(57)【要約】【課題】スピンナテーブルの任意の位置に対してノズルを容易に調節すること。【解決手段】洗浄装置（１）のスピンナテーブル（１２）に対してエアノズル（２５）の停止位置を調節するノズル調節治具（３０）が、スピンナテーブルの上面に載置される基台（３１）と、基台の上方で回転可能に支持された円環状の回転板（３６）と、スピンナテーブルの任意の位置の直上に回転板の円開口（３７）の中心を位置決めする位置決め部（３８）とを備えている。ノズルからエアを回転板に噴き付けて回転板の回転が停止したら、ノズルから噴き出されるエアが円開口を通過しているとして、ノズルの位置決めが完了したことを目視確認できる構成にした。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピン回転可能なスピンナテーブルと、該スピンナテーブルが保持したウエーハに流体を噴射するノズルと、該ノズルを該スピンナテーブルの径方向に移動させる径方向移動手段とを備えるスピン洗浄装置において、該ノズルから流体としてエアを噴射するときに該径方向移動手段で該スピンナテーブルに向けて移動させた停止位置を調節するノズル調節治具であって、
該スピンナテーブルの上面に載置する被載置面を有する基台と、該基台に支持され該スピンナテーブルの上面に平行に延在する回転軸と、該回転軸の中心に円開口を有する回転板と、該スピンナテーブルの上面方向で該スピンナテーブルの任意の位置を通る垂直線上に該円開口の中心を位置決めする位置決め部とを備え、
該スピンナテーブルに載置し該位置決め部で位置決めし該回転板に該ノズルからエアを噴き付け該回転軸を軸に回転する該回転板が停止したら該ノズルから噴き出されるエアが該円開口を通過していて該ノズルの位置決めが完了したことを目視確認できるノズル調節治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルの吹き出し口をスピンナテーブル上の任意の位置に位置付けるノズル調節治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウエーハを吸引保持したスピンナテーブルを高速回転させ、ウエーハに洗浄水を噴射して洗浄するスピン洗浄装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この洗浄装置では、遠心力によって洗浄水が外側に吹き飛ぶ力を利用してウエーハの上面を洗浄した後、ウエーハにエアを噴き付けて乾燥させている。このような洗浄装置では、ウエーハの上面を洗浄する他、ウエーハの外周エッジを重点的に洗浄する用途にも使用される。このため、専用治具を使用して、ウエーハの任意の位置に対して洗浄ノズルやエアノズル等のノズルが位置出しされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１７６０３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記の位置出し用の治具はテーブルの外周縁に位置決めされることで、ノズルの旋回がスピンナテーブルの上方で規制されて、ウエーハの所望の位置に対してノズルの位置が調節される。しかしながら、ノズルから噴射される洗浄水やエアがウエーハ上の所望位置から僅かに外れることがあり、スピンナテーブルの上方でノズルの位置を再度調節する必要があった。この場合、スピンナテーブル上のウエーハを濡らしてノズルからエアを噴き付けることで、エアの噴き付け位置を目安にノズルを位置調節しているため、ノズルの調節作業が困難であった。