(57)【要約】【課題】流体の移送に際し、ポンプ室における流体の置換効率を向上させることができるベローズポンプを提供する。【解決手段】ベローズポンプ１は、吸入流路２１及び吐出流路２２を含むポンプヘッド１６を有するポンプボディ１０と、前記ポンプヘッドに対して伸縮可能に取り付けられたベローズ１１と、前記ベローズを伸縮動作させるための駆動装置１２と、前記ポンプヘッドに設けられた吸入側逆止弁１３と、前記ポンプヘッドに設けられた吐出側逆止弁１４とを備える。そして、前記吸入側逆止弁が、少なくとも一部が前記ベローズ内に位置するように、前記ポンプヘッドから突設される。前記吐出側逆止弁が、前記ベローズの伸縮方向に関して前記ポンプ室に対し前記吸入側逆止弁よりも前記ポンプヘッド側にずれた位置に配置される。【選択図】図１
2018025143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を吸入するための吸入流路、および、流体を吐出するための吐出流路を含むポンプヘッドを有するポンプボディと、
前記吸入流路および前記吐出流路の各々に連通するポンプ室を有し、前記ポンプヘッドに対して伸縮可能に取り付けられたベローズと、
前記ベローズを伸縮動作させるための駆動装置と、
前記吸入流路と前記ポンプ室との間に位置するように前記ポンプヘッドに設けられた吸入側逆止弁と、
前記ポンプ室と前記吐出流路との間、または、前記吐出流路の途中に位置するように前記ポンプヘッドに設けられた吐出側逆止弁とを備え、
流体を移送できるように構成されたベローズポンプであって、
前記吸入側逆止弁が、少なくとも一部が前記ベローズ内に位置するように、前記ポンプヘッドから突設され、
前記吐出側逆止弁が、前記ベローズの伸縮方向に関して前記ポンプ室に対し前記吸入側逆止弁よりも前記ポンプヘッド側にずれた位置に配置されている、ベローズポンプ。
【請求項２】
前記吐出側逆止弁は、その全体が前記ポンプヘッドに埋め込まれるように、前記ポンプヘッドに取り付けられている、請求項１に記載のベローズポンプ。
【請求項３】
前記吐出側逆止弁は、流体の移送時に前記吸入側逆止弁よりも鉛直方向における上方に位置するように配置されている、請求項１または請求項２に記載のベローズポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベローズポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体または液晶の製造設備等においては、超純水または薬液等の流体を流すためにベローズポンプが用いられている（例えば、特許文献１参照）。この種のベローズポンプは、ポンプボディと、ベローズと、駆動装置と、吸入側逆止弁と、吐出側逆止弁とを備えている。
【０００３】
前記ポンプボディは、流体を吸入するための吸入流路、および、流体を吐出するための吐出流路を含むポンプヘッドを有している。前記ベローズは、前記吸入流路および前記吐出流路の各々に連通するポンプ室を有し、前記ポンプヘッドに対して伸縮可能に取り付けられている。
【０００４】
前記駆動装置は、前記ベローズを伸縮動作させることができるように構成されている。前記吸入側逆止弁は、前記吸入流路に連通するように前記ポンプヘッドに取り付けられている。前記吐出側逆止弁は、前記吐出流路に連通するように前記ポンプヘッドに取り付けられている。
【０００５】
そして、前記吸入側逆止弁および前記吐出側逆止弁が、いずれも前記ベローズに被覆されるように設けられている。すなわち、前記吸入側逆止弁および前記吐出側逆止弁が、それぞれ、前記ポンプ室に面した状態で前記ベローズの蛇腹部と対向するように、前記ベローズ内に収容されている。
【０００６】
そのため、前記ベローズの伸縮動作に応じて、流体が前記吸入流路から前記ポンプ室に吸入された後に、前記ポンプ室から前記吐出流路に吐出される際、前記ポンプ室のうち、例えば前記吸入側逆止弁および前記吐出側逆止弁の各々の一部と前記ベローズの蛇腹部との間の領域において流体が流動しにくくなっていた。
