(57)【要約】【課題】素子基板から効率的に放熱して過熱を抑えることができ、かつ支持部材と素子基板の接合の信頼性の低下を抑えることができる液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】互いに接合される素子基板２と支持部材１とを含む液体吐出ヘッドにおいて、支持部材１には、素子基板２との接合面１ａにおいて開口している、素子基板２に供給する液体のための供給流路９が形成されている。供給流路９の内部には、供給流路９を横切る方向に供給流路９の一方の内壁面から他方の内壁面に向かって延びる梁１０が設けられている。梁１０の、供給流路９の内壁面との接続部１０ａが、支持部材１の素子基板２との接合面１ａから供給流路９の深さ方向に離れた位置にある。【選択図】図３
2018149710.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに接合される素子基板と支持部材とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記支持部材には、前記素子基板との接合面において開口している、前記素子基板に供給する液体のための供給流路が形成されており、
前記供給流路の内部には、該供給流路を横切る方向に該供給流路の一方の内壁面から他方の内壁面に向かって延びる梁が設けられており、
前記梁の、前記供給流路の前記内壁面との接続部が、前記支持部材の前記素子基板との接合面から前記供給流路の深さ方向に離れた位置にある、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記支持部材の厚さは３．０ｍｍ以上であり、前記梁の、前記供給流路の前記内壁面との接続部は、前記支持部材の前記接合面から０．５ｍｍから１．０ｍｍの範囲内の距離だけ前記深さ方向に離れた位置にある、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
互いに接合される素子基板と支持部材とを含む液体吐出ヘッドであって、
前記支持部材には、前記素子基板との接合面において開口している、前記素子基板に供給する液体のための溝状の供給流路が形成されており、
前記供給流路の内部には、該供給流路を横切る方向に該供給流路の一方の内壁面から他方の内壁面に向かって延びる第１の梁と、前記第１の梁に接続されて前記供給流路の長手方向に延びる第２の梁とが設けられており、
前記第１の梁は、前記供給流路を横切る方向において、一方の前記内壁面との接続部から前記第２の梁の一方の面との接続部に至り、さらに前記第２の梁の他方の面との接続部から他方の前記内壁面との接続部に至り、
前記第１の梁の、前記供給流路の前記内壁面との接続部、および前記第２の梁との接続部のうちの一方または両方が、前記支持部材の前記素子基板との接合面から前記供給流路の深さ方向に離れた位置にある、液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記支持部材の厚さは３．０ｍｍ以上であり、前記第１の梁の、前記供給流路の前記内壁面との接続部、および前記第２の梁との接続部のうち、前記支持部材の前記接合面から前記深さ方向に離れた位置にある前記接続部は、前記接合面から０．５ｍｍから１．０ｍｍの範囲内の距離だけ前記深さ方向に離れた位置にある、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第２の梁は、前記供給流路の長手方向の全長にわたって延びている、請求項３または４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１の梁は、前記供給流路を横切る方向に見て、一方の前記内壁面との接続部から、前記深さ方向に前記接合面からさらに離れた後に再び接近して前記第２の梁の一方の面との接続部に至り、前記第２の梁の他方の面との接続部から、前記深さ方向に前記接合面からさらに離れた後に再び接近して他方の前記内壁面との接続部に至る形状を有している、請求項３から５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記第１の梁は前記接合面から離れた位置にあり、前記第２の梁は前記接合面の一部を構成する、請求項３から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記素子基板には、前記供給流路から前記液体の供給を受ける複数の発泡室が設けられている、請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
