(57)【要約】【課題】コンプライアンス部の過度な変位を抑制しつつ、コンプライアンス部のフィルムを適正に変位させること。【解決手段】インクを噴射するノズル２１と、ノズル２１に連通され、第１の方向Ｘに並設された複数の圧力発生室１２と、複数の圧力発生室１２に連通されたマニホールド１００と、マニホールド１００の一部を形成し、可撓性を有するフィルム４６と、フィルム４６に固定され、マニホールド１００内の圧力変動に応じてフィルム４６を変位可能とする開口４８を有する枠部材４７と、を有し、枠部材４７は、開口４８の縁から第２の方向Ｙに突出し、先端１５１が変位可能な片持ち梁１５０と、片持ち梁１５０の先端１５１に設けられ、フィルム４６に固定される支持部１５２と、を備えていることを特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口と、
前記ノズル開口に連通され、第１の方向に並設された複数の圧力発生室と、
前記複数の圧力発生室に連通されたマニホールドと、
前記マニホールドの一部を形成し、可撓性を有する可撓部材と、
前記可撓部材に固定され、前記マニホールド内の圧力変動に応じて前記可撓部材を変位可能とする開口を有する枠部材と、
を有し、
前記枠部材は、
前記開口の縁から前記第１の方向と交差する方向に突出し、先端が変位可能な片持ち梁と、
前記片持ち梁の先端に設けられ、前記可撓部材に固定される支持部と、
を備えていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記支持部は、前記可撓部材が最も大きく変位する部分の少なくとも一部に固定されることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記支持部は、前記開口の中心を通り、前記第１の方向に延在していることを特徴とする請求項１または２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記片持ち梁は、前記第１の方向に沿って複数配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記支持部は、前記複数配置された片持ち梁のそれぞれで分離されていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記片持ち梁は、前記支持部よりも少なくとも一部が薄いことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
前記片持ち梁の前記第１の方向の寸法は、前記開口の縁から前記先端に向かう方向に短くなっていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項８】
前記片持ち梁は、前記開口の縁から前記先端に向かう方向に薄くなっていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記可撓部材との間で空間を形成するように配置される蓋部材を有し、
前記枠部材は、前記可撓部材と前記蓋部材との間に配置され、
前記片持ち梁及び前記支持部は、前記蓋部材に固定されず、前記蓋部材に対して変位可能であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド、及び当該液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を液滴として噴射する液体噴射ヘッドとして、例えば、ノズル開口とノズル開口に連通される圧力発生室等の流路とを具備し、圧力発生手段によって圧力発生室内のインク（液体）に圧力変化を生じさせることで、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドが知られている。
【０００３】
かかるインクジェット式記録ヘッドでは、可撓性を有するフィルムが圧力発生室に連通されるマニホールドの一部を画成し、フィルムを変形させることによりマニホールド内のインクの圧力変動を吸収するコンプライアンス部が設けられている。当該インクジェット式記録ヘッドでは、インクを噴射しない待機状態からインクの噴射を開始する初期段階において、コンプライアンス部のフィルム（可撓部材）が過度に撓むと、初期段階からマニホールド内の圧力が一定値に達する定常状態までに必要となるコンプライアンス、すなわち圧力変動を吸収するコンプライアンス部のフィルムの適正な変位が阻害され、インクの噴射特性にばらつきが生じるという問題があった。
このため、特許文献１に記載のインクジェット式記録ヘッドでは、コンプライアンス部のフィルム（可撓部材）にばね板として機能する片持ち梁が設けられ、初期段階におけるコンプライアンス部のフィルムの過度な撓みが抑制される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−１４４９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１に記載のインクジェット式記録ヘッドでは、コンプライアンス部のフィルムが、片持ち梁のフィルムに対向する面の全体に接し、片持ち梁とコンプライアンス部のフィルムとが一緒に変位するので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合、コンプライアンス部のフィルムの適正な変位が阻害されるおそれがあった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口と、前記ノズル開口に連通され、第１の方向に並設された複数の圧力発生室と、前記複数の圧力発生室に連通されたマニホールドと、前記マニホールドの一部を形成し、可撓性を有する可撓部材と、前記可撓部材に固定され、前記マニホールド内の圧力変動に応じて前記可撓部材を変位可能とする開口を有する枠部材と、を有し、前記枠部材は、前記開口の縁から前記第１の方向と交差する方向に突出し、先端が変位可能な片持ち梁と、前記片持ち梁の先端に設けられ、前記可撓部材に固定される支持部と、を備えていることを特徴とする。
