(57)【要約】【課題】把持部が破断した際の粉粒体の散乱を抑制できる把持ツール、把持システム、および把持部の製造方法を提供する。【解決手段】実施形態に係る把持ツールは、内部に粉粒体が設けられた把持部を備える。前記把持部は、可撓性を有する。前記把持ツールは、前記把持部をワークに接触させた状態で、前記把持部の内部を減圧することで前記ワークを把持する。前記把持部は、前記ワークに接触する第１部分と、前記第１部分と対向する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に設けられ、複数の空孔を有する繊維膜と、を有する。前記複数の空孔の少なくとも一部の径は、前記粉粒体の径よりも小さい。前記粉粒体は、前記繊維膜と前記第２部分との間に設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有し、内部に粉粒体が設けられた把持部を備え、
前記把持部をワークに接触させた状態で、前記把持部の内部を減圧することで前記ワークを把持する把持ツールであって、
前記把持部は、
前記ワークに接触する第１部分と、
前記第１部分と対向する第２部分と、
前記第１部分と前記第２部分との間に設けられ、複数の空孔を有する繊維膜と、
を有し、
前記複数の空孔の少なくとも一部の径は、前記粉粒体の径よりも小さく、
前記粉粒体は、前記繊維膜と前記第２部分との間に設けられた把持ツール。
【請求項２】
前記第１部分は、
前記第１部分から前記第２部分に向かう第１方向に窪んだ凹部と、
前記凹部の周りに設けられ、前記第１方向と反対の第２方向に突出した凸部と、
を有し、
前記繊維膜の少なくとも一部は、前記凸部に沿って設けられた請求項１記載の把持ツール。
【請求項３】
前記第１部分と前記第２部分との間の第１空間に連通し、前記第１空間を減圧するための配管が接続される第１ポートと、
前記凹部および前記凸部に囲まれた第２空間に連通し、前記第２空間を減圧するための配管が接続される第２ポートと、
をさらに備えた請求項１または２に記載の把持ツール。
【請求項４】
前記第１部分の外周および前記第２部分の外周を保持する保持部をさらに備え、
前記把持部は、前記第１部分と前記第２部分とを結ぶ線方向に変形可能に構成された請求項１〜３のいずれか１つに記載の把持ツール。
【請求項５】
アームを有するロボット機構と、
前記アームの先端に取り付けられた、請求項１〜４のいずれか１つに記載の前記把持ツールと、
前記第１部分と前記第２部分との間の第１空間に接続され、前記第１空間を減圧するための第１減圧装置と、
前記ロボット機構および前記第１減圧装置の動作を制御するコントローラと、
を備えた把持システム。
【請求項６】
前記把持システムは、前記第１空間における第１パラメータを検出する検出装置を備え、
前記第１パラメータは、前記第１空間における圧力、または前記第１空間を流れる気体の流量であり、
前記コントローラは、前記検出装置によって検出される前記第１パラメータが所定の閾値を超えた場合に、前記把持部に異常が発生したものと判定する請求項５記載の把持システム。
【請求項７】
前記検出装置によって検出された過去の前記第１パラメータを記憶する記憶装置をさらに備え、
前記コントローラは、前記閾値を、前記過去の第１パラメータを基に設定する請求項６記載の把持システム。
【請求項８】
可撓性を有し、内部に粉粒体が設けられる把持部の製造方法であって、
互いに嵌合するオス型の第１モールドおよびメス型の第２モールドの一方の上に、複数の繊維を含む繊維膜を形成し、前記繊維膜を前記第１モールドおよび前記第２モールドの前記一方から剥離する工程と、
前記第１モールドおよび前記第２モールドの一方の上に高分子材料を含む樹脂材料を配し、前記第１モールドと前記第２モールドとを嵌合し、前記第１モールドと前記第２モールドとの間に充填された前記樹脂材料を硬化させる工程と、
硬化させた前記樹脂材料の前記第１モールドが配されていた側の面に、前記繊維膜を貼り付ける工程と、
