(57)【要約】【課題】可動部の周縁を基準面上で転がしながら可動部を回転させる光偏向器において、可動部の状態を特定することが可能な技術を提供する。【解決手段】本明細書が開示する光偏向器は、基準面を有する基部と、基部に固定されており、基準面より上方に突出する導電性の支持柱と、光を反射する反射面を備える可動部であって、周縁を基準面上で転がしながら回転可能に支持柱に支持されており、少なくとも支持点と周縁の間で導電性を有する可動部と、可動部を回転駆動する駆動装置と、基準面に設けられた導電性を有する検出器であって、所定の方位角に沿って伸びる検出部と、検出部の端部に設けられた電極部を備える検出器と、電極部と支持柱との間での電気的導通の有無を検出する処理装置を備えている。【選択図】図１
2018185402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準面を有する基部と、
基部に固定されており、基準面より上方に突出する導電性の支持柱と、
光を反射する反射面を備える可動部であって、周縁を基準面上で転がしながら回転可能に支持柱に支持されており、少なくとも支持点と周縁の間で導電性を有する可動部と、
可動部を回転駆動する駆動装置と、
基準面に設けられた導電性を有する検出器であって、所定の方位角に沿って伸びる検出部と、検出部の端部に設けられた電極部を備える検出器と、
電極部と支持柱との間での電気的導通の有無を検出する処理装置を備える光偏向器。
【請求項２】
処理装置が、電極部と支持柱の間が電気的に導通した時に、電極部と支持柱の間の抵抗値を測定可能である、請求項１の光偏向器。
【請求項３】
支持柱と、可動部の支持点と周縁の間の部分が、低抵抗の導電体であり、
検出器が、高抵抗の導電体である、請求項１または２の光偏向器。
【請求項４】
可動部の周縁が楕円形状である、請求項１から３の何れか一項の光偏向器。
【請求項５】
駆動装置が、磁力により可動部を回転駆動する、請求項１から４の何れか一項の光偏向器。
【請求項６】
支持柱と可動部が、導電性の永久磁石を介して吸着している、請求項１から５の何れか一項の光偏向器。
【請求項７】
可動部が回転する範囲が透明なカバーにより気密に封止されている、請求項１から６の何れか一項の光偏向器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書は、光偏向器に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、光偏向器が開示されている。この光偏向器は、基準面を有する基部と、基部に固定されており、基準面より上方に突出する支持柱と、光を反射する反射面を備える可動部であって、周縁を基準面上で転がしながら回転可能に支持柱に支持された可動部と、可動部を回転駆動する駆動装置を備えている。この光偏向器では、駆動装置によって可動部を回転駆動することで、反射角度を任意の方位角に調整することができる。また、この光偏向器では、可動部の周縁が楕円形状であるため、可動部が１周回転するごとに、同一の方位角に対して異なる迎角が実現される。この光偏向器によれば、経度方向と緯度方向の２方向にスキャンすることができる。なお、本明細書でいう方位角とは、基部の基準面内において基準線となす角度をいう。本明細書でいう経度方向とは、方位角が増減する方向をいう。また、本明細書でいう迎角とは、可動部の反射面が基部の基準面となす角度をいう。本明細書でいう緯度方向とは、迎角が増減する方向をいう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２４６３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の技術では、駆動装置によって可動部を回転させている時に、可動部の状態、例えば可動部と基部の接触点の方位角や、可動部の回転数などを特定することができない。可動部の周縁を基準面上で転がしながら可動部を回転させる光偏向器において、可動部の状態を特定することが可能な技術が期待されている。
【０００５】
