(57)【要約】      （修正有）【課題】ソレノイドバルブへの給電が停止された際にスライドバルブの封止体が一定の位置を保つことができる。【解決手段】スライドバルブは、対向する一対の開口部の間に挿脱されるスライドプレートと、開口部の間に挿入されたスライドプレートに当接してバルブ閉状態とする圧縮ばねで付勢される環状の封止体を備え、シリンダ室に導入される圧縮空気で封止体はバルブ開状態となる。シリンダ室には、圧縮空気の供給源に接続されるタンク側ポートおよび排気ポートのいずれかに切替えるソレノイドバルブ１０００が接続される。ソレノイドバルブは、コントローラの弁体解放指令に応じてシリンダ室とタンク側ポートが接続されるように切替える第１ソレノイド１００４と、コントローラの弁体固定指令に応じて、シリンダ室と排気ポートが接続されるように切替える第２ソレノイド１００５と、を備える。【選択図】図２
2018112259.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する一対の開口部が形成された筐体と、
前記一対の開口部の間に挿脱される弁体と、
前記筐体内を前記一対の開口部の対向方向にスライド移動し、前記一対の開口部の間に挿入された前記弁体に当接してバルブ閉状態とする環状の封止体と、
前記封止体をバルブ閉状態に付勢する付勢部と、
前記封止体をバルブ開状態に付勢する圧縮空気が導入されるシリンダと、
前記シリンダに接続され、シリンダの接続先を圧縮空気の供給源および排気口のいずれかに切替える切換流路と、
弁体解放指令に応じて、前記切換流路を前記シリンダと前記圧縮空気の供給源が接続されるように切替える第１ソレノイドと、
弁体固定指令に応じて、前記切換流路を前記シリンダと前記排気口が接続されるように切替える第２ソレノイドと、
を備えるスライドバルブ。
【請求項２】
請求項１に記載のスライドバルブにおいて、
前記第１ソレノイドに電圧が印加され、前記第２ソレノイドに電圧が印加されないとき、前記シリンダと前記圧縮空気の供給源が接続されるように前記切換流路が切替えられ、
前記第２ソレノイドに電圧が印加され、前記第１ソレノイドに電圧が印加されないとき、前記シリンダと前記排気口が接続されるように前記切換流路が切替えられ、
前記第１ソレノイドおよび前記第２ソレノイドに電圧が印加されないとき、前記切換流路の状態が変化しない、スライドバルブ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のスライドバルブにおいて、
前記圧縮空気の供給源から前記切換流路へ圧縮空気を導く管路中に、前記切換流路から前記圧縮空気の供給源への流れを阻止する逆止弁を備えるスライドバルブ。
【請求項４】
請求項１〜３までのいずれか１項に記載のスライドバルブにおいて、
前記弁体は、前記封止体が前記スライド移動する方向と交差する方向に移動し、
前記封止体は、着脱可能な封止部材を備えるスライドバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライドバルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
スライドプレートをスライドして流路に挿脱させることで、流量調整を行うスライドバルブが知られている（特許文献１）。スライドバルブを完全に閉状態とする場合には、流路中に挿入されたスライドプレートの縁部に、シールリングが設けられた環状の封止体を当接させることで流路を遮断するようにしている。封止体は、スプリングによりスライドプレートに当接する力が加えられ、圧縮空気によりスライドプレートから離反する力が加えられる。
スライドバルブに供給される圧縮空気は、１つのソレノイドとスプリングから構成されるソレノイドバルブにより制御されることが多い。ソレノイドに電圧が印加されると圧縮空気がスライドバルブに供給され、電圧の印加が終了するとスプリングにより圧縮空気の供給が停止される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第５５７７７０７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されている発明では、ソレノイドバルブへの給電が停止された際にスライドバルブへの圧縮空気の供給が停止され、封止体が移動することを防止できない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
