(57)【要約】【課題】簡素な構成で、かつ容易に駆動部の角度を調整可能な駆動部傾斜調整方法、及び駆動部傾斜調整プログラムを提供する。【解決手段】表面性状測定機は、ワークの被測定面の傾斜角度を取得するワーク角度取得ステップ（ステップＳ２）と、Ｘスライダを被測定面の傾斜角度だけ回転させた場合のスタイラスの先端のＺ２方向に対する移動量及び移動方向を算出する先端変位量算出ステップ（ステップＳ６）と、検出センサーにて検出されるスタイラスが基準位置となるようにＸスライダをＺ２方向に対して移動させる第一移動ステップ（ステップＳ７〜Ｓ８）と、ＸスライダをステップＳ６で算出された移動方向とは反対方向に算出された移動量だけ移動させる第二移動ステップ（ステップＳ１２〜Ｓ１３）と、検出センサーで検出されるスタイラスの位置が基準位置となるように、Ｘスライダのα軸回りの角度を調整する角度調整ステップ（ステップＳ１４）と、を実施する。【選択図】図３
2018025507.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの被測定面を測定する測定子を揺動可能に保持するとともに、第一方向及び前記第一方向に交差する第二方向に移動可能であり、かつ前記第一方向及び前記第二方向に交差する調整軸を中心に回転可能な駆動部と、前記測定子の揺動位置を検出する揺動検出部と、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を変更する角度調整部と、を備えた測定器の前記駆動部の傾斜を調整する駆動部傾斜調整方法であって、
前記被測定面の傾斜角度を取得するワーク角度取得ステップと、
前記駆動部を、前記被測定面の傾斜角度だけ回転させた場合の、前記測定子の先端の前記第二方向に対する移動量及び移動方向を算出する先端変位量算出ステップと、
前記揺動検出部にて検出される前記揺動位置が所定の基準位置となるように、前記駆動部を前記第二方向に対して移動させる第一移動ステップと、
前記駆動部を前記先端変位量算出ステップにて算出された前記移動方向とは反対方向に前記移動量だけ移動させる第二移動ステップと、
前記揺動検出部にて検出される前記揺動位置が前記基準位置となるように、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を調整する角度調整ステップと、
を実施することを特徴とする駆動部傾斜調整方法。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動部傾斜調整方法において、
前記第二移動ステップは、前記移動方向の反対方向が前記ワークに向かう方向である場合、前記測定子が前記ワークから離れる方向に前記駆動部を前記調整軸回りに回転させる退避ステップを実施した後、前記駆動部を前記第二方向に対して移動させる
ことを特徴とする駆動部傾斜調整方法。
【請求項３】
請求項２に記載の駆動部傾斜調整方法において、
前記退避ステップは、前記ワーク角度取得ステップにより取得された前記被測定面の傾斜角度以上、前記駆動部を前記調整軸回りに回転させる
ことを特徴とする駆動部傾斜調整方法。
【請求項４】
ワークの被測定面を測定する測定子を揺動可能に保持するとともに、第一方向及び前記第一方向に交差する第二方向に移動可能であり、かつ前記第一方向及び前記第二方向に交差する調整軸を中心に回転可能な駆動部と、前記測定子の揺動位置を検出する揺動検出部と、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を変更する角度調整部と、を備えた測定器の前記駆動部の傾斜を調整する駆動部傾斜調整方法であって、
前記被測定面の傾斜角度を取得するワーク角度取得ステップと、
前記駆動部を、前記被測定面の傾斜角度だけ回転させた場合の、前記測定子の先端の前記第二方向に対する移動量及び移動方向を算出する先端変位量算出ステップと、
前記揺動検出部にて検出される前記揺動位置が所定の基準位置となるように、前記駆動部を前記第二方向に対して移動させる旨を報知する第一報知ステップと、
前記第一報知ステップの後、前記駆動部を前記先端変位量算出ステップにて算出された前記移動方向とは反対方向に前記移動量だけ移動させる旨を報知する第二報知ステップと、
前記第二報知ステップの後、前記揺動検出部にて検出される前記揺動位置が前記基準位置となるように、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を調整する旨を報知する第三報知ステップと、
を実施することを特徴とする駆動部傾斜調整方法。
【請求項５】
ワークの被測定面を測定する測定子を揺動可能に保持するとともに、第一方向及び前記第一方向に交差する第二方向に移動可能であり、かつ前記第一方向及び前記第二方向に交差する調整軸を中心に回転可能な駆動部と、前記測定子の揺動位置を検出する揺動検出部と、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を変更する角度調整部と、を備えた測定器を制御するコンピューターにより読み取られて実行される駆動部傾斜調整プログラムであって、
前記コンピューターに、請求項１から請求項４のいずれか１項の駆動部傾斜調整方法を実施させることを特徴とする駆動部傾斜調整プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物を測定する測定器において、測定子等が設けられた駆動部の角度を調整する駆動部傾斜調整方法、及び駆動部傾斜調整プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば粗さ測定器や輪郭測定器等の測定器では、ワークの被測定面に沿って測定子を移動させて被測定面を測定する。この際、測定子の移動方向と被測定面とが平行でない場合、測定子の磨耗を早めたり、被測定面に傷が付いたり、測定精度が低下したりするとの課題があった。
このため、上記のような測定器では、測定を実施する前に、駆動部による測定子の移動方向と、ワークの被測定面とを平行にする、いわゆる水平出しの作業を行っている。このような水平出しの方法としては、ワークの傾きを調整する方法と、駆動部の傾きを調整する方法とがある。前者では、例えば、傾斜載物台や３軸調整テーブルを用いてワークの傾きを調整する（例えば、特許文献１参照）。後者では、例えば、駆動部を、測定子の移動方向に対して交差する軸（α軸）周りに回転させて調整する（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１２２０５５号公報
