(57)【要約】【課題】水平分断線の真直度、及び、エッジ角度の直角度の両方が高くなるように脆性材料を分断可能な脆性材料分断装置を提供する。【解決手段】分断装置１は、メカニカルカッタ３と、加熱部４と、分断部と、を備える。メカニカルカッタ３は、板状のガラス板１００の第１面１００ａの一端部から他端部までスクライブ溝１００ｃを形成する。加熱部４は、ガラス板１００の第１面のうち、スクライブ溝１００ｃが形成された部分の少なくとも一部を加熱して圧縮熱応力を生じさせる。冷却部５は、ガラス板１００の第１面のうち、加熱部４の加熱により圧縮熱応力が生じている部分を冷却する又は当該部分の加熱部４ａ（第４実施形態）による加熱を停止又は低減させることで、引張熱応力を生じさせてスクライブ溝１００ｃに沿ってガラス板１００を分断させる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の脆性材料の第１面の一端部から他端部までスクライブ溝を形成するメカニカルカッタと、
前記脆性材料の前記第１面のうち、前記スクライブ溝が形成された部分の少なくとも一部を加熱して圧縮熱応力を生じさせる加熱部と、
前記脆性材料の前記第１面のうち、前記加熱部の加熱により圧縮熱応力が生じている部分を冷却する又は当該部分の前記加熱部による加熱を停止又は低減させることで、引張熱応力を生じさせて前記スクライブ溝に沿って前記脆性材料を分断させる分断部と、
を備えることを特徴とする脆性材料分断装置。
【請求項２】
請求項１に記載の脆性材料分断装置であって、
前記分断部は、前記脆性材料の前記第１面のうち、前記加熱部の加熱により圧縮熱応力が生じている部分を冷却する冷却部であることを特徴とする脆性材料分断装置。
【請求項３】
請求項２に記載の脆性材料分断装置であって、
前記加熱部及び前記冷却部を前記スクライブ溝に沿って移動させるか、前記脆性材料を前記スクライブ溝と平行に移動させることで、前記スクライブ溝に沿って、加熱及び冷却を行うことを特徴とする脆性材料分断装置。
【請求項４】
請求項３に記載の脆性材料分断装置であって、
前記加熱部及び前記冷却部が一体的に移動可能であることを特徴とする脆性材料分断装置。
【請求項５】
請求項３に記載の脆性材料分断装置であって、
前記メカニカルカッタ、前記加熱部、及び前記冷却部が一体的に移動可能であることを特徴とする脆性材料分断装置。
【請求項６】
請求項１から５までの何れか一項に記載の脆性材料分断装置であって、
前記スクライブ溝が形成された部分に対して、溝形成方向及び厚み方向の両方に垂直な方向の機械的な引張応力を発生させる加工装置を備え、
前記分断部が発生させた引張熱応力と、前記加工装置が発生させた引張応力と、を重畳させて前記脆性材料を分断することを特徴とする脆性材料分断装置。
【請求項７】
請求項１から５までの何れか一項に記載の脆性材料分断装置であって、
前記脆性材料に機械的な引張応力を発生させる装置を用いることなく、前記分断部が発生させた引張熱応力により前記脆性材料を分断することを特徴とする脆性材料分断装置。
【請求項８】
板状の脆性材料の第１面の一端部から他端部までスクライブ溝をメカニカルカッタを用いて形成する溝形成工程と、
前記脆性材料の前記第１面のうち、前記スクライブ溝が形成された部分の少なくとも一部を加熱して圧縮熱応力を生じさせる加熱工程と、
前記脆性材料の前記第１面のうち、前記加熱工程での加熱により圧縮熱応力が生じている部分を冷却する又は当該部分の前記加熱工程での加熱を停止又は低減させることで、引張熱応力を生じさせて前記スクライブ溝に沿って前記脆性材料を分断させる分断工程と、
を含むことを特徴とする脆性材料分断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として、脆性材料を分断する脆性材料分断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ガラス等の脆性材料を分断する方法として、機械的な分断に代えて、熱応力を用いた方法が提案されている。特許文献１は、この種の技術を開示する。
