(57)【要約】【課題】圧電振動片の振動特性に影響を与えることなく、圧電振動片を突起部に接触させることができる圧電振動子を提供する。【解決手段】圧電振動子は、ＡＴカット水晶基板により形成された圧電振動片１０と、圧電振動片１０が実装部材８を介して実装された実装基板７２とを備えている。実装基板７２の底面７１ａから圧電振動片１０に向けて突起部８６が形成されている。圧電振動片１０は、圧電板１１の厚さ方向に膨出するメサ部２３，２４と、外周部２８に設けられた張出部８２とを備えている。張出部８２は、圧電板１１の厚さ方向において突起部８６の一部に少なくとも重なるように配置されている。【選択図】図２
2018110292.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＡＴカット水晶基板により形成された圧電振動片と、
前記圧電振動片が実装部材を介して実装され、かつ、前記圧電振動片に向けて突出された突起部を有するパッケージと、を備え、
前記圧電振動片は、
前記圧電振動片の厚さ方向に直交する方向における一端において実装され、
前記厚さ方向に膨出するメサ部と、
前記メサ部の外周側に設けられた張出部と、を備え、
前記張出部は、
前記圧電振動片のうち前記一端の反対側となる他端側に設けられ、かつ、前記厚さ方向において前記突起部の一部に少なくとも重なるように配置された、
ことを特徴とする圧電振動子。
【請求項２】
前記張出部は、
前記厚さ方向から見た平面視において、前記メサ部から離れる方向に向けて徐々に先細りに形成された、
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電振動子。
【請求項３】
前記圧電振動片は、
前記メサ部の周囲を取り囲む外周部を有し、
前記張出部は、
前記外周部と同じ厚さ寸法に形成された、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電振動子。
【請求項４】
前記圧電振動片は、
前記メサ部の周囲を取り囲む外周部を有し、
前記張出部は、
前記外周部より厚さ寸法が大きく形成された、
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の圧電振動子。
【請求項５】
前記メサ部は、
前記メサ部の外周縁から前記圧電振動片の中央に向けて傾斜する傾斜面を有する、
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧電振動子。
【請求項６】
前記メサ部は、
前記傾斜面に取り囲まれた頂面を有し、
前記張出部は、
前記一端側の端面が、前記頂面より前記圧電振動片の前記他端側に設けられた、
ことを特徴とする請求項５に記載の圧電振動子。
【請求項７】
前記圧電振動片は、
前記メサ部の周囲に形成された外周部を有する振動部を備え、
前記振動部は、前記ＡＴカット水晶基板のＺ´軸方向を長手方向とする矩形板状に形成されている、
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の圧電振動子。
【請求項８】
前記圧電振動片は、
前記メサ部の周囲に形成された外周部を有する振動部を備え、
前記振動部から前記厚さ方向に対して直交する方向に突出した突出部と、を備え、
前記突出部が前記実装部材に付着されている、
ことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の圧電振動子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電振動子はパッケージに圧電振動片が実装部材で実装されている。圧電振動子が衝撃を受けた際に、圧電振動片が比較的大きく揺れ動きパッケージの底面に接触し、振動特性が比較的大きく変動することが考えられる。圧電振動子のなかには、パッケージの底面に枕部（以下、突起部という）を設け、突起部に圧電振動片を接触させるものが知られている。
突起部は、励振電極を避けて圧電振動片の先端に接触するように設けられている。これにより、突起部で圧電振動片の振動特性に影響を与えないようにしている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３３２５６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、圧電振動片の小型化に伴い、突起部を設ける部位を圧電振動片に確保し難くなり、クリスタルインピーダンス（以下、ＣＩ値という）を維持することが難しくなることが考えられる。このため、圧電振動片が突起部に接触した場合に、圧電振動片の振動特性に影響を与えない技術の実用化が望まれていた。
