(57)【要約】【課題】外観検査システムのシステム構成を簡単化する。【解決手段】実施形態による外観検査システムは、１２個の照明領域が円環状に配置されることで構成される円環状の照明装置と、照明装置によって照らされた被検査体を撮像する撮像装置と、照明装置および撮像装置に接続された検査装置と、を備え、検査装置は、予め設定された複数の照明パターンに従い、１２個の照明領域の各々の点灯および消灯を制御する照明制御部と、撮像装置から、複数の照明パターンで照らされた被検査体をそれぞれ撮像した複数の撮像画像を取得する画像取得部と、複数の撮像画像と、当該複数の撮像画像に画像処理を施すことで生成された１以上の処理画像と、のうち少なくとも１つの画像を使用して、被検査体の外観の異常を検出する検出処理部と、を備える。【選択図】図１
2018112479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１２個の照明領域が円環状に配置されることで構成される円環状の照明装置と、
前記照明装置によって照らされた被検査体を撮像する撮像装置と、
前記照明装置および前記撮像装置に接続された検査装置と、
を備え、
前記検査装置は、
予め設定された複数の照明パターンに従い、前記１２個の照明領域の各々の点灯および消灯を制御する照明制御部と、
前記撮像装置から、前記複数の照明パターンで照らされた前記被検査体をそれぞれ撮像した複数の撮像画像を取得する画像取得部と、
前記複数の撮像画像と、当該複数の撮像画像に画像処理を施すことで生成された１以上の処理画像と、のうち少なくとも１つの画像を使用して、前記被検査体の外観の異常を検出する検出処理部と、
を備える、外観検査システム。
【請求項２】
前記１以上の処理画像は、前記複数の撮像画像のうち１以上が合成された合成画像を含む、
請求項１に記載の外観検査システム。
【請求項３】
前記複数の照明パターンは、前記円環状の照明装置の中心に対して対称的な位置に設けられた少なくとも２個の照明領域を同時に点灯させる対称パターンを含む、
請求項１または２に記載の外観検査システム。
【請求項４】
前記対称パターンは、前記円環状の照明装置の中心を径方向の両側から挟み込む位置に設けられた少なくとも２個の照明領域を同時に点灯させる挟み込みパターンを含む、
請求項３に記載の外観検査システム。
【請求項５】
前記照明制御部に実行させる照明パターンを前記複数の照明パターンの中からユーザに選択させるためのパターン選択画面を表示部に表示する表示処理部をさらに備え、
前記照明制御部は、前記複数の照明パターンのうち、前記パターン選択画面上で選択された照明パターンに従い、前記１２個の照明領域の各々の点灯および消灯を制御する、
請求項１〜４のいずれか１項に記載の外観検査システム。
【請求項６】
前記複数の撮像画像と、前記１以上の処理画像と、の一覧を含み、前記外観の異常を検出するために前記検出処理部に使用させる画像を前記一覧の中からユーザに選択させるための画像選択画面を表示部に表示する表示処理部をさらに備え、
前記検出処理部は、前記画像選択画面上で選択された画像を使用して、前記外観の異常を検出する、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の外観検査システム。
【請求項７】
前記円環状の照明装置の前記被検査体に面した側には、前記円環状の照明装置の外周側から内周側に向かって前記被検査体とは反対側に凹む円環状の凹部が設けられており、
前記１２個の照明領域は、前記円環状の凹部に設けられた複数の光源によって構成されている、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の外観検査システム。
【請求項８】
前記複数の光源は、前記円環状の凹部の径方向および周方向に沿って並んで配置されている、
請求項７に記載の外観検査システム。
【請求項９】
前記１２個の照明領域の各々は、前記円環状の照明装置における前記被検査体に面した部分が前記円環状の照明装置の中心に対して等角度間隔で１２等分された領域に対応する、
請求項１〜８のいずれか１項に記載の外観検査システム。
【請求項１０】
複数の照明領域が円環状に配置されることで構成される円環状の照明装置と、
前記照明装置によって照らされた被検査体を撮像する撮像装置と、
前記照明装置および前記撮像装置に接続された検査装置と、
を備え、
前記検査装置は、
予め設定された複数の照明パターンに従い、前記複数の照明領域の各々の点灯および消灯を制御する照明制御部と、
前記撮像装置から、前記複数の照明パターンで照らされた前記被検査体をそれぞれ撮像した複数の撮像画像を取得する画像取得部と、
前記複数の撮像画像と、当該複数の撮像画像に画像処理を施すことで生成された１以上の処理画像と、のうち少なくとも１つの画像を使用して、前記被検査体の外観の異常を検出する検出処理部と、
を備える、外観検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、外観検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検査体の外観に表れる異常を検出する技術が知られている。このような技術では、被検査体の外観の異常を検出するために、被検査体を照らす照明を複数設置し、当該複数の照明により様々な方向から照らされた被検査体を撮像し、当該撮像により得られた複数の撮像画像から、異常が明確に表れた撮像画像を取得するという手法が用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−３１０９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来の手法では、照明を複数設置する必要があるので、システム構成が大型化および複雑化しやすい。
【０００５】
そこで、実施形態の課題の一つは、外観検査システムのシステム構成を簡単化することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態による外観検査システムは、１２個の照明領域が円環状に配置されることで構成される円環状の照明装置と、照明装置によって照らされた被検査体を撮像する撮像装置と、照明装置および撮像装置に接続された検査装置と、を備え、検査装置は、予め設定された複数の照明パターンに従い、１２個の照明領域の各々の点灯および消灯を制御する照明制御部と、撮像装置から、複数の照明パターンで照らされた被検査体をそれぞれ撮像した複数の撮像画像を取得する画像取得部と、複数の撮像画像と、当該複数の撮像画像に画像処理を施すことで生成された１以上の処理画像と、のうち少なくとも１つの画像を使用して、被検査体の外観の異常を検出する検出処理部と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、実施形態による外観検査システムの全体構成を示した例示的なブロック図である。
【図２】図２は、実施形態による照明装置の構成を示した例示的な図である。
【図３】図３は、実施形態において用いられうる第１の照明パターンを示した例示的な図である。
【図４】図４は、実施形態において第１の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。
【図５】図５は、実施形態において用いられうる第２の照明パターンを示した例示的な図である。
【図６】図６は、実施形態において第２の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。
