(57)【要約】      （修正有）【課題】スペクトル幅の広いパルスレーザー光線を波長変換手段により波長変換する際に、効率よく波長変換できる波長変換装置を提供する。【解決手段】パルスレーザー光線を発振する発振器４４ｂと、そのスペクトル幅の中から少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線を選択する波長選択手段４４１と、選択された波長のパルスレーザー光線のうち、少なくともいずれかのパルスレーザー光線に遅延時間を与えて選択された少なくとも２種類のパルスレーザー光線に時間間隔を生じさせる遅延時間生成手段４４２と、時間間隔を生じさせられたパルスレーザー光線の各々のエネルギーを増幅するエネルギー増幅手段４４３と、遅延時間を修正して増幅された少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線の進行を同じにする遅延時間修正手段４４４と、同時進行する少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線の波長を変換する波長変換手段４４５とから構成さる。【選択図】図２
2018010123.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルスレーザー光線の波長を変換する波長変換装置であって、
パルスレーザー光線を発振する発振器と、該発振器が発振したパルスレーザー光線のスペクトル幅の中から少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線を選択する波長選択手段と、選択された波長のパルスレーザー光線のうち、少なくともいずれかのパルスレーザー光線に遅延時間を与えて該選択された少なくとも２種類のパルスレーザー光線に時間間隔を生じさせる遅延時間生成手段と、該時間間隔を生じさせられた該パルスレーザー光線の各々のエネルギーを増幅するエネルギー増幅手段と、該遅延時間を修正して増幅された少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線の進行を同じにする遅延時間修正手段と、同時進行する少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線の波長を変換する波長変換手段と、から少なくとも構成される波長変換装置。
【請求項２】
該発振器は、１０６４ｎｍの波長を頂点とするスペクトル幅を有するパルスレーザー光線を発振し、該波長選択手段は１０６４ｎｍに近傍する２種類の波長のパルスレーザー光線を選択し、該波長変換手段は５３２ｎｍ波長のパルスレーザー光線を生成する請求項１に記載の波長変換装置。
【請求項３】
請求項１に記載された波長変換装置であって、
更に、波長分離手段と、波長合成手段とを含んでおり、
該遅延時間修正手段は第１の遅延時間修正手段と第２の遅延時間修正手段とを含み、
該波長変換手段は、第１の波長変換手段と、第２の波長変換手段とを含み、
該発振器は、１０６４ｎｍの波長を頂点とするスペクトル幅を有するパルスレーザー光線を発振し、該波長選択手段は１０６４ｎｍに近傍する３種類の波長のパルスレーザー光線を選択して出力し、該遅延時間生成手段は該３種類の波長のパルスレーザー光線の少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線に遅延時間を与えて該３種類のパルスレーザー光線に時間間隔を生じさせ、該エネルギー増幅手段で該３種類のパルスレーザー光線のエネルギーが増幅され、
各々のエネルギーが増幅された該３種類の波長のパルスレーザー光線は、該波長分離手段によって２つのパルスレーザー光線と、１つのパルスレーザー光線とに分離され、該２つのパルスレーザー光線は該遅延時間修正手段を構成する第１の遅延時間修正手段と、該波長変換手段を構成する第１の波長変換手段に導かれ５３２ｎｍ波長のパルスレーザー光線に変換されて該波長合成手段に至り、
該１つのパルスレーザー光線は、該遅延時間修正手段を構成する第２の遅延時間修正手段と該波長合成手段とに導かれ、該遅延時間修正手段の作用により進行が同じにされ該波長合成手段により合成されたパルスレーザー光線が該波長変換手段を構成する第２の波長変換手段によって３５５ｎｍ波長のパルスレーザー光線に変換される波長変換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パルスレーザー光線の波長を変換する波長変換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、レーザー加工装置によって分割予定ラインにレーザー光線が照射され個々のデバイスに分割されて携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
