(57)【要約】      （修正有）【課題】曲がりのあるサブストレートに傷をつけずに正確な位置決めができる吸引カップ、エンドエフェクタ及びそれらの製造法を提供する。【解決手段】エンドエフェクタ１０用の吸引器具１４は、貫通チャンネル３６および接触面３８を有する本体２８と、密封口３０とを含む。接触面は、エッジと凹部を有し、貫通チャンネル３６は、凹部に流出し、凹部はエッジの手前で終わる。本体２８は、基礎部３２、および基礎部３２に隣接する取付部３４を有する。取付部３４において、貫通チャンネル３６と流体連通し取付部３４のエッジから延びる連結チャンネル４４を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サブストレートを保持するためのエンドエフェクタ（１０）用の吸引器具であって、貫通チャンネル（３６）および接触面（３８）を有する本体（２８）と、接触面（３８）をエッジ側で取り囲む密封口（３０）とを含み、前記接触面（３８）は、エッジ（３９）と少なくとも１つの凹部（４０）、特に吸引溝、を有し、前記貫通チャンネル（３６）は、前記少なくとも１つの凹部（４０）と接続しており、前記本体（２８）は、その端側が前記接触面（３８）を形成する円錐形又は円柱形の基礎部（３２）を有し、前記本体（２８）は、前記基礎部（３２）の端側で前記接触面（３８）から逆方向に前記基礎部（３２）に隣接する取付部（３４）を有し、前記取付部（３４）において、前記貫通チャンネル（３６）と流体連通している少なくとも１つの連結チャンネル（４４）が提供され、前記取付部（３４）のエッジから延びることを特徴とする、吸引器具。
【請求項２】
前記少なくとも１つの凹部（４０）が前記接触面（３８）の前記エッジ（３９）の手前で終わることを特徴とする、請求項１に記載の吸引器具。
【請求項３】
前記貫通チャンネル（３６）から始まって前記少なくとも１つの凹部（４０）がより平らになり、特に前記接触面（３８）中に徐々に交わってゆくことを特徴とする、請求項１又は２に記載の吸引器具。
【請求項４】
前記密封口（３０）が前記基礎部（３２）に取り付けられ、前記接触面（３８）まで、又は前記接触面（３８）によって定義される平面を超えて延びることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１つに記載の吸引器具。
【請求項５】
前記基礎部（３２）がその外周に、前記密封口（３０）が取り付けられる環状溝（４２）を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１つに記載の吸引器具。
【請求項６】
前記環状溝（４２）が前記基礎部（３２）の放射面に対して斜めに延びることを特徴とする、請求項５に記載の吸引器具。
【請求項７】
サブストレートを保持するエンドエフェクタであって、キャリヤ（１２）と、請求項１〜６のいずれか１つに記載され、前記キャリヤ（１２）にとりつけられた少なくとも１つの吸引器具（１４）を含む、エンドエフェクタ。
【請求項８】
前記キャリヤ（１２）が、前記本体（２８）の前記基礎部（３２）が通って延びる取付開口部（２４）を有し、前記取付開口部（２４）は前記取付部（３４）よりも小さい直径を有し、前記取付部（３４）は前記基礎部（３２）よりも大きい直径を有することを特徴とする、請求項７に記載のエンドエフェクタ。
【請求項９】
前記密封口（３０）が前記取付開口部（２４）において前記取付部（３４）から逆側に提供され、前記吸引器具（１４）が前記取付開口部（２４）に前記密封口（３０）および前記取付部（３４）によって固定されていることを特徴とする、請求項８に記載のエンドエフェクタ。
【請求項１０】
前記キャリヤ（１２）の中で、少なくとも１つの流体チャンネル（２６）、特に負圧チャンネル、が提供され、前記取付部（３４）の前記少なくとも１つの連結チャンネル（４４）が、前記キャリヤ（１２）の前記少なくとも１つの流体チャンネル（２６）と流体連通していることを特徴とする、請求項８又は９に記載のエンドエフェクタ。
【請求項１１】
前記キャリヤ（１２）が、少なくとも２つの層（１８、２０、２２）を有し、前記本体（２８）、特に前記取付部（３４）、が前記２つの層（１８、２２）の間に取り付けられることを特徴とする、請求項７〜１０のいずれか１つに記載のエンドエフェクタ。
【請求項１２】
