(57)【要約】【課題】気泡の発生を抑制する。【解決手段】バルブ本体に取り付けられたプラグ部材の回動動作により液体の供給経路を閉塞可能なプラグバルブにおいて、前記プラグ部材は、外面に形成されたプラグ側溝部を含み、前記バルブ本体は、前記液体を内部に流入させる液体流入口と、前記液体を外部に流出させる液体流出口と、前記プラグ部材の前記外面に対向する本体側溝部と、を含み、前記プラグ部材の前記回動動作に応じて、前記液体流入口及び前記液体流出口と前記本体側溝部との間が前記プラグ側溝部によりバイパスされた第１状態と、前記液体流入口及び前記液体流出口と前記本体側溝部との間が前記プラグ側溝部によりバイパスされない第２状態とが切り替わるように構成されており、前記プラグ側溝部には、前記第１状態において、前記液体流入口から流入した前記液体が淀まないように整流する整流部が設けられている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バルブ本体に取り付けられたプラグ部材の回動動作により液体の供給経路を閉塞可能なプラグバルブにおいて、
前記プラグ部材は、外面に形成されたプラグ側溝部を含み、
前記バルブ本体は、前記液体を内部に流入させる液体流入口と、前記液体を外部に流出させる液体流出口と、前記プラグ部材の前記外面に対向する本体側溝部と、を含み、
前記プラグ部材の前記回動動作に応じて、
前記液体流入口及び前記液体流出口と前記本体側溝部との間が前記プラグ側溝部によりバイパスされた第１状態と、
前記液体流入口及び前記液体流出口と前記本体側溝部との間が前記プラグ側溝部によりバイパスされない第２状態とが切り替わるように構成されており、
前記プラグ側溝部には、前記第１状態において、前記液体流入口から流入した前記液体が淀まないように整流する整流部が設けられている
プラグバルブ。
【請求項２】
前記整流部は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向している
請求項１に記載のプラグバルブ。
【請求項３】
前記整流部は、前記プラグ部材に形成された貫通孔を含む
請求項１又は２に記載のプラグバルブ。
【請求項４】
前記貫通孔は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に１つのみ配置されている
請求項３に記載のプラグバルブ。
【請求項５】
前記貫通孔は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に複数配置されている
請求項３に記載のプラグバルブ。
【請求項６】
複数の前記貫通孔は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に配置された第１貫通孔と、前記プラグ部材の周方向で前記第１貫通孔に隣り合う位置に配置された第２貫通孔と、を含む
請求項５に記載のプラグバルブ。
【請求項７】
前記整流部は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に配置された仕切り部を更に含む
請求項５に記載のプラグバルブ。
【請求項８】
複数の前記貫通孔は、前記プラグ部材の周方向で前記仕切り部に隣り合う位置に配置された第３貫通孔と、前記プラグ部材の周方向で前記仕切り部を挟んで前記第３貫通孔とは反対側に配置された第４貫通孔と、を含む
請求項７に記載のプラグバルブ。
【請求項９】
前記整流部は、前記プラグ部材に形成された凹部を含む
請求項１〜８のいずれか一項に記載のプラグバルブ。
【請求項１０】
前記凹部は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に境界部が形成されるように前記プラグ部材の周方向に互いに隣接して配置された第１凹部と第２凹部とを含む
請求項９に記載のプラグバルブ。
【請求項１１】
前記第１状態において、前記本体側溝部及び前記プラグ側溝部は互いに交差するように配置され、
前記第２状態において、前記本体側溝部及び前記プラグ側溝部は互いに平行に配置される
請求項１〜１０のいずれか一項に記載のプラグバルブ。
【請求項１２】
前記バルブ本体は、少なくとも前記液体流入口及び前記液体流出口の近傍が樹脂から構成される
請求項１〜１１のいずれか一項に記載のプラグバルブ。
【請求項１３】
前記バルブ本体は、前記液体流入口及び前記液体流出口の近傍が前記プラグ部材の外面に対して押圧されている
請求項１２に記載のプラグバルブ。
【請求項１４】
前記プラグ部材は、前記プラグ側溝部が形成された円柱状をなし、
前記バルブ本体は、前記本体側溝部の断面が曲面を有し、
前記プラグ部材の外周面は、前記本体側溝部よりも曲率半径が大きい
請求項１〜１３のいずれか一項に記載のプラグバルブ。
【請求項１５】
液体供給路に設けられたバルブを開閉させることで液体供給源から液体供給先に液体を供給する方法において、
前記バルブとして、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のプラグバルブを用いた液体供給方法。
【請求項１６】
液体供給路に設けられたバルブを開閉させることで液体供給源から液体供給先に液体を供給する液体供給装置において、
前記バルブとして、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のプラグバルブを備えた液体供給装置。
【請求項１７】
液体を被塗布物に対して塗布する塗布部と、前記塗布部に前記液体を供給する液体供給路と、前記液体供給路に設けられたバルブと、を備えた塗布装置において、
前記バルブとして、請求項１〜１４のいずれか一項に記載のプラグバルブを備えた塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラグバルブ、液体供給方法、液体供給装置、及び塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、バルブ本体に取り付けられたプラグ部材の回動動作により液体の供給経路を閉塞可能なプラグバルブが知られている（例えば、特許文献１参照）。このプラグバルブは、プラグ部材の外面にプラグ側溝部が形成され、バルブ本体に、液体を内部に流入させる液体流入口と、液体を外部に流出させる液体流出口と、プラグ部材の外面に対向する本体側溝部とが形成されたものである。そして、プラグバルブは、プラグ部材の回動動作に応じて、液体流入口及び液体流出口と本体側溝部との間がプラグ側溝部によりバイパスされた第１状態と、液体流入口及び液体流出口と本体側溝部との間がプラグ側溝部によりバイパスされない第２状態とが切り替わるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２０６４３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、第１状態において、液体流入口から流入した液体は、本体側溝部及びプラグ側溝部を介して液体流出口に流入する際、プラグ側溝部にいったん衝突するため、プラグ側溝部において液体が淀み、液体中に気泡が生じるおそれがあった。
【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、気泡の発生を抑制することができるプラグバルブ、液体供給方法、液体供給装置、及び塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１態様に係るプラグバルブは、バルブ本体に取り付けられたプラグ部材の回動動作により液体の供給経路を閉塞可能なプラグバルブにおいて、前記プラグ部材は、外面に形成されたプラグ側溝部を含み、前記バルブ本体は、前記液体を内部に流入させる液体流入口と、前記液体を外部に流出させる液体流出口と、前記プラグ部材の前記外面に対向する本体側溝部と、を含み、前記プラグ部材の前記回動動作に応じて、前記液体流入口及び前記液体流出口と前記本体側溝部との間が前記プラグ側溝部によりバイパスされた第１状態と、前記液体流入口及び前記液体流出口と前記本体側溝部との間が前記プラグ側溝部によりバイパスされない第２状態とが切り替わるように構成されており、前記プラグ側溝部には、前記第１状態において、前記液体流入口から流入した前記液体が淀まないように整流する整流部が設けられている。
【０００７】
この構成によれば、プラグ側溝部には第１状態において液体流入口から流入した液体が淀まないように整流する整流部が設けられていることで、第１状態において液体流入口から流入した液体が、本体側溝部及びプラグ側溝部を介して液体流出口に流入する際、プラグ側溝部にいったん衝突しても、整流部によって液体が淀まないように整流することができる。したがって、気泡の発生を抑制することができる。
【０００８】
上記のプラグバルブにおいて、前記整流部は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向していてもよい。
