(57)【要約】【課題】冷却液のタンクを縮小し、構成を簡素化することによって、コンパクト化できる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。【解決手段】  冷却液を貯留する第１タンク１１と、工具に冷却液を噴射する複数のノズル３０ａ、３０ｂと、第１タンク１１内の冷却液を濾過する第１フィルタ６２と、第１フィルタ６２に第１タンク１１内の冷却液を送る第１ポンプ６１と、第１フィルタ６２からの冷却液を貯留する貯留槽５０とを備える洗浄装置１において、貯留槽５０からの冷却液を貯留する第２タンク１１０と、第２タンク１１０からの冷却液を、前記複数のノズルのうち一のノズル３０ａに送る第２ポンプ６０と、第１フィルタ６２からの冷却液を貯留槽５０に送る第１流路８１と、第１流路８１に接続しており、第１フィルタ６２からの冷却液を一のノズル３０ａと異なる他のノズル３０ｂに送る第２流路８２とを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
使用済みの冷却液を貯留する第１タンクと、工具又はワークに冷却液を噴射する複数のノズルと、前記第１タンク内の冷却液を濾過する第１フィルタと、前記第１フィルタに前記第１タンク内の冷却液を送る第１ポンプとを備え工具又はワークを洗浄する洗浄装置において、
前記第１フィルタで濾過した冷却液を貯留する貯留槽と、
前記貯留槽の容量を超えた冷却液を貯留する第２タンクと、
前記第２タンクからの冷却液を、前記複数のノズルのうち一のノズルに送る第２ポンプと、
前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記貯留槽に送る第１流路と、
前記第１流路に接続しており、前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記一のノズルとは異なる他のノズルに送る第２流路と
を備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記第１流路に設けてある第２フィルタを備え、
前記第２流路は、前記第２フィルタと前記貯留槽の間にて、前記第１流路に接続してあることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記第１フィルタはサイクロン濾過器であり、
前記第１フィルタに流入口が接続しており、前記流入口を介して前記第１フィルタが取り除いた汚液を収容する汚液収容部と、
前記汚液収容部の排出口側に配置してある排出口弁と、
前記第１フィルタを起動する指示を受け付ける指示受付部と、
前記指示受付部が前記指示を受け付けた場合、前記第１フィルタの起動開始に先立って、所定時間の間、前記排出口弁を開にする弁制御部とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記第１フィルタはサイクロン濾過器であり、
前記第１フィルタに流入口が接続しており、前記流入口を介して前記第１フィルタが取り除く汚液を収容する汚液収容部と、
前記汚液収容部の排出口側に配置している排出口弁と、
前記第１フィルタが停止した後、所定時間の間、前記排出口弁を開にする弁制御部とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記第１フィルタはサイクロン濾過器であり、
前記第１フィルタに流入口が接続しており、前記流入口を介して前記第１フィルタが取り除いた汚液を収容する汚液収容部と、
前記汚液収容部の排出口側に配置してある排出口弁と、
前記第１フィルタの起動時に、所定時間の間、前記排出口弁を開にする弁制御部とを備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記第１流路において前記第１フィルタと前記第２フィルタの間に接続し、前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記第１タンクに送る第３流路と、
前記第３流路に配置してある第３流路弁と、
前記第１フィルタの起動開始後、所定時間の間、前記第３流路弁を開にする弁制御部とを備えることを特徴とする請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項７】
使用済み冷却液を貯留する第１タンクと、工具又はワークに冷却液を噴射する複数のノズルと、前記第１タンク内の冷却液を濾過する第１フィルタと、前記第１フィルタに前記第１タンク内の冷却液を送る第１ポンプとを備える洗浄装置にて、工具又はワークを洗浄する洗浄方法において、
貯留槽が前記第１フィルタで濾過した冷却液を貯留し、
第２タンクが前記貯留槽の容量を超えた冷却液を貯留し、
第２ポンプが前記第２タンクからの冷却液を、前記複数のノズルのうち一のノズルに送り、
前記第２ポンプが送った冷却液を前記一のノズルが工具又はワークに向けて噴射し、
第１流路が前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記貯留槽に送り、
