(57)【要約】【課題】ガラスフィルム又は支持体の破損を防止して、安全に支持体からガラスフィルムを剥離すると共に、この剥離をなるべく低コストに実施する。【解決手段】本発明に係るガラスフィルム２の剥離方法は、ガラスフィルム２を保持部材１１で保持するステップＳ３１と、支持体１を吸着部材１２で吸着するステップＳ３２と、吸着部材１２を第一の方向ｄ１に移動させて、支持体１をガラスフィルム２から引き剥がすステップＳ３３と、引き剥がしにより支持体１とガラスフィルム２の間に生じた隙間７に、再付着を防ぐための部材１３を導入するステップＳ３４と、再付着防止部材１３を導入した状態で、吸着部材１２による支持体１の吸着状態を解消するステップＳ３５、及び吸着部材１２を第二の方向ｄ２に移動させて、支持体１に対する吸着部材１２の吸着位置を変更するステップＳ３６とをさらに備える。【選択図】図１５
2018085407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムを支持する支持体とを積層してなるガラスフィルムの積層体に対して、前記ガラスフィルムの剥離を行うための方法であって、
前記ガラスフィルムと前記支持体のうち何れか一方のワークを保持部材で保持する保持ステップと、
他方のワークを吸着部材で吸着する吸着ステップと、
前記吸着部材を前記一方のワークから離れる第一の方向に移動させて、前記他方のワークを前記一方のワークから引き剥がす引き剥がしステップとを備えたガラスフィルムの剥離方法において、
前記引き剥がしにより前記双方のワークの間に生じた隙間に、前記双方のワーク同士が再付着するのを防ぐための部材を導入する再付着防止部材導入ステップと、
前記再付着防止部材を導入した状態で、前記吸着部材による前記他方のワークの吸着状態を解消する吸着解消ステップ、及び
前記吸着部材を前記ガラスフィルムの剥離が進展する第二の方向に相対移動させて、前記他方のワークに対する前記吸着部材の吸着位置を変更する吸着位置変更ステップとをさらに備えることを特徴とするガラスフィルムの剥離方法。
【請求項２】
前記吸着部材は吸着パッドである請求項１に記載のガラスフィルムの剥離方法。
【請求項３】
複数の前記吸着パッドが、前記第二の方向に直交する向きに沿って一列に配設されている請求項２に記載のガラスフィルムの剥離方法。
【請求項４】
前記再付着防止部材はシート状部材である請求項１〜３の何れか一項に記載のガラスフィルムの剥離方法。
【請求項５】
前記吸着部材で、前記他方のワークのうち前記一方のワークから剥離した領域のみを吸着する請求項１〜４の何れか一項に記載のガラスフィルムの剥離方法。
【請求項６】
前記ガラスフィルムが四辺を有する矩形状をなす場合、前記ガラスフィルムの辺に沿った向きを前記第二の方向に設定する請求項１〜５の何れか一項に記載のガラスフィルムの剥離方法。
【請求項７】
前記ガラスフィルムが前記支持体から完全に剥離するまで、前記再付着防止部材導入ステップ、前記吸着解消ステップ、前記吸着位置変更ステップ、前記吸着ステップ、及び前記引き剥がしステップを繰り返し行う請求項１〜６の何れか一項に記載のガラスフィルムの剥離方法。
【請求項８】
前記吸着部材の前記第一の方向への移動量は、１.０ｍｍ以上でかつ１０ｍｍ以下に設定される請求項１〜７の何れか一項に記載のガラスフィルムの剥離方法。
【請求項９】
前記吸着部材の前記第一の方向への移動速度は、０．０１ｍｍ／秒以上でかつ１．０ｍｍ／秒以下に設定される請求項１〜８の何れか一項に記載のガラスフィルムの剥離方法。
【請求項１０】
ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムを支持する支持体とを積層して、ガラスフィルムの積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体に製造関連処理を施す製造関連処理工程と、前記製造関連処理工程の後、前記支持体から前記ガラスフィルムを剥離する剥離工程とを備えたガラスフィルムの製造方法において、
前記剥離工程は、前記ガラスフィルムと前記支持体のうち何れか一方のワークを保持部材で保持する保持ステップと、
他方のワークを吸着部材で吸着する吸着ステップと、
前記吸着部材を前記一方のワークから離れる第一の方向に移動させて、前記他方のワークを前記一方のワークから引き剥がす引き剥がしステップと、
前記引き剥がしにより前記双方のワークの間に生じた隙間に、前記双方のワーク同士が再付着するのを防ぐための部材を導入する再付着防止部材導入ステップと、
前記再付着防止部材を導入した状態で、前記吸着部材による前記他方のワークの吸着状態を解消する吸着解消ステップ、及び
前記吸着部材を前記ガラスフィルムの剥離が進展する第二の方向に相対移動させて、前記他方のワークに対する前記吸着部材の吸着位置を変更する吸着位置変更ステップとをさらに備えることを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
【請求項１１】
ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムを支持する支持体とを積層して、前記ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、前記積層体の前記ガラスフィルムに電子デバイス要素を取付けて支持体付き電子デバイスを形成する取付け工程と、前記取付け工程の後、前記支持体付き電子デバイスの前記支持体から前記ガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離する剥離工程とを備えた電子デバイスの製造方法において、
前記剥離工程は、前記ガラスフィルムと前記支持体のうち何れか一方のワークを保持部材で保持する保持ステップと、
他方のワークを吸着部材で吸着する吸着ステップと、
前記吸着部材を前記一方のワークから離れる第一の方向に移動させて、前記他方のワークを前記一方のワークから引き剥がす引き剥がしステップと、
前記引き剥がしにより前記双方のワークの間に生じた隙間に、前記双方のワーク同士が再付着するのを防ぐための部材を導入する再付着防止部材導入ステップと、
前記再付着防止部材を導入した状態で、前記吸着部材による前記他方のワークの吸着状態を解消する吸着解消ステップ、及び
前記吸着部材を前記ガラスフィルムの剥離が進展する第二の方向に相対移動させて、前記他方のワークに対する前記吸着部材の吸着位置を変更する吸着位置変更ステップとをさらに備えることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項１２】
前記ガラスフィルムと、前記ガラスフィルムを支持する支持体とを積層してなる積層体に対して、前記ガラスフィルムの剥離を行うための装置であって、
前記ガラスフィルムと前記支持体のうち何れか一方のワークを保持する保持部材と、
他方のワークを吸着しかつ吸着状態を解消可能な吸着部材と、
前記双方のワーク間に生じた隙間に導入して、前記双方のワーク同士が再付着するのを防ぐ再付着防止部材とを備え、
前記吸着部材は、前記一方のワークから離れる第一の方向に移動すると共に、前記ガラスフィルムの剥離が進展する第二の方向に相対移動するよう構成されていることを特徴とするガラスフィルムの剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスフィルムの剥離方法とその剥離装置、ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法に関し、特にガラスフィルムを支持体から剥離するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、急速に普及しているスマートフォンやタブレット型端末などのモバイル端末には、更なる薄型化並びに軽量化が求められており、これらの端末に組み込まれるガラス基板についても、薄板化への要請が高まっているのが現状である。
【０００３】
このような現状の下、フィルム状にまで薄肉化された板ガラス（例えば、厚み寸法が３００μｍ以下の板ガラス）が開発、製造されるに至っている。この種の板ガラスはガラスフィルムと呼ばれるもので、その厚み寸法が極めて小さいことから、可撓性に富んだ性質を有する。
【０００４】
ところで、このガラスフィルムに例えばＩＴＯなどの透明導電膜を形成する処理を施して、モバイル型端末に組み込むガラス基板を製造するに当たっては、ガラスフィルムの取扱いを容易にするため、ガラスフィルムとこれを支持する支持ガラスとを積層して互いに固定してなる積層体を利用する場合がある（例えば、特許文献１を参照）。このようにガラスフィルムを積層体にした状態で、この積層体に対して上述した処理を施すようにすれば、単体では強度や剛性に乏しいガラスフィルムを用いた場合であっても、支持ガラスが補強材として作用するため、上記処理の際に積層体として位置決めを容易に行うことができる。また、積層された双方の板ガラス間が強固に密着することで、例えば導電膜のパターニング処理に際して位置ずれを効果的に防止できるメリットも有する。