【０００８】
本適用例では、片持ち梁の開口の縁の側が枠部材の本体部に固定された固定端となり、片持ち梁の先端が変位可能な自由端となる。支持部は、変位可能な可撓部材及び片持ち梁の先端（自由端）の両方に固定されている。
マニホールド内の圧力変動によって可撓部材を変形させる力（以降、変形力と称す）が可撓部材に作用すると、当該変形力は支持部を介して片持ち梁の先端に伝達される。さらに、変形力に抗する力が、片持ち梁から支持部を介して可撓部材に伝達されるので、可撓部材に対する変形力の影響が弱められ、可撓部材の過度な変位が抑制される。
【０００９】
さらに、変形力が支持部を介して片持ち梁の先端に伝達される場合、すなわち変形力が固定端から離れた位置（片持ち梁の先端）に集中して作用する場合、変形力が片持ち梁の可撓部材に対向する面の全体に作用する場合と比べて、変形力が固定端から離れた位置に作用するので、片持ち梁を変形させる曲げモーメントが大きくなり、片持ち梁が変形しやすくなる。片持ち梁が変形しやすくなるので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合であっても片持ち梁は適正に変形し、可撓部材の変位が阻害されず、可撓部材も適正に変位するようになる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記支持部は、前記可撓部材が最も大きく変位する部分の少なくとも一部に固定されることが好ましい。
【００１１】
可撓部材が最も大きく変位する部分は、可撓部材の変位が小さい部分と比べて、変形力が強くなる。変形力が強くなると、変形力が弱い場合と比べて、片持ち梁が変形しやすくなる。片持ち梁が変形しやすくなるので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合であっても、片持ち梁は適正に変形し、可撓部材の変位が阻害されにくくなる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記支持部は、前記開口の中心を通り、前記第１の方向に延在していることが好ましい。
【００１３】
変形力に抗する力は、第１の方向に延在する支持部を介して、広範囲の可撓部材に伝達されるので、広範囲の可撓部材における過度な変位を抑制することができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記片持ち梁は、前記第１の方向に沿って複数配置されていることが好ましい。
【００１５】
片持ち梁を複数設けると、変形力が分散して複数の片持ち梁のそれぞれに作用するようになる。その結果、片持ち梁が単数である場合と比べて、変形力の影響が弱められる。従って、片持ち梁に過度の変形力が作用し、片持ち梁が塑性変形するという不具合を抑制することができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記支持部は、前記複数配置された片持ち梁のそれぞれで分離されていることが好ましい。
【００１７】
仮に、支持部が変形すると、支持部の変形の状態によって、支持部から片持ち梁に作用する変形力の方向や、支持部から可撓部材に作用する変形力に抗する力の方向が変位し、片持ち梁や可撓部材が変位する方向が不均一になるおそれがある。
本適用例では、支持部が片持ち梁のそれぞれで分離され、支持部の長さが短くなっているので、支持部が変形しにくい。支持部が変形しにくい場合、支持部が変形しやすい場合と比べて、支持部から可撓部材や片持ち梁に作用する力の方向が均一になり、可撓部材や片持ち梁が均一に変位するようになる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記片持ち梁は、前記支持部よりも少なくとも一部が薄いことが好ましい。
【００１９】
片持ち梁が支持部よりも少なくとも一部が薄くなると、片持ち梁が支持部よりも少なくとも一部が厚い場合と比べて、片持ち梁が変形しやすくなる。片持ち梁が変形しやすくなるので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合であっても、片持ち梁は適正に変形し、可撓部材の変位が阻害されにくくなる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記片持ち梁の前記第１の方向の寸法は、前記開口の縁から前記先端に向かう方向に短くなっていることが好ましい。
【００２１】
片持ち梁の第１の方向の寸法（以降、片持ち梁の幅と称す）は、片持ち梁の固定端（開口の縁の側）で長いので、片持ち梁の固定端で片持ち梁の幅が短い場合と比べて、固定端における応力集中の影響が弱くなり、片持ち梁の耐久性を高めることができる。
【００２２】
［適用例８］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記片持ち梁は、前記開口の縁から前記先端に向かう方向に薄くなっていることが好ましい。
