(57)【要約】【課題】一対のコンベアベルトにより基板の下面を支持して基板を基板搬送方向に搬送する基板搬送装置を少ない制約で配置することができる技術を提供する。【解決手段】基板搬送方向Ｘに延設され、一対のコンベアベルト２１のうちの一方のコンベアベルト２１の移動経路を有する第１のコンベアフレーム２２と、基板搬送方向Ｘに延設され、他方のコンベアベルトの移動経路を有する第２のコンベアフレーム２２と、一対のコンベアベルトにより基板Ｐ１を搬送するために用いられる機器と、を備え、第１のコンベアフレーム２２および第２のコンベアフレーム２２のうちの少なくとも一方は、凹部２２３を基板搬送方向Ｘに設けた複合機能フレームであり、機器を作動させるための配線８５１または配管からなる長尺体が凹部２２３に埋設される。【選択図】図５Ａ
2018110203.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のコンベアベルトにより基板の下面を支持して前記基板を基板搬送方向に搬送する基板搬送装置であって、
前記基板搬送方向に延設され、前記一対のコンベアベルトのうちの一方のコンベアベルトの移動経路を有する第１のコンベアフレームと、
前記基板搬送方向に延設され、他方のコンベアベルトの移動経路を有する第２のコンベアフレームと、
前記一対のコンベアベルトにより前記基板を搬送するために用いられる機器と、を備え、
前記第１のコンベアフレームおよび前記第２のコンベアフレームのうちの少なくとも一方は、凹部を前記基板搬送方向に設けた複合機能フレームであり、
前記機器を作動させるための配線または配管からなる長尺体が前記凹部に埋設されることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置であって、
前記凹部は前記基板搬送方向において前記複合機能フレームの全長にわたって設けられる基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板搬送装置であって、
前記複合機能フレームは、前記コンベアベルトと摺接可能と形成されて前記移動経路を構成するベルト摺接部と、前記凹部が形成されて前記長尺体を収容する長尺体収容部とを有し、
前記ベルト摺接部は前記基板搬送方向において前記複合機能フレームの全長にわたって設けられる基板搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載の基板搬送装置であって、
前記ベルト摺接部と前記長尺体収容部とは一体成型されている基板搬送装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載の基板搬送装置であって、
前記凹部の少なくとも一部を塞ぐカバーをさらに備える基板搬送装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送された前記基板に対して所定の処理を施す処理実行部と、を備えることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一対のコンベアベルトにより基板の下面を支持して当該基板を基板搬送方向に搬送する基板搬送装置、および当該基板搬送装置により搬送された基板に対して所定の処理を施す基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板などの基板を搬送する手段のひとつとして一対のコンベアベルトを用いた基板搬送装置が従来より数多く使用されている。例えば特許文献１に記載の基板処理装置では、上記基板搬送装置によりプリント基板が所定の実装作業位置に搬入され、部品供給装置により供給される電子部品が当該実装作業位置でプリント基板に実装された後で、基板搬送装置によりプリント基板が搬出される。このような基板搬送を行うため、基板搬送装置は、一対のコンベアフレームを有している。各コンベアフレームには、コンベアベルトを案内するベルト移動経路が設けられており、当該ベルト移動経路に沿ってコンベアベルトを循環移動させることでプリント基板を搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２２８４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板搬送装置では、プリント基板を搬送するために、種々の配線や配管が引き回されている。例えば搬送中のプリント基板を検出するためのセンサがコンベアフレームに設けられており、当該センサの検出信号が配線を介して基板処理装置全体を制御する制御部に与えられる。この配線はコンベアフレームに沿って配置されることが多く、後で説明する図５Ａの（ｂ）欄に示すようにコンベアフレームの外周面に取り付けられた樹脂製クリップにより保持されている。また、配線以外にも、基板搬送装置に設けられるエアシリンダなどのアクチュエータを駆動させるための配管も同様に、コンベアフレームの外周面側で樹脂製クリップにより取り付けられる。
