(57)【要約】【課題】電子部品のトレーサビリティーを確立し、電子部品個々の品質を管理することが可能となる電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を提供する。【解決手段】電子部品搬送装置は、電子部品１０に記載された電子部品１０の個体識別情報を読み取り可能な個体識別情報読取部１７と、個体識別情報を含み、電子部品１０を検査する検査部１ａに送信する電子部品情報を生成可能で、検査部１ａに電子部品情報を送信可能な電子部品情報生成送信部と、電子部品１０を検査可能な電子部品検査載置部３４を配置可能な電子部品検査載置部配置部と、電子部品１０を載置し、電子部品１０を電子部品検査載置部配置部に向けて搬送可能な電子部品搬送部３６，４１と、を有し、検査部１ａは、電子部品１０を検査した結果と個体識別情報とを合わせて記憶可能である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品に記載された前記電子部品の個体識別情報を読み取り可能な個体識別情報読取部と、
前記個体識別情報を含み、前記電子部品を検査する検査部に送信する電子部品情報を生成可能で、前記検査部に前記電子部品情報を送信可能な電子部品情報生成送信部と、
前記電子部品を検査可能な電子部品検査載置部を配置可能な電子部品検査載置部配置部と、
前記電子部品を載置し、前記電子部品を前記電子部品検査載置部配置部に向けて搬送可能な電子部品搬送部と、を有し、
前記検査部は、前記電子部品を検査した結果と前記個体識別情報とを合わせて記憶可能である、電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記電子部品を把持する把持部を有し、
前記個体識別情報読取部は、前記電子部品搬送部に載置された前記電子部品、及び前記把持部により把持された前記電子部品のうち少なくとも一方の前記個体識別情報を読み取る、請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記個体識別情報読取部は、コードリーダー及び撮像装置のうち少なくとも一方である、請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記電子部品情報生成送信部は、前記検査部からの信号に基づいて、前記電子部品情報を前記検査部に送信する、請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記個体識別情報読取部が前記電子部品の前記個体識別情報を読み取ることができないときは、
前記検査部は、前記電子部品を検査せず、
前記電子部品搬送部は、前記電子部品を所定の載置部に載置する、請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記個体識別情報読取部の読取位置の設定と確認とが可能な操作部を有し、
前記操作部は、前記読取位置を設定するための入力と、前記読取位置を確認するための表示と、が可能なタッチパネルを有する、請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記個体識別情報読取部の読取位置の設定と確認とが可能な操作部を有し、
前記操作部は、前記読取位置を設定するための入力が可能な入力部と、前記読取位置を確認するための表示が可能な表示部と、を有する、請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記電子部品情報には、前記個体識別情報に加えて前記電子部品搬送装置での前記電子部品の搬送経路の情報が含まれる、請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
電子部品に記載された前記電子部品の個体識別情報を読み取り可能な個体識別情報読取部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
前記個体識別情報を含み、前記検査部に送信する電子部品情報を生成可能で、前記検査部に前記電子部品情報を送信可能な電子部品情報生成送信部と、
前記電子部品を検査可能な電子部品検査載置部と、
前記電子部品を載置し、前記電子部品を前記電子部品検査載置部に向けて搬送可能な電子部品搬送部と、を有し、
前記検査部は、前記電子部品を検査した結果と前記個体識別情報とを合わせて記憶可能である、電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置及び電子部品検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣ（半導体集積回路装置）等の電子部品の電気特性検査において、良品、不良品の検査結果に応じて電子部品を分類・収納するＩＣ検査用ハンドラーがある。
【０００３】
ＩＣ検査用ハンドラーで検査を実施する電子部品は検査を実施する個数単位で良品、不良品を管理している。また、付加価値の高い電子部品は個体別に品質を管理する傾向にある。
【０００４】
例えば、電子部品を撮像して電子部品の種類を認識し、電子部品を検査する検査プログラムをテスター（検査部）に送ることが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１７８８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１には、検査を実施した後、電子部品個々と、テスターで検査した記録とを紐付けして確認する方法の開示がない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品に記載された前記電子部品の個体識別情報を読み取り可能な個体識別情報読取部と、前記個体識別情報を含み、前記電子部品を検査する検査部に送信する電子部品情報を生成可能で、前記検査部に前記電子部品情報を送信可能な電子部品情報生成送信部と、前記電子部品を検査可能な電子部品検査載置部を配置可能な電子部品検査載置部配置部と、前記電子部品を載置し、前記電子部品を前記電子部品検査載置部配置部に向けて搬送可能な電子部品搬送部と、を有し、前記検査部は、前記電子部品を検査した結果と前記個体識別情報とを合わせて記憶可能であることを特徴とする。
【０００９】
本適用例によれば、個体識別情報読取部を付加し、個体識別情報読取部で電子部品に表記される個体識別情報を読み取り、個体識別情報読取部で読み取った個体識別情報を検査時に検査部に送信するので、電子部品の個体識別情報と検査結果とを合わせて（紐付けして）記録できる。これにより、電子部品個体と検査部で検査した記録とを後に確認することが可能となり、電子部品搬送装置でも検査を実施する電子部品の個体管理を実施できる。その結果、電子部品のトレーサビリティーを確立し、搬送経路における電子部品個々の品質の違いを管理（分析）することが可能となる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記電子部品を把持する把持部を有し、前記個体識別情報読取部は、前記電子部品搬送部に載置された前記電子部品、及び前記把持部により把持された前記電子部品のうち少なくとも一方の前記個体識別情報を読み取ることが好ましい。
【００１１】
本適用例によれば、電子部品を電子部品検査載置部に載置する電子部品検査載置部配置部では電子部品の上面を吸着して搬送するため個体識別情報を個体識別情報読取部で読み取ることが困難であるが、電子部品を電子部品検査載置部配置部に搬送する前に個体識別情報を読み取ることができる。これにより、電子部品検査載置部に載置した電子部品別に個体識別情報を検査部に送信することができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記個体識別情報読取部は、コードリーダー及び撮像装置のうち少なくとも一方であることが好ましい。
【００１３】
本適用例によれば、個体識別情報が文字列、バーコード、及び２Ｄコードなどを含んでいるときにも容易に個体識別情報から個体識別となる情報を読み取ることができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記電子部品情報生成送信部は、前記検査部からの信号に基づいて、前記電子部品情報を前記検査部に送信することが好ましい。
【００１５】
本適用例によれば、検査を実施する前に電子部品の個体識別情報を検査部に送信できる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記個体識別情報読取部が前記電子部品の前記個体識別情報を読み取ることができないときは、前記検査部は、前記電子部品を検査せず、前記電子部品搬送部は、前記電子部品を所定の載置部に載置することが好ましい。
【００１７】
本適用例によれば、個体識別情報を読み取りして個体識別情報を認識できない場合は、その電子部品を電子部品検査載置部に搬送後、検査部には個体識別情報を送信しない。これにより、検査部は電子部品を不良に分類するか、再検査するか判断することが可能である。例えば、電子部品を検査前にチェックして、不良と判断される場合には検査せずに退避できる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記個体識別情報読取部の読取位置の設定と確認とが可能な操作部を有し、前記操作部は、前記読取位置を設定するための入力と、前記読取位置を確認するための表示と、が可能なタッチパネルを有することが好ましい。
【００１９】
本適用例によれば、容易に、個体識別情報読取部の読取位置の設定と確認とができる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記個体識別情報読取部の読取位置の設定と確認とが可能な操作部を有し、前記操作部は、前記読取位置を設定するための入力が可能な入力部と、前記読取位置を確認するための表示が可能な表示部と、を有することが好ましい。
【００２１】
本適用例によれば、容易に、個体識別情報読取部の読取位置の設定と確認とができる。
【００２２】
