(57)【要約】【課題】簡素な構成で基板をブレイクすることが可能なブレイク装置を提供する。【解決手段】ブレイク装置１２は、２つのブレイクユニット１２ａを備え、２つのブレイクユニット１２ａは、基板Ｇ１を介して互いに対向して配置されている。２つのブレイクユニット１２ａは、それぞれ、基板Ｇ１のスクライブラインに沿って延びるブレイクバー１０７と、ブレイクバー１０７を基板Ｇ１に近付く方向および基板Ｇ１から離れる方向に移動させるモータおよびボールねじと、ブレイクバー１０７を挟む位置に配置された２つの受け部１０６ａと、２つの受け部１０６ａを基板Ｇ１に近付く方向および基板Ｇ１から離れる方向に移動させるシリンダ１０３と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板および第２基板が貼り合わされた基板の両面に形成されたスクライブラインに沿って前記基板をブレイクするブレイク装置であって、
前記第１基板側に配された第１ブレイクユニットと、
前記第２基板側に配された第２ブレイクユニットと、を備え、
前記第１ブレイクユニットと、前記第２ブレイクユニットとは、前記基板を介して互いに対向して配置され、
前記第１ブレイクユニットおよび前記第２ブレイクユニットは、それぞれ、
前記スクライブラインに沿って延びるブレイクバーと、
前記ブレイクバーを挟む位置に配置された２つの受け部と、を備えるとともに、
前記２つの受け部の間から前記ブレイクバーが出没可能に構成されており、
前記第１ブレイクユニットの前記ブレイクバーが前記２つの受け部の間から出現しているときには、前記第２ブレイクユニットの前記ブレイクバーは前記２つの受け部の間に没入している、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項２】
請求項１に記載のブレイク装置において、
前記第２ブレイクユニットの前記ブレイクバーが前記２つの受け部の間から出現しているときには、前記第１ブレイクユニットの前記ブレイクバーは前記２つの受け部の間に没入している、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のブレイク装置において、
前記第１ブレイクユニットおよび前記第２ブレイクユニットは、それぞれ、前記ブレイクバーの出没動作を案内するための案内部をさらに備える、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れか一項に記載のブレイク装置において、
前記ブレイクバーの端部は、Ｖ字状に形成されている、
ことを特徴とするブレイク装置。
【請求項５】
請求項１ないし４の何れか一項に記載のブレイク装置において、
前記受け部は、前記スクライブラインを水平方向に横切る方向の幅が前記基板に近付くに従って狭くなるよう形成されている、
ことを特徴とするブレイク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板をブレイクする際に用いられるブレイク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板の分断は、基板の両面にスクライブラインを形成した後、形成されたスクライブラインに沿って、基板の上面と下面に所定の力を付加してブレイクすることにより行われている。
【０００３】
以下の特許文献１には、基板を上流から下流に搬送する搬送ユニットと、下面に形成されたスクライブラインに沿って下側基板をブレイクする第１ブレイクユニットと、上面に形成されたスクライブラインに沿って上側基板をブレイクする第２ブレイクユニットと、を備えるブレイク装置が記載されている。第１ブレイクユニットと第２ブレイクユニットは、何れも上下方向において対向する位置に配置されたブレイクバーとバックアップバーを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−２００９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載のブレイク装置では、第１ブレイクユニットと第２ブレイクユニットが、搬送方向に間を開けて並ぶように配置される。このため、装置が大型化し且つ構成が複雑になるとの問題が生じる。