【０００３】
特許文献１は、疵形成手段と、加熱装置と、分断部材と、押え部材と、を備える分断装置を開示する。疵形成手段は、ガラスの第１主面に起点疵を形成する。起点疵は、ガラスの分断計画線上の端部に形成され、具体的には、一部に１〜２ｍｍ程度の刻み線又は点状の疵である。加熱装置は、分断部材を加熱する。分断部材は、ガラスの第２主面（具体的には分断計画線の反対側の面）を加熱することで、第１主面の分断計画線の近傍に引張応力を発生させる。また、分断部材はガラスを加熱するとともに曲げ力をガラスに加える。具体的には、ガラスの第１主面には、分断部材を挟むように２つの押え部材が配置されており、ガラスを押えている。この状態で、分断部材がガラスの第２主面を第１主面側に押圧することで、ガラスに曲げ力が加わり、第１主面に引張応力が生じる。加熱及び曲げにより生じた引張応力により、起点疵からクラックが進行し、ガラスが分断される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５７５０２０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、ガラスの分断面を厚み方向から見たときの輪郭を水平分断線と称し、分断面と主面がなす角度をエッジ角度と称する（図６）。特許文献１の分断装置は、エッジ角度の直角度は高いが、水平分断線が僅かに蛇行することがある。水平分断線はガラスの品質を示す１つの指標であるため、真直度が高いことが好ましい。この課題は、ガラスだけでなく、脆性材料に共通のものである。
【０００６】
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その主要な目的は、水平分断線の真直度、及び、エッジ角度の直角度の両方が高くなるように脆性材料を分断可能な脆性材料分断装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
【０００８】
本発明の第１の観点によれば、以下の構成の脆性材料分断装置が提供される。即ち、この脆性材料分断装置は、メカニカルカッタと、加熱部と、分断部と、を備える。前記メカニカルカッタは、板状の脆性材料の第１面の一端部から他端部までスクライブ溝を形成する。前記加熱部は、前記脆性材料の前記第１面のうち、前記スクライブ溝が形成された部分の少なくとも一部を加熱して圧縮熱応力を生じさせる。前記分断部は、前記脆性材料の前記第１面のうち、前記加熱部の加熱により圧縮熱応力が生じている部分を冷却する又は当該部分の前記加熱部による加熱を停止又は低減させることで、引張熱応力を生じさせて前記スクライブ溝に沿って前記脆性材料を分断させる。
【０００９】
本発明の第２の観点によれば、以下の脆性材料分断方法が提供される。即ち、この脆性材料分断方法は、溝形成工程と、加熱工程と、分断工程と、を含む。前記溝形成工程では、板状の脆性材料の第１面の一端部から他端部までスクライブ溝をメカニカルカッタを用いて形成する。前記加熱工程では、前記脆性材料の前記第１面のうち、前記スクライブ溝が形成された部分の少なくとも一部を加熱して圧縮熱応力を生じさせる。前記分断工程では、前記脆性材料の前記第１面のうち、前記加熱工程での加熱により圧縮熱応力が生じている部分を冷却する又は当該部分の前記加熱工程での加熱を停止又は低減させることで、引張熱応力を生じさせて前記スクライブ溝に沿って前記脆性材料を分断させる。
【００１０】