［適用例８］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記電子部品情報には、前記個体識別情報に加えて前記電子部品搬送装置での前記電子部品の搬送経路の情報が含まれることが好ましい。
【００２３】
本適用例によれば、電子部品情報から電子部品の搬送経路マップを作成し、検査結果に基づいてトレーサビリティーを確立できる。また、搬送経路における電子部品個々の品質の違いを管理（分析）することが可能となる。
【００２４】
［適用例９］本適用例に係る電子部品検査装置は、電子部品に記載された前記電子部品の個体識別情報を読み取り可能な個体識別情報読取部と、前記電子部品を検査する検査部と、前記個体識別情報を含み、前記検査部に送信する電子部品情報を生成可能で、前記検査部に前記電子部品情報を送信可能な電子部品情報生成送信部と、前記電子部品を検査可能な電子部品検査載置部と、前記電子部品を載置し、前記電子部品を前記電子部品検査載置部に向けて搬送可能な電子部品搬送部と、を有し、前記検査部は、前記電子部品を検査した結果と前記個体識別情報とを合わせて記憶可能であることを特徴とする。
【００２５】
本適用例によれば、個体識別情報読取部を付加し、個体識別情報読取部で電子部品に表記される個体識別情報を読み取り、個体識別情報読取部で読み取った個体識別情報を検査時に検査部に送信するので、電子部品の個体識別情報と検査結果とを合わせて（紐付けして）記録できる。これにより、電子部品個体と検査部で検査した記録とを後に確認することが可能となり、電子部品検査装置でも検査を実施する電子部品の個体管理を実施できる。その結果、電子部品のトレーサビリティーを確立し、搬送経路における電子部品個々の品質の違いを管理（分析）することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】第１実施形態にかかわる電子部品検査装置の構造を示す模式平面図。
【図２】電子部品検査装置の構造を示す概略斜視図。
【図３】コードリーダー及び第１シャトルステージの側面図。
【図４】電子部品を説明するための模式平面図。
【図５】電子部品検査装置の電気制御ブロック図。
【図６】コードリーダーの設定画面の一例を示す図。
【図７】電子部品の検査方法を示すフローチャート。
【図８】搬送部と検査部との通信シーケンスを示す図。
【図９】第２及び第３実施形態にかかわる電子部品検査装置の構造を示す模式平面図。
【図１０】変形例１にかかわる電子部品を説明するための模式平面図。
【図１１】変形例２にかかわる電子部品を説明するための模式平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
本実施形態では、電子部品搬送装置を備えた電子部品検査装置と、この電子部品搬送装置が電子部品を搬送する方法の特徴的な例について説明する。以下、実施形態について図面にしたがって説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００２８】
（第１実施形態）
本実施形態にかかわる電子部品検査装置について図１〜図８にしたがって説明する。
【００２９】
（電子部品検査装置）
図１は、電子部品検査装置の構造を示す模式平面図であり、カバーを外した図となっている。図２は、電子部品検査装置の構造を示す概略斜視図である。
図１に示すように、電子部品検査装置１は長方形の板状の基台２を備えている。基台２の平面視で基台２の直交する２辺が延在する方向をＸ方向及びＹ方向とし、鉛直方向の下向きを−Ｚ方向とする。電子部品検査装置１は、主に電子部品１０を検査する検査部１ａと、検査部１ａに電子部品１０を搬送する電子部品搬送装置としての搬送部１ｂと、から構成されている。搬送部１ｂは、電子部品１０を検査可能な検査用ソケット３４を配置可能な電子部品検査載置部配置部を備えている。電子部品検査載置部配置部は、電子部品１０を検査可能な検査用ソケット３４を配置可能である。電子部品検査載置部配置部は、例えば、電子部品１０を検査する検査用ソケット３４（検査部１ａ）である。
【００３０】
基台２上のＸ方向側には、Ｘ方向に長く延在する６つのベルトコンベアが設置されている。ベルトコンベアは、−Ｙ方向側から順に第１コンベア３、第２コンベア４、第３コンベア５、第４コンベア６、第５コンベア７、及び第６コンベア８となっている。第１コンベア３は、給材用のベルトコンベアであり、第１コンベア３上にはトレイ９が載置されている。トレイ９は、仕切板により５行５列のマトリックス状に区画されており、各区画には電子部品１０が載置されている。したがって、トレイ９は、直交する２方向に配列して電子部品１０を載置することが可能になっている。
【００３１】
第１コンベア３は、内部にモーター、減速機、及びプーリーを備え、減速機により減速された回転数でモーターがプーリーを回動する（図示せず）。そして、プーリーの外周と接触してベルトが設置され、モーターがプーリーを回動することにより、ベルトが移動するようになっている。そして、第１コンベア３上に載置されたトレイ９はベルトと共にＸ方向に往復移動される。第１コンベア３がトレイ９を移動するＸ方向を第１方向３ｃとする。第２コンベア４〜第６コンベア８は、第１コンベア３と同じ構造となっており、第１コンベア３と同様にトレイ９をＸ方向に往復移動することが可能になっている。
【００３２】
第２コンベア４及び第３コンベア５は、空のトレイ９を置く場所となっており、第４コンベア６は不良と判定された電子部品１０を格納するトレイ９を置く場所となっている。そして、第５コンベア７及び第６コンベア８は、良品と判定された電子部品１０を格納するトレイ９を置く場所となっている。
【００３３】
電子部品１０の形態は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、電子部品１０はフラットパッケージ等の各種のパッケージ形態のＩＣ（Integrated Circuit）、ＣＩＳ、液晶パネル、液晶モジュール、及び電子モジュール等を適応することができる。そして、電子部品検査装置１は、電子部品１０の電気特性を検査して良品と不良品とを分別する装置となっている。ＩＣの例として、ＬＳＩ（Large Scale Integration）、ＩＣを複数モジュールパッケージ化したモジュールＩＣ、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、水晶デバイス、圧力センサー、気圧センサー、慣性（加速度）センサー、ジャイロ（角速度）センサー、指紋センサー、照度センサー、カラーセンサー、温度センサー、紫外線センサー、光センサー等が挙げられる。
【００３４】
第１コンベア３〜第６コンベア８と対向する場所には、トレイ搬送部１１が設置されている。トレイ搬送部１１は、第１コンベア３〜第６コンベア８を跨いで設置された門型のトレイ搬送支持部１２を備えている。トレイ搬送支持部１２はＹ方向に長い形状であり、トレイ搬送支持部１２の−Ｘ方向側にはＹ方向に延在するレール１３が設置されている。
【００３５】
レール１３の−Ｘ方向側には、レール１３に沿って移動するトレイ移動ステージ１４が設置されている。トレイ移動ステージ１４が移動するＹ方向を第２方向１４ａとする。第２方向１４ａは、第１方向３ｃと直交する方向であり、第１方向３ｃ及び第２方向１４ａはトレイ９に電子部品１０が配列される方向となっている。トレイ搬送支持部１２の内部には、トレイ移動ステージ１４を移動させる直動機構が設置されている。この直動機構の種類は特に限定されず、リニアモーター、モーターとボールネジとの組合せ、ラック、ピニオン、及びモーターの組合せ等各種の形態を用いることができる。本実施形態では例えば、サーボモーターとボールネジとの組合せを採用している。
【００３６】
トレイ移動ステージ１４の−Ｘ方向側の面にはトレイ把持支持部１５を介してトレイ把持部１６が設置されている。トレイ把持部１６は昇降装置と真空チャックとを備えている。真空チャックは吸盤を備え、吸盤が配管により真空ポンプと接続されている。そして、昇降装置は真空チャックを昇降させる機能を備えている。昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤をトレイ９に接触させる。そして、吸盤とトレイ９との間を真空にすることで真空チャックはトレイ９を把持する。その後、昇降装置がトレイ９を上昇させることによりトレイ９が第１コンベア３から離れて、トレイ移動ステージ１４がトレイ９をＹ方向に移動可能となる。トレイ搬送部１１は、トレイ搬送支持部１２、レール１３、トレイ移動ステージ１４、トレイ把持支持部１５、及びトレイ把持部１６等により構成されている。
【００３７】
第１コンベア３〜第６コンベア８の−Ｘ方向側には電子部品除給材部２０が設置されている。基台２上の−Ｙ方向側には、電子部品給材部２９が設置されている。電子部品給材部２９は第１支持部２５を備えている。第１支持部２５はＸ方向に長い形状であり、第１支持部２５のＺ方向側にはＸ方向に延在するレール１８が設置されている。
【００３８】
レール１８のＺ方向側には、レール１８に沿って移動する給材Ｘステージ２３が設置されている。第１支持部２５には、直動機構が内蔵され、この直動機構が給材Ｘステージ２３をＸ方向に往復移動させる。尚、第１支持部２５の直動機構は、トレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００３９】
給材Ｘステージ２３は第１支持梁２２を備えている。第１支持梁２２はＹ方向に長い形状であり、第１支持梁２２のＺ方向側にはＹ方向に延在するレール１９が設置されている。
【００４０】
レール１９のＺ方向側には、レール１９に沿って移動する給材Ｙステージ２７が設置されている。第１支持梁２２には、直動機構が内蔵され、この直動機構が給材Ｙステージ２７をＹ方向に往復移動させる。尚、第１支持梁２２の直動機構は、トレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００４１】
給材Ｙステージ２７の−Ｚ方向側の面には給材電子部品把持部（把持部）２８が設置されている。給材電子部品把持部２８は電子部品１０を把持している。給材電子部品把持部２８は昇降装置と真空チャックとを備えている。この昇降装置及び真空チャックは、トレイ把持部１６が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。第１支持梁２２、給材Ｘステージ２３、第１支持部２５、給材Ｙステージ２７、及び給材電子部品把持部２８等により電子部品給材部２９が構成されている。