画像記録等のために液体を吐出する液体吐出ヘッドの一例が特許文献１に開示されている。この液体吐出ヘッドでは、支持部材（第１のプレート）の上に素子基板が接合されている。素子基板は吐出口形成部材（吐出口プレート）を含み、吐出口形成部材には、吐出口が複数の列をなすように並べて形成されている。素子基板には、各吐出口とそれぞれ連通する複数の発泡室（供給口）が形成されている。各発泡室には電気熱変換素子がそれぞれ配置されている。支持部材には、各発泡室に液体を供給する溝状の供給流路が形成されている。支持部材の供給流路を介して素子基板の発泡室内に液体が供給され、電気熱変換素子が駆動されて発熱すると、発泡室内の液体が加熱されて発泡し、その発泡圧によって液滴として吐出口から外部に吐出する。
【０００３】
このように熱エネルギーを利用する液体吐出ヘッドにおいて、高速かつ高周波数で連続的に液体吐出を行うと、素子基板が高熱になるおそれがある。そこで、特許文献１に記載された液体吐出ヘッドでは、支持部材の供給流路内に供給流路を横切る方向の（供給流路の短辺方向に沿う）梁を設けて、素子基板の熱を梁に伝達させ、さらに梁から支持部材全体に熱を伝達させて外部に放散させている。このように梁を用いて放熱することによって、素子基板の温度が使用可能な温度を超えることを抑えつつ、熱エネルギーによる液体吐出を高速かつ高周波数で連続的に行うことができる。その結果、液体吐出による高濃度記録も可能になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2011-79246号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述したように、特許文献１に記載されている液体吐出ヘッドによると、梁を設けることによって素子基板から効率的に放熱することができる。しかし、支持部材と素子基板との接合の信頼性が低下するおそれがある。特に、液体吐出の高速化や連続吐出が要求される場合、素子基板の発熱量が増大する場合が多く、素子基板からの放熱性の向上が必要である。特許文献１の構成において、梁の数を増やして放熱効果をより向上させようとすると、液体吐出ヘッドの製造時に支持部材と素子基板との接合に寄与する接着剤の量が不十分になり、接合の信頼性が低下する可能性がある。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、素子基板から効率的に放熱して過熱を抑えることができ、かつ支持部材と素子基板の接合の信頼性の低下を抑えることができる液体吐出ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、互いに接合される素子基板と支持部材とを含む液体吐出ヘッドにおいて、支持部材には、素子基板との接合面において開口している、素子基板に供給する液体のための供給流路が形成されており、供給流路の内部には、供給流路を横切る方向に供給流路の一方の内壁面から他方の内壁面に向かって延びる梁が設けられており、梁の、供給流路の内壁面との接続部が、支持部材の素子基板との接合面から供給流路の深さ方向に離れた位置にあることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドによると、素子基板から効率的に放熱して過熱を抑えることができ、かつ支持部材と素子基板の接合の信頼性の低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの斜視図である。
【図２】図１に示す液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図３】図１に示す液体吐出ヘッドの断面図である。
