(57)【要約】【課題】矯正された状態で接着剤を用いて筐体に取り付けられている光学部材を得ることを目的とする。【解決手段】開口部７４に光学部材５４が挿入された長尺状の筐体５８を治具１０２に取り付けた状態で、筐体５８に矯正力Ｆ１を付与して筐体５８を治具１０２に対して矯正する筐体矯正状態１１０、及び筐体５８に短手方向ＴＨから挟持する挟持力Ｆ２を付与して光学部材５４を筐体５８に対して矯正する光学部材矯正状態１１６を形成する矯正工程と、光学部材矯正状態１１６で光学部材５４を筐体５８に接着剤８２で固定する固定工程と、を備える。【選択図】図１１
2018202701.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部に光学部材が挿入された長尺状の筐体を治具に取り付けた状態で、前記筐体に矯正力を付与して該筐体を前記治具に対して矯正する筐体矯正状態、及び前記筐体に短手方向から挟持する挟持力を付与して前記光学部材を前記筐体に対して矯正する光学部材矯正状態を形成する矯正工程と、
前記光学部材矯正状態で前記光学部材を前記筐体に接着剤で固定する固定工程と、
を備えた光学装置の製造方法。
【請求項２】
前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を形成した後に前記光学部材矯正状態を形成する請求項１に記載の光学装置の製造方法。
【請求項３】
前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を形成した後に前記矯正力を解除してから前記光学部材矯正状態を形成する請求項２に記載の光学装置の製造方法。
【請求項４】
前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を維持したまま前記光学部材矯正状態を形成する請求項２に記載の光学装置の製造方法。
【請求項５】
前記矯正工程は、前記矯正力及び前記挟持力を分力として生じさせる押圧力を前記筐体の短手方向の両側部に加えて前記筐体矯正状態及び前記光学部材矯正状態を形成する請求項１に記載の光学装置の製造方法。
【請求項６】
前記矯正工程は、前記筐体の前記両側部に形成された傾斜面に対して交差する方向へ押圧力を加えて前記矯正力及び前記挟持力を分力として生じさせる請求項５に記載の光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、複数個の発光素子アレイチップが主走査方向に直線状に配列されているヘッド基板の上方に、上部にロッド光学部材が挿入される矩形状の枠体を有したハウジングを配設してなる光プリンタヘッドが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２２５３３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、矯正された状態で光学部材が接着剤を用いて筐体に取り付けられている光学装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の光学装置の製造方法は、開口部に光学部材が挿入された長尺状の筐体を治具に取り付けた状態で、前記筐体に矯正力を付与して該筐体を前記治具に対して矯正する筐体矯正状態、及び前記筐体に短手方向から挟持する挟持力を付与して前記光学部材を前記筐体に対して矯正する光学部材矯正状態を形成する矯正工程と、前記光学部材矯正状態で前記光学部材を前記筐体に接着剤で固定する固定工程と、を備えている。
【０００６】
請求項２の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を形成した後に前記光学部材矯正状態を形成する。
【０００７】
請求項３の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を形成した後に前記矯正力を解除してから前記光学部材矯正状態を形成する。
【０００８】
請求項４の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記筐体矯正状態を維持したまま前記光学部材矯正状態を形成する。
【０００９】
請求項５の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記矯正力及び前記挟持力を分力として生じさせる押圧力を前記筐体の短手方向の両側部に加えて前記筐体矯正状態及び前記光学部材矯正状態を形成する。
【００１０】
請求項６の光学装置の製造方法は、前記矯正工程は、前記筐体の前記両側部に形成された傾斜面に対して交差する方向へ押圧力を加えて前記矯正力及び前記挟持力を分力として生じさせる。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の光学装置の製造方法では、矯正された状態で接着剤を用いて筐体に取り付けられている光学部材を得ることができる。