【図７】図７は、実施形態において用いられうる第３の照明パターンを示した例示的な図である。
【図８】図８は、実施形態において用いられうる第４の照明パターンを示した例示的な図である。
【図９】図９は、実施形態において用いられうる第５の照明パターンを示した例示的な図である。
【図１０】図１０は、実施形態において第５の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。
【図１１】図１１は、実施形態において用いられうる第６の照明パターンを示した例示的な図である。
【図１２】図１２は、実施形態において第６の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。
【図１３】図１３は、実施形態において用いられうる第７の照明パターンを示した例示的な図である。
【図１４】図１４は、実施形態において第７の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。
【図１５】図１５は、実施形態において用いられうる第８の照明パターンを示した例示的な図である。
【図１６】図１６は、実施形態において第８の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。
【図１７】図１７は、実施形態において用いられうる第９の照明パターンを示した例示的な図である。
【図１８】図１８は、実施形態において第９の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。
【図１９】図１９は、実施形態において用いられうる第１０の照明パターンを示した例示的な図である。
【図２０】図２０は、実施形態において第１０の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。
【図２１】図２１は、実施形態において用いられうる第１１の照明パターンを示した例示的な図である。
【図２２】図２２は、実施形態において用いられうる第１２の照明パターンを示した例示的な図である。
【図２３】図２３は、実施形態によるパターン選択画面を示した例示的な図である。
【図２４】図２４は、実施形態による画像選択画面を示した例示的な図である。
【図２５】図２５は、実施形態において実行されうる一連の処理を示した例示的なフローチャートである。
【図２６】図２６は、実施形態において用いられうる第１３の照明パターンを示した例示的な図である。
【図２７】図２７は、実施形態において第１３の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、実施形態による外観検査システムについて説明する。実施形態による外観検査システムは、被検査体の表面に表れる外観の異常（欠陥）を検査するための様々な構成を備えている。なお、以下に記載する実施形態の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および結果（効果）は、あくまで一例であって、以下の記載内容に限られるものではない。
【０００９】
図１は、実施形態による外観検査システムの全体構成を示した例示的なブロック図である。図１に示されるように、実施形態による外観検査システムは、照明装置１０と、撮像装置２０と、ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）３０と、を備えている。なお、ＰＣ３０は、「検査装置」の一例である。
【００１０】
照明装置１０は、照明用電源４０に接続されており、当該照明用電源４０から供給される電力に基づいて、台５０などに載置された被検査体６０に上方から光を照射する。照明装置１０は、中心Ａｘを有した円環状に構成されている。つまり、照明装置１０には、中心Ａｘ周りに開口部１１が設けられている。
【００１１】
また、照明装置１０の被検査体６０に面した側には、照明装置１０の外周側から内周側（中心Ａｘ側）に向かって被検査体６０とは反対側に凹む凹部１２が設けられている。当該凹部１２は、照明装置１０の外周側の端部から内周側の端部に向かって被検査体６０とは反対側に傾斜する傾斜部により構成される。これにより、照明装置１０は、当該傾斜部（凹部１２）に設けられた複数の光源１４（図１には不図示、後述する図２参照）から被検査体６０の表面（上面）に対して斜めに光を照射することが可能になっている（矢印Ｄ参照）。なお、照明装置１０の詳細な構成については、後で説明するため、ここではこれ以上の説明を省略する。
【００１２】
撮像装置２０は、照明装置１０に照らされた被検査体６０を撮像するカメラである。そして、撮像装置２０は、撮像した被検査体６０の画像を撮像画像として出力する。図１の例では、撮像装置２０は、照明装置１０の開口部１１の上方に配置されている。これにより、撮像装置２０は、照明装置１０からの光が被検査体６０の表面で反射された反射光を、開口部１１を介して受光する。
【００１３】
ところで、従来では、被検査体６０の外観の異常が、特定の方向性を持たない場合がある。このような場合、異常が明確に表れた撮像画像を取得するためには、被検査体６０を照らす照明を複数設置し、様々な方向から照らされた被検査体６０を撮像した複数の撮像画像から、所望の撮像画像を選択するという手法が用いられることがあった。しかしながら、このような従来の手法では、照明を複数設置する必要があるので、システム構成が大型化および複雑化しやすい。
【００１４】
そこで、実施形態では、照明装置１０を以下のように構成することで、被検査体６０を様々な方向から照らすことを、単一の照明で実現することを可能にした。
【００１５】
図２は、実施形態による照明装置１０の構成を示した例示的な図である。より具体的に、図２は、照明装置１０を被検査体６０に面した側から、つまり光を照射する凹部１２の側から見た図である。なお、前述したように、照明装置１０は、中心Ａｘ周りに開口部１１が設けられた円環状に構成されている。したがって、実施形態では、凹部１２も、同様の円環状に構成されている。
【００１６】
図２に示されるように、照明装置１０は、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌが円環状に配置されることで構成されている。各照明領域１３Ａ〜１３Ｌは、照明装置１０における被検査体６０に面した部分である凹部１２が中心Ａｘに対して等角度間隔（３０度間隔）で１２等分された領域に対応する。
【００１７】
凹部１２には、複数の光源１４が径方向および周方向の両方に沿って並んで配置されている。図２の例では、照明領域１３Ａ〜１３Ｌの各々につき、径方向の内側で周方向に沿って配置された２個の光源１４と、径方向の外側で周方向に沿って配置された３個の光源１４と、が設けられている。これにより、実施形態では、各照明領域１３Ａ〜１３Ｌが、それぞれ同一の光量の光を照射することが可能なように構成されている。なお、図２では、照明領域１３Ａの光源１４のみを図示し、他の照明領域１３Ｂ〜１３Ｌの光源１４の図示を省略している。
【００１８】
ここで、実施形態では、各照明領域１３Ａ〜１３Ｌは、ＰＣ３０の制御のもとで、個別に点灯および消灯を行うことが可能に構成されている（詳細は後述する）。これにより、実施形態では、被検査体６０に対して様々な方向から光を照射することを、単一の照明装置１０で実現することが可能になる。その結果、被検査体６０の外観の異常が方向性を持たない場合でも、当該異常が明確に表れた撮像画像を容易に得ることが可能になる。
【００１９】
