(57)【要約】【課題】信号値の変化のタイミングを容易に比較できるとともに、一覧性が向上するように複数の時系列データの各グラフを表示する。【解決手段】グラフ表示装置は、各時系列データについて、当該時系列データが、信号値が変化する各境界によって区切られる各区間の信号値を特定する。当該装置は、当該各区間の開始時刻と終了時刻とを両端部分によって表現し、時間軸に沿って一列に配列された各帯状領域と、当該時系列データの各区間に対して特定されて、対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値と、を含む帯状グラフを所定のディスプレイに表示させる表示処理部を備える。表示処理部は、各時系列データに対応した各帯状グラフを、幅方向に並ぶようにディスプレイに表示させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の時系列データを取得する時系列データ取得部と、
前記時系列データ取得部が取得した各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界を検出する境界検出部と、
前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記各境界によって当該時系列データが区切られる各区間について、当該区間が含む信号値を特定する信号値特定部と、
前記各時系列データについて、当該時系列データの前記各区間を時系列上の時間に換算したときの当該各区間の開始時刻と終了時刻とを時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現するとともに、当該時間軸に沿って一列に配列された各帯状領域と、前記信号値特定部によって当該時系列データの前記各区間に対して特定されるとともに、当該各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値と、を含む帯状グラフを所定のディスプレイに表示させる表示処理部と、
を備え、
前記表示処理部は、
前記各時系列データに対応した各帯状グラフが幅方向に並ぶように、当該各帯状グラフを前記ディスプレイに表示させる、グラフ表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載のグラフ表示装置であって、
前記表示処理部は、
前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフの前記各帯状領域のうち互いに隣り合う帯状領域の色彩および模様の少なくとも一方を異ならせる、グラフ表示装置。
【請求項３】
請求項２に記載のグラフ表示装置であって、
前記表示処理部は、
前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフの前記各帯状領域の色彩を、当該各帯状領域の配列順に交互に変更する、グラフ表示装置。
【請求項４】
請求項３に記載のグラフ表示装置であって、
前記表示処理部は、
前記複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフに付する２種類の色彩のうち一方の色彩を、前記複数の時系列データにわたって共通の無彩色とする、グラフ表示装置。
【請求項５】
請求項４に記載のグラフ表示装置であって、
前記表示処理部は、
前記複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフに付する２種類の色彩のうち前記一方の色彩以外の他方の色彩を有彩色とし、前記複数の時系列データに対応する複数の帯状グラフに対応する各有彩色のうち互いに隣り合う帯状グラフに附される２つの有彩色を異ならせる、グラフ表示装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れか１つの請求項に記載のグラフ表示装置であって、
前記表示処理部は、
前記各時系列データについて、当該時系列データが２値データであれば、当該時系列データの前記各区間に対応する前記各信号値を、当該時系列データに対応する前記各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で前記ディスプレイに表示する信号値表示機能を無効化し、当該時系列データが３値以上の多値データであれば前記信号値表示機能を有効化する、グラフ表示装置。
【請求項７】
請求項６に記載のグラフ表示装置であって、
前記表示処理部は、
前記各時系列データについて、当該時系列データが零を含む３値以上の多値データである場合には、当該時系列データの前記各区間のうち信号値として非零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を有効化し、信号値として零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を無効化する、グラフ表示装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７の何れか１つの請求項に記載のグラフ表示装置であって、
前記表示処理部は、
前記各時系列データについて、当該時系列データが３値以上の多値データである場合において、当該時系列データの前記各区間の中に、時系列上の時間に換算したときに所定の期間よりも短い区間が含まれている場合には、当該時系列データに対応する前記帯状グラフを前記ディスプレイに表示する機能を無効化し、前記帯状グラフの長手方向に沿う横軸を時間軸とし、縦軸を信号値の軸とする座標上に当該時系列データが含む各信号値に対応する各点を時系列順に結線した線状グラフを前記ディスプレイに表示する、グラフ表示装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載のグラフ表示装置と、
基板に対して所定の処理を行う基板処理装置と、
を備え、
前記基板処理装置は、その状態を示す複数のパラメーターの各信号値を時間的に順次にサンプリングした複数の時系列データを出力し、
前記グラフ表示装置は、前記基板処理装置が出力する複数の時系列データを前記時系列データ取得部によって取得し、当該複数の時系列データのそれぞれについて前記帯状グラフを表示する、基板処理システム。
【請求項１０】
複数の時系列データを取得する時系列データ取得ステップと、
前記時系列データ取得ステップにおいて取得された各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界を検出する境界検出ステップと、
前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記各境界によって当該時系列データが区切られる各区間について、当該区間が含む信号値を特定する信号値特定ステップと、
前記各時系列データについて、当該時系列データの前記各区間を時系列上の時間に換算したときの当該各区間の開始時刻と終了時刻とを時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現するとともに、当該時間軸に沿って一列に配列された各帯状領域と、前記信号値特定ステップによって当該時系列データの前記各区間に対して特定されるとともに、当該各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値と、を含む帯状グラフを所定のディスプレイに表示させる表示処理ステップと、
を備え、
前記表示処理ステップは、
前記各時系列データに対応した各帯状グラフが幅方向に並ぶように、当該各帯状グラフを前記ディスプレイに表示させるステップである、グラフ表示方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のグラフ表示方法であって、
前記表示処理ステップは、
前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフの前記各帯状領域のうち互いに隣り合う帯状領域の色彩および模様の少なくとも一方を異ならせるステップである、グラフ表示方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載のグラフ表示方法であって、
前記表示処理ステップは、
前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフの前記各帯状領域の色彩を、当該各帯状領域の配列順に交互に変更するステップである、グラフ表示方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載のグラフ表示方法であって、
前記表示処理ステップは、
前記複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフに付する２種類の色彩のうち一方の色彩を、前記複数の時系列データにわたって共通の無彩色とするステップである、グラフ表示方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載のグラフ表示方法であって、
前記表示処理ステップは、
前記複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフに付する２種類の色彩のうち前記一方の色彩以外の他方の色彩を有彩色とし、前記複数の時系列データに対応する複数の帯状グラフに対応する各有彩色のうち互いに隣り合う帯状グラフに附される２つの有彩色を異ならせるステップである、グラフ表示方法。
【請求項１５】
請求項１０から請求項１４の何れか１つの請求項に記載のグラフ表示方法であって、
前記表示処理ステップは、
前記各時系列データについて、当該時系列データが２値データであれば、当該時系列データの前記各区間に対応する前記各信号値を、当該時系列データに対応する前記各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で前記ディスプレイに表示する信号値表示機能を無効化し、当該時系列データが３値以上の多値データであれば前記信号値表示機能を有効化するステップである、グラフ表示方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載のグラフ表示方法であって、
前記表示処理ステップは、
前記各時系列データについて、当該時系列データが零を含む３値以上の多値データである場合には、当該時系列データの前記各区間のうち信号値として非零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を有効化し、信号値として零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を無効化するステップである、グラフ表示方法。
