(57)【要約】【課題】粘着性が低い吸着テープを基板に対して自動で貼着することが可能な、吸着テープ自動貼着装置および吸着テープ自動貼着方法を提供する【解決手段】基板１２上に吸着テープ１３を貼着する吸着テープ自動貼着装置１０は、基板載置部１１と、基板載置部１１上に載置された基板１２に帯状の吸着テープ１３を貼着するテープ貼りユニット２０と、テープ貼りユニット２０を基板１２の上方で基板載置部１１の表面１１ａに対して平行に移動させる移動装置３０とを備えている。テープ貼りユニット２０からの吸着テープ１３の供給速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とを同期させている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に吸着テープを貼着する吸着テープ自動貼着装置であって、
基板載置部と、
前記基板載置部上に載置された前記基板に帯状の前記吸着テープを貼着するテープ貼りユニットと、
前記テープ貼りユニットを前記基板の上方で前記基板載置部の表面に対して平行に移動させる移動装置とを備え、
前記テープ貼りユニットからの前記吸着テープの供給速度と前記移動装置による前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させたことを特徴とする吸着テープ自動貼着装置。
【請求項２】
前記テープ貼りユニットは、回転自在に設けられるとともに前記吸着テープがロール状に巻装された巻出軸を有し、前記巻出軸の回転速度と前記移動装置による前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させたことを特徴とする請求項１に記載の吸着テープ自動貼着装置。
【請求項３】
前記テープ貼りユニットは、前記吸着テープの供給速度を調整する供給速度調整部を有することを特徴とする請求項１または２に記載の吸着テープ自動貼着装置。
【請求項４】
前記テープ貼りユニットは、前記吸着テープを切断する切断機構を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の吸着テープ自動貼着装置。
【請求項５】
吸着テープ自動貼着方法であって、
基板載置部上に基板を載置する載置工程と、
前記基板の上方でテープ貼りユニットを前記基板載置部の表面に対して平行に第１の方向へ移動させることにより前記基板に帯状の吸着テープを貼着する第１貼着工程とを備え、
前記第１貼着工程において、前記テープ貼りユニットからの前記吸着テープの供給速度と前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させることを特徴とする吸着テープ自動貼着方法。
【請求項６】
前記第１貼着工程の後、前記基板の上方で前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向の逆方向へ移動させる第１移動工程と、
前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向に対して直交する第２の方向へ移動させる第２移動工程と、
前記基板の上方で前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向へ移動させることにより前記基板に帯状の前記吸着テープを貼着する第２貼着工程とを更に備え、
前記第２貼着工程において、前記テープ貼りユニットからの前記吸着テープの供給速度と前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させることを特徴とする請求項５に記載の吸着テープ自動貼着方法。
【請求項７】
前記第１貼着工程の後、前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向に対して直交する第２の方向へ移動させる移動工程と、
前記基板の上方で前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向の逆方向へ移動させることにより前記基板に帯状の前記吸着テープを貼着する第２貼着工程とを更に備え、
前記第２貼着工程において、前記テープ貼りユニットからの前記吸着テープの供給速度と前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させることを特徴とする請求項５に記載の吸着テープ自動貼着方法。
【請求項８】
前記テープ貼りユニットは、回転自在に設けられるとともに前記吸着テープがロール状に巻装された巻出軸を有し、前記巻出軸の回転速度と前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させることを特徴とする請求項５乃至７のいずれか一項に記載の吸着テープ自動貼着方法。
【請求項９】
前記テープ貼りユニットは、前記吸着テープの供給速度を調整する供給速度調整部を有することを特徴とする請求項５乃至８のいずれか一項に記載の吸着テープ自動貼着方法。
【請求項１０】
前記吸着テープを切断する切断工程を更に備えたことを特徴とする請求項５乃至９のいずれか一項に記載の吸着テープ自動貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着テープ自動貼着装置および吸着テープ自動貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、精密機器を作製する際の加工工程や搬送工程において、加工対象物又は搬送対象物を固定する場合がある。このような加工対象物又は搬送対象物を固定する際、テープにより固定する場合がある。この場合、押圧ローラを用いて容易かつ迅速に、所定位置に粘着テープを貼着するテープ貼付装置が知られている（例えば特許文献１）。このようなテープ貼付装置によれば、粘着テープの先端部をワークのテープ貼付面の所定位置に貼り付けた後、粘着テープが第１，第２押圧ローラによってテープ貼付面に押圧されるように、第１〜第３案内ローラによりメインボディをワークに係合保持させる。そして、粘着テープを第１押圧ローラに巻き付けて第２押圧ローラへと通した後、固定手段によってメインボディに対するテープ案内板の回動位置を固定し、押圧ローラとテープ案内板との間に隙間部を形成し、この隙間部に剥離材付き粘着テープを位置させる。