(57)【要約】【課題】基板の製造に使用される薬液を最適な状態に管理する役務に最適な基板処理システム及びその料金の算出システムを提供する。【解決手段】基板処理システムは、基板処理手段１と、薬液の新液を調製する薬液調製手段３、使用後の薬液を再生する薬液再生手段４等とが、配管で接続されている。薬液管理手段２は基板処理手段１の薬液の濃度を測定し、薬液の原液や新液、再生液を補充し、薬液を最適な濃度に管理する。供給された補充液は配管に備えられた積算流量計５１〜５５により計測される。基板の処理料金算出システム５は、ネットワーク５１０に通信機能を有する積算流量計とサーバシステム５０２が接続されている。積算流量はネットワーク５０１を介してサーバシステム５０２に受信され記憶される。サーバシステム５０２は、積算流量計ごとに所定期間の積算流量に基づいて料金を算出する演算部５０５を備える。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液を用いて基板を処理する基板処理手段と、
前記基板処理手段で繰り返し使用される前記薬液の濃度を管理する薬液管理手段と、
前記基板処理手段に接続され、前記薬液管理手段により前記薬液に供給される補充液が前記基板処理手段に送液される配管と、を備え、
前記配管に積算流量計を備える基板処理システム。
【請求項２】
前記薬液を新液として調製する薬液調製手段と、
前記基板処理手段及び前記薬液調製手段に接続され、前記薬液調製手段により調製された前記新液が前記薬液管理手段により前記基板処理手段で繰り返し使用されている薬液に供給される新液用配管と、をさらに備え、
前記新液用配管に積算流量計を備える請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項３】
前記基板処理手段で使用された前記薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生手段と、
前記基板処理手段及び前記薬液再生手段に接続され、前記薬液再生手段により再生された前記再生液が前記薬液管理手段により前記基板処理手段で繰り返し使用されている薬液に供給される再生液用配管と、をさらに備え、
前記再生液用配管に積算流量計を備える請求項２に記載の基板処理システム。
【請求項４】
前記基板処理手段で使用された前記薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生手段と、
前記基板処理手段及び前記薬液再生手段に接続され、前記薬液再生手段により再生された前記再生液が前記薬液管理手段により前記基板処理手段で繰り返し使用されている薬液に供給される再生液用配管と、をさらに備え、
前記再生液用配管に積算流量計を備える請求項１に記載の基板処理システム。
【請求項５】
薬液を用いて基板を処理する基板処理手段と、
前記薬液を新液として調製する薬液調製手段と、
前記基板処理手段及び前記薬液調製手段に接続され、前記薬液調製手段により調製された前記新液が前記基板処理手段に送液される新液用配管と、を備え、
前記新液用配管に積算流量計を備える基板処理システム。
【請求項６】
薬液を用いて基板を処理する基板処理手段と、
前記基板処理手段で使用された前記薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生手段と、
前記基板処理手段及び前記薬液再生手段に接続され、前記薬液再生手段により再生された前記再生液が前記基板処理手段に送液される再生液用配管と、を備え、
前記再生液用配管に積算流量計を備える基板処理システム。
【請求項７】
前記積算流量計が通信機能を備える請求項１から６のいずれか一項に記載の基板処理システム。
【請求項８】
薬液を用いて基板を処理する基板処理手段と、
前記基板処理手段で繰り返し使用される前記薬液の濃度を管理する薬液管理手段、及び、前記基板処理手段に接続され、前記薬液管理手段により前記薬液に供給される補充液が前記基板処理手段に送液される配管、の組合せ、
前記薬液を新液として調製する薬液調製手段、及び、前記基板処理手段及び前記薬液調製手段に接続され、前記薬液調製手段により調製された前記新液が前記基板処理手段に送液される新液用配管、の組合せ、
並びに、
前記基板処理手段で使用された前記薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生手段、及び、前記基板処理手段及び前記薬液再生手段に接続され、前記薬液再生手段により再生された前記再生液が前記基板処理手段に送液される再生液用配管、の組合せ、
のうちの少なくともいずれか一つの組合せと、を備え、
前記配管、前記新液用配管、及び、前記再生液用配管に通信機能を有する積算流量計を備える基板処理システムと、
前記積算流量計とネットワークを介して接続されるサーバシステムと、を備え、
前記サーバシステムは、
前記ネットワークを介して前記積算流量計の計測した積算流量を受信する受信部と、
前記受信部で受信した前記積算流量の履歴を、前記積算流量計ごとに記憶する記憶部と、
前記記憶部で記憶した前記履歴に基づいて、前記基板処理システムごとに所定期間における前記基板処理システムにより処理される基板の処理料金を算出する演算部と、
を備える基板の処理料金算出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体又は液晶ディスプレイ基板の製造プロセスで繰り返し用いられる各種の薬液を用いて基板の処理を行う基板処理システム、及び、この基板処理システムを用いて実施される基板の処理に係る基板処理料金の算出をする基板の処理料金算出システム、に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体又は液晶ディスプレイ基板の製造プロセスでは、例えば、現像液、エッチング液、剥離液、帯電防止剤、洗浄液など、各種の薬液が使用されている。これらの薬液（以下、これらの薬液の具体的な区別を必要としない場合にはこれらをまとめて「薬液」という。）は、その性能が最大限に発揮されるように、必要に応じた所定の濃度に維持管理されて使用される。薬液の濃度管理は、薬液の濃度の監視と測定された濃度に基づく補充液の補給によりなされる。補給される補充液としては、薬液の原液や純水のほか、新しく調製された薬液（以下「新液」ともいう。）や再利用可能に再生処理された薬液（以下「再生液」ともいう。）などが用いられる。
【０００３】
従来は、薬液を使用して基板を処理する者（以下「基板製造者」ということがある。）は、薬液の濃度を維持管理するために、薬液の濃度管理装置を購入して使用していた。基板製造者は、薬液の濃度を管理すべく補給される補充液として、薬液の原液や新液などを調達しなければならなかった。基板製造者は、自前で薬液の新液を調製するときは、薬液をその原料から自動で調製する薬液調製装置を購入し、これを運用しなければならなかった。また、基板製造者は、再生液を自前で用意するには、使用された薬液を再利用可能に再生処理する薬液の再生処理装置を購入しなければならなかった。
【０００４】
薬液の濃度管理装置として、例えば、次の特許文献が開示されている。特許文献１では、現像液のアルカリ濃度と溶解樹脂濃度とを管理する現像液濃度管理装置が開示されている。また、特許文献２では、酸濃度と溶解インジウム濃度とを管理するエッチング液管理装置が開示されている。薬液の再生処理装置としては、例えば、特許文献３に、現像廃液を精密ろ過により再生する現像廃液の再生処理装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第２５６１５７８号公報
【特許文献２】特許第２７４７６４７号公報
【特許文献３】特開２００５−１７５１１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来のように濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を購入して使用する態様では、基板製造者が、濃度管理装置や薬液再生装置を購入し、これらを運転し維持管理することが必要であった。また、従来の態様では、濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を製造販売する者（以下「装置販売者」ということがある。）にとっても、装置販売時点しかこれらの装置の対価を得る機会がなかった。
【０００７】
そのため、基板製造者は、濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を購入するための一時的に多額の費用負担と、購入後の運転及び維持管理に係る数々の手間や負担と、を背負わなければならなかった。また、装置販売者は、限られた市場の中で、装置の購入を希望する基板製造者を次々に探して装置を販売しなければ、充分な利益を上げることが難しい、という問題を抱えていた。
【０００８】
本発明は、上記の諸課題に鑑みなされたものである。発明者は、装置を販売するのではなく、濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を用いて基板の処理に最適な所望の状態に薬液を維持管理する役務を基板製造者に提供すること、を発案した。本発案の新規なビジネスモデルでは、基板製造者が上記のような負担を背負うことなく常に最適な状態に維持された薬液を使用することができ、かつ、装置販売者が継続して収益を上げることができる。本発明は、上記発案の新規なビジネスモデルにおいて、上記役務を提供する者がその役務の提供に用いる濃度管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を基板製造者の運用する基板処理手段に接続して構築される上記役務を提供するのに最適な基板処理システム、及び、この基板処理装置による基板の処理に係る基板処理料金の算出システム、を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理システムは、薬液を用いて基板を処理する基板処理手段（１）と、基板処理手段（１）で繰り返し使用される薬液の濃度を管理する薬液管理手段（２）と、基板処理手段（１）に接続され薬液管理手段（２）により薬液に供給される補充液が基板処理手段（１）に送液される配管（８１、８２、８３）とを備え、この配管に積算流量計（５１、５２、５３）を備える。
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理システムは、薬液を新液として調製する薬液調製手段（３）と、基板処理手段（１）及び薬液調製手段（３）に接続され、薬液調製手段（３）により調製された新液が薬液管理手段（２）により基板処理手段（１）により基板処理手段で繰り返し使用されている薬液に供給される新液用配管（８４）と、をさらに備え、この新液用配管（８４）に積算流量計（５４）を備えることが好ましい。
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理システムは、基板処理手段（１）で使用された薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生手段（４）と、基板処理手段（１）及び薬液再生手段（４）に接続され、薬液再生手段（４）により再生された再生液が薬液管理手段（２）により基板処理手段（１）で繰り返し使用されている薬液に供給される再生液用配管（８５）と、をさらに備え、再生液用配管（８５）に積算流量計（５５）を備えることが好ましい。
【００１２】
本発明の基板処理システムによれば、補充液を供給する配管（８１、８２、８３）、薬液調製手段（３）により調製された薬液の新液を補給する新液用配管（８４）、及び、薬液再生手段（４）により再生された薬液を補給する再生液用配管（８５）に積算流量計（５１、５２、５３、５４、５５）が備え付けられているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとに基板処理手段（１）に供給した補充液、新液又は再生液の量を把握することができる。そのため、例えば、この所定期間における補充液、新液又は再生液の供給量にこれらの単位量当たりの料金を乗じて得た供給料金に、その他の諸経費などに基づく基本料金を加算した金額を、基板処理のために提供した薬液管理の役務の提供に係る料金、すなわち、「基板処理料金」として算出することが可能となる。そして、算出した料金を基板製造者に請求することが可能となる。
