(57)【要約】【課題】ウエハの内周面に触れずに保護テープ等の接着テープを貼り付けるようにする。【解決手段】基板Ｗの形状に切断された接着テープＴを上チャンバ５０内の吸着テーブル５９に保持して、下チャンバ９上に移送し、下チャンバ９の貼り付けテーブル８に保持された基板Ｗ上に貼り付ける接着テープ搬送体ｇを備えた接着テープ貼り付け装置である。貼り付けテーブル８は、気体導入孔２４が設けられたテーブル凹部８ｂと、基板Ｗの外周縁部を保持する外周保持部１５とを備え、上チャンバ５０と下チャンバ９とで真空チャンバを形成するとともに、真空チャンバを減圧状態にして基板Ｗ上に接着テープＴを貼り付けた後、減圧を開放する際、気体導入孔２４から気体を導入することで、基板Ｗを裏面側から吸着テーブル５９へ押圧するようにする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をその上面に保持する貼り付けテーブルが設けられた下チャンバと、
基板の外形に見合う大きさに切断された接着テープを非粘着面側から吸着保持して前記下チャンバ上に移送するとともに、前記基板上に接着テープを貼り付ける接着テープ搬送体と、を備え、
前記接着テープ搬送体は、
下チャンバと合わさることで真空チャンバを形成する上チャンバと、この上チャンバ内に揺動自在に支持され、傾斜状態で下チャンバ上へ下降することにより、前記接着テープの傾斜下がり側の部分を基板上に重ね、傾斜下がり側を基点に揺動することにより基板上に接着テープを貼り付ける吸着テーブルと、を備える基板への接着テープ貼り付け装置において、
前記貼り付けテーブルは、前記基板の裏面に対向するように形成されるとともに気体を導入する気体導入孔が設けられたテーブル凹部と、
前記テーブル凹部を囲繞する外周面に設けられ、前記基板の外周縁部を保持する外周保持部と、を備え、
前記上チャンバと下チャンバとで真空チャンバを形成するとともに、前記真空チャンバを減圧状態にして前記基板上に前記接着テープを貼り付けた後、前記減圧を開放する際、前記気体導入孔から気体を導入することで、前記基板を裏面側から前記吸着テーブルへ押圧するようにしたことを特徴とする基板への接着テープ貼り付け装置。
【請求項２】
前記テーブル凹部に、気体排出孔を設け、前記気体導入孔から気体を導入する際に、一部の気体を前記気体排出孔から排出するようにしたことを特徴とする請求項１記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
【請求項３】
前記テーブル凹部に、複数の基板保持ピンを突没自在に設け、前記基板保持ピンの先端に開孔を設けて前記開孔を吸気による吸着または排気による気体噴出を行うように切り替え可能に構成したことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
【請求項４】
前記気体排出孔は、前記保持ピンの外周に穿設された開孔であり、気体を排出可能に構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
【請求項５】
前記基板は、環状凸部が設けられ、該環状凸部に囲繞される内周面が研削された凹状ウエハであることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれか１項に記載の基板への接着テープ貼り付け装置。
【請求項６】
基板をその上面に保持する貼り付けテーブルが設けられた下チャンバと、
前記下チャンバと合わさって真空チャンバを形成する上チャンバと、
前記上チャンバ内に前記基板の外形に見合う大きさに切断された接着テープを吸着保持する吸着テーブルと、を設けておき、前記吸着テーブルに保持された接着テープを前記真空チャンバ内の減圧下で基板に貼り付ける基板への接着テープ貼り付け方法において、
前記貼り付けテーブルに、前記基板の裏面に対向するように凹部を形成し、該凹部に気体を導入する気体導入孔を設けるとともに、前記テーブル凹部を囲繞する外周面に前記基板の外周縁部を保持する外周保持部を設けて構成しておき、
前記外周保持部で基板の外周縁部を保持し、前記上チャンバと下チャンバとで真空チャンバを形成し、前記真空チャンバを減圧状態にして前記基板上に前記接着テープを貼り付けた後、前記減圧を開放する際、前記気体導入孔から気体を導入することで、前記基板を裏面側から前記吸着テーブルへ押圧するようにしたことを特徴とする基板への接着テープ貼り付け方法。
【請求項７】
前記テーブル凹部に、気体排出孔を設けておき、前記気体導入孔から気体を導入する際に、一部の気体を前記気体排出孔から排出するようにしたことを特徴とする請求項１記載の基板への接着テープ貼り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ等の基板へ保護テープ等の接着シートを貼り付ける貼り付け装置及び貼り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウエハ（以下、単にウエハという）の表面に回路パターンを形成し、前記ウエハ表面の回路パターンに保護テープを貼り付け、その後、前記ウエハの裏面を研削してウエハを薄厚化することが行なわれている。
【０００３】
前記保護テープのウエハへの貼り付けとして、しわや気泡が入らないよう、減圧下で貼り付けを行う保護テープの貼り付け装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