第２流路が、前記第１流路に接続し、前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記一のノズルとは異なる他のノズルに送り、
前記第２流路を介して流れ込む冷却液を前記他のノズルが工具又はワークに向けて噴射することを特徴とする洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工作機械が加工に用いる工具又はワークを洗浄する洗浄装置、及び、工具又はワークの洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械は工具を自動交換することで多種類の加工を実行する。工作機械は工具収納部と工具交換装置を備えている。工具収納部は複数種類の工具を工具ホルダに保持した状態で収納し、必要な工具を交換位置に送り出す。工具交換装置は交換位置で工具を受け取って次に主軸に装着する工具を交換位置に搬送し、該工具を工作機械の主軸に取付ける。
【０００３】
主軸は加工室の内部に位置している。加工室の内部には加工によって発生した切粉が存在する。切粉は主軸に取付ける前の工具ホルダに付着することがある。この場合、切粉の影響で、工具は主軸に対して正しく位置決めできない。例えば、工具は偏心した状態で回転し、加工精度が低下する。切粉の付着量が多い場合、工具は主軸に取付けできない。
【０００４】
このような問題を解決する為、工作機械は冷却液（洗浄液）を用いて工具を洗浄する工具洗浄装置を備えている。工具洗浄装置は、加工作業と工具交換の時、工具の内側と外側に冷却液を噴出する。これによって、工具に付着している切粉を洗い落とす。
【０００５】
例えば、特許文献１の切削液ろ過装置では、切削時に使用済みの冷却液はダーティ槽に入り、フィルタによる濾過処理を経て一次クリーン槽に流れ込む。前記切削液ろ過装置は、洗浄ポンプを更に備え、前記一次クリーン槽内の冷却液を吸い込んで再利用する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２７５９３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、特許文献１の切削液ろ過装置においては、一次クリーン槽内の冷却液は十分濾過できていないため、例えば洗浄ポンプが吸い込んだ冷却液を濾過するフィルタが直ぐ詰まる、または洗浄ポンプの寿命が短くなるといった問題が発生する。
【０００８】
このような問題を解決する為に、一般には、専用のポンプを用いてダーティ槽、又は一次クリーン槽の冷却液を吸い込み、これを濾過精度の高いフィルタ（例えば、サイクロンフィルタ）にて濾過し、別タンク(例えば、スーパークリーン槽)に貯留する構成を採用している。
【０００９】
しかし前記構成では、ツール洗浄又は主軸と工具の内部を通る洗浄液噴出機構（ＣＴＳ）のオプション選択により対応が複雑化する。例えば、ＣＴＳを使用しないユーザに対応したスーパークリーン槽のタンクを用意する必要が発生し得る。この場合、スーパークリーン槽は小容量で良く、大容量のスーパークリーン槽は装置のコンパクト化の妨げになる。
【００１０】
濾過処理を経た冷却液であっても、切粉を含む場合が多いので、そのまま工具の洗浄に用いることは望ましくない。一般には、濾過処理を経た冷却液をノズルに送るポンプと、前記ノズルとの間にフィルタが配置しており、再度濾過処理を施す。
【００１１】
この場合、洗浄ポンプと洗浄液噴出機構用ポンプを共に備える工作機械においては、洗浄ポンプと洗浄液噴出機構用ポンプの夫々にフィルタを設けるので、部品個数が増え、構造が複雑になる。
【００１２】
しかしながら、上述した特許文献１の切削液ろ過装置は、このような問題に対応できない。
【００１３】
本発明は、斯かる事情に鑑みてなされたものであり、冷却液のタンクを縮小し、構成を簡素化することによって、コンパクト化できる洗浄装置及び工具又はワークの洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る洗浄装置は、使用済みの冷却液を貯留する第１タンクと、工具又はワークに冷却液を噴射する複数のノズルと、前記第１タンク内の冷却液を濾過する第１フィルタと、前記第１フィルタに前記第１タンク内の冷却液を送る第１ポンプとを備え工具又はワークを洗浄する洗浄装置において、前記第１フィルタで濾過した冷却液を貯留する貯留槽と、前記貯留槽の容量を超えた冷却液を貯留する第２タンクと、前記第２タンクからの冷却液を、前記複数のノズルのうち一のノズルに送る第２ポンプと、前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記貯留槽に送る第１流路と、前記第１流路に接続しており、前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記一のノズルとは異なる他のノズルに送る第２流路とを備えることを特徴とする。
【００１５】
本発明にあっては、前記他のノズルは、前記貯留槽又は前記第２タンクからの冷却液を使わない。前記他のノズルは、前記第１フィルタが第２流路を介して送る冷却液を用いる。従って、前記第２タンク内の冷却液を使用するのは前記一のノズルのみとなり、その分、前記第２タンクの容量を縮小できる。
