(57)【要約】      （修正有）【課題】微細なパターンを塞ぐことなく部材間の熱膨張率差による接合不良を抑制可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】液体が流通するためのパターン１ａを有する第１の部材１と、第１の部材とは熱膨張率が異なり液体が流通するためのパターン４ａを有する第２の部材４とを、第１及び第２の部材のパターン同士が連通した状態で接合して接合体を得る工程を含む、液体吐出ヘッドの製造方法において、第１の部材の上に固体の接着剤からなり第１及び第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴パターン２ａを有する第１の接着層２を形成する工程と、液体の接着剤からなり第１及び第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴パターン３ａを有する第２の接着層３を第１の接着層又は第２の部材の上にに形成する工程と、第１及び第２の部材を第１及び第２の接着層を介して接合する工程と、第２の接着層を加熱硬化させる工程とを含む。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流通するためのパターンを有する第１の部材と、第１の部材とは熱膨張率が異なり、液体が流通するためのパターンを有する第２の部材とを、前記第１および第２の部材のパターン同士が連通した状態で接合して接合体を得る工程を含む、液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記接合体を得る工程が、
工程ａ：前記第１の部材の上に、固体の接着剤からなり、前記第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターンを有する第１の接着層を形成する工程と、
工程ｂ：液体の接着剤からなり、前記第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターンを有する第２の接着層を、前記第１の接着層の上に、または、前記第２の部材の上に、形成する工程と、
工程ｃ：前記第１の部材と第２の部材とを、前記第１および第２の接着層を介して、接合する工程と、
工程ｄ：前記第２の接着層を加熱して硬化させる工程と
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記工程ｂにおいて、前記第２の接着層を前記第１の接着層の上に形成し、
前記工程ｃにおいて、前記第２の接着層の上に前記第２の部材を接合する、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記工程ｂにおいて、前記第２の接着層を前記第２の部材の上に形成し、
前記工程ｃにおいて、前記第１の接着層と第２の接着層とを接触させて、前記第１の部材と第２の部材とを接合する、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第２の部材が液体吐出口を有する、請求項１から３の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第１の接着層が、熱可塑性接着剤からなる、請求項１から４の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第２の接着層が、熱硬化性を有する紫外線硬化型接着剤からなる、請求項１から５の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第１の部材一個に対して、互いに離間した複数の第２の部材を接合し、
前記第１の接着層を、前記複数の第２の部材に対応して、互いに離間して複数設ける、請求項１から６の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記第１の部材一個に対して、互いに離間した複数の第２の部材を接合し、
前記第２の接着層を、前記複数の第２の部材に対応して、互いに離間して複数設ける、請求項１から７の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記第１の接着層の厚みが、前記第２の接着層の厚みより大きい、請求項１から８の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
工程ｂと工程ｃの間に、前記液体の接着剤の粘度を増加させる工程を有する、請求項１から９の何れか一項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