【００１２】
請求項２の光学装置の製造方法では、治具に対してずれた状態で筐体が短手方向から挟持される場合と比して、光学部材の矯正不良を抑制することができる。
【００１３】
請求項３の光学装置の製造方法では、筐体矯正状態を形成した後に矯正力を解除しない場合と比して、小さな挟持力で光学部材の矯正不良を抑制することができる。
【００１４】
請求項４の光学装置の製造方法では、筐体矯正状態を解除してから光学部材矯正状態を形成する場合と比して、筐体に対する光学部材の位置精度を高めることができる。
【００１５】
請求項５の光学装置の製造方法では、筐体矯正状態を形成する機構と光学部材矯正状態を形成する機構とを用いる場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。
【００１６】
請求項６の光学装置の製造方法では、筐体を斜めに押す場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第一実施形態に係る画像形成装置を示す概略構成図である。
【図２】第一実施形態に係る露光装置を示した斜視図である。
【図３】第一実施形態に係る露光装置を示した分解斜視図である。
【図４】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図５】第一実施形態に係る製造装置を示す側面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ断面図である。
【図７】第一実施形態に係る製造装置を示す斜視図である。
【図８】（Ａ）は、治具にセットした筐体にずれが生じた状態を示す側面図であり、（Ｂ）は、図８（Ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
【図９】（Ａ）は、反りのある筐体が治具にセットされた状態を示す側面図であり、（Ｂ）は、図９（Ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
【図１０】ずれが生じた筐体や反りのある筐体で光学部材を矯正する様子を示す説明図である。
【図１１】第一実施形態に係る矯正工程の筐体矯正状態を示す側面図である。
【図１２】第一実施形態に係る筐体に接着剤を充填した状態を示す断面図である。
【図１３】第一実施形態に係る矯正工程の光学部材矯正状態を示す側面図である。
【図１４】第一実施形態に係る筐体に封止剤を塗布し、実装基板を取り付けた状態を示す説明図である。
【図１５】第二実施形態に係る矯正工程を示す説明図である。
【図１６】第三実施形態に係る矯正工程を示す説明図である。
【図１７】第四実施形態に係る矯正工程を示す説明図である。
【図１８】第五実施形態に係る矯正工程を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
＜第一実施形態＞
以下、図１から図１４を参照しつつ、第一実施形態に係る光学装置の製造方法について説明する。
【００１９】
図１は、本実施形態に係る画像形成装置１０を示す概略図であり、この画像形成装置１０は、長尺の媒体に画像を形成する装置である。なお、図中に示す矢印Ｈは装置上下方向（鉛直方向）を示し、矢印Ｗは装置幅方向（水平方向）を示し、矢印Ｄは装置奥行方向（水平方向）を示す。
【００２０】
（全体構成）
画像形成装置１０の装置本体１０Ａには、転写ユニット３２を構成すると共に、複数のローラ１２に張架され、モータ（図示省略）の駆動により矢印Ａ方向に周回される無端ベルト状の中間転写体ベルト１４が設けられている。
【００２１】
この画像形成装置１０は、カラー画像の形成に対応しており、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の４色に対応するトナー画像を形成する画像形成ユニット２８Ｙ、２８Ｍ、２８Ｃ、２８Ｋが、中間転写体ベルト１４の周回方向に沿って配置され、装置本体１０Ａに脱着可能に支持されている。
【００２２】
なお、各色に設けられた部材については、符号の末尾に各々の色を示すアルファベット（Ｙ／Ｍ／Ｃ／Ｋ）を付与して示すが、特に色を区別せずに説明する場合は、この末尾のアルファベットを省略して説明する。
【００２３】
〔画像形成ユニット〕
画像形成ユニット２８は、図示しないモータ及びギアからなる駆動手段によって時計方向へ回転する像保持体１６を備えている。さらに、像保持体１６の周面には、像保持体１６の表面を所定の電位に一様に帯電させる帯電ローラ１８が配置されている。
【００２４】