【請求項１７】
請求項１０から請求項１６の何れか１つの請求項に記載のグラフ表示方法であって、
前記表示処理ステップは、
前記各時系列データについて、当該時系列データが３値以上の多値データである場合において、当該時系列データの前記各区間の中に、時系列上の時間に換算したときに所定の期間よりも短い区間が含まれている場合には、当該時系列データに対応する前記帯状グラフを前記ディスプレイに表示する機能を無効化し、前記帯状グラフの長手方向に沿う横軸を時間軸とし、縦軸を信号値の軸とする座標上に当該時系列データが含む各信号値に対応する各点を時系列順に結線した線状グラフを前記ディスプレイに表示するステップである、グラフ表示方法。
【請求項１８】
請求項１１から請求項１７の何れか１つの請求項に記載のグラフ表示方法を備える基板処理方法であって、
所定の基板処理装置により基板に対して所定の処理を行う基板処理ステップと、
前記基板処理装置の状態を示す複数のパラメーターの各信号値を時間的に順次にサンプリングした複数の時系列データを出力する出力ステップと、
をさらに備え、
前記グラフ表示方法は、前記出力ステップにおいて出力される複数の時系列データを前記時系列データ取得ステップにおいて取得し、当該複数の時系列データのそれぞれについて前記帯状グラフを表示する方法である、基板処理方法。
【請求項１９】
コンピュータに実行されることにより時系列データをグラフ表示するグラフ表示プログラムであって、前記プログラムは、ＣＰＵとメモリとを備えたコンピュータに、
複数の時系列データを取得する時系列データ取得ステップと、
前記時系列データ取得ステップにおいて取得された各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界を検出する境界検出ステップと、
前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記各境界によって当該時系列データが区切られる各区間について、当該区間が含む信号値を特定する信号値特定ステップと、
前記各時系列データについて、当該時系列データの前記各区間を時系列上の時間に換算したときの当該各区間の開始時刻と終了時刻とを時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現するとともに、当該時間軸に沿って一列に配列された各帯状領域と、前記信号値特定ステップによって当該時系列データの前記各区間に対して特定されるとともに、当該各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値と、を含む帯状グラフを所定のディスプレイに表示させる表示処理ステップと、
を実行させ、
前記表示処理ステップは、
前記各時系列データに対応した各帯状グラフが幅方向に並ぶように、当該各帯状グラフを前記ディスプレイに表示させるステップである、グラフ表示プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、データをグラフ化する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程では、半導体基板に対して製造工程に沿って各種の処理を行う基板処理装置が用いられる。このような装置は、通常、当該装置の状態をそれぞれ示す複数のパラメーターを有している。装置の操作者が装置の状態を把握できるように、当該複数のパラメーターに対応した複数の時系列データをグラフ化して操作者に提示することが一般に行われている。操作者は、各グラフを目視により比較し、各パラメーターの変化のタイミング等を把握することによって装置の状態を把握する。
【０００３】
このようなグラフを表示するためのグラフ表示装置として特許文献１には、産業用装置の状態を示す状態値の時間変化を記録した時系列データをグラフ表示するグラフ表示装置が示されている。当該表示装置は、時間的に異なるタイミングで発生した２つのイベントにそれぞれ対応した状態値の時系列データのグラフを、時間軸及び状態値を示す状態値軸が定義された描画領域に重ねて表示する。当該表示装置は、当該２つのグラフの表示の際に、２つのイベントの状態値を比較しやすくするために、一方のイベントの発生タイミングをずらすことにより２つのイベントの発生タイミングが一致するように各グラフを描画する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−２７１５８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
複数のパラメーターがそれぞれ、例えば、二種類の信号値を持つ場合、当該複数パラメーターのそれぞれの時系列データは、それぞれ２値データとなる。図１４は、１０個の２値の時系列データを比較技術に係る線状グラフにより並列表示したグラフを示す図である。図１３は、図１４に並列に表示された１０個の２値データの各グラフを、特許文献１の手法のように、１つの座標上に重ねて表示した図である。複数のパラメーターの信号値が同時に変化する場合には、図１３に示されるように当該各グラフの線が重なり合う。このため、各信号値の変化のタイミングを正確に判断できない。
【０００６】
また、図１４の例では、パラメーター数が比較的少数であるため、全てのグラフを表示領域内に並列表示して一覧することができる。しかし、実際の装置では、同時の数十個のパラメーターの各グラフを比較することが必要な場合が生ずる。この場合、全てのグラフを同時に表示領域に表示できず、全グラフの一覧性が欠如し、一番上と一番下のグラフを同時に観察して比較することが困難となる。
【０００７】
さらに、多値の時系列データを並列表示して比較する場合に、図１５に示されるように、二値データである場合に比べて数値軸（縦軸）を長くする必要が有るため、一度に表示できるグラフの個数がさらに制限される。このため、時系列データの数が多い場合には、グラフ表示における一覧性の欠如によりグラフ間の比較の困難性がさらに増大する。
【０００８】
本発明は、こうした問題を解決するためになされたもので、複数の時系列データをそれぞれグラフ化して比較する際に、当該複数のグラフの一覧性を向上させつつ、各グラフに基づいて各時系列データの変化タイミングを容易に比較できるグラフ表示技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、第１の態様に係るグラフ表示装置は、複数の時系列データを取得する時系列データ取得部と、前記時系列データ取得部が取得した各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界を検出する境界検出部と、前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記各境界によって当該時系列データが区切られる各区間について、当該区間が含む信号値を特定する信号値特定部と、前記各時系列データについて、当該時系列データの前記各区間を時系列上の時間に換算したときの当該各区間の開始時刻と終了時刻とを時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現するとともに、当該時間軸に沿って一列に配列された各帯状領域と、前記信号値特定部によって当該時系列データの前記各区間に対して特定されるとともに、当該各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値と、を含む帯状グラフを所定のディスプレイに表示させる表示処理部と、を備え、前記表示処理部は、前記各時系列データに対応した各帯状グラフが幅方向に並ぶように、当該各帯状グラフを前記ディスプレイに表示させる。
【００１０】
第２の態様に係るグラフ表示装置は、第１の態様に係るグラフ表示装置であって、前記表示処理部は、前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフの前記各帯状領域のうち互いに隣り合う帯状領域の色彩および模様の少なくとも一方を異ならせる。
【００１１】
第３の態様に係るグラフ表示装置は、第２の態様に係るグラフ表示装置であって、前記表示処理部は、前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフの前記各帯状領域の色彩を、当該各帯状領域の配列順に交互に変更する。
【００１２】
第４の態様に係るグラフ表示装置は、第３の態様に係るグラフ表示装置であって、前記表示処理部は、前記複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフに付する２種類の色彩のうち一方の色彩を、前記複数の時系列データにわたって共通の無彩色とする。
【００１３】
第５の態様に係るグラフ表示装置は、第４の態様に係るグラフ表示装置であって、前記表示処理部は、前記複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフに付する２種類の色彩のうち前記一方の色彩以外の他方の色彩を有彩色とし、前記複数の時系列データに対応する複数の帯状グラフに対応する各有彩色のうち互いに隣り合う帯状グラフに附される２つの有彩色を異ならせる。
【００１４】
第６の態様に係るグラフ表示装置は、第１から第５の何れか１つの態様に係るグラフ表示装置であって、前記表示処理部は、前記各時系列データについて、当該時系列データが２値データであれば、当該時系列データの前記各区間に対応する前記各信号値を、当該時系列データに対応する前記各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で前記ディスプレイに表示する信号値表示機能を無効化し、当該時系列データが３値以上の多値データであれば前記信号値表示機能を有効化する。
【００１５】
第７の態様に係るグラフ表示装置は、第６の態様に係るグラフ表示装置であって、前記表示処理部は、前記各時系列データについて、当該時系列データが零を含む３値以上の多値データである場合には、当該時系列データの前記各区間のうち信号値として非零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を有効化し、信号値として零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を無効化する。
【００１６】
