(57)【要約】【課題】検査対象を正確に検査する。【解決手段】検出面３１ｆ同士が互いに平行に対向する２つの磁気検出素子３１ａ，３１ｂを１組とする検出素子対３０ａおよび磁気検出素子３１ｃ，３１ｄを１組とする検出素子対３０ｂと、磁気検出素子３１ａ〜３１ｄから出力された検出信号に基づいて電流の電流値を算出するためのセンサ信号を出力する信号処理部とを備え、各検出素子対３０ａ，３０ｂは、検出素子対３０ａにおける検出面３１ｆの垂線Ｌｐと検出素子対３０ｂにおける検出面３１ｆの垂線Ｌｐとが平面Ｆｓ内で互いに交差するように配置され、信号処理部は、検出素子対３０ａを構成する磁気検出素子３１ａ，３１ｂからそれぞれ出力された検出信号の差動信号をセンサ信号として出力すると共に、検出素子対３０ｂを構成する磁気検出素子３１ｃ，３１ｄからそれぞれ出力された検出信号の差動信号をセンサ信号として出力する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出対象を流れる電流によって生じる磁界の磁力線が検出面を通過する際の当該磁界を検出して検出信号を出力する検出素子と、当該検出素子から出力された前記検出信号に基づいて前記電流の電流値を算出するためのセンサ信号を出力する信号処理部とを備えた検出センサであって、
前記検出面同士が互いに平行に対向する２つの前記検出素子を１組とする検出素子対を複数組備え、
前記各検出素子対は、１つの当該検出素子対における前記検出面の垂線と他の当該検出素子対における前記検出面の垂線とが同一の平面内で互いに交差するように配置され、
前記信号処理部は、前記検出素子対を構成する前記２つの検出素子からそれぞれ出力された前記検出信号の差動信号を前記センサ信号として出力する検出センサ。
【請求項２】
前記各検出素子対についての前記差動信号に基づいて前記電流の電流値および当該電流の方向を算出する第１演算部を備え、
前記検出素子対を２つ備えると共に、当該各検出素子対の一方を構成する前記各検出素子の前記検出面が前記平面上に規定した直交座標の一方の座標軸に沿い、前記各検出素子対の他方を構成する前記各検出素子の前記検出面が前記直交座標の他方の座標軸に沿うように当該各検出素子対が配置され、
前記第１演算部は、前記電流の電流値における前記一方の座標軸の方向に沿った成分である第１成分を前記一方の検出素子対についての前記差動信号に基づいて特定し、前記電流の電流値における前記他方の座標軸の方向に沿った成分である第２成分を前記他方の検出素子対についての前記差動信号に基づいて特定し、前記第１成分と前記第２成分との２乗和平方根を前記電流の電流値として算出すると共に、前記第１成分と前記第２成分との逆正接によって特定される方向を前記電流の方向として算出する請求項１記載の検出センサ。
【請求項３】
前記各検出素子対は、当該検出素子対をユニット化した検出素子ユニットとして構成され、
前記検出素子ユニットには、前記検出対象に対して当該検出素子ユニットを位置合わせするための複数の位置合わせ用の標識が設けられている請求項１または２記載の検出センサ。
【請求項４】
前記平面に沿った平面方向に前記検出素子ユニットを移動させると共に前記平面の垂線を軸とする回動方向に当該検出素子ユニットを回動させる第１移動機構を備えている請求項３記載の検出センサ。
【請求項５】
前記磁界を検出する際に前記検出対象に近接する前記検出素子ユニットの先端部に弾性部材が配設されている請求項３または４記載の検出センサ。
【請求項６】
前記平面の垂線に沿った方向に前記検出素子ユニットを移動させる第２移動機構を備え、
前記第２移動機構は、エアシリンダを備えて構成されている請求項５記載の検出センサ。
【請求項７】
前記標識を撮像する撮像部と、当該撮像部によって撮像された画像に基づいて前記検出素子ユニットを位置させる規定位置と当該検出素子ユニットの実際の位置との位置ずれ量を算出する第２演算部と、前記位置ずれ量が予め決められた基準値以上のときに報知処理を行う報知部とを備えている請求項３から６のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項８】
前記第１演算部は、前記第２演算部によって算出された前記位置ずれ量に基づいて前記電流の電流値および前記電流の方向を補正する請求項７記載の検出センサ。
【請求項９】
前記検出素子ユニットには、前記検出素子の動作確認を行う際に動作確認用電流を流す動作確認用導体が配設されている請求項１から８のいずれかに記載の検出センサ。
【請求項１０】
前記検出信号および前記センサ信号を導通させる導体パターンを有する回路基板を備え、
前記動作確認用導体は、前記回路基板に形成されている請求項９記載の検出センサ。
【請求項１１】
請求項１から１０のいずれかに記載の検出センサと、当該検出センサから出力された前記センサ信号に基づいて前記検出対象を有する検査対象を検査する検査部とを備えている検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出対象を流れる電流によって生じる磁界を検出する検出素子を備えた検出センサ、およびその検出センサを備えて検査対象を検査する検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置として、下記特許文献１において出願人が開示した回路基板検査装置が知られている。この回路基板検査装置は、信号出力部、磁界検出部および制御部等を備え、集積回路が実装された電子回路基板の良否を検査可能に構成されている。この回路基板検査装置では、信号出力部から出力された検査用信号をプローブを介して電子回路基板の導体パターンに印加させた状態で、磁界検出部の磁界センサを集積回路に近接させ、制御部が、磁界センサから出力される検出信号に基づいて、集積回路のパッドと導体パターンとの接続状態を検査する。この場合、パッドと導体パターンとの接続状態が良好なときには、導体パターンに検査用信号が流れることによって磁界が発生するため、検出信号の信号強度が大きくなり、パッドと導体パターンとの接続状態が不良のときには、磁界が発生しないため、検出信号の信号強度が小さくなる。