(57)【要約】【課題】故障が検出された際の状態を出来るだけ維持したまま非破壊的に監視、検査又は故障解析できる回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体等を提供すること。【解決手段】回路装置１００は、物理量トランスデューサーからの出力信号に基づく測定処理を行って、少なくとも１つの物理量信号を出力する測定回路１１０と、物理量信号が入力され、物理量信号のＡ／Ｄ変換を行って物理量データを出力するＡ／Ｄ変換回路３０と、物理量データを出力するインターフェース１３０と、を含む。Ａ／Ｄ変換回路３０は、監視、検査又は故障解析における信号検出対象である第１〜第ｍのモニター信号が測定回路１１０から入力され、第１〜第ｍのモニター信号のＡ／Ｄ変換を行って、第１〜第ｍのモニターデータを出力する。インターフェース１３０は、第１〜第ｍのモニターデータを出力する。【選択図】      図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物理量トランスデューサーからの出力信号に基づく測定処理を行って、少なくとも１つの物理量信号を出力する測定回路と、
前記物理量信号が入力され、前記物理量信号のＡ／Ｄ変換を行って物理量データを出力するＡ／Ｄ変換回路と、
前記物理量データを出力するインターフェースと、
を含み、
前記Ａ／Ｄ変換回路は、
監視、検査又は故障解析における信号検出対象である第１のモニター信号〜第ｍのモニター信号（ｍは２以上の整数）が前記測定回路から入力され、前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号のＡ／Ｄ変換を行って、第１のモニターデータ〜第ｍのモニターデータを出力し、
前記インターフェースは、
前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータを出力することを特徴とする回路装置。
【請求項２】
請求項１に記載の回路装置において、
前記Ａ／Ｄ変換回路は、
前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号を時分割にＡ／Ｄ変換して、前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニターデータを出力することを特徴とする回路装置。
【請求項３】
請求項２に記載の回路装置において、
前記Ａ／Ｄ変換回路は、
前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号と前記物理量信号が入力されるマルチプレクサーと、
前記マルチプレクサーの出力信号を時分割にＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、
を含むことを特徴とする回路装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の回路装置において、
前記第１〜第ｍのモニター信号は、
前記測定回路のノードのモニター信号を含むことを特徴とする回路装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の回路装置において、
前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号は、
前記測定回路の故障検出用の信号を含むことを特徴とする回路装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の回路装置において、
前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号は、
前記物理量トランスデューサーからの前記出力信号の変換信号と、前記物理量トランスデューサーを駆動する駆動信号と、前記物理量信号を検波するための同期信号の少なくとも１つを含むことを特徴とする回路装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の回路装置において、
物理量データの非出力期間において、前記Ａ／Ｄ変換回路が前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号をＡ／Ｄ変換し、前記インターフェースが前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータを出力することを特徴とする回路装置。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の回路装置において、
回路装置のテストモードにおいて、前記Ａ／Ｄ変換回路が前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号をＡ／Ｄ変換し、前記インターフェースが前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータを出力することを特徴とする回路装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか一項に記載の回路装置において、
前記インターフェースは、
前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータをシリアルデータとして出力することを特徴とする回路装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の回路装置と、
前記物理量トランスデューサーと、
を含むことを特徴とする物理量測定装置。
【請求項１１】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の回路装置を含むことを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項１乃至９のいずれか一項に記載の回路装置を含むことを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体等に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラ、スマートフォン等の電子機器や車、飛行機等の移動体には、外的な要因で変化する物理量を検出するための物理量測定装置が組み込まれている。例えば、角速度を検出するジャイロセンサーは、いわゆる手振れ補正、姿勢制御、ＧＰＳ自律航法などに用いられている。
