(57)【要約】【課題】簡易な構成で、効率良く駆動することができる振動体、電子部品搬送装置およびロボットを提供すること。【解決手段】圧電体と、前記圧電体の第１の面に配置された第１の電極と第２の電極と、を備え、前記第１の電極は前記第２の電極よりも、駆動時の前記圧電体の歪みの大きい部分にあり、かつ面積が小さいことを特徴とする振動体。また、前記第１の電極と前記第２の電極とは、電気的に直列に接続されていることが好ましい。また、前記振動体は、前記圧電体が配置された基板を有することが好ましい。また、前記基板は、シリコンを含むことが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体と、
前記圧電体の第１の面に配置された第１の電極と第２の電極と、を備え、
前記第１の電極は前記第２の電極よりも、駆動時の前記圧電体の歪みの大きい部分にあり、かつ面積が小さいことを特徴とする振動体。
【請求項２】
前記第１の電極と前記第２の電極とは、電気的に直列に接続されている請求項１に記載の振動体。
【請求項３】
前記第１の電極と前記第２の電極への通電により、前記圧電体を伸縮変形させる請求項１または２に記載の振動体。
【請求項４】
前記第１の電極と前記第２の電極が電気的に直列に接続されている第１の電極群と、第３の電極と第４の電極が電気的に直列に接続されている第２の電極群と、を有する請求項１または２に記載の振動体。
【請求項５】
前記第１の電極群および前記第２の電極群に、電極群毎に通電することにより、前記圧電体を屈曲変形させる請求項４に記載の振動体。
【請求項６】
前記圧電体が配置された基板を有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動体。
【請求項７】
前記基板は、シリコンを含む請求項６に記載の振動体。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動体を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動体を備えることを特徴とするロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体、電子部品搬送装置およびロボットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子を備える振動子（振動体）が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の振動子は、矩形板状の圧電素子（圧電体）と、その圧電素子の表面に配置された複数の電極とを備えている。また、屈曲振動を励振する４つの電極は、屈曲固有振動モードの歪みが所定値以上となる領域に配置され、また、前記４つの電極の外径曲線部の形状は、前記歪みの等高線に沿った形状をなしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１５５７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の振動子では、電極の大きさの関係について特に考慮されていない。また、特許文献１に記載の振動子では、１つの電極の部分に着目すると、駆動の際、圧電素子の歪みが大きい部分と小さい部分とが区別されずに、一定の電圧が印加される。これにより、圧電素子の歪みが小さい部分には過剰の電圧が印加され、これによって、振動子の駆動効率が低下する。
【０００５】
本発明の目的は、簡易な構成で、効率良く駆動することができる振動体、電子部品搬送装置およびロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
本発明の振動体は、圧電体と、
前記圧電体の第１の面に配置された第１の電極と第２の電極と、を備え、
前記第１の電極は前記第２の電極よりも、駆動時の前記圧電体の歪みの大きい部分にあり、かつ面積が小さいことを特徴とする。
【０００８】
これにより、簡易な構成で、圧電体に対して歪みの大きさに応じた電圧を印加することができ、これによって、振動体を効率良く駆動することができる。
【０００９】
本発明の振動体では、前記第１の電極と前記第２の電極とは、電気的に直列に接続されていることが好ましい。
【００１０】
これにより、電気的に直列に接続されてなる直列回路に一括して電圧を印加することで、面積が小さい電極ほど、印加される電圧が高くなる。このため、特別な配線や、電圧の異なる複数の電源を必要とせず、構成を簡素化することができる。
【００１１】
本発明の振動体では、前記第１の電極と前記第２の電極への通電により、前記圧電体を伸縮変形させることが好ましい。
【００１２】
これにより、伸縮変形を繰り返し行う振動（縦１次振動）が可能な振動体を提供することができる。
【００１３】
本発明の振動体では、前記第１の電極と前記第２の電極が電気的に直列に接続されている第１の電極群と、第３の電極と第４の電極が電気的に直列に接続されている第２の電極群と、を有することが好ましい。
【００１４】
これにより、例えば、屈曲変形を繰り返し行う振動（面内屈曲２次振動）等が可能になる。
【００１５】
本発明の振動体では、前記第１の電極群および前記第２の電極群に、電極群毎に通電することにより、前記圧電体を屈曲変形させることが好ましい。
【００１６】
これにより、屈曲変形を繰り返し行う振動（面内屈曲２次振動）が可能な振動体を提供することができる。
【００１７】
本発明の振動体では、前記圧電体が配置された基板を有することが好ましい。
これにより、振動体を補強することができ、信頼性を向上させることができ、また、大きな駆動力を得ることができる。
【００１８】
本発明の振動体では、前記基板は、シリコンを含むことが好ましい。
これにより、基板の加工を容易に行うことができる。そして、振動体を容易に製造することができる。
【００１９】
本発明の電子部品搬送装置は、本発明の振動体を備えることを特徴とする。
これにより、簡易な構成で、圧電体に対して歪みの大きさに応じた電圧を印加することができ、これによって、振動体を効率良く駆動することができる。
【００２０】
本発明のロボットは、本発明の振動体を備えることを特徴とする。
これにより、簡易な構成で、圧電体に対して歪みの大きさに応じた電圧を印加することができ、これによって、振動体を効率良く駆動することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動体を示す平面図である。
【図２】図１に示す振動体のＡ−Ａ線での断面図である。
【図３】図１に示す振動体の駆動時に圧電体に生じる歪みの分布を示す図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る振動体を示す平面図である。