エンドエフェクタ（１０）、特に請求項１１に記載のエンドエフェクタを製造する方法であって、取付開口部（２４）を有する、前記エンドエフェクタ（１０）の第一の層（２１）を提供するステップと、前記吸引器具（１４）の前記本体（２８）を前記取付開口部（２４）に前記第一の層（２１）の第一の側から挿入するステップと、前記エンドエフェクタ（１０）の第二の層（２３）を前記第一の層（２１）および／または前記本体（２８）に、特に前記第一の側から取り付けるステップを含む、方法。
【請求項１３】
前記密封口（３０）が前記本体（２８）に、前記第一の側の逆である前記第一の層（２１）の第二の側から取り付けられることを特徴とする、請求項１２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、サブストレートを保持するためのエンドエフェクタ用吸引器具、吸引器具を含みサブストレートを保持するためのエンドエフェクタ、およびエンドエフェクタ製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エンドエフェクタは、ロボットなどの搬送装置における一連の動作要素の最後の部品である。エンドエフェクタは、例えば対象物を掴む、又は保持するために使われる。
【０００３】
ＩＣチップ製造において、エンドエフェクタは通常、様々な工程間でサブストレートを搬送するためにウェーハなどのサブストレートを把持することに使われる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
マイクロチップ製造に使われるエンドエフェクタ用の吸引器具は周知であり、通常吸引溝又は、エンドエフェクタに取り付けられた密封口などの吸引カップを有する。エンドエフェクタ内のチャンネルを使い、吸引カップ又は吸引溝に負圧が得られ、負圧はサブストレート又はウェーハなどの平坦な物体をピックアップするために利用可能である。
【０００５】
溝を使った吸引中、ほとんどの場合、サブストレートはエンドエフェクタの上に直接接触している。これにより、ピックアップされたのちにサブストレートが動くことはない。しかし、これはサブストレートが特に平面状であり、かつ滑らかな表面を有する場合に限られる。曲がったサブストレートを同様の方法でエンドエフェクタに固定することはできない。
【０００６】
吸引カップを使うと、サブストレートは直接エンドエフェクタの上に載るわけではないので、曲がったサブストレートを保持することも可能である。しかし、サブストレートが少し動くことはあり得て、サブストレートの位置精度が低下する可能性がある。さらに、吸引カップは比較的大きい容量を有するので、サブストレートを瞬時に放すことはできない。例えば、放す動作は、圧力系統の解放又は過剰圧力への切り替えに補助されるからである。さらに加えて、このような吸引によれば、サブストレートが吸引カップにくっついてしまうことがしばしばあり、放す動作をさらに困難にする。
【０００７】
さらに、従来の吸引溝又はシールを使って固定する場合、吸引力が吸引溝又はシールの場所の上に集中してしまうが、吸引力を最大化するために特に小さい直径がしばしば使われる。その結果、特に薄く弱いサブストレートは損傷するかもしれない。
【０００８】
したがって、本願発明の目的は、サブストレートの正確な位置決めができる吸引カップ、エンドエフェクタ、およびエンドエフェクタの製造方法を提供することにある。特に曲がったサブストレートおよび特に傷つきやすいサブストレートも含む。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
サブストレートを保持するためのエンドエフェクタの吸引器具によって目的が達成され、吸引器具は、貫通チャンネルおよび接触面を有する本体と、エッジ側で接触面を取り囲む密封口を含み、接触面は１つのエッジおよび少なくとも１つの凹部、特に吸引溝、を有し、貫通チャンネルは該少なくとも１つの凹部に連通する。本体は円錐型又は円柱型の基礎部を有し、そのエンド側が接触面を形成する。本体は、接触面の逆側に向いた基礎部のエンド側で基礎部に隣接する取付部を有する。取付部には少なくとも１つの、貫通チャンネルと流体連通し取付部のエッジから延びる連結チャンネルが提供される。
【００１０】
密封口はまた、エッジ側で接触面を完全に取り囲むことが望ましく、代わりに又は加えてエッジから離れていてもよい。
