(57)【要約】【課題】効率よく基準位置の検出が可能なストローク検出装置を提供する。【解決手段】ストローク検出装置１００は、ピストンロッド３０の進退方向に沿ってピストンロッド３０の表面に形成されるメインスケール６１と、ピストンロッド３０の表面に、メインスケール６１に沿って形成されるサブスケール６２と、を備え、メインスケール６１は、ピストンロッド３０の進退方向に沿って等間隔で配置される複数のメインマーカ６１ａで構成され、サブスケール６２は、ピストンロッド３０のストローク位置との対応関係が予め定められた位置に設けられる複数のサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄで構成され、複数のサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、第２磁気検出器５２よってそれぞれが検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なるように配置される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と、
前記第１部材に対して進退自在に設けられる第２部材と、
前記第２部材の進退方向に沿って前記第２部材の表面に形成されるメインスケールと、
前記第２部材の表面に、前記メインスケールに沿って形成されるサブスケールと、
前記メインスケールと対向するように前記第１部材に設けられ、前記メインスケールによって変化する磁界に応じた信号を出力する第１磁気検出器と、
前記サブスケールと対向するように前記第１部材に設けられ、前記サブスケールによって変化する磁界に応じた信号を出力する第２磁気検出器と、を備え、
前記メインスケールは、前記第２部材の進退方向に沿って等間隔で配置され、前記第２部材の進退方向に沿った幅が互いに同一に形成される複数のメインマーカで構成され、
前記サブスケールは、前記第２部材のストローク位置との対応関係が予め定められた位置に設けられる複数のサブマーカで構成され、
前記複数のサブマーカは、前記第２磁気検出器によって前記サブマーカがそれぞれ検出された際の前記第１磁気検出器の出力が互いに異なるように配置されることを特徴とするストローク検出装置。
【請求項２】
前記第１磁気検出器は、前記メインスケールによる磁界の変化に応じた電圧値を出力し、
前記第２磁気検出器によって前記各サブマーカが検出された際に前記第１磁気検出器が出力する電圧値は、互いに異なることを特徴とする請求項１に記載のストローク検出装置。
【請求項３】
前記第１磁気検出器は、それぞれ磁界の変化に応じた信号を出力する第１及び第２磁気検出ユニットを有し、
前記第１磁気検出ユニットと前記第２磁気検出ユニットとは、出力する信号の位相がずれるように前記第２部材の進退方向にずれて配置され、
前記第１磁気検出器が出力する信号は、前記第１磁気検出ユニットの出力と前記第２磁気検出ユニットの出力とを合成した鋸波として出力されることを特徴とする請求項１または２に記載のストローク検出装置。
【請求項４】
前記サブスケールとして前記第２部材の進退方向にずれる第１サブスケール及び第２サブスケールを備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一つに記載のストローク検出装置。
【請求項５】
前記第１磁気検出器及び前記第２磁気検出器の出力に基づいてストローク位置を演算するコントローラをさらに備え、
前記コントローラは、前記第２磁気検出器による前記サブマーカの検出によって求められるストローク位置と、前記第１磁気検出器の検出結果に基づいて演算されるストローク位置と、を比較する自己診断機能を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか一つに記載のストローク検出装置。
【請求項６】
前記複数のサブマーカは、前記第１部材に対する前記第２部材の進入時に前記第２磁気検出器によって前記サブマーカがそれぞれ検出された際の前記第１磁気検出器の出力が互いに異なると共に、前記第１部材に対する前記第２部材の退出時に前記第２磁気検出器によって前記サブマーカがそれぞれ検出された際の前記第１磁気検出器の出力が互いに異なるように設けられることを特徴とする請求項１から５のいずれか一つに記載のストローク検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ストローク検出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
作業機械などに搭載される油圧シリンダは、作業後に電源がオフされた状態が続くと、負荷の自重によって意図せず伸縮することがある。このような油圧シリンダの意図しない伸縮は、電源がオフされているためストローク検出装置によって検出することはできない。よって、再び電源をオンにして作業をする際、油圧シリンダのストローク位置を正確に把握することができないおそれがある。
【０００３】
このような問題を解決するために、例えば特許文献１に開示されるストローク検出装置では、ストローク位置の原点位置を検出するリセットセンサが設けられる。このストローク検出装置によれば、リセットセンサによってストローク位置の原点位置を検出するため、油圧シリンダのストローク位置を正確に把握することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０７−３１８３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されるようなストローク検出装置において、ストローク位置の基準位置（原点位置）を検出するためには、リセットセンサが反応するまで油圧シリンダをストロークさせる必要がある。このストローク検出装置では、単一のリセットセンサが設けられるため、例えばリセットセンサをストロークの中央位置に設けたとすると、基準位置の検出には最大で総ストローク量の半分だけ油圧シリンダをストロークさせなければならない。このため、特許文献１に開示されるストローク検出装置では、基準位置の検出作業が煩わしい。
【０００６】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、効率よく基準位置の検出が可能なストローク検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、ストローク検出装置であって、第１部材と、第１部材に対して進退自在に設けられる第２部材と、第２部材の進退方向に沿って第２部材の表面に形成されるメインスケールと、第２部材の表面に、メインスケールに沿って形成されるサブスケールと、メインスケールと対向するように第１部材に設けられ、メインスケールによって変化する磁界に応じた信号を出力する第１磁気検出器と、サブスケールと対向するように第１部材に設けられ、サブスケールによって変化する磁界に応じた信号を出力する第２磁気検出器と、を備え、メインスケールは、第２部材の進退方向に沿って等間隔で配置され、第２部材の進退方向に沿った幅が互いに同一に形成される複数のメインマーカで構成され、サブスケールは、第２部材のストローク位置との対応関係が予め定められた位置に設けられる複数のサブマーカで構成され、複数のサブマーカは、第２磁気検出器によってサブマーカがそれぞれ検出された際の第１磁気検出器の出力が互いに異なるように配置されることを特徴とする。
