(57)【要約】      （修正有）【課題】電子機器、冷却手段を収納する冷却キャビネットの設置面積を最小限にする。【解決手段】電子機器４６を収容するキャビネット１０は、アクセス側部２３のアクセス開口（２４）とアクセス側部の対向側の第２の側部１７とを有するケーシング１２と、電子機器ラック４０ａ、４０ｂと、アクセス側部とラックとの間の第１のプレナム空間３５と、第２の側部及び第１のプレナム空間と流体連通状態にあるチャネル３６とを備える。キャビネットは、電子機器と熱連通状態にある第１の冷却媒体２７を囲む。冷却構成体２９が、第２の側部に設けられ、第１のプレナム空間から電子機器を横断して第２の側部に向かう第１の冷却媒体の流れΦｆを発生させるための流れ発生器３０と、第１の冷却媒体から熱を抽出するための熱交換器３１とを備える。第１の冷却媒体は、チャネルを通り第１のプレナム空間に再循環される。【選択図】図２
2018152580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）であって、
内部にアクセスするための開口（２４）を備えるアクセス側部（２３）と前記アクセス側部の対向側の第２の側部（１７）とを備えるケーシング（１２）と、
前記ケーシングの内部に前記電子機器（４６）を収容するための、及び前記アクセス側部との間に第１のプレナム空間（３５）を画定するように前記ケーシング内に位置決めされたラック（４０ａ）と、ここにおいて、前記キャビネット（１０）は、前記電子機器（４６）と熱連通状態にある第１の冷却媒体（２７）を囲むように構成される、
前記第１のプレナム空間（３５）から前記電子機器（４６）を横断して前記第２の側部（１７）に向かって前記第１の冷却媒体（２７）の流れ（Φｆ）を発生させるための流れ発生器（３０）と、
前記第１の冷却媒体（２７）から熱エネルギー（Ｑ）を抽出するための熱交換器（３１）と
を備え、
前記熱交換器（３１）及び前記流れ発生器（３０）は、前記ケーシング（１２）の前記第２の側部（１７）に又はその付近に設けられることと、前記ケーシングは、前記第２の側部（１７）から前記第１のプレナム空間（３５）に第１の冷却媒体（２７）を再循環させるために、前記ラックの側方壁部（４２）に沿って設けられ、前記第２の側部（１７）及び前記第１のプレナム空間（３５）と流体連通状態に設けられたチャネル（３６）を備えることとを特徴とする、キャビネット（１０）。
【請求項２】
前記ラック（４０）は、対向し合う側方ラック壁部（４２、４３）を備え、少なくとも１つの側方ラック壁部が、前記チャネル（３６）の垂直方向境界部を画定する実質的に閉鎖されたパネルを備える、請求項１に記載のキャビネット（１０）。
【請求項３】
前記側方ラック壁部（４２）は、前記チャネル（３６）の方を向いた外方壁部部分（８１）と、前記チャネル（３６）から離れる方向に向き凹状プロファイル（８４、８６、８８）を備える内方壁部部分とを備え、前記凹状プロファイルは、ヘッダ壁部部分（８４）と、前記ヘッダ壁部部分に対して平行であり同一平面をなし、前記内方壁部部分に棚（４４）を固定するための棚支持具（９０）を収容するように構成された凹状壁部部分（８８）とを備える、請求項２に記載のキャビネット（１０）。
【請求項４】
前記熱交換器（３１）及び前記流れ発生器（３０）は、前記ケーシング（１２）に対して別個に再位置決め可能であるクーラフレーム（２９）へと一体化される、請求項１〜３のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項５】
前記再位置決め可能なクーラフレーム（２９）は、前記ケーシング（１２）の前記第２の側部（１７）全体に実質的にわたって延在し、それにより前記第２の側部の上の開口を覆い、前記キャビネットの後方壁部（１８）を形成する、請求項４に記載のキャビネット（１０）。
【請求項６】
前記キャビネットは、前記キャビネットの内部に配置され前記ラック（４０ａ）から側方に離間されたさらなるラック（４０ｂ）を備え、それにより前記キャビネットの長手方向正中線に沿って前記ラックと前記さらなるラックとの間に前記チャネル（３６）を画定する、請求項１〜５のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項７】
前記キャビネットは、前記ケーシング（１２）の頂部壁部（２０）及び床部（２２）の内方表面同士の間に画定された内方高さ（Ｈｉ）を有し、前記チャネル（３６）は、前記内方高さ（Ｈｉ）に等しいチャネル高さ（Ｈｃ）を有する垂直方向間隙を画定する、請求項１〜６のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項８】
前記第１のプレナム空間内への前記第１の冷却媒体（２７）の再循環流（Φｆ）を調整するために、前記チャネル（３６）の前方孔（３７）に沿って前記第１のプレナム空間（３５）内に配置された流れ案内ビーム（２８）を備える、請求項１〜７のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項９】
前記流れ案内ビーム（２８）は、前記ケーシング（１２）の前記頂部壁部（２０）と前記床部（２２）との間に延在し、前記流れ案内ビームは、前記頂部壁部（２０）と前記床部（２２）との間に少なくとも１つのケーブル（６６ｃ）を収容する及び案内するための中空部材として形成される、請求項８に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１０】
前記第１の冷却媒体（２７）は、ガスであり、前記熱交換器（３１）は、流体を備える第２の冷却媒体（３３）に前記熱エネルギー（Ｑ）を伝達するように構成されたガス−流体間熱交換器である、請求項１〜９のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１１】
前記ガス−流体間熱交換器（３１）は、前記第２の側部（１７）の付近の前記キャビネット内に位置決めされ、それにより前記熱交換器と前記キャビネットの後方壁部（１８）との間に第２のプレナム空間（３９）を画定するチューブタイプ熱交換器であり、前記流れ発生器（３０）は、前記第２のプレナム空間内に設けられた少なくとも１つのファンを備える、請求項１０に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１２】
前記第１のプレナム空間（３５）は、垂直方向（Ｚ）に沿って前記電子機器（４６）用のケーブル布線を収容するために、前記ケーシング（１２）の側方壁部（１６）に垂直方向凹部（３８）を備える、請求項１〜１１のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の、電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）であって、
内部にアクセスするための開口（２４）を備えるアクセス側部（２３）と前記アクセス側部の対向側の第２の側部（１７）とを備えるケーシング（１２）と、
前記ケーシングの内部に前記電子機器（４６）を収容するための、及び前記アクセス側部との間に第１のプレナム空間（３５）を画定するように前記ケーシング内に位置決めされたラック（４０ａ）と
を備え、
前記第１のプレナム空間（３５）は、垂直方向（Ｚ）に沿って前記電子機器（４６）用のケーブル布線（６６ｃ）を収容するために前記ケーシング（１２）の側方壁部（１６）に垂直方向凹部（３８）を備える、キャビネット（１０）。
【請求項１４】
前記垂直方向凹部（３８）の側方壁部が、少なくとも１つのケーブル取付具を備える、請求項１２又は１３に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１５】
前記少なくとも１つのケーブル取付具は、所定の電子機器ユニット（４６）が前記キャビネット内に収容される高さの範囲にてケーブル布線（６６ｃ）が側方方向へと前記垂直方向凹部（３８）から分岐するのを可能にするために、前記所定の電子機器ユニット（４６）用のレベル範囲内又はその付近に設けられる、請求項１４に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１６】
前記キャビネットの下方外部に前記垂直方向凹部（３８）内に収容されたケーブル布線（６６ｃ）を案内するための床部孔（４５）を備える、請求項１２〜１５のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１７】
前記床部孔（４５）は、前記第１のプレナム空間（３５）の側方端部に設けられる、請求項１６に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１８】
前記垂直方向凹部（３８）から分岐する少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）を備え、前記少なくとも１つのケーブル導管は、前記ケーシング（１２）の外部の前記側方壁部（１６）上に取り付けられた導管によって形成される、請求項１２〜１７のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１９】
前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）は、前記側方壁部（１６）の内方壁部板と外方壁部板との間に備えられた屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部（６４）によって形成される、請求項１８に記載のキャビネット（１０）。
【請求項２０】
前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）は、好ましくは平滑曲線を有して湾曲状に形状設定される、請求項１９に記載のキャビネット（１０）。
【請求項２１】
前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）の前記屈曲上方壁部及び前記屈曲下方壁部（６４）は、垂直方向（Ｚ）へと終端する、請求項１９又は２０に記載のキャビネット（１０）。
【請求項２２】
前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）は、前記垂直方向（Ｚ）に下方に配向される、請求項２１に記載のキャビネット（１０）。
【請求項２３】
前記ケーシング（１２）内の温度（Ｔ）を測定し、前記温度を表す温度測定信号を生成するように構成された温度センサ（５２）と、前記ケーシング（１２）内の流体流（Φｆ）を局所的に測定し、前記流体流を表す流れ測定信号を生成するように構成された流れセンサ（５４）との少なくとも一方を備える、請求項１〜２２のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項２４】
真空チャンバ（４）と、
請求項１〜２３のいずれか一項に記載の電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）と
を備える、リソグラフィユニット（２）。
【請求項２５】
前記真空チャンバ（４）は、頂部側部（５）に及び長手方向（Ｘ）に沿ってリニア軸受部材（８）を備え、前記キャビネット（１０）は、前記真空チャンバの頂部側部上に位置決めされる、請求項２４に記載のリソグラフィユニット（２）。
【請求項２６】
前記真空チャンバ（４）は、前記キャビネット（１０）の内部の電子機器（４６）に接続された導管及び／又はケーブル（６６）を受ける及び通すためのアクセスポートを備えた界面壁部（６）を前記頂部側部（５）の凹状セクション（７）に備える、請求項２５に記載のリソグラフィユニット（２）。
【請求項２７】
前記界面壁部（６）は、前記真空チャンバ（４）の前記頂部側部（５）の全幅にわたって延在し、好ましくは前記垂直方向（Ｚ）に配向される、請求項２６に記載のリソグラフィユニット（２）。
【請求項２８】
前記凹状セクション（７）は、前記真空チャンバ（４）の後方側部にて凹状をなし、この後方凹状側部は、導管及び／又はケーブル（６６）を受ける及び通すためのさらなるアクセスポートを備えるさらなる界面壁部に設けられる、請求項２６又は２７に記載のリソグラフィユニット（２）。
【請求項２９】
請求項２４〜２８のいずれか一項に記載の少なくとも２つのリソグラフィユニット（２）を備え、前記リソグラフィユニットは、背面合わせに配置され、背面合わせに配置されたリソグラフィユニット（２）の各キャビネット（１０）の前記第２の側部（１７）同士は、相互に対面する、リソグラフィシステム（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器を収容するためのキャビネットと、電子機器を冷却するための電子機器キャビネットと、かかるキャビネットを備えるリソグラフィユニットと、リソグラフィシステムとに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器は、動作時にかなりの量の熱を発生し得る。熱発生率が、システムの放熱能力を超過する場合には、過剰な熱が、直ちに構成要素の故障及び／又はシステムの停止に繋がり得る。この場合には、機器の冷却が、機器の焼損を防止するために必要とされる。設備内の空間には限度があるため、電子機器は、典型的には列をなして横並びに配置されたラック内に積み重ねられる。かかるラックは、典型的には埃、湿気、及び他の環境影響から機器を保護するキャビネットによって囲まれる。残念ながら、このキャビネットの隔離効果もまた、囲まれた電子機器の許容され得る熱発生率を低下させる。したがって、既知の電子キャビネット構成では、閉ループ冷却システムが、動作時に電子構成要素を冷却するためにキャビネット内部に設けられる。この冷却システムでは、空気などの冷却媒体が、実質的に水平な面内で循環する閉ループ空気流中を内的に循環する。この既知のシステムは、空気を循環及び冷却するために側部装着ファン及び熱交換器構成を備える。ファンは、電子構成要素に沿った及び／又は電子構成要素を横断した循環空気流を発生させるために回転可能である。機器により発生された熱エネルギーの一部分が、通過する空気流に伝達される。この空気流は、熱の一部を吸収し、この熱を機器から移送するため、その結果として機器が冷却される。熱交換器は、熱エネルギーの一部が空気流から抽出されるのを可能にし、それによりキャビネットから過剰なエネルギーを抽出し、キャビネット内部の熱の蓄積とそれによる温度上昇とを回避する。第２の冷却流体（例えば高い熱容量を有する液体）が、熱交換器の内部に設けられた流体回路内で循環され、この第２の流体は、流動する空気と熱連通状態にある。空気と第２の冷却流体との間における熱エネルギーの伝達により、加熱された空気の冷却が引き起こされる。その後、結果的に加熱された第２の冷却流体は、熱交換器から排出され、キャビネットの外部の位置にて冷却される一方で、冷却された空気流は、電子機器へと再循環されて戻る。残念ながら、これらのキャビネットの横並び列構成は、比較的大きな外周を有する。
【発明の概要】
【０００３】
電子構成要素及び冷却手段の内部レイアウトが最小限のフットプリントを有する横並びキャビネット構成にとって最適化された冷却キャビネットを提供することが望ましい。  