この状態から、メインボディをテープ貼付面に沿って移動させると、剥離材付き粘着テープから剥離する粘着テープが第１，第２押圧ローラによってテープ貼付面に押し付けられ、テープ貼付面に貼り合わされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３２６９３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、例えば特許文献１に示すテープ貼付装置の場合、メインボディをテープ貼付面に沿って移動させる際に、テープ貼付面に貼り合わされた粘着テープに張力が作用する。このため、特許文献１に示すテープ貼付装置においては、例えば吸着テープのような粘着性が低いテープでは、テープに作用する張力によってテープ貼付面に貼り合わされたテープが剥がれてしまうといった問題がある。このため、特許文献１に示すテープ貼付装置においては、粘着性が高い粘着テープのようなテープにしか対応することができない。また、粘着性が高い粘着テープのようなテープを使用する場合、固定対象物にテープの粘着物、例えば糊が付着してしまうといった問題があり、例えば吸着テープのような粘着性が低いテープを使用することが求められている。一方、例えば吸着テープのような粘着性が低いテープを使用する場合、手作業で対応しなければならず、作業に手間がかかってしまうとともに、貼着されるテープの位置精度を保つことが困難である。
【０００５】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、粘着性が低い吸着テープを基板に対して自動で貼着することが可能な、吸着テープ自動貼着装置および吸着テープ自動貼着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、基板上に吸着テープを貼着する吸着テープ自動貼着装置であって、基板載置部と、前記基板載置部上に載置された前記基板に帯状の前記吸着テープを貼着するテープ貼りユニットと、前記テープ貼りユニットを前記基板の上方で前記基板載置部の表面に対して平行に移動させる移動装置とを備え、前記テープ貼りユニットからの前記吸着テープの供給速度と前記移動装置による前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させたことを特徴とする吸着テープ自動貼着装置である。
【０００７】
本発明は、前記テープ貼りユニットは、回転自在に設けられるとともに前記吸着テープがロール状に巻装された巻出軸を有し、前記巻出軸の回転速度と前記移動装置による前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させたことを特徴とする吸着テープ自動貼着装置である。
【０００８】
本発明は、前記テープ貼りユニットは、前記吸着テープの供給速度を調整する供給速度調整部を有することを特徴とする吸着テープ自動貼着装置である。
【０００９】
本発明は、前記テープ貼りユニットは、前記吸着テープを切断する切断機構を有することを特徴とする吸着テープ自動貼着装置である。
【００１０】
本発明は、吸着テープ自動貼着方法であって、基板載置部上に基板を載置する載置工程と、前記基板の上方でテープ貼りユニットを前記基板載置部の表面に対して平行に第１の方向へ移動させることにより前記基板に帯状の吸着テープを貼着する第１貼着工程とを備え、前記第１貼着工程において、前記テープ貼りユニットからの前記吸着テープの供給速度と前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させることを特徴とする吸着テープ自動貼着方法である。
【００１１】
本発明は、前記第１貼着工程の後、前記基板の上方で前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向の逆方向へ移動させる第１移動工程と、前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向に対して直交する第２の方向へ移動させる第２移動工程と、前記基板の上方で前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向へ移動させることにより前記基板に帯状の前記吸着テープを貼着する第２貼着工程とを更に備え、前記第２貼着工程において、前記テープ貼りユニットからの前記吸着テープの供給速度と前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させることを特徴とする吸着テープ自動貼着方法である。
【００１２】
本発明は、前記第１貼着工程の後、前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向に対して直交する第２の方向へ移動させる移動工程と、前記基板の上方で前記テープ貼りユニットを前記基板載置部の前記表面に対して平行に前記第１の方向の逆方向へ移動させることにより前記基板に帯状の前記吸着テープを貼着する第２貼着工程とを更に備え、前記第２貼着工程において、前記テープ貼りユニットからの前記吸着テープの供給速度と前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させることを特徴とする吸着テープ自動貼着方法である。
【００１３】
本発明は、前記テープ貼りユニットは、回転自在に設けられるとともに前記吸着テープがロール状に巻装された巻出軸を有し、前記巻出軸の回転速度と前記テープ貼りユニットの移動速度とを同期させることを特徴とする吸着テープ自動貼着方法である。
【００１４】
本発明は、前記テープ貼りユニットは、前記吸着テープの供給速度を調整する供給速度調整部を有することを特徴とする吸着テープ自動貼着方法である。
【００１５】
本発明は、前記吸着テープを切断する切断工程を更に備えたことを特徴とする吸着テープ自動貼着方法である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、粘着性が低い吸着テープを基板に対して自動で貼着することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態による吸着テープ自動貼着装置を示す平面図である。
【図２】図２は、本発明の第１の実施の形態による吸着テープ自動貼着装置を示す斜視図である。
【図３】図３は、吸着テープを示す断面図である。
【図４】図４は、本発明の第１の実施の形態による吸着テープ自動貼着装置を示す断面図（図１のIV−IV線断面図）である。
【図５】図５（ａ）−（ｃ）は、本発明の第１の実施の形態による吸着テープ自動貼着方法を示す平面図。
【図６】図６（ａ）−（ｃ）は、本発明の第１の実施の形態による吸着テープ自動貼着方法を示す平面図。
【図７】図７（ａ）−（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態による吸着テープ自動貼着方法を示す平面図。
