(57)【要約】【課題】現像後のパターンの断面形状の矩形性が良好となる着色材含有感光性組成物およびそれを用いたカラーフィルタ、固体撮像素子を提供する。【解決手段】基板上に着色感光性組成物からなるパターンが形成され、前記パターンの断面形状が矩形に近い形状であるカラーフィルタ。また、着色材と、分散剤と、ポリマーと、光重合開始剤と、光重合性モノマーと、溶媒とを含み、光重合性モノマーは分子量が１０００以下であり、ポリマーは分子量７０００〜２００００であり、光重合性モノマーのポリマーに対する重量比率が０．２〜０．４の範囲にある着色材含有感光性組成物。【選択図】図３
2018081171.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に着色感光性組成物からなるパターンが形成されたカラーフィルタであって、
前記パターンの断面形状が、矩形もしくは台形に近似した形状であり、かつ基板に接しない側の角部は丸みがあり、
前記断面形状の基板からの最大高さｈに対して９０％の高さで基板に平行な線を引いたときに、この平行線が前記断面形状の輪郭線と交わる２点をそれぞれａ１、ａ２とし、
前記最大高さｈに対して５０％の高さで基板に平行な線を引いたときに、この平行線が前記断面形状の輪郭線と交わる２点をそれぞれｂ１、ｂ２とし、
基板と前記断面形状の輪郭線とが交わる２点をそれぞれｃ１、ｃ２とし、
前記点ａ１、ａ２、ｂ２、ｂ１を結んで囲まれる四角形の面積をＳ１とし、
前記点ｂ１、ｂ２、ｃ２、ｃ１を結んで囲まれる四角形の面積をＳ２とし、
前記点ｃ１、ｃ２を結ぶ線分を底辺Ｌとし、
最大高さｈ×底辺Ｌで表される長方形の面積をＳとしたとき、
（Ｓ１＋Ｓ２）／Ｓで表される比が０．７５以上１．０以下であることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２】
前記（Ｓ１＋Ｓ２）／Ｓで表される比が０．８以上１．０以下であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記点ｃ１、ｂ１を結ぶ線分と前記底辺Ｌとがなす角θが、７５度以上９０度以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
前記点ｃ１、ｂ１を結ぶ線分と前記底辺Ｌとがなす角θが、８０度以上９０度以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ。
【請求項５】
前記カラーフィルタの透過率が、波長領域４９０ｎｍ〜５８０ｎｍにおいて７５％〜９７％であり、波長領域４００ｎｍ〜４５０ｎｍの透過率が１０％以下であり、波長領域６５０ｎｍ〜７００ｎｍの透過率が２０％以下であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のカラーフィルタ。
【請求項６】
前記カラーフィルタの透過率が、波長領域４９０ｎｍ〜５８０ｎｍにおいて８０％〜９７％であり、波長領域４００ｎｍ〜４５０ｎｍの透過率が５％以下であり、波長領域６５０ｎｍ〜７００ｎｍの透過率が１０％以下であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のカラーフィルタ。
【請求項７】
少なくとも着色材と、分散剤と、ポリマーと、光重合開始剤と、光重合性モノマーと、溶媒とを含む着色材含有感光性組成物であって、
前記光重合性モノマーは分子量が１０００以下であり、
前記ポリマーは分子量７０００〜２００００であり、
光重合性モノマーのポリマーに対する重量比率が０．２〜０．４の範囲にあることを特徴とする着色材含有感光性組成物。
【請求項８】
前記ポリマーが不飽和結合を有し、かつ前記ポリマーの二重結合当量が１５００以上であることを特徴とする、請求項７に記載の着色材含有感光性組成物。
【請求項９】
前記ポリマーの酸価が１００〜１５０ＫＯＨｍｇ/ｇであることを特徴とする、請求項７または８に記載の着色材含有感光性組成物。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれかに記載のカラーフィルタにおいて、前記着色材含有感光性組成物が、請求項７〜９のいずれかに記載の着色材含有感光性組成物であることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項１１】
請求項１〜６のいずれか、または請求項１０に記載のカラーフィルタを少なくとも備えることを特徴とする固体撮像素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ及び着色材含有感光性組成物、固体撮像素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般にＣＣＤやＣＭＯＳに代表される固体撮像素子は、二次元的に配列した複数画素を含んでいる。カラー画像を読取る固体撮像素子では、入射光をカラーフィルタの緑色、青色および赤色の着色層に通過させることによって、緑、青および赤の３色の光へと色分解し、これら着色光の強度を各画素が含んでいる光電変換素子で検出する。固体撮像素子は、このようにして色情報を含んだ画像信号を出力する。
また、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタは、フォトダイオードなどの光電変換部が形成された半導体基板上に、平坦化層を介して直接形成されている。従って固体撮像素子用のカラーフィルタをオンチップカラーフィルタと呼ぶことが多い。
【０００３】
オンチップカラーフィルタは、一般的なカラーフィルタ作成方法と同様にフォトリソグラフィ法を利用して形成することができる。着色材を含んだ感光性組成物、すなわちレジスト液を基板上に塗布し、プレベークを行った後、塗膜のパターン露光を行い、その後、アルカリ現像液を用いた現像工程にて塗膜の未露光部を除去し、残った塗膜をベークする。これにより、複数のフィルタセグメントからなる着色層を得る。
このようにして第１番目の着色層を形成し、その後、同様の工程を繰り返すことにより、第２および第３番目の着色層を順次形成する。
【０００４】
ここで、固体撮像素子用カラーフィルタの平面視でのカラーフィルタ配列の一例を図２に示す。図２では、便宜上６行６列の配列部分しか示していないが、カラーフィルタ全体ではｎ行ｍ列（ｎ、ｍは任意の自然数）である。