この構成によれば、整流部が第１状態において液体流入口と対向していない場合（すなわち、整流部が液体流入口を避けた位置に配置された場合）と比較して、第１状態において液体流入口から流入した液体が整流部に向けて流れ易くなるため、整流部による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【０００９】
上記のプラグバルブにおいて、前記整流部は、前記プラグ部材に形成された貫通孔を含んでいてもよい。
この構成によれば、第１状態において液体流入口から流入した液体が貫通孔を通過するため、プラグ側溝部において液体が淀むことを回避することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。加えて、液体流入口から流入した液体は、本体側溝部及びプラグ側溝部を介して液体流出口に流入するだけでなく、貫通孔を通過して液体流出口に流入するため、液体の流量を増大させることができる。
【００１０】
上記のプラグバルブにおいて、前記貫通孔は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に１つのみ配置されていてもよい。
この構成によれば、貫通孔が第１状態において液体流入口と対向する位置に配置されていない場合（すなわち、貫通孔が液体流入口を避けた位置に配置された場合）と比較して、第１状態において液体流入口から流入した液体が貫通孔を通過し易くなるため、貫通孔による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。加えて、プラグ部材に貫通孔を１つのみ形成すれば済むため、プラグ部材に貫通孔を複数形成する場合と比較して、プラグ部材の加工コストを低く抑えることができる。
【００１１】
上記のプラグバルブにおいて、前記貫通孔は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に複数配置されていてもよい。
この構成によれば、貫通孔が１つのみ配置された場合と比較して、第１状態において液体流入口から流入した液体が複数の貫通孔を通過し易くなるため、複数の貫通孔による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。加えて、液体流入口から流入した液体は、本体側溝部及びプラグ側溝部を介して液体流出口に流入するだけでなく、複数の貫通孔を通過して液体流出口に流入するため、液体の流量を増大させることができる。
【００１２】
上記のプラグバルブにおいて、複数の前記貫通孔は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に配置された第１貫通孔と、前記プラグ部材の周方向で前記第１貫通孔に隣り合う位置に配置された第２貫通孔と、を含んでいてもよい。
この構成によれば、複数の貫通孔がプラグ部材にランダムに配置された場合と比較して、第１状態において液体流入口から流入した液体が第１貫通孔と第２貫通孔とを均等に通過し易くなるため、複数の貫通孔による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【００１３】
上記のプラグバルブにおいて、前記整流部は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に配置された仕切り部を更に含んでいてもよい。
この構成によれば、第１状態において液体流入口から流入した液体が仕切り部を起点にプラグ部材の周方向に分流し、分流した液体がプラグ部材の周方向に均等に流れ易くなるため、整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【００１４】
上記のプラグバルブにおいて、複数の前記貫通孔は、前記プラグ部材の周方向で前記仕切り部に隣り合う位置に配置された第３貫通孔と、前記プラグ部材の周方向で前記仕切り部を挟んで前記第３貫通孔とは反対側に配置された第４貫通孔と、を含んでいてもよい。
この構成によれば、第１状態において液体流入口から流入した液体が仕切り部を起点にプラグ部材の周方向に分流し、分流した液体が第３貫通孔と第４貫通孔とを均等に通過し易くなるため、複数の貫通孔による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【００１５】
上記のプラグバルブにおいて、前記整流部は、前記プラグ部材に形成された凹部を含んでいてもよい。
この構成によれば、第１状態において液体流入口から流入した液体が凹部に入り込むため、プラグ側溝部において液体が淀むことを回避することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【００１６】
上記のプラグバルブにおいて、前記凹部は、前記第１状態において、前記液体流入口と対向する位置に境界部が形成されるように前記プラグ部材の周方向に互いに隣接して配置された第１凹部と第２凹部とを含んでいてもよい。
この構成によれば、第１状態において液体流入口から流入した液体が境界部を起点にプラグ部材の周方向に分流し、分流した液体が第１凹部と第２凹部とに均等に入り込み易くなるため、凹部による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【００１７】
上記のプラグバルブにおいて、前記第１状態において、前記本体側溝部及び前記プラグ側溝部は互いに交差するように配置され、前記第２状態において、前記本体側溝部及び前記プラグ側溝部は互いに平行に配置されていてもよい。
この構成によれば、プラグ部材を９０度回動させることで第１状態及び第２状態を切り替えることが可能となる。
【００１８】
上記のプラグバルブにおいて、前記バルブ本体は、少なくとも前記液体流入口及び前記液体流出口の近傍が樹脂から構成されていてもよい。
この構成によれば、液体流入口及び液体流出口の近傍を例えばナット等を用いて容易に押圧して変形させることが可能となる。
【００１９】
上記のプラグバルブにおいて、前記バルブ本体は、前記液体流入口及び前記液体流出口の近傍が前記プラグ部材の外面に対して押圧されていてもよい。
この構成によれば、液体流入口及び液体流出口の近傍を押圧して変形させる押圧して変形させることでバルブ本体とプラグ部材との接触状態を容易に調整することができる。
【００２０】
上記のプラグバルブにおいて、前記プラグ部材は、前記プラグ側溝部が形成された円柱状をなし、前記バルブ本体は、前記本体側溝部の断面が曲面を有し、前記プラグ部材の外周面は、前記本体側溝部よりも曲率半径が大きくてもよい。
この構成によれば、第１状態において、プラグ部材の外周面とプラグ側溝部との間に隙間が生じるので、プラグ側溝部を液体の流路として機能させることができる。
【００２１】
本発明の第２態様に係る液体供給方法は、液体供給路に設けられたバルブを開閉させることで液体供給源から液体供給先に液体を供給する方法において、前記バルブとして、第１態様に係るプラグバルブを用いている。
【００２２】
この方法によれば、第１態様に係るプラグバルブを用いて液体供給路が開閉されるため、気泡の発生を抑制することができる。よって、液体供給先へ気泡が流れ込むことが抑制された信頼性の高い液体供給方法を提供できる。
【００２３】
本発明の第３態様に係る液体供給装置は、液体供給路に設けられたバルブを開閉させることで液体供給源から液体供給先に液体を供給する液体供給装置において、前記バルブとして、第１態様に係るプラグバルブを備えている。
【００２４】
この構成によれば、第１態様に係るプラグバルブを用いて液体供給路が開閉されるため、気泡の発生を抑制することができる。よって、液体供給先へ気泡が流れ込むことが抑制された信頼性の高い液体供給装置を提供できる。
【００２５】
本発明の第４態様に係る塗布装置は、液体を被塗布物に対して塗布する塗布部と、前記塗布部に前記液体を供給する液体供給路と、前記液体供給路に設けられたバルブと、を備えた塗布装置において、前記バルブとして、第１態様に係るプラグバルブを備えている。
【００２６】
この構成によれば、第１態様に係るプラグバルブを用いて液体供給路が開閉されるため、気泡の発生を抑制することができる。よって、気泡による不良の発生が抑制され、液体を被塗布物に対して良好に塗布できる信頼性の高い塗布装置を提供できる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、気泡の発生を抑制することができるプラグバルブ、液体供給方法、液体供給装置、及び塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】第１実施形態に係る塗布装置の模式図である。
【図２】第１実施形態に係るバルブの断面図である。
【図３】第１実施形態に係るプラグ部材の斜視図である。
【図４】第１実施形態に係る流路の非接続状態を示す断面図である。
【図５】第１実施形態に係る流路の接続状態を示す断面図である。
