(57)【要約】【課題】ゲートリーク電流を抑制しながら電力付加効率及び出力を向上することができる化合物半導体装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】キャリア走行層１０１と、キャリア走行層１０１上方のキャリア供給層１０２と、キャリア供給層１０２上方のソース電極１０３及びドレイン電極１０４と、ソース電極１０３とドレイン電極１０４との間でキャリア供給層１０２上方のゲート電極１０５と、ゲート電極１０５とドレイン電極１０４との間でキャリア供給層１０２上方の第１の絶縁膜１０７及び第２の絶縁膜１０８と、が含まれる。ゲート電極１０５には、第２の絶縁膜１０８上の部分が含まれる。第２の絶縁膜１０８は、第１の絶縁膜１０７の側面をドレイン電極１０４側から覆い、第２の絶縁膜１０８中の電子トラップの濃度は、第１の絶縁膜１０７中の電子トラップの濃度よりも高い。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリア走行層と、
前記キャリア走行層上方のキャリア供給層と、
前記キャリア供給層上方のソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方のゲート電極と、
前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方の第１の絶縁膜及び第２の絶縁膜と、
を有し、
前記ゲート電極は、前記第２の絶縁膜上の部分を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の絶縁膜の側面を前記ドレイン電極側から覆い、
前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第１の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高いことを特徴とする化合物半導体装置。
【請求項２】
前記第１の絶縁膜は第１の酸化アルミニウム膜であり、
前記第２の絶縁膜は第２の酸化アルミニウム膜であり、
前記第２の酸化アルミニウム膜中の酸素原子のうち、Ａｌ−Ｏ−Ａｌの結合状態を構成する酸素原子の数に対する水酸化アルミニウムに含まれる酸素原子の数の比率は、前記第１の酸化アルミニウム膜中の酸素原子のうち、Ａｌ−Ｏ−Ａｌの結合状態を構成する酸素原子の数に対する水酸化アルミニウムに含まれる酸素原子の数の比率よりも高いことを特徴とする請求項１に記載の化合物半導体装置。
【請求項３】
前記第２の絶縁膜の上面を覆い、かつ前記第２の絶縁膜の側面を前記ドレイン電極側から覆う第３の絶縁膜を有し、
前記第３の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高いことを特徴とする請求項１又は２に記載の化合物半導体装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の化合物半導体装置を有することを特徴とする電源装置。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の化合物半導体装置を有することを特徴とする増幅器。
【請求項６】
キャリア走行層上方にキャリア供給層を形成する工程と、
前記キャリア供給層上方にソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方に第１の絶縁膜及び第２の絶縁膜を形成する工程と、
を有し、
前記ゲート電極は、前記第２の絶縁膜上の部分を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の絶縁膜の側面を前記ドレイン電極側から覆い、
前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第１の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高いことを特徴とする化合物半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、化合物半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
窒化物半導体は、高い飽和電子速度及びワイドバンドギャップ等の特徴を有している。このため、これらの特性を利用して窒化物半導体を高耐圧及び高出力の半導体デバイスに適用することについて種々の検討が行われている。近年では、例えば、ＧａＮ系高電子移動度トランジスタ（high electron mobility transistor：ＨＥＭＴ）がパワーデバイスとして使用されている。
【０００３】
トランジスタの電力付加効率及び出力はドレイン抵抗の低減により向上させることができ、ドレイン抵抗はゲート電極とドレイン電極との距離を短くすることで低減することができる。
