(57)【要約】【課題】刃先部を保護することができると共に、対象物にかかるストレスを抑制しながら対象物を切断すること。【解決手段】Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＭｏを含むＣｏ−Ｎｉ基合金から形成され、片持ち状に支持されるナイフ基端部１０からナイフ先端部１１に向けて一方向に延在したナイフ部２を備え、ナイフ部には、対象物としての生体試料Ｃに接触する刃先部１２と、刃先部に対して対向配置された峰部１３とが全長に亘って形成され、峰部におけるナイフ厚Ｔは３０μｍ以下とされ、ナイフ部が峰部から刃先部に向かうにしたがってナイフ厚が漸次薄くなるように形成されている、ナイフ１を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＭｏを含むＣｏ−Ｎｉ基合金から形成され、片持ち状に支持されるナイフ基端部からナイフ先端部に向けて一方向に延在したナイフ部を備え、
前記ナイフ部には、対象物に接触する刃先部と、前記刃先部に対して対向配置された峰部と、が全長に亘って形成され、
前記峰部におけるナイフ厚は、３０μｍ以下とされ、
前記ナイフ部は、前記峰部から前記刃先部に向かうにしたがってナイフ厚が漸次薄くなるように形成されている、ナイフ。
【請求項２】
請求項１に記載のナイフにおいて、
前記刃先部におけるナイフ厚は１００ｎｍ以下である、ナイフ。
【請求項３】
請求項１に記載のナイフにおいて、
前記ナイフ部のナイフ長は５０μｍ以下であり、
前記ナイフ基端部におけるナイフ幅は２０μｍ以下であり、
前記峰部におけるナイフ厚は１０μｍ以下であり、
前記刃先部におけるナイフ厚は１００ｎｍ以下である、ナイフ。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のナイフにおいて、
前記ナイフ部は、
前記ナイフ基端部から前記ナイフ先端部に向かうにしたがって、ナイフ厚、及び前記峰部から前記刃先部までのナイフ幅がそれぞれ漸次小さくなるように形成されている、ナイフ。
【請求項５】
請求項４に記載のナイフにおいて、
前記ナイフ部は、
前記ナイフ先端部側に位置し、前記峰部に対して前記刃先部が第１傾斜角度で傾斜した尖端部と、
前記尖端部と前記ナイフ基端部との間に位置した状態で前記尖端部に連設され、前記峰部に対して前記刃先部が第２傾斜角度で傾斜したナイフ本体部と、を備え、
前記第１傾斜角度は前記第２傾斜角度よりも大きい、ナイフ。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のナイフにおいて、
前記峰部には、外部から照射された検出光を反射させると共に、前記ナイフ部の変形に応じて異なる方向を向く反射面が形成されている、ナイフ。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載のナイフにおいて、
基端部から先端部に向けて前記ナイフ部の延在方向に延びるように形成され、前記基端部が片持ち状に保持される保持部材を備え、
前記ナイフ部は、前記先端部に前記ナイフ基端部が取り付けられることで前記保持部材に装着され、
前記保持部材は透明材料で形成されている、ナイフ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナイフに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に生物学の分野では、人体、動物或いは植物等から得られた生体試料、例えば生体組織や細胞等を検査、研究するために、微細且つ鋭利なナイフを利用して生体試料等の対象物を切断する場合がある。
この種のナイフとして、研磨等の機械加工によって刃先を鋭利に仕上げた金属ナイフが知られている。しかしながら、金属ナイフは機械加工によって刃先を鋭利に仕上げているだけであるので、可能な限り鋭利に仕上げたとしても機械加工上の限界があり、刃先の厚みが１ｍｍ前後になり易い。そのため、金属ナイフを利用して、例えば直径が数十μｍ〜数百μｍの細胞を切断する場合には、刃先で細胞を押し潰しながらの切断になり易く、細胞にストレスを与えてしまう。
【０００３】
しかしながら細胞にストレスを与えることは好ましくない。例えば、人工授精やクローン技術、或いは再生医療分野での検査、研究においては、細胞にかかるストレスを軽減することが望まれている。従来の金属ナイフでは、このような要望に応えることが難しい。
【０００４】
そこで、金属ナイフよりもさらに厚みが薄いナイフとして、例えば厚みが１０μｍの固体薄膜からなるブレードを有するマイクロナイフ（特許文献１参照）や、厚みが３０μｍの切断刃を有するマイクロナイフ（特許文献２参照）が知られている。
さらに、生体試料を切断する他のナイフとして、例えば切断方向とは異なる方向に振動する振動ナイフ（特許文献３参照）や、切断方向に振動するマイクロナイフ（特許文献４参照）も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１３８４９４号公報
【特許文献２】特開２００８−２８６５２８号公報
【特許文献３】特開２００４−３０５４４１号公報
【特許文献４】特開２０１０−２６１７５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、細胞に代表されるように生体試料は柔軟性を有しているので、ナイフによる切断時、ナイフの押し付けに倣って生体試料が部分的に凹むように変形し易い。そのため、上記従来の厚みが薄いマイクロナイフを利用して生体試料を切断する場合であっても、刃先を介して生体試料を基板（例えばスライドプレートやシャーレの底板等）に対して押し付けるようにしながら、切断を行わざるを得ない場合がある。
【０００７】