【図６】第１実施形態に係る整流部の斜視図である。
【図７】第１実施形態に係るプラグ部材の第１変形例を示す斜視図である。
【図８】第１実施形態に係るプラグ部材の第２変形例を示す斜視図である。
【図９】第１実施形態に係るプラグ部材の第３変形例を示す斜視図である。
【図１０】第２実施形態に係る整流部の斜視図である。
【図１１】第２実施形態に係る整流部の第１状態を示す断面図である。
【図１２】第３実施形態に係る整流部の斜視図である。
【図１３】第３実施形態に係る整流部の第１状態を示す断面図である。
【図１４】第３実施形態に係る整流部の第１変形例を示す斜視図である。
【図１５】第３実施形態の第１変形例に係る整流部の第１状態を示す断面図である。
【図１６】第３実施形態に係る整流部の第２変形例を示す斜視図である。
【図１７】第４実施形態に係る整流部の斜視図である。
【図１８】第４実施形態に係る整流部の第１状態を示す断面図である。
【図１９】実施形態に係るプラグ側溝部の他の変形例を示す図である。
【図２０】実施形態に係るプラグ側溝部の他の変形例を示す図である。
【図２１】実施形態に係るプラグ側溝部の他の変形例を示す図である。
【図２２】実施形態に係るバルブの第１変形例を示す図である。
【図２３】実施形態に係るバルブの第２変形例を示す図である。
【図２４】実施形態に係るバルブの第３変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について、図１〜図６を用いて説明する。本実施形態では、プラグバルブを液体供給経路に備えた塗布装置を例に挙げて説明する。本実施形態の塗布装置は、粘性が比較的高く異物を生じさせるおそれのあるフォトレジスト等の薬液（液体）を半導体基板（被塗布物）上に塗布するためのものである。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００３０】
＜塗布装置＞
図１に示すように、塗布装置１００は、液体供給源１０と、液体供給路１１と、液体供給路１１を閉塞可能（開閉可能）なバルブ２０（プラグバルブ）と、半導体基板１に対して液体を塗布可能な塗布部４０と、半導体基板１を保持するステージ５０と、を備えている。
【００３１】
液体供給源１０は、液体を貯留する貯留タンクと、貯留タンクから液体を移送する移送ポンプ（何れも不図示）と、を備えている。
液体供給路１１は、液体供給源１０と塗布部４０との間を接続する流路である。液体供給路１１を介して、液体供給源１０から塗布部４０に向けて液体が供給される。液体供給路１１は、バルブ２０と液体供給源１０との間を接続する上流供給路１１ａと、バルブ２０と塗布部４０との間を接続する下流供給路１１ｂと、を備えている。
バルブ２０は、液体供給路１１の途中に設けられている。
例えば、塗布部４０としては、インクジェットヘッドやスリットノズル等を用いることができる。
【００３２】
＜バルブ＞
図２に示すように、バルブ２０は、プラグバルブ方式のバルブである。バルブ２０は、軸線Ｃ１に沿う方向（以下「軸線方向」という。）に延びる柱状のプラグ部材２１と、プラグ部材２１の外周を囲むようにプラグ部材２１と同軸に延びる筒状のバルブ本体２２と、を備えている。
【００３３】
プラグ部材２１には、このプラグ部材２１をバルブ本体２２に対して回動可能な駆動装置３０が取り付けられている。例えば、駆動装置３０としては、アクチュエーターやモーター等を用いることができる。駆動装置３０は、軸線Ｃ１を中心に回転する回転軸３１を備えている。回転軸３１は、プラグ部材２１の一端部に固定されている。
【００３４】
＜プラグ部材＞
図３に示すように、プラグ部材２１は円柱状をなしている。例えば、プラグ部材２１は、金属部材で形成されている。プラグ部材２１の一端部には、駆動装置３０の回転軸３１を取り付けるための取付穴１９が形成されている。プラグ部材２１は、一端面２１Ａ側よりも他端面２１Ｂ側の外径が小さくなっている。
【００３５】
プラグ部材２１の外周面２１ａには、一対のプラグ側溝部２４，２５が形成されている。一対のプラグ側溝部２４，２５は、外周面２１ａに対して互いに１８０度位置を違えるように配置されている。一対のプラグ側溝部２４，２５は、それぞれ同一の形状を有している。
【００３６】
一対のプラグ側溝部２４，２５は、軸線Ｃ１と交差する直線と平行な方向（例えば、本実施形態では軸線Ｃ１と直交する直線と平行な方向）に沿って形成されている。すなわち、一対のプラグ側溝部２４，２５は、外周面２１ａの接線と平行な方向に沿って形成されている。
【００３７】
具体的に、一対のプラグ側溝部２４，２５は、外周面２１ａの接線と平行な方向に延びる長方形状をなす底面２４ａ，２５ａと、底面２４ａ，２５ａの一端側に連なる一端面２４ｂ，２５ｂと、底面２４ａ，２５ａの他端側に連なる他端面２４ｃ，２５ｃと、を備えている。底面２４ａ，２５ａ、一端面２４ｂ，２５ｂ、及び他端面２４ｃ，２５ｃは、それぞれ平坦に形成されている。
【００３８】
底面２４ａ，２５ａと一端面２４ｂ，２５ｂとの間、及び底面２４ａ，２５ａと他端面２４ｃ，２５ｃとの間のそれぞれには、角丸形状をなす連結部２４ｄ，２５ｄが形成されている。連結部２４ｄ，２５ｄは、底面２４ａ，２５ａと一端面２４ｂ，２５ｂとの間、及び底面２４ａ，２５ａと他端面２４ｃ，２５ｃとの間のそれぞれを滑らかに繋ぐように湾曲している。
【００３９】
なお、一対のプラグ側溝部２４，２５の深さ（すなわち、外周面２１ａから底面２４ａ，２５ａまでの距離）はバルブ２０の設計要求（液体の供給能力）に応じて適宜設定される。
【００４０】
＜バルブ本体＞
図２に示すように、バルブ本体２２は、プラグ部材２１と同軸かつ軸線方向に延びる円筒状をなしている。例えば、バルブ本体２２はジュラコンや超高分子量ポリエチレン（ＵＰＥ；ultra-high molecular weight polyethylene）等の樹脂材料で形成されている。
【００４１】
バルブ本体２２には、プラグ部材２１を挿入するための挿入孔３２と、液体を内部に流入させる液体流入路３６と、液体を外部に流出させる液体流出路３７と、が形成されている。液体流入路３６及び液体流出路３７は、バルブ本体２２の外周面２２ａと挿入孔３２とを連通させるように軸線方向と直交する方向（以下「径方向」という。）に沿って直線上に並んでいる。
【００４２】
液体流入路３６は、上流供給路１１ａ（図１参照）に接続されている。これにより、上流供給路１１ａ及び液体流入路３６を介して、液体供給源１０からバルブ２０の内部に液体が供給される。
【００４３】
液体流出路３７は、下流供給路１１ｂ（図１参照）に接続されている。これにより、液体流出路３７及び下流供給路１１ｂを介して、バルブ２０の内部から塗布部４０に向けて液体が供給される。
【００４４】
図５に示すように、液体流入路３６のうち挿入孔３２に連通した開口部は、液体流入口３６ａを構成している。液体流出路３７のうち挿入孔３２に連通した開口部は、液体流出口３７ａを構成している。
【００４５】
バルブ本体２２の外周面２２ａには、一対の平坦な当接面２２ｂ，２２ｃが形成されている。当接面２２ｂは、外周面２２ａのうち液体流入路３６の側に配置されている。当接面２２ｃは、外周面２２ａのうち液体流出路３７の側に配置されている。一対の当接面２２ｂ，２２ｃは、それぞれ同一の形状を有している。
【００４６】
図２に示すように、バルブ本体２２の挿入孔３２の内壁面には、軸線方向に離反した一対のベアリング３３ａ，３３ｂが設けられている。ベアリング３３ａは、プラグ部材２１の一端面２１Ａ側に配置されている。ベアリング３３ｂは、プラグ部材２１の他端面２１Ｂ側に配置されている。バルブ本体２２は、ベアリング３３ａ，３３ｂを介してプラグ部材２１を保持している。これにより、プラグ部材２１は、駆動装置３０によりバルブ本体２２に対して容易に回動可能とされている。
【００４７】
バルブ本体２２の挿入孔３２の内壁面には、液体流入路３６及び液体流出路３７を挟んで軸線方向に離反した一対のシール部材２６，２７が設けられている。一対のシール部材２６，２７は、バルブ本体２２の挿入孔３２の内壁面とプラグ部材２１の外周面２１ａとの間に配置されている。例えば、シール部材２６，２７としては、Ｏリング等を用いることができる。
【００４８】
バルブ本体２２の挿入孔３２の内壁面には、プラグ側溝部２４，２５に対応する一対の本体側溝部３４，３５が形成されている。一対の本体側溝部３４，３５は、挿入孔３２に挿入されたプラグ部材２１のプラグ側溝部２４，２５と略同じ高さに形成されている。すなわち、本体側溝部３４，３５及びプラグ側溝部２４，２５の少なくとも一部は、径方向で重なっている。そのため、プラグ部材２１の回動動作により、本体側溝部３４，３５及びプラグ側溝部２４，２５は互いに連通可能となっている。
【００４９】
プラグ側溝部２４，２５及び本体側溝部３４，３５の形成領域は、一対のシール部材２６，２７によりシールされている。これにより、プラグ側溝部２４，２５及び本体側溝部３４，３５の間に液体が流れ込んだとしても、流れ込んだ液体が外側（すなわち、一対のシール部材２６，２７よりも軸線方向外側）へ漏れることを回避することができる。