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、スピンナテーブルの任意の位置に対してノズルを容易に調節することができるエアノズル調節治具を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様のノズル調節治具は、スピン回転可能なスピンナテーブルと、スピンナテーブルが保持したウエーハに流体を噴射するノズルと、ノズルをスピンナテーブルの径方向に移動させる径方向移動手段とを備えるスピン洗浄装置において、ノズルから流体としてエアを噴射するときに径方向移動手段でスピンナテーブルに向けて移動させた停止位置を調節するノズル調節治具であって、スピンナテーブルの上面に載置する被載置面を有する基台と、基台に支持されスピンナテーブルの上面に平行に延在する回転軸と、回転軸の中心に円開口を有する回転板と、スピンナテーブルの上面方向でスピンナテーブルの任意の位置を通る垂直線上に円開口の中心を位置決めする位置決め部とを備え、スピンナテーブルに載置し位置決め部で位置決めし回転板にノズルからエアを噴き付け回転軸を軸に回転する回転板が停止したらノズルから噴き出されるエアが円開口を通過していてノズルの位置決めが完了したことを目視確認できる。
【０００７】
この構成によれば、位置決め部によって回転板の円開口の中心がスピンナテーブルの上面で任意の位置に位置付けられる。ノズルがスピンナテーブルの上面の任意の位置から外れると、ノズルから噴射されたエアが回転板の板面に当たって回転軸回りに回転される。一方、ノズルがスピンナテーブルの上面の任意の位置に位置付けられると、ノズルから噴射されたエアが回転板の円開口を通過して回転板の回転が停止される。このように、回転板の回転を目視確認しながらノズルの位置を調節することで、スピンナテーブルの任意の位置に対してノズルを容易に調節することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ノズルが任意の位置に位置付けられると、ノズルから噴射されたエアが回転板の円開口を通過して回転板の回転が停止されるため、スピンナテーブルの任意の位置に対してノズルを容易に調節することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態の洗浄装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態のノズル調節治具の斜視図である。
【図３】本実施の形態のノズル調節治具の設置状態を示す斜視図である。
【図４】本実施の形態のエアノズルの調節動作の説明図である。
【図５】本実施の形態のエアノズルの調節動作の説明図である。
【図６】変形例のノズル調節治具の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の洗浄装置について説明する。図１は、本実施の形態の洗浄装置の斜視図である。なお、以下の説明では、洗浄装置は、ノズル調節治具が取り付け可能であればよく、例えば、洗浄水と高圧エアの混合水をノズルから噴射する二流体洗浄装置でもよい。
【００１１】
図１に示すように、洗浄装置１は、いわゆるスピン洗浄装置であり、ウエーハＷを保持したスピンナテーブル１２を回転させ、スピンナテーブル１２上に洗浄水を噴き付けて、ウエーハＷを洗浄するように構成されている。ウエーハＷの表面には、デバイス保護用の保護テープＴが貼着され、保護テープＴを介してスピンナテーブル１２上に保持される。なお、ウエーハＷは、半導体基板に半導体デバイスが形成された半導体ウエーハでもよいし、無機材料基板に光デバイスが形成された光デバイスウエーハでもよい。また、ウエーハＷは、デバイス形成前の半導体基板や無機材料基板でもよい。
【００１２】
洗浄装置１のケーシング１１は円筒状に形成されており、ケーシング１１の内側にはウエーハＷを保持するスピンナテーブル１２がスピン回転可能に支持されている。スピンナテーブル１２の上面には、ポーラスセラミック材によって保持面１３が形成されており、保持面１３に生じる負圧によってウエーハＷが保護テープＴを介して吸引保持される。スピンナテーブル１２の下面には回転軸１４を介してモータ等の回転手段１５が接続されており、回転手段１５の回転駆動によってスピンナテーブル１２がケーシング１１内で高速回転される。また、スピンナテーブル１２は不図示の昇降機構によってケーシング１１内で昇降移動される。
【００１３】
