(57)【要約】      （修正有）【課題】１つの駆動機構で複数枚の基板を支持する複数の支持爪を駆動させることができる基板支持装置を提供する。【解決手段】基板支持装置１は、基板９０の縁部を支持可能な複数の支持爪１１、２１を有し複数枚の基板を垂直方向に複数段に配置して支持可能な支持機構１０であって、水平方向に並べて配置された複数の支持機構１０と、支持機構１０の各段の支持爪１１、２１に対応して設けられ、各段の支持爪１１、２１を支持爪１１，２１の一部が基板９０の縁部の内側に位置して基板９０を支持可能に受け付ける受付状態と、支持爪１１、２１が基板の縁部の外側に位置して基板９０を避けた退避状態と、に変更するように駆動させる駆動機構４０、５０と、を備える。【選択図】図２
2018041910.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の縁部を支持可能な複数の支持爪を有し複数枚の基板を垂直方向に複数段に配置して支持可能な支持機構であって、水平方向に並べて配置された複数の支持機構と、
前記支持機構の各段の前記支持爪に対応して設けられ、各段の前記支持爪を前記支持爪の一部が基板の縁部の内側に位置して前記基板を支持可能に受け付ける受付状態と、前記支持爪が基板の縁部の外側に位置して前記基板を避けた退避状態と、に変更するように駆動させる駆動機構と、を備える、
基板支持装置。
【請求項２】
各段の前記支持爪に対応した前記駆動機構は、それぞれ直交しかつ上下方向において少なくとも一部が重なって配置されている、
請求項１に記載の基板支持装置。
【請求項３】
前記駆動機構は、前記支持機構が支持する基板の各段に対応して、
直線方向に移動可能なラックと、
前記ラックを直線方向に移動させる駆動部と、を有し、
前記支持機構は、各段に対応して、
前記ラックと噛み合って前記ラックの直線移動に伴って回転する複数の第１ギヤと、
前記第１ギヤと噛み合って前記第１ギヤの回転に伴って回転する複数の第２ギヤと、
前記第２ギヤと一体的に回転可能に設けられて垂直方向に延びる複数の軸部材と、
前記軸部材と一体的に回転可能であって前記支持爪が設けられた複数の取付部材と、を有し、
各段の前記第１ギヤと前記第２ギヤと前記取付部材とは、それぞれ垂直方向に並べて配置されている、
請求項１又は２に記載の基板支持装置。
【請求項４】
垂直方向に隣接する２つの前記取付部材の間にラビリンス構造が形成されている、
請求項３に記載の基板支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、基板支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体基板やガラス基板を支持する装置として、例えば基板の周縁部分を複数の支持爪で支持するものがある。支持爪は、基板の周縁部分を支持可能な状態と、基板の周縁から離れた状態とに切り換え可能に構成されている。この様な構成においては、支持爪を駆動するためにエアシリンダ等の駆動部が必要となる。しかしながら、従来構成では、１枚の基板を支持する複数の支持爪を駆動させるために、少なくとも１つの駆動部が必要となっていた。そのため、支持可能な基板の枚数を増そうとすると、その基板の枚数の増加に伴って駆動機構も増えてしまい、その結果、装置が大型化すると共に省エネ性能も低下することになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１４４７７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、１つの駆動機構で複数枚の基板を支持する複数の支持爪を駆動させることができる基板支持装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の基板支持装置は、基板の縁部を支持可能な複数の支持爪を有し複数枚の基板を垂直方向に複数段に配置して支持可能な支持機構であって、水平方向に並べて配置された複数の支持機構と、前記支持機構の各段の前記支持爪に対応して設けられ、各段の前記支持爪を前記支持爪の一部が基板の縁部の内側に位置して前記基板を支持可能に受け付ける受付状態と、前記支持爪が基板の縁部の外側に位置して前記基板を避けた退避状態と、に変更するように駆動させる駆動機構と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】一実施形態による基板支持装置の一例を概略的に示す平面図
