(57)【要約】      （修正有）【課題】外力により筐体が受ける回転トルクによりボンネットに慣性力が発生しても、筐体とボンネットとの相対位置の変更を防止できる弁装置を提供する。【解決手段】弁装置は、流路ＧＰが形成された筐体基部４と、前記流路と交差する方向に移動して前記流路の開口面積を制御する弁体と、前記流路から径方向に広がり前記弁体が退避する空洞部２１が設けられ、前記筐体に着脱可能に取り付けられたボンネット２０と、外力により前記筐体基部が受ける回転トルクにより前記ボンネットに発生する慣性力を受け止める負荷受け部１３，２５とを備える。【選択図】図３
2018112288.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路が形成された筐体と、
前記流路と交差する方向に移動して前記流路の開口面積を制御する弁体と、
前記流路から径方向に広がり前記弁体が退避する空洞部が設けられ、前記筐体に着脱可能に取り付けられたボンネットと、
外力により前記筐体が受ける回転トルクにより前記ボンネットに発生する慣性力を受け止める負荷受け部とを備える弁装置。
【請求項２】
請求項１に記載の弁装置において、
前記負荷受け部は、前記筐体と前記ボンネットとの嵌合部である弁装置。
【請求項３】
請求項２に記載の弁装置において、
前記嵌合部は、前記筐体および前記ボンネットの一方に設けられた凹部と、前記筐体および前記ボンネットの他方に設けられて前記凹部と嵌合する突部とを有する弁装置。
【請求項４】
請求項３に記載の弁装置において、
前記筐体は、前記ボンネットが取り付けられる第１の取付面を有し、
前記ボンネットは、前記第１の取付面と対向して前記筐体に取り付けられる第２の取付面を有し、
前記凹部は、前記第１の取付面および前記第２の取付面の一方に設けられ、
前記突部は、前記第１の取付面および前記第２の取付面の他方に設けられる弁装置。
【請求項５】
請求項４に記載の弁装置において、
前記凹部および前記突部は、前記流路の延在方向および前記径方向と直交する方向の長さが、前記延在方向の長さよりも長い弁装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空処理装置の真空チャンバにターボ分子ポンプなどの真空ポンプを装着する場合には、一般的に真空バルブを介在させる。特許文献１には、このような真空バルブが開示されている。
特許文献１に記載の真空バルブは、気体の流路が形成された第１の筐体と、弁体と、流路から退避した弁体を覆う第２の筐体とを有する。第２の筐体は、第１の筐体の側面に取り付けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第５５７７７０７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ターボ分子ポンプではロータが数万r.p.mで高速回転しており、回転中にロータが破壊した場合には、ロータの回転エネルギーによって、静止側（例えばポンプケーシング）に回転方向の大きな力（衝撃力）が伝達される。この衝撃力がポンプケーシングを介して真空バルブの第１の筐体に伝達されると、第２の筐体の慣性に起因する力によって第１の筐体と第２の筐体との相対位置を変更しようとする大きな力が作用する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）請求項１に記載の弁装置は、流路が形成された筐体と、前記流路と交差する方向に移動して前記流路の開口面積を制御する弁体と、前記流路から径方向に広がり前記弁体が退避する空洞部が設けられ、前記筐体に着脱可能に取り付けられたボンネットと、外力により前記筐体が受ける回転トルクにより前記ボンネットに発生する慣性力を受け止める負荷受け部とを備える。
（２）請求項２に記載の弁装置は、請求項１に記載の弁装置において、
前記負荷受け部は、前記筐体と前記ボンネットとの嵌合部である。
（３）請求項３に記載の弁装置は、請求項２に記載の弁装置において、前記嵌合部は、前記筐体および前記ボンネットの一方に設けられた凹部と、前記筐体および前記ボンネットの他方に設けられて前記凹部と嵌合する突部とを有する。