【００１３】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理システムは、薬液を用いて基板を処理する基板処理手段（１）と、薬液を新液として調製する薬液調製手段（３）と、基板処理手段（１）及び薬液調製手段（３）に接続され、薬液調製手段（３）により調製された新液が基板処理手段（１）に送液される新液用配管（８４）と、を備え、この新液用配管（８４）に積算流量計（５４）を備える。
【００１４】
本発明の基板処理システムによれば、薬液調製手段（３）により調製された薬液の新液を補給する新液用配管（８４）に積算流量計（５４）が備え付けられているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとに基板処理手段（１）に供給した新液の量を把握することができる。そのため、例えば、この所定期間における新液の供給量に単位量当たりの料金を乗じて得た供給料金にその他の諸経費などに基づく基本料金を加算した金額を、基板処理のために提供した薬液管理の役務の提供に係る料金、すなわち、「基板処理料金」として算出することが可能となる。そして、算出した料金を基板製造者に請求することが可能となる。
【００１５】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理システムは、薬液を用いて基板を処理する基板処理手段（１）と、基板処理手段（１）で使用された薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生手段（４）と、基板処理手段（１）及び薬液再生手段（４）に接続され、薬液再生手段（４）により再生された再生液が基板処理手段（１）に送液される再生液用配管（８５）と、を備え、この再生液用配管（８５）に積算流量計（５５）を備える。
【００１６】
本発明の基板処理システムによれば、薬液再生手段（４）により再生された再生液を供給する再生液用配管（８５）に積算流量計（５５）が備え付けられているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとに基板処理手段（１）に供給した再生液の量を把握することができる。そのため、例えば、この所定期間における再生液の供給量に単位量当たりの料金を乗じて得た供給料金にその他の諸経費などに基づく基本料金を加算した金額を、基板処理のために提供した薬液管理の役務の提供に係る料金、すなわち、「基板処理料金」として算出することが可能となる。そして、算出した料金を基板製造者に請求することが可能となる。
【００１７】
前記目的を達成するために、本発明の基板処理システムは、積算流量計（５１、５２、５３、５４、５５）が通信機能を備える。
【００１８】
本発明の基板処理システムによれば、各基板製造者の工場で使われている積算流量計（５１、５２、５３、５４、５５）をネットワークに接続することができるので、積算流量計（５１、５２、５３、５４、５５）の測定する補充液、新液又は再生液の積算流量の各種測定データを、当該ネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で監視することが可能となる。積算流量計のメーターを検針するために基板製造者の工場に出向く必要がない。
【００１９】
前記目的を達成するために、本発明の基板の処理料金算出システムは、薬液を用いて基板を処理する基板処理手段と、基板処理手段で繰り返し使用される薬液の濃度を管理する薬液管理手段、及び、基板処理手段に接続され、薬液管理手段により薬液に供給される補充液が基板処理手段に送液される配管、の組合せ、薬液を新液として調製する薬液調製手段、及び、基板処理手段及び薬液調製手段に接続され、薬液調製手段により調製された新液が基板処理手段に送液される新液用配管、の組合せ、並びに、基板処理手段で使用された薬液を再生液として再利用可能に再生する薬液再生手段、及び、基板処理手段及び薬液再生手段に接続され、薬液再生手段により再生された再生液が基板処理手段に送液される再生液用配管、の組合せのうちの少なくともいずれか一つの組合せと、を備え、この配管、新液用配管、及び、再生液用配管に通信機能を有する積算流量計（５２１、５２２、５２３、５２４、５２５）を備える基板処理システムと、この積算流量計（５２１、５２２、５２３、５２４、５２５）とネットワーク（５０１）を介して接続されるサーバシステム（５０２）と、を備え、このサーバシステム（５０２）は、ネットワーク（５０１）を介して積算流量計（５２１、５２２、５２３、５２４、５２５）の計測した積算流量を受信する受信部（５０３）と、受信部（５０３）で受信した積算流量の履歴を、積算流量計ごとに記憶する記憶部（５０４）と、この履歴に基づいて基板処理システムごとに所定期間における基板処理システムにより処理される基板の処理料金を算出する演算部（５０５）と、を備える。
【００２０】
本発明の基板の処理料金算出システムによれば、各基板製造者の工場（５１１、５１２、５１３、５１４、５１５）で使われている積算流量計（５２１、５２２、５２３、５２４、５２５）をネットワーク（５０１）に接続されたサーバシステム（５０２）により遠隔で一元的に監視することができる。積算流量計のメーターを検針するために基板製造者の工場に出向く必要がない。基板製造者の設備に供給した補充液、新液又は再生液の所定期間における積算流量に応じた、薬液管理の役務の合理的な提供料金を算出することができ、これを基板製造者に請求することが可能となる。
【００２１】
なお、この欄で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。」
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、基板処理手段に補充液、新液又は再生液を補給する配管に積算流量計を備えるので、所定期間に基板処理手段に供給した補充液、新液又は再生液の供給量を把握することができ、この供給量に基づいた合理的な料金の計算が可能となる。このため、基板の処理に最適な所望の状態に薬液を維持管理する役務を基板製造者に提供するという、この業界に今まで無かった新しいビジネスの方法を実現することができる。そのため、本発明によれば、この役務を提供する者は、装置を販売していた従来の場合と比べ、限られた市場の中で装置購入希望者を次々と探さなくても、継続的に安定な収益を確保することができる。
【００２３】
本発明によれば、基板製造者は、薬液の濃度を管理する管理装置、薬液を新たに調製する調製装置、薬液を再生処理する再生装置などを購入したり運転したり維持管理したりする負担を背負わずに、薬液に供給された補充液、新液又は再生液の積算流量に基づいた薬液管理の役務提供の料金を支払うだけで、常時所望の状態に管理された薬液を使用することができる。
【００２４】
本発明によれば、この役務を提供する者は、複数の基板製造者の工場で使用されている各濃度管理装置や各薬液再生装置の積算流量計を遠隔で一元的に監視することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】基板処理手段と薬液管理手段と積算流量計とを備える実施形態の基板処理システムの模式図である。
【図２】基板処理手段と薬液管理手段と薬液調製手段と積算流量計とを備える実施形態の基板処理システムの模式図である。
【図３】基板処理手段と薬液管理手段と薬液調製手段と薬液再生手段と積算流量計とを備える基板処理システムの模式図である。
【図４】基板処理手段と薬液管理手段と薬液再生手段と積算流量計とを備える基板処理システムの模式図である。
【図５】基板処理手段と薬液調製手段と積算流量計とを備える基板処理システムの模式図である。
【図６】基板処理手段と薬液再生手段と積算流量計とを備える基板処理システムの模式図である。
【図７】通信機能を有する積算流量計がネットワークに接続される実施形態の基板処理システムの模式図である。
【図８】通信機能を有する積算流量計がネットワークに接続される別の実施形態の基板処理システムの模式図である。
【図９】通信機能を有する積算流量計がネットワークに接続される別の実施形態の基板処理システムの模式図である。
【図１０】薬液の基板処理料金算出システムの構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、適宜図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。ただし、これらの実施の形態に記載されている装置等の形状、大きさ、寸法比、その相対配置などは、とくに特定的な記載がない限り、本発明の範囲に図示されているもののみに限定するものではない。単なる説明例として、模式的に図示しているに過ぎない。
【００２７】
また、以下の説明では、半導体又は液晶ディスプレイ基板の製造プロセスで用いられる薬液の具体例として、現像工程で現像液として主に使われる２．３８％のテトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液（以下、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドをＴＭＡＨという。）を、適宜用いて説明する。
【００２８】
ただし、本発明が適用される薬液はこれに限定されるものではない。本発明が適用できる他の薬液の例としては、現像液のほかに、エッチング液、剥離液、帯電防止剤、又は、洗浄液などを挙げることができる。
【００２９】
これらの薬液は、それぞれ、さらに多様な種類や組成の薬液が存在する。現像液としては、例えば、他に、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウムなどの無機化合物の水溶液や、トリメチルモノエタノールアンモニウムハイドロオキサイド（コリン）などの有機化合物の水溶液などを挙げることができる。エッチング液としては、例えば、シュウ酸水溶液、硫酸と過酸化水素の混合水溶液、硫酸銅溶液、燐酸と酢酸と硝酸の混合水溶液、熱燐酸、硝酸第二セリウムアンモニウム水溶液、塩化第二鉄溶液などを挙げることができる。剥離液としては、例えば、ジメチルスルホキシド系原液と純水との溶液、Ｎ−メチルピロリドン系原液と純水との溶液、アルカノールアミンとグライコールエーテルと純水との溶液などの水系レジスト剥離液や、モノエタノールアミンとブチルジグリコールと添加剤との混合溶液などの非水系レジスト剥離液などを挙げることができる。
【００３０】
従来、上記の各種の薬液を用いて基板を処理して基板の製造をする基板製造者は、薬液管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を購入し、これを現像設備やエッチング設備等の薬液を使用する設備に接続し、これらの装置を運転して、薬液を使用した基板の処理を行っていた。そのため、基板製造者は、薬液管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を購入する際の一時的に多額の費用負担、装置の運転の際の補充液や必要原料の調達の負担、装置の運転や維持管理に関連するその他の数々の手間や負担を負わなければならなかった。
【００３１】
また、装置販売者側から見ると、従来の装置そのものを販売するビジネスでは、装置販売時点にしか装置の対価回収の機会がなく、装置購入希望者を次々探して装置を売らなければ十分な利益を上げることが難しかった。
【００３２】
本発明者は、これらの諸点に鑑み、新規なビジネスの方法を発案した。すなわち、薬液管理装置や薬液調製装置、薬液再生装置を用いて基板製造者の繰り返し使用する薬液の濃度を所定の濃度に管理する役務を提供するビジネスである。薬液調製装置を用いて薬液の新液を基板製造者に供給する役務を提供するビジネス、あるいは、薬液再生装置を用いて基板製造者の使用した薬液を再利用可能に再生処理する役務を提供するビジネスである。これらの新規なビジネスの方法について説明する。
【００３３】
まず、薬液を管理する役務を提供するビジネスについて説明する。
【００３４】
薬液管理の役務提供者は、薬液管理装置を用いて基板製造者が繰り返し使用している薬液を基板製造者の望む所定の濃度又は所定の濃度範囲に管理する。薬液の濃度管理は、繰り返し使用されている薬液に補充液を補給することにより行われる。薬液管理装置は、繰り返し使用されている薬液の濃度を繰り返し測定して常時監視し、適切な補充液が必要量補給されるように補充液を補給する配管に備えられた制御弁を制御する。補充液は、補充液を補給する配管に備えられた積算流量計により積算流量を計測されながら、補給される。役務提供者は、補給された補充液の積算流量を監視することで、所定期間ごと（例えば、一週間ごととか一か月ごととか）の積算流量に基づいて、薬液管理の役務提供に係る料金を算出し、これを当該所定期間ごとに基板製造者に請求する。これが、薬液の濃度を管理する役務を提供するビジネスの概要である。