本明細書は上記課題を解決する技術を提供する。本明細書では、可動部の周縁を基準面上で転がしながら可動部を回転させる光偏向器において、可動部の状態を特定することが可能な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書が開示する光偏向器は、基準面を有する基部と、基部に固定されており、基準面より上方に突出する導電性の支持柱と、光を反射する反射面を備える可動部であって、周縁を基準面上で転がしながら回転可能に支持柱に支持されており、少なくとも支持点と周縁の間で導電性を有する可動部と、可動部を回転駆動する駆動装置と、基準面に設けられた導電性を有する検出器であって、所定の方位角に沿って伸びる検出部と、検出部の端部に設けられた電極部を備える検出器と、電極部と支持柱との間での電気的導通の有無を検出する処理装置を備えている。
【０００７】
上記の構成では、支持柱と、可動部の支持点から周縁までの部分は、常に電気的に導通している。このため、可動部の周縁を基準面上で転がしながら可動部を回転させる際に、可動部の周縁が検出部に接触する時、すなわち可動部と基部との接触点が所定の方位角に位置する時に、検出器の電極部と支持柱の間が電気的に導通する。これとは異なり、可動部の周縁が検出部に接触していない時には、電極部と支持柱との間は電気的に導通しない。従って、処理装置は、電極部と支持柱との間の電気的導通の有無を検出することで、可動部と基部との接触点が所定の方位角に位置するか否かを特定することができる。また、処理装置は、電極部と支持柱との間が電気的に導通してから、次に電気的に導通するまでの時間を計測することで、可動部が基部に対して１周回転するのに要する時間を特定することができ、基部に対する可動部の回転数を特定することができる。上記の光偏向器によれば、可動部の周縁を基準面上で転がしながら可動部を回転させる光偏向器において、可動部の状態を特定することができる。
【０００８】
上記の光偏向器では、処理装置が、電極部と支持柱の間が電気的に導通した時に、電極部と支持柱との間の抵抗値を測定可能であってもよい。
【０００９】
可動部の周縁の形状が円形状ではなく、可動部の支持点から周縁までの距離が位相角に応じて変化する場合、可動部の周縁が検出部と接触する位置は、その時点での可動部の迎角に応じて変化する。可動部の周縁が検出部と接触する位置が変化すると、電極部と支持柱との間の抵抗値が変化する。上記の構成では、処理装置が、電極部と支持柱との間が電気的に導通した時、すなわち可動部と基部との接触点が所定の方位角に位置した時に、電極部と支持柱との間の抵抗値を測定することで、可動部の周縁が検出部と接触した位置を特定して、可動部の迎角を特定することができる。上記の構成によれば、可動部の周縁を基準面上で転がしながら可動部を回転させている際に、可動部の方位角と迎角の組を特定することができる。可動部の状態をより詳細に特定することができる。
【００１０】
上記の光偏向器では、支持柱と、可動部の支持点と周縁の間の部分が、低抵抗の導電体であってもよく、検出器が、高抵抗の導電体であってもよい。
【００１１】
上記の構成では、電極部と支持柱の間の抵抗値は、検出部における可動部との接触点から電極部までの部分の抵抗値が支配的となる。検出部における可動部との接触点から電極部までの部分の抵抗値は、検出部における可動部との接触点から電極部までの距離に応じて直線的に変化する。上記の構成によれば、処理装置が、電極部と支持柱の間の抵抗値から、可動部と検出部の接触点の位置を精度良く特定することができ、可動部の迎角を精度よく特定することができる。
【００１２】
上記の光偏向器は、可動部の周縁が楕円形状であってもよい。
【００１３】
上記の構成によれば、経度方向と緯度方向の２方向にスキャンすることができる。
【００１４】
上記の光偏向器は、駆動装置が、磁力により可動部を回転駆動してもよい。
【００１５】
上記の構成によれば、可動部の支持点と周縁の間の部分を軟磁性の導電体とすることで、駆動装置による可動部の回転駆動と、検出器による可動部の状態の特定の双方を行うことができる。
【００１６】
上記の光偏向器は、支持柱と可動部が、導電性の永久磁石を介して吸着していてもよい。
【００１７】
上記の構成によれば、支持柱を軟磁性の導電体とすることで、可動部が支持柱から外れてしまうことを防止しつつ、検出器による可動部の状態の検出を行うことができる。
【００１８】
上記の光偏向器では、可動部が回転する範囲が透明なカバーにより気密に封止されていてもよい。
【００１９】
上記の構成によれば、検出器として酸化する材料を用いた場合でも、検出器の酸化を防止することができる。また、カバーの内部を減圧しておくことで、可動部が回転する際の空気抵抗を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例に係る光偏向器２の動作状態の例を示す縦断面図である。