【０００５】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、圧電振動片の振動特性に影響を与えることなく、圧電振動片を突起部に接触させることができる圧電振動子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために本発明の一態様にかかる圧電振動子は、ＡＴカット水晶基板により形成された圧電振動片と、前記圧電振動片が実装部材を介して実装され、かつ、前記圧電振動片に向けて突出された突起部を有するパッケージと、を備え、前記圧電振動片は、前記圧電振動片の厚さ方向に直交する方向における一端において実装され、前記厚さ方向に膨出するメサ部と、前記メサ部の外周側に設けられた張出部と、を備え、前記張出部は、前記圧電振動片のうち前記一端の反対側となる他端側に設けられ、かつ、前記厚さ方向において前記突起部の一部に少なくとも重なるように配置された、ことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、パッケージに突起部を形成し、メサ部の外周側から張出部を張り出した。張出部は、圧電振動片の厚さ方向において突起部の一部に少なくとも重なるように配置されている。よって、圧電振動子が衝撃を受けた際に、メサ部から離れた位置で張出部を突起部に接触させることができる。これにより、張出部が突起部に接触した際に、圧電振動片の振動特性に影響を与えないようにできる。
メサ部の外周側から張出部を張り出すことにより、特に、小型の圧電振動片において、メサ部から離れた位置で張出部を突起部に接触させることが可能になる。これにより、小型の圧電振動片においても、圧電振動片の振動特性に影響を与えないようにできる。
【０００８】
また、圧電振動子の一端側を実装部材で実装し、圧電振動子の他端側に張出部を設けた。よって、圧電振動子が衝撃を受けた際に、圧電振動子の他端側の変位を抑えることができる。これにより、圧電振動子の変位を効率よく抑えることができ、圧電振動片の振動特性に影響を与えないようにできる。
【０００９】
上記態様において、前記張出部は、前記厚さ方向から見た平面視において、前記メサ部から離れる方向に向けて徐々に先細りに形成されてもよい。
この構成によれば、平面視において張出部を先細りに形成することにより、張出部を軽量にできる。これにより、張出部への振動の伝搬を抑えることができる。
【００１０】
上記態様において、前記圧電振動片は、前記メサ部の周囲を取り囲む外周部を有し、前記張出部は、前記外周部と同じ厚さ寸法に形成されてもよい。
【００１１】
この構成によれば、張出部を圧電振動子の外周部と同じ厚さ寸法に形成した。圧電振動子は、メサ部が圧電振動片の厚さ方向に膨出されている。よって、外周部はメサ部より厚さ寸法が小さい。これにより、外周部と同じ厚さ寸法に張出部を形成することにより、張出部を軽量にできる。これにより、張出部への振動の伝搬を抑えることができる。
【００１２】
上記態様において、前記圧電振動片は、前記メサ部の周囲を取り囲む外周部を有し、
前記張出部は、前記外周部より厚さ寸法が大きく形成されてもよい。
【００１３】
この構成によれば、張出部を圧電振動子の外周部より厚さ寸法を大きく形成した。突起部の高さ寸法を小さく抑えることができる。よって、突起部をパッケージの内壁の近傍に設けることができ、張出部を振動部から一層離すことができる。これにより、張出部への振動の伝搬を抑えることができる。
【００１４】
上記態様において、前記メサ部は、前記メサ部の外周縁から前記圧電振動片の中央に向けて傾斜する傾斜面を有してもよい。
【００１５】
この構成によれば、メサ部に傾斜面２６を備え、傾斜面２６をメサ部の外周縁から圧電振動片の中央に向けて傾斜させた。よって、メサ部傾斜面を張出部から離れた位置に配置できる。これにより、傾斜面に張出部が接触することを抑制できる。
さらに、メサ部の傾斜面を前記圧電振動片の中央に向けて傾斜させた。よって、メサ部の頂面と、突出部のうち頂面を向く面との間に傾斜面が形成されている。これにより、頂面と、突出部のうち頂面を向く面との間に９０°の段差が形成される場合に比べて、頂面と、突出部のうち頂面を向く面との間を緩やかに接続できる。よって、メサ部の頂面と傾斜面との境界部において不要振動が誘発されるのを抑制できる。この結果、ＣＩ値を低減して、振動特性を向上させることができる。
【００１６】
上記態様において、前記メサ部は、前記傾斜面に取り囲まれた頂面を有し、前記張出部は、前記一端側の端面が、前記頂面より前記圧電振動片の前記他端側に設けられてもよい。
この構成によれば、張出部のうち一端側の端面を、メサ部の頂面より圧電振動片の他端側に設けた。よって、張出部を頂面から離すことができる。これにより、張出部を頂面から離すことができ、張出部への振動の伝搬を抑えることができる。
【００１７】
上記態様において、前記圧電振動片は、前記メサ部の周囲に形成された外周部を有する振動部を備え、前記振動部は、前記ＡＴカット水晶基板のＺ´軸方向を長手方向とする矩形板状に形成されてもよい。
【００１８】
この構成によれば、圧電振動片を小型化した場合であっても低いＣＩ値を維持できる。すなわち、ＡＴカット水晶基板はＸ軸とＺ´軸で構成される。このような構成のもと、ＡＴカット水晶基板が厚み滑り振動をしているとき、Ｘ軸とＺ´軸では電気偏極が生じる。電気偏極は電荷の偏りであり、Ｘ軸では正弦波状、Ｚ´軸では直線状になる。電気偏極が直線状になるＺ´軸を長手方向とすることで、最も強い電荷が生じる辺を長くすることができる。強い電荷が生じる領域が広がれば、よりＣＩ値は低くなる。したがって、Ｚ´軸を長手方向とすることでより低いＣＩ値を維持することが可能となり、より優れた振動特性を得ることができる。
【００１９】