【００１６】
本発明に係る洗浄装置は、前記第１流路に設けてある第２フィルタを備え、前記第２流路は、前記第２フィルタと前記貯留槽の間にて、前記第１流路に接続してあることを特徴とする。
【００１７】
本発明にあっては、前記一のノズルと前記他のノズルが何れも、第１フィルタと第２フィルタにて濾過処理を経た冷却液を用いる。従って、高精度の冷却液を用いることができる。
【００１８】
本発明に係る洗浄装置は、前記第１フィルタはサイクロン濾過器であり、前記第１フィルタに流入口が接続しており、前記流入口を介して前記第１フィルタが取り除いた汚液を収容する汚液収容部と、前記汚液収容部の排出口側に配置してある排出口弁と、前記第１フィルタを起動する指示を受け付ける指示受付部と、前記指示受付部が前記指示を受け付けた場合、前記第１フィルタの起動開始に先立って、所定時間の間、前記排出口弁を開にする弁制御部とを備えることを特徴とする。
【００１９】
本発明にあっては、前記指示受付部が前記第１フィルタを起動する指示を受け付ける。この場合、前記弁制御部が前記第１フィルタの起動開始に先立って、所定時間の間、前記排出口弁を開にする。従って、起動前に汚液収容部内を空にするので第１フィルタの起動開始の時、汚液収容部から排出する勢いを抑制できる。
【００２０】
本発明に係る洗浄装置は、前記第１フィルタはサイクロン濾過器であり、前記第１フィルタに流入口が接続しており、前記流入口を介して前記第１フィルタが取り除く汚液を収容する汚液収容部と、前記汚液収容部の排出口側に配置している排出口弁と、前記第１フィルタが停止した後、所定時間の間、前記排出口弁を開にする弁制御部とを備えることを特徴とする。
【００２１】
本発明にあっては、前記第１フィルタが停止した後、所定時間の間、前記弁制御部が前記排出口弁を開にする。従って、次回の第１フィルタの起動開始の時、起動前に汚液収容部内を空にするので汚液収容部から排出する勢いを抑制できる。
【００２２】
本発明に係る洗浄装置は、前記第１フィルタはサイクロン濾過器であり、前記第１フィルタに流入口が接続しており、前記流入口を介して前記第１フィルタが取り除いた汚液を収容する汚液収容部と、前記汚液収容部の排出口側に配置してある排出口弁と、前記第１フィルタの起動時に、所定時間の間、前記排出口弁を開にする弁制御部とを備えることを特徴とする。
【００２３】
本発明にあっては、前記第１フィルタの起動時に、所定時間の間、前記弁制御部が前記排出口弁を開にする。従って、第１フィルタが起動して不安定である間、排出口弁を所定時間「開」の状態にし、濾過処理後の冷却液の供給を抑制する。
【００２４】
本発明に係る洗浄装置は、前記第１流路において前記第１フィルタと前記第２フィルタの間に接続し、前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記第１タンクに送る第３流路と、前記第３流路に配置してある第３流路弁と、前記第１フィルタの起動開始後、所定時間の間、前記第３流路弁を開にする弁制御部とを備えることを特徴とする。
【００２５】
本発明にあっては、前記第１フィルタの起動開始後、所定時間の間、前記弁制御部が前記第３流路弁を開にする。従って、第１フィルタが起動して不安定の間、第３流路弁を所定時間「開」の状態にし、濾過処理後の冷却液を第１タンクに戻す。
【００２６】
本発明に係る洗浄方法は、使用済み冷却液を貯留する第１タンクと、工具又はワークに冷却液を噴射する複数のノズルと、前記第１タンク内の冷却液を濾過する第１フィルタと、前記第１フィルタに前記第１タンク内の冷却液を送る第１ポンプとを備える洗浄装置にて、工具又はワークを洗浄する洗浄方法において、貯留槽が前記第１フィルタで濾過した冷却液を貯留し、第２タンクが前記貯留槽の容量を超えた冷却液を貯留し、第２ポンプが前記第２タンクからの冷却液を、前記複数のノズルのうち一のノズルに送り、前記第２ポンプが送った冷却液を前記一のノズルが工具又はワークに向けて噴射し、第１流路が前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記貯留槽に送り、第２流路が、前記第１流路に接続し、前記第１フィルタで濾過した冷却液を前記一のノズルとは異なる他のノズルに送り、前記第２流路を介して流れ込む冷却液を前記他のノズルが工具又はワークに向けて噴射することを特徴とする。
【００２７】
本発明にあっては、前記他のノズルは、前記貯留槽又は前記第２タンクからの冷却液を使わない。前記他のノズルは、前記第１フィルタが第２流路を介して送る冷却液を用いて工具又はワークを洗浄する。従って、前記第２タンク内の冷却液を使用するのは前記一のノズルのみであり、その分、前記第２タンクの容量を縮小できる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、冷却液のタンクを縮小しつつ、複数のポンプを共に使用する場合に対応可能な洗浄装置を提供できる。部品の点数を減らし、洗浄装置の構成を簡素化することができる。従って、洗浄装置をコンパクト化することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】従来の洗浄装置を備える工作機械の部分的斜視図である。