【図５】図４に示す振動体の駆動時に圧電体に生じる歪みの分布を示す図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る振動体を示す平面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係るロボットの斜視図である。
【図８】本発明の第５実施形態に係る電子部品搬送装置の斜視図である。
【図９】図８に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の振動体、電子部品搬送装置およびロボットを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動体を示す平面図である。図２は、図１に示す振動体のＡ−Ａ線での断面図である。図３は、図１に示す振動体の駆動時に圧電体に生じる歪みの分布を示す図である。
【００２４】
なお、以下では、説明の都合上、図２中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。また、図１〜図３中の右側を「右」または「基端」、左側を「左」または「先端」と言う（他の実施形態の図４〜図６も同様）。また、図１および図２では、配線等を含む回路構成を示すブロック図が併記されている（他の実施形態の図４および図６も同様）。また、図３では、構造の一部の記載が省略されており、基板の振動板に対して歪みの分布を記載している（他の実施形態の図５も同様）。
【００２５】
図１および図２に示すように、振動体１は、圧電体４３と、圧電体４３の第１の面（図２中の上面）に配置された複数の電極の１例である５つの第１電極４１１、４１２、４１３、４１４および４１５と、圧電体４３の前記第１の面と反対側の面である第２の面（図２中の下面）に配置された複数の電極の１例である５つの第２電極４２１、４２２、４２３、４２４および４２５とを備えている。なお、特許請求の範囲に規定する第１の電極および第２の電極の１例は、前記第１電極４１１、４１２、４１３のうちの２つであるか、または、前記第１電極４１３、４１４、４１５のうちの２つである。
【００２６】
また、振動体１は、圧電体４３と、第１電極４１１〜４１５と、第２電極４２１〜４２５とが配置された基板２を有している。振動体１が基板２を有することにより、振動体１を補強することができ、信頼性を向上させることができ、また、大きな駆動力を得ることができる。なお、圧電体４３と、第１電極４１１〜４１５と、第２電極４２１〜４２５とにより、圧電素子１１が構成される。以下、詳細に説明する。
【００２７】
図１および図２に示すように、振動体１は、基板２と、圧電素子１１とを備えており、駆動回路３０により駆動される。基板２は、振動板２１と、固定部２２と、振動板２１と固定部２２とを接続する１対の接続部２３１、２３２と、振動板２１に設けられ、図示しないローター等の被駆動体に接触可能な伝達部２４（接触部）とを備えている。伝達部２４は、被駆動体に接触し、振動体１の駆動力を被駆動体に伝える機能を有している。そして、この振動体１は、固定部２２において、所定の対象物に固定される。
【００２８】
振動板２１は、振動板２１の厚さ方向から見た平面視（以下、単に「平面視」ともいう）で、略長方形状をなしている。この振動板２１の一方の面に圧電素子１１が配置されている。また、固定部２２は、振動板２１の基端側の部分を囲むようにＵ字形状となっている。また、接続部２３１、２３２は、振動板２１の幅方向両側に位置し、振動板２１を両持ち支持するようにして振動板２１と固定部２２とを接続している。また、接続部２３１、２３２は、振動板２１が変形（振動）する際の節となる部分に配置されている。また、伝達部２４は、振動板２１の長手方向の先端部であって、幅方向（短手方向）の中央部に、振動板２１から先端側に突出するように設けられている。また、伝達部２４の形状は、振動板２１の厚さ方向から見た平面視で、略四角形をなしている。この伝達部２４を設けることにより、振動体１の駆動力を効率良く被駆動体に伝達することができる。なお、振動板２１、固定部２２、接続部２３１、２３２および伝達部２４の形状や配置は、図示の構成に限定されるものではない。
【００２９】
また、基板２の構成材料としては、特に限定されないが、本実施形態では、基板２は、シリコンで構成されている（シリコンを含んでいる）。すなわち、基板２は、シリコン基板（半導体基板）で形成されている。これにより、基板２（振動板２１）の構成が簡単となり、また、加工も容易となる。また、例えば、半導体プロセスや、ＭＥＭＳ（メムス：Micro Electro Mechanical Systems）プロセス等を用いて振動板２１上に圧電素子１１を形成することができるため、振動体１の製造が容易となる。また、図示しないが、振動板２１の表面には絶縁層が設けられている。振動板２１としてシリコン基板を用いる場合、絶縁層は、例えば、シリコン基板の表面を熱酸化して形成した酸化シリコンで構成することができる。なお、本実施形態では、基板２は、一体的に形成されているが、これに限定されず、例えば、基板２を構成する各部は、それぞれ、別部材で構成されていてもよい。
【００３０】
圧電素子１１は、複数の圧電素子部、本実施形態では、第１圧電素子部１１１、第２圧電素子部１１２、第３圧電素子部１１３、第４圧電素子部１１４および第５圧電素子部１１５を備えている。第１圧電素子部１１１、第２圧電素子部１１２、第３圧電素子部１１３、第４圧電素子部１１４および第５圧電素子部１１５は、振動板２１の先端側から基端側に向って、この順序で配置されている。この場合、第３圧電素子部１１３（第１電極４１３および第２電極４２３）は、振動板２１が変形する際の節となる部分、すなわち、接続部２３１、２３２が配置されている位置に配置されている。また、振動板２１の先端部よび基端部には、それぞれ、圧電素子部は配置されておらず、その部分は、駆動しない。
【００３１】
また、第１圧電素子部１１１（第１電極４１１）〜第５圧電素子部１１５（第１電極４１５）の形状は、それぞれ、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるものであるが、本実施形態では、それぞれ、略四角形をなしている。
【００３２】
なお、圧電素子１１を構成する圧電素子部の数は、５つに限定されず、例えば、２つ、３つ、４つ、または６つ以上でもよい。
【００３３】
また、第１圧電素子部１１１は、振動板２１上に設けられた第２電極４２１と、第２電極４２１上に設けられた第１圧電体部４３１と、第１圧電体部４３１上に設けられた第１電極４１１とを備えている。
【００３４】
