(57)【要約】【課題】搬送されている検査対象の良否を適切に判定できる検査装置等を提供する。【解決手段】電界中を搬送されている、複数の独立した配線パターンｐ１、ｐ２が形成された検査対象（Ｗ）の独立した配線パターン毎の電位を測定するセンサ部２０から電位情報を取得し（Ｓ１０）、電位情報から、検査対象とセンサ部２０との距離に応じた位置情報を算出し（Ｓ１２）、電位情報を、位置情報により補正し（Ｓ１３）、補正された電位情報に基づき、検査対象の配線パターンを検査する（Ｓ２２）。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電界中を搬送されている、複数の独立した配線パターンが形成された検査対象の前記独立した配線パターン毎の電位を測定するセンサ部から電位情報を取得する取得手段と、
前記電位情報から、前記検査対象と前記センサ部との距離に応じた位置情報を算出する位置算出手段と、
前記電位情報を、前記位置情報により補正する補正手段と、
前記補正手段によって補正された電位情報に基づき、前記検査対象の配線パターンを検査する検査手段と、
を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記取得手段が、前記センサ部の２つの電極から第１電位情報および第２電位情報を取得し、
前記位置算出手段が、前記第１電位情報の値と前記第２電位情報の値とを加算した加算電位情報の値を、前記位置情報として算出し、
前記補正手段が、前記補正された電位情報として、前記第１電位情報の値と前記第２電位情報の値との差からの電位差情報の値を、前記加算電位情報の値により割り算することを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の検査装置において、
前記検査手段が、前記補正された電位情報の値と所定値とを比較して、前記検査対象の配線パターンの良否を判定することを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記電位情報に応じて、前記検査対象に与える電界の強度を調整する調整手段を更に備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記センサ部が、前記検査対象の配線パターンの間隔に合った電極の間隔を有することを特徴とする検査装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記センサ部が、前記検査対象に電界を与えることを特徴とする検査装置。
【請求項７】
取得手段が、電界中を搬送されている、複数の独立した配線パターンが形成された検査対象の前記独立した配線パターン毎の電位を測定するセンサ部から電位情報を取得する取得ステップと、
位置算出手段が、前記電位情報から、前記検査対象と前記センサ部との距離に応じた位置情報を算出する位置算出ステップと、
補正手段が、前記電位情報を、前記位置情報により補正する補正ステップと、
検査手段が、前記補正手段によって補正された電位情報に基づき、前記検査対象の配線パターンを検査する検査ステップと、
を含むことを特徴とする検査方法。
【請求項８】
コンピュータを、
電界中を搬送されている、複数の独立した配線パターンが形成された検査対象の前記独立した配線パターン毎の電位を測定するセンサ部から電位情報を取得する取得手段、
前記電位情報から、前記検査対象と前記センサ部との距離に応じた位置情報を算出する位置算出手段、
前記電位情報を、前記位置情報により補正する補正手段、および、
前記補正手段によって補正された電位情報に基づき、前記検査対象の配線パターンを検査する検査手段として機能させることを特徴とする検査装置用のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、検査方法、および、検査装置用のプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