レーザー加工装置は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持され被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、から少なくとも構成され、該レーザー光線照射手段は被加工物に加工を施す波長のレーザー光線を発振するレーザー光線発振器と、該レーザー光線発振器が発振したレーザー光線を集光し、該保持手段に保持された被加工物にレーザー光線を照射する集光器と、該レーザー光線発振器と該集光器との間に配置されレーザー光線の出力を調整するアッテネータおよびビーム径を調整するビームエキスパンダー等の光学系と、から構成されていて、被加工物に所望の加工を施すことができる（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００４】
また、レーザー光線発振器が発振するレーザー光線の波長が、３５５ｎｍ、２６６ｎｍと短波長の場合には、光学系が比較的短時間に損傷して光学系を高い頻度で交換しなければならず、不経済であるという問題がある。このような問題を解決するために、レーザー光線発振器が発振するレーザー光線の波長を例えば１０６４ｎｍと比較的長い波長に設定し、集光器の手前で、非線形光学結晶（例えば、ＬＢＯ：ＬｉＢ３Ｏ５  リチウムトリボレート等）を含む波長変換手段によって３５５ｎｍ等の短波長のレーザー光線に変換する技術が開発されている（例えば、特許文献２を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１０８４７８号公報
【特許文献２】特開２０１３−１９３０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、レーザー光線の発振源として、ファイバーレーザーを用いる場合は、レーザー光線のピークパワーが高く、自己位相変調(Ｓｅｌｆ  Ｐｈａｓｅ  Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ：ＳＰＭ）効果によって、位相がシフトする位相変調を受ける現象が生じ、スペクトル幅が広がってしまう。このようにスペクトル幅が広がってしまうと、非線形光学結晶等の波長変換手段によって波長を変換する際、例えば１０６４ｎｍの波長から、３５５ｎｍの波長のレーザー光線に変換すると、変換効率が悪くなるという問題が生じる。
【０００７】
本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、スペクトル幅の広いパルスレーザー光線を波長変換手段により波長変換する際に、効率よく波長変換できる波長変換装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、パルスレーザー光線の波長を変換する波長変換装置であって、パルスレーザー光線を発振する発振器と、該発振器が発振したパルスレーザー光線のスペクトル幅の中から少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線を選択する波長選択手段と、選択された波長のパルスレーザー光線のうち、少なくともいずれかのパルスレーザー光線に遅延時間を与えて該選択された少なくとも２種類のパルスレーザー光線に時間間隔を生じさせる遅延時間生成手段と、該時間間隔を生じさせられた該パルスレーザー光線の各々のエネルギーを増幅するエネルギー増幅手段と、該遅延時間を修正して増幅された少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線の進行を同じにする遅延時間修正手段と、同時進行する少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線の波長を変換する波長変換手段と、から少なくとも構成される波長変換装置が提供される。
【０００９】
該発振器は、１０６４ｎｍの波長を頂点とするスペクトル幅を有するパルスレーザー光線を発振し、該波長選択手段は１０６４ｎｍに近傍する２種類の波長のパルスレーザー光線を選択し、該波長変換手段は５３２ｎｍ波長のパルスレーザー光線を生成するように構成することができる。
