(57)【要約】【課題】ガード−アース間の静電容量を低減すると共に、取り扱いが容易なチャック信号伝送ケーブルを提供する。【解決手段】チャック信号伝送ケーブル３は、三重同軸コネクタ４１と、２本の二重同軸ケーブル３０，３１と、を有する。三重同軸コネクタ４１は、測定器２のコネクタ４０に接続するためのコネクタ４１であって、中心から外側へ向けて、中心端子４ａと、内端子４ｂと、外端子４ｃとが順に配置されている。２本の二重同軸ケーブル３０，３１は、中心から外側へ向けて、中心導体３２ａ，３２ｂと、外部導体３３ａ，３３ｂとが順に配置されている。２本の二重同軸ケーブル３０，３１の外部導体３３ａ，３３ｂが内端子４ｂに接続される。一方の二重同軸ケーブル３０の中心導体３２ａが中心端子４ａに接続される。他方の二重同軸ケーブル３１の中心導体３２ｂが外端子４ｃに接続される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心から外側へ向けて、信号端子、ガード端子、及びアース端子が順に配置された三重同軸コネクタを有する測定器と、チャックとを接続するためのチャック信号伝送ケーブルであって、
前記測定器の前記コネクタに接続するためのコネクタであって、中心から外側へ向けて、中心端子と、内端子と、外端子とが順に配置された三重同軸コネクタと、
中心から外側へ向けて、中心導体と、外部導体とが順に配置された２本の二重同軸ケーブルと、を備え、
前記２本の二重同軸ケーブルの前記外部導体が前記内端子に接続され、
一方の二重同軸ケーブルの前記中心導体が前記中心端子に接続され、
他方の二重同軸ケーブルの前記中心導体が前記外端子に接続されている、チャック信号伝送ケーブル。
【請求項２】
信号端子、ガード端子、及びアース端子を有する測定器と、
信号層、ガード層及びアース層を有するチャックと、
中心から外側へ向けて、中心導体と、外部導体とが順に配置された２本の二重同軸ケーブルを有するチャック信号伝送ケーブルと、を備え、
前記２本の二重同軸ケーブルの前記外部導体が、前記チャックのガード層及び前記測定器のガード端子に接続され、
一方の二重同軸ケーブルの前記中心導体が、前記チャックの信号層及び前記測定器の信号端子に接続され、
他方の二重同軸ケーブルの前記中心導体が、前記チャックのアース層及び前記測定器のアース端子に接続されている、プローバシステム。
【請求項３】
中心から外側へ向けて、信号端子、ガード端子、及びアース端子が順に配置された三重同軸コネクタを有する測定器と、チャックとを接続するためのチャック信号伝送ケーブルであって、
前記測定器のコネクタに接続するためのコネクタであって、中心から外側へ向けて、中心端子と、内端子と、外端子とが順に配置された三重同軸コネクタと、
中心から外側へ向けて、前記中心端子に接続される中心導体と、内絶縁体と、前記内端子に接続される第１外部導体と、外絶縁体と、前記外端子に接続される第２外部導体と、が順に配置された三重ケーブルと、を備え、
前記三重ケーブルの軸に直交する断面において、前記第１外部導体と前記第２外部導体の距離は、前記中心導体と前記第１外部導体の距離以上である、チャック信号伝送ケーブル。
【請求項４】
前記内絶縁体及び前記外絶縁体は、絶縁リボンが螺旋状に巻き付けられて形成されている、請求項３に記載のケーブル。
【請求項５】
中心から外側へ向けて、前記中心導体と、第１筒状風船と、第２筒状風船とが順に配置され、
前記中心導体と前記第１筒状風船の周壁との間には、互いの距離を所定距離に保持する内保持部が設けられており、
前記第１筒状風船の周壁と前記第２筒状風船の周壁との間には、互いの距離を所定距離に保持する外保持部が設けられており、
前記第１外部導体は、前記第１筒状風船の周壁に設けられ、
前記第２外部導体は、前記第２筒状風船の周壁に設けられ、
前記第１筒状風船の内部には、前記内絶縁体としての気体が配置され、
前記第２筒状風船の内部には、前記外絶縁体としての気体が配置されている、請求項３に記載のケーブル。
【請求項６】
中心から外側へ向けて、信号端子、ガード端子、及びアース端子が順に配置された三重同軸コネクタを有する測定器と、
信号層、ガード層及びアース層を有するチャックと、
請求項３〜５のいずれかに記載のチャック信号伝送ケーブルと、を備え、