【図２】一実施形態による基板支持装置の一例について、図１からベースを除いた状態を示す平面図
【図３】一実施形態による基板支持装置の一例について、図２のＸ３−Ｘ３線に沿って示す断面図
【図４】一実施形態による基板支持装置の一例について、図２のＸ４−Ｘ４線に沿って示す断面図
【図５】一実施形態による基板支持装置の一例について、図２の状態から１段目駆動機構を動作させた場合を示す平面図
【図６】一実施形態による基板支持装置の一例について、図２の状態から２段目駆動機構を動作させた場合を示す平面図
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、一実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、「垂直」及び「水平」との語句は、方向の概念を示すものであり、地面等に対して厳密に「垂直」又は「水平」を意味するものではない。また、図１の紙面左右方向と基板支持装置１の左右方向とする。そして、図１の紙面下側を基板支持装置１の手前側とし、図１の紙面上側を基板支持装置１の奥側とする。また、本実施形態では、基板支持装置１の中心を通る前後方向の線を第１軸Ｊ１とし、第１軸Ｊ１に直角であってかつ基板支持装置１の中心を通る左右方向の線を第２軸Ｊ２とする。
【０００８】
図１に示す基板支持装置１は、例えば半導体基板やガラス基板等の基板９０を複数枚同時に支持することができる。通常、基板支持装置１は、ロボット等の図示しない搬入出装置と共に使用される。通常、図示しない搬入出装置は、基板支持装置１の周囲の近傍に設けられており、基板支持装置１の支持機構１０に対して基板９０を搬入出する。
【０００９】
基板支持装置１は、前後及び左右に２つずつ、合計で４つの支持機構１０を備えている。この場合、４つの支持機構１０は、第１軸Ｊ１方向の両側に２つずつ配置されている。そして、第１軸Ｊ１方向の各片側に配置された２つの支持機構１０は、それぞれ第１軸Ｊ１方向に沿って並べて配置されている。すなわち、各支持機構１０は、第２軸Ｊ２方向の両側にも２つずつ配置されている。
【００１０】
各支持機構１０は、図３及び図４に示すように、複数枚の基板９０を垂直方向に並べて支持することができる。この場合、上側すなわちベース２に対して遠い方から順に、１段目、２段目・・・Ｎ段目とする。Ｎ段目は、ベース２に最も近い最下段目を構成している。本実施形態の場合、各支持機構１０は、３段構成となっている。すなわち、本実施形態の場合、Ｎ＝３に設定されており、各支持機構１０は、３枚の基板９０を垂直方向に並べて保持することができる。なお、Ｎは、４以上の数に設定しても良い。すなわち、各支持機構１０は、４枚以上の基板９０を垂直方向に並べて保持可能に構成しても良い。
【００１１】
支持機構１０は、１段目の基板９０を支持する構成として、図１〜図４に示すように、複数この場合３つの１段目支持爪１１と、複数この場合３つの１段目取付部材１２と、複数個の場合３つの１段目軸部材１３と、複数この場合３つの１段目第２ギヤ１４と、１つの１段目第１ギヤ１５と、を有している。
【００１２】
各１段目支持爪１１と１段目取付部材１２と１段目軸部材１３と１段目第１ギヤ１５とは、図１及び図２に示すように、それぞれ基板９０の周方向に沿って等間隔、この場合１２０°間隔に配置されている。また、各１段目支持爪１１と１段目取付部材１２と１段目軸部材１３と１段目第１ギヤ１５とは、１段目支持爪１１とに対して平面視において重ならない位置であって、かつ、各１段目支持爪１１と１段目取付部材１２と１段目軸部材１３と１段目第１ギヤ１５に対して平面視において重なる位置に設けられている。
【００１３】
図３及び図４に示すように、１段目支持爪１１及び１段目取付部材１２は、ベース２の上方に設けられている。１段目軸部材１３は、中実軸状に形成されており、ベース２を貫いて垂直方向すなわち上下方向に延びている。この場合、１段目軸部材１３は、ベース２の穴部２ａに通されている。また、１段目軸部材１３の下端部は、１段目第２軸受１７を介して筐体３に接続されている。１段目第２軸受１７は、例えばボールベアリング等である。すなわち、１段目軸部材１３は、１段目第２軸受１７を介して筐体３に設けられていることにより、垂直方向に立設した状態で回転可能に支持されている。
