(57)【要約】      （修正有）【課題】温度センサーを用いずに温度を測定することが可能な超音波流量計を提供する。【解決手段】超音波流量計１は、流体が流れる流路の上流側と下流側に配置され超音波信号を送受信する一対の超音波振動子１０と、一方の超音波振動子１０に送信信号を印加する送信回路２０と、他方の超音波振動子１０からの受信信号を受信する受信回路３０とを含み、送信信号の印加完了後の一方の超音波振動子１０の振動に応じて発生した電位差変動を受信回路３０で受信し、受信した電位差変動の周波数に基づいて一方の超音波振動子１０の温度を求める。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れる流路の上流側と下流側に配置され超音波信号を送受信する一対の超音波振動子と、
一方の超音波振動子に送信信号を印加する送信回路と、
他方の超音波振動子からの受信信号を受信する受信回路とを含み、
前記送信信号の印加完了後の前記一方の超音波振動子の振動に応じて発生した電位差変動を前記受信回路で受信し、受信した前記電位差変動の周波数に基づいて前記一方の超音波振動子の温度を求める、超音波流量計。
【請求項２】
請求項１において
前記受信回路は、前記一方の超音波振動子との間でカップリング結合を形成する位置に配置され、
前記電位差変動は前記カップリング結合により前記受信回路に入力される、超音波流量計。
【請求項３】
請求項２において
前記受信回路は、前記一方の超音波振動子との間で浮遊容量性結合を形成する位置に配置され、
前記電位差変動は前記浮遊容量性結合により前記受信回路に入力される、超音波流量計。
【請求項４】
請求項１において、
前記受信回路は、前記一方の超音波振動子と接続可能に構成され、
前記電位差変動は前記受信回路に直接入力される、超音波流量計。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項において、
前記温度を前記流体の温度Ｔとして測定し、前記温度Ｔに依存する静止流体中の音速Ｃ（Ｔ）に基づいて前記流体の流速を算出する、超音波流量計。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項において、
前記温度を前記流体の温度又は前記流路を形成する配管の温度として測定する、超音波流量計。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項において、
前記温度を前記流体の温度として測定し、測定した温度に基づいて前記流体の密度又は静止流体中の音速を算出する、超音波流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
水や空気などの流体の流量を計測する超音波流量計として、流体が流れる流路の上流側と下流側に流路を挟んで対向配置された一対の超音波素子を有する超音波流量計が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１３２４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上流側の超音波素子からの超音波信号が下流側の超音波素子に到達するまでの時間をｔとし、超音波信号の伝播距離をＬとし、超音波伝播軸と流路の中心軸とがなす角度をθとし、静止流体中の音速をＣとすると、流体の流速Ｖは、次式で求めることができる。
【０００５】
Ｖ＝１／ｃｏｓθ（Ｌ／ｔ−Ｃ）
ここで、音速Ｃは温度に依存して値が変動するため、音速Ｃを決定するには温度を測定する必要がある。しかし、温度を測定するために温度センサーを設けることはコスト高につながる。従来の超音波流量計では、音速Ｃの項を消去するため、上流側の超音波素子からの超音波信号が下流側の超音波素子に到達するまでの時間ｔ１と、下流側の超音波素子からの超音波信号が上流側の超音波素子に到達するまでの時間ｔ２をそれぞれ測定し、次式により流速Ｖを求めていた。
【０００６】
Ｖ＝Ｌ／２ｃｏｓθ（１／ｔ１−１／ｔ２）