したがって、第１の態様によれば、電子機器を収容するためのキャビネットが提供され、このキャビネットは、内部にアクセスするための開口を備えるアクセス側部とアクセス側部の対向側の第２の側部とを備えるケーシングと、ケーシングの内部に電子機器を収容するための、及びアクセス側部との間に第１のプレナム空間を画定するようにケーシング内に位置決めされたラックであって、キャビネットが電子機器と熱連通状態にある第１の冷却媒体を囲むように構成される、ラックと、第１のプレナム空間から電子機器を横断して第２の側部に向かって第１の冷却媒体の流れを発生させるための流れ発生器と、第１の冷却媒体から熱エネルギーを抽出するための熱交換器とを備え、熱交換器及び流れ発生器は、ケーシングの第２の側部に又はその付近に設けられ、ケーシングは、第２の側部から第１のプレナム空間に第１の冷却媒体を再循環させるために、ラックの側方壁部に沿って及び第２の側部及び第１のプレナム空間と流体連通状態に設けられたチャネルを備える。
【０００４】
本明細書で使用されることとなるいくつかの用語の定義を示すことが、本発明の理解に有用となろう。「電子機器」という用語は、１つ又は複数の熱を発生する構成要素を収容した任意の機器（例えばコンピュータシステム、電気光学システム、フォトニックシステム等）を指す。
【０００５】
本明細書では、「（電子機器）ラック」という用語は、任意のフレーム、シャシ、又は複数の電子機器ユニットを載置するための垂直方向支持部に取り付けられた棚の集合体を指す。電子機器の高さは、整数個のいわゆる「ラックユニット」の体をなすように規格化されている。ラックユニットは、「Ｕ」と略され、４４．４５ｍｍ（１．７５インチ）の値を有する。ケーシング内部のラックは、国際１９インチラック規格ＩＥＣ６０２９７−３−１００に準拠するように選択される。１９インチラックは、１９インチ（４８２．６ｍｍ）の全幅を有する前方パネルをそれぞれが有した電子機器ユニットを載置するための規格化されたフレーム又は筐体である。実施形態によれば、ケーシング内部のラックは、ケーシングの内部の全高に実質的に沿って延在し得る。
【０００６】
ラックの周囲の「ケーシング」又は筐体は、様々なサイズ及び形状のものであってもよい。「アクセス開口」（又は「前方開口」）は、キャビネットの内部に収容された電子機器への容易なアクセスを可能にする。ケーシングは、アクセス開口を閉鎖するための１つ又は複数のドアを備えてもよい。好ましくは、キャビネットの動作位置にてアクセス可能な単一アクセス開口が１つだけ存在する。
【０００７】
本明細書では、「熱交換器」又は「熱伝達デバイス」という用語は、少なくとも１つの冷却媒体（例えば流体）が化学反応することなく又は吸収されることなく熱交換器の表面に熱エネルギーを伝達することが可能となるように、この冷却媒体により横断されるように構成された熱交換器手段を指す。また、熱交換器は、少なくとも２つの冷却媒体（例えばガス及び流体）が物理的に分離された状態に留まり（すなわち混合せず）、その一方でそれらの媒体間で熱エネルギーの伝達を可能にするように、これらの冷却媒体に基づき動作するように構成されてもよい。熱交換器は、直列又は並列のいずれかで結合された１つ又は複数の熱交換器ユニットを備えてもよい。各熱交換器は、第１の冷却媒体用の第１の流れ経路と、第２の冷却媒体用の第２の流れ経路（第１の冷却媒体が透過できない壁部により画定された）とを備えてもよい。本明細書で説明される熱交換器の構成及び構造は、本発明の範囲から逸脱することなく変化し得る。本明細書では、熱交換器及び流れ発生器は、まとめて「冷却構成体」と呼ばれる。
【０００８】
本明細書では、「長手方向チャネル」又は「チャネル」という用語は、第１のプレナム空間とケーシングの第２の側部の冷却構成体との間に流体連結部をもたらす、ケーシングの内部の通路又は流体通路を指す。第１の冷却媒体は、電子機器を横断することも及び電子機器との熱エネルギーの交換を実質的に行うこともなく、ケーシングの第２の側部（後方側部）とアクセス側部（前方側部）との間において長手方向にこのチャネルを通り流れることが可能である。チャネルを通り第１のプレナム空間内に及び次いで電子機器を横断して流れ発生器及び熱交換器に向かって第１の冷却媒体の閉ループ水平方向循環流を誘発するための後方取付け流れ発生器／熱交換器アセンブリを特徴とする、提案される長手方向冷却構成体により、ケーシングの幅は最小限に抑えられ得る。さらに、キャビネット列を形成するように横並びに配置された複数のかかるキャビネットについては、隣接し合うキャビネットの熱交換器排出機構が、かなりの個数の導管及びコネクタを必要とせずにそれらの第２の側部に沿って（例えば第２の冷却媒体用のマニホルドに）容易に相互連結され得る。後方からアクセス可能である必要のないキャビネットについては、２つのかかるキャビネット列が、メンテナンス要件を増加させることなく最小限の外周を有するキャビネットブロックへと効率的に背面合わせに配置され得る。長手方向冷却構成体の別の利点は、キャビネットの高さが冷却構成体を組み込むために延長される必要がない点であり、これは、キャビネットと上方の構造体との間の空間が限定される（天井によって物理的に、又は照明、スプリンクラシステム等からの法的最小距離によってのいずれかにより限定される）場合には有利となる。したがって、本発明のこの態様によるキャビネットは、所与の個数のキャビネットに必要とされる外周又はフットプリントを縮小させる、ぴったりと詰め込まれた側方当接構成を可能にする。
【０００９】
一実施形態によれば、ラックは、対向し合う側方ラック壁部を備え、少なくとも１つの側方ラック壁部は、チャネルの垂直方向境界部を画定する実質的に閉鎖されたパネルを備える。  
閉鎖されたパネルは、さらなる構造要素を必要とせずにチャネルの境界壁部を画定し、チャネルを通り流れ戻る冷却された空気から、ラックの内部の電子機器を横断して流れる加熱された空気を分離した状態に保つ。対向し合う側方壁部は、好ましくはステンレス鋼、亜鉛メッキ鋼、及び粉体塗装鋼の中の１つである金属を備える単一材パネルシートによって形成され得る。
【００１０】
さらなる実施形態によれば、側方ラック壁部は、チャネルの方向に向いた外方壁部部分と、チャネルから離れる方向に向き凹状プロファイルを備える内方壁部部分とを備える。凹状プロファイルは、ヘッダ壁部部分と、ヘッダ壁部部分に対して平行であり同一平面をなし、内方壁部部分に棚を固定するための棚支持具を収容するように配置された凹状壁部部分とを備え得る。  
結果的に得られるラック壁部構成は、一方の壁部側に冷却流体チャネル境界を画定し、キャビネット全体により占められる所要側方空間を最小限に抑えつつ対向壁部側に機器（規格寸法を有する）を効率的に収容する。
【００１１】
好ましくは、熱交換器及び流れ発生器は、ケーシングの第２の側部全体に実質的にわたって延在する。この構成により、例えば第２の側部上の開口を覆いキャビネットの後方壁部にわたり広がるクーラフレームを使用することなどにより、ケーシングの第２の側部の内部又は上にぴったりと取付け可能である別個の冷却及び流れ発生モジュールの構造が可能となる。かかるモジュール式構造は、メンテナンス要件を減少させる。第２の側部にわたり完全に延在する熱交換器及び流れ発生器は、達成可能な冷却及び流量を最大化し、比較的均一な冷却された空気流の分布を発生させることを可能にする。
【００１２】
いくつかの実施形態では、チャネルは、チャネル高さを有する垂直方向間隙を画定し、垂直方向間隙は、キャビネットの第２の側部からアクセス側部のプレナム空間まで延在する。かかる垂直方向及び長手方向チャネルにより、第１の冷却媒体の閉ループ水平方向循環流は、わずかにのみ変化し得る、すなわち垂直方向に沿って比較的均一に留まる。
【００１３】
さらなる一実施形態では、キャビネットは、上方壁部及び床部の内方表面同士の間に垂直方向に沿って画定された内方高さを有し、チャネル高さは、ケーシングの内方高さと等しい。さらなる一実施形態では、第１のプレナム空間は、キャビネットの内方高さに等しいプレナム高さを有する。好ましくは、内方ケーシング高さ、プレナム高さ、及びチャネル高さは、全て均一である。
【００１４】
一実施形態によれば、キャビネットは、キャビネットの内部に配置されラックから側方に離間されたさらなるラックを備え、それによりキャビネットの長手方向正中線に沿ってラックとさらなるラックとの間にチャネルを画定する。好ましくは、ラック及びさらなるラックの隣接し合う側方壁部は、チャネルの垂直方向境界部及び長手方向境界部を画定する閉鎖されたパネルを備える。
【００１５】
一実施形態によれば、キャビネットは、第１のプレナム空間内に第１の冷却媒体の再循環流を案内するために、チャネルの前方孔に沿って第１のプレナム空間内に配置された流れ案内ビームを備える。
【００１６】
また、流れ案内ビームは、電子機器用の電力ケーブル及び／又は信号ケーブル布線を収容し得る。空気流を案内する機能と機器上の各接続ソケットにケーブルを引く機能とを組み合わせることにより、ケーシング内の使用可能な空間が最適に使用される。この流れ案内ビームは、対応する機器位置に必要とされるケーブルを送り、この位置において、ケーブルはビームから出て、電子機器の前方側部に接続される。キャビネットの前部に機器用のケーブルとコネクタとを配置することにより、（例えばメンテナンス時に）キャビネットの第２の側部から機器にアクセスする必要性が回避されるか、又は少なくとも軽減される。案内ビームは、各電子機器にケーブルを案内する機能と、第１のプレナム空間に進入する空気流の乱流を軽減する機能との２つを効率的に一体化する。
【００１７】
一実施形態によれば、第１の冷却媒体は、ガスであり、熱交換器は、流体を備える第２の冷却媒体に熱エネルギーを伝達するように構成されたガス−流体間熱交換器である。好ましくは、ガスは空気であり、第２の冷却媒体は水である。
【００１８】
一実施形態によれば、ガス−流体間熱交換器は、キャビネットの外部に第２の冷却媒体を搬送するための流体導管に結合される。
【００１９】
後方側部に設けられた熱交換器をそれぞれが有する複数のキャビネットについては、緊密に詰め込まれた横並び配置により、冷却流体回路マニホルドへの熱交換器の効率的な連結が可能となる。好ましくは、流体回路は、冷却剤及び水の一方を循環させる。
【００２０】
一実施形態によれば、ガス−流体間熱交換器は、熱交換器とキャビネットの後方壁部との間に第２のプレナム空間を画定するように第２の側部の付近のキャビネット内に位置決めされたチューブタイプ熱交換器であり、流れ発生器は、第２のプレナム空間内に設けられた少なくとも１つのファンを備える。  
代替的には又は追加的には、熱交換器は、例えばペルチエ素子などの熱電デバイスを備えてもよい。
【００２１】
一実施形態によれば、第１のプレナム空間は、垂直方向に沿って電子機器用のケーブル布線を収容するための垂直方向凹部をケーシングの側方壁部に備える。  
側方垂直方向凹部は、ケーシング内の流体流を妨害することなく、及び特に第１のプレナム空間内の空気流に乱流を誘発することなく、対応する機器に必要とされる電力ケーブル及び／又は信号ケーブルを送る。各機器位置にて、ケーブルは、対応する電子機器ユニットの前方側部に連結されることとなる垂直方向凹部から出る。キャビネットの前部に機器用のケーブル及び接続部を配置することによって、（例えばメンテナンス時に）キャビネットの第２の側部から機器にアクセスする必要性が回避されるか、又は少なくとも軽減される。
【００２２】
一実施形態によれば、垂直方向凹部は、側方壁部の付近に第１のプレナム空間の側方部分を形成する直方体空部を画定する。  
一実施形態によれば、垂直方向凹部は、側方壁部全体に実質的に沿って垂直方向に延在し、前方プレナム空間のプレナム高さと実質的に等しい高さを有する。  
さらなる一実施形態によれば、キャビネットは、垂直方向凹部から分岐した少なくとも１つのケーブル導管を備え、少なくとも１つのケーブル導管は、ケーシングの外部の側方壁部上に取り付けられた導管によって形成される。
【００２３】
この構成により、ケーブルの所望の機能群又は部分が、ケーシングの外部の所定位置に向かって案内されることが可能となり、床部孔に対して変位される。垂直方向凹部から分岐するケーブル導管を有する少なくとも１つの垂直方向凹部は、他の構造体の頂部上及び／又は下方に積み重ね可能なキャビネット用の効率的な前方ケーブル装着／側方ケーブル分配構成をもたらす。説明されたケーブル装着／分配構成では、ケーブルは、ケーシングの内容物から電磁的に遮蔽され空間的に分離された状態に保たれ得る。この装着／分配構成により、例えばメンテナンス時にキャビネットの第２の側部すなわち後方側部から機器にアクセスする必要性が一般的に低下するか、又はさらには解消される。
【００２４】
さらなる一実施形態によれば、少なくとも１つのケーブル導管は、好ましくは平滑曲線を有して湾曲状に形状設定される。  
平滑軌道により、ケーブルは、一方の導管端部にて挿入され、ケーブル導管を通して徐々に搬送され、妨害されることなく他方の導管端部にて退出することが可能となる。
【００２５】
さらなる実施形態によれば、少なくとも１つのケーブル導管は、垂直方向に下方に配向される。  
さらなる実施形態によれば、少なくとも１つのケーブル導管は、側方壁部の内方壁部板と外方壁部板との間に備えられた屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部によって形成される。  
さらなる一実施形態によれば、少なくとも１つのケーブル導管の屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部は、垂直方向へと終端する。
【００２６】
一実施形態によれば、垂直方向凹部の側方壁部は、少なくとも１つのケーブル取付具を備える。好ましくは、少なくとも１つのケーブル取付具は、電子機器ユニットがキャビネット内に収容される高さ範囲にてケーブル布線が側方方向へと垂直方向凹部から分岐するのを可能にするために、所定の電子機器ユニットの高さ範囲に又はその付近に設けられる。
【００２７】
さらなる一実施形態によれば、キャビネットは、キャビネットの下方外部に垂直方向凹部内に収容されたケーブル布線を案内するための床部孔を備える。好ましくは、床部孔は、第１のプレナム空間の側方端部に設けられる。  
一実施形態によれば、キャビネットは、キャビネットの床部に沿って長手方向に配置されたレール及びリニア軸受の少なくとも一方を備える。  
キャビネットの床部にレール及び／又は軸受を設けることにより、キャビネットは、設置とメンテナンスとを容易にするように下方ユニット（例えばリソグラフィシステムの真空ユニット）上に容易に位置決めされ得る及び下方ユニットから容易に除去され得る。
【００２８】
さらに、熱交換器及び流れ発生器は、下方フレーム側部に沿って長手方向に配置されたリニア軸受をやはり備えるクーラフレームへと組み合わされ得る。したがって、このクーラフレームは、下方ユニットからクーラフレームを取り外す必要性を伴わずにキャビネットの設置とメンテナンスとを容易にするように、下方ユニット上に個別に位置決めされ得る及び下方ユニットから個別に取り外され得る。
【００２９】
一実施形態によれば、キャビネットは、ケーシング内の温度を測定し、温度を表す温度測定信号を生成するように構成された温度センサを備える。  