【００１０】
該波長変換装置は、更に、波長分離手段と、波長合成手段とを含んでおり、該遅延時間修正手段は第１の遅延時間修正手段と第２の遅延時間修正手段とを含み、該波長変換手段は、第１の波長変換手段と、第２の波長変換手段とを含み、該発振器は、１０６４ｎｍの波長を頂点とするスペクトル幅を有するパルスレーザー光線を発振し、該波長選択手段は１０６４ｎｍに近傍する３種類の波長のパルスレーザー光線を選択して出力し、該遅延時間生成手段は該３種類の波長のパルスレーザー光線の少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線に遅延時間を与えて該３種類のパルスレーザー光線に時間間隔を生じさせ、該エネルギー増幅手段で該３種類のパルスレーザー光線のエネルギーが増幅され、各々のエネルギーが増幅された該３種類の波長のパルスレーザー光線は、該波長分離手段によって２つのパルスレーザー光線と、１つのパルスレーザー光線とに分離され、該２つのパルスレーザー光線は該遅延時間修正手段を構成する第１の遅延時間修正手段と、該波長変換手段を構成する第１の波長変換手段に導かれ５３２ｎｍ波長のパルスレーザー光線に変換されて該波長合成手段に至り、該１つのパルスレーザー光線は、該遅延時間修正手段を構成する第２の遅延時間修正手段と該波長合成手段とに導かれ、該遅延時間修正手段の作用により進行が同じにされ該波長合成手段により合成されたパルスレーザー光線が該波長変換手段を構成する第２の波長変換手段によって３５５ｎｍ波長のパルスレーザー光線に変換される構成とすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の波長変換装置においては、パルスレーザー光線を発振する発振器と、該発振器が発振したパルスレーザー光線のスペクトル幅の中から少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線を選択する波長選択手段と、選択された波長のパルスレーザー光線のうち、少なくともいずれかのパルスレーザー光線に遅延時間を与えて該選択された少なくとも２種類のパルスレーザー光線に時間間隔を生じさせる遅延時間生成手段と、該時間間隔を生じさせられた該パルスレーザー光線の各々のエネルギーを増幅するエネルギー増幅手段と、該遅延時間を修正して増幅された少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線の進行を同じにする遅延時間修正手段と、同時進行する少なくとも２種類の波長のパルスレーザー光線の波長を変換する波長変換手段と、から少なくとも構成されることにより、レーザー光線発振器から、スペクトル幅が広いパルスレーザー光線が発振されたとしても、波長変換手段に導かれるパルスレーザー光線のスペクトル幅を狭くすることができ、波長変換手段における変換効を向上させるという作用効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に基づき構成される波長変換装置を備えたレーザー加工装置の全体斜視図である。
【図２】本発明の波長変換装置の実施形態の概要を説明するためのブロック図である。
【図３】本発明の波長変換装置の他の実施形態の概要を説明するためのブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明による波長変換装置の実施形態について添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【００１４】
図１には、本発明の波長変換装置を備えた加工装置として例示するレーザー加工装置４０の全体斜視図が示されている。図に示すレーザー加工装置４０は、基台４１と、例えば、粘着テープＴを介して環状のフレームＦに保持されたウエーハ１０を保持する保持手段４２と、保持手段４２を移動させる移動手段４３と、保持手段４２に保持される被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構４４と、を備えている。
【００１５】
