(57)【要約】【課題】ガルバノスキャナの回転軸の回転角度を予め定められた角度範囲内に制限する回転制限機構の寸法精度を向上させる。【解決手段】予め定められた角度範囲内で回転軸（２１）を回転させ、回転軸に固定されたミラー（３）に照射される光を回転軸の回転角度に応じた方向に反射させるガルバノスキャナ（１）は、回転軸に固定され回転軸とともに回転する突起構造物（１１）と、突起構造物が回転する面内において角度範囲の限界に対応する位置に固定され、突起構造物が限界を超えて回転するのを阻止するとともに、突起構造物が衝突したときの衝撃を吸収する衝撃吸収材（１２）と、突起構造物に接触しない位置に固定され、衝撃吸収材を位置決めするための基準面（３１）を有し、衝撃吸収材における突起構造物が衝突する側の面の一部が基準面に押し当てられている位置決め部（１３）とを有する。【選択図】図４
2018169559.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め定められた角度範囲内で回転軸を回転させ、前記回転軸に固定されたミラーに照射
前記突起構造物が回転する面内において前記角度範囲の限界に対応する位置に固定され、前記突起構造物が前記限界を超えて回転するのを阻止するとともに、前記突起構造物が衝突したときの衝撃を吸収する衝撃吸収材と、
前記突起構造物に接触しない位置に固定され、前記衝撃吸収材を位置決めするための基される光を前記回転軸の回転角度に応じた方向に反射させるガルバノスキャナであって、
前記回転軸に固定され前記回転軸とともに回転する突起構造物と、
準面を有し、前記衝撃吸収材における前記突起構造物が衝突する側の面の一部が前記基準面に押し当てられている位置決め部と、
を有することを特徴とするガルバノスキャナ。
【請求項２】
前記位置決め部は金属またはセラミックからなる材料で構成され、前記基準面は平面である、請求項１に記載のガルバノスキャナ。
【請求項３】
前記衝撃吸収材における前記突起構造物が衝突する面と前記位置決め部の前記基準面に押し当てられる面とは同一面である、請求項２に記載のガルバノスキャナ。
【請求項４】
前記突起構造物に接触しない位置において前記衝撃吸収材を間に挟んで前記位置決め部とは反対側に配置され、前記衝撃吸収材を固定するための溝部を前記位置決め部との間に形成する固定機能部をさらに有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載のガルバノスキャナ。
【請求項５】
前記固定機能部の前記衝撃吸収材との対向面は傾斜面である、請求項４に記載のガルバノスキャナ。
【請求項６】
前記衝撃吸収材に当接するように前記衝撃吸収材に沿って前記固定機能部の前記傾斜面上に配置された柱状部材をさらに有し、
前記位置決め部と前記固定機能部との間に前記衝撃吸収材と前記柱状部材とが接着により固定されている、請求項５に記載のガルバノスキャナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガルバノスキャナに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばレーザ光線を使用するレーザ加工機および計測器などでは、レーザ光線の照射位置を高速に走査するために、ガルバノスキャナが広く用いられている（例えば、特許文献１〜３を参照）。ガルバノスキャナは、上限と下限が定められた角度範囲内でミラーを高速に微小回転させることにより、レーザ光源から入射したレーザ光線を、ミラーの回転角度に応じて異なる方向に反射させる。
【０００３】
また、特許文献４には、着磁片が一端に形成されたＴ字状の回転軸を電磁コイルの中心に回転自在に挿通すると共に、４個の永久磁石をそのＮ極とＳ極が着磁片に交互に相対するように電磁コイルの一端外周に所定間隔で配設し、電磁コイルに通電し着磁片をＮ極またはＳ極に磁化させることにより着磁片が永久磁石から吸引または反発を受け回転軸を定角度反復回転させるようにしたロータリーソレノイドであって、着磁片の反復回転角度を制限するストッパ部に着磁片と接触する緩衝用の弾性体を有するものが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３０７７００号公報
