(57)【要約】【課題】各被検査基板における各導体路の不良の程度を確実かつ容易に把握可能とする。【解決手段】複数の導体パターン（導体路）が設けられた同種の複数枚の被検査基板を対象とする測定処理によって測定された測定値に基づき、Ｎ枚の被検査基板における各導体パターンの不良の程度を各導体パターン毎に特定可能に測定結果を視覚的に報知する際に、不良の程度を特定可能な「予め規定された値」を各測定値に基づいて各導体パターン毎に演算すると共に、各被検査基板における各導体パターンの位置に応じて配置された各パターン像Ｇｌの「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」を「予め規定された値」に対応させて変更することで報知用画像Ｇ４のデータを生成し、生成したデータの被検査基板像Ｇ１ａに基づいて各導体パターン毎の「予め規定された値」の大きさを報知する。【選択図】図６
2018025430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の導体路が設けられた同種の複数枚の被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各被検査基板毎の当該各導体路についての測定値に基づき、Ｎ枚（Ｎは、２以上の自然数）の前記被検査基板における前記各導体路の不良の程度を当該各導体路毎にそれぞれ特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、
前記処理部は、前記Ｎ枚の被検査基板についての前記各測定値に基づき、前記不良の程度を特定可能な予め規定された値を前記各導体路毎にそれぞれ演算すると共に、前記各被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記予め規定された値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路毎の前記予め規定された値の大きさを報知する測定結果報知装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の分散値、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の標準偏差値、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の変動係数、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の誤差率、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の標準得点、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の平均値、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の工程能力指数、および前記Ｎ枚の被検査基板のうちの予め規定された条件を満たす前記測定値が測定された当該被検査基板の比率のいずれかを前記予め規定された値として演算して前記報知用画像データを生成する請求項１記載の測定結果報知装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記予め規定された値の大きさを特定可能なカラーバーを前記被検査基板像と並べて描画して前記報知用画像データを生成する請求項１または２記載の測定結果報知装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の測定結果報知装置と、前記各被検査基板における前記各導体路についての測定処理を実行して前記各測定値を取得する測定装置とを備えて構成された測定システム。
【請求項５】
複数の導体路が設けられた同種の複数枚の被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各被検査基板毎の当該各導体路についての測定値に基づき、Ｎ枚（Ｎは、２以上の自然数）の前記被検査基板における前記各導体路の不良の程度を当該各導体路毎にそれぞれ特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、
前記Ｎ枚の被検査基板についての前記各測定値に基づき、前記不良の程度を特定可能な予め規定された値を前記各導体路毎にそれぞれ演算すると共に、前記各被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記予め規定された値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路毎の前記予め規定された値の大きさを報知する測定結果報知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査基板に設けられた複数の導体路についての測定結果を視覚的に報知する測定結果報知装置および測定結果報知方法、並びに、そのような測定結果報知装置を備えて構成された測定システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、下記の特許文献には、被検査基板についての検査を実行して検査結果を表示または印刷可能に構成されたインサーキットテスタ（インサーキットテスタによる不良データの出力表示方法）の発明が開示されている。
【０００３】
このインサーキットテスタでは、まず、被検査基板上に規定されている複数の測定ポイントにプローブピンをプロービングさせた状態で各測定ポイント間（検査を目的として規定された測定箇所：以下、「検査箇所」ともいう）についての測定処理を実行して測定データを得る。次いで、良品基板の対応箇所から吸収した基準データの値（以下、「基準値」ともいう）と、上記の測定データの値（以下、「測定値」ともいう）とを比較することにより、各検査箇所の良否を検査する。この場合、このインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率についての許容範囲が各検査箇所（各測定ステップ）毎に設定されており、測定処理と並行して充足率が許容範囲内であるか否が判別され、充足率が許容範囲を外れているときには、その検査箇所に不良が生じているとして検査データに追記される構成が採用されている。
