(57)【要約】【課題】矩形状の微小検査点に対して２つのプローブを接触させることが可能な検査装置を提供する。【解決手段】本発明は、４端子法による抵抗測定に用いられるプローブを接触させて電気的検査を行うプリント配線板の検査装置であって、第１の軸と、第１の軸上を移動できるように取り付けられた第１の移動体と、第１の移動体に取り付けられた第２の軸と、第２の軸上を移動できるように取り付けられた第２の移動体と、第２の移動体に取り付けられ、第３の方向に移動できるように取り付けられた第３の移動体と、第３の移動体に取り付けられ、ソース端子及びセンス端子からなる一対のプローブが基板載置面に向けて突出するように取り付けられたプローブユニットと、を備え、一対のプローブは、各辺が第１の軸又は第２の軸に平行となるように配置された矩形状の検査点に接触するときのプローブの配列方向が第１の方向に対して４５度傾くように取り付けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を載置するための基板載置部を備え、該基板載置部に固定されたプリント配線板上の検査点に４端子法による抵抗測定に用いられるプローブを接触させることにより該プリント配線板に形成された回路の電気的検査を行うプリント配線板の検査装置であって、
基板載置面と平行方向である第１の方向に延びる第１の軸と、
前記第１の軸上を移動できるように取り付けられた第１の移動体と、
基板載置面と平行方向かつ前記第１の方向と直角方向である第２の方向に延びる第２の軸であって、前記第１の移動体に取り付けられた第２の軸と、
前記第２の軸上を移動できるように取り付けられた第２の移動体と、
前記第２の移動体に取り付けられ、基板載置面に対して直角方向である第３の方向に移動できるように取り付けられた第３の移動体と、
前記第３の移動体に取り付けられ、かつプローブ保持部を有するプローブユニットであって、ソース端子及びセンス端子からなる一対のプローブが基板載置面に向けて突出するように該プローブ保持部に取り付けられたプローブユニットと、を備え、
前記プリント配線板は、矩形状の検査点を有し、かつ該矩形状の検査点の各辺が前記第１の軸又は前記第２の軸に平行となるように配置されるものであり、
前記一対のプローブは、前記矩形状の検査点に接触するときのプローブの配列方向が前記第１の方向に対して４５度傾くように前記プローブ保持部に取り付けられることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記プローブ保持部は樹脂製である、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
基板を載置するための基板載置部を備え、該基板載置部に固定されたプリント配線板上の検査点に４端子法による抵抗測定に用いられるプローブを接触させることにより該プリント配線板に形成された回路の電気的検査を行うプリント配線板の検査装置において、該プリント配線板が有する矩形状の検査点に対してソース端子及びセンス端子からなる一対のプローブを用いて検査する方法であって、
前記一対のプローブは、基板載置面と平行方向である第１の方向及び基板載置面と平行方向かつ前記第１の方向と直角方向である第２の方向に移動可能であり、
前記矩形状の検査点の各辺が前記第１の方向又は前記第２の方向に平行となるように前記プリント配線板を配置するステップと、
前記一対のプローブを、プローブの配列方向が前記第１の方向に対して４５度傾くように前記矩形状の検査点に接触させるステップと、
を有する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置及び検査方法に関し、特にプリント配線板に形成された回路の電気的検査を行う検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的にプリント配線板は、スルーホール等を用いて電気的に接続された回路を複数有する。製造されたプリント配線板の回路は、プリント配線板上に形成された回路が断線していないかどうか、又は他の回路と短絡していないかどうかを電気的に検査する必要がある。前者は導通検査と、後者は絶縁検査と呼ばれる。
【０００３】