本発明は、以上のような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、温度センサーを用いずに温度を測定することが可能な超音波流量計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明は、流体が流れる流路の上流側と下流側に配置され超音波信号を送受信する一対の超音波振動子と、一方の超音波振動子に送信信号を印加する送信回路と、他方の超音波振動子からの受信信号を受信する受信回路とを含み、前記送信信号の印加完了後の前記一方の超音波振動子の振動に応じて発生した電位差変動を前記受信回路で受信し、受信した前記電位差変動の周波数に基づいて前記一方の超音波振動子の温度を求める、超音波流量計に関する。
【０００８】
本発明によれば、送信信号の印加完了後の一方の超音波振動子の振動に応じて発生した電位差変動を受信回路で受信し、受信した電位差変動の周波数に基づいて一方の超音波振動子の温度を求めることで、温度センサーを用いずに温度を測定することが可能な超音波流量計を提供することができる。
【０００９】
（２）また本発明に係る超音波流量計では、前記受信回路は、前記一方の超音波振動子との間でカップリング結合を形成する位置に配置され、前記電位差変動は前記カップリング結合により前記受信回路に入力されてもよい。
【００１０】
本発明によれば、一方の超音波振動子の振動に応じて発生した電位差変動を、カップリング結合を利用して受信回路で受信することができる。
【００１１】
（３）また本発明に係る超音波流量計では、前記受信回路は、前記一方の超音波振動子との間で浮遊容量性結合を形成する位置に配置され、前記電位差変動は前記浮遊容量性結合により前記受信回路に入力されてもよい。
【００１２】
本発明によれば、一方の超音波振動子の振動に応じて発生した電位差変動を、浮遊容量性結合を利用して受信回路で受信することができる。
【００１３】
（４）また本発明に係る超音波流量計では、前記受信回路は、前記一方の超音波振動子と接続可能に構成され、前記電位差変動は前記受信回路に直接入力されてもよい。
【００１４】
本発明によれば、一方の超音波振動子の振動に応じて発生した電位差変動を直接受信回路で受信することができる。
【００１５】
（５）また本発明に係る超音波流量計では、前記温度を前記流体の温度Ｔとして測定し、前記温度Ｔに依存する静止流体中の音速Ｃ（Ｔ）に基づいて前記流体の流速を算出してもよい。
【００１６】
本発明によれば、温度センサーを用いずに流体の温度を測定して静止流体中の音速を求め、流体の流速を算出することが可能な超音波流量計を提供することができる。
【００１７】
（６）また本発明に係る超音波流量計では、前記温度を前記流体の温度又は前記流路を形成する配管の温度として測定してもよい。
【００１８】
本発明によれば、温度センサーを用いずに流体の温度又は配管の温度を測定することが可能な超音波流量計を提供することができる。
【００１９】
（７）また本発明に係る超音波流量計では、前記温度を前記流体の温度として測定し、測定した温度に基づいて前記流体の密度又は静止流体中の音速を算出してもよい。
【００２０】
本発明によれば、温度センサーを用いずに流体の温度を測定して流体の密度又は静止流体中の音速を算出することが可能な超音波流量計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施形態の超音波流量計の構成（上流側の超音波振動子を送信側に設定した場合）の一例を示す図である。
【図２】（ａ）は、送信側の超音波振動子に印加する送信信号の一例を示す図、（ｂ）は、（ａ）に示す送信信号の印加完了後に受信回路に入力される電位差変動を示す図である。
【図３】本実施形態の超音波流量計の構成（下流側の超音波振動子を送信側に設定した場合）の一例を示す図である。
【図４】本実施形態の超音波流量計における測定の流れを示すフローチャートである。
【図５】信号印加完了後の超音波振動子の振動により発生した電位差変動を受信回路に直接入力させる手法について説明するための図である。
【図６】信号印加完了後の超音波振動子の振動により発生した電位差変動を受信回路に直接入力させる手法について説明するための図である。
【図７】一対の超音波振動子を流路の一方側に配置した超音波流量計を示す図である。