【００３５】
薬液の濃度を管理する役務に使用する薬液管理装置は、役務提供者の所有物件として、役務提供者が運転及び維持管理を行い、濃度管理に使用する。したがって、基板製造者は、薬液管理装置を購入する必要がないし、その運転や維持管理をする必要もない。ただ単に、役務提供者に薬液の濃度を管理してもらうだけである。
【００３６】
役務提供者は、自らの所有する薬液管理装置を基板製造者の工場に置かせてもらい、基板製造者の運用する薬液を使用して基板を処理する設備（以下「基板処理設備」ともいう。）に接続する。ここで、薬液を使用して基板を処理する設備とは、薬液が現像液であれば現像装置、エッチング液であればエッチング装置、剥離液であれば剥離装置、などのことである。
【００３７】
濃度管理は、薬液の濃度測定と、測定された薬液の濃度に基づく補充液の補給と、により実現される。ただし、これに限定されない。例えば、使用された薬液の再生処理を組み合わせるなどして、濃度管理してもよい。
【００３８】
例えば、現像処理工程で多用されているＴＭＡＨ水溶液を２．３８％の濃度に管理する場合には、特許文献１にあるように、次のような濃度管理がなされる。すなわち、現像液管理装置はアルカリ成分濃度と溶解樹脂濃度を繰り返し測定して常時監視し、アルカリ成分濃度がおよそ２．３８％の濃度になるように、及び、溶解樹脂濃度が所定の設定濃度を越えないように、補充液を補給して濃度管理する。
【００３９】
この場合、補充液としては、現像液の原液、現像液の新液、純水、などが補給される。現像液の原液とは、濃度の濃い現像液、例えば、２０％ないし２５％程度のＴＭＡＨ水溶液である。現像液の新液とは、未使用の現像液、つまり溶解樹脂等の不要物を含まない新鮮な現像液である。例えば、未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液である。使用された現像液から溶解樹脂などの不要物を除去した現像液の再生液を補充液として使用してもよい。また、現像液の新液として、現像液調製装置（薬液調製手段）により調製されたものを用いてもよい。
【００４０】
濃度測定は、現像設備で繰り返し使用されている現像液をサンプリングし、現像液管理装置の測定部で行われる。アルカリ成分濃度は現像液の導電率を測定することで、また、溶解樹脂濃度は現像液の特定波長における吸光度を測定することで、行われる。これらの成分濃度と対応する現像液の物性値との間には、良好な相関関係があることが知られている（特許文献１参照）。このような相関関係を用いれば、測定された導電率値からアルカリ成分濃度が、測定された吸光度値から溶解樹脂濃度が、導き出される。
【００４１】
濃度測定の結果、アルカリ成分濃度が２．３８％より低い時には、現像液管理装置は、補充液として現像液の原液を補給する。逆に、２．３８％より高い時には、現像液管理装置は、補充液として純水又は現像液の新液を補給する。同様に、溶解樹脂濃度が所定の設定濃度を越えたときには、現像液管理装置は、補充液として現像液の新液を補給する。
【００４２】
補充液は、配管を介して、補充液を貯留している貯留容器や新液を調製して供給する薬液調製装置や再生液を供給する薬液再生装置から基板製造者の基板処理設備へ送液される。補充液が補給される配管には、薬液管理装置により制御される制御弁と積算流量計が設置されている。なお、制御弁が開の時に単位時間あたりに流れる流量が制御弁ごとに予め設定されていれば、薬液管理装置は、補給すべき補充液の流れる配管に設けられた制御弁を所定時間開にすることで、適量の補充液を補給することができる。補充液の補給の際、積算流量計は、補充液の積算流量を測定する。これは、基板処理設備に供給された補充液の供給量である。
【００４３】
役務提供者は、例えば一か月ごとなどの所定期間ごとに、積算流量計により測定された補充液の積算流量（供給量）に基づいて基板の処理料金を算出する。役務提供者は、基板処理に使用する薬液を管理する役務の提供の対価として、算出した基板の処理料金を基板製造者に請求する。
【００４４】
基板製造者は、所定期間ごとに基板の処理料金を支払うことで、濃度管理装置の購入や運転及び維持管理をすることなく、濃度管理された薬液を使用し続けることができる。一方、役務提供者は、装置を販売していた時と比べて、継続して安定な収益を上げることが可能となる。
【００４５】
ここで、基板の処理料金としては、種々の態様があり得る。以下に、基板の処理料金の具体例を、いくつか例示する。ただし、基板の処理料金の算出の仕方は、これらに限定されない。本発明に関連する基板の処理料金の算出の仕方は、補充液の積算流量（供給量）に基づく各種の料金算出方法を含むものである。
【００４６】
第一に、基板の処理料金として、所定期間に供給した補充液の供給料金を基準に料金を計算するものがある。補充液を販売する、という考え方によるものである。
【００４７】
例えば、所定期間をひと月ごととする。積算流量計で補充液の積算流量を計測しているので、今月検針時点における積算流量から前月検針時点における積算流量を差し引くことにより、今月補給した補充液の供給量が求められる。これをＱ（Ｌ／月）とする。補充液の供給単価をＡ（円／Ｌ）とする。そうすると、今月の補充液の供給料金が、Ｑ×Ａ（円／月）と求められる。補充液が複数ある場合には、複数ある補充液のそれぞれについて、供給量をＱ１、Ｑ２、Ｑ３、・・・（Ｌ／月）、供給単価をＡ１、Ａ２、Ａ３、・・・（円／Ｌ）として、補充液の供給料金は、ΣＱｉ×Ａｉ （ｉ＝１、２、３、・・・）  （円／Ｌ）と求められる。これを、今月の基板の処理料金として、基板製造者に請求する。
【００４８】
この変形例として、上記のように計算した補充液の供給料金に各種の料金を加算して得た料金を、月々の基板の処理料金とするものがある。加算する各種の料金の代表的なものとして、基本料金がある。薬液管理の役務提供に係る契約時に、月々の基本料金を定め、これを補充液の供給の有無に関わらず、基板の処理料金に含めて請求するものである。もちろん、基本料金という名目いかんに関わらず、設備維持管理費や装置運転員の人件費、原料調達費、その他の諸経費などを、加算する料金に含めてもよい。加算される料金（例えば基本料金）をＺ（円／月）とすれば、月々の基板の処理料金は、Ｑ×Ａ＋Ｚ（円／月）となる。補充液が複数あり、加算される料金が種々の料金の和Ｚ＝ΣＺｊであるときは、月々の基板の処理料金は、ΣＱｉ×Ａｉ ＋ΣＺｊ（ｉ、ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）となる。
【００４９】
また別の変形例としては、補充液の供給料金に割増率Ｂをかけて得た金額を、月々の基板の処理料金とする場合もある。例えば、補充液の原料の調達にかかる諸経費や装置の維持管理費などは、補充液の供給量（これは装置の運転時間とも関係する。）に連動するものととらえることが合理的である。このような場合には、割増率Ｂを補充液の供給料金Ｑ×Ａ（円／月）にかけて、月々の基板の処理料金は、Ｑ×Ａ×Ｂ（円／月）と求められる。割増率Ｂを補充液の供給単価Ａ（円／Ｌ）に含めてしまうのでもよい。さらに、基本料金などが加算される場合には、月々の基板の処理料金は、Ｑ×Ａ×Ｂ＋Ｚ（円／月）となる。より一般的には、月々の基板の処理料金は、（ΣＱｉ×Ａｉ）×Ｂ＋ΣＺｊ（ｉ、ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）と求められる。
【００５０】
第二に、基板の処理料金として、所定期間に提供した薬液管理の役務により基板製造者にもたらされた経済的な利益に所定の割合をかけて得た額を、基板製造者に請求する、というものである。薬液管理の役務の提供により基板製造者に生じさせた経済的な利益を、基板製造者と役務提供者とで分け合いましょう、という考え方によるものである。これは、例えば、薬液管理を実施していなかった基板製造者に対して、薬液管理の役務を提供する場合などに、好適に適用される。
【００５１】
薬液管理をしない場合、基板製造者は、薬液を所定回数使用したのち全量廃棄して、新しい薬液に交換していた。このため、薬液の液性能は、液の交換のたびに大きく変動していた。一方、薬液の濃度管理を実施すると、基板製造者は、次のような様々な効能を享受することができる。すなわち、薬液の使用量が大幅に削減される。薬液の廃液量も大幅削減される。また、薬液の液性能が常時一定となるため、半導体や液晶基板の製造品質が安定し、製造歩留まりが向上する。液交換のために製造装置を停止する必要がなく、製造装置の稼働率が向上し、半導体や液晶基板の製造量が増加する。
【００５２】
このような場合における基板の処理料金の算出の具体例として、薬液使用量の削減による薬液コストの軽減額の数割分を所定期間の基板処理料金とするもの、を挙げることができる。
【００５３】
例えば、所定期間をひと月ごととする。基板製造者が本発明に係る薬液管理の役務の提供を受ける前、すなわち、薬液の濃度管理を実施していなかった頃に、基板製造者が購入したひと月当たりの薬液の購入量をＲ（Ｌ／月）とし、その購入単価をＣ（円／Ｌ）とする。薬液購入量Ｒの変動が大きい場合には、過去の適当な期間における薬液購入量の平均値をＲとする。
【００５４】
本発明に係る薬液管理の役務の提供により供給される補充液の供給量は、積算流量計により測定された積算流量から、Ｑ（Ｌ／月）と求められる。補充液の供給単価Ａ（円／Ｌ）をかけて、月々の補充液の供給料金は、Ｑ×Ａ（円／月）と求められる。
【００５５】
そうすると、基板製造者が本発明に係る薬液の濃度管理の役務の提供を受けたことにより得ることのできる薬液コストの軽減額は、Ｒ×Ｃ−Ｑ×Ａ（円／月）となる。月々の基板の処理料金は、割合をＤとして、（Ｒ×Ｃ−Ｑ×Ａ）×Ｄ（円／月）と求められる。もちろん、これに基本料金などを加算してもよい。割合Ｄとしては、例えば、一割（０．１）とか、二割（０．２）とか、三割（０．３）などである。
【００５６】
変形例として、薬液の廃液量の削減による廃液処理コストの軽減額の数割分を所定期間の基板の処理料金としてもよい。
【００５７】
薬液管理実施前の薬液の月々の廃液処理費用をＳ（円／月）、薬液管理実施後の月々の廃液処理費用をＴ（円／月）（ただしＳ＞Ｔとする。）とすると、濃度管理により削減された廃液処理費用の軽減額は、Ｓ−Ｔ（円／月）である。基板製造者は、濃度管理により、月々Ｑ×Ａ（円／月）の補充液の供給料金を支払うから、基板製造者の廃液量削減に絡む経済的な利益の額は、（Ｓ−Ｔ）−Ｑ×Ａ（円／月）となる。月々の基板の処理料金は、これに割合Ｄをかけて、（（Ｓ−Ｔ）−Ｑ×Ａ）×Ｄ（円／月）と求められる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００５８】
他の変形例として、基板製造者の経済的な利益の額に、薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額の代わりに、歩留まり向上や製品品質の向上、装置稼働率の向上等によりもたらされた基板製造者側の収益増加額などを用いるようにしてもよい。また、薬液コストの軽減額、廃液処理費用の軽減額、基板製造者の収益増加額などを総和した額から補充液の供給料金Ｑ×Ａ（円／月）を差し引いた額を、基板製造者の薬液管理による総合的な経済的利益の額とみて、月々の基板の処理料金を算出するのでもよい。この場合、収益増加額等を総和して得られた額をＵ（円／月）とすれば、基板の処理料金は、（Ｕ−Ｑ×Ａ）×Ｄ（円／月）となる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００５９】
さらなる変形例として、既に薬液の濃度管理を実施していた基板製造者に、本発明に係る薬液管理の役務を提供することにより、基板製造者に様々な経済的利益を生じさせることができる。これらを、同様に、月々の基板の処理料金として計算し、基板製造者に請求する。
【００６０】
多くの基板製造者は、既に薬液の濃度管理を実施している場合であっても、依然として、濃度管理装置を購入して、自ら運転し、維持管理して、薬液の濃度管理をしている。そのため、基板製造者は、薬液の濃度管理に、原料や資材の調達の諸経費や装置の運転員の人件費などの費用を負担している。また、古い薬液管理装置をいまだに使っていたり、薬液ごとに充分最適化されていない濃度測定原理に基づいた薬液管理装置を使っていたりすることも多い。