【０００４】
また、このインサーキットテスタでは、測定処理のステップ数を示す「測定ステップ数表示欄」、測定処理に使用したプローブピンの番号を示す「ピン番号表示欄」、測定値を示す「測定値表示欄」、充足率を示す「充足率表示欄」、規定された許容範囲を示す「許容範囲表示欄」、および測定値と基準値との格差（両値の差）を示す「格差表示欄」が各検査箇所（各測定ステップ）毎に設けられた一覧表を上記の検査データに基づいて表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。これにより、このインサーキットテスタでは、表示または印刷された一覧表内の数値を参照することにより、いずれの検査箇所（いずれの測定ステップ）に不良が生じているかを特定させることが可能となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平３−１９７８８０号公報（第２−４頁、第１−３図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、上記の特許文献に開示されているインサーキットテスタには、以下のような解決すべき課題が存在する。すなわち、上記のインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率が許容範囲を外れている検査箇所（測定ステップ）を不良と判別して検査データを生成し、検査データに基づく一覧表を表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。
【０００７】
この場合、上記のインサーキットテスタによる検査によって不良と検査される各検査箇所は、その充足率が一定の値ではなく、許容範囲を下回る各種値の充足率が測定されている。また、被検査基板は、その製造条件（製造環境）の変化等に起因して、不良が生じる検査箇所（許容範囲を下回る充足率が測定される検査箇所）が変化したり、その不良の度合い（充足率の値）が変化したりする。このため、この種の装置を用いた検査に際しては、各被検査基板毎の個別の検査結果だけでなく、複数枚の被検査基板を対象として、各検査箇所毎の不良の程度（いずれの検査箇所にどの程度の不良が生じているか）を特定して分析する必要がある。
【０００８】
しかしながら、上記のインサーキットテスタでは、不良と検査された検査箇所が存在する複数枚の被検査基板についての測定値が一覧表内に数値で表示される。このため、不良と検査された被検査基板の枚数が少ない検査箇所については、一覧表内に充足率が記録される回数も少ないため、その検査箇所の不良の程度を容易に把握できる可能性があるものの、不良と検査された被検査基板の枚数が多い検査箇所については、一覧表内に充足率が記録される回数も多いため、その検査箇所の不良の程度を把握するのに非常に長い時間を要することとなる。
【０００９】
この場合、この種の装置を使用した検査に不慣れな者にとっては、不良と検査された検査箇所の数が多いときに、長い時間をかけたとしても、「測定ステップ数表示欄」、「ピン番号表示欄」、「測定値表示欄」、「充足率表示欄」、「許容範囲表示欄」および「格差表示欄」からなる「行」が連続して多数存在する一覧表を参照して各検査箇所の不良の程度をそれぞれ把握することが非常に困難となっている。
【００１０】
さらに、上記のインサーキットテスタでは、上記の一覧表を参照することで、複数枚の被検査基板における各検査箇所（導体パターンやビア等：以下、「導体路」ともいう）毎の不良の程度を把握することができたとしても、不良の程度を把握した導体路が、被検査基板におけるいずれの位置に設けられている導体路であるかを特定するには、検査を行った（測定処理を実施した）導体路と、各検査箇所毎の測定ステップ数との対応関係を示す別の図面等を参照する必要がある。このため、特にこの種の装置を使用した検査に不慣れな者にとっては、被検査基板上のいずれの位置に設けられたいずれの導体路の不良の程度が大きく、いずれの導体路の不良の程度が小さいかを特定するのが非常に困難となっている。
【００１１】
本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、各被検査基板におけるいずれの導体路の不良の程度が大きく、いずれの導体路の不良の程度が小さいかを確実かつ容易に把握させ得る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定結果報知装置は、複数の導体路が設けられた同種の複数枚の被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各被検査基板毎の当該各導体路についての測定値に基づき、Ｎ枚（Ｎは、２以上の自然数）の前記被検査基板における前記各導体路の不良の程度を当該各導体路毎にそれぞれ特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、前記処理部は、前記Ｎ枚の被検査基板についての前記各測定値に基づき、前記不良の程度を特定可能な予め規定された値を前記各導体路毎にそれぞれ演算すると共に、前記各被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記予め規定された値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路毎の前記予め規定された値の大きさを報知する。
【００１３】