【０００４】
しかしながら、ゲート電極とドレイン電極との距離の短縮はゲートリーク電流の増加に繋がり、信頼性を低下させてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１２８６４６号公報
【特許文献２】特開２００９−２６８３８号公報
【特許文献３】特開２０１５−１２０３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、ゲートリーク電流を抑制しながら電力付加効率及び出力を向上することができる化合物半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
化合物半導体装置の一態様には、キャリア走行層と、前記キャリア走行層上方のキャリア供給層と、前記キャリア供給層上方のソース電極及びドレイン電極と、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方のゲート電極と、前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方の第１の絶縁膜及び第２の絶縁膜と、が含まれる。前記ゲート電極には、前記第２の絶縁膜上の部分が含まれる。前記第２の絶縁膜は、前記第１の絶縁膜の側面を前記ドレイン電極側から覆い、前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第１の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高い。
【０００８】
化合物半導体装置の製造方法の一態様では、キャリア走行層上方にキャリア供給層を形成し、前記キャリア供給層上方にソース電極及びドレイン電極を形成し、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方にゲート電極を形成し、前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方に第１の絶縁膜及び第２の絶縁膜を形成する。前記ゲート電極には、前記第２の絶縁膜上の部分が含まれる。前記第２の絶縁膜は、前記第１の絶縁膜の側面を前記ドレイン電極側から覆い、前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第１の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高い。
【発明の効果】
【０００９】
上記の化合物半導体装置等によれば、適切な第１及び第２の絶縁膜が含まれるため、ゲートリーク電流を抑制しながら電力付加効率及び出力を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施形態に係る化合物半導体装置の構造を示す断面図である。
【図２】第１の実施形態に係る化合物半導体装置の作用を示す断面図である。
【図３】酸化アルミニウム膜におけるＡｌ−Ｏ−Ａｌの結合状態を構成する酸素原子の数に対する水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）ｘ）に含まれる酸素原子の数の比率Ｒと閾値電圧の変動及びゲートリーク電流との関係を示すグラフである。
【図４】第２の実施形態に係る化合物半導体装置の構造を示す断面図である。
【図５】第２の実施形態の特性を示す図である。
【図６Ａ】第２の実施形態に係る化合物半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図６Ｂ】図６Ａに引き続き、化合物半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図６Ｃ】図６Ｂに引き続き、化合物半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図６Ｄ】図６Ｃに引き続き、化合物半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【図７】第４の実施形態に係るディスクリートパッケージを示す図である。
【図８】第５の実施形態に係るＰＦＣ回路を示す結線図である。
【図９】第６の実施形態に係る電源装置を示す結線図である。
【図１０】第７の実施形態に係る増幅器を示す結線図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、実施形態について添付の図面を参照しながら具体的に説明する。
【００１２】
（第１の実施形態）
先ず、第１の実施形態について説明する。第１の実施形態はＨＥＭＴを備えた化合物半導体装置の一例に関する。図１は、第１の実施形態に係る化合物半導体装置の構造を示す断面図である。
【００１３】