【００２３】
片持ち梁が、開口の縁（固定端）から先端（自由端）に向かう方向に薄くなると、片持ち梁が変形しやすくなる。片持ち梁が変形しやすいので、例えば片持ち梁の剛性が高くなった場合であっても、片持ち梁は適正に変形し、可撓部材の変位が阻害されにくくなる。
【００２４】
［適用例９］上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、前記可撓部材との間で空間を形成するように配置される蓋部材を有し、前記枠部材は、前記可撓部材と前記蓋部材との間に配置され、前記片持ち梁及び前記支持部は、前記蓋部材に固定されず、前記蓋部材に対して変位可能であることが好ましい。
【００２５】
可撓部材が蓋部材の側に変位した場合、可撓部材と蓋部材との間に配置された枠部材によって、可撓部材が蓋部材に当接しにくくなる。さらに、片持ち梁及び支持部は、蓋部材に対して変位可能であるので、片持ち梁及び支持部の変位が蓋部材によって阻害されず、片持ち梁が適正に変形し、可撓部材の過度な変位を抑制することができる。
【００２６】
［適用例１０］本適用例に係る液体噴射装置は、上記適用例に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする。
【００２７】
上記適用例に記載の液体噴射ヘッドでは、可撓部材の過度な変位が抑制され、可撓部材が適正に変位するので、マニホールド内に充填された液体の圧力変動が小さくなる。マニホールド内に充填された液体の圧力変動が小さくなると、ノズル開口から噴射される液体の液滴量が均一になる。
従って、上記適用例に記載の液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置では、ノズル開口から噴射される液体の液滴量が均一になるので、印刷品位（例えば、均一性）を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの概略平面図。
【図３】コンプライアンス基板を構成する枠部材の概略平面図。
【図４】図３のＡ−Ａ′線に沿った概略断面図。
【図５】図４の要部を拡大した要部断面図。
【図６Ａ】実施形態１に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図。
【図６Ｂ】実施形態１に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図。
【図７】比較例に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図。
【図８】待機状態からインクの噴射を開始した際のマニホールド内の圧力変動の状態を示す概略図。
【図９】実施形態１に係る記録ヘッドにおけるコンプライアンス領域の変位の状態を示す他の概略図。
【図１０】比較例に係る記録ヘッドにおけるコンプライアンス領域の変位の状態を示す他の概略図。
【図１１】他の比較例に係る記録ヘッドの枠部材の概略平面図。
【図１２Ａ】他の比較例に係る記録ヘッドのフィルムの変位状態を示す模式図。
【図１２Ｂ】実施形態１に係る記録ヘッドのフィルムの変位状態を示す模式図。
【図１３】実施形態２に係るプリンターの概要を示す概略図。
【図１４】変形例１に係る枠部材の概略平面図。
【図１５】変形例２に係る枠部材の概略平面図。
【図１６】変形例３に係る枠部材の概略平面図。
【図１７】変形例４に係る枠部材の概略平面図。
【図１８】変形例５に係る枠部材の概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、図面を参照し、本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。かかる実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の各図においては、各層や各部位を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部位の縮尺を実際とは異ならせしめてある。
【００３０】
（実施形態１）
図１は、実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。図２は、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの概略平面図である。図３は、コンプライアンス基板を構成する枠部材の概略平面図である。図４は、図３のＡ− Ａ′線に沿った概略断面図である。図５は、図４の要部を拡大した要部断面図である。
【００３１】
図示するように、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドＩＩ（以下、記録ヘッドＩＩと称す）は、ヘッド本体１１、ヘッド本体１１の一方面側に固定されたケース部材４０、ヘッド本体１１の他方面側に固定されたカバーヘッド１３０等の複数の部材を備える。また、ヘッド本体１１は、流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズルプレート２０と、流路形成基板１０の連通板１５とは反対側に設けられた保護基板３０と、連通板１５のノズルプレート２０が設けられた面側に設けられたコンプライアンス基板４５と、を具備する（図１参照）。
なお、カバーヘッド１３０は、「蓋部材」の一例である。
【００３２】