【特許文献２】特開２００７−１９８７９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前者の水平出しの方法では、ワークのサイズが比較的大きい場合に、傾斜載物台や３軸調整テーブルの耐荷重を超える場合があり、傾斜調整の精度が低下したり、傾斜調整自体が不可能となったりする場合がある。
また、後者の水平出しの方法では、ワークのサイズは重量に影響されないものの、ＣＮＣ形状測定器のような電動モーター等の駆動力により駆動部の角度を調整する場合、装置構成が複雑化し、コストも高くなるとの課題がある。
【０００５】
一方、後者の水平出しの方法において、測定者が手動により駆動部の角度を調整する測定器もある。この場合では、ワークのサイズや重量に影響されず、かつ、構成も簡略化できる。しかしながら、手動による駆動部の角度調整が可能な測定器では、一般的に、駆動部の角度を調整するための目盛が例えば１°単位となる。よって、設けられた目盛の単位未満（１°未満）の微小な調整が必要なケースでは、目盛を頼りに駆動部の角度調整を正確に行うことは非常に困難であった。また、手動による駆動部の角度調整では、駆動部を左右に移動させながら、検出器の変位を読み取り、その変化が少なくなるように、駆動部の角度を微調整する作用を行う方法もあるが、この場合でも、煩雑な作業が伴い、かつ、高い熟練技術が要求された。
【０００６】
本発明は、簡素な構成で、かつ容易に駆動部の角度を調整可能な駆動部傾斜調整方法、及び駆動部傾斜調整プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の駆動部傾斜調整方法は、ワークの被測定面を測定する測定子を揺動可能に保持するとともに、第一方向及び前記第一方向に交差する第二方向に移動可能であり、かつ前記第一方向及び前記第二方向に交差する調整軸を中心に回転可能な駆動部と、前記測定子の揺動位置を検出する揺動検出部と、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を変更する角度調整部と、を備えた測定器の前記駆動部の傾斜を調整する駆動部傾斜調整方法であって、前記被測定面の傾斜角度を取得するワーク角度取得ステップと、前記駆動部を、前記被測定面の傾斜角度だけ回転させた場合の、前記測定子の先端の前記第二方向に対する移動量及び移動方向を算出する先端変位量算出ステップと、前記揺動検出部にて検出される前記揺動位置が所定の基準位置となるように、前記駆動部を前記第二方向に対して移動させる第一移動ステップと、前記駆動部を前記先端変位量算出ステップにて算出された前記移動方向とは反対方向に前記移動量だけ移動させる第二移動ステップと、前記揺動検出部にて検出される前記揺動位置が前記基準位置となるように、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を調整する角度調整ステップと、を実施することを特徴とする。
【０００８】
本発明では、ワーク角度取得ステップによりワークの被測定面の傾斜角度を取得し、先端変位量算出ステップにおいて、この被測定面の傾斜角度と同じ角度だけ駆動部を傾斜させた際の測定子の先端の位置の移動方向や移動量を算出する。
一方、駆動部をワークの被測定面と同じ傾斜角度に設定するためには、駆動部を被測定面と同じ傾斜角度に設定することに加え、測定子の先端がワークの被測定面に当接する（測定が可能な位置に位置する）必要がある。したがって、本発明では、さらに、第一移動ステップにより、測定子の揺動位置を揺動検出部で検出しつつ、駆動部を第二方向に移動させて、揺動検出部で検出される揺動位置が所定の基準位置となるようにする。この第一移動ステップでは、測定子の先端がワークの被測定面に接触し、かつ測定子の位置が基準位置となる。
この後、第二移動ステップにより、先端変位量算出ステップにて算出された移動方向とは反対方向に、先端変位量算出ステップにより算出された移動量だけ移動させ、角度調整ステップにより、揺動検出部により検出される測定子の位置が基準位置となるように、角度調整部により駆動部の傾斜角度を調整する。これにより、測定子の先端がワークの被測定面に当接可能な位置となり、かつ、駆動部の傾斜角度がワークの被測定面の傾斜角度と同一となる。
【０００９】
上記のような本発明では、駆動部の角度調整を行う際に、駆動部の傾斜角度を表す角度目盛を参照する必要がなく、検出器により検出される測定子の位置に基づいた角度調整が行われることになる。検出器により検出される測定値は、被測定面に対する測定（例えば粗さ測定や輪郭測定等）を行うための構成であり、高精度な測定結果が出力される。したがって、このような検出器からの測定結果に基づいた駆動部の角度調整を行うことで、高精度な角度調整を行える。
また、本発明では、駆動部の角度を調整するための駆動モーター等が不要であり、構成の簡略化を図れ、従来用いられている測定装置に対しても適用することができる。
【００１０】
また、本発明の駆動部傾斜調整方法において、先端変位量算出ステップは、駆動部の第一方向に対する位置と、駆動部における測定子が保持される保持位置と、保持位置から測定子の先端までの距離とに基づいて、測定子の先端の第二方向に対する移動量及び移動方向を算出することができる。
ここで、駆動部の第一方向の位置は、駆動部の第一方向に対する位置を計測するスケールにより検出することができる。よって、調整軸に対する駆動部の第一方向の位置は、当該スケールにより検出された値から容易に算出できる。また、保持位置は、駆動部において、測定子が取り付けられる位置であり、駆動部において決まった位置（既知の値）となる。よって、調整軸から保持位置までの距離も容易に算出することができる。保持位置から測定子の先端までの距離は、測定子の種別等によってそれぞれ異なるが、測定子によってそれぞれ決まった値となり、予め測定しておくことができる。したがって、調整軸から測定子の先端までの距離も容易に算出することができる。
そして、上述のようにワーク角度取得ステップによりワークの被測定面の傾斜角度が取得されれば、当該傾斜角度と、調整軸から測定子の先端までの距離とから、簡単な三角関数を用いて、駆動部を被測定面の傾斜角度だけ傾斜させた際の、測定子の先端の位置（第二方向に対する位置）を容易に算出することができる。
【００１１】
本発明の駆動部傾斜調整方法において、前記第二移動ステップは、前記移動方向の反対方向が前記ワークに向かう方向である場合、前記測定子が前記ワークから離れる方向に前記駆動部を前記調整軸回りに回転させる退避ステップを実施した後、前記駆動部を前記第二方向に対して移動させることが好ましい。
【００１２】
先端変位量算出ステップにおいて算出された移動方向が、ワークから離れる側である場合、第二移動ステップでは、駆動部をワーク側に移動させることになる。この場合、測定子がワークに押し込まれることになり、測定子やワークが破損する恐れがある。