【００５０】
バルブ本体２２の外周面２２ａには、一対の筒状のパイプネジ３８，３９が取り付けられている。パイプネジ３８の内面は、液体流入路３６の一部を構成している。パイプネジ３９の内面は、液体流出路３７の一部を構成している。
【００５１】
パイプネジ３８，３９の基部（バルブ本体２２の外周面２２ａ側の部分）には、それぞれネジ部３８ａ，３９ａが形成されている。ネジ部３８ａ，３９ａには、ナット２８，２９がそれぞれ取り付けられている。ナット２８，２９は、当接面２２ｂ，２２ｃにそれぞれ接している。ネジ部３８ａ，３９ａへのナット２８，２９の締め込み量を調整することで、当接面２２ｂ，２２ｃに対するナット２８，２９の押圧力が調整可能となっている。
【００５２】
上述の通り、バルブ本体２２はジュラコンやＵＰＥ等の樹脂材料で形成されているため、ナット２８，２９をネジ部３８ａ，３９ａに締め込むと、ナット２８，２９により当接面２２ｂ，２２ｃが押圧されて径方向内側に変位する。
一方、ナット２８，２９を緩めると、当接面２２ｂ，２２ｃの径方向内側への変位が小さくなる。すなわち、ナット２８，２９を緩めると、当接面２２ｂ，２２ｃはナット２８，２９の締め込み前の位置に戻る。
【００５３】
例えば、ナット２８，２９の締め込み量を調整することで、当接面２２ｂ，２２ｃを押圧して径方向内側に所定量だけ変位させることにより、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａとの接触状態（密閉状態）を容易に調整することができる。
加えて、バルブ本体２２は樹脂製であるため、当接面２２ｂ，２２ｃを径方向内側に変位させた場合であっても、金属製のプラグ部材２１（挿入孔３２）に対する接触抵抗の増加が抑制されている。そのため、挿入孔３２に挿入されたプラグ部材２１をスムーズに回動させることができる。
【００５４】
＜流路の非接続状態（第２状態）＞
図４に示すように、プラグ部材２１の回動動作により、プラグ側溝部２４，２５及び本体側溝部３４，３５は、互いに平行に配置される。このとき、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａは、プラグ部材２１の外周面２１ａにより閉塞されている。そのため、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａと、本体側溝部３４，３５との間がプラグ側溝部２４，２５によりバイパス（接続）されない状態（以下「第２状態」という。）となっている。
【００５５】
例えば、ナット２８，２９の締め込み量を調整することで、当接面２２ｂ，２２ｃを押圧して径方向内側に所定量だけ変位させることにより、第２状態においては、外周面２１ａと液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａとが密着するので、プラグ側溝部２４，２５及び本体側溝部３４，３５に囲まれた空間Ｓを確実に密閉することができる。すなわち、空間Ｓに保持された液体が液体流出路３７に流れ込むことが無い。また、液体流入路３６から空間Ｓに液体が流れ込むことも無い。
【００５６】
このように、第２状態においては、液体供給路１１（図１参照）を閉塞することができる。よって、第２状態においては、図１に示す上流供給路１１ａ側から下流供給路１１ｂ側への液体の流れを遮断することが可能である。
【００５７】
＜流路の接続状態（第１状態）＞
図５は、第２状態におけるプラグ部材２１を、軸線Ｃ１を中心に９０度回動させた状態を示す図である。図５では、第２状態におけるプラグ部材２１を半時計回りに９０度回動させることで、プラグ側溝部２４を液体流入口３６ａに対向させ、かつプラグ側溝部２５を液体流出口３７ａに対向させた場合を示している。
【００５８】
図５に示すように、プラグ部材２１の回動動作により、プラグ側溝部２４，２５及び本体側溝部３４，３５は、互いに交差するように配置される。このとき、プラグ側溝部２４，２５は、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａにそれぞれ対向する。これにより、プラグ部材２１の外周面２１ａによる液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａの閉塞状態が解除されている。そのため、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａと、本体側溝部３４，３５との間がプラグ側溝部２４，２５によりバイパス（接続）された状態（以下「第１状態」という。）となっている。
【００５９】
本体側溝部３４，３５の断面は、曲面を有している。プラグ部材２１の外周面２１ａは、本体側溝部３４，３５よりも曲率半径が大きくなっている。これにより、第１状態において、プラグ部材２１の外周面２１ａと本体側溝部３４，３５との間に隙間が生じるため、本体側溝部３４，３５を液体の流路として機能させることができる。
【００６０】
＜整流部＞
図５に示すように、プラグ側溝部２４，２５には、第１状態において、液体流入口３６ａから流入した液体が淀まないように整流する整流部６０が設けられている。整流部６０は、第１状態において、液体流入口３６ａと対向している。すなわち、整流部６０は、第１状態において、液体流入口３６ａと径方向で重なる位置に配置されている。
【００６１】
整流部６０は、プラグ部材２１に形成された貫通孔６１を備えている。貫通孔６１は、第１状態において、液体流入口３６ａと対向する位置に１つのみ配置されている。図６に示すように、径方向から見て、貫通孔６１は、円形状をなしている。なお、図６においては、プラグ部材２１のうちプラグ側溝部２４の周辺部を図示し、一端面２１Ａ及び他端面２１Ｂの側の図示を省略している。
【００６２】
図５に示すように、貫通孔６１は、軸線Ｃ１と重なる位置で、プラグ部材２１を直線状に貫通している。すなわち、貫通孔６１は、プラグ部材２１の径方向に開口している。第１状態において、貫通孔６１は、液体流入路３６及び液体流出路３７とともに、径方向に沿って直線上に並んでいる。貫通孔６１の内径は、液体流入路３６及び液体流出路３７の内径と実質的に同じ大きさとなっている。
【００６３】
第１状態において、上流供給路１１ａ（図１参照）から供給された液体は、液体流入路３６の液体流入口３６ａを経由してプラグ側溝部２４に流れ込む。プラグ側溝部２４に流れ込んだ液体は、本体側溝部３４，３５を経由してプラグ側溝部２５に流れ込む。加えて、プラグ側溝部２４に流れ込んだ液体は、貫通孔６０を経由してプラグ側溝部２５に流れ込む。プラグ側溝部２５に流れ込んだ液体は、液体流出口３７ａから液体流出路３７へと流れ込む。液体流出路３７に流れ込んだ液体は、下流供給路１１ｂを介して塗布部４０（図１参照）へと供給される。
【００６４】
これにより、第２状態においてプラグ側溝部２４，２５及び本体側溝部３４，３５に囲まれた空間Ｓに保持されていた液体を、第１状態において本体側溝部３４，３５及びプラグ側溝部２４，２５を介して液体流出口３７ａに流入させることができる。すなわち、第２状態においては液体の保持空間（空間Ｓ）を形成していた本体側溝部３４，３５及びプラグ側溝部２４，２５を、第１状態においては液体流入路３６及び液体流出路３７をバイパスさせる流路として機能させることができる。
【００６５】
よって、第２状態においてプラグ部材２１とバルブ本体２２との隙間（空間Ｓ）に長時間に亘って液体が残留されることが抑制される。これにより、隙間の残留液体に起因した異物の発生が抑制され、バルブ２０の開閉に伴って異物が液体流出口３７ａから塗布部４０側（図１参照）に流れ出してしまうといった不具合の発生を抑制することができる。
【００６６】
以上のように、本実施形態に係るバルブ２０は、バルブ本体２２に取り付けられたプラグ部材２１の回動動作により液体供給路１１を閉塞可能なプラグバルブにおいて、プラグ部材２１は、外面に形成されたプラグ側溝部２４，２５を含み、バルブ本体２２は、液体を内部に流入させる液体流入口３６ａと、液体を外部に流出させる液体流出口３７ａと、プラグ部材２１の外面に対向する本体側溝部３４，３５と、を含み、プラグ部材２１の回動動作に応じて、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａと本体側溝部３４，３５との間がプラグ側溝部２４，２５によりバイパスされた第１状態と、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａと本体側溝部３４，３５との間がプラグ側溝部２４，２５によりバイパスされない第２状態とが切り替わるように構成されており、プラグ側溝部２４，２５には、第１状態において、液体流入口３６ａから流入した液体が淀まないように整流する整流部６０が設けられたものである。
