(57)【要約】【課題】基板を取り囲むカップの切換えが可能な基板処理装置を小型化し得る技術を提供する。【解決手段】基板処理装置１は、スピンチャック５に保持された基板Ｗを取り囲み可能な筒状に形成された第１カップ６４及び第２カップ６５を備える。第２カップ６５は、第１カップ６４の内側に配されている。また、基板処理装置１は、第２カップ６５を第１カップに６４対して連結解除可能に連結する第１カップ連結部１００と、第１カップ６４に直に連結され、第１カップ６４を上下方向Ｚに昇降させるカップ昇降駆動機構６９と、前記第１カップ連結部１００による第１カップ６４および第２カップ６５間の連結／連結解除を制御する制御部９０とを備える。【選択図】図３
2018166157.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する基板処理装置であって、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
鉛直方向に延びる基板回転軸線まわりに前記基板保持部を回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持された前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第１カップと、
前記第１カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第２カップと、
前記第２カップを前記第１カップに対して連結解除可能に連結する第１カップ連結部と、
前記第１カップに直に連結され、該第１カップを鉛直方向に昇降させる第１カップ昇降部を含む昇降部と、
前記第１カップ連結部による前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結／連結解除を制御する制御部と、
を備える、基板処理装置。
【請求項２】
請求項１の基板処理装置であって、
前記第２カップについて、前記基板を取り囲む上位置と、該上位置よりも鉛直方向下方である下位置との間における移動を案内する案内部、
をさらに備える、基板処理装置。
【請求項３】
請求項２の基板処理装置であって、
前記下位置に移動した前記第２カップが受ける衝撃を吸収する衝撃吸収部、
をさらに備える、基板処理装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３の基板処理装置であって、
前記第２カップを、前記上位置から前記下位置に向けて付勢する付勢部、
をさらに備える、基板処理装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項の基板処理装置であって、
前記第２カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第３カップと、
前記第３カップを前記第１カップまたは前記第２カップに対して連結解除可能に連結する第２カップ連結部と、
をさらに備える、基板処理装置。
【請求項６】
請求項５の基板処理装置であって、
前記第２カップ連結部は、前記第３カップを前記第１カップに直に連結するように設けられており、
前記第１カップにおける、前記第２カップが連結する第１連結部分と前記第３カップが連結する第２連結部分とが、水平方向において異なる位置である、基板処理装置。
【請求項７】
請求項５または請求項６の基板処理装置であって、
前記昇降部は、前記第３カップに直に連結され、該第３カップを鉛直方向に昇降させる第３カップ昇降部を含み、
前記第２カップ連結部は、前記第３カップを前記第２カップに対して連結解除可能に連結する、基板処理装置。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項の基板処理装置であって、
前記第１カップ連結部は、前記第１カップおよび前記第２カップのうち少なくとも一方のカップに設けられ、電流の供給に応じて前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結／連結解除を切り換える連結用電磁石、を含み、
前記制御部は、前記連結用電磁石への前記電流の供給を制御する、基板処理装置。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれか１項の基板処理装置であって、
前記第１カップ連結部は、前記第２カップを前記第１カップに吸着させる吸着パッドを含む、基板処理装置。
【請求項１０】
基板を処理する基板処理装置であって、
基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、
鉛直方向に延びる基板回転軸線まわりに前記基板保持部を回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部に保持された前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、
前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第１カップと、
前記第１カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第２カップと、
前記第２カップを前記第１カップに対して連結解除可能に連結する第１カップ連結部と、
前記第２カップに直に連結され、該第２カップを鉛直方向に昇降させる昇降部と、
前記第１カップを、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲む上位置で保持する第１カップ保持部と、
前記第１カップ連結部による前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結／連結解除を制御する制御部と、
を備える、基板処理装置。
【請求項１１】
基板を処理する基板処理方法であって、
(a) 基板保持部によって基板を水平姿勢で保持する工程と、
(b) 鉛直方向に延びる基板回転軸線まわりに前記基板保持部を回転させる工程と、
(c) 前記基板保持部に保持された前記基板に処理液を供給する工程と、
(d) 前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第１カップと、前記第１カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第２カップとを、第１カップ連結部により連結解除可能に連結する工程と、
(e) 前記(d)工程の後、第１カップを上昇させることによって、前記第１カップとともに前記第２カップを下位置から前記基板を取り囲む上位置へ上昇させる工程と、
を含む、基板処理方法。
【請求項１２】
請求項１１の基板処理方法であって、
前記(e)工程は、前記下位置と前記上位置との間における前記第２カップの移動を案内部により案内する工程、を含む基板処理方法。
【請求項１３】
請求項１２の基板処理方法であって、
(f) 前記(e)工程の後、前記第１カップ連結部による前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結を解除して、前記第２カップを前記下位置に移動させる工程、
をさらに含む、基板処理方法。
【請求項１４】
請求項１３の基板処理方法であって、
前記(f)工程は、前記下位置に移動した前記第２カップが受ける衝撃を衝撃吸収部により吸収する工程を含む、基板処理方法。
【請求項１５】
請求項１３または請求項１４の基板処理方法であって、
前記(f)工程は、前記第２カップを、前記上位置から前記下位置に向けて付勢する工程を含む、基板処理方法。
【請求項１６】
請求項１１から請求項１５のいずれか１項の基板処理方法であって、
(g) 前記第２カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第３カップを前記第１カップまたは前記第２カップに対して第２カップ連結部により連結解除可能に連結する工程、
をさらに含む、基板処理方法。
【請求項１７】
請求項１６の基板処理方法であって、
前記(g)工程において、前記第２カップ連結部は、前記第３カップを前記第１カップに直に連結させ、
前記第１カップにおける、前記第２カップが連結する第１連結部分と前記第３カップが連結する第２連結部分とが、水平方向において異なる位置である、基板処理方法。
【請求項１８】
請求項１６または請求項１７の基板処理方法であって、
(h) 前記第３カップに直に連結された第３カップ昇降部により、該第３カップを鉛直方向に昇降させる工程、
をさらに含み、
前記第２カップ連結部は、前記第３カップを前記第２カップに対して連結解除可能に連結する、基板処理方法。
【請求項１９】
請求項１１から請求項１８のいずれか１項の基板処理方法であって、
前記第１カップ連結部は、前記第１カップおよび前記第２カップのうち少なくとも一方のカップに設けられ、電流の供給に応じて前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結／連結解除を切り換える連結用電磁石、を含む、基板処理方法。
【請求項２０】
請求項１１から請求項１９のいずれか１項の基板処理方法であって、
前記第１カップ連結部は、前記第２カップを前記第１カップに吸着させる吸着パッドを含む、基板処理方法。
【請求項２１】
基板を処理する基板処理方法であって、
(A) 基板保持部によって基板を水平姿勢で保持する工程と、
(B) 鉛直方向に延びる基板回転軸線まわりに前記基板保持部を回転させる工程と、
(C) 前記基板保持部に保持された前記基板に処理液を供給する工程と、
(D) 前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第１カップと、前記第１カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第２カップとを、第１カップ連結部により連結解除可能に連結する工程と、
(E) 前記(D)工程の後、前記第２カップを上昇させることによって、前記第２カップとともに前記第１カップを下位置から前記第１カップを前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲む上位置へ上昇させる工程と、
(F) 前記(E)工程の後、前記第１カップを前記上位置で保持する工程と、
(G) 前記(F)工程の後、前記第１カップ連結部による前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結を解除して、前記第２カップを下降させる工程と、
