるべき照明領域上に照明光が導光されないために起こると考えられる。
【００４８】
以上、図１１と、図７とを比較してわかるとおり、暗視野照明光学系２０を用いて行う暗視野観察では、従来技術による暗視野照明光学系３０を用いて行う暗視野観察と比べて、照明効率を向上できていることがわかる。
【００４９】
次に、第１の実施形態の変形例として、以下のような装置構成が挙げられる。
【００５０】
図１２は、変形例１に係る顕微鏡装置４０の構成を示す図である。顕微鏡装置４０は、暗視野照明光学系２０ａ、２０ｂと、を備えている。また、暗視野照明光学系２０ａへ照明光を入射させる複数の光源部５ａと、暗視野照明光学系２０ｂへ照明光を入射させる複数の光源部５ｂと、を顕微鏡装置４０に内蔵させる形で備えている。暗視野照明光学系２０ａ、２０ｂは、予め使用する対物レンズの開口数に合わせた条件で設計される。使用する対物レンズ１２を装着する際に、暗視野照明光学系２０ａ、２０ｂを切り替えて、対応する光源部下に配置する。
【００５１】
このように、複数の異なる開口数の対物レンズを使用することを想定して、複数の暗視野照明光学系（暗視野照明光学系２０ａ、２０ｂ）が切り替え可能に配置されていてもよい。また、光源部５ａ、５ｂを顕微鏡装置４０内に含むことで、光源部の取り外しを行うことなく、複数の暗視野照明光学系の切り替えを行うことができ、切り替え時の操作性がよい。
【００５２】
図１３は、変形例２に係る顕微鏡装置４５ａの構成を示す図である。顕微鏡装置４５ａは、暗視野照明装置４５ｂを着脱可能に備えている。暗視野照明装置４５ｂは、暗視野照明用の光源部５を有しており、単体で暗視野照明を行うことができるため暗視野照明装置と記載しているが、光源部５を備えているという点以外において第１の実施形態における暗視野照明光学系２０の構成と同様である。より詳しくは、暗視野照明装置４５ｂは、暗視野観察用の照明光を射出する複数の光源部５と、互いに平行であり接触せず空気を隔てて配置される複数の光学部材を通して光源部５から射出される照明光を導光する導光部と、導光部により導光された照明光を偏向する単一の部材からなる偏向部と、を有している。
【００５３】
即ち、顕微鏡装置４５は、暗視野照明用の光源部５を外付けとするような構成であり、本構成においても第１の実施形態の顕微鏡装置１０と同様の効果を奏する。
【００５４】
以下、第２の実施形態における顕微鏡装置における暗視野照明光学系５０の構成を説明する。第２の実施形態における顕微鏡装置の構成は、顕微鏡装置１０と同様であるため、説明を省略する。
【００５５】
図１４は、暗視野照明光学系５０の斜視図である。暗視野照明光学系５０は、複数の光学部材（光学部材５１ａ、５１ｂ、・・・）を含む導光部５１と、偏向部５２と、を有している。導光部５１は、暗視野照明光学系２０の導光部２１と同様の構成である。偏向部５２は、円環状のミラーによって構成されている。尚、暗視野照明光学系２０を納めるメカ枠の記載を省略している。
【００５６】
図１５は、暗視野照明光学系５０を真横から見た図である。図１６は、暗視野照明光学系５０を光源部５側から見た図である。
【００５７】
図１５における、Ｒ１、Ｒ２は、それぞれ各部位の曲率半径を示す。また、図１５における、Ｔ１〜Ｔ３、及び、図１６におけるＤ１〜Ｄ４は、それぞれ各部位の長さを示す。より詳細には、Ｒ１、Ｒ２はそれぞれ、光学部材入射端面の曲率半径、光学部材出射端面の曲率半径である。また、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ、光学部材長、偏向部長、偏向部出射端面から標本面までの長さである。また、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４はそれぞれ、光源部動径、光学部材外径、偏向部内半径、偏向部外半径である。Ｒ１、Ｒ２、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の各数値については、下記表３を参照されたい。尚、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の単位は全てミリメートルである。
【表３】
2018081134.tif 000009
【００５８】
以上の構成を有する暗視野照明光学系５０を含む顕微鏡装置によっても、高い照明効率で暗視野観察法を行うことができる。特に、作動距離が短い高開口数の対物レンズを使用する場合には、本構成のように偏向部５１として円環状のミラーを用いることで照明光の集光具合を大きくすることができる。
【００５９】
図１７は、暗視野照明光学系５０を用いて標本Ｓ上を照明したときの、顕微鏡装置の対物レンズの光軸と垂直な標本Ｓ平面上の位置に対応する照度分布を示す図である。一点鎖線で囲まれる領域Ｆは、対物レンズ１２の視野領域を示す。このように、暗視野照明光学系５０を用いて照明を行うことで、領域Ｆ内に均一に照明光が照射されていることがわかる。
【００６０】