【００６１】
このような場合の基板製造者に対し、従来の薬液管理を本発明に係る薬液管理の役務に置き換えることで、基板製造者に、薬液コストや廃液コストの削減、歩留まり向上、製品品質の向上と安定、設備稼働率の向上、製品製造数量の向上などに伴う経済的な利益をもたらすことができる。このような場合にも、上記と同様に、補充液の積算流量に基づいて得た経済的利益の額の数割分を、基板の処理料金として算出して、基板製造者に請求することが可能である。
【００６２】
次に、使用された薬液を再利用可能に再生処理して得られた再生液を補充液の一つとして供給して薬液を管理する役務を提供するビジネスについて説明する。
【００６３】
再生液を供給して薬液を管理する役務の役務提供者は、薬液再生装置を用いて基板処理設備で使用された薬液に蓄積した不要成分を取り除き、基板製造者の望む所定の濃度又は所定の濃度範囲に調整し、再利用可能に再生する。再生処理は、濾過、電析、晶析、膜分離などの技術を使って、蓄積された不要成分を除去することにより、行われる（再生処理の方式は、これらに限定されない。対象とする薬液や除去すべき成分に応じて、適宜好適な技術が選択され、適用される。）。薬液再生装置は、再生された薬液（再生液）を供給する配管に備えられた制御弁を開とすることにより、再生液を基板処理設備に供給する。再生液は、再生液を供給する配管に備えられた積算流量計により積算流量を計測されながら、供給される。役務提供者は、供給された再生液の積算流量を監視することで、所定期間ごと（例えば、一週間ごととか一か月ごととか）の積算流量に基づいて、再生液を供給して薬液を管理する役務の役務提供に係る料金を算出し、これを当該所定期間ごとに基板製造者に請求する。これが、使用された薬液を再生処理して得られた再生液を供給して薬液を管理する役務を提供するビジネスの概要である。
【００６４】
使用された薬液を再生処理して得られた再生液を供給して薬液を管理する役務に使用する薬液再生装置は、役務提供者の所有物件として、役務提供者が運転及び維持管理を行い、薬液の再生処理に使用する。したがって、基板製造者は、薬液再生装置を購入する必要がないし、その運転や維持管理をする必要もない。ただ単に、役務提供者に薬液の再生処理をしてもらうだけである。
【００６５】
役務提供者は、自らの所有する薬液再生装置を基板製造者の工場に置かせてもらい、基板製造者の運用する基板処理設備に接続する。ここで、基板処理設備とは、薬液が現像液であれば現像装置、エッチング液であればエッチング装置、剥離液であれば剥離装置、などのことである。
【００６６】
再生処理は、薬液が使用されたことにより薬液中に蓄積された不要物を、濾過、電析、晶析、膜分離などの分離除去技術を用いて薬液中から取り除くことにより実現される。適宜、補充液の補給などにより、薬液の各成分を調節するようになっていてもよい。ただし、再生処理に使用される分離技術は、これらに限定されない。薬液中に蓄積された不要物とは、例えば、現像液の場合では、現像処理により基板から溶出したレジスト成分などである。
【００６７】
再生された薬液は、配管を介して、基板製造者の基板処理設備へ送液される。再生液が補給される配管には、制御弁と積算流量計が設置されている。制御弁が開の時に単位時間あたりに流れる流量が予め設定されていれば、この制御弁を所定時間開にすることで、適量の再生液を供給することができる。再生液の供給の際、積算流量計は、再生液の積算流量を測定する。これは、基板処理設備に供給された再生液の供給量である。
【００６８】
役務提供者は、例えば一か月ごとなどの所定期間ごとに、積算流量計により測定された再生液の積算流量（供給量）に基づいて再生液の供給に伴う基板の処理料金を算出する。役務提供者は、再生液の供給による薬液管理の役務の提供の対価として、算出した基板の処理料金を基板製造者に請求する。
【００６９】
基板製造者は、所定期間ごとに再生液の供給に伴う基板の処理料金を支払うことで、薬液再生装置の購入や運転及び維持管理をすることなく、再生処理された薬液を入手して基板処理に使用することができる。一方、役務提供者は、装置を販売していた時と比べて、継続して安定な収益を上げることが可能となる。
【００７０】
ここで、再生液の供給に伴う基板の処理料金としては、種々の態様があり得る。以下に、その基板処理料金の具体例を、いくつか例示する。ただし、基板の処理料金の算出の仕方は、これらに限定されない。本発明の基板の処理料金の算出の仕方は、再生液の積算流量（供給量）に基づく各種の料金算出方法を含むものである。
【００７１】
第一に、再生液の供給に伴う基板の処理料金として、所定期間に供給した再生液の供給料金を基準に料金を計算するものがある。再生液を販売する、という考え方によるものである。
【００７２】
例えば、所定期間をひと月ごととする。積算流量計で再生薬液の積算流量を計測しているので、今月検針時点における積算流量から前月検針時点における積算流量を差し引くことにより、今月供給した再生液の供給量が求められる。これをＫ（Ｌ／月）とする。再生液の供給単価をＥ（円／Ｌ）とする。そうすると、今月の再生液の供給料金が、Ｋ×Ｅ（円／月）と求められる。これを、今月の再生液の供給に伴う基板の処理料金として、基板製造者に請求する。
【００７３】
この変形例として、上記のように計算した再生液の供給料金に各種の料金を加算して得た料金を、月々の再生液の供給に伴う基板の処理料金とするものがある。加算する各種の料金の代表的なものとして、基本料金がある。薬液の再生処理による薬液管理の役務提供に係る契約時に、月々の基本料金を定め、これを再生液の供給の有無に関わらず、基板の処理料金に含めて請求するものである。もちろん、基本料金という名目いかんに関わらず、設備維持管理費や装置運転員の人件費、原料調達費、その他の諸経費などを、加算する料金に含めてもよい。加算される料金（例えば基本料金）をＺ（円／月）とすれば、月々の基板の処理料金は、Ｋ×Ｅ＋Ｚ（円／月）となる。加算される料金が種々の料金の和Ｚ＝ΣＺｊであるときは、月々の基板の処理料金は、Ｋ×Ｅ ＋ΣＺｊ（ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）となる。
【００７４】
また別の変形例としては、再生液の供給料金に割増率Ｂをかけて得た金額を、月々の再生液の供給に伴う基板の処理料金とする場合もある。例えば、再生液の資材や原料の調達にかかる諸経費、装置の維持管理費などは、再生液の供給量（これは装置の運転時間とも関係する。）に連動するものととらえることが合理的である。このような場合には、割増率Ｆを再生液の供給料金Ｋ×Ｅ（円／月）にかけて、月々の基板の処理料金は、Ｋ×Ｅ×Ｆ（円／月）と求められる。割増率Ｆを再生液の供給単価Ｅ（円／Ｌ）に含めてしまうのでもよい。さらに、基本料金などが加算される場合には、月々の基板の処理料金は、Ｋ×Ｅ×Ｆ＋Ｚ（円／月）となる。より一般的には、月々の基板の処理料金は、（Ｋ×Ｅ）×Ｆ ＋ΣＺｊ（ｊ＝１、２、３、・・・）（円／月）と求められる。
【００７５】
第二に、再生液の供給に伴う基板の処理料金として、所定期間に提供した薬液の再生処理による薬液管理の役務により基板製造者にもたらされた経済的な利益に所定の割合をかけて得た額を、基板製造者に請求する、というものである。薬液の再生処理による薬液管理の役務の提供により基板製造者に生じさせた経済的な利益を、基板製造者と役務提供者とで分け合いましょう、という考え方によるものである。これは、例えば、薬液の再生処理を実施していなかった基板製造者に対して、薬液の再生処理による薬液管理の役務を提供する場合などに、好適に適用される。
【００７６】
薬液の再生処理をしない場合、基板製造者は、薬液を所定回数使用したのち全量廃棄して、新しい薬液に交換していた。このため、薬液の廃液量が非常に多く、新たな薬液も多量に調達しなければならなかった。一方、薬液を再生処理して再利用すると、基板製造者は、次のような様々な効能を享受することができる。すなわち、新たな薬液の使用量が大幅に削減される。薬液の廃液量も大幅削減される。
【００７７】
このような場合における再生液の供給に伴う基板の処理料金の算出の具体例として、薬液使用量の削減による薬液コストの軽減額の数割分を所定期間の基板の処理料金とするもの、を挙げることができる。
【００７８】
例えば、所定期間をひと月ごととする。基板製造者が本発明に係る薬液の再生処理による薬液管理の役務の提供を受ける前、すなわち、薬液の再生処理を実施していなかった頃に、基板製造者が購入したひと月当たりの薬液の購入量をＭ（Ｌ／月）とし、その購入単価をＧ（円／Ｌ）とする。薬液購入量Ｍの変動が大きい場合には、過去の適当な期間における薬液購入量の平均値をＭとする。
【００７９】
本発明に係る薬液の再生処理による薬液管理の役務の提供により供給される再生液の供給量は、積算流量計により測定された積算流量から、Ｋ（Ｌ／月）と求められる。補充液の供給単価Ｅ（円／Ｌ）をかけて、月々の再生液の供給料金は、Ｋ×Ｅ（円／月）と求められる。
【００８０】
そうすると、基板製造者が本発明に係る薬液の再生処理による薬液管理の役務の提供を受けたことにより得ることのできる薬液コストの軽減額は、Ｍ×Ｇ−Ｋ×Ｅ（円／月）となる。月々の基板の処理料金は、割合をＦとして、（Ｍ×Ｇ−Ｋ×Ｅ）×Ｆ（円／月）と求められる。もちろん、これに基本料金などを加算してもよい。割合Ｆとしては、例えば、一割（０．１）とか、二割（０．２）とか、三割（０．３）などである。
【００８１】
変形例として、薬液の廃液量の削減による廃液処理コストの軽減額の数割分を所定期間の薬液の再生処理に伴う基板の処理料金としてもよい。
【００８２】
再生処理実施前の薬液の月々の廃液処理費用をＮ（円／月）、再生処理実施後の月々の廃液処理費用をＰ（円／月）（ただしＮ＞Ｐとする。）とすると、薬液の再生処理により削減された廃液処理費用の軽減額は、Ｎ−Ｐ（円／月）である。基板製造者は、薬液の再生処理により、月々Ｋ×Ｅ（円／月）の再生薬液の供給料金を支払うから、基板製造者の廃液量削減に絡む経済的な利益の額は、（Ｎ−Ｐ）−Ｋ×Ｅ（円／月）となる。月々の薬液の再生処理に伴う基板の処理料金は、これに割合Ｆをかけて、（（Ｎ−Ｐ）−Ｋ×Ｅ）×Ｆ（円／月）と求められる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００８３】
他の変形例として、基板製造者の経済的な利益の額に、薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額などを総和した額を用いてもよい。薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額などを総和した額から補充液の供給料金Ｋ×Ｅ（円／月）を差し引いた額を、基板製造者の薬液の再生処理による総合的な経済的利益の額とみて、月々の基板処理料金を算出してもよい。この場合、薬液コストの軽減額や廃液処理費用の軽減額などを総和した額をＶ（円／月）とすれば、基板の処理料金は、（Ｖ−Ｋ×Ｅ）×Ｆ（円／月）となる。これに基本料金などを加算してもよい。
【００８４】
さらなる変形例として、既に薬液の再生処理を実施していた基板製造者に、本発明に係る薬液の再生処理の役務を提供することにより、基板製造者に様々な経済的利益を生じさせることができる。これらを、同様に、月々の基板の処理料金として計算し、基板製造者に請求する。
【００８５】
多くの基板製造者は、既に薬液の再生処理を実施している場合であっても、依然として、薬液再生装置を購入して、自ら運転し、維持管理して、薬液の再生処理をしている。そのため、基板製造者は、薬液の再生処理に、原料や資材の調達の諸経費や装置の運転員の人件費などの費用を負担している。また、古い再生処理装置をいまだに使っていることも多い。
【００８６】
このような場合の基板製造者に対し、従来の再生処理を本発明に係る薬液の再生処理による薬液管理の役務に置き換えることで、基板製造者に、薬液コストや廃液コストの削減などに伴う経済的な利益をもたらすことができる。このような場合にも、上記と同様に、補充液の積算流量に基づいて得た経済的利益の額の数割分を、再生液の供給に伴う基板の処理料金として算出して、基板製造者に請求することが可能である。
【００８７】
基板製造者の望む成分濃度の薬液を薬液の原料から薬液の新液として自動的に調製して供給する薬液調製装置を用いて薬液の新液を調製し、補充液の一つとして基板製造者の運用する基板処理設備に供給することにより、薬液管理の役務を提供するビジネスについても、再生液の供給による薬液管理の役務の場合と同様に考えることができる。この場合の基板の処理料金については、再生液を新液と置き換えて同じように考えればよく、説明が重複するので、具体的な説明は省略する。
