(57)【要約】【課題】板状ワークを傷つけることなくカセットから搬出する。【解決手段】カセット５０に棚状に保持された一の板状ワークＷを仮置きテーブル５９の載置面５９１と同じ高さに位置づけ、アーム部材７１３がカセット５０内に第２の開口５２から進入し、アーム部材７１３の先端の押し部７１１が板状ワ一クＷの外周縁Ｗａを押すことにより、板状ワ一クＷは第１の開口５１から仮置きテーブル５９上へ押し出される。アーム部材７１３は、板状ワ一クＷが仮置きテーブル５９の第２の磁着部５９３に当接する位置まで移動する。これにより、板状ワークＷが仮置きテーブル５９に載置される。板状ワークＷを把持せずに仮置きテーブル５９に移動させることができるので、板状ワークＷの外周縁に不要部分がない場合であっても、板状ワークＷを傷つけることなくカセット５０から搬出できる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
棚状に複数の板状ワークを収納したカセットが載置されるカセットステージと、板状ワークを保持する保持テーブルと、該カセット内に収納された板状ワークを該保持テーブルに搬入する搬入手段と、該保持テーブルが保持した板状ワークを加工する加工手段と、を備える加工装置であって、
該加工装置は、該カセットステージを昇降させるカセットエレベータと、該カセットステージに隣接して配設される仮置きテーブルと、を備え、
該カセットは、板状ワークを棚状に支持する支持棚を対面させた側壁と、該側壁の上端を連結する天板と、該側壁の下端を連結する底板と、該支持棚に支持された板状ワークを搬出するための前方の第１の開口と、該支持棚に支持された板状ワークに後方からアクセス可能とする第２の開口と、を備え、
該搬入手段は、該カセットステージに載置された該カセットに収納された板状ワークを該仮置きテーブルに搬入する第１の搬入手段と、該仮置きテーブルに仮置きされた板状ワ一クを該保持テーブルに搬入する第２の搬入手段と、を備え、
該第１の搬入手段は、該カセットエレベータが該カセットステージを昇降させることにより該仮置きテーブルと同じ高さに位置する板状ワークに対し、該カセットの該第２の開口から進入し板状ワ一クの外周縁を押す押し部と、該押し部を該第２の開口から該第１の開口に向かって移動させる第１の移動手段と、を備え、
該第２の搬入手段は、該仮置きテーブルに仮置きされた板状ワークを吸引保持する保持部と、該保持部を該仮置きテーブルから該保持テーブルに移動させる第２の移動手段と、を備えた加工装置。
【請求項２】
前記加工手段は、円板状の切削ブレードを回転可能に装着した切削手段であり、
前記板状ワークは、該切削ブレードによって切削される分割予定ラインにより上面が区画されるとともに下面に保護テープが貼着されており、
前記保持テーブルは、前記保護テープを介して板状ワークを吸引保持し、
該切削ブレードの先端を該保持テープまで切り込ませることにより分割された板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出手段と、該搬出手段が搬出した板状ワークを受け取る受け取り手段と、を備え、
該搬出手段は、該切削ブレードの先端を該保護テープにまで切り込ませ分割した板状ワークを、ベルヌーイ効果を利用して吸引保持する吸引保持部と、該吸引保持部を該保持テーブルから該受け取り手段へ移動させる第３の移動手段と、を備える請求項１記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセットから板状ワークを搬出して加工する加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
切削装置、研削装置等の加工装置においては、被加工物である板状ワークがカセットに棚状に収容されており、カセットから板状ワークを1枚ずつ搬出して保持テーブルに搬送し、保持テーブルにおいて保持された板状ワークを加工している。
【０００３】
カセットから板状ワークを搬出するときは、カセットの開口から板状ワークを把持する把持部を進入させ、板状ワークの外周縁の不要部分を把持して把持部をカセットから退避させている（例えば、特許文献１参照）。ここで、不要部分とは、例えば板状ワークが半導体ウェーハである場合は、デバイスが形成されていない部分であり、把持によって傷をつけてもデバイスの品質には影響しない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−７５５００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、板状ワークの外周縁に不要部分がない場合は、把持できる部分がないため、板状ワークに傷をつけずにカセットから搬出することが困難である。