また、スピンナテーブル１２の周囲には、スピンナテーブル１２が保持したウエーハＷに洗浄水を噴射して洗浄する洗浄水ノズル２１と、スピンナテーブル１２が保持したウエーハＷにエアを噴射して乾燥するエアノズル２５とが設けられている。洗浄水ノズル２１は固定軸２２の上端に取り付けられており、スピンナテーブル１２の外周縁よりも外側の洗浄水ノズル２１からウエーハＷに洗浄水が噴射される。エアノズル２５は旋回軸２６の上端に取り付けられており、旋回軸２６の下端の径方向移動手段２７でウエーハＷの中心の直上までエアノズル２５が旋回されて、エアノズル２５からウエーハＷにエアが噴き下ろされる。
【００１４】
このように構成された洗浄装置１では、スピンナテーブル１２が高速回転されて、ウエーハＷの外周縁よりも外側から洗浄水が噴射された後、ウエーハＷの中心の真上からエアが噴き降ろされる。このとき、洗浄水ノズル２１がスピンナテーブル１２から外れているため、ウエーハＷの乾燥中に水滴がウエーハＷに垂れることがなく、エアノズル２５から噴き降ろされたエアがウエーハＷの中心から外周に均等に広がってウエーハＷの乾燥時間が短縮されている。通常、この種の洗浄装置１では、エアノズル２５の噴射口とスピンナテーブル１２の中心を位置出しするための専用の治具が使用される。
【００１５】
例えば、位置出し用の治具としては、スピンナテーブル１２に取り付けられて、エアノズル２５の旋回を所定位置で規制するものが提案されている。エアノズル２５を旋回させて治具の規制面に接触させることで、エアノズル２５の噴射口がスピンナテーブル１２上の中心に調節される。しかしながら、この治具ではエアの噴き降ろし位置がウエーハＷの中心から僅かに外れることがあり、エアノズル２５の位置を調節し直す必要があった。この場合、水で濡れたウエーハＷにエアを噴き付けて、噴き付け箇所を目安に位置調節するため、オペレータの技量が足りないと調節作業に長い時間がかかってしまっていた。
【００１６】
また、本実施の形態では、洗浄装置１ではエアノズル２５の調節作業を問題にしているが、二流体洗浄を用いた洗浄装置や、洗浄水ノズルが旋回する洗浄装置においても、二流体洗浄ノズル、洗浄水ノズルの調節作業もオペレータの負担になっている。また、二流体洗浄ノズルや洗浄水ノズルを用いた洗浄では、ウエーハの中心だけではなく、ウエーハの外周エッジにノズルを位置付けて洗浄する場合がある。このため、ウエーハの外周エッジとノズルの噴射口とを位置出しする場合にも、オペレータによるノズルの調節作業が煩雑なものになっていた。
【００１７】
そこで、本実施の形態では、ノズル（エアノズル２５）からのエアの噴き付けによって回転可能なリング状の回転板３６（図２参照）をスピンナテーブル１２上の任意の位置に位置付けるようにしている。回転板３６の円開口３７から外れた位置にエアが噴き付けられると回転板３６が回転し、回転板３６の円開口３７を通じて任意の位置にエアが噴き付けられると回転板３６が停止する。回転板３６の回転及び停止を目視で確認しながらノズルを旋回させることで、オペレータの技量に依らずに、ノズルを任意の位置の直上に容易かつ楽しく位置付けることが可能になっている。
【００１８】
図２及び図３を参照して、ノズル調節治具について詳細に説明する。図２は、本実施の形態のノズル調節治具の斜視図である。図３は、本実施の形態のノズル調節治具の設置状態を示す斜視図である。なお、以下の説明では、エアノズルをスピンナテーブルの中心の直上に位置付け可能なノズル調節治具について説明する。また、図２Ａはノズル調節治具の分解した状態、図２Ｂはノズル調節治具を組み立てた状態をそれぞれ示している。さらに、図３Ａは待機位置、図３Ｂは噴射位置にエアノズルがそれぞれ位置付けられた状態を示している。
【００１９】
図２Ａ及び図２Ｂに示すように、ノズル調節治具３０は、エアノズル２５（図３参照）からエアを噴射するときに、径方向移動手段２７でエアノズル２５をスピンナテーブル１２（図３参照）に向けて移動させた停止位置を調節するように構成されている。ノズル調節治具３０の基台３１は上面視長方形の板状に形成されており、基台３１の裏面側にはスピンナテーブル１２の上面に載置される被載置面３２が形成されている。基台３１の上面には一対の柱部３３が間隔を空けて立設されており、一対の柱部３３の上端には一対の回転軸３５を介して円環状の回転板３６が回転可能に支持されている。
