(57)【要約】【課題】集積回路装置を制御装置の制御基板に実装した後に、センサの温度特性のばらつき、及びオフセット電圧を調整できる集積回路装置及びその出力補正方法を提供する。【解決手段】集積回路装置３は、センサの出力を調整するセンサ出力補正回路１１を備え、センサ２とともに制御装置１に組み込まれる。センサ出力補正回路１１は、センサから出力されたセンサ出力信号ＶＡ，ＶＢを受けて、第１の増幅ゲインで増幅して出力する初段差動増幅回路５と、初段差動増幅回路の増幅出力を受けて、第２の増幅ゲインで増幅する後段増幅回路６と、後段増幅回路のオフセット電圧を調整するオフセット調整回路７とを有する。そして、集積回路装置を制御装置の制御基板に実装した状態で、センサ出力補正回路によりセンサの温度特性のばらつきとオフセット電圧を調整する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサから出力されたセンサ出力信号を受けて、第１の増幅ゲインで増幅して出力する初段差動増幅回路と、前記初段差動増幅回路の増幅出力を受けて、第２の増幅ゲインで増幅する後段増幅回路と、前記後段増幅回路のオフセット電圧を調整するオフセット調整回路とを有し、前記センサの出力を調整するセンサ出力補正回路を備え、前記センサとともに制御装置に組み込まれる集積回路装置であって、
前記集積回路装置を前記制御装置の制御基板に実装した状態で、前記センサ出力補正回路により前記センサの温度特性のばらつきと前記オフセット電圧を調整する、ことを特徴とする集積回路装置。
【請求項２】
前記第１の増幅ゲインを制御する第１の抵抗の抵抗値を調整して前記初段差動増幅回路の感度を調整する第１のトリミング回路と、前記第２の増幅ゲインを制御する第２の抵抗の抵抗値を調整して前記後段増幅回路の感度を調整する第２のトリミング回路と、前記オフセット調整回路中の演算増幅器を用いて前記後段増幅回路のオフセット電圧を調整する第３のトリミング回路とを更に具備する、ことを特徴とする請求項１に記載の集積回路装置。
【請求項３】
前記第１のトリミング回路をトリミングするための電圧を外部から印加する第１のトリミングパッド群と、前記第２のトリミング回路をトリミングするための電圧を外部から印加する第２のトリミングパッド群と、前記第３のトリミング回路をトリミングするための電圧を外部から印加する第３のトリミングパッド群とを更に備える、ことを特徴とする請求項２に記載の集積回路装置。
【請求項４】
センサから出力されたセンサ出力信号を受けて、第１の増幅ゲインで増幅して出力する初段差動増幅回路と、前記初段差動増幅回路の増幅出力を受けて、第２の増幅ゲインで増幅する後段増幅回路と、前記後段増幅回路のオフセット電圧を調整するオフセット調整回路とを有し、前記センサの出力を調整するセンサ出力補正回路を備え、前記センサとともに制御装置に組み込まれる集積回路装置の出力補正方法であって、
前記センサ及び前記集積回路装置を、前記制御装置の制御基板に実装する工程と、
前記制御基板上で、前記センサにおける温度特性のばらつき、及び前記後段増幅回路のオフセット電圧を測定する工程と、
前記測定結果に基づいて、前記センサの出力を前記センサ出力補正回路で補正する工程と
を具備することを特徴とする集積回路装置の出力補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば自動車用ＥＣＵ（Electronic Control Unit）に使用され、各種センサの出力を補正するセンサ出力補正回路を備えた集積回路装置及びその出力補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車用の各種センサ、例えば圧力センサは、高性能化、高精度化並びに機能安全への対応が年々重要視されている。マイクロマシン技術を用いたピエゾ抵抗型圧力センサは、その検知圧力に比例した電圧を出力するが、出力電圧は数ｍＶと小さく、そのため、出力電圧を増幅する回路が必要となる。また、ピエゾ抵抗型圧力センサの特徴として、圧力無印加時における出力電圧のばらつきに加えて、圧力印加に対する出力電圧の感度のばらつきがある。しかも、温度変化によって出力電圧の特性が変化する。