【０００６】
かかる課題に鑑み、本発明は、簡素な構成で基板をブレイクすることが可能なブレイク装置およびブレイクシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様は、第１基板および第２基板が貼り合わされた基板の両面に形成されたスクライブラインに沿って前記基板をブレイクするブレイク装置であって、前記第１基板側に配された第１ブレイクユニットと、前記第２基板側に配された第２ブレイクユニットと、を備え、前記第１ブレイクユニットと、前記第２ブレイクユニットとは、前記基板を介して互いに対向して配置され、前記第１ブレイクユニットおよび前記第２ブレイクユニットは、それぞれ、前記スクライブラインに沿って延びるブレイクバーと、前記ブレイクバーを挟む位置に配置された２つの受け部と、を備えるとともに、前記２つの受け部の間から前記ブレイクバーが出没可能に構成されており、  前記第１ブレイクユニットの前記ブレイクバーが前記２つの受け部の間から出現しているときには、前記第２ブレイクユニットの前記ブレイクバーは前記２つの受け部の間に没入している構成とされている。
【０００８】
本態様に係るブレイク装置によれば、第１基板をブレイクする場合、第１基板側に配された第１ブレイクユニットの２つの受け部が第１基板を支持した状態で、第２基板側に配された第２ブレイクユニットのブレイクバーが第２基板に押し付けられる。他方、第２基板をブレイクする場合、第２基板側に配された第２ブレイクユニットの２つの受け部が第２基板を支持した状態で、第１基板側に配された第１ブレイクユニットのブレイクバーが第１基板に押し付けられる。このように、本態様に係るブレイク装置によれば、第１および第２ブレイクユニットを第１基板側と第２基板側に対向するように配置することで、第１基板および第２基板を同じ位置でブレイクすることができる。よって、簡素な構成で基板をブレイクすることが可能となる。
【０００９】
本態様に係るブレイク装置において、前記第１ブレイクユニットおよび前記第２ブレイクユニットは、それぞれ、前記ブレイクバーの上下方向の移動を案内するための案内部をさらに備える構成とされ得る。こうすると、ブレイクバーをスクライブラインに対して所望の角度で適正に押し付けることができる。
【００１０】
本態様に係るブレイク装置において、前記ブレイクバーの端部は、Ｖ字状に形成され得る。こうすると、スクライブラインに沿って基板を確実にブレイクすることができる。
【００１１】
本態様に係るブレイク装置において、前記受け部は、前記スクライブラインを水平方向に横切る方向の幅が前記基板に近付くに従って狭くなるよう形成され得る。こうすると、基板に対する受け部の接触面積が小さくなるため、他方のブレイクバーが基板に押し付けられた際に基板が所期の形状で撓みやすくなる。よって、基板のスクライブライン付近に適切に応力を生じさせることができ、基板を円滑にブレイクできる。
【発明の効果】
【００１２】
以上のとおり、本発明によれば、簡素な構成で基板をブレイクすることが可能なブレイク装置を提供することができる。
【００１３】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１（ａ）は、実施形態に係るブレイク装置の構成を示す側面図であり、図１（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、実施形態に係る第１基板および第２基板がブレイクされるときの状態を示す側面図である。
【図２】図２（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係るブレイクユニットの保持部材から基板側の構成を示す断面図である。