第８の態様に係るグラフ表示装置は、第１から第７の何れか１つの態様に係るグラフ表示装置であって、前記表示処理部は、前記各時系列データについて、当該時系列データが３値以上の多値データである場合において、当該時系列データの前記各区間の中に、時系列上の時間に換算したときに所定の期間よりも短い区間が含まれている場合には、当該時系列データに対応する前記帯状グラフを前記ディスプレイに表示する機能を無効化し、前記帯状グラフの長手方向に沿う横軸を時間軸とし、縦軸を信号値の軸とする座標上に当該時系列データが含む各信号値に対応する各点を時系列順に結線した線状グラフを前記ディスプレイに表示する。
【００１７】
第９の態様に係る基板処理システムは、第１から第８の何れか１つの態様に係るグラフ表示装置と、基板に対して所定の処理を行う基板処理装置と、を備え、前記基板処理装置は、その状態を示す複数のパラメーターの各信号値を時間的に順次にサンプリングした複数の時系列データを出力し、前記グラフ表示装置は、前記基板処理装置が出力する複数の時系列データを前記時系列データ取得部によって取得し、当該複数の時系列データのそれぞれについて前記帯状グラフを表示する。
【００１８】
第１０の態様に係るグラフ表示方法は、複数の時系列データを取得する時系列データ取得ステップと、前記時系列データ取得ステップにおいて取得された各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界を検出する境界検出ステップと、前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記各境界によって当該時系列データが区切られる各区間について、当該区間が含む信号値を特定する信号値特定ステップと、前記各時系列データについて、当該時系列データの前記各区間を時系列上の時間に換算したときの当該各区間の開始時刻と終了時刻とを時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現するとともに、当該時間軸に沿って一列に配列された各帯状領域と、前記信号値特定ステップによって当該時系列データの前記各区間に対して特定されるとともに、当該各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値と、を含む帯状グラフを所定のディスプレイに表示させる表示処理ステップと、を備え、前記表示処理ステップは、前記各時系列データに対応した各帯状グラフが幅方向に並ぶように、当該各帯状グラフを前記ディスプレイに表示させるステップである。
【００１９】
第１１の態様に係るグラフ表示方法は、第１０の態様に係るグラフ表示方法であって、前記表示処理ステップは、前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフの前記各帯状領域のうち互いに隣り合う帯状領域の色彩および模様の少なくとも一方を異ならせるステップである。
【００２０】
第１２の態様に係るグラフ表示方法は、第１１の態様に係るグラフ表示方法であって、前記表示処理ステップは、前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフの前記各帯状領域の色彩を、当該各帯状領域の配列順に交互に変更するステップである。
【００２１】
第１３の態様に係るグラフ表示方法は、第１２の態様に係るグラフ表示方法であって、前記表示処理ステップは、前記複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフに付する２種類の色彩のうち一方の色彩を、前記複数の時系列データにわたって共通の無彩色とするステップである。
【００２２】
第１４の態様に係るグラフ表示方法は、第１３の態様に係るグラフ表示方法であって、前記表示処理ステップは、前記複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する前記帯状グラフに付する２種類の色彩のうち前記一方の色彩以外の他方の色彩を有彩色とし、前記複数の時系列データに対応する複数の帯状グラフに対応する各有彩色のうち互いに隣り合う帯状グラフに附される２つの有彩色を異ならせるステップである。
【００２３】
第１５の態様に係るグラフ表示方法は、第１０から第１４の何れか１つの態様に係るグラフ表示方法であって、前記表示処理ステップは、前記各時系列データについて、当該時系列データが２値データであれば、当該時系列データの前記各区間に対応する前記各信号値を、当該時系列データに対応する前記各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で前記ディスプレイに表示する信号値表示機能を無効化し、当該時系列データが３値以上の多値データであれば前記信号値表示機能を有効化するステップである。
【００２４】
第１６の態様に係るグラフ表示方法は、第１５の態様に係るグラフ表示方法であって、前記表示処理ステップは、前記各時系列データについて、当該時系列データが零を含む３値以上の多値データである場合には、当該時系列データの前記各区間のうち信号値として非零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を有効化し、信号値として零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を無効化するステップである。
【００２５】
第１７の態様に係るグラフ表示方法は、第１０から第１６の何れか１つの態様に係るグラフ表示方法であって、前記表示処理ステップは、前記各時系列データについて、当該時系列データが３値以上の多値データである場合において、当該時系列データの前記各区間の中に、時系列上の時間に換算したときに所定の期間よりも短い区間が含まれている場合には、当該時系列データに対応する前記帯状グラフを前記ディスプレイに表示する機能を無効化し、前記帯状グラフの長手方向に沿う横軸を時間軸とし、縦軸を信号値の軸とする座標上に当該時系列データが含む各信号値に対応する各点を時系列順に結線した線状グラフを前記ディスプレイに表示するステップである。
【００２６】
第１８の態様に係る基板処理方法は、第１１から第１７の何れか１つの態様に係るグラフ表示方法を備える基板処理方法であって、所定の基板処理装置により基板に対して所定の処理を行う基板処理ステップと、前記基板処理装置の状態を示す複数のパラメーターの各信号値を時間的に順次にサンプリングした複数の時系列データを出力する出力ステップと、をさらに備え、前記グラフ表示方法は、前記出力ステップにおいて出力される複数の時系列データを前記時系列データ取得ステップにおいて取得し、当該複数の時系列データのそれぞれについて前記帯状グラフを表示する方法である。
【００２７】
第１９の態様に係るグラフ表示プログラムは、コンピュータに実行されることにより時系列データをグラフ表示するグラフ表示プログラムであって、前記プログラムは、ＣＰＵとメモリとを備えたコンピュータに、複数の時系列データを取得する時系列データ取得ステップと、前記時系列データ取得ステップにおいて取得された各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界を検出する境界検出ステップと、前記各時系列データについて、当該時系列データに対応する前記各境界によって当該時系列データが区切られる各区間について、当該区間が含む信号値を特定する信号値特定ステップと、前記各時系列データについて、当該時系列データの前記各区間を時系列上の時間に換算したときの当該各区間の開始時刻と終了時刻とを時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現するとともに、当該時間軸に沿って一列に配列された各帯状領域と、前記信号値特定ステップによって当該時系列データの前記各区間に対して特定されるとともに、当該各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値と、を含む帯状グラフを所定のディスプレイに表示させる表示処理ステップと、を実行させ、前記表示処理ステップは、前記各時系列データに対応した各帯状グラフが幅方向に並ぶように、当該各帯状グラフを前記ディスプレイに表示させるステップである。
【発明の効果】
【００２８】
第１、第１０、および第１９の何れの態様に係る発明によっても、各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界が検出され、当該時系列データが当該各境界によって区切られる各区間について、当該区間が含む信号値が特定される。そして、各時系列データに対応した各帯状グラフが、幅方向に並ぶようにディスプレイに表示される。帯状グラフは、対応する時系列データの各区間に対応する各帯状領域と、対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値とを含む。各帯状領域は、対応する区間を時系列上の時間に換算したときの開始時刻と終了時刻とを、時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現し、時間軸に沿って一列に配列される。従って、各帯状グラフを、これらの表示に必要な面積を削減して、互いに重なることなく表示できるので一覧性を向上できる。また、各帯状グラフについて、当該帯状グラフが含む各帯状領域の境界と、文字で示された各信号値とによって、当該帯状グラフに対応する時系列データの信号値の変化と、そのタイミングを容易に把握できるので、各帯状グラフに基づいて各時系列データ間で信号値の変化のタイミングを容易に比較できる。
【００２９】
第２または第１１の態様に係る発明によれば、各時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフの各帯状領域のうち互いに隣り合う帯状領域の色彩および模様の少なくとも一方が異なるので、互いに隣り合う帯状領域の境界の把握が容易となる。
【００３０】
第３または第１２の態様に係る発明によれば、各時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフの各帯状領域の色彩が、当該各帯状領域の配列順に交互に変更されるので、隣り合う２つの帯状領域の２つ色彩として互いに識別容易な色彩を採用できる。これにより、互いに隣り合う帯状領域の境界の把握がさらに容易となる。
【００３１】
第４または第１２の態様に係る発明によれば、複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフに付する２種類の色彩のうち一方の色彩が、複数の時系列データにわたって共通の無彩色とされるので、複数の帯状グラフの全体に統一性を与えることができるとともに、使用する色彩の種類を削減できる。
【００３２】