上記態様において、前記圧電振動片は、前記メサ部の周囲に形成された外周部を有する振動部を備え、前記振動部から前記厚さ方向に対して直交する方向に突出した突出部と、を備え、前記突出部が前記実装部材に付着されていてもよい。
【００２０】
振動部から突出部を厚さ方向に直交する方向に突出し、突出部を実装部材に付着させた。これにより、実装部材を振動部から離すことができ、優れた振動特性を得ることができる。
ところで、ＡＴカット水晶基板の主振動モードである厚みすべり振動は、Ｘ軸方向に大きく変位する振動である。この構成によれば、一対の突出部が振動部の変位が大きいＸ軸方向に直交するＺ´軸方向に沿って配置することにより、実装部材を介してパッケージに対して固定された突出部は、振動部のＸ軸方向の変位を妨げない。これにより、突出部において不要振動が発生することを抑制できる。したがって、より優れた振動特性を得ることができる。
【発明の効果】
【００２１】
この発明の一態様によれば、パッケージの底面に突起部を形成し、圧電振動片の振動部から張出部を張り出した。よって、振動部から離れた位置で張出部を突起部に接触させることができる。これにより、張出部が突起部に接触した際に、圧電振動片の振動特性に影響を与えないようにできる。
圧電振動片の振動部から張出部を張り出すことにより、特に、小型の圧電振動片において、圧電振動片の振動特性に影響を与えないようにできる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧電振動子の分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る圧電振動子の平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る圧電振動片を示す平面図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る圧電振動片を示す平面図である。
【図６】本発明の第４実施形態に係る圧電振動片を示す平面図である。
【図７】本発明の第５実施形態に係る圧電振動片を示す側面図である。
【図８】本発明の第６実施形態に係る圧電振動片を示す平面図である。
【図９】本発明の第７実施形態に係る圧電振動片を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る圧電振動子１の分解斜視図である。図２は、第１実施形態に係る圧電振動子１の平面図である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。なお、図２では、後述する封口板７３を取り除いた状態を示している。
図１に示すように、圧電振動子１は、圧電振動片１０と、圧電振動片１０が実装されたパッケージ７０と、を備えている。圧電振動片１０は、厚みすべりモードで振動する圧電振動片１０である。圧電振動片１０は、圧電振動片１０の外形形状をなす圧電板１１と、圧電板１１の外表面に形成された電極膜１２と、により形成されている。
【００２４】
圧電板１１は、ＡＴカット水晶基板により形成されている。ここで、ＡＴカットとは、人工水晶の結晶軸である電気軸（Ｘ軸）、機械軸（Ｙ軸）および光学軸（Ｚ軸）の３つの結晶軸のうち、Ｚ軸に対してＸ軸周りに３５度１５分だけ傾いた方向（Ｚ´軸方向）に切り出す加工手法である。ＡＴカットによって切り出された圧電板１１を有する圧電振動片１０は、周波数温度特性が安定しており、構造や形状が単純で加工が容易であり、ＣＩ値が低いという利点がある。なお、以下の説明において、各図の構成を説明する際には、ＸＹ´Ｚ´座標系を用いる。このＸＹ´Ｚ´座標系のうち、Ｙ´軸はＸ軸およびＺ´軸に直交する軸である。また、Ｘ軸方向、Ｙ´軸方向およびＺ´軸方向は、図中矢印方向を＋方向とし、矢印とは反対の方向を−方向として説明する。
【００２５】
圧電板１１は、振動部２０と、突出部（第１突出部３１および第２突出部３２）と、張出部８２（第１張出部８２Ａおよび第２張出部８２Ｂ）と、を備えている。
圧電振動片１０は、振動部２０のＹ´軸方向＋側に面する表面２１、およびＹ´軸方向−側に面する裏面２２に、Ｙ´軸方向の外側に膨出して振動領域となるメサ部（表面メサ部２３および裏面メサ部２４（図３参照）を有する、いわゆるメサ型とされている。
【００２６】
図２に示すように、振動部２０は、Ｙ´軸方向を厚さ方向とするとともにＺ´軸方向を長手方向とする矩形板状に形成されている。振動部２０は、表面２１の中央部に形成された表面メサ部２３と、裏面２２の中央部に形成された裏面メサ部２４（図３も参照）と、各メサ部２３，２４の周囲において一様の厚さに形成された平面視矩形枠状の外周部２８と、を備えている。
平面視とは、圧電振動片１０の厚さ方向から見た状態をいう。
【００２７】
表面メサ部２３は、外周部２８に対してＹ´軸方向＋側に膨出している。表面メサ部２３は、四角錐台形状に形成されている。表面メサ部２３は、頂面２５と、頂面２５の周囲を取り囲む傾斜面２６と、を有している。頂面２５は、平面視において、Ｚ´軸方向を長手方向とする矩形状に形成されている。頂面２５は、Ｙ´軸方向に直交する方向に延在する平坦面になっている。傾斜面２６は、頂面２５の外周縁と、外周部２８におけるＹ´軸方向＋側の主面の内周縁と、を接続している。傾斜面２６の頂面２５に対する傾斜角度は、例えば３０°以下になっている。