第１の実施形態に係る化合物半導体装置１００には、図１に示すように、キャリア走行層１０１、キャリア走行層１０１上方のキャリア供給層１０２、並びにキャリア供給層１０２上方のソース電極１０３及びドレイン電極１０４が含まれる。化合物半導体装置１００には、ソース電極１０３とドレイン電極１０４との間でキャリア供給層１０２上方のゲート電極１０５、並びにゲート電極１０５とドレイン電極１０４との間でキャリア供給層１０２上方の第１の絶縁膜１０７及び第２の絶縁膜１０８も含まれる。第２の絶縁膜１０８は、第１の絶縁膜１０７の側面をドレイン電極１０４側から覆い、第２の絶縁膜１０８中の電子トラップの濃度は、第１の絶縁膜１０７中の電子トラップの濃度よりも高い。ゲート電極１０５には、第２の絶縁膜１０８上の部分１０６が含まれる。
【００１４】
第１の実施形態に係る化合物半導体装置１００では、第１の絶縁膜１０７中の電子トラップ及び第２の絶縁膜１０８中の電子トラップにより、図２に示すように、ドレイン電極１０４からの電気力線１５０が終端される。このため、ゲート電極１０５とドレイン電極１０４との間の距離が短くても、ゲート電極１０５のドレイン電極１０４側の端部近傍における電界集中を緩和することができる。従って、ゲートリーク電流を抑制しながら電力付加効率及び出力を向上することができる。また、第２の絶縁膜１０８が第１の絶縁膜１０７の上面を覆いつつ、第１の絶縁膜１０７の側面をドレイン電極１０４側から覆っているため、これらの間の界面は化合物半導体装置１００の上方に露出していない。従って、上方から水分が侵入してきたとしても、この水分は界面に極めて浸入しにくく、このような水分の侵入に伴う寄生容量の増加及びそれに伴う高周波特性の低下を抑制することができる。このため、優れた高周波特性を得ることができる。更に、第１の絶縁膜１０７中の電子トラップの濃度が第２の絶縁膜１０８中の電子トラップの濃度よりも低いため、電子トラップが引き起こす閾値の変動を抑制することができる。
【００１５】
更に、第１の実施形態によれば、ゲートリーク電流の低減効果と閾値電圧の変動の抑制効果とのバランスを良好なものとすることができる。図３は、酸化アルミニウム膜における酸素原子の数ＮAl-O-Alに対する酸素原子の数ＮAl(OH)xの比率Ｒと閾値電圧の変動（Δｔｈ）及びゲート電圧が−５０Ｖのときのゲートリーク電流（Ｉｇ）との関係を示すグラフである。ここで、比率Ｒは、酸化アルミニウム膜中の酸素原子のうち、Ａｌ−Ｏ−Ａｌの結合状態を構成する酸素原子の数ＮAl-O-Alに対する水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）ｘ）に含まれる酸素原子の数ＮAl(OH)xの比率である。電子トラップとなるＯＨ基が水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）x）に含まれる。図３に示すように、比率Ｒが高いほどゲートリーク電流が低くなり、比率Ｒが低いほど閾値電圧の変動が抑制される。また、閾値電圧の変動は、キャリア走行層１０１のキャリア供給層１０２近傍に生じた二次元電子ガス（２ＤＥＧ）に近い部分の電子トラップの影響を受けやすい。従って、第１の実施形態では、絶縁膜２０７が閾値電圧の変動の抑制に効果的であり、絶縁膜２０８がゲートリーク電流の低減に効果的であり、これら効果のバランスが良好である。
【００１６】
絶縁膜に含まれる電子トラップの濃度の高低は、例えば、絶縁膜の電気抵抗に応じて判断することができる。絶縁膜の電気抵抗は、例えば、電子顕微鏡に設けられた探触子を用いて測定することができる。絶縁膜に含まれる電子トラップの濃度が高ければ、絶縁膜の電気抵抗は低く、絶縁膜に含まれる電子トラップの濃度が低ければ、絶縁膜の電気抵抗は高い。第１の実施形態に係る化合物半導体装置１００では、第２の絶縁膜１０８中の電子トラップの濃度が第１の絶縁膜１０７中の電子トラップの濃度よりも高いので、第２の絶縁膜１０８の電気抵抗は第１の絶縁膜１０７の電気抵抗よりも低い。絶縁膜に含まれる電子トラップの濃度の高低は、例えば、絶縁膜のウェットエッチング後の状態を観察することで判断することもできる。電子トラップの濃度が高い絶縁膜ほどウェットエッチングの速度が遅くなる。
【００１７】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について説明する。第２の実施形態はＧａＮ系ＨＥＭＴを備えた化合物半導体装置の一例である。図４は、第２の実施形態に係る化合物半導体装置の構造を示す断面図である。
【００１８】
第２の実施形態に係る化合物半導体装置２００には、図４に示すように、基板２１１、基板２１１上のバッファ層２１２、及びバッファ層２１２上のキャリア走行層２０１が含まれる。化合物半導体装置２００には、キャリア走行層２０１上のスペーサ層２１３、スペーサ層２１３上のキャリア供給層２０２、及びキャリア供給層２０２上のキャップ層２１４も含まれる。
【００１９】
