(57)【要約】【課題】応答性が低いセンサ部と応答性が高いセンサ部との両方で被検知ガスのガス成分を確実に検知することが可能なガス分析装置を提供する。【解決手段】このガス分析装置１００は、被検知ガスのうちのＣＯ２ガスを検知する第１センサ部１と、第１センサ部１よりも応答性が高く、被検知ガスのうちのメタン、エタンおよびプロパンなどの可燃性ガスを検知する第２センサ部２と、を備える。そして、ガス分析装置１００では、第１センサ部１により被検知ガスのＣＯ２ガスを検知する場合に、第１センサ部１に第１の量で被検知ガスが流れる。また、ガス分析装置１００では、第２センサ部２により被検知ガスのメタン、エタンおよびプロパンなどの可燃性ガスを検知する場合に、第２センサ部２に第１の量よりも少ない第２の量で被検知ガスが流れる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検知ガスのうちのガス成分を検知する第１センサ部と、
前記第１センサ部よりも応答性が高く、前記被検知ガスのうちのガス成分を検知する第２センサ部と、を備え、
前記第１センサ部により前記被検知ガスのガス成分を検知する場合に、前記第１センサ部に第１の量で前記被検知ガスが流れ、前記第２センサ部により前記被検知ガスのガス成分を検知する場合に、前記第２センサ部に前記第１の量よりも少ない第２の量で前記被検知ガスが流れるように構成されている、ガス分析装置。
【請求項２】
前記被検知ガスの流路を、前記被検知ガスが前記第１センサ部を流れる第１流路と、前記被検知ガスが前記第２センサ部を流れる第２流路とに切り替えるための流路切替部をさらに備える、請求項１に記載のガス分析装置。
【請求項３】
前記第２の量で前記被検知ガスを貯留可能なガス貯留部をさらに備え、
前記第１流路では、前記ガス貯留部を介して、前記第１センサ部に前記被検知ガスが流れ、
前記第２流路では、前記第２センサ部に前記ガス貯留部に貯留された前記被検知ガスが流れる、請求項２に記載のガス分析装置。
【請求項４】
清掃ガスによる前記第１センサ部の清掃動作と、前記第２センサ部による前記被検知ガスの検知動作とを並行して行うように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のガス分析装置。
【請求項５】
前記第１センサ部を清掃するための第１清掃ガス導入口と、
前記第２センサ部を清掃するための第２清掃ガス導入口とをさらに備える、請求項４に記載のガス分析装置。
【請求項６】
前記第１センサ部は、選択性を有するセンサ部であり、
前記第２センサ部は、選択性を有しないセンサ部である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のガス分析装置。
【請求項７】
第１センサ部により被検知ガスを検知する場合に、前記第１センサ部に第１の量で前記被検知ガスを流す工程と、
前記第１センサ部よりも応答性が高い第２センサ部により前記被検知ガスを検知する場合に、前記第２センサ部に前記第１の量よりも少ない第２の量で前記被検知ガスを流す工程と、を備える、ガス分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガス分析装置およびガス分析方法に関し、特に、複数のセンサ部を備えるガス分析装置およびガス分析方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のセンサ部を備えるガス分析装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、被検知ガスの所望のガス成分濃度を検出するガス検知部と、被検知ガスの濃度を検出する濃度測定部との複数（２つ）のセンサ部を備えるガスサンプリング装置（ガス分析装置）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１４１１３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、上記特許文献１に記載されたガスサンプリング装置のように、装置が複数（２つ）のセンサ部を備える場合、複数（２つ）のセンサ部の応答性（応答の速さ）が互いに異なる場合がある。