保持手段４２は、図中に矢印Ｘで示すＸ方向において移動自在に基台４１に搭載された矩形状のＸ方向可動板６０と、図中に矢印Ｙで示すＹ方向において移動自在にＸ方向可動板６０に搭載された矩形状のＹ方向可動板６１と、Ｙ方向可動板６１の上面に固定された円筒状の支柱６２と、支柱６２の上端に固定された矩形状のカバー板６３とを含む。カバー板６３には該カバー板６３上に形成された長穴を通って上方に延びる円形状の被加工物を保持する保持テーブル６４の上面には、多孔質材料から形成され実質上水平に延在する円形状の吸着チャック６５が配置されている。吸着チャック６５は、支柱６２を通る流路によって図示しない吸引手段に接続されている。なお、Ｘ方向は図１に矢印Ｘで示す方向であり、Ｙ方向は図２に矢印Ｙで示す方向であってＸ方向に直交する方向である。Ｘ方向、Ｙ方向で規定される平面は実質上水平である。
【００１６】
移動手段４３は、Ｘ方向移動手段８０と、Ｙ方向移動手段８２と、を含む。Ｘ方向移動手段８０は、Ｘ方向移動手段８０は、モータの回転運動を直線運動に変換してＸ方向可動板６０に伝達し、基台４１上の案内レールに沿ってＸ方向可動板６０をＸ方向において進退させる。Ｙ方向移動手段８２は、モータの回転運動を直線運動に変換し、Ｙ方向可動板６１に伝達し、Ｘ方向可動板６０上の案内レールに沿ってＹ方向可動板６１をＹ方向において進退させる。なお、図示は省略するが、Ｘ方向移動手段８０、Ｙ方向移動手段８２には、それぞれ位置検出手段が配設されており、保持テーブル６４のＸ方向の位置、Ｙ方向の位置、周方向の回転位置が正確に検出され、後述する制御手段から指示される信号に基づいてＸ方向移動手段８０、Ｙ方向移動手段８２が駆動され、任意の位置および角度に保持テーブル６４を正確に位置付けることが可能になっている。
【００１７】
図２に示すように、レーザー光線照射機構４４は、パルスレーザー光線を集光して被加工物に照射する集光器４４ａと、パルスレーザー光線を発振する発振器４４ｂおよび該発振器４４ｂから発振された該パルスレーザー光線の波長を変換する波長変換部４４ｃからなる波長変換装置５０を少なくとも備えている。なお、図では省略しているが、レーザー光線照射機構４４には、光路を偏向するための反射ミラー、出力を調整するためのアッテネータ、吸着チャック６５上のウエーハ１０上に施される加工痕を確認するための撮像手段等各種の装置をさらに備えることができ、図示以外の構成を備えることを妨げない。
【００１８】
パルスレーザー光線を発振する発振器４４ｂは、１０６４ｎｍを頂点とする波長を有するパルスレーザー光線を発振するファイバーレーザー発振器である。この発振器４４ｂから照射されるパルスレーザー光線λは、図２に示すように、横軸に波長（ｗ）、縦軸をスペクトル密度としてその分布を表す場合に自己位相変調効果の影響により、１０６２ｎｍ〜１０６６ｎｍの波長を含むスペクトル幅を有している。
【００１９】
波長変換部４４ｃは、２つの波長を選択する波長選択手段４４１、遅延時間生成手段４４２、エネルギー増幅手段４４３、遅延時間修正手段４４４、波長変換手段４４５を少なくとも備えており、各構成による作用について以下に説明する。
【００２０】
発振器４４ｂで発振された上記１０６２ｎｍ〜１０６６ｎｍ波長のスペクトル幅を有するパルスレーザー光線λを波長選択手段４４１に入射させる。該波長選択手段４４１は、入射されたパルスレーザー光線λを、波長１０６２ｎｍのパルスレーザー光線λ１と、波長が１０６６ｎｍのパルスレーザー光線λ２とに選択的に分離して各々を出射する光学フィルターからなっている。
【００２１】
次に、波長選択手段４４１から出力されるパルスレーザー光線λ１、λ２が遅延時間生成手段４４２に入射される。遅延時間発生手段４４２は、例えば、体積ブラッググレーティング（ＶＢＧ）、ファイバーブラッググレーティング（ＦＢＧ）、あるいは、その余の一般的な回析格子等によって形成され、少なくとも一方の、例えばパルスレーザー光線λ２の通過時間が長くなるように実質的に光路長を長くして、パルスレーザー光線λ１に対して所定の遅延時間が発生するように設定されている。そして、該遅延時間を発生させることにより、パルスレーザー光線λ１と、パルスレーザー光線λ２との間に、所定の遅延時間に基づく時間間隔を生じさせて遅延時間発生手段４４２からパルスレーザー光線λ１、パルスレーザー光線λ２を出射する。
【００２２】
次に、遅延時間発生手段４４２から出射されたパルスレーザー光線λ１、λ２は、エネルギー増幅手段４４３に入射され、各々の出力（パルスエネルギー）が増幅されて出射される。
【００２３】