【００４２】
給材電子部品把持部２８では、昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品１０に接触させる。そして、吸盤と電子部品１０との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品１０を把持する。その後、昇降装置が電子部品１０を上昇させることにより給材Ｘステージ２３及び給材Ｙステージ２７が電子部品１０をＸ方向及びＹ方向に移動することができる。
【００４３】
同様に、基台２上のＹ方向側には、電子部品除材部３３が設置されている。電子部品除材部３３は第２支持部３０を備えている。第２支持部３０はＸ方向に長い形状であり、第２支持部３０のＺ方向側にはＸ方向に延在するレール２１が設置されている。
【００４４】
レール２１のＺ方向側には、レール２１に沿って移動する除材Ｘステージ２４が設置されている。第２支持部３０には、直動機構が内蔵され、この直動機構が除材Ｘステージ２４をＸ方向に往復移動させる。尚、第２支持部３０の直動機構は、トレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００４５】
除材Ｘステージ２４は第２支持梁２６を備えている。第２支持梁２６はＹ方向に長い形状であり、第２支持梁２６のＺ方向側にはＹ方向に延在するレール３９が設置されている。
【００４６】
レール３９のＺ方向側には、レール３９に沿って移動する除材Ｙステージ３１が設置されている。第２支持梁２６には、直動機構が内蔵され、この直動機構が除材Ｙステージ３１をＹ方向に往復移動させる。尚、第２支持梁２６の直動機構は、トレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００４７】
除材Ｘステージ２４の−Ｚ方向側の面には除材電子部品把持部３２が設置されている。除材電子部品把持部３２は昇降装置と真空チャックとを備えている。この昇降装置及び真空チャックは、トレイ把持部１６が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。第２支持梁２６、除材Ｘステージ２４、第２支持部３０、除材Ｙステージ３１、及び除材電子部品把持部３２等により電子部品除材部３３が構成されている。
【００４８】
除材電子部品把持部３２では、昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品１０に接触させる。そして、吸盤と電子部品１０との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品１０を把持する。その後、昇降装置が電子部品１０を上昇させることにより除材Ｘステージ２４及び除材Ｙステージ３１が電子部品１０をＸ方向及びＹ方向に移動することができる。
【００４９】
トレイ搬送支持部１２の−Ｘ方向には、基台２上に電子部品検査載置部としての検査用ソケット３４が設置されている。検査用ソケット３４は電子部品１０を検査する場所である。検査用ソケット３４には電子部品１０の外形形状とほぼ同じ形状の凹部が形成され、この凹部に電子部品１０が設置可能になっている。そして、凹部には電子部品１０の端子と電気的に接触可能なプローブが設置されている。検査用ソケット３４には４つの凹部が設置され、４つの電子部品１０を同時に検査することができる。
【００５０】
検査用ソケット３４のＸ方向には、検査用ソケット３４とトレイ搬送支持部１２との間に一対のレール３５が設置されている。レール３５はＹ方向に延在して設置され、レール３５上にはレール３５に沿って移動する電子部品搬送部としての第１シャトルステージ３６が設置されている。第１シャトルステージ３６は、電子部品１０を載置し、電子部品１０を検査用ソケット３４（検査部１ａ）に向けて搬送可能である。基台２には一対のレール３５の間に直動機構が内蔵され、この直動機構が第１シャトルステージ３６をＹ方向に往復移動させる。尚、レール３５の間の直動機構には、トレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００５１】
第１シャトルステージ３６のＺ方向を向く面には、電子部品１０を設置するための凹部３７が８個設置されている。このうち４個の凹部３７は第１シャトルステージ３６の−Ｙ方向側に配置され、この凹部３７を給材用凹部３７ａとする。残りの４個の凹部３７は第１シャトルステージ３６のＹ方向側に配置され、この凹部３７を除材用凹部３７ｂとする。除材用凹部３７ｂが検査用ソケット３４の隣りに位置するとき、基台２の平面視で給材用凹部３７ａは電子部品給材部２９の給材電子部品把持部２８が移動可能な場所に位置する。同様に、給材用凹部３７ａが検査用ソケット３４の隣りに位置するとき、基台２の平面視で除材用凹部３７ｂは、電子部品除材部３３の除材電子部品把持部３２が移動可能な場所に位置する。
【００５２】
検査用ソケット３４の−Ｘ方向には、検査用ソケット３４と基台２の端との間に一対のレール４０が設置されている。レール４０はＹ方向に延在して設置され、レール４０上にはレール４０に沿って移動する電子部品搬送部としての第２シャトルステージ４１が設置されている。第２シャトルステージ４１は、電子部品１０を載置し、電子部品１０を検査用ソケット３４（検査部１ａ）に向けて搬送可能である。基台２には一対のレール４０の間に直動機構が内蔵され、この直動機構が第２シャトルステージ４１をＹ方向に往復移動させる。尚、レール４０の間の直動機構は、トレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００５３】
第２シャトルステージ４１のＺ方向を向く面には、電子部品１０を設置するための凹部４２が８個設置されている。このうち４個の凹部４２は第２シャトルステージ４１の−Ｙ方向側に配置され、この凹部４２を給材用凹部４２ａとする。残りの４個の凹部４２は第２シャトルステージ４１のＹ方向側に配置され、この凹部４２を除材用凹部４２ｂとする。除材用凹部４２ｂが検査用ソケット３４の隣りに位置するとき、基台２の平面視で給材用凹部４２ａは、電子部品給材部２９の給材電子部品把持部２８が移動可能な場所に位置する。同様に、給材用凹部４２ａが検査用ソケット３４の隣りに位置するとき、基台２の平面視で除材用凹部４２ｂは、電子部品除材部３３の除材電子部品把持部３２が移動可能な場所に位置する。
【００５４】
第１及び第２シャトルステージ３６，４１上のＺ方向側に個体識別情報読取部としてのコードリーダー１７が設置されている。コードリーダー１７は、第１及び第２シャトルステージ３６，４１に載置された電子部品１０、及び給材電子部品把持部２８により把持された電子部品１０のうち少なくとも一方の個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取ることが好ましい。これにより、個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取るコードリーダー１７の設置位置を選択可能とすることにより、コスト又はスピード優先の選択が可能となっている。
【００５５】
コードリーダー１７は、検査部１ａに出入りする第１及び第２シャトルステージ３６，４１の上部に設置されている。コードリーダー１７は４個設置されている。コードリーダー１７は、給材用凹部３７ａが通過する上部にＸ方向に２台並んで設置されている。コードリーダー１７は、給材用凹部４２ａが通過する上部にＸ方向に２台並んで設置されている。凹部３７，４２（第１及び第２シャトルステージ３６，４１の移動方向と直交する方向に並んだ）のＺ方向上方に各々コードリーダー１７が配置されている。本実施形態では、コードリーダー１７は、押圧支持部４４に取付け金具６３を介してネジ（図示せず）等により取り付けられている。コードリーダー１７は、第１及び第２シャトルステージ３６，４１に載置された電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取れる位置に固定できれば、取付け箇所は問わない。例えば、コードリーダー１７は、レール４５あるいは仕切板５５等に取り付けられていてもよい。これにより、コードリーダー１７を複数台設置することにより、搬送速度を速くすることができる。尚、高温時にはコードリーダー１７に対して温度維持用エアシステムを追加してもよい。また、低温時には低温維持を行ってもよい。
【００５６】
コードリーダー１７は、第１及び第２シャトルステージ３６，４１に載置された電子部品１０の個体識別情報としての個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取ることができる。これによれば、電子部品１０のバーコード及び２Ｄコードなどのうち少なくとも１つを読み取ることができる。また、これによれば、電子部品１０を検査用ソケット３４に載置する検査部１ａでは電子部品１０の上面を吸着して搬送するため個体識別２Ｄコード１０ｅをコードリーダー１７で読み取ることが困難であるが、電子部品１０を検査用ソケット３４に搬送する前に個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取ることができる。これにより、検査用ソケット３４に載置した電子部品１０別に個体識別２Ｄコード（電子部品情報）１０ｅを検査部１ａに送信することができる。
【００５７】
コードリーダー１７は、個々の電子部品１０に記載された電子部品１０の品種２Ｄコード１０ｄを読み取ることができる。コードリーダー１７は、２次元のコードを文字データに変換する装置である。コードリーダー１７は、品種２Ｄコード１０ｄ及び個体識別２Ｄコード１０ｅに光線１７ａを射出して走査することができる（図３参照）。そして、コードリーダー１７は、反射光を受光し、反射光の光強度信号を品種２Ｄコード１０ｄ及び個体識別２Ｄコード１０ｅが示す文字情報に変換することができる。尚、カメラ（撮像装置）等で撮像して、画像処理することで品種２Ｄコード１０ｄ及び個体識別２Ｄコード１０ｅが示す文字情報を識別してもよい。
