(57)【要約】【課題】シール材の摩耗粉の発生を低減することができる真空バルブの提供。【解決手段】真空バルブ１は、バルブプレート８を開閉駆動する駆動軸１０１と、駆動軸１０１を回動可能に保持する第１保持部（筐体１０Ｈ、転がり軸受１０６）と、駆動軸１０１と第１保持部との隙間を封止する磁性流体シール機構１０５と、第１保持部を駆動軸１０１の軸方向に移動可能に保持する第２保持部（引張ばね１０７、凹部１１１と凹部１１２とピン１０８）と、筐体４と第２保持部との隙間を封止する封止部材と、を備える。【選択図】図３
2018112258.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバと真空ポンプとの間の流路が形成されたバルブ筐体と、
前記バルブ筐体内に設けられ、前記流路を開放または遮断するバルブプレートと、
前記バルブプレートを開閉駆動する駆動軸と、
前記駆動軸を回動可能に保持する第１保持部と、
前記駆動軸と前記第１保持部との隙間を封止する磁性流体シールと、
前記第１保持部を前記駆動軸の軸方向に移動可能に保持する第２保持部と、
前記バルブ筐体と前記第２保持部との隙間を封止する封止部材と、を備える真空バルブ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空バルブにおいて、
前記封止部材は、ベローズ、または、Ｏリングシールである真空バルブ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の真空バルブにおいて、
前記第２保持部は、前記バルブプレートの姿勢に応じて、前記駆動軸の姿勢が変わるように、前記第１保持部の姿勢を変える真空バルブ。
【請求項４】
請求項３に記載の真空バルブにおいて、
第１凹曲面または第１凸曲面をさらに備え、
前記第２保持部は、前記第１凹曲面に係合可能な第２凸曲面、または、前記第１凸曲面に係合可能な第２凹曲面を有する真空バルブ。
【請求項５】
真空チャンバと真空ポンプとの間の流路が形成されたバルブ筐体と、
前記バルブ筐体内に設けられ、前記流路を開放または遮断するバルブプレートと、
前記バルブプレートを開閉駆動する駆動軸と、
前記駆動軸を回動可能に保持する第１保持部と、
前記第１保持部を前記駆動軸の軸方向に移動可能に保持する第２保持部と、を備え、
前記第２保持部は、前記バルブプレートの姿勢に応じて、前記駆動軸の姿勢が変わるように、前記第１保持部の姿勢を変える真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空処理装置の真空チャンバにターボ分子ポンプなどの真空ポンプを装着する場合には、一般的に真空バルブを介在させる。特許文献１には、開口にバルブプレートを挿脱することで流量制御する振子式の真空バルブが開示されている。
【０００３】
一般的な振子式の真空バルブにおいて、バルブプレートは円柱状の駆動軸に取り付けられている。駆動軸は、真空領域にあるバルブ本体内部と常圧領域にある外部駆動部とにまたがって設けられている。そのため、駆動軸の外周面にはシール材が設けられている。このシール材としては、一般的に、ＯリングやＸリングなどの弾性体シール材が用いられている。駆動軸は、弾性体シール材によってシールされながら、バルブプレートを駆動する。その結果、駆動軸は、弾性体シール材に対して摺動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１１７４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この摺動によって、弾性体シール材が摩耗し、弾性体シール材から摩耗粉が発生する。摩耗粉は、バルブプレート側に混入し、さらには真空処理装置の真空チャンバに混入する可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の好ましい態様による真空バルブは、真空チャンバと真空ポンプとの間の流路が形成されたバルブ本体と、流路を開放または遮断するバルブプレートと、バルブプレートを保持する駆動軸と、駆動軸を回動可能に保持する第１保持部と、第１保持部を駆動軸の軸方向に移動可能に保持する第２保持部と、を備える。駆動軸と第1保持部との間には、磁性流体シールが設けられている。
