(57)【要約】【課題】可変ノズル４０の耐久性及びレーザ切断加工の加工精度を十分に確保しつつ、レーザ切断加工の段取りに要する時間を短縮すること。【解決手段】可変ノズル４０は、レーザ加工ヘッド２０の先端部に設けられたベースリング４６と、ベースリング４６のノズル先端側に設けられた駆動リング５０と、駆動リング５０のノズル先端側に積層して設けられた環状の複数の羽根群６２と、を具備している。各羽根群６２における各羽根６４は、少なくとも円周方向の一方側に隣接する羽根６４に重なるように構成されている。全羽根群６２における全羽根６４は、駆動リング５０の正逆方向の回動によってノズル軸心４０ｓに対して接近離反する方向へ同期して揺動するように構成されている。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を発振するレーザ発振器に接続され、アシストガスを供給するためのガス供給ポートを有した中空状のレーザ加工ヘッドと、
前記レーザ加工ヘッドの先端部に設けられ、ノズル孔の内径が可変可能に構成され、アシストガスを噴射しながらレーザ光を照射する可変ノズルと、を具備し、
前記可変ノズルは、
円周方向に沿って配置され、ノズル孔を区画する複数の羽根と、
全羽根をノズル軸心に対して接近離反する方向へ同期して揺動させる揺動手段と、を有したことを特徴とするレーザ加工機。
【請求項２】
前記可変ノズルは、複数の前記羽根により構成された環状の羽根群を複数積層してなり、
全羽根群は、前記ノズル孔の内径がノズル先端側に向かって段階的に小さくなるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工機。
【請求項３】
前記可変ノズルは、
前記レーザ加工ヘッドの先端部に設けられたベースリングと、
前記ベースリングのノズル先端側に設けられ、前記揺動手段の一部に相当する回動アクチュエータの駆動により正逆方向へ回動可能に構成され、前記揺動手段の一部に相当する駆動リングと、
前記駆動リングのノズル先端側に積層して設けられ、複数の前記羽根により構成された環状の複数の羽根群と、を有し、
前記可変ノズルの前記ノズル孔が全羽根群における全羽根によって区画され、全羽根群における全羽根が前記駆動リングの正逆方向の回動によってノズル軸心に対して接近離反する方向へ同期して揺動するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工機。
【請求項４】
前記ベースリングに複数の連結ピンが円周方向に沿って設けられ、
前記駆動リングに対応する前記連結ピンを挿通させるための円弧状の複数の挿通長穴が円周方向に沿って形成され、前記駆動リングにおける前記連結ピンよりも径方向内側に複数の駆動ピンが円周方向に沿って設けられ、
各羽根群における各羽根の基端部が対応する前記連結ピンに回動可能に連結され、各羽根群における各羽根に対応する前記駆動ピンを挿通係合させるための係合長穴が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のレーザ加工機。
【請求項５】
前記可変ノズルは、前記レーザ加工ヘッドの先端部に設けられかつノズル先端側に径方向内側へ突出した環状の内フランジが形成されかつ全羽根を覆う筒状のノズルケースを有しており、
更に、全羽根を前記レーザ加工ヘッドに対して回動不能にロックするために、前記レーザ加工ヘッドの先端部に設けられ、全羽根をノズル先端側へ押圧して全羽根の径方向外側の部位を前記内フランジに圧接させる押圧部材を具備したことを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１項に記載のレーザ加工機。
【請求項６】
前記押圧部材は筒状に形成され、前記押圧部材の外周面に周溝が形成されており、
更に、前記押圧部材の外周側に設けられ、複数の保持孔が周方向に間隔を置いて形成された環状の保持部材と、
前記保持部材の各保持孔に径方向へ移動可能に設けられ、前記押圧部材の前記周溝に係合する係合ボールと、
前記保持部材の外周側にノズル軸心に沿って移動可能に設けられ、全係合ボールを径方向内側へ同期して移動させるように構成された環状の作動部材と、を有し、