また、第２圧電素子部１１２は、振動板２１上に設けられた第２電極４２２と、第２電極４２２上に設けられた第２圧電体部４３２と、第２圧電体部４３２上に設けられた第１電極４１２とを備えている。
【００３５】
また、第３圧電素子部１１３は、振動板２１上に設けられた第２電極４２３と、第２電極４２３上に設けられた第３圧電体部４３３と、第３圧電体部４３３上に設けられた第１電極４１３とを備えている。
【００３６】
また、第４圧電素子部１１４は、振動板２１上に設けられた第２電極４２４と、第２電極４２４上に設けられた第４圧電体部４３４と、第４圧電体部４３４上に設けられた第１電極４１４とを備えている。
【００３７】
また、第５圧電素子部１１５は、振動板２１上に設けられた第２電極４２５と、第２電極４２５上に設けられた第５圧電体部４３５と、第５圧電体部４３５上に設けられた第１電極４１５とを備えている。
【００３８】
なお、第１圧電体部４３１〜第５圧電体部４３５により、圧電体４３が構成され、この第１圧電体部４３１〜第５圧電体部４３５は、本実施形態では、個別に設けられているが、これに限らず、例えば、一体的に設けられていてもよい。
【００３９】
また、複数の電極の１例である第１電極４１１〜４１５のうちの少なくとも２つは、圧電体４３を介して（挟んで）電気的に直列（以下、単に「直列」と言う）に接続されている。簡単に言えば、第１の電極（第１の電極の１例は、例えば、第１電極４１３）と第２の電極（第２の電極の１例は、例えば、第１電極４１２）とは、圧電体４３を介して（挟んで）直列に接続されている。
【００４０】
具体的には、第３圧電素子部１１３と、第２圧電素子部１１２と、第１圧電素子部１１１とは、この順序で、直列に接続されている。また、第３圧電素子部１１３と、第４圧電素子部１１４と、第５圧電素子部１１５とは、この順序で、直列に接続されている。
【００４１】
これにより、第１圧電素子部１１１、第２圧電素子部１１２および第３圧電素子部１１３で構成される直列回路に一括して電圧を印加し、同様に、第３圧電素子部１１３、第４圧電素子部１１４および第５圧電素子部１１５で構成される直列回路に一括して電圧を印加することで、それぞれの直列回路において面積が小さい圧電素子部（第１電極）ほど、印加される電圧が高くなる。このため、特別な配線や、電圧の異なる複数の電源を必要とせず、構成を簡素化することができる。
【００４２】
また、第１電極４１１〜４１５、第２電極４２１〜４２５の構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）等の金属材料が用いられる。また、第１電極４１１〜４１５、第２電極４２１〜４２５は、それぞれ、例えば、蒸着、スパッタリング等により形成することができる。
【００４３】
また、第１圧電体部４３１〜第５圧電体部４３５は、それぞれ、振動板２１の厚さ方向に沿った方向の電界が印加されることにより振動板２１の長手方向に沿った方向に伸縮する。このような第１圧電体部４３１〜第５圧電体部４３５の構成材料としては、それぞれ、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスを用いることができる。圧電セラミックスで構成された第１圧電体部４３１〜第５圧電体部４３５は、それぞれ、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法、スパッタリング等により形成してもよい。なお、第１圧電体部４３１〜第５圧電体部４３５の構成材料としては、それぞれ、上述した圧電セラミックスの他にも、例えば、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。
【００４４】
また、駆動回路３０は、第１電極４１１〜４１５および第２電極４２１〜４２５（第１圧電素子部１１１〜第５圧電素子部１１５）への通電（電力の供給）により、圧電体４３（振動体１）を伸縮変形させる。以下、具体的に説明する。
【００４５】
駆動回路３０は、端子対３０１を有している。この端子対３０１は、振動体１の第１圧電素子部１１１〜第５圧電素子部１１５に電力を供給する端子である。
【００４６】
振動体１の振動板２１の部分は、この駆動回路３０から電力の供給を受けて振動し、その振動による駆動力は、伝達部２４により被駆動体に伝達され、被駆動体が駆動、例えば、回転する。以下、振動体１の駆動方法の１例を説明する。ただし、振動体１の駆動方法は、以下の方法に限定されない。
【００４７】
駆動回路３０により、所定の周波数の駆動信号、すなわち、交番電圧を第１圧電素子部１１１〜第５圧電素子部１１５に印加する。これにより、振動板２１がその長手方向に伸縮変形し、伝達部２４の先端が振動板２１の長手方向に往復運動する。すなわち、伸縮変形を繰り返し行う縦１次振動が生じる。
【００４８】
この振動体１では、複数の電極の１例である第１電極４１１〜４１５のうち、駆動時の圧電体４３（圧電素子１１）の歪み（歪量）の大きい部分（例えば、ライン６１１の内側の領域の中心部）に近い位置にある第１電極は、該第１電極より遠い位置にある他の第１電極に比べて、面積が小さい。簡単に言えば、第１の電極（第１の電極の１例は、例えば、第１電極４１３）は、第２の電極（第２の電極の１例は、例えば、第１電極４１２）よりも、駆動時の圧電体４３の歪みの大きい部分にあり、かつ面積が小さい。同様に、第２電極４２１〜４２５のうち、駆動時の圧電体４３の歪みの大きい部分に近い位置にある第２電極は、該第２電極より遠い位置にある他の第２電極に比べて、面積が小さい。
【００４９】
言い換えると、複数の第１電極４１１〜４１５は、その面積が異なるものを含んでおり、面積が小なる第１電極（例えば、第１電極４１３）は、面積が大なる第１電極（例えば、第１電極４１２）に比べて、駆動時の圧電体４３の歪みが大きい部分（例えば、ライン６１１の内側の領域の中心部）により近い位置に配置されている。同様に、複数の第２電極４２１〜４２５は、その面積が異なるものを含んでおり、面積が小なる第２電極（例えば、第２電極４２３）は、面積が大なる第２電極（例えば、第２電極４２２）に比べて、駆動時の圧電体４３の歪みが大きい部分により近い位置に配置されている。
【００５０】
なお、前記第１電極の大小関係は、第１電極４１１〜４１５のうちのすべての第１電極において成立していることが好ましいが、少なくとも１組（２つ）の第１電極において成立していればよい。同様に、前記第２電極の大小関係は、第２電極４２１〜４２５のうちのすべての第２電極において成立していることが好ましいが、少なくとも１組（２つ）の第２電極において成立していればよい。
【００５１】
以下、詳細に説明するが、第１電極４１１〜４１５と、第２電極４２１〜４２５との構成は、同様であるので、以下では、代表的に、第１電極４１１〜４１５について説明する。
