(57)【要約】【課題】配列の狭ピッチ化を図ることができるプローブピンおよび検査ユニットを提供すること。【解決手段】プローブピンが、長手方向に沿って伸縮する弾性部（２１）と、弾性部（２１）の長手方向の両端部にそれぞれ設けられた第１接点部（２２）および第２接点部（２３）と、を有する板状の可動ピン（２０）と、可動ピン（２０）の板厚方向に重なるように配置されている導通経路形成部材（３０）と、を備える。導通経路形成部材（３０）が、長手方向の両端部の各々に、第１接点部（２２）および第２接点部（２３）にそれぞれ接触する第１接触面（３６）および第２接触面（３７）を有し、可動ピン（２０）および導通経路形成部材（３０）が、第１接点部（２２）と第１接触面（３６）との接触および第２接点部（２３）と第２接触面（３７）との接触をそれぞれ維持しつつ、長手方向に沿って相対的に移動可能に配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に沿って伸縮する弾性部と、前記弾性部の前記長手方向の両端部にそれぞれ設けられた第１接点部および第２接点部と、を有する板状の可動ピンと、
前記長手方向に沿って延び、かつ、前記可動ピンの板厚方向に重なるように配置されていると共に、前記第１接点部および前記第２接点部を互いに電気的に接続する導通経路形成部材と、
を備え、
前記導通経路形成部材が、前記長手方向の両端部の各々に、前記第１接点部および前記第２接点部にそれぞれ接触する第１接触面および第２接触面を有しており、
前記可動ピンおよび前記導通経路形成部材が、前記第１接点部と前記第１接触面との接触および前記第２接点部と前記第２接触面との接触をそれぞれ維持しつつ、前記長手方向に沿って相対的に移動可能に配置されている、プローブピン。
【請求項２】
前記可動ピンの前記第１接点部に、前記長手方向に延びかつ前記可動ピンを板厚方向に貫通したガイド孔部が設けられ、
前記導通経路形成部材の前記第１接触面側の端部に、前記ガイド孔部に位置していると共に前記ガイド孔部の延在方向に沿って移動可能なガイド部が設けられている、請求項１に記載のプローブピン。
【請求項３】
前記導通経路形成部材が、互いに離れる方向に撓み可能である一対の脚部で構成され、
前記一対の脚部の前記長手方向の一端部の各々には、相互に接近する方向に突出すると共に前記第２接触面を構成する一対の突出部が設けられ、前記一対の脚部の前記長手方向の他端部には、前記一対の脚部の各々を連結する前記ガイド部が設けられており、
前記可動ピンの前記第２接点部が、前記一対の突出部により移動可能に挟持されている、請求項２に記載のプローブピン。
【請求項４】
前記導通経路形成部材が、前記長手方向に延びる板状を有し、前記長手方向の両端部の各々に、前記可動ピンに向かって突出する突出部が設けられ、前記突出部の各々に、前記第１接触面および前記第２接触面が配置されている、請求項１に記載のプローブピン。
【請求項５】
前記導通経路形成部材が、前記長手方向に延びる棒状を有し、前記導通経路形成部材の中間部が前記可動ピンから離れる方向に湾曲している、請求項１に記載のプローブピン。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１つに記載の複数のプローブピンと、
前記可動ピンの前記第１接点部の一部および前記第２接点部の一部が外部に位置した状態で前記プローブピンを収容しかつ前記可動ピンおよび前記導通経路形成部材を前記長手方向に沿って相対的に移動可能に支持する複数の収容部を有するハウジングと、
を備える、検査ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブピンおよびこれを用いた検査ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体などの一般的な電子部品では、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンをマトリクス状に収容した検査ユニットを用いて、半導体パッケージの電極部と、検査装置とを接続することにより行われる。
【０００３】
このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、長手方向に沿ってそれぞれ独立して設けられかつ相互に間隔を空けて配置された固定部および可動部と、固定部および可動部を連結する蛇腹体とを備えている。そして、可動部の幅方向の一端部に、蛇腹体に沿って長手方向に延びると共に固定部に接触可能な可動接触片を設け、この可動接触片を介して可動部と固定部とが電気的に接続されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５６９９８９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、電子部品モジュールの小型化に伴って、検査に用いる検査ユニットの各プローブピンの小型化、並びに、各プローブピンの配列の狭ピッチ化も要請されている。
【０００６】
前記プローブピンでは、可動部の幅方向に可動接触片が設けられているため、複数の前記プローブピンを前記プローブピンの幅方向に所定の間隔をあけて配列した場合、隣接する前記プローブピン間の幅方向の間隔を一定以上狭くすることが難しく、配列の狭ピッチ化を図れない場合がある。
【０００７】
そこで、本発明は、配列の狭ピッチ化を図ることができるプローブピンおよび検査ユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のプローブピンは、
長手方向に沿って伸縮する弾性部と、前記弾性部の前記長手方向の両端部にそれぞれ設けられた第１接点部および第２接点部と、を有する板状の可動ピンと、
前記長手方向に沿って延び、かつ、前記可動ピンの板厚方向に重なるように配置されていると共に、前記第１接点部および前記第２接点部を互いに電気的に接続する導通経路形成部材と、
を備え、
前記導通経路形成部材が、前記長手方向の両端部の各々に、前記第１接点部および前記第２接点部にそれぞれ接触する第１接触面および第２接触面を有しており、
前記可動ピンおよび前記導通経路形成部材が、前記第１接点部と前記第１接触面との接触および前記第２接点部と前記第２接触面との接触をそれぞれ維持しつつ、前記長手方向に沿って相対的に移動可能に配置されている。
【０００９】
また、本発明の検査ユニットは、
前記プローブピンと、
前記可動ピンの前記第１接点部の一部および前記第２接点部の一部が外部に位置した状態で前記プローブピンを収容しかつ前記可動ピンおよび前記導通経路形成部材を前記長手方向に沿って相対的に移動可能に支持する収容部を有するハウジングと、
を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のプローブピンによれば、板状の可動ピンと、この可動ピンの板厚方向に重なるように配置されている導通経路形成部材とを備えている。これにより、プローブピンの幅方向寸法が可動ピンの幅方向寸法により決定されるので、プローブピンの幅方向への小型化を図ることができ、複数のプローブピンを幅方向に配列した場合であっても、配列の狭ピッチ化を図ることができる。
【００１１】
また、本発明の検査ユニットによれば、複数の前記プローブピンにより、配列の狭ピッチ化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態のプローブピンを備えた検査ユニットの斜視図。
【図２】本発明の第１実施形態のプローブピンの斜視図。
【図３】図２のプローブピンの可動ピンの斜視図。
【図４】図２のプローブピンの導通経路形成部材の斜視図。
【図５】図１のＶ-Ｖ線に沿った断面図。
【図６】図１の検査ユニットのVI矢視図。
【図７】図１の検査ユニットのVII矢視図。
【図８】図２のプローブピンの導通経路形成部材の他の例を示す部分拡大斜視図。
【図９】本発明の第２実施形態のプローブピンを備えた検査ユニットの斜視図。
【図１０】本発明の第２実施形態のプローブピンの斜視図。
【図１１】図１０のプローブピンの可動ピンの斜視図。
【図１２】図１０のプローブピンの導通経路形成部材の斜視図。
【図１３】図９のXIII-XIII線に沿った断面図。
【図１４】図９の検査ユニットのXIV矢視図。
【図１５】図９の検査ユニットのXV矢視図。
【図１６】本発明の第３実施形態のプローブピンを備えた検査ユニットの斜視図。
【図１７】本発明の第３実施形態のプローブピンの斜視図。
【図１８】図１７のプローブピンの導通経路形成部材の斜視図。
【図１９】図１６のXX-XX線に沿った断面図。
【図２０】図１６の検査ユニットのXXI矢視図。
【図２１】図１６の検査ユニットのXXII矢視図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施形態を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