このため、検出信号の信号強度からパッドと導体パターンとの接続状態の良否を検査することが可能となっている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３４３１０３号公報（第３−７頁、第１−２図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来の回路基板検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この回路基板検査装置では、導体パターンに検査用信号が流れることによって発生する磁界を磁界センサを用いて検出することによってパッドと導体パターンとの接続状態の良否を検査している。しかしながら、検査対象の導体パターンとパッドとの接続状態が不良であったとしても、検査対象外の導体パターン等に電流が流れることがあり、このときには検査対象外の導体パターン等で発生する磁界を磁界センサが検出して、その結果、検査対象の導体パターンとパッドとの接続状態が良好との誤った検査がされるおそれがある。また、パッドと導体パターンとの接続状態の良否を正確に検査するには、電流が流れる方向を特定して、図面等によって特定される導体パターンの配置位置と電流が流れる方向とを比較して磁界を発生している導体パターンが検査対象の導体パターンであるか否かを特定する必要がある。しかしながら、従来の回路基板検査装置では、電流が流れる方向を特定することができないため、パッドと導体パターンとの接続状態の良否を正確に検査することが困難となっている。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、検査対象を正確に検査し得る検出センサおよび検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検出センサは、検出対象を流れる電流によって生じる磁界の磁力線が検出面を通過する際の当該磁界を検出して検出信号を出力する検出素子と、当該検出素子から出力された前記検出信号に基づいて前記電流の電流値を算出するためのセンサ信号を出力する信号処理部とを備えた検出センサであって、前記検出面同士が互いに平行に対向する２つの前記検出素子を１組とする検出素子対を複数組備え、前記各検出素子対は、１つの当該検出素子対における前記検出面の垂線と他の当該検出素子対における前記検出面の垂線とが同一の平面内で互いに交差するように配置され、前記信号処理部は、前記検出素子対を構成する前記２つの検出素子からそれぞれ出力された前記検出信号の差動信号を前記センサ信号として出力する。
【０００７】
また、請求項２記載の検出センサは、請求項１記載の検出センサにおいて、前記各検出素子対についての前記差動信号に基づいて前記電流の電流値および当該電流の方向を算出する第１演算部を備え、前記検出素子対を２つ備えると共に、当該各検出素子対の一方を構成する前記各検出素子の前記検出面が前記平面上に規定した直交座標の一方の座標軸に沿い、前記各検出素子対の他方を構成する前記各検出素子の前記検出面が前記直交座標の他方の座標軸に沿うように当該各検出素子対が配置され、前記第１演算部は、前記電流の電流値における前記一方の座標軸の方向に沿った成分である第１成分を前記一方の検出素子対についての前記差動信号に基づいて特定し、前記電流の電流値における前記他方の座標軸の方向に沿った成分である第２成分を前記他方の検出素子対についての前記差動信号に基づいて特定し、前記第１成分と前記第２成分との２乗和平方根を前記電流の電流値として算出すると共に、前記第１成分と前記第２成分との逆正接によって特定される方向を前記電流の方向として算出する。
【０００８】
また、請求項３記載の検出センサは、請求項１または２記載の検出センサにおいて、前記各検出素子対は、当該検出素子対をユニット化した検出素子ユニットとして構成され、前記検出素子ユニットには、前記検出対象に対して当該検出素子ユニットを位置合わせするための複数の位置合わせ用の標識が設けられている。
【０００９】
また、請求項４記載の検出センサは、請求項３記載の検出センサにおいて、前記平面に沿った平面方向に前記検出素子ユニットを移動させると共に前記平面の垂線を軸とする回動方向に当該検出素子ユニットを回動させる第１移動機構を備えている。
【００１０】
また、請求項５記載の検出センサは、請求項３または４記載の検出センサにおいて、前記磁界を検出する際に前記検出対象に近接する前記検出素子ユニットの先端部に弾性部材が配設されている。
【００１１】
また、請求項６記載の検出センサは、請求項５記載の検出センサにおいて、前記平面の垂線に沿った方向に前記検出素子ユニットを移動させる第２移動機構を備え、前記第２移動機構は、エアシリンダを備えて構成されている。
【００１２】
また、請求項７記載の検出センサは、請求項３から６のいずれかに記載の検出センサにおいて、前記標識を撮像する撮像部と、当該撮像部によって撮像された画像に基づいて前記検出素子ユニットを位置させる規定位置と当該検出素子ユニットの実際の位置との位置ずれ量を算出する第２演算部と、前記位置ずれ量が予め決められた基準値以上のときに報知処理を行う報知部とを備えている。
【００１３】
また、請求項８記載の検出センサは、請求項７記載の検出センサにおいて、前記第１演算部は、前記第２演算部によって算出された前記位置ずれ量に基づいて前記電流の電流値および前記電流の方向を補正する。
【００１４】
また、請求項９記載の検出センサは、請求項１から８のいずれかに記載の検出センサにおいて、前記検出素子ユニットには、前記検出素子の動作確認を行う際に動作確認用電流を流す動作確認用導体が配設されている。
【００１５】
また、請求項１０記載の検出センサは、請求項９記載の検出センサにおいて、前記検出信号および前記センサ信号を導通させる導体パターンを有する回路基板を備え、前記動作確認用導体は、前記回路基板に形成されている。
【００１６】