非接触式電気検査は、微弱な電位差を検出する必要があるため検査時にプローブとワークとの位置精度が求められる。そのため検査対象の位置情報を、センサもしくはカメラを使用して取得した後、位置調整用機構で補正を行う必要がある。例えば、特許文献１には、検査対象の基板の配線と対向して設けられた電極との対向状態によって変動する静電容量に基づいて、位置ずれを検出する検出装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０-３１１８６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、検査時にプローブとワークとの位置関係をセンサ、または、カメラなどで位置を確認後、物理的に位置調整を行った後に検査を行うため、位置調整用の機構を設置する必要があり装置が複雑化するという欠点があった。また都度、位置調整を行う動作が入るため、時間的な制約が発生するという欠点があった。
【０００５】
そこで、本発明は上記の問題点等に鑑みて為されたもので、その課題の一例は、搬送されている検査対象の良否を適切に判定できる検査装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、電界中を搬送されている、複数の独立した配線パターンが形成された検査対象の前記独立した配線パターン毎の電位を測定するセンサ部から電位情報を取得する取得手段と、前記電位情報から、前記検査対象と前記センサ部との距離に応じた位置情報を算出する位置算出手段と、前記電位情報を、前記位置情報により補正する補正手段と、前記補正手段によって補正された電位情報に基づき、前記検査対象の配線パターンを検査する検査手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の検査装置において、前記取得手段が、前記センサ部の２つの電極から第１電位情報および第２電位情報を取得し、前記位置算出手段が、前記第１電位情報の値と前記第２電位情報の値とを加算した加算電位情報の値を、前記位置情報として算出し、前記補正手段が、前記補正された電位情報として、前記第１電位情報の値と前記第２電位情報の値との差からの電位差情報の値を、前記加算電位情報の値により割り算することを特徴とする。
【０００８】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の検査装置において、前記検査手段が、前記補正された電位情報の値と所定値とを比較して、前記検査対象の配線パターンの良否を判定することを特徴とする。
【０００９】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の検査装置において、前記電位情報に応じて、前記検査対象に与える電界の強度を調整する調整手段を更に備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の検査装置において、前記センサ部が、前記検査対象の配線パターンの間隔に合った電極の間隔を有することを特徴とする。
【００１１】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の検査装置において、前記センサ部が、前記検査対象に電界を与えることを特徴とする。
【００１２】
また、請求項７に記載の発明は、取得手段が、電界中を搬送されている、複数の独立した配線パターンが形成された検査対象の前記独立した配線パターン毎の電位を測定するセンサ部から電位情報を取得する取得ステップと、位置算出手段が、前記電位情報から、前記検査対象と前記センサ部との距離に応じた位置情報を算出する位置算出ステップと、補正手段が、前記電位情報を、前記位置情報により補正する補正ステップと、検査手段が、前記補正手段によって補正された電位情報に基づき、前記検査対象の配線パターンを検査する検査ステップと、を含むことを特徴とする。
【００１３】
また、請求項８に記載の発明は、コンピュータを、電界中を搬送されている、複数の独立した配線パターンが形成された検査対象の前記独立した配線パターン毎の電位を測定するセンサ部から電位情報を取得する取得手段、前記電位情報から、前記検査対象と前記センサ部との距離に応じた位置情報を算出する位置算出手段、前記電位情報を、前記位置情報により補正する補正手段、および、前記補正手段によって補正された電位情報に基づき、前記検査対象の配線パターンを検査する検査手段として機能させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、電界中において、検査対象の搬送に伴い変化する、検査対象とセンサ部との距離に応じた位置情報に応じて、検査対象の電位情報を補正して判定を行うので、搬送されている検査対象の配線パターンの良否を適切に判定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る検査システムの概要構成例を示す模式図である。