この構成によれば、プラグ側溝部２４，２５には第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が淀まないように整流する整流部６０が設けられていることで、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が、本体側溝部３４，３５及びプラグ側溝部２４，２５を介して液体流出口３７ａに流入する際、プラグ側溝部２４にいったん衝突しても、整流部６０によって液体が淀まないように整流することができる。したがって、気泡の発生を抑制することができる。
【００６７】
また、整流部６０が第１状態において液体流入口３６ａと対向していることで、整流部６０が第１状態において液体流入口３６ａと対向していない場合（すなわち、整流部６０が液体流入口３６ａを避けた位置に配置された場合）と比較して、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が整流部６０に向けて流れ易くなるため、整流部６０による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【００６８】
また、整流部６０がプラグ部材２１に形成された貫通孔６１を含んでいることで、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が貫通孔６１を通過するため、プラグ側溝部２４において液体が淀むことを回避することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。加えて、液体流入口３６ａから流入した液体は、本体側溝部３４，３５及びプラグ側溝部２４，２５を介して液体流出口３７ａに流入するだけでなく、貫通孔６１を通過して液体流出口３７ａに流入するため、液体の流量を増大させることができる。
【００６９】
また、貫通孔６１が第１状態において液体流入口３６ａと対向する位置に１つのみ配置されていることで、貫通孔６１が第１状態において液体流入口３６ａと対向する位置に配置されていない場合（すなわち、貫通孔６１が液体流入口３６ａを避けた位置に配置された場合）と比較して、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が貫通孔６１を通過し易くなるため、貫通孔６１による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。加えて、プラグ部材２１に貫通孔６１を１つのみ形成すれば済むため、プラグ部材２１に貫通孔を複数形成する場合と比較して、プラグ部材２１の加工コストを低く抑えることができる。
【００７０】
また、本実施形態に係る塗布装置１００は、液体を半導体基板（被塗布物）に対して塗布する塗布部４０と、塗布部４０に液体を供給する液体供給路１１と、液体供給路１１に設けられたプラグバルブと、を備えた塗布装置１００において、前記プラグバルブとして、上記バルブ２０を備えていることで、バルブ２０を用いて液体供給路１１が開閉されるため、気泡の発生を抑制することができる。よって、気泡による不良の発生が抑制され、液体を被塗布物に対して良好に塗布できる信頼性の高い塗布装置１００を提供できる。
【００７１】
（第１実施形態に係るプラグ部材の変形例）
次に、第１実施形態に係るプラグ部材２１の変形例について、図７〜図９を用いて説明する。
【００７２】
図７は、第１実施形態に係るプラグ部材２１の第１変形例を示す図６に相当する斜視図である。
図７に示すように、本変形例では、第１実施形態に係るプラグ部材２１に対して、プラグ側溝部１２４の態様が特に異なる。図７において、第１実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。なお、一対のプラグ側溝部１２４，１２５はそれぞれ同一の形状を有しているため、一方のプラグ側溝部１２４について説明し、他方のプラグ側溝部１２５（図１１参照）についての説明は省略する。
【００７３】
プラグ側溝部１２４は、外周面２１ａの接線と平行な方向に延びる長方形状をなす底面２４ａと、底面２４ａの一端側に連なる一端面２４ｂと、底面２４ａの他端側に連なる他端面２４ｃと、を備えている。底面２４ａ、一端面２４ｂ及び他端面２４ｃは、それぞれ平坦に形成されている。
【００７４】
底面２４ａと一端面２４ｂとの間、及び底面２４ａと他端面２４ｃとの間のそれぞれには、直角形状をなす連結部１２４ｄが形成されている。連結部１２４ｄは、底面２４ａと一端面２４ｂとの間、及び底面２４ａと他端面２４ｃとの間のそれぞれを直角に繋ぐように屈曲している。
【００７５】
図８は、第１実施形態に係るプラグ部材２１の第２変形例を示す図６に相当する斜視図である。
図８に示すように、本変形例では、第１変形例に係る整流部６０に対して、貫通孔１６１の態様が特に異なる。図８において、第１変形例と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７６】
貫通孔１６１は、径方向から見て、底面２４ａの長手方向に延びる長円形状をなしている。底面２４ａの大部分は、貫通孔１６１の開口領域となっている。すなわち、貫通孔１６１の開口面積は、上記貫通孔６１の開口面積よりも大きくなっている。
【００７７】
本変形例によれば、貫通孔１６１の開口面積が大きくなっており、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が貫通孔１６１を通過し易くなるため、貫通孔１６１による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。加えて、液体流入口３６ａから流入した液体は、貫通孔１６１を通過して液体流出口３７ａに流入するため、液体の流量を増大させることができる。
【００７８】
図９は、第１実施形態に係るプラグ部材２１の第３変形例を示す図６に相当する斜視図である。
図９に示すように、本変形例では、第１実施形態に係るプラグ部材２１に対して、プラグ側溝部２２４の態様が特に異なる。図９において、第１実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。なお、一対のプラグ側溝部はそれぞれ同一の形状を有しているため、一方のプラグ側溝部２２４について説明し、他方のプラグ側溝部（不図示）についての説明は省略する。
【００７９】
プラグ側溝部２２４は、外周面２１ａの接線と平行な方向に延びる台形状をなす底面２２４ａと、底面２２４ａの一端側に連なる一端面２２４ｂと、底面２２４ａの他端側に連なる他端面２２４ｃと、を備えている。他端面２２４ｃは、底面２２４ａを軸線方向に反転させた台形状をなしている。他端面２２４ｃは、径方向外側ほど一端面２２４ｂから離反するように傾斜している。底面２２４ａ、一端面２２４ｂ及び他端面２２４ｃは、それぞれ平坦に形成されている。
【００８０】
底面２２４ａと他端面２２４ｃとの間には、直角形状をなす連結部２２４ｄが形成されている。連結部２２４ｄは、底面２２４ａと他端面２２４ｃとの間を直角に繋ぐように屈曲している。連結部２２４ｄの途中には、貫通孔６１が形成されている。すなわち、連結部２２４ｄは、貫通孔６１を介して分割されている。
【００８１】
（第２実施形態）
以下、本発明の第２実施形態について、図１０、図１１を用いて説明する。
図１０は、第２実施形態に係るプラグ部材２１を示す図６に相当する斜視図である。
図１０に示すように、本実施形態では、第１実施形態に対して、整流部２６０の態様が特に異なる。図１０において、第１実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００８２】
図１１に示すように、プラグ側溝部１２４には、第１状態において、液体流入口３６ａから流入した液体が淀まないように整流する整流部２６０が設けられている。整流部６０は、プラグ部材２１に形成された複数（例えば、本実施形態では３つ）の貫通孔２６１，２６２（１つの貫通孔２６１、及び２つの貫通孔２６２）を備えている。複数の貫通孔２６１，２６２は、第１状態において、液体流入口３６ａと対向する位置に配置されている。
【００８３】
複数の貫通孔２６１，２６２は、第１状態において、液体流入口３６ａと対向する位置に配置された１つの第１貫通孔２６１と、プラグ部材２１の周方向で第１貫通孔２６１に隣り合う位置に配置された２つの第２貫通孔２６２と、を備えている。図１０に示すように、径方向から見て、各貫通孔２６１，２６２は、円形状をなしている。各貫通孔２６１，２６２の開口面積は、互いに実質的に同じ大きさとなっている。
【００８４】
図１１に示すように、第１貫通孔２６１は、軸線Ｃ１と重なる位置で、プラグ部材２１を直線状に貫通している。すなわち、第１貫通孔２６１は、プラグ部材２１の径方向に開口している。第１状態において、第１貫通孔２６１は、液体流入路３６及び液体流出路３７とともに、径方向に沿って直線上に並んでいる。第１貫通孔２６１の内径は、液体流入路３６及び液体流出路３７の内径よりもやや小さくなっている。