（４）請求項４に記載の弁装置は、請求項３に記載の弁装置において、前記筐体は、前記ボンネットが取り付けられる第１の取付面を有し、前記ボンネットは、前記第１の取付面と対向して前記筐体に取り付けられる第２の取付面を有し、前記凹部は、前記第１の取付面および前記第２の取付面の一方に設けられ、前記突部は、前記第１の取付面および前記第２の取付面の他方に設けられる。
（５）請求項５に記載の弁装置は、請求項４に記載の弁装置において、前記凹部および前記突部は、前記流路の延在方向および前記径方向と直交する方向の長さが、前記延在方向の長さよりも長い。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、外力により筐体が受ける回転トルクによりボンネットに慣性力が発生しても、この慣性力を負荷受け部で受け止めることができる。これにより、筐体とボンネットとの相対位置の変更を防止でき、弁装置に不具合が生じることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施の形態の真空バルブと真空装置と真空ポンプとを示す図である。
【図２】真空バルブの斜視図である。
【図３】（ａ）はボンネットが取り外された筐体基部の模式的な斜視図であり、（ｂ）は筐体基部から取り外されたボンネットの模式的な斜視図である。
【図４】第２の実施の形態の真空バルブの斜視図である。
【図５】第３の実施の形態の真空バルブの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図１から図３を参照して、弁装置の一例としての真空バルブの一実施の形態を説明する。図１は、本実施の形態の真空バルブと真空装置と真空ポンプとを示す図である。真空ポンプ２００は、たとえばターボ分子ポンプであり、真空バルブ１００を介して真空装置３００に接続されている。真空ポンプ２００のポンプケーシング２０３には、吸気口フランジ２０４が設けられている。吸気口フランジ２０４は、真空バルブ１００の下フランジ６に、ボルトによって接続されている。真空装置３００の真空容器３０２には排気フランジ３０３が設けられている。排気フランジ３０３は、真空バルブ１００の上フランジ３に、ボルトによって接続されている。真空ポンプ２００のポンプ本体２０１は真空装置３００の装置フレーム３０１に取り付けられている。真空ポンプ２００、真空バルブ１００、および排気フランジ３０３は、真空ポンプ２００の不図示のロータの回転軸ＡＸに沿って直列に接続されている。
【０００９】
図２は、真空バルブ１００の斜視図である。真空バルブ１００は、筐体２と、筐体２内においてスライド駆動されるスライドプレート、すなわち弁体８と、弁体８の駆動部１０とを備えている。筐体２は、筐体基部４と、筐体基部４にボルトで取り付けられたボンネット２０とを備えている。筐体基部４の一端にはボンネット２０が着脱可能に設けられている。筐体基部４の上面には、上述した上フランジ３が形成されている。図１に示すように、筐体基部４の下面には、上述した下フランジ６が形成されている。
【００１０】
筐体基部４には気体流路ＧＰが形成されている。気体流路ＧＰを通過する気体の流量は、駆動部１０により弁体８を全閉角度位置から全開角度位置の任意の角度位置に移動させて気体流路ＧＰの開口面積を制御することで調節される。
ボンネット２０は、気体流路ＧＰから退避した弁体８を収納する弁体収納部２１を有する。弁体収納部２１は、気体流路ＧＰから径方向に広がり、弁体８が退避する空洞部である。
【００１１】
ボンネット２０は、筐体基部４と締結されているボルト３１（図３参照）を外すことで、筐体２から取り外すことができる。図３（ａ）は、ボンネット２０が取り外された筐体基部４の模式的な斜視図であり、図３（ｂ）は、筐体基部４から取り外されたボンネット２０の模式的な斜視図である。ボンネット２０をこのように着脱可能として筐体２を分割可能とすることで、真空バルブ１００を真空容器３０２および真空ポンプ２００に取り付けた状態で、弁体８などを交換することが可能となる。なお、図３（ａ）では、弁体８等の記載を省略している。
