(57)【要約】【課題】反りを有する支持部材が使用された場合でも、保護部材の突出量を高精度に調整することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  先ず、素子基板２を接着するための接着剤層１２と、接着剤層１２の周囲に設けられ、変形および硬化が可能な突起部１３とが設けられた支持部材１を形成する。その後、吸着面１０１と吸着面１０１と略平行な基準形成面１０２とを有するフィンガの吸着面１０１にて素子基板２を吸着する。そして、その吸着した素子基板２を支持部材１に接着剤層１２を介して載置して接着させつつ、基準形成面１０２で突起部１３を押圧して変形させ、さらに突起部１３を硬化させて基準部１４として形成する。その後、保護部材３を基準部１４に当接させながら支持部材１に接合する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する素子基板と、前記素子基板を支持する支持部材と、前記素子基板を保護する保護部材とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記素子基板を接着するための接着剤層と、前記接着剤層の周囲に設けられ、変形および硬化が可能な突起部とが設けられた前記支持部材を形成する突起形成工程と、
吸着面と前記吸着面と略平行な基準形成面とを有する吸着部材の前記吸着面にて前記素子基板を吸着し、当該吸着した素子基板を前記支持部材に前記接着剤層を介して載置して接着させつつ、前記基準形成面で前記突起部を押圧して前記突起部を変形させ、さらに当該突起部を硬化させて基準部として形成する基準形成工程と、
前記基準部に前記保護部材を当接させながら、前記保護部材を前記支持部材に接合する接合工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記基準部は３つ以上設けられる、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記基準形成工程では、前記基準部のうち最も突出した３つの基準部を直線で結んだ領域に、前記支持部材の重心が含まれるように前記基準部を形成する、請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記突起部は、前記吸着面の両側に設けられた前記基準形成面のそれぞれで押圧されるように、前記支持部材の短手方向における前記接着剤層の両側に設けられる、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記突起部は、熱硬化性接着剤で形成される請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記突起部は、熱硬化性樹脂で形成される請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記突起部は、熱可塑性樹脂で形成される請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記突起部は、前記接着剤層と同じ材料で形成される請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
支持部材と、前記支持部材に支持された液体を吐出する素子基板と、前記素子基板を保護する保護部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記保護部材は、前記素子基板よりも突出し、かつ、前記支持部材に設けられた突起部である基準部に当接した状態で前記支持部材に接合されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクなどの液体を吐出する液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置のような液体吐出装置で使用される液体吐出ヘッドでは、高精細な印字品位などを得るために、液体を吐出する素子基板と被記録媒体との間の距離を短くして、液体の被記録媒体への着弾精度を高める技術が検討されている。また、これとは別に、素子基板と被記録媒体とが接触して素子基板が損傷しないように、素子基板よりも被記録媒体側に突出した保護部材を液体吐出ヘッドに設ける技術も検討されている。これらの技術を用いて高精細な印字品位と素子基板の保護とを両立するためには、保護部材の突出量を高精度に調整して、素子基板と被記録媒体との間の距離をできるだけ短くしつつ、素子基板よりも突出した保護部材を形成することが必要となる。