【０００６】
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、板状ワークの外周縁に不要部分がない場合であっても、板状ワークを傷つけることなくカセットから搬出できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明の加工装置は、棚状に複数の板状ワークを収納したカセットが載置されるカセットステージと、板状ワークを保持する保持テーブルと、該カセット内に収納された板状ワークを該保持テーブルに搬入する搬入手段と、該保持テーブルが保持した板状ワークを加工する加工手段と、を備える加工装置であって、該加工装置は、該カセットステージを昇降させるカセットエレベータと、該カセットステージに隣接して配設される仮置きテーブルと、を備え、該カセットは、板状ワークを棚状に支持する支持棚を対面させた側壁と、該側壁の上端を連結する天板と、該側壁の下端を連結する底板と、該支持棚に支持された板状ワークを搬出するための前方の第１の開口と、該支持棚に支持された板状ワークに後方からアクセス可能とする第２の開口と、を備え、該搬入手段は、該カセットステージに載置された該カセットに収納された板状ワークを該仮置きテーブルに搬入する第１の搬入手段と、該仮置きテーブルに仮置きされた板状ワ一クを該保持テーブルに搬入する第２の搬入手段と、を備え、該第１の搬入手段は、該カセットエレベータが該カセットステージを昇降させることにより該仮置きテーブルと同じ高さに位置する板状ワークに対し、該カセットの該第２の開口から進入し板状ワ一クの外周縁を押す押し部と、該押し部を該第２の開口から該第１の開口に向かって移動させる第１の移動手段と、を備え、該第２の搬入手段は、該仮置きテーブルに仮置きされた板状ワークを吸引保持する保持部と、該保持部を該仮置きテーブルから該保持テーブルに移動させる第２の移動手段と、を備える。
【０００８】
本発明の加工装置では、前記加工手段は、円板状の切削ブレードを回転可能に装着した切削手段であり、前記板状ワークは、該切削ブレードによって切削される分割予定ラインにより上面が区画されるとともに下面に保護テープが貼着されており、
前記保持テーブルは、前記保護テープを介して板状ワークを吸引保持し、該切削ブレードの先端を該保持テープまで切り込ませることにより分割された板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出手段と、該搬出手段が搬出した板状ワークを受け取る受け取り手段と、を備え、該搬出手段は、該切削ブレードの先端を該保護テープにまで切り込ませ分割した板状ワークを、ベルヌーイ効果を利用して吸引保持する吸引保持部と、該吸引保持部を該保持テーブルから該受け取り手段へ移動させる第３の移動手段と、を備えることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る加工装置は、カセット内に収納された板状ワークを保持テーブルに搬入する搬入手段が、カセットに収納された板状ワークを仮置きテーブルに搬入する第１の搬入手段と、仮置きテーブルに仮置きされた板状ワ一クを保持テーブルに搬入する第２の搬入手段と、を備え、第１の搬入手段は、仮置きテーブルと同じ高さに位置する板状ワークに対しカセットの後方の第２の開口から進入してその外周縁を押す押し部と、押し部を第２の開口からカセットの前方の第１の開口に向かって移動させる第１の移動手段とを備え、第２の搬入手段は、仮置きテーブルに仮置きされた板状ワークを吸引保持する保持部と、保持部を仮置きテーブルから保持テーブルに移動させる第２の移動手段と、を備えるものとしたことで、板状ワークを把持することなく移動させることができるので、板状ワークの外周縁に不要部分がない場合であっても、板状ワークを傷つけることなくカセットから搬出し、仮置きテーブルを経て保持テーブルに移動させることができる。
【００１０】