【００８５】
各第２貫通孔２６２は、軸線Ｃ１を避けた位置で、プラグ部材２１を直線状に貫通している。すなわち、各第２貫通孔２６２は、第１貫通孔２６１に隣り合う位置で、第１貫通孔２６１と平行な方向に開口している。第２貫通孔２６２の内径は、第１貫通孔２６１の内径と実質的に同じ大きさとなっている。
【００８６】
第１状態において、液体流入路３６の液体流入口３６ａを経由してプラグ側溝部１２４に流れ込んだ液体は、本体側溝部３４，３５を経由してプラグ側溝部１２５に流れ込む。加えて、プラグ側溝部１２４に流れ込んだ液体は、複数の貫通孔２６１，２６２を経由してプラグ側溝部１２５に流れ込む。プラグ側溝部１２５に流れ込んだ液体は、液体流出口３７ａから液体流出路３７へと流れ込み、塗布部４０（図１参照）へと供給される。
【００８７】
以上のように、本実施形態によれば、貫通孔２６１，２６２が第１状態において液体流入口３６ａと対向する位置に複数配置されていることで、貫通孔が１つのみ配置された場合と比較して、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が複数の貫通孔２６１，２６２を通過し易くなるため、複数の貫通孔２６１，２６２による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。加えて、液体流入口３６ａから流入した液体は、本体側溝部３４，３５及びプラグ側溝部１２４，１２５を介して液体流出口３７ａに流入するだけでなく、複数の貫通孔２６１，２６２を通過して液体流出口３７ａに流入するため、液体の流量を増大させることができる。
【００８８】
また、複数の貫通孔２６１，２６２が、第１状態において、液体流入口３６ａと対向する位置に配置された第１貫通孔２６１と、プラグ部材２１の周方向で第１貫通孔２６１に隣り合う位置に配置された第２貫通孔２６２とを含んでいることで、複数の貫通孔２６１，２６２がプラグ部材２１にランダムに配置された場合と比較して、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が第１貫通孔２６１と第２貫通孔２６２とを均等に通過し易くなるため、複数の貫通孔２６１，２６２による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【００８９】
なお、本実施形態では、整流部２６０が３つの貫通孔２６１，２６２（１つの貫通孔２６１、及び２つの貫通孔２６２）を備えた例を挙げたが、これに限らない。例えば、整流部が２つ、又は４つ以上の複数の貫通孔を備えていてもよい。
【００９０】
（第３実施形態）
以下、本発明の第３実施形態について、図１２、図１３を用いて説明する。
図１２は、第３実施形態に係るプラグ部材２１を示す図６に相当する斜視図である。
図１２に示すように、本実施形態では、第１実施形態に対して、整流部３６０の態様が特に異なる。図１２において、第１実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００９１】
図１３に示すように、プラグ側溝部１２４には、第１状態において、液体流入口３６ａから流入した液体が淀まないように整流する整流部３６０が設けられている。整流部３６０は、第１状態において、液体流入口３６ａと対向する位置に配置された仕切り部３６１と、プラグ部材２１に形成された複数（例えば、本実施形態では２つ）の貫通孔３６２，３６３と、を備えている。複数の貫通孔３６２，３６３は、プラグ部材２１の周方向で仕切り部３６１に隣り合う位置に配置された第３挿通孔３６２と、プラグ部材２１の周方向で仕切り部３６１を挟んで第３貫通孔３６２とは反対側に配置された第４貫通孔３６３と、を備えている。
【００９２】
図１２に示すように、径方向から見て、各貫通孔３６２，３６３は、円形状をなしている。各貫通孔３６２，３６３の開口面積は、互いに実質的に同じ大きさとなっている。底面２４ａの大部分は、貫通孔３６２，３６３の開口領域となっている。すなわち、貫通孔３６２，３６３の開口面積は、上記複数の貫通孔２６１，２６２の開口面積よりも大きくなっている。
【００９３】
図１３に示すように、仕切り部３６１は、軸線Ｃ１と重なる位置で、プラグ部材２１の径方向に直線状に延在している。すなわち、仕切り部３６１は、プラグ部材２１において第３貫通孔３６２及び第４貫通孔３６３を区画する隔壁を形成している。仕切り部３６１の厚みは、第３貫通孔３６２及び第４貫通孔３６３の内径よりも十分に小さくなっている。
【００９４】
各貫通孔３６２，３６３は、軸線Ｃ１を避けた位置で、プラグ部材２１を直線状に貫通している。すなわち、各貫通孔３６２，３６３は、仕切り壁３６１に隣り合う位置で、仕切り壁３６１と平行な方向に開口している。第３貫通孔３６２の内径は、第４貫通孔３６３の内径と実質的に同じ大きさとなっている。
【００９５】
第１状態において、液体流入路３６の液体流入口３６ａを経由してプラグ側溝部１２４に流れ込んだ液体は、本体側溝部３４，３５を経由してプラグ側溝部１２５に流れ込む。加えて、プラグ側溝部１２４に流れ込んだ液体は、複数の貫通孔３６２，３６３を経由してプラグ側溝部１２５に流れ込む。プラグ側溝部１２５に流れ込んだ液体は、液体流出口３７ａから液体流出路３７へと流れ込み、塗布部４０（図１参照）へと供給される。
【００９６】
以上のように、本実施形態によれば、整流部３６０が第１状態において液体流入口３６ａと対向する位置に配置された仕切り部３６１を更に含んでいることで、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が仕切り部３６１を起点にプラグ部材２１の周方向に分流し、分流した液体がプラグ部材２１の周方向に均等に流れ易くなるため、整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【００９７】
また、複数の貫通孔３６２，３６３が、プラグ部材２１の周方向で仕切り部３６１に隣り合う位置に配置された第３貫通孔３６２と、プラグ部材２１の周方向で前記仕切り部３６１を挟んで第３貫通孔３６２とは反対側に配置された第４貫通孔３６３と、を含んでいることで、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が仕切り部３６１を起点にプラグ部材２１の周方向に分流し、分流した液体が第３貫通孔３６２と第４貫通孔３６３とを均等に通過し易くなるため、複数の貫通孔３６２，３６３による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【００９８】
また、貫通孔３６２，３６３の開口面積が上記複数の貫通孔２６１，２６２の開口面積よりも大きくなっており、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が貫通孔３６２，３６３を通過し易くなるため、貫通孔３６２，３６３による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。加えて、液体流入口３６ａから流入した液体は、貫通孔３６２，３６３を通過して液体流出口３７ａに流入するため、液体の流量を増大させることができる。
【００９９】
（第３実施形態に係るプラグ部材の変形例）
次に、第３実施形態に係るプラグ部材２１の変形例について、図１４〜図１６を用いて説明する。
【０１００】
図１４は、第３実施形態に係るプラグ部材２１の第１変形例を示す図６に相当する斜視図である。
図１４に示すように、本変形例では、第３実施形態に係るプラグ部材２１に対して、プラグ側溝部３２４及び仕切り部３６５の態様が特に異なる。図１４において、第３実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。なお、一対のプラグ側溝部３２４，３２５はそれぞれ同一の形状を有しているため、一方のプラグ側溝部３２４について説明し、他方のプラグ側溝部３２５（図１５参照）についての説明は省略する。
【０１０１】
プラグ側溝部３２４は、外周面２１ａの接線と平行な方向に途中で屈曲して延びる底面３２４ａと、底面３２４ａの一端側に連なる一端面３２４ｂと、底面３２４ａの他端側に連なる他端面３２４ｃと、を備えている。
【０１０２】
図１５に示すように、底面３２４ａは、液体流入口３６ａと対向する位置に境界部３６５ａが形成されるようにプラグ部材２１の周方向において互いに隣接して配置された第１底面３２４ｅと第２底面３２４ｆと、を備えている。境界部３６５ａは、軸線Ｃ１と平行な方向に直線状に延びている。第１底面３２４ｅ及び第２底面３２４ｆは、境界部３６５ａから離反するほど径方向内側に窪む凹部を形成するように緩やかに湾曲して延びている。
【０１０３】
図１４に示すように、第１底面３２４ｅ及び第２底面３２４ｆは、径方向内側に凹をなす曲面状に形成されている。一端面３２４ｂ及び他端面３２４ｃは、それぞれ平坦に形成されている。
