(57)【要約】【課題】樹脂バリを抑制しつつ、封止樹脂部へのダメージと封止樹脂部の剥離が抑制された電子装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】電子装置１００は、半導体チップ３０と、半導体チップ３０が実装されるアイランド部１１と吊部１２とを含む実装用リード部１０と、半導体チップ３０が電気的に接続された電気接続用リード部とを有するリードフレームとを備えている。さらに、電子装置１００は、電気接続用リード部の一部であるアウターリードとアイランド部１１における半導体チップ３０が実装された実装面の裏面とを露出した状態で、半導体チップ３０とリードフレームとを封止している封止樹脂部５０を備えている。そして、リードフレームは、封止樹脂部５０内に配置された吊部１２の少なくとも一部に、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい変形部１３と傾斜部１４を含んでいる。【選択図】図２
2018152431.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路素子（３０）と、
前記回路素子が実装されるアイランド部（１１）と前記アイランド部に一体に設けられた吊部（１２）とを含む実装用リード部（１０）と、前記回路素子が電気的に接続された接続用リード部（２０）とを有するリードフレームと、
前記接続用リード部の一部であるアウターリードと前記アイランド部における前記回路素子が実装された面の裏面とを露出した状態で、前記回路素子と前記リードフレームとを封止している封止樹脂部（５０）と、を備えた電子装置であって、
前記リードフレームが、前記封止樹脂部内に配置された前記吊部の少なくとも一部に、前記接続用リード部よりも弾性率が小さい部位を含んでいる電子装置。
【請求項２】
前記吊部は、前記弾性率が小さい部位の少なくとも一部が屈曲している請求項１に記載の電子装置。
【請求項３】
前記接続用リード部は、前記アイランド部を基準とした高さ方向において、前記アイランド部と異なる位置に設けられており、
前記吊部は、前記アイランド部に対して傾斜して設けられた傾斜部（１４）と、前記傾斜部から延長して設けられ、前記高さ方向において前記接続用リード部と同じ高さに設けられた部位が前記封止樹脂部内に配置されており、前記弾性率が小さい部位の少なくとも一部が屈曲して、前記接続用リード部よりも高い位置に配置されている請求項２に記載の電子装置。
【請求項４】
前記吊部が、前記弾性率が小さい部位として、前記接続用リード部よりも細い部位を含んでいる請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電子装置。
【請求項５】
前記接続用リード部は、表面にめっき処理がなされており、
前記吊部が、前記弾性率が小さい部位として、前記めっき処理がなされない部位を含んでいる請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電子装置。
【請求項６】
前記吊部が、前記弾性率が小さい部位として、粗面処理がなされた部位を含んでいる請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電子装置。
【請求項７】
前記吊部が、前記弾性率が小さい部位として、前記接続用リード部よりも弾性率が小さい金属によって形成された部位を含んでいる請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電子装置。
【請求項８】
前記吊部が、前記弾性率が小さい部位として、ラビリンス形状の部位を含んでいる請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電子装置。
【請求項９】
回路素子（３０）と、
前記回路素子が実装されるアイランド部（１１）と前記アイランド部に一体に設けられた吊部（１２）とを含む実装用リード部（１０）と、前記回路素子が電気的に接続された接続用リード部（２０）とを有するリードフレームと、
前記接続用リード部の一部であるアウターリードと前記アイランド部における前記回路素子が実装された面の裏面とを露出した状態で、前記回路素子と前記リードフレームとを封止している封止樹脂部（５０）と、を備え、
前記リードフレームが、前記封止樹脂部内に配置された前記吊部の少なくとも一部に、前記接続用リード部よりも弾性率が小さい部位を含んでいる電子装置の製造方法であって、
下側縁部と前記下側縁部で囲まれた凹部を有し前記凹部の底面が平坦な下型と、前記下側縁部に対向する上側縁部を有した上型とを用いて、前記封止樹脂部を形成する樹脂形成工程を含んでおり、
前記実装用リード部は、前記アイランド部と前記吊部に加えて、前記封止樹脂部の外側に配置され、前記樹脂形成工程後に切断される被押圧部（１５）を含んでおり、
前記回路素子を前記アイランド部に実装し、前記回路素子と前記接続用リード部とを電気的に接続する実装工程と、
前記裏面が前記底面に接し、前記被押圧部と前記アウターリードとが前記下側縁部の上方に位置するように、前記リードフレームを前記下型に配置する配置工程と、
前記配置工程後に、前記下型と前記上型とを相対的に近づけ、前記下側縁部と前記上側縁部とで前記被押圧部と前記アウターリードとを挟み込み、前記裏面を前記底面に押し付けることで前記弾性率が小さい部位を変形させ、前記下型と前記上型とで前記封止樹脂部を形成するためのキャビティを形成する型締め工程と、
前記型締め工程後に、前記樹脂形成工程において前記キャビティ内に樹脂材料を注入して前記封止樹脂部を形成する電子装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、リードフレームにおける回路素子が実装されたアイランドの裏面が封止樹脂部から露出した構成の電子装置の一例として、特許文献１に開示された半導体装置がある。
【０００３】
この半導体装置は、半導体素子が実装されたダイパッドがパッケージの裏面に露出する。特許文献１には、レーザを照射して、樹脂バリを炭化させた後、樹脂バリを電解脱脂により除去し、ダイパッドに外装めっきを形成することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５７０６１２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、樹脂バリを除去するために、レーザを照射するため、樹脂バリ以外の封止樹脂部にもレーザが照射されることがありうる。このため、半導体装置は、樹脂バリ以外の封止樹脂部にダメージが生じ、ダイパッドと封止樹脂部との界面から剥離が生じる懸念がある。