また、請求項１１記載の検査装置は、請求項１から１０のいずれかに記載の検出センサと、当該検出センサから出力された前記センサ信号に基づいて前記検出対象を有する検査対象を検査する検査部とを備えている。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置では、検出面同士が互いに平行に対向する２つの検出素子を１組とする検出素子対を複数組備え、信号処理部が、各検出素子対を構成する２つの検出素子からそれぞれ出力された検出信号の差動信号をセンサ信号として出力する。この場合、この構成では、検出素子対を構成する２つの検出素子の各検出面から等距離でかつ各検出面の近くに電流が流れるときには、各検出素子からそれぞれ出力される各検出信号の差動信号であるセンサ信号は１つの検出素子から出力される検出信号よりも大きな値となる結果、磁界検出感度を充分に向上させることができる。また、この構成では、電流が流れる位置が検出素子対を構成する２つの検出素子から遠いときには、各検出素子から出力される検出信号に含まれるこの電流によって生じる磁界に対応する成分を相殺することができる。このため、この検出センサおよび検査装置によれば、検出対象とは異なる部位を流れる電流によって発生する磁界による検査への影響を十分に低減することができる。また、この検出センサおよび検査装置では、検出素子対を複数組備えているため、各検出素子対についてのセンサ信号に基づいて電流が流れる方向を算出することができる。このため、この検出センサおよび検査装置によれば、電流が流れる方向によってその電流が検出対象を流れる電流であるか否かを確実に判別することができる結果、検出対象以外の部位に流れる電流に基づいて誤った検査がされる事態を確実に回避することができる。したがって、この検出センサおよび検査装置によれば、検査対象を正確に検査することができる。
【００１８】
また、請求項２記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置によれば、２つの検出素子対の一方における各検出素子の検出面を直交座標の一方の座標軸に沿わせ、各検出素子対の他方における各検出素子の検出面を直交座標の他方の座標軸に沿わせ、第１演算部が、各検出素子対についての各差動信号によって特定した一方の座標軸の方向の第１成分と他方の座標軸の方向の第２成分との２乗和平方根を検出対象を流れる電流の電流値として算出すると共に、第１成分と第２成分との逆正接を検出対象を流れる電流の方向として算出することにより、検出対象を流れる電流の電流値および方向を２つの検出素子対だけで特定することができる結果、検出センサおよび検査装置の構成を簡略化することができる。
【００１９】
また、請求項３記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置によれば、各検出素子をユニット化した検出素子ユニットに位置合わせ用の複数の標識を設けたことにより、検出素子ユニットの位置合わせを容易に行うことができる。
【００２０】
また、請求項４記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置によれば、平面に沿った平面方向に検出素子ユニットを移動させると共に平面の垂線を軸とする回動方向に検出素子ユニットを回動させる第１移動機構を備えたことにより、例えば、検出素子ユニットを支持する支持台の表面に載置した検出センサ全体を表面に沿って手動で移動させて検出素子ユニットの位置合わせを行う構成と比較して、位置合わせを十分正確に行うことができる。
【００２１】
また、請求項５記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置によれば、検出素子ユニットの先端部に弾性部材を配設したことにより、検出素子ユニットの移動によって先端部が検出対象に当接したとしても、弾性部材が緩衝材として機能して、検出対象および検出素子ユニットの損傷を確実に防止することができる。また、検出素子ユニットの先端部を検出対象に当接させることで、検出対象と検出素子ユニットとの距離を一定に維持することができるため、検出対象と検出素子ユニットとの距離が変化することによる検出精度の低下を確実に防止することができる。
【００２２】
また、請求項６記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置によれば、平面の垂線に沿った方向に検出素子ユニットを移動させる第２移動機構をエアシリンダを備えて構成したことにより、規定通りの圧力で検出対象に検出素子ユニットを押圧させることができるため、検出対象と検出素子ユニットとの距離を確実に一定に維持することができる結果、検出対象と検出素子ユニットとの距離が変化することによる検出精度の低下をより確実に防止することができる。
【００２３】
また、請求項７記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置によれば、第２演算部が撮像部によって撮像された標識の画像に基づいて検出素子ユニットの位置ずれ量を算出し、位置ずれ量が予め決められた基準値以上のときに報知部が報知処理を行うことにより、検出素子ユニットの位置ずれが大きいことを把握することができるため、検出素子ユニットの位置ずれによる検出精度の低下を確実に回避することができる。
【００２４】
また、請求項８記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置によれば、第１演算部が位置ずれ量に基づいて電流の電流値および電流の方向を補正することにより、検出素子ユニットに位置ずれが生じている場合においても、その位置ずれによる検出精度の低下を確実に回避することができる。
【００２５】
また、請求項９記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置によれば、検出素子の動作確認を行う際に動作確認用電流を流す動作確認用導体を検出素子ユニットに配設したことにより、ダミー基板を用いて検出素子の動作確認を行う必要がある構成（動作確認用導体が配設されていない構成）とは異なり、ダミー基板を用いることなく検出素子の動作確認を行うことができるため、検査効率を十分に向上させることができる。
【００２６】
また、請求項１０記載の検出センサおよび請求項１１記載の検査装置によれば、検出信号およびセンサ信号を導通させる導体パターンを有する回路基板に動作確認用導体を形成したことにより、回路基板とは別体の動作確認用導体を設ける構成と比較して、検出センサおよび検査装置の製造工程を簡略化することができるため、その分、検出センサおよび検査装置の製造コストを低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】基板検査装置１の構成を示す構成図である。
【図２】磁気検出センサ２の構成を示す構成図である。
