(57)【要約】【課題】基盤本体の表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、該貫通孔の開口部を底面に有し且つ前記表面に開口するキャビティと、を併有する形態でも、複数の配線基板を互いに接触させずに洗浄できる配線基板保持用治具などを提供する。【解決手段】基板本体２ａの表面３側と裏面４側と対向して配置される一対の基体部１１ａ，１１ｂと、該一対の基体部１１ａ，１１ｂに個別に形成され、且つ保持すべき基板本体２ａの貫通孔５内に該基板本体２ａの表面３側および裏面４側から個別に進入し、互いの先端面が接触する一対の凸部１３，１４と、上記基板本体２ａの表面側に配置される一方の基体部１１に形成され、且つ上記表面３に開口するキャビティ６内に進入可能であり、平面視が該キャビティ６の底面７と相似形状の箱形部１５と、を備えている、配線基板保持用治具１０ａ。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁材からなり、少なくとも対向する表面および裏面を有する基板本体と、該基板本体の表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、前記基板本体の表面に平面視で多角形状に開口し、且つ平面視で上記貫通孔の開口部を底面に有するか、あるいは、平面視で上記貫通孔と重複しない領域に形成された有底キャビティと、を備えた配線基板の洗浄工程を含む配線基板の製造方法であって、
上記洗浄工程は、上記基板本体の表面側および裏面側に個別に配置された一対の基体部から互いに対向する表面側の凸部および裏面側の凸部を、上記基板本体の貫通孔内に個別に進入させ、且つ該表面側の凸部と裏面側の凸部との先端面同士を接触させることで、上記基板本体の平面方向および厚み方向の移動を規制すると共に、
上記基板本体の表面側から上記キャビティ内に進入し、且つ平面視が該キャビティの底面と相似形状である箱形部を進入させ、上記基板本体の平面方向に沿った回転を阻止することで、前記基板本体の回転を規制する保持ステップと、
上記保持ステップで一定の姿勢に保持された状態の上記配線基板に対し、洗浄剤を接触させる洗浄ステップと、を備えている、
ことを特徴とする配線基板の製造方法。
【請求項２】
前記表面側の凸部は、前記箱形部の先端面から突設されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の配線基板の製造方法。
【請求項３】
絶縁材からなり、少なくとも対向する表面および裏面を有する基板本体と、該基板本体の表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、前記基板本体の表面に平面視で多角形状に開口し、且つ平面視で上記貫通孔の開口部を底面に有するか、あるいは、平面視で上記貫通孔と重複しない領域に形成された有底キャビティと、を備えた配線基板を保持するための配線基板保持用治具であって、
上記基板本体の表面側と裏面側と対向して配置される一対の基体部と、
上記一対の基体部に個別に形成され、且つ保持すべき上記基板本体の貫通孔内に該基板本体の表面側および裏面側から個別に進入し、互いの先端面が接触する一対の凸部と、
上記基板本体の表面側に配置される一方の基体部に形成され、且つ前記キャビティ内に進入可能であり、平面視が該キャビティの底面と相似形状の箱形部と、を備えている、
ことを特徴とする配線基板保持用治具。
【請求項４】
前記一方の基体部の凸部は、前記箱形部の先端面から突設されている、
ことを特徴とする請求項３に記載の配線基板保持用治具。
【請求項５】
前記一対の基体部、前記一対の凸部、および前記箱形部からなる単位保持体を、平面視で縦横に隣接して複数個併設した多数個の同時保持用である、
ことを特徴とする請求項３または４に記載の配線基板保持用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、複数個の配線基板を同時に洗浄する工程を含む配線基板の製造方法、および該製造方法などに用いる配線基板保持用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、複数個のパッケージを同時に洗浄および乾燥するため、四辺の側壁と、該側壁ごとの中程に設けた水平な棚部と、各側壁の上方に立設する四辺の保持壁と、該保持壁ごとの中間に設けた逆台形状の切り欠きと、からなるパッケージ保持部を平面視で縦横に隣接して格子状に併設したパッケージの保持用治具が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