【０００７】
したがって、前記ポンプ室に流入した流体が前記ポンプ室から前記吐出流路へ吐出されきらず、流体の一部が前記領域において長期にわたり滞留しがちとなっていた。よって、前記ポンプ室において、流入した流体の一部が、前記ベローズの伸縮動作によって新たに吸入された流体と置き換わらないことがあった。
【０００８】
結果、長期滞留のために品質が劣化してしまった流体が前記ポンプ室に流入する流体に含まれてしまい、前記ベローズポンプの運転時に、この劣化状態の流体が通常品質の流体と共に吐出されてしまうという、前記ベローズポンプの運転性能の低下を招くおそれがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１５−１１３９３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、流体の移送に際し、ポンプ室における流体の置換効率を向上させることができるベローズポンプの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、
流体を吸入するための吸入流路、および、流体を吐出するための吐出流路を含むポンプヘッドを有するポンプボディと、
前記吸入流路および前記吐出流路の各々に連通するポンプ室を有し、前記ポンプヘッドに対して伸縮可能に取り付けられたベローズと、
前記ベローズを伸縮動作させるための駆動装置と、
前記吸入流路と前記ポンプ室との間に位置するように前記ポンプヘッドに設けられた吸入側逆止弁と、
前記ポンプ室と前記吐出流路との間、または、前記吐出流路の途中に位置するように前記ポンプヘッドに設けられた吐出側逆止弁とを備え、
流体を移送できるように構成されたベローズポンプであって、
前記吸入側逆止弁が、少なくとも一部が前記ベローズ内に位置するように、前記ポンプヘッドから突設され、
前記吐出側逆止弁が、前記ベローズの伸縮方向に関して前記ポンプ室に対し前記吸入側逆止弁よりも前記ポンプヘッド側にずれた位置に配置されているベローズポンプである。
【００１２】
この構成によれば、前記ポンプ室において、前記吐出側逆止弁に臨む吐出側領域が、前記吸入側逆止弁に臨む吸入側領域よりも大きな容積を確保することとなる。したがって、前記ポンプ室への流体の吸入後、流体を前記吸入側逆止弁から比較的自由に長距離流動させながら、前記吐出側逆止弁に導くことができる。
【００１３】
すなわち、前記ポンプ室に流入する流体を効果的に撹拌しながら、前記吐出側逆止弁に到達させることができる。よって、流体の移送に際し、前記ポンプ室において流体が長期にわたって滞留することを抑止して、前記ポンプ室における流体の置換効率を向上させることができる。
【００１４】
本発明の別の態様によれば、
前記吐出側逆止弁は、その全体が前記ポンプヘッドに埋め込まれるように、前記ポンプヘッドに取り付けられている。
【００１５】
この構成によれば、前記ポンプボディのコンパクト化、流体の流動距離の長距離化、および、流体の流動性の向上を図ることができる。したがって、前記ポンプ室において流体をより効果的に撹拌することが可能となり、前記ポンプ室における流体の置換効率をさらに向上させることができる。
【００１６】
本発明のまた別の態様によれば、
前記吐出側逆止弁は、流体の移送時に前記吸入側逆止弁よりも鉛直方向における上方に位置するように配置されている。
【００１７】
この構成によれば、前記ポンプ室に吸入される流体に余計な空気が若干量含まれている場合であっても、前記ポンプ室の上側領域に空気溜まりが発生しないように、その空気を前記ポンプ室から吐出される流体に巻き込まれやすいものにして当該流体とともに排出できる。よって、前記ベローズの性能低下を抑止できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、流体の移送に際し、ポンプ室における流体の置換効率を向上させることができるベローズポンプを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るベローズポンプの断面図である。
