(57)【要約】【課題】シートをより正確に搬送することのできるシート搬送装置及びシート搬送方法を提供する。【解決手段】シート搬送装置は、シートを保持することが可能であり、シートを保持しつつシートを張った状態にすると共に、保持したシートを搬送することが可能な保持部を有している。また、シート搬送装置は、保持部によってシートが張った状態で保持されたときに、シートの状態を認識するシート状態認識手段を有している。【選択図】図６
2018183834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シートを保持することが可能であり、前記シートを保持しつつ前記シートを張った状態にすると共に、保持した前記シートを搬送することが可能な保持部と、
前記保持部によって前記シートが張った状態で保持されたときに、前記シートの状態を認識するシート状態認識手段とを備えることを特徴とするシート搬送装置。
【請求項２】
前記シート状態認識手段は、前記シートの位置を認識することを特徴とする請求項１に記載のシート搬送装置。
【請求項３】
前記シート状態認識手段によって認識された前記シートの位置に基づいて、前記保持部が、前記シートを目標の搬送位置に搬送させることを特徴とする請求項２に記載のシート搬送装置。
【請求項４】
前記シート状態認識手段は、認識された前記シートの位置から、前記シートが前記保持部によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識することを特徴とする請求項３に記載のシート搬送装置。
【請求項５】
前記シートにはパターンが設けられており、
前記シート状態認識手段は、前記パターンの位置を認識することにより、前記シートの位置を認識することを特徴とする請求項２から４のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
【請求項６】
前記シートは、複数の領域に区画され、
前記パターンは、前記複数の領域のそれぞれを区画する線であることを特徴とする請求項５に記載のシート搬送装置。
【請求項７】
前記シートにおける複数に区画された領域のうちの１つの領域から１つの基板が製造されることを特徴とする請求項６に記載のシート搬送装置。
【請求項８】
前記シート状態認識手段は、前記シートの種類を認識することを特徴とする請求項１に記載のシート搬送装置。
【請求項９】
前記シート状態認識手段によって認識された前記シートの種類に基づいて、前記シートが、種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送されることを特徴とする請求項８に記載のシート搬送装置。
【請求項１０】
前記シートには、前記シートについての種類を示す識別手段が設けられ、
前記シート状態認識手段は、前記識別手段から前記シートの種類を認識することを特徴とする請求項８または９に記載のシート搬送装置。
【請求項１１】
前記識別手段は、マークであることを特徴とする請求項１０に記載のシート搬送装置。
【請求項１２】
前記識別手段は、模様であることを特徴とする請求項１０に記載のシート搬送装置。
【請求項１３】
前記シート状態認識手段は、前記シートを撮影する撮影手段を有し、
前記シート状態認識手段は、前記撮影手段によって撮影された画像から前記シートの状態を認識することを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
【請求項１４】
前記保持部は、ロボットのアームによって構成されていることを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載のシート搬送装置。
【請求項１５】
シートを保持することが可能であり、前記シートを張った状態にすることが可能であると共に、前記シートを搬送することが可能な保持部と、前記シートの状態を認識するシート状態認識手段とを備えたシート搬送装置によって前記シートを搬送するシート搬送方法であって、
前記シートを保持するシート保持工程と、
前記シートを張った状態にするシート引張工程と、
前記シートの状態を認識するシート状態認識工程と、
前記シートを搬送するシート搬送工程とを備えることを特徴とするシート搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持したシートを所定位置に搬送するシート搬送装置及びシート搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シートを張った状態に保つ治具を用いてシートを搬送する方法が用いられている。シートを張った状態に保つ治具について、特許文献１に開示されている。
【０００３】