また、保持テーブル上で加工された板状ワークを搬出する搬出手段が、板状ワークをベルヌーイ効果を利用して吸引保持する吸引保持部と、吸引保持部を保持テーブルから受け取り手段へ移動させる第３の移動手段と、を備えるものとしたことで、板状ワークを非接触で保持し移動させることができるので、板状ワークの外周縁に不要部分がない場合であっても、加工後の板状ワークを傷つけることなく搬出できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】加工装置の一例を示す斜視図である。
【図２】加工装置が備えるカセット、カセットステージ、カセットエレベータ、搬入手段、仮置きテーブル及び仮置きテーブル移動手段の斜視図である。
【図３】搬入手段の動作説明図である。
【図４】加工装置が備える保持テーブル、搬出手段及び受け取り手段の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１に示す加工装置１は、保持テーブル１０に載置した板状ワークＷを加工手段２０によって個々のデバイスに分割する分割装置である。
【００１３】
板状ワークＷの上面は、分割予定ラインにより区画されている。板状ワークＷの下面には保護テープＴが貼着されている。板状ワークＷは、磁性を示す物質を含んで形成された矩形状の板状物である。板状ワークＷを形成する磁性を示す物質はどのようなものでもよく、例として、フェライトを挙げることができる。
【００１４】
保持テーブル１０は、矩形状の載置面１１を有し、載置面１１に載置された板状ワークＷを保護テープＴを介して吸引保持する。また、加工手段２０は、割り出し送り方向（Ｙ方向）の軸周りに回転する円板状の切削ブレード２１を備えた切削手段である。
【００１５】
加工装置１の基台２のＹ方向中央部には、保持テーブル１０を加工送り方向（Ｘ方向）に移動させる加工送り手段３０が設けられている。加工送り手段３０は、加工送り方向に延びるボールネジ３１と、ボールネジ３１に対して平行に配設された一対のガイドレール３２と、ボールネジ３１を回動させるパルスモータ３３と、ボールネジ３１に螺合するナットを有しガイドレール３２に案内されて移動する可動板３４と、保持テーブル１０を可動板３４上に鉛直軸（Ｚ軸）周りに回動可能に支持する円柱状の支持部３５と、を有している。パルスモータ３３がボールネジ３１を回動させると、可動板３４がガイドレール３２に案内されて加工送り方向に移動し、可動板３４とともに保持テーブル１０が加工送り方向に移動する。また、支持部３５内の図示しない回動機構が作動することにより、保持テーブル１０が鉛直軸周りに回動する。
【００１６】
加工手段２０は、基台２上に設けられた門形のコラム３に加工手段移動機構４０を介して支持されている。コラム３は、加工送り手段３０を跨ぐようにして、基台２の−Ｘ側端近傍に設けられている。コラム３は、加工送り手段３０の両側（−Ｙ側及び＋Ｙ側）に設けられた柱部３ａ、３ｂと、両柱部３ａ、３ｂの上部に掛け渡された梁部３ｃと、を有する。
【００１７】
加工手段移動機構４０は、加工手段２０を割り出し送り方向（Ｙ方向）に移動させるＹ方向移動機構４１０と、加工手段２０を切り込み送り方向（Ｚ方向）に移動させるＺ方向移動機構４２０とを有する。
【００１８】
Ｙ方向移動機構４１０は、コラム３の梁部３ｃの前面（＋Ｘ側の面）に沿って割り出し送り方向に延びるボールネジ４１１と、ボールネジ４１１に対して平行に上下に配設された一対のガイドレール４１２と、ボールネジ４１１を回動させるパルスモータ４１３と、ボールネジ４１１に螺合するナットを有しガイドレール４１２に案内されて移動する水平移動板４１４とを有する。パルスモータ４１３がボールネジ４１１を回動させると、水平移動板４１４がガイドレール４１２に案内されて割り出し送り方向に移動する。
【００１９】
Ｚ方向移動機構４２０は、水平移動板４１４の前面（＋Ｘ側の面）に沿って上下方向に延びるボールネジ４２１と、ボールネジ４２１に対して平行に配設された一対のガイドレール４２２と、ボールネジ４２１を回動させるパルスモータ４２３と、ボールネジ４２１に螺合するナットを有しガイドレール４２２に案内されて移動する上下移動板４２４とを有する。パルスモータ４２３がボールネジ４２１を回動させることにより、上下移動板４２４がガイドレール４２２に案内されて上下方向に移動する。
【００２０】
加工手段２０は、上下移動板４２４の下端部に支持されている。加工手段２０は、水平移動板４１４と共に割り出し送り方向に移動し、上下移動板４２４と共に上下方向に移動する。
【００２１】