【図８】一対の超音波振動子を流体の流れに沿った方向で対向配置した超音波流量計を示す図である。
【図９】クランプオン型の超音波流量計（Ｚ字型）を示す図である。
【図１０】クランプオン型の超音波流量計（Ｖ字型）を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本実施形態について説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また本実施形態で説明される構成の全てが、本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２３】
図１は、本実施形態の超音波流量計の構成の一例を示す図である。なお本実施形態の超音波流量計は図１の構成要素（各部）の一部を省略した構成としてもよい。超音波流量計１は、超音波振動子１０（１０ａ、１０ｂ）と、送信回路２０と、受信回路３０と、第１切替部４０と、第２切替部５０と、演算処理部及び記憶部を有する処理部１００とを含む。
【００２４】
超音波振動子１０ａ、１０ｂは、流体（気体又は液体）が流れる流路６０の上流側と下流側に流路６０を挟んで対向配置される一対の振動子である。流路６０の上流側に配置された超音波振動子１０ａと下流側に配置された超音波振動子１０ｂは、流路６０を流れる流体を介して超音波信号を送受信する。
【００２５】
送信回路２０は、処理部１００からの制御信号に基づき送信信号（超音波振動子１０を振動させるための駆動信号）を生成し、生成した送信信号を、一対の超音波振動子１０ａ、１０ｂのうち送信側の振動子に送信（印加）する。
【００２６】
受信回路３０は、一対の超音波振動子１０ａ、１０ｂのうち受信側の振動子からの受信信号（受波信号）をデジタルデータに変換して処理部１００に出力する。受信回路３０は、増幅器、ゲインコントローラ、フィルタ（ローパスフィルタ等）、ＡＤ変換器等を含んで構成される。
【００２７】
第１切替部４０は、処理部１００からの制御信号に基づき、送信回路２０と、超音波振動子１０ａ、１０ｂとの接続を切り替える。第１切替部４０は、第１スイッチ４１と第２スイッチ４２を含んで構成される。第１切替部４０において、送信回路２０と第１スイッチ４１が接続されると、送信回路２０からの送信信号は超音波振動子１０ａに送信される。これにより、上流側の超音波振動子１０ａが送信側に設定される。一方、第１切替部４０において、送信回路２０と第２スイッチ４２が接続されると、送信回路２０からの送信信号は超音波振動子１０ｂに送信される。これにより、下流側の超音波振動子１０ｂが送信側に設定される。
【００２８】
第２切替部５０は、処理部１００からの制御信号に基づき、受信回路３０と、超音波振動子１０ａ、１０ｂとの接続を切り替える。第２切替部５０は、第１スイッチ５１と第２スイッチ５２を含んで構成される。第２切替部５０において、受信回路３０と第１スイッチ５１が接続されると、超音波振動子１０ａからの受信信号が受信回路３０に入力される。これにより、上流側の超音波振動子１０ａが受信側に設定される。一方、第２切替部５０において、受信回路３０と第２スイッチ５２が接続されると、超音波振動子１０ｂからの受信信号が受信回路３０に入力される。これにより、下流側の超音波振動子１０ｂが受信側に設定される。
【００２９】
図１に示す例では、第１切替部４０において送信回路２０と第１スイッチ４１が接続され、第２切替部５０において受信回路３０と第２スイッチ５２が接続されているため、上流側の超音波振動子１０ａが送信側に、下流側の超音波振動子１０ｂが受信側に設定されている。
【００３０】
処理部１００は、制御部１１０と、算出部１２０とを含む。制御部１１０は、送信回路２０を制御するための制御信号を生成して送信回路２０に出力し、送信側の超音波振動子１０に送信信号を印加する制御を行う。また、制御部１１０は、第１切替部４０、第２切替部５０を制御するための制御信号を生成して第１切替部４０、第２切替部５０に出力する。算出部１２０は、後述する手法により求めた静止流体中の音速に基づき、流路６０を流れる流体の流速や流量等を算出する。
【００３１】