この場合、応答性が低い（応答が遅い）センサ部において、被検知ガスのガス成分を確実に検知するためには、応答性が高い（応答が速い）センサ部よりも多い量で被検知ガスを流す必要があると考えられる。しかしながら、上記特許文献１に記載されたガスサンプリング装置では、センサ部の応答性が考慮されていないため、応答性が高いセンサ部と、応答性が低いセンサ部とに同じ量の被検知ガスが流れた場合には、応答性が高いセンサ部に多量の被検知ガスが流れることになり、応答性が高いセンサ部が劣化しやすいという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、応答性が低いセンサ部と応答性が高いセンサ部との両方で被検知ガスのガス成分を確実に検知することが可能なガス分析装置およびガス分析方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の第１の局面によるガス分析装置は、被検知ガスのうちのガス成分を検知する第１センサ部と、第１センサ部よりも応答性が高く、被検知ガスのうちのガス成分を検知する第２センサ部と、を備え、第１センサ部により被検知ガスのガス成分を検知する場合に、第１センサ部に第１の量で被検知ガスが流れ、第２センサ部により被検知ガスのガス成分を検知する場合に、第２センサ部に第１の量よりも少ない第２の量で被検知ガスが流れるように構成されている。
【０００８】
この発明の第１の局面によるガス分析装置では、上記のように、ガス分析装置を、第１センサ部により被検知ガスのガス成分を検知する場合に、第１センサ部に第１の量で被検知ガスが流れ、第２センサ部により被検知ガスのガス成分を検知する場合に、第２センサ部に第１の量よりも少ない第２の量で被検知ガスが流れるように構成する。これにより、応答性が低い第１センサ部と応答性が高い第２センサ部とのそれぞれに適量の被検知ガスを流すことができるので、第２センサ部に大量の被検知ガスが流れるのを抑制することができる。その結果、第１センサ部と第２センサ部との両方で被検知ガスのガス成分を確実に検知することを抑制することができる。
【０００９】
上記第１の局面によるガス分析装置において、好ましくは、被検知ガスの流路を、被検知ガスが第１センサ部を流れる第１流路と、被検知ガスが第２センサ部を流れる第２流路とに切り替えるための流路切替部をさらに備える。このように構成すれば、被検知ガスの流路を一部共通にすることができるので、第１センサ部と第２センサ部とで互いに独立して別個に被検知ガスの流路が設けられている場合に比べて、装置構成を簡素化することができる。
【００１０】
この場合、好ましくは、第２の量で被検知ガスを貯留可能なガス貯留部をさらに備え、第１流路では、ガス貯留部を介して、第１センサ部に被検知ガスが流れ、第２流路では、第２センサ部にガス貯留部に貯留された被検知ガスが流れる。このように構成すれば、一度被検知ガスを装置に導入する操作を行うだけで、第１センサ部および第２センサ部の両方のセンサ部に被検知ガスを流すことができる。その結果、流路を切り替える毎（センサ部毎に）に被検知ガスを導入する操作を行う必要が無く、ガス分析操作を簡便化することができる。
【００１１】
上記第１の局面によるガス分析装置において、好ましくは、清掃ガスによる第１センサ部の清掃動作と、第２センサ部による被検知ガスの検知動作とを並行して行うように構成されている。このように構成すれば、第２センサ部による被検知ガスの検知動作中に、第１センサ部の清掃ガスによる清掃を開始することができる。その結果、第１センサ部の清掃が未完了であることに起因して、次のガス分析動作が行えないことを抑制することができる。
【００１２】
この場合、好ましくは、第１センサ部を清掃するための第１清掃ガス導入口と、第２センサ部を清掃するための第２清掃ガス導入口とをさらに備える。このように構成すれば、第１センサ部を清掃するための第１清掃ガス導入口と、第２センサ部を清掃するための第２清掃ガス導入口とが別個に設けられているので、第２センサ部による被検知ガスの検知動作中に、第１センサ部の清掃ガスによる清掃を容易に開始することができる。
【００１３】
