(57)【要約】【課題】設備の電力供給系統に異常が発生した場合であっても、容器内の基板の劣化を抑制できる容器保管設備を提供する。【解決手段】容器に不活性気体を供給する不活性気体供給装置２０（２０Ａ・２０Ｂ）と保管部に容器を搬出入する搬送装置１０（１０Ａ・１０Ｂ）と搬送装置１０（１０Ａ・１０Ｂ）を制御する第１制御部Ｈｓと不活性気体供給装置２０（２０Ａ・２０Ｂ）を制御する第２制御部Ｈｐと通信中継装置Ｃを介して第１制御部Ｈｓに第１指令を送信し第２制御部Ｈｐに第２指令を送信する第３制御部Ｈとを備え、搬送装置１０（１０Ａ・１０Ｂ）は第１電力供給部Ｐａ（Ｐ１ａ・Ｐ２ａ）から、不活性気体供給装置２０（２０Ａ・２０Ｂ）、第２制御部Ｈｐ、第３制御部Ｈ、及び通信中継装置Ｃは、第１電力供給部Ｐａ（Ｐ１ａ・Ｐ２ａ）と異なる別系統電力供給部（Ｐｂ（Ｐ１ｂ・Ｐ２ｂ）、ＰＭ）から給電される。【選択図】図４
2018041922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収容する容器を保管する保管部と、
前記保管部に保管されている容器に対して不活性気体を供給する不活性気体供給装置と、
前記保管部に対して前記容器を搬入又は搬出する搬送装置と、が設けられた容器保管設備であって、
前記搬送装置の作動を制御する第１制御部と、前記不活性気体供給装置の作動を制御する第２制御部と、通信中継装置を介して前記第１制御部に第１指令を送信し、前記通信中継装置を介して前記第２制御部に第２指令を送信する第３制御部と、が設けられ、
前記第１指令は、前記搬送装置の作動についての指令であり
前記第２指令は、前記不活性気体供給装置の作動についての指令であり、
前記搬送装置は、第１電力供給部から供給される電力により作動し、
前記不活性気体供給装置、前記第２制御部、前記第３制御部、及び前記通信中継装置は、前記第１電力供給部に電力を供給する電力供給系統とは異なる電力供給系統により電力を供給される電力供給部である別系統電力供給部から供給される電力により作動する容器保管設備。
【請求項２】
前記別系統電力供給部は、互いに独立した２つの電力供給系統により電力を供給される電力供給部である第２電力供給部と第３電力供給部とを備え、
前記不活性気体供給装置は、前記第２電力供給部から供給される電力により作動し、
前記第２制御部、前記第３制御部、及び前記通信中継装置は、前記第３電力供給部から供給される電力により作動する請求項１に記載の容器保管設備。
【請求項３】
前記保管部についての異常を検出する保管部センサがさらに設けられ、
前記第１制御部は、前記保管部センサの検出情報に基づく第１異常情報を前記第２制御部に送信し、
前記第２制御部は、前記第１異常情報を受け取った際に前記不活性気体供給装置によって前記容器に対して不活性気体が供給されている場合には、前記不活性気体供給装置の作動を停止させる異常時停止処理を実行する請求項１又は２に記載の容器保管設備。
【請求項４】
人為操作式の再開指令部をさらに備え、
前記再開指令部は、人為操作に応じて前記異常時停止処理により停止した前記不活性気体供給装置の作動を再開させる供給再開処理を前記第２制御部に対して指令する請求項３に記載の容器保管設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を収容する容器を保管する保管部と、前記保管部に保管されている容器に対して不活性気体を供給する不活性気体供給装置と、前記保管部に対して前記容器を搬入又は搬出する搬送装置と、が設けられた容器保管設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような容器保管設備として、特開２０１４−２４１３７７号公報（特許文献１）には、複数の半導体基板を収容する容器を保管する保管部を上下方向に複数並べて備えた収納棚と、保管部と入出庫口との間で容器を搬送する搬送装置とを備えた容器保管庫が設けられ、当該容器保管庫における複数の保管部に、容器の内部に不活性気体を供給する不活性気体供給装置が取り付けられた不活性気体供給機能付きの容器保管設備が記載されている。
【０００３】
特許文献１の容器保管設備は、搬送装置の作動を制御する第１制御部と、不活性気体供給装置の作動を制御する第２制御部と、を備えている。また、不活性気体供給装置は各別に不活性気体の供給状態を変更可能に構成されている。このため、保管部に容器が保管されてからの経過時間等に基づいて、容器に適切に不活性気体を供給できる。
【０００４】