【００２０】
一対の回転軸３５は、回転板３６の中心を挟んだ対向位置からスピンナテーブル１２（図３参照）の上面と平行な半径方向に延在している。各回転軸３５の中間部分は細径に形成されており、この回転軸３５の細径部分が一対の柱部３３の上端面のＵ字状の溝３４に支持されている。回転軸３５の細径部分が柱部３３の溝３４に入り込むことで、回転軸３５の太径部分が回転板３６の軸方向のズレに対するストッパとして機能している。回転板３６の中央、すなわち一対の回転軸３５の中心には、エアノズル２５からのエアを基台３１の上面側に通過させる円開口３７が形成されている。
【００２１】
また、基台３１の一端側には、スピンナテーブル１２（図３参照）の上面方向でスピンナテーブル１２の中心を通る垂直線上に回転板３６の円開口３７の中心を位置決めする位置決め部３８が設けられている。位置決め部３８にはスピンナテーブル１２の外周縁に沿った円弧状の当接面３９が形成され、スピンナテーブル１２の外周縁に位置決め部３８の当接面３９が当接することで、回転板３６の円開口３７の中心がスピンナテーブル１２の中心に位置決めされる。このように、ノズル調節治具３０をスピンナテーブル１２の保持面１３に載置するという簡易な作業で、回転板３６をスピンナテーブル１２の中心に位置付けることが可能になっている。
【００２２】
図３Ａ及び図３Ｂに示すように、スピンナテーブル１２上にノズル調節治具３０が載置され、位置決め部３８で位置決めされると、スピンナテーブル１２の中心の直上に回転板３６の円開口３７の中心が位置付けられる。径方向移動手段２７によってエアノズル２５がスピンナテーブル１２の径方向に移動され、エアノズル２５の噴射口が回転板３６の真上に位置付けられる。エアノズル２５からのエアが回転板３６の板面に当たっている間は回転板３６が回転軸３５を軸に勢いよく回転し、エアノズル２５からのエアが回転板３６の円開口３７に入り込むと回転板３６が停止される。
【００２３】
回転板３６が停止したら、エアノズル２５から噴き出されるエアが回転板３６の円開口３７を通過してエアノズル２５の位置決めが完了したことをオペレータが目視確認することが可能になっている。この場合、回転板３６の円開口３７の内径がエアノズル２５の噴射口の内径よりも大径に形成されており、エアノズル２５の噴射口から噴射されたエアが僅かに外方に広がっても、回転板３６の円開口３７を通過させることが可能になっている。例えば、回転板３６の円開口３７の内径が６［ｍｍ］で形成され、エアノズル２５の噴射口の内径が５［ｍｍ］で形成されている。
【００２４】
このように、エアノズル２５を回転板３６の上方まで旋回させて、回転板３６の回転が停止する位置にエアノズル２５を位置付けるようにしている。これにより、エアノズル２５の噴射口の中心が回転板３６の円開口３７の中心、すなわちスピンナテーブル１２の中心に位置決めされ、スピンナテーブル１２上に載置されたウエーハの中心の直上からエアが噴き降ろされる。エアノズル２５の位置ズレが回転板３６の回転となって現れ、エアノズル２５の位置決め完了が回転板３６の停止となって現れるため、エアノズル２５をスピンナテーブル１２に容易かつ楽しく位置付けることができる。
【００２５】
図４及び図５を参照して、ノズル調節治具によるエアノズルの調節について説明する。図４及び図５は、本実施の形態のエアノズルの調節動作の説明図である。なお、図４Ａはエアノズルの旋回前、図４Ｂはエアノズルの旋回途中、図４Ｃはエアノズルの旋回停止のそれぞれの状態を示している。
【００２６】
図４Ａに示すように、スピンナテーブル１２の外周縁にノズル調節治具３０の位置決め部３８を当接させるようにして、スピンナテーブル１２上にノズル調節治具３０の基台３１が載置される。これにより、ノズル調節治具３０の基台３１の上方で一対の柱部３３に回転板３６が回転可能に支持され、回転板３６の円開口３７の中心がスピンナテーブル１２の中心の直上に位置付けられる。また、エアノズル２５は旋回軸２６の上端部分に取り付けられ、スピンナテーブル１２の径方向外側の待機位置に位置付けられている。そして、径方向移動手段２７（図３参照）によってエアノズル２５が待機位置からスピンナテーブル１２に向けて旋回移動が開始される。