【図４】図１に示す液体吐出ヘッドの第１の支持部材を示す平面図、要部拡大斜視図、および断面図である。
【図５】比較例の液体吐出ヘッドの分解斜視図である。
【図６】図５に示す液体吐出ヘッドの第１の支持部材を示す平面図および要部拡大斜視図である。
【図７】図６に示す第１の支持部材の良好な接着剤転写工程を示す平面図である。
【図８】図６に示す第１の支持部材の良好な接着剤転写工程を示す断面図である。
【図９】図６に示す第１の支持部材の不良な接着剤転写工程を示す平面図である。
【図１０】図６に示す第１の支持部材の不良な接着剤転写工程を示す断面図である。
【図１１】図４に示す第１の支持部材の接着剤転写工程を示す断面図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドの第１の支持部材を示す平面図および断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面に基づいて説明する。
［液体吐出ヘッドの基本構成］
図１〜３に本発明の液体吐出ヘッドの斜視図、分解斜視図、および断面図を示している。この液体吐出ヘッドでは、支持部材（第１の支持部材１）の上に、素子基板２が接合され、さらに、素子基板２が接合されている部分の外側にもう１つの支持部材（第２の支持部材３）が貼り付けられている。そして、第２の支持部材３の上に電気配線部材４が配置されている。図３に示すように、素子基板２は、第１の支持部材１に接合されている基板５と、第１の支持部材１との接合面と反対側に位置する吐出口形成部材６とを含む積層構造である。吐出口形成部材６には、貫通孔である吐出口７が複数の列をなすように並べて形成されている。基板５には、各吐出口７とそれぞれ連通する複数の発泡室８が形成されている。各発泡室８は、複数の吐出口列とそれぞれ対応する複数の発泡室列を構成している。各発泡室８には電気熱変換素子などのエネルギー発生素子（図示せず）それぞれ配置されている。第１の支持部材１は、素子基板２と第２の支持部材３を支持して固定させるとともに、基板５の各発泡室８に供給する液体のための溝状の供給流路９を有している。第１の支持部材１の上で、第２の支持部材３の上面は素子基板２の上面とほぼ同じ高さ位置にあり、第２の支持部材３の上に配置された電気配線部材４は素子基板２と電気的に接続されている。素子基板２と電気配線部材４は図示しない封止材によって絶縁保護されており、この封止材は第２の支持部材３の開口部によって形成された封止材溜まりの内部に保持される。このような構成であるため、図示しないタンク等から供給された液体が、第１の支持部材１の供給流路９を介して素子基板２の発泡室８内に導かれる。そして、図示しない制御部からの吐出信号が電気配線部材４から素子基板２に伝達され、エネルギー発生素子が駆動されると、発泡室８内の液体に熱等のエネルギーが付与されて液滴が吐出口７から外部に吐出する。
【００１１】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態の第１の支持部材１の供給流路９が、図３〜４に示されている。図４（ａ）は第１の支持部材１の平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ部分の拡大斜視図、図４（ｃ）は図４（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。第１の支持部材１の供給流路９内には、供給流路９を横切る方向の（供給流路９の短辺方向に沿う）梁である横梁１０（第１の梁）と、供給流路９の長手方向に沿う（液体の流れ方向に沿う）梁である縦梁１１（第２の梁）が設けられている。１つの供給流路９内の複数個所（図４（ａ）に示す例では３個所）に、供給流路９を横切る横梁１０が形成されている。また、供給流路９の全長にわたって延びる縦梁１１が、供給流路９の短辺の中心線に沿って設けられている。
【００１２】
