(57)【要約】【課題】スペックル解消素子を含む光学系のスペックル解消効果を向上させる。【解決手段】スペックル解消光学系は、光源から発せられる光の光路上に配置されてスペックル解消効果を生じる複数のスペックル解消素子と、前記スペックル解消素子のうちの少なくとも２つを前記光源からの光に与える光学的効果を時間変化させるように動作させるスペックル解消素子駆動部と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から発せられる光の光路上に配置されてスペックル解消効果を生じる複数のスペックル解消素子と、
前記スペックル解消素子のうちの少なくとも２つを前記光源からの光に与える光学的効果を時間変化させるように動作させるスペックル解消素子駆動部と、を備えているスペックル解消光学系。
【請求項２】
光に位相差を生じさせる機能を有する波長板を前記スペックル解消素子として含み、前記波長板が前記スペックル解消素子駆動部により駆動される請求項１に記載のスペックル解消光学系。
【請求項３】
複数の波長板を前記スペックル解消素子として含み、少なくとも２つの前記波長板が前記スペックル解消素子駆動部により駆動される請求項２に記載のスペックル解消光学系。
【請求項４】
光拡散機能を有する光拡散板を前記スペックル解消素子として含み、少なくとも１つの前記波長板と前記光拡散板とが前記スペックル解消素子駆動部により駆動される請求項１から３のいずれか一項に記載のスペックル解消光学系。
【請求項５】
前記スペックル解消素子駆動部は、少なくとも２つの前記スペックル解消素子を回転運動させるように構成されている請求項１から４のいずれか一項に記載のスペックル解消光学系。
【請求項６】
回転運動する前記スペックル解消素子の回転数が互いに異なっている請求項５に記載のスペックル解消光学系。
【請求項７】
回転運動する前記スペックル解消素子の回転方向が互いに異なっている請求項５又は６に記載のスペックル解消光学系。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか一項に記載のスペックル解消光学系を備えた光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スペックル解消素子を含むスペックル解消光学系とそのような光学系を有する光学機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
偏光解消素子は、レーザプリンタなどで問題となる偏光を解消させるための光学部品として用いられたり、光学露光装置や光学測定機などの光学機器の光学系のスペックルの発生を低減させるスペックル低減素子として用いられたりしている。
【０００３】
レーザからの光をマイクロレンズアレイやフライアイレンズを通すことによってひとつの光束を複数の光束に分割する際、分割された光は偏光方向が同一方向に揃っており、スペックル解消光学系の中で特定の条件が整うと、分割された光がそれぞれ干渉発生の原因となって光学系の途中で光が強めあう点（スペックル）が生じる場合がある。スペックルは、レーザ光を使用するいろいろな光学系で発生することが知られており、これを解消する方法が種々提案されているが、有効な解決策は確立されていない。
【０００４】
スペックルを解消する方法のひとつとして、光の偏光状態が様々になったいわゆるランダム偏光状態にすることが挙げられる。偏光が不揃いであると、指向性の低い自然光の状態に近づくために光の干渉が起こりにくいからである。
【０００５】
偏光解消素子として、サブ波長構造（Sub-Wavelength Structures；ＳＷＳ）を備えたものが知られている（例えば特許文献１を参照。）。サブ波長構造は、使用する光の波長よりも短い周期で繰り返して配列された溝の周期構造である。
【０００６】
光の波長より短いピッチをもつ溝の周期構造は、周期をもつ方向ともたない方向で互いに異なる有効屈折率ｎＴＥ，ｎＴＭをもち、あたかも複屈折材料であるかのように振舞う（いわゆる構造複屈折構造である）。この有効屈折率の差によって各偏波方向の光の伝播速度に差ができるため、サブ波長構造を通過する光の偏光状態が変化する。サブ波長構造は、構造の設計によって複屈折やそれらの分散を自由に制御できる。サブ波長構造のこの特性を利用して、偏光板、波長板、波長分離素子など、様々な製品が展開されている。
【０００７】