これに対して、本発明では、このような場合に、退避ステップを実施して、測定子がワークから離れる方向に移動するように、駆動部の傾斜角度を変化させる。変化させる角度としては、第二移動ステップにより駆動部を移動させた際に、測定子がワークに押し込まれない（測定子がワークに接触しない）角度であればよい。これにより、第二移動ステップにおける測定子とワークとの衝突を抑制できる。
【００１３】
本発明の駆動部傾斜調整方法において、前記退避ステップは、前記ワーク角度取得ステップにより取得された前記被測定面の傾斜角度以上、前記駆動部を前記調整軸回りに回転させることが好ましい。
本発明では、退避ステップでは、駆動部を調整軸回りに被測定面の傾斜角度以上回転させるので、退避ステップの後に駆動部をワーク側に移動させた際に、測定子がワークに押し付けられる不都合を回避でき、測定子やワークの破損をより確実に抑制できる。
【００１４】
本発明の駆動部傾斜調整方法は、ワークの被測定面を測定する測定子を揺動可能に保持するとともに、第一方向及び前記第一方向に交差する第二方向に移動可能であり、かつ前記第一方向及び前記第二方向に交差する調整軸を中心に回転可能な駆動部と、前記測定子の揺動位置を検出する揺動検出部と、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を変更する角度調整部と、を備えた測定器の前記駆動部の傾斜を調整する駆動部傾斜調整方法であって、前記被測定面の傾斜角度を取得するワーク角度取得ステップと、前記駆動部を、前記被測定面の傾斜角度だけ回転させた場合の、前記測定子の先端の前記第二方向に対する移動量及び移動方向を算出する先端変位量算出ステップと、前記揺動検出部にて検出される前記揺動位置が所定の基準位置となるように、前記駆動部を前記第二方向に対して移動させる旨を報知する第一報知ステップと、前記第一報知ステップの後、前記駆動部を前記先端変位量算出ステップにて算出された前記移動方向とは反対方向に前記移動量だけ移動させる旨を報知する第二報知ステップと、前記第二報知ステップの後、前記揺動検出部にて検出される前記揺動位置が前記基準位置となるように、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を調整する旨を報知する第三報知ステップと、を実施することを特徴とする。
【００１５】
本発明では、ワーク角度取得ステップによりワークの被測定面の傾斜角度を取得し、先端変位量算出ステップにおいて、この被測定面の傾斜角度と同じ角度だけ駆動部を傾斜させた際の測定子の先端の位置の移動方向や移動量を算出する。
そして、第一報知ステップにより、揺動検出部で検出される測定子の位置が基準位置となるように、駆動部を第二方向に移動させる旨を報知する。これにより、作業者は、当該報知内容に従って、容易に、測定子の先端がワークの被測定面に接触し、かつ測定子の位置が基準位置となる位置に駆動部を移動させることができる。
その後、第二報知ステップにより、先端変位量算出ステップにて算出された移動方向とは反対方向に、先端変位量算出ステップにより算出された移動量だけ移動させる旨を報知させる。これにより、作業者は、当該報知内容に従って、容易に、駆動部を第二方向に必要な量だけ移動させることができる。
そして、第三報知ステップにより、揺動検出部により検出される測定子の位置が基準位置となるように、角度調整部により駆動部の傾斜角度を調整する旨が報知される。これにより、作業者は、当該報知内容に従って、駆動部の角度を容易に調整できる。
以上のように、作業者は、第一報知ステップ〜第三報知ステップにて報知される作業指示に従った作業を行えば、駆動部の角度を、ワークの被測定面の傾斜角に合わせ、かつ、測定子の先端を被測定面の測定に適した位置に移動させることができる。したがって、高度な熟練技術を必要とせず、容易に駆動部の角度調整を行うことができる。
【００１６】
本発明の駆動部傾斜調整プログラムは、ワークの被測定面を測定する測定子を揺動可能に保持するとともに、第一方向及び前記第一方向に交差する第二方向に移動可能であり、かつ前記第一方向及び前記第二方向に交差する調整軸を中心に回転可能な駆動部と、前記測定子の揺動位置を検出する揺動検出部と、前記駆動部の前記調整軸回りの角度を変更する角度調整部と、を備えた測定器を制御するコンピューターにより読み取られて実行される駆動部傾斜調整プログラムであって、前記コンピューターに、上述したような駆動部傾斜調整方法を実施させることを特徴とする。
【００１７】
本発明は、コンピューターが駆動部傾斜調整プログラムを読み込み実行することで、上述したようなワーク角度取得ステップ、先端変位量算出ステップ、第一移動ステップ（第一報知ステップ）、第二移動ステップ（第二報知ステップ）、角度調整ステップ （第三報知ステップ）が実施される。これにより、従来用いられている既存の測定装置においても、当該測定装置を制御するコンピューターに、本発明の駆動部傾斜調整プログラムを読み込ませて実行させることで、容易に、上記したような本発明の駆動部傾斜調整方法を実施することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、簡素な構成で、かつ容易に測定装置の駆動部の角度を、ワークの被測定面の傾斜角度に合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第一実施形態に係る表面性状測定機の概略構成を示す図。
【図２】第一実施形態の表面性状測定機のシステム構成の概略を示すブロック図。
【図３】第一実施形態の表面性状測定機による駆動部傾斜調整方法を示すフローチャート。
【図４】第一実施形態において、予備測定を実施した際の被測定面に対する測定結果、及び当該測定結果から算出された被測定面に沿った傾斜線を示す図。
【図５】第一実施形態において、ステップＳ８の処理が完了した直後の状態を示すＸスライダ、アームホルダー、及びスタイラスの位置を示す図。
【図６】第一実施形態において、ステップＳ１０により、スタイラスをワークから退避させた状態を示す図。
【図７】第一実施形態において、ステップＳ１２により実施される処理を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
［第一実施形態］
以下、本発明の第一実施形態について図面を参照して説明する。
〔本実施形態の構成〕
図１には、本実施形態に係る表面性状測定機１が示されている。
表面性状測定機１は、本発明の測定器である装置本体１０と、測定器を制御するコンピューターである制御装置２０と、表示装置３０と、を含んで構成されている。
【００２１】
［装置本体の構成］