【００８８】
次に、本発明に係る基板処理システムについて、説明する。本発明の薬液管理の役務を提供するビジネスを実現するには、薬液の濃度管理に要する補充液の供給量を測定することが可能な、補充液の供給配管に備えられた積算流量計が必要不可欠である。以下に、このような積算流量計を備えた基板処理システムを、図面を参照しながら説明する。
【００８９】
〔第一実施形態〕
図１は、本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と積算流量計とを備える基板処理システムを説明するための模式図である。本実施形態の説明においては、薬液として２．３８％濃度のＴＭＡＨ水溶液（現像液）を例に、補充液として、２０％ＴＭＡＨ水溶液（現像液の原液）と未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液（現像液の新液）と純水とを補給して濃度管理をする薬液管理手段を説明する。
【００９０】
図１では、薬液管理手段（現像液管理装置）２は、基板処理手段（現像工程設備）１と積算流量計５１、５２、５３を備えた補充液を補給するための配管８１、８２、８３により接続された態様で図示している。そのほか、薬液管理手段（現像液管理装置）２は、補充液の貯留容器である現像液原液貯留容器９１、現像液新液貯留容器９２等とも接続されている。
【００９１】
まず、基板処理手段（現像工程設備）１について簡単に説明する。ただし、図１の基板処理手段（現像工程設備）１は基板処理手段（現像工程設備）の例示であり、これに限定されない。本実施形態の薬液管理手段（現像液管理装置）２が接続される基板処理手段（現像工程設備）は、現像処理に用いられ得る図１とは異なる各種の態様のものも含まれる。
【００９２】
基板処理手段（現像工程設備）１は、主に、現像液貯留槽１６１、オーバーフロー槽１６２、現像室フード１６４、ローラーコンベア１６５、現像液シャワーノズル１６７などからなる。現像液貯留槽１６１には、現像処理に繰り返し使用されている現像液（薬液）が貯留されている。現像液貯留槽１６１は、液面計１６３とオーバーフロー槽１６２を備え、補充液を補給することによる液量の増加を管理している。現像液貯留槽１６１と現像液シャワーノズル１６７とは、現像液管路１８０により接続される。現像液貯留槽１６１内に貯留された現像液は、現像液管路１８０に設けられた循環ポンプ１７２により、フィルター１７３を介して、現像液シャワーノズル１６７に送液される。ローラーコンベア１６５は、現像液貯留槽１６１の上方に備えられ、フォトレジスト膜の製膜された基板１６６を搬送する。現像液は現像液シャワーノズル１６７から滴下される。ローラーコンベア１６５により搬送される基板１６６は、滴下される現像液の中を通過することで、現像液に浸される。その後、現像液は、現像液貯留槽１６１に回収され、再び貯留される。現像液貯留槽１６１に貯留されている現像液は、循環ポンプ１７４により抜き取られ、フィルター１７５を備えた循環管路１８５を介して、再び現像液貯留槽１６１に戻される。循環管路１８５を介した現像液の循環により、現像液貯留槽１６１内の現像液は、常に攪拌される。なお、劣化した現像液は、廃液ポンプ１７１を作動することにより廃液（ドレン）される。
【００９３】
次に、本実施形態の薬液管理手段２について説明する。
本実施形態の薬液管理手段２は、主に、測定部２１０、演算部２２０、制御部２３０、及び、補充液供給用の配管８１、８２、８３に備えられた制御弁４１、４２、４３を備えている。
【００９４】
測定部２１０は、サンプリング配管２１５及び戻り配管２１６により現像液貯留槽１６１と接続されている。測定部２１０は、測定データ用の信号線２５６、２５７により、演算部２２０と接続されている。
【００９５】
測定部２１０は、サンプリングポンプ２１４と、測定手段２１１、２１２を備えている。測定手段２１１、２１２は、例えば、現像液のアルカリ成分の濃度を測定するための導電率計とか、現像液の溶解樹脂濃度を測定するための吸光光度計などである。測定手段２１１、２１２は、サンプリングポンプ２１４の後に直列に接続される。サンプリング配管２１５は、サンプリングポンプ２１４に接続され、戻り配管２１６は、測定手段末端の配管と接続されている。
【００９６】
測定部２１０は、測定精度を高めるために、さらに、サンプリングした現像液を所定の温度に安定させる温度調節手段（図示せず）を備えていることが望ましい。この際、温度調節手段は、測定手段の直前に設けられていることが好ましい。
【００９７】
演算部２２０は、測定部２１０で測定された測定データから現像液の成分濃度（例えば、アルカリ成分濃度や溶解樹脂濃度など）を算出するための演算ブロック２２１を含んでいる。演算ブロック２２１では、測定部２１０で測定された測定データから現像液の成分濃度が算出される。
【００９８】
演算部２２０は、信号線２５８により、制御部２３０と接続されている。演算部と制御部とは、例えばコンピュータなどにより、一体に構成されていてもよい。
【００９９】
制御部２３０は、制御ブロック２３１を含む。制御部２３０は、補充液供給用の配管８１、８２、８３に設けられた制御弁４１、４２、４３と、制御用の信号線２５１、２５２、２５３により、接続されている。制御ブロック２３１は、演算部２２０で算出された現像液の濃度に応じて、どの補充液をどれだけ補充するかを決め、補充液を送液する配管に設けられた制御弁を開閉制御する。
【０１００】
補充液供給用の配管８１、８２、８３には、さらに、それぞれ、供給された補充液の積算流量を測る積算流量計５１、５２、５３が備えられている。純水供給用の配管８３には、積算流量計を設けないこともある。
【０１０１】
薬液管理手段（現像液管理装置）２の動作は、次のようになる。
【０１０２】
まず、基板処理手段（現像工程設備）１で繰り返し使用されている現像液をサンプリングポンプ２１４でサンプリングし、適宜温度調節など測定条件を整えた後、測定手段２１１、２１２で例えばその導電率と吸光度を測定する。測定された現像液の導電率値と吸光度値は、測定データ用の信号線２５６、２５７を介して、演算部２２０に送られる。
【０１０３】
演算部２２０は、測定部２１０の測定手段２１１、２１２で測定された現像液の導電率や吸光度などの特性値に基づいて、対応する現像液の成分の濃度を算出する。算出された現像液の成分濃度は、信号線２５８を介して、制御部２３０に送られる。
【０１０４】
制御部２３０は、演算部２２０で算出された現像液の成分濃度と予め記憶しておいた成分濃度の管理目標値とを比較する。制御部２３０は、成分濃度を管理目標値に維持するために補給することが必要な補充液の選択、補充液の供給量の計算又は補充液を送液する配管に設けられた制御弁を開とすべき時間の計算をする。制御部２３０は、制御用の信号線２５１、２５２、２５３を介して、補充液供給用の配管８１、８２、８３に設けられた制御弁４１、４２、４３のいずれか適切な制御弁に、開閉制御の信号を送る。
【０１０５】
制御信号を受けた制御弁は、その制御信号に基づいて、所定時間流路を開にする。制御弁は、予め開時の流量が設定されている。そのため、所定時間流路を開にすることで、所定量の補充液が供給される。
【０１０６】
例えば、ＴＭＡＨ水溶液（現像液）のアルカリ成分濃度を２．３８％に管理する制御は次のようになる。測定部２１０と演算部２２０とにより測定され算出されたアルカリ成分の濃度が２．３８％よりも低い時は、配管（現像液原液供給配管）８１に設けられた制御弁４１を所定時間開けて、現像液原液貯留容器（補充液貯留容器）９１に用意しておいた現像液の原液（２０％ＴＭＡＨ水溶液）を補給する。アルカリ成分の濃度が２．３８％よりも高い時は、配管（純水供給配管）８３に設けられた制御弁４３を所定時間開けて、純水を補給する。
【０１０７】
同様に、溶解樹脂濃度を所定の管理濃度以下に管理する制御は、次のようになる。測定部２１０と演算部２２０とにより測定され算出された溶解樹脂の濃度が所定の管理値よりも高い時は、配管（現像液新液供給配管）８２に設けられた制御弁４２を所定時間開けて、現像液新液貯留容器（補充液貯留容器）９２に用意しておいた現像液の新液（未使用の２．３８％ＴＭＡＨ水溶液）を補給する。
【０１０８】
現像液原液貯留容器（補充液貯留容器）９１及び現像液新液貯留容器（補充液貯留容器）９２は、窒素ガス用配管８９を介して導入される窒素ガスで加圧される。現像液原液貯留容器９１内および現像液新液貯留容器９２内の補充液は、制御弁４１、４２が開くことにより、圧送される。現像液原液貯留容器（補充液貯留容器）９１に窒素ガスを導く窒素ガス用配管８９には制御弁４６が、現像液新液貯留容器（補充液貯留容器）９２に窒素ガスを導く窒素ガス用配管８９には制御弁４７が備えられている。制御弁４６、４７は、現像液原液貯留容器９１内および現像液新液貯留容器９２内の液の減少具合に応じて適宜開閉制御され、現像液原液貯留容器９１および現像液新液貯留容器９２の内圧が維持される。配管８１の現像液原液貯留容器９１側、及び、配管８２の現像液新液貯留容器９２側には、バルブ４８及び４９を備える。バルブ４８、４９は、通常、常時開となっているが、現像液原液貯留容器９１および現像液新液貯留容器９２が空になったときは、バルブ４８、４９を閉じ、補充液で充たされた新しい現像液原液貯留容器９１および現像液新液貯留容器９２に交換する。
【０１０９】
このようにして、ＴＭＡＨ水溶液のアルカリ成分濃度が２．３８％に、溶解樹脂濃度が所定の管理値以下に、濃度管理される。濃度管理は、例えば、ＰＩＤ制御などにより行われる。
【０１１０】
補充液供給用の配管８１、８２、８３には、積算流量計５１、５２、５３が設けられている。積算流量計５１、５２、５３は、補充液供給用の配管８１、８２、８３を介して供給された補充液の積算流量を測定する。薬液管理手段（現像液管理装置）２により供給された補充液は、積算流量計５１、５２、５３を通過した後、合流管路８０で合流し、循環管路１８５を介して、現像液貯留槽１６１に補給される。積算流量計５１、５２、５３は、通信機能を備えていることが望ましい。通信機能を備えていれば、積算流量をネットワークに接続することができる。測定された積算流量の測定値を、ネットワークを介して、把握することができる。
【０１１１】
積算流量計５１、５２、５３は、直接的にネットワークに接続される場合に限らず、間接的にネットワークに接続されるのでもよい。例えば、積算流量計５１、５２、５３が、薬液管理手段（現像液管理装置）２内で、薬液管理手段（現像液管理装置）２の演算や制御の機能をつかさどるコンピュータに接続され、ネットワークには薬液管理手段（現像液管理装置）２が接続されるような態様で、間接的にネットワークに接続されるのでもよい。
【０１１２】
また、積算流量計５１、５２、５３が接続されるネットワークは、工場内のローカルエリアネットワークでもよいし、インターネットなどの広域的なネットワークでもよい。
【０１１３】
以上のように、本実施形態の基板処理システムにより薬液の濃度管理が実現され、基板製造者は常時最適な状態に管理された薬液を用いて基板を処理することができる。この際、補充液を供給する配管８１、８２、８３に備えられた積算流量計５１、５２、５３により、供給された補充液の積算流量が計測される。補充液の積算流量が計測されるので、補充液の供給量に基づく合理的な料金の算出が可能となる。
【０１１４】
図１に示した本実施形態の基板処理システムは、あくまで例示である。本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と積算流量計とを備えた基板処理システムはこの態様に限定されない。図１の薬液管理手段（現像液管理装置）２では、各構成要素が一体に構成された装置を描いたが、測定部２１０や補充液供給用の配管８１、８２、８３などが、別体となっていてもよい。測定部２１０の内部構成なども、図１に限定されず、薬液の種類などにより各種の態様を取りうる。
【０１１５】
本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と積算流量計とを備えた基板処理システムは、要するに、薬液で基板を処理する（各種態様の）基板処理手段１と、基板処理手段１で繰り返し使用される薬液の濃度を測定して補充液を補給することで薬液の濃度を管理する（各種態様の）薬液管理手段２と、薬液管理手段２により基板処理手段１の薬液に補給される補充液が送液される配管８１、８２、８３と、その配管８１、８２、８３に補充液の積算流量を計測する積算流量計５１、５２、５３と、を備えていること、を特徴とするものである。さらに、その積算流量計が通信機能を備えていると、望ましい。