【図８】図８（ａ）−（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態による吸着テープ自動貼着方法を示す平面図。
【図９】図９は、本発明の第１の実施の形態による吸着テープ自動貼着装置により貼着された吸着テープによって固定された金属箔を示す平面図である。
【図１０】図１０は、本発明の第１の実施の形態による吸着テープ自動貼着装置の変形例を示す断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の第２の実施の形態による吸着テープ自動貼着装置を示す平面図である。
【図１２】図１２（ａ）−（ｂ）は、本発明の第２の実施の形態による吸着テープ自動貼着方法を示す平面図である。
【図１３】図１３（ａ）−（ｂ）は、本発明の第２の実施の形態による吸着テープ自動貼着方法を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（第１の実施の形態）
以下、本実施の形態について、図１乃至図８を参照して説明する。なお、以下の各図において、同一部分には同一の符号を付しており、一部詳細な説明を省略する場合がある。なお、本明細書中、「表面」とは吸着テープが貼着される側の面（すなわち図４の上方を向く面、Ｚ方向プラス側の面）のことをいう。
【００１９】
図１、図２及び図４に示すように、吸着テープ自動貼着装置１０は、基板載置部１１と、基板載置部１１上に載置された基板１２に帯状の吸着テープ１３を貼着するテープ貼りユニット２０と、テープ貼りユニット２０を基板１２の上方で基板載置部１１の表面１１ａに対して平行に移動させる移動装置３０とを備えている。このうち基板載置部１１は、平面略矩形状に形成されており、その４辺はＸ方向、及びＸ方向に垂直なＹ方向に沿ってそれぞれ延びている。基板載置部１１は、作業スペースの床面１上に載置されており、例えば、コンベア等からなる図示しない搬送装置を有している。このような基板載置部１１は、基板１２を基板載置部１１に載置する際に、基板１２をＹ方向マイナス側に搬送させ、基板１２を基板載置部１１から取り除く際に、基板１２をＹ方向プラス側に搬送させることができるように構成されている。さらに、基板載置部１１上には、例えば平面略Ｌ字形状に形成された当て板１４が設けられており、基板載置部１１上に載置された基板１２が当て板１４に当接することにより、基板１２の位置決めを行うことができるように構成されている。
【００２０】
基板１２は、精密機器を作製する際の加工工程や搬送工程において、吸着テープ１３により固定される固定対象物（例えば金属箔）を支持するものであり、平坦な板状の部材からなる。基板１２としては、例えば、アルミニウムを用いることができる。基板１２の厚みは、材質の強度、取り扱い適性等を考慮して設定することができ、例えば、１０μｍ以上３００μｍ以下程度の範囲で適宜設定することができる。なお、基板１２のサイズは任意であり、固定対象物のサイズに合わせて適宜選択することができ、例えば、Ｇ６サイズ（１５００ｍｍ×１８５０ｍｍ）の基板１２を用いることができる。
【００２１】
図３に示すように、吸着テープ１３は、基板１２の表面に吸着する第１吸着層１３ａと、第１吸着層１３ａ上に設けられたフィルム層１３ｂと、フィルム層１３ｂ上に設けられた第２吸着層１３ｃと、第２吸着層１３ｃ上に設けられ、第２吸着層１３ｃを保護するセパレータ１３ｄとを含んでいる。このような吸着テープ１３は、第１吸着層１３ａを基板１２に吸着させた後、第２吸着層１３ｃからセパレータ１３ｄを剥離することにより、第２吸着層１３ｃを露出させ、第２吸着層１３ｃを固定対象物に吸着させることができるように構成されている。なお、「吸着テープ」とは、軟質樹脂基材に無数のミクロな気泡が形成されており、この気泡が吸盤の役割を果たすものである。この吸着テープは、吸着面を水などで洗い流すことにより吸着力が回復し、再使用が可能である。このような吸着テープ１３としては、例えばフジコピアン社製フィックスフィルム（登録商標）を用いることができる。
【００２２】
図１、図２及び図４に示すように、テープ貼りユニット２０は、本体部２１と、本体部２１に取り付けられる支持板２２と、支持板２２に取り付けられ、回転自在に設けられるとともに吸着テープ１３がロール状に巻装された巻出軸２３とを有している。このうち本体部２１は、略直方体状に形成されており、巻出軸２３に巻装された吸着テープ１３が本体部２１内に進入する入口開口２４と、吸着テープ１３が本体部２１から退出する出口開口２５とを含んでいる（図４参照）。また、本体部２１は、支持板２２を介して移動装置３０の後述する貼着用移動部３２Ａに取り付けられている。なお、本体部２１は支持板２２を介することなく、貼着用移動部３２Ａに直接取り付けられていても良い。
【００２３】
また、本体部２１内には、本体部２１内に進入した吸着テープ１３を自動的に切断する切断機構２６が設けられている。この切断機構２６は、基板１２に貼着された吸着テープ１３を所望の長さに切断する役割を果たす。この切断機構２６としては、カッター等を用いることができる。また、図４の仮想線（二点鎖線）に示すように、切断された吸着テープ１３は、Ｘ方向に沿って基板１２上に貼着されるようになっている。なお、本体部２１内に、本体部２１内に進入した吸着テープ１３を出口開口２５に案内するためのガイドローラ２７が設けられている。
【００２４】
支持板２２は、巻出軸２３を回転自在に支持するものであり、四角形状の平坦な板状の部材からなる。なお、これに限らず、支持板２２は、巻出軸２３を回転自在に支持することができれば、任意の形状を有していても良い。
【００２５】
巻出軸２３は、ロール状に巻装された吸着テープ１３を巻き出すことにより、吸着テープ１３を本体部２１内に進入させるためのものである。この巻出軸２３が図４に示す反時計回りに回転することにより、巻出軸２３に巻装された吸着テープ１３が巻き出され、吸着テープ１３が入口開口２４に進入するようになっている。また、巻出軸２３は、図示しないモータによって駆動され、巻出軸２３の回転速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期するように構成されている。すなわち、後述するように、テープ貼りユニット２０の移動距離に基づいて巻出軸２３の回転角度が決定され、吸着テープ１３が巻き出されている間、テープ貼りユニット２０の移動速度と巻出軸２３の回転により巻き出される吸着テープ１３の供給速度とが略同一に維持される。
【００２６】