【特許文献２】特開２００６−３５００１５号公報
【特許文献３】特開２０１３−０７２９５２号公報
【特許文献４】特開平７−１３５１１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ガルバノスキャナのミラーは、正方向の上限角度と逆方向の下限角度の間で回転（回動）するので、回転軸（モータ）の回転角度を制限する機構が必要である。回転制限機構としては、例えばモータの回転軸に突起構造物を設け、その回転範囲の限界位置にそれ以上の回転を阻止する障壁部材を配置して、回転軸の回転範囲を機械的に制限することが考えられる。そうした障壁部材は、樹脂またはゴムなどの衝撃を緩和し易いもので構成して、衝撃吸収材とすることが望ましい。しかしながら、一般に、こうした材料は高精度に加工することが困難であり、加工公差にバラつきが出てしまう。加工公差のバラつきは、障壁部材の材料を金属にすれば減少するが、それでは突起構造物が衝突したときの衝撃が吸収されず、回転軸の破損に繋がるので、単に材料を変更するだけで回転制限機構の寸法精度を向上させることは難しい。
【０００６】
本発明は、ガルバノスキャナの回転軸の回転角度を予め定められた角度範囲内に制限する回転制限機構の寸法精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
予め定められた角度範囲内で回転軸を回転させ、回転軸に固定されたミラーに照射される光を回転軸の回転角度に応じた方向に反射させるガルバノスキャナであって、回転軸に固定され回転軸とともに回転する突起構造物と、突起構造物が回転する面内において角度範囲の限界に対応する位置に固定され、突起構造物が限界を超えて回転するのを阻止するとともに、突起構造物が衝突したときの衝撃を吸収する衝撃吸収材と、突起構造物に接触しない位置に固定され、衝撃吸収材を位置決めするための基準面を有し、衝撃吸収材における突起構造物が衝突する側の面の一部が基準面に押し当てられている位置決め部とを有することを特徴とするガルバノスキャナが提供される。
【０００８】
上記のガルバノスキャナでは、位置決め部は金属またはセラミックからなる材料で構成され、基準面は平面であることが好ましい。
【０００９】
上記のガルバノスキャナでは、衝撃吸収材における突起構造物が衝突する面と位置決め部の基準面に押し当てられる面とは同一面であることが好ましい。
【００１０】
上記のガルバノスキャナは、突起構造物に接触しない位置において衝撃吸収材を間に挟んで位置決め部とは反対側に配置され、衝撃吸収材を固定するための溝部を位置決め部との間に形成する固定機能部をさらに有することが好ましい。
【００１１】
上記のガルバノスキャナでは、固定機能部の衝撃吸収材との対向面は傾斜面であることが好ましい。
【００１２】
上記のガルバノスキャナは、衝撃吸収材に当接するように衝撃吸収材に沿って固定機能部の傾斜面上に配置された柱状部材をさらに有し、位置決め部と固定機能部との間に衝撃吸収材と柱状部材とが接着により固定されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
上記のガルバノスキャナでは、回転軸の回転角度を予め定められた角度範囲内に制限する回転制限機構の寸法精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ガルバノスキャナ１の概略ブロック図である。
【図２】モータ２の部分断面図である。
【図３】比較例の回転制限機構１００の斜視図である。
【図４】ガルバノスキャナ１の回転制限機構１０の斜視図である。
【図５】回転制限機構１０の断面図である。
【図６】別の回転制限機構１０Ａ〜１０Ｃの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照しつつ、ガルバノスキャナについて説明する。ただし、本発明は図面または以下に記載される実施形態には限定されないことを理解されたい。