を備えた製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、把持ツール、把持システム、および把持部の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
内部に粉粒体が設けられた把持部を備える把持ツールがある。この把持ツールにおいて、把持部が破断し、内部の粉粒体が周りに散乱すると、把持ツールの修復だけでなく、把持ツールの周囲の清掃も必要となり、作業効率を大きく低下させる。
このため、把持部が破断した際の粉粒体の散乱を抑制できる把持ツールの開発が望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−１７６４７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、把持部が破断した際の粉粒体の散乱を抑制できる把持ツール、把持システム、および把持部の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係る把持ツールは、内部に粉粒体が設けられた把持部を備える。前記把持部は、可撓性を有する。前記把持ツールは、前記把持部をワークに接触させた状態で、前記把持部の内部を減圧することで前記ワークを把持する。前記把持部は、前記ワークに接触する第１部分と、前記第１部分と対向する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に設けられ、複数の空孔を有する繊維膜と、を有する。前記複数の空孔の少なくとも一部の径は、前記粉粒体の径よりも小さい。前記粉粒体は、前記繊維膜と前記第２部分との間に設けられている。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】実施形態に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図２】実施形態に係る把持ツールの把持部を表す斜視断面図である。
【図３】実施形態に係る把持ツールによる把持方法を表す断面図である。
【図４】実施形態に係る把持ツールの把持メカニズムを表す断面図である。
【図５】実施形態に係る把持ツールの把持部の製造工程の一部を表す工程断面図である。
【図６】実施形態の第１変形例に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図７】実施形態の第２変形例に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図８】実施形態の第３変形例に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図９】実施形態に係る把持システムを表す概略図である。
【図１０】実施形態に係る把持システムの検出装置による検出結果の一例を表すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
図１は、実施形態に係る把持ツール１を表す斜視断面図である。
実施形態に係る把持ツール１は、可撓性を有する把持部１０を備える。把持部１０の内部には、粉粒体１５が設けられている。
【０００９】
より具体的には、把持部１０は、把持対象のワークに接触する第１部分１１と、第１部分１１と対向する第２部分１２と、第１部分１１と第２部分１２との間に設けられた繊維膜１３と、を有する。粉粒体１５は、第２部分１２と繊維膜１３との間に設けられている。把持部１０は、第１部分１１と第２部分１２とが、例えば、接着剤を介して接合されて構成されている。第１部分１１と第２部分１２とは、熱圧着により接合されていてもよい。
【００１０】
繊維膜１３は、微小な複数の樹脂繊維が膜状に絡み合わさったものであり、それぞれの樹脂繊維は、５０ｎｍ〜１０μｍ程度の直径を有する。繊維膜１３は、多数の空孔を有するが、空孔の径は、粉粒体１５の径よりも小さい。このため、粉粒体１５は、第１部分１１と繊維膜１３との間には移動せず、第２部分１２と繊維膜１３との間に留まる。
