(57)【要約】【課題】ＭＥＳにかかる負担を低減しつつ、処理レシピ等の処理条件を集中管理する。【解決手段】ＦＩＣＳ１１と複数の処理装置４０とを含む生産システム１に用いられる処理条件管理システム２０であって、記憶部３０と、通信部２１と、処理レシピ提供部２９とを備える。記憶部３０は、同種の複数の処理装置４０のそれぞれについて、処理装置４０が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理レシピを記憶する。通信部２１は、ＦＩＣＳ１１との間で、処理レシピに関する情報を送信および受信する。処理レシピ提供部２９は、それぞれの処理装置４０から処理レシピを要求された場合に、要求された処理レシピを記憶部３０から読み出して要求元の処理装置４０に提供する。【選択図】図６
2018010883.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
工場情報制御システムと複数の処理装置とを含む生産システムに用いられる処理条件管理システムであって、
同種の前記複数の処理装置のそれぞれについて、前記処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する処理条件記憶部と、
前記工場情報制御システムとの間で、前記処理条件に関する情報を送信および受信する通信部と、
それぞれの前記処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する処理条件提供部と
を備えることを特徴とする処理条件管理システム。
【請求項２】
それぞれの前記処理装置が処理を行う際に用いられる処理条件は、処理レシピであることを特徴とする請求項１に記載の処理条件管理システム。
【請求項３】
前記通信部は、
前記処理条件に関する情報として、それぞれの前記処理レシピを識別するレシピＩＤを、前記工場情報制御システムへ送信することを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
【請求項４】
前記処理条件記憶部は、
前記処理装置毎に、製品群を特定するロット情報、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶し、
前記通信部は、
前記処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置ＩＤと、ロット情報とを前記工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置ＩＤに対応する処理装置について、受信したロット情報に対応付けられたレシピＩＤを前記処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピＩＤを前記工場情報制御システムへ送信することを特徴とする請求項２または３に記載の処理条件管理システム。
【請求項５】
前記処理条件記憶部は、
前記処理装置毎に、製品群を特定するロット情報、処理工程、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶し、
前記通信部は、
前記処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置ＩＤと、ロット情報と、処理工程とを前記工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置ＩＤに対応する処理装置について、受信したロット情報および処理工程に対応付けられている、レシピＩＤおよび処理レシピを前記処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピＩＤおよび処理レシピの少なくともいずれかを前記工場情報制御システムへ送信することを特徴とする請求項２に記載の処理条件管理システム。
【請求項６】
前記処理条件記憶部は、
それぞれの前記処理装置について、前記処理装置の記憶部内のフォルダ構造に対応したフォルダ構造で前記処理条件を記憶することを特徴とする請求項２から５のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。
【請求項７】
前記処理条件記憶部は、
前記複数の処理装置を代表する規範装置について、当該規範装置が処理を行う際に用いられた処理レシピである規範処理レシピをさらに記憶し、
前記処理条件管理システムは、
前記規範処理レシピを参照して、それぞれの処理装置と前記規範装置との間の機差に基づいて、それぞれの処理装置の処理レシピを作成し、作成した処理レシピを、それぞれの処理装置に対応付けて前記処理条件記憶部に格納する機差調整部
をさらに備えることを特徴とする請求項２から６のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。
【請求項８】
前記処理条件提供部は、
前記複数の処理装置のそれぞれから、前記処理装置の記憶部内にキャッシュしている処理レシピの中に処理対象の処理レシピが存在しない場合に送信される、処理対象の処理レシピに関する情報を含む処理レシピ要求を受信した場合に、受信した処理レシピ要求に含まれる情報で特定される処理レシピを、前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供することを特徴とする請求項２から７のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。
【請求項９】
前記処理条件記憶部が記憶する処理条件の編集機能を提供する編集機能部をさらに備え、
前記編集機能部は、
同種の前記複数の処理装置が有する処理条件の編集機能および操作性と同等の編集機能および操作性を有することを特徴とする請求項２から８のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。
【請求項１０】
前記処理条件記憶部は、
前記処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶し、
前記処理条件管理システムは、
新たな処理レシピが前記処理条件記憶部に格納された場合、または、前記処理条件記憶部内の処理レシピに変更が加えられた場合に、当該処理レシピに対して新たにユニークなレシピＩＤを発行するレシピＩＤ発行部をさらに備えることを特徴とする請求項２から９のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。
【請求項１１】
前記処理条件記憶部は、
それぞれの前記処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピの完成度を示すステータスを対応付けて記憶し、
前記処理条件管理システムは、
それぞれの前記処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたか否かを判定する判定部と、
前記判定部によって、それぞれの前記処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたと判定された場合に、前記処理レシピのステータスを、前記処理レシピの確認を行ったユーザの属性に応じた完成度を示すステータスに変更する変更部と
をさらに備えることを特徴とする請求項２から１０のいずれか一項に記載の処理条件管理システム。
【請求項１２】
工場情報制御システムと、
複数の処理装置と、
処理条件管理システムと
を備え、
前記処理条件管理システムは、
同種の前記複数の処理装置のそれぞれについて、前記処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する処理条件記憶部と、
前記工場情報制御システムとの間で、前記処理条件に関する情報を送信および受信する通信部と、
それぞれの前記処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する処理条件提供部と
を有することを特徴とする生産システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の種々の側面及び実施形態は、処理条件管理システムおよび生産システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ウエハ等を処理する場合、処理装置は、処理方法や処理パラメータ（温度や圧力等）等を指定するデータの集まりである処理レシピに従って、ウエハ等を処理する。処理レシピは、処理装置の処理レシピ作成機能によって作成され、処理装置内の記憶部に格納される。そして、ウエハ等を処理する場合に、処理装置は、記憶部から処理レシピを読み出し、読み出した処理レシピに従って処理を実行する。また、処理レシピは、処理装置とは別のコンピュータ上で作成される場合がある。この場合、処理装置は、ウエハ等を処理する場合に、コンピュータ内に格納された処理レシピを通信ネットワーク経由でダウンロードし、ダウンロードした処理レシピに従って処理を実行する。
【０００３】