【図２】実施例に係る光偏向器２の可動部６の例を示す平面図である。
【図３】実施例に係る光偏向器２の基部４の例を示す平面図である。
【図４】実施例に係る光偏向器２において、基部４から見た接触点の方位角θと、可動部６の反射面の迎角φの関係を示す図である。
【図５】実施例に係る光偏向器２において、可動部６が１周回転することによる、基部４と可動部６の位相のずれを示す図である。
【図６】実施例に係る光偏向器２において、基部４から見た接触点の方位角θと、可動部６から見た接触点の位相角αの間に位相ずれが生じる原理を説明する図である。
【図７】実施例に係る光偏向器２における、可動部６の変形形態を示す上面図である。
【図８】実施例に係る光偏向器２における、可動部６の別の変形形態を示す上面図である。
【図９】実施例に係る光偏向器２の動作状態の別の例を示す縦断面図である。
【図１０】実施例に係る光偏向器２の変形例を示す縦断面図である。
【図１１】実施例に係る光偏向器２の基部４の別の例を示す平面図である。
【図１２】実施例に係る光偏向器２のさらに別の変形例を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
（実施例）
図１は本実施例の光偏向器２を示している。光偏向器２は、基部４と、可動部６と、駆動装置８と、検出装置１０と、処理装置１２を備えている。
【００２２】
基部４は、支持基板１４と、支持層１６と、表面基板１８と、検出器２０と、支持柱２２を備えている。支持基板１４は、非磁性の絶縁体、例えばシリコンやガラス等からなる。支持基板１４の上面には、支持層１６が接合されている。支持層１６は、非磁性の絶縁体、例えばアクリル等からなる。支持層１６には、支持柱２２が貫通する中央孔１６ａと、駆動装置８を収容する収容孔１６ｂが形成されている。支持層１６の上面には、表面基板１８が接合されている。表面基板１８は、非磁性の絶縁体、例えばシリコンやガラス等からなる。表面基板１８には、支持柱２２が貫通する中央孔１８ａが形成されている。
【００２３】
表面基板１８には、検出器２０が埋め込まれている。検出器２０は、非磁性の高抵抗の導電体、例えばＮｉＣｒ、ＣｕＭｎ、ＣｕＮｉ等からなる。検出器２０の上面は、表面基板１８の上面と面一となっている。以下では表面基板１８および検出器２０の上面を、基準面Ｐともいう。以下では、基準面Ｐ内において互いに直交する方向をＸ方向およびＹ方向といい、基準面Ｐに対して直交する方向をＺ方向という。図３に示すように、検出器２０は、Ｘ方向に直線状に伸びる検出部２０ａと、検出部２０ａの支持柱２２から遠い方の端部に設けられた電極パッド２０ｂを備えている。
【００２４】
図１に示すように、支持柱２２は、下端が支持基板１４に固定された棒状部材である。支持柱２２は、軟磁性の低抵抗の導電体、例えばステンレス等からなる。支持柱２２は、支持層１６の中央孔１６ａ、表面基板１８の中央孔１８ａを貫通して、基準面Ｐよりも上方に突出している。支持柱２２は、上端近傍において、上端に近づくほど断面積が小さくなる形状に形成されている。以下では、支持柱２２の上端を支持点Ｓともいう。
【００２５】
図１、図２に示すように、可動部６は、楕円状の平板形状に形成された反射板２４と、反射板２４の下面に固定された円柱形状の永久磁石２６を備えている。以下では、反射板２４の楕円の長軸方向を可動部６のピッチ軸とし、反射板２４の楕円の短軸方向を可動部６のロール軸とし、反射板２４に直交する方向を可動部６のヨー軸とする。反射板２４は、軟磁性の低抵抗の導電体、例えばステンレス等からなる。反射板２４の上面には、入射光を反射する反射膜２４ａが形成されている。反射膜２４ａは、例えばＡｌ等の蒸着膜である。反射膜２４ａの表面を反射面ともいう。
【００２６】
永久磁石２６は、硬磁性の低抵抗の導電体、例えばネオジム磁石等からなる。図２に示すように、永久磁石２６は、可動部６をヨー軸方向から平面視したときに、永久磁石２６の中心と反射板２４の中心が一致するように配置されている。また、図１に示すように、永久磁石２６は、磁力の極性の向きが可動部６のヨー軸方向と一致するように配置されている。可動部６は、支持柱２２の上端の支持点Ｓに永久磁石２６の下面が接触することによって、基部４に支持されている。永久磁石２６と支持柱２２の間に作用する磁気吸着力によって、可動部６は支持柱２２の上端の支持点Ｓに吸着している。可動部６は、支持柱２２の上端の支持点Ｓに対して、ピッチ軸、ロール軸およびヨー軸の三軸に関して揺動可能に支持されている。