【００２８】
図３に示すように、裏面メサ部２４は、外周部２８に対してＹ´軸方向−側に膨出している。裏面メサ部２４は、表面メサ部２３と点対称になるように形成され、平面視で表面メサ部２３と同じ位置に形成されている。
なお、裏面メサ部２４の頂面および傾斜面に、表面メサ部２３の頂面２５および傾斜面２６と同じ符号を付して説明する。
【００２９】
図２に戻って、振動部２０からＸ軸方向＋側に突出部（第１突出部３１および第２突出部３２）が突出されている。各突出部３１，３２は、Ｚ´軸方向に並んで形成されている。各突出部３１，３２は、振動部２０のうち、Ｘ軸方向＋側の端部におけるＺ´軸方向の両端部にそれぞれ形成されている。
第１突出部３１は、平面視平行四辺形状に形成されている。第１突出部３１は、振動部２０のうちＸ軸方向＋側かつＺ´軸方向＋側に位置する角部において、Ｘ軸方向＋側に面する部分からＹ´軸方向に直交する方向に突出している。具体的に、第１突出部３１は、圧電板１１の基端（すなわち、圧電板１１の一端）１１ａのうち、外周部２８のＺ´軸方向＋側に面する側面２８ｄ側の端部に形成されている。第１突出部３１は、平面視において、基端１１ａからＸ軸方向＋側に向かうに従いＺ´軸方向＋側に傾斜している。例えば、第１突出部３１は、振動部２０の外周部２８と同じ厚さに形成されている。
【００３０】
第２突出部３２は、平面視平行四辺形状に形成されている。第２突出部３２は、振動部２０のうちＸ軸方向＋側かつＺ´軸方向−側に位置する角部において、Ｘ軸方向＋側に面する部分からＹ´軸方向に直交する方向に突出している。具体的に、第２突出部３２は、圧電板１１の基端１１ａのうち、外周部２８のＺ´軸方向−側に面する側面２８ｅ側の端部に形成されている。第２突出部３２は、平面視において、基端１１ａからＸ軸方向＋側に向かうに従いＺ´軸方向−側に傾斜している。例えば、第２突出部３２は、第１突出部３１と同様に、の外周部２８と同じ厚さに形成されている。
【００３１】
電極膜１２は、圧電板１１を厚みすべり振動させる。電極膜１２は、励振電極（第１励振電極６１および第２励振電極６２）と、マウント電極（第１マウント電極６３および第２マウント電極６４）と、引き回し配線（第１引き回し配線６５および第２引き回し配線６６）と、を有している。なお、電極膜１２は、金等の単層膜や、クロム等を下地層とし、金等を上地層とした積層膜等で形成されている。
【００３２】
第１励振電極６１は、表面メサ部２３の頂面２５に配置されている。第１励振電極６１は、平面視矩形状に形成されている。
第２励振電極６２は、裏面メサ部２４の頂面２５（図３参照）に配置されている。第２励振電極６２は、平面視矩形状に形成され、第１励振電極６１とＹ´軸方向で重なり合っている。
【００３３】
第１マウント電極６３は、第１突出部３１の全面に亘って配置されている。
第２マウント電極６４は、第２突出部３２の全面に亘って配置されている。
第１引き回し配線６５は、振動部２０の表面２１において、第１励振電極６１と第１マウント電極６３とを接続している。
第２引き回し配線６６は、振動部２０の裏面２２において、第２励振電極６２と第２マウント電極６４とを接続している。
【００３４】
振動部２０からＺ´軸方向に張出部８２（第１張出部８２Ａおよび第２張出部８２Ｂ）が張り出されている。張出部８２は、Ｚ´軸方向に並んで形成された第１張出部８２Ａおよび第２張出部８２Ｂを有する。第１張出部８２Ａは、外周部２８のＺ´軸方向＋側に面する側面２８ｄのうち、Ｘ軸方向−側の端部からＺ´軸方向＋側に張り出されている。
第２張出部８２Ｂは、外周部２８のＺ´軸方向−側に面する側面２８ｅのうち、Ｘ軸方向−側の端部からＺ´軸方向＋側に張り出されている。
なお、第１張出部８２Ａおよび第２張出部８２Ｂについては後で詳しく説明する。
【００３５】
図１に示すように、パッケージ７０は、圧電振動片１０を収容する凹部７１を有する実装基板７２と、実装基板７２の凹部７１を閉塞する封口板７３と、を有している。
【００３６】
実装基板７２は、Ｙ´軸方向＋側に向けて開口する箱型に形成されている。実装基板７２は、セラミックス材料からなる第１基板７４、第２基板７５および第３基板７６がＹ´軸方向に積層されて構成されている。なお、各基板７４〜７６に用いられるセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣや、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ等を用いることが可能である。ＨＴＣＣは、Ｈｉｇｈ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃである。ＬＴＣＣは、Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃである。
【００３７】
第１基板７４は、Ｙ´軸方向から見た平面視でＺ´軸方向を長手方向とする矩形状に形成されている。第１基板７４のＹ´軸方向＋側の主面（以下、「上面」という。）は、凹部７１の底面７１ａを形成している。底面７１ａに突起部８６（第１突起部８６Ａおよび第２突起部８６Ｂ）が形成されている。