しかしながらこの場合には、例えば生体試料内に刃先を入り込ませたときに、刃先が基板に対して強く押し当たるように接触し易かった。そのため、刃先に変形、ひび割れや欠損等の不具合が生じる場合があり、改善の余地があった。特に、ナイフの厚みが薄くなるほど、刃先に不具合が生じ易くなってしまう。
【０００８】
一方、上記従来の振動を利用して生体試料を切断するナイフの場合には、切断時に生体試料に振動を伝えてしまうので、ストレスを与え易いものであった。
【０００９】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、刃先部を保護することができると共に、生体試料等の対象物にかかるストレスを抑制しながら対象物を切断することができる、ナイフを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明に係るナイフは、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＭｏを含むＣｏ−Ｎｉ基合金から形成され、片持ち状に支持されるナイフ基端部からナイフ先端部に向けて一方向に延在したナイフ部を備え、前記ナイフ部には、対象物に接触する刃先部と、前記刃先部に対して対向配置された峰部と、が全長に亘って形成され、前記峰部におけるナイフ厚は、３０μｍ以下とされ、前記ナイフ部は、前記峰部から前記刃先部に向かうにしたがってナイフ厚が漸次薄くなるように形成されている。
【００１１】
本発明に係るナイフによれば、ナイフ部が峰部から刃先部に向かうにしたがってナイフ厚（厚み）が漸次薄くなるように形成されているので、ナイフ部の全長に亘って形成された刃先部を先鋭化させることができる。しかも、峰部におけるナイフ厚が３０μｍ以下とされているので、刃先部におけるナイフ厚をさらに薄くすることができ、例えば数百ｎｍ〜数μｍの極薄にすることができる。これにより、直径が数μｍ〜数百μｍの細胞等の対象物を、押し潰すことなく切断することができる。従って、対象物にかかるストレスを抑制しながら対象物を切断することができる。
【００１２】
特に、ナイフ部は高強度、高耐蝕性、高耐熱性、非磁性であるうえ、さらに高弾性であるＣｏ−Ｎｉ基合金から形成されている。
従って、Ｃｏ−Ｎｉ基合金が高強度材料であるという観点から、対象物を切断する際に、ナイフ部の刃先部が例えば対象物が載置されている基板に対して強く押し当たるように接触したとしても、極薄の刃先部に変形、ひび割れや欠損等の不具合が生じ難い。
【００１３】
しかもＣｏ−Ｎｉ基合金が高弾性材料であるという観点から、ナイフ部の刃先部が支持板に対して接触した際、片持ち状に支持されているナイフ部の全体を、ナイフ幅方向に反るように（湾曲するように）弾性変形させることができる。従って、刃先部が基板に対して接触した際に、基板から刃先部に伝わる反力を吸収することができる。そのため、極薄の刃先部に上記不具合が発生することを効果的に抑制することができる。その結果、刃先部を保護しながら対象物の切断を行うことができる。
なお、刃先部を基板から離間させることで、ナイフ部は弾性復元変形して元の状態に復帰する。
【００１４】
（２）前記刃先部におけるナイフ厚は１００ｎｍ以下であっても良い。
【００１５】
（３）前記ナイフ部のナイフ長は５０μｍ以下であり、前記ナイフ基端部におけるナイフ幅は２０μｍ以下であり、前記峰部におけるナイフ厚は１０μｍ以下であり、前記刃先部におけるナイフ厚は１００ｎｍ以下であっても良い。
【００１６】
この場合には、対象物に対して刃先部を抵抗少なく進入させることができるうえ、対象物に対する刃先部の接触面積を抑制できるので、対象物にかかるストレスをさらに抑制しながら対象物を切断することができる。また、切断時に、対象物が刃先部に付着し難くなるので、切断した対象物を刃先部に付着させたまま引きずることを防止できる。このことによっても、対象物にストレスを与え難くすることができる。
【００１７】
（４）前記ナイフ部は、前記ナイフ基端部から前記ナイフ先端部に向かうにしたがって、ナイフ厚、及び前記峰部から前記刃先部までのナイフ幅がそれぞれ漸次小さくなるように形成されても良い。
【００１８】
この場合には、ナイフ部の形状を、刃先部を対象物側に向けた三角錐状にすることができる。従って、ナイフ部の延在方向に直交するナイフ部の断面積は、片持ち支持されるナイフ基端部側で最も大きく、自由端となるナイフ先端部に向かうにしたがって徐々に小さくなる。これにより、ナイフ部をより弾性変形させ易くすることができ、ナイフ部の刃先部が基板に対して強く押し当たった場合であっても、刃先部に不具合がさらに生じ難くなる。
【００１９】
（５）前記ナイフ部は、前記ナイフ先端部側に位置し、前記峰部に対して前記刃先部が第１傾斜角度で傾斜した尖端部と、前記尖端部と前記ナイフ基端部との間に位置した状態で前記尖端部に連設され、前記峰部に対して前記刃先部が第２傾斜角度で傾斜したナイフ本体部と、を備え、前記第１傾斜角度は前記第２傾斜角度よりも大きくても良い。
【００２０】
この場合には、峰部に対する刃先部の傾斜角度を、ナイフ先端部側の尖端部において大きくすることができる。そのため、例えば基板に対してナイフ部を斜めに傾けながら、主にナイフ先端部側の刃先部を利用して対象物を切断する際、基板に対して尖端部の刃先部を突き立てるのではなく、平行な状態に近づけるように配置させることができる。従って、変形や欠損等が生じ易いナイフ部の最先端部分（切先）を保護することができる。
【００２１】
（６）前記峰部には、外部から照射された検出光を反射させると共に、前記ナイフ部の変形に応じて異なる方向を向く反射面が形成されても良い。
【００２２】
この場合には、ナイフ部の弾性変形に応じて反射面が異なる方向を向くので、反射面で反射された検出光に基づいて、ナイフ部の弾性変形状態を把握することができる。従って、ナイフ部の状態をより正確に把握しながら対象物の切断を行うことができる。
【００２３】