該エネルギー増幅手段４４３により出力が増幅されたパルスレーザー光線λ１、λ２は、遅延時間修正手段４４４に入射される。この遅延時間修正手段４４４に入射されたパルスレーザー光線λ１、λ２は、上述した遅延時間生成手段４４２の作用により、パルスレーザー光線λ１に対しパルスレーザー光線λ２が所定の遅延時間をもって進行し、該所定の遅延時間分だけ時間間隔が生じさせられている。そこで、遅延時間修正手段４４４では、先に進行するパルスレーザー光線λ１に対し、該所定の時間だけ遅延させる構成を備え、時間間隔をもって入射された２つのパルスレーザー光線λ１、λ２の時間間隔を解消し、２つの波長のパルスレーザー光線λ１、λ２の進行が同じになるようにされたパルスレーザー光線λ３として出力する。なお、パルスレーザー光線λ１に対して遅延時間を発生させて時間間隔を解消するための構成は、上述した遅延時間発生手段４４２においてパルスレーザー光線λ２に対して遅延時間を発生させる構成と略同様(遅延させるパルスレーザー光線の波長が異なるのみ）であるため、その詳細な説明は省略する。
【００２４】
該遅延時間修正手段４４４から出射されたパルスレーザー光線λ３は、波長変換手段４４５に入射される。波長変換手段４４５としては、一般的に知られた、非線形光学結晶（例えば、ＬＢＯ：ＬｉＢ３Ｏ５  リチウムトリボレート）を採用することができる。そして、波長変換手段４４５に入射されたパルスレーザー光線λ３は、５３２ｎｍ波長のパルスレーザー光線に変換されて出射される。以上のようにして、発振器４４ｂから発振されたパルスレーザー光線λは、波長変換部４４ｃにより波長変換が実行される。
【００２５】
本発明により構成された上記波長変換装置５０によれば、例えば、ファイバーレーザー発振器においてスペクトル幅が広がってしまったパルスレーザー光線を波長変換する場合であっても、２種類の波長のパルスレーザー光線をスペクトル線幅が狭い種光として選択的に取り出す。そして、少なくとも一方に対して遅延時間を発生させることにより時間間隔を発生させた上で、各々のパルスレーザー光線の出力を増幅して、該増幅を実行した後に、該遅延時間により生じさせられていた時間間隔を解消し、２種類のパルスレーザー光線の進行を同じにした上で波長変換手段により波長変換を行う。これにより、高い波長変換効率が実現され、レーザー加工を実行する際の加工効率を向上させることができる。
【００２６】
なお、上記した波長選択手段４４１では、発振器４４ｂから発振されたパルスレーザー光線から、１０６２ｎｍ波長のパルスレーザー光線と、１０６６ｎｍ波長のパルスレーザー光線とを選択的に抽出したが、選択される２種類の波長の組み合わせはこれに限定されるものではなく、例えば、１０６３ｎｍ波長のパルスレーザー光線と、１０６５ｎｍ波長のパルスレーザー光線とを選択するようにしてもよく、発振器４４ｂから発振されるパルスレーザー光線λのスペクトル幅に含まれる２種類の異なる波長のパルスレーザーを選択するものであれば、どのような波長の組み合わせでもあってもよい。
【００２７】
図３を参照しながら、本発明の波長変換装置の他の実施形態について説明する。図３に示すレーザー光線照射機構４４も、上述した図２に記載の実施形態と同様に、１０６４ｎｍを頂点とする１０６２ｎｍ〜１０６６ｎｍのスペクトル幅を有するパルスレーザー光線を発振する発振器４４ｂと、波長変換部４４ｃ´と、集光器４４ａから構成されている点で一致している。また、上述した図２の実施形態と対比すると、両者は波長変換部４４ｃ´において、入射されたパルスレーザー光線λが、３５５ｎｍ波長のパルスレーザー光線に変換されて出射される点で相違しており、以下に、該相違点を中心に説明する。
【００２８】
波長変換部４４ｃ´は、３つの波長を選択する波長選択手段４６１、遅延時間生成手段４６２、エネルギー増幅手段４６３、波長分離手段４６４、第１の遅延時間修正手段４６５、第１の波長変換手段４６６、第２の遅延時間修正手段４６７、波長合成手段４６８、及び、第２の波長変換手段、を備えており、波長変換部４４ｃ´の作用について以下に説明する。
【００２９】
発振器４４ｂで発振された１０６２ｎｍ〜１０６６ｎｍのスペクトル幅を有するパルスレーザー光線λは、初めに波長選択手段４６１に入射させられる。該波長選択手段４６１は、入射されたパルスレーザー光線λから、波長１０６２ｎｍのパルスレーザー光線λ１と、波長が１０６６ｎｍのパルスレーザー光線λ２に加え、１０６４ｎｍ波長のパルスレーザー光線λ４とを選択的に分離して各々を出射する。
【００３０】
波長選択手段４６１により選択されたパルスレーザー光線λ１、λ２、λ４は、遅延時間生成手段４６２に入射され、少なくとも２種類のパルスレーザー光線（本実施形態ではパルスレーザー光線λ１、λ２）に所定の時間だけ遅延時間を与え、パルスレーザー光線λ４、λ１、λ２の順に、同じ時間間隔を生じさせて出射する。そして、該時間間隔が与えられたパルスレーザー光線λ４、λ１、λ２をエネルギー増幅手段４６３に入射する。