説明の便宜上、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、真空ポンプ２００の不図示のロータの回転軸ＡＸに沿った方向をｚ方向とし、回転軸ＡＸからボンネット２０に向かう径方向をｘ方向とし、ｚ方向およびｘ方向に直交する方向をｙ方向とする。なお、気体流路ＧＰの延在方向は、ロータの回転軸ＡＸの延在方向、すなわちｚ方向と一致する。
【００１２】
図３（ａ）に示すように、筐体基部４は、ボンネット２０が取り付けられる基部側取付面１１を有する。基部側取付面１１はｙｚ平面と平行である。基部側取付面１１には、移動する弁体８が通過する開口１２が設けられている。また、基部側取付面１１には、開口１２の外側に、基部側取付面１１からｘ方向に向かって突出する負荷受け突部１３が形成されている。負荷受け突部１３については、後で詳述する。筐体基部４には、ボルト３１が螺合される雌ねじ部１４が設けられている。
【００１３】
図３（ｂ）に示すように、ボンネット２０は、筐体基部４の基部側取付面１１と対向して筐体基部４に取り付けられるボンネット側取付面２２を有する。ボンネット側取付面２２はｙｚ平面と平行である。ボンネット側取付面２２には、弁体収納部２１の開口２３が設けられている。また、ボンネット側取付面２２には、開口２３の外側にシール溝２４が形成されている。シール溝２４には、不図示のシール部材が嵌め込まれる。ボンネット側取付面２２には、シール溝２４の外側に、ボンネット側取付面２２からｘ方向に向かって凹んでいる負荷受け凹部２５が形成されている。負荷受け凹部２５については、後で詳述する。ボンネット２０には、ボルト３１が挿通される貫通孔２６が設けられている。
【００１４】
ボンネット２０は、基部側取付面１１の開口１２とボンネット側取付面２２の開口２３とが対向するように基部側取付面１１とボンネット側取付面２２とを当接させ、ボルト３１により筐体基部４に取り付けられる。なお、シール溝２４に嵌め込まれた不図示のシール部材は基部側取付面１１とボンネット側取付面２２との間をシールする。また、ボンネット２０が筐体基部４に取り付けられると、筐体基部４の負荷受け突部１３は負荷受け凹部２５と嵌合する。
【００１５】
−−−負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５について−−−
定常運転時に真空ポンプ２００の不図示のロータは数万ｒｐｍで高速回転している。そのような高速回転時に、何らかの原因でロータとステータ側が接触した場合や、ロータが破損した場合には、ポンプケーシング２０３に対してロータの回転方向に衝撃力が作用する。この衝撃力によって回転軸ＡＸを中心に吸気口フランジ２０４を回転させるようなトルクが発生し、吸気口フランジ２０４が回転移動する。この回転移動により、吸気口フランジ２０４に接続されている真空バルブ１００も同方向に回転移動しようとする。
【００１６】
このように、外力によって真空バルブ１００が気体流路ＧＰの延在方向を中心とした回転トルクを受けると、気体流路ＧＰに対して径方向外側に設けられた、すなわち、回転軸ＡＸから偏心した位置にあるボンネット２０に慣性力が発生する。この慣性力は、基部側取付面１１およびボンネット側取付面２２に沿って、すなわち、図３に示したｙ方向に沿って筐体基部４とボンネット２０とを互いにずらそうとする力となって作用する。したがって、従来の真空バルブでは、筐体基部にボンネットを固定するボルトに大きな剪断力が加わり、ボルトが破断してしまうおそれがあった。
特に、ボンネット２０が鋳物製であった場合には、ボンネット２０が製缶物であった場合と比べて重量が重くなる傾向にあり、上述した慣性力も大きくなる傾向にある。
【００１７】
そこで、本実施の形態では、上述のようにボンネット２０に発生する慣性力を負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５で受け止める。以下、負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５について、詳細に説明する。