図１に戻り、ＰＣ３０は、撮像装置２０に接続されているとともに、照明用電源４０を介して照明装置１０に接続されている。ＰＣ３０は、プロセッサやメモリなどといった通常のコンピュータと同様のハードウェアを備えている。ＰＣ３０のプロセッサは、メモリに記憶された各種のコンピュータプログラムを読み出して実行することで、次のような機能的構成を実現する。
【００２０】
すなわち、ＰＣ３０は、機能的構成として、画像取得部３１と、画像処理部３２と、検出処理部３３と、表示処理部３４と、入力受付部３５と、照明制御部３６と、を備える。なお、実施形態では、これら機能的構成の一部または全部が、専用のハードウェアによって実現されてもよい。
【００２１】
画像取得部３１は、撮像装置２０に接続され、撮像装置２０が出力した撮像画像を取得する。画像処理部３２は、画像取得部３１が取得した撮像画像に対して所定の画像処理（詳細は後述する）を施した処理画像を生成する。検出処理部３３は、画像取得部３１が取得した撮像画像や、画像処理部３２が生成した処理画像などに基づいて、被検査体６０における外観の異常を検出する。
【００２２】
表示処理部３４は、ＰＣ３０に接続されるディスプレイ７０への画像出力を制御する。入力受付部３５は、ＰＣ３０に接続される入力デバイス８０を介して行われるユーザ（検査員）の操作入力を受け付ける。照明制御部３６は、照明用電源４０に接続され、照明用電源４０を制御することで、照明装置１０を制御する。
【００２３】
ここで、実施形態では、照明制御部３６は、予め設定された複数の照明パターンに従い、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの各々の点灯および消灯を個別に制御するように構成されている。以下、複数の照明パターンの例について、図面を参照しながら具体的に説明する。
【００２４】
（第１の照明パターン）
図３は、実施形態において用いられうる第１の照明パターンを示した例示的な図である。図３に示されるように、第１の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの全てを同時に点灯させる照明パターンである。
【００２５】
図４は、実施形態において第１の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。図４に示されるように、第１の照明パターンによれば、被検査体６０の全体が略均一に照らされた撮像画像を得ることができる。
【００２６】
（第２の照明パターン）
図５は、実施形態において用いられうる第２の照明パターンを示した例示的な図である。図５に示されるように、第２の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌのうちの６個（半分に相当するブロック）のみを点灯させ、他を消灯させる照明パターンである。
【００２７】
第２の照明パターンにおいて、点灯（消灯）される照明領域１３Ａ〜１３Ｌの位置は、適宜変更されうる。図５には、（ａ）照明領域１３Ａ〜１３Ｃおよび１３Ｊ〜１３Ｌのブロックのみを点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ａ〜１３Ｆのブロックのみを点灯させるパターンと、（ｃ）照明領域１３Ｄ〜１３Ｉのブロックのみを点灯させるパターンと、（ｄ）照明領域１３Ｇ〜１３Ｌのブロックのみを点灯させるパターンと、の４個のパターンが例示されている。
【００２８】
第２の照明パターンでは、上述した４個のパターンが、たとえば、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の順に順次切り替えられる。これにより、第２の照明パターンでは、光の概略的な照射方向が、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て、矢印Ｘ２ａ方向、矢印Ｘ２ｂ方向、矢印Ｘ２ｃ方向、矢印Ｘ２ｄ方向の順に順次切り替わる。なお、パターンの切り替えの順序は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の順に限られるものではなく、適宜変更されうる。
【００２９】
図６は、実施形態において第２の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。図６の（ａ）は、図５の（ａ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図６の（ｂ）は、図５の（ｂ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像である。また、図６の（ｃ）は、図５の（ｃ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図６の（ｄ）は、図５の（ｄ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像である。
【００３０】
（第３の照明パターン）
図７は、実施形態において用いられうる第３の照明パターンを示した例示的な図である。図７に示されるように、第３の照明パターンは、上述した第２の照明パターン（図５参照）を簡略化したものである。より具体的に、第３の照明パターンは、（ａ）図５の（ｂ）と同様のパターンと、（ｂ）図５の（ｄ）と同様のパターンと、の２個のパターンを順次切り替える照明パターンである。
【００３１】
第３の照明パターンによれば、被検査体６０を、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て互いに向かい合う方向である矢印Ｘ２ｂ方向および矢印Ｘ２ｄ方向から順次照らすことができる。なお、第３の照明パターンによって得られる撮像画像は、上述した図６の（ｂ）および（ｄ）に示された撮像画像と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００３２】
（第４の照明パターン）
図８は、実施形態において用いられうる第４の照明パターンを示した例示的な図である。図８に示されるように、第４の照明パターンは、上述した第３の照明パターンと同様に、第２の照明パターン（図５参照）を簡略化したものである。より具体的に、第４の照明パターンは、（ａ）図５の（ａ）と同様のパターンと、（ｂ）図５の（ｃ）と同様のパターンと、の２個のパターンを順次切り替える照明パターンである。
【００３３】
第４の照明パターンによれば、被検査体６０を、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て互いに向かい合う方向であり、かつ第３の照明パターンとは異なる方向である矢印Ｘ２ａ方向および矢印Ｘ２ｃ方向から順次照らすことができる。なお、第４の照明パターンによって得られる撮像画像は、図６の（ａ）および（ｃ）に示された撮像画像と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００３４】
（第５の照明パターン）
図９は、実施形態において用いられうる第５の照明パターンを示した例示的な図である。図９に示されるように、第５の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌのうちの４個（３分の１に相当するブロック）のみを点灯させ、他を消灯させる照明パターンである。
【００３５】
