(57)【要約】【課題】液体成分を含有する試料を乾燥するための乾燥装置において、高い乾燥効率を達成しつつ装置の小型化を図る。【解決手段】乾燥装置１は、第１開口部１１１及び搬入開口部１１２を有する加熱槽１１と、第２開口部１２１及び搬出開口部１２２を有する冷却槽１２と、加熱槽１１及び冷却槽１２の内部の雰囲気を調整する調整部１３と、加熱槽１１と冷却槽１２との間に配設され、第１開口部１１１及び第２開口部１２１を開閉する開閉構造体１４と、加熱槽１１から冷却槽１２へと試料を搬送する搬送部１８と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体成分を含有する試料を乾燥するための乾燥装置であって、
第１開口部と試料の搬入開口部とを有し、試料を加熱するための加熱槽と、
前記第１開口部と対向した第２開口部と試料の搬出開口部とを有し、前記加熱槽にて加熱された試料を冷却するための冷却槽と、
前記加熱槽と前記冷却槽との間に配設され、前記第１開口部及び前記第２開口部を開閉する扉体を含む開閉構造体と、
前記搬入開口部を介して前記加熱槽に搬入された試料を、前記開閉構造体を介して前記加熱槽から前記冷却槽へと搬送する搬送部と、
前記加熱槽及び前記冷却槽の内部の雰囲気を調整する調整部と、
前記調整部を制御する調整制御部と、を備え、
前記調整制御部は、
前記搬入開口部を介した前記加熱槽への試料の受入時に、前記調整部に前記加熱槽を乾燥空気雰囲気に調整させる試料受入制御と、
前記加熱槽にて試料の加熱処理を行うために、前記調整部に前記加熱槽を所定の加熱処理雰囲気に調整させる加熱処理制御と、
前記冷却槽にて試料の冷却処理を行うために、前記調整部に前記冷却槽を所定の冷却処理雰囲気に調整させる冷却処理制御と、
前記搬出開口部を介した前記冷却槽からの試料の払出時に、前記調整部に前記冷却槽を乾燥空気雰囲気に調整させる試料払出制御と、を実行する乾燥装置。
【請求項２】
前記加熱槽及び前記冷却槽を連通させるための連通路を形成する連通管と、
前記連通管に設けられ、前記連通路を開閉する連通開閉弁と、
前記扉体が前記第１開口部及び前記第２開口部を開閉するときに、前記連通開閉弁の開閉動作を制御する開閉弁制御部と、を更に備える、請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項３】
前記開閉構造体は、前記扉体が収容され、前記第１開口部と前記第２開口部とを連結する筐体を、更に含み、
前記連通管は、前記加熱槽及び前記筐体を連通させるための第１の連通路と、前記冷却槽及び前記筐体を連通させるための第２の連通路と、を有する、請求項２に記載の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料を乾燥するための乾燥装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、水分や有機溶媒等の液体成分を含有する試料を乾燥させる乾燥装置として、特許文献１に開示されているように、不活性ガス雰囲気下で加熱する方式や真空雰囲気下で加熱する方式が知られている。この特許文献１に開示された装置は、リチウムイオン二次電池の製造時に用いられるものであり、ペースト状の電極材が塗布された金属箔の積層体を乾燥するものである。
【０００３】
特許文献１には、大別してバッチ方式の乾燥装置と連続搬送方式の乾燥装置とが開示されている。バッチ方式の乾燥装置では、１つの気密室内で、２段階の加熱処理と、不活性ガス雰囲気下での冷却処理との、合計３段階の処理が実施される。具体的に、２段階の加熱処理には、不活性ガス雰囲気下での第１加熱処理と真空雰囲気下での第２加熱処理とが含まれている。これら３段階の処理を実施することにより、試料としての金属箔積層体を乾燥するようにしている。また、連続搬送方式の乾燥装置では、２段階の加熱処理と冷却処理との３段階の処理にそれぞれ対応した３つの気密室に金属箔積層体を連続的に搬送する。これにより、金属箔積層体が乾燥される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５４６６９７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のバッチ方式の乾燥装置では、加熱処理と冷却処理とが１つの気密室内にて実施されるので、試料の乾燥を繰り返し行うときに、気密室の降温操作と昇温操作とを繰り返す必要がある。このため、降温操作及び昇温操作のために過度なエネルギー消費がなされるばかりではなく、気密室自体の温度を所定温度まで降温または昇温させる時間も要するため乾燥時間が長くなり、乾燥効率が低いという問題がある。
【０００６】
また、試料を乾燥させるに際し、試料の種類によっては、不活性ガス雰囲気下での第１加熱処理と真空雰囲気下での第２加熱処理との２段階の加熱処理を必要としない場合がある。例えば、金属箔積層体の積層数が少ないような試料を乾燥するときには、不活性ガス雰囲気下での加熱処理と真空雰囲気下での加熱処理とのいずれか一方の処理のみで、試料を十分に乾燥できる場合がある。このような状況を鑑みると、従来の連続搬送方式の乾燥装置は、２段階の加熱処理を施すための気密室をそれぞれ個別に備えているので、試料の種類によっては不要な気密室を備えた構成となっている。このため、装置が大型化するという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高い乾燥効率を達成しつつ装置の小型化を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一の局面に係る乾燥装置は、液体成分を含有する試料を乾燥するための乾燥装置であって、第１開口部と試料の搬入開口部とを有し、試料を加熱するための加熱槽と、前記第１開口部と対向した第２開口部と試料の搬出開口部とを有し、前記加熱槽にて加熱された試料を冷却するための冷却槽と、前記加熱槽と前記冷却槽との間に配設され、前記第１開口部及び前記第２開口部を開閉する開閉構造体と、前記加熱槽から前記冷却槽へと試料を搬送する搬送部と、前記加熱槽及び前記冷却槽の内部の雰囲気を調整する調整部と、前記調整部を制御する調整制御部と、を備える。
【０００９】
この乾燥装置によれば、試料を加熱するための加熱槽と、試料を冷却するための冷却槽とが、開閉構造体が介在された状態で、それぞれ個別に設けられている。このため、加熱槽の温度は試料を加熱するための温度に保持し、冷却槽の温度は試料を冷却するための温度に保持すればよく、従来のバッチ方式の乾燥装置のように、各槽において降温操作及び昇温操作を繰り返して実施する必要がない。従って、降温操作及び昇温操作のためのエネルギー消費が防止されるとともに乾燥時間の短縮化を図ることができ、高い乾燥効率を達成することができる。また、乾燥装置は、搬入開口部を介して装置外部から加熱槽に試料が搬入され、搬出開口部を介して冷却槽から試料が装置外部に搬出されるように構成されている。すなわち、本発明に係る乾燥装置は、３つの気密室を備えた従来の連続搬送方式の乾燥装置のように、試料の搬入または搬出が行われる２つの気密室以外の気密室に相当する処理槽を備えたものではない。従って、従来の連続搬送方式の乾燥装置と比較して、装置の小型化を図ることができる。
【００１０】
上記の乾燥装置において、前記開閉構造体は、前記第１開口部と前記第２開口部とを連結する筐体と、前記筐体内において前記第１開口部及び前記第２開口部に対して移動することにより、当該第１開口部及び第２開口部を開閉する扉体と、を含み、前記調整部は、前記筐体の内部の雰囲気をも調整可能に構成される。
【００１１】
この態様では、加熱槽の第１開口部と冷却槽の第２開口部とを開閉する扉体を含んだ簡単な構成で、開閉構造体を実現することができる。また、調整部は、第１開口部と第２開口部とを連結する開閉構造体の筐体の内部雰囲気をも調整可能に構成されている。このため、筐体内において扉体が移動して第１開口部及び第２開口部を開閉するときに、加熱槽、冷却槽及び筐体の各々の内部雰囲気の差を小さくすることができる。また、調整部が内部雰囲気を調整することにより、加熱槽、冷却槽及び筐体の各々の内部の圧力差を小さくすることができる。このため、筐体内における扉体の移動動作をスムーズなものとすることができる。
【００１２】
上記の乾燥装置において、前記加熱槽、前記冷却槽及び前記筐体をそれぞれ連通させるための連通路を形成する連通管と、前記連通管に設けられ、前記連通路を開閉する連通開閉弁と、前記調整制御部の制御に連動して、前記連通開閉弁を制御する開閉弁制御部と、を更に備える構成としてもよい。
【００１３】
この態様では、加熱槽、冷却槽及び筐体が連通管によって連通可能に構成されている。このため、筐体内において扉体が移動して第１開口部及び第２開口部を開閉するときに、加熱槽、冷却槽及び筐体の各々の内部雰囲気の差を、より小さくすることができる。また、連通管によって、加熱槽、冷却槽及び筐体の各々の内部の圧力差をより小さくすることができる。このため、筐体内における扉体の移動動作を、よりスムーズなものとすることができる。
【００１４】
上記の乾燥装置において、試料の乾燥条件に関する指示を受け付ける受付部を、更に備え、前記調整部は、前記加熱槽、前記冷却槽及び前記筐体の各々の内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、前記各々の内部を大気圧未満の圧力に減圧する減圧部と、を含み、前記調整制御部は、前記受付部によって受け付けられた指示に基づいて、前記不活性ガス供給部及び前記減圧部を制御する、構成としてもよい。この態様では、受付部によって受け付けられた指示に基づいて、加熱槽、冷却槽及び筐体の内部の雰囲気を、不活性ガス雰囲気または減圧雰囲気に調整することができる。
【００１５】