第１基板７４のＹ´軸方向−側の主面には、図示しない一対の外部電極が形成されている。外部電極は、例えば蒸着やスパッタリング等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜により構成されている。
以下、凹部７１の底面７１ａを「パッケージ７０の底面７１ａ」という。
【００３８】
突起部８６は、底面７１ａから第１張出部８２Ａに向けて突出する第１突起部８６Ａと、底面７１ａから第２張出部８２Ｂに向けて突出する第２突起部８６Ｂと、を備えている。第１突起部８６Ａは、円柱状に形成され、第１張出部８２Ａに一部が重なるように配置されている。第２突起部８６Ｂは、第１突起部８６Ａと同様に、円柱状に形成され、第２張出部８２Ｂに一部が重なるように配置されている。
【００３９】
第２基板７５は、焼結等によって第１基板７４の上面に一体的に接合されている。第２基板７５は、枠部７７と、一対の実装部７８（第１実装部７８Ａおよび第２実装部７８Ｂ）と、を備えている。
枠部７７は、Ｙ´軸方向から見た平面視外形が第１基板７４と同等の大きさを有する矩形枠状に形成されている。
【００４０】
一対の実装部７８は、それぞれ枠部７７におけるＸ軸方向＋側かつＺ´軸方向両側の隅部から内側に向かって張り出すように、平面視矩形状に形成されている。実装部７８は、Ｚ´軸方向＋側に位置する第１実装部７８Ａと、Ｚ´軸方向−側に位置する第２実装部７８Ｂと、を含んでいる。実装部７８上には、電極パッド７９が形成されている。電極パッド７９は、上述した外部電極（不図示）と同様に、例えば蒸着やスパッタリング等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜等により構成されている。電極パッド７９および外部電極は、図示しない配線を介して互いにそれぞれ導通している。
【００４１】
第３基板７６は、焼結等によって第２基板７５のＹ´軸方向＋側の端面に一体的に結合されている。第３基板７６は、Ｙ´軸方向から見た平面視で第２基板７５の枠部７７と同等の大きさを有する矩形枠状に形成されている。
【００４２】
第１基板７４、第２基板７５および第３基板７６の外側面は、面一に形成されている。
第２基板７５の枠部７７、および第３基板７６の内側面は、面一に形成されている。第２基板７５および第３基板７６の内側面は、凹部７１の内側面７１ｂを構成している。
【００４３】
封口板７３は、平面視で実装基板７２と同等の大きさを有する矩形板状に形成されている。封口板７３は、例えば図示しないシールリングを挟んでシーム溶接等により、実装基板７２の開口縁（第３基板７６のＹ´軸方向＋側の端面）に接合されて、凹部７１を気密に封止している。そして、実装基板７２および封口板７３により画成された空間は、気密封止されたキャビティＣを構成する。
【００４４】
図２、図３に示すように、各実装部７８には、実装部材８を介して、圧電振動片１０が実装されている。実装部材８は、導電性を有する接着剤等であって、例えば銀ペースト等が好適である。圧電振動片１０は、各実装部７８に配置された実装部材８と各突出部３１，３２とが重なるように載置されている。
【００４５】
第１実装部７８Ａに配置された実装部材８は、圧電板１１の外周部２８のうち主面２８ｃと、外周部２８の側面２８ｄと、第１突出部３１のうち主面３１ａと、第１突出部３１の側面３１ｂと、に跨って付着されている。
外周部２８の主面２８ｃは、Ｙ´軸方向−側の主面である。外周部２８の側面２８ｄは、外周部２８のＺ´軸方向＋側に面する側面である。第１突出部３１の主面３１ａは、第１突出部３１のうちＹ´軸方向−側の主面である。第１突出部３１の側面３１ｂは、第１突出部３１のＺ´軸方向＋側に面する側面である。
換言すれば、第１実装部７８Ａに配置された実装部材８は、圧電板１１の基端１１ａ側において、Ｚ´軸方向＋側の端部１１ｂに設けられている。
【００４６】
第２実装部７８Ｂに配置された実装部材８は、圧電板１１の外周部２８のうち主面２８ｃと、外周部２８の側面２８ｅと、第２突出部３２の主面３２ａと、第２突出部３２の側面３２ｂと、に跨って付着されている。外周部２８の主面２８ｃは、Ｙ´軸方向−側の主面である。外周部２８の側面２８ｅは、Ｚ´軸方向−側に面する側面である。第２突出部３２の主面３２ａは、Ｙ´軸方向−側の主面である。第２突出部３２の側面３２ｂは、Ｚ´軸方向−側に面する側面である。
換言すれば、第２実装部７８Ｂに配置された実装部材８は、圧電板１１の基端１１ａ側において、Ｚ´軸方向−側の端部１１ｃに設けられている。
すなわち、圧電板１１のうち基端１１ａ側が第１実装部７８Ａおよび第２実装部７８Ｂを介して実装部材８で実装されている。
【００４７】
このように、第１実装部７８Ａに配置された実装部材８が外周部２８の側面２８ｄと、第１突出部３１の主面３１ａと、第１突出部３１の側面３１ｂとに付着されている。第２実装部７８Ｂに配置された実装部材８が外周部２８の側面２８ｅと、第２突出部３２の主面３２ａと、第２突出部３２の側面３２ｂとに付着されている。よって、各実装部材８が裏面メサ部２４に付着して不要振動が誘発されることを抑制し、かつ、各実装部材８の付着面積を増すことができる。これにより、圧電振動片１０の実装強度の向上を図りつつ、優れた振動特性を得ることができる。
【００４８】