【００１４】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態のプローブピン１０は、例えば、図１に示すように、ハウジング２に収容された状態で使用され、ハウジング２と共に検査ユニット１を構成する。この検査ユニット１には、一例として４本のプローブピン１０が収容されている。
【００１５】
各プローブピン１０は、図２に示すように、可動ピン２０と導通経路形成部材３０とを備えている。可動ピン２０および導通経路形成部材３０の各々は、細長い薄板状に構成され、例えば電鋳法で形成され、導電性を有している。
【００１６】
可動ピン２０は、図３に示すように、長手方向に沿って伸縮する弾性部２１と、この弾性部２１の長手方向の両端部に直列的に設けられた第１接点部２２および第２接点部２３とを有している。この可動ピン２０は、幅方向の中心線に対して対称に設けられている。なお、図３では、弾性部２１の中間部の一部を省略している。
【００１７】
弾性部２１は、板面視において、蛇行形状を有している。この弾性部２１は、可動ピン２０の幅方向下側に突出した第１湾曲部２１１と、第１湾曲部２１１の一端から可動ピン２０の幅方向に延びる直線部２１２と、第１湾曲部２１１とは連結されていない直線部２１２の一端から可動ピン２０の幅方向上側に突出した第２湾曲部２１３とで構成された１つの蛇行部を複数連接して構成されている。すなわち、第１湾曲部２１１、直線部２１２、および、第２湾曲部２１３は、第１接点部２２の幅方向の中心から第２接点部２３の幅方向の中心まで、第１湾曲部２１１、直線部２１２、第２湾曲部２１３の順に、可動ピン２０の長手方向に沿って繰り返し並べて配置されている。
【００１８】
なお、弾性部２１は、第１接点部２２および第２接点部２３の後述する幅広部２３１と同じか、それよりも小さい幅方向寸法を有している。
【００１９】
第１接点部２２は、略同一の幅方向寸法を有する略矩形の板状を有し、長手方向の一端部（図３の右側の端部）に弾性部２１が接続され、長手方向の他端部（図３の左側の端部）に先窄まり形状の第１接点２５１が設けられている。また、第１接点部２２の板面には、第１接点部２２を板厚方向に貫通した細長い矩形のガイド孔部２４が設けられている。このガイド孔部２４は、第１接点部２２の長手方向（すなわちプローブピン１０の長手方向）に沿って、第１接点２５１の近傍から第１接点部２２の長手方向の略中央部まで延びている。
【００２０】
第２接点部２３は、略矩形の板状を有し、長手方向の一端部（図３の左側の端部）に弾性部２１が接続され、長手方向の他端部（図３の右側の端部）に板面視において略Ｖ字形状の第２接点２５２が設けられている。この第２接点部２３は、弾性部２１が接続されている幅広部２３１と、第２接点２５２が設けられている共に幅広部２３１よりも幅方向寸法が小さい幅狭部２３２とで構成され、幅広部２３１と幅狭部２３２との境には、段部２３３が形成されている。なお、幅広部２３１は、第１接点部２２と略同一の幅方向寸法を有している。
【００２１】
導通経路形成部材３０は、図２に示すように、可動ピン２０の板厚方向に重なるように配置され、可動ピン２０の第１接点部２２および第２接点部２３を電気的に接続している。
【００２２】
詳しくは、導通経路形成部材３０は、図４に示すように、互いに離れる方向に撓み可能であると共に、可動ピン２０の板厚方向の異なる面上にそれぞれ重なる一対の脚部３１、３２で構成されている。この導通経路形成部材３０は、幅方向の中心線に対して対称に設けられ、図５に示すように、可動ピン２０の板厚方向から見て、可動ピン２０の幅方向寸法（弾性部２１、第１接点部２２および第２接点部２３の幅広部２３１の幅方向寸法）よりも小さい短手方向寸法を有している。なお、図４では、一対の脚部３１、３２の中間部の一部を省略している。
【００２３】
一対の脚部３１、３２の長手方向の一端部（図４の右側の端部）の各々には、相互に接近する方向に突出する一対の突出部３３、３４が設けられている。一対の突出部３３、３４の各々は、図７に示すように、可動ピン２０の第２接点部２３を板厚方向で挟持している。また、一対の脚部３１、３２の長手方向の他端部（図４の左側の端部）には、ガイド部３５が設けられている。ガイド部３５は、一対の脚部３１、３２の長手方向の他端部を連結していると共に、可動ピン２０の第１接点部２２のガイド孔部２４に位置して、ガイド孔部２４の延在方向（プローブピン１０の長手方向）に移動可能になっている。