代替的には又は追加的には、キャビネットは、ケーシング内の流体流を局所的に測定し、流体流を表す流れ測定信号を生成するように構成された流れセンサを備え得る。
【００３０】
キャビネットは、流れ発生器の発生量（例えばファン回転速度）を制御するための制御ユニットをさらに備え得る。温度センサにより生成される温度測定信号もしくは流れセンサにより生成される流れ測定信号のいずれか、又はそれらの両方に基づき、流れ発生器の発生量（例えばファンの回転速度）は、ケーシング内の第１の冷却媒体（例えば空気）の循環を制御するために調節され得る。温度上昇及び／又は流れ減少の測定値により、制御ユニットは、ケーシング内の流れ発生器の発生量の補償調節を開始させ得る。ケーシングの内部の温度又は流体流が、所定の臨界温度しきい値を上回って又は所定の臨界流体流しきい値を下回ってそれぞれ上昇する場合には、次いで制御ユニットは、オペレータに警告し得る臨界インジケータ信号を発生し得る。臨界インジケータ信号は、例えば音声アラーム、ケーシングの前方パネル上の視覚的示唆であってもよく、又はリソグラフィユニットの自動停止処置を誘発してもよい。
【００３１】
第２の態様によれば、ならびに本明細書で上述される利点及び効果によれば、真空チャンバと、第１の態様の実施形態による電子機器を収容するためのキャビネットとを備えるリソグラフィユニットが提供される。好ましくは、キャビネットは、真空チャンバの頂部側部上に位置決めされる。例えば、キャビネットは、真空チャンバの頂部上に固定され得る又は可動的に位置決めされ得る。  
キャビネットが真空チャンバの頂部側部上に位置決めされる一実施形態によれば、真空チャンバは、長手方向に沿ってリニア軸受部材又はトラックを頂部側部に備える。
【００３２】
第３の態様によれば、本発明の第２の態様による少なくとも２つのリソグラフィユニットを備えるリソグラフィシステムが提供される。このリソグラフィユニットは、背面合わせで配置され、背面合わせ配置されたリソグラフィユニットの各キャビネットの第２の側部同士が、相互に対面する。
【００３３】
第４の態様によれば、電子機器を冷却するための方法が提供される。この方法は、電子機器と熱連通状態にあるガス状の第１の冷却媒体を囲むキャビネットの内部に収容されたラック内に電子機器を設けることと、キャビネットのアクセス側部から電子機器を横断して第１の冷却媒体を循環させ、それにより電子機器から第１の冷却媒体に熱エネルギーを伝達することと、キャビネットの第２の側部に設けられた熱交換器を用いて第１の冷却媒体を冷却し、それにより第１の冷却媒体から熱交換器及びキャビネットの外部に熱エネルギーを伝達することと、第２の側部からラックとアクセス側部との間に設けられた第１のプレナム空間にキャビネットの内部のチャネルを経由して冷却された第１の冷却媒体を再循環させ、それによりアクセス側部に冷却された第１の冷却媒体を供給することとを備える。
【００３４】
一実施形態によれば、熱交換器は、第２の冷却媒体を備え、熱交換器を用いた第１の冷却媒体の冷却動作は、第１の冷却媒体から第２の冷却媒体に熱エネルギーを伝達することと、熱交換器及びキャビネットの外部に第２の冷却媒体を搬送することとを備える。
【００３５】
別の出願の対象となり得る一態様によれば、電子機器を収容するためのキャビネットが提供される。このキャビネットは、内部にアクセスするための開口を備えるアクセス側部とアクセス側部の対向側の第２の側部とを備えるケーシングと、ケーシングの内部に電子機器を収容するために、及びアクセス側部とラックとの間に第１のプレナム空間を画定するようにケーシング内に位置決めされたラックとを備え、第１のプレナム空間は、垂直方向に沿って電子機器用のケーブル布線を収容するための垂直方向凹部をケーシングの側方壁部に備える。  
この態様の実施形態は、本明細書で以下に示される一連の項によってさらに定義される。  
以下、添付の概略図を参照として、実施形態をもっぱら例として説明する。これらの図面では、対応する参照符号は、対応するパーツを示す。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】一実施形態によるリソグラフィシステムの概略斜視図。
【図２】一実施形態によるキャビネットの上方断面図。
【図３】一実施形態によるキャビネットの正面図。
【図４ａ】一実施形態によるキャビネットのクーラフレームの斜視図。
【図４ｂ】一実施形態によるキャビネットのクーラフレームの斜視図。
【図５ａ】一実施形態による複合リソグラフィシステム又はクラスタの概略上面図。
【図５ｂ】一実施形態による複合リソグラフィシステム又はクラスタの概略側方断面図。
【図６】代替的な一実施形態によるキャビネットの概略斜視図。
【図７】さらに別の実施形態によるキャビネットの概略斜視図。
【図８】別の実施形態によるキャビネットの前方斜視図。
【図９】図８に示す実施形態によるキャビネットの部分前方斜視図。
【図１０ａ】１９インチ規格に準拠した先行技術の機器ラックの上方断面図。
【図１０ｂ】本発明の一実施形態による機器ラックの上方断面図。
【図１１】一実施形態によるキャビネットの流れ案内ビームの前方斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
図面は、もっぱら例示を目的として意図されたものであり、特許請求の範囲により規定されるような範囲又は保護を制限する役割を果たすものではない。  
図１は、当接するように横並びに配置された２つのリソグラフィユニット２ａ、２ｂ（参照番号２で全体的に示される）の直列構成の斜視図を概略的に示す。
【００３８】
図面では、様々な方向が、記載される物体の位置、配向、及び動作を規定するために示される。図面に示される例示の実施形態では、Ｘは、長手方向を示すために使用される。修飾語の「前方の」及び「後方の」は、この長手方向Ｘに関係する。さらに、Ｙは、Ｘに対して垂直である横方向を示すために使用される。例示のリソグラフィユニット２及びキャビネット１０の使用時に、長手方向Ｘ及び横方向Ｙは、水平に対して好ましくは実質的に平行である平面に広がる。Ｚは、Ｘ及びＹに対して垂直である垂直方向を示すために使用される。修飾語の「上方の」及び「下方の」は、垂直方向Ｚに関する。本明細書で論じられる本発明のコンセプトは、これらの方向定義及び好ましい配向に限定されないものと理解される。
【００３９】
各リソグラフィユニット２は、下方側の真空チャンバ４ａ、４ｂ（参照番号４で全体的に示される）と、各真空チャンバ４の上方に位置決めされたキャビネット１０ａ、１０ｂ（参照番号１０で全体的に示される）とを備える。線形軸受部材すなわちレール８が、各真空チャンバ４の頂部に設けられ、真空チャンバ４の頂部上の対応するキャビネット１０の位置決めを容易にするための、又はサービス位置（図１で前方に変位されたキャビネット１０ｂにより示されるような）へとキャビネット１０を移動させるための案内機構を形成する。各キャビネット１０は、閉鎖可能ケーシングすなわち筐体１２を備え、この閉鎖可能ケーシングすなわち筐体１２は、内部を画定し、一対の側方に離間されたラックすなわちフレーム４０ａ、４０ｂ（参照番号４０で全体的に示される）を収容する。各ラック４０は、電子機器４６を収容するための複数の棚４４ａ〜４４ｄ（参照番号４４で全体的に示される）を担持する。したがって、電子機器４６は、キャビネット１０内に収容され得る。各キャビネット１０は、キャビネット１０の第２の側部すなわち後方側部の領域に空気循環器３０と熱交換器構成体３１とを備える空気−流体冷却機構を備える。熱交換器３１及び流れ発生器３０は、後方側部すなわち第２の側部１７の全体にわたり延在し、後方側部１７に位置決めされた別個のクーラフレーム２９ａ、２９ｂ（２９で全体的に示される）内に取り付けられる。ケーシング１２及びクーラフレーム２９は、レール８の上に個別に取付け可能であり、レール８に沿って再位置決め可能である。結果的に得られるモジュール式構成は、個々の構成要素のアクセス性を向上させ、サービス要件を低下させる。
キャビネット
図２及び図３は、一実施形態によるキャビネット１０の上方断面図及び正面図を概略的に示す。キャビネット１０は、電子機器４６を収容するためのケーシング１２を備える。図２及び図３に示されるように、キャビネット１０は、アクセス側部すなわち前方側部２３と、後方壁部１８と、第１の側方壁部１６ａと、第１の側方壁部１６ａの対向側の第２の側方壁部１６ｂと、頂部壁部２０と、床部２２とを有する。ケーシング１２の前方側部すなわちアクセス側部２３は、開口２４を画定し、この開口２４は、キャビネット１０の内部へのアクセスを与え、封止的に開口２４を覆うための２つのドア２６ａ、２６ｂを備える。キャビネット１０の壁部１６〜２２及びドア２６は、固体パネルにより形成され、この固体パネルは、環境からの空気がキャビネット１０に進入するのを防止する。直列の側方に離間されたラック４０ａ、４０ｂが、キャビネット１０の内部に設けられる。各ラック４０は、キャビネット１０の使用時に全ての種類の電子機器４６ａ、４６ｂを格納する棚４４を備える。各ラック４０は、各ラック４０の側方側部に設けられ長手方向Ｘ及び垂直方向Ｚに延在するラック壁部４２ａ、４２ｂを有する。棚４４は、ラック壁部４２間に水平方向に懸架され、任意の所望の配置へと垂直方向に再位置決めされ得るため、様々な高さの電子機器４６が、任意の所望の配置でケーシング内部に設置され得る。電子機器４６は、電荷キャリアの運動を伴った動作を行う電子構成要素４７を備える。電子構成要素４７は、熱を発生し、典型的には構成要素及びシステムの故障を防止するための冷却を必要とする。電子構成要素４７は、任意の個数の電源、集積回路、メモリモジュール、磁気記憶媒体、光記憶媒体、もしくは固体記憶媒体、オーディオハードウェア、及び／又はビデオハードウェアを備え得るが、それらに限定されない。ラック４０は、例えば、典型的には１つ又は複数のプロセッサと、メモリモジュールと、データ記憶手段と、ネットワークコントローラとを備えるサーバを支持し得る。
【００４０】
ケーシング壁部１６〜２２及びドア２６は、ケーシング１２を実質的に気密に保つために配置される。各ラック４０は、長手方向Ｘに沿って見た場合にラック４０の前方側部及び後方側部に付随する前方入口４８及び後方出口５０を棚４４同士の間に画定する。これらの前方入口４８及び後方出口５０は、初めに開いているが、様々な電子デバイス４６を格納した後には実質的に閉じられた状態になる。各電子デバイス４６は、内部電子構成要素４７を冷却するために必要とされる空気２７を引き込む及び押し出すために、固有の空気供給／排出開口（図３において参照番号５１により示される）を備えてもよい。電子デバイス４６を格納しない棚４４はいずれも、ラック４０の内部の長手方向部分通路を遮断し、空気２７がかかる通路を通り流れるのを回避するために、ブラインドパネル（図３の参照番号４９）で前方ラック側部及び／又は後方ラック側部を覆われてもよい。
【００４１】
空気孔３２を備える２つの熱交換器３１は、キャビネット１０の後方側部１７にて空気流Φｆ内に位置決めされ、後方出口５０から空気孔３２内へと出る流動空気２７から熱エネルギーすなわち熱Ｑを吸収し及びしたがって除去する役割を果たす。熱交換器３１は、比較的均一に分布された高い冷却率を可能にする広い熱交換器面積を実現するために、ケーシング１２の後方側部１７のほぼ全体にわたって延在する。各熱交換器３１は、側方方向Ｙに沿って流体導管すなわちチューブ３４の線形グリッドを形成し、これらの流体導管すなわちチューブ３４は、隣接するチューブ３４の各対の間に空気孔３２を画定する。流体導管３４の内部を流れる第２の冷却流体３３は、水を備え、熱交換器３１は、空気−水間タイプの熱交換器である。熱交換器３１は、閉ループ流体回路（図示せず）に結合される。チューブタイプ熱交換器３１は、ケーシング１２の後方側部１７に対接して位置決めされた冷却フレーム２９の内部に取り付けられる。冷却フレーム２９の背部は、キャビネット１０の後方壁部１８を画定する。第２のプレナム空間（すなわち「後方プレナム空間」）３９は、熱交換器３１と後方壁部１８との間に画定される。第２のプレナム空間３９は、チャネル３６に向かって空気流Φｆを案内するための通風筒構造体を備え得る。
【００４２】
複数のファン３０が、冷却フレーム２９の後方プレナム空間３９の内部に及び後方壁部１８の付近に設けられる。ファン３０は、空気２７がラック４０内の１つ又は複数の電子構成要素４７中にわたって循環するように、ケーシング１２の内部に空気２７の流れΦｆを発生させるために構成される。ファン３０は、熱交換器ユニット３１の空気孔３２及びチューブ３４の背後に位置決めされる。第２のプレナム空間３９は、空気孔３２から各ファン３０の効果的な流れ発生領域内に空気流を案内する通風筒構造体を備え得るか、又は通風筒構造体によって画定され得る。
【００４３】
長手方向空気戻りチャネル３６が、（この例示の実施形態においては）第１のラック４０ａの第２のラック壁部４２ａと第２のラック４０ｂの付近の第１のラック壁部４２ｂとの間の空間によって形成される。ラック壁部４２ａ、４２ｂは、長手方向Ｘ及び垂直方向Ｚに沿ってチャネル３６の境界部を画定する実質的に閉鎖されたパネルによって形成される。
【００４４】
図２及び図３の実施形態では、チャネル３６は、矩形の水平方向断面を有する間隙を画定し、この間隙は、第２のプレナム空間３９から第１のプレナム空間３５に向かって長手方向Ｘに延在する。またこの間隙３６は、頂部壁部２０及び床部２２の内方表面同士の間に画定されるケーシング１２の内方高さＨｉと実質的に等しいチャネル高さＨｃを画定する矩形の垂直方向断面を有する。第１のプレナム空間３５は、キャビネット１２の内方高さＨｉとやはり等しいプレナム高さＨｐを有する。
【００４５】
流れ案内ビーム２８が、前方ドア２６の付近の第１のプレナム空間（すなわち前方プレナム空間）３５の中心に設けられ、床部２２の内方表面同士の間に垂直方向Ｚにおいて頂部側部２０へと延在する。流れ案内ビーム２８は、電子機器４６用の電力／信号ケーブル布線６６ｂを収容するための内方空間を有する。流れ案内ビーム２８は、対応する機器位置に必要とされるケーブル６６ｂを送り、これらの位置で、ケーブルはビーム２８から出て電子機器４６の選択された前方側部に接続される。したがって、ビーム２８は、空気流Φｆを案内する機能と、機器４６上の各接続ソケットにケーブル６６ｂを引く機能とを効率的に組み合わせる。
【００４６】
前方プレナム空間３５は、垂直方向Ｚに沿って電子機器４６用のさらなるケーブル布線６６ｃを収容するためにケーシング１２の側方壁部１６ｂに垂直方向凹部３８を備える。図１〜図３に示されるように、垂直方向凹部３８は、側方壁部１６ｂの付近に前方プレナム空間３５の側方部分を形成する直方体空部を画定する。垂直方向凹部３８は、ケーシング１２の側方壁部１６ｂの実質的に全体に沿って垂直方向に延在し、前方プレナム空間３５のプレナム高さＨｐと実質的に等しい高さを有する。この垂直方向凹部３８の上方凹部壁部及び下方凹部壁部ならびに前方凹部壁部及び後方凹部壁部６８は、前方プレナム空間３５の突出部に位置する一方で、側方凹部壁部が、その前方壁部と後方壁部との間で空間を閉鎖する。側方垂直方向凹部３８は、ケーシング１２の内部の空気流Φｆを妨げることなく、及び特に前方プレナム空間３５内の空気流Φｆに乱流を誘発することなく、対応する機器４６に及び対応する機器４６から信号及び／又は電力ケーブル６６ｃを送ることを可能にする。各機器位置で、ケーブル６６ｃは、対応する電子機器ユニット４６の前方側部との接続部を形成するために垂直方向凹部３８から出る。キャビネット１０の前方に機器４６用のケーブル６６ｂ、６６ｃ及び接続部を配置することにより、（例えばメンテナンス時に）キャビネット１０の後方側部１７から機器４６にアクセスする必要性が不要となる。好ましくはキャビネット１０の一方の側方側部にのみ備えられるが、キャビネット１０の各側方側部に備えられてもよい凹部３８は、ケーブル固定手段を備える。