図５は、プリント配線板における２つの検査点Ａ１、Ａ２及び１つの回路Ａを示す。回路Ａは、Ａ１及びＡ２を接続する。例えば回路Ａについての導通検査では、プリント配線板中の回路Ａの抵抗を測定し、Ａ１とＡ２の間の抵抗値Ｒが予め設定された抵抗値（閾値）より小さな場合には断線無し、閾値より大きな場合には断線有りと判断される。
【０００４】
抵抗測定法において、プリント配線板の回路の抵抗値が小さな場合、２端子法では配線抵抗や接触抵抗が測定誤差として含まれてしまい、正確な測定を得ることができない。したがって、小さな抵抗値を精度よく測定するためには４端子法を用いる必要があり、この場合、ソース端子とセンス端子を具備したプローブ（ケルビンプローブ）を使用する。例えば特許文献１には、４端子法を用いた基板検査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−２３０１７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、半導体製造技術の向上に伴い、プリント配線板の回路は微細化されてきており、回路線幅／回路間隔（Ｌ／Ｓ）が、それぞれ１０μｍ／１０μｍのプリント配線板も製造されている。４端子法においては、一対のソース端子のうちの一方の端子と一対のセンス端子のうちの一方の端子を１つの検査点に接触させる必要がある。したがってこの場合、ソース端子とセンス端子の２つのプローブを１つの線幅が１０μｍ程度の微小検査点に接触させる必要がある。
【０００７】
ソース端子とセンス端子の２つのプローブをより微小な検査点に接触させるためには、２つのプローブを近づける必要がある。しかしながら、製造コストや端子の特性を考慮すると、ソース端子とセンス端子を近づけるのにも限界がある。そのため、４端子法を用いる場合、ソース端子とセンス端子の２つのプローブを微小検査点に接触させることが難しいという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものである。特に本出願人は、一般的に配線板に形成される検査点の形状の一部又は全部が矩形状であることに着目した。したがって本発明は、矩形状の微小検査点に対して２つのプローブを接触させることが可能な検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、本発明の一態様としての検査装置は、基板を載置するための基板載置部を備え、該基板載置部に固定されたプリント配線板上の検査点に４端子法による抵抗測定に用いられるプローブを接触させることにより該プリント配線板に形成された回路の電気的検査を行うプリント配線板の検査装置であって、基板載置面と平行方向である第１の方向に延びる第１の軸と、上記第１の軸上を移動できるように取り付けられた第１の移動体と、基板載置面と平行方向かつ上記第１の方向と直角方向である第２の方向に延びる第２の軸であって、上記第１の移動体に取り付けられた第２の軸と、上記第２の軸上を移動できるように取り付けられた第２の移動体と、上記第２の移動体に取り付けられ、基板載置面に対して直角方向である第３の方向に移動できるように取り付けられた第３の移動体と、上記第３の移動体に取り付けられ、かつプローブ保持部を有するプローブユニットであって、ソース端子及びセンス端子からなる一対のプローブが基板載置面に向けて突出するように該プローブ保持部に取り付けられたプローブユニットと、を備え、上記プリント配線板は、矩形状の検査点を有し、かつ該矩形状の検査点の各辺が上記第１の軸又は上記第２の軸に平行となるように配置されるものであり、上記一対のプローブは、上記矩形状の検査点に接触するときのプローブの配列方向が上記第１の方向に対して４５度傾くように上記プローブ保持部に取り付けられることを特徴とする。
【００１０】
このように構成された本発明によれば、矩形状の検査点を有するプリント配線板が、該矩形状の検査点の各辺が第１の軸又は第２の軸に平行となるように配置され、矩形状の検査点に接触するときのプローブの配列方向が第１の軸に対して４５度傾くように、一対のプローブがプローブ保持部に取り付けられる。これにより、プローブ間の距離が当該検査点の各辺の長さよりも大きい場合においても、当該検査点に一対のプローブを接触させることが可能となる。
【００１１】
また、本発明において好ましくは、上記プローブ保持部は樹脂製である。
【００１２】
このように構成された本発明によれば、プローブ保持部は樹脂製である。これにより、プローブの先端が検査点に接触したときに、樹脂が弾性変形することで、対象物への打痕を低減させることができる。
