(57)【要約】【課題】応答性及び耐熱衝撃性に優れた温度センサを提供すること。【解決手段】温度センサ１では、金属チューブ９は、先端側の小径部４１と、小径部４１より大径の後端側の大径部４３と、小径部４１と大径部４３とを接続する中間部４５と、を有する。また、小径部４１の内部に抵抗体素子２が配置されている。さらに、金属チューブ９内には、少なくとも抵抗体素子２から先端側の部分に、電気絶縁性を有し抵抗体素子２に接合するセメント４７が充填されており、このセメント４７によって抵抗体素子２が固定されている。しかも、この温度センサ１では、小径部４１の内径はシース管５の外径より小であり、小径部４１の内部の先端から抵抗体素子２の先端までの距離（Ｘ）は、小径部４１の内部の先端からシース管の先端までの距離（Ｙ）の１９．５％以上である。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度によって電気的特性が変化する感温部と、該感温部に接続された電極線と、を有する感温素子と、
シース管と、該シース管内に充填された電気絶縁性を有する絶縁材と、該絶縁材を貫いて配置されると共に先端側が前記電極線に接続された芯線と、を有するシース部材と、
前記先端側が閉塞されると共に、内部に前記感温素子と前記シース部材の少なくとも先端側とが収容された金属チューブと、
を備え、
前記金属チューブは、前記先端側の小径部と、該小径部より大径の後端側の大径部と、前記小径部と前記大径部とを接続する中間部と、を有すると共に、前記小径部の内部に前記感温素子が配置されており、
且つ、前記金属チューブ内には、少なくとも前記感温素子から先端側の部分に、電気絶縁性を有し前記感温素子に接合する充填材が充填されており、該充填材によって前記感温素子が固定されている温度センサにおいて、
前記小径部の内径は前記シース管の外径より小であり、
前記小径部の内部の先端から前記感温素子の先端までの距離（Ｘ）は、前記小径部の内部の先端から前記シース管の先端までの距離（Ｙ）の１９．５％以上であることを特徴とする温度センサ。
【請求項２】
前記距離（Ｘ）は、前記距離（Ｙ）の５０％以上であることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
【請求項３】
前記金属チューブ及び前記芯線の少なくとも一方が、ニッケル基合金からなることを特徴とする請求項１又は２に記載の温度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばサーミスタ素子や測温抵抗体素子等の感温素子を金属チューブ内に収容した温度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば自動車の排ガスの温度等を測定する温度センサとして、金属チューブ内に、サーミスタ素子等の感温素子と、感温素子から延びる一対の電極線と、一対の電極線に接合された一対の芯線を含むシース部材とを収容した温度センサが知られている。なお、シース部材とは、シース管内に絶縁材料が充填されるとともに、絶縁材料に芯線が貫挿された長尺の部材である。
【０００３】
この種の温度センサでは、感温素子や電極線や芯線等を、振動等で破損しないように、セメントにて固定している（特許文献１参照）。
また、感温素子の先端側から金属チューブの内部の先端にまでセメントが充填されている温度センサでは、感温素子の先端側から金属チューブの内部の先端までの距離が小さいほど熱の伝達性が高いので、応答性が良好であることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３９７５０２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来技術では必ずしも十分ではなく、一層の改善が望まれている。
具体的には、感温素子の先端側から金属チューブの内部の先端までの距離が小さいほど応答性は良好であるが、耐熱衝撃性（ロバスト性）が低下するという問題があった。
【０００６】
例えば、温度センサが、温度変化が大きな環境で使用される場合に、金属チューブや電極線や芯線が温度によって長さが大きく変化すると、それによって発生した熱応力によって、例えば電極線と芯線との接合部分等に断線が生じる恐れがある。
【０００７】