【０００３】
そこで、例えば特許文献１には、センサ出力のばらつきや温度特性をセンサ出力補正回路で調整する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３３３１５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、集積回路装置（ＩＣ）のメーカでは、汎用を前提にして常温でばらつきや温度特性が所定の範囲内に収まるように調整しており、自動車用ＥＣＵのような過酷な温度条件で使用される製品に対して最適化されていない。しかも、集積回路装置を制御装置の制御基板、例えばＥＣＵのプリント回路基板に実装する前であれば、センサ出力のばらつきや温度特性を個別に調整することができるが、実装した後で調整することはできない。センサの出力を増幅する演算増幅器（オペアンプ）のオフセット電圧も同様であり、プリント回路基板に実装後に回路全体で調整できない。このため、システム全体でのセンサの温度特性のばらつきや演算増幅器のオフセット電圧を調整することができず、ＥＣＵの信頼性が低下する、という課題がある。
【０００６】
本発明は上記のような事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、集積回路装置を制御装置の制御基板に実装した後に、センサの温度特性のばらつき、及びオフセット電圧を調整できる集積回路装置及びその出力補正方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の集積回路装置は、センサから出力されたセンサ出力信号を受けて、第１の増幅ゲインで増幅して出力する初段差動増幅回路と、前記初段差動増幅回路の増幅出力を受けて、第２の増幅ゲインで増幅する後段増幅回路と、前記後段増幅回路のオフセット電圧を調整するオフセット調整回路とを有し、前記センサの出力を調整するセンサ出力補正回路を備え、前記センサとともに制御装置に組み込まれる集積回路装置であって、前記集積回路装置を前記制御装置の制御基板に実装した状態で、前記センサ出力補正回路により前記センサの温度特性のばらつきと前記オフセット電圧を調整する、ことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の集積回路装置の出力補正方法は、センサから出力されたセンサ出力信号を受けて、第１の増幅ゲインで増幅して出力する初段差動増幅回路と、前記初段差動増幅回路の増幅出力を受けて、第２の増幅ゲインで増幅する後段増幅回路と、前記後段増幅回路のオフセット電圧を調整するオフセット調整回路とを有し、前記センサの出力を調整するセンサ出力補正回路を備え、前記センサとともに制御装置に組み込まれる集積回路装置の出力補正方法であって、前記センサ及び前記集積回路装置を、前記制御装置の制御基板に実装する工程と、前記制御基板上で、前記センサにおける温度特性のばらつき、及び前記後段増幅回路のオフセット電圧を測定する工程と、前記測定結果に基づいて、前記センサの出力を前記センサ出力補正回路で補正する工程とを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、集積回路装置を制御装置の制御基板に実装した状態で、センサの出力をセンサ出力補正回路で補正することで、個々のセンサにおける温度特性のばらつきや、オフセット電圧を調整できる。これによって、制御装置の高精度化が図れ、信頼性も向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態に係る集積回路装置を備えた自動車用ＥＣＵの要部を抽出して概略構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示した集積回路装置におけるセンサ出力補正回路の構成例を示す回路図である。