【００１３】
上記の目的を達成するために、本発明の一態様としての検査方法は、基板を載置するための基板載置部を備え、該基板載置部に固定されたプリント配線板上の検査点に４端子法による抵抗測定に用いられるプローブを接触させることにより該プリント配線板に形成された回路の電気的検査を行うプリント配線板の検査装置において、該プリント配線板が有する矩形状の検査点に対してソース端子及びセンス端子からなる一対のプローブを用いて検査する方法であって、上記一対のプローブは、基板載置面と平行方向である第１の方向及び基板載置面と平行方向かつ上記第１の方向と直角方向である第２の方向に移動可能であり、上記矩形状の検査点の各辺が上記第１の方向又は上記第２の方向に平行となるように上記プリント配線板を配置するステップと、上記一対のプローブを、プローブの配列方向が上記第１の方向に対して４５度傾くように上記矩形状の検査点に接触させるステップと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、矩形状の微小検査点に対して２つのプローブを接触させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態によるプリント配線板の検査装置の全体構成の概略図である。
【図２】本発明の一実施形態による検査装置の正面図である。
【図３ａ】本発明の一実施形態によるプローブユニットの斜視図である。
【図３ｂ】本発明の一実施形態によるプローブユニットの正面図である。
【図３ｃ】本発明の一実施形態によるプローブユニットの側面図である。
【図４ａ】従来の検査装置におけるソース端子とセンス端子の２つのプローブの先端が矩形状の検査点に接触する様子を示す図である。
【図４ｂ】従来の検査装置におけるソース端子とセンス端子の２つのプローブの先端が矩形状の検査点に接触する様子を示す図である。
【図４ｃ】本発明の一実施形態による検査装置におけるソース端子とセンス端子の２つのプローブの先端が矩形状の検査点に接触する様子を示す図である。
【図４ｄ】本発明の一実施形態による検査装置におけるソース端子とセンス端子の２つのプローブの先端が矩形状の検査点に接触する様子を示す図である。
【図５】プリント配線板における２つの検査点及び１つの回路を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお各図において同一の符号は、特に言及が無い限り同一又は相当部分を示すものとし、また便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００１７】
本発明の実施形態によるプリント配線板の回路の検査装置は、４端子法による抵抗測定を行うことで検査を行う。抵抗測定を行うにあたっては、測定対象の２点間に定電流を供給する１対のソース端子と、測定対象の２点間の電圧降下を測定する１対のセンス端子とを用いる。本実施形態において、測定対象は、プリント配線基板にある２つの検査点間である。検査装置は、ソース端子とセンス端子がペアになったプローブ、いわゆるケルビンプローブをそれぞれの検査点に接触させることにより検査を行う。
【００１８】
図１は、本発明の実施形態による可動プローブ方式のプリント配線板の検査装置１の全体構成の概略図を示す。検査装置１は、被検査基板であるプリント配線板を載置するための基板載置部２と、プローブ４と、プローブ４を支持するプローブユニット６と、画像を取得する撮像部８と、基板載置部上を移動可能な移動機構１０と、電圧等を測定する測定部１２と、各部の動作を制御する制御部１４と、を備える。
【００１９】
移動機構１０は、各種モータ、そのモータを駆動させるモータドライバなどから構成される。移動機構１０には、ソース端子の一方の端子とセンス端子の一方の端子の２つのプローブ４からなる一対のプローブ４を支持するプローブユニット６及び撮像部８が取り付けられる。移動機構１０は、基板載置面（プリント配線板）と平行方向（ＸＹ方向）及び垂直方向（Ｚ方向）に移動可能である。本発明の実施形態においては、１つのプローブユニット６には一対のプローブ４が取り付けられる場合を例に説明するが、更に多くのプローブ４が取り付けられてもよい。なお、図１を含む各図には、説明を簡単にするため、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の座標軸を示している。
