(57)【要約】【課題】Ｘ線により被検査物の状態を検出しながら、加工機により該被検査物を加工することを目的とする。【解決手段】Ｘ線検査装置（１）は、検査室（１５０）と、検査室（１５０）の内部に設置され、製品を加工する加工機（６０）とを備え、検査室（１５０）は、加工機（６０）が加工している製品にＸ線を照射する照射部（４０）と、製品を透過したＸ線を受光する受光部（３０）とを有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査室と、
前記検査室の内部に設置され、製品を加工する加工機とを備え、
前記検査室は、前記加工機が加工している製品にＸ線を照射する照射部と、前記製品を透過した前記Ｘ線を受光する受光部とを有することを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記受光部が前記Ｘ線を受光した結果に基づいて、前記製品の状態を表示する表示部をさらに有し、
前記表示部は、前記製品における加工の終了地点を表示することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のＸ線検査装置を複数備え、
複数の前記Ｘ線検査装置は、互いにネットワークを介して通信を行うための通信機器をそれぞれ有し、
複数の前記Ｘ線検査装置のうち、第１の加工機と第１の通信機器とを有する第１のＸ線検査装置、及び第２の加工機と第２の通信機器とを有する第２のＸ線検査装置において、
前記第１の加工機により前記製品を加工する第１工程は、前記第２の加工機により前記製品を加工する第２工程と隣り合う工程であり、
前記第１工程が終了したとき、前記第１のＸ線検査装置は、前記第１の通信機器により、前記第２のＸ線検査装置に前記第１工程が終了した旨を通知し、
前記第２のＸ線検査装置は、前記第２の通信機器により、前記第１のＸ線検査装置から前記第１工程が終了した旨の通知を受け取った後、前記第２工程を開始することを特徴とするＸ線検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置及びＸ線検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
コンベアで搬送されてきた被検査物をＸ線により検査するＸ線検査装置が従来技術として知られている。例えば、特許文献１に開示されているＸ線検査装置は、被検査物を分割するときの切断位置を特定し、特定された切断位置に関する情報を下流の切断装置へ送信する。また、上記Ｘ線検査装置は、切断位置の特定された被検査物を切断装置へ搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−００２６３２号公報（２０１６年１月１２日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような従来技術は、切断装置がＸ線検査装置の外部にある。このため、被検査物の切断及び検査は別々に行われる。したがって、処理される工程数が多くなり、費用や時間がかかるという問題がある。
【０００５】
本発明の一態様は、Ｘ線により被検査物の状態を検出しながら、加工機により該被検査物を加工することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るＸ線検査装置は、検査室と、前記検査室の内部に設置され、製品を加工する加工機とを備え、前記検査室は、前記加工機が加工している製品にＸ線を照射する照射部と、前記製品を透過した前記Ｘ線を受光する受光部とを有する。
【０００７】
上記の構成によれば、照射部によりＸ線が照射され、製品を透過したＸ線を受光する受光部により、加工途中の被検査物の状態を検出しながら、加工機により該被検査物を加工することができる。これにより、Ｘ線検査装置による加工が終わった後の被検査物を検査しなくても、Ｘ線検査装置は完成品を作製することができる。
【０００８】
前記受光部が前記Ｘ線を受光した結果に基づいて、前記製品の状態を表示する表示部をさらに有し、前記表示部は、前記製品における加工の終了地点を表示してもよい。
【０００９】
上記の構成によれば、ユーザは製品の状態を表示部で確認しながら、加工の終了地点まで製品の加工を行うことができる。