【００５２】
まず、振動体１の駆動（振動）時に圧電体４３（圧電素子１１）に生じる歪みは、その部分（領域）によって異なる。具体的には、前記歪みは、第１圧電体部４３１、第２圧電体部４３２、第３圧電体部４３３、第４圧電体部４３４、第５圧電体部４３５のうち、第３圧電体部４３３が最大であり、第２圧電体部４３２および第４圧電体部４３４が、２番目に大きく、第１圧電体部４３１および第５圧電体部４３５が最小である。
【００５３】
ここで、「歪み」とは、圧電体４３の各部分のそれぞれにおいて、変形前の寸法（元の寸法）、本実施形態では、振動板２１の長手方向における圧電体４３の対象部分の長さをＬ０、変形後の寸法、本実施形態では、振動板２１の長手方向における圧電体４３の前記対象部分の長さをＬ１としたとき、下記式で表される。
歪み＝｜Ｌ１−Ｌ０｜／Ｌ０
【００５４】
また、振動体１の駆動時に圧電体４３（圧電素子１１）に生じる歪みの分布を求める実験を行った結果は、図３に示す通りであり、この図３から、前記歪みの大小関係は、容易に理解される。図３では、歪みの大きさを「大」、「中」、「小」の３段階で示しており、ライン６１１の内側の領域が、「大」の領域、ライン６１２とライン６１１との間の領域が、「中」の領域、ライン６１３とライン６１２との間の領域が、「小」の領域である。
【００５５】
したがって、この振動体１では、第１電極４１１〜４１５の大きさ、すなわち、面積は、第１電極４１３が最小に設定され、第１電極４１２および４１４が、２番目に大きく設定され、第１電極４１１および４１５が、最大に設定される。
【００５６】
同様に、第２電極４２１〜４２５の大きさ、すなわち、面積は、第２電極４２３が最小に設定され、第２電極４２２および４２４が、２番目に大きく設定され、第２電極４２１および４２５が、最大に設定される。
【００５７】
これにより、第１電極４１１〜４１５に印加される電圧の大きさ、すなわち、第１電極４１１と第２電極４２１との間（第１圧電素子部１１１）、第１電極４１２と第２電極４２２との間（第２圧電素子部１１２）、第１電極４１３と第２電極４２３との間（第３圧電素子部１１３）、第１電極４１４と第２電極４２４との間（第４圧電素子部１１４）、第１電極４１５と第２電極４２５との間（第５圧電素子部１１５）に印加される電圧の大きさは、下記のような関係になる。
【００５８】
まず、静電容量の大きさは、第１圧電素子部１１１〜第５圧電素子部１１５のうち、第３圧電素子部１１３が最小であり、第２圧電素子部１１２および第４圧電素子部１１４が、２番目に大きく、第１圧電素子部１１１および第５圧電素子部１１５が、最大である。また、第１圧電素子部１１１〜第３圧電素子部１１３は、直列に接続され、また、第３圧電素子部１１３〜第５圧電素子部１１５は、直列に接続されている。
【００５９】
このため、印加される電圧の大きさは、第１電極４１１〜４１５（第１圧電素子部１１１〜第５圧電素子部１１５）のうち、第１電極４１３（第３圧電素子部１１３）が最大となり、第１電極４１２（第２圧電素子部１１２）および第１電極４１４（第４圧電素子部１１４）が２番目となり、第１電極４１１（第１圧電素子部１１１）および第１電極４１５（第５圧電素子部１１５）が最小となる。
【００６０】
このように、振動体１では、圧電体４３に対して、駆動時に生じる歪みの大きさに応じた電圧、すなわち、圧電体４３の歪みが大きい部分ほど大きい電圧を印加することができる。これにより、圧電体４３の歪みが小さい部分に対して余分な電圧を印加することを抑制することができ、振動体１を効率良く駆動することができる。
【００６１】
以上説明したように、振動体１によれば、簡易な構成で、圧電体４３に対して歪みの大きさに応じた電圧を印加することができ、これにより、振動体１を効率良く駆動することができ、消費電力を低減することができる。
【００６２】
（変形例）
第１実施形態では、「複数の電極の１例である第１電極４１１〜４１５のうち、面積が小さい第１電極（圧電体４３の歪みの大きい部分にある第１電極）の方が、駆動時に印加される電圧が大きい。」という構成を実現する方法として、直列に接続する方法を採用しているが、これ以外の方法を採用してもよい。他の方法としては、例えば、第１圧電素子部１１１（第１電極４１１）〜第５圧電素子部１１５（第１電極４１５）に対して、それぞれ、個別に電圧を印加する方法等が挙げられる。この場合、第１電極４１１〜４１５（第２電極４２１〜４２５）の面積は、特に限定されず、任意に設定することができる。具体的には、例えば、第１電極４１１〜４１５（第２電極４２１〜４２５）の面積をすべて同一の面積にすることも可能である。
なお、前記変形例は、他の実施形態にも適用することができる。
【００６３】
＜第２実施形態＞
図４は、本発明の第２実施形態に係る振動体を示す平面図である。図５は、図４に示す振動体の駆動時に圧電体に生じる歪みの分布を示す図である。
【００６４】
以下、第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【００６５】
図４に示すように、第２実施形態の振動体１は、基板２と、４つ（複数）の圧電素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃおよび１１ｄとを備えている。
【００６６】
また、振動板２１の長手方向に延びる中心線に対して振動板２１の幅方向の一方側には、圧電素子１１ａ、１１ｃが振動板２１の長手方向に沿って配置され、他方側には圧電素子１１ｂ、１１ｄが振動板２１の長手方向に沿って配置されている。また、圧電素子１１ｃ、１１ｄが先端側、すなわち、伝達部２４側に位置している。
【００６７】
圧電素子１１ａは、複数の圧電素子部、本実施形態では、第１圧電素子部１１１ａ、第２圧電素子部１１２ａおよび第３圧電素子部１１３ａを備えている。
【００６８】
また、第１圧電素子部１１１ａは、振動板２１上に設けられた第２電極４２１ａと、第２電極４２１ａ上に設けられた第１圧電体部４３１ａと、第１圧電体部４３１ａ上に設けられた第１電極４１１ａとを備えている。
【００６９】
また、第２圧電素子部１１２ａは、振動板２１上に設けられた第２電極４２２ａと、第２電極４２２ａ上に設けられた第２圧電体部４３２ａと、第２圧電体部４３２ａ上に設けられた第１電極４１２ａとを備えている。
【００７０】
また、第３圧電素子部１１３ａは、振動板２１上に設けられた第２電極４２３ａと、第２電極４２３ａ上に設けられた第３圧電体部４３３ａと、第３圧電体部４３３ａ上に設けられた第１電極４１３ａとを備えている。
【００７１】
また、第３圧電素子部１１３ａと、第２圧電素子部１１２ａと、第１圧電素子部１１１ａとは、この順序で、直列に接続されている。
【００７２】