【００３１】
エネルギー増幅手段４６３に入射されたパルスレーザー光線λ４、λ１、λ２は、それぞれエネルギーが増幅されて出射され、波長分離手段４６４に入射される。波長分離手段４６４は、波長選択手段４６１と同様の構成をとることができ、パルスレーザー光線λ１、λ２の波長を透過する光学フィルター、パルスレーザー光線λ４の波長を分岐する光学フィルターから構成することにより、パルスレーザー光線λ１、λ２と、パルスレーザー光線λ４をそれぞれ別の光路に出射する。
【００３２】
波長分離手段４６４において分離されたパルスレーザー光線λ１、λ２は、遅延時間生成手段４６２によって与えられた時間間隔をもって第１の遅延時間修正手段４６５に送られ、第１の遅延時間修正手段４６５の作用により、先行するパルスレーザー光線λ１に所定の時間だけ遅延時間を与えることにより、該時間間隔を解消し、パルスレーザー光線λ２と進行が同じになるように合成される。
【００３３】
第１の遅延時間修正手段４６５において遅延時間が解消され同時に進行するように合成されたパルスレーザー光線λ１、λ２は、第１の波長変換手段４６６に入射され、５３２ｎｍ波長のパルスレーザー光線λ３に変換され出射される。なお、本実施形態の第１の遅延時間修正手段４６５、第１の波長変換手段４６６は、上述した図２に示す実施形態の遅延時間修正手段４４４、波長変換手段４４５と全く同一の構成とすることができる。
【００３４】
波長分離手段４６４において分離された他方のパルスレーザー光線λ４は、第２の遅延時間修正手段４６７に入射される。第２の遅延時間修正手段４６７では、入射されたパルスレーザー光線λ４に対し、別の光路を通って後の工程で合成されるパルスレーザー光線λ３と同じ進行になるように、すなわち、先に遅延時間生成手段４６２においてパルスレーザー光線λ２に与えられた遅延時間だけ修正され、後工程で合成された際にパルスレーザー光線λ３に対する時間間隔が生じないように調整される。
【００３５】
５３２ｎｍ波長のパルスレーザー光線に変換されたパルスレーザー光線λ３と、遅延時間が調整された１０６４ｎｍ波長のパルスレーザー光線λ４が、波長合成手段４６８に入射され合成される。波長合成手段４６８としては、特定の波長のみを透過し、それ以外の波長の光線を反射する光学手段を採用することができる。このような波長合成手段４６８を用いて、１０６４ｎｍ波長のパルスレーザー光線λ４を透過させると共に、波長変換手段４６７において変換された５３２ｎｍ波長のパルスレーザー光線λ３を反射させ、光路を一致させてパルスレーザー光線λ３、λ４を合成し出射する。
【００３６】
該波長合成手段４６８において合成されたパルスレーザー光線λ３、λ４は、第２の波長変換手段４６９に入射され、３５５ｎｍ波長のパルスレーザー光線λ５を出射する。第２の波長変換手段４６９は、２種類の波長（５３２ｎｍ、１０６４ｎｍ）のパルスレーザー光線を入射することで、３５５ｎｍ波長のレーザー光を得ることができる非線形結晶からなり、例えば、ＬＢＯ：ＬｉＢ３Ｏ５  リチウムトリボレート）を採用することができる。なお、当該ＬＢＯは、第１の波長変換手段と同素材の非線形結晶であるが、第１の波長変換手段のＬＢＯとは、その結晶軸方位が異なっており変換する波長に合わせて制作されている。
【００３７】
本実施形態における波長変換部４４ｃ´は以上のように構成されており、発振器４４ｂによって発振されたスペクトル幅が広いパルスレーザー光線λが、効率よく３５５ｎｍ波長のパルスレーザー光線λ５に変換され集光器４４ａを介して被加工物であるウエーハ１０に照射される。
【符号の説明】
【００３８】
１０：ウエーハ
４０：レーザー加工装置
４１：基台
４２：保持手段
４３：移動手段
４４：レーザー光線照射機構
４４ａ：集光器
４４ｂ：発振器
４４ｃ、４４ｃ´：波長変換部
４４１、４６１：波長選択手段
４４２、４６２：遅延時間生成手段
４４３、４６３：エネルギー増幅手段
４４４：遅延時間修正手段
４４５：波長変換手段
４６４：波長分離手段
４６５：第１の遅延時間修正手段
４６６：第１の波長変換手段
４６７：第２の遅延時間修正手段
４６８：波長合成手段
４６９：第２の波長変換手段
【図１】
2018010123.tif 000003
【図２】
2018010123.tif 000004
【図３】
2018010123.tif 000005