【図３】磁気検出センサ２および支持台３の正面図である。
【図４】検出素子ユニット２１の斜視図である。
【図５】磁気検出素子３１ａ〜３１ｄの配置態様を説明する説明図である。
【図６】フレキシブル基板２３の平面図である。
【図７】検査方法を説明する第１の説明図である。
【図８】検査方法を説明する第２の説明図である。
【図９】検査方法を説明する第３の説明図である。
【図１０】検査方法を説明する第４の説明図である。
【図１１】検査方法を説明する第５の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、検出センサおよび検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２９】
最初に、基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、検査装置の一例であって、例えば、図７に示す基板７０を検査可能に構成されている。この場合、基板７０は、導体パターン（例えば同図に示す導体パターン７２ａ，７２ｂ等）が形成された矩形の基板本体７１と、裏面に配列された複数のパッド（例えば同図に示すパッド７４ａ，７４ｂ等）が導体パターンに接続された状態で基板本体７１に実装された集積回路７３とを備えて構成されている。
【００３０】
一方、基板検査装置１は、図１に示すように、磁気検出センサ２、支持台３、搬送機構４、電流出力部５、プロービング機構６、表示部７および制御部８を備えて構成されている。
【００３１】
磁気検出センサ２は、検出センサの一例であって、図２，３に示すように、検出素子ユニット２１、信号処理部２２、フレキシブル基板２３（図４も参照）、撮像部２４、第１移動機構２５、第２移動機構２６および演算部２７を備えて構成されている。
【００３２】
検出素子ユニット２１は、図４に示すように、板状に形成された検出素子としての４つの磁気検出素子３１ａ〜３１ｄ（以下、区別しないときには「磁気検出素子３１」ともいう）と、角柱状に形成された支持部材３２と、弾性部材３３とを備えて構成されている。
【００３３】
各磁気検出素子３１は、互いに同じ電気的特性を有し、図７に示す検出対象としての基板７０の導体パターン７２ａ，７２ｂや集積回路７３内の素子７３ａに流れる電流によって生じる磁界（例えば、図８に示す磁界Ｍａ）の磁力線（例えば、同図に示す磁力線Ｌｍａ）が検出面３１ｆ（同図参照）を通過したときに、その磁界を検出して検出信号Ｓｄを出力する。
【００３４】
また、図４に示すように、磁気検出素子３１ａ，３１ｂは各々の検出面３１ｆ同士が互いに平行に対向するように、支持部材３２における対向する２つの側面にそれぞれ固定されている。また、磁気検出素子３１ｃ，３１ｄは各々の検出面３１ｆ同士が互いに平行に対向するように、支持部材３２における対向する２つの側面（磁気検出素子３１ａ，３１ｂが固定されている２つの側面とは異なる２つの側面）にそれぞれ固定されている。
【００３５】
また、各磁気検出素子３１は、図５に示すように、角柱状の支持部材３２の各側面に固定されることにより、磁気検出素子３１ａ，３１ｂにおける検出面３１ｆの垂線Ｌｐと、磁気検出素子３１ｃ，３１ｄにおける検出面３１ｆの垂線Ｌｐとが平面Ｆｓ（検査の際に基板７０の表面と平行となる平面）内で互いに交差（例えば、直交）するように配置されている。なお、以下の説明において、磁気検出素子３１ａ，３１ｂによって構成される１組の検出素子対を「検出素子対３０ａ」ともいい、磁気検出素子３１ｃ，３１ｄによって構成される１組の検出素子対を「検出素子対３０ｂ」ともいう。また、検出素子対３０ａ，３０ｂを区別しないときには「検出素子対３０」ともいう。
【００３６】
また、図４に示すように、各磁気検出素子３１における検出素子ユニット２１の先端部２１ｔ（検出対象の電流を検出する際に検出対象に近接する端部）側の端面には、基板７０に対する検出素子ユニット２１の位置合わせをする際に用いる３つの標識３１ｍが設けられている。
【００３７】
弾性部材３３は、図４に示すように、検出素子ユニット２１の先端部２１ｔ（支持部材３２の先端部）に配設されている。また、弾性部材３３は、一例として、弾性を有し、かつ非導電性を有する非磁性材料（例えば、シリコーンゴム）で板状に形成されている。
【００３８】
信号処理部２２は、図２に示すように、各磁気検出素子３１から出力された検出信号Ｓｄに基づいて、電流出力部５から出力される電流Ｓｔに起因して検出対象を流れる電流の検出に用いるセンサ信号Ｓｓを出力する。この場合、信号処理部２２は、検出素子対３０ａを構成する２つの磁気検出素子３１ａ，３１ｂからそれぞれ出力された検出信号Ｓｄの差動信号をセンサ信号Ｓｓとして出力すると共に、検出素子対３０ｂを構成する２つの磁気検出素子３１ｃ，３１ｄからそれぞれ出力された検出信号Ｓｄの差動信号をセンサ信号Ｓｓとして出力する。
【００３９】
フレキシブル基板２３は、回路基板に相当し、検出素子ユニット２１の各磁気検出素子３１から出力された検出信号Ｓｄや信号処理部２２から出力されたセンサ信号Ｓｓを導通させる導体パターンを有して、図４に示すように、先端部側（図６における上側）が各磁気検出素子３１に取り付けられている。また、図６に示すように、フレキシブル基板２３の先端部には、図外の導体パターンに接続された動作確認用導体２３ａが形成されている。この場合、検出対象を検査するのに先立ち、導体パターンを介してこの動作確認用導体２３ａに動作確認用電流を流した状態で各磁気検出素子３１から出力された検出信号Ｓｄの信号の大きさを調べることによって各磁気検出素子３１の動作確認をすることが可能となっている。なお、この例では、信号処理部２２を構成する図外の回路がフレキシブル基板２３に実装されている。
【００４０】
撮像部２４は、検出素子ユニット２１の各磁気検出素子３１に設けられている標識３１ｍを撮像する。
【００４１】
第１移動機構２５は、図２，３に示すように、ＸＹ移動機構２５ａおよび回動機構２５ｂを備えて構成されている。ＸＹ移動機構２５ａは、操作に応じて、上記した平面Ｆｓ（図５参照）に沿った平面方向（Ｘ方向およびＹ方向：図３参照）に検出素子ユニット２１を移動させる。また、回動機構２５ｂは、操作に応じて、平面Ｆｓの垂線を軸とする回動方向（θ方向：図７参照）に検出素子ユニット２１を回動させる。
【００４２】