サブ波長構造を利用した偏光解消素子は、光を透過させる部分が複数の領域に分割され、それらの各領域に種々の光学軸方向をもったサブ波長構造が形成されている。以下、この領域をサブ波長構造領域と称する。光学軸方向とは、サブ波長構造の溝の配列方向である。偏光解消素子は、各サブ波長構造領域を光が走査するように平面的に駆動される。これにより、該偏光解消素子を透過する光の偏光方向が時間によって種々の方向に変更され、それらを合成した光は種々の偏光方向をもった光となる。偏光解消素子を透過した光が種々の偏光方向をもつことにより、同じ偏光方向をもった光の干渉によるスペックルが緩和される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１１−１８０５８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記のスペックル解消素子を含む光学系のスペックル解消効果を向上させることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るスペックル解消光学系は、光源から発せられる光の光路上に配置されてスペックル解消効果を生じる複数のスペックル解消素子と、前記スペックル解消素子のうちの少なくとも２つを前記光源からの光に与える光学的効果を時間変化させるように動作させるスペックル解消素子駆動部と、を備えている。光に与える光学的効果とは、例えばスペックル解消素子が波長板であれば、光に位相差を生じさせる効果を意味する。
【００１１】
光に位相差を生じさせる機能を有する波長板を前記スペックル解消素子として含み、前記波長板が前記スペックル解消素子駆動部により駆動されるようなっていてもよい。
【００１２】
複数の波長板を前記スペックル解消素子として含み、少なくとも２つの前記波長板が前記スペックル解消素子駆動部により駆動されるようになっていてもよい。少なくとも２つの波長板を駆動することにより、波長板による光の位相差の時間分割効果が向上し、それによってスペックル解消効果が向上する。光の偏光方向を変換する１／２波長板は、そのサブ波長構造の製作が容易でないことから高価になりがちであるが、例えば、１／４波長板などの波長板を複数用いることで１／２波長板としての機能を実現することができ、それによって１／２波長板の機能を低コストで実現することができる。
【００１３】
光拡散機能を有する光拡散板を前記スペックル解消素子として含み、少なくとも１つの前記波長板と前記光拡散板とが前記スペックル解消素子駆動部により駆動されるようになっていてもよい。光拡散板は、マイクロレンズアレイやフライアイレンズを有する光透過性のスペックル解消素子である。かかるスペックル解消素子を波長板とともに用いることで、光の偏光方向を波長板によって時間的に分割するだけでなく、光拡散板によって空間的に分割することができる。さらに、これらを駆動することにより、光の偏光方向の時間分割機能と空間分割機能の双方を向上させることができ、スペックル解消効果が向上する。
【００１４】
前記スペックル解消素子駆動部は、少なくとも２つの前記スペックル解消素子を回転運動させるように構成されていてもよい。スペックル解消素子を回転運動させるための機構は、スペックル解消素子を振動運動など他の運動をさせるための機構よりも安価であり、コストの低減を図ることができる。
【００１５】
回転運動する前記スペックル解消素子の回転数が互いに異なっていてもよい。スペックル解消素子の回転数が互いに異なっていることで、光の偏光方向の時間分割機能が向上し、スペックル解消効果が向上する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るスペックル解消光学系は、スペックル解消効果を有する複数のスペックル解消素子を光源からの光に与える光学的効果を時間変化させるように動作させるので、スペックル解消素子を単独で動作させる場合に比べて光の偏光方向の時間分割機能が向上し、スペックル解消効果が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】一実施例のスペックル解消光学系を備えた光学機器の一例としてのスクリーン投影装置の構成を示す概略構成図である。
【図２】同実施例のスペックル解消光学系のスペックル解消素子の１種である波長板の一例を概略的に示す断面図である。
【図３】同実施例のスペックル解消光学系のスペックル解消素子の１種である光拡散板の一例を概略的に示す断面図である。
【図４】スペックル解消素子の組合せの一例を説明するための概念図である。
【図５】スペックル解消素子の組合せの他の例を説明するための概念図である。
【図６】スペックル解消素子の組合せのさらに他の例を説明するための概念図である。
【図７】スペックル解消素子の組合せのさらに他の例を説明するための概念図である。
【図８】スペックル解消素子の組合せのさらに他の例を説明するための概念図である。
【図９】スペックル解消素子の組合せのさらに他の例を説明するための概念図である。
【図１０】スペックル解消素子の組合せのさらに他の例を説明するための概念図である。
【図１１】スペックル解消素子の組合せのさらに他の例を説明するための概念図である。