特許文献１では、治具はピンを有し、シートには穴が設けられている。ピンは、バネによって外側に付勢されて治具に取り付けられている。シートの穴にピンが挿入された状態でピンが外側に付勢されることにより、シートが張った状態に保たれる。シートを張った状態で保持しつつ、シートを所定位置に搬送することが可能に構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−２１６４９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された治具では、シートが治具に正常に保持されているかどうかを認識することができない場合がある。シートがずれたまま治具に保持されて搬送されると、それによってシートの搬送の精度が低下する可能性がある。そのままシートの搬送が行われると、その後の工程に影響を及ぼす可能性がある。例えば、シート上に回路を形成しフレキシブルな基板を製造する場合には、シート上に回路を正確にプリントすることができず、製造された基板の品質が低下してしまう可能性がある。
【０００６】
そこで、本発明は上記の事情に鑑み、シートをより正確に搬送することのできるシート搬送装置及びシート搬送方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のシート搬送装置は、シートを保持することが可能であり、前記シートを保持しつつ前記シートを張った状態にすると共に、保持した前記シートを搬送することが可能な保持部と、前記保持部によって前記シートが張った状態で保持されたときに、前記シートの状態を認識するシート状態認識手段とを備えることを特徴とする。
【０００８】
上記構成のシート搬送装置では、シートが張った状態となってからシートの状態が認識され、シートの状態が認識されてからシートの搬送を行うので、精度の高いシートの搬送を行うことができる。
【０００９】
また、前記シート状態認識手段は、前記シートの位置を認識することとされてもよい。
【００１０】
シートの位置が認識されるので、シートを搬送位置に正確に搬送することができる。
【００１１】
また、前記シート状態認識手段によって認識された前記シートの位置に基づいて、前記保持部が、前記シートを目標の搬送位置に搬送させることとされてもよい。
【００１２】
認識されたシートの位置に基づいて、シートが目標の搬送位置に搬送されるので、シートをより正確に搬送位置に搬送することができる。
【００１３】
また、前記シート状態認識手段は、認識された前記シートの位置から、前記シートが前記保持部によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識することとされてもよい。
【００１４】
シートが目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識してからシートの搬送が行われるので、シートの搬送が行われる分については、確実にシートの搬送を行うことができる。従って、確実性の高いシート搬送装置とすることができる。
【００１５】
また、前記シートにはパターンが設けられており、前記シート状態認識手段は、前記パターンの位置を認識することにより、前記シートの位置を認識することとされてもよい。
【００１６】
シートに設けられたパターンの位置からシートの位置を認識するので、シートの位置の認識を正確に行うことができる。
【００１７】
また、前記シートは、複数の領域に区画され、前記パターンは、前記複数の領域のそれぞれを区画する線であることとされてもよい。
【００１８】
もともとシートに形成された複数の領域のそれぞれを区画する線をパターンとしてシートの位置を認識するので、シート位置の認識のために新たにパターンを設ける必要がなく、適用されるシートの範囲を広くすることができる。
【００１９】
また、前記シートにおける複数に区画された領域のうちの１つの領域から１つの基板が製造されることとされてもよい。
【００２０】
シートにおける複数に区画された領域のうちの１つの領域から１つの基板が製造されるので、シートを効率的に使用することができる。
【００２１】
また、前記シート状態認識手段は、前記シートの種類を認識することとされてもよい。
【００２２】
シートの種類が認識されるので、シートを種類ごとの搬送位置に搬送することが可能となる。
【００２３】
また、前記シート状態認識手段によって認識された前記シートの種類に基づいて、前記シートが、種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送されることとされてもよい。
【００２４】
認識されたシートの種類に基づいて、シートがその種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送されるので、シートを割り振られた搬送位置に正確に搬送することができる。
【００２５】