前記保護テープの貼り付け装置では、予めウエハの形状に切断された保護テープを上チャンバと一体となった吸着搬送体に吸着保持し、下チャンバ内の貼り付けテーブルに保持されたウエハ上に前記上チャンバが下降することで、真空チャンバを形成する。そして、前記真空チャンバ内を減圧し、前記吸着搬送体に保持された保護テープを真空チャンバ内でウエハに押圧することでウエハに貼り付けるようになっている。従って、貼り付けられる保護テープにしわや気泡が入らないようになっている。
【０００５】
また、最近では、携帯端末等の小型化に伴い、ウエハをより薄く形成し、小型化を図ることが行なわれている。このウエハの薄厚化に伴い、ウエハの取扱いも困難になってきている。そこで、このウエハの取扱いを容易にするために、ウエハの外周のみ残し、内周部分を研削して環状凸部を形成した凹状のウエハが使用されるようになってきている（例えば、特許文献２）。
【０００６】
図１０は、環状凸部８０が形成されたウエハＷの一例であり、該ウエハＷを裏面から見たものである（理解が容易なように一部切欠いて描いてある）。前記ウエハＷは、環状凸部８０を残して、該環状凸部８０に囲繞されるウエハＷの内周部分が研削され、凹状面８１が形成されている。
【０００７】
図１１は、前記環状凸部が形成されたウエハＷの形成と該ウエハＷを処理する工程の一例を表したものである。以下、前記ウエハＷの処理工程について図１１（ａ）から図１１（ｈ）に基づいて説明する。
【０００８】
図１１（ａ）のように、表面に回路パターン（図示せず）の形成されたウエハＷが、準備され、図１１（ｂ）のように、前記回路パターンに保護テープＴが貼り付けられる。
【０００９】
次に図１１（ｃ）のように、環状凸部８０を残して、該環状凸部８０に囲繞されるウエハＷの内周部分が研削され、凹状面８１が形成される。次に図１１（ｄ）のように保護テープＴが適宜の手段で剥離される。
【００１０】
図１１（ｅ）のように該凹状面８１に金属蒸着やスパッタリングなどにより、金属面が形成され、図１１（ｆ）のように再び、ウエハＷの表面に保護テープＴが貼り付けられる。
【００１１】
次に、図１１（ｇ）のように環状凸部８０が研削され、除去される。続いて、図１１（ｈ）のようにダイシングテープＤＴを介して、ダイシングフレームＤＦにマウントされる。その後、図示しないがウエハＷは、保護テープＴが剥離された後、ダイシングされチップ化される。
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−１４８４１２号公報
【特許文献２】特開２００８−０３４７０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、特許文献１の保護テープ貼り付け装置は、通常の平面状ウエハの回路パターン面に保護テープを貼り付けるものが前提となっており、前記平面状ウエハに保護テープを貼り付ける場合は、平面状ウエハの裏面を平坦なテーブルに吸着保持し、前記平面状ウエハの回路パターン面に真空チャンバ内の減圧下で、吸着搬送体に保持された保護テープを貼り付けるようになっている。
【００１４】
しかし、環状凸部を有する内周部が研削されたウエハ（以後、単に凹状ウエハという）に保護テープを貼り付ける場合、凹状ウエハの凹状面が、撓んだり、反ったりし、吸着搬送体に保持された保護テープと凹状ウエハの凹状面が密着し難いため、貼り付け面に気泡やしわが発生する問題があった。
【００１５】
また、凹状ウエハは、凹状面に金属蒸着等が施されている場合、この凹状面に触れたくないという要請があり、凹状面と触れないように、中空で保持したい要請がある。
【００１６】
そこで、凹状ウエハの凹状面に触れずに保持する装置として特許文献２のような装置が開示されている。この特許文献２の装置は、凹状ウエハの表面に貼り付けられた保護テープ上に剥離テープを貼り付けて保護テープを剥離テープと一体に剥離させるようになっている。このとき、凹状ウエハの環状凸部を吸着で保持しながら、凹状面を中空で保持し、この中空部分に圧空を供給して凹状面を表面側に突出させるようになっている。
【００１７】
しかし、特許文献２の装置は、保護テープに剥離テープを貼り付ける際、凹状ウエハの上面の一部しか支持していない状態でテーブルと凹状ウエハの中空部分に圧空を導入して凹状ウエハの凹状面を上方に突出させているので、凹状ウエハの環状凸部と凹状面の境界部分に亀裂が発生しやすい問題がある。
【００１８】
そこで、本発明は、ウエハを破損させず、さらにウエハ内周面にも触れずにウエハを保持するとともに、保護テープをしわや気泡を発生させずに精度良くウエハに貼り付けることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の構成は、以下のような構成を採用する。
【００２０】
本発明は、
基板を保持する貼り付けテーブルが設けられた下チャンバと、
基板の外形に見合う大きさに切断された接着テープを吸着保持して前記下チャンバ上に移送すると共に、前記基板上に接着テープを貼り付ける接着テープ搬送体と、を有し、
前記接着テープ搬送体は、下チャンバと合わさることで真空チャンバを形成する上チャンバと、この上チャンバ内に揺動自在に収納され、前記貼り付けテーブル上への下降時に水平姿勢で接着テープの非粘着面に重なって前記接着テープを吸着保持し、傾斜状態で下チャンバ上へ下降することにより、接着テープの傾斜下がり側の部分を基板上に重ね、傾斜下がり側を基点に揺動して基板上に接着テープを貼り付ける吸着テーブルと、を有する基板への接着テープ貼り付け装置において、
前記貼り付けテーブルは、前記基板の裏面に対向するように形成され、気体を導入する気体導入孔が設けられたテーブル凹部と、前記テーブル凹部を囲繞する外周面に設けられ、前記基板の外周縁部を保持する外周保持部と、を備えて構成され、
