(57)【要約】      （修正有）【課題】測定時の電極と端子および遮光マスクとの位置合わせが容易で、素早く電子素子の評価が出来る電子素子の評価方法を提供する。【解決手段】電極膜形成の成膜工程において蒸着マスク２を用いる電子素子の評価方法であって、蒸着マスクが電子素子基板１と外形基準により位置合わせされたのち磁石３によって固定されて成膜工程が行われ、かつ外形基準に合わせて電子素子が測定装置に固定され測定が行われることを特徴とする評価方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極膜形成の成膜工程においてマスクを用いる電子素子の評価方法であって、前記マスクが基板と外形基準により位置合わせされたのち磁石によって固定されて成膜工程が行われ、かつ前記外形基準に合わせて電子素子が測定装置に固定され測定が行われることを特徴とする電子素子の評価方法。
【請求項２】
前期外形基準による位置合わせの際、位置合わせ冶具を用いることを特徴とする請求項１に記載の電子素子の評価方法。
【請求項３】
前記電子素子が太陽電池素子であることを特徴とする請求項１および２に記載の電子素子の評価方法。
【請求項４】
前記電子素子を測定装置に固定する際、遮光マスクと電子素子を外形基準により位置合することを特徴とする電子素子の請求項１から３に記載の評価方法。
【請求項５】
請求項１から４に記載の評価方法を用いることを特徴とする電子素子の評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子素子の評価方法と評価装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子素子の研究開発現場においては、数ミリ単位の電子素子を作成し、評価することが多い。さらに、再現性や特性バラツキを評価する観点から複数の素子を同時に形成し評価することが多い。
【０００３】
ここで電子素子の電極膜形成時にマスクを用いて成膜すると、パターニング工程が不要で複数の電極膜のパターン形成が可能となる。
【０００４】
電子素子の評価に際しては、通常、マスクによるパターン形成の際に位置合わせマークを同時に形成し、これを基準にして、光学的に測定端子を電極に合わせる。基礎実験においては、大がかりな設備を用いることが困難なため通常目視で合わせることとなる。このため素子サイズが小さいほど位置合わせに困難を伴う。
【０００５】
特に太陽電池素子のような電子素子では、特性評価の際、入射光量をしっかりと規定する必要があることから遮光マスクが用いられるため、素子サイズが小さいと、この太陽電池素子と遮光マスクを位置合わせすることが非常に困難である。  
【０００６】
正しい評価のために遮光マスクと素子サイズは寸法的に近い必要があることから、場合によっては１００ミクロン以下の精度での位置合わせが必要となり、肉眼では難しく顕微鏡を用いる場合もある。位置合わせ作業のみで数十分の時間を費やすことなり、評価に非常に時間がかかる要因となっている。
【０００７】
ルミネッセンス発光する指標部を設けて位置合わせを行う手法（特許文献）も提案されているが、指標部を作成する工程が別途必要となり、コストと時間がかかる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０１６−２９３４４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
以上のように、測定のための合わせ作業に時間を取られることは、本来の研究開発とは直接関係ないことであり、研究開発速度を妨げる要因となっている。
【００１０】
殊に、有機系の太陽電池素子においては、素子作成後の経時劣化が著しいため評価に時間がかかることは、評価データそのものの信頼性を問う意味でも問題であった。
【００１１】
本発明は上記に鑑みてなされた物であり、測定時の電極と端子および遮光マスクとの位置合わせが容易で、素早く電子素子の評価が出来る電子素子の評価方法を提供する物である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために請求項１の発明は、電子素子の電極膜形成の成膜工程においてマスクを用いる際、マスクが基板と外形基準により位置合わせされたのち磁石によって固定されて成膜工程が行われ、かつ測定の際、同じ外形基準に合わせて電子素子が測定装置に固定され測定が行われることを特徴とする電子素子の評価方法である。
【００１３】
請求項２は前期外形基準による位置合わせの際、位置合わせ冶具を用いることを特徴とする電子素子の評価方法である。
【００１４】