【図２】検査対象の一例を示す模式図である。
【図３】図１の検査装置の概要構成例を示す模式図である。
【図４】センサ部と検査対象との関係の一例を示す平面図である。
【図５】検査システムの調整の動作例を示すフローチャートである。
【図６】距離に応じた電位の一例を示す模式図である。
【図７】電位情報の補正の動作例のサブルーチンを示すフローチャートである。
【図８】検査システムの検査の動作例を示すフローチャートである。
【図９】検査システムの変形例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、検査システムに対して本発明を適用した場合の実施形態である。
【００１７】
［１．検査システム１の構成および機能概要］
まず、本発明の一実施形態に係る検査システムの構成および概要機能について、図１から図４を用いて説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態に係る検査システム１の概要構成例を示す模式図である。図２は、検査対象の一例を示す模式図である。図３は、検査装置の概要構成例を示す模式図である。図４は、センサ部と検査対象との関係の一例を示す平面図である。
【００１９】
図１に示すように、検査システム１は、供給装置３のロールから巻き出されたシート状の連続体Ｓを検査する検査装置１０を備えている。検査装置１０は、センサ部２０に接続されている。
【００２０】
図２に示すように、連続体Ｓは、検査対象のワークＷが連なって形成されている。ワークＷには、複数の独立した配線パターンの一例として、絶縁シートに所定の配線パターンｐ１、ｐ２が、離隔して設けられている。配線パターンｐ１、ｐ２は、金、銅、アルミ等の導電性の材質である。配線パターンｐ１、ｐ２は、例えば、櫛形状の配線パターンの櫛形部分を有する。配線パターンｐ１と、配線パターンｐ２とは、図２に示すように、櫛形部分が、間隙を有し互いに入り込んでいる。配線パターンｐ１と、配線パターンｐ２櫛形部分とは近接している。ワークＷの単位は、例えば、配線パターンｐ１、ｐ２の櫛形部分が、互いに入り込んだ部分を１つ有する単位である。また、ワークＷの単位は、配線パターンｐ１または配線パターンｐ２が繋がっている単位でもよい。所定幅の連続体Ｓが、供給装置３から所定の速度で巻き出され、巻取装置４により巻き取られる。なお、ワークＷは、例えば、太陽電池用の配線シートである。配線パターンｐ１、ｐ２は、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート等の絶縁シート上の金属箔を腐食して形成される。なお、複数の独立した配線パターンの一例として、上記２つの他に、ワークＷは、３つ以上の配線パターンを有してもよい。
【００２１】
図３に示すように、検査装置１０は、センサ部２０からの２つの出力信号の差分を算出する差動増幅器１１と、センサ部２０からの各出力信号に対してインピーダンス変換を行うインピーダンス変換器１２と、各インピーダンス変換器１２からの２つの出力信号を加算する加算器１３と、加算器１３からの出力信号に基づき差動増幅器１１からの出力信号を補正する信号検出器１４と、信号検出器１４の出力信号に基づき検査対象のワークＷの判定を行うコンピュータ１５と、センサ部２０に給電する給電器１６と、を有する。
【００２２】
差動増幅器１１は、例えば、オペアンプの差動増幅回路により構成されている。
【００２３】
インピーダンス変換器１２は、オペアンプのボルテージフォロア回路により構成される。
【００２４】
加算器１３は、オペアンプの加算回路により構成される。加算器１３が、ワークＷのような検査対象とセンサ部２０との距離の変位を測定する変位センサの機能を有する。
【００２５】
信号検出器１４は、オペアンプの割り算の回路により構成されている。信号検出器１４は、差動増幅器１１からの出力信号を、加算器１３からの出力信号により割り算を行う。
【００２６】