図１及び図２に示すように、移動装置３０は、Ｘ方向に延びる貼着用シリンダ３１Ａと、貼着用シリンダ３１Ａの両端部に連結され、Ｙ方向に延びる一対の搬送用シリンダ３１Ｂとを有している。このうち、貼着用シリンダ３１Ａには、貼着用シリンダ３１Ａ上をＸ方向に移動する貼着用移動部３２Ａが設けられている。この貼着用シリンダ３１Ａは、例えば電動シリンダにより構成されており、図示しないモータがボールねじを回転させることにより、貼着用移動部３２Ａが貼着用シリンダ３１Ａ上をＸ方向に移動するように構成されている。なお、貼着用シリンダ３１Ａが電動シリンダにより構成されることにより、貼着用移動部３２Ａの位置精度を向上させることができ、Ｘ方向における吸着テープ１３の貼着場所の位置精度を、例えば、±１ｍｍ程度に保つことができる。
【００２７】
貼着用移動部３２Ａには、上述したテープ貼りユニット２０の支持板２２が取り付けられており、貼着用移動部３２ＡがＸ方向に移動することにより、テープ貼りユニット２０が基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＸ方向に移動するように構成されている。また、このような貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向マイナス側（第１の方向）へ移動する際、テープ貼りユニット２０から吸着テープ１３が供給されるようになっている。また、この際、テープ貼りユニット２０からの吸着テープ１３の供給速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とを同期させる。この場合、例えば、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に基づき、巻出軸２３を回転させることにより、巻出軸２３の回転速度をテープ貼りユニット２０の移動速度に同期させても良い。ところで、吸着テープ１３が巻出軸２３から巻き出されると、巻出軸２３に巻装された吸着テープ１３の直径が小さくなる。これにより、巻き出された吸着テープ１３の長さがテープ貼りユニット２０の移動距離よりも短くなる場合がある。この場合、基板１２に貼着された吸着テープ１３にテープ貼りユニット２０の移動方向に向かう張力が作用し、吸着テープ１３が基板１２から剥がれるおそれがある。また、巻き出された吸着テープ１３の長さがテープ貼りユニット２０の移動距離よりも長い場合、基板１２に貼着された吸着テープ１３にシワが発生するおそれがある。このため、テープ貼りユニット２０の移動距離と、巻き出された吸着テープ１３の長さとの差は、５％以下であることが好ましい。これにより、基板１２に貼着された吸着テープ１３に作用する張力を低減することができ、基板１２に貼着された吸着テープ１３が基板１２から剥がれる不具合を防止することができる。また、基板１２に貼着された吸着テープ１３にシワが発生する不具合を防止することができる。なお、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に対する巻出軸２３の回転数を調整することにより、テープ貼りユニット２０の移動距離と、巻き出された吸着テープ１３の長さとの差を５％以下に調整することができる。
【００２８】
一方、貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向プラス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０からは吸着テープ１３が供給されない。すなわち、貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向プラス側へ移動する場合には、テープ貼りユニット２０は、巻出軸２３を回転させることなく、巻出軸２３に巻装された吸着テープ１３は巻き出されない。
【００２９】
一対の搬送用シリンダ３１Ｂは、図示しない支持体により作業スペースの床面１上に支持されている。この一対の搬送用シリンダ３１Ｂの各々には、各々の搬送用シリンダ３１Ｂ上をＹ方向に移動する搬送用移動部３２Ｂがそれぞれ設けられている。これらの搬送用シリンダ３１Ｂは、例えば電動シリンダにより構成されており、図示しないモータがボールねじを回転させることにより、各々の搬送用移動部３２Ｂが搬送用シリンダ３１Ｂ上をＹ方向に移動するように構成されている。なお、搬送用シリンダ３１Ｂが電動シリンダにより構成されることにより、搬送用移動部３２Ｂの位置精度を向上させることができ、Ｙ方向における吸着テープ１３の貼着場所の位置精度を、例えば、±１ｍｍ程度に保つことができる。
【００３０】
搬送用移動部３２Ｂには、上述した貼着用シリンダ３１Ａの両端部が取り付けられており、各々の搬送用移動部３２ＢがＹ方向に移動することにより、貼着用シリンダ３１ＡをＹ方向に移動させるようになっている。すなわち、搬送用シリンダ３１Ｂは、搬送用移動部３２ＢがＹ方向に移動することにより、貼着用シリンダ３１Ａを介してテープ貼りユニット２０を基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＹ方向に搬送する。また、各々の搬送用移動部３２Ｂの移動速度は互いに等しく、各々の搬送用移動部３２Ｂに連結された貼着用シリンダ３１ＡがＸ方向に平行になる。なお、搬送用移動部３２Ｂが水平方向に沿ってＹ方向へ移動する際、テープ貼りユニット２０からは吸着テープ１３が供給されない。すなわち、搬送用移動部３２Ｂが水平方向に沿ってＹ方向へ移動する場合には、テープ貼りユニット２０は、巻出軸２３を回転させることなく、巻出軸２３に巻装された吸着テープ１３は巻き出されない。
【００３１】
次に、このような構成からなる本実施の形態における作用について説明する。ここでは、図１、図２及び図４に示す吸着テープ自動貼着装置１０を用いた吸着テープ自動貼着方法について図５（ａ）−（ｃ）、図６（ａ）−（ｃ）、図７（ａ）−（ｂ）及び図８（ａ）−（ｂ）により説明する。
【００３２】
まず、基板１２を準備する。
【００３３】
次に、基板載置部１１上に基板１２を載置する（載置工程）。この場合、まず、基板載置部１１を駆動させる。次に、基板載置部１１上に基板１２の一部を手作業で載置する（図５（ａ））。基板載置部１１上に基板１２の一部が載置すると、基板載置部１１が基板１２をＹ方向マイナス側へ移動させる。その後、基板１２は当て板１４に当接し、位置決めされる（図５（ｂ））。なお、この際、テープ貼りユニット２０は、所定の待機位置に位置付けられている（図５（ａ）−（ｂ）参照）。
【００３４】