【００２７】
図４Ｂに示すように、エアノズル２５の噴射口からエアが噴射されながら旋回され、回転板３６の上方をエアノズル２５の噴射口が移動する。このとき、エアノズル２５の噴射口から回転板３６の板面にエアが噴き付けられることで、エアによって回転板３６の板面が下方に押下げられて、回転板３６が回転軸３５回りに勢いよく回転する。エアノズル２５から回転板３６の板面にエアが噴き付けられている間は回転板３６が回転し続けるため、回転板３６の回転によってスピンナテーブル１２の中心に対するエアノズル２５の位置ズレを目視確認することが可能になっている。
【００２８】
図４Ｃに示すように、さらにエアノズル２５が旋回されて、回転板３６の円開口３７の上方にエアノズル２５の噴射口が移動される。このとき、エアノズル２５の噴射口から回転板３６の円開口３７に向けてエアが噴射されることで、エアによって回転板３６の板面が押し下げられることがなく、円開口３７の内側をエアがスムーズに流れて回転板３６の回転が停止される。エアノズル２５から円開口３７の内側にエアが流れると回転板３６が停止されるため、回転板３６の停止によってスピンナテーブル１２の中心に対するエアノズル２５の噴射口の中心の位置決めを目視確認することが可能になっている。
【００２９】
また、エアノズル２５の噴射口が回転板３６の円開口３７よりも小径に形成されているため、エアノズル２５の噴射口から噴射されたエアが外側に広がりながら噴き降ろされても、円開口３７の内側にエアを通すことができる。よって、スピンナテーブル１２の中心にエアノズル２５の噴射口の中心が位置決めされると、回転板３６の板面にエアが噴き付けられることなく、回転板３６を確実に停止させることができる。
【００３０】
ところで、図５Ａに示すように、エアノズル２５の噴射口２９と回転板３６の円開口３７が一致する場合には回転板３６が停止している。しかしながら、図５Ｂに示すように、エアノズル２５の旋回方向に直交する方向でエアノズル２５の噴射口２９と回転板３６の円開口３７が位置ズレしている場合にも回転板３６が停止する場合がある。このため、図５Ｃに示すように、スピンナテーブル１２を所定角度（例えば９０度）だけ回転させて、回転板３６の回転軸３５の向きを変えるようにしてもよい。これにより、回転板３６が回転している場合にはエアノズル２５の旋回方向に直交する方向でエアノズル２５の噴射口２９と回転板３６の円開口３７の位置ズレしていることを目視確認することができる。なお、ノズル調整治具３０は、スピンナテーブル１２を回転させる代わりに、オペレータによって手動で向きが変更されてもよい。このように、ノズル調整治具３０の向きを変えて回転板３６の回転を目視確認することでエアノズル２５の噴射口２９をスピンナテーブル１２の中心に確実に位置決めすることができる。
【００３１】
以上のように、本実施の形態のノズル調節治具３０は、エアノズル２５がスピンナテーブル１２の上面の中心から外れると、エアノズル２５から噴射されたエアが回転板３６の板面に当たって回転軸３５回りに回転される。一方、エアノズル２５がスピンナテーブル１２の上面の中心に位置付けられると、エアノズル２５から噴射されたエアが回転板３６の円開口３７を通過して回転板３６の回転が停止される。このように、回転板３６の回転を目視確認しながらエアノズル２５の位置を調節することで、スピンナテーブル１２の中心に対してエアノズル２５を容易に調節することができる。
【００３２】
なお、本実施の形態では、ノズル調節治具３０の位置決め部３８は基台３１の一端側でスピンナテーブル１２の外周面に当接することで位置決めする構成にしたが、この構成に限定されない。位置決め部は、スピンナテーブルの中心を通る垂直線上に回転板の円開口の中心を位置決め可能に形成されていればよい。例えば、図６Ａの変形例に示すように、スピンナテーブルとノズル調節治具４０の基台４１を同じサイズにすることで位置決めする構成にしてもよい。この場合、スピンナテーブルの外周縁に基台４１を全周に亘って沿わせることで回転板４６の円開口４７の中心がスピンナテーブルの中心に位置決めされる。