【図３】ブリッジ回路を構成する個々の圧力センサの出力特性図である。
【図４】ブリッジ回路全体の出力特性図である。
【図５】図１に示した集積回路装置におけるセンサ出力補正回路の他の構成例を示す回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る集積回路装置を備えた自動車用ＥＣＵの要部を抽出して示している。この自動車用ＥＣＵ１は、センサ２と集積回路装置３を備えている。センサ２は、例えばピエゾ抵抗型圧力センサでホイートストンブリッジ回路２ａを構成したもので、端子Ａｓに集積回路装置３の端子Ａから基準電圧Ｖｒｅｆが印加される。このホイートストンブリッジ回路２ａの端子Ｂｓ，Ｃｓから出力されるセンサ出力信号ＶＡ，ＶＢはそれぞれ、集積回路装置３の端子Ｂ，Ｃに入力される。また、ホイートストンブリッジ回路２ａの端子Ｄｓ，Ｅｓはそれぞれ、集積回路装置３の端子Ｄ（ＧＮＤ）に接続される。
【００１２】
集積回路装置３は、電源供給回路４、初段差動増幅回路５、後段増幅回路６、オフセット調整回路７及び入出力保護素子８などを備えている。電源供給回路４には、端子Ｅから電源Ｖｃｃが入出力保護素子８を介して供給され、基準電圧Ｖｒｅｆを生成して端子Ａから出力する。この端子Ａから出力される基準電圧Ｖｒｅｆは、Ｖｒｅｆ補正回路９によって調整される。Ｖｒｅｆ補正回路９は、例えばツェナーザッピングによりトリミング可能に構成されている。ツェナーザッピングとは、トリミングパッド群１０の各パッドに外部からツェナーダイオードの接合耐圧以上の電圧を印加し、接合を破壊して回路構成を変更するものである。Ｖｒｅｆ補正回路９における抵抗温度特性と抵抗値を制御することで、端子Ａから出力される基準電圧Ｖｒｅｆのばらつきと温度特性を調整する。
【００１３】
初段差動増幅回路５と後段増幅回路６は、センサ出力補正回路１１の一部を構成している。初段差動増幅回路５の一対の入力端は端子Ｂ，Ｃに接続され、センサ出力信号ＶＡ，ＶＢがそれぞれ入力される。この初段差動増幅回路５は、第１の増幅ゲインでセンサ出力信号ＶＡ，ＶＢを増幅出力する。後段増幅回路６は、初段差動増幅回路５の増幅出力を受けて、第２の増幅ゲインでさらに増幅する。そして、この後段増幅回路６の増幅出力が入出力保護素子８を介して、端子Ｆから出力信号Ｖｏｕｔとして出力される。
【００１４】
初段差動増幅回路５は、感度調整トリミング回路１２によって感度調整が行われる。感度調整トリミング回路１２は、例えばツェナーザッピングによりトリミング可能に構成されている。この感度調整トリミング回路１２には、トリミングパッド群１３が接続されており、トリミングパッド群１３の各パッドに外部からツェナーダイオードの接合耐圧以上の電圧を印加し、接合を破壊することで感度調整トリミング回路１２の回路構成を変更する。このように、感度調整トリミング回路１２の抵抗値を調整することで、初段差動増幅回路５の感度調整を行う。
【００１５】
後段増幅回路６には、オフセット調整回路７が接続されている。このオフセット調整回路７は、オフセット調整用の演算増幅器を備えており、オフセット調整トリミング回路１４によってオフセット電圧の調整が行われる。オフセット調整トリミング回路１４は、例えばツェナーザッピングによりトリミング可能に構成されている。このオフセット調整トリミング回路１４には、トリミングパッド群１５が接続されており、トリミングパッド群１５の各パッドに外部からツェナーダイオードの接合耐圧以上の電圧を印加し、接合を破壊することでオフセット調整トリミング回路１４の回路構成を変更する。そして、オフセット調整トリミング回路１４の抵抗値を調整することで、オフセット調整回路７中の演算増幅器を用いてオフセット電圧を調整する。