【０００８】
第２の発明は、第１磁気検出器が、メインスケールによる磁界の変化に応じた電圧値を出力し、第２磁気検出器によって各サブマーカが検出された際に第１磁気検出器が出力する電圧値は、互いに異なることを特徴とする。
【０００９】
第１及び第２の発明では、第２部材のストローク位置との対応関係が予め定められた位置にサブマーカが設けられるため、第２磁気検出器によりサブマーカのいずれかを検出することにより、そのサブマーカに対応するストローク位置を基準位置として検出することができる。第２磁気検出器が複数のサブマーカのいずれを検出したかは、第１磁気検出器の出力によって見分けることができる。このように、複数のサブマーカによって基準位置を検知できるため、基準位置を検出するための第１部材と第２部材とのストローク量を短くすることができる。
【００１０】
第３の発明は、第１磁気検出器が、それぞれ磁界の変化に応じた信号を出力する第１及び第２磁気検出ユニットを有し、第１磁気検出ユニットと第２磁気検出ユニットとは、出力する信号の位相がずれるように第２部材の進退方向にずれて配置され、第１磁気検出器が出力する信号は、第１磁気検出ユニットの出力と第２磁気検出ユニットの出力とを合成した鋸波として出力されることを特徴とする。
【００１１】
第３の発明では、第１磁気検出器が出力する信号が鋸波形状であるため、出力の増減を観察することで第２部材の移動方向を判定することができる。
【００１２】
第４の発明は、サブスケールとして第２部材の進退方向にずれる第１サブスケール及び第２サブスケールを備えることを特徴とする。
【００１３】
第５の発明は、第１磁気検出器及び第２磁気検出器の出力に基づいてストローク位置を演算するコントローラをさらに備え、コントローラは、第２磁気検出器によるサブマーカの検出によって求められるストローク位置と、第１磁気検出器の検出結果に基づいて演算されるストローク位置と、を比較する自己診断機能を有することを特徴とする。
【００１４】
第５の発明では、自己診断機能により、第１磁気検出器の出力に基づいて求められるストローク位置と第２磁気検出器の出力に基づいて求められるストローク位置（基準位置）との間でずれが生じているかを判定することができる。よって、ストローク位置の検出精度を向上させることができる。
【００１５】
第６の発明は、複数のサブマーカが、第１部材に対する第２部材の進入時に第２磁気検出器によってサブマーカがそれぞれ検出された際の第１磁気検出器の出力が互いに異なると共に、第１部材に対する第２部材の退出時に第２磁気検出器によってサブマーカがそれぞれ検出された際の第１磁気検出器の出力が互いに異なるように設けられることを特徴とする。
【００１６】
第６の発明では、第２部材が第１部材に対して進入する場合と退出する場合とのいずれにおいても、基準位置を検出することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ストローク検出装置において基準位置を効率よく検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係るストローク検出装置の構成図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置のスケールを示す図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置のメインマーカを示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置におけるメインスケールとサブスケールとの関係を示す図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置が備える第１磁気検出器の出力を示すグラフ図である。
【図６】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置が備える第１磁気検出器の出力の演算結果を示すグラフ図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置が備える第１磁気検出器及び第２磁気検出器の出力を対応させて表すグラフ図である。
【図８】本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置におけるメインスケールの周期、第１磁気検出器の出力、サブマーカの関係を示す図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るストローク検出装置のスケールを示す図である。
【図１０】本発明の第２実施形態に係るストローク検出装置におけるメインスケールの周期、第１磁気検出器の出力、サブマーカの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。
【００２０】
（第１実施形態）
まず、図１を参照して、本発明の第１実施形態に係るストローク検出装置１００について説明する。図１に示される油圧シリンダ１０は、図示しない油圧ポンプから吐出される作動油によって動作する。ストローク検出装置１００は、この油圧シリンダ１０に設けられる。
【００２１】
油圧シリンダ１０は、油圧シリンダ１０の本体である第１部材としてのシリンダチューブ２０と、シリンダチューブ２０に対して進退自在に設けられる第２部材としてのピストンロッド３０と、を備える。つまり、油圧シリンダ１０は、一方の部材であるシリンダチューブ２０に対して他方の部材であるピストンロッド３０が進退運動する直動部品である。
【００２２】
シリンダチューブ２０は円筒形であり、シリンダチューブ２０の内部には軸方向に摺動自在であるピストン３１が設けられる。また、シリンダチューブ２０の端部には、ピストンロッド３０が摺動自在に挿通するシリンダヘッド２０ａが設けられる。シリンダチューブ２０の内部は、ピストン３１によって二つの油室１１，１２に区画される。
【００２３】
二つの油室１１，１２は、図示しない切換弁を通じて図示しない油圧ポンプ又はタンクに接続される。二つの油室１１，１２の一方が油圧ポンプに接続された場合には、他方がタンクに接続される。油圧シリンダ１０は、油圧ポンプから二つの油室１１，１２の何れかに作動油が導かれてピストンロッド３０が軸方向に移動することによって伸縮作動する。油圧シリンダ１０は複動式のシリンダであるが、単動式であってもよい。また、油圧シリンダ１０は、油圧式に限定されず、空気式，水圧式または電動機械式等であってもよい。また、油圧シリンダ１０は、アクチュエータとして作動するものに限定されず、緩衝器等として作動するものであってもよい。