第５または第１４の態様に係る発明によれば、複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフに付する２種類の色彩のうち共通の無彩色とされる一方の色彩以外の他方の色彩が有彩色とされ、複数の時系列データに対応する複数の帯状グラフに対応する各有彩色のうち互いに隣り合う帯状グラフに附される２つの有彩色が異なる。従って、隣り合う帯状グラフの識別が容易となる。
【００３３】
第６または第１５の態様に係る発明によれば、各時系列データについて、当該時系列データが、文字により信号値を表示しなくても信号値の認識が容易な２値データであれば、各区間に対応する各信号値の表示がされないので、当該帯状グラフを見ることにより当該時系列データが２値データであることを容易に認識できるとともに、対応する帯状グラフによる信号値の変化の把握を容易にしつつ、当該帯状グラフの表示を単純化できる。
【００３４】
第７または第１６の態様に係る発明によれば、各時系列データについて、当該時系列データが零を含む３値以上の多値データである場合には、当該時系列データの各区間のうち信号値として非零をとる区間について、当該区間の信号値が当該区間に対応する帯状領域に表示され、信号値として零をとる区間について、当該区間の信号値は、対応する帯状領域に表示されない。信号値が零の区間に信号値を表示しなくても、グラフを観察する操作者は、違和感を覚えにくい。従って、帯状グラフによる信号値の変化の把握を容易にしつつ、当該帯状グラフの表示を単純化できる。
【００３５】
第８または第１７の態様に係る発明によれば、各時系列データについて、当該時系列データが３値以上の多値データである場合において、当該時系列データの各区間の中に、時系列上の時間に換算したときに所定の期間よりも短い区間が含まれている場合には、当該時系列データに対応する帯状グラフに代えて、帯状グラフの長手方向に沿う横軸を時間軸とし、縦軸を信号値の軸とする座標において当該時系列データが含む各信号値に対応する各点を時系列順に結線した線状グラフがディスプレイに表示される。従って、短い帯状領域に文字で信号値が表示されることが抑制されるので、信号値の表示同士が重なって視認性が悪い帯状グラフの表示が抑制される。
【００３６】
第９または第１８の態様に係る発明によれば、基板に対して所定の処理を行う基板処理装置から、その状態を示す複数のパラメーターの各信号値を時間的に順次にサンプリングした複数の時系列データが出力され、当該複数の時系列データのそれぞれについて前記帯状グラフが表示される。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】実施形態に係る基板処理システムを模式的に示す概略平面図である。
【図２】図１の基板処理装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図３】図１のグラフ表示装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図４】図１のグラフ表示装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図５】図１のグラフ表示装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図６】図１のグラフ表示装置の動作の一例を示すフローチャートである。
【図７】図１のグラフ表示装置が表示する帯状グラフの一例を示す図である。
【図８】図７の帯状グラフを比較技術に係るグラフに変換した図である。
【図９】図１のグラフ表示装置が表示する帯状グラフの一例を示す図である。
【図１０】図９の帯状グラフを比較技術に係るグラフに変換した図である。
【図１１】図１のグラフ表示装置が表示する線状グラフの一例を示す図である。
【図１２】図１のグラフ表示装置が表示する帯状グラフおよび線状グラフの一例を示す図である。
【図１３】比較技術に係るグラフを示す図である。
【図１４】比較技術に係るグラフを示す図である。
【図１５】比較技術に係るグラフを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、図面を参照しながら、実施の形態について説明する。以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であり、本発明の技術的範囲を限定する事例ではない。
【００３９】
＜１．基板処理システム２００＞
図１は、実施形態に係る基板処理システム２００を模式的に示す概略平面図である。基板処理システム２００は、基板処理装置１００とグラフ表示装置１５０とを備えて構成される。基板処理装置１００は、複数の時系列データを出力する。当該複数の時系列データは、基板処理装置１００の状態を示す複数のパラメーターのそれぞれの信号値を時間的に順次に、一定の間隔でサンプリングしたデータである。グラフ表示装置１５０は、当該複数の時系列データを時系列データ取得部１２によって取得し、当該複数の時系列データのそれぞれについて帯状グラフを表示する。
【００４０】
＜２．基板処理装置１００＞
実施形態に係る基板処理装置１００の構成について、図１を参照しながら説明する。基板処理装置１００は、半導体ウェハ等の複数枚の基板Ｗを処理するシステムである。基板Ｗの表面形状は、例えば、略円形である。基板処理装置１００は、複数の基板処理ユニット１を備えている。基板処理装置１００は、各基板処理ユニット１において、基板Ｗを、一枚ずつ、連続して処理することができるとともに、複数の基板処理ユニット１によって、複数の基板Ｗを並行して処理することもできる。
【００４１】
基板処理装置１００は、並設された複数のセル（処理ブロック）、具体的には、インデクサセル１１０および処理セル１２０と、当該複数のセル１１０，１２０が備える各動作機構等を制御する制御部１３０と、を備える。基板処理装置１００は、複数の脚部を介して、工場等の床面等に載置されている。
【００４２】
＜インデクサセル１１０＞
インデクサセル１１０は、装置外から受け取った未処理の基板Ｗを処理セル１２０に渡すとともに、処理セル１２０から受け取った処理済みの基板Ｗを装置外に搬出するためのセルである。インデクサセル１１０は、複数のキャリアＣを載置するキャリアステージ１１１と、各キャリアＣに対する基板Ｗの搬出入を行う基板搬送装置（移載ロボット）ＩＲと、を備える。
【００４３】
キャリアステージ１１１に対しては、複数の未処理の基板Ｗを収納したキャリアＣが、装置外部から、ＯＨＴ(Overhead Hoist Transfer)等によって搬入されて載置される。未処理の基板Ｗは、キャリアＣから１枚ずつ取り出されて装置内で処理され、装置内での処理が終了した処理済みの基板Ｗは、再びキャリアＣに収納される。処理済みの基板Ｗを収納したキャリアＣは、ＯＨＴ等によって装置外部に搬出される。このように、キャリアステージ１１１は、未処理の基板Ｗおよび処理済みの基板Ｗを集積する基板集積部として機能する。なお、キャリアＣの形態としては、基板Ｗを密閉空間に収納するＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)であってもよいし、ＳＭＩＦ(Standard Mechanical Inter Face)ポッドや、収納された基板Ｗを外気に曝すＯＣ(Open Cassette)であってもよい。
【００４４】
移載ロボットＩＲは、基板Ｗを下方から支持することによって、基板Ｗを水平姿勢（基板Ｗの主面が水平な姿勢）で保持可能な複数のハンド（例えば、４つ）と、複数のハンドをそれぞれ移動する複数のアームを備える。移載ロボットＩＲは、キャリアステージ１１１に載置されたキャリアＣから未処理の基板Ｗを取り出して、当該取り出した基板Ｗを、基板受渡位置Ｐにおいて搬送ロボットＣＲ（後述する）に渡す。また、移載ロボットＩＲは、基板受渡位置Ｐにおいて搬送ロボットＣＲから処理済みの基板Ｗを受け取って、当該受け取った基板Ｗを、キャリアステージ１１１上に載置されたキャリアＣに収納する。移載ロボットＩＲは、複数のハンドを同時に使用して基板Ｗの受渡しを行うことができる。
【００４５】
＜処理セル１２０＞
処理セル１２０は、基板Ｗに処理を行うためのセルである。処理セル１２０は、複数の基板処理ユニット１と、当該複数の基板処理ユニット１に対する基板Ｗの搬出入を行う搬送ロボットＣＲと、を備える。搬送ロボットＣＲと制御部１３０とは、基板搬送装置である。ここでは、複数個（例えば、３個）の基板処理ユニット１が鉛直方向に積層されて、１個の基板処理装置群１０を構成している。そして、複数個（図示の例では、４個）の基板処理装置群１０が、搬送ロボットＣＲを取り囲むようにクラスタ状（房状）に設置される。従って、複数の基板処理ユニット１は、搬送ロボットＣＲの周囲にそれぞれ配置される。基板処理ユニット１は、不図示のスピンチャックの上側（鉛直方向の上側）に配置された基板をスピンチャックによって着脱可能に保持し、所定の回転軸ａ１を中心にスピンチャックを回転させながら、基板に対して所定の処理（例えば、薬液処理、リンス処理、若しくは乾燥処理など）を行う。
【００４６】
搬送ロボットＣＲは、基板Ｗを片持ち支持しながら搬送するロボットである。搬送ロボットＣＲは、指定された基板処理ユニット１から処理済みの基板Ｗを取り出して、当該取り出した基板Ｗを、基板受渡位置Ｐにおいて移載ロボットＩＲに渡す。また、搬送ロボットＣＲは、基板受渡位置Ｐにおいて移載ロボットＩＲから未処理の基板Ｗを受け取って、当該受け取った基板Ｗを、指定された基板処理ユニット１の処理位置に搬送する。搬送ロボットＣＲも移載ロボットＩＲと同様に複数（例えば、４つ）のハンドと、複数のハンドをそれぞれ移動する複数のアームを備えている。搬送ロボットＣＲは、複数のハンドを同時に使用して基板Ｗの搬送を行うことができる。
【００４７】
各基板処理ユニット１は、内部に処理空間を形成するチャンバー（「筐体」）１２１を備える。チャンバー１２１には、搬送ロボットがチャンバー１２１の内部にそのハンドを挿入するための搬出入口１２２が形成されている。搬出入口１２２には、制御部１３０の制御に基づいて開閉可能なシャッター（図示省略）が設けられている。シャッターは、基板Ｗのチャンバー１２１内への搬出入時に開かれ、基板Ｗの処理中は閉じられる。基板処理ユニット１は、搬送ロボットが配置されている空間に、この搬出入口を対向させるようにして配置される。
【００４８】
＜制御部１３０＞
制御部１３０は、移載ロボットＩＲ、搬送ロボットＣＲ、および、一群の基板処理ユニット１の各々の動作を制御する。制御部１３０のハードウエアとしての構成は、例えば、一般的なコンピュータと同様のものを採用できる。すなわち、制御部１３０は、例えば、各種演算処理を行うＣＰＵ（不図示）、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ（不図示）、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ（不図示）およびプログラムや各種データ、およびレシピなどを記憶しておく記憶装置（不図示）をバスライン（不図示）に接続して構成されている。制御部１３０のＣＰＵは、プログラムを実行することによって、基板処理装置１００の各部を統括的に制御し、レシピに従った基板Ｗの処理を基板処理装置１００に行わせる。
