(57)【要約】【課題】作業者に特別な作業を強いることなく作業者の行動を自動的に記録する。【解決手段】加工装置が設置された作業エリア内を管理する管理システムであって、作業者を撮像する撮像カメラと、制御手段と、を有し、該制御手段は、該作業エリアに設置された加工装置に関する情報と、該加工装置の位置に関する情報と、が含まれるエリアマップを記憶するエリアマップ記録部と、該撮像カメラによって撮像された作業者の画像を用いて該作業者の性質を示す識別情報を取得する識別情報取得部と、該撮像カメラが撮像した画像から該作業者の動線を抽出する動線抽出部と、該エリアマップ記録部と、該識別情報取得部と、該動線抽出部と、に接続された管理部と、を有し、該管理部は、該エリアマップ記録部から読み出されたエリアマップに、該動線抽出部から抽出された該作業者の動線と該作業者の識別情報とを関連付けて記録する機能を有する。【選択図】図２
2018010366.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置が設置された作業エリア内を管理する管理システムであって、
作業者を撮像する撮像カメラと、制御手段と、を有し、
該制御手段は、
該作業エリアに設置された加工装置に関する情報と、該加工装置の位置に関する情報と、が含まれるエリアマップを記憶するエリアマップ記録部と、
該撮像カメラによって撮像された作業者の画像を用いて該作業者の性質を示す識別情報を取得する識別情報取得部と、
該撮像カメラが撮像した画像から該作業者の動線を抽出する動線抽出部と、
該エリアマップ記録部と、該識別情報取得部と、該動線抽出部と、に接続された管理部と、を有し、
該管理部は、該エリアマップ記録部から読み出されたエリアマップに、該動線抽出部から抽出された該作業者の動線と該作業者の識別情報とを関連付けて記録する機能を有する、
ことを特徴とする管理システム。
【請求項２】
該制御手段は、
報知部と、
該動線の適切パターンを格納する適切パターン格納部と、
該管理部と、該適切パターン格納部と、該報知部と、に接続された判定部と、をさらに有し、
該判定部は、該適切パターン格納部から該適切パターンを読み出し、記録された該動線と該適切パターンとの一致または不一致を判定する機能を有し、
該報知部は、該判定部による判定の結果を報知する機能を有する、
ことを特徴とする請求項1記載の管理システム。
【請求項３】
該制御手段は、
該管理部と、該加工装置と、に接続され、該加工装置を操作する操作メニューを制御する操作メニュー制御部をさらに有し、
該管理部は、該加工装置に対応して設定された操作エリアに該作業者が進入したとき、該作業者の識別情報を該操作メニュー制御部に送信する機能を有し、
該操作メニュー制御部は、該作業者に応じて適切な操作メニューを該加工装置の操作パネルに表示させる機能を有する、
ことを特徴とする請求項１又は２記載の管理システム。
【請求項４】
該識別情報は、該撮像カメラによって撮像された作業者の画像に写る該作業者の顔、バーコード、または、２次元コードを用いて取得されることを特徴とする請求項１乃至３記載の管理システム。
【請求項５】
該撮像カメラは、該作業エリアに設置された該加工装置に設置されることを特徴とする請求項１乃至４記載の管理システム。
【請求項６】
該識別情報は、該作業者の体の向きを示す向き情報を含むことを特徴とする請求項１乃至５記載の管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作業エリア内の作業者を管理する管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の加工装置を備えた作業エリアの中で作業者が加工装置を操作して被加工物を加工する作業において、該作業の効率を上げるために、作業者や管理者は日々改善活動を行い作業エリアに様々な工夫を施す。例えば、作業エリア内に作業者のミスを防ぐよう案内が設けられたり、作業者の動線が短くなるよう加工装置の配置が変更されたりする。
【０００３】