【００１４】
１段目取付部材１２は、全体として上方が狭まった円錐台形状に形成されており、１段目軸部材１３の上端部を覆うようにして１段目軸部材１３の上端部に設けられている。１段目支持爪１１は、１段目取付部材１２から水平方向に突出するように設けられており、例えば水平方向に延びる円柱状に形成されている。
【００１５】
１段目第２ギヤ１４は、ベース２の下方に設けられている。１段目第２ギヤ１４は、外周部分に歯を有するギヤである。１段目軸部材１３は、１段目第２ギヤ１４を貫いており、１段目第２ギヤ１４と一体回転可能に設けられている。そのため、１段目支持爪１１と１段目取付部材１２と１段目軸部材１３と１段目第２ギヤ１４とは、一体的に回転可能に構成されている。
【００１６】
１段目第１ギヤ１５は、１段目第１軸受１６を介して支持軸８に設けられている。支持軸８は、基板支持装置１の筐体３に設けられており、ベース２の下方にあって垂直方向に延びた円柱状の軸部材である。１段目第１軸受１６は、例えばボールベアリング等である。そのため、１段目第１ギヤ１５は、支持軸８に対して相対的に回転可能となっている。
【００１７】
１段目第１ギヤ１５は、周囲に歯を有するギヤである。この場合、１段目第１ギヤ１５のピッチ円直径は、各１段目第２ギヤ１４のピッチ円直径よりも大きい。そして、１段目第１ギヤ１５のモジュールと１段目第２ギヤ１４のモジュールとは同一である。すなわち、１段目第１ギヤ１５は、１段目第１ギヤ１５の円周の外側に配置された３つの１段目第２ギヤ１４と噛み合っている。
【００１８】
この構成において、１段目第１ギヤ１５が回転すると、その回転は、１段目第１ギヤ１５の円周の外側に配置された３つの１段目第２ギヤ１４のそれぞれに伝達される。そして、各１段目第２ギヤ１４が回転すると、その回転は、１段目軸部材１３を介して、１段目取付部材１２に伝達される。そして、１段目取付部材１２が回転すると、その１段目取付部材１２の回転に伴って、１段目支持爪１１も、１段目取付部材１２の回転中心すなわち１段目軸部材１３の回転中心を支点に回動する。
【００１９】
この場合、図１及び図２に示すように、１段目支持爪１１の一部が基板９０の周縁部の内側すなわち外形の内側に位置して基板９０を支持可能に受け付けている状態を、１段目支持爪１１の受付状態とする。また、図５に示すように、１段目支持爪１１が基板９０の周縁部の外側すなわち外形の外側に位置して基板９０を避けた状態、すなわち基板９０を支持できない状態を、１段目支持爪１１の退避状態とする。図示しない搬入出装置は、１段目支持爪１１が受付状態である場合に、基板９０を上方から支持機構１０内に搬入して１段目支持爪１１上に載置し、又は１段目支持爪１１に支持されている基板９０を上方から取り出すことができる。
【００２０】
支持機構１０は、２段目の基板９０を支持する構成として、図１〜図４に示すように、複数この場合３つの２段目支持爪２１と、複数この場合３つの２段目取付部材２２と、複数個の場合３つの２段目軸部材２３と、複数この場合３つの２段目第２ギヤ２４と、１つの２段目第１ギヤ２５と、を有している。
【００２１】
各２段目支持爪２１と２段目取付部材２２と２段目軸部材２３と２段目第２ギヤ２４とは、図１及び図２に示すように、それぞれ基板９０の周方向に沿って等間隔、この場合１２０°間隔に配置されている。また、各２段目支持爪２１と２段目取付部材２２と２段目軸部材２３と２段目第２ギヤ２４とは、平面視において１段目支持爪１１と重ならない位置に設けられている。
【００２２】
図３及び図４に示すように、２段目支持爪２１及び２段目取付部材２２は、ベース２の上方に設けられている。２段目軸部材２３は、中空軸状に形成されており、ベース２を貫いて垂直方向すなわち上下方向に延びている。この場合、２段目軸部材２３は、ベース２に形成された穴部２ａに通されている。１段目軸部材１３は、２段目軸部材２３及び２段目第２ギヤ２４を貫くようにして、中空軸状の２段目軸部材２３の内側及び２段目第２ギヤ２４の内側に通されている。この場合、１段目軸部材１３の上端部は、２段目軸部材２３の上端部よりも下方へ突出し、１段目軸部材１３の下端部は、２段目軸部材２３の下端部つまり２段目第２ギヤ２４よりも下方へ突出している。