前記上チャンバと下チャンバとで真空チャンバを形成するとともに、前記真空チャンバを減圧状態にして前記基板上に前記接着テープを貼り付けた後、前記減圧を開放する際、前記気体導入孔から気体を導入することで、前記基板を裏面側から前記吸着テーブルへ押圧するようにした構成を作用する基板への接着テープ貼り付け装置である。
【００２１】
本発明は、前記発明において、前記テーブル凹部に、気体排出孔を設け、前記気体導入孔から気体を導入する際に、一部の気体を前記気体排出孔から排出するようにした構成を採用する基板への接着テープ貼り付け装置である。
【００２２】
また、本発明において、前記基板は、環状凸部が設けられ、該環状凸部に囲繞される内周面が研削された凹状ウエハである構成を採用した基板への接着テープ貼り付け装置である。
【００２３】
また、本発明は、前記テーブル凹部に、複数の基板保持ピンを突没自在に設け、前記基板保持ピンの先端に開孔を設けるとともに、前記開孔を吸気による吸着または排気による気体噴出を行うように切り替え可能に構成するとともに前記保持ピンの周囲から一部の気体を排気可能にした構成を採用する基板への接着テープ貼り付け装置である。
【００２４】
また、本発明は、基板を保持する貼り付けテーブルが設けられた下チャンバと、
前記下チャンバと合わさって真空チャンバを形成する上チャンバと、
前記上チャンバ内に前記基板の外形に見合う大きさに切断された接着テープを吸着保持する吸着テーブルと、を設けておき、前記吸着テーブルに保持された接着テープを前記真空チャンバ内の減圧下で基板に貼り付ける基板への接着テープ貼り付け方法において、
前記貼り付けテーブルに、前記基板の裏面に対向するように凹部を形成し、該凹部に気体を導入する気体導入孔を設けるとともに、前記テーブル凹部を囲繞する外周面に前記基板の外周縁部を保持する外周保持部を設けて構成しておき、
前記外周保持部で基板の外周縁部を保持し、前記上チャンバと下チャンバとで真空チャンバを形成し、前記真空チャンバを減圧状態にして前記基板上に前記接着テープを貼り付けた後、前記減圧を開放する際、前記気体導入孔から気体を導入することで、前記基板を裏面側から前記吸着テーブルへ押圧するようにした構成を採用する基板への接着テープ貼り付け方法である。
【００２５】
また、本発明は、前記テーブル凹部に、気体排出孔を設けておき、前記気体導入孔から気体を導入する際に、一部の気体を前記気体排出孔から排出するようにした構成を採用する請求項１記載の基板への接着テープ貼り付け方法である。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、真空下で各種の接着テープを貼り付けるので気泡やしわの発生無く基板に接着テープを貼り付けることができる。さらに、内周部分に触れたくない要請のあるウエハや環状凸部が形成された凹状ウエハであっても、内周部分に触れることなく接着テープを精度良く貼り付けることができる。また、基板への接着テープの貼り付けの際に、基板が撓んでも、内周部分に触れることなく接着テープを貼り付けることができる。また、基板への接着テープ貼り付けの際に吸着テーブルで接着テープを介して、基板を支持しながら、基板の裏面から、気体で基板を押圧するようにしているので、基板を破損することなく、接着テープを基板に貼り付けることができる。また、前記テーブル凹部に気体排出孔を設けておき、前記気体導入孔から気体を導入する際に、一部の気体を前記気体排出孔から排出するようにすれば、基板に無理な負荷がかからず、基板を破損することがない。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】は、本発明の一実施形態に係る接着テープ貼り付け装置の平面図である。
【図２】は、図１のＡ−Ａ方向断面矢視図である。
【図３】は、図１のＢ−Ｂ方向断面矢視図である。
【図４】は、本発明に用いられる貼り付けテーブルの一実施形態を表す平面図である。
【図５】は、本発明に用いられる貼り付けテーブルの断面説明図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、接着テープ切断部で接着テープを穴開きテーブルに貼り付け及び剥離する状態を表す説明図である。
【図７】（ａ）から（ｃ）は、本発明の接着テープ貼り付け装置の接着テープ貼り付け動作を表す説明図である。
【図８】（ｄ）から（ｆ）は、本発明の接着テープ貼り付け装置の接着テープ貼り付け動作を表す説明図である。
【図９】（ｇ）から（ｉ）は、本発明の接着テープ貼り付け装置の接着テープ貼り付け動作を表す説明図である。
【図１０】は、環状凸部が形成され、該環状凸部に囲繞される内周面が研削された凹状ウエハの一部切欠き斜視図である。
【図１１】（ａ）から（ｈ）は、図１０の凹状ウエハの形成及び加工例を表す説明図である。
【図１２】は、スリットが形成されたスリットウエハの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の基板への接着テープ貼り付け装置の一実施形態について図１から図６に基づいて説明する。
【００２９】
図１は、本発明の接着テープ貼り付け装置１の平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ方向断面矢視図であり、図３は、図１のＢ−Ｂ方向断面矢視図である。
【００３０】