第５の照明パターンにおいて、点灯（消灯）される照明領域１３Ａ〜１３Ｌの位置は、適宜変更されうる。図９には、（ａ）照明領域１３Ａ〜１３Ｄのブロックのみを点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ｅ〜１３Ｈのブロックのみを点灯させるパターンと、（ｃ）照明領域１３Ｉ〜１３Ｌのブロックのみを点灯させるパターンと、の３個のパターンが例示されている。
【００３６】
第５の照明パターンでは、上述した３個のパターンが、たとえば、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に順次切り替えられる。これにより、第５の照明パターンでは、光の概略的な照射方向が、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て、矢印Ｘ５ａ方向、矢印Ｘ５ｂ方向、矢印Ｘ５ｃ方向、の順に順次切り替わる。なお、パターンの切り替えの順序は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に限られるものではなく、適宜変更されうる。
【００３７】
図１０は、実施形態において第５の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。図１０の（ａ）は、図９の（ａ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図１０の（ｂ）は、図９の（ｂ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図１０の（ｃ）は、図９の（ｃ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像である。
【００３８】
（第６の照明パターン）
図１１は、実施形態において用いられうる第６の照明パターンを示した例示的な図である。図１１に示されるように、第６の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌのうちの３個（４分の１に相当するブロック）のみを点灯させ、他を消灯させる照明パターンである。
【００３９】
第６の照明パターンにおいて、点灯（消灯）される照明領域１３Ａ〜１３Ｌの位置は、適宜変更されうる。図１１には、（ａ）照明領域１３Ａ〜１３Ｃのブロックのみを点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ｄ〜１３Ｆのブロックのみを点灯させるパターンと、（ｃ）照明領域１３Ｇ〜１３Ｉのブロックのみを点灯させるパターンと、（ｄ）照明領域１３Ｊ〜１３Ｌのブロックのみを点灯させるパターンと、の４個のパターンが例示されている。
【００４０】
第６の照明パターンでは、上述した４個のパターンが、たとえば、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の順に順次切り替えられる。これにより、第６の照明パターンでは、光の概略的な照射方向が、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て、矢印Ｘ６ａ方向、矢印Ｘ６ｂ方向、矢印Ｘ６ｃ方向、矢印Ｘ６ｄ方向の順に順次切り替わる。なお、パターンの切り替えの順序は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の順に限られるものではなく、適宜変更されうる。
【００４１】
図１２は、実施形態において第６の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。図１２の（ａ）は、図１１の（ａ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図１２の（ｂ）は、図１１の（ｂ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像である。また、図１２の（ｃ）は、図１１の（ｃ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図１２の（ｄ）は、図１１の（ｄ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像である。
【００４２】
（第７の照明パターン）
図１３は、実施形態において用いられうる第７の照明パターンを示した例示的な図である。図１３に示されるように、第７の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌのうちの２個（６分の１に相当するブロック）のみを点灯させ、他を消灯させる照明パターンである。
【００４３】
第７の照明パターンにおいて、点灯（消灯）される照明領域１３Ａ〜１３Ｌの位置は、適宜変更されうる。図１３には、（ａ）照明領域１３Ａおよび１３Ｂのブロックのみを点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ｃおよび１３Ｄのブロックのみを点灯させるパターンと、…、（ｆ）照明領域１３Ｋおよび１３Ｌのブロックのみを点灯させるパターンと、が例示されている。なお、図１３には、（ｂ）と（ｆ）との間の（ｃ）〜（ｅ）のパターンの図示が省略されているが、（ｃ）〜（ｅ）のパターンは、それぞれ、（ｂ）〜（ｄ）のパターンで点灯しているブロックを時計回りに順次ずらしたパターンである。したがって、第７の照明パターンでは、（ａ）〜（ｆ）の６個のパターンが存在する。
【００４４】
第７の照明パターンでは、上述した６個のパターンが、たとえば、（ａ）、（ｂ）、…、（ｆ）の順に順次切り替えられる。これにより、第７の照明パターンでは、光の概略的な照射方向が、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て、矢印Ｘ７ａ方向、矢印Ｘ７ｂ方向、…、矢印Ｘ７ｆ方向の順に順次切り替わる。なお、パターンの切り替えの順序は、（ａ）、（ｂ）、…、（ｆ）の順に限られるものではなく、適宜変更されうる。
【００４５】
図１４は、実施形態において第７の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。図１４の（ａ）は、図１３の（ａ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図１４の（ｂ）は、図１３の（ｂ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図１４の（ｆ）は、図１３の（ｆ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像である。
【００４６】
（第８の照明パターン）
図１５は、実施形態において用いられうる第８の照明パターンを示した例示的な図である。図１５に示されるように、第８の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌのうちの１つ（１２分の１に相当するブロック）のみを点灯させ、他を消灯させる照明パターンである。
【００４７】
第８の照明パターンにおいて、点灯（消灯）される照明領域１３Ａ〜１３Ｌの位置は、適宜変更されうる。図１５には、（ａ）照明領域１３Ａのみを点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ｂのみを点灯させるパターンと、…、（ｌ）照明領域１３Ｌのみを点灯させるパターンと、が例示されている。なお、図１５には、（ｂ）と（ｌ）との間の（ｃ）〜（ｋ）のパターンの図示が省略されているが、（ｃ）〜（ｋ）のパターンは、それぞれ、（ｂ）〜（ｊ）のパターンで点灯しているブロックを時計回りに順次ずらしたパターンである。したがって、第８の照明パターンでは、（ａ）〜（ｌ）の１２個のパターンが存在する。