また、前記シートには、前記シートについての種類を示す識別手段が設けられ、前記シート状態認識手段は、前記識別手段から前記シートの種類を認識することとされてもよい。
【００２６】
識別手段からシートの種類が認識されるので、シートの種類が正確に認識され、認識されたシートの種類に基づいて、シートがその種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送されるので、シートを割り振られた搬送位置に正確に搬送することができる。
【００２７】
また、前記識別手段は、マークであってもよい。
【００２８】
また、前記識別手段は、模様であってもよい。
【００２９】
また、前記シート状態認識手段は、前記シートを撮影する撮影手段を有し、前記シート状態認識手段は、前記撮影手段によって撮影された画像から前記シートの状態を認識することとされてもよい。
【００３０】
撮影手段によって撮影された画像からシートの状態が認識されるので、シートの状態を正確に認識することができる。
【００３１】
また、前記保持部は、ロボットのアームによって構成されていてもよい。
【００３２】
また、シートを保持することが可能であり、前記シートを張った状態にすることが可能であると共に、前記シートを搬送することが可能な保持部と、前記シートの状態を認識するシート状態認識手段とを備えたシート搬送装置によって前記シートを搬送するシート搬送方法であって、前記シートを保持するシート保持工程と、前記シートを張った状態にするシート引張工程と、前記シートの状態を認識するシート状態認識工程と、前記シートを搬送するシート搬送工程とを備えることとされてもよい。
【００３３】
シートが張った状態とするシート引張工程が行われてからシートの状態を認識するシート状態認識工程が行われ、シートの状態が認識されてからシート搬送工程が行われるので、精度の高いシートの搬送を行うことができる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、保持されたシートの状態を認識してからシートが搬送されるので、シートをより正確に搬送することができ、シートの搬送の精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート搬送装置の斜視図である。
【図２】図１のシート搬送装置の正面図である。
【図３】（ａ）は図１のシート搬送装置で用いられる保持ユニットの正面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線の方向に沿って固定板、可動部及び吸引管を見た平面図である。
【図４】図１のシート搬送装置の制御系統の構成について示したブロック図である。
【図５】図１のシート搬送装置によって搬送の行われるシートの平面図である。
【図６】図１のシート搬送装置によってシートの搬送が行われる際のフローチャートである。
【図７】図１のシート搬送装置によってシートが保持されてから、シートが張った状態となるまでのそれぞれの工程について示した保持ユニット及びシートの正面図である。
【図８】図１のシート搬送装置によって搬送の行われたシートに対し回路が形成されて基板が製造される際のそれぞれの工程について示したシートの断面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るシート搬送装置によってシートの搬送が行われる際のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明の実施形態に係るシート搬送装置及びシート搬送方法について、添付図面を参照して説明する。
【００３７】
（第１実施形態）
図１に、第１実施形態に係るシート搬送装置１００についての斜視図を示す。シート搬送装置１００は、ロボットアームに保持された保持ユニット３０によってシートを保持することが可能に構成されている。保持ユニット３０によってシートを保持した状態でシートを搬送することが可能に構成されている。
【００３８】
ここで、「シート」とは、薄く形成されることにより撓み、形状が維持されないものを広く含むものとする。例えば、布、プラスチック、フィルム、木材、皮革等により薄く形成されたものがシートに含まれる。また、衣服等、上記の材料によって形成されたものであって、機能を有するものがシートに含まれる。シートは、薄く形成されることにより、撓んだ状態から張った状態とすることができるようなものを広く含むものとする。
【００３９】
シート搬送装置１００は、一対のロボットアーム１３を備える水平多関節型の双腕ロボットによって構成されている。図２に、シート搬送装置１００の正面図を示す。
【００４０】