【図２】図１のベローズポンプのポンプ部におけるベローズの伸長状態を示す断面図である。
【図３】図１のベローズポンプのポンプ部におけるベローズの収縮状態を示す断面図である。
【図４】本発明の別の実施形態に係るベローズポンプのポンプ部の断面図である。
【図５】本発明の更に別の実施形態に係るベローズポンプのポンプ部の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の一実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００２１】
図１に示すように、本発明の一実施形態に係るベローズポンプ１は、その運転時に横方向（略水平方向）に設置される横型ベローズポンプである。前記ベローズポンプ１は、ポンプ部２を備え、このポンプ部２を用いて流体を移送できるように構成されている。
【００２２】
本実施形態において、前記ベローズポンプ１は、脈動抑制部３をさらに備えている。前記脈動抑制部３は、例えばアキュムレータを含むものである。前記ポンプ部２と前記脈動抑制部３とは、互いに略同軸上に設けられるとともに、連続的に並置されている。
【００２３】
前記ポンプ部２は、ポンプボディ１０と、ベローズ１１と、駆動装置１２と、吸入側逆止弁１３と、吐出側逆止弁１４とを備えている。前記ポンプボディ１０は、ポンプヘッド１６を有している。本実施形態においては、前記ポンプヘッド１６に、前記脈動抑制部３が取り付けられている。
【００２４】
前記ポンプボディ１０は、図２、図３にも示すように、ポンプケーシング１７をさらに有している。前記ポンプケーシング１７は、有底円筒形状を有し、開口部が閉塞されるように前記ポンプヘッド１６の第１側部１８に軸方向一方側から気密に取り付けられている。
【００２５】
前記ポンプヘッド１６は、流体を吸入するための吸入流路２１、および、流体を吐出するための吐出流路２２を含んでいる。前記吐出流路２２は、第１流路２３および第２流路２４から構成されている。前記吸入流路２１および前記吐出流路２２の第２流路２４は、それぞれ、チューブ等と接続可能とされている。
【００２６】
前記ベローズ１１は、前記吸入流路２１および前記吐出流路の第１流路２３の各々に連通するポンプ室２５を有し、前記ポンプヘッド１６に対して伸縮可能に取り付けられている。本実施形態において、前記ベローズ１１は、流体の移送時に前記ベローズポンプ１の長手方向、即ち横方向に伸縮可能に設けられている。
【００２７】
前記ベローズ１１は、ポリテトラフルオロエチレン(ＰＴＦＥ)等のフッ素樹脂製のものであり、有底円筒形状を有している。前記ベローズ１１は、底部に含まれる閉塞端部２６と、開口部に含まれる環状の開口端部２７と、前記閉塞端部２６と前記開口端部２７とをつなぐ筒状の蛇腹部２８とを備えている。
【００２８】
前記ベローズ１１は、その伸縮方向が前記ポンプケーシング１７の軸方向と略同一方向となるように、前記ポンプボディ１０内に配置されている。前記ベローズ１１は、前記開口端部２７で第１環状係止部材２９により前記ポンプヘッド１６に固定されている。
【００２９】
こうして、前記ベローズ１１は、前記ポンプボディ１０（前記ポンプケーシング１７）内において、前記ポンプヘッド１６から軸方向一方側へ突出するように設けられるとともに、その突出基端部となる前記開口端部２７の位置を固定した状態で軸方向に伸長または収縮し得るように設けられている。
【００３０】
また、前記ベローズ１１により、前記ポンプボディ１０の内部空間が区画されている。詳しくは、前記ベローズ１１外に第１空気室３１が形成されるとともに、前記ベローズ１１内に前記ポンプ室２５が流体を一時的に貯溜できるように形成されている。
【００３１】