図２の（ａ）は、送信側の超音波振動子１０に印加する送信信号の一例を示す図である。図中横軸は時間を示し、縦軸は強度を示す。ここでは、２つのパルスからなる信号を送信信号としている。超音波振動子１０に送信信号を印加すると、送信信号の印加完了後も超音波振動子１０は暫くの間減衰しながら振動し、この振動（余震）により電位差変動（電圧変動）が発生する。
【００３２】
ここで、本実施形態の超音波流量計１では、受信回路３０は、送信側の超音波振動子１０との間で浮遊容量性結合（カップリング結合の一例）を形成する位置に配置されている。すなわち、第１切替部４０及び第２切替部５０により送信回路２０及び受信回路３０と超音波振動子１０ａ、１０ｂとの接続を切り替えるように構成され、更にこれらが隣接して設けられていることで、送信側の超音波振動子１０と受信回路３０との間に浮遊容量性結合が形成される。従って、信号印加完了直後の超音波振動子１０ａの振動に応じて発生した電位差変動は、この浮遊容量性結合により受信回路３０に入力される。
【００３３】
例えば、図１に示すように上流側の超音波振動子１０ａを送信側に、下流側の超音波振動子１０ｂを受信側に設定した場合では、信号印加完了直後の超音波振動子１０ａの振動に応じて発生した電位差変動は、図中Ａで示す位置に形成される浮遊容量性結合（意図せず形成される容量性結合）により、第２切替部５０（第２スイッチ５２）を経由して受信回路３０に入力される。
【００３４】
また、図３に示すように下流側の超音波振動子１０ｂを送信側に、上流側の超音波振動子１０ａを受信側に設定した場合（第１切替部４０において送信回路２０と第２スイッチ４２を接続し、第２切替部５０において受信回路３０と第１スイッチ５１を接続した場合）では、信号印加完了直後の超音波振動子１０ｂの振動に応じて発生した電位差変動は、図中Ｂで示す位置に形成される浮遊容量性結合により、第２切替部５０（第１スイッチ５１）を経由して受信回路３０に入力される。
【００３５】
なお、切替部を備えない構成であっても、送信側の超音波振動子を含む送信回路と受信回路が１枚の基板上に隣接して設けられている場合には、同様に、送信側の超音波振動子と受信回路との間に浮遊容量性結合が形成される。
【００３６】
図２の（ｂ）は、図２の（ａ）に示す送信信号を超音波振動子１０に印加した場合に、印加完了後に受信回路３０に入力される電位差変動を示す図である。図中横軸は時間を示し、縦軸は強度を示す。図２の（ｂ）を見ると、送信信号の印加完了直後に受信回路３０において、減衰しながら変動する電圧の波形が観察されることが分かる。
【００３７】
この電位差変動の周波数は、超音波振動子１０の温度に依存して変化する。そこで、本実施形態の算出部１２０は、受信回路３０に入力された電位差変動の周波数に基づいて、
超音波振動子１０の温度を求める。例えば、振動子の振動による電位差変動の周波数と振動子の温度の関係を規定する既知の関数を用いて温度を求めてもよいし、予め振動子の振動による電位差変動の周波数と振動子の温度の関係を求めてテーブル情報に格納しておき、このテーブル情報を参照して温度を求めてもよい。流体の温度は流体を取り囲む配管や超音波振動子１０に伝播するため、超音波振動子１０の温度は流体の温度Ｔと見做すことができる。
【００３８】
算出部１２０は、求めた流体の温度Ｔに基づいて、温度Ｔに依存する静止流体中の音速Ｃ（Ｔ）を求める。例えば、温度Ｔと音速Ｃ（Ｔ）の関係を規定する既知の関数を用いて音速Ｃ（Ｔ）を求めてもよいし、予め温度Ｔと音速Ｃ（Ｔ）の関係を求めてテーブル情報に格納しておき、このテーブル情報を参照して音速Ｃ（Ｔ）を求めてもよい。例えば、流体を空気とした場合、温度Ｔ［℃］に依存する空気中の音速Ｃ（Ｔ）［ｍ／ｓ］は、次式で表される。
【００３９】
Ｃ（Ｔ）＝３３１．５＋０．６×Ｔ
そして、算出部１２０は、求めた音速Ｃ（Ｔ）に基づいて流体の流速Ｖ［ｍ／ｓ］を算出する。上流側の超音波振動子１０ａを送信側に設定した場合には、以下の式（１）により流速Ｖを算出し、下流側の超音波振動子１０ｂを送信側に設定した場合には、以下の式（２）により流速Ｖを算出する。
【００４０】
【数１】
2018031621.tif 000003
