(57)【要約】【課題】帯電を抑制し、押さえ圧力を被検査体に均一に伝えることができる低コストな押さえ治具を得る。【解決手段】被検査体を押さえる押さえ板２の中央部に支柱３が固定されている。支持部４が支柱３を介して押さえ板２を支持する。押さえ板２、支柱３及び支持部４は導電性の硬質材料で構成されている。押さえ板２が被検査体９を押さえる際に、押さえ板２が被検査体９に対する傾き又は被検査体９の反りに応じて傾く。【選択図】図２
2018081021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を押さえる押さえ板と、
前記押さえ板の中央部に固定された支柱と、
前記支柱を介して前記押さえ板を支持する支持部とを備え、
前記押さえ板、前記支柱及び前記支持部は導電性の硬質材料で構成され、
前記押さえ板が前記被検査体を押さえる際に、前記押さえ板が前記被検査体に対する傾き又は前記被検査体の反りに応じて傾くことを特徴とする押さえ治具。
【請求項２】
前記押さえ板は前記支柱だけで前記支持部に支持されていることを特徴とする請求項１に記載の押さえ治具。
【請求項３】
前記押さえ板、前記支柱及び前記支持部は一体化されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の押さえ治具。
【請求項４】
前記支持部はネジ穴を有し、
前記支柱はネジ切りされており、
前記支柱は前記支持部の前記ネジ穴にねじ込まれていることを特徴とする請求項１又は２に記載の押さえ治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体を押さえる押さえ治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ＣＤＭＡをはじめとする携帯電話基地局用電力増幅器として、ＬＤＭＯＳ、ＧａＮ−ＨＥＭＴ、ＧａＡｓ−ＨＢＴが広く用いられている。一般的に、基地局用電力増幅器には基地局の大きさに応じて、数Ｗから数百Ｗの出力電力が求められる。しかし、出力電力に比例して電力増幅器の発熱量が増加する。このため、電力増幅器の電気特性の検査の際には熱による被検査体の破壊対策として被検査体が動作した際に発生させる熱の効率的な放熱対策が不可欠となる。
【０００３】
基地局用電力増幅器の電気特性検査において、電力増幅器のパッケージ形状により、被検査体をネジで固定する方法、被検査体を放熱体に押さえつける方法等がある。後者では、押さえ治具により被検査体を押さえつけて評価基板の評価端子に接触させ電気特性を測定する。この場合、被検査体が発生させた熱を効率的に放熱させるためには、一般的に被検査体と放熱体の密着度を上げることが効果的であると考えられている。
【０００４】
被検査体と放熱体の密着度を上げるひとつの方法として、放熱体に対して垂直方向から被検査体を押さえる方法がある。しかし、押さえ圧が不十分な場合、又は、被検査体に対する治具の傾き又は被検査体の反りにより被検査体の評価端子への片当たりが発生した場合、両者の間で接触不良が発生する。このため、被検査体の電気特性を検査する場合には被検査体の傾きと反りも考慮する必要がある。
【０００５】
ゴム又はウレタン等の軟質系材料で構成された押さえ治具を用いれば、被検査体の反りがあっても押さえ圧力が被検査体に均一に伝わるため、被検査体と評価端子の接触性は良好である。しかし、ゴム又はウレタンの軟質系材料は帯電しやすいため、被検査体が高周波の電子デバイスである場合に静電気放電（ＥＳＤ）が問題となる。
【０００６】
一方、導電性樹脂等の硬質系材料で構成された押さえ治具を用いれば、ＥＳＤの問題を解決することができる。しかし、押さえ治具が硬質なため、被検査体に対する治具の傾き又は被検査体の反りにより押さえ治具の被検査体への片当たりが発生し、安定した被検査体評価が阻害される。
【０００７】
片当たりを抑制するために、押さえ板の可動時の支点となる球面体を支持部と押さえ板で挟み最外部を止めばねで固定した押さえ治具が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００９−１１５６６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、押さえ治具の部品点数が多く、構造も複雑であるため、治具の製作コストが増加するという問題がある。また、支持部と押さえ板を最外部で固定する止めばねのばね定数のバランスが崩れてアライメント補正が正常に機能しなくなり、押さえ圧力を被検査体に均一に伝えることができないという問題があった。