【００１６】
このようにして、端子Ａから出力される基準電圧Ｖｒｅｆのばらつきと温度特性を調整する。また、センサ２における温度変化時、特に高温や低温などの温度負荷を与えたときの特性のばらつきをシステム全体として調整するとともに、センサ２を自動車用ＥＣＵ１に組み込んだ状態で初段差動増幅回路５と後段増幅回路６のオフセット電圧を補正するようになっている。
【００１７】
図２は、図１に示した集積回路装置３におけるセンサ出力補正回路１１の構成例を示している。具体的には、初段差動増幅回路５、後段増幅回路６及び感度調整トリミング回路１２に対応しており、本例では図１の構成に後段増幅回路６の感度調整を行う感度調整トリミング回路を付加している。そして、センサ２のホイートストンブリッジ回路２ａには、温度特性を加味した電圧源（電流源）２０が接続されており、センサ出力信号ＶＡ，ＶＢを出力する。
【００１８】
図３は、ブリッジ回路２ａを構成する個々の圧力センサの出力特性図である。また、図４は、ブリッジ回路２ａ全体の出力特性図である。図３に示すように、センサ単体では、印加される圧力Ｐ（ＭＰａ）に対して、出力信号Ｖｏｕｔ（ｍＶ）が所定のオフセットを持って線形的に変化する特性である。そして、センサ２のホイートストンブリッジ回路２ａは、図３に示すように、所定のオフセット（本例では０．５Ｖ）を持った特性になっている。
なお、図３及び図４において、圧力Ｐと出力信号Ｖｏｕｔの数値は仮のものであり、これらの例に限られるものではない。
【００１９】
初段差動増幅回路５は、演算増幅器２１，２２と、抵抗Ｒ１，Ｒ４，Ｒ５を備えている。演算増幅器２１の一方の入力端には、センサ２を構成するホイートストンブリッジ回路２ａの一方のセンサ出力信号ＶＡが入力される。演算増幅器２２の一方の入力端には、センサ２を構成するホイートストンブリッジ回路２ａの他方の出力端からセンサ出力信号ＶＢが入力される。
【００２０】
演算増幅器２１の出力端と演算増幅器２２の出力端との間には、抵抗Ｒ１，Ｒ４，Ｒ５が直列接続される。抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ４との接続点には、演算増幅器２１の他方の入力端が接続される。抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ５との接続点には、演算増幅器２２の他方の入力端が接続される。抵抗Ｒ４は、トリミング可能に形成され、トリミングにより抵抗Ｒ４の抵抗値を調整することで、初段差動増幅回路５のゲインが調整される。この抵抗Ｒ４は、図１における感度調整トリミング回路（第１のトリミング回路）１２として働く。
【００２１】
後段増幅回路６は、演算増幅器２３と、抵抗Ｒ２，Ｒ３，Ｒ６，ｒ３を備えている。演算増幅器２３は、一方の入力端が抵抗Ｒ２を介して初段差動増幅回路５における演算増幅器２１の出力端に接続されるとともに、直列接続された抵抗ｒ３と抵抗Ｒ３を介して当該演算増幅器２３の出力端に接続される。この演算増幅器２３の他方の入力端は、抵抗Ｒ６を介して初段差動増幅回路５における演算増幅器２２の出力端に接続される。そして、この演算増幅器２３の出力端から、センサ２の出力を増幅調整した出力信号Ｖｏｕｔを得るようになっている。ここで、抵抗Ｒ３は、トリミング可能に形成され、トリミングにより抵抗Ｒ３の抵抗値を調整することで、後段増幅回路６のゲインが調整される。この抵抗Ｒ３は、図１に示した回路に付加した感度調整トリミング回路（第２のトリミング回路）である。
【００２２】
上記のような構成において、出力信号Ｖｏｕｔは、次式（１）により表される。