【００５８】
コードリーダー１７は、マトリックス型の２次元コードを読み取ることができる。マトリックス型の２次元コードは、ＱＲコード（登録商標）、DataMatrix、VeriCode等である。コードリーダー１７は、スタック型の２次元コードを読み取ることができる。スタック型の２次元コードは、ＰＤＦ４１７、ＣＯＤＥ４９等である。コードリーダー１７は、バーコードを読み取ることができる。バーコードは、ＪＡＮ等である。これによれば、個体識別２Ｄコード１０ｅが文字列、バーコード、及び２Ｄコードなどを含んでいるときにも容易に個体識別２Ｄコード１０ｅから個体識別となる情報を読み取ることができる。
【００５９】
図３は、コードリーダー１７及び第１シャトルステージ３６の側面図である。
コードリーダー１７は、個体識別２Ｄコード１０ｅに対し、斜めに取り付けられている。これにより、光源の強い反射光を画像（個体識別２Ｄコード１０ｅ）の受光レンズに入射させないためである。具体的には、レーザー式コードリーダーは、レーザー光を２Ｄコードラベルに対して斜め方向から照射し、その乱反射光を受光することで２Ｄコードを読み取ることができる。例えば、１５度程度傾けて設置する必要がある。レーザー光と２Ｄコードラベルとが直角になるように設置（正反射取り付け）すると、２Ｄコードラベル面から極部的に非常に強い反射光（正反射光又は直接反射光）が返ってくることになる。「角度をつけて取り付けた」場合は、全ての反射光が乱反射であるため正常にアナログ波形からデジタル波形への変換ができているが、「正反射取付け」の場合は、正反射光を受光してしまうためアナログ波形の一部が乱反射に比べ非常に高いレベルになってしまい、正常にデジタル波形への変換ができなくなる。このため、正反射取付けをした場合は、読取ができないことになる。
【００６０】
第１シャトルステージ３６及び第２シャトルステージ４１と対向する場所には電子部品押圧装置４３が設置されている。電子部品押圧装置４３は、第１シャトルステージ３６及び第２シャトルステージ４１を跨いで設置された門型の押圧支持部４４を備えている。押圧支持部４４はＸ方向に長い形状であり、押圧支持部４４のＹ方向側にはＸ方向に延在するレール４５が設置されている。
【００６１】
レール４５のＹ方向側には、レール４５に沿って移動する測定Ｘステージ４６が設置されている。押圧支持部４４の内部には測定Ｘステージ４６を移動させる直動機構が設置されている。尚、測定Ｘステージ４６の直動機構は、トレイ移動ステージ１４を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
【００６２】
測定Ｘステージ４６のＹ方向側には検査電子部品把持部４７が設置され、検査電子部品把持部４７は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックは、トレイ把持部１６が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。検査電子部品把持部４７の真空チャックは４つの吸盤を備え、４つの電子部品１０を１度に把持することができる。
【００６３】
検査電子部品把持部４７では、昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品１０に接触させる。そして、吸盤と電子部品１０との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品１０を把持する。その後、昇降装置が電子部品１０を上昇させることにより測定Ｘステージ４６が電子部品１０をＸ方向に往復移動することができる。
【００６４】
そして、電子部品押圧装置４３は、第１シャトルステージ３６の給材用凹部３７ａに載置された電子部品１０を把持して検査用ソケット３４に移動する。そして、電子部品押圧装置４３は電子部品１０を検査用ソケット３４に押圧する。このとき、電子部品１０の端子がプローブに押圧されるので、端子とプローブとは確実に電気的に接続される。この状態が維持され電子部品１０の電気特性検査が行われる。そして、電子部品１０の電気特性検査が終了した後、電子部品押圧装置４３は電子部品１０を第１シャトルステージ３６の除材用凹部３７ｂに移動する。同様の手順で、検査電子部品把持部４７は、第２シャトルステージ４１に載置された電子部品１０を検査用ソケット３４まで移動し、電子部品１０を検査用ソケット３４に押圧することにより電気特性検査を補助する。
【００６５】
電子部品給材部２９、第１シャトルステージ３６、第２シャトルステージ４１、及び電子部品押圧装置４３は所定の処置が施される位置へ搬送する。この所定の処置とは、電子部品１０を検査用ソケット３４に入れる為に電子部品１０の向きを変える、電子部品１０を検査用ソケット３４に挿入する、電子部品１０に検査電流を入れて検査する等の処置である。
【００６６】
基台２の−Ｘ方向側には電特検査装置５０が設置されている。電特検査装置５０は検査用ソケット３４に設置されたプローブと接続されている。そして、電特検査装置５０は電子部品１０と電気信号の交信を行い、電子部品１０の電気特性の良否判定を行う装置である。基台２のＸ方向側には制御部５１が設置されている。制御部５１は電子部品検査装置１の動作を制御する装置である。制御部５１には、操作部の表示部（情報出力部、情報表示部、及び警報出力部）としての情報表示装置５１ａ及び操作部の入力部（情報入力部）としての情報入力装置５１ｂが設置されている。さらに、第３コンベア５のＺ方向に位置する場所には、図２に示すように、情報表示装置４８が設置されている。情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａは液晶表示装置等の表示装置であり、操作者に知らせる情報を表示する装置である。情報入力装置５１ｂはキーボードやマウスパッド等の装置であり、操作者が制御部５１に指示する内容を入力するための装置である。さらに、情報入力装置５１ｂは、外部機器と交信してデータを入力する機能を備えている。
【００６７】
情報表示装置５１ａは、コードリーダー１７の読取位置を確認するための情報を表示する装置である。情報入力装置５１ｂは、コードリーダー１７の読取位置を設定するための情報を入力する機能を備えている。これによれば、容易に、コードリーダー１７の読取位置の設定と確認とができる。
【００６８】
尚、情報入力装置５１ｂは、コードリーダー１７の読取位置を設定するための情報を入力、及びコードリーダー１７の読取位置を確認するための情報を表示する装置であってもよい。情報入力装置５１ｂは、読取位置を設定するための入力と、読取位置を確認するための表示と、が可能なタッチパネルであってもよい。これによれば、容易に、コードリーダー１７の読取位置の設定と確認とができる。
【００６９】
基台２のＸ方向側かつＹ方向側の角には警告灯５２が設置されている。警告灯５２は検査する予定ではない電子部品１０が混入したとき、点滅して操作者に注意を促す装置である。電子部品検査装置１はＺ方向側にカバー５３が設置され、情報表示装置４８はカバー５３に固定されている。カバー５３は光を透過する樹脂により形成され、カバー５３を通して内部を観察可能になっている。そして、カバー５３は電子部品検査装置１に塵や埃が侵入することを防止している。
【００７０】
カバー５３のＺ方向側には空気供給部５４が設置されている。空気供給部５４は塵や埃の通過を防止するフィルターとファンとを備えている。そして、空気供給部５４は塵や埃が除去された空気を電子部品検査装置１に供給する。空気は空気供給部５４からカバー５３の内部に流入し、基台２及び基台２とカバー５３との間から流出する。これにより、電子部品検査装置１に塵や埃が侵入しないようになっている。
【００７１】
検査用ソケット３４はヒーターを備え、電子部品１０を加熱することが可能となっている。これにより、電子部品１０を所定の温度で検査することができる。そして、検査用ソケット３４及び電子部品押圧装置４３を囲んで仕切板５５が設置されている。仕切板５５が検査用ソケット３４の周囲から熱が放散することを抑制する。これにより、電子部品１０を加熱する熱が検査用ソケット３４の周囲に留まるようになっている。
【００７２】
電子部品検査装置１のうち検査用ソケット３４及び電特検査装置５０が検査部１ａを構成する。そして、電子部品検査装置１のうち電子部品１０をトレイ９と検査用ソケット３４との間で搬送する各ステージ及びコンベアが搬送部１ｂを構成する。
【００７３】
図４は、電子部品を説明するための模式平面図である。
図４に示すように、電子部品１０にはメーカー名１０ａ、品種表示名１０ｂ、及び個体識別番号１０ｃを示す文字列が印刷されている。さらに、電子部品１０には、品種表示名１０ｂを２次元コードで表示した品種２Ｄコード１０ｄと、個体識別番号１０ｃを２次元コードで表示した個体識別２Ｄコード１０ｅとが印刷されている。
【００７４】
コード体系を１次元から２次元にすることにより、表示可能な文字数を増やすことができる。したがって、電子部品１０に表示する情報量を多くすることができる。尚、個体識別情報とは電子部品１０にマーキングされる、ロゴやマーク等の図形、メーカー名等の文字情報、電子部品の型番号やシリアル番号、ロット番号等の数字情報といった、該当する電子部品と他の電子部品とを識別できる情報である。文字の内容や配置等の属性は特に限定されず、電子部品１０毎に設定されている。
【００７５】
図５は、電子部品検査装置１の電気制御ブロック図である。
図５において、電子部品検査装置１は、電子部品検査装置１の動作を制御する制御部５１を備えている。そして、制御部５１は、プロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）５８と、各種情報を記憶するメモリー５９とを備えている。さらに、ステージ駆動装置６０、コンベア駆動装置６１、把持部駆動装置６２、コードリーダー１７、情報入力装置５１ｂ、情報表示装置４８、情報表示装置５１ａ、情報出力装置６５、及び電特検査装置５０は、入出力インターフェイス６６及びデータバス６７を介してＣＰＵ５８に接続されている。