を含む、基板処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、回転中の基板を処理液で処理する技術に関し、特に、基板から外方へ振り切られる処理液を受け止める技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板を一枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置においては、薬液やリンス液などの処理液による基板処理がチャンバ内で行われる。チャンバ内には、基板を保持するスピンチャックやスピンチャックを回転させるモータのほかに、スピンチャックを取り囲む複数のカップや、スピンチャックに保持された基板に対向する遮蔽板などが設けられる。
【０００３】
カップは、基板を処理液で処理する際に、基板を取り囲むことによって、基板から飛散した処理液を受け止める部材である。例えば、特許文献１には、２つのカップが内外重なるようにして配設されている。そして、特許文献１では、各カップを独立に昇降させることによって、基板から振り切られた処理液を受けるカップが切り換えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１２−２２７２８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、各カップを独立に昇降させるため、カップの数量分だけ昇降機構を要していた。このため、基板処理装置が大型化するために、基板処理装置の専有空間を小さくすることが困難であった。
【０００６】
そこで、本発明は、基板を取り囲むカップの切換えが可能な基板処理装置を小型化し得る技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１態様は、基板を処理する基板処理装置であって、基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、鉛直方向に延びる基板回転軸線まわりに前記基板保持部を回転させる回転駆動部と、前記基板保持部に保持された前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第１カップと、前記第１カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第２カップと、前記第２カップを前記第１カップに対して連結解除可能に連結する第１カップ連結部と、前記第１カップに直に連結され、該第１カップを鉛直方向に昇降させる第１カップ昇降部を含む昇降部と、前記第１カップ連結部による前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結／連結解除を制御する制御部とを備える。
【０００８】
第２態様は、第１態様の基板処理装置であって、前記第２カップについて、前記基板を取り囲む上位置と、該上位置よりも鉛直方向下方である下位置との間における移動を案内する案内部をさらに備える。
【０００９】
第３態様は、第２態様の基板処理装置であって、前記下位置に移動した前記第２カップが受ける衝撃を吸収する衝撃吸収部をさらに備える。
【００１０】
第４態様は、第２態様または第３態様の基板処理装置であって、前記第２カップを、前記上位置から前記下位置に向けて付勢する付勢部をさらに備える。
【００１１】
第５態様は、第１態様から第４態様のいずれか１つの基板処理装置であって、前記第２カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第３カップと、前記第３カップを前記第１カップまたは前記第２カップに対して連結解除可能に連結する第２カップ連結部とをさらに備える。
【００１２】
第６態様は、第５態様の基板処理装置であって、前記第２カップ連結部は、前記第３カップを前記第１カップに直に連結するように設けられており、前記第１カップにおける、前記第２カップが連結する第１連結部分と前記第３カップが連結する第２連結部分とが、水平方向において異なる位置である。
【００１３】
第７態様は、第５態様または第６態様の基板処理装置であって、前記昇降部は、前記第３カップに直に連結され、該第３カップを鉛直方向に昇降させる第３カップ昇降部を含み、前記第２カップ連結部は、前記第３カップを前記第２カップに対して連結解除可能に連結する。
【００１４】
第８態様は、第１態様から第７態様のいずれか１つの基板処理装置であって、前記第１カップ連結部は、前記第１カップおよび前記第２カップのうち少なくとも一方のカップに設けられ、電流の供給に応じて前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結／連結解除を切り換える連結用電磁石、を含み、前記制御部は、前記連結用電磁石への前記電流の供給を制御する。
【００１５】
第９態様は、第１態様から第８態様のいずれか１つの基板処理装置であって、前記第１カップ連結部は、前記第２カップを前記第１カップに吸着させる吸着パッドを含む。
【００１６】
第１０態様は、基板を処理する基板処理装置であって、基板を水平姿勢で保持する基板保持部と、鉛直方向に延びる基板回転軸線まわりに前記基板保持部を回転させる回転駆動部と、前記基板保持部に保持された前記基板に処理液を供給する処理液供給部と、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第１カップと、前記第１カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第２カップと、前記第２カップを前記第１カップに対して連結解除可能に連結する第１カップ連結部と、前記第２カップに直に連結され、該第２カップを鉛直方向に昇降させる昇降部と、前記第１カップを、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲む上位置で保持する第１カップ保持部と、前記第１カップ連結部による前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結／連結解除を制御する制御部とを備える。
【００１７】
第１１態様は、基板を処理する基板処理方法であって、(a)基板保持部によって基板を水平姿勢で保持する工程と、(b)鉛直方向に延びる基板回転軸線まわりに前記基板保持部を回転させる工程と、(c)前記基板保持部に保持された前記基板に処理液を供給する工程と、(d)前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第１カップと、前記第１カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第２カップとを、第１カップ連結部により連結解除可能に連結する工程と、(e)前記(d)工程の後、第１カップを上昇させることによって、前記第１カップとともに前記第２カップを下位置から前記基板を取り囲む上位置へ上昇させる工程とを含む。
【００１８】
第１２態様は、第１１態様の基板処理方法であって、前記(e)工程は、前記下位置と前記上位置との間における前記第２カップの移動を案内部により案内する工程。
【００１９】
第１３態様は、第１２態様の基板処理方法であって、(f)前記(e)工程の後、前記第１カップ連結部による前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結を解除して、前記第２カップを前記下位置に移動させる工程をさらに含む。
【００２０】
第１４態様は、請求項１３の基板処理方法であって、前記(f)工程は、前記下位置に移動した前記第２カップが受ける衝撃を衝撃吸収部により吸収する工程を含む。
【００２１】
第１５態様は、第１３態様または第１４態様の基板処理方法であって、前記(f)工程は、前記第２カップを、前記上位置から前記下位置に向けて付勢する工程を含む。
【００２２】
第１６態様は、第１１態様から第１５態様のいずれか１つの基板処理方法であって、(g)前記第２カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第３カップを前記第１カップまたは前記第２カップに対して第２カップ連結部により連結解除可能に連結する工程をさらに含む。
【００２３】
第１７態様は、第１６態様の基板処理方法であって、前記(g)工程において、前記第２カップ連結部は、前記第３カップを前記第１カップに直に連結させ、前記第１カップにおける、前記第２カップが連結する第１連結部分と前記第３カップが連結する第２連結部分とが、水平方向において異なる位置である。
【００２４】
第１８態様は、第１６態様または第１７態様の基板処理方法であって、(h)前記第３カップに直に連結された第３カップ昇降部により、該第３カップを鉛直方向に昇降させる工程、をさらに含み、前記第２カップ連結部は、前記第３カップを前記第２カップに対して連結解除可能に連結する。
【００２５】
第１９態様は、第１１態様から第１８態様のいずれか１つの基板処理方法であって、前記第１カップ連結部は、前記第１カップおよび前記第２カップのうち少なくとも一方のカップに設けられ、電流の供給に応じて前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結／連結解除を切り換える連結用電磁石を含む。
【００２６】
第２０態様は、第１１態様から第１９態様のいずれか１つの基板処理方法であって、前記第１カップ連結部は、前記第２カップを前記第１カップに吸着させる吸着パッドを含む。
【００２７】
第２１態様は、基板を処理する基板処理方法であって、(A)基板保持部によって基板を水平姿勢で保持する工程と、(B)鉛直方向に延びる基板回転軸線まわりに前記基板保持部を回転させる工程と、(C)前記基板保持部に保持された前記基板に処理液を供給する工程と、(D)前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第１カップと、前記第１カップの内側に配され、前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲み可能な筒状に形成された第２カップとを、第１カップ連結部により連結解除可能に連結する工程と、(E)前記(D)工程の後、前記第２カップを上昇させることによって、前記第２カップとともに前記第１カップを下位置から前記第１カップを前記基板保持部に保持された前記基板を取り囲む上位置へ上昇させる工程と、(F)前記(E)工程の後、前記第１カップを前記上位置で保持する工程と、(G)前記(F)工程の後、前記第１カップ連結部による前記第１カップおよび前記第２カップ間の連結を解除、前記第２カップを下降させる工程とを含む。
【発明の効果】
【００２８】