Ｖｏｕｔ＝｛（ｒ３＋Ｒ３）／Ｒ２｝×（１＋２Ｒ１／Ｒ４）×（ＶＢ−ＶＡ）…（１）
ここで、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びｒ３はそれぞれ、抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，ｒ３の抵抗値である。
【００２３】
上式（１）により表されるセンサ出力信号ＶＡ，ＶＢを増幅した出力信号Ｖｏｕｔは、そのゲインが初段差動増幅回路５と後段増幅回路６の増幅部でそれぞれ調整され、出力信号Ｖｏｕｔは所定の目標値に設定される。すなわち、初段差動増幅回路５では、抵抗Ｒ４をトリミングすることで初段差動増幅回路５のゲインを常温時使用範囲内に収まるように調整する。
【００２４】
なお、温度特性によるセンサ出力のずれ（変動）は、温度特性を加味した電圧源（電流源）２４が、センサ温度特性に応じた電圧を発生するので、増幅回路５，６内で温度制御する必要はない。よって、常温で調整を行っても、全温度範囲で仕様内（例えば４Ｖ）に収まるようになる。このようにして、個々のセンサ２の温度特性のばらつきがキャンセルされ、一定なセンサ出力信号ＶＡ，ＶＢが得られる。
【００２５】
次に、上述した集積回路装置の出力補正方法について簡単に説明する。本実施形態の出力補正方法では、センサ２及び集積回路装置３を、自動車用ＥＣＵ（制御装置）１のプリント回路基板（制御基板）に実装する。次に、プリント回路基板上で、センサ２の温度特性のばらつき、及び後段増幅回路６のオフセット電圧を測定する。そして、この測定結果に基づいて、特性のばらつきとオフセット電圧を打ち消す（所定の目標値に設定する）ように、センサ２の出力をセンサ出力補正回路１１で調整する。
【００２６】
センサ出力補正回路１１により、出力信号Ｖｏｕｔを所定の目標値に設定する調整作業においては、まず初段差動増幅回路５の抵抗Ｒ４をトリミングして抵抗Ｒ４の抵抗値を調整し、出力信号Ｖｏｕｔを目標値に近づける。この調整作業において、抵抗Ｒ４の抵抗値を小さくしすぎて、初段差動増幅回路５のゲインが高くなり、出力信号Ｖｏｕｔが目標値よりも大きくなりすぎてしまった場合には、後段増幅回路６の抵抗Ｒ３をトリミングして抵抗Ｒ３の抵抗値を小さく調整する。
【００２７】
これにより、後段増幅回路６のゲインは低下し、センサ出力補正回路１１全体としてのゲインは低下する。この結果、抵抗Ｒ４のトリミングで目標値よりも大きくなってしまった出力信号Ｖｏｕｔは低下することになる。このような抵抗Ｒ３の調整作業を行うことで、大きくなってしまった出力信号Ｖｏｕｔを低下させ、出力信号Ｖｏｕｔを再度所定の目標値に近づけて設定できる。
【００２８】
上述したように、本実施形態においては、出力信号Ｖｏｕｔの値を所定の目標値に設定する調整作業において、初段差動増幅回路５の抵抗Ｒ４をトリミングする調整作業で出力信号Ｖｏｕｔが目標値よりも大きくなった場合であっても、後段増幅回路６の抵抗Ｒ３をトリミングする調整作業で出力信号Ｖｏｕｔの電圧レベルを低下させることが可能となる。これにより、目標値よりも大きくなった出力信号Ｖｏｕｔを再度調整して目標値に近づけ、目標値に設定することができる。この結果、出力信号Ｖｏｕｔを補正する自由度が高まり、出力を柔軟に補正し、出力信号Ｖｏｕｔを容易かつ確実に目標値に設定することができる。
【００２９】
また、後段増幅回路６のゲインを調整することにより出力信号Ｖｏｕｔの再調整が可能なため、抵抗Ｒ４をトリミングする際に、抵抗Ｒ４の抵抗値の縮小度合いを小幅とし、多くのトリミングを重ねることで抵抗Ｒ４の抵抗値を徐々に小さくする必要がなくなる。この結果、抵抗Ｒ３をトリミングする回数を考慮しても、全体のトリミングの回数を削減することが可能となる。
【００３０】