請求項２記載の測定結果報知装置は、請求項１記載の測定結果報知装置において、前記処理部は、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の分散値、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の標準偏差値、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の変動係数、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の誤差率、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の標準得点、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の前記測定値の平均値、前記Ｎ枚の被検査基板における前記導体路毎の工程能力指数、および前記Ｎ枚の被検査基板のうちの予め規定された条件を満たす前記測定値が測定された当該被検査基板の比率のいずれかを前記予め規定された値として演算して前記報知用画像データを生成する。
【００１４】
請求項３記載の測定結果報知装置は、請求項１または２記載の測定結果報知装置において、前記処理部は、前記予め規定された値の大きさを特定可能なカラーバーを前記被検査基板像と並べて描画して前記報知用画像データを生成する。
【００１５】
請求項４記載の測定システムは、請求項１から３のいずれかに記載の測定結果報知装置と、前記各被検査基板における前記各導体路についての測定処理を実行して前記各測定値を取得する測定装置とを備えて構成された。
【００１６】
請求項５記載の測定結果報知方法は、複数の導体路が設けられた同種の複数枚の被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各被検査基板毎の当該各導体路についての測定値に基づき、Ｎ枚（Ｎは、２以上の自然数）の前記被検査基板における前記各導体路の不良の程度を当該各導体路毎にそれぞれ特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、前記Ｎ枚の被検査基板についての前記各測定値に基づき、前記不良の程度を特定可能な予め規定された値を前記各導体路毎にそれぞれ演算すると共に、前記各被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを前記予め規定された値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路毎の前記予め規定された値の大きさを報知する。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載の測定結果報知装置、および請求項５記載の測定結果報知方法では、Ｎ枚の被検査基板についての各測定値に基づき、不良の程度を特定可能な予め規定された値を各導体路毎にそれぞれ演算すると共に、各被検査基板における各導体路の位置に応じて各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して被検査基板像における各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを予め規定された値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した報知用画像データに基づいて各導体路毎の予め規定された値の大きさを視覚的に報知する。また、請求項４記載の測定システムでは、上記の測定結果報知装置と、各被検査基板における各導体路についての測定処理を実行して各測定値を取得する測定装置とを備えて構成されている。
【００１８】
したがって、請求項１記載の測定結果報知装置、請求項４記載の測定システム、および請求項５記載の測定結果報知方法によれば、複数枚の被検査基板における各導体路についての測定値等が一覧表形式で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用の画像（報知用画像データの画像）の被検査基板像を参照させることで、各被検査基板のいずれの位置に形成された導体路の不良の程度が大きく、いずれの位置に形成された導体路の不良の程度が小さいかを直感的に把握させることができ、しかも、各導体路像の「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」の相違によって各導体路の不良の程度を示す「予め規定された値」の大きさを直感的に把握させることができる。これにより、この種の装置を使用した検査に不慣れな者であっても、複数枚の被検査基板における各「導体路」に生じている不良の原因等を容易に特定することができる。
【００１９】
請求項２記載の測定結果報知装置およびその測定結果報知方法、並びにそのような測定結果報知装置を備えた測定システムによれば、Ｎ枚の被検査基板における導体路毎の測定値の分散値、Ｎ枚の被検査基板における導体路毎の測定値の標準偏差値、Ｎ枚の被検査基板における導体路毎の測定値の変動係数、Ｎ枚の被検査基板における導体路毎の測定値の誤差率、Ｎ枚の被検査基板における導体路毎の測定値の標準得点、Ｎ枚の被検査基板における導体路毎の測定値の平均値、Ｎ枚の被検査基板における導体路毎の工程能力指数、およびＮ枚の被検査基板のうちの予め規定された条件を満たす測定値が測定された被検査基板の比率のいずれかを予め規定された値として演算して報知用画像データを生成することにより、各導体路の不良の程度を的確に把握させることができる。
【００２０】
請求項３記載の測定結果報知装置およびその測定結果報知方法、並びにそのような測定結果報知装置を備えた測定システムによれば、予め規定された値の大きさを特定可能なカラーバーを被検査基板像と並べて描画して報知用画像データを生成することにより、各導体路の不良の程度がどの程度であるか（「予め規定された値」の大きさがどの程度であるか）を一層容易に把握させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】基板検査システム１００（測定装置１およびデータ処理装置２）の構成を示す構成図である。