【図１２】光を平行光として出射させる構成を示す断面図である。
【図１３】光を平行光として出射させる概念を説明する概念図である。
【図１４】光を平行光として出射させる構成を盛り込んだスペックル解消光学系の一例を示す断面図である。
【図１５】光を平行光として出射させる構成を盛り込んだスペックル解消光学系の他の例を示す断面図である。
【図１６】光を平行光として出射させる構成を盛り込んだスペックル解消光学系のさらに他の例を示す断面図である。
【図１７】光を平行光として出射させる構成を盛り込んだスペックル解消光学系のさらに他の例を示す断面図である。
【図１８】スペックル解消光学系を備えた光学機器の他の例としてのプロジェクタの構成を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明に係るスペックル解消光学系について、図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は、一実施例のスペックル解消光学系を用いたスクリーン投影装置の概略構成図である。
【００２０】
このスクリーン投影装置は、光源部２、スペックル解消光学系１２、ミラー１８、レンズ２０、ＭＥＭＳ素子２２、投影レンズ２４及びスクリーン２６を備えている。光源部２は赤、緑、青の三色の光をそれぞれ発光するレーザーダイオード（ＬＤ）又は発光ダイオード（ＬＥＤ）からなる光源４ａ，４ｂ，４ｃを備え、それらの光源４ａ，４ｂ，４ｃから発せられる光をハーフミラー６，８によって合成し、レンズ１０を介して出射する。なお、光源部２を構成する光源はＬＤやＬＥＤに限られず、他の光源であってもよい。
【００２１】
光源部２から出射される光の光軸上にスペックル解消光学系１２が配置されている。スペックル解消光学系１２は、スペックル解消効果を有する複数のスペックル解消素子１４を備えている。スペックル解消光学系１２のスペックル解消素子１４のうち少なくとも２つのスペックル解消素子１４がスペックル解消素子駆動部１６によって、光源部２から出射される光の光軸に対して垂直な平面内で運動させられる。
なお、ここでは詳細に述べないが、「反射型スペックル解消素子」の場合は、光源部２から出射される光の光軸上にスペックル解消光学系１２が配置されていない場合はある。
【００２２】
スペックル解消光学系１２のスペックル解消素子１４として、図２に示されているような、凸部３０と溝３２が光の波長よりも短いピッチで周期的に設けられたサブ波長構造を有する波長板１４ａをスペックル解消素子が挙げられる。なお、図２の波長板は基板の一表面にのみサブ波長構造が設けられているが、基板の両面にサブ波長構造が設けられたものであってもよい。このような波長板１４ａを光の光軸に対して垂直な平面内で運動させることで、光に偏光状態を時間的に変換する時間分割機能を得ることができる。特に、光に略１／２波長分の位相差を生じさせるもの（１／２波長板）であれば、光の偏光方向を時間的に変換することができるが、１／２波長分よりも小さい位相差を光に生じさせる波長板であっても、光の可干渉性を低減することができる。例えば、「反射型スペックル解消素子」の場合は、位相差量がλ／４波長板の光学素子部分を２回通過することで（λ／４波長板）＋（λ／４波長板）＝（λ／２波長板）の機能を発現する。このため、１／２波長分の位相差を生じさせるもの（１／２波長板）と同じ効果を発現する。
【００２３】
波長板１４ａは、基板表面が複数の領域に分割され、それらの領域に互いに光学軸方向（凸部３０と溝３２の配列方向）が異なるサブ波長構造が設けられた領域分割型の波長板であってもよいし、基板表面のサブ波長領域（サブ波長構造が設けられている領域）全体が同じ光学軸方向をもった領域非分割型の波長板であってもよい。領域非分割型の波長板は、回転運動させることによって時間分割機能を発揮することができる。領域非分割型の波長板は、領域分割型の波長板に比べて製造が容易であり、製造コストが安価である。
【００２４】
さらに、スペックル解消光学系１２のスペックル解消素子１４として、図３に示されているような、複数のレンズ部３４からなるマイクロレンズアレイやフライアイレンズを備えた光拡散板１４ｂも挙げられる。このような光拡散板１４ｂに光が入射すると、１つの光束が複数の光束に分割される。すなわち、光拡散板１４ｂは光を空間的に分割する空間分割機能を有する。
【００２５】
なお、図３では、同じ大きさをもつ複数のレンズ部３４が均等に配置されているように描かれているが、レンズ部３４の有効径や焦点距離は均一であっても不均一であってもよい。マイクロレンズの有効径や焦点距離が不均一な光拡散板としては、特開２０１４−２０３０３２号公報に開示されているものを用いることができる。
【００２６】