（７）基端部から先端部に向けて前記ナイフ部の延在方向に延びるように形成され、前記基端部が片持ち状に保持される保持部材を備え、前記ナイフ部は、前記先端部に前記ナイフ基端部が取り付けられることで前記保持部材に装着され、前記保持部材は透明材料で形成されても良い。
【００２４】
この場合には、保持部材を利用してナイフ部をより安定して保持できるので、対象物の切断を安定的に行える。また、例えばマニピュレータ装置等で保持部材を保持することで、ナイフ部を操作できるので、より微細且つ正確な切断作業を行える。しかも、保持部材は透明であるので、保持部材に影響されることなくナイフ部を確認することができる。よって、対象物の所望する位置にナイフ部を正確にアプローチさせることができる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係るナイフによれば、刃先部を保護することができると共に、生体試料等の対象物にかかるストレスを抑制しながら対象物を切断することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係るナイフの第１実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すナイフ先端部周辺を拡大した上面図である。
【図３】図２に示すナイフ先端部周辺の側面図である。
【図４】図１に示すナイフの作製に使用するＦＩＢ加工装置の一例を示す構成図である。
【図５】図１に示すナイフを作製する際の一工程図であって、Ｃｏ−Ｎｉ基合金の板部材の一部をＦＩＢ加工した状態を示す斜視図である。
【図６】図５に示す状態から板部材をさらにＦＩＢ加工した状態を示す斜視図である。
【図７】図６に示す状態から板部材をさらにＦＩＢ加工して三角錐状に形成した状態を示す斜視図である。
【図８】図７に示す状態から三角錐状に形成された部分の先端部をさらにＦＩＢ加工して、斜めにカットした状態を示す斜視図である。
【図９】図８に示す三角錐状の先端部周辺の上面図である。
【図１０】図９に示す三角錐状の先端部周辺の側面図である。
【図１１】ナイフ部と保持部材とをデポジション膜を利用して固定している状態を示す斜視図である。
【図１２】図１に示すナイフを利用して細胞を切断している状態を示す側面図である。
【図１３】図１２に示すナイフ先端部周辺を拡大した側面図である。
【図１４】図１３に示すＡ−Ａ線に沿ったナイフ部の断面図である。
【図１５】本発明に係るナイフの第２実施形態を示す図であって、ナイフを具備するマニピュレータシステムの構成図である。
【図１６】図１に示すナイフの変形例を示す斜視図である。
【図１７】図１に示すナイフの別の変形例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
（第１実施形態）
以下、本発明に係るナイフの第１実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、切断する対象物として生体試料（細胞）を例に挙げて説明する。即ち、本実施形態では、ナイフを生体試料用ナイフとして用いている。なお、各図面では、図面を見易くして発明の理解を助けるために、各構成部品の縮尺を適宜変更している。
【００２８】
図１〜３に示すように、本実施形態の生体試料用ナイフ１は、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＭｏを含むＣｏ−Ｎｉ基合金から形成されたナイフ部２と、ナイフ部２が取り付けられた保持部材３と、を備えている。
ナイフ部２は、ナイフ基端部１０からナイフ先端部１１に向けてナイフ軸Ｏに沿って一方向に延在するように形成され、ナイフ基端部１０を介して保持部材３の先端部３ａに取り付けられている。これにより、ナイフ部２は、ナイフ先端部１１が自由端となるように、ナイフ基端部１０が片持ち状に支持された状態で保持部材３に固定されている。
【００２９】
なお、ナイフ部２は、ＦＩＢの照射によって後述する化合物ガス（原料ガス）Ｇが分解されることで生じるデポジション膜Ｄによって、保持部材３の先端部３ａに固定されている。これについては後に説明する。
但し、ナイフ部２の固定はデポジション膜Ｄに限定されるものではなく、例えば接着や溶着等、他の固着方法で固定しても構わないし、係止等の嵌め合いを利用して固定しても構わない。
【００３０】
ナイフ部２には、細胞Ｃに接触する刃先部１２と、刃先部１２に対して対向するように配置された峰部（ナイフ部２の背の部分）１３と、が全長に亘って形成されている。
なお、本実施形態では、峰部１３から刃先部１２に向かう方向を下方といい、その逆方向を上方という。よって、刃先部１２は下方を向き、峰部１３は上方を向いている。また、ナイフ軸Ｏに沿った長さをナイフ長Ｌといい、上下方向に沿った長さをナイフ幅（ナイフ高さ）Ｗといい、ナイフ軸Ｏ及び上下方向に直交する左右方向に沿った長さをナイフ厚Ｔという。
【００３１】
ナイフ部２は、その全長に亘って、峰部１３から刃先部１２に向かうにしたがってナイフ厚Ｔが漸次薄くなるように形成されている。これにより、刃先部１２は、ナイフ部２の最先端（切先）Ｐからナイフ基端部１０に至るまで連続して直線状に延びた鋭利なエッジとされている。
【００３２】
またナイフ部２は、ナイフ基端部１０からナイフ先端部１１に向かうにしたがって、ナイフ厚Ｔ、及び峰部１３から刃先部１２までのナイフ幅Ｗがそれぞれ漸次小さくなるように形成されている。これにより、ナイフ部２は、ナイフ基端部１０からナイフ先端部１１に向かって延びると共に、刃先部１２を細胞Ｃ側に向けた三角錐状に形成されている。
従って、ナイフ軸Ｏ（ナイフ部２の延在方向）に直交する断面積は、片持ち支持されるナイフ基端部１０側で最も大きく、自由端となるナイフ先端部１１に向かうにしたがって徐々に小さくなっている。
【００３３】
さらにナイフ部２は、ナイフ先端部１１側に位置し、最先端Ｐに繋がる尖端部１４と、尖端部１４とナイフ基端部１０との間に位置した状態で尖端部１４に連設されたナイフ本体部１５と、を備えている。尖端部１４とナイフ本体部１５とでは、峰部１３に対する刃先部１２の傾斜角度が異なっている。