【００１０】
また、上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係るＸ線検査システムは、前記Ｘ線検査装置を複数備え、複数の前記Ｘ線検査装置は、互いにネットワークを介して通信を行うための通信機器をそれぞれ有し、複数の前記Ｘ線検査装置のうち、第１の加工機と第１の通信機器とを有する第１のＸ線検査装置、及び第２の加工機と第２の通信機器とを有する第２のＸ線検査装置において、前記第１の加工機により前記製品を加工する第１工程は、前記第２の加工機により前記製品を加工する第２工程と隣り合う工程であり、前記第１工程が終了したとき、前記第１のＸ線検査装置は、前記第１の通信機器により、前記第２のＸ線検査装置に前記第１工程が終了した旨を通知し、前記第２のＸ線検査装置は、前記第２の通信機器により、前記第１のＸ線検査装置から前記第１工程が終了した旨の通知を受け取った後、前記第２工程を開始することを特徴とするＸ線検査システム。
【００１１】
上記の構成によれば、複数のＸ線検査装置が互いにネットワークを介して通信を行うことで、被検査物の加工を複数の工程で効率的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様によれば、Ｘ線により被検査物の状態を検出しながら、加工機により該被検査物を加工することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１に係るＸ線検査装置の構造を示す斜視図である。
【図２】図１に示すＸ線検査装置において内部構造を示す、一部を切り欠いた斜視図である。
【図３】図１に示すＸ線検査装置が地面に対して水平な方向に切断された状態において、検査室の構造を示す上面図である。
【図４】コンベアに図１に示すＸ線検査装置が取り付けられている状態を示す図である。（ａ）は、斜視図であり、（ｂ）は、前面図である。
【図５】図１に示すＸ線検査装置が地面に対して水平な方向に切断された状態において、検査室にコンベアが取り付けられている状態を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
〔実施形態１〕
以下、本発明の実施の形態について、図１から図５に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態１に係るＸ線検査装置の構造を示す斜視図である。Ｘ線検査装置１は、図１に示すように、本体部１０、及び着脱部２０を備えている。着脱部２０は、本体部１０に着脱する。
【００１５】
（本体部の構成）
本体部１０の構成について、図１に基づいて説明する。本体部１０は、図１に示すように、警報器１１０、タッチパネル１２０（表示部）、右側凸部１３０、左側凸部１４０、検査室１５０、本体部キャスター１６０、及び本体部支持脚１７０を備えている。なお、Ｘ線検査装置１の説明では、検査室１５０から着脱部２０に向かう方向を前方と称し、着脱部２０から検査室１５０に向かう方向を後方と称する。
【００１６】
警報器１１０は、音によって警報等を通知するスピーカ等の音出力装置であってもよい。また、警報器１１０は、光によって警報等を通知するパトライト（登録商標）やＬＥＤ等の発光装置であってもよい。このように、警報器１１０は、警報等をユーザに通知することができるものであればよく、公知の構成を適用することができる。
【００１７】
タッチパネル１２０は、本体部１０の上部前面に設けられている。タッチパネル１２０は、フルドット表示の液晶ディスプレイで構成され、そこに表示される設定画面を操作することにより、Ｘ線検査装置１の起動、停止、必要な運転条件の設定、及び検査条件の設定等ができるようになっている。運転開始前の初期画面では、例えば、後述する照射部４０のＸ線の強度を設定することができる。運転開始後の画面では、例えば、Ｘ線透過画像を処理するときの検出感度を設定することができるようになっている。タッチパネル１２０は、必要に応じて、欠品検査、異物検査、及び割れ欠け検査等の検査項目とその検査条件とを設定することができる。また、タッチパネル１２０には、被検査物（製品）にＸ線を照射したときのＸ線透過画像が表示されるようになっている。
【００１８】