コンピュータ１５は、例えば、パーソナルコンピュータまたはコントローラ等で、ＣＰＵ、メモリ等を有する。メモリは、例えば、ＲＡＭ、ハードディスクドライブ等からなり、オペレーティングシステム、制御用のプログラムや画像処理用のプログラム等を記憶する。コンピュータ１５は、供給装置３および巻取装置４を制御する。
【００２７】
コンピュータ１５は、Ａ／Ｄ変換器を有し、信号検出器１４からのアナログ信号をデジタル信号に変換する。
【００２８】
給電器１６は、例えば、交流の定電圧の電源を有する。給電器１６は、例えば、１００ボルトで、周波数が５００ｋヘルツ程の交流を発生させる。
【００２９】
図３および図４に示すように、センサ部２０は、配線パターンｐ１に対応した電極２１と、配線パターンｐ２に対応した電極２２と、検査対象のワークＷに電界を与える給電電極２３とを有する。センサ部２０は、検査用プローブである。電極２１は、配線パターンｐ１の真上に位置し、電極２２は、配線パターンｐ２の真上に位置するように、センサ部２０は、ワークＷの上方に配置されている。センサ部２０とワークＷとの間隔は、１００μから５００μ程である。センサ部２０は、電極２１、２２により検査対象の各配線パターンｐ１、ｐ２の電位を測定する。なお、電極２１、２２は、それぞれ、配線パターンｐ１、ｐ２の真上に厳密に位置する必要なく、誤検出されない程度、多少ずれていてもよい。
【００３０】
図４に示すように、センサ部２０の電極は、棒状の電極２１および電極２２が、交互に並んでいる。各電極２１は、配線パターンｐ１の間隔に合った電極の間隔を有する。例えば、各電極２１の間隔は、配線パターンｐ１の間隔と同じである。各電極２２は、配線パターンｐ２の間隔に合った電極の間隔を有する。例えば、各電極２２の間隔は、配線パターンｐ２の間隔と同じである。なお、配線パターンｐ１の間隔および配線パターンｐ２の間隔は、等間隔でなくてもよい。この場合、各電極２１、２２は、等間隔でない配線パターンｐ１、ｐ２の間隔に合った電極の間隔を有すればよい。
【００３１】
センサ部２０の各電極２１、２２の幅は、ワークＷの配線パターンｐ１、ｐ２の幅より細い方が好ましい。すなわち、センサ部２０の各電極２１、２２の幅が太くなると、ワークＷの配線パターンｐ１とｐ２の両方の影響を受けて電極２１、２２に電圧が印加されて誤検出となる恐れがあるからである。
【００３２】
センサ部２０の電極２１および電極２２の本数は、少なくとも各１本あればよい。但し、各１本であると、ワークＷに対してセンサ部２０が少しずれて配置された場合に、所望の配線パターンから電圧を受けることができなくなり、誤検出の原因となる恐れがある。従って、誤検出を防ぐにはセンサ部２０の電極２１、２２の本数は、各々複数本にした方が好ましい。
【００３３】
センサ部２０の各電極２１、２２の長さは、ワークＷの配線パターンｐ１、ｐ２の櫛形部分のバー部分の長さより短くてよい。
【００３４】
電極２１は、差動増幅器１１の一方の入力端、および、一方のインピーダンス変換器１２の入力端と接続している。電極２２は、差動増幅器１１の他方の入力端、および、他方のインピーダンス変換器１２の入力端と接続している。図３および図４に示すように、電極２１、２２の端子は、給電電極２３から離れた位置が好ましい。
【００３５】
給電電極２３は、給電器１６の出力端と接続している。図４に示すように、給電電極２３の幅は、ワークＷの配線パターンｐ１、ｐ２の幅より細い方が好ましい。給電電極２３の幅が太くなると、ワークＷの配線パターンｐ１、ｐ２の両方に電圧が印加されてしまう恐れがあり、これも誤検出の原因となるからである。
【００３６】
図４に示すように、ワークＷが移動して、配線パターンｐ１（または、配線パターンｐ２）の給電電極２３に平行する部分が、給電電極２３と重なったとき、最もワークＷに電力が供給され、配線パターンｐ１と配線パターンｐ２とに短絡がなければ、配線パターンｐ１および配線パターンｐ２の櫛形部分と重なる電極２１と電極２２とより検出される電位差が最も高くなる。
【００３７】
図１に示すように、検査装置１０は、供給装置３および巻取装置４に接続され、供給装置３および巻取装置４から、巻き出し速度、ワークＷの搬送位置等の情報を取得する。
【００３８】