【０００５】
ところで、ガラスフィルムと共に積層体をなす支持ガラスは、最終的には不要となるため、上記処理を終えた後、ガラスフィルムから分離させる必要がある。このガラスフィルムと支持ガラスとの分離は、通常、互いに積層された状態においてガラスフィルムと支持ガラスのうち何れか一方のワークを他方のワークから剥離させることにより行う。ここで、特許文献２には、互いに積層された状態において一方のワークを他方のワークを剥離させるのに利用される剥離装置が提案されている。
【０００６】
すなわち、特許文献２に記載された剥離装置は、一方のワークに相当するガラス板と、他方のワークに相当する吸着シートとを積層してなる積層体について、ガラス板を吸着シートから剥離させるための装置であって、ガラス板を吸着する複数列の吸着パッドを備えている。そして、ガラス板を吸着した複数列の吸着パッドが、吸着シートから離反する向きの引張力をガラス板に作用させた状態で、ガラス板と吸着シートとの界面に対して高圧流体を供給する構成となっている。これにより、供給した高圧流体で界面の接着力を引張力よりも低下させ、接着力が低下した箇所に対応する列の吸着パッドを順次吸着シートから離反する方向に移動させていくことで、ガラス板を吸着シートから剥離可能としている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開２０１１／０４８９７９号
【特許文献２】特開２０１５−１０４８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２に記載の方法でガラスフィルムの剥離を行うためには、非常に多くの吸着パッドが必要になる。特に、多面取り等を目的として最終製品に比べて極めて面積の大きなガラスフィルムを製造する場合には、このガラスフィルムの表面全域をカバーできるだけの数の吸着パッドを縦横に配置する必要がある。これでは、極めて多くの吸着パッドが必要となり、設備コストの高騰が避けられない。
【０００９】
以上の事情に鑑み、本明細書では、ガラスフィルム又は支持体の破損を防止して、安全に支持体からガラスフィルムを剥離すると共に、この剥離をなるべく低コストに実施可能とすることを、解決すべき第一の技術的課題とする。
【００１０】
また、以上の事情に鑑み、本明細書では、ガラスフィルム又は支持体の破損を防止して、安全に支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離すると共に、この剥離をなるべく低コストに実施可能とすることを、本発明により解決すべき第二の技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記第一の技術的課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法により達成される。すなわち、この剥離方法は、ガラスフィルムと、ガラスフィルムを支持する支持体とを積層してなるガラスフィルムの積層体に対して、ガラスフィルムの剥離を行うための方法であって、ガラスフィルムと支持体のうち何れか一方のワークを保持部材で保持する保持ステップと、他方のワークを吸着部材で吸着する吸着ステップと、吸着部材を一方のワークから離れる第一の方向に移動させて、他方のワークを一方のワークから引き剥がす引き剥がしステップとを備えたガラスフィルムの剥離方法において、引き剥がしにより双方のワークの間に生じた隙間に、双方のワーク同士が再付着するのを防ぐための部材を導入する再付着防止部材導入ステップと、再付着防止部材を導入した状態で、吸着部材による他方のワークの吸着状態を解消する吸着解消ステップ、及び吸着部材をガラスフィルムの剥離が進展する第二の方向に相対移動させて、他方のワークに対する吸着部材の吸着位置を変更する吸着位置変更ステップとをさらに備える点をもって特徴付けられる。
【００１２】
このように、本発明では、一方のワークの保持ステップと、他方のワークの吸着ステップ、及び引き剥がしステップに加えて、引き剥がしにより双方のワークの間に生じた隙間に再付着防止部材を導入するステップと、この再付着防止部材を導入した状態で吸着部材による他方のワークの吸着状態を解消するステップ、及び吸着部材をガラスフィルムの剥離進展方向（第二の方向）に相対移動させて、吸着位置を変更する吸着位置変更ステップを新たに設けるようにした。このように構成することで、他方のワークの再吸着位置を剥離進展方向の前方側に変更した状態で、他方のワークを一方のワークから引き剥がすことができる。これにより、同じ吸着部材を繰り返し他方のワークの引き剥がしに使用してガラスフィルムの剥離を進展させることができるので、従来のように、剥離進展方向に沿って複数列の吸着部材が配設された構成よりも少ない個数でガラスフィルムの剥離を行うことが可能となる。また、引き剥がしにより双方のワークの間に生じた隙間に再付着防止部材を導入することで、吸着部材による他方のワークの吸着状態を解消した際に他方のワークのうち既に剥離した領域が一方のワークに再付着することを防止することできるので、少ない力で安定して引き剥がしを行うことが可能となる。以上より、剥離時の割れを防いで安全にガラスフィルムを剥離することができると共に、使用する吸着部材の数を従来よりも少なくすることで設備コストを低く抑えてガラスフィルムの剥離を行うことが可能となる。
【００１３】
本発明に係るガラスフィルムの剥離方法は、吸着部材が吸着パッドであってもよい。また、この場合、複数の吸着パッドが、第二の方向に直交する向きに沿って一列に配設されていてもよい。
【００１４】
このように、吸着部材として吸着パッドを用いることにより、積層された状態の他方のワークのうち狙った位置及び領域のみを容易かつ確実に吸着することができる。また、この吸着パッドを複数用意し、かつこれら複数の吸着パッドを、ガラスフィルムの剥離進展方向である第二の方向に直交する向きに沿って一列に配設することによって、第二の方向への移動後も、複数の吸着パッド全てをガラスフィルムの剥離進展方向に直交する向きに並べた状態で配置することができる。よって、吸着動作及び引き剥がし動作をより安定して行うことができる。
【００１５】
また、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法は、再付着防止部材がシート状部材であってもよい。
【００１６】
このように再付着防止部材としてシート状部材を用いることによって、例えばシート状部材の導入方向とその幅方向寸法（ここでいう幅方向とは導入方向に直交する向きをいうものとする。以下）を適宜設定することにより、他方のワークの剥離した領域と一方のワークとの隙間全域にわたって再付着防止部材を容易に介在させることができる。よって、他方のワークの再付着をその全域にわたって確実に防止して、安定したガラスフィルムの剥離進展を図ることができる。
【００１７】
また、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法は、吸着部材で、他方のワークのうち一方のワークから剥離した領域のみを吸着するものであってもよい。
【００１８】
吸着部材により他方のワークを吸着した状態で吸着部材を第一の方向に移動して他方のワークを一方のワークから引き剥がす際、吸着部材で実際に他方のワークを吸着している部分が既に剥離している領域か、それとも未だ剥離していない領域かによって、引き剥がし態様の安定度合が大きく異なる。さらにいえば、吸着部材が上記剥離している領域と未だ剥離していない領域との境界を跨いで他方のワークを吸着することでガラスフィルムの割れが生じるおそれもある。以上の点に鑑み、吸着部材で他方のワークのうち既に剥離している領域のみを吸着し引き剥がすようにした。これにより、引き剥がしに要する力及び引き剥がしの際の他方のワークの変形態様が安定する。よって、ガラスフィルムの割れをより確実に防いでガラスフィルムを安全に剥離させることが可能となる。
【００１９】
また、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法は、ガラスフィルムが四辺を有する矩形状をなす場合、ガラスフィルムの辺に沿った向きを第二の方向に設定するものであってもよい。
【００２０】