【００２７】
図３に示すように、駆動装置８は、６つの電磁石２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ、２８ｅ、２８ｆを備えている。電磁石２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ、２８ｅ、２８ｆは、いずれも、基部４の収容孔１６ｂ内に収容されている。電磁石２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ、２８ｅ、２８ｆは、基部４をＺ方向から平面視したときに、支持柱２２の支持点Ｓを中心とする円の円周を６等分する位置に配置されている。電磁石２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ、２８ｅ、２８ｆは、その磁力の極性の向きが、基準面Ｐに直交する方向と一致するように配置されている。電磁石２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ、２８ｅ、２８ｆによる磁力の発生は、個別に制御可能である。
【００２８】
例えば、駆動装置８の１つの電磁石２８ａに磁力を発生させると、軟磁性体である反射板２４に電磁石２８ａに向けた磁気吸着力が作用し、可動部６が揺動する。これにより、図１に示すように、反射板２４の周縁が電磁石２８ａの近傍の基準面Ｐに接触する。次いで、電磁石２８ａでの磁力の発生を停止し、電磁石２８ａの隣に配置された電磁石２８ｂに磁力を発生させると、反射板２４に電磁石２８ｂに向けた磁気吸着力が作用し、反射板２４は周縁を基準面Ｐ上で転がしながらヨー軸周りに回転し、反射板２４の周縁が電磁石２８ｂの近傍の基準面Ｐに接触する状態に移行する。このように、磁力を発生させる電磁石２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ、２８ｅ、２８ｆを順に切り替えていくことで、反射板２４は周縁を基準面Ｐ上で転がしながら、ヨー軸周りに回転し続ける。
【００２９】
図４は、反射板２４の周縁を基準面Ｐ上で転がしながら反射板２４をヨー軸周りに回転させるときの、基部４から見た接触点の方位角θ（図３参照）と、反射板２４の反射面の迎角φ（図１参照）の関係を示している。ここで、方位角θは基準面Ｐ内でのＸ軸からの回転角度を示しており、迎角φはＸＹ面（すなわち基準面Ｐ）に対する傾斜角度を示している。反射板２４は、中心から周縁までのヨー軸に直交する方向の距離が、位相角α（図２参照）に応じて変化する形状に形成されている。ここで、位相角αはヨー軸に直交する面内でのピッチ軸からの回転角度を示している。従って、基部４から見た接触点の方位角θの変化に応じて、反射板２４から見た接触点の位相角αも変化し、それに応じて反射板２４の反射面の迎角φも変化する。基部４から見た接触点の方位角θと、反射板２４の反射面の迎角φにより、光偏向器２の反射角度が規定される。
【００３０】
図５に示すように、本実施例の光偏向器２では、反射板２４の基準点（例えば、長径方向の一方の端部、すなわち図２のＡの端部）が基準面Ｐに接触した状態から、反射板２４をヨー軸周りに１周回転させて、再び基準点が基準面Ｐに接触した状態となると、基部４に対して反射板２４は所定角度δだけ位相がずれる。これは、次のような理由による。
【００３１】
図６に示すように、反射板２４が周縁を基準面Ｐ上で転がしながらヨー軸周りに回転して、基部４から見た接触点の方位角θが微小角度ｄθだけ変化し、反射板２４から見た接触点の位相角αが微小角度ｄαだけ変化する場合、反射板２４と基準面Ｐの間に滑りが生じないとすると、幾何学的な関係から次式が成り立つ。
【００３２】
【数１】
2018185402.tif 000003
【００３３】
従って、基部４から見た接触点の方位角θと、反射板２４から見た接触点の位相角αの間の角度のずれ量を位相ずれδとすると、以下の関係が成り立つ。
【００３４】
【数２】
2018185402.tif 000004
【００３５】
従って、基部４から見た接触点の方位角θが２π増加する間に生じる位相ずれδは、次式で与えられる。
【００３６】
【数３】
2018185402.tif 000005
【００３７】