また、像保持体１６の回転方向において帯電ローラ１８よりも下流側には、像保持体１６上に光を照射して静電潜像を形成する露光装置２０が像保持体１６の軸方向に延びている。この露光装置２０は、画像データに応じて光ビームを像保持体１６に照射することにより、像保持体１６上に静電潜像を形成する。なお、露光装置２０については詳細を後述する。
【００２５】
さらに、像保持体１６の回転方向において露光装置２０よりも下流側には、像保持体１６上に形成された静電潜像を所定色（イエロー／マゼンタ／シアン／ブラック）のトナーによって現像してトナー画像を形成させる現像装置２２が配置されている。
【００２６】
〔転写ユニット〕
像保持体１６の回転方向において現像装置２２よりも下流側には、転写ユニット３２を構成する転写ローラ３０が、中間転写体ベルト１４を挟んで像保持体１６の反対側に配置されている。
【００２７】
これに対して、中間転写体ベルト１４の周回方向において各色の像保持体１６よりも下流側には、対向する２つのローラ３４Ａ、３４Ｂを含んで構成される転写装置３４が配置されている。そして、画像形成装置１０の底部に設けられた用紙トレイ３６から取り出されて、このローラ３４Ａ、３４Ｂの間に搬送されてきた記録媒体としてのシート部材Ｐに、中間転写体ベルト１４上に形成された最終トナー画像が転写される。
【００２８】
〔定着ユニット〕
また、最終トナー画像が転写されたシート部材Ｐの搬送経路には、定着装置４０が設けられている。定着装置４０に搬送されたシート部材Ｐは、加熱ローラ４０Ａと加圧ローラ４０Ｂとによって挟持搬送されることにより、シート部材Ｐ上のトナーが、溶融すると共にシート部材Ｐに圧着されてシート部材Ｐに定着される。
【００２９】
（全体構成の作用）
この画像形成装置１０では、次のようにして画像が形成される。
【００３０】
先ず、帯電ローラ１８が、像保持体１６の表面を予定の帯電部電位で一様にマイナス帯電する。さらに、帯電された像保持体１６上の画像部分が予定の露光部電位になるように露光装置２０で露光を行ない像保持体１６上に静電潜像が形成される。そして、回転する像保持体１６上の静電潜像が現像装置２２によってトナー画像として可視化される。
【００３１】
可視化された各色のトナー画像は、転写ローラ３０の静電気力で中間転写体ベルト１４へ順次転写され、中間転写体ベルト１４上にカラーの最終トナー画像が形成される。
【００３２】
この最終トナー画像は転写装置３４に設けられたローラ３４Ａ、３４Ｂの間に送り込まれる。そして、この最終トナー画像は、用紙トレイ３６から取り出されてローラ３４Ａ、３４Ｂの間に搬送されてきたシート部材Ｐに転写される。
【００３３】
さらに、シート部材Ｐへ転写されたトナー画像は定着装置４０でシート部材Ｐに定着され、シート部材Ｐは装置外へ排出される。
【００３４】
（要部構成）
次に、露光装置２０の構成について説明する。
【００３５】
〔露光装置の構成〕
像保持体１６の下方に配置された露光装置２０は、図２及び図３に示すように、装置奥行方向Ｄへ延びるＬＥＤプリントヘッドであり、露光装置２０は、光学装置の一例である。
【００３６】
露光装置２０は、筐体５８と、筐体５８に取り付けられた実装基板５０と、筐体５８に固定された光学部材５４を備えている。光学部材５４は、図４に示すように、接着剤８２によって筐体５８に固定されており、接着剤８２の表面は、封止剤８４で覆われている。
【００３７】
［実装基板］
実装基板５０は、図２及び図３に示したように、プリント配線基板であって、装置奥行方向Ｄに延びている。実装基板５０は、基板本体５２と、基板本体５２に実装された複数の発光ダイオード６２Ａで構成された発光ダイオードアレイ６２と、基板本体５２に実装された電子部品６４（図４参照）とを備えている。
【００３８】
基板本体５２は、板面が上下方向を向くように配置され、上方から見て、装置奥行方向Ｄに延びる矩形状とされている。
【００３９】
発光ダイオード６２Ａは、発光素子の一例であって、基板本体５２の上面に、装置奥行方向に延びるように、千鳥状に実装されている。
【００４０】
電子部品６４は、図４に示したように、基板本体５２の下面に実装されており、電子部品６４は、各発光ダイオード６２Ａの発光を制御する。
【００４１】
［光学部材］
光学部材５４は、レンズアレイを構成し、図２及び図３に示したように、実装基板５０の上方に配置され装置奥行方向Ｄに延びる直方体状とされている。そして、光学部材５４は、装置奥行方向Ｄに延びるように、千鳥状に配置された複数のロッドレンズ５６を備えており、発光ダイオードアレイ６２の発光ダイオード６２Ａからの光がロッドレンズ５６を透過する。
【００４２】