第１から第９態様の基板処理装置によると、第１カップ連結部によって第２カップを第１カップに連結させた状態で、第１カップを昇降させることによって、内側の第２カップを受動的に昇降できる。これによって、第２カップで基板を取り囲みできる。この場合、第２カップを第１カップに対して独立に昇降させる機構を省略できるため、装置の占有スペースを小さくし得る。
【００２９】
第２態様の基板処理装置によると、案内部によって、第１カップとの連結が解除されて下位置に移動する第２カップの移動を案内できる。
【００３０】
第３態様の基板処理装置によると、衝撃吸収部を設けることによって、第２カップが下位置に移動した際に受ける衝撃を緩和し得る。
【００３１】
第４態様の基板処理装置によると、付勢部材が第２カップを下位置へ向けて付勢することによって、第１カップとの連結が解除された第２カップを下位置に向けて容易に移動させ得る。
【００３２】
第５態様の基板処理装置によると、第１カップ連結部および第２カップ連結部によって第３カップを第１カップに直接または間接的に連結させた状態で、第１カップを上下動させることによって、第３カップを受動的に昇降させることができる。これによって、第３カップで基板を取り囲みできる。この場合、第３カップを第１カップに対して独立に上下動させる昇降機構を省略できるため、装置の占有空間を小さくし得る。
【００３３】
第６態様の基板処理装置によると、第１カップにおける水平方向に異なる部分に、第２カップおよび第３カップが連結される。このため、第１カップ水平方向において一致する部分に結合する場合に比べて、上下方向の寸法を小さくし得る。
【００３４】
第７態様の基板処理装置によると、第２カップを第１カップと連結させることにより、第２カップを第１カップ昇降部によって昇降することができる。また、第２カップを第３カップと連結させれば、第３カップ昇降部によって第２カップを上下動できる。すなわち、第２カップを第１カップまたは第３カップのいずれかに連結することによって、第２カップを上下動させることができる。
【００３５】
第８態様の基板処理装置によると、連結用電磁石によって、第１カップおよび第２カップ間の連結／連結解除を迅速に切り換えできるため、第１カップまたは第２カップで基板を迅速に取り囲みし得る。
【００３６】
第９態様の基板処理装置によると、吸着パッドにより、第１カップおよび第２カップ間の連結／連結解除の切り換えを実現できる。
【００３７】
第１０態様の基板処理装置によると、第１カップ連結部によって第２カップを第１カップに連結させた状態で、第２カップを上下動させることによって、外側の第１カップを受動的に上下動できる。また、第１カップが上位置にて保持部により固定された状態で、第１カップおよび第２カップ間の連結を解除し、第２カップを移動させることによって、基板を第１カップで取り囲みできる。この場合、第１カップを第２カップに対して独立に昇降させる機構を省略できるため、装置の占有スペースを小さくし得る。
【００３８】
第１１態様から第２０態様の基板処理方法によると、第１カップ連結部によって第２カップを第１カップに連結させた状態で、第１カップを上昇させることによって、内側の第２カップを受動的に上昇できる。これによって、第２カップで基板を取り囲みできる。この場合、第２カップを第１カップに対して独立に昇降させる機構を省略できるため、装置の占有スペースを小さくし得る。
【００３９】
第１２態様の基板処理方法によると、第２カップの上位置および下位置の間の移動を案内できる。
【００４０】
第１３態様の基板処理方法によると、第１カップと第２カップとの間の連結を解除することによって、第２カップを下位置に移動させることができる。また、第２カップを下位置に移動させることによって、基板を第１カップで取り囲むことができる。
【００４１】
第１４態様の基板処理方法によると、第２カップが下位置に移動した際に受ける衝撃を緩和し得る。
【００４２】
第１５態様の基板処理方法によると、第１カップとの連結が解除された第２カップを下位置に向けて容易に移動させ得る。
【００４３】
第１６態様の基板処理方法によると、第１カップ連結部および第２カップ連結部によって第３カップを第１カップに直接または間接的に連結させた状態で、第１カップを上下動させることによって、第３カップを受動的に昇降させることができる。これによって、第３カップで基板を取り囲みできる。この場合、第３カップを第１カップに対して独立に上下動させる昇降機構を省略できるため、装置の占有空間を小さくし得る。
【００４４】
第１７態様の基板処理方法によると、第１カップにおける水平方向に異なる部分に、第２カップおよび第３カップが連結される。このため、第１カップ水平方向において一致する部分に結合する場合に比べて、上下方向の寸法を小さくし得る。
【００４５】
第１８態様の基板処理方法によると、第２カップを第１カップと連結させれば、第２カップを第１カップ昇降部によって昇降させ得る。また、第２カップを第３カップと連結させれば、第２カップを第３カップ昇降部によって昇降させ得る。すなわち、第２カップを第１カップまたは第３カップのいずれかに連結することによって、第２カップを上下動させることができる。
【００４６】
第１９態様の基板処理方法によると、連結用電磁石によって、第１カップおよび第２カップ間の連結／連結解除を迅速に切り換えできるため、第１カップまたは第２カップで基板を迅速に取り囲みし得る。
【００４７】
第２０態様の基板処理方法によると、吸着パッドにより、第１カップおよび第２カップ間の連結／連結解除の切り換えを実現できる。
【００４８】
第２１態様の基板処理装置によると、第１カップ連結部によって第２カップを第１カップに連結させた状態で、第２カップを上下動させることによって、外側の第１カップを受動的に上下動できる。また、第１カップが上位置にて保持部により固定された状態で、第１カップおよび第２カップ間の連結を解除し、第２カップを移動させることによって、基板を第１カップで取り囲みできる。この場合、第１カップを第２カップに対して独立に昇降させる機構を省略できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】第１実施形態の基板処理装置１を示す概略平面図である。
【図２】図１に示すＩＩ−ＩＩ線に沿って見た基板処理装置１の概略断面図である。
【図３】第１実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略断面図である。
【図４】第１実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略斜視図である。
【図５】図４に示すＶ−Ｖ線に沿って見たカップ昇降駆動機構６９の概略断面図である。
【図６】第１実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略正面図である。
【図７】第１実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略正面図である。
【図８】第１実施形態の制御部９０を示すブロック図である。
【図９】第１実施形態の複数のカップ６４〜６６の動作例を示す概略正面図である。
【図１０】第１実施形態の複数のカップ６４〜６６の動作例を示す概略正面図である。
【図１１】第１実施形態の複数のカップ６４〜６６の動作例を示す概略正面図である。
【図１２】第１実施形態の複数のカップ６４〜６６の動作例を示す概略正面図である。
【図１３】第２実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略側面図である。
【図１４】第３実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略正面図である。
【図１５】第４実施形態のカップ昇降駆動機構６９Ａの周辺を示す概略正面図である。
【図１６】第５実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００５０】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、この実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。図面においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。
【００５１】
＜１．  第１実施形態＞
図１は、第１実施形態の基板処理装置１を示す概略平面図である。図２は、図１に示すＩＩ−ＩＩ線に沿って見た基板処理装置１の概略断面図である。
【００５２】
基板処理装置１は、チャンバ３と、スピンチャック５とを備える。チャンバ３は、収容空間Ａの下方を区画する上面３０Ａを有するベース板３０を備えた略直方体状に形成されている。スピンチャック５は、チャンバ３の収容空間Ａに収容され、ベース板３０の上面３０Ａに載置され、基板Ｗを保持する。スピンチャック５は、基板保持機構の一例である。
【００５３】
ベース板３０は、例えばアルミ製のプレートである。チャンバ３は、ベース板３０から上方に延び、水平方向から収容空間Ａを区画する複数（この実施形態では４つ）の側板３３と、複数の側板３３に連結され収容空間Ａを上方から区画する天板３４と、搬送ロボットによって基板Ｗを出し入れするときに開閉されるシャッター３５とを含む。シャッター３５には、ベース板３０、隣接する側板３３および天板３４との間をシールするパッキン（図示せず）が設けられている。
【００５４】
ベース板３０の下面３０Ｂには、脚部３１が取り付けられている。脚部３１は、基板処理装置１において最も下方に位置する部品である。
【００５５】
スピンチャック５は、複数のチャックピン２０と、スピンベース２１と、中心軸部２２と、基板回転駆動機構２３とを備える。複数のチャックピン２０は、基板Ｗの端部を把持することによって、基板Ｗを水平姿勢（基板Ｗが水平面（ＸＹ平面）に対して平行な状態）で保持する。スピンベース２１は、円盤形状に形成された部材であり、その上面に複数のチャックピン２０が固定されている。
【００５６】
中心軸部２２は、鉛直方向に延びる部材であり、先端がスピンベース２１に連結されている。基板回転駆動機構２３は、中心軸部２２に接続されており、該中心軸部２２を回転軸線Ｃ１まわりに回転させる。回転軸線Ｃ１は、基板Ｗおよびスピンベース２１の中心を通るとともに、鉛直方向に延びる線である。
【００５７】
複数のチャックピン２０は、スピンベース２１の上面の周縁部に周方向（回転軸線Ｃ１まわりの方向）に所定の間隔を空けて配置されている。基板回転駆動機構２３は、例えば、ベース板３０の上面３０Ａに載置され、中心軸部２２に回転力を与えることによって、チャックピン２０、スピンベース２１および中心軸部２２を回転軸線Ｃ１まわりに一体回転させる電動モータを含む。
【００５８】