【００２４】
図２に示すように、一対の脚部３１、３２のガイド部３５側の相互に対向する面は、可動ピン２０の第１接点部２２の板面に接触する第１接触面３６を構成している。また、一対の突出部３３、３４の各々は、その突出方向の先端面（図２では一対の突出部３３の先端面のみ示す）が、可動ピン２０の第２接点部２３に接触する第２接触面３７を構成している。
【００２５】
すなわち、可動ピン２０および導通経路形成部材３０は、可動ピン２０の第１接点部２２と導通経路形成部材３０の第１接触面との接触および可動ピン２０の第２接点部２３と導通経路形成部材３０の２接触面との接触を両方とも維持しつつ、プローブピン１０の長手方向に沿って相対的に移動可能に配置されている。
【００２６】
次に、図１および図５〜図７を参照して、４本のプローブピン１０がハウジング２に収容された検査ユニット１について説明する。
【００２７】
なお、図１および図４は、可動ピン２０の第１接点２５１および第２接点２５２に力が加えられていない状態（復帰状態）を示している。
【００２８】
ハウジング２は、図５に示すように、プローブピン１０がそれぞれ収容される４つの収容部３（図５では２つのみ示す）を有している。
【００２９】
各収容部３は、図１に示すように、VI矢視（図５の上側から見た平面視）において、正方形の各頂点に位置するように、相互に並列に配置されている。また、各収容部３は、図６および図７に示すように、長手方向の両端にそれぞれ開口部４、５を有する略円柱形状の空間で構成されている。詳しくは、各収容部３は、図５に示すように、図５のハウジング２の下端の開口部４からハウジング２の上端近傍まで延びている大径部６と、この大径部６からさらに上側に延在しかつ大径部６よりも直径の小さい小径部７とで構成されている。大径部６と小径部７との境には環状段部８が形成されている。
【００３０】
各収容部３内には、１個のプローブピン１０が、その両端部の第１接点２５１および第２接点２５２が各収容部３のそれぞれの開口部４、５から外部に位置した状態で収容されている。すなわち、各収容部３は、可動ピン２０の第１接点部２２の一部と第２接点部２３の一部とが外部に位置した状態で１個のプローブピン１０を収容している。また、プローブピン１０は、収容部３によって、可動ピン２０と導通経路形成部材３０とがプローブピン１０の長手方向に沿って相対的に移動可能に支持されている。
【００３１】
各収容部３の第１接点部２２側の開口部４は、図６に示すように、可動ピン２０および導通経路形成部材３０の幅方向寸法よりも大きい直径の円形状を有している。また、各収容部３の第２接点部２３側の開口部５は、図７に示すように、可動ピン２０の第２接点部２３の幅狭部２３２よりも大きく、幅広部２３１よりも小さく、さらに、可動ピン２０の第２接点部２３の厚さ方向寸法および導通経路形成部材３０の一対の脚部３１、３２の厚さ方向寸法の合計値よりも小さい直径の円形状を有している。
【００３２】
続いて、ハウジング２に収容された各プローブピン１０の動作について説明する。
【００３３】
図５に示す復帰状態の各プローブピン１０の第１接点２５１に力を加えて、可動ピン２０の第１接点部２２をハウジング２内に押し込んでいく。すると、各プローブピン１０の可動ピン２０の第２接点部２３の段部２３３が、対応する収容部３の環状段部８に当接して、第１接点部２２の第１接点２５１が収容部３内に大凡収容されるまで弾性部２１が圧縮され、動作状態（図示せず）となる。
【００３４】
このとき、導通経路形成部材３０のガイド部３５は、一対の突出部３３、３４が可動ピン２０の第２接点部２３を挟持した状態で、すなわち、第１接点部２２と第１接触面３６との接触および第２接点部２３と第２接触面３７との接触を維持した状態で、可動ピン２０の第１接点部２２のガイド孔部２４に沿って、可動ピン２０第１接点２５１に接近する方向に相対的に移動する。
【００３５】
また、動作状態の検査ユニット１において、各プローブピン１０の可動ピン２０の第１接点部２２に加えられた力を解放すると、圧縮されていた弾性部２１により第１接点部２２が収容部３の外側に向かって付勢されて、各プローブピン１０が図５に示す復帰状態に復帰する。
【００３６】