装置本体１０は、ベース１１と、テーブル１２と、検出器１３と、移動機構１４と、を含んで構成されている。また、装置本体１０には、コントローラー（図示略）が設けられ、オペレーターにより当該コントローラーが操作されることで、移動機構１４を制御して、検出器１３を所望の位置に移動させたり、表面性状の測定の開始や終了を指令したりすることが可能となる。なお、コントローラーが設けられず、制御装置２０により検出器１３や移動機構１４の駆動制御が実施される構成であってもよい。
【００２２】
ベース１１は、平坦な台座部であり、テーブル１２及び移動機構１４を支持する。
テーブル１２は、ベース１１上に載置され、上面にワークＷが載置（設置）される。ワークＷは、テーブル１２上に直接設置されてもよく、例えば固定治具等により固定された状態で設置されてもよい。
【００２３】
検出器１３は、ワークＷに対して接触してワークＷの表面性状を検出する。具体的には、検出器１３は、検出器本体１３１と、アームホルダー１３２と、スタイラス１３３と、を含んで構成されている。
検出器本体１３１は、移動機構１４のＸスライダ１４５（後述）に支持される。また、検出器本体１３１には、Ｘ１方向に延びるアームホルダー１３２が着脱自在に接続され、当該アームホルダー１３２の先端部（保持位置１３２Ａ）に測定子であるスタイラス１３３が接続される。スタイラス１３３は、例えばアームホルダー１３２の長手方向に沿ったシャフト部と、シャフト部から離れる方向に突出する接触子とを有し、接触子の先端（以降、スタイラス１３３の先端を称す場合がある）がワークＷに当接可能となる。このスタイラス１３３は、アームホルダー１３２に対して着脱自在となり、ワークＷや測定方法、測定種別等によって、適宜変更可能となっている。
【００２４】
また、検出器本体１３１は、アームホルダー１３２及びスタイラス１３３を揺動させる揺動機構（図示略）を有し、揺動機構によりスタイラス１３３を揺動させる。具体的には、揺動機構は、接触子の突出方向（Ｚ１方向）に沿ってスタイラス１３３を振動させる。そして、検出器本体１３１は、スタイラス１３３のＺ１方向への変位量を検出する検出センサー１３１Ａ（本発明の揺動検出部に相当）を備える。この検出センサー１３１Ａは、スタイラス１３３の微小な振動を電気的に検出するものであり、例えば、０．０００１μｍ〜０．０１μｍの検出分解能を実現できる。検出センサー１３１Ａにより検出された検出値（スタイラス１３３の変位量）は、制御装置２０に送信される。尚、検出結果が、後述の駆動本体部１４４に設けられた表示ディスプレイに表示される構成などとしてもよい。
【００２５】
移動機構１４は、コラム１４１と、Ｚスライダ１４２と、Ｚ駆動機構１４３と、駆動本体部１４４と、Ｘスライダ１４５と、Ｘ駆動機構１４６と、駆動部傾斜機構１４７（角度調整部）と、を含んで構成されている。
コラム１４１は、ベース１１の上面に立設されたＺ２軸（本発明の第二方向であるＺ２方向に沿う軸）に沿う柱状部材である。
Ｚスライダ１４２は、コラム１４１に対してＺ２方向に沿って移動可能に支持されており、このＺスライダ１４２には駆動本体部１４４が固定される。
Ｚ駆動機構１４３は、Ｚスライダ１４２をＺ２方向に移動させる機構である。このＺ駆動機構１４３は、図示は省略するが、例えば、Ｚ軸駆動モーターと、このＺ軸駆動モーターの回転を伝達するＺ軸回転伝達機構とによって構成することができる。また、Ｚ駆動機構１４３には、図１に示すように、Ｚ調整ノブ１４３Ａが設けられ、当該Ｚ調整ノブ１４３Ａが手動により調整されることで、Ｚスライダ１４２のＺ２方向の位置調整が可能となる。
また、Ｚ駆動機構１４３には、Ｚスライダ１４２のＺ２方向の位置を検出するＺスケール１４２Ａ（図２参照）が設けられている。このＺスケール１４２Ａは、検出したＺ２方向の位置情報を制御装置２０に出力する。なお、Ｚスケール１４２Ａにて検出されたＺ２方向の位置情報を、例えば駆動本体部１４４に設けられた表示ディスプレイに表示させてもよい。
【００２６】
駆動本体部１４４は、駆動部傾斜機構１４７を介してＺスライダ１４２に対して設けられている。つまり、駆動部傾斜機構１４７により、Ｘ１軸及びＺ２軸に交差（本実施形態では直交）するα軸１４７Ａ（本発明の調整軸に相当）を中心に回転可能に設けられている。
この駆動部傾斜機構１４７は、例えば、Ｘスライダ１４５に設けられたα軸調整つまみ１４８が調整されることで、駆動本体部１４４をＺスライダ１４２に対してα軸１４７Ａを中心に回転させる。
また、駆動部傾斜機構１４７に、コラム１４１に対する駆動本体部１４４の傾斜角度、つまり、Ｚ２軸に対するＸ１軸の傾斜角度を示すα軸目盛１４７Ｂが設けられていてもよい。
【００２７】
Ｘスライダ１４５は、駆動本体部１４４に、図示略のガイドレールを介して設けられている。
Ｘ駆動機構１４６は、Ｘスライダ１４５をＸ１軸（本発明の第一方向に相当するＸ１方向に沿った軸）に沿って移動させる機構である。このＸ駆動機構１４６は、Ｘスライダ１４５をガイドレールに沿ってＸ１方向に移動させる送り機構（図示略）を備える。この送り機構は、例えばＸ軸駆動モーターと、Ｘ軸駆動モーターの回転を伝達してＸスライダ１４５を移動させるＸ軸回転伝達機構とによって構成することができる。なお、Ｘ駆動機構１４６として、図１に示すように、Ｘ調整ノブ１４６Ｂが設けられ、当該Ｘ調整ノブ１４６Ｂが手動により調整されることで、Ｘスライダ１４５の位置調整が可能となる。
また、Ｘ駆動機構１４６には、Ｘスライダ１４５のＸ方向の位置を検出するＸスケール１４６Ａ（図２参照）が設けられている。
【００２８】
ここで、このＸスライダ１４５は、本発明における駆動部に相当し、Ｘ駆動機構１４６によりＸ１方向に対して移動される。また、Ｚ駆動機構１４３によりＺスライダ１４２がＺ２方向に移動されることで、駆動本体部１４４を介してＺスライダ１４２に接続されるＸスライダ１４５もＺ２方向に移動される。さらに、駆動部傾斜機構１４７により駆動本体部１４４がα軸１４７Ａを中心に回転されることで、駆動本体部１４４に接続されるＸスライダ１４５もα軸１４７Ａを中心に回転される。
そして、このＸスライダ１４５には、上述のように検出器１３が支持されているので、検出器１３に保持されたスタイラス１３３も、Ｘスライダ１４５とともに、Ｘ１方向、Ｚ２方向に移動可能となり、α軸１４７Ａを中心に回転可能となる。このため、駆動部傾斜機構１４７により駆動本体部１４４が回転されると、Ｘ２方向（テーブル１２の上面に沿い、かつＺ２方向から見た平面視においてアームホルダー１３２の延出方向に沿う方向）に対して、Ｘ１方向が傾斜することになる。
【００２９】
［制御装置の構成］
図２は、表面性状測定機１のシステム構成の概略を示すブロック図である。
制御装置２０は、例えばパーソナルコンピューター等のコンピューターにより構成することができる。この制御装置２０は、記憶部２１と、操作部２２と、制御部２３と、を含んで構成されている。
【００３０】