次に、基板１２に帯状の吸着テープ１３を貼着する（第１貼着工程）。この場合、まず、搬送用シリンダ３１Ｂを駆動することにより、搬送用移動部３２ＢをＹ方向プラス側へ移動させる（図５（ｃ））。このようにして、テープ貼りユニット２０をＹ方向における所望の貼着開始位置に搬送する。この際、搬送用シリンダ３１Ｂが電動シリンダにより構成されることにより、搬送用移動部３２Ｂの位置精度を向上させることができ、Ｙ方向における吸着テープ１３の貼着場所の位置精度を、例えば、±１ｍｍ程度に保つことができる。次いで、基板１２の上方でテープ貼りユニット２０を基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＸ方向マイナス側（第１の方向）へ移動させる（図６（ａ））。この際、貼着用シリンダ３１Ａを駆動することにより、貼着用移動部３２ＡをＸ方向マイナス側へ移動させる。貼着用移動部３２ＡがＸ方向マイナス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０が駆動され、巻出軸２３から吸着テープ１３が巻き出される。巻き出された吸着テープ１３は、テープ貼りユニット２０の入口開口２４から本体部２１内に進入し、出口開口２５を通過して本体部２１から退出する（図４参照）。そして、本体部２１から退出した吸着テープ１３は、基板１２の表面に当接し、吸着テープ１３の第１吸着層１３ａが基板１２の表面に吸着する。このとき、吸着テープ１３の表面側から押圧力を加えることなく、吸着テープ１３の自重により吸着テープ１３が基板１２に吸着する。このようにして、テープ貼りユニット２０から基板１２へ吸着テープ１３が供給される。この際、貼着用シリンダ３１Ａが電動シリンダにより構成されることにより、貼着用移動部３２Ａの位置精度を向上させることができ、Ｘ方向における吸着テープ１３の貼着場所の位置精度を、例えば、±１ｍｍ程度に保つことができる。また、テープ貼りユニット２０から吸着テープ１３が供給される際、テープ貼りユニット２０からの吸着テープ１３の供給速度とテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期される。このとき、例えば、巻出軸２３の回転速度とテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期される。この場合、例えば、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に基づき、巻出軸２３を回転させることにより、巻出軸２３の回転速度をテープ貼りユニット２０の移動速度に同期させても良い。このようにして、テープ貼りユニット２０がＸ方向における所望の貼着終了位置に到達するまで、貼着用移動部３２ＡをＸ方向マイナス側へ移動させる。なお、吸着テープ１３が巻出軸２３から巻き出されると、巻出軸２３に巻装された吸着テープ１３の直径が小さくなる。これにより、テープ貼りユニット２０の移動距離と、巻き出された吸着テープ１３の長さとの間に差が生じる可能性がある。この場合、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に対する巻出軸２３の回転数を調整し、テープ貼りユニット２０の移動距離と、巻き出された吸着テープ１３の長さとの差を５％以下とすることが好ましい。これにより、基板１２に貼着された吸着テープ１３に作用する張力を低減することができ、基板１２に貼着された吸着テープ１３が基板１２から剥がれる不具合を防止することができる。また、基板１２に貼��された吸着テープ１３にシワが発生する不具合を防止することができる。
【００３５】
次いで、テープ貼りユニット２０がＸ方向における所望の貼着終了位置に到達した後、貼着用シリンダ３１Ａを停止し、切断機構２６により、吸着テープ１３を切断する（切断工程）。この際、切断された吸着テープ１３は、Ｘ方向に沿って基板１２上に貼着される。このようにして、基板１２に帯状の吸着テープ１３が貼着される。なお、吸着テープ１３を切断した後、巻出軸２３を更に回転させ、所定長さの吸着テープ１３を巻出軸２３から巻き出しても良い。これにより、出口開口２５を通過し本体部２１から退出する吸着テープ１３の先端を基板１２に近づけることができ、基板１２に吸着テープ１３を貼着する際の初期位置の位置精度を向上させることができる。
【００３６】
次に、基板１２の上方でテープ貼りユニット２０を基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＸ方向プラス側へ移動させる（第１移動工程）（図６（ｂ））。この際、貼着用シリンダ３１Ａを駆動することにより、貼着用移動部３２ＡをＸ方向プラス側へ移動させる。このようにして、テープ貼りユニット２０がＸ方向における所望の貼着開始位置に到達するまで、貼着用移動部３２ＡをＸ方向プラス側へ移動させる。なお、貼着用移動部３２ＡがＸ方向プラス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０が駆動されることはなく、巻出軸２３からは吸着テープ１３は巻き出されない。
【００３７】
次いで、テープ貼りユニット２０を基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＹ方向プラス側（第２の方向）へ移動させる（第２移動工程）（図６（ｃ））。この際、搬送用シリンダ３１Ｂを駆動することにより、搬送用移動部３２ＢをＹ方向プラス側へ移動させる。このようにして、テープ貼りユニット２０がＹ方向における所望の貼着開始位置に到達するまで、テープ貼りユニット２０をＹ方向プラス側へ搬送する。なお、搬送用移動部３２ＢがＹ方向プラス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０が駆動されることはなく、巻出軸２３からは吸着テープ１３は巻き出されない。
【００３８】
次に、基板１２に帯状の吸着テープ１３を貼着する（第２貼着工程）。この場合、まず、基板１２の上方でテープ貼りユニット２０を基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＸ方向マイナス側へ移動させる（図７（ａ））。この際、貼着用シリンダ３１Ａを駆動することにより、貼着用移動部３２ＡをＸ方向マイナス側へ移動させる。貼着用移動部３２ＡがＸ方向マイナス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０が駆動され、テープ貼りユニット２０から基板１２へ吸着テープ１３が供給される。また、テープ貼りユニット２０から吸着テープ１３が供給される際、テープ貼りユニット２０からの吸着テープ１３の供給速度とテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期される。このとき、例えば、巻出軸２３の回転速度とテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期される。この場合、例えば、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に基づき、巻出軸２３を回転させることにより、巻出軸２３の回転速度をテープ貼りユニット２０の移動速度に同期させても良い。このようにして、テープ貼りユニット２０がＸ方向における所望の貼着終了位置に到達するまで、貼着用移動部３２ＡをＸ方向マイナス側へ移動させる。