基板処理装置１は、チャンバ３の上方からその内部にクリーンエアー（フィルターによってろ過された空気）を送るＦＦＵ（ファン・フィルタ・ユニット）４を含む。ＦＦＵ４は、天板３４に取り付けられている。ＦＦＵ４は、基板処理装置１が配置されるクリーンルーム内の空気をろ過するフィルター（図示せず）と、フィルターでろ過された空気をチャンバ３の収容空間Ａに送るファン（図示せず）とを含む。ＦＦＵ４は、その吹き出し口に複数の孔が設けられたパンチングプレート（図示せず）を備えていてもよい。これにより、収容空間Ａ内における空気の渦の発生が防止され得る。
【００５９】
基板処理装置１は、スピンチャック５に保持された基板Ｗの上面に処理液を供給する複数のノズル４１〜４３（第１〜第３ノズル４１〜４３）と、複数のノズル４１〜４３をそれぞれ移動させる複数のノズル移動機構４４〜４６（第１〜第３ノズル移動機構４４〜４６）とをさらに含む。複数のノズル４１〜４３および複数のノズル移動機構４４〜４６は、チャンバ３の収容空間Ａに収容されている。説明の便宜上、図２に第１ノズル４１を図示してあるが、実際には図２に示す断面には、第１ノズル４１は現れない。第１ノズル移動機構４４は、第１ノズル４１を移動させ、第２ノズル移動機構４５は、第２ノズル４２を移動させ、第３ノズル移動機構４６は、第３ノズル４３を移動させる。
【００６０】
基板Ｗに供給される処理液は、基板Ｗの表面を処理するための流体であり、例えば、フッ酸等の薬液や脱イオン水（ＤＩＷ）等のリンス液やイソプロピルアルコール（Isopropyl Alcohol: IPA）等の有機溶剤を含む。薬液は、フッ酸に限られず、硫酸、酢酸、硝酸、塩酸、フッ酸、バッファードフッ酸（ＢＨＦ）、アンモニア水、過酸化水素水、有機酸（例えば、クエン酸、蓚酸等）、有機アルカリ（例えば、ＴＭＡＨ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド等）、界面活性剤、腐食防止剤のうちの少なくとも１つを含む液であってもよい。これらを混合した薬液の例としては、ＳＰＭ（sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture：硫酸過酸化水素水混合液）、ＳＣ１（ammonia-hydrogen peroxide mixture：アンモニア過酸化水素水混合液）、ＳＣ２（hydrochloric hydrogen preoxide mixed water solution：塩酸過酸化水素水混合水溶液）等が挙げられる。
【００６１】
リンス液は、脱イオン水に限られず、炭酸水、電解イオン水、水素水、オゾン水、および希釈濃度（例えば、１０〜１００ｐｐｍ程度）の塩酸水のいずれかであってもよい。
有機溶剤は、ＩＰＡに限られず、ＩＰＡ、ＨＦＥ（ハイドロフルオロエーテル）、メタノール、エタノール、アセトンおよびTrans-1,2ジクロロエチレンのうちの少なくとも１つを含む液であってもよい。また、有機溶剤は、単体成分のみからなる必要はなく、他の成分と混合した液体であってもよい。例えば、ＩＰＡ液と純水との混合液であってもよいし、ＩＰＡ液とＨＦＥ液との混合液であってもよい。
【００６２】
各ノズル４１〜４３は、種類または濃度が異なる処理液を供給する。本実施形態では、第１ノズル４１は、スピンチャック５に保持された基板Ｗの上面にフッ酸を供給するフッ酸供給ノズルであり、第２ノズル４２は、スピンチャック５に保持された基板Ｗの上面にＳＰＭを供給するＳＰＭ供給ノズルであり、第３ノズル４３は、スピンチャック５に保持された基板Ｗの上面にＤＩＷを供給するＤＩＷ供給ノズルである。ＤＩＷ供給ノズルによって、スピンチャック５のチャックピン２０を洗浄することもできる。これにより、基板Ｗの連続処理時にチャックピン２０が汚染されるのを防止することができる。
【００６３】
複数のノズル４１〜４３から基板Ｗに供給される流体は、処理液に限られず、窒素等の不活性ガスであってもよい。各ノズル４１〜４３には、処理液の供給源から延びる個別の処理液供給管４７〜４９が連結されている。複数の処理液供給管４７〜４９のそれぞれには、その流路を開閉する開閉バルブ（図示せず）が介挿されている。複数のノズル４１〜４３および処理液供給管４７〜４９は、処理得供給部の一例である。
【００６４】
各ノズル移動機構４４〜４６は、例えば、鉛直方向に沿う回動軸５０と、回動軸５０に連結された水平に延びるノズルアーム５１と、回動軸５０の回動を駆動する回動軸駆動機構５２とを含む。回動軸５０の中心軸線まわりに回動軸駆動機構５２が回動軸５０を回動させることによって、回動軸５０とともにノズルアーム５１が回動する。これにより、各ノズル４１〜４３は、基板Ｗの上面の中央と対向する中央位置と、基板Ｗの上面と上下方向Ｚに対向しない退避位置との間で移動する。
【００６５】
基板処理装置１は、排気桶６０と、複数の液受け部６１，６２（第１液受け部６１および第２液受け部６２）と、複数のカップ６４〜６６とをさらに含む。排気桶６０は、スピンチャック５を取り囲む部材である。複数の液受け部６１，６２は、スピンチャック５と排気桶６０との間に配置された部材である。複数のカップ６４〜６６は、基板Ｗの周囲に飛散した処理液を受け止める部材である。排気桶６０、複数の液受け部６１，６２および複数のカップ６４〜６６は、収容空間Ａに収容されている。
【００６６】
基板処理装置１は、複数のカップ６４〜６６のうち、最も外側に配された第１カップ６４の昇降を駆動するカップ昇降駆動機構６９をさらに含む。カップ昇降駆動機構６９は、本実施形態では、平面視で、基板Ｗの回転軸線Ｃ１を中心として点対称となるように一対設けられているため、第１カップ６４を安定して昇降させることができる。一対のカップ昇降駆動機構６９は、一部を除いて収容空間Ａに収容されており、収容空間Ａ内において複数のノズル４１〜４３のノズルアーム５１の水平移動範囲の直下に配置されている。
【００６７】
複数のカップ６４〜６６は、収容空間Ａ内で昇降可能な昇降部材の一例である。一対のカップ昇降駆動機構６９，６９は、昇降部材としての第１カップ６４に直に連結され、当該第１カップ６４の鉛直方向に昇降させる第１カップ昇降部の一例である。なお、一対のカップ昇降駆動機構６９，６９を設けることは必須ではなく、どちらか１つだけ設けてもよい。
【００６８】
排気桶６０は、円筒状の筒状部６０Ａと、筒状部６０Ａの径方向外方に筒状部６０Ａから突出した複数（本実施形態では２つ）の突出部６０Ｂと、複数の突出部６０Ｂをそれぞれ上方から覆う複数の蓋部６０Ｃとを含む。カップ昇降駆動機構６９は、筒状部６０Ａの周方向において突出部６０Ｂと同じ位置で、突出部６０Ｂよりも基板Ｗの回転径方向内側に配置されている。詳しくは、周方向において各突出部６０Ｂと同じ位置には、カップ昇降駆動機構６９が配置されている。
【００６９】
液受け部６１，６２は、円筒状であり、排気桶６０の筒状部６０Ａよりも基板Ｗの回転径方向内側でスピンチャック５を取り囲んでいる。第２液受け部６２は、第１液受け部６１よりも基板Ｗの回転径方向外側に配置されている。第２液受け部６２は、例えば、第３カップ６６と一体であり、第３カップ６６と共に昇降する。各液受け部６１，６２は、上向きに開いた環状の溝を形成している。各液受け部６１，６２の溝には、回収配管（図示せず）または排液配管（図示せず）が接続されている。各液受け部６１，６２の底部に導かれた処理液は、回収配管または排液配管を通じて、回収または排液される。
【００７０】
各カップ６４〜６６は、排気桶６０の筒状部６０Ａよりも基板Ｗの回転径方向内側でスピンチャック５を取り囲んでいる。カップ６４〜６６は、複数のチャックピン２０に把持された基板Ｗの周囲を取り囲み可能な円筒状に形成されている。カップ６４〜６６のうち、第１カップ６４は最も外側に配されており、第２カップ６５は第１カップ６４の内側に配されており、第３カップ６６は第２カップ６５の内側に配されている。カップ６４〜６６各々は、スピンチャック５の周囲を取り囲む円筒状の案内部７１と、案内部７１の上端から中心側（基板Ｗの回転軸線Ｃ１に近づく方向）に斜め上方に延びる筒状の傾斜部７２とを含む。
【００７１】
３つの案内部７１は、同軸上に配置されている。第２カップ６５の案内部７１は、第３カップ６６の案内部７１よりも基板Ｗの回転径方向外側に配置されており、第１カップ６４の案内部７１は、第２カップ６５の案内部７１よりも基板Ｗの回転径方向外側に配置されている。
【００７２】
傾斜部７２各々の上端部は、カップ６４〜６６の内周縁を構成しており、基板Ｗおよびスピンベース２１よりも大きな直径を有している。３つの傾斜部７２は、上下に重ねられている。
【００７３】
各カップ６４〜６６は、各カップ６４〜６６の傾斜部７２各々の内周面が基板Ｗの周端面に対向する上位置と、全体が基板Ｗよりも下側に位置する下位置との間で移動可能である。
【００７４】
例えば、処理液による基板Ｗの処理は、第３カップ６６および第２カップ６５のいずれかが上位置にある状態で行われる。基板Ｗに処理液が供給されているときに基板Ｗの周囲に飛散した処理液は、全てのカップ６４〜６６が上位置にあるときには第３カップ６６によって第１液受け部６１に案内され、第２カップ６５および第１カップ６４が上位置にあり第３カップ６６が下位置にあるときには第２カップ６５によって第２液受け部６２に案内される。基板Ｗの乾燥は、最も外側の第１カップ６４のみが上位置にある状態で行われる。
【００７５】
基板処理装置１は、遮断板６と、遮断板支持部材５３と、遮断板昇降駆動機構５４と、遮断板回転駆動機構５５とを含む。遮断板６は、スピンチャック５に保持された基板Ｗの上面に間隔を空けて対向する。遮断板支持部材５３は、遮断板６に連結され、水平に延びる。遮断板昇降駆動機構５４は、遮断板支持部材５３を介して遮断板６に連結され、遮断板６の昇降を駆動する。遮断板回転駆動機構５５は、遮断板６を回転軸線Ｃ１まわりに回転させる。遮断板６、遮断板支持部材５３、遮断板昇降駆動機構５４および遮断板回転駆動機構５５は、収容空間Ａに収容されている。遮断板６は、収容空間Ａ内で昇降可能な昇降部材の一例であり、遮断板昇降駆動機構５４は、昇降部材としての遮断板６の昇降を駆動する昇降駆動機構の一例である。
【００７６】
遮断板回転駆動機構５５は、遮断板支持部材５３の先端に内蔵された電動モータを含む。電動モータには、遮断板支持部材５３内に配された複数の配線５６が連結されている。複数の配線５６は、当該電動モータに送電するためのパワーラインと、遮断板６の回転情報を検知するためのエンコーダラインとを含む。遮断板６の回転情報を検知することによって、遮断板６の回転が正確に制御される。
【００７７】
＜カップ昇降機構＞
次に、カップ昇降駆動機構６９の構成について詳細に説明する。図３は、第１実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略断面図である。図４は、第１実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略斜視図である。図５は、図４に示すＶ−Ｖ線に沿って見たカップ昇降駆動機構６９の概略断面図である。