【００２４】
ピストンロッド３０は、基端部３０ａがピストン３１に固定され、先端部３０ｂがシリンダチューブ２０から露出する円柱形の磁性部材である。ピストンロッド３０は、ピストン３１に作用する油圧の力によって動作する。
【００２５】
次に、図１〜図４を参照し、油圧シリンダ１０に設けられるストローク検出装置１００について説明する。図２は、図１に示されるピストンロッド３０の側面３０ｃを周方向Ｂ（図１の矢印Ｂ方向）に沿って展開して示したものである。
【００２６】
ストローク検出装置１００は、図１及び図２に示すように、ピストンロッド３０の側面３０ｃにピストンロッド３０の進退方向Ａ（図１の矢印Ａ方向）に沿って形成されるスケール６０と、スケール６０と対向するようにシリンダチューブ２０に固定され、スケール６０によって変化する磁界に応じた信号を出力する磁気検出器５０と、磁気検出器５０の検出結果に基づいてピストンロッド３０のストロークを演算するコントローラ７０と、を備える。
【００２７】
スケール６０は、磁性体であるピストンロッド３０の外周に溝状に形成される非磁性体である。スケール６０は、ピストンロッド３０の外周面を局所加熱装置としてのレーザー装置によって照射されるレーザーにより溶融するとともにＮｉやＭｎを添加してオーステナイト化することによって形成される。
【００２８】
なお、ピストンロッド３０は、非磁性体からなるものであってもよく、この場合、スケール６０は、ピストンロッド３０をレーザー装置によって溶融するとともにＳｎ等を添加することにより磁性体として形成される。局所的に加熱する手段は、レーザーに限定されず、電子ビームや高周波誘導加熱，アーク放電など、局所的に加熱可能な手段であればどのような手段であってもよい。
【００２９】
図２に示されるように、スケール６０は、ピストンロッド３０のストローク量を検出するためのメインスケール６１と、メインスケール６１とは周方向Ｂにずれて設けられるサブスケール６２と、を有する。サブスケール６２は、後述する油圧シリンダ１０の基準位置を検出するためのものである。
【００３０】
メインスケール６１は、ピストンロッド３０の進退方向Ａに沿って等間隔で並べられた複数のメインマーカ６１ａにより構成される。メインマーカ６１ａは、ピストンロッド３０の進退方向Ａに沿った幅が互いに同一に形成される。以下、ピストンロッド３０の進退方向Ａに沿ったメインマーカ６１ａの幅をＷ１、メインマーカ６１ａのピッチ（間隔）をＰ１とする（図３参照）。
【００３１】
サブスケール６２は、図２及び図４に示すように、ピストンロッド３０の進退方向Ａに沿った幅が互いに等しい４つのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄによって構成される。４つのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、それぞれピストンロッド３０のストローク位置（絶対位置）との対応関係が予め定められた位置に設けられる。サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄについては、後に詳細に説明する。
【００３２】
磁気検出器５０は、図２に示すように、メインスケール６１と対向するようにシリンダチューブ２０に設けられ、メインスケール６１によって変化する磁界に応じた信号を出力する第１磁気検出器５１と、サブスケール６２と対向するようにシリンダチューブ２０に設けられ、サブスケール６２によって変化する磁界に応じた信号を出力する第２磁気検出器５２と、を有する。
【００３３】
第１磁気検出器５１から出力された信号はコントローラ７０に入力され、ピストンロッド３０のストローク量を演算するために使用される。また、第２磁気検出器５２から出力された信号もコントローラ７０に入力され、ピストンロッド３０のストロークの基準位置（絶対位置）を検出するために使用される。
【００３４】
第１磁気検出器５１は、周囲の磁界の変化を検出する第１及び第２磁気検出ユニット５１ａ，５１ｂにより構成される。第１磁気検出ユニット５１ａと第２磁気検出ユニット５１ｂとは、ピストンロッド３０の軸方向にずらして配置される（図２参照）。
【００３５】
第２磁気検出器５２は、周囲の磁界の変化を検出する単一の第３磁気検出ユニットにより構成される。第１磁気検出ユニット５１ａ、第２磁気検出ユニット５１ｂ、第３磁気検出ユニットとは構造が同一であるため、以下では、第１磁気検出ユニット５１ａの構造についてのみ説明する。
【００３６】
第１磁気検出ユニットａは、図示しない磁気センサと、磁気センサに対してピストンロッド３０とは反対側に設けられる図示しない永久磁石と、を有する。磁気センサは、永久磁石から発せられる磁気を検出し、検出された磁気に応じた信号をコントローラ７０へと出力する。永久磁石から発せられる磁気は、磁性体には作用するが、非磁性体には作用しない。つまり、第１，第２磁気検出器５１，５２の出力は、永久磁石から発せられる磁気を変化させる非磁性体であるスケール６０の形状等に応じた値となる。
【００３７】
磁気センサとしては、磁気の強弱によって電気抵抗が変化するＭＲ（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ：磁気抵抗）素子やＧＭＲ（Ｇｉａｎｔ  Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ：巨大磁気抵抗）センサ、ＭＩ（Ｍａｇｎｅｔｏ−Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ：磁気インピーダンス）効果を利用したＭＩセンサ、ホール効果を利用したホール素子などが採用される。なお、第１，第２磁気検出器５１，５２は、スケール６０と対向して配置されるコイルを備えたものであってもよい。この場合、励磁されたコイルのインピーダンスは、対向するスケール６０の面積に応じて変化する。
【００３８】
コントローラ７０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、及びＩ／Ｏインターフェース（入出力インターフェース）を備えるマイクロコンピュータで構成される。ＲＯＭはＣＰＵの制御プログラム等を予め記憶し、Ｉ／Ｏインターフェースは接続された機器との情報の入出力に使用される。
【００３９】
コントローラ７０は、第１磁気検出器５１の出力に基づき、油圧シリンダ１０のストローク位置を演算する。また、コントローラ７０は、第２磁気検出器５２の出力に基づき、油圧シリンダ１０のストロークの基準位置を検出する。基準位置とは、シリンダチューブ２０に対するピストンロッド３０の絶対的なストローク位置を規定するものであり、シリンダチューブ２０やピストンロッド３０の形状、サブスケール６２や第２磁気検出器５２が設けられる位置等により、予め定められるものである。
【００４０】