【００４８】
第８の照明パターンでは、上述した１２個のパターンが、たとえば、（ａ）、（ｂ）、…、（ｌ）の順に順次切り替えられる。これにより、第８の照明パターンでは、光の概略的な照射方向が、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て、矢印Ｘ８ａ方向、矢印Ｘ８ｂ方向、…、矢印Ｘ８ｌ方向の順に順次切り替わる。なお、パターンの切り替えの順序は、（ａ）、（ｂ）、…、（ｌ）の順に限られるものではなく、適宜変更されうる。
【００４９】
図１６は、実施形態において第８の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。図１６の（ａ）は、図１５の（ａ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図１６の（ｂ）は、図１５の（ｂ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図１６の（ｌ）は、図１５の（ｌ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像である。
【００５０】
上述した第２〜第８の照明パターンは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌを複数のブロックに区分けし、複数のブロックを１つずつ点灯させることで、被検査体６０に照らす光の方向を１方向ずつ変更するパターンである。しかしながら、実施形態では、以下のような照明パターンを用いることで、異なる２以上の方向から同時に被検査体６０を照らすことも可能である。
【００５１】
（第９の照明パターン）
図１７は、実施形態において用いられうる第９の照明パターンを示した例示的な図である。図１７に示されるように、第９の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの４分の１にそれぞれ相当する２つのブロックであって、中心Ａｘを挟み込む位置にある２つのブロックを同時に点灯させ、他を消灯させる照明パターンである。
【００５２】
第９の照明パターンにおいて、点灯（消灯）される照明領域１３Ａ〜１３Ｌの位置は、適宜変更されうる。図１７には、（ａ）照明領域１３Ａ〜１３Ｃのブロックと、照明領域１３Ｇ〜１３Ｉのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ｄ〜１３Ｆのブロックと、照明領域１３Ｊ〜１３Ｌのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、の２個のパターンが例示されている。
【００５３】
第９の照明パターンによれば、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て、中心Ａｘを挟み込むような２方向から同時に光が照射された状態が得られる。より具体的に、図１７の（ａ）のパターンによれば、矢印Ｘ６ａ方向および矢印Ｘ６ｃ方向に同時に光が照射された状態が得られ、図１７の（ｂ）のパターンによれば、矢印Ｘ６ｂ方向および矢印Ｘ６ｄ方向に同時に光が照射された状態が得られる。したがって、第９の照明パターンによれば、１回の撮像で１方向分の情報を得る第６の照明パターン（図１１参照）のような照明パターンに比べて、１回の撮像でより多くの情報（２方向分の情報）を得ることができる。
【００５４】
なお、図１７には、一例として、上述した２個のパターンが、（ａ）、（ｂ）の順に順次切り替えられる場合が例示されている。しかしながら、パターンの切り替えの順序は、（ａ）、（ｂ）の順に限られるものではなく、逆順であってもよい。
【００５５】
図１８は、実施形態において第９の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。図１８の（ａ）は、図１７の（ａ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図１８の（ｂ）は、図１７の（ｂ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像である。図１８に示されるように、第９の照明パターンによれば、たとえば１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの４分の１に相当するブロックを１つだけ点灯させる第６の照明パターン（図１１および図１２参照）に比べて、より明るい撮像画像が得られる。
【００５６】
（第１０の照明パターン）
図１９は、実施形態において用いられうる第１０の照明パターンを示した例示的な図である。図１９に示されるように、第１０の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの６分の１にそれぞれ相当する２つのブロックであって、中心Ａｘを挟み込む位置にある２つのブロックを同時に点灯させ、他を消灯させる照明パターンである。
【００５７】
第１０の照明パターンにおいて、点灯（消灯）される照明領域１３Ａ〜１３Ｌの位置は、適宜変更されうる。図１９には、（ａ）照明領域１３Ａおよび１３Ｂのブロックと、照明領域１３Ｇおよび１３Ｈのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ｃおよび１３Ｄのブロックと、照明領域１３Ｉおよび１３Ｊのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｃ）照明領域１３Ｅおよび１３Ｆのブロックと、照明領域１３Ｋおよび１３Ｌのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、の３個のパターンが例示されている。
【００５８】
第１０の照明パターンによっても、上述した第９の照明パターンと同様に、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て、中心Ａｘを挟み込むような２方向から同時に光が照射された状態が得られる。より具体的に、図１９の（ａ）のパターンによれば、矢印Ｘ７ａ方向および矢印Ｘ７ｄ方向に同時に光が照射された状態が得られる。同様に、図１９の（ｂ）のパターンによれば、矢印Ｘ７ｂ方向および矢印Ｘ７ｅ方向に同時に光が照射された状態が得られ、図１９の（ｃ）のパターンによれば、矢印Ｘ７ｃ方向および矢印Ｘ７ｆ方向に同時に光が照射された状態が得られる。したがって、第１０の照明パターンによれば、たとえば１回の撮像で１方向分の情報を得る第７の照明パターン（図１３参照）のような照明パターンに比べて、１回の撮像でより多くの情報（２方向分の情報）を得ることができる。
【００５９】
なお、図１９には、一例として、上述した３個のパターンが、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に順次切り替えられる場合が例示されている。しかしながら、パターンの切り替えの順序は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に限られるものではなく、適宜変更されうる。
【００６０】