（１）本発明の好ましい実施形態によるスライドバルブは、対向する一対の開口部が形成された筐体と、一対の開口部の間に挿脱される弁体と、筐体内を一対の開口部の対向方向にスライド移動し、一対の開口部の間に挿入された弁体に当接してバルブ閉状態とする環状の封止体と、封止体をバルブ閉状態に付勢する弾性体と、封止体をバルブ開状態に付勢する圧縮空気が導入されるシリンダと、シリンダに接続され、シリンダの接続先を圧縮空気の供給源および排気口のいずれかに切替える切換流路と、弁体解放指令に応じて、切換流路をシリンダと圧縮空気の供給源が接続されるように切替える第１ソレノイドと、弁体固定指令に応じて、切換流路をシリンダと排気口が接続されるように切替える第２ソレノイドと、を備える。
（２）本発明のさらに好ましい実施形態によるスライドバルブは、第１ソレノイドに電圧が印加され、第２ソレノイドに電圧が印加されないとき、シリンダと圧縮空気の供給源が接続されるように切換流路が切替えられ、第２ソレノイドに電圧が印加され、第１ソレノイドに電圧が印加されないとき、シリンダと排気口が接続されるように切換流路が切替えられ、第１ソレノイドおよび第２ソレノイドに電圧が印加されないとき、切換流路の状態が変化しない。
（３）本発明のさらに好ましい実施形態によるスライドバルブは、圧縮空気の供給源から切換流路へ圧縮空気を導く管路中に、切換流路から圧縮空気の供給源への流れを阻止する逆止弁を備える。
（４）本発明のさらに好ましい実施形態によるスライドバルブは、上述する弁体は、封止体がスライド移動する方向と交差する方向に移動し、上述する封止体は、着脱可能な封止部材を備える。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、ソレノイドバルブへの給電が停止されてもスライドバルブへの圧縮空気の供給が停止されず、封止体を一定の位置に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】スライドバルブの外観を示す図
【図２】ソレノイドバルブと逆止弁の構造を示す模式図
【図３】スライドバルブの仮閉鎖状態における図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図
【図４】（ａ）フランジの軸方向断面図（ｂ）ピストン部の軸方向断面図（ｃ）シールリングの軸方向断面図
【図５】スライドバルブの完全閉鎖状態における図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図
【図６】スライドプレートが全閉ではない状態で封止体がスライドプレートに当接する状況の一例を示す図
【発明を実施するための形態】
【０００８】
（実施の形態）
以下、図１〜６を参照して、本発明によるスライドバルブの実施の形態を説明する。
図１はスライドバルブ１の外観を示す斜視図である。
【０００９】
（構成の概要）
スライドバルブ１は、筐体２と駆動部１０とソレノイドバルブ１０００と逆止弁１１００とコントローラ１２００とを備える。筐体２は、フランジ３と、締結面６（図３参照）およびカプラ９が形成された筐体基部４と、筐体基部４内においてスライド駆動される弁体、すなわちスライドプレート８と、を備える。フランジ３の締結面３Ａにはたとえば真空処理装置の真空チャンバが固定され、締結面６にはたとえば真空ポンプが固定される。図示は省略するが、駆動部１０にはスライドプレート８を揺動駆動するモータと、モータを駆動制御する制御部とが設けられている。駆動部１０の制御部は、コントローラ１２００からの指令に基づきスライドプレート８を駆動し、その位置をコントローラ１２００に出力する。
【００１０】
図１に示すθは、スライドプレート８のθ開度を示している。図に示す「θ＝０」は、フランジ３の開口部３１を全閉とする所定のθ開度を示し、「θ＝θmax」は、フランジ３の開口部３１を全開するθ開度を示す。破線で示されたスライドプレート８ａは、全開（θ＝θmax）時のスライドプレート８を示す。スライドプレート８は、駆動部１０のモータによって揺動駆動されθ開度を調節することで、真空処理装置から真空ポンプへ流れる気体の流量を調節する。
【００１１】
以下では、「θ＝０」である状態のスライドプレート８を「全閉」の状態と呼ぶ。詳しくは後述するが、スライドプレート８が全閉の状態において、後述する封止体がスライドプレート８に当接するとスライドバルブ１によりスライドバルブ１の前後の流れが完全に遮断される。以後、全閉状態のスライドプレート８に封止体が当接している状態を「完全閉鎖状態」、全閉状態のスライドプレート８に封止体が当接していない状態を「仮閉鎖状態」と呼ぶ。