上記第１の局面によるガス分析装置において、好ましくは、第１センサ部は、選択性を有するセンサ部であり、第２センサ部は、選択性を有しないセンサ部である。なお、本願明細書では、「センサ部が選択性を有する」とは、センサ部が１つのガス成分のみを検知できることを意味し、「センサ部が選択性を有しない」とは、センサ部が複数のガス成分を検知できることを意味する。このように構成すれば、応答性が低くかつ選択性を有する第１センサ部と、応答性が高くかつ選択性を有しない第２センサ部とのそれぞれに適量の被検知ガスを流すことができる。
【００１４】
この発明の第２の局面によるガス分析方法は、第１センサ部により被検知ガスを検知する場合に、第１センサ部に第１の量で被検知ガスを流す工程と、第１センサ部よりも応答性が高い第２センサ部により被検知ガスを検知する場合に、第２センサ部に第１の量よりも少ない第２の量で被検知ガスを流す工程と、を備える。
【００１５】
この発明の第２の局面によるガス分析方法は、上記のように、第１センサ部により被検知ガスを検知する場合に、第１センサ部に第１の量で被検知ガスを流す工程と、第１センサ部よりも応答性が高い第２センサ部により被検知ガスを検知する場合に、第２センサ部に第１の量よりも少ない第２の量で被検知ガスを流す工程と、を備える。これにより、応答性が低い第１センサ部と応答性が高い第２センサ部とにそれぞれ適量の被検知ガスを流すことができるので、第２センサ部に大量の被検知ガスが流れるのを抑制することができる。その結果、第１センサ部と第２センサ部との両方で被検知ガスのガス成分を確実に検知することが可能なガス分析方法を提供することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、上記のように、応答性が低いセンサ部と応答性が高いセンサ部との両方で被検知ガスのガス成分を確実に検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態によるガス分析装置を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態によるガス分析装置のＣＯ２ガス分析状態のガス流れを示す図である。
【図３】本発明の一実施形態によるガス分析装置の可燃性ガス分析状態のガス流れを示す図である。
【図４】本発明の一実施形態によるガス分析装置の待機状態のガス流れを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１９】
（ガス分析装置の構成）
図１〜図４を参照して、本発明の一実施形態によるガス分析装置１００の構成について説明する。本実施形態では、都市ガス分析用のガス分析装置１００に本発明を適用した例について説明する。ガス分析装置１００は、たとえば、地中に埋設された都市ガス用の配管から、都市ガスが漏洩しているか否かを分析するために用いられる。
【００２０】
図１に示すように、ガス分析装置１００は、都市ガスのガス成分であるメタンガス、エタンガスおよびプロパンガスなどの可燃性ガスを検知可能に構成されている。ここで、都市ガスの主成分であるメタンガスは、地中より自然発生することがある。このため、単にメタンガスを検知するだけでは、検知されたメタンガスが都市ガス由来のものか、自然発生したものかを識別することが困難な場合がある。そこで、ガス分析装置１００は、都市ガスのガス成分であるメタンガス、エタンガスおよびプロパンガスなどの可燃性ガスに加えて、ＣＯ２ガスも検知可能に構成されている。発酵によりメタンガスが自然発生する場合には、メタンガスとともにＣＯ２（二酸化炭素）ガスも発生するため、都市ガスのガス成分であるメタンガス、エタンガスおよびプロパンガスなどに加えて、ＣＯ２ガスも検知することにより、都市ガスが漏洩しているか否かをより確実に分析することが可能である。
【００２１】
ガス分析装置１００は、第１センサ部１と、第２センサ部２と、流路切替部３と、制御部４とを備えている。
【００２２】
第１センサ部１は、被検知ガスのうちのガス成分であるＣＯ２ガスを検知するように構成されている。第１センサ部１は、赤外線などの光を用いる光学式センサを有し、光学式センサにより、ＣＯ２ガスを検知するように構成されている。第１センサ部１は、選択性を有しており、ＣＯ２ガスのみを検知可能に構成されている。
【００２３】