【図２】被検査基板Ｘ（導体パターンＬ１，Ｌ２・・およびビアＶ１，Ｖ２・・）の一例について説明するための説明図である。
【図３】図２に示す被検査基板Ｘについての被検査基板像Ｇ１（パターン像Ｇｌ１，Ｇｌ２・・）の一例について説明するための説明図である。
【図４】被検査基板像Ｇ１の一例について説明するための説明図である。
【図５】被検査基板像Ｇ２の一例について説明するための説明図である。
【図６】検査結果を報知する報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ３）の一例について説明するための説明図である。
【図７】検査結果を報知する報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａおよびカラーバーＧ３）の一例について説明するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明に係る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２３】
図１に示す基板検査システム１００は、「測定システム」の一例であって、測定装置１およびデータ処理装置２を備え、測定装置１による複数枚の被検査基板Ｘについての測定結果に基づき、データ処理装置２において各被検査基板Ｘにおける各「導体路」毎の不良の程度を特定可能に報知する構成が採用されている。この場合、被検査基板Ｘは、「被検査基板」の一例であって、図２に示すように、導体パターンＬ１，Ｌ２・・やビアＶ１，Ｖ２・・（以下、区別しないときには「導体パターンＬ」および「ビアＶ」ともいう）などで構成された複数の「導体路」が設けられている。
【００２４】
測定装置１は、「測定装置」の一例であって、図１に示すように、測定用治具１１、スキャナ１２、測定部１３、記憶部１４および処理部１５を備えて複数枚の被検査基板Ｘを対象とする測定処理（「同種の複数枚の被検査基板を対象とする測定処理」の一例）を順次実行することができるように構成されている。測定用治具１１は、被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬやビアＶについての測定処理のために規定された複数のプロービングポイントＰａ，Ｐｂ・・（図２参照：以下、区別しないときには「プロービングポイントＰ」ともいう）に対してプロービング可能に植設された複数の測定用プローブ１１ａを備えている。
【００２５】
スキャナ１２は、処理部１５の制御に従い、測定用治具１１における任意の測定用プローブ１１ａを測定部１３に接続させる。測定部１３は、処理部１５の制御に従い、スキャナ１２によって接続される測定用プローブ１１ａを介して被検査基板Ｘの任意のプロービングポイントＰ，Ｐ間の電気的パラメータ（「測定値」：一例として、抵抗値）を測定する。記憶部１４は、被検査基板Ｘについての測定手順（検査手順）が記録された測定手順データＤａや、処理部１５の演算結果などを一時的に記憶する。
【００２６】
処理部１５は、測定装置１を総括的に制御する。具体的には、処理部１５は、測定手順データＤａに従ってスキャナ１２を制御して任意の測定用プローブ１１ａを測定部１３に接続させると共に、測定部１３を制御して抵抗値の測定処理を実行させる。また、処理部１５は、測定部１３から出力される測定値を記録して測定値データＤ１（「測定値データ」の一例）を生成すると共に、生成した測定値データＤ１をデータ処理装置２に出力する。
【００２７】
なお、本例では、一例として、Ｎ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・を対象とする測定処理によって生成された２０個の測定値データＤ１，Ｄ１・・（「各被検査基板毎の各導体路についての測定値」が記録されたデータの一例）を使用して各「導体路」毎の不良の程度を特定可能にデータ処理装置２において測定結果が報知されるものとする。
【００２８】
一方、データ処理装置２は、「測定結果報知装置」に相当し、一例として、データ処理用のプログラムがインストールされた汎用のパーソナルコンピュータで構成されている。具体的には、データ処理装置２は、操作部２１、表示部２２、印刷部２３、記憶部２４および処理部２５を備えて構成されている。操作部２１は、マウスやタッチパッド等のポインティングデバイスおよびキーボードなどで構成され、使用者による操作に応じた操作信号を処理部２５に出力する。表示部２２は、処理部２５の制御に従い、後述するように測定結果の表示画面などを表示する。印刷部２３は、処理部２５の制御に従い、後述する測定結果などを印刷する。
【００２９】
記憶部２４は、上記のデータ処理用のプログラム、および測定装置１から順次出力される測定値データＤ１，Ｄ１・・・や、基準値データＤ０、基板画像データＤ２、カラーバー画像データＤ３および報知用画像データＤ４などを記憶する。この場合、基準値データＤ０は、被検査基板Ｘにおける上記の各導体パターンＬやビアＶ（各導体路）毎に予め規定された基準値が記録されている。この基準値データＤ０は、一例として、被検査基板Ｘの設計データ等に基づいて外部装置において生成されてデータ処理装置２の記憶部２４に記憶させられる。
【００３０】
また、基板画像データＤ２は、「基板画像データ」の一例であって、被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬの位置に応じてパターン像Ｇｌ１，Ｇｌ２・・（以下、区別しないときには「パターン像Ｇｌ」ともいう）が配置された被検査基板像Ｇ１（図３，４参照：「各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像」の一例）や、被検査基板Ｘにおける各ビアＶの位置に応じてビア像Ｇｖ，Ｇｖ・・が配置された被検査基板像Ｇ２（図５参照：「各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像」の他の一例）などの画像データで構成されている。