【０１１６】
通信機能を備えた積算流量計としては、例えば、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどが知られている。通信ユニットを取り付けることにより、測定した積算流量データなどの様々なデータを、パソコンなどと通信することができる。したがって、積算流量を遠隔でモニターすることができる。
【０１１７】
〔第二実施形態〕
図２は、本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と薬液調製手段と積算流量計とを備える基板処理システムを説明するための模式図である。
【０１１８】
図２では、補充液として供給される薬液の新液（現像液新液）が、薬液調製手段（現像液調製装置）３により、その原料となる薬液の原液（現像液原液）と純水とから自動的に調製され供給される。薬液調製手段（現像液調製装置）３は、新液用配管８４を介して基板処理手段（現像工程設備）１と接続されている。新液用配管８４は、制御弁４４と積算流量計５４とを備えている。
【０１１９】
また、図２の薬液管理手段（現像液管理装置）２は、補充液供給用の配管８１、８３、新液用配管８４及びそれらに設けられた制御弁４１、４３、４４とは、別体のものとして描いている。配管８１、８３、新液用配管８４及びそれらに設けられた制御弁４１、４３、４４は、必ずしも薬液管理手段（現像液管理装置）２の内部部品である必要はない。図２のように、薬液管理手段（現像液管理装置）２により補充液が供給されるように各制御弁４１、４３、４４と信号線などにより接続されていれば、薬液管理手段（現像液管理装置）２はこれらと一体に構成されていなくてもよい。
【０１２０】
現像液原液貯留容器（補充液貯留容器）９１についても、ガスで加圧される必要はない。図２では、送液ポンプ７１により現像液原液（補充液）が送液される態様を描いている。
【０１２１】
そのほか、基板処理手段（現像工程設備）１及び薬液管理手段（現像液管理装置）２の構成や動作については、第一実施形態と同様であるので、その重複する説明を省略する。
【０１２２】
薬液調製手段（現像液調製装置）３は、主に、現像液の新液を調製する新液調製槽３０１と、調製された新液を貯留しておく新液貯留槽３０２と、薬液調製手段（現像液調製装置）３の動作を制御する制御装置（例えばコンピュータ）３３１を備えている。薬液調製手段（現像液調製装置）３は、現像液原液貯留容器９１と、現像液原液供給配管８６を介して接続されている。現像液原液貯留容器９１は、薬液調製手段（現像液調製装置）３に接続されるものと基板処理手段（現像工程設備）１に接続されるものとを共通の一つの容器として描いたが、別々に用意されていてもよい。また、薬液調製手段（現像液調製装置）３は、純水供給配管８７と接続されている。
【０１２３】
新液調製槽３０１は、現像液原液供給配管８６を介して現像液原液貯留容器９１と接続され、現像液の原液の供給を受けられるようになっている。新液調製槽３０１は、純水供給配管８７と接続され、純水の供給を受けられるようになっている。現像液原液供給配管８６及び純水供給配管８７には、制御弁３４１、３４２が備えられている。制御弁３４１、３４２は、制御装置３３１により動作制御される。また、現像液原液供給配管８６には、現像液原液を送液するための送液ポンプ７２が備えられている。
【０１２４】
新液調製槽３０１は、濃度計３１１と液面計３１２を備える。濃度計３１１及び液面計３１２は、それぞれ信号線３５１、３５２を介して制御装置３３１と接続され、測定した新液調製槽３０１の濃度情報や液面位置情報が制御装置３３１に送られる。また、新液調製槽３０１と新液貯留槽３０２とは、連通管３８０により接続される。新液貯留槽３０２は液面計３２２を備えている。液面計３２２は、信号線３５３により制御装置３３１と接続されており、新液貯留槽３０２の液面位置情報が制御装置３３１に送られる。新液貯留槽３０２は、別途、濃度計を備えていてもよい。
【０１２５】
現像液の新液を調製する際は、制御装置３３１により制御弁３４１及び３４２が適宜動作制御されて、新液調製槽３０１に現像液の原液や純水が供給される。新液調製槽３０１では、現像液の原液と純水とが混合され、所定濃度の現像液が調製される。濃度計３１１は、新液調製槽３０１で調製される現像液の濃度を常時監視する。
【０１２６】
新液調製槽３０１の濃度を監視した結果、例えば、調製された現像液の濃度が薄いときは、制御装置３３１により純水供給配管８７に備えられた制御弁３４２が閉じられる。そのため、現像液の原液の供給が相対的に増え、新液調製槽３０１内の現像液の濃度が上昇する。また、例えば、調製された現像液の濃度が濃いときは、制御装置３３１により現像液原液供給配管８６に備えられた制御弁３４１が閉じられ、純水により新液調製槽３０１内の現像液の濃度が薄められる。制御装置３３１は、濃度計３１１の濃度情報に基づいて新液調製槽３０１で調製される現像液を所定の濃度にする。
【０１２７】
新液調製槽３０１内の液面位置が所定の下限値より下がったときは、制御装置３３１は、制御弁３４１、３４２を開いて、現像液原液及び純水の供給量を増やし、液面位置の回復を図る。新液調製槽３０１内の液面位置が所定の上限値より上がったときは、制御装置３３１は、制御弁３４１及び３４２を閉じて、現像液原液及び純水の供給をやめる。新液貯留槽３０２の液面位置についても同様である。両槽の液面は、調製された新液を基板処理手段（現像工程設備）１に供給することにより減少する。制御装置３３１は、液面計３１２、３２２の液面位置情報に基づいて、両槽の液面位置が所定の範囲内に収まるように調製される現像液の液量を制御する。
【０１２８】
新液調製槽３０１内の現像液は、その一部が循環管路３８１に備えられた循環ポンプ３７１により抜き取られ再び戻されることにより、循環攪拌される。新液貯留槽３０２内の現像液も、同様に、その一部が循環管路３８２に備えられた循環ポンプ３７２により抜き取られ再び戻されることにより、循環攪拌される。
【０１２９】
新液調製槽３０１で調製された現像液は、連通管３８０を通って、新液貯留槽３０２に送られる。新液貯留槽３０２内の現像液の液量が減少することにより、新液調製槽３０１内の現像液は、新液貯留槽３０２へ自然送液される。連通管３８０は適度な内径と長さとを備え、新液調製槽３０１内の濃度変動が新液貯留槽３０２に及ばないようにする濃度変動の平準化の効果を有する。
【０１３０】
新液貯留槽３０２に貯留された現像液の新液は、送液ポンプ３７３により、新液用配管８４を介して基板処理手段（現像工程設備）１に送液される。この際、新液用配管８４に備えられた積算流量計５４により、供給された新液の積算流量が計測される。新液用配管８４の制御弁３４３は信号線３５４を介して制御装置３３１と接続されており、制御弁３４３は制御装置３３１により動作制御される。調製した現像液の新液を送液するときは、制御装置３３１は制御弁３４３を開にする。
【０１３１】
例えば、制御装置３３１を基板処理手段（現像工程設備）１と接続しておく。この場合、基板処理手段（現像工程設備）１から新液供給リクエスト信号を受けたときに、制御装置３３１が制御弁３４３を開にするようにできる。また、薬液管理手段（現像液管理装置）２と制御装置３３１とを接続しておけば、薬液管理手段（現像液管理装置）２が補充液として新液を補給するタイミングで、薬液調製手段（現像液調製装置）３から基板処理手段（現像工程設備）１に現像液の新液を供給するようにすることもできる。この場合、新液用配管８４には制御弁４４があるので、制御弁３４３を省略してもよい。
【０１３２】
図２に示した本実施形態の基板処理システムは、あくまで例示である。本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と薬液調製手段と積算流量計を備えた基板処理システムは、この態様に限定されない。
【０１３３】
本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と薬液調製手段と積算流量計とを備えた基板処理システムは、要するに、薬液で基板を処理する（各種態様の）基板処理手段１と、基板処理手段１で繰り返し使用される薬液の濃度を測定して補充液を補給することで薬液の濃度を管理する（各種態様の）薬液管理手段２と、薬液の新液を自動的に調製する（各種態様の）薬液調製手段３と、薬液管理手段２により基板処理手段１の薬液に補給される補充液が送液される配管８１、８３、新液用配管８４と、その配管８１、８３、新液用配管８４に補充液の積算流量を計測する積算流量計５１、５３、５４と、を備えていること、を特徴とするものである（純水供給用の配管８３の積算流量計５３は省略されることもある）。さらに、これらの積算流量計が通信機能を備えていると、望ましい。
【０１３４】
〔第三実施形態〕
図３は、本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と薬液調製手段と薬液再生手段と積算流量計とを備える基板処理システムを説明するための模式図である。
【０１３５】
図３では、基板処理手段（現像工程設備）１で使用された薬液が薬液再生手段（現像液再生装置）４により再利用可能に再生される。薬液再生手段（現像液再生装置）４により再生された再生液（再生現像液）は、補充液の一つとして基板処理手段（現像工程設備）１に供給される。薬液再生手段（現像液再生装置）４は、再生液用配管８５を介して基板処理手段（現像工程設備）１と接続されている。再生液用配管８５は、制御弁４５と積算流量計５５とを備えている。
【０１３６】
また、図３の薬液管理手段（現像液管理装置）２は、第二実施形態と同様に、制御弁４１、４３、４４、４５や配管８１、８３、新液用配管８４、再生液用配管８５と別体の態様である。現像液原液貯留容器９１についても、第二実施形態と同様、送液ポンプ７１、７２により現像液の原液が送液される態様である。
【０１３７】
そのほか、基板処理手段（現像工程設備）１、薬液管理手段（現像液管理装置）２、及び、薬液調製手段（現像液調製装置）３の構成や動作については、第一及び第二実施形態と同様であるので、その重複する説明を省略する。
【０１３８】
薬液再生手段（現像液再生装置）４は、主に、使用された現像液から不要物を取り除いて現像液を再生するフィルター４６１、４６２、４６３と、再生液を貯留しておく再生液貯留槽４９３と、薬液再生手段（現像液再生装置）４の動作を制御する制御装置（例えばコンピュータ）４３１を備えている。薬液再生手段（現像液再生装置）４は、基板処理手段（現像工程設備）１から廃液（ドレン）された現像液を貯留する使用済み現像液貯留容器９９と使用済み現像液送液配管８８を介して接続されている。使用済み現像液送液配管８８には送液ポンプ７３が設けられ、使用済み現像液貯留容器９９内の現像液が薬液再生手段（現像液再生装置）４に送液される。
【０１３９】
フィルター４６１、４６２、４６３は、使用済み現像液送液配管８８と接続されており、基板処理手段（現像工程設備）１から廃液（ドレン）された現像液が送液される。フィルター４６１、４６２、４６３は、現像液中の不要物、例えば現像液中に懸濁したレジスト残渣など、を除去する。フィルター４６１、４６２、４６３により再生された現像液は、再生液貯留槽４９３に貯留される。
【０１４０】
再生液貯留槽４９３に貯留された再生液は、送液ポンプ４７１により制御弁４４１を通って、薬液再生手段（現像液再生装置）４と基板処理手段（現像工程設備）１とを接続する再生液用配管８５に送液され、再生液用配管８５を介して基板処理手段（現像工程設備）１に送液される。この際、再生液用配管８５に備えられた積算流量計５５により、供給された再生液の積算流量が計測される。
【０１４１】
制御弁４４１及び送液ポンプ４７１は、それぞれ信号線４５１、４５２により制御装置４３１と接続されている。制御弁４４１及び送液ポンプ４７１は、制御装置４３１により動作制御される。再生液を送液するときは、制御装置４３１は、送液ポンプ４７１を駆動し、制御弁４４１を開にする。
【０１４２】