【００２０】
撮像部８は、ＣＣＤ又はＣＭＯＳ等の撮像素子により構成され、プリント配線板上に設けられた位置合わせ特徴点（例えばフィディシャルマーク）を含む光学像を生成し、その光学像を電気信号に変換することで画像を取得する。
【００２１】
測定部１２は、電圧源、電流源、計測器などから構成され、それぞれのプローブ４に接続される。１つの例では、測定部１２は、ソース端子（ソース側プローブ）間に電流を流し、センス端子（センス側プローブ）間の電圧を測定する。
【００２２】
制御部１４は、ＣＰＵ等の処理部と、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスクドライブ等の記憶部と、により構成され、一般的なコンピュータにプログラムを読み込ませることにより、各種動作を行う。１つの例では、移動機構１０の駆動制御、測定部１２によって測定された抵抗値などが不良であるかどうかを判定する処理、及び撮像部８により取得された画像から基板の位置を認識する処理を行う。
【００２３】
図２は、本発明の実施形態による検査装置１の正面図を示す。検査装置１は、基板載置部２の周囲にプリント配線板を把持して固定するためのクランプ１６ａ、１６ｂを備え、プリント配線板は基板載置部２の面上に固定して配置される。
【００２４】
移動機構１０は、Ｘ軸方向に延びるＸ軸移動機構１０ａと、Ｘ軸移動機構に支持されてＹ軸方向に延びる２つのＹ軸移動機構１０ｂと、それぞれのＹ軸移動機構に支持されてＺ軸方向に延びるＺ軸移動機構１０ｃとを備える。
【００２５】
Ｘ軸移動機構１０ａは、基板載置部２を挟んで互いに平行にＸ軸方向に延びる一対のＸ軸直動ガイド１８ａ、１８ｂと、一方のＸ軸直動ガイド１８と基板載置部２との間でＸ軸方向に延びる一対のＸ軸ボールネジ付シャフト（Ｘ軸）２０ａ、２０ｂとを備える。１つの例では、図２に示すように、基板載置部２の下側（−Ｙ方向側）に一対のＸ軸ボールネジ付シャフト２０ａ、２０ｂ及び１つの下側Ｘ軸直動ガイド１８ａが配置され、上側（＋Ｙ方向側）に１つの上側Ｘ軸直動ガイド１８ｂが配置される。それぞれのＸ軸直動ガイド１８ａ、１８ｂ及びＸ軸ボールネジ付シャフト２０ａ、２０ｂには、Ｘ軸移動ブロックが取り付けられる。
【００２６】
Ｘ軸ボールネジ付シャフトの一端部２０ａ、２０ｂには、それぞれＸ軸モータ２２ａ、２２ｂが設置される。１つの例では、図２に示すように、下側ボールネジ付シャフト２０ａの左端部（−Ｘ方向側）にＸ軸モータ２２ａが設置され、上側Ｘ軸ボールネジ付シャフト２０ｂの右端部（＋Ｘ方向側）にＸ軸モータ２２ｂが設置される。Ｘ軸ボールネジ付シャフト２０ａ（２０ｂ）とＸ軸モータ２２ａ（２２ｂ）の回転軸は、カップリングを介して接続される。制御部１４によりＸ軸モータ２２ａ（２２ｂ）を駆動すると、その回転運動はＸ軸ボールネジ付シャフト２０ａ（２０ｂ）によって直線運動に変換され、ナットを組み込んだＸ軸移動ブロックをＸ軸に沿って移動させる。
【００２７】
移動機構１０は、２つのＹ軸移動機構１０ｂそれぞれに対して、下側Ｘ軸直動ガイド１８ａ上を移動するＸ軸移動ブロック及びボールネジ付シャフト２０ａ、２０ｂ上を移動するＸ軸移動ブロックに取り付けられた下側載置プレート２４ａ、２４ｂと、上側Ｘ軸直動ガイド１８ｂ上を移動するＸ軸移動ブロックに取り付けられた上側載置プレート２４ｃ、２４ｄと、を更に備える。このようにして、２つのＹ軸移動機構１０ｂは、Ｘ軸移動機構１０ａ上をそれぞれＸ軸方向に平行移動できるように構成される。
【００２８】
Ｘ軸モータ２２ａ（２２ｂ）が駆動されることによりＸ軸ボールネジ付シャフト２０ａ（２０ｂ）に取り付けられた移動ブロックが移動すると、該移動ブロックに取り付けられた下側載置プレート２４ａ（２４ｂ）も移動する。このとき、Ｙ軸移動機構１０ｂは、下側載置プレート２４ａ（２４ｂ）を介して接続される下側Ｘ軸直動ガイド１８ａ上を移動するＸ軸移動ブロックとともに、かつ上側載置プレート２４ｃ（２４ｄ）を介して接続される上側Ｘ軸直動ガイド１８ｂ上を移動するＸ軸移動ブロックとともに移動する。
【００２９】
