(57)【要約】【課題】湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制された検出素子及びそれを用いた検出装置を提供すること。【解決手段】本発明の一形態に係る検出素子は、水晶振動子と、上記水晶振動子上に形成された吸着膜を具備する。上記吸着膜は、上記検出素子のクリスタルインピーダンスが、上記吸着膜が形成されていない上記水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる厚みを有する。【選択図】図４
2018155576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶振動子と、
前記水晶振動子上に形成された吸着膜
を具備する検出素子であって、
上記吸着膜は、前記検出素子のクリスタルインピーダンスが、前記吸着膜が形成されていない前記水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる厚みを有する
検出素子。
【請求項２】
請求項１に記載の検出素子の製造方法であって、
前記吸着膜は、前記検出素子のクリスタルインピーダンスが、前記吸着膜が形成されていない前記水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる膜厚の範囲内で、最も厚い厚みを有する
検出素子。
【請求項３】
水晶振動子と前記水晶振動子上に設けられた特定の気体を吸着する吸着膜とを有する気体検出素子を複数具備する
検出装置であって、
前記気体検出素子は、前記気体検出素子のクリスタルインピーダンスが、前記吸着膜が形成されていない前記水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる厚みを有する
検出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の検出装置であって、
前記検出装置は、湿度検出素子と、前記気体検出素子の検出結果を前記湿度検出素子の検出結果を基に補正する補正演算部を
更に具備する検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体を検出する検出素子及びそれを用いた検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
検出素子としてのＱＣＭ（Ｑｕａｒｔｚ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｍｉｃｒｏｂａｌａｎｃｅ）センサは、水晶振動子の表面に、特定の気体を選択的に吸着する吸着膜を形成することにより構成され、特定の気体を検出するセンサに応用される。このようなセンサでは、ある特定の気体を吸着膜に吸着することで生じた吸着物質量変化に伴う共振周波数変化が計測されることにより、検出対象となる気体の濃度が算出されるが、検出対象の気体の吸着以外に、温度や湿度によっても共振周波数が変化する。
【０００３】
これに対し、気体検出素子に用いられる水晶振動子に、室温近傍で温度係数変化が極小となる温度安定性に優れるＡＴカットの水晶振動子を用いることにより、温度変化による測定値の誤差を小さくしている。一方、湿度変化による共振周波数変化については、精密な制御が非常に困難である。そこで、一般的には、温湿度検出素子を用いて温度及び湿度を計測し、その計測結果を基にＱＣＭセンサで検出した共振周波数変化の値を補正している（例えば特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実用新案登録第３０９４４１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、湿度変化による共振周波数変化を一定範囲内に抑制された検出素子及びそれを用いた検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る検出素子は、水晶振動子と、上記水晶振動子上に形成された吸着膜を具備する。
上記吸着膜は、上記検出素子のクリスタルインピーダンスが、上記吸着膜が形成されていない上記水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる厚みを有する。
【０００７】