前記ポンプ室２５は、前記吸入流路２１と吸入口部３３を介して連通され、前記吐出流路２２と吐出口部３４を介して連通されている。前記吸入口部３３および前記吐出口部３４は、それぞれ前記ポンプヘッド１６の第１側部１８に設けられ、前記ポンプボディ１０の軸方向と交差する方向に並置されている（即ち、前記第１側部１８の互いに異なる位置で開口している）。
【００３２】
前記駆動装置１２は、前記ベローズ１１を伸縮動作させることができるように構成されている。本実施形態において、前記駆動装置１２は、エアシリンダ３５と、図示しないコンプレッサ等を含む空気供給装置を有している。前記エアシリンダ３５は、前記ポンプケーシング１７の一方側に配置されている。
【００３３】
前記エアシリンダ３５は、シリンダ３６、ピストン３７、および、ピストンロッド３８を有している。前記シリンダ３６は、前記ポンプケーシング１７の底部に軸方向一方側から取り付けられている。前記ピストン３７は、前記シリンダ３６に軸方向（前記ベローズ１１の伸縮方向）に摺動可能に嵌合されている。
【００３４】
前記ピストンロッド３８は、前記ポンプケーシング１７の底部に軸方向に摺動可能に貫設されている。さらに、前記ピストンロッド３８は、軸方向一端部側で前記ピストン３７に連結されるとともに、軸方向他端部側で前記ベローズ１１の閉塞端部２６に可動体３９を介して連結されている。
【００３５】
前記空気供給装置は、前記第１空気室３１に第１空気孔４１を通じて加圧空気を供給すること、または、前記シリンダ３６と前記ピストン３７とで囲まれてなる第２空気室３２に第２空気孔４２を通じて加圧空気を供給することを行うことができるように構成されている。
【００３６】
そして、前記駆動装置１２は、前記空気供給装置にて前記第１空気室３１または前記第２空気室３２への加圧空気の供給を行うことにより、前記エアシリンダ３５のピストン３７を摺動させ、これにより前記ベローズ１１を収縮または伸長させるべく前記閉塞端部２６を軸方向に往復動させ得るようになっている。
【００３７】
本実施形態において、前記駆動装置１２は、第１近接センサ４５と、第２近接センサ４６と、センサ感知板４７とをさらに有している。前記第１近接センサ４５および前記第２近接センサ４６は、それぞれ前記シリンダ３６に連結された支持体４８に支持されるとともに、互いに軸方向に所定間隔を隔て配置されている
【００３８】
前記センサ感知板４７は、前記ピストン３７に固定され、前記第１近接センサ４５と前記第２近接センサ４６との間に配置されている。前記センサ感知板４７は、前記ピストン３７の摺動に伴って前記第１近接センサ４５または前記第２近接センサ４６に検知されるように、いずれか一方に近接する構成とされている。
【００３９】
こうして、前記駆動装置１２は、前記ピストン３７の往動方向または復動方向を適宜切り替えるべく、前記第１近接センサ４５および前記第２近接センサ４６の検知状態に応じて、前記空気供給装置から送給される加圧空気の供給先を前記第１空気室３１と前記第２空気室３２との間で自動的に交互に切り替えることができるようになっている。
【００４０】
前記吸入側逆止弁１３は、前記吸入流路２１と前記ポンプ室２５との間に位置するように前記ポンプヘッド１６に設けられている。前記吸入側逆止弁１３は、前記吸入流路２１から前記ポンプ室２５に向かう流体の一方向への流れのみを許容するように構成されている。
【００４１】
本実施形態において、前記吸入側逆止弁１３は、外部空間（前記ポンプ室２５）に連通する第１吸入用開口部５１と、前記第１吸入用開口部５１と連通する吸入用連通路５２と、前記第１吸入用開口部５１に前記吸入用連通路５２を介して連通しかつ外部空間（前記吸入流路２１）に連通し得る第２吸入用開口部５３とを有している。
【００４２】
前記吸入側逆止弁１３は、前記第１吸入用開口部５１が前記ポンプ室２５に面するように軸方向一端部に位置しかつ前記第２吸入用開口部５３が前記吸入流路２１に面するように軸方向他端部に位置するように配置されて、前記ポンプヘッド１６に取り付けられている。