コントローラ７０は、第２磁気検出器５２により検出されるサブスケール６２のサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄに基づいて基準位置を検出し、第１磁気検出器５１により検出されるメインスケール６１のメインマーカ６１ａに基づいてストローク量を演算する。コントローラ７０は、基準位置からのピストンロッド３０のストローク量を演算することにより、シリンダチューブ２０に対するピストンロッド３０のストローク位置を検出する。
【００４１】
次に、ストローク検出装置１００によるストローク検出方法について説明する。
【００４２】
第１磁気検出器５１における第１磁気検出ユニット５１ａの出力は、磁性体であるピストンロッド３０の側面３０ｃと対向した状態で最大となり、非磁性体で形成されるメインスケール６１のメインマーカ６１ａと対向した状態で最小となる。よって、ピストンロッド３０の移動に伴いピストンロッド３０の側面３０ｃと対向する状態とメインマーカ６１ａと対向する状態とが繰り返される第１磁気検出ユニット５１ａの出力値Ｖ１は、図５に実線で示されるように、ピストンロッド３０のストローク量に応じて正弦波状に変化する。
【００４３】
第１磁気検出ユニット５１ａと同様に出力が変化する第２磁気検出ユニット５１ｂは、その出力値Ｖ２が第１磁気検出ユニット５１ａの出力値Ｖ１に対して、４分の１周期だけ位相がずれるようにシリンダヘッド２０ａに取り付けられる。このため、第２磁気検出ユニット５１ｂの出力値Ｖ２は、図５に破線で示されるように、余弦波状に変化する。
【００４４】
図５に示される第１磁気検出ユニット５１ａの出力値Ｖ１と第２磁気検出ユニット５１ｂの出力値Ｖ２とから、図６に示されるストローク量に比例した演算値Ｓ１が演算される。演算値Ｓ１は、下記（１）式から求められる。
【００４５】
[数１]
Ｓ１＝｛ａｔａｎ２（Ｖ２，Ｖ１）+π｝／２π    ・・・（１）
ａｔａｎ２（ｘ，ｙ）：原点を始点とし、座標（ｘ，ｙ）を終点とするベクトルとｘ軸との成す角度（−π〜π）を算出する関数（アークタンジェント関数）
Ｖ１：第１磁気検出ユニット５１ａの出力値
Ｖ２：第２磁気検出ユニット５１ｂの出力値
【００４６】
上記（１）式から求められる演算値Ｓ１は０から１の数値であり、１周期のストローク長、すなわち、メインマーカ６１ａの幅Ｗ１とメインマーカ６１ａが設けられる間隔Ｐ１とを足し合わせた長さに対する比率を示している。
【００４７】
このように、第１磁気検出器５１は、第１磁気検出ユニット５１ａの出力値Ｖ１と第２磁気検出ユニット５１ｂの出力値Ｖ２とを合成した演算値Ｓ１を信号として出力する。演算値Ｓ１は、電圧値としてコントローラ７０に出力される。本実施形態では、０〜１の範囲にあるＳ１は、０〜５Ｖの電圧値としてコントローラ７０に出力される。
【００４８】
コントローラ７０は、以上のようにして求められる演算値Ｓ１に１周期のストローク長Ｌ（＝Ｗ１＋Ｐ１）を乗ずるとともに、演算値Ｓ１が１から０に切り換わった数をカウントする。カウント数にストローク長Ｌを乗じた値と、演算値Ｓ１にストローク長Ｌを乗じた値と、を足し合わせることで、カウント開始からのピストンロッド３０のストローク量を得ることができる。
【００４９】
また、第１磁気検出器５１の出力である演算値Ｓ１は、図６に示すように、１周期内において出力値の上昇割合と下降割合とが一致しない鋸波状に出力される。つまり、演算値Ｓ１は、出力値の最大値（極値）が１周期の中央に位置しないものである。このように、演算値Ｓ１は、出力値の上昇割合と下降割合とが一致しない鋸波として出力されるため、演算値Ｓ１の増減を観察することにより、ピストンロッド３０が伸長方向へ移動しているのか、収縮方向へ移動しているのか、を判定することができる。ピストンロッド３０の移動方向を判定することで、シリンダチューブ２０に対するピストンロッド３０の絶対的なストローク位置を正確に演算することができる。
【００５０】
ここで、作業機械などに搭載される油圧シリンダ１０は、作業後に電源がオフされた状態が続くと、負荷の自重によって意図せず伸縮することがある。このような油圧シリンダ１０の意図しない伸縮は、電源がオフされているためストローク検出装置１００によって検出することはできない。よって、再び電源をオンにして作業をする際、油圧シリンダ１０のストローク位置を正確に把握することができないおそれがある。
【００５１】
そこで、再び電源がオンされた際には、油圧シリンダ１０のストローク位置を正確に把握するために、ピストンロッド３０の基準位置の検出が行われる。以下、基準位置の検出について具体的に説明する。
【００５２】
まず、基準位置の検出のために設けられるサブスケール６２における第１〜第４サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄの配置について説明する。
【００５３】
第１〜第４サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、シリンダチューブ２０に対してピストンロッド３０が進入する（油圧シリンダ１０が収縮作動する）際と、シリンダチューブ２０に対してピストンロッド３０が退出する（油圧シリンダ１０が伸長作動する）際とのそれぞれにおいて、それぞれが第２磁気検出器５２によって検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なるように配置されている。
【００５４】
具体的に説明すると、第１〜第４サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、メインスケール６１の１周期に対する相対位置が互いに異なるように配置される。図４に示すように、周期的に並ぶメインマーカ６１ａで構成されるメインスケール６１の１周期を４つの領域Ｒ１〜Ｒ４に分けた場合、各サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、互いに異なる領域Ｒ１〜Ｒ４内に設けられる。本実施形態では、第１サブマーカ６２ａは、図４中進退方向Ａの左側からみて、最初の領域Ｒ１に設けられ、第２〜第４サブマーカ６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは順に領域Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４に設けられる。よって、各サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、メインスケール６１の周期に対して、順に１／４周期ずつずれて配置される。なお、図４では、説明の便宜上、図２とは異なり、メインスケール６１の連続する周期にサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄのそれぞれが設けられる場合を図示している。
【００５５】