また、各実装部材８が圧電板１１の基端１１ａ側に設けられている。各実装部材８は、裏面メサ部２４から離間した位置に配置されている。各実装部材８は、各突出部３１，３２の外表面に付着することで、各突出部３１，３２の外面の各マウント電極６３，６４と、パッケージ７０の電極パッド７９と、を導通させている。
【００４９】
ここで、外周部２８におけるＹ´軸方向＋側の主面の内周縁２８ａに沿って、表面メサ部２３の傾斜面２６が形成されている。表面メサ部２３の傾斜面２６は、外周部２８の内周縁２８ａ（すなわち、表面メサ部２３の外周縁２３ａ）から表面メサ部２３の頂面２５に向けてＹ´軸方向＋側に傾斜されている。
また、外周部２８におけるＹ´軸方向−側の主面の内周縁２８ｂに沿って、裏面メサ部２４の傾斜面２６が形成されている。裏面メサ部２４の傾斜面２６は、外周部２８の内周縁２８ｂ（すなわち、裏面メサ部２４の外周縁２４ａ）から裏面メサ部２４の頂面２５に向けてＹ´軸方向−側に傾斜されている。
【００５０】
すなわち、各メサ部２３，２４は、外周部２８の内周縁に沿って形成され、かつ、内周縁から頂面２５（すなわち、圧電振動片１０の中央）に向けて傾斜する傾斜面２６を有する。
よって、表面メサ部２３の傾斜面２６、および裏面メサ部２４の傾斜面２６が第１張出部８２Ａおよび第２張出部８２Ｂから離れた位置に配置される。これにより、各傾斜面２６に第１張出部８２Ａおよび第２張出部８２Ｂが接触することを抑制でき、優れた振動特性を得ることができる。
【００５１】
また、振動部２０は、Ｚ´軸方向を長手方向とする矩形板状に形成されているので、圧電振動片１０を小型化した場合であっても低いＣＩ値を維持できる。すなわち、ＡＴカット水晶基板はＸ軸とＺ´軸で構成される。このような構成のもと、ＡＴカット水晶基板が厚み滑り振動をしているとき、Ｘ軸とＺ´軸では電気偏極が生じる。電気偏極は電荷の偏りであり、Ｘ軸では正弦波状、Ｚ´軸では直線状になる。電気偏極が直線状になるＺ´軸を長手方向とすることで、最も強い電荷が生じる辺を長くすることができる。強い電荷が生じる領域が広がれば、よりＣＩ値は低くなる。したがって、Ｚ´軸を長手方向とすることでより低いＣＩ値を維持することが可能となり、より優れた振動特性を得ることができる。
【００５２】
さらに、表面メサ部２３の頂面２５と、突出部３１，３２のうち頂面２５を向く面との間に表面メサ部２３の傾斜面２６が形成されている。よって、頂面２５と、突出部３１，３２のうち頂面２５を向く面との間に９０°の段差が形成される場合に比べて、頂面２５と、突出部３１，３２のうち頂面２５を向く面との間を緩やかに接続できる。同様に、裏面メサ部２４の頂面２５と、突出部３１，３２のうち頂面２５を向く面との間を緩やかに接続できる。
よって、表面メサ部２３の頂面２５と傾斜面２６との境界部において不要振動が誘発されるのを抑制できる。同様に、裏面メサ部２４の頂面２５と傾斜面２６との境界部において不要振動が誘発されるのを抑制できる。これにより、ＣＩ値を低減して、振動特性を向上させることができる。
【００５３】
振動部１１から一対の突出部３１，３２を厚さ方向に直交する方向に突出し、一対の突出部３１，３２を実装部材８に付着させた。これにより、実装部材８を振動部１１から離すことができ、優れた振動特性を得ることができる。
また、ＡＴカット水晶基板の主振動モードである厚みすべり振動は、Ｘ軸方向に大きく変位する振動である。本実施形態によれば、一対の突出部３１，３２が振動部２０の変位が大きいＸ軸方向に直交するＺ´軸方向に沿って配置されている。このため、実装部材８を介してパッケージ７０に対して固定された突出部３１，３２は、振動部２０のＸ軸方向の変位を妨げない。よって、突出部３１，３２において不要振動が発生することを抑制できる。これにより、振動部２０は一層優れた振動特性を得ることができる。
【００５４】
表面メサ部２３および裏面メサ部２４の外周側に第１張出部８２Ａおよび第２張出部８２Ｂが設けられている。第１張出部８２Ａは、第１張出部８２Ａは、側面２８ｄのうち圧電板１１の先端（すなわち、圧電板１１の他端）１１ｄからＺ´軸方向＋側に張り出されている。圧電板１１の先端１１ｄは、Ｘ軸方向において圧電板１１の基端１１ａの反対側に位置する。
また、第１張出部８２Ａは、基端１１ａの反対側の端面８２ａが圧電板１１の先端１１ｄの先端面と同一面上に形成されている。なお、第１張出部８２Ａの端面８２ａを圧電板１１の先端１１ｄからＸ軸方向−側に突出させることも可能である。
さらに、第１張出部８２Ａは、基端１１ａ側の端面８２ｂが、頂面２５より圧電板１１の先端１１ｄ側に設けられている。
また、第１張出部８２Ａは、平面視矩形状に形成され、振動部２０の外周部２８と同じ厚さ寸法に形成されている。
【００５５】
第２張出部８２Ｂは、側面２８ｅのうち圧電板１１の先端１１ｄからＺ´軸方向−側に張り出されている。また、第２張出部８２Ｂは、第１張出部８２Ａと同様に、基端１１ａの反対側の端面８２ｃが圧電板１１の先端１１ｄの先端面と同一面上に形成されている。なお、第２張出部８２Ｂの端面８２ｃを圧電板１１の先端１１ｄからＸ軸方向−側に突出させることも可能である。
さらに、第２張出部８２Ｂは、基端１１ａ側の端面８２ｄが、頂面２５より圧電板１１の先端１１ｄ側に設けられている。第２張出部８２Ｂは、平面視矩形状に形成され、振動部２０の外周部２８と同じ厚さ寸法に形成されている。
