(57)【要約】【課題】触媒粉体の抵抗率を、少量サンプルで測定環境（ガス種、温度、湿度）を変えて、正確かつ簡易に測定すること。【解決手段】粉体を保持する複数の測定室と、上記測定室の上記粉体を押える複数の第１電極と、上記第１電極に対向し上記粉体を押える第２電極と、上記複数の第１電極と上記第２電極間の抵抗を測定する測定部と、を含む抵抗測定装置を用いる。Ｎ個の第１電極と第２電極とで粉体を挟み加圧工程と、上記Ｎ個の第１電極と上記第２電極と間のインピーダンスを測定する第１測定工程と、上記Ｎ個と異なるＭ個の第１電極と上記第２電極と間のインピーダンスを測定する第２測定工程と、を含む抵抗測定方法を用いる。【選択図】図５
2018048865.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉体を保持する複数の測定室と、
前記測定室の前記粉体を加圧する複数の第１電極と、
前記第１電極に対向し前記粉体を加圧する第２電極と、
前記複数の第１電極と前記第２電極間の抵抗を測定する測定部と、
を含む抵抗測定装置。
【請求項２】
前記複数の第１電極は、第１絶縁体に保持されている請求項１記載の抵抗測定装置。
【請求項３】
前記複数の測定室は、第２絶縁体に設けられている請求項１または２記載の抵抗測定装置。
【請求項４】
前記複数の第１電極と、前記複数の測定室とは、それぞれ対応して配置される請求項１〜３のいずれか１項に記載の抵抗測定装置。
【請求項５】
さらに、前記複数の第１電極と前記第２電極間のインピーダンス値から抵抗を算出する制御部を有する請求項１〜４のいずれか１項に記載の抵抗測定装置。
【請求項６】
前記第１電極と前記第２電極の少なくとも一方、もしくは前記測定室にガス透過性がある請求項１〜５のいずれか１項に記載の抵抗測定装置。
【請求項７】
前記電極および測定室の数は３個以上である請求項１〜６のいずれか１項に記載の抵抗測定装置。
【請求項８】
前記第１電極と前記第２電極間を加圧する加圧機構と、前記第１電極と前記第２電極間の距離を測定する厚み測定部と、をさらに含む請求項１〜７のいずれか１項に記載の抵抗測定装置。
【請求項９】
Ｎ個の第１電極と第２電極とで粉体を挟み加圧工程と、
前記Ｎ個の第１電極と前記第２電極と間のインピーダンスを測定する第１測定工程と、
前記Ｎ個と異なるＭ個の第１電極と前記第２電極と間のインピーダンスを測定する第２測定工程と、を含む抵抗測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、抵抗を測定する装置とその方法に関する。特に、粉体の評価を行うための抵抗測定装置とその方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、製品の性能向上や開発期間短縮のため、材料選定や材料開発のスピードの重要性が高まっている。
【０００３】
固体高分子型燃料電池（ＰＥＦＣ：Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｅｌｅｃｔｒｏｌｙｔｅ  Ｆｕｅｌ  Ｃｅｌｌ）を例に説明をすると、固体高分子型燃料電池では、発電反応を起こす電解質膜の両外面に、触媒層、ガス拡散層の順に接合され、膜電極接合体を構成されている。そして、固体高分子型燃料電池では、膜電極接合体をセパレータで挟みこんだものを一つの単セルとして、必要な個数の単セルを積み上げて構成されている。
【０００４】
この固体高分子型燃料電池に、水素を含有する燃料ガスと、空気など酸素を含有する酸化剤ガスとを供給し、電解質膜を介して、燃料ガスと酸化剤ガスとを電気化学的に反応させる。結果、固体高分子型燃料電池は、電力、熱、及び、水を同時に発生させる。
【０００５】
固体高分子型燃料電池においては、負極では式１、正極では式２の反応が起こる。
【０００６】
Ｈ２  →  ２Ｈ＋  ＋  ２ｅ−・・・（式１）
１／２Ｏ２  ＋  ２Ｈ＋  ＋  ２ｅ−  →  Ｈ２Ｏ・・・（式２）