図３（ａ）に示すように、負荷受け突部１３は、たとえば直方体形状を呈する突部である。図３（ｂ）に示すように、負荷受け凹部２５は、負荷受け突部１３と嵌合するように設けられた、たとえば直方体形状を呈する凹部である。ボンネット２０が筐体基部４に取り付けられると、負荷受け突部１３のｙ方向に面した側面１３ａ、１３ａは、負荷受け凹部２５のｙ方向に面した側面２５ａ、２５ａと対向する。負荷受け突部１３の側面１３ａ、１３ａと負荷受け凹部２５の側面２５ａ、２５ａとの間には、所定のクリアランスが存在するため、負荷受け突部１３の側面１３ａ、１３ａと負荷受け凹部２５の側面２５ａ、２５ａとは僅かに離間している。
【００１８】
上述したように、外力によって真空バルブ１００が気体流路ＧＰの延在方向を中心とした回転トルクを受けると、ボンネット２０の慣性力により筐体基部４とボンネット２０とが上述したクリアランス分だけｙ方向に沿ってずれて、負荷受け突部１３の一方の側面１３ａと負荷受け凹部２５の一方の側面２５ａとが当接する。負荷受け突部１３の一方の側面１３ａと負荷受け凹部２５の一方の側面２５ａとが当接すると、ボンネット２０に発生する慣性力が負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５で受け止められる。したがって、筐体基部４にボンネット２０を固定するボルト３１に剪断力が加わるのを防止でき、ボルト３１の損傷を防止できる。
このように、筐体基部４とボンネット２０との嵌合部である負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５は、ボンネット２０に発生する慣性力を受け止める負荷受け部である。なお、負荷受け部は、負荷耐力部と呼ぶこともできる。
【００１９】
なお、負荷受け突部１３の側面１３ａ、１３ａと負荷受け凹部２５の側面２５ａ、２５ａとの間に存在するクリアランスは、筐体基部４にボンネット２０を固定するボルト３１と、ボルト３１が挿通されるボンネット２０の貫通孔２６とのクリアランスよりも小さい。これにより、ボンネット２０の慣性力により筐体基部４とボンネット２０とが上述したクリアランス分だけｙ方向に沿ってずれても、ボンネット２０の貫通孔２６とボルト３１とが当接することを防止でき、ボルト３１の損傷を防止できる。
【００２０】
真空ポンプ２００と真空装置３００との距離を短くするため、真空バルブ１００の上フランジ３と下フランジ６との面間距離を短くすることが望ましいことから、真空バルブ１００のｚ方向の寸法は小さいことが望ましい。したがって、基部側取付面１１およびボンネット側取付面２２のｚ方向の長さはｙ方向の長さと比べて短い。一方、ボンネット２０に発生する慣性力に起因して負荷受け突部１３にはｙ方向に沿った剪断力が作用する。そのため、この剪断力に対して負荷受け突部１３の強度を十分に確保するためには負荷受け突部１３のｙｚ平面に沿った面積、すなわち図３（ａ）に示した長さＡと長さＢとの積をある程度以上確保する必要がある。長さＡはｙ方向に沿った負荷受け突部１３の長さであり、長さＢはｚ方向に沿った負荷受け突部１３の長さである。
【００２１】
そこで、本実施の形態では、ｚ方向と比べて余裕があるｙ方向の長さＡを長さＢよりも長くすることで負荷受け突部１３のｙｚ平面に沿った面積を確保して負荷受け突部１３の強度を確保している。なお、負荷受け凹部２５は負荷受け突部１３の形状に合わせて形成されている。したがって、図３（ｂ）に示すように、負荷受け凹部２５のｙ方向に沿った長さＣは、ｚ方向に沿った長さＤよりも長い。
【００２２】
上述した実施の形態の真空バルブ１００では、次の作用効果を奏する。
（１）真空バルブ１００は、気体流路ＧＰが形成された筐体基部４と、気体流路ＧＰと交差する方向に移動して気体流路ＧＰの開口面積を制御する弁体８と、気体流路ＧＰから径方向に広がり弁体８が退避する弁体収納部２１が設けられ、筐体基部４に着脱可能に取り付けられたボンネット２０と、外力により筐体基部４が受ける回転トルクによりボンネット２０に発生する慣性力を受け止める負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５とを備える。