上記パッケージの保持用治具によれば、上記切り欠きを経由して、洗浄液や乾燥空気が板形状のパッケージごとの周囲に流入し、且つ流出し易くなる反面、前記パッケージ保持部の下側から浮力を受けると、該パッケージ保持部内のパッケージが上方に浮き上がるおそれがあった。
【０００３】
ところで、配線基板には、その表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、該貫通孔の開口部を底面に有し且つ前記表面に開口する有底キャビティ、あるいは、前記貫通孔から離れた位置の表面に開口する有底キャビティと、を併有する形態が含まれる。かかる形態を有する複数個の配線基板を同時に洗浄する場合、上記貫通孔の内側に、該配線基板の表面側と裏面側との双方から個別に進入し、且つ互いの先端面が接触する一対の凸部を個別に有する表面側の保持治具と裏面側の保持治具とを用いることで、各配線基板がそれらの厚み方向および平面方向に沿って、過度に移動しないように保持した状態で、流動する洗浄液中に浸漬される。
しかし、前記貫通孔の内壁面と、一対の凸部の各側面との間に所要の隙間を配置しているため、流動する洗浄液の圧力により、上記一対の凸部を中心として個々の配線基板がその平面方向に沿って回転することによって、隣接する配線基板同士が互いに接触したり、甚だしくは損傷を誘発させる場合があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２０５２７４号公報（第１〜６頁、図１〜４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、背景技術で説明した問題点を解決し、絶縁材からなる基盤本体の表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、該貫通孔の開口部を底面に有し且つ前記表面に開口する有底キャビティ、あるいは、前記貫通孔から離れた位置の表面に開口する有底キャビティと、を併有する配線基板であっても、複数個の該配線基板を互いに接触させずに洗浄できる工程を含む配線基板の製造方法、および、複数個の該配線基板を保持するための保持用治具を提供する、ことを課題とする。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００６】
本発明は、前記課題を解決するため、前記一対の凸部同士の接触に加え、前記貫通孔と共に併設されたキャビティの内側に、平面視が該キャビティの底面と相似形状である箱形部を進入させる、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明による配線基板の製造方法（請求項１）は、絶縁材からなり、少なくとも対向する表面および裏面を有する基板本体と、該基板本体の表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、前記基板本体の表面に平面視で多角形状に開口し、且つ平面視で上記貫通孔の開口部を底面に有するか、あるいは、平面視で上記貫通孔と重複しない領域に形成された有底キャビティと、を備えた配線基板の洗浄工程を含む配線基板の製造方法であって、
上記洗浄工程は、上記基板本体の表面側および裏面側に個別に配置された一対の基体部から互いに対向する表面側の凸部および裏面側の凸部を、上記基板本体の貫通孔内に個別に進入させ、且つ該表面側の凸部と裏面側の凸部との先端面同士を接触させることで、上記基板本体の平面方向および厚み方向の移動を規制すると共に、上記基板本体の表面側から上記キャビティ内に進入し、且つ平面視が該キャビティの底面と相似形状である箱形部を進入させ、上記基板本体の平面方向に沿った回転を阻止することで、前記基板本体の回転を規制する保持ステップと、該保持ステップで一定の姿勢に保持された状態の上記配線基板に対し、洗浄剤を接触させる洗浄ステップと、を備えている、ことを特徴とする。
【０００７】
前記配線基板の製造方法によれば、以下の効果（１）が得られる。
（１）前記貫通孔内で先端面同士が接触する前記表面側の凸部と裏面側の凸部とにより、前記基板本体の平面方向および厚み方向の移動を規制できると共に、前記有底キャビティ内にその底面と平面視で相似形状である箱形部が進入することにより、上記基板本体の平面方向に沿った回転を阻止できる。その結果、例えば、複数個の配線基板を平面視で縦横に隣接させつつ配列しても、隣接し合う配線基板の基板本体同士が接触する事態を確実に阻止することができると共に、かかる配線基板の洗浄効率および生産性を向上させることも可能となる。
【０００８】