【００４９】
＜３．グラフ表示装置１５０＞
実施形態に係るグラフ表示装置１５０の構成について、図１を参照しながら説明する。グラフ表示装置１５０は、複数の時系列データに対応した複数の帯状グラフを、ディスプレイ１４１に並列表示する、すなわち、複数の帯状グラフが幅方向に並ぶように、当該各帯状グラフをディスプレイに表示させる。
【００５０】
グラフ表示装置１５０のハードウエアとしての構成は、一般的なコンピュータと同様のものを採用できる。すなわち、グラフ表示装置１５０は、例えば、各種演算処理を行うＣＰＵ１１、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ２２、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ２３およびプログラムＰＧや各種データなどを記憶しておく磁気ディスク２４をバスライン２９に電気的に接続して構成されている。バスライン２９には、液晶パネルなどのディスプレイ１４１およびキーボードなどの入力部１４２も電気的に接続されている。
【００５１】
グラフ表示装置１５０において、プログラムＰＧに記述された手順に従って主制御部としてのＣＰＵ１１が演算処理を行うことにより、各種の機能部が実現される。具体的には、ＣＰＵ１１は、例えば、時系列データ取得部１２、境界検出部１３、信号値特定部１４、および表示処理部１５などの各機能部として動作する。グラフ表示装置１５０において実現される一部あるいは全部の機能部は、専用の論理回路などでハードウエア的に実現されてもよい。当該各機能部は、それぞれが行った演算結果等を、ＲＡＭ２３若しくは磁気ディスク２４に一時的、若しくは恒久的に記憶するとともに、ＲＡＭ２３若しくは磁気ディスク２４に記憶された各種の演算結果等を適宜参照する。
【００５２】
時系列データ取得部１２は、基板処理装置１００が出力する複数の時系列データを取得する。境界検出部１３は、時系列データ取得部１２が取得した各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界を検出する。信号値特定部１４は、当該時系列データに対応する各境界によって当該時系列データが区切られる各区間について、当該区間が含む信号値を特定する。
【００５３】
表示処理部１５は、複数の時系列データに対応した複数の帯状グラフを、ディスプレイ１４１に並列表示する、すなわち、複数の帯状グラフがその幅方向に沿って互い重なることなく並ぶように、当該各帯状グラフをディスプレイに表示させる。換言すれば、表示処理部１５は、各時系列データについて、当該時系列データに対応した帯状グラフをディスプレイ１４１に表示させる。各帯状グラフの幅は、略同じ幅とされることが好ましい。また、表示される帯状グラフの個数を増やして一覧性を向上させる観点から、互いに隣り合う２つの帯状グラフは、互いに隙間無く配置されるか、若しくは、僅かな隙間を空けて配置されることが好ましい。
【００５４】
＜４．基板処理装置１００のパラメーター＞
基板処理装置１００は、例えば、その状態を示す複数のパラメーターを有している。基板処理装置１００は、複数のパラメーターのそれぞれがとる信号値を時間的に順次に出力する、すなわち、基板処理装置１００は、複数のパラメーターに対応した複数の時系列データを出力する。
【００５５】
例えば、基板処理装置１００の各基板処理ユニット１は、処理対象の基板Ｗに処理液を吐出するノズル（不図示）を備える。基板処理装置１００は、各基板処理ユニット１の各ノズルに、処理液を供給する処理液供給源（不図示）を備え、処理液供給源と、各ノズルとは、個別の配管によって接続される。各配管には、開閉弁（不図示）と、制御弁（不図示）とが設けられている。
【００５６】
開閉弁は、制御部１３０の制御に従って、開状態と閉状態との２つの状態をとる。開閉弁が開状態であれば、処理液供給源からノズルに処理液が供給され、開閉弁が、閉状態であれば、ノズルに処理液は供給されない。基板処理装置１００は、例えば、各基板処理ユニット１の各開閉弁の開閉状態を、基板処理装置１００の状態を規定する各パラメーターとして有する。
【００５７】
制御弁は、その開度を、最大開度と最小開度との間の任意の開度に設定され得る。制御部１３０は、レシピに応じて、制御弁の開度を３段階以上の多段階の開度に離散的に変更させることができるとともに、制御弁の開度を最大開度と最小開度との間で連続的に変更させることもできる。基板処理装置１００は、例えば、各基板処理ユニット１の各制御弁に対して離散的若しくは連続的に設定される開度を、基板処理装置１００の状態を規定する各パラメーターとして有する。
【００５８】
上述の説明では、１つの基板処理ユニット１が１つの開閉弁と制御弁とを備える場合を例として説明したが、１つの基板処理ユニット１が、例えば、基板Ｗの上面周縁部に薬液を供給し、基板Ｗの上面中央部にパージ用のガスとしての窒素ガスを供給し、基板Ｗの下面にリンス液を供給するなど、各基板処理ユニット１が複数の流体を並行して基板Ｗに供給する場合がある。このような場合には、１つの基板処理ユニット１について、複数の開閉弁、複数の制御弁が設けられる。基板処理装置１００は、各基板処理ユニット１について、複数の開閉弁のそれぞれの開閉状態と、複数の制御弁のそれぞれの開度を、各パラメーターとして有する。
【００５９】
＜信号値が２値のパラメーターの例について＞
信号値が２値をとるパラメーターとして、例えば、上述した開閉弁の開閉状態が挙げられる。基板処理装置１００は、基板処理装置１００が備える複数の開閉弁のそれぞれの開閉状態を、信号値が２値の複数のパラメーターとして採用できる。当該複数のパラメーターは、１つの基板処理ユニット１が備える複数の開閉弁の開閉状態であってもよい。また、複数の基板処理ユニット１がそれぞれ開閉弁を備え、複数のパラメーターが当該複数の開閉弁の開閉状態であってもよい。基板処理装置１００は、当該各バラメーターの信号値として、例えば、各開閉弁が開状態であれば「１」、閉状態であれば「０」を出力する。なお、２値の時系列データがとる信号値は、「１」と「０」との組み合わせに限定されない。基板処理装置１００は、当該２値の時系列データを出力できる。当該時系列データは、２値データである。
【００６０】
図８は、信号値が２値をとるパラメーターの時系列データの例として、基板処理装置１００が備える３つの開閉弁の開閉状態を示す３つの時系列データを、比較技術に係る線状グラフにより並列表示した図である。図８のグラフの例では、３つの時系列データのみが示されているため、各データの比較は容易であるが、基板処理装置１００は、実際には、例えば、１２個〜２４個の多数の基板処理ユニット１を有し、各基板処理ユニット１は、多数の開閉弁を有する。このため、図８のような並列表示によって、当該２値の複数の時系列データを一覧することは容易ではない。また、１つの座標に当該複数の時系列データを重ねて表示すると、複数の時系列データに対応した複数のグラフのうち、同時刻に変化する信号値に対応した線同士が重なり合って、信号値の変化のタイミングを把握することが困難となる。
【００６１】
＜信号値が多値のパラメーターの例について＞
信号値が、３値以上の多値をとるパラメーターとして、例えば、上述した制御弁の開度が採用され得る。基板処理装置１００は、基板処理装置１００が備える複数の制御弁のそれぞれの開度を示す信号値の時系列データを、３値以上の多値の時系列データとして出力する。当該時系列データは、３値以上の多値データである。
【００６２】
また、基板処理装置１００の各基板処理ユニット１が実行するレシピは、通常、複数のステップから構成されている。各基板処理ユニット１は、レシピを構成する各ステップを時間的に順次に実行する。基板処理ユニット１が各ステップの処理を行う際に、基板Ｗの回転数は、例えば、各ステップに応じた回転数とされる。当該各回転数は、通常、離散的な値をとる。基板処理装置１００の各基板処理ユニット１は、基板Ｗの回転数をパラメーターとして有し、実行中のステップに応じた基板Ｗの回転数の時系列データを、３値以上の多値の時系列データとして出力する。
【００６３】
また、基板処理装置１００の各基板処理ユニット１は、実行中のステップを示す信号をパラメーターとして有し、順次に実行する各ステップを示す各信号値を時系列データとして出力する。例えば、レシピがステップ１〜ステップ９の９段階のステップから構成される場合、各基板処理ユニット１は、例えば、ステップ１〜ステップ９に対応する１〜９の整数（「ステップ番号」）のうち実行中のステップに対応する整数を各ステップに応じて順次に出力する。当該各整数を含む時系列データは、実行中のステップを示す３値以上の多値の時系列データとなる。基板処理ユニット１は、何れのステップも実行していない期間には、例えば、整数０を出力する。
【００６４】
図１０は、信号値が多値をとるパラメーターの時系列データの例として、基板処理装置１００が備える１つの基板処理ユニット１が実行する各ステップを示す時系列データ（図１０の上側のグラフ）と、他の基板処理ユニット１の制御弁の開度を百分率で示す時系列データ（図１０の下側のグラフ）とを、比較技術に係る線状グラフにより並列表示した図である。
【００６５】
当該２つの基板処理ユニット１は、互いに異なるレシピを実行しており、各時系列データの信号値が変化するタイミングは、一部のタイミングを除いて異なっている。
【００６６】
図１０に示す２つのグラフでは、各基板処理ユニット１が実行するレシピの各ステップは、ある期間継続するため、２つのグラフは、ステップ状の形状を有している。基板処理装置１００は、このようなステップ状に信号値が変化する多値の時系列データ（「ステップ状の多値の時系列データ」とも称する）を出力することもできる。当該時系列データは、時間の経過とともにステップ状に変化する多値データである。
【００６７】
＜信号値が連続的に変化する多値のパラメーターの例について＞
基板処理装置１００は、時間の経過とともに連続的に変化する多値の信号値をとるパラメーターとして、例えば、各基板処理ユニット１における処理液の温度、処理液の濃度、基板Ｗの温度などを有し、各パラメーターを測定器（不図示）により測定して各パラメーターに対応した各時系列データを出力する。
【００６８】