加工装置１の基台２の＋Ｘ側端部の前後両端部（＋Ｙ側端部及び−Ｙ側端部）には、板状ワークＷを保持テーブル１０に搬入する搬入手段７０と、加工後の板状ワークＷを保持テーブル１０から搬出する搬出手段８０とが設けられている。この例では、搬入手段７０は基台２の＋Ｙ側端部に設けられ、搬出手段８０は基台２の−Ｙ側端部に設けられている。
【００２２】
加工送り手段３０は、保持テーブル１０への板状ワークＷの搬入時及び搬出時には、保持テーブル１０を搬入手段７０と搬出手段８０との間の所定の位置に停止させ、板状ワークＷの加工時には、保持テーブル１０を加工手段２０の下方に位置づけて加工送り方向に移動させる。
【００２３】
図２に示すように、搬入手段７０の近辺には、２つのカセット５０（５０Ａ、５０Ｂと、カセット５０Ａ、５０Ｂが載置されるカセットステージ５７と、カセットステージ５７を昇降させるカセットエレベータ５８と、カセット５０Ａ、５０Ｂから搬出される板状ワークが載置される仮置きテーブル５９と、仮置きテーブル５９をＸ方向に移動させる仮置きテーブル移動手段６０と、が配設されている。
【００２４】
各カセット５０Ａ、５０Ｂは、板状ワークＷを棚状に支持する支持棚５１１、５１２を対面させた一対の側壁５１０、５２０と、両側壁５１０、５２０の上端部を連結する天板５３０と、両側壁５１０、５２０の下端を連結する底板５４０と、支持棚５１１、５１２に支持された板状ワークＷを搬出する前方（−Ｙ側）に開口した第１の開口５１と、支持棚５１１、５１２に支持された板状ワークＷに後方（＋Ｙ側）からアクセス可能とする第２の開口５２と、を有する。両カセット５０Ａ、５０Ｂは、Ｘ方向に並べてカセットステージ５７に載置されている。
【００２５】
カセットステージ５７は、Ｘ方向に長い矩形板状の部材である。カセットステージ５７は、カセットエレベータ５８によって昇降可能に支持されている。
【００２６】
カセットエレベータ５８は、上下方向に長い矩形板状の柱部材５８１と、柱部材５８１を上下に貫通して設けられたボールネジ５８２と、ボールネジ５８２を回動させるパルスモータ５８３とを有する。柱部材５８１は基台２に固定されている。パルスモータ５８３がボールネジ５８２を回動させると、柱部材５８１に沿ってカセットステージ５７が上下に移動するように構成されている。
【００２７】
仮置きテーブル５９は、矩形状の載置面５９１を有する。載置面５９１には、第１の磁着部５９２と第２の磁着部５９３とが設けられている。第１の磁着部５９２は、仮置きテーブル５９の−Ｘ側の辺である第１の辺５９ａの近傍に立設された磁石板からなる。第２の磁着部５９３は、仮置きテーブル５９の−Ｙ側の辺である第２の辺５９ｂの近傍に立設された磁石板からなる。第１の磁着部５９２と第２の磁着部５９３は、載置面５９１に載置された板状ワークＷよりも上方に突出するように高さが設定されている。第１の磁着部５９２はＹ方向に延びており、第２の磁着部５９３はＸ方向に延びている。この例では、第１の磁着部５９２と第２の磁着部５９３とがＬ字状に一体的に配置されている。
【００２８】
仮置きテーブル５９は、仮置きテーブル移動手段６０に支持されて基台２から所定の高さ位置に設けられている。この仮置きテーブル５９に対し、カセットエレベータ５８がカセットステージ５７を昇降させることにより、カセット５０Ａ、５０Ｂに棚状に保持された任意の板状ワークＷを仮置きテーブル５９と同じ高さに位置させることができるようになっている。
【００２９】
仮置きテーブル移動手段６０は、カセットステージ５７に隣接して設けられている。仮置きテーブル移動手段６０は、両カセット５０Ａ、５０Ｂの一方又は他方の第１の開口５１の前方に仮置きテーブル５９を横移動（Ｘ方向に移動）させるための手段である。
【００３０】
仮置きテーブル移動手段６０は、Ｘ方向に長い矩形板状の本体部材６０１と、本体部材６０１をＸ方向に貫通するボールネジ６０２と、ボールネジ６０２を回動させるパルスモータ６０３とを有する。本体部材６０１は、図示しない支持部材を介して、基台２から所定の高さ位置に設けられている。パルスモータ６０３がボールネジ６０２を回動させると、仮置きテーブル５９がＸ方向に横移動する。仮置きテーブル５９の移動範囲は、仮置きテーブル５９の＋Ｙ側の側面がカセット５０Ａの第１の開口５１と丁度対向し得る位置から、仮置きテーブル５９の載置面５９１が後述する保持部７２１と丁度重なり得る位置（保持位置）までの範囲に設定されている。
【００３１】