【０００６】
また、通常、ディプレスされてダイパッドが形成されたリードフレームは、ダイパッドと下型との対向領域に封止樹脂部が形成されないようにするために深さが設定されている。つまり、リードフレームは、金型の上型と下型とで挟まれる部分からダイパッドまでの深さが、下型における凹部の深さよりも深くなるように設定されている。
【０００７】
ところが、この場合、リードフレームは、下型と上側とで挟み込まれた状態で、下型と上側とが型締めされるとダイパッドが反ってしまう。つまり、リードフレームは、ダイパッドの中央領域が下型から離れるように凸状に変形する。よって、このようなリードフレームでは、封止樹脂部を形成することで、中央領域に樹脂バリが形成されてしまうという問題がある。
【０００８】
本開示は、上記問題点に鑑みなされたものであり、樹脂バリを抑制しつつ、封止樹脂部へのダメージと封止樹脂部の剥離が抑制された電子装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本開示は、
回路素子（３０）と、
回路素子が実装されるアイランド部（１１）とアイランド部に一体に設けられた吊部（１２）とを含む実装用リード部（１０）と、回路素子が電気的に接続された接続用リード部（２０）とを有するリードフレームと、
接続用リード部の一部とアイランド部における回路素子が実装された面の裏面とを露出した状態で、回路素子とリードフレームとを封止している封止樹脂部（５０）と、を備えた電子装置であって、
リードフレームが、封止樹脂部内に配置された吊部の少なくとも一部に、接続用リードよりも弾性率が小さい部位を含んでいることを特徴とする。
【００１０】
このように、本開示は、アウターリードと、アイランド部における回路素子が実装された面の裏面とが封止樹脂部から露出されている。そして、リードフレームは、封止樹脂部内に配置された吊部の少なくとも一部に、接続用リードよりも弾性率が小さい部位を含んでいる。つまり、リードフレームは、接続用リードよりも、吊部における弾性率が小さい部位の方が変形しやすい。このため、本開示は、例えば金型を用いて封止樹脂部を形成する際に、アイランド部が変形しにくく、アイランド部の裏面に樹脂バリが形成されるのを抑制できる。
【００１１】
さらに、本開示は、樹脂バリが形成されにくいため、樹脂バリを除去することを抑制できる。このため、本開示は、封止樹脂部へのダメージと封止樹脂部の剥離を抑制できる。
【００１２】
また、上記目的を達成するさらなる特徴は、
回路素子（３０）と、
回路素子が実装されるアイランド部（１１）とアイランド部に一体に設けられた吊部（１２）とを含む実装用リード部（１０）と、回路素子が電気的に接続された接続用リード部（２０）とを有するリードフレームと、
接続用リード部の一部であるアウターリードとアイランド部における回路素子が実装された面の裏面とを露出した状態で、回路素子とリードフレームとを封止している封止樹脂部（５０）と、を備え、
リードフレームが、封止樹脂部内に配置された吊部の少なくとも一部に、接続用リードよりも弾性率が小さい部位を含んでいる電子装置の製造方法であって、
下側縁部と下側縁部で囲まれた凹部を有し凹部の底面が平坦な下型と、下側縁部に対向する上側縁部を有した上型とを用いて、封止樹脂部を形成する樹脂形成工程を含んでおり、
実装用リード部は、アイランド部と吊部に加えて、封止樹脂部の外側に配置され、樹脂形成工程後に切断される被押圧部（１５）を含んでおり、
回路素子をアイランド部に実装し、回路素子と接続用リード部とを電気的に接続する実装工程と、
裏面が底面に接し、被押圧部とアウターリードとが下側縁部の上方に位置するように、リードフレームを下型に配置する配置工程と、
配置工程後に、下型と上型とを相対的に近づけ、下側縁部と上側縁部とで被押圧部とアウターリードとを挟み込み、裏面を底面に押し付けることで弾性率が小さい部位を変形させ、下型と上型とで封止樹脂部を形成するためのキャビティを形成する型締め工程と、
型締め工程後に、樹脂形成工程においてキャビティ内に樹脂材料を注入して封止樹脂部を形成する点にある。
【００１３】
このように、本開示は、アウターリードと、アイランド部における回路素子が実装された面の裏面とが封止樹脂部から露出された電子装置の製造方法である。リードフレームは、封止樹脂部内に配置された吊部の少なくとも一部に、接続用リードよりも弾性率が小さい部位を含んでいる。
【００１４】
そして、本開示では、配置工程後に、下型と上型とを相対的に近づけ、下側縁部と上側縁部とで被押圧部とアウターリードとを挟み込み、裏面を底面に押し付けることで弾性率が小さい部位を変形させ、且つ、下型と上型とで封止樹脂部を形成するためのキャビティを形成する。つまり、本開示では、裏面を底面に押し付けることで弾性率が小さい部位を変形させるため、必要以上にアイランド部に応力が印加されず、アイランド部が変形することを抑制できる。よって、本開示は、金型を用いて封止樹脂部を形成する際に、アイランド部が変形しにくく、樹脂バリの形成を抑制できる。
【００１５】
さらに、本開示は、樹脂バリが形成されにくいため、樹脂バリを除去することを抑制できる。このため、本開示は、封止樹脂部へのダメージと封止樹脂部の剥離を抑制できる。
【００１６】
なお、特許請求の範囲、及びこの項に記載した括弧内の符号は、一つの態様として後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、発明の技術的範囲を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態における電子装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１のII‐II線に沿う断面図である。
【図３】図１のIII‐III線に沿う断面図である。
【図４】実施形態における電子装置の配置工程を示す工程別断面図である。
【図５】実施形態における電子装置の型締め工程を示す工程別断面図である。
【図６】実施形態における電子装置の樹脂封止工程を示す工程別断面図である。
【図７】実施形態における電子装置の切断前の構成を示す平面図である。
【図８】図７のVIII‐VIII線に沿う断面図である。
【図９】変形例１における電子装置の概略構成を示す平面図である。