特許文献１には、ステンレスなどで形成された基板（支持部材）に対して、液体を吐出する吐出口形成部材（素子基板）と保護部材とを接合する液体吐出ヘッドが開示されている。この液体吐出ヘッドでは、保護部材を吐出口形成部材よりも厚くすることで、保護部材を素子基板よりも被記録媒体側に突出させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−０１４５０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、液体吐出ヘッドの低コスト化のために、支持部材の材料として安価な樹脂材料が注目されている。しかしながら、支持部材を樹脂材料で形成すると、特に液体吐出ヘッドが長尺の場合、支持部材が液体の吐出方向に大きく反ってしまうことがある。
反りを有する支持部材に対して素子基板を接着する場合、素子基板と支持部材とを接着する接着剤層の厚さを場所に応じて変えることで、全ての素子基板の高さを揃えることが考えられる。よって、反りを有する支持部材に対して特許文献１に記載の保護部材を接合する場合、素子基板から突出する保護部材の突出量を均一にするために、保護部材と支持部材とを接着する接着剤層の厚さを場所に応じて変えることが考えられる。しかしながら、接着剤層の厚さが場所によって変わると、接着剤を硬化させた際の収縮量の差によって保護部材の高さ方向の位置が変化してしまう恐れがある。この場合、保護部材の突出量を高精度に調整することが難しく、場合によっては、素子基板が保護部材よりも突出してしまうことがある。
【０００５】
そこで、本発明は、反りを有する支持部材が使用された場合でも、保護部材の突出量を高精度に調整することが可能な液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出する素子基板と、前記素子基板を支持する支持部材と、前記素子基板を保護する保護部材とを有する液体吐出ヘッドの製造方法において、前記素子基板を接着するための接着剤層と、前記接着剤層の周囲に設けられ、変形および硬化が可能な突起部とが設けられた前記支持部材を形成する突起形成工程と、吸着面と前記吸着面と略平行な基準形成面とを有する吸着部材の前記吸着面にて前記素子基板を吸着し、当該吸着した素子基板を前記支持部材に前記接着剤層を介して載置して接着させつつ、前記基準形成面で前記突起部を押圧して前記突起部を変形させ、さらに当該突起部を硬化させて基準部として形成する基準形成工程と、前記基準部に前記保護部材を当接させながら、前記保護部材を前記支持部材に接合する接合工程と、を含むことを特徴とする。
本発明による液体吐出ヘッドは、支持部材と、前記支持部材に支持された液体を吐出する素子基板と、前記素子基板を保護する保護部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記保護部材は、前記支持部材に設けられた突起部である基準部に当接した状態で前記支持部材に接合されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、反りを有する支持部材が使用された場合でも、保護部材の突出量を高精度に調整することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。
【図２】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法で使用するフィンガを示す図である。
【図３】第１の実施形態に係る塗布工程を説明するための図である。
【図４】第１の実施形態に係る基準形成工程を説明するための図である。
【図５】第１の実施形態に係る基準形成工程を説明するための図である。
【図６】第１の実施形態に係る接合工程で使用する接合ジグを示す図である。
【図７】第１の実施形態に係る接合工程を説明するための図である。
【図８】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す図である。
【図９】第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの支持部材を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、各図面において同じ機能を有するものには同じ符号を付け、その説明を省略する場合がある。
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッド（より具体的には、液体吐出ヘッドで使用される素子基板）の要部を示す概略斜視図である。図１に示す液体吐出ヘッド１０は、支持部材１と、液体を吐出する吐出口（図示せず）を備えた素子基板２と、素子基板２を保護する保護部材３とを備える。素子基板２および保護部材３は、支持部材１に接合（接着）されている。また、素子基板２は支持部材１に支持されている。