また、工場等の生産システムでは、生産実行システム（ＭＥＳ）が生産対象のウエハ等の処理レシピを処理装置に指示する。処理レシピが処理装置の記憶部内に格納されている場合、処理装置は、生産実行システム（ＭＥＳ）から指示された処理レシピを記憶部から読み出して処理を実行する。また、処理レシピが他のコンピュータで作成された場合、ＭＥＳが他のコンピュータから処理レシピを取得して処理装置に提供する。処理装置は、ＭＥＳから提供された処理レシピに従って処理を実行する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２４７４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、処理装置内の記憶部に処理レシピを予め格納する場合、処理装置のオペレータが処理装置を操作する中で、変更を加えた処理レシピを誤って上書き保存してしまい、処理レシピに意図しない変更が加えられる場合がある。そのような処理レシピが用いられた場合、意図しない処理が実行されることになる。また、処理レシピは、処理工程の数だけ存在し、処理装置毎に異なる場合も多い。また、設定項目の増加に伴い処理レシピのデータサイズも大きくなっている。そのため、処理に必要な全ての処理レシピをＭＥＳが処理装置に提供するとすれば、ＭＥＳにかかる処理負荷が大きい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
開示する処理条件管理システムは、工場情報制御システムと複数の処理装置とを含む生産システムに用いられる処理条件管理システムであって、同種の前記複数の処理装置のそれぞれについて、前記処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する処理条件記憶部と、前記工場情報制御システムとの間で、前記処理条件に関する情報を送信および受信する通信部と、それぞれの前記処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を前記処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する処理条件提供部とを備える。
【発明の効果】
【０００７】
開示する処理条件管理システムの１つの態様によれば、ＭＥＳにかかる負担を低減しつつ、処理レシピ等の処理条件を集中管理することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、生産システムの一例を示すシステム構成図である。
【図２】図２は、処理装置の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図３】図３は、非生産モード用処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。
【図４】図４は、生産モード用処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。
【図５】図５は、処理装置内のキャッシュ領域に格納されるデータの一例を示す図である。
【図６】図６は、処理条件管理システムの機能構成の一例を示すブロック図である。
【図７】図７は、レシピ検索ＤＢに格納されるデータの一例を示す図である。
【図８】図８は、規範処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。
【図９】図９は、非生産モード用処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。
【図１０】図１０は、生産モード用処理レシピ記憶領域に格納されるデータの一例を示す図である。
【図１１】図１１は、処理レシピのフォルダ構造の一例を示す概念図である。
【図１２】図１２は、処理装置による処理レシピの作成処理の一例を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、処理レシピ等に基づいたウエハの処理の一例を示すフローチャートである。
【図１４】図１４は、処理装置で作成された処理レシピ等を処理条件管理システムに登録する処理の一例を示すフローチャートである。
【図１５】図１５は、ＭＥＳからの問い合わせに応じて処理条件管理システムがレシピＩＤを送信する処理の一例を示すフローチャートである。
【図１６】図１６は、処理条件管理システムによる処理レシピの編集処理の一例を示すフローチャートである。
【図１７】図１７は、処理条件管理システムによる規範処理レシピの生成および処理装置毎の処理レシピの作成の処理の一例を示すフローチャートである。
【図１８】図１８は、処理条件管理システムの機能を実現するコンピュータの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
開示する処理条件管理システムは、１つの実施形態において、工場情報制御システムと複数の処理装置とを含む生産システムに用いられる処理条件管理システムであって、処理条件記憶部と、通信部と、処理条件提供部とを備える。処理条件記憶部は、同種の複数の処理装置のそれぞれについて、処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する。通信部は、工場情報制御システムとの間で、処理条件に関する情報を送信および受信する。処理条件提供部は、それぞれの処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する。
【００１０】
また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、それぞれの処理装置が処理を行う際に用いられる処理条件は、処理レシピであってもよい。
【００１１】
また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、通信部は、処理条件に関する情報として、それぞれの処理レシピを識別するレシピＩＤを、工場情報制御システムへ送信してもよい。
【００１２】
また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、処理装置毎に、製品群を特定するロット情報、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶してもよく、通信部は、処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置ＩＤと、ロット情報とを工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置ＩＤに対応する処理装置について、受信したロット情報に対応付けられたレシピＩＤを処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピＩＤを工場情報制御システムへ送信してもよい。
【００１３】
また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、処理装置毎に、製品群を特定するロット情報、処理工程、処理レシピ、および当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶してもよく、通信部は、処理条件に関する情報として、処理装置を識別する装置ＩＤと、ロット情報と、処理工程とを工場情報制御システムから受信した場合に、受信した装置ＩＤに対応する処理装置について、受信したロット情報および処理工程に対応付けられている、レシピＩＤおよび処理レシピを処理条件記憶部内で特定し、特定したレシピＩＤおよび処理レシピの少なくともいずれかを工場情報制御システムへ送信してもよい。
【００１４】
また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、それぞれの処理装置について、処理装置の記憶部内のフォルダ構造に対応したフォルダ構造で処理条件を記憶してもよい。
【００１５】
また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、複数の処理装置を代表する規範装置について、当該規範装置が処理を行う際に用いられた処理レシピである規範処理レシピをさらに記憶してもよく、処理条件管理システムは、規範処理レシピを参照して、それぞれの処理装置と規範装置との間の機差に基づいて、それぞれの処理装置の処理レシピを作成し、作成した処理レシピを、それぞれの処理装置に対応付けて処理条件記憶部に格納する機差調整部をさらに備えてもよい。
【００１６】
また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件提供部は、複数の処理装置のそれぞれから、処理装置の記憶部内にキャッシュしている処理レシピの中に処理対象の処理レシピが存在しない場合に送信される、処理対象の処理レシピに関する情報を含む処理レシピ要求を受信した場合に、受信した処理レシピ要求に含まれる情報で特定される処理レシピを、処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供してもよい。
【００１７】
また、開示する処理条件管理システムは、１つの実施形態において、処理条件記憶部が記憶する処理条件の編集機能を提供する編集機能部をさらに備えてもよく、編集機能部は、同種の複数の処理装置が有する処理条件の編集機能および操作性と同等の編集機能および操作性を有していてもよい。
【００１８】
また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピを識別するレシピＩＤを対応付けて記憶してもよく、処理条件管理システムは、新たな処理レシピが処理条件記憶部に格納された場合、または、処理条件記憶部内の処理レシピに変更が加えられた場合に、当該処理レシピに対して新たにユニークなレシピＩＤを発行するレシピＩＤ発行部をさらに備えてもよい。
【００１９】