Ｙ軸移動機構１０ｂは、Ｙ軸方向に延びるＹ軸ボールネジ付シャフト（Ｙ軸）２６ａ、２６ｂを備える。Ｙ軸ボールネジ付シャフト２６ａ、２６ｂには、Ｙ軸移動ブロックがそれぞれ取り付けられる。Ｙ軸ボールネジ付シャフト２６ａ、２６ｂの一端部には、それぞれＹ軸モータ２８ａ、２８ｂが設置される。１つの例では、図２に示すように、Ｙ軸ボールネジ付シャフト２６ａ、２６ｂの下端部（−Ｙ方向側）にＹ軸モータ２８ａ、２８ｂがそれぞれ設置される。Ｙ軸ボールネジ付シャフト２６ａ（２６ｂ）とＹ軸モータ２８ａ（２８ｂ）の回転軸は、カップリングを介して接続される。制御部１４によりＹ軸モータ２８ａ（２８ｂ）を駆動すると、その回転運動はＹ軸ボールネジ付シャフト２６ａ（２６ｂ）によって直線運動に変換され、Ｙ軸移動ブロックを移動させる。Ｚ軸移動機構１０ｃは、Ｙ軸移動ブロック１０ｂにそれぞれ取り付けられ、Ｙ軸移動ブロック１０ｂの移動とともに移動する。
【００３０】
Ｚ軸移動機構１０ｃは、Ｚ軸方向に延びるＺ軸ボールネジ付シャフト（図示せず）を備える。Ｚ軸ボールネジ付シャフトには、Ｚ軸移動ブロックが取り付けられる。Ｚ軸ボールネジ付シャフトの一端部には、Ｚ軸モータが設置される。Ｚ軸ボールネジ付シャフトとＺ軸モータの回転軸は、カップリングを介して接続される。制御部１４によりＺ軸モータを駆動すると、その回転運動はＺ軸ボールネジ付シャフトによって直線運動に変換され、Ｚ軸移動ブロックを移動させる。
【００３１】
プローブユニット６は、Ｚ軸移動ブロックにそれぞれ取り付けられる。図３は、本発明の実施形態によるプローブユニット６を示す外形図であり、図３ａは斜視図であり、図３ｂは正面図であり、図３ｃは側面図である。図３に示すとおり、１つのプローブユニット６には一方のソース端子及び一方のセンス端子からなる一対のプローブ４が取り付けられる。他の１つのプローブユニット６には他方のソース端子及び他方のセンス端子からなる一対のプローブ４が取り付けられる。
【００３２】
２つのプローブ４はプローブユニット６が備えるプローブ保持部３０ａ、３０ｂによりそれぞれ保持される。好ましくは、プローブ保持部３０ａ、３０ｂは樹脂製である。これにより、ソース端子やセンス端子のプローブ４の先端が検査点等の対象物に接触したときに、樹脂が弾性変形することで、対象物への打痕を低減させることができる。
【００３３】
１つの微小検査点に２つのプローブ４を接触させるためには、プローブ４の先端の大きさやプローブ４間の距離の大きさは可能な限り小さくする必要がある。しかしながら、４端子法による抵抗測定においては、ソース端子とセンス端子が接触した状態で対象物に接触すると測定値が上昇するため、測定中に接触させないような構成とする必要がある。１つの例では、ソース端子とセンス端子の先端間の距離は２０μｍであり、ソース端子とセンス端子のそれぞれの先端は半球状であり、半球の直径は１０μｍである。先端の大きさは、耐久的な問題やコストの問題から１０μｍ以上とすることが好ましい。またプローブ保持部を構成する樹脂は気温や湿度により変形することから、動作環境の変化やマージン等を考慮すると、ソース端子とセンス端子間の距離は１０μｍ以上とすることが好ましい。
【００３４】
１つの例では、プローブ保持部３０ａに保持されたプローブ４の位置調整については、調整ネジ３２ａ、３２ｂを用いて、顕微鏡を見ながら行う。プローブ保持部３０ｂにおいても同様である。
【００３５】
次に、検査装置１による検査について説明する。最初に制御部１４は、記憶部等に記憶されたガーバーデータ等から作成した検査データを読み込む。検査データは、検査点間の接続情報、及び検査点の座標やフィディシャルマーク（基準マーク）の情報を含む。制御部１４は、撮像部８により取得された画像データからプリント配線板が配置されている位置を取得する。なお、複数の基準マークを配線板に配置することにより、プリント配線板のＸＹ方向の伸縮を計算し、補正することが可能となる。
【００３６】
続いて制御部１４は、検査データの接続情報及び検査点の座標を用いて、Ｘ軸モータ及びＹ軸モータを駆動し、検査点位置に向かってプローブユニット６をＸＹ方向に移動させる。次に、Ｚ軸モータを駆動し、プリント配線板に接触させる位置までＺ軸方向にプローブユニット６を移動させ、１つの検査点に一対のプローブ４を接触させる。その後測定部１２により測定を行うことで、プリント配線板の導通検査又は絶縁検査を行う。
【００３７】
ここで、検査点の形状は、一般的に矩形状又は丸形状であり、本発明の実施形態によるプリント配線基板は、矩形状の検査点を有するものとする。上述の検査において、プリント配線板は、図４ａ〜図４ｄに示すように、矩形状の検査点の各辺がＸ軸又はＹ軸に平行となるように配置されている。