素子基板２の数は、特に限定されない。図１の例では、３つの素子基板２が支持部材１の長手方向であるＸ方向に沿って一直線上に配置されている。また、素子基板２の長手方向が支持部材１の長手方向に沿っている。
保護部材３は、素子基板２を囲むように形成される。保護部材３は、高さ方向であるＺ方向において、素子基板２よりも突出している。Ｚ方向は、素子基板２が液体を吐出する吐出方向と略平行である。
【００１０】
以下、図１に示した液体吐出ヘッド１０の製造方法について説明する。液体吐出ヘッド１０の製造方法は、支持部材１に接着剤を塗布する塗布工程と、支持部材１に素子基板２を接着するとともに、保護部材３の位置の基準となる基準部を形成する基準形成工程と、支持部材１に保護部材３を接合する接合工程とを含む。
図２は、本実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法で使用されるフィンガを模式的に示す概略図である。図２（ａ）は、フィンガを示す概略斜視図であり、図２（ｂ）は、フィンガを示す概略正面図である。なお、図２では、使用状態とは上下反転させた反転状態のフィンガが示されている。
図２に示すフィンガ１００は、基準形成工程において、素子基板２を吸着（把持）して支持部材１に載置する際に使用される吸着部材である。フィンガ１００は、本体部１００ａと、本体部１００ａに形成された吸着面１０１および基準形成面１０２とを有する。吸着面１０１および基準形成面１０２は、使用状態において本体部１００ａよりも重力方向下向きに突出している。
吸着面１０１は、素子基板２を吸着する面である。吸着面１０１には、素子基板を吸着するための吸着穴１０１ａが形成されている。吸着穴１０１ａは、図の例では、複数あり、２列に並設されているが、この例に限らない。吸着穴１０１ａから空気を吸引することで吸着面１０１に素子基板２が吸着される。
基準形成面１０２は、保護部材３を支持部材１に接合する際に、Ｚ方向における保護部材３の位置の基準となる基準部を形成するための面である。基準形成面１０２は、フィンガ１００の使用時に支持部材１の短手方向となるＹ方向における吸着面１０１の両側に設けられる。Ｘ方向における基準形成面１０２の位置は特に限定されないが、本実施形態では、吸着面１０１の中心とその両側に設けられた基準形成面１０２の中心とがＹ方向に沿って一直線状に並んでいる。なお、基準形成面１０２は、２つ以上あってもよい。
吸着面１０１および基準形成面１０２は互いに略平行である。吸着面１０１と基準形成面１０２の高さ（Ｚ方向の位置）の差である面間距離ｄは、後述するように基準部の高さを規定する。また、後述するように保護部材３は接合工程において基準部に当接しながら支持部材１に接合されるため、基準部の高さはＺ方向における保護部材３の突出量を規定する。したがって、面間距離ｄを調整することで、保護部材３の突出量を調整することが可能である。本実施形態では、面間距離ｄは、素子基板２の厚さと略同じである。ここで略同じとは、面間距離ｄと素子基板２の厚さとの差が±５０μｍ以内であることを意味する。
【００１１】
次に液体吐出ヘッドの製造工程について説明する。
先ず、支持部材１に接着剤を塗布する塗布工程について説明する。図３は、塗布工程を説明するための図である。具体的には、図３（ａ）は、塗布工程終了後の支持部材を示す概略斜視図であり、図３（ｂ）は、塗布工程終了後の支持部材を示す概略正面図である。図３（ｃ）は、塗布工程終了後の支持部材を示す概略上面図である。
図３に示すように、支持部材１には、素子基板２に液体を供給する供給口１１が設けられている。供給口１１の位置、形状および数などは特に限定されない。本実施形態では、供給口１１ごとに素子基板２を支持部材１に接合させるため、３つの供給口１１が支持部材１の長手方向であるＸ方向に沿って一直線上に配置されている。
支持部材１の材料は、本実施形態では、樹脂材料である。より具体的には、支持部材１の材料は、フィラーを充填して線膨張係数を小さくした樹脂材料である。支持部材１を樹脂材料で形成した場合、支持部材１は、図３（ｂ）に示すように、Ｚ方向にたわむことがある。
塗布工程は、素子基板２を接着するための接着剤層１２と、接着剤層１２の周囲に設けられた突起部１３とを有する支持部材１を形成する突起形成工程でもある。具体的には、塗布工程は、支持部材１に対して接着剤が塗布することで、接着剤層１２と突起部１３とを支持部材１に形成する。