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、その目的は、応答性及び耐熱衝撃性に優れた温度センサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明の第１局面（温度センサ）は、温度によって電気的特性が変化する感温部と、感温部に接続された電極線と、を有する感温素子と、シース管と、シース管内に充填された電気絶縁性を有する絶縁材と、絶縁材を貫いて配置されると共に先端側が電極線に接続された芯線と、を有するシース部材と、先端側が閉塞されると共に、内部に感温素子とシース部材の少なくとも先端側とが収容された金属チューブと、を備えている。
【０００９】
さらに、この金属チューブは、先端側の小径部と、小径部より大径の後端側の大径部と、小径部と大径部とを接続する中間部と、を有すると共に、小径部の内部に感温素子が配置されており、且つ、金属チューブ内には、少なくとも感温素子から先端側の部分に、電気絶縁性を有し感温素子に接合する充填材が充填されており、この充填材によって感温素子が固定されている。
【００１０】
しかも、この温度センサでは、小径部の内径はシース管の外径より小であり、小径部の内部の先端から感温素子の先端までの距離（Ｘ）は、小径部の内部の先端からシース管の先端までの距離（Ｙ）の１９．５％以上である。
【００１１】
このように、本第１局面では、小径部の内径はシース管の外径より小であり、小径部の内部の先端から感温素子の先端までの距離（Ｘ）は、小径部の内部の先端からシース管の先端までの距離（Ｙ）の１９．５％以上であるので、後述する実験例からも明らかなように、高い応答性と優れた耐熱衝撃性とを両立できる。
【００１２】
つまり、金属チューブの先端側の径が後端側より小さい場合には、そうでない場合に比べて、応答性に優れている。しかも、前記距離（Ｘ）の前記距離（Ｙ）に対する比（Ｘ／Ｙ）が１９．５％以上と大きな場合には、先端側から温度変化が伝わるようなときでも、それによって、先端側から感温素子（従って電極線や芯線）に加わる熱応力は、前記比率でない場合に比べて、それほど大きくはない。
【００１３】
そのため、断線等が生じにくく、耐熱衝撃性に優れている。従って、高い応答性と優れた耐熱衝撃性とを両立できるという顕著な効果を奏する。
（２）本発明の第２局面では、距離（Ｘ）は、距離（Ｙ）の５０％以上である。
【００１４】
本第２局面では、距離（Ｘ）は、距離（Ｙ）の５０％以上であるので、後述する実験例からも明らかなように、高い応答性とより優れた耐熱衝撃性とを両立できる。
（３）本発明の第３局面では、金属チューブ及び芯線の少なくとも一方が、ニッケル基合金からなる。
【００１５】
本第３局面では、金属チューブ及び芯線の少なくとも一方が、高温に対する高い強度を有するニッケル基合金からなるので、耐熱衝撃性がより一層優れている。
＜以下に、本発明の構成について説明する＞
・感温部としては、例えばサーミスタ、白金抵抗体等の測温抵抗体等が挙げられる。従って感温素子としては、サーミスタ素子、測温抵抗体素子等が挙げられる。
【００１６】
・電極線としては、例えばＰｔ又はＰｔ−Ｒｈ合金、Ｐｔ−Ｉｒ合金、Ｐｔ又はＰｔ合金にアルカリ土類金属元素（例えばＳｒ）を微量添加した線材が挙げられる。
・シース管とは、金属製の筒状部材であり、その材料としては、例えばステンレスが挙げられる。
【００１７】
・絶縁材の材料としては、例えばシリカが挙げられる。
・芯線の材料（導電材料）としては、例えばステンレス又はニッケル基合金（例えばインコネル（登録商標））が挙げられる。なお、ニッケル基合金とは、ニッケルを主体（含有量が最も多い成分）とする合金である。
【００１８】
・金属チューブは筒状の金属単体又は合金からなる部材であり、その材料としては、例えばステンレスやニッケル基合金（例えばインコネル（登録商標）が挙げられる。
・充填材の材料としては、例えばセメントが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態の温度センサを軸線方向に破断して示す断面図である。
【図２】温度センサの先端側を、芯線の配置された平面と垂直な平面に沿って軸線方向に破断し、拡大して示す断面図である。
【図３】温度センサの製造工程を説明する説明図である。
【図４】第２実施形態の温度センサを軸線方向に破断して示す断面図である。
【図５】温度センサの先端側を、芯線の配置された平面と垂直な平面に沿って軸線方向に破断し、拡大して示す断面図である。