前記周溝の形状は、全係合ボールの径方向内側の移動によって前記押圧部材をノズル先端側へ変位させるように形成されていることを特徴とする請求項５に記載のレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの被切断部に向かってアシストガスを噴射しながらレーザ光を照射することにより、ワークに対してレーザ切断加工を行うレーザ加工機に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、レーザ加工機は、レーザ光を発振するレーザ発振器に光学的に接続された中空状（筒状）のレーザ加工ヘッドを具備している。レーザ加工ヘッドの側部には、アシストガスを供給するためのガス供給ポート（ガス供給口）が形成されている。また、レーザ加工ヘッドは、その先端部に、アシストガスを噴射しながらレーザ光を照射するノズルを着脱可能に備えている。
【０００３】
ところで、レーザ加工中に、アシストガスの種類、ワークの材質、ワークの厚み等のレーザ加工条件を変更する場合には、レーザ切断加工を一旦中断して、レーザ加工ヘッドの先端部に装着したノズルを、変更予定のレーザ加工条件に応じた最適な内径のノズル孔を有したノズルと交換する必要がある。一方、ノズルの交換は手間がかかり、レーザ切断加工の段取りに要する時間が長くなるという問題がある。
【０００４】
前述の問題を解決するために、ノズル孔の内径（開口度）が可変可能に構成された可変ノズル（ノズル）を具備したレーザ加工機が開発されている（特許文献１参照）。そして、先行技術に係るレーザ加工機の特徴部分について簡単に説明すると、次の通りである。
【０００５】
保持部材をノズル先端側（ノズル軸心の一方側）へ移動させると、可変ノズルの周縁部を径方向内側へ弾性変形させて、可変ノズルのノズル孔の内径（開口度）を小さくすることができる。また、保持部材をノズル基端側（ノズル軸心の他方側）へ移動させると、可変ノズルの周縁部を径方向外側へ弾性変形させて、可変ノズルのノズル孔の内径（開口度）を大きくすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２２１６９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、先行技術に係るレーザ加工機においては、可変ノズルのノズル孔の周縁部が複数のスリットの幅に応じた分だけ径方向へ弾性変形するため、可変ノズルの材料が劣化し易く、可変ノズルの耐久性の低下を招くことになる。また、レーザ加工中に、複数のスリットからアシストガスが漏れ易く、アシストガスの役割が十分に発揮されず、レーザ切断加工の加工精度の低下を招くことになる。
【０００８】
つまり、可変ノズル（ノズル）の耐久性及びレーザ切断加工の加工精度を十分に確保することは困難であるという問題がある。
【０００９】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成のレーザ加工機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の態様は、レーザ光を発振するレーザ発振器に接続され、アシストガスを供給するためのガス供給ポート（ガス供給口）を有した中空状（筒状）のレーザ加工ヘッドと、前記レーザ加工ヘッドの先端部に設けられ、ノズル孔の内径が可変可能に構成され、アシストガスを噴射しながらレーザ光を照射する可変ノズルと、を具備し、前記可変ノズルは、円周方向に沿って配置され、ノズル孔を区画する複数の羽根と、 全羽根をノズル軸心に対して接近離反する方向へ同期して揺動させる揺動手段と、を有したことである。
【００１１】
本発明の態様によると、前記揺動手段によって全羽根をノズル軸心に対して接近する方向へ同期して揺動させて、前記可変ノズルの前記ノズル孔の内径（開口度）を小さくすることができる。また、前記揺動手段によって全羽根をノズル軸心に対して離反する方向へ同期して揺動させて、前記可変ノズルの前記ノズル孔の内径（開口度）を大きくすることができる。
【００１２】
つまり、本発明の態様によると、先行技術に係るレーザ加工機のような前記可変ノズルの一部の弾性変形による劣化又はスリットからのアシストガスの漏れを生じることなく、前記可変ノズルの内径を変更予定のレーザ加工条件に応じた（最適な）内径に可変することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、前記可変ノズルの耐久性及びレーザ切断加工の加工精度を十分に確保しつつ、レーザ加工条件を変更する際に、前記可変ノズル（ノズル）の交換の手間を省いて、レーザ切断加工の段取りに要する時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係るレーザ加工機の模式的な斜視図である。