ヘッド本体１１を構成する流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ2あるいはＡｌ2Ｏ3を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ3のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、隔壁によって区画された圧力発生室１２（図４参照）が、「液体」の一例であるインクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って複数並設されている。
なお、ノズル２１は、「ノズル開口」の一例である。
【００３３】
以降、ノズル２１が並設される方向、すなわち複数の圧力発生室１２が並設される方向を第１の方向Ｘと称する。
そして、流路形成基板１０には、第１の方向Ｘに並設された複数の圧力発生室１２の列が複数列（本実施形態では２列）設けられている。第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２の列の列設方向を、第２の方向Ｙと称する。
なお、第２の方向Ｙは、「第１の方向と交差する方向」の一例であり、例えば、第２の方向Ｙは、後述する可撓部材（フィルム４６）の一方の面における「第１の方向と交差する方向」をいう。
【００３４】
なお、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。
【００３５】
流路形成基板１０の一方面側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。すなわち、流路形成基板１０の一方面に設けられた連通板１５と、連通板１５の流路形成基板１０とは反対面側に設けられたノズル２１を有するノズルプレート２０と、を具備する。
【００３６】
連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている（図４参照）。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力発生室１２とを離せるため、圧力発生室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。
さらに、ノズルプレート２０は、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができる。その結果、流路形成基板１０を連通板１５よりも小さくできるので、コストの削減を図ることができる。
以降、ノズルプレート２０において、ノズル２１が開口されインク滴が吐出される面を、液体噴射面２０ａと称する。
【００３７】
連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている（図４参照）。
第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向（連通板１５と流路形成基板１０との積層方向）に貫通して設けられている。第２マニホールド部１８は、連通板１５を厚さ方向に貫通することなく、連通板１５をノズルプレート２０側に開口して設けられている。なお、厚さ方向（積層方向）は、第１の方向及び第２の方向と直交している。
【００３８】
なお、マニホールド１００のノズルプレート２０側の開口形状は、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙを含む面内方向において長手方向及び短手方向を有する。なお、マニホールド１００が長手方向及び短手方向を有するとは、マニホールド１００のノズルプレート２０側の開口の縦横比（アスペクト比）が１：１以外のものを言う。また、マニホールド１００の開口形状は特に限定されず、例えば、矩形状、台形状、平行四辺形状、多角形状、楕円形状等であってもよい。
このように、記録ヘッドＩＩは、インクを噴射するノズル２１と、ノズル２１に連通され、第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２と、圧力発生室１２に連通されたマニホールド１００とを有している。
【００３９】
複数の圧力発生室１２は、第１の方向Ｘに並設されている。このため、各圧力発生室１２に連通する共通の液室であるマニホールド１００は、圧力発生室１２が並設される第１の方向Ｘ側が長手方向（長尺）となり、第２の方向Ｙ側が短手方向（短尺）となるように、台形状に設けられている。そして、マニホールド１００のノズルプレート２０側の開口形状も同様に、第１の方向Ｘ側が長手方向となり、第２の方向Ｙ側が短手方向となるように、台形状に設けられている。
【００４０】
さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、各圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。すなわち、本実施形態では、ノズル２１と第２マニホールド部１８と連通する個別流路として、供給連通路１９と、圧力発生室１２と、ノズル連通路１６と、が設けられている（図４参照）。
【００４１】
このような連通板１５としては、ステンレス鋼やニッケル（Ｎｉ）などの金属、またはジルコニウム（Ｚｒ）などのセラミックス等を用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００４２】