【００３４】
具体的には、図３に示すように、尖端部１４においては、刃先部１２は峰部１３に対して第１傾斜角度θ１で傾斜している。ナイフ本体部１５においては、刃先部１２は峰部１３に対して第２傾斜角度θ２で形成している。そして、第１傾斜角度θ１は、第２傾斜角度θ２よりも若干大きい角度とされている。
このように、ナイフ部２は、ナイフ基端部１０から最先端Ｐに至るまで、峰部１３に対する刃先部１２の傾斜角度が一定ではなく、最先端Ｐに近い尖端部１４において傾斜角度が若干大きくなるように形成されている。
【００３５】
なおナイフ部２は、上述した傾斜角度に関連して、ナイフ基端部１０から最先端Ｐに至るまで、峰部１３の一方のエッジ（側縁部）と他方のエッジ（側縁部）とのなす角度が一定ではなく、尖端部１４において若干大きくなるように形成されている。
具体的には、図２に示すように峰部１３の平面視で、ナイフ本体部１５においては、峰部１３の一方のエッジ他方のエッジとのなす角度が角度θ３とされ、尖端部１４においては、峰部１３の一方のエッジ他方のエッジとのなす角度が角度θ３よりも大きい角度θ４とされている。
このように、ナイフ先端部１１側に、最先端Ｐに繋がる尖端部１４を形成することにより、尖端部１４を形成しない場合（すなわち、図２及び図３において点線で示される形状）と比較して、ナイフ部２の耐久性を向上させることが可能になる。
【００３６】
但し、ナイフ部２の形状は上述した場合に限られるものではなく、例えば尖端部１４が形成されていない形状であってもよい。特に刃先部１２のみを用いて対象物を切断可能であれば、尖端部１４を設けない形状であってもよい。この場合は、ナイフ部２の加工工程を減らすことができるので、例えば製造コストの低減を図ることができる。
【００３７】
上述のように構成されたナイフ部２の具体的なサイズを説明する。
ナイフ長Ｌとしては、例えば２００μｍ以下とされ、好ましくは５０μｍ以下とされている。ナイフ基端部１０におけるナイフ幅Ｗとしては、例えば１００μｍ以下とされ、好ましくは２０μｍとされている。峰部１３におけるナイフ厚Ｔとしては、例えば３０μｍ以下とされ、好ましくは１０μｍ以下とされている。刃先部１２におけるナイフ厚Ｔとしては、例えば１００ｎｍ以下とされている。
【００３８】
また、ナイフ部２を構成する金属材料、すなわちＣｏ、Ｎｉ、Ｃｒ及びＭｏを含むＣｏ−Ｎｉ基合金の具体的な組成を説明する。
Ｃｏ−Ｎｉ基合金としては、組成が質量比で、Ｃｏ：２８〜４２％、Ｃｒ：１０〜２７％、Ｍｏ：３〜１２％、Ｎｉ：１５〜４０％、Ｔｉ：０．１〜１％、Ｍｎ：１．５％以下、Ｆｅ：０．１〜２６％、Ｃ：０．１％以下、Ｎｂ：３％以下を含み、残部不可避不純物からなる組成であることが好ましい。
より好ましくは、上記組成に加え、Ｗ：５％以下、Ａｌ：０．５％以下、Ｚｒ：０．１％以下、Ｂ：０．０１％以下からなる群より選択される少なくとも１種を含むことが良い。これらの組成範囲を限定した理由を以下に簡単に説明する。
【００３９】
Ｃｏはそれ自体加工硬化能が大きく、切り欠け脆さを減じ、疲労強度を高め、高温強度を高める効果を有するが、２８％未満ではその効果が弱く、４２％を超えるとマトリクスが硬くなり過ぎて加工困難となると共に面心立方格子相が最密六方格子相に対して不安定になる。従って、Ｃｏの質量比は２８〜４２％が好ましい。
Ｃｒは耐食性を確保するのに不可欠な成分であり、またマトリクスを強化する効果を有するが、１０％未満では優れた耐食性を得る効果が弱く、２７％を超えると加工性及び靱性が急激に低下する。従ってＣｒの質量比は１０〜２７％が好ましい。
【００４０】
Ｍｏはマトリクスに固溶してこれを強化する効果、加工硬化能を増大させる効果、及びＣｒとの共存において耐食性を高める効果を有するが、３％未満では所望する効果が得られず、１２％を超えると加工性が急激に低下するうえ、脆いσ相が生成し易い。従って、Ｍｏの質量比は３〜１２％が好ましい。
Ｎｉは面心立方格子相を安定化し、加工性を維持し、耐食性を高める効果を有するが、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｆｅの組成範囲において、Ｎｉが１５％未満では安定した面心立方格子相を得ることが困難であり、４０％を超えると機械的強度が低下する。従って、Ｎｉの質量比は１５〜４０％が好ましい。
【００４１】
Ｔｉは強い脱酸、脱窒、脱硫の効果、及び鋳塊組織の微細化の効果を有するが、０．１％未満ではその効果が弱く、１％を超えると合金中に介在物が増える、或いはη相（Ｎｉ３Ｔｉ）が析出して靱性が低下する。従って、Ｔｉの質量比は０．１〜１％が好ましい。
Ｍｎは脱酸、脱硫の効果、及び面心立方格子相を安定化する効果を有するが、多過ぎると耐食性、耐酸化性を劣化させる。従って、Ｍｎの質量比は１．５％以下が好ましい。
【００４２】
Ｆｅは、多過ぎると耐酸化性が低下するが、耐酸化性よりも、マトリクスに固溶してこれを強化する効果を重視することを考慮すると、質量比は０．１〜２６％が好ましい。
Ｃはマトリクスに固溶するほか、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｗ等と炭化物を形成し、結晶粒の粗大化の防止効果を有するが、多過ぎると靭性の低下、耐食性の劣化等が生じる。従って、Ｃの質量比は０．１％以下が好ましい。
【００４３】
Ｎｂはマトリクスに固溶してこれを強化し、加工硬化能を増大させる効果を有するが、３％を超えるとσ相やδ相（Ｎｉ３Ｎｂ）が析出して靭性が低下することから、Ｎｂを含有させる場合は質量比を３％以下とすることが好ましい。
Ｗは、マトリクスに固溶してこれを強化し、加工硬化能を著しく増大させる効果を有するが、５％を超えるとσ相を析出して靭性が低下することから、Ｗを含有させる場合は質量比を５％以下とすることが好ましい。
【００４４】