このとき、導通経路形成部材３０のガイド部３５は、一対の突出部３３、３４が可動ピン２０の第２接点部２３を挟持した状態で、すなわち、第１接点部２２と第１接触面３６との接触および第２接点部２３と第２接触面３７との接触を維持した状態で、可動ピン２０の第１接点部２２のガイド孔部２４に沿って、可動ピン２０第１接点２５１から離れる方向に相対的に移動する。
【００３７】
第１実施形態のプローブピン１０では、板状の可動ピン２０と、この可動ピン２０の板厚方向に重なるように配置されている導通経路形成部材３０とを備えている。これにより、プローブピン１０の幅方向寸法が可動ピン２０の幅方向寸法により決定されるので、プローブピン１０の幅方向への小型化を図ることができ、複数のプローブピン１０を幅方向に配列した場合であっても、配列の狭ピッチ化を図ることができる。
【００３８】
また、可動ピン２０の第１接点部２２に、プローブピン１０の長手方向に延びかつ可動ピン２０を板厚方向に貫通したガイド孔部２４が設けられ、導通経路形成部材３０の第１接点部２２に接触する側（第１接触面側）の端部に、ガイド孔部２４に位置していると共にガイド孔部２４の延在方向に沿って移動可能なガイド部３５が設けられている。これにより、ガイド部３５がガイド孔部２４に係合してガイド孔部２４の延在方向に沿って円滑に移動可能となるため、可動ピン２０と導通経路形成部材３０との間の相対的な移動をスムーズに行うことができる。
【００３９】
また、導通経路形成部材３０が一対の脚部３１、３２で構成されており、可動ピン２０の第２接点部２３が、プローブピン１０の長手方向の一端部の各々に設けられた一対の突出部３３、３４により、移動可能に挟持されている。これにより、可動ピン２０の移動中も一対の突出部３３、３４により可動ピン２０の第２接点部２３との接触状態を確実に維持することができて、可動ピン２０と導通経路形成部材３０との間の接触信頼性を高めることができる。
【００４０】
ところで、一般に、プローブピンの配列を狭ピッチ化していくと、検査ユニットのプローブピンを収容する収容部は、成形性の観点から、略円柱状の空間を構成し、収容したプローブピンの短手方向沿いの断面が略円形状を有するように形成される。
【００４１】
図６および図７に示すように、プローブピン１０の短手方向沿いの断面視において、可動ピン２０は、板厚方向の寸法よりも幅方向の寸法が大きい。このため、例えば、導通経路形成部材３０を幅方向に配置すると、プローブピン１０を断面視円形状の収容部３に収容した場合、板厚方向に大きなデッドスペースが形成されてしまう。第１実施形態の検査ユニット１では、プローブピン１０が、導通経路形成部材３０を可動ピン２０の板厚方向に重なるように配置されているので、プローブピン１０を収容部３に収容したときに前述のようなデッドスペースが形成されない。このため、配列の狭ピッチ化を図ることができる。
【００４２】
なお、可動ピン２０の第１接点部２２のガイド孔部２４は、第１接点部２２の長手方向の略中央部から第１接点２５１の近傍まで延びている場合に限らない。ガイド孔部２４は、例えば、図８に示すように、第１接点部２２の長手方向の略中央部から第１接点２５１まで延びていてもよい。このようにガイド孔部２４を設けることにより、可動ピン２０と導通経路形成部材３０との組み合わせを容易にして、プローブピン１０の組み立て性を向上させることができる。
【００４３】
また、導通経路形成部材３０は、一対の脚部３１、３２で構成されている場合に限らず、例えば、一対の脚部３１、３２のいずれか一方を省略してもよい。
【００４４】
また、検査ユニット１の収容部３は、可動ピン２０の第１接点部２２の一部である第１接点２５１および第２接点部２３の一部である第２接点２５２が外部に位置した状態でプローブピン１０を収容し、かつ、可動ピン２０および導通経路形成部材３０を長手方向に沿って相対的に移動可能に支持するものであれば、任意の形状および構造を有するものを採用できる。
【００４５】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態のプローブピン１１０は、図９〜図１５に示すように、第１接点部２２にガイド孔部が設けられていない可動ピン１２０と、プローブピン１１０の長手方向に延びる板状を有する導通経路形成部材１３０とを備えている点で、第１実施形態と異なっている。なお、第２実施形態では、第１実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態と異なる点について説明する。また、図１１では、弾性部２１の中間部の一部を省略し、図１２では、導通経路形成部材１３０の中間部の一部を省略している。