【００５６】
第１実施形態によれば、第１張出部８２Ａの端面８２ｂが頂面２５より圧電板１１の先端１１ｄ側に設けられている。また、第２張出部８２Ｂの端面８２ｄが頂面２５より圧電板１１の先端１１ｄ側に設けられている。これにより、張出部８２を、Ｘ軸方向において頂面２５から離すことができ、張出部８２への振動の伝搬を抑えることができる。
【００５７】
また、圧電板１１は、各メサ部２３，２４が圧電板１１の厚さ方向に膨出されている。よって、外周部２８は各メサ部２３，２４より厚さ寸法が小さい。よって、第１張出部８２Ａおよび第２張出部８２Ｂを振動部２０の外周部２８と同じ厚さ寸法に形成することにより、張出部８２を軽量にできる。これにより、張出部８２への振動の伝搬を抑えることができる。
【００５８】
さらに、第１張出部８２Ａは、第１突起部８６Ａの一部に重なるように配置されている。同様に、第２張出部８２Ｂは、第２突起部８６Ｂの一部に重なるように配置されている。張出部８２が突起部８６の一部に重なるように配置さることにより、圧電振動子１が衝撃を受けた際に、振動部２０から離れた位置で張出部８２を突起部８６に接触させることができる。これにより、張出部８２が突起部８６に接触した際に、圧電振動片１０の振動特性に影響を与えないようにできる。
圧電振動片１０の振動部２０から張出部８２を張り出すことにより、特に、小型の圧電振動片１０において、振動部２０から離れた位置で張出部８２を突起部８６に接触させることが可能になる。これにより、小型の圧電振動片１０においても、圧電振動片１０の振動特性に影響を与えないようにできる。
【００５９】
また、圧電振動片１０の基端１１ａ側を実装部材８で実装し、圧電振動片１０の先端１１ｄ側に張出部８２を設けた。よって、圧電振動片１０が衝撃を受けた際に、圧電振動片１０の先端１１ｄ側の変位を抑えることができる。これにより、圧電振動片１０の変位を効率よく抑えることができ、圧電振動片１０の振動特性に影響を与えないようにできる。
【００６０】
つぎに、第２実施形態〜第７実施形態の圧電振動片１００〜１５０を図４〜図９に基づいて説明する。なお、第２実施形態〜第７実施形態において第１実施形態と同様の構成については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
【００６１】
（第２実施形態）
図４は第２実施形態に係る圧電振動片１００を示す平面図である。
図４に示すように、圧電振動片１００は、張出部１０２が第１実施形態の張出部８２と異なるだけで、その他の部材は第１実施形態の圧電振動片１０と同様である。
張出部１０２は、第１張出部１０２Ａおよび第２張出部１０２Ｂを備える。第１張出部１０２Ａは、圧電板１１の先端１１ｄにおいて先端面１１ｅからＸ軸方向−側に張り出され、かつ、外周部２８の側面２８ｄからＺ´軸方向＋側に張り出されている。
第２張出部１０２Ｂは、圧電板１１の先端１１ｄにおいて先端面１１ｅからＸ軸方向−側に張り出され、かつ、外周部２８の側面２８ｅからＺ´軸方向−側に張り出されている。
第２実施形態に係る圧電振動片１００によれば、第１実施形態に係る圧電振動片１０と同様の作用効果を奏功できる。
【００６２】
（第３実施形態）
図５は第３実施形態に係る圧電振動片１１０を示す平面図である。
図５に示すように、圧電振動片１１０は、張出部１１２が第１実施形態の張出部８２と異なるだけで、その他の部材は第１実施形態の圧電振動片１０と同様である。
張出部１１２は、第１張出部１１２Ａおよび第２張出部１１２Ｂを備える。第１張出部１１２Ａは、圧電板１１の基端１１ａ側の端面１１２ａが傾斜状に形成されている。端面１１２ａは、外周部２８の側面２８ｄから離れるに従いＸ軸方向−側に傾斜している。
第１張出部１１２Ａの他の形状は、第１実施形態の第１張出部８２Ａと同様である。
【００６３】
第２張出部１１２Ｂは、圧電板１１の基端１１ａ側の端面１１２ｂが傾斜状に形成されている。端面１１２ｂは、外周部２８の側面２８ｅから離れるに従いＸ軸方向−側に傾斜している。
第２張出部１１２Ｂの他の形状は、第１実施形態の第２張出部８２Ｂと同様である。
すなわち、張出部１１２は、平面視において、各メサ部２３，２４から離れる方向に向けて徐々に先細りに形成されている。これにより、張出部１１２を軽量にでき、張出部１１２への振動の伝搬を抑えることができる。
【００６４】
（第４実施形態）
図６は第４実施形態に係る圧電振動片１２０を示す平面図である。
図６に示すように、圧電振動片１２０は、張出部１２２が第１実施形態の張出部８２と異なるだけで、その他の部材は第１実施形態の圧電振動片１０と同様である。
張出部１２２は、第１張出部１２２Ａおよび第２張出部１２２Ｂを備える。第１張出部１２２Ａは、平面視において、Ｚ´軸方向＋側で、かつＸ軸方向−側に向けて傾斜している。第２張出部１２２Ｂは、平面視において、Ｚ´軸方向−側で、かつＸ軸方向−側に向けて傾斜している。
張出部１２２は、平面視において、各メサ部２３，２４から離れる方向に向けて徐々に先細りに形成されている。これにより、張出部１２２を軽量にでき、張出部１２２への振動の伝搬を抑えることができる。
【００６５】
（第５実施形態）