これにより、脆性材料はスクライブ溝に沿って分断するため、水平分断線の真直度を高くすることができる。更に、主として熱応力により脆性材料を分断しているため、エッジ角度の直角度を高くすることができる。従って、水平分断線の真直度及びエッジ角度の直角度の両方が高い高品質な分断面を有する脆性材料を作成できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、水平分断線の真直度、及び、エッジ角度の直角度の両方が高くなるように脆性材料を分断可能な脆性材料分断装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態に係る分断装置の斜視図。
【図２】メカニカルカッタによってスクライブ溝を形成する工程を示す斜視図。
【図３】加熱部による加熱及び冷却部による冷却を行って分断線を形成する工程を示す斜視図。
【図４】加熱部による加熱後かつ冷却部による冷却前の熱応力状態を概念的に示す斜視図。
【図５】冷却部による冷却後の熱応力状態を概念的に示す斜視図。
【図６】本実施形態の分断方法の効果を説明する図。
【図７】第２実施形態に係る分断装置の斜視図。
【図８】第３実施形態に係る分断装置の斜視図。
【図９】第４実施形態に係る分断装置の斜視図。
【図１０】第５実施形態に係る分断装置の斜視図。
【図１１】第６実施形態に係る分断装置の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。初めに、図１から図３を参照して、第１実施形態の分断装置１の構成を説明する。図１は、分断装置１の斜視図である。図２は、メカニカルカッタ３によってスクライブ溝１００ｃを形成する工程を示す斜視図である。図３は、加熱部４による加熱及び冷却部５による冷却を行って水平分断線１００ｄを形成する工程を示す斜視図である。
【００１４】
分断装置１は、脆性材料の一例としてのガラス板１００を分断する装置である。ガラス板１００の用途は限定されないが、ガラス板１００は例えばディスプレイに使用されるガラスである。
【００１５】
分断装置１は、ガラス板１００を搬送可能に構成されており、ガラス板１００を所定の位置で停止させた状態で分断する。本実施形態では、分断装置１は、ガラス板１００を水平方向に搬送するが、それ以外の方向（例えば鉛直方向）に搬送する構成であっても良い。また、本実施形態では、分断装置１は、ガラス板１００を厚み方向に垂直な方向に搬送するが、それ以外の方向に搬送する構成であっても良い。また、分断装置１は、ガラス板１００を搬送する機能を有していなくても良い。この場合、分断装置１は、手動又は別の装置から供給されたガラス板１００を分断する。
【００１６】
図１に示すように、分断装置（脆性材料分断装置）１は、搬送装置２と、メカニカルカッタ３と、加熱部４と、冷却部（分断部）５と、を備える。また、これらの装置は、図略の制御装置によって動作タイミング等が制御されている。
【００１７】
搬送装置２は、載置されたガラス板１００を所定の方向に搬送する。以下、ガラス板１００の搬送方向を単に「搬送方向」と称することがある。搬送装置２は、ガラス板１００を搬送方向に搬送可能であるとともに、所定の位置で停止可能である。搬送装置２は、ガラス板１００を搬送して、分断を行う箇所がメカニカルカッタ３等の動作位置に到達したタイミングでガラス板１００を停止させる。
【００１８】
本実施形態の搬送装置２は、ベルトコンベアであるが、ローラコンベアであっても良いし、ガラス板１００の下方から気体を噴射して浮かせた状態で搬送する構成であっても良い。
【００１９】
メカニカルカッタ３は、一例としてダイヤモンド又は超硬合金のチップを有する刃から構成されており、機械的な構成でガラス板１００にスクライブ溝１００ｃを形成する。以下では、スクライブ溝１００ｃを形成する面を第１面１００ａと称し、その反対側の面を第２面１００ｂと称する。従って、メカニカルカッタ３は、第１面１００ａ側（第１面１００ａよりも上側）に配置されていることが好ましい。スクライブ溝１００ｃは、ガラス板１００の厚さによっても異なるが、例えば１０μｍ〜１００μｍの深さを有している。また、スクライブ溝１００ｃは、ガラス板１００の一端部から他端部まで形成されている。なお、一端部及び他端部とは、ガラス板１００の完全な端だけでなく、端の近傍を含む概念である。