【００４６】
導通経路形成部材１３０は、図１２に示すように、相互に独立しかつ同一形状を有する一対の長尺板部材１３１、１３２で構成されている。各長尺板部材１３１、１３２は、図１３に示すように、可動ピン１２０の板厚方向から見て、可動ピン１２０の幅方向寸法（弾性部２１、第１接点部２２および第２接点部２３の幅広部２３１の幅方向寸法）よりも小さい短手方向寸法を有している。各長尺板部材１３１、１３２は、その長手方向の両端部の各々に、可動ピン１２０の板面に向かって突出する突出部１３３、１３４が設けられている。各長尺板部材１３１、１３２の一端部の突出部１３３の可動ピン１２０の第１接点部２２に対向する面が、第１接触面３６を構成し、各長尺板部材１３１、１３２の他端部の突出部１３４の可動ピン１２０の第２接点部２３に対向する面が、第２接触面３７を構成する。
【００４７】
このように、第２実施形態のプローブピン１１０では、導通経路形成部材１３０が、長手方向に延びる板状を有し、プローブピン１１０の長手方向の両端部の各々に、可動ピン１２０に向かって突出する突出部１３３、１３４が設けられている。これにより、簡単な構成で、プローブピン１０の小型化を図ることができる。
【００４８】
なお、導通経路形成部材１３０は、一対の長尺板部材１３１、１３２で構成する場合に限らず、例えば、一対の長尺板部材１３１、１３２のいずれか一方を省略してもよい。
【００４９】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態のプローブピン２１０は、図１６〜図２１に示すように、プローブピン２１０の長手方向に延びる棒状を有する導通経路形成部材３３０を備えている点で、第２実施形態と異なっている。なお、第３実施形態では、第１実施形態および第２実施形態と同一部分に同一参照番号を付して説明を省略し、第１実施形態および第２実施形態と異なる点について説明する。
【００５０】
導通経路形成部材３３０は、図１８に示すように、相互に独立しかつ同一形状を有する一対の長尺棒部材３３１、３３２で構成されている。各長尺棒部材３３１、３３２は、図１９に示すように、可動ピン１２０の板厚方向から見て、可動ピン１２０の幅方向寸法（弾性部２１、第１接点部２２および第２接点部２３の幅広部２３１の幅方向寸法）よりも小さい短手方向寸法を有している。各長尺棒部材３３１、３３２は、その長手方向の両端部の各々に、第１接点部２２および第２接点部２３にそれぞれ接触する第１接触面３６および第２接触面３７を有している。また、図２０に示すように、導通経路形成部材３３０は、その中間部３３３が可動ピン１２０から離れる方向に湾曲している。
【００５１】
このように、第３実施形態のプローブピン２１０では、導通経路形成部材３３０が、長手方向に延びる棒状を有している。これにより、簡単な構成で、プローブピン２１０の小型化を図ることができる。また、導通経路形成部材３３０の中間部３３３が可動ピン１２０から離れる方向に湾曲しているので、各プローブピン２１０を検査ユニット１の対応する収容部３に収容したときに、導通経路形成部材３３０の可動ピン１２０に対する接圧を高めることができる。これにより、可動ピン１２０と導通経路形成部材３３０との間の接触信頼性を高めることができる。
【００５２】
なお、導通経路形成部材３３０は、一対の長尺棒部材３３１、３３２で構成する場合に限らず、例えば、一対の長尺棒部材３３１、３３２のいずれか一方を省略してもよい。
【００５３】
以上、図面を参照して本発明における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本発明の種々の態様について説明する。
【００５４】
本発明の第１態様のプローブピンは、
長手方向に沿って伸縮する弾性部と、前記弾性部の前記長手方向の両端部にそれぞれ設けられた第１接点部および第２接点部と、を有する板状の可動ピンと、
前記長手方向に沿って延び、かつ、前記可動ピンの板厚方向に重なるように配置されていると共に、前記第１接点部および前記第２接点部を互いに電気的に接続する導通経路形成部材と、
を備え、
前記導通経路形成部材が、前記長手方向の両端部の各々に、前記第１接点部および前記第２接点部にそれぞれ接触する第１接触面および第２接触面を有しており、
前記可動ピンおよび前記導通経路形成部材が、前記第１接点部と前記第１接触面との接触および前記第２接点部と前記第２接触面との接触をそれぞれ維持しつつ、前記長手方向に沿って相対的に移動可能に配置されている。