このカラーフィルタ配列では、四角形状の青色フィルタ（Ｂ）の４辺に接するように、市松模様状に四角形状の緑色フィルタ（Ｇ）が配置されている。また、同様に、四角形状の赤色フィルタ（Ｒ）の４辺に接するように、市松模様状に四角形状の緑色フィルタ（Ｇ）が配置されている。 
【０００５】
近年、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては、更なる画像の高精細化に向けて、画素数の拡大、すなわち画素の微細化が求められている。そして画素の微細化に伴い、カラーフィルタの薄膜化も必要とされる。
これは、カラーフィルタの画素サイズが小さくなっても膜厚が厚いままであると、製造工程において画素の解像性が低下し、また、その厚みのために受光素子までの距離が相対的に長くなる傾向があることによる。
膜厚が薄いカラーフィルタであれば、解像度が高く、生産性に優れ、かつ、集光のために設けられるマイクロレンズと受光素子との距離が近くなるので、そのようなカラーフィルタを用いることにより固体撮像素子のデバイス特性が向上し得る。
【０００６】
しかし、膜厚が薄くなってもカラーフィルタの分光特性は維持される必要がある。そこで、着色材含有感光性組成物の全固形分中における着色材含有量を増加させる試みがなされている。
【０００７】
しかし、着色材含有量を増加させた感光性組成物を用いてカラーフィルタの画素パターンを作成すると、感光性組成物中の着色剤を増加させた分、アルカリ現像液に可溶する成分が少なくなるために、現像後の四角形状の画素パターン上部の角が丸くなってしまうことがある。
【０００８】
画素パターン上部の角が丸くなると、角の部分は膜厚が薄くなるため、光が画素の上面から垂直に入射した際に、光を吸収しきれなくなり、かつ混色成分も透過してしまい、分光感度特性に影響を及ぼす。そして分光感度特性が本来のものより変化すると、色再現性が悪く、ざらつきが目立ち、画質劣化といった問題が起こる。
【０００９】
従って、パターン上部の角が丸くならないように、断面形状の矩形性が良好であることが求められている。そこで、パターンの断面形状の矩形性を良好にするために、従来から様々な対策が行われている。
【００１０】
たとえば特許文献１には、特定量の重合禁止剤を含む組成物が開示されている。
先に述べたようにパターンの微細化が求められているので、それに伴いカラーフィルタの薄膜化が必要である。そこで感光性組成物中の着色剤含有量は増加傾向にあり、他の成分は少なくせざるを得ない。しかし、特許文献１のように添加剤成分が増えると、モノマーやポリマーの量を減らさなくてはいけないため、現像性や解像性が不足することが懸念される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１０−２３０８４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は上記問題を鑑みてなされたものであり、現像後の画素パターンの断面形状の矩形性が良好となる着色感光性組成物およびそれを用いたカラーフィルタ、さらに固体撮像素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１は、
基板上に着色感光性組成物からなるパターンが形成されたカラーフィルタであって、
前記パターンの断面形状が矩形もしくは台形に近似した形状であり、かつ基板に接しない側の角部は丸みがあり、
前記断面形状の基板からの最大高さｈに対して９０％の高さで基板に平行な線を引いたときに、この平行線が前記断面形状の輪郭線と交わる２点をそれぞれａ１、ａ２とし、
前記最大高さｈに対して５０％の高さで基板に平行な線を引いたときに、この平行線が前記断面形状の輪郭線と交わる２点をそれぞれｂ１、ｂ２とし、
基板と前記断面形状の輪郭線とが交わる２点をそれぞれｃ１、ｃ２とし、
前記点ａ１、ａ２、ｂ２、ｂ１を結んで囲まれる四角形の面積をＳ１とし、
前記点ｂ１、ｂ２、ｃ２、ｃ１を結んで囲まれる四角形の面積をＳ２とし、
前記点ｃ１、ｃ２を結ぶ線分を底辺Ｌとし、
最大高さｈ×底辺Ｌで表される長方形の面積をＳとしたとき、
（Ｓ１＋Ｓ２）／Ｓで表される比が０．７５以上１．０以下であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００１４】
また、本発明の請求項２は、
前記（Ｓ１＋Ｓ２）／Ｓで表される比が０．８以上１．０以下であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタである。
【００１５】
本発明の請求項３は、
前記点ｃ１、ｂ１を結ぶ線分と前記底辺Ｌとがなす角θが、７５度以上９０度以下であ
ることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタである。
【００１６】
本発明の請求項４は、
前記点ｃ１、ｂ１を結ぶ線分と前記底辺Ｌとがなす角θが、８０度以上９０度以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタである。
【００１７】
本発明の請求項５は、
前記カラーフィルタの透過率が、波長領域４９０ｎｍ〜５８０ｎｍにおいて７５％〜９７％であり、波長領域４００ｎｍ〜４５０ｎｍの透過率が１０％以下であり、波長領域６５０ｎｍ〜７００ｎｍの透過率が２０％以下であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１つに記載のカラーフィルタである。
【００１８】
本発明の請求項６は、
前記カラーフィルタの透過率が、波長領域４９０ｎｍ〜５８０ｎｍにおいて８０％〜９７％であり、波長領域４００ｎｍ〜４５０ｎｍの透過率が５％以下であり、波長領域６５０ｎｍ〜７００ｎｍの透過率が１０％以下であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１つに記載のカラーフィルタである。
【００１９】
本発明の請求項７は、
少なくとも着色材と、分散剤と、ポリマーと、光重合開始剤と、光重合性モノマーと、溶媒とを含む着色材含有感光性組成物であって、
前記光重合性モノマーは分子量が１０００以下であり、
前記ポリマーは分子量７０００〜２００００であり、
光重合性モノマーのポリマーに対する重量比率が０．２〜０．４の範囲にあることを特徴とする着色材含有感光性組成物である。
【００２０】
本発明の請求項８は、
前記ポリマーが不飽和結合を有し、かつ前記ポリマーの二重結合当量が１５００以上であることを特徴とする、請求項７に記載の着色材含有感光性組成物である。
【００２１】
本発明の請求項９は、