上記の乾燥装置において、前記調整制御部は、前記加熱槽にて試料を不活性ガス雰囲気下加熱するべく前記不活性ガス供給部に前記加熱槽を不活性ガス雰囲気に調整させる第１加熱処理制御と、前記加熱槽にて試料を減圧雰囲気下加熱するべく前記減圧部に前記加熱槽を減圧雰囲気に調整させる第２加熱処理制御と、前記加熱槽での試料の加熱後に前記不活性ガス供給部に前記加熱槽を不活性ガス雰囲気に調整させる加熱後制御と、前記加熱後制御に連動し前記不活性ガス供給部に前記冷却槽を不活性ガス雰囲気に調整させる冷却制御と、前記加熱後制御に連動し前記不活性ガス供給部に前記筐体を不活性ガス雰囲気に調整させる筐体制御と、を実行可能に構成され、前記開閉弁制御部は、前記加熱後制御の実行中の期間であって、前記冷却制御の実行中であり且つ前記筐体制御の実行中の第１連通開閉弁制御期間には、前記連通開閉弁に前記連通路を開放させ、前記第１連通開閉弁制御期間以外の残余の第２連通開閉弁制御期間には、前記連通開閉弁に前記連通路を閉鎖させ、前記扉体は、前記第１連通開閉弁制御期間に開閉動作を行う、構成としてもよい。
【００１６】
この態様では、加熱槽、冷却槽及び筐体の各々の内部雰囲気を不活性ガス雰囲気とし、更に各々の内部の圧力差を小さくした上で、開閉構造体における扉体を移動させることができる。このため、筐体内における扉体の移動動作を、スムーズなものとすることができる。
【００１７】
上記の乾燥装置において、前記受付部は、試料を不活性ガス雰囲気下加熱させた後、減圧雰囲気下加熱させる第１指示を受け付ける第１指示受付部と、試料を不活性ガス雰囲気下加熱させる第２指示を受け付ける第２指示受付部と、試料を減圧雰囲気下加熱させる第３指示を受け付ける第３指示受付部と、を含む。前記調整制御部は、前記第１指示受付部が前記第１指示を受け付けた場合には、前記第１加熱処理制御、前記第２加熱処理制御、及び前記加熱後制御を順次実行し、前記第２指示受付部が前記第２指示を受け付けた場合には、前記第１加熱処理制御、及び前記加熱後制御を順次実行し、前記第３指示受付部が前記第３指示を受け付けた場合には、前記第２加熱処理制御、及び前記加熱後制御を順次実行する。この態様では、受付部の第１指示受付部、第２指示受付部及び第３指示受付部によって受け付けられた指示に応じた加熱処理を、加熱槽にて実施することができる。
【００１８】
上記の乾燥装置において、前記加熱槽の内部に循環気流を発生させる第１ファンと、前記冷却槽の内部に循環気流を発生させる第２ファンと、を更に備える、構成としてもよい。
【００１９】
この態様では、第１ファンによって加熱槽の内部に循環気流を発生させ、第２ファンによって冷却槽の内部に循環気流を発生させるので、当該循環気流によって加熱処理及び冷却処理の処理効率を高めることができる。
【００２０】
上記の乾燥装置において、前記調整部は、前記加熱槽、前記冷却槽及び前記筐体の各々の内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部を含み、前記調整制御部は、前記加熱槽にて試料を不活性ガス雰囲気下加熱するべく前記不活性ガス供給部に前記加熱槽を不活性ガス雰囲気に調整させる加熱処理制御と、前記不活性ガス供給部に前記冷却槽を不活性ガス雰囲気に調整させる冷却制御と、前記不活性ガス供給部に前記筐体を不活性ガス雰囲気に調整させる筐体制御と、を実行可能に構成される、構成としてもよい。この態様では、加熱槽にて試料に不活性ガス雰囲気下加熱処理を施した後、冷却槽にて試料に冷却処理を施すことが可能な構成とすることができる。
【００２１】
上記の乾燥装置において、前記調整部は、前記加熱槽、前記冷却槽及び前記筐体の各々の内部を大気圧未満の圧力に減圧する減圧部を含み、前記調整制御部は、前記加熱槽にて試料を減圧雰囲気下加熱するべく前記減圧部に前記加熱槽を減圧雰囲気に調整させる加熱処理制御と、前記減圧部に前記冷却槽を減圧雰囲気に調整させる冷却制御と、前記減圧部に前記筐体を減圧雰囲気に調整させる筐体制御と、を実行可能に構成される、構成としてもよい。この態様では、加熱槽にて試料に減圧雰囲気下加熱処理を施した後、冷却槽にて試料に冷却処理を施すことが可能な構成とすることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、液体成分を含有する試料を乾燥するための乾燥装置において、高い乾燥効率を達成しつつ装置の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態に係る乾燥装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】乾燥装置のブロック図である。
【図３】開閉構造体の構成を示す図である。
【図４Ａ】乾燥装置における乾燥処理動作の第１例を示す工程図である。
【図４Ｂ】乾燥装置における乾燥処理動作の第１例を示す工程図である。
【図４Ｃ】乾燥装置における乾燥処理動作の第１例を示す工程図である。
【図５】乾燥装置における乾燥処理動作の第２例を示す工程図である。
【図６】乾燥装置における乾燥処理動作の第３例を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の一実施形態に係る乾燥装置について図面に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る乾燥装置１の構成を概略的に示す図である。図２は、乾燥装置１のブロック図である。本実施形態に係る乾燥装置１は、液体成分を含有する試料を乾燥するための装置である。まず、乾燥対象物の試料について説明する。
【００２５】
試料としては、リチウムイオン二次電池の電極として用いられる、ペースト状の電極材が塗布された金属箔の積層体が例示される。リチウムイオン二次電池の正極は、金属箔からなる集電体に正極活物質を含む正極活物質層が形成されたものである。正極は、集電体としての金属箔にペースト状の正極用電極材を塗布し、圧延等を行うことにより得られる。正極の集電体を構成する金属箔としては、アルミニウム、ステンレス、ニッケル、チタン及びその合金が挙げられる。また、正極の集電体を構成する金属箔に塗布される正極用電極材には、少なくとも正極活物質、導電助剤、結着剤及び分散剤が含まれる。分散剤としては、有機系結着剤の場合はＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）が好適であり、水系結着剤の場合は水又は温水等が好適である。すなわち、正極用電極材には、ＮＭＰ等の有機溶媒または水が含まれている。
【００２６】
リチウムイオン二次電池の負極は、金属箔からなる集電体に負極活物質を含む負極活物質層が形成されたものである。負極は、集電体としての金属箔にペースト状の負極用電極材を塗布し、圧延等を行うことにより得られる。負極の集電体を構成する金属箔としては、銅及びその合金が挙げられる。また、負極の集電体を構成する金属箔に塗布される負極用電極材には、少なくとも負極活物質、結着剤及び分散剤が含まれる。分散剤としては、有機系結着剤の場合はＮＭＰが好適であり、水系結着剤の場合は水又は温水等が好適である。すなわち、負極用電極材には、ＮＭＰ等の有機溶媒または水が含まれている。
【００２７】
上記のようなペースト状の電極材が塗布された金属箔の積層体には、有機溶媒や水等の液体成分が含まれている。これらの液体成分は、リチウムイオン二次電池の電池性能に影響を及ぼすため、液体成分が残存しないように乾燥処理を施す必要がある。乾燥対象物の試料としての金属箔積層体は、ペースト状の電極材が塗布された金属箔がロール状に巻回された状態のもの、或いは、ペースト状の電極材が塗布された金属箔が厚み方向に積層された状態のものである。
【００２８】
図１及び図２を参照し説明すると、乾燥装置１は、加熱槽１１と、冷却槽１２と、調整部１３と、開閉構造体１４と、搬入扉体１５と、搬出扉体１６と、連通管１７と、搬送部１８と、第１ファン１９と、第２ファン２０と、操作部２１と、記憶部２２と、計時部２３と、制御部２４と、を備える。乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に加熱処理を施した後、搬送部１８により試料を搬送方向Ｈに搬送して加熱槽１１から冷却槽１２へと移動させ、次いで冷却槽１２にて試料に冷却処理を施すように構成されている。
【００２９】
加熱槽１１は、試料を加熱するための加熱空間を画定する。この加熱槽１１は、箱状に形成され、搬送方向Ｈの両端に開口部を有する。加熱槽１１において、搬送方向Ｈの上流側端部に、試料を加熱槽１１内に搬入するための開口となる搬入開口部１１２が形成されている。また、加熱槽１１において、搬送方向Ｈの下流側端部に、開閉構造体１４を介して冷却槽１２と対向した第１開口部１１１が形成されている。加熱槽１１は、加熱槽１１内に収容された試料に加熱処理を施すことができるように、ヒータ等からなる加熱部１１３によって加熱される。加熱部１１３によって加熱された加熱槽１１の槽内設定温度は、例えば１２０℃〜２００℃の範囲とされる。
【００３０】
冷却槽１２は、加熱槽１１に対して搬送方向Ｈの下流側に配置され、加熱槽１１にて加熱された試料を冷却するための冷却空間を画定する。この冷却槽１２は、箱状に形成され、搬送方向Ｈの両端に開口部を有する。冷却槽１２において、搬送方向Ｈの上流側端部に、開閉構造体１４を介して加熱槽１１の第１開口部１１１と対向した第２開口部１２１が形成されている。また、冷却槽１２において、搬送方向Ｈの下流側端部に、試料を冷却槽１２外に搬出するための開口となる搬出開口部１２２が形成されている。冷却槽１２は、冷却槽１２内に収容された試料に冷却処理を施すことができるように、冷凍機の蒸発器等からなる冷却部１２３によって冷却される。冷却部１２３によって冷却された冷却槽１２の槽内設定温度は、例えば１℃程度とされる。
【００３１】
開閉構造体１４は、加熱槽１１と冷却槽１２との間に配設され、加熱槽１１の第１開口部１１１と冷却槽１２の第２開口部１２１とを開閉するための構造体である。加熱槽１１と冷却槽１２とを仕切る構成として、加熱槽１１と冷却槽１２との間にダンパーを配設する構成が考えられるが、このような構成では装置が大型化してしまう。そこで、本実施形態に係る乾燥装置１では、装置の小型化が可能なように、加熱槽１１と冷却槽１２との間に開閉構造体１４を配設する構成としている。開閉構造体１４は、第１開口部１１１及び第２開口部１２１を開閉する機能のみならず、第１開口部１１１及び第２開口部１２１を閉鎖した状態において、加熱槽１１及び冷却槽１２の気密性を保持する機能を有する必要がある。開閉構造体１４における加熱槽１１及び冷却槽１２の気密性を保持する機能によって、加熱槽１１及び冷却槽１２の温度を所定の前記槽内設定温度に保持することができるとともに、加熱槽１１及び冷却槽１２の内部の雰囲気と圧力を所望の一定の雰囲気と圧力に保持することができる。図３を参照して開閉構造体１４の具体的な構成について説明する。図３は、開閉構造体１４の構成を示す図である。開閉構造体１４は、筐体１４１と、第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂからなる中間扉体１４２と、駆動部材１４３と、駆動モーター１４５とを含む。