【００３９】
次いで、テープ貼りユニット２０がＸ方向における所望の貼着終了位置に到達した後、貼着用シリンダ３１Ａを停止し、切断機構２６により、吸着テープ１３を切断する（切断工程）。このようにして、基板１２に帯状の吸着テープ１３が貼着される。
【００４０】
次に、基板１２の上方でテープ貼りユニット２０を基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＸ方向プラス側へ移動させる（図７（ｂ））。この際、貼着用シリンダ３１Ａを駆動することにより、貼着用移動部３２ＡをＸ方向プラス側へ移動させる。このようにして、テープ貼りユニット２０がＸ方向における所望の貼着開始位置に到達するまで、貼着用移動部３２ＡをＸ方向プラス側へ移動させる。
【００４１】
次いで、テープ貼りユニット２０を基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＹ方向マイナス側へ移動させる（図８（ａ））。この際、搬送用シリンダ３１Ｂを駆動することにより、搬送用移動部３２ＢをＹ方向マイナス側へ移動させる。このようにして、テープ貼りユニット２０が待機位置に到達するまで、テープ貼りユニット２０をＹ方向マイナス側へ搬送する。なお、搬送用移動部３２ＢがＹ方向マイナス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０が駆動されることはなく、巻出軸２３からは吸着テープ１３は巻き出されない。
【００４２】
その後、基板載置部１１を駆動させることにより、吸着テープ１３が貼着された基板１２をＹ方向プラス側へ移動させる。基板１２を把持できる状態まで移動させた後、基板１２を基板載置部１１から手作業で取り除く（図８（ｂ））。
【００４３】
このようにして、吸着テープ１３が貼着された基板１２が得られる。
【００４４】
なお、図９に示すように、吸着テープ１３が貼着された基板１２上には、固定対象物、例えば金属箔１５が取り付けられる。この金属箔１５は、例えば、その後の工程において加工がなされ、精密機器が形成されるものである。このような金属箔１５の厚みは、例えば、１０μｍ以上３００μｍ以下程度の範囲で適宜設定することができる。
【００４５】
このとき、基板１２に貼着された吸着テープ１３の長手方向の長さ（Ｘ方向の長さ）は、金属箔１５のＸ方向の長さよりも長いことが好ましい。これにより、厚みが薄い金属箔１５を基板１２上に固定した際に、金属箔１５にシワが発生する不具合を防止することができる。また、吸着テープ１３の長手方向の長さが、金属箔１５のＸ方向の長さよりも長いことにより、基板１２に接触する吸着テープ１３の面積を金属箔１５に接触する吸着テープ１３の面積よりも大きくすることができる。これにより、基板１２に作用する吸着テープ１３の吸着力を、金属箔１５に作用する吸着テープ１３の吸着力よりも大きくすることができる。このため、金属箔１５を基板１２から取り外す際に、吸着テープ１３を基板１２に貼着させたまま、金属箔１５をのみを取り外すことができる。
【００４６】
このように本実施の形態によれば、基板１２に吸着テープ１３を貼着する際に、テープ貼りユニット２０からの吸着テープ１３の供給速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期される。これにより、基板１２に吸着テープ１３を貼着する際に、吸着テープ１３に作用する張力を低減させることができる。このため、粘着性が低い吸着テープ１３を基板１２に対して自動で貼着することができる。
【００４７】
また、本実施の形態によれば、基板１２に吸着テープ１３を貼着する際に、巻出軸２３の回転速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期される。これにより、テープ貼りユニット２０からの吸着テープ１３の供給速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とを容易に同期させることができる。
【００４８】
さらに、本実施の形態によれば、テープ貼りユニット２０は、吸着テープ１３を切断する切断機構２６を有している。これにより、基板１２に貼着する吸着テープ１３の長さを所望の長さに調節することができる。
【００４９】
変形例
次に、図１０により、本実施の形態による吸着テープ自動貼着装置の変形例について説明する。図１０に示す変形例は、テープ貼りユニット２０の構成が異なるものであり、他の構成は、図１乃至図８に示す形態と略同一である。図１０において、図１乃至図８と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５０】
図１０に示すテープ貼りユニット２０において、テープ貼りユニット２０の本体部２１内に、吸着テープ１３の供給速度を調整する供給速度調整部２８が設けられている。この供給速度調整部２８は、例えば吸着テープ１３を挟持する一対の送出ローラ２９によって構成されている。この送出ローラ２９は、図示しないモータによって駆動され、各々の送出ローラ２９の回転速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期するように構成されている。すなわち、後述するように、テープ貼りユニット２０の移動距離に基づいて各々の送出ローラ２９の回転角度が決定され、吸着テープ１３が巻き出されている間、テープ貼りユニット２０の移動速度と、一対の送出ローラ２９の回転により巻出軸２３から巻き出される吸着テープ１３の供給速度とが略同一に維持される。なお、送出ローラ２９の表面は、吸着テープ１３のセパレータ１３ｄと同様の材料により形成された被覆材２９ａにより被覆されていることが好ましい。これにより、一対の送出ローラ２９が吸着テープ１３を挟持した際に、吸着テープ１３が送出ローラ２９の表面に吸着することを防止することができる。
【００５１】
一方、巻出軸２３は、モータ等によって駆動されることなく、一対の送出ローラ２９の回転により、吸着テープ１３が巻出軸２３から巻き出される際に発生する張力により、回転するように構成されている。
【００５２】