前記ポリマーの酸価が１００〜１５０ＫＯＨｍｇ/ｇであることを特徴とする、請求項７または８に記載の着色材含有感光性組成物である。
【００２２】
本発明の請求項１０は、
請求項１〜６のいずれかに記載のカラーフィルタにおいて、前記着色材含有感光性組成物が、請求項７〜９のいずれかに記載の着色材含有感光性組成物であることを特徴とするカラーフィルタである。
【００２３】
本発明の請求項１１は、
請求項１〜６のいずれか１つ、または請求項１０に記載のカラーフィルタを少なくとも備えることを特徴とする固体撮像素子である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、現像後の画素パターンの断面形状の矩形性が良好となる着色材含有感光性組成物およびそれを用いたカラーフィルタ、固体撮像素子を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係る固体撮像素子の一例を模式的に示す断面図。
【図２】本発明の一実施形態に係る固体撮像素子用カラーフィルタの、平面視での３色（赤、青、緑）の配列の一例を示す図。
【図３】本発明の一実施形態に係る一画素におけるカラーフィルタの断面形状を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の一実施形態に係る着色材含有感光性組成物及びそれを用いたカラーフィルタ、固体撮像素子について詳細に説明する。
【００２７】
本実施形態の着色材含有感光性組成物は、少なくとも着色材と、分散剤と、光重合性モノマーと、ポリマーと、光重合開始剤と、溶剤とを含むものである。
【００２８】
固体撮像素子用カラーフィルタの着色材としては、主に、赤、緑、青を発色するものを使用する。本発明では緑色着色剤を用いた固体撮像素子用のカラーフィルタを事例として、緑色着色剤について詳しく記述する。
【００２９】
（着色材）
緑色着色材としては、緑色顔料または緑色染料あるいはそれらの中間体が使用可能である。緑色顔料としては、たとえば、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６、３７、５８を、緑色染料としては、たとえば、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄグリーン２５、４１を、それぞれ単独で、または、混合して使用することができる。。
【００３０】
さらに、緑色着色層には、黄色着色材を添加する、あるいは黄色着色層を重ねることができる。黄色着色材としては、たとえば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、１８５等の黄色顔料や、Ｃ．Ｉ．Ａｃｉｄイエロー１７、４９、６７、７２、１２７、１１０等の黄色染料を、それぞれ単独でまたは混合して使用することができる。
【００３１】
着色材含有感光性組成物は、硬化させたときに、典型的には顔料の濃度が５０質量％ないし６０質量％の範囲内にある硬化物を生じるように調整する。高精細の固体撮像素子用カラーフィルタは、パターンの微細化に伴い膜厚を薄くする必要があり、顔料の濃度が上記の範囲でないと充分な色特性を保つことができない。
【００３２】
（分散剤）
分散剤としては、顔料を均一に分散できるものならどのようなものを用いてもよい。特に、顔料に吸着する部位と、ポリマーと相溶する部位とを兼ね備えるような分散剤等が好適に用いられる。
【００３３】
（光重合性モノマー）
光重合性モノマーとしては、３官能以上の官能基数を持つアクリルモノマーを主成分としているものを使用する。たとえば、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンＰＯ変性（ｎ＝１）トリアクリレート、トリメチロールプロパンＰＯ変性（ｎ＝２）トリアクリレート、トリメチロールプロパンＥＯ変性（ｎ＝１）トリアクリレート、トリメチロールプロパンＥＯ変性（ｎ＝２）トリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性ジアクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性トリアクリレート、イソシアヌル酸ＥＯ変性ジトリアクリレート、または、それらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。より好ましくは６官能アクリルモノマー、またはそれ以上の官能基数を持つアクリルモノマーを用いることであり、また、これらは３官能アクリルモノマーと併用することも好ましい。
【００３４】
（ポリマー）
ポリマーとしては、たとえば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、活性エネルギー硬化性樹脂、または、それらの２つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 
【００３５】
熱可塑性樹脂としては、たとえば、ブチラール樹脂、スチレン−マレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリエチレン（ＨＤＰＥ、ＬＤＰＥ）、ポリブタジエン、ポリイミド樹脂、または、それらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。中でも透明性の良好なアクリル系樹脂が好ましく用いられる。
【００３６】
熱硬化性樹脂としては、たとえば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂、または、それらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 
【００３７】
活性エネルギー硬化性樹脂としては、たとえば、水酸基、カルボキシル基及びアミノ基などの反応性置換基を有する線状高分子に、イソシアネート基、アルデヒド基およびエポキシ基などの反応性置換基を有するアクリル化合物もしくはメタクリル化合物または桂皮酸を反応させて、先の線状高分子にアクリロイル基もしくはメタクリロイル基またはスチリル基光架橋性基を導入してなるものを使用することができる。
【００３８】
また、スチレン−無水マレイン酸共重合体およびα−オレフィン−無水マレイン酸共重合体などの酸無水物を含む線状高分子を、ヒドロキシアルキルアクリレートおよびヒドロキシアルキルメタクリレートなどの水酸基を有するアクリル化合物またはメタクリル化合物によってハーフエステル化してなるものを使用してもよい。 