これにより、外力によって真空バルブ１００が気体流路ＧＰの延在方向を中心とした回転トルクを受け、ボンネット２０に慣性力が発生しても、この慣性力を負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５で受け止めることができる。したがって、筐体基部４にボンネット２０を固定するボルト３１に剪断力が加わるのを防止でき、ボルト３１の損傷を防止できる。
【００２３】
（２）真空バルブ１００は、ボンネット２０に設けられた負荷受け凹部２５と、筐体基部４に設けられて負荷受け凹部２５と嵌合する負荷受け突部１３とを有する。これにより、外力によって真空バルブ１００が気体流路ＧＰの延在方向を中心とした回転トルクを受け、ボンネット２０に慣性力が発生しても、この慣性力を負荷受け突部１３と負荷受け凹部２５との嵌合部で受け止めることができる。したがって、筐体基部４にボンネット２０を固定するボルト３１に剪断力が加わるのを防止でき、ボルト３１の損傷を防止できる。
【００２４】
（３）筐体基部４は、ボンネット２０が取り付けられる基部側取付面１１を有し、ボンネット２０は、基部側取付面１１と対向して筐体基部４に取り付けられるボンネット側取付面２２を有する。負荷受け凹部２５は、ボンネット側取付面２２に設けられ、負荷受け突部１３は、基部側取付面１１に設けられる。これにより、ボンネット２０が筐体基部４に取り付けられると、基部側取付面１１の開口１２とボンネット側取付面２２の開口２３とが対向し、筐体基部４の負荷受け突部１３と負荷受け凹部２５とが嵌合する。これにより、ボンネット２０を筐体基部４に容易に取り付けられるので、真空バルブ１００のメンテナンス性が向上する。
【００２５】
（４）負荷受け凹部２５および負荷受け突部１３は、気体流路ＧＰの延在方向および気体流路ＧＰの径方向と直交する方向の長さＣおよび長さＡが、気体流路ＧＰの延在方向の長さＤおよび長さＢよりも長い。これにより、上フランジ３と下フランジ６との面間距離に制限がある真空バルブ１００において、負荷受け突部１３の強度を確保できる。
【００２６】
−−−第２の実施の形態−−−
図４を参照して、弁装置の一例としての真空バルブの第２の実施の形態を説明する。以下の説明では、第１の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第１の実施の形態と同じである。
【００２７】
図４は、第２の実施の形態の真空バルブ１００Ａの斜視図である。真空バルブ１００Ａの筐体２Ａは、筐体基部４Ａと、筐体基部４Ａにボルト３１（図３参照）で取り付けられたボンネット２０Ａとを備えている。筐体基部４Ａの図示上側には、基部側取付面１１からｘ方向に突出する突出部１６が形成されている。突出部１６は、ｚ方向に所定の厚さを有する厚肉板状を呈し、ｚ方向から見たときの形状がたとえば矩形形状である。なお、本実施の形態の筐体基部４Ａには、第１の実施の形態で説明した負荷受け突部１３は設けられていない。
【００２８】
ボンネット２０Ａの図示上側には、ボンネット側取付面２２からｘ方向に凹んでいる凹部２８が形成されている。凹部２８は、ｚ方向に所定の深さを有する溝状を呈し、ｚ方向から見たときの形状がたとえば矩形形状である。なお、本実施の形態のボンネット２０Ａには、第１の実施の形態で説明した負荷受け凹部２５は設けられていない。
ボンネット２０Ａが筐体基部４Ａに取り付けられると、筐体基部４Ａの突出部１６は凹部２８と嵌合し、突出部１６のｙ方向に面した側面１６ａ、１６ａが凹部２８のｙ方向に面した側面２８ａ、２８ａと対向する。突出部１６の側面１６ａ、１６ａと凹部２８の側面２８ａ、２８ａとの間には、所定のクリアランスが存在するため、突出部１６の側面１６ａ、１６ａと凹部２８の側面２８ａ、２８ａとは僅かに離間している。
【００２９】
外力によって真空バルブ１００Ａが気体流路ＧＰの延在方向を中心とした回転トルクを受けると、ボンネット２０Ａの慣性力により筐体基部４Ａとボンネット２０Ａとが上述したクリアランス分だけｙ方向に沿ってずれて、突出部１６の一方の側面１６ａと凹部２８の一方の側面２８ａとが当接する。突出部１６の一方の側面１６ａと凹部２８の一方の側面２８ａとが当接すると、ボンネット２０Ａに発生する慣性力が突出部１６および凹部２８で受け止められる。したがって、筐体基部４Ａにボンネット２０Ａを固定するボルト３１に剪断力が加わるのを防止でき、ボルト３１の損傷を防止できる。