負極での反応で発生した水素イオン（Ｈ＋：プロトン）は、電解質膜内を移動し、正極での反応に使用される。このような電極反応は、触媒層で行われる。触媒層は触媒担持カーボンと電解質から構成されており，カーボンに担持した触媒と電解質との界面で電極反応が行われる。また，触媒層内のカーボンのつながりが電子の通り道となり，電解質のつながりが水素イオンの通り道となる。なお，担持する触媒は正極，負極とも白金が多いが，正極の活性向上や負極の耐ＣＯ性向上のために白金系合金触媒を用いる場合もある。
【０００７】
このように触媒の性能は燃料電池の性能に直結する。また触媒に用いられている白金等の金属は非常に高価な材料であるため、開発の早い段階で、かつより少ない使用量で、性能を見極めることが重要となる。
【０００８】
これらの観点から、材料物性の測定は非常に重要であり、その測定もより原材料に近い状態である触媒粉体で実施することが、望まれている。
【０００９】
粉体の抵抗を測定する方法として、直流電圧を印加して、その際に生じる電流を計測し、オームの法則に基づいて抵抗値を求める方法が一般的であった。しかし、より精度が高い測定方法として交流インピーダンス法を適用することが提案されている（特許文献１）。
【００１０】
特許文献１の交流インピーダンス法では、一対の電極を被検体である粉体の上下に配置し、周波数を変化させながら交流電圧もしくは交流電流を、電極に印加（入力）する。この入力の交流電圧もしくは交流電流に対応する出力される電流もしくは出力される電圧から、インピーダンスを計算する。入力信号の周波数とインピーダンスの関係を演算して、ナイキスト（Ｎｙｑｕｉｓｔ）プロットを行い、ナイキストプロットの形状を等価回路フィッティングする。このことで、抵抗成分を精度よく測定できるとしている。
【００１１】
図８は従来の粉体抵抗測定方法の模式説明図である。図８における粉体抵抗測定方法の配置関係を説明する。
【００１２】
測定容器５１は側壁部５２と底部５７と蓋部５８から構成されている。底部５７は底部絶縁体部５７ａと底部電極５７ｂと底部端子５４から構成されている。蓋部５８は蓋部絶縁体部５８ａと蓋部電極５８ｂと蓋部端子５３から構成されている。
【００１３】
内部空間５６に被測定粉体５９を投入し、底部電極５７ｂと蓋部電極５８ｂで狭持する。プレス装置６０で圧力をかけた状態で、蓋部端子５３と底部端子５４の間のインピーダンスを測定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２０１６−２７３１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、特許文献１では、電極直径が１〜３ｃｍあるため、測定で使用するサンプル量が多く必要である。
【００１６】
本発明は、係る課題に鑑みてなされたものであり、少量の粉体量で精度が高く、かつ、簡易に測定できる抵抗測定装置とその方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するために、粉体を保持する複数の測定室と、上記測定室の上記粉体を押える複数の第１電極と、上記第１電極に対向し上記粉体を押える第２電極と、上記複数の第１電極と上記第２電極間の抵抗を測定する測定部と、を含む抵抗測定装置を用いる。
【００１８】
また、Ｎ個の第１電極と第２電極とで粉体を挟み加圧工程と、上記Ｎ個の第１電極と上記第２電極と間のインピーダンスを測定する第１測定工程と、上記Ｎ個と異なるＭ個の第１電極と上記第２電極と間のインピーダンスを測定する第２測定工程と、を含む抵抗測定方法を用いる。
【発明の効果】
【００１９】
この構成によれば、触媒粉体の抵抗率を面積の異なる複数点で測定し算出することにより、触媒粉体と電極との接触抵抗など測定値に対する誤差の影響を軽減することが出来、触媒粉体の抵抗率を精度良く測定することができる。また測定時の周辺環境を変動させることにより、より触媒粉体の実使用時に近い条件で評価が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本実施の形態の粉体抵抗測定の模式図