本発明のさらに好ましい態様による真空バルブでは、封止部材を、ベローズ、または、Ｏリングシールとする。
本発明のさらに好ましい態様による真空バルブでは、第２保持部は、バルブプレートの姿勢に応じて、駆動軸の姿勢が変わるように、第１保持部の姿勢を変える。
本発明のさらに好ましい態様による真空バルブでは、第１凹曲面または第１凸曲面をさらに備え、第２保持部は、第１凹曲面に係合可能な第２凸曲面、または、第１凸曲面に係合可能な第２凹曲面を有する。
本発明の他の好ましい態様による真空バルブは、真空チャンバと真空ポンプとの間の流路が形成されたバルブ筐体と、バルブ筐体内に設けられ、流路を開放または遮断するバルブプレートと、バルブプレートを開閉駆動する駆動軸と、駆動軸を回動可能に保持する第１保持部と、第１保持部を駆動軸の軸方向に移動可能に保持する第２保持部とを備える。第２保持部は、バルブプレートの姿勢に応じて、駆動軸の姿勢が変わるように、第１保持部の姿勢を変える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によって、シール材の摩耗粉の発生を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態による真空バルブの斜視図。
【図２】バルブプレートの開度について示した図。
【図３】本発明の一実施形態による真空バルブの断面図。
【図４】本発明の一実施形態による真空バルブのバルブ閉状態を示す図。
【図５】磁性流体シールの詳細図。
【図６】本発明の変形例１による真空バルブの断面図。
【図７】本発明の変形例１による真空バルブのバルブ閉状態を示す図。
【図８】本発明の変形例２による真空バルブの断面図。
【図９】本発明の変形例２による真空バルブにおいて、バルブプレートが傾斜した様子を示す図。
【図１０】本発明の変形例３による真空バルブの断面図。
【図１１】本発明の変形例３による真空バルブにおいて、バルブプレートが傾斜した様子を示す図。
【図１２】本発明の変形例３による真空バルブにおいて、バルブ筐体４と駆動部１０との隙間の封止について示した図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
―実施形態―
図１は、本発明の一実施形態による真空バルブ１の外観を示す斜視図である。
真空バルブ１は、バルブ本体２と駆動部１０とを備えている。バルブ本体２は、フランジ３と、フランジ面６（図３参照）と圧縮空気導入口・排出口９とが形成された筐体４（バルブ筐体４）と、フランジ３に延設された開口部３１と、筐体４に形成された開口部４１と、筐体４内においてスライド駆動されて開口部３１と開口部４１との間に挿脱されるバルブプレート８と、を備えている。真空処理装置の真空チャンバにフランジ３が固定され、フランジ面６に真空ポンプが固定される。駆動部１０には、バルブプレート８を揺動駆動するモータ（図３参照）と、モータを駆動制御する制御部（不図示）と、が設けられている。バルブ本体２と駆動部１０との接続等については後述する。
【００１０】
図２は、図１に示した矢印ＹＡ１の矢視図である。図２に示すαは、バルブプレート８の開度αを示している。「α＝１００％」はフランジ３の開口部３１、４１を全開する開度αを示し、破線８ａはその開度αにおけるバルブプレート８を示している。「α＝０％」はフランジ３の開口部３１、４１を全閉する開度αを示し、破線８ｂはその開度αにおけるバルブプレート８を示している。「α＝α１％」は、０％〜１００％の範囲のある開度αを示し、破線８ｃはその開度αにおけるバルブプレート８を示している。バルブプレート８は、駆動部１０のモータＭ（図３参照）によって揺動駆動される。バルブプレート８の開度が調節されることで、真空処理装置から真空ポンプへ流れる気体の流量が調節される。
【００１１】