右側凸部１３０は、本体部１０の右側側面から突出して設けられており、本体部１０の右側側面の中央に設けられている。なお、右側凸部１３０は、本体部１０の右側側面であれば、どこに設けられていてもよい。右側凸部１３０の先端面１３１には、切り欠き部１３２が形成されている。また、右側凸部１３０の形状は、右側凸部１３０の前面側の中央部分は空間になっている。着脱部２０の右側板部２２０は右側凸部１３０に取り付けられている。右側板部２２０が右側凸部１３０から取り外されると、右側凸部１３０の前面側の中央部分は、空間になる。
【００１９】
左側凸部１４０、先端面１４１、切り欠き部１４２、前面１４３、及び前面１４４の形状及び位置はそれぞれ、右側凸部１３０、先端面１３１、切り欠き部１３２、前面１３３、及び前面１３４の形状及び位置と左右対称になっている。左右対称とは、Ｘ線検査装置１の前面側から見て、左右対称という意味である。
【００２０】
本体部１０に右側凸部１３０及び左側凸部１４０が設けられていることにより、照射部４０（後述する）から照射されるＸ線が検査室１５０の外部に漏洩し難くすることができる。具体的には、照射部４０と切り欠き部１３２との間、及び照射部４０と切り欠き部１４２との間の距離が大きくなるため、Ｘ線が検査室１５０の外部に漏洩し難くなる。本体部１０の前面側から見て、右側凸部１３０は右側に、左側凸部１４０は左側に、さらに長いものであってもよい。これにより、照射部４０と切り欠き部１３２との間、及び照射部４０と切り欠き部１４２との間の距離がさらに大きくなるため、Ｘ線が検査室１５０の外部に、より漏洩し難くすることができる。
【００２１】
また、切り欠き部１３２の上部及び切り欠き部１４２の上部に含鉛カーテン（図示せず）を取り付けることにより、Ｘ線が検査室１５０の外部に漏洩することを防ぐことができる。なお、検査室１５０の外部にＸ線が漏洩することを防ぐことができれば、含鉛カーテンの設置場所は、特に限定されない。
【００２２】
検査室１５０は、入口と出口とを有する。Ｘ線検査装置１に被検査物が右側から入り、左側から出ていくものとすると、検査室１５０の入口は右側板部２２０と切り欠き部１３２との間に形成され、検査室１５０の出口は左側板部２３０と切り欠き部１４２との間に形成される。切り欠き部１３２と切り欠き部１４２とは互いに対向しており、それらの開口面は互いに平行である。また、検査室１５０は、本体部１０の、凹んだ形状の部分に該当する。検査室１５０の下側には、Ｘ線を照射する照射部４０が設置されている。検査室１５０の上側には、照射部４０から照射されたＸ線を受光する受光部３０が設置されている。受光部３０には、フラットパネルディテクタ又はイメージインテンシファイアを用いてもよい。また、受光部３０には、フラットパネルディテクタ及びイメージインテンシファイア以外のものを用いてもよい。
【００２３】
また、Ｘ線が受光部３０に照射されることで、Ｘ線は受光部３０により画像信号に変換される。受光部３０により変換された画像信号は、Ｘ線検査装置１に内蔵のコンピュータ（図示せず）に入力されて透過Ｘ線画像に成形され、その透過Ｘ線画像に基づいて種々の検査が行われる。なお、受光部３０は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸といった駆動軸に沿って駆動される。照射部４０は、Ｙ軸、Ｚ軸、及びθ軸といった駆動軸に沿って駆動される。Ｘ軸は、地面に対して平行であり、かつ、Ｘ線検査装置１の正面から見て左右方向の軸である。Ｙ軸は、地面に対して平行であり、かつ、Ｘ線検査装置１の正面から見て前後方向の軸である。Ｚ軸は、地面に対して垂直であり、かつ、Ｘ線検査装置１の上下方向の軸である。θ軸は、Ｚ軸からＹ軸に向かう方向に４５度回転する回転軸である。受光部３０及び照射部４０において、それらの配置や駆動軸の構成は、Ｘ線検査装置１が被検査物を検査することが可能であれば、特に限定されない。上記のように、受光部３０及び照射部４０を駆動させることにより、照射部４０は、被検査物に対して、ずれることなく正確にＸ線を照射することができる。
【００２４】