本発明の接着テープ貼り付け装置１は、基板Ｗ（以下ウエハＷという）を収納するウエハ供給／収納部ａと、位置決め部ｂと、ウエハ供給／収納部ａに多段に収納されたウエハＷを一枚ずつ取り出して位置決め部ｂに搬送するウエハ搬送部ｃと、前記位置決め部ｂで位置決めされたウエハＷを受け取って支持する接着テープ貼り付け部ｄと、前記位置決め部ｂ上のウエハＷを接着テープ貼り付け部ｄに移送するウエハ搬送部ｅと、前記接着テープ貼り付け部ｄに隣接して位置し、前記接着テープＴを前記ウエハＷの外形とほぼ同等若しくはやや小径に切断する接着テープ切断部ｆと、前記接着テープ貼り付け部ｄと前記接着テープ切断部ｆとの間を移動し、前記接着テープ切断部ｆで切断された接着テープＴを吸着保持して前記接着テープ貼り付け部ｄに移送すると共に、該接着テープ貼り付け部ｄで前記ウエハＷ上に接着テープＴを貼り付ける接着テープ搬送体ｇ等から構成されている。
【００３１】
本発明で使用するウエハＷは、例えば図１０に示すように、外周に環状凸部８０が設けられ、該環状凸部に囲繞される内周面が研削された凹状ウエハＷが用いられる。なお、前記凹状ウエハＷだけでなく、内周面に触れたくない要請のあるウエハが、好適に用いられる。例えば図１２に示すようなウエハＷのパターン８２にスリット８５が形成されたスリットウエハＳＷにも適用できる。この場合、前記スリットウエハＳＷのパターン形成面（表面）を下面として、前記スリットウエハＳＷの裏面に両面接着テープＴを貼り付けることに適用でき、両面接着テープＴが貼り付けられたスリットウエハＳＷは、この後、前記両面接着テープＴを介してガラス等の支持基板が貼り付けられる。
【００３２】
なお、ウエハＷの外周の一部には、位置決め用のノッチ８２や、オリフラ（図示しない）が形成されていても良い。
【００３３】
前記ウエハ供給／収納部ａは、図１のように、機台２上の右手前に位置し、多段状にウエハＷを収納可能な収納カセット３が交換可能に設置されている。前記収納カセット３は、図示しない駆動源によって昇降可能になっており、順次ウエハＷの取り出し、収納が自在になっている。
【００３４】
位置決め部ｂは、搬送ロボット４に隣接する位置に配置された支持台２８上に設置されている。前記支持台２８上には、搬送されたウエハＷの外周（本実施形態では凹状ウエハＷの環状凸部８０）を吸着保持して回転させる回転テーブル５と、その近隣上方に光学手段等の適宜手段でウエハＷのノッチ８２またはオリフラを検出するセンサ６が設けられている。
【００３５】
また、図２のように前記回転テーブル５は、モータ７によって回転自在に構成され、保持されたウエハＷを回転させて、該ウエハＷの外周に設けられたノッチ８２に光を照射して該ノッチ８２をセンサ６で検出するようになっている。
【００３６】
ウエハ搬送部ｃは、前記収納カセット３の左横に位置し、収納カセット３に収納されたウエハＷを一枚ずつ取り出す搬送ロボット４が設けられ、該搬送ロボット４は、伸縮と旋回が自在に構成され、ハンド先端の下面でウエハＷの外周部を吸着し、前記位置決め部ｂの回転テーブル５上への移送を行うようになっている。なお、ハンド先端は、適宜ベルヌーイチャック等で非接触タイプのものを用いることもできる。また、前記搬送ロボット４は、接着テープＴが貼り付けられた後のウエハＷの前記収納カセット３への搬送を行うようになっている。
【００３７】
図１のように機台２の中央には接着テープ貼り付け部ｄが、位置決め部ｂと接着テープ切断部ｆとの間に設けられている。また、前記接着テープ貼り付け部ｄは、前記機台２上に設置された下チャンバ９と、該下チャンバ９の内部に設けられた貼り付けテーブル８等で構成されている。
【００３８】
前記貼り付けテーブル８は、図２のように下方がガイド１１に支持され、前記ガイド１１は、下チャンバ９にスライド可能に貫入して支持板１２に支持されている。また、前記下チャンバ９の下方に支持枠１３が設けられている。また、該支持枠１３の下面に昇降シリンダ１４が設けられ、該昇降シリンダ１４のシリンダ軸１４ａ先端に前記支持板１２が接続されている。従って、前記支持板１２は、前記昇降シリンダ１４によって昇降動自在になっており、前記昇降シリンダ１４のシリンダ軸１４ａの伸縮により、前記貼り付けテーブル８は、前記下チャンバ９に対して昇降動が自在になっている。
【００３９】
また、前記貼り付けテーブル８は、上面に凹部８ｂ（図５参照）が形成され、ウエハＷ裏面の内周面が前記貼り付けテーブル８に接触しないようになっている。また、前記貼り付けテーブル８は、凹部８ｂを囲繞する凸部８ａ上に吸着孔１５が複数設けられ、外周保持部を形成している。前記吸着孔１５は、後述する真空チャンバ内の吸引とは独立して吸引できる吸引ホース１６が接続され、該吸引ホース１６は、切替バルブ１７を介して真空ポンプ１８に接続されている。該真空ポンプ１８を起動して、切替バルブ１７を開放することで前記吸着孔１５に吸引力が作用するようになっている。
【００４０】
前記外周保持部としての前記吸着孔１５は、ウエハＷの外周部分で接触しても影響が出ない部分を吸着するようになっている。例えば、外周に環状凸部８０が形成された凹状ウエハＷの場合、前記環状凸部８０が吸着保持される。また、スリットウエハＳＷの場合、パターン形成面の外周部分で接触しても影響が出ない部分が、吸着保持される。
【００４１】
また、前記貼り付けテーブル８の凹部８ｂは、４箇所に開孔１９が設けられ、真空チャンバ内と連通している。また、前記開孔１９内は、それぞれ４本の支持ピン２０が挿通されている。前記支持ピン２０は、先端部に吸着部が設けられており、その先端部でウエハＷを吸着保持可能になっている。前記開孔１９は、後述する前記貼り付けテーブル８の凹部８ｂ内への通気の際に、一部の空気を排出するようになっている。