本発明のこのような構成によれば、鋭い共振特性を有し、かつ、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制された検出素子を得ることができる。
【０００８】
上記吸着膜は、上記検出素子のクリスタルインピーダンスが、上記吸着膜が形成されていない上記水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる膜厚の範囲内で、最も厚い厚みを有してもよい。
このような構成によれば、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制されつつ、かつ、高い気体吸着力を有する検出素子を得ることができる。
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る検出装置は、複数の気体検出素子を具備する。
上記気体検出素子は、水晶振動子と上記水晶振動子上に設けられた特定の気体を吸着する吸着膜とを有し、上記気体検出素子のクリスタルインピーダンスが、上記吸着膜が形成されていない上記水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる厚みを有する。
【００１０】
本発明のこのような構成によれば、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制され、検出感度が高い検出装置を得ることができる。
【００１１】
上記検出装置は、湿度検出素子と、上記気体検出素子の検出結果を上記湿度検出素子の検出結果を基に補正する補正演算部を更に具備してもよい。
このような構成によれば、湿度変化による共振周波数変化の補正処理が容易な検出装置を得ることができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上述べたように、本発明によれば、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制された検出素子及びそれを用いた検出装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る気体検出素子における吸着膜の膜厚と等価直列抵抗（ＣＩ）との関係を示す図である。
【図２】上述の気体検出素子における吸着膜の膜厚とアセトン吸着時の周波数変化との関係を示す図である。
【図３】上述の気体検出素子における吸着膜の膜厚と湿度変化における周波数変化の差との関係を示す図である。
【図４】上述の気体検出素子が用いられる検出装置を備える検出システムの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［検出素子］
以下、図面及び表を参照しながら、本発明の実施形態に係る気体検出素子について説明する。気体検出素子は、水晶振動子と、該水晶振動子に形成された特定の気体を選択的に吸着する吸着膜を有する。気体検出素子では、特定の気体を吸着膜が吸着することで生じた吸着物質量変化に伴う共振周波数変化が計測され、検出対象の気体の特定や検出対象となる気体の濃度の算出が行われる。
【００１５】
本実施形態に係る検出素子は、吸着膜が形成される前の水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下のクリスタルインピーダンスを有するように、吸着膜の膜厚が制御されて構成される。これにより、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制された検出素子が得られる。
【００１６】
気体検出素子の一部を構成する水晶振動子には、共振周波数が９ＭＨｚの水晶振動子を用いることができる。この水晶振動子は、共振周波数が温度変化に対して直線的に変化する水晶板であり、本実施形態ではカット角がＡＴカットからずれた水晶板を用いている。本実施形態における水晶振動子は、例えば直径が８．６ｍｍの円形状を有し、厚みが０．１８５ｍｍである。気体検出素子の詳細な構造については後述する検出装置で説明する。
【００１７】
本実施形態では、吸着膜として、検出対象気体としてのアセトンを選択的に吸着する性質を有するフッ化ビニリデン樹脂（ポリビニリデンフルオライド）とトリフルオロエチレンの共重合体を用いる気体検出素子を例にあげて説明する。
【００１８】