例えば、特許文献１には、作業者の位置情報とロット情報とを用いて作業者が次に処理すべきロットを収容するロットケースを発光させて作業者に指示する技術が開示されている。このようにすると、作業者に対し効率的に指示ができる。
【０００４】
こうした改善策を案出する過程で重要なのは、無駄や過剰等の改善されるべき問題点を探し出すことである。改善されるべき問題点が抽出されなければ改善策の検討を始められず、また、問題点が的確に捉えられていなければ実効性のある改善策を案出できない。しかし、作業に従事する作業者や作業エリア及び作業者の管理者が問題点を探し出そうとすると、過去の経験に基づく固定概念にとらわれて問題点に気付きにくい。
【０００５】
そのため、外部のコンサルタントを作業エリアに招き問題点を指摘させて改善活動を実施する場合もあるが、該コンサルタントに支払う対価が著しく高くなる場合もある。さらに、改善活動が深化し諸問題が解決されていくにつれて該コンサルタントですら新たに問題を指摘するのが困難となっていく。
【０００６】
また、作業エリアにおける作業の効率を高い水準で維持するためには、改善活動以前に、作業者が日々の作業を正しくかつ効率的に遂行するように、管理者が作業者を適切に管理する必要がある。作業者が手順や規則を順守せず適切に作業をしないのであれば、改善策を案出できても十分な効果が得られない。
【０００７】
しかし、例えば半導体デバイスチップの製造工場における作業エリアは、加工装置に対して最小限の人数の作業者により２４時間体制で稼働されている場合が多い。そして、該作業者達を管理する管理者も限られた人数となり作業エリア内を常時監視できないため、作業者が適切に作業をしていない場合でもその状況を完全には把握できず、管理者が気付かないうちに作業エリアが非効率な稼働状況となる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−３０５１７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
改善活動を始めるにしても、作業者を管理するにしても、作業エリア内の作業者の行動を正確かつ詳細に記録する必要がある。作業者の行動を詳細に点検すれば、作業エリアや作業者の問題点を明らかにし易く、また、作業者をより適切に管理できる。
【００１０】
特に、深化した改善活動においては個別の作業者に起因する問題点にも着目して改善することが効果的であるため、作業者の行動を個人別に詳細に記録することが望ましい。また、作業者の行動を個別に記録すれば、手順や規則を順守しない作業者を効率的に指導できる。
【００１１】
しかし、詳細な記録を作成しようとすると記録の手間が大きくなる。例えば、詳細な記録を作成するための人員が必要となり、また作業者に対して該記録のために特別な動作を強いる場合もある。記録に要するコストが増えると作業エリアの運営経費が高くなり、作業の金銭的な効率が低下するため、それ自体が問題ともなる。また記録が詳細であるほど記録にミスが生じる可能性も高まる。
【００１２】
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、作業者に特別な作業を強いることなく作業者の行動を自動的に記録する管理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の一態様によれば、加工装置が設置された作業エリア内を管理する管理システムであって、作業者を撮像する撮像カメラと、制御手段と、を有し、該制御手段は、該作業エリアに設置された加工装置に関する情報と、該加工装置の位置に関する情報と、が含まれるエリアマップを記憶するエリアマップ記録部と、該撮像カメラによって撮像された作業者の画像を用いて該作業者の性質を示す識別情報を取得する識別情報取得部と、該撮像カメラが撮像した画像から該作業者の動線を抽出する動線抽出部と、該エリアマップ記録部と、該識別情報取得部と、該動線抽出部と、に接続された管理部と、を有し、該管理部は、該エリアマップ記録部から読み出されたエリアマップに、該動線抽出部から抽出された該作業者の動線と該作業者の識別情報とを関連付けて記録する機能を有することを特徴とする管理システムが提供される。