接着剤層１２は、各供給口１１を囲むように形成されている。接着剤層１２を形成する接着剤の種類は、接着剤を硬化させる硬化手段および接着剤層１２として必要な高さに応じて選択される。本実施形態では、接着剤層１２は熱硬化性接着剤で形成されている。
接着剤層１２の高さｈ１は、素子基板２を、接着剤層１２を介して支持部材１に接着させた際に、全ての素子基板２を同じ高さに揃えることができるように決定される。接着剤層１２の高さｈ１を決定するパラメータとしては、例えば、支持部材１の高さ方向の反り量および平面度と、素子基板の厚み公差および平面度と、フィンガ５の使用時の傾きなどが挙げられる。本実施形態では、接着剤層１２の高さｈ１は０．２ｍｍである。
【００１２】
突起部１３は、変形および硬化が可能な材料で形成される。突起部１３を形成する材料の種類は、硬化手段、必要な高さおよび硬化後の硬度に応じて選択される。突起部１３は、接着剤層１２と同じ材料で形成されてもよいし、異なる材料で形成されてもよいが、本実施形態では、接着剤層１２と同じ材料（熱硬化性接着剤）で形成される。例えば、ある組成物を用意し、この組成物を用いて製造したもの同士は、同じ材料で形成されていると見なす。
突起部１３は、後述する基準形成工程において変形され、Ｚ方向における保護部材３の位置の基準となる基準部として形成される。具体的には、突起部１３は、図２に示したフィンガ１００の吸着面１０１に吸着された素子基板２が供給口１１の上に載置された際に、フィンガ１００の基準形成面１０２により押圧され、さらに硬化されることで基準部として形成される。このため、突起部１３は、素子基板２が供給口１１の上に載置された際に、基準形成面１０２と接触する位置に形成される。図の例では、供給口１１ごとにフィンガ１００の２つの基準形成面１０２のそれぞれにて基準部が形成されるように、支持部材１の短手方向であるＹ方向において、各供給口１１の両側に設けられる。したがって、突起部１３は支持部材１上に６か所形成されている。
突起部１３の配置および数は、図の例に限らない。突起部１３は、Ｙ方向において供給口１１の両側に合計で３か所以上形成されていればよい。突起部１３は、保護部材３が接着される接着領域３ａのＸ方向の長さをＬとした場合、突起部１３と接着領域３ａの外周までの距離がＬ／２以下となるように配置されることが好ましい。これは、保護部材３を支持部材１に接合する際に保護部材３が傾くことを抑制するためである。
また、突起部１３の高さｈ２は、フィンガ１００の吸着面１０１と基準形成面１０２の高さ（Ｚ方向の位置）の差である面間距離ｄとした場合、ｈ１−ｄ以上であれば良い。本実施形態では、突起部１３の高さｈ２は、ｈ２＝０．２ｍｍ（＝ｈ１）である。
【００１３】
続いて、基準形成工程について説明する。
図４および図５は、基準形成工程を説明するための図である。具体的には、図４（ａ）は、基準形成工程中の液体吐出ヘッドを示す概略斜視図であり、図４（ｂ）は、基準形成工程中の液体吐出ヘッドを示す概略正面図である。図４（ｃ）は、基準形成工程中の液体吐出ヘッドを示す概略斜視図である。図５（ａ）は、基準形成工程終了後の液体吐出ヘッドを示す概略斜視図であり、図５（ｂ）は、基準形成工程終了後の液体吐出ヘッドを示す概略正面図である。
基準形成工程では、先ず、フィンガ１００の吸着面１０１で素子基板２を吸着し、その吸着した素子基板２を接着剤層１２および突起部１３が形成された支持部材１の供給口１１の上に接着剤層１２を介して載置する。そして接着剤層１２を加熱して素子基板２を支持部材１と隙間（接着剤層１２）を介して接着させつつ、フィンガ１００の基準形成面１０２で突起部１３を押圧しながら変形させる。そして、変形後の突起部１３を加熱して硬化させることで、突起部１３を基準部１４として形成する。
基準部１４は、上述したようにＺ方向におけるフィンガ１００の吸着面１０１と基準形成面１０２との高さの差である面間距離をｄとした場合、素子基板２の上面から面間距離ｄだけ低く形成される。本実施形態では、接着剤層１２および突起部１３の硬化による収縮量である硬化収縮量の差を小さくするために、上述したように基準部１４の高さを接着剤層１２と同じにしている。
なお、接着剤層１２および突起部１３のＺ方向の高さは、支持部材１の反りが最も小さい箇所で所望の値になるように、支持部材１の反り量をレーザー変位計などで予め測定しておき、その反り量に基づいて、フィンガ１００を制御することで調整される。
上記の工程を供給口１１ごとに繰り返すことで、図５に示すように、素子基板２の上面から面間距離ｄだけ低い、つまり素子基板２の厚さ分だけ低い基準部１４が形成された液体吐出ヘッド１０を形成することができる。
【００１４】