前記チャック信号伝送ケーブルの前記中心導体が、前記チャックの信号層及び前記測定器の信号端子に接続され、
前記チャック信号伝送ケーブルの前記第１外部導体が、前記チャックのガード層及び前記測定器のガード端子に接続され、
前記チャック信号伝送ケーブルの前記第２外部導体が、前記チャックのアース層及び前記測定器のアース端子に接続されている、プローバシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、磁気メモリなどの素子に対する電気的な検査を行うプローバシステムに用いられ、素子が形成されたウエハを保持するチャックと測定器とを接続するチャック信号伝送ケーブル、及びプローバシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気メモリは、一般的に、ウエハ上に形成された後、切り離され、電子部品として組み立てられてパッケージングされて製造される。検査工程として、各素子を切り離す前に、ウエハ上の各々の素子の動作を確認するプローブテストが実施される。
【０００３】
プローブテストでは、プローバシステムが用いられる。プローバシステムは、ウエハを保持するチャックと、検査針に対してチャックを相対移動させるためのステージと、測定器と、を有する。まず、ウエハをチャックに載置して保持し、ステージの動作により素子の電極と針とを接触させ、針を介して測定器から電気信号を素子に供給し、素子から出力される信号を測定器で検出して、素子が正常に動作するかを検査する。
【０００４】
特許文献１には、磁気メモリ用のプローバチャックの一例が開示されている。半導体素子用および磁気メモリ用のいずれの用途のチャックも、ウエハが載置される導電性のチャックトップ（信号層）と、導電性のガード層と、導電性のアース層と、を有し、各々の導電層の間に絶縁部材が配置され、各導電層間の絶縁が確保されている。
【０００５】
チャックには、磁気メモリ用などの用途に応じて要求される性能値が異なるものの、低リークであること、すなわち、リーク電流値が、設計値よりも小さいことが求められる。リーク電流を低減する手段の一つとして、例えば特許文献１には、信号層とガード層とに同電位を印加することにより、信号層からアース層へ流れるリーク電流を低減することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−１５４５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
チャックが有する３つの導電層と測定器とは、一般的に、図７に示すように、三重同軸構造ケーブル１０３０を介して接続される。三重同軸構造は、中心から外側へ向けて、中心導体１１３１、内部導体１１３２、外部導体１１３３が順に同軸に配置されている。同図にて断面を示すように、三重同軸構造の中心導体１１３１に信号層が接続され、内部導体１１３２にガード層が接続され、外部導体１１３３にアース層が接続される。
【０００８】
測定器には、ガードドライブの静電容量仕様値が規定されている。チャック及びケーブルを合わせたガード−アース間の静電容量が、測定器の仕様値を超えると測定不能となるので、静電容量が小さいことが求められる。製品の性能により、９００ｐＦ、１５００ｐＦというように最大静電容量にバラツキがある。
【０００９】
ところが、図７に示す市販の三重同軸ケーブル１０３０は、上記用途が想定されていないせいか、中心導体１１３１と内部導体１１３２の間の距離Ｄ２は、用途に応じた静電容量になるように設定されるようであるが、内部導体１１３２と外部導体１１３３の間の距離Ｄ１は、距離Ｄ２に比べて非常に小さく設定されている。そのためか、市販の三重同軸ケーブルの内部導体１１３２と外部導体１１３３の間の静電容量、言い換えると、ガード−アース間の１ｍ当たりの静電容量が約３００ｐＦであることが確認された。近年は大口径である３００ｍｍのウエハを取り扱うので、チャックを動かすためには、チャックと測定器を接続するケーブルが３００ｍｍ以上必要となる。そうすると、チャック接続時には、チャックにおけるガード−アース間の静電容量に、ケーブルにおけるガード−アース間の静電容量を加算した値がシステムの静電容量になるので、測定器の仕様値を容易に超えてしまう。