【００１４】
なお、本発明の一態様に係る管理システムにおいて、該制御手段は、報知部と、該動線の適切パターンを格納する適切パターン格納部と、該管理部と、該適切パターン格納部と、該報知部と、に接続された判定部と、をさらに有し、該判定部は、該適切パターン格納部から該適切パターンを読み出し、記録された該動線と該適切パターンとの一致または不一致を判定する機能を有し、該報知部は、該判定部による判定の結果を報知する機能を有してもよい。
【００１５】
また、本発明の一態様に係る管理システムにおいて、該制御手段は、該管理部と、該加工装置と、に接続され、該加工装置を操作する操作メニューを制御する操作メニュー制御部をさらに有し、該管理部は、該加工装置に対応して設定された操作エリアに該作業者が進入したとき、該作業者の識別情報を該操作メニュー制御部に送信する機能を有し、該操作メニュー制御部は、該作業者に対して適切な操作メニューを該加工装置の操作パネルに表示させる機能を有してもよい。
【００１６】
さらに、該識別情報は、該撮像カメラによって撮像された作業者の画像に写る該作業者の顔、バーコード、または、２次元コードを用いて取得されてもよい。該撮像カメラは、該作業エリアに設置された該加工装置に設置されてもよい。該識別情報は、該作業者の体の向きを示す向き情報が含まれてもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る管理システムでは、作業者を撮像した撮像画像に写り込む表示等を活用し、作業者に特別な作業を強いることなく作業者の行動を蓄積できる。また、撮像カメラが撮像した撮像画像を用いると詳細にかつ客観的に作業者の行動を記録できる。そして、記録が自動的であるため記録のミスが生じない。
【００１８】
本発明に係る管理システムによると、作業者の動線をエリアマップに記録できるため、該エリアマップをもとにして改善案を策定できる。また、各作業者を識別して動線を記録できるため、作業者個々人に起因する問題点を検出でき各人に応じた改善案を策定できる。
【００１９】
したがって、本発明により、作業者が着用する作業着に付されるコード（識別マーク）等を活用し、作業者に特別な作業を強いることなく作業者の動線を自動的に記録する管理システムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】作業エリアの一例と、作業者の行動の一例と、を示す上面模式図である。
【図２】管理システムと、作業者と、該管理システムが適用された作業領域とを模式的に示す図である。
【図３】加工装置と、該加工装置を操作している作業者を説明する模式図である。
【図４】撮像カメラにより撮像された撮像画像の一例を示す模式図である。
【図５】エリアマップと、該エリアマップに記録された動線と、を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明に係る実施形態について説明する。まず、本管理システムが適用される作業エリアについて、図１を用いて説明する。図１は、作業エリア１の一例を示す上面図である。該作業エリア１には例えば複数の加工装置３（３ａ乃至３ｇ）が配設される。
【００２２】
作業エリア１では、該複数の加工装置３（３ａ乃至３ｇ）を操作する作業者５が作業に従事する。そして、該作業者５が着用する作業着等には識別情報（後述）の取得時の撮像対象１１が付される。作業者５は、加工対象に係る作業ロット７を次に加工が行われる加工装置３に搬送して取り付け、該加工装置３を操作して加工を行う。図１では、作業者５が加工装置３ａで加工をする場合を示す。なお、各加工装置３は搬送装置（不図示）により結ばれてもよく、作業ロット７は作業者５の手に依らず該搬送装置により搬送されてもよい。
【００２３】
該作業エリア１は、例えば、半導体デバイスチップの製造工場である。加工装置３は、切削装置、研削装置、成膜装置、露光装置、エッチング装置、塗布装置、洗浄装置等の半導体デバイスチップの製造に関する加工装置である。また、例えば、作業者５は加工装置３を扱うオペレータであり、作業ロット７は同時に処理される複数の半導体ウェーハ等である。