【００３９】
ポリマーは数種類のモノマーやオリゴマーを共重合させて得られる。ポリマーを生成するモノマーおよびオリゴマーとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、２-ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２-ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、β-カルボキシエチル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６-ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、１,６-ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、エステルアクリレート、メチロール化メラミンの（メタ）アクリル酸エステル、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタンアクリレートなどの各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル、ペンタエリスリトールトリビニルエーテル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ-ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ-ビニルホルムアミド、アクリロニトリルなどが挙げられる。これらは、単独または２種類以上混合して用いることができる。
【００４０】
ポリマーは、アルカリ現像液に溶解するように酸性基を有するモノマーを共重合させたものであることが望ましい。酸性基としてはカルボキシル基が主に用いられ、カルボキシ
ル基含有モノマーとしては、例えば、不飽和モノカルボン酸や、不飽和ジカルボン酸、不飽和トリカルボン酸などの不飽和多価カルボン酸などの分子中に少なくとも１個のカルボキシル基を有する不飽和カルボン酸が挙げられる。
【００４１】
ここで、不飽和モノカルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α‐クロルアクリル酸、ケイ皮酸などが挙げられる。
不飽和ジカルボン酸としては、例えば、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸などが挙げられる。
【００４２】
不飽和多価カルボン酸は、その酸無水物、具体的には無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水シトラコン酸などであってもよい。また、不飽和多価カルボン酸は、そのモノ（２‐メタクリロイロキシアルキル）エステルであってもよく、例えば、コハク酸モノ（２‐アクリロイロキシエチル）、コハク酸モノ（２‐メタクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２‐アクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２‐メタクリロイロキシエチル）などであってもよい。不飽和多価カルボン酸は、その両末端ジカルボキシポリマーのモノ（メタ）アクリレートであってもよく、例えば、ω‐カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート、ω‐カルボキシポリカプロラクトンモノメタクリレートなどであってもよい。
これらのカルボキシル基含有モノマーは、それぞれ単独で又は２種以上を混合して用いることができる。
【００４３】
感光性組成物中の光重合性モノマーのポリマーに対する比率（＝光重合性モノマー／ポリマー）が０．２から０．４の範囲にあることが望ましく、より好ましくは０．２〜０．３の範囲にあることがよい。これらの範囲にあることで、画素パターンの断面形状の矩形性が良好となる。
この比率が０．２より小さいと、開始剤と反応する光重合性モノマー量が少ないため、硬化不足となりパターンが形成されない。また、露光感度が低下するため生産性も悪くなる。０．３より大きいと、矩形性は良好だがポリマーによる残渣が多くなる。０．４を超えると、光重合性モノマーが多く、モノマーが多いと現像液の浸透性が良くなり、現像速度が速くなるため、現像時間一定の工程においては過剰現像となり、パターンの角部が丸くなってしまう。また、過剰現像のため残渣が多くなりやすい。
【００４４】
感光性組成物中のポリマーの側鎖には不飽和二重結合が含有されていることが望ましく、ポリマー中に含まれる二重結合量は二重結合当量として１５００以上であることが望ましい。二重結合当量が１５００より小さいとポリマー鎖中の二重結合の数が多くなるため、重合反応が進みやすく、熱などによる暗反応も生じやすいため、未露光部に残渣が残りやすい。
【００４５】
感光性組成物中のポリマーは、現像液に対して溶解性が良好なものでないと、少量で微細なパターンを作製することはできない。そこでポリマーの酸価が１００ＫＯＨｍｇ／ｇ〜１５０ＫＯＨｍｇ／ｇの範囲内にあるものが好ましい。
酸価がこの範囲より大きいと、パターン部分のサイドエッチや表面荒れが起こる。それが原因で残渣が多くなりやすい。また、ポリマー中の酸性基が多くなると、顔料と分散剤との相溶性が悪くなり、着色材含有感光性組成物中の顔料が凝集して、経時で粘度が増加する懸念がある。
また、酸価がこの範囲より小さいと、現像液への溶解性が低下するため、現像工程に時間を要し、生産性に欠けることとなる。
【００４６】
なお、ここでいう酸価とは、ポリマー１ｇを中和するのに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常は水酸化カリウム（ＫＯＨ）溶液を用いた滴定により求めることができる。
【００４７】
感光性組成物中のポリマーの重量平均分子量が７０００ないし２００００の範囲内にあるものが好ましい。重量平均分子量が７０００未満であると、感光性組成物中に低分子量の化合物のみになってしまい、露光部の硬化不足となり断面矩形性の良好なパターンが得られない。一方、重量平均分子量が２００００以上となると、現像液への溶解性が劣り、現像速度が遅くなるため、未露光部に残渣が生じてしまい、生産性が悪くなる。
【００４８】