【００１０】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は帯電を抑制し、押さえ圧力を被検査体に均一に伝えることができる低コストな押さえ治具を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る押さえ治具は、被検査体を押さえる押さえ板と、前記押さえ板の中央部に固定された支柱と、前記支柱を介して前記押さえ板を支持する支持部とを備え、前記押さえ板、前記支柱及び前記支持部は導電性の硬質材料で構成され、前記押さえ板が前記被検査体を押さえる際に、前記押さえ板が前記被検査体に対する傾き又は前記被検査体の反りに応じて傾くことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、押さえ板が被検査体を押さえる際に、押さえ板が被検査体に対する傾き又は被検査体の反りに応じて傾く。これにより押さえ圧力を被検査体に均一に伝えることができる。また、押さえ板、支柱及び支持部は導電性であるため、押さえ治具の帯電を抑制することができる。また、押さえ治具は構造が単純であるため、製造が容易で低コストである。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る押さえ治具を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る押さえ治具を示す断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る押さえ治具の動作を説明するための断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る押さえ治具の動作を説明するための断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る押さえ治具を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施の形態に係る押さえ治具について図面を参照して説明する。同じ又は対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。
【００１５】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る押さえ治具を示す斜視図である。図２は、本発明の実施の形態１に係る押さえ治具を示す断面図である。この押さえ治具１は、高周波の電子デバイスの電気特性を検査する際に用いられる。
【００１６】
被検査体を押さえる押さえ板２の中央部に支柱３が固定されている。支持部４が支柱３を介して押さえ板２を支持する。押さえ板２、支柱３及び支持部４は導電性の硬質材料で構成されている。
【００１７】
押さえ板２と支持部４は間隔が開いて幅ｗの溝５が形成されている。押さえ板２の半径ｒ１と支柱３の半径ｒ２の差が溝５の深さｄである。例えば溝５の幅ｗは１〜２ｍｍ、深さｄは押さえ板２の半径ｒ１の４／５倍程度である。
【００１８】
図３及び図４は、本発明の実施の形態１に係る押さえ治具の動作を説明するための断面図である。アルミブロック等の放熱体６の上に、評価用金属端子７を有する評価基板８を密着している。評価基板８の上に被検査体９が載せられている。被検査体９は、例えば携帯電話基地局用電力増幅器である。
【００１９】
図３に示すように、押さえ治具１は、評価基板８及び被検査体９に対して垂直方向から被検査体９を押さえる。ただし、図４に示すように、被検査体９に対して押さえ治具１が傾いている場合、それ応じて支柱３がしなって押さえ板２が被検査体９に垂直に当たるようにフレキシブルに傾く。
【００２０】
溝５の幅ｗ及び深さｄは、想定される被検査体９に対する押さえ治具１の傾きと被検査体９の反り、及び構成材料の曲げ強さ等の破断に関する機械的性質を考慮して、押さえ板２の外周部が被検査体９に当たった際に所望の変形量が得られるように設定されている。
【００２１】
本実施の形態では、押さえ板２が被検査体９を押さえる際に、押さえ板２が被検査体９に対する傾き又は被検査体９の反りに応じて被検査体９に垂直に当たるようにフレキシブルに傾く。これにより押さえ圧力を被検査体９に均一に伝えることができる。このため、評価基板８に被検査体９を密着させて放熱性を向上させることができる。また、押さえ板２、支柱３及び支持部４は導電性であるため、押さえ治具１の帯電を抑制することができる。
【００２２】
また、押さえ板２は支柱３だけで支持部４に支持されている。押さえ板２、支柱３及び支持部４は一体化されている。このように押さえ治具１は、止めばね等を用いた従来技術に比べて構造が単純であるため、製造が容易で低コストである。
【００２３】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２に係る押さえ治具を示す断面図である。支持部４は下面中央部にネジ穴１０を有する。支柱３はネジ切りされている。支柱３は支持部４のネジ穴１０にねじ込まれている。これにより、押さえ板２及び支柱３を支持部４から分離することができるため、押さえ板２が劣化した際のメンテナンス性が向上する。また、支柱３の支持部４のネジ穴１０へのねじ込み量の調整により、押さえ板２の最大の傾き補正量を最適化できる。その他の構成及び効果は実施の形態１と同様である。
【符号の説明】
【００２４】
１  押さえ治具、２  押さえ板、３  支柱、４  支持部、９  被検査体、１０  ネジ穴
【図１】
2018081021.tif 000003
【図２】
2018081021.tif 000004
【図３】
2018081021.tif 000005
【図４】
2018081021.tif 000006
【図５】
2018081021.tif 000007