【００１０】
本開示は、このような課題に着目してなされたものであって、その目的は、ガード−アース間の静電容量を低減すると共に、取り扱いが容易なチャック信号伝送ケーブル、及びプローバシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本開示は、上記目的を達成するために、次のような手段を講じている。
【００１２】
すなわち、本開示のチャック信号伝送ケーブルは、中心から外側へ向けて、信号端子、ガード端子、及びアース端子が順に配置された三重同軸コネクタを有する測定器と、チャックとを接続するためのチャック信号伝送ケーブルであって、
前記測定器の前記コネクタに接続するためのコネクタであって、中心から外側へ向けて、中心端子と、内端子と、外端子とが順に配置された三重同軸コネクタと、
中心から外側へ向けて、中心導体と、外部導体とが順に配置された２本の二重同軸ケーブルと、を備え、
前記２本の二重同軸ケーブルの前記外部導体が前記内端子に接続され、
一方の二重同軸ケーブルの前記中心導体が前記中心端子に接続され、
他方の二重同軸ケーブルの前記中心導体が前記外端子に接続されている。
【００１３】
三重同軸コネクタの中心端子は信号線として利用され、コネクタの内端子はガード線として利用され、コネクタの外端子はアース線として利用される。
この構成によれば、２本の二重同軸ケーブルを用い、双方のケーブルの外部導体をガード線としての内端子に接続しているので、信号線−アース線の断面距離と、ガード線−アース線の断面距離とがほぼ同じ距離にでき、ガード線−アース線の静電容量を低減させやすい。また、１本あたりのケーブルの太さを抑えることができるので、ケーブルの可撓性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本開示の第１実施形態のチャック信号伝送ケーブル及びプローバシステムを模式的に示す図。
【図２】第１実施形態の変形例を示す図。
【図３】第１実施形態の変形例を示す図。
【図４】第２実施形態のチャック信号伝送ケーブル及びプローバシステムを模式的に示す図。
【図５】第３実施形態のチャック信号伝送ケーブル及びプローバシステムを模式的に示す図。
【図６】第４実施形態のチャック信号伝送ケーブル及びプローバシステムを模式的に示す図。
【図７】従来の三重同軸ケーブルを模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜第１実施形態＞
以下、本開示の第１実施形態のチャック信号伝送ケーブル及びプローバシステムについて、図面を参照して説明する。
【００１６】
プローバシステムは、検査対象のウエハＷを保持するチャック１と、測定器２と、チャック１と測定器２とを接続するためのチャック信号伝送ケーブル３と、を有する。
【００１７】
［チャック］
図１に示すように、チャック１は、ウエハＷ上に形成された半導体素子の電気的な検査を行うために用いられ、半導体素子が形成されたウエハＷを保持する。チャック１は、チャックトップとも呼ばれる信号層１０と、信号層１０の下方に配置されるガード層１１と、ガード層１１の下方に配置されるアース層１２と、第１の絶縁部１３と、第２の絶縁部１４と、を有する。各部１０〜１４は、円盤状をなし、積層構造をなしている。なお、図１において、信号層１０、ガード層１１及びアース層１２は、位置関係を明示するために、厚みを誇張して図示している。
【００１８】
図１に示すように、信号層１０は、導電材料で形成され、ウエハＷが載置される。ガード層１１は、導電材料で形成され、信号層１０の下方に配置されている。アース層１２は、導電材料で形成され、ガード層１１の下方に配置されている。信号層１０、ガード層１１及びアース層１２を構成する導電材料は、導電材料であれば、適宜利用可能である。例えば、金、銀、銅、アルミニウム、クロム、ニッケル、チタン、白金またはパラジウムなどの金属材料が挙げられる。
【００１９】
第１の絶縁部１３は、絶縁材料で形成され、信号層１０とガード層１１との間に配置され、信号層１０とガード層１１とを絶縁する。第２の絶縁部１４は、絶縁材料で形成され、ガード層１１とアース層１２との間に配置され、ガード層１１とアース層１２とを絶縁する。本実施形態では、第１の絶縁部１３および第２の絶縁部１４は、アルミナや窒化珪素等のセラミックが用いられているが、絶縁材料であれば、これ以外も利用可能である。