尚、前記配線基板は、アルミナなどのセラミック（絶縁材）、またはエポキシ系などの樹脂（絶縁材）からなり、少なくとも、前記基板本体で対向する表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、該基板本体の表面に平面視で多角形状に開口し、且つ平面視で上記貫通孔の開口部を底面に有するか、あるいは、平面視で上記貫通孔と離れた位置に開口する有底キャビティと、を備えた形態を有している。
また、前記洗浄工程は、例えば、配線基板を製造する際における工程同士の間、あるいは、最終的な検査工程の直前において行われる。
更に、前記洗浄剤は、水、湯、溶剤または界面活性剤を含む溶液、あるいは、冷風、温風（乾燥エアを含む）、高圧エアなどの流体である。
また、前記多角形状とは、四角形以上の正多角形あるいは変形多角形を指す。
加えて、前記一対の凸部と貫通孔との間、および前記キャビティと箱形部との間には、洗浄用の液体や気体の流通を可能とする程度の隙間が介在している。
【０００９】
また、本発明には、前記表面側の凸部は、前記箱形部の先端面から突設されている、配線基板の製造方法（請求項２）も含まれる。
これによれば、前記基板本体の表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、該基板本体の表面に開口し且つ平面視で前記貫通孔の開口部を底面に有する有底キャビティとを有する形態の配線基板に対しても、前記効果（１）が確実に得られる。
【００１０】
一方、本発明の配線基板保持用治具（請求項３）は、絶縁材からなり、少なくとも対向する表面および裏面を有する基板本体と、該基板本体の表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、前記基板本体の表面に平面視で多角形状に開口し、且つ平面視で上記貫通孔の開口部を底面に有するか、あるいは、平面視で上記貫通孔と重複しない領域に形成された有底キャビティと、を備えた配線基板を保持するための配線基板保持用治具であって、上記基板本体の表面側と裏面側と対向して配置される一対の基体部と、該一対の基体部に個別に形成され、且つ保持すべき上記基板本体の貫通孔内に該基板本体の表面側および裏面側から個別に進入し、互いの先端面が接触する一対の凸部と、上記基板本体の表面側に配置される一方の基体部に形成され、且つ前記キャビティ内に進入可能であり、平面視が該キャビティの底面と相似形状の箱形部と、を備えている、ことを特徴とする。
【００１１】
前記配線基板保持用治具によれば、以下の効果（２）が得られる。
（２）前記一対の基体部に対向して個別に形成された前記一対の凸部が、前記基板本体の貫通孔内でそれらの先端面同士が接触することで、洗浄液などに圧力に抗して、上記基板本体の平面方向および厚み方向の移動を規制できる。同時に、一方の基体部に形成され且つ平面視が前記キャビティの底面と相似形状の箱形部が該キャビティの内側に進入することで、流動する洗浄液などに圧力に抗して、上記基板本体の平面方向に沿った回転を阻止できる。従って、隣接し合う複数個の配線基板の基板本体同士が接触する事態を確実に予防できると共に、比較的低コストにより配線基板の洗浄効率および生産性の向上に寄与することができる。
尚、前記配線基板保持用治具は、樹脂または金属からなり、複数個の配線基板を平面視で縦横に隣接して格子状あるいは千鳥状のパターンにより個別に保持することで、隣接する配線基板同士が互いに接触あるいは衝突して損傷する事態を防ぎつつ、前記洗浄工程を確実に施すために用いられる。
また、前記凸部は、立方体形状、直方体形状、あるいは円柱体形状を呈する。
更に、前記配線基板保持用治具は、例えば、複数個の配線基板を洗浄する洗浄工程の他、無電解金属メッキ工程やデスミア処理工程などにも適用可能である。
【００１２】
また、本発明には、前記一方の基体部の凸部は、前記箱形部の先端面から突設されている、配線基板保持用治具（請求項４）も含まれる。
これによれば、前記基板本体の表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、該基板本体の表面に開口し且つ平面視で該貫通孔の開口部を底面に有する有底キャビティとを有する形態の配線基板に対しても、前記効果（２）を確実に得られる。
【００１３】
更に、本発明には、前記一対の基体部、前記一対の凸部、および前記箱形部からなる単位保持体を、平面視で縦横に隣接して複数個併設した多数個の同時保持用である、配線基板保持用治具（請求項５）も含まれる。
これによれば、平面視で縦横に隣接し合う複数個の配線基板を同時に前記のように保持することができるので、例えば、前記洗浄工程などを効率良く行えるため、前記効果（２）を一層確実に奏することが可能となる。
尚、前記単位保持体を平面視で縦横に隣接して複数組併設した前記配線基板保持用治具に対する複数個の配線基板のセットおよびリセットは、例えば、個々の配線基板におけるキャビティの底面ごとに対し、複数の吸引管を個別に接触させることにより行うことが可能である。