【０００５】
このようにコンベアフレームの外周面に配線や配管などの長尺体を取り付けると、長尺体がコンベアフレームから幅方向の外側に突出し、露出している。このため、配線や配管の破損が問題となる。ここで、上記問題の発生を防止するためには、コンベアフレームの幅方向の外側に隣接して配置される装置、例えば部品供給装置に対し、基板搬送装置を十分に離間して配置する必要がある。つまり、従来の基板搬送装置では配置に関する制約が存在しており、このことが基板処理装置の小型化を図る上で障害のひとつとなっている。
【０００６】
この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、少ない制約で基板搬送装置を配置することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の一態様は、一対のコンベアベルトにより基板の下面を支持して基板を基板搬送方向に搬送する基板搬送装置であって、基板搬送方向に延設され、一対のコンベアベルトのうちの一方のコンベアベルトの移動経路を有する第１のコンベアフレームと、基板搬送方向に延設され、他方のコンベアベルトの移動経路を有する第２のコンベアフレームと、一対のコンベアベルトにより基板を搬送するために用いられる機器と、を備え、第１のコンベアフレームおよび第２のコンベアフレームのうちの少なくとも一方は、凹部を基板搬送方向に設けた複合機能フレームであり、機器を作動させるための配線または配管からなる長尺体が凹部に埋設されることを特徴としている。
【０００８】
また、この発明の他の態様は、基板処理装置であって、上記基板搬送装置と、基板搬送装置により搬送された基板に対して所定の処理を施す処理実行部と、を備えることを特徴としている。
【０００９】
このように構成された発明では、複合機能フレームは、単にコンベアベルトの移動経路を形成するという機能以外に、機器を作動させるための配線または配管からなる長尺体を凹部に収容するという機能を兼ね備えている。凹部への長尺体の収容によって、長尺体がコンベアフレームから突出するのを確実に防止する。
【００１０】
ここで、凹部を基板搬送方向において複合機能フレームの全長にわたって設けてもよく、これによって、配線や配管をコンベアフレームから突出させることなく、機器を基板搬送方向において複合機能フレームの一方端近傍、他方端近傍あるいは中央部近傍に配置することができる。つまり、機器の配置自由度を高めることができる。
【００１１】
また、凹部を一体成型したフレーム体により複合機能フレームを構成してもよく、これにより凹部を容易に、しかも高精度に作製することができる。
【００１２】
また、複合機能フレームが、上記した２つの機能を果たすために、コンベアベルトと摺接可能と形成されて移動経路を構成するベルト摺接部と、凹部が形成されて長尺体を収容する長尺体収容部とを設けてもよい。この場合、ベルト摺接部と長尺体収容部とを互いに独立して設け、これらを組み合わせて複合機能フレームを設ける、いわゆる組立方式を採用してもよい。これに対し、ベルト摺接部と長尺体収容部と一体成型したフレーム体を複合機能フレームとして用いてもよく、これによって次のような組立方式よりも有利な作用が得られる。すなわち、一体成型によって凹部を容易に、しかも高精度に作製することができる。しかも、組立時間やコストを抑えることができる。
【００１３】
さらに、凹部の少なくとも一部を塞ぐカバーをさらに設けてもよく、これによって長尺体が保護され、長尺体の断線や破損などの不具合が発生するのをより確実に回避することができる。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明によれば、機器を作動させるための配線または配管からなる長尺体がコンベアフレーム（複合機能フレーム）の凹部に埋設されるために、基板搬送装置からの長尺体の突出を抑えることができる。その結果、長尺体が突出していた従来装置に比べて基板搬送装置の配置自由度を高めることが可能となっている。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明に係る基板搬送装置の一実施形態である搬送コンベアを装備する基板処理装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】図１に示す基板処理装置を制御する制御機構を示すブロック図である。