穴によるパターンを有する第１の部材と、第１の部材とは熱膨張率が異なり、穴によるパターンを有する第２の部材とを、前記第１および第２の部材のパターン同士が連通した状態で接合して接合体を製造する、接合体の製造方法であって、
工程ａ：前記第１の部材の上に、固体の接着剤からなり、前記第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターンを有する第１の接着層を形成する工程と、
工程ｂ：液体の接着剤からなり、前記第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターンを有する第２の接着層を、前記第１の接着層の上に、または、前記第２の部材の上に、形成する工程と、
工程ｃ：前記第１の部材と第２の部材とを、前記第１および第２の接着層を介して、接合する工程と、
工程ｄ：前記第２の接着層を加熱して硬化させる工程と
を含むことを特徴とする接合体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド等の液体吐出ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子を、線膨張係数が異なる支持体に加熱接合する際、これらの間にシリコーンラバー層を積層することで、部材間の熱膨張率差による応力を緩和する方法がある（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平４−３３５５４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体吐出ヘッドの製造においては、多数の微細な穴のパターンを有する２つの部材を接合し、一方の部材の穴と、他方の部材の穴とが連通する接合体を形成することがある。このような接合体を形成する際に、特許文献１記載の方法を利用することが考えられる。しかし特許文献１記載の方法では、液体の接着剤を一方の部材に塗布した後に硬化させ、さらにその接着層上に再度液体の接着剤を塗布し、もう一方の部材を接合する。そのため、部材に微細なパターンが存在する場合には、接着剤の塗布を繰り返すことにより、微細なパターンを塞いでしまうおそれがある。
【０００５】
本発明は、微細なパターンが存在する部材同士を接合する際に、微細なパターンを塞ぐことなく、部材間の熱膨張率差による接合不良を抑制することのできる液体吐出ヘッドの製造方法および接合体の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、
液体が流通するためのパターンを有する第１の部材と、第１の部材とは熱膨張率が異なり、液体が流通するためのパターンを有する第２の部材とを、前記第１および第２の部材のパターン同士が連通した状態で接合して接合体を得る工程を含む、液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記接合体を得る工程が、
ａ）前記第１の部材の上に、固体の接着剤からなり、前記第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターンを有する第１の接着層を形成する工程と、
ｂ）液体の接着剤からなり、前記第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターンを有する第２の接着層を、前記第１の接着層の上に、または、前記第２の部材の上に、形成する工程と、
ｃ）前記第１の部材と第２の部材とを、前記第１および第２の接着層を介して、接合する工程と、
ｄ）前記第２の接着層を加熱して硬化させる工程と
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法が提供される。
【０００７】
本発明の別の態様によれば、
穴によるパターンを有する第１の部材と、第１の部材とは熱膨張率が異なり、穴によるパターンを有する第２の部材とを、前記第１および第２の部材のパターン同士が連通した状態で接合して接合体を製造する、接合体の製造方法であって、
ａ）前記第１の部材の上に、固体の接着剤からなり、前記第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターンを有する第１の接着層を形成する工程と、
ｂ）液体の接着剤からなり、前記第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターンを有する第２の接着層を、前記第１の接着層の上に、または、前記第２の部材の上に、形成する工程と、