ノズルプレート２０には、ノズル連通路１６を介して各圧力発生室１２に連通されるノズル２１が形成されている。ノズル２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。
【００４３】
このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。
【００４４】
一方、流路形成基板１０の連通板１５と反対面側には、振動板５０が形成されている（図５参照）。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。
【００４５】
また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、積層形成されて圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。
【００４６】
なお、本実施形態では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。ただし、流路形成基板１０上に直接第１電極６０を設ける場合には、第１電極６０とインクとが導通しないように第１電極６０を絶縁性の保護膜等で保護するのが好ましい。つまり、本実施形態では、基板（流路形成基板１０）上に振動板５０を介して第１電極６０を設けた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、振動板５０を設けずに第１電極６０を直接基板上に設けるようにしてもよい。すなわち、第１電極６０が振動板として作用するようにしてもよい。
【００４７】
さらに、このような圧電アクチュエーター３００の個別電極である各第２電極８０は、供給連通路１９と反対側の端部近傍から引き出され、振動板５０上まで延設される。第２電極８０は、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０が接続されている（図５参照）。
【００４８】
また、流路形成基板１０の圧力発生手段である圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。
【００４９】
また、このような構成のヘッド本体１１には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１１と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する（図４参照）。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１１とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。
【００５０】
すなわち、マニホールド１００は、第１マニホールド部１７、第２マニホールド部１８及び第３マニホールド部４２を具備する。また、本実施形態のマニホールド１００は、第２の方向Ｙにおいて、２列の圧力発生室１２の両外側に配置されており、２列の圧力発生室１２の両外側に設けられた二つのマニホールド１００は、記録ヘッドＩＩ内では連通しないようにそれぞれ独立して設けられている。すなわち、本実施形態の圧力発生室１２の列（第１の方向Ｘに並設された圧力発生室１２の列）毎に一つのマニホールド１００が連通して設けられている。
【００５１】
また、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている（図１参照）。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている（図１参照）。なお、接続口４３を挿通された配線基板１２１はリード電極９０と接続される。また、配線基板１２１には駆動回路１２０が設けられている（図１参照）。
【００５２】
なお、二つのマニホールド１００は、記録ヘッドＩＩの上流側、すなわち、詳しくは後述するマニホールド１００に連通する導入路４４に接続される上流流路で連通していてもよい。
【００５３】
このようなケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。例えば、樹脂材料を成型してケース部材４０を形成することにより、低コストで量産することができる。
【００５４】
また、図４及び図５に示すように、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。コンプライアンス基板４５は、平面視において上述した連通板１５と略同じ大きさを有し、ノズルプレート２０を露出する第１露出開口部４５ａが設けられている。そして、このコンプライアンス基板４５が第１露出開口部４５ａによってノズルプレート２０を露出した状態で、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。
【００５５】
このように、コンプライアンス基板４５は、マニホールド１００の一部を画成している。コンプライアンス基板４５は、可撓性を有する材料で形成されたフィルム４６と、フィルム４６の連通板１５とは反対側に固定された枠部材４７とを具備する。
なお、フィルム４６は、「可撓部材」の一例である。
【００５６】
フィルム４６は、可撓性を有するフィルム状の薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、芳香族ポリアミド（アラミド）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）で構成される。