【０００３】
このような物理量測定装置を検査する技術として、例えば特許文献１〜３に開示される技術がある。特許文献１では、物理量測定装置は、複数の電圧をモニターする複数の電圧判定回路と、その複数の判定結果信号から１つを選択して外部出力端子へ出力するスイッチとを備える。複数の電圧判定回路のうち第１の電圧判定回路は、駆動回路の入力信号又は出力信号の電圧レベルをモニターし、第２の電圧判定回路は、検波回路の入力信号の電圧レベルが正常か否かを判定する。特許文献２では、角速度検出装置用回路は、駆動周波数と異なる周波数の角速度擬似信号を生成し、その角速度擬似信号と駆動信号とを加算して振動子の駆動電極に供給し、故障診断モード時には、あらかじめ設定された静電結合差による振動漏れ差によって故障診断する。特許文献３では、物理量測定装置は、振動素子からの検出信号を増幅する増幅回路と、その後段に入力される信号の飽和状態を監視する飽和監視回路とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１６９４０９号公報
【特許文献２】特開２０１０−０４３９６２号公報
【特許文献３】特開２０１６−１８３９１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような物理量測定装置の監視、検査又は故障解析では、故障が検出された際の状態を出来るだけ維持したまま非破壊的に監視、検査又は故障解析できることが望ましい。
【０００６】
具体的には、監視、検査又は故障解析において、複数の信号の位相やタイミングの関係をモニターしたい場合がある。このような場合、複数の信号をパッケージの端子から出力させる必要があるが、パッケージのサイズや形状等によって端子数が制限されている場合には、監視、検査又は故障解析用の端子数を十分に確保できない可能性がある。パッケージの端子から信号検出対象（モニター対象）の複数の信号を取り出せない場合、パッケージを分解してＩＣチップを取り出す等の処置が必要となり、非破壊的に検査することができなくなる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は態様として実現することが可能である。
【０００８】
本発明の一態様は、物理量トランスデューサーからの出力信号に基づく測定処理を行って、少なくとも１つの物理量信号を出力する測定回路と、前記物理量信号が入力され、前記物理量信号のＡ／Ｄ変換を行って物理量データを出力するＡ／Ｄ変換回路と、前記物理量データを出力するインターフェースと、を含み、前記Ａ／Ｄ変換回路は、監視、検査又は故障解析における信号検出対象（モニター対象）である第１のモニター信号〜第ｍのモニター信号（ｍは２以上の整数）が入力され、前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号のＡ／Ｄ変換を行って、前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータを出力し、前記インターフェースは、前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータを出力する回路装置に関係する。
【０００９】
本発明の一態様によれば、少なくとも１つの物理量信号のＡ／Ｄ変換を行うＡ／Ｄ変換回路が、第１〜第ｍのモニター信号のＡ／Ｄ変換を行い、そのＡ／Ｄ変換データであるモニターデータがインターフェースから出力される。これにより、インターフェースによる通信用のパッドからモニターデータを出力することが可能になり、故障が検出された際の状態を出来るだけ維持したまま非破壊的に監視、検査又は故障解析できるようになる。
【００１０】
また本発明の一態様では、前記Ａ／Ｄ変換回路は、前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号を時分割にＡ／Ｄ変換して、前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータを出力してもよい。
【００１１】
このようにすれば、各モニター信号の時分割タイミングは、例えば時分割動作の周波数や制御タイミング等で決まっているため、インターフェースから出力される第１〜第ｍのモニターデータに基づいて第１〜第ｍのモニター信号の波形を再現することが可能になる。
【００１２】
また本発明の一態様では、前記Ａ／Ｄ変換回路は、前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号と前記物理量信号が入力されるマルチプレクサーと、前記マルチプレクサーの出力信号を時分割にＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器と、を含んでもよい。
【００１３】
Ａ／Ｄ変換器のサンプリングタイミングは、マルチプレクサーの時分割タイミングに同期している。即ち、マルチプレクサーが第１〜第ｍのモニター信号を時分割に選択するタイミングに基づいて、第１〜第ｍのモニターデータを第１〜第ｍのモニター信号の波形としてプロットし、第１〜第ｍのモニター信号の波形を再現することが可能になる。
【００１４】
また本発明の一態様では、前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号は、前記測定回路のノードのモニター信号を含んでもよい。
【００１５】
このようにすれば、測定回路のノードのモニター信号の位相関係やタイミング関係をモニターすることが可能になる。
【００１６】
また本発明の一態様では、前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号は、前記測定回路の故障検出用の信号を含んでもよい。
【００１７】
このようにすれば、測定回路の故障検出用の信号の位相関係やタイミング関係をモニターすることが可能になる。
【００１８】
また本発明の一態様では、前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号は、前記物理量トランスデューサーからの前記出力信号の変換信号と、前記物理量トランスデューサーを駆動する駆動信号と、前記物理量信号を検波するための検波信号と、の少なくとも１つを含んでもよい。
【００１９】
このようにすれば、物理量トランスデューサーからの出力信号の変換信号と、物理量トランスデューサーを駆動する駆動信号と、物理量信号を検波するための検波信号の位相関係やタイミング関係をモニターすることが可能になる。