また、光重合性モノマーは分子量が１０００以下にあるものが好ましい。光重合性モノマーの分子量が１０００を越えると、分子サイズが大きくなるため、大きな分子の塊が重合してパターンの辺縁部の形状が不均一となり、解像性が悪化する。一方、光重合性モノマーの分子量が１０００以下の場合、分子量が小さい方が重合反応において緻密な網目構造となるため、密着性が向上するので好ましい。
【００４９】
（光重合開始剤）
光重合開始剤としては、たとえば、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、４−ｔ−ブチル−ジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン、および、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オンなどのアセトフェノン系光重合、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、および、ベンジルジメチルケタールなどのベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、および、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイドなどのベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサンソン、２−クロルチオキサンソン、２−メチルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン、および２、４−ジイソプロピルチオキサンソンなどのチオキサンソン系光重合開始剤、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ピペロニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−クロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシーナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（ピペロニル）−６−トリアジン、及び２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジンなどのトリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤、または、それらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 
【００５０】
（溶剤）
溶剤としては、たとえば、シクロヘキサン、シクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテルトルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤、または、それらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 
【００５１】
（添加剤）
また、着色材含有感光性組成物には、必要に応じて添加剤を入れることも行われる。添加剤としては、たとえば、界面活性剤、貯蔵安定剤、または、それらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【００５２】
界面活性剤としては、たとえば、ラウリル硫酸ソーダ、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ドデシルベンゼンスルホン酸ソーダ、スチレン−アクリル酸共重合体のアルカリ塩、ステアリン酸ナトリウム、アルキルナフタリンスルホン酸ナトリウム、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸ナトリウム、ラウリル硫酸モノエタノールアミン、ラウリル硫酸トリエタノールアミン、ラウリル硫酸アンモニウム、ステアリン酸モノエタノールアミン、ステアリン酸ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、スチレン−アクリル酸共重合体のモノエタノールアミン、および、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステルなどのアニオン性界面活性剤、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンモノステアレート、および、ポリエチレングリコールモノラウレートなどのノニオン性界面活性剤、アルキル４級アンモニウム塩、および、そのエチレンオキサイド付加物などのカオチン性界面活性剤、アルキルジメチルアミノ酢酸ベタインなどのアルキルベタイン、および、アルキルイミダゾリンなどの両性界面活性剤、シリコン系界面活性剤、または、それらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。 
【００５３】
貯蔵安定剤としては、たとえば、ベンジルトリメチルクロライド、ジエチルヒドロキシアミンなどの４級アンモニウムクロライド、乳酸およびシュウ酸などの有機酸、そのメチルエーテル、ｔ−ブチルピロカテコール、トリエチルホスフィンおよびトリフェニルホスフィンなどの有機ホスフィン、亜リン酸塩、または、それらの１つ以上を含んだ混合物を使用することができる。
【００５４】
（カラーフィルタ）
次に、本発明の一実施形態に係るカラーフィルタについて詳細に述べる。
【００５５】
図１は、本発明の一実施形態に係る固体撮像素子の構成の一例を模式的に示す断面図である。図１に示されるように、固体撮像素子１は、ＣＣＤイメージセンサあるいはＣＭＯＳイメージセンサなどの二次元イメージセンサであり、その構成としては、半導体チップ２と、第１の平坦化層３と、カラーフィルタ４と、第２の平坦化層５と、マイクロレンズアレイ６を備えている。半導体チップ２の内部には、複数の光電変換素子２１が設けられる。
【００５６】
カラーフィルタ４は、第１の平坦化層３上に設けられており、緑色着色層４Ｇと、赤色着色層４Ｒと、図示しない青色着色層４Ｂとを備えている。
【００５７】
図２は、カラーフィルタ４において、平面視での色の配列を示す図であり、３色すなわち赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の画素（フィルタセグメント）が配列されている様子である。