以下、第３の実施形態における顕微鏡装置における暗視野照明光学系６０の構成を説明する。第３の実施形態における顕微鏡装置では、複数の光源部５の配置が対物レンズ１２の光軸に回転対称に配置されることについては、第１の実施形態で述べた特徴と同様であるが、その光源部５の配置が後述する光学部材の配置に合わせたものである点において顕微鏡装置１０と異なる。
【００６１】
図１８は、暗視野照明光学系６０の斜視図である。図１９は、暗視野照明光学系６０を真横から見た図である。図２０は、暗視野照明光学系６０を光源部５側から見た図である。暗視野照明光学６０は、複数の光学部材を含む導光部６１と、偏向部６２と、を有している。偏向部６２は、暗視野照明光学系２０の偏向部２２と同様の構成である。
【００６２】
導光部６１が含む複数の光学部材は、顕微鏡装置の対物レンズの光軸に回転対称に配置されることについては、第１の実施形態で述べた特徴と同様である。一方で、導光部６１が含む複数の光学部材は、対物レンズの光軸を中心として動径の異なる複数の円周上に、回転対称に配置されている。
【００６３】
図２０に示されるように、４つの光学部材６１ａ〜６１ｄを一まとまりとすると、４つの光学部材６１ａ〜６１ｄの配置に対応する各まとまりが回転対称に配置されているともいえる。このとき、４つの光学部材６１ａ〜６１ｄで囲まれる中心の領域を光源部５ｅからの照明光が通る。即ち、光源部５ｅからの照明光は、４つの光学部材６１ａ〜６１ｄの外周面を介して導光される。また、図２０の光源部５ａ〜５ｄは、それぞれ、光学部材６１ａ〜６１ｄを介して導光される。
【００６４】
図１９における、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ各部位の曲率半径を示す。また、図１９における、Ｔ１〜Ｔ３、及び、図２０におけるＤ１〜Ｄ４は、それぞれ各部位の長さを示す。より詳細には、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はそれぞれ、光学部材入射端面の曲率半径、光学部材出射端面の曲率半径、偏向部入射端面の曲率半径、偏向部出射端面の曲率半径である。また、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ、光学部材長、偏向部長、偏向部出射端面から標本面までの長さである。また、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４はそれぞれ、光源部動径、光学部材外径、偏向部内半径、偏向部外半径である。Ｒ１〜Ｒ４、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の各数値については、下記表４を参照されたい。尚、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の単位は全てミリメートルである。
【表４】
2018081134.tif 000010
【００６５】
以上の構成を有する暗視野照明光学系６０を含む顕微鏡装置によっても、高い照明効率で暗視野観察法を行うことができる。このように回転対称に配置される光学部材及び光源部５の数を増やすことで、照度を向上させることができる。
【００６６】
図２１は、暗視野照明光学系６０を用いて標本Ｓ上を照明したときの、顕微鏡装置の対物レンズの光軸と垂直な標本Ｓ平面上の位置に対応する照度分布を示す図である。一点鎖線で囲まれる領域Ｆは、対物レンズ１２の視野領域を示す。このように、暗視野照明光学系６０を用いて照明を行うことで、領域Ｆ内に均一に照明光が照射されていることがわかる。
【００６７】
図２２は、暗視野照明光学系６０において、４つの光学部材の外周面を介して導光される照明光を射出する光源部（光源部５ｅ等）を除いた場合の標本Ｓ平面上の位置に対応する照度分布を示す図である。図２１の照度分布と比較すると、照度が少しばかり低下するが、図２２においても領域Ｆ内に均一に照明光が照射されていることがわかる。このように、４つの光学部材の外周面を介して導光される照明光を射出する光源部（光源部５ｅ等）がないような構成であっても構わない。
【００６８】
以下、第４の実施形態における顕微鏡装置における暗視野照明光学系７０の構成を説明する。第４の実施形態における顕微鏡装置では、複数の光源部５の配置が対物レンズ１２の光軸に回転対称に配置されることについては、第１の実施形態で述べた特徴と同様であるが、その光源部５の配置が後述する光学部材の配置に合わせたものである点において顕微鏡装置１０と異なる。
【００６９】
図２３は、暗視野照明光学系７０の斜視図である。図２４は、暗視野照明光学系７０を真横から見た図である。図２５は、暗視野照明光学系６０を光源部５側から見た図である。暗視野照明光学７０は、複数の光学部材（光学部材７１ａ、７１ｂ・・・）を含む導光部７１と、偏向部７２と、を有している。偏向部７２は、暗視野照明光学系２０の偏向部２２と同様の構成である。
【００７０】
複数の光学部材のうちの一つの光学部材７１ａに着目して説明する。図２５に示されるように、光学部材７１ａにおける照明光の入射端面の面積は、各光源部の面積よりも大きくなるように構成されており、複数の光源部のうちの光源部５ａ〜５ｅからの照明光が光学部材７１ａの端面へ入射するように構成される。即ち、光学部材７１ａは、複数の光源部からの照明光を導光するような構成となる。尚、他の複数の光学部材の大きさと、それら光学部材と複数の光源部との関係についても、光学部材７１ａと同様である。