【００７６】
尚、電特検査装置５０と制御部５１との通信は、ＧＰ−ＩＢ、ＲＳ−２３２Ｃ、ＤＩＯ（デジタルＩ／Ｏ）を含む通信を用いてもよい。検査部１ａと搬送部１ｂとの通信は、ＧＰ−ＩＢ通信を用いてもよい。また、コードリーダー１７と制御部５１との通信は、ＲＳ−２３２Ｃ、ＵＳＢ、ＬＡＮ通信を用いてもよい。
【００７７】
ステージ駆動装置６０は、トレイ移動ステージ１４及びトレイ把持部１６に設置されたトレイ昇降ステージ６８を駆動する。各ステージは位置を検出する装置を備えている。そして、ステージ駆動装置６０は、移動目的の場所に到達するまでステージを移動することにより所望の場所にトレイ把持部１６を移動して停止させることができる。
【００７８】
さらに、ステージ駆動装置６０は、給材Ｙステージ２７、給材Ｘステージ２３、及び給材電子部品把持部２８に設置された給材Ｚステージ６９を駆動する。さらに、ステージ駆動装置６０は、除材Ｙステージ３１、除材Ｘステージ２４、及び除材電子部品把持部３２に設置された除材Ｚステージ７０を駆動する。そして、ステージ駆動装置６０は、移動目的の場所に到達するまでステージを移動することにより所望の場所に給材電子部品把持部２８及び除材電子部品把持部３２を移動して停止させることができる。
【００７９】
さらに、ステージ駆動装置６０は、第１シャトルステージ３６、第２シャトルステージ４１、測定Ｘステージ４６、及び検査電子部品把持部４７に設置された測定Ｚステージ７１を駆動する。そして、ステージ駆動装置６０は、各ステージを駆動することにより第１シャトルステージ３６、第２シャトルステージ４１、及び検査用ソケット３４の間で電子部品１０を移動させることができる。
【００８０】
コンベア駆動装置６１は第１コンベア３〜第６コンベア８を駆動する。コンベア駆動装置６１は、各コンベアを駆動してトレイ９が移動目的の場所に到達するまでコンベアを移動することにより所望の場所にトレイ９を移動して停止させることができる。
【００８１】
把持部駆動装置６２は、トレイ把持部１６、給材電子部品把持部２８、除材電子部品把持部３２、及び検査電子部品把持部４７を駆動する。把持部駆動装置６２は、各把持部と接続された真空ポンプを駆動する。そして、各把持部と真空ポンプとの間に設置された弁を駆動し弁を開閉する。これにより、把持部駆動装置６２は、各把持部に電子部品１０を把持させた後解放させることができる。情報出力装置６５は、外部機器と接続され、外部機器に情報を電気信号にして出力するインターフェイス機能を有する装置である。
【００８２】
メモリー５９は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、電子部品検査装置１の動作の制御手順が記述されたプログラムソフト７２を記憶する記憶領域が設定される。他にも、電子部品１０に設置された個体識別番号１０ｃを検出したデータである個体識別データ７５を記憶する記憶領域が設定される。他にも、ＣＰＵ５８のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００８３】
ＣＰＵ５８は、メモリー５９内に記憶されたプログラムソフト７２にしたがって、電子部品１０を検査する制御を行うものである。具体的な機能実現部としてステージ制御部７６を有する。ステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０と交信を行い各ステージの位置情報を取得する。そしてステージ制御部７６が希望する場所に各ステージを移動させて停止するようにステージ駆動装置６０に指令信号を出力する。さらに、ステージ制御部７６は、コンベア駆動装置６１と交信を行い第１コンベア３〜第６コンベア８の位置情報を取得する。そしてステージ制御部７６が希望する場所に各コンベアを移動させて停止するようにコンベア駆動装置６１に指令信号を出力する。
【００８４】
他にも、ＣＰＵ５８は、把持制御部７７を有する。把持制御部７７は、把持部駆動装置６２にトレイ把持部１６、給材電子部品把持部２８、除材電子部品把持部３２、及び検査電子部品把持部４７を駆動させる。そして、各把持部に電子部品１０を吸着させる動作と解放する動作の制御を行う。そして、ステージ制御部７６と把持制御部７７とが連携して電子部品１０を搬送する。
【００８５】
他にも、ＣＰＵ５８は、情報表示制御部８１を有する。情報表示制御部８１は、情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａに算出した個体識別データ７５を表示する。
【００８６】
他にも、ＣＰＵ５８は、電子部品情報生成送信部８２を有する。電子部品情報生成送信部８２は、情報出力装置６５を介して外部機器に個体識別データ７５を出力する。
【００８７】
電子部品情報生成送信部８２は、電子部品情報を生成可能である。電子部品情報生成送信部８２は、電子部品１０を検査する検査部１ａに電子部品情報を送信可能である。電子部品情報は、個体識別２Ｄコード１０ｅを含んでいる。電子部品情報は、個体識別２Ｄコード１０ｅに加えてサイト情報を含んでいる。サイト情報とは、例えば、電子部品１０が検査部１ａで検査されたときの検査用ソケット３４の凹部の番号である。
【００８８】
尚、電子部品情報には、個体識別情報に加えて搬送部１ｂでの電子部品１０の搬送経路の情報が含まれてもよい。これによれば、電子部品情報から電子部品１０の搬送経路マップを作成することができる。そして、検査結果に基づいてトレーサビリティーを確立することができる。電子部品１０の搬送経路の情報とは、供給時のトレイ９の番号とその配列、回収時のトレイ９の番号とその配列、検査用ソケット３４の凹部の番号、検査順序、及び検査の種類等である。尚、搬送経路の情報は、その電子部品１０に記録されてもよい。
【００８９】
電子部品情報生成送信部は、検査部１ａからの信号に基づいて、個体識別２Ｄコード（電子部品情報）１０ｅを検査部１ａに送信することができる。検査部１ａは、電子部品１０を検査した結果と個体識別２Ｄコード１０ｅとを合わせて（紐付けして）記憶することができる。これによれば、検査を実施する前に電子部品１０の個体識別情報を検査部１ａに送信できる。
【００９０】
尚、本実施形態では、上記の各機能がＣＰＵ５８を用いてプログラムソフトで実現することとしたが、上記の各機能がＣＰＵ５８を用いない単独の電子回路（ハードウェア）によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いることも可能である。
【００９１】
図６は、コードリーダー１７の設定画面の一例を示す図である。
コードリーダー１７の設定方法を図６に基づいて説明する。
図６に示した「2D Code Setup」画面Ｇ１には、例えば、「2D Code Use existence」選択領域ＲＡ１と、「Processing of reading error」選択領域ＲＡ２と、「Shuttle 1 setup」選択領域ＲＡ３と、が含まれている。
【００９２】
図６に示した例では、選択領域ＲＡ１には、「Valid」という文字列と、その文字列に対応付けられたラジオボタンＲＢ１と、「Invalid」という文字列と、その文字列に対応付けられたラジオボタンＲＢ２と、が含まれている。
【００９３】
操作者は、選択領域ＲＡ１に表示された２つのラジオボタン（ラジオボタンＲＢ１及びラジオボタンＲＢ２）のうちの１つをタップ（クリック）することによって、２Ｄコード使用有無を選択する。ラジオボタンＲＢ２が設定された場合、個体識別２Ｄコード１０ｅの読み取りは行われず、通常稼動となる。
【００９４】
選択領域ＲＡ２には、「Instant error stop」という文字列と、その文字列に対応付けられたラジオボタンＲＢ３と、「Continuation reading error」という文字列と、その文字列に対応付けられたラジオボタンＲＢ４と、エラーカテゴリーを受け付けるための入力窓Ｎ１と、連続エラー回数を受け付けるための入力窓Ｎ２と、が含まれている。
【００９５】
操作者は、選択領域ＲＡ２に表示された２つのラジオボタン（ラジオボタンＲＢ３及びラジオボタンＲＢ４）のうちの１つをタップ（クリック）することによって、読み取りエラーが発生したときの処理を設定する。操作者は、選択領域ＲＡ２に表示された２つの入力窓（入力窓Ｎ１及び入力窓Ｎ２）に任意の数値を入力することによって、読み取りエラーが発生したときの処理を設定する。操作者は、選択領域ＲＡ２で個体識別２Ｄコード１０ｅの読み取りに失敗した時の処理を設定する。
【００９６】
ラジオボタンＲＢ３が設定された場合、読取エラーが発生したら直ぐにエラー停止する。ラジオボタンＲＢ４が設定された場合、入力窓Ｎ２で設定された回数連続して発生した場合、エラー停止する。入力窓Ｎ１で設定された値は、読取ミスした凹部３７，４２に書き込むエラーカテゴリー番号である。エラーカテゴリーを書き込まれた電子部品１０の検査は実施しない。尚、コードリーダー１７には自動リトライ機能が搭載されている。
【００９７】
選択領域ＲＡ３には、「Reading position」という文字列と、その文字列に対応付けられた入力窓Ｎ３、「Move」ボタンＢＴ１、及び「Reg.」ボタンＢＴ２と、「Wait Time」という文字列と、その文字列に対応付けられた入力窓Ｎ４と、「Shuttle 1 rowA」選択領域ＲＡ４と、「Shuttle 1 rowB」選択領域ＲＡ５と、が含まれている。
【００９８】
「Shuttle 1 rowA」選択領域ＲＡ４には、「Read」ボタンＢＴ３と、そのボタンに対応付けられた出力窓Ｓ１及び出力窓Ｓ２と、が含まれている。
【００９９】
操作者は、給材用凹部３７ａ，４２ａの−Ｙ側に載置された電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取るときの位置（第１及び第２シャトルステージ３６，４１の位置）を指定する。ボタンＢＴ２をクリックすることで、現在の第１及び第２シャトルステージ３６，４１の位置を登録することができる。
【０１００】
操作者は、第１及び第２シャトルステージ３６，４１が読取位置に移動後、指定時間待ってから読取を実行する。
【０１０１】
操作者は、ボタンＢＴ１をクリックする。読取位置に第１及び第２シャトルステージ３６，４１が移動する。