【００３２】
開閉構造体１４において、筐体１４１は、加熱槽１１の第１開口部１１１と冷却槽１２の第２開口部１２１とを連結する部分であり、加熱槽１１及び冷却槽１２よりも搬送方向Ｈと交差する第１方向の一方側に延設される一方側延設領域と、加熱槽１１及び冷却槽１２よりも前記一方側とは反対の他方側に延設される他方側延設領域とを有する。本実施形態では、前記第１方向は上下方向に一致し、筐体１４１において、一方側延設領域は、加熱槽１１及び冷却槽１２の天面部よりも上方側に延設される領域であり、他方側延設領域は、加熱槽１１及び冷却槽１２の底面部よりも下方側に延設される領域である。筐体１４１において、搬送方向Ｈの上流側の側壁には、加熱槽１１の第１開口部１１１に臨む領域部分に枠状の第１フランジ部１１１Ａが設けられている。また、筐体１４１において、搬送方向Ｈの下流側の側壁には、冷却槽１２の第２開口部１２１に臨む領域部分に枠状の第２フランジ部１２１Ａが設けられている。第１フランジ部１１１Ａに第１開口部１１１が接続されることによって筐体１４１と加熱槽１１とが連結され、第２フランジ部１２１Ａに第２開口部１２１が接続されることによって筐体１４１と冷却槽１２とが連結される。
【００３３】
開閉構造体１４において、駆動モーター１４５は、筐体１４１内における一方側延設領域の一端部に配設されるモーター載置板１４６上に載置される。駆動モーター１４５は、前記第１方向（上下方向）に延びる軸部１４５Ａを有する。駆動モーター１４５が通電操作されると、軸部１４５Ａが軸心回りに正逆両方向に回転するようになっている。この軸部１４５Ａには、駆動部材１４３が前記第１方向（上下方向）に移動可能に取り付けられている。駆動部材１４３は、軸部１４５Ａが正方向（例えば、時計回りの方向）に回転すると、その回転に連動して一方向（上方向）に移動し、軸部１４５Ａが逆方向（例えば、反時計回りの方向）に回転すると、その回転に連動して他方向（下方向）に移動する。このような駆動部材１４３の駆動機構は、例えば、ボールねじ機構により実現することができる。具体的には、ボールねじ機構は、軸部１４５Ａがボールねじ軸であり、当該ボールねじ軸に螺合されたボールナットに駆動部材１４３が固定された構成である。ボールねじ機構では、駆動モーター１４５が通電操作されると、ボールねじ軸となる軸部１４５Ａに沿ってボールナットが進退し、これにより、ボールナットに固定された駆動部材１４３が前記第１方向（上下方向）に移動する。
【００３４】
開閉構造体１４において、第１扉体１４２Ａは、板状に形成され、駆動部材１４３における搬送方向Ｈの上流側の側面部に第１連結部材１４３Ａを介して取り付けられている。第１扉体１４２Ａは、駆動部材１４３の前記第１方向（上下方向）の移動に連動して前記第１方向（上下方向）に移動することにより、加熱槽１１の第１開口部１１１を開閉する。また、第１扉体１４２Ａは、駆動部材１４３の一方向（上方向）への移動に連動して第１開口部１１１から離間する方向（搬送方向Ｈ）に移動可能であり、駆動部材１４３の他方向（下方向）への移動に連動して第１開口部１１１に近接する方向（搬送方向Ｈとは逆方向）に移動可能である。このような第１扉体１４２Ａの第１開口部１１１に対する近接または離間する方向への移動は、筐体１４１内における他方側延設領域の端部に配設される第１ローラ部材１４７Ａにより案内される。更に、第１扉体１４２Ａの外周端縁部には、第１シール部材１４４Ａが取り付けられている。
【００３５】
第１扉体１４２Ａは、筐体１４１内における一方側延設領域に配置された最上位置から、駆動部材１４３の他方向（下方向）への移動に連動して、端面（下端面）が第１ローラ部材１４７Ａに当接する最下位置まで他方向（下方向）に移動し、その後、第１ローラ部材１４７Ａに案内されて第１開口部１１１に近接する方向に移動する。これにより、第１扉体１４２Ａは、第１シール部材１４４Ａを介して第１フランジ部１１１Ａに当接し、第１開口部１１１を閉鎖する。このように、第１扉体１４２Ａが第１シール部材１４４Ａを介して第１フランジ部１１１Ａに当接することにより第１開口部１１１を閉鎖するので、第１扉体１４２Ａが第１開口部１１１を閉鎖した状態において、加熱槽１１の気密性を保持することができる。また、第１扉体１４２Ａの第１開口部１１１に対する近接する方向への移動は、第１扉体１４２Ａが第１ローラ部材１４７Ａに当接する最下位置まで他方向（下方向）に移動した後に行われる。すなわち、第１扉体１４２Ａは、最下位置まで移動するときには、第１開口部１１１から搬送方向Ｈに離間した状態となっている。これにより、第１扉体１４２Ａの最下位置までの移動はスムーズなものとなる。また、第１扉体１４２Ａは、第１開口部１１１を閉鎖した状態から、駆動部材１４３の一方向（上方向）への移動に連動して、第１ローラ部材１４７Ａに案内されて第１開口部１１１から離間する方向に移動し、その後、筐体１４１内における一方側延設領域に配置される最上位置まで一方向（上方向）に移動する。これにより、第１扉体１４２Ａは、第１開口部１１１を開放する。第１扉体１４２Ａの最上位置までの一方向（上方向）への移動は、第１扉体１４２Ａが第１開口部１１１から離間する方向に移動した後に行われる。すなわち、第１扉体１４２Ａは、最上位置まで移動するときには、第１開口部１１１から搬送方向Ｈに離間した状態となっている。これにより、第１扉体１４２Ａの最上位置までの移動はスムーズなものとなる。
【００３６】
開閉構造体１４において、第２扉体１４２Ｂは、板状に形成され、駆動部材１４３における搬送方向Ｈの下流側の側面部に第２連結部材１４３Ｂを介して取り付けられている。第２扉体１４２Ｂは、駆動部材１４３の前記第１方向（上下方向）の移動に連動して前記第１方向（上下方向）に移動することにより、冷却槽１２の第２開口部１２１を開閉する。また、第２扉体１４２Ｂは、駆動部材１４３の一方向（上方向）への移動に連動して第２開口部１２１から離間する方向（搬送方向Ｈとは逆方向）に移動可能であり、駆動部材１４３の他方向（下方向）への移動に連動して第２開口部１２１に近接する方向（搬送方向Ｈ）に移動可能である。このような第２扉体１４２Ｂの第２開口部１２１に対する近接または離間する方向への移動は、筐体１４１内における他方側延設領域の端部に配設される第２ローラ部材１４７Ｂにより案内される。更に、第２扉体１４２Ｂの外周端縁部には、第２シール部材１４４Ｂが取り付けられている。
【００３７】
第２扉体１４２Ｂは、筐体１４１内における一方側延設領域に配置された最上位置から、駆動部材１４３の他方向（下方向）への移動に連動して、端面（下端面）が第２ローラ部材１４７Ｂに当接する最下位置まで他方向（下方向）に移動し、その後、第２ローラ部材１４７Ｂに案内されて第２開口部１２１に近接する方向に移動する。これにより、第２扉体１４２Ｂは、第２シール部材１４４Ｂを介して第２フランジ部１２１Ａに当接し、第２開口部１２１を閉鎖する。このように、第２扉体１４２Ｂが第２シール部材１４４Ｂを介して第２フランジ部１２１Ａに当接することにより第２開口部１２１を閉鎖するので、第２扉体１４２Ｂが第２開口部１２１を閉鎖した状態において、冷却槽１２の気密性を保持することができる。また、第２扉体１４２Ｂの第２開口部１２１に対する近接する方向への移動は、第２扉体１４２Ｂが第２ローラ部材１４７Ｂに当接する最下位置まで他方向（下方向）に移動した後に行われる。すなわち、第２扉体１４２Ｂは、最下位置まで移動するときには、第２開口部１２１から搬送方向Ｈとは逆方向に離間した状態となっている。これにより、第２扉体１４２Ｂの最下位置までの移動はスムーズなものとなる。また、第２扉体１４２Ｂは、第２開口部１２１を閉鎖した状態から、駆動部材１４３の一方向（上方向）への移動に連動して、第２ローラ部材１４７Ｂに案内されて第２開口部１２１から離間する方向に移動し、その後、筐体１４１内における一方側延設領域に配置される最上位置まで一方向（上方向）に移動する。これにより、第２扉体１４２Ｂは、第２開口部１２１を開放する。第２扉体１４２Ｂの最上位置までの一方向（上方向）への移動は、第２扉体１４２Ｂが第２開口部１２１から離間する方向に移動した後に行われる。すなわち、第２扉体１４２Ｂは、最上位置まで移動するときには、第２開口部１２１から搬送方向Ｈとは逆方向に離間した状態となっている。これにより、第２扉体１４２Ｂの最上位置までの移動はスムーズなものとなる。なお、開閉構造体１４において、第１扉体１４２Ａと第２扉体１４２Ｂとは、一体的に設けられていてもよい。
【００３８】
図１及び図２を参照し説明すると、搬入扉体１５は、加熱槽１１の搬入開口部１１２を開閉可能に構成される。搬入扉体１５は、搬送部１８によって試料が加熱槽１１内に搬入される試料搬入期間には搬入開口部１１２を開放し、試料搬入期間以外の残余の期間には搬入開口部１１２を閉鎖する。また、搬出扉体１６は、冷却槽１２の搬出開口部１２２を開閉可能に構成される。搬出扉体１６は、搬送部１８によって試料が冷却槽１２から搬出される試料搬出期間には搬出開口部１２２を開放し、試料搬出期間以外の残余の期間には搬出開口部１２２を閉鎖する。
【００３９】
連通管１７は、加熱槽１１、冷却槽１２及び開閉構造体１４の筐体１４１をそれぞれ連通させるための連通路を形成する配管である。この連通管１７には、連通路を開閉する連通開閉弁１７１が設けられている。
【００４０】
搬送部１８は、開閉構造体１４を介して加熱槽１１から冷却槽１２へと試料を搬送方向Ｈに搬送する。また、搬送部１８は、搬入扉体１５を介して装置外部から加熱槽１１へと試料を搬送するとともに、搬出扉体１６を介して冷却槽１２から装置外部へと試料を搬送する。
【００４１】