【００７１】
また、光源部５ａ〜５ｅは、光学部材７１ａの断面形状の中心軸に回転対称に配置される。他の複数の光学部材においても同じであり、即ち、複数の光源部の各々は、複数の光学部材のうちいずれかの光学部材の断面形状の中心軸に回転対称に配置される。また、光学部材の断面形状の中心軸に回転対称に配置される光源部の数は、適宜変更されてよい。
【００７２】
図２４における、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ各部位の曲率半径を示す。また、図２４における、Ｔ１〜Ｔ３、及び、図２５におけるＤ１〜Ｄ４は、それぞれ各部位の長さを示す。より詳細には、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はそれぞれ、光学部材入射端面の曲率半径、光学部材出射端面の曲率半径、偏向部入射端面の曲率半径、偏向部出射端面の曲率半径である。また、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ、光学部材長、偏向部長、偏向部出射端面から標本面までの長さである。また、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４はそれぞれ、光源部動径、光学部材外径、偏向部内半径、偏向部外半径である。Ｒ１〜Ｒ４、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の各数値については、下記表５を参照されたい。尚、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の単位は全てミリメートルである。
【表５】
2018081134.tif 000011
【００７３】
以上の構成を有する暗視野照明光学系７０を含む顕微鏡装置によっても、高い照明効率で暗視野観察法を行うことができる。低開口数の対物レンズを使用して標本Ｓ上の広い視野を観察しようとする場合には、狭い視野を観察する場合と比べてより多くの照明光を照射する必要がある。本構成によれば、導光部７１の光学部材の端面の外径内に複数の光源部が配置されるため、装置を肥大化させることなく標本Ｓ上の広い視野領域で明るさを確保することができる。
【００７４】
また、複数の光源部の各々が、複数の光学部材のうちいずれかの光学部材の断面形状の中心軸に回転対称に配置されることで、導光部出射端面における照明光の分布のムラがなくなり、標本Ｓ上での照明ムラの低減を図ることができる。
【００７５】
図２６は、暗視野照明光学系７０を用いて標本Ｓ上を照明したときの、顕微鏡装置の対物レンズの光軸と垂直な標本Ｓ平面上の位置に対応する照度分布を示す図である。一点鎖線で囲まれる領域Ｆは、対物レンズ１２の視野領域を示す。このように、暗視野照明光学系７０を用いて照明を行うことで、領域Ｆ内に均一に照明光が照射されていることがわかる。
【００７６】
また、第４の実施形態における複数の光源部、導光部７１、偏向部７２の望ましい配置について、図面を用いて説明する。図２７は、複数の光源部（図中では三つの光源部）と、導光部７１が含む光学部材のうち一つの光学部材（ここでは、代表として光学部材７１ａ）との配置関係を示す図である。図２７において、ｄ、θ、Ｄ、Ｈ、Ｐはそれぞれ、光源部径、配光角、光学部材外径、光源端部から光学部材入射端面までの長さ、２つの光源部中心を結ぶ距離のうち、最遠点対となる２点間の距離、である。ここで、光源部からの照明光が光学部材７１ａの入射端を全て通過するために以下の条件式を満たしていることが望ましい。
【数５】
2018081134.tif 000012
【００７７】
尚、上記条件式は、光学部材外径Ｄが、複数配置される光源部径ｄの光源部から射出される照明光の照射範囲の直径よりも大きいという条件から導かれる。
【００７８】
以下、第５の実施形態における顕微鏡装置における暗視野照明光学系８０の構成を説明する。第５の実施形態における顕微鏡装置の構成は、第４の実施形態で説明した顕微鏡装置の構成と同様であるため、説明を省略する。
【００７９】
図２８は、暗視野照明光学系８０の斜視図である。図２９は、暗視野照明光学系８０を真横から見た図である。図３０は、暗視野照明光学系８０を光源部５側から見た図である。暗視野照明光学８０は、複数の光学部材（光学部材８１ａ、８１ｂ・・・）を含む導光部８１と、偏向部８２と、を有している。偏向部８２は、暗視野照明光学系２０の偏向部２２と同様の構成である。
【００８０】
導光部８１が有する複数の光学部材における照明光の入射端面の面積が、各光源部の面積よりも大きくなるように構成されていること、複数の光源部の各々が複数の光学部材のうちいずれかの光学部材の断面形状の中心軸に回転対称に配置されること、については第４の実施形態における導光部７１が有する複数の光学部材の特徴と同様である。
【００８１】