また、スペックル解消光学系１２のスペックル解消素子１４として、図２に示されているような波長板と図３に示されているような光拡散板とが一体化したものであってもよい。そのような素子は、例えば特開２０１１−１８０５８１に開示されている。
【００２７】
上記の波長板１４ａや光拡散板１４ｂ、又はそれらを一体化させたようなものはいずれも、光の時間分割機能又は空間分割機能を有するものであり、スペックル解消効果を有する。スペックル解消光学系１２は、このようなスペックル解消効果を有するスペックル解消素子を複数用いて組み合わせることで実現される。
【００２８】
なお、図１では、スペックル解消光学系１２のスペックル解消素子１４が並んで配置されているように示されているが、スペックル解消素子１４は互いに離れた位置、すなわちスペックル解消素子１４の間に他の光学素子が存在していてもよい。要は、光源部２からの光に位相差を生じさせる波長板を少なくとも含む複数のスペックル解消素子１４が光源部２からの光の光軸上に設けられ、それらのスペックル解消素子１４のうち少なくとも２つのスペックル解消素子１４がスペックル解消素子駆動部１６によって運動させられるようになっていれば、どのような配置であってもよい。
【００２９】
スペックル解消光学系１２を経た光は、ミラー１８、レンズ２０、ミラー２２及び投影レンズ２４を経てスクリーン２６に投影される。ミラー２２はＭＥＭＳ素子からなるミラー（ＭＥＭＳミラー）ないしはＭＥＭＳミラーアレイであってもよい。なお、本発明では煩雑をさけるため、上記を総称してＭＥＭＳミラーと表記する。ＭＥＭＳミラーは、電気的に駆動することができる単独または複数のマイクロミラーを備え、マイクロミラーの下部に設けられた電極の駆動のオン／オフによってマイクロミラーの傾斜状態を変化させることができる。したがって、ミラーを個別に駆動することにより、表示画素ごとに光の投射を制御することができる。
【００３０】
スペックル解消光学系１２を構成するスペックル解消素子１４の組合せは種々考えられる。以下に、その代表的な例について以下に説明する。
【００３１】
まず、図４に示されているように、スペックル解消光学系１２を２枚のスペックル解消素子１４−１及び１４−２によって構成することが考えられる。図４の実施例では、スペックル解消素子１４−１及び１４−２がともに円盤型の素子であり、同軸上に配置され、スペックル解消素子１６によって同じ方向へ回転運動させられる。スペックル解消素子１４−１と１４−２の回転速度は同じであってもよいし、異なっていてもよい。
【００３２】
スペックル解消素子１４−１及び１４−２のうち少なくとも一方は、図２に示されているような波長板である。スペックル解消素子１４−１と１４−２の両方が波長板である場合には、スペックル解消素子１４−１及び１４−２のそれぞれを略１／４波長板とするなどして、スペックル解消素子１４−１及び１４−２で１つの１／２波長板としての機能を持たせることが好ましい。そうすれば、スペックル解消素子１４−１及び１４−２によって光の偏光方向を変換する機能をもつことができる。そして、これらのスペックル解消素子１４−１及び１４−２を同時に運動させることで、スペックル解消素子を単体で用いた場合に比べてスペックル解消効果が向上する。
【００３３】
また、スペックル解消素子１４−１及び１４−２のうち一方のみが波長板である場合には、その波長板に１／２波長板としての機能をもたせることが好ましい。その場合、他方のスペックル解消素子には、図３に示されているような光拡散板を用いることができる。光の偏光方向の時間分割機能を有する１／２波長板に光の空間分割機能を有する光拡散板を組み合わせ、それらを同時に運動させることで、時間分割機能及び空間分割機能の双方が向上し、スペックル解消素子を単体で用いた場合に比べてスペックル解消効果が向上する。また、スペックル解消素子１４−１及び１４−２のいずれもが図３に示されているような光拡散板であってもよい。
【００３４】
なお、図５に示されているように、スペックル解消素子１４−１と１４−２の回転方向が互いに逆になっていてもよい。そうすれば、各スペックル解消素子１４−１と１４−２の光軸通過領域の相対的な運動速度が高くなり、光の時間分割機能が向上し、スペックル解消効果がさらに向上する。
【００３５】
さらに、図６及び７に示されているように、スペックル解消素子１４−１と１４−２は同軸上ではなく、互いの一部領域が重なるように配置されていてもよい。図６及び図７の例では、スペックル解消素子１４−１の下側端部とスペックル解消素子１４−２の上側端部が光源部２からの光の光軸上に配置されている。この場合、図６に示されているように、スペックル解消素子１４−１と１４−２の回転方向が互いに逆である場合に、光が通過する領域は同じ方向へ移動し、図７に示されているように、スペックル解消素子１４−１と１４−２の回転方向が互いに同じである場合に、光が通過する領域は逆方向へ移動する。
【００３６】