また、開示する処理条件管理システムの１つの実施形態において、処理条件記憶部は、それぞれの処理装置毎に、処理レシピおよび当該処理レシピの完成度を示すステータスを対応付けて記憶してもよく、処理条件管理システムは、それぞれの処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたか否かを判定する判定部と、判定部によって、それぞれの処理レシピが所定の属性を有するユーザによって確認されたと判定された場合に、処理レシピのステータスを、処理レシピの確認を行ったユーザの属性に応じた完成度を示すステータスに変更する変更部とをさらに備えてもよい。
【００２０】
また、開示する生産システムは、１つの実施形態において、工場情報制御システムと、複数の処理装置と、処理条件管理システムとを備える。処理条件管理システムは、処理条件記憶部と、通信部と、処理条件提供部とを有する。処理条件記憶部は、同種の複数の処理装置のそれぞれについて、処理装置が被処理基板に対して処理を行う際に用いられる処理条件を記憶する。通信部は、工場情報制御システムとの間で、処理条件に関する情報を送信および受信する。処理条件提供部は、それぞれの処理装置から処理条件を要求された場合に、要求された処理条件を処理条件記憶部から読み出して要求元の処理装置に提供する。
【００２１】
以下に、開示する処理条件管理システムおよび生産システムの実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、本実施形態により開示する発明が限定されるものではない。各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。
【００２２】
［生産システム１の全体構成］
図１は、生産システム１の一例を示すシステム構成図である。生産システム１は、生産計画システム１０、工場情報制御システム（ＦＩＣＳ：Factory  Information  Control  System）１１、処理条件管理システム２０、および複数の処理装置４０−１〜４０−ｎを備える。ＦＩＣＳ１１、処理条件管理システム２０、および各処理装置４０は、例えばＥＩ（Equipment  Interface）等を介して通信可能に接続されている。ただし、ＦＩＣＳ１１、処理条件管理システム２０、および各処理装置４０の間の接続方式は、ＥＩ等に限定されず、他の接続方式であってもよい。
【００２３】
生産計画システム１０は、生産システム１のユーザ等から受け付けた製品毎の生産量や納期に基づいて、製品毎の生産計画を作成し、ＦＩＣＳ１１に提供する。
【００２４】
ＦＩＣＳ１１は、生産実行システム（ＭＥＳ）１２、Ｆａｃｔｏｒｙ  ＲＭＳ（Recipe  Management  System）１３、ＡＰＣ（Advanced  Process  Control）１４、およびＡＥＣ（Advanced  Equipment  Control）１５を有する。
【００２５】
ＡＰＣ１４は、各処理装置４０によって処理された後の被処理基板（ウエハ）の測定値から処理レシピに含まれるパラメータ毎の調整値であるＡＰＣ＿ＶＰ（Variable  Parameter）を算出してＭＥＳ１２へ送る。
【００２６】
ＡＥＣ１５は、各処理装置４０の状態を測定し、測定値から処理レシピに含まれるパラメータ毎の調整値であるＡＥＣ＿ＶＰ（Variable  Parameter）を算出してＭＥＳ１２および処理条件管理システム２０へ送る。
【００２７】
ＭＥＳ１２は、それぞれの処理装置４０の稼働状況を管理し、生産計画システム１０によって作成された生産計画と、それぞれの処理装置４０の稼働状況とに基づいて、「どの製品」の「どの工程」を「どの処理装置」に実行させるかを決定する。そして、ＭＥＳ１２は、各製品について、製品のロット情報、生産工程の工程ＩＤ、およびその工程を実行する処理装置４０の装置ＩＤを処理条件管理システム２０へ送信する。本実施形態において、ロット情報には、製品を識別する製品ＩＤが含まれている。
【００２８】
そして、ＭＥＳ１２は、処理条件管理システム２０からレシピＩＤを受信し、受信したレシピＩＤを、その時点までに取得した最新のＡＰＣ＿ＶＰと共に、処理を実行させる処理装置４０へ送る。
【００２９】
処理装置４０は、被処理基板であるウエハを処理する処理チャンバを有する。処理装置４０は、ＭＥＳ１２からレシピＩＤとＡＰＣ＿ＶＰを受信した場合に、受信したレシピＩＤに対応する処理レシピおよび装置パラメータが、処理装置４０のメモリ内のキャッシュ領域に存在するか否かを判定する。受信したレシピＩＤに対応する処理レシピおよび装置パラメータが、処理装置４０のメモリ内のキャッシュ領域に存在する場合、処理装置４０は、処理レシピおよび装置パラメータと、受信したＡＰＣ＿ＶＰとに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。
【００３０】
装置パラメータとは、処理装置４０に特有の項目毎の設定値（例えば、ディップスイッチの状態など）の情報である。本実施形態において、処理レシピは、被処理基板に対する処理の条件を記述した処理条件の一例である。なお、処理条件には、処理レシピの他に、装置パラメータ等が含まれていてもよい。
【００３１】
一方、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピおよび装置パラメータがキャッシュ領域に存在しない場合、処理装置４０は、受信したレシピＩＤを含むレシピ要求を処理条件管理システム２０へ送信する。そして、処理装置４０は、処理レシピおよび装置パラメータを処理条件管理システム２０から取得し、取得した処理レシピ等をメモリ内のキャッシュ領域に保存する。そして、処理装置４０は、取得した処理レシピおよび装置パラメータと、ＭＥＳ１２から受信したＡＰＣ＿ＶＰとに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。
【００３２】
本実施形態において、それぞれの処理装置４０は、同種の処理装置である。同種の処理装置とは、例えば、製造メーカ、シリーズ、型番などが同一の処理装置である。また、本実施形態において、それぞれの処理装置４０は、１つの処理装置であり、例えば、１つの装置が複数の処理チャンバを有する場合、それぞれの処理チャンバが本実施形態でいうところの処理装置４０に相当する。
【００３３】
処理条件管理システム２０は、それぞれの製品を識別する製品ＩＤ、それぞれの生産工程を識別する工程ＩＤ、およびそれぞれの処理装置４０を識別する装置ＩＤに対応付けて、処理レシピのレシピＩＤを格納したレシピ検索ＤＢ（データベース）を有する。処理条件管理システム２０は、ＭＥＳ１２からロット情報、工程ＩＤ、および装置ＩＤを受信した場合に、ロット情報から製品ＩＤを抽出し、レシピ検索ＤＢを参照して、製品ＩＤ、工程ＩＤ、および装置ＩＤに対応付けられているレシピＩＤを特定する。そして、処理条件管理システム２０は、特定したレシピＩＤをＭＥＳ１２へ送信する。
【００３４】
また、処理条件管理システム２０は、レシピＩＤに対応付けて、処理レシピを保持しており、各処理装置４０からレシピＩＤを含むレシピ要求を受信した場合に、レシピＩＤに対応する処理レシピ等を、保持している処理レシピの中から読み出して処理装置４０に提供する。
【００３５】
［処理装置４０の構成］
図２は、処理装置４０の機能構成の一例を示すブロック図である。処理装置４０は、処理実行部４２、キャッシュ制御部４３、レシピ編集部４４、操作部４５、表示部４６、および記憶部５０を有する。記憶部５０には、レシピ実行領域５１およびキャッシュ領域５４が設けられる。レシピ実行領域５１には、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２および生産モード用処理レシピ記憶領域５３が設けられる。
【００３６】
非生産モード用処理レシピ記憶領域５２には、例えば図３に示すように、テストＩＤ５２１、製品ＩＤ５２２、工程ＩＤ５２３、装置型式５２４、装置ＩＤ５２５、処理レシピ５２６、および装置パラメータ５２７が対応付けて格納される。テストＩＤ５２１は、テスト段階のそれぞれの処理レシピ５２６を識別する情報である。装置型式５２４は、装置ＩＤ５２５で識別される処理装置４０の型式である。処理レシピ５２６には、例えば、各処理ステップについて、設定すべきパラメータ（圧力、温度、継続時間など）毎の設定値を示す情報が格納される。装置パラメータ５２７には、例えば、各処理ステップについて、処理装置４０に特有の項目毎の設定値（例えば、ディップスイッチの状態など）を示す情報が格納される。
【００３７】
なお、処理レシピ５２６を処理条件管理システム２０に登録する段階では、製品ＩＤ５２２、工程ＩＤ５２３、装置型式５２４、および装置ＩＤ５２５の欄に所定の情報が登録されている必要があるが、処理レシピ５２６のテストを行う段階では、これらの情報は未登録であってもよい。
【００３８】
生産モード用処理レシピ記憶領域５３には、例えば図４に示すように、レシピＩＤ５３１、処理レシピ５３２、装置パラメータ５３３、およびＡＥＣ＿ＶＰ５３４が対応付けて格納される。レシピＩＤ５３１は、生産用に承認されたそれぞれの処理レシピ５３２を識別する情報である。ＡＥＣ＿ＶＰ５３４には、例えば、処理装置４０の状態の変化に伴って調整される、処理レシピに含まれるパラメータ毎の調整値の情報が格納される。
【００３９】
キャッシュ領域５４には、例えば図５に示すように、レシピＩＤ５４１、処理レシピ５４２、装置パラメータ５４３、およびＡＥＣ＿ＶＰ５４４が対応付けて格納される。
【００４０】