【図２】従来の洗浄装置の冷却液ユニットの横端面である。
【図３】実施の形態１に係る洗浄装置の要部構成図である。
【図４】実施の形態１に係る洗浄装置における、制御部の制御を説明するフローチャートである。
【図５】実施の形態１に係る洗浄装置における、制御部の制御を説明するフローチャートである。
【図６】実施の形態２に係る洗浄装置の要部構成図である。
【図７】実施の形態２に係る洗浄装置における、制御部の制御を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
（実施の形態１）
図１は従来の洗浄装置を備える工作機械の部分的斜視図、図２は従来の洗浄装置の冷却液ユニットの横端面である。
【００３１】
従来の洗浄装置を備える工作機械１００は床面上に支持した基台２上に制御箱３とコラム４を備えている。作業者は正面（前）から工作機械１００を操作する。コラム４は基台２後部の左右方向中央に垂直に立ち上がる支柱である。工作機械１００はコラム４の前側に加工室４０を備えている。加工室４０は内部に、前後と左右に移動可能な加工テーブル（図示略）を備えている。工作機械１００は加工テーブル上の加工物を加工する。
【００３２】
コラム４は主軸ヘッド（図示略）を前部に支持している。主軸ヘッドは自動工具交換装置（図示略）を備えており、駆動機構の駆動でコラム４に沿って上昇と下降する。自動工具交換装置は工具収納部と工具交換機構を備えている。工具交換機構は、工具収納部が保持している複数の工具の何れかを自動交換する。
【００３３】
制御箱３はコラム４の後側に取付けてある。制御箱３は内部に制御部（図示略）を収容している。制御部は、工作機械１００における、加工作業、自動工具交換等の制御を行う。
【００３４】
図１に示すように、工作機械１００は冷却液ユニット１０を備えている。冷却液ユニット１０はタンク１１、回収槽１２、チップシャワーポンプ１３、ＣＶポンプ１４とＣＴＳポンプ６０（第２ポンプ）を備えている。タンク１１は箱形の容器であり、加工室４０内に供給する冷却液を貯留している。回収槽１２、チップシャワーポンプ１３、ＣＶポンプ１４とＣＴＳポンプ６０はタンク１１の上に設置してある。
【００３５】
冷却液ユニット１０は基台２の後側に着脱可能である。回収槽１２は使用済の冷却液（以下、洗浄液ともいう。）を回収する。回収槽１２は、回収した冷却液を一次濾過する一次フィルタ１２１を備える。一次フィルタ１２１は板状をなしており、無数の細かい孔を有している。一次フィルタ１２１よりも下側にはダーティ槽１２２が位置している。ダーティ槽１２２は、一次フィルタ１２１による濾過処理を経た冷却液を貯留する。
【００３６】
ダーティ槽１２２は、タンク１１と隣り合っている。一対のフィルタ１２３がダーティ槽１２２とタンク１１の間に位置し、夫々を仕切っている。ダーティ槽１２２が貯留している洗浄液は、一対のフィルタ１２３による濾過処理を経てタンク１１内に流れ込む。一対のフィルタ１２３は２枚のフィルタが所定間隔を挟んで対向している。各フィルタ１２３は板状をなしており、一次フィルタ１２１より小さい無数の孔を有している。
【００３７】
チップシャワーポンプ１３、ＣＶポンプ１４とＣＴＳポンプ６０はタンク１１内の冷却液を吸い上げ、加工室４０に送り出す。チップシャワーポンプ１３は洗浄用のポンプである。加工室４０は内壁に洗浄液ノズル（図示略）を備えており、チップシャワーポンプ１３の吐出側は洗浄液ノズルに接続している。チップシャワーポンプ１３はタンク１１内の冷却液を吸い上げ、前記洗浄液ノズルから加工室４０内に噴射する。冷却液は加工室４０内の切粉をタンク１１へ洗い流す。
【００３８】
ＣＶポンプ１４は冷却液と洗浄液兼用のポンプである。加工室４０は内側に冷却液ノズル（図示略）を設けており、ＣＶポンプ１４の吐出側は、斯かる冷却液ノズルに接続している。ＣＶポンプ１４はタンク１１内の冷却液を吸い上げ、洗浄フィルタ１４１に送る。洗浄フィルタ１４１は洗浄液に対して濾過処理を施す。洗浄フィルタ１４１の濾過処理を経た洗浄液を、貯留槽５０が一時的に貯留し、加工室４０内の前記冷却液ノズルに送る。加工室４０内の前記冷却液ノズルは貯留槽５０からの洗浄液を加工中の工具と加工物（ワーク）に噴射する。冷却液は加工中の工具と加工物を冷却し、且つ加工中に発生する切粉を洗い流す。
【００３９】
ＣＴＳポンプ６０は冷却液と洗浄液兼用のポンプである。ＣＴＳポンプ６０はタンク１１内の冷却液を吸い上げ、加工室４０に送り出す。ＣＴＳポンプ６０の吐出側は、加工室４０内側の別の冷却液ノズルに接続している。ＣＴＳポンプ６０は、ＣＶポンプ１４と同様、タンク１１内の冷却液を吸い上げ、前記冷却液ノズルから加工中の工具と加工物に噴射する。冷却液は加工室４０内で加工中の工具と加工物を冷却する。工具の内側に流路を設け、工具先端から洗浄液が噴出する構成であってもよい。
【００４０】
このような冷却液ユニット１０においては、タンク１１の洗浄液を複数のポンプが使用している。複数のポンプが、工具と加工物に対して冷却と洗浄を行うので、大容量のタンク１１が必要である。しかし、加工作業の種類によっては、複数のポンプを使用しない場合もあり得る。斯かる加工作業を主な目的とする場合、大容量のタンク１１は不要であり、却って装置のコンパクト化の妨げになると言う問題がある。