シート搬送装置１００は、第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂを備えている。第１ロボットアーム１３Ａの先端部には、第１保持部１８が設けられている。第２ロボットアーム１３Ｂの先端部には、第２保持部１９が設けられている。以下では、第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂを区別しない場合は、単にロボットアーム１３ということがある。
【００４１】
シート搬送装置１００は、制御部１４及び真空発生装置（不図示）を備えている。
【００４２】
制御部１４は、例えばシート搬送装置１００の支持台１２の内部に設けられている。しかし、これに限られるものではなく、例えばロボットアーム１３の内部等に設けられてもよい。また、他の空いたスペースに設けられてもよい。
【００４３】
真空発生装置は、たとえば、真空ポンプやＣＯＮＶＵＭ（登録商標）などであり、例えば支持台１２の内部に設けられている。しかし、これに限られるものではなく、例えばロボットアーム１３の内部等、他の場所に設けられていてもよい。真空発生装置は、不図示の配管を介して保持ユニット３０の吸引口に接続されている。配管には、例えば、図示しない開閉弁が設けられており、開閉弁により配管が開放及び閉塞される。この真空発生装置の動作および開閉弁の開閉は制御装置により制御される。
【００４４】
第１ロボットアーム１３Ａは、第１保持部１８を所定の動作範囲内で移動させる。また、第２ロボットアーム１３Ｂは、第２保持部１９を所定の動作範囲内で移動させる。ロボットアーム１３は、例えば水平多関節型ロボットアームであって、アーム部２１と、リスト部２２とを含む。また、第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂは、互いに独立して動作したり、互いに関連して動作したりすることができる。
【００４５】
シート搬送装置１００は、支持台１２と、支持台１２から鉛直方向上方に延びた基軸１６とを備えている。基軸１６は、支持台１２に回転運動可能に取り付けられている。
【００４６】
基軸１６には、アーム部２１が水平方向に延在するように取り付けられている。アーム部２１は、基軸１６を中心に回転可能に取り付けられている。
【００４７】
アーム部２１は、第１リンク２１ａ及び第２リンク２１ｂを含む。第１リンク２１ａ及び第２リンク２１ｂは、相互に水平方向に沿って回転可能に支持されている。アーム部２１を介して、基軸１６に第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂが接続されている。
【００４８】
アーム部２１は、第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂの先端部に取り付けられたリスト部２２を、動作範囲内の任意の位置に位置決めする。
【００４９】
第１リンク２１ａは、基端部が支持台１２の基軸１６と回転関節Ｊ１により連結され、基軸１６の軸心を通る回転軸線Ｌ１まわりに回動可能である。第２リンク２１ｂは、第１リンク２１ａの先端部と回転関節Ｊ２により連結され、第１リンク２１ａの先端部に規定された回転軸線Ｌ２まわりに回動可能である。
【００５０】
リスト部２２は、その先に連なる機構を任意の姿勢に変更する。リスト部２２は、昇降部２２ａと、回動部２２ｂとを含む。昇降部２２ａは、第２リンク２１ｂの先端部と直動関節Ｊ３により連結され、第２リンク２１ｂに対し昇降移動可能である。回動部２２ｂは、昇降部２２ａの下端部と回転関節Ｊ４により連結され、昇降部２２ａの下端に規定された回転軸線Ｌ３まわりに回動可能である。
【００５１】
本実施形態において、回転軸線Ｌ１〜Ｌ３は、互いに平行であり、例えば鉛直方向に延在する。また、回転軸線Ｌ１〜Ｌ３の延在方向と、昇降部２２ａの昇降移動方向とは、互いに平行である。
【００５２】
アーム１３には、各関節Ｊ１〜Ｊ４に対応付けられるように、駆動用のサーボモータ（図示せず）、および、そのサーボモータの回転角を検出するエンコーダ（図示せず）等が設けられている。また、第１ロボットアーム１３Ａの回転軸線Ｌ１と第２ロボットアーム１３Ｂの回転軸線Ｌ１は同一直線上にあり、第１ロボットアーム１３Ａの第１リンク２１ａと、第２ロボットアーム１３Ｂの第１リンク２１ａとは上下に高低差を設けて配置されている。
【００５３】
次に、第１保持部１８、第２保持部１９が把持することが可能なハンド部について説明する。本実施形態においては、第２保持部１９は、ハンド部として、保持ユニット（保持部）３０を把持する。
【００５４】
保持ユニット３０について説明する。図３（ａ）に保持ユニット３０の正面図を示し、図３（ｂ）に、図３（ａ）におけるＡ−Ａ線の方向に沿って保持ユニット３０の固定板３４、可動部３５及び吸引管３２を見た平面図を示す。
【００５５】