【００４２】
前記支持ピン２０は、貼り付けテーブル８の下方で、下端が支持枠２１に支持されている。前記支持枠１２の下面にはシリンダ２５が設けられ、前記シリンダ２５の軸は、支持枠２１に接続されている。前記シリンダ２５を作用させることで前記支持ピン２０が貼り付けテーブル８の凹部８ｂから突没するようになっている。前記支持ピン２０が、貼り付けテーブル８から突出した際にウエハＷの裏面側を吸着保持することが可能になっている。なお、前記支持ピン２０は、前記凹状ウエハＷ等、内周面に触れたくない要請のある場合は、動作させずに待機している（内周面に触れても良いウエハの場合に適宜使用できるようになっている。）。従って、各種のウエハＷに応じて、前記支持ピン２０の使用有無を切替えることで、各種ウエハＷの特性に合わせた処理を適正に行えるようになっている。
【００４３】
また、前記支持ピン２０は、それぞれ内部に通気孔２２が穿設され、支持枠２１内でそれぞれ連通している。前記支持枠２１には、通気パイプ２３が接続され、切替バルブ２４を介して真空ポンプ１８に接続されている。
【００４４】
前記貼り付けテーブル８の凹部８ｂは、中心部に通気孔２４が穿孔され、さらに開孔１９を囲繞して円周状に複数の通気孔２４が穿孔されている。前記通気孔２４は、通気パイプ２５を介して通気ポンプ２６に接続されている。なお、通気ポンプ２６に代えて、適宜シリンダ等の通気ラインに切替バルブを設けて接続するようにしても良い。前記通気ポンプ２６を作用させることで、前記凹部８ｂ内に大気を導入することが可能になっている。
【００４５】
前記ウエハ搬送部ｅは、前記位置決め部ｂと前記接着テープ貼り付け部ｄの奥側に水平方向に設けられたレール２９と、該レール２９に沿って移動自在な吸着ハンド２７等から構成されている。
【００４６】
前記吸着ハンド２７は、本実施形態においては、ウエハＷの上面から吸着保持するようになっており、ウエハＷの外周のパターン形成面以外の部分を吸着保持するようになっている。なお、前記吸着ハンド２７は、非接触タイプのものを用いるようにしても良い。
【００４７】
前記レール２９は、前記位置決め部ｂと前記接着テープ貼り付け部ｄとの間に沿って敷設されている。前記吸着ハンド２７の支持部後端は、前記レール２６に摺動可能に嵌合され、適宜の駆動源（図示しない）により、前記吸着ハンド２７は、前記位置決め部ｂと前記接着テープ貼り付け部ｄとの間を移動するようになっている。従って、前記吸着ハンド２７は、前記位置決め部ｂで位置決めされたウエハＷを吸着保持し、該ウエハＷを前記接着テープ貼り付け部ｄの貼り付けテーブル８上に移載するようになっている。
【００４８】
前記接着テープ切断部ｆは、前記接着テープ貼り付け部ｄを挟んで前記位置決め部ｂと反対側に位置し、前記穴開きテーブル３０と、接着テープＴを前記穴開きテーブル３０上に貼り付ける貼り付けユニット３７と、前記穴開きテーブル３０の下方に設けられたカッタユニット３３等を有する。
【００４９】
前記穴開きテーブル３０の両側に、側板３６、３６が接着テープ貼り付け装置１の装置奥から装置手前にかけて立設されている。前記側板３６、３６間には、前記貼り付けユニット３７が設けられている。
【００５０】
前記貼り付けユニット３７は、広幅の接着テープＴが巻回された供給リール３８と、使用済みの接着テープＴを巻取る回収リール３９と、供給される接着テープＴを案内する複数のガイドローラ４０と、前記接着テープＴからセパレータＳを剥離するピンチローラ４３と、前記接着テープＴから剥離されるセパレータＳを巻取るセパレータ回収リール４１と、前記接着テープＴを前記穴開きテーブル３０に押圧して貼り付ける貼り付けローラ４２と、前記穴開きテーブル３０に貼り付けられた接着テープＴの余剰部分を剥離する剥離ローラ４４等を備えて構成されている。
【００５１】
前記供給リール３８は、前記両側板３６、３６間の装置手前側に軸支されている。前記供給リール３８に、例えばウエハＷのパターン形成面を保護する保護テープ等の接着テープＴが巻回されている。保護テープ以外には例えばダイアタッチフィルムや、ウエハＷに支持基板を貼り付ける場合の両面テープ等、各種の接着テープを用いることができる。なお、前記供給リール３８は、適宜の駆動源やストッパが設けられ、接着テープＴを自在に繰り出すことができる。
【００５２】
前記供給リール３８から繰出された接着テープＴは、ガイドローラ４０に案内され、ピンチローラ４３によって、粘着面側に仮着されたセパレータＳが剥離された後、接着面が下になった状態で貼り付けローラ４２の下方を通過し、前記穴開きテーブル３０上に案内される。この後、前記接着テープＴは、前記剥離ローラ４４の上方を経由してガイドローラ４０に案内され、ピンチローラ４５を経由して回収リール３９に巻取られる。また、前記剥離されたセパレータＳは、セパレータ回収リール４１に巻取られる。なお、ピンチローラ４５及び回収リール３９は、適宜の駆動源（図示しない）が設けられている。
【００５３】
前記側板３６、３６の穴開きテーブル３０に沿った側方にレール４７、４７が敷設されている。前記貼り付けローラ４２は、軸受部材４６に軸支され、前記レール４７、４７に摺動可能に嵌合している。前記軸受部材４６は、スライダ４９が設けられ、該スライダ４９は、レール４７に摺動可能に嵌合している。また、前記軸受部材４６は、図示しない適宜の駆動源により、前記レール４７に沿って前記貼り付けローラ４２と一体に水平動自在になっている。また、前記貼り付けローラ４２は、前記接着テープＴを押圧しながら転動し、前記接着テープＴを穴開きテーブル３０上に貼り付けるようになっている。