【図３】図３は、実施形態に係るブレイクユニットの構成を示す断面図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）は、実施形態に係る基板がブレイクされることを詳細に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸＹＺ軸が付記されている。Ｘ−Ｙ平面は水平面に平行で、Ｚ軸正方向は鉛直上方向である。
【００１６】
図１（ａ）は、ブレイク装置１２をＹ軸負方向に見た場合の側面図である。
【００１７】
ブレイク装置１２は、上述したように２つのブレイクユニット１２ａを備える。２つのブレイクユニット１２ａは、コンベア１１上を搬送される基板Ｇ１を介して互いに対向して配置されており、基板Ｇ１を対称面として互いに対称な構成を有する。以下、図１（ａ）を参照して、上側のブレイクユニット１２ａの構成について説明する。
【００１８】
ブレイクユニット１２ａは、保持部材１０１と、ガイド１０２と、シリンダ１０３と、摺動部材１０４と、保持部材１０５と、収容部１０６と、ブレイクバー１０７と、を備える。
【００１９】
保持部材１０１は、ブレイク装置１２内に固定的に設置されており、Ｚ軸方向に延びたガイド１０２およびロッド１０３ａを有するシリンダ１０３を保持する。摺動部材１０４は、ガイド１０２に沿ってＺ軸方向に摺動可能に構成されている。シリンダ１０３のロッド１０３ａの下端は、摺動部材１０４の上面に設置されている。シリンダ１０３のロッド１０３ａがＺ軸方向に移動することにより、摺動部材１０４がガイド１０２に沿ってＺ軸方向に移動する。保持部材１０５は、摺動部材１０４の下面に設置されており、収容部１０６は、保持部材１０５の下面に設置されている。
【００２０】
収容部１０６内には、基板Ｇ１のスクライブラインＬ１、Ｌ２に沿ってＹ軸方向に延びるブレイクバー１０７が配されている。ブレイクバー１０７の下端には、Ｙ軸方向に延びる端部１０７ａが形成されている。ブレイクバー１０７は、収容部１０６の内部において、後述する機構によりＺ軸方向に移動可能に支持されている。収容部１０６の下端には、Ｙ軸方向に延びる２つの受け部１０６ａが形成されており、２つの受け部１０６ａは、ブレイクバー１０７を挟む位置にある。なお、収容部１０６、ブレイクバー１０７、および収容部１０６の内部の機構については、追って図２（ａ）〜図３を参照して説明する。
【００２１】
図１（ｂ）は、基板Ｇ１の下側の第１基板がブレイクされるときの状態を示す側面図であり、図１（ｃ）は、基板Ｇ１の上側の第２基板がブレイクされるときの状態を示す側面図である。
【００２２】
基板Ｇ１がＸ軸正方向に搬送されて、図１（ａ）に示すように、スクライブラインＬ１、Ｌ２がブレイクバー１０７の端部１０７ａの位置に合わせられると、図１（ｂ）に示すように、ブレイク装置１２が駆動される。具体的には、上側のブレイクバー１０７が下方向に駆動されることにより、上側のブレイクバー１０７の端部１０７ａが、第２基板に押し付けられる。また、下側のロッド１０３ａが上方向に駆動されることにより、下側の収容部１０６の受け部１０６ａが、第１基板に押し付けられる。
【００２３】
このように、第２基板のスクライブラインＬ２に、端部１０７ａが押し付けられ、第１基板のスクライブラインＬ１からＸ軸正方向およびＸ軸負方向に所定幅だけずれた位置に、受け部１０６ａが押し付けられる。これにより、第１基板がスクライブラインＬ１に沿ってブレイクされる。第１基板のブレイクについては、追って図４（ａ）を参照して詳細に説明する。
【００２４】
第１基板がブレイクされると、基板Ｇ１の位置は動かされることなく、次に、図１（ｃ）に示すように、ブレイク装置１２が駆動される。具体的には、上側のブレイクバー１０７が上方向に駆動され、上側のロッド１０３ａが下方向に駆動されることにより、上側の収容部１０６の受け部１０６ａが、第２基板に押し付けられる。また、下側のロッド１０３ａが下方向に駆動され、下側のブレイクバー１０７が上方向に駆動されることにより、下側のブレイクバー１０７の端部１０７ａが、第１基板に押し付けられる。
【００２５】