記憶部２１には、表面性状測定機１の駆動を制御するための各種プログラムや各種データが記憶されている。
記憶部２１に記憶される各種プログラムとしては、本発明の駆動部傾斜調整プログラムや、ワークＷに対する測定処理を実施する際の測定手順を含むパートプログラム等が記憶されている。
また、各種データとしては、装置本体１０におけるアームホルダー１３２やスタイラス１３３の寸法（又は、保持位置１３２Ａからスタイラス１３３の先端までの寸法）、駆動本体部１４４における保持位置１３２Ａの位置が記録されている。駆動本体部１４４における保持位置１３２Ａの位置としては、例えば、駆動本体部１４４において予め設定された所定の基準位置から保持位置１３２Ａまでの寸法が記録されていてもよい。
【００３１】
操作部２２は、例えばマウスやキーボード、ジョイスティック等を含んで構成され、オペレーターにより操作されることで、操作信号を制御部２３に出力する。
制御部２３は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の演算回路や記憶回路等により構成されており、記憶部２１に記憶された各種プログラム（駆動部傾斜調整プログラム）を読み込み実行することで、図２に示すように、ワーク角度取得部２３１、先端変位量算出部２３２、報知制御部２３３、モード切替部２３４、及び測定制御部２３５として機能する。
【００３２】
ワーク角度取得部２３１は、ワークＷの被測定面の傾斜角度（ワーク傾斜角）を取得する。ワーク傾斜角の取得方法としては、例えば操作部２２が操作されることで設定入力された値を読み込んでもよく、装置本体１０を制御して被測定面の予備測定を実施することで、ワーク傾斜角を算出してよい。
【００３３】
先端変位量算出部２３２は、Ｚスケール１４２Ａ及びＸスケール１４６Ａからの検出値（駆動本体部１４４の装置本体１０の座標系における位置座標）と、保持位置１３２Ａからスタイラス１３３の先端までの寸法と、検出センサー１３１Ａの検出値と、に基づいて、α軸１４７Ａからスタイラス１３３の先端までの寸法を算出する。また、先端変位量算出部２３２は、ワーク傾斜角と、α軸１４７Ａからスタイラス１３３の先端までの距離と、に基づいて、駆動本体部１４４をα軸回りにワーク傾斜角と同一角度だけ回転させた（Ｘ１軸と被測定面とを平行にした）際に、スタイラス１３３の先端がＺ２軸に沿って移動する移動量及び移動方向を算出する。
【００３４】
報知制御部２３３は、表示装置３０に駆動部（Ｘスライダ１４５）の傾斜調整方法の手順を表示させて報知する。なお、音声等により傾斜調整方法の手順を報知してもよい。報知制御部２３３による報知制御についての詳細は後述する。
モード切替部２３４は、装置本体１０の動作モードを切り替える。具体的には、モード切替部２３４は、例えば測定者の操作に基づいて、ワークＷの被測定面に対する測定処理を実施する測定モードと、Ｘスライダ１４５の移動方向（Ｘ１方向）を被測定面の傾斜方向に合わせ込む水平出しモードと、等に切り替える。
測定制御部２３５は、例えばパートプログラム等の各種プログラムに従って、装置本体１０のＺ駆動機構１４３やＸ駆動機構１４６を制御してＺスライダ１４２やＸスライダ１４５を移動させたり、検出器１３を駆動させてスタイラス１３３を揺動させ検出センサー１３１Ａからの検出値を取得したりする。
【００３５】
［駆動部傾斜調整方法］
次に、本実施形態における駆動部傾斜調整方法について説明する。
本実施形態の表面性状測定機１を用いたワークＷの被測定面の測定では、アームホルダー１３２及びスタイラス１３３により構成された測定子を装置本体１０に装着し、スタイラス１３３の先端を被測定面に当接させ、かつ、被測定面の傾斜角度（ワーク傾斜角）に沿ってＸスライダ１４５を移動させる。したがって、Ｘ駆動機構１４６により駆動されるＸスライダ１４５の移動方向（Ｘ１方向）を被測定面に平行にする必要がある。このために、本実施形態では、駆動部傾斜機構１４７を調整して、コラム１４１（Ｚ２軸）に対する駆動本体部１４４の傾斜角を調整し、駆動本体部１４４に設定されたＸスライダ１４５の移動方向（Ｘ１方向）をワーク傾斜角に合わせ込む。
【００３６】
この際、Ｘ１方向の傾斜角を自動で調整する機構を有なさい既存の表面性状測定機１では、手動により駆動本体部１４４を回転させて調整する必要がある。通常、このような表面性状測定機１では、α軸目盛１４７Ｂを参照しながら測定者が角度調整を行う。しかしながら、α軸目盛１４７Ｂに形成された目盛単位（例えば１°単位）での調整しかできず、当該目盛単位未満の精度で角度調整を行う場合に十分な精度を得ることができない。また、Ｘスライダ１４５の位置をＸ１方向に移動させつつ、検出センサー１３１Ａの検出値を参照し、当該検出値の変化が最小となるように傾斜角度を調整する方法もあるが、この場合では、高度な熟練技術が必要となる。
これに対して、本実施形態では、自動角度調整機能を有さない簡素な表面性状測定機１においても、高度な熟練を必要とせず、容易にＸスライダ１４５の移動方向（Ｘ１方向）をワーク傾斜角に調整することが可能となる。以下、当該方法について、詳細に説明する。
【００３７】
図３は、本実施形態の駆動部傾斜調整方法のフローチャートである。
なお、本実施形態では、初期状態において、α軸１４７Ａを中心とした駆動本体部１４４の傾斜角度がほぼ０°であることを前提として以下説明する。
本実施形態の駆動部傾斜調整方法では、制御装置２０において、測定者の操作部２２の操作等によって、水平出し処理を行う旨の入力信号が入力されると、モード切替部２３４は、動作モードを水平出しモードに設定する（ステップＳ１）。
【００３８】
モード切替部２３４により、動作モードが水平出しモードに切り替えられると、制御部２３は、記憶部２１に記憶された駆動部傾斜調整プログラムを読み込んで実行する。これにより、ワーク角度取得部２３１は、ワークＷの被測定面の傾斜角度（ワーク傾斜角θ）を取得する（ステップＳ２；ワーク角度取得ステップ）。
【００３９】
このステップＳ２では、上述したように、ワーク角度取得部２３１は、ワークＷに対する予備測定の測定結果を用いてもよく、操作部２２の操作により設定入力された値を用いてもよい。
ここでは、ワークＷの被測定面に対して予備測定を実施する例を説明する。
図４は、予備測定を実施した際の被測定面に対する測定結果、及び当該測定結果から算出された被測定面に沿った傾斜線を示す図である。
この予備測定では、ワークＷの被測定面に、スタイラス１３３の先端が当接する位置に移動機構１４を駆動させる。予備測定では、被測定面の一部に対して測定を実施することになるため、当該一部において、アームホルダー１３２及びスタイラス１３３の揺動可能な角度範囲内でスタイラス１３３の先端が被測定面に当接すればよい。したがって、駆動本体部１４４を水平（ほぼ０°）に維持したまま予備測定を実施することができる。