また、複数組の前記単位保持体を平面視で縦横に隣接して複数個併設した領域の外側に、平面視で四角形状の外枠を併設した形態としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】（Ａ）は本発明の製造方法の対象となる一形態の配線基板を示す斜視図、（Ｂ）は（Ａ）中のＸ−Ｘ線の矢視に沿った垂直断面図。
【図２】（Ａ）は上記配線基板の保持原理を示す垂直断面図、（Ｂ）、（Ｃ）は（Ａ）中のＹ−Ｙ線、あるいはＺ−Ｚ線の矢視に沿った水平断面図。
【図３】（Ａ）は１種類からなる一対の配線基板保持用治具を示す垂直断面図、（Ｂ）は上記配線基板を保持した該保持用治具を示す垂直断面図、（Ｃ）は該保持用治具における単位保持体を示す斜視図。
【図４】（Ａ）は図３（Ｂ）中のｕ−ｕ線の矢視に沿った上記保持用治具の底面図、（Ｂ）は図３（Ｂ）中のｄ−ｄ線の矢視に沿った上記保持用治具の平面図。
【図５】（Ａ）は本発明の対象で且つ異なる形態の配線基板を示す斜視図、（Ｂ）は（Ａ）中のＸ−Ｘ線の矢視に沿った垂直断面図、（Ｃ）は上記配線基板用の保持治具における単位保持体を示す斜視図、（Ｄ）は複数の上記配線基板を保持した一対の上記保持治具を示す垂直断面図。
【図６】（Ａ）は図５（Ｄ）中のｕ−ｕ線の矢視に沿った上記保持用治具の底面図、（Ｂ）は図５（Ｄ）中のｄ−ｄ線の矢視に沿った上記保持用治具の平面図。
【図７】（Ａ）は本発明の対象で且つ更に異なる形態の配線基板を示す斜視図、（Ｂ）は（Ａ）中のＸ−Ｘ線の矢視に沿った垂直断面図、（Ｃ）は上記配線基板用の保持治具における単位保持体を示す斜視図、（Ｄ）は複数の上記配線基板を保持した一対の前記保持治具を示す垂直断面図。
【図８】（Ａ）は図７（Ｄ）中のｕ−ｕ線の矢視に沿った上記保持用治具の底面図、（Ｂ）は図７（Ｄ）中のｄ−ｄ線の矢視に沿った上記保持用治具の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下において、本発明を実施するための形態について説明する。
図１（Ａ）は、本発明の対象である一形態の配線基板Ｐ１を示す斜視図、図１（Ｂ）は、（Ａ）中のＸ−Ｘ線の矢視に沿った垂直断面図である。
上記配線基板Ｐ１は、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、平面視の外形が長方形状を呈し、且つ対抗する表面３および裏面４を有する基板本体２ａと、該基板本体２ａの表面３に平面視で四角形（多角形）状に開口する有底キャビティ６と、該有底キャビティ６の底面７と上記裏面４との間を貫通し、且つ平面視が長方形状の貫通孔５と、を備えている。
【００１６】
前記基板本体２ａは、例えば、アルミナ（絶縁材）からなる複数のセラミック層（図示せず）を積層したものである。
また、前記有底キャビティ６の底面７には、追って実装される電子部品を搭載するための複数のパッド（何れも図示せず、以下も同じ）が形成され、基板本体２ａの裏面４には、複数の外部接続端子が形成されていると共に、かかる外部接続端子と上記パッドとは、上記底面７と裏面４との間を貫通するビア導体を介して電気的に接続されている。尚、上記パッド、外部接続端子、およびビア導体などの導体は、例えば、タングステン（以下、単にＷと記載する）あるいはモリブデンからなる。
更に、前記有底キャビティ６は、前記底面７と基板本体２ａの表面３との間に、四辺の側面８を有している。即ち、該有底キャビティ６は、全体が直方体形状を呈している。加えて、前記ビア導体の中間で且つ記底面７と裏面４との間には、内層配線（図示せず）などの導体が形成されていても良い。
【００１７】
前記のような配線基板Ｐ１は、多数個取りの形態で複数層のグリーンシートに対する孔空け、該孔内や前記グリーンシートの両面へのＷ粉末などを含む導電性ペーストの充填ないし印刷形成、かかる複数層のグリーンシートとの積層および圧着、得られたグリーンシート積層体の脱脂および焼成、前記バッドなどの外部に露出する導体の表面への電解金属（例えば、ニッケルおよび金）メッキ、前記バッドなどを含む個々の配線基板Ｐ１に個別に切断して、個々の配線基板１ａとしたもので、且つ最終検査の前に行われる洗浄工程を受ける直前の状態にある。
尚、前記配線基板Ｐ１に対する洗浄工程は、生産性の観点から、後述するように、個々に分割された複数個の配線基板Ｐ１に対して同時に施される。
【００１８】
図２（Ａ）は、前記配線基板Ｐ１を保持するための原理を示す垂直断面図、図２（Ｂ）、（Ｃ）は（Ａ）中のＹ−Ｙ線あるいはＺ−Ｚ線の矢視に沿った水平断面図である。本発明による前記配線基板Ｐ１に施す洗浄工程では、該配線基板Ｐ１を洗浄する洗浄ステップに先立って、かかる配線基板Ｐ１を配線基板保持用治具１０ａによって保持する保持ステップが行われる。