表１は、同一の吸着膜材料を用い、吸着膜の膜厚のみを変えた気体検出素子である試料Ａ〜Ｅの吸着膜特性を示す表である。試料Ａは吸着膜の膜厚が０μｍ、すなわち吸着膜が形成されていない水晶振動子である。試料Ｃ、Ｄは、本実施形態に係る気体検出素子であり、それぞれ膜厚が２．１μｍ、０．７μｍの吸着膜を有する気体検出素子である。試料Ｂ、Ｅは、比較例に係る気体検出素子であり、それぞれ膜厚が２．７μｍ、３μｍ以上の吸着膜を有する気体検出素子である。
【００１９】
【表１】
2018155576.tif 000003
【００２０】
図１は、気体検出素子における吸着膜の膜厚と等価直列抵抗（ＣＩ）との関係を示す図である。
図２は、気体検出素子における吸着膜の膜厚とアセトン吸着時の周波数変化との関係を示す図である。
図３は、気体検出素子の、温度２５℃、湿度４０％ＲＨから温度２５℃、湿度５０％ＲＨへと環境条件が変化した際の共振周波数変化の差と吸着膜の膜厚との関係を示す図である。
【００２１】
表１において、Ｆｒは共振周波数、ＣＩはクリスタルインピーダンス（等価直列抵抗）、Ｃ０は等価並列静電容量、Ｌ１は等価直列インダクタンス、γは容量比（Ｃ０／Ｃ１）を示す。ＱはＱ値（Ｑｕａｌｉｔｙ  Ｆａｃｔｏｒ）であり、共振特性の鋭さを表す指標である。Ｑの値が大きいほど共振特性が鋭く、気体の検出感度が良好であることを示す。表１に示されるように、吸着膜が形成される前の水晶振動子（試料Ａ）の共振周波数（Ｆｒ）は約９ＭＨｚであり、試料ＡのＣＩ値は６．７Ωである。ＣＩの測定は、Agilent社製のネットワークアナライザーＥ５１００Ａを使用し、ドライブレベルを５０μＷとして行った。
【００２２】
ＣＩ値は発振しやすさを表す指標であり、値が小さいほど発振しやすい。表１及び図１に示すように、吸着膜の膜厚が厚くなるほどＣＩ値が上昇し、発振しづらくなる。膜厚が２．１μｍを超えるまでは比較的安定したＣＩ値を示すが、２．１μｍを超えると急激にＣＩ値が上昇する。また、表１より、膜厚が３μｍを超えるとＱ値が低下し、共振特性の鋭さが鈍くなる。このように膜厚が薄いほど、共振特性が鋭くなる。表１に示すように、試料ＡのＣＩ値が６．７Ωであるのに対し、本実施形態に係る試料ＣのＣＩ値は５７．０Ω、試料Ｄの値は５８．４Ωである。
【００２３】
また、図２に示すように、吸着膜の膜厚が厚くなるほど気体の吸着能力が高くなる傾向があり、本実施形態の検出気体をアセトンガスとした例では、アセトン吸着時の周波数変化と膜厚とはほぼ比例関係にある。
【００２４】
図３に示すように、１０％の湿度上昇で、膜厚が２．１μｍあたりを超えると、湿度変化による共振周波数変化の差は急激に大きくなり、気体検出素子の共振周波数変化は湿度変化に大きく影響される。そして、膜厚が２．１μｍ以下の範囲では、湿度変化による共振周波数変化の差と膜厚とはほぼ比例関係となり、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制される。
【００２５】
このような、湿度変化による共振周波数変化の差が急激に大きくならない膜厚範囲、本実施形態においては２．１μｍ以下とすることは、気体検出素子のクリスタルインピーダンスが、吸着膜が形成されていない水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となるように吸着膜の膜厚を制御することによって実現される。
【００２６】
本実施形態においては、試料ＡのＣＩ値が６．７Ωであり、この１０倍以下である６７Ω以下の範囲にあるＣＩ値がある試料Ｃ及びＤは、鋭い共振特性を有し、かつ、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制された気体検出素子となっている。
【００２７】
以上のことより、気体検出素子のクリスタルインピーダンスが、吸着膜が形成されていない水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる厚みの吸着膜を有することにより、鋭い共振特性を有し、かつ、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制された気体検出素子を得ることができる。
【００２８】
更に好ましくは、気体検出素子のクリスタルインピーダンスが、吸着膜が形成されていない水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１．１倍以上となるようにすることが望ましく、１．１倍を下回ると吸着膜の厚みが薄くなりすぎるため、ガス吸着の効果が小さくなる。