また、本実施形態では、光学部材５４が筐体５８に取り付けられておらず、かつ、荷重が負荷されていない自由状態において、光学部材５４には、１．５°程度の小さな捻れが生じている。この場合の光学部材５４の捻れとは、光学部材５４の長手方向ＮＨに対して直交する断面において、光学部材５４の一端から他端までの間で、光学部材５４が傾くように変化する変形である。なお、各図において、光学部材５４の捻れについては、捻れが小さいため省略する。
【００４３】
この構成において、後述する筐体５８に、光学部材５４、及び実装基板５０が取り付けられた状態で、光学部材５４のロッドレンズ５６と発光ダイオードアレイ６２とが対向する。さらに、光学部材５４の上方側の部分は、筐体５８から突出する。そして、発光ダイオード６２Ａから出射された光は、ロッドレンズ５６を透過し、像保持体１６（図１参照）に結像する。
【００４４】
［筐体］
筐体５８は、樹脂材料で一体的に形成され、装置奥行方向Ｄに延びる長尺状に形成されている。また、筐体５８には、図３及び図４に示したように、上下方向に貫通する開口部７４が装置奥行方向Ｄに延設されており、開口部７４には、光学部材５４の下方側の部分が挿入されている。そして、筐体５８は、実装基板５０が取り付けられた本体部７０と、光学部材５４を保持するレンズ保持部７６とを有している。
【００４５】
開口部７４は、図４に示したように、光学部材５４が挿入される挿入部７４Ａと、挿入部７４Ａの下部に設けられ挿入部７４Ａより幅広の幅広部７４Ｂと、幅広部７４Ｂの下部に設けられ幅広部７４Ｂより幅広で下方へ開放された開放部７４Ｃとを備える。幅広部７４Ｂと開放部７４Ｃとの間には、段部７０Ａが形成されており、段部７０Ａには、実装基板５０の外周部分が支持された状態で図示せぬ接着剤等で固定されている。
【００４６】
レンズ保持部７６には、開口部７４の挿入部７４Ａが形成されると共に、図３に示したように、光学部材５４を装置幅方向Ｗから挟む一対の内壁面７６Ａが形成されている。また、レンズ保持部７６には、装置幅方向Ｗの外側（光学部材５４の反対側）を向く一対の外壁面７６Ｂが形成されている。また、レンズ保持部７６には、上方を向いた上向き面７６Ｃが形成されている。
【００４７】
この上向き面７６Ｃには、図２及び図３に示したように、光学部材５４を筐体５８に取り付けるための接着剤８２が付与される付与部８０が、複数形成されている。
【００４８】
具体的には、付与部８０は、開口部７４を挟んで、装置幅方向Ｗに対向するように形成され、対向した一対の付与部８０が、装置奥行方向Ｄに間隔を空けて複数配置されている。そして、夫々の付与部８０は、上方側の部分が開いたテーパー形状とされている。
【００４９】
この構成において、光学部材５４の下方側の部分を、筐体５８の開口部７４に挿入し、光学部材５４を筐体５８に取り付ける前の状態では、装置幅方向Ｗにおいて、内壁面７６Ａと光学部材５４との間に隙が生じている（隙間を誇張して記載した図１２参照）。
【００５０】
［接着剤・封止剤］
接着剤８２は、紫外線硬化型の接着剤である。この接着剤８２は、図２及び図３に示したように、筐体５８のレンズ保持部７６に形成された付与部８０に充填されている。接着剤８２は、自由状態で、捻れが生じている光学部材５４の形状が矯正された状態で、光学部材５４を筐体５８に接着して取り付けている。
【００５１】
ここで、「捻れが生じている光学部材５４の形状が矯正された状態で、光学部材５４を筐体５８に接着して取り付けている」とは、接着剤８２による光学部材５４の拘束を解除すると、光学部材５４の捻れが再現されることである。具体的には、筐体５８に取り付けられている光学部材５４を筐体５８から取り外すと、光学部材５４の装置幅方向Ｗを向く側面５４Ａ（図３参照）の平面度（ＪＩＳＢ０４１９  １９９１）が、０．０５以上悪化し、光学部材５４の捻れが再現されることである。
【００５２】
封止剤８４は、図４に示したように、光学部材５４と筐体５８との間を封止するように塗布されている。そして、封止剤８４は、埃等が、露光装置２０の外部から露光装置２０の内部に侵入するのを防止している。
【００５３】
〔露光装置の製造装置〕
次に、図５から図７を参照しつつ、露光装置２０を製造するための露光装置の製造装置１００について説明する。
【００５４】
製造装置１００は、露光装置２０がセットされる治具１０２を備えている。製造装置１００は、図５及び図６に示したように、露光装置２０の筐体５８に矯正力Ｆ１を付与して筐体５８の治具１０２への取付状態を矯正する筐体矯正部１０４を備えている。また、製造装置１００は、図７に示したように、筐体５８に短手方向ＴＨから挟持する挟持力Ｆ２を付与して光学部材５４の筐体５８への取付状態を矯正する光学部材矯正部１０６とを備えている。
【００５５】
［治具］
治具１０２は、図５から図７に示すように、露光装置２０より長さ寸法が長い平板状のベース１０２Ａと、ベース１０２Ａの中央部に突設された凸部１０２Ｂと、凸部１０２Ｂの中央部より延出した板状の延出部１０２Ｃとを有している。