【００３１】
具体的には、被検査基板像Ｇ１は、例えば、被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬのうちの図２に示す導体パターンＬ１〜Ｌ４については、図３に示すように、それらの形状や位置に応じてパターン像Ｇｌ１〜Ｇｌ４が描画されている。また、被検査基板像Ｇ２は、被検査基板Ｘにおける各ビアＶの直径や位置に応じてビア像Ｇｖ，Ｇｖが描画されている。これらの被検査基板像Ｇ１，Ｇ２の基板画像データＤ２は、一例として、被検査基板Ｘの設計データ等に基づいて外部装置において生成されてデータ処理装置２の記憶部２４に記憶させられる。
【００３２】
カラーバー画像データＤ３は、後述するように被検査基板像Ｇ１内の各パターン像Ｇｌや被検査基板像Ｇ２内の各ビア像Ｇｖに対して規定される明度の範囲を特定可能なカラーバーＧ３（図６，７参照）の画像データ構成されている。なお、このカラーバー画像データＤ３のカラーバーＧ３と、各パターン像Ｇｌや各ビア像Ｇｖの明度との関係については、後に詳細に説明する。報知用画像データＤ４は、「報知用画像データ」の一例であって、後述するように処理部２５によって実行されるデータ処理によって生成される。
【００３３】
処理部２５は、データ処理装置２を総括的に制御する。この処理部２５は、「処理部」の一例であって、上記のデータ処理用のプログラムに従い、基準値データＤ０，Ｄ０・・、測定値データＤ１，Ｄ１・・および基板画像データＤ２に基づいて報知用画像データＤ４を生成し、生成した報知用画像データＤ４を使用して被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬや各ビアＶ等の「導体路」毎の不良の程度（測定結果：検査結果）を特定可能に表示部２２に表示させたり印刷部２３に印刷させたりする（「視覚的に報知する」との処理の一例）。なお、処理部２５による測定結果の報知処理については、後に具体的な例を挙げて詳細に説明する。
【００３４】
この基板検査システム１００による複数枚の被検査基板Ｘについての測定処理、およびそれらの被検査基板Ｘについての測定結果の報知に際しては、まず、１枚目の被検査基板Ｘを測定装置１にセットして各導体パターンＬや各ビアＶなどの「導体路」についての抵抗値の測定処理を実行させる。これにより、１枚目の被検査基板Ｘにおける各「導体路（各導体パターンＬや各ビアＶ）」毎の抵抗値が記録された測定値データＤ１が生成されて記憶部１４に記憶される。なお、実際の測定装置１では、図示しない基板保持部による被検査基板Ｘの保持や、図示しない移動機構による測定用治具１１の移動（各プロービングポイントＰに対する各測定用プローブ１１ａのプロービング）などが行われるが、これらの動作については公知のため詳細な説明を省略する。
【００３５】
次いで、１枚目の被検査基板Ｘに代えて２枚目の被検査基板Ｘを測定装置１にセットして各導体パターンＬや各ビアＶなどの「導体路」についての抵抗値の測定処理を実行させる。これにより、２枚目の被検査基板Ｘにおける各「導体路」毎の測定値が記録された測定値データＤ１が生成されて記憶部１４に記憶される。この後、上記の２枚目の被検査基板Ｘについての測定処理と同様にして、３枚目以降の被検査基板Ｘについての測定処理を順次実行する。これにより、Ｎ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・についての測定処理が完了したときに、２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・の各「導体路」についての抵抗値が記録された２０個の測定値データＤ１，Ｄ１・・が記憶部１４に記憶された状態となる。
【００３６】
次いで、測定装置１において生成された測定値データＤ１，Ｄ１・・をデータ処理装置２に転送する。なお、この測定値データＤ１の転送処理については、２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・についての測定処理が完了したこの時点に限定されず、１枚の被検査基板Ｘについての測定処理が完了する都度、その被検査基板Ｘについての測定値データＤ１を転送することもできる。
【００３７】
一方、データ処理装置２では、処理部２５が、測定装置１から転送される（送信される）測定値データＤ１を記憶部２４に記憶させると共に、２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・についての２０個の測定値データＤ１，Ｄ１・・が記憶部２４に記憶されたときに、検査結果（測定結果）の報知処理を開始する。具体的には、処理部２５は、まず、記憶部２４から基準値データＤ０、および２０個の測定値データＤ１，Ｄ１・・を読み出して、２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘの各「導体路」の不良の程度を特定可能な「予め規定された値（以下、「特定用値」ともいう）」を演算する。
【００３８】
この場合、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、処理部２５が、一例として、Ｎ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における「導体路」毎の「測定値」の「分散値」、Ｎ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における「導体路」毎の「測定値」の「標準偏差値」、Ｎ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における「導体路」毎の「測定値」の「変動係数」、Ｎ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における「導体路」毎の「測定値」の「誤差率（相違率）」、Ｎ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における「導体路」毎の「測定値」の「標準得点」、Ｎ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における「導体路」毎の「測定値」の「平均値」、Ｎ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における「導体路」毎の「工程能力指数」、およびＮ＝２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・のうちの「予め規定された条件を満たす測定値が測定された被検査基板Ｘの比率」を「特定用値（予め規定された値）」として各「導体路」毎にそれぞれ演算する。