なお、第１圧電体部４３１ａ〜第３圧電体部４３３ａにより、圧電体４３ａが構成され、この第１圧電体部４３１ａ〜第３圧電体部４３３ａは、本実施形態では、個別に設けられているが、これに限らず、例えば、一体的に設けられていてもよい。
【００７３】
また、圧電素子１１ｂは、複数の圧電素子部、本実施形態では、第１圧電素子部１１１ｂ、第２圧電素子部１１２ｂおよび第３圧電素子部１１３ｂを備えている。
【００７４】
また、第１圧電素子部１１１ｂは、振動板２１上に設けられた第２電極４２１ｂと、第２電極４２１ｂ上に設けられた第１圧電体部４３１ｂと、第１圧電体部４３１ｂ上に設けられた第１電極４１１ｂとを備えている。
【００７５】
また、第２圧電素子部１１２ｂは、振動板２１上に設けられた第２電極４２２ｂと、第２電極４２２ｂ上に設けられた第２圧電体部４３２ｂと、第２圧電体部４３２ｂ上に設けられた第１電極４１２ｂとを備えている。
【００７６】
また、第３圧電素子部１１３ｂは、振動板２１上に設けられた第２電極４２３ｂと、第２電極４２３ｂ上に設けられた第３圧電体部４３３ｂと、第３圧電体部４３３ｂ上に設けられた第１電極４１３ｂとを備えている。
【００７７】
また、第３圧電素子部１１３ｂと、第２圧電素子部１１２ｂと、第１圧電素子部１１１ｂとは、この順序で、直列に接続されている。
【００７８】
なお、第１圧電体部４３１ｂ〜第３圧電体部４３３ｂにより、圧電体４３ｂが構成され、この第１圧電体部４３１ｂ〜第３圧電体部４３３ｂは、本実施形態では、個別に設けられているが、これに限らず、例えば、一体的に設けられていてもよい。
【００７９】
また、圧電素子１１ｃは、複数の圧電素子部、本実施形態では、第１圧電素子部１１１ｃ、第２圧電素子部１１２ｃおよび第３圧電素子部１１３ｃを備えている。
【００８０】
また、第１圧電素子部１１１ｃは、振動板２１上に設けられた第２電極４２１ｃと、第２電極４２１ｃ上に設けられた第１圧電体部４３１ｃと、第１圧電体部４３１ｃ上に設けられた第１電極４１１ｃとを備えている。
【００８１】
また、第２圧電素子部１１２ｃは、振動板２１上に設けられた第２電極４２２ｃと、第２電極４２２ｃ上に設けられた第２圧電体部４３２ｃと、第２圧電体部４３２ｃ上に設けられた第１電極４１２ｃとを備えている。
【００８２】
また、第３圧電素子部１１３ｃは、振動板２１上に設けられた第２電極４２３ｃと、第２電極４２３ｃ上に設けられた第３圧電体部４３３ｃと、第３圧電体部４３３ｃ上に設けられた第１電極４１３ｃとを備えている。
【００８３】
また、第３圧電素子部１１３ｃと、第２圧電素子部１１２ｃと、第１圧電素子部１１１ｃとは、この順序で、直列に接続されている。
【００８４】
なお、第１圧電体部４３１ｃ〜第３圧電体部４３３ｃにより、圧電体４３ｃが構成され、この第１圧電体部４３１ｃ〜第３圧電体部４３３ｃは、本実施形態では、個別に設けられているが、これに限らず、例えば、一体的に設けられていてもよい。
【００８５】
また、圧電素子１１ｄは、複数の圧電素子部、本実施形態では、第１圧電素子部１１１ｄ、第２圧電素子部１１２ｄおよび第３圧電素子部１１３ｄを備えている。
【００８６】
また、第１圧電素子部１１１ｄは、振動板２１上に設けられた第２電極４２１ｄと、第２電極４２１ｄ上に設けられた第１圧電体部４３１ｄと、第１圧電体部４３１ｄ上に設けられた第１電極４１１ｄとを備えている。
【００８７】
また、第２圧電素子部１１２ｄは、振動板２１上に設けられた第２電極４２２ｄと、第２電極４２２ｄ上に設けられた第２圧電体部４３２ｄと、第２圧電体部４３２ｄ上に設けられた第１電極４１２ｄとを備えている。
【００８８】
また、第３圧電素子部１１３ｄは、振動板２１上に設けられた第２電極４２３ｄと、第２電極４２３ｄ上に設けられた第３圧電体部４３３ｄと、第３圧電体部４３３ｄ上に設けられた第１電極４１３ｄとを備えている。
【００８９】
また、第３圧電素子部１１３ｄと、第２圧電素子部１１２ｄと、第１圧電素子部１１１ｄとは、この順序で、直列に接続されている。
【００９０】
なお、第１圧電体部４３１ｄ〜第３圧電体部４３３ｄにより、圧電体４３ｄが構成され、この第１圧電体部４３１ｄ〜第３圧電体部４３３ｄは、本実施形態では、個別に設けられているが、これに限らず、例えば、一体的に設けられていてもよい。また、例えば、圧電素子１１ａ〜１１ｄの圧電体が一体的に設けられていてもよい。
【００９１】
また、各圧電素子１１ａ〜１１ｄを構成する圧電素子部の数は、それぞれ、３つに限定されず、例えば、２つ、または４つ以上でもよい。
【００９２】
以上のように、振動体１は、複数の電極で構成されて電気的に直列に接続されている（正確には、圧電体４３を介して電気的に直列に接続されている）電極群を複数有している。すなわち、振動体１は、第１電極４１１ａ〜４１３ａで構成される電極群と、第１電極４１１ｂ〜４１３ｂで構成される電極群と、第１電極４１１ｃ〜４１３ｃで構成される電極群と、第１電極４１１ｄ〜４１３ｄで構成される電極群とを有している。なお、特許請求の範囲に規定する第１の電極群および第２の電極群の１例は、前記４つの電極群のうちの２つである。また、第１電極４１１ａ〜４１３ａで構成される電極群が第１の電極群である場合を例に挙げると、第１の電極および第２の電極の１例は、前記第１電極４１１ａ〜４１３ａのうちの２つである。また、第１電極４１１ｂ〜４１３ｂで構成される電極群が第２の電極群である場合を例に挙げると、第３の電極および第４の電極の１例は、前記第１電極４１１ｂ〜４１３ｂのうちの２つである。同様に、振動体１は、第２電極４２１ａ〜４２３ａで構成される電極群と、第２電極４２１ｂ〜４２３ｂで構成される電極群と、第２電極４２１ｃ〜４２３ｃで構成される電極群と、第２電極４２１ｄ〜４２３ｄで構成される電極群とを有している。これにより、例えば、後述する屈曲変形を繰り返し行う振動（面内屈曲２次振動）等が可能になる。
【００９３】
また、駆動回路３０は、複数の電極群から所定の電極群を選択し、前記所定の電極群に含まれる（属する）前記複数の電極に通電すること（電極群毎に通電すること）により、圧電体４３（振動体１）を屈曲変形させる。以下、具体的に説明する。
【００９４】
駆動回路３０は、２つの端子対３１１および３１２を有している。端子対３１１は、圧電素子１１ａ、１１ｄに電力を供給する端子である。また、端子対３１２は、圧電素子１１ｂ、１１ｃに電力を供給する端子である。
【００９５】
振動体１の振動板２１の部分は、この駆動回路３０から電力の供給を受けて振動し、その振動による駆動力は、伝達部２４により被駆動体に伝達され、被駆動体が駆動、例えば、回転する。以下、振動体１の駆動方法の１例を説明する。ただし、振動体１の駆動方法は、以下の方法に限定されない。
【００９６】