このように剥離対象となるガラスフィルムが矩形状をなす場合、その辺に沿った向きを第二の方向に設定することによって、ガラスフィルムの剥離をその辺に沿った向きに進展させることができる。この向きにガラスフィルムの剥離を進展させることによって、ガラスフィルムのうち既に剥離している領域と未だ剥離していない領域との境界が常に直線状をなすようにガラスフィルムの剥離が進展する。よって、例えば上述のように他方のワークのうち既に剥離している領域又はその一部を容易に吸着部材で吸着させることができる。また、この場合、吸着部材として、複数の吸着パッドを第二の方向に直交する向きに沿って一列に配設させた構成をとることによって、既剥離領域のうち未剥離領域との境界近傍のみを複数の吸着パッドで確実に吸着することができる。よって、剥離進展を容易に制御して、安全かつ迅速にガラスフィルムを剥離させることが可能となる。
【００２１】
また、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法は、ガラスフィルムが支持体から完全に剥離するまで、再付着防止部材導入ステップ、吸着解消ステップ、吸着位置変更ステップ、吸着ステップ、及び引き剥がしステップを繰り返し行うものであってもよい。
【００２２】
このように、再付着防止部材導入ステップから引き剥がしステップまでの一連のステップを繰り返し行うことで、確実にガラスフィルムを支持体から完全に剥離させることが可能となる。ガラスフィルムが支持体からある程度剥離した段階で別の手段により完全に剥離させるようにしてもよいが、ある程度（例えば全体の６〜７割）剥離させた後、手作業などの手段で残りの密着部分を剥離させる際の確実性や手間を考慮すると、上述のように本発明に係る剥離方法のみで完全に剥離させたほうが安全かつ効率的である。もちろん、ガラスフィルムの材質や厚み寸法、表面積の如何によっては、ある程度まで本発明に係る剥離方法で剥離させた後、残りの密着部分を他の手段で剥離させてもよい。
【００２３】
また、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法は、吸着部材の第一の方向への移動量が、１．０ｍｍ以上でかつ１０ｍｍ以下に設定されるものであってもよい。
【００２４】
このように、他方のワークの引き剥がし方向となる第一の方向への吸着部材の移動量を、１０ｍｍ以下に設定することで、引き剥がし時の割れを防いで確実に他方のワークを引き剥がすことができる。一方、あまりに第一の方向への移動量が小さいと、他方のワークの引き剥がし量（引き剥がし面積）も小さくなり、作業効率が低下することから、第一の方向への移動量は１．０ｍｍ以上に設定することが好ましい。
【００２５】
また、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法は、吸着部材の第一の方向への移動速度が、０．０１ｍｍ／秒以上でかつ１．０ｍｍ／秒以下に設定されるものであってもよい。
【００２６】
本発明に係る剥離方法によれば、吸着部材の第一の方向への移動速度をある程度まで高めていくと、第一の方向への移動量に対するガラスフィルムの剥離進展量の割合が減少することがわかった。以上の知見に基づき、第一の方向への移動速度を上述の範囲内に設定することにより、作業時間の面で効率よくガラスフィルムの剥離を進展させることが可能となる。
【００２７】
以上述べたように、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法は、ガラスフィルム又は支持体の破損を防止して、安全に支持体からガラスフィルムを剥離することができる点だけでなく、設備コストの面においても従来技術よりも優れていることから、例えばガラスフィルムと、ガラスフィルムを支持する支持体とを積層して、ガラスフィルムの積層体を形成する積層体形成工程と、積層体に製造関連処理を施す製造関連処理工程と、製造関連処理工程の後、支持体からガラスフィルムを剥離する剥離工程とを備えたガラスフィルムの製造方法において、剥離工程に上述した本発明に係るガラスフィルムの剥離方法を好適に適用することができる。なお、ここでいう「製造関連処理」には、成膜処理等のガラスフィルムに直接何らかの加工を施す処理はもちろん、封止処理等の他部材の取付けや、ガラスフィルム表面の洗浄、あるいは次工程への搬送など、間接的にガラスフィルム又はガラスフィルムを含むデバイスを最終製品（出荷可能な状態の製品）に近づけるための処理を広く含むものとする。
【００２８】
また、前記第一の技術的課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの剥離装置によっても達成される。すなわち、この剥離装置は、ガラスフィルムと、ガラスフィルムを支持する支持体とを積層してなる積層体に対して、ガラスフィルムの剥離を行うための装置であって、ガラスフィルムと支持体のうち何れか一方のワークを保持する保持部材と、他方のワークを吸着しかつ吸着状態を解消可能な吸着部材と、双方のワーク間に生じた隙間に導入して、双方のワーク同士が再付着するのを防ぐ再付着防止部材とを備え、吸着部材は、一方のワークから離れる第一の方向に移動すると共に、ガラスフィルムの剥離が進展する第二の方向に相対移動するよう構成されている点をもって特徴付けられる。
【００２９】
このように、本発明に係るガラスフィルムの剥離装置では、一方のワークの保持部材と、他方のワークの吸着部材に加えて、引き剥がしにより双方のワークの間に生じた隙間に挿入可能な再付着防止部材を設けると共に、吸着部材による他方のワークの吸着状態を解消可能として、この吸着部材を一方のワークから離れる方向（第一の方向）に移動可能としかつガラスフィルムの剥離進展方向（第二の方向）に相対移動可能とした。この構成によれば、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法と同じように、他方のワークを吸着部材で吸着し引き剥がすことにより双方のワークの間に生じた隙間に再付着防止部材を導入し、この再付着防止部材を導入した状態で吸着部材による他方のワークの吸着状態を解消した後、吸着部材をガラスフィルムの剥離進展方向（第二の方向）に相対移動させて、吸着位置を変更することができる。よって、他方のワークの再吸着位置を剥離進展方向の前方側に変更した状態で、他方のワークを一方のワークから引き剥がすことができる。従って、同じ吸着部材を繰り返し他方のワークの引き剥がしに使用してガラスフィルムの剥離を進展させることができるので、従来のように、剥離進展方向に沿って複数列の吸着部材が配列された構成よりも少ない個数でガラスフィルムの剥離を行うことが可能となる。また、引き剥がしにより双方のワークの間に生じた隙間に再付着防止部材を導入することで、吸着部材による他方のワークの吸着状態を解消した際に他方のワークのうち既に剥離した領域が一方のワークに再付着することを防止することできるので、少ない力で安定して引き剥がしを行うことが可能となる。以上より、剥離時の割れを防いで安全にガラスフィルムを剥離することができると共に、使用する吸着部材の数を従来よりも少なくすることで設備コストを低く抑えてガラスフィルムの剥離を行うことが可能となる。
【００３０】
また、前記第二の技術的課題の解決は、本発明に係る電子デバイスの製造方法によって達成される。すなわち、この製造方法は、ガラスフィルムと、ガラスフィルムを支持する支持体とを積層して、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、積層体のガラスフィルムに電子デバイス要素を取付けて支持体付き電子デバイスを形成する取付け工程と、取付け工程の後、支持体付き電子デバイスの支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離する剥離工程とを備えた電子デバイスの製造方法において、剥離工程は、ガラスフィルムと支持体のうち何れか一方のワークを保持部材で保持する保持ステップと、他方のワークを吸着部材で吸着する吸着ステップと、吸着部材を一方のワークから離れる第一の方向に移動させて、他方のワークを一方のワークから引き剥がす引き剥がしステップと、引き剥がしにより双方のワークの間に生じた隙間に、双方のワーク同士が再付着するのを防ぐための部材を導入する再付着防止部材導入ステップと、再付着防止部材を導入した状態で、吸着部材による他方のワークの吸着状態を解消する吸着解消ステップ、及び吸着部材をガラスフィルムの剥離が進展する第二の方向に相対移動させて、他方のワークに対する吸着部材の吸着位置を変更する吸着位置変更ステップとをさらに備える点をもって特徴付けられる。
【００３１】