第１センサ部１の上流側には、被検知ガス導入口５が設けられている。第１センサ部１には、被検知ガス導入口５から導入された被検知ガスが流れる。被検知ガスを分析する場合、被検知ガス導入口５には、たとえば、注射器などにより被検知ガスが注入される。また、第１センサ部１の上流側には、清掃ガス導入口１ａと、清掃ガス用制御弁１ｂとが設けられている。清掃ガス導入口１ａには、第１センサ部１を清掃するための清掃ガスとして、たとえば、外気が導入される。なお、清掃ガスは、窒素や精製空気などの外気以外のガスでもよい。清掃ガス用制御弁１ｂは、清掃ガス導入口１ａからの清掃ガスの導入を制御するために設けられている。第１センサ部１の下流側には、第１ポンプ１ｃと、第１排気口１ｄとが設けられている。第１ポンプ１ｃは、被検知ガス導入口５から導入された被検知ガスを、第１センサ部１に流すための駆動源である。第１排気口１ｄは、第１センサ部１を流れた被検知ガスを外部に排出するための開口部である。なお、清掃ガス導入口１ａは、特許請求の範囲の「第１清掃ガス導入口」の一例である。
【００２４】
第２センサ部２は、被検知ガスのうちのガス成分であるメタン、エタンおよびプロパンなどの可燃性ガスを検知するように構成されている。第２センサ部２は、半導体式センサを有し、半導体式センサにより、メタン、エタンおよびプロパンなどの可燃性ガスを検知するように構成されている。第２センサ部２は、選択性を有しておらず、メタン、エタンおよびプロパンなどの複数のガス成分を検知可能に構成されている。
【００２５】
第２センサ部２の上流側には、被検知ガス導入口５と、ガス成分分離部２ａとが設けられている。ガス成分分離部２ａは、可燃性ガスの分子量に応じて流動遅延を生じさせることにより、被検知ガスのうちのメタン、エタンおよびプロパンなどのガス成分を、ガス成分ごとに分離するように構成されている。ガス成分分離部２ａは、たとえば、可燃性ガスを分離するための分離材が充填されたカラムである。第２センサ部２には、被検知ガス導入口５から導入され、ガス成分分離部２ａを流れた被検知ガスが流れる。
【００２６】
また、第２センサ部２の上流側には、キャリアガス導入口２ｂと、第２ポンプ２ｃと、ガス精製部２ｄと、流量制御部２ｅとが設けられている。キャリアガス導入口２ｂには、被検知ガス導入口５から導入された被検知ガスを、第２センサ部２に運ぶためのキャリアガスが導入される。キャリアガスは、たとえば、外気である。また、本実施形態では、キャリアガスは、第２センサ部２を清掃するための清掃ガスとして機能する。第２ポンプ２ｃは、キャリアガス導入口２ｂから導入されたキャリアガスにより、被検知ガス導入口５から導入された被検知ガスを、第２センサ部２に流すための駆動源である。ガス精製部２ｄは、キャリアガス導入口２ｂから導入されたキャリアガスを精製するように構成されている。ガス精製部２ｄには、たとえば、キャリアガスを精製するための活性炭が充填されている。流量制御部２ｅは、キャリアガスの流量を制御するように構成されている。流量制御部２ｅは、たとえば、キャリアガスの質量流量を計測することにより、キャリアガスの流量を制御するマスフローコントローラである。また、第２センサ部２の下流側には、第２排気口２ｆが設けられている。第２排気口２ｆは、第２センサ部２を流れた被検知ガスを外部に排出するための開口部である。なお、キャリアガス導入口２ｂは、特許請求の範囲の「第２清掃ガス導入口」の一例である。
【００２７】
また、第２センサ部２は、第１センサ部１よりも応答性が高い。つまり、第２センサ部２は、第１センサ部１よりもガス成分の検知に要する時間が短い。また、第１センサ部１は、第２センサ部２よりも応答性が低い。つまり、第１センサ部１は、第２センサ部２よりもガス成分の検知に要する時間が長い。本実施形態では、第１センサ部１は、内部を被検知ガスで置換した状態で、被検知ガスのうちのＣＯ２ガスを検知する構造を有している。第１センサ部１は、内部での被検知ガスの拡散が律速になるため、第２センサ部２よりも応答性が低く、第２センサ部２よりもガス成分の検知に要する時間が長い。
【００２８】
流路切替部３は、ガス分析装置１００のガス流路を切り替えるために設けられている。たとえば、流路切替部３は、被検知ガスの流路を、被検知ガスが第２センサ部２を流れることなく第１センサ部１を流れる第１流路Ｆ１（図２参照）と、被検知ガスが第１センサ部１を流れることなく第２センサ部２を流れる第２流路Ｆ２（図３参照）とに切り替えるために設けられている。流路切替部３は、複数（３つ）の三方弁３ａを有し、複数の三方弁３ａにより第１流路Ｆ１と第２流路Ｆ２とを切り替えるように構成されている。