【００５４】
また、前記穴開きテーブル３０の側方には剥離ローラ４４が設けられている。該剥離ローラ４４は、軸受部材４８に軸支されている。該軸受部材４８は、前記レール４７、４７に摺動可能に嵌合している。また、前記軸受部材４８は、図示しない適宜の駆動源により、前記レール４７に沿って前記剥離ローラ４４と一体に水平動自在になっている。前記剥離ローラ４４は、前記穴開きテーブル３０の上面と前記接着テープＴの接着面との間を転動することで、くり貫かれた接着テープＴの余剰部分を前記穴開きテーブル３０から剥離するようになっている。なお、前記剥離ローラ４４は、接着テープＴの接着面と接することから、適宜の離型処理（例えば、フッ素処理）が施されている。
【００５５】
前記穴開きテーブル３０は、ウエハＷの外形よりも大きい矩形状に形成され、前記ウエハＷの外径とほぼ同じか、僅かに小径の円形穴３２が形成されている。また、前記穴開きテーブル３０の上面は、前記貼り付けテーブル８の上端とほぼ同じ高さになっている。また、前記穴開きテーブル３０の上面には、上チャンバ５０が合わさった際に吸着テーブル５９の支持部が干渉しないように退避孔７２が設けられている。また、前記穴開きテーブル３０の下方には、該穴開きテーブル３０に貼り付けられる接着テープＴを円形穴３２の内周に沿って円周方向に切断するカッタユニット３３が設けられている。
【００５６】
前記カッタユニット３３は、円周カッタ３４を有し、該円周カッタ３４は、ベルト３６を介してモータ３５に接続されることにより、回転が自在になっている。また、前記円周カッタ３４は、適宜の駆動源による上下動が可能となっている。なお、ウエハＷの位置決め部の形状に応じて、適宜オリフラカッタやノッチカッタを別途設けるようにしても良い。
【００５７】
前記穴開きテーブル３０に貼り付けられた接着テープＴは、前記円形孔３２の下方から前記円周カッタ３４が突き刺されるようになっている。前記円周カッタ３４は、該接着テープＴを突き刺した後、回転することでウエハＷの外形とほぼ同じまたは、やや小径に接着テープＴを切り抜くようになっている。なお、接着テープＴのウエハＷのノッチやオリフラに対応する部分は、図示しないカッタで切断すれば良い。なお、前記円周カッタ３４をウエハＷのノッチやオリフラの形状に合わせて移動可能に構成し、前記ノッチやオリフラの形状に前記円周カッタ３４を移動制御して、前記ノッチやオリフラを切断するようにしても良い。
【００５８】
前記接着テープ搬送体ｇは、前記接着テープ切断部ｆの直上に臨んで設けられている。前記接着テープ搬送体ｇは、上チャンバ５０と、上チャンバ５０内に設けられた吸着テーブル５１と上チャンバ５０側部の接着テープ貼り付け部ｄ側に設けられた貼り付けローラ５２（図２参照）等から構成されている。
【００５９】
前記側板３６は、一部切欠かれて切欠部３６ａが形成されており、前記切欠部３６ａと垂直方向に支持枠５３が設けられている。前記支持枠５３は、前記接着テープ切断部ｆ上から前記接着テープ貼り付け部ｄ上にかけて懸架され、両側の支持壁の内側にレール５４、５４が敷設されている。また、両レール５４、５４間に、支持枠５５が掛け渡され、該支持枠５５は、両端に設けられたスライダ５８、５８を介して両レール５４、５４に移動可能に支持されている。なお、前記支持枠５５は、図示しない適宜の駆動源により、前記両レール５４、５４に沿って移動自在になっている。
【００６０】
前記支持枠５５には、前記上チャンバ５０が、支持枠５５に立設された複数のガイド部材５６に昇降可能に支持されている。また、前記支持枠５５上に昇降シリンダ５７が設けられ、前記上チャンバ５０は、前記昇降シリンダ５７によって前記支持枠５５に対して、昇降自在になっている。
【００６１】
前記上チャンバ５０上に、真空アダプタ６８が設けられ、該真空アダプタ６８は、図示しない真空ポンプに接続されている。前記真空アダプタ６８から、真空ポンプを通じて排気することで、前記上チャンバ５０と前記下チャンバ９とで形成される真空チャンバ内を減圧し、真空状態にすることができる。
【００６２】
前記上チャンバ５０は、内部に吸着テーブル５９を備え、該吸着テーブル５９は、接着テープ切断部ｆで切断される接着テープＴを背面側から吸着保持するようになっている。前記吸着テーブル５９は、例えば多孔質体で形成され、ウエハＷの外形よりやや小さく（例えばウエハ外形より１〜２ｍｍ程度小さく形成）形成されている。前記吸着テーブル５９の多孔質体は、下面の吸着面を残して、非通気性部材で囲繞され、吸着面に吸着力を発生させるようになっている。
【００６３】
また、前記吸着テーブル５９は、上面側が固定枠６０で支持されている。なお、吸着テーブル５９は、真空チャンバ内の吸引とは独立して吸引できる吸引ホース６１が接続されており、真空チャンバと吸着テーブル５９に差圧を発生させることができるようになっている。従って、真空チャンバ内が真空状態となっても前記吸着テーブル５９に接着テープＴを保持できるようになっている。
【００６４】
また、前記固定枠６０は、先端がバネ部材６２を介して上チャンバ５０に接続されている。前記固定枠６０の後端は、支持枠が下方に向けて延設され、該支持枠は、上チャンバ５０に固定された固定枠６４に軸６３を介して軸支されている。
【００６５】
前記上チャンバ５０の内部上壁には、レール６６が敷設され、該レール６６には、スライダが摺動可能に嵌合している。前記スライダには支持枠を介してスイングローラ６７が転動可能に軸支されている。また、前記固定枠６０の上面には、レール６５が敷設されており、前記スイングローラ６７は、前記レール６５上を転動するようになっている。