【００２９】
そして、このような気体検出素子を備えた検出装置では、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制され、湿度変化による共振周波数変化と膜厚とがほぼ比例関係にあるので、湿度変化による共振周波数変化の補正処理が容易となる。
【００３０】
気体検出素子のクリスタルインピーダンスが、吸着膜が形成されていない水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍よりも大きくなる膜厚の吸着膜を備えた気体検出素子では、湿度変化による共振周波数変化が急激に大きくなってしまう。そのため、このような気体検出素子を備えた検出装置では、湿度変化による共振周波数変化と膜厚とが比例関係になく、湿度変化による共振周波数変化の補正処理が複雑なものとなってしまう。
【００３１】
また、吸着膜は、図２にも示されるように、吸着膜の膜厚が厚くなるほど気体の吸着能力が高くなる。したがって、気体検出素子のクリスタルインピーダンスが、吸着膜が形成されていない水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となるような吸着膜の膜厚の範囲内であって、最も厚い膜厚となるように、吸着膜の膜厚を設定することにより、湿度による影響を一定以下に抑制しつつ、かつ、高い気体吸着力を有し、検出感度が良好な気体検出素子とすることができる。尚、吸着膜の膜厚の下限値は特に限定されない。吸着膜に用いられる材料によっても異なるが、一般的には、吸着膜の膜厚が、少なくとも０．０１μｍ以上あれば気体検出素子として用いることができる。
【００３２】
尚、本実施形態においては、吸着膜の材料としてフッ化ビニリデン樹脂（ポリビニリデンフルオライド）とトリフルオロエチレンの共重合体を例にあげたが、他の材料についても同様である。例えば、セルロースアセテートブチレートといった材料にも適用できる。
【００３３】
従来においては、吸着膜に用いられる材料毎に、その吸着特性、共振特性から最適な膜厚となるように吸着膜を形成していた。これに対し、本発明においては、材料の種類にかかわらず、気体検出素子のクリスタルインピーダンスが、吸着膜が形成される前の水晶振動子（試料Ａ）のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となるような膜厚の範囲内であって、最も厚い膜厚となるように吸着膜を形成する。
【００３４】
吸着膜の成膜方法は既知の方法を用いることができ、例えばキャスト法、スピンコート法、スパッタ蒸着等を用いることができる。本実施形態においては、水晶振動子上に既知の方法で吸着膜を、膜厚をふって成膜して基体検出素子が製造し、製造された気体検出素子のクリスタルインピーダンスを測定し、吸着膜が形成される前の水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる膜厚の範囲内で最も厚い膜厚となる吸着膜の膜厚を求めて、気体検出素子を製造する。
【００３５】
［検出装置］
次に、上述の、気体検出素子のクリスタルインピーダンスが、吸着膜が形成される前の水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる膜厚の範囲内であって、その範囲内で最も厚い膜厚となるように吸着膜の膜厚が制御された気体検出素子を用いた検出装置について説明する。
【００３６】
以下、図面を参照しながら、上述のようにクリスタルインピーダンスを基に膜厚を制御して形成された吸着膜を有する検出素子を複数備える検出装置について説明する。図４は、検出装置を備えた検出システムの構成を示す。
【００３７】
検出システムは、検出装置１００と、検出装置１００で検出された結果を表示する表示部２０１を有する表示装置を具備する。
【００３８】
検出装置１００は、基板（図示せず）と、第１の気体検出素子としての第１のＱＣＭセンサ素子（以下、第１のＱＣＭと称す）１０１と、第２の気体検出素子としての第２のＱＣＭセンサ素子（以下、第２のＱＣＭと称す）１０２と、第３の気体検出素子としての第３のＱＣＭセンサ素子（以下、第３のＱＣＭと称す）１０３と、第１の周波数カウンタ回路１１１と、第２の周波数カウンタ回路１１２と、第３の周波数カウンタ回路１１３と、情報処理部１２０と、温湿度センサ１３０とを具備する。温湿度センサ１３０は、温度検出素子及び湿度検出素子の両方を備える。