図４（ｂ），４（ｃ）に示すように、横梁１０の、供給流路９を横切る方向（供給流路９の短辺方向）に沿う形状は、特許文献１の梁部と同様な略ｗ字状である。すなわち、横梁１０の、供給流路の内壁面との接続部である両側端部１０ａと、縦梁１１の一方の面及び他方の面との接続部である中間部１０ｂが、供給流路９の深さ方向において高い位置にある。横梁１０の高さを供給流路９を横切る方向に沿って見ると、一方の側端部１０ａから、供給流路９の深さ方向に支持部材１の上面１ａからさらに離れた後に再び接近して中間部（縦梁１１の一方の面との接続部）１０ｂに至る。次に、中間部（縦梁１１の他方の面との接続部）１０ｂから、深さ方向に、支持部材１の上面１ａからさらに離れた後に再び接近して他方の側端部（他方の内壁面との接続部）１０ａに至る。図３，４（ｃ）に示す位置関係で言うと、横梁部１０の上端は、一方の側端部１０ａから供給流路９の深さ方向に一旦降下した後に再び上昇して中間部１０ｂに至り、中間部１０ｂから深さ方向に一旦降下した後に再び上昇して他方の側端部に至る。この横梁１０は供給流路９の短辺の中心線を中心とした線対称形状である。この深さ方向における降下と上昇は直線的ではなく、図４（ｂ），４（ｃ）に示すように曲面的な凹状部１０ｃを構成している。本実施形態の横梁１０の特徴の１つは、側端部１０ａ、すなわち供給流路の内壁面との接続部が、供給流路９の深さ方向において、第１の支持部材１の上面、すなわち素子基板２との接合面１ａから（例えば距離Ｚ１だけ）降下した位置にあることである。そして、中間部１０ｂ、すなわち縦梁１１との接続部も、供給流路９の深さ方向において、第１の支持部材の上面、すなわち素子基板との接合面１ａから（例えば距離Ｚ１だけ）降下した位置にある。一方、横梁１０の上部の、供給流路９の長手方向（液体の流れ方向）に沿う形状は、特許文献１の梁部と同様に、中央が最も高くその両側に向かって降下する略三角形状である。
本実施形態の横梁１０は、供給流路９の長手方向の中央部かつ短辺方向の両側端部１０ａおよび中間部１０ｂ、すなわち供給流路９の深さ方向において最も高い部分でも、第１の支持部材１の上面（素子基板２との接合面１ａ）から離れた位置にある。図３，４（ｃ）に示す位置関係では、供給流路９のうち、深さ方向において最も高い部分でも、第１の支持部材１の上面（素子基板２との接合面１ａ）より下方に位置する。
【００１３】
図２〜４に示すように、本実施形態の縦梁１１は、供給流路９の短辺の中心を通り、供給流路９の長手方向に沿ってその全長に亘って延びている。図４（ｃ）に示すように、縦梁１１の上面は第１の支持部材の上面、すなわち素子基板との接合面１ａと同じ高さに位置し、縦梁１１の下面は供給流路９の深さ方向の中央付近に位置している。すなわち、縦梁１１は供給流路９の上部に浮いた状態に設けられており、横梁１０との接続部１０ｂ（図示されている例では３個所）において横梁１０と一体化して支持されている。
【００１４】
このような横梁１０と縦梁１１を有する第１の支持部材１は、図１〜３に示す素子基板２と接合されている。具体的には、素子基板２が載置される位置の第１の支持部材１の上面１ａと縦梁１１の上面１１ａとに接着剤が付与されて、その上に素子基板２が載置されて接着剤によって固定される。本実施形態によると、このような接着剤による第１の支持部材１と素子基板２との接合の信頼性が高い。その点について以下に説明する。
【００１５】
［比較例との対比］
本実施形態の第１の支持部材１と素子基板２の技術的意義について説明するにあたり、まず比較例について説明する。
図５に本発明と対比するための比較例の液体吐出ヘッドの分解斜視図を示し、図６（ａ）にその第１の支持部材２２の平面図を示し、図６（ｂ）にそのＣ部分の拡大斜視図を示している。この第１の支持部材２２は、特許文献１の支持部材と実質的に同じ構成である。本比較例の第１の支持部材２２では、１つの供給流路９内の複数個所（図６（ａ）に示す例では２個所）に、供給流路９を横切る（供給流路９の短辺方向に沿う）横梁２０が形成されている。この横梁２０は、前述した本発明の第１の実施形態の横梁１０と類似しており、供給流路９を横切る方向に沿う形状は略ｗ字状である。横梁２０の高さを供給流路９を横切る方向に沿って見ると、一方の側端部２０ａから供給流路９の深さ方向に一旦降下した後に再び上昇して中間部２０ｂに至り、中間部２０ｂから一旦降下した後に再び上昇して他方の側端部２０ａに至る線対称形状である。