【００２４】
また、作業エリア１はクリーンルームでもよく、その場合、作業者５はクリーンスーツを着用して作業エリア１に進入する。そして、該クリーンスーツには該作業者５の識別情報の取得時の撮像対象１１としてコード等が印字されていてもよい。
【００２５】
作業エリア１には、単数または複数の撮像カメラ４が配設される。図１に、作業エリア１の天井に取り付けられた撮像カメラ４ａ、及び、加工装置３に取り付けられた撮像カメラ４ｂを示す。なお、撮像カメラ４は本実施形態に係る管理システムを構成しており、撮像した撮像画像を該管理システムの管理部（後述）に送信する機能を有する。
【００２６】
また、撮像カメラ４は、該管理部からの指示等により、撮像方向を変更する機能を有してもよい。さらに、特定の作業者５の行動に関して詳細に情報を得るために、該作業者５の動きを追尾するように撮像方向を変化する機能を有していてもよい。その場合、撮像カメラ４は、撮像画像に該撮像方向に関する情報を付加してもよい。
【００２７】
次に、作業者の識別情報について説明する。作業者の識別情報とは、作業者の性質を示す情報、作業者当人に関する情報等をいう。例えば、作業者を管理する者が作業者各人に付した個人番号や、作業者の氏名、所属部門、役職、権限、作業への習熟度等、作業エリアで作業する作業者を管理するのに用いられる情報である。本実施形態に係る管理システムが、識別情報とともに作業エリアで作業をする各作業者の行動を記録すると、作業の改善に有用な情報が蓄積される。
【００２８】
次に、識別情報の取得時の撮像対象１１について説明する。識別情報の取得時の撮像対象１１とは、作業者５の識別情報を取得する際に解析される表示等をいう。本実施形態に係る管理システムは、撮像カメラ４を用いて作成される撮像画像に写り込む該識別情報の取得時の撮像対象１１を解析する。
【００２９】
該識別情報の取得時の撮像対象１１は、例えば、作業者５が作業時に着用する作業着、クリーンスーツ、ヘルメット等に印字された文字やコード等であり、該コードはバーコード、２次元コード等である。例えば、識別情報がこれらのコード等に埋め込まれていれば、管理システム２は該コード等を解析して作業者の識別情報を取得できる。
【００３０】
なお、該コード等にすべての識別情報が含まれていない場合でも、例えば、作業者５の個人番号が含まれていれば作業者の識別情報を取得できる。この場合、管理システム２に予め該番号と関連付けてすべての識別情報を登録しておけば、識別情報の取得時の撮像対象１１から個人番号を読み出し、該個人番号で登録された情報を検索して作業者５の識別情報を取得できる。
【００３１】
さらに、該コード等には作業者の識別情報がまったく含まれていなくてもよい。例えば、作業着等に個別に付された固有の番号等が含まれていれば、作業エリア１に作業者５が進入する際に、作業者５と、作業者５が着用する該作業着等と、を結びつける情報を管理システム２に登録できる。すると、該作業着等に付されたコード等から作業着等の固有の番号等を読み出し、該固有の番号等で登録された情報を検索して該作業着等を着用する作業者５の識別情報を取得できる。
【００３２】
このように、識別情報の取得時の撮像対象１１に識別情報の一部またはすべてが含まれていなくても、それを解析して識別情報を取得できる。
【００３３】
さらに、識別情報の取得時の撮像対象１１は印字された文字やコード等でなくてもよい。例えば、予め管理システム２に作業者５の身体的特徴を登録しておき、撮像画像から身体的特徴を読み取り作業者５の識別情報を取得してもよい。例えば、作業者５の顔を予め管理システム２に登録しておき、撮像画像に写り込んだ作業者５の顔から管理者５を特定し識別情報を取得する。この場合、作業者５の顔が識別情報の取得時の撮像対象１１となる。
【００３４】
図４に、加工装置３に取り付けられた撮像カメラ４ｂが撮像する撮像画像１３の一例を示す。図４に示される通り、撮像画像１３には作業者５が着用する作業着等に印字されたコードが写り込む。さらに、撮像画像１３には作業者５の顔も写り込む。該顔が管理システム２に登録されていれば、顔１１ａを用いて識別情報を取得できる。