【００２３】
２段目取付部材２２は、全体として上方が狭まった円錐台形状に形成されており、２段目軸部材２３の上端部を覆うようにして２段目軸部材２３の上端部に設けられている。２段目支持爪２１は、２段目取付部材２２から水平方向に突出するように設けられており、例えば水平方向に延びる円柱状に形成されている。
【００２４】
２段目第２ギヤ２４は、ベース２の下方にあって、２段目軸部材２３の下端部に設けられている。２段目第２ギヤ２４は、２段目第２軸受２７を介して１段目軸部材１３に接続されている。すなわち、２段目第２軸受２７は、２段目第２ギヤ２４と１段目軸部材１３との間、つまり、２段目第２ギヤ２４の内側であってかつ１段目軸部材１３の外側に設けられている。２段目第２軸受２７は、例えばボールベアリング等である。したがって、２段目第２ギヤ２４及び２段目軸部材２３は、１段目軸部材１３に対して相対的に回転可能となっている。２段目第２ギヤ２４は、外周部分に歯を有するギヤである。２段目支持爪２１と２段目取付部材２２と２段目軸部材２３と２段目第２ギヤ２４とは、一体的に回転可能に構成されている。
【００２５】
２段目第１ギヤ２５は、２段目第１軸受２６を介して支持軸８に設けられている。２段目第１軸受２６は、例えばボールベアリング等である。そのため、２段目第１ギヤ２５は、支持軸８に対して相対的に回転可能となっている。２段目第１ギヤ２５は、周囲に歯を有するギヤである。この場合、２段目第１ギヤ２５のピッチ円直径は、各２段目第２ギヤ２４のピッチ円直径よりも大きい。そして、２段目第１ギヤ２５のモジュールと２段目第２ギヤ２４のモジュールとは同一である。すなわち、２段目第１ギヤ２５は、２段目第１ギヤ２５の円周の外側に配置された３つの２段目第２ギヤ２４と噛み合っている。
【００２６】
この構成において、２段目第１ギヤ２５が回転すると、その回転は、２段目第１ギヤ２５の円周の外側に配置された３つの２段目第２ギヤ２４のそれぞれに伝達される。そして、各２段目第２ギヤ２４が回転すると、その回転は、２段目軸部材２３を介して、２段目取付部材２２に伝達される。そして、２段目取付部材２２が回転すると、その２段目取付部材２２の回転に伴って、２段目支持爪２１も、２段目取付部材２２の回転中心すなわち２段目軸部材２３の回転中心を支点に回動する。
【００２７】
この場合、図１及び図２に示すように、２段目支持爪２１の一部が基板９０の周縁部の内側すなわち外形の内側に位置して基板９０を支持可能に受け付けている状態を、２段目支持爪２１の受付状態とする。また、図６に示すように、２段目支持爪２１が基板９０の周縁部の外側すなわち外形の外側に位置して基板９０を避けた状態、すなわち基板９０を支持できない状態を、２段目支持爪２１の退避状態とする。図示しない搬入出装置は、１段目支持爪１１が退避状態であり、かつ、２段目支持爪２１が受付状態である場合に、基板９０を上方から支持機構１０内に搬入して２段目支持爪２１上に載置し、又は２段目支持爪２１に支持されている基板９０を上方から取り出することができる。
【００２８】
支持機構１０は、３段目すなわち最下段の基板９０を支持する構成として、複数この場合３つの最下段支持爪３１を有している。最下段支持爪３１は、ベース２上において、基板９０の周方向に沿って等間隔、この場合１２０°間隔で設けられており、基板９０の外周側から内周側へ突出するように設けられている。最下段支持爪３１は、ベース２に対して相対的に移動不可に固定されている。支持機構１０は、最下段支持爪３１上に基板９０を載置することにより、最下段の基板９０を支持することができる。図示しない搬入出装置は、１段目支持爪１１及び２段目支持爪２１が退避状態である場合に、基板９０を上方から支持機構１０内に搬入して最下段支持爪３１上に載置し、又は最下段支持爪３１に支持されている基板９０を上方から取り出することができる。
【００２９】
また、各支持機構１０は、２段目軸部材２３及び１段目軸部材１３に対応して、複数この場合それぞれ３つのフランジ部４及びシール部材５を有している。フランジ部４は、上方へ突出した段付きの円筒形状いわゆるフランジ形状に構成されている。フランジ部４は、ベース２に形成された穴部２ａの周囲を囲むようにして設けられている。シール部材５は、Ｏリングやパッキン等であって、フランジ部４の底部とベース２の上面部との間で、かつ、穴部２ａの周囲を囲むようにして設けられている。シール部材５は、フランジ部４とベース２との間から穴部２ａ側へ液体が侵入することを防いでいる。