移動装置３０の貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向マイナス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０からの吸着テープ１３の供給速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期するようになっている。この場合、例えば、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に基づき、一対の送出ローラ２９を回転させることにより、一対の送出ローラ２９の回転速度をテープ貼りユニット２０の移動速度に同期させても良い。この場合、巻出軸２３に巻装された吸着テープ１３の直径が小さくなった場合であっても、テープ貼りユニット２０の移動距離と、巻き出された吸着テープ１３の長さとを等しくすることができる。
【００５３】
図１０に示すテープ貼りユニット２０のように、テープ貼りユニット２０の本体部２１内に、吸着テープ１３の供給速度を調整する供給速度調整部２８が設けられていることにより、テープ貼りユニット２０の移動距離と、巻き出された吸着テープ１３の長さとを等しくすることができる。この場合、例えば巻出軸２３上に巻き上げられた吸着テープ１３の直径が変化した場合においても、テープ貼りユニット２０の移動速度と吸着テープ１３の供給速度とを容易に同期させることができ、テープ貼りユニット２０の移動距離と、巻き出された吸着テープ１３の長さとを等しくすることができる。
【００５４】
（第２の実施の形態）
次に、図１１乃至図１３を参照して本発明の第２の実施の形態について説明する。図１１乃至図１３は本発明の第２の実施の形態を示す図である。図１１乃至図１３に示す第２の実施の形態は、主として、吸着テープ自動貼着装置１０が、２つのテープ貼りユニット２０Ａ、２０Ｂを備えている点が第１の実施の形態と異なるものである。図１１乃至図１３において、第１の実施の形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００５５】
図１１に示すように、吸着テープ自動貼着装置１０は、２つのテープ貼りユニット２０Ａ、２０Ｂを備えている。各々のテープ貼りユニット２０Ａ、２０Ｂは、互いに対向して移動装置３０の貼着用移動部３２Ａに取り付けられている。このほかの構成は、第１の実施の形態におけるテープ貼りユニット２０と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００５６】
貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向マイナス側（第１の方向）へ移動する際、テープ貼りユニット２０Ａから吸着テープ１３が供給されるように構成されている。また、この際、テープ貼りユニット２０Ａからの吸着テープ１３の供給速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期するようになっている。この場合、例えば、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に基づき、巻出軸２３Ａを回転させることにより、巻出軸２３Ａの回転速度をテープ貼りユニット２０の移動速度に同期させても良い。
【００５７】
一方、貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向マイナス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０Ｂからは吸着テープ１３が供給されないように構成されている。すなわち、貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向マイナス側へ移動する場合には、テープ貼りユニット２０Ｂは、巻出軸２３Ｂを回転させることなく、巻出軸２３Ｂに巻装された吸着テープ１３は巻き出されない。
【００５８】
また、貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向プラス側（第１の方向の逆方向）へ移動する際、テープ貼りユニット２０Ａから吸着テープ１３が供給されるように構成されている。また、この際、テープ貼りユニット２０Ｂからの吸着テープ１３の供給速度と移動装置３０によるテープ貼りユニット２０の移動速度とが同期するようになっている。この場合、例えば、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に基づき、巻出軸２３Ｂを回転させることにより、巻出軸２３Ｂの回転速度をテープ貼りユニット２０の移動速度に同期させても良い。
【００５９】
一方、貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向プラス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０Ａからは吸着テープ１３が供給されないように構成されている。すなわち、貼着用移動部３２Ａが水平方向に沿ってＸ方向プラス側へ移動する場合には、テープ貼りユニット２０Ａは、巻出軸２３Ａを回転させることなく、巻出軸２３Ａに巻装された吸着テープ１３は巻き出されない。
【００６０】
次に、このような構成からなる本実施の形態における作用について説明する。ここでは、図１１に示す吸着テープ自動貼着装置１０を用いた吸着テープ自動貼着方法について図１２（ａ）−（ｂ）及び図１３（ａ）−（ｂ）により説明する。
【００６１】
まず、例えば図５(ａ)−（ｃ）に示す方法により、基板１２を準備し、基板載置部１１上に基板１２を載置した後に、搬送用シリンダ３１Ｂを駆動することにより、搬送用移動部３２ＢをＹ方向プラス側へ移動させる。次いで、基板１２の上方でテープ貼りユニット２０を基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＸ方向マイナス側（第１の方向）へ移動させる（図１２（ａ））。この際、貼着用シリンダ３１Ａを駆動することにより、貼着用移動部３２ＡをＸ方向マイナス側へ移動させる。貼着用移動部３２ＡがＸ方向マイナス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０Ａが駆動され、巻出軸２３Ａから吸着テープ１３が巻き出される。このようにして、テープ貼りユニット２０Ａから基板１２へ吸着テープ１３が供給される。また、テープ貼りユニット２０Ａから吸着テープ１３が供給される際、テープ貼りユニット２０Ａからの吸着テープ１３の供給速度とテープ貼りユニット２０Ａの移動速度とが同期される。このとき、例えば、巻出軸２３Ａの回転速度とテープ貼りユニット２０Ａの移動速度とが同期される。この場合、例えば、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に基づき、巻出軸２３Ａを回転させることにより、巻出軸２３Ａの回転速度をテープ貼りユニット２０Ａの移動速度に同期させても良い。このようにして、テープ貼りユニット２０ＡがＸ方向における所望の貼着終了位置に到達するまで、貼着用移動部３２ＡをＸ方向マイナス側へ移動させる。なお、貼着用移動部３２ＡがＸ方向プラス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０Ｂが駆動されることなく、巻出軸２３Ｂからは吸着テープ１３は巻き出されない。