【００１６】
図１は、ガルバノスキャナ１の概略ブロック図である。ガルバノスキャナ１は、モータ２、ミラー３、位置変換器４および駆動回路５を有する。
【００１７】
モータ２は、例えばブラシレスモータであり、駆動回路５から供給される駆動電流５３に応じて駆動されて、回転軸２１を回転させる。ガルバノスキャナ１のモータ２は、回転軸２１を一方向に連続的に回転させるのではなく、上限と下限が定められた角度範囲内で、回転軸２１を時計回りおよび反時計回り（正方向および逆方向）に交互に回転（回動）させる回転制限モータである。
【００１８】
ミラー３は、回転軸２１の一方の先端に固定され、回転軸２１を介してモータ２に連結されている。ミラー３は、モータ２の駆動によって例えば正方向の上限角度と逆方向の下限角度の間で回転して、図示しないレーザ光源から入射したレーザ光線を回転軸２１の回転角度に応じて異なる方向に反射させる。
【００１９】
位置変換器４は、例えば特許第５５９５５５０号公報に記載されたもののような、回転軸２１（あるいは、モータ２またはミラー３）の現在の回転角度を検出するためのセンサである。位置変換器４は、検出した回転角度に応じた電圧の信号を、位置フィードバック信号５２として、駆動回路５に出力する。
【００２０】
駆動回路５は、外部から入力される位置指令信号５１と、位置変換器４から入力される位置フィードバック信号５２とに基づいて、モータ２の駆動電流５３を生成する。位置指令信号５１は、目標とするミラー３の回転角度を示すアナログ信号であり、位置フィードバック信号５２は、ミラー３の現在の回転角度を示すアナログ信号である。例えば、位置指令信号５１が示す目標の回転角度が１０度であり、位置フィードバック信号５２が示す現在の回転角度が９度である場合には、駆動回路５は、差の１度分だけミラー３を回転させるための駆動電流５３を生成し、これをモータ２に供給する。
【００２１】
図２は、モータ２の部分断面図である。図２では、ミラー３（図２では図示せず）が設けられている側のモータ２の断面を拡大して示している。モータ２は、回転軸（ロータシャフト）２１に加えて、軸受２２、ケース２３、コイル２４および永久磁石２５を有する。
【００２２】
回転軸２１は、ケース２３の内部において軸受２２により回転可能に保持されており、永久磁石２５は、ケース２３の内部における回転軸２１の外周面に固定されている。また、コイル２４は、ケース２３の内部において、永久磁石２５に対向して配置されている。回転軸２１および永久磁石２５はモータ２の回転子を構成し、軸受２２、ケース２３およびコイル２４はモータ２の固定子を構成する。モータ２は、コイル２４に電流を流すことで生じる磁場と、永久磁石２５が作る磁場とによりトルクを生成して、そのトルクにより回転軸２１を回転させる。
【００２３】
図２に示すように、ガルバノスキャナ１は、回転軸２１の一端部であって軸受２２よりもモータ２の外側に回転制限機構１０を有する。回転制限機構１０は、回転軸２１に設けられた突起構造物と、その回転範囲の限界位置に配置され突起構造物のそれ以上の回転を阻止する障壁部材とで構成される。回転制限機構１０は、回転軸２１の回転を予め定められた角度範囲内に機械的に制限するとともに、突起構造物と障壁部材との衝突の衝撃を吸収するダンパー構造である。以下では、まず、比較例の回転制限機構を説明し、その次に、ガルバノスキャナ１の回転制限機構１０を説明する。
【００２４】
図３は、比較例の回転制限機構１００の斜視図である。回転制限機構１００は、ストッパカラー１０１およびゴムストッパ１０２を有する。図３では、ガルバノスキャナのミラーが固定される側のモータの端部を示しており、符号２１，２３で示す回転軸およびケースは、モータ２のものと同じである。
【００２５】
ストッパカラー１０１は、モータの回転軸２１に固定され、回転軸２１の長手方向に垂直な同じ平面内で１８０度の角をなす方向に突出する２個の突起部を有する突起構造物である。ストッパカラー１０１は、モータが駆動されると、図中に矢印Ｃで示すように、回転軸２１とともに正方向および逆方向に回転する。