搬入手段７０は、カセットステージ５７に載置されたカセット５０Ａ、５０Ｂに収納された板状ワークＷを仮置きテーブル５９に搬入する第１の搬入手段７１０と、仮置きテーブル５９に仮置きされた板状ワ一クＷを図１に示した保持テーブル１０に搬入する第２の搬入手段７２０と、を備える。
【００３２】
第１の搬入手段７１０は、仮置きテーブル５９と同じ高さに位置する板状ワークＷに対し、両カセット５０Ａ、５０Ｂに第２の開口５２から進入し板状ワ一クＷの外周縁を押す押し部７１１と、押し部７１１を第２の開口５２から第１の開口５１に向かって移動させる第１の移動手段７１２と、を備える。
【００３３】
押し部７１１は、アーム部材７１３の先端部（−Ｙ側端部）に設けられている。アーム部材７１３は、二箇所が互いに逆向きに直角に折曲したクランク部材である。アーム部材７１３の基端部（＋Ｙ側端部）は、支持部材７１５を介して第１の移動手段７１２に連結されている。
【００３４】
第１の移動手段７１２は、Ｙ方向に延びる棒状のガイド部材７１６と、ガイド部材７１６に沿って水平移動する移動部材７１７と、移動部材７１７を移動させる図示しない駆動機構とを有する。ガイド部材７１６は、カセットステージ５７よりも−Ｘ側に配置され、図示しない支持部材を介して基台２から所定の高さ位置に設けられている。移動部材７１７には、支持部材７１５が固定されている。支持部材７１５は、移動部材７１７の＋Ｘ側の面から＋Ｘ側に延びる棒状の部材である。支持部材７１５の先端部（＋Ｘ側端部）には反転部７１８が設けられている。反転部７１８には、アーム部材７１３の基端部が連結されている。反転部７１８は、アーム部材７１３をＹ軸周りに表裏反転させる反転機構を有している。反転部７１８がアーム部材７１３を表裏反転させることにより、押し部７１１の位置が実線で示す＋Ｘ側の位置又は二点鎖線で示す−Ｘ側の位置に切り替えられる。これにより、押し部７１１は、２つのカセット５０Ａ、５０Ｂのどちらか一方に位置づけられる。このとき押し部７１１の高さ位置は、仮置きテーブル５９の載置面５９１の高さ位置と一致する。
【００３５】
第２の搬入手段７２０は、仮置きテーブル５９に仮置きされた板状ワークＷを保持する保持部７２１と、保持部７２１を仮置きテーブル５９から保持テーブル１０（図１参照）に移動させる第２の移動手段７２２と、を備える。
【００３６】
保持部７２１は、下面に図示しない吸引部を有し、仮置きテーブル５９の載置面５９１に載置された板状ワークＷを上方から吸引保持する。
第２の移動手段７２２は、Ｙ方向に延びる矩形板状の本体部材７２３と、本体部材７２３に沿って水平移動するスライドアーム７２４と、スライドアーム７２４を移動させる図示しない駆動機構とを有する。本体部材７２３は、仮置きテーブル移動手段６０の−Ｘ側に配置され、図示しない支持部材を介して基台２から所定の高さ位置に設けられている。本体部材７２３は、仮置きテーブル移動手段６０側（＋Ｘ側）に開口してＹ方向に延びるガイド溝７２３ａを有し、ガイド溝７２３ａにスライドアーム７２４の基部（−Ｘ側端部）が摺動可能に連結されている。スライドアーム７２４は、本体部材７２３から＋Ｘ側に延びる板状の部材である。スライドアーム７２４の先端部＋Ｘ側端部には昇降部７２６が設けられている。昇降部７２６は、スライドアーム７２４の先端部から下方に延びる円柱状の昇降部材７２７と、昇降部材７２７を上下に移動させる昇降機構７２８とを有する。保持部７２１は、昇降部材７２７の下端部に固定されている。昇降機構７２８が昇降部材７２７を上下に移動させることにより保持部７２１が上下に移動し、図示しない駆動機構がスライドアーム７２４を移動させることにより保持部７２１が左右方向に移動する。
【００３７】
次に、図３（ａ）及び図３（ｂ）を参照して、カセット５０からの板状ワークＷの搬出動作について説明する。
図３（ａ）に示すように、カセットエレベータ５８がカセットステージ５７を昇降させることにより、カセット５０に棚状に保持された一の板状ワークＷが仮置きテーブル５９の載置面５９１と同じ高さに位置づけられる。また、仮置きテーブル移動手段６０が仮置きテーブル５９をＸ方向に横移動させることにより、２つのカセット５０（５０Ａ、５０Ｂ）のいずれか一方の前に仮置きテーブル５９が位置づけられる。
【００３８】
搬入手段７０の第１の搬入手段７１０は、反転部７１８によりアーム部材７１３を表裏反転させて、仮置きテーブル５９が位置づけられたカセット５０に対面する位置に押し部７１１を位置づける。