Ａｌは、脱酸、及び耐酸化性を向上させる効果を有するが、多過ぎると耐食性の劣化等が生じるため、Ａｌを含有させる場合は質量比を０．５％以下とすることが好ましい。
Ｚｒは、高温での結晶粒界強度を上げて、熱間加工性を向上させる効果を有するが、多過ぎると逆に加工性が悪くなるため、Ｚｒを含有させる場合は質量比を０．１％以下とすることが好ましい。
Ｂは、熱間加工性を改善する効果があるが、多過ぎると逆に熱間加工性が低下し割れ易くなるため、Ｂを含有させる場合は０．０１％以下とすることが好ましい。
【００４５】
さらに、Ｆｅの質量比を０．１〜３％としたうえで、Ｎｂ：３％以下を含むことがより好ましい。
すなわち、組成が質量比で、Ｃｏ：２８〜４２％、Ｃｒ：１０〜２７％、Ｍｏ：３〜１２％、Ｎｉ：１５〜４０％、Ｔｉ：０．１〜１％、Ｍｎ：１．５％以下、Ｆｅ：０．１〜３％、Ｃ：０．１％以下、Ｎｂ：３％以下、及び残部不可避不純物よりなるＣｏ−Ｎｉ基合金がより好ましい。
このような組成のＣｏ−Ｎｉ基合金では、Ｆｅの上限を３％とすることにより、耐酸化性が低下することをより効果的に防ぐことができる。
【００４６】
上述の組成からなるＣｏ−Ｎｉ基合金は、高強度、高耐蝕性、高耐熱性、非磁性であるうえ、高弾性で且つ塑性加工性に優れている。特に、このＣｏ−Ｎｉ基合金は、高い加工硬化性能を有し、冷間で塑性変形を施した後に、高温領域（例えば４００℃〜８００℃）で時効熱処理を施すことにより、ひずみ時効硬化により強化される時効硬化型合金とされている。
【００４７】
本実施形態では、冷間加工として、後述するＦＩＢ加工によりナイフ部２を加工し、その後、時効熱処理を施している。これにより、ナイフ部２は、例えばヤング率（縦弾性係数）として２００〜２４０Ｇｐａ、剛性率（剪断弾性係数或いは横弾性係数）として８０〜８５ＧＰａの特性を具備している。
このように、ナイフ部２は、高いヤング率及び剛性率を具備しているので、ナイフ軸Ｏ方向に高い機械的強度を有しながら、ナイフ幅Ｗ方向（上下方向）への弾性変形が可能とされている。
【００４８】
図１に示すように、保持部材３は、ナイフ軸Ｏに沿って基端部３ｂから先端部３ａに向けて延びるように形成されている。図示の例では、保持部材３は透明なガラス製の円柱状に形成されている。ただし、保持部材３は、円柱状に限定されるものではないし、ガラス製に限定されるものでもない。
【００４９】
保持部材３は、基端部３ｂが例えばマニピュレータアーム等によって片持ち状に保持されることで、例えば３次元的に操作される。そして、保持部材３の先端部３ａに、先に述べたようにナイフ部２のナイフ基端部１０がデポジション膜Ｄを介して固定されている。
【００５０】
（生体試料用ナイフの作製）
次に、上述のように構成された生体試料用ナイフ１を作製する場合について、簡単に説明する。
本実施形態では、図４に示すように、ＦＩＢ（集束イオンビーム）及びＥＢ（電子ビーム）の２つの荷電粒子ビームを照射可能なＦＩＢ加工装置２０を利用する場合を例に挙げて説明する。
【００５１】
まずＦＩＢ加工装置２０について簡単に説明する。
ＦＩＢ加工装置２０は、Ｃｏ−Ｎｉ基合金の板部材２１を挟持可能な第１ピンセット２２と、保持部材３を挟持可能な第２ピンセット２３と、ＦＩＢ及びＥＢを照射する照射機構２４と、ＦＩＢ或いはＥＢの照射によって発生した二次荷電粒子Ｅを検出する検出器２５と、デポジション膜Ｄを形成するための化合物ガスＧを供給するガス銃２６と、検出された二次荷電粒子Ｅに基づいて画像データを生成すると共に該画像データを表示部２７に表示させる制御部２８と、真空チャンバ２９と、を備えている。
【００５２】
上記板部材２１は、峰部１３のナイフ厚Ｔに相当する板厚、ナイフ長Ｌを超える長さ、及びナイフ基端部１０のナイフ幅Ｗに相当する幅のサイズに形成されたＣｏ−Ｎｉ基合金の平板部材である。
【００５３】
第１ピンセット２２及び第２ピンセット２３は、ピンセット部３０と、ピンセット部３０を例えば５軸に変位（水平面に平行で且つ互いに直交するＸ軸及びＹ軸への移動、Ｘ軸及びＹ軸に直交するＺ軸への移動、Ｘ軸又はＹ軸回りのチルト回転、及びＺ軸回りのローテーション回転）させる変位機構３１と、をそれぞれ備え、真空チャンバ２９内に配置されている。
第１ピンセット２２は、ピンセット部３０で板部材２１を挟持することで板部材２１を安定的に保持している。第２ピンセット２３は、ピンセット部３０で保持部材３を挟持することで保持部材３を安定的に保持している。
【００５４】
照射機構２４は、第１ピンセット２２及び第２ピンセット２３の上方に配置されており、例えばＺ軸に平行にＦＩＢを照射するＦＩＢ鏡筒３５と、Ｚ軸に対して斜めにＥＢを照射するＳＥＭ鏡筒３６と、を備えている。
ＦＩＢ鏡筒３５は、イオン発生源３５ａ及びイオン光学系３５ｂを有しており、イオン発生源３５ａで発生したイオンをイオン光学系３５ｂで細く絞ってＦＩＢにした後、真空チャンバ２９内において板部材２１や保持部材３に向けてＦＩＢを照射することが可能とされている。
ＳＥＭ鏡筒３６は、電子発生源３６ａ及び電子光学系３６ｂを有しており、電子発生源３６ａで発生した電子を電子光学系３６ｂで細く絞ってＥＢにした後、真空チャンバ２９内において板部材２１や保持部材３に向けてＥＢを照射することが可能とされている。
【００５５】
検出器２５は、ＦＩＢ或いはＥＢが照射された際に、板部材２１や保持部材３から発生した二次電子や二次イオン等の二次荷電粒子Ｅを検出して制御部２８に出力している。ガス銃２６は、デポジション膜Ｄの原料となる物質（例えば、フェナントレン、プラチナ、カーボンやタングステン等）を含有した化合物ガス（原料ガス）Ｇを放出する。
なお、化合物ガスＧは、二次荷電粒子Ｅによって分解され、気体成分と固体成分とに分離する。そして、分離した固体成分が堆積することでデポジション膜Ｄとなる。
【００５６】