【００２６】
ゴムストッパ１０２は、ストッパカラー１０１を収容する開口部１１０を有し、開口部１１０の内壁によってストッパカラー１０１の回転範囲を制限する障壁部材である。ゴムストッパ１０２の開口部１１０の内部が、回転軸２１の回転によりストッパカラー１０１が移動可能な領域に相当する。ゴムストッパ１０２は、樹脂またはゴムなどの衝撃を吸収し易い部材で構成され、ストッパカラー１０１が衝突したときの衝撃を吸収する衝撃吸収材を兼ねている。
【００２７】
回転制限機構１００では、回転軸２１（モータ）の回転角度が目標の角度範囲内に収まるように、ゴムストッパ１０２の開口部１１０の寸法が設計される。ただし、樹脂またはゴムなどの材料を高精度に加工することは難しいため、ゴムストッパ１０２の開口部１１０は、加工公差として、例えば±０．２ｍｍ〜±０．３ｍｍ程度のバラつきを持ってしまう。このため、回転制限機構１００を用いたガルバノスキャナでは、開口部１１０の加工公差に応じてストッパカラー１０１の回転範囲のバラつきも大きくなるので、回転軸２１の回転角度（ミラーの振れ角）を厳密に制御することが難しい。
【００２８】
図４は、ガルバノスキャナ１の回転制限機構１０の斜視図である。回転制限機構１０は、ストッパカラー１１、ゴムストッパ１２、ストッパホルダ１３，１４および金属ピン１５を有する。図４では、図３と同様に、ミラー３が固定される側のモータ２の端部を示している。なお、図２では、図４に符号ＩＩで示す一点鎖線に沿った切断面を示している。
【００２９】
ストッパカラー１１は、突起構造物の一例であり、図３のストッパカラー１０１と同様に、回転軸２１に固定され、回転軸２１の長手方向に垂直な同じ平面内で１８０度の角をなす方向に突出する２個の突起部を有する。ストッパカラー１１は、モータ２が駆動されると、回転軸２１とともに正方向および逆方向に回転する。なお、ストッパカラー１１は、回転軸２１とは別の部材として形成され回転軸２１に接着などにより固定されたものであってもよいし、回転軸２１と一体に形成されたものであってもよい。また、ストッパカラー１１の突起部の個数は、２個に限らず何個でもよい。特に、ストッパカラー１１の突起部が１個であっても、回転軸２１の回転範囲を制限することは可能である。
【００３０】
ゴムストッパ１２は、樹脂またはゴムなどで構成された４個の角柱状の部材であり、ストッパカラー１１が回転する面内において、その回転範囲の限界に対応する位置に固定されている。図示した例では、ストッパカラー１１が２個の突起部を有するため、４個のゴムストッパ１２のうちの２個は一方の突起部の回転範囲の両端に、残り２個のゴムストッパ１２は他方の突起部の回転範囲の両端に、それぞれ配置されている。対になる２個のゴムストッパ１２の間の領域が、回転軸２１の回転によりストッパカラー１１が移動可能な領域に相当する。ゴムストッパ１２は、ストッパカラー１１が回転範囲の限界を超えて回転するのを阻止する障壁部材の一例であり、かつストッパカラー１１が衝突したときの衝撃を吸収する衝撃吸収材の一例である。なお、ゴムストッパ１２の個数は、ストッパカラー１１の正方向および逆方向の回転を制限できればよいため、必ずしも４個でなくてもよい。
【００３１】
ストッパホルダ１３，１４は、金属材料で形成された１つの部材（一体品）であり、ゴムストッパ１２を位置決めし固定するための保持部材として機能する。ストッパホルダ１３，１４は、符号１３で示す２つの突出部と、符号１４で示す２つの突出部とを有し、これらの突出部は、回転軸２１を中心とするストッパカラー１１よりも外周側であってストッパカラー１１に接触しない位置にそれぞれ配置されている。以下では、符号１３で示す部分を「突出部１３」、符号１４で示す部分を「突出部１４」ともいう。
【００３２】