【００２９】
制御部４は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）およびＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）などを含み、ガス分析装置１００の動作を制御する制御回路である。たとえば、制御部４は、第１流路Ｆ１と第２流路Ｆ２とを切り替えるように、流路切替部３を制御するように構成されている。
【００３０】
ここで、本実施形態では、ガス分析装置１００は、図２および図３に示すように、第１センサ部１により被検知ガスのＣＯ２ガスを検知する場合に、第１センサ部１に第１の量（たとえば、５８ｍｌ）で被検知ガスが流れ、第２センサ部２により被検知ガスのメタン、エタンおよびプロパンなどの可燃性ガスを検知する場合に、第２センサ部２に第１の量よりも少ない第２の量（たとえば、２ｍｌ）で被検知ガスが流れるように構成されている。
【００３１】
具体的には、制御部４は、第１センサ部１により被検知ガスのＣＯ２ガスを検知する場合に、第１流路Ｆ１で第１センサ部１に第１の量で被検知ガスが流れるように、流路切替部３を制御するように構成されている。また、制御部４は、第２センサ部２により被検知ガスのメタン、エタンおよびプロパンなどの可燃性ガスを検知する場合に、第２流路Ｆ２で第２センサ部２に第２の量で被検知ガスが流れるように、流路切替部３を制御するように構成されている。
【００３２】
より具体的には、ガス分析装置１００が被検知ガスを分析する分析状態である場合、図２に示すように、まず、制御部４は、第１流路Ｆ１で被検知ガスが流れるように、流路切替部３を制御するように構成されている。そして、被検知ガスのガス流路を第１流路Ｆ１に切り替えた状態で、被検知ガス導入口５から被検知ガスが導入される。ここで、本実施形態では、被検知ガス導入口５と第１センサ部１（第２センサ部２）との間には、第２の量で被検知ガスを貯留可能なガス貯留部６が設けられている。このため、第１流路Ｆ１では、ガス貯留部６を介して、第１センサ部１に被検知ガスが流れる。また、被検知ガス導入口５には、第１の量と第２の量とを合計した量（たとえば、６０ｍｌ）で、被検知ガスが導入される。なお、第１センサ部１に被検知ガスが流れている間、第２センサ部２には、キャリアガスが流れる。
【００３３】
そして、図３に示すように、制御部４は、第１流路Ｆ１により第１センサ部１に第１の量で被検知ガスが流れると、被検知ガスの流路が第２流路Ｆ２に切り替わるように、流路切替部３を制御するように構成されている。この結果、被検知ガス導入口５から導入された被検知ガスのうち、第１の量の被検知ガスが、第１センサ部１に流れ、第２の量の被検知ガスが、ガス貯留部６に貯留される。そして、制御部４は、第２流路Ｆ２において、キャリアガスが、ガス貯留部６、ガス成分分離部２ａおよび第２センサ部２に流れるように、ガス流れを制御するように構成されている。この結果、第２流路Ｆ２では、キャリアガスに運ばれることにより、第２センサ部２にガス貯留部６に第２の量で貯留された被検知ガスが流れる。
【００３４】
また、本実施形態では、ガス分析装置１００は、清掃ガスによる第１センサ部１の清掃動作と、第２センサ部２による被検知ガスの検知動作とを並行して行うように構成されている。つまり、制御部４は、第２センサ部２により被検知ガスのメタン、エタンおよびプロパンなどの可燃性ガスを検知する場合に、第２センサ部２に被検知ガスが流れるように、流路切替部３を制御するとともに、第１センサ部１に清掃ガスが流れるように、清掃ガス用制御弁１ｂを制御する。なお、清掃ガスによる第１センサ部１の清掃動作が完了した場合には、第２センサ部２による被検知ガスの検知動作中であっても、清掃ガスによる第１センサ部１の清掃動作は停止される。
【００３５】