請求項３は前記電子素子が太陽電池素子であることを特徴とする電子素子の評価方法である。
【００１５】
請求項４は前記電子素子を測定装置に固定する際、遮光マスクと電子素子を外形基準により位置合することを特徴とする電子素子の評価方法である。
【００１６】
請求項５は前記評価方法を用いることを特徴とする電子素子の評価装置である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明による電子素子の評価方法を用いれば、外形基準により成膜時の電極パターンと測定時の測定端子を位置合わせすることが出来るため、複雑な位置合わせ工程が不要で電子素子の評価を迅速に進めることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明による電極膜成膜時の設置方法を示す斜視図である。
【図２】本発明による位置合わせ治具を示す平面図である。
【図３】本発明による位置合わせ治具の使用方法を示す平面図である。
【図４】本発明による電子素子基板と遮光マスクを示す斜視図である。
【図５】本発明による電子素子の評価方法のための設置方法を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明の実施の形態を、以下図面を用いて説明する。
【００２０】
電子素子は様々な工程を経て形成され、製造工程には様々な手法があるため省略し、以下の説明では、最終的に位置合わせが必要な電極パターンの形成方法と測定時の位置合わせについて説明する。
【００２１】
位置合わせが必要な電極パターンが複数ある場合には、以下の手順を単純に繰り返せば良い。
【００２２】
図１は電極膜成膜時の設置方法を示す斜視図である。電子素子基板１と蒸着マスク２は外形基準で重ねられ、この状態で蒸着マスク２と逆方向から磁石３によって蒸着マスク２を電子素子基板１に固定する。この状態で蒸着マスク２方向から成膜を行う。
【００２３】
磁石３による固定を行うために蒸着マスク２は磁性材料である必要がある。
【００２４】
電子素子基板１と蒸着マスク２の外形基準あわせは手で行う事も可能であるが、より精度良く合わせるために図２に示す位置合わせ治具４を用いることが望ましい。位置合わせ治具４は３箇所に成膜用外形合わせピン４１が立った物で、これにより二次元的に電子素子基板１と蒸着マスク２の位置が固定される。
【００２５】
この位置合わせ治具４にまず蒸着マスク２を３箇所の成膜用外形合わせピン４１に当てて固定し、次に電子素子基板１を同じく３箇所の成膜用外形合わせピン４１に合わせて固定し、最後にその状態で磁石３を置き電子素子基板１と蒸着マスク２を固定する。
【００２６】
この状態を示した物が図３である。これによって、精度良く電子素子基板１と蒸着マスク２が位置決めされる。
【００２７】
このとき、蒸着マスク２と電子素子基板１は３箇所の成膜用外形合わせピン４１で位置合わせされるため、必ずしも外形サイズが同じである必要は無い。
【００２８】
また、固定に用いる磁石３は１個の磁石から出来ていても良いし、複数の磁石を組み合わせた物でも良い。さらに取扱の観点から吸着面以外に磁気シールドを用いても良い。
【００２９】
電子素子が太陽電池素子であって、光電変換の評価等を行う場合には図４に示すように電子素子基板１に遮光マスク５を重ねる必要がある。
【００３０】
図５は電子素子基板１と遮光マスク５を評価装置にセットした状態をしめす。
【００３１】
遮光マスク５を３箇所の測定用外形合わせピン４２に当てて固定し、次に電子素子基板１を同じく３箇所の測定用外形合わせピン４２に合わせて固定し、電子素子基板１と遮光マスク５を重ねた状態にする。この後、測定端子６を電極パターン１１に押しつける。
【００３２】
これによって、自動的に遮光マスク５と成膜された電極パターン１１が位置合わせされ、さらに測定端子６も位置合わせされる。
【００３３】
この後、遮光マスク５側から光照射を行い、光電変換等の各種評価を行う。
【００３４】
以上述べたように、本発明による電子素子の評価方法では、外形合わせのみで全ての位置合わせが可能となり、複雑な位置合わせ工程が不要で電子素子の評価を迅速に進めることが出来る。
【符号の説明】
【００３５】
１    電子素子基板
１１  電極パターン
２    蒸着マスク
３    磁石
４    位置合わせ治具
４１  成膜用外形合わせピン
４２  測定用外形合わせピン
５    遮光マスク
６    測定端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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