上記配線基板保持用治具１０ａは、図２（Ａ）に示すように、配線基板Ｐ１の基板本体２ａにおける表面３および裏面４に沿って個別に配置された上下一対の基体部１１ａ，１１ｂと、表面３側の基体部１１ａから延び且つ有底キャビティ６内に進入し、平面視が該キャビティ６の底面７と相似形状である箱形部１５と、該箱形部１５の先端面および裏面４側の基体部１１ｂから互いに対向しつつ延びて接近し、且つ互いの先端面同士が接触する表面３側の凸部１３および裏面４側の凸部１４と、を備えている。
【００１９】
図２（Ａ）に示すように、一対の基体部１１ａ，１１ｂが基板本体２ａの表面３および裏面４に個別に接近することにより、前記配線基板Ｐ１の厚み方向の移動を規制している。また、図２（Ｂ）に示すように、前記有底キャビティ６内には、該キャビティ６の各側面８との間に所要の隙間を介して、前記箱形部１５が進入することにより、前記配線基板Ｐ１の平面方向に沿った回転を規制している。
更に、図２（Ｃ）に示すように、前記貫通孔５内に、図示する裏面４側の凸部１４、およびこれと先端面同士が接触する表面３側の凸部１３が、該貫通孔５の内壁と所要の隙間を介して進入することにより、前記配線基板Ｐ１の平面方向に沿った移動を規制している。
尚、配線基板保持用治具１０ａを構成している表面３側の凸部１３および箱形部１５を一体に有する表面３側の基体部１１ａと、前記裏面４側の凸部１４を一体に有する裏面４側の基体部１１ｂとは、合成樹脂（例えば、塩化ビニール）の射出成形材や、金属（例えば、アルミニウム合金）のダイカスト材からなる。
【００２０】
前記配線基板保持用治具１０ａは、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、図示しない１種類の金型により成形するため、図示の水平（平面）方向に沿った基体部１１と、該基体部１１の上面から等間隔に突出する複数の裏面４側の凸部１４と、前記基体部１１の底面から等間隔に突出する複数の箱形部１５と、該箱形部１５の先端面ごとから個別に突出する複数の表面３側の凸部１３と、からなる。かかる１種類の保持用治具１０ａを、上下一対で対向して配置し、これらの間に前記同様の保持原理によって、複数個の前記配線基板Ｐ１を保持可能としている。
【００２１】
図３（Ｃ）は、配線基板保持用治具１０ａの単位保持体１０ａｕを示す斜視図であり、該単位保持体１０ａｕにおける箱形部１５付近の前記基体部１１の両側面から、該基体部１１と平面方向で直交する一対の基体部１２が両側に延びている。かかる基体部１１，１２を平面視で格子枠状に連設する形態とすることにより、複数個の配線基板Ｐ１を平面視で縦横に格子状に隣接させて保持し且つ洗浄することができる。
また、１つの配線基板保持用治具１０ａは、基体部１１の上面に突出する裏面４側の凸部１４と、基体部１１の底面に突出する箱形部１５と該箱形部１５の先端面から突出する表面３側の凸部１３とを備えているため、複数の配線基板保持用治具１０ａを、前記図３（Ａ），（Ｂ）の上下方向（平面方向と垂直な方向）に更に積み重ねることで、かかる上下方向においても、複数個の配線基板Ｐ１を隣接させて保持し且つ洗浄することも可能である。
【００２２】
図４（Ａ）は、図３（Ｂ）中のｕ−ｕ線に沿った視角、即ち、表面３側の凸部１３の先端面の位置からの視角による前記保持用治具１０ａの底面を示している。
図４（Ａ）に示すように、図示で水平（平面）方向に沿った複数列の基体部１１と、平面方向で且つ図示の垂直方向に沿った複数列の基体部１２とを有し、これらの交差部ごと付近に前記単位保持体１０ａｕの箱形部１５および表面３側の凸部１３が位置している。図示のように、前記配線基板Ｐ１ごとの有底キャビティ６内ごとには所要の隙間を挟んで前記箱形部１５が進入し、且つ上記配線基板Ｐ１ごとの貫通孔５内の表面３側には、所要の隙間を挟んで前記表面３側の凸部１３が個別に進入している。
【００２３】
一方、図３（Ｂ）中のｄ−ｄ線に沿った視角、即ち、裏面４側の凸部１４の先端面の位置からの視角による前記保持用治具１０ａの上面（平面）を示す図４（Ｂ）に示すように、図示で水平方向に沿った複数列の基体部１１と、平面方向で且つ図示の垂直方向に沿った複数列の基体部１２とを有し、これらの交差部ごと付近に前記単位保持体１０ａｕにおける裏面４側の凸部１４が位置している。図示のように、前記配線基板Ｐ１ごとの貫通孔５内の裏面４側には、所要の隙間を挟んで前記裏面４側の凸部１４が個別に進入している。
以上のように、平面視で縦横ごとに隙間を介して隣接した複数個の配線基板Ｐ１を、上下一対の配線基板保持用治具１０ａ間で保持することによって、各配線基板Ｐ１を確実に平面方向の移動および回転を規制し且つ厚み方向の移動を規制することができる。