【図１０】変形例２における電子装置の概略構成を示す平面図である。
【図１１】変形例３における電子装置の概略構成を示す平面図である。
【図１２】変形例４における電子装置の概略構成を示す平面図である。
【図１３】変形例５における電子装置の概略構成を示す断面図である。
【図１４】変形例６における電子装置の概略構成を示す平面図である。
【図１５】変形例７における電子装置の概略構成を示す断面図である。
【図１６】変形例８における電子装置の概略構成を示す拡大断面図である。
【図１７】変形例９における電子装置の概略構成を示す断面図である。
【図１８】変形例１０における電子装置の概略構成を示す断面図である。
【図１９】変形例１１における電子装置の概略構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下において、図面を参照しながら、発明を実施するための複数の形態を説明する。各形態において、先行する形態で説明した事項に対応する部分には同一の参照符号を付して重複する説明を省略する場合がある。各形態において、構成の一部のみを説明している場合は、構成の他の部分については先行して説明した他の形態を参照し適用することができる。なお、以下においては、互いに直交する３方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向と示す。また、Ｘ方向とＹ方向とによって規定される平面をＸＹ平面、Ｘ方向とＺ方向とによって規定される平面をＺＸ平面と称する。
【００１９】
図１、図２に示すように、電子装置１００は、実装用リード部１０と、電気接続用リード部２０と、半導体チップ３０と、封止樹脂部５０とを備えている。電子装置１００は、実装用リード部１０と、電気接続用リード部２０と、半導体チップ３０と、封止樹脂部５０とが一体的に形成されている。つまり、電子装置１００は、これらを備えた半導体パッケージと言える。
【００２０】
電子装置１００は、図２に示すように、一面Ｓ１と、一面の反対面である表面Ｓ２とを有している。電子装置１００は、例えば、一面Ｓ１と表面Ｓ２とが平行に形成されている。電子装置１００は、図１に示すように、ＸＹ平面における形状が八角形をなしている。言い換えると、電子装置１００は、四角形の四隅が角取りされた形状をなしている。
【００２１】
電子装置１００は、図１に示すように、封止樹脂部５０における四つの辺のそれぞれから、複数のアウターリード２２が突出して設けられている。つまり、電子装置１００は、角取りされた辺で挟まれた四つの辺のそれぞれからアウターリード２２が突出している。
【００２２】
電子装置１００は、一面Ｓ１の一部において、封止樹脂部５０からアイランド部１１が露出している。つまり、電子装置１００は、アイランド部１１における半導体チップ３０が実装された実装面の裏面（以下、単に裏面）が一面Ｓ１に露出している。よって、アイランド部１１の裏面は、一面Ｓ１の一部をなしていると言える。また、電子装置１００は、アイランド部１１の裏面と、裏面の周辺の封止樹脂部５０とが面一であり、一面Ｓ１が平坦面となっている。なお、実装面は、リードフレームにおける一面Ｓ１の反対の面であるため反対面Ｓ３とも称することができる。
【００２３】
ここで、電子装置１００の各構成要素に関して説明する。実装用リード部１０と電気接続用リード部２０とは、リードフレームの一部である。リードフレームは、電子装置１００の製造時に分割されることで、実装用リード部１０と電気接続用リード部２０とが別体となる。実装用リード部１０と電気接続用リード部２０は、例えば銅や銅合金を含む金属である。なお、電気接続用リード部２０は、接続用リード部に相当する。
【００２４】
実装用リード部１０は、半導体チップ３０が実装されるアイランド部１１と、アイランド部１１と一体に設けられた吊部１２とを含む。実装用リード部１０は、アイランド部１１の裏面が封止樹脂部５０から露出しつつ、その他の部位が封止樹脂部５０内に配置されている。アイランド部１１は、平坦な部位である。よって、アイランド部１１は、平板状の部位とも言える。
【００２５】
アイランド部１１は、図２に示すように、Ｚ方向における位置が電気接続用リード部２０と異なる。言い換えると、電気接続用リード部２０は、アイランド部１１を基準とした高さ方向において、アイランド部１１と異なる位置に設けられている。このように、Ｚ方向は、高さ方向と言うことができる。アイランド部１１は、例えばリードフレームがディプレスされて、電気接続用リード部２０と段差をつけられた部位である。
【００２６】
なお、実装用リード部１０は、アイランド部１１に段差を付けるために吊っている吊部１２を含んでいるとも言える。実装用リード部１０は、吊リードとも称することができる。
【００２７】
吊部１２は、図１に示すように、例えばアイランド部１１の四隅に設けられている。吊部１２は、変形部１３と傾斜部１４を含んでいる。傾斜部１４は、上記ディプレスによって、アイランド部１１に対して傾斜された部位である。本実施形態では、変形部１３における傾斜部１４とは反対側に平坦な端部が設けられた吊部１２を採用している。この端部は、図２における実装用リード部１０における封止樹脂部５０内に配置された部位の両端である。また、端部は、アイランド部１１と平行な部位である。よって、傾斜部１４は、端部に対しても傾斜している。さらに、端部は、高さ方向において電気接続用リード部２０と同じ高さに設けられた部位に相当する。そして、吊部１２は、傾斜部１４と端部が封止樹脂部５０内に配置されている。
【００２８】
端部は、Ｚ方向に直交する直線状の部位である。傾斜部１４は、端部やアイランド部１１に対して傾斜した直線状の部位である。これに対して、変形部１３は、直線状ではなく湾曲した部位である。
【００２９】
変形部１３と傾斜部１４は、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位である。本実施形態では、変形部１３と傾斜部１４の厚みを電気接続用リード部２０よりも薄くすることで、電気接続用リード部２０よりも弾性率を小さくしている。また、アイランド部１１の厚み及び実装用リード部１０の端部の厚みは、電気接続用リード部２０の厚みと同じである。よって、変形部１３の厚みと傾斜部１４の厚みは、アイランド部１１の厚みや、実装用リード部１０の端部の厚みよりも薄い。このため、吊部１２は、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位の一部である変形部１３が屈曲していると言える。