【００５６】
凸部１０２Ｂは、図６に示したように、セットされた筐体５８の開口部７４における幅広部７４Ｂに嵌め込める大きさに形成されている。凸部１０２Ｂの上面１０２Ｄは、筐体５８の段部７０Ａを面接触させた状態で筐体５８への治具１０２の挿入量（装置上下方向Ｈ方向の位置）を規定する基準面を構成する。すなわち、凸部１０２Ｂは、開口部７４における挿入部７４Ａへの光学部材５４の挿入量を定める基準を構成し、凸部１０２Ｂからの延出部１０２Ｃの延出量は、筐体５８の段部７０Ａから光学部材５４の下面５４Ｂまでの離間距離を定めた規定値と同寸法に設定されている。
【００５７】
［筐体矯正部］
筐体矯正部１０４は、図５及び図６に示すように、矩形長尺状に形成されており、筐体５８に形成された開口部７４の両側の上向き面７６Ｃに対応して一対設けられている。夫々の筐体矯正部１０４の下面１０４Ａは、平坦面で構成されており、開口部７４の両脇の上向き面７６Ｃに面接触して矯正力Ｆ１を付与する。
【００５８】
筐体矯正部１０４は、昇降装置１０８で昇降され、昇降装置１０８は、一例として複数のソレノイドで構成されている。昇降装置１０８は、図示しない制御部に接続され、制御部からの制御信号に従って動作する。
【００５９】
昇降装置１０８は、制御部からの制御信号に応じ、筐体矯正部１０４を下降して筐体５８の上向き面７６Ｃを下方へ矯正力Ｆ１で押圧した筐体矯正状態１１０と（図１１参照）、筐体矯正部１０４を上昇して筐体５８の上向き面７６Ｃから離間させた筐体矯正解除状態１１２とを形成する（図５及び図６参照）。
【００６０】
筐体矯正状態１１０では、図１１に示したように、筐体矯正部１０４が筐体５８を下方へ押圧し筐体５８の段部７０Ａを治具１０２の凸部１０２Ｂの上面１０２Ｄに押し付け、筐体５８を治具１０２に対して矯正する。これにより、治具１０２への筐体５８の取付状態を矯正する。
【００６１】
筐体５８の取付状態の矯正としては、筐体５８の取付位置や姿勢の矯正が挙げられる。図８（筐体５８がずれた状態を誇張した図）に示すように、筐体５８がずれた状態で治具１０２に取り付けられている場合には、筐体５８の段部７０Ａが全域に渡って治具１０２の凸部１０２Ｂの上面１０２Ｄに面接するように矯正する。また、筐体５８の取付状態の矯正としては、筐体５８の形状の矯正が挙げられる。例えば図９に示すように、筐体５８に上方へ湾曲する反りがある場合には、筐体５８の段部７０Ａが全域に渡って治具１０２の凸部１０２Ｂの上面１０２Ｄに面接するようにして、反りが無くなるように矯正する。
【００６２】
［光学部材矯正部］
光学部材矯正部１０６は、図７に示すように、装置奥行方向Ｄに延び、筐体５８の外壁面７６Ｂを装置幅方向Ｗから挟むように、一対設けられている。また、夫々の光学部材矯正部１０６は、筐体５８の外壁面７６Ｂ側に突出した複数の突出部１０６Ａを有している。この突出部１０６Ａは、装置奥行方向Ｄに間隔を空け、かつ、装置奥行方向Ｄにおいて、筐体５８の付与部８０とは異なる位置に配置されている。
【００６３】
光学部材矯正部１０６は、移動装置１１４で装置幅方向Ｗへ移動され、移動装置１１４は、一例としての複数のソレノイドで構成されている。移動装置１１４は、図示しない制御部に接続され、制御部からの制御信号に従って動作する。
【００６４】
移動装置１１４は、制御部からの制御信号に応じ、一対の光学部材矯正部１０６を近接する方向へ移動した光学部材矯正状態１１６と（図１３参照）、一対の光学部材矯正部１０６を離れる方向へ移動した光学部材矯正解除状態１１８とを形成する（図７及び図１１参照）。
【００６５】
光学部材矯正状態１１６では、光学部材矯正部１０６の突出部１０６Ａがレンズ保持部７６の外壁面７６Ｂを両側から押圧し、筐体５８を介して光学部材５４を挟んで光学部材５４を筐体５８に対して矯正する。これにより、光学部材５４の取付状態を矯正する。
【００６６】
光学部材５４の取付状態の矯正としては、光学部材５４の形状（捻れ）の矯正が挙げられる。また、光学部材５４の取付状態の矯正としては、光学部材５４を筐体５８の中心に移動させる光学部材５４の取付位置の矯正が挙げられる。
【００６７】
一方、光学部材矯正解除状態１１８では、一対の光学部材矯正部１０６の突出部１０６Ａが外壁面７６Ｂから離間する。
【００６８】
〔露光装置の製造方法〕
次に、製造装置１００を用いて、露光装置２０を製造する露光装置の製造方法について説明する。なお、製造装置１００の非稼働状態において、筐体矯正部１０４は筐体矯正解除状態１１２とされており、光学部材矯正部１０６は、光学部材矯正解除状態１１８とされている。また、露光装置の製造方法を説明する上で用いる方向については、露光装置２０を説明で用いた方向を使用する。
【００６９】