【００６２】
次いで、テープ貼りユニット２０ＡがＸ方向における所望の貼着終了位置に到達した後、貼着用シリンダ３１Ａを停止し、テープ貼りユニット２０Ａに設けられた切断機構２６（図示せず）により、吸着テープ１３を切断する（切断工程）。このようにして、基板１２に帯状の吸着テープ１３が貼着される。
【００６３】
次いで、テープ貼りユニット２０を基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＹ方向プラス側（第２の方向）へ移動させる（移動工程）（図１２（ｂ））。この際、テープ貼りユニット２０ＢがＹ方向における所望の貼着開始位置に到達するまで、テープ貼りユニット２０Ａ、２０ＢをＹ方向プラス側へ搬送する。
【００６４】
次に、基板１２に帯状の吸着テープ１３を貼着する（第２貼着工程）。この場合、まず、基板１２の上方でテープ貼りユニット２０Ｂを基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＸ方向プラス側へ移動させる（図１３（ａ））。この際、貼着用シリンダ３１Ａを駆動することにより、貼着用移動部３２ＡをＸ方向プラス側へ移動させる。貼着用移動部３２ＡがＸ方向プラス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０Ｂが駆動され、テープ貼りユニット２０Ｂから基板１２へ吸着テープ１３が供給される。また、テープ貼りユニット２０Ｂから吸着テープ１３が供給される際、テープ貼りユニット２０Ｂからの吸着テープ１３の供給速度とテープ貼りユニット２０Ｂの移動速度とが同期される。このとき、例えば、巻出軸２３Ｂの回転速度とテープ貼りユニット２０Ｂの移動速度とが同期される。この場合、例えば、貼着用シリンダ３１Ａの図示しないモータの回転数に基づき、巻出軸２３Ｂを回転させることにより、巻出軸２３Ｂの回転速度をテープ貼りユニット２０Ｂの移動速度に同期させても良い。このようにして、テープ貼りユニット２０ＢがＸ方向における所望の貼着終了位置に到達するまで、貼着用移動部３２ＡをＸ方向マイナス側へ移動させる。なお、貼着用移動部３２ＡがＸ方向プラス側へ移動する際、テープ貼りユニット２０Ａが駆動されることなく、巻出軸２３Ａからは吸着テープ１３は巻き出されない。
【００６５】
次いで、テープ貼りユニット２０ＢがＸ方向における所望の貼着終了位置に到達した後、貼着用シリンダ３１Ａを停止し、テープ貼りユニット２０Ｂに設けられた切断機構２６（図示せず）により、吸着テープ１３を切断する（切断工程）。このようにして、基板１２に帯状の吸着テープ１３が貼着される。
【００６６】
次いで、テープ貼りユニット２０Ａ、２０Ｂを基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＹ方向マイナス側へ移動させる（図１３（ｂ））。この際、搬送用シリンダ３１Ｂを駆動することにより、搬送用移動部３２ＢをＹ方向マイナス側へ移動させる。このようにして、テープ貼りユニット２０Ａ、２０Ｂが待機位置に到達するまで、テープ貼りユニット２０をＹ方向マイナス側へ搬送する。
【００６７】
その後、図８（ｂ）に示すように、基板載置部１１を駆動させることにより、吸着テープ１３が貼着された基板１２をＹ方向プラス側へ移動させる。基板１２を把持できる状態まで移動させた後、基板１２を基板載置部１１から手作業で取り除く。
【００６８】
このようにして、吸着テープ１３が貼着された基板１２が得られる。
【００６９】
このように本実施の形態によれば、吸着テープ自動貼着装置１０が、互いに対向して移動装置３０の貼着用移動部３２Ａに取り付けられた２つのテープ貼りユニット２０Ａ、２０Ｂを備えている。これにより、テープ貼りユニット２０Ａ、２０Ｂを基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＸ方向マイナス側へ移動させる際に、一方のテープ貼りユニット２０Ａから基板１２へ吸着テープ１３を供給し、テープ貼りユニット２０Ａ、２０Ｂを基板載置部１１の表面１１ａに対して平行にＸ方向プラス側へ移動させる際に、他方のテープ貼りユニット２０Ｂから基板１２へ吸着テープ１３を供給することができる。このため、テープ貼りユニット２０Ａ、２０Ｂの基板載置部１１の表面１１ａに対して平行なＸ方向への移動を低減することができ、作業時間を短縮させることができる。
【００７０】
上記各実施の形態および変形例に開示されている複数の構成要素を必要に応じて適宜組合せることも可能である。あるいは、上記各実施の形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【符号の説明】
【００７１】
１０        吸着テープ自動貼着装置
１１        基板載置部
１１ａ      表面
１２        基板
１３        吸着テープ
２０、２０Ａ、２０Ｂ    テープ貼りユニット
２３、２３Ａ、２３Ｂ    巻出軸
２６        切断機構
２８        供給速度調整部
３０        移動装置
【図１】
2018149632.tif 000003
【図２】
2018149632.tif 000004
【図３】
2018149632.tif 000005
【図４】
2018149632.tif 000006
【図５】
2018149632.tif 000007
【図６】
2018149632.tif 000008
【図７】
2018149632.tif 000009
【図８】
2018149632.tif 000010
【図９】
2018149632.tif 000011
【図１０】
2018149632.tif 000012
【図１１】
2018149632.tif 000013
【図１２】
2018149632.tif 000014
【図１３】
2018149632.tif 000015