【００４１】
長時間洗浄液を繰り返して使用すると、洗浄液の汚れがひどくなり、一対のフィルタ１２３の２枚のフィルタの間に切粉が溜まる。一対のフィルタ１２３は、フィルタ１２３を一枚ずつ交互に取り外して手入れをするが、この時、フィルタ１２３間の切粉がタンク１１に混入する虞もある。従って、タンク１１内の洗浄液は、そのまま工具の洗浄に用いることは望ましくない。
【００４２】
一般には、ポンプと吐出側のノズルの間にフィルタが配置しており、再度濾過処理を施す。例えば、工作機械１００のＣＶポンプ１４においては、洗浄フィルタ１４１を介して吐出側のノズルに洗浄液を送る。従って、複数のポンプを使用する場合は、ポンプ夫々がフィルタを備える必要があり、部品の個数が増えるので、装置の構成が複雑になる。更に、切粉を含む洗浄液を吸い上げるので、ポンプ側においても、故障が起こりやすい。切粉を含む洗浄液を濾過するフィルタにおいても、目詰まりが起こりやすい。
【００４３】
本発明は、このような問題を解決できる洗浄装置を提供する。以下、実施の形態１に係る洗浄装置を、図面を参照して説明する。
【００４４】
図３は実施の形態１に係る洗浄装置の要部構成図である。以下、上述した従来の洗浄装置と同一の部分には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４５】
実施の形態１に係る洗浄装置１は、タンク１１（第１タンク）と、第２タンク１１０と、第１ポンプ６１と、第２ポンプ６０とを備える。タンク１１は、洗浄装置１のタンク１１と同じであり、洗浄装置１のダーティ槽１２２であっても良い。第２ポンプ６０は洗浄装置１のＣＴＳポンプ６０と同じである。
【００４６】
タンク１１は使用済みの汚れた洗浄液を貯留しており、第２タンク１１０は、タンク１１の洗浄液に濾過処理を施した後述する高精度洗浄液を貯留する。
【００４７】
洗浄装置１は、タンク１１内の洗浄液に対して一次的に濾過処理を施す第１フィルタ６２を備えている。第１ポンプ６１は、タンク１１内の洗浄液を吸い上げ、第１フィルタ６２に送る。第２ポンプ６０は第２タンク１１０内の高精度洗浄液を吸い上げ、加工室４０内に送る。
【００４８】
例えば、第１フィルタ６２はサイクロン濾過器である。第１フィルタ６２は、遠心分離処理によって洗浄液内の切粉等の汚物を取り除く。第１フィルタ６２は、遠心分離処理を経て濾過された洗浄液を貯留槽５０に送る。第１フィルタ６２は、遠心分離処理にて取り除いた汚物を含む汚液を汚液収容部６３に送る。
【００４９】
汚液収容部６３は、例えば、円筒形状をなしており、第１フィルタ６２に接続する流入口６３１を有している。汚液収容部６３は流入口６３１を介して第１フィルタ６２から吐出する汚液を受け入れて一時的に収容する。汚液収容部６３は、排出口６３２を介して汚液を排出する。汚液収容部６３の下側には籠状フィルタ６５が位置している。汚液収容部６３の排出口６３２は排出路８５に接続している。排出路８５は、一端が汚液収容部６３の排出口６３２に接続しており、他端が籠状フィルタ６５に延びている。排出路８５の他端は、籠状フィルタ６５の内側で開口している。従って、汚液収容部６３が排出口６３２から排出した汚液は排出路８５を介して籠状フィルタ６５に流れ込む。
【００５０】
排出路８５は排出口弁６４を備えている。後述する制御部９は、排出口弁６４の開閉を制御することによって、汚液収容部６３から籠状フィルタ６５への汚液の流れを制御する。
【００５１】
第１フィルタ６２は、遠心分離処理を経て濾過された洗浄液を、第１流路８１を介して貯留槽５０に送る。第１流路８１は、一端が第１フィルタ６２に接続しており、他端が貯留槽５０に接続している。第１流路８１は、第２フィルタ６６を有している。第１流路８１は、第２フィルタ６６と貯留槽５０の間に逆止弁６７を有している。第２フィルタ６６は、第１フィルタ６２からのきれいな洗浄液に対して再び濾過処理を施す。
【００５２】
従って、タンク１１の洗浄液は、第１フィルタ６２での一次濾過処理後、第２フィルタ６６にて二次濾過処理を経て貯留槽５０に流れ込む。貯留槽５０は、一次濾過処理と二次濾過処理を経た洗浄液（高精度洗浄液）を貯留する。
【００５３】
第１流路８１には第２流路８２が接続している。第２流路８２は、一端が逆止弁６７と貯留槽５０の間に接続しており、他端が加工室４０内のノズル３０ｂ（他のノズル）に接続している。従って、ノズル３０ｂは、第２フィルタ６６での濾過処理を経た高精度洗浄液を工具と加工物に噴射する。第２流路８２は第２流路弁６９を備えている。制御部９は、第２流路弁６９の開閉を制御することによって、ノズル３０ｂへの高精度洗浄液の流れを制御する。
【００５４】
貯留槽５０は高精度洗浄液を貯留する。例えば、貯留槽５０が満杯になると、剰余の高精度洗浄液は第４流路８３を介して第２タンク１１０に流れ込む。第４流路８３は、一端が貯留槽５０に接続しており、他端が第２タンク１１０にて開口している。第４流路８３は第４流路弁５１を備えている。制御部９は、第４流路弁５１の開閉を制御することによって、貯留槽５０から第２タンク１１０への高精度洗浄液の流れを制御する。