先ず、図６に示したように、筐体５８を治具１０２に取り付け、光学部材５４の下方側の部分を筐体５８の開口部７８における挿入部７４Ａへ挿入する。具体的には、光がロッドレンズ５６を透過する方向が装置上下方向となるように、光学部材５４を開口部７８に挿入し、光学部材５４の下面５４Ｂを延出部１０２Ｃの頂面１０２Ｅに面接触した状態で支持する。なお、この状態では、光学部材５４は、筐体５８に対して拘束されておらず、筐体５８に対して装置幅方向Ｗにガタついている。
【００７０】
このとき、図８に示すように、治具１０２に対して筐体５８が傾斜して取り付けられることがあり、この場合、図８（Ｂ）に示すように、筐体５８の段部７０Ａが治具１０２の凸部１０２Ｂの上面１０２Ｄから浮いた状態となる。
【００７１】
また、図９に示すように、上方へ湾曲する反りが筐体５８に生じている場合、図９（Ｂ）に示すように、筐体５８の段部７０Ａが治具１０２の凸部１０２Ｂの上面１０２Ｄから部分的に浮いた状態となり、筐体５８の一部にずれを生ずる。
【００７２】
このような状態で、光学部材矯正部１０６を作動して光学部材矯正状態１１６とすると、図１０（筐体矯正状態１１０を形成しない比較例）に示すように、光学部材矯正部１０６の突出部１０６Ａが筐体５８のレンズ保持部７６以外の部位を押圧することがある。この場合、光学部材５４の矯正不良が生じたり、光学部材矯正部１０６の突出部１０６Ａの破損を生じたりすることがあり得る。
【００７３】
そこで、本実施形態では矯正工程において、図１１に示すように、筐体５８に矯正力Ｆ１を付与して筐体５８を治具１０２に対して矯正する筐体矯正状態１１０を形成する。
【００７４】
具体的には、昇降装置１０８で筐体矯正部１０４を下降して筐体５８の上向き面７６Ｃを下方へ押圧し、筐体５８の段部７０Ａが、全域に渡って治具１０２の凸部１０２Ｂの上面１０２Ｄに面接触した状態を形成する。
【００７５】
これにより、治具１０２に対して筐体５８がずれていた場合には、ずれを矯正することができる。また、筐体５８に反りが生じていた場合には、反りが無くなるように矯正することができる。
【００７６】
そして、図１２に示すように、昇降装置１０８で筐体矯正部１０４を上昇して筐体５８の上向き面７６Ｃから離間させた筐体矯正解除状態１１２を形成する。
【００７７】
この状態において、接着剤８２を付与部８０に付与し、接着剤８２を光学部材５４の側面５４Ａと筐体５８の内壁面７６Ａとの隙間に充填する。
【００７８】
次に、図１３に示すように、筐体５８に短手方向ＴＨから挟持する挟持力Ｆ２を付与して５４光学部材を筐体５８に対して矯正した光学部材矯正状態１１６を形成する。
【００７９】
具体的には、移動装置１１４で一対の光学部材矯正部１０６を近接する方向へ移動し、一対の光学部材矯正部１０６の各突出部１０６Ａで装置幅方向Ｗの両側から外壁面７６Ｂを押圧し筐体５８を介して光学部材５４を挟んで取付状態を矯正する。これにより、光学部材５４の形状（捻れ）を矯正する。また、光学部材５４を筐体５８の中心へ移動して光学部材５４の取付位置を矯正する。
【００８０】
この状態において、昇降装置１０８で筐体矯正部１０４を再度下降して筐体５８の上向き面７６Ｃを下方へ押圧し、筐体５８に挟持力Ｆ２と矯正力Ｆ１とが同時に付与された状態を形成する。そして、固定工程において、制御部が図示せぬ照射部材を制御して接着剤８２に紫外線を照射し、接着剤８２を硬化させる。これにより、光学部材５４を接着剤８２で筐体５８に固定する。
【００８１】
ここで、本実施形態では、筐体５８に挟持力Ｆ２と矯正力Ｆ１とを同時に付与した状態で光学部材５４を接着剤８２で筐体５８に固定した場合について説明するが、これに限定されるものではない。例えば、治具１０２に対する筐体５８のずれを矯正する場合など、筐体５８に矯正力Ｆ１を加えた状態で固定しなくても良い場合には、筐体５８に矯正力Ｆ１のみを付与した状態で光学部材５４を接着剤８２で筐体５８に固定してもよい。
【００８２】
次に、制御部が、移動装置１１４を制御して、図７に示したように、一対の光学部材矯正部１０６を離間する方向へ移動して光学部材矯正解除状態１１８を形成する。このとき、接着剤８２は、既に硬化しているため、光学部材矯正部１０６からの挟持力Ｆ２を解除しても、光学部材５４の形状（捻れ）が矯正されている状態は維持される。
【００８３】
そして、光学部材５４が取り付けられた筐体５８を治具１０２から取り外し、図１４に示すように、光学部材５４と筐体５８との間に封止剤８４を塗布して接着剤８２の表面を覆う。これにより、光学部材５４と筐体５８との間を封止する。また、この筐体５８の段部７０Ａに実装基板５０の外周側の部分を接触させ、実装基板５０を接着剤１２０で筐体５８に固定する。これにより、露光装置２０が製造される。
【００８４】
（作用・効果）