【００３９】
また、処理部２５は、上記の「標準得点」として、「Ｚ得点」、「ｚ得点」および「Ｔ得点」を各「導体路」毎にそれぞれ演算する。さらに、処理部２５は、上記の「予め規定された条件を満たす測定値が測定された被検査基板Ｘの比率（以下、単に「比率」ともいう）」として、基準値データＤ０に記録されている各「導体路」毎の「基準値」に基づいて規定される「良好と判定される抵抗値範囲（以下、「許容範囲」ともいう）」内の抵抗値（「予め規定された条件を満たす測定値」の一例）が測定された被検査基板Ｘの比率（以下、「良好判定比率」ともいう）と、上記の「許容範囲」を外れる抵抗値（「予め規定された条件を満たす測定値」の他の一例）が測定された被検査基板Ｘの比率（以下、「不良判定比率」ともいう）と、「許容範囲」を外れる抵抗値であってプロービングポイントＰに対する測定用プローブ１１ａの接触不良や「導体路」の断線に起因するような高抵抗の抵抗値が測定された被検査基板Ｘの比率（不良判定時に処理部２５によって特定される不良コードが、上記の条件を満たすコードである不良が生じている被検査基板Ｘの比率：以下、「特定不良コード発生比率」ともいう）とを各「導体路」毎にそれぞれ演算する。
【００４０】
なお、「分散値」、「標準偏差値」、「変動係数」、「誤差率（相違率）」、「標準得点（「Ｚ得点」、「ｚ得点」および「Ｔ得点」）」、「平均値」、「工程能力指数」および「比率（「良好判定比率」、「不良判定比率」および「特定不良コード発生比率」）」のすべてを「特定用値（予め規定された値）」として演算する構成・方法に代えて、これらの各値や、これらの値以外の任意の値を含む各種値のうちの１つ以上を「特定用値（予め規定された値）」として演算する構成・方法を採用することもできる。なお、上記の例示の各値の具体的な演算方法については公知のため、詳細な説明を省略する。
【００４１】
次いで、処理部２５は、基板画像データＤ２の被検査基板像Ｇ１，Ｇ２における各パターン像Ｇｌや各ビア像Ｇｖの明度（「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」が「明度」である処理の一例）を、演算した「特定用値」に対応させて変更する。なお、以下の説明では、上記の「特定用値」としての「良好判定比率」を報知する例について説明する。
【００４２】
具体的には、処理部２５は、図４に示す被検査基板像Ｇ１に関し、上記の「良好判定比率」が高い導体パターンＬ（２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・において良好と判定された被検査基板Ｘの枚数が多い導体パターンＬ）のパターン像Ｇｌほど明度を低く規定すると共に、「良好判定比率」が低い導体パターンＬ（２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・において良好と判定された被検査基板Ｘの枚数が少ない導体パターンＬ）のパターン像Ｇｌほど明度を高く規定することにより、図６に示すように、グレースケール画像の被検査基板像Ｇ１ａとして再描画する。これにより、各パターン像Ｇｌの明度が、対応する導体パターンＬの不良の程度（本例では、「良好判定比率」）に応じて相違する基板画像データＤ２が生成される。
【００４３】
また、処理部２５は、図５に示す被検査基板像Ｇ２に関し、上記の「良好判定比率」が高いビアＶ（２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・において良好と判定された被検査基板Ｘの枚数が多いビアＶ）のビア像Ｇｖほど明度を低く規定すると共に、「良好判定比率」が低いビアＶ（２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・において良好と判定された被検査基板Ｘの枚数が少ない導体パターンＬ）のビア像Ｇｖほど明度を高く規定して各ビア像Ｇｖを再描画する。
【００４４】
この場合、本例のデータ処理装置２（基板検査システム１００）では、小径のビアＶを示すビア像Ｇｖの視認を容易とするために、上記の明度の変更と並行して、各ビア像Ｇｖを拡大して描画する構成が採用されている。具体的には、一例として、図５に示す被検査基板像Ｇ２における各ビア像Ｇｖを、それぞれの中心を変化させることなく、例えば２倍から１０倍の範囲内で予め規定された拡大率で拡大する。これにより、一例として、図７に示すようなグレースケールの被検査基板像Ｇ２ａが描画されて、各ビア像Ｇｖの明度が、対応するビアＶの良否の程度（本例では、「良好判定比率」）に応じて相違する基板画像データＤ２が生成される。
【００４５】
続いて、処理部２５は、図６に示すように、各パターン像Ｇｌの明度を変更した上記の被検査基板像Ｇ１ａと、記憶部２４から読み出したカラーバー画像データＤ３のカラーバーＧ３とを並べて描画する。これにより、２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における各導体パターンＬについての測定結果（不良の度合い）を示す報知用画像Ｇ４の報知用画像データＤ４が生成される。また、処理部２５は、図７に示すように、各ビア像Ｇｖの明度を変更した上記の被検査基板像Ｇ２ａとカラーバーＧ３とを並べて描画する。これにより、２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における各ビアＶについての測定結果（不良の度合い）を示す報知用画像Ｇ４の報知用画像データＤ４が生成される。
