(57)【要約】【課題】  本発明は、表示装置に用いられ、透明基板の上に、前記表示装置の複数の副画素の配置に応じて、特定の色の着色層が設けられているカラーフィルタにおいて、着色層を構成する材料については変更することなく、所望の色特性に調整されたカラーフィルタを提供することを主たる目的とする。【解決手段】  カラーフィルタの構成を、前記着色層の上、または、前記透明基板と前記着色層の間に、光透過率調整層が設けられている構成とすることにより、上記課題を解決する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置に用いられるカラーフィルタであって、
透明基板の上に、前記表示装置の複数の副画素の配置に応じて、特定の色の着色層が設けられており、
前記着色層の上、または、前記透明基板と前記着色層の間に、
光透過率調整層が設けられていることを特徴とする、カラーフィルタ。
【請求項２】
前記光透過率調整層が、
該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層と異なる色の顔料を含んでいることを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記カラーフィルタが、３色の異なる着色層を含み、
前記光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料を含んでいることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
前記光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層した構成を含んでいることを特徴とする、請求項３に記載のカラーフィルタ。
【請求項５】
前記光透過率調整層が、
該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層の上側の面の一部または下側の面の一部に設けられていることを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項６】
前記光透過率調整層の平面サイズが、
前記カラーフィルタにおいて黒欠陥とされるサイズよりも小さいことを特徴とする、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項７】
前記表示装置が、有機ＥＬ表示装置であることを特徴とする、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のカラーフィルタ。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のカラーフィルタを用いて、表示部を形成していることを特徴とする、表示装置。
【請求項９】
表示装置に用いられ、透明基板の上に、前記表示装置の複数の副画素の配置に応じて、特定の色の着色層が設けられているカラーフィルタの製造方法であって、
前記着色層の上、または、前記透明基板と前記着色層の間に、光透過率調整層を形成する工程を備えることを特徴とする、カラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
前記カラーフィルタが、３色の異なる着色層を含み、
前記光透過率調整層を形成する工程が、
前記光透過率調整層を、該光透過率調整層が設けられる前記特定の色の着色層と異なる色の着色層を構成する材料を用いて形成する工程を含むことを特徴とする、請求項９に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】
前記光透過率調整層を形成する工程が、
前記光透過率調整層を、該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層して形成する工程を含むことを特徴とする、請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
前記光透過率調整層が感光性の材料から構成されており、
前記光透過率調整層を形成する工程が、
遮光パターンを有するフォトマスクを用いた露光により、前記光透過率調整層を形成する工程を含むことを特徴とする、請求項９乃至請求項１１のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１３】
前記光透過率調整層が感光性の材料から構成されており、
前記光透過率調整層を形成する工程が、
遮光パターンと、該遮光パターンとは光の透過率が異なるハーフトーンパターンと、を有するフォトマスクを用いた露光により、前記特定の色の着色層と、異なる色の着色層と前記光透過率調整層とを形成する工程を含むことを特徴とする、請求項１０または請求項１１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置に用いられるカラーフィルタ、該カラーフィルタを用いた表示装置、および、該カラーフィルタの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）表示装置等、カラーフィルタを用いた表示装置おいて、画像を構成する最小単位である画素は、例えば、赤、緑、青の３個の副画素で１個の画素が構成されており、カラーフィルタの赤色の着色層、緑色の着色層、青色の着色層が、それぞれ、対応する副画素領域に配置される。なお、カラーフィルタが表示装置に配置される際には、その透明基板側が観察者側になるように配置される。
【０００３】
従来のカラーフィルタとしては、例えば、図２６に示すカラーフィルタ２０１のように、ガラス等の透明基板２１１の上にブラックマトリックス層２１２を有し、透明基板２１１及びブラックマトリックス層２１２の上に複数色の着色層２１３を有する構成のカラーフィルタが用いられてきた。
複数色の着色層２１３は、例えば、赤色の着色層２１３Ｒ、緑色の着色層２１３Ｇ、青色の着色層２１３Ｂを含むものである。
なお、図２６においては省略しているが、着色層２１３の上にはオーバーコート層を有している形態もあり、さらに、オーバーコート層の上に、柱状スペーサを有している形態もある。
【０００４】
図２６に示すカラーフィルタ２０１を製造するには、例えば、透明基板２１１の上にブラックマトリックス層２１２を形成し、次に、透明基板２１１及びブラックマトリックス層２１２の上に、赤色の着色層２１３Ｒ、緑色の着色層２１３Ｇ、青色の着色層２１３Ｂをそれぞれ形成していけば良い。
【０００５】
ここで、各着色層の形成方法には、図２７に示すフォトリソグラフィ法を用いることができる。
より詳しくは、図２７（ａ）に示すように、透明基板２１１の上にブラックマトリックス層２１２を形成し、その上に、例えば、赤色の着色層２１３Ｒを構成する感光性の材料を塗布し、フォトマスク２２０を介して紫外光３０により露光し、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図２７（ｂ）に示すように所望の形態の赤色の着色層２１３Ｒを形成することができる。
なお、フォトマスク２２０は、透明基板２２１の上に遮光パターン２２２を有しており、遮光パターン２２２は赤色の着色層２１３Ｒに応じた開口領域２２３を有している。
図示はしないが、緑色の着色層２１３Ｇ、青色の着色層２１３Ｂについても同様に形成することができる。
【０００６】
ここで、カラーフィルタの色特性は、必要な波長で適度な透過率となることが望まれているが、特に、有機ＥＬ表示装置においては、赤色の輝度が高くなってしまうという現象がある。
また、色特性については、赤、緑、青の各単色だけでなく、３色を点灯させて得られる白色に対しても各用途に応じた要求がある。この白色の色度座標は赤、緑、青の色度座標（ｘ、ｙ）だけではなく、各色の輝度（Ｙ値）によっても決定される。
【０００７】
そこで、カラーフィルタの色特性を調整する方法として、赤色の着色層を構成する材料に、黒色顔料、若しくは補色系の顔料を混ぜることによって、赤色の輝度を低下させる方法が提案されている（例えば、特許文献１〜３）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００５−１８１３８４号公報
【特許文献２】特開２０１０−６１１５０号公報
【特許文献３】特開２０１６−１２６３０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記のような、所定の顔料を含む着色層（例えば赤色の着色層）を構成する材料に、異なる顔料を混ぜる方法では、異種の顔料を配合することによる凝集やソルベントショック等の品質不具合が生じるおそれがある。
【００１０】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、着色層を構成する材料については変更することなく、所望の色特性に調整されたカラーフィルタを提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
すなわち、本発明の請求項１に係る発明は、表示装置に用いられるカラーフィルタであって、透明基板の上に、前記表示装置の複数の副画素の配置に応じて、特定の色の着色層が設けられており、前記着色層の上、または、前記透明基板と前記着色層の間に、光透過率調整層が設けられていることを特徴とする、カラーフィルタである。
【００１２】
また、本発明の請求項２に係る発明は、前記光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層と異なる色の顔料を含んでいることを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタである。
【００１３】
また、本発明の請求項３に係る発明は、前記カラーフィルタが、３色の異なる着色層を含み、前記光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料を含んでいることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のカラーフィルタである。
【００１４】
また、本発明の請求項４に係る発明は、前記光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層した構成を含んでいることを特徴とする、請求項３に記載のカラーフィルタである。
【００１５】
また、本発明の請求項５に係る発明は、前記光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層の上側の面の一部または下側の面の一部に設けられていることを特徴とする、請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のカラーフィルタである。
【００１６】
また、本発明の請求項６に係る発明は、前記光透過率調整層の平面サイズが、前記カラーフィルタにおいて黒欠陥とされるサイズよりも小さいことを特徴とする、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のカラーフィルタである。
【００１７】
また、本発明の請求項７に係る発明は、前記表示装置が、有機ＥＬ表示装置であることを特徴とする、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のカラーフィルタである。
【００１８】
また、本発明の請求項８に係る発明は、請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のカラーフィルタを用いて、表示部を形成していることを特徴とする、表示装置である。
【００１９】
また、本発明の請求項９に係る発明は、表示装置に用いられ、透明基板の上に、前記表示装置の複数の副画素の配置に応じて、特定の色の着色層が設けられているカラーフィルタの製造方法であって、前記着色層の上、または、前記透明基板と前記着色層の間に、光透過率調整層を形成する工程を備えることを特徴とする、カラーフィルタの製造方法である。
【００２０】
また、本発明の請求項１０に係る発明は、前記カラーフィルタが、３色の異なる着色層を含み、前記光透過率調整層を形成する工程が、前記光透過率調整層を、該光透過率調整層が設けられる前記特定の色の着色層と異なる色の着色層を構成する材料を用いて形成する工程を含むことを特徴とする、請求項９に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００２１】
また、本発明の請求項１１に係る発明は、前記光透過率調整層を形成する工程が、前記光透過率調整層を、該光透過率調整層が設けられた前記特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層して形成する工程を含むことを特徴とする、請求項１０に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００２２】
また、本発明の請求項１２に係る発明は、前記光透過率調整層が感光性の材料から構成されており、前記光透過率調整層を形成する工程が、遮光パターンを有するフォトマスクを用いた露光により、前記光透過率調整層を形成する工程を含むことを特徴とする、請求項９乃至請求項１１のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【００２３】