駆動回路３０により、所定の周波数の駆動信号、すなわち、交番電圧を、圧電素子１１ａ、１１ｄに印加する。これにより、振動板２１が屈曲してＳ字形状に変形し、伝達部２４の先端が楕円運動する。すなわち、屈曲変形を繰り返し行う面内屈曲２次振動が生じ、伝達部２４の先端が楕円運動する。その結果、被駆動体が駆動、例えば、回転する。
【００９７】
また、駆動回路３０により、所定の周波数の駆動信号、すなわち、交番電圧を、圧電素子１１ｂ、１１ｃに印加する。これにより、伝達部２４の先端は、前記と逆方向に楕円運動する。その結果、被駆動体が、例えば、前記と逆方向に回転する。
【００９８】
また、他の駆動方法としては、駆動回路３０により、所定の周波数の駆動信号、すなわち、交番電圧を、圧電素子１１ａ、１１ｄと圧電素子１１ｂ、１１ｃとの位相差が１８０°となるように圧電素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃおよび１１ｄに印加する。これにより、前記の駆動方法よりも大きく振動させることができる。
【００９９】
次に、圧電素子１１ａ〜１１ｄについてさらに説明するが、圧電素子１１ａ〜１１ｄの構成は、同様であるので、以下では、代表的に、圧電素子１１ａについて説明する。
【０１００】
まず、圧電素子１１ａの第１圧電素子部１１１ａ（第１電極４１１ａ）〜第３圧電素子部１１３ａ（第１電極４１３ａ）の形状は、それぞれ、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるものであるが、本実施形態では、第３圧電素子部１１３ａ（第１電極４１３ａ）は、略長方形をなしている。この第３圧電素子部１１３ａは、振動板２１の幅方向の端部に配置されている。
【０１０１】
また、第２圧電素子部１１２ａ（第１電極４１２ａ）は、第３圧電素子部１１３ａの長手方向の両端部と、第３圧電素子部１１３ａの幅方向（短手方向）の圧電素子１１ｂ側の端部とに沿って配置されている。
【０１０２】
また、第１圧電素子部１１１ａ（第１電極４１１ａ）は、第２圧電素子部１１２ａの長手方向の両端部と、第２圧電素子部１１２ａの幅方向の圧電素子１１ｂ側の端部とに沿って配置されている。
【０１０３】
ここで、振動体１の駆動時に圧電体４３ａ（圧電素子１１ａ）に生じる歪みは、その部分によって異なる。具体的には、前記歪みは、第１圧電体部４３１ａ、第２圧電体部４３２ａおよび第３圧電体部４３３ａのうち、第３圧電体部４３３ａが最大であり、第２圧電体部４３２ａが、２番目に大きく、第１圧電体部４３１ａが最小である。
【０１０４】
また、振動体１の駆動時に圧電体４３ａ（圧電素子１１ａ）に生じる歪みの分布を求める実験を行った結果は、図５に示す通りであり、この図５から、前記歪みの大小関係は、容易に理解される。図５では、歪みの大きさを「大」、「中」、「小」の３段階で示しており、ライン６１１ａの内側の領域が、「大」の領域、ライン６１２ａとライン６１１ａとの間の領域が、「中」の領域、ライン６１３ａとライン６１２ａとの間の領域が、「小」の領域である。同様にライン６１１ｂの内側の領域が、「大」の領域、ライン６１２ｂとライン６１１ｂとの間の領域が、「中」の領域、ライン６１３ｂとライン６１２ｂとの間の領域が、「小」の領域である。同様にライン６１１ｃの内側の領域が、「大」の領域、ライン６１２ｃとライン６１１ｃとの間の領域が、「中」の領域、ライン６１３ｃとライン６１２ｃとの間の領域が、「小」の領域である。同様にライン６１１ｄの内側の領域が、「大」の領域、ライン６１２ｄとライン６１１ｄとの間の領域が、「中」の領域、ライン６１３ｄとライン６１２ｄとの間の領域が、「小」の領域である。
【０１０５】
したがって、この振動体１では、第１電極４１１ａ〜４１３ａの大きさ、すなわち、面積は、第１電極４１３ａが、最小に設定され、第１電極４１２ａが、２番目に大きく設定され、第１電極４１１ａが、最大に設定される。
【０１０６】
同様に、第２電極４２１ａ〜４２３ａの大きさ、すなわち、面積は、第２電極４２３ａが最小に設定され、第２電極４２２ａが、２番目に大きく設定され、第２電極４２１ａが、最大に設定される。
【０１０７】
これにより、印加される電圧の大きさは、第１電極４１１ａ〜４１３ａ（第１圧電素子部１１１ａ〜第３圧電素子部１１３５）のうち、第１電極４１３ａ（第３圧電素子部１１３ａ）が最大となり、第１電極４１２ａ（第２圧電素子部１１２ａ）が２番目となり、第１電極４１１ａ（第１圧電素子部１１１ａ）が最小となる。
【０１０８】
以上のような第２実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１０９】
＜第３実施形態＞
図６は、本発明の第３実施形態に係る振動体を示す平面図である。
【０１１０】
以下、第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
【０１１１】
図６に示すように、第３実施形態の振動体１は、基板２と、５つ（複数）の圧電素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄおよび１１ｅとを備えている。
【０１１２】
また、圧電素子１１ｅは、振動板２１の幅方向の中央部において、振動板２１の長手方向に沿って配置されている。この圧電素子１１ｅに対して振動板２１の幅方向の一方側には、圧電素子１１ａ、１１ｃが振動板２１の長手方向に沿って配置され、他方側には、圧電素子１１ｂ、１１ｄが振動板２１の長手方向に沿って配置されている。また、圧電素子１１ｃ、１１ｄが先端側、すなわち、伝達部２４側に位置している。
【０１１３】
また、圧電素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃおよび１１ｄについては、第２実施形態と同様であるので、その説明は省略する。また、圧電素子１１ｅについては、圧電素子部の数が異なる以外は、第１実施形態と同様であり、以下、説明する。
【０１１４】
圧電素子１１ｅは、複数の圧電素子部、本実施形態では、第１圧電素子部１１１ｅ、第２圧電素子部１１２ｅ、第３圧電素子部１１３ｅ、第４圧電素子部１１４ｅ、第５圧電素子部１１５ｅ、第６圧電素子部１１６ｅおよび第７圧電素子部１１７ｅを備えている。
【０１１５】
第１圧電素子部１１１ｅ、第２圧電素子部１１２ｅ、第３圧電素子部１１３ｅ、第４圧電素子部１１４ｅ、第５圧電素子部１１５ｅ、第６圧電素子部１１６ｅおよび第７圧電素子部１１７ｅは、振動板２１の先端側から基端側に向って、この順序で配置されている。この場合、第４圧電素子部１１４ｅ（第１電極４１４ｅおよび第２電極４２４ｅ）は、振動板２１が変形する際の節となる部分、すなわち、接続部２３１、２３２が配置されている位置に配置されている。
【０１１６】