図２に示されるように、緑色着色層と、青色着色層と、赤色着色層とは、ベイヤ配列を構成する。緑色着色層４Ｇ（図１）は、平面視で市松模様状の配列パターンを形成している複数の緑色フィルタセグメントＧからなる。青色着色層は、互いから離間すると共に正方格子状の配列パターンを形成している複数の青色フィルタセグメントＢからなる。赤色着色層４Ｒ（図１）は、互いから離間すると共に正方格子状の配列パターンを形成している複数の赤色フィルタセグメントＲからなる。
【００５８】
フィルタセグメントＧ、ＢおよびＲは、面内方向に隣り合っており、ここでは、正方配列を採用している。これらフィルタセグメントＧ、ＢおよびＲは、それぞれ画素と向き合っている。
【００５９】
フィルタセグメントＧ、ＢおよびＲの平面視での縦横のパターン寸法は、たとえば、約０．８μｍないし約１０μｍの範囲内にあり、本実施形態の着色材含有感光性組成物において、パターン寸法は、約１．０μｍないし約２．５μｍの範囲内で用いられる。
【００６０】
（カラーフィルタの製造方法）
このように構成された固体撮像素子１におけるカラーフィルタ４は、たとえば、以下の方法により製造される。
【００６１】
まず、図１に示す半導体チップ２上に、第１の平坦化層３を形成する。
次に、第１の平坦化層３上に緑色着色層４Ｇを形成する。すなわち、上述した緑色着色材を含んだ感光性組成物を平坦化層３上に塗布して塗膜を形成し、プレベークにて感光性組成物中の溶剤をある程度乾燥させる。プレベークの前に真空状態に置いて溶剤を乾燥させることも適宜行われる。
【００６２】
次いで、フォトマスクを用いてパターン露光し、その後、塗膜を現像し、未露光部の感光性組成物を除去する。さらに、２００度以上の温度でベークを行う。
これにより、図２に示すような市松模様上の配列パターン（ここではＧのみ）からなる緑色着色層４Ｇを得る。なお、緑色着色層４Ｇの平面視での形状は、実際には画素の四隅を連結部でブリッジ状にした構造にすることが好ましく行われる（図示せず）。
【００６３】
次いで、第１の平坦化層３上に、緑色着色層４Ｇと同様の方法により、青色着色層４Ｂおよび赤色着色層４Ｒを形成することで、図２のＢ、Ｒのパターンが配置される。
これにより、本実施形態に係るカラーフィルタ４を得ることができる。尚、青色着色層４Ｂおよび赤色着色層４Ｒは、どちらを先に形成してもよい。
【００６４】
現像にはアルカリ性の現像液を用いることが好ましい。アルカリ性現像液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム等の無機アルカリ現像液、またはテトラヒドロキシアンモニウム等の有機アルカリ現像液を使用することができる。また、塗膜への濡れ性を高めるために、界面活性剤を現像液に含むことも好ましく行われる。
【００６５】
次に、上記方法で形成された緑色カラーフィルタ層４のパターンの断面形状における矩形性の評価方法について説明する。
【００６６】
まず、現像後のパターンの断面を走査型電子顕微鏡にて一定倍率で撮影し、画像を取得する。
図３はカラーフィルタの画素パターンの断面形状を示す模式図である。図３に示すように、取得した画像の基板に対して垂直方向の最大高さをｈとし、基板からｈの９０％の高さで基板に対して平行線を引いたときに断面形状の輪郭と交わる点をａ１、ａ２、基板からｈの５０％の高さで基板に対して平行線を引いたときに断面形状の輪郭と交わる点をｂ１、ｂ２、基板と断面形状の輪郭と交わる点ｃ１、ｃ２とし、ａ１、a２、ｂ２、ｂ１を結んで生じる四角形の面積をＳ１とし、ｂ１、ｂ２、ｃ２、ｃ１を結んで生じる四角形の面積をＳ２とする。
【００６７】
Ｓ１およびＳ２は台形の面積であり、得られた画像の（ａ１−ａ２）間寸法、（ｂ１−ｂ２）間寸法、（ｃ１−ｃ２）間寸法、および高さｈを計測することで、Ｓ１とＳ２の面積
を求めることが可能である。また、（ｃ１−ｃ２）間寸法と高さｈの長方形の面積をＳとする。この場合、Ｓは理想的な断面形状である。Ｓ１とＳ２の合計面積とＳの面積比を算出し、断面形状の矩形性が良好な範囲として、（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓが０．７５以上１以下であることが好ましく、０．８以上１以下となることがより好ましい。
【００６８】
また、取得した断面画像より、四角形Ｓ２の基板と平行方向の底辺と側辺のなす角度θを計測する。θが７５度以上９０度以下であることが好ましく、８０度以上９０度以下であることがより好ましい。
【００６９】
また本発明のカラーフィルタの分光特性は、波長領域４９０ｎｍ〜５８０ｎｍにおける透過率が７５％〜９７％であり、波長領域４００ｎｍ〜４５０ｎｍの透過率が１０％以下が好ましく、５％以下がより好ましい。また波長領域６５０ｎｍ〜７００ｎｍの透過率が２０％以下が好ましく、１０％以下がより好ましい。この範囲内の分光特性を有するカラーフィルタであれば、固体撮像素子に用いた場合の色再現性が良好となる。
逆にこの範囲外の分光特性のカラーフィルタでは、固体撮像素子にした場合の色再現性が悪くなる。
【００７０】
上記範囲を満たすカラーフィルタと、上記範囲外のカラーフィルタでは、固体撮像素子にした場合の緑色画素の分光感度曲線を比較すると、波長領域６５０ｎｍ〜７００ｎｍの感度が範囲外の方が２〜５％上昇し、赤色成分が混色する。また、波長領域４００〜４５０ｎｍの感度が範囲外の方が２〜５％上昇し、青色成分が混色し、分光感度特性が悪くなる。
このような画素を用いた固体撮像素子では、画像の色再現性やコントラストが悪くなり、センサーとしての品質劣化につながる。
【００７１】
本実施形態に係る着色材含有感光性組成物によれば、断面形状の矩形性が良好なパターンを得ることができる。そのため、固体撮像素子に用いたときに感度の低下や色再現性低下、画質劣化などを抑制することができ、高感度かつ高精細の固体撮像素子用カラーフィルタを得ることが可能となる。
【実施例】
【００７２】
以下に本発明の実施例を示すが、本発明の技術的範囲はこれらの実施例に限られるものではない。
【００７３】
（実施例１）
下記要領で固体撮像素子用カラーフィルタ作製に用いる緑色の着色材含有感光性組成物を調合した。
【００７４】
＜アクリルワニス１の合成＞
反応容器にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３７０部を入れ、容器に窒素ガスを注入しながら８０℃に加熱して、同温度でメタクリル酸シクロヘキシル１０部と、メタクリル酸ベンジル４０部と、メタクリル酸グリシジル−アクリル酸反応物２０部と、アクリル酸３０部との混合物を１時間かけて滴下して重合反応を行った。