図２に戻って説明を続ける。キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から処理の開始を指示された場合に、生産モード用処理レシピ記憶領域５３内のデータ、および、キャッシュ領域５４内のデータを消去する。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２からレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信した場合に、受信したレシピＩＤを含むレシピ要求を処理条件管理システム２０へ送信する。
【００４１】
そして、キャッシュ制御部４３は、処理条件管理システム２０から提供された処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰ（以下、処理レシピ等と呼ぶ。）を、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応付けて、キャッシュ領域５４および生産モード用処理レシピ記憶領域５３にそれぞれ格納する。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを処理実行部４２へ送る。
【００４２】
また、ＭＥＳ１２から、再びレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信した場合、キャッシュ制御部４３は、受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在するか否かを判定する。受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在する場合、キャッシュ制御部４３は、該当する処理レシピ等をキャッシュ領域５４から読み出して、生産モード用処理レシピ記憶領域５３に格納する。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを処理実行部４２へ送る。
【００４３】
一方、処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在しない場合、キャッシュ制御部４３は、レシピＩＤを含むレシピ要求を処理条件管理システム２０へ送信することにより、処理条件管理システム２０から処理レシピ等を取得する。そして、キャッシュ制御部４３は、処理条件管理システム２０から取得した処理レシピ等を、キャッシュ領域５４および生産モード用処理レシピ記憶領域５３にそれぞれ格納する。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを処理実行部４２へ送る。
【００４４】
処理実行部４２は、キャッシュ制御部４３から、レシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受け取った場合に、レシピＩＤに対応付けられた処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを生産モード用処理レシピ記憶領域５３から読出す。そして、処理実行部４２は、生産モード用処理レシピ記憶領域５３から読み出した処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰと、キャッシュ制御部４３から受け取ったＡＰＣ＿ＶＰとに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。ウエハに対する処理が終了した場合、処理実行部４２は、終了した処理に用いた処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを生産モード用処理レシピ記憶領域５３から削除する。
【００４５】
このように、処理レシピ等に基づいたウエハに対する処理の終了後に、処理実行部４２は、処理が終了した処理レシピ等を生産モード用処理レシピ記憶領域５３から削除する。これにより、処理装置４０内に残っている古い処理レシピ等に基づいて、ウエハに対して処理が実行されてしまうことを防止することができる。また、処理条件管理システム２０内に最新の処理レシピ等が保持されていれば、処理装置４０内の処理レシピ等を、処理条件管理システム２０内の最新の処理レシピ等と同期させることができる。
【００４６】
また、ＭＥＳ１２から指示されたレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在すれば、キャッシュ領域５４内の処理レシピ等を生産モード用処理レシピ記憶領域５３に展開してウエハに対する処理を開始することができるため、処理レシピ等の取得にかかる待ち時間を短縮することができる。
【００４７】
レシピ編集部４４は、操作部４５を介した処理装置４０のオペレータからの操作に応じて、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２内の処理レシピおよび装置パラメータ等を編集する。レシピ編集部４４は、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２内の処理レシピおよび装置パラメータ等が編集された場合に、操作部４５を介したオペレータからの操作に応じて、編集された処理レシピおよび装置パラメータ等に対応付けられたテストＩＤを処理実行部４２へ送る。
【００４８】
処理実行部４２は、レシピ編集部４４から受け取ったテストＩＤに対応付けられた処理レシピおよび装置パラメータを非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読出す。そして、処理実行部４２は、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づいて、処理チャンバを用いて、ウエハに対して処理を実行する。なお、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づく処理を行った後は、処理実行部４２は、終了した処理に対応する処理レシピ等を非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から自動的に削除しない。
【００４９】
また、レシピ編集部４４は、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２内のデータを表示したり、編集したりすることはできるが、生産モード用処理レシピ記憶領域５３内のデータについては、表示も編集も行うことができない。これにより、生産モード用として承認された処理レシピ等の持ち出しや、不用意な書き換え等を防止することができる。
【００５０】
また、レシピ編集部４４は、処理条件管理システム２０に登録する処理レシピ等のテストＩＤをオペレータから指定された場合に、テストＩＤに対応付けられた製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出す。そして、レシピ編集部４４は、読み出した製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を処理条件管理システム２０へ送信する。
【００５１】
［処理条件管理システム２０の構成］
図６は、処理条件管理システム２０の機能構成の一例を示すブロック図である。処理条件管理システム２０は、通信部２１、規範処理レシピ生成部２２、機差調整部２３、変更部２４、判定部２５、編集機能部２６、レシピＩＤ発行部２７、処理レシピ登録部２８、処理レシピ提供部２９、および記憶部３０を備える。記憶部３０には、レシピ検索ＤＢ３１、規範処理レシピ記憶領域３２、および複数の処理レシピ記憶領域３３が設けられる。
【００５２】
レシピ検索ＤＢ３１には、例えば図７に示すように、製品ＩＤ３１０、工程ＩＤ３１１、装置型式３１２、装置ＩＤ３１３、レシピＩＤ３１４、およびステータス３１５が対応付けて格納される。ステータス３１５は、対応する処理レシピの完成度を示す。本実施形態において、ステータス３１５には、例えば、「Certified」、「Checked」、「Verified」、および「Created」の４種類のいずれかが格納される。「Created」は、例えば、処理レシピが作成中または作成済みの状態を示す。「Verified」は、例えば、処理レシピが文法確認済みの状態を示し、機能性試験に移行可能な状態を示す。「Checked」は、例えば、処理レシピが動作確認済みの状態を示し、機能性能が確認された状態を示す。「Certified」は、例えば、処理レシピが使用承認済みの状態であることを示し、生産における使用が許可された状態を示す。
【００５３】
レシピ検索ＤＢ３１には、記憶部３０内に格納されている全ての処理レシピ（後述する規範処理レシピを含む）のレシピＩＤが格納されている。なお、製品ＩＤ３１０、工程ＩＤ３１１、装置型式３１２、および装置ＩＤ３１３のそれぞれの組み合わせには、複数のレシピＩＤ３１４が対応付けられてもよい。ただし、本実施形態において、製品ＩＤ３１０、工程ＩＤ３１１、装置型式３１２、および装置ＩＤ３１３のそれぞれの組み合わせに対応付けられたレシピＩＤの中で、「Certified」のステータスが対応付けられているレシピＩＤは１つである。
【００５４】
規範処理レシピ記憶領域３２には、例えば図８に示すように、レシピＩＤ３２１に対応付けて、規範処理レシピ３２２が格納される。規範処理レシピ３２２とは、いずれかの処理装置４０で作成された処理レシピおよび装置パラメータに基づいて生成された、規範となる処理装置４０における処理レシピである。規範となる処理装置４０とは、例えば、設定値に対する出力値が仕様の中心となる、各種処理条件に対する応答が経時変化しない、などの理想的な振る舞いをする仮想的な処理装置４０である。