【００５５】
第２ポンプ６０は第２タンク１１０内の高精度洗浄液を吸い上げ、第５流路８４を介して、加工室４０に送る。第５流路８４は、一端が第２ポンプ６０に接続しており、他端が加工室４０内のノズル３０ａ（一のノズル）に接続している。従って、ノズル３０ａは、第２ポンプ６０が吸い上げた高精度洗浄液を工具と加工物に噴射する。第５流路８４は第５流路弁６８を備えている。制御部９は、第５流路弁６８の開閉を制御することによって、ノズル３０ａへの高精度洗浄液の流れを制御する。以下、説明の便宜上、ノズル３０ａとノズル３０ｂをノズル３０とも言う。
【００５６】
洗浄装置１は、自機の起動・停止する指示をユーザから受け付ける指示受付部９０を備えている。指示受付部９０は、例えば、電源スイッチである。指示受付部９０は、洗浄装置１を備える工作機械の電源スイッチであっても良い。
【００５７】
制御部９はＲＯＭ(Read Only Memory)、ＲＡＭ(Random Access Memory)等を有するロジック回路である。制御部９は、例えば、ＦＰＧＡ(Field Programmable Gate Array)又はＡＳＩＣ(Application Specific Integrated Circuit)を含む。制御部９は、弁制御部９１とサイクロン制御部９２を備えている。
【００５８】
弁制御部９１は、指示受付部９０が起動の指示を受けたか、停止の指示を受けたかに応じて第４流路弁５１、排出口弁６４、第５流路弁６８、第２流路弁６９の開閉の制御を行う。サイクロン制御部９２は指示受付部９０が起動の指示を受けたか、停止の指示を受けたかに応じて、第１フィルタ６２に起動の指示信号を出力し、又は停止の指示信号を出力する。具体的には、サイクロン制御部９２は第１ポンプ６１の駆動と停止の指示信号を出力する。
【００５９】
以上のように、洗浄装置１では、二つのノズル３０が既に一次濾過処理と二次濾過処理を経た高精度洗浄液を噴射する。従って、ノズル３０より上流側に、ノズル３０毎にフィルタを配置する必要がなくなり、部品の点数が減る。
【００６０】
ノズル３０ｂに流れ込む高精度洗浄液は、第２タンク１１０が貯留する前のものを使う。従って、ノズル３０ｂ用の高精度洗浄液を貯留する必要がなくなり、その分第２タンク１１０を小型化できる。
【００６１】
このように、部品の点数が減少でき、第２タンク１１０を小型化できる為、洗浄装置１（工作機械）のコンパクト化が可能である。
【００６２】
一方、第１フィルタ６２としてサイクロン濾過器を使用する場合、起動時に濾過処理済みの洗浄液の流量（流速）が安定しないと言う問題がある。第１フィルタ６２は流れ込む洗浄液を遠心分離するので、所定の回転速に達するまで、安定した濾過処理ができないからである。
【００６３】
このような問題に対応するため、一般に、サイクロン濾過器を運転状態のままにしておく使い方を採用している。しかし、この場合、無駄に電力を消費することになり、サイクロン濾過器の寿命を短くする結果を招く。
【００６４】
実施の形態１に係る洗浄装置１はこのような問題に対応できる構成を有している。
【００６５】
図４は実施の形態１に係る洗浄装置１における、制御部９の制御を説明するフローチャートである。便宜上、ユーザが指示受付部９０を操作して洗浄装置１を起動・停止する場合を例に説明する。
【００６６】
制御部９は、指示受付部９０からの信号を監視することにより、ユーザから指示を受け付けたか否かを判定する（ステップＳ１０１）。制御部９は、ユーザから指示を受け付けていないと判定した場合（ステップＳ１０１：ＮＯ）、指示を受け付けるまで同一判定を繰り返す。制御部９は、ユーザから指示を受け付けたと判定した場合（ステップＳ１０１：ＹＥＳ）、受け付けた信号が起動の指示であるか否かを判定する（ステップＳ１０２）。
【００６７】
制御部９が受け付けた信号が起動の指示であると判定した場合（ステップＳ１０２：ＹＥＳ）、弁制御部９１が弁を「開」の状態にする指示を排出口弁６４に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、排出口弁６４が弁を「開」の状態にする（ステップＳ１０３）。この時、制御部９は計時部（図示略）に計時の開始を指示する。
【００６８】
制御部９は計時部を監視することにより、所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１０４）。所定時間が経過していないと判定した場合（ステップＳ１０４：ＮＯ）、制御部９は所定時間が経過するまで前記判定を繰り返す。所定時間が経過したと判定した場合（ステップＳ１０４：ＹＥＳ）、弁制御部９１が弁を「閉」の状態にする指示を排出口弁６４に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、排出口弁６４が弁を「閉」の状態にする（ステップＳ１０５）。所定時間は例えば、１〜２秒である。
【００６９】