【００３５】
なお、図４に示される通り、作業者５が着用する作業着等には複数のコード等が付されてもよい。また、複数のコード等はそれぞれ同一のコードでなくともよい。例えば、該コード等に作業着等における部位についての情報が含まれてもよく、その場合、コードから作業者５が向いている方向を識別情報として取得できる。
【００３６】
例えば、図４には、作業者の頭部に位置するコード１１ｂと、作業者の左側に位置するコード１１ｃと、作業者の右側に位置するコード１１ｄと、作業者の額に位置するコード１１ｅと、が示される。また、作業者の後頭部に位置するコード１１ｆ、作業者の背面に位置するコード１１ｇ、作業者の正面に位置するコード１１ｈが作業着等に付されてもよい（図２、図３参照）。これらを解析すると、作業者の体の向きや顔の向きに関する情報を取得できる。
【００３７】
次に、本実施形態に係る管理システム２の構成及び各構成要素の機能について、図２及び図３を用いて説明する。図２は、管理システム２と、作業者５と、加工装置３と、を説明する模式図である。該管理システム２は、作業エリア１と、該作業エリア１で作業に従事する作業者５と、を管理するシステムである。該管理システム２は、単数または複数の撮像カメラ４（４ａ及び４ｂ）と、制御部（制御手段）６と、を有する。
【００３８】
該撮像カメラ４は、作業エリア１の天井や壁面、加工装置３に配設されている。図２及び図３に、作業エリア１の天井に取り付けられた撮像カメラ４ａと、加工装置３に取り付けられた撮像カメラ４ｂを模式的に示す。作業エリア１における作業者５の行動を詳細に記録するために、好ましくは各撮像カメラ４は互いの死角を補うよう配置される。
【００３９】
撮像カメラ４には、一般的な監視カメラに用いられるカメラ等が用いられる。撮像カメラ４の解像度が高いほど、一度に多数の作業者５の識別情報や行動を詳細に把握できる。しかし、撮像カメラ４の解像度が高すぎると撮像画像のデータ容量が膨大となるため、管理システム２を膨大な容量のデータを処理できるように構成する必要があり、管理システム２が高価となる。
【００４０】
制御部（制御手段）６は、管理部８と、エリアマップ記録部１０と、識別情報取得部１２と、動線抽出部１４と、を有する。さらに、適切パターン格納部１６と、報知部１８と、判定部２０と、を有してもよい。また、操作メニュー制御部２２をさらに有してもよい。制御部６は、構成の一部または全体がハードウェアではなくソフトウェアとして実現されてもよい。以下各部の機能について説明する。
【００４１】
まず、管理部８について説明する。管理部８は、制御部６を構成する各部と接続されており、該各部を制御等する機能を有する。また、管理部８は、各部から情報等を受けて該情報等を記憶する記憶部（不図示）を有する。
【００４２】
エリアマップ記録部１０は、作業エリア１に設置された加工装置３に関する情報と、該加工装置３の配置に関する情報と、が含まれるエリアマップを記憶及び記録する機能を有する。エリアマップ記録部１０は、作業開始前にこれらの情報を含んだ基本的なエリアマップを記憶する。
【００４３】
作業前にエリアマップ記録部１０が記憶するエリアマップは、撮像カメラ４により撮像された複数の撮像画像を利用して、例えば、エリアマップ記録部１０または管理部８等により生成される。また、そのように生成されたエリアマップに対して作業エリア１の管理者または作業者５等が情報等を追加してもよい。
【００４４】
該エリアマップには、作業者５の行動（特に動線）が記録される。エリアマップ記録部１０は管理部８からの要求に応じて記憶しているエリアマップを管理部８に送る。さらに、エリアマップ記録部１０は作業者５の動線等が記録されたエリアマップを該管理部８から受けて該エリアマップを記録する。なお、エリアマップ記録部１０に記録されたエリアマップは、作業エリア１の管理者等からの要求に応じて外部に出力されてもよい。
【００４５】
識別情報取得部１２は、撮像カメラ４によって撮像された撮像画像を用いて作業者５の識別情報を取得する機能を有する。識別情報取得部１２は、撮像画像から識別情報の取得時の撮像対象１１を抽出し解析する。