【図６】実験結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明が適用された温度センサの実施形態について、図面を用いて説明する。
［１．第１実施形態］
［１−１．温度センサの全体構成］
図１に示すように、第１実施形態の温度センサ１は、感温素子である抵抗体素子２と、一対の金属製の芯線３をシース管５の内側にて絶縁保持したシース部材７と、先端側が閉塞し軸線Ｏ方向（軸方向）に延びる筒状の金属チューブ９と、金属チューブ９を支持する取付部材１１と、六角ナット部１３及びネジ部１５を有するナット部材１７と、取付部材１１の後端側に内嵌する外筒１９とを備えている。
【００２１】
なお、軸線Ｏ方向とは、温度センサ１の長手方向（軸線Ｏの延びる方向）であり、図１においては上下方向に相当する。また、温度センサ１における先端側は図１における下側であり、後端側は図１における上側である（以下同様）。
【００２２】
この温度センサ１は、金属チューブ９の先端側の内部に、温度を測定するために前記抵抗体素子２を収納したセンサである。また、この温度センサ１は、例えば内燃機関の排気管などの流通管に装着され、温度センサ１の先端側が、測定対象ガス（排ガス）が流れる流通管内に配置されることにより、測定対象ガスの温度を検出する。
【００２３】
以下、各構成について詳細に説明する。
図２に拡大して示す様に、シース部材７は、円筒形状の金属製（例えばステンレス合金製）のシース管５と、導電性金属（例えばステンレス合金）からなる一対の芯線３と、シース管５と２本の芯線３との間を電気的に絶縁して芯線３を保持するシリカ等の（絶縁粉末である）絶縁材２３とから構成される。
【００２４】
一対の芯線３は、その先端側が、例えばレーザ溶接によって抵抗体素子２の一対の電極線２５と、それぞれ接続されている。また、その後端側が、例えば抵抗溶接によって一対の加締め端子２７（図１参照）と、それぞれ接続されている。
【００２５】
なお、芯線３としては、ステンレス合金（例えばＳＵＳ３１０Ｓ）以外に、例えばインコロイ（登録商標）等のニッケル基合金を用いてもよい。
図１に戻り、前記芯線３は、自身の後端側が加締め端子２７を介して外部回路（例えば、車両の電子制御装置（ＥＣＵ）等）接続用のリード線２９と接続されている。
【００２６】
なお、一対の芯線３および一対の加締め端子２７は、絶縁チューブ３１により互いに絶縁され、リード線２９は、導線を絶縁性の被覆材にて被覆され耐熱ゴム製の補助リング３３の内部を貫通する状態で配置される。
【００２７】
取付部材１１は、径方向外側に突出する円筒状の突出部３５と、突出部３５から後端側に延びる円筒状の後端側鞘部３７とを有している。後端側鞘部３７は、後端側に延びる円筒状のスリーブ３９を有しており、このスリーブ３９に金属チューブ９が接合されている。つまり、この取付部材１１は、金属チューブ９の後端側の外周面を取り囲んで金属チューブ９を支持する。
【００２８】
金属チューブ９は、耐腐食性金属として、例えば耐熱性金属でもあるＳＵＳ３１０Ｓなどのステンレス合金などからなる。なお、インコロイ（登録商標）等のニッケル基合金を用いてもよい。この金属チューブ９は、鋼板の深絞り加工によりチューブ先端側が閉塞した軸線Ｏ方向に延びる筒状をなし、筒状のチューブ後端側が開放した形態である。
【００２９】
［１−２．温度センサの先端側の構成］
前記図２に示すように、金属チューブ９は、径（即ち内径及び外径）が小さく設定された先端側の小径部４１と、径が小径部４１よりも大きく設定された後端側の大径部４３と、小径部４１と大径部４３との間の中間部４５とを備えている。
【００３０】
また、小径部４１の内径（例えばφ２．０ｍｍ）は、シース管５の外径（例えばφ２．５ｍｍ）より小である。
なお、小径部４１は先端側が閉塞された円筒形状であり、中間部４５は円錐台形状であり、大径部４３は円筒形状であり、それぞれ軸線Ｏに対して同軸となっている。
【００３１】
また、金属チューブ９の内部に、抵抗体素子２およびセメント４７が収納されており、セメント４７は、抵抗体素子２の周囲に充填されることで、抵抗体素子２の揺動を防止している。なお、セメント４７は、非晶質のシリカにアルミナ骨材を含有した絶縁材よりなる。
【００３２】
特に本実施形態では、セメント４７は、小径部４１の内部の先端から、抵抗体素子２に接するように充填されるとともに、さらに、電極線２５と芯線３との溶接部２６を超え、シース部材７のシース管５及び絶縁材２３の手前（即ちシース端面７ａの手前）まで充填されている。