【００３０】
−−−第３の実施の形態−−−
図５を参照して、弁装置の一例としての真空バルブの第３の実施の形態を説明する。以下の説明では、第１および第２の実施の形態と同じ構成要素には同じ符号を付して相違点を主に説明する。特に説明しない点については、第１および第２の実施の形態と同じである。本実施の形態では、主に、筐体基部およびボンネットの側面に取り付けた厚肉板状部材によってボンネットに発生する慣性力を受け止める点が第１および第２の実施の形態と異なる。
【００３１】
図５は、第３の実施の形態の真空バルブ１００Ｂの斜視図である。真空バルブ１００Ｂの筐体２Ｂは、筐体基部４Ｂと、筐体基部４Ｂにボルト３１（図３参照）で取り付けられたボンネット２０Ｂとを備えている。筐体基部４Ｂのｙ方向に面した２つの側面１７、１７には、負荷受け部材１８、１８がそれぞれ取り付けられている。負荷受け部材１８、１８は、たとえば矩形形状の厚肉板状を呈する部材であり、たとえば溶接によって各側面１７、１７に固定されている。負荷受け部材１８、１８の先端部１８ａ、１８ａは、基部側取付面１１からｘ方向にそれぞれ突出している。
なお、本実施の形態の筐体基部４Ｂには、第１の実施の形態で説明した負荷受け突部１３や第２の実施の形態で説明した突出部１６は設けられていない。また、本実施の形態のボンネット２０Ｂには、第１の実施の形態で説明した負荷受け凹部２５や第２の実施の形態で説明した凹部２８は設けられていない。
【００３２】
ボンネット２０Ｂのｙ方向に面した２つの側面２９、２９は、ボンネット２０Ｂが筐体基部４Ｂに取り付けられると、筐体基部４Ｂのそれぞれの側面１７、１７と略面一となる。負荷受け部材１８、１８の先端部１８ａ、１８ａの内側の面は、筐体基部４Ｂの側面１７、１７とそれぞれｙ方向で対向する。負荷受け部材１８、１８の先端部１８ａ、１８ａの内側の面と筐体基部４Ｂの側面１７、１７との間には、所定の公差分のクリアランスが存在する。すなわち、負荷受け部材１８、１８の先端部１８ａ、１８ａの内側の面と筐体基部４Ｂの側面１７、１７とは僅かに離間している。
【００３３】
外力によって真空バルブ１００Ｂが気体流路ＧＰの延在方向を中心とした回転トルクを受けると、ボンネット２０Ｂの慣性力により筐体基部４Ｂとボンネット２０Ｂとが上述したクリアランス分だけｙ方向に沿ってずれて、一方の負荷受け部材１８の先端部１８ａとボンネット２０Ｂの一方の側面２９とが当接する。一方の負荷受け部材１８の先端部１８ａとボンネット２０Ｂの一方の側面２９とが当接すると、ボンネット２０Ｂに発生する慣性力が一方の負荷受け部材１８で受け止められる。したがって、筐体基部４Ｂにボンネット２０Ｂを固定するボルト３１に剪断力が加わるのを防止でき、ボルト３１の損傷を防止できる。
【００３４】
なお、上述した第１から第３の実施の形態は、適宜組み合わせてもよい。
【００３５】
次のような変形も本発明の範囲内であり、変形例の一つ、もしくは複数を上述の実施形態と組み合わせることも可能である。
（変形例１）上述した第１の実施の形態では、筐体基部４の基部側取付面１１に突部である負荷受け突部１３を設け、ボンネット２０のボンネット側取付面２２に凹部である負荷受け凹部２５を設けた。しかし、ボンネット２０のボンネット側取付面２２に負荷受け突部１３に相当する突部を設け、この突部と嵌合する凹部を筐体基部４の基部側取付面１１に設けてもよい。このように、筐体基部４とボンネット２０との嵌合部における凹凸関係を第１の実施の形態と逆転させた真空バルブは、第１の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００３６】
また、上述した第２の実施の形態では、筐体基部４Ａに突部である突出部１６を設け、ボンネット２０Ａに凹部である凹部２８を設けた。しかし、ボンネット２０Ａに突出部１６に相当する突部を設け、この突部と嵌合する凹部を筐体基部４Ｂに設けてもよい。このように、筐体基部４Ａとボンネット２０Ｂとの嵌合部における凹凸関係を第２の実施の形態と逆転させた真空バルブは、第２の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
【００３７】