図５は、図１に示した集積回路装置におけるセンサ出力補正回路１１の他の構成例を示す回路図である。図５は、図２に対応しており、初段差動増幅回路５、後段増幅回路６及び感度調整トリミング回路１２に、後段増幅回路６の感度調整を行う感度調整トリミング回路を付加している。本例において、センサ２は、定電圧源（定電流源）２４を電源とするホイートストンブリッジ回路２ａで構成された、例えばピエゾ抵抗型圧力センサである。
【００３１】
初段差動増幅回路５は、演算増幅器２１，２２と、抵抗Ｒ１，Ｒ４，Ｒ５，ｒ４を備えている。演算増幅器２１の一方の入力端には、センサ２を構成するホイートストンブリッジ回路２ａの一方の出力端からセンサ出力信号ＶＡが入力される。演算増幅器２２の一方の入力端には、センサ２を構成するホイートストンブリッジ回路２ａの他方の出力端からセンサ出力信号ＶＢが入力される。演算増幅器２１の出力端と演算増幅器２２の出力端との間には、抵抗Ｒ１，ｒ４，Ｒ４，Ｒ５が直列接続される。抵抗Ｒ１と抵抗ｒ４との接続点には、演算増幅器２１の他方の入力端が接続される。抵抗Ｒ４と抵抗Ｒ５との接続点には、演算増幅器２２の他方の入力端が接続される。抵抗Ｒ４は、トリミング可能に形成され、トリミングにより抵抗Ｒ４の抵抗値を調整することで、初段差動増幅回路５のゲインが調整される。この抵抗Ｒ４は、図１における感度調整トリミング回路１２として働く。
【００３２】
後段増幅回路６は、演算増幅器２３と、抵抗Ｒ２，Ｒ３，Ｒ６を備えている。演算増幅器２３は、一方の入力端が抵抗Ｒ２を介して初段差動増幅回路５の演算増幅器２１の出力端に接続されるとともに、抵抗Ｒ３を介して当該演算増幅器２３の出力端に接続される。この演算増幅器２３の他方の入力端は、抵抗Ｒ６を介して初段差動増幅回路５の演算増幅器２２の出力端に接続される。そして、この演算増幅器２３の出力端から、センサ２の出力を増幅調整した出力信号Ｖｏｕｔを得る。抵抗Ｒ２は、トリミング可能に形成され、トリミングにより抵抗Ｒ２の抵抗値を調整することで、後段増幅回路６のゲインが調整されるようになっている。この抵抗Ｒ２は、図１における感度調整トリミング回路１２として働く。
【００３３】
初段差動増幅回路５の抵抗Ｒ１，Ｒ４，Ｒ５、及び後段増幅回路６の抵抗Ｒ３は、半導体基板上の拡散層により形成された拡散抵抗で構成され、抵抗温度係数（ＴＣＲ）は、例えば１０００〜１５００ｐｐｍ／ｋである。一方、初段差動増幅回路５の抵抗ｒ４、及び後段増幅回路６の抵抗Ｒ２は、半導体基板上のポリシリコンにより形成されたポリシリコン抵抗で構成され、抵抗温度係数は、例えば１００ｐｐｍ／ｋ以下である。すなわち、このセンサ出力補正回路１１では、抵抗温度係数が異なる２種類の抵抗を使用して回路が構成されている。
【００３４】
上述したように、センサ２に定電圧源（定電流源）から電圧（電流）が供給される場合には、センサ２に印加される電圧は温度に依らず一定になるので、センサ単体の温度特性が増幅回路５，６にそのまま入力される。この場合、感度増幅は上記の例と共通であるが、初段差動増幅回路５と後段増幅回路６で用いる抵抗に温度係数が異なるものを選ぶことで、増幅された出力電圧を温度による影響を受けないようにすることが可能となる。
【００３５】
すなわち、このような構成においては、出力信号Ｖｏｕｔは、次式（２）により表される。
Ｖｏｕｔ＝Ｇ×（ＶＢ−ＶＡ）…（２）
Ｇ＝｛１＋（２Ｒ１×Ａ）／（Ｒ４×Ａ＋ｒ４×Ｂ）｝×（Ｒ３×Ａ）／（Ｒ２×Ｂ）
Ａ＝（１＋αΔＴ）
Ｂ＝（１＋βΔＴ）
上式（２）において、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びｒ４は、抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４，ｒ４の抵抗値、αは拡散抵抗Ｒ１，Ｒ３，Ｒ４の抵抗温度係数、βはポリシリコン抵抗Ｒ２，ｒ４の抵抗温度係数である。