また、特許文献１の容器保管設備は、壁体によって外部の空間と隔離された内部空間内に収納棚が配設され、壁体に作業者が出入りする扉が設けられており、作業者が内部空間に侵入するべく扉を開けた場合には、容器保管庫の内部空間内の酸素濃度の低下を抑制するために、第２制御部が不活性気体の供給を停止させるように不活性気体供給装置を制御する。
【０００５】
特許文献１の容器保管設備には、第２制御部に対して不活性気体供給装置の作動を指令する第３制御部が設けられており、扉が閉じられたことが確認される等して不活性気体の供給を許容できる場合には、第３制御部が第２制御部に対して不活性気体の供給の再開を指令するようになっている。これにより、作業者が容器保管庫の内部空間に進入した場合の作業者の安全を確保できるとともに、保管している容器内の半導体基板の劣化が進行する状態を回避し易い容器保管設備とすることができる。なお、第１制御部、第２制御部、及び第３制御部の夫々は、各別のコンピュータにて構成され、それらは互いに通信中継装置（ハブ等）を介して情報を送受信している。
【０００６】
特許文献１には記載されていないが、不活性気体供給装置を備えない容器保管設備に対して不活性気体供給装置を後付けすることで、特許文献１のような不活性気体供給機能付きの容器保管設備を構築する場合がある。
【０００７】
このような場合における設備が備える各種の装置の接続及び電力供給系統を図６に示す。図６では、２つの容器保管庫Ｊ（第１容器保管庫Ｊ１・第２容器保管庫Ｊ２）を備える容器保管設備を示しており、電力の供給系統を一点鎖線で示している。
不活性気体供給装置としてのパージ装置２０（第１パージ装置２０Ａ・第２パージ装置２０Ｂ）及び第２制御部Ｈｐ（第１保管庫側第２制御部Ｈｐ１・第２保管庫側第２制御部Ｈｐ２）は、比較的大きな電力を要するため、既設の電力供給部である搬送用分電盤Ｐａ（第１保管庫搬送用分電盤Ｐ１ａ・第２保管庫搬送用分電盤Ｐ２ａ）とは異なる電力供給部であるパージ用分電盤Ｐｂ（第１保管庫パージ用分電盤Ｐ１ｂ・第２保管庫パージ用分電盤Ｐ２ｂ）が後付けされる。この場合、パージ用分電盤Ｐｂは搬送用分電盤Ｐａとは異なる電力供給系統により給電を受けることが好ましい。図６で言えば、搬送装置としてのスタッカークレーン１０（第１スタッカークレーン１０Ａ・第２スタッカークレーン１０Ｂ）及び第１制御部Ｈｓ（第１保管庫側第１制御部Ｈｓ１・第２保管庫側第１制御部Ｈｓ２）に作動用の電力を供給する電力供給部である搬送用分電盤Ｐａとは異なるパージ用分電盤Ｐｂを後付けし、その場合、パージ用分電盤Ｐｂは搬送用分電盤Ｐａとは異なる電力供給系統から電力が供給されるように構成することが望ましい。
【０００８】
一方、制御部間の通信を中継するハブＣａ（第１ハブＣａ１・第２ハブＣａ２）は、通信ポートに余裕がある場合には第１制御部Ｈｓ用として用いられていたものを流用することができる。この場合、ハブＣａは、搬送用分電盤Ｐａから供給される電力で作動することになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１４−２４１３７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記のように不活性気体供給装置を備えない容器保管設備に対して不活性気体供給装置を後付けし、搬送用分電盤Ｐａから供給される電力によりハブＣａが作動する構成とした場合、搬送用分電盤Ｐａに障害が生じて電力の供給が不可能となると、スタッカークレーン１０に電力が供給されなくなるため、スタッカークレーン１０を作動させることができず、容器を保管部から取り出すことができない。さらに、ハブＣａに電力が供給されなくなるために第３制御部から第２制御部Ｈｐにパージ装置２０の動作指令を送信できず、保管部に保管されている容器に対して不活性気体を供給することができない。このため、設備の電力供給系統に異常が発生した場合に、保管部に保管されている容器に対して不活性気体を供給することも、当該容器を保管部から取り出すこともできない事態が生じ、容器内の基板が劣化する虞がある。
【００１１】
そこで、設備の電力供給系統に異常が発生した場合であっても、容器内の基板の劣化を抑制できる容器保管設備が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するための本発明にかかる容器保管設備は、基板を収容する容器を保管する保管部と、前記保管部に保管されている容器に対して不活性気体を供給する不活性気体供給装置と、前記保管部に対して前記容器を搬入又は搬出する搬送装置と、が設けられたものであって、