第２移動機構２６は、平面Ｆｓの垂線に沿った方向（Ｚ方向：図３参照）に検出素子ユニット２１を移動させる。この場合、第２移動機構２６は、図２，３に示すように、エアシリンダ２６ａ、レギュレータ２６ｂ、および図外のエア供給装置を備え、レギュレータ２６ｂによって規定される圧力で検出素子ユニット２１を押圧するように構成されている。
【００４３】
演算部２７は、第１演算部として機能し、各検出素子対３０についてのセンサ信号Ｓｓに基づいて検出対象を流れる電流の電流値Ｉｍおよび電流の方向（後述するＸ軸に対する角度ψ）を算出する。また、演算部２７は、第２演算部として機能し、撮像部２４によって撮像された画像に基づいて検出素子ユニット２１を位置させるべき位置として予め決められた規定位置と検出素子ユニット２１が実際に位置している実位置との位置ずれ量Ａを算出する。また、演算部２７は、算出した位置ずれ量Ａのうちの回動方向（θ方向）の位置ずれ量Ａθに基づいて電流値Ｉｍを補正する。
【００４４】
支持台３は、図３に示すように、上面に載置された検出素子ユニット２１を支持可能に構成されている。
【００４５】
搬送機構４は、基板７０が供給される供給位置Ｐｓ（図３参照）と基板７０に対する検査が行われる検査位置Ｐｅ（同図参照）との間で基板７０を搬送する。
【００４６】
電流出力部５は、制御部８の制御に従って検査用の電流Ｓｔを生成して出力する。
【００４７】
プロービング機構６は、制御部８の制御に従ってプローブ５１（図１参照）を移動させることにより、基板７０におけるプロービングポイント（例えば、図７に示すプロービングポイントＰｐ１，Ｐｐ２）にプローブ５１をプロービング（接触）させる。
【００４８】
表示部７は、制御部８の制御に従って各種の画像を表示する。この場合、表示部７は、報知部として機能し、磁気検出センサ２の演算部２７によって算出された上記の位置ずれ量Ａが予め決められた基準値Ａｒ以上のときにその旨を報知する（報知処理を行う）。
【００４９】
制御部８は、基板検査装置１を構成する各部を制御する。また、制御部８は、検査部として機能し、磁気検出センサ２の演算部２７によって算出された電流の電流値Ｉｍおよび方向に基づいて基板７０を検査する。
【００５０】
次に、基板検査装置１を用いて基板７０を検査する検査方法について、図面を参照して説明する。
【００５１】
検査に先立ち、検出素子ユニット２１における各磁気検出素子３１の動作確認を行う。具体的には、フレキシブル基板２３に形成されている各動作確認用導体２３ａにフレキシブル基板２３の導体パターンを介して動作確認用電流を流す。この際に、各動作確認用導体２３ａに磁界が発生し、この磁界の磁力線が各検出面３１ｆの検出面３１ｆを通過する。ここで、磁気検出素子３１が正常に動作しているときには、予め規定された規定値以上の大きさの検出信号Ｓｄが磁気検出素子３１から出力される。このため、検出信号Ｓｄの大きさを規定値と比較することによって各磁気検出素子３１の動作確認をすることが可能となっている。
【００５２】
この場合、動作確認用導体２３ａが検出素子ユニット２１に配設されていない構成では、例えば、動作確認用のダミー基板に磁気検出センサ２を近接させてダミー基板の導体パターンにプローブ５１を介して電流を供給して磁気検出素子３１の動作確認を行う必要がある。これに対して、この磁気検出センサ２では、ダミー基板を用いることなく磁気検出素子３１の動作確認を行うことができるため、検査効率を十分に向上させることが可能となっている。また、動作確認用導体２３ａがフレキシブル基板２３に形成されているため、動作確認用導体２３ａをフレキシブル基板２３とは別に設ける構成と比較して、磁気検出センサ２の製造工程を簡略化することができるため、その分製造コストを低減させることが可能となっている。
【００５３】
次いで、各磁気検出素子３１が動作が正常であると確認したときには、支持台３に磁気検出センサ２を載置し、続いて、磁気検出センサ２における検出素子ユニット２１の先端部２１ｔと規定位置との位置合わせを行う。具体的には、各磁気検出素子３１に設けられている標識３１ｍを撮像部２４に撮像させる。この際に、撮像部２４が画像データを出力し、制御部８が、画像データに基づく標識３１ｍの撮像画像を表示部７に表示させる。また、制御部８は、検出素子ユニット２１が規定位置に位置したときの標識３１ｍの位置を示す画像（以下、「参照画像」ともいう）を撮像画像と共に表示部７に表示させる。
【００５４】
次いで、撮像画像および参照画像における標識３１ｍの画像位置が一致するように、磁気検出センサ２における第１移動機構２５のＸＹ移動機構２５ａを操作して検出素子ユニット２１をＸＹ方向に移動させると共に、第１移動機構２５の回動機構２５ｂを操作して検出素子ユニット２１をθ方向に回動させる。以上により、磁気検出センサ２の位置合わせが終了する。この場合、図７に示すように、矩形の基板７０における隣り合う２辺における一方の辺の方向をＸ軸とすると共に他方の辺の方向をＹ軸とするＸＹ座標（基板７０の表面に平行な平面Ｆｓ上に規定した直交座標に相当する）のＸ軸（一方の座標軸）に磁気検出素子３１ａ，３１ｂの検出面３１ｆが沿い、ＸＹ座標のＹ軸（他方の座標軸）に磁気検出素子３１ｃ，３１ｄの検出面３１ｆが沿い、かつ検出対象の集積回路７３の中心と各磁気検出素子３１によって囲まれる矩形の領域の中心とが一致するように磁気検出センサ２を位置合わせしたものとする。
【００５５】
上記したように、磁気検出素子３１ａ，３１ｂの検出面３１ｆがＸ軸に沿い、磁気検出素子３１ｃ，３１ｄの検出面３１ｆがＹ軸に沿うように磁気検出センサ２を配置した状態では、図８に示すように、Ｘ軸方向に電流が流れたときに生じる磁界（同図に示す磁界Ｍａ）を検出素子対３０ａを構成する磁気検出素子３１ａ，３１ｂが検出し、図９に示すように、Ｙ軸方向に電流が流れたときに生じる磁界（同図に示す磁界Ｍａ）を検出素子対３０ｂを構成する磁気検出素子３１ｃ，３１ｄが検出する。
【００５６】
続いて、図外の操作部を操作して基板７０の搬送を指示する。これに応じて、制御部８が搬送機構４を制御して基板７０を供給位置Ｐｓから検査位置Ｐｅに移動させる（図３参照）。次いで、磁気検出センサ２の第２移動機構２６を操作して、レギュレータ２６ｂを介してエアシリンダ２６ａにエアを供給させる。この際に、エアシリンダ２６ａが検出素子ユニット２１を基板７０に向けて移動させ、レギュレータ２６ｂによって規定される圧力で基板７０に検出素子ユニット２１を押圧する。