また、本発明の請求項１３に係る発明は、前記光透過率調整層が感光性の材料から構成されており、前記光透過率調整層を形成する工程が、遮光パターンと、該遮光パターンとは光の透過率が異なるハーフトーンパターンと、を有するフォトマスクを用いた露光により、前記特定の色の着色層と、異なる色の着色層と前記光透過率調整層とを形成する工程を含むことを特徴とする、請求項１０または請求項１１に記載のカラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係るカラーフィルタによれば、異種の顔料を配合することによる品質不具合発生を防止しつつ、所望の色特性を有するものとすることができる。
【００２５】
また、本発明に係る表示装置によれば、異種の顔料を配合することによるカラーフィルタの品質不具合発生を防止しつつ、所望の色特性を有するものとすることができる。
【００２６】
また、本発明に係るカラーフィルタの製造方法によれば、異種の顔料を配合することによる品質不具合発生を防止しつつ、カラーフィルタの色特性を調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係るカラーフィルタの第１の実施形態の例を示す概略断面図
【図２】本発明に係るカラーフィルタの第１の実施形態の透過率の例を示す図
【図３】本発明に係るカラーフィルタの第２の実施形態の例を示す概略断面図
【図４】本発明に係るカラーフィルタの第２の実施形態の透過率の例を示す図
【図５】本発明に係るカラーフィルタの第３の実施形態の例を示す概略断面図
【図６】図５（ａ）における要部の拡大平面図
【図７】本発明に係るカラーフィルタの第４の実施形態の例を示す概略断面図
【図８】本発明に係るカラーフィルタの他の実施形態の例を示す概略断面図
【図９】本発明に係るカラーフィルタの第１の実施形態の製造方法の一例を示す図
【図１０】本発明に係るカラーフィルタの第１の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図１１】本発明に係るカラーフィルタの第１の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図１２】本発明に係るカラーフィルタの第１の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図１３】本発明に係るカラーフィルタの第２の実施形態の製造方法の一例を示す図
【図１４】本発明に係るカラーフィルタの第２の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図１５】本発明に係るカラーフィルタの第２の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図１６】本発明に係るカラーフィルタの第２の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図１７】本発明に係るカラーフィルタの第３の実施形態の製造方法の一例を示す図
【図１８】本発明に係るカラーフィルタの第３の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図１９】本発明に係るカラーフィルタの第３の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図２０】本発明に係るカラーフィルタの第３の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図２１】本発明に係るカラーフィルタの第４の実施形態の製造方法の一例を示す図
【図２２】本発明に係るカラーフィルタの第４の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図２３】本発明に係るカラーフィルタの第４の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図２４】本発明に係るカラーフィルタの第４の実施形態の製造方法の他の例を示す図
【図２５】本発明に係る表示装置の一例を示す概略断面図
【図２６】従来のカラーフィルタの一例を示す概略断面図
【図２７】従来のカラーフィルタの製造方法の一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２８】
＜カラーフィルタ＞
まず、本発明に係るカラーフィルタについて説明する。
本発明に係るカラーフィルタは、表示装置に用いられるカラーフィルタであって、透明基板の上に、前記表示装置の複数の副画素の配置に応じて、特定の色の着色層が設けられており、前記着色層の上、または、前記透明基板と前記着色層の間に、光透過率調整層が設けられているものである。
【００２９】
光透過率調整層は、カラーフィルタの色特性を調整する目的で設けられるものであり、特定の色の着色層の輝度を、所定の輝度に低下させる効果を奏するものである。
【００３０】
例えば、光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層と異なる色の顔料（例えば、黒色の顔料）を、該光透過率調整層に含めることで、上記のような効果を奏することができる。
【００３１】
また、本発明においては、カラーフィルタが３色の異なる着色層を含み、光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料を含んでいても良い。
【００３２】
本発明に係るカラーフィルタおいて、上記のような光透過率調整層を設ける位置としては、対象となる特定の色の着色層の上側、下側（透明基板と着色層の間）の何れであっても良い。また、該着色層の上側、下側の両方であっても良い。
光透過率調整層の平面形態は、特定の色の着色層の上面、又は下面と同じ形状、同じ大きさであっても良く、また、特定の色の着色層の上面、又は下面よりも小さい平面サイズ（面積）であっても良い。さらには、この小さい平面サイズの光透過率調整層が、特定の色の着色層の上側、又は下側に、複数設けられていても良い。
また、光透過率調整層は単層構造であっても良く、２層以上の積層構造であっても良い。
【００３３】
以下、本発明に係るカラーフィルタの各種形態について、図面を用いて説明する。
【００３４】
（第１の実施形態）
図１は、本発明に係るカラーフィルタの第１の実施形態の例を示す概略断面図である。
この第１の実施形態は、目的とする着色層の上側（図１に示すＺ方向の側）の面の全域、若しくは、目的とする着色層の下側（図１に示すＺ方向の反対側）の面の全域（換言すれば、透明基板と対向する面の全域）に、単層構造の光透過率調整層が設けられている形態である。
【００３５】
例えば、図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａにおいては、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２が設けられており、ブラックマトリックス層１２の開口領域を埋めるように、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂが設けられており、赤色の着色層１３Ｒの上側の面の全域に、単層構造の光透過率調整層２０が設けられている。
【００３６】
なお、図１（ａ）においては省略しているが、光透過率調整層２０、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ、及び、ブラックマトリックス層１２の上には、オーバーコート層が設けられていても良い。また、さらに、オーバーコート層の上に、柱状スペーサが設けられていても良い。
【００３７】
一方、図１（ｂ）に示すカラーフィルタ１Ｂにおいては、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２が設けられており、ブラックマトリックス層１２の開口領域を埋めるように、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂが設けられており、赤色の着色層１３Ｒが設けられている箇所においては、赤色の着色層１３Ｒの下側の面の全域に、単層構造の光透過率調整層２０が設けられている。
【００３８】
なお、図１（ｂ）においても省略しているが、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ、及び、ブラックマトリックス層１２の上には、オーバーコート層が設けられていても良い。また、さらに、オーバーコート層の上に、柱状スペーサが設けられていても良い。
【００３９】
図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａ、及び、図１（ｂ）に示すカラーフィルタ１Ｂにおいては、カラーフィルタの色特性を調整する（より詳しくは、赤色の着色層１３Ｒの輝度を所定の輝度に低下させる）光透過率調整層２０が、赤色の着色層１３Ｒとは別の構成物として設けられている。
それゆえ、カラーフィルタ１Ａ、及び、カラーフィルタ１Ｂにおいては、従来の問題、すなわち、所定の顔料を含む着色層（例えば赤色の着色層）を構成する材料に異種の顔料を配合することによる凝集やソルベントショック等の品質不具合が生じるおそれを防止しつつ、カラーフィルタの色特性を所望の色特性に調整することができる。
【００４０】
ここで、本実施形態においては、光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料から構成されていてもよい。
例えば、図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａ、及び、図１（ｂ）に示すカラーフィルタ１Ｂにおいて、光透過率調整層２０は、赤色の着色層１３Ｒとは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ）を構成する材料と同じ材料から構成されていても良い。
【００４１】
図２（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態の光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料から構成されている場合の各着色層の透過率の変化をシミュレーションにより算出した図である。各図のＸ軸は波長を、Ｙ軸は透過率を、それぞれ示す。
【００４２】
ここで、図２（ａ）は、膜厚２．５μｍの青色の着色層と緑色の着色層の上に、光透過率調整層として膜厚０．０５μｍの赤色の着色層を形成した場合を示し、図２（ｂ）は、膜厚２．５μｍの赤色の着色層と青色の着色層の上に、光透過率調整層として膜厚０．０５μｍの緑色の着色層を形成した場合を示し、図２（ｃ）は、膜厚２．５μｍの赤色の着色層と緑色の着色層の上に、光透過率調整層として膜厚０．０５μｍの青色の着色層を形成した場合を示す。
図中のＲ、Ｇ、Ｂは、それぞれ、光透過率調整層が設けられていない、赤色、青色、緑色の各着色層（膜厚２．５μｍ）を示し、Ｒ層、Ｇ層、Ｂ層は光透過率調整層としての各着色層（膜厚０．０５μｍ）を示す。
【００４３】
図２（ａ）〜（ｃ）に示されるように、赤色、青色、緑色の着色層のいずれも、光透過率調整層として作用することが確認できた。
例えば、図２（ａ）に示すように、青色の着色層と緑色の着色層の上に、光透過率調整層として赤色の着色層を形成した場合、青色の着色層、緑色の着色層のいずれも、透過率は低減する。
同様に、図２（ｂ）に示すように、赤色の着色層と青色の着色層の上に、光透過率調整層として緑色の着色層を形成した場合、赤色の着色層、青色の着色層のいずれも、透過率は低減する。
また、図２（ｃ）に示すように、赤色の着色層と青色の着色層の上に、光透過率調整層として緑色の着色層を形成した場合、赤色の着色層、青色の着色層のいずれも、透過率は低減する。
そして、透過率の低減の大きさは、例えば、光透過率調整層として形成する着色層の膜厚で調整することが可能である。
【００４４】
また、この場合、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２０を形成できるため、新たな材料を用いて光透過率調整層２０を形成する場合よりも、主に材料費に係るコストを低く抑えることができる。
【００４５】
また、従来の方法においては、着色層を構成する材料として、従来の３種（３色）に加えて新たな混合品も用いるため、製造ラインにおける材料変更の時間や工程が増えてしまい、その結果、製造コストも増加してしまうという問題があった。
一方、本実施形態においては、上記のように、光透過率調整層２０を、赤色の着色層１３Ｒとは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ）と同じ材料から構成することで、上記のような製造コスト増加の問題も解消できる。
【００４６】
（第２の実施形態）
図３は、本発明に係るカラーフィルタの第２の実施形態の例を示す概略断面図である。
この第２の実施形態は、目的とする着色層の上側（図３に示すＺ方向の側）の面の全域、若しくは、目的とする着色層の下側（図３に示すＺ方向の反対側）の面の全域（換言すれば、透明基板と対向する面の全域）に、積層構造の光透過率調整層が設けられている形態である。
【００４７】
例えば、図３（ａ）に示すカラーフィルタ２Ａにおいては、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２が設けられており、ブラックマトリックス層１２の開口領域を埋めるように、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂが設けられており、赤色の着色層１３Ｒの上側の面の全域に、光透過率調整層２１が設けられている。
そして、光透過率調整層２１は、第１の光透過率調整層２１ａの上に第２の光透過率調整層２１ｂが積層された積層構造を有している。