【００４６】
識別情報の取得時の撮像対象１１がバーコード、２次元コード等のコードである場合、識別情報取得部１２は該コードを解析する。識別情報及び識別情報の取得時の撮像対象１１については詳述した通りである。該コード等にすべての識別情報が含まれていない場合、該コード等を解析した結果を用いて他の記憶部等に照会し、識別情報を取得する。識別情報取得部１２は取得した該識別情報を管理部８に送る。
【００４７】
また、識別情報取得部１２は作業者５の顔１１ａを解析して、特徴を抽出する。例えば、右目、左目、鼻、口、耳、顔の輪郭の形状や、相対的な位置関係から該顔の特徴を抽出して、他の記憶部等に記憶された全作業者５の顔の特徴と照合して、撮像画像に写る作業者５を特定する。識別情報取得部１２は、識別情報が記憶されている記憶部等に照会して特定された作業者５の識別情報を取得する。識別情報取得部１２は取得した該識別情報を管理部８に送る。
【００４８】
動線抽出部１４は、撮像カメラ４が撮像した複数の撮像画像から作業者５の動線９を抽出する機能を有する。動線抽出部１４は、例えば、該撮像画像に写り込んだ作業者５の特定の部位（例えば頭部）に着目して該部位の位置を抽出する。これを複数の撮像画像に対して実行し、抽出した該位置を結び作業者５の動線９を抽出する。動線抽出部１４は、抽出した動線９を管理部８に送る。
【００４９】
管理部８は、エリアマップ記録部１０、識別情報取得部１２、及び、動線抽出部１４と協働して、作業エリア１における作業者５の動線９をエリアマップに記録する。すなわち、管理部８は、該エリアマップ記録部１０から読み出されたエリアマップに、該動線抽出部１４から抽出された該作業者５の動線９と該作業者５の識別情報とを関連付けて記録する。
【００５０】
該作業者５の動線９が記録されたエリアマップの一例を図５に模式的に示す。本実施形態に係る管理システム２によると、図５に示される通り、作業者５の動線９が詳細に記録されたエリアマップ１５が得られる。
【００５１】
作業者５の動線９が記録されたエリアマップ１５は、作業エリア１内の加工装置３の配置や、作業者５の行動についての改善策を案出する際に有用である。例えば、作業エリア１の管理者は、エリアマップを用いて複数の作業者５の動線９を把握して、該動線９が集中している領域がある場合、動線９の集中を緩和するように加工装置３の配置を変更できる。また、作業者５の動線９が適切でない場合、該作業者５を指導して作業者５の行動を改善できる。
【００５２】
なお、エリアマップ１５に動線を表示させる際は、時間の経過によって該動線の色や太さ等の動線の表現を変化させ、管理者等が直感的に時間の経過を意識できるようにしてもよい。このようにすることで、管理者等は、作業者の移動経路だけでなく、該経路をどのような速度でどのような順に移動したか等を直感的に把握できるようになる。
【００５３】
適切パターン格納部１６は、作業エリア１における作業者５の行動（特に動線）として適切とされるパターン（適切パターン）が格納される。該適切パターン格納部１６は、判定部２０に接続されており、判定部２０が作業者５の行動（特に動線）の適否を判定する際に、該判定部２０に該適切パターンを送る機能を有する。
【００５４】
適切パターンは、作業者５が従事する作業に応じて作業エリア１に設定され、例えば、加工装置３を使用する作業においては、該加工装置３を操作可能な領域（操作エリア）が動線の適切パターンとして設定される。また、例えば、２つの加工装置３の間で作業ロット７を運搬する作業においては、両加工装置３を最短距離で移動する際の通路が動線の適切パターンとして設定される。
【００５５】
判定部２０は、適切パターン格納部１６と、報知部１８と、管理部８と、に接続されている。該判定部２０は、該管理部８から作業者５の動線９を読み出し、該適切パターン格納部１６から動線の適切パターンを読み出す。そして、動線９と該適切パターンとを比較して、両者の一致または不一致を判定する。
【００５６】