制御部２８は、上述した各構成品を総合的に制御していると共に、ＦＩＢ鏡筒３５及びＳＥＭ鏡筒３６の加速電圧やビーム電流を変化させるように制御している。特に、制御部２８は、ＦＩＢ鏡筒３５の加速電圧やビーム量を変化させることで、ＦＩＢのビーム径を自在に調整可能とされている。これにより、観察画像を取得するだけでなく、例えば板部材２１を局所的にエッチング加工（ＦＩＢ加工）することが可能とされている。
【００５７】
また、制御部２８は、検出器２５で検出された二次荷電粒子Ｅを、例えば輝度信号に変換して観察画像データを生成した後、該観察画像データに基づいて表示部２７に観察画像を出力させている。これにより、表示部２７は観察画像を表示する。
制御部２８には、オペレータが入力可能な入力部３７が接続されている。これにより、制御部２８は入力部３７によって入力された信号に基づいて各構成品を制御している。つまり、オペレータは、入力部３７を介して所望する領域にＦＩＢやＥＢを照射して観察することや、所望する領域にＦＩＢを照射してエッチング加工を行うことや、所望する領域に化合物ガスＧを供給しながらＦＩＢを照射してデポジション膜Ｄを堆積させることができる。
【００５８】
次に、ＦＩＢ加工装置２０を利用した生体試料用ナイフ１の作製について説明する。
図５に示すように、第１ピンセット２２で板部材２１の一端部を保持した後、適宜板部材２１の姿勢を変化させながらＦＩＢを照射して、上面から下面に向かうにしたがって板厚が漸次薄くなるように板部材２１を連続的にエッチング加工する。これにより、板部材２１に峰部１３及び刃先部１２を形成することができる。
なお、板部材２１のうち、第１ピンセット２２で保持された一端部側は、ＦＩＢを照射しない土台部２１ａとして機能する。
【００５９】
次いで、板部材２１の姿勢を変化させながらさらにＦＩＢを照射して、図６に示すように、板部材２１の土台部２１ａ側から、板部材２１の他端部側に向かうにしたがって板厚が漸次薄くなるように連続的にエッチング加工する。
次いで、板部材２１の姿勢を変化させながらさらにＦＩＢを照射して、図７に示すように、板部材２１の土台部２１ａ側から、板部材２１の他端部側に向かうにしたがって板厚が漸次小さくなるように連続的にエッチング加工する。これにより、三角錐状に加工することができる。
【００６０】
次いで、図８に示すように、三角錐状に形成された部分の先端部分にＦＩＢを照射して、峰部１３の平面視で、その先端部分を、図８に示す切断面Ｆに沿って斜めにカットするようにエッチング加工する。これにより、図９及び図１０に示すように、峰部１３に対して刃先部１２が第１傾斜角度θ１で傾斜した尖端部１４を形成することができる。
【００６１】
以上により、峰部１３から刃先部１２に向かうにしたがってナイフ厚Ｔが漸次薄くなると共に、ナイフ基端部１０からナイフ先端部１１に向かうにしたがって、ナイフ厚Ｔ及びナイフ幅Ｗがそれぞれ漸次小さくなるように形成されたナイフ部２を、土台部２１ａに連結された状態で形成することができる。
【００６２】
次いで、ナイフ部２と土台部２１ａとの連結部分にＦＩＢを照射して連結部分をカットし、土台部２１ａからナイフ部２を分離させる。これにより、ＦＩＢ加工装置２０を利用した冷間加工によってナイフ部２を作製することができる。
次いで、作製したナイフ部２に対して時効熱処理を施して、ひずみ時効硬化によりナイフ部２に高弾性特性を付与させる。
【００６３】
上記熱処理を行った後、再びＦＩＢ加工装置２０を利用して、図１１に示すように、第１ピンセット２２で保持したナイフ部２と、第２ピンセット２３で保持した保持部材３の先端部３ａとを接触させる。そして、ナイフ部２と保持部材３との接触部分の周辺にガス銃２６から化合物ガスＧを供給しながらＦＩＢを照射する。これにより、ナイフ部２と保持部材３との接触部分にＦＩＢが照射されることで発生した二次荷電粒子Ｅが化合物ガスＧを分解して気体成分と固体成分に分離させる。すると、分離した固体成分が、ナイフ部２と保持部材３との接触部分に堆積してデポジション膜Ｄとなる。
【００６４】
その結果、図１１に示すように、ナイフ部２と保持部材３とを互いに固定させることができ、生体試料用ナイフ１を作製することができる。
【００６５】
（生体試料用ナイフの作用）
次に、上述のように構成された生体試料用ナイフ１を利用して、細胞Ｃを切断する場合について説明する。
【００６６】
本実施形態の生体試料用ナイフ１は、ナイフ部２が峰部１３から刃先部１２に向かうにしたがってナイフ厚Ｔが漸次薄くなるように形成されているので、ナイフ部２の全長に亘って形成された刃先部１２を先鋭化させることができる。しかも、峰部１３におけるナイフ厚Ｔが３０μｍ以下とされているので、刃先部１２におけるナイフ厚Ｔをさらに薄くすることができ、例えば１００ｎｍ程度の極薄にすることができる。
従って、図１２〜図１４に示すように、細胞Ｃにかかるストレスを抑制しながら細胞Ｃを切断することができる。
【００６７】
特に、図１４に示すように、刃先部１２におけるナイフ厚Ｔを１００ｎｍ以下とすることで、細胞Ｃに対して刃先部１２を抵抗少なく進入させることができるうえ、細胞Ｃに対する刃先部１２の接触面積を抑制できるので、細胞Ｃにかかるストレスをさらに抑制しながら細胞Ｃを良好な切れ味で切断することができる。
また、切断時に、細胞Ｃが刃先部１２に付着し難くなるので、切断した細胞Ｃを刃先部１２に付着させたまま引きずることを防止できる。このことによっても、細胞Ｃにストレスを与え難くすることができる。
【００６８】
また、ナイフ部２は保持部材３によって安定に片持ち状に支持されているので、細胞Ｃの切断を安定的に行うことができる。しかも、保持部材３は透明であるので、保持部材３に影響されることなくナイフ部２を確認することができる。従って、細胞Ｃの所望する位置にナイフ部２を正確にアプローチすることができ、例えば細胞Ｃを均等に２分割することも可能である。
【００６９】
特に、ナイフ部２は、高強度、高耐蝕性、高耐熱性、非磁性であるうえ、さらに高弾性であるＣｏ−Ｎｉ基合金から形成されている。