【００４０】
なお、測定者がα軸調整つまみ１４８を操作することで、駆動本体部１４４（Ｘスライダ１４５）の傾斜角度を変更し、スタイラス１３３の移動方向であるＸ１軸が被測定面に略沿った状態としてもよい。この場合、予備測定中に、アームホルダー１３２及びスタイラス１３３の揺動可能な角度範囲外で被測定面にスタイラス１３３が当接する不都合を抑制でき、スタイラス１３３やワークＷの損傷を抑制できる。この場合でも、スタイラス１３３を被測定面の一部に対して当接させればよいので、本段階で当該傾斜角度を厳密に被測定面の傾斜角度に合わせ込む必要がない。
【００４１】
そして、上記のような予備測定では、スタイラス１３３をＸ１軸に沿って移動させて、被測定面の形状測定を実施すると、図４の実線にて示されるような検出結果が得られる。
ワーク角度取得部２３１は、得られた測定結果の各点の座標を用い、図４の破線にて示すような直線近似式を算出する。直線近似式の算出では、例えば最小二乗法等を用いることができる。また、ワーク角度取得部２３１は、算出した直線近似式（被測定面に沿った直線式）から、被測定面のワーク傾斜角θを求める。
なお、上記の例では、被測定面の一部に沿ってスタイラス１３３を移動させて測定させる予備測定に基づいたワーク傾斜角θの算出であるが、その他の方法を用いてもよい。例えば、スタイラスを被測定面上の２点以上の測定点に当接させ、各測定点における測定結果（Ｚスケール１４２Ａ，Ｘスケール１４６Ａ、及び検出センサー１３１Ａの測定値）から、これらの測定点を通る直線式（又は傾斜面の平面式）を算出してワーク傾斜角θを求めてもよい。
また、上述したように、予め被測定面のワーク傾斜角が分かっている場合では、測定者が操作部２２を操作することでワーク傾斜角を設定入力してもよい。
【００４２】
上記のステップＳ２の後、報知制御部２３３は、スタイラス１３３の先端をワークＷの被測定面に当接させる旨を、例えば表示装置３０に表示させて報知する（ステップＳ３）。なお、報知制御部２３３による報知処理は、上記のように表示装置３０の表示画面に表示させてもよく、駆動本体部１４４に設けられたディスプレイ（図示略）等に表示してもよく、音声による報知を行ってもよい。
これにより、測定者は、報知内容に従って、Ｚ調整ノブ１４３ＡやＸ調整ノブ１４６Ｂを操作することで、スタイラス１３３が被測定面に当接する位置となるようにＺスライダ１４２やＸスライダ１４５を移動させることができる。
【００４３】
そして、測定者による操作部２２の操作によりスタイラス１３３の位置設定が完了した旨の操作信号が入力されると、先端変位量算出部２３２は、Ｚスケール１４２Ａ及びＸスケール１４６Ａから出力される検出値を読み込み、スタイラス１３３の位置座標を取得する（ステップＳ４）。なお、ここでは、スタイラス１３３の位置として、Ｘ１方向及びＺ２方向の双方に対する位置座標を取得する例を示すが、少なくとも、Ｘ１方向に対するＸ位置が取得されればよい。スタイラス１３３の先端を当接させる被測定面の位置は、特に限定されない。
【００４４】
次に、先端変位量算出部２３２は、α軸１４７Ａ中心からスタイラス１３３の先端位置の座標を算出する（ステップＳ５）。
検出器本体１３１に装着される個々のアームホルダー１３２及びスタイラス１３３のそれぞれの設計寸法は既知であり、また、Ｘスケール１４６Ａにより駆動本体部１４４に対するＸスライダ１４５の位置（α軸１４７Ａに対するＸスライダ１４５の位置）が検出できる。
【００４５】
具体的には、先端変位量算出部２３２は、α軸１４７Ａを原点とし、Ｘ１方向（Ｘ１軸）と、α軸１４７Ａ及びＸ１方向に直交するＺ１方向（Ｚ１軸）との２軸座標系におけるスタイラス１３３の先端の座標（初期座標（Ｘ０，Ｚ０））を算出する。
Ｘ１方向に対する初期座標Ｘ０は、アームホルダー１３２の検出器本体１３１への装着位置から保持位置１３２Ａまでの寸法（既知）、スタイラス１３３のシャフト部がアームホルダー１３２に装着される保持位置１３２Ａから接触子が設けられる位置までの寸法（既知）、Ｘスライダ１４５や検出器本体１３１の設計寸法（既知）、及びＸスケール１４６Ａの検出値（測定値）により求められる。
Ｚ１方向に対する初期座標Ｚ０は、スタイラス１３３の接触子の突出寸法（既知）と、駆動本体部１４４におけるα軸１４７Ａから保持位置１３２ＡまでのＺ１方向の寸法（駆動本体部１４４やＸスライダ１４５、検出器本体１３１、アームホルダー１３２の既知の設計寸法から算出）とにより算出できる。
【００４６】
この後、先端変位量算出部２３２は、駆動本体部１４４を、α軸１４７Ａを中心に、ワーク傾斜角θ（ステップＳ２にて算出）だけ回転させた場合の、スタイラス１３３の先端の位置（移動量及び移動方向）を算出する（ステップＳ６；先端変位量算出ステップ）。
つまり、α軸を原点として、駆動本体部１４４をワーク傾斜角θだけ回転させた場合のスタイラス１３３の先端の座標を（Ｘ１，Ｚ１）とし、回転前の初期座標を（Ｘ０，Ｚ０）とすると、以下の式（１）（２）が成立する。
Ｘ１＝Ｘ０ｃｏｓθ−Ｚ０ｓｉｎθ  …（１）
Ｚ１＝Ｘ０ｓｉｎθ＋Ｚ０ｃｏｓθ  …（２）
よって、式（１）及び式（２）から、スタイラス１３３の先端のＺ方向の移動量及び移動方向は、下記式（３）より算出できる。
Ｚｍ＝Ｚ１−Ｚ０＝（Ｘ０ｓｉｎθ＋Ｚ０ｃｏｓθ）−Ｚ０  …（３）
【００４７】
上記式（１）〜（３）において、初期座標（Ｘ０，Ｚ０）は、ステップＳ４にて算出される座標であり、駆動本体部１４４をワーク傾斜角θだけ回転させた場合のスタイラス１３３の先端のＺ２方向への移動量は｜Ｚｍ｜であり、Ｚｍの正負符号が移動方向となる。
【００４８】
この後、検出センサー１３１Ａの検出値（スタイラス１３３の揺動変位量）が基準値となるように、Ｚスライダ１４２を移動させる旨を報知する（ステップＳ７；第一報知ステップ）。
つまり、検出センサー１３１Ａにより検出されるスタイラス１３３の揺動位置が基準位置となる状態にＺスライダ１４２を移動させる。ここで、基準位置としては、例えば検出センサー１３１Ａの検出値が０ｍｍ（スタイラス１３３がいずれの方向にも振れていない状態）となる位置を例示できる。
ステップＳ７により、測定者は、Ｚ調整ノブ１４３Ａを操作し、Ｚスライダ１４２を移動させる。そして、報知制御部２３３は、検出センサー１３１Ａの検出値を監視し、当該検出値が基準値となった場合に、表示装置３０や駆動本体部１４４に設けられたディスプレイへの画像表示や、音声等によって、調整が成功した旨を報知する（ステップＳ８）。
【００４９】
次に、報知制御部２３３は、ステップＳ５で算出した移動方向がワークＷから離れる方向であるか否かを判定する（ステップＳ９）。
【００５０】
