(57)【要約】      （修正有）【課題】自己容量を検出する簡易な構成で、導電性異物の検出が可能なタッチセンサを提供する。【解決手段】複数電極が配置された第１電極であるＸ電極１０２と、Ｘ電極１０２と交差する方向に複数電極が配置された第２電極であるＹ電極１０４と、Ｘ電極１０２及びＹ電極１０４の駆動により自己容量を検出する静電容量検出部（Ｘ静電容量検出部、Ｙ静電容量検出部）と、Ｘ電極１０２とＸ静電容量検出部との接続状態を任意に切り替える第１切替部であるＸスイッチング部と、Ｙ電極１０４とＹ静電容量検出部との接続状態を任意に切り替える第２切替部であるＹスイッチング部とにより検出された自己容量に基づいてＸ電極１０２とＹ電極１０４との相互容量を算出し、タッチ状態を検出する制御部２００と、を有する。【選択図】図１
2018041399.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数電極が配置された第１電極と、
前記第１電極と交差する方向に複数電極が配置された第２電極と、
前記第１電極及び前記第２電極の駆動により自己容量を検出する静電容量検出部と、
前記第１電極と前記静電容量検出部との接続状態を任意に切り替える第１切替部と、
前記第２電極と前記静電容量検出部との接続状態を任意に切り替える第２切替部と、
前記静電容量検出部、前記第１切替部、及び第２切替部を制御し、前記静電容量検出部により検出された自己容量に基づいて前記第１電極と前記第２電極との相互容量を算出し、これに基づいてタッチ状態を検出する制御部と、
を有することを特徴とする自己容量式タッチセンサ。
【請求項２】
前記制御部は、前記第１切替部を制御して前記第１電極と前記静電容量検出部との接続状態を順次切替え、前記第２切替部を制御して前記第２電極と前記静電容量検出部との接続状態を順次切替えて、前記第１電極及び前記第２電極の自己容量を検出することによりタッチ位置を検出することを特徴とする請求項１に記載の自己容量式タッチセンサ。
【請求項３】
前記制御部は、検出されたタッチ位置が複数ある場合に、前記複数のタッチ位置に対応する第１電極及び第２電極を同時に駆動して、前記駆動された第１電極及び第２電極が交差するノードの自己容量を検出し、前記検出された自己容量に基づいて算出された相互容量が基準値に対して正または負の値かを判断することにより、前記タッチ状態が指によるものか導電性異物によるものかを判断することを特徴とする請求項１又は２に記載の自己容量式タッチセンサ。
【請求項４】
前記第１電極及び前記第２電極は、前記制御部により前記駆動がされないときはグランドに接続されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の自己容量式タッチセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自己容量式タッチセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の技術として、水滴による誤動作を防止することができるタッチパネル装置が知られている。このタッチパネル装置は、複数の送信側電極及び受信側電極を有する相互容量方式の静電タッチパネルと、静電タッチパネルへの接触を検出し接触情報を出力する検出部と、接触情報に基づき複数の送信側電極及び受信側電極の各々の検出信号変化量を計算し出力する検出信号変化量計算部と、検出信号変化量に基づき検出信号の変化量分布を計算し出力する変化量分布計算部と、検出信号の変化量分布のピーク値が負の閾値以下のとき、静電タッチパネルへの接触が水滴であると判定する判定部と、を備えている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このタッチパネル装置によれば、検出信号の変化量分布を所定のサンプリング周期で記憶し、検出信号の変化量分布のピーク値がマイナスの閾値以下であり、かつ該検出信号の変化量分布のピーク値がマイナスの閾値以下である静電タッチパネル上の領域の周辺領域における検出信号の変化量分布のピーク値がプラスの閾値（第１の所定の正の閾値）以上のとき、静電タッチパネルへの接触が水であったと判定し、検出信号の変化量分布のピーク値がプラスの閾値よりも値の大きなプラスの閾値（第１の所定の正の閾値を超える値）以上であっても最終的に出力する座標値を無効と判定するので、静電タッチパネルに接触している水に指・ペンを入れても、指・ペンと誤判定することを防止することができる。