枠部材４７は、フィルム４６よりも硬質で弾性を有する部材で構成されている。枠部材４７の構成材料としては、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）やＮｉ電鋳等の金属を使用することができる。枠部材４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口４８となっている。このため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有するフィルム４６のみで封止されたコンプライアンス領域４９となっている。すなわち、フィルム４６は、マニホールド１００の一部を形成し、可撓性を有する。
【００５７】
すなわち、枠部材４７に開口４８を設けることで、フィルム４６と蓋部材であるカバーヘッド１３０とを離間するためのコンプライアンス空間１３１が形成されている。そして、枠部材４７は、フィルム４６とカバーヘッド１３０との間に配置される。さらに、コンプライアンス空間１３１によって、フィルム４６の一部（開口４８の内側に配置されるフィルム４６）をコンプライアンス領域４９として変位可能としている。
換言すれば、枠部材４７に設けられた開口４８が、マニホールド１００内の圧力変動に応じてフィルム４６を変位可能とするコンプライアンス領域４９となる。さらに、マニホールド１００にコンプライアンス領域４９を設けることによって、マニホールド１００に充填されたインクの急激な圧力変動が抑制される。
なお、コンプライアンス空間１３１は、「蓋部材と可撓部材との間に形成される空間」の一例である。開口４８は、「可撓部材を変位可能とする開口」の一例である。
【００５８】
また、本実施形態では、一つのマニホールド１００に対応して一つのコンプライアンス領域４９が設けられている。すなわち、本実施形態では、マニホールド１００が二つ設けられているため、ノズルプレート２０を挟んで第２の方向Ｙの両側に二つのコンプライアンス領域４９が設けられている。
【００５９】
なお、コンプライアンス基板４５は、例えば、フィルム４６の一方面の全面に亘って接着剤を塗布した後、フィルム４６の接着剤が形成された一方面に枠部材４７を接着することで形成される。従って、図５に示すように、枠部材４７の開口４８で露出されたコンプライアンス領域４９にも接着剤が硬化した接着層４６ａが形成されている。
【００６０】
ここで、開口４８によって規定されるコンプライアンス領域４９は、図３に示すように、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙにおいて、長手方向及び短手方向を有する。なお、コンプライアンス領域４９が長手方向及び短手方向を有するとは、コンプライアンス領域４９の縦横比（アスペクト比）が１：１以外のものを言う。また、コンプライアンス領域４９の形状は特に限定されず、例えば、矩形状、台形状、平行四辺形状、多角形状、楕円形状等であってもよい。本実施形態では、上述のようにマニホールド１００のコンプライアンス基板４５側の開口は、第１の方向Ｘに長手方向を有し、第２の方向Ｙに短手方向を有する台形状に設けられているため、コンプライアンス領域４９はマニホールド１００の開口形状と同様に、第１の方向Ｘに長手方向を有し、第２の方向Ｙに短手方向を有する台形状に設けられている。これにより、マニホールド１００の開口に対して、できるだけ大きな面積でコンプライアンス領域４９を設けることができ、記録ヘッドＩＩの小型化を図ることができる。もちろん、コンプライアンス領域４９は、必ずしもマニホールド１００の開口形状と同じ形状で設ける必要はなく、マニホールド１００の開口形状と異なる形状で設けるようにしてもよい。
【００６１】
さらに、図４及び図５に示すように、ヘッド本体１１の液体噴射面２０ａ側には、カバーヘッド１３０が設けられている。
カバーヘッド１３０には、ノズル２１を露出する第２露出開口部１３２が設けられている。本実施形態では、第２露出開口部１３２は、ノズルプレート２０を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の第１露出開口部４５ａと略同じ開口を有する。
また、カバーヘッド１３０は、ヘッド本体１１の側面（液体噴射面２０ａとは交差する面）を覆うように、液体噴射面２０ａ側から端部が屈曲して設けられている。
【００６２】
このようなカバーヘッド１３０は、コンプライアンス基板４５の連通板１５とは反対面側に接合されており、コンプライアンス領域４９の流路（マニホールド１００）とは反対側の空間を封止する。すなわち、蓋部材であるカバーヘッド１３０は、コンプライアンス領域４９との間にコンプライアンス空間１３１を配した状態でコンプライアンス領域４９を覆うように設けられている。このようにコンプライアンス領域４９を蓋部材であるカバーヘッド１３０で覆うことにより、コンプライアンス領域４９が紙等の被記録媒体が接触しても破壊されるのを抑制することができる。また、コンプライアンス領域４９にインク（液体）が付着するのを抑制して、カバーヘッド１３０の表面に付着したインク（液体）を例えばワイパーブレード等で払拭することができ、被記録媒体をカバーヘッド１３０に付着したインク等で汚すのを抑制することができる。
【００６３】