図３（ａ）、（ｂ）に示されるように、保持ユニット３０には、複数の吸引管３２が設けられている。本実施形態では、搬送を行う対象のシートの外縁部に対応する位置に、１０個の吸引管３２が設けられている。それぞれの吸引管３２の先端部に吸引口３１が設けられている。本実施形態では、それぞれの吸引管３２に対応して１０個の吸引口３１が設けられている。
【００５６】
吸引管３２は、真空発生装置に接続されている。吸引管３２を介して吸引口３１から吸引を行うことにより、吸引口３１から空気を吸引することができる。吸引口３１がシートに接触した状態で吸引口３１から吸引を行うことにより、吸引口３１にシートを吸着させることができる。
【００５７】
保持ユニット３０は、支持板３３を備えている。また、保持ユニット３０は、支持板３３に固定的に取り付けられた固定板３４を備えている。また、保持ユニット３０は、固定板３４に対し移動可能に保持ユニット３０に取り付けられた可動部３５を備えている。固定板３４及び可動部３５は、支持板３３に接続され、支持板３３が、固定板３４及び可動部３５を支持している。可動部３５は、支持板３３に対し移動可能に、支持板３３に接続されている。
【００５８】
吸引管３２は、それぞれ固定板３４あるいは可動部３５に取り付けられている。本実施形態では、１０個の吸引管３２のうち、５個の吸引管３２が固定板３４に取り付けられ、５個の吸引管３２が可動部３５に取り付けられている。このように、複数の吸引管３２のうち、一部の吸引管３２については固定板３４に取り付けられ、残りの吸引管３２については可動部３５に取り付けられている。従って、一部の吸引管３２に対し、残りの吸引管３２が移動可能に構成されている。これにより、一部の吸引管３２については保持ユニット３０に対し固定的に取り付けられ、残りの吸引管３２については保持ユニット３０に対し移動可能に構成されている。
【００５９】
なお、本実施形態では、５個の吸引管３２について固定板３４に取り付けられ、５個の吸引管３２については可動部３５に取り付けられる構成としたが、本発明はこれに限定されない。保持ユニット３０に対し固定的に取り付けられた吸引管３２の数と、保持ユニット３０に対し移動可能に取り付けられた吸引管３２の数とについては、他の数であってもよい。
【００６０】
また、保持ユニット３０には、保持ユニット３０によって保持されたシートを撮影可能なカメラ（撮影手段）３６が取り付けられている。
【００６１】
次に、シート搬送装置１００の動作を制御する制御部１４について説明する。図４は、シート搬送装置１００の制御系統の構成例を概略的に示すブロック図である。
【００６２】
図４に示されるように、制御部１４は、演算部１４ａと、記憶部１４ｂと、サーボ制御部１４ｃと、保持ユニット制御部１４ｄとを含む。
【００６３】
制御部１４は、例えばマイクロコントローラ等のコンピュータを備えたロボットコントローラである。なお、制御部１４は、集中制御する単独の制御部１４によって構成されていてもよいし、互いに協働して分散制御する複数の制御部１４によって構成されていてもよい。
【００６４】
記憶部１４ｂには、ロボットコントローラとしての基本プログラム、各種固定データ等の情報が記憶されている。演算部１４ａは、記憶部１４ｂに記憶された基本プログラム等のソフトウェアを読み出して実行することにより、ロボット１の各種動作を制御する。すなわち、演算部１４ａは、ロボット１の制御指令を生成し、これをサーボ制御部１４ｃ及び保持ユニット制御部１４ｄに出力する。サーボ制御部１４ｃは、演算部１４ａにより生成された制御指令に基づいて、ロボット１の第１ロボットアーム１３Ａ及び第２ロボットアーム１３Ｂのそれぞれの関節Ｊ１〜Ｊ４に対応するサーボモータの駆動を制御するように構成されている。
【００６５】
保持ユニット制御部１４ｄは、演算部１４ａにより生成された制御指令に基づいて、真空発生装置及び駆動部を制御することによって、保持ユニット３０による吸引、移動及び動作を制御する。
【００６６】
図５に、搬送の行われるシートの平面図を示す。図５に示されるように、搬送装置１００によって搬送の行われるシートは、複数の領域に区画されている。シートが複数の領域に区画され、複数に区画された領域のうちの１つの領域から１つの基板が製造される。そのため、シートにおける区画されたそれぞれの領域が、後の工程で基板として用いられる領域として、それぞれの領域ごとに取り出される。このときにシートを切断し易いように、シートには、複数の領域のそれぞれを区画する線５１に沿って、複数の穴が間欠的に設けられている。シートに複数の穴が形成されているので、間欠的に複数の穴の形成されている線に沿ってシートが破断され易く、シートの切断が容易になっている。
【００６７】