また、第１圧電素子部１１１ｅ（第１電極４１１ｅ）〜第７圧電素子部１１７ｅ（第１電極４１７ｅ）の形状は、それぞれ、特に限定されず、諸条件に応じて適宜設定されるものであるが、本実施形態では、それぞれ、略四角形をなしている。
【０１１７】
また、圧電素子１１ｅを構成する圧電素子部の数は、７つに限定されず、例えば、２つ、３つ、４つ、５つ、６つ、または８つ以上でもよい。
【０１１８】
また、第１圧電素子部１１１ｅは、振動板２１上に設けられた第２電極４２１ｅと、第２電極４２１ｅ上に設けられた第１圧電体部４３１ｅと、第１圧電体部４３１ｅ上に設けられた第１電極４１１ｅとを備えている。
【０１１９】
また、第２圧電素子部１１２ｅは、振動板２１上に設けられた第２電極４２２ｅと、第２電極４２２ｅ上に設けられた第２圧電体部４３２ｅと、第２圧電体部４３２ｅ上に設けられた第１電極４１２ｅとを備えている。
【０１２０】
また、第３圧電素子部１１３ｅは、振動板２１上に設けられた第２電極４２３ｅと、第２電極４２３ｅ上に設けられた第３圧電体部４３３ｅと、第３圧電体部４３３ｅ上に設けられた第１電極４１３ｅとを備えている。
【０１２１】
また、第４圧電素子部１１４ｅは、振動板２１上に設けられた第２電極４２４ｅと、第２電極４２４ｅ上に設けられた第４圧電体部４３４ｅと、第４圧電体部４３４ｅ上に設けられた第１電極４１４ｅとを備えている。
【０１２２】
また、第５圧電素子部１１５ｅは、振動板２１上に設けられた第２電極４２５ｅと、第２電極４２５ｅ上に設けられた第５圧電体部４３５ｅと、第５圧電体部４３５ｅ上に設けられた第１電極４１５ｅとを備えている。
【０１２３】
また、第６圧電素子部１１６ｅは、振動板２１上に設けられた第２電極４２６ｅと、第２電極４２６ｅ上に設けられた第６圧電体部４３６ｅと、第６圧電体部４３６ｅ上に設けられた第１電極４１６ｅとを備えている。
【０１２４】
また、第７圧電素子部１１７ｅは、振動板２１上に設けられた第２電極４２７ｅと、第２電極４２７ｅ上に設けられた第７圧電体部４３７ｅと、第７圧電体部４３７ｅ上に設けられた第１電極４１７ｅとを備えている。
【０１２５】
また、第４圧電素子部１１４ｅと、第３圧電素子部１１３ｅと、第２圧電素子部１１２ｅと、第１圧電素子部１１１ｅとは、この順序で、直列に接続されている。また、第４圧電素子部１１４ｅと、第５圧電素子部１１５ｅと、第６圧電素子部１１６ｅと、第７圧電素子部１１７ｅとは、この順序で、直列に接続されている。
【０１２６】
なお、第１圧電体部４３１ｅ〜第７圧電体部４３７ｅにより、圧電体４３ｅが構成され、この第１圧電体部４３１ｅ〜第７圧電体部４３７ｅは、本実施形態では、個別に設けられているが、これに限らず、例えば、一体的に設けられていてもよい。また、第１電極４１１ｅ〜４１７ｅにより電極群が構成され、同様に、第２電極４２１ｅ〜４２７ｅにより電極群が構成されている。
【０１２７】
また、第１電極４１１ｅ〜４１７ｅの大きさ、すなわち、面積は、第１電極４１３ｅおよび４１７ｅが最小に設定され、第１電極４１２ｅおよび４１６ｅが、２番目に大きく設定され、第１電極４１３ｅおよび４１５ｅが、３番目に大きく設定され、第１電極４１４ｅが、最大に設定される。
【０１２８】
同様に、第２電極４２１ｅ〜４２７ｅの大きさ、すなわち、面積は、第２電極４２３ｅおよび４２７ｅが最小に設定され、第２電極４２２ｅおよび４２６ｅが、２番目に大きく設定され、第２電極４２３ｅおよび４２５ｅが、３番目に大きく設定され、第２電極４２４ｅが、最大に設定される。
【０１２９】
また、駆動回路３０は、３つの端子対３２１、３２２および３２３を有している。端子対３２１は、圧電素子１１ａ、１１ｄに電力を供給する端子である。また、端子対３２２は、圧電素子１１ｂ、１１ｃに電力を供給する端子である。また、端子対３２３は、圧電素子１１ｅに電力を供給する端子である。
【０１３０】
振動体１の振動板２１の部分は、この駆動回路３０から電力の供給を受けて振動し、その振動による駆動力は、伝達部２４により被駆動体に伝達され、被駆動体が駆動、例えば、回転する。以下、振動体１の駆動方法の１例を説明する。ただし、振動体１の駆動方法は、以下の方法に限定されない。
【０１３１】
駆動回路３０により、所定の周波数の駆動信号、すなわち、交番電圧を、圧電素子１１ａ、１１ｄと圧電素子１１ｂ、１１ｃとの位相差が１８０°となり、圧電素子１１ａ、１１ｄと圧電素子１１ｅとの位相差が３０°となるように圧電素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄおよび１１ｅに印加する。これにより、振動板２１が屈曲してＳ字形状に変形し、伝達部２４の先端が楕円運動する。すなわち、屈曲変形を繰り返し行う面内屈曲２次振動が生じ、伝達部２４の先端が楕円運動する。その結果、被駆動体が駆動、例えば、回転する。また、圧電素子１１ａ、１１ｄと圧電素子１１ｅとの位相差が２１０°となるように交番電圧を印加すれば、被駆動体を前記と逆の方向に回転させることができる。
【０１３２】
以上のような第３実施形態によっても、前述した実施形態と同様の効果を発揮することができる。
【０１３３】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の第４実施形態に係るロボットについて説明する。
図７は、本発明の第４実施形態に係るロボットの斜視図である。
【０１３４】
図７に示すロボット１０００は、精密機器やこれを構成する部品（対象物）の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１０００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１０と、ベース１０１０に回動自在に連結されたアーム１０２０と、アーム１０２０に回動自在に連結されたアーム１０３０と、アーム１０３０に回動自在に連結されたアーム１０４０と、アーム１０４０に回動自在に連結されたアーム１０５０と、アーム１０５０に回動自在に連結されたアーム１０６０と、アーム１０６０に回動自在に連結されたアーム１０７０と、これらアーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０の駆動を制御する制御部１０８０と、を有している。また、アーム１０７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１０００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９０が装着される。また、各関節部には振動体１（圧電モーター）が搭載されており、この振動体の駆動によって各アーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０が回動する。なお、各振動体１の駆動は、制御部１０８０によって制御される。