【００３３】
そして、小径部４１の内部の先端から抵抗体素子２（詳しくは抵抗検出部５１）の先端までの距離（Ｘ）は、小径部４１の内部の先端からシース管５の先端までの距離（Ｙ）の１９．５％以上（好ましくは５０％以上）となるように構成されている。
【００３４】
例えば、距離（Ｘ）が１．１ｍｍ、距離（Ｙ）が９．８ｍｍである場合には、ＸとＹとの比（Ｘ／Ｙ）は、１１％である。
上述した抵抗体素子２は、温度に応じて変化する電気的特性（即ち電気抵抗値）を検出する部分である抵抗検出部５１と、抵抗検出部５１に接続された一対の電極線２５とを備えている。
【００３５】
抵抗検出部５１は、セラミック基体５３と、金属抵抗体５５と、接合層５７と、セラミック被覆層５９と、電極パッド６１とを有する。
セラミック基体５３は、アルミナからなり、セラミックグリーンシートを予め焼成してなる焼成済みシートである。
【００３６】
金属抵抗体５５は、白金（Ｐｔ）を主体に構成され、温度に応じて電気的特性（即ち電気抵抗値）が変化する測温抵抗体である。金属抵抗体５５は、セラミック基体５３の表面に所定のパターン形状で形成されている。
【００３７】
セラミック被覆層５９は、アルミナからなり、セラミックグリーンシートを予め焼成してなる焼成済みシートである。セラミック被覆層５９は、金属抵抗体５５のうち、セラミック基体５３と接する面とは反対側の面において、金属抵抗体５５の先端側を被覆している。
【００３８】
接合層５９は、アルミナからなる。接合層５９は、接合前はアルミナ粉末を含むペーストであり、焼成済みのセラミック基体５３とセラミック被覆層５９とを上記ペーストで貼り合わせた後、熱処理されることで、最終的に接合層５９となる。
【００３９】
金属抵抗体５５のうち後端側（図２の右側）は、セラミック被覆層５９によって被覆される導体パターンより幅広に形成された一対の電極パッド６１を介して、一対の電極線２５がそれぞれ電気的に接続される。
【００４０】
一対の電極パッド６１と一対の電極線２５とは、抵抗溶接、レーザ溶接等の溶接により、溶接点６３において接合されている。
一対の電極パッド６１と一対の電極線２５との接合部分は、被覆部材６５によって被覆されている。被覆部材６５は、アルミノケイ酸塩ガラスを主体とするガラス材料により構成されている。
【００４１】
一対の電極線２５は、金属抵抗体５５の後端側から、シース部材７側（後端側）に向かって延びるように配置されている。
そして、一対の電極線２５の後端と一対の芯線３の先端とは、レーザ溶接により接合されている。
【００４２】
［１−３．温度センサの製造方法］
次に、温度センサ１の製造方法について説明する。
本第１実施形態の温度センサ１を製造するには、金属チューブ９、取付部材１１、抵抗体素子２等の部品を公知の手法により準備する。
【００４３】
＜シース部材の製造工程＞
シース部材７については、下記の方法により製造する。
まず、従来と同様に、シース管５内に、絶縁材２３を配置するとともに、絶縁材２３を貫通するように芯線３を配置する。そして、このシース管５を圧延することにより、シース部材７を作製する。
【００４４】
その後、抵抗体素子２の一対の電極線２５の後端を、各々一対の芯線３の先端に当接させて配置し、例えばレーザ溶接により接合する。
＜組み付け工程＞
レーザ溶接後の製造工程は従来と同様であるので簡単に説明する。
【００４５】
例えば前記図１に示す様に、取付部材１１の内部に金属チューブ９を圧入し、スリーブ３９に対して溶接作業を行うことで、金属チューブ９と取付部材１１とを一体化する。
続いて、抵抗体素子２が溶接されたシース部材７と取付部材１１が溶接された金属チューブ９とからなる先端部品７１（図３参照）を組み立てる。
【００４６】
この作業については、図３を用いて説明する。
先端部品７１を製造するにあたっては、まず、取付部材１１が溶接された金属チューブ９の先端部分の中にノズル７３を挿入し、スラリー状（ペースト状）のセメント４７を注入する。なお、この段階では、金属チューブ９に抵抗体素子２等は挿入されていない。
【００４７】
次に、抵抗体素子２が溶接されたシース部材７を、セメント４７が注入された金属チューブ９の内部に挿入する。このとき、小径部４１の内部に、セメント４７が充填される。