本実施形態の作用を説明する。
【００８５】
このように製造された露光装置２０では、光学部材矯正状態１１６に維持された光学部材５４が接着剤８２で筐体５８に固定されている。
【００８６】
よって、矯正された状態で接着剤８２を用いて筐体５８に取り付けられている光学部材の一例である露光装置２０を得ることができる。
【００８７】
また、矯正工程では、筐体矯正状態１１０を形成した後に光学部材矯正状態１１６を形成する。
【００８８】
このため、治具１０２に対してずれた状態で筐体５８が短手方向ＴＨから挟持される場合と比して、光学部材５４の矯正不良を抑制することができる。
【００８９】
そして、矯正工程は、筐体矯正状態１１０を形成した後に矯正力Ｆ１を解除してから光学部材矯正状態１１６を形成する。
【００９０】
このため、治具１０２に対してずれた状態で筐体５８が短手方向ＴＨから挟持される場合と比して、光学部材５４の矯正不良や治具等の破損を抑制することができる。
【００９１】
また、光学部材矯正状態１１６を形成した後に筐体矯正状態１１０を形成する場合と比して、例えば筐体矯正状態１１０と同時に光学部材５４を上面から付勢しても光学部材５４の横移動に起因したレンズ面の傷つきを抑制することができる。さらに、筐体矯正状態１１０を形成した後に矯正力Ｆ１を解除しない場合と比して、小さな挟持力Ｆ２で光学部材５４の矯正不良を抑制することができる。
【００９２】
なお、本実施形態では、筐体矯正状態１１０を形成した後に矯正力Ｆ１を解除してから光学部材矯正状態１１６を形成したが、これに限定されるものではない。例えば、次に示す実施形態の露光装置の製造方法としても良い。
【００９３】
＜第二実施形態＞
図１５は、第二実施形態を示す図であり、第一実施形態と同一又は同等部分については、同符号を付して説明を割愛するとともに、異なる部分についてのみ説明する。
【００９４】
本実施形態は、第一実施形態と比較して、矯正工程が異なる。
【００９５】
本実施形態の矯正工程では、図１５に示すように、筐体矯正部１０４で筐体５８の上向き面７６Ｃを押圧した筐体矯正状態１１０を維持したまま、光学部材矯正部１０６で筐体５８を短手方向ＴＨから挟持して光学部材矯正状態１１６を形成する。
【００９６】
本実施形態においても、筐体矯正解除状態１１２を形成する際の作用効果を除いて、第一実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【００９７】
また、筐体矯正状態１１０を解除してから光学部材矯正状態１１６を形成する場合と比して、筐体５８に対する光学部材５４の位置精度を高めることができる。
【００９８】
なお、第一及び第二本実施形態では、昇降される筐体矯正部１０４で筐体矯正状態１１０を形成するとともに、光学部材矯正部１０６で光学部材矯正状態１１６を形成したが、これに限定されるものではない。例えば、次に示す実施形態の露光装置の製造方法としても良い。
【００９９】
＜第三実施形態＞
図１６は、第三実施形態を示す図であり、第一実施形態と同一又は同等部分については、同符号を付して説明を割愛するとともに、異なる部分についてのみ説明する。
【０１００】
本実施形態は、第一及び第二実施形態と比較して、矯正工程において筐体５８への矯正力Ｆ１の付与と挟持力Ｆ２の付与とを同一装置で同時に行う点が異なる。
【０１０１】
本実施形態に係る製造装置１００は、図１６に示すように、筐体５８の治具１０２への取付状態の矯正と、光学部材５４の筐体５８への取付状態の矯正とを同時に行うプッシャー１３０を備えている。
【０１０２】
プッシャー１３０は、筐体５８のレンズ保持部７６の両脇に設けられており、プッシャー１３０は、筐体５８の長さ方向に延在する長尺の板状に形成されている。筐体５８側に位置するプッシャー１３０の一縁部は、一縁１３０Ａへ向かうに従って薄肉とされており、その縁は、丸められている。
【０１０３】
そして、プッシャー１３０は、筐体５８のレンズ保持部７６の外壁面７６Ｂ及び本体部７０の上面７０Ｂに対して傾斜して配置されており、外壁面７６Ｂ及び本体部７０の上面７０Ｂに対する傾斜角度は、一例として４５度に設定されている。
【０１０４】
プッシャー１３０は、駆動装置１３２で移動され、駆動装置１３２は、一例としての複数のソレノイドで構成されている。駆動装置１３２は、図示しない制御部に接続され、制御部からの制御信号に従って動作する。
【０１０５】
プッシャー１３０は、駆動装置１３２で筐体５８側へ移動されると、一縁１３０Ａが筐体５８の本体部７０の上面７０Ｂとレンズ保持部７６の外壁面７６Ｂとに当たる。すると、プッシャー１３０からの押圧力Ｆ３は、筐体５８を下方へ付勢する矯正力Ｆ１と、筐体５８のレンズ保持部７６を短手方向ＴＨから挟持する挟持力Ｆ２とを分力として生じさせる。これにより、前述した筐体矯正状態１１０及び光学部材矯正状態１１６を形成する。