前記搬送装置の作動を制御する第１制御部と、前記不活性気体供給装置の作動を制御する第２制御部と、通信中継装置を介して前記第１制御部に第１指令を送信し、前記通信中継装置を介して前記第２制御部に第２指令を送信する第３制御部と、が設けられ、前記第１指令は、前記搬送装置の作動についての指令であり、前記第２指令は、前記不活性気体供給装置の作動についての指令であり、前記搬送装置は、第１電力供給部から供給される電力により作動し、前記不活性気体供給装置、前記第２制御部、前記第３制御部、及び前記通信中継装置は、前記第１電力供給部に電力を供給する電力供給系統とは異なる電力供給系統により電力を供給される電力供給部である別系統電力供給部から供給される電力により作動する点に特徴を有する。
【００１３】
すなわち、不活性気体供給装置、第２制御部、第３制御部、及び、通信中継装置の夫々は、別系統電力供給部から供給される電力によって作動しているため、第１電力供給部に異常が生じて電力を供給できない状態となった場合であっても、第３制御部からの指令によって不活性気体供給装置を作動させることができる。
【００１４】
このため、第１電力供給部の異常によって搬送装置が作動せず、保管部から容器を取り出せなくなっても、第１電力供給部が正常に電力を供給できる状態に復旧するまでの間、不活性気体供給装置により取り出せない容器に対して不活性気体を供給することができ、その容器内の基板の劣化を抑制することができる。
【００１５】
このように、設備の電力供給系統に異常が発生した場合であっても、容器内の基板の劣化を抑制できる容器保管設備を提供できる。
【００１６】
本発明にかかる容器保管設備においては、前記別系統電力供給部は、互いに独立した２つの電力供給系統により電力を供給される電力供給部である第２電力供給部と第３電力供給部とを備え、前記不活性気体供給装置は、前記第２電力供給部から供給される電力により作動し、前記第２制御部、前記第３制御部、及び前記通信中継装置は、前記第３電力供給部から供給される電力により作動することが好ましい。
【００１７】
すなわち、第２制御部に不活性気体供給装置の作動を指令する第３制御部と通信中継装置とは、不活性気体供給装置に電力を供給する第２電力供給部とは独立した電力供給系統である第３電力供給部から供給される電力によって作動する。このため、例えば、第１電力供給部は正常であり第２電力供給部のみに異常が生じた場合、第３電力供給部から第１制御部に容器の搬出や移動を指令することができる。したがって、第２電力供給部に異常が生じて容器への不活性気体の供給ができなくなった場合でも、正常に作動している不活性気体供給装置を備える保管部に容器を移動させたり、基板を処理する箇所へ容器を搬送するために保管部から容器を取り出すことができる。
【００１８】
本発明にかかる容器保管設備においては、前記保管部についての異常を検出する保管部センサがさらに設けられ、前記第１制御部は、前記保管部センサの検出情報に基づく第１異常情報を前記第２制御部に送信し、前記第２制御部は、前記第１異常情報を受け取った際に前記不活性気体供給装置によって前記容器に対して不活性気体が供給されている場合には、前記不活性気体供給装置の作動を停止させる異常時停止処理を実行することが好ましい。
【００１９】
すなわち、保管部についての異常が検出された場合に、不活性気体供給装置の作動を停止させることができる。ここで、保管部についての異常とは、例えば、搬送装置に電力を供給する第１電力供給部の異常によって保管部から容器を取り出せなくなった状態や、保管部における容器の支持姿勢の異常等が考えられる。このような場合には、作業者が保管部の状態を確認するべく、保管部が設けられる保管庫の内部に進入する場合がある。本特徴構成によれば、保管部についての異常が発生した場合には不活性気体供給装置の作動を停止させることができるので、上記のように作業者が保管部の状態を確認するべく保管庫の内部に進入する場合等においても作業者の安全を確保できる。
【００２０】
本発明にかかる容器保管設備においては、人為操作式の再開指令部をさらに備え、前記再開指令部は、人為操作に応じて前記異常時停止処理により停止した前記不活性気体供給装置の作動を再開させる供給再開処理を前記第２制御部に対して指令することが好ましい。
【００２１】