【００４６】
この場合、上記のカラーバー画像データＤ３のカラーバーＧ３は、「カラーバー」の一例であって、被検査基板Ｘの各「導体路」に関する「良好判定比率」の範囲（０％〜１００％）と、各パターン像Ｇｌや各ビア像Ｇｖに規定する明度の範囲（この例では、白色から黒色の範囲）との対応関係を特定可能に構成されている。具体的には、本例のカラーバーＧ３では、「良好判定比率」が高いほど、低い明度（黒色寄りの明度）が対応付けられ、「良好判定比率」が低いほど、高い明度（白色寄りの明度）が対応付けられていることを特定可能に構成されている。つまり、「良好判定比率」が高いほど明度が漸減し、かつ「良好判定比率」が低いほど明度が漸増する。
【００４７】
次いで、処理部２５は、生成した報知用画像データＤ４に基づき、図６に示すように、報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ３）を表示部２２に表示させる。これにより、２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における各導体パターンＬについての測定結果（不良の程度：本例では、導体パターンＬの「良好判定比率」の値の大きさ）を示す被検査基板像Ｇ１ａがカラーバーＧ３と並んで表示される（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の一例）。
【００４８】
この報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａ）では、基準値データＤ０および測定値データＤ１，Ｄ１・・に基づいて演算された各導体パターンＬ毎の「良好判定比率」に応じて、対応するパターン像Ｇｌの明度が相違させられている。また、この報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａ）では、各導体パターンＬのパターン像Ｇｌが、被検査基板Ｘ上の実際の導体パターンＬの位置に対応して描画されている。したがって、表示部２２に表示された被検査基板像Ｇ１ａをカラーバーＧ３と共に参照することにより、被検査基板Ｘの各部に形成された導体パターンＬの不良の程度を直感的に把握することができる。
【００４９】
なお、表示部２２への表示に代えて、報知用画像データＤ４を印刷部２３に出力することで上記の報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ１ａおよびカラーバーＧ３）を紙面に印刷させることもできる（「測定結果を視覚的に報知する」との処理の他の一例）。これにより、表示部２２に表示された報知用画像Ｇ４を参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像Ｇ４を参照することで、被検査基板Ｘの各部に形成された導体パターンＬの不良の程度を直感的に把握することができる。
【００５０】
また、処理部２５は、操作部２１による表示画面の切り替え操作に応じて、他の報知用画像データＤ４に基づき、図７に示すように、他の報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａおよびカラーバーＧ３）を表示部２２に表示させる。これにより、２０枚の被検査基板Ｘ，Ｘ・・における各ビアＶについての測定結果（不良の度合い：本例では、ビアＶの「良好判定比率」の値の大きさ）を示す被検査基板像Ｇ２ａがカラーバーＧ３と並んで表示される（「測定結果を視覚的に報知する」との処理のさらに他の一例）。
【００５１】
この報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａ）では、基準値データＤ０および測定値データＤ１，Ｄ１・・に基づいて演算された各ビアＶ毎の「良好判定比率」に応じて、対応するビア像Ｇｖの明度が相違させられている。また、この報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａ）では、各ビアＶのビア像Ｇｖが、被検査基板Ｘ上の実際のビアＶの位置に対応して描画されている。したがって、表示部２２に表示された被検査基板像Ｇ２ａをカラーバーＧ３と共に参照することにより、被検査基板Ｘの各部に形成されたビアＶの不良の程度を直感的に把握することができる。
【００５２】
なお、表示部２２への表示に代えて、報知用画像データＤ４を印刷部２３に出力することで上記の報知用画像Ｇ４（被検査基板像Ｇ２ａおよびカラーバーＧ３）を紙面に印刷させることもできる（「測定結果を視覚的に報知する」との処理のさらに他の一例）。これにより、表示部２２に表示された報知用画像Ｇ４を参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像Ｇ４を参照することで、被検査基板Ｘの各部に形成されたビアＶの不良の程度を直感的に把握することができる。
【００５３】
この後、必要に応じて「良好判定比率」以外の各「特定用値」を指定することにより、処理部２５による演算結果に基づいて、指定した「特定用値」に対応してパターン像Ｇｌやビア像Ｇｖの明度が相違させられた報知用画像Ｇ４が表示、または印刷される。これにより、その報知用画像Ｇ４を参照することで、「良好判定比率」とは異なる観点で、被検査基板Ｘの各部に形成された導体パターンＬやビアＶの不良の程度（「予め規定された値」の大きさ）を直感的に把握することができる。
【００５４】