【００３６】
上式（２）から分かるように、それぞれ異なる抵抗温度特性を有する拡散抵抗とポリシリコン抵抗を用いることで、センサ出力補正回路１１のゲインＧは、温度によらず一定値となり、出力信号Ｖｏｕｔの温度依存性が回避され、温度によらず安定した出力信号Ｖｏｕｔが得られる。
一方、出力信号Ｖｏｕｔは、初段差動増幅回路５の抵抗Ｒ４と後段増幅回路６の抵抗Ｒ２の抵抗値をトリミングにより調整することで、目標値に設定できる。
【００３７】
このように、集積回路装置を制御装置の制御基板に実装した状態で、センサの出力をセンサ出力補正回路１１で補正することで、センサ２における温度特性のばらつきや、オフセット電圧を考慮した調整ができる。この結果、制御装置の高精度化が図れ、信頼性も向上できる。
【００３８】
＜変形例１＞
なお、上述した実施形態では、センサ２がピエゾ抵抗型圧力センサの場合を例に取って説明したが、ピエゾ抵抗型に限定されるものではない。また、圧力センサに限らず、他のセンサであってもよいことは勿論である。
【００３９】
＜変形例２＞
また、集積回路装置３にトリミングパッド群１０，１３，１５を設け、トリミングパッドに電圧を印加してトリミングする例を示したが、トリミングパッドを用いたトリミングに限られるものではない。例えば集積回路装置３にトリミング用端子を設けることで、ＥＣＵ１上で調整が可能となる。
【００４０】
＜変形例３＞
さらに、トリミングパッド群１０，１３，１５を制御基板とは別のプリント基板に設ければ、制御装置の筐体内あるいは筐体の外部に高い自由度でトリミングパッド群１０，１３，１５を配置でき、トリミング作業を容易化できる。あるいは、トリミング作業の終了後に、トリミングパッド群１０，１３，１５をプリント基板とともに取り外すようにしてもよい。
【００４１】
＜変形例４＞
さらに、ツェナーザッピングによりトリミングして抵抗値を調整する場合を例に取って説明したが、他の様々なトリミング技術を適用可能であり、レーザトリミングを用いれば、外部から電圧を印加するためのトリミングパッド群やトリミング用端子は不要である。
【００４２】
以上実施形態を用いて本発明の説明を行ったが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、上記実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題の少なくとも１つが解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果の少なくとも１つが得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【符号の説明】
【００４３】
１…自動車用ＥＣＵ（制御装置）、２…センサ、２ａ…ホイートストンブリッジ回路、３…集積回路装置、４…電源供給回路、５…初段差動増幅回路、６…後段増幅回路、７…オフセット調整回路、８…入出力保護素子、９…Ｖｒｅｆ補正回路、１０…トリミングパッド群、１１…センサ出力補正回路、１２…感度調整トリミング回路、１３…トリミングパッド群（第１のトリミングパッド群）、１４…オフセット調整トリミング回路、１５…トリミングパッド群（第３のトリミングパッド群）、２０…温度特性を加味した電圧源（電流源）、２１，２２，２３…演算増幅器、２４…定電圧源（定電流源）、Ｒ１〜Ｒ６，ｒ３，ｒ４…抵抗、Ｖｒｅｆ…基準電圧、ＶＡ，ＶＢ…センサ出力信号、Ｖｏｕｔ…出力信号
【図１】
2018031700.tif 000003
【図２】
2018031700.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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