次いで、弁制御部９１が弁を「閉」の状態にする指示を第２流路弁６９に送り、弁を「開」の状態にする指示を第４流路弁５１に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、第２流路弁６９は弁を「閉」の状態にし、第４流路弁５１は弁を「開」の状態にする（ステップＳ１０６）。
【００７０】
この後、サイクロン制御部９２は、第１ポンプ６１に起動の指示を送る。サイクロン制御部９２からの指示に応じて、第１ポンプ６１が起動して第１フィルタ６２は動作を開始する（ステップＳ１０７）。
【００７１】
このような各弁の制御によって、汚液収容部６３は第1フィルタ６２が起動する前に空となる。従って、第１フィルタ６２が起動して汚液収容部６３内の汚液が第１フィルタ６２を通過して貯留槽５０に向かうことを防ぐことができる。更に、第１フィルタ６２を常に運転状態のままにしておく必要がなくなるので、電力消費を抑制できる。
【００７２】
制御部９は、受け付けた信号が起動の指示でないと判定した場合（ステップＳ１０２：ＮＯ）、停止の指示であると判定する。すなわち、第１フィルタ６２の稼働中に、停止の指示をユーザから受け付ける。
【００７３】
この時、サイクロン制御部９２は、第１フィルタ６２に停止の指示を送る。サイクロン制御部９２からの指示に応じて、第１フィルタ６２を駆動する第１ポンプ６１は運転を停止する（ステップＳ１０８）。
【００７４】
次いで、弁制御部９１が弁を「開」の状態にする指示を排出口弁６４に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、排出口弁６４が弁を「開」の状態にする（ステップＳ１０９）。この時、制御部９は計時部に計時の開始を指示する。
【００７５】
制御部９は計時部を監視することにより、所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ１１０）。所定時間が経過していないと判定した場合（ステップＳ１１０：ＮＯ）、制御部９は所定時間が経過するまで前記判定を繰り返す。所定時間が経過したと判定した場合（ステップＳ１１０：ＹＥＳ）、弁制御部９１が弁を「閉」の状態にする指示を排出口弁６４に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、排出口弁６４が弁を「閉」の状態にする（ステップＳ１１１）。
【００７６】
このように、第１フィルタ６２の起動前と停止後に排出口弁６４を「開」の状態にして汚液を排出し、汚液収容部６３を空にしておく。従って、実施の形態１に斯かる洗浄装置１では、第１フィルタ６２の起動時に汚液収容部６３から汚液を自重で排出するので、排出の勢いを抑制できる。
【００７７】
（変形例）
【００７８】
図５は実施の形態１に係る洗浄装置１における、制御部９の制御を説明するフローチャートである。便宜上、ユーザが指示受付部９０を操作して洗浄装置１を起動する場合を例に説明する。
【００７９】
制御部９は、指示受付部９０からの信号を監視することにより、ユーザから起動の指示を受け付けたか否かを判定する（ステップＳ２０１）。制御部９は、ユーザから起動の指示を受け付けていないと判定した場合（ステップＳ２０１：ＮＯ）、指示を受け付けるまで前記判定を繰り返す。制御部９がユーザから起動の指示を受け付けたと判定した場合（ステップＳ２０１：ＹＥＳ）、弁制御部９１は弁を「閉」の状態にする指示を第２流路弁６９と第４流路弁５１に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、第２流路弁６９と第４流路弁５１は弁を「閉」の状態にする（ステップＳ２０２）。
【００８０】
次いで、弁制御部９１が弁を「開」の状態にする指示を排出口弁６４に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、排出口弁６４が弁を「開」の状態にする（ステップＳ２０３）。
【００８１】
この後、サイクロン制御部９２は、第１ポンプ６１に起動の指示を送る。サイクロン制御部９２からの指示に応じて、第１ポンプ６１が起動して第１フィルタ６２は動作を開始する（ステップＳ２０４）。この時、制御部９は計時部に計時の開始を指示する。
【００８２】
制御部９は計時部を監視することにより、所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ２０５）。所定時間が経過していないと判定した場合（ステップＳ２０５：ＮＯ）、制御部９は所定時間が経過するまで前記判定を繰り返す。所定時間が経過したと判定した場合（ステップＳ２０５：ＹＥＳ）、弁制御部９１は弁を「閉」の状態にする指示を第２流路弁６９と排出口弁６４に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、第２流路弁６９と排出口弁６４は弁を「閉」の状態にする（ステップＳ２０６）。
【００８３】
次いで、弁制御部９１が弁を「開」の状態にする指示を第４流路弁５１に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、第４流路弁５１が弁を「開」の状態にする（ステップＳ２０７）。
【００８４】