【００３０】
なお、厚みとは、アイランド部１１の実装面と、その裏面との間隔や、変形部１３と傾斜部１４における実装面と同じ側の面と、裏面と同じ側の面との間隔や、電気接続用リード部２０における実装面と同じ側の面と、裏面と同じ側の面との間隔である。また、リードフレームの加工精度による誤差程度の厚みの違いは、厚みが同じとみなす。
【００３１】
また、本実施形態では、図２に示すように、変形部１３が屈曲して、電気接続用リード部２０よりも高い位置に配置された吊部１２を採用している。すなわち、変形部１３は、実装用リード部１０の端部よりも高い位置に配置されている。言い換えると、実装用リード部１０は、アイランド部１１を基準としてＺ方向の頂点が変形部１３の一部となっている。
【００３２】
なお、本実施形態では、弾性率が小さい部位の一部が屈曲している例を採用している。しかしながら、本発明は、これに限定されず、弾性率が小さい部位の全体が屈曲していてもよい。例えば、実装用リード部１０は、変形部１３の厚みが電気接続用リード部２０よりも薄く、傾斜部１４の厚みが電気接続用リード部２０と同じであってもよい。電子装置１００は、吊部１２の少なくとも一部に、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位を含んでいればよい。この点は、以下の変形例も同様である。
【００３３】
さらに、本発明は、弾性率が小さい部位として、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい金属によって形成された部位を含んだ吊部１２であっても採用できる。つまり、吊部１２は、電気接続用リード部２０と材料を異ならせることで、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位を含むものとしてもよい。
【００３４】
電気接続用リード部２０は、図１に示すように、半導体チップ３０がワイヤ４０を介して電気的に接続されている。電子装置１００は、複数の電気接続用リード部２０を備えている。リードフレームは、電子装置１００の製造時に分割されることで、複数の電気接続用リード部２０となる。
【００３５】
電気接続用リード部２０は、封止樹脂部５０内に設けられた部位であるインナーリード２１と、封止樹脂部５０から露出したアウターリード２２とが一体的に設けられている。なお、ワイヤ４０は、インナーリード２１にボンディングされて電気的及び機械的に接続されている。この電気接続用リード部２０は、電子装置１００と、電子装置１００の外部に設けられた外部装置とを電気的に接続するための端子と言える。
【００３６】
また、外部装置は、電子装置１００を実装する回路基板などである。よって、アウターリード２２は、電子装置１００を回路基板に実装可能な形状となっている。つまり、アウターリード２２は、図３などに示すように、封止樹脂部５０から突出し、一面Ｓ１よりも下側に達する形状を有している。このアウターリード２２は、ガルウイング状を有していると言える。なお、アウターリード２２の形状は、以下の変形例でも同様である。
【００３７】
半導体チップ３０は、特許請求の範囲における回路素子に相当する。半導体チップ３０は、例えば、マイコンや制御素子などを採用できる。半導体チップ３０は、アイランド部１１との対向面と、アイランド部１１との間に設けられた接合部６０を介してアイランド部１１と接合されて、アイランド部１１に実装されている。接合部６０は、銀とエポキシ樹脂が混合された接着剤や、はんだなどを採用できる。また、接合部６０は、ダイボンド材とも言える。
【００３８】
さらに、半導体チップ３０は、対向面の反対面に複数の電極が形成されている。そして、半導体チップ３０は、この電極にワイヤ４０が電気的及び機械的に接続されている。つまり、半導体チップ３０は、ワイヤ４０を介して、各電気接続用リード部２０と電気的に接続されている。
【００３９】
封止樹脂部５０は、例えば、熱硬化性エポキシ樹脂などを含んでいる。封止樹脂部５０は、アウターリード２２とアイランド部１１の裏面とを露出した状態で、半導体チップ３０とインナーリード２１とを封止している。さらに、封止樹脂部５０は、これらに加えてワイヤ４０を封止している。つまり、封止樹脂部５０は、半導体チップ３０や、インナーリード２１や、ワイヤ４０や、ワイヤ４０と半導体チップ３０及びインナーリード２１との接続部などに密着しつつ、これらを覆っている。封止樹脂部５０は、半導体チップ３０や、インナーリード２１や、ワイヤ４０や、接続部などを保護するために設けられている。
【００４０】
電子装置１００は、アイランド部１１を封止樹脂部５０から露出させることで、半導体チップ３０から発せられた熱がアイランド部１１を介して放熱されやすくなる。これによって、電子装置１００は、アイランド部１１が封止樹脂部５０で覆われている場合よりも、半導体チップ３０の放熱性を向上させることができる。
【００４１】
また、電子装置１００は、半導体チップ３０におけるアイランド部１１との対向面に電極が設けられている場合、アイランド部１１を封止樹脂部５０から露出させることで、アイランド部１１を電極とすることができる。つまり、電子装置１００は、アイランド部１１を介して、半導体チップ３０と外部装置とを電気的に接続することができる。
【００４２】
以上のように、電子装置１００は、アウターリード２２と、アイランド部１１における回路素子が実装された実装面の裏面とが封止樹脂部５０から露出されている。そして、リードフレームは、封止樹脂部５０内に配置された吊部１２の少なくとも一部に、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として変形部１３と傾斜部１４とを含んでいる。つまり、リードフレームは、電気接続用リード部２０よりも、変形部１３と傾斜部１４の方が変形しやすい。このため、電子装置１００は、例えば金型を用いて封止樹脂部５０を形成する際に、アイランド部１１が変形しにくく、アイランド部１１の裏面に樹脂バリが形成されるのを抑制できる。
【００４３】
さらに、電子装置１００は、樹脂バリが形成されにくいため、樹脂バリを除去することを抑制できる。このため、電子装置１００は、封止樹脂部５０へのダメージと封止樹脂部の剥離を抑制できる。
【００４４】
ここで、図４〜図８を用いて、電子装置１００の製造方法に関して説明する。
【００４５】