第１磁気検出器５１は、図７及び８に示すように、メインマーカ６１ａの１周期中のどの領域に対向しているかによって、出力が異なる。よって、互いに設けられる領域Ｒ１〜Ｒ４が異なる各サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが第２磁気検出器５２によって検出された際には、第１磁気検出器５１の出力が互いに異なる。言い換えれば、メインマーカ６１ａの１周期中の４つの領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４における第１磁気検出器５１の出力と、第２磁気検出器５２により検出される各サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄとは、一対一で対応するものである（図８参照）。
【００５６】
また、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄに第２磁気検出器５２が対向した際のピストンロッド３０のストローク位置が、キャリブレーション等によって予め把握されている。これにより、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄのいずれかが第２磁気検出器５２によって検出されると、ピストンロッド３０のストローク位置（基準位置）を求めることができる。
【００５７】
次に、第２磁気検出器５２によってサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄを検出して基準位置を検出する方法について説明する。
【００５８】
第２磁気検出器５２は、図７に示すように、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄによる磁界の変化に応じてパルス波形の信号（オンオフ信号）を出力する。これにより、第２磁気検出器５２によって、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが検出される。
【００５９】
上述のように、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、第１磁気検出器５１の出力の１周期中のどの領域において検出されるかのタイミングが互いに異なるように設けられる。よって、第２磁気検出器５２により信号が出力されると、コントローラ７０は、その際の第１磁気検出器５１の出力（サブマーカの検出のタイミング）に基づいて、第２磁気検出器５２が第１〜第４サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄのいずれを検知したかを判定する。第１磁気検出器５１の出力は、第２磁気検出器５２が第１〜４サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄのいずれを検出したかによって異なるため、第１磁気検出器５１の出力を比較することで、第１〜第４サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄの何れが検知されたかを把握することができる。例えば、図８に示すように、第２磁気検出器５２により信号が出力された際の第１磁気検出器５１の出力が１．２５〜２．５Ｖの間であった場合には、第２磁気検出器５２が第２サブマーカ６２ｂを検出したと判定する。また、各サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、上述のように第２磁気検出器５２によって検出された際のストローク位置が予め把握されるものである。よって、検出されたサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄに対応するストローク位置が、基準位置として求められる。
【００６０】
このようにして、基準位置が算出されると、コントローラは、第１磁気検出器５１の出力に基づき基準位置からのストローク量求める。つまり、基準位置が算出されるタイミングで演算値Ｓ１のカウント数がリセットされる。このように、新たに検出した基準位置とこの基準位置からのストローク量とを算出することで、電源オフの間に油圧シリンダ１０が伸縮したとしても、正確なストローク位置を把握することができる。
【００６１】
本実施形態では、４つのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄを有するため、基準位置を検出するために必要なストローク量が総ストローク量の１／５程度でよく、速やかに基準位置を検出することができる。
【００６２】
次に、本実施形態の変形例について説明する。
【００６３】
上記実施形態では、基準位置の検出は、少なくとも電源オン後に一度だけ行えば、電源オフの間に油圧シリンダ１０が意図せず伸縮したとしても、正確なストローク位置を把握することができる。これに対し、電源オン後に基準位置を一度検出した後、電源をオフされるまでの間において、新たに基準位置の検出を行い、ストローク位置が正確に検出できているか否かを診断する自己診断をコントローラ７０によって行ってもよい。例えば、電源オン後に一度基準位置を検出し、その後所定ストローク量だけピストンロッド３０が移動すると、再び基準位置を検出して、現在のストローク位置と新たに検出した基準位置とが一致しているかをコントローラ７０が判定する。ストローク位置と基準位置とが一致していない場合には、新たに検出した基準位置から再びストローク検出を行う。これによれば、仮に電源オンの後にメインマーカ６１ａの誤検知等により実際のストローク位置と検出するストローク位置とにずれが発生した場合であっても、速やかにずれを修正してより精度良くストローク検出を行うことができる。
【００６４】
また、上記実施形態では、４つのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、ピストンロッド３０の進退方向Ａに沿った幅が互いに等しく形成され、メインスケール６１の１周期に対する相対位置が互いに異なるように配置される。これにより、油圧シリンダ１０の伸長作動時において、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄのそれぞれが第２磁気検出器５２によって検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なると共に、油圧シリンダ１０の収縮作動時においても、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄのそれぞれが第２磁気検出器５２によって検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なる。これに対し、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、油圧シリンダ１０の伸長作動時においてサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なると共に収縮作動時においてサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なるように、その他の構成、例えば、進退方向Ａに沿ったサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄの幅を互いに異なるように構成してもよい。また、ストローク検出装置１００では、油圧シリンダ１０を伸長及び収縮のいずれの方向にストロークさせても基準位置が検出できるため、油圧シリンダ１０の伸長作動時と収縮作動時のいずれにおいても、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なることが望ましい。これに対し、基準位置を検出する際のストローク方向が限定されるものの、油圧シリンダ１０が伸長する際及び収縮する際の一方のみにおいて、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なるように構成してもよい。