【００５５】
処理レシピ記憶領域３３は、処理装置４０毎に１つずつ設けられる。例えば、処理レシピ記憶領域３３−１には、処理装置４０−１に設定される処理レシピ等が格納され、処理レシピ記憶領域３３−２には、処理装置４０−２に設定される処理レシピ等が格納される。それぞれの処理レシピ記憶領域３３には、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４および生産モード用処理レシピ記憶領域３５が設けられる。
【００５６】
非生産モード用処理レシピ記憶領域３４には、例えば図９に示すように、レシピＩＤ３４１、ステータス３４２、処理レシピ３４３、および装置パラメータ３４４が対応付けて格納される。レシピＩＤ３４１は、処理レシピ３４３の識別情報である。ステータス３４２は、処理レシピ３４３の完成度を示す。装置パラメータ３４４は、処理レシピ３４３を適用する際に、対応する処理装置４０に設定される処理装置４０に固有のパラメータである。
【００５７】
生産モード用処理レシピ記憶領域３５には、例えば図１０に示すように、レシピＩＤ３５１、ステータス３５２、処理レシピ３５３、装置パラメータ３５４、およびＡＥＣ＿ＶＰ３５５が対応付けて格納される。レシピＩＤ３５１は、処理レシピ３５３の識別情報である。ステータス３５２は、処理レシピ３５３の完成度を示す。装置パラメータ３５４は、処理レシピ３５３を適用する際に、対応する処理装置４０に設定される処理装置４０に固有のパラメータである。ＡＥＣ＿ＶＰ３５５は、対応する処理装置４０と、他の処理装置４０との間における装置間の機差を調整するパラメータである。機差とは、処理装置４０間において、処理の条件（例えば処理レシピ）に含まれるパラメータの各設定値に対する出力または作用強度の差である。
【００５８】
なお、本実施形態において、処理レシピ記憶領域３３等に格納されている処理レシピは、例えば図１１に示すように、処理レシピの一部が他の処理レシピを呼び出す形でリンクしているリンクドレシピの構造を有している。図１１は、処理レシピのフォルダ構造の一例を示す概念図である。
【００５９】
１つの処理レシピのデータは、例えば、図１１に示すように、１つのフォルダ６０内に格納される。本実施例において、それぞれの処理レシピは、フォルダ６０毎に上位のフォルダ６０が下位のフォルダ６０を参照する階層構造を有している。
【００６０】
また、本実施形態において、処理条件管理システム２０の記憶部３０に格納されている処理レシピは、処理装置４０の記憶部５０に格納されている処理レシピと、同一の階層構造および同一のフォルダ構造を有する。これにより、フォルダ毎の管理ルール（例えばユーザのアクセス権管理など）を、処理装置４０の記憶部５０内の処理レシピと同一にすることができる。これにより、処理条件管理システム２０においても、処理装置４０内で処理レシピを管理する場合と同様の操作性を実現することができる。
【００６１】
なお、処理条件管理システム２０の記憶部３０に格納されている段階では、各処理レシピの一部が、他の処理レシピにリンクしている場合があるが、処理装置４０へ送られる場合には、参照先の処理レシピの情報も含む形の１つの処理レシピのデータとして処理装置４０へ送られる。そのため、各処理装置４０では、処理の実行時には、処理条件管理システム２０へアクセスすることなく、処理装置４０の記憶部５０内の情報を用いて処理を行うことができる。
【００６２】
通信部２１は、ＭＥＳ１２から、ロット情報、工程ＩＤ、および装置ＩＤを受信した場合に、製品ＩＤを含むロット情報から製品ＩＤを抽出する。そして、通信部２１は、記憶部３０内のレシピ検索ＤＢ３１を参照し、製品ＩＤ、工程ＩＤ、および装置ＩＤに対応付けられたレシピＩＤの中で、「Certified」のステータスが対応付けられているレシピＩＤを抽出する。そして、通信部２１は、抽出したレシピＩＤをＭＥＳ１２へ送信する。なお、通信部２１は、抽出したレシピＩＤに対応する処理レシピ等を、抽出したレシピＩＤに代えて、あるいは、抽出したレシピＩＤと共に、ＭＥＳ１２へ送信してもよい。
【００６３】
レシピＩＤ発行部２７は、機差調整部２３、編集機能部２６、または処理レシピ登録部２８からレシピＩＤの新規発行を依頼された場合に、ユニークなレシピＩＤを新規に発行する。そして、レシピＩＤ発行部２７は、発行したレシピＩＤを依頼元の機差調整部２３、編集機能部２６、または処理レシピ登録部２８へ送る。レシピＩＤ発行部２７は、発行済みのレシピＩＤを管理しており、レシピＩＤの新規発行を依頼された場合に、発行済みのいずれのレシピＩＤとも重複しないレシピＩＤを新規に発行する。これにより、生産システム１に用いられる処理レシピ等に重複したレシピＩＤが割り当てられることを防止することができる。
【００６４】
処理レシピ登録部２８は、処理装置４０から、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を受信した場合に、レシピＩＤ発行部２７にレシピＩＤの新規発行を依頼する。そして、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７から発行されたレシピＩＤを、「Created」のステータスと共に、登録要求に含まれる製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、および装置ＩＤに対応付けて、レシピ検索ＤＢ３１に登録する。
【００６５】
また、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７から発行されたレシピＩＤに対応付けて、登録要求に含まれている処理レシピおよび装置パラメータを、「Created」のステータスと共に、登録要求の送信元の処理装置４０に対応する処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４（図９参照）に登録する。
【００６６】
処理レシピ提供部２９は、処理装置４０からレシピＩＤを含むレシピ要求を受信した場合に、当該処理装置４０に対応付けられた処理レシピ記憶領域３３内の生産モード用処理レシピ記憶領域３５から、レシピ要求に含まれているレシピＩＤに対応付けられている処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを抽出する。そして、処理レシピ提供部２９は、抽出した処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを、レシピ要求の送信元の処理装置４０に提供する。
【００６７】
編集機能部２６は、入力装置２０１を介したユーザからの操作に応じて、処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４または生産モード用処理レシピ記憶領域３５から処理レシピおよび装置パラメータを読み出して表示装置２００に表示する。そして、編集機能部２６は、ユーザからの操作に応じて、処理レシピ記憶領域３３から読み出した処理レシピおよび装置パラメータを編集する。編集機能部２６は、各処理装置４０が有する処理レシピ等の編集機能と同等の編集機能を提供する。また、編集機能部２６は、各処理装置４０が有する処理レシピ等の編集における操作性と同等の操作性を提供する。
【００６８】
同等の編集機能および操作性とは、例えば、パラメータの名称、種類、配列、パラメータセットの時系列での表記方法（ステップ記述）などが少なくとも共通であることをいう。また、例えば、各パラメータの設定範囲や混合禁忌などの設定ルールの適用とルール違反設定などへの警告やインターロック等の機能も共通であることが好ましい。また、画面の表示は完全に同一でなくてもよいが、できる限り類似していることが好ましい。これにより、ユーザは、クルーンルームに入って処理装置４０の操作パネルを操作しているのと同様の操作感覚で、入力装置２０１を介して処理レシピ等を編集することができる。
【００６９】
また、編集機能部２６は、入力装置２０１を介したユーザからの操作に応じて処理レシピ等が変更された場合、レシピＩＤ発行部２７に要求して、変更後の処理レシピ等に対してレシピＩＤの新規発行を依頼する。そして、編集機能部２６は、レシピＩＤ発行部２７によって新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて、変更後の処理レシピ等を処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４または生産モード用処理レシピ記憶領域３５に格納する。
【００７０】
そして、編集機能部２６は、変更前の処理レシピ等に対応するレシピＩＤに対応付けられている製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、およびステータスを、レシピ検索ＤＢ３１から抽出し、抽出したこれらの情報に対応付けて、新規に発行されたレシピＩＤをレシピ検索ＤＢ３１に登録する。
【００７１】
このように、ユーザからの操作に応じて処理レシピが変更された場合に、変更後の処理レシピが、新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて処理レシピ記憶領域３３に格納される。そして、それぞれの処理装置４０からのレシピ要求に応じて、要求された処理レシピ等が、各処理装置４０に自動的に提供される。これにより、処理条件管理システム２０において処理レシピ等に対して行われた作業が自動的に全ての処理装置４０に展開され適用される。そのため、変更後の処理レシピ等が処理装置４０に確実に提供され、提供すべき処理レシピ等を、作業者が間違える等のミスを防止することができる。