【図２】（ａ）本実施の形態の上部電極ユニットの上部からの平面図、（ｂ）本実施の形態の上部電極ユニットの断面図
【図３】（ａ）本実施の形態の下部電極ユニットの上部からの平面図、（ｂ）本実施の形態の下部電極ユニットの断面図
【図４】（ａ）本実施の形態の被検体と電極の関係を示す平面図、（ｂ）本実施の形態の被検体と電極の関係を示す断面図、（ｃ）本実施の形態の被検体と測定部の関係を示す断面図
【図５】本実施の形態の粉体抵抗測定装置の模式図
【図６】実施例１での測定結果を示す図
【図７】実施例２での測定結果を示す図
【図８】従来の粉体抵抗度測定方法の模式図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明する。
＜装置構成＞
図１に、本実施の形態の抵抗測定装置の測定部８の模式図を示す。測定部８は、上部電極ユニット６と下部電極ユニット７から構成されている。
【００２２】
上部電極ユニット６は、上部電極１（第１電極）と、樹脂ブロック２（第１絶縁体）とを備えている。上部電極１（第１電極）は、電気伝導のある材料で構成されている。樹脂ブロック２（第１絶縁体）は電気絶縁材料で構成されている。上部電極１（第１電極）は、お互いに電気的に絶縁した状態で、樹脂ブロック２（第１絶縁体）に固定される。上部電極１（第１電極）は、棒状であり、平面状の樹脂ブロック２（第１絶縁体）を貫通して、樹脂ブロック２（第１絶縁体）の両面に現れている。
【００２３】
下部電極ユニット７は、樹脂ブロック４（第２絶縁体）と下部電極５（第２電極）とを備えている。樹脂ブロック４（第２絶縁体）と下部電極５（第２電極）は、平板状で積層されている。樹脂ブロック４（第２絶縁体）は、上部電極ユニット６側に、位置する。樹脂ブロック４（第２絶縁体）は、電気絶縁材料で構成されており、測定室３ａ〜３ｈ（測定室３）を備えている。
【００２４】
樹脂ブロック４（第２絶縁体）と下部電極５（第２電極）は、測定室３の底部が下部電極５（第２電極）となる状態で固定する。
【００２５】
下部電極５（第２電極）は、焼結金属のような電気伝導がある多孔質体で構成されている。下部電極５（第２電極）は、下部電極５（第２電極）の側面もしくは底面より供給されたガスを、測定室３へ供給するように構成されている（図示せず）。
【００２６】
図２（ａ）に、上部電極ユニット６の上部から観た平面図を示す。図２（ｂ）に上部電極ユニット６の断面図を示す。上部電極１（第１電極）は、樹脂ブロック２（第１絶縁体）にお互いに電気的に絶縁した状態で固定される。図２（ａ）、図２（ｂ）においては、便宜上、８個の上部電極１（第１電極）を同心円上に配置している。しかし、電極数、配置はこれに制限されない。後述するように実際の測定時には上部電極１（第１電極）と下部電極５（第２電極）との間に圧力を加える。この際に上部電極１（第１電極）のそれぞれに均等に圧力がかかる様に配置することが好ましい。上部電極を同心円上に配置することや、点対称に配置することは好ましい。
【００２７】
図３（ａ）に、下部電極ユニット７を上部から観た平面図を示す。図３（ｂ）に下部電極ユニット７の断面図を示す。測定室３は、樹脂ブロック４（第２絶縁体）に貫通孔を開けることにより構成されている。樹脂ブロック４（第２絶縁体）と下部電極５（第２電極）は、下部電極５（第２電極）が測定室３の底部となる状態で固定する。測定室３は、上部電極１に対応、または、対向して設けられている。測定室３へ上部電極１が挿入される。
【００２８】
図３（ａ）、図３（ｂ）においては便宜上、８個の測定室３を同心円上に配置しているが、測定室３の数、配置はこれに制限されない。ただし、上部電極１（第１電極）の配置と測定室３の配置は、一致（対応）させる必要がある。
【００２９】
＜測定対象物のセット＞
図４（ａ）、図４（ｂ）に、被検体９ａ〜９ｈ（被検体９、検査対象物）と下部電極ユニット７との関係を示す。図４（ａ）は、被検体９を投入した状態の下部電極ユニット７の上部から観た平面図を示す。図４（ｂ）は、被検体９を投入した状態の下部電極ユニット７の断面図を示す。図４（ｃ）は、被検体９を測定する状態での測定部８の断面図を示す。