基板２１１は、例えばＳｉＣ基板である。バッファ層２１２は、例えばＡｌＧａＮ層である。バッファ層２１２が超格子構造を備えていてもよい。キャリア走行層２０１は、例えば厚さが３μｍ程度で不純物の意図的なドーピングが行われていないＧａＮ層（ｉ−ＧａＮ層）である。スペーサ層２１３は、例えば厚さが５ｎｍ程度で不純物の意図的なドーピングが行われていないＡｌＧａＮ層（ｉ−ＡｌＧａＮ層）である。キャリア供給層２０２は、例えば厚さが３０ｎｍ程度のｎ型のＡｌＧａＮ層（ｎ−ＡｌＧａＮ層）である。キャップ層２１４は、例えば厚さが１０ｎｍ程度のｎ型のＧａＮ層（ｎ−ＧａＮ層）である。キャリア供給層２０２及びキャップ層２１４には、例えばＳｉが５×１０18ｃｍ-3程度の濃度でドーピングされている。
【００２０】
キャリア走行層２０１、スペーサ層２１３、キャリア供給層２０２及びキャップ層２１４の積層体に、素子領域を画定する素子分離領域２１５が形成されている。素子領域内において、キャップ層２１４に開口部２１６及び開口部２１７が形成されており、開口部２１６内にソース電極２０３が形成され、開口部２１７内にドレイン電極２０４が形成されている。
【００２１】
ソース電極２０３とドレイン電極２０４との間でキャップ層２１４の上方に第１の絶縁膜２０７、第２の絶縁膜２０８及び第３の絶縁膜２０９が形成されている。絶縁膜２０９はソース電極２０３からドレイン電極２０４にわたって形成され、絶縁膜２０８は平面視で絶縁膜２０９の輪郭の内側に形成され、絶縁膜２０７は平面視で絶縁膜２０８の輪郭の内側に形成されている。そして、絶縁膜２０８は絶縁膜２０７の上面を覆い、絶縁膜２０９は絶縁膜２０８の上面を覆う。絶縁膜２０９上に第４の絶縁膜２１０が形成されている。第４の絶縁膜２１０には、例えば、窒化シリコン膜２１０ａ及びその上の酸窒化シリコン膜２１０ｂが含まれる。絶縁膜２１０中の電子トラップの濃度は、絶縁膜２０７中の電子トラップの濃度よりも高く、絶縁膜２０８中の電子トラップの濃度よりも高く、絶縁膜２０９中の電子トラップの濃度よりも高い。絶縁膜２０７〜２１０の積層構造には、ソース電極２０３とドレイン電極２０４との間の開口部２２１が形成されている。そして、開口部２２１を介してキャップ層２１４とショットキー接触するゲート電極２０５が形成されている。ゲート電極２０５は、いわゆるＴ字型構造を有しており、絶縁膜２１０上の庇状の部分２０６を含む。ゲート電極２０５を覆う保護膜２２２が絶縁膜２１０上に形成されている。
【００２２】
開口部２２１よりもドレイン電極２０４側では、絶縁膜２０８が絶縁膜２０７の側面をドレイン電極２０４側から覆い、絶縁膜２０９が絶縁膜２０８の側面をドレイン電極２０４側から覆う。絶縁膜２０７、絶縁膜２０８及び絶縁膜２０９は水酸化アルミニウムを含有する酸化アルミニウム膜であり、絶縁膜中の酸素原子のうち、Ａｌ−Ｏ−Ａｌの結合状態を構成する酸素原子の数ＮAl-O-Alに対する水酸化アルミニウム（Ａｌ（ＯＨ）ｘ）に含まれる酸素原子の数ＮAl(OH)xの比率をＲとすると、絶縁膜２０９における比率Ｒは、絶縁膜２０８における比率Ｒよりも高く、絶縁膜２０８における比率Ｒは、絶縁膜２０７における比率Ｒよりも高い。例えば、絶縁膜２０７における比率Ｒは０．０４〜０．０８程度であり、絶縁膜２０８における比率Ｒは０．０８〜０．１０程度であり、絶縁膜２０９における比率Ｒは０．１０〜０．１４程度である。例えば、絶縁膜２０７の厚さは１ｎｍ〜１００ｎｍ程度、絶縁膜２０８の厚さは１ｎｍ〜１００ｎｍ程度、絶縁膜２０９の厚さは１ｎｍ〜１００ｎｍ程度、窒化シリコン膜２１０ａの厚さは１ｎｍ〜１００ｎｍ程度、酸窒化シリコン膜２１０ｂの厚さは１ｎｍ〜１００ｎｍ程度である。
【００２３】
第２の実施形態によっても第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。第２の実施形態では、絶縁膜２０７及び絶縁膜２０８の他に絶縁膜２０９が形成されているため、電界集中をより緩和することができる。
【００２４】
ここで、第２の実施形態の効果について、２つの参考例（第１の参考例、第２の参考例）と比較して説明する。第１の参考例では、ゲート電極２０５とドレイン電極２０４との間の距離が第２の実施形態のそれより長く、第２の参考例では、ゲート電極２０５とドレイン電極２０４との間の距離が第２の実施形態のそれと等しい。また、第１の参考例及び第２の参考例には絶縁膜２０７〜２０９が含まれておらず、その分だけ窒化シリコン膜２１０ａが厚く形成されている。第１の参考例と第２の参考例とを比較すると、ゲート電極２０５とドレイン電極２０４との間の距離が短い分だけ、図５（ａ）に示すように、第２の参考例の効率及び出力が良好であるが、図５（ｂ）に示すように、ゲートリーク電流が大きい。これに対し、第２の実施形態によれば、より良好な効率及び出力が得られると共に、ゲートリーク電流を低減することができる。例えば、ゲート電圧が−５０Ｖのときのゲートリーク電流を１×１０-6Ａ／ｍｍ程度とすることができる。
【００２５】