【００５７】
この場合、この磁気検出センサ２では、検出素子ユニット２１の先端部２１ｔに弾性部材３３が配設されているため、検出素子ユニット２１の移動によって先端部２１ｔが基板７０（基板本体７１）に当接したとしても、弾性部材３３が緩衝材として機能して、基板７０および検出素子ユニット２１の損傷が確実に防止される。また、検出素子ユニット２１の先端部２１ｔを基板７０に当接させることで、基板７０と検出素子ユニット２１（各磁気検出素子３１）との距離を一定に維持することができるため、基板７０と検出素子ユニット２１との距離が変化することによる検出精度の低下を確実に防止することが可能となっている。また、この磁気検出センサ２では、エアシリンダ２６ａおよびレギュレータ２６ｂを備えて第２移動機構２６が構成されているため、簡易な構成でありながら、規定通りの圧力で基板７０に検出素子ユニット２１を押圧させることができる結果、基板７０と検出素子ユニット２１との距離を確実に一定に維持することが可能となっている。
【００５８】
続いて、測定開始を指示する。これに応じて、制御部８は、電流出力部５を制御して検査用の電流Ｓｔを出力させる。この場合、電流出力部５は、一例として、交流電流に直流電流を重畳した電流Ｓｔを出力する。続いて、制御部８は、プロービング機構６を制御して、図７に示すプロービングポイントＰｐ１，Ｐｐ２にプローブ５１をプロービングさせる。この際に、電流出力部５から出力された電流Ｓｔがプローブ５１を介してプロービングポイントＰｐ１，Ｐｐ２間に供給される。
【００５９】
ここで、図７に示すように、基板７０の集積回路７３のパッド７４ａと導体パターン７２ａとの接続状態およびパッド７４ｂと導体パターン７２ｂとの接続状態が共に良好で、各パッド７４ａ，７４ｂに接続されている集積回路７３内の素子（例えば、同図に示す素子７３ａ）に保護ダイオードや寄生ダイオードが存在するときには、同図に矢印で示すように、プロービングポイントＰｐ１，Ｐｐ２間に供給された電流Ｓｔがその素子７３ａを流れる。また、図８，９に示すように、素子７３ａを流れる電流によって磁界Ｍａが生じる。
【００６０】
この際に、図８，９に示すように、磁気検出センサ２の検出素子ユニット２１における各磁気検出素子３１の検出面３１ｆを磁界Ｍａの磁力線Ｌｍａが通過したときには、各磁気検出素子３１が磁界Ｍａを検出して検出信号Ｓｄを出力する。
【００６１】
次いで、信号処理部２２が、検出素子対３０ａを構成する２つの磁気検出素子３１ａ，３１ｂからそれぞれ出力された検出信号Ｓｄの差動信号をセンサ信号Ｓｓとして出力すると共に、検出素子対３０ｂを構成する２つの磁気検出素子３１ｃ，３１ｄからそれぞれ出力された検出信号Ｓｄの差動信号をセンサ信号Ｓｓとして出力する。この場合、図８，９に示すように、検出素子対３０を構成する２つの磁気検出素子３１の各検出面３１ｆから等距離でかつ各検出面３１ｆの近くに電流Ｓｔが流れるときには、各磁気検出素子３１の検出面３１ｆを通過する磁力線Ｌｍａの向きが逆向きのため、各磁気検出素子３１からは、大きさが等しく極性が互いに逆の検出信号Ｓｄがそれぞれ出力される。この結果、各磁気検出素子３１からそれぞれ出力される各検出信号Ｓｄの差動信号であるセンサ信号Ｓｓは、１つの磁気検出素子３１から出力される検出信号Ｓｄよりも大きな値（例えば、２倍の大きさ）となる。つまり、この磁気検出センサ２では、１つの磁気検出素子３１で磁界を検出する構成と比較して、十分に大きなセンサ信号Ｓｓを得ることが可能となっている。
【００６２】
一方、例えば、基板７０に複数の集積回路７３が配設され、検出対象としている素子７３ａとは異なる集積回路の素子７３ｂに導体パターン７２ａ，７２ｂを介して電流Ｓｔが流れているときには、図１０に示すように、素子７３ａに流れる電流Ｓｔによって生じる磁界Ｍａの磁力線Ｌｍａに加えて、素子７３ｂに流れる電流Ｓｔによって生じる磁界Ｍｂの磁力線Ｌｍｂが検出素子対３０を構成する２つの磁気検出素子３１（同図では、磁気検出素子３１ａ，３１ｂだけを図示している）の検出面３１ｆを通過することがある。この場合、素子７３ｂを流れる電流Ｓｔの位置が磁気検出素子３１ａ，３１ｂから遠いときには、同図に示すように、磁気検出素子３１ａ，３１ｂの検出面３１ｆを通過する磁力線Ｌｍａの向きが同じ向きで、磁気検出素子３１ａ，３１ｂの位置における磁界Ｍｂの大きさが同程度のため、磁気検出素子３１ａ，３１ｂから出力される検出信号Ｓｄに含まれる磁界Ｍｂに対応する成分は、信号処理部２２によって差動信号に変換される際に相殺（ほぼ相殺）されることとなる。このため、この磁気検出センサ２では、上記したように、検出対象の素子７３ａとは異なる素子７３ｂに流れる電流Ｓｔによる磁界Ｍｂの影響を十分に低減することが可能となっている。
【００６３】
続いて、演算部２７が、各検出素子対３０についてのセンサ信号Ｓｓに基づいて検出対象を流れる電流の電流値Ｉｍおよび電流の方向を算出する。具体的には、演算部２７は、図１１に示すように、検出素子対３０ａ（磁気検出素子３１ａ，３１ｂ）についてのセンサ信号Ｓｓの電流値を第１成分Ｉｍ１として特定すると共に、検出素子対３０ｂ（磁気検出素子３１ｃ，３１ｄ）についてのセンサ信号Ｓｓの電流値を第２成分Ｉｍ２として特定する。次いで、演算部２７は、第１成分Ｉｍ１と第２成分Ｉｍ２との２乗和平方根（√（Ｉｍ１２＋Ｉｍ２２））を検出対象としての集積回路７３に流れる電流の電流値Ｉｍとして算出する。また、演算部２７は、第１成分Ｉｍ１と第２成分Ｉｍ２との逆正接（ａｒｃｔａｎ（Ｉｍ１／Ｉｍ２））によって特定される角度（図１１に示す角度ψ）を検出対象としての集積回路７３に流れる電流の方向として算出する。
【００６４】
この場合、上記したようにＸ軸方向に電流が流れたときに生じる磁界を検出素子対３０ａ（磁気検出素子３１ａ，３１ｂ）が検出し（図８参照）、Ｙ軸方向に電流が流れたときに生じる磁界を検出素子対３０ｂ（磁気検出素子３１ｃ，３１ｄ）が検出する（図９参照）。このため、例えば、図７に示すように、Ｘ軸に対して４５°傾斜した向きに電流Ｓｔが流れるときには、図１１に示すように、検出素子対３０ａについての第１成分Ｉｍ１と検出素子対３０ｂについての第２成分Ｉｍ２とが同じ大きさとなる結果、角度ψとして４５°が算出される。
【００６５】