例えば、制御装置４３１を基板処理手段（現像工程設備）１と接続しておく。この場合、基板処理手段（現像工程設備）１から新液供給リクエスト信号を受けたときに、制御装置４３１が制御弁４４１を開にするようにできる。また、薬液管理手段（現像液管理装置）２と制御装置４３１とを接続しておけば、薬液管理手段（現像液管理装置）２が補充液として再生液を補給するタイミングで、薬液再生手段（現像液再生装置）４から基板処理手段（現像工程設備）１に再生液を供給するようにすることもできる。この場合、再生液用配管８５には制御弁４５があるので、制御弁４４１を省略してもよい。
【０１４３】
図３に示した本実施形態の基板処理システムは、あくまで例示である。本発明の基板処理手段と薬液管理手段と薬液調製手段と薬液再生手段と積算流量計を備えた基板処理システムは、この態様に限定されない。
【０１４４】
薬液を再生するのに用いられる原理は、フィルターによる濾過に限定されない。例えば、フィルターによる濾過の代わりに、晶析、電析、膜分離など、を用いることができる。薬液や分離すべき不要物の性質などに応じて、適宜ふさわしい原理による設備を用いるのが望ましい。
【０１４５】
また、図３では、フィルターが３つ並列に接続された態様を描いたが、フィルターの個数は３つに限定されない。一つでもよい。フィルターは、使用により経時的に目詰まりを起こすことがあるので、その時のメンテナンスの都合を考慮して、複数のフィルターを並列に備えていることが望ましい。
【０１４６】
本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と薬液調製手段と薬液再生手段と積算流量計とを備えた基板処理システムは、要するに、薬液で基板を処理する（各種態様の）基板処理手段１と、基板処理手段１で繰り返し使用される薬液の濃度を測定して補充液を補給することで薬液の濃度を管理する（各種態様の）薬液管理手段２と、薬液の新液を自動的に調製する（各種態様の）薬液調製手段３と、使用された薬液を再利用可能に再生する（各種態様の）薬液再生手段４と、薬液管理手段２により基板処理手段１の薬液に補給される補充液が送液される配管８１、８３、新液用配管８４、再生液用配管８５と、その配管８１、８３、新液用配管８４、再生液用配管８５に設けられた補充液の積算流量を計測する積算流量計５１、５３〜５５と、を備えていること、を特徴とするものである（純水供給用の配管８３の積算流量計５３は省略されることもある）。さらに、これらの積算流量計が通信機能を備えていると、望ましい。
【０１４７】
〔第四実施形態〕
図４は、本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と薬液再生手段と積算流量計とを備える基板処理システムを説明するための模式図である。
【０１４８】
図４では、補充液として供給される薬液の再生液（再生現像液）が、薬液再生手段（現像液再生装置）４により用意される。すなわち、基板処理手段（現像工程設備）１で使用された薬液が再利用可能に再生され、再生液として基板処理手段（現像工程設備）１に供給される。この際、積算流量計５５により、供給された再生液の積算流量が計測される。
【０１４９】
本実施形態は、第一実施形態（図１）に第三実施形態（図３）で説明した薬液再生手段（現像液再生装置）４を加えたものである。基板処理手段（現像工程設備）１、薬液管理手段（現像液管理装置）２、薬液再生手段（現像液再生装置）４、及び、その他の本実施形態の構成物品については、第一実施形態及び第三実施形態と同様であるので、その重複する説明を省略する。
【０１５０】
図４に示した本実施形態の基板処理システムは、あくまで例示である。本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と薬液再生手段と積算流量計を備えた基板処理システムは、この態様に限定されない。
【０１５１】
本実施形態の基板処理手段と薬液管理手段と薬液再生手段と積算流量計とを備えた基板処理システムは、要するに、薬液で基板を処理する（各種態様の）基板処理手段１と、基板処理手段１で繰り返し使用される薬液の濃度を測定して補充液を補給することで薬液の濃度を管理する（各種態様の）薬液管理手段２と、使用された薬液を再利用可能に再生する（各種態様の）薬液再生手段４と、薬液管理手段２により基板処理手段１の薬液に補給される補充液が送液される配管８１、８２、８３、再生液用配管８５と、その配管８１、８２、８３、再生液用配管８５に補充液の積算流量を計測する積算流量計５１、５２、５３、５５と、を備えていること、を特徴とするものである（純水供給用の配管８３の積算流量計５３は省略されることもある）。さらに、これらの積算流量計が通信機能を備えていると望ましい。
【０１５２】
〔第五実施形態〕
薬液を新液として調製し供給するという役務を提供するビジネスを実現するためには、調製された新液の供給量を測定することが可能な、新液の供給配管に備えられた積算流量計が必要不可欠である。図５は、本実施形態の基板処理手段と薬液調製手段と積算流量計とを備える基板処理システムを説明するための模式図である。
【０１５３】
図５では、薬液調製手段３により新たに調製された薬液の新液が、新液用配管８４を介して、基板処理手段１に供給される。この際、新液用配管８４に備えられた積算流量計５４により、供給された新液の積算流量が計測される。
【０１５４】
本実施形態の基板処理手段１や薬液調製手段３の構成部材やその動作などは、これまで説明してきた実施態様と同様である。ここでは、その重複する説明を省略する。
【０１５５】
本実施形態においては、制御装置３３１を基板処理手段１に接続しておくことが好ましい。基板処理手段１から新液供給リクエスト信号を受けたとき（例えば、基板処理手段１の液面計１６３により測定した現像液貯留槽１６１の液面が低い場合など）に、制御装置３３１が制御弁３４３を開にするようにできる。これにより、基板処理手段１に、現像液の新液を供給することができる。
【０１５６】
図５に示した本実施形態の基板処理システムは、あくまで例示である。本実施形態の基板処理手段と薬液調製手段と積算流量計とを備えた基板処理システムは、この態様に限定されない。
【０１５７】
本実施形態の基板処理手段と薬液調製手段と積算流量計とを備えた基板処理システムは、要するに、薬液で基板を処理する（各種態様の）基板処理手段１と、薬液の新液を自動的に調製する（各種態様の）薬液調製手段３と、薬液調製手段３から基板処理手段１に供給される新液が送液される新液用配管８４と、その新液用配管８４に新液の積算流量を計測する積算流量計５４と、を備えていること、を特徴とするものである。さらに、この積算流量計が通信機能を備えていると、望ましい。
【０１５８】
〔第六実施形態〕
使用された薬液を再利用可能に再生液として再生し供給するという役務を提供するビジネスを実現するには、再生された再生液の供給量を測定することが可能な、再生液の供給配管に備えられた積算流量計が必要不可欠である。図６は、本実施形態の基板処理手段と薬液再生手段と積算流量計とを備える基板処理システムを説明するための模式図である。
【０１５９】
図６では、基板処理手段１で使用された薬液が薬液再生手段４により再利用可能に再生される。薬液再生手段４により再生された再生液は、再生液用配管８５を介して基板処理手段１に供給される。この際、再生液用配管８５に備えられた積算流量計５５により、供給された新液の積算流量が計測される。
【０１６０】
本実施形態の基板処理手段１や薬液再生手段４の構成部材やその動作などは、これまで説明してきた実施形態と同様である。ここでは、その重複する説明を省略する。
【０１６１】
本実施形態においては、制御装置４３１を基板処理手段１に接続しておくことが好ましい。基板処理手段１から補充液供給リクエスト信号を受けたとき（例えば、基板処理手段１の液面計１６３により測定した現像液貯留槽１６１の液面が低い場合など）に、制御装置４３１が制御弁４４１を開にするようにできる。これにより、基板処理手段１に、現像液の再生液を供給することができる。
【０１６２】
図６に示した本実施形態の基板処理システムは、あくまで例示である。本実施形態の基板処理手段と薬液再生手段と積算流量計とを備えた基板処理システムは、この態様に限定されない。
【０１６３】
本実施形態の基板処理手段と薬液再生手段と積算流量計とを備えた基板処理システムは、要するに、薬液で基板を処理する（各種態様の）基板処理手段１と、使用された薬液を再利用可能に再生する（各種態様の）薬液再生手段４と、薬液再生手段４から基板処理手段１に供給される再生液が送液される再生液用配管８５と、その再生液用配管８５に再生液の積算流量を計測する積算流量計５５と、を備えていること、を特徴とするものである。さらに、この積算流量計が通信機能を備えていると、望ましい。
【０１６４】
〔第七実施形態〕
図７は、通信機能を有する積算流量計を備えた基板処理システムを説明するための模式図である。
【０１６５】
図７では、図３を用いて説明した第三実施形態の基板処理システムにおける積算流量計５１、５３、５４、５５が、信号線６０によりネットワークに直接接続されている態様を描いている。基板処理システムは、これに限定されない。基板処理システム自体は、第一実施形態から第六実施形態までの各実施形態で説明したような、いずれの態様の基板処理システムでもよい。要は、基板処理システムが、通信機能を有する積算流量計を備えている、ということである。
【０１６６】
本実施形態の基板処理システムは、積算流量計が通信機能を有しているので、積算流量計をネットワークに直接接続することができる。ネットワーク経由で積算流量計の計測する積算流量を監視することができる。
【０１６７】
〔第八実施形態〕
図８は、通信機能を有する積算流量計を備えた別の基板処理システムを説明するための模式図である。
【０１６８】
図８では、図１を用いて説明した第一実施形態の基板処理システムにおける積算流量計５１、５２、５３が、信号線６６により薬液管理手段２と接続され、薬液管理手段２は信号線６７を介してネットワークに接続される。すなわち、積算流量計５１、５２、５３が、薬液管理手段２を介して、間接的にネットワークに接続される。
【０１６９】
薬液管理手段２は、測定部で測定された測定値に基づいて薬液の濃度を演算し、薬液が所定の濃度に管理されるように制御弁４１、４２、４３を適宜制御する演算制御部２２５を備えている。演算制御部２２５は、例えば、コンピュータなどである。コンピュータであれば、演算機能と制御機能とを併せて備えることができる。演算制御部２２５は、測定部２１０の測定手段２１１、２１２により取得された測定信号から薬液の濃度を演算する演算ブロック２２１と、算出された薬液の濃度に基づいて薬液を所定の濃度に管理するために制御弁４１、４２、４３に制御信号を発する制御ブロック２３１と、を備えている。演算ブロック２２１と制御ブロック２３１とは、信号線２５９で接続され、演算された濃度情報がやり取りされる。
【０１７０】
本実施態様のように、積算流量計は、直接的にネットワーク接続される場合に限定されず、間接的にネットワーク接続されるのでもよい。積算流量計が通信機能を有すれば、積算流量計は、コンピュータなどの他の通信機能を有する設備と接続することもでき、間接的にネットワークに接続できる。
【０１７１】
〔第九実施形態〕
図９は、通信機能を有する積算流量計を備えた別の基板処理システムを説明するための模式図である。
【０１７２】
図９の基板処理システムは、基板処理システム全体を管理し制御するシステム制御コンピュータ３１を備える。システム制御コンピュータ３１は、基板処理手段１の制御装置（コンピュータ）１３１、薬液管理手段２の演算制御部（コンピュータ）２２５、薬液調製手段３の制御装置（コンピュータ）３３１、及び、薬液再生手段４の制御装置（コンピュータ）４３１と、それぞれ信号線６１、６２、６３、６４を介して接続される。基板処理手段１の制御装置（コンピュータ）１３１は、基板処理手段１の各部の状況を監視し、基板処理手段１が円滑かつ適切に動作するように基板処理手段１全体を制御している（基板処理手段１の制御装置（コンピュータ）１３１と基板処理手段の各部とを接続する信号線などは図示するのを省略した）。
【０１７３】
基板処理システムのシステム制御コンピュータ３１は、信号線６５により積算流量計５１、５３、５４、５５とも接続される。システム制御コンピュータ３１は、また、信号線６９により、ネットワークに接続される。
【０１７４】
システム制御コンピュータ３１は、基板処理手段１、薬液管理手段２、薬液調製手段３、薬液再生手段４と接続されるので、各装置の状態が把握される。システム制御コンピュータ３１は、薬液の濃度情報や装置の動作情報などに基づいて、基板処理システムが円滑に動作するように、システム全体を制御できる。また、システム制御コンピュータ３１は積算流量計５１、５３、５４、５５などとも接続されているので、薬液の濃度情報と同様に、供給された各種補充液の積算流量の情報なども収集できる。さらに、システム制御コンピュータ３１がネットワークに接続されているので、積算流量をはじめ、収集された各種の情報をネットワーク上で監視することができる。