【００２０】
本実施形態では、スクライブ溝１００ｃを形成する方向は、搬送方向とは垂直な方向であるが、それ以外の方向（例えば搬送方向と同じ方向）であっても良い。また、本実施形態では、第１面１００ａは、鉛直方向上側を向く面であるが、鉛直方向下側を向く面であっても良い（この場合、メカニカルカッタ３はガラス板１００の下方に配置される）。また、ガラス板１００の搬送時の向きによっては、第１面１００ａは、鉛直方向以外の方向（例えば水平方向）を向く面であっても良い。
【００２１】
加熱部４は、スクライブ溝１００ｃが形成されたガラス板１００に向けて高温気体を吐出することでガラス板１００を加熱する。ここで、加熱部４は、ガラス板１００の一部のみを加熱可能な構成である。言い換えれば、加熱部４が加熱可能な部分は、ガラス板１００全体及びスクライブ溝１００ｃよりも小さい。しかし、加熱部４は、保持部６に保持されており、保持部６を移動させることで、加熱部４も一体的に移動する。この構成により、加熱部４は、高温気体を当てる箇所を変更することができる。具体的には、保持部６がスクライブ溝１００ｃに沿って移動することで、加熱部４はスクライブ溝１００ｃが形成された部分を加熱する。第１実施形態の加熱部４は、高温気体を吐出する構成であるが、他の構成（例えば、シーズヒータ及びセラミックヒータ等の固体の発熱体等）であっても良い。なお、高温気体を吐出する構成又は固体の発熱体を加熱装置として用いることで、加熱部４を安価に構成することができる。また、固体の発熱体を用いる場合、ガラス板１００に接触させて伝熱により加熱を行っても良いし、ガラス板１００と間隔を空けて輻射により加熱を行っても良い。
【００２２】
冷却部５は、加熱部４によって加熱されたガラス板１００に向けて低温気体を吐出することでガラス板１００を冷却する。ここで、冷却部５は、加熱部４と同様に、ガラス板１００の一部のみを加熱可能な構成である。しかし、冷却部５も加熱部４と同じ保持部６に保持されているため、保持部６を移動させることで、冷却部５が一体的に移動する。この構成により、冷却部５は、低温気体を当てる箇所を変更することができる。具体的には、冷却部５は、加熱部４よりも保持部６の移動方向の下流側に保持されている。従って、冷却部５は、スクライブ溝１００ｃが形成された部分であって、かつ、加熱部４が加熱した部分を冷却する。また、厚み方向で見たときにおいて、加熱部４の移動軌跡（加熱領域）と冷却部５の移動軌跡（冷却領域）は同じである。第１実施形態の冷却部５は、低温気体を吐出する構成であるが、他の構成（例えば、水又はアルコール等の揮発物質を噴霧して気化熱で冷却する構成、又は、ペルチェ素子等を用いた固体の冷却体を接触させて冷却する構成）であっても良い。
【００２３】
加熱部４によって加熱された部分が冷却部５によって冷却されることで、ガラス板１００はスクライブ溝１００ｃに沿って分断され、図３等に示す水平分断線１００ｄが形成される。以下、この分断の原理を図４及び図５を参照して説明する。
【００２４】
図４は、加熱部４による加熱後かつ冷却部５による冷却前の熱応力状態を概念的に示す斜視図である。図４に示すように、加熱部４によって加熱されることで、ガラス板１００が膨張して圧縮熱応力が発生する。上述のように加熱部４は第１面１００ａのスクライブ溝１００ｃが形成された部分を加熱するため、スクライブ溝１００ｃの近傍に圧縮熱応力が発生する。
【００２５】
図５は、冷却部５による冷却後の熱応力状態を概念的に示す斜視図である。冷却部５は、加熱部４の加熱によって圧縮熱応力が生じている部分を冷却する。これにより、図５に示すように、冷却した部分に強い引張熱応力が発生することとなる。また、この引張熱応力はスクライブ溝１００ｃが形成されている部分に生じるため、この引張熱応力はスクライブ溝１００ｃに集中して作用し、ガラス板１００はスクライブ溝１００ｃに沿うようにクラックが進行して分断される。従って、水平分断線１００ｄの真直度が高くなる。なお、特許文献１では、スクライブ溝を形成せずに分断するため、クラックが直線状に進行するとは限らないため、水平分断線１００ｄの真直度が低くなる可能性がある。