【００７８】
カップ昇降駆動機構６９は、駆動源８１と、昇降ヘッド８２と、回転伝達機構８３と、ブラケット８４と、連結部材８５と、案内機構８６と、規制機構８８とを含む。駆動源８１は、水平に延びる回転軸８１Ａを含む。昇降ヘッド８２は、第１カップ６４の側方に配置され、所定の可動範囲Ｅで第１カップ６４とともに駆動源８１によって上下動される。
回転伝達機構８３は、回転軸８１Ａの回転を昇降ヘッド８２に伝達することによって昇降ヘッド８２を上下動させる。ブラケット８４は、駆動源８１および昇降ヘッド８２を支持する。連結部材８５は、昇降ヘッド８２と第１カップ６４とを連結する水平に延びる板状部材である。案内機構８６は、昇降ヘッド８２の上下動を案内する。規制機構８８は、昇降ヘッド８２の上下動を所定の可動範囲Ｅに規制する。
【００７９】
ブラケット８４は、水平に広がる底板８４Ａと、底板８４Ａの上面から上方に延びる第１側板８４Ｂと、底板８４Ａの上面から上方に延び、第１側板８４Ｂに連結された第２側板８４Ｃとを含む。
【００８０】
ブラケット８４は、ベース板３０に形成された貫通孔に挿通された状態でベース板３０に固定されている。底板８４Ａには、底板８４Ａから水平方向に突出した第１固定部８４Ｄが連結されており、底板８４Ａよりも上方に配置された第２固定部８４Ｅが段差を介して連結されている。第１固定部８４Ｄおよび第２固定部８４Ｅのそれぞれには、ボルト８４Ｆが挿通されており、これにより、ブラケット８４がベース板３０に固定されている。
【００８１】
ブラケット８４は、その全体が少なくともチャンバ３の脚部３１の下端よりも上方に位置するように配置されている。底板８４Ａは、その上面がベース板３０の下面３０Ｂよりも上方に位置するように配置されている。
【００８２】
駆動源８１は、チャンバ３の収容空間Ａに収容されている。駆動源８１は、ベース板３０の下面３０Ｂよりも上方に配置されている。駆動源８１は、水平に延びる回転軸８１Ａを回転する回転駆動源としての駆動モータ８１Ｂをさらに含む。駆動モータ８１Ｂは、略直方体のモータハウジングを有している。駆動源８１は、駆動モータ８１Ｂによる回転軸８１Ａの回転を減速するための減速機（図示せず）や駆動モータ８１Ｂの回転情報を検知するためのエンコーダ（図示せず）を備えていてもよい。
【００８３】
駆動源８１の回転軸８１Ａは、駆動モータ８１Ｂによって水平に支持されている。回転軸８１Ａは、第１側板８４Ｂに設けられた挿通孔に挿通されており、回転軸８１Ａの先端は、底板８４Ａの上方に位置している。駆動モータ８１Ｂは、その長手方向（回転軸８１Ａの延びる方向でもある。）が水平に向くように、例えば複数のねじによって第１側板８４Ｂに固定されている。それにより、駆動モータ８１Ｂは、その全体がベース板３０の下面３０Ｂよりも上方に位置している。
【００８４】
図４および図５に示すように、案内機構８６は、チャンバ３に固定されたガイド部材８７を含む。詳しくは、ガイド部材８７は、チャンバ３のベース板３０に固定されたブラケット８４の第２側板８４Ｃの上端部に固定されている。図５に示すように、ガイド部材８７には、第２側板８４Ｃ側とは反対側からガイド部材８７を切り欠く凹部８７Ａが形成されている。凹部８７Ａを区画するように互いに対向する対向面８７Ｂのそれぞれには、上下方向に延びる凸リブ８７Ｃが形成されている。
【００８５】
昇降ヘッド８２は、この実施形態では、上下方向Ｚに延びる四角柱状である。昇降ヘッド８２は、第２側板８４Ｃに固定されたガイド部材８７に動可能に凹凸係合しており、ガイド部材８７を介してブラケット８４に支持されている。詳しくは、昇降ヘッド８２は、凹部８７Ａに嵌め込まれており、昇降ヘッド８２においてガイド部材８７の対向面８７Ｂと対向する面のそれぞれには、上下方向Ｚに延びる凹溝８２Ａが形成されている。一対の凹溝８２Ａには、一対の凸リブ８７Ｃがそれぞれ係合している。そのため、昇降ヘッド８２の上下動は、ガイド部材８７によって案内される。このようにガイド部材８７は、リニアブロックとして機能し、昇降ヘッド８２は、リニアガイドとして機能する。本実施形態とは異なり、ガイド部材８７に凹溝が形成されていて昇降ヘッド８２に凸部が形成されていて、これにより、昇降ヘッド８２が、ガイド部材８７に移動可能に凹凸係合していてもよい。
【００８６】
連結部材８５は、昇降ヘッド８２の上端にねじ等の取付手段により固定されている。連結部材８５は、排気桶６０の蓋部６０Ｃに下方から対向している。
【００８７】
回転伝達機構８３は、複数のラック歯８３Ａと、複数のピニオン歯８３Ｂとを含む。複数のラック歯８３Ａは、昇降ヘッド８２に上下にわたって形成されている。複数のピニオン歯８３Ｂは、回転軸８１Ａの回転が伝達されラック歯８３Ａに噛合する。複数のラック歯８３Ａは、昇降ヘッド８２において第２側板８４Ｃ側の面とは反対側の面に上下に並んでいる。各ラック歯８３Ａは、略水平に延びる歯筋を有する。複数のピニオン歯８３Ｂは、回転軸８１Ａの周方向に並んで回転軸８１Ａの先端に形成されている。ピニオン歯８３Ｂは、第２側板８４Ｃとは反対側からラック歯８３Ａと対向している。ピニオン歯８３Ｂは、上下方向Ｚにおける位置が少なくとも部分的にガイド部材８７と重なっている。ピニオン歯８３Ｂは、ラック歯８３Ａと噛合可能な状態で、ブラケット８４に固定されたケース８３Ｃによって覆われていてもよい（図４参照）。
【００８８】
規制機構８８は、昇降ヘッド８２の可動範囲Ｅの下端位置を規制する下端位置規制部材としての底板８４Ａと、昇降ヘッド８２の可動範囲Ｅの上端位置を規制する上端位置規制部材としての蓋部６０Ｃとを含む。昇降ヘッド８２の可動範囲Ｅの下置は、昇降ヘッド８２が下降し、その下端が底板８４Ａと当接するときの昇降ヘッド８２の下端の位置（図３の紙面下側に二点鎖線で示す位置）である。昇降ヘッド８２の可動範囲Ｅの上端位置は、昇降ヘッド８２が上昇し、その上端に連結された連結部材８５が排気桶６０の蓋部６０Ｃに当接するときの昇降ヘッド８２の上端の位置（図３の紙面上側に二点鎖線で示す位置）である。
【００８９】
下端位置規制部である底板８４Ａの上面は、ベース板３０の下面３０Ｂよりも上方に位置している。それにより、昇降ヘッド８２の可動範囲Ｅの下端位置は、ベース板３０の下面３０Ｂよりも上方に位置している。したがって、昇降ヘッド８２の可動範囲Ｅ全体は、ベース板３０の下面３０Ｂよりも上方に位置している。駆動源８１は、上下方向Ｚに昇降ヘッド８２と並んで配置されているのではなく、昇降ヘッド８２の可動範囲Ｅの側方に全体が配置されている。
【００９０】
駆動源８１の駆動モータ８１Ｂが回転軸８１Ａを回転させると、回転軸８１Ａの先端のピニオン歯８３Ｂが回転する。ピニオン歯８３Ｂの回転は、ラック歯８３Ａを介して昇降ヘッド８２に伝達され、昇降ヘッド８２の上下方向Ｚの直線運動に変換される。これにより、昇降ヘッド８２が上下動される。このように、ラック歯８３Ａおよびピニオン歯８３Ｂは、回転軸８１Ａの回転を昇降ヘッド８２の上下動に変換する運動変換機構でもある。昇降ヘッド８２の上下動は、案内機構８６のガイド部材８７によって案内される。
【００９１】
カップ昇降駆動機構６９では、昇降ヘッド８２の上下動に応じて第１カップ６４が昇降される。カップ昇降駆動機構６９では、駆動源８１の駆動モータ８１Ｂが回転軸８１Ａの回転を停止させると、ピニオン歯８３Ｂと噛み合うラック歯８３Ａの上下動が停止され、これにより第１カップ６４の昇降が停止される。
【００９２】
なお、本実施形態では、カップ昇降駆動機構６９をピニオンギア機構により構成しているが、これは必須ではない。例えばカップ昇降駆動機構６９として、リニアモータ機構またはボールネジ機構などの公知の駆動機構を採用し得る。
【００９３】
図３に示すように、基板処理装置１は、カップ昇降駆動機構６９を収容し、チャンバ３内の収容空間Ａ内の雰囲気からカップ昇降駆動機構６９を離隔する離隔部材７０を含む。離隔部材７０は、ベース板３０の上面３０Ａに固定されたハウジング７３と、ハウジング７３とカップ昇降駆動機構６９の連結部材８５との間に設けられ、上下に伸縮可能なベローズ７４とを含む。
【００９４】
ハウジング７３は、カップ昇降駆動機構６９の駆動源８１と昇降ヘッド８２の下側部分とを収容する。ベローズ７４は、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製である。複数のベローズ７４は、昇降ヘッド８２の上側部分を収容する。ベローズ７４は、昇降ヘッド８２の上下動に合わせて連結部材８５が上下動する際に上下方向Ｚに伸縮する。
【００９５】
＜カップ連結部＞
図６および図７は、第１実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略正面図である。図６は、カップ６４，６５間が連結され、カップ６４，６６間の連結が解除された状態を示している。また、図７は、カップ６４，６５間およびカップ６４，６６間の連結が解除された状態を示している。
【００９６】
カップ連結部１００，１１０は、カップ６４〜６６を連結する機構である。詳しくは、第１カップ連結部１００は、第２カップ６５を第１カップ６４に連結解除可能に直接連結する機構である。また、第２カップ連結部１１０は、第３カップ６６を第１カップ６４に連結解除可能に直接連結する機構である。
【００９７】
＜第１カップ連結部１００＞
第１カップ連結部１００は、連結用電磁石１００Ａと連結用磁性部１００Ｂとを含む。連結用電磁石１００Ａは、連結部材８５の下面に固定されている。連結用磁性部１００Ｂは、第２カップ６５に連結された連結部材８５ａの上面に固定されており、連結用電磁石１００Ａに対して下方から対向する水平方向の位置（水平位置）に固定されている。連結部材８５ａは、第２カップ６５の側部から側方へ水平に延びる板状に形成された部材である。
【００９８】
連結用電磁石１００Ａは、駆動源８１から延びる電気供給用の電線１０２に接続されている。電線１０２は、離隔部材７０のハウジング７３およびベローズ７４の内部を通って連結部材８５まで延び、さらに連結部材８５に沿って連結用電磁石１００Ａまで延びるように配索されている。
【００９９】
連結用電磁石１００Ａは、電線１０２を介して駆動源８１から電流が供給されることにより磁化し、これによって、連結用磁性部１００Ｂと連結可能な状態となる。連結用磁性部１００Ｂは、磁性を有する部材であり、磁性を有する金属、永久磁石などで構成され得る。連結用電磁石１００Ａが連結用磁性部１００Ｂと連結することによって、第２カップ６５と第１カップ６４とが直に連結される。すなわち、連結用電磁石１００Ａは、電流供給のオンオフに応じて、第１カップ６４とその内側の第２カップ６５との間の連結／連結解除を切り換える。
【０１００】
連結用電磁石１００Ａが連結用磁性部１００Ｂに連結した状態、すなわち、カップ６４，６５間が連結された状態で、カップ昇降駆動機構６９が第１カップ６４を上下動させると、これに追従して、第２カップ６５が上下動する。