【００２０】
チャック１における信号層１０、ガード層１１及びアース層１２は、チャック信号伝送ケーブル３及びコネクタ４０〜４３を介して測定器２に接続される。そのために、チャック１には、チャック側三重同軸コネクタ４３が設けられている。チャック側三重同軸コネクタ４３は、図１に示すように、中心から外側へ向けて、中心端子４ａと、内端子４ｂと、外端子４ｃとが順に配置されている。三重同軸コネクタはトライアキシャルコネクタとも呼ばれる。中心端子４ａには信号層１０が接続され、内端子４ｂにはガード層１１が接続され、外端子４ｃにはアース層１２が接続されている。
【００２１】
測定器２には、チャック信号伝送ケーブル３を接続するための測定器側三重同軸コネクタ４０が設けられている。測定器側三重同軸コネクタ４０は、図１に示すように、中心から外側へ向けて、信号端子２ａと、ガード端子２ｂと、アース端子２ｃとが順に配置されている。信号端子２ａはチャック１の信号層１０を接続するための端子であり、ガード端子２ｂはチャック１のガード層１１を接続するための端子であり、アース端子２ｃはチャック１のアース層１２を接続するための端子である。
【００２２】
チャック信号伝送ケーブル３は、測定器２に設けられた測定器側三重同軸コネクタ４０に接続するための三重同軸コネクタ４１と、２本の二重同軸ケーブル３０，３１と、を有する。三重同軸コネクタ４１は、中心から外側へ向けて、中心端子４ａと、内端子４ｂと、外端子４ｃとが順に配置されている。２本の二重同軸ケーブル３０，３１は、断面構造、断面における各部材の大きさが同じである。二軸同軸ケーブル３０，３１は、中心から外側へ向けて、中心導体３２ａ，３２ｂと、絶縁体３４と、外部導体３３ａ，３３ｂと、外皮３５と、が順に配置されている。絶縁体３４は、ポリエチレン、発泡ポリエチレン、テフロン（登録商標）、ビニールなどの絶縁材料を用いることができる。
【００２３】
２本の二重同軸ケーブル３０，３１の外部導体３３ａ，３３ｂは内端子４ｂに接続されている。一方の二重同軸ケーブル３０の中心導体３２ａが中心端子４ａに接続されている。他方の二重同軸ケーブル３１の中心導体３２ｂが外端子４ｃに接続されている。
【００２４】
本実施形態では、図１に示すように、測定器側三重同軸コネクタ４０に接続するための三重同軸コネクタ４１だけでなく、チャック側軸コネクタ４３に接続するための三重同軸コネクタ４２を設けているが、図２に示すように、三重同軸コネクタ４２及びチャック側軸コネクタ４３は省略可能である。この場合、２本の二重同軸ケーブル３０，３１がチャック１に取り付けられ、チャック１とチャック信号伝送ケーブル３とが一体になる。具体的には、２本の二重同軸ケーブル３０，３１の外部導体３３ａ，３３ｂはガード層１１に接続される。一方の二重同軸ケーブル３０の中心導体３２ａが信号層１０に接続される。他方の二重同軸ケーブル３１の中心導体３２ｂがアース層１２に接続される。
【００２５】
図１及び図２に示す実施形態では、チャック信号伝送ケーブル３に三重同軸コネクタ４１，４２を設けているが、図３に示すように、三重同軸コネクタを設けなくてもよい。図３に示すように、チャック１、チャック信号伝送ケーブル３、及び測定器２を一体にしたシステムとして提供可能である。
【００２６】
以上のように、第１実施形態のチャック信号伝送ケーブルは、中心から外側へ向けて、信号端子２ａ、ガード端子２ｂ、及びアース端子２ｃが順に配置された三重同軸コネクタ４０を有する測定器２と、チャック１とを接続するためのチャック信号伝送ケーブル３であって、
測定器２のコネクタ４０に接続するためのコネクタ４１であって、中心から外側へ向けて、中心端子４ａと、内端子４ｂと、外端子４ｃとが順に配置された三重同軸コネクタ４１と、
中心から外側へ向けて、中心導体３２ａ，３２ｂと、外部導体３３ａ，３３ｂとが順に配置された２本の二重同軸ケーブル３０，３１と、を備え、
２本の二重同軸ケーブル３０，３１の外部導体３３ａ，３３ｂが内端子４ｂに接続され、
一方の二重同軸ケーブル３０の中心導体３２ａが中心端子４ａに接続され、
他方の二重同軸ケーブル３１の中心導体３２ｂが外端子４ｃに接続されている。