【図２】図２は、本発明の実施家形に係るレーザ加工ヘッドの周辺の模式的な断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態に係る可変ノズルの周辺の断面図であり、全羽根群における全羽根を回動可能した状態を示している。なお、図３において、羽根は明確化のために断面端面図によって示している。
【図４】図４は、本発明の実施形態に係る可変ノズルの周辺の断面図であり、全羽根群における全羽根を回動不能にロックした状態を示している。なお、図４において、羽根は明確化のために断面端面図によって示している。
【図５】図５は、本発明の実施形態に係る可変ノズルの要部の斜視図である。
【図６】図６は、本発明の実施形態に係る可変ノズルの要部の分解斜視図である。
【図７】図７は、図３におけるI-I線に沿った断面図であり、可変ノズルのノズル孔の内径を最大にした状態を示している。
【図８】図８は、図３におけるII-II線に沿った断面図であり、可変ノズルのノズル孔の内径を最大にした状態を示している。
【図９】図９は、図３におけるIII-III線に沿った断面図であり、可変ノズルのノズル孔の内径を最大にした状態を示している。
【図１０】図１０は、図３におけるIII-III線に沿った断面図であり、可変ノズルのノズル孔の内径を最小にした状態を示している。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の実施形態について図１から図１０を参照して説明する。
【００１６】
なお、本願の明細書及び特許請求の範囲において、「設けられる」とは、直接的に設けられることの他に、別部材を介して間接的に設けられることを含む意であって、「備えられる」と同義である。「備える」とは、直接的に備えることの他に、別部材を介して間接的に備えることを含む意であって、「設ける」と同義である。また、「ノズル軸心」とは、可変ノズルの軸心のことをいい、「ノズル先端側」とは、可変ノズルの先端側（ノズル軸心の一方側）ことをいい、本発明の実施形態においては、下側のことをいう。「ノズル基端側」とは、可変ノズルの基端側（ノズル軸心の他方側）のことをいい、本発明の実施形態にあっては、上側のことをいう。更に、「径方向」とは、可変ノズルの径方向のことをいう。「径方向内側」とは、可変ノズルの径方向の内側のことをいい、「径方向外側」とは、可変ノズルの径方向の外側のことをいう。図面中、「Ｕ」は、上方向、「Ｄ」は、下方向をそれぞれ指している。
【００１７】
図１及び図２に示すように、本発明の実施形態に係るレーザ加工機１０は、板状のワーク（板金）Ｗの被切断部に向かってアシストガスを噴射しながらレーザ光ＬＢを照射することにより、ワークＷに対してレーザ切断加工を行う加工機である。以下、本発明の実施形態に係るレーザ加工機１０の構成について説明する。
【００１８】
レーザ加工機１０は、ワークＷを支持する加工テーブル（支持フレーム）１２を具備している。加工テーブル１２は、ワークＷを点接触で支持する多数のワーク支持部１４を有している。また、加工テーブル１２は、その上側に、門型の可動フレーム１６をＸ軸方向へ移動可能に備えている。可動フレーム１６は、その水平部に、キャレッジ１８をＹ軸方向（前後方向）へ移動可能に備えている。
【００１９】
キャレッジ１８は、その前側に、中空状（筒状）のレーザ加工ヘッド２０を昇降可能（上下方向へ移動可能）に備えている。また、レーザ加工ヘッド２０は、１μｍ帯の波長のレーザ光ＬＢを発振するファイバレーザ発振器２２に伝送ファイバ２４及びコネクタ２６等を介して光学的に接続されている。なお、レーザ加工ヘッド２０は、ファイバレーザ発振器２２に代えて、ＹＡＧレーザ発振器（図示省略）、ＣＯ2レーザ発振器（図示省略）、又は半導体レーザ発振器（図示省略）等に光学的に接続されてもよい。
【００２０】
図２に示すように、レーザ加工ヘッド２０の側部には、レーザ加工ヘッド２０内にガス供給管２８等を介してアシストガス供給源３０からアシストガスを供給するためのガス供給ポート（ガス供給口）２０ａが形成されている。また、レーザ加工ヘッド２０は、その内部に、コリメートレンズ３４や集光レンズ３８等の光学素子を備えている。
【００２１】
レーザ加工ヘッド２０は、その先端部（下端部）に、アシストガスを噴射しながらレーザ光ＬＢを照射する可変ノズル４０をボルト等の固定手段（図示省略）によって着脱可能に備えている。可変ノズル４０のノズル孔４０ｈの内径（開口度）は、可変可能に構成されている。そして、可変ノズル４０の具体的な構成は、次の通りである。