図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。バルブプレート８は全閉（α＝０％）時のものを示している。なお、図３に示すように、全閉している状態でも真空チャンバから真空ポンプへと流れる気体の流路Ｇは遮断されていない。すなわち、バルブ閉状態となっていない。
【００１２】
バルブ本体２は、フランジ３と筐体４との間に、リング状の収容部５を有している。収容部５には、封止体７が収容されている。封止体７は、バルブプレート８に対して、真空排気上流側（図示上側）に配置されている。封止体７と筐体４との間の圧空流通空間５５Ｓには、圧縮空気導入口・排出口９を介して圧空（圧縮空気）が送り込まれる。
【００１３】
封止体７は、ピストン部７１０とシールリング７２０とを有する。ピストン部７１０とシールリング７２０とは、突部７１ｂと凹部７２ａで互いに係合しているため、両者は、封止体７として、一体的に移動することができる。
【００１４】
ピストン部７１０は、圧縮空気導入口・排出口９を介して送り込まれる圧空を受圧部７１ａで受けることで、図示上向きの力を受ける。また、ピストン部７１０は、圧縮ばね５０によって、図示下向きの力を受ける。これらの力で、封止体７は、図示上下方向に移動することができる。
【００１５】
フランジ３には、開口部３１が設けられている。筐体４には、開口部４１と、フランジ面６と、内部面４１Ｓが設けられている。開口部３１と開口部４１は互いに対向している。バルブプレート８は、モータＭによって駆動され、開口部３１と開口部４１の間に挿脱される。
【００１６】
駆動部１０の筐体１０Ｈの内部には、駆動軸１０１と、磁性流体シール機構１０５と、転がり軸受１０６と、モータＭとが設けられている。モータＭは、ロータ１０３とステータ１０２とを有する。
【００１７】
バルブプレート８は、ボルト１０４で駆動軸１０１に締結されている。駆動軸１０１は、転がり軸受１０６に支持されている。駆動軸１０１は、モータＭのロータ１０３に接続されている。ロータ１０３がモータＭのステータ１０２によって回動されることで、駆動軸１０１が回動される。駆動軸１０１の外周面と駆動部１０の筐体１０Ｈとの間には、磁性流体シール機構１０５が設けられている。磁性流体シール機構１０５によって、真空状態にあるバルブ本体２の内部と常圧状態にある筐体１０Ｈの内部との隙間が封止されている。磁性流体シール機構１０５の詳細については後述する。
【００１８】
駆動部１０とバルブ本体２の筐体４との間には、駆動軸１０１を囲うようにベローズ１０９が設けられている。ベローズ１０９により、真空状態にあるバルブ本体２の内部と常圧状態にある真空バルブ１の外部とが封止される。ベローズ１０９は、駆動部１０の動きに応じて伸縮することができる。
【００１９】
バルブ本体２の筐体４には、保持部１１０が設けられている。保持部１１０には、凹部１１１が周方向に複数形成されている。駆動部１０の筐体１０Ｈには、凹部１１２が周方向に凹部１１１と同じ数だけ設けられている。凹部１１１と凹部１１２とに係合するように円柱状のピン１０８が周方向に複数設けられている。ピン１０８は、モータＭによるバルブプレート８の回動の反力を受け、駆動部１０がバルブ本体２に対して回動することを防止する。保持部１１０と筐体１０Ｈとは、周方向に複数設けられた引張ばね１０７で互いに引き寄せられている。引張ばね１０７は、後述するように、駆動部１０が移動したときに元の位置に引き戻すためのものである。図３に示す状態では、引張ばね１０７によって筐体１０Ｈが保持部１１０に当接している。筐体１０Ｈと保持部１１０とが当接しているので、ピン１０８は、凹部１１１と凹部１１２の何れにも当接している必要はなく、例えば、ピン１０８の軸方向において、ピン１０８と凹部１１１との間に隙間が設けられていてもよい。もしくは、保持部１１０と筐体１０Ｈとが当接せずに、ピン１０８が凹部１１１と凹部１１２の何れにも当接しているようにしてもよい。
【００２０】