滴下終了後、さらに８０℃で３時間反応させた後、アゾビスイソブチロニトリル１．０部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート５０部に溶解させたものを添加し、さらに８０℃で１時間反応を続けて、アクリル樹脂の溶液を得た。
アクリル樹脂の重量平均分子量は約１００００、酸価は１２０ＫＯＨｍｇ／ｇ、二重結合当量が２０００であった。室温まで冷却した後、樹脂溶液約２ｇをサンプリングして１８０℃、２０分加熱乾燥して不揮発分を測定し、先に合成した樹脂溶液に不揮発分が２０重量％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを添加してアクリルワニス溶液を調製し、アクリルワニス１を得た。
【００７５】
＜緑色着色材含有感光性組成物１＞
下記組成の混合物を均一に攪拌した後、直径１ｍｍのガラスビーズを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して緑色分散体Ａを作製した。
・緑色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ５８          ６．５重量部
・黄色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０      ６．５重量部
・分散剤：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（ビックケミー社製）  ５．０重量部
・アクリルワニス１（固形分２０％）                        ２５．０重量部
・溶剤：ＰＧＭＡＣ                                        ５７．０重量部
【００７６】
その後、下記材料の混合物を均一になるように攪拌混合した後、０．４５μｍのフィルタで濾過して、緑色着色材含有感光性組成物１を得た。
・上記の緑色分散体Ａ                                      ５２．０重量部
・光重合性モノマー：Ｍ−４０２（東亞合成製）                １．８重量部
・アクリルワニス１（固形分２０％）                          ３．８重量部
・光開始剤：ＯＸＥ−０１（ＢＡＳＦ製）                      ０．５重量部
・溶剤：ＰＧＭＡＣ                                        ４２．０重量部
【００７７】
＜基板作製＞
平坦化層を塗布したシリコーンウエハー基板に、上記組成で調合した緑色着色材含有感光性組成物液を、スピンコーターにて８００ｒｐｍで塗布した。
次いで、真空度１３０Ｐａ、１分間真空乾燥器に投入した後、８０℃、２分間ホットプレートで加熱しプレベークを実施した。
その後、露光部および未露光部の一片が１．１μｍの四角形パターンが市松模様状に配列したマスクを用いて、露光機（キャノン製：ＦＰＡ−５５１０ｉＺ）にて露光量３０００Ｊ／ｍ２にて露光を実施した。その後、アルカリ現像液（ＡＤＥＫＡ製：ＯＤ−２６０）にて現像を実施し、水洗、乾燥を行い、１．１μｍ角のパターンおよび１．１μｍ角で着色材含有感光性組成物の除去されたパターンが配列された基板を得た。
【００７８】
＜パターン断面矩形性評価＞
画素パターン部分の断面を走査型電子顕微鏡（日立ハイテクノロジー製：ｓ−４８００）にて３００００倍で観察し、画像を撮影した。
取得した画像の断面形状において、基板に対して垂直方向の最大高さ（ｈ）、基板からｈの９０％の高さで基板に対して平行線を引いたときに断面形状の輪郭と交わる点ａ１、ａ２、基板からｈの５０％の高さで基板に対して平行線を引いたときに断面形状の輪郭と交わる点ｂ１、ｂ２、基板と断面形状の輪郭と交わる点ｃ１、ｃ２とし、ａ１、a２、ｂ１、ｂ２を結んで生じる四角形の面積をＳ１、ｂ１、ｂ２、ｃ１、ｃ２を結んで生じる四角形の面積をＳ２とする。得られた画像の（ａ１−ａ２）間、（ｂ１−ｂ２）間、（ｃ１−ｃ２）間、高さｈを計測し、Ｓ１とＳ２の面積を求めた。また、（ｃ１−ｃ２）間と高さｈの長方形の面積Ｓを算出し、（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓを求めた。
また、四角形Ｓ２の基板と平行方向の底辺と側辺のなす角度θを計測した。
【００７９】
（比較例１）
実施例１で作製したアクリルワニス１を用いて、緑色着色剤含有感光性組成物２を下記要領で作製した。
【００８０】
＜緑色着色材含有感光性組成物２＞
下記組成の混合物を均一に攪拌した後、直径１ｍｍのガラスビーズを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して緑色分散体Ａを作製した。
・緑色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｇｒｅｅｎ５８          ６．５重量部
・黄色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０      ６．５重量部
・分散剤：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（ビックケミー社製）  ５．０重量部
・アクリルワニス１（固形分２０％）                        ２５．０重量部
・溶剤：ＰＧＭＡＣ                                        ５７．０重量部
【００８１】
その後、下記材料の混合物を均一になるように攪拌混合した後、０．４５μｍのフィルタで濾過しての緑色着色材含有感光性組成物２を得た。
・上記の緑色分散体Ａ                                      ５２．０重量部
・光重合性モノマー：Ｍ−４０２（東亞合成製）                ０．８重量部
・アクリルワニス１（固形分２０％）                          ９．０重量部
・光開始剤：ＯＸＥ−０１（ＢＡＳＦ製）                      ０．４重量部
・溶剤：ＰＧＭＡＣ                                        ３７．８重量部
【００８２】
＜基板作製＞
実施例１と同様の方法で行った。
【００８３】
＜パターン断面矩形性評価＞