また、コンピュータ１５は、給電器１６に接続して、給電器１６が給電電極２３に加える電圧または周波数を制御してもよい。コンピュータ１５は、差動増幅器１１、インピーダンス変換器１２、加算器１３、信号検出器１４を制御してもよい。例えば、コンピュータ１５は、オペアンプのゲインを調整して、これらの機器を制御する。
【００３９】
［２．検査システムの動作］
次に、本発明の１実施形態に係る検査システムの動作について図２から図８を用いて説明する。
【００４０】
（２．１  検査システムの調整の動作例）
まず、検査システムの調整の動作例について、図５および図６を用いて説明する。
【００４１】
図５は、検査システムの調整の動作例を示すフローチャートである。図６は、距離に応じた電位の一例を示す模式図である。
【００４２】
図５に示すように、検査システム１は、検査対象を設定する（ステップＳ１）。具体的には、検査装置１０は、供給装置３および巻取装置４を制御して、連続体Ｓを巻き出し、ワークＷとセンサ部２０とが向かい合う位置に設定する。特に、ワークＷの配線パターンｐ１、ｐ２とセンサ部２０の電極２１、２２とが向かい合う位置にワークＷが設定される。なお、試験片のワークＷが設定されてもよい。なお、検査装置１０以外が、供給装置３および巻取装置４を制御して、検査装置１０が、ワークＷの搬送位置等の搬送情報を供給装置３および巻取装置４から取得してもよい。
【００４３】
次に、検査システム１は、検査対象との距離の初期設定を行う（ステップＳ２）。具体的には、検査装置１０は、センサ部２０の高さを調整して、センサ部２０とワークＷとの距離を、初期の位置に設定する。例えば、調整上、最も近づけることが可能な位置に、センサ部２０が設定される。なお、手動でセンサ部２０とワークＷとの距離が調整されてもよい。
【００４４】
次に、検査システム１は、給電を開始する（ステップＳ３）。具体的には、検査装置１０は、給電器１６から、例えば、１００Ｖ、２００Ｖ、３００Ｖ等の電圧をセンサ部２０の給電電極２３に加える。
【００４５】
次に、検査システム１は、電位情報を取得して補正する（ステップＳ４）。具体的には、検査装置１０は、電位情報の補正のサブルーチンにより、センサ部２０の電極２１、２２により測定した電位情報を取得して補正する。
【００４６】
このように検査装置１０は、前記電位情報を、前記位置情報により補正する補正手段の一例として機能する。
【００４７】
次に、検査システム１は、補正値を記録する（ステップＳ５）。具体的には、検査装置１０は、検査対象との距離の情報と共に、補正された電位情報である信号検出器１４の出力の値を、コンピュータ１５のメモリに記憶する。図６に示すように、信号検出器１４の出力の値が、距離に応じた電圧として記憶される（図中△印）。なお、検査装置１０は、差動増幅器１１の出力の値（図中○印）、加算器１３の出力の値（図中□印）等を記憶してもよい。
【００４８】
次に、検査システム１は、距離の変更が終わりか否かを判定する（ステップＳ６）。具体的には、検査装置１０は、センサ部２０の初期の位置の高さから、調整上、最も変化した位置であるか否かを判定する。検査装置１０は、例えば、調整上、最も離すことが可能な位置に、センサ部２０があるか否かを判定する。なお、センサ部２０とワークＷとの距離において、初期設定から距離を変更させる範囲は、巻き出された連続体Ｓが変動すると予想される範囲を含んでいることが好ましい。
【００４９】
距離の変更が終わりでない場合（ステップＳ６；ＮＯ）、検査システム１は、検査対象との距離を変更する（ステップＳ７）。具体的には、検査装置１０は、一単位の距離、検査対象との距離を変更する。例えば、一単位の距離初期設定から距離を変更させる範囲を、所定の段階の数（例えば、１０）で割った値である。初期設定として、センサ部２０とワークＷとを接近させる場合、検査装置１０は、センサ部２０とワークＷとの距離を、一単位の距離だけ離す。
【００５０】
次に、ステップＳ４の処理に戻り、電位情報を測定して、補正を行う。
【００５１】
距離の変更が終わりの場合（ステップＳ６；ＹＥＳ）、検査システム１は、適正か否かを判定する（ステップＳ８）。具体的には、検査装置１０のコンピュータ１５は、メモリを参照して、距離に対する信号検出器１４の出力の値のグラフを生成する。例えば、図６に示すように、コンピュータ１５は、距離に対する信号検出器１４の出力の値のグラフを生成する。コンピュータ１５は、信号検出器１４の出力の値が、距離に対してフラットであるか、信号検出器１４の出力の値が、所定電圧の範囲内であるか等を判定する。例えば、信号検出器１４の出力の値が、許容範囲の変動幅であれば、コンピュータ１５は、適正と判定する。