図４〜図８では、製造段階におけるリードフレームを図示している。製造段階におけるリードフレームは、実装用リード部１０と電気接続用リード部２０とに加えて、被押圧部１５を含んでいる。被押圧部１５は、実装用リード部１０の端部から伸びている部位である。つまり、実装用リード部１０は、アイランド部１１と吊部１２に加えて、封止樹脂部５０の外側に配置され、樹脂形成工程後に切断される被押圧部１５を含んでいると言える。
【００４６】
さらに、リードフレームは、後程説明する型締め工程が行われるまで変形部１３が形成されていない。つまり、型締め工程が行われる前のリードフレームは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として傾斜部１４を含んでいる。なお、型締め工程が行われる前のリードフレームは、傾斜部１４に加えて、上記実装用リード部１０の端部と傾斜部１４との間に、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位を含んでいてもよい。
【００４７】
本製造方法では、下型３１０と上型３２０とを含む金型を用いて電子装置１００を製造する。図４に示すように、下型３１０は、下側縁部と下側縁部で囲まれた凹部を有し凹部の底面Ｓ１１が平坦となっている。上型３２０は、下側縁部に対向する上側縁部を有している。さらに、本実施形態では、上側縁部で囲まれた凹部を有した上型３２０を採用している。
【００４８】
金型は、下側縁部と上側縁部とが対向するように下型３１０と上型３２０とを組み付けることで、下型３１０の凹部と上型３２０の凹部とで囲まれたキャビティ３３０が形成される。このキャビティ３３０は、電子装置１００の封止樹脂部５０の外形に相当する形状を有している。なお、上型３２０の上側縁部は、型締め工程において、被押圧部１５と対向し、被押圧部１５を押圧する押圧面Ｓ１２を含んでいる。
【００４９】
下型３１０の凹部の深さは、図４に示すように、型締め工程前の実装用リード部１０が配置された状態で、アイランド部１１の裏面全域が底面Ｓ１１に接する程度である。言い換えると、下型３１０の凹部の深さは、型締め工程前の実装用リード部１０が配置された状態で、被押圧部１５が下側縁部と接しない程度である。よって、下型３１０の底面Ｓ１１から下型３１０の開口端部までの間隔は、型締め工程前のアイランド部１１の裏面と、被押圧部１５における裏面と同じ側の面との間隔よりも短い。なお、ここでの間隔は、Ｚ方向における間隔である。
【００５０】
本製造方法では、まず実装工程を行う。実装工程では、アイランド部１１に接合部６０を介して半導体チップ３０を実装し、半導体チップ３０とインナーリード２１とをワイヤ４０を介して電気的に接続する。図４には、アイランド部１１に接合部６０を介して半導体チップ３０が実装され、半導体チップ３０とインナーリード２１とがワイヤ４０を介して電気的に接続された構造体が、下型３１０に配置された状態を示している。
【００５１】
なお、図４の符号Ｓ１は、一面Ｓ１の一部をなしているアイランド部１１の裏面を指している。また、図４では、インナーリード２１が被押圧部１５に隠れているため、インナーリード２１が図示されていない。図５に関しても同様に、インナーリード２１は図示されていない。
【００５２】
配置工程では、図４に示すように、アイランド部１１の反対面が底面Ｓ１１に接し、被押圧部１５とアウターリード２２とが下側縁部の上方に位置するように、リードフレームを下型３１０に配置する。つまり、上記のように、下型３１０の底面Ｓ１１から下型３１０の開口端部までの間隔は、型締め工程前のアイランド部１１の裏面と、被押圧部１５における裏面と同じ側の面との間隔よりも短い。よって、配置工程では、アイランド部１１の反対面が底面Ｓ１１に接するように構造体を下型３１０に配置することで、被押圧部１５とアウターリード２２が、下側縁部と接することなく、下側縁部の上方に配置される。言い換えると、構造体は、被押圧部１５とアウターリード２２とが下型３１０から浮いた状態で、下型３１０に配置される。
【００５３】
型締め工程では、図４、図５に示すように、配置工程後に、下型３１０と上型３２０とを相対的に近づけ、下側縁部と上側縁部とで被押圧部１５とアウターリードとを挟み込む。そして、型締め工程では、アイランド部１１の裏面を底面Ｓ１１に押し付けることで、吊部１２の弾性率が小さい部位を変形させ、下型３１０と上型３２０とでキャビティを形成する。
【００５４】
つまり、型締め工程では、図５に示すように、下型３１０と上型３２０とを相対的に近づけることで、吊部１２に変形部１３を形成する。型締め工程では、例えば傾斜部１４の一部を湾曲させて変形部１３を形成する。
【００５５】
リードフレームは、被押圧部１５が下型３１０と上型３２０とから押圧されると、弾性率が小さい傾斜部１４が変形することで、アイランド部１１の中央部が底面Ｓ１１から浮き上がることを抑制できる。つまり、リードフレームは、弾性率が小さい傾斜部１４が変形することで、下型３１０と上型３２０とからの押圧力がアイランド部１１に印加されることを抑制できる。また、リードフレームは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい傾斜部１４を含んでいるため、アイランド部１１の裏面が底面Ｓ１１に確実に接するようにすることができると言える。
【００５６】
なお、本実施形態では、図４、図５の白抜き矢印で示すように、上型３２０を下型３１０に近づけるように移動させる例を採用している。よって、リードフレームは、反対面Ｓ１３が押圧面Ｓ１２で押圧される。しかしながら、本発明は、これに限定されず、下型３１０を移動させてもよいし、下型３１０と上型３２０の両方を移動させてもよい。
【００５７】
樹脂形成工程では、図６に示すように、型締め工程後に、キャビティ３３０内に樹脂材料を注入して封止樹脂部５０を形成する。樹脂材料は、金型に設けられた注入穴から注入される。
【００５８】
アイランド部１１は、樹脂材料の注入圧に対して、変形しない程度の剛性を有している。言い換えると、アイランド部１１は、樹脂材料の注入圧が印加されても変形しないように、弾性率が大きく設定されている。なお、樹脂材料の注入圧力は、モールド成型圧とも言える。
【００５９】
樹脂成型工程後に、金型を外すことで、図７、図８に示すような樹脂構造体１００ａが形成される。樹脂構造体１００ａは、封止樹脂部５０から被押圧部１５が突出している点が電子装置１００と異なる。また、樹脂構造体１００ａは、アウターリード２２が屈曲されていない点が電子装置１００と異なる。よって、樹脂成型工程後には、アウターリード２２をガルウイング状に変形させる変形工程と、変形工程後に被押圧部１５を切断する切断工程を行う。つまり、電子装置１００は、変形工程で、樹脂構造体１００ａにおけるアウターリード２２を変形させ、切断工程で、樹脂構造体１００ａにおける被押圧部１５が切断されることで形成される。