図２０は、実施形態において第１０の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。図２０の（ａ）は、図１９の（ａ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図２０の（ｂ）は、図１９の（ｂ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像であり、図２０の（ｃ）は、図１９の（ｃ）のパターンで照らされた被検査体６０の撮像画像である。図２０に示されるように、第１０の照明パターンによれば、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの６分の１に相当するブロックを１つだけ点灯させる上述した第７の照明パターン（図１４参照）よりも明るい撮像画像が得られる。
【００６１】
上述した第９および第１０の照明パターンは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌのうち、円環状の照明装置１０の中心Ａｘを径方向の両側から挟み込む位置に設けられた少なくとも２個を同時に点灯させ、他を消灯させるパターンである。つまり、上述した第９および第１０の照明パターンは、中心Ａｘを挟み込むような２方向から同時に光を照射する挟み込みパターンである。しかしながら、実施形態では、以下のような照明パターンを用いることで、２以上の方向から同時に光を照射することも可能である。
【００６２】
（第１１の照明パターン）
図２１は、実施形態において用いられうる第１１の照明パターンを示した例示的な図である。図２１に示されるように、第１１の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの６分の１にそれぞれ相当する３つのブロックであって、中心Ａｘに対して対称的な位置に、より具体的には中心Ａｘ周りに１２０度間隔で設けられた３つのブロックを同時に点灯させ、他を消灯させる照明パターンである。
【００６３】
第１１の照明パターンにおいて、点灯（消灯）される照明領域１３Ａ〜１３Ｌの位置は、適宜変更されうる。図２１には、（ａ）照明領域１３Ａおよび１３Ｂのブロックと、照明領域１３Ｅおよび１３Ｆのブロックと、照明領域１３Ｉおよび１３Ｊのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ｃおよび１３Ｄのブロックと、照明領域１３Ｇおよび１３Ｈのブロックと、照明領域１３Ｋおよび１３Ｌのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、の２個のパターンが例示されている。
【００６４】
第１１の照明パターンによれば、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て、中心Ａｘに対して均等な３方向に同時に光が照射された状態が得られる。より具体的に、図２１の（ａ）のパターンによれば、矢印Ｘ７ａ方向、矢印Ｘ７ｃ方向、および矢印Ｘ７ｅ方向に同時に光が照射された状態が得られ、図２１の（ｂ）のパターンによれば、矢印Ｘ７ｂ方向、矢印Ｘ７ｄ方向、および矢印Ｘ７ｆ方向に同時に光が照射された状態が得られる。したがって、第１１の照明パターンによれば、たとえば上述した第７の照明パターン（図１３参照）に比べて、１回の撮像でさらに多くの情報（３方向分の情報）を得ることができる。
【００６５】
なお、図２１には、一例として、上述した２個のパターンが、（ａ）、（ｂ）の順に順次切り替えられる場合が例示されている。しかしながら、パターンの切り替えの順序は、（ａ）、（ｂ）の順に限られるものではなく、逆順であってもよい。
【００６６】
（第１２の照明パターン）
図２２は、実施形態において用いられうる第１２の照明パターンを示した例示的な図である。図２２に示されるように、第１２の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの１２分の１にそれぞれ相当する４つのブロックであって、中心Ａｘに対して対称的な位置に、より具体的には中心Ａｘ周りに９０度間隔で設けられた４つのブロックを同時に点灯させ、他を消灯させる照明パターンである。
【００６７】
第１２の照明パターンにおいて、点灯（消灯）される照明領域１３Ａ〜１３Ｌの位置は、適宜変更されうる。図２２には、（ａ）照明領域１３Ａのブロックと、照明領域１３Ｄのブロックと、照明領域１３Ｇのブロックと、照明領域１３Ｊのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ｂのブロックと、照明領域１３Ｅのブロックと、照明領域１３Ｈのブロックと、照明領域１３Ｋのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｃ）照明領域１３Ｃのブロックと、照明領域１３Ｆのブロックと、照明領域１３Ｉのブロックと、照明領域１３Ｌのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、の３個のパターンが例示されている。
【００６８】
第１２の照明パターンによれば、被検査体６０の表面に直交する方向（法線方向）から見て、中心Ａｘに対して均等な４方向に同時に光が照射された状態が得られる。より具体的に、図２２の（ａ）のパターンによれば、矢印Ｘ８ａ方向、矢印Ｘ８ｄ方向、矢印Ｘ８ｇ方向、および矢印Ｘ８ｊ方向に同時に光が照射された状態が得られる。同様に、図２２の（ｂ）のパターンによれば、矢印Ｘ８ｂ方向、矢印Ｘ８ｅ方向、矢印Ｘ８ｈ方向、および矢印Ｘ８ｋ方向に同時に光が照射された状態が得られ、図２２の（ｃ）のパターンによれば、矢印Ｘ８ｃ方向、矢印Ｘ８ｆ方向、矢印Ｘ８ｉ方向、および矢印Ｘ８ｌ方向に同時に光が照射された状態が得られる。したがって、第１２の照明パターンによれば、たとえば１回の撮像で１方向分の情報を得る第８の照明パターン（図１５参照）のような照明パターンに比べて、１回の撮像でより多くの情報（４方向分の情報）を得ることができる。
【００６９】
なお、図２２には、一例として、上述した３個のパターンが、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に順次切り替えられる場合が例示されている。しかしながら、パターンの切り替えの順序は、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に限られるものではなく、適宜変更されうる。
【００７０】
このように、実施形態では、上述したような複数の照明パターンが予め設定されている。そして、照明制御部３６は、上述したような複数の照明パターンに従い、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの各々の点灯および消灯を個別に制御する。
【００７１】
ところで、実施形態では、検査員は、実際の検査に用いる照明パターンを、予め設定された複数の照明パターンから適宜選択することができる。すなわち、実施形態では、表示処理部３４は、次に説明するようなパターン選択画面２３００をディスプレイ７０に表示し、入力受付部３５は、当該パターン選択画面２３００上での検査員の選択操作を受け付ける。なお、選択操作は、入力デバイス８０を介して入力される。
【００７２】
図２３は、実施形態によるパターン選択画面２３００を示した例示的な図である。図２３に示されるように、パターン選択画面２３００は、予め設定された複数の照明パターンの一覧が表示される領域２３０１を有している。検査員は、入力デバイス８０を用いて、領域２３０１に表示された一覧から所望の照明パターンを選択することで、照明制御部３６に実際に実行させる少なくとも１個の照明パターンを選択することができる。
【００７３】