【図３】図１に装備された搬送コンベアの構成を示す斜視図である。
【図４Ａ】コンベアフレームと部品供給機構との配置関係を示す平面図である。
【図４Ｂ】コンベアフレームと部品供給機構との配置関係を示す側面図である。
【図５Ａ】図３に示す搬送コンベアで採用したコンベアフレームおよび従来のコンベアフレームを示す断面図である。
【図５Ｂ】本発明に係る基板搬送装置の他の実施形態で採用されるコンベアフレームの断面図である。
【図６Ａ】コンベアフレームとノズル交換機構との配置関係を示す平面図である。
【図６Ｂ】コンベアフレームとノズル交換機構との配置関係を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１は、本発明に係る基板搬送装置の一実施形態である搬送コンベアを装備する基板処理装置の構成を模式的に示す図である。また、図２は、図１に示す基板処理装置を制御する制御機構を示すブロック図である。この基板処理装置１は、基台１０と、プリント基板（本発明の「基板」の一例に相当）Ｐ１を搬送するための搬送コンベア２０と、プリント基板Ｐ１上に電子部品を実装するための部品実装装置（本発明の「処理実行部」の一例に相当）３０と、電子部品を供給する部品供給機構４０とを備えている。そして、基板処理装置１では、搬送コンベア２０によりプリント基板Ｐ１が搬送され、また当該プリント基板Ｐ１に対し、部品供給機構４０に装着されたフィーダー５０により供給される電子部品が実装される。
【００１７】
基台１０は平面視で長方形状を有している。そして、この基台１０に対し、その長手方向と平行に搬送コンベア２０が設けられている。また、搬送コンベア２０の下方には、プリント基板Ｐ１上に電子部品を実装する際にそのプリント基板Ｐ１をバックアップするためのバックアッププレート（図示省略）が設けられている。なお、以下の説明では、基台１０の長辺方向（図１の左右方向）および搬送コンベア２０によるプリント基板Ｐ１の搬送方向をＸ軸方向とし、基台１０の短辺方向（図１の上下方向）をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１８】
搬送コンベア２０は、Ｙ軸方向における基台１０の略中央位置に配置され、プリント基板Ｐ１を基板搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って搬送する。搬送コンベア２０は、基板搬送方向Ｘに循環駆動する一対のコンベアベルト２１を備えている。プリント基板Ｐ１は、両コンベアベルト２１に架設する形で載置され、その状態でＸ軸方向に搬送される。本実施形態では、プリント基板Ｐ１は、基板搬送方向Ｘの一方側（図１で示す右側）からコンベアベルト２１に沿って基台１０上の作業位置（図１の二点鎖線で囲まれる位置）に搬入され、作業位置で停止して電子部品の実装作業がされた後、コンベアベルト２１に沿って他方側（図１で示す左側）に搬出されるようになっている。なお、搬送コンベア２０の詳しい構成については後で詳述する。
【００１９】
部品実装装置３０は、一対の支持フレーム３１と、ヘッドユニット３２と、ヘッドユニット３２を駆動するヘッドユニット駆動機構とを有している。各支持フレーム３１は、それぞれＸ軸方向における基台１０の両側に位置しており、Ｙ軸方向に延設されている。支持フレーム３１には、ヘッドユニット駆動機構を構成するＸ軸サーボ機構およびＹ軸サーボ機構が設けられている。そして、装置全体を制御する制御部８０（図２）からの動作指令に応じてＸ軸サーボ機構およびＹ軸サーボ機構が作動することで、ヘッドユニット３２が一定の可動領域内でＸ軸方向およびＹ軸方向に移動する。
【００２０】
Ｙ軸サーボ機構は、Ｙ軸ガイドレール３３Ｙ、Ｙ軸ボールねじ３４ＹおよびＹ軸サーボモータ３５Ｙを有している。このＹ軸サーボ機構では、各支持フレーム３１に対し、Ｙ軸ガイドレール３３Ｙが延設されている。また、各Ｙ軸ガイドレール３３Ｙと平行にＹ軸ボールねじ３４Ｙが延設されている。このＹ軸ボールねじ３４Ｙの一方端には、Ｙ軸サーボモータ３５Ｙが取り付けられ、制御部８０からの駆動指令に応じて作動することでＹ軸ボールねじ３４Ｙに螺合しているボールナット（図示省略）がＹ軸方向に移動する。これらのボールナットにヘッド支持体３６が固定されている。ヘッド支持体３６はＸ軸方向に延設されている。そして、２つのＹ軸ガイドレール３３Ｙを橋渡しするようにヘッド支持体３６はボールナット上に配置され、Ｙ軸ガイドレール３３Ｙに沿って移動自在となっている。このため、制御部８０によりＹ軸サーボモータ３５Ｙが通電制御されると、上記したボールナットの進退動作によって、ボールナットに固定されたヘッド支持体３６、及び後述するヘッドユニット３２がＹ軸ガイドレール３３Ｙに沿ってＹ軸方向に移動する。