【００４７】
凹部３８の底部付近に、キャビネット１０は、キャビネット１０から外にケーブル布線６６ｃを案内するための床部孔４５を床部２２に備える。これらにより、ケーブル６６ｃ等は、例えばキャビネット１０の後方側部にケーブル６６ｃを送るためになど様々な用途において望ましいものとなり得るように、キャビネット１０の下方に案内され得る。床部孔４５は、前方プレナム３５の側方側部にのみ備えられ、それによりキャビネット１０内の最下機器４６への又は最下機器４６のための完全なアクセス自由度を維持する。キャビネット１０がリソグラフィシステムの一部を形成する（例えば図５ａ及び図５ｂを参照として説明される）場合には、ケーブル６６ｃは、リソグラフィ真空チャンバの関連するアクセスポートに分岐するように、側方内方向にキャビネット１０の下方に及びキャビネット１０に対接して案内され得る。
【００４８】
複数の湾曲ケーブル導管又は溝５８、５９が、様々な高さにて垂直方向凹部３８から分岐する。図１の実施形態では、各湾曲ケーブル導管５８、５９は、ケーシング１２の外部で側方壁部１６ｂに取り付けられた金属プレートによって形成され、それにより矩形断面を有する湾曲チャネルを画定する。湾曲ケーブル導管５８、５９により、ケーブル６６ｃの所望の部分が、ケーシング１０の下方及び外部の位置に案内され得ることになり、長手方向Ｘに沿って床部孔４５に対して変位される。垂直方向凹部３８及び湾曲ケーブル導管５８、５９は、ケーブル６６ｃが例えば図１に示される対応するリソグラフィユニット２ａ〜２ｂ内の真空チャンバ４などの様々な位置にて接続されるように意図される下方構造体の頂部に取付け可能であるキャビネット１０用の効率的なケーブル分配構成体を形成する。
【００４９】
図１のリソグラフィユニット２ａ、２ｂ内の各真空チャンバ４ａ、４ｂは、境界壁部６を備える凹状セクション７を頂部側部５に備える。境界壁部６は、対応するキャビネット１０ａ、１０ｂの内部の電子機器４６に接続されるケーブル６６ａ〜６６ｃの一部分を通過させるためのケーブルポート（図示せず）を備える。ケーブルポートは、環境から対応する真空チャンバ４ａ、４ｂの内部を封止するためのケーブル囲みシール（図示せず）を備え、それによりチャンバ４ａ、４ｂの内部の真空が維持され得る。
【００５０】
リソグラフィユニット２ｂは、対応する真空チャンバ４ｂの側方側部によって画定され、湾曲ケーブル導管５８、５９から出るケーブル６６ｃの一部分を収容する及び真空チャンバ４ｂの下方部分にケーブル６６ｃの一部分を案内するように構成された、ダクト９を備える。真空チャンバ４ｂは、真空チャンバ４ｂの下方部分内にケーブル６６ｃの一部分を案内するために、真空チャンバ４ｂの下方側方側部及び／又は床部側部にさらなるケーブル囲みシール（図示せず）を有するさらなるケーブルポートを備えてもよい。
【００５１】
リソグラフィユニット２ａは、同様のダクト９及び対応するケーブルポートを備えてもよい。ケーブル導管、ダクト、及びポートの説明される配置は、キャビネット１０ａ、１０ｂから起始する様々なケーブル６６を分離させるための、及び対応する真空チャンバ４ａ、４ｂの内部に設けられた別個のリソグラフィモジュール及びデバイスの方にこれらのケーブル６６を案内するための効率的な手段を提供する。このケーブル分離は、様々なリソグラフィモジュール及びデバイスが真空チャンバ４ａ、４ｂの内部に重要な空間を有して配置される場合に、様々なモジュール及びデバイスが相互に対して可動的に位置決めされケーブル６６を介したモジュール間の機械的結合が回避される必要がある場合に、及び／又は真空チャンバ４ａ、４ｂの内部のケーブル部分が真空ポンプ作動時に必要とされるケーブルのガス除去の観点から可能な限り短いことが必要となる場合に、特に望ましいものとなり得る。
【００５２】
図２に示されるキャビネット１０は、温度センサ５２を備え、この温度センサ５２は、ケーシング１２内の温度Ｔを測定するように、及び温度Ｔを示す温度測定信号を発生させるように構成される。温度測定信号に基づき、ケーシング１２内の温度が上昇した場合にオペレータに警告する高温示唆が与えられ得る。この高温示唆は、例えば音声アラーム、又はケーシング１２の前方パネル上での視覚的示唆の形態をとり得る。さらに、図２に示されるキャビネット１０は、空気流センサ５４を備え、この空気流センサ５４は、ケーシング１２内の空気流Φｆ（チャネル３６内に示される）を局所的に測定するように、及び空気流Φｆを示す流れ測定信号を発生させるように構成される。温度センサ５２及び流れセンサ５４は、制御ユニットＣＵと信号接続状態にある。さらに、制御ユニットＣＵは、ファン３０と信号接続状態にあり、ファン回転速度を制御するように構成される。温度測定信号もしくは流れ測定信号のいずれか（又は両方）に基づき、ファン回転速度は、ケーシング１２の内部の空気流Φｆの量を調節するように調節され得る。
クーラフレーム
図４ａ及び図４ｂは、図１〜図３を参照として説明されるデュアルラック実施形態に類似の一実施形態によるキャビネット１０のモジュール式クーラフレーム２９の後方斜視図を示す。流れ発生器及び熱交換器は、クーラフレーム２９と一体化され、このクーラフレーム２９は、キャビネットケーシング１２に対して個別に再位置決め可能である。再位置決め可能クーラフレーム２９は、後方側部１７を覆いキャビネットの後方壁部１８を形成するためにケーシング１２の後方側部１７全体に実質的にわたって延在する（例えば図２を参照）。
【００５３】
クーラフレーム２９は、流れ発生器３０の垂直方向ファン取付けパネル５３ａ、５３ｂにより画定される後方プレナム空間３９を露出させるために、後方壁部１８が除去された状態で図示される。垂直方向ファン取付けパネル５３ａ、５３ｂは、均等個数のガス循環ファン３０ａ〜３０ｄを取り付けるように構成された４つのファン取付け領域７７ａ〜７７ｄを備える。垂直方向Ｚに細長矩形形状を有するクーラフレームチャネル孔４１が、垂直方向ファン取付けパネル５３ａ、５３ｂとファン取付け領域７７ａ〜７７ｄとの間に側方に設けられる。図４ａ〜図４ｂの実施形態においては、ファン３０ａ〜３０ｄは、遠心ファンであり、これらはそれぞれ、径方向及び角度方向に湾曲した羽根を有する羽根車を備える。各羽根車の羽根は、中心シャフトを中心として各ファン取付けパネル５３ａ〜５３ｂに対して回転可能であり、各取付け領域７７ａ〜７７ｄに固定された電気モータにより駆動される。ガス孔３２ａ、３２ｂを有する熱交換器３１及び流体導管３４は、正の長手方向＋Ｘに向くファン取付けパネル５３ａ、５３ｂの側に設けられる（図４ａ〜図４ｂでは見えない）。ファン取付け領域７７ａ〜７７ｄは、遠心ファン３０ａ〜３０ｄが軸方向にガス孔３２ａ、３２ｂを通り、流体導管３４に沿って、及び流体搬送孔を通りファン取付けパネル５３ａ、５３ｂを越えてガス（第１の冷却媒体）２７を搬送するのを可能にする適切な形状の流体搬送孔を備える。次いで、各遠心ファン３０ａ〜３０ｄの回転する羽根は、主に径方向に沿って後方プレナム空間３９内にガス２７を放出し得る。後方プレナム３９内におけるガス２７の圧力上昇により、ガス２７は、クーラフレームチャネル孔４１を通りチャネル３６内に放出される。流体導管３４は、流体供給導管７８及び流体排出導管７９に連結される。流体供給導管７８及び流体排出導管７９は、第２の冷却媒体３３のための遠隔供給／排出及びポンプ送給機構（例えば冷却マニホルド）に連結可能であり得ると共に、この遠隔供給／排出及びポンプ送給機構により、第２の冷却媒体３３は、流体導管３４に供給され、流体導管３４を通り循環され、その後流体導管３４から排出され得る。
【００５４】
クーラフレーム２９は、例えばレール８によりキャビネットケーシング１２に対して再位置決め可能に取り付けられる。正の長手方向＋Ｘに向くクーラフレーム２９の側部は、ガス孔３２ａ、３２ｂがラック４０ａ、４０ｂの対応する後方側部に対接して位置決めされ、クーラフレームチャネル孔４１の外周部がチャネル３６を画定する対応する側方ラック壁部４２ａ、４２ｂに対接して位置決めされた状態で、ケーシング１２の後方側部１７に対接して位置決めされるように構成される。封止部材（１００、視認できない）が、クーラフレームチャネル孔４１、ガス孔３２ａ、３２ｂ、及びケーシング１２上に設けられた相補的係合表面の中の任意の１つ（又は全て）の周囲に設けられ得る。例えば、矩形形状Ｏリング又はＣリング１００が、クーラフレームチャネル孔４１及びガス孔３２ａ、３２ｂの周囲に設けられてもよい（例えば図８の実施形態に示されるように）。
冷却方法
電子機器４６を冷却するための方法の一実施形態は、
熱を発生する電子機器４６と熱連通状態にあるガス状の第１の冷却媒体２７を囲まれたキャビネット１０内で循環させ、それにより第１の冷却媒体２７を加熱することと、      加熱された第１の冷却媒体２７から第２の冷却媒体３３に熱Ｑを伝達することにより熱交換器構成体３１で加熱された第１の冷却媒体２７を冷却することと、
チャネル３６を通りキャビネット１０のアクセス側部２３に設けられた第１のプレナム空間３５に戻るように冷却された第１の冷却媒体２７を再循環させることと
を備える。
【００５５】
キャビネット１０の動作及び提案される冷却方法の実行は、キャビネット１０内で循環する第１の冷却媒体２７として空気を用いた、ケーシング１２内の実質的に閉鎖された再循環空気流に基づくものである。ファン３０により発生される空気流Φｆは、ケーシング１２内で実質的に再循環される。
【００５６】
冷却方法は、ケーシング１２の内部の空気流Φｆが水平面内で２つの閉ループ経路を辿る、図２に示される例示の実施形態を参照としてさらに説明される。初めに、冷温空気２７が、ラック４０の前方のアクセス側部すなわち前方側部２３の付近のプレナム空間３５内に蓄積される。熱を発生する構成要素４７（又は他の熱発生デバイス）を有する電子機器４６が、ラック４０内に収容され、棚４４により担持される。使用時に、ケーシング１２の第２の側部（後方側部）１７のファン３０が、電子機器４６を横断する空気２７の流れΦｆを誘発する。冷温空気２７は、電子機器４６により前方入口４８を通して引き込まれる。次いで、空気流Φｆは、各ラック４０の前方側部から後方側部へと（水平）長手方向Ｘに、前方入口４８から後方出口５０に向かって電子構成要素４７を越えて流れる。熱を発生する電子構成要素４７を越えて空気流Φｆを適切に送るために、任意の個数の流れ案内手段（例えばエアデフレクタ、シュラウド、マニホルドなど）が使用されてもよい。電子構成要素４７により発生される熱エネルギーすなわち熱Ｑは、循環する空気流Φｆがラック４０を通過することにより、この空気流Φｆに伝達され、それにより電子構成要素４７を冷却する。ファン３０により推進されることにより、加熱された空気２７は、後方出口５０を介して排出される。
【００５７】
キャビネット１０の第２の側部すなわち後方側部１７に空気流Φｆ内に位置決めされた空気孔３２を有する２つの熱交換器３１は、後方出口５０から空気孔３２内に出る流動空気２７から熱Ｑを吸収しそれにより除去する役割を果たす。流体導管３４間に画定された空気孔３２により、空気流Φｆは、循環空気流Φｆ中に蓄積された熱Ｑを流体導管３４を通り搬送される第２の冷却媒体３３に伝達するために、熱交換器ユニット３１を横断することが可能となる。流体導管３４の線形グリッドは、空気孔３２を通り流れる空気２９と熱連通状態にある。第２の冷却流体３３は、流体導管３４を通りケーシング１２の内部の熱交換器３１の内外に能動的にポンプ送給される。熱交換器３１は、空気孔３２に通して空気流Φｆを追いやるファン３０の入力領域の近傍に位置決めされ、それにより空気流Φｆは、チャネル３６を通り電子機器４６の前方入口４８へと戻るように再循環される前に、熱交換器３１によって最大限に冷却され得る。冷却された水３３は、熱交換器ユニット３１のチューブ３４を通過し、空気２７から熱Ｑを吸収する。室温未満の水を供給することにより、同一の方式が、閉ループ内の冷却空気温度を低下させ、空気冷却によるさらにより高い電力散逸を許容するために使用され得る。
【００５８】
熱交換器３１により冷却される空気２７は、ファン３０によりチャネル３６を経由しプレナム空間３５内に戻り、ラック４０の前方へと再配向される。中央チャネル３６を出ると、冷却された空気流Φｆは、第１のプレナム空間すなわち前方プレナム空間３５内に分岐し、したがって閉ループ空気流Φｆを完了させる。流れの分岐は、前方ドア２６の中心に配置された流れ案内垂直方向ビーム２８によって助長される。
【００５９】
図２の実施形態における単一の水平方向に配設された閉ループ空気流経路は、４つの９０度屈曲部を備え、１つの屈曲部は、プレナム空間３５内へとチャネル３６から出た後であり、１つの屈曲部は、プレナム空間３５から電子機器４６の前方入口４８内への部分であり、１つの屈曲部は、熱交換器ユニット３１を出た後であり、１つの屈曲部は、チャネル３６に進入する際の部分である。
リソグラフィシステム
図５ａ及び図５ｂは、複合リソグラフィシステム（又は「クラスタ」）１を形成する複数のリソグラフィユニット２ａ〜２ｊ（全体的に参照番号２で示される）の好ましい構成を概略的に示す。
【００６０】
このリソグラフィシステム１のリソグラフィユニット２は、本明細書で上述されたように頂部にキャビネット１０を備えた真空チャンバ４をそれぞれ備える。頂部に取り付けられた電子機器キャビネットを有さないリソグラフィユニットの背面合わせ構成は、本譲受人による国際出願ＷＯ２０１２／０８０２７８において開示されている。
【００６１】
リソグラフィユニット２は、横方向Ｙに沿って見た場合に、一列のユニットを形成するように横並びに配置され得る。ユニット列は、ユニットブロックを形成するように（長手方向Ｘにおいて）背面合わせでさらに整列され得る。これらのユニット列及び／又はユニットブロックは、リソグラフィ設備又は製造工場の機器室内でリソグラフィシステム１を共に形成し得る。リソグラフィユニット２の背面合わせレイアウトにより、製造工場の床面積の効率的な使用に対応する限定されたフットプリントを有するリソグラフィシステム１が得られる。
【００６２】
図５ａは、リソグラフィシステム１の上面図を示し、このリソグラフィシステム１は、この特定の実施形態では、２列の５つのユニットで背面合わせに配置された１０個のリソグラフィユニット２ａ〜２ｊの群を備え、各対の長手方向に隣接するリソグラフィユニット２のキャビネット１０の第２の側部すなわち後方側部１７は、相互に対面する（長手方向Ｘにおいて）。
【００６３】
リソグラフィシステム１は、基板供給システム７２をさらに備える。基板供給システム７２は、リソグラフィシステム１により処理されることとなる基板を受けるように、及び処理のためにリソグラフィユニット２にこれらの基板を提供するように構成される。基板供給システム７２の使用により、リソグラフィシステム１は、現在使用されているリソグラフィシステムの比較的容易な置換を可能にするため、製造工場内の他の機器と効率的に協働することが可能になる。