【００２０】
また本発明の一態様では、物理量データの非出力期間において、前記Ａ／Ｄ変換回路が前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号をＡ／Ｄ変換し、前記インターフェースが前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータを出力してもよい。
【００２１】
このように物理量データの非出力期間においてインターフェースにより第１〜第ｍのモニターデータが出力されることで、物理量データの非出力期間において第１〜第ｍのモニターデータを取得することが可能になり、第１〜第ｍのモニター信号をモニターすることができるようになる。
【００２２】
また本発明の一態様では、回路装置のテストモードにおいて、前記Ａ／Ｄ変換回路が前記第１のモニター信号〜前記第ｍのモニター信号をＡ／Ｄ変換し、前記インターフェースが前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータを出力してもよい。
【００２３】
このようにテストモードにおいてインターフェースにより第１〜第ｍのモニターデータが出力されることで、回路装置をテストモードに設定することで第１〜第ｍのモニターデータを取得することが可能になり、第１〜第ｍのモニター信号をモニターできるようになる。
【００２４】
また本発明の一態様では、前記インターフェースは、前記第１のモニターデータ〜前記第ｍのモニターデータをシリアルデータで出力してもよい。
【００２５】
このようにすれば、時分割にＡ／Ｄ変換された少なくとも１つの物理量データや第１〜第ｍのモニターデータを、シリアルデータとしてインターフェースから出力することが可能になる。
【００２６】
また本発明の他の態様は、上記のいずれかに記載の回路装置と、前記物理量トランスデューサーと、を含む物理量測定装置に関係する。
【００２７】
また本発明の更に他の態様は、上記のいずれかに記載の回路装置を含む電子機器に関係する。
【００２８】
また本発明の更に他の態様は、上記のいずれかに記載の回路装置を含む移動体に関係する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】物理量測定装置の第１の構成例。
【図２】基板の平面に垂直な検出軸を有する場合の物理量測定装置の第２の構成例。
【図３】基板の平面に平行な検出軸を有する場合の物理量測定装置の第３の構成例。
【図４】物理量トランスデューサーを駆動する駆動回路の構成例。
【図５】複数の信号を１つの端子から出力する場合の出力手法の一例（比較例）。
【図６】図５の出力手法におけるタイミングチャート。
【図７】本実施形態の回路装置の構成例。
【図８】駆動回路のノードの信号をモニター信号とする場合の、回路装置の動作を模式的に示す図。
【図９】測定回路及びマルチプレクサーの詳細な構成例。
【図１０】本実施形態の回路装置を含む物理量測定装置の構成例。
【図１１】移動体の例。
【図１２】電子機器の例。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
【００３１】
１．監視、検査又は故障解析の手法の比較例
以下に説明するように、所定の検出軸での物理量（例えば角速度、加速度等）を検出する場合、その検出軸の向きに応じてパッケージの形状等が変更され、端子数が変わる場合がある。端子数が少ないパッケージでは、テスト端子に割り当てる端子数が少なくなるため、監視や検査、故障解析の内容によっては十分な監視や検査、故障解析を行えないおそれがある。
【００３２】
図１は、物理量測定装置の第１の構成例である。図１は、パッケージのリッド部（蓋）を開けた状態で、パッケージを平面視した（検出軸方向側から見た）図である。
【００３３】
物理量測定装置８００は、パッケージのベース部８１０、回路装置８２０、第１の物理量トランスデューサー８３０、第２の物理量トランスデューサー８４０を含む。回路装置８２０は、物理量トランスデューサー８３０、８４０を駆動する駆動回路や、物理量トランスデューサー８３０、８４０の検出信号に基づいて物理量信号を検出する検出回路等を含んでいる。例えば、第１の物理量トランスデューサー８３０は、角速度検出素子（ジャイロセンサー素子）であり、第２の物理量トランスデューサー８４０は、加速度検出素子である。
【００３４】
物理量トランスデューサー８３０、８４０の検出軸方向をＤｄｅｔとし、平面視におけるパッケージの長辺方向をＤＡとし、短辺方向をＤＢとする。方向Ｄｄｅｔ、ＤＡ、ＤＢは互いに直交する。
【００３５】
パッケージのベース部８１０の底面８１１には、回路装置８２０が配置されている。回路装置８２０は例えばＩＣチップ（半導体チップ）である。検出軸方向Ｄｄｅｔを高さ方向として、底面８１１の外周部８１２は底面より一段高いステップ状の面になっている。第１の物理量トランスデューサー８３０の長手方向（ＤＡ）の端部が、外周部８１２に接着されることで、第１の物理量トランスデューサー８３０が回路装置８２０の上に実装される。例えば、角速度検出素子である振動子を支持する支持部材が外周部８１２に接着され、その支持部材に振動子が支持された状態になっている。第２の物理量トランスデューサー８４０は、回路装置８２０の上に実装されている。パッケージのベース部８１０には、外周部８１２よりも更に一段高い縁が設けられており、その縁にリッド部（蓋）が接着されることで、回路装置８２０及び物理量トランスデューサー８３０、８４０がパッケージに格納される。
【００３６】
図２は、基板の平面に垂直な検出軸を有する場合の物理量測定装置の第２の構成例である。図２では、物理量トランスデューサーの図示を省略しているが、図１で説明した回路装置と物理量トランスデューサーの位置関係で物理量トランスデューサーがパッケージ内に配置される。
【００３７】
物理量測定装置８００が基板に実装された状態において基板の平面に垂直な方向をｚとする。方向ｚは、図１の検出軸方向Ｄｄｅｔに対応し、方向ｘ、ｙは図１の方向ＤＡ、ＤＢに対応する。
【００３８】
回路装置８２０には、物理量測定装置８００の外部と接続するためのパッド８２５が設けられる。図２の例では、１４個のパッド８２５が設けられている。パッケージ８１３には、１４個のパッド８２５に対応する１４個の端子８１５が設けられる。例えば、パッケージ８１３の長辺に４個（２つの長辺で８個）の端子８１５が設けられ、短辺に３個（２つの短辺で６個）の端子８１５が設けられる。
【００３９】