【００３０】
図３及び図４に示すように、ベース２を貫いて設けられた軸部材１３、２３の周囲には、ラビリンス構造６１、６２が形成されている。１段目ラビリンス構造６１は、１段目取付部材１２と２段目取付部材２２との間に形成されている。１段目ラビリンス構造６１は、１段目取付部材１２と２段目取付部材２２との間に形成される隙間を複雑な形状にすることで、その隙間から水等の液体が１段目取付部材１２及び２段目取付部材２２の内側へ侵入することを防ぐための構造である。
【００３１】
また、２段目ラビリンス構造６２は、フランジ部４と２段目取付部材２２との間に形成されている。２段目ラビリンス構造６２も、１段目ラビリンス構造６１と同様の構成である。すなわち、２段目ラビリンス構造６２は、フランジ部４と２段目取付部材２２との間に形成される隙間を複雑な形状にすることで、その隙間から水等の液体がフランジ部４及び２段目取付部材２２の内側へ侵入することを防ぐための構造である。
【００３２】
また、基板支持装置１は、図２等に示すように、１段目駆動機構４０と、２段目駆動機構５０と、を備えている。１段目駆動機構４０は、各支持機構１０について、１段目の基板９０を支持するための１段目支持爪１１を、受付状態と退避状態とに切替可能に駆動させるためのものである。図１〜図４に示すように、１段目駆動機構４０は、１段目ラック４１、１段目レール４２、１段目スライダ４３、及び１段目駆動部４４を有している。
【００３３】
１段目ラック４１は、ベース２の下方に設けられており、第１軸Ｊ１方向に沿って長尺状に形成されている。１段目ラック４１の水平方向の両側つまり図２の左右両側には、歯が形成されている。この場合、１段目ラック４１のモジュールは、１段目第１ギヤ１５及び１段目第２ギヤ１４のモジュールと同一である。そして、１段目ラック４１は、４つの支持機構１０の各１段目第１ギヤ１５と噛み合っている。
【００３４】
なお、本実施形態の場合、１段目ラック４１は、第１軸Ｊ１の長手方向で分割された２つの１段目ラック４１を、連結軸４５で連結して構成されている。しかし、１段目ラック４１は、この構成に限らず、第１軸Ｊ１に沿って長い一本のラックで構成しても良い。
【００３５】
１段目レール４２は、１段目ラック４１の長手方向、すなわち第１軸Ｊ１方向に沿って延びている。この場合、１段目レール４２は、図４に示すように、筐体３に取り付けられた１段目スライダ設置部６上に設けられている。１段目スライダ４３は、１段目レール４２に沿って移動可能である。１段目ラック４１は、１段目スライダ４３の上面側に設けられている。これにより、１段目ラック４１は、１段目スライダ４３に沿って第１軸Ｊ１方向つまり前後方向に直線的に移動可能である。
【００３６】
１段目駆動部４４は、例えばエアシリンダや油圧シリンダ、又はモータを用いた駆動装置等であり、直線的な動作が可能である。１段目駆動部４４は、１段目ラック４１に直接的に、又は１段目スライダ４３を介して１段目ラック４１に間接的に接続されている。これにより、１段目ラック４１は、１段目駆動部４４が駆動されることによって、第１軸Ｊ１方向に沿って押し引きされるように移動する。
【００３７】
ここで、１段目ラック４１が、１段目駆動部４４の駆動によって第１軸Ｊ１に沿って図２の紙面上側すなわち奥側へ進む場合を、１段目駆動部４４の前進とする。また、１段目ラック４１が、１段目駆動部４４の駆動によって第１軸Ｊ１に沿って図２の紙面下側すなわち手前側へ進む場合を、１段目駆動部４４の後退とする。
【００３８】
１段目支持爪１１が受付状態にある場合において、１段目駆動部４４の駆動により１段目ラック４１が前進すると、図２及び図５に示すように、１段目ラック４１の直線方向の移動は、４つの支持機構１０の各１段目第１ギヤ１５に伝達される。これにより、図５の矢印で示すように、４つの１段目第１ギヤ１５は、それぞれ支持軸８を中心に回転する。すると、各１段目第１ギヤ１５の回転が、各１段目第２ギヤ１４に伝達されて、これにより各支持機構１０の各１段目支持爪１１が退避状態まで回動する。
【００３９】