【００６４】
２つの長手方向に隣接するリソグラフィユニット２ａ、２ｆの背面合わせ構成は、図５ｂで側面図により示される。各リソグラフィユニット２ａ、２ｆは、固有の真空チャンバ４ａ、４ｆを備え、各真空チャンバ４の後方側部は、他の列のリソグラフィユニット２（すなわち長手方向Ｘにおいて隣接するリソグラフィユニット２）に対面する。本明細書で上述されるような電子機器キャビネット１０ａ、１０ｆは、各真空チャンバ４ａ、４ｆの頂部に位置決めされる。各キャビネット１０ａ、１０ｆは、各キャビネット１０ａ、１０ｆの第２の側部１７ａ、１７ｆに熱交換器及び流れ発生器を備える冷却構成体２９ａ、２９ｆを備え、これらの第２の側部１７ａ、１７ｆは、各ケーシング１０ａ、１０ｆの各アクセス側部すなわち前方側部２３ａ、２３ｆの対向側にそれぞれ位置する。各冷却構成体２９ａ、２９ｆにより画定される後方壁部１８ａ、１８ｆは、長手方向Ｘにおいて相互に対面する。後方壁部１８ａ、１８ｆの間に、冷却流体回路マニホルド８０が設けられる。熱交換器内の第２の冷却流体３３のための流体導管３４（図２を参照）は、冷却流体マニホルド８０と流体連通状態にある。マニホルド８０の流体回路は、キャビネット１０内の連結された熱交換器の流体導管３４を通して第２の冷却流体３３を循環させるように構成される。
【００６５】
荷電粒子リソグラフィシステムの場合には、好ましくは真空チャンバ４は、荷電粒子源と、パターニングすべき基板に荷電粒子ビームレットを投影するための投影機システムと、可動基板ステージとを備える、リソグラフィ処理を可能にする全ての要素を備える。サービスのために設けられた空き領域に対面するリソグラフィユニット２の側部は、真空チャンバ４の内外に基板を移送するためのロードロックシステム７０を備える。
【００６６】
リソグラフィユニット２は、ロードロックシステム７０と同一の側部にドア７４をそれぞれ備える。ドア７４は、取外し自在に装着可能であってもよく、その全体が取外し可能であってもよい。好ましくはロードロックシステム７０及びアクセスドア７４が配置される側部の空き領域は、ドア７４及びロードロック７０のフットプリントを許容するのに十分な大きさである。したがって、リソグラフィシステム１は、リソグラフィシステム１を囲むサービス領域に対面するロードロックシステム７０及びドア７４を有する複数のリソグラフィユニット２を備える。ロードロックシステム７０及びドア７４の「外方」配向により、リソグラフィユニット２は、周囲のサービス領域から直接的にアクセス可能になる。直接的なアクセスにより、リソグラフィシステム１のサービスが単純になり、リソグラフィシステム１又はそのパーツのダウンタイムが短縮され得る。サービスを行うための単一の特定の真空チャンバ４が、リソグラフィシステム１内の他のリソグラフィユニット２のスループットに影響を及ぼすことなく開かれ得る。
【００６７】
図示される実施形態では、リソグラフィシステム１は、基板供給システム７２から基板を受ける及び／又は基板供給システム７２に基板を送るための基板移送システム７６をさらに備える。基板移送システム７６は、例えばリソグラフィユニット２ａ、２ｆのロードロックシステム７０ａ、７０ｆの上方に実質的に水平方向に配置されたコンベヤシステムなどの、適切なコンベヤシステムの形態をとり得る。結果として、基板移送システム７６は、リソグラフィユニット２ａ、２ｆのドア７４ａ、７４ｆに干渉せず、チャンバドア７４ａ、７４ｆは、サービスを行うために開かれ得る一方で、基板移送システム７６は、基板供給システム７２と他のリソグラフィユニット２との間での基板の移送を継続することが可能となる。
【００６８】
図５ｂに示されるリソグラフィユニット２ａ、２ｆでは、真空チャンバ４ａ、４ｆは、界面壁部６ａ、６ｆを備える凹状セクション７ａ、７ｆを頂部側部５ａ、５ｆにそれぞれ備える。各界面壁部６ａ、６ｆは、各真空チャンバ４ａ、４ｆの頂部側部５ａ、５ｆの全幅にわたり延在し、垂直方向Ｚに配向される。界面壁部６ａ、６ｆは、各真空チャンバ４ａ、４ｆの上方に位置決めされたキャビネット１０ａ、１０ｆの内部で電子機器に接続される導管及び／又はケーブルを受ける及び通すためのアクセスポートを備える。
【００６９】
各リソグラフィユニット２ａ、２ｆは、同様に各真空チャンバ４ａ、４ｆの頂部側部５ａ、５ｆの後方にさらなる界面壁部（図示せず）を備え得る。同様に、さらなる界面壁部は、導管及び／又はケーブルを受ける及び通すためのさらなるアクセスポートを有し得る。
【００７０】
リソグラフィユニット２ａは、対応する真空チャンバ４ａの側方側部によって画定されるダクト９ａを備える。図１を参照として説明される実施形態と同様に、側方ダクト９ａは、湾曲ケーブル導管５８、５９から出るケーブル６６ｃの一部分を収容するように、及び真空チャンバ４ａの下方部分にケーブル部分を案内するように構成される。他のリソグラフィユニット２ｂ〜２ｊは、同様の側方ダクト９を備え得る。
【００７１】
第２の側部すなわち後方側部に冷却構成体を有する電子機器キャビネットをそれぞれ備えるリソグラフィユニットを有し、隣接し合うキャビネットの後方側部が相互に対面する背面合わせ構成は、本コンテクスト内でそれ自体において本質的に独創的なものと考えられ、個別の特許出願の対象となり得る。
側方ケーブル導管を有するキャビネット
図６は、図１〜図３に示されるキャビネット１０と同様のキャビネット１０’の代替的な実施形態の斜視図を示す。図１〜図３を参照として既に上述されたキャビネット１０における特徴の大半が、図６に示されるキャビネット１０’においても存在し得るため、これらはここでは再び論じられない。図６を参照として論じられる特徴については、同様の参照番号が、同様の特徴に対して使用されるが、実施形態同士を区別するためにプライム符号によって示される。
【００７２】
やはり、ケーシング１２’内の第１のプレナム空間すなわち前方プレナム空間３５’は、垂直方向Ｚに沿って電子機器４６’用のケーブル布線６６ｃ’を収容するための垂直方向凹部３８’をケーシング１２’の側方壁部１６ｂ’に備える。ここでは、前方プレナム空間３５’の一部である垂直方向凹部３８’は、ケーシング１２’の側方壁部１６ｂ’全体に実質的に沿って垂直方向に延在する直方体空部を画定する。垂直方向凹部３８’は、選択された機器ユニット４６’の前方側部に信号及び／又は電力ケーブル６６ｃ’（部分的にのみ図示される）を送る。図６では、冷却構成体２９’が、第２の側部すなわち後方側部１７’から長手方向距離をおいてやはり図示される（メンテナンス位置において）が、冷却動作時には、冷却構成体２９’は、後方側部１７’に対接して固定される必要がある点が理解される。
【００７３】
上述のキャビネット実施形態と図６に示されるキャビネット実施形態との顕著な相違点は、図６の側方壁部１６ｂ’及び垂直方向凹部３８’が、追加の側方プレート（図６には図示されない）により覆われるように構成される点である。以前のキャビネット実施形態と同様に、複数の湾曲ケーブル導管すなわち溝５８’、５９’、６０’が、様々な高さにて垂直方向凹部３８’から分岐する。図６では、垂直方向凹部３８’が、垂直方向Ｚに沿って設けられた複数の導管孔６２’を備える垂直方向凹部壁部６８’によって（部分的に）画定されるのが示される。湾曲ケーブル導管５８’、５９’、６０’は、ケーシング１２’の床部２２’の長手方向エッジに沿った様々な位置にて床部導管孔６３’へと開口する。この構成により、ケーブル６６ｃ’の所望の機能群又は部分が、ケーシング１２’の外部の所定の下方位置へと案内され得るようになり、床部孔４５’に対して長手方向Ｘに沿って変位される。
【００７４】
各湾曲ケーブル導管５８’、５９’、６０’は、例えばケーシング１２’の側方壁部１６ｂ’に固定された屈曲金属ストリップ６４’などの２つの細長壁部部材により画定される。側方壁部１６ｂ’の外部に取り付けられた湾曲導管５８’、５９’、６０’は、ケーブル６６ｃ’をケーシング１２’の内容物から部分的に分離され電磁的に遮蔽された状態に保つ。例えば、金属ストリップ６４’は、実質的に垂直配向に及び曲線軌道に沿って側方壁部１６ｂ’の外方表面上に溶接され得る。各屈曲金属ストリップ６４’は、導管孔６２’から床部導管孔６３’まで各曲線軌道に沿って延在する。２つの隣接する金属ストリップ６４’、側方壁部１６ｂ’、及び側方プレート（図示せず）が、１つのケーブル導管５８’、５９’、６０’を共に画定し、このケーブル導管５８’、５９’、６０’は、ケーブル６６ｃが収容され得る矩形断面を有した下方湾曲チャネルを形成する。
【００７５】
図６に示される実施形態では、より高い（すなわち凹状壁部６８’に沿って垂直方向Ｚにより高い）導管孔６２’に開口する上方ケーブル導管５８’が、遠方の（すなわち長手方向Ｘに床部孔４５’からさらに離れた）床部導管孔６３’にて終端する。対照的に、下方導管孔６２’に開口する下方ケーブル導管６０’は、近位床部導管孔６３’にて終端する。
【００７６】
一般的には、壁部部材６４’が、少なくとも１つのケーブル導管５８’、５９’、６０’を画定し得る。いくつかの例では、単一の壁部部材６４’が、その各側にて２つの隣接するケーブル導管５８’、５９’、６０’を同時に画定し得る。これにより、隣接するケーブル導管５８’、５９’、６０’を形成するために必要とされる壁部材料の量が削減される。例えば、図６に示される上方ケーブル導管５８’は、４つのみの金属ストリップ６４’（すなわち２つの外方金属ストリップ及び２つの中間金属ストリップ）によって画定される。
【００７７】
好ましくは、図６に示されるように、各湾曲ケーブル導管５８’、５９’、６０’の金属プレート軌道の曲線は平滑である。平滑軌道により、任意のケーブル６６ｃが、１つの導管端部（すなわち孔６２’、６３’の一方）に手動的に挿入され、ケーブル導管５８’、５９’、６０’を通して緩やかに搬送され、妨害されることなく他方の導管端部（すなわち対応する孔６３’、６２’）にて退出し得る。
【００７８】
他の実施形態では、他の垂直方向凹部から分岐するケーブル導管を有する別の垂直方向凹部（図６を参照として説明される構成と同様の）が、ケーシングの対向側の側方壁部に代替的に又は追加的に設けられてもよい。さらに、いずれのキャビネット実施形態においても、ケーブル導管の中の少なくとも１つが、ケーシングの頂部壁部の長手方向エッジに沿って設けられた頂部導管孔に向かって上方に湾曲するように、任意の垂直方向凹部の導管孔を介して分岐し得る。これに対応して、細長壁部部材すなわち金属ストリップは、実質的に垂直方向に上方曲線軌道に沿って各側方壁部に溶接され得る。
【００７９】
垂直方向凹部から分岐するケーブル導管を有する少なくとも１つの垂直方向凹部は、他の構造体の頂部上及び／又は下方に積み重ね可能なキャビネット用の効率的な前方ケーブル装着／側方ケーブル分配構成をもたらす。説明されたケーブル装着／分配構成では、ケーブルは、ケーシングの内容物から電磁的に遮蔽され空間的に分離された状態に保たれ得る。この空間分離により、ケーシング内部を循環する冷却流体のケーブルによる妨害が確実に最小限に抑えられる。
【００８０】
この装着／分配構成は、キャビネットの内部にいかなる冷却構成体も存在しない場合でも、例えばメンテナンス時などにキャビネットの第２の側部すなわち後方側部から機器にアクセスする必要性を一般的に軽減し、又はさらには解消し得る。したがって、本明細書において上記で説明されたような、第１のプレナム空間の垂直方向凹部によって及び／又はケーシングの少なくとも１つの側方壁部の中もしくは上に取り付けられた１つ又は複数のケーブル導管によって画定される側方ケーブル案内チャネルを備えるキャビネット用の構成は、冷却構成体の存在を必要とせず、別個の特許出願の対象となり得る。
単一ラック及び側方通路
当業者及び本明細書の教示により通知される者は、本発明が、例えばコンピュータデータセンタ又は遠隔通信中央局などの、構成要素により発生される熱の冷却が望まれる構成要素を収容する任意のキャビネット（ハウジング、筐体、又はそれらの群）に対しても適用可能である点を理解されよう。例えば、図７は、キャビネット１０’’の「非セットトップ」構成を示し、このキャビネット１０’’は、単一電子機器ラック４０’’を収容する内部を画定する閉鎖可能ケージング１２’’を備える。ラック４０’’は、ケーシング１２’’の内部に様々な高さにて電子機器４６’’を収容するための棚４４’’を支持する。キャビネット１０’’は、別個のクーラフレーム２９’’を備え、このクーラフレーム２９’’は、ケーシング１２’’の第２の側部すなわち後方側部１７’’に取付け可能である。クーラフレーム２９’’は、複数の空気循環器３０’’と、ケーシング１２’’の後方側部１７’’の全体にわたり延在する熱交換器３１’’とを備える。チャネル３６’’が、長手方向Ｘに沿ってケーシング１２’’の側方壁部に沿って画定される。チャネル３６’’は、ラック４０’’の前方側部に画定された第１のプレナム空間すなわち前方プレナム空間３５’’からケーシング１２’’の後方側部１７’’まで延在し、ラック壁部４２’’によって側方に及び垂直方向に画定される。図７のキャビネット１０’’は、本明細書において既に上述されように、第１の冷却媒体の閉ループ水平方向循環流（チャネル３６’’を通り前方プレナム空間３５’’内に進み電子機器４６’’を横断し空気循環器３０’’及び熱交換器３１’’へと戻るように流れる）を誘発するための同様の長手方向冷却構成をもたらし、コンピュータデータセンタで使用するのに非常に適する。また、図７に示されるキャビネット１０’’と同様の「非セットトップ」キャビネットの実施形態は、直列ラック構成と、図１〜図４を参照として既に説明された他の特徴とを伴ってもよい。
凹状壁部プロファイルを有するラック壁部パネル  上述のキャビネット実施形態のいずれにおいても、長手方向流体戻りチャネルが、少なくとも１つの側方ラック壁部と付近の壁部（例えば隣接するラックのラック壁部）との間の空間によって形成される。ラック壁部の中の任意の１つが、長手方向及び垂直方向に沿ってチャネルの境界を画定する実質的に閉鎖されたパネルによって形成されてもよい。
【００８１】
図８、図９、及び図１０ｂは、図６を参照として説明される実施形態に類似する実施形態にて実装された有利なラック壁部適合体を示す。しかし、これらの壁部適合体は、説明される実施形態の任意のものにおいて適用され得る。要素の大半は、同様であり、ここでもやはり説明されない。同様の参照番号は、同様の要素を示すために使用される。
【００８２】
図８、図９、及び図１０ｂは、凹状プロファイル８４ｂ’’’〜８８ｂ’’’を有するラック壁部４２ｂ’’’を備えるキャビネット１０’’’の実施形態を示す。図８では、壁部ヘッダ８２ｂ’’’が、前方プレナム空間３５’’’に対面するようにキャビネット１０’’’の前方側に配置される。ラック壁部４２ｂ’’’は、チャネル３６’’’から側方に離れるように向いた側に凹状プロファイル８４ｂ’’’〜８８ｂ’’’を備える。
対応する斜視図及び上方断面図が、図９及び図１０ｂにそれぞれ示される（ここではアクセント符号が参照番号から省略されている）。凹状プロファイル８４ｂ’’’〜８８ｂ’’’は、ヘッダ壁部部分８４ｂ’’’と、凹状壁部部分８８ｂ’’’と、線形状に、曲線状に、又はヘッダ壁部部分８４ｂ’’’により画定された境界を越えて一般的に側方に突出しない類似の方法で、ヘッダ壁部部分８４ｂ’’’と対応する後方傾斜壁部部分８８ｂ’’’とを相互連結する後方傾斜壁部部分８６ｂ’’’とを備える。