本体部キャスター１６０は、本体部１０の底面に取り付けられている。本体部キャスター１６０は、本体部１０が移動することができるように、車輪を備えている。また、本体部１０の底面には、本体部１０を支持する本体部支持脚１７０が取り付けられている。本体部支持脚１７０は、本体部支持脚１７０の高さの調整が可能な構造になっており、その高さを大きくすることで、本体部キャスター１６０を地面から浮かせる。これにより、本体部１０は地面に対して移動することがなくなる。
【００２５】
（着脱部の構成）
着脱部２０の構成について、図１に基づいて説明する。着脱部２０は、図１に示すように、開閉扉２１０、窓部２１１、第１取っ手部２１２、第２取っ手部２２１・２２２、第３取っ手部２３１・２３２、上側板部２４０、下側板部２５０、第１支持部２６０、着脱部キャスター２７０、及び第２支持部２８０（図示せず）を備えている。また、着脱部２０は、本体部１０の前面下部に取り付けられている。
【００２６】
開閉扉２１０は、図１に示すように、第１取っ手部２１２を有し、左側を中心として回転することにより開閉することが可能である。開閉扉２１０は検査室１５０側とは反対側に開く。着脱部２０が本体部１０に取り付けられている、かつ、開閉扉２１０が閉まっている場合、開閉扉２１０は、本体部１０の検査室１５０に対向する。また、開閉扉２１０は、前面の中央に窓部２１１を有する。
【００２７】
第１取っ手部２１２は、開閉扉２１０の前面の右側中央に取り付けられており、ユーザが開閉扉２１０の開閉を行う場合、ユーザは第１取っ手部２１２を掴みながら開閉扉２１０の開閉を行う。
【００２８】
右側板部２２０は、開閉扉２１０と隣接する位置、かつ、前面が前方を向くように開閉扉２１０の右側に取り付けられている。右側板部２２０の前面は、開閉扉２１０の前面と平行である。また、右側板部２２０の背面と、右側凸部１３０とが合わさるように、右側板部２２０は、右側凸部１３０に取り付けられる。右側板部２２０は、第２取っ手部２２１・２２２を備えている。第２取っ手部２２１・２２２は、右側板部２２０の前面に取り付けられている。ユーザが右側板部２２０を取り外す場合、ユーザは第２取っ手部２２１・２２２のどちらかを掴みながら、右側板部２２０を取り外す。図１では、第２取っ手部２２１・２２２が取り付けられているが、第２取っ手部の個数については特に限定されない。
【００２９】
左側板部２３０及び第３取っ手部２３１・２３２は、右側板部２２０及び第２取っ手部２２１・２２２と左右対称になっている。左右対称とは、Ｘ線検査装置１の前面側から見て、左右対称という意味である。
【００３０】
上側板部２４０は、開閉扉２１０と隣接する位置、かつ、前面が前方を向くように開閉扉２１０の上側に取り付けられている。上側板部２４０の前面は、開閉扉２１０の前面と平行である。下側板部２５０は、開閉扉２１０と隣接する位置、かつ、前面が前方を向くように開閉扉２１０の下側に取り付けられている。下側板部２５０の前面は、開閉扉２１０の前面と平行である。
【００３１】
第１支持部２６０は、着脱部２０が単独で直立することができるようにするための部材である。第１支持部２６０は、長方形の枠の形状を有する。第１支持部２６０は、地面に対して平行である。
【００３２】
着脱部キャスター２７０は、第１支持部２６０の底面に取り付けられている。着脱部キャスター２７０は、着脱部２０が移動することができるように、車輪を備えている。また、着脱部２０の底面には、着脱部支持脚２９０（図示せず）が取り付けられている。着脱部支持脚２９０は、着脱部支持脚２９０の高さの調整が可能な構造になっており、その高さを大きくすることで、着脱部支持脚２９０は地面に接する。これにより、着脱部２０は地面に対して移動することがなくなる。
【００３３】
（本体部の内部構造）
次に、本体部１０の内部構造について、図２に基づいて説明する。図２は、Ｘ線検査装置１において内部構造を示す、一部を切り欠いた斜視図である。本体部１０は、図２に示すように、検査室１５０に受光部３０、照射部４０、及び加工機６０を備えている。
【００３４】
図２に示すように、検査室１５０の下側に照射部４０を設け、検査室１５０の上側に受光部３０を設ける。これにより、Ｘ線検査装置１は、内部に搬送されてきた被検査物に、下側に設けられた照射部４０からＸ線を照射し、上側に設けられた受光部３０によって、そのＸ線を検出（受光）する。つまり、受光部３０は、被検査物を透過したＸ線を検出する。