【００１１】
本願発明の範囲内において、サブストレートは特に、半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、弾力性のあるサブストレート、チップおよび流し成型物質を合成して製造されるウェーハ（チップを埋め込んで成形される再構成ウェーハ）、又は三次元的平面を有するサブストレート、などのウェーハおよびサブストレートでもあると理解されたい。
【００１２】
参照される器具は吸引器具であるが、ベルヌーイ効果を利用して過剰圧力でサブストレートを固定する固定器具であってもよい。
【００１３】
接触面および接触面に提供された凹部によって、サブストレートは、本体の接触面に直接接触し、凹部を密封するように閉じ、それによりその場所に固定される。本体は硬いため、ウェーハが本体に対して動くことは不可能となる。
【００１４】
吸引が完了した状態において、サブストレートは凹部を密封するように閉じ、密封口は保持力に貢献しなくなるので、さらなる真空排気も受けない。したがって、サブストレートを保持したままで、密封口の中の容量の圧力は、外気圧に適応させてもよい。その結果、サブストレートを放すにあたって、密封口の中に包まれる容量全体が充たされる必要がもはやないため、より容易により正確に放される。さらに、吸引が完了した状態において、密封口の容量内の負圧もある一定の時間保たれる。密封口の容量内に留まる圧力はサブストレートに依存し得る。さらに、本体は簡単に製造および組み立て可能であり、取付部を使って吸引器具は簡単にエンドエフェクタに取り付け可能である。加えて、真空排気の目的で、チャンネルは本体全体を通って延びる。
【００１５】
貫通チャンネルは基礎部と同心で構成されてもよい。基礎部は特に円形−円柱形であってもよい。
【００１６】
本体をエンドエフェクタに接着することもあり得る。
【００１７】
さらに、本体は一体成型されてもよい。
【００１８】
本願発明の説明で使われる方向の指示は本体の部分の円柱又は円錐形状と関係している。
【００１９】
例えば、密封口はゴム又はシリコンなどの弾性材料で作られる。本体は剛性であってもよく、高級鋼又は電導性合成材料などの電導性材料から作られることが望ましい。したがって、帯電が回避される。さらに、本体の表面は、表面抵抗が例えば１０５から１０１１オームである薄い静電散逸性層で被覆されてもよい。この被覆は最大５０マイクロメータの厚みを有してもよい。
【００２０】
十字架の形で配置された少なくとも２つの凹部が提供されてもよい。その結果、負圧にさらされる本体の表面積を増加させることが可能である。
【００２１】
例えば、少なくとも１つの凹部は接触面のエッジの手前で終わる。したがって、凹部は吸引器具のエッジまで侵入しない。したがって凹部は接触面に向かってのみ開いており、横にも開いてはいない。これにより、サブストレートが凹部と接触するとき、確かに凹部を密封するように閉じる。
【００２２】
本体の製造を簡単にするために、少なくとも１つの凹部は貫通チャンネルから徐々に、より平たくなってゆき、特に接触面に徐々に交わっていってもよい。
【００２３】
本願発明の一実施形態において、密封口は基礎部に取り付けられ、接触面まで、又は接触面によって定義される平面を超えて延びる。これにより、一方で、密封口の補助によりサブストレートが簡単にピックアップされ得て、同時にまた一方で、密封口が小さく変形したのち最終的にサブストレートが接触面に対して接触するようになる。
【００２４】
基礎部が、その外周に密封口が取り付けられる環状溝を有することが望ましい。密封口は同心円の穴を有する円盤でもよい。これにより吸引器具の構造を簡単にすることが可能となる。
【００２５】
例えば、環状溝が基礎部の放射面に対して斜めに延びる場合、密封口の機能は向上可能である。放射面と環状溝との間の角度は５度又はそれ以上でもよい。
【００２６】
取付部又は本体の製造を簡単にするために、連結チャンネルは少なくとも１つの溝でもよい。
【００２７】
例えば、エンドエフェクタに取り付けるとき、吸引器具の向きを特定しなくてよいように星形に配置された複数の連結チャンネルが提供される。
【００２８】
本願の目的はまた、キャリヤ、および本体に取り付けられた本願発明に係る吸引器具を少なくとも１つ含むサブストレートを保持するためのエンドエフェクタによって達成される。
【００２９】