【００８３】
ヘッダ壁部部分８４ｂ’’’は、側方ラック壁部４２ｂ’’’の各壁部ヘッダ８２ｂ’’’に配置され、
幅Ｗ１（一方の機器側方壁部９８から同機器ユニットの対向側の壁部までで測定された）を有する電子機器４６が同ラック４０の壁部間に収容され得るように、同ラック４０’’’の側方の対向側の壁部４３ｂ’’’から十分な大きさのヘッダ内距離Ｗ１＊を有して位置決めされる。好ましくは、ヘッダ内距離Ｗ１＊は、最小であり、機器幅Ｗ１と実質的に等しい（約数ミリメートル以下の差異を有する）ため、結果としてヘッダ壁部部分８４ｂ’’’とラック４０ｂ内に位置決めされた電子機器４６の付近の側方機器壁部９８との間にて（ほぼ）接触する構成が得られる。
【００８４】
壁部ヘッダ８２ｂ’’’は、ヘッダ幅Ｗ３＊を有する。凹状壁部部分８８ｂ’’’は、対応するヘッダ壁部部分８４ｂ’’’に対して実質的に平行であるが同一平面をなす。結果として、ラック壁部４２ｂ’’’は、凹状壁部部分８８ｂ’’’が広がる領域内で側方により薄く、凹状壁部部分８８ｂ’’’と対応するヘッダ壁部部分８４ｂ’’’との間に側方空間を画定する。この側方空間は幅Ｗ２を有し、１つ又は複数の棚支持具９０を収容するように構成される。棚支持具９０は、対応するラック壁部４２ｂ’’’の内部に棚４４ｂ’’’を固定するために必要とされる。例えば、棚支持具９０は、空間幅Ｗ２に（ほぼ）対応する幅を有する取付けストリップ（例えば棚４４ｂ’’’の上方屈曲フランジ又は下方屈曲フランジ）を備えてもよい。結果として、一方では凹状壁部部分８８ｂ’’’に及び他方ではヘッダ壁部部分８４ｂ’’’に固定された取付けストリップの露出された側方表面は共に、同一平面に広がる（長手方向Ｘ及び垂直方向Ｚに沿って）。したがって、ヘッダ壁部部分８４ｂ’’’に（ほぼ）接触している側方機器壁部９８もまた、棚支持具９０のこの側方表面に（ほぼ）接触していることとなる。棚支持具９０は、棚コネクタ９２（例えば取付けストリップの穴を通して設けられたボルト）及び相補的棚コネクタ９３（例えば凹状壁部部分に設けられたボルト穴又はナット）によってラック壁部４２ｂ’’’の対応する凹状壁部部分８８ｂ’’’に連結され得る。
【００８５】
機器４６は、機器幅Ｗ１を超過する予め規定されたパネル幅Ｗ４にわたり広がる前方パネル９４’’’を有する。好ましくは、パネル幅Ｗ４は、例えば１９インチの規格幅などの規格値を有する。機器パネル９４’’’は、側方フランジを備え、これらのフランジはそれぞれ、ヘッダ幅Ｗ３＊に実質的に等しいパネル幅Ｗ３を有する。壁部ヘッダ８２ｂ’’’は、側方パネルフランジの後方側部で機器パネル９４’’’に当接するように配置される。結果として、ラック４０ｂ’’’内に取り付けられた機器ユニット４６のパネルフランジは、チャネル壁部部分８１の長手方向延在部を形成し、それにより必要とされる側方空間を最小限に抑えつつ、チャネル３６を通過するガス流を妨げられない状態におく。パネルコネクタ９６（例えばボルト）は、壁部ヘッダ８２ｂ’’’に設けられたさらなるパネルコネクタ９７（例えばねじ山付き取付け穴）に機器パネル９４’’’を取外し可能に固定するために使用され得る。
【００８６】
図１０ｂに示されるように、同様の凹状壁部プロファイルが、キャビネット１０’’’の側方壁部１６ｂ’’’を画定する対向側のラック壁部４３ｂ’’’に設けられ得る。代替的には又は追加的には、同様の凹状プロファイルが、キャビネット１０’’’内に存在し得る隣接するラック４０ａ’’’のラック壁部４２ａ’’’、４３ａ’’’に設けられ得る。
【００８７】
有利には、凹状プロファイルを有するラック壁部構成は、本明細書において上述された任意のキャビネット実施形態に実装され得る。一般的には、凹状プロファイルを有するラック壁部構成は、機器棚コネクタと、ラック壁部パネルと、冷却流体を再循環させるための流体チャネルとを効率的に一体化させることにより、キャビネットの内部に電子機器を効率的に収容するのを支援する。これにより、キャビネットの内部の冷却流体循環が最適化される一方で、全体としてキャビネットにより占められる所要側方空間を最小限に抑える一体型キャビネット構成が結果として得られる。上述の一体化は、国際１９インチラック規格ＩＥＣ６０２９７−３−１００における寸法に準拠するようになされたラック取付け構成においても実現可能であることが理解される。キャビネット空間及び規格機器寸法の効率的な使用は、モジュール方式及び限定的な製造工場床面積使用が共に、処理システムの動作コストを著しく低減させるリソグラフィ用途においては、非常に有益である。
先行技術のラック
図１０ａでは、１９インチ規格にしたがった先行技術の機器ラック１２０の上方断面図が、本明細書において上述された本発明の実施形態による凹状プロファイルを有するラック壁部との相違点を説明するために示される。先行技術のラック１２０は、ラック１２０の隅部に４つの矩形Ｃ字形ストラット１２２を備える。Ｌ字形取付けブラケット１２４が、ブラケットコネクタ１２６（例えばボルト）を取り付けることにより垂直方向長さに沿って各ストラット１２２に固定される。各Ｌ字形取付けブラケット１２４は、規格垂直方向距離をおいた取付け穴を有する内方向フランジを備える。電子機器ユニット４６の前方パネル９４は、パネルコネクタ９６（例えばボルト）によりＬ字形取付けブラケット１２４に固定される。各対のストラット１２２は、垂直方向に機器ユニット４６を支持する役割を果たす機器支持ブラケット１２８の一部を形成する垂直方向フランジ１３０によって長手方向に沿って相互連結される。各垂直方向フランジ１３０は、ブラケットコネクタ１３２（例えばボルト）により２つの対応するストラット１２２に連結される。取付けブラケット１２４及び対応するストラット１２２は、機器パネル９４の各側に追加の幅Ｗ５を占め、これらにより、先行技術の全ラック幅が本発明の実施形態による凹状壁部プロファイルの実現可能な幅よりも大きくなる。
流れ案内ビーム
図１１は、一実施形態によるキャビネット１０の流れ案内ビーム２８の前方斜視図を示す。流れ案内ビーム２８は、図１〜図３に示されるように、垂直方向に沿って配向されて及びキャビネット１０のアクセス側部２３の前方プレナム空間３５内に取り付けられるように構成される。流れ案内ビーム２８は、キャビネット１０のラック４０内の専用棚４４上に設けられ得る電源（図示せず）に接続するための給電ソケット１１０を備える。他方で、流れ案内ビーム２８は、キャビネット１０のラック４０内の様々な他の棚４４上に設けられ得る様々な機器ユニット４６のための電気接続部を与えるために、ビーム２８の長さに沿って設けられた電源ソケット１１２に向かって給電ソケット１１０から案内される電源ケーブル６６ｂを収容するための空間を与える。安全フューズ１１４及び／又は電力モニタリングインジケータ１１６が、電源ソケット１１２の中のいくつか又は全てに対してビーム２８に沿って設けられてもよい。
【００８８】
上記の説明は、例示を意図されるものであり、限定を意図されるではない。キャビネット１０及び冷却方法の代替的な及び均等な実施形態が、以下に示す特許請求の範囲から逸脱することなく想起され実施され得る点が、当業者には明らかであろう。
【００８９】
一般的に、本明細書における上記のラック内に保管される特定の電子機器に対するいずれの言及も、熱を発生する構成要素（電子的、光学的、演算用等）を備える任意のタイプの機器を指すものとして広く解釈されるように意図される。
【００９０】
上記に示した説明の実施形態では、空気が、キャビネットを通り再循環される第１の冷却媒体に相当する。しかし、他の実施形態では、他のガスが、再循環冷却媒体として使用されてもよい。通常の空気の熱容量と同様であるか又はそれよりも高い熱容量を有する任意のガスが、この目的のために使用され得る。かかる他のガスは、例えばヘリウムを含み得る。
【００９１】
同様に、熱交換器により使用される第２の冷却媒体は、単一相の流体又は気化／凝縮流体及び蒸気の混合物のいずれかを備えてもよい。したがって、キャビネットの内部の熱交換器構成体は、内的ガス−液体間タイプ又はガス−液体及び蒸気間タイプの熱交換器を備えてもよい。
【００９２】
また、第２の冷却媒体は、例えばポリマー封入相変化材料（例えば水などの流体内の２相ワックス分散）などの相変化材料（ＰＣＭ）を含んでもよい。ＰＣＭの使用により、ＰＣＭの相変化（例えば溶融）を誘発するために伝達される熱エネルギーの一部を使用することによって第２の冷却媒体の熱容量が増大する。また、この相変化は、キャビネットの外部のいずれかでさらに冷却することにより再び逆転され得る。
【００９３】
外部冷却デバイスが、例えば図５ａ〜図５ｂのリソグラフィシステム１が配置されるのとは異なる場所になど、ケーシングの外部に設けられてもよい。外部冷却デバイスは、第２の冷却流体から熱エネルギーを放散するのを支援し、さらなる熱交換器、冷却装置、又は圧縮機等を備えてもよい。
【００９４】
他の実施形態では、他のタイプの熱交換器が、上述のガス−流体間熱交換器の代わりに又は追加として設けられてもよい。この熱交換器は、例えばペルチエ効果冷却デバイスなどの熱電デバイスを備えてもよい。典型的には、ペルチエ冷却素子は冷却表面と放熱表面とを備え、これらの表面は典型的にはセラミックから作製される。ペルチエ素子の既知の動作によれば、熱は、冷却表面と放熱表面との間に設けられる半導体にＤＣ電圧を印加することにより、冷却表面から放熱表面に伝達され得る。ペルチエ素子の冷却表面は、空気流がその冷却表面を横断して通過するように、ケーシングの後方壁部の付近に位置決めされる。対照的に、放熱表面は、空気流から隔離され、離されて位置決めされる。放熱表面は、キャビネットの外部の位置に熱を有利に伝達する熱導体にさらに装着されてもよく、
そのキャビネット外部の位置にて熱が好都合に放散され得る。
【００９５】
キャビネット内に冷却手段が存在するにもかかわらず、一般的には、最小限のフットプリントを有する横並びキャビネット構成向けに最適化されたキャビネットの内部に電子構成要素及びケーブル布線のレイアウトを設けることが望ましいものとなり得る。一連の［項］が、続いて以下に示されるが、これらは、分割出願の対象となり得る態様及び実施形態を定義する。
【００９６】
［項］
ｃ１：電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）であって、
ケーシングの内部にアクセスするための開口（２４）を備えるアクセス側部（２３）とアクセス側部の対向側の第２の側部（１７）とを備えるケーシング（１２）と、
ケーシングの内部に電子機器（４６）を収容するための、及びアクセス側部とラックとの間に第１のプレナム空間（３５）を画定するようにケーシング内に位置決めされたラック（４０ａ）と
を備え、
第１のプレナム空間（３５）が、垂直方向（Ｚ）に沿って電子機器（４６）用のケーブル布線（６６ｃ）を収容するためにケーシング（１２）の側方壁部（１６）に垂直方向凹部（３８）を備えることを特徴とする、キャビネット（１０）。  
ｃ２：垂直方向凹部（３８）が、側方壁部（１６）付近で第１のプレナム空間（３５）の側方部分を形成する直方体空部を画定する、項ｃ１に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ３：垂直方向凹部（３８）が、実質的に側方壁部（１６）全体に沿って垂直方向に延在し、前方プレナム空間（３５）のプレナム高さ（Ｈｐ）と実質的に等しい高さを垂直方向（Ｚ）に有する、項ｃ１又はｃ２に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ４：キャビネットの下方外部に垂直方向凹部（３８）内に収容されたケーブル布線（６６ｃ）を案内するために床部孔（４５）を備える、項ｃ１〜ｃ３のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ５：床部孔（４５）が、第１のプレナム空間（３５）の側方端部に設けられる、項ｃ４に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ６：垂直方向凹部（３８）から分岐する少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）を備え、ここにおいて、少なくとも１つのケーブル導管は、ケーシング（１２）の外部の側方壁部（１６）上に取り付けられた導管によって形成される、項ｃ１〜ｃ５のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ７：少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）が、好ましくは平滑曲線を有して湾曲状に形状設定される、項ｃ６に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ８：少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）が、垂直方向（Ｚ）に下方に配向される、項ｃ６又はｃ７に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ９：少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）が、側方壁部（１６）の内方壁部板と外方壁部板との間に備えられる屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部（６４）によって形成される、項ｃ６〜ｃ８のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１０：少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）の屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部（６４）は、垂直方向（Ｚ）へと終端する、項９に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１１：垂直方向凹部（３８）の側方壁部が、少なくとも１つのケーブル取付具を備える、項ｃ１〜ｃ１０のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１２：少なくとも１つのケーブル取付具は、電子機器ユニットがキャビネット内に収容される高さ範囲にてケーブル布線（６６ｃ）が側方方向（Ｙ）へと垂直方向凹部（３８）から分岐するのを可能にするために、所定の電子機器ユニット（４６）用の高さ範囲内又はその付近に設けられる、項ｃ１１に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１３：キャビネット（１０）が、電子機器（４６）と熱連通状態にある第１の冷却媒体（２７）を囲むように構成され、キャビネットが、
第１のプレナム空間（３５）から電子機器（４６）を横断して第２の側部（１７）に向かって第１の冷却媒体（２７）の流れ（Φｆ）を発生させるための流れ発生器（３０）と、
第１の冷却媒体（２７）から熱エネルギー（Ｑ）を抽出するための熱交換器（３１）と
を備え、