【００２４】
その結果、前記保持ステップに続いて、図示しない洗浄液中に浸漬する洗浄ステップを施した際にも、前記洗浄液の流動による圧力によって、図４（Ａ），（Ｂ）中の破線で示すように、互いに隣接する配線基板Ｐ１の基板本体２ａが接触する事態を確実に阻止することができる。従って、前記のような洗浄工程を含む配線基板Ｐの製造方法によれば、前記効果（１）を確実に奏することができる。
一方、前記配線基板保持用治具１０ａによれば、１種類の形態の該保持用治具１０ａを上下一対併用することで、前記効果（１）を奏する洗浄工程を確実に行えると共に、比較的低コストにより配線基板Ｐ１の洗浄効率と生産性の向上にも寄与できる。従って、前記効果（２）を確実に奏することが可能となる。
【００２５】
図５（Ａ）は、異なる形態の配線基板Ｐ２を示す斜視図、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）中のＸ−Ｘ線の矢視に沿った垂直断面図である。
上記配線基板Ｐ２は、図５（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記同様のセラミック（絶縁材）からなり、平面視の外形が長方形状で且つ対抗する表面３および裏面４を有する基板本体２ｂと、該基板本体２ｂの表面３と裏面４との間を貫通する平面視が長方形状の貫通孔５と、該貫通孔５と平面視で重複しない前記表面３の領域に開口する前記同様の有底キャビティ６と、を備えている。図示のように、上記貫通孔５の開口部と有底キャビティ６の開口部とは、上記基板本体２ｂの表面３における長辺方向に沿って隣接している。尚、該配線基板Ｐ２においても、前記パッドなどの導体が前記同様にして配設されている。
【００２６】
図５（Ｃ）は、前記配線基板Ｐ２を保持するための配線基板保持用治具１０ｂにおける単位保持体１０ｂｕを示す斜視図である。
上記単位保持体１０ｂｕにおける箱形部１５付近の前記基体部１１の両側面から、該基体部１１と平面方向で直交する一対の基体部１２が両側に延びており、これらの基体部１１，１２を平面視で格子枠状に連設する形態とすることで、図５（Ｄ）および図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、複数個の配線基板Ｐ２を平面視で互いに縦横に隣接させて保持し、且つ洗浄することが可能となる。
即ち、前記配線基板保持用治具１０ｂは、図５（Ｄ）に示すように、図示で水平（平面）方向に沿った基体部１１と、該基体部１１の上面および底面の同じ位置ごとから等間隔に突出する複数の表面３側の凸部１３および裏面４側の凸部１４と、前記表面３側の凸部１３ごとに隣接して上記基体部１１の底面から突出する複数の箱形部１５と、を備えた上下一対を１組として使用される。
【００２７】
図５（Ｄ）に示すように、上下一対の配線基板保持用治具１０ｂにおける基体部１１から延びた表面３側の凸部１３と裏面４側の凸部１４とは、配線基板Ｐ２ごとの貫通孔５内に、その表面３側および裏面４側から個別に進入し、且つ互いの先端面を接触させている。また、配線基板Ｐ２ごとの表面３側の基体部１１から突出した複数の箱形部１５は、上記配線基板Ｐ２ごとの有底キャビティ６内ごとに個別に進入している。
図６（Ａ）は、図５（Ｄ）中のｕ−ｕ線に沿った視角、即ち、表面３側の凸部１３の先端面の位置からの視角による前記保持用治具１０ｂの底面を示している。
図６（Ａ）に示すように、図示で水平（平面）方向に沿った複数列の基体部１１と、平面方向で且つ図示の垂直方向に沿った複数列の基体部１２とを有し、これらの交差部ごとの付近に前記単位保持体１０ｂｕの箱形部１５および表面３側の凸部１３が位置している。
図示のように、前記配線基板Ｐ２ごとの有底キャビティ６内ごとには所要の隙間を挟んで前記箱形部１５が進入し、且つ上記配線基板Ｐ２ごとの貫通孔５内の表面３側には、所要の隙間を挟んで前記表面３側の凸部１３が個別に進入している。
【００２８】
一方、図５（Ｄ）中のｄ−ｄ線に沿った視角、即ち、裏面４側の凸部１４の先端面の位置から視角による前記保持用治具１０ｂの上面（平面）を示す図６（Ｂ）に示すように、図示で水平（平面）方向に沿った複数列の基体部１１と、平面方向で且つ図示の垂直方向に沿った複数列の基体部１２とを有し、これらの交差部ごとの付近に前記単位保持体１０ｂｕにおける裏面４側の凸部１４が位置している。図示のように、前記配線基板Ｐ２ごとの貫通孔５ごとの貫通孔５内の裏面４側には、所要の隙間を挟んで前記裏面４側の凸部１４が個別に進入している。
上記のように、平面視で縦横ごとに隙間を介して隣接した複数個の配線基板Ｐ２を、上下一対の配線基板保持用治具１０ｂ間で保持することによって、各配線基板Ｐ２の平面方向の移動および回転を確実に規制し、且つ厚み方向の移動を確実に規制することができる。