【００４８】
なお、図３（ａ）においては省略しているが、光透過率調整層２１、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ、及び、ブラックマトリックス層１２の上には、オーバーコート層が設けられていても良い。また、さらに、オーバーコート層の上に、柱状スペーサが設けられていても良い。
【００４９】
一方、図３（ｂ）に示すカラーフィルタ２Ｂにおいては、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２が設けられており、ブラックマトリックス層１２の開口領域を埋めるように、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂが設けられており、赤色の着色層１３Ｒが設けられている箇所においては、赤色の着色層１３Ｒの下側の面の全域に、光透過率調整層２１が設けられている。
そして、光透過率調整層２１は、第１の光透過率調整層２１ａの上に第２の光透過率調整層２１ｂが積層された積層構造を有している。
【００５０】
なお、図３（ｂ）においても省略しているが、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ、及び、ブラックマトリックス層１２の上には、オーバーコート層が設けられていても良い。また、さらに、オーバーコート層の上に、柱状スペーサが設けられていても良い。
【００５１】
上記の第１の実施形態と同様に、この第２の実施形態のカラーフィルタ（すなわち、図３（ａ）に示すカラーフィルタ２Ａ、及び、図３（ｂ）に示すカラーフィルタ２Ｂ）においても、カラーフィルタの色特性を調整する（より詳しくは、赤色の着色層１３Ｒの輝度を所定の輝度に低下させる）光透過率調整層２１は、赤色の着色層１３Ｒとは別の構成物として設けられている。
それゆえ、カラーフィルタ２Ａ、及び、カラーフィルタ２Ｂにおいても、従来の問題、すなわち、所定の顔料を含む着色層（例えば赤色の着色層）を構成する材料に異種の顔料を配合することによる凝集やソルベントショック等の品質不具合が生じるおそれを防止しつつ、カラーフィルタの色特性を所望の色特性に調整することができる。
【００５２】
ここで、光透過率調整層２１は、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層した構成であってもよい。
【００５３】
例えば、図３（ａ）に示すカラーフィルタ２Ａ、及び、図３（ｂ）に示すカラーフィルタ２Ｂにおいて、第１の光透過率調整層２１ａは、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料と同じ材料から構成されており、第２の光透過率調整層２１ｂは、青色の着色層１３Ｂを構成する材料と同じ材料から構成されていてもよい。
【００５４】
逆に、第１の光透過率調整層２１ａは、青色の着色層１３Ｂを構成する材料と同じ材料から構成されており、第２の光透過率調整層２１ｂは、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料と同じ材料から構成されていてもよい。
【００５５】
図４（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態の光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層した構成を有する場合の各着色層の透過率の変化をシミュレーションにより算出した図である。各図のＸ軸は波長を、Ｙ軸は透過率を、それぞれ示す。
【００５６】
ここで、図４（ａ）は、膜厚２．５μｍの赤色の着色層の上に、光透過率調整層として緑色の着色層と青色の着色層を、それぞれ膜厚０．０２５μｍで積層した場合を示し、図４（ｂ）は、膜厚２．５μｍの緑色の着色層の上に、光透過率調整層として赤色の着色層と青色の着色層を、それぞれ膜厚０．０２５μｍで積層した場合を示し、図４（ｃ）は、膜厚２．５μｍの青色の着色層の上に、光透過率調整層として赤色の着色層と緑色の着色層を、それぞれ膜厚０．０２５μｍで積層した場合を示す。
図中のＲ、Ｇ、Ｂは、それぞれ、光透過率調整層が設けられていない、赤色、青色、緑色の各着色層（膜厚２．５μｍ）を示し、Ｒ層、Ｇ層、Ｂ層は光透過率調整層としての各着色層（膜厚０．０２５μｍ）を示す。
【００５７】
図４（ａ）〜（ｃ）に示されるように、赤色、青色、緑色の各着色層の積層構造も、光透過率調整層として作用することが確認できた。
例えば、図４（ａ）に示すように、赤色の着色層の上に、光透過率調整層として、緑色の着色層と青色の着色層を積層した場合、赤色の着色層の透過率は低減する。
同様に、図４（ｂ）に示すように、緑色の着色層の上に、光透過率調整層として、赤色の着色層と青色の着色層を積層した場合、緑色の着色層の透過率は低減する。
また、図４（ｃ）に示すように、青色の着色層の上に、光透過率調整層として、赤色の着色層と緑色の着色層を積層した場合、青色の着色層の透過率は低減する。
そして、透過率の低減の大きさは、例えば、光透過率調整層として形成する各着色層の膜厚で調整することが可能である。
【００５８】
また、この場合、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２１を形成できるため、新たな材料を用いて光透過率調整層２１を形成する場合よりも、主に材料費に係るコストを低く抑えることができる。
【００５９】
また、従来の方法においては、着色層を構成する材料として、従来の３種（３色）に加えて新たな混合品も用いるため、製造ラインにおける材料変更の時間や工程が増えてしまい、その結果、製造コストも増加してしまうという問題があった。
一方、本実施形態においては、上記のように、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２１を形成できるため、上記のような製造コスト増加の問題も解消できる。
【００６０】
（第３の実施形態）
図５は、本発明に係るカラーフィルタの第３の実施形態の例を示す概略断面図である。
この第３の実施形態は、目的とする着色層の上側（図５に示すＺ方向の側）の面の一部、若しくは、目的とする着色層の下側（図５に示すＺ方向の反対側）の面（換言すれば、透明基板と対向する面）の一部に、単層構造の光透過率調整層が設けられている形態である。
【００６１】
例えば、図５（ａ）に示すカラーフィルタ３Ａにおいては、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２が設けられており、ブラックマトリックス層１２の開口領域を埋めるように、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂが設けられており、赤色の着色層１３Ｒの上側の面の一部に、単層構造の光透過率調整層２２が設けられている。
【００６２】
なお、図５（ａ）においても省略しているが、光透過率調整層２２、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ、及び、ブラックマトリックス層１２の上には、オーバーコート層が設けられていても良い。また、さらに、オーバーコート層の上に、柱状スペーサが設けられていても良い。
【００６３】
一方、図５（ｂ）に示すカラーフィルタ３Ｂにおいては、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２が設けられており、ブラックマトリックス層１２の開口領域を埋めるように、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂが設けられており、赤色の着色層１３Ｒが設けられている箇所においては、赤色の着色層１３Ｒの下側の面の一部に、単層構造の光透過率調整層２２が設けられている。
【００６４】
なお、図５（ｂ）においても省略しているが、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ、及び、ブラックマトリックス層１２の上には、オーバーコート層が設けられていても良い。また、さらに、オーバーコート層の上に、柱状スペーサが設けられていても良い。
【００６５】
図５（ａ）に示すカラーフィルタ３Ａ、及び、図５（ｂ）に示すカラーフィルタ３Ｂにおいて、カラーフィルタの色特性を調整する（より詳しくは、赤色の着色層１３Ｒの輝度を所定の輝度に低下させる）光透過率調整層２２は、赤色の着色層１３Ｒとは別の構成物として設けられている。
それゆえ、カラーフィルタ３Ａ、及び、カラーフィルタ３Ｂにおいても、従来の問題、すなわち、所定の顔料を含む着色層（例えば赤色の着色層）を構成する材料に異種の顔料を配合することによる凝集やソルベントショック等の品質不具合が生じるおそれを防止しつつ、カラーフィルタの色特性を所望の色特性に調整することができる。
【００６６】
ここで、本実施形態においても、光透過率調整層は、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料から構成されていてもよい。
例えば、図５（ａ）に示すカラーフィルタ３Ａ、及び、図５（ｂ）に示すカラーフィルタ３Ｂにおいて、光透過率調整層２２は、赤色の着色層１３Ｒとは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ）を構成する材料と同じ材料から構成されていても良い。
【００６７】
この場合、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２２を形成できるため、新たな材料を用いて光透過率調整層２２を形成する場合よりも、主に材料費に係るコストを低く抑えることができる。
【００６８】
また、従来の方法においては、着色層を構成する材料として、従来の３種（３色）に加えて新たな混合品も用いるため、製造ラインにおける材料変更の時間や工程が増えてしまい、その結果、製造コストも増加してしまうという問題があった。
一方、本実施形態においては、上記のように、光透過率調整層２２を、赤色の着色層１３Ｒとは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ）と同じ材料から構成することで、上記のような製造コスト増加の問題も解消できる。
【００６９】
また、本実施形態において、光透過率調整層２２は、特定の色の着色層の上側の面又は下側の面に、複数設けられていても良い。
図６は、図５（ａ）における要部の拡大平面図である。より詳しくは、図６は、図５（ａ）における、赤色の着色層１３Ｒの１個の副画素領域に相当する領域の平面図であり、ブラックマトリックス層１２で囲まれた赤色の着色層１３Ｒの上面には、赤色の着色層１３Ｒの上面よりも小さい平面サイズ（面積）の光透過率調整層２２が複数個（具体的には１５個）設けられている。
【００７０】
このように、特定の色の着色層の上側の面、又は下側の面よりも小さい平面サイズ（面積）の光透過率調整層を複数設ける形態を採用する場合、光透過率調整層の厚みだけでなく、光透過率調整層の大きさや数で透過率を調整することが可能になる。
【００７１】
ここで、光透過率調整層２２の平面形状は、図６に示すような矩形型に限定されず、各種多角形、丸型、および、曲線と直線から構成される各種形状とすることができる。
【００７２】
光透過率調整層２２の平面サイズ（面積）も、図６に示すサイズに限らず、各種サイズとすることができるが、この平面サイズが、カラーフィルタにおいて黒欠陥とされるサイズよりも小さい場合、検査等で、光透過率調整層２２として設けられたものか、欠陥なのかの判断負担を低減でき、好ましい。
【００７３】
（第４の実施形態）
図７は、本発明に係るカラーフィルタの第４の実施形態の例を示す概略断面図である。
この第４の実施形態は、目的とする着色層の上側（図７に示すＺ方向の側）の面の一部、若しくは、目的とする着色層の下側（図７に示すＺ方向の反対側）の面の一部（換言すれば、透明基板と対向する面の一部）に、積層構造の光透過率調整層が設けられている形態である。
【００７４】
例えば、図７（ａ）に示すカラーフィルタ４Ａにおいては、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２が設けられており、ブラックマトリックス層１２の開口領域を埋めるように、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂが設けられており、赤色の着色層１３Ｒの上側の面の一部に、光透過率調整層２３が設けられている。
そして、光透過率調整層２３は、第１の光透過率調整層２３ａの上に第２の光透過率調整層２３ｂが積層された積層構造を有している。
【００７５】
なお、図７（ａ）においては省略しているが、光透過率調整層２３、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ、及び、ブラックマトリックス層１２の上には、オーバーコート層が設けられていても良い。また、さらに、オーバーコート層の上に、柱状スペーサが設けられていても良い。
【００７６】
一方、図７（ｂ）に示すカラーフィルタ４Ｂにおいては、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２が設けられており、ブラックマトリックス層１２の開口領域を埋めるように、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂが設けられており、赤色の着色層１３Ｒが設けられている箇所においては、赤色の着色層１３Ｒの下側の面の一部に、光透過率調整層２３が設けられている。