【００６０】
本製造方法では、配置工程後に、下型３１０と上型３２０とを相対的に近づけ、下側縁部と上側縁部とで被押圧部１５とアウターリード２２とを挟み込み、アイランド部１１の裏面を底面Ｓ１１に押し付ける。これによって、本製造方法では、弾性率が小さい傾斜部１４を変形させ、且つ、下型３１０と上型３２０とでキャビティ３３０を形成する。つまり、本製造方法では、アイランド部１１の裏面を底面Ｓ１１に押し付けることで傾斜部１４を変形させるため、必要以上にアイランド部１１に応力が印加されず、アイランド部１１が変形することを抑制できる。よって、本製造方法は、金型を用いて封止樹脂部５０を形成する際に、アイランド部１１が変形しにくく、樹脂バリの形成を抑制できる。
【００６１】
さらに、本製造方法は、樹脂バリが形成されにくいため、樹脂バリを除去することを抑制できる。このため、本製造方法は、封止樹脂部５０へのダメージと封止樹脂部５０の剥離を抑制できる。
【００６２】
なお、本実施形態では、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、傾斜部１４を採用している。しかしながら、本発明は、これに限定されず、吊部１２の少なくとも一部に、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位を含んでいれば目的を達成できる。この点は、下記の変形例に関しても同様である。
【００６３】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明した。しかしながら、本発明は、上記実施形態に何ら制限されることはなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。以下に、本発明のその他の形態として、変形例１〜変形例１１に関して説明する。上記実施形態及び変形例１〜変形例１１は、それぞれ単独で実施することも可能であるが、適宜組み合わせて実施することも可能である。本発明は、実施形態において示された組み合わせに限定されることなく、種々の組み合わせによって実施可能である。
【００６４】
（変形例１）
図９を用いて、変形例１の電子装置１１０に関して説明する。図９では、封止樹脂部５０で封止されている箇所をわかりやすくするために、封止樹脂部５０を二点鎖線で示し、封止樹脂部５０で封止されている箇所を実線で示している。電子装置１１０は、吊部１２ａの構成が電子装置１００と異なる。
【００６５】
実装用リード部１０ａは、アイランド部１１ａと吊部１２ａとを含んでいる。アイランド部１１ａは、アイランド部１１と同様である。吊部１２ａは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、電気接続用リード部２０よりも細い傾斜部１４ａを含んでいる。本変形例では、吊部１２ａの全体が、電気接続用リード部２０よりも細く設けられた例を採用している。傾斜部１４ａは、傾斜部１４と同様に、アイランド部１１ａに対して傾斜している部位である。また、電子装置１１０は、電子装置１００と同様に、傾斜部１４ａの一部が変形した変形部を含んでいる。
【００６６】
なお、傾斜部１４ａは、アウターリード２２やインナーリード２１よりも断面積が狭いとも言える。傾斜部１４ａやアウターリード２２やインナーリード２１の断面積は、長手方向に直交する方向における断面の面積である。
【００６７】
電子装置１１０は、電子装置１００と同様の効果を奏することができる。また、電子装置１１０は、厚みを薄くして弾性率を小さくするよりも容易に弾性率を小さくすることができる。
【００６８】
（変形例２）
図１０を用いて、変形例２の電子装置１２０に関して説明する。図１０は、図９に相当する平面図である。電子装置１２０は、吊部１２ｂの構成が電子装置１１０と異なる。
【００６９】
実装用リード部１０ｂは、アイランド部１１ｂと吊部１２ｂとを含んでいる。アイランド部１１ｂは、アイランド部１１ａと同様である。吊部１２ｂは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、電気接続用リード部２０よりも細い傾斜部１４ｂを含んでいる。本変形例では、吊部１２ｂの一部に切込部１４ｂ１が設けられることで、電気接続用リード部２０よりも細く設けられた例を採用している。ここでは、傾斜部１４ｂに切込部１４ｂ１が設けられた例を採用している。
【００７０】
吊部１２ｂは、ＸＹ平面における形状が三角形の切込部１４ｂ１が形成されている。また、四つの吊部１２ｂのそれぞれは、四箇所に切込部１４ｂ１が形成されている。しかしながら、切込部１４ｂ１が形成される箇所は、四箇所に限定されない。
【００７１】
傾斜部１４ｂは、傾斜部１４ａと同様に、アイランド部１１ｂに対して傾斜している部位である。また、電子装置１２０は、電子装置１１０と同様に、傾斜部１４ｂの一部が変形した変形部を含んでいる。つまり、電子装置１２０は、傾斜部１４ｂの切込部１４ｂ１が形成された箇所が変形して変形部が形成される。
【００７２】
なお、傾斜部１４ｂは、アウターリード２２やインナーリード２１よりも断面積が狭いとも言える。傾斜部１４ｂやアウターリード２２やインナーリード２１の断面積は、長手方向に直交する方向における断面の面積である。
【００７３】
電子装置１２０は、電子装置１１０と同様の効果を奏することができる。
【００７４】
（変形例３）
図１１を用いて、変形例３の電子装置１３０に関して説明する。図１１は、図９に相当する平面図である。電子装置１３０は、吊部１２ｃの構成が電子装置１１０と異なる。
【００７５】
実装用リード部１０ｃは、アイランド部１１ｃと吊部１２ｃとを含んでいる。アイランド部１１ｃは、アイランド部１１ａと同様である。吊部１２ｃは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、電気接続用リード部２０よりも細い傾斜部１４ｃを含んでいる。本変形例では、吊部１２ｃの一部に切込部１４ｃ１が設けられることで、電気接続用リード部２０よりも細く設けられた例を採用している。ここでは、傾斜部１４ｃに切込部１４ｃ１が設けられた例を採用している。
【００７６】