【０１０２】
操作者は、ボタンＢＴ２をクリックする。現在の第１及び第２シャトルステージ３６，４１の位置で、入力窓Ｎ３の値が更新される。
【０１０３】
操作者は、ボタンＢＴ３をクリックする。コードリーダー１７が読取を繰り返し実行する状態になる。個体識別２Ｄコード１０ｅの読取に成功すると、ボタンＢＴ３の右側の出力窓Ｓ１に読み取った個体識別２Ｄコード１０ｅが表示され、読取にかかった時間がその下の出力窓Ｓ２に表示される。読取時間が短いほど、読取条件が良い（内部でのリトライが少ないため）。読取に失敗すると、出力窓Ｓ１に「読取エラー」と表示される。
【０１０４】
「Shuttle 1 rowB」選択領域ＲＡ５には、「Read」ボタンＢＴ４と、そのボタンに対応付けられた出力窓Ｓ３及び出力窓Ｓ４と、が含まれている。尚、選択領域ＲＡ５は、選択領域ＲＡ４と同様の機能なので、説明を省略する。
【０１０５】
また、「Shuttle 2 setup」選択領域ＲＡ６は、選択領域ＲＡ３と同様の機能なので、説明を省略する。
【０１０６】
「Log File Save」選択領域ＲＡ７には、「Enable」という文字列と、その文字列に対応付けられたラジオボタンＲＢ５と、「Disable」という文字列と、その文字列に対応付けられたラジオボタンＲＢ６と、が含まれている。
【０１０７】
操作者は、選択領域ＲＡ７に表示された２つのラジオボタン（ラジオボタンＲＢ５及びラジオボタンＲＢ６）のうちの１つをタップ（クリック）することによって、ログファイル保存の有効、無効を設定する。
【０１０８】
搬送部１ｂは一定期間、個体識別２Ｄコード１０ｅ情報と検査結果とを制御部５１内のログデータとして保存する。例えば、“Barcodexx1,Site1,Bin1,Barcodexx2,Site2,Bin3”“Barcodexx3,Site3,Bin1,Barcodexx4,Site4,Bin6”として保存する。
【０１０９】
次に、読取位置の登録を説明する。
読取位置調整は、画面Ｇ１の選択領域ＲＡ３の「Reading position」、「Wait Time」で実施する。
先ず、第１シャトルステージ３６の給材用凹部３７ａの−Ｙ側に検査対象である電子部品１０を挿入する。ボタンＢＴ１が押されたら第１シャトルステージ３６が給材用凹部３７ａの−Ｙ側に移動する。
【０１１０】
次に、入力窓Ｎ４に待ち時間を任意で設定しボタンＢＴ３を押すことで、対応するコードリーダー１７の１つが設定した間隔で連続読取を開始する。値入力で設定する場合は、「Reading position」の値を入力窓Ｎ３に入力し、ボタンＢＴ１を押す、を繰り返して読み取れる位置に調整する。
【０１１１】
第１シャトルステージ３６を手で動かして設定する場合は、読取できる位置へ第１シャトルステージ３６を動かして、ボタンＢＴ２で位置を登録する。
【０１１２】
具体的には、先ず、ボタンＢＴ３をクリックし、読取を開始する。次に、第１シャトルステージ３６を手で移動させ、読取位置を探す。次に、出力窓Ｓ１に表示される個体識別２Ｄコード１０ｅと出力窓Ｓ２に表示される処理時間とを確認しながら、最適な位置を見つける。次に、ボタンＢＴ２で位置を登録する。次に、入力窓Ｎ３の値が更新される。次に、ボタンＢＴ１で再度確認する。次に、同様に第２シャトルステージ４１側の位置も登録する。
【０１１３】
実際に電子部品１０を流し込み、個体識別２Ｄコード１０ｅの読取が行えるか確認する。読取に失敗する場合は、入力窓Ｎ３や入力窓Ｎ４の値を調整し、最適な設定を探す。
【０１１４】
電子部品１０の入った第１及び第２シャトルステージ３６，４１はステップ動作で１列毎移動する。コードリーダー１７により、検査前の電子部品１０を第１及び第２シャトルステージ３６，４１上で個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取る。個体識別２Ｄコード１０ｅは検査部１ａに対してＧＰ−ＩＢ経由で、検査スタート後に送信される。尚、個体識別２Ｄコード１０ｅの読み取りは検査後でもよい。
【０１１５】
搬送部１ｂは個体識別２Ｄコード１０ｅとサイト情報とを検査部１ａに伝える。搬送部１ｂは検査部１ａの検査結果に基づいて電子部品１０を層別する。
【０１１６】
検査結果は、例えば、“Site1,Bin1,Site2,Bin3,Site3,Bin1,Site4,Bin6”というフォーマットで送られる。
【０１１７】
（電子部品の検査方法）
次に上述した電子部品検査装置を用いて電子部品を検査する方法について図７及び図８を用いて説明する。
図７は、電子部品の検査方法を示すフローチャートである。図８は、搬送部１ｂと検査部１ａとの通信シーケンスを示す図である。
【０１１８】
先ず、図７に示すように、ステップＳ１０はトレイ設置工程に相当する。この工程は、操作者が第１コンベア３にトレイ９を設置する工程である。
【０１１９】
次にステップＳ２０に移行する。ステップＳ２０は、マーク撮像工程に相当する。この工程はコードリーダー１７が電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取る工程である。
【０１２０】
次にステップＳ３０に移行する。ステップＳ３０は、検査工程に相当する。この工程では、搬送部１ｂが電子部品１０を検査用ソケット３４に搬送し、検査部１ａが電子部品１０の電気特性を検査する。そして、検査された電子部品１０を搬送部１ｂがトレイ９に収納する工程である。
【０１２１】
次にステップＳ４０に移行する。ステップＳ４０は、空トレイ移動工程に相当する。この工程は、第１コンベア３〜第６コンベア８の間でトレイ搬送部１１が空のトレイ９を移動する工程である。
【０１２２】
次にステップＳ５０に移行する。ステップＳ５０は、トレイ除去工程に相当する。この工程は、操作者が第４コンベア６〜第６コンベア８から検査済みの電子部品１０が収納されたトレイ９を除去する工程である。以上の工程で、電子部品１０を検査する工程が終了する。
【０１２３】
次に、図７に示したステップと対応させて、電子部品１０の検査方法を詳細に説明する。
ステップＳ１０は、トレイ設置工程である。操作者はトレイ９に電子部品１０を配列して設置する。この電子部品１０は、これから電気特性検査を行う予定のものである。次に、操作者は電子部品１０が設置されたトレイ９を第１コンベア３に載置する。
【０１２４】
ステップＳ２０は、マーク撮像工程である。ステップＳ２０において、ステージ制御部７６は、コンベア駆動装置６１に第１コンベア３を駆動させてトレイ９を電子部品除給材部２０に接近させる。次に、ステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０に第１シャトルステージ３６を移動させる。そして、給材用凹部３７ａを給材電子部品把持部２８の移動範囲内に移動させる。
【０１２５】
続いて、ステージ制御部７６及び把持制御部７７は、ステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に電子部品給材部２９を駆動させて、トレイ９上の４個の電子部品１０を給材用凹部３７ａに移動させる。
【０１２６】
続いて、ステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０に第１シャトルステージ３６を移動させる。コードリーダー１７は、品種２Ｄコード１０ｄ及び個体識別２Ｄコード１０ｅに光線１７ａを射出して走査する（図３参照）。そして、コードリーダー１７は、反射光を受光し、反射光の光強度信号をバーコードが示す文字情報に変換する。この文字情報が個体識別データ７５である。ＣＰＵ５８はコードリーダー１７から文字情報を入力してメモリー５９に記憶する。
【０１２７】
ジャムが発生して搬送部を停止させて電子部品が搬送エリアに残っていても、既に個体識別２Ｄコードが撮像されている電子部品は、搬送部の制御部が個体識別２Ｄコードを保存しているので継続動作が可能である。
【０１２８】
コードリーダーが電子部品の個体識別２Ｄコードを読み取ることができないときは、検査部１ａは、電子部品１０を検査せず、搬送部１ｂは、電子部品１０を所定の載置部としての第４コンベア６に載置されたトレイ９に格納する。あるいは、格納する場所は任意に設定した場所でもよい。本実施形態では、不良と判定された電子部品１０を格納する第４コンベア６に載置されたトレイ９に格納したが、再検査用のトレイ９を新たに設けて、そこに格納してもよい。これによれば、個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取りして個体識別２Ｄコード１０ｅを認識できない場合は、その電子部品１０を検査用ソケット３４に搬送後、検査部１ａには個体識別２Ｄコード１０ｅを送信しない。これにより、検査部１ａは、電子部品１０を不良に分類するか、再検査するか判断することが可能である。例えば、電子部品１０を検査前にチェックして、不良と判断される場合には検査せずに退避できる。
【０１２９】
ステップＳ３０は、検査工程である。ステップＳ３０においてステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０に第１シャトルステージ３６を移動させて、給材用凹部３７ａを検査用ソケット３４の横に移動させる。
【０１３０】
続いて、ステージ制御部７６及び把持制御部７７は、ステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に電子部品押圧装置４３を駆動させる。そして、把持制御部７７は、検査電子部品把持部４７に電子部品１０を把持させる。次に、ステージ制御部７６は、測定Ｘステージ４６及び測定Ｚステージ７１を移動させて、電子部品１０を給材用凹部３７ａから検査用ソケット３４に移動させる。
【０１３１】
続いて、ステージ制御部７６は、電子部品押圧装置４３に電子部品１０を検査用ソケット３４に押圧させる。これにより、検査用ソケット３４のプローブが電子部品１０の端子と導通する。
【０１３２】
次に、搬送部１ｂと検査部１ａとの通信シーケンスを図８に基づいて説明する。
先ず、図８に示すように、ステップＳ１００において、搬送部１ｂは、検査用ソケット３４に電子部品１０をセットした後、検査部１ａに検査スタートを送信する。