筐体２は、開閉可能なカバー１１が設けられた取り出し口１２を有する。これは、スライドバルブ１を真空処理装置や真空ポンプから取り外さずに、筐体２内に設けられている部品、たとえば後述するシール材などを交換するために設けられる。
コントローラ１２００は、外部からの入力に基づき、駆動部１０に動作指令を出力する。コントローラ１２００は、駆動部１０の制御部からスライドプレート８の位置を取得し、スライドプレート８が全閉状態にあると判断すると、ソレノイドバルブ１０００に動作指令を出力し、封止体をスライドプレート８に当接させて完全閉鎖状態とする。
【００１２】
筐体基部４のカプラ９には、バルブユニットが取り付けられている。バルブユニットは、ソレノイドバルブ１０００と、逆止弁１１００とを備える。カプラ９にはバルブユニットから圧縮空気が流入する。カプラ９からバルブユニットへ圧縮空気が排出される。筐体基部４に流入した圧縮空気の働きについては、後に図３を参照しながら説明する。
詳しくは後述するが、圧縮空気は、ポート１１０１から逆止弁１１００に流入し、ソレノイドバルブ１０００、カプラ９を経由して筐体基部４に流入する。筐体基部４から流出する空気は、カプラ９、ソレノイドバルブ１０００を経由してソレノイドバルブ１０００の排気ポート１００１から放出される。
【００１３】
（ソレノイドバルブ）
図２は、ソレノイドバルブ１０００と逆止弁１１００の構造、および逆止弁１１００に接続されている機器を示す模式図である。図２に示すように、コンプレッサー１３００が生成した高圧の空気はタンク１４００に蓄えられ、タンク１４００からポート１１０１を経て逆止弁１１００に圧縮空気が供給される。
ソレノイドバルブ１０００は、第１ソレノイド１００４と、第２ソレノイド１００５と、排気ポート１００１とタンク側ポート１００２とバルブ側ポート１００３と切換流路１００６を備える。排気ポート１００１は大気解放されている。タンク側ポート１００２は、逆止弁１１００と接続される。第１ソレノイド１００４および第２ソレノイド１００５は、コントローラ１２００からの指示により動作する。
【００１４】
逆止弁１１００は、ソレノイドバルブ１０００から圧縮空気供給源へ向かう流れを阻止する。すなわち、コンプレッサー１３００の運転停止などにより筐体基部４の内部よりも圧縮空気供給源の圧力が低くなった場合にも、筐体基部４の内部から圧縮空気が流出することを防止する。
ソレノイドバルブ１０００の切換流路１００６は、タンク側ポート１００２とバルブ側ポート１００３とが接続される導入状態と、排気ポート１００１とバルブ側ポート１００３とが接続される排気状態をとる。図２において、切換流路１００６は、導入状態を示している。
【００１５】
ソレノイドバルブ１０００の切換流路１００６は、第２ソレノイド１００５に電圧が印加されていない状態でコントローラ１２００から第１ソレノイド１００４に電圧が印加されると導入状態をとり、タンク側ポート１００２とバルブ側ポート１００３とが接続される。すなわち、コントローラ１２００から第１ソレノイド１００４への電圧印加は、封止体７によるスライドプレート８の所定の位置への固定を解除する解放指令に相当する。
ソレノイドバルブ１０００の切換流路１００６は、第１ソレノイド１００４に電圧が印加されていない状態でコントローラ１２００から第２ソレノイド１００５のみに電圧が印加されると排気状態をとり、排気ポート１００１とバルブ側ポート１００３とが接続される。すなわち、コントローラ１２００から第２ソレノイド１００５への電圧印加は、封止体７によりスライドプレート８を固定する固定指令に相当する。
ソレノイドバルブ１０００の切換流路１００６は、第１ソレノイド１００４および第２ソレノイド１００５に電圧が印加されていない状態では、現状の導入状態あるいは排気状態をそのまま維持する。すなわち、導入状態において、停電等の理由により、第１ソレノイド１００４および第２ソレノイド１００５に電圧が印加されなくなると、導入状態を維持し、タンク側ポート１００２とバルブ側ポート１００３とが接続された状態が維持される。一方、排気状態において、停電等の理由により、第１ソレノイド１００４および第２ソレノイド１００５に電圧が印加されなくなると、排気状態を維持し、排気ポート１００１とバルブ側ポート１００３とが接続された状態が維持される。
【００１６】
（スライドバルブの構造）