すなわち、保管部についての異常を検出して不活性気体供給装置の作動を停止させた後に、異常が解消したことを作業者が確認した場合等、不活性気体の供給を許容できる状態となった場合には、人為操作式の再開指令部によって停止した不活性気体供給装置の作動を再開させることができる。このため、容器への不活性気体の供給を再開できる状態であるにもかかわらず不活性気体の供給が停止したままの状態となることを回避でき、容器内の基板の劣化を抑制し易い容器保管設備を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施形態の容器保管庫の断面図
【図２】本実施形態の容器保管庫の要部正面図
【図３】本実施形態の容器保管庫の制御構成を示すブロック図
【図４】本実施形態の容器保管庫の電力供給系統を示すブロック図
【図５】制御を示すフローチャート
【図６】従来の容器保管庫の電力供給系統を示すブロック図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の容器保管設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２４】
本実施形態の容器保管設備は、図３及び４に示すように、２つの容器保管庫Ｊ（第１容器保管庫Ｊ１・第２容器保管庫Ｊ２）、第１制御部Ｈｓ、第２制御部Ｈｐ、及び、管理装置Ｈを備えている。
【００２５】
図１及び図２に示すように、容器保管庫Ｊは、基板を密閉状態で収容する容器Ｂを保管する保管棚Ｒ、搬送手段としてのスタッカークレーン１０、及び、容器Ｂの入出庫部としての入出庫コンベヤＣＶを備えている。本実施形態では、図３及び４に示すように容器保管庫Ｊを２つ（第１容器保管庫Ｊ１・第２容器保管庫Ｊ２）備えており、第１容器保管庫Ｊ１には第１スタッカークレーン１０Ａ及び第１パージ装置２０Ａが設けられ、第２容器保管庫Ｊ２には第２スタッカークレーン１０Ｂ及び第２パージ装置２０Ｂが設けられている。なお、第１容器保管庫Ｊ１と第２容器保管庫Ｊ２とはほぼ同じ構成であるため、以降の説明において特に区別する必要がない場合は、それらをまとめて容器保管庫Ｊとして説明し、それらが備える第１スタッカークレーン１０Ａ及び第２スタッカークレーン１０Ｂをスタッカークレーン１０とし、第１パージ装置２０Ａ及び第２パージ装置２０Ｂをパージ装置２０として説明する。
【００２６】
図１及び２に示すように、保管棚Ｒ及びスタッカークレーン１０は壁体Ｗにて外周部が覆われた内部空間Ａ１に配設され、入出庫コンベヤＣＶが、壁体Ｗに形成された開口Ｋを貫通する状態で内部空間Ａ１と外部空間Ａ２とに亘って配設されている。
保管棚Ｒは、容器Ｂを保管する保管部Ｓを上下方向及び左右方向に並べる状態で複数備えている。複数の保管部Ｓの夫々は、単一の容器Ｂを支持する棚体Ｔを備えている。
【００２７】
本実施形態においては、図１に示すように、容器保管庫Ｊが設置されたクリーンルームの天井部から吊り下げられる状態で支持された一対のレールＬに沿って走行するホイスト式の搬送車Ｖが装備されている。搬送車Ｖは、容器Ｂを保持して昇降可能な把持部Ｖｓを昇降させることで、入出庫コンベヤＣＶとの間で容器Ｂを授受可能に構成されている。
【００２８】
容器Ｂは、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠したＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼称される合成樹脂製の気密容器である。容器Ｂは、基板としての半導体ウェハーを収納するために用いられる。詳細な説明は省略するが、容器Ｂの前面には、着脱自在な蓋体にて開閉される基板出入用の開口部が形成され、容器Ｂの上面には、搬送車Ｖの把持部Ｖｓにより把持されるトップフランジＢｈが形成されている。
【００２９】
また、図示は省略するが、容器Ｂの底面には、棚体Ｔが備える位置決めピンが係合する３つの係合溝が形成され、さらに、係合溝とは別に、容器Ｂの底部に不活性気体としての窒素ガスを注入するための給気口と排気口が設けられている。
【００３０】
図示は省略するが、給気口には注入側開閉弁が設けられ、排気口には排出側開閉弁が設けられている。注入側開閉弁は、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されて、給気口に供給される不活性気体の吐出圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となると、その圧力によって開操作されるように構成されている。また、排出側開閉弁は、スプリング等の付勢手段によって閉方向に付勢されて、容器Ｂの内部の圧力が大気圧よりも設定値高い設定開弁圧力以上となったときに開操作されるように構成されている。