また、図８及び図９に示されているように、スペックル解消素子１４−１と１４−２は、円盤型以外の形状、例えば平板型であってもよく、そのようなスペックル解消素子に回転運動以外の運動をさせてもよい。回転運動以外の運動としては、例えば光軸に対して垂直な平面内で互いに直交する２方向への振動運動、八の字運動、楕円運動等が挙げられる。
【００３７】
また、図１０及び図１１に示されているように、スペックル解消光学系１２は３つ以上のスペックル解消素子１４−１、１４−２及び１４−３を備えていてもよい。図１０の例では、３つのスペックル解消素子１４−１、１４−２及び１４−３のうちスペックル解消素子１４−１と１４−２を光軸に対して垂直な平面内において運動させ、スペックル解消素子１４−３は静止させている。図１１の例では、すべてのスペックル解消素子１４−１、１４−２及び１４−３を光軸に対して垂直な平面内において運動させている。
【００３８】
図１０の例において、スペックル解消素子１４−１及び１４−２を図２に示したような波長板とし、スペックル解消素子１４−３を図３に示したような光拡散板とすることができる。その場合、スペックル解消素子１４−１及び１４−２によって光に略１／２波長分の移動差を生じさせるものであることが好ましい。そうすれば、スペックル解消素子１２として、光の偏光方向の時間分割機能と光の空間分割機能を得ることができる。
【００３９】
さらに、図１１の例のように、光拡散板からなるスペックル解消素子１４−３を光軸に垂直な平面内において運動させることで、光の空間分解機能のさらなる向上を図ることができる。
【００４０】
また、図１１の例において、３つのスペックル解消素子１４−１〜１４−３をすべて波長板としてもよいし、いずれか２つを波長板又は光拡散板としてもよい。３つのスペックル解消素子１４−１〜１４−３を光軸に垂直な平面内において同時に運動させることで、スペックル解消効果のさらなる向上を図ることができる。
【００４１】
図１０及び図１１の例において、スペックル解消素子１４−１と１４−２の回転方向は同じであってもよいし、逆であってもよい。また、スペックル解消素子１４−１と１４−２は必ずしも同軸上に設けられている必要はなく、図６及び図７と同様の配置であってもよい。
【００４２】
スペックル解消光学系１２のスペックル解消素子１４として図３のような光拡散板１４ｂを用いる場合、図１２に示されているように、２枚の光拡散板１４ｂを、互いのレンズ部を対向させるようにして配置することができる。レンズ部を互いに対向させることで、図１３に示されているように、平行光として入射した光を平行光として出射させることができる。この原理をすべてのレンズ部において実現するためには、光拡散板１４ｂとして、特開２０１４−２０３０３２号公報に開示されているような光拡散板を用いることが好ましい。特開２０１４−２０３０３２号公報に開示されている光拡散板は、各レンズのＦナンバ（＝ｆ／Ｄ、ｆは焦点距離、Ｄは各レンズの有効径）が略均一となるように構成されており、各レンズ部において平行光として入射した光を平行光として出射させることが可能となる。
【００４３】
図１３の原理を利用したスペックル解消光学系１２の構成の例として、図１４から図１７に示される構成が挙げられる。
【００４４】
図１４の例では、波長板１４ａをスペックル解消素子１４−１として用い、２枚の光拡散板１４ｂを互いのレンズ部を対向させた状態で１つのスペックル解消素子１４−２として用いる。この場合、２枚の光拡散板１４ｂを一体として同時に光軸に対して垂直な平面内で所定の運動をさせる。これにより、時間分割機能と空間分割機能の向上を図りながら、平行光として入射した光を平行光として出射させることができる。
【００４５】
なお、ここでの詳細な説明は割愛するが、図２、図１４、図１５、図１６及び図１７に示されているスペックル解消素子１４は、光学面に対して光を斜めに入射させても波長板としての効果が得られる。したがって、各スペックル解消素子１４は必ずしも光の光軸に対して垂直に配置されている必要はなく、光軸に対して傾斜した状態で配置されていてもよい。
【００４６】
図１５の例では、一方の面にサブ波長構造をもち、他方の面にマイクロレンズアレイやフライアイレンズをもつ素子１４ｃを１つのスペックル解消素子１４−１として用い、その素子１４ｃのレンズ部が設けられている面に対向するように、光拡散板１４ｂを２つめのスペックル解消素子１４−２として用いている。この構造によっても、時間分割機能と空間分割機能の向上を図りながら、平行光として入射した光を平行光として出射させることができる。
【００４７】