上記のような方位角θと位相角αの位相ずれδに起因して、図４に示すように、可動部６が１周回転する毎に、同一の方位角θに対して異なる迎角φが実現される。これにより、本実施例の光偏向器２によれば、可動部６を繰り返し回転させることで、任意の方位角θと迎角φの組み合わせを実現することができる。本実施例の光偏向器２によれば、経度方向と緯度方向の２方向にスキャンすることが可能となる。
【００３８】
なお、反射板２４のヨー軸に直交する面で見たときの形状は、上述のような楕円形状以外にも、種々の形状とすることができる。
【００３９】
例えば、反射板２４は、円形状とすることもできる。あるいは、図７に示すように、反射板２４を多角形状とすることもできる。あるいは、図８に示すように、反射板２４をルーローの多角形状とすることもできる。あるいは、図示はしていないが、反射板２４をハート型や星型などの形状とすることもできる。
【００４０】
図１に示す処理装置１２は、検出器２０の電極パッド２０ｂと、支持柱２２の下端との間の電気的導通の有無を検出可能である。また、処理装置１２は、検出器２０の電極パッド２０ｂと、支持柱２２の下端との間が電気的に導通した時に、その抵抗値を検出可能である。
【００４１】
光偏向器２において、支持柱２２と、永久磁石２６と、反射板２４は、常に電気的に導通している。このため、反射板２４の周縁が検出器２０の検出部２０ａに接触する時、すなわち反射板２４と基部４との接触点が基準面ＰのＸ軸上に位置する時に、検出器２０の電極パッド２０ｂと、支持柱２２の下端との間が電気的に導通する。これとは異なり、反射板２４の周縁が検出器２０の検出部２０ａに接触していない時には、検出器２０の電極パッド２０ｂと、支持柱２２の下端との間は電気的に導通しない。従って、処理装置１２は、検出器２０の電極パッド２０ｂと支持柱２２の下端との間の電気的導通の有無を検出することで、反射板２４と基部４の接触点が所定の方位角に位置するか否かを特定することができる。また、処理装置１２は、検出器２０の電極パッド２０ｂと、支持柱２２の下端との間が電気的に導通してから、次に電気的に導通するまでの時間を計測することで、反射板２４が基部４に対して１周回転するのに要する時間を特定することができる。また、処理装置１２は、反射板２４が基部４に対して１周回転するのに要する時間から、基部４に対する可動部６の回転数を特定することができる。例えば、処理装置１２は、駆動装置８の電磁石２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ、２８ｅ、２８ｆの切替周波数と、上記により特定された可動部６の回転数を比較して、両者に違いがある場合に、光偏向器２に異常が発生したと判断して、異常信号を出力してもよい。
【００４２】
支持柱２２、永久磁石２６および反射板２４が低抵抗の導電体であり、検出器２０が高抵抗の導電体であることから、検出器２０の電極パッド２０ｂと、支持柱２２の下端との間が電気的に導通する際の抵抗値は、検出器２０の検出部２０ａにおける反射板２４との接触点から電極パッド２０ｂまでの部分の抵抗値が支配的となる。検出器２０の検出部２０ａにおける反射板２４との接触点から電極パッド２０ｂまでの部分の抵抗値は、検出器２０の検出部２０ａにおける反射板２４との接触点から電極パッド２０ｂまでの距離Ｌに応じて変化する。検出器２０の検出部２０ａにおける反射板２４との接触点から電極パッド２０ｂまでの距離Ｌは、反射板２４の迎角φに応じて変化する。例えば、図１に示すように、反射板２４の長軸方向の周縁が検出部２０ａに接触している場合、すなわち反射板２４の迎角φが小さい場合には、検出器２０の検出部２０ａにおける反射板２４との接触点から電極パッド２０ｂまでの距離Ｌは短いものとなる。これとは異なり、図９に示すように、反射板２４の短軸方向の周縁が検出部２０ａに接触している場合、すなわち反射板２４の迎角φが大きい場合には、検出器２０の検出部２０ａにおける反射板２４との接触点から電極パッド２０ｂまでの距離Ｌは長いものとなる。
【００４３】
従って、処理装置１２は、検出器２０の電極パッド２０ｂと支持柱２２の下端との間が電気的に導通した時の抵抗値を計測することで、検出器２０の検出部２０ａにおける反射板２４との接触点から電極パッド２０ｂまでの距離Ｌを特定することができる。また、処理装置１２は、検出器２０の検出部２０ａにおける反射板２４との接触点から電極パッド２０ｂまでの距離Ｌから、反射板２４の迎角φを特定することができる。基部４において検出器２０が配置されている方位角θは固定されているので、処理装置１２は、方位角θと迎角φの組を特定することができる。また、処理装置１２は、反射板２４が基部４に対して１周回転するごとに方位角θと迎角φの組を記憶しておき、新たに特定された方位角θと迎角φの組が、以前に特定された方位角θと迎角φの組から大きく外れている場合に、光偏向器２に異常が発生したと判断して、異常信号を出力してもよい。