【０１３３】
次に、ステップＳ１１０において、検査部１ａは、搬送部１ｂに個体識別２Ｄコード１０ｅの要求を送信する。検査部１ａは、搬送部１ｂに電子部品１０がセットされている検査用ソケット３４の番号を問い合わせる。
【０１３４】
全ての検査用ソケット３４にセットした電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを読み込む。例えば、“BARCODE?”の文字列を検査部１ａから搬送部１ｂにＧＰ−ＩＢ通信規格に準じて送信する。
【０１３５】
指定した検査用ソケット３４の電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを読み込む。例えば、コマンドとして“BARCODE:S#?”を送信する。尚、Ｓ＃の部分に検査用ソケット３４の番号をセットする。
【０１３６】
次に、ステップＳ１２０において、搬送部１ｂは、制御部５１に保存していた個体識別２Ｄコード（電子部品情報）１０ｅを検査部１ａに送信する。搬送部１ｂは、検査部１ａに電子部品１０をセットしている検査用ソケット３４の番号を通知する。
【０１３７】
全ての検査用ソケット３４にセットした電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを送信する。例えば、コマンドとして“BARCODE:S#_xxxxx,S#_xxxxx,…;”を送信する。具体的には、“BARCODE:S1_1234567890,S2_,S3_1000234585,S4_1100345478;”を送信する。
【０１３８】
指定した検査用ソケット３４の電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを送信する。例えば、コマンドとして“BARCODE:S#_xxxxx;”を送信する。具体的には、“BARCODE:S1_1234567890;”を送信する。Ｓ＃の部分に検査用ソケット３４の番号をセットして搬送部１ｂの制御部５１で保存していた個体識別２Ｄコード１０ｅをＧＰ−ＩＢ通信規格に準拠して検査部１ａに送信する。
【０１３９】
次に、ステップＳ１３０において、検査部１ａは搬送部１ｂから受信した個体識別２Ｄコード１０ｅが正しいか確認するため、搬送部１ｂから受信した個体識別２Ｄコード１０ｅを搬送部１ｂに返信する。
【０１４０】
検査部１ａが搬送部１ｂから受信した個体識別２Ｄコード１０ｅを搬送部１ｂに送信する。例えば、コマンドとして“ECHO S#_xxxxx,S#_xxxxx,…;”を送信する。具体的には、“ECHO S1_1234567890;”を送信する。
【０１４１】
次に、ステップＳ１４０において、搬送部１ｂは、検査部１ａに送信した個体識別２Ｄコード１０ｅと検査部１ａから受信した個体識別２Ｄコード１０ｅとを比較して正しく検査部１ａに送信できたか検査部１ａに回答する。
【０１４２】
搬送部１ｂが送信した個体識別２Ｄコード１０ｅと検査部１ａが受信した個体識別２Ｄコード１０ｅが等しいか確認する。
【０１４３】
例えば、等しい場合は“ECHOOK”を、等しくない場合は“ECHONG”を送信する。具体的には、ＥＣＨＯコマンドとＢＡＲＣＯＤＥコマンドとのデータがあっているか判断し、合っていれば、“ECHOOK”、間違っていれば、“ECHONG”を返す。
【０１４４】
次に、電特検査装置５０が電子部品１０と交信して電子部品１０の電気特性を検査する。検査部１ａが電子部品１０を検査する。
【０１４５】
次に、ステップＳ１５０において、検査部１ａが電子部品１０の検査結果を搬送部１ｂに通知する。
【０１４６】
次に、ステップＳ１６０において、搬送部１ｂは検査部１ａから受信した検査結果データが正しいか確認するため、検査結果を検査部１ａに送信する。
【０１４７】
次に、ステップＳ１７０において、検査部１ａは搬送部１ｂに送信した検査結果と搬送部１ｂから受信した検査結果を比較して正しく搬送部１ｂに送信できたか搬送部１ｂに回答する。
【０１４８】
電特検査装置５０が電子部品１０の電気特性を検査している間に、ステージ制御部７６は第１シャトルステージ３６を移動させて除材用凹部３７ｂを検査用ソケット３４の横に移動させる。続いて、ステージ制御部７６は第２シャトルステージ４１を移動させる。そして、給材用凹部４２ａを給材電子部品把持部２８の移動範囲内に移動させる。次に、ステージ制御部７６及び把持制御部７７は、ステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に電子部品給材部２９を駆動させて、トレイ９上の４個の電子部品１０を第２シャトルステージ４１の給材用凹部４２ａに移動させる。次に、ステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０に第２シャトルステージ４１を移動させて、給材用凹部４２ａを検査用ソケット３４の横に移動させる。そして、電子部品１０の検査が終了するまで搬送部１ｂは待機する。
【０１４９】
電子部品１０の検査が終了した後、ステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０に測定Ｘステージ４６及び測定Ｚステージ７１を移動させて、電子部品１０を検査用ソケット３４から第１シャトルステージ３６の除材用凹部３７ｂに移動させる。
【０１５０】
検査部１ａは、電子部品１０を検査した結果と個体識別２Ｄコード１０ｅとを合わせて（紐付けして）記憶する。
【０１５１】
続いて、ステージ制御部７６及び把持制御部７７は、ステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に電子部品押圧装置４３を駆動させる。そして、把持制御部７７は、検査電子部品把持部４７に給材用凹部４２ａに位置する電子部品１０を把持させる。次に、ステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０に測定Ｘステージ４６及び測定Ｚステージ７１を移動させて、電子部品１０を給材用凹部４２ａから検査用ソケット３４に移動させる。
【０１５２】
続いて、ステージ制御部７６は、検査電子部品把持部４７に電子部品１０を検査用ソケット３４に押圧させる。このとき、検査用ソケット３４のプローブと電子部品１０の端子とが導通する。次に、電特検査装置５０が電子部品１０と交信して電子部品１０の電気特性を検査する。
【０１５３】
電特検査装置５０が電子部品１０の電気特性を検査している間に、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０に第２シャトルステージ４１を移動させる。そして、ステージ駆動装置６０は、除材用凹部４２ｂを検査用ソケット３４の横に移動させる。次に、ステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０に第１シャトルステージ３６を移動させる。そして、ステージ駆動装置６０は、除材用凹部３７ｂを除材電子部品把持部３２の移動範囲内に移動させる。続いて、ステージ制御部７６及び把持制御部７７は、除材電子部品把持部３２に電子部品１０を把持させる。
【０１５４】
電気特性検査の結果、検査した電子部品１０が良品のときステージ制御部７６は、電子部品除材部３３に電子部品１０を第５コンベア７又は第６コンベア８上のトレイ９に載置させる。電気特性検査の結果、電子部品１０が不良品のときステージ制御部７６は、電子部品除材部３３に電子部品１０を第４コンベア６上のトレイ９に載置させる。
【０１５５】
尚、１つのトレイ９に複数の配置エリアが設定されていて、搬送部１ｂは分別程度に応じて、電子部品１０を配置してもよい。
【０１５６】
次に、ステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０に第１シャトルステージ３６を駆動させて給材用凹部３７ａを給材電子部品把持部２８の移動範囲内に移動させる。このように、電子部品給材部２９、第１シャトルステージ３６、第２シャトルステージ４１、及び電子部品押圧装置４３が、第１コンベア３上のトレイ９から電子部品１０を検査用ソケット３４に移動する。そして、検査用ソケット３４及び電特検査装置５０が電子部品１０の電気特性を検査する。次に、電子部品押圧装置４３が検査用ソケット３４から電子部品１０を第１シャトルステージ３６又は第２シャトルステージ４１に移動する。
【０１５７】
次に、電子部品除材部３３が第１シャトルステージ３６又は第２シャトルステージ４１から電子部品１０を第４コンベア６〜第６コンベア８上のトレイ９に移動する。この動作を順次繰り返して電子部品１０の電気特性検査を行う。尚、各電子部品１０の電気特性検査の判定結果はメモリー５９に記憶され、情報表示装置４８及び情報表示装置５１ａに表示される。また、電気特性検査の判定結果は、メモリー５９から情報出力装置６５により外部機器に出力することが可能になっている。
【０１５８】
次に、図７に戻って、ステップＳ４０は、空トレイ移動工程である。ステップＳ４０では、ステージ制御部７６がステージ駆動装置６０にトレイ移動ステージ１４を移動させて、コンベア駆動装置６１に第１コンベア３を駆動させる。そして、電子部品１０が移動されて空になったトレイ９とトレイ把持部１６とが対向するようにステージ制御部７６は、トレイ９とトレイ把持部１６とを移動させる。
【０１５９】
次に、ステージ制御部７６は、トレイ把持部１６に設置されたトレイ昇降ステージ６８をステージ駆動装置６０に駆動させてトレイ把持部１６を下降させる。続いて、ステージ制御部７６は、把持部駆動装置６２に指令信号を出力してトレイ把持部１６にトレイ９を把持させる。次に、ステージ制御部７６は、ステージ駆動装置６０及び把持部駆動装置６２に指令信号を出力してトレイ９を第２コンベア４上又は第３コンベア５上に移動させる。
【０１６０】
第４コンベア６〜第６コンベア８上のトレイ９に電子部品１０を載置する場所がなく、トレイ９を設置する場所があるとき、ステージ制御部７６はステージ駆動装置６０、コンベア駆動装置６１、及び把持部駆動装置６２に指令信号を出力する。そして、ステージ制御部７６は、第２コンベア４及び第３コンベア５から第４コンベア６〜第６コンベア８上にトレイ９を移動させる。