【００４３】
詳しくは、図２、図３に示すように、前記吸入側逆止弁１３は、弁ケース５５と、弁体５６と、付勢部材（コイルばね等）５７とを備えている。前記弁ケース５５は、前記第１吸入用開口部５１、前記吸入用連通路５２、および、前記第２吸入用開口部５３を含む筒形状を有し、軸方向に延在するように設けられている。
【００４４】
前記弁ケース５５は、前記第１吸入用開口部５１が前記ポンプ室２５に臨むように軸方向一方に向かって開口した状態で、かつ、前記第２吸入用開口部５３が前記吸入流路２１に臨むように軸方向他方に向かって開口した状態で、前記ポンプヘッド１６に固定されている。
【００４５】
前記弁体５６は、前記弁ケース５５内に軸方向に移動可能に設けられている。前記付勢部材５７は、前記弁ケース５５内に設けられ、前記第２吸入用開口部５３に設けられた弁座５９に前記弁体５６が密接するように当該弁体５６を軸方向他方側へ付勢する構成とされている。
【００４６】
そして、前記吸入側逆止弁１３は、前記ベローズ１１の伸縮動作に応じて、前記付勢部材５７の付勢力により前記弁体５６を前記弁座５９に密接させた閉状態（図３参照）、または、前記付勢部材５７の付勢力に抗して前記弁体５６を前記弁座５９から離間させた開状態（図２参照）をとり得るようになっている。
【００４７】
前記吐出側逆止弁１４は、前記吐出流路２２と前記ポンプ室２５との間に位置するように前記ポンプヘッド１６に設けられている。前記吐出側逆止弁１４は、前記ポンプ室２５から前記吐出流路２２（前記第１流路２３）に向かう流体の一方向への流れのみを許容するように構成されている。
【００４８】
本実施形態において、前記吐出側逆止弁１４は、外部空間（前記ポンプ室２５）に連通する第１吐出用開口部６１と、前記第１吐出用開口部６１と連通する吐出用連通路６２と、前記第１吐出用開口部６１に前記吐出用連通路６２を介して連通しかつ外部空間（前記第１流路２３）に連通し得る第２吐出用開口部６３とを有している。
【００４９】
前記吐出側逆止弁１４は、前記第１吐出用開口部６１が前記ポンプ室２５に面するように軸方向一端部に位置しかつ前記第２吐出用開口部６３が前記吐出流路２２（前記第１流路２３）に面するように軸方向他端部に位置するように配置されて、前記ポンプヘッド１６に取り付けられている。
【００５０】
詳しくは、図２、図３に示すように、前記吐出側逆止弁１４は、弁ケース６５と、弁体６６と、付勢部材（コイルばね等）６７とを備えている。前記弁ケース６５は、前記第１吐出用開口部６１、前記吐出用連通路６２、および、前記第２吐出用開口部６３を含む筒形状を有し、軸方向に延在するように設けられている。
【００５１】
前記弁ケース６５は、前記第１吐出用開口部６１が前記ポンプ室２５に臨むように軸方向一方に向かって開口した状態で、かつ、前記第２吐出用開口部６３が前記吐出流路２２（前記第１流路２３）に臨むように軸方向他方に向かって開口した状態で、前記ポンプヘッド１６に固定されている。
【００５２】
前記弁体６６は、前記弁ケース６５内に軸方向に移動可能に設けられている。前記付勢部材６７は、前記弁ケース６５内に設けられ、前記第１吐出用開口部６１に設けられた弁座６９に前記弁体６６が密接するように当該弁体６６を軸方向一方側へ付勢する構成とされている。
【００５３】
そして、前記吐出側逆止弁１４は、前記ベローズ１１の伸縮動作に応じて、前記付勢部材６７の付勢力により前記弁体６６を前記弁座６９に密接させた閉状態（図２参照）、または、前記付勢部材６７の付勢力に抗して前記弁体６６を前記弁座６９から離間させた開状態（図３参照）をとり得るようになっている。
【００５４】
また、前記吐出側逆止弁１４は、前記ベローズ１１の伸縮方向に関して前記ポンプ室２５に対し前記吸入側逆止弁１３よりも前記ポンプヘッド１６側にずれた位置に配置されている。本実施形態において、前記吐出側逆止弁１４は、前記ベローズ１１の伸縮方向と交差する方向（前記ベローズ１１の径方向）に関して前記吸入側逆止弁１３と並置されている。