【０１０１】
なお、連結用電磁石１００Ａが連結部材８５ａに固定され、連結用磁性部１００Ｂが連結部材８５に固定されてもよい。また、連結用磁性部１００Ｂの代わりに、連結用電磁石１００Ａと同様の電磁石が採用されてもよい。この場合、第２カップ６５を第１カップ６４に連結する際に、所定の電源から当該電磁石に電気が供給されるようにするとよい。
【０１０２】
基板処理装置１は、上下に延びるガイド軸１０４を含む。ガイド軸１０４は、ハウジング７３の上面に立設されており、連結部材８５，８５ａに形成された孔を貫通する棒状に形成されている。連結部材８５ａは、ガイド軸１０４によって上下動が案内される。ガイド軸１０４は、基板Ｗを取り囲む上位置（図３参照）とその上位置よりも鉛直方向下方の下位置（図７参照）との間における第２カップ６５の上下動を案内する案内部の一例である。
【０１０３】
基板処理装置１は、付勢部１０６を含む。付勢部１０６は、第２カップ６５を上位置から下位置に向けて付勢する。付勢部１０６は、ここでは、案内部であるガイド軸１０４の周囲に巻かれたコイルばねとされている。該コイルばねの両端は、ハウジング７３の上面と連結部材８５ａとにそれぞれ連結されている。
【０１０４】
付勢部１０６を構成するコイルばねの自然長は、第２カップ６５が下位置にあるときの連結部材８５ａの下面からハウジング７３の上面までの上下方向Ｚの距離と略同じとされている。このため、第２カップ６５が上位置に移動すると、コイルばねが自然長よりも長くなり、コイルばねに収縮力が蓄えられる。この状態で連結用電磁石１００Ａと連結用磁性部１００Ｂとの間の連結が解除されると、コイルばねの収縮力によって連結部材８５ａが下方に付勢される。これによって、連結部材８５ａに連結された第２カップ６５が下位置に向けて付勢される。このように、付勢部１０６を設けることによって、第１カップ６４との連結が解除された第２カップ６５を下位置に向けて好適に移動させ得る。
【０１０５】
基板処理装置１は、衝撃吸収部１０８を備える。衝撃吸収部１０８は、連結部材８５ａの下面に下方から対向する水平位置に設けられており、ここでは、ハウジング７３の上面に立設されている。衝撃吸収部１０８は、その一部または全部が衝撃吸収素材（例えば、ゴム、シリコンまたはＰＴＦＥを含む合成樹脂素材の弾性素材）で構成されている。衝撃吸収部１０８の上端部は、図７に示すように、下位置に移動した第２カップ６５の連結部材８５ａの下面に接触する。これによって、第２カップ６５が受ける衝撃を緩和できるため、第２カップ６５が損傷することを抑制し得る。また、衝撃吸収部１０８によって、第２カップ６５を所定の下位置に位置決めし得る。
【０１０６】
なお、衝撃吸収部１０８を、第２カップ６５の部分、または、連結部材８５ａとは別の第２カップ６５に連結された部材に接触可能な位置に設けてもよい。また、衝撃吸収部１０８を、連結部材８５ａの下面に設けてもよい。この場合、衝撃吸収部１０８を、その下端部がハウジング７３の上面などに接触可能な位置に設けるとよい。
【０１０７】
本実施形態では、第２カップ６５が下位置にある場合、第３カップ６６も下位置に配される。このため、衝撃吸収部１０８を連結部材８５ｂの上面であって、連結部材８５ａの下面に接触可能な水平位置に設けてもよい。あるいは、衝撃吸収部１０８を、連結部材８５ａの下面であって、連結部材８５ｂの上面に接触可能な水平位置に設けてもよい。
【０１０８】
＜第２カップ連結部１１０＞
第２カップ連結部１１０は、連結用電磁石１１０Ａと連結用磁性部１１０Ｂとを含む。連結用電磁石１１０Ａは、連結部材８５の下面に固定されている。連結用磁性部１１０Ｂは、第３カップ６６に連結された連結部材８５ｂの上面に固定されており、連結用電磁石１１０Ａに対して下方から対向する水平位置に固定されている。連結部材８５ｂは、第３カップ６６の側部（ここでは、第３カップ６６と一体の第２液受け部６２の側部）から水平に延びる板状に形成された部材である。
【０１０９】
連結用電磁石１１０Ａは、駆動源８１から延びる電気供給用の電線１１２に接続されている。電線１１２は、離隔部材７０のハウジング７３およびベローズ７４の内部を通って連結部材８５まで延び、さらに連結部材８５に沿って連結用電磁石１１０Ａまで延びるように配索されている。
【０１１０】
連結用電磁石１１０Ａは、電線１１２を介して駆動源８１から電流が供給されることにより磁化し、これによって、連結用磁性部１１０Ｂと連結可能な状態となる。連結用電磁石１１０Ａが連結用磁性部１１０Ｂと連結することによって、第３カップ６６と第１カップ６４とが直に連結される。すなわち、連結用電磁石１１０Ａは、電流供給のオンオフに応じて、第１カップ６４とそれよりも内側の第３カップ６６との間の連結／連結解除を切り換える。
【０１１１】
連結用電磁石１１０Ａが連結用磁性部１１０Ｂに連結した状態、すなわち、カップ６４，６６間が連結された状態で、カップ昇降駆動機構６９が第１カップ６４を上下動させると、これに追従して、第３カップ６６が上下動する。
【０１１２】
連結用磁性部１１０Ｂは、連結部材８５ｂの上面から上方へ延びており、連結部材８５ａに形成された貫通孔８５Ｈを貫通して連結用電磁石１１０Ａに連結する。すなわち、連結用磁性部１１０Ｂが取り付けられた第３カップ６６は、第２カップ６５とは直接連結されない構成とされている。ただし、連結用電磁石１１０Ａが連結用磁性部１１０Ｂと連結した状態で、カップ昇降駆動機構６９が連結部材８５を上下動させると、これに伴って連結部材８５ｂが上下動する。また、連結部材８５，８５ｂの間に配された連結部材８５ａも、上下動する連結部材８５，８５ｂに当接することによって、上下動する。したがって、カップ昇降駆動機構６９が第１カップ６４および第１カップ６４に連結された第３カップ６６を上下動させると、第２カップ６５も上下動することとなる。
【０１１３】
なお、本実施形態では、連結用磁性部１１０Ｂが上方に延びて貫通孔８５Ｈを貫通するように設けられているが、その代わりに、連結用電磁石１１０Ａが下方に延びて貫通孔８５Ｈを貫通するようにしてもよい。また、連結用電磁石１１０Ａが連結部材８５ａに固定され、連結用磁性部１１０Ｂが連結部材８５に固定されてもよい。また、連結用磁性部１１０Ｂの代わりに、連結用電磁石１１０Ａと同様の電磁石が採用されてもよい。この場合、第３カップ６６を第１カップ６４に連結する際に、所定の電源から当該電磁石に電気が供給されるようにするとよい。
【０１１４】
基板処理装置１は、上下に延びるガイド軸１１４を含む。ガイド軸１１４は、ハウジング７３の上面に立設されており、連結部材８５，８５ａ，８５ｂ各々に形成された孔を貫通する棒状に形成されている。連結部材８５ｂは、ガイド軸１１４によって上下方向Ｚの移動が案内される。ガイド軸１１４は、基板Ｗを取り囲む上位置（図３参照）と、その上位置よりも鉛直方向下方の下位置（図６参照）との間における第３カップ６６の上下動を案内する案内部の一例である。
【０１１５】
基板処理装置１は、付勢部１１６を含む。付勢部１１６は、第３カップ６６を上位置から下位置に向けて付勢する。付勢部１１６は、ここでは、案内部であるガイド軸１１４の周囲に巻かれたコイルばねとされている。該コイルばねの両端は、ハウジング７３の上面と連結部材８５ｂとにそれぞれ連結されている。
【０１１６】
付勢部１１６を構成するコイルばねの自然長は、第３カップ６６が下位置にあるときの連結部材８５ｂの下面からハウジング７３の上面までの上下方向Ｚの距離と略同じとされている。このため、第３カップ６６が上位置に移動すると、コイルばねが自然長よりも長くなり、コイルばねに収縮力が蓄えられる。この状態で連結用電磁石１１０Ａと連結用磁性部１１０Ｂとの間の連結が解除されると、コイルばねの収縮力によって連結部材８５ｂが下方に付勢される。これによって、連結部材８５ｂに連結された第３カップ６６が下位置に向けて付勢される。このように、付勢部１１６を設けることによって、第１カップ６４との連結が解除された第３カップ６６を下位置に向けて好適に移動させ得る。
【０１１７】
本実施形態では、付勢部１０６，１１６は、ガイド軸１０４，１１４がそれぞれ挿通される位置に設けられたコイルばねとしている。このため、基板処理装置１において付勢部１０６，１１６が専有する空間を小さくし得る。ただし、これらのコイルばねが設けられる位置は、この位置に限定されるものではない。また、付勢部１０６，１１６は、コイルばねで構成されるものに限定されない。例えば、付勢部１０６，１１６を、連結部材８５ａ，８５ｂの上方に設けられて、これらの部材を下方へ押圧する押圧手段としてもよい。
【０１１８】
基板処理装置１は、衝撃吸収部１１８を備える。衝撃吸収部１１８は、連結部材８５ｂの下面に下方から対向する水平位置に設けられており、ここでは、ハウジング７３の上面に立設されている。衝撃吸収部１１８は、その一部または全部が衝撃吸収素材（例えば、ゴム、シリコンまたは合成樹脂素材等の弾性素材）で構成されている。図６に示すように、衝撃吸収部１１８の上端部は、下位置に移動した第３カップ６６に接触する。これによって、第３カップ６６が受ける衝撃を緩和できるため、第３カップ６６の損傷を抑制し得る。また、衝撃吸収部１１８によって、第３カップ６６を所定の下位置に適切に位置決めし得る。
【０１１９】
なお、衝撃吸収部１１８を、第３カップ６６、または、連結部材８５ｂとは別の第３カップ６６に連結された部材に接触可能な位置に設けてもよい。また、衝撃吸収部１１８は、連結部材８５ｂの下面に設けられていてもよい。この場合、衝撃吸収部１１８は、その下端部がハウジング７３の上面などに接触可能な位置に設けられるとよい。
【０１２０】
連結部材８５ａが磁性を有する金属で形成されている場合、連結用電磁石１００Ａが磁気力によって連結部材８５ａに直接連結可能となるため、連結用磁性部１００Ｂを省略し得る。これと同様に、第２カップ連結部１１０においても、連結部材８５ｂが磁性を有する金属で形成されている場合、連結用磁性部１１０Ｂを省略し得る。この場合、貫通孔８５Ｈを貫通するように連結用電磁石１１０Ａを下方に延ばし、連結用電磁石１１０Ａが連結部材８５ａに直接当接し得るようにするとよい。
【０１２１】
＜制御部９０＞
図８は、第１実施形態の制御部９０を示すブロック図である。基板処理装置１は、制御部９０を備える。制御部９０のハードウェア構成は、一般的なコンピュータと同様である。すなわち、制御部９０は、各種演算処理を行うＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ、および、制御用アプリケーションまたはデータ等を記憶する記憶部を備えている。
【０１２２】