さらに、図１６の例のように、図１５の構成に３つめのスペックル解消素子１４−３として波長板１４ａを加えて用いることもできる。また、図１７に示されているように、波長板としての機能と光拡散板としての機能を備えた素子１４ｃを２つ用い、それらをそれぞれスペックル解消素子１４−１及び１４−２として、互いのレンズ部が設けられている面が対向するように配置してもよい。図１６や図１７の構成によっても、時間分割機能と空間分割機能の向上を図りながら、平行光として入射した光を平行光として出射させることができる。
【００４８】
一般に、スペックル解消素子の動作速度が高ければ高いほど、スペックル解消効果が高いことがわかっている。しかし、センサー等を使用して画像を読み取るような光学系を使用する場合、センサーのサイズ（寸法）とスペックル解消素子の動作速度との関係が一定の関係になったときに規則的なノイズパターンが画像に発生してしまうことがある。従来では、単体のスペックル解消素子を動作させていたため、ノイズを発生させないための調整幅が少なく、ノイズの低減とスペックル解消効果の向上の両立が難しかった。
【００４９】
これに対し、以上において説明した実施例では、スペックル解消光学系１２を構成するスペックル解消素子１４のうちの少なくとも２つを動作させるので、ノイズを発生させないための調整幅が広く、ノイズの低減とスペックル解消効果の向上の両立を図ることが容易である。
【００５０】
本発明者は、スペックル解消光学系１２を構成するスペックル解消素子１４の組合せとそのときのスペックル解消効果について検証を行なった。その結果を表１に示す。
【００５１】
【表１】
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【００５２】
この検証では、株式会社オキサイドの標準型スペックルコントラスト測定光学装置で種々の組合せについてスペックルコントラスト値（以下、Ｃｓ値）を測定した。Ｃｓ値はスペックルが多く現れるほど大きな値になるものであるため、測定されるＣｓ値が低いほどスペックル解消効果が高いと評価することができる。
【００５３】
上記の表１からわかるように、１／２波長板と光拡散板（マイクロレンズアレイ）を用い、いずれも静止させたときのＣｓ値は０．８〜１．０（表１の０の行を参照。）、１／２波長板を速度Ｖで回転させ、光拡散板を静止させたときのＣｓ値は０．４であった（表１の１の行を参照。）。光拡散板だけを用いただけではスペックル解消効果が得られにくいが、それでも２枚の光拡散板をそれぞれ運動させると、静止した１／２波長板と光拡散板を用いた場合よりもＣｓ値が小さくなった（表１の２及び３の行を参照。）。さらに、１枚の１／２波長板と１枚の光拡散板をそれぞれ運動させた場合、２枚の１／４波長板と１枚の光拡散板をそれぞれ運動させた場合、１枚の波長板と２枚の光拡散板をそれぞれ運動させた場合には、Ｃｓ値が小さくなった（表１の２から１３の行を参照。）。このことから、複数のスペックル解消素子を同時に運動させることで、スペックル解消効果の向上が見られることがわかった。
【００５４】
なお、以上において説明したスペックル解消光学系１２は、図１を用いて説明した実施例の光学系以外の光学系に対しても適用することができる。図１８はスペックル解消光学系１２を適用した他の光学系の一例を示すものである。図１８の実施例は、レーザ光源４０から発せされた光から分割結像部４６において３原色の光を取り出し、それらの光をそれぞれＬＣＤ（液晶ディスプレイ）パネルに導き、投影レンズ４８からスクリーン５０へ出力するプロジェクタである。この実施例では、レーザ光源４０と分割結像部４６との間に配置されたレンズ４２と４４の間にスペックル解消光学系１２が配置されている。
【符号の説明】
【００５５】
２      光源部
４ａ〜４ｃ      光源
６，８      ハーフミラー
１０，２０      レンズ
１２      スペックル解消光学系
１４      スペックル解消素子
１４ａ      波長板
１４ｂ      光拡散板
１６      スペックル解消素子駆動部
１８      ミラー
２２      ＭＥＭＳ素子
２４      投影レンズ
２６      スクリーン
３０      凸部
３２      溝
３４      レンズ部
【図１】
2018054759.tif 000004
【図２】
2018054759.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
2018054759.tif 000008
【図６】
2018054759.tif 000009
【図７】
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【図８】
2018054759.tif 000011
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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