このように、第１基板のスクライブラインＬ１に、端部１０７ａが押し付けられ、第２基板のスクライブラインＬ２からＸ軸正方向およびＸ軸負方向に所定幅だけずれた位置に、受け部１０６ａが押し付けられる。これにより、第２基板がスクライブラインＬ２に沿ってブレイクされる。第２基板のブレイクについては、追って図４（ｂ）を参照して詳細に説明する。
【００２６】
図２（ａ）、（ｂ）と図３は、上側のブレイクユニット１２ａの保持部材１０５から下の構成を示す断面図である。図２（ａ）は、図２（ｂ）に示すＡ１−Ａ２断面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に示すＢ１−Ｂ２断面図であり、図３は、図２（ａ）、（ｂ）に示すＣ１−Ｃ２断面図である。Ａ１−Ａ２断面は、ＸＺ平面に平行な断面であり、Ｂ１−Ｂ２断面は、ＹＺ平面に平行な断面であり、Ｃ１−Ｃ２断面は、ＸＹ平面に平行な断面である。
【００２７】
図２（ａ）、（ｂ）と図５に示すように、収容部１０６は、ＹＺ平面に平行な２つの壁部１０６ｂおよびＸＺ平面に平行な２つの壁部１０６ｃからなる。図２（ａ）、（ｂ）に示すように、受け部１０６ａは、２つの壁部１０６ｂの下端に形成されている。受け部１０６ａの外側面が収容部１０６の内側方向に傾斜していることにより、受け部１０６ａのＸ軸方向の幅（スクライブラインＬ１、Ｌ２を水平方向に横切る方向の幅）は、基板Ｇ１に近付くに従って狭くなっている。２つの壁部１０６ｃの下端は、受け部１０６ａの下端よりも上に位置付けられている。
【００２８】
壁部１０６ｂ、１０６ｃに囲まれた空間内に、モータ２０１と、ボールねじ２０２と、支持部材２０３、２０４と、ブレイクバー１０７と、が収容されている。モータ２０１は、保持部材１０５の下面に設置されている。ボールねじ２０２は、モータ２０１の回転軸に固定されている。支持部材２０３は、ボールねじ２０２のナットに固定されている。支持部材２０４の上端は、支持部材２０３の下面に固定されている。支持部材２０４の下端は、２つに分かれている。支持部材２０４の２つの下端は、Ｙ軸方向に離れた位置にあり、この下端にブレイクバー１０７が固定されている。ブレイクバー１０７の端部１０７ａの側面が傾斜していることにより、端部１０７ａのＸ軸方向の幅は、基板Ｇ１に近付くに従って狭くなっている。すなわち、ブレイクバー１０７の端部１０７ａは、Ｖ字状に形成されている。
【００２９】
図２（ａ）、（ｂ）と図３に示すように、壁部１０６ｃの内側面には、凹部１０６ｄが形成されている。Ｙ軸正側とＹ軸負側の壁部１０６ｃの凹部１０６ｄに、それぞれ、ブレイクバー１０７のＹ軸正側とＹ軸負側の端部が収容されている。
【００３０】
図３に示すように、基板Ｇ１のＹ軸方向の幅をＷ１、Ｙ軸正側の壁部１０６ｃの内側面とＹ軸負側の壁部１０６ｃの内側面との間隔をＷ２、Ｙ軸正側の凹部１０６ｄのＹ軸正側面とＹ軸負側の凹部１０６ｄのＹ軸負側面との間隔をＷ３、Ｙ軸正側の壁部１０６ｃの外側面とＹ軸負側の壁部１０６ｃの外側面との間隔をＷ４とすると、Ｗ１〜Ｗ４の関係は、Ｗ１＜Ｗ２＜Ｗ３＜Ｗ４となっている。ブレイクバー１０７のＸ軸方向の幅をＷ５、凹部１０６ｄのＸ軸方向の幅をＷ６とすると、Ｗ５、Ｗ６の関係は、Ｗ５＜Ｗ６となっている。
【００３１】
図２（ａ）、（ｂ）を参照して、ブレイクバー１０７が下方向に移動される場合、ボールねじ２０２のナットが下方向に移動するようモータ２０１が駆動される。これにより、ブレイクバー１０７を支持する支持部材２０３、２０４が下方向に移動され、ブレイクバー１０７が下方向に移動される。他方、ブレイクバー１０７が上方向に移動される場合、ボールねじ２０２のナットが上方向に移動するようモータ２０１が駆動される。これにより、ブレイクバー１０７を支持する支持部材２０３、２０４が上方向に移動され、ブレイクバー１０７が上方向に移動される。このとき、ブレイクバー１０７は、凹部１０６ｄに案内されることにより、確実に上下方向にのみ移動される。
【００３２】
図４（ａ）、（ｂ）は、収容部１０６の受け部１０６ａおよびブレイクバー１０７の端部１０７ａにより、基板Ｇ１がブレイクされることを詳細に示す図である。図４（ａ）、（ｂ）は、図２（ａ）と同様のＡ１−Ａ２断面図である。