【００２６】
また、図６に示すように、分断面１００ｅと第１面（主面）がなす角度をエッジ角度θと称する。本実施形態及び特許文献１のように、熱応力を用いてガラス板１００を分断する場合、エッジ角度の直角度は高くなる。このように、本実施形態の分断方法を用いることにより、水平分断線１００ｄの真直度が高く、エッジ角度θの直角度が高い分断面を有するように、ガラス板１００を分断できる。
【００２７】
また、第１実施形態では、ガラス板１００に一端から他端までスクライブ溝１００ｃを形成した後に（溝形成工程が完全に完了した後に）、加熱部４による加熱工程と冷却部５による冷却工程（分断工程）を行う構成である。これに代えて、溝形成工程が完了する前に加熱工程及び冷却工程を開始しても良い。また、第１実施形態では、加熱部４及び冷却部５が同じ保持部６に保持されているため、加熱工程と冷却工程を略同時に行う構成である。これに代えて、加熱工程が完了した後に、冷却工程を開始しても良い。ただし、加熱工程で上昇したガラス板１００の温度が下がる前に冷却工程を行う必要がある。
【００２８】
次に、図７を参照して、第２実施形態を説明する。図７は、第２実施形態に係る分断装置１の斜視図である。なお、以後の説明においては、前述の実施形態と同一又は類似の部材には図面に同一の符号を付し、説明を省略する場合がある。
【００２９】
第１実施形態では、加熱部４が一時にガラス板１００に高温気体を当てる範囲（加熱領域）と、冷却部５が一時にガラス板１００に低温気体を当てる範囲（冷却領域）と、は等しく、ともに円形である。これに代えて、第２実施形態では、加熱部４の加熱領域は、冷却部５の冷却領域よりも大きい。また、加熱部４の加熱領域は、スクライブ溝１００ｃに沿う方向の長さが長い細長状（更に詳細には楕円状）である。これにより、スクライブ溝１００ｃの加熱をより十分に行うことができる。
【００３０】
次に、図８を参照して、第３実施形態を説明する。図８は、第３実施形態に係る分断装置１の斜視図である。
【００３１】
第３実施形態では、加熱部４と冷却部５の間に遮断部材７が配置されている。遮断部材７は、保持部６に取り付けられている。遮断部材７は、加熱部４が吐出する高温気体と、冷却部５が吐出する低温気体と、が混ざりにくいように遮断する。従って、遮断部材７は、加熱部４及び冷却部５の吐出口の近傍だけでなく、ガラス板１００の表面近傍まで形成されていることが好ましい。この構成により、加熱工程と冷却工程によるガラス板１００の温度差を大きくすることができるので、更に強い力をガラス板１００に作用させることができる。
【００３２】
次に、図９を参照して、第４実施形態を説明する。図９は、第４実施形態に係る分断装置１の斜視図である。なお、第４実施形態では加熱部の構成が上記実施形態と大きく異なるため、符号４ａを付して説明する。
【００３３】
第４実施形態の加熱部４ａは、上記の固定発熱体で構成されており、スクライブ溝１００ｃの一端から他端までを同時に加熱できる長さを有している。また、加熱部４ａは、図略の駆動部により、ガラス板１００（スクライブ溝１００ｃ）に近接して、ガラス板１００を加熱する状態（図９の鎖線）と、ガラス板１００から離間して加熱を行わない状態（図９の実線）と、を切替可能である。
【００３４】
第４実施形態では、加熱部４ａによってスクライブ溝１００ｃが形成された部分をまとめて加熱し（加熱工程）、加熱部４をａをガラス板１００から離間させて加熱を停止する（加熱を低減する）。この構成により、加熱工程で加熱されたガラス板１００は、周囲の気体によって冷却されることとなるので、上記実施形態と同様の原理で、スクライブ溝１００ｃに沿って水平分断線１００ｄが形成される。また、第４実施形態では、加熱部４ａを駆動する駆動部が、分断部に相当する。