ここで、ｔ１は、上流側の超音波振動子１０ａからの超音波信号が下流側の超音波振動子１０ｂに到達するまでの時間［ｓ］であり、ｔ２は、下流側の超音波振動子１０ｂからの超音波信号が上流側の超音波振動子１０ａに到達するまでの時間［ｓ］であり、Ｌは、超音波信号の伝播距離［ｍ］であり、θは、超音波伝播軸と流路６０の中心軸とがなす角度である。
【００４１】
このように、本実施形態の超音波流量計１によれば、送信信号の印加完了後の超音波振動子１０の振動により発生した電位差変動を、浮遊容量性結合を利用して受信回路３０で受信し、受信した電位差変動の周波数に基づいて超音波振動子１０の温度を求めることで、温度センサーを用いずに、且つ超音波流量計の回路等に何ら変更を加えることなく、流体の温度Ｔを測定することができる。また、温度Ｔに基づき静止流体中の音速Ｃ（Ｔ）を求め、音速Ｃ（Ｔ）に基づき式（１）或いは式（２）により流速Ｖを算出することで、時間ｔ１と時間ｔ２をそれぞれ測定することなく、時間ｔ１と時間ｔ２のいずれか一方を測定するだけで、流速Ｖを算出することができる。
【００４２】
図４は、本実施形態の超音波流量計における測定の流れを示すフローチャートである。まず、制御部１１０は、送信回路２０を制御して、送信側の超音波振動子１０に送信信号を印加させる（ステップＳ１０）。次に、処理部１００は、送信信号の印加完了後の送信側の超音波振動子１０の振動により発生した電位差変動を、受信回路３０を介して取得する（ステップＳ１１）。ここで、処理部１００は、受信側の超音波振動子１０からの受信信号が受信回路３０に入力される前に、当該電位差変動を取得する。次に、処理部１００は、受信側の超音波振動子１０からの受信信号を、受信回路３０を介して取得する（ステ
ップＳ１２）。
【００４３】
次に、算出部１２０は、取得した電位差変動の周波数に基づいて温度Ｔを算出し（ステップＳ１３）、算出した温度Ｔに基づき音速Ｃ（Ｔ）を算出する（ステップＳ１４）。次に、算出部１２０は、送信側の超音波振動子１０に送信信号を印加した時刻と受信側の超音波振動子１０からの受信信号を取得した時刻とに基づき伝播時間ｔ（ｔ１又はｔ２）を算出し、算出した音速Ｃ（Ｔ）、伝播時間ｔ及び伝播距離Ｌに基づいて、式（１）又は式（２）により流速Ｖを算出する（ステップＳ１５）。
【００４４】
なお、算出した流速Ｖに流路６０の断面積を乗じることで、流体の体積流量［ｍ３／ｓ］を求めることができる。また、予め流体の温度と流体の密度ρ［ｋｇ／ｍ３］の関係を求めておけば、算出した温度Ｔに基づき密度ρを求めることができ、算出した体積流量に密度ρを乗じることで、流体の重量流量［ｋｇ／ｓ］を求めることができる。
【００４５】
また、処理部１００は、ステップＳ１３で算出した温度Ｔを、流体の温度或いは流路６０を形成する配管の温度として表示部等に出力してもよい。
【００４６】
上記例では、信号印加完了後の超音波振動子１０の振動により発生した電位差変動が、浮遊容量性結合により受信回路３０に入力される場合について説明したが、当該電位差変動が、機械的な結合（例えば、振動）を介して受信回路３０に入力されるように構成してもよい。
【００４７】
また、第２切替部５０により送信側の超音波振動子１０と受信回路３０を一時的に接続することで、当該電位差変動が受信回路３０に直接入力されるように構成してもよい。
【００４８】
例えば、上流側の超音波振動子１０ａを送信側とする場合には、送信信号の印加時に、図５に示すように第２切替部５０において受信回路３０と第１スイッチ５１を接続することで、信号印加完了後の超音波振動子１０ａの振動により発生した電位差変動が第１スイッチ５１を介して受信回路３０に入力するようにし、その後、時間ｔ１が経過する前に、図１に示すように第２切替部５０において受信回路３０と第２スイッチ５２を接続することで、超音波振動子１０ｂからの受信信号が第２スイッチ５２を介して受信回路３０に入力するようにすることができる。
【００４９】
また、下流側の超音波振動子１０ｂを送信側とする場合には、送信信号の印加時に、図６に示すように第２切替部５０において受信回路３０と第２スイッチ５２を接続することで、信号印加完了後の超音波振動子１０ｂの振動により発生した電位差変動が第２スイッチ５２を介して受信回路３０に入力するようにし、その後、時間ｔ２が経過する前に、図３に示すように第２切替部５０において受信回路３０と第１スイッチ５１を接続することで、超音波振動子１０ａからの受信信号が第１スイッチ５１を介して受信回路３０に入力するようにすることができる。