その後、第１の移動手段７１２によりアーム部材７１３を前方（−Ｙ方向）に移動させていく。アーム部材７１３の先端の押し部７１１がカセット５０内に第２の開口５２から進入し、板状ワ一クＷの外周縁Ｗａを押し始める。押し部７１１が前方に移動するにつれて、板状ワ一クＷは第１の開口５１から仮置きテーブル５９上へ押し出されていく。
【００３９】
図３（ｂ）に示すように、アーム部材７１３は、板状ワ一クＷを仮置きテーブル５９の第２の磁着部５９３に当接させる位置まで移動する。これにより、板状ワークＷが仮置きテーブル５９に載置される。板状ワークＷは、仮置きテーブル５９上において第１の磁着部５９２（図２参照）と第２の磁着部５９３とにより磁着され位置決めされる。
【００４０】
以上のようにして、板状ワークＷがカセット５０から搬出され、仮置きテーブル５９に載置される。
その後、仮置きテーブル５９が−Ｘ側に横移動することにより、板状ワークＷが保持部７２１による保持が可能な位置に位置づけられる。
【００４１】
図２に示す搬入手段７０の第２の搬送手段７２０は、スライドアーム７２４を＋Ｙ側に移動させて、保持部７２１を仮置きテーブル５９の上方に位置づける。その後、保持部７２１を下降させる。そして、仮置きテーブル５９に載置された板状ワークＷを保持部７２１で吸着保持する。その後、保持部７２１を上昇させるとともに、スライドアーム７２４を−Ｙ側に移動させて、保持テーブル１０（図１参照）の上方に板状ワークＷを搬送する。そして、保持部７２１を下降させることにより、板状ワークＷを保持テーブル１０に載置する。その後、搬入手段７０の第２の搬送手段７２０は、保持部７２１による板状ワークＷの吸着保持を解除するとともに、保持部７２１を上昇させる。そして、次に搬入する板状ワークＷを保持するための保持位置に保持部７２１を待機させる。
【００４２】
上記のようにして、板状ワークＷは保持テーブル１０に搬入される。そして、図１に示したＹ方向移動機構４１０が切削ブレード２１を所定の分割予定ラインのＸ方向の延長上に位置付けるとともに、Ｚ方向移動機構４２０が切削ブレード２１を所定のＺ方向位置に位置づけ、板状ワークＷを保持した保持テーブル１０を加工送り方向（Ｘ軸方向）に移動させることで、加工手段２０の切削ブレード２１によって、分割予定ラインに沿う切削を行う。その際、加工手段２０は、切削ブレード２１の先端を板状ワークＷの裏面に貼られた保護テープにまで切り込ませる。続いて、加工手段２０を割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に移動させてから保持テーブル１０を加工送り方向（Ｘ軸方向）に移動させることで、次の分割予定ラインに沿う切削を行う。こうして板状ワークＷに対して第１の方向に複数回の切削加工を行い、第１の方向の全ての分割予定ラインに沿う切削が完了したら、保持テーブル１０を９０度回転させて、第１の方向と同様にして第２の方向の複数の分割予定ラインに沿う切削を順次行う。この切削加工により、板状ワークＷは複数のデバイスに分割される。板状ワークＷの下面に保護テープが貼着されているので、分割後もデバイスがばらばらにはならず板状ワークＷの形状が維持される。その後、加工送り手段３０が保持テーブル１０を搬入手段７０と搬出手段８０との間に移動させ、搬出手段８０が板状ワークＷを保持テーブル１０から搬出する。
【００４３】
図４に示すように、搬出手段８０は、保持テーブル１０に載置された切削加工後の板状ワークＷを保持する吸引保持部８１０と、吸引保持部８１０を保持テーブル１０から受け取り手段９０へ移動させる第３の移動手段８２０と、を備える。
【００４４】
吸引保持部８１０は、下面に沿ってエアーを放射状に噴出する図示しないノズル口を有し、保持テーブル１０の載置面１１に載置された板状ワークＷを、ベルヌーイ効果を利用して非接触で上方から吸引保持する。
【００４５】
第３の移動手段８２０は、Ｙ方向に延びる矩形板状の本体部材８２１と、本体部材８２１に沿って水平移動するスライドアーム８２２と、スライドアーム８２２を移動させる図示しない駆動機構とを有する。本体部材８２１は、＋Ｘ側に開口して左右方向（Ｙ方向）に延びるガイド溝８２１ａを有し、ガイド溝８２１ａにスライドアーム８２２の基部（−Ｘ側端部）が摺動可能に連結されている。スライドアーム８２２は、本体部材８２１から＋Ｘ側に延びる板状の部材である。スライドアーム８２２の先端部（＋Ｘ側端部）には昇降部８２３が設けられている。昇降部８２３は、スライドアーム８２２の先端部から下方に延びる円柱状の昇降部材８２４と、昇降部材８２４を上下に移動させる昇降機構８２５とを有する。吸引保持部８１０は、昇降部材８２４の下端部に固定されている。昇降機構８２５が昇降部材８２４を上下（Ｚ方向）に移動させることにより吸引保持部８１０が上下に移動し、図示しない駆動機構がスライドアーム８２２を移動させることにより吸引保持部８１０がＹ方向に移動する。