図４は、図３に示すバルブプレート８が、封止体７によって、駆動軸１０１の軸方向、すなわち、図示下方向に押し下げられ、バルブ閉状態となった様子を示す図である。なお、以下では、「駆動軸１０１の軸方向に沿って移動する」ことを「軸方向移動」と呼ぶことがある。バルブプレート８は、封止体７に押し下げられて、筐体４の内部面４１Ｓと当接する。これによって、バルブプレート８は、封止体７と筐体４との間に挟まれる。その結果、封止体７に設けられた環状のシール材７５０で真空チャンバ側と真空ポンプ側が封止され、バルブ閉状態となる。バルブプレート８が封止体７に図示下方向に押し下げられることに伴って、駆動部１０も図示下方向に移動する。駆動部１０が図示下方向に移動することで、保持部１１０と筐体１０Ｈとが離間する。また、駆動部１０が図示下方向に移動することで、ベローズ１０９および引張ばね１０７が伸長する。
以上説明した実施形態の真空ポンプでは、駆動軸１０１の軸方向移動に係る封止に対して、弾性体シール材を用いずにベローズ１０９を用いる。弾性体シール材を用いると、駆動軸１０１が軸方向に移動することによってシール部材と駆動軸とが摺動して摩耗粉が発生するが、ベローズ１０９を用いることにより、摩耗粉の発生を防止することができる。
【００２１】
バルブプレート８が封止体７から押圧されなくなると、上記の引張ばね１０７によって駆動部１０が図３に示す状態に戻る。ピン１０８は、駆動部１０の図示下方向の移動に伴って、図示下方向に移動する。ピン１０８の長さ、凹部１１１および凹部１１２の深さは、図４に示す状態でも、ピン１０８の凹部１１１および凹部１１２との係合が維持されるように設定されている。ピン１０８が凹部１１１および凹部１１２との係合が維持されることで、駆動部１０が駆動軸１０１の軸方向に沿って移動することができる。
【００２２】
図５は、磁性流体シール機構１０５を詳細に説明するための図である。図５（ａ）は、磁性流体シール機構１０５の周辺図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）の破線で囲まれた領域の拡大図である。以下、磁性流体シール機構１０５の構造の詳細について、図５（ｂ）を用いて説明する。
【００２３】
図５（ｂ）に示すように、駆動部１０の筐体１０Ｈの内壁１０ＨＢには、永久磁石ＭＧが設けられている。さらに、内壁１０ＨＢには、永久磁石ＭＧを挟むようにして、２つのポールピース２０１が設けられている。駆動軸１０１の外周面には円環部Ｒ１が複数段設けられている。円環部Ｒ１は、ポールピース２０１と対向している。円環部Ｒ１のそれぞれとポールピース２０１との間には、磁性流体ＭＦ１がそれぞれ設けられている。以上より、磁性流体シール機構１０５が構成される。一段の磁性流体シール機構１０５が耐えられる圧力差は１気圧に満たないため、図５（ｂ）に示すように、磁性流体シール機構１０５が複数段設けられることで、圧力差を分散している。
以上説明した実施形態の真空ポンプでは、駆動軸１０１の回動に係る封止に対して、弾性体シール材を用いずに磁性流体シール機構１０５を用いる。弾性体シール材を用いると、駆動軸１０１が回動することによってシール部材と駆動軸とが摺動して摩耗粉が発生するが、磁性流体シール機構１０５を用いることにより、摩耗粉の発生を防止することができる。
【００２４】
本実施形態の真空バルブは、以下の構成を有し、以下の作用効果を奏する。
（１）本実施形態の真空バルブは、真空チャンバと真空ポンプとの間の流路が形成されたバルブ筐体４と、バルブプレート８を開閉駆動する駆動軸１０１と、駆動軸１０１を回動可能に保持する第１保持部（筐体１０Ｈ、転がり軸受１０６）と、駆動軸１０１と第１保持部との隙間を封止する磁性流体シール機構１０５と、第１保持部を駆動軸１０１の軸方向に移動可能に保持する第２保持部（引張ばね１０７、凹部１１１と凹部１１２とピン１０８）と、筐体４と第２保持部との隙間を封止する封止部材（ベローズ）１０９と、を備える。
このように、弾性体シール材を用いずに、駆動軸１０１の回動に係る封止に対して磁性流体シール機構１０５が用いられることで、駆動軸１０１が回動することによって生じる摩耗粉の発生を防止することができる。
【００２５】