図７は第５実施形態に係る圧電振動片１３０を示す側面図である。
図７に示すように、圧電振動片１３０は、張出部１３２が第１実施形態の張出部８２と異なるだけで、その他の部材は第１実施形態の圧電振動片１０と同様である。
張出部１３２は、第１張出部１３２Ａおよび第２張出部１３２Ｂを備える。第１張出部１３２Ａは、外周部２８より厚さ寸法Ｔ１が大きく形成されている。第１張出部１３２Ａの他の形状は、第１実施形態の第１張出部８２Ａと同様である。
第２張出部１３２Ｂは、外周部２８より厚さ寸法Ｔ１が大きく形成されている。第２張出部１３２Ｂの他の形状は、第１実施形態の第２張出部８２Ｂと同様である。
張出部１３２の厚さ寸法Ｔ１を外周部２８より大きく形成することにより、突起部８６の高さ寸法Ｈ１を小さく抑えることができる。よって、突起部８６を凹部７１の内側面７１ｂの近傍に設けることができる。これにより、張出部１３２を振動部２０から一層離すことができ、張出部１３２への振動の伝搬を抑えることができる。
【００６６】
（第６実施形態）
図８は第６実施形態に係る圧電振動片１４０を示す平面図である。
図８に示すように、圧電振動片１４０は、圧電板１４２をＸ軸方向を長手方向とする矩形板状に形成したもので、その他の部材は第１実施形態の圧電振動片１０と同様である。
圧電振動片１４０は、Ｚ´軸方向に沿って配置された一対の突出部１４５，１４６と、Ｚ´軸方向に沿って配置された張出部１４７（第１張出部１４７Ａおよび第２張出部１４７Ｂ）を備えている。第１突出部１４５および第２突出部１４６をＺ´軸方向に沿って配置することにより、第１実施形態の圧電振動片１０と同様に、優れた振動特性を得ることができる。
【００６７】
（第７実施形態）
図９は第７実施形態に係る圧電振動片１５０を示す平面図である。
図９に示すように、圧電振動片１５０は、圧電板１５１が第１実施形態の圧電板１１と異なるだけで、その他の部材は第１実施形態の圧電振動片１０と同様である。
圧電板１５１は、メサ部１５２，１５３と、外周部２８とを備える。表面メサ部１５２および裏面メサ部１５３は、頂面２５の周囲を、頂面２５に対してＹ´軸方向に直交する面１５４，１５５で取り囲まれている。頂面２５に対して直交する面１５４，１５５は、頂面２５の反対側の縁部が外周部２８の内周縁に連結されている。
さらに、各張出部１５６は、圧電板１１の先端１５１ａ側の端面１５６ａが、メサ部１５２，１５３より圧電板１５１の先端１５１ａ側に設けられている。
これにより、各張出部１５６を、Ｘ軸方向においてメサ部１５２，１５３から離すことができ、張出部８２への振動の伝搬を抑えることができる。
【００６８】
なお、本発明の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、前記第１実施形態〜第７実施形態では、圧電振動片１０，１００，１１０，１２０，１３０，１４０，１５０の張出部８２，１０２，１１２，１２２，１３２，１４７，１５６が突起部８６の一部に重なる例について説明したが、これに限定しない。その他の例として、張出部を突起部８６の全域を重なるように配置することも可能である。
【００６９】
また、前記第１実施形態〜第７実施形態では、張出部８２，１０２，１１２，１２２，１３２，１４７，１５６を一定の厚さ寸法で形成した例について説明したが、これに限定するものではない。その他の例として、張出部の厚さ寸法を外周部から離れるしたがって小さくすることも可能である。すなわち、張出部を厚さ方向（Ｙ´軸方向）において先細り状に形成することも可能である。
これにより、張出部を軽量にでき、張出部への振動の伝搬を抑えることができる。
【００７０】
さらに、前記第１実施形態〜第７実施形態では、突起部８６を円柱状に形成した例について説明したが、これに限らないで、突起部８６を矩形体などの他の形状に形成することも可能である。
【００７１】
また、前記第１実施形態〜第７実施形態では、振動部２０に一対の突出部３１，３２を設け、一対の突出部３１，３２を実装部７８に実装した例について説明したが、これに限定されない。その他の例として、振動部２０を実装部７８に実装することも可能である。
【符号の説明】
【００７２】
１………圧電振動子
８………実装部材
１０，１００，１１０，１２０，１３０，１４０，１５０…圧電振動片
１１……圧電板
１１ａ…圧電板の基端（他端）
１１ｄ…圧電板の先端（一端）
２０……振動部
２３，１５２……表面メサ部（メサ部）
２４，１５３……裏面メサ部（メサ部）
２５……頂面
２６……傾斜面
２８……外周部
３１，３２，１４５，１４６…第１、第２の突出部
７０……パッケージ
８２，１０２，１１２，１２２，１３２，１４７，１５６…張出部
８２ｂ…基端側の端面
Ｔ１……張出部の厚さ寸法
【図１】
2018110292.tif 000003
【図２】
2018110292.tif 000004
【図３】
2018110292.tif 000005
【図４】
2018110292.tif 000006
【図５】
2018110292.tif 000007
【図６】
2018110292.tif 000008
【図７】
2018110292.tif 000009
【図８】
2018110292.tif 000010
【図９】
2018110292.tif 000011