【００３９】
３つのＱＣＭ１０１〜１０３は、いずれも振動子としての水晶振動子と、該水晶振動子上に設けられた特定の気体を吸着する吸着膜を備えた構成を有しており、吸着膜の種類が異なるのみで基本構造は同じである。水晶振動子の共振周波数は吸着膜に吸着した気体の重量に比例して減少するので、水晶振動子毎に共振周波数の変化量を計測し、この計測結果を基に、検出対象に例えばアセトン、トルエン、ホルムアルデヒドが含まれているか否かが検出可能となっており、また、検出対象となる気体の濃度が算出可能となっている。尚、検出対象の気体は、吸着膜の種類を変えることにより任意に変更することができる。
【００４０】
本実施形態においては、検出素子に共振周波数が９ＭＨｚの水晶振動子を用いることができる。検出素子の一部を構成する水晶振動子は、共振周波数が温度変化に対して直線的に変化する水晶板であり、本実施形態ではカット角がＡＴカットからずれた水晶板を用いている。水晶振動子は、直径が８．６ｍｍの円形状を有し、厚みが０．１８５ｍｍであり、共振周波数は９ＭＨｚである
【００４１】
第１のＱＣＭ１０１（第２のＱＣＭ１０２、第３のＱＣＭ１０３）は、第１の水晶振動子１３（第２の水晶振動子２３、第３の水晶振動子３３）と、電極１１（２１、３１）と、第１の吸着膜１２（第２の吸着膜２２、第３の吸着膜３２）と、リードランド１６Ａ（２６Ａ、３６Ａ）と、リードランド１６Ｂ（２６Ｂ、３６Ｂ）と、リード１４Ａ（２４Ａ、３４Ａ）と、リード１４Ｂ（２４Ｂ、３４Ｂ）と、ピン端子１９Ａ（２９Ａ、３９Ａ）と、ピン端子１９Ｂ（２９Ｂ、３９Ｂ）とを有する。
【００４２】
電極１１（２１、３１）は、水晶振動子１３（２３、３３）の両面にそれぞれ形成され、吸着膜１２（２２、３２）は水晶振動子１３（２３、３３）の一方の面に形成された電極１１（２１、３１）上に形成される。リードランド１６Ａ（２６Ａ、３６Ａ）は一方の面に形成された電極１１（２１、３１）と一体形成されてなり、リードランド１６Ｂ（２６Ｂ、３６Ｂ）は他方の面に形成された電極１１（２１、３１）と一体形成されてなる。
【００４３】
リード１４Ａ（２４Ａ、３４Ａ）及びリード１４Ｂ（２４Ｂ、３４Ｂ）は金属バネ材からなり、互いに平行に配置される。
リード１４Ａ（２４Ａ、３４Ａ）は、一端がリードランド１６Ａ（２６Ａ、３６Ａ）を介して一方の面に形成された電極１１（２１、３１）と電気的に接続し、他端がピン端子１９Ａ（２９Ａ、３９Ａ）に接続する。リード１４Ｂ（２４Ｂ、３４Ｂ）は一端がリードランド１６Ｂ（２６Ｂ、３６Ｂ）を介して他方の面に形成された電極１１（２１、３１）と電気的に接続し、他端がピン端子１９Ｂ（２９Ｂ、３９Ｂ）に接続する。
【００４４】
ピン端子１９Ａ（２９Ａ、３９Ａ）と、ピン端子１９Ｂ（２９Ｂ、３９Ｂ）は、基板上に設けられた端子台１８（２８、３８）に支持され、端子台１８（２８、３８）によって水晶振動子１３（２３、３３）は振動自在に支持される。
【００４５】
ＱＣＭ１０１（１０２、１０３）のピン端子１９Ａ（２９Ａ、３９Ａ）及び１９Ｂ（２９Ｂ、３９Ｂ）は図示しない発振回路に接続され、ＱＣＭ１０１（１０２、１０３）に駆動電圧が印加される。ＱＣＭ１０１（１０２、１０３）は、駆動電圧が印加されると、水晶振動子１３（２３、３３）は固有の共振周波数（本例では９ＭＨｚ）で振動する。
【００４６】
そして、吸着膜１２（２２、３２）がガスを吸着することにより質量が変化し、その吸着量に応じて水晶振動子１３（２３、３３）の発振周波数は低下する。第１のＱＣＭ１０１、第２のＱＣＭ１０２、第３のＱＣＭ１０３は、それぞれ第１の周波数カウンタ回路１１１、第２の周波数カウンタ回路１１２、第３の周波数カウンタ回路に接続される。第１の周波数カウンタ回路１１１（第２の周波数カウンタ回路１１２、第３の周波数カウンタ回路１１３）は、第１のＱＣＭ１０１（第２のＱＣＭ１０２、第３のＱＣＭ１０３）の共振周波数を検出する。各周波数カウンタ回路１１１〜１１３からは、検出された共振周波数の電気信号が情報処理部１２０に出力される。
【００４７】
いずれの吸着膜１２、２２、３２においても、吸着膜が形成される前の水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となる膜厚の範囲内で、その範囲内で最も厚い膜厚となるように構成されている。