以上述べたように、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法は、ガラスフィルム又は支持体の破損を防止して、安全に支持体からガラスフィルムを剥離することができる点だけでなく、設備コストの面においても従来技術よりも優れていることから、例えば上述のようにガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、支持体付き電子デバイスを形成する取付け工程と、この取付け工程の後、支持体付き電子デバイスの支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離する剥離工程とを備えた電子デバイスの製造方法において、剥離工程に、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法を適用することによって、ガラスフィルム又は支持体の破損を防止して、安全に支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離することが可能になる。
【発明の効果】
【００３２】
以上に述べたように、本発明によれば、ガラスフィルム又は支持体の破損を防止して、安全に支持体からガラスフィルムを剥離すると共に、この剥離をなるべく低コストに実施することが可能となる。
【００３３】
また、以上に述べたように、本発明によれば、ガラスフィルム又は支持体の破損を防止して、安全に支持体からガラスフィルムを含む電子デバイスを剥離すると共に、この剥離をなるべく低コストに実施することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法の手順を示すフローチャートである。
【図２】図１に示す剥離工程の詳細を示すフローチャートである。
【図３】ガラスフィルムを含む積層体の断面図である。
【図４】図３に示す積層体の平面図である。
【図５】図３に示す積層体に電子デバイス要素としての透明導電膜を取付けてなる支持体付きガラス基板の断面図である。
【図６】本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの剥離装置の平面図である。
【図７】図６に示す剥離装置の要部Ａ−Ａ断面図である。
【図８】図６に示す剥離装置を矢印Ｂの向きから見た側面図である。
【図９】吸着部材で支持ガラスを吸着した状態における剥離装置の要部側面図である。
【図１０】吸着部材で支持ガラスを吸着した状態における剥離装置の要部平面図である。
【図１１】吸着部材で支持ガラスを引き剥がした状態における剥離装置の要部側面図である。
【図１２】吸着部材で支持ガラスを引き剥がした状態における剥離装置の要部平面図である。
【図１３】再付着防止部材を導入した状態における剥離装置の要部側面図である。
【図１４】再付着防止部材を導入した状態における剥離装置の要部平面図である。
【図１５】吸着部材による支持ガラスの吸着状態を解消した状態における剥離装置の要部側面図である。
【図１６】吸着部材をガラスフィルムの剥離進展方向に沿って移動させた状態における剥離装置の要部側面図である。
【図１７】吸着部材をガラスフィルムの剥離進展方向に沿って移動させた状態における剥離装置の要部平面図である。
【図１８】図１６に示す位置で吸着部材を支持ガラスに吸着させた状態における剥離装置の要部側面図である。
【図１９】図１８に示す状態から吸着部材で支持ガラスを引き剥がした状態における剥離装置の要部側面図である。
【図２０】本発明の第二実施形態に係る剥離装置の側面図である。
【図２１】第一の吸着パッド群による引き剥がしを行った状態における剥離装置の要部側面図である。
【図２２】第二の吸着パッド群による引き剥がしを行った状態における剥離装置の要部側面図である。
【図２３】再付着防止部材を導入した状態における剥離装置の要部側面図である
【図２４】第一及び第二の吸着パッド群をガラスフィルムの剥離進展方向に沿って移動させた状態における剥離装置の要部側面図である。
【図２５】本発明の第三実施形態に係る剥離装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
≪本発明の第一実施形態≫
以下、本発明の第一実施形態を、図１〜図１９を参照して説明する。なお、本実施形態では、ガラスフィルムに電子デバイス要素としての透明導電膜を取付けて支持体付きガラス基板（の集合体）を形成した後、ガラスフィルムから支持体を剥離することにより、電子デバイスとしての透明導電膜付きガラス基板と支持体とに分離する場合を例にとって、以下に詳細を説明する。
【００３６】
本発明の第一実施形態に係る電子デバイスの製造方法は、図１に示すように、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程Ｓ１と、ガラスフィルムに電子デバイス要素を取付けて支持体付き電子デバイスを形成する取付け工程Ｓ２と、支持体付き電子デバイスの支持体を、ガラスフィルムを含む電子デバイスから剥離する剥離工程Ｓ３とを備える。
【００３７】
また、剥離工程Ｓ３は、図２に示すように、保持ステップＳ３１と、吸着ステップＳ３２と、引き剥がしステップＳ３３と、再付着防止部材導入ステップＳ３４と、吸着解消ステップＳ３５、及び吸着位置変更ステップＳ３６とを有する。以下、各工程を詳細に説明する。
【００３８】
（Ｓ１）積層体形成工程
まず、図３に示すように、支持体１上にガラスフィルム２を積層して積層体３を形成する。
【００３９】
ここで、ガラスフィルム２は、例えばケイ酸塩ガラス、シリカガラスなどで形成され、好ましくはホウ珪酸ガラスで形成され、より好ましくは無アルカリガラスで形成される。ガラスフィルム２にアルカリ成分が含まれていると、表面において陽イオンの脱落が発生し、いわゆるソーダ吹きの現象が起こり得る。その場合、ガラスフィルム２に構造的に粗となる部分が生じるため、このガラスフィルム２を湾曲（凹状変形を含む）させた状態で使用していると、経年劣化により粗となった部分を起点として破損を招くおそれがある。以上の理由より、非平坦状態でガラスフィルム２を使用する可能性がある場合、無アルカリガラスでガラスフィルム２を形成するのが好適である。
【００４０】
なお、ここでいう無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスを指し、具体的には、アルカリ成分が３０００ｐｐｍ以下のガラスを指す。もちろん、上述した理由による経年劣化を少しでも防止又は軽減する観点からは、１０００ｐｐｍ以下のガラスが好ましく、５００ｐｐｍ以下のガラスがより好ましく、３００ｐｐｍ以下のガラスがさらに好ましい。
【００４１】
ガラスフィルム２の厚み寸法は、３００μｍ以下に設定され、好ましくは２００μｍ以下に設定され、より好ましくは１００μｍ以下に設定される。厚み寸法の下限値については特段の制約なく設定可能であるが、成形後の取り扱い性（支持体１との積層時、あるいは剥離時など）などを考慮すると、１μｍ以上、好ましくは５μｍ以上に設定されるのがよい。
【００４２】
支持体１は、本実施形態では板状ガラスであって、ガラスフィルム２と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス等、公知のガラスで形成される。ただし、加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理を積層体３に施す場合、熱変形の差に起因するガラスフィルム２の不要な変形や破損を可及的に防止する観点から、３０℃〜３８０℃の間における支持体１とガラスフィルム２との線膨張係数の差が最大で、５×１０-7／℃以内となるよう、ガラスの種類を選択するのがよい。この場合、同一種類のガラスで支持体１とガラスフィルム２を形成することが好ましい。
【００４３】
支持体１の厚み寸法は、ガラスフィルム２の取り扱い性を向上させ得る限りにおいて特に制限はなく、ガラスフィルム２の厚み寸法と同一レベル又はそれ以上に設定される。具体的には、支持体１の厚み寸法は、３００μｍ以上に設定され、好ましくは４００μｍ以上に設定される。厚み寸法の上限値については特段の制約なく設定可能であるが、後述する支持体１の曲げ（引き剥がし時の変形）に耐え得る程度の厚み寸法に留めておくのが好ましい。
【００４４】
また、これら支持体１とガラスフィルム２は、ダウンドロー法など公知の成形方法で成形され、好ましくはオーバーフローダウンドロー法で成形される。また、フロート法やスロットダウンドロー法、ロールアウト法、アップドロー法などによって成形することも可能である。なお、必要に応じて二次加工を施して（リドローによりガラス一次成形体を引き伸ばして）、１００μｍ未満の厚み寸法に設定することも可能である。
【００４５】