図３は、図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。ただし、図１と異なり、スライドプレート８だけは全閉（θ＝０）時のものを示している。封止体７がスライドプレート８に当接していない点は図１と同様である。すなわち、図３に示すスライドバルブ１は仮閉鎖状態である。
フランジ３は、締結面３Ａと、開口部３１と、凹部３３と、筒部３４とを備える。筐体基部４は、カプラ９と、通気口４２と、開口部４１と、締結面６とを備える。なお、図示していないが、フランジ３と筐体基部４とは、ボルト締結される。
【００１７】
開口部３１と開口部４１は互いに対向している。スライドプレート８は、開口部３１と開口部４１の間に挿脱される。なお、以下では、開口部３１と開口部４１との対向方向（図３の図示上下方向）における締結面３Ａ側（図３の図示上側）を、単に「締結面３Ａ側」と呼び、開口部３１と開口部４１との対向方向における締結面６側（図３の図示下側）を、単に「締結面６側」と呼ぶ。
筐体２は、フランジ３と筐体基部４との間に、筒状の収容部５を備える。収容部５は、後述する筒部３４の外周面３４Ａを有する筒状の内周側壁面と、後述する内周面４３を有する筒状の外周側壁面と、を備える。収容部５には、全体として環状に形成された封止体７が収容される。
【００１８】
封止体７は、環状のピストン部７１０と、環状のシールリング７２０とから構成されている。ここで、図４を用いて、ピストン部７１０とシールリング７２０の構造についてさらに説明する。図４（ａ）は、フランジ３の軸方向断面図である。図４（ｂ）は、ピストン部７１０の軸方向断面図である。図４（ｃ）は、シールリング７２０の軸方向断面図である。図４に示すように、フランジ３、ピストン部７１０、シールリング７２０は、別体として作製される。
【００１９】
図４（ｂ）に示すように、ピストン部７１０は、基部７１と、シール材７１１と、シール材７１２とを備える。基部７１は、受圧部７１ａと筒部７１ｂと凸部７１ｃと、凹部７１３とを備える。図４（ｃ）に示すように、シールリング７２０は、基部７２と、シール材７２１と、シール材７２２と、シール材７２３とを備える。基部７２は、溝７２ａと、係合部７２ｂと、円環部７２ｃとを備える。
【００２０】
図３の説明に戻る。ピストン部７１０は、図３に示すように大径部７１５と小径部７１６を有する。大径部７１５の外周面は受圧部７１ａの外周面であり、小径部７１６の外周面は筒部７１ｂの外周面である。ピストン部７１０は、大径部７１５に設けられた凹部７１５Ａにシール材７１１を備え、小径部７１６に設けられた凹部７１６Ａにシール材７１２を備える。さらに、ピストン部７１０は、フランジ３の凹部３３と対向する端面７１７に凹部７１３を備え、シールリング７２０との接続面７１８に凸部７１ｃを備える。
【００２１】
シールリング７２０は、外周面７２６に設けられた凹部７２６Ａにシール材７２１を備え、内周面７２７に設けられた凹部７２７Ａにシール材７２２を備え、締結面６側の端面７２８に設けられた凹部７２８Ａにシール材７２３を備え、締結面３Ａ側の端面である接続面７２９に溝７２ａを備える。
凹部３３と凹部７１３との間には、圧縮ばね５０が設けられる。
ピストン部７１０及びシールリング７２０は、凸部７１ｃと溝７２ａとが係合されることで互いに接続されている。そのため、ピストン部７１０及びシールリング７２０は、封止体７として一体的に移動する。
【００２２】
カプラ９から導入された圧縮空気は通気口４２を通り、シール材７１１、７１２により区切られた空間であるシリンダ室４５に流入し、ピストン部７１０の受圧部７１ａに作用する。シール材７１１は、ピストン部７１０と筐体基部４の内周面４３との隙間を封止する。シール材７１２は、ピストン部７１０と筐体基部４の内周面４４との隙間を封止する。シール材７１１、７１２の封止によって、シリンダ室４５から圧縮空気が漏えいすることを防止している。ピストン部７１０は、受圧部７１ａを介して、圧縮空気から締結面３Ａ側への力を受ける。また、ピストン部７１０は、凹部７１３を介して、圧縮ばね５０から締結面６側への力を受ける。圧縮空気から受ける力が圧縮ばね５０から受ける力より大きい場合、封止体７は、締結面３Ａ側にスライド移動する。反対に、圧縮ばね５０から受ける力が圧縮空気から受ける力より大きい場合、封止体７は、締結面６側にスライド移動する。すなわち、封止体７は、圧縮ばね５０及び圧縮空気によって、開口部３１と開口部４１との対向方向をスライド移動する。
ピストン部７１０およびシールリング７２０が備えるシール材は、摩耗による消耗が避けられないため、部品交換に対応できるように着脱可能となっている。これらのシール材を交換する際には、シリンダ室４５に圧縮空気を導入して封止体７を締結面３Ａ側へ移動させ、取り出し口１２（図１参照）からアクセスする。