【００２１】
Ｘ軸サーボ機構は、Ｘ軸ガイドレール（図示省略）、Ｘ軸ボールねじ３４ＸおよびＸ軸サーボモータ３５Ｘを有している。このＸ軸サーボ機構では、ヘッド支持体３６に対し、Ｘ軸ガイドレールがＸ軸方向に延設されている。また、Ｘ軸ガイドレールと平行にＸ軸ボールねじ３４Ｘが延設されている。このＸ軸ボールねじ３４Ｘの一方端には、Ｘ軸サーボモータ３５Ｘが取り付けられ、制御部８０からの駆動指令に応じて作動することでＸ軸ボールねじ３４Ｘに螺合しているボールナット（図示省略）がＸ軸方向に移動する。このボールナットにはヘッドユニット３２が固定されており、上記ボールナットの移動によってＸ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。
【００２２】
ヘッドユニット３２は、部品供給機構４０によって供給される電子部品を取り出してプリント基板Ｐ１上に実装する。ヘッドユニット３２には、電子部品の実装動作を行う実装ヘッド３７が列状をなして複数個搭載されている。各実装ヘッド３７は、ヘッドユニット３２の下面から下向きに突出しており、その先端には電子部品を負圧によって吸着する吸着ノズル（図示省略）がそれぞれ設けられている。
【００２３】
各実装ヘッド３７は、Ｒ軸サーボモータ３５Ｒ（図２）によって上下方向Ｚに延びる軸周りの回転動作が可能とされている。また、各実装ヘッド３７は、Ｚ軸サーボモータ３５Ｚ（図２）の駆動によってヘッドユニット３２のフレームに対して上下方向Ｚに昇降可能とされている。
【００２４】
なお、ヘッドユニット３２には、基板認識カメラＣ１（図２）が設けられている。基板認識カメラＣ１は、撮像面を下に向けた状態でヘッドユニット３２のフレームに固定されており、ヘッドユニット３２とともに一体的に移動する。基板認識カメラＣ１は、ヘッドユニット３２がＸ軸方向およびＹ軸方向に移動されることで、作業位置に停止したプリント基板Ｐ１上の任意の位置の画像を撮像する。
【００２５】
また、基台１０上におけるヘッドユニット３２による実装位置の近傍には、部品認識カメラＣ２が固定されている。部品認識カメラＣ２は、実装ヘッド３７によって部品供給機構４０から取り出された電子部品の画像を撮像することで、各電子部品の吸着ノズルによる吸着姿勢等を認識する。
【００２６】
上記のように構成された基板処理装置１の各部を制御するために、制御部８０が設けられている。制御部８０はＣＰＵ（Central Processing Unit）により構成される演算処理部８１を備えている。演算処理部８１には、モータ制御部８２と、記憶部８３と、画像処理部８４と、外部入出力部８５と、フィーダー通信部８６と、表示部８８と、入力部８９と、がそれぞれ接続されている。
【００２７】
モータ制御部８２は、実装プログラム８３Ａに従ってヘッドユニット３２のＸ軸サーボモータ３５ＸおよびＹ軸サーボモータ３５Ｙを駆動させるとともに、各実装ヘッド３２のＺ軸サーボモータ３５ＺおよびＲ軸サーボモータ３５Ｒを駆動させる。また、モータ制御部８２は、実装プログラム８３Ａに従って搬送コンベア２０を駆動させる。
【００２８】
記憶部８３は、ＲＯＭ（Read Only Memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）等から構成され、実装プログラム８３Ａおよび各種データ８３Ｂが記憶されている。記憶部８３に記憶される実装プログラム８３Ａには、実装対象となるプリント基板Ｐ１の生産台数に関する基板情報、プリント基板Ｐ１に実装される電子部品の個数や種類等を含む部品情報等が含まれている。記憶部８３に記憶される各種データ８３Ｂには、部品供給機構４０に取り付けられた各フィーダー５０に保持された電子部品の数や種類に関するデータ等が含まれている。
【００２９】
画像処理部８４には、基板認識カメラＣ１および部品認識カメラＣ２から出力される撮像信号がそれぞれ取り込まれる。画像処理部８４では、取り込まれた各カメラＣ１，Ｃ２からの撮像信号に基づいて、部品画像の解析、基板画像の解析等が行われるようになっている。