積層体３を構成した状態において、支持体１とガラスフィルム２とは相互に固定されている。固定手段としては任意の手段が採用可能であり、本実施形態では、支持体１としての板状ガラスとガラスフィルム２とを、接着剤などを介在させることなく直接密着させることにより、相互固定を実現している。
【００４６】
この際、ガラスフィルム２の支持体１の側の表面２ａ（図３でいえば下側の表面）の表面粗さＲａと、支持体１のガラスフィルム２の側の表面１ａ（図３でいえば上側の表面）の表面粗さＲａは共に２．０ｎｍ以下に設定される。各表面１ａ，２ａの表面粗さＲａを上述した範囲に設定することで、支持体１とガラスフィルム２とを位置ずれなく相互に固定して積層体３を形成することが可能となる。もちろん、密着性向上の観点からは、１．０ｎｍ以下とするのが好ましく、０．３ｎｍ以下とするのがより好ましい。なお、表面粗さＲａは、ＪＩＳ  Ｒ  １６８３：２０１４に準拠して測定する（以下、本明細書において同じ。）。
【００４７】
一方、ガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ（図３でいえば上側の表面）の表面粗さＲａの大きさは特に限定されないが、後述する取付け工程Ｓ２において、成膜処理等の電子デバイス関連処理を施す対象面となることから、その表面粗さＲａは２．０ｎｍ以下であることが好ましく、１．０ｎｍ以下であることがより好ましく、０．３ｎｍ以下であることがさらに好ましい。
【００４８】
また、ガラスフィルム２の端部を保護する観点から、ガラスフィルム２と支持体１とを積層した状態において、支持体１がガラスフィルム２から食み出している（図３を参照）。この場合、支持体１のガラスフィルム２からの食み出し量は、例えば０．５ｍｍ以上でかつ１０ｍｍ以下に設定され、好ましくは０．５ｍｍ以上でかつ１．０ｍｍ以下に設定される。上述のように支持体１の食み出し量を小さく（最大でも１０ｍｍ程度に）することで、相対的に大面積のガラスフィルム２を全面で効率よく支持することができる。
【００４９】
本実施形態では、図４に示すように、支持体１とガラスフィルム２は共に矩形状をなしている。また、この支持体１上にガラスフィルム２を積層してなる積層体３の全周縁において、支持体１がガラスフィルム２から食み出ている。なお、本実施形態では積層体３の四辺縁全てにおいて、支持体１がガラスフィルム２から食み出ている形態を例示したが、もちろん、三辺縁ないし一辺縁で支持体１がガラスフィルム２から食み出ている形態を採ることも可能である。この場合、食み出ていない側の辺縁では、ガラスフィルム２の端面と支持体１の端面とが一致していることが望ましい。
【００５０】
なお、上記した積層体３の形成に際して、減圧下で積層作業を行うようにしてもよい。これにより、ガラスフィルム２を支持体１上に積層した際にガラスフィルム２と支持体１との間に生じる（残存する）気泡を低減もしくは消失させることが可能となる。
【００５１】
（Ｓ２）取付け工程
上述のようにガラスフィルム２を含む積層体３を形成した後、この積層体３に対して加熱を伴う製造関連処理、具体的には、電子デバイス要素としての透明導電膜の取付けを行う。これにより、図５に示すように、積層体３の一部をなすガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ上にＩＴＯ膜などの透明導電膜４が形成され、電子デバイスに使用されるガラス基板５に支持体１が固定された状態の支持体付きガラス基板６が形成される。
【００５２】
（Ｓ３）剥離工程
このようにして、支持体付きガラス基板６を形成した後、支持体付きガラス基板６の支持体１を、ガラスフィルム２を含むガラス基板５から剥離する。図６は、上記剥離を行うための剥離装置１０の平面図、図７は、図６に示す剥離装置１０の要部Ａ−Ａ断面図、図８は、図６に示す剥離装置１０の側面図を示している。これらの図に示すように、剥離装置１０は、ガラスフィルム２を含むガラス基板５と支持体１のうち何れか一方のワークを保持する保持部材１１と、他方のワークを吸着する吸着部材１２と、引き剥がし後、双方のワーク同士が再付着するのを防ぐ再付着防止部材１３とを備える。また、本実施形態では、剥離装置１０は、吸着部材１２を第一の方向ｄ１（図８を参照）に沿って移動させる第一移動機構１４と、吸着部材１２を第二の方向ｄ２（図６を参照）に沿って移動させる第二移動機構１５とをさらに備える。以下、各要素の詳細を説明する。なお、図６以降においては、ガラス基板５に含まれる透明導電膜４の図示を省略し、ガラスフィルム２のみを図示している。
【００５３】
保持部材１１は平坦な載置面１６を有するもので、図８に示すように、支持体付きガラス基板６を載置面１６で支持可能とする。本実施形態では、ガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ（実際には、表面２ｂ上に形成される透明導電膜４）を載置面１６に当接させた状態で、支持体付きガラス基板６が支持されるようになっている。
【００５４】
また、図６に示すように、保持部材１１の載置面１６には所定形状の溝１７が形成されると共に、この溝１７に開口する吸引孔１８が形成されている。この溝１７は、載置面１６上に載置される支持体付きガラス基板６の周縁部（本実施形態ではガラスフィルム２の周縁部２ｃ）に沿うように形成され、支持体付きガラス基板６を載置面１６上に載置した状態では、溝１７の全域がガラスフィルム２に覆われた状態となる。従って、吸引孔１８に接続される吸引装置１９（図８を参照）を駆動して、ガラスフィルム２と溝１７とで囲まれた空間を吸引（例えば真空引き）することで、載置面１６にガラスフィルム２が吸着保持されるようになっている。
【００５５】
また、この際の吸着圧（真空圧）は、例えばガラスフィルム２を、剥離動作の間、破損させることなく確実に保持し続けることが可能な大きさに設定される。具体的には、ガラスフィルム２の吸着圧は、０．０３ＭＰａ以上でかつ０．１５ＭＰａ以下に設定され、好ましくは０．０５ＭＰａ以上でかつ０．１０ＭＰａ以下に設定される。
【００５６】
吸着部材１２は、例えば図７に示すように、支持体付きガラス基板６を構成する支持体１のガラスフィルム２とは反対側の表面１ｂを吸着できるように構成されている。また、この吸着部材１２は、対象物（ここでは支持体１）を吸着した状態から任意のタイミングで当該吸着状態を解消できるように構成されている。
【００５７】
本実施形態では、吸着部材１２は、複数の吸着パッド２０で構成されている。これら複数の吸着パッド２０は、図６に示すように、ガラスフィルム２の剥離進展方向となる第二の方向ｄ２と直交する向きに沿って一列に並んだ状態で配設されている。また、複数の吸着パッド２０は、図７に示すように、吸着部材１２が一方のワーク（ガラスフィルム２）から離れる向きに平行な第一の方向ｄ１とも直交する向きに沿って一列に並んだ状態で配設されている。吸着パッド２０の直径Ｄは、一回の引き剥がし動作で剥離が進展する量を考慮して、例えば２０ｍｍ以上でかつ８０ｍｍ以下に設定され、好ましくは２０ｍｍ以上でかつ４０ｍｍ以下に設定される。また、吸着パッド２０による支持体１の吸着圧は、例えば、０．１ＭＰａ以上でかつ１．０ＭＰａ以下に設定され、好ましくは０．２ＭＰａ以上でかつ０．８ＭＰａ以下に設定される。
【００５８】
第一移動機構１４は、本実施形態では図７に示すように、複数の吸着パッド２０を吊り下げ支持する支持部２１と、その可動部２２を支持部２１に連結し、固定部２３をベース部２４に固定してなる昇降駆動部２５とを有する。昇降駆動部２５は例えば油圧又はエアなどを作動流体とするシリンダであり、固定部２３に対して可動部２２を第一の方向ｄ１に沿って昇降可能としている。これにより、支持部２１を介して可動部２２に連結される複数の吸着パッド２０を第一の方向ｄ１に沿って移動できるようになっている。
【００５９】
第二移動機構１５は、本実施形態では図６に示すように、第二の方向ｄ２に沿って伸びるレール部２６と、レール部２６に嵌り合いレール部２６上を移動するスライド部２７とを有する。スライド部２７は例えば駆動部を内蔵しており、レール部２６上を自走できるようになっている。上記構成のレール部２６とスライド部２７は例えば二つずつ設けられており、各スライド部２７の下側にベース部２４が固定されている。ベース部２４には昇降駆動部２５及び支持部２１を介して複数の吸着パッド２０が連結されているので、二つのスライド部２７が対応する各レール部２６上を移動することにより、複数の吸着パッド２０が第二の方向ｄ２に沿って移動できるようになっている。
【００６０】