（２）筐体４と第２保持部との隙間を封止する封止部材として、ベローズが設けられている。
このように、弾性体シール材を用いずに、駆動軸１０１の軸方向移動に係る封止に対してベローズが用いられることで、駆動軸１０１が軸方向に移動することによって生じる摩耗粉の発生を防止することができる。
【００２６】
ここで、本実施形態の真空バルブ１と一般的な真空バルブとを対比する。
一般的な真空バルブの例として特許文献１の図１の真空バルブを挙げる。特許文献１の図１の真空バルブにおいては、バルブプレートの駆動軸の外周面に設けられた弾性体シール材が駆動軸の回動および軸方向移動に係る封止を担っている。このような構成では、バルブプレートの駆動軸の回動や軸方向移動によって弾性体シール材に対して駆動軸が摺動することで、弾性体シール材が摩耗し、摩耗粉が発生する可能性がある。
一方、本実施形態の真空バルブ１は、駆動軸１０１の回動に係る封止は磁性流体シール機構１０５が担い、駆動軸１０１の軸方向移動に係る封止はベローズ１０９が担う。このように、本実施形態の真空バルブ１では、摺動部分を設けていないので、摩耗粉が発生することがない。
【００２７】
―変形例１―
図６、図７は、変形例１の真空バルブ１Ａを示す図である。図６（ａ）は以上の実施形態を示す図３に相当する図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）に示された破線で囲まれた領域の拡大図である。図７（ａ）は以上の実施形態を示す図４に相当する図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）に示された破線で囲まれた領域の拡大図である。なお、本変形例を説明するにあたり、以上の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００２８】
図６（ａ）の破線で囲まれた領域に示されているように、以上の実施形態のベローズ１０９を設ける代わりに、別の部材を設けたことが、以上の実施形態との主な相違点である。すなわち、図６（ｂ）に示されているように、本変形例では、駆動部１０の外周面であって筐体４の貫通孔２１に対向する外周面である外周面１０ＨＣに環状溝１０ＨＤが形成され、環状溝１０ＨＤには環状の弾性体シール材１０ＨＥが設けられている。弾性体シール材１０ＨＥが貫通孔２１の内周面に当接することで、真空状態にあるバルブ本体２の内部と常圧状態にある真空バルブ１の外部とを隔てて封止している。
【００２９】
図７（ｂ）に示すように、本変形例の真空バルブ１Ａにおいて、バルブ閉状態となると、外周面１０ＨＣが貫通孔２１に対して図示下方向に移動する。その際、弾性体シール材１０ＨＥも外周面１０ＨＣとともに貫通孔２１に対して図示下方向に移動する。このような構成とすることで、駆動部１０が軸方向移動したとしても封止状態を維持することができる。
【００３０】
駆動軸１０１の動作のほとんどは回動であり、軸方向移動はほとんど行われない。軸方向移動による摩耗粉の発生はほとんどないと考えられる場合においては、本変形例を適用して、べローズの代わりに弾性体シール材を用いることができる。このような変形は、軸方向移動に係る封止を担う部材と回動に係る封止を担う部材とを分けているからこそできる。
【００３１】
なお、本変形例では、駆動部１０側に弾性体シール材を設けるようにしたが、筐体４側に弾性体シール材を設けるようにしてもよい。
【００３２】
―変形例２―
図８、図９は、変形例２の真空バルブ１Ｂを示す図である。図８は以上の実施形態を示す図３に相当する図である。図９は、封止体７がバルブプレート８の周方向の一部だけを押圧したときの様子を示している。なお、本変形例を説明するにあたり、以上の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
【００３３】