すなわち、水の中に指・ペンを入れた場合、大きな指であると判定される可能性があるので、当該箇所において過去に水があったかを調べることで、誤判定を防止することができる。そして、たとえ検出信号の変化量の分布が“＋”の一つの大きな山となって、プラスのピーク値が第２の所定の正の閾値以上であっても、最終的に出力する座標値を無効とする。これにより、水滴による誤動作を防止することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−８８８９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記示した従来のタッチセンサは、相互容量式の静電検出回路を有する構成とされているので、回路が複雑になるという問題があった。
【０００６】
従って、本発明の目的は、自己容量を検出する簡易な構成で、導電性異物の検出が可能なタッチセンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
［１］本発明は、上記目的を達成するために、複数電極が配置された第１電極と、前記第１電極と交差する方向に複数電極が配置された第２電極と、前記第１電極及び前記第２電極の駆動により自己容量を検出する静電容量検出部と、前記第１電極と前記静電容量検出部との接続状態を任意に切り替える第１切替部と、前記第２電極と前記静電容量検出部との接続状態を任意に切り替える第２切替部と、前記静電容量検出部、前記第１切替部、及び第２切替部を制御し、前記静電容量検出部により検出された自己容量に基づいて前記第１電極と前記第２電極との相互容量を算出し、これに基づいてタッチ状態を検出する制御部と、を有することを特徴とする自己容量式タッチセンサを提供する。
【０００８】
［２］前記制御部は、前記第１切替部を制御して前記第１電極と前記静電容量検出部との接続状態を順次切替え、前記第２切替部を制御して前記第２電極と前記静電容量検出部との接続状態を順次切替えて、前記第１電極及び前記第２電極の自己容量を検出することによりタッチ位置を検出することを特徴とする上記［１］に記載の自己容量式タッチセンサであってもよい。
【０００９】
［３］また、前記制御部は、検出されたタッチ位置が複数ある場合に、前記複数のタッチ位置に対応する第１電極及び第２電極を同時に駆動して、前記駆動された第１電極及び第２電極が交差するノードの自己容量を検出し、前記検出された自己容量に基づいて算出された相互容量が基準値に対して正または負の値かを判断することにより、前記タッチ状態が指によるものか導電性異物によるものかを判断することを特徴とする上記［１］又は［２］に記載の自己容量式タッチセンサであってもよい。
【００１０】
［４］また、前記第１電極及び前記第２電極は、前記制御部により前記駆動がされないときはグランドに接続されることを特徴とする上記［１］〜［３］のいずれか１に記載の自己容量式タッチセンサであってもよい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、自己容量を検出する簡易な構成で、導電性異物の検出が可能なタッチセンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る自己容量式タッチセンサの概略構成と信号伝達を示す構成ブロック図である。
【図２】図２（ａ）は、Ｘスイッチング部の構成例を示す詳細図であり、図２（ｂ）は、Ｙスイッチング部の構成例を示す詳細図である。
【図３】図３は、タッチセンサに水滴が付着している状態を示し、各Ｘ、Ｙ電極の自己容量の分布を示す図である。