変形例の洗浄装置１では、第１フィルタ６２の起動開始後、第１フィルタ６２が不安定（汚液収容部６３内に汚液が貯留している状態）の間、排出口弁６４を所定時間「開」の状態にし、濾過処理後の洗浄液の供給を抑制する。その後、第１フィルタ６２が安定（汚液収容部６３内の汚液が排出）してから、第１フィルタ６２が濾過処理後の洗浄液を貯留槽５０に供給開始する。従って、上述した問題を解決できると共に、第１フィルタ６２を常に運転状態のままにしておく必要がなくなる。
【００８５】
（実施の形態２）
図６は実施の形態２に係る洗浄装置１の要部構成図である。以下、上述した実施の形態１の洗浄装置１と同一の部分には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００８６】
実施の形態２に係る洗浄装置１は、濾過処理後の洗浄液を第１フィルタ６２からタンク１１に戻す第３流路８６を備えている。他の構成については、実施の形態１と同様であり、説明を省略する。
【００８７】
第３流路８６は第１流路８１に接続している。第３流路８６は、一端が第１フィルタ６２と第２フィルタ６６の間に接続しており、他端がタンク１１に延びている。第３流路８６の他端は、タンク１１の内側で開口している。従って、第１フィルタ６２からの濾過処理後の洗浄液は第３流路８６を介してタンク１１に流れ込むことが出来る。
【００８８】
第３流路８６は第３流路弁７０を備えている。弁制御部９１は、第３流路弁７０の開閉を制御することによって、第１フィルタ６２からタンク１１への濾過処理後の洗浄液の流れを制御する。
【００８９】
図７は実施の形態２に係る洗浄装置１における、制御部９の制御を説明するフローチャートである。便宜上、ユーザが指示受付部９０を操作して洗浄装置１を起動する場合を例に説明する。
【００９０】
制御部９は、指示受付部９０からの信号を監視することにより、ユーザから起動の指示を受け付けたか否かを判定する（ステップＳ３０１）。制御部９は、ユーザから起動の指示を受け付けていないと判定した場合（ステップＳ３０１：ＮＯ）、指示を受け付けるまで前記判定を繰り返す。制御部９がユーザから起動の指示を受け付けたと判定した場合（ステップＳ３０１：ＹＥＳ）、弁制御部９１は弁を「閉」の状態にする指示を第２流路弁６９、第４流路弁５１、排出口弁６４に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、第２流路弁６９、第４流路弁５１、排出口弁６４は弁を「閉」の状態にする（ステップＳ３０２）。
【００９１】
次いで、弁制御部９１が弁を「開」の状態にする指示を第３流路弁７０に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、第３流路弁７０が弁を「開」の状態にする（ステップＳ３０３）。
【００９２】
この後、サイクロン制御部９２は、第１ポンプ６１に起動の指示を送り、第１フィルタ６２は動作を開始する（ステップＳ３０４）。この時、制御部９は計時部に計時の開始を指示する。
【００９３】
制御部９は計時部を監視することにより、所定時間が経過したか否かを判定する（ステップＳ３０５）。所定時間が経過していないと判定した場合（ステップＳ３０５：ＮＯ）、制御部９は所定時間が経過するまで前記判定を繰り返す。所定時間が経過したと判定した場合（ステップＳ３０５：ＹＥＳ）、弁制御部９１は弁を「閉」の状態にする指示を第２流路弁６９、第３流路弁７０、排出口弁６４に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、第２流路弁６９、第３流路弁７０、排出口弁６４は弁を「閉」の状態にする（ステップＳ３０６）。
【００９４】
次いで、弁制御部９１が弁を「開」の状態にする指示を第４流路弁５１に送る。弁制御部９１からの指示に応じて、第４流路弁５１が弁を「開」の状態にする（ステップＳ３０７）。
【００９５】
実施の形態２の洗浄装置１では、第１フィルタ６２の起動開始後、第１フィルタ６２が不安定の間、第３流路弁７０を所定時間「開」の状態にし、濾過処理後の洗浄液をタンク１１に戻す。その後、第１フィルタ６２内の洗浄液の流速が安定してから、第１フィルタ６２が濾過処理後の洗浄液を貯留槽５０に供給開始する。従って、上述した問題を解決できると共に、第１フィルタ６２を常に運転状態のままにしておく必要がなくなる。
【００９６】
実施の形態１と同様の部分については、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【符号の説明】
【００９７】
１  洗浄装置
１１  タンク（第１タンク）
３０ａ  ノズル
３０ｂ  ノズル
５０  貯留槽
６０  第２ポンプ
６１  第１ポンプ
６２  第１フィルタ
６３  汚液収容部
６４  排出口弁
６６  第２フィルタ
７０  第３流路弁
８１  第１流路
８２  第２流路
８６  第３流路
９０  指示受付部
９１  弁制御部
１１０  第２タンク
６３１  流入口
６３２  排出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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