また、本実施形態では、シートにおける複数の領域を区画する線５１がパターンとして用いられている。また、複数の領域のそれぞれを区画する線５１に沿って間欠的に設けられた複数の穴が、パターンとして用いられている。シートの位置を確認する際には、パターンとして機能している複数の領域のそれぞれを区画する線５１の位置を認識することにより、シートの位置が認識される。シートにおける複数の領域のそれぞれを区画する線５１がパターンとして用いられているので、シートの位置を認識するためのパターンをシートに新たに設ける必要がない。従って、シートの構成を簡易にすることができ、シートの製造コストを少なく抑えることができる。
【００６８】
以上のように構成されたシート搬送装置１００によってシートの搬送が行われる際の動作について説明する。図６に、シート搬送装置１００によってシートを搬送させる際のフローチャートを示す。以下、図６のフローチャートを参照してシートの搬送を行う際の各工程について説明する。
【００６９】
図５に示されるシートについて搬送する際には、まず、シートが保持ユニット３０によって保持される（Ｓ１）。
【００７０】
図７（ａ）〜（ｄ）に、保持ユニット３０がシートを保持してシートを張った状態にする際の保持ユニット３０及びシートについての正面図を示す。図７（ａ）に示されるように、保持ユニット３０が移動して、テーブル上に載置されたシートに近接する。図７（ｂ）に示されるように、保持ユニット３０における吸引口３１がシートに接触するまで保持ユニット３０を移動させる。
【００７１】
保持ユニット３０がシートに接触すると、吸引口３１から空気を吸引させ、吸引口３１にシートを吸着させる。これによって、保持ユニット３０がシートを吸着して保持する（シート保持工程）。保持ユニット３０がシートを吸着して保持すると、図７（ｃ）に示されるように、保持ユニット３０が上方に移動してシートが浮いた状態にする。このとき、シートは多少撓んでいてもよい。
【００７２】
シートが浮いた状態になると、そこから、図７（ｄ）に示されるように、保持ユニット３０における可動部３５を固定板３４に対し移動させる。このとき、可動部３５に取り付けられた吸引管３２のみ、図７（ｄ）に示される矢印Ｂの方向に移動させる。可動部３５が固定板３４に対し移動するので、可動部３５に取り付けられた吸引管３２が、固定板３４に取り付けられた吸引管３２に対し移動する。これにより、シートを吸着している吸引管３２のうち、一部の吸引管３２のみ移動する。従って、シートが張った状態で保持される（シート引張工程）。
【００７３】
シートが張った状態になると、保持ユニット３０に取り付けられたカメラ３６によってシートが撮影される。シートが撮影されると、シートに形成されたパターンの位置が画像によって認識される。これにより、シート搬送装置１００によって、パターンの位置が認識される（Ｓ３）。また、認識されたパターンの位置に基づいて、シートの位置が認識される（Ｓ４）。これにより、シート搬送装置１００によって、保持ユニット３０により保持された状態のシートの保持された位置が認識される（シート状態認識工程）。
【００７４】
このように、本実施形態では、シート状態認識工程として、保持ユニット３０によって保持された状態のシートにおけるシートの保持されている位置が認識される。そのため、ここでは、シートの状態として、シートの位置が認識される。このとき、シートを撮影するカメラ３６及びシート搬送装置１００の動作を制御する制御部１４が、シートの状態を認識するシート状態認識手段として機能する。
【００７５】
シートの位置が認識されると、認識されたシートの位置に基づいて、保持ユニット３０が、シートを目標の搬送位置に搬送させる（Ｓ５）（シート搬送工程）。シートの搬送は、保持ユニット３０がシートを保持したまま移動することによって行われる。このとき、保持ユニット３０によって保持されたシートの位置が正確に認識されていることから、シートを目標の搬送位置に正確に搬送することができる。
【００７６】
保持ユニット３０がシートを吸着によって保持する際に、保持ユニット３０に対するシートの保持される位置については、ばらつきが生じる可能性がある。本実施形態では、シートの保持される位置にばらつきが生じ、シートが保持されるごとにシートの位置にずれが生じたとしても、そのシートの位置が正確に認識されている。従って、シートの搬送の際に、シートのずれについて補正をしながら、シートの搬送を行うことができる。これにより、シートの保持される位置に関係なく、シートを目標の搬送位置に正確に搬送することができる。従って、シートが搬送されるごとにばらつきが生じることなく、安定して高精度のシート搬送を行うことができる。
【００７７】
本実施形態では、シートの搬送先の目標位置にピンが設けられ、シートのピンに対応する位置に穴が形成されている。目標位置のピンをシートの穴に挿入することにより、シートを搬送先の目標位置に設置している。シートを目標の搬送位置に精度良く配置することができるので、目標位置のピンとシートの穴との間で公差がシビアであっても、ピンを穴に挿入することができる。本実施形態では、直径２ｍｍの穴がシートに形成され、直径１．９５ｍｍのピンが目標の搬送位置に形成されている。