具体的には、作業者５の動線９が適切パターンとして設定された領域から逸脱していなければ一致と判定し、逸脱している場合は不一致と判定する。なお、不一定と判定した場合、判定部２０は、該逸脱の程度等を示す情報を生成してもよい。
【００５７】
図５に示すエリアマップを用いて判定の一例を説明する。図５に示される通り、エリアマップ１５には作業者５の動線９が記録されており、該作業者５が複数の加工装置３の間を移動した様子を詳細に把握できる。
【００５８】
例えば、複数の加工装置３の間の領域が適切パターンとして設定されていれば、判定部２０は、適切パターンからの逸脱１７にあたる部分を有する動線９を不一致と判定する。さらに、判定部２０は、適切パターンからの逸脱１７を示す情報を生成してもよい。
【００５９】
判定部２０は、判定結果を管理部８に送信し、管理部８は受信した判定結果を記憶する。また、判定部２０は、判定結果を報知部１８に送信する。報知部１８は、作業エリア１の内部に配設されてもよく、加工装置３に配設されてもよい。また、作業エリア１の外に配設されてもよい。
【００６０】
報知部１８は、判定部２０の判定結果を作業者５または作業エリア１の管理者に報知する機能を有する。図２に、作業エリア１の天井に取り付けられた報知部１８ａと、加工装置３に取り付けられた報知部１８ｂと、を示す。
【００６１】
例えば、報知部１８は赤色光及び緑色光を発する機能を有してもよく、判定結果が一致である場合に緑色光を発し、判定結果が不一致である場合に赤色光を発する。また、例えば、報知部１８は警告音を発する機能を有してもよく、判定結果が一致である場合には作動せず、判定結果が不一致である場合には警告音を発する。
【００６２】
撮像カメラ４が作業者５を撮像してから報知部１８が判定結果を報知するまでに要する時間が十分に短ければ、作業中の作業者５に対して適切パターンからの逸脱をその場で警告できるため、直ちに作業者５の行動を修正できる。
【００６３】
なお、適切パターン格納部１６には、作業者５の行動（特に動線）として不適切とされるパターン（不適切パターン）が格納されてもよい。その場合、作業者５の動線９が不適切パターンと一致すると判定部２０が判定するときに、報知部１８が作業者５等に警告を発する。
【００６４】
また、本実施形態に係る管理システム２によると、加工装置３の操作エリアへの作業者５の進入を感知して、該作業者５に適した操作メニューを該加工装置３の操作パネルに自動的に表示できる。このとき、該作業者５は何か特別な操作をする必要はない。
【００６５】
操作メニュー制御部２２は、管理部８と、加工装置３と、に接続され、加工装置３の操作パネルに表示される操作メニューを制御する機能を有する。管理部８は、撮像カメラ４により撮像された撮像画像に基づいて、加工装置３の操作エリアへの作業者５の進入を検知したときに、該作業者５の識別情報を操作メニュー制御部２２に送る。
【００６６】
操作メニュー制御部２２は、作業者５の該識別情報を受けると、該作業者５に対して適切な操作メニューを加工装置３の操作パネルに表示させる。ここで、該作業者５に対して適切な操作メニューとは、該作業者５が有する権限において可能な作業、該作業者５が次に行う作業等を実施できる操作メニューである。
【００６７】
各作業者５は、それぞれ適切な加工装置３において所定の作業に従事するが、作業工程数が増えれば増えるほど、また、加工装置３が多ければ多いほど、作業を誤る可能性が高まる。例えば、半導体デバイスチップの製造工場においては、上述の通り配設される加工装置３の種類は多岐にわたり、また、一つの作業ロット７にされる作業の工程数が数百に達する場合があるため、作業者５が作業を誤る可能性がある程度存在する。
【００６８】
そこで、本実施形態に係る管理システム２において、制御部６は、作業者５の動線９と該作業者５の識別情報とを利用して、加工装置３の操作エリアへの作業者５の進入を検知したとき、該作業者５に適した操作メニューを加工装置３の操作パネルに表示させる。その際、作業者５は加工装置３に対して識別情報を入力する等の特別な操作をする必要がなく、表示された操作メニューに従って操作パネルを操作すればよいため、作業者５に特別な負担を強いることなく作業者５が作業を誤る可能性を低減できる。