図３及び図５に示すように、枠部材４７は、本体部４７ａと、片持ち梁１５０と、支持部１５２とを有している。本体部４７ａと片持ち梁１５０と支持部１５２とは、同じ材料（例えば、ＳＵＳ）で一体成型されている。片持ち梁１５０及び支持部１５２は、コンプライアンス領域４９のフィルム４６とカバーヘッド１３０との間に形成されるコンプライアンス空間１３１内に配置され、コンプライアンス領域４９のフィルム４６と一緒に変位可能となっている。
すなわち、片持ち梁１５０及び支持部１５２は、接着層４６ａによってコンプライアンス領域４９のフィルム４６に固定され、コンプライアンス領域４９のフィルム４６と一緒に変位可能となっている。
なお、片持ち梁１５０とフィルム４６との間に接着層４６ａが配置されず、片持ち梁１５０がコンプライアンス領域４９のフィルム４６に固定されていない構成であってもよい。
【００６４】
本体部４７ａの一方の面は、接着層４６ａを介してフィルム４６に固定され、本体部４７ａの他方の面は、接着層１３５を介してカバーヘッド１３０に固定されている。本体部４７ａには、第１露出開口部４５ａや開口４８が設けられている。このように、本体部４７ａは、フィルム４６に固定され、マニホールド１００内の圧力変動に応じてフィルム４６を変位可能とする開口４８を有する。
片持ち梁１５０及び支持部１５２は、本体部４７ａの開口４８の内側に配置されている。片持ち梁１５０は、開口４８の縁から第２の方向Ｙに突出し、先端１５１（図５参照）が変位可能となっている。具体的には、片持ち梁１５０は、第２の方向Ｙにおける開口４８の外側の縁から、ノズル２１が位置する内側（圧力発生室１２が配置される側）に向かって突出している。すなわち、片持ち梁１５０では、開口４８の縁の側が固定端（支持点）となり、先端１５１が変位可能な自由端となり、片持ち梁１５０が変位する。
さらに、支持部１５２は、片持ち梁１５０の先端１５１に設けられ、コンプライアンス領域４９のフィルム４６に固定されている。
【００６５】
片持ち梁１５０は、本体部４７ａに設けられた開口４８の縁から第２の方向Ｙに突出するように設けられている。片持ち梁１５０は、接着層４６ａを介してフィルム４６に固定されている。片持ち梁１５０は、カバーヘッド１３０に固定されず、カバーヘッド１３０に対して変位可能となっている。
【００６６】
支持部１５２は、開口４８の中心を通り、第１の方向Ｘに延在している。支持部１５２は接着層４６ａを介してフィルム４６に固定されている。支持部１５２は、カバーヘッド１３０に固定されず、カバーヘッド１３０に対して変位可能となっている。
フィルム４６は、開口４８の中心で最も変位しやすく、最も大きく変位する。このため、開口４８の中心が、フィルム４６が最も変位しやすく、最も大きく変位する部分に相当する。支持部１５２は、フィルム４６が最も大きく変位する部分の少なくとも一部に固定されている。
【００６７】
このように、片持ち梁１５０と片持ち梁１５０の先端１５１に設けられた支持部１５２とは、フィルム４６に固定され、カバーヘッド１３０に固定されていないので、コンプライアンス空間１３１において、片持ち梁１５０及び支持部１５２がコンプライアンス領域４９のフィルム４６と一緒に変位する。
【００６８】
コンプライアンス領域４９のフィルム４６には、マニホールド１００内の圧力に対応する力（以降、変形力と称す）が作用する。コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、当該変形力によって変位（変形）する。
本実施形態では、ノズル２１からインクが噴射されない待機状態において、マニホールド１００内の圧力が負圧（大気圧を基準）となっている。さらに、ノズル２１からインクが噴射され、マニホールド１００内のインクが消費されると、マニホールド１００内の負圧が高められる。このため、マニホールド１００内にインクが充填された場合、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、変形力によってカバーヘッド１３０から遠ざかる方向（以降、上下方向と称す）に変位する。
【００６９】
この変形力は、フィルム４６を介して支持部１５２に伝達され、さらに支持部１５２を介して片持ち梁１５０の先端１５１に伝達される。すなわち、片持ち梁１５０の先端１５１に支持部１５２を設けることによって、変形力が片持ち梁１５０の先端１５１に集中的に作用する。その結果、片持ち梁１５０は、開口４８の縁の側を固定端として変位する。さらに、片持ち梁１５０の先端１５１に設けられた支持部１５２も、片持ち梁１５０と一緒に変位する。
【００７０】
片持ち梁１５０は、弾性部材で構成された一種のばね板である。このため、片持ち梁１５０に変形力が作用し、片持ち梁１５０が変位すると、片持ち梁１５０には元の形状に戻ろうとする力（以降、変形力に抗する力と称す）が作用する。
【００７１】
変形力に抗する力は、片持ち梁１５０から、支持部１５２を介してコンプライアンス領域４９のフィルム４６に伝達される。コンプライアンス領域４９のフィルム４６には、変形力に抗する力が片持ち梁１５０から支持部１５２を介して作用するので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６に対する変形力の影響が弱められる。例えば、マニホールド１００内の急激な圧力変化が生じ変形力が過度に強くなった場合であっても、変形力の影響が弱められるので、フィルム４６の過度な変位（変形）が抑制される。
このように、片持ち梁１５０は、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の過度な変位（変形）を抑制する役割を有する。
【００７２】
支持部１５２は、変形力を片持ち梁１５