再付着防止部材１３は、例えばシート状部材２８である。シート状部材２８は少なくともその表面が、支持体１及びガラスフィルム２との密着性に乏しい（密着しづらい）材質ないし性状であればよく、例えば紙、樹脂シートなどが使用され得る。この際のシート状部材２８の厚み寸法（図８を参照）は、例えば０．０５ｍｍ以上でかつ１．０ｍ以下に設定され、好ましくは０．１ｍｍ以上でかつ０．２ｍｍ以下に設定される。
【００６１】
また、本実施形態では図８に示すように、シート状部材２８のロール体２９が、支持体付きガラス基板６の剥離開始位置の近傍に配設されている。ロール体２９とその引き出し部分、すなわちシート状部材２８は支持台３０上にあって、保持部材１１に保持されたガラスフィルム２の支持体１側の表面２ａと同一平面レベルに設定されている。よって、図８に示す状態においてロール体２９の回転軸３１を回転駆動部３２（図６を参照）により回転させることによって、ロール体２９から支持体付きガラス基板６に向けてシート状部材２８が供給されるようになっている。また、シート状部材２８の幅方向寸法は、支持体１及びガラスフィルム２の幅方向寸法よりも大きく設定されており、後述するように支持体１とガラスフィルム２との間に生じた隙間７（図１１を参照）の幅方向全域にわたってシート状部材２８を導入できるようになっている。
【００６２】
次に、上記構成の剥離装置１０を用いた支持体１からのガラス基板６の剥離動作の一例を、その作用効果と共に、主に図９〜図１９に基づき説明する。なお、図９〜図１９においては、特に剥離動作に関連する要素のみ図面に表しており、一部の要素を省略している。
【００６３】
（Ｓ３１）保持ステップ
まず、剥離対象となる支持体付きガラス基板６を保持部材１１の上に載置する（図６を参照）。そして、吸引装置１９の駆動により、支持体付きガラス基板６の下側に位置するガラスフィルム２（ガラス基板５）を保持部材１１の載置面１６に吸着保持する（図８を参照）。なお、この際、矩形状をなす支持体１及びガラスフィルム２の四辺のうち任意の一辺１ｄ，２ｄが第二の方向ｄ２と平行になるように（図６を参照）、支持体付きガラス基板６が載置面１６上に載置されている。
【００６４】
（Ｓ３２）吸着ステップ
また、支持体付きガラス基板６の上方に配置した吸着部材１２としての複数の吸着パッド２０を、昇降駆動部２５により図８に示す位置から下降させて、支持体付きガラス基板６の上側に位置する支持体１に吸着パッド２０を吸着させる（図９を参照）。本実施形態では、支持体１とガラスフィルム２との間に予め所定寸法の剥離起点部８が形成されており（図９を参照）、この剥離起点部８の上方に複数の吸着パッド２０を配置した状態から下降させることによって、支持体１のうちガラスフィルム２との密着状態が解消された部分（剥離起点部８が形成された領域）を吸着させている。この時点では、支持体１及びガラスフィルム２は何れも平坦な状態にある。
【００６５】
なお、剥離起点部８を形成するための手段は任意であり、例えば刃部を有する部材を支持体１とガラスフィルム２との界面にその周縁部から押当てることにより、第二の方向ｄ２に沿って所定寸法を有する剥離起点部８をガラスフィルム２の幅方向全域にわたって形成することが可能である。
【００６６】
（Ｓ３３）引き剥がしステップ
このようにして、吸着部材１２（複数の吸着パッド２０）を支持体１の所定位置に吸着させた状態で、昇降駆動部２５により複数の吸着パッド２０を上昇させて、支持体１をガラスフィルム２から引き剥がす（図１１を参照）。この引き剥がし動作により、支持体１とガラスフィルム２との密着状態が解消され、剥離起点部８の一端（図１１では剥離起点部８の右側端部）からガラスフィルム２の剥離が第二の方向ｄ２に沿って進展すると共に、支持体１とガラスフィルム２との間に新たな隙間７が形成される。隙間７の第二の方向ｄ２の大きさは、この引き剥がし動作で新たに剥離が進展した量に等しい。本実施形態では、第二の方向ｄ２に直交する向きに沿って一列に配設した複数の吸着パッド２０を用いて支持体１をガラスフィルム２から引き剥がして、支持体１の幅方向全域にわたって同じ量だけ剥離を進展させている（図１２を参照）。
【００６７】
また、この際、吸着パッド２０の第一の方向ｄ１への移動量ｈ（吸着状態からの上昇量）は、1ｍｍ以上でかつ１０ｍｍ以下に設定され、好ましくは３ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下に設定される。第一の方向ｄ１への移動量ｈを１０ｍｍ以下に設定することで、引き剥がし時の割れを防いで確実に支持体１をガラスフィルム２から引き剥がすことができる。また、吸着パッド２０の第一の方向ｄ１への移動速度は、０．０１ｍｍ／秒以上でかつ１．０ｍｍ／秒以下に設定され、好ましくは０.０５ｍｍ／秒以上でかつ０．５ｍｍ／秒以下に設定される。
【００６８】
（Ｓ３４）再付着防止部材導入ステップ
次に、上記引き剥がしにより支持体１とガラスフィルム２との間に新たに生じた隙間７に向けて、再付着防止部材１３としてのシート状部材２８を導入する（図１３を参照）。これにより、支持体１とガラスフィルム２との間にシート状部材２８を介在させた状態となる。この際、吸着パッド２０の位置は引き剥がし動作終了時の位置（図１１に示す位置）を維持したままとする。なお、この際、シート状部材２８の先端が新たに生じた隙間７の端部にまで到達するように、シート状部材２８を最大限まで導入してもよいが、図１４に示すように、隙間７の基端よりも少し手前でシート状部材２８の先端を留めるように、シート状部材２８の導入位置を調整してもよい。
【００６９】
（Ｓ３５）吸着解消ステップ
上述のように再付着防止部材１３としてのシート状部材２８を導入した状態で、吸着パッド２０による支持体１の吸着状態を解消する。これにより、支持体１のうち吸着パッド２０により持ち上げられていた部分が引き剥がし前の位置に向けて移動し、シート状部材２８の上に載置された状態となる（図１５を参照）。
【００７０】
（Ｓ３６）吸着位置変更ステップ
然る後、複数の吸着パッド２０を第二の方向ｄ２に沿って剥離進展方向に移動させる（図１６を参照）。これにより、吸着パッド２０により支持体１を吸着する位置を剥離進展方向の前方側に変更する。なお、この際、支持体１のうちガラスフィルム２から既に剥離している領域のみを吸着するように、かつ未だ剥離していない領域との境界ｂの近傍を吸着するように（図１７を参照）、吸着パッド２０の第二の方向ｄ２への移動量を設定するのがよい。具体的には、上述した第一の方向ｄ１への移動量ｈ及び移動速度下で支持体１の引き剥がしを行う場合、第二の方向ｄ２の移動量Ｌは、１０ｍｍ以上でかつ１００ｍｍ以下に設定され、好ましくは４０ｍｍ以上でかつ６０ｍｍ以下に設定される。
【００７１】
（Ｓ３２）吸着ステップ
このようにして吸着位置を変更した後、吸着パッド２０を図１６に示す位置から再び下降させて、支持体１を吸着する（図１８を参照）。この際、必ずしも支持体１を吸着した部分の直下に再付着防止部材１３としてのシート状部材２８が存在してなくてもよく、図１８に示すように、支持体１がガラスフィルム２から吸着した状態においても少し浮いていればよい。
【００７２】
（Ｓ３３）引き剥がしステップ
然る後、吸着パッド２０を図１８に示す位置から上昇させて、支持体１をガラスフィルム２から再び引き剥がす（図１９を参照）。これにより、支持体１のガラスフィルム２からの剥離がさらに進展すると共に、新たな隙間７が支持体１とガラスフィルム２との間に再び生じる。この際、吸着パッド２０の第一の方向ｄ１への移動量及び移動速度を一回目の引き剥がし時と同じ条件に設定すれば、支持体１の被吸着部分における変形態様は、一度目の引き剥がし時とほとんど変わらない。そのため、安定的に剥離が進展する。
【００７３】
（Ｓ３７）剥離完了判断ステップ
以上のようにして、再び支持体１の引き剥がし動作を行った後、支持体１がガラスフィルム２から完全に剥離しているか否かの判断を行う（図２のステップＳ３７を参照）。そして、未だ支持体１がガラスフィルム２から完全に剥離していないと判断した場合、再付着防止部材導入ステップＳ３４、吸着解消ステップＳ３５、吸着位置変更ステップ３６、吸着ステップＳ３２、及び引き剥がしステップＳ３３を繰り返し行う。この一連のステップＳ３４〜Ｓ３６，Ｓ３２，Ｓ３３は、剥離完了判断ステップＳ３７において、支持体１がガラスフィルム２から完全に剥離していると判断されるまで繰り返し行われる。これにより、支持体１が完全に剥離するので、然る後、ガラス基板５を保持部材１１から離脱させることで、電子デバイスに使用されるガラス基板５が得られる。なお、支持体１がガラスフィルム２から完全に剥離したか否かの判断は、例えば吸着パッド２０の上昇時に吸着パッド２０が受ける反力の大きさを計測し、計測した反力の大きさが予め設定しておいたしきい値と比較することにより行うことが可能である。
【００７４】