【００４８】
吸着膜１２は、膜厚１μｍのフッ化ビニリデン樹脂（ポリビニリデンフルオライド）とトリフルオロエチレンの共重合体からなる。吸着膜２２は、膜厚１μｍのフッ化ビニリデン樹脂（ポリビニリデンフルオライド）とトリフルオロエチレンと三フッ化塩化エチレンの共重合体からなる。吸着膜３２は、膜厚１μｍのセルロースアセテートブチレートからなる。吸着膜１２はアセトンを、吸着膜２２はトルエンを、吸着膜３２はホルムアルデヒドをそれぞれ吸着する特性を有し、本実施形態においては、第１のＱＣＭ１０１をアセトンの、第２のＱＣＭ１０２をトルエンの、第３のＱＣＭ１０３をホルムアルデヒドの検出にそれぞれ用いている。
【００４９】
温湿度センサ１３０は、検出装置１００が載置される雰囲気の温度、湿度を検出するものである。
本実施形態においては、温湿度センサ１３０により検出された温度を基に、各ＱＣＭ１０１〜１０３それぞれで検出された共振周波数は、温度による共振周波数変化をキャンセルするように補正される。温度に応じた共振周波数変化のデータは吸着膜毎に予め後述する情報処理部１２０の記憶部１２４に記憶されている。
【００５０】
また、温湿度センサ１３０により検出された湿度を基に、各ＱＣＭ１０１〜１０３それぞれで検出される共振周波数は、後述する情報処理部１２０の補正演算部１２２により、湿度による共振周波数変化をキャンセルするように補正される。湿度に応じた共振周波数変化のデータは吸着膜毎に予め後述する情報処理部１２０の記憶部１２４に記憶されている。
【００５１】
情報処理部１２０は、入力部１２１と、補正演算部１２２と、判定部１２３と、記憶部１２４と、出力部１２５とを有する。
【００５２】
入力部１２０には、第１の周波数カウンタ回路１１１、第２の周波数カウンタ回路１１２、第３の周波数カウンタ回路１１３それぞれで検出された第１のＱＣＭ１０１の共振周波数の電気信号、第２のＱＣＭ１０２の共振周波数の電気信号、第３のＱＣＭ１０３の共振周波数の電気信号、及び、温湿度センサ１３０で検出された温度及び湿度情報が入力される。
【００５３】
補正演算部１２２は、入力部１２０に入力された各ＱＣＭ１０１〜１０３の検出結果である共振周波数の電気信号、温湿度センサ１３０の検出結果である温度、湿度の情報、及び、記憶部１２４から入力された温度変化及び湿度変化に伴う共振周波数変化に関する情報を基に、各ＱＣＭ１０１〜１０３の共振周波数変化を補正する。
【００５４】
ここで、吸着膜１２、２２、３２は、いずれも吸着膜が形成される前の水晶振動子のクリスタルインピーダンスの１０倍以下となるように膜厚が制御されているので、吸着膜１２、２２、３２は、湿度変化による周波数変化の差と吸着膜の膜厚とがほぼ比例関係を示す膜厚範囲となるよう制御され、湿度変化による共振周波数変化が一定範囲内に抑制されている。したがって、補正演算部１２２における、湿度変化による気体検出素子の共振周波数変化をキャンセルする補正処理が容易となる。
【００５５】
判定部１２３は、補正演算部１２２により補正された各ＱＣＭ１０１〜１０３の共振周波数変化を基に、検出対象気体の特定し、また、検出対象となる気体の濃度を算出する。
【００５６】
出力部１２５は、判定部１２３による判定結果を表示装置に出力する。判定結果は、表示装置の表示部２０１に表示される。
【００５７】
以上のように、本実施形態における検出装置１００では、湿度による影響を一定範囲内に抑制され、湿度変化による気体検出素子の共振周波数変化の補正処理が容易に行われる。これにより、検出精度の高い検出装置を得ることができる。
【符号の説明】
【００５８】
１２  第１の吸着膜
１３  第１の水晶振動子
２２  第２の吸着膜
２３  第２の水晶振動子
３２  第３の吸着膜
３３  第３の水晶振動子
１００  検出装置
１０１  第１の気体検出素子（第１のＱＣＭ）
１０２  第２の気体検出素子（第２のＱＣＭ）
１０３  第３の気体検出素子（第３のＱＣＭ）
１２２  補正演算部
１３０  温湿度センサ（湿度検出素子を含むセンサ）
【図１】
2018155576.tif 000004
【図２】
2018155576.tif 000005
【図３】
2018155576.tif 000006
【図４】
2018155576.tif 000007