【００２９】
以上のように、平面視で縦横ごとに隙間を介して隣接した複数個の配線基板Ｐ２を、上下一対の配線基板保持用治具１０ｂ間で保持することによって、各配線基板Ｐ２の平面方向の移動および回転を確実に規制し、且つ厚み方向の移動を確実に規制することができる。
その結果、前記保持ステップに続き、図示しない洗浄液中に浸漬する洗浄ステップを施した際にも、前記洗浄液の流動による圧力により、図６（Ａ），（Ｂ）中の破線で示すように、互いに隣接する配線基板Ｐ２の基板本体２ｂが接触する事態を確実に阻止することがてきる。従って、前記のような洗浄工程を含む配線基板Ｐ２の製造方法によっても、前記効果（１）を確実に奏することができる。
【００３０】
しかも、前記配線基板保持用治具１０ｂによっても、１種類の形態のものを上下一対併用することで、前記効果（１）を奏する洗浄工程を確実に行えると共に、比較的低コストにより配線基板Ｐ２の洗浄効率および生産性の向上にも寄与することができる。従って、前記効果（２）を確実に奏することが可能となる。
加えて、前記配線基板保持用治具１０ｂにおいても、前述した配線基板保持用治具１０ａと同様に、前記図５（Ｄ）の上下方向（平面方向と垂直な方向）に沿って、複数の該配線基板保持用治具１０ｂを更に積み重ねることで、該上下方向においても複数個の配線基板Ｐ２を隣接して保持し且つ洗浄することも可能となる。
【００３１】
図７（Ａ）は、更に異なる形態の配線基板Ｐ３を示す斜視図、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）中のＸ−Ｘ線の矢視に沿った垂直断面図である。
上記配線基板Ｐ３は、図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、前記同様のセラミック（絶縁材）からなり、平面視の外形が長方形状で且つ対抗する表面３および裏面４を有する基板本体２ｃと、該基板本体２ｃの表面３と裏面４との間を貫通する平面視が長方形状の貫通孔５と、該貫通孔５と平面視で重複しない前記表面３の領域に開口する前記同様の有底キャビティ６と、を備えている。図示のように、上記貫通孔５の開口部と有底キャビティ６の開口部とは、上記基板本体２ｃの表面３において対向する一対の長辺の何れか一方に接近するようにずれている。
尚、上記配線基板Ｐ３においても、前記パッドなどの導体が前記同様にして配設されている。
【００３２】
図７（Ｃ）は、前記配線基板Ｐ３を保持するための配線基板保持用治具１０ｃの単位保持体１０ｃｕを示す斜視図である。
上記単位保持体１０ｃｕにおける箱形部１５付近の前記基体部１１の両側面から、該基体部１１と平面方向で直交する一対の基体部１２が両側に延びており、これらの基体部１１，１２を平面視で格子枠状に連設する形態とすることで、図７（Ｄ）および図８（Ａ），（Ｂ）に示すように、複数個の配線基板Ｐ３を平面視で互いに縦横に隣接させて保持し、且つ洗浄することが可能となる。
即ち、前記配線基板保持用治具１０ｃは、図７（Ｄ）に示すように、図示で水平（平面）方向に沿った基体部１１と、該基体部１１の上面および底面の同じ位置ごとから等間隔に突出する複数の表面３側の凸部１３および裏面４側の凸部１４と、前記表面３側の凸部１３ごとに隣接して上記基体部１１の底面から突出する複数の箱形部１５と、を備えた上下一対を１組として使用される。
【００３３】
図７（Ｄ）に示すように、上下一対の配線基板保持用治具１０ｃにおける基体部１１から延びた表面３側の凸部１３と裏面４側の凸部１４とは、配線基板Ｐ３ごとの貫通孔５内に、その表面３側および裏面４側から個別に進入し、且つ互いの先端面を接触させている。また、配線基板Ｐ３ごとの表面３側の基体部１１から突出した複数の箱形部１５は、上記配線基板Ｐ３ごとの有底キャビティ６内ごとに個別に進入している。
図８（Ａ）は、図７（Ｄ）中のｕ−ｕ線に沿った視角、即ち、表面３側の凸部１３の先端面の位置からの視角による前記保持用治具１０ｃの底面を示している。
【００３４】
即ち、図８（Ａ）に示すように、図示で水平（平面）方向に沿った複数列の基体部１１と、平面方向で且つ図示の垂直方向に沿った複数列の基体部１２とを有し、これらの交差部ごと付近に前記単位保持体１０ｂｕの箱形部１５および表面３側の凸部１３が位置している。図示のように、前記配線基板Ｐ３ごとの有底キャビティ６内ごとには所要の隙間を挟んで前記箱形部１５が進入し、且つ上記配線基板Ｐ３ごとの貫通孔５内の表面３側には、所要の隙間を挟んで前記表面３側の凸部１３が個別に進入している。