吸引器具の本体をエンドエフェクタにしっかりと取り付けるために、キャリヤは、吸引器具本体の基礎部が通って延びる取付開口部を有してもよく、取付開口部は取付部よりも小さい直径を有し、取付部は基礎部よりも大きい直径を有する。このようにすれば、吸引器具の本体は、エンドエフェクタに簡単に取り付けられる。
【００３０】
さらに、取付開口部の直径はまた、取付部の直径よりも大きい又はほぼ同じ大きさであってもよい。この場合、取付部は挿入され、選択的に取付開口部の中に接着される。
【００３１】
密封口は、取付開口部において取付部から逆の側に提供されることが望ましく、吸引器具は取付開口部に密封口および取付部によって固定される。
【００３２】
キャリヤの中に少なくとも１つの流体チャンネル、特に負圧チャンネル、が提供され、取付部の少なくとも１つの連結チャンネルが、キャリヤの少なくとも１つの流体チャンネルと流体連通しており、凹部領域で負圧が得られる。
【００３３】
本願発明の一実施形態において、キャリヤは少なくとも２つの層を有し、本体、特に取付部、は２つの層の間に取り付けられる。その結果、本体はキャリヤに簡単に確実に取り付け可能である。
【００３４】
本願発明の目的は、エンドエフェクタ、特に本願発明に係るエンドエフェクタ、の製造方法によってもまた達成され、その方法は、
取付開口部を有するエンドエフェクタの第一の層を提供するステップと、
吸引器具の本体を取付開口部に第一の層の第一の側から挿入するステップと、
エンドエフェクタの第二の層を第一の層および／または本体に、特に第一の側から取り付けるステップ、を含む。
【００３５】
第一の側は、例えば第一の層およびキャリヤの上側であり、すなわち、通常の使用状態においてサブストレートがピックアップされる側である。この方法によれば、吸引器具はエンドエフェクタのキャリヤに、簡単で信頼性のある状態で取り付け可能である。
【００３６】
密封口は、本体に第一の層の第一の側の逆の第二の側から取り付けられることが望ましく、密封口はまたキャリヤに吸引器具を取り付ける役割も果たす。第二の側は、たとえば第一の層又はキャリヤの底側である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
本願発明の特徴および効果は下記の説明および添え付けの図面への参照から明らかにされる。
【００３８】
【図１】図１は、本願発明に係る吸引器具を含む、本願発明に係るエンドエフェクタおよびカートリッジの斜視図である。
【図２】図２は、図１に示されるエンドエフェクタの、本願発明に係る吸引器具のうちの１つの領域での断面図である。
【図３】図３は、本願発明に係る吸引器具の本体の断面図である。
【図４】図４は、図３に示される本体の斜視図である。
【図５】図５は、図３に示される本体の下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
図１は、サブストレート収納用の空のカートリッジ１１の中に入ったエンドエフェクタ１０を示す。エンドエフェクタ１０は、一連の動作要素の最後にあるロボット部品である。
【００４０】
エンドエフェクタ１０は、例えばウェーハなどのサブストレートを搬送するためのロボットの腕（図示せず）に取り付け可能であり、ここで示す実施形態においては、ホルダである。しかし、グリッパであってもよい。
【００４１】
エンドエフェクタ１０は、キャリヤ１２、およびキャリヤ１２に提供された２つの吸引器具１４を有する。
【００４２】
例えば、キャリヤ１２はエンドエフェクタ１０の２つの保持アーム１６を形成する切欠部を有し、保持アームの上には吸引器具１４が配置される。
【００４３】
図２に示される断面図において、エンドエフェクタ１０が複数の層、すなわち、合わせて第一の層２１を形成する上の層１８および中間の層２０、および第二の層２３を形成する下の層２２から組み立てられていることがわかる。
【００４４】
下の層２２は全体が閉じており、上の層１８も同様にほとんど閉じているが、例外として負圧を吸引器具に適用するために、又は圧縮空気もしくは気体を供給するために、吸引器具１４が挿入され供給経路が穿孔される２つの取付開口部２４が開いている。
【００４５】
中間の層２０は、キャリヤ１２全体にわたって延びて枝分かれするスロットを有し、２つの分枝は取付開口部２４の領域で終わる。
【００４６】