ただし、第１の実施形態とは異なり、短辺方向の側端部（供給流路９の内壁面との接続部２０ａ）と中間部（縦梁との接続部２０ｂ）が、供給流路９の深さ方向において、第１の支持部材２２の上面（素子基板との接合面２２ａ）と同じ高さに位置している。また、横梁２０の、供給流路９の短辺方向の中央部が、長辺方向に延びる縦梁２１として機能する。ただし、この縦梁２１は、本発明の第１の実施形態の縦梁１１のように供給流路９の全長に亘って延びるのではなく、横梁２０の、供給流路９の短辺方向の長さと同じ長さであり、それぞれが独立した島状である。
【００１６】
本比較例の液体吐出ヘッドにおいて、図示しない電気熱変換素子が駆動されて発熱すると、素子基板２２に接している縦梁２１から横梁２０に伝わる。この熱は、さらに横梁２０から表面積の大きい第１の支持部材２２全体に伝わって放散される。それにより、熱エネルギーによる液体吐出を高速かつ高周波数で連続的に行っても、素子基板の温度が使用可能な温度を超えることを抑えることができ、液体吐出による高濃度記録が可能である。ただし、この構成では、第１の支持部材２２と素子基板２の接合の信頼性が低くなるおそれがある。その理由について説明する。第１の支持部材２２の上に素子基板２を接合する際には、素子基板が載置される位置の第１の支持部材２２の上面と縦梁２１の上面とに接着剤が付与されて、その上に素子基板が載置されて接着剤１２によって固定される。図７では、接着剤１２が付与される位置を斜線で示している。図８（ａ）〜８（ｃ）に示す例では、先端に接着剤１２が付与された転写ピン２５を、縦梁２１を含む第１の支持部材２２の上面に押し当てることで、接着剤１２が転写ピン２５から、縦梁２１を含む第１の支持部材２２の上面２２ａに転写される。転写ピン２５と第１の支持部材２２の、供給流路９の短辺方向の位置関係が適正であれば、図８（ｃ）に示すように、狙い通りに第１の支持部材２２の上面２２ａに接着剤１２が転写される。
【００１７】
しかし、図９，１０に示すように、転写ピン２５と第１の支持部材２２との間に供給流路９の短辺方向の相対的な位置ずれ（例えばずれ量Ｙ１）が生じると、転写ピン２５の先端の一部は、縦梁２１や第１の支持部材２２の上面２２ａ上から外れる。そして、転写ピン２５の先端のうち、縦梁２１や第１の支持部材２２の上面２２ａの上から外れた部分は、横梁２０の側端部２０ａと中間部２０ｂとの間の曲線的な凹状部２０ｃと対向する。この状態を図９，１０（ａ）〜１０（ｂ）に模式的に示している。図９では、転写ピン２５の先端に付着している接着剤１２の平面的な位置を斜線で示している。このように、転写ピン２５の先端に付着している接着剤１２の一部は、縦梁２１や第１の支持部材２２の上面に当接しないため転写されず、横梁２０の曲面的な凹状部２０ｃの上に位置する。その際に、転写ピン２５の先端と横梁２０の凹状部２０ｃとの間には接着剤１２のメニスカスが生じ、そのメニスカスの作用（表面張力）によって、接着剤１２が横梁２０の凹状部２０ｃ内に引き込まれるおそれがある。図１０（ｃ）では、接着剤１２が凹状部内に引き込まれる状態を、矢印で模式的に示している。その結果、縦梁２１および第１の支持部材２２の上面に転写される接着剤１２の量が不足し、素子基板と第１の支持部材２２との接着に必要な量の接着剤１２を得られなくなり、接合の信頼性が低下するおそれがある。
この問題は、特に、放熱効果を高めるために縦梁２１の素子基板との接触面積を大きくするように縦梁２１の長さを長くしたり、縦梁２１及び横梁２０の数を増やして、例えば１つの流路に３個所以上の縦梁２１及び横梁２０を設けたりすると、顕著になる。それは、接着剤１２のメニスカスの発生個所が広がったり増えたりすることにより、横梁２０の凹状部２０ｃの中に引き込まれる接着剤１２の量が増えるからである。
【００１８】