【００２２】
図３から図６に示すように、レーザ加工ヘッド２０は、その先端部に、筒状のノズルケース４２を同心上に備えている。ノズルケース４２の側部には、切欠４２ｎが形成されており、ノズルケース４２のノズル先端側（下端側）には、径方向内側へ突出した環状の内フランジ４４が形成されている。
【００２３】
ノズルケース４２は、その内側に、ベースリング４６を同心上に備えており、ベースリング４６は、ノズル軸心（可変ノズル４０の軸心）４０ｓに沿って変位可能（微動）になっている。換言すれば、レーザ加工ヘッド２０の先端部には、ベースリング４６がノズルケース４２を介してレーザ加工ヘッド２０と同心上かつノズル軸心４０ｓに沿って変位可能に設けられている。また、ベースリング４６のノズル先端側の面（下面）には、複数（本発明の実施形態にあっては、例えば１０個）の連結ピン（支持ピン）４８が円周方向に沿って等間隔に設けられている。
【００２４】
ノズルケース４２は、その内側におけるベースリング４６のノズル先端側に、駆動リング５０を同心上に備えており、駆動リング５０の外周面には、リングギア５２が形成されている。駆動リング５０は、レーザ加工ヘッド２０の側部に設けられた回動アクチュエータとしての回動モータ５４の駆動によりノズル軸心４０ｓ周りに正逆方向へ回動可能に構成されている。ここで、回動モータ５４は、その出力軸５６に、駆動ピニオン５８を一体的に備えており、駆動ピニオン５８は、ノズルケース４２の切欠４２ｎを介してリングギア５２に噛合している。また、駆動リング５０には、対応する連結ピン４８を挿通させるための円弧状の挿通長穴５０ｈが円周方向に沿って等間隔に形成されている。駆動リング５０のノズル先端側の面（下面）には、複数（本発明の実施形態にあっては、例えば１０個）の駆動ピン６０が円周方向に沿って等間隔に設けられている。
【００２５】
図５から図１０に示すように、ノズルケース４２は、その内側における駆動リング５０のノズル先端側に、環状の複数（本発明の実施形態にあっては、例えば３個）の羽根群６２を同心上に備えており、複数の羽根群６２は、ノズル軸心４０ｓに沿って積層されている。本発明の実施形態にあっては、複数の羽根群６２は、ノズル基端側の羽根群６２Ａと、中間側の羽根群６２Ｂと、ノズル先端側の羽根群６２Ｃとからなる。各羽根群６２は、円周方向に沿って等間隔に配置された複数（本発明の実施形態にあっては、例えば１０枚）の羽根６４により構成されており、全羽根群６２における全羽根６４は、ノズルケース４２によって覆われることになる。
【００２６】
各羽根群６２における各羽根６４は、少なくとも円周方向の一方側に隣接する羽根６４に重なるように構成されている。また、各羽根群６２における各羽根６４の全長（基端から先端までの長さ）は、略同一の長さに設定されている。ノズル先端側の羽根群６２Ｃにおける各羽根６４の先端側の幅は、中間側の羽根群６２Ｂにおける各羽根６４の先端側の幅よりも大きく設定されている。中間側の羽根群６２Ｂにおける各羽根６４の先端側の幅は、ノズル基端側の羽根群６２Ａにおける各羽根６４の先端側の幅よりも大きく設定されている。そして、可変ノズル４０のノズル孔４０ｈは、全羽根群６２における全羽根６４の径方向内側の部位によって円錐台状に区画されている。換言すれば、全羽根群６２は、可変ノズル４０のノズル孔４０ｈの内径がノズル先端側に向かって段階的に小さくなるように構成されている。これにより、可変ノズル４０のノズル孔４０ｈ周辺におけるアシストガスの流れを安定させることができる。
【００２７】
各羽根群６２における各羽根６４の基端部は、対応する連結ピン４８に回動可能に連結（支持）されている。各羽根群６２における各羽根６４には、対応する駆動ピン６０を挿通係合（挿通させた状態で係合）させるための直線状又は円弧状の係合長穴６４ｈが形成されている。換言すれば、全羽根群６２における全羽根６４は、回動モータ５４の駆動により駆動リング５０の正逆方向の回動によってノズル軸心４０ｓに対して接近離反する方向へ同期して揺動するように構成されている。なお、回動モータ５４及び駆動リング５０は、全羽根群６２における全羽根６４をノズル軸心４０ｓに対して接近離反する方向へ同期して揺動させる揺動手段に相当する。
【００２８】
図３から図５に示すように、ノズル先端側の羽根群６２Ｃにおける全羽根６４の径方向外側の部位は、ベースリング４６のノズル先端側（下方向）への変位によって内フランジ４４に圧接（圧力を加えて接触）可能になっている。また、詳細な図示は省略するが、適宜の連結ピン４８には、ノズル基端側の羽根群６２Ａと中間側の羽根群６２Ｂとのノズル軸心に沿った方向の間隔、及び中間側の羽根群６２Ｂとノズル先端側の羽根群６２Ｃとのノズル軸心に沿った方向の間隔を保つためのスペーサが設けられている。