このように、本発明では、一方のワークとしてのガラスフィルム２（ガラス基板６）の保持ステップＳ３１と、他方のワークとしての支持体１の吸着ステップＳ３２、及び引き剥がしステップＳ３３に加えて、引き剥がしにより支持体１とガラスフィルム２との間に生じた隙間７に再付着防止部材１３を導入するステップＳ３４と、この再付着防止部材１３を導入した状態で吸着部材１２による支持体１の吸着状態を解消するステップＳ３５、及び吸着部材１２をガラスフィルム２の剥離進展方向（第二の方向ｄ２）に相対移動させて、吸着位置を変更する吸着位置変更ステップＳ３６を新たに設けるようにした。このように構成することで、支持体１の再吸着位置を剥離進展方向の前方側に変更した状態で、支持体１をガラスフィルム２から引き剥がすことができる。これにより、同じ吸着部材１２（ここでは吸着パッド２０）を繰り返しガラスフィルム２からの引き剥がしに使用してガラスフィルム２の剥離を進展させることができるので、従来のように、剥離進展方向に沿って複数の吸着部材が配列された構成よりも少ない個数でガラスフィルム２の剥離を行うことが可能となる。また、引き剥がしにより生じた隙間７に再付着防止部材１３を導入することで、吸着部材１２による支持体１の吸着状態を解消した際に支持体１のうち既に剥離した領域がガラスフィルム２に再付着することを防止することできる。よって、少ない力で安定して引き剥がしを行うことが可能となる。以上より、剥離時の割れを防いで安全にガラスフィルム２を剥離することができると共に、使用する吸着部材１２（ここでは吸着パッド２０）の数を従来よりも少なくすることで設備コストを低く抑えてガラスフィルム２の剥離を行うことが可能となる。
【００７５】
また、吸着解消ステップＳ３５で吸着部材１２による支持体１の吸着状態を解消することにより、支持体１のうち既に剥離した領域の大部分（未だ剥離していない領域との境界ｂ近傍の再付着領域は除く）は、再度の引き剥がし動作時、何ら拘束を受けていない状態にある。そのため、従来技術（特許文献２）のように吸着部材により最後まで移動や変形を規制された状態にある場合と比べて既に剥離した領域の過度な変形を抑制して、より確実に割れを防止することができる。
【００７６】
また、本実施形態のように、常に支持体１の同じ位置（境界ｂから所定位置離れた部分）を同じ高さ（移動量ｈ）だけ引き上げることで、引き剥がし時の支持体１の変形挙動が安定する。そのため、剥離進展距離も一定となり、次の吸着部材１２の位置決めも容易であることから、全体として制御も容易になる。
【００７７】
以上、本発明に係るガラスフィルムの剥離方法とその剥離装置、ガラスフィルムの製造方法、及びガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法の一実施形態（第一実施形態）を説明したが、本発明は当然に上記実施形態には限定されず、本発明の範囲内において任意の形態を採り得る。
【００７８】
≪本発明の第二実施形態≫
図２０は、本発明の第二実施形態に係る剥離装置５０の側面図を示している。この剥離装置５０は、主に、吸着部材１２として、二列に並んだ複数の吸着パッド２０，５１を有すると共に、各列の吸着パッド２０，５１を別個独立に昇降可能としている点で、第一実施形態に係る剥離装置１０と相違する。以下、相違点を中心に詳細を説明する。
【００７９】
吸着部材１２は、本実施形態では、一列に並んだ複数の吸着パッド２０と、これら複数の吸着パッド２０と同じく一列に並んだ複数の吸着パッド５１（以降、本実施形態では、前述した複数の吸着パッド２０をまとめて第一の吸着パッド２０群、後述した複数の吸着パッド５１をまとめて第二の吸着パッド５１群と称する。）とを有する。これら第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群とは互いに平行となるよう配設されている。この際、第二の吸着パッド５１群は、第一の吸着パッド２０群と同様に、支持部５２によって吊り下げ支持されている。
【００８０】
第一移動機構１４は、本実施形態では、第一の吸着パッド２０群を吊り下げ支持する支持部２１と、この支持部２１を昇降させる昇降駆動部２５とを有すると共に、第二の吸着パッド５１群を吊り下げ支持する支持部５２と、その可動部５３を支持部５２に連結し、固定部５４をベース部２４に固定してなる昇降駆動部５５とを有する。この場合、図２０に示すように、共通のベース部２４に各昇降駆動部２５，５５を介して第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群とが連結されている。よって、各昇降駆動部２５，５５を駆動させることにより、第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群とが別個独立に第一の方向ｄ１に沿って移動できるようになっている。また、二つのスライド部２７が対応する各レール部２６上を移動することにより、第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群とが同期して第二の方向ｄ２に沿って移動できるようになっている。
【００８１】
次に、上記構成の剥離装置５０を用いたガラス基板５からの支持体１の剥離動作の一例を、主に図２１〜図２４に基づき説明する。
【００８２】
（Ｓ３１）保持ステップ
まず、図２０に示すように、剥離対象となる支持体付きガラス基板６を保持部材１１の上に載置して、支持体付きガラス基板６の下側に位置するガラスフィルム２（ガラス基板６）を保持部材１１により吸着保持する。
【００８３】
（Ｓ３２）吸着ステップ
（Ｓ３３）引き剥がしステップ
また、支持体付きガラス基板６の上方に配置した第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群を、各昇降駆動部２５，５５により図２０に示す位置から下降させて、支持体付きガラス基板６の上側に位置する支持体１に各吸着パッド２０，５１を吸着させる。然る後、まず昇降駆動部２５により第一の吸着パッド２０群を上昇させて、支持体１をガラスフィルム２から引き剥がす（図２１を参照）。この引き剥がし動作により、支持体１とガラスフィルム２との密着状態が解消され、ガラスフィルム２の剥離が第二の方向ｄ２に沿って進展すると共に、支持体１とガラスフィルム２との間に新たな隙間７が形成される。
【００８４】
続いて、昇降駆動部５５により第２の吸着パッド５１群を上昇させて、支持体１をさらにガラスフィルム２から引き剥がす（図２２を参照）。この引き剥がし動作により、ガラスフィルム２の剥離が第二の方向ｄ２に沿ってさらに進展すると共に、支持体１とガラスフィルム２との間にさらに新たな隙間７が形成される。
【００８５】
（Ｓ３４）再付着防止部材導入ステップ
次に、上記引き剥がしにより支持体１とガラスフィルム２との間に新たに生じた隙間７に向けて、再付着防止部材１３としてのシート状部材２８を導入する（図２３を参照）。これにより、支持体１とガラスフィルム２との間にシート状部材２８を介在させた状態となる。この際、第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群の位置は引き剥がし動作終了時の位置（図２２に示す位置）を維持したままとする。
【００８６】
（Ｓ３５）吸着解消ステップ
上述のように再付着防止部材１３としてのシート状部材２８を導入した状態で、第一の吸着パッド２０群及び第二の吸着パッド５１群による支持体１の吸着状態を解消する。これにより、支持体１のうち第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群により持ち上げられていた部分が引き剥がし前の位置に向けて移動し、シート状部材２８の上に載置された状態となる（図２４を参照）。
【００８７】
（Ｓ３６）吸着位置変更ステップ
然る後、第二移動機構１５により第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群を第二の方向ｄ２に沿って剥離進展方向に移動させる（図２４を参照）。これにより、第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群により支持体１を吸着する位置を剥離進展方向の前方側に変更する。
【００８８】
（Ｓ３２）吸着ステップ
（Ｓ３３）引き剥がしステップ
このようにして吸着位置を変更した後、第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群を図２４に示す位置から再び下降させて、支持体１を吸着する（図示は省略）。そして、一回目のときと同様、支持体１のうち未だ剥離していない領域から遠い側の吸着パッド群（第一の吸着パッド２０群）を先に上昇させて、支持体１をガラスフィルム２から再び引き剥がす（図示は省略）。続いて、支持体１のうち未だ剥離していない領域に近い側の吸着パッド群（第二の吸着パッド５１群）を上昇させることで、支持体１をガラスフィルム２からさらに引き剥がす。以上の二回の引き剥がし動作により、支持体１のガラスフィルム２からの剥離がさらに二回進展する。