制御部９０は、基板処理装置１の各要素に接続されており、当該各要素の動作を制御する。例えば、制御部９０は、基板回転駆動機構２３に接続されており、基板Ｗの回転を制御する。また、制御部９０は、処理液供給管４７〜４９に設けられた不図示のバルブに接続されており、これらのバルブの開閉を制御する。
【０１２３】
図８に示すように、制御部９０は、同期制御部９２を含む。同期制御部９２は、ＣＰＵが制御用アプリケーションに従って動作することによりソフトウェア的に実現される機能である。なお、同期制御部９２の機能の一部または全部は、専用の回路によりハードウェア的に実現されてもよい。
【０１２４】
同期制御部９２は、一対の駆動源８１に接続されており、駆動源８１を同期して動作させる。そして、各駆動源８１は、駆動モータ８１Ｂを同期して動作させることによって、第１カップ６４を安定した姿勢で上下動させる。
【０１２５】
また、各駆動源８１は、同期制御部９２からの制御信号に基づき、一対の連結用電磁石１００Ａ，１００Ａを同期して動作させる。この場合、例えば、第２カップ６５と第１カップ６４との間の連結を解除する際に、一対の連結用電磁石１００Ａ，１００Ａ各々が、ほぼ同時に一対の連結用磁性部１００Ｂ，１００Ｂ各々から離れ得る。このため、第２カップ６５が傾くなどして下位置への移動が妨げられることを抑制し得る。
【０１２６】
さらに、各駆動源８１は、同期制御部９２からの制御信号に基づき、一対の連結用電磁石１１０Ａ，１１０Ａを同期して動作させる。この場合、例えば、第３カップ６６と第１カップ６４との間の連結を解除する際に、一対の連結用電磁石１１０Ａ，１１０Ａ各々が、ほぼ同時に一対の連結用磁性部１１０Ｂ，１１０Ｂ各々から離れ得る。このため、第２カップ６５が傾くなどして下位置への移動が妨げられることを抑制し得る。
【０１２７】
＜複数のカップの動作例＞
基板Ｗへの処理液の供給または基板Ｗの乾燥は、複数のカップ６４〜６６のうち少なくとも１つが上位置に配されて基板Ｗの周囲を取り囲む状態で行われる。図９〜図１２は、第１実施形態の複数のカップ６４〜６６の動作例を示す概略正面図である。なお、複数の図９〜図１２においては、カップ昇降駆動機構６９を簡略化して図示しているほか、ガイド軸１０４，１１４や衝撃吸収部１０８，１１８などの図示を省略している。
【０１２８】
基板Ｗをスピンチャック５に搬入する場合、図９に示すように、全てのカップ６４〜６６が下位置に配される。この状態で、基板Ｗは、スピンベース２１の上方に搬入され、その後、複数のチャックピン２０によって把持される。
【０１２９】
基板Ｗが複数のチャックピン２０によって把持されると、処理液による処理が開始される。具体的には、図１０に示すように、第１カップ連結部１００が第２カップ６５を第１カップ６４に連結し、第２カップ連結部１１０が第３カップ６６を第１カップ６４に連結する。そして、カップ昇降駆動機構６９が第３カップ６６を上昇させることによって、全てのカップ６４〜６６を上位置に配置する。この状態で、基板回転駆動機構２３が基板Ｗを回転させるとともに、基板Ｗに薬液（ＳＣ１等）およびリンス液が適宜に供給される。すると、基板Ｗに供給された薬液またはリンス液は、基板Ｗの外方に振り切られて最も内側の第３カップ６６に受け止められた後、第１液受け部６１に案内されて回収または廃棄される。
【０１３０】
続いて、図１１に示すように、第２カップ連結部１１０が第３カップ６６と第１カップ６４との間の連結を解除する。これによって、全てのカップ６４〜６６のうち第３カップ６６のみが下位置に移動する。すると、基板Ｗの周囲が、第２カップ６５により取り囲まれた状態となる。この状態で、基板回転駆動機構２３が基板Ｗを回転させるとともに、基板Ｗに薬液（ＳＣ２等）およびリンス液が適宜に供給される。すると、基板Ｗに供給された薬液またはリンス液は、基板Ｗの外方に振り切られて、内側の第２カップ６５に受け止められた後、第２液受け部６２に案内されて回収または廃棄される。
【０１３１】
続いて、図１２に示すように、第１カップ連結部１００が第２カップ６５と第１カップ６４との間の連結を解除する。これによって、第２カップ６５が下位置に移動し、第１カップ６４のみが上位置に配される。そして、基板Ｗの周囲を第１カップ６４が取り囲む状態となる。この状態で、基板回転駆動機構２３が基板Ｗを回転させる。このときの回転速度は、上記薬液またはリンス液で基板Ｗを処理するときよりも高速とされる。これによって、基板Ｗの上面に残留していた薬液またはリンス液が外方に振り切られて、第１カップ６４に受け止められた後、回収または廃棄される。これによって、基板Ｗが乾燥される。
【０１３２】
基板Ｗの乾燥が完了すると、カップ昇降駆動機構６９が第３カップ６６を下位置に移動させる。これによって、全てのカップ６４〜６６が下位置に配された状態となる（図９参照）。そして、基板Ｗがスピンチャック５から搬出される。これにより、基板処理装置１が、次の未処理の基板Ｗをスピンチャック５に搬入可能な状態となる。
【０１３３】
＜効果＞
基板処理装置１では、カップ連結部１００，１１０によるカップ６４〜６６間の連結／連結解除の切り換えと、カップ昇降駆動機構６９による第１カップ６４の上下動により、基板Ｗから振り切られる薬液またはリンス液の受けが行われる。すなわち、カップ６５，６６についての昇降機構を省略できるため、基板処理装置１の占有空間を小さくし得る。また、カップ６５，６６についての昇降機構の設置空間を確保せずに済むため、装置設計を簡易化し得る。
【０１３４】
なお、本実施形態では、基板Ｗの回転径方向外方に延びる連結部材８５、８５ａ，８５ｂに、カップ連結部１００，１１０を設けている。すなわち、カップ連結部１００，１１０が回転径方向に配列されている。しかしながら、連結部材８５，８５ａ，８５ｂを基板Ｗの回転周方向に延ばして、カップ連結部１００，１１０をその回転周方向に沿って配列してもよい。この場合、第３カップ６６から延びる連結部材８５の回転径方向の寸法を短縮し得るため、第３カップ６６からカップ昇降駆動機構６９までの回転径方向の寸法を短縮し得る。したがって、基板処理装置１の占有空間をさらに小さくし得る。
【０１３５】
＜２．  第２実施形態＞
次に、第２実施形態について説明する。なお、以降の説明において、既に説明した要素と同様の機能を有する要素については、同じ符号またはアルファベット文字を追加した符号を付して、詳細な説明を省略する場合がある。
【０１３６】
図１３は、第２実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略側面図である。なお、図１３においては、カップ昇降駆動機構６９およびその周辺の要素を簡略化して図示している。
【０１３７】
本実施形態は、第２カップ連結部１１０の代わりに、第２カップ連結部１２０が設けられている点で第１実施形態とは相違する。第２カップ連結部１２０は、最も内側にある第３カップ６６を中間の第２カップ６５に連結させる装置である。
【０１３８】
詳しくは、第２カップ連結部１２０は、連結用電磁石１２０Ａと、連結用磁性部１２０Ｂとを含む。連結用電磁石１２０Ａは、第２カップ６５に連結された連結部材８５ａの下面に固定されている。連結用磁性部１２０Ｂは、第３カップ６６に連結された連結部材８５ｂの上面に固定されている。なお、連結用電磁石１２０Ａを連結部材８５ｂに固定し、連結用磁性部１２０Ｂを８５ａに固定してもよい。
【０１３９】
連結用電磁石１２０Ａは、例えば駆動源８１から電流が供給されることによって磁化し、これによって、連結用磁性部１２０Ｂと連結可能な状態となる。連結用電磁石１２０Ａが連結用磁性部１２０Ｂと連結することによって、第３カップ６６が第２カップ６５と連結される。すなわち、連結用電磁石１２０Ａは、電流供給のオンオフに応じて、第２カップ６５とそれよりも内側の第３カップ６６との間の連結／連結解除を切り換える。
【０１４０】
また、本実施形態は、ガイド軸１０４が省略されており、ガイド軸１１４のみによって、連結部材８５ａ，８５ｂの上下動が案内される。ただし、ガイド軸１０４のように、連結部材８５ｂを貫通せずに、連結部材８５ａを貫通して、その連結部材８５ａの上下動を案内するガイド軸を設けてもよい。
【０１４１】
本実施形態の構成によると、カップ連結部１００，１２０が上下方向Ｚに重なるように配置されているため、連結部材８５，８５ｂ間の寸法が、第１実施形態の場合よりも大きくなる可能性がある。しかしながら、連結部材８５，８５ａ，８５ｂの基板Ｗの回転径方向の寸法を第１実施形態の場合よりも短縮し得る。
【０１４２】
＜３．  第３実施形態＞
図１４は、第３実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略正面図である。本実施形態では、第２実施形態の構成に加えて、カップ昇降駆動機構６９Ａが設けられている。カップ昇降駆動機構６９Ａの構成は、カップ昇降駆動機構６９の構成とほぼ同様とし得るため、詳細な図示および説明は省略する。
【０１４３】
カップ昇降駆動機構６９Ａは、最も内側に配された第３カップ６６に連結する連結部材８５ｂに接続されている。カップ昇降駆動機構６９Ａは、連結部材８５ｂを上下動させることによって、第３カップ６６を独立に上下動させる。このため、カップ昇降駆動機構６９Ａは、第３カップ６６に連結部材８５ｂを介して直に連結され、当該第３カップ６６を鉛直方向に昇降させる第３カップ昇降部の一例である。
【０１４４】
第１、第２実施形態の構成では、最も内側の第３カップ６６が下位置に、第１カップ６４が上位置にある状態（例えば、図１２参照）で、第３カップ６６を上位置に上昇させる場合には、第１カップ６４を下位置に下降させる必要がある。これに対して、本実施形態では第１カップ６４を下降させずとも、カップ昇降駆動機構６９Ａによって第３カップ６６を上昇させることができる。このため、第３カップ６６の移動を迅速に行うことができる。
【０１４５】
また、下位置にあるカップ６５，６６のうち第２カップ６５のみを上位置に配置する場合には、カップ昇降駆動機構６９Ａが連結部材８５ｂを上昇させることによって、連結部材８５ａとともに第２カップ６５を上昇させるとよい。そして、第１カップ連結部１００により連結部材８５，８５ａを連結させた後、カップ昇降駆動機構６９Ａが連結部材８５ｂを下降させるとよい。これによって、第２カップ６５を上位置に配置した状態で、第３カップ６６を下位置に移動させることができる。
【０１４６】
なお、本実施形態の構成の場合、カップ昇降駆動機構６９Ａを設けることによって、基板処理装置１の占有空間が増大する可能性がある。しかしながら、第２カップ６５を独立に上下動させる昇降機構を省略できるため、その分の占有空間を省略できる。
【０１４７】
＜４．  第４実施形態＞
図１５は、第４実施形態のカップ昇降駆動機構６９Ａの周辺を示す概略正面図である。第４実施形態は、最も外側の第１カップ６４を上下動させるカップ昇降駆動機構６９が省略され、最も内側の第３カップ６６を上下動させるカップ昇降駆動機構６９Ａを備える点、第２カップ連結部１２０が省略されている点、および、カップ保持部２００を備える点で第３実施形態とは相違する。