【００５２】
適正でない場合（ステップＳ８；ＮＯ）、検査システム１は、パラメータを変更する（ステップＳ９）。具体的には、検査装置１０は、給電器１６により、給電する給電圧を変更する。例えば、信号検出器１４の出力のレベルが低い場合、給電圧を上げ、信号検出器１４の出力のレベルが高い場合、給電圧を下げるように、コンピュータ１５は、給電器１６を制御する。ノイズのレベルに応じて、コンピュータ１５は、差動増幅器１１、インピーダンス変換器１２、加算器１３、信号検出器１４のオペアンプのゲインを調整してもよい。また、ノイズのレベルに応じて、コンピュータ１５は、給電器１６により、給電する給電圧を変更してもよい。
【００５３】
このように検査装置１０は、前記電位情報に応じて、前記検査対象に与える電界の強度を調整する調整手段の一例として機能する。
【００５４】
適正である場合（ステップＳ８；ＹＥＳ）、検査システム１は、処理を終了する。
【００５５】
（２．２  電位情報の補正の動作例のサブルーチン）
次に、電位情報の補正の動作例のサブルーチンについて、図７を用いて説明する。
【００５６】
図７は、電位情報の補正の動作例のサブルーチンを示すフローチャートである。
【００５７】
図７に示すように、検査システム１は、センサ部２０から電位情報を取得する（ステップＳ１０）。具体的には、検査装置１０の差動増幅器１１およびインピーダンス変換器１２が、センサ部２０の電極２１および電極２２からの入力信号を、検査対象の電位情報として受け付ける。ここで、センサ部２０の電極２１の入力信号、および、センサ部２０の電極２２の入力信号が、第１電位情報および第２電位情報の一例である。
【００５８】
このように検査装置１０は、電界中を搬送されている、複数の独立した配線パターンが形成された検査対象の前記独立した配線パターン毎の電位を測定するセンサ部から電位情報を取得する取得手段の一例として機能する。検査装置１０は、前記センサ部の２つの電極から第１電位情報および第２電位情報を取得する取得手段の一例として機能する。
【００５９】
次に、検査システム１は、電位差を算出する（ステップＳ１１）。具体的には、検査装置１０の差動増幅器１１が、センサ部２０の電極２１および電極２２の電位差を出力する。ここで、センサ部２０の電極２１および電極２２の電位差の値が、第１電位情報と第２電位情報との差からの電位差情報の値の一例である。なお、ＡＤ変換された電極２１および電極２２の信号を、コンピュータ１５が、電位差を算出してもよい。
【００６０】
次に、検査システム１は、検査対象とセンサ部との距離に応じた位置情報を算出する（ステップＳ１２）。具体的には、検査装置１０の加算器１３が、各インピーダンス変換器１２から出力信号の加算した信号を、加算電位情報として出力する。図６に示すように、検査対象のワークＷとセンサ部２０との距離が近くなると、加算器１３の出力信号の値は大きくなり、逆に遠くなると小さくなる。このように、距離の反比例の関係になり、加算器１３の出力信号の値が、位置情報を表す。なお、ＡＤ変換された電極２１および電極２２の信号を、コンピュータ１５が、加算してもよい。
【００６１】
このように検査装置１０は、前記電位情報から、前記検査対象と前記センサ部との距離に応じた位置情報を算出する位置算出手段の一例として機能する。検査装置１０は、前記第１電位情報の値と前記第２電位情報の値とを加算した加算電位情報の値を、前記位置情報として算出する位置算出手段の一例として機能する。
【００６２】
次に、検査システム１は、補正後の電位情報を算出する（ステップＳ１３）。具体的には、検査装置１０の信号検出器１４が、差動増幅器１１の出力信号を、加算器１３の出力信号で割った値を出力する。図６に示すように、差動増幅器１１の出力値が、ワークＷとセンサ部２０との距離に反比例して、距離に従って減少する。加算器１３の出力値も、ワークＷとセンサ部２０との距離に従って減少する。差動増幅器１１の出力信号を、加算器１３の出力信号で割った値を出力することにより、差動増幅器１１の出力信号が、距離による影響が相殺され、電位情報が補正される。