【００７２】
また、ＵＳＢ（Universal  Serial  Bus）メモリ等の記憶媒体経由で処理レシピ等を、処理レシピの編集を行ったコンピュータから処理装置４０に格納させる場合には、処理レシピの持ち運びによるセキュリティの低下および業務効率の低下が懸念される。これに対し、本実施形態では、処理条件管理システム２０において管理されている処理レシピ等が、オンラインで各処理装置４０に提供されるため、セキュリティの低下や業務効率の低下を抑制することができる。
【００７３】
判定部２５は、処理レシピ等が変更された場合に、変更を行ったユーザの属性を判定し、変更された処理レシピ等のステータスを変更するか否かを判定する。判定部２５は、例えば、ユーザの属性毎に、当該属性のユーザが表示または変更した処理レシピ等に対して割り当てられるステータスを予め保持している。そして、判定部２５は、例えば、変更前の処理レシピ等に割り当てられているステータスと、変更を行ったユーザの属性に対応するステータスとが異なる場合に、変更後の処理レシピ等に割り当てられるステータスを、変更を行ったユーザの属性に対応するステータスに変更すると判定する。
【００７４】
ここで、変更前の処理レシピ等に割り当てられているステータスが「Certified」であり、変更後の処理レシピ等に割り当てられるステータスが「Certified」となる場合、変更により新規にレシピＩＤが割り当てられることにより、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、および装置ＩＤが同一の組み合わせに対して、「Certified」のステータスが対応付けられているレシピＩＤが複数存在することになる。そのため、新たに発行されたレシピＩＤに対応付けられたステータスが「Certified」である場合、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、および装置ＩＤが同一の組み合わせに対して、「Certified」のステータスが対応付けられている他のレシピＩＤのステータスは、「Certified」以外のステータス（例えば１つ下位のステータスである「Checked」）に変更される。
【００７５】
また、判定部２５は、編集機能部２６によって表示された処理レシピ等が変更されていない場合であっても、処理レシピ等を表示させたユーザの属性を判定し、処理レシピ等のステータスを変更するか否かを判定する。判定部２５は、例えば、表示された処理レシピ等に割り当てられているステータスが、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応付けられているステータスよりも下位のステータスである場合、表示された処理レシピ等に割り当てられるステータスを、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応付けられているステータスに変更すると判定する。
【００７６】
例えば、表示された処理レシピ等に割り当てられているステータスが「Created」であり、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応付けられているステータスが「Verified」である場合、判定部２５は、表示された処理レシピ等に割り当てられるステータスを、「Created」から「Verified」に変更すると判定する。例えば、エンジニアが作成して処理条件管理システム２０に登録した「Created」のステータスの処理レシピ等を、上司等の所定の権限を有するユーザが表示させ、文法の確認等を行った場合に、判定部２５は、当該処理レシピ等のステータスを「Created」から「Verified」に変更すると判定する。
【００７７】
一方、表示された処理レシピ等に割り当てられているステータスが、例えば「Checked」であり、当該処理レシピ等を表示させたユーザの属性に対応するステータスが、例えば「Checked」よりも下位のステータスである「Verified」である場合、判定部２５は、表示された処理レシピ等に割り当てられるステータスを変更不要と判定する。
【００７８】
変更部２４は、判定部２５によって処理レシピ等のステータスを変更すると判定された場合に、処理レシピ記憶領域３３内の処理レシピ等に対応付けられているステータスを変更する。また、変更部２４は、処理レシピ記憶領域３３内の処理レシピ等のステータスを変更した場合、レシピ検索ＤＢ３１内のステータスも併せて変更する。
【００７９】
規範処理レシピ生成部２２は、いずれかの処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４内の処理レシピおよび装置パラメータに対応付けられているステータスを監視する。そして、規範処理レシピ生成部２２は、ステータスが「Certified」に変更になった処理レシピおよび装置パラメータを、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４から読み出す。そして、規範処理レシピ生成部２２は、読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づいて、規範装置で同様の処理が実現される場合の処理レシピである規範処理レシピを生成する。なお、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４から読み出された装置パラメータは、規範処理レシピに含まれるパラメータの値として、規範処理レシピ内に組み入れられる。
【００８０】
そして、規範処理レシピ生成部２２は、レシピＩＤ発行部２７に、生成した規範処理レシピに対するレシピＩＤの新規発行を依頼する。そして、規範処理レシピ生成部２２は、レシピＩＤ発行部２７によって新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて、生成した規範処理レシピを、規範処理レシピ記憶領域３２に格納する。
【００８１】
機差調整部２３は、それぞれの処理装置４０について、規範装置との機差を調整する調整値を算出する。そして、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、算出した調整値を規範処理レシピに適用することで、処理レシピおよび装置パラメータを算出する。そして、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、算出した処理レシピおよび装置パラメータについて、レシピＩＤ発行部２７に、レシピＩＤの新規発行を依頼する。
【００８２】
また、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、その時点での最新のＡＥＣ＿ＶＰをＡＥＣ１５から取得する。そして、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、「Certified」のステータス、処理レシピ、装置パラメータ、およびＡＥＣ＿ＶＰを、新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて、処理レシピ記憶領域３３内の生産モード用処理レシピ記憶領域３５に格納する。
【００８３】
また、機差調整部２３は、所定のタイミング毎に、それぞれの処理装置４０について、処理装置４０の状態の変化を示すＡＥＣ＿ＶＰをＡＥＣ１５から取得する。そして、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、生産モード用処理レシピ記憶領域３５内のＡＥＣ＿ＶＰの値を、取得したＡＥＣ＿ＶＰの値で更新する。そして、機差調整部２３は、レシピＩＤ発行部２７に要求して、更新したＡＥＣ＿ＶＰに対応付けられているそれぞれのレシピＩＤに対して、新たなレシピＩＤの発行を依頼する。
【００８４】
そして、機差調整部２３は、生産モード用処理レシピ記憶領域３５内において、更新したＡＥＣ＿ＶＰに対応付けられているそれぞれのレシピＩＤを、レシピＩＤ発行部２７によって新たに発行されたレシピＩＤに置き換える。また、機差調整部２３は、レシピ検索ＤＢ３１内においても、同様にレシピＩＤの置き換えを行う。これにより、処理レシピおよび装置パラメータが同一であっても、ＡＥＣ＿ＶＰの値が変わるたびに、異なるレシピＩＤが割り当てられるため、古いＡＥＣ＿ＶＰの値が対応付けられた処理レシピが使い続けられることを防止することができる。
【００８５】
［処理装置４０による処理レシピの作成処理］
図１２は、処理装置４０による処理レシピの作成処理の一例を示すフローチャートである。
【００８６】
まず、レシピ編集部４４は、処理レシピおよび装置パラメータ等を非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出す。そして、レシピ編集部４４は、読み出した処理レシピおよび装置パラメータ等を表示部４６に表示し、操作部４５を介した処理装置４０のオペレータからの操作に応じて、読み出した処理レシピおよび装置パラメータ等を編集する（Ｓ１００）。
【００８７】