【００５５】
前記吸入側逆止弁１３は、前記ポンプボディ１０内において、少なくとも一部が前記ベローズ１１内に位置するように（前記ポンプ室２５の一部を占有するように）前記ポンプヘッド１６から突設されている。なお、前記吸入側逆止弁１３と前記吐出側逆止弁１４とは、同程度の外形寸法を有する樽状に形成されている。
【００５６】
本実施形態において、前記吸入側逆止弁１３は、軸方向一端部側部分が前記ベローズ１１内に収容され、かつ、軸方向他端部側部分が前記ポンプヘッド１６に埋め込まれるように、当該ポンプヘッド１６に取り付けられている。前記ポンプヘッド１６への前記吸入側逆止弁１３の埋込量は半分程度とされている。
と前記吐出側逆止弁１４とは、同程度の外形寸法を有する樽状に形成されている。
【００５７】
なお、前記ポンプヘッド１６から前記ベローズ１１内への前記吸入側逆止弁１３の突出量は、前記ベローズ１１の形状に応じて適宜設定され得る。
【００５８】
前記吐出側逆止弁１４は、その略全体が前記ポンプヘッド１６に埋め込まれるように、当該ポンプヘッド１６に取り付けられている。そして、前記吐出側逆止弁１４は、前記第１吐出用開口部６１の開口面が前記ポンプヘッド１６の第１側部１８の軸方向一端面と揃うように配置されている。
【００５９】
こうして、前記吸入側逆止弁１３および前記吐出側逆止弁１４は、前記吐出側逆止弁１４の軸方向一端部（前記第１吐出用開口部６１）が前記吸入側逆止弁１３の軸方向一端部（前記第１吸入用開口部５１）よりも軸方向他方側（前記ベローズ１１の伸縮方向における前記ポンプヘッド１６側）に位置するようにずれた状態で、前記ポンプボディ１０に内設されている。
【００６０】
したがって、前記吐出側逆止弁１４の第１吐出用開口部６１が、前記ベローズ１１の伸縮状態にかかわらず、前記ベローズ１１の閉塞端部２６に対して、前記吸入側逆止弁１３の第１吸入用開口部５１よりも前記ベローズ１１の伸縮方向に関して隔たった位置（前記ポンプヘッド１６側の位置）に保持されるようになっている。
【００６１】
言い換えれば、前記ポンプ室２５において、前記吐出側逆止弁１４（前記第１吐出用開口部６１）と前記ベローズ１１の閉塞端部２６との間の吐出側領域が、前記吸入側逆止弁１３（前記第１吸入用開口部５１）と前記ベローズ１１の閉塞端部２６との間の吸入側領域よりも大きな容積をもつようになっている。
【００６２】
なお、この際には、前記吐出側逆止弁１４および前記吸入側逆止弁１３を、それぞれ、前記ベローズ１１内（前記ポンプ室２５）において前記第１吸入用開口部５１と前記第１吐出用開口部６１との間の最短の距離ができるだけ大きくなるように配置することが好ましい。
【００６３】
また、本実施形態において、前記吐出側逆止弁１４は、流体の移送時（前記ベローズポンプ１が横方向に設置されたとき）に前記吸入側逆止弁１３よりも鉛直方向Ｖにおける上方に位置するように配置されている（図１参照）。すなわち、前記第１吐出用開口部６１が、前記第１吸入用開口部５１よりも上方に位置するように配置されている。
【００６４】
なお、前記吐出側逆止弁１４は、本実施形態においては前記吐出流路２２と前記ポンプ室２５との間に位置するように前記ポンプヘッド１６に埋め込んでいるが、図４に示すように、前記吐出流路２２のうちの前記第１流路２３の途中に位置するように前記ポンプヘッド１６に埋め込んでもよい。
【００６５】
また、前記吐出側逆止弁１４は、本実施形態においては略全体が前記ポンプヘッド１６内に収まるように前記ポンプヘッド１６に埋め込んでいるが、図５に示すように、一部が前記ポンプヘッド１６内に位置しかつ残部が前記ベローズ１１内に位置するように設けてもよい。
【００６６】
図１に示すように、前記脈動抑制部３は、ケーシング７０と、ベローズ７１とを備えている。前記ケーシング７０は、有底円筒形状を有し、開口部が閉塞されるように前記ポンプヘッド１６の第２側部７２に軸方向他方側から気密に取り付けられている。