【図４】図４は、タッチセンサへ指または水滴が付着した場合の相互容量値の極性の違いを示す表である。
【図５】図５は、タッチセンサに水滴が付着している場合におけるＸ電極、Ｙ電極とＸスイッチング部、Ｙスイッチング部の接続状態を具体的に示す図である。
【図６】図６は、本実施の形態に係る自己容量式タッチセンサの原理を説明するための４導体系のモデル図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
（本発明の実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係る自己容量式タッチセンサの概略構成と信号伝達を示す構成ブロック図である。
【００１４】
本発明の実施の形態に係る自己容量式タッチセンサ１は、複数電極が配置された第１電極であるＸ電極１０２（Ｘ１、Ｘ２、・・・、Ｘｍ）と、Ｘ電極１０２と交差する方向に複数電極が配置された第２電極であるＹ電極１０４（Ｙ１、Ｙ２、・・・、Ｙｎ）と、Ｘ電極１０２及びＹ電極１０４の駆動により自己容量を検出する静電容量検出部（Ｘ静電容量検出部１５２、Ｙ静電容量検出部１７２）と、Ｘ電極１０２とＸ静電容量検出部１５２との接続状態を任意に切り替える第１切替部であるＸスイッチング部１５４と、Ｙ電極１０４とＹ静電容量検出部１７２との接続状態を任意に切り替える第２切替部であるＹスイッチング部１７４と、静電容量検出部（Ｘ静電容量検出部１５２、Ｙ静電容量検出部１７２）、Ｘスイッチング部１５４、及びＹスイッチング部１７４を制御し、静電容量検出部（Ｘ静電容量検出部１５２、Ｙ静電容量検出部１７２）により検出された自己容量に基づいてＸ電極１０２とＹ電極１０４との相互容量を算出し、これに基づいてタッチ状態を検出する制御部２００と、を有して構成されている。
【００１５】
（タッチ電極部１００の構成）
タッチ電極部１００は、図１に示すように、Ｘ電極１０２（Ｘ１、Ｘ２、・・・、Ｘｍ）とＹ電極１０４（Ｙ１、Ｙ２、・・・、Ｙｎ）が直交して形成されている。操作者は、タッチ電極部１００をタッチすることにより、１点タッチ（シングルタッチ）または多点タッチ（マルチタッチ）によるタッチ入力が可能である。タッチ電極部１００は、図１に示すように、左上部を原点として、右方向にＸ軸、下方向にＹ軸とされた操作入力基準座標（Ｘ、Ｙ）が設定されている。このタッチ入力により、接続された操作対象機器（例えば、車載機器等）の操作を行うことが可能となる。
【００１６】
Ｘ電極１０２及びＹ電極１０４は、例えば、ＩＴＯ（ｔｉｎ−ｄｏｐｅｄ  ｉｎｄｉｕｍ  ｏｘｉｄｅ）、銅などを用いた電極として構成されている。このＸ電極１０２及びＹ電極１０４は、互いに絶縁されながら交差するように配置されている。本実施の形態では、Ｘ電極１０２とＹ電極１０４は直交して配置されている。
【００１７】
（Ｘ駆動検出部１５０の構成）
Ｘ電極１０２の一端側には、図１で示すように、Ｘ駆動検出部１５０が接続されている。ここで、図２（ａ）は、Ｘスイッチング部の構成例を示す詳細図である。
【００１８】
図２（ａ）に示すように、Ｘ駆動検出部１５０は、Ｘ静電容量検出部１５２とＸスイッチング部１５４とから構成されている。Ｘ静電容量検出部１５２は、図１で示す制御部２００から出力されるＸ駆動検出信号ＳＸｉにより制御されてＸ電極１０２への電荷供給を行ない、また、静電容量信号ＳＣＸｉにより自己容量の検出を行なう。なお、検出される自己容量は、静電容量信号ＳＣＸｉに対してアナログ・デジタル変換処理などを行った静電容量カウント値ＳＤＸｉとして制御部２００に出力される。また、Ｘスイッチング部１５４は、Ｘスイッチング信号ＳＷＸｉにより制御され、任意のＸ電極１０２とＸ静電容量検出部１５２との接続を切替える動作を行なう。
【００１９】