【００３５】
次に、図１０を参照して、第５実施形態を説明する。図１０は、第５実施形態に係る分断装置１の斜視図である。
【００３６】
第１実施形態では、加熱部４と冷却部５のみが保持部６によって一体的に（メカニカルカッタ３とは独立に）移動する構成である。これに代えて、第５実施形態では、保持部６に、更にメカニカルカッタ３が保持されている。これにより、第５実施形態では、メカニカルカッタ３、加熱部４、及び冷却部５が一体的に移動可能である。従って、第５実施形態では、溝形成工程、加熱工程、及び冷却工程（分断工程）が同時に行われることとなる。これにより、分断に掛かる時間を短縮できる。また、第５実施形態の構成により、駆動部及び可動機構の数を少なくすることができるので、分断装置１の構成を簡素かつ低コストにすることができる。
【００３７】
次に、図１１を参照して、第６実施形態を説明する。図１１は、第６実施形態に係る分断装置１の斜視図である。
【００３８】
上記実施形態では、曲げ等の機械的な処理に伴う引張応力を発生させることなく、熱による引張応力によってガラス板１００を分断する構成である。これに代えて、第６実施形態では、曲げによる軽い引張応力を生じさせることで、例えば厚みの大きいガラス板１００を分断可能としたものである。
【００３９】
具体的に説明すると、第６実施形態の分断装置１は、曲げ加工装置（加工装置）８を備える。曲げ加工装置８は、搬送装置２に形成された隙間であって、ガラス板１００の第２面１００ｂ側に配置されている。また、搬送装置２は、分断を行う箇所が隙間の上に位置するようにガラス板１００を停止させる。
【００４０】
曲げ加工装置８は、上流押え部材１１と、下流押え部材１２と、押圧部材１３と、駆動部１４と、を備える。上流押え部材１１は、搬送装置２の隙間よりも上流側において、ガラス板１００を挟んで搬送装置２の反対側に配置されている。一方、下流押え部材１２は、搬送装置２の隙間よりも下流側において、ガラス板１００を挟んで搬送装置２の反対側に配置されている。押圧部材１３は、搬送装置２の隙間に配置されている。駆動部１４は、エアシリンダ又はソレノイド等のリニアアクチュエータである。駆動部１４は、押圧部材１３をガラス板１００の第２面１００ｂに近づける方向（上方向）に移動させることができる。これにより、ガラス板１００に曲げ力を与えることができる。
【００４１】
曲げ加工装置８は、溝形成工程の後であって、加熱工程の前に、ガラス板１００に曲げを形成する。つまり、曲げ加工装置８がガラス板１００に曲げ力を与えた時点ではガラス板１００は分断しない。曲げ加工装置８がガラス板１００に曲げ力を与えた状態で、加熱工程及び冷却工程を行うことで、曲げ加工による引張応力と、加熱及び冷却による引張熱応力と、の両方が作用することで、ガラス板１００がスクライブ溝１００ｃに沿って分断される（分断工程）。
【００４２】
なお、第６実施形態では、ガラス板１００を曲げることでガラス板１００に引張応力を発生させる構成であるが、ガラス板１００を引張ることでガラス板１００に引張応力を発生させる構成であっても良い。
【００４３】
以上に説明したように、分断装置１は、メカニカルカッタ３と、加熱部４と、分断部と、を備える。メカニカルカッタ３は、板状のガラス板１００の第１面１００ａの一端部から他端部までスクライブ溝１００ｃを形成する。加熱部４は、ガラス板１００の第１面のうち、スクライブ溝１００ｃが形成された部分の少なくとも一部を加熱して圧縮熱応力を生じさせる。冷却部５は、ガラス板１００の第１面のうち、加熱部４の加熱により圧縮熱応力が生じている部分を冷却する又は当該部分の加熱部４ａ（第４実施形態）による加熱を停止又は低減させることで、引張熱応力を生じさせてスクライブ溝１００ｃに沿ってガラス板１００を分断させる。