調整部１３は、加熱槽１１、冷却槽１２及び開閉構造体１４の筐体１４１の各々の内部雰囲気を調整する。調整部１３は、不活性ガス供給部１３１と、減圧部１３２と、乾燥空気供給部１３３とを含む。
【００４２】
不活性ガス供給部１３１は、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部に不活性ガス（例えば、窒素ガス）を供給する。不活性ガス供給部１３１は、不活性ガスを貯留する不活性ガス供給源１３１Ａと、第１不活性ガス供給配管１３１Ｂと、第２不活性ガス供給配管１３１Ｄと、第３不活性ガス供給配管１３１Ｆと、を含む。第１不活性ガス供給配管１３１Ｂは、不活性ガス供給源１３１Ａと加熱槽１１との間に接続される配管である。この第１不活性ガス供給配管１３１Ｂには、管路を開閉する第１不活性ガス供給開閉弁１３１Ｃが設けられている。第１不活性ガス供給開閉弁１３１Ｃが管路を開放した状態で、不活性ガス供給源１３１Ａから流出した不活性ガスが、第１不活性ガス供給配管１３１Ｂ内を流れ、加熱槽１１内に供給される。また、第１不活性ガス供給開閉弁１３１Ｃが管路を閉鎖した状態では、不活性ガスの加熱槽１１への供給が停止される。
【００４３】
第２不活性ガス供給配管１３１Ｄは、不活性ガス供給源１３１Ａと冷却槽１２との間に接続される配管である。この第２不活性ガス供給配管１３１Ｄには、管路を開閉する第２不活性ガス供給開閉弁１３１Ｅが設けられている。第２不活性ガス供給開閉弁１３１Ｅが管路を開放した状態で、不活性ガス供給源１３１Ａから流出した不活性ガスが、第２不活性ガス供給配管１３１Ｄ内を流れ、冷却槽１２内に供給される。また、第２不活性ガス供給開閉弁１３１Ｅが管路を閉鎖した状態では、不活性ガスの冷却槽１２への供給が停止される。
【００４４】
第３不活性ガス供給配管１３１Ｆは、不活性ガス供給源１３１Ａと筐体１４１との間に接続される配管である。この第３不活性ガス供給配管１３１Ｆには、管路を開閉する第３不活性ガス供給開閉弁１３１Ｇが設けられている。第３不活性ガス供給開閉弁１３１Ｇが管路を開放した状態で、不活性ガス供給源１３１Ａから流出した不活性ガスが、第３不活性ガス供給配管１３１Ｆ内を流れ、筐体１４１内に供給される。また、第３不活性ガス供給開閉弁１３１Ｇが管路を閉鎖した状態では、不活性ガスの筐体１４１への供給が停止される。
【００４５】
減圧部１３２は、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部を大気圧未満の圧力（例えば、６Ｐａ以下）に減圧する。減圧部１３２は、減圧源となる真空ポンプ１３２Ａと、真空ポンプ１３２Ａに接続された第１真空配管１３２Ｂと、第１真空配管１３２Ｂから分岐した第２真空配管１３２Ｃ、第３真空配管１３２Ｄ及び第４真空配管１３２Ｅと、を含む。第２真空配管１３２Ｃの一端は第１真空配管１３２Ｂに接続され、他端は加熱槽１１に接続されている。第３真空配管１３２Ｄの一端は第１真空配管１３２Ｂに接続され、他端は冷却槽１２に接続されている。第４真空配管１３２Ｅの一端は第１真空配管１３２Ｂに接続され、他端は筐体１４１に接続されている。
【００４６】
乾燥空気供給部１３３は、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部に乾燥空気を供給する。乾燥空気供給部１３３は、乾燥空気を貯留する乾燥空気供給源１３３Ａと、第１乾燥空気供給配管１３３Ｂと、第２乾燥空気供給配管１３３Ｄと、を含む。第１乾燥空気供給配管１３３Ｂは、乾燥空気供給源１３３Ａと加熱槽１１との間に接続される配管である。この第１乾燥空気供給配管１３３Ｂには、管路を開閉する第１乾燥空気供給開閉弁１３３Ｃが設けられている。第１乾燥空気供給開閉弁１３３Ｃが管路を開放した状態で、乾燥空気供給源１３３Ａから流出した乾燥空気が、第１乾燥空気供給配管１３３Ｂ内を流れ、加熱槽１１内に供給される。また、第１乾燥空気供給開閉弁１３３Ｃが管路を閉鎖した状態では、乾燥空気の加熱槽１１への供給が停止される。
【００４７】
第２乾燥空気供給配管１３３Ｄは、乾燥空気供給源１３３Ａと冷却槽１２との間に接続される配管である。この第２乾燥空気供給配管１３３Ｄには、管路を開閉する第２乾燥空気供給開閉弁１３３Ｅが設けられている。第２乾燥空気供給開閉弁１３３Ｅが管路を開放した状態で、乾燥空気供給源１３３Ａから流出した乾燥空気が、第２乾燥空気供給配管１３３Ｄ内を流れ、冷却槽１２内に供給される。また、第２乾燥空気供給開閉弁１３３Ｅが管路を閉鎖した状態では、乾燥空気の冷却槽１２への供給が停止される。
【００４８】
第１ファン１９は、加熱槽１１に設けられ、加熱槽１１の内部に循環気流を発生させるファンである。また、第２ファン２０は、冷却槽１２に設けられ、冷却槽１２の内部に循環気流を発生させるファンである。
【００４９】
操作部２１は、試料の乾燥条件に関する指示がユーザーによって入力される部分である。操作部２１は、例えばタッチパネルによって実現される。操作部２１は、試料の乾燥条件に関し、第１指示、第２指示、及び第３指示が入力可能とされる。第１指示は、試料を不活性ガス雰囲気下加熱させた後、減圧雰囲気下加熱させ、次いで不活性ガス雰囲気下冷却させる指示である。第２指示は、試料を不活性ガス雰囲気下加熱させ、次いで不活性ガス雰囲気下冷却させる指示である。第３指示は、試料を減圧雰囲気下加熱させ、次いで不活性ガス雰囲気下冷却させる指示である。
【００５０】
記憶部２２は、乾燥装置１における乾燥条件に関する情報を記憶する部分である。記憶部２２は、加熱槽１１にて試料の不活性ガス雰囲気下での加熱処理が行われたときに、試料の中心部の温度が目標加熱温度（例えば、１２０℃）に到達するまでの加熱処理時間を表す、「第１設定加熱時間」を、予め記憶する。第１設定加熱時間は、実験的に予め求められた加熱時間であり、例えば２４０分間である。また、記憶部２２は、試料の中心部の温度が目標加熱温度に到達してから、当該目標加熱温度にて不活性ガス雰囲気下での加熱処理を継続すべき加熱処理時間を表す、「第２設定加熱時間」を、予め記憶する。第２設定加熱時間は、実験的に予め求められた加熱時間であり、例えば６０分間である。また、記憶部２２は、不活性ガス雰囲気下での加熱処理の終了時点から、前記目標加熱温度にて減圧雰囲気下での加熱処理を実施すべき加熱処理時間を表す、「第３設定加熱時間」を、予め記憶する。第３設定加熱時間は、実験的に予め求められた加熱時間であり、例えば６０分間である。また、記憶部２２は、冷却槽１２にて試料の不活性ガス雰囲気下での冷却処理が行われたときに、試料の中心部の温度が目標冷却温度（例えば、６０℃）に到達するまでの冷却処理時間を表す、「設定冷却時間」を、予め記憶する。設定冷却時間は、実験的に予め求められた加熱時間であり、例えば１８０分間である。
【００５１】
計時部２３は、加熱槽１１にて実施される加熱処理の経過時間や、冷却槽１２にて実施される冷却処理の経過時間などを計時する。
【００５２】
制御部２４は、乾燥装置１における試料の乾燥動作を制御する。制御部２４は、例えば制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）や一時的にデータを記憶するフラッシュメモリ等の記憶装置が内蔵されたマイクロコンピュータからなり、前記制御プログラムが読み出されることにより、乾燥動作を制御する。制御部２４は、受付部２４１と、調整制御部２４２と、開閉構造体制御部２４３と、搬入扉体制御部２４４と、搬出扉体制御部２４５と、開閉弁制御部２４６と、搬送制御部２４７と、ファン制御部２４８と、を含む。
【００５３】
受付部２４１は、操作部２１によって入力された、試料の乾燥条件に関する指示を受け付ける。受付部２４１は、第１指示受付部２４１Ａと、第２指示受付部２４１Ｂと、第３指示受付部２４１Ｃとを含む。第１指示受付部２４１Ａは、操作部２１によって入力された前記第１指示を受け付ける。第２指示受付部２４１Ｂは、操作部２１によって入力された前記第２指示を受け付ける。第３指示受付部２４１Ｃは、操作部２１によって入力された前記第３指示を受け付ける。なお、制御部２４が乾燥動作を制御するときに用いられる制御プログラムに、受付部２４１の機能が書き込まれていてもよい。この場合には、操作部２１によって入力された指示に基づいて制御プログラムが実行され、これにより、受付部２４１の機能が果たされる。
【００５４】
調整制御部２４２は、受付部２４１によって受け付けられた指示に基づいて、調整部１３を制御する。調整制御部２４２は、加熱制御部２４２Ａと、冷却制御部２４２Ｂと、筐体制御部２４２Ｃとを含む。加熱制御部２４２Ａは、調整部１３の不活性ガス供給部１３１、減圧部１３２及び乾燥空気供給部１３３を制御することにより、加熱槽１１の内部雰囲気を調整させる。また、加熱制御部２４２Ａは、加熱部１１３を制御することにより、加熱槽１１を加熱させる。加熱制御部２４２Ａは、試料受入制御、加熱前制御、第１加熱処理制御、第２加熱処理制御、及び加熱後制御を、実行可能に構成されている。加熱制御部２４２Ａが実行する試料受入制御は、加熱槽１１への試料の受入時に、乾燥空気供給部１３３に加熱槽１１を乾燥空気雰囲気に調整させる制御である。加熱制御部２４２Ａが実行する加熱前制御は、加熱槽１１での試料の加熱前に、減圧部１３２に加熱槽１１を減圧雰囲気に調整させる制御である。加熱制御部２４２Ａが実行する第１加熱処理制御は、加熱槽１１にて試料を不活性ガス雰囲気下加熱するべく不活性ガス供給部１３１に加熱槽１１を不活性ガス雰囲気に調整させる制御である。加熱制御部２４２Ａが実行する第２加熱処理制御は、加熱槽１１にて試料を減圧雰囲気下加熱するべく減圧部１３２に加熱槽１１を減圧雰囲気に調整させる制御である。加熱制御部２４２Ａが実行する加熱後制御は、加熱槽１１での試料の加熱後に不活性ガス供給部１３１に加熱槽１１を不活性ガス雰囲気に調整させる制御である。なお、加熱槽１１内における減圧雰囲気とは、加熱槽１１内が減圧状態（真空状態）であることを示す。また、加熱槽１１内における不活性ガス雰囲気とは、加熱槽１１内に不活性ガスが充填された状態を示す。
【００５５】