ｃ）前記第１の部材と第２の部材とを、前記第１および第２の接着層を介して、接合する工程と、
ｄ）前記第２の接着層を加熱して硬化させる工程と
を含むことを特徴とする接合体の製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、微細なパターンが存在する部材同士を接合する際に、微細なパターンを接着剤で塞ぐことなく、部材間の熱膨張率差による接合不良を抑制することのできる液体吐出ヘッドの製造方法および接合体の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの模式的斜視図である。
【図２】第１の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を示す断面模式図である。
【図３】接合不良の発生メカニズムを示す断面模式図である。
【図４】本発明が接合不良を抑制するメカニズムを示す断面模式図である。
【図５】第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの斜視図である。
【図６】第２の実施形態に係るインクジェットヘッドの製造方法を示す断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。また、基本的に液体吐出ヘッドとしてインクジェットヘッドを例に説明する。しかし、本発明はこれらによって限定されるものではない。
【００１１】
〔実施形態１〕
本形態では、工程ｂにおいて、第２の接着層を第１の接着層の上に形成する。また、工程ｃにおいて、第２の接着層の上に第２の部材を接合することによって、第１の部材と第２の部材とを、第１および第２の接着層を介して、接合する。
【００１２】
図１は本実施形態に係るインクジェットヘッドを示す模式的斜視図であり、図２（ａ）〜（ｃ）は、図１のＡ−Ａ断面において、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程を表す断面模式図である。
【００１３】
＜工程ａ＞
図２（ａ）に示すように、第１の部材１上に第１の接着層２を形成する。
第１の部材は、液体が流通するためのパターン１ａを有する。ここでいう液体は、液体吐出ヘッドから吐出する液体であり、例えばインクである。
【００１４】
第１の部材の、第２の部材を接合する面は、典型的には平面である。第１の部材は、典型的には平板状である。同様に、第２の部材の、第１の部材と接合する面は、典型的には平面である。第２の部材は典型的には平板状である。
【００１５】
第１の部材は、典型的には、流路部材（液体の流路を形成する部材）であり、例えば樹脂から形成される。第１の部材は、例えば射出成形や、切削加工等で製造することができる。第１の部材として、例えば、熱膨張係数３０×１０−６／Ｋ程度の樹脂を使用することができる。
【００１６】
第１の部材が有するパターン１ａは、穴によって形成することができる。この穴は、第１の部材を貫通する貫通穴であっても、貫通しない有底穴であってもよい。またこの穴は、開口形状が円（楕円でもよい）や多角形である柱状であってよい。あるいは、この穴は溝状であってもよい。なお、図２に示す構造においては、第１の部材（第２の部材も）が貫通穴を有している。
【００１７】
パターン１ａは、例えば、射出成形時に形成される。
【００１８】
第１の接着層２は、固体の接着剤からなる。第１の接着層２には例えば、熱可塑性接着剤、特には熱可塑性接着フィルム（フィルム状の固体接着剤）を用いることができる。
【００１９】
固体接着剤の材料に特段の限定はなく、例えばゴム材料をバーリング加工してもよい。
【００２０】
熱可塑性の固体接着剤を用いる場合、第１の接着層２は、熱圧着により第１の部材１上に形成することができる。熱可塑性の固体接着剤は、接着信頼性の観点から溶融温度が液体接着剤の硬化温度より低いことが好ましい。
【００２１】
第１の接着層２の厚みは１００μｍ以上、３００μｍ以下が好ましい。厚みが１００μｍ以上であると、熱膨張によって発生する応力の抑制が容易である。また、厚みが３００μｍ以下であると、熱圧着に必要な時間と熱とを抑えることができ、第１の接着層（接着フィルム等）の溶融量の増加を抑制し、溶融した接着層によってパターン２ａが塞がれることを容易に防止することができる。
【００２２】