そして、シース部材７を金属チューブ９の内部に挿入した状態で、金属チューブ９に径方向外側から金型７５を対向させた状態で押し当てる長孔加締を行う。この長孔加締により、金属チューブ９とシース部材７とは完全に位置決め固定される。
【００４８】
このようにして、先端部品７１ができあがる。
＜遠心脱泡処理＞
そして、この先端部品７１に対して、周知の遠心脱泡処理を実施する。
【００４９】
この処理により、スラリー状のセメント４７中の固体成分が、小径部４１側に移動するので、金属チューブ９の先端側に、セメント４７の固体成分が十分に充填される。即ち、セメント４７は、小径部４１の先端からシース端面７ａの手前まで隙間なく充填される。また、水分や気泡は、大径部４３側に移動する。
【００５０】
そして、遠心脱泡処理が終了すると、この先端部品７１を熱処理し、セメント４７を乾燥（硬化）させる。
このようにして、熱処理後の先端部品７１が得られる。
【００５１】
なお、先端部品７１とその他の部品との組み付け工程は、従来と同様であるので、その説明は省略する。
［１−４．効果］
本第１実施形態の温度センサ１では、金属チューブ９は、先端側の小径部４１と、小径部４１より大径の後端側の大径部４３と、小径部４１と大径部４３とを接続する中間部４５とを有する。また、小径部４１の内部に抵抗体素子２が配置されている。さらに、金属チューブ９内には、少なくとも抵抗体素子２から先端側の部分に、電気絶縁性を有し抵抗体素子２に接合するセメント４７が充填されており、このセメント４７によって抵抗体素子２が固定されている。
【００５２】
しかも、この温度センサ１では、小径部４１の内径はシース管５の外径より小であり、小径部４１の内部の先端から抵抗体素子２の先端までの距離（Ｘ）は、小径部４１の内部の先端からシース管５の先端までの距離（Ｙ）の１９．５％以上である。
【００５３】
つまり、本第１実施形態の温度センサ１では、先端側が後端側より細いので、高い応答性を有している。また、距離（Ｘ）と距離（Ｙ）との比（Ｘ／Ｙ）が１９．５％以上（好ましくは５０％以上）と適切な値に設定されているので、後述する実験例からも明らかなように、優れた耐熱衝撃性（ロバスト性）を有している。
【００５４】
従って、本第１実施形態の温度センサ１では、高い応答性と優れた耐熱衝撃性とを両立できるという顕著な効果を奏する。
なお、金属チューブ９及び芯線３が、ニッケル基合金である例えばインコネル（登録商標）からなる場合には、一層、耐熱衝撃性に優れている。
【００５５】
また、小径部４１の内部の先端からシース管５の先端までの距離（Ｙ）が長いものに比べ、短いもののほうが、先端側から感温素子である抵抗体素子２（従って電極線２５や芯線３）に加わる熱応力が大きい。そのため、例えば、距離（Ｙ）が１５ｍｍ以下のものにおいて、本発明はさらに効果的である。
【００５６】
［１−５．特許請求の範囲との対応関係］
ここで、特許請求の範囲と第１実施形態とにおける文言の対応関係について説明する。
第１実施形態の、温度センサ１、抵抗体素子２、芯線３、シース管５、シース部材７、金属チューブ９、絶縁材２３、電極線２５、小径部４１、大径部４３、中間部４５、セメント４７、抵抗検出部５１が、それぞれ、本発明の、温度センサ、抵抗体素子、芯線、シース管、シース部材、金属チューブ、絶縁材、電極線、小径部、大径部、中間部、充填材、感温部の一例に該当する。
【００５７】
［２．第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明するが、前記第１実施形態と同様な構成については、その説明は省略する。
【００５８】
なお、第２実施形態は、第１実施形態とは感温素子の種類が異なる。
［２−１．温度センサの全体構成］
図４に示すように、第２実施形態の温度センサ８１は、温度を測定する感温素子であるサーミスタ素子８２と、一対の金属製の芯線８３をシース管８５の内側にて絶縁保持したシース部材８７と、先端側が閉塞し軸線Ｏ方向に延びる筒状の金属チューブ８９と、金属チューブ８９を支持する取付部材９１と、六角ナット部９３及びネジ部９５を有するナット部材９７と、取付部材９１の後端側に内嵌する外筒９９等とを備えている。
【００５９】
なお、サーミスタ素子８２以外は、第１実施形態と同様な構成であるので、その説明は省略する。
［２−２．サーミスタ素子］
図５に示すように、サーミスタ素子８２は、温度によって電気的特性（電気抵抗値）が変化するサーミスタ焼結体（感温部）１０１と、このサーミスタ焼結体１０１の電気的特性の変化を取り出すための一対の電極線１０３とから構成される。