（変形例２）上述した第３の実施の形態では、負荷受け部材１８、１８は、筐体基部４Ｂの各側面１７、１７に固定されていた。しかし、負荷受け部材１８、１８は、筐体基部４Ｂではなく、ボンネット２０Ｂの各側面２９、２９に固定されていてもよい。負荷受け部材１８、１８がボンネット２０Ｂの各側面２９、２９に固定された真空バルブは、第３の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
また、上述した第３の実施の形態では、負荷受け部材１８、１８は、筐体基部４Ｂの各側面１７、１７にそれぞれ固定されていた。しかし、負荷受け部材１８を筐体基部４Ｂの各側面１７、１７のいずれか一方にだけ固定してもよい。この場合、真空ポンプ２００の不図示のロータの回転方向がたとえば図５において時計方向であれば、筐体基部４Ｂの各側面１７、１７のうち、図示上側の側面１７に負荷受け部材１８を取り付ければよい。
あるいは、上述したように図示上側の側面１７に取り付けた負荷受け部材１８に代えて、または、図示上側の側面１７に取り付けた負荷受け部材１８とともに、ボンネット２０Ｂの各側面２９、２９のうち、図示下側の側面２９に負荷受け部材１８を固定してもよい。
【００３８】
（変形例３）上述した第１の実施の形態における負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５、第２の実施の形態における突出部１６および凹部２８、および第３の実施の形態における負荷受け部材１８、１８は、ｘ、ｙ、ｚの各方向から見たときの形状がそれぞれ矩形形状である。しかし、それらの形状は、上述した慣性力を受け止めることができれば矩形形状に限らない。
【００３９】
（変形例４）上述した第１の実施の形態では、筐体基部４に突部である負荷受け突部１３を設け、ボンネット２０に凹部である負荷受け凹部２５を設けた。しかし、筐体基部４にも負荷受け凹部２５と対向する位置に負荷受け凹部２５と同様の凹部を設けるとともに、この凹部と負荷受け凹部２５とに嵌合するキーを設けてもよい。これにより、ボンネット２０に発生する慣性力を筐体基部４に設けた凹部と、キーと、負荷受け凹部２５とで受け止めることができる。
【００４０】
（変形例５）上述した第１の実施の形態では、一対の負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５を設けた。しかし、負荷受け突部１３および負荷受け凹部２５を二対以上設けてもよい。
また、上述した第２の実施の形態では、一対の突出部１６および凹部２８を図４における筐体基部４Ａの図示上側に設けた。しかし、一対の突出部１６および凹部２８を図４における筐体基部４Ａの図示下側に設けてもよく、一対の突出部１６および凹部２８を図４における筐体基部４Ａの図示上側および下側にそれぞれ設けてもよい。また、図４における筐体基部４Ａの図示上側や下側に二対以上の突出部１６および凹部２８を設けてもよい。
【００４１】
（変形例６）上述した第１の実施の形態では、負荷受け凹部２５は、環状のシール溝２４の外側に設けられている。しかし、荷受け凹部２５は、環状のシール溝２４の内側に設けられていてもよい。
【００４２】
（変形例７）上述の説明では、真空ポンプ２００は、たとえばターボ分子ポンプであった。しかし、真空ポンプ２００は、たとえば、モレキュラドラッグポンプ等、他の形式の回転式真空ポンプであってもよい。
【００４３】
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００４４】
２、２Ａ、２Ｂ；筐体、４、４Ａ、４Ｂ；筐体基部、８；弁体（スライドプレート）、１１；基部側取付面、１３；負荷受け突部、１６；突出部、１８；負荷受け部材、２０、２０Ａ、２０Ｂ；ボンネット、２１；弁体収納部、２２；ボンネット側取付面、２５；負荷受け凹部、２８；凹部、１００、１００Ａ、１００Ｂ；真空バルブ、２００；真空ポンプ、３００；真空装置、ＧＰ；気体流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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