そして、光透過率調整層２３は、第１の光透過率調整層２３ａの上に第２の光透過率調整層２３ｂが積層された積層構造を有している。
【００７７】
なお、図７（ｂ）においても省略しているが、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ、及び、ブラックマトリックス層１２の上には、オーバーコート層が設けられていても良い。また、さらに、オーバーコート層の上に、柱状スペーサが設けられていても良い。
【００７８】
上記の第２の実施形態と同様に、この第４の実施形態のカラーフィルタ（すなわち、図７（ａ）に示すカラーフィルタ４Ａ、及び、図３（ｂ）に示すカラーフィルタ４Ｂ）においても、カラーフィルタの色特性を調整する（より詳しくは、赤色の着色層１３Ｒの輝度を所定の輝度に低下させる）光透過率調整層２３は、赤色の着色層１３Ｒとは別の構成物として設けられている。
それゆえ、カラーフィルタ４Ａ、及び、カラーフィルタ４Ｂにおいても、従来の問題、すなわち、所定の顔料を含む着色層（例えば赤色の着色層）を構成する材料に異種の顔料を配合することによる凝集やソルベントショック等の品質不具合が生じるおそれを防止しつつ、カラーフィルタの色特性を所望の色特性に調整することができる。
【００７９】
ここで、光透過率調整層２３は、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層した構成であってもよい。
【００８０】
例えば、図７（ａ）に示すカラーフィルタ４Ａ、及び、図７（ｂ）に示すカラーフィルタ４Ｂにおいて、第１の光透過率調整層２３ａは、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料と同じ材料から構成されており、第２の光透過率調整層２３ｂは、青色の着色層１３Ｂを構成する材料と同じ材料から構成されていてもよい。
【００８１】
逆に、第１の光透過率調整層２３ａは、青色の着色層１３Ｂを構成する材料と同じ材料から構成されており、第２の光透過率調整層２３ｂは、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料と同じ材料から構成されていてもよい。
【００８２】
また、この場合、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２３を形成できるため、新たな材料を用いて光透過率調整層２３を形成する場合よりも、主に材料費に係るコストを低く抑えることができる。
【００８３】
また、従来の方法においては、着色層を構成する材料として、従来の３種（３色）に加えて新たな混合品も用いるため、製造ラインにおける材料変更の時間や工程が増えてしまい、その結果、製造コストも増加してしまうという問題があった。
一方、本実施形態においては、上記のように、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２３を形成できるため、上記のような製造コスト増加の問題も解消できる。
【００８４】
本実施形態においても、上記の第３の実施形態（図６）と同様に、光透過率調整層２３は、特定の色の着色層の上側の面又は下側の面に、複数設けられていても良い。
【００８５】
このように、特定の色の着色層の上側の面、又は下側の面よりも小さい平面サイズ（面積）の光透過率調整層を複数設ける形態を採用する場合、光透過率調整層の厚みだけでなく、光透過率調整層の大きさや数で透過率を調整することが可能になる。
【００８６】
ここで、上記の第３の実施形態の光透過率調整層２２と同様に、光透過率調整層２３の平面形状も、矩形型に限定されず、各種多角形、丸型、および、曲線と直線から構成される各種形状とすることができる。
【００８７】
また、上記の第３の実施形態の光透過率調整層２２と同様に、光透過率調整層２３の平面サイズ（面積）も、各種サイズとすることができるが、この平面サイズが、カラーフィルタにおいて黒欠陥とされるサイズよりも小さい場合、検査等で、光透過率調整層２３として設けられたものか、欠陥なのかの判断負担を低減でき、好ましい。
【００８８】
（その他の実施形態）
上記の第１〜第４の実施形態においては、いずれも１種の色の着色層（例えば赤色の着色層）の上側の面、又は下側の面の一方の面に光透過率調整層が設けられている形態を示したが、本発明に係るカラーフィルタは、上側の面および下側の面の両方の面に光透過率調整層が設けられている形態であっても良い。
【００８９】
また、上記の第１〜第４の実施形態においては、いずれも１種の色の着色層（例えば赤色の着色層）に対して光透過率調整層が設けられている形態を示したが、本発明に係るカラーフィルタおいては、２種以上の色の着色層に対して光透過率調整層が設けられていてもよい。
図８は、本発明に係るカラーフィルタの他の実施形態の例を示す概略断面図である。
例えば、図８（ａ）に示すカラーフィルタ５においては、赤色の着色層１３Ｒの上面と、青色の着色層１３Ｂの上面に、それぞれ、光透過率調整層２４、２５が設けられている。
また、図８（ｂ）に示すカラーフィルタ６においては、赤色の着色層１３Ｒの下面と、青色の着色層１３Ｂの下面に、それぞれ、光透過率調整層２４、２５が設けられている。
また、図８（ｃ）に示すカラーフィルタ７においては、赤色の着色層１３Ｒの上面と、青色の着色層１３Ｂの下面に、それぞれ、光透過率調整層２４、２５が設けられている。
そして、上記のカラーフィルタ５、６、７において光透過率調整層２４、２５は、赤色の着色層１３Ｒ及び青色の着色層１３Ｂとは異なる色の着色層（緑色の着色層１３Ｇ）を構成する材料と同じ材料から構成することができる。
【００９０】
以下、本発明に係るカラーフィルタの各構成について、詳しく説明する。
【００９１】
（透明基板）
透明基板は、ブラックマトリックス層、複数色の着色層等を支持するものである。
【００９２】
透明基板の材料としては、一般的にカラーフィルタに用いられているものであれば用いることができ、例えば、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、合成石英板等の可撓性のない無機基板、および、透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する樹脂基板等を挙げることができる。
【００９３】
例えば、無機基板の場合、無アルカリタイプのガラス基板を用いることが好ましい。無アルカリタイプのガラス基板は寸度安定性および高温加熱処理における作業性に優れ、かつ、ガラス中にアルカリ成分を含まないことから、表示装置用のカラーフィルタの透明基板として好適に用いることができるからである。
【００９４】
（ブラックマトリックス層）
ブラックマトリックス層は、透明基板の上にパターン状に設けられ、不要な光の漏れを防ぐものである。
【００９５】
ブラックマトリックス層の材料としては、従来のカラーフィルタに用いられるブラックマトリックス層と同様とすることができ、例えば、バインダ樹脂中に黒色色材を分散させたものを用いることができる。
【００９６】
黒色色材としては、例えば、カーボンブラック、チタンブラック等が挙げられる。バインダ樹脂は、ブラックマトリックス層の形成方法に応じて適宜選択される。
【００９７】
フォトリソグラフィ法の場合、バインダ樹脂としては、例えば、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有する感光性樹脂が用いられる。
【００９８】
また、印刷法やインクジェット法の場合、バインダ樹脂としては、例えば、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリアクリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリビニルアルコール樹脂、ポリビニルピロリドン樹脂、ヒドロキシエチルセルロース樹脂、カルボキシメチルセルロース樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、マレイン酸樹脂、ポリアミド樹脂等が挙げられる。
【００９９】
ブラックマトリックス層には、必要に応じて光重合開始剤、増感剤、塗布性改良剤、現像改良剤、架橋剤、重合禁止剤、可塑剤、難燃剤等が含有されていてもよい。
【０１００】
ブラックマトリックス層の膜厚は、カラーフィルタにおける一般的なブラックマトリックス層の膜厚と同様とすることができ、例えば０．５μｍ以上２．０μｍ以下の範囲内で設定することができる。
【０１０１】
ブラックマトリックス層の開口部の形状は特に限定されるものではなく、例えばストライプ形状、くの字形状、デルタ配列等のように着色層の配列を変えたものも挙げられる。
【０１０２】
ブラックマトリックス層の形成方法としては、透明基板の上の所定の位置にブラックマトリックス層をパターン状に形成できる方法であれば特に限定されるものではないが、例えば、フォトリソグラフィ法が好ましい。
【０１０３】
（着色層）
着色層は、赤色の着色層、緑色の着色層、青色の着色層を含むものであるが、この赤、緑、青の３色を少なくとも含むものであればよく、例えば、赤、緑、青の３色、赤、緑、青、黄の４色、または、赤、緑、青、黄、シアンの５色等とすることもできる。
【０１０４】
着色層の配列は特に限定されるものではなく、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列とすることができる。
【０１０５】
着色層は、例えば色材をバインダ樹脂中に分散させたものである。色材としては、各色の顔料や染料等を挙げることができる。
【０１０６】
赤色の着色層に用いられる色材としては、例えば、ペリレン系顔料、レーキ顔料、アゾ系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、アントラセン系顔料、イソインドリン系顔料等が挙げられる。
【０１０７】
緑色の着色層に用いられる色材としては、例えば、ハロゲン多置換フタロシアニン系顔料もしくはハロゲン多置換銅フタロシアニン系顔料等のフタロシアニン系顔料、トリフェニルメタン系塩基性染料、イソインドリン系顔料、イソインドリノン系顔料等が挙げられる。
【０１０８】
青色の着色層に用いられる色材としては、例えば、銅フタロシアニン系顔料、アントラキノン系顔料、インダンスレン系顔料、インドフェノール系顔料、シアニン系顔料、ジオキサジン系顔料等が挙げられる。
【０１０９】
これらの顔料や染料は単独で用いてもよく２種以上を混合して用いてもよい。
バインダ樹脂としては、例えば、アクリレート系、メタクリレート系、ポリ桂皮酸ビニル系、もしくは環化ゴム系等の反応性ビニル基を有する感光性樹脂が用いられる。
【０１１０】
着色層には、光重合開始剤や、必要に応じて増感剤、塗布性改良剤、現像改良剤、架橋剤、重合禁止剤、可塑剤、難燃剤等を含有させてもよい。
【０１１１】
着色層の膜厚は、カラーフィルタにおける一般的な着色層の膜厚と同様とすることができ、例えば１μｍ以上５μｍ以下の範囲内で設定することができる。
【０１１２】
着色層の形成方法としては、複数色の着色層を平面上に配列可能な方法であればよく、例えばフォトリソグラフィ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。
【０１１３】
また、着色層が形成されている平面上には、上記色材を含有せず、上記バインダ樹脂を含有し、光を透過する白色層が形成されていてもよい。この白色層も赤、緑、青の着色層と同様に、対応する副画素領域に配置される。白色層の膜厚および形成方法は、着色層と同様とすることができる。
【０１１４】
（光透過率調整層）
光透過率調整層は、カラーフィルタの色特性を調整する目的で設けられるものであり、特定の色の着色層の輝度を、所定の輝度に低下させる効果を奏するものである。
【０１１５】
光透過率調整層を構成する材料には、上記のように、特定の色の着色層の輝度を、所定の輝度に低下させる効果を奏するものであれば用いることができる。
例えば、光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層と異なる色の顔料（例えば、黒色の顔料）を、該光透過率調整層に含めることで、上記のような効果を奏することができる。
【０１１６】
また、本発明においては、光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料を含んでいても良い。
例えば、光透過率調整層が、赤色の着色層に対して設けられる場合、該光透過率調整層は、赤色の着色層とは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層）を構成する材料と同じ材料から構成することができる。
【０１１７】
光透過率調整層は、第１の光透過率調整層の上に第２の光透過率調整層が積層された積層構造を有していてもよい。
そして、この積層構造の光透過率調整層は、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層した構成であってもよい。
例えば、光透過率調整層が、赤色の着色層に対して設けられる場合、該光透過率調整層は、緑色の着色層を構成する材料と同じ材料から構成される第１の光透過率調整層と、青色の着色層を構成する材料と同じ材料から構成される第２の光透過率調整層を積層した構成とすることができる。
【０１１８】
光透過率調整層の膜厚は、特定の色の着色層の輝度を、所定の輝度に低下させる効果を奏する範囲で採用することができる。