【００７８】
なお、シート状態認識手段によって認識されるシートの状態は、他の状態であってもよい。保持ユニット３０によって保持されたシートの位置ではなく、他の状態が認識されてもよい。
【００７９】
シートが目標位置に搬送されると、そこで保持ユニット３０によるシートの保持が解除されてシートの乾燥が行われる。その後、シートを再び吸着、保持した状態でシートを引っ張り、シートを張った状態にする。シートが張った状態になると、その状態でシートの検査が行われる。
【００８０】
また、シートが目標位置に搬送されると、そこでシート上に回路が形成されて基板が製造される。図８に、シート上に回路が形成されて基板が製造される際のそれぞれの工程についてのシートについての断面図を示す。
【００８１】
図８（ａ）に示されるように、シート５０上に接着剤５２を介して銅箔５３が配置されている。また、銅箔５３上には、フォトレジスト５４が配置される。
【００８２】
図８（ｂ）に示されるように、マスクを介して露光することにより、フォトレジスト上に回路パターンを転写させる。このとき、銅箔５３のうち、電気を通す銅線として機能する部分のみ、フォトレジスト５４に感光させて、フォトレジスト５４を硬化させる。
【００８３】
図８（ｃ）に示されるように、フォトレジスト５４における感光した部分以外の部分を除去する。これにより、硬化した感光した部分だけが銅箔５３上に残った状態となる。
【００８４】
図８（ｄ）に示されるように、フォトレジスト５４における残った部分をエッチングストップ層とし、銅箔５３のエッチングを行う。従って、フォトレジスト５４におけるエッチングストップ層として残った部分の直下の銅箔５３についてはフォトレジスト５４と共にシート５０上に残り、それ以外の部分の銅箔５３についてはエッチングによってシート５０上から除去される。
【００８５】
その後、図８（ｅ）に示されるように、フォトレジスト５４が除去される。これにより、シート５０上に回路に対応した銅箔５３が形成され、シート５０によって基板が製造される。
【００８６】
本実施形態では、図８（ｂ）に示されるように銅箔５３及びフォトレジスト５４を配置したシート５０に露光が行われる段階で、シート５０が搬送の目標位置に正確に配置されている。従って、シート５０上に回路を形成するために露光によってシート５０上のフォトレジスト５４に回路パターンをプリントする際に、シート５０が正確に配置されている。従って、シート５０上の適切な位置に正確に回路パターンがプリントされる。そのため、結果的に、正確な位置に回路が形成された品質の高い基板を製造することができる。
【００８７】
このように、シートが搬送された後にシート上に回路をプリントして基板を製造する場合には、シート上に回路を正確にプリントすることができ、基板の品質を高く保つことができる。
【００８８】
なお、上記実施形態では、保持ユニット３０が吸着によってシートを保持している形態について説明したが、本発明はこれに限定されない。吸着以外の手段によってシートが保持ユニットに保持されてもよい。シートがピンと穴との係合によって保持ユニットに保持されてもよいし、シートがクランプされることによってシートが保持ユニットに保持されてもよい。また、他の手段によってシートが保持されてもよい。
【００８９】
また、上記実施形態では、シートの搬送の後にシート上に回路が形成されて基板が製造される形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。シートが搬送された後には、他の工程が行われてもよい。シートが目標位置に搬送され、シートが目標位置に正確に搬送されることにより効果が得られる工程が行われるのであれば、他の工程が行われてもよい。
【００９０】
また、Ｓ５で認識されたシートの位置から、シートが保持ユニット３０によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを予め認識することとしてもよい。シートを張った状態にしてシートが保持ユニット３０によって保持されたときに、シートの状態によっては、シートを目標の搬送位置へ搬送することができないことがそこで認識される可能性がある。例えば、シートが破損等していることにより、上記実施形態のシート搬送装置によって目標の搬送位置へシートを搬送することができない場合がある。その場合には、認識されたシートの位置から、シートが保持ユニット３０によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識することとしてもよい。シートが保持ユニット３０によって目標の搬送位置へ搬送されることが可能かどうかを認識し、シートを目標の搬送位置へ搬送することができない場合には、シートの搬送を行わないこととしてもよい。