複数の樹脂繊維は、例えば、不特定の方向に延びている。または、複数の樹脂繊維は、特定の方向に延びていても良い。あるいは、複数の樹脂繊維の一部が１つの方向に延び、複数の樹脂繊維の他の一部が他の方向に延びていても良い。
【００１１】
第１部分１１の外周および第２部分１２の外周は、保持部２０によって保持されている。これにより第１部分１１と第２部分１２との間の第１空間ＳＰ１が、外部の空間と隔てられる。
【００１２】
繊維膜１３は、第１部分１１の内面に沿って設けられる。繊維膜１３は、例えば、第１部分１１の内面に接着されている。または、繊維膜１３の一部が第１部分１１の内面に接着され、繊維膜１３の他の一部が第１部分１１と離間して設けられていても良い。
【００１３】
保持部２０は、例えば円環状を呈している。保持部２０によって把持部１０の外周のみが保持されることで、把持部１０は、保持部２０の内側において第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向に変形することができる。
【００１４】
第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向は、例えば、上下方向である。第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向は、第１部分１１から第２部分１２に向かう第１方向（上方）と、第２部分１２から第１部分１１に向かう第２方向（下方）と、を含む。以下では、第１部分１１と第２部分１２との位置関係に基づくこれらの「上下方向」「上方」「下方」を用いて、各実施形態の説明を行う。
【００１５】
一例として、保持部２０は、第１フランジ２１および第２フランジ２２を有する。第１フランジ２１は、第１部分１１の外周下面に当接し、第２フランジ２２は、第２部分１２の外周上面に当接する。第１フランジ２１と第２フランジ２２を、ネジ等の締結具２５によって締結することで、把持部１０が保持される。
【００１６】
図２は、実施形態に係る把持ツール１の把持部１０を表す斜視断面図である。
なお、図２では、第１部分１１および繊維膜１３と、第２部分１２と、が分離して表されている。
【００１７】
図２に表すように、第１部分１１は、凹部１１ｒおよび凸部１１ｐを有する。凹部１１ｒは、上方に向けて窪んでおり、把持部１０の中心側に設けられている。凸部１１ｐは、下方に向けて突出しており、凹部１１ｒの周りに設けられている。
【００１８】
凹部１１ｒは第２部分１２と接し、凸部１１ｐは第２部分１２と上下方向において離間している。従って、図１および図２に例示した把持ツール１では、第１空間ＳＰ１は、凸部１１ｐと第２部分１２との間に形成される。繊維膜１３は、凸部１１ｐの内面に接着される。
【００１９】
なお、繊維膜１３の形状や配置は、図１および図２に表した例に限定されない。例えば、繊維膜１３は、凸部１１ｐの内面の一部にのみ設けられていても良い。あるいは、繊維膜１３の一部が、凹部１１ｒと第２部分１２との間に設けられていても良い。繊維膜１３の他の一部が、第１部分１１の外周と第２部分１２の外周との間に挟み込まれていても良い。
【００２０】
第１部分１１の下方には、凹部１１ｒおよび凸部１１ｐによって囲まれた第２空間ＳＰ２が形成される。具体的には、第２空間ＳＰ２の上方が凹部１１ｒによって覆われており、第２空間ＳＰ２の側方が凸部１１ｐによって囲まれている。第２空間ＳＰ２の下方は開けている。後述するように、把持対象のワークが第２空間ＳＰ２の下方に位置することで、第２空間ＳＰ２が塞がれる。
【００２１】
図１および図２に表すように、把持部１０は、第１ポート３１および第２ポート３２をさらに有する。第１ポート３１は、第１空間ＳＰ１と連通している。第２ポート３２は、第１部分１１の凹部１１ｒおよび第２部分１２を貫通し、第２空間ＳＰ２と連通している。第１ポート３１には、第１空間ＳＰ１を減圧するための第１配管４１が接続される。第２ポート３２には、第２空間ＳＰ２を減圧するための第２配管４２が接続される。
【００２２】