実施例１と同様の方法で行った。
【００８４】
（比較例２）
実施例１で作製したアクリルワニス１を用いて、緑色着色剤含有感光性組成物３を下記要領で作製した。
【００８５】
＜緑色着色材含有感光性組成物３＞
下記組成の混合物を均一に攪拌した後、直径１ｍｍのガラスビーズを用いて、サンドミルで５時間分散した後、５μｍのフィルタで濾過して緑色分散体Ｂを作製した。
・緑色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｎｔ  Ｇｒｅｅｎ５８        ６．５重量部
・黄色顔料：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ１５０    ６．５重量部
・分散剤：Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（ビックケミー社製）  ５．０重量部
・アクリルワニス１（固形分２０％）                        １５．０重量部
・溶剤：ＰＧＭＡＣ                                        ６７．０重量部
【００８６】
その後、下記材料の混合物を均一になるように攪拌混合した後、０．４５μｍのフィルタで濾過しての緑色着色材含有感光性組成物３を得た。
・上記の緑色分散体Ｂ                                      ５２．０重量部
・光重合性モノマー：Ｍ−４０２（東亞合成製）                ３．５重量部
・アクリルワニス１（固形分２０％）                          １．２重量部
・光開始剤：ＯＸＥ−０１（ＢＡＳＦ製）                      ０．４重量部
・溶剤：ＰＧＭＡＣ                                        ４３．０重量部
【００８７】
＜基板作製＞
実施例１と同様の方法で行った。
【００８８】
＜パターン断面矩形性評価＞
実施例１と同様の方法で行った。
【００８９】
光重合性モノマーのポリマーに対する比率と断面画像より計測した値を表１に示す。  
【００９０】
【表１】
2018081171.tif 000003
【００９１】
実施例１ではモノマーのポリマーに対する比率が０．３であり、その感光性組成物を用いてパターンを作製し、断面形状を観察すると、断面の矩形性は良好であり、（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓで表される比は０．９０、θ＝８１°となった。
比較例１では（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓで表される比は０．８０であったが、θ＝７３°であり、矩形性は悪かった。比較例２ではモノマーのポリマーに対する比率が０．８であり、その着色材含有感光性組成物を用いてパターンを作製し、断面形状を観察すると上部が丸みを帯びた形状となっており、（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓで表される比は０．６８、θは７０°であり、断面形状は放物状になっていた。
【００９２】
実施例１、比較例１、比較例２の着色材含有感光性組成物を用いて図1に示すセンサーを作製し、緑色画素の分光感度特性を測定した。波長４５０ｎｍの感度と波長６７５ｎｍの感度を表２に示す。
【００９３】
【表２】
2018081171.tif 000004
【００９４】
実施例１に対して、比較例１は波長４５０ｎｍにおける感度が２．５％高く、比較例２は５％高く測定された。また、波長６７５ｎｍにおける感度は、実施例に対し比較例１は３％、比較例２は５．５％高く測定され、比較例１、比較例２は実施例よりも赤色成分および青色成分の混色により波長４５０ｎｍおよび６７５ｎｍの感度が高くなった。
このことより、比較例１、比較例２のセンサーは、実施例のセンサーよりも赤色成分、青色成分の混色影響が大きく、センサー特性が劣ることが示された。
【００９５】
実施例１の（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓで表される比は０．９０であり、断面矩形性は良好であった。また、実施例１の分光感度特性は、青色成分の影響をうける波長４５０ｎｍおよび赤色成分の影響をうける波長６７５ｎｍの感度は比較例１、２より低い。
比較例１の（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓで表される比は０．８０と、実施例１より値が小さく断面矩形性が実施例１より悪く、分光感度特性において波長４５０ｎｍおよび６７５ｎｍの感度は実施例１より高い。
また、比較例２の（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓで表される比は０．６８と比較例１よりもさらに値が小さく、断面矩形性も比較例１よりさらに劣る。分光感度特性においては、波長４５０ｎｍおよび６７５ｎｍの感度が比較例１よりさらに高い。
【００９６】
比較例１は実施例１よりも赤色成分、青色成分の影響を受けており、比較例２は比較例１よりさらに赤色成分、青色成分の影響を受けていることになる。このことより、（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓで表される比が高く、断面矩形性が良好であれば混色しにくく、（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓで表される比が小さくなるほど断面矩形性が悪く混色しやすいことになり、（Ｓ１＋Ｓ２）/Ｓで表される比が高い方がセンサーとして優れていることになる。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
本発明に係る着色材含有感光性組成物、及びそれを用いたカラーフィルタは、ＣＣＤやＣＭＯＳなどの固体撮像素子を備えた固体撮像素子などに利用できる。
【符号の説明】
【００９８】
１：固体撮像素子
２：半導体チップ
３：第１の平坦化層
４：カラーフィルタ
４Ｇ：緑色フィルタ
４Ｒ：赤色フィルタ
５：第２の平坦化層
６：マイクロレンズアレイ
２１：光電変換素子
【図１】
2018081171.tif 000005
【図２】
2018081171.tif 000006
【図３】
2018081171.tif 000007