【００３０】
外部入出力部８５は、いわゆるインターフェースであって、基板処理装置１の本体に設けられる各種センサ類８５Ａから出力される検出信号が取り込まれるように構成されている。センサ類８５Ａには、搬送コンベア２０により搬送されるプリント基板Ｐ１を検出して基板搬送の制御に用いる基板搬送用センサが含まれている。基板搬送用センサは配線によって外部入出力部８５と接続されており、搬送コンベア２０の動作状況やプリント基板Ｐ１の位置などを示す信号を制御部８０に与える。
【００３１】
また、外部入出力部８５は、演算処理部８１から出力される制御信号に基づいて、基板処理装置１の本体に設けられる各種アクチュエータ類８５Ｂに対する動作制御を行うように構成されている。アクチュエータ類８５Ｂには、搬送コンベア２０によりプリント基板Ｐ１を搬送するために用いられるエアシリンダなどの基板搬送用アクチュエータが含まれている。基板搬送用アクチュエータは配管によって圧力供給源（図示省略）と接続されるとともに、配線によって外部入出力部８５と接続されており、制御部８０からの動作指令信号に基づいて作動する。
【００３２】
フィーダー通信部８６は、部品供給機構４０に取り付けられた各フィーダー５０と接続されており、各フィーダー５０を統括して制御する。
【００３３】
表示部８８は、表示画面を有する液晶表示装置等から構成され、基板処理装置１の状態等を表示画面上に表示する。入力部８９は、キーボード等から構成され、手動による操作によって外部からの入力を受け付けるようになっている。
【００３４】
次に、搬送コンベア２０の構成について図３、図４Ａ、図４Ｂおよび図５Ａを参照しつつ説明する。搬送コンベア２０は、上記した一対のコンベアベルト２１以外に、一対のコンベアフレーム２２と、複数のローラ２３Ａ〜２３Ｅと、連結軸２４と、モータ２５とを備えている。一対のコンベアフレーム２２は金属製であって、Ｘ軸方向に長い形状をしている。一対のコンベアフレーム２２はＹ軸方向において互いに向かい合っており、相対する内面側には、複数のローラ２３Ａ〜２３Ｅが取り付けられている。そして、これら複数のローラ２３Ａ〜２３Ｅならびに連結軸２４に取り付けられたローラ２４Ａの間にコンベアベルト２１が掛けられている。
【００３５】
連結軸２４の一方端には、コンベア駆動用のモータ２５が取り付けられている。このため、モータ制御部８２からの指令に応じてモータ２５が作動することで一対のコンベアベルト２１が同期して基板搬送方向Ｘに循環駆動され、プリント基板Ｐ１を下方から支持しながら基板搬送方向Ｘに搬送する。
【００３６】
また、一対のコンベアフレーム２２のうち（−Ｙ）側のコンベアフレーム２２は固定される一方、（＋Ｙ）側のコンベアフレーム２２はＹ軸方向に移動可能な可動式となっている。具体的に説明すると、基台１０上に一対のレール支持部材１１が設けられるとともに、各レール支持部材１１上にＹレール１２が配置されている。一対のＹレール１２は、Ｙ軸方向に延びており、各Ｙレール１２にはスライダ１３がスライド可能に嵌合している。そして、（−Ｙ）側のコンベアフレーム２２では、Ｘ軸方向の両側端部に脚部２６の上端部が取り付けられるとともに、脚部２６の下端部がレール支持部材１１に固定されている。一方、（＋Ｙ）側のコンベアフレーム２２では、Ｘ軸方向の両側端部に脚部２６の上端部が取り付けられるとともに、脚部２６の下端部がＹレール１２に嵌合する各スライダ１３に固定されている。さらに、これらの脚部２６には、ボール螺子機構２７が連結されており、ボール螺子機構２７の駆動源として機能するモータ２７１がモータ制御部８２からの指令に応じて作動することで（＋Ｙ）側の脚部２６がＹ軸方向に移動し、これによって（＋Ｙ）側のコンベアフレーム２２が（−Ｙ）側のコンベアフレーム２２に対して近接および離間して一対のコンベアベルト２１の幅をプリント基板Ｐ１の幅（Ｙ軸方向サイズ）に適合させることが可能となっている。そして、コンベアベルト２１がコンベアフレーム２２に沿って摺動してプリント基板Ｐ１を搬送する。
【００３７】
さらに、プリント基板Ｐ１を安定して搬送するために、各コンベアフレーム２２には後で詳述するようにコンベアベルト２１の移動経路が設けられている。また、図４Ａに示すように基板ガイド２８が各コンベアフレーム２２の上端部に取り付けられている。基板ガイド２８はコンベアフレーム２２と同様、Ｘ軸方向に長い形状を有しており、コンベアベルト２１により搬送されるプリント基板Ｐ１をガイドし、プリント基板Ｐ１の傾斜を防止する機能を有している。また、基板ガイド２８の上端には、Ｘ軸方向に溝部２８１が延設されている。そして、当該溝部２８１に沿って複数のクランプ部材２９がＸ軸方向に間隔を空けて取り付けられている。各クランプ部材２９は先端部をコンベアフレーム２２の内側に突出させている。