【００３０】
被検体９は、測定室３に、それぞれ同じ重量を投入する。被検体９は、測定室３の下部において下部電極５（第２電極）と接触する。上部電極１（第１電極）は、被検体９の上部に接触するように配置する。被検体９は、上部電極１（第１電極）と測定室３と下部電極５（第２電極）との間に狭持される。
【００３１】
測定室３の面積は、１ｍｍ２以上２０ｍｍ２以下、深さは１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であること好ましい。ここで面積は、測定室３を円柱とした時の円の面積である。深さは、測定室３を円柱とした時の円柱の高さである。
【００３２】
面積が１ｍｍ２より小さい場合、測定室３に正確に被検体９を投入することが困難となり、正確な測定を実施することができない。
【００３３】
面積が２０ｍｍ２より大きい場合、測定室３に投入する被検体９の量が増加してしまう。
【００３４】
深さが１ｍｍより浅い場合は、被検体９を保持することが困難となり、正確な測定を実施することが出来ない。
【００３５】
深さが１０ｍｍより深い場合は、測定室３に投入する被検体９の量が増加してしまう。
【００３６】
なお、下部電極５は１つが好ましいが、複数の部材からなってもよい。上部電極１、測定室３に対応して、複数の下部電極５としてもよい。
【００３７】
＜装置構成全体＞
図５に、本実施の形態の粉体抵抗測定装置の模式図を示す。図５における抵抗測定装置１７の配置関係を説明する。
【００３８】
＜準備＞
まず、被検体９を、測定室３へ入れ、測定部８を組み立てる。つまり、図４（ｂ）の状態から図４（ｃ）のように、上部電極１を測定室３へ挿入し、被検体９を加圧する。
【００３９】
次に、測定部８は、ガス容器１０に配置される。下部電極５（第２電極）は、ガス容器１０の内部のガス流路１１に出るように、配置される。ガス容器１０は、ガス流路１１より供給されたガスを、下部電極５（第２電極）を通過して測定室３へ供給する役割を持つ。
【００４０】
次に、測定部８とガス容器１０を、信号選択器１２と交流インピーダンスメータ１３と感圧素子１４と厚み測定器１５とを持つ抵抗測定装置１７に配置する。
【００４１】
感圧素子１４は、加圧手段１６により下部電極ユニット７を可動させ、上部電極１（第１電極）を被検体９に接触させた時の圧力を測定する役割を持つ。
【００４２】
厚み測定器１５は、ガス容器１０の上面の高さを測定する役割を持つ。被検体９ａ〜９ｈの厚みを測定する。
【００４３】
最後に、上部電極ユニット６と感圧素子１４とを接続する。上部電極１（第１電極）を、それぞれ信号選択器１２を接続する。信号選択器１２は複数の上部電極から測定に使用する電極を選択する役割を持つ。交流インピーダンスメータ１３は信号選択器１２と下部電極５（第２電極）と接続し、上部電極１（第１電極）と下部電極５（第２電極）間のインピーダンスを測定する。
【００４４】
＜測定＞
（１）第１加圧工程
加圧手段１６により下部電極ユニット７を可動させ、上部電極１（第１電極）を被検体９に接触させ所定の圧力を加える。またその時のガス容器１０の上面の高さを厚み測定器１５で測定し、被検体９を配置しない時との差分を被検体９の厚みとする。
【００４５】
また、説明を容易にするために下部電極５（第２電極）より測定室３へガス供給しているが、測定室３を構成する樹脂ブロック４（第２絶縁体）を多孔質材料として測定室３の側面よりガス供給しても良い。同様に、上部電極１からガスを供給してもよい。また、加圧方向においても上部電極ユニット６を固定して下部電極ユニット７を移動させる構成としているが、下部電極ユニット７を固定して上部電極ユニット６を移動させる構成としても良い。
【００４６】
（２）第１測定工程
上記配置において被検体９の抵抗率を測定するには、交流波による電流が与えられた状態で被検体９の厚み方向の電圧を測定する。もしくは、交流波による電圧を与えて、被検体９を流れる電流を測定する。
【００４７】