【００８９】
以降、第一実施形態と同様、再付着防止部材導入ステップＳ３４、吸着解消ステップＳ３５、吸着位置変更ステップ３６、吸着ステップＳ３２、及び引き剥がしステップＳ３３を、剥離完了判断ステップＳ３７において、支持体１がガラスフィルム２から完全に剥離していると判断されるまで繰り返し行う。これにより、支持体１が完全に剥離するので、然る後、ガラス基板５を保持部材１１から離脱させることで、電子デバイスに使用されるガラス基板５が得られる。
【００９０】
このように、本実施形態では、別個独立に昇降する第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群を設けて、引き剥がしステップＳ３３にて二回続けて支持体１の引き剥がし動作を行うようにしたので、残りのステップ（例えば再付着防止部材導入ステップＳ３４、吸着解消ステップＳ３５、吸着位置変更ステップＳ３６、吸着ステップＳ３２）を実質的に第一の吸着パッド２０群のみの場合と同じ時間で行うことができる。よって、第一実施形態と比べて、支持体１をガラス基板５から完全に剥離させるのに要する時間を短縮することができる。もちろん、本実施形態においても、同じ吸着部材１２（ここでは第一の吸着パッド２０群と第二の吸着パッド５１群）を繰り返しガラスフィルム２からの引き剥がしに使用してガラスフィルム２の剥離を進展させることができるので、従来のように、剥離進展方向に沿って複数列（ガラスフィルムの剥離進展方向に沿った向きの寸法全域をカバーできるだけの数の列）の吸着部材が配列された構成よりも少ない個数でガラスフィルム２の剥離を行うことができる。よって、設備コストを低く抑えてガラスフィルム２の剥離を行うことが可能となる。
【００９１】
≪本発明の第三実施形態≫
図２５は、本発明の第三実施形態に係る剥離装置６０の側面図を示している。この剥離装置６０は、吸着部材１２としての複数の吸着パッド２０と第一移動機構１４、及び再付着防止部材１３を，支持体付きガラス基板６の一方の辺の側だけでなく、この辺と対向する他方の辺の側にも配設している点で、第一実施形態に係る剥離装置１０と相違する。
【００９２】
この場合、保持ステップＳ３１の後、吸着ステップＳ３２、引き剥がしステップＳ３３、再付着防止部材導入ステップＳ３４、吸着解消ステップＳ３５、及び吸着位置変更ステップＳ３６を左右それぞれの側で同時に行うことができる。これにより、支持体付きガラス基板６の左右両側から支持体１の剥離を進展させることができるので、支持体１をガラス基板５から完全に剥離するのに要する時間を図６に示す剥離装置１０よりも短くすることが可能となる。
【００９３】
なお、以上の説明では、吸着部材１２として複数の吸着パッド２０（５１）を例示したが、もちろんこれ以外の構成をとることも可能である。すなわち、吸着状態を解消し得る限りにおいて、例えば粘着テープを有する部材など他の公知の吸着部材を適用することも可能である。
【００９４】
また、以上の説明では、再付着防止部材１３として、支持体１及びガラスフィルム２に対する密着性が低い材質ないし性状のシート状部材２８を適用した場合を例示したが、もちろんこれ以外の構成をとることも可能である。例えば図示は省略するが、支持体１とガラスフィルム２との密着を阻害するような物質（微粒子を含む気体、水などの液体）を隙間７に向けて供給することにより、当該物質が支持体１の表面１ａ又はガラスフィルム２の表面２ａに付着させるようにしてもよい。
【００９５】
また、吸着部材１２を固定した状態で、保持部材１１を第二の方向ｄ２に沿って移動させ得るよう第二移動機構１５を構成することによっても、上述した吸着位置変更ステップＳ３６を行ってもよい。
【００９６】
また、以上の説明では、ガラスフィルム２を含むガラス基板５を保持部材１１で保持し、支持体１を吸着部材１２で吸着する場合を例示したが、これとは逆の構成をとることも可能である。例えば図示は省略するが、支持体１を保持部材１１で保持すると共に、ガラス基板５を吸着部材１２で吸着した後、引き剥がしステップＳ３３、再付着防止部材導入ステップＳ３４、吸着解消ステップＳ３５、及び吸着位置変更ステップＳ３６を行うようにしてもかまわない。
【００９７】
また、以上の説明では、保持部材１１として、載置面１６に設けた溝１７とこの溝１７に開口形成した吸引孔１８とを用いて、載置面１６上の部材（ここではガラス基板５）を吸着保持するものを例示したが、もちろん吸着以外の手段（例えばクランプ機構など）で載置面１６上の部材を保持する構成をとるようにしてもよい。
【００９８】
また、以上の説明では、支持体１がガラスフィルム２から食み出した状態の積層体３（支持体付きガラス基板６）に対して本発明を適用した場合を例示したが、もちろん支持体１とガラスフィルム２とが上記以外の位置関係を有する場合（例えば支持体１とガラスフィルム２とが食み出しなく完全に重ね合わさった形態をなす場合）にも、本発明を適用することは可能である。
【００９９】
また、以上の説明では、ガラスフィルム２と支持体１との間に予め剥離起点部８を形成しておいた支持体付きガラス基板６に対して、本発明を適用する場合を例示したが、条件によっては、ガラスフィルム２と支持体１とがその全面にわたって固定（直接密着などで）している状態の支持体付きガラス基板６に対して、本発明を適用することも可能である。
【０１００】
また、上記実施形態では、支持体１として板状ガラスを採用し、かつこの支持体１とガラスフィルム２とを直接密着で相互に固定した場合を例示したが、もちろんこれ以外の手段でガラスフィルム２と支持体１とを固定してなる積層体３に対しても本発明を適用することは可能である。例えば、アクリル粘着層、シリコーン薄膜層、無機薄膜層（ＩＴＯ、酸化物、金属、カーボン）など非ガラス材からなる層と板状ガラスとで支持体１を構成し、非ガラス材層とガラスフィルム２を密着させてなる積層体（図示は省略）に対しても本発明を適用することが可能である。
【０１０１】
また、以上の説明では、電子デバイスに使用されるガラス基板として、透明導電膜４をガラスフィルム２の表面２ｂに形成してなるガラス基板５を製造する場合を例示したが、もちろん電子デバイスの製造方法に対しても本発明を適用することが可能である。例えば、透明導電膜４が形成されたガラス基板５とカラーフィルタが形成されたカバーガラスとを有する液晶パネルを製造する場合に本発明を適用することも可能である。また、図示は省略するが、ガラスフィルム２の表面２ｂに有機ＥＬ素子を形成すると共に、この有機ＥＬ素子上にカバーガラスを載置して、カバーガラスの周縁をガラスフィルム２に固定することで、有機ＥＬ素子を封止してなる有機ＥＬパネルを製造する場合に本発明を適用することも可能である。
【０１０２】
もちろん、ガラスフィルム２自体を最終製品として取得（製造）する場合においても、本発明を適用することにより、ガラスフィルム２を破損させることなく、安全かつ容易に支持体１からガラスフィルム２を剥離することが可能となる。
【符号の説明】
【０１０３】
１      支持体
２      ガラスフィルム
３      積層体
４      透明導電膜
５      ガラス基板
６      支持体付きガラス基板
７      隙間
８      剥離起点部
１０，５０，６０  剥離装置
１１    保持部材
１２    吸着部材
１３    再付着防止部材
１４    第一移動機構
１５    第二移動機構
１６    載置面
１７    溝
１９    吸引装置
２０，５１  吸着パッド
２１，５２  支持部
２２   可動部
２３   固定部
２４   ベース部
２５   昇降駆動部
２５，５５    各昇降駆動部
２６   レール部
２７   スライド部
２８   シート状部材
２９   ロール体
３０   支持台
３１   回転軸
３２   回転駆動部
３６   吸着位置変更ステップ
５０   剥離装置
５１   吸着パッド
５２   支持部
５３   可動部
５４   固定部
５５   昇降駆動部
６０   剥離装置
ｂ     境界
ｄ１    第一の方向
ｄ２    第二の方向
ｈ      第一の方向への移動量
Ｌ      第二の方向への移動量
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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