【００３１】
図１に示すように、スタッカークレーン１０は、保管棚Ｒの前面側の床部に設けられた走行レールＥに沿って走行自在な走行台車１１と、その走行台車１１に立設されたマスト１２と、マスト１２に案内される状態で昇降自在な昇降台１３とを備えている。また、マスト１２の上端に設けられた上部枠１６が、壁体Ｗにて外周部が覆われた内部空間Ａ１の天井側に設けた上部ガイドレール（図示省略）に係合して移動するように構成されている。
【００３２】
昇降台１３には、保管部Ｓの棚体Ｔとの間で容器Ｂを移載する移載装置１４が装備されている。移載装置１４は、容器Ｂを載置支持する板状の載置支持体１５を保管部Ｓの内部に突出する突出位置と昇降台１３側に引退する引退位置とに出退自在に備えて、載置支持体１５の出退作動及び昇降台１３の昇降作動により、載置支持体１５に載置した容器Ｂを保管部Ｓに降ろす降し動作、及び、保管部Ｓに保管されている容器Ｂを取出す掬い動作を行うように構成されている。なお、スタッカークレーン１０は、後述する第１制御部Ｈｓ（図３、４を参照）によって作動を制御されるようになっている。
【００３３】
また、棚体Ｔには、容器Ｂについての状態が異常状態であるか否かを検出する保管部センサＤ（図４参照）が設けられている。保管部センサＤは、保管部Ｓに容器Ｂを搬送するスタッカークレーン１０に対する電力供給状態の異常や、棚体Ｔにおける容器Ｂの支持姿勢の異常等、後述するパージ装置２０以外の容器保管庫Ｊの各種の異常状態を検出可能に構成されている。なお、保管部センサＤの検出情報は、上記のうちの何れかであってもよいし、それ以外の保管部Ｓに関する異常情報を検出するようにしてもよい。図４に示すように、保管部センサＤの検出情報は、後述する第１制御部Ｈｓに入力されるように構成されるとともに、第１制御部Ｈｓは、保管部センサＤの検出情報に基づいて、異常情報（第１異常情報）を後述する第２制御部Ｈｐ（図３、４を参照）に送信するように構成されている。
【００３４】
棚体Ｔには、不活性気体を容器Ｂの内部に供給する吐出口と、容器Ｂの内部から排出される気体を通流する排出口と、が設けられている。棚体Ｔの適正位置に容器Ｂが支持されると、容器Ｂの給気口と棚体Ｔの吐出口とが接続されるとともに、容器Ｂの排気口と棚体Ｔの排出口とが接続される状態となる。保管部Ｓの夫々に対応して、吐出口に供給する不活性気体の流量を制御する流量コントローラを備えたパージ装置２０が設けられている。パージ装置２０の夫々は第２制御部Ｈｐと接続されており、第２制御部Ｈｐによって作動を制御されるようになっている。また、第２制御部Ｈｐは、第１制御部Ｈｓから第１異常情報を受け取った際にパージ装置２０によって容器Ｂに対して不活性気体が供給されている場合には、パージ装置２０の作動を停止させる異常時停止処理を実行するように構成されている。なお、異常時停止処理は、保管部センサＤが異常を検出した場合に、作業者が容器保管庫Ｊの内部空間Ａ１に進入して確認作業等を行う場合に、内部空間Ａ１の酸素濃度が低下しないようにするために行われる処理である。
【００３５】
本実施形態では、スタッカークレーン１０が搬送装置に相当し、パージ装置２０が不活性気体供給装置に相当する。
すなわち、本実施形態の容器保管設備における容器保管庫Ｊは、基板を収容する容器Ｂを保管する保管部Ｓと、保管部Ｓに保管されている容器Ｂに対して不活性気体を供給するパージ装置２０と、保管部Ｓに対して容器Ｂを搬入又は搬出するスタッカークレーン１０と、を備えている。
【００３６】
図３及び図４に示すように、第１制御部Ｈｓ及び第２制御部Ｈｐの夫々は、図４に示すように、通信ケーブルにてスイッチングハブＣを介して管理装置Ｈと接続されている。本実施形態では、スイッチングハブＣが通信中継装置に相当し、管理装置Ｈが第３制御部に相当する。また、スイッチングハブＣは、通信ケーブルを介して、第１容器保管庫Ｊ１における第１スタッカークレーン１０Ａのコントローラと第１パージ装置２０Ａのコントローラ、及び、第２容器保管庫Ｊ２における第２スタッカークレーン１０Ｂのコントローラと第２パージ装置２０Ｂのコントローラとも接続されている。
【００３７】
管理装置Ｈは、第１制御部Ｈｓに対してスタッカークレーン１０の作動（指定された保管部Ｓとの間での容器Ｂの搬入や搬出）についての指令である第１指令を指令するように構成されており、第２制御部Ｈｐに対してパージ装置２０の作動（指定された供給流量及び供給時間パターンでの不活性気体の供給又は停止）についての指令である第２指令を指令する。