光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料から構成される場合、一般的に、該光透過率調整層の膜厚は、該特定の色の着色層の膜厚よりも小さい値になる。
光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料から構成される場合、その膜厚は、例えば、０．０１μｍ以上５μｍ以下の範囲内で設定することができる。
【０１１９】
光透過率調整層の形成方法としては、上記の着色層の形成方法と同様な方法を用いることができ、例えばフォトリソグラフィ法、インクジェット法、印刷法等が挙げられる。
特に、光透過率調整層が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料から構成される場合、後述するハーフトーンマスクを用いてフォトリソグラフィ法により、光透過率調整層を形成することが、製造工程を簡略化できる点で好ましい。詳しくは、後述のカラーフィルタの製造方法において説明する。
【０１２０】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、本発明に係るカラーフィルタの製造方法について説明する。
本発明に係るカラーフィルタの製造方法は、表示装置に用いられ、透明基板の上に、前記表示装置の複数の画素の配置に応じて、特定の色の着色層が設けられているカラーフィルタの製造方法であって、前記着色層の上、または、前記透明基板と前記着色層の間に、光透過率調整層を形成する工程を備えることを特徴とするものである。
以下、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の各種形態について、図面を用いて説明する。
【０１２１】
（第１の実施形態）
図９は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第１の実施形態の一例を示す図である。より詳しくは、この図９は、上記の図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａを製造する工程の中の、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１２２】
例えば、上記の図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａを製造するには、まず、従来の方法により、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２を設け、その上に、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成したものを準備し、次に、図９（ａ）に示すように、光透過率調整層２０を構成する感光性の材料を特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を被覆するように塗布形成し、フォトマスク４０を介して紫外光３０を露光する。
【０１２３】
ここで、フォトマスク４０は、透明基板４１の上に遮光パターン４２を有するものであり、遮光パターン４２は、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）に応じて開口領域４３を有している。
【０１２４】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図９（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の全域に、単層構造の光透過率調整層２０が設けられた中間体を得ることができる。
【０１２５】
ここで、光透過率調整層２０の膜厚は、紫外光３０の露光量等によって調整することができる。そして、光透過率調整層２０の膜厚を調整することで、透過率を調整することができる。
【０１２６】
その後は、従来の方法と同様にして、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ）を順次形成して、上記の図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａを製造することができる。
【０１２７】
次に、透明基板と着色層の間に、光透過率調整層を設ける場合について説明する。
図１０は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第１の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図１０は、上記の図１（ｂ）に示すカラーフィルタ１Ｂを製造する工程の中の、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１２８】
例えば、上記の図１（ｂ）に示すカラーフィルタ１Ｂを製造するには、まず、従来の方法により、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２を設けたものを準備し、次に、図１０（ａ）に示すように、光透過率調整層２０を構成する感光性の材料を、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域を被覆するように塗布形成し、フォトマスク５０を介して紫外光３０を露光し、その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１０（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の全域に、単層構造の光透過率調整層２０が設けられた中間体を得ることができる。
【０１２９】
なお、フォトマスク５０は、透明基板５１の上に遮光パターン５２を有するものであり、遮光パターン５２は、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域に応じて開口領域５３を有している。
【０１３０】
その後は、従来の方法と同様にして、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ等を順次形成して、上記の図１（ｂ）に示すカラーフィルタ１Ｂを製造することができる。
【０１３１】
次に、光透過率調整層２０が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料から構成される場合の製造方法について説明する。
【０１３２】
図１１は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第１の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図１１は、上記の図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａの光透過率調整層２０を、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成する場合における、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１３３】
例えば、上記の図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａの光透過率調整層２０を、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成する場合、まず、従来の方法により、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２を設け、その上に、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成したものを準備し、次に、図１１（ａ）に示すように、緑色の着色層１３Ｇを構成する感光性の材料を、透明基板１１、ブラックマトリックス層１２、及び特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）の上に塗布形成し、フォトマスク６０を介して紫外光３０を露光する。
【０１３４】
ここで、フォトマスク６０は、透明基板６１の上に遮光パターン６２及びハーフトーンパターン６４を有するものであり、形成しようとする光透過率調整層２０の位置に応じてハーフトーンパターン６４が設けられている。また、遮光パターン６２は、緑色の着色層１３Ｇを形成する領域に応じて開口領域６３を有している。
【０１３５】
すなわち、フォトマスク６０は、いわゆるハーフトーンマスク（例えば、特開２００９−２１６９９６号参照）であり、遮光パターン６２が紫外光３０を実質的に遮光するように作用するのに対し、ハーフトーンパターン６４は紫外光３０の一部を透過するように作用する。
【０１３６】
これにより、ハーフトーンパターン６４に応じた位置の感光性材料が受ける露光量を、開口領域６３に応じた位置の感光性材料が受ける露光量に比べて、小さくすることができる。すなわち、露光、現像、乾燥、焼成等の処理を施して得られる、ハーフトーンパターン６４に応じた位置の感光性材料の膜厚を、開口領域６３に応じた位置の感光性材料の膜厚より小さいものとすることができる。
それゆえ、フォトマスク６０を用いることで、同一の露光工程で、厚膜の緑色の着色層１３Ｇと、薄膜の光透過率調整層２０を形成することができる。
【０１３７】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１１（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の全域に、異なる色の着色層（緑色の着色層１３Ｇ）を構成する材料から構成される光透過率調整層２０が設けられた中間体を得ることができる。
【０１３８】
その後は、従来の方法と同様にして、残りの着色層（青色の着色層１３Ｂ）を形成して、上記の図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａを製造することができる。
【０１３９】
上記の製造方法によれば、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２０を形成できるため、新たな材料を用いて光透過率調整層２０を形成する場合よりも、主に材料費に係るコストを低く抑えることができる。
【０１４０】
また、従来の方法においては、着色層を構成する材料として、従来の３種（３色）に加えて新たな混合品も用いるため、製造ラインにおける材料変更の時間や工程が増えてしまい、その結果、製造コストも増加してしまうという問題があった。
一方、本実施形態においては、上記のように、光透過率調整層２０を、赤色の着色層１３Ｒとは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ）と同じ材料から構成することで、上記のような製造コスト増加の問題も解消できる。
【０１４１】
次に、透明基板と着色層の間に、光透過率調整層を設ける場合について説明する。
図１２は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第１の実施形態の他の例を示す図である。
より詳しくは、この図１２は、上記の図１（ｂ）に示すカラーフィルタ１Ｂの光透過率調整層２０を、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成する場合における、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１４２】
例えば、上記の図１（ｂ）に示すカラーフィルタ１Ｂの光透過率調整層２０を、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成する場合、まず、従来の方法により、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２を設けたものを準備し、次に、図１２（ａ）に示すように、緑色の着色層１３Ｇを構成する感光性の材料を、透明基板１１及びブラックマトリックス層１２の上に塗布形成し、フォトマスク７０を介して紫外光３０を露光する。
【０１４３】
ここで、フォトマスク７０は、透明基板７１の上に遮光パターン７２及びハーフトーンパターン７４を有するものであり、形成しようとする光透過率調整層２０の位置に応じてハーフトーンパターン７４が設けられている。また、遮光パターン７２は、緑色の着色層１３Ｇが形成される位置に応じて開口領域７３を有している。
それゆえ、フォトマスク７０を用いることで、上記のフォトマスク６０を用いる場合と同様に、同一の露光工程で、厚膜の緑色の着色層１３Ｇと、薄膜の光透過率調整層２０を形成することができる。
【０１４４】
次に、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１２（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の全域に、異なる色の着色層（緑色の着色層１３Ｇ）を構成する材料から構成される光透過率調整層２０が設けられた中間体を得ることができる。
【０１４５】
その後は、従来の方法と同様にして、赤色の着色層１３Ｒ、青色の着色層１３Ｂ等を順次形成して、上記の図１（ｂ）に示すカラーフィルタ１Ｂを製造することができる。
【０１４６】
（第２の実施形態）
図１３は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第２の実施形態の一例を示す図である。より詳しくは、この図１３は、上記の図３（ａ）に示すカラーフィルタ２Ａを製造する工程の中の、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１４７】