図１１は、グラフ表示装置１５０が１つの座標上に表示する複数の線状グラフの一例を示す図である。より詳細には、図１１は、基板処理装置１００が出力する複数の多値の時系列データであって、それぞれ、連続的に変化する多値の信号値を含む各データをグラフ表示装置１５０がグラフ化して１つの座標上に表示したものである。グラフ表示装置１５０は、グラフ表示を行う際に、一般的な手法を用いて、図１１に示されるように、当該各時系列データを線状グラフとして共通の座標上に表示することもできる。基板処理装置１００は、このように、連続的に信号値が変化する多値の時系列データ（「連続的な多値の時系列データ」とも称する）を出力することもできる。当該時系列データは、時間の経過とともに連続的に変化する多値データである。
【００６９】
＜５．基板処理装置１００の動作＞
図２は、制御部１３０の制御に従って、基板処理装置１００が行う動作の一例を示すフローチャートである。
【００７０】
図２の例では、基板処理装置１００は、先ず、複数の時系列データの出力を開始する（図２のステップＳ１０）。当該複数の時系列データは、基板処理装置１００の状態を示す複数のパラメーターの各信号値を時間的に順次にサンプリングしたデータである。基板処理装置１００は、制御部１３０の制御値、若しくは、測定器による測定値に基づいて各信号値を取得して出力する。基板処理装置１００が当該各信号値を逐次出力し、グラフ表示装置１５０が当該各信号値を入力して当該各信号値のサンプリングを行ってもよい。基板処理装置１００、若しくはグラフ表示装置１５０が行う当該サンプリングは、好ましくは、一定の間隔で行われる。
【００７１】
当該複数の時系列データのそれぞれは、基板処理装置１００の状態を示しており、基板処理装置１００のパラメーターの説明欄で説明した２値の時系列データと、ステップ状の多値の時系列データと、連続的な多値の時系列データとの３種類の時系列データの何れかである。基板処理装置１００がこれらの時系列データとは異なる時系列データを出力してもよい。
【００７２】
基板処理装置１００は、移載ロボットＩＲ、搬送ロボットＣＲによって、キャリアＣ内の未処理の基板Ｗを基板処理ユニット１のチャンバー１２１内に搬入し（ステップＳ２０）、当該基板Ｗにレシピに従って所定の処理を行う（ステップＳ３０）。当該基板Ｗの処理が完了すると、基板処理装置１００は、移載ロボットＩＲ、搬送ロボットＣＲによって、チャンバー１２１内から処理済みの基板Ｗを搬出し（ステップＳ４０）、キャリアＣに収納する。制御部１３０は、全てのキャリアＣ内の全ての基板Ｗの処理が完了したか否かを判定し（ステップＳ５０）、完了していなければ、ステップＳ２０〜ステップＳ４０の処理を繰り返し、再びステップＳ５０の判定処理を行う。
【００７３】
ステップＳ５０の判定の結果、全ての基板Ｗの処理が完了している場合には、基板処理装置１００は、複数の時系列データの出力を終了する（ステップＳ６０）。これにより、基板処理装置１００は、図２に示す動作を終了する。
【００７４】
＜６．グラフ表示装置の動作＞
＜６−１．グラフ表示処理の全体の動作＞
図３は、グラフ表示装置１５０のグラフ表示処理の全体動作の一例を示すフローチャートである。グラフ表示装置１５０は、基板処理装置１００が出力する複数の時系列データを時系列データ取得部１２によって取得し、当該複数の時系列データのそれぞれについて、帯状グラフ、若しくは線状グラフを表示する。
【００７５】
グラフ表示装置１５０は、基板処理装置１００と電気的に接続されており、グラフ表示装置１５０の時系列データ取得部１２は、基板処理装置１００が出力する複数の時系列データを入力することにより当該複数の時系列データを取得する（図３のステップＳ７０）。時系列データ取得部１２は、基板処理装置１００が出力する各パラメーターの信号値をサンプリングして複数の時系列データを取得してもよい。グラフ表示の対象となる各パラメーターは、例えば、当該各パラメーターを定義する定義ファイルを磁気ディスク２４に記憶しておき、時系列データ取得部１２が当該定義ファイルから各パラメーターを読み出すことによって決定される。基板処理装置１００が出力する全ての時系列データが、グラフ表示の対象とされてもよいし、基板処理装置１００が出力する全ての時系列データのうち一部の時系列データがグラフ表示の対象とされてもよい。なお、基板処理装置１００は、例えば、各時系列データが含む最初の信号値の発生時刻とサンプリング間隔など、各時系列データについて、当該時系列データが含む各信号値の発生時刻を特定するために必要な情報もグラフ表示装置１５０に出力しており、ＣＰＵ１１は、当該情報と、各時系列データとに基づいて、各信号値の発生時刻を取得できる。
【００７６】
グラフ表示装置１５０のＣＰＵ１１は、時系列データ取得部１２が取得した複数の時系列データの解析（「解析処理」）を行い（図３のステップＳ８０）、当該複数の時系列データのグラフ表示（「グラフ表示処理」）を行う（図３のステップＳ９０）。
【００７７】
＜６−２．時系列データの解析処理＞
図４は、時系列データ取得部１２が取得した複数の時系列データの解析処理（図３のステップＳ８０）を、ＣＰＵ１１により実現される各機能部が実行する動作の一例を示すフローチャートである。
【００７８】
ステップＳ８０の処理において、先ず、ＣＰＵ１１は、プログラムＰＧを実行することにより、時系列データ取得部１２が取得した複数の時系列データのうち１つの時系列データを、着目時系列データとして選択する（図４のステップＳ１１０）。
【００７９】
境界検出部１３は、着目時系列データにおいて、信号値が変化する各境界を検出する（図４のステップＳ１２０）。信号値特定部１４は、着目時系列データが当該各境界によって区切られる各区間の信号値を特定する（図４のステップＳ１３０）。
【００８０】
着目時系列データが含む各区間について、当該区間が含む各信号値は、同じ値をとる。また、当該各区間は、例えば、第ｉ区間（ｉは区間番号であり、ｉ＝１〜ｎで、ｎ＝着目時系列データにおける区間数）として識別される。
【００８１】
境界検出部１３は、ステップＳ１２０の処理において、当該境界を、所定の検出規則に従って検出する。当該検出規則は、例えば、一の信号値から他の信号値に信号値が変化する際の当該他の信号値を、当該境界として採用する規則である。当該一の信号値は、第ｉ区間の信号値である。当該他の信号値は、当該第ｉ区間と隣接する第（ｉ＋１）区間の信号値である。
【００８２】
境界検出部１３は、検出した各境界について、当該境界を特定できる情報（「境界特定情報」）を、当該境界が隔てる第ｉ区間と、第（ｉ＋１）区間のうち、例えば、第（ｉ＋１）区間の区間番号と対応付けて磁気ディスク２４に記憶する。また、当該記憶の際に、境界検出部１３は、検出した各境界を、複数の時系列データにおいて着目時系列データを識別するデータ番号にも対応付ける。
【００８３】
境界特定情報は、例えば、上述した一の信号値から他の信号値に信号値が変化する際の当該他の信号値の着目時系列データにおける位置（「並び順」）、若しくは当該一の信号値が当該他の信号値に変化する際の時刻（「タイミング」）である。なお、境界検出部１３は、第１区間（「最初の区間」）の境界特定情報として、例えば、着目時系列データの最初の信号値の着目時系列データにおける位置（「並び順」）、若しくは当該信号値の発生時刻（「タイミング」）を採用する。
【００８４】
ステップＳ１３０の処理において、信号値特定部１４は、境界検出部１３が検出した各境界により着目時系列データが区切られる各区間の信号値を特定し、各区間の区間番号と対応付けて磁気ディスク２４に記憶する。また、当該記憶の際に、境界検出部１３は、特定した各信号値を、着目時系列データを識別するデータ番号にも対応付ける。
【００８５】
ステップＳ１３０の処理が終了すると、ＣＰＵ１１は、全ての時系列データについて、ステップＳ１２０〜ステップＳ１３０の処理によるチェックが完了したか否かを判定する（図４のステップＳ１４０）。当該判定の結果、全ての時系列データのチェックが完了していなければ、ＣＰＵ１１は、複数の時系列データの中から、新たに他の時系列データを着目データとして選択し（ステップＳ１１０）、境界検出部１３、信号値特定部１４が、ステップＳ１２０、Ｓ１３０の処理を繰り返し、ＣＰＵ１１が再びステップＳ１４０の判定を行う。
【００８６】
ステップＳ１４０の判定の結果、全ての時系列データのチェックが完了していれば、ＣＰＵ１１は、複数の時系列データの解析処理（ステップＳ８０）を終了し、処理を図３のステップＳ９０に移す。
【００８７】
ステップＳ８０の処理によって、境界検出部１３は、時系列データ取得部１２が取得した各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界を検出する。信号値特定部１４は、当該各時系列データについて、当該時系列データに対応する各境界によって当該時系列データが区切られる各区間について、当該区間が含む信号値を特定する。
【００８８】
＜６−３．時系列データのグラフ表示処理＞
図５、図６は、時系列データ取得部１２が取得した複数の時系列データのグラフ表示処理（図３のステップＳ９０）を、ＣＰＵ１１により実現される各機能部が実行する動作の一例を示すフローチャートである。
【００８９】
表示処理部１５は、各時系列データに対応した各帯状グラフを、幅方向に並ぶようにディスプレイ１４１に表示することができる。すなわち、表示処理部１５は、各時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフをディスプレイ１４１に表示させることができる。
【００９０】
帯状グラフは、対応する時系列データの各区間に対応する各帯状領域と、対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値とを含む。各帯状領域は、対応する区間を時系列上の時間に換算したときの開始時刻と終了時刻とを、時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現し、時間軸に沿って一列に配列される。
【００９１】
ステップＳ９０の処理において、先ず、ＣＰＵ１１は、プログラムＰＧを実行することにより、時系列データ取得部１２が取得した複数の時系列データのうち１つの時系列データを、着目時系列データとして選択する（図５のステップＳ２１０）。表示処理部１５は、着目時系列データについて、帯状グラフ表示機能を有効化する（図５のステップＳ２１２）。帯状グラフ表示機能の有効化、若しくは無効化は、例えば、プログラムＰＧのうち帯状グラフ表示機能を実現するコードの実行の可否を決定する変数を、表示処理部１５（ＣＰＵ１１）が当該有効化、若しくは無効化に応じた値に設定することにより行われる。帯状グラフ表示機能の有効化、若しくは無効化がプログラムＰＧの構成そのものによって実現されてもよい。
【００９２】