第１部分１１および第２部分１２は、樹脂などの可撓性を有する材料で構成される。繊維膜１３が空孔を有しているのに対して、第１部分１１および第２部分１２は空孔を有していない。このため、第１部分１１および第２部分１２によって把持部１０の気密性が保持される。
【００２３】
図３は、実施形態に係る把持ツール１による把持方法を表す断面図である。
図３では、把持対象のワークＷが、三角形が３個連接した断面を有する場合を例示している。
【００２４】
まず、把持部１０とワークＷの位置合わせを行う。把持部１０とワークＷの位置合わせが完了すると、図３（ａ）に表すように、把持部１０をワークＷに向かって降下させる。
【００２５】
把持部１０は可撓性を有する。このため、把持部１０がワークＷに接触すると、図３（ｂ）に表すように、第１部分１１の凸部１１ｐが、ワークＷを包み込むように外方に押し広げられる。また、このとき、開けていた第２空間ＳＰ２が、ワークＷによって塞がれる。
【００２６】
次に、把持部１０の降下を停止させ、図３（ｃ）に表すように、第１ポート３１および第１配管４１を通して第１空間ＳＰ１を減圧する。第１空間ＳＰ１は、例えば０．１気圧程度に減圧される。このとき、第１空間ＳＰ１の粉粒体１５が凝集して固化する。これにより、ワークＷを包み込むように密着している把持部１０の形状が固定され、ワークＷを把持する力が生じる。
【００２７】
なお、第１部分１１と繊維膜１３が離間している場合、繊維膜１３の空孔を通して、第１部分１１と繊維膜１３との間の空間が減圧され、第１部分１１が繊維膜１３と密着する。従って、この場合も同様に、把持部１０の形状が固定され、ワークＷを把持することができる。
【００２８】
次に、図３（ｄ）に表すように、第２ポート３２および第２配管４２を通して第２空間ＳＰ２を減圧する。第２空間ＳＰ２は、例えば０．１気圧程度に減圧される。これにより、ワークＷが、第２空間ＳＰ２に向けて吸着され、把持力がさらに高められる。
【００２９】
その後、ワークＷを把持する把持ツール１を上昇させ、把持ツール１を水平方向に移動させる。ワークＷを所望の位置まで搬送した後は、第１空間ＳＰ１および第２空間ＳＰ２を大気開放することで、把持力が無くなり、ワークＷが把持ツール１から放れる。以上の方法により、把持対象のワークＷを、所望の位置まで搬送することができる。
【００３０】
図４は、実施形態に係る把持ツール１の把持メカニズムを表す断面図である。
なお、図４では、把持ツール１の把持部１０が一部簡略化して表されている。
【００３１】
実施形態に係る把持ツール１では、図４（ａ）に表すように、把持部１０の外周が保持部２０によって保持されている。従って、図４（ｂ）に表すように、把持部１０をワークＷに接触させた際に、把持部１０がワークＷに対して上方に向けて変形することができる。
【００３２】
この状態で、第１ポート３１および第２ポート３２を通して吸気することで、図４（ｃ）に表すように、把持部１０がさらにワークＷに対して上方に向けて変形しつつ、把持部１０とワークＷとの接触面積が増加していく。
【００３３】
このように、把持部１０が、ワークＷに対して上方に向けて変形可能に保持されることで、把持部１０によってワークＷを把持した際の把持力を高めることができる。
【００３４】
図５は、実施形態に係る把持ツール１の把持部１０の製造工程の一部を表す工程断面図である。
ここでは、第１部分１１の全面に沿って繊維膜１３が設けられる場合について説明する。
【００３５】
まず、第１部分１１の形状に沿った１組のモールドＭ１およびＭ２を用意する。次に、図５（ａ）に表すように、例えばオス型のモールドＭ１（第１モールド）の表面に、繊維膜１３を形成する。繊維膜１３は、例えば、エレクトロスピニング法を用いて形成される。続いて、形成された繊維膜１３を、モールドＭ１から剥離する。これにより、モールドＭ１およびＭ２の形状に沿った繊維膜１３が形成される。
【００３６】
繊維膜１３は、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ナイロン、アラミド、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリフッ化ビニリデン、ポリエーテルスルホンなどの高分子材料を含む。