ステップＳ９において、Ｙｅｓと判定された場合（ステップＳ６で算出した移動方向がワークＷから離れる方向である場合）、報知制御部２３３は、α軸調整つまみ１４８を調整してスタイラス１３３をワークＷから離れる方向に移動する旨を報知する（ステップＳ１０；退避ステップ）。
図５は、ステップＳ８の処理が完了した直後の状態を示すＸスライダ１４５に支持された検出器１３（アームホルダー１３２、及びスタイラス１３３）の位置を示す図である。図６は、ステップＳ１０により、スタイラス１３３をワークＷから退避させた状態を示す図である。
本実施形態では、ステップＳ６で算出された移動量（｜Ｚｍ｜）だけ、ステップＳ６で算出された移動方向とは反対側にＸスライダ１４５を移動させる（詳細は後述）ため、ステップＳ６にて算出された移動方向がワークＷとは反対側である場合に、Ｘスライダ１４５をワークＷ側に移動させることになる。この場合、スタイラス１３３がワークＷに押し込まれることになり、スタイラス１３３やワークＷが損傷する可能性がある。したがって、本実施形態では、ステップＳ６にて算出された移動方向がワークＷとは反対側である場合、図５に示すようなステップＳ６の状態から、図６に示すような状態に、駆動本体部１４４を回転させてスタイラス１３３の先端をワークから離れる方向に移動させる。
【００５１】
また、報知制御部２３３は、ステップＳ２で取得したワーク傾斜角θを報知して、テーブル１２に対する駆動本体部１４４の角度が当該ワーク傾斜角θ以上の角度となるように促してもよい。例えば上述のように、α軸目盛１４７Ｂが設けられている場合、当該α軸目盛１４７Ｂを参照しながらα軸調整つまみ１４８を調整することで、駆動本体部１４４、及び駆動本体部１４４に接続されるＸスライダ１４５の傾斜方向（Ｘ１方向）をワーク傾斜角θ以上に設定することは容易である。
【００５２】
そして、報知制御部２３３は、スタイラス１３３がワークＷから離間されたか否かを判定する（ステップＳ１１）。例えば、測定者が操作部２２を操作することで、スタイラス１３３をワークＷから離間させた旨の操作信号が入力された時点で、報知制御部２３３は、スタイラス１３３の移動が完了した（ＹＥＳ）と判定する。
【００５３】
ステップＳ１１においてＮｏと判定された場合は、スタイラス１３３の退避が完了するまで（つまり、ステップＳ１１においてＹｅｓと判定されるまで）待機する。
ステップＳ１１においてＹｅｓと判定された場合、及び、ステップＳ９においてＮｏと判定された場合（ステップＳ５で算出した移動方向がワークＷに近接する方向である場合）、Ｚスライダ１４２をＺ２方向に沿って移動させることで、Ｘスライダ１４５をステップＳ６にて算出した移動量（｜Ｚｍ｜）だけ、ステップＳ６にて算出した移動方向とは逆方向に移動させる旨を報知する（ステップＳ１２；第二報知ステップ）。
【００５４】
図７は、ステップＳ１２により実施される処理を示す概略図である。
このステップＳ１２の報知に従って、測定者がＺ調整ノブ１４３Ａを操作することで、Ｚスライダ１４２がＺ２方向に沿って移動され、この移動に伴い駆動本体部１４４、及び駆動本体部１４４に接続されるＸスライダ１４５も移動されて、図７に示すような状態にアームホルダー１３２及びスタイラス１３２が移動される。
この場合、報知制御部２３３は、Ｚスケール１４２Ａからの検出値に基づいて、Ｚスライダ１４２の移動量がＺｍとなったか否かを判定し、移動量がＺｍとなった場合に、画像表示や音声等によって、Ｚ方向への移動調整が成功した旨を報知する（ステップＳ１３）。
【００５５】
ステップＳ１３の後、報知制御部２３３は、さらに、α軸調整つまみを操作して、検出センサー１３１Ａの検出値が基準値（例えば０ｍｍ）となるように調整する旨を報知する（ステップＳ１４；第三報知ステップ、角度調整ステップ）。
これにより、測定者は、検出センサー１３１Ａの検出値（表示装置３０や駆動本体部１４４に設けられたディスプレイにて視認可能）を参照しながら、α軸調整つまみを操作し、検出センサー１３１Ａの検出値が基準値となる位置に、駆動本体部１４４の傾斜角度を調整する。Ｘスライダ１４５は、駆動本体部１４４に接続されているため、本操作により、駆動部であるＸスライダ１４５の傾斜角度が調整されることになり、Ｘスライダ１４５の移動方向であるＸ１方向が、ワークＷの被測定面の傾斜方向と同じ方向に調整されることになる。
【００５６】
ところで、上記例は、初期状態において、α軸１４７Ａに対する駆動本体部１４４の傾斜角度がほぼ０°となっていることを前提としているが、これに限定されない。
すなわち、駆動本体部１４４の傾斜角度は、初期状態において０°以外の角度で傾斜していてもよい。この場合では、例えば、測定者が当該傾斜角度を事前に入力することで、制御装置２０は、当該角度を考慮した調整を実施する。
具体的には、測定者により、初期状態の駆動本体部１４４の傾斜角度（θ０）が入力されると、制御装置２０は、ステップＳ１２において報知する、Ｚスライダ１４２のＺ２方向への移動量を１／ｃｏｓθ０倍する（つまり、｜Ｚｍ｜／ｃｏｓθ０だけＺスライダ１４２を移動させる旨を報知する）。これにより、Ｘ１-Ｚ１座標系と、Ｘ２−Ｚ２座標系とを合わせ込むことができる。
【００５７】
［本実施形態の作用効果］
本実施形態の表面性状測定機１では、水平出しモードにおいて、ステップＳ２のワーク角度取得ステップにより、ワークＷの被測定面の傾斜角度（ワーク傾斜角θ）を取得する。また、ステップＳ６の先端変位量算出ステップにより、駆動本体部１４４を、α軸１４７Ａを中心にワーク傾斜角θだけ回転させた場合の、スタイラス１３３の先端の位置（移動量及び移動方向）を算出する。さらに、ステップＳ７の第一報知ステップにより、検出センサー１３１Ａの検出値が基準値となるように、Ｚスライダ１４２を移動させる旨を報知する。このステップＳ７によって、Ｚスライダ１４２が移動された後、ステップＳ１２の第二報知ステップにより、Ｘスライダ１４５をステップＳ６にて算出した移動量（｜Ｚｍ｜）だけ、ステップＳ６にて算出した移動方向とは逆方向に移動させる旨を報知する。そして、ステップＳ１４の第三報知ステップ（角度調整ステップ）により、検出センサー１３１Ａの検出値が基準値（例えば０ｍｍ）となるように調整する旨を報知する。
【００５８】
これにより、駆動本体部１４４のα軸１４７Ａに対する傾斜角度を調整する際に、α軸目盛１４７Ｂを参照する方法ではなく、より高精度な測定値を検出可能な検出センサー１３１Ａの検出値に基づいて角度調整が行われることになる。
つまり、α軸目盛１４７Ｂでは、設けられた目盛単位（例えば１°単位）未満の精度で角度を調整することができないが、本実施形態では、検出センサー１３１Ａの検出値に基づいた高精度な駆動部の角度調整を実施できる。