冷却制御部２４２Ｂは、調整部１３の不活性ガス供給部１３１、減圧部１３２及び乾燥空気供給部１３３を制御することにより、冷却槽１２の内部雰囲気を調整させる。また、冷却制御部２４２Ｂは、冷却部１２３を制御することにより、冷却槽１２を冷却させる。冷却制御部２４２Ｂは、第１冷却前制御、第２冷却前制御、冷却処理制御、及び試料払出制御を、実行可能に構成されている。冷却制御部２４２Ｂが実行する第１冷却前制御は、冷却槽１２での試料の冷却前に、減圧部１３２に冷却槽１２を減圧雰囲気に調整させる制御である。冷却制御部２４２Ｂが実行する第２冷却前制御は、第１冷却前制御に引き続いて冷却槽１２での試料の冷却前に行われる制御であり、加熱制御部２４２Ａの加熱後制御に連動し、不活性ガス供給部１３１に冷却槽１２を不活性ガス雰囲気に調整させる制御である。冷却制御部２４２Ｂが実行する冷却処理制御は、冷却槽１２にて試料を不活性ガス雰囲気下冷却するべく不活性ガス供給部１３１に冷却槽１２を不活性ガス雰囲気に調整させる制御である。冷却制御部２４２Ｂが実行する試料払出制御は、冷却槽１２からの試料の払出時に、乾燥空気供給部１３３に冷却槽１２を乾燥空気雰囲気に調整させる制御である。なお、冷却槽１２内における減圧雰囲気とは、冷却槽１２内が減圧状態（真空状態）であることを示す。また、冷却槽１２内における不活性ガス雰囲気とは、冷却槽１２内に不活性ガスが充填された状態を示す。
【００５６】
筐体制御部２４２Ｃは、調整部１３の不活性ガス供給部１３１及び減圧部１３２を制御することにより、筐体１４１の内部雰囲気を調整させる。筐体制御部２４２Ｃは、第１筐体制御及び第２筐体制御を、実行可能に構成されている。筐体制御部２４２Ｃが実行する第１筐体制御は、冷却制御部２４２Ｂの第１冷却前制御に連動し、減圧部１３２に筐体１４１を減圧雰囲気に調整させる制御である。筐体制御部２４２Ｃが実行する第２筐体制御は、冷却制御部２４２Ｂの第２冷却前制御に連動し、不活性ガス供給部１３１に筐体１４１を不活性ガス雰囲気に調整させる制御である。なお、筐体１４１内における減圧雰囲気とは、筐体１４１内が減圧状態（真空状態）であることを示す。また、筐体１４１内における不活性ガス雰囲気とは、筐体１４１内に不活性ガスが充填された状態を示す。
【００５７】
ファン制御部２４８は、加熱制御部２４２Ａ及び冷却制御部２４２Ｂによって制御された不活性ガス供給部１３１の動作に応じて、第１ファン１９及び第２ファン２０を制御する。具体的には、ファン制御部２４８は、加熱制御部２４２Ａによる第１加熱処理制御の実行中に第１ファン１９を動作させるとともに、冷却制御部２４２Ｂによる冷却処理制御の実行中に第２ファン２０を動作させる。
【００５８】
開閉弁制御部２４６は、加熱制御部２４２Ａ、冷却制御部２４２Ｂ及び筐体制御部２４２Ｃの各々によって制御された不活性ガス供給部１３１及び減圧部１３２の動作に応じて、連通管１７に付設された連通開閉弁１７１を制御する。具体的には、開閉弁制御部２４６は、加熱制御部２４２Ａによる加熱後制御の実行中の期間であって、冷却制御部２４２Ｂによる第２冷却前制御の実行中であり且つ筐体制御部２４２Ｃによる第２筐体制御の実行中の第１連通開閉弁制御期間には、連通開閉弁１７１に連通管１７の連通路を開放させ、前記第１連通開閉弁制御期間以外の残余の第２連通開閉弁制御期間には、連通開閉弁１７１に連通管１７の連通路を閉鎖させる。
【００５９】
開閉構造体制御部２４３は、調整制御部２４２によって制御された調整部１３の動作に応じて、開閉構造体１４を制御する。具体的には、開閉構造体制御部２４３は、加熱制御部２４２Ａ、冷却制御部２４２Ｂ及び筐体制御部２４２Ｃの各々によって制御された不活性ガス供給部１３１及び減圧部１３２の動作に応じて、第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂの移動を制御する。開閉構造体制御部２４３は、開閉弁制御部２４６による前記第１連通開閉弁制御期間内の、所定の第１扉制御期間には、第１扉体１４２Ａに加熱槽１１の第１開口部１１１を開放させるとともに、第２扉体１４２Ｂに冷却槽１２の第２開口部１２１を開放させる。また、開閉構造体制御部２４３は、開閉弁制御部２４６による前記第１扉制御期間以外の残余の第２扉制御期間には、第１扉体１４２Ａに加熱槽１１の第１開口部１１１を閉鎖させるとともに、第２扉体１４２Ｂに冷却槽１２の第２開口部１２１を閉鎖させる。
【００６０】
搬入扉体制御部２４４は、加熱制御部２４２Ａによって制御された乾燥空気供給部１３３の動作に応じて、搬入扉体１５の開閉動作を制御する。具体的には、搬入扉体制御部２４４は、加熱制御部２４２Ａによる試料受入制御の実行中の第１試料受入制御期間には、搬入扉体１５に加熱槽１１の搬入開口部１１２を開放させ、前記第１試料受入制御期間以外の残余の第２試料受入制御期間には、搬入扉体１５に加熱槽１１の搬入開口部１１２を閉鎖させる。
【００６１】
搬出扉体制御部２４５は、冷却制御部２４２Ｂによって制御された乾燥空気供給部１３３の動作に応じて、搬出扉体１６の開閉動作を制御する。具体的には、搬出扉体制御部２４５は、冷却制御部２４２Ｂによる試料払出制御の実行中の第１試料払出制御期間には、搬出扉体１６に冷却槽１２の搬出開口部１２２を開放させ、前記第１試料払出制御期間以外の残余の第２試料払出制御期間には、搬出扉体１６に冷却槽１２の搬出開口部１２２を閉鎖させる。
【００６２】
搬送制御部２４７は、搬送部１８による試料の搬送動作を制御する。搬送制御部２４７は、搬入扉体制御部２４４によって制御された搬入扉体１５が加熱槽１１の搬入開口部１１２を開放させた状態で、搬送部１８に試料を加熱槽１１へ搬入させる。具体的には、搬送制御部２４７は、搬入扉体制御部２４４による前記第１試料受入制御期間内に、搬送部１８に試料を加熱槽１１へ搬入させる。また、搬送制御部２４７は、開閉構造体制御部２４３によって制御された第１扉体１４２Ａが加熱槽１１の第１開口部１１１を開放させ、且つ第２扉体１４２Ｂが冷却槽１２の第２開口部１２１を開放させた状態で、搬送部１８に加熱槽１１から冷却槽１２へと試料を搬送させる。具体的には、搬送制御部２４７は、開閉構造体制御部２４３による前記第１扉制御期間内に、搬送部１８に加熱槽１１から冷却槽１２へと試料を搬送させる。また、搬送制御部２４７は、搬出扉体制御部２４５によって制御された搬出扉体１６が冷却槽１２の搬出開口部１２２を開放させた状態で、搬送部１８に試料を冷却槽１２から搬出させる。具体的には、搬送制御部２４７は、搬出扉体制御部２４５による前記第１試料払出制御期間内に、搬送部１８に試料を冷却槽１２から搬出させる。
【００６３】
次に、乾燥装置１における乾燥処理動作について説明する。図４Ａ、図４Ｂ及び図４Ｃは、乾燥装置１における乾燥処理動作の第１例を示す工程図である。図４Ａ、図４Ｂ及び図４Ｃに示す第１例の乾燥処理動作は、試料を不活性ガス雰囲気下加熱させた後、減圧雰囲気下加熱させ、次いで不活性ガス雰囲気下冷却させる第１指示が、操作部２１によって入力された場合の乾燥処理動作である。乾燥装置１は、開閉構造体１４の第１扉体１４２Ａが加熱槽１１の第１開口部１１１を閉鎖し、第２扉体１４２Ｂが冷却槽１２の第２開口部１２１を閉鎖し、搬入扉体１５が加熱槽１１の搬入開口部１１２を閉鎖し、搬出扉体１６が冷却槽１２の搬出開口部１２２を閉鎖した状態で、乾燥処理動作を開始する。また、加熱槽１１は加熱部１１３によって加熱され、槽内温度が１２０℃〜２００℃の範囲とされている。冷却槽１２は冷却部１２３によって冷却され、槽内温度が１℃程度とされている。
【００６４】
ステップａ１では、第１指示受付部２４１Ａが第１指示を受け付ける。第１指示が受け付けられると、ステップａ２において加熱制御部２４２Ａは、試料受入制御を実行する。この試料受入制御が実行されると、乾燥空気供給部１３３によって加熱槽１１に乾燥空気が供給される。加熱槽１１内の雰囲気が乾燥空気雰囲気にされると、ステップａ３において、搬入扉体制御部２４４により制御された搬入扉体１５が、加熱槽１１の搬入開口部１１２を開放する。搬入開口部１１２が開放されると、ステップａ４において、搬送制御部２４７により制御された搬送部１８が、加熱槽１１に試料を搬入する。搬送部１８により試料が加熱槽１１へ搬入されると、ステップａ５において、搬入扉体制御部２４４により制御された搬入扉体１５が、加熱槽１１の搬入開口部１１２を閉鎖する。
【００６５】
次に、ステップａ６では、加熱制御部２４２Ａは、加熱前制御を実行する。この加熱前制御が実行されると、減圧部１３２によって加熱槽１１内が減圧される。これにより、加熱槽１１内に存在した気体成分が加熱槽１１外へと排気される。次に、ステップａ７では、加熱制御部２４２Ａは、第１加熱処理制御を開始する。この第１加熱処理制御が開始されると、不活性ガス供給部１３１によって加熱槽１１に不活性ガスが供給される。なお、加熱制御部２４２Ａにより第１加熱処理制御が開始されると、計時部２３は計時を開始する。加熱槽１１に不活性ガスが供給されると、ステップａ８において、ファン制御部２４８により制御された第１ファン１９の動作が開始される。このような状態で、加熱槽１１にて試料の不活性ガス雰囲気下での加熱処理が実施される。
【００６６】
次に、ステップａ９では、制御部２４は、計時部２３によって計時された不活性ガス雰囲気下での加熱処理時間が、記憶部２２に記憶されている第１設定加熱時間を経過したか否かを判断する。第１設定加熱時間を経過したと判断した場合には計時部２３の計時をリセットした上でステップａ１０に進み、第１設定加熱時間を経過していないと判断した場合にはステップａ９を繰り返す。ステップａ１０では、制御部２４は、計時部２３によって計時された不活性ガス雰囲気下での加熱処理時間が、記憶部２２に記憶されている第２設定加熱時間を経過したか否かを判断する。第２設定加熱時間を経過したと判断した場合には計時部２３の計時をリセットした上でステップａ１１に進み、第２設定加熱時間を経過していないと判断した場合にはステップａ１０を繰り返す。なお、ステップａ９とステップａ１０は、合わせて１つのステップとしてもよい。この場合には、制御部２４は、第１設定加熱時間と第２設定加熱時間とを加算した合計時間を用いて、計時部２３によって計時された不活性ガス雰囲気下での加熱処理時間が当該合計時間を経過したか否かを判断する。ステップａ１１では、加熱制御部２４２Ａは、第１加熱処理制御を終了する。この第１加熱処理制御が終了されると、不活性ガス供給部１３１による加熱槽１１への不活性ガスの供給が停止される。加熱槽１１への不活性ガスの供給が停止されると、ステップａ１２において、ファン制御部２４８により制御された第１ファン１９の動作が停止される。