例えば、回路装置８２０の１４個のパッド８２５のうち、４個が電源用のパッドであり、４個がシリアル通信用のパッドであり、６個がテスト用のパッドである。図２のようなパッケージ８１３では、同数の端子８１５が設けられているため６個のテスト端子（テスト用のパッドが接続される端子）を確保することが可能である。監視や検査、故障解析において複数の信号の位相関係等をモニターする場合があるが、図２のようなパッケージではテスト端子の数が確保されており、複数の信号を同時に出力可能である。
【００４０】
図３は、基板の平面に平行な検出軸を有する場合の物理量測定装置の第３の構成例である。図３では、物理量トランスデューサーの図示を省略しているが、図１で説明した回路装置と物理量トランスデューサーの位置関係で物理量トランスデューサーがパッケージ内に配置される。
【００４１】
図３では、方向ｘが図１の検出軸方向Ｄｄｅｔに対応し、方向ｙ、ｚは、図１の方向ＤＡ、ＤＢに対応する。即ち、回路装置８２０の短辺が基板に垂直になるように、回路装置８２０がパッケージ８１４に格納されている。
【００４２】
パッケージ８１４が基板に実装された際、パッケージ８１４の−ｚ側の面が基板に接するが、この−ｚ側の面に対して回路装置８２０の平面が垂直になっている。そのため、回路装置８２０のパッド８２５とパッケージ８１４の端子８１７を接続するためには、パッケージ８１４内で配線の取り回しが必要となる。このような理由と、パッケージ８１４の大型化を防ぐ理由から、図３のようなタイプのパッケージ８１４では端子数が限られる。例えば図３では、パッケージ８１４の−ｘ側の面には端子が設けられておらず、＋ｘ側の面の４端子と＋ｙ側の面の３端子と−ｙ側の３端子の１０個の端子８１７が設けられている。
【００４３】
回路装置８２０に１４個のパッド８２５が設けられている場合、４個のパッド８２５はパッケージ８１４の端子に接続できない。電源用やシリアル通信用のパッドはパッケージ８１４の端子に接続する必要があるので、テスト用の端子としては２端子しか割り当てがないことになる。例えば、３つ以上の信号の位相関係等をモニターしたい場合には、テスト用の端子が不足することになる。また、テスト用の端子のうち、１端子を特定の機能（例えばシャットダウン電流測定用の制御端子）に割り当てる場合がある。このような場合、任意の信号を出力するための端子は１個になり、複数の信号の位相関係等をモニターすることが困難になる。
【００４４】
次に、位相関係等をモニターする複数の信号の例、及びテスト用の端子数が少ない場合に複数の信号の位相関係等をモニターすることが困難である点について説明する。
【００４５】
図４は、物理量トランスデューサーを駆動する駆動回路の構成例である。図４には、一例として、振動子（角速度検出素子）を駆動する駆動回路の構成例を示す。駆動回路３２０は、電流電圧変換回路３２１、ハイパスフィルター３２２、駆動信号出力回路３２３、全波整流回路３２４、積分回路３２５、第１の同期信号出力回路３２６、位相調整回路３２７、第２の同期信号出力回路３２８を含む。
【００４６】
駆動回路３２０は、端子Ｔ１を介して駆動信号ＤＳを振動子４１０の一端に出力し、駆動回路３２０には端子Ｔ２を介して振動子４１０の他端からのフィードバック信号ＤＧ（電流信号）が入力される。端子Ｔ１、Ｔ２は、駆動回路３２０を含む回路装置の端子（パッド）である。
【００４７】
電流電圧変換回路３２１は、フィードバック信号ＤＧを電流電圧変換し、その結果を電圧信号ＩＶＯとして出力する。ハイパスフィルター３２２は、電圧信号ＩＶＯをハイパスフィルター処理し、その結果を信号ＨＰＱとして出力する。駆動信号出力回路３２３は、信号ＨＰＱから駆動信号ＤＳを生成し、駆動信号ＤＳを端子Ｔ２に出力する。全波整流回路３２４は、電圧信号ＩＶＯを全波整流し、その結果を信号ＲＣＱとして出力する。積分回路３２５は、信号ＲＣＱを積分し、その結果を信号ＩＮＱとして出力する。駆動信号出力回路３２３は、例えば信号ＨＰＱを矩形波信号に成形する回路であり、その矩形波の振幅は信号ＩＮＱに基づいて制御される。これにより、駆動信号ＤＳの振幅が負帰還制御され、一定の振幅が維持されるようになる。
【００４８】
第１の同期信号出力回路３２６は、電圧信号ＩＶＯに同期した矩形波の第１の同期信号ＳＤＥＴ１を、信号ＨＰＱから生成する回路である。電圧信号ＩＶＯを正弦波として位相を考えると、第１の同期信号ＳＤＥＴ１の立ち上がりエッジの位相は１８０度（略１８０度）になる。位相調整回路３２７は、電圧信号ＩＶＯの位相を９０度シフトさせ、その結果を信号ＰＡＱとして出力する回路である。第２の同期信号出力回路３２８は、電圧信号ＩＶＯに同期した矩形波の第２の同期信号ＳＤＥＴ２を、信号ＩＶＯから生成する回路である。電圧信号ＩＶＯを正弦波として位相を考えると、第２の同期信号ＳＤＥＴ２の立ち上がりエッジの位相は９０度（略９０度）になる。第１の同期信号ＳＤＥＴ１と第２の同期信号ＳＤＥＴ２は、物理量信号を検出する検出回路で用いられる信号であり、互いに位相が９０度異なっている。第１の同期信号ＳＤＥＴ１は物理量信号の同期検波に用いられ、第２の同期信号ＳＤＥＴ２は振動子４１０の機械漏れ信号の同期検波に用いられる。
【００４９】
以上のような駆動系（駆動回路及び振動子）の監視や検査、故障解析では、例えば電圧信号ＩＶＯ、第１の同期信号ＳＤＥＴ１、第２の同期信号ＳＤＥＴ２、駆動信号ＤＳの位相関係をモニターする。これらを同時にモニターしようとすると、物理量測定装置のパッケージにはテスト端子が４つ必要となる。図３で説明したようにテスト端子が実質的に１つである場合、上記の４つの信号を１つの端子から出力することになるので、４つの信号を同時に出力することはできなくなる。このような場合の出力手法の一例（比較例）を図５に示す。また図６に、その出力手法におけるタイミングチャートを示す。
【００５０】
図５、図６に示すように、制御回路８２２は、時分割制御信号（時分割命令）をマルチプレクサー８２１に出力し、その時分割制御信号に従ってマルチプレクサー８２１が電圧信号ＩＶＯ、第１の同期信号ＳＤＥＴ１、第２の同期信号ＳＤＥＴ２、駆動信号ＤＳを時分割に選択する。選択された信号は、テスト端子Ｔｔｅｓｔを介して物理量測定装置の外部に出力される。図６に示すように、テスト端子Ｔｔｅｓｔから出力される信号は、電圧信号ＩＶＯ、第１の同期信号ＳＤＥＴ１、第２の同期信号ＳＤＥＴ２、駆動信号ＤＳが時分割に並んだものとなっており、同じタイミングでの複数の信号の波形を取得することができない。このため、この時分割の信号から４つの信号の位相関係を知ることは困難である。