なお、図２３の例では、複数の照明パターンの一覧が表示される領域２３０１の他にも、２つの領域２３０２および２３０３が設けられている。領域２３０２には、たとえば、領域２３０１で選択された照明パターンに対応した撮像画像などが表示され、領域２３０３には、たとえば、領域２３０１で選択された照明パターンの説明などが表示される。
【００７４】
図１に戻り、画像取得部３１は、パターン選択画面２３００上で照明パターンが選択されると、当該選択された照明パターンに従って撮像された複数の撮像画像を撮像装置２０から取得する。そして、画像処理部３２は、画像取得部３１により取得された複数の撮像画像に所定の画像処理を施し、１以上の処理画像を生成する。なお、所定の画像処理とは、たとえば複数の画像を合成する合成処理であり、処理画像とは、複数の撮像画像のうちの１以上が合成された合成画像である。
【００７５】
実施形態では、複数の撮像画像と、１以上の処理画像と、のうち少なくとも１つの画像に基づき、被検査体６０の外観の異常が検出される。すなわち、実施形態による検出処理部３３は、複数の撮像画像と、１以上の処理画像と、のうち少なくとも１つの画像を使用して、フォトメトリックステレオ法により、被検査体６０の表面形状の情報を算出し、算出結果に基づいて、被検査体６０の外観の異常を検出する。
【００７６】
ここで、検出処理部３３による異常検出に用いられる画像は、異常が明確に表れた撮像画像および合成画像であることが望ましい。したがって、実施形態は、上記の処理によって得られた撮像画像および合成画像の全てを検査員に目視させ、検出処理部３３による異常検出に適した画像を、検査員が選択することが可能な構成になっている。
【００７７】
すなわち、実施形態では、表示処理部３４は、次に説明するような画像選択画面２４００をディスプレイ７０に表示し、入力受付部３５は、当該画像選択画面２４００上での検査員の選択操作を受け付ける。そして、検出処理部３３は、当該選択操作によって選択された１以上の画像を使用して、被検査体６０の異常を検出する。なお、選択操作は、入力デバイス８０を介して入力される。
【００７８】
図２４は、実施形態による画像選択画面２４００を示した例示的な図である。図２４に示されるように、画像選択画面２４００は、複数の小さい領域２４０１が設けられている。実施形態では、これら複数の小さい領域２４０１により、複数の撮像画像と、１以上の合成画像と、が一覧表示される。そして、検査員は、複数の小さい領域２４０１の各々に表示された画像を目視で確認し、異常が最も明確に表れた１以上の画像を、入力デバイス８０を用いて選択する。
【００７９】
次に、実施形態によるＰＣ３０の動作についてより詳細に説明する。
【００８０】
図２５は、実施形態において実行されうる一連の処理を示した例示的なフローチャートである。
【００８１】
図２５に示されるように、実施形態では、Ｓ１において、表示処理部３４は、予め設定された複数の照明パターンが表示された領域２３０１を含むパターン選択画面２３００をディスプレイ７０に表示する。
【００８２】
そして、Ｓ２において、入力受付部３５は、検査員による照明パターンの選択操作を受け付ける。照明パターンの選択操作とは、パターン選択画面２３００の領域２３０１に表示された複数の照明パターンの中から、照明制御部３６に実際に実行させる少なくとも１個の照明パターンを選択する操作である。
【００８３】
そして、Ｓ３において、入力受付部３５は、パターン選択画面２３００上での照明パターンの選択操作が完了したか否かを判断する。Ｓ３において、照明パターンの選択操作がまだ完了していないと判断された場合、Ｓ２に処理が戻る。一方、Ｓ３において、照明パターンの選択操作が完了したと判断された場合、Ｓ４に処理が進む。
【００８４】
Ｓ４において、照明制御部３６は、パターン選択画面２３００上で選択された照明パターンに含まれる１つのパターンに従い、照明領域１３Ａ〜１３Ｌ（の少なくとも一部）を点灯する。そして、Ｓ５において、画像取得部３１は、撮像装置２０に画像を撮像させ、当該撮像装置２０から撮像画像を取得する。そして、Ｓ６において、照明制御部３６は、Ｓ４で点灯した照明領域１３Ａ〜１３Ｌ（の少なくとも一部）を消灯する。
【００８５】
そして、Ｓ７において、照明制御部３６は、パターン選択画面２３００上で選択された照明パターンに含まれる全パターンに対応した撮像画像が取得されたか否かを判断する。Ｓ７において、全パターンに対応した撮像画像が取得されていないと判断された場合、Ｓ４に処理が戻る。一方、Ｓ７において、全パターンに対応した撮像画像が取得されたと判断された場合、Ｓ８に処理が進む。
【００８６】
Ｓ８において、画像処理部３２は、画像取得部３１が取得した複数の撮像画像に基づいて、１以上の合成画像を生成する。そして、Ｓ９において、表示処理部３４は、複数の撮像画像と、１以上の合成画像と、の一覧が表示された画像選択画面２４００をディスプレイ７０に表示する。複数の撮像画像と、１以上の合成画像とは、画像選択画面２４００に設けられる複数の小さい領域２４０１に表示される。
【００８７】
そして、Ｓ１０において、入力受付部３５は、検査員による画像の選択操作を受け付ける。画像の選択操作とは、画像選択画面２４００に表示された複数の画像（撮像画像および合成画像）の中から、検出処理部３３による異常検査の対象とする画像を選択する操作である。
【００８８】
そして、Ｓ１１において、入力受付部３５は、画像選択画面２４００上での画像の選択操作が完了したか否かを判断する。Ｓ１１において、画像の選択操作がまだ完了していないと判断された場合、Ｓ１０に処理が戻る。一方、Ｓ１１において、画像の選択操作が完了したと判断された場合、Ｓ１２に処理が進む。
【００８９】
Ｓ１２において、検出処理部３３は、画像選択画面２４００上で選択された画像を使用して、フォトメトリックステレオ法により、被検査体６０の外観の異常を検出する。検出結果は、たとえばディスプレイ７０などに出力される。以上により、実施形態における検査処理が終了する。
【００９０】
以上説明したように、実施形態では、ＰＣ３０が、次のように構成された照明制御部３６、画像取得部３１、および検出処理部３３を備えている。照明制御部３６は、予め設定された複数の照明パターンに従い、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの各々の点灯および消灯を制御する。画像取得部３１は、撮像装置２０から、複数の照明パターンで照らされた被検査体６０をそれぞれ撮像した複数の撮像画像を取得する。検出処理部３３は、複数の撮像画像と、当該複数の撮像画像に画像処理を施すことで生成された１以上の処理画像（合成画像）と、のうち少なくとも１つの画像を使用して、被検査体６０の外観の異常を検出する。これにより、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌが設けられた単一の照明装置１０により、被検査体６０を様々な方向から照らすことができる。その結果、たとえば被検査体６０を様々な方向から照らすために複数の照明を設ける必要がないので、外観検査システムの構成を簡単化することができる。
【００９１】