【００３８】
第１制御部Ｈｓは、管理装置Ｈからの第１指令に基づいて、第１容器保管庫Ｊ１における第１スタッカークレーン１０Ａ又は第２容器保管庫Ｊ２における第２スタッカークレーン１０Ｂに作動を指令する。また、第２制御部Ｈｐは、管理装置Ｈからの第２指令に基づいて、第１容器保管庫Ｊ１における第１パージ装置２０Ａ又は第２容器保管庫Ｊ２における第２パージ装置２０Ｂに作動を指令する。
【００３９】
また、管理装置Ｈには、人為操作式の再開指令部Ｇが接続されている。再開指令部Ｇは鍵穴とその鍵穴に適合する特定の鍵とを備え、鍵を鍵穴に差し込んで回すという人為操作に応じて、異常時停止処理により停止したパージ装置２０の作動を再開させる供給再開処理を第２制御部Ｈｐに対して指令するように構成されている。
【００４０】
なお、再開指令部Ｇによりパージ装置２０の作動を再開させる場合として、例えば、保管部センサＤの検出情報に基づいて第２制御部Ｈｐがパージ装置２０の作動をさせた後、上記のように容器保管庫Ｊの内部空間Ａ１にて確認作業を行っていた作業者が内部空間Ａ１から外部空間Ａ２に退出したことが確認された場合や、作業者が内部空間Ａ１に進入するまでもなくパージ装置２０の作動をさせることが許容されることが確認された場合等が考えられる。
【００４１】
すなわち、本実施形態の容器保管設備には、スタッカークレーン１０の作動を制御する第１制御部Ｈｓと、パージ装置２０の作動を制御する第２制御部Ｈｐと、スイッチングハブＣを介して第１制御部Ｈｓにスタッカークレーン１０の作動についての指令である第１指令を送信し、スイッチングハブＣを介して第２制御部Ｈｐにパージ装置２０の作動についての指令である第２指令を送信する管理装置Ｈと、が設けられている。
【００４２】
図４にて一点鎖線で示すように、第１容器保管庫Ｊ１における第１スタッカークレーン１０Ａは、第１容器保管庫Ｊ１に近接して設けられた第１保管庫搬送用分電盤Ｐ１ａから供給される電力で作動するように構成されており、第１容器保管庫Ｊ１における第１パージ装置２０Ａは、第１容器保管庫Ｊ１に近接して設けられた第１保管庫パージ用分電盤Ｐ１ｂから供給される電力で作動するように構成されている。
【００４３】
また、図４にて一点鎖線で示すように、第２容器保管庫Ｊ２における第２スタッカークレーン１０Ｂは、第２容器保管庫Ｊ２に近接して設けられた第２保管庫搬送用分電盤Ｐ２ａから供給される電力で作動するように構成されており、第２容器保管庫Ｊ２における第２パージ装置２０Ｂは、第２容器保管庫Ｊ２に近接して設けられた第２保管庫パージ用分電盤Ｐ２ｂから供給される電力で作動するように構成されている。
【００４４】
そして、図４にて一点鎖線で示すように、第１保管庫搬送用分電盤Ｐ１ａ、第１保管庫パージ用分電盤Ｐ１ｂ、第２保管庫搬送用分電盤Ｐ２ａ、第２保管庫パージ用分電盤Ｐ２ｂ、第１制御部Ｈｓ、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及び、スイッチングハブＣの夫々は、半導体基板の処理工場において容器保管庫Ｊの全体を作動させることが可能な電源容量を賄う分電盤である主分電盤ＰＭから電力を供給されるようになっている。なお、主分電盤ＰＭが上記以外の電力需要部（例えば搬送車Ｖや照明装置等）に電力を供給するようにしてもよい。また、主分電盤ＰＭは、容器保管庫Ｊの配設箇所に近接して設けられている。
【００４５】
本実施形態では、第１保管庫搬送用分電盤Ｐ１ａ及び第２保管庫搬送用分電盤Ｐ２ａ（搬送用分電盤Ｐａ）が第１電力供給部に相当し、第１保管庫パージ用分電盤Ｐ１ｂ及び第２保管庫パージ用分電盤Ｐ２ｂ（パージ用分電盤Ｐｂ）が第２電力供給部に相当し、主分電盤ＰＭが第３電力供給部に相当する。
【００４６】
すなわち、スタッカークレーン１０は、搬送用分電盤Ｐａから供給される電力により作動し、パージ装置２０、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及びスイッチングハブＣは、搬送用分電盤Ｐａに電力を供給する電力供給系統とは異なる電力供給系統により電力を供給される電力供給部である別系統電力供給部から供給される電力により作動する。また、別系統電力供給部はパージ用分電盤Ｐｂと主分電盤ＰＭとを備え、パージ装置２０はパージ用分電盤Ｐｂから供給される電力により作動し、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及びスイッチングハブＣは、主分電盤ＰＭから供給される電力により作動する。