【００５１】
２．回路装置
図７は、本実施形態の回路装置の構成例である。回路装置１００は、測定回路１１０、Ａ／Ｄ変換回路３０、インターフェース１３０（インターフェース回路）を含む。また回路装置１００は、マルチプレクサー１２０、処理回路７０、制御回路８０を含むことができる。なお、本実施形態は図７の構成に限定されず、その構成要素の一部を省略したり、他の構成要素を追加したりする等の種々の変形実施が可能である。
【００５２】
測定回路１１０は、物理量トランスデューサーからの出力信号に基づく測定処理を行って、少なくとも１つの物理量信号ＰＨＳ１〜ＰＨＳ６を出力する。Ａ／Ｄ変換回路３０は、物理量信号ＰＨＳ１〜ＰＨＳ６が入力され、物理量信号ＰＨＳ１〜ＰＨＳ６のＡ／Ｄ変換を行って物理量データを出力する。インターフェース１３０は、物理量データを出力する。そして、Ａ／Ｄ変換回路３０は、測定回路１１０からの第１〜第４のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４（第１〜第ｍのモニター信号）が入力され、第１〜第４のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４のＡ／Ｄ変換を行って、第１〜第４のモニターデータ（第１〜第ｍのモニターデータ）を出力する。インターフェース１３０は、第１〜第４のモニターデータ（第１〜第ｍのモニターデータ）を出力する。
【００５３】
具体的には、測定回路１１０は、物理量トランスデューサーを用いた物理量の測定を行うための回路である。例えば、測定回路１１０は、物理量トランスデューサーからの出力信号（検出信号）に基づいて、物理量に対応する物理量信号を検出する検出回路を含む。また、測定回路１１０は、物理量トランスデューサーに駆動信号を出力し、物理量トランスデューサーを駆動する駆動回路を更に含んでもよい。複数の物理量トランスデューサーを用いる場合、測定回路１１０は、各物理量トランスデューサーに対応した検出回路（と駆動回路）を含んでもよい。図７では、測定回路１１０が複数（６つ）の物理量信号を検出する場合を図示したが、これに限定されず、測定回路１１０は、１つの物理量信号を検出してもよい。測定回路１１０が１つの物理量信号を出力する場合、Ａ／Ｄ変換回路３０は、例えば１つの物理量信号を含む複数（２以上）の信号をＡ／Ｄ変換する。
【００５４】
Ａ／Ｄ変換回路３０は、複数の入力信号をＡ／Ｄ変換し、各入力信号に対応したＡ／Ｄ変換データを出力する。複数の入力信号として物理量信号ＰＨＳ１〜ＰＨＳ６が入力された場合、各物理量信号に対応する物理量データを出力し、モニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４が入力された場合、各モニター信号に対応するモニターデータを出力する。図７では、Ａ／Ｄ変換回路３０が複数の入力信号を時分割にＡ／Ｄ変換する場合を例に説明するが、これに限定されず、Ａ／Ｄ変換回路３０は、複数の入力信号を複数のＡ／Ｄ変換器により並列にＡ／Ｄ変換してもよい（この場合、マルチプレクサー１２０が省略されてもよい）。
【００５５】
モニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４は、物理量測定装置の監視や検査、故障解析において信号検出対象（モニター対象）となる信号である。即ち、測定回路１１０の測定処理において、所定の位相関係や所定のタイミング関係を有している複数の信号である。例えば、モニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４は、測定回路１１０の各回路が出力する信号、或いは各回路の内部ノード信号、或いはそれらの信号に基づいて生成された信号等である。モニターとは、監視、検査又は故障解析等のために信号を検出する動作（処理）、或いは、それを含む動作のことである。監視は、動作状況を確認すること、或いは動作状況を確認するための信号やデータの取得、記録（ログの取得）のことである。検査は、装置又は回路が正常であるか否かを判定すること、或いはその判定を行うための信号やデータの取得、記録（ログの取得）のことである。故障解析は、故障した（故障した可能性がある）装置又は回路の故障原因、故障箇所、故障状況を解析すること、或いはその解析を行うための信号やデータの取得、記録（ログの取得）のことである。なお、監視、検査、故障解析は例示であり、信号検出対象となる信号を出力する目的は、監視、検査、故障解析に限らず、それに類する目的であってもよい。
【００５６】
インターフェース１３０は、回路装置１００と外部装置２００の間の通信を行う回路である。例えば、インターフェース１３０は、ＳＰＩ方式やＩ２Ｃ方式等のシリアル通信インターフェースであり、第１〜第４のモニターデータをシリアルデータとして外部装置２００に送信する。外部装置２００は、例えばＣＰＵ、ＭＰＵ等の処理装置（プロセッサー）である。図７に示すように、Ａ／Ｄ変換回路３０とインターフェース１３０の間に処理回路７０が設けられてもよい。処理回路７０は、物理量データに対して、例えば補正、積分、変換等の処理を行い、処理後の物理量データをインターフェース１３０に出力する。一方、モニターデータに対しては処理を行わず、そのままインターフェース１３０に出力する。なお、処理回路７０は、モニターデータに何らかの処理を行い、処理後のモニターデータをインターフェース１３０に出力してもよい。また、処理回路７０を経由せずにＡ／Ｄ変換回路３０から直接インターフェース１３０にモニターデータが出力されてもよい。
【００５７】
以上の実施形態によれば、物理量信号ＰＨＳ１〜ＰＨＳ６のＡ／Ｄ変換を行うＡ／Ｄ変換回路３０がモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４のＡ／Ｄ変換を行い、そのＡ／Ｄ変換データであるモニターデータがインターフェース１３０から出力される。これにより、シリアル通信用のパッドからモニターデータを出力することが可能になり、テスト端子の個数を確保できない場合であっても複数のモニター信号の位相関係やタイミングをモニターすることが可能になる。即ち、Ａ／Ｄ変換回路３０がモニター信号をサンプリングしたタイミングに従って、モニターデータを時系列にプロットすることによって、複数のモニター信号の波形を再現することが可能になる。これにより、物理量測定装置或いは、物理量測定装置を含む電子機器（例えば物理量測定装置が実装された回路基板）を、故障時に近い状態に保存したまま非破壊的に監視、検査又は故障解析を行うことが可能になる。