この場合、各支持機構１０の各１段目第１ギヤ１５のうち、１段目ラック４１に対して図５の紙面右側すなわち第１軸Ｊ１に対して右側に位置する１段目第１ギヤ１５は、右回転すなわち時計回り方向へ回転する。一方、各支持機構１０の各１段目第１ギヤ１５のうち、１段目ラック４１に対して図５の紙面左側すなわち第１軸Ｊ１に対して左側に位置する１段目第１ギヤ１５は、左回転すなわち反時計回り方向へ回転する。そのため、１段目駆動部４４が駆動された場合、各支持機構１０は、第１軸Ｊ１を中心とした線対称的な動作をする。
【００４０】
図１〜図４に示すように、２段目駆動機構５０は、２段目ラック５１、２段目レール５２、２段目スライダ５３、及び２段目駆動部５４を有している。２段目ラック５１は、ベース２の下方に設けられており、第２軸Ｊ２方向に沿って長尺状に形成されている。２段目ラック５１の水平方向の両側つまり図２の前後両側には、歯が形成されている。この場合、２段目ラック５１のモジュールは、２段目第１ギヤ２５及び２段目第２ギヤ２４のモジュールと同一である。そして、２段目ラック５１は、４つの支持機構１０の各２段目第１ギヤ２５と噛み合っている。
【００４１】
なお、本実施形態の場合、２段目ラック５１は、第２軸Ｊ２の長手方向で分割された２つの２段目ラック５１を、連結軸５５で連結して構成されている。しかし、２段目ラック５１は、この構成に限らず、第２軸Ｊ２に沿って長い一本のラックで構成しても良い。
【００４２】
２段目レール５２は、２段目ラック５１の長手方向、すなわち第２軸Ｊ２方向に沿って延びている。この場合、２段目レール５２は、図４に示すように、筐体３に取り付けられた２段目スライダ設置部７上に設けられている。２段目レール５２の高さ位置は、１段目レール４２の高さ位置よりも高い。２段目スライダ５３は、２段目レール５２に沿って移動可能である。２段目ラック５１は、２段目スライダ５３の上面側に設けられている。これにより、２段目ラック５１は、２段目スライダ５３に沿って第２軸Ｊ２方向に直線的に移動可能である。
【００４３】
２段目駆動部５４は、例えばエアシリンダや油圧シリンダ、又はモータを用いた駆動装置等であり、直線的な動作が可能である。２段目駆動部５４は、２段目ラック５１に直接的に、又は２段目スライダ５３を介して２段目ラック５１に間接的に接続されている。これにより、２段目ラック５１は、２段目駆動部５４が駆動されることによって、第２軸Ｊ２方向に沿って押し引きされるように移動する。
【００４４】
この場合、１段目駆動機構４０と２段目駆動機構５０とは、相互に直交する方向を向いて設けられている。すなわち、１段目ラック４１と１段目レール４２と１段目スライダ４３と１段目駆動部４４は、２段目ラック５１と２段目レール５２と２段目スライダ５３と２段目駆動部５４と直交している。また、２段目ラック５１と２段目レール５２と２段目スライダ５３と２段目駆動部５４との全体又は少なくとも一部は、１段目ラック４１と１段目レール４２と１段目スライダ４３と１段目駆動部４４との全体又は少なくとも一部と、上下方向において重なっている。このように、１段目の各支持爪１１に対応した１段目駆動機構４０と、２段目の各支持爪２１に対応した２段目駆動機構５０とは、それぞれ直交しかつ上下方向において少なくとも一部が重なって配置されている。
【００４５】
ここで、２段目ラック５１が、２段目駆動部５４の駆動によって第２軸Ｊ２に沿って図２の紙面右方向に移動する場合を２段目駆動部５４の前進とする。また、２段目ラック５１が、２段目駆動部５４の駆動によって第２軸Ｊ２に沿って図２の紙面左方向に移動する場合を２段目駆動部５４の後退とする。
【００４６】
２段目支持爪２１が受付状態にある場合において、２段目駆動部５４の駆動により２段目ラック５１が前進すると、図２及び図６に示すように、２段目ラック５１の直線方向の移動は、４つの支持機構１０の各２段目第１ギヤ２５に伝達される。これにより、図６の矢印で示すように、４つの２段目第１ギヤ２５は、それぞれ支持軸８を中心に回転する。すると、各２段目第１ギヤ２５の回転が、各２段目第２ギヤ２４に伝達されて、これにより各支持機構１０の各２段目支持爪２１が退避状態まで回動する。
【００４７】
この場合、各支持機構１０の各２段目第１ギヤ２５のうち、２段目ラック５１に対して手前側すなわち第２軸Ｊ２の手前側に位置する２段目第１ギヤ２５は、右回転すなわち時計回り方向へ回転する。一方、各支持機構１０の各第１ギヤ２５のうち、２段目ラック５１に対して奥側すなわち第２軸Ｊ２の奥側に位置する２段目第１ギヤ２５は、左回転すなわち反時計回り方向へ回転する。そのため、２段目駆動部５４が駆動された場合、各支持機構１０は、第２軸Ｊ２を中心とした線対称的な動作をする。