【００６５】
また、上記実施形態では、サブスケール６２は、４つのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄによって構成される。これに限らず、サブスケール６２は、２つ、３つ、又は５つ以上のサブマーカによって構成されてもよい。サブマーカの数が多いほど、基準位置検出のために必要なストローク量が少なくなる一方、メインマーカ６１ａの１周期を分割する数が増えるため、必要とされるサブマーカの加工精度が高くなる。よって、サブマーカの数は、求められる加工精度と基準位置検出のためにストローク量とに応じて、適切に設定すればよい。
【００６６】
また、上記実施形態では、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄは、ストローク領域の全域にわたってほぼ均等に配置される。これに対し、例えば、ストローク領域内において使用頻度が高い中央部分に全てのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが配置され、図２中の両端であるストロークエンド付近には、サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄが配置されなくてもよい。
【００６７】
また、上記実施形態では、第１磁気検出器５１は、第１、第２磁気検出ユニット５１ａ，５１ｂを有し、これらの出力を合成した信号を出力する。これにより、演算値Ｓ１は、左右非対称の波形となり、ピストンロッド３０の移動方向が判定できる。これに対し、第１磁気検出器５１は、単一の磁気検出ユニットを有し、ピストンロッド３０の移動方向は、他の手段により判定してもよい。この場合には、第１磁気検出器５１の出力は、サブスケール６２のようなパルス波形を有するオンオフ信号として出力される。よって、サブスケール６２は、２つのサブマーカによって構成し、第１磁気検出器５１の出力がオフ信号の時に一方のサブマーカが検知され、出力がオン信号の時に他方のサブマーカが検知されるように構成すればよい。この場合でも、上記実施形態と同様に基準位置の検出をすることができる。
【００６８】
また、上記実施形態では、ストローク検出装置１００は、第１部材としての筒状のシリンダチューブ２０と、第２部材としての棒状のピストンロッド３０と、を備える。これに対し、第１部材及び第２部材は筒状や棒状に限られず、例えば、板状の第２部材が板状の第１部材に対して進入及び退出するように構成されてもよい。
【００６９】
以上の第１実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。
【００７０】
ストローク検出装置１００では、４つのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄによって構成されるサブスケール６２を第２磁気検出器５２により検出することで、ピストンロッド３０の基準位置を求めることができる。第２磁気検出器５２が４つのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄのいずれを検知したかは、第１磁気検出器５１の出力を比較することで、判定することができる。このように、４つのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄによって基準位置を検出できるため、単一のサブマーカによって基準位置を検出する場合と比較して、必要なストローク量を少なくすることができ、速やかに基準位置を検出することができる。よって、ストローク検出装置１００における基準位置の検出を効率よく行うことができる。
【００７１】
（第２実施形態）
次に、図９及び１０を参照して、本発明の第２実施形態について説明する。なお、以下では、上記第１実施形態と異なる点を中心に説明し、上記第１実施形態のストローク検出装置１００と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
【００７２】
上記第１実施形態に係るストローク検出装置１００は、単一のサブスケール６２を備える。これに対し、第２実施形態に係るストローク検出装置２００は、サブスケールとして第１サブスケール６３及び第２サブスケール６４の２つと、それぞれ第１サブスケール６３及び第２サブスケール６４を検出する２つの第２磁気検出器５３，５４と、を備える点において、上記第１実施形態とは相違する。
【００７３】
ストローク検出装置２００は、図９に示すように、サブスケールとして、メインスケール６１とは周方向Ｂにずれて設けられる第１サブスケール６３と、第１サブスケール６３からさら周方向Ｂにずれて設けられる第２サブスケール６４と、を備える。また、ストローク検出装置２００は、第１サブスケール６３と対向するように設けられ第１サブスケール６３によって変化する磁界に応じた信号を出力する第２磁気検出器５３と、第２サブスケール６４と対向するように設けられ第２サブスケール６４によって変化する磁界に応じた信号を出力する第２磁気検出器５４と、を備える。２つの第２磁気検出器５３，５４の構成は、上記第１実施形態の第２磁気検出器５２と同様の構成であるため、詳細な説明は省略する。
【００７４】
第１サブスケール６３及び第２サブスケール６４は、上記第１実施形態におけるサブスケール６２と同様に、それぞれ４つのサブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ及びサブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄによって構成される。第１サブスケール６３と第２サブスケール６４とは、互いに進退方向Ａにずれて配置される。つまり、第１サブスケール６３の第１〜第４サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄと第２サブスケール６４の第１〜第４サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄとは、進退方向Ａに沿って互いに入れ違いに配置される。