【００５５】
第１態様のプローブピンによれば、板状の可動ピンと、この可動ピンの板厚方向に重なるように配置されている導通経路形成部材とを備えている。これにより、プローブピンの幅方向寸法が可動ピンの幅方向寸法により決定されるので、プローブピンの幅方向への小型化を図ることができ、複数のプローブピンを幅方向に配列した場合であっても、配列の狭ピッチ化を図ることができる。
【００５６】
本発明の第２態様のプローブピンでは、
前記可動ピンの前記第１接点部に、前記長手方向に延びかつ前記可動ピンを板厚方向に貫通したガイド孔部が設けられ、
前記導通経路形成部材の前記第１接触面側の端部に、前記ガイド孔部に位置していると共に前記ガイド孔部の延在方向に沿って移動可能なガイド部が設けられている。
【００５７】
第２態様のプローブピンによれば、ガイド部がガイド孔部に係合してガイド孔部の延在方向に沿って円滑に移動可能となるため、可動ピンと導通経路形成部材との間の相対的な移動をスムーズに行うことができる。
【００５８】
本発明の第３態様のプローブピンでは、
前記導通経路形成部材が、互いに離れる方向に撓み可能である一対の脚部で構成され、
前記一対の脚部の前記長手方向の一端部の各々には、相互に接近する方向に突出すると共に前記第２接触面を構成する一対の突出部が設けられ、前記一対の脚部の前記長手方向の他端部には、前記一対の脚部の各々を連結する前記ガイド部が設けられており、
前記可動ピンの前記第２接点部が、前記一対の突出部により移動可能に挟持されている。
【００５９】
第３態様のプローブピンによれば、可動ピンの移動中も一対の突出部により可動ピンの第２接点部との接触状態を確実に維持することができて、可動ピンと導通経路形成部材との間の接触信頼性を高めることができる。
【００６０】
本発明の第４態様のプローブピンでは、
前記導通経路形成部材が、前記長手方向に延びる板状を有し、前記長手方向の両端部の各々に、前記可動ピンに向かって突出する突出部が設けられ、前記突出部の各々に、前記第１接触面および前記第２接触面が配置されている。
【００６１】
第４態様のプローブピンによれば、簡単な構成で、プローブピンの小型化を図ることができる。
【００６２】
本発明の第５態様のプローブピンでは、
前記導通経路形成部材が、前記長手方向に延びる棒状を有し、前記導通経路形成部材の中間部が前記可動ピンから離れる方向に湾曲している。
【００６３】
第５態様のプローブピンによれば、簡単な構成で、プローブピンの小型化を図ることができる。
【００６４】
本発明の第６態様の検査ユニットでは、
複数の前記プローブピンと、
前記可動ピンの前記第１接点部の一部および前記第２接点部の一部が外部に位置した状態で前記プローブピンを収容しかつ前記可動ピンおよび前記導通経路形成部材を前記長手方向に沿って相対的に移動可能に支持する複数の収容部を有するハウジングと、
を備える。
【００６５】
第６態様の検査ユニットによれば、複数の前記プローブピンにより、配列の狭ピッチ化を図ることができる。
【００６６】
なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明のプローブピンは、例えば、カメラあるいは液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。
【符号の説明】
【００６８】
１  検査ユニット
２  ハウジング
３  収容部
４，５  開口部
６  大径部
７  小径部
８  環状段部
１０，１１０，２１０  プローブピン
２０，１２０  可動ピン
２１  弾性部
２１１  第１湾曲部
２１２  直線部
２１３  第２湾曲部
２２  第１接点部
２３  第２接点部
２３１  幅広部
２３２  幅狭部
２３３  段部
２４  ガイド孔部
２５１  第１接点
２５２  第２接点
３０，１３０，３３０  導通経路形成部材
３１，３２  脚部
３３，３４  突出部
３５  ガイド部
３６  第１接触面
３７  第２接触面
１３１，１３２  長尺板部材
１３３、１３４  突出部
３３１，３３２  長尺棒部材
３３３  中間部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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