【００４８】
以上説明した実施形態によれば、基板支持装置１は、複数この場合４つの支持機構１０と、複数この場合４つの駆動機構４０、５０と、を備えている。複数の支持機構１０は、水平方向に並べて配置されている。また、各支持機構１０は、基板９０の縁部を支持可能な複数の支持爪１１、２１、３１を有しており、複数枚の基板９０を垂直方向に複数段この場合３段に配置して支持可能である。駆動機構４０、５０は、支持機構１０の各段の支持爪１１、２１に対応して設けられている。この場合、１段目駆動機構４０は１段目の各支持爪１１に対応して設けられ、２段目駆動機構５０は２段目の各支持爪２１に対応して設けられている。そして、駆動機構４０、５０は、それぞれ各段すなわち１段目及び２段目の各支持爪１１、２１を、支持爪１１、２１の一部が９０基板の縁部の内側に位置して基板９０を支持可能に受け付ける受付状態と、支持爪１１、２１が基板９０の縁部の外側に位置して基板９０を避けた退避状態と、に変更するように駆動させる。
【００４９】
これによれば、１つの１段目駆動機構４０によって、４つの支持機構１０の１段目に対応した各支持爪１１すなわち基板４枚分の１段目支持爪１１を駆動させることができる。また、１つの２段目駆動機構５０によって、４つの支持機構１０の２段目に対応した各支持爪２１すなわち基板４枚分の２段目支持爪２１を駆動させることができる。これにより、支持可能な基板９０の枚数に対して、駆動機構４０、５０の数を少なくすることができる。したがって、支持可能な基板９０の枚数を増加させたとしても駆動機構４０、５０の増加数を極力抑制することができ、その結果、基板支持装置１の大型化を抑制すると共に省エネ性能も低下も抑制することができる。
【００５０】
各段の支持爪１１、２１に対応した駆動機構４０、５０は、それぞれ直交しかつ上下方向において少なくとも一部が重なって配置されている。すなわち、１段目の各１段目支持爪１１に対応した１段目駆動機構４０と、２段目の各２段目支持爪２１に対応した２段目駆動機構５０とは、図２に示すように、それぞれ直交するように設けられている。そして、図４に示すように、１段目駆動機構４０の一部この場合１段目ラック４１は、２段目駆動機構５０の一部この場合２段目レール５２と重なっている。
【００５１】
これによれば、各段の駆動機構４０、５０を同一の向きで上下方向に重ねて配置した場合に比べて、支持機構１０の上下方向の高さ寸法を小さくすることができ、ひいては支持装置１の上下方向の高さ寸法を小さくすることができる。その結果、基板支持装置１の大型化を更に効果的に抑制することができる。
【００５２】
駆動機構４０、５０は、支持機構１０が支持する基板９０の各段に対応して、直線方向に移動可能なラック４１、５１と、ラック４１、５１を直線方向に移動させる駆動部４４、５４と、を有している。すなわち、１段目駆動機構４０は、支持機構１０が支持する１段目の基板９０に対応して、１段目ラック４１と、１段目駆動部４４と、を有している。２段目駆動機構５０は、支持機構１０が支持する２段目の基板９０に対応して、２段目ラック５１と、２段目駆動部５４と、を有している。
【００５３】
また、各支持機構１０は、各段に対応して、第１ギヤ１５、２５と、第２ギヤ１４、２４と、軸部材１３、２３と、取付部材１２、２２と、を有している。第１ギヤ１５、２５は、それぞれラック４１、５１と噛み合ってラック４１、５１の直線移動に伴って回転する。第２ギヤ１４、２４は、それぞれ第１ギヤ１５、２５と噛み合って第１ギヤ１５、２５の回転に伴って回転する。軸部材１３、２３は、第２ギヤ１４、２４と一体的に回転可能に設けられて垂直方向に延びている。取付部材１２、２２は、軸部材１３、２３と一体的に回転可能であって各支持爪１１、２１が設けられている。そして、各段の第１ギヤ１５、２５と、第２ギヤ１４、２４と、取付部材１２、２２とは、それぞれ垂直方向に並べられて平面視において少なくとも一部が相互に重なるように配置されている。
【００５４】