【００４７】
次に、管理装置Ｈが実行する制御を、図５のフローチャートに基づいて説明する。
管理装置Ｈは、パージ装置２０の異常を検出すると（ステップ＃１：Ｙｅｓ）、第２制御部Ｈｐにパージ装置２０の停止を指令して不活性気体の供給を停止させ（ステップ＃２）、図外の外部ディスプレイや警告灯によってパージ装置２０に異常が発生したことを表示する（ステップ＃３）。本実施形態では、ステップ＃２の処理が異常時停止処理に相当する。その後、異常が発生したパージ装置２０に対応する保管部Ｓからの容器Ｂの取出しを第１制御部Ｈｓに指令する。取出した容器Ｂについては、異常が発生していないパージ装置２０を備える保管部Ｓに再収納するか、他の搬送箇所に搬送するかを作業者が指令する。これにより、保管部Ｓに保管されていている容器Ｂに対して不活性気体を供給できない事態を抑制できる。
【００４８】
また、管理装置Ｈは、パージ装置２０に異常が発生していない場合（ステップ＃１：Ｎｏ）において保管部センサＤに異常が検出されている場合（ステップ＃５：Ｙｅｓ）には、第２制御部Ｈｐにパージ装置２０の停止を指令して不活性気体の供給を停止させ（ステップ＃６）、図外の外部ディスプレイや警告灯によってパージ装置２０に異常が発生したことを表示する（ステップ＃７）。続いて、管理装置Ｈは、再開指令部Ｇによる再開指令があると（ステップ＃８：Ｙｅｓ）、不活性気体の供給停止を解除する（ステップ＃９）。本実施形態では、ステップ＃９の処理が供給再開処理に相当する。
管理装置Ｈは、ステップ＃４又はステップ＃９の終了後、又は、ステップ＃５にて保管部センサＤによって異常が検出されていないと判別した場合（ステップ＃５：Ｎｏ）には、本フローチャートの処理を終了する。
【００４９】
このように、容器保管庫Ｊにおけるスタッカークレーン１０や当該スタッカークレーン１０に電力を供給する搬送用分電盤Ｐａに異常が発生した場合であっても、管理装置Ｈ、第２制御部Ｈｐ、及びパージ装置２０には電力の供給が継続されるため、スタッカークレーン１０や搬送用分電盤Ｐａに異常が発生してもパージ装置２０を作動させることができ、容器Ｂ内の基板の劣化を抑制できるものとなる。
【００５０】
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、不活性気体供給装置にて供給される不活性気体を窒素ガスとしたが、このような構成に限定されるものではなく、例えば不活性気体をアルゴンガスや乾燥空気等、容器Ｂに収容される収容対象物の変質を抑制する作用を有する各種の気体とすることができる。
【００５１】
（２）上記実施形態では、パージ装置２０がパージ用分電盤Ｐｂから供給される電力により作動し、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及びスイッチングハブＣが、主分電盤ＰＭから供給される電力により作動するように構成したが、このような構成に限定されるものではなく、パージ装置２０、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及びスイッチングハブＣの全てを主分電盤から供給される電力で作動させるようにしてもよい。また、パージ装置２０、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及びスイッチングハブＣの夫々について、搬送用分電盤Ｐａ以外の各別の分電盤により電力を供給することもできる。また、主分電盤ＰＭ、搬送用分電盤Ｐａ、及び、パージ用分電盤Ｐｂの全てに関して、互いに独立した異なる電力供給系統から電力を供給されるように構成してもよい。すなわち、パージ用分電盤Ｐｂと主分電盤ＰＭとの電力供給系統を全く異ならせてもよい。この場合、電力会社からの電力線の引込系統を主分電盤ＰＭ、搬送用分電盤Ｐａ、及び、パージ用分電盤Ｐｂの全てで異ならせてもよいし、何れかを自家発電装置等に接続する構成としてもよい。
【００５２】
（３）上記実施形態では、第１電力供給部、第２電力供給部、及び、第３電力供給部の夫々を分電盤とする構成を説明したが、これらの一部又は全部を分電盤以外の電力供給部（例えば開閉器盤や蓄電池等）としてもよい。
【００５３】