一方、導光部８１が有する複数の光学部材は、錐台状に形成されている。より詳しくは、図２８、図２９に示されるように、複数の光学部材の光源部５側から偏向部８２側へ往くにつれ、光学部材の断面形状が狭まっていくような錐台状に形成される。このような形状によれば、光源部側から光学部材へ入射した照明光は、光学部材中で全反射を繰り返すに従い、その反射角が大きくなってゆく。従って、光学部材の出射端から照射される照明光の配光角は、光源部における配光角よりも大きくなり、標本Ｓ上の広い範囲を照明するのに適した照度分布を実現できる。
【００８２】
逆に、複数の光学部材の光源部５側から偏向部８２側へ往くにつれ、光学部材の断面形状が広がっていくような錐台状とすることで、光学部材の出射端から照射される照明光の配光角を、光源部における配光角よりも小さくすることができ、標本Ｓ上の狭い範囲を照明するのに適した照度分布を実現することもできる。
【００８３】
図２９における、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ各部位の曲率半径を示す。また、図２９における、Ｔ１〜Ｔ３、Ｄ２ａ、Ｄ２ｂ及び、図３０におけるＤ１、Ｄ３、Ｄ４は、それぞれ各部位の長さを示す。より詳細には、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はそれぞれ、光学部材入射端面の曲率半径、光学部材出射端面の曲率半径、偏向部入射端面の曲率半径、偏向部出射端面の曲率半径である。また、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ、光学部材長、偏向部長、偏向部出射端面から標本面までの長さである。また、Ｄ１、Ｄ２ａ、Ｄ２ｂ、Ｄ３、Ｄ４はそれぞれ、光源部動径、光学部材入射端面の外径、光学部材出射端面の外径、偏向部内半径、偏向部外半径である。Ｒ１〜Ｒ４、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の各数値については、下記表６を参照されたい。尚、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の単位は全てミリメートルである。
【表６】
2018081134.tif 000013
【００８４】
以上の構成を有する暗視野照明光学系８０を含む顕微鏡装置によっても、高い照明効率で暗視野観察法を行うことができる。また、導光部８１が有する複数の光学部材が、光源部５側から偏向部８２側へ往くにつれ、断面形状が狭まっていくような錐台状に形成されていることで、標本Ｓ上で広い範囲を照明することができる。
【００８５】
図３１は、暗視野照明光学系８０を用いて標本Ｓ上を照明したときの、顕微鏡装置の対物レンズの光軸と垂直な標本Ｓ平面上の位置に対応する照度分布を示す図である。一点鎖線で囲まれる領域Ｆは、対物レンズ１２の視野領域を示す。このように、暗視野照明光学系８０を用いて照明を行うことで、領域Ｆ内に均一に照明光が照射されていることがわかる。
【００８６】
以下、第６の実施形態における顕微鏡装置における暗視野照明光学系９０の構成を説明する。第６の実施形態における顕微鏡装置の構成は、第４の実施形態で説明した顕微鏡装置と同様であるため、説明を省略する。
【００８７】
図３２は、暗視野照明光学系９０の斜視図である。図３３は、暗視野照明光学系９０を真横から見た図である。図３４は、暗視野照明光学系９０を光源部５側から見た図である。暗視野照明光学９０は、複数の光学部材（光学部材９１ａ、９１ｂ・・・）を含む導光部９１と、偏向部９２と、を有している。偏向部９２は、暗視野照明光学系２０の偏向部２２と同様の構成である。
【００８８】
導光部９１が有する複数の光学部材は、その断面形状が正四角形であるという点を除いて、第４の実施形態における導光部７１の複数の光学部材と同様の特徴を有する。
【００８９】
図３３における、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ各部位の曲率半径を示す。また、図３３における、Ｔ１〜Ｔ３、及び、図３４におけるＤ１〜Ｄ４は、それぞれ各部位の長さを示す。より詳細には、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４はそれぞれ、光学部材入射端面の曲率半径、光学部材出射端面の曲率半径、偏向部入射端面の曲率半径、偏向部出射端面の曲率半径である。また、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３はそれぞれ、光学部材長、偏向部長、偏向部出射端面から標本面までの長さである。また、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４はそれぞれ、光源部動径、光学部材外径、偏向部内半径、偏向部外半径である。Ｒ１〜Ｒ４、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の各数値については、下記表７を参照されたい。尚、Ｔ１〜Ｔ３、及びＤ１〜Ｄ４の単位は全てミリメートルである。
【表７】
2018081134.tif 000014
【００９０】