Ｘスイッチング部１５４は、例えば、トランジスタ等のスイッチング素子で構成され、１本のＸ電極１０２とＸ静電容量検出部１５２とが上記スイッチング素子を介して接続切替可能とされている。図２（ａ）に示すように、例えば、ｉ番目のＸ電極（Ｘｉ）は、上記説明した電荷供給及び静電容量（自己容量）の検出を行なう駆動時においてはＸ静電容量検出部１５２と接続される。一方、ｉ番目のＸ電極（Ｘｉ）は、非駆動時においては、グランドＧＮＤに接続される。このＸ電極１０２とＸ静電容量検出部１５２との接続切替は、任意のＸ電極において可能である。したがって、順次、Ｘ電極１０２とＸ静電容量検出部１５２との接続を切替えていくこともでき、また、任意のＸ電極１０２とＸ静電容量検出部１５２だけを接続することもできる。
【００２０】
（Ｙ駆動検出部１７０の構成）
Ｙ電極１０４の一端側には、図１で示すように、Ｙ駆動検出部１７０が接続されている。ここで、図２（ｂ）は、Ｙスイッチング部の構成例を示す詳細図である。
【００２１】
図２（ｂ）に示すように、Ｙ駆動検出部１７０は、Ｙ静電容量検出部１７２とＹスイッチング部１７４とから構成されている。Ｙ静電容量検出部１７２は、図１で示す制御部２００から出力されるＹ駆動検出信号ＳＹｉにより制御されてＹ電極１０４への電荷供給を行ない、また、静電容量信号ＳＣＹｉにより自己容量の検出を行なう。なお、検出される自己容量は、静電容量信号ＳＣＹｉに対してアナログ・デジタル変換処理などを行った静電容量カウント値ＳＤＹｉとして制御部２００に出力される。また、Ｙスイッチング部１７４は、Ｙスイッチング信号ＳＷＹｉにより制御され、任意のＹ電極１０４とＹ静電容量検出部１７２との接続を切替える動作を行なう。
【００２２】
Ｙスイッチング部１７４は、例えば、トランジスタ等のスイッチング素子で構成され、１本のＹ電極１０４とＹ静電容量検出部１７２とが上記スイッチング素子を介して接続切替可能とされている。図２（ｂ）に示すように、例えば、ｊ番目のＹ電極（Ｙｉ）は、上記説明した電荷供給及び静電容量（自己容量）の検出を行なう駆動時においてはＹ静電容量検出部１７２と接続される。一方、ｊ番目のＹ電極（Ｙｉ）は、非駆動時においては、グランドＧＮＤに接続される。このＹ電極１０４とＹ静電容量検出部１７２との接続切替は、任意のＹ電極において可能である。したがって、順次、Ｙ電極１０４とＹ静電容量検出部１７２との接続を切替えていくこともでき、また、任意のＹ電極１０４とＹ静電容量検出部１７２だけを接続することもできる。
【００２３】
（制御部２００の構成）
制御部２００は、例えば、記憶されたプログラムに従って、取得したデータに演算、加工などを行うＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）、半導体メモリであるＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）及びＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）などから構成されるマイクロコンピュータである。このＲＯＭには、例えば、制御部２００が動作するためのプログラム等が格納されている。ＲＡＭは、例えば、一時的に演算結果などを格納する記憶領域として用いられる。また制御部２００は、その内部にクロック信号を生成する手段を有し、このクロック信号に基づいて動作を行う。
【００２４】
（本実施の形態に係る自己容量式タッチセンサ１の動作）
（通常動作（シングルタッチ）の検出）
本実施の形態に係る自己容量式タッチセンサ１は、通常動作として、Ｘ電極１０２をＸスイッチング信号ＳＷＸｉにより順次切替えてＸ静電容量検出部１５２と接続し、自己容量方式により各Ｘ電極１０２の静電容量値を静電容量カウント値ＳＤＸｉとして取得する。なお、Ｘ静電容量検出部１５２と接続されていないＸ電極１０２は、グランドＧＮＤに接続される。
【００２５】
同様に、Ｙ電極１０４をＹスイッチング信号ＳＷＹｉにより順次切替えてＹ静電容量検出部１７２と接続し、自己容量方式により各Ｙ電極１０４の静電容量値を静電容量カウント値ＳＤＹｉとして取得する。なお、Ｙ静電容量検出部１７２と接続されていないＹ電極１０４は、グランドＧＮＤに接続される。