例えば、上記の図３（ａ）に示すカラーフィルタ２Ａを製造するには、まず、上記の図９を用いて説明した方法と同様にして、図９（ｂ）に示す中間体と同様に、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の全域に、第１の光透過率調整層２１ａが設けられた中間体を準備する。ここで、図９（ｂ）に示す光透過率調整層２０が、図１３（ａ）に示す第１の光透過率調整層２１ａに相当する。
【０１４８】
次に、図１３（ａ）に示すように、第２の光透過率調整層２１ｂを構成する感光性の材料を、第１の光透過率調整層２１ａを被覆するように塗布形成し、フォトマスク４０を介して紫外光３０を露光する。
【０１４９】
ここで、フォトマスク４０は、透明基板４１の上に遮光パターン４２を有するものであり、遮光パターン４２は、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）に応じて開口領域４３を有している。このフォトマスク４０は、図９（ａ）に示すフォトマスク４０と同じものを使用できる。
【０１５０】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１３（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の全域に、積層構造の光透過率調整層２１が設けられた中間体を得ることができる。なお、光透過率調整層２１は、第１の光透過率調整層２１ａの上に第２の光透過率調整層２１ｂが積層された積層構造を有している。
【０１５１】
その後は、従来の方法と同様にして、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ）を順次形成して、上記の図３（ａ）に示すカラーフィルタ２Ａを製造することができる。
【０１５２】
ここで、第１の光透過率調整層２１ａ、及び、第２の光透過率調整層２１ｂの膜厚は、紫外光３０の露光量等によって調整することができる。そして、第１の光透過率調整層２１ａ、及び、第２の光透過率調整層２１ｂの膜厚を調整することで、透過率を調整することができる。
【０１５３】
次に、透明基板と着色層の間に、積層構造の光透過率調整層を設ける場合について説明する。
図１４は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第２の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図１４は、上記の図３（ｂ）に示すカラーフィルタ２Ｂを製造する工程の中の、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１５４】
例えば、上記の図３（ｂ）に示すカラーフィルタ２Ｂを製造するには、まず、上記の図１０を用いて説明した方法と同様にして、図１０（ｂ）に示す中間体と同様に、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の全域に、第１の光透過率調整層２１ａが設けられた中間体を準備する。ここで、図１０（ｂ）に示す光透過率調整層２０が、図１４（ａ）に示す第１の光透過率調整層２１ａに相当する。
【０１５５】
次に、図１４（ａ）に示すように、第２の光透過率調整層２１ｂを構成する感光性の材料を、第１の光透過率調整層２１ａを被覆するように塗布形成し、フォトマスク５０を介して紫外光３０を露光し、その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１４（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の全域に、積層構造の光透過率調整層２１が設けられた中間体を得ることができる。なお、光透過率調整層２１は、第１の光透過率調整層２１ａの上に第２の光透過率調整層２１ｂが積層された積層構造を有している。
【０１５６】
ここで、フォトマスク５０は、透明基板５１の上に遮光パターン５２を有するものであり、遮光パターン５２は、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域に応じて開口領域５３を有している。このフォトマスク５０は、図１０（ａ）に示すフォトマスク５０と同じものを使用できる。
【０１５７】
その後は、従来の方法と同様にして、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ等を順次形成して、上記の図３（ｂ）に示すカラーフィルタ２Ｂを製造することができる。
【０１５８】
次に、積層構造の光透過率調整層２１が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層した構成である場合の製造方法について説明する。
【０１５９】
図１５は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第２の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図１５は、上記の図３（ａ）に示すカラーフィルタ２Ａの第１の光透過率調整層２１ａを、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成し、第２の光透過率調整層２１ｂを、青色の着色層１３Ｂを構成する材料を用いて形成する場合における、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１６０】
まず、上記の図１１を用いて説明した方法と同様にして、図１１（ｂ）に示す中間体と同様に、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の全域に、第１の光透過率調整層２１ａが設けられた中間体を準備する。ここで、図１１（ｂ）に示す光透過率調整層２０が、図１５（ａ）に示す第１の光透過率調整層２１ａに相当する。
【０１６１】
次に、図１５（ａ）に示すように、青色の着色層１３Ｂを構成する感光性の材料を、透明基板１１、ブラックマトリックス層１２、緑色の着色層１３Ｇ、及び、第１の光透過率調整層２１ａの上に塗布形成し、フォトマスク８０を介して紫外光３０を露光する。
【０１６２】
ここで、フォトマスク８０は、透明基板８１の上に遮光パターン８２及びハーフトーンパターン８４を有するものであり、形成しようとする第２の光透過率調整層２１ｂの位置に応じてハーフトーンパターン８４が設けられている。また、遮光パターン８２は、青色の着色層１３Ｂを形成する領域に応じて開口領域８３を有している。
【０１６３】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１５（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の全域に、積層構造の光透過率調整層２１が設けられたカラーフィルタ２Ａを得ることができる。なお、光透過率調整層２１は、第１の光透過率調整層２１ａの上に第２の光透過率調整層２１ｂが積層された積層構造を有している。
【０１６４】
ここで、第１の光透過率調整層２１ａは、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料から形成されており、第２の光透過率調整層２１ｂは、青色の着色層１３Ｂを構成する材料から形成されている。
【０１６５】
そして、第１の光透過率調整層２１ａ、及び、第２の光透過率調整層２１ｂの膜厚は、ハーフトーンパターン８４を透過する紫外光３０の露光量等によって調整することができる。そして、第１の光透過率調整層２１ａ、及び、第２の光透過率調整層２１ｂの膜厚を調整することで、光透過率調整層２１を設けた赤色の着色層１３Ｒの透過率を調整することができる。
【０１６６】
上記の製造方法によれば、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２１を形成できるため、新たな材料を用いて光透過率調整層２１を形成する場合よりも、主に材料費に係るコストを低く抑えることができる。
【０１６７】
また、従来の方法においては、着色層を構成する材料として、従来の３種（３色）に加えて新たな混合品も用いるため、製造ラインにおける材料変更の時間や工程が増えてしまい、その結果、製造コストも増加してしまうという問題があった。
一方、本実施形態においては、上記のように、光透過率調整層２１を、赤色の着色層１３Ｒとは異なる２色の着色層（緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ）と同じ材料から構成することで、上記のような製造コスト増加の問題も解消できる。
【０１６８】
次に、透明基板と着色層の間に、積層構造の光透過率調整層を設ける場合について説明する。
【０１６９】
図１６は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第２の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図１６は、上記の図３（ｂ）に示すカラーフィルタ２Ｂの第１の光透過率調整層２１ａを、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成し、第２の光透過率調整層２１ｂを、青色の着色層１３Ｂを構成する材料を用いて形成する場合における、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１７０】
例えば、上記の図３（ｂ）に示すカラーフィルタ２Ｂを製造するには、まず、上記の図１２を用いて説明した方法と同様にして、図１２（ｂ）に示す中間体と同様に、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の全域に、第１の光透過率調整層２１ａが設けられた中間体を準備する。ここで、図１２（ｂ）に示す光透過率調整層２０が、図１６（ａ）に示す第１の光透過率調整層２１ａに相当する。
【０１７１】
次に、図１６（ａ）に示すように、青色の着色層１３Ｂを構成する感光性の材料を、透明基板１１、ブラックマトリックス層１２、緑色の着色層１３Ｇ、及び、第１の光透過率調整層２１ａの上に塗布形成し、フォトマスク９０を介して紫外光３０を露光する。
【０１７２】
ここで、フォトマスク９０は、透明基板９１の上に遮光パターン９２及びハーフトーンパターン９４を有するものであり、形成しようとする第２の光透過率調整層２１ｂの位置に応じてハーフトーンパターン９４が設けられている。また、遮光パターン９２は、青色の着色層１３Ｂを形成する領域に応じて開口領域９３を有している。
【０１７３】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１６（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の全域に、積層構造の光透過率調整層２１が設けられた中間体を得ることができる。なお、光透過率調整層２１は、第１の光透過率調整層２１ａの上に第２の光透過率調整層２１ｂが積層された積層構造を有している。
【０１７４】
ここで、第１の光透過率調整層２１ａは、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料から形成されており、第２の光透過率調整層２１ｂは、青色の着色層１３Ｂを構成する材料から形成されている。
【０１７５】
そして、第１の光透過率調整層２１ａ、及び、第２の光透過率調整層２１ｂの膜厚は、ハーフトーンパターン９４を透過する紫外光３０の露光量等によって調整することができる。そして、第１の光透過率調整層２１ａ、及び、第２の光透過率調整層２１ｂの膜厚を調整することで、光透過率調整層２１を設けた赤色の着色層１３Ｒの透過率を調整することができる。
【０１７６】
その後は、従来の方法と同様にして、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成して、上記の図３（ｂ）に示すカラーフィルタ２Ｂを製造することができる。
【０１７７】
（第３の実施形態）
図１７は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第３の実施形態の一例を示す図である。より詳しくは、この図１７は、上記の図５（ａ）に示すカラーフィルタ３Ａを製造する工程の中の、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１７８】
例えば、上記の図５（ａ）に示すカラーフィルタ３Ａを製造するには、まず、従来の方法により、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２を設け、その上に、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成したものを準備し、次に、図１７（ａ）に示すように、光透過率調整層２２を構成する感光性の材料を特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を被覆するように塗布形成し、フォトマスク１００を介して紫外光３０を露光する。
【０１７９】
ここで、フォトマスク１００は、透明基板１０１の上に遮光パターン１０２を有するものであり、遮光パターン１０２は、形成しようとする光透過率調整層２２の形態に応じて開口領域１０３を有している。