【００３８】
このように構成された搬送コンベア２０に近接して部品供給機構４０や部品認識カメラＣ２が配置されている。例えば図４Ａおよび図４Ｂでは、搬送コンベア２０と部品供給機構４０とを近接配置した構成が図示されており、当該配置が可能となっている主たる理由のひとつがコンベアフレーム２２の構成にある。この点について図４Ａ、図４Ｂおよび図５Ａを参照しつつ詳述する。
【００３９】
図４Ａはコンベアフレームと部品供給機構との配置関係を示す平面図である。また、図４Ｂはコンベアフレームと部品供給機構との配置関係を示す側面図である。さらに、図５Ａは図３に示す搬送コンベアで採用したコンベアフレームおよび従来のコンベアフレームを示す断面図である。本実施形態では、一対のコンベアフレーム２２は互いにＹ軸方向において対称な形状を有しているが、基本的な構成は同一である。以下、（−Ｙ）側のコンベアフレーム２２の構成について説明し、（＋Ｙ）側のコンベアフレーム２２については同一符号を付して構成説明を省略する。
【００４０】
コンベアフレーム２２はＸ軸方向に延設されているが、ＹＺ断面では図５Ａの（ａ）欄に示すように略Ｊ字状の断面形状を有している。コンベアフレーム２２の上端部のうち部品供給機構４０の反対側（同図の右手側）に階段状の段差部２２１が設けられ、当該段差部２２１の水平面でコンベアベルト２１を摺接可能となっている。この段差部２２１はＸ軸方向においてコンベアフレーム２２全長にわたって設けられており、これによってコンベアベルト２１の移動経路と形成している。つまり、段差部２２１が本発明の「ベルト摺接部」として機能する。
【００４１】
また、コンベアフレーム２２の中央部に位置するフレーム本体部２２２では、部品供給機構４０を向いた側面（同図の左手側面）に凹部２２３が設けられている。凹部２２３も、段差部２２１と同様に、Ｘ軸方向においてコンベアフレーム２２全長にわたって設けられている。そして、基板搬送用センサ（図示省略）を作動させるための配線８５１が本発明の「長尺体」の一例として凹部２２３に収容されており、凹部２２３が設けられたフレーム本体部２２２が本発明の「長尺体収容部」として機能する。
【００４２】
以上のように、本実施形態では、各コンベアフレーム２２は、段差部２２１とフレーム本体部２２２とを一体的に成型したフレームであり、コンベアベルト２１の移動経路を形成するという機能と、配線８５１を凹部２２３に収容するという機能を兼ね備えた「複合機能フレーム」として機能している。特に、凹部２２３に配線８５１を収容するという構成を採用したことで従来装置に比べて次のような作用効果が得られる。この点について、図５Ａを参照しつつ、従来装置の構成説明と、従来装置と実施形態とを対比説明を行う。
【００４３】
図５Ａの（ｂ）欄では、従来装置のコンベアフレーム２００の一例が図示されている。このコンベアフレーム２００では、矩形断面を有するフレーム本体部２０１の上面にベルト摺接部２０２が取り付けられており、コンベアベルト２１０の移動経路を形成するという機能のみを有している。また、従来装置では、基板搬送用センサ（図示省略）を作動させるための配線２３０がフレーム本体部２０１の外周面に配置され、樹脂製クリップ２４０により保持されている。
【００４４】
このようにコンベアフレーム２００の外周面に配線２３０がコンベアフレーム２００から幅方向（図５Ａの左右方向）に突出し、露出している。このため、配線２３０の断線や破損を回避するために、樹脂製クリップ２４０や配線２３０の突出量Ｗ０を考慮した上で、部品供給機構（図４Ａ、４Ｂ参照）に対し、コンベアフレーム２００を十分に離間して配置する必要がある。これに対し、本実施形態では、配線８５１は凹部２２３に埋設されているため、上記突出量はゼロとなる。このため、図５Ａの（ｂ）欄に示す従来装置に比べて搬送コンベア２０の配置自由度を高めることが可能となっており、図４Ｂに示すようにコンベアフレーム２２と部品供給機構４０との離間距離Ｄを短くすることができる。また、この点については、搬送コンベア２０と部品認識カメラＣ２との関係についても同様である。つまり、搬送コンベア２０と部品認識カメラＣ２とを近接して配置可能となっている。
【００４５】