図９に示すように、何らかの原因で封止体７がバルブプレート８を周方向に不均一に押圧する場合がある。これにより、バルブプレート８の周方向の一部だけを封止体７が押圧して、図９に示すようにバルブプレート８がバルブ本体２に対して傾斜することがある。例えば、バルブ本体２に対して傾斜しないような構成の場合、バルブプレート８の傾斜によって、バルブプレート８や駆動軸１０１などに過大な応力が生じるという可能性がある。
【００３４】
本変形例はこの問題を解決するため、駆動部１０が傾斜できるようにした。具体的には、図８に示すように、凹部１１１の代わりに凹曲面１１１Ａとし、ピン１０８のバルブ本体２側の先端を凹曲面１１１Ａと係合可能な凸曲面１０８Ａとし、保持部１１０と筐体１０Ｈとを当接しないようにした。
【００３５】
図９は、バルブプレート８が傾斜したことによって、駆動部１０が傾斜した様子を示している。引張ばね１０７で駆動部１０を支持しベローズ１０９で封止した上で、保持部１１０と筐体１０Ｈとを当接しないようにしたことで、駆動部１０が軸方向のみならず径方向にも動きやすくなった。さらに、凹曲面１１１Ａと凸曲面１０８Ａを設けたことで、図９に示されている２つのピン１０８のうちの右側のピン１０８については、凹曲面１１１Ａ上を凸曲面１０８Ａが当接しながら滑らかに移動することで凹曲面１１１Ａに対して傾斜することができるようになった。また、図９に示されている２つのピン１０８のうちの左側のピン１０８は、凹曲面１１１Ａに対して離間し且つ傾斜することができるようになった。以上の各構成が以上の効果を奏することで、駆動部１０がバルブプレート８の姿勢の変化（傾斜）に応じて姿勢を変えることができる。その結果、バルブプレート８や駆動軸１０１等に応力が生じることを防止できる。
【００３６】
このように、本変形例の真空バルブ１Ｂでは、以上に示した実施形態の真空バルブ１が奏する摩耗粉の発生防止効果に加え、バルブプレート８が傾斜したときでもバルブプレート８や駆動軸１０１などに応力が生じないようにするという効果も奏する。
【００３７】
変形例２の真空バルブは、以下の構成を有し、以下の作用効果を奏する。
（１）真空バルブ１Ｂにおいて、第２保持部（引張ばね１０７、凹部１１１と凹部１１２とピン１０８）は、バルブプレート８の姿勢に応じて、駆動軸１０１の姿勢が変わるように、第１保持部（筐体１０Ｈ、転がり軸受１０６）の姿勢を変える。
これによって、バルブプレート８が傾斜などして姿勢を変化させたときでも、バルブプレート８や駆動軸１０１などに応力が生じないようにすることができる。
【００３８】
（２）具体的には、以下の構成である。
真空バルブ１Ｂの筐体４の保持部１１０は、凹曲面１１１Ａを備える。ピン１０８は、凹曲面１１１Ａに係合可能な凸曲面１０８Ａを有する。
【００３９】
―変形例３―
図１０、図１１、図１２は、変形例３について説明した図である。図１０は以上の実施形態を示す図３に相当する図である。図１１は、封止体７がバルブプレート８の周方向の一部だけを押圧したときの様子を示している。図１２（ａ）は、図１０の破線で囲まれた領域ＳＱを示した図であり、図１２（ｂ）は、図１１の破線で囲まれた領域ＳＱを示した図である。なお、本変形例を説明するにあたり、以上の実施形態、変形例１，２と同様の構成については説明を省略する。
【００４０】
図１０に示すように、変形例３における真空バルブ１Ｃは、ベローズ１０９を設けない代わりに弾性体シール材１０ＨＣを設けたことが、変形例２における真空バルブ１Ｂとの主な相違点である。図１１に示すように、変形例２と同様、封止体７がバルブプレート８の周方向の一部だけを押圧すると、バルブプレート８の傾斜する姿勢に応じて駆動部１０が傾斜することができる。
【００４１】