次に、第２の実施形態に係る化合物半導体装置の製造方法について説明する。図６Ａ乃至図６Ｄは、第２の実施形態に係る化合物半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。
【００２６】
先ず、図６Ａ（ａ）に示すように、基板２１１上に、バッファ層２１２、キャリア走行層２０１、スペーサ層２１３、キャリア供給層２０２及びキャップ層２１４を形成する。バッファ層２１２、キャリア走行層２０１、スペーサ層２１３、キャリア供給層２０２及びキャップ層２１４は、例えば有機金属気相成長（metal organic vapor phase epitaxy：ＭＯＶＰＥ）法により形成することができる。
【００２７】
これら化合物半導体層の形成に際しては、例えば、Ａｌ源であるトリメチルアルミニウム（ＴＭＡ）ガス、Ｇａ源であるトリメチルガリウム（ＴＭＧ）ガス、及びＮ源であるアンモニア（ＮＨ3）ガスの混合ガスを用いる。このとき、成長させる化合物半導体層の組成に応じて、トリメチルアルミニウムガス及びトリメチルガリウムガスの供給の有無及び流量を適宜設定する。各化合物半導体層に共通の原料であるアンモニアガスの流量は、例えば１００ｃｃｍ〜１０ＬＭ程度とする。また、例えば、成長圧力は５０Ｔｏｒｒ〜３００Ｔｏｒｒ程度、成長温度は１０００℃〜１２００℃程度とする。また、ｎ型の化合物半導体層（例えばキャリア供給層２０２及びキャップ層２１４）を成長させる際には、例えば、Ｓｉを含むＳｉＨ4ガスを所定の流量で混合ガスに添加し、化合物半導体層にＳｉをドーピングする。Ｓｉのドーピング濃度は、１×１０18ｃｍ-3程度〜１×１０20ｃｍ-3程度、例えば５×１０18ｃｍ-3程度とする。
【００２８】
次いで、図６Ａ（ｂ）に示すように、キャップ層２１４、キャリア供給層２０２、スペーサ層２１３及びキャリア走行層２０１に素子領域を画定する素子分離領域２１５を形成する。素子分離領域２１５の形成では、例えば、素子分離領域２１５を形成する予定の領域を露出するフォトレジストのパターンをキャップ層２１４上に形成し、このパターンをマスクとしてＡｒ等のイオン注入を行う。このパターンをエッチングマスクとして塩素系ガスを用いたドライエッチングを行ってもよい。
【００２９】
その後、図６Ａ（ｃ）に示すように、キャップ層２１４上に第１の絶縁膜２０７を形成する。絶縁膜２０７としては、例えば、比率Ｒが０．０４〜０．０８程度の酸化アルミニウム膜を原子堆積法（atomic layer deposition：ＡＬＤ）により形成する。比率Ｒ、成膜時のトリメチルアルミニウム（ＴＭＨ）又はＨ2Ｏの流量比を制御することで、調整することができる。
【００３０】
続いて、図６Ｂ（ｄ）に示すように、絶縁膜２０７をウェットエッチングによりパターニングする。
【００３１】
次いで、図６Ｂ（ｅ）に示すように、キャップ層２１４上に第２の絶縁膜２０８を形成し、絶縁膜２０８をウェットエッチングによりパターニングする。絶縁膜２０８としては、例えば、比率Ｒが０．０８〜０．１０程度の酸化アルミニウム膜を原子堆積法（ＡＬＤ）により形成する。
【００３２】
その後、図６Ｂ（ｆ）に示すように、キャップ層２１４上に第３の絶縁膜２０９を形成し、絶縁膜２０９をウェットエッチングによりパターニングする。絶縁膜２０９としては、例えば、比率Ｒが０．１０〜０．１４程度の酸化アルミニウム膜を原子堆積法（ＡＬＤ）により形成する。
【００３３】
続いて、図６Ｃ（ｇ）に示すように、キャップ層２１４に開口部２１６及び開口部２１７を形成し、開口部２１６内にソース電極２０３を形成し、開口部２１７内にドレイン電極２０４を形成する。ソース電極２０３及びドレイン電極２０４は、例えばリフトオフ法により形成することができる。すなわち、ソース電極２０３を形成する予定の領域及びドレイン電極２０４を形成する予定の領域を露出し、他の領域を覆うフォトレジストのパターンを形成し、このパターンを成長マスクとして蒸着法により金属膜を形成し、このパターンをその上の金属膜と共に除去する。金属膜の形成では、例えば、Ｔｉ膜を形成した後にＡｌ膜を形成する。次いで、例えば、窒素雰囲気中にて４００℃〜９００℃（例えば５８０℃）で熱処理を行い、オーミック特性を確立する。
【００３４】
その後、図６Ｃ（ｈ）に示すように、窒化シリコン膜２１０ａ及びその上の酸窒化シリコン膜２１０ｂを含む第４の絶縁膜２１０を形成する。絶縁膜２１０は、例えば化学気相成長（chemical vapor deposition：ＣＶＤ）法、原子層堆積（ＡＬＤ）法、又はスパッタ法により形成することができる。
【００３５】
続いて、図６Ｃ（ｉ）に示すように、絶縁膜２１０のゲート電極２０５を形成する予定の領域に開口部２２１を形成する。開口部２２１は、例えばドライエッチングにより形成することができる。開口部２２１をウェットエッチング又はイオンミリングにより形成してもよい。
【００３６】