【００６０】
サーミスタ焼結体１０１は、六角柱形状のセラミック焼結体であり、例えば、（Ｓｒ、Ｙ）（Ａｌ、Ｍｎ、Ｆｅ）Ｏ３をベース組成としたペロブスカイト型酸化物で形成されている。電極線２５は、例えば白金（Ｐｔ）から構成されている。
【００６１】
一対の電極線１０３は、サーミスタ焼結体１０１の後端側から、シース部材８７側（後端側）に向かって延びるように配置されている。
そして、一対の電極線１０３の後端と一対の芯線８３の先端とは、レーザ溶接により接合されている。
【００６２】
本第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、シース管８５は、小径部１２５、中間部１２７、大径部１２９を備えている。
セメント１３１は、小径部１２５の内部の先端から、サーミスタ素子８２に到るように充填されるとともに、さらに、電極線１０３と芯線８３との溶接部１０４を超え、シースシース端面８７ａの手前まで充填されている。
【００６３】
そして、小径部１２５の内部の先端からサーミスタ素子８２（詳しくはサーミスタ焼結体１０１）の先端までの距離（Ｘ）は、小径部１２５の内部の先端からシース管８５の先端までの距離（Ｙ）の１９．５％以上（好ましくは５０％以上）となるように構成されている。
【００６４】
例えば、距離（Ｘ）が１．５ｍｍ、距離（Ｙ）が８．６ｍｍである場合には、ＸとＹとの比（Ｘ／Ｙ）は、１７％である。
上述した第２実施形態の構成によって、前記第１実施形態と同様な効果を奏する。
【００６５】
［３．実験例］
次に、本発明の効果を確認するために行った実験例について説明する。
実験に用いる試料として、前記第１実施形態と同様な構成の温度センサについて、（Ｘ／Ｙ）の比率を違えて、試料No.１〜４の４種の温度センサを、それぞれ５個製造した。なお、試料No.１が基準となる比較例であり、試料No.２〜４が、本発明の範囲の実施例である。
【００６６】
なお、この比率以外の構成は、第１実施形態と同様である。なお、金属チューブと芯線の材質は、ＳＵＳ３１０ｓである。
そして、各試料の温度センサに対して、室温（２５℃）〜８００℃の温度を周期的に変化させる加熱サイクル試験を実施し、断線するまでのサイクル数（断線サイクル数）を調査した。
【００６７】
その結果を、図６に示す。なお、図６では、横軸に、Ｘ／Ｙの比率を示し、縦軸に、試料No.１の耐熱衝撃性（ロバスト性）に対する他の試料のロバスト性の比率を示してある。なお、この比率とは、各試料の断線サイクル数の平均値を試料No.１の断線サイクル数で規格化した数値である。
【００６８】
この図６から明らかなように、本発明の試料No.２〜４は、Ｘ／Ｙが１９．８％以上であるので、比較例の試料No.１に比べて、ロバスト性が約３倍以上と大きいので好適である。なお、比較例の試料No.１の断線サイクル数は９２３２ｃｙｃである。
【００６９】
特に、Ｘ／Ｙが５０％では、ロバスト性は約１３倍と非常に大きいので一層好適である。
［４．他の実施形態］
本発明は前記実施形態になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００７０】
（１）例えば、感温素子、絶縁材、充填材等については、上述した実施形態に限定されるものではない。
（２）また、距離（Ｘ）と距離（Ｙ）との比は、本発明の範囲である限り、前記実施形態に限定されるものではない。
【００７１】
（３）さらに、温度センサの製造方法は、前記実施形態に限定されるものではない。
（４）また、温度センサによって測定される対象は、ガスや液体等の流体が挙げられる。
【００７２】
（５）上述した実施形態等の構成要素を適宜組み合わせることも可能である。
【符号の説明】
【００７３】
１、８１…温度センサ
２…抵抗体素子
３、８３…芯線
５、８５…シース管
７、８７…シース部材
９、８９…金属チューブ
２５、１０３…電極線
４１、１２５…小径部
４３、１２９…大径部
４５、１２７…中間部
４７、１３１…セメント
４９…サーミスタ焼結体
５１…抵抗検出部
８２…サーミスタ素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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