【００３８】
前述のとおり、プローブユニット６はＸ軸及びＹ軸に移動するものであり、従来の可動プローブ方式の検査装置では、一対のプローブの配列方向もＸ軸又はＹ軸に平行となるように配置されていた。これは、一般的な可動プローブ方式の検査装置が製造されたときのプローブの配置状態である。
【００３９】
図４ａ及び図４ｂは、従来の検査装置におけるソース端子とセンス端子の２つのプローブ４の先端が矩形状の検査点Ｂ１、Ｂ２に接触する様子を示す図である。ここで、図４ａに示す検査点Ｂ１は、Ｘ軸方向の辺が短辺である長方形の検査点であり、図４ｂに示す検査点Ｂ２は、Ｙ軸方向の辺が短辺である長方形の検査点であり、図４ａ及び図４ｂにおいてプローブ４間の距離は同じである。図４ａ及び図４ｂに示すように、従来、一対のプローブ４を１つの矩形状の検査点に接触させるとき、プローブ４の配列方向が例えばＹ軸と平行となるように、プローブ保持部に取り付けられていた。そのため、図４ａに示すような検査点Ｂ１には一対のプローブ４を接触させることができるが、図４ｂに示すようなプローブ４間の距離が検査点Ｂ２のＹ軸方向の短辺の長さよりも長い場合は、検査点Ｂ２に一対のプローブ４を接触させることができなかった。なお、図４ａ〜図４ｄにおいて、プローブ４を検査点に接触させることが可能な場合とは、プローブ４の中心点を検査点に接触させることが可能な場合を想定しているが、このような場合に限定されないことは理解される。
【００４０】
図４ｃ及び図４ｄは、本発明の実施形態による検査装置１におけるソース端子とセンス端子の２つのプローブ４の先端が矩形状の検査点Ｂ１、Ｂ２に接触する様子を示す図である。ここで、図４ｃに示す検査点Ｂ１は、図４ａに示す検査点Ｂ１と同じであり、図４ｄに示す検査点Ｂ２は、図４ｂに示す検査点Ｂ２と同じであり、図４ａ〜図４ｄにおいてプローブ４間の距離は同じである。本発明の実施形態による検査装置１においては、一対のプローブ４を１つの矩形状の検査点に接触させるとき、プローブ４の配列方向がＸ軸及びＹ軸と実質的に平行とならないように、プローブ４をプローブ保持部３０に取り付ける。好ましくは、図４ｃ及び図４ｄに示すように、Ｘ軸（Ｙ軸）と４５度傾くように、プローブ４をプローブ保持部３０に取り付ける。１つの例では、調整ネジ３２ａ、３２ｂを用いて、上記のとおりプローブ４を取り付ける。このような構成とすることにより、図４ｃ及び図４ｄに示す検査点Ｂ１、Ｂ２のいずれにも一対のプローブ４を接触させることが可能となる。これにより、２つのプローブ４間の距離をより近づけることが難しい場合に、微小な矩形状の検査点に対して２つのプローブ４を接触させることが可能となる。
【００４１】
以上に説明してきた各実施例は、本発明を説明するための例示であり、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。各実施例は、矛盾が生じない限りにおいて、適宜組み合わせて本発明の任意の実施形態に適用することができる。すなわち本発明は、その要旨を逸脱しない限り、種々の形態で実施することができる。
【符号の説明】
【００４２】
１  検査装置
２  基板載置部
４  プローブ
６  プローブユニット
８  撮像部
１０  移動機構
１２  測定部
１４  制御部
１６  クランプ
１８  Ｘ軸直動ガイド
２０  Ｘ軸ボールネジ付シャフト
２２  Ｘ軸モータ
２４  載置プレート
２６  Ｙ軸ボールネジ付シャフト
２８  Ｙ軸モータ
３０  プローブ保持部
３２  調整ネジ
【図１】
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【図２】
2018087754.tif 000004
【図３ａ】
2018087754.tif 000005
【図３ｂ】
2018087754.tif 000006
【図３ｃ】
2018087754.tif 000007
【図４ａ】
2018087754.tif 000008
【図４ｂ】
2018087754.tif 000009
【図４ｃ】
2018087754.tif 000010
【図４ｄ】
2018087754.tif 000011
【図５】
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