次いで、図６Ｄ（ｊ）に示すように、開口部２２１よりもドレイン電極２０４側で絶縁膜２１０上の庇状の部分２０６を含むゲート電極２０５を形成する。ゲート電極２０５は、例えばリフトオフ法により形成することができる。すなわち、ゲート電極２０５を形成する予定の領域を露出するフォトレジストのパターンを形成し、このパターンを成長マスクとして蒸着法により金属膜を形成し、このパターンをその上の金属膜と共に除去する。金属膜の形成では、例えば、Ｎｉ膜を形成した後にＡｕ膜を形成する。
【００３７】
その後、図６Ｄ（ｋ）に示すように、ゲート電極２０５を覆う保護膜２２２を絶縁膜２１０上に形成する。保護膜２２２は、例えばＣＶＤ法、ＡＬＤ法又はスパッタ法により形成することができる。
【００３８】
そして、必要に応じて保護膜及び配線等を形成して、化合物半導体装置を完成させる。
【００３９】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態について説明する。第３の実施形態は、ＨＥＭＴのディスクリートパッケージに関する。図７は、第３の実施形態に係るディスクリートパッケージを示す図である。
【００４０】
第３の実施形態では、図７に示すように、第１又は第２の実施形態のＨＥＭＴのＨＥＭＴチップ１２１０の裏面がはんだ等のダイアタッチ剤１２３４を用いてランド（ダイパッド）１２３３に固定されている。また、ドレイン電極１０４又は２０４が接続されたドレインパッド１２２６ｄに、Ａｌワイヤ等のワイヤ１２３５ｄが接続され、ワイヤ１２３５ｄの他端が、ランド１２３３と一体化しているドレインリード１２３２ｄに接続されている。ソース電極１０３又は２０３に接続されたソースパッド１２２６ｓにＡｌワイヤ等のワイヤ１２３５ｓが接続され、ワイヤ１２３５ｓの他端がランド１２３３から独立したソースリード１２３２ｓに接続されている。ゲート電極１０５又は２０５に接続されたゲートパッド１２２６ｇにＡｌワイヤ等のワイヤ１２３５ｇが接続され、ワイヤ１２３５ｇの他端がランド１２３３から独立したゲートリード１２３２ｇに接続されている。そして、ゲートリード１２３２ｇの一部、ドレインリード１２３２ｄの一部及びソースリード１２３２ｓの一部が突出するようにして、ランド１２３３及びＨＥＭＴチップ１２１０等がモールド樹脂１２３１によりパッケージングされている。
【００４１】
このようなディスクリートパッケージは、例えば、次のようにして製造することができる。先ず、ＨＥＭＴチップ１２１０をはんだ等のダイアタッチ剤１２３４を用いてリードフレームのランド１２３３に固定する。次いで、ワイヤ１２３５ｇ、１２３５ｄ及び１２３５ｓを用いたボンディングにより、ゲートパッド１２２６ｇをリードフレームのゲートリード１２３２ｇに接続し、ドレインパッド１２２６ｄをリードフレームのドレインリード１２３２ｄに接続し、ソースパッド１２２６ｓをリードフレームのソースリード１２３２ｓに接続する。その後、トランスファーモールド法にてモールド樹脂１２３１を用いた封止を行う。続いて、リードフレームを切り離す。
【００４２】
（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態について説明する。第４の実施形態は、ＨＥＭＴを備えたＰＦＣ（Power Factor Correction）回路に関する。図８は、第４の実施形態に係るＰＦＣ回路を示す結線図である。
【００４３】
ＰＦＣ回路１２５０には、スイッチ素子（トランジスタ）１２５１、ダイオード１２５２、チョークコイル１２５３、コンデンサ１２５４及び１２５５、ダイオードブリッジ１２５６、並びに交流電源（ＡＣ）１２５７が設けられている。そして、スイッチ素子１２５１のドレイン電極と、ダイオード１２５２のアノード端子及びチョークコイル１２５３の一端子とが接続されている。スイッチ素子１２５１のソース電極と、コンデンサ１２５４の一端子及びコンデンサ１２５５の一端子とが接続されている。コンデンサ１２５４の他端子とチョークコイル１２５３の他端子とが接続されている。コンデンサ１２５５の他端子とダイオード１２５２のカソード端子とが接続されている。また、スイッチ素子１２５１のゲート電極にはゲートドライバが接続されている。コンデンサ１２５４の両端子間には、ダイオードブリッジ１２５６を介してＡＣ１２５７が接続される。コンデンサ１２５５の両端子間には、直流電源（ＤＣ）が接続される。そして、本実施形態では、スイッチ素子１２５１に、第１又は第２の実施形態のＨＥＭＴが用いられている。
【００４４】
ＰＦＣ回路１２５０の製造に際しては、例えば、はんだ等を用いて、スイッチ素子１２５１をダイオード１２５２及びチョークコイル１２５３等に接続する。
【００４５】
（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態について説明する。第５の実施形態は、ＨＥＭＴを備えた電源装置に関する。図９は、第５の実施形態に係る電源装置を示す結線図である。
【００４６】