【００６７】
前記ベローズ７１は、流体を前記吐出流路２２うちの前記第１流路２３から吸入し、かつ、前記吐出流路２２うちの前記第２流路２４へ吐出し得る構成とされている。前記ベローズ７１は、前記ポンプ部２のベローズ１１と略同一方向に伸縮可能に配置されている。
【００６８】
前記ベローズ７１は、ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂製のものであり、有底円筒形状を有している。前記ベローズ７１は、底部に含まれる閉塞端部７３と、開口部に含まれる環状の開口端部７４と、前記閉塞端部７３と前記開口端部７４とをつなぐ筒状の蛇腹部７５とを備えている。
【００６９】
前記ベローズ７１は、前記ポンプ部２のベローズ１１と略同軸上に配置された状態で前記ケーシング７０に覆われている。そして、前記ベローズ７１は、前記開口端部７４で第２環状係止部材７６により前記ポンプヘッド１６に固定されている。
【００７０】
こうして、前記ベローズ７１は、前記ケーシング７０内において、前記ポンプヘッド１６から軸方向他方側へ突出するように設けられるとともに、その突出基端部となる前記開口端部７４の位置を固定した状態で軸方向に伸長または収縮し得るように設けられている。
【００７１】
また、前記ベローズ７１により、前記ポンプヘッド１６と前記ケーシング７０とよって囲まれてなる内部空間が区画されている。詳しくは、前記ベローズ７１外に気室７７が形成されるとともに、前記ベローズ７１内に液室７８が形成されている。
【００７２】
前記脈動抑制部３は、さらに、自動給排気調整装置７９を備えている。前記自動給排気調整装置７９は、前記ベローズ７１に過度の伸縮変形が起きないようにするために、前記気室７７の気圧（封入圧）と前記液室７８の液圧とをバランスさせ得るように構成されている。
【００７３】
このような構成において、流体を移送するために前記ベローズポンプ１の運転が行われる場合には、たとえば、まず、前記ベローズポンプ１が、前記ポンプ部２における前記ベローズ１１の伸縮方向が横方向（略水平方向）となるように所定の場所に設置される。
【００７４】
次に、前記ポンプ部２において、前記ベローズ１１が収縮状態から所定量伸長した伸長状態となるように前記駆動装置１２が駆動させられる（図２参照）。詳しくは、加圧空気が前記第２空気孔４２を通じて前記第２空気室３２に供給されるように、前記空気供給装置による加圧空気の供給が行われる。
【００７５】
前記ベローズ１１が伸長する際には、前記ポンプ室２５が負圧となって、前記吐出側逆止弁１４が閉状態となる一方、前記吸入側逆止弁１３が開状態となる。したがって、前記ベローズ１１が、流体を前記吸入流路２１から前記吸入側逆止弁１３を通じて前記ポンプ室２５内に吸入することとなる（吸入工程）。
【００７６】
その後、前記駆動装置１２の駆動状態が切り替えられて、前記ベローズ１１が収縮状態となるように前記駆動装置１２が駆動させられる（図３参照）。詳しくは、加圧空気が前記第１空気孔４１を通じて前記第１空気室３１に供給されるように、前記空気供給装置による加圧空気の供給が行われる。
【００７７】
前記ベローズ１１が収縮する際には、前記吸入側逆止弁１３が閉状態となる一方、前記吐出側逆止弁１４が開状態となる。したがって、前記ベローズ１１が、前記ポンプ室２５に流入した流体をここから前記吐出側逆止弁１４を通じて前記吐出流路２２（前記第１流路２３）へ吐出することとなる（吐出工程）。
【００７８】
そして、このような吸入工程と吐出工程とが交互に反復して行われるように、前記駆動装置１２が駆動させられる。こうして、前記ベローズポンプ１は、その運転時に、流体を前記吸入流路２１の接続先から前記吐出流路２２の接続先へ移送できるようになっている。
【００７９】