なお、第１の接着層２を液体の接着剤で形成すると、接着剤塗布時に発生する接着剤上面のうねりがそのまま硬化され、第１の接着層２の上面を平坦化することが困難である。そして、第１の接着層２の上面にうねりがある状態で、第１の接着層２の上面に第２の接着層３を形成すると、第１の接着層２と第２の接着層３の界面に気泡が混入する場合があり、密着性を低下させる恐れがある。また、液体の接着層は固体の接着層よりも、接着層の高さと接着層塗布幅のアスペクト比に制約があり、液体の接着層のみでインク流路を含む接着層を厚く形成することは困難である。以上の理由により、第１の接着層２は液体の接着剤で形成せず、固体の接着剤で形成する。
【００２３】
第１の接着層２には、第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターン２ａが形成されている。パターン２ａを形成するための加工方法として、所望のパターンを形成できる方法を適宜採用することができ、例えば打抜き加工、エッチング、或いはレーザー加工を採用できる。
【００２４】
接着時に第１の接着層が溶融してパターン２ａが閉塞されることを防ぐ観点から、パターン２ａの開口は、パターン１ａの開口より大きいことが好ましい。
【００２５】
第１の接着層２にパターン２ａを形成した後、第１の部材１上に第１の接着層２を形成することができる。あるいは、第１の部材１上に第１の接着層２を形成した後、第１の接着層２にパターン２ａを形成してもよい。なお、パターン２ａを有する第１の部材１上に、第１の接着層２を形成する際には、第１の接着層２の位置合わせを要する。その位置合わせは適宜の方法で実施できる。
【００２６】
＜工程ｂ＞
続いて図２（ｂ）に示すように、第１の接着層２上に第２の接着層３を形成する。
第２の接着層３は、液体の接着剤で形成する。第２の接着層に液体の接着剤を用いる理由は、後述する第２の部材４の接合工程時に、第２の部材４の裏面（接合しようとする面）にある凹凸に液体の接着層が倣うことで接着面積が拡大し、密着性の向上が見込まれるからである。
【００２７】
液体の接着剤を、第１の接着層２上に塗布することによって、第２の接着層３を形成することができる。液体の接着剤として、熱硬化型接着剤、特には熱硬化性を有する紫外線硬化型接着剤（ＵＶ硬化型接着剤）を用いることができる。
【００２８】
第２の接着層３は、第１および第２の部材のパターン同士を連通させる貫通穴によるパターンを有する。第２の接着層３と第２の接着層３に設けられているパターン３ａは、パターン２ａを塞がないように塗布、または転写で形成することができる。第２の接着層の層形成時の好ましい厚みは、パターンや接着剤の種類によっても異なるが、例えば１００μｍ以下である。第２の接着層３の形成時の厚みが１００μｍ以下であると、パターン２ａを塞いでしまうことを容易に防止できる。またこの厚みが１００μｍ以下であると、第２の接着層にＵＶ硬化型接着剤を用いる場合、硬化に必要なＵＶ光の透過を良好に行うことができる。
【００２９】
また、第１の接着層２の厚みを、第２の接着層３より大きくすることが好ましい。これは、固体接着剤から成る第１の接着層２は、厚みを増してもパターン１ａ（インク流路）の形状を設けることが容易であることと、第１の接着層２の厚みを増すことで、部材間に発生する応力を、より緩和することができるからである。
【００３０】
＜工程ｃ＞
続いて図２（ｃ）に示すように、第２の接着層３上に第２の部材４を接合する。
第２の部材は、第１の部材とは熱膨張率が異なる。また第２の部材は、液体が流通するためのパターン４ａを有する。
【００３１】
第２の部材が有するパターン４ａは、穴によって形成することができる。この穴は、第１の部材を貫通する貫通穴であっても、貫通しない有底穴であってもよい。またこの穴は、開口形状が円（楕円でもよい）や多角形である柱状であってよい。あるいは、この穴は溝状であってもよい。なお、図２に示す構造においては、第２の部材が貫通穴を有している。
【００３２】
ただし、第２の部材は、典型的には、インクジェットヘッドからインクを吐出するためのノズル穴（すなわち液体吐出口）を有する部材である。例えば、パターン４ａが第２の部材を貫通する貫通穴を形成しており、第２の部材の第１の部材とは反対側の面におけるパターン４ａの開口が、液体吐出口となる。
【００３３】
第２の部材は、例えば主としてシリコン材料から形成することができ、その熱膨張係数は例えば５×１０−６／Ｋ程度である。
【００３４】
第２の接着層を、熱硬化性を有するＵＶ硬化型接着剤で形成した場合、第２の部材４を接合する前に、第２の接着層３にＵＶ光を照射することができる。照射条件は例えば、照度５０ｍＷ／ｃｍ２以上、７０ｍＷ／ｃｍ２以下、照射時間は２．０秒以上、４．０秒以下である。
【００３５】
ＵＶ光照射後、例えば９０℃以上、１２０℃以下の範囲に昇温させた第２の部材４を、位置合せしながら第２の接着層３上に接合する。位置合せは適宜の方法で行うことができる。
【００３６】