【００９１】
また、上記実施形態では、シートに形成されたパターンが、複数の領域を区画する線５１である形態について説明したが、本発明はこれに限定されない。シートには、他のパターンが形成されてもよい。例えば、シートの表面に模様が形成され、模様の位置を認識することにより、シートの位置が認識されてもよい。また、他の形態のパターンがシートに形成されてもよい。
【００９２】
また、上記実施形態では、シートの画像を撮影するカメラ３６が保持ユニット３０に取り付けられている形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。カメラ３６の取り付けられる位置は、他の位置であってもよい。例えば、シート搬送装置１００の支持台１２に設けられてもよい。シートの位置を確認できる位置であれば、カメラ３６は、保持ユニット以外の他の位置に取り付けられてもよい。
【００９３】
また、上記実施形態では、撮像手段としてカメラが用いられている形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。静止画像を撮影するカメラ以外の撮像手段によって、シートの位置が認識されてもよい。例えば、動画を撮影する撮影手段によってシートの位置が認識されてもよい。
【００９４】
また、上記実施形態では、カメラ３６によって撮影された画像によってシートの位置を認識する形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。シートの位置を認識する手段は、カメラ以外のものであってもよい。例えば、光学的なセンサが用いられてもよい。
【００９５】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るシート搬送装置について説明する。なお、上記第１実施形態と同様に構成される部分については説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００９６】
第１実施形態では、シート上に形成されたパターンの位置が認識され、パターンの位置からシートの位置が認識されて、認識されたシートの位置に基づいて、保持ユニットがシートを目標位置に搬送する形態について説明した。これに対し、第２実施形態では、シート上に形成された識別手段からそのシートについての種類を認識し、シートの種類に基づいて、そのシートを、種類ごとに割り振られたシート搬送位置に搬送する。  図９に、第２実施形態のシート搬送についてのフローチャートを示す。シートが保持されてから、シートを張った状態にするまでの工程は、図６に示される第１実施形態のフローと同様である。
【００９７】
シートが張った状態にされると、カメラ３６によってシートが撮影される（Ｓ６）。シートには、シートの種類を示す識別手段として、マークが形成されている。
【００９８】
シートが張った状態で撮影されると、シートに形成されたマークから、そのシートの種類が認識される（Ｓ７）。
【００９９】
本実施形態では、予め、シートの種類ごとに割り振られたシート搬送位置が設定されている。シートの種類が認識されると、シートの種類から、そのシートについてのシート搬送位置にシートが搬送される（Ｓ８）。これにより、シートが、そのシートについて設定されたシート搬送位置に正確に搬送される。
【０１００】
例えば、本実施形態のシート搬送装置によって搬送されるシートとして、衣服が適用されてもよい。衣服の搬送を行う際には、まず、保持ユニット３０が衣服を保持する。保持ユニット３０が衣服を保持したまま、保持ユニット３０が衣服を張った状態にする。カメラ３６によって張った状態の衣服が撮影され、衣服に形成されたマークから衣服の種類が認識される。衣服の種類が認識されると、その衣服についての搬送位置にその衣服が搬送される。
【０１０１】
なお、上記実施形態では、シートの種類を示す識別手段として、マークが用いられているが、本発明はこれに限定されない。例えば、シートの種類を示す識別手段として、模様がシートに形成されてもよい。また、シートの種類を示す識別手段として、他の識別手段が用いられてもよい。
【符号の説明】
【０１０２】
１４  制御部
３０  保持ユニット
３６  カメラ
【図１】
2018183834.tif 000003
【図２】
2018183834.tif 000004
【図３】
2018183834.tif 000005
【図４】
2018183834.tif 000006
【図５】
2018183834.tif 000007
【図６】
2018183834.tif 000008
【図７】
2018183834.tif 000009
【図８】
2018183834.tif 000010
【図９】
2018183834.tif 000011