【００５８】
また本実施形態では、Ａ／Ｄ変換回路３０は、第１〜第４のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４を時分割にＡ／Ｄ変換して、第１〜第４のモニターデータを出力する。
【００５９】
即ち、Ａ／Ｄ変換回路３０には、モニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４が時分割に入力され、その時分割のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４を順次にＡ／Ｄ変換し、その結果である第１〜第４のモニターデータを時分割に出力する。各モニター信号の時分割タイミングは、例えば時分割動作の周波数や制御タイミング等で決まっているため、インターフェース１３０から出力されるモニターデータからモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４の波形を再現できる。
【００６０】
また本実施形態では、Ａ／Ｄ変換回路３０は、第１〜第４のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４と物理量信号ＰＨＳ１〜ＰＨＳ６が入力されるマルチプレクサー１２０と、マルチプレクサー１２０の出力信号ＭＸＱを時分割にＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器１４０と、を含む。
【００６１】
図８は、図４で上述した駆動回路の４つのノードの信号をモニター信号とする場合の、回路装置の動作を模式的に示す図である。
【００６２】
制御回路８０は、マルチプレクサー１２０の時分割動作を制御する時分割制御信号を出力する。時分割制御信号のＣＨ１〜ＣＨ４は、マルチプレクサー１２０によって時分割に選択される入力チャンネルを表す。例えば、ＣＨ１、ＣＨ２、ＣＨ３、ＣＨ４は、図４の電圧信号ＩＶＯ、第１の同期信号ＳＤＥＴ１、第２の同期信号ＳＤＥＴ２、駆動信号ＤＳに対応する。例えば、時分割制御信号に記載された「ＣＨ１」は、入力チャンネルＣＨ１の選択を指示する制御信号を意味する。マルチプレクサー１２０は、時分割制御信号に従って電圧信号ＩＶＯ、第１の同期信号ＳＤＥＴ１、第２の同期信号ＳＤＥＴ２、駆動信号ＤＳを時分割に選択し、Ａ／Ｄ変換器１４０に出力する。Ａ／Ｄ変換器１４０は、時分割に入力された信号を時分割にＡ／Ｄ変換し、ＩＶＯ、ＳＤＥＴ１、ＳＤＥＴ２、ＤＳに対応するモニターデータを時分割に出力する。
【００６３】
図８に示すように、Ａ／Ｄ変換器１４０による各信号のサンプリングタイミングは、時分割制御信号によって決まっている。インターフェース１３０からシリアルデータとして出力されるモニターデータを、このサンプリングタイミングに従って信号波形に変換することで、ＩＶＯ、ＳＤＥＴ１、ＳＤＥＴ２、ＤＳの信号波形が再現されることが分かる。例えば、Ａ／Ｄ変換器１４０が時分割に出力するモニターデータを、その順番でシリアルデータとして出力すれば、どの信号のどの時間（時分割タイミング）のデータであるかが、データの順番から容易に判断できる。このようにして、マルチプレクサー１２０を用いて時分割にＡ／Ｄ変換を行うことで、複数のモニター信号の波形を取得することが可能であり、その波形から複数のモニター信号の位相関係等をモニターすることができる。
【００６４】
なお、図８では、時分割の間隔が広く図示されているが、実際にはＡ／Ｄ変換器１４０のサンプリング周期で時分割を行うことが可能であり、モニター信号に対して時間分解能を確保することが可能である。
【００６５】
また本実施形態では、物理量データの非出力期間において、Ａ／Ｄ変換回路３０が第１〜第４のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４をＡ／Ｄ変換し、インターフェース１３０が第１〜第４のモニターデータを出力する。
【００６６】
また回路装置１００のテストモードにおいて、Ａ／Ｄ変換回路３０が第１〜第４のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４をＡ／Ｄ変換し、インターフェース１３０が第１〜第４のモニターデータを出力する。
【００６７】
具体的には、物理量データの非出力期間は、インターフェース１３０から物理量データを回路装置１００（又は物理量測定装置）の外部に出力しない期間である。例えば、物理量データの出力のイネーブル及びディセーブルを設定できる場合に、物理量データの出力がディセーブルに設定されている期間である。或いは、回路装置１００の電源投入後の初期化期間や、自己診断期間等である。なお、物理量データの非出力期間の全てでインターフェース１３０がモニターデータを出力してもよいし、或いは物理量データの非出力期間の一部の期間においてインターフェース１３０がモニターデータを出力してもよい。
【００６８】
テストモードは、回路装置１００を監視、検査又は故障解析する際に設定されるモードであり、具体的には、測定回路１１０のモニター信号をモニターする際に設定されるモードである。例えば、検査装置や解析装置、外部装置２００等からインターフェース１３０を介してレジスター設定されることで、テストモードが設定される。
【００６９】
図７に示すように、マルチプレクサー１２０は、第１のマルチプレクサーＭＡ、第２のマルチプレクサーＭＢを含む。マルチプレクサーＭＢは、物理量データの出力期間において物理量信号ＰＨＳ１〜ＰＨＳ４を選択して出力し、物理量データの非出力期間又はテストモードにおいてモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４を選択して出力する。具体的には、マルチプレクサーＭＢは、セレクターＭＢ１〜ＭＢ４を含む。ｋを１以上４以下の整数としたとき、セレクターＭＢｋは、物理量データの出力期間において物理量信号ＰＨＳｋを選択して出力し、物理量データの非出力期間又はテストモードにおいてモニター信号ＳＭＴｋを選択して出力する。マルチプレクサーＭＡの入力チャンネルＣＨ１〜ＣＨ４には、セレクターＭＢ１〜ＭＢ４の出力信号が入力され、マルチプレクサーＭＡの入力チャンネルＣＨ５、ＣＨ６には、物理量信号ＰＨＳ５、ＰＨＳ６が入力される。マルチプレクサーＭＡは、制御回路８０からの時分割制御信号に基づいて入力チャンネルＣＨ１〜ＣＨ６を順次に選択する。なお、物理量データの非出力期間又はテストモードでは、入力チャンネルＣＨ１〜ＣＨ４のみを時分割に選択してもよい。