【０１７５】
第七実施形態から第九実施形態までに説明したように、積算流量計が通信機能を有していれば、直接的か間接的かを問わず、積算流量計をネットワークに接続することができる。基板処理手段１に供給された補充液の供給量（積算流量）をネットワーク上で遠隔監視することができる。基板製造者の工場まで積算流量計を検針しに行かなくても、補充液の供給量（積算流量）に基づいた合理的な基板処理料金を算出することができる。
【０１７６】
また、積算流量計が接続されるネットワークは、工場内のローカルエリアネットワークでもよいし、インターネットなどの広域的なネットワークでもよい。
【０１７７】
通信機能を備えた積算流量計としては、例えば、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどが知られている。通信ユニットを取り付けることにより、測定した積算流量データなどの様々なデータを、パソコンなどと通信することができる。したがって、積算流量を遠隔でモニターすることができる。
【０１７８】
〔第十実施形態〕
次に、通信機能を備えた積算流量計とサーバシステムとが接続されたネットワークを利用した基板の処理料金算出システムについて説明する。図１０は、基板製造者の工場５１１、５１２、５１３、５１４、５１５の積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５と、ネットワークを介して接続される薬液管理の役務提供者のサーバシステム５０２とを備える基板の処理料金算出システム５の模式図である。
【０１７９】
図１０に示す本実施形態の基板の処理料金算出システム５は、薬液を管理する役務の役務提供者が所有する１台のサーバシステム５０２と、ネットワーク５０１を介して接続される基板製造者の工場５１１、５１２、５１３、５１４、５１５のそれぞれに設置された通信機能を有する積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５と、を備えている。
【０１８０】
基板の処理料金算出システム５を構成する積算流量計及びサーバシステムの数は、図１０に記載の数に限定されるものではない。本発明の薬液の濃度管理システムは、少なくとも、ネットワークを介して接続される１台の積算流量計と、１台のサーバシステムとを備えていればよい。
【０１８１】
図１０では詳細に図示しなかったが、各工場では、これまでに各実施態様で説明してきたような基板処理システムが稼働しており、各基板処理システムでは、基板処理手段に薬液管理手段、薬液調製手段、薬液再生手段などが接続されている。これらにより、基板処理手段で繰り返し使用されている薬液に補充液が供給されて薬液が管理される。基板処理手段に補充液を供給するための配管には、通信機能を有する積算流量計が設置される。積算流量計は、基板処理手段に供給される補充液の供給量を積算流量として計測する。図１０の積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５は、各工場におけるこれらの積算流量計をあらわすものとして模式的に描かれたものである。各工場の基板処理システムは、通信機能を有する積算流量計を備えていれば、これまでに説明したいずれの実施態様のものでもよい。もちろん、新液を供給する役務を提供するビジネスのための第五実施形態のものでもよいし、再生液を供給する役務を提供するビジネスのための第六実施形態のものでもよい。
【０１８２】
通信機能を有する積算流量計としては、ＫＥＹＥＮＣＥ社のコリオリ式デジタル流量センサＦＤ−Ｓシリーズなどを用いることができる。積算流量などの計測データを、インターネットなどのネットワークを介して、遠隔で取得することができる。
【０１８３】
サーバシステム５０２は、受信部５０３、記憶部５０４、及び演算部５０５を備えている。また、サーバシステム５０２はディスプレイ５０６を備えている。サーバシステム５０２は、ネットワーク５０１に接続されている積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５のそれぞれに対して、順番に、積算流量の測定データを送信するよう、測定データの送信要求信号を発信する。積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５は、送信要求信号に応じて、積算流量の測定データをサーバシステム５０２に送信する。
【０１８４】
このようにしてサーバシステム５０２の受信部５０３は、各積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５から積算流量の測定データを取得する。この際、積算流量の測定データと合わせて、積算流量計の個体識別番号（いわゆる装置ＩＤ）と測定日時（すなわち測定した日付と時刻）とを取得しておく。測定日時でなく、通信日時でもよい。
【０１８５】
サーバシステム５０２は、各積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５の個体識別番号に基づいて、積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５ごとに、取得した積算流量の計測値と測定日時とを、メモリやハードディスクなどの記憶媒体で構成される記憶部５０４に追記することにより、記憶する。
【０１８６】
積算流量計から測定データを取得するステップを、所定の時間間隔（例えば１分間隔とか１時間間隔とか）で連続的に繰り返すことにより、補充液の供給量の推移（すなわち積算流量の履歴）が記憶される。
【０１８７】
サーバシステム５０２の記憶部５０４には、積算流量計５２１、５２２、５２３、５２４、５２５ごとにその積算流量の履歴が記憶されているので、所定期間（例えば一週間とか一か月とか）ごとの補充液の供給量を把握することができる。例えばひと月ごとに補充液の供給量を把握する場合には、今月の検針日時における積算流量から前月の検針日時の積算流量を差し引くことで、今月の補充液の供給量を求めることができる。
【０１８８】
サーバシステム５０２は、さらに、所定期間における補充液の供給量から、当該所定期間の薬液管理の役務の提供に係る基板の処理料金を計算する。例えば、ひと月ごとに基板の処理料金を算出する必要がある場合には、前述のようにして求められた積算流量に、例えば補充液の単位液量あたりの料金（単価）を乗じるなどして、基板の処理料金を算出する。基板の処理料金の算出式と計算に必要な定数などをサーバシステム５０２の演算部５０５にプログラミングしておけばよい。
【０１８９】
こうして、薬液管理の役務提供者は、所定期間ごとに、補充液の積算流量に基づいて合理的に算出された基板の処理料金を基板製造者に請求することができる。サーバシステム５０２が基板の処理料金の支払元である基板製造者のコンピュータとネットワークで接続されていれば、基板の処理料金の請求は、サーバシステム５０２により自動的に電子的に行うのでもよい。この場合には、サーバシステム５０２は、算出された基板の処理料金を請求する請求書を電子的に自動で作成し、所定期間ごとに当該請求書を基板製造者に自動的に電子送付するように、プログラミングされていればよい。
【０１９０】
基板製造者が基板の処理料金を支払うことにより、所定期間ごとに薬液を管理するという役務の提供が完結する。このようにして、ネットワークを利用して、各所の薬液の濃度管理に要する補充液の供給量を遠隔で一元的に監視しながら、薬液の濃度管理の役務の提供に係る基板処理料金を算出するという、基板の処理料金の算出方法が実現される。ネットワークを介して、各所で薬液の濃度管理のために供給された補充液の積算流量を遠隔で一元的に監視しながら、薬液の濃度を管理するという役務を提供することができる。
【０１９１】
本実施形態のネットワーク５０１は、別々の工場に設置された積算流量計により構成されたものに限定されない。例えば、規模の大きい工場に複数の製造ラインがあり、そのそれぞれの製造ラインに設置された積算流量計を接続した比較的小規模のローカルネットワークでもよい。例えば、ある積算流量計は中国の工場に設置され、ある積算流量計は台湾の工場に設置され、ある積算流量計は韓国の工場に設置され、またある積算流量計は日本の工場に設置され、といったように、それぞれ世界各国の工場に設置された積算流量計を接続した世界規模のネットワーク（例えばインターネットなど）でもよい。
【０１９２】
以上、図面を参照しながら各実施形態について説明してきた内容は、半導体や液晶ディスプレイ基板の製造プロセスで使用される各種の薬液に対しても、同様に実施可能なものである。
【０１９３】
本発明によれば、基板製造者は、濃度管理装置や薬液再生装置を購入したり運転したり維持管理したりする負担を負わず、基板の処理料金を支払うだけで、所望の濃度に管理された薬液を使用でき、新液や再生液を入手して使用することができる。そのため、基板製造者は、装置の購入や維持管理に係るコストの削減、薬液調達や廃液処理に係るコストの削減、生産ラインの稼働率や歩留まりの向上、製造する基板の品質の向上などに伴う多様な経済的メリットを享受できる。
【０１９４】
本発明によれば、役務提供者は、本発明により実現可能となるビジネス方法により、装置を販売する場合に比べ、継続的で安定な収益を得ることができる。また本発明によれば、この新しいビジネス方法の実現に不可欠な基板処理システムや基板の処理料金算出システムを提供することができる。本発明によれば、各使用者の工場で使われている積算流量計をネットワークに接続されたサーバシステムにより遠隔で一元的に監視することもできる。
【符号の説明】
【０１９５】
１…基板処理手段、２…薬液管理手段、３…薬液調製手段、４…薬液再生手段、５…基板の処理料金算出システム、３１…システム制御コンピュータ、４１、４２、４３、４４、４５、４６、４７…制御弁、４８、４９…バルブ、５１、５２、５３、５４、５５…積算流量計、６０、６１、６２、６３、６４、６５、６６、６７、６９…信号線、７１、７２、７３…送液ポンプ、８０…合流配管、８１、８２、８３…配管、８４…新液用配管、８５…再生液用配管、８６…現像液原液供給配管、８７…純水供給配管、８８…使用済み現像液送液配管、８９…窒素ガス用配管、９１…現像液原液貯留容器、９２…現像液新液貯留容器、９９…使用済み現像液貯留容器、１３１…制御装置（コンピュータ）、１６１…現像液貯留槽、１６２…オーバーフロー槽、１６３…液面計、１６４…現像室フード、１６５…ローラーコンベア、１６６…基板、１６７…現像液シャワーノズル、１７１…廃液ポンプ、１７２、１７４…循環ポンプ、１７３、１７５…フィルター、１８０…現像液管路、１８５…循環管路、２１０…測定部、２１１、２１２…測定手段、２１４…サンプリングポンプ、２１５…サンプリング配管、２１６…戻り配管、２２０…演算部、２２１…演算ブロック、２２５…演算制御部（コンピュータ）、２３０…制御部、２３１…制御ブロック、２５１、２５２、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７、２５８、２５９…信号線、３０１…新液調製槽、３０２…新液貯留槽、３１１…濃度計、３１２、３２２…液面計、３３１…制御装置（コンピュータ）、３４１、３４２、３４３…制御弁、３５１、３５２、３５３、３５４、３５５…信号線、３７１、３７２…循環ポンプ、３７３…送液ポンプ、３８０…連通管、３８１、３８２…循環管路、４３１…制御装置（コンピュータ）、４４１…制御弁、４５１、４５２…信号線、４６１、４６２、４６３…フィルター、４７１…送液ポンプ、４９３…再生液貯留槽、５０１…ネットワーク、５０２…サーバシステム、５０３…受信部、５０４…記憶部、５０５…演算部、５０６…ディスプレイ、５１１、５１２、５１３、５１４、５１５…工場、５２１、５２２、５２３、５２４、５２５…積算流量計
【図１】
2018200941.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2018200941.tif 000008
【図７】
2018200941.tif 000009
【図８】
2018200941.tif 000010
【図９】
2018200941.tif 000011
【図１０】
2018200941.tif 000012