電源装置には、高圧の一次側回路１２６１及び低圧の二次側回路１２６２、並びに一次側回路１２６１と二次側回路１２６２との間に配設されるトランス１２６３が設けられている。
【００４７】
一次側回路１２６１には、第４の実施形態に係るＰＦＣ回路１２５０、及びＰＦＣ回路１２５０のコンデンサ１２５５の両端子間に接続されたインバータ回路、例えばフルブリッジインバータ回路１２６０が設けられている。フルブリッジインバータ回路１２６０には、複数（ここでは４つ）のスイッチ素子１２６４ａ、１２６４ｂ、１２６４ｃ及び１２６４ｄが設けられている。
【００４８】
二次側回路１２６２には、複数（ここでは３つ）のスイッチ素子１２６５ａ、１２６５ｂ及び１２６５ｃが設けられている。
【００４９】
本実施形態では、一次側回路１２６１を構成するＰＦＣ回路１２５０のスイッチ素子１２５１、並びにフルブリッジインバータ回路１２６０のスイッチ素子１２６４ａ、１２６４ｂ、１２６４ｃ及び１２６４ｄに、第１又は第２の実施形態のＨＥＭＴが用いられている。一方、二次側回路１２６２のスイッチ素子１２６５ａ、１２６５ｂ及び１２６５ｃには、シリコンを用いた通常のＭＩＳ型ＦＥＴ（電界効果トランジスタ）が用いられている。
【００５０】
（第６の実施形態）
次に、第６の実施形態について説明する。第６の実施形態は、ＨＥＭＴを備えた増幅器に関する。図１０は、第６の実施形態に係る増幅器を示す結線図である。
【００５１】
増幅器には、ディジタル・プレディストーション回路１２７１、ミキサー１２７２ａ及び１２７２ｂ、並びにパワーアンプ１２７３が設けられている。
【００５２】
ディジタル・プレディストーション回路１２７１は、入力信号の非線形歪みを補償する。ミキサー１２７２ａは、非線形歪みが補償された入力信号と交流信号とをミキシングする。パワーアンプ１２７３は、第１又は第２の実施形態のＨＥＭＴを備えており、交流信号とミキシングされた入力信号を増幅する。なお、本実施形態では、例えば、スイッチの切り替えにより、出力側の信号をミキサー１２７２ｂで交流信号とミキシングしてディジタル・プレディストーション回路１２７１に送出できる。この増幅器は、高周波増幅器、高出力増幅器として使用することができる。高周波増幅器は、例えば、携帯電話基地局用送受信装置、レーダー装置及びマイクロ波発生装置に用いることができる。
【００５３】
化合物半導体層の組成は特に限定されず、例えば、ＧａＮ、ＡｌＮ及びＩｎＮ等の窒化物半導体を用いることができる。また、これらの混晶を用いることもできる。第４の絶縁膜は、窒化シリコン膜又は酸窒化シリコン膜を含んでいなくてもよい。
【００５４】
いずれの実施形態においても、基板として、炭化シリコン（ＳｉＣ）基板、サファイア基板、シリコン基板、ＧａＮ基板又はＧａＡｓ基板等を用いてもよい。基板が、導電性、半絶縁性又は絶縁性のいずれであってもよい。
【００５５】
ゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の構造は上述の実施形態のものに限定されない。例えば、これらが単層から構成されていてもよい。また、これらの形成方法はリフトオフ法に限定されない。更に、オーミック特性が得られるのであれば、ソース電極及びドレイン電極の形成後の熱処理を省略してもよい。ゲート電極に、Ｎｉ及びＡｕの他にＰｄ及び／又はＰｔが含まれていてもよい。
【００５６】
以下、本発明の諸態様を付記としてまとめて記載する。
【００５７】
（付記１）
キャリア走行層と、
前記キャリア走行層上方のキャリア供給層と、
前記キャリア供給層上方のソース電極及びドレイン電極と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方のゲート電極と、
前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方の第１の絶縁膜及び第２の絶縁膜と、
を有し、
前記ゲート電極は、前記第２の絶縁膜上の部分を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の絶縁膜の側面を前記ドレイン電極側から覆い、
前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第１の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高いことを特徴とする化合物半導体装置。
【００５８】
（付記２）
前記第１の絶縁膜は第１の酸化アルミニウム膜であり、
前記第２の絶縁膜は第２の酸化アルミニウム膜であり、
前記第２の酸化アルミニウム膜中の酸素原子のうち、Ａｌ−Ｏ−Ａｌの結合状態を構成する酸素原子の数に対する水酸化アルミニウムに含まれる酸素原子の数の比率は、前記第１の酸化アルミニウム膜中の酸素原子のうち、Ａｌ−Ｏ−Ａｌの結合状態を構成する酸素原子の数に対する水酸化アルミニウムに含まれる酸素原子の数の比率よりも高いことを特徴とする付記１に記載の化合物半導体装置。
【００５９】