また、演算部２７は、撮像部２４によって撮像された標識３１ｍの撮像画像に基づいて検出素子ユニット２１の実位置と規定位置との位置ずれ量Ａを特定する。この場合、位置ずれ量Ａが基準値Ａｒ以上のときには、その旨を示す信号を制御部８に出力し、これに応じて制御部８が表示部７を制御して位置ずれしていることを示す画像を表示させる（報知処理の実行）。また、演算部２７は、位置ずれ量Ａに含まれるθ方向の位置ずれ量Ａθが存在するときには、上記のようにして特定した集積回路７３を流れる電流の電流値Ｉｍおよび電流の方向を補正する。具体的には、演算部２７は、例えば、電流がＸ方向に流れているとして、検出素子ユニット２１がＸＹ座標におけるＸ軸に対して回動方向にθ１の角度だけ位置ずれしているときには、第１成分Ｉｍ１にｓｅｃθ１を乗じた値（第１成分Ｉｍ１’）を算出し、第１成分Ｉｍ１’と第２成分Ｉｍ２との２乗和平方根を補正後の電流値Ｉｍとして算出する。
【００６６】
次いで、制御部８は、プロービング機構６を制御して他のプロービングポイントにプローブ５１をプロービングさせる。この際に、磁気検出センサ２における検出素子ユニット２１の各磁気検出素子３１が検出信号Ｓｄを出力し、信号処理部２２がセンサ信号Ｓｓを出力し、演算部２７が電流値Ｉｍおよび角度ψを算出して制御部８に出力する。以下、同様にしてプロービングポイントを変更してプローブ５１のプロービングを行い、これに応じて磁気検出センサ２が電流値Ｉｍおよび角度ψを算出して制御部８に出力する。
【００６７】
続いて、全てのプロービングポイントについての電流値Ｉｍおよび角度ψの出力が終了したときには、制御部８は、各電流値Ｉｍおよび各角度ψに基づいて基板７０を検査する。この場合、各電流値Ｉｍが予め規定された規定値以上のときには、集積回路７３のパッドと導体パターンとの接続状態が良好であると推定される。一方、電流値Ｉｍが規定値以上であったとしても、電流Ｓｔの流れる方向がプロービングポイント（パッド）の位置から想定される方向とは異なるときには、集積回路７３のパッドと導体パターンとの接続状態が不良で電流Ｓｔが他の経路を流れているおそれがある。このため、制御部８は、電流値Ｉｍが規定値以上で、かつ角度ψが予め規定された規定範囲内のときに、集積回路７３のパッドと導体パターンとの接続状態が良好であると判定する。また、制御部８は、集積回路７３の全てのパッドと導体パターンとの接続状態が良好であると判定したときには、基板７０を良好と判定する。
【００６８】
このように、この磁気検出センサ２および基板検査装置１では、検出面３１ｆ同士が互いに平行に対向する２つの磁気検出素子３１を１組とする検出素子対３０を２組（複数組の一例）備え、信号処理部２２が、各検出素子対３０を構成する２つの磁気検出素子３１からそれぞれ出力された検出信号Ｓｄの差動信号をセンサ信号Ｓｓとして出力する。この場合、この構成では、検出素子対３０を構成する２つの磁気検出素子３１の各検出面３１ｆから等距離でかつ各検出面３１ｆの近くに電流Ｓｔが流れるときには、各磁気検出素子３１からそれぞれ出力される各検出信号Ｓｄの差動信号であるセンサ信号Ｓｓは１つの磁気検出素子３１から出力される検出信号Ｓｄよりも大きな値となる結果、磁界検出感度を充分に向上させることができる。また、この構成では、電流Ｓｔが流れる位置が検出素子対３０を構成する２つの磁気検出素子３１から遠いときには、各磁気検出素子３１から出力される検出信号Ｓｄに含まれるこの電流Ｓｔによって生じる磁界に対応する成分を相殺することができる。このため、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、検出対象とは異なる部位を流れる電流Ｓｔによって発生する磁界Ｍｂによる検査への影響を十分に低減することができる。また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１では、検出素子対３０を２組備えているため、各検出素子対３０についてのセンサ信号Ｓｓに基づいて電流Ｓｔが流れる方向を算出することができる。このため、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、電流Ｓｔが流れる方向によってその電流Ｓｔが検出対象を流れる電流Ｓｔであるか否かを確実に判別することができる結果、検出対象以外の部位に流れる電流Ｓｔに基づいて誤った検査がされる事態を確実に回避することができる。したがって、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、検査対象の基板７０を正確に検査することができる。
【００６９】
また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、検出素子対３０ａにおける各磁気検出素子３１の検出面３１ｆをＸＹ座標のＸ軸に沿わせ、検出素子対３０ｂにおける各磁気検出素子３１の検出面３１ｆをＸＹ座標のＹ軸に沿わせ、演算部２７が、検出素子対３０ａ，３０ｂについての各差動信号によって特定したＸ軸方向の第１成分Ｉｍ１とＹ軸方向の第２成分Ｉｍ２との２乗和平方根を検出対象を流れる電流Ｓｔの電流値Ｉｍとして算出すると共に、第１成分Ｉｍ１と第２成分Ｉｍ２との逆正接を検出対象を流れる電流Ｓｔの方向として算出することにより、検出対象を流れる電流Ｓｔの電流値Ｉｍおよび方向を２つの検出素子対３０だけで特定することができる結果、磁気検出センサ２および基板検査装置１の構成を簡略化することができる。
【００７０】
また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、各磁気検出素子３１をユニット化した検出素子ユニット２１に位置合わせ用の複数の標識３１ｍを設けたことにより、検出素子ユニット２１の位置合わせを容易に行うことができる。
【００７１】
また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、平面Ｆｓに沿った平面方向に検出素子ユニット２１を移動させると共に平面Ｆｓの垂線を軸とする回動方向に検出素子ユニット２１を回動させる第１移動機構２５を備えたことにより、例えば、支持台３の表面に載置した磁気検出センサ２全体を表面に沿って手動で移動させて検出素子ユニット２１の位置合わせを行う構成と比較して、位置合わせを十分正確に行うことができる。
【００７２】