【０１４８】
詳しくは、カップ保持部２００は、保持用電磁石２００Ａと、保持用磁性部２００Ｂとを含む。保持用電磁石２００Ａは、規制機構８８の蓋部６０Ｃの下面に固定されている。保持用磁性部２００Ｂは、連結部材８５の上面における、保持用電磁石２００Ａに対して下方から対向する水平位置に設けられている。保持用電磁石２００Ａは、所定の電源から電流が供給されることにより磁化し、これによって、保持用磁性部２００Ｂに連結可能な状態となる。電流の供給が停止されると、保持用電磁石２００Ａおよび保持用磁性部２００Ｂ間の連結が解除される。
【０１４９】
第３カップ６６に連結された連結部材８５ｂの上面には、上側に配された連結部材８５ａの下面側に当接する当接部２０２が設けられている。当接部２０２は、連結部材８５ａと連結部材８５ｂとの間に隙間を形成する部材である。なお、当接部２０２を連結部材８５ａの下面に設けてもよい。また、当接部２０２は、必須の構成ではなく、省略してもよい。
【０１５０】
本実施形態では、全てのカップ６４〜６６が下位置にある状態で、カップ昇降駆動機構６９Ａが連結部材８５ｂを上昇させることにより、全てのカップ６４〜６６が上位置に向けて移動する。そして、保持用磁性部２００Ｂが保持用電磁石２００Ａに当接または近接して連結すると、第１カップ６４が上位置に固定される。この状態では、基板Ｗの周囲を取り囲むカップは、第３カップ６６となる。
【０１５１】
さらに、第１カップ６４が上位置に固定された状態で、カップ昇降駆動機構６９Ａが第３カップ６６を下降させた場合、第１カップ連結部１００によりカップ６４，６５間が連結されているときは、第２カップ６５が第１カップ６４とともに上位置にとどまる。このため、第３カップ６６が下位置に移動したときに、基板Ｗを取り囲むカップは、上位置に配された第２カップ６５となる。一方、カップ６４，６５間を連結しなかった場合には、第３カップ６６とともに第２カップ６５も自重で下位置に移動する。このため、カップ６５，６６が下位置に移動したときに、基板Ｗを取り囲むカップは、上位置に配された第１カップ６４となる。
【０１５２】
以上のように、本実施形態の構成を採用した場合、カップ６５，６６各々を独立に昇降させる昇降機構がなくても、カップ６４〜６６のいずれかから選択されたカップによって、基板Ｗの周囲を取り囲み、振り切られた処理液を受け止めることができる。したがって、基板処理装置１の占有空間を小さくし得るとともに、装置設計の容易化を図り得る。
【０１５３】
なお、当接部２０２の代わりに第２カップ連結部１２０を設けて、カップ６５、６６間を連結するようにしてもよい。この場合、例えば、全てのカップ６４〜６６を上位置に配した状態で、カップ昇降駆動機構６９Ａが第３カップ６６を下降させる際に、カップ６５，６６間を連結しておく。これによって、第３カップ６６の下降に伴って第２カップ６５を下方に付勢して下降させることができる。
【０１５４】
＜５．  第５実施形態＞
上記第１〜第４実施形態では、カップ連結部１００，１１０，１２０を、一組の連結用電磁石および連結用磁性部で構成されている。しかしながら、カップ連結部はこのようなものに限定されない。
【０１５５】
図１６は、第５実施形態のカップ昇降駆動機構６９の周辺を示す概略正面図である。本実施形態の構成では、カップ連結部１００，１１０の代わりに、カップ連結部１３０，１４０を備えている。カップ連結部１３０，１４０は、吸引力によってカップ６４，６５間およびカップ６４，６６間を連結する。
【０１５６】
詳しくは、第１カップ連結部１３０は、連結部材８５の下面に固定された吸着パッド１３０Ａと、連結部材８５ａの上面に固定された被吸着パッド１３０Ｂとを含む。吸着パッド１３０Ａおよび被吸着パッド１３０Ｂは、例えばＰＴＦＥ製とされ得る。
【０１５７】
吸着パッド１３０Ａの下面には雰囲気を吸引するための複数の孔が形成されている。その複数の孔は、吸着パッド１３０Ａに接続された配管１３２を介して、吸引部１５０およびリーク部１５２に接続されている。吸着パッド１３０Ａが被吸着パッド１３０Ｂに接近した状態で吸引部１５０が吸引を行うと、吸着パッド１３０Ａが被吸着パッド１３０Ｂを吸着する。これにより、連結部材８５，８５ａが吸引力によって連結され、もって、カップ６４，６５間が直接的に連結される。また、リーク部１５２によって、配管１３２内の圧力を低下させると、吸着パッド１３０Ａが被吸着パッド１３０Ｂの吸着を解除し、もって、カップ６４，６５間の連結が解除される。
【０１５８】
第１カップ連結部１３０と同様に、第２カップ連結部１４０は、連結部材８５の下面に固定された吸着パッド１４０Ａと、連結部材８５ｂの上面に固定された被吸着パッド１４０Ｂとを含む。吸着パッド１４０Ａおよび被吸着パッド１４０Ｂは、例えばＰＴＦＥ製である。被吸着パッド１４０Ｂは、第１実施形態の連結用磁性部１２０Ｂと同様に、連結部材８５ａに形成された貫通孔８５Ｈを貫通して吸着パッド１４０Ａに吸着される。被吸着パッド１４０Ｂは、連結部材８５ａとは接触しないように構成されている。
【０１５９】
吸着パッド１４０Ａの下面には雰囲気を吸引するための複数の孔が形成されている。その複数の孔は、吸着パッド１４０Ａに接続された配管１４２を介して吸引部１５０およびリーク部１５２に接続されている。吸着パッド１４０Ａが被吸着パッド１４０Ｂに接近した状態で吸引部１５０が吸引を行うと、吸着パッド１４０Ａが被吸着パッド１４０Ｂを吸着する。これにより、連結部材８５，８５ｂが連結され、もって、カップ６４，６６間が直接的に連結される。また、リーク部１５２によって、配管１４２内の圧力を低下させると、吸着パッド１４０Ａが被吸着パッド１４０Ｂの吸着を解除し、もって、カップ６４，６６間の連結が解除される。
【０１６０】
配管１３２，１４２各々は、吸着パッド１３０Ａ，１４０Ａから連結部材８５に沿って延び、離隔部材７０のハウジング７３およびベローズ７４の内部を通って、所定の位置に配された吸引部１５０およびリーク部１５２に接続されている。なお、配管１３２の端部は、吸引部１５０に接続された配管１３４と、リーク部１５２に接続された配管１３６とに分岐している。また、配管１４２の端部は、吸引部１５０に接続された配管１４４と、リーク部１５２に接続された配管１４６とに分岐している。
【０１６１】
配管１３２，１４２上にはバルブ１６０，１６１がそれぞれ介挿されており、配管１３４，１３６にはバルブ１６２，１６３がそれぞれ介挿されており、配管１４４，１４６にはバルブ１６４，１６５がそれぞれ介挿されている。バルブ１６０〜１６５は、各々が取り付けられている配管１３２，１４２，１３４，１３６，１４４，１４６を開閉する。バルブ１６０〜１６５の開閉動作は、制御部９０によって制御される。例えば、バルブ１６２が開状態でバルブ１６３が閉状態のときに、バルブ１６０が開状態となると吸着パッド１３０Ａが吸引部１５０に連通して吸着を開始する。また、バルブ１６４が開状態でバルブ１６５が閉状態のときに、バルブ１６１が開状態となると、吸着パッド１４０Ａが吸引部１５０に連通して吸着を開始する。また、バルブ１６２が閉状態でバルブ１６３が開状態のときに、バルブ１６０が開状態となると、吸着パッド１３０Ａがリーク部１５２に連通して吸着を停止する。また、バルブ１６４が閉状態でバルブ１６５が開状態のときに、バルブ１６１が開状態となると、吸着パッド１４０Ａがリーク部１５２に連通して吸着を停止する。
【０１６２】
以上のように、カップ連結部１３０，１４０を採用した場合においても、第１実施形態の構成と同様に、カップ６４，６６間およびカップ６５，６６間の連結／連結解除を実行できる。このため、カップ６５，６６各々を独立に昇降させる昇降機構を省略しても、カップ６４〜６６のいずれかから選択されたカップによって、基板Ｗの周囲を取り囲み、振り切られた処理液を受け止めることができる。このため、基板処理装置１の占有空間を小さくし得るとともに、装置設計の容易化を図り得る。
【０１６３】
なお、図１５において説明した、第４実施形態に係るカップ保持部２００の保持用電磁石２００Ａおよび保持用磁性部２００Ｂを、本実施形態のカップ連結部１３０，１４０と同様の吸着パッド、被吸着パッドを含む構成に置換し得る。
【０１６４】
また、吸着パッド１３０Ａが連結部材８５の上面を吸着し得る場合、被吸着パッド１３０Ｂは省略可能である。これと同様に、吸着パッド１４０Ａが連結部材８５ｂの上面を吸着し得る場合、被吸着パッド１４０Ｂは省略可能である。
【０１６５】
＜６．  変形例＞
上記各実施形態では、基板処理装置１が３つのカップ６４〜６６を含む構成としているが、２つのカップ６４，６５のみを含む構成としてもよく、あるいは、４つ以上のカップを含む構成としてもよい。例えば、第３カップ６６の内側に第４カップを設ける場合には、その第４カップと３カップ６４〜６６のいずれか１つとを連結解除可能に連結するカップ連結部を設けるとよい。そのカップ連結部は、例えばカップ連結部１００，１１０のように一組の連結用電磁石および連結用磁性部、あるいは、カップ連結部１３０，１４０のように一組の吸着パッドおよび被吸着パッドで構成し得る。
【０１６６】
この発明は詳細に説明されたが、上記の説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。上記各実施形態および各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わせたり、省略したりすることができる。
【符号の説明】
【０１６７】
１  基板処理装置
３  チャンバ
５  スピンチャック
２０  チャックピン
２１  スピンベース
２２  中心軸部
２３  基板回転駆動機構
４１〜４３  ノズル
４７〜４７  処理液供給管
６４  第１カップ
６５  第２カップ
６６  第３カップ
６９，６９Ａ  カップ昇降駆動機構
８１  駆動源
８５，８５ａ，８５ｂ  連結部材
８５Ｈ  貫通孔
９０  制御部
９２  同期制御部
１００，１３０  第１カップ連結部
１１０，１２０，１４０  第２カップ連結部
１００Ａ，１１０Ａ，１２０Ａ  連結用電磁石
１００Ｂ，１１０Ｂ，１２０Ｂ  連結用磁性部
１０２，１１２  電線
１０４，１１４  ガイド軸
１０６，１１６  付勢部
１０８，１１８  衝撃吸収部
１３０Ａ，１４０Ａ  吸着パッド
１３０Ｂ，１４０Ｂ  被吸着パッド
１３２，１３４，１３６，１３８，１４２  配管
１５０  吸引部
１５２  リーク部
１６０〜１６３  バルブ
２００  カップ保持部
２００Ａ  保持用電磁石
２００Ｂ  保持用磁性部
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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