吊部１２ｃは、ＸＹ平面における形状が四角形の切込部１４ｃ１が形成されている。また、四つの吊部１２ｃのそれぞれは、二箇所に切込部１４ｃ１が形成されている。しかしながら、切込部１４ｃ１が形成される箇所は、二箇所に限定されない。
【００７７】
傾斜部１４ｃは、傾斜部１４ａと同様に、アイランド部１１ｃに対して傾斜している部位である。また、電子装置１３０は、電子装置１１０と同様に、傾斜部１４ｃの一部が変形した変形部を含んでいる。つまり、電子装置１３０は、傾斜部１４ｃの切込部１４ｃ１が形成された箇所が変形して変形部が形成される。
【００７８】
なお、傾斜部１４ｃは、アウターリード２２やインナーリード２１よりも断面積が狭いとも言える。傾斜部１４ｃやアウターリード２２やインナーリード２１の断面積は、長手方向に直交する方向における断面の面積である。
【００７９】
電子装置１３０は、電子装置１１０と同様の効果を奏することができる。
【００８０】
（変形例４）
図１２を用いて、変形例４の電子装置１４０に関して説明する。図１２は、図９に相当する平面図である。電子装置１４０は、吊部１２ｄの構成が電子装置１１０と異なる。
【００８１】
実装用リード部１０ｄは、アイランド部１１ｄと吊部１２ｄとを含んでいる。アイランド部１１ｄは、アイランド部１１ａと同様である。吊部１２ｄは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、電気接続用リード部２０よりも細い傾斜部１４ｄを含んでいる。本変形例では、吊部１２ｄの一部に穴部１４ｄ１が設けられることで、電気接続用リード部２０よりも細く設けられた例を採用している。ここでは、傾斜部１４ｄに穴部１４ｄ１が設けられた例を採用している。
【００８２】
吊部１２ｄは、吊部１２ｄをＺ方向に貫通する穴部１４ｄ１が形成されている。本変形例では、一例として、丸形の穴部１４ｄ１を採用している。しかしながら、穴部１４ｄ１の形状は、これに限定されない。また、四つの吊部１２ｄのそれぞれは、四箇所に穴部１４ｄ１が形成されている。しかしながら、穴部１４ｄ１が形成される箇所は、四箇所に限定されない。
【００８３】
傾斜部１４ｄは、傾斜部１４ａと同様に、アイランド部１１ｄに対して傾斜している部位である。また、電子装置１４０は、電子装置１１０と同様に、傾斜部１４ｄの一部が変形した変形部を含んでいる。つまり、電子装置１４０は、傾斜部１４ｄの穴部１４ｄ１が形成された箇所が変形して変形部が形成される。
【００８４】
なお、傾斜部１４ｄは、アウターリード２２やインナーリード２１よりも断面積が狭いとも言える。傾斜部１４ｄやアウターリード２２やインナーリード２１の断面積は、長手方向に直交する方向における断面の面積である。
【００８５】
電子装置１４０は、電子装置１１０と同様の効果を奏することができる。
【００８６】
（変形例５）
図１３を用いて、変形例５の電子装置１５０に関して説明する。図１３では、吊部１２ｅが変形する前の、実装用リード部１０ｅと半導体チップ３０と接合部６０の断面図を示している。また、図１３には、封止樹脂部５０が形成される外形を二点鎖線で示している。電子装置１５０は、吊部１２ｅの構成が電子装置１００と異なる。
【００８７】
実装用リード部１０ｅは、アイランド部１１ｅと吊部１２ｅとを含んでいる。アイランド部１１ｅは、アイランド部１１と同様である。吊部１２ｅは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、電気接続用リード部２０よりも細い傾斜部１４ｅを含んでいる。本変形例では、吊部１２ｅの一部に切込部１４ｅ１が設けられることで、電気接続用リード部２０よりも細く設けられた例を採用している。ここでは、傾斜部１４ｅに切込部１４ｅ１が設けられた例を採用している。
【００８８】
吊部１２ｅは、ＺＸ平面における形状が三角形の切込部１４ｅ１が形成されている。また、四つの吊部１２ｃのそれぞれは、四箇所に切込部１４ｅ１が形成されている。しかしながら、切込部１４ｅ１が形成される箇所は、四箇所に限定されない。
【００８９】
傾斜部１４ｅは、傾斜部１４と同様に、アイランド部１１ｅに対して傾斜している部位である。また、電子装置１５０は、電子装置１１０と同様に、傾斜部１４ｅの一部が変形した変形部を含んでいる。つまり、電子装置１５０は、傾斜部１４ｅの切込部１４ｅ１が形成された箇所が変形して変形部が形成される。
【００９０】
なお、傾斜部１４ｅは、アウターリード２２やインナーリード２１よりも断面積が狭いとも言える。傾斜部１４ｅやアウターリード２２やインナーリード２１の断面積は、長手方向に直交する方向における断面の面積である。
【００９１】
電子装置１５０は、電子装置１００と同様の効果を奏することができる。
【００９２】
（変形例６）
図１４を用いて、変形例６の電子装置１６０に関して説明する。図１４では、封止樹脂部５０で封止されている箇所をわかりやすくするために、封止樹脂部５０を二点鎖線で示し、封止樹脂部５０で封止されている箇所を実線で示している。電子装置１６０は、吊部１２ｆの構成が電子装置１００と異なる。
【００９３】
実装用リード部１０ｆは、アイランド部１１ｆと吊部１２ｆとを含んでいる。アイランド部１１ｆは、アイランド部１１と同様である。吊部１２ｆは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、ラビリンス形状の傾斜部１４ｆを含んでいる。
【００９４】
傾斜部１４ｆは、傾斜部１４と同様に、アイランド部１１ｆに対して傾斜している部位である。また、電子装置１６０は、電子装置１００と同様に、傾斜部１４ｆの一部が変形した変形部を含んでいる。
【００９５】
電子装置１６０は、電子装置１００と同様の効果を奏することができる。
【００９６】
（変形例７）
図１５を用いて、変形例７の電子装置１７０に関して説明する。図１５は、図２に対応する断面図である。電子装置１７０は、吊部１２ｇの構成が電子装置１００と異なる。
【００９７】
実装用リード部１０ｇは、アイランド部１１ｇと吊部１２ｇとを含んでいる。実装用リード部１０ｇは、表面の一部にめっき処理がなされている。実装用リード部１０ｇは、例えば、ニッケルめっきなどが施されている。アイランド部１１ｇは、表面にめっき部１６を有する点以外、アイランド部１１と同様である。
【００９８】
吊部１２ｇは、変形部１３ｇと傾斜部１４ｇとを含んでいる。また、吊部１２ｇは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、めっき処理がなされていない非めっき部を含んでいる。本変形例では、変形部１３ｇと傾斜部１４ｇが非めっき部である例を採用している。なお、吊部１２ｇは、端部の表面にもめっき部１６を含んでいる。傾斜部１４ｇは、傾斜部１４と同様に、アイランド部１１ｇに対して傾斜している部位である。