【００３７】
次に、図５（ｂ）に表すように、例えばメス型のモールドＭ２（第２モールド）に、第１部分１１の原料となる高分子材料を含む樹脂材料ＲＭを配する。このとき、樹脂材料ＲＭは、液状でもゲル状でも良い。樹脂材料ＲＭは、シリコーン樹脂、ゴム材料、アクリル樹脂などの高分子材料を含む。
【００３８】
続いて、モールドＭ１およびＭ２を嵌合させ、押圧する。これにより、第１部分１１の樹脂材料ＲＭが広がり、モールドＭ１とＭ２との間に充填される。この状態で、樹脂材料ＲＭを硬化させることで、第１部分１１が作製される。
【００３９】
次に、図５（ｃ）に表すように、作製された第１部分１１に、先に作製した繊維膜１３を貼り付ける。このとき、第１部分１１のモールドＭ１が配されていた側の面に、繊維膜１３を貼り付ける。続いて、これらの第１部分１１および繊維膜１３の内側に粉粒体１５を配し、第２部分１２と重ね合わせて把持部１０を作製する。粉粒体１５には、例えば、マイクロビーズ、シリコーン樹脂ビーズ、コーヒ豆、ガラスビーズ等を用いることができる。その後、保持部２０によって把持部１０を保持することで、図１および図２に表した把持ツール１が作製される。
【００４０】
なお、ここでは、繊維膜１３を形成した後に第１部分１１を作成したが、これらの形成工程の順序は任意である。また、図５（ａ）に表す工程において、繊維膜１３の形状に応じて、モールドＭ１の表面の一部にのみ繊維膜１３を形成することも可能である。
【００４１】
ここで、本実施形態による効果について説明する。
上述したように、把持ツール１は、把持部１０をワークＷに接触させ、内部の粉粒体を凝集させてワークＷを搬送する。このため、把持部１０には内部および外部から大きな応力および摩擦力が加わる。把持部１０に加わるこれらの力によって把持部１０にき裂が生じ、破断すると、内部に設けられている粉粒体が散乱してしまう。従って、把持部１０が破断すると、把持ツール１の修復だけでなく、把持ツール１の周囲の清掃にも時間を要し、作業効率を大きく低下させる。
【００４２】
この課題に対して、本実施形態では、把持部１０において、第１部分１１と第２部分１２との間に繊維膜１３を設けている。把持部１０に繊維膜１３を設け、第２部分１２と繊維膜１３との間に粉粒体１５を設けられることで、粉粒体１５は、繊維膜１３によって支持される。このため、第１部分１１が破断した場合でも、粉粒体１５の散乱が抑制され、把持部１０を修復することで把持ツール１による作業を再開することができる。
【００４３】
また、繊維膜１３は空孔を有するため、第１ポート３１から空気を吸引した際に、第１部分１１と繊維膜１３との間の空気も吸引され、粉粒体１５が繊維膜１３を介して第１部分１１に接触する。従って、繊維膜１３を設けた場合であっても、把持ツール１による把持力の低下を抑制することができる。
【００４４】
さらに、繊維膜１３の空孔の径は、粉粒体１５の径よりも小さい。このため、第２部分１２と繊維膜１３との間に設けられた粉粒体が、第１部分１１と繊維膜１３との間に移動し、第１部分１１が破れた際に外部に散乱してしまうことをより確実に抑えることができる。
【００４５】
このように、本実施形態によれば、把持部１０による把持力の低下を抑制しつつ、把持部１０の破断時における粉粒体１５の散乱を抑制できる把持ツールを提供することが可能となる。
【００４６】
本実施形態によれば、把持部１０が破断した際でも、繊維膜１３によって粉粒体１５の散乱を抑制することが可能である。また、本実施形態においては、把持部１０は、ワークＷを把持するときに、ワークＷに対して上方に向けて変形可能に構成され、把持力が高められるように構成されている。従って、本実施形態を適用することで、把持ツール１において、把持部１０の破断を抑制しつつ、把持力を高めることが可能となる。
【００４７】