接着剤層１２と突起部１３の加熱はフィンガ１００を加熱することで行われる。フィンガ１００の加熱温度と加熱時間は、接着剤層１２および突起部１３に使用される接着剤の種類に応じて適宜設定される。本実施形態では、加熱温度が１５０℃、加熱時間が６０ｓである。基準部１４の形状は、図５では、円筒形状であるが、この例に限らない。基準部１４は、後述する保護部材３の変形を抑制する観点から、支持部材１の長手方向であるＸ方向に沿った線状の突起であることが好ましい。これは、突起部１３をＸ方向に沿って線状に形成することで実現できる。
図５では、全ての基準部１４の上面の位置が略揃っているが、実際には、フィンガ１００の停止精度や基準部１４の高さの違いによる硬化収縮量の差によって僅かにずれている。後の接合工程で保護部材３は、基準部１４のうちＺ方向の高さが最も高い、つまり最も突出している３つの基準部１４に当接することでＺ方向の位置が規定される。このとき、最も突出している３つの基準部１４を仮想的な直線で結んだ領域である仮想領域に、支持部材１の重心が含まれない場合、後の接合工程で保護部材を支持部材１に接合する際に支持部材１が倒れてしまう可能性がある。この場合、保護部材３が支持部材１に対して傾いて接合されてしまう。
このため、支持部材１と保護部材とが傾いて接合されることを抑制するために、最も突出した３つの基準部１４を結んだ仮想領域に支持部材１の重心が含まれるように基準部１４を形成することが好ましい。本実施形態では、支持部材１の重心が仮想領域に含まれるように、６つの基準部１４のうち３つの基準部１４を他の基準部１４よりも意図的に突出させる。これは、例えば、他の基準部１４よりも突出させる３つの基準部１４を形成する際には、フィンガ１００のＺ方向の停止位置を他の基準部１４の形成時よりも高くすることで実現できる。
【００１５】
次に保護部材を支持部材１に接合する接合工程について説明する。図６および図７は、接合工程を説明するための図である。具体的には、図６は、保護部材を支持部材に接合するための接合ジグを示す概略斜視図である。図７（ａ）は、接合工程中の液体吐出ヘッドを示す概略斜視図であり、図７（ｂ）は、接合工程中の液体吐出ヘッドを示す略正面図である。
図６に示すように接合ジグ２０には、保護部材３を固定（吸着）するための吸着穴（図示せず）が形成されており、その吸着穴から空気を吸引することで保護部材３を吸着する。このとき、接合ジグ２０は、図７（ｂ）に示すように保護部材３における素子基板２を保護する保護面３ｂが下向き、つまり保護面３ｂが接合ジグ２０と接触するように固定する。保護部材３は、図１に示したように素子基板２を囲むように形成されるため、接合ジグ２０の保護部材３で囲まれる領域は、素子基板２と当接しないように、凹部２０ａが形成されている。
接合ジグ２０に保護部材３を固定すると、図７に示すように接合ジグ２０の上に、液体吐出ヘッド１０を、素子基板２が下向きとなり、かつ、素子基板２が接合ジグ２０の凹部２０ａに収まるように載置する。これにより、保護部材３は支持部材１上の基準部１４のみに当接する。また、支持部材１の保護部材３と接着する接着領域には、接着剤を塗布して接着剤層１５を予め形成しておく。接着剤層１５を形成する接着剤の種類は特に限定されないが、本実施形態では、熱硬化性接着剤である。
液体吐出ヘッド１０を接合ジグ２０の上に載置した状態で接着剤層１５を加熱して硬化させることで、保護部材３と支持部材１とを接合する。なお、保護部材３の突出量は、保護部材３の厚さとフィンガ１００の吸着面１０１と基準形成面１０２の高さの差である面間距離ｄとで規定される。本実施形態では、保護部材３の厚さは０．５ｍｍである。
【００１６】
以上説明した本実施形態によれば、素子基板２を接着するための接着剤層１２と、接着剤層１２の周囲に設けられ、変形および硬化が可能な突起部１３とが設けられた支持部材１が形成される。その後、吸着面１０１と吸着面１０１と略平行な基準形成面１０２とを有するフィンガの吸着面１０１にて素子基板２を吸着する。そして、その吸着した素子基板２を支持部材１に接着剤層１２を介して載置して接着させつつ、基準形成面１０２で突起部１３を押圧して変形させ、さらに突起部１３を硬化させて基準部１４として形成する。その後、保護部材３を基準部１４に当接させながら支持部材１に接合する。
これにより、吸着面１０１で吸着した素子基板２が支持部材１に載置されつつ、基準形成面１０２で突起部１３が押圧されて変形されることで基準部１４が形成され、保護部材３が基準部１４に当接した状態で支持部材１に接合される。このため、保護部材３の突出量は基準部１４の高さによって規定され、基準部１４の高さは吸着面１０１と基準形成面１０２との高さの差を調整することにより高精度に調整することができる。したがって、反りを有する支持部材１が使用された場合でも、保護部材３の突出量を高精度に調整することが可能になる。また、接着剤層１５の硬化収縮量の差によって保護部材３に対して力が加わったとしても、基準部１４で支持されているため、保護部材３の変形を抑制することが可能になる。