【００３５】
加工機６０は、検査室１５０に設置されている。図３に示す底面１５０ｃ及び側面１５０ｇ・１５０ｈ・１５０ｉには、ネジ穴１５１が複数設けられているため、底面１５０ｃ及び側面１５０ｇ・１５０ｈ・１５０ｉには、加工機６０をネジで固定して設置することができる。よって、様々な加工方法に合わせて、加工機６０を設置する場所を変更することができる。図３に示す検査室１５０の構造については後述する。また、加工機６０において、様々な形状や大きさの加工機を検査室１５０に設置することができ、さらに、後から検査室１５０に加工機を設置することもできる。なお、図２では、加工機６０は底面１５０ｃに設置されているが、側面１５０ｇ・１５０ｈ・１５０ｉのいずれかに設置されていてもよい。
【００３６】
加工機６０は、タッチパネル１２０と配線等（図示せず）により接続されている。これにより、ユーザはタッチパネル１２０に表示される画面を操作することにより、加工機６０を操作することができる。
【００３７】
また、加工機６０は、コンベア５０によって搬送されてきた被検査物を加工する。加工機６０には、検査室１５０の内部に入れることができ、かつ、加工を行えるものであれば、どんなものを用いてもよい。加工機６０による被検査物の加工方法としては、例えば、穴あけ加工、圧入、及びポッティング等が挙げられる。
【００３８】
穴あけ加工について、以下に具体的に説明する。まず、照射部４０により被検査物にＸ線を照射し、受光部３０によりその被検査物を透過したＸ線が検出される。そのＸ線は前述したように、受光部３０により画像信号に変換される。受光部３０により変換された画像信号は、Ｘ線検査装置１に内蔵のコンピュータ（図示せず）に入力されて透過Ｘ線画像に成形され、タッチパネル１２０がその透過Ｘ線画像を表示する。ユーザはタッチパネル１２０に表示された透過Ｘ線画像によって、被検査物にあけられた穴の深さを確認する。よって、ユーザは被検査物にあけられた穴の深さを確認しながら、加工機６０を操作して被検査物に加工を行うことができる。つまり、ユーザは被検査物の基準位置を透過Ｘ線画像から認識し、その基準位置から予め決められた深さまで穴あけ加工を行う。また、ユーザはドリルの刃の位置を透過Ｘ線画像から認識し、ドリルの刃が予め決められた深さまで到達すれば、加工を終了させる。
【００３９】
圧入について、以下に具体的に説明する。まず、前述したように、ユーザは、タッチパネル１２０に表示された透過Ｘ線画像によって、例えば、軸受に圧入されたシャフトの長さを確認しながら、加工機６０を操作して軸受にシャフトを圧入させることができる。また、穴あけ加工の場合と同様に、ユーザは、基準位置から予め決められた長さまでシャフトを圧入させるように、Ｘ線検査装置１を操作する。
【００４０】
ポッティングについて、以下に具体的に説明する。まず、前述したように、ユーザは、タッチパネル１２０に表示された透過Ｘ線画像によって被検査物を確認する。例えば、被検査物に樹脂をポッティングする場合、ユーザは透過Ｘ線画像によって、被検査物の内部に浸透した樹脂の量を確認しながら、加工機６０を操作して被検査物に樹脂をポッティングさせることができる。
【００４１】
したがって、照射部４０は、加工機６０が加工している被検査物にＸ線を照射し、受光部３０が、被検査物を透過したＸ線を検出する。また、受光部３０がＸ線を受光した結果に基づいて、タッチパネル１２０は被検査物の状態を表示する。さらに、タッチパネル１２０は、被検査物における加工の終了地点を表示する。
【００４２】
以上により、ユーザは被検査物の状態をタッチパネル１２０で確認しながら、加工の終了地点まで被検査物の加工を行うことができる。
【００４３】
また、加工機６０が被検査物に加工を行っているときは、その被検査物は検査室１５０に固定されている。Ｘ線検査装置１は、被検査物と加工機６０とをＸ線により検出し、タッチパネル１２０に表示する。
【００４４】
（Ｘ線検査装置による加工の手順）
次に、Ｘ線検査装置１による加工の手順について説明する。まず、予め用意した基準画像に、加工の終了地点が表示されるように、加工の終了地点が表示された基準画像のデータをＸ線検査装置１内に設けられたメモリ（図示せず）に格納する。加工の終了地点とは、例えば、前述したような、穴あけ加工における予め決められた深さの終了地点、圧入における予め決められた長さの終了地点等を意味する。