従って、Ｃｏ−Ｎｉ基合金が高強度材料であるという観点から、細胞Ｃを切断する際に、ナイフ部２の刃先部１２が例えば細胞Ｃが載置されている基板３８に対して強く押し当たるように接触した場合であっても、極薄の刃先部１２に変形、ひび割れや欠損等の不具合が生じ難い。
【００７０】
しかもＣｏ−Ｎｉ基合金が高弾性材料であるという観点から、図１２及び図１３に示すように、ナイフ部２の刃先部１２が基板３８に対して接触した際、片持ち状に支持されているナイフ部２の全体が、ナイフ幅Ｗ方向（上下方向）に反るように（湾曲するように）弾性変形する。
従って、刃先部１２が基板３８に対して接触した際に、基板３８から刃先部１２に伝わる反力を吸収することができる。そのため、極薄の刃先部１２に上記不具合が発生することを抑制することができる。特に、ナイフ部２は三角錐状に形成されているので弾性変形し易く、刃先部１２に不具合が発生することを効果的に抑制し易い。その結果、刃先部１２を保護しながら細胞Ｃの切断を行うことができる。
【００７１】
上述したように本実施形態の生体試料用ナイフ１によれば、刃先部１２を保護することができると共に、細胞Ｃにかかるストレスを抑制しながら、抵抗少なく良好な切れ味で細胞Ｃを切断することができる。
【００７２】
さらに、ナイフ部２は、峰部１３に対する刃先部１２の傾斜角度が、ナイフ本体部１５よりも尖端部１４の方が大きく形成されている。そのため、基板３８に対してナイフ部２を斜めに傾けながら主にナイフ先端部１１側の刃先部１２を利用して細胞Ｃを切断する際に、図１３に示すように基板３８に対して尖端部１４の刃先部１２を突き立てるのではなく、基板３８に対して平行な状態に近づけるように配置させることができる。
従って、変形や欠損等が特に生じ易いナイフ部２の最先端（切先）Ｐを保護することができる。
【００７３】
（第２実施形態）
次に、本発明に係るナイフの第２実施形態について、図面を参照して説明する。なお、第２実施形態においては、第１実施形態における構成要素と同一の部分については、同一の符号を付しその説明を省略する。
本実施形態では、マニピュレータシステムを利用して第１実施形態における生体試料用ナイフを操作し、細胞を切断する場合を例に挙げて説明する。
【００７４】
図１５に示すように、本実施形態のマニピュレータシステム４０は、生体試料用ナイフ１と、細胞Ｃが載置されたセル４１を支持するステージ４２と、生体試料用ナイフ１を操作するマニピュレータアーム４３と、細胞Ｃを観察する光学顕微鏡ユニット４４と、これら各構成品を総合的に制御するＣＰＵ等の制御部４５とを備えている。
【００７５】
セル４１は、光学的に透明な材料によって上方に開口した皿状に形成され、ステージ４２上に支持されている。セル４１の底面に例えば複数の細胞Ｃが培養された状態で載置されている。
ステージ４２は、水平に配置されている。なお本実施形態では、ステージ４２の上面に対して平行な方向をＸＹ方向といい、ステージ４２の上面に対して垂直な方向をＺ方向という。
【００７６】
ステージ４２の中央部分には、ステージ４２をＺ方向に貫通する貫通孔４２ａが形成されている。セル４１は、貫通孔４２ａを上方から塞ぐようにステージ４２上に支持されている。なお、ステージ４２は、ＸＹ方向及びＺ方向の３方向に移動可能とされている。
【００７７】
マニピュレータアーム４３は、その先端に一対のハンド部４３ａを有する多関節アームとされ、駆動ユニット４６によってＸＹ方向及びＺ方向に３次元的に湾曲することが可能とされている。
具体的には、マニピュレータアーム４３は、複数の関節部５０と、各関節部５０同士を連結する連結部５１と、を備え、各関節部５０が回転することによって３次元的に湾曲することが可能とされている。
【００７８】
関節部５０としては、例えばアーム軸Ｏ１に沿ったロール軸回りに回転するロール関節や、アーム軸Ｏ１に直交するヨー軸（又はピッチ軸）回りに回転するヨー関節（又はピッチ関節）とされている。そして、これらロール関節及びヨー関節（又はピッチ関節）が、任意の配置（例えば交互に配置）で並ぶように連結されている。これにより、マニピュレータアーム４３は３次元的に湾曲自在とされている。
【００７９】
なお、各関節部５０は、例えば図示しないアングルワイヤによる操作によってそれぞれ回転可能とされている。アングルワイヤは、マニピュレータアーム４３の内部を通して駆動ユニット４６まで延びている。
一対のハンド部４３ａは、例えば、駆動ワイヤによる操作によって互いに接近離間自在に構成されている。なお、駆動ワイヤは、マニピュレータアーム４３の内部を通して駆動ユニット４６まで延びている。
【００８０】
駆動ユニット４６は、駆動ワイヤを介して一対のハンド部４３ａに動力に伝えることで一対のハンド部４３ａを作動させるハンドアクチュエータ５２と、アングルワイヤを介して各関節部５０に動力を伝えることで各関節部５０を回転させる関節アクチュエータ５３と、を備えている。
なお、これらハンドアクチュエータ５２及び関節アクチュエータ５３は、制御部４５からの指示に基づいて作動する。
【００８１】
また、駆動ユニット４６は、各関節部５０の回転角度をそれぞれ検知するエンコーダ５４を備えている。エンコーダ５４は、検知結果（関節部５０の回転角度）を制御部４５に出力している。なお、エンコーダ５４は各関節部５０にそれぞれ設けられていてもよい。
【００８２】
制御部４５には、一対のハンド部４３ａ及びマニピュレータアーム４３を操作するための操作部が接続されている。
操作部５５は、例えばジョイスティックとされ、オペレータが手動によってマニピュレータアーム４３を遠隔操作することが可能とされている。ただし、操作部５５はこの場合に限定されるものではなく、マニピュレータアーム４３を操作できればどのように構成しても構わない。
制御部４５は、操作部５５からの作動指令に基づいて、ハンドアクチュエータ５２及び関節アクチュエータ５３を制御し、一対のハンド部４３ａ及びマニピュレータアーム４３を制御する。
【００８３】