また、本実施形態では、基準部１４が３つ以上設けられているため、保護部材を３点以上で支持することが可能になる。このため、接合工程において保護部材３が傾き、支持部材１と保護部材３とがずれて接合されることを抑制することが可能になる。したがって、保護部材３の突出量をより精度よく調整することが可能になる。
また、本実施形態では、基準部１４のうち最も突出した３つの基準部を直線で結んだ領域に、支持部材１の重心が含まれる。このため、接合工程において支持部材１が傾き、支持部材１と保護部材３とがずれて接合されることを抑制することができる。したがって、保護部材３の突出量をより精度よく調整することが可能になる。
また、本実施形態では、突起部１３は、フィンガ１００の吸着面１０１の両側に設けられた基準形成面１０２のそれぞれで押圧されるように、支持部材１の短手方向における接着剤層１２の両側に設けられる。これにより、基準部１４を素子基板２の両側に同時に形成することが可能になる。
また、本実施形態では、突起部１３と接着剤層１２とが同じ材料で形成されるため、突起部１３を接着剤層１２とを同時形成することが可能になる。
【００１７】
（第２の実施形態）
図８は、本実施形態の液体吐出ヘッドを示す概略斜視図である。図８では、基準形成工程終了後の液体吐出ヘッドが示されている。図８に示す本実施形態の液体吐出ヘッド１０ａは、図１に示した第１の実施形態の液体吐出ヘッド１０と比べて、素子基板２の配置が異なる。具体的には、第１の実施形態の液体吐出ヘッド１０では、素子基板２の長手方向が支持部材１の長手方向に沿って設けられていたが、本実施形態の液体吐出ヘッド１０ａは、素子基板２の長手方向が支持部材１の短手方向に沿って設けられている。このような場合でも、第１の実施形態と同様にして保護部材の突出量を高精度に調整した液体吐出ヘッド１０ａを製造することができる。なお、このような液体吐出ヘッド１０ａは、素子基板２のそれぞれから互いに異なる色のインクを吐出するものに好適である。
【００１８】
（第３の実施形態）
図９は、本実施形態の支持部材を示す概略斜視図である。図９では、塗布工程終了後の支持部材が示されている。
第１の実施形態では、基準部１４を、図２に示した接着剤で形成された突起部１３を硬化することで作成していた。図９に示す本実施形態の支持部材１には、突起部１３の代わりに樹脂で形成された突起部１３ａが設けられている。突起部１３ａを形成する樹脂は、変形および硬化が可能なものであればよい。例えば、突起部１３ａを形成する樹脂は、熱硬化性樹脂でもよいし、熱可塑性樹脂でもよい。本実施形態では、突起部１３ａは、熱可塑性樹脂で形成される。
突起部１３ａは、支持部材１の成型時に形成されてもよいし、支持部材１の成型後に支持部材１に接着されてもよい。突起部１３ａの高さは、第１の実施形態の突起部１３の高さと同様である。
基準形成工程では、フィンガ１００の吸着面１０１で吸着した素子基板２を支持部材１に対して下降させていくと、フィンガ１００の基準形成面１０２が突起部１３ａに当接する。その状態で突起部１３ａを加熱溶融させながらフィンガ１００をさらに下降させていく、これにより、突起部１３ａが変形していく。その後、接着剤層１２が所望の高さになったところで接着剤層１２を加熱して、素子基板２を支持部材１に接着させる。素子基板２が接着した後に、フィンガ１００の基準形成面１０２を冷却することで突起部１３ａを硬化させて、突起部１３ａを基準部１４として形成する。
上記の工程を供給口１１ごとに繰り返すことで図１に示した液体吐出ヘッド１０を製造することができる。
本実施形態では、基準部１４を接着剤層１２とは別の材料で形成できるため、所望の基準部を容易に形成することが可能になる。
【００１９】
以上説明した各実施形態において、図示した構成は単なる一例であって、本発明はその構成に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００２０】
１  支持部材
２  素子基板
３  保護部材
１０、１０ａ  液体吐出ヘッド
１２  接着剤層
１３、１３ａ  突起部
１４  基準部
１００  フィンガ
１０１  吸着面
１０２  基準形成面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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