すなわち、図４及び図５に示すように、１段目第１ギヤ１５と２段目第１ギヤ２５とは、上下方向に並べられており、平面視において少なくとも一部が、本実施形態の場合全部が相互に重なるように配置されている。また、１段目第２ギヤ１４と２段目第２ギヤ２４とは、上下方向に並べられており、平面視において少なくとも一部が、本実施形態の場合全部が相互に重なるように配置されている。そして、１段目取付部材１２と２段目取付部材２２とは、上下方向に並べられており、平面視において少なくとも一部が、本実施形態の場合全部が相互に重なるように配置されている。
【００５５】
これによれば、支持機構１０の平面方向の寸法を小さくすることができ、ひいては基板支持装置１の平面方向の寸法を小さくすることができる。その結果、基板支持装置１の大型化を更に効果的に抑制することができる。
【００５６】
なお、第２ギヤ１４、２４、軸部材１３、２３、取付部材１２、２２の個数は、各段の支持爪１１、２１の個数に対応している。例えば本実施形態のように、各支持機構１０の各段において支持爪１１、２１が３つずつ設けられている場合、第２ギヤ１４、２４、軸部材１３、２３、及び取付部材１２、２２も、各支持機構１０についてそれぞれ３つずつ設けられている。また、第１ギヤ１５、２５の個数は、切替可能な支持爪１１、２１を有する段数、すなわち各支持機構１０が支持可能な基板９０の段数から１を引いた数に対応している。例えば本実施形態のように、各支持機構１０が基板９０を３段で支持可能な場合、各支持機構１０は、３−１＝２個の第１ギヤ１５、２５を有する。
【００５７】
また、図３及び図４に示すように、ベース２を貫いて設けられた軸部材１３、２３の周囲には、ラビリンス構造６１、６２が形成されている。すなわち、本実施形態の場合、垂直方向に隣接する２つの１段目取付部材１２と２段目取付部材２２との間に、１段目ラビリンス構造６１が形成されている。また、垂直方向に隣接するフランジ部４と２段目取付部材２２との間に、２段目ラビリンス構造６２が形成されている。これによれば、１段目取付部材１２と２段目取付部材２２との隙間や、フランジ部４と２段目取付部材２２と隙間から、水等の液体が侵入することを防ぐことができる。そのため、基板９０に対して水等の液体を使用した場合であっても、その液体がギヤ１４、１５、２４、２５や駆動機構４０、５０側に回って悪影響を及ぼすことを極力防ぐことができる。その結果、基板支持装置１を液体の使用に適したものとすることができる。
【００５８】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な拡張、変更が可能である。
例えば、支持機構１０の数や配置は、上述したものに限られない。例え３つ以上の支持機構１０を第１軸Ｊ１又は第２軸Ｊ２に沿って直線上に配置しても良い。
また、支持機構１０は、基板９０を垂直方向に４段以上重ねて支持可能な構成であっても良い。
また、駆動部４４、５４は、ラック４１、５１又はスライダ４３、５３を直接直線的に押し引きするものに限られない。例えばラック４１、５１に噛み合うピニオンギヤを有するモータによってラック４１、５１を直線的に移動させる等、回転運動を直線運動に変換する機構であっても良い。
また、１段目軸部材１３と２段目２軸部材２３との相対的な回転を円滑にするために、１段目軸部材１３と２段目２軸部材２３との間に、スベリ軸受いわゆる無給油ブシュを設けても良い。
【符号の説明】
【００５９】
図面中、１は基板支持装置、１０は支持機構、１１は１段目支持爪（支持爪）、１２は１段目取付部材（取付部材）、１３は１段目軸部材（軸部材）、１４は１段目第２ギヤ（第２ギヤ）、１５は１段目第１ギヤ（第１ギヤ）、２１は２段目支持爪（支持爪）、２２は２段目取付部材（取付部材）、２３は２段目軸部材（軸部材）、２４は２段目第２ギヤ（第２ギヤ）、２５は２段目第１ギヤ（第１ギヤ）、４０は１段目駆動機構（駆動機構）、４１は１段目ラック（ラック）、４４は１段目駆動部（駆動部）、５０は２段目駆動機構（駆動機構）、５１は２段目ラック（ラック）、５４は２段目駆動部（駆動部）、６１は１段目ラビリンス構造（ラビリンス構造）、を示す。
【図１】
2018041910.tif 000003
【図２】
2018041910.tif 000004
【図３】
2018041910.tif 000005
【図４】
2018041910.tif 000006
【図５】
2018041910.tif 000007
【図６】
2018041910.tif 000008