【００６７】
次に、ステップａ１３では、加熱制御部２４２Ａは、第２加熱処理制御を開始する。この第２加熱処理制御が開始されると、減圧部１３２によって加熱槽１１内が減圧される。なお、加熱制御部２４２Ａにより第２加熱処理制御が開始されると、計時部２３は計時を開始する。このような状態で、加熱槽１１にて試料の減圧雰囲気下での加熱処理が実施される。
【００６８】
次に、ステップａ１４では、制御部２４は、計時部２３によって計時された減圧雰囲気下での加熱処理時間が、記憶部２２に記憶されている第３設定加熱時間を経過したか否かを判断する。第３設定加熱時間を経過したと判断した場合にはステップａ１５に進み、第３設定加熱時間を経過していないと判断した場合にはステップａ１４を繰り返す。ステップａ１５では、加熱制御部２４２Ａは、第２加熱処理制御を終了する。この第２加熱処理制御が終了されると、減圧部１３２による加熱槽１１の減圧動作が停止される。
【００６９】
次に、ステップａ１６では、加熱制御部２４２Ａは、加熱後制御を開始する。この加熱後制御が開始されると、不活性ガス供給部１３１によって加熱槽１１に不活性ガスが供給される。加熱制御部２４２Ａによる加熱後制御に連動して、ステップａ１７において、冷却制御部２４２Ｂは、第１冷却前制御を実行する。この第１冷却前制御が実行されると、減圧部１３２によって冷却槽１２内が減圧される。これにより、冷却槽１２内に存在した気体成分が冷却槽１２外へと排気される。また、ステップａ１７では、筐体制御部２４２Ｃは、第１筐体制御を実行する。この第１筐体制御が実行されると、減圧部１３２によって開閉構造体１４の筐体１４１内が減圧される。これにより、筐体１４１内に存在した気体成分が筐体１４１外へと排気される。
【００７０】
次に、ステップａ１８では、冷却制御部２４２Ｂは、第２冷却前制御を実行する。この第２冷却前制御が実行されると、不活性ガス供給部１３１によって冷却槽１２内に不活性ガスが供給される。これにより、冷却槽１２の雰囲気が不活性ガス雰囲気となる。また、ステップａ１８では、筐体制御部２４２Ｃは、第２筐体制御を実行する。この第２筐体制御が実行されると、不活性ガス供給部１３１によって筐体１４１内に不活性ガスが供給される。これにより、筐体１４１の雰囲気が不活性ガス雰囲気となる。加熱槽１１に不活性ガスが供給される加熱後制御に連動して、ステップａ１８において、冷却槽１２及び筐体１４１に不活性ガスが供給されることにより、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部雰囲気の差を小さくすることができるとともに、各々の内部の圧力差を小さくすることができる。
【００７１】
次に、ステップａ１９では、開閉弁制御部２４６は、連通開閉弁１７１に連通管１７の連通路を開放させる。これにより、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部雰囲気の差をより小さくすることができるとともに、各々の内部の圧力差をより小さくすることができる。次に、ステップａ２０では、開閉構造体制御部２４３は、第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂからなる中間扉体１４２に、加熱槽１１の第１開口部１１１及び冷却槽１２の第２開口部１２１を開放させる。
【００７２】
ステップａ２０においては、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部の圧力差が小さくされた状態で、第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂによる第１開口部１１１及び第２開口部１２１を開放させる動作が行われる。このため、筐体１４１内における第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂの移動動作を、スムーズなものとすることができる。また、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部雰囲気が不活性ガス雰囲気とされた状態で、第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂによる第１開口部１１１及び第２開口部１２１を開放させる動作が行われる。このため、第１開口部１１１及び第２開口部１２１が開放されたときに、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部において不活性ガス濃度が変化することを抑止することができる。
【００７３】
更に、第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂの移動動作について詳細に説明すると、第１扉体１４２Ａが、第１シール部材１４４Ａを介して第１フランジ部１１１Ａに当接した状態から、第１開口部１１１から離間する方向へ移動するとき、並びに、第２扉体１４２Ｂが、第２シール部材１４４Ｂを介して第２フランジ部１２１Ａに当接した状態から、第２開口部１２１から離間する方向へ移動するときに、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部の圧力差が小さくされた状態となっている。これにより、第１扉体１４２Ａが第１開口部１１１から離間する方向へ移動し、第２扉体１４２Ｂが第２開口部１２１から離間する方向へ移動するときに、大きな応力が生じることを抑止することができる。このため、第１扉体１４２Ａに取り付けられた第１シール部材１４４Ａ、及び第２扉体１４２Ｂに取り付けられた第２シール部材１４４Ｂの劣化が早まることを抑止することができる。
【００７４】
次に、ステップａ２１では、搬送制御部２４７は、搬送部１８に加熱槽１１から冷却槽１２へと試料を搬送させる。搬送部１８により試料が冷却槽１２へ搬送されると、ステップａ２２において、開閉構造体制御部２４３により制御された第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂからなる中間扉体１４２は、加熱槽１１の第１開口部１１１及び冷却槽１２の第２開口部１２１を閉鎖する。このステップａ２２においても、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部の圧力差が小さくされた状態で、第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂによる第１開口部１１１及び第２開口部１２１を閉鎖させる動作が行われる。このため、筐体１４１内における第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂの移動動作を、スムーズなものとすることができる。次に、ステップａ２３では、開閉弁制御部２４６は、連通開閉弁１７１に連通管１７の連通路を閉鎖させる。次に、ステップａ２４では、加熱制御部２４２Ａは、加熱後制御を終了する。この加熱後制御が終了されると、不活性ガス供給部１３１による加熱槽１１への不活性ガスの供給が停止される。
【００７５】
次に、ステップａ２５では、冷却制御部２４２Ｂは、冷却処理制御を開始する。この冷却処理制御が開始されると、不活性ガス供給部１３１による冷却槽１２への不活性ガスの供給が継続される。なお、冷却制御部２４２Ｂにより冷却処理制御が開始されると、計時部２３は計時を開始する。次に、ステップａ２６において、ファン制御部２４８により制御された第２ファン２０の動作が開始される。このような状態で、冷却槽１２にて試料の不活性ガス雰囲気下での冷却処理が実施される。
【００７６】
次に、ステップａ２７では、制御部２４は、計時部２３によって計時された不活性ガス雰囲気下での冷却処理時間が、記憶部２２に記憶されている設定冷却時間を経過したか否かを判断する。設定冷却時間を経過したと判断した場合には計時部２３の計時をリセットした上でステップａ２８に進み、設定冷却時間を経過していないと判断した場合にはステップａ２７を繰り返す。
【００７７】
次に、ステップａ２８では、冷却制御部２４２Ｂは、冷却処理制御を終了する。この冷却処理制御が終了されると、不活性ガス供給部１３１による冷却槽１２への不活性ガスの供給が停止される。また、冷却槽１１への不活性ガスの供給が停止されると、ファン制御部２４８により制御された第２ファン２０の動作が停止される。
【００７８】
次に、ステップａ２９では、冷却制御部２４２Ｂは、試料払出制御を実行する。この試料払出制御が実行されると、乾燥空気供給部１３３によって冷却槽１２に乾燥空気が供給される。冷却槽１２内の雰囲気が乾燥空気雰囲気にされると、ステップ３０において、搬出扉体制御部２４５により制御された搬出扉体１６が、冷却槽１２の搬出開口部１２２を開放する。搬出開口部１２２が開放されると、ステップａ３１において、搬送制御部２４７により制御された搬送部１８が、冷却槽１２から試料を搬出する。搬送部１８により試料が冷却槽１２から搬出されると、ステップａ３２において、搬出扉体制御部２４５により制御された搬出扉体１６が、冷却槽１２の搬出開口部１２２を閉鎖する。
【００７９】
以上のようにして、乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に不活性ガス雰囲気下及び減圧雰囲気下での加熱処理を施した後、搬送部１８により試料を搬送方向Ｈに搬送して加熱槽１１から冷却槽１２へと移動させ、次いで冷却槽１２にて試料に不活性ガス雰囲気下での冷却処理を施し、冷却後の試料を搬出する。
【００８０】