これに対し、本発明の第１の実施形態では、横梁１０の、供給流路９の内壁面や縦梁１１との接続部１０ａ，１０ｂが、素子基板２との接合面１ａ、すなわち接着剤１２が転写される面から、深さ方向の下方に（例えば距離Ｚ１だけ）離れた位置にある。縦梁１１や第１の支持部材１の上面１ａに当接した転写ピン２５の先端と横梁１０の凹状部１０ｃとは近接しない。従って、転写ピン２５の先端に付着している接着剤１２が、横梁１０の凹状部１０ｃまで到達するメニスカスを形成することは困難である。その結果、図１１（ａ）〜（ｃ）に示すように、転写ピン２５が、縦梁１１や第１の支持部材１の上面１ａから外れた位置であっても、接着剤１２が横梁１０の凹状部１０ｃ内に引き込まれることはない。重力によって多少の接着剤１２は垂れ下がるが、メニスカスの作用（表面張力）によって凹状部１０ｃに引き込まれることはないので、図１１（ｃ）に示すように、縦梁１１や第１の支持部材１の上面１ａの近傍に保持される。この接着剤１２の大部分は、第１の支持部材１と素子基板２の接合部分の近傍に保持されてそれらの接合に寄与し、例えば、供給流路９の内壁面や縦梁１１の一方および他方の側面と素子基板２の接合面との間に位置してそれらを互いに固定する働きをする。本発明の第１の実施形態では、横梁１０の、供給流路９の内壁面や縦梁１１との接続部１０ａ，１０ｂが、素子基板２との接合面、すなわち接着剤１２が転写される面から下方に離れた位置にあることで、接合の信頼性の低下を抑えることができる。
【００１９】
このように、本実施形態では、第１の支持部材１と素子基板２との接合の信頼性の低下を抑えることができるため、図２，４（ａ）に示すように、縦梁１１を長くして（一例としては供給流路９の全長にわたって形成して）放熱効果を向上できる。こうして、放熱効果の向上により高速かつ高周波数の連続的な液体吐出や液体吐出による高濃度記録を可能にすることと、第１の支持部材１と素子基板２との接合の信頼性の低下を抑えることが両立できる。さらに、横梁１０の数を増やし、各横梁１０が、前述したように供給流路９の内壁面や縦梁１１との接続部１０ａ，１０ｂが素子基板２との接合面から深さ方向の下方に離れて位置する構成にすると、接合の信頼性の低下をより確実に抑えられる。この点について詳細に説明すると、液体吐出のさらなる高速化や高濃度記録が必要とされる場合に、縦梁１１が短くかつ横梁１０の数が少ない構成であると、放熱が間に合わず要求される液体吐出の品位（例えば記録品位）を満足できない可能性がある。そこで、縦梁１１を長手方向に伸ばして素子基板２との接触面積を大きくし、さらに横梁１０の数を増やすか、横梁１０の太さを太くすることで、放熱性の向上が期待できる。この場合、素子基板２を第１の支持部材１に固定するための接着剤１２の量が不足して接合の信頼性が低下することが懸念される。横梁１０の数が少ない（例えば２個）と、素子基板２を接着固定するための接着剤１２の転写時に位置ずれが生じて、縦梁１１の側方や横梁１０の凹状部１０ｃ等に接着剤１２が垂れ落ちてもさほど影響は無い。しかし、放熱性向上のために縦梁１１を長くしたり横梁１０の数を増やしたり幅広にしたりすると、縦梁１１の側方や横梁１０の凹状部１０ｃ等に流出して接合に寄与しない領域に至る接着剤１２の量が増えて不都合が生じる懸念がある。本実施形態では、横梁１０の供給流路９の内壁面や縦梁１１との接続部１０ａ，１０ｂが、接着剤１２が転写される面１ａと同一面ではなく、下方に離れて位置している。従って、凹状部に到達するメニスカスが形成されにくく、接着剤１２が横梁１０の凹状部１０ｃに引き込まれる可能性が低くなり、十分な量の接着剤１２が第１の支持部材１と素子基板２の接合に寄与する領域にとどまる可能性が高い。そのため、第１の支持部材１と素子基板２の接合の信頼性の低下を気にすることなく、縦梁１１を長くしたり横梁１０の数を増やしたり太くしたりして、放熱性の向上を図ることができる。
【００２０】
なお、本出願人は、転写する接着剤１２の量を最大にして、転写ピン２５と第１の支持部材１との間の供給流路９の短辺方向の位置関係のずれが最大になった場合に、接着剤１２が横梁１０の凹状部１０ｃの中に引き込まれる状態を観察する実験を行った。それによると、厚さが３．０ｍｍ以上の第１の支持部材１において、横梁１０の供給流路９の内壁面や縦梁１１との接続部１０ａ，１０ｂが、素子基板２との接合面１ａから離れる距離Ｚ１が０．５ｍｍから１．０ｍｍの範囲内であると好ましい。その場合、接着剤１２が横梁１０の凹状部１０ｃの内奥にあまり引き込まれず、第１の支持部材１と素子基板２の良好な接合が実現した。