なお、本実施形態に係る把持ツールは、図１および図２に表したものに限定されず、以下で説明するように、種々の変形が可能である。以下で説明する各把持ツールにおいても、把持部１０が、繊維膜１３を有することで、き裂進展時間を延ばすことができる。
【００４８】
図６は、実施形態の第１変形例に係る把持ツール２を表す斜視断面図である。
図６に表した把持ツール２は、保持部２０を備えていない点で把持ツール１と異なる。このため、第１部分１１と第２部分１２は、それぞれの外周において、互いに接着されて固定されている。
【００４９】
図７は、実施形態の第２変形例に係る把持ツール３を表す斜視断面図である。
図７に表した把持ツール３は、把持部１０の形状および第２ポート３２の有無について、把持ツール１と差異を有する。
【００５０】
把持部１０において、第１部分１１は下方に向けて凸に湾曲しており、第２部分１２は上方に向けて凸に湾曲している。粉粒体は、第１部分１１と第２部分１２との間の第１空間ＳＰ１に設けられている。
【００５１】
図１に表した把持ツール１と異なり、把持ツール３においては、第１部分１１が凹部１１ｒおよび凸部１１ｐを有していない。このため、把持ツール３では、第１部分１１の下方に第２空間ＳＰ２が形成されておらず、第２ポート３２も設けられていない。しかし、本変形例に係る把持ツール３においても、図３に表したメカニズムと同様に、ワークＷを把持した際に把持部１０がワークＷに対して上方に向けて変形可能であり、把持部１０による把持力を高めることができる。
【００５２】
図８は、実施形態の第３変形例に係る把持ツール４を表す斜視断面図である。
図８に表した把持ツール４は、保持部２０を備えていない点で、把持ツール３と異なる。第１部分１１と第２部分１２は、それぞれの外周において、互いに接着されて固定されている。
【００５３】
図９は、実施形態に係る把持システム５を表す概略図である。
実施形態の把持システム５は、把持ツール１、搬送ロボット９０、第１減圧装置９１、第２減圧装置９２、検出装置９３、記憶装置９４、およびコントローラ９５を備える。
【００５４】
搬送ロボット９０は、アーム９０ａを有する。アーム９０ａは、例えば複数の関節を有し、先端に把持ツール１が取り付けられている。搬送ロボット９０は、コントローラ９５からの指令に従ってアーム９０ａを動作させ、ワークＷの把持および搬送を行う。
【００５５】
第１減圧装置９１および第２減圧装置９２は、真空ポンプ等を有する。第１減圧装置９１は、図１に表した把持ツール１の第１配管４１と接続される。第２減圧装置９２は、把持ツール１の第２配管４２と接続される。コントローラ９５からの指令に従って第１減圧装置９１および第２減圧装置９２が駆動することで、第１空間ＳＰ１および第２空間ＳＰ２が減圧されたり、大気開放されたりする。
【００５６】
検出装置９３は、第１空間ＳＰ１と繋がっており、第１空間ＳＰ１における圧力および第１空間ＳＰ１を流れる気体の流量のいずれか（第１パラメータ）を、直接的または間接的に検出する。図９に表した例では、検出装置９３は、第１空間ＳＰ１と第１減圧装置９１との間の配管に接続され、この配管における圧力または流量を検出する。なお、把持システム５は、第１空間ＳＰ１における圧力と流量の両方を検出するために、複数の検出装置を備えていても良い。
【００５７】
検出装置９３は、検出結果をコントローラ９５に向けて出力する。コントローラ９５は、検出装置９３による検出結果に異状が認められた場合に、その旨を把持システム５の管理者に向けて報知したり、把持システム５の動作を停止させたりする。
【００５８】
記憶装置９４は、ネットワークハードディスク、サーバファイル、または検出装置９３に付帯されたハードディスクなどである。記憶装置９４は、検出装置９３によって検出された圧力または流量を収集し、記憶する。
【００５９】
コントローラ９５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）や、ＲＯＭ（Read Only Memory）、不揮発性のフラッシュメモリなどを有する。ＣＰＵでは、コントローラ９５における各種演算処理が実行される。ＲＯＭには、把持システム５の動作に必要な各種制御アリゴリズムや各種定数等が記憶される。フラッシュメモリには、ワークＷの搬送手順や、搬送状況等が適宜記憶して保存される。