図４に示すように、ガス分析装置１００が被検知ガスを分析しない待機状態である場合、ガス分析装置１００は、第２センサ部２にキャリアガスが流れ、第１センサ部１に清掃ガスや被検知ガスなどのガスが流れないように構成されている。具体的には、制御部４は、ガス貯留部６、ガス成分分離部２ａおよび第２センサ部２にキャリアガスが流れ、第１センサ部１にガスが流れないように、流路切替部３および清掃ガス用制御弁１ｂを制御するように構成されている。これにより、待機状態では、ガス貯留部６、ガス成分分離部２ａおよび第２センサ部２が清掃される。
【００３６】
（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００３７】
本実施形態では、上記のように、ガス分析装置１００を、第１センサ部１により被検知ガスのガス成分を検知する場合に、第１センサ部１に第１の量で被検知ガスが流れ、第２センサ部２により被検知ガスのガス成分を検知する場合に、第２センサ部２に第１の量よりも少ない第２の量で被検知ガスが流れるように構成する。これにより、応答性が低い第１センサ部１と応答性が高い第２センサ部２とのそれぞれに適量の被検知ガスを流すことができるので、第２センサ部２に大量の被検知ガスが流れるのを抑制することができる。その結果、第１センサ部１と第２センサ部２との両方で被検知ガスのガス成分を確実に検知することができる。
【００３８】
また、本実施形態では、上記のように、ガス分析装置１００は、被検知ガスの流路を、被検知ガスが第１センサ部１を流れる第１流路Ｆ１と、被検知ガスが第２センサ部２を流れる第２流路Ｆ２とに切り替えるための流路切替部３を備えている。これにより、被検知ガスの流路を一部共通にすることができるので、第１センサ部１と第２センサ部２とで互いに独立して別個に被検知ガスの流路が設けられている場合に比べて、装置構成を簡素化することができる。
【００３９】
また、本実施形態では、上記のように、ガス分析装置１００は、第２の量で被検知ガスを貯留可能なガス貯留部６を備えている。そして、第１流路Ｆ１では、ガス貯留部６を介して、第１センサ部１に被検知ガスが流れる。また、第２流路Ｆ２では、第２センサ部２にガス貯留部６に貯留された被検知ガスが流れる。これにより、一度被検知ガスを装置に導入する操作を行うだけで、第１センサ部１および第２センサ部２の両方のセンサ部に被検知ガスを流すことができる。その結果、流路を切り替える毎（センサ部毎に）に被検知ガスを導入する操作を行う必要が無く、ガス分析操作を簡便化することができる。
【００４０】
また、本実施形態では、上記のように、ガス分析装置１００を、清掃ガスによる第１センサ部１の清掃動作と、第２センサ部２による被検知ガスの検知動作とを並行して行うように構成する。これにより、第２センサ部２による被検知ガスの検知動作中に、第１センサ部１の清掃ガスによる清掃を開始することができる。その結果、第１センサ部１の清掃が未完了であることに起因して、次のガス分析動作が行えないことを抑制することができる。
【００４１】
また、本実施形態では、上記のように、ガス分析装置１００は、第１センサ部１を清掃するための清掃ガス導入口１ａと、第２センサ部２を清掃するためのキャリアガス導入口２ｂとを備える。これにより、第１センサ部１を清掃するための清掃ガス導入口１ａと、第２センサ部２を清掃するためのキャリアガス導入口２ｂとが別個に設けられているので、第２センサ部２による被検知ガスの検知動作中に、第１センサ部１の清掃ガスによる清掃を容易に開始することができる。
【００４２】
また、本実施形態では、上記のように、第１センサ部１は、選択性を有するセンサ部である。そして、第２センサ部２は、選択性を有しないセンサ部である。これにより、応答性が低くかつ選択性を有する第１センサ部１と応答性が高くかつ選択性を有しない第２センサ部２とのそれぞれに適量の被検知ガスを流すことができる。
【００４３】
［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【００４４】
たとえば、上記実施形態では、都市ガス分析用のガス分析装置に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明は、応答性が低い第１センサ部と、応答性が高い第２センサ部との２つのセンサ部を備えるガス分析装置であれば、都市ガス分析用のガス分析装置以外のガス分析装置に適用されてもよい。この場合、第１センサ部は、被検知ガスのＣＯ２ガス以外のガス成分を検知してもよく、第２センサ部は、メタン、エタンおよびプロパンなどの可燃性ガス以外のガス成分を検知してもよい。たとえば、第１センサ部は、定電位電界式センサにより、一酸化炭素や硫化水素などのガス成分を検知してもよい。たとえば、第２センサ部は、接触燃焼式センサにより、水素などのガス成分を検知してもよい。また、第１センサ部は、必ずしも選択性を有していなくてもよく、第２センサ部は、選択性を有していてもよい。