本測定においては交流インピーダンスメータ１３を用いて、インピーダンス値を測定している。測定結果から得られるインピーダンス値をＲ、触媒粉体の厚み（つまり電極間の距離）をＬ、１個の上部電極の面積をＳとすると触媒粉体の抵抗率は、下記式（３）より求められる。
【００４８】
抵抗率（Ω・ｃｍ）＝Ｒ・Ｓ／Ｌ・・・（３）
（３）第２測定工程
第１測定工程と異なる数の上部電極１を使用して、第２測定工程をする。  第１測定工程でＮ個の上部電極１を使用し、Ｎ個と異なる数のＭ個の上部電極１を使用して、第２測定工程をする。
【００４９】
本実施の形態の測定方法では、各々の上部電極１から引き出された電線を信号選択器１２により複数個の上部電極１を個別もしくは組み合わせて測定を実施する。
【００５０】
具体的には２個の上部電極を並列接続すると面積は２倍となる。３個の上部電極を並列接続すると面積は３倍となる。４個の上部電極を並列接続すると面積は４倍となる。
【００５１】
結果、インピーダンス値は理想的には、それぞれＲ／２、Ｒ／３、Ｒ／４となる。横軸に面積の逆数（１／Ｓ）、縦軸にインピーダンス値をプロットすると、線形近似により傾き（ΔＲ）が得られる。触媒粉体の抵抗率は、下記式（４）より算出することが出来る。
【００５２】
抵抗率（Ω・ｃｍ）＝ΔＲ／Ｌ・・・（４）
尚、図１〜図４においては、測定方法が明確になるように、上部電極１（第１電極）と測定室３をそれぞれ８個ずつ記載しているが、実際に測定を行う場合には、それぞれ２個以上あれば良い。
【００５３】
測定室３の数は３個以上１００個以下であること好ましい。測定室３の数が３個より少ない場合、上記ΔＲを算出する時の線形近似対象となる点が少ない。このため、正確な値が算出されない。測定室３の数が１００個より多い場合、測定に要する時間が長くなり実用的ではない。
【００５４】
本実施の形態によれば、複数個の上部電極を用いて電極面積を変動させ測定を実施する。この事により、測定精度を向上させるができる。また測定室３へガスを供給する事により、実使用環境に合わせた評価が可能となる。
【００５５】
上記の動作は、制御部１８にて制御される。
【００５６】
（実施例１）
［上部電極ユニット６の作製］
上部電極１（第１電極）は鉄で製作し、金メッキをした。上部電極１（第１電極）は直径３ｍｍの円筒型とし、直径３０ｍｍの同心円上に８本を、ポリフェニレンサルファイド樹脂（Ｐｏｌｙ  Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  Ｓｕｌｆｉｄｅ  Ｒｅｓｉｎ）で製作した樹脂ブロック２（第１絶縁体）に固定した。
【００５７】
［下部電極ユニット７の作製］
下部電極５（第２電極）は焼結金属（型番：ＥＳＳ−４０−４０−１−２，ＳＭＣ社製）を準備し、金メッキをした。ポリフェニレンサルファイド樹脂（Ｐｏｌｙ  Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅ  Ｓｕｌｆｉｄｅ  Ｒｅｓｉｎ）で製作した樹脂ブロック４（第２絶縁体）に直径３ｍｍの貫通孔を同心円上に８箇所準備した。下部電極５（第２電極）と樹脂ブロック４（第２絶縁体）を固定し、上記貫通孔を測定室３とした。
【００５８】
［被測定対象の設置］
非測定対象としてカーボンブラック（型番：ＥＣＰ，ライオン社製）を用意した。測定室３の内にそれぞれ２．０ｍｇを投入した。加圧手段としてレベリングマウント（型番：ＫＨＷＭ−ＳＣ５６，ミスミ社製）、圧力測定手段として感圧素子（型番：ＬＵＲ−Ａ−２ＫＮＳＡ１，共和電業社製）を用いて加圧調整した。
【００５９】
［測定環境の変更方法］
ガス流路１１に空気を供給し、測定室３の内を空気環境にして測定した。
【００６０】
［電極間距離の測定方法］
厚み測定器１５（型番：ＧＴ２−Ｈ１２Ｋ，キーエンス社製）を用意した。まず被検体９の無い状態で測定し、次に被検体９を配置した状態で測定した。２つの測定値の差分を被検体９の厚みＬとした。その結果を（表１）に示す。
【００６１】
【表１】
2018048865.tif 000003
【００６２】
［インピーダンス値の測定方法］