第１の支持部材１の材料の一例はセラミックであるが、それに限定されることはなく、その他の様々な材料を用いることができる。
【００２１】
［第２の実施形態］
図１２は本発明の第２の実施形態を示しており、図１２（ａ）は第２の実施形態の液体吐出ヘッドの第１の支持部材２２の平面図、図１２（ｂ）は図１１（ａ）のＥ−Ｅ線断面図である。本実施形態では、横梁１０の縦梁１１との接続部１０ｂは、接着剤１２が転写される面１ａと同じ高さではなく、供給流路９の深さ方向の下方に距離Ｚ２だけ離れた位置にある。しかし、横梁１０の供給流路９の内壁面との接続部１０ａは、接着剤１２が転写される面１ａと同じ高さである。その技術的に意味について説明すると、供給流路９のピッチを広くできる場合には、供給流路９の内壁面になる位置の接着剤１２の一部が流出しても第１の支持部材１と素子基板２の接合の信頼性をさほど低下させることはない。従って、横梁１０の供給流路９の内壁面との接続部１０ａが第１の支持部材１の上面１ａと同一の高さであっても、転写ピン２５と第１の支持部材１との間の位置ずれがある程度許容できる。そして、この構成では横梁の表面積が大きいため、放熱性が向上する。ただし、縦梁１１の上面に十分な量の接着剤１２が必要な場合には、横梁１０の縦梁１１との接続部１０ｂは、第１の実施形態と同様に、第１の支持部材１の上面１ａから離して低い位置にすることが好ましい。
【００２２】
なお、縦梁１１の幅が広くできるなどの理由で、縦梁１１の上面の上の接着剤１２の一部が流出しても第１の支持部材１と素子基板２の接合の信頼性をさほど低下させることはない場合もある。そのような場合には、横梁１０の縦梁１１との接続部１０ｂを第１の支持部材１の上面１ａと同じ高さにしてもよい。一方、供給流路９のピッチが狭い場合には、横梁１０の供給流路９の内壁面との接続部１０ａを、第１の支持部材１の上面１ａから離して低い位置にすることが好ましい。
【００２３】
図１２に示すように横梁１０の供給流路９の内壁面との接続部１０ａが第１の支持部材１の上面１ａと同じ高さであって、縦梁１１との接続部１０ｂが第１の支持部材１の上面１ａの下方に離れた位置にある構成は、本発明の範囲に含まれる。図示しないが、横梁１０の縦梁１１との接続部１０ｂが第１の支持部材１の上面１ａと同じ高さであって、供給流路９の内壁面との接続部１０ａが第１の支持部材１の上面１ａの下方に離れた位置にある構成も同様に、本発明の範囲に含まれる。ここに例示する横梁１０は、供給流路９の一方の内壁面および他方の内壁面との接続部１０ａと、縦梁１１の一方の面および他方の面との接続部１０ｂを有している。第１の実施形態のように、接続部１０ａ，１０ｂの両方が第１の支持部材１の上面１ａから離れた位置にある構成でも、第２の実施形態とその変形例のように、いずれか一方の接続部のみが第１の支持部材１の上面１ａから離れた位置にある構成でもよい。いずれの構成を選択するかは、縦梁１１の幅の広さや供給流路９のピッチ等に応じて適宜に設定すればよい。
【００２４】
このように、本発明によれば、縦梁１１や横梁１０の形状を大きくしたり数を増やしたりして放熱効果を向上させることができる。しかも、転写ピン２５と第１の支持部材１との間の位置ずれ等により、接着剤１２の転写位置が少しずれたとしても、第１の支持部材１と素子基板２の接合に寄与しない領域に接着剤１２が引き込まれることを抑えることができる。その結果、接着剤転写の安定性が得られ、支持部材１と素子基板２の接合の信頼性の低下が抑えられる。
【符号の説明】
【００２５】
１      支持部材（第１の支持部材）
２      素子基板
９      供給流路
１０    横梁
１０ａ  供給流路の内壁面との接続部（側端部）
１０ｂ  縦梁との接続部（中間部）
１０ｃ  凹状部
１１    縦梁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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