また、本実施形態では、α軸１４７Ａ回りの駆動本体部１４４の角度を調整するために、別途駆動モーター等が不要であり、構成の簡略化を図れる。つまり、従来用いられている表面性状測定機１に対しても、制御装置２０に上記のような駆動部傾斜調整方法を実施するプログラムを導入するだけで、高精度な傾斜角度の調整を行うことができる。
【００５９】
本実施形態では、ステップＳ５において、Ｘスケール１４６Ａの検出値（測定値）、アームホルダー１３２の検出器本体１３１への装着位置から保持位置１３２Ａまでの寸法（既知）、スタイラス１３３のシャフト部がアームホルダー１３２に装着される保持位置１３２Ａから接触子が設けられる位置までの寸法（既知）、Ｘスライダ１４５や検出器本体１３１の設計寸法（既知）、スタイラス１３３の接触子の突出寸法（既知）、駆動本体部１４４におけるα軸１４７Ａから保持位置１３２ＡまでのＺ１方向の寸法（既知）を用いて、移動量及び移動方向を算出する。
よって、既知の値とＸスケール１４６Ａの検出値に基づいて、スタイラス１３３の先端位置の初期位置を容易に算出することができ、このスタイラス１３３の先端位置の初期位置とステップＳ２で取得したワーク傾斜角θとにより、スタイラス１３３の移動量及び移動方向を容易に算出できる。
【００６０】
本実施形態では、ステップＳ６により算出された移動方向がワークＷから離れる方向である場合に、α軸１４７Ａに対する駆動本体部１４４の角度を変化させて、スタイラス１３３をワークＷから離れる方向に回転させるよう報知する。
このため、ステップＳ１２〜ステップＳ１３の処理において、Ｚスライダ１４２を移動させる際に、スタイラス１３３がワークＷに押し込まれることがなく、スタイラス１３３やワークＷの破損を防止できる。
【００６１】
［第二実施形態］
次に、本発明に係る第二実施形態について説明する。
上述した第一実施形態では、ステップＳ３〜ステップＳ４、ステップＳ７〜ステップＳ８、及びステップＳ１２〜ステップＳ１３において、測定者に対して、Ｚスライダ１４２を移動させる旨を報知した（測定者による操作によりＺスライダ１４２が移動された）が、第二実施形態では、制御装置２０が実施する点で上記と相違する。
【００６２】
すなわち、本実施形態では、上記第一実施形態のステップＳ３〜ステップＳ４の処理に替えて、制御装置２０は、Ｘ駆動機構１４６を制御してＸスライダ１４５を移動させ、検出センサー１３１Ａからの検出値が変動した位置を当接位置として検出する。なお、Ｘ駆動機構１４６の代わりにＺ駆動機構１４３を駆動させてもよく、Ｘ駆動機構１４６及びＺ駆動機構１４３の双方を駆動させてもよい。
この場合、ステップＳ４において、先端変位量算出部２３２は、当該当接位置でのＺスケール１４２Ａ及びＸスケール１４６Ａから出力される検出値を読み込み、スタイラス１３３の位置座標を取得する。
【００６３】
また、ステップＳ７〜ステップＳ８の処理に替えて第一移動ステップを実施する。この場合、制御装置２０は、検出センサー１３１Ａの検出値を読み込みながら、Ｚ駆動機構１４３を制御してＺスライダ１４２を移動させる。そして、制御装置２０は、検出センサー１３１Ａの検出値が基準値となる位置でＺスライダ１４２の移動を停止させる。
【００６４】
さらに、ステップＳ１２〜ステップＳ１３の処理に替えて第二移動ステップを実施する。この場合、制御装置２０は、移動開始前のＺスケール１４２Ａの検出値（Ｚ座標）に、ステップＳ６にて算出された移動量Ｚｍを加算したＺ目標値を求め、Ｚ駆動機構１４３を制御して、Ｚスケール１４２Ａからの検出値がＺ目標値となる位置（図６に示す位置）に移動させる。
【００６５】
以上のような第二実施形態では、測定者は、ステップＳ９において「ＹＥＳ」と判定された場合における退避ステップ、及びステップＳ１４の角度調整ステップを実施すればよいため、第一実施形態に比べて、測定者による操作行程を削減でき、操作性を向上できる。
【００６６】
［変形例］
なお、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない範囲での変形等は本発明に含まれるものである。
例えば、上記実施形態では、本発明の産業機械を表面性状測定機１に適用した例を説明したが、その他、物品の寸法あるいは形状を測定するための多様な測定機に対して適用することができる。例えば、物品の表面上の各点位置を測定する三次元測定機、円筒状などの物品の真円度を測定する真円度測定機等に対して好適に適用することができる。
【００６７】
ステップＳ７〜ステップＳ８において、検出センサー１３１Ａの検出値が基準値 （０ｍｍ）となるように、Ｚ２軸を移動させる例を示したが、これに限定されない。例えば、ステップＳ３において、スタイラス１３３の先端を被測定面Ｗ２に当接させる際に、検出センサー１３１Ａの検出値が基準値となるように（スタイラス１３３の揺動位置が基準位置となるように）、スタイラス１３３をワークに当接させてもよい。
【００６８】
ステップＳ２において、ワーク傾斜角を予備測定により算出する場合、例えば、スタイラス１３３の先端を被測定面Ｗ２に沿って移動させる倣い測定を行ってもよい。また、手動によりスタイラスの先端を被測定面に接触させた際の位置データ（Ｚスケール１４２Ａ及びＸスケール１４６Ａの値）を、２点以上取得し、これらの位置データからワーク傾斜角を算出してもよい。さらに、ワーク傾斜角が既知である場合は、手動により制御装置２０に入力してもよい。
【００６９】
上記実施形態では、装置本体１０と制御装置２０と表示装置３０とが別体として構成される例を示したが、装置本体１０の例えば駆動本体部１４４等に表示部を設ける構成としてもよく、装置本体１０に制御装置２０を組み込む構成などとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明は、測定子を保持する駆動部の傾斜角度を変更可能な測定装置に利用できる。
【符号の説明】
【００７１】
１…表面性状測定機（測定器）、１０…装置本体、１３…検出器、１４…移動機構、２０…制御装置、２１…記憶部、２２…操作部、２３…制御部、１３１…検出器本体、１３１Ａ…検出センサー（揺動検出部）、１３２…アームホルダー、１３２Ａ…保持位置、１３３…スタイラス（測定子）、１４２…Ｚスライダ、１４２Ａ…Ｚスケール、１４３…Ｚ駆動機構、１４３Ａ…Ｚ調整ノブ、１４４…駆動本体部、１４５…Ｘスライダ（駆動部）、１４６…Ｘ駆動機構、１４６Ａ…Ｘスケール、１４６Ｂ…Ｘ調整ノブ、１４７…駆動部傾斜機構、１４７Ａ…α軸（調整軸）、１４７Ｂ…α軸目盛、２３１…ワーク角度取得部、２３２…先端変位量算出部、２３３…報知制御部、２３４…モード切替部、２３５…測定制御部。
【図１】
2018025507.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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