【００２６】
制御部２００は、Ｘ電極１０２及びＹ電極１０４のそれぞれの静電容量が、所定の基準値を超えて変化する場合にその電極にタッチ動作がされたと判断する。Ｘ電極１０２又はＹ電極１０４の少なくともどちらかの電極が、１本だけ所定の基準値を超えて変化した場合は、シングルタッチ（１点タッチ）を決定することができる。制御部２００は、このような場合において、シングルタッチと判断し、指によるタッチ位置を決定することができる。
【００２７】
（導電性異物（水滴）の検出）
図３は、タッチセンサに水滴が付着している状態を示し、Ｘ、Ｙ座標における相互容量式により検出した静電容量の分布を示す図である。また、図４は、タッチセンサへ指または水滴が付着した場合の相互容量値の極性の違いを示す表である。
【００２８】
ここで、図４を参照すると、相互容量により静電容量を検出した場合、指を検出すると相互容量値はマイマスとなり、水滴を検出すると相互容量値はプラスとなる。なお、このプラス、マイマスの値は、相互容量の基準値（非タッチ時の値）に対する変化分である。
【００２９】
したがって、図３に示すように、静電容量を検出する領域が複数電極に亘る場合は、各Ｘ電極―Ｙ電極間の相互容量値を検出しその極性を調べれば、タッチ状態の検出、すなわち、タッチしたものが指か水滴（導電性異物）かを判別することができる。
【００３０】
図３で示すように、Ｘｉ−１〜Ｘｉ〜Ｘｉ＋１、Ｙｊ−１〜Ｙｊ〜Ｙｊ＋１の領域に水滴３５０が付着した場合の検出動作について説明する。
【００３１】
制御部２００は、上記示したＸｉ−１〜Ｘｉ〜Ｘｉ＋１、Ｙｊ−１〜Ｙｊ〜Ｙｊ＋１の組合せの各座標（９つのポイント）において、同時駆動を行なうことで自己容量を検出し、検出した自己容量に基づいて相互容量値を算出する。
【００３２】
ここでは、９つのポイントの代表例として、（Ｘｉ、Ｙｊ）について自己容量を検出する場合を説明する。まず、（Ｘｉ、Ｙｊ）について自己容量を検出するために、図５に示すように、Ｘスイッチング部１５４によりＸ電極（Ｘｉ）とＸ静電容量検出部１５２とを接続し、他のＸ電極をグランドＧＮＤに接続する。また、Ｙスイッチング部１７４により、すべてのＹ電極をグランドＧＮＤに接続する。この状態で、Ｘ電極（Ｘｉ）のみ駆動した場合の自己容量ＣiSelfを検出する。
【００３３】
また、Ｙスイッチング部１７４によりＹ電極（Ｙｊ）とＹ静電容量検出部１７２とを接続し、他のＹ電極をグランドＧＮＤに接続する。また、Ｘスイッチング部１５４により、すべてのＸ電極をグランドＧＮＤに接続する。この状態で、Ｙ電極（Ｙｊ）のみ駆動した場合の自己容量ＣｊSelfを検出する。
【００３４】
さらに、Ｘ電極（Ｘｉ）とＸ静電容量検出部１５２とを接続し、Ｙ電極（Ｙｊ）とＹ静電容量検出部１７２とを接続し、この状態、すなわち、Ｘ電極（Ｘｉ）とＹ電極（Ｙｊ）の組合せの状態で、Ｘ静電容量検出部１５２とＹ静電容量検出部１７２とにより、同時駆動を行なうことで、同時駆動時の自己容量
2018041399.tif 000003
を検出する。なお、Ｘｉ、Ｙｊ以外の電極はすべてグランドＧＮＤに接続する。
【００３５】
これにより、（Ｘｉ、Ｙｊ）における相互容量Ｃi,jが算出できる。算出方法を以下に示す。
【００３６】
（自己容量式センサで相互容量を取得する方法）
（検出中に他の導体（電極）をグランドＧＮＤに落とす場合）
図６は、本実施の形態に係る自己容量式タッチセンサの原理を説明するための４導体系の解析モデル図である。例として、図６のような４導体系を考える。４導体のうちの１つはＧＮＤとした。なお、Ｃiは、導体iの無限遠との容量、Ｃiｊは、導体iと導体ｊとの容量を示す。
【００３７】
ここで、ＧＮＤとされる導体は、通常無限遠との容量ＣＧが十分に大きく、ＣＧは短絡していると考えてよい。
【００３８】
一般に、複数の検出チャネルを持ち、かつ各チャネルの容量を順次取得するタイプの容量センサでは、駆動中（検出中）でないチャネルにつながった導体の影響を避けるため、これらの導体はＧＮＤに落とす制御を行なう。
【００３９】