【００９９】
電子装置１７０は、電子装置１００と同様の効果を奏することができる。また、電子装置１７０は、部分的にめっき処理を行なわないことで、弾性率を小さくすることができるため、容易に弾性率を小さくすることができる。
【０１００】
（変形例８）
図１６を用いて、変形例８の電子装置１８０に関して説明する。図１６は、図２に対応する断面図の拡大図である。電子装置１８０は、吊部１２ｈの構成が電子装置１００と異なる。
【０１０１】
実装用リード部１０ｈは、アイランド部１１ｈと吊部１２ｈとを含んでいる。アイランド部１１ｈは、アイランド部１１と同様である。
【０１０２】
吊部１２ｈは、変形部１３ｈと傾斜部１４ｈとを含んでいる。また、吊部１２ｈは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、粗面処理がなされた粗面部１４ｈ１を含んでいる。本変形例では、変形部１３ｈと傾斜部１４ｈが粗面部１４ｈ１を含んでいる例を採用している。粗面部１４ｈ１は、例えば粗化ニッケルめっきなどを採用できる。なお、傾斜部１４ｈは、傾斜部１４と同様に、アイランド部１１ｈに対して傾斜している部位である。
【０１０３】
電子装置１８０は、電子装置１００と同様の効果を奏することができる。また、電子装置１８０は、部分的に粗面処理を行うことで、弾性率を小さくすることができるため、容易に弾性率を小さくすることができる。
【０１０４】
（変形例９）
図１７を用いて、変形例９の電子装置１９０に関して説明する。図１７は、図２に対応する断面図である。電子装置１９０は、吊部１２ｉの変形した形状が電子装置１００と異なる。
【０１０５】
実装用リード部１０ｉは、アイランド部１１ｉと吊部１２ｉとを含んでいる。アイランド部１１ｉは、アイランド部１１と同様である。吊部１２ｉは、変形部１３ｉと傾斜部１４ｉとを含んでいる。吊部１２ｉは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、電気接続用リード部２０よりも厚みが薄い傾斜部１４ｉを含んでいる。傾斜部１４ｉは、傾斜部１４と異なり、湾曲している。詳述すると、傾斜部１４ｉは、アイランド部１１の実装面と同じ側の面が凸状となるように湾曲している。よって、吊部１２ｉは、傾斜部１４ｉの全体が変形部１３ｉとなっていると言える。
【０１０６】
電子装置１９０は、電子装置１００と同様の効果を奏することができる。
【０１０７】
（変形例１０）
図１８を用いて、変形例１０の電子装置２００に関して説明する。図１８は、図２に対応する断面図である。電子装置２００は、吊部１２ｊの変形した形状が電子装置１００と異なる。
【０１０８】
実装用リード部１０ｊは、アイランド部１１ｊと吊部１２ｊとを含んでいる。アイランド部１１ｊは、アイランド部１１と同様である。吊部１２ｊは、変形部１３ｊと傾斜部１４ｊとを含んでいる。吊部１２ｊは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、電気接続用リード部２０よりも厚みが薄い傾斜部１４ｊを含んでいる。傾斜部１４ｊは、傾斜部１４と異なり、湾曲している。詳述すると、傾斜部１４ｊは、アイランド部１１の裏面と同じ側の面が凸状となるように湾曲している。よって、吊部１２ｊは、傾斜部１４ｊの全体が変形部１３ｊとなっていると言える。
【０１０９】
電子装置２００は、電子装置１００と同様の効果を奏することができる。
【０１１０】
（変形例１１）
図１９を用いて、変形例１１の電子装置２１０に関して説明する。図１９は、図１に対応する平面図である。電子装置２１０は、アウターリード２２の突出位置と、吊部１２ｋの位置が電子装置１００と異なる。
【０１１１】
アウターリード２２は、封止樹脂部５０の二辺から突出している。詳述すると、封止樹脂部５０におけるアウターリード２２が突出している二辺は、平行な位置関係となる二辺である。ここでは、アウターリード２２がＸ方向に延び例を採用している。
【０１１２】
実装用リード部１０ｋは、アイランド部１１ｋと吊部１２ｋとを含んでいる。アイランド部１１ｋは、アイランド部１１と同様である。吊部１２ｋは、吊部１２と同様に、傾斜部１４ｋを含んでいる。つまり、吊部１２ｋは、電気接続用リード部２０よりも弾性率が小さい部位として、電気接続用リード部２０よりも厚みが薄い傾斜部１４ｋとを含んでいる。
【０１１３】
しかしながら、実装用リード部１０ｋは、アイランド部１１ｋに対して吊部１２ｋが設けられている位置が、実装用リード部１０と異なる。実装用リード部１０ｋは、アイランド部１１ｋにおける平行な位置関係となる二辺に吊部１２ｋが設けられている。ここでは、吊部１２ｋがアイランド部１１ｋに対してＹ方向に延び例を採用している。なお、電子装置２１０は、電子装置１００と同様に、傾斜部１４ｋの一部が変形した変形部を含んでいる。
【０１１４】
電子装置２１０は、電子装置１００と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【０１１５】
１０，１０ａ〜１０ｋ…実装用リード部、１１，１１ａ〜１１ｋ…アイランド部、１２，１２ａ〜１２ｋ…吊部、１３，１３ｇ〜１３ｊ…変形部、１４，１４ａ〜１４ｋ…傾斜部、１５…被押圧部、１６…めっき部、２０…電気接続用リード部、２１…インナーリード、２２…アウターリード、３０…半導体チップ、４０…ワイヤ、５０…封止樹脂部、
６０…接合部、１００〜２１０…電子装置、３１０…下型、３２０…上型、３３０…キャビティ、Ｓ１…一面、Ｓ２…表面、Ｓ３…反対面、Ｓ１１…底面、Ｓ１２…押圧面、
【図１】
2018152431.tif 000003
【図２】
2018152431.tif 000004
【図３】
2018152431.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2018152431.tif 000015
【図１４】
2018152431.tif 000016
【図１５】
2018152431.tif 000017
【図１６】
2018152431.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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