交流インピーダンスメータ（型番：３５３２−８０，日置電機社製）を用意した。交流波として周波数１ｋＨｚ〜１ＭＨｚ、振幅１０ｍＶを印加した。交流波の周波数は交流インピーダンス測定にて位相が０になる周波数を選択した。信号選択器により上部電極が１個、２個、４個、７個、８個のインピーダンス値を測定した。
【００６３】
［抵抗率の演算方法  ］
測定したインピーダンス値を縦軸、電極部面積の逆数を横軸にとり、データをグラフにプロットした。得られたグラフの線形近似直線の傾き（ΔＲ）を求めた。被検体９の抵抗率は、前記の式（４）より算出した。加圧条件を変更して測定した結果を（表１）に示す。
【００６４】
図６に表１の結果をグラフに示す。横軸を測定時の加圧力、縦軸に抵抗率をプロットした。
【００６５】
比較対象のため、カーボンブラック（型番：ＥＣＰ，ライオン社製）を、市販の測定装置（型番：ＭＣＰ−ＰＤ５１，三菱化学アナリテック社製）で測定した。図６に結果をグラフに示す。横軸を測定時の加圧力、縦軸に抵抗率をプロットした。実施例１での測定値と市販の測定装置での測定値とは、ほぼ一致している。
【００６６】
このことにより本測定方法は粉体の抵抗率を、高い精度で測定できることが確認できた。
【００６７】
（実施例２）
実施例１と異なる部分を説明する。説明しない事項は実施例１と同様である。
【００６８】
［被測定対象の設置］
非測定対象として白金担持カーボン（型番：ＴＥＣ１０ＥＡ５０Ｅ，田中貴金属工業）を用意した。  測定室３の内にそれぞれ２．５ｍｇを投入した。
【００６９】
［測定環境の変更方法］
ガス流路に空気を供給し、測定室３の内を空気環境にして測定した。次にガス流路に水素を供給し、測定室３の内を水素環境にして測定した。加圧条件を変更して測定した結果を（表２）に示す。
【００７０】
【表２】
2018048865.tif 000004
【００７１】
図７に表（２）の結果をグラフに示す。横軸を測定時の加圧力、縦軸に抵抗率をプロットした。
【００７２】
空気中で測定を実施した時に対して、水素中で測定を実施した時の方が、抵抗率が低くなっている。これは被測定対象である白金担持カーボンにより水素分子が水素イオンと電子に分離され、電子の増加の影響により測定される電流値が増加し、抵抗率が低くなっていると考えられる。
【００７３】
このことにより本測定方法は触媒粉体の測定環境のよる抵抗率の違いを、測定できることが確認できた。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明の粉体抵抗の測定方法は、触媒粉体の抵抗率を簡易かつ精度良く、実使用に近い条件で測定することが可能である。触媒粉体の評価は、使用商品の性能を向上させる材料開発に利用可能である。触媒は、燃料電池やガスセンサ等の材料として有望視されている。
【符号の説明】
【００７５】
１、１ａ〜１ｈ  上部電極
２  樹脂ブロック
３、３ａ〜３ｈ  測定室
４  樹脂ブロック
５  下部電極
６  上部電極ユニット
７  下部電極ユニット
８  測定部
９、９ａ〜９ｈ  被検体
１０  ガス容器
１１  ガス流路
１２  信号選択器
１３  交流インピーダンスメータ
１４  感圧素子
１５  厚み測定器
１６  加圧手段
１７  抵抗測定装置
１８  制御部
５１  測定容器
５２  側壁部
５３  蓋部端子
５４  底部端子
５６  内部空間
５７  底部
５７ａ  底部絶縁体部
５７ｂ  底部電極
５８  蓋部
５８ａ  蓋部絶縁体部
５８ｂ  蓋部電極
５９  被測定粉体
６０  プレス装置
【図１】
2018048865.tif 000005
【図２】
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【図３】
2018048865.tif 000007
【図４】
2018048865.tif 000008
【図５】
2018048865.tif 000009
【図６】
2018048865.tif 000010
【図７】
2018048865.tif 000011
【図８】
2018048865.tif 000012