ここで、図１２を用いて、駆動部１０が傾斜しても、弾性体シール材１０ＨＣによる封止状態が維持されることについて説明する。図１２（ａ）に示すように、弾性体シール材１０ＨＣは、筐体４の貫通孔２１の内周面から内周側の力を受けてつぶれた状態にある。ただし、多少のつぶしシロは残されている。駆動部１０が軸方向移動し、かつ、傾斜したのが、図１２（ｂ）である。軸方向移動に伴う封止状態は、変形例１と同様に、本変形例でも維持される。傾斜に伴う封止状態については、バルブプレート８の傾斜角度は微々たるもの（例えば、０．４°程度）であること、および、多少のつぶしシロを残して弾性体シール材１０ＨＣがつぶれていることから、維持される。具体的に説明する。図１２（ａ）に示すように、駆動部１０が傾斜する前は、外周面１０ＨＣと貫通孔２１の内周面との隙間は略均一の隙間Ｓ１となっている。ここで、説明のため、図１２（ａ）に示す４つの隙間Ｓ１を「左上側」、「左下側」、「右上側」、「右下側」と呼ぶことにする。一例ではあるが、図１２（ｂ）に示すように、駆動部１０が傾斜すると、左上側および右下側の隙間Ｓ１が隙間Ｓ２、右上側および左下側の隙間Ｓ１が隙間Ｓ３となることがある。隙間Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３の大小関係は、Ｓ２＜Ｓ１＜Ｓ３である。駆動部１０と貫通孔２１との隙間が大きくなった場合（Ｓ１→Ｓ３）は弾性体シール材１０ＨＣの復元性により、また、駆動部１０と貫通孔２１との隙間が小さくなった場合（Ｓ１→Ｓ２）は弾性体シール材１０ＨＣのつぶしシロがまだ残っているので弾性体シール材１０ＨＣがさらにつぶれることにより、封止状態が維持される。このように、駆動部１０と貫通孔２１との隙間の変化は、弾性体シール材１０ＨＣの変形で許容できる。よって、本変形例においても、駆動部１０が傾斜しても、弾性体シール材１０ＨＣによる封止状態が維持される。なお、バルブプレート８の傾斜姿勢は、封止体７の押圧状態などでも変化する為、図１２のような変化となるとは限らないが、どのような隙間の変化であっても、弾性体シール材１０ＨＣの復元性とつぶしシロによって封止状態を維持することができる。
【００４２】
以上、本変形例によっても、変形例２と同様にバルブプレート８の傾斜姿勢に応じて駆動部１０が傾斜することができる。
また、変形例１と同様に、軸方向移動による摩耗粉の発生はほとんどないと考えられる場合においては、本変形例を適用して、べローズの代わりに弾性体シール材を用いることができる。このような変形は、軸方向移動に係る封止を担う部材と回動に係る封止を担う部材とを分けているからこそできる。
【００４３】
その他、以下のような変形が可能である。
【００４４】
変形例２においては、上記の構成（２）を有するとしたが、これに限定されない。例えば、真空バルブ１Ｂの筐体４の保持部１１０が凸曲面を備え、ピン１０８がその凸曲面に係合可能な凹曲面を有するようにしてもよい。
【００４５】
変形例２においては保持部１１０と筐体１０Ｈとを当接しないようにしたが、本発明はこれに限定されない。駆動部１０が傾斜できるように、例えば、保持部１１０が凹曲面を有し、筐体１０Ｈがその凹曲面に係合可能な凸曲面を有するようにすることもできる。逆に、保持部１１０が凸曲面を有し、筐体１０Ｈがその凸曲面に係合可能な凹曲面を有するようにすることもできる。
【００４６】
以上の実施形態及び変形例１においては、ピン１０８は、保持部１１０および筐体１０Ｈのいずれか一方と一体的に設けるようにしてもよい。
【００４７】
変形例２においては、ピン１０８の凸曲面１０８Ａを有しない側と筐体１０Ｈとを一体的に設けるようにしてもよい。
【００４８】
本発明は、以上に示した内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００４９】
１：真空バルブ
２：バルブ本体
３：フランジ
４：筐体（バルブ筐体）
７：封止体
８：バルブプレート
１０：駆動部
１０Ｈ：筐体
１０ＨＢ：内壁
１０ＨＣ：外周面
１０ＨＤ：環状溝
１０ＨＥ：弾性体シール材
２１：貫通孔
ＭＧ：永久磁石
Ｒ１：円環部
１０１：駆動軸
１０４：ボルト
１０５：磁性流体シール機構
１０６：軸受
１０８：ピン
１０９：ベローズ
１１０：保持部
１１１：凹部
１１２：凹部
２０１：ポールピース
７１０：ピストン部
７２０：シールリング
ＭＦ１：磁性流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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