熱硬化性を有するＵＶ硬化型接着剤で第２の接着層を形成した場合、第２の部材を接合する前にＵＶ光を照射することにより、液体接着剤の粘度を増加させる（液体の状態を保ったまま）ことができる。第２の部材の接合時に、第２の接着層（液体接着剤）が変形することがあるが、上記粘度増加によって、その変形の度合いを制御することができる。第２の部材の接合後に、加熱硬化によって第２の接着層をさらに硬化させ、第２の接着層を固化することができる。熱硬化性接着剤で第２の接着層を形成した場合、加熱硬化を二段階で行うことによって、同様の効果を得ることができる。つまり、第２の部材の接合前に、加熱処理を行って第２の接着層の粘度を増加させ（液体の状態を保ったまま）、第２の部材を接合し、さらに加熱処理を行って第２の接着層を固化させることができる。このように、工程ｂの第２の接着層形成と、工程ｃの接合との間に、液体の接着剤の粘度を増加させる工程を行うことができる。そのために、第２の接着層の硬化を、第２の部材の接合の前と後の二段階で行うことができる。
【００３７】
なお、図２（ｂ）と図２（ｃ）を比べれば分かるように、図２（ｃ）には、第２の部材を接合したことにより、第２の接着層が変形した様子が示されている。
【００３８】
＜工程ｄ＞
次いで、第２の接着層を加熱して硬化させる。例えば、前述のように第２の部材を接合した後、オーブンを用いてインクジェットヘッド５を２時間以上、４時間以下昇温させ、第２の接着層３を本硬化させることができる。これにより、第１の部材１と第２の部材４が接合され、インクジェットヘッド５が完成する。なお、例えば、オーブンの設定温度を１００℃以上、１２０℃以下の範囲とすることによって、加熱温度を第１の接着層２の溶融温度に近付けずに、加熱硬化を行うことができる。
【００３９】
以上のようにして、第１および第２の部材のパターン同士が連通した状態で、第１および第２の部材が接合された接合体を得ることができる。
【００４０】
以上のように本発明では、物性の異なる接着層を積層している。ここで、接着層を積層せずに液体接着剤の層だけを用いて、第１の部材１と第２の部材４を接合した場合に起きる接合不良について、図３を用いて説明する。
【００４１】
図３（ａ）および（ｂ）は、第１の部材１と第２の部材４を、上述の第２の接着層３だけで接合したインクジェットヘッド５ａを示す。図３（ａ）は、第１の部材１と第２の部材４を、第２の接着層３で仮接合した様子（第２の接着層の加熱硬化直前の段階）を示している。仮接合後の本硬化処理時にインクジェットヘッド５ａを加熱すると、二点鎖線で示すような理論上の膨張変化量が発生する。図３（ｂ）は、実際にインクジェットヘッド５ａを加熱した直後の状態を示しており、第１の部材１には、第１の部材１の膨張変化量ΔＸ１、第２の部材４には、第２の部材４の膨張変化量ΔＸ２が発生する。この際、第２の接着層３は第１の部材１の膨張変化量ΔＸ１と、第２の部材４の膨張変化量ΔＸ２とに追従する形で引き伸ばされ、変形を生じる。その際、第１の部材１と第２の接着層３との接合面と、第２の部材４と第２の接着層３との接合面で、それぞれ引き伸ばされる量が異なるため、これにより応力集中８が発生し、接合不良が起きる場合がある。
【００４２】
続いて図４を用いて、本発明における部材間の熱膨張率差による接合不良を抑制するメカニズムについて説明する。
【００４３】
図４（ａ）および（ｂ）は、第１の部材１と第２の部材４を、第１の接着層２と第２の接着層３の２層で接合したインクジェットヘッド５ｂを示す。図４（ａ）は、第１の部材１と第２の部材４を、第１の接着層２と第２の接着層３の２層で仮接合した様子（第２の接着層の加熱硬化直前の段階）を示している。仮接合後の本硬化処理時にインクジェットヘッド５ｂを加熱すると、前述同様、二点鎖線で示すような理論上の膨張変化量が発生する。図４（ｂ）は、実際にインクジェットヘッド５ｂを加熱した直後の状態を示しており、第１の部材１には、第１の部材１の膨張変化量ΔＸ１、第２の部材４には、第２の部材４の膨張変化量ΔＸ２が発生する。これら膨張変化量は図３に示す場合と図４に示す場合とで同じであると見なせる。この際、第１の接着層２と第２の接着層３は第１の部材１の膨張変化量ΔＸ１と、第２の部材４の膨張変化量ΔＸ２に追従する形で引き伸ばされ、変形を生じる。
【００４４】
ここで、図３（ｂ）、図４（ｂ）における変形量を接着層厚さＤ１、Ｄ２で除して求める変形比率をＶ１、Ｖ２とすると、それぞれ次のように表せる。
Ｖ１＝（ΔＸ１−ΔＸ２）／Ｄ１
Ｖ２＝（ΔＸ１−ΔＸ２）／Ｄ２
接着面の応力緩和には変形比率Ｖが小さい方が有利となるが、図４の場合、接着層厚さＤ２を単層の接着層厚さＤ１より厚くしてＶ１＞Ｖ２とすることが容易であり、図３の場合と比較するとクラックや剥がれを生じにくい。