【０１３５】
このようなロボット１０００は、振動体１を備えているため、上述した振動体１の効果を享受することができ、振動体１について、簡易な構成で、駆動効率を向上させることができる。
【０１３６】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の第５実施形態に係る電子部品搬送装置について説明する。
図８は、本発明の第５実施形態に係る電子部品搬送装置の斜視図である。図９は、図８に示す電子部品搬送装置が有する電子部品保持部の斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。
【０１３７】
図８に示す電子部品搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用されており、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、を有している。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等などが挙げられる。
【０１３８】
また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。また、図９に示すように、電子部品保持部２２３０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能な微調整プレート２２３１と、微調整プレート２２３１に対してＺ軸まわりに回動可能な回動部２２３２と、回動部２２３２に設けられ、電子部品Ｑを保持する保持部２２３３と、を有している。また、電子部品保持部２２３０には、微調整プレート２２３１をＸ軸方向に移動させるための振動体１（１０ｘ）（圧電モーター）と、微調整プレート２２３１をＹ軸方向に移動させるための振動体１（１０ｙ）（圧電モーター）と、回動部２２３２をＺ軸まわりに回動させるための振動体１（１０θ）（圧電モーター）と、が内蔵されている。
【０１３９】
このような電子部品搬送装置２０００は、振動体１を備えているため、上述した振動体１の効果を享受することができ、振動体１について、簡易な構成で、駆動効率を向上させることができる。
【０１４０】
以上、本発明の振動体、電子部品搬送装置およびロボットを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１４１】
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１４２】
また、本発明の振動体の用途は、電子部品搬送装置およびロボットに限定されず、例えば、作業機器、医療機器等の各種の機器や装置に適用することができる。
【符号の説明】
【０１４３】
１…振動体、２…基板、１１…圧電素子、１１ａ…圧電素子、１１ｂ…圧電素子、１１ｃ…圧電素子、１１ｄ…圧電素子、１１ｅ…圧電素子、２１…振動板、２２…固定部、２４…伝達部、３０…駆動回路、４３…圧電体、４３ａ…圧電体、４３ｂ…圧電体、４３ｃ…圧電体、４３ｄ…圧電体、４３ｅ…圧電体、１１１…第１圧電素子部、１１１ａ…第１圧電素子部、１１１ｂ…第１圧電素子部、１１１ｃ…第１圧電素子部、１１１ｄ…第１圧電素子部、１１１ｅ…第１圧電素子部、１１２…第２圧電素子部、１１２ａ…第２圧電素子部、１１２ｂ…第２圧電素子部、１１２ｃ…第２圧電素子部、１１２ｄ…第２圧電素子部、１１２ｅ…第２圧電素子部、１１３…第３圧電素子部、１１３ａ…第３圧電素子部、１１３ｂ…第３圧電素子部、１１３ｃ…第３圧電素子部、１１３ｄ…第３圧電素子部、１１３ｅ…第３圧電素子部、１１４…第４圧電素子部、１１４ｅ…第４圧電素子部、１１５…第５圧電素子部、１１５ｅ…第５圧電素子部、１１６ｅ…第６圧電素子部、１１７ｅ…第７圧電素子部、２３１…接続部、２３２…接続部、３０１…端子対、３１１…端子対、３１２…端子対、３２１…端子対、３２２…端子対、３２３…端子対、４１１…第１電極、４１１ａ…第１電極、４１１ｂ…第１電極、４１１ｃ…第１電極、４１１ｄ…第１電極、４１１ｅ…第１電極、４１２…第１電極、４１２ａ…第１電極、４１２ｂ…第１電極、４１２ｃ…第１電極、４１２ｄ…第１電極、４１２ｅ…第１電極、４１３…第１電極、４１３ａ…第１電極、４１３ｂ…第１電極、４１３ｃ…第１電極、４１３ｄ…第１電極、４１３ｅ…第１電極、４１４…第１電極、４１４ｅ…第１電極、４１５…第１電極、４１５ｅ…第１電極、４１６ｅ…第１電極、４１７ｅ…第１電極、４２１…第２電極、４２１ａ…第２電極、４２１ｂ…第２電極、４２１ｃ…第２電極、４２１ｄ…第２電極、４２１ｅ…第２電極、４２２…第２電極、４２２ａ…第２電極、４２２ｂ…第２電極、４２２ｃ…第２電極、４２２ｄ…第２電極、４２２ｅ…第２電極、４２３…第２電極、４２３ａ…第２電極、４２３ｂ…第２電極、４２３ｃ…第２電極、４２３ｄ…第２電極、４２３ｅ…第２電極、４２４…第２電極、４２４ｅ…第２電極、４２５…第２電極、４２５ｅ…第２電極、４２６ｅ…第２電極、４２７ｅ…第２電極、４３１…第１圧電体部、４３１ａ…第１圧電体部、４３１ｂ…第１圧電体部、４３１ｃ…第１圧電体部、４３１ｄ…第１圧電体部、４３１ｅ…第１圧電体部、４３２…第２圧電体部、４３２ａ…第２圧電体部、４３２ｂ…第２圧電体部、４３２ｃ…第２圧電体部、４３２ｄ…第２圧電体部、４３２ｅ…第２圧電体部、４３３…第３圧電体部、４３３ａ…第３圧電体部、４３３ｂ…第３圧電体部、４３３ｃ…第３圧電体部、４３３ｄ…第３圧電体部、４３３ｅ…第３圧電体部、４３４…第４圧電体部、４３４ｅ…第４圧電体部、４３５…第５圧電体部、４３５ｅ…第５圧電体部、４３６ｅ…第６圧電体部、４３７ｅ…第７圧電体部、６１１…ライン、６１１ａ…ライン、６１１ｂ…ライン、６１１ｃ…ライン、６１１ｄ…ライン、６１２…ライン、６１２ａ…ライン、６１２ｂ…ライン、６１２ｃ…ライン、６１２ｄ…ライン、６１３…ライン、６１３ａ…ライン、６１３ｂ…ライン、６１３ｃ…ライン、６１３ｄ…ライン、１０００…ロボット、１０１０…ベース、１０２０…アーム、１０３０…アーム、１０４０…アーム、１０５０…アーム、１０６０…アーム、１０７０…アーム、１０８０…制御部、１０９０…エンドエフェクター、１１３５…第３圧電素子部、２０００…電子部品搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３１…微調整プレート、２２３２…回動部、２２３３…保持部、Ｑ…電子部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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