【００３３】
また、図６Ｂの変形例に示すように、スピンナテーブルが小径な場合にはノズル調節治具５０の基台５１も小径にする。スピンナテーブルと同じ小サイズのノズル調節治具５０の基台５１がスピンナテーブル上に載置されることで、回転板５６の円開口５７の中心がスピンナテーブルの中心に位置決めされる。このように、変形例のノズル調節治具４０、５０の位置決め部４８、５８は、スピンナテーブルの外周縁と同径の基台４１、５１の外周面で構成されている。
【００３４】
また、本実施の形態では、エアノズル２５の噴射口の中心をスピンナテーブル１２の中心の直上に調節するノズル調節治具３０について説明したが、この構成に限定されない。ノズル調節治具は、エアノズルの噴射口の中心をスピンナテーブルの任意の位置に調節可能であればよく、例えば、エアノズルの噴射口の中心をスピンナテーブル上のウエーハの外周縁の直上に調節してもよい。
【００３５】
また、本実施の形態では、スピンナテーブル１２に対するエアノズル２５の位置決めについて説明したが、この構成に限定されない。位置決め対象のノズルは、エアノズルに限定されず、スピンナテーブルが保持したウエーハに流体を噴射するノズルであればよい。例えば、ノズルは、スピンナテーブル上のウエーハを洗浄水で洗浄する洗浄水ノズルでもよいし、スピンナテーブル上のウエーハを二流体洗浄する二流体ノズルでもよい。洗浄水ノズルの位置決め時には、洗浄水ノズルをエア供給源に繋げて、洗浄水ノズルからスピンナテーブルに向けてエアを噴射するようにする。二流体ノズルの位置決め時には、洗浄水の噴射を停止してエアだけをスピンナテーブルに向けて噴射するようにする。
【００３６】
また、本実施の形態では、洗浄装置１にノズル調節治具３０が使用される構成について説明したが、この構成に限定されない。ノズル調節治具は、スピンナテーブルとノズルを備えた加工装置に適用可能であり、例えば、ウエーハの表面に水溶性樹脂等の薬液によって表面膜を形成する成膜装置に適用することも可能である。この場合、スピンナテーブルの中心の直上に薬液供給用のノズルを位置決めすることができ、スピンナテーブル上のウエーハの表面に均一な表面膜を成膜することが可能である。
【００３７】
また、本実施の形態では、回転板３６が円環状に形成されたが、この構成に限定されない。回転板の板形状は軸心を挟んで略対称であればよく、矩形形状、菱形形状、三角形状で形成されてもよい。
【００３８】
また、本実施の形態における「平行」とは完全な平行に限らず、平行と見なせる程度の誤差を含んでいてもよい。すなわち、回転軸３５はスピンナテーブル１２の上面に平行に延在する構成に限定されず、回転軸３５はスピンナテーブル１２の上面に対して僅かに傾いてもよい。
【００３９】
また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００４０】
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。
【００４１】
また、本実施の形態では、本発明を洗浄装置に適用した構成について説明したが、スピンナテーブルにノズルを調節可能な他の装置に適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
以上説明したように、本発明は、スピンナテーブルの任意の位置に対してノズルを容易に調節するという効果を有し、特に、スピンナテーブルの中心にエアノズルを調節するノズル調節治具に有用である。
【符号の説明】
【００４３】
１  洗浄装置
１２  スピンナテーブル
２１  洗浄水ノズル（ノズル）
２５  エアノズル（ノズル）
２７  径方向移動手段
３０、４０、５０  ノズル調節治具
３１、４１、５１  基台
３２  被載置面
３５  回転軸
３６、４６、５６  回転板
３７、４７、５７  円開口
３８、４８、５８  位置決め部
Ｗ  ウエーハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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