【００４５】
加工の終了地点が表示された基準画像のデータをメモリに格納した後、コンベア５０による被検査物の搬送を開始する。被検査物の搬送が開始されると、検査室１５０に被検査物が搬入されてくる。このとき、被検査物は、検査室１５０の底面の中央部で固定されることで位置決めされる。この被検査物の固定は、ユーザにより手動で行われてもよく、加工機６０が有する固定部（図示せず）により自動で行われてもよい。
【００４６】
被検査物が固定された後、加工機６０による被検査物の加工が開始される。このとき、ユーザはタッチパネル１２０に表示された、加工の終了地点と現在の被検査物の加工の様子とを確認する。現在の被検査物の加工が加工の終了地点に到達すれば、ユーザは加工を終了させる。加工が終了した後、被検査物の固定が解除され、検査室１５０の外に被検査物が搬送される。
【００４７】
以上により、Ｘ線検査装置１が被検査物を検出しながら加工を行うことにより、再度、Ｘ線検査装置１が被検査物を検査しなくても、Ｘ線検査装置１は完成品を作成することができる。よって、Ｘ線検査装置１は、被検査物の加工の適否を判断する検査を行うため、加工と検査とを同時に行うことができる。
【００４８】
（検査室の構造）
次に検査室１５０の構造について、図３に基づいて説明する。図３は、Ｘ線検査装置１が地面に対して水平な方向に切断された状態において、検査室１５０の構造を示す上面図である。
【００４９】
図３に示すように、検査室１５０は、底面１５０ａ・１５０ｂ・１５０ｃ・１５０ｄ・１５０ｅ・１５０ｆを有している。また、検査室１５０は、側面１５０ｇ・１５０ｈ・１５０ｉを有している。図３において、底面１５０ａがある側を右側、底面１５０ｂがある側を左側、底面１５０ｃがある側を奥側、底面１５０ｆがある側を前側とする。
【００５０】
底面１５０ａは、右側凸部１３０の内部の底面であり、底面１５０ｂは、左側凸部１４０の内部の底面であり、底面１５０ｃは、本体部１０の内部の奥側の底面である。底面１５０ｄは、底面１５０ａに隣接しており、底面１５０ａの左側にある。底面１５０ｅは、底面１５０ｂに隣接しており、底面１５０ｂの右側にある。底面１５０ｆは、底面１５０ｄと底面１５０ｅと間にあり、かつ、検査室１５０の底面全体の前側にある。
【００５１】
検査室１５０は、奥側に凹んだ部分を有しており、その凹んだ部分における底面１５０ｃの上の空間において、側面１５０ｇは右側の側面であり、側面１５０ｈは奥側の側面であり、側面１５０ｉは左側の側面である。検査室１５０の底面全体の中央部には凹部１５２が形成されている。凹部１５２は、底面１５０ｄ、底面１５０ｅ、底面１５０ｃ、及び底面１５０ｆに囲まれて形成されている。凹部１５２には照射部４０が格納されている。
【００５２】
ネジ穴１５１は、底面１５０ｄ、底面１５０ｅ、底面１５０ｃ、底面１５０ｆ、側面１５０ｇ、側面１５０ｈ、及び側面１５０ｉにそれぞれ複数設けられている。複数設けられていることとは、例えば、底面１５０ｄにネジ穴１５１が複数設けられているという意味である。これにより、検査室１５０の底面にコンベア５０（後述する）を設置するとき、検査室１５０の底面とコンベア５０とをネジにより固定させることができる。
【００５３】
（Ｘ線検査装置にコンベアを取り付けた状態の構造）
次に、Ｘ線検査装置１にコンベア５０を取り付けた状態の構造について、図４及び図５に基づいて説明する。図４は、コンベアにＸ線検査装置１が取り付けられている状態を示す図である。図４の（ａ）は、斜視図であり、図４の（ｂ）は、前面図である。図５は、Ｘ線検査装置１が地面に対して水平な方向に切断された状態において、検査室１５０にコンベア５０が取り付けられている状態を示す上面図である。
【００５４】
コンベア５０は、図４の（ａ）及び（ｂ）に示すように、右側凸部１３０の切り欠き部１３２と、左側凸部１４０の切り欠き部１４２との間に亘って設置されている。コンベア５０は、検査室１５０の底面に設置されている。また、コンベア５０は、図５に示すように、照射部４０の上方を通過するように、検査室１５０の底面に配置されている。この場合、コンベア５０は受光部３０の下方を通過する。これにより、コンベア５０により搬送される被検査物が受光部３０の下方及び照射部４０の上方を通過するため、照射部４０が被検査物にＸ線を照射し、受光部３０が被検査物を透過したＸ線を検出することができる。