【００５０】
また、上記例では、本発明を、一対の超音波振動子１０を流路６０を挟んで対向配置した超音波流量計（Ｚ字型）に適用した場合について説明したが、本発明はそれに限られない。例えば、本発明は、図７に示すような、一対の超音波振動子１０を流路６０の一方側に配置した超音波流量計（Ｖ字型）に適用することもできる。この場合、上流側の超音波振動子１０ａを送信側に設定した場合には、以下の式（３）により流速Ｖを算出し、下流側の超音波振動子１０ｂを送信側に設定した場合には、以下の式（４）により流速Ｖを算出する。
【００５１】
【数２】
2018031621.tif 000004
ここで、Ｌ１は、超音波振動子１０からの超音波信号が流路６０の反対側の壁に当たるまでの伝播距離（超音波信号の伝播距離の半分）であり、θ１は、超音波信号の流体への入射角である。
【００５２】
また、本発明は、図８に示すような、一対の超音波振動子１０を流体の流れに沿った方向で対向するように配置した超音波流量計に適用することもできる。この場合、上流側の超音波振動子１０ａを送信側に設定した場合には、以下の式（５）により流速Ｖを算出し、下流側の超音波振動子１０ｂを送信側に設定した場合には、以下の式（６）により流速Ｖを算出する。
【００５３】
【数３】
2018031621.tif 000005
また、本発明は、図９、図１０に示すような、クランプオン型の超音波流量計に適用することもできる。
【００５４】
図９に示すＺ字型の超音波流量計では、上流側の超音波振動子１０ａを送信側に設定した場合には、式（１）により流速Ｖを算出し、下流側の超音波振動子１０ｂを送信側に設定した場合には、式（２）により流速Ｖを算出する。但し、Ｌを、超音波信号が流体中を伝播する距離とし、ｔ１を、上流側の超音波振動子１０ａからの超音波信号が流体に入ってから出るまでの時間とし、ｔ２を、下流側の超音波振動子１０ｂからの超音波信号が流体に入ってから出るまでの時間とする。
【００５５】
また、図１０に示すＶ字型の超音波流量計では、上流側の超音波振動子１０ａを送信側に設定した場合には、式（３）により流速Ｖを算出し、下流側の超音波振動子１０ｂを送信側に設定した場合には、式（４）により流速Ｖを算出する。但し、Ｌ１を、超音波振動子１０からの超音波信号が流体に入ってから流路６０の反対側の壁に当たるまでの伝播距離とし、ｔ１を、上流側の超音波振動子１０ａからの超音波信号が流体に入ってから出るまでの時間とし、ｔ２を、下流側の超音波振動子１０ｂからの超音波信号が流体に入ってから出るまでの時間とする。
【００５６】
以上、本実施形態あるいは変形例について説明したが、本発明はこれら本実施形態あるいは変形例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
【００５７】
本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形
態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【００５８】
１  超音波流量計、１０  超音波振動子、２０  送信回路、３０  受信回路、４０  第１切替部、４１  第１スイッチ、４２  第２スイッチ、５０  第２切替部、５１  第１スイッチ、５２  第２スイッチ、６０  流路、１００  処理部、１１０  制御部、１２０  算出部
【図１】
2018031621.tif 000006
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018031621.tif 000012
【図８】
2018031621.tif 000013
【図９】
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【図１０】
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