【００４６】
受け取り手段９０は、水槽９１０と籠９２０とを有する。水槽９１０は直方形の槽体である。水槽９１０には防さび剤入りの水溶液Ｓが収容されている。籠９２０は、メッシュ板からなる直方形の容器である。籠９２０は、水槽９１０に出し入れ可能である。籠９２０の上縁部には、対向する二箇所に取手部９２１が設けられている。
【００４７】
板状ワークＷを保持テーブル１０から搬出する際、搬出手段８０は、搬入手段７０と搬出手段８０との間に位置する保持テーブル１０の上方に吸引保持部８１０を移動させた後、吸引保持部８１０を下降させる。そして、保持テーブル１０に載置された加工済みの板状ワークＷを吸引保持部８１０で吸引保持する。その後、吸引保持部８１０を上昇させ、水槽９１０上に移動させる。そして、吸引保持部８１０を水溶液Ｓの液面近くまで下降させた後、吸引保持部８１０による板状ワークＷの保持を解除する。
【００４８】
吸引保持部８１０による保持が解除された板状ワークＷは、自重により水溶液Ｓの中を沈んでいき、水槽９１０内に配置された籠９２０に収容される。籠９２０に所定数の板状ワークＷが収容されたら、板状ワークＷが籠９２０ごと水槽９１０から取り出される。
【００４９】
上記のように、本実施形態の加工装置１は、カセット５０内に収納された板状ワークＷを保持テーブル１０に搬入する搬入手段７０が、カセット５０に収納された板状ワークＷを仮置きテーブル５９に搬入する第１の搬入手段７１０と、仮置きテーブル５９に仮置きされた板状ワ一クＷを保持テーブル１０に搬入する第２の搬入手段７２０と、を備え、第１の搬入手段７１０は、仮置きテーブル１０と同じ高さに位置する板状ワークＷに対しカセット５０の後方の第２の開口５２から進入してその外周縁を押す押し部７１１と、押し部７１１を第２の開口５２からカセット５０の前方の第１の開口５１に向かって移動させる第１の移動手段７１２と、を備え、第２の搬入手段７２０は、仮置きテーブル５９に仮置きされた板状ワークＷを吸引保持する保持部７２１と、保持部７２１を仮置きテーブル５９から保持テーブル１０に移動させる第２の移動手段７２２と、を備えるものとしたことで、板状ワークＷを把持することなく移動させることができるので、板状ワークＷの外周縁に不要部分がない場合であっても、板状ワークＷを傷つけることなくカセット５０から搬出し、仮置きテーブル５９を経て保持テーブル１０に搬入することができる。
【００５０】
また、保持テーブル１０上で加工された板状ワークＷを搬出する搬出手段８０が、板状ワークＷをベルヌーイ効果を利用して吸引保持する吸引保持部８１０と、吸引保持部８１０を保持テーブル１０から受け取り手段９０へ移動させる第３の移動手段８２０と、を備えるものとしたことで、板状ワークＷに切削ラインに沿って隙間が生じている場合でも、ベルヌーイ効果による負圧により板状ワークＷを非接触で保持し移動させることができるので、板状ワークＷの外周縁に不要部分がない場合であっても、加工後の板状ワークＷを傷つけることなく搬出できる。これに対し、加工後の板状ワークＷを真空吸引方式で吸引保持する構成とした場合、板状ワークＷの切削ラインに沿って生じた隙間によりエアーリークが生じるため、十分な吸引保持力が得られず、板状ワークＷを搬出途中で落下させて傷つけてしまう可能性が高い。
【００５１】
また、カセットステージ５７には第１の開口５１を横方向（Ｘ方向）に並べて２つのカセット５０Ａ、５０Ｂが載置され、反転部７１８がアーム部材７１３を表裏反転させることにより、押し部７１１が２つのカセット５０Ａ、５０Ｂのどちらか一方の第２の開口５２に位置づけられる構成としたことで、２つのカセット５０Ａ、５０Ｂに収容された板状ワークＷを一つの押し部７１１により第１の開口５１から仮置きテーブル５９上に押し出すことができ、搬入手段７０の構成を簡略化できる。
【００５２】
仮置きテーブル５９は、板状ワークＷの第１の辺５９ａを磁着させる第１の磁着部５９２と、第１の辺に連接する第２の辺５９ｂを磁着させる第２の磁着部５９３とを備え、磁性を示す物質を含んで形成された板状ワークＷが第１の磁着部５９２と第２の磁着部５９３とに磁着され位置決めされる構成としたことで、仮置きテーブル５９上における板状ワークＷの位置決めが簡易な構成で可能となる。