また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、検出素子ユニット２１の先端部２１ｔに弾性部材３３を配設したことにより、検出素子ユニット２１の移動によって先端部２１ｔが基板７０に当接したとしても、弾性部材３３が緩衝材として機能して、基板７０および検出素子ユニット２１の損傷を確実に防止することができる。また、検出素子ユニット２１の先端部２１ｔを基板７０に当接させることで、基板７０と検出素子ユニット２１との距離を一定に維持することができるため、基板７０と検出素子ユニット２１との距離が変化することによる検出精度の低下を確実に防止することができる。
【００７３】
また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、平面Ｆｓの垂線に沿ったＺ方向に検出素子ユニット２１を移動させる第２移動機構２６をエアシリンダ２６ａで構成したことにより、規定通りの圧力で基板７０に検出素子ユニット２１を押圧させることができるため、基板７０と検出素子ユニット２１との距離を確実に一定に維持することができる結果、基板７０と検出素子ユニット２１との距離が変化することによる検出精度の低下をより確実に防止することができる。
【００７４】
また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、演算部２７が撮像部２４によって撮像された標識３１ｍの撮像画像に基づいて検出素子ユニット２１の位置ずれ量を算出し、位置ずれ量が予め決められた基準値以上のときに表示部７が報知処理を行うことにより、検出素子ユニット２１の位置ずれが大きいことを把握することができるため、検出素子ユニット２１の位置ずれによる検出精度の低下を確実に回避することができる。
【００７５】
また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、演算部２７が回動方向の位置ずれ量Ａθに基づいて電流値Ｉｍを補正することにより、検出素子ユニット２１に位置ずれが生じている場合においても、その位置ずれによる検出精度の低下を確実に回避することができる。
【００７６】
また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、磁気検出素子３１の動作確認を行う際に動作確認用電流を流す動作確認用導体２３ａを検出素子ユニット２１に配設したことにより、ダミー基板を用いて磁気検出素子３１の動作確認を行う必要がある構成（動作確認用導体２３ａが配設されていない構成）とは異なり、ダミー基板を用いることなく磁気検出素子３１の動作確認を行うことができるため、検査効率を十分に向上させることができる。
【００７７】
また、この磁気検出センサ２および基板検査装置１によれば、検出信号Ｓｄおよびセンサ信号Ｓｓを導通させる導体パターンを有するフレキシブル基板２３に動作確認用導体２３ａを形成したことにより、フレキシブル基板２３とは別体の動作確認用導体２３ａを設ける構成と比較して、磁気検出センサ２および基板検査装置１の製造工程を簡略化することができるため、その分、磁気検出センサ２および基板検査装置１の製造コストを低減させることができる。
【００７８】
なお、検出センサおよび基板検査装置の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、２組の検出素子対３０を備えた例について上記したが、検出素子対３０の数は、２組に限定されず、２よりも大きい任意のｎ組（ｎは、３以上の整数）に規定することができる。この場合、各検出素子対３０を構成する各磁気検出素子３１を平面視状態において正ｍ角形（ｍは、ｎ／２）をなすように配置することで、上記した各効果を実現することができる。
【００７９】
また、第１移動機構２５や第２移動機構２６を手動で操作する構成例について上記したが、第１移動機構２５や第２移動機構２６を自動的に駆動する構成を採用することもできる。この場合、第１移動機構２５や第２移動機構２６の駆動を制御する制御部を備え、その制御部が撮像部２４による標識３１ｍの撮像画像に基づいて信号処理部２２の位置合わせを自動的に行うように構成することもできる。
【００８０】
また、エアシリンダ２６ａおよびレギュレータ２６ｂを備えた第２移動機構２６を採用した例について上記したが、回転モータおよびボールねじを有する直動機構で構成した第２移動機構や、リニアモータ式の直動機構で構成した第２移動機構を採用することもできる。
【００８１】
また、動作確認用導体２３ａが形成されたフレキシブル基板２３を用いる例について上記したが、フレキシブル基板２３とは別体に設けた動作確認用導体２３ａを用いる構成を採用することもできる。
【００８２】
また、基板７０における導体パターンと集積回路７３のパッドとの接続状態の良否を基板検査装置１を用いて検査する例について上記したが、導体パターンの断線や短絡を検査する際に基板検査装置１を用いることもでき、この場合においても、上記した各効果を実現することができる。また、基板検査装置１の検査対象は、集積回路７３が実装された上記の基板７０に限定されず、例えば、集積回路７３が実装されていない基板などが含まれ、この基板を検査する際にも上記した各効果を実現することができる。
【符号の説明】
【００８３】
１  基板検査装置
２  磁気検出センサ
７  表示部
８  制御部
２１  検出素子ユニット
２２  信号処理部
２３  フレキシブル基板
２３ａ  動作確認用導体
２４  撮像部
２５  第１移動機構
２６  第２移動機構
２６ａ  エアシリンダ
２６ｂ  レギュレータ
２７  演算部
３０ａ，３０ｂ  検出素子対
３１ａ〜３１ｄ  磁気検出素子
３１ｆ  検出面
３１ｍ  標識
３３  弾性部材
７０  基板
７３  集積回路
７３ａ，７３ｂ  素子
Ｉｍ  電流値
Ｉｍ１  第１成分
Ｉｍ２  第２成分
ψ  角度
Ｆｓ  平面
Ｌｍａ，Ｌｍｂ  磁力線
Ｌｐ  垂線
Ｍａ，Ｍｂ  磁界
Ｓｄ  検出信号
Ｓｓ  センサ信号
Ｓｔ  電流
【図１】
2018054453.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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