このように、このデータ処理装置２、およびその測定結果報知方法では、Ｎ枚の被検査基板Ｘについての各「測定値（測定値データＤ１の値）」に基づき、不良の程度を特定可能な「予め規定された値」を各「導体路（ビアＶや導体パターンＬ）」毎にそれぞれ演算すると共に、各被検査基板Ｘにおける各「導体路」の位置に応じて各「導体路」を示す複数の「導体路像（パターン像Ｇｌやビア像Ｇｖ）」が配置された「被検査基板像（被検査基板像Ｇ１，Ｇ２）」の基板画像データＤ２を使用して「被検査基板像」における各「導体路像」の色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つを「予め規定された値」に対応させて変更することで報知用画像データＤ４を生成し、生成した報知用画像データＤ４に基づいて各「導体路」毎の「予め規定された値」の大きさを表示または印刷して視覚的に報知する。また、この基板検査システム１００では、上記のデータ処理装置２と、各被検査基板Ｘにおける各「導体路」についての測定処理を実行して各「測定値」を取得する測定装置１とを備えて構成されている。
【００５５】
したがって、このデータ処理装置２、その測定結果報知方法、およびこの基板検査システム１００によれば、複数枚の被検査基板Ｘにおける各導体パターンＬやビアＶについての測定値等が一覧表形式で表示・印刷される測定結果（検査結果）とは異なり、表示または印刷した報知用画像Ｇ４の被検査基板像Ｇ１ａ，Ｇ２ａを参照させることで、各被検査基板Ｘのいずれの位置に形成された導体パターンＬの不良の程度が大きく、いずれの位置に形成された導体パターンＬの不良の程度が小さいかや、各被検査基板Ｘのいずれの位置に形成されたビアＶの不良の程度が大きく、いずれの位置に形成されたビアＶの不良の程度が小さいかを直感的に把握させることができ、しかも、各パターン像Ｇｌやビア像Ｇｖの明度の相違によって各導体パターンＬ毎の不良の程度を示す「予め規定された値」の大きさや、各ビアＶ毎の不良の程度を示す「予め規定された値」の大きさを直感的に把握させることができる。これにより、この種の装置を使用した検査に不慣れな者であっても、複数枚の被検査基板Ｘにおける各「導体路」に生じている不良の原因等を容易に特定することができる。
【００５６】
また、このデータ処理装置２、その測定結果報知方法、およびそのようなデータ処理装置２を備えた基板検査システム１００によれば、Ｎ枚の被検査基板Ｘにおける「導体路」毎の「測定値」の「分散値」、Ｎ枚の被検査基板Ｘにおける「導体路」毎の「測定値」の「標準偏差値」、Ｎ枚の被検査基板Ｘにおける「導体路」毎の「測定値」の「変動係数」、Ｎ枚の被検査基板Ｘにおける「導体路」毎の「測定値」の「誤差率」、Ｎ枚の被検査基板Ｘにおける「導体路」毎の「測定値」の「標準得点」、Ｎ枚の被検査基板Ｘにおける「導体路」毎の「測定値」の「平均値」、Ｎ枚の被検査基板Ｘにおける「導体路」毎の「工程能力指数」、およびＮ枚の被検査基板Ｘのうちの予め規定された条件を満たす「測定値」が測定された被検査基板Ｘの「比率」のいずれかを「予め規定された値」として演算して報知用画像データＤ４を生成することにより、各導体パターンＬや各ビアＶの不良の程度を的確に把握させることができる。
【００５７】
さらに、このデータ処理装置２、その測定結果報知方法、およびそのようなデータ処理装置２を備えた基板検査システム１００によれば、「予め規定された値」の大きさを特定可能なカラーバーＧ３を「被検査基板像」と並べて描画して報知用画像データＤ４を生成することにより、各導体パターンＬや各ビアＶの不良の程度がどの程度であるか（「予め規定された値」の大きさがどの程度であるか）を一層容易に把握させることができる。
【００５８】
なお、「測定結果報知装置」および「測定システム」の構成や、「測定結果報知方法」の処理内容については、上記の例に限定されない。例えば、「色相、明度および彩度のうちの予め規定された１つ」の一例として、黒色の「導体路像（パターン像Ｇｌやビア像Ｇｖ）の「明度」を「予め規定された値（上記の例では、「良好判定比率」など）」に応じて異ならせて報知用画像データＤ４を生成する処理を例に挙げて説明したが、黒色以外の任意の色の「導体路像」の「明度」を「予め規定された値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。また、「明度」を異ならせる処理に代えて、「導体路像」の色の「色相」または「彩度」を「予め規定された値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。
【００５９】
さらに、１つの導体パターンＬや、１つのビアＶを１つの「導体路」として測定して測定結果を報知する例について説明したが、連続する複数の導体パターンＬを１つの「導体路」としたり、連続する１つまたは複数の導体パターンＬとビアＶとを１つの「導体路」としたりして、これを測定して測定結果を報知する構成、方法を採用することもできる。また、「導体路」としての導体パターンＬについての測定結果だけを報知したり、「導体路」としてのビアＶについての測定結果だけを報知したりする構成および方法を採用することもできる。
【００６０】
加えて、測定用治具１１およびスキャナ１２を介して被検査基板Ｘについての測定処理を実行する測定装置１を例に挙げて説明したが、「測定システム」における「測定装置」の構成はこれに限定されず、プローブ移動機構によって各測定用プローブを別個独立して移動させて任意のプロービングポイントにプロービングさせて「被検査基板」についての測定処理を実行可能な「測定装置」を備えて構成することもできる。
【符号の説明】
【００６１】
１００  基板検査システム
１  測定装置
２  データ処理装置
１１  測定用治具
１３  測定部
１５，２５  処理部
２２  表示部
２３  印刷部
Ｄ０  基準値データ
Ｄ１  測定値データ
Ｄ２  基板画像データ
Ｄ３  カラーバー画像データ
Ｄ４  報知用画像データ
Ｇ１，Ｇ１ａ，Ｇ２，Ｇ２ａ  被検査基板像
Ｇ３  カラーバー
Ｇ４  報知用画像
Ｇｌ１，Ｇｌ２・・  パターン像
Ｇｖ  ビア像
Ｌ１，Ｌ２・・  導体パターン
Ｖ１，Ｖ２・・  ビア
Ｘ  被検査基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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