【００５３】
板状ワークＷが第１の磁着部５９２と第２の磁着部５９３とに磁着され位置決めされることで、仮置きテーブル５９が保持部７２１による保持位置に横移動する途中で板状ワークＷが位置ずれすることを防止し、保持部７２１の下方に板状ワークＷを正確に位置づけることができる。保持部７２１の下方に板状ワークＷが正確に位置づけられることで、仮置きテーブル５９に載置された板状ワークＷを保持部７２１で確実に保持し保持テーブル１０に搬送することができる。
【００５４】
搬出手段８０により搬出された板状ワークＷを受け取る受け取り手段９０が、防さび剤入りの水溶液Ｓを収容した水槽９１０を備え、その水溶液Ｓ中に切削加工後の板状ワークＷを沈下させて収容する構成としたことで、切削加工後の板状ワークＷの錆び付きを防止できる。
【００５５】
なお、本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。
【００５６】
たとえば、本実施の形態の加工装置１は、板状ワークＷを切削加工する分割装置であるが、本発明の加工装置は研磨装置など分割装置以外の装置にも適用可能である。
【００５７】
本実施の形態では、カセットステージ５７に２つのカセット５０（５０Ａ、５０Ｂ）が載置されているが、３つ以上のカセット５０が載置された構成とすることも可能である。
【００５８】
本実施の形態では、搬出手段８０が、吸引保持部８１０を水平移動させるスライドアーム８２２と、吸引保持部８１０を上下移動させる昇降部８２３とを有して構成されているが、搬出手段８０として、吸引保持部を有する多軸関節ロボット等を用いることもできる。
【００５９】
本実施の形態では、第１の磁着部５９２と第２の磁着部５９３が互いの端部を近接させたＬ字状に配置されているが、第１の磁着部５９２と第２の磁着部５９３が互いの端部を離間させて配置されていてもよい。また、第１の磁着部５９２と第２の磁着部５９３の少なくとも一方を複数の磁着部に分割して構成することも可能である。
【００６０】
本実施の形態では、受け取り手段９０が水槽９１０と籠９２０とを有しているが、籠９２０は省略可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１：加工装置
１０：保持テーブル  １１：載置面
２０：加工手段  ２１：切削ブレード
３０：加工送り手段
３１：ボールネジ  ３２：ガイドレール  ３３：パルスモータ  ３４：可動板
３５：支持部
４０：加工手段移動機構
４１０：Ｙ方向移動機構
４１１：ボールネジ  ４１２：ガイドレール  ４１３：パルスモータ
４１４：水平移動板
４２０：Ｚ方向移動機構
４２１：ボールネジ  ４２２：ガイドレール  ４２３：パルスモータ
４２４：上下移動板
５０（５０Ａ、５０Ｂ）：カセット  ５１：第１の開口  ５２：第２の開口
５１１、５１２：支持棚  ５１０、５２０：側壁  ５３０：天板  ５４０：底板
５７：カセットステージ
５８：カセットエレベータ
５８１：柱部材  ５８２：ボールネジ  ５８３：パルスモータ
５９：仮置きテーブル  ５９１：載置面
５９２：第１の磁着部  ５９３：第２の磁着部
５９ａ：第１の辺  ５９ｂ：第２の辺
６０：仮置きテーブル移動手段
６０１：本体部材  ６０２：ボールネジ  ６０３：パルスモータ
７０：搬入手段
７１０：第１の搬入手段  ７１１：押し部  ７１２：第１の移動手段
７１３：アーム部材  ７１６：ガイド部材  ７１７：移動部材  ７１８：反転部
７２０：第２の搬入手段
７２１：保持部  ７２２：第２の移動手段  ７２３：本体部材
７２４：スライドアーム  ７２６：昇降部  ７２７：昇降部材
７２８：昇降機構
８０：搬出手段  ８１０：吸引保持部  ８２０：第３の移動手段
８２１：本体部材  ８２２：スライドアーム  ８２３：昇降部
８２４：昇降部材  ８２５：昇降機構
９０：受け取り手段  ９１０：水槽  ９２０：籠  ９２１：取手部
Ｓ：水溶液
Ｔ：保護テープ  Ｗ：板状ワーク  Ｗａ：外周縁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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