【０１８０】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１７（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の一部に、単層構造の光透過率調整層２２が複数設けられた中間体を得ることができる。
【０１８１】
ここで、光透過率調整層２２の膜厚は、紫外光３０の露光量等によって調整することができる。また、光透過率調整層２２の平面サイズや数（密度）は、フォトマスク１００の遮光パターン１０２が有する開口領域１０３によって調整することができる。
そして、光透過率調整層２２の膜厚、平面サイズ、数（密度）を調整することで、光透過率調整層２２を設けた赤色の着色層１３Ｒの透過率を調整することができる。
【０１８２】
その後は、従来の方法と同様にして、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ）を順次形成して、上記の図５（ａ）に示すカラーフィルタ３Ａを製造することができる。
【０１８３】
次に、透明基板と着色層の間に、光透過率調整層を設ける場合について説明する。
図１８は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第３の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図１８は、上記の図５（ｂ）に示すカラーフィルタ３Ｂを製造する工程の中の、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１８４】
例えば、上記の図５（ｂ）に示すカラーフィルタ３Ｂを製造するには、まず、従来の方法により、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２を設けたものを準備し、次に、図１８（ａ）に示すように、光透過率調整層２２を構成する感光性の材料を、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域を被覆するように塗布形成し、フォトマスク１００を介して紫外光３０を露光し、その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１８（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の一部に、単層構造の光透過率調整層２２が複数設けられた中間体を得ることができる。
【０１８５】
その後は、従来の方法と同様にして、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ等を順次形成して、上記の図５（ｂ）に示すカラーフィルタ３Ｂを製造することができる。
【０１８６】
次に、単層構造の光透過率調整層２２が、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層を構成する材料から構成される場合の製造方法について説明する。
【０１８７】
図１９は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第３の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図１９は、上記の図５（ａ）に示すカラーフィルタ３Ａの光透過率調整層２２を、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成する場合における、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１８８】
例えば、上記の図５（ａ）に示すカラーフィルタ３Ａの光透過率調整層２２を、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成する場合、まず、従来の方法により、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２を設け、その上に、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成したものを準備し、次に、図１９（ａ）に示すように、緑色の着色層１３Ｇを構成する感光性の材料を、透明基板１１、ブラックマトリックス層１２、及び特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）の上に塗布形成し、フォトマスク１１０を介して紫外光３０を露光する。
【０１８９】
ここで、フォトマスク１１０は、透明基板１１１の上に遮光パターン１１２及びハーフトーンパターン１１４を有するものであり、形成しようとする光透過率調整層２２の形態に応じてハーフトーンパターン１１４が設けられている。また、遮光パターン１１２は、緑色の着色層１３Ｇを形成する領域に応じて開口領域１１３を有している。
これにより、ハーフトーンパターン１１４に応じた位置の感光性材料が受ける露光量を、開口領域１１３に応じた位置の感光性材料が受ける露光量に比べて、小さくすることができる。すなわち、露光、現像、乾燥、焼成等の処理を施して得られる、ハーフトーンパターン１１４に応じた位置の感光性材料の膜厚を、開口領域１１３に応じた位置の感光性材料の膜厚より小さいものとすることができる。
それゆえ、フォトマスク１１０を用いることで、同一の露光工程で、厚膜の緑色の着色層１３Ｇと、薄膜の光透過率調整層２２を形成することができる。
【０１９０】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図１９（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の一部に、異なる色の着色層（緑色の着色層１３Ｇ）を構成する材料から構成される光透過率調整層２２が複数設けられた中間体を得ることができる。
【０１９１】
その後は、従来の方法と同様にして、残りの着色層（青色の着色層１３Ｂ）を形成して、上記の図５（ａ）に示すカラーフィルタ３Ａを製造することができる。
【０１９２】
上記の製造方法によれば、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２２を形成できるため、新たな材料を用いて光透過率調整層２２を形成する場合よりも、主に材料費に係るコストを低く抑えることができる。
【０１９３】
また、従来の方法においては、着色層を構成する材料として、従来の３種（３色）に加えて新たな混合品も用いるため、製造ラインにおける材料変更の時間や工程が増えてしまい、その結果、製造コストも増加してしまうという問題があった。
一方、本実施形態においては、上記のように、光透過率調整層２２を、赤色の着色層１３Ｒとは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ）と同じ材料から構成することで、上記のような製造コスト増加の問題も解消できる。
【０１９４】
次に、透明基板と着色層の間に、光透過率調整層を設ける場合について説明する。
図２０は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第３の実施形態の他の例を示す図である。
より詳しくは、この図２０は、上記の図５（ｂ）に示すカラーフィルタ３Ｂの光透過率調整層２２を、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成する場合における、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０１９５】
例えば、上記の図５（ｂ）に示すカラーフィルタ３Ｂの光透過率調整層２２を、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成する場合、まず、従来の方法により、透明基板１１の上にブラックマトリックス層１２を設けたものを準備し、次に、図２０（ａ）に示すように、緑色の着色層１３Ｇを構成する感光性の材料を、透明基板１１及びブラックマトリックス層１２の上に塗布形成し、フォトマスク１２０を介して紫外光３０を露光する。
【０１９６】
ここで、フォトマスク１２０は、透明基板１２１の上に遮光パターン１２２及びハーフトーンパターン１２４を有するものであり、形成しようとする光透過率調整層２２の形態に応じてハーフトーンパターン１２４が設けられている。また、遮光パターン１２２は、緑色の着色層１３Ｇが形成される位置に応じて開口領域１２３を有している。
それゆえ、フォトマスク１２０を用いることで、同一の露光工程で、厚膜の緑色の着色層１３Ｇと、薄膜の光透過率調整層２０を形成することができる。
【０１９７】
次に、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図２０（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の一部に、異なる色の着色層（緑色の着色層１３Ｇ）を構成する材料から構成される光透過率調整層２２が複数設けられた中間体を得ることができる。
【０１９８】
その後は、従来の方法と同様にして、赤色の着色層１３Ｒ、青色の着色層１３Ｂ等を順次形成して、上記の図５（ｂ）に示すカラーフィルタ３Ｂを製造することができる。
【０１９９】
（第４の実施形態）
図２１は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第４の実施形態の一例を示す図である。より詳しくは、この図２１は、上記の図７（ａ）に示すカラーフィルタ４Ａを製造する工程の中の、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０２００】
例えば、上記の図７（ａ）に示すカラーフィルタ４Ａを製造するには、まず、上記の図１７を用いて説明した方法と同様にして、図１７（ｂ）に示す中間体と同様に、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の一部に、第１の光透過率調整層２３ａが設けられた中間体を準備する。ここで、図１７（ｂ）に示す光透過率調整層２２が、図２１（ａ）に示す第１の光透過率調整層２３ａに相当する。
【０２０１】
次に、図２１（ａ）に示すように、第２の光透過率調整層２３ｂを構成する感光性の材料を、第１の光透過率調整層２３ａを被覆するように塗布形成し、フォトマスク１００を介して紫外光３０を露光する。
【０２０２】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図２１（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の一部に、積層構造の光透過率調整層２３が設けられた中間体を得ることができる。なお、光透過率調整層２３は、第１の光透過率調整層２３ａの上に第２の光透過率調整層２３ｂが積層された積層構造を有している。
【０２０３】
その後は、従来の方法と同様にして、該光透過率調整層が設けられる特定の色の着色層とは異なる色の着色層（例えば、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ）を順次形成して、上記の図７（ａ）に示すカラーフィルタ４Ａを製造することができる。
【０２０４】
ここで、第１の光透過率調整層２１ａ、及び、第２の光透過率調整層２１ｂの膜厚は、紫外光３０の露光量等によって調整することができる。また、光透過率調整層２３の平面サイズや数（密度）は、フォトマスク１００の遮光パターン１０２が有する開口領域１０３によって調整することができる。
そして、第１の光透過率調整層２１ａ、及び、第２の光透過率調整層２１ｂの膜厚や、光透過率調整層２３の平面サイズ、数（密度）を調整することで、光透過率調整層２３を設けた赤色の着色層１３Ｒの透過率を調整することができる。
【０２０５】
次に、透明基板と着色層の間に、積層構造の光透過率調整層を設ける場合について説明する。
図２２は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第４の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図２２は、上記の図７（ｂ）に示すカラーフィルタ４Ｂを製造する工程の中の、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０２０６】
例えば、上記の図７（ｂ）に示すカラーフィルタ４Ｂを製造するには、まず、上記の図１８を用いて説明した方法と同様にして、図１８（ｂ）に示す中間体と同様に、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の一部に、第１の光透過率調整層２３ａが設けられた中間体を準備する。ここで、図１８（ｂ）に示す光透過率調整層２２が、図２２（ａ）に示す第１の光透過率調整層２３ａに相当する。
【０２０７】
次に、図２２（ａ）に示すように、第２の光透過率調整層２３ｂを構成する感光性の材料を、第１の光透過率調整層２３ａ被覆するように塗布形成し、フォトマスク１００を介して紫外光３０を露光し、その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図２２（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（例えば、赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の一部に、積層構造の光透過率調整層２３が複数設けられた中間体を得ることができる。なお、光透過率調整層２３は、第１の光透過率調整層２３ａの上に第２の光透過率調整層２３ｂが積層された積層構造を有している。