次に、レシピ編集部４４は、操作部４５を介したオペレータからの操作に応じて、編集された処理レシピおよび装置パラメータ等に対応付けられたテストＩＤを処理実行部４２へ送る。処理実行部４２は、レシピ編集部４４から受け取ったテストＩＤに対応付けられた処理レシピおよび装置パラメータを非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読出す。そして、処理実行部４２は、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出した処理レシピおよび装置パラメータに基づいて、ウエハに対して処理を実行する（Ｓ１０１）。
【００８８】
次に、レシピ編集部４４は、操作部４５を介して、テストＩＤと共に、処理レシピ等を処理条件管理システム２０に登録する指示を受け付けたか否かを判定する（Ｓ１０２）。処理レシピ等を処理条件管理システム２０に登録する指示を受け付けていない場合（Ｓ１０２：Ｎｏ）、レシピ編集部４４は、再びステップＳ１００に示した処理を実行する。
【００８９】
一方、処理レシピ等を処理条件管理システム２０に登録する指示を受け付けた場合（Ｓ１０２：Ｙｅｓ）、レシピ編集部４４は、テストＩＤに対応付けられた製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを、非生産モード用処理レシピ記憶領域５２から読み出す。そして、レシピ編集部４４は、読み出した製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を処理条件管理システム２０へ送信する（Ｓ１０３）。そして、処理装置４０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
【００９０】
［処理レシピ等に基づいたウエハの処理］
図１３は、処理レシピ等に基づいたウエハの処理の一例を示すフローチャートである。例えば、ＭＥＳ１２から処理の開始を指示された場合に、処理装置４０は、本フローチャートに示す処理を開始する。
【００９１】
まず、キャッシュ制御部４３は、生産モード用処理レシピ記憶領域５３内のデータ、および、キャッシュ領域５４内のデータを消去する（Ｓ２００）。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から、レシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信したか否かを判定する（Ｓ２０１）。レシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信していない場合（Ｓ２０１：Ｎｏ）、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から終了指示を受信したか否かを判定する（Ｓ２０９）。終了指示を受信していない場合（Ｓ２０９：Ｎｏ）、キャッシュ制御部４３は、再びステップＳ２０１に示した処理を実行する。一方、終了指示を受信した場合（Ｓ２０９：Ｙｅｓ）、処理装置４０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
【００９２】
レシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを受信した場合（Ｓ２０１：Ｙｅｓ）、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在するか否かを判定する（Ｓ２０２）。ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在する場合（Ｓ２０２：Ｙｅｓ）、キャッシュ制御部４３は、ステップＳ２０６に示す処理を実行する。
【００９３】
一方、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等がキャッシュ領域５４内に存在しない場合（Ｓ２０２：Ｎｏ）、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤを含むレシピ要求を処理条件管理システム２０へ送信する（Ｓ２０３）。そして、キャッシュ制御部４３は、処理条件管理システム２０から処理レシピ等を受信する（Ｓ２０４）。そして、キャッシュ制御部４３は、受信した処理レシピ等を、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応付けてキャッシュ領域５４に格納する（Ｓ２０５）。
【００９４】
次に、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤに対応する処理レシピ等をキャッシュ領域５４から読み出して生産モード用処理レシピ記憶領域５３に格納する（Ｓ２０６）。そして、キャッシュ制御部４３は、ＭＥＳ１２から受信したレシピＩＤおよびＡＰＣ＿ＶＰを処理実行部４２へ送る。
【００９５】
処理実行部４２は、キャッシュ制御部４３から受け取ったレシピＩＤに対応する処理レシピ等を、生産モード用処理レシピ記憶領域５３から読み出す。そして、処理実行部４２は、読み出した処理レシピ等と、キャッシュ制御部４３から受け取ったＡＰＣ＿ＶＰとに基づいて、ウエハに対して処理を実行する（Ｓ２０７）。そして、ウエハに対する処理が終了した場合、処理実行部４２は、処理に用いた処理レシピ等を、生産モード用処理レシピ記憶領域５３から削除する（Ｓ２０８）。そして、キャッシュ制御部４３は、再びステップＳ２０１に示した処理を実行する。
【００９６】
［処理レシピ等の登録処理］
図１４は、処理装置４０で作成された処理レシピ等を処理条件管理システム２０に登録する処理の一例を示すフローチャートである。例えば、処理レシピ登録部２８が、処理装置４０から、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、処理レシピ、および装置パラメータを含む登録要求を受信した場合に、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示す処理を開始する。
【００９７】
まず、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７に、登録要求に含まれている処理レシピ等に対してレシピＩＤの新規発行を依頼する（Ｓ３００）。そして、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７によって新規に発行されたレシピＩＤに対応付けて、処理レシピ等を、登録要求の送信元の処理装置４０に対応する処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４に登録する（Ｓ３０１）。
【００９８】
次に、処理レシピ登録部２８は、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４に登録した処理レシピ等に「Created」のステータスを対応付ける（Ｓ３０２）。そして、処理レシピ登録部２８は、レシピＩＤ発行部２７によって新規に発行されたレシピＩＤを、「Created」のステータスと共に、登録要求に含まれる製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、および装置ＩＤに対応付けて、レシピ検索ＤＢ３１に登録する（Ｓ３０３）。そして、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
【００９９】
［レシピＩＤの送信処理］
図１５は、ＭＥＳ１２からの問い合わせに応じて処理条件管理システム２０がレシピＩＤを送信する処理の一例を示すフローチャートである。
【０１００】
まず、通信部２１は、ＭＥＳ１２から、ロット情報、工程ＩＤ、および装置ＩＤを受信した場合に、ロット情報から製品ＩＤを抽出する（Ｓ４００）。そして、通信部２１は、レシピ検索ＤＢ３１を参照し、製品ＩＤ、工程ＩＤ、および装置ＩＤに対応付けられたレシピＩＤを特定する（Ｓ４０１）。そして、通信部２１は、特定したレシピＩＤをＭＥＳ１２へ送信する（Ｓ４０２）。そして、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
【０１０１】
［処理レシピの編集処理］
図１６は、処理条件管理システム２０による処理レシピの編集処理の一例を示すフローチャートである。
【０１０２】
まず、編集機能部２６は、入力装置２０１を介したユーザからの操作に応じて、ログイン処理を実行し（Ｓ５００）、ユーザを認証する。そして、編集機能部２６は、通信部２１を介してユーザからレシピＩＤを受け付けたか否かを判定する（Ｓ５０１）。ユーザからレシピＩＤを受け付けた場合（Ｓ５０１：Ｙｅｓ）、編集機能部２６は、受け付けたレシピＩＤに対応付けられた処理レシピ等を、処理レシピ記憶領域３３から読み出して表示装置２００に表示する（Ｓ５０２）。
【０１０３】
次に、編集機能部２６は、入力装置２０１を介したユーザからの操作に応じて、読み出した処理レシピ等を編集する（Ｓ５０３）。そして、編集機能部２６は、ユーザから終了指示を受け付けたか否かを判定する（Ｓ５０４）。終了指示を受け付けていない場合（Ｓ５０４：Ｎｏ）、編集機能部２６は、再びステップＳ５０３に示した処理を実行する。
【０１０４】
一方、終了指示を受け付けた場合（Ｓ５０４：Ｙｅｓ）、編集機能部２６は、処理レシピ等が変更されたか否かを判定する（Ｓ５０５）。なお、処理レシピ等の閲覧のみである場合、ユーザは、表示された処理レシピ等を閲覧した後、編集することなく終了指示を入力する。処理レシピ等が変更されていない場合（Ｓ５０５：Ｎｏ）、判定部２５は、ステップＳ５０９に示す処理を実行する。
【０１０５】