表示処理部１５は、着目時系列データが２値データであるか否かを判定する（図５のステップＳ２２０）。表示処理部１５は、例えは、着目時系列データの各信号値を調べることにより当該判定を行う。また、着目目次系列データに対応するパラメーターの特性に基づいて、当該パラメーターの時系列データが２値データか、多値データであるかは予め判定できるので、各パラメーターについて当該識別を示す識別情報を設定した２値／多値設定ファイルを磁気ディスク２４に記憶しておき、表示処理部１５が、当該設定ファイルを読み出して当該判定を行ってもよい。
【００９３】
ステップＳ２２０の結果、着目時系列データが２値データであれば、表示処理部１５は、着目時系列データに含まれる上述の各区間について、各区間に対応する各信号値を、当該時系列データに対応する各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字でディスプレイ１４１に表示する信号値表示機能を無効化する（図５のステップＳ２３０）。信号値表示機能の有効化、若しくは無効化は、例えば、プログラムＰＧのうち信号値表示機能を実現するコードの実行の可否を決定する変数を、表示処理部１５（ＣＰＵ１１）が当該有効化、若しくは無効化に応じた値に設定することにより行われる。信号値表示機能の有効化、若しくは無効化がプログラムＰＧの構成そのものによって実現されてもよい。
【００９４】
表示処理部１５は、各区間に対応する各帯状領域をディスプレイ１４１に表示する（図５のステップＳ２４０）。各帯状領域は、対応する区間を時系列上の時間に換算したとき（場合）の開始時刻と終了時刻とを、時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現する。また、各帯状領域は、時間軸に沿って一列に配列される。
【００９５】
ステップＳ２２０の判定の結果、着目時系列データが２値データではない（すなわち、３値以上の多値データである）場合、表示処理部１５は、着目時系列データの各区間に、所定の期間よりも短い区間が存在するか否かを判定する（図６のステップＳ２６０）。当該所定の期間は、例えば、各区間に対応する各帯状領域に所定のサイズの文字で表示される各信号値の表示長さのうち最も長い表示長さに相当（対応する）する期間とされる。当該所定の期間は、各信号値の表示長さとは無関係に、所定の長さの期間に設定されてもよい。当該所定の期間（より詳細には、所定の期間の長さ）は、予め設定されて、表示処理部１５が参照可能なように磁気ディスク２４に記憶されている。
【００９６】
ステップＳ２６０の判定の結果、着目時系列データの各区間に、所定の期間よりも短い区間が存在する場合には、表示処理部１５は、着目時系列データに対応する帯状グラフをディスプレイ１４１に表示する機能を無効化し、着目時系列データに対応する線状グラフをディスプレイ１４１に表示する（図６のステップＳ２７０）。当該線状グラフは、帯状グラフの長手方向に沿う横軸を時間軸とし、縦軸を信号値の軸とする座標上に着目時系列データが含む各信号値に対応する各点を時系列順に結線したグラフである。表示処理部１５は、線状グラフを表示した後、処理を図５のステップＳ２５０に移す。
【００９７】
ステップＳ２６０の判定の結果、着目時系列データの各区間に、所定の期間よりも短い区間が存在しない場合には、表示処理部１５は、上述した図５のステップＳ２１２での設定に従って着目時系列データの帯状グラフを表示する。当該表示処理において、表示処理部１５は、先ず、各区間の信号値表示機能を有効化する（図６のステップＳ２８０）。なお、表示処理部１５が、例えば、ステップＳ２６０の判定を行うことなく、多値の全ての時系列データについて線状グラフを表示してもよい。また、多値の各時系列データ（各パラメーター）について、帯状グラフによる表示の対象であるか、線状グラフによる表示の対象であるかを定義するファイルに基づいて、表示処理部１５が多値の各時系列データのグラフの種類を決定してもよい。
【００９８】
表示処理部１５は、着目時系列データの各区間のうち着目区間を選択する（図６のステップＳ２９０）。表示処理部１５は、着目区間に対応する帯状領域をディスプレイ１４１に表示する（図６のステップＳ３００）。
【００９９】
表示処理部１５は、着目区間の信号値が零であるか否かを判定する（図６のステップＳ３１０）。当該判定の結果、当該信号値が零であれば、表示処理部１５は、着目区間について信号値表示機能を無効化し（図６のステップＳ３２０）、処理を図６のステップＳ３４０に移す。
【０１００】
ステップＳ３１０の判定の結果、着目区間の信号値が零でない場合、表示処理部１５は、着目区間の信号値を対応する帯状領域に文字で表示し（図６のステップＳ３３０）、処理を図６のステップＳ３４０に移す。なお、表示処理部１５が、ステップＳ３１０の判定を行わず、着目区間の信号値に拘わらず、着目区間の信号値を対応する帯状領域に文字で表示してもよい。
【０１０１】
表示処理部１５は、着目時系列データの全ての区間について対応する各帯状領域の表示か終了したか否かを判定する（図６のステップＳ３４０）。当該判定の結果、全ての区間について表示が終了していなければ、表示処理部１５は、新たに、着目区間を選択し（ステップＳ２９０）、ステップＳ３００以下の処理を繰り返して、再度、ステップＳ３４０の判定を行う。
【０１０２】
ステップＳ３４０の判定の結果、全ての区間について表示が終了していれば、表示処理部１５は、処理を図５のステップＳ２５０に移す。
【０１０３】
図５のステップＳ２５０において、表示処理部１５は、全ての時系列データについて、グラフ表示が完了したか否かを判定する。当該判定の結果、全ての時系列データについて、グラフ表示が完了していなければ、表示処理部１５は、新たに、着目時系列データを選択し（ステップＳ２１０）、ステップＳ２１２以下の処理を繰り返して、再度、ステップＳ２５０の判定を行う。
【０１０４】
ステップＳ２５０の判定の結果、全ての時系列データについて、グラフ表示が完了していれば、ＣＰＵ１１は、図３の動作を終了する。
【０１０５】
図３（図５、図６）のステップＳ９０の処理において、表示処理部１５は、各時系列データについて、当該時系列データが２値データであれば、当該時系列データの各区間に対応する各信号値を、当該時系列データに対応する各帯状領域のうち対応する帯状領域と重なるように文字でディスプレイ１４１に表示する信号値表示機能を無効化し、当該時系列データが３値以上の多値データであれば信号値表示機能を有効化する。なお、表示処理部１５が、２値の時系列データについても信号値表示機能を有効化して、各帯状領域に対応する各信号値を表示してもよい。
【０１０６】
上述のように表示処理部１５は、各時系列データについて、当該時系列データが零を含む３値以上の多値データである場合には、当該時系列データの各区間のうち信号値として非零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を有効化する。表示処理部１５は、信号値として零をとる区間について、当該区間の信号値を当該区間に対応する帯状領域に表示する機能を無効化してもよく、また当該信号値を当該帯状領域に表示する機能を有効化した状態で信号値として零を表示してもよい。
【０１０７】
また、各時系列データについて、当該時系列データが３値以上の多値データである場合において、当該時系列データの各区間の中に、時系列上の時間に換算したときに所定の期間よりも短い区間が含まれている場合には、表示処理部１５は、当該時系列データに対応する帯状グラフをディスプレイ１４１に表示する機能を無効化し、帯状グラフの長手方向に沿う横軸を時間軸とし、縦軸を信号値の軸とする座標において当該時系列データが含む各信号値に対応する各点を時系列順に結線した線状グラフをディスプレイ１４１に表示する。
【０１０８】
＜６−４．帯状グラフの表示態様＞
図７にはグラフ表示装置１５０が生成して表示した３つの帯状グラフＧ１〜Ｇ３が示されている。３つの帯状グラフＧ１〜Ｇ３は、図８に示される比較技術に係る３つの線状グラフＫ１〜Ｋ３に対応する３つの時系列データからグラフ表示装置１５０が生成してディスプレイ１４１に表示したものである。なお、図７〜図１２のグラフにおいて横軸は時間軸である。
【０１０９】
図７の帯状グラフＧ１〜Ｇ３に対応する３つの時系列データは、図８の３つの線状グラフＫ１〜Ｋ３に示されるように、それぞれ、２値データである。グラフ表示装置１５０の時系列データ取得部１２が当該３つの時系列データをグラフ表示用の複数の時系列データとしてグラフ表示装置１５０から取得した場合、表示処理部１５は、着目時系列データのグラフ表示において、着目時系列データの各区間の信号値表示機能を無効化して（図５のステップＳ２３０）、帯状グラフＧ１〜Ｇ３に示されるように各帯状領域の表示のみを行う（図５のステップＳ２４０）。図７の帯状グラフＧ１には、各帯状領域のうち、時系列順の最初の２つの帯状領域Ｒ１、Ｒ２と、帯状領域Ｒ１、Ｒ２の境界Ｂ１が示されている。境界Ｂ１は、帯状領域Ｒ１、Ｒ２に対応する隣り合う２つの区間の境界である。
【０１１０】
図９には、グラフ表示装置１５０が生成して表示した２つの帯状グラフＧ４、Ｇ５が示されている。２つの帯状グラフＧ４、Ｇ５は、図１０に示される比較技術に係る２つの線状グラフＫ４、Ｋ５に対応する２つの時系列データからグラフ表示装置１５０が生成してディスプレイ１４１に表示したものである。
【０１１１】
図９の帯状グラフＧ４、Ｇ５に対応する２つの時系列データは、図１０の２つの線状グラフＫ４、Ｋ５に示されるように、それぞれ、ステップ状の多値の時系列データである。そして、当該２つの時系列データの何れも、各境界により区切られる各区間は、対応する各帯状領域に文字により信号値を表示するために必要な所定の期間よりも長い。
【０１１２】
このため、グラフ表示装置１５０の時系列データ取得部１２が当該２つの時系列データをグラフ表示用の複数の時系列データとしてグラフ表示装置１５０から取得した場合、当該２つの時系列データのそれぞれのグラフ表示において、表示処理部１５は、図６のステップＳ２６０での判定を経て、ステップＳ２８０の処理を行う。表示処理部１５は、当該２つの時系列データのうち着目時系列データのグラフ表示において、着目時系列データの各区間の信号値表示機能を有効化し（図６のステップＳ２８０）、着目区間に対応する帯状領域の表示を行う（図５のステップＳ３００）。
【０１１３】
ここで、図１０に示されるように、線状グラフＫ１に対応する時系列データの第１区間の信号値は、零である。このため、当該時系列データに対応する帯状グラフＧ５の表示において、表示処理部１５は、第１区間については、信号値表示機能を無効化して（図６のステップＳ３２０）、第１区間の帯状領域に信号値「０」を表示せず、他の区間については、信号値表示機能を無効化することなく、当該他の区間に対応する帯状領域に当該他の区間の信号値を表示する（図６のステップＳ３３０）。これらの処理により、表示処理部１５は、図９の帯状グラフＧ４、Ｇ５の表示を行う。なお、信号値が零である第１区間においても信号表示機能を無効化せずに当該区間の帯状領域に信号値「０」を表示してもよい。