図５は、乾燥装置１における乾燥処理動作の第２例を示す工程図である。図５に示す第２例の乾燥処理動作は、試料を不活性ガス雰囲気下加熱させ、次いで不活性ガス雰囲気下冷却させる第２指示が、操作部２１によって入力された場合の乾燥処理動作である。乾燥装置１は、開閉構造体１４の第１扉体１４２Ａが加熱槽１１の第１開口部１１１を閉鎖し、第２扉体１４２Ｂが冷却槽１２の第２開口部１２１を閉鎖し、搬入扉体１５が加熱槽１１の搬入開口部１１２を閉鎖し、搬出扉体１６が冷却槽１２の搬出開口部１２２を閉鎖した状態で、乾燥処理動作を開始する。また、加熱槽１１は加熱部１１３によって加熱され、槽内温度が１２０℃〜２００℃の範囲とされている。冷却槽１２は冷却部１２３によって冷却され、槽内温度が１℃程度とされている。
【００８１】
ステップｂ１では、第２指示受付部２４１Ｂが第２指示を受け付ける。第２指示が受け付けられると、ステップｂ２において加熱制御部２４２Ａは、試料受入制御を実行する。この試料受入制御が実行されると、乾燥空気供給部１３３によって加熱槽１１に乾燥空気が供給される。加熱槽１１内の雰囲気が乾燥空気雰囲気にされると、ステップｂ３において、搬入扉体制御部２４４により制御された搬入扉体１５が、加熱槽１１の搬入開口部１１２を開放する。搬入開口部１１２が開放されると、ステップｂ４において、搬送制御部２４７により制御された搬送部１８が、加熱槽１１に試料を搬入する。搬送部１８により試料が加熱槽１１へ搬入されると、ステップｂ５において、搬入扉体制御部２４４により制御された搬入扉体１５が、加熱槽１１の搬入開口部１１２を閉鎖する。
【００８２】
次に、ステップｂ６では、加熱制御部２４２Ａは、加熱前制御を実行する。この加熱前制御が実行されると、減圧部１３２によって加熱槽１１内が減圧される。これにより、加熱槽１１内に存在した気体成分が加熱槽１１外へと排気される。次に、ステップｂ７では、加熱制御部２４２Ａは、第１加熱処理制御を開始する。この第１加熱処理制御が開始されると、不活性ガス供給部１３１によって加熱槽１１に不活性ガスが供給される。なお、加熱制御部２４２Ａにより第１加熱処理制御が開始されると、計時部２３は計時を開始する。加熱槽１１に不活性ガスが供給されると、ステップｂ８において、ファン制御部２４８により制御された第１ファン１９の動作が開始される。このような状態で、加熱槽１１にて試料の不活性ガス雰囲気下での加熱処理が実施される。
【００８３】
次に、ステップｂ９では、制御部２４は、計時部２３によって計時された不活性ガス雰囲気下での加熱処理時間が、記憶部２２に記憶されている第１設定加熱時間を経過したか否かを判断する。第１設定加熱時間を経過したと判断した場合には計時部２３の計時をリセットした上でステップｂ１０に進み、第１設定加熱時間を経過していないと判断した場合にはステップｂ９を繰り返す。ステップｂ１０では、制御部２４は、計時部２３によって計時された不活性ガス雰囲気下での加熱処理時間が、記憶部２２に記憶されている第２設定加熱時間を経過したか否かを判断する。第２設定加熱時間を経過したと判断した場合には計時部２３の計時をリセットした上でステップｂ１１に進み、第２設定加熱時間を経過していないと判断した場合にはステップｂ１０を繰り返す。なお、ステップｂ９とステップｂ１０は、合わせて１つのステップとしてもよい。この場合には、制御部２４は、第１設定加熱時間と第２設定加熱時間とを加算した合計時間を用いて、計時部２３によって計時された不活性ガス雰囲気下での加熱処理時間が当該合計時間を経過したか否かを判断する。ステップｂ１１では、加熱制御部２４２Ａは、第１加熱処理制御を終了する。この第１加熱処理制御が終了されると、不活性ガス供給部１３１による加熱槽１１への不活性ガスの供給が停止される。加熱槽１１への不活性ガスの供給が停止されると、ステップｂ１２において、ファン制御部２４８により制御された第１ファン１９の動作が停止される。
【００８４】
第２指示受付部２４１Ｂが受け付けた第２指示に基づく、乾燥装置１における乾燥処理では、上述のステップａ１３〜ステップａ１５の減圧雰囲気下での試料の加熱処理が実施されない。このため、ステップｂ１２の処理が完了した後には、上述のステップａ１３〜ステップａ１５の処理が省略された状態で、上述のステップａ１６へと移行する。第２指示受付部２４１Ｂが受け付けた第２指示に基づく、乾燥装置１における乾燥処理では、ステップｂ１２から上述のステップａ１６へと移行した後、上述のステップａ１７〜ステップａ３２の処理が実施される。以上のようにして、乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に不活性ガス雰囲気下での加熱処理を施した後、搬送部１８により試料を搬送方向Ｈに搬送して加熱槽１１から冷却槽１２へと移動させ、次いで冷却槽１２にて試料に不活性ガス雰囲気下での冷却処理を施し、冷却後の試料を搬出する。
【００８５】
図６は、乾燥装置１における乾燥処理動作の第３例を示す工程図である。図６に示す第３例の乾燥処理動作は、試料を減圧雰囲気下加熱させ、次いで不活性ガス雰囲気下冷却させる第３指示が、操作部２１によって入力された場合の乾燥処理動作である。乾燥装置１は、開閉構造体１４の第１扉体１４２Ａが加熱槽１１の第１開口部１１１を閉鎖し、第２扉体１４２Ｂが冷却槽１２の第２開口部１２１を閉鎖し、搬入扉体１５が加熱槽１１の搬入開口部１１２を閉鎖し、搬出扉体１６が冷却槽１２の搬出開口部１２２を閉鎖した状態で、乾燥処理動作を開始する。また、加熱槽１１は加熱部１１３によって加熱され、槽内温度が１２０℃〜２００℃の範囲とされている。冷却槽１２は冷却部１２３によって冷却され、槽内温度が１℃程度とされている。
【００８６】
ステップｃ１では、第３指示受付部２４１Ｃが第３指示を受け付ける。第３指示が受け付けられると、ステップｃ２において加熱制御部２４２Ａは、試料受入制御を実行する。この試料受入制御が実行されると、乾燥空気供給部１３３によって加熱槽１１に乾燥空気が供給される。加熱槽１１内の雰囲気が乾燥空気雰囲気にされると、ステップｃ３において、搬入扉体制御部２４４により制御された搬入扉体１５が、加熱槽１１の搬入開口部１１２を開放する。搬入開口部１１２が開放されると、ステップｃ４において、搬送制御部２４７により制御された搬送部１８が、加熱槽１１に試料を搬入する。搬送部１８により試料が加熱槽１１へ搬入されると、ステップｃ５において、搬入扉体制御部２４４により制御された搬入扉体１５が、加熱槽１１の搬入開口部１１２を閉鎖する。
【００８７】
次に、ステップｃ６では、加熱制御部２４２Ａは、加熱前制御を実行する。この加熱前制御が実行されると、減圧部１３２によって加熱槽１１内が減圧される。これにより、加熱槽１１内に存在した気体成分が加熱槽１１外へと排気される。次に、ステップｃ７では、加熱制御部２４２Ａは、第２加熱処理制御を開始する。すなわち、第３指示受付部２４１Ｃが受け付けた第３指示に基づく、乾燥装置１における乾燥処理では、上述のステップａ７〜ステップａ１２の不活性ガス雰囲気下での試料の加熱処理が実施されない。第２加熱処理制御が開始されると、減圧部１３２による加熱槽１１内の減圧処理が継続される。なお、加熱制御部２４２Ａにより第２加熱処理制御が開始されると、計時部２３は計時を開始する。このような状態で、加熱槽１１にて試料の減圧雰囲気下での加熱処理が実施される。
【００８８】
次に、ステップｃ８では、制御部２４は、計時部２３によって計時された減圧雰囲気下での加熱処理時間が、記憶部２２に記憶されている第３設定加熱時間を経過したか否かを判断する。第３設定加熱時間を経過したと判断した場合にはステップｃ９に進み、第３設定加熱時間を経過していないと判断した場合にはステップｃ８を繰り返す。ステップｃ９では、加熱制御部２４２Ａは、第２加熱処理制御を終了する。この第２加熱処理制御が終了されると、減圧部１３２による加熱槽１１の減圧動作が停止される。
【００８９】
第３指示受付部２４１Ｃが受け付けた第３指示に基づく、乾燥装置１における乾燥処理では、ステップｃ９の処理が完了した後には、上述のステップａ１６へと移行する。第３指示受付部２４１Ｃが受け付けた第３指示に基づく、乾燥装置１における乾燥処理では、ステップｃ９から上述のステップａ１６へと移行した後、上述のステップａ１７〜ステップａ３２の処理が実施される。以上のようにして、乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に減圧雰囲気下での加熱処理を施した後、搬送部１８により試料を搬送方向Ｈに搬送して加熱槽１１から冷却槽１２へと移動させ、次いで冷却槽１２にて試料に不活性ガス雰囲気下での冷却処理を施し、冷却後の試料を搬出する。
【００９０】
上述の如くに構成された乾燥装置１によれば、試料を加熱するための加熱槽１１と、試料を冷却するための冷却槽１２とが、開閉構造体１４が介在された状態で、それぞれ個別に設けられている。このため、加熱槽１１の温度は試料を加熱するための温度に保持し、冷却槽１２の温度は試料を冷却するための温度に保持すればよく、従来のバッチ方式の乾燥装置のように、各槽において降温操作及び昇温操作を繰り返して実施する必要がない。従って、降温操作及び昇温操作のためのエネルギー消費が防止されるとともに乾燥時間の短縮化を図ることができ、高い乾燥効率を達成することができる。
【００９１】
また、乾燥装置１は、搬入開口部１１２を介して装置外部から加熱槽１１に試料が搬入され、搬出開口部１２２を介して冷却槽１２から試料が装置外部に搬出されるように構成されている。すなわち、本実施形態に係る乾燥装置１は、３つの気密室を備えた従来の連続搬送方式の乾燥装置のように、試料の搬入または搬出が行われる２つの気密室以外の気密室に相当する処理槽を備えたものではない。従って、従来の連続搬送方式の乾燥装置と比較して、装置の小型化を図ることができる。
【００９２】
また、調整制御部２４２によって制御された調整部１３は、受付部２４１によって受け付けられた乾燥条件に関する指示に基づいて、加熱槽１１及び冷却槽１２の内部の雰囲気を調整する。このため、内部雰囲気の異なる加熱処理を１つの加熱槽１１にて実施することができるとともに、内部雰囲気の異なる冷却処理を１つの冷却槽１２にて実施することができる。従って、内部雰囲気の異なる加熱処理と冷却処理とを実施するために処理工程数と同数の気密室を備えた従来の連続搬送方式の乾燥装置と比較して、装置の小型化を図ることができる。
【００９３】
以上、本発明の実施形態に係る乾燥装置１について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば次のような変形実施形態を採ることができる。