本実施形態においては、さらに、前記第１流路２３へ吐出された流体は、脈動流となって、前記脈動抑制部３における前記液室７８に送られる。そしてその流体が前記液室７８で一時的に貯溜された後、前記第２流路２４を経て前記吐出流路２２の接続先に移送されることとなる。
【００８０】
この際、前記ポンプ部２による流体の吐出圧が増加傾向にある場合には、流体の吐出圧を吸収すべく、前記液室７８の容積を増大させるように前記ベローズ７１が伸長する。そのため、前記液室７８から送り出される流体の液量は、前記ポンプ部２から前記脈動抑制部３に向かって吐出される液量よりも少なくなる。
【００８１】
そしてこの状態で流体の吐出圧が減少傾向に転じ、これにより前記ベローズ７１の伸長動作により圧縮された前記気室７７の気圧よりも前記液室７８の液圧が低くなると、前記液室７８の容積を減少させるように前記ベローズ７１が収縮する。そのため、前記液室７８から送り出される流体の液量は、前記ポンプ部２から前記脈動抑制部３に向かって吐出される液量よりも多くなる。
【００８２】
このようにして、前記ポンプ部２のベローズ１１の伸縮動作に伴う前記ベローズ７１の伸縮動作により流体の脈動が減衰されつつ、流体の移送が行われるようになっている。
【００８３】
そのうえ、このような前記ベローズポンプ１においては、前記吐出側逆止弁１４が前記吸入側逆止弁１３に対して前述のとおり配置されているので、前記ポンプ室２５において、前記吐出側逆止弁１４に臨む吐出側領域が、前記吸入側逆止弁１３に臨む吸入側領域よりも大きな容積を確保することとなる。
【００８４】
したがって、前記ベローズポンプ１で吸入行程が吐出行程に切り替わったとき、前記ポンプ室２５に吸入された後の流体を前記吸入側逆止弁１３（前記第１吸入用開口部５１）から比較的自由に長距離流動させながら、前記吐出側逆止弁１４（前記第１吐出用開口部６１）に導くことができる。
【００８５】
すなわち、前記ポンプ室２５に流入する流体を効果的に撹拌しながら、前記吐出側逆止弁（前記第１吐出用開口部６１）に到達させることができる。よって、流体の移送時、前記ポンプ室２５において流体が長期にわたり滞留することを抑止して、前記ポンプ室２５での流体の置換効率を向上させることができる。
【００８６】
さらに、本実施形態においては、前記吐出側逆止弁１４が前記ポンプヘッド１６に埋め込まれているので、前記ポンプボディ１０のコンパクト化、流体の流動距離の長距離化、および、流体の流動性の向上を図ることができる。したがって、前記ポンプ室２５において流体をより効果的に撹拌することが可能となる。
【００８７】
また、本実施形態においては、前記吐出側逆止弁１４（前記第１吐出用開口部６１）が前記吸入側逆止弁１３（前記第１吸入用開口部５１）よりも上方に位置するので、流体の吐出時、前記ポンプ室２５の上側領域（即ち、前記吐出用領域の上部）を通過する流体を確保することが可能なる。
【００８８】
したがって、仮に前記ポンプ室２５に吸入される流体に余計な空気が若干量含まれている場合であっても、前記ポンプ室２５の上側領域に空気溜まりが発生しないように、その空気を前記ポンプ室２５から吐出される流体に巻き込まれやすいものとして排出できる。よって、前記ベローズ１１の性能低下を抑止できる。
【００８９】
なお、本発明に係るベローズポンプは、本実施形態においては前記ポンプ部２を備える単胴型のベローズポンプ１としているが、前記ポンプ部２に加えて別のポンプ部を備えるベローズポンプ、即ち複胴型のベローズポンプとすることも可能である。
【符号の説明】
【００９０】
１    ベローズポンプ
１０  ポンプボディ
１１  ベローズ
１２  駆動装置
１３  吸入側逆止弁
１４  吐出側逆止弁
１６  ポンプヘッド
２１  吸入流路
２２  吐出流路
２３  第１流路（吐出流路）
２４  第２流路（吐出流路）
２５  ポンプ室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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