【０２０８】
その後は、従来の方法と同様にして、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ等を順次形成して、上記の図７（ｂ）に示すカラーフィルタ４Ｂを製造することができる。
【０２０９】
次に、積層構造の光透過率調整層２３が、光透過率調整層２３が設けられる特定の色の着色層とは異なる２色の着色層を構成する各材料を積層した構成である場合の製造方法について説明する。
【０２１０】
図２３は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第４の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図２３は、上記の図７（ａ）に示すカラーフィルタ４Ａの第１の光透過率調整層２３ａを、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成し、第２の光透過率調整層２３ｂを、青色の着色層１３Ｂを構成する材料を用いて形成する場合における、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０２１１】
まず、上記の図１９を用いて説明した方法と同様にして、図１９（ｂ）に示す中間体と同様に、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の一部に、第１の光透過率調整層２３ａが設けられた中間体を準備する。ここで、図１９（ｂ）に示す光透過率調整層２２が、図２３（ａ）に示す第１の光透過率調整層２３ａに相当する。
【０２１２】
次に、図２３（ａ）に示すように、青色の着色層１３Ｂを構成する感光性の材料を、透明基板１１、ブラックマトリックス層１２、赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、及び、第１の光透過率調整層２３ａの上に塗布形成し、フォトマスク１３０を介して紫外光３０を露光する。
【０２１３】
ここで、フォトマスク１３０は、透明基板１３１の上に遮光パターン１３２及びハーフトーンパターン１３４を有するものであり、形成しようとする第２の光透過率調整層２３ｂの位置に応じてハーフトーンパターン１３４が設けられている。また、遮光パターン１３２は、青色の着色層１３Ｂを形成する領域に応じて開口領域１３３を有している。
【０２１４】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図２３（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）の上側の面の一部に、積層構造の光透過率調整層２３が設けられたカラーフィルタ４Ａを得ることができる。なお、光透過率調整層２３は、第１の光透過率調整層２３ａの上に第２の光透過率調整層２３ｂが積層された積層構造を有している。
【０２１５】
ここで、第１の光透過率調整層２３ａは、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料から形成されており、第２の光透過率調整層２３ｂは、青色の着色層１３Ｂを構成する材料から形成されている。
【０２１６】
そして、第１の光透過率調整層２３ａ、及び、第２の光透過率調整層２３ｂの膜厚は、ハーフトーンパターン１３４を透過する紫外光３０の露光量等によって調整することができる。また、光透過率調整層２３の平面サイズや数（密度）は、ハーフトーンパターン１３４の平面形態によって調整することができる。
そして、第１の光透過率調整層２３ａ、及び、第２の光透過率調整層２３ｂの膜厚や、光透過率調整層２３の平面サイズ、数（密度）を調整することで、光透過率調整層２３を設けた赤色の着色層１３Ｒの透過率を調整することができる。
【０２１７】
上記の製造方法によれば、従来の３種（３色）の材料を利用して、光透過率調整層２３を形成できるため、新たな材料を用いて光透過率調整層２３を形成する場合よりも、主に材料費に係るコストを低く抑えることができる。
【０２１８】
また、従来の方法においては、着色層を構成する材料として、従来の３種（３色）に加えて新たな混合品も用いるため、製造ラインにおける材料変更の時間や工程が増えてしまい、その結果、製造コストも増加してしまうという問題があった。
一方、本実施形態においては、上記のように、光透過率調整層２３を、赤色の着色層１３Ｒとは異なる２色の着色層（緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂ）と同じ材料から構成することで、上記のような製造コスト増加の問題も解消できる。
【０２１９】
次に、透明基板と着色層の間に、積層構造の光透過率調整層２３を設ける場合について説明する。
【０２２０】
図２４は、本発明に係るカラーフィルタの製造方法の第４の実施形態の他の例を示す図である。より詳しくは、この図２４は、上記の図７（ｂ）に示すカラーフィルタ４Ｂの第１の光透過率調整層２３ａを、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料を用いて形成し、第２の光透過率調整層２３ｂを、青色の着色層１３Ｂを構成する材料を用いて形成する場合における、要部となる工程を示すものである。その他の工程、すなわち、従来と同じ工程については省略している。
【０２２１】
例えば、上記の図７（ｂ）に示すカラーフィルタ４Ｂを製造するには、まず、上記の図２０を用いて説明した方法と同様にして、図２０（ｂ）に示す中間体と同様に、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の一部に、第１の光透過率調整層２３ａが設けられた中間体を準備する。ここで、図２０（ｂ）に示す光透過率調整層２２が、図２４（ａ）に示す第１の光透過率調整層２３ａに相当する。
【０２２２】
次に、図２４（ａ）に示すように、青色の着色層１３Ｂを構成する感光性の材料を、透明基板１１、ブラックマトリックス層１２、緑色の着色層１３Ｇ、及び、第１の光透過率調整層２３ａの上に塗布形成し、フォトマスク１４０を介して紫外光３０を露光する。
【０２２３】
ここで、フォトマスク１４０は、透明基板１４１の上に遮光パターン１４２及びハーフトーンパターン１４４を有するものであり、形成しようとする第２の光透過率調整層２３ｂの形態に応じてハーフトーンパターン１４４が設けられている。また、遮光パターン１４２は、青色の着色層１３Ｂを形成する領域に応じて開口領域１４３を有している。
【０２２４】
その後、現像、乾燥、焼成等の処理を施して、図２４（ｂ）に示すように、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成する領域の一部に、積層構造の光透過率調整層２３が複数設けられた中間体を得ることができる。なお、光透過率調整層２３は、第１の光透過率調整層２３ａの上に第２の光透過率調整層２３ｂが積層された積層構造を有している。
【０２２５】
ここで、第１の光透過率調整層２３ａは、緑色の着色層１３Ｇを構成する材料から形成されており、第２の光透過率調整層２３ｂは、青色の着色層１３Ｂを構成する材料から形成されている。
【０２２６】
そして、第１の光透過率調整層２３ａ、及び、第２の光透過率調整層２３ｂの膜厚は、ハーフトーンパターン１４４を透過する紫外光３０の露光量等によって調整することができる。また、光透過率調整層２３の平面サイズや数（密度）は、ハーフトーンパターン１４４の平面形態によって調整することができる。
そして、第１の光透過率調整層２３ａ、及び、第２の光透過率調整層２３ｂの膜厚や、光透過率調整層２３の平面サイズ、数（密度）を調整することで、光透過率調整層２３を設けた赤色の着色層１３Ｒの透過率を調整することができる。
【０２２７】
その後は、従来の方法と同様にして、特定の色の着色層（赤色の着色層１３Ｒ）を形成して、上記の図７（ｂ）に示すカラーフィルタ４Ｂを製造することができる。
【０２２８】
＜表示装置＞
次に、本発明に係る表示装置について説明する。
図２５は、本発明に係る表示装置の一例を示す概略断面図である。図２５に示すように、表示装置１５０は、上記のカラーフィルタ１Ａを用いて表示部が形成されているものであり、カラーフィルタ１Ａと有機ＥＬ素子基板１５１を有している。ここで、図２５におけるカラーフィルタ１Ａは、オーバーコート層１４を有する形態である。また、図示はしないが、カラーフィルタ１Ａと有機ＥＬ素子基板１５１の間には、通常、封止樹脂が充填されている。
なお、図２５におけるカラーフィルタ１Ａは、図１（ａ）に示す上下（天地）が反転した状態で配置されている。
【０２２９】
有機ＥＬ素子基板１５１は、支持基板１５２と、支持基板１５２の上に設けられた背面電極１５３と、背面電極１５３の上に設けられた複数の発光層１５４と、発光層１５４の上に設けられ、発光層１５４からの光を透過する透明電極１５５と、を有している。
複数の発光層１５４は、赤色の発光層１５４Ｒ、緑色の発光層１５４Ｇ、青色の発光層１５４Ｂを含み、それぞれ、カラーフィルタ１Ａの赤色の着色層１３Ｒ、緑色の着色層１３Ｇ、青色の着色層１３Ｂと対向するように配置されている。
【０２３０】
背面電極１５３は、陽極または陰極のいずれかであるが、一般的には陽極として支持基板１５２の上に設けられる。形成材料としては、金、銀、クロム等の金属等を挙げることができる。従って背面電極１５３は、光を反射可能になっている。
【０２３１】
透明電極１５５は、背面電極１５３の対極として機能するものである。透明電極１５５は、陰極または陽極のいずれかであるが、一般的には陰極として設けられる。透明電極１５５の形成材料としては、ＩＴＯ（インジウム錫オキサイド）、酸化インジウム、ＩＺＯ（インジウム亜鉛オキサイド）、ＳｎＯ2、ＺｎＯ等の透明導電材料が用いられる。
【０２３２】
なお、図２５に示す表示装置１５０においては、有機ＥＬ素子基板１５１の発光層１５４として、赤色の発光層１５４Ｒ、緑色の発光層１５４Ｇ、青色の発光層１５４Ｂが平面的に配列されたタイプを例示したが、発光層１５４は全て白色の発光層であってもよい。
【０２３３】
また、図２５に示す表示装置１５０においては、図１（ａ）に示すカラーフィルタ１Ａを有機ＥＬ表示装置に用いた例を示したが、本発明に係るカラーフィルタは、液晶表示装置に用いた場合であっても同様の効果が得られる。
【０２３４】
以上、本発明に係るカラーフィルタ、表示装置、および、カラーフィルタの製造方法について、それぞれの実施形態を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【０２３５】
１Ａ、１Ｂ、２Ａ、２Ｂ、３Ａ、３Ｂ、４Ａ、４Ｂ  カラーフィルタ
５、６、７  カラーフィルタ
１１  透明基板
１２  ブラックマトリックス層
１３  着色層
１４  オーバーコート層
２０、２１、２２、２３、２４、２５  光透過率調整層
２１ａ、２３ａ  第１の光透過率調整層
２１ｂ、２３ｂ  第２の光透過率調整層
３０  紫外光
４０、５０、６０、７０、８０、９０  フォトマスク
４１、５１、６１、７１、８１、９１  透明基板
４２、５２、６２、７２、８２、９２  遮光パターン
４３、５３、６３、７３、８３、９３  開口領域
６４、７４、８４、９４  ハーフトーンパターン
１００、１１０、１２０、１３０、１４０  フォトマスク
１０１、１１１、１２１、１３１、１４１  透明基板
１０２、１１２、１２２、１３２、１４２  遮光パターン
１０３、１１３、１２３、１３３、１４３  開口領域
１１４、１２４、１３４、１４４  ハーフトーンパターン
１５０  表示装置
１５１  有機ＥＬ素子基板
１５２  支持基板
１５３  背面電極
１５４  発光層
１５５  透明電極
２０１  カラーフィルタ
２１１  透明基板
２１２  ブラックマトリックス層
２１３  着色層
２２０  フォトマスク
２２１  透明基板
２２２  遮光パターン
２２３  開口領域
【図１】
2018112622.tif 000003
【図２】
2018112622.tif 000004
【図３】
2018112622.tif 000005
【図４】
2018112622.tif 000006
【図５】
2018112622.tif 000007
【図６】
2018112622.tif 000008
【図７】
2018112622.tif 000009
【図８】
2018112622.tif 000010
【図９】
2018112622.tif 000011
【図１０】
2018112622.tif 000012
【図１１】
2018112622.tif 000013
【図１２】
2018112622.tif 000014
【図１３】
2018112622.tif 000015
【図１４】
2018112622.tif 000016
【図１５】
2018112622.tif 000017
【図１６】
2018112622.tif 000018
【図１７】
2018112622.tif 000019
【図１８】
2018112622.tif 000020
【図１９】
2018112622.tif 000021
【図２０】
2018112622.tif 000022
【図２１】
2018112622.tif 000023
【図２２】
2018112622.tif 000024
【図２３】
2018112622.tif 000025
【図２４】
2018112622.tif 000026
【図２５】
2018112622.tif 000027
【図２６】
2018112622.tif 000028
【図２７】
2018112622.tif 000029