【００２３】
（スライドバルブの完全閉鎖状態）
図５は、スライドバルブ１の完全閉鎖状態における図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図、すなわち仮閉鎖状態を示す図３から封止体７の位置が変更された図である。
コントローラ１２００は、スライドプレート８が全閉（θ＝０）の際にソレノイドバルブ１０００の第２ソレノイド１００５に電圧を印加する。前述のように、第１ソレノイド１００４に電圧が印加されていない状態で第２ソレノイド１００５に電圧が印加されると、ソレノイドバルブ１０００の排気ポート１００１とバルブ側ポート１００３とが接続され、カプラ９を経由して筐体基部４から圧縮空気が排出される。そのため、図５に示すように、封止体７は、圧縮ばね５０の力を受けて締結面６側にスライド移動して、シールリング７２０のシール材７２３を介して、スライドプレート８に当接する。これによって、スライドバルブ１を通過する気体（図３で示す気体Ｇ）を遮断、すなわち、スライドバルブ１を完全閉鎖状態にすることができる。このとき、シール材７２３は当接可能な最大の面積でスライドプレート８に当接する。換言すれば、シール材７２３は偏りなく広い面積でスライドプレート８に接し、凹部７２８Ａに安定して留まる。
【００２４】
上述した実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）スライドバルブ１は、対向する一対の開口部３１、４１が形成された筐体２と、一対の開口部３１、４１の間に挿脱されるスライドプレート８と、筐体内を一対の開口部３１、４１の対向方向、すなわち図３の上下方向にスライド移動し、一対の開口部３１、４１の間に挿入されたスライドプレート８に当接してバルブ閉状態とする環状の封止体７とを備える。スライドバルブ１はさらに、封止体７をバルブ閉状態に付勢する圧縮ばね５０と、封止体７をバルブ開状態に付勢する圧縮空気が導入されるシリンダ室４５と、シリンダ室４５に接続され、シリンダ室４５の接続先を圧縮空気の供給源に接続されるタンク側ポート１００２および排気ポート１００１のいずれかに切替える切換流路１００６とを備える。スライドバルブ１はさらに、コントローラ１２００の弁体解放指令に応じて切換流路１００６をシリンダ室４５とタンク側ポート１００２が接続されるように切替える第１ソレノイド１００４と、コントローラ１２００の弁体固定指令に応じて、切換流路１００６をシリンダ室４５と排気ポート１００１が接続されるように切替える第２ソレノイド１００５と、を備える。
【００２５】
スライドバルブ１をこのように構成したので、ソレノイドバルブ１０００への給電が停止してもソレノイドバルブ１０００が動作せず、スライドバルブ１への圧縮空気の供給状態が維持されるため、封止体７を一定の位置に保つことができる。たとえば、封止体７のシール材７２３やシールリング７２０などの部品を交換するために、スライドバルブ１に圧縮空気を供給している際にソレノイドバルブ１０００への給電が停止しても問題が生じない。すなわち、ソレノイドバルブ１０００への給電が停止しても、封止体７の位置が変化しないため部品交換作業に支障がない。たとえば、部品交換作業中に、封止体７が移動することにより指が挟まれる恐れがない。
【００２６】
仮にソレノイドバルブ１０００が１つのソレノイドとバネから構成され、ソレノイドへの電圧の印加によりスライドバルブ１へ圧縮空気を供給する導入状態へ移行する構成を有する場合には、以下の問題が生じうる。すなわち、ソレノイドに電圧を印加している際に電力供給が停止されると、コントローラ１２００からの動作指令が出力されていないが、バネの弾性力によりソレノイドバルブ１０００が排気状態へと移行する。そのため、スライドバルブ１から圧縮空気が排出され、圧縮ばね５０の弾性力により封止体７が移動する。この際に部品の交換作業等を行っていると、封止体７が移動することにより指が挟まれる恐れがある。
【００２７】
（２）実施形態によるスライドバルブ１は、第１ソレノイド１００４に電圧が印加され、第２ソレノイド１００５に電圧が印加されないとき、シリンダ４５と圧縮空気の供給源が接続されるように切換流路１００６が切替えられ、第２ソレノイド１００５に電圧が印加され、第１ソレノイド１００４に電圧が印加されないとき、シリンダ４５と排気口１００１が接続されるように切換流路１００６が切替えられ、第１ソレノイド１００４および第２ソレノイド１００５に電圧が印加されないとき、切換流路の状態が変化しない。