【００６６】
また、前記固定枠６０は、前記バネ部材６２によって、前端側が上方に向けて付勢されており、初期状態では、前記吸着テーブル５９は、前上がり傾斜状態となっている。そし
て、前記スイングローラ６７が前記レール６６上を走行することで吸着テーブル５９が軸６３を支点に揺動し、該吸着テーブル５９が水平に保たれるようになっている。
【００６７】
また、前記上チャンバ５０は、前記接着テープ切断部ｆで切断された接着テープＴを前記吸着テーブル５９で吸着保持し、前記接着テープ貼り付け部ｄ上に搬送するとともに接着テープ貼り付け部ｄの下チャンバ９と合わさって真空チャンバを形成するようになっている。
【００６８】
また、前記上チャンバ５０の接着テープ貼り付け部ｄ側には、支持板７０が延設され、該支持板７０の下面にローラ枠７１が設けられている。該ローラ枠７１には、押えローラ５２が軸支されている。前記支持板７０上には、シリンダ７２が立設され、該シリンダ７２のシリンダ軸は、前記ローラ枠７１に接続されている。また、前記シリンダ７２の両側には、ガイド７３が立設されており、前記シリンダ７２を作用させることで前記押えローラ５２が昇降するようになっている。前記押えローラ５２は、前記ウエハＷに接着テープＴを貼り付けた後に作用して、接着テープＴの浮き上がりを防止する。
【００６９】
以上が、本発明の一実施形態に係る接着テープ貼り付け装置１の構成であり、次に該接着テープ貼り付け装置１の動作について図６から図９に基づいて以下に説明する。
【００７０】
図６（ａ）及び（ｂ）は、接着テープ切断部ｆで接着テープＴを穴開きテーブル３０に貼り付け及び剥離する動作を表す説明図である。
【００７１】
図６（ａ）は、穴開きテーブル３０に接着テープＴを貼り付ける動作を表す。まず、前記穴開きテーブル３０上にセパレータＳが剥離された接着テープＴが接着面を下にして供給される。続いて、貼り付けローラ４２が、接着テープＴの背面側を押圧転動しながら、該接着テープＴを穴開きテーブル３０上に貼り付ける。この後、後述のように接着テープＴがウエハＷの外形状に切断され、ウエハＷへの貼り付け動作が行なわれる。
【００７２】
図６（ｂ）は、接着テープＴが穴開きテーブル３０でくり貫かれた後の接着テープＴの余剰部分を剥離する状態を表す説明図である。前記剥離ローラ４４が、接着テープＴの接着面側と接しながら転動する。前記剥離ローラ４４が、穴開きテーブル３０の円形穴３２の外側部分に貼り付いた接着テープＴの余剰部分に到達する。続いて、前記剥離ローラ４４が、前記接着テープＴの余剰部分と穴開きテーブル３０との間に進入し、前記接着テープＴが穴開きテーブル３０から剥離される。
【００７３】
次に図７から図９に基づいて、接着テープＴをウエハＷに貼り付ける貼り付け動作について説明する。
【００７４】
図７（ａ）のように、接着テープ搬送体ｇとしての上チャンバ５０が、接着テープ切断部ｆ上の穴開きテーブル３０上に位置する。このとき、接着テープＴは、図６（ａ）のように穴開きテーブル３０上に貼り付けられている。また、上チャンバ５０内のスイングローラ６７が図示矢印のように水平動し、吸着テーブル５９が平坦状態にされる。
【００７５】
次に前記上チャンバ５０が、前記穴開きテーブル３０上に下降することで、前記吸着テーブル５９が前記接着テープＴの背面側に当接し、この状態で前記吸着テーブル５９に吸着力を作用させて前記接着テープＴを前記吸着テーブル５９に吸着保持する。また、前記接着テープ貼り付け部ｄでは、位置決めされたウエハＷが吸着ハンド２７によって搬送されて、前記貼り付けテーブル８上に載置される。前記貼り付けテーブル８上に載置された前記ウエハＷは、下面の環状凸部８０が、吸着孔１５により吸着保持される。このとき、前記貼り付けテーブル８の内周部は、凹状に形成されているのでウエハＷの裏面は、前記貼り付けテーブル８に触れないようになっている。
【００７６】
図７（ｂ）のように、円周カッタ３４が上昇し、前記穴開きテーブル３０と前記吸着テーブル５９の隙間に突き刺され、前記円周カッタ３４が旋回することで前記吸着テーブル５９の外形と同じまたは、僅かに大きく接着テープＴがくり貫かれる。
【００７７】
図７（ｃ）のように、前記上チャンバ５０が上昇し、前記円周カッタ３４が下降する。また、前記上チャンバ５０内の前記吸着テーブル５９は、前記スイングローラ６７が移動することにより、前上がり傾斜状態となる。一方、前記接着テープ貼り付け部ｄでは、前記貼り付けテーブル８が下降し、下降位置に位置する。
【００７８】
図８（ｄ）のように、前記上チャンバ５０が、前記接着テープ切断部ｆ上から前記接着テープ貼り付け部ｄ上へと移動し、続いて、前記上チャンバ５０が前記接着テープ貼り付け部ｄの下チャンバ９に合わさって真空チャンバを形成する。該真空チャンバ形成後、該真空チャンバ内を前記真空アダプタ６８を介して真空ポンプ（図示しない）で吸引して減圧し、真空チャンバ内を真空状態にする。該真空チャンバ内が、真空状態になると前記貼り付けテーブル８が上昇し、前上がり傾斜となった前記吸着テーブル５９に保持された前記接着テープＴの下端部に前記貼り付けテーブル８に保持されたウエハＷが当接される。このとき、前記接着テープＴが前記ウエハＷに当接される当接点は、前記ウエハＷの環状凸部８０の前記貼り付けテーブル８に支持された部分であるので、前記ウエハＷが破損することがない。
【００７９】
図８（ｅ）のように、前上がり傾斜となった前記吸着テーブル５９を前記スイングローラ６７の移動により揺動させて水平状態とすることで、前記接着テープＴをウエハＷに順次押し付けて貼り付ける。このようにすることで、前記接着テープＴがウエハＷに先付きして気泡やしわが入ることを防止できる。