【００６３】
なお、ＡＤ変換された信号において、コンピュータ１５が電極２１の電位および電極２２の電位との差を計算し、和を計算し、計算された電位差を和の値で割って、補正してもよい。
【００６４】
このように検査装置１０は、前記電位情報を、前記位置情報により補正する補正手段の一例として機能する。検査装置１０は、前記補正された電位情報として、前記第１電位情報の値と前記第２電位情報の値との差からの電位差情報の値を、前記加算電位情報の値により割り算する補正手段の一例として機能する。
【００６５】
補正された電位情報が、信号検出器１４からコンピュータ１５に出力される。
【００６６】
（２．３  検査システムの検査の動作例）
次に、供給装置３から巻き出され、搬送されている検査対象を検査する動作例について説明する。
【００６７】
図８は、検査システムの検査の動作例を示すフローチャートである。
【００６８】
図８に示すように、検査システム１は、検査対象の搬送方向の搬送位置を取得する（ステップＳ２０）。具体的には、検査装置１０のコンピュータ１５が、供給装置３および巻取装置４等に設置されたセンサから、ロールの回転数を測定したり、搬送されているワークＷを撮像した画像等から、検査対象であるワークＷの搬送位置を特定する。また、検査装置１０は、ワークＷの製造番号等のＩＤを特定してもよい。
【００６９】
次に、検査システム１は、電位情報を補正する（ステップＳ２１）。具体的には、検査装置１０は、ステップＳ４と同様に、センサ部２０の電極２１、２２により測定した電位情報を取得して補正する。供給装置３から巻き出される連続体Ｓの上下動によって、ワークＷが上下動して、センサ部２０に近づいたり、離れたりしても、補正された電位情報が、信号検出器１４から出力される。
【００７０】
このように検査装置１０は、前記電位情報を、前記位置情報により補正する補正手段の一例として機能する。
【００７１】
次に、検査システム１は、判定結果が良か否かを判定する（ステップＳ２２）。具体的には、検査装置１０のコンピュータ１５が、ワークＷの搬送位置と、補正された電位情報に基づき、ワークＷの良否を判定する。さらに具体的には、補正された電位情報が、所定値以上か否かを判定する。配線パターンｐ１、ｐ２に短絡があると、配線パターンｐ１とｐ２の電位が同じになり、その結果、検査装置１０の差動増幅器１１の出力は「０（ゼロ）」となって、信号検出器１４にて補正された電位情報の値が「０（ゼロ）」となり、所定値に満たないので、ワークＷの配線パターンが不良と判定する。一方、補正された電位情報の値が所定値以上ならば、ワークＷの配線パターンが良と判定する。
【００７２】
このように検査装置１０は、前記補正手段によって補正された電位情報に基づき、前記検査対象の配線パターンを検査する検査手段の一例として機能する。検査装置１０は、補正された電位情報の値と所定値とを比較して、前記検査対象の配線パターンの良否を判定する検査手段の一例として機能する。
【００７３】
不良と判定されると（ステップＳ２２；ＮＯ）、検査システム１は、不良の検査対象を記憶する（ステップＳ２３）。具体的には、ワークＷの製造番号、連続体ＳにおけるワークＷの位置情報と共に、不良であることをメモリに記憶する。検査装置１０は、ディスプレイに、ワークＷの製造番号と共に、不良が検出された旨を表示してもよい。
【００７４】
良と判定された場合（ステップＳ２２；ＹＥＳ）、または、ステップＳ２３の後、検査システム１は、処理が終了か否かを判定する（ステップＳ２４）。例えば、供給装置３からの巻き出しが終了し、最後のワークＷが通過した場合、検査装置１０が、検査処理が終了と判定する。
【００７５】
検査が終了でない場合（ステップＳ２４；ＮＯ）、検査システム１は、ステップＳ２０の処理に戻り、検査を続ける。
【００７６】
検査が終了である場合（ステップＳ２４；ＹＥＳ）、検査システム１は、処理を終了する。
【００７７】
以上、本実施形態によれば、電界中において、ワークＷの搬送に伴い変化する、ワークＷとセンサ部２０との距離に応じた位置情報に応じて、ワークＷの電位情報を補正して判定を行うので、搬送されているワークＷの配線パターンの良否を適切に判定できる。また、ワークＷとセンサ部２０との距離に応じた位置情報を、センサ部２０の電位情報から生成し、検査処理に反映させソフト上で位置補正を行うことにより、これまで必要としていた位置調整用機構の設置が必要なく、装置のスリム化を図ることができる。