（４）上記実施形態では、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及び、スイッチングハブＣに電力を供給する主分電盤ＰＭを、容器保管庫Ｊに近接した箇所に設ける例を示したが、主分電盤ＰＭを半導体基板の処理工場において電力会社からの電力引込線が建屋に引き込まれる箇所の近傍に配置してもよい。また、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及び、スイッチングハブＣに対する電力の供給を、容器保管庫Ｊが設置される建屋以外の箇所に設置される分電盤や開閉器盤等から行ってもよい。このように、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及びスイッチングハブＣに対しては、搬送用分電盤Ｐａ以外であれば任意の給電系統から電力を供給されるように構成することができる。なお、この場合においても、第２制御部Ｈｐ、管理装置Ｈ、及びスイッチングハブＣに対して電力を供給する給電系統は、十分な電源容量を備えかつ十分な信頼性のある給電系統であることが望ましい。
【００５４】
（５）上記実施形態では、不活性気体供給装置としてのパージ装置２０を保管部Ｓの夫々に備える構成としたが、パージ装置２０を一部の保管部Ｓのみに備える構成としてもよい。また、上記実施形態では、パージ装置２０を保管部Ｓ単位に設ける構成としたが、不活性気体供給装置を、壁体Ｗで区画された内部空間Ａ１に対して不活性気体を供給するように構成してもよい。
【００５５】
（６）上記実施形態では、通信中継装置としてスイッチングハブＣを例示したが、例えばスイッチング機能の無いリピータハブを通信中継装置として用いてもよい。通信中継装置としては、第１制御部Ｈｓ、第２制御部Ｈｐ、及び管理装置Ｈの間で通信を中継可能なものであれば各種の構成を適用することができる。
【００５６】
（７）上記実施形態では、再開指令部Ｇを、鍵穴とそれに適合する鍵とを備え、鍵を鍵穴に差し込んで回すことで不活性気体の供給の再開を指令する構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば、管理装置Ｈの表示ディスプレイ上に再開指令用のアイコンやボタンを表示し、マウス等のポインタデバイスでそのアイコンやボタンをクリックする等の人為指令によって不活性気体の供給の再開を指令する等、各種の構成を適用可能である。
【００５７】
（８）上記実施形態では、容器保管設備として、壁体Ｗで包囲された保管棚Ｒにパージ装置２０を取付けたものを例示したが、このような者に限定されるものではなく、例えば壁体Ｗにて包囲されない保管棚Ｒにパージ装置２０を取付けたものでもよい。
また、上記実施形態では、保管部Ｓを上下方向及び左右方向に並べて備えた保管棚Ｒにパージ装置２０を取付けたものを例示したが、保管部Ｓを上下方向又は左右方向にのみ並べた保管棚としてもよい。また、単一の保管部Ｓにパージ装置２０を取付けたものとしてもよい。
さらに、容器保管設備として、パージ装置２０を取付けた保管部Ｓを１つのみ備えていてもよいし、パージ装置２０を取付けた保管部Ｓを離散的に複数配置する構成としてもよい。
【００５８】
（９）上記実施形態では、容器保管庫Ｊを２つ備える容器保管設備を説明したが、容器保管設備に容器保管庫Ｊを１つのみ又は３つ以上設ける構成としてもよい。
【００５９】
（１０）上記実施形態では、容器保管庫Ｊに保管する容器を、半導体基板を収容するＦＯＵＰとする例を説明したが、容器をＦＯＳＢとしてもよい。また、容器に収容する基板は半導体基板に限定されるものではなく、例えば、透明な石英基板等に半導体基板に対するフォトリソグラフィーパターンが形成されたフォトマスクやレチクル等としてもよい。この場合、容器保管庫Ｊに保管する容器をレチクル容器等としてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１０    スタッカークレーン（搬送装置）
２０    パージ装置（不活性気体供給装置）
Ｂ      容器
Ｃ      スイッチングハブ（通信中継装置）
Ｄ      保管部センサ
Ｇ      再開指令部
Ｈ      管理装置（第３制御部）
Ｈｐ    第２制御部
Ｈｓ    第１制御部
Ｐａ    搬送用分電盤（第１電力供給部）
Ｐｂ    パージ用分電盤（第２電力供給部）
ＰＭ    主分電盤（第３電力供給部）
Ｓ      保管部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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