一方、図７（Ｄ）中のｄ−ｄ線に沿った視角、即ち、裏面４側の凸部１４の先端面の位置からの視角による前記保持用治具１０ｃの上面（平面）を示す図８（Ｂ）に示すように、図示で水平（平面）方向に沿った複数列の基体部１１と、平面方向で且つ図示の垂直方向に沿った複数列の基体部１２とを有し、これらの交差部ごと付近に前記単位保持体１０ｃｕにおける裏面４側の凸部１４が位置している。図示のように、前記配線基板Ｐ２ごとの貫通孔５ごとの貫通孔５内の裏面４側には、所要の隙間を挟んで前記裏面４側の凸部１４が個別に進入している。
【００３５】
前記のように、平面視で縦横ごとに隙間を介して隣接した複数個の配線基板Ｐ３を、上下一対の配線基板保持用治具１０ｃ間で保持することによって、各配線基板Ｐ３の平面方向の移動および回転を確実に規制し、且つ厚み方向の移動を確実に規制することができる。
その結果、前記保持ステップに続いて、図示しない洗浄液中に浸漬する洗浄ステップを施した際にも、前記洗浄液の流動による圧力によって、図８（Ａ），（Ｂ）中の破線で示すように、互いに隣接する配線基板Ｐ３の基板本体２ｃが接触する事態を確実に阻止することができる。従って、前記のような洗浄工程を含む配線基板Ｐ３の製造方法にても、前記効果（１）を確実に奏することができる。
【００３６】
更に、前記配線基板保持用治具１０ｃによっても、１種類の形態のものを上下一対併用することで、前記効果（１）を奏する洗浄工程を確実に行えると共に、比較的低コストにより配線基板Ｐ３の洗浄効率および生産性の向上にも寄与することができる。従って、前記効果（２）を確実に奏することが可能となる。
加えて、前記配線基板保持用治具１０ｃにおいても、前述した配線基板保持用治具１０ａ，１０ｂと同様に、前記図７（Ｄ）の上下方向（平面方向と垂直な方向）に沿って、複数の該配線基板保持用治具１０ｃを更に積み重ねることで、該上下方向においても複数個の配線基板Ｐ３を隣接して保持し且つ洗浄することも可能となる。
【００３７】
本発明は、以上において説明した各形態に限定されるものではない。
例えば、前記配線基板Ｐ１〜Ｐ３の基板本体２ａ〜２ｃは、前記アルミナ以外のセラミック（絶縁材）からなるものとしたり、例えば、エポキシ系の合成樹脂（絶縁材）からなるものとしても良い。
また、前記貫通孔５は、平面視で五角形以上の正多角形あるいは変形多角形を呈する形態でも良く、これらの内側に進入する前記一対の凸部ごとの断面も前記形状とほぼ相似形としても良い。
更に、前記底有キャビティ６も、平面視で五角形以上の正多角形あるいは変形多角形を呈する形態としても良い。
また、前記貫通孔５や底有キャビティ６の少なくとも一方は、１つの基板本体２ａ〜２ｃに複数形成されていても良く、かかる形態の場合、何れか１つの貫通孔５や有底キャビティ６内に、前記凸部１３，１４や箱形部１５が進入するようにされていれば良い。
【００３８】
更に、前記配線基板保持用治具１０ａ〜１０ｃは、複数組の単位保持体１０ａｕ〜１０ｃｕの周囲に、これらを囲む平面視が矩形状の外枠を有していても良い。
また、前記前記配線基板保持用治具１０ａ〜１０ｃは、それぞれ３つ以上を上下方向に沿って併設することで、複数個の前記配線基板Ｐ１〜Ｐ３を、それらの厚み方向においても前記同様に２段以上にして保持し、且つ洗浄しても良い。
更に、前記配線基板保持用治具１０ａ〜１０ｃは、複数組の単位保持体１０ａｕ〜１０ｃｕを平面視で千鳥模様に配列した形態としても良い。
加えて、前記前記配線基板保持用治具１０ａ〜１０ｃは、前記配線基板Ｐ１〜Ｐ３を保持しつつメッキ、研磨、表面処理などの工程に使用しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明によれば、絶縁材からなる基盤本体の表面と裏面との間を貫通する貫通孔と、該貫通孔の開口部を底面に有し且つ前記表面に開口する有底キャビティ、あるいは、前記貫通孔から離れた位置の表面に開口する有底キャビティとを併有する配線基板であっても、複数個の該配線基板を互いに接触させずに洗浄できる工程を含む配線基板の製造方法、および、複数個の該配線基板を保持する保持用治具を確実に提供することができる。
【符号の説明】
【００４０】
Ｐ１〜Ｐ３……………配線基板
２ａ〜２ｃ……………基板本体
３………………………表面
４………………………裏面
５………………………貫通孔
６………………………有底キャビティ
７………………………底面
１０ａ〜１０ｃ………配線基板保持用治具
１０ａｕ〜１０ｃｕ…単位保持体
１１，１２……………基体部
１３……………………表面側の凸部
１４……………………裏面側の凸部
１５……………………箱形部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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