【００４５】
また、上記実施形態では、ガス分析装置が、第１センサ部と第２センサ部とで、被検知ガスの流路が一部共通になるように構成されているとともに、被検知ガスの流路を、第１流路と第２流路とに切り替え可能なように構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ガス分析装置に、第１センサ部と第２センサ部とで互いに独立した別個の被検知ガスの流路を設けてもよい。
【００４６】
また、上記実施形態では、ガス分析装置に、ガス貯留部を設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ガス分析装置に、ガス貯留部を設けなくてもよい。この場合、たとえば、第１センサ部による検知動作時に、被検知ガス導入口から第１の量で被検知ガスを導入し、第２センサ部による検知動作時に、被検知ガス導入口から第２の量で被検知ガスを導入してもよい。
【００４７】
また、上記実施形態では、清掃ガスによる第１センサ部の清掃動作と、第２センサ部による被検知ガスの検知動作とを並行して行う例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、清掃ガスによる第１センサ部の清掃動作と、第２センサ部による被検知ガスの検知動作とを必ずしも並行して行う必要はなく、清掃ガスによる第１センサ部の清掃動作と、第２センサ部による被検知ガスの検知動作とを互いに独立して別個に行ってもよい。
【００４８】
また、上記実施形態では、第１センサ部を清掃するための清掃ガス導入口と、第２センサ部を清掃するための清掃ガス導入口（キャリアガス導入口）とを互いに独立して別個に設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、第１センサ部を清掃するための清掃ガス導入口と、第２センサ部を清掃するための清掃ガス導入口（キャリアガス導入口）とが同じであってもよい。たとえば、上記実施形態のキャリアガス導入口を、第１センサ部および第２センサ部を清掃するための清掃ガス導入口としてもよい。
【００４９】
また、上記実施形態では、第１センサ部の下流側に、第１センサ部用の第１ポンプを設け、第２センサ部の上流側に、第２センサ部用の第２ポンプを設ける例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、センサ部に対するポンプの配置位置は、センサ部に対して上流側であっても下流側であってもよい。たとえば、第１センサ部の上流側に、第１センサ部用の第１ポンプを設け、第２センサ部の下流側に、第２センサ部用の第２ポンプを設けてもよい。
【００５０】
また、上記実施形態では、第１センサ部と第２センサ部とがそれぞれ１つづつ設けられる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、応答性が低い第１センサ部を１つと、応答性が高い第２センサ部を複数設けてもよく、応答性が低い第１センサ部を複数と、応答性が高い第２センサ部を１つ設けてもよく、応答性が低い第１センサ部と、応答性が高い第２センサ部をそれぞれ複数設けてもよい。この場合、各センサ部の検知に必要な量の被検知ガスを貯留可能なガス貯留部を備え、ガス貯留部から各センサ部それぞれに被検知ガスが供給される流路を構成するようにすればよい。
【符号の説明】
【００５１】
１  第１センサ部
１ａ  清掃ガス導入口（第１清掃ガス導入口）
２  第２センサ部
２ｂ  キャリアガス導入口（第２清掃ガス導入口）
３  流路切替部
６  ガス貯留部
１００  ガス分析装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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