突出部１３は、回転軸２１とストッパカラー１１の２個の突起部を間に挟んで互いに向かい合い、かつそれぞれが２個のゴムストッパ１２により挟まれるように配置された２個の略４角形の部分である。突出部１４は、ストッパカラー１１が回転する面内で、突出部１３とは回転軸２１の周りに９０度ずれた位置に、回転軸２１を間に挟んで互いに向かい合うように配置された２個の略３角形（扇形）の部分である。回転制限機構１０では、ストッパホルダ１３，１４の計４個の突出部により、回転軸２１とストッパカラー１１の周囲が取り囲まれている。
【００３３】
図示した例では、ストッパホルダ１３，１４は、モータ２のケース２３とは別部材であり、ケース２３の端面にねじにより固定されることで、ストッパカラー１１が回転する面内に突出している。ただし、ストッパホルダ１３，１４は、ケース２３の端面において隆起するように、ケース２３と一体に形成されたものであってもよい。また、突出部１３と突出部１４とはそれぞれ別体品であってもよい。しかしながら、突出部１３と突出部１４とを別体品とする場合には、治具を使用してそれらを互いに位置決めするなどの手間が生じるため、ストッパホルダ１３，１４は一体品である方が好ましい。
【００３４】
また、仮にストッパカラー１１が３個の突出部を有する場合には、それらに対応して突出部１３を３個配置し、突出部１３同士の間に計３個の突出部１４を配置すればよい。ストッパホルダ１３，１４の突出部の個数は、ストッパカラー１１の形状に応じて変更してもよく、必ずしも２個ずつでなくてもよい。
【００３５】
突出部１３は、位置決め部の一例であり、ゴムストッパ１２を位置決めするための２つの基準面３１を有する。基準面３１は、金属加工により形成された平面である。また、ゴムストッパ１２の突出部１３との対向面も平面であり、この面は、ストッパカラー１１が衝突する面でもある。そのうちで、回転軸２１から遠い外周側は突出部１３に突き当たる突き当て部３２に、回転軸２１に近い中心側はストッパカラー１１の突起部に衝突されてその回転を制限する回転制限部３３に、それぞれ相当する。すなわち、回転制限機構１０では、ゴムストッパ１２におけるストッパカラー１１が衝突する面（回転制限部３３）と突出部１３の基準面３１に押し当てられる面（突き当て部３２）とは同一面である。
【００３６】
ゴムストッパ１２は、突き当て部３２が突出部１３の基準面３１に押し当てられた状態で、例えば接着剤により固定されている。このため、ゴムストッパ１２の回転制限部３３の位置は、突出部１３の基準面３１に倣って決まり、ストッパカラー１１の回転範囲は、突出部１３を挟む２個のゴムストッパ１２の配置間隔により決まる。
【００３７】
回転制限機構１０では、回転制限部３３と位置決め用の基準面３１とを別部材に分けることにより、例えば、回転制限部３３（ゴムストッパ１２）を樹脂またはゴムなどの材料で、基準面３１を金属またはセラミックスからなる材料で、それぞれ形成することができる。このため、回転制限部３３をストッパカラー１１の破損が起きにくい柔らかい材料で形成するとともに、基準面３１を例えば切削または研削などの機械加工により高精度に形成することができる。したがって、回転制限機構１０では、金属の加工精度で回転軸２１の回転角度の範囲を規定することができるので、図３に示した回転制限機構１００のようにゴムストッパ１０２だけで回転制限する構造に比べて、寸法精度が向上する。
【００３８】
突出部１３の材料は必ずしも金属またはセラミックスに限られないが、これらの材料である方が、基準面３１を機械加工により精度よく形成できるため好ましい。また、温度変化のある環境でガルバノスキャナ１が使用される場合には、突出部１３の材料として、プラスチックなどよりも金属またはセラミックスを用いる方が、熱膨張が起こりにくく、回転制限される角度範囲が使用時に変化しにくいため好ましい。
【００３９】
例えば回転制限機構以外（駆動電流など）を同じ条件とした比較実験において、回転制限機構１００で所望の回転制限角度範囲に対して±５度程度のずれがあるときには、回転制限機構１０では、その所望の回転制限角度範囲に対するずれが±１度以下に改善される。なお、回転制限機構１０では、高精度に加工された基準面に倣ってゴムストッパ１２の回転制限部３３の位置が決まるため、ゴムストッパ１２の幅寸法（図４に示すゴムストッパ１２の短手方向幅の寸法）に個体間でバラつきが生じても、回転制限部３３の位置（回転制限角度）には影響しにくい。また、さらには、図４に示すように、ゴムストッパの突き当て部３２と回転制限部３３とは同一面であることから、基準面３１の角度を正確に回転制限部３３に反映することができる。