【００２７】
また、第１実施形態のプローバシステムは、
信号端子２ａ、ガード端子２ｂ、及びアース端子２ｃを有する測定器２と、
信号層１０、ガード層１１及びアース層１２を有するチャック１と、
中心から外側へ向けて、中心導体３２ａ，３２ｂと、外部導体３３ａ，３３ｂとが順に配置された２本の二重同軸ケーブル３０，３１を有するチャック信号伝送ケーブル３と、を備え、
２本の二重同軸ケーブル３０，３１の外部導体３３ａ，３３ｂが、チャック１のガード層１１及び測定器２のガード端子２ｂに接続され、
一方の二重同軸ケーブル３０の中心導体３２ａが、チャック１の信号層１０及び測定器２の信号端子２ａに接続され、
他方の二重同軸ケーブル３１の中心導体３２ｂが、チャック１のアース層１２及び測定器２のアース端子２ｃに接続されている。
【００２８】
ケーブル３に設けられる三重同軸コネクタ４１の中心端子４ａは信号線として利用され、コネクタ４１の内端子４ｂはガード線として利用され、コネクタ４１の外端子４ｃはアース線として利用される。
【００２９】
この構成によれば、２本の二重同軸ケーブル３０，３１を用い、双方のケーブル３０，３１の外部導体３３ａ，３３ｂをガード線としての内端子４ｂに接続しているので、信号線−アース線の断面距離と、ガード線−アース線の断面距離とがほぼ同じ距離にでき、従来の三重同軸ケーブルに比べて、ガード線−アース線の静電容量を低減させることが可能となる。また、１本あたりのケーブルの太さを抑えることができるので、ケーブルの可撓性を確保できる。
よって、ガード−アース間の静電容量を低減すると共に、取り扱いが容易となる。
【００３０】
＜第２実施形態＞
以下、本開示の第２実施形態のチャック信号伝送ケーブル及びプローバシステムについて、図面を参照して説明する。第１実施形態と同じ構造について、第１実施形態で用いた説明及び図面を引用して説明する。
【００３１】
第２実施形態のチャック信号伝送ケーブル１０３は、図４に示すように、三重ケーブル１３０を有する。三重ケーブル１３０は、同軸ケーブルであり、中心から外側へ向けて、コネクタ４１の中心端子４ａに接続される中心導体１３１と、内絶縁体１３４と、コネクタ４１の内端子４ｂに接続される第１外部導体１３２と、外絶縁体１３５と、コネクタ４１の外端子４ｃに接続される第２外部導体１３３と、が順に配置されている。三重ケーブル１３０の最も径方向外側には外皮１３６があり、外皮１３６が内部を覆っている。内絶縁体１３４及び外絶縁体１３５は、テフロン（登録商標）、ビニールなどの導電材料で形成されている。図４の例では、内絶縁体１３４及び外絶縁体１３５は、筒状であり、軸方向に連続している。内絶縁体１３４及び外絶縁体１３５の製法としては、断面筒状の口金からの押し出し成形が挙げられる。
【００３２】
図４に示すように、三重ケーブル１３０の軸に直交する断面において、第１外部導体１３２と第２外部導体１３３の距離Ｄ２は、中心導体１３１と第１外部導体１３２の距離Ｄ１以上である。
【００３３】
この構成によれば、必要な性能に応じて中心導体１３１と第１外部導体１３２の距離Ｄ１を設定すれば、従来の三重同軸ケーブルに比べて、ガード−アース間の距離が大きくなるので、ガード−アース間の静電容量を低減することが可能となる。
【００３４】
＜第３実施形態＞
以下、本開示の第３実施形態のチャック信号伝送ケーブル及びプローバシステムについて、図面を参照して説明する。第２実施形態と同じ構造について、第２実施形態で用いた説明及び図面を引用して説明する。
【００３５】
第３実施形態と第２実施形態の違いは、図５に示すように、三重ケーブル２３０を構成する内絶縁体２３４及び外絶縁体２３５にある。図５は、三重ケーブル２３０を一部剥いて構造を分かりやすくした模式図である。同図に示すように、内絶縁体２３４及び外絶縁体２３５は、絶縁リボンｒｂが軸方向ＡＤに沿って螺旋状に巻き付けられて形成されている。内絶縁体２３４及び外絶縁体２３５は、軸方向ＡＤに不連続である。絶縁リボンｒｂは、テフロン（登録商標）などの絶縁材料で形成されることが挙げられる。
【００３６】
この構成によれば、曲げ力が加わったときに、隣接する絶縁リボンｒｂ同士が離れることができるので、内絶縁体２３４及び外絶縁体２３５が曲がりやすく、三重ケーブル２３０全体の可撓性を向上させることが可能となる。