光学顕微鏡ユニット４４は、ステージ４２の上方に配置された照明系６０と、ステージ４２の下方に配置され、ステージ４２の貫通孔４２ａを通じてセル４１の下方から細胞Ｃを観察する観察系６１と、観察系６１で観察した画像を表示する表示部６２と、を備えている。
【００８４】
照明系６０は、図示しない光源、及び光源からの光を細胞Ｃに集光させるための図示しない各種の集光レンズを備えている。観察系６１は、図示しない対物レンズ、及び対物レンズの焦点を細胞Ｃに結像させるための各種の結像レンズを備え、観察した画像を表示部６２に出力している。
これにより、オペレータ、表示部６２に表示された画像により、細胞Ｃの状態や、細胞Ｃと生体試料用ナイフ１との位置関係等を確認しながら、操作部５５の操作を行える。
【００８５】
なお、対物レンズを含む観察系６１は、ステージ４２の下方に配置される場合に限定されるものではなく、ステージ４２の上方に配置しても構わない。
【００８６】
（細胞の切断）
次に、上述のように構成されたマニピュレータアーム４３を操作して、生体試料用ナイフ１で細胞Ｃを切断する場合について説明する。
なお、生体試料用ナイフ１は、一対のハンド部４３ａを介して保持部材３の基端部３ｂがマニピュレータアーム４３に片持ち状に保持されているものとする。
【００８７】
オペレータはセル４１内の細胞Ｃ状態を光学顕微鏡で観察し、観察画像を表示部６２で確認しながら細胞Ｃを切断する位置を特定する。細胞Ｃの切断位置の特定後、操作部５５を介してマニピュレータアーム４３を三次元操作して、生体試料用ナイフ１の刃先部１２を切断位置に近づける。この際、細胞Ｃと刃先部１２との位置関係を表示部６２で確認できるので、切断位置に刃先部１２を正確にアプローチすることができる。
【００８８】
次いで、表示部６２の画像を確認しながら、操作部５５を介してマニピュレータアーム４３を操作して、生体試料用ナイフ１により細胞Ｃを切断する。これにより、第１実施形態と同様の作用効果を奏功することができる。
特に、本実施形態の場合には、マニピュレータアーム４３を利用するので、より微細且つ正確な切断作業を行える。しかも保持部材３は透明であるので、保持部材３に影響されることなくナイフ部２を確認することができる。よって、細胞Ｃの所望する切断位置にナイフ部２を正確にアプローチすることができる。
【００８９】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００９０】
例えば、上記実施形態では、生体試料として細胞を例に挙げて説明したが、細胞に限定されるものではない。例えば、人体、動物或いは植物等から得られた生体組織でも良い。
更には、ナイフによって切断可能な対象物は、生体試料に限られず、例えば金属膜であってもよい。即ち、本発明に係るナイフによれば、高強度、高耐蝕性、高耐熱性、非磁性を有しているので、例えば基板上の金属パターンを切断する場合であっても、基板を傷つけることなく、金属パターンを微細なパターンに切断加工することが可能になる。また、上述の作製方法によればＦＩＢ加工装置によってナイフを容易に作製することができるので、製造コストを抑えることが可能になる。また、対象物としては、金属膜に限らず、樹脂や弾性材料等であってもよい。
【００９１】
また、上記実施形態では、ナイフ部の形状を三角錐状に形成した場合を例に挙げたが、この場合に限定されるものではない。
例えば、図１６に示すように、峰部１３におけるナイフ厚Ｔが全長に亘って均一とされ、且つ峰部１３から刃先部１２に向かうにしたがってナイフ厚Ｔが漸次薄くなるように形成されたナイフ部７１を具備する生体試料用ナイフ（ナイフ）７０でも構わない。
この場合であっても、刃先部１２におけるナイフ厚Ｔを例えば１００ｎｍ程度の極薄にすることができるうえ、ナイフ部７１をナイフ幅Ｗ方向（上下方向）に弾性変形させることができるので、刃先部１２を保護することができると共に、細胞Ｃにかかるストレスを抑制しながら、抵抗少なく良好な切れ味で細胞Ｃを切断することができる。
【００９２】
さらに、図１７に示すように、外部から照射された検出光Ｂを反射させると共に、ナイフ部２の弾性変形に応じて異なる方向を向く反射面８０が峰部１３に形成された生体試料用ナイフ１としても構わない。
【００９３】
この場合には、例えば半導体レーザ光源８１から上記検出光Ｂとしてレーザ光を反射面８０に向けて照射でき、反射面８０で反射されたレーザ光をレーザ受光部８２で受光することができる。レーザ受光部８２は、例えば４分割フォトディテクタであり、レーザ光の入射位置に基づいてナイフ部２の弾性変形の変化量を検出することが可能とされている。
従って、ナイフ部２の弾性変形状態を把握することができ、ナイフ部２の状態をより正確に把握しながら、細胞Ｃの切断を行うことができる。
【００９４】
なお、上述のように峰部１３に形成した反射面８０、及び検出光Ｂを利用したいわゆる光てこ方式によりナイフ部２の弾性変形を検出したが、光てこ方式に限定されるものではない。例えば、ナイフ部２自身に変位検出機構（例えば、ピエゾ抵抗素子等）を設けた自己検知方式によりナイフ部２の撓みを測定するように構成しても構わない。
【００９５】
その他、本発明の趣旨に逸脱しない範囲で、前記実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上述した変形例を適宜組み合わせてもよい。
【符号の説明】
【００９６】
Ｌ…ナイフ長
Ｔ…ナイフ厚
Ｗ…ナイフ幅
θ１…第１傾斜角度
θ２…第２傾斜角度
１、７０…生体試料用ナイフ（ナイフ）
２、７１…ナイフ部
３…保持部材
３ａ…保持部材の先端部
３ｂ…保持部材の基端部
１０…ナイフ基端部
１１…ナイフ先端部
１２…刃先部
１３…峰部
１４…尖端部
１５…ナイフ本体部
８０…反射面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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