【００６０】
コントローラ９５は、フラッシュメモリに記憶されている搬送手順に従って、搬送ロボット９０、第１減圧装置９１、第２減圧装置９２、および検出装置９３に指令を送出し、これらの動作を制御する。
【００６１】
把持システム５が、把持ツール１を備えることで、把持部１０の破断時における粉粒体１５の散乱を抑制することが可能となる。
【００６２】
なお、実施形態に係る把持システム５は、把持ツール１に代えて、上述した変形例に係る把持ツール２〜４のいずれかを備えていても良い。把持システム５が把持ツール３または４を備える場合、把持システム５は、第２減圧装置９２を備えていてなくても良い。
【００６３】
次に、図１０を参照しつつ、実施形態に係る把持システム５における圧力または流量の異常値の検出方法について説明する。ここでは、検出装置９３によって第１空間ＳＰ１における圧力を検出する場合について説明する。
【００６４】
図１０は、実施形態に係る把持システム５の検出装置９３による検出結果の一例を表すグラフである。
図１０において、横軸は時間を表し、縦軸は各時間における圧力の検出結果を表す。
【００６５】
コントローラ９５は、第１減圧装置９１によって第１空間ＳＰ１が減圧されているときに、検出装置９３によって所定の閾値を超える大きな圧力が検出された場合に、把持部１０に異常が発生したものと判定する。
【００６６】
このときの閾値は、例えば、現在と、現在から所定時間だけ過去の時刻と、の間の複数の検出結果を基に設定される。または、閾値は、直近の所定回数の検出結果を基に設定されても良い。
【００６７】
具体的な一例として、コントローラ９５は、記憶装置９４を参照し、図１０のグラフ中の左側に表すように、直近の所定回数の検出結果を抽出し、それらの平均値Ａ１を算出する。そして、算出された平均値Ａ１に所定の値を加えたものを閾値Ｔ１として用いる。この方法によれば、検出装置９３で新たな圧力が検出されるたびに、平均値Ａ１および閾値Ｔ１も変化していく。
【００６８】
減圧中の把持部１０にき裂が生じ、第１空間ＳＰ１に空気が流入すると、検出装置９３によって検出される圧力が大きく上昇する。検出装置９３で検出された圧力が閾値Ｔ１を超えると、コントローラ９５は、把持部１０に異常が発生したものと判定する。
【００６９】
また、一般的に、減圧および大気開放が繰り返される真空部品は、使用期間が長くなるにつれて気密性能が低下し、減圧時の到達圧力も高くなっていく。従って、図１０のグラフ中の右側に表すように、時間の経過とともに、検出装置９３で検出される圧力も増加していく。従って、閾値Ｔ１が不変の場合、把持システム５の使用期間が長くなると、把持システム５の通常運転時における圧力が異常と判定される可能性がある。
【００７０】
この点について、本実施形態では、コントローラ９５が、記憶装置９４に記憶された検出結果に基づいて閾値を設定する。このため、把持システム５を長期間使用し、第１空間ＳＰ１の到達圧力が変化した場合でも、把持部１０における異常の発生をより精度よく判定することが可能となる。
【００７１】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００７２】
１〜４ 把持ツール、  ５ 把持システム、  １０ 把持部、  １１ 第１部分、  １１ｐ 凸部、  １１ｒ 凹部、  １２ 第２部分、  １３ 繊維膜、  １５ 粉粒体、  ２０ 保持部、  ３１ 第１ポート、  ３２ 第２ポート、  ９０ 搬送ロボット、  ９１ 第１減圧装置、  ９２ 第２減圧装置、  ９３ 検出装置、  ９４ 記憶装置、  ９５ コントローラ、  ＳＰ１ 第１空間、  ＳＰ２ 第２空間、  Ｗ ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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