（付記３）
前記第２の絶縁膜の上面を覆い、かつ前記第２の絶縁膜の側面を前記ドレイン電極側から覆う第３の絶縁膜を有し、
前記第３の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高いことを特徴とする付記１又は２に記載の化合物半導体装置。
【００６０】
（付記４）
前記第１の絶縁膜及び前記第２の絶縁膜の上方に形成され、前記ゲート電極の前記第２の絶縁膜上の部分の下面と接する第４の絶縁膜を有し、
前記第４の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第１の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高く、前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高いことを特徴とする付記１乃至３のいずれか１項に記載の化合物半導体装置。
【００６１】
（付記５）
前記第４の絶縁膜は、窒化シリコン膜若しくは酸窒化シリコン膜又はこれらの両方を有することを特徴とする付記４に記載の化合物半導体装置。
【００６２】
（付記６）
付記１乃至５のいずれか１項に記載の化合物半導体装置を有することを特徴とする電源装置。
【００６３】
（付記７）
付記１乃至５のいずれか１項に記載の化合物半導体装置を有することを特徴とする増幅器。
【００６４】
（付記８）
キャリア走行層上方にキャリア供給層を形成する工程と、
前記キャリア供給層上方にソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方にゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極と前記ドレイン電極との間で前記キャリア供給層上方に第１の絶縁膜及び第２の絶縁膜を形成する工程と、
を有し、
前記ゲート電極は、前記第２の絶縁膜上の部分を有し、
前記第２の絶縁膜は、前記第１の絶縁膜の側面を前記ドレイン電極側から覆い、
前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第１の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高いことを特徴とする化合物半導体装置の製造方法。
【００６５】
（付記９）
前記第１の絶縁膜は第１の酸化アルミニウム膜であり、
前記第２の絶縁膜は第２の酸化アルミニウム膜であり、
前記第２の酸化アルミニウム膜中の酸素原子のうち、Ａｌ−Ｏ−Ａｌの結合状態を構成する酸素原子の数に対する水酸化アルミニウムに含まれる酸素原子の数の比率は、前記第１の酸化アルミニウム膜中の酸素原子のうち、Ａｌ−Ｏ−Ａｌの結合状態を構成する酸素原子の数に対する水酸化アルミニウムに含まれる酸素原子の数の比率よりも高いことを特徴とする付記８に記載の化合物半導体装置の製造方法。
【００６６】
（付記１０）
前記第２の絶縁膜の上面を覆い、かつ前記第２の絶縁膜の側面を前記ドレイン電極側から覆う第３の絶縁膜を有し、
前記第３の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高いことを特徴とする付記８又は９に記載の化合物半導体装置の製造方法。
【００６７】
（付記１１）
前記第１の絶縁膜及び前記第２の絶縁膜の上方に、前記ゲート電極の前記第２の絶縁膜上の部分の下面と接する第４の絶縁膜を形成する工程を有し、
前記第４の絶縁膜中の電子トラップの濃度は、前記第１の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高く、前記第２の絶縁膜中の電子トラップの濃度よりも高いことを特徴とする付記８乃至１０のいずれか１項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
【００６８】
（付記１２）
前記第４の絶縁膜は、窒化シリコン膜若しくは酸窒化シリコン膜又はこれらの両方を有することを特徴とする付記１１に記載の化合物半導体装置の製造方法。
【符号の説明】
【００６９】
１００、２００、３００：化合物半導体装置
１０１、２０１：キャリア走行層
１０２、２０２：キャリア供給層
１０３、２０３：ソース電極
１０４、２０４：ドレイン電極
１０５、２０５：ゲート電極
１０６、２０６：庇状の部分
１０７、２０７：第１の絶縁膜
１０８、２０８：第２の絶縁膜
１０９、２０９：第３の絶縁膜
２１０：第４の絶縁膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
2018010936.tif 000009
【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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