【００６９】
また、作業者５が使用予定にない加工装置３の操作エリアに進入したときには、該加工装置３の操作パネルにはその旨を表示させて、該加工装置３を操作不能としてもよい。すると、作業者５が誤って使用予定にない加工装置３を操作する可能性を根絶できる。
【００７０】
以上説明した通り、本実施形態に係る管理システム２によると、作業者が着用する作業着に付されるコード（識別マーク）等を活用し、作業者５に特別な作業を強いることなく作業者５の行動を蓄積できる。また、撮像カメラが撮像した画像を用いて自動的にかつ客観的に作業者の行動を記録できる。そして、記録が自動的であるため記録のミスが生じない。
【００７１】
なお、本発明は、上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、撮像カメラ４を用いて把握する作業者５の行動に関する情報として作業者５の動線に着目して説明した。
【００７２】
しかし、撮像カメラ４を用いて、作業者５の向きに関する情報も蓄積でき、作業者５が不適切な方向を向いているとき、管理システム２が検知して報知部１８により該作業者５に警告を与えてもよい。
【００７３】
また、管理システム２は加工装置３に対する操作を監視してもよく、作業者５が所定の作業を十分な水準で進行しているか否か、規定外の行動をしていないか等を把握でき、作業が所定の水準を満たしていないときは作業者５を指導する等の対策を実施できる。
【００７４】
さらに、該管理システム２は、作業エリア１に配設された加工装置３と接続され、加工装置３の稼働状況についての情報を各加工装置３から取得してもよい。該情報を撮像カメラ４を用いて取得された情報と併せて検討すれば、より高度な改善案を検討できる。
【００７５】
また、該管理システム２は、取得された情報をリアルタイムに解析して作業エリア内の不具合を検知し、直ちに作業エリア１の管理者等に報知してもよい。そして、該管理者が該不具合に対する対応を該管理システムを通じて各作業者５及び加工装置３に指示できる構成としてもよい。
【００７６】
なお、該管理システム２は作業者５の健康管理にも活用できる。作業者５の活動量から疲労状況に関する情報を作成し、作業エリア１の稼働状況を一定水準以上に維持するよう所定の疲労度合に達した作業者５に休憩を与える等してもよい。一方で、該管理システム２を作業者５の作業姿勢の評価にも活用できる。該管理システム２を用いると、必要以上に休憩している作業者５や職務怠慢にあたる作業者５を検出して、適切に指導できる。
【００７７】
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。
【符号の説明】
【００７８】
１  作業エリア
３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆ，３ｇ  加工装置
５  作業者
７  作業ロット
９  動線
１１  識別情報の取得時の撮像対象
１１ａ  顔
１１ｂ  作業者の頭部に位置するコード
１１ｃ  作業者の左側に位置するコード
１１ｄ  作業者の右側に位置するコード
１１ｅ  作業者の額に位置するコード
１１ｆ  作業者の後頭部に位置するコード
１１ｇ  作業者の背面に位置するコード
１１ｈ  作業者の正面に位置するコード
１３  撮像画像
１５  エリアマップ
１７  適正パターンからの逸脱
２  管理システム
４  撮像カメラ
４ａ  作業エリアの天井に取り付けられた撮像カメラ
４ｂ  加工装置に取り付けられた撮像カメラ
６  制御部
８  管理部
１０  エリアマップ記録部
１２  識別情報取得部
１４  動線抽出部
１６  適切パターン格納部
１８  報知部
１８ａ  作業エリアの天井に取り付けられた報知部
１８ｂ  加工装置に取り付けられた報知部
２０  判定部
２２  操作メニュー制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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