この制御の下で、このセンサの検出する導体１の自己容量（ＧＮＤとの容量）は、以下の式で表される。
2018041399.tif 000004
同様に、
2018041399.tif 000005
また、導体１と導体２を同時に駆動する場合、これらの導体の（合成）自己容量は、
2018041399.tif 000006
となる。
したがって、以下の式により、自己容量を求めることにより、導体１と導体２の間の容量（相互容量）が算出、取得できる。
2018041399.tif 000007
この結果は、導体数が増加しても同様に成り立つ。
【００４０】
（本発明の実施の形態の効果）
本実施の形態においては、以下のような効果を有する。
（１）本実施の形態に係る自己容量式タッチセンサ１は、複数電極が配置された第１電極であるＸ電極１０２（Ｘ１、Ｘ２、・・・、Ｘｍ）と、Ｘ電極１０２と交差する方向に複数電極が配置された第２電極であるＹ電極１０４（Ｙ１、Ｙ２、・・・、Ｙｎ）と、Ｘ電極１０２及びＹ電極１０４の駆動により自己容量を検出する静電容量検出部（Ｘ静電容量検出部１５２、Ｙ静電容量検出部１７２）と、Ｘ電極１０２とＸ静電容量検出部１５２との接続状態を任意に切り替える第１切替部であるＸスイッチング部１５４と、Ｙ電極１０４とＹ静電容量検出部１７２との接続状態を任意に切り替える第２切替部であるＹスイッチング部１７４と、静電容量検出部（Ｘ静電容量検出部１５２、Ｙ静電容量検出部１７２）、Ｘスイッチング部１５４、及びＹスイッチング部１７４を制御し、静電容量検出部（Ｘ静電容量検出部１５２、Ｙ静電容量検出部１７２）により検出された自己容量に基づいてＸ電極１０２とＹ電極１０４との相互容量を算出し、これに基づいてタッチ状態を検出する制御部２００と、を有して構成されている。よって、任意のＸ電極１０２と任意のＹ電極１０４を同時駆動して自己容量を検出することが可能となる。これにより、自己容量を検出する簡易な構成で、導電性異物の検出が可能となり、例えば、手指によるタッチか水滴の付着か等の判定が可能となる。
（２）本実施の形態に係る自己容量式タッチセンサ１は、容量検出手段として、自己容量式の検出手段のみを有する。したがって、従来技術のような相互容量式の検出手段を備える必要がないので、簡易な構成で、マルチタッチに対応が可能である。
（３）導電性異物の検出は、自己容量の検出により行なうので、自己容量センサの長所である高感度、高速等を保持した検出が可能である。
【００４１】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、この実施の形態は、一例に過ぎず、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、この新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更等を行うことができる。また、この実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない。さらに、この実施の形態は、発明の範囲及び要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００４２】
１…自己容量式タッチセンサ
１００…タッチ電極部
１０２…Ｘ電極
１０４…Ｙ電極
１５０…Ｘ駆動検出部
１５２…Ｘ静電容量検出部
１５４…Ｘスイッチング部
１７０…Ｙ駆動検出部
１７２…Ｙ電容量検出部
１７４…Ｙスイッチング部
２００…制御部
３５０…水滴
ＧＮＤ…グランド
ＳＣＸｉ、ＳＣＹｉ…静電容量信号
ＳＤＸｉ、ＳＤＹｉ…静電容量カウント値
ＳＷＸｉ…Ｘスイッチング信号
ＳＷＹｉ…Ｙスイッチング信号
ＳＸｉ…Ｘ駆動検出信号
ＳＹｉ…Ｙ駆動検出信号
【図１】
2018041399.tif 000008
【図２】
2018041399.tif 000009
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2018041399.tif 000013