【００８０】
図８（ｆ）のように、前記真空アダプタ６８から大気を導入することで、真空状態を解除するとともに前記通気ポンプ２６を通じて通気することで前記通気孔２４を通じて圧空が導入され、前記ウエハＷの凹状面が、前記吸着テーブル５９に保持された接着テープＴに押圧される。すなわち、前記ウエハＷと前記吸着テーブル５９に接着テープＴが挟持され、前記ウエハＷに接着テープＴが密着される。なお、前記通気孔２４から圧空を導入する際、一部の空気を、前記支持ピン２０の周囲に形成された開孔１９から排出するようにすれば、必要以上に前記ウエハＷと前記貼り付けテーブル８の凹状部で形成される空間の圧力が高まり過ぎることがない。前記開孔１９からの空気の排出量は、適宜前記開孔１９を塞ぐようにすることで調整できるようになっている。また、圧空で導入される空気に代え、アルゴンガスや窒素ガス等の不活性なガスを導入するようにすることもできる。
【００８１】
図９（ｇ）のように、前記上チャンバ５０が上昇して、真空チャンバが開放される。
【００８２】
図９（ｈ）のように、前記上チャンバ５０が水平動し、該上チャンバ５０横の貼り付けローラ５２が前記ウエハＷの端部上に位置する。
【００８３】
図９（ｉ）のように、前記貼り付けローラ５２が下降して、前記ウエハＷの貼り付け始端部を押圧しながら、前記上チャンバ５０が水平動することで、前記貼り付けローラ５２が前記ウエハＷを押圧転動し、特に接着テープＴの外周端部分を前記ウエハＷに良く接着させる。なお、この貼り付けローラ５２による貼り付け動作は、接着テープＴとウエハＷとの接着状態により、必要に応じて適宜行なえば良い。
【００８４】
以上が、本発明の接着テープ貼り付け装置で接着テープをウエハに貼り付ける一実施形態であるが、適宜発明の範囲内で変更できる。例えば、本実施形態においては、外周に環状凸部が形成された凹状ウエハについて説明したが、前述のスリットウエハＳＷや各種のウエハを用いることができ、平坦なウエハであっても適用できる。また、接着テープは、保護テープだけでなく、ダイアタッチフィルムや両面テープ等、各種の接着テープを使用できる。
【符号の説明】
【００８５】
Ｗ    基板（ウエハ）
Ｗａ  凹状ウエハ
ＳＷ    スリットウエハ
Ｔ    接着テープ
Ｓ    セパレータ
ＤＴ    ダイシングテープ
ＤＦ    ダイシングフレーム
ａ    ウエハ供給／収納部
ｂ    位置決め部
ｃ    ウエハ搬送部
ｄ    接着テープ貼り付け部
ｅ    ウエハ搬送部
ｆ    接着テープ切断部
ｇ    接着テープ搬送体
１    接着テープ貼り付け装置
２    機台
３    収納カセット
４    搬送ロボット
５    回転テーブル
６    センサ
７    回転モータ
８    貼り付けテーブル
８ａ  凸部
８ｂ  凹部
９    下チャンバ
１０    上チャンバ
１１    ガイド
１２    支持板
１３    支持枠
１４    昇降シリンダ
１４ａ  シリンダ軸
１５    吸着孔
１６    吸引ホース
１７    切替バルブ
１８    真空ポンプ
１９    開孔
２０    支持ピン
２１    支持枠
２２    通気孔
２３    通気パイプ
２４    通気孔
２５    シリンダ
２６    通気ポンプ
２７    吸着ハンド
２８    支持台
２９    レール
３０    穴開きテーブル
３１    支持枠
３２    円形穴
３３    カッタユニット
３４    円周カッタ
３５    モータ
３６    側板
３７    貼り付けユニット
３８    供給リール
３９    回収リール
４０    ガイドローラ
４１    セパレータ回収リール
４２    貼り付けローラ
４３    ピンチローラ
４４    剥離ローラ
４５    ピンチローラ
４６    軸受部材
４７    レール
４８    軸受部材
４９    スライダ
５０    上チャンバ
５１    吸着テーブル
５２    貼り付けローラ
５３    支持枠
５４    レール
５５    支持枠
５６    ガイド部材
５７    昇降シリンダ
５８    スライダ
５９    吸着テーブル
６０    固定枠
６１    吸引ホース
６２    バネ部材
６３    支持枠
６４    固定枠
６５    レール
６６    レール
６７    スイングローラ
６８    真空アダプタ
７０    支持板
７１    ローラ枠
７２    退避孔
８０    環状凸部
８１    凹状面
８２    ノッチ
８３    金属膜
８４    回路
８５    スリット
【図１】
2018041877.tif 000003
【図２】
2018041877.tif 000004
【図３】
2018041877.tif 000005
【図４】
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【図５】
2018041877.tif 000007
【図６】
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【図７】
2018041877.tif 000009
【図８】
2018041877.tif 000010
【図９】
2018041877.tif 000011
【図１０】
2018041877.tif 000012
【図１１】
2018041877.tif 000013
【図１２】
2018041877.tif 000014