【００７５】
第１サブスケール６３における４つのサブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄは、上記第１実施形態におけるサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄと同様に、第２磁気検出器５３によって検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なるように設けられる。また、同様に、第２サブスケール６４における４つのサブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄも、第２磁気検出器５４によって検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なるように設けられる。具体的には、上記第１実施形態と同様に、メインマーカ６１ａの１周期を４つに分けた領域Ｒ１〜Ｒ４と、第１サブスケール６３の第１〜第４サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ及び第２サブスケール６４の第１〜第４サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄとは、それぞれ一対一で対応する（図１０参照）。
【００７６】
なお、第１磁気検出器５１の出力は、第１サブスケール６３のサブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ間及び第２サブスケール６４のサブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ間で異なるものであればよく、第１サブスケール６３と第２サブスケール６４との間で異なるものでなくてもよい。つまり、図１０に示すように、第１サブスケール６３のうちのある一つが検出された際の第１磁気検出器５１の出力は、第２サブスケール６４のうちのある一つのサブマーカが検出された際の第１磁気検出器５１の出力と同じものでもよい。この場合には、２つの第２磁気検出器５３，５４のうちのいずれによってサブマーカが検出されたのかを判定することにより、どのサブマーカが検出されたのかを見分ければよい。
【００７７】
このように、ストローク検出装置２００では、サブスケールとして第１サブスケール６３及び第２サブスケール６４が設けられるため、上記第１実施形態と比較して、基準位置検出のために必要なストローク量がさらに少なくなり、効率よく基準位置の検出を行うことができる。
【００７８】
また、本実施形態では、第１及び第２サブスケール６３，６４は、それぞれサブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ及びサブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄによって構成されるものであり、サブスケール全体としては８つのサブマーカが設けられる。また、本実施形態では、第１サブスケール６３のサブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄのいずれか一つと第２サブスケール６４におけるサブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄのいずれか一つとは、第２磁気検出器５３，５４によって検出された際の第１磁気検出器５１の出力が同じとなるように形成されてもよい。このため、単一のサブスケールが８つのサブマーカにより構成される場合と比較して、１周期を分割する数が少なくなり、高い加工精度が要求されないため、サブスケールを容易に加工することができる。
【００７９】
なお、上記第２実施形態では、サブスケールとして第１サブスケール６３及び第２サブスケール６４の２つが設けられるが、これに限らず、３以上のサブスケールが設けられるものでもよい。サブスケールの数と、サブスケールを構成するサブマーカの数は、サブマーカの加工精度と基準位置検出に必要なストローク量とに応じて、任意に設定することができる。
【００８０】
また、上記第２実施形態は、上記第１実施形態における変形例と適宜組み合わせが可能である。
【００８１】
以上の第２実施形態によれば、以下に示す効果を奏する。
【００８２】
ストローク検出装置２００では、それぞれ４つのサブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ及びサブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄによって構成される第１、第２サブスケール６３，６４を第２磁気検出器５３，５４により検出することで、ピストンロッド３０の基準位置を求めることができる。第１、第２サブスケール６３，６４のそれぞれにおいて、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ及びサブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄのいずれを検知したかは、第１磁気検出器５１の出力に基づいて、判定することができる。また、サブスケールを２つとすることで、第１実施形態と比較してサブマーカの形状は同一としつつ、基準位置検出に必要なストローク量を少なくすることができる。よって、要求される加工精度の上昇を防止しつつ、基準位置の検出をより効率よく行うことができる。
【００８３】
以下、本発明の実施形態の構成、作用、及び効果をまとめて説明する。
【００８４】
ストローク検出装置１００，２００は、シリンダチューブ２０と、シリンダチューブ２０に対して進退自在に設けられるピストンロッド３０と、ピストンロッド３０の進退方向に沿ってピストンロッド３０の表面に形成されるメインスケール６１と、ピストンロッド３０の表面に、メインスケール６１に沿って形成されるサブスケール（サブスケール６２、第１サブスケール６３、第２サブスケール６４）と、メインスケール６１と対向するようにシリンダチューブ２０に設けられ、メインスケール６１によって変化する磁界に応じた信号を出力する第１磁気検出器５１と、サブスケール（サブスケール６２、第１サブスケール６３、第２サブスケール６４）と対向するようにシリンダチューブ２０に設けられ、サブスケール（サブスケール６２、第１サブスケール６３、第２サブスケール６４）によって変化する磁界に応じた信号を出力する第２磁気検出器５２，５３，５４と、を備え、メインスケール６１は、ピストンロッド３０の進退方向に沿って等間隔で配置され、ピストンロッド３０の進退方向に沿った幅が互いに同一に形成される複数のメインマーカ６１ａで構成され、サブスケール（サブスケール６２、第１サブスケール６３、第２サブスケール６４）は、ピストンロッド３０のストローク位置との対応関係が予め定められた位置に設けられる複数のサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）で構成され、複数のサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）は、第２磁気検出器５２，５３，５４によってサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）がそれぞれ検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なるように配置される。