【００４５】
以上のメカニズムにより、本発明においては部材間の熱膨張率差による接合不良を抑制することができる。
【００４６】
〔実施形態２〕
次に本発明の第２の実施形態を説明する。本実施形態では、第１の部材１を長尺にした点と、第１の部材一個に対して、第１および第２の接着層ならびに第２の部材を複数個用いる点が、実施形態１と異なっている。その他は、実施形態１と同様であるため、同様の構成および工程は同様の符号を付して説明は簡略、または省略する。
【００４７】
図５は本実施形態に係るインクジェットヘッドを示す斜視図であり、図６（ａ）〜（ｃ）は、図５のＢ−Ｂ断面において、本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程を表す断面模式図である。複数の第２の部材は、互いに離間して設けられる。
【００４８】
＜工程ａ＞
まず、図６（ａ）に示すように、第１の長尺部材１ｄ上に、第１の接着層２を複数形成する。第１の接着層２は、後述する第２の部材４の配置に合わせるように、分割して配置されている。つまり、第１の接着層は、複数の第２の部材に対応（一対一対応）して、互いに離間して複数設けられる。
【００４９】
第１の長尺部材１ｄと第１の接着層２の材料、形成条件は共に実施形態１と同様である。これらの部材および接着層が有するパターンについても実施形態１と同様である。なお、複数の第１の接着層２は個別に形成してもよいし、必要とする全ての第１の接着層２を、同時に形成してもよい。
【００５０】
＜工程ｂ＞
続いて図６（ｂ）に示すように、第１の接着層２上に第２の接着層３を複数形成する。第２の接着層３は、第１の接着層２と同様に、後述する第２の部材４の配置に合わせるように、分割して配置されている。つまり、第２の接着層は、複数の第２の部材に対応（一対一対応）して、互いに離間して複数設けられる。
【００５１】
第２の接着層３の材料、形成条件は共に実施形態１と同様である。この接着層が有するパターンについても実施形態１と同様である。複数の第２の接着層３は個別に形成してもよいし、必要とする全ての第２の接着層３を、同時に形成してもよい。
【００５２】
なお、本実施形態で第２の接着層３に液体接着層を用いる利点として、実施形態１と同様の利点に加え、第１の長尺部材１ｄのソリを吸収して、第２の部材４の上面高さを揃えた接合が可能であることが挙げられる。
【００５３】
＜工程ｃ＞
続いて図６（ｃ）に示すように、第２の接着層３上に第２の部材４を複数接合する。第２の部材４の材料、接合条件は共に実施形態１と同様である。この部材が有するパターンについても実施形態１と同様である。複数の第２の部材は、個別に接合してもよいし、必要とする全ての第２の部材４を、同時に接合してもよい。
【００５４】
以後、インクジェットヘッド５ｃが完成するまでの工程は実施形態１と同様であるため、説明は省略する。
【００５５】
〔実施形態３〕
本形態では、工程ｂにおいて、第２の接着層を第２の部材の上に形成する。また、工程ｃにおいて、第１の接着層と第２の接着層とを接触させて、第１の部材と第２の部材とを接合する。
【００５６】
つまり、工程ａにて第１の部材の上に第１の接着層を形成する。それとは別に、第２の部材の上に第２の接着層を形成する。そして、第１の接着層と第２の接着層とを接合させることによって、第１の部材と第２の部材とを接合する。その後に、工程ｄにて第２の接着層を加熱硬化する。
【００５７】
この形態においても、実施形態１および２と同様に、固体接着剤からなる第１の接着層と、液体接着剤からなる第２の接着層とを利用しており、それによる効果が期待される。
【００５８】
〔他の実施形態〕
本発明は、液体吐出ヘッドの製造方法として好適であるが、その限りではない。本発明によって、穴によるパターンを有する第１の部材と、第１の部材とは熱膨張率が異なり穴によるパターンを有する第２の部材とを、第１および第２の部材のパターン同士が連通した状態で接合して接合体を製造することができる。つまり、穴（貫通穴でも有底穴でもよい。円柱状でも多角形状でも溝状でもよい）によって形成されるパターンを有する部材同士を接合した接合体を得るために、本発明は有効である。
【符号の説明】
【００５９】
１    第１の部材
２    第１の接着層
３    第２の接着層
４    第２の部材
５    インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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