【０１０４】
底面３２４ａと一端面３２４ｂとの間、及び底面３２４ａと他端面３２４ｃとの間のそれぞれには、直角形状をなす連結部３２４ｄが形成されている。連結部３２４ｄは、底面３２４ａと一端面３２４ｂとの間、及び底面３２４ａと他端面３２４ｃとの間のそれぞれを直角に繋ぐように屈曲している。また、連結部３２４ｄは、境界部３６５ａと交差する部分において屈曲するとともに、第１底面３２４ｅ及び第２底面３２４ｆの端縁に沿って径方向内側に凸をなすように緩やかに湾曲している。
【０１０５】
仕切り部３６５には、境界部３６５ａが形成されている。図１５の断面視で、仕切り部３６５は、境界部３６５ａを先端とする先鋭形状をなしている。境界部３６５ａは、液体流入口３６ａの中心位置と径方向で重なるように配置されている。
【０１０６】
本変形例によれば、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が境界部３６５ａを起点にプラグ部材２１の周方向に分流し、分流した液体が第３貫通孔３６２と第４貫通孔３６３とを均等に通過し易くなるため、複数の貫通孔３６２，３６３による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【０１０７】
図１６は、第３実施形態に係るプラグ部材２１の第２変形例を示す図６に相当する斜視図である。
図１６に示すように、本変形例では、第３実施形態の第１変形例に係るプラグ部材２１に対して、貫通孔３６６の態様が特に異なる。図１６において、第３実施形態の第１変形例と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【０１０８】
貫通孔３６６は、径方向から見て、仕切り部３６５と重なる位置に１つのみ配置されている。径方向から見て、貫通孔３６６は、第１底面３２４ｅ及び第２底面３２４ｆの曲面に沿う輪郭を有している。貫通孔３６６は、境界部３６５ａの途中に形成されている。すなわち、境界部３６５ａは、貫通孔３６６を介して分割されている。
【０１０９】
（第４実施形態）
以下、本発明の第４実施形態について、図１７、図１８を用いて説明する。
図１７は、第４実施形態に係るプラグ部材２１を示す図６に相当する斜視図である。
図１７に示すように、本実施形態では、第１実施形態に対して、整流部４６０の態様が特に異なる。図１７、図１８において、第１実施形態と同様の構成には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【０１１０】
図１７に示すように、整流部４６０は、プラグ部材２１に形成された凹部４６２，４６３を備えている。図１８に示すように、凹部４６２，４６３は、第１状態において、液体流入口３６ａと対向する位置に境界部４６１が形成されるようにプラグ部材２１の周方向に互いに隣接して配置された第１凹部４６２と、第２凹部４６３と、を備えている。
【０１１１】
図１７に示すように、径方向から見て、各凹部４６２，４６３は、円形状をなしている。図１８に示すように、第１凹部４６２及び第２凹部４６３は、境界部４６１から離反するほど径方向内側に窪む凹部を形成するように緩やかに湾曲して延びている。すなわち、第１凹部４６２及び第２凹部４６３は、径方向内側に凸をなす曲面状に形成されている。図１８の断面視で、境界部４６１は、径方向外側に突出する先鋭形状をなしている。境界部４６１は、液体流入口３６ａの中心位置と径方向で重なるように配置されている。
【０１１２】
第１状態において、液体流入路３６の液体流入口３６ａを経由して各凹部４６２，４６３に流れ込んだ液体は、本体側溝部３４，３５を経由してプラグ側溝部１２５に流れ込む。すなわち、各凹部４６２，４６３は、プラグ側溝部として機能する。このとき、各凹部４６２，４６３に流れ込んだ液体は、境界部４６１を起点にプラグ部材２１の周方向に分流し、各凹部４６２，４６３の曲面に沿って流れ、本体側溝部３４，３５を経由してプラグ側溝部２５に流れ込む。プラグ側溝部２５に流れ込んだ液体は、液体流出口３７ａから液体流出路３７へと流れ込み、塗布部４０（図１参照）へと供給される。
【０１１３】
以上のように、本実施形態によれば、整流部４６０がプラグ部材２１に形成された凹部４６２，４６３を含んでいることで、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が凹部４６２，４６３に入り込むため、プラグ側溝部２４において液体が淀むことを回避することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【０１１４】
また、凹部４６２，４６３が、第１状態において、液体流入口３６ａと対向する位置に境界部４６１が形成されるようにプラグ部材２１の周方向に互いに隣接して配置された第１凹部４６２と第２凹部４６３とを含んでいることで、第１状態において液体流入口３６ａから流入した液体が境界部４６１を起点にプラグ部材２１の周方向に分流し、分流した液体が第１凹部４６２と第２凹部４６３とに均等に入り込み易くなるため、凹部４６２，４６３による整流効果をより効果的に発揮することができる。したがって、気泡の発生をより確実に抑制することができる。
【０１１５】
本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記実施形態では、バルブ本体２２の全体が樹脂材料から構成される場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されず、バルブ本体２２の一部のみが樹脂材料から構成されていてもよい。例えば、バルブ本体２２は、少なくとも押圧に変形させる必要がある部分（液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａの近傍）を樹脂材料で構成し、その他の部分を金属材料で構成するようにしてもよい。
【０１１６】
また、上記実施形態では、液体供給源１０から液体供給路１１を経由して液体を塗布部４０に供給する塗布装置１００に本発明のプラグバルブを適用した場合を例に挙げたが、これに限定されることはない。
【０１１７】
例えば、工場の生産設備（液体供給先）に対して所定の液体を液体供給源から供給する液体供給装置の液体供給路を閉塞するバルブとして本発明のプラグバルブを適用しても良い。これによれば、本発明のプラグバルブを用いて液体供給路を開閉することで液体供給先に液体を供給することができるので、気泡の発生を抑制することができる。よって、液体供給先へ気泡が流れ込むことが抑制された信頼性の高い液体供給方法を提供できる。また、液体供給先へ気泡が流れ込むことが抑制された信頼性の高い液体供給装置を提供できる。
この場合において、液体供給先に供給する液体の種類は特に限定されず、粘性が比較的高く異物を生じさせるおそれのある液体であれば良く、このような液体の供給経路を開閉するバルブとして本発明のプラグバルブは好適である。
【０１１８】
また、プラグ部材２１の外周面２１ａに形成された一対のプラグ側溝部２４，２５の形状は上述した形態に限られない。図１９〜図２１はプラグ側溝部２４，２５の他の変形例を示す図である。
【０１１９】
例えば、一対のプラグ側溝部２４，２５は、径方向から見て、図１９に示すような曲面形状であっても良いし、図２０に示すような三角形状であっても良いし、図２１に示すような四角形状であっても良い。
【０１２０】
また、上記実施形態においては、ナット２８，２９の締め込み量を調整することで当接面２２ｂ，２２ｃを押圧し、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａとの接触状態を調整したが、本発明はこれに限定されない。
【０１２１】
ここで、バルブの変形例として、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａとの接触状態を調整する別の形態について説明する。
図２２〜図２４はバルブの第１変形例〜第３変形例を示す図である。なお、図２２〜図２４においては、上記実施形態と同一の部材及び構成については同じ符号を付し、詳細な説明については省略する。
【０１２２】
図２２に示すように、第１変形例に係るバルブ２０Ａは、パイプネジ３８，３９がバルブ本体２２にねじ込まれることで取り付けられている。本変形例において、バルブ本体２２は、本体側溝部３４，３５に対応する位置にボルト４１，４２が取り付けられている。ボルト４１，４２は、バルブ本体２２に形成されたネジ穴にねじ込まれている。
【０１２３】
バルブ本体２２は上述のようにジュラコンやＵＰＥ等の樹脂材料から形成されているため、ボルト４１，４２がネジ穴にねじ込まれると、ボルト４１，４２によりバルブ本体２２が押圧されることで径方向内側に変位する。一方、ボルト４１，４２によるねじ込みを緩めると、バルブ本体２２の径方向内側への変位が小さくなる。
【０１２４】