以上の構成を有する暗視野照明光学系９０を含む顕微鏡装置によっても、高い照明効率で暗視野観察法を行うことができる。本構成では、導光部９１が有する複数の光学部材の断面形状を正四角形としたが、第１の実施形態で述べたように、円または正多角形であれば、標本Ｓ上の照明領域において等方的な照度分布が形成され、照明ムラを低減することができる。
【００９１】
図３５は、暗視野照明光学系９０を用いて標本Ｓ上を照明したときの、顕微鏡装置の対物レンズの光軸と垂直な標本Ｓ平面上の位置に対応する照度分布を示す図である。一点鎖線で囲まれる領域Ｆは、対物レンズ１２の視野領域を示す。このように、暗視野照明光学系９０を用いて照明を行うことで、領域Ｆ内に均一に照明光が照射されていることがわかる。
【００９２】
尚、上述した実施形態は、発明の理解を容易にするために具体例を示したものであり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。上述した顕微鏡装置、及び、暗視野照明装置は、特許請求の範囲に記載した本発明を逸脱しない範囲において、さまざまな変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００９３】
１０、４０、４５ａ          顕微鏡装置
２０、２０ａ、３０、５０、６０、７０、８０、９０    暗視野照明光学系
４５ｂ                      暗視野照明装置
１、５        光源部
２、３        リレーレンズ
４、７        ハーフミラー
６            結像レンズ
９            接眼レンズ
１１          光検出器
１２          対物レンズ
２１、３１、５１、６１、７１、８１、９１      導光部
２１ａ、２１ｂ、５１ａ、５１ｂ、６１ａ、
６１ｂ、６１ｃ、６１ｄ、７１ａ、７１ｂ        光学部材
２２、３２、５２、６２、７２、８２、９２      偏向部
５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅ                  光源部
Ａ、Ｂ        端面
Ｃ            側面
Ｄ            光学部材外径
Ｆ            領域
Ｓ            標本
ｒ            光学部材動径
ｄ            光源部径
Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４                        曲率半径
Ｄ１、Ｄ２、Ｄ２ａ、Ｄ２ｂ、Ｄ３、Ｄ４、
Ｐ、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｈ、ａ、ｌ、ｆ        距離
θ、φ                                        角度
【図１】
2018081134.tif 000015
【図２】
2018081134.tif 000016
【図３】
2018081134.tif 000017
【図４】
2018081134.tif 000018
【図５】
2018081134.tif 000019
【図６】
2018081134.tif 000020
【図７】
2018081134.tif 000021
【図８】
2018081134.tif 000022
【図９】
2018081134.tif 000023
【図１０】
2018081134.tif 000024
【図１１】
2018081134.tif 000025
【図１２】
2018081134.tif 000026
【図１３】
2018081134.tif 000027
【図１４】
2018081134.tif 000028
【図１５】
2018081134.tif 000029
【図１６】
2018081134.tif 000030
【図１７】
2018081134.tif 000031
【図１８】
2018081134.tif 000032
【図１９】
2018081134.tif 000033
【図２０】
2018081134.tif 000034
【図２１】
2018081134.tif 000035
【図２２】
2018081134.tif 000036
【図２３】
2018081134.tif 000037
【図２４】
2018081134.tif 000038
【図２５】
2018081134.tif 000039
【図２６】
2018081134.tif 000040
【図２７】
2018081134.tif 000041
【図２８】
2018081134.tif 000042
【図２９】
2018081134.tif 000043
【図３０】
2018081134.tif 000044
【図３１】
2018081134.tif 000045
【図３２】
2018081134.tif 000046
【図３３】
2018081134.tif 000047
【図３４】
2018081134.tif 000048
【図３５】
2018081134.tif 000049