【００２９】
可変ノズル４０は、全羽根群６２における全羽根６４をレーザ加工ヘッド２０（ノズルケース４２）に対して回動不能にロックするロック機構６６を有している。そして、可変ノズル４０におけるロック機構６６の具体的な構成は、次の通りである。
【００３０】
図３及び図４に示すように、ベースリング４６は、そのノズル基端側に、ベースリング４６をノズル先端側（下方向）へ押圧する筒状の押圧部材６８を同心上かつ一体的に備えており、押圧部材６８の外周面には、周溝６８ｇが形成されている。また、レーザ加工ヘッド２０は、押圧部材６８の外周側に、環状（筒状）の保持部材７０を一体的に備えており、保持部材７０には、複数の保持孔７０ｈが周方向に間隔を置いて形成されている。
【００３１】
ここで、押圧部材６８によるノズル先端側の押圧によってベースリング４６、駆動リング５０、及び全羽根群６２における全羽根６４（以下、適宜にベースリング４６等という）がノズル先端側へ変位するようになっている。ベースリング４６等は、ノズル先端側の変位によってノズル先端側の羽根群６２Ｃにおける全羽根６４の径方向外側の部位を内フランジ４４に圧接させ、ベースリング４６等における重なり合う同士を圧接させることで回動不能な状態になる。また、全羽根群６２における全羽根６４は、押圧部材６８によるノズル先端側の押圧によって微小に撓み変形するため、押圧部材６８によるノズル先端側の押圧を解除すると、弾性復帰によってベースリング４６及び駆動リング５０を介して押圧部材６８をノズル基端側（上方向）へ付勢するようになっている。なお、前記スペーサにスプリング、ゴム等を設け、又は前記スペーサをスプリング、ゴム等により構成することで、押圧部材６８をノズル基端側へ付勢してもよい。
【００３２】
保持部材７０は、各保持孔７０ｈに、押圧部材６８の周溝６８ｇに係合する係合ボール７２を径方向（可変ノズル４０の径方向）へ移動可能に備えている。また、保持部材７０は、その外周側に、環状（筒状）の作動部材７４をノズル軸心４０ｓに沿って移動可能に備えている。全係合ボール７２は、作動部材７４のノズル先端側（下方向）の移動によって径方向内側（可変ノズル４０の径方向の内側）へ同期して移動するように構成されている。全係合ボール７２、作動部材７４のノズル基端側（上方向）の移動によって径方向外側（可変ノズル４０の径方向の外側）へ同期して移動するように構成されている。ここで、押圧部材６８の周溝６８ｇの形状は、全係合ボール７２の径方向内側の移動によって押圧部材６８をノズル先端側（下方向）へ変位させるように形成されている。
【００３３】
作動部材７４は、その外周側に、作動部材７４をノズル基端側（上方向）へ付勢する付勢部材としてスプリング７６を備えている。また、作動部材７４のノズル基端側（上側）には、環状のエア室ＡＣが区画されており、エア室ＡＣは、レーザ加工ヘッド２０の先端部に形成したエア供給ポート２０ｂを介してコンプレッサ等のエア供給源（図示省略）からエアを供給されるようになっている。作動部材７４は、エア室ＡＣにエアが供給されると、スプリング７６の付勢力に抗しつつノズル先端側へ移動するように構成されている。
【００３４】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３５】
（レーザ加工機１０全般に関する作用）
図１及び図２に示すように、レーザ加工ヘッド２０をＸ軸方向及びＹ軸方向へ移動させつつ、可変ノズル４０からワークＷの被切断部に向かってアシストガスを噴射しながらレーザ光ＬＢを照射すると、ワークＷに対して切断加工を行うことができる。
【００３６】
（可変ノズル４０に関する作用）
図３及び図４に示すように、エア室ＡＣへのエアの供給を停止すると、作動部材７４がスプリング７６の付勢力によってノズル基端側（上方向）へ移動して、全係合ボール７２を径方向外側へ同期して移動させる。すると、押圧部材６８によるノズル先端側の押圧が解除され、全羽根群６２における全羽根６４の弾性復帰によってベースリング４６等がノズル基端側へ変位して、ノズル先端側の羽根群６２Ｃにおける全羽根６４の径方向外側の部位と内フランジ４４に圧接状態が解除される。これにより、ロック機構６６のロックを解除して、全羽根群６２における全羽根６４をレーザ加工ヘッド２０（ノズルケース４２）に対して回動可能な状態にすることができる。
【００３７】