【００４０】
図５は、回転制限機構１０の断面図である。図５では、図４に符号Ｖで示す一点鎖線に沿った切断面を示している。次に、図５を用いて、突出部１４と金属ピン１５を説明する。
【００４１】
突出部１４は、固定機能部の一例であり、ストッパカラー１１に接触しない位置においてゴムストッパ１２を間に挟んで突出部１３とは反対側に配置され、ゴムストッパ１２を固定するための溝部３４（図４を参照）を突出部１３との間に形成する。突出部１４のゴムストッパ１２との対向面は、ストッパカラー１１の回転面に対して垂直ではなく、その面に対して斜めになった傾斜面３５である。
【００４２】
金属ピン１５は、柱状部材の一例であり、ゴムストッパ１２に当接するように、ゴムストッパ１２に沿って突出部１４の傾斜面３５上に配置されている。回転制限機構１０では、ゴムストッパ１２と同数の４本の金属ピン１５が、それぞれ、対応するゴムストッパ１２に平行に配置されている。ゴムストッパ１２と金属ピン１５の組は、それぞれ、突出部１３と突出部１４との間の溝部３４内に、例えば接着剤により固定されている。金属ピン１５は、ゴムストッパ１２を基準面３１に突き当てて接着するときに、ゴムストッパ１２がずれないように保つための重しとして使用される。
【００４３】
ゴムストッパ１２の接着は、例えば、溝部３４内にゴムストッパ１２を、傾斜面３５上に金属ピン１５をそれぞれ配置し、上方から金属ピン１５を適切な圧力で押圧してゴムストッパ１２を基準面３１に押し付けた上で、金属ピン１５の周辺に接着剤を流すことで行われる。金属ピン１５を用いることで、より確実にゴムストッパ１２を基準面３１に突き当て、かつゴムストッパ１２の位置ずれを防止することができる。
【００４４】
なお、金属ピン１５を使用せずに、接着剤のみでゴムストッパ１２を固定してもよい。ただし、金属ピン１５を使用した方が、上記の通り接着時にゴムストッパ１２の位置がずれにくくなる。また、金属ピン１５には、ストッパカラー１１がゴムストッパ１２に衝突したときのゴムストッパ１２の変形を阻止する効果もあるため、金属ピン１５を使用した方が、ゴムストッパ１２の強度が向上する。したがって、ゴムストッパ１２の回転制限部３３とは反対側の面には、金属ピン１５を配置することが好ましい。
【００４５】
また、突出部１４のゴムストッパ１２との対向面を傾斜面３５にせず、ストッパカラー１１の回転面に対して垂直な面にしてもよい。その場合には、金属ピン１５の代わりに、突出部１３と突出部１４との間の溝内に、ゴムストッパ１２とともに、必要に応じて適当な厚さのスペーサを配置すればよい。ただし、突出部１４の対向面を垂直面とする場合には、ゴムストッパ１２の厚さに応じてスペーサの厚さを調整する必要がある。突出部１４の対向面が傾斜面３５である方が、ゴムストッパ１２の接着時にゴムストッパ１２を当て易く、しかも、ゴムストッパ１２の厚みにバラつきがあっても、そのバラつきの影響を受けにくい。このため、突出部１４の対向面を傾斜面３５として、金属ピン１５を使用する方が、部品コストと製造工数が抑えられ、回転制限機構１０を作製し易いという利点がある。
【００４６】
図６（Ａ）は、別の回転制限機構１０Ａの説明図である。回転制限機構１０Ａは、回転制限機構１０のゴムストッパ１２がゴムストッパ１２Ａに置き換えられている点のみが回転制限機構１０とは異なり、その他の点では回転制限機構１０と同じ構成を有する。図６（Ａ）では、回転制限機構１０Ａのうちで、突出部１３、ゴムストッパ１２Ａ、突出部１４および金属ピン１５がそれぞれ１個ずつ配置されている一部分のみを示している。図４に示した回転制限機構１０のゴムストッパ１２では、突き当て部３２と回転制限部３３とが同一平面であるが、例えば図６（Ａ）に示すように回転制限部３３に突起３３Ａを形成したり、あるいは逆に回転制限部３３の一部を窪ませたりしてもよい。