【００４４】
これにより、ガラス板１００はスクライブ溝１００ｃに沿って分断するため、水平分断線１００ｄの真直度を高くすることができる。更に、主として熱応力により脆性材料を分断しているため、エッジ角度θの直角度を高くすることができる。従って、水平分断線１００ｄの真直度及びエッジ角度θの直角度の両方が高い高品質な分断面１００ｅを有するガラス板１００を作成できる。
【００４５】
また、上記実施形態の分断装置１において、分断部は、ガラス板１００の第１面のうち、加熱部４の加熱により圧縮熱応力が生じている部分を冷却する冷却部５である。
【００４６】
これにより、冷却部５を用いない構成と比較して、ガラス板１００の温度差を大きくできるので、ガラス板１００の厚みが大きい場合であっても分断を行うことができる。
【００４７】
また、上記実施形態の分断装置１では、加熱部４及び冷却部５をスクライブ溝１００ｃに沿って移動させることで、スクライブ溝１００ｃに沿って、加熱及び冷却を行う。
【００４８】
これにより、スクライブ溝１００ｃに沿って水平分断線１００ｄを形成できる。
【００４９】
また、上記実施形態の分断装置１においては、メカニカルカッタ３、加熱部４、及び冷却部５が一体的に移動可能である。あるいは、加熱部４及び冷却部５が、メカニカルカッタ３とは別に、一体的に移動可能である。
【００５０】
これにより、工程に係る時間を短縮するとともに、分断装置１の駆動部及び可動機構の数を減らすことができる。
【００５１】
また、第６実施形態の分断装置１は、スクライブ溝１００ｃが形成された部分に対して、溝形成方向及び厚み方向の両方に垂直な方向の機械的な引張応力を発生させる曲げ加工装置８を備える。冷却部５が発生させた引張熱応力と、曲げ加工装置８が発生させた引張応力と、を重畳させてガラス板１００を分断する。
【００５２】
また、他の実施形態の分断装置１は、機械的な引張応力を発生させる装置を用いることなく、冷却部５が発生させた引張熱応力によりガラス板１００を分断する。
【００５３】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、上記の構成は例えば以下のように変更することができる。
【００５４】
実施形態の変更例：上記実施形態では、ガラス板１００を停止させた状態で、溝形成工程、加熱工程、及び分断工程を連続して行う。これに代えて、溝形成工程を行った後にガラス板１００を下流側に搬送して再び停止させた後に、加熱工程及び分断工程を行うこともできる。この場合、メカニカルカッタ３と、加熱部４及び冷却部５と、が物理的に離れた位置に配置されるが、この場合であってもそれらを合わせた装置が分断装置１に相当するものとする。また、メカニカルカッタ３、加熱部４、及び冷却部５に代えて、ガラス板１００を移動させることで各工程を行う構成であっても良い。
【００５５】
上記実施形態で記載した特徴は適宜組み合わせることができる。例えば、第３実施形態の遮断部材７を他の実施形態に取り付けることができる。また、第４実施形態の加熱部４ａが加熱を行った後に、冷却部が冷却を行う構成にすることもできる。
【００５６】
上記実施形態の分断装置１は、ガラス板１００を分断する装置であるが、脆性材料であればガラス以外の素材の板を分断するために用いることもできる。
【符号の説明】
【００５７】
１  分断装置（脆性材料分断装置）
２  搬送装置
３  メカニカルカッタ
４  加熱部
５  冷却部（分断部）
８  曲げ加工装置（加工装置）
【図１】
2018183838.tif 000003
【図２】
2018183838.tif 000004
【図３】
2018183838.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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