スロットは、垂直方向に上の層１８および下の層２２によってカバーされ、キャリヤ１２の中に、取付開口部２４の領域で終わり、図示の実施形態では負圧チャンネルである流体チャンネル２６が形成される。
【００４７】
吸引器具１４は、キャリヤ１２の取付開口部２４に挿入される。
【００４８】
吸引器具１４は、本体２８、および本体２８に取り付けられた密封口３０を有する。
【００４９】
図３から図５は、吸引器具１４の本体２８の詳細図であるが、密封口３０が省かれている。
【００５０】
本体２８は、基礎部３２および取付部３４を有し、基礎部３２は取付部３４に隣接する。
【００５１】
本体２８は、硬い材料で作られる。例えば、高級鋼又は電導性合成材料がここでの目的に適している。材料は電導性であってもよい。電導性はサブストレートの静電気蓄積の軽減又は帯電の回避のために利用されてもよい。さらに、本体２８の表面は、表面抵抗が例えば１０５から１０１１オームである薄い静電散逸性層で被覆されてもよい。
【００５２】
基礎部３２および取付部３４は一体成型される。
【００５３】
基礎部３２および取付部３４は両方とも円柱形、特に円形−円柱形で互いに同心に配置され、取付部３４は基礎部３２よりも大きい直径を有する。
【００５４】
基礎部３２および／または取付部３４が円錐形状で形成されることもあり得る。
【００５５】
貫通チャンネル３６は、本体２８の中、すなわち基礎部３２および取付部３４の中を通って軸方向に同心で延びる。
【００５６】
基礎部３２は、取付部３４から逆の方向の端部に接触面３８を有する。
【００５７】
接触面３８の輪郭は、基礎部３２の外周にエッジ３９によって定められ、貫通チャンネル３６は接触面３８の中心点などで外に流出する。
【００５８】
接触面３８には、例えば十字架を形成し、互いに接触面３８の中心で交差する２つの凹部４０が提供される。したがって、貫通チャンネル３６は凹部４０と流体連通するように合流する。
【００５９】
凹部４０は、いずれの場合も、接触面３８の大部分にわたって半径方向に延びる。しかし、凹部４０はいずれの場合も、接触面３８のエッジ３９の手前で終わる。
【００６０】
したがって凹部４０は、エッジ３９まで侵入せず、本体の外側まで半径方向に開いていない。
【００６１】
凹部４０の深さは半径方向で変化する。凹部４０の深さは貫通チャンネル３６の入口で最深となる。そこから、貫通チャンネル３６から離れるにつれて深さは減少してゆき、最終的に凹部４０は接触面３８に徐々に交わってゆく。
【００６２】
さらに、密封口３０がとりつけられる外周環状溝４２が、取付部３４と接触面３８の間で基礎部３２の外周に提供される
【００６３】
例示された実施形態において、環状溝４２は放射面との間で、この場合５度又はそれ以上である角度αを形成する。
【００６４】
図５に明確に示されるとおり、複数の連結チャンネル４４が取付部３４に提供される。図示の実施形態においては、３つの連結チャンネル４４がある。
【００６５】
連結チャンネル４４は、貫通チャンネル３６が流出する溝として、取付部３４に設けられる。したがって、連結チャンネル４４は、貫通チャンネル３６と、そしてまた凹部４０と流体連通している。
【００６６】
例示された実施形態においては、連結チャンネル４４は、取付部３４のエッジから取付部３４の中心を超えて逆側のエッジまで延び、星形に配置される。
【００６７】
吸引器具１４がキャリヤ１２に取り付けられている場合、図２に示されるように基礎部３２は取付開口部２４を通って延びる。それによれば、取付部３４は上部の第一の層１８と底部の第二の層２２との間に横たわることになり、これらの層１８、２２の間にはさまれる。したがって、軸方向には、取付部３４は中間の層２０の領域に位置する。
【００６８】
この目的で、取付開口部２４は基礎部３２の直径よりも少し大きく、取付部３４の直径よりも小さい直径を有する。
【００６９】
言い換えると、取付部３４のより大きい直径により、上の層１８が上に載る基礎部３２への移行箇所において段差が形成される。
【００７０】
中間の層２０の厚みは実質的に取付部３４の高さに一致することが望ましい。
【００７１】
凹部４０と流体チャンネル２６との間の流体連通は、取付部３４によって可能になる。連結チャンネル４４のエッジ側の開口部は、キャリヤ１２の流体チャンネル２６と流体連通する。したがって、連結チャンネル４４と貫通チャンネル３６によって、凹部４０と流体チャンネル２６との間の流体連通が達成される。