【００４４】
なお、図１０に示すように、反射板２４の下面に、永久磁石２６の周囲を取り囲んでおり、永久磁石２６よりも反射板２４の下方に向けて突出する円筒形状のリブ２４ｂを設けてもよい。光偏向器２において、可動部６の永久磁石２６は支持柱２２の支持点Ｓに対してスライド可能である。従って、光偏向器２において、反射板２４を回転させている時に、可動部６の永久磁石２６の中心が支持点Ｓからズレて、可動部６が支持柱２２から外れてしまうおそれがある。図１０に示す構成のように、反射板２４の下面にリブ２４ｂを設けることで、可動部６が支持柱２２から外れてしまうことを防止することができる。
【００４５】
また、図１１に示すように、表面基板１８に、複数の検出器２０、３０、３２、３４を設けてもよい。複数の検出器２０、３０、３２、３４は、それぞれ、基準面Ｐにおいて放射状に直線状に伸びる検出部２０ａ、３０ａ、３２ａ、３４ａと、検出部２０ａ、３０ａ、３２ａ、３４ａの支持柱２２から遠い方の端部に設けられた電極パッド２０ｂ、３０ｂ、３２ｂ、３４ｂを備えている。図９に示す構成では、処理装置１２が、検出器２０、３０、３２、３４の電極パッド２０ｂ、３０ｂ、３２ｂ、３４ｂと、支持柱２２の下端との間の電気的導通の有無と、電気的に導通した時の抵抗値を検出することで、より多くの方位角θと迎角φの組を特定することができる。
【００４６】
さらに、図１２に示すように、表面基板１８の上方に、カバー３６を設けてもよい。カバー３６は、透明な非磁性の絶縁体、例えばアクリル等からなる。また、カバー３６の内部の空間は、減圧されて気密に封止されている。これによって、可動部６が回転する際の空気抵抗を低減することができ、可動部６を駆動装置８による駆動力に追従しやすくすることができる。また、検出器２０に酸化される材料を用いた場合に、検出器２０が酸化することを防止するができる。なお、図１２に示す構成では、電極パッド２０ｂを、表面基板１８を上面から下面まで貫通する貫通電極として形成し、支持層１６に電極パッド２０ｂへの配線が可能な配線孔１６ｃを形成しておくことで、電極パッド２０ｂを処理装置１２に接続することができる。
【００４７】
上記の実施例では、駆動装置８が、磁力を利用して、可動部６の周縁を基準面Ｐ上で転がしながら可動部６をヨー軸周りに回転駆動する構成について説明したが、駆動装置８は、上記以外にも様々な形態のものを用いることができる。例えば、駆動装置８が、静電力を利用して、可動部６の周縁を基準面Ｐ上で転がしながら可動部６をヨー軸周りに回転駆動する構成としてもよい。
【００４８】
以上、本発明の実施例について詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【００４９】
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時の請求項に記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００５０】
２：光偏向器；    ４：基部；    ６：可動部；    ８：駆動装置；    １０：検出装置；    １２：処理装置；    １４：支持基板；    １６：支持層；    １６ａ：中央孔；    １６ｂ：収容孔；    １６ｃ：配線孔；    １８：表面基板；    １８ａ：中央孔；    ２０：検出器；    ２０ａ：検出部；    ２０ｂ：電極パッド；    ２２：支持柱；    ２４：反射板；    ２４ａ：反射膜；    ２４ｂ：リブ；    ２６：永久磁石；    ２８ａ：電磁石；    ２８ｂ：電磁石；    ２８ｃ：電磁石；    ２８ｄ：電磁石；    ２８ｅ：電磁石；    ２８ｆ：電磁石；    ３０：検出器；    ３０ａ：検出部；    ３０ｂ：電極パッド；    ３２：検出器；    ３２ａ：検出部；    ３２ｂ：電極パッド；    ３４：検出器；    ３４ａ：検出部；    ３４ｂ：電極パッド；    ３６：カバー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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