【０１１４】
図１１は、グラフ表示装置１５０が表示する線状グラフの一例として６個の線状グラフＫ６〜Ｋ１１を示す図である。図１１の線状グラフＫ６〜Ｋ１１から判るように、線状グラフＫ６〜Ｋ１１に対応する各時系列データは、連続的な多値の時系列データである。このため、線状グラフＫ６〜Ｋ１１に対応する各時系列データのグラフ表示処理において、表示処理部１５は、ステップＳ２６０の判定の結果、着目時系列データの各区間に所定の期間よりも短い期間が存在すると判定し、着目時系列データの線状グラフをディスプレイ１４１に表示する（図６のステップＳ２７０）。これにより、表示処理部１５は、当該各時系列データについて、線状グラフＫ６〜Ｋ１１を１つの座標上に表示する。
【０１１５】
また、グラフ表示装置１５０が、基板処理装置１００から、例えば、図８の３つの線状グラフＫ１〜Ｋ３、図９の２つの線状グラフＫ４、Ｋ５、および図１１の６つの線状グラフＫ６〜Ｋ１１に対応する１１個の時系列データを、グラフ表示の対象である複数の時系列データとして取得する場合もある。この場合、グラフ表示装置１５０は、例えば、図１２に示されるように、帯状グラフＧ１〜Ｇ５を並列表示し、線状グラフＫ６〜Ｋ１１を一の座標上に重ねて表示する。表示処理部１５は、並列表示する帯状グラフＧ１〜Ｇ５の表示領域と、線状グラフＫ６〜Ｋ１１の表示領域とがディスプレイ１４１上で重なり合わないように、各グラフを表示する。
【０１１６】
例えば、基板処理装置１００の有する全てパラメーターについて予め対応するグラフの表示順（並び順）を決めて磁気ディスク２４に記憶しておき、グラフ表示装置１５０が当該全てのパラメーターの一部または全部に対応する時系列データ（例えば、帯状グラフＧ１〜Ｇ５と線状グラフＫ６〜Ｋ１１に対応する１１個の時系列データ）をグラフ表示する場合には、各パラメーターに設定された表示順に従って表示処理部１５がディスプレイ１４１に表示する。すなわち、表示処理部１５は、予め設定された表示順に従って幅方向に並ぶように各時系列データに対応した各帯状グラフを表示する。また、表示処理部１５は、各時系列データに対応した各線状グラフを、例えば、図１２のように一の座標に表示する。
【０１１７】
表示処理部１５は、好ましくは、各時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフの各帯状領域のうち互いに隣り合う帯状領域の色彩および模様の少なくとも一方を異ならせる。
【０１１８】
図７の例では、帯状グラフＧ１では、帯状領域毎に、無彩色と、緑色（有彩色）が交互に並び、帯状グラフＧ２では、無彩色と、橙色（有彩色）とが交互に並び、帯状グラフＧ３では無彩色と、赤色（有彩色）とが交互に並んでいる。
【０１１９】
図８の例では、帯状グラフＧ４では、帯状領域毎に、無彩色と、ピンク色（有彩色）が交互に並び、帯状グラフＧ５では、無彩色と、青色（有彩色）とが交互に並ぶ。
【０１２０】
また、表示処理部１５は、好ましくは、各時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフの各帯状領域の色彩を、当該各帯状領域の配列順に交互に変更する。
【０１２１】
図７、図８に示されるように、表示処理部１５は、複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフに付する２種類の色彩のうち一方の色彩を、複数の時系列データにわたって共通の無彩色とする。無彩色としては、好ましくは、例えば、白色、若しくは、背景と同色の無彩色が採用される。
【０１２２】
また、図７、図８に示されるように、表示処理部１５は、好ましくは、複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフに付する２種類の色彩のうち一方の色彩以外の他方の色彩を有彩色とし、複数の時系列データに対応する複数の帯状グラフに対応する各有彩色のうち互いに隣り合う帯状グラフに附される２つの有彩色を異ならせる。図７、図９、および図１１に示されるように、表示処理部１５が複数の帯状グラフを並列表示する場合には、表示処理部１５は、各帯状グラフに表示される有彩色を、好ましくは、例えば、カラーユニバーサルデザイン等の所定の配色規則に基づいて設定する。
【０１２３】
以上のような本実施形態に係るグラフ表示装置、グラフ表示方法、およびグラフ表示プログラムを実行するコンピュータの何れによっても、各時系列データについて、当該時系列データにおいて信号値が変化する各境界が検出され、当該時系列データが当該各境界によって区切られる各区間について、当該区間が含む信号値が特定される。そして、各時系列データに対応した各帯状グラフが、幅方向に並ぶようにディスプレイ１４１に表示される。帯状グラフは、対応する時系列データの各区間に対応する各帯状領域と、対応する帯状領域と重なるように文字で示された各信号値とを含む。各帯状領域は、対応する区間を時系列上の時間に換算したときの開始時刻と終了時刻とを、時間軸に沿う長手方向の両端部分の各位置によってそれぞれ表現し、時間軸に沿って一列に配列される。従って、各帯状グラフを、これらの表示に必要な面積を削減して、互いに重なることなく表示できるので一覧性を向上できる。また、各帯状グラフについて、当該帯状グラフが含む各帯状領域の境界と、文字で示された各信号値とによって、当該帯状グラフに対応する時系列データの信号値の変化と、そのタイミングを容易に把握できるので、各帯状グラフに基づいて各時系列データ間で信号値の変化のタイミングを容易に比較できる。
【０１２４】
また、本実施形態に係るグラフ表示装置および本実施形態に係るグラフ表示方法の何れによっても、各時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフの各帯状領域のうち互いに隣り合う帯状領域の色彩および模様の少なくとも一方が異なるので、互いに隣り合う帯状領域の境界の把握が容易となる。
【０１２５】
また、本実施形態に係るグラフ表示装置およびグラフ表示方法の何れによっても、各時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフの各帯状領域の色彩が、当該各帯状領域の配列順に交互に変更されるので、隣り合う２つの帯状領域の２つ色彩として互いに識別容易な色彩を採用できる。これにより、互いに隣り合う帯状領域の境界の把握がさらに容易となる。
【０１２６】
また、本実施形態に係るグラフ表示装置およびグラフ表示方法の何れによっても、複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフに付する２種類の色彩のうち一方の色彩が、複数の時系列データにわたって共通の無彩色とされるので、複数の帯状グラフの全体に統一性を与えることができるとともに、使用する色彩の種類を削減できる。
【０１２７】
また、本実施形態に係るグラフ表示装置およびグラフ表示方法の何れによっても、複数の時系列データについて、当該時系列データに対応する帯状グラフに付する２種類の色彩のうち共通の無彩色とされる一方の色彩以外の他方の色彩が有彩色とされ、複数の時系列データに対応する複数の帯状グラフに対応する各有彩色のうち互いに隣り合う帯状グラフに附される２つの有彩色が異なる。従って、隣り合う帯状グラフの識別が容易となる。
【０１２８】
また、本実施形態に係るグラフ表示装置およびグラフ表示方法の何れによっても、各時系列データについて、当該時系列データが、文字により信号値を表示しなくても信号値の認識が容易な２値データであれば、各区間に対応する各信号値の表示がされないので、当該帯状グラフを見ることにより当該時系列データが２値データであることを容易に認識できるとともに、対応する帯状グラフによる信号値の変化の把握を容易にしつつ、当該帯状グラフの表示を単純化できる。
【０１２９】
また、本実施形態に係るグラフ表示装置およびグラフ表示方法の何れによっても、各時系列データについて、当該時系列データが零を含む３値以上の多値データである場合には、当該時系列データの各区間のうち信号値として非零をとる区間について、当該区間の信号値が当該区間に対応する帯状領域に表示され、信号値として零をとる区間について、当該区間の信号値は、対応する帯状領域に表示されない。信号値が零の区間に信号値を表示しなくても、グラフを観察する操作者は、違和感を覚えにくい。従って、帯状グラフによる信号値の変化の把握を容易にしつつ、当該帯状グラフの表示を単純化できる。
【０１３０】
また、本実施形態に係るグラフ表示装置およびグラフ表示方法の何れによっても、各時系列データについて、当該時系列データが３値以上の多値データである場合において、当該時系列データの各区間の中に、時系列上の時間に換算したときに所定の期間よりも短い区間が含まれている場合には、当該時系列データに対応する帯状グラフに代えて、帯状グラフの長手方向に沿う横軸を時間軸とし、縦軸を信号値の軸とする座標において当該時系列データが含む各信号値に対応する各点を時系列順に結線した線状グラフがディスプレイ１４１に表示される。従って、短い帯状領域に文字で信号値が表示されることが抑制されるので、信号値の表示同士が重なって視認性が悪い帯状グラフの表示が抑制される。
【０１３１】
また、以上のような本実施形態に係る基板処理システムおよび基板処理方法の何れによっても、基板に対して所定の処理を行う基板処理装置から、その状態を示す複数のパラメーターの各信号値を時間的に順次にサンプリングした複数の時系列データが出力され、当該複数の時系列データのそれぞれについて帯状グラフが表示される。
【０１３２】
本発明は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、本発明は、その発明の範囲内において、実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
【符号の説明】
【０１３３】
２００  基板処理システム
１００  基板処理装置
１０  基板処理装置群
１  基板処理ユニット
Ｇ１〜Ｇ５  帯状グラフ
Ｒ１、Ｒ２  帯状領域
Ｂ１  境界
Ｋ６〜Ｋ１１  線状グラフ
ＰＧ  プログラム
Ｗ  基板
【図１】
2018165763.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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