【００５５】
（変形例）
実施形態１の変形例を以下に説明する。被検査物の加工が複数の工程で行われる場合、Ｘ線検査装置１を複数用意してもよい。つまり、各工程でそれぞれのＸ線検査装置１により被検査物の加工が行われる。被検査物の加工の工程が３段階あるとすると、それらの工程を第１工程、第２工程、及び第３工程とする。第１工程は、第２工程と隣り合う工程であり、第２工程は、第３工程と隣り合う工程である。第１工程で用いられるＸ線検査装置１をＸ線検査装置１００Ａ、第２工程で用いられるＸ線検査装置１をＸ線検査装置２００Ａ、第３工程で用いられるＸ線検査装置１をＸ線検査装置３００Ａとする。また、複数のＸ線検査装置１００Ａ・２００Ａ・３００Ａを備えたシステムをＸ線検査システムとする。なお、ここでは、Ｘ線検査システムは、３つのＸ線検査装置１００Ａ・２００Ａ・３００Ａを備えているが、４つ以上のＸ線検査装置１を備えていてもよい。
【００５６】
Ｘ線検査装置１００Ａ、Ｘ線検査装置２００Ａ、及びＸ線検査装置３００Ａは互いにネットワークを介してデータの送受信を行っている。それらのＸ線検査装置は、内部にデータの送受信を行うための通信機器を備えており、互いにコンベア５０により接続されている。３つのＸ線検査装置１００Ａ・２００Ａ・３００Ａはそれぞれ、加工機６１（第１の加工機）、加工機６２（第２の加工機）、加工機６３（第３の加工機）を備える。また、３つのＸ線検査装置１００Ａ・２００Ａ・３００Ａはそれぞれ、通信機器７１（第１の通信機器）、通信機器７２（第２の通信機器）、通信機器７３（第３の通信機器）を備える。加工機６１・６２・６３はそれぞれ異なるものであってもよい。
【００５７】
Ｘ線検査装置１００Ａによる第１工程が終了したとき、Ｘ線検査装置１００Ａは、通信機器７１により、Ｘ線検査装置２００Ａに第１工程が終了した旨を通知する。Ｘ線検査装置２００Ａは、通信機器７２により、Ｘ線検査装置１００Ａから第１工程が終了した旨の通知を受け取った後、第２工程を開始する。Ｘ線検査装置２００Ａによる第２工程が終了したとき、Ｘ線検査装置２００Ａは、通信機器７２により、Ｘ線検査装置３００Ａに第２工程が終了した旨を通知する。Ｘ線検査装置３００Ａは、通信機器７３により、Ｘ線検査装置２００Ａから第２工程が終了した旨の通知を受け取った後、第３工程を開始する。
【００５８】
このように、複数のＸ線検査装置１００Ａ・２００Ａ・３００Ａが互いにネットワークを介して通信を行うことで、被検査物の加工を複数の工程で効率的に行うことができる。
【００５９】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６０】
１・１００Ａ・２００Ａ・３００Ａ  Ｘ線検査装置、１０  本体部、２０  着脱部、３０  受光部、４０  照射部、５０  コンベア、６０  加工機、６１  加工機（第１の加工機）、６２  加工機（第２の加工機）、６３  加工機（第３の加工機）、７１  通信機器（第１の通信機器）、７２  通信機器（第２の通信機器）、７３  通信機器（第３の通信機器）、１１０  警報器、１２０  タッチパネル、１３０  右側凸部、１３１  先端面、１３２  切り欠き部、１４０  左側凸部、１４１  先端面、１４２  切り欠き部、１５０  検査室、１５０ａ・１５０ｂ・１５０ｃ・１５０ｄ・１５０ｅ・１５０ｆ  底面、１５０ｇ・１５０ｈ・１５０ｉ  側面、１５１  ネジ穴、１５２  凹部、１６０  本体部キャスター、１７０  本体部支持脚、２１０  開閉扉、２１１  窓部、２１２  第１取っ手部、２２０  右側板部、２２１・２２２  第２取っ手部、２３０  左側板部、２３１・２３２  第３取っ手部、２４０  上側板部、２５０  下側板部、２６０  第１支持部、２７０  着脱部キャスター、２８０  第２支持部、２９０  着脱部支持脚
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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