熱交換器（３１）及び流れ発生器（３０）が、ケーシング（１２）の第２の側部（１７）に又はその付近に設けられ、ケーシングが、第２の側部（１７）から第１のプレナム空間（３５）に第１の冷却媒体（２７）を再循環させるために第２の側部（１７）及び第１のプレナム空間（３５）と流体連通状態にあるチャネル（３６）を備える、項ｃ１〜ｃ１２のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１４：ラック（４０）が、対向し合う側方壁部（４２）を備え、少なくとも１つの側方壁部が、チャネル（３６）の垂直方向境界部を画定する実質的に閉鎖されたパネルを備える、項ｃ１３に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１５：キャビネットが、キャビネットの内部に配置されラック（４０ａ）から側方に離間されたさらなるラック（４０ｂ）を備え、それによりキャビネットの長手方向正中線に沿ってラックとさらなるラックとの間にチャネル（３６）を画定する、項ｃ１３又はｃ１４に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１６：キャビネットが、ケーシング（１２）の頂部壁部（２０）及び床部（２２）の内方表面同士の間に画定された内方高さ（Ｈｉ）を有し、チャネル（３６）が、内方高さ（Ｈｉ）に等しいチャネル高さ（Ｈｃ）を有する垂直方向間隙を画定する、項ｃ１３〜ｃ１５のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１７：第１のプレナム空間内への第１の冷却媒体（２７）の再循環流（Φｆ）を調整するために、チャネル（３６）の前方孔（３７）に沿って第１のプレナム空間（３５）内に配置された流れ案内ビーム（２８）を備える、項Ｃ１３〜ｃ１６のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１８：流れ案内ビーム（２８）が、ケーシング（１２）の頂部壁部（２０）と床部（２２）との間に延在し、流れ案内ビームが、頂部壁部（２０）と床部（２２）との間に少なくとも１つのケーブル（６６ｂ）を収容及び案内するための中空部材として形成される、項ｃ１７に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ１９：第１の冷却媒体（２７）が、ガスであり、熱交換器（３１）が、流体を備える第２の冷却媒体（３３）に熱エネルギー（Ｑ）を伝達するように構成されたガス−流体間熱交換器である、項ｃ１３〜ｃ１８のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
ｃ２０：ガス−流体間熱交換器（３１）が、キャビネットの外部に第２の冷却媒体（３３）を搬送するための流体回路（３４）に結合される、項ｃ１９に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ２１：ガス−流体間熱交換器（３１）が、第２の側部（１７）の付近のキャビネット内に位置決めされたチューブタイプ熱交換器であり、それにより熱交換器とキャビネットの後方壁部（１８）との間に第２のプレナム空間（３９）を画定し、流れ発生器（３０）が、第２のプレナム空間内に設けられた少なくとも１つのファンを備える、項ｃ１９又はｃ２０に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ２２：キャビネットの床部（２２）に沿って長手方向（Ｘ）に配置されたレール及びリニア軸受（８）の少なくとも一方を備える、項ｃ１〜ｃ２１のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ２３：ケーシング（１２）内の温度（Ｔ）を測定し、温度を表す温度測定信号を生成するように構成された温度センサ（５２）と、ケーシング（１２）内の流体流（Φｆ）を局所的に測定し、流体流を表す流れ測定信号を生成するように構成された流れセンサ（５４）との少なくとも一方を備える、項ｃ１〜ｃ２２のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
ｃ２４：
真空チャンバ（４）と、
項ｃ１〜ｃ２３のいずれか一項に記載の電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）と
を備える、リソグラフィユニット（２）。  
ｃ２５：真空チャンバ（４）が、頂部側部（５）に及び長手方向（Ｘ）に沿ってリニア軸受部材（８）を備え、キャビネット（１０）が、真空チャンバの頂部側部上に位置決めされる、項ｃ２４に記載のリソグラフィユニット（２）。  
ｃ２６：真空チャンバ（４）が、キャビネット（１０）の内部の電子機器（４６）に接続された導管及び／又はケーブル（６６）を受ける及び通すためのアクセスポートを備えた界面壁部（６）を頂部側部（５）の凹状セクション（７）に備える、項ｃ２５に記載のリソグラフィユニット（２）。  
ｃ２７：界面壁部（６）が、真空チャンバ（４）の頂部側部（５）の全幅にわたって延在し、好ましくは垂直方向（Ｚ）に配向される、項ｃ２６に記載のリソグラフィユニット（２）。  
ｃ２８：凹状セクション（７）が、真空チャンバ（４）の後方側部にて凹状をなし、後方凹状側部が、導管及び／又はケーブル（６６）を受ける及び通すためのさらなるアクセスポートを備えるさらなる界面壁部に設けられる、項ｃ２６又はｃ２７に記載のリソグラフィユニット（２）。  
ｃ２９：項ｃ２４〜ｃ２８のいずれか一項に記載の少なくとも２つのリソグラフィユニット（２）を備え、ここにおいて、リソグラフィユニットは、背面合わせに配置され、背面合わせに配置されたリソグラフィユニット（２）の各キャビネット（１０）の第２の側部（１７）同士が、相互に対面する、リソグラフィシステム（１）。
【符号の説明】
【００９７】
１  リソグラフィシステム
２ａ〜２ｅ  リソグラフィユニット
４ａ〜４ｅ  真空チャンバ
５  頂部側部
６  界面壁部
７  凹状セクション
８  リニア軸受部材（レール）
９  側方ダクト
１０ａ〜１０ｅ  キャビネット
１２  ケーシング（筐体）
１４  チャンバ
１６ａ〜１６ｂ  側方壁部
１７  第２の側部（後方側部）
１８ａ〜１８ｅ  後方壁部
２０  頂部壁部
２２  床部
２３  アクセス側部（前方側部）
２４  開口
２６ａ〜２６ｂ  キャビネットドア
２７  第１の冷却媒体（例えばガス／空気）
２８  流れ案内ビーム（電力バー）
２９ａ〜２９ｂ  クーラフレーム
３０  流れ発生器（空気循環器、例えばファンなど）
３１  熱交換器
３２  ガス孔
３３  第２の冷却媒体（例えば流体）
３４  流体導管
３５  第１のプレナム空間（前方プレナム空間）
３６  チャネル（通路、中央間隙）
３７  キャビネットチャネル孔
３８  垂直方向凹部（ケーブル溝）
３９  第２のプレナム空間（後方プレナム空間）
４０ａ〜４０ｂ  ラック
４１  クーラフレームチャネル孔
４２ａ〜４２ｂ  ラック壁部
４３ａ〜４３ｂ  対向側ラック壁部
４４  棚
４５  床部孔
４６  電子機器
４７  電子構成要素
４８  前方入口
４９  ブラインドパネル
５０  後方出口
５１  空気供給開口
５２  温度センサ
５３ａ〜５３ｂ  ファン取付けパネル
５４  流れセンサ
５６  制御ユニット
５８  第１の湾曲ケーブル導管
５９  第２の湾曲ケーブル導管
６０  第３の湾曲ケーブル導管
６２  導管孔
６３  床部導管孔
６４  湾曲ガイド壁部（金属ストリップ）
６６ａ〜６６ｃ  ケーブル布線
７０ａ〜７０ｅ  ロードロックシステム
７２  基板供給システム
７４ａ〜７４ｅ  チャンバドア
７６ａ〜７６ｅ  基板移送システム
７７ａ〜７７ｄ  ファン取付具
７８  流体供給導管
７９  流体排出導管
８０  冷却マニホルド
８１  チャネル壁部部分
８２  壁部ヘッダ
８４  ヘッダ壁部部分
８６  後方傾斜壁部部分
８８  凹状壁部部分
９０  棚支持具（取付けストリップ）
９２  棚コネクタ（ボルト）
９３  さらなる棚コネクタ（ねじ穴又はナット）
９４  機器パネル
９６  パネルコネクタ（ボルト）
９７  さらなるパネルコネクタ（ねじ穴又はナット）
９８  機器側方壁部
１００  穴封止部材
１１０  給電ソケット
１１２  電源ソケット
１１４  安全フューズ
１１６  電力モニタリングインジケータ
１２０  先行技術のラック
１２２  ストラット
１２４  Ｌ字形取付けブラケット
１２６  取付けブラケットコネクタ
１２８  支持ブラケット
１３０  垂直方向フランジ
１３２  支持ブラケットコネクタ
Φｆ  ガス流
Φｌ  液体流
Ｔ  キャビネット内部温度
Ｘ  長手方向
Ｙ  横方向
Ｚ  垂直方向
Ｑ  熱エネルギー（熱）
Ｈｒ  ラック高さ
Ｈｃ  チャネル高さ
Ｈｐ  プレナム高さ
Ｈｉ  キャビネット内方高さ
Ｗ１  機器幅
Ｗ１＊  ヘッダ内幅
Ｗ２  空間幅
Ｗ３  フランジ幅
Ｗ３＊  ヘッダ幅
Ｗ４  パネル幅
Ｗ５  追加の幅
【図１】
2018152580.tif 000003
【図２】
2018152580.tif 000004
【図３】
2018152580.tif 000005
【図４ａ】
2018152580.tif 000006
【図４ｂ】
2018152580.tif 000007
【図５ａ】
2018152580.tif 000008
【図５ｂ】
2018152580.tif 000009
【図６】
2018152580.tif 000010
【図７】
2018152580.tif 000011
【図８】
2018152580.tif 000012
【図９】
2018152580.tif 000013
【図１０ａ】
2018152580.tif 000014
【図１０ｂ】
2018152580.tif 000015
【図１１】
2018152580.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成30年5月24日(2018.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）であって、前記キャビネットは、
ケーシング（１２）の内部にアクセスするための開口（２４）を有するアクセス側部（２３）を備えた前記ケーシング（１２）と、
前記ケーシングの内部に前記電子機器（４６）を収容するためのラック（４０ａ）であって、前記アクセス側部と前記ラックとの間に第１のプレナム空間（３５）を画定するように前記ケーシング内に位置決めされた前記ラック（４０ａ）と、を備え、
前記第１のプレナム空間（３５）は、前記ケーシングの側方壁部（１６）に、垂直方向（Ｚ）に沿って、前記電子機器（４６）のためのケーブル布線を収容するために配置されている、キャビネット（１０）。
【請求項２】
前記第１のプレナム空間（３５）は、前記ケーブル布線を収容するために、前記ケーシング（１２）の側方壁部（１６）に、垂直方向凹部（３８）を備える、請求項１に記載のキャビネット（１０）。
【請求項３】
前記垂直方向凹部（３８）が、前記側方壁部（１６）付近で前記第１のプレナム空間（３５）の側方部分を形成する直方体空部を画定する、請求項２に記載のキャビネット（１０）。
【請求項４】
前記垂直方向凹部（３８）が、実質的に前記側方壁部（１６）の全体に沿って垂直方向に延在し、前記第１のプレナム空間（３５）のプレナム高さ（Ｈｐ）と実質的に等しい垂直方向高さを有する、請求項２又は３に記載のキャビネット（１０）。
【請求項５】
前記キャビネットの下方外部に前記ケーブル布線を案内するために床部孔（４５）を備える、請求項１〜４のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
【請求項６】
前記床部孔（４５）が、前記第１のプレナム空間（３５）の側方端部に設けられている、請求項５に記載のキャビネット（１０）。  
【請求項７】
前記垂直方向凹部（３８）から分岐する少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）を備え、ここにおいて、少なくとも１つのケーブル導管は、前記ケーシング（１２）の外部の前記側方壁部（１６）上に取り付けられた導管によって形成されている、請求項２〜６のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
【請求項８】
前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）が、好ましくは平滑曲線を有して、湾曲状に形状設定される、請求項７に記載のキャビネット（１０）。
【請求項９】
前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）が、垂直方向（Ｚ）に下方に配向される、請求項７又は８に記載のキャビネット（１０）。  
【請求項１０】
前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）が、前記側方壁部（１６）の内方壁部板と外方壁部板との間に備えられる屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部（６４）によって形成されている、請求項７〜９のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１１】
前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）の前記屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部（６４）は、垂直方向へと終端する、請求項１０に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１２】
前記垂直方向凹部（３８）の側方壁部が、少なくとも１つのケーブル取付具を備える、請求項２〜１１のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１３】
前記少なくとも１つのケーブル取付具は、所定の電子機器ユニット（４６）が前記キャビネット内に収容される高さ範囲にてケーブル布線（６６ｃ）が側方方向（Ｙ）へと前記垂直方向凹部から分岐するのを可能にするために、前記所定の電子機器ユニット（４６）用の高さ範囲内又はその付近に設けられる、請求項１２に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１４】
流れ案内ビーム（２８）が、前記ケーシング（１２）の頂部壁部（２０）と床部（２２）との間で前記第１のプレナム空間（３５）内に延在し、前記流れ案内ビームが、前記頂部壁部（２０）と前記床部（２２）との間に少なくとも１つのケーブル（６６ｂ）を収容及び案内するための中空部材として形成されている、請求項１〜１３のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。  
【請求項１５】
前記キャビネット（１０）が、前記電子機器（４６）と熱連通状態にある第１の冷却媒体（２７）を囲むように構成され、
前記キャビネットが、前記第１のプレナム空間（３５）から前記電子機器（４６）を横断して前記アクセス側部（２３）と反対側の第２の側部（１７）に向かって第１の冷却媒体（２７）の流れ（Φｆ）を発生させるための流れ発生器（３０）を備え、