【００４７】
また、例えば、図６（Ｄ）および図６（Ｅ）に示すゴムストッパ１２Ｄ，１２Ｅのように、突き当て部３２と回転制限部３３とをともに平面とした上で、両者に段差を設けてもよい。この場合、ゴムストッパ１２Ｄのように、突き当て部３２と比べて回転制限部３３がストッパカラー１１の側に突出していてもよく、逆に、ゴムストッパ１２Ｅのように、突き当て部３２の方が回転制限部３３と比べて突出していてもよい。ただし、ゴムストッパ１２Ｄまたはゴムストッパ１２Ｅを使用する場合には、ストッパカラー１１の角度範囲に影響しないように、図６（Ｄ）および図６（Ｅ）に符号ｄで示した突き当て部３２と回転制限部３３との段差の寸法精度を高くする必要がある。これは図６（Ａ）の構成でも同様であり、回転制限部３３の突起３３Ａの突き当て部３２に対する段差も寸法精度よく形成する必要がある。
【００４８】
図６（Ｂ）は、さらに別の回転制限機構１０Ｂの説明図である。回転制限機構１０Ｂは、回転制限機構１０の金属ピン１５に対応するものがなく、回転制限機構１０の突出部１４が突出部１４Ｂに置き換えられている点のみが回転制限機構１０とは異なり、その他の点では回転制限機構１０と同じ構成を有する。図６（Ｂ）では、回転制限機構１０Ｂのうちで、突出部１３、ゴムストッパ１２および突出部１４Ｂがそれぞれ１個ずつ配置されている一部分のみを示している。
【００４９】
突出部１４Ｂは、矢印Ａで示す方向およびその逆方向に移動可能（すなわち、突出部１３に対して相対移動可能）であり、突出部１３との間でゴムストッパ１２を挟んで固定されることで、突出部１３の基準面に対してゴムストッパ１２を押圧する。突出部１４Ｂのゴムストッパ１２との対向面は、ストッパカラー１１の回転面に対して垂直な平面である。回転制限機構１０Ｂでは、突出部１３と突出部１４Ｂとの間にゴムストッパ１２を配置し、突出部１４Ｂを矢印Ａ方向に移動させて、突出部１４Ｂによりゴムストッパ１２を突出部１３に対して押圧した状態で、ゴムストッパ１２が固定される。このように、回転制限機構では、相対移動可能な突出部を用いてゴムストッパ１２を固定してもよい。
【００５０】
図６（Ｃ）は、さらに別の回転制限機構１０Ｃの説明図である。回転制限機構１０Ｃは、回転制限機構１０の金属ピン１５が柱状の金属部材１５Ｃに置き換えられてゴムストッパ１２と一体化されている点、および回転制限機構１０の突出部１４が図６（Ｂ）と同様の突出部１４Ｂに置き換えられかつその長手方向長さが突出部１３の基準面と対応する長さとなっている点のみが回転制限機構１０とは異なり、その他の点では回転制限機構１０と同じ構成を有する。図６（Ｃ）に示すように、回転制限機構１０のゴムストッパ１２と金属ピン１５Ｃを一体化してゴムストッパ１２Ｃとしてもよい。金属ピン１５Ｃはゴムストッパ１２の変形防止の機能を有するため、突出部１４Ｂはゴムストッパ１２を突出部１３の基準面に押し当てる機能のみを有すればよい。このため図６（Ｃ）の突出部１４Ｂは、突出部１３の基準面に対向する部分にのみ設けられている。
【符号の説明】
【００５１】
１    ガルバノスキャナ
２    モータ
３    ミラー
１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ    回転制限機構
１１    ストッパカラー
１２，１２Ａ，１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ    ゴムストッパ
１３，１４    ストッパホルダ（突出部）
１５    金属ピン
２１    回転軸
３１    基準面
３２    突き当て部
３３    回転制限部
３４    溝部
３５    傾斜面
【図１】
2018169559.tif 000003
【図２】
2018169559.tif 000004
【図３】
2018169559.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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