【００７８】
センサ部２０の２つの電極２１、２２の第１電位情報および第２電位情報を取得し、第１電位情報の値と第２電位情報の値とを加算した加算電位情報の値を、加算器１３が位置情報として算出し、補正された電位情報として、第１電位情報の値と第２電位情報の値との差からの電位差情報の値を、加算電位情報の値により、信号検出器１４が、割り算する場合、ワークＷ等の検査対象とセンサ部２０との距離が長くなるほど、加算器１３の加算電位および、差動増幅器１１の電位差は低下し、電位差を加算電位で割ることにより、検査対象とセンサ部２０との距離を除去でき、搬送されている検査対象の配線パターンの良否を高精度に判定できる。
【００７９】
また、補正された電位情報の値と所定値とを比較して、ワークＷ等の検査対象の配線パターンの良否を判定する場合、容易に、搬送されている検査対象の配線パターンの良否を適切に判定できる。
【００８０】
また、電位情報に応じて、検査対象に与える電界の強度を調整する場合、検査対象に印加する電界の強度を調整することにより、検査対象の検査に適した電界を発生でき、高精度に検査対象を検査できる。また、ノイズのレベルに応じて、調整ができる。
【００８１】
センサ部２０が、検査対象Ｗの配線パターンｐ１、ｐ２の間隔に合った電極２１、２２の間隔を有する場合、センサ部２０が、検査対象の配線パターンに対応した電位を高精度に検出できる。
【００８２】
センサ部２０が、検査対象に電界を与える場合、センサ部２０から検査対象に効果的に電界を与えることができる。
【００８３】
また、センサ部２０は、検査用のプローブであり、補正用のデータも取得できる。また、センサ部２０は、給電電極２３を有するので、電極２１、２２による電圧の測定と共に、検査に適した電界をワークＷに与えることができる。
【００８４】
（変形例）
次に、検査システムの変形例について、図９を用いて説明する。なお、検査システム１の構成および動作と同一または対応する部分には、同一の符号を用いて異なるところを主に説明する。その他の実施形態および変形例も同様とする。
【００８５】
図９は、検査システムの変形例を示す模式図である。
【００８６】
検査システム２は、シート状の連続体Ｓを検査する検査装置３０を備えている。検査装置３０は、差動増幅器１１とコンピュータ１５とを有する。図９に示すように、検査装置３０は、電位を測定するセンサ部２０と、ワークＷの連続体Ｓとの距離（変位）を測る距離測定部４０とに接続されている。
【００８７】
距離測定部４０は、レーザー計測等の変位センサにより、ワークＷの連続体Ｓとの距離を測定する。センサ部２０と距離測定部４０との距離は、所定の距離、離れて設置されている。例えば、センサ部２０および距離測定部４０間の距離は、連続体Ｓがセンサ部２０および距離測定部４０と接触しないように、想定される連続体Ｓの搬送位置の変動幅以上であることが好ましい。このように、変位センサをセンサ部に内蔵化が困難な場合は、ワークＷの表面もしくは裏面側に変位センサを設置してもよい。
【００８８】
センサ部２０は、差動増幅器１１に接続し、距離測定部４０は、コンピュータ１５に接続している。
【００８９】
ステップＳ１２において、検査システム２のコンピュータ１５は、センサ部２０と距離測定部４５との距離から、距離測定部４０により測定された距離を差し引くことで、ワークＷとセンサ部２０との距離を算出する。
【００９０】
ステップＳ１３において、検査システム２のコンピュータ１５が、差動増幅器１１の電位差に、ワークＷとセンサ部２０との距離を掛け合わせた値を、補正された電位情報として、算出する。
【００９１】
検査システム１と同様に、検査システム２も、同様の効果を有する。
【符号の説明】
【００９２】
１、２：検査システム
１０、３０：検査装置
１１：差動増幅器
１３：加算器
１４：信号検出器
２０：センサ部
２１、２２：電極
２３：給電電極
４０：距離測定部
Ｓ：連続体
Ｗ：ワーク（検査対象）
ｐ１、ｐ２：配線パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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