このように本変形例によれば、ボルト４１，４２をバルブ本体２２のネジ孔にねじ込むことによりバルブ本体２２を変位させることで、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａとの接触状態（密閉状態）を容易に調整することができる。
【０１２５】
図２３に示すように、第２変形例に係るバルブ２０Ｂは、パイプネジ３８，３９がバルブ本体２２にねじ込まれることで取り付けられている。また、バルブ２０Ｂは、バルブ本体２２の外周を囲むように配置されたリング部材４３を更に備えている。リング部材４３は、板状部材をリング状に折り曲げたものである。リング部材４３の両端部は、隙間を生じた状態でネジ部材４４により固定されている。リング部材４３は、ネジ部材４４の締め付けることでリング部材４３の内径を小さくし、ネジ部材４４の締め付けを緩めることでリング部材４３の内径を大きくする。
【０１２６】
バルブ本体２２は、上述のようにジュラコンやＵＰＥ等の樹脂材料から形成されている。そのため、バルブ本体２２は、ネジ部材４４の締め付けによりリング部材４３の内径が小さくなることによって径方向内側に押圧されて変位する。一方、バルブ本体２２は、ネジ部材４４の締め付けを緩めることによりリング部材４３の内径が大きくなることによって変位が小さくなる。
【０１２７】
このように本変形例によれば、リング部材４３のネジ部材４４をねじ込むことでバルブ本体２２を変位させることで、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａとの接触状態（密閉状態）を容易に調整することができる。
【０１２８】
図２４に示すように、第３変形例に係るバルブ２０Ｃは、パイプネジ３８，３９がバルブ本体２２にねじ込まれることで取り付けられている。ナット４６，４７は、Оリング４５を介してパイプネジ３８，３９の外面に設けられたネジ部に螺合されている。
【０１２９】
ナット４６，４７がねじ込まれると、ナット４６，４７とバルブ本体２２とに挟まれることでОリング４５が押圧される。これにより、バルブ本体２２は、押圧されたОリング４５によって径方向内側に押圧されることで変位する。一方、バルブ本体２２は、ナット４６，４７の締め付けを緩めることによりОリング４５の押圧量が減少して変位が小さくなる。
【０１３０】
このように本変形例によれば、ナット４６，４７をねじ込むことでバルブ本体２２を変位させることで、プラグ部材２１の外周面２１ａと、液体流入口３６ａ及び液体流出口３７ａとの接触状態（密閉状態）を容易に調整することができる。
【０１３１】
なお、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。
【実施例】
【０１３２】
以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【０１３３】
本発明者は、プラグ側溝部に、第１状態において、液体流入口から流入した液体が淀まないように整流する整流部を設けることによって、気泡の発生を抑制することができることを以下の評価により確認した。
【０１３４】
（評価内容）
液体供給先に対して所定の液体を液体供給源から供給する液体供給装置の液体供給路を閉塞するバルブとして以下の比較例及び実施例１〜９に係るバルブを用い、液体供給先に供給される液体中の「気泡の有無」、液体供給先に供給される「液体の重量」、及び液体供給先に供給される液体中の「異物の有無」を評価した。液体供給先に供給する液体の粘度は、５Ｐａ・ｓとした。バルブに加える圧力は、０．４ＭＰａとした。バルブの液体流入路及び液体流出路の内径は、それぞれ１０ｍｍとした。
【０１３５】
（比較例）
比較例のバルブは、整流部が設けられていないものを用いた。すなわち、比較例においては、プラグ側溝部に貫通孔や凹部が形成されていない。比較例において、体積流体は、１１２５μｌ／ｓｅｃとした。ここで、「体積流体」とは、第１状態において流れる流体の体積を意味する。
【０１３６】
（実施例１）
実施例１のバルブは、貫通孔が、第１状態において、液体流入口と対向する位置に１つのみ配置されたもの（図６に示す第１実施形態）を用いた。実施例１において、体積流体は４５００μｌ／ｓｅｃとした。
【０１３７】
（実施例２）
実施例２のバルブは、底面と一端面との間、及び底面と他端面との間のそれぞれに、直角形状をなす連結部が形成されたもの（図７に示す第１実施形態の第１変形例）を用いた。実施例２において、体積流体は４５００μｌ／ｓｅｃとした。
【０１３８】
（実施例３）
実施例３のバルブは、貫通孔が、径方向から見て、底面の長手方向に延びる長円形状をなしているもの（図８に示す第１実施形態の第２変形例）を用いた。実施例３において、体積流体は４５００μｌ／ｓｅｃとした。
【０１３９】
（実施例４）
実施例４のバルブは、プラグ側溝部が、外周面の接線と平行な方向に延びる台形状をなす底面と、底面の一端側に連なる一端面と、底面の他端側に連なる他端面と、を備えたもの（図９に示す第１実施形態の第３変形例）を用いた。実施例４において、体積流体は４５００μｌ／ｓｅｃとした。
【０１４０】
（実施例５）
実施例５のバルブは、複数の貫通孔が、第１状態において、液体流入口と対向する位置に配置された１つの第１貫通孔と、プラグ部材の周方向で第１貫通孔に隣り合う位置に配置された２つの第２貫通孔と、を備えたもの（図１０に示す第２実施形態）を用いた。実施例５において、体積流体は３８００μｌ／ｓｅｃとした。
【０１４１】
（実施例６）
実施例６のバルブは、複数の貫通孔が、プラグ部材の周方向で仕切り部に隣り合う位置に配置された第３挿通孔と、プラグ部材の周方向で仕切り部を挟んで第３貫通孔とは反対側に配置された第４貫通孔と、を備えたもの（図１２に示す第３実施形態）を用いた。実施例６において、体積流体は４５００μｌ／ｓｅｃとした。
【０１４２】
（実施例７）
実施例７のバルブは、仕切り部が、境界部を先端とする先鋭形状をなすもの（図１４に示す第３実施形態の第１変形例）を用いた。実施例７において、体積流体は４５００μｌ／ｓｅｃとした。
【０１４３】
（実施例８）
実施例８のバルブは、貫通孔が、径方向から見て、仕切り部と重なる位置に１つのみ配置されたもの（図１６に示す第３実施形態に係る第２変形例）を用いた。実施例８において、体積流体は４５００μｌ／ｓｅｃとした。
【０１４４】
（実施例９）
実施例９のバルブは、凹部が、第１状態において、液体流入口と対向する位置に境界部が形成されるようにプラグ部材の周方向に互いに隣接した配置された第１凹部と第２凹部とを含むもの（図１７に示す第４実施形態）を用いた。実施例９において、体積流体は２２００μｌ／ｓｅｃとした。
【０１４５】
（評価結果）
液体供給先に供給される液体中の「気泡の有無」の評価結果（表１においては単に「気泡」と記載）については、液体供給先に供給される液体中に、気泡が発生していなければ「○」、一部気泡の発生が見受けられるが比較例よりは抑制されていれば「△」とした。すなわち、「△」は気泡が抜けにくい状態である。
液体供給先に供給される「液体の重量」の評価結果（表１においては単に「重量」と記載）については、液体供給先に供給される液体の重量が、比較例の値に対し３倍以上増大していれば「○」、比較例の値に対し１.５倍以上かつ３倍未満増大していれば「△」とした。
液体供給先に供給される液体中の「異物の有無」の評価結果（表１においては単に「異物」と記載）については、液体供給先に供給される液体中に、異物が発生していなければ「○」、異物が発生していれば「×」、一部異物の発生が見受けられるが「×」よりは抑制されていれば「△」とした。
上記「気泡の有無」、「液体の重量」、「異物の有無」の評価結果を表１に示す。なお、気泡の有無は、目視により行った。重量は、１分間に通過する液体をカップに受け、汎用電子天秤にて測定した。異物の有無は、液中パーティクルカウンタにより行った。
【０１４６】
【表１】
2018054069.tif 000003
【符号の説明】
【０１４７】
１…半導体基板（被塗布物）、１０…液体供給源、１１…液体供給路、２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ…バルブ（プラグバルブ）、２１…プラグ部材、２１ａ…外周面、２２…バルブ本体、２４，２５，１２４，１２５，２２４，３２４，３２５…プラグ側溝部、３４，３５…本体側溝部、３６…液体流入路、３６ａ…液体流入口、３７…液体流出路、３７ａ…液体流出口、４０…塗布部、６０，２６０，３６０，４６０…整流部、６１，１６１，３６６…貫通孔、１００…塗布装置、２６１…第１貫通孔、２６２…第２貫通孔、３６１，３６５…仕切り部、３６２…第３貫通孔、３６３…第４貫通孔、４６１…境界部、４６２…第１凹部、４６３…第２凹部
【図１】
2018054069.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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