【００３３】
図４（ａ）に示すように、第１基板がブレイクされる場合、上側のブレイクバー１０７の端部１０７ａが第２基板に押し付けられ、下側の収容部１０６の受け部１０６ａが第１基板の下面に押し付けられる。このとき、基板Ｇ１が下方向に撓むことにより、第１基板がブレイクされる。図４（ｂ）に示すように、第２基板がブレイクされる場合、上側の収容部１０６の受け部１０６ａが第２基板に押し付けられ、下側のブレイクバー１０７の端部１０７ａが第１基板に押し付けられる。このとき、基板Ｇ１が上方向に撓むことにより、第２基板がブレイクされる。
【００３４】
基板Ｇ１、Ｇ２の第１基板をブレイクする場合、第１基板側に配されたブレイクユニット１２ａの２つの受け部１０６ａが第１基板を支持した状態で、第２基板側に配されたブレイクユニット１２ａのブレイクバー１０７が第２基板に押し付けられる。他方、基板Ｇ１、Ｇ２の第２基板をブレイクする場合、第２基板側に配されたブレイクユニット１２ａの２つの受け部１０６ａが第２基板を支持した状態で、第１基板側に配されたブレイクユニット１２ａのブレイクバー１０７が第１基板に押し付けられる。このように、本実施形態に係るブレイク装置１２によれば、２つのブレイクユニットを第１基板側と第２基板側に対向するように配置することで、第１基板および第２基板を同じ位置でブレイクすることができる。よって、簡素な構成で基板Ｇ１、Ｇ２をブレイクすることが可能となる。
【００３５】
＜変更例＞
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施形態も上記以外に種々の変更が可能である。
【００３６】
また、上記実施形態では、モータ２０１とボールねじ２０２は、支持部材２０４により２箇所でブレイクバー１０７を支持したが、これに限らず、支持部材２０４により３箇所以上でブレイクバー１０７を支持しても良い。この場合、支持部材２０４は、Ｙ軸方向に離れた３箇所以上の部位でブレイクバー１０７に固定される。
【００３７】
また、上記実施形態では、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、壁部１０６ｃの基板側の端部は、受け部１０６ａの基板側の端部よりも、基板から離れた位置とされた。しかしながら、これに限らず、Ｚ軸方向において、壁部１０６ｃの基板側の端部は、受け部１０６ａの基板側の端部と同じ位置であっても良い。
【００３８】
また、上記実施形態では、受け部１０６ａは、図２（ａ）に示す形状とされたが、これに限らず、他の形状であっても良い。たとえば、受け部１０６ａの内側面も収容部１０６の外側方向に傾斜していることにより、Ｙ軸方向に見て、受け部１０６ａがＶ字状に形成されても良い。また、Ｙ軸方向に見て、受け部１０６ａの外側面および内側面が、円弧状に形成されても良い。また、Ｙ軸方向に見て、受け部１０６ａは、矩形に形成されても良い。
【００３９】
また、上記実施形態では、収容部１０６の基板側の端部に、連続的に受け部１０６ａが形成されたが、これに限らず、部分的に受け部１０６ａが形成されても良い。また、受け部１０６ａの形成される方向は、スクライブラインに平行とされたが、スクライブラインに平行でなくても良い。また、受け部１０６ａは、直線状に形成されたが、蛇行していても良い。
本発明の実施形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１２  ブレイク装置
１２ａ  ブレイクユニット（第１ブレイクユニット、第２ブレイクユニット）
１０３  シリンダ（第２駆動部）
１０６ａ  受け部
１０６ｄ  凹部（案内部）
１０７  ブレイクバー
１０７ａ  端部
２０１  モータ（第１駆動部）
２０２  ボールねじ（第１駆動部）
Ｇ１、Ｇ２  基板
【図１】
2018015924.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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