【００９４】
（１）上記の実施形態においては、加熱槽１１にて実施される加熱処理を、受付部２４１によって受け付けられた指示に応じて切り替えることが可能な乾燥装置１の構成について説明したが、本発明は、このような構成に限定されるものではない。本発明の乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に不活性ガス雰囲気下加熱処理のみを施した後、冷却槽１２にて試料に不活性ガス雰囲気下冷却処理を施すことが可能な構成（以下、「第１変形例」と称する）とすることができる。具体的には、第１変形例に係る乾燥装置１は、調整部１３、受付部２４１及び調整制御部２４２の構成が異なること以外は、上記の実施形態と同様に構成される。
【００９５】
第１変形例に係る乾燥装置１において、調整部１３は、不活性ガス供給部１３１と、減圧部１３２と、乾燥空気供給部１３３とを含んで構成される。減圧部１３２は、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部を不活性ガス雰囲気とする前に、前記各々の内部を減圧雰囲気とするためのものである。この減圧部１３２によって、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部に存在した気体成分を排気することができ、不活性ガス雰囲気への置換効率を高めることができる。なお、第１変形例に係る乾燥装置１において、調整部１３は、減圧部１３２を含まない構成としてもよい。
【００９６】
第１変形例に係る乾燥装置１において、受付部２４１は、試料を不活性ガス雰囲気下加熱させ、次いで不活性ガス雰囲気下冷却させる指示を受け付ける。すなわち、第１変形例に係る乾燥装置１において、受付部２４１は、上記の実施形態における第２指示受付部２４１Ｂのみを含み、第１指示受付部２４１Ａ及び第３指示受付部２４１Ｃを含まない。そして、第１変形例に係る乾燥装置１において、調整制御部２４２は、受付部２４１によって受け付けられた指示に基づいて、加熱槽１１にて試料を不活性ガス雰囲気下加熱するべく不活性ガス供給部１３１に加熱槽１１を不活性ガス雰囲気に調整させる加熱処理制御と、不活性ガス供給部１３１に冷却槽１２を不活性ガス雰囲気に調整させる冷却制御と、不活性ガス供給部１３１に筐体１４１を不活性ガス雰囲気に調整させる筐体制御と、を実行可能に構成される。なお、第１変形例に係る乾燥装置１における乾燥処理動作は、上記の実施形態における図５に示す乾燥処理動作の第２例と同様である。
【００９７】
第１変形例に係る乾燥装置１では、開閉弁制御部２４６により制御された連通開閉弁１７１によって連通管１７の連通路が開放され、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部雰囲気が不活性ガス雰囲気とされ、且つ前記各々の内部の圧力差が小さくされた状態で、開閉構造体制御部２４３により制御された第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂによる第１開口部１１１及び第２開口部１２１に対する開閉動作が行われる。以上のようにして、第１変形例に係る乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に不活性ガス雰囲気下での加熱処理を施した後、搬送部１８により試料を搬送方向Ｈに搬送して加熱槽１１から冷却槽１２へと移動させ、次いで冷却槽１２にて試料に不活性ガス雰囲気下での冷却処理を施し、冷却後の試料を搬出することができる。
【００９８】
（２）また、本発明の乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に減圧雰囲気下加熱処理のみを施した後、冷却槽１２にて試料に不活性ガス雰囲気下冷却処理を施すことが可能な構成（以下、「第２変形例」と称する）とすることができる。具体的には、第２変形例に係る乾燥装置１は、調整部１３、受付部２４１及び調整制御部２４２の構成が異なること以外は、上記の実施形態と同様に構成される。
【００９９】
第２変形例に係る乾燥装置１において、調整部１３は、不活性ガス供給部１３１と、減圧部１３２と、乾燥空気供給部１３３とを含んで構成される。第２変形例に係る乾燥装置１において、受付部２４１は、試料を減圧雰囲気下加熱させ、次いで不活性ガス雰囲気下冷却させる指示を受け付ける。すなわち、第２変形例に係る乾燥装置１において、受付部２４１は、上記の実施形態における第３指示受付部２４１Ｃのみを含み、第１指示受付部２４１Ａ及び第２指示受付部２４１Ｂを含まない。そして、第２変形例に係る乾燥装置１において、調整制御部２４２は、受付部２４１によって受け付けられた指示に基づいて、加熱槽１１にて試料を減圧雰囲気下加熱するべく減圧部１３２に加熱槽１１を減圧雰囲気に調整させる加熱処理制御と、加熱槽１１での試料の加熱後に不活性ガス供給部１３１に加熱槽１１を不活性ガス雰囲気に調整させる加熱後制御と、冷却槽１２での試料の冷却前に減圧部１３２に冷却槽１２を減圧雰囲気に調整させる冷却前制御と、冷却槽１２にて試料を不活性ガス雰囲気下冷却するべく不活性ガス供給部１３１に冷却槽１２を不活性ガス雰囲気に調整させる冷却処理制御と、前記冷却前制御に連動して減圧部１３２に筐体１４１を減圧雰囲気に調整させる第１筐体制御と、不活性ガス供給部１３１に筐体１４１を不活性ガス雰囲気に調整させる第２筐体制御と、を実行可能に構成される。なお、第２変形例に係る乾燥装置１における乾燥処理動作は、上記の実施形態における図６に示す乾燥処理動作の第３例と同様である。
【０１００】
第２変形例に係る乾燥装置１では、開閉弁制御部２４６により制御された連通開閉弁１７１によって連通管１７の連通路が開放され、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部雰囲気が不活性ガス雰囲気とされ、且つ前記各々の内部の圧力差が小さくされた状態で、開閉構造体制御部２４３により制御された第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂによる第１開口部１１１及び第２開口部１２１に対する開閉動作が行われる。以上のようにして、第２変形例に係る乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に減圧雰囲気下での加熱処理を施した後、搬送部１８により試料を搬送方向Ｈに搬送して加熱槽１１から冷却槽１２へと移動させ、次いで冷却槽１２にて試料に不活性ガス雰囲気下での冷却処理を施し、冷却後の試料を搬出することができる。
【０１０１】
（３）また、本発明の乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に減圧雰囲気下加熱処理のみを施した後、冷却槽１２にて試料に減圧雰囲気下冷却処理を施すことが可能な構成（以下、「第３変形例」と称する）とすることができる。具体的には、第３変形例に係る乾燥装置１は、調整部１３、受付部２４１及び調整制御部２４２の構成が異なること以外は、上記の実施形態と同様に構成される。
【０１０２】
第３変形例に係る乾燥装置１において、調整部１３は、減圧部１３２と、乾燥空気供給部１３３とを含んで構成される。なお、第３変形例に係る乾燥装置１において、調整部１３は、不活性ガス供給部１３１を含む構成としてもよい。この場合、不活性ガス供給部１３１は、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部を減圧雰囲気とする前に、前記各々の内部を不活性ガス雰囲気とするためのものとなる。第３変形例に係る乾燥装置１において、受付部２４１は、試料を減圧雰囲気下加熱させ、次いで減圧雰囲気下冷却させる指示を受け付ける。そして、第３変形例に係る乾燥装置１において、調整制御部２４２は、受付部２４１によって受け付けられた指示に基づいて、加熱槽１１にて試料を減圧雰囲気下加熱するべく減圧部１３２に加熱槽１１を減圧雰囲気に調整させる加熱処理制御と、冷却槽１２にて試料を減圧雰囲気下冷却するべく減圧部１３２に冷却槽１２を減圧雰囲気に調整させる冷却処理制御と、減圧部１３２に筐体１４１を減圧雰囲気に調整させる筐体制御と、を実行可能に構成される。
【０１０３】
第３変形例に係る乾燥装置１では、開閉弁制御部２４６により制御された連通開閉弁１７１によって連通管１７の連通路が開放され、加熱槽１１、冷却槽１２及び筐体１４１の各々の内部雰囲気が減圧雰囲気とされ、且つ前記各々の内部の圧力差が小さくされた状態で、開閉構造体制御部２４３により制御された第１扉体１４２Ａ及び第２扉体１４２Ｂによる第１開口部１１１及び第２開口部１２１に対する開閉動作が行われる。以上のようにして、第３変形例に係る乾燥装置１は、加熱槽１１にて試料に減圧雰囲気下での加熱処理を施した後、搬送部１８により試料を搬送方向Ｈに搬送して加熱槽１１から冷却槽１２へと移動させ、次いで冷却槽１２にて試料に減圧雰囲気下での冷却処理を施し、冷却後の試料を搬出することができる。
【０１０４】
（４）また、本発明の乾燥装置１は、受付部２４１が第１指示受付部２４１Ａのみを有し、第１指示に基づく処理のみを行う装置としてもよい。
【符号の説明】
【０１０５】
１  乾燥装置
１１  加熱槽
１１１  第１開口部
１１２  搬入開口部
１２  冷却槽
１２１  第２開口部
１２２  搬出開口部
１３  調整部
１３１  不活性ガス供給部
１３２  減圧部
１３３  乾燥空気供給部
１４  開閉構造体
１４１  筐体
１４２  中間扉体
１４２Ａ  第１扉体
１４２Ｂ  第２扉体
１７  連通管
１７１  連通開閉弁
１８  搬送部
１９  第１ファン
２０  第２ファン
２４  制御部
２４１  受付部
２４１Ａ  第１指示受付部
２４１Ｂ  第２指示受付部
２４１Ｃ  第３指示受付部
２４２  調整制御部
２４６  開閉弁制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６】
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