【００７０】
以上のように、物理量データの非出力期間又はテストモードにおいてインターフェース１３０により複数のモニターデータが出力されることで、物理量データの非出力期間又はテストモードにおいて複数のモニター信号をモニターすることが可能になる。なお、物理量データの非出力期間又はテストモードにおいて、例えば測定回路１１０は通常の動作モードにおける物理量の測定処理を行って物理量信号を出力してもよいし、或いは、測定回路１１０は、何らかの検査用又は故障解析用のモードに設定され、そのモードにおける動作を行ってもよい。
【００７１】
また本実施形態では、第１〜第４のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４は、測定回路１１０のノードのモニター信号を含む。
【００７２】
或いは、第１〜第４のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４は、測定回路１１０の故障検出用の信号を含む。
【００７３】
或いは、第１〜第４のモニター信号ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４は、物理量トランスデューサーからの出力信号の変換信号（電圧信号ＩＶＯ）と、物理量トランスデューサーを駆動する駆動信号ＤＳと、物理量信号を検波するための同期信号ＳＤＥＴ１と、の少なくとも１つを含む。
【００７４】
具体的には、測定回路１１０のノードのモニター信号は、測定回路１１０の内部ノードの信号のうち、検査又は故障検出において信号検出対象（モニター対象）となる信号である。内部ノードの信号は、そのノードが接続される回路や回路素子からノードに出力されている信号である。故障検出用の信号は、測定回路１１０の故障を検出するためにモニターされる信号である。例えば、測定回路１１０のノードの信号を、フィルター回路やアンプ回路、コンパレーター等によって処理した信号等である。例えば、ノードの信号が電流信号である場合、その信号を電流電圧変換した信号が故障検出用の信号（モニター信号）としてＡ／Ｄ変換回路３０に入力される。ノードのモニター信号、故障検出用の信号は、Ａ／Ｄ変換可能な信号であればよい。例えば、正弦波のような連続的に信号レベルが変化するアナログ信号であってもよいし、或いは、信号レベルにより「０」「１」を表現するデジタル信号であってもよい。デジタル信号であっても、その信号レベルをアナログ値としてＡ／Ｄ変換することが可能である。
【００７５】
以上のようにすれば、測定回路１１０のノードのモニター信号、測定回路１１０の故障検出用の信号をモニターデータに変換し、インターフェース１３０から出力できる。或いは、物理量トランスデューサーからの出力信号の変換信号、駆動信号、検波信号をモニターデータに変換し、インターフェース１３０から出力できる。なお、これらの信号は任意に組み合わせて第１〜第４のモニター信号（第１〜第ｍのモニター信号）を構成できる。即ち、第１〜第４のモニター信号が、ノードのモニター信号、故障検出用の信号、物理量トランスデューサーからの出力信号の変換信号、駆動信号、検波信号のいずれか１種類をのみ含んでもよいし、複数の種類を組み合わせて含んでもよい。
【００７６】
３．測定回路、マルチプレクサー
図９は、測定回路及びマルチプレクサーの詳細な構成例である。図９では、第１の物理量トランスデューサー１１が角速度検出素子（振動子、ジャイロセンサー素子）であり、第２の物理量トランスデューサー１２及び第３の物理量トランスデューサー１３が２軸の加速度検出素子（加速度センサー素子）である場合を例に説明するが、物理量トランスデューサーはこれに限定されない。
【００７７】
測定回路１１０は、物理量トランスデューサー１１〜１３を駆動する駆動回路ＤＲＡ〜ＤＲＣを含む。また測定回路１１０は、物理量トランスデューサー１１からの検出信号に基づいて物理量信号ＰＨＳ１、ＰＨＳ２を検出する検出回路ＤＥＴＡを含む。物理量信号ＰＨＳ１は、角速度に対応する角速度信号（同期信号ＳＤＥＴ１で検波される信号）であり、物理量信号ＰＨＳ２は、振動子の機械漏れ信号（同期信号ＳＤＥＴ２で検波される信号）である。また測定回路１１０は、物理量トランスデューサー１２、１３からの検出信号に基づいて物理量信号ＰＨＳ３、ＰＨＳ４を検出する検出回路ＤＥＴＢ、ＤＥＴＣを含む。物理量信号ＰＨＳ３、ＰＨＳ４は、第１軸、第２軸での加速度に対応する加速度信号である。また測定回路１１０は、温度検出信号を物理量信号ＰＨＳ５として出力する温度センサーＳＥＮを含む。
【００７８】
マルチプレクサーＭＢは、物理量の測定期間において物理量信号ＰＨＳ１〜ＰＨＳ４を選択し、信号ＭＢＱ１〜ＭＢＱ４として出力する。一方、物理量の被測定期間又はテストモードにおいて、駆動回路ＤＲＡからのモニター信号ＭＤＡ１〜ＭＤＡ４、検出回路ＤＥＴＡからのモニター信号ＭＥＡ１〜ＭＥＡ４、駆動回路ＤＲＢからのモニター信号ＭＤＢ１〜ＭＤＢ４、検出回路ＤＥＴＢからのモニター信号ＭＥＢ１〜ＭＥＢ４、駆動回路ＤＲＣからのモニター信号ＭＤＣ１〜ＭＤＣ４、検出回路ＤＥＴＣからのモニター信号ＭＥＣ１〜ＭＥＣ４のいずれかを選択し、信号ＭＢＱ１〜ＭＢＱ４として出力する。いずれのモニター信号を選択するかは、例えば制御回路８０からの制御信号により設定される。マルチプレクサーＭＡは、信号ＭＢＱ１〜ＭＢＱ４、物理量信号ＰＨＳ５を時分割に選択し、信号ＭＸＱとしてＡ／Ｄ変換器１４０に出力する。
【００７９】
４．物理量測定装置
図１０は、本実施形態の回路装置を含む物理量測定装置の構成例である。物理量測定装置３００は、物理量トランスデューサーと回路装置１００を含む。
【００８０】
物理量トランスデューサーは、物理量を検出するための素子やデバイスである。物理量は、例えば角速度、角加速度、速度、加速度、距離、圧力、音圧、磁気量又は時間等である。なお、回路装置１００は、複数の物理量トランスデューサーからの検出信号に基づいて物理量を検出してもよい。例えば、第１〜第３の物理量トランスデューサーが、各々、第１軸、第２軸、第３軸についての物理量を検出する。第１軸、第２軸、第３軸についての物理量とは、一例としては第１軸、第２軸、第３軸回りでの角速度又は角加速度、或いは第１軸、第２軸、第３軸方向での速度又は加速度などである。第１軸、第２軸、第３軸は一例としてはＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸である。なお第１軸〜第３軸のうちの２軸の物理量だけを検出するものであってもよい。
【００８１】