【００７２】
吸引器具１４の密封口３０は、同心の穴を有する円盤であり、ゴムなどの弾性材料で作られる。
【００７３】
密封口３０は、基礎部３２の環状溝４２に挿入され、接触面３８まで径方向および軸方向の両方で上の層１８の上側Ｏの上を延びる。
【００７４】
本願発明の範囲において上側Ｏとは、上の層１８すなわちエンドエフェクタ１０が、通常の使用条件においてサブストレートと接触する側であると理解されたい。底側Ｕは、エンドエフェクタ１０において上側の反対側である。
【００７５】
図示された実施形態において、密封口３０は、接触面３８によって定義される平面よりも少し上に突き出る。基礎部３２から遠い密封口３０の端は、エッジ３９から離れている。
【００７６】
さらに、密封動作を向上させるために、密封口３０は、キャリヤ１２の最上層１８において弾性的に予備張力が与えられている。
【００７７】
上部の第一の層１８の上側Ｏに押しつけられている密封口３０によって、そして上の層１８に対して底側Ｕから係合する取付部３４によって、吸引器具１４はキャリヤ１２に取付開口部２４で固定される。
【００７８】
サブストレートを保持する又は選択的に掴むために、流体チャンネル２６、連結チャンネル４４、および貫通チャンネル３６を介して凹部４０に負圧が適用され、負圧は真空ポンプなどの負圧源（図示せず）によって提供される。
【００７９】
吸引器具１４を含むエンドエフェクタ１０が下から又は上からサブストレート（図示せず）の近くに進められた場合、密封口がサブストレートに接触する。負圧の印加により、（サブストレート自重にも補助され）サブストレートが密封口を変形させて、接触面３８に対して接触するまで密封口によって区切られた密封空間が排気される。
【００８０】
サブストレートが接触面３８に完全に接触した瞬間から、密封口３０の密封空間から、サブストレートが凹部４０を遮蔽する。
【００８１】
次に、凹部４０は真空源によりさらに排気され、それによりサブストレートは接触面３８に対してより強く押し付けられる。その結果、サブストレートがしっかりと動かない状態で接触面３８に直接固定される。
【００８２】
十字架形状の配置および凹部の幅により、負圧は確かに広い面積にわたって均一に作用する。
【００８３】
しかし、同時に密封口３０の密封空間と真空源との間の流体連通がなくなり、密封空間の負の圧力は外からの不可避な外気侵入により徐々に弱くなってゆく。しかしこのことは、サブストレートが凹部４０によって接触面３８にしっかりと保持されているので、サブストレートの固定には影響しない。
【００８４】
続いて、サブストレートが置かれる又は解放される場合、真空源が止められ凹部４０が外気圧と通気される。
【００８５】
凹部４０の容積が、密封口３０の密封空間全体の容積に比して小さいことにより、凹部４０には少量の空気が流れ込むだけで圧力を均等にして、サブストレートを解放することが可能である。その結果、サブストレートはより早く、より一律に解放される。
【００８６】
これより、エンドエフェクタ１０の製造について説明する。
【００８７】
初めに、第一の層２１が少なくとも部分的に提供される。
【００８８】
中間の層２０が、既に上の層１８に取り付けられていて第一の層２１は完成していてもよく、又は中間の層２０は上の層１８に後の工程で取り付けられてもよい。
【００８９】
次のステップにおいて、本体２８の基礎部３２が、密封口３０なしで底側Ｕから第一の層２１の取付開口部２４を通って挿入される。
【００９０】
次に、又は後の工程で、密封口３０は上側Ｏから環状溝４２に挿入され、取付開口部２４から上側Ｏに向かって突き出る。
【００９１】
選択的に、中間の層２０は次に上の層１８に取り付けられて第一の層２１が完成する。
【００９２】
次に、下の層２２、すなわち第二の層２３は、底側Ｕから第一の層２１に、より厳密には中間の層２０に、取り付けられる。それにより同時に本体２８はまたキャリヤ１２に取り付けられる。
【００９３】
異なる層１８、２０、２２は互いに接着されることが望ましい。取付部３４を接着することも可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【外国語明細書】
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