【００８５】
また、ストローク検出装置１００，２００では、第１磁気検出器５１は、メインスケール６１による磁界の変化に応じた電圧値を出力し、第２磁気検出器５２，５３，５４によって各サブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）が検出された際に第１磁気検出器５１が出力する電圧値は、互いに異なる。
【００８６】
これらの構成では、ピストンロッド３０のストローク位置との対応関係が予め定められた位置にサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）が設けられるため、第２磁気検出器５２，５３，５４によりサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）のいずれかを検出することにより、そのサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）に対応するストローク位置を基準位置として検出することができる。第２磁気検出器５２，５３，５４が複数のサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）のいずれを検出したかは、第１磁気検出器５１の出力によって見分けることができる。このように、複数のサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）によって基準位置を検知できるため、基準位置を検出するためのピストンロッド３０のストローク量を短くすることができる。したがって、基準位置を効率よく検出することができる。
【００８７】
また、ストローク検出装置１００，２００では、第１磁気検出器５１は、それぞれ磁界の変化に応じた信号を出力する第１及び第２磁気検出ユニット５１ａ，５１ｂを有し、第１磁気検出ユニット５１ａと第２磁気検出ユニット５１ｂとは、出力する信号の位相がずれるようにピストンロッド３０の進退方向にずれて配置され、第１磁気検出器５１が出力する信号は、第１磁気検出ユニット５１ａの出力と第２磁気検出ユニット５１ｂの出力とを合成した鋸波として出力される。
【００８８】
この構成では、第１磁気検出器５１が出力する信号が鋸波形状であるため、出力の増減を観察することでピストンロッド３０の移動方向を判定することができる。
【００８９】
また、ストローク検出装置１００では、サブスケール６２は、４つのサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄにより構成される。
【００９０】
また、ストローク検出装置２００は、サブスケールとしてピストンロッド３０の進退方向にずれる第１サブスケール６３及び第２サブスケール６４を備える。
【００９１】
また、ストローク検出装置２００では、第１サブスケール６３及び第２サブスケール６４は、それぞれ４つのサブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ及びサブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄにより構成される。
【００９２】
また、ストローク検出装置１００，２００は、第１磁気検出器５１及び第２磁気検出器５２，５３，５４の出力に基づいてストローク位置を演算するコントローラ７０をさらに備え、コントローラ７０は、第２磁気検出器５２，５３，５４によるサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）の検出によって求められるストローク位置（基準位置）と、第１磁気検出器５１の検出結果に基づいて演算されるストローク位置と、を比較する自己診断機能を有する。
【００９３】
この構成では、自己診断機能により、第１磁気検出器５１の出力に基づいて求められるストローク位置と第２磁気検出器５２，５３，５４の出力に基づいて求められるストローク位置（基準位置）との間でずれが生じているかを判定することができる。よって、ストローク位置の検出精度を向上させることができる。
【００９４】
また、ストローク検出装置１００，２００は、複数のサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）が、シリンダチューブ２０に対するピストンロッド３０の進入時に第２磁気検出器５２，５３，５４によってサブマーカ（サブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）がそれぞれ検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なると共に、シリンダチューブ２０に対するピストンロッド３０の退出時に第２磁気検出器５２，５３，５４によってサブマーカサブマーカ６２ａ，６２ｂ，６２ｃ，６２ｄ、サブマーカ６３ａ，６３ｂ，６３ｃ，６３ｄ、サブマーカ６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ）がそれぞれ検出された際の第１磁気検出器５１の出力が互いに異なるように設けられる。
【００９５】
この構成では、ピストンロッド３０がシリンダチューブ２０に対して進入する場合と退出する場合とのいずれにおいても、基準位置を検出することができる。
【００９６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
【符号の説明】
【００９７】
２０…シリンダチューブ（第１部材）、３０…ピストンロッド（第２部材）、５１…第１磁気検出器、５１ａ…第１磁気検出ユニット、５１ｂ…第２磁気検出ユニット、５２，５３，５４…第２磁気検出器、６１…メインスケール、６１ａ…メインマーカ、６２…サブスケール、６３…第１サブスケール（サブスケール）、６４…第２サブスケール（サブスケール）６２ａ，６３ａ，６４ａ…第１サブマーカ（サブマーカ）、６２ｂ，６３ｂ，６４ｂ…第２サブマーカ（サブマーカ）、６２ｃ，６３ｃ，６４ｃ…第３サブマーカ（サブマーカ）、６２ｄ，６３ｄ，６４ｄ…第４サブマーカ（サブマーカ）、７０…コントローラ、１００，２００…ストローク検出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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