図１０には、物理量測定装置の一例として、角速度を検出するジャイロセンサーの構成例を示す。図１０では、物理量測定装置３００は、物理量トランスデューサーとして振動子４１０を含む。また、回路装置１００は、測定回路１１０、Ａ／Ｄ変換回路３０、処理回路７０、インターフェース１３０を含む。
【００８２】
振動子４１０（角速度検出素子）は、所定の軸での回転により振動子４１０に働くコリオリ力を検出し、そのコリオリ力に応じた信号を出力する素子である。振動子４１０は、例えば圧電振動子である。例えば、振動子４１０はダブルＴ字型、Ｔ字型、音叉型等の水晶振動子等である。なお、振動子４１０として、シリコン基板を用いて形成されたシリコン製振動子としてのＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）振動子等を採用してもよい。
【００８３】
測定回路１１０は、駆動回路３２０、検出回路６０を含む。駆動回路３２０は、例えば図４で説明した構成を採用できる。検出回路６０は、電荷電圧変換回路３３１、増幅回路３３２、同期検波回路３３４を含む。電荷電圧変換回路３３１は、振動子４１０からの検出信号（例えば差動の検出信号）を受けて、その検出信号の電荷電圧変換を行う。増幅回路３３２は、電荷電圧変換回路３３１の出力信号の信号増幅やゲイン調整などを行う。同期検波回路３３４は、駆動回路３２０からの同期信号ＳＤＥＴ１、ＳＤＥＴ２に基づいて同期検波を行い、増幅回路３３２の出力信号から角速度信号と機械漏れ信号を抽出する。
【００８４】
Ａ／Ｄ変換回路３０は、角速度信号（第１の物理量信号）、機械漏れ信号（第２の物理量信号）を時分割にＡ／Ｄ変換し、角速度信号、機械漏れ信号に対応する物理量データを出力する。処理回路７０はＡ／Ｄ変換回路３０からの物理量データに対してデジタルフィルター処理やデジタル補正処理（例えば、角速度信号に対応する物理量データに対してゼロ点補正処理や感度補正処理など）を行う。処理回路７０は例えばデジタル信号処理回路（ＤＳＰ）等により実現される。インターフェース１３０は、処理回路７０からの物理量データをシリアルデータとして物理量測定装置３００の外部に出力する。
【００８５】
５．移動体、電子機器
図１１、図１２は、本実施形態の回路装置を含む移動体、電子機器の例である。本実施形態の回路装置１００は、例えば、車、飛行機、バイク、自転車、或いは船舶等の種々の移動体に組み込むことができる。移動体は、例えばエンジンやモーター等の駆動機構、ハンドルや舵等の操舵機構、各種の電子機器を備えて、地上や空や海上を移動する機器・装置である。
【００８６】
図１１は、移動体の具体例としての自動車２０６を概略的に示したものである。自動車２０６には、回路装置１００を含む慣性センサー（不図示）が組み込まれている。慣性センサーは、例えばジャイロセンサーと加速度センサーが一体化された複合センサー（コンボセンサー）である。慣性センサーは車体２０７の姿勢や加速度を検出することができる。慣性センサーの検出信号は車体姿勢制御装置２０８に供給される。車体姿勢制御装置２０８は例えば車体２０７の姿勢や加速度に応じてサスペンションの硬軟を制御したり個々の車輪２０９のブレーキを制御したりすることができる。その他、こういった姿勢制御は二足歩行ロボットや航空機、ヘリコプター等の各種の移動体において利用されることができる。姿勢制御の実現にあたって慣性センサーは組み込まれることができる。
【００８７】
図１２は、電子機器の具体例としてのデジタルスチルカメラ６１０を概略的に示したものである。デジタルスチルカメラ６１０には、回路装置１００を含むジャイロセンサー（不図示）や加速度センサー（不図示）が組み込まれている。例えばデジタルスチルカメラ６１０においてジャイロセンサーや加速度センサーを用いた手ぶれ補正等を行うことができる。また電子機器の具体例として生体情報検出装置（ウェアラブル健康機器。例えば脈拍計、歩数計、活動量計等）を想定できる。生体情報検出装置において、ジャイロセンサーや加速度センサーを用いて、ユーザーの体動を検出したり、運動状態を検出したりできる。このように、本実施形態の回路装置１００はデジタルスチルカメラ６１０や生体情報検出装置などの種々の電子機器に適用できる。
【００８８】
また、移動体又は電子機器の具体例としてロボットを想定できる。本実施形態の回路装置１００は、例えばロボットの可動部（アーム、関節）や本体部に適用できる。ロボットは、移動体（走行・歩行ロボット）、電子機器（非走行・非歩行ロボット）のいずれも想定できる。走行・歩行ロボットの場合には、例えば自律走行にジャイロセンサー（本実施形態の回路装置を含む）を利用できる。
【００８９】
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また本実施形態及び変形例の全ての組み合わせも、本発明の範囲に含まれる。また回路装置、物理量測定装置、電子機器、移動体の構成・動作等も、本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形実施が可能である。
【符号の説明】
【００９０】
１１〜１３…物理量トランスデューサー、３０…Ａ／Ｄ変換回路、６０…検出回路、
７０…処理回路、８０…制御回路、１００…回路装置、１１０…測定回路、
１２０…マルチプレクサー、１３０…インターフェース、１４０…Ａ／Ｄ変換器、
２００…外部装置、２０６…自動車（移動体）、２０７…車体、
２０８…車体姿勢制御装置、２０９…車輪、３００…物理量測定装置、
３２０…駆動回路、３２１…電流電圧変換回路、３２２…ハイパスフィルター、
３２３…駆動信号出力回路、３２４…全波整流回路、３２５…積分回路、
３２６…第１の同期信号出力回路、３２８…第２の同期信号出力回路、
３３１…電荷電圧変換回路、３３２…増幅回路、３３４…同期検波回路、
４１０…振動子、６１０…デジタルスチルカメラ（電子機器）、
８００…物理量測定装置、８１０…ベース部、８１１…底面、８１２…外周部、
８１３，８１４…パッケージ、８１５，８１７…端子、８２０…回路装置、
８２１…マルチプレクサー、８２２…制御回路、８２５…パッド、
８３０，８４０…物理量トランスデューサー、
ＰＨＳ１〜ＰＨＳ６…物理量信号、ＳＤＥＴ１，ＳＤＥＴ２…同期信号、
ＳＭＴ１〜ＳＭＴ４…モニター信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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