前記ケーシングが、前記第２の側部（１７）から前記第１のプレナム空間（３５）に前記第１の冷却媒体（２７）を再循環させるために、前記第２の側部（１７）及び前記第１のプレナム空間（３５）と流体連通状態にあるチャネル（３６）を備え、
前記流れ案内ビーム（２８）は、前記第１のプレナム空間内への前記第１の冷却媒体（２７）の再循環流（Φｆ）を調整するために、前記チャネル（３６）の前方孔（３７）に沿って前記第１のプレナム空間（３５）内に配置されている、請求項１４に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１６】
前記流れ案内ビーム（２８）は、１つ以上のケーブル６６ｂを対応する機器位置に送るように配置され、これらの位置で、前記１つ以上のケーブルは前記流れ案内ビーム（２８）から出て前記電子機器（４６）の選択された前方側部に接続される、請求項１４又は１５に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１７】
前記流れ案内ビーム２８は、前記電子機器のための電源接続を与えるために、前記流れ案内ビーム２８の長さに沿って設けられた電源ソケット（１１２）を備える、請求項１４〜１６のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１８】
前記流れ案内ビーム（２８）は、前記ラックに設けられた電源供給ユニットに接続するための給電ソケット（１１０）をさらに備え、前記給電ソケットは、前記流れ案内ビームを通して案内された電源ケーブル（６６ｂ）を介して前記電源ソケットに接続される、請求項１７に記載のキャビネット（１０）。
【請求項１９】
前記頂部壁部（２０）と前記床部（２２）との間に少なくとも１つのケーブル（６６ｂ）を収容及び案内するための中空部材として形成されている流れ案内ビーム（２８）であって、請求項１４〜１８のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）に使用するための流れ案内ビーム（２８）。
【請求項２０】
請求項１９に記載の流れ案内ビーム（２８）であって、
前記キャビネットが、ケーシング（１２）の内部にアクセスするための開口（２４）を備えるアクセス側部（２３）を有する前記ケーシング（１２）を備え、前記キャビネットが、前記ケーシングの内部に電子機器を収容するためのラック（４０ａ）であって、前記アクセス側部と前記ラックとの間に第１のプレナム空間（３５）を画定するように前記ケーシング内に位置決めされた前記ラック（４０ａ）をさらに備え、
前記流れ案内ビーム（２８）が前記キャビネットに配備されるとき、前記流れ案内ビーム（２８）の一側部が前記第１のプレナム空間（３５）に面するように配置され、
前記一側部は、流れ案内ビーム（２８）の長手方向に沿って三角形状である、流れ案内ビーム（２８）。
【請求項２１】
真空チャンバ（４）と、
請求項１〜２０のいずれか一項に記載の電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）とを備える、リソグラフィユニット（２）。
【請求項２２】
前記キャビネットは、前記真空チャンバ（４）の頂部側部上に位置決めされる、請求項２１に記載のリソグラフィユニット（２）。
【請求項２３】
請求項２１又は２２に記載のリソグラフィユニット（２）を少なくとも２つ備え、前記少なくとも２つのリソグラフィユニットは、背面合わせに配置され、背面合わせに配置された各リソグラフィユニット（２）の各キャビネット（１０）の前記第２の側部（１７）同士が相互に対面する、リソグラフィシステム（１）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９５】
キャビネット内に冷却手段が存在するにもかかわらず、一般的には、最小限のフットプリントを有する横並びキャビネット構成向けに最適化されたキャビネットの内部に電子構成要素及びケーブル布線のレイアウトを設けることが望ましいものとなり得る。一連の［項］が、続いて以下に示されるが、これらは、分割出願の対象となり得る態様及び実施形態を定義する。
以下に、出願当初の特許請求の範囲に記載の事項を、そのまま、付記しておく。
［１］  電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）であって、
内部にアクセスするための開口（２４）を備えるアクセス側部（２３）と前記アクセス側部の対向側の第２の側部（１７）とを備えるケーシング（１２）と、
前記ケーシングの内部に前記電子機器（４６）を収容するための、及び前記アクセス側部との間に第１のプレナム空間（３５）を画定するように前記ケーシング内に位置決めされたラック（４０ａ）と、ここにおいて、前記キャビネット（１０）は、前記電子機器（４６）と熱連通状態にある第１の冷却媒体（２７）を囲むように構成される、
前記第１のプレナム空間（３５）から前記電子機器（４６）を横断して前記第２の側部（１７）に向かって前記第１の冷却媒体（２７）の流れ（Φｆ）を発生させるための流れ発生器（３０）と、
前記第１の冷却媒体（２７）から熱エネルギー（Ｑ）を抽出するための熱交換器（３１）とを備え、
前記熱交換器（３１）及び前記流れ発生器（３０）は、前記ケーシング（１２）の前記第２の側部（１７）に又はその付近に設けられることと、前記ケーシングは、前記第２の側部（１７）から前記第１のプレナム空間（３５）に第１の冷却媒体（２７）を再循環させるために、前記ラックの側方壁部（４２）に沿って設けられ、前記第２の側部（１７）及び前記第１のプレナム空間（３５）と流体連通状態に設けられたチャネル（３６）を備えることとを特徴とする、キャビネット（１０）。
［２］  前記ラック（４０）は、対向し合う側方ラック壁部（４２、４３）を備え、少なくとも１つの側方ラック壁部が、前記チャネル（３６）の垂直方向境界部を画定する実質的に閉鎖されたパネルを備える、［１］に記載のキャビネット（１０）。
［３］  前記側方ラック壁部（４２）は、前記チャネル（３６）の方を向いた外方壁部部分（８１）と、前記チャネル（３６）から離れる方向に向き凹状プロファイル（８４、８６、８８）を備える内方壁部部分とを備え、前記凹状プロファイルは、ヘッダ壁部部分（８４）と、前記ヘッダ壁部部分に対して平行であり同一平面をなし、前記内方壁部部分に棚（４４）を固定するための棚支持具（９０）を収容するように構成された凹状壁部部分（８８）とを備える、［２］に記載のキャビネット（１０）。
［４］  前記熱交換器（３１）及び前記流れ発生器（３０）は、前記ケーシング（１２）に対して別個に再位置決め可能であるクーラフレーム（２９）へと一体化される、
［１］〜［３］のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
［５］  前記再位置決め可能なクーラフレーム（２９）は、前記ケーシング（１２）の前記第２の側部（１７）全体に実質的にわたって延在し、それにより前記第２の側部上の開口を覆い、前記キャビネットの後方壁部（１８）を形成する、［４］に記載のキャビネット（１０）。
［６］  前記キャビネットは、前記キャビネットの内部に配置され前記ラック（４０ａ）から側方に離間されたさらなるラック（４０ｂ）を備え、それにより前記キャビネットの長手方向正中線に沿って前記ラックと前記さらなるラックとの間に前記チャネル（３６）を画定する、［１］〜［５］のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
［７］  前記キャビネットは、前記ケーシング（１２）の頂部壁部（２０）及び床部（２２）の内方表面同士の間に画定された内方高さ（Ｈｉ）を有し、前記チャネル（３６）は、前記内方高さ（Ｈｉ）に等しいチャネル高さ（Ｈｃ）を有する垂直方向間隙を画定する、［１］〜［６］のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
［８］  前記第１のプレナム空間内への前記第１の冷却媒体（２７）の再循環流（Φｆ）を調整するために、前記チャネル（３６）の前方孔（３７）に沿って前記第１のプレナム空間（３５）内に配置された流れ案内ビーム（２８）を備える、［１］〜［７］のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
［９］  前記流れ案内ビーム（２８）は、前記ケーシング（１２）の前記頂部壁部（２０）と前記床部（２２）との間に延在し、前記流れ案内ビームは、前記頂部壁部（２０）と前記床部（２２）との間に少なくとも１つのケーブル（６６ｃ）を収容する及び案内するための中空部材として形成される、［８］に記載のキャビネット（１０）。
［１０］  前記第１の冷却媒体（２７）は、ガスであり、前記熱交換器（３１）は、流体を備える第２の冷却媒体（３３）に前記熱エネルギー（Ｑ）を伝達するように構成されたガス−流体間熱交換器である、［１］〜［９］のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
［１１］  前記ガス−流体間熱交換器（３１）は、前記第２の側部（１７）の付近の前記キャビネット内に位置決めされ、それにより前記熱交換器と前記キャビネットの後方壁部（１８）との間に第２のプレナム空間（３９）を画定するチューブタイプ熱交換器であり、前記流れ発生器（３０）は、前記第２のプレナム空間内に設けられた少なくとも１つのファンを備える、［１０］に記載のキャビネット（１０）。
［１２］  前記第１のプレナム空間（３５）は、垂直方向（Ｚ）に沿って前記電子機器（４６）用のケーブル布線を収容するために、前記ケーシング（１２）の側方壁部（１６）に垂直方向凹部（３８）を備える、［１］〜［１１］のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
［１３］  ［１］〜［１２］のいずれか一項に記載の、電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）であって、
内部にアクセスするための開口（２４）を備えるアクセス側部（２３）と前記アクセス側部の対向側の第２の側部（１７）とを備えるケーシング（１２）と、
前記ケーシングの内部に前記電子機器（４６）を収容するための、及び前記アクセス側部との間に第１のプレナム空間（３５）を画定するように前記ケーシング内に位置決めされたラック（４０ａ）と
を備え、
前記第１のプレナム空間（３５）は、垂直方向（Ｚ）に沿って前記電子機器（４６）用のケーブル布線（６６ｃ）を収容するために前記ケーシング（１２）の側方壁部（１６）に垂直方向凹部（３８）を備える、キャビネット（１０）。
［１４］  前記垂直方向凹部（３８）の側方壁部が、少なくとも１つのケーブル取付具を備える、［１２］又は［１３］に記載のキャビネット（１０）。
［１５］  前記少なくとも１つのケーブル取付具は、所定の電子機器ユニット（４６）が前記キャビネット内に収容される高さの範囲にてケーブル布線（６６ｃ）が側方方向へと前記垂直方向凹部（３８）から分岐するのを可能にするために、前記所定の電子機器ユニット（４６）用のレベル範囲内又はその付近に設けられる、［１４］に記載のキャビネット（１０）。
［１６］  前記キャビネットの下方外部に前記垂直方向凹部（３８）内に収容されたケーブル布線（６６ｃ）を案内するための床部孔（４５）を備える、［１２］〜［１５］のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
［１７］  前記床部孔（４５）は、前記第１のプレナム空間（３５）の側方端部に設けられる、［１６］に記載のキャビネット（１０）。
［１８］  前記垂直方向凹部（３８）から分岐する少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）を備え、前記少なくとも１つのケーブル導管は、前記ケーシング（１２）の外部の前記側方壁部（１６）上に取り付けられた導管によって形成される、［１２］〜［１７］のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
［１９］  前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）は、前記側方壁部（１６）の内方壁部板と外方壁部板との間に備えられた屈曲上方壁部及び屈曲下方壁部（６４）によって形成される、［１８］に記載のキャビネット（１０）。
［２０］  前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）は、好ましくは平滑曲線を有して湾曲状に形状設定される、［１９］に記載のキャビネット（１０）。
［２１］  前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）の前記屈曲上方壁部及び前記屈曲下方壁部（６４）は、垂直方向（Ｚ）へと終端する、［１９］又は［２０］に記載のキャビネット（１０）。
［２２］  前記少なくとも１つのケーブル導管（５８、５９、６０）は、前記垂直方向（Ｚ）に下方に配向される、［２１］に記載のキャビネット（１０）。
［２３］  前記ケーシング（１２）内の温度（Ｔ）を測定し、前記温度を表す温度測定信号を生成するように構成された温度センサ（５２）と、前記ケーシング（１２）内の流体流（Φｆ）を局所的に測定し、前記流体流を表す流れ測定信号を生成するように構成された流れセンサ（５４）との少なくとも一方を備える、［１］〜［２２］のいずれか一項に記載のキャビネット（１０）。
［２４］  真空チャンバ（４）と、
［１］〜［２３］のいずれか一項に記載の電子機器（４６）を収容するためのキャビネット（１０）とを備える、リソグラフィユニット（２）。
［２５］  前記真空チャンバ（４）は、頂部側部（５）に及び長手方向（Ｘ）に沿ってリニア軸受部材（８）を備え、前記キャビネット（１０）は、前記真空チャンバの頂部側部上に位置決めされる、［２４］に記載のリソグラフィユニット（２）。
［２６］  前記真空チャンバ（４）は、前記キャビネット（１０）の内部の電子機器（４６）に接続された導管及び／又はケーブル（６６）を受ける及び通すためのアクセスポートを備えた界面壁部（６）を前記頂部側部（５）の凹状セクション（７）に備える、［２５］に記載のリソグラフィユニット（２）。
［２７］  前記界面壁部（６）は、前記真空チャンバ（４）の前記頂部側部（５）の全幅にわたって延在し、好ましくは前記垂直方向（Ｚ）に配向される、［２６］に記載のリソグラフィユニット（２）。
［２８］  前記凹状セクション（７）は、前記真空チャンバ（４）の後方側部にて凹状をなし、この後方凹状側部は、導管及び／又はケーブル（６６）を受ける及び通すためのさらなるアクセスポートを備えるさらなる界面壁部に設けられる、［２６］又は［２７］に記載のリソグラフィユニット（２）。
［２９］  ［２４］〜［２８］のいずれか一項に記載の少なくとも２つのリソグラフィユニット（２）を備え、前記リソグラフィユニットは、背面合わせに配置され、背面合わせに配置されたリソグラフィユニット（２）の各キャビネット（１０）の前記第２の側部（１７）同士は、相互に対面する、リソグラフィシステム（１）。
【外国語明細書】
2018152580000001.pdf