図３、図７から図１０に示すように、ロック機構６６のロックを解除した後に、回動モータ５４の駆動により駆動リング５０を正方向（図７から図１０において時計回り方向）へ回動させる。すると、全羽根群６２における全羽根６４をノズル軸心４０ｓに対して接近する方向へ同期して揺動させて、可変ノズル４０のノズル孔４０ｈの内径（開口度）を小さくすることができる。また、回動モータ５４の駆動により駆動リング５０を逆方向（図７から図１０において反時計回り方向）へ回動させる。すると、全羽根群６２における全羽根６４をノズル軸心４０ｓに対して離反する方向へ同期して揺動させて、可変ノズル４０のノズル孔４０ｈの内径（開口度）を大きくすることができる。これにより、可変ノズル４０の内径を変更予定のレーザ加工条件に応じた最適な内径に可変することができる。
【００３８】
図３及び図４に示すように、可変ノズル４０の内径を可変した後に、エア室ＡＣへエアを供給すると、作動部材７４がスプリング７６の付勢力に抗してノズル先端側（下方向）へ移動して、全係合ボール７２を径方向内側へ同期して移動させる。すると、押圧部材６８がノズル先端側へ変位して、ノズル先端側の羽根群６２Ｃにおける全羽根６４の径方向外側の部位を内フランジ４４に圧接させ、ベースリング４６等における重なり合う同士を圧接させることで、ベースリング４６等が回動不能な状態になる。これにより、ロック機構６６によって全羽根群６２における全羽根６４をレーザ加工ヘッド２０（ノズルケース４２）に対して回動不能にロックした状態にすることができる。
【００３９】
以上の如き、本発明の実施形態によれば、可変ノズル４０の耐久性及びレーザ切断加工の加工精度を十分に確保しつつ、可変ノズル４０の内径を変更予定のレーザ加工条件に応じた最適な内径に可変することができるため、可変ノズル４０（ノズル）の交換の手間を省いて、レーザ切断加工の段取りに要する時間を大幅に短縮することができる。
【００４０】
また、本発明の実施形態によれば、前述のように、可変ノズル４０の内径を可変した後に、全羽根群６２における全羽根６４を回動不能にロックした状態にしている。そのため、本発明の実施形態によれば、レーザ切断加工中における羽根６４のバタツキ（振れ）を抑えて、可変ノズル４０周辺のアシストガスの圧力を安定させて、レーザ切断加工の加工精度を高めることができる。
【００４１】
更に、本発明の実施形態によれば、例えば、ワークＷの被切断部にコーナ部と直線部が含まれる場合において、ワークＷの被切断部の形状に応じて、可変ノズル４０のノズル孔４０ｈを適切に可変させることにより、より安定したレーザ切断加工を行うことができる。
【００４２】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、例えば、羽根群６２の個数及び各羽根群６２における羽根６４の枚数を変更する等、その他、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、前述の実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００４３】
１０    レーザ加工機
１２    加工テーブル（支持フレーム）
１６    可動フレーム
１８    キャレッジ
２０    レーザ加工ヘッド
２０ａ  ガス供給ポート（ガス供給口）
２０ｂ  エア供給ポート
２２    ファイバレーザ発振器（レーザ発振器）
２８    ガス供給管
３０    ガス供給源
４０    可変ノズル
４０ｈ  ノズル孔
４０ｓ  ノズル軸心
４２    ノズルケース
４２ｎ  切欠
４４    内フランジ
４６    ベースリング
４８    連結ピン
５０    駆動リング
５０ｈ  挿通長穴
５２    リングギア
５４    回動モータ
５８    駆動ピニオン
６０    駆動ピン
６２    羽根群
６２Ａ  ノズル基端側の羽根群
６２Ｂ  中間側の羽根群
６２Ｃ  ノズル先端側の複数の羽根群
６４    羽根
６４ｈ  係合長穴
６６    ロック機構
６８    押圧部材
６８ｇ  周溝
７０    保持部材
７０ｈ  保持孔
７２    係合ボール
７４    作動部材
７６    スプリング（付勢部材）
ＡＣ    環状のエア室
ＬＢ    レーザ光
Ｗ    ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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