ここで、実施形態では、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌによって、被検査体６０を様々な方向から照らしている。１２という数は、２でも３でも４でも割れる数であるため、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌによれば、被検査体６０を１方向のみから照らした状態のみならず、被検査体６０を異なる２方向から同時に照らした状態と、被検査体６０を異なる３方向から同時に照らした状態と、被検査体６０を異なる４方向から同時に照らした状態と、も実現することができる。したがって、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌによれば、より多くの条件下で被検査体６０を撮像することができるので、検査に用いる撮像画像をより多く取得することができる。その結果、検査の精度を向上させることができる。
【００９２】
より具体的に、実施形態では、上述したように、予め設定された複数の照明パターンが、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌのうち、照明装置１０の中心Ａｘに対して対称的な位置に設けられた少なくとも２個を同時に点灯させる対称パターンを含んでいる。対称パターンは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌのうち、照明装置１０の中心Ａｘを径方向の両側から挟み込む位置に設けられた少なくとも２個を同時に点灯させる挟み込みパターンを含んでいる。これらの対称パターンおよび挟み込みパターンによれば、１回の撮像でより多くの情報（２〜４方向分の情報）を得ることができる。
【００９３】
また、実施形態では、上述したように、ＰＣ３０が、照明制御部３６に実行させる照明パターンを複数の照明パターンの中から検査員に選択させるためのパターン選択画面２３００をディスプレイ７０に表示する表示処理部３４を備えている。これにより、照明装置１０に実行させる照明パターンの選択操作をより容易に行うことができる。
【００９４】
また、実施形態では、上述したように、表示処理部３４は、複数の撮像画像と、１以上の処理画像と、の一覧を含み、被検査体６０の外観の異常を検出するために検出処理部３３に使用させる画像を当該一覧の中から検査員に選択させるための画像選択画面２４００をディスプレイ７０に表示する。これにより、検出処理部３３による異常検出処理の対象となる画像の選択操作をより容易に行うことができる。
【００９５】
なお、上述したＰＣ３０で実行されるプログラムは、インストール可能な形式又は実行可能な形式のファイルで、ＣＤ−ＲＯＭや、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）などといった、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録された状態で提供される。
【００９６】
また、上述したＰＣ３０で実行される検査プログラムは、インターネットなどのネットワークに接続されたコンピュータ上に格納され、当該ネットワーク経由でダウンロードされることで提供されてもよい。つまり、上述したＰＣ３０で実行される検査プログラムは、インターネットなどのネットワーク経由で提供または配布されてもよい。
【００９７】
以上、本発明の実施形態を説明したが、上述した実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述した新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。上述した実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【００９８】
たとえば、上述した実施形態では、照明領域の数が１２個である例について説明した。しかしながら、実施形態では、照明領域の数が、１２個より少ない、または１２個より多い複数であってもよい。照明領域の数を偶数に設定すれば、被検査体を２方向から挟み込むように照らす挟み込みパターンを実現することが可能になる。この場合、被検査体の数が４の倍数であれば、被検査体を４方向から均等に照らす対称パターンを実現することができる。さらに、照明領域の数を３の倍数に設定すれば、被検査体を３方向から均等に照らす対称パターンを実現することが可能になる。なお、実施形態における照明領域の数である１２という数は、２〜４の倍数であるのみならず、６の倍数でもあるので、実施形態によれば、被検査体を６方向から均等に照らす対称パターンも実現することが可能である。
【００９９】
さらに、上述した実施形態では、第１〜第１２の照明パターンの他に、次のような照明パターンが用いられてもよい。
【０１００】
（第１３の照明パターン）
図２６は、実施形態において用いられうる第１３の照明パターンを示した例示的な図である。図２６に示されるように、第１３の照明パターンとは、１２個の照明領域１３Ａ〜１３Ｌの４分の１にそれぞれ相当する２つのブロックであって、中心Ａｘを挟み込む位置にある２つのブロックを同時に点灯させ、当該点灯させた２つのブロックの位置を徐々に（周方向に沿って連続的に）移動させる照明パターンである。
【０１０１】
より具体的に、第１３の照明パターンは、（ａ）照明領域１３Ａ〜１３Ｃのブロックと、照明領域１３Ｇ〜１３Ｉのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｂ）照明領域１３Ｂ〜１３Ｄのブロックと、照明領域１３Ｈ〜１３Ｊのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｃ）照明領域１３Ｃ〜１３Ｅのブロックと、照明領域１３Ｉ〜１３Ｋのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｄ）照明領域１３Ｄ〜１３Ｆのブロックと、照明領域１３Ｊ〜１３Ｌのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｅ）照明領域１３Ｅ〜１３Ｇのブロックと、照明領域１３Ｋ、１３Ｌおよび１３Ａのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、（ｆ）照明領域１３Ｆ〜１３Ｈのブロックと、照明領域１３Ｌ、１３Ａおよび１３Ｂのブロックと、を同時に点灯させるパターンと、の６個のパターンを含んでいる。
【０１０２】
ここで、図２６に示された第１３の照明パターンでは、上記の（ａ）〜（ｆ）の６個のパターンが、この順番で連続的に切り替えられる。これにより、第１３の照明パターンでは、照明装置１０から照射される光の強度が、当該照明装置１０の周方向に沿って、時間的にも空間的にも、周期的に（正弦波状に）変化する。
【０１０３】
図２７は、実施形態において第１３の照明パターンに対応して撮像された撮像画像を示した例示的な図である。図２７の（ａ）〜（ｆ）は、それぞれ、図２６の（ａ）〜（ｆ）のパターンで照らされた被検査体６１の撮像画像である。図２７の（ａ）〜（ｆ）に示されるように、第１３の照明パターンによれば、照明装置１０から照射される光の強度が周期的に変化するので、当該照明装置１０に照らされた被検査体６１からの反射光の明暗のパターンも、同様に周期的に変化する。
【符号の説明】
【０１０４】
１０  照明装置
１２  凹部
１３Ａ〜１３Ｌ  照明領域
１４  光源
２０  撮像装置
３０  ＰＣ（検査装置）
３１  画像取得部
３２  画像処理部
３３  検出処理部
３４  表示処理部
３６  照明制御部
６０、６１  被検査体
７０  ディスプレイ（表示部）
２３００  パターン選択画面
２４００  画像選択画面
【図１】
2018112479.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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