一方、処理レシピ等が変更された場合（Ｓ５０５：Ｙｅｓ）、編集機能部２６は、レシピＩＤ発行部２７に、変更後の処理レシピ等に対してレシピＩＤの新規発行を依頼する。レシピＩＤ発行部２７は、編集機能部２６からの依頼に応じて、ユニークなレシピＩＤを新規発行する（Ｓ５０６）。そして、編集機能部２６は、レシピＩＤ発行部２７によって新たに発行されたレシピＩＤに対応付けて、変更後の処理レシピ等を、変更前の処理レシピ等が格納されていた処理レシピ記憶領域３３内に格納する（Ｓ５０７）。
【０１０６】
次に、編集機能部２６は、ステップＳ５０２で受け付けたレシピＩＤに対応付けられている製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、およびステータスの情報をレシピ検索ＤＢ３１から抽出する。そして、編集機能部２６は、抽出した製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、およびステータスに対応付けて、新たに発行されたレシピＩＤをレシピ検索ＤＢ３１に登録する（Ｓ５０８）。
【０１０７】
次に、判定部２５は、処理レシピ等を表示させたユーザの属性に基づいて、処理レシピ等のステータスを変更するか否かを判定する（Ｓ５０９）。判定部２５がステータスを変更しないと判定した場合（Ｓ５０９：Ｎｏ）、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
【０１０８】
判定部２５がステータスを変更すると判定した場合（Ｓ５０９：Ｙｅｓ）、変更部２４は、ステップＳ５０７で格納した処理レシピ等に対応付けられているステータスを変更する（Ｓ５１０）。この時、レシピ検索ＤＢ３１内のステータスも併せて変更する。そして、処理条件管理システム２０は、本フローチャートに示した処理を終了する。
【０１０９】
図１７は、処理条件管理システム２０による規範処理レシピの生成および処理装置４０毎の処理レシピの作成の処理の一例を示すフローチャートである。
【０１１０】
まず、規範処理レシピ生成部２２は、いずれかの処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４内に格納された処理レシピ等のステータスが、「Certified」に変更されたか否かを判定する（Ｓ６００）。いずれかの処理レシピ記憶領域３３内の非生産モード用処理レシピ記憶領域３４内に格納された処理レシピ等のステータスが、「Certified」に変更された場合（Ｓ６００：Ｙｅｓ）、規範処理レシピ生成部２２は、非生産モード用処理レシピ記憶領域３４から処理レシピ等を読み出し（Ｓ６０１）、読み出した処理レシピ等を非生産モード用処理レシピ記憶領域３４から削除する（Ｓ６０２）。
【０１１１】
次に、規範処理レシピ生成部２２は、読み出した処理レシピ等に基づいて、規範装置で同様の処理が実現される場合の処理レシピである規範処理レシピを生成し、生成した規範処理レシピを、規範処理レシピ記憶領域３２に格納する（Ｓ６０３）。
【０１１２】
次に、機差調整部２３は、それぞれの処理装置４０について、規範装置との機差を調整する調整値を算出し、算出した調整値を規範処理レシピに適用することにより処理レシピ等を作成する（Ｓ６０４）。そして、機差調整部２３は、レシピＩＤ発行部２７に、作成した処理装置４０毎の処理レシピ等に対して、レシピＩＤの新規発行を依頼する。レシピＩＤ発行部２７は、機差調整部２３からの依頼に応じて、ユニークなレシピＩＤを新規発行する（Ｓ６０５）。
【０１１３】
次に、機差調整部２３は、処理装置４０毎に、生成した処理レシピ等を、その時点での最新のＡＥＣ＿ＶＰと共に、新たに発行されたレシピＩＤに対応付けて、処理レシピ記憶領域３３内の生産モード用処理レシピ記憶領域３５に格納する（Ｓ６０６）。そして、機差調整部２３は、製品ＩＤ、工程ＩＤ、装置型式、装置ＩＤ、レシピＩＤ、およびステータスを、レシピ検索ＤＢ３１に登録する（Ｓ６０７）。そして、規範処理レシピ生成部２２は、再びステップＳ６００に示した処理を実行する。
【０１１４】
［ハードウェア］
処理条件管理システム２０が１台のコンピュータによって実現される場合、当該コンピュータは、例えば図１８に示すような構成であってもよい。図１８は、処理条件管理システム２０の機能を実現するコンピュータ７０の一例を示す図である。コンピュータ７０は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）７１、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）７２、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）７３、補助記憶装置７４、通信インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７５、入出力インターフェイス（Ｉ／Ｆ）７６、およびメディアインターフェイス（Ｉ／Ｆ）７７を備える。
【０１１５】
ＣＰＵ７１は、ＲＯＭ７３または補助記憶装置７４に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ＲＯＭ７３は、コンピュータ７０の起動時にＣＰＵ７１によって実行されるブートプログラムや、コンピュータ７０のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。
【０１１６】
補助記憶装置７４は、例えばＨＤＤ（Hard  Disk  Drive）またはＳＳＤ（Solid  State  Drive）等であり、補助記憶装置７４によって実行されるプログラムおよび当該プログラムによって使用されるデータ等を格納する。ＣＰＵ７１は、当該プログラムを、例えば補助記憶装置７４から読み出してＲＡＭ７２上にロードし、ロードしたプログラムを実行する。通信Ｉ／Ｆ７５は、ＥＩ等の通信ＮＷ（ネットワーク）を介して他の装置からデータを受信してＣＰＵ７１へ送り、ＣＰＵ７１が生成したデータを、通信ＮＷを介して他の装置へ送信する。
【０１１７】
ＣＰＵ７１は、入出力Ｉ／Ｆ７６を介して、表示装置２００および入力装置２０１を制御する。ＣＰＵ７１は、入出力Ｉ／Ｆ７６を介して、入力装置２０１からデータを取得する。また、ＣＰＵ７１は、生成したデータを、入出力Ｉ／Ｆ７６を介して表示装置２００へ出力する。
【０１１８】
メディアＩ／Ｆ７７は、記録媒体７８に格納されたプログラムまたはデータを読み取り、補助記憶装置７４に格納する。記録媒体７８は、例えばＤＶＤ（Digital  Versatile  Disc）、ＰＤ（Phase  change  rewritable  Disk）等の光学記録媒体、ＭＯ（Magneto-Optical  disk）等の光磁気記録媒体、テープ媒体、磁気記録媒体、または半導体メモリ等である。
【０１１９】
コンピュータ７０のＣＰＵ７１は、ＲＡＭ７２上にロードされたプログラムを実行することにより、通信部２１、規範処理レシピ生成部２２、機差調整部２３、変更部２４、判定部２５、編集機能部２６、レシピＩＤ発行部２７、処理レシピ登録部２８、処理レシピ提供部２９、および記憶部３０の各機能を実現する。また、ＲＯＭ７３または補助記憶装置７４には、記憶部３０内のデータが格納される。
【０１２０】
コンピュータ７０のＣＰＵ７１は、これらのプログラムを、記録媒体７８から読み取って補助記憶装置７４に格納するが、他の例として、他の装置から、通信ＮＷを介してこれらのプログラムを取得して補助記憶装置７４に格納してもよい。
【０１２１】
以上、一実施形態について説明した。本実施形態の生産システム１によれば、ＭＥＳにかかる負担を低減しつつ、処理レシピ等の処理条件を集中管理することが可能となる。
【０１２２】
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
【０１２３】
例えば、処理条件管理システム２０の記憶部３０内のレシピ検索ＤＢ３１には、装置ＩＤに対応付けて、ロット情報およびレシピＩＤが格納されていてもよい。この場合、通信部２１は、装置ＩＤおよびロット情報をＭＥＳ１２から受信した場合に、受信した装置ＩＤおよびロット情報に対応付けられたレシピＩＤをレシピ検索ＤＢ３１内で特定し、特定したレシピＩＤをＭＥＳ１２へ送信する。
【０１２４】
また、生産計画システム１０、ＦＩＣＳ１１、および処理条件管理システム２０は、１台のコンピュータによって実現されてもよく、それぞれの装置内の機能を、複数のコンピュータに分散配置させ、これらのコンピュータが、通信ＮＷを介して互いに協調動作し、複数のコンピュータが全体としてそれぞれの装置の機能を実現するようにしてもよい。特に、処理条件管理システム２０が有する記憶部３０内のデータは、処理条件管理システム２０の外部の装置内に設けられていてもよい。この場合、処理条件管理システム２０は、通信ＮＷを介して当該外部の装置にアクセスすることにより、当該外部の装置から、記憶部３０内のデータを取得する。
【０１２５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者には明らかである。また、そのような変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【０１２６】
１１  ＦＩＣＳ
２０  処理条件管理システム
２１  通信部
２９  処理レシピ提供部
３０  記憶部
４０  処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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