また、従来装置では、図５Ａの（ｂ）欄に示すように、フレーム本体部２０１とベルト摺接部２０２とを組み合わせてコンベアフレーム２００を形成している。これに対し、本実施形態では、段差部２２１とフレーム本体部２２２とを一体成型することでコンベアフレーム２２を形成している。このため、コンベアフレーム２２の製造が容易であり、組立時間やコストの低減も図ることができる。さらには、凹部２２３の精度についても向上させることができる。
【００４６】
また、上記実施形態では、凹部２２３および移動経路を基板搬送方向Ｘにおいてコンベアフレーム２２全長にわたって設けている。このため、基板搬送方向Ｘにおいてコンベアフレーム２２の一方端近傍、他方端近傍あるいは中央部近傍に基板搬送用センサを配置したとしても、配線８５１を凹部２２３に収容しながら引き回せる。つまり、センサの配置自由度を高めることができる。
【００４７】
上述のように、上記した実施形態では、プリント基板Ｐ１が本発明の「基板」の一例に相当している。また、搬送コンベア２０が本発明の「基板搬送装置」の一例に相当している。また、一対のコンベアフレーム２２がそれぞれ本発明の「第１のコンベアフレーム」および「第２のコンベアフレーム」であり、両者とも本発明の「複合機能フレーム」として機能している。基板搬送用センサが本発明の「基板を搬送するために用いられる機器」の一例である。
【００４８】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば上記実施形態では凹部２２３に配線８５１を収容しているのみであるが、図５Ｂに示すように、凹部２２３の全部あるいは一部を塞ぐように板状のカバー２２４を取り付けてもよい。この場合、配線８５１がカバー２２４によって保護され、配線８５１の断線や破損などの不具合が発生するのをさらに良好に回避することができる。
【００４９】
また、上記実施形態では、基板搬送用センサの配線８５１を凹部２２３に収容しているが、「基板を搬送するために用いられる機器」としてエアシリンダなどの基板搬送用アクチュエータを作動させるための配管を本発明の「長尺体」の一例として凹部２２３に収容してもよい。この場合にも、上記実施形態と同様に、搬送コンベア２０の幅方向における配管の突出を抑えることができ、これによって搬送コンベア２０の配置自由度を高めることが可能となる。また、配線と配管とを凹部２２３に収容するように構成してもよい。
【００５０】
また、移動経路を有する段差部２２１とフレーム本体部２２２とを組み立ててコンベアフレーム２２を形成する搬送コンベア２０に対しても本発明を適用することができる。つまり、フレーム本体部２２２に凹部２２３を設け、凹部２２３に配線や配管などの長尺体を収容してもよい。
【００５１】
また、上記実施形態では、一対のコンベアフレーム２２の両方が凹部２２３を設けて配線や配管を収容した複合機能フレームとして機能しているが、いずれか一方のみが複合機能フレームとして機能する基板搬送装置に対して本発明を適用してもよい。また、一対のコンベアフレーム２２の両方がＹ軸方向に移動する、あるいは両方が固定配置されている搬送コンベア（基板搬送装置）に対して本発明を適用してもよい。
【００５２】
さらに、上記実施形態では、搬送コンベア２０の幅方向Ｙにおいて部品供給機構４０や部品認識カメラＣ２が隣接して配置される基板処理装置１に対し、本発明を適用しているが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではない。例えば図６Ａおよび図６Ｂに示すように、吸着ノズルの交換を行うノズル交換機構６０を搬送コンベア２０に隣接した基板処理装置１に対しても本発明を適用することができ、上記と同様の作用効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
この発明は、一対のコンベアベルトにより基板の下面を支持して当該基板を基板搬送方向に搬送する基板搬送装置全般およびそれを装備する基板処理装置全般に適用することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１…基板処理装置
２０…搬送コンベア（基板搬送装置）
２１…コンベアベルト
２２…コンベアフレーム
８５Ａ…センサ類
８５Ｂ…アクチュエータ類
２２１…段差部（ベルト摺接部）
２２２…フレーム本体部（長尺体収容部）
２２３…凹部
２２４…カバー
８５１…配線（長尺体）
Ｐ１…プリント基板
Ｘ…基板搬送方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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