【００２８】
（３）スライドバルブ１は、圧縮空気の供給源から切換流路１００６へ圧縮空気を導く管路中に、切換流路１００６から圧縮空気の供給源への流れを阻止する逆止弁１１００を備える。
そのため、何らかの不具合によりコンプレッサー１３００が動作を停止した場合や、タンク１４００に破損があった場合でも、封止体７を一定の位置に保つことができる。なぜならば、タンク側ポート１００２とバルブ側ポート１００３が接続される導入状態において、タンク側ポート１００２よりもシリンダ室４５の圧力が高くなっても逆止弁１１００の働きによりタンク１４００へ空気が逆流しないからである。さらに、圧縮空気の供給停止とソレノイドバルブ１０００への給電停止が同時に発生しても、前述のとおりソレノイドバルブ１０００の状態が変化しないので、封止体７を一定の位置に保つことができる。
【００２９】
（４）スライドプレート８は、封止体７がスライド移動する方向（図３の図示上下方向）と交差する方向（図３の図示左右方向）、換言すると封止体７のスライド移動方向と平行ではない方向に移動する。封止体７は、着脱可能なシール材７１１、７１２、７２１、７２２、７２３を備える。
封止体７は、一対の開口部３１、４１の対向方向にスライド移動してスライドプレート８の押圧、押圧解除を制御する。封止体７によるスライドプレート８の押圧を解除してスライドプレート８を移動する。これにより、スライドプレート８が開口部３１、４１を覆う面積を変化する。しかる後、封止体７によりスライドプレート８を押圧してその位置を固定する。スライドバルブ１を通過する気体流量を調整できる。シール材７１１、７１２、７２１、７２２、７２３が着脱可能なので、交換が容易である。
さらに、スライドプレート８が全閉状態ではない状況でソレノイドバルブ１０００への給電が停止されても、封止体７を一定の位置に保つことができるため、以下の問題が生じない。すなわち、スライドプレート８が全閉（θ＝０）ではない状況で封止体７がスライドプレート８に当接し、シール材の損傷やシール材の凹部からの脱落などの問題が生じない。
【００３０】
仮にスライドプレート８が全閉（θ＝０）ではない状態において、封止体７が圧縮ばね５０から付勢されて締結面６側にスライド移動すると、図６のような状態が起こりえる。図６は、スライドプレート８が全閉ではない状態で封止体７がスライドプレート８に当接する状況の一例を示す図である。図６では、スライドプレート８の端部にシール材７２３が当接し、シール材７２３が変形している。筐体基部４の内周面４３の端部にシール材７１１が当接し、シール材７１１が変形している。このような場合には、シール材７１１、７２３の変形・破損、さらには着脱可能なシール材７１１、７２３が凹部７１５Ａ、７２８Ａから脱落する恐れがある。シール材が変形・破損すると密閉が不十分となり、スライドバルブ１を通過する流体を遮断できなくなる。また、シール材が脱落すると、遮断ができないだけでなく、その後の動作によりスライドバルブ１を破損する恐れがある。
なお、図６に示す例ではシール材７１１およびシール材７２３に問題が生じているが、他のシール材、すなわちシール材７１２、７２１、７２２にも同様の問題が生じうる。
【００３１】
上述した実施の形態は、以下のように変形してもよい。
（１）ソレノイドバルブ１０００は、導入状態と排気状態をとりうる、いわゆる２ポジションのソレノイドバルブであったが、給電の停止により導入状態と排気状態が切り替わらなければ、３以上の状態をとりうるソレノイドバルブでもよい。
【００３２】
上記では、実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００３３】
１  …  スライドバルブ
７  …  封止体
８  …  スライドプレート
４５  …  シリンダ室
７１０  …  ピストン部
７１１、７１２、７２１〜７２３  …  シール材
７２０  …  シールリング
１０００  …  ソレノイドバルブ
１００１  …  排気ポート
１００２  …  タンク側ポート
１００３  …  バルブ側ポート
１００４  …  第１ソレノイド
１００５  …  第２ソレノイド
１００６  …  切換流路
１１００  …  逆止弁
１２００  …  コントローラ
１４００  …  タンク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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