【００３７】
＜第４実施形態＞
以下、本開示の第４実施形態のチャック信号伝送ケーブル及びプローバシステムについて、図面を参照して説明する。第２実施形態と同じ構造について、第２実施形態で用いた説明及び図面を引用して説明する。
【００３８】
第４実施形態と第２実施形態の違いは、図６に示すように、三重ケーブル３３０を構成する内絶縁体３３４及び外絶縁体３３５が空気などの気体である。
【００３９】
具体的には、三重ケーブル３３０は、図６に示すように、中心導体１３１と、第１筒状風船１５０と、第２筒状風船１５１と、第１外部導体１３２と、第２外部導体１３３と、を有する。中心から外側へ向けて、中心導体１３１と、第１筒状風船１５０と、第２筒状風船１５１とが順に配置されている。
【００４０】
中心導体１３１と第１筒状風船１５０の周壁との間には、互いの距離を所定距離に保持する内保持部１６０が設けられている。第１筒状風船１５０の周壁と第２筒状風船１５１の周壁との間には、互いの距離を所定距離に保持する外保持部１６１が設けられている。本実施形態では、内保持部１６０及び外保持部１６１は、棒状であるが、形状は種々変形可能である。複数の保持部の軸方向における位置が重なっていると、その部分の静電容量が増大する可能性がある。よって、複数の保持部の軸方向における位置が異なることが好ましい。もちろん、複数の保持部の軸方向における位置が同じでもよい。
【００４１】
第１筒状風船１５０の内部には、内絶縁体３３４としての気体が配置されている。第２筒状風船１５１の内部には、外絶縁体３３５としての気体が配置されている。本実施形態では、空気が充填されているが、風船１５０，１５１を構成する部材よりも誘電率が低い気体であれば、どの気体でも利用可能である。空気が最も誘電率が低いので、空気を充填することが好ましい。
【００４２】
第１外部導体１３２は、第１筒状風船１５０の周壁に設けられている。本実施形態では、第１外部導体１３２は、第１筒状風船１５０の周壁の外周側に設けられているが、第１筒状風船１５０の周壁の内周側に設けても良い。
【００４３】
第２外部導体１３３は、第２筒状風船１５１の周壁に設けられている。本実施形態では、第２外部導体１３３は、第２筒状風船１５１の周壁の外周側に設けられているが、第２筒状風船１５１の周壁の内周側に設けても良い。
【００４４】
この構成によれば、風船１５０，１５１を用いて、最も誘電率の低い空気を内絶縁体３３４及び外絶縁体３３５として利用できるので、静電容量の低減に有効である。さらに、風船１５０，１５１を用いているので、可撓性に優れたケーブルを提供可能となる。
【００４５】
以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明だけではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００４６】
第３及び第４実施形態は、第１外部導体と第２外部導体の距離Ｄ２は、中心導体と第１外部導体の距離Ｄ１以上であるとして説明している。しかし、その構造の特徴から、Ｄ２＜Ｄ１であってもよい場合がある。
【００４７】
上記の各実施形態で採用している構造を他の任意の実施形態に採用することは可能である。各部の具体的な構成は、上述した実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００４８】
１…チャック
２…測定器
２ａ…信号端子
２ｂ…ガード端子
２ｃ…アース端子
３、１０３…チャック信号伝送ケーブル
４０…測定器側三重同軸コネクタ
４１…三重同軸コネクタ
４ａ…中心端子
４ｂ…内端子
４ｃ…外端子
３０，３１…二重同軸ケーブル
３２ａ，３２ｂ…中心導体
３３ａ，３３ｂ…外部導体
１３０、２３０、３３０…三重ケーブル
１３１…中心導体
１３２…第１外部導体
１３３…第２外部導体
１３４、２３４、３３４…内絶縁体
１３５、２３５、３３５…外絶縁体
１５０…第１筒状風船
１５１…第２筒状風船
１６０…内保持部
１６１…外保持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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