【０１０６】
本実施形態においても、第一実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０１０７】
また、プッシャー１３０を作動して矯正工程を実施することで、矯正力Ｆ１及び挟持力Ｆ２を分力として生じさせ、一動作で筐体矯正状態１１０及び光学部材矯正状態１１６を形成することができる。
【０１０８】
このため、筐体矯正状態１１０を形成する機構と光学部材矯正状態１１６を形成する機構とを備える場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。
【０１０９】
＜第四実施形態＞
図１７は、第四実施形態を示す図であり、第三実施形態と同一又は同等部分については、同符号を付して説明を割愛するとともに、異なる部分についてのみ説明する。
【０１１０】
本実施形態は、第二及び第三実施形態と比較して、筐体５８の本体部７０とレンズ保持部７６との間に傾斜面１４０が形成されている点が異なる。各プッシャー１３０は、筐体５８の両側部に形成された対応する傾斜面１４０に対して交差する短手方向ＴＨから押圧力Ｆ３を加えて矯正力Ｆ１及び挟持力Ｆ２を分力として生じさせる。
【０１１１】
本実施形態においても、第二実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０１１２】
また、本実施形態では、第三実施形態と同様に、筐体矯正状態１１０を形成する機構と光学部材矯正状態１１６を形成する機構とを備える場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。
【０１１３】
＜第五実施形態＞
図１８は、第五実施形態を示す図であり、第四実施形態と同一又は同等部分については、同符号を付して説明を割愛するとともに、異なる部分についてのみ説明する。
【０１１４】
本実施形態は、第四実施形態と比較して、プッシャー１３０による押圧方向が異なり、各プッシャー１３０は、筐体５８の両側部の傾斜面１４０に対して交差する上方から下方へ向けて押圧力Ｆ３を加えて矯正力Ｆ１及び挟持力Ｆ２を分力として生じさせる。
【０１１５】
本実施形態においても、第一実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
【０１１６】
また、本実施形態では、第四実施形態と同様に、筐体矯正状態１１０を形成する機構と光学部材矯正状態１１６を形成する機構とを備える場合と比して、構成の簡素化を図ることができる。
【０１１７】
なお、各実施形態では、光学装置を露光装置２０として説明したが、光学装置を読取ユニット（例えば、Ｃｏｎｔａｃｔ  Ｉｍａｇｅ  Ｓｅｎｓｏｒ）としてもよい。
【０１１８】
また、第一実施形態では、複数の突出部１０６Ａを有する光学部材矯正部１０６で筐体５８の外壁面７６Ｂを挟持したが、突出部１０６Ａを有しない光学部材矯正部１０６で筐体５８を挟持しても良い。
【０１１９】
また、上記実施形態では、筐体５８の付与部８０に接着剤８２を充填した後に、光学部材矯正状態１１６を形成したが、光学部材矯正状態１１６を形成してから付与部８０に接着剤８２を充填してもよい。
【符号の説明】
【０１２０】
５４    光学部材
５８    筐体
７４    開口部
８２    接着剤
１０２  治具
１０４  筐体矯正部
１０６  光学部材矯正部
１１０  筐体矯正状態
１１２  筐体矯正解除状態
１１６  光学部材矯正状態
１１８  光学部材矯正解除状態
１４０  傾斜面
Ｆ１    矯正力
Ｆ２    挟持力
【図１】
2018202701.tif 000003
【図２】
2018202701.tif 000004
【図３】
2018202701.tif 000005
【図４】
2018202701.tif 000006
【図５】
2018202701.tif 000007
【図６】
2018202701.tif 000008
【図７】
2018202701.tif 000009
【図８】
2018202701.tif 000010
【図９】
2018202701.tif 000011
【図１０】
2018202701.tif 000012
【図１１】
2018202701.tif 000013
【図１２】
2018202701.tif 000014
【図１３】
2018202701.tif 000015
【図１４】
2018202701.tif 000016
【図１５】
2018202701.tif 000017
【図１６】
2018202701.tif 000018
【図１７】
2018202701.tif 000019
【図１８】
2018202701.tif 000020