【０１６１】
次に、ステップＳ５０は、トレイ除去工程である。ステップＳ５０において、ステージ制御部７６は、コンベア駆動装置６１に指令信号を出力する。そして、ステージ制御部７６は、コンベア駆動装置６１に第４コンベア６〜第６コンベア８を駆動させて、電子部品１０が載置されたトレイ９をカバー５３の外側に移動する。続いて、操作者は、電子部品１０が載置されたトレイ９を電子部品検査装置１から除去し次工程の作業場所へ搬送する。以上の工程により電子部品１０を検査する工程を終了する。
【０１６２】
本実施形態によれば、コードリーダー１７を付加し、コードリーダー１７で電子部品１０に表記される個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取り、コードリーダー１７で読み取った個体識別２Ｄコード１０ｅを検査時に検査部１ａに送信するので、電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅと検査結果とを合わせて（紐付けして）記録できる。これにより、電子部品１０個体と検査部１ａで検査した記録とを後に確認することが可能となり、搬送部１ｂでも検査を実施する電子部品１０の個体管理を実施できる。その結果、電子部品１０のトレーサビリティーを確立し、電子部品１０個々の品質を管理することが可能となる。
【０１６３】
検査部１ａで検査を実施した結果により電子部品１０に情報を書き込む場合、電子部品１０の個体毎に書き込んだデータを後に確認することが可能となる。
【０１６４】
（第２実施形態）
本実施形態が第１実施形態と異なるところは、コードリーダー１７の設置個所にある。尚、第１実施形態と同じ点については説明を省略する。
図９は、第２及び第３実施形態にかかわる電子部品検査装置の構造を示す模式平面図である。
本実施形態のコードリーダー３８は、第１支持梁２２（給材電子部品把持部２８）の下部に設けられている。コードリーダー３８は、第１支持梁２２の下部に取付け金具（図示せず）を介してネジ（図示せず）等により取り付けられている。
【０１６５】
コードリーダー３８は、第１及び第２シャトルステージ３６，４１に載置された電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取ることができる。
【０１６６】
コードリーダー３８は、第１及び第２シャトルステージ３６，４１に搬送した電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを、第１支持梁２２の移動により読み取ることができる。これにより、１台のコードリーダー３８により、個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取るので、コストを抑えることができる。
【０１６７】
また、電子部品給材部２９の給材Ｙステージ２７にコードリーダー３８を設置すると、給材Ｙステージ２７が重くなるため移動速度が低下する。したがってこの構造では、電子部品給材部２９が電子部品１０を移動するのに時間が長くかかる。この構造に比べて本実施形態では、第１支持梁２２にコードリーダー３８が設置されているため、生産性良く電子部品１０を移動させることができる。
【０１６８】
（第３実施形態）
本実施形態が第１実施形態と異なるところは、コードリーダー１７の設置個所にある。尚、第１実施形態と同じ点については説明を省略する。
【０１６９】
本実施形態のコードリーダー４９は、図９に示すように、搬送部１ｂの天板（基台２）に設けられている。コードリーダー４９は、基台２に取付け金具（図示せず）を介してネジ（図示せず）等により取り付けられている。
【０１７０】
コードリーダー４９は、給材電子部品把持部２８により把持された電子部品１０の個体識別２Ｄコード１０ｅを読み取ることができる。これにより、電子部品１０の裏面に個体識別２Ｄコード１０ｅが表記されている場合に有効である。また第１及び第２実施形態のうち少なくともいずれか一方のコードリーダー１７，３８との組合せも可能となる。
【０１７１】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
【０１７２】
（変形例１）
図１０は、本変形例にかかわる電子部品を説明するための模式平面図である。
上記した実施形態において、電子部品１０の個体識別情報は個体識別２Ｄコードに限定されず、例えば、図１０に示す表記でもよい。個体識別情報が表示された電子部品８５の一変形例について図１０を用いて説明する。前記第１〜３実施形態では、電子部品１０に２次元の個体識別２Ｄコード１０ｅが印刷されていた。コードは２次元に限らず、１次元のバーコードにしてもよい。
【０１７３】
本変形例では、図１０に示すように、電子部品８５にはメーカー名８５ａ、品種表示名８５ｂ、及び個体識別番号８５ｃを示す文字列が印刷されている。さらに、電子部品８５には、品種表示名８５ｂをバーコードで表示した品種バーコード８５ｄと個体識別番号８５ｃをバーコードで表示した個体識別バーコード８５ｅが印刷されている。尚、文字やバーコードの内容や配置等の属性は特に限定されず、電子部品８５毎に設定されている。
【０１７４】
コードリーダー１７は、品種バーコード８５ｄ及び個体識別バーコード８５ｅに光線１７ａを射出して走査する。
【０１７５】
（変形例２）
図１１は、本変形例にかかわる電子部品を説明するための模式平面図である。
前記変形例１では、電子部品８５に１次元の個体識別バーコード８５ｅが印刷されていた。図１１に示すように、電子部品８８には、メーカー名８８ａ、品種表示名８８ｂ、及び個体識別情報としての個体識別番号８８ｃを示す文字列が印刷されている。
【０１７６】
個体識別情報読取部は、図示しない撮像装置である。これによれば、電子部品１０の個体識別情報として、文字、バーコード、及び２Ｄコードなどの少なくとも１つを読み取ることができる。
【０１７７】
撮像装置は、内部に対物レンズ、オートフォーカス装置、同軸落射照明装置とＣＣＤ（Charge Coupled Device）撮像素子が組み込まれたものである。撮像装置は対物レンズが電子部品８８に向けて設置されている。まず、同軸落射照明装置から射出した光は電子部品８８を照射する。撮像装置は電子部品８８で反射する光を対物レンズを通して入力する。そして、オートフォーカス装置がＣＣＤ撮像素子に結像する。ＣＣＤ撮像素子が画像を電気信号に変換することにより撮像装置は電子部品８８を撮像することが可能となっている。メーカー名８８ａ、品種表示名８８ｂ、及び個体識別番号８８ｃの文字列は撮像装置で撮影可能な色調となっているのが好ましい。本変形例では、例えば、背景が白色であり、文字色が黒色となっている。尚、撮像装置が撮像した画像から個体識別データ７５を算出する方法は、公知の方法を用いることができる。
【０１７８】
（変形例３）
前記変形例２では、撮像装置は内部にＣＣＤ撮像素子が組み込まれていた。画像を電気信号に変換する装置はＣＣＤ撮像素子に限定されない。撮像管やＣＭＯＳ（相補性金属酸化膜半導体）イメージセンサーを用いることができる。他にも赤外線イメージセンサーを用いることができる。撮影する環境や電子部品８８の印刷状況に合わせて選択しても良い。
【符号の説明】
【０１７９】
１…電子部品検査装置  １ａ…検査部  １ｂ…搬送部（電子部品搬送装置）  ２…基台  ３…第１コンベア  ３ｃ…第１方向  ４…第２コンベア  ５…第３コンベア  ６…第４コンベア  ７…第５コンベア  ８…第６コンベア  ９…トレイ  １０…電子部品  １０ａ…メーカー名  １０ｂ…品種表示名  １０ｃ…個体識別番号  １０ｄ…品種２Ｄコード  １０ｅ…個体識別２Ｄコード（個体識別情報）  １１…トレイ搬送部  １２…トレイ搬送支持部  １３…レール  １４…トレイ移動ステージ  １４ａ…第２方向  １５…トレイ把持支持部  １６…トレイ把持部  １７…コードリーダー（個体識別情報読取部）  １７ａ…光線  １８，１９…レール  ２０…電子部品除給材部  ２１…レール  ２２…第１支持梁  ２３…給材Ｘステージ  ２４…除材Ｘステージ  ２５…第１支持部  ２６…第２支持梁  ２７…給材Ｙステージ  ２８…給材電子部品把持部（把持部）  ２９…電子部品給材部  ３０…第２支持部  ３１…除材Ｙステージ  ３２…除材電子部品把持部  ３３…電子部品除材部  ３４…検査用ソケット（電子部品検査載置部）  ３５…レール  ３６…第１シャトルステージ（電子部品搬送部）  ３７…凹部  ３７ａ…給材用凹部  ３７ｂ…除材用凹部  ３８…コードリーダー（個体識別情報読取部）  ３９…レール  ４０…レール  ４１…第２シャトルステージ（電子部品搬送部）  ４２…凹部  ４２ａ…給材用凹部  ４２ｂ…除材用凹部  ４３…電子部品押圧装置  ４４…押圧支持部  ４５…レール  ４６…測定Ｘステージ  ４７…検査電子部品把持部  ４８…情報表示装置  ４９…コードリーダー（個体識別情報読取部）  ５０…電特検査装置  ５１…制御部  ５１ａ…情報表示装置  ５１ｂ…情報入力装置  ５２…警告灯  ５３…カバー  ５４…空気供給部  ５５…仕切板  ５８…ＣＰＵ  ５９…メモリー  ６０…ステージ駆動装置  ６１…コンベア駆動装置  ６２…把持部駆動装置  ６３…取付け金具  ６５…情報出力装置  ６６…入出力インターフェイス  ６７…データバス  ６８…トレイ昇降ステージ  ６９…給材Ｚステージ  ７０…除材Ｚステージ  ７１…測定Ｚステージ  ７２…プログラムソフト  ７５…個体識別データ  ７６…ステージ制御部  ７７…把持制御部  ８１…情報表示制御部  ８２…電子部品情報生成送信部  ８５…電子部品  ８５ａ…メーカー名  ８５ｂ…品種表示名  ８５ｃ…個体識別番号  ８５ｄ…品種バーコード  ８５ｅ…個体識別バーコード（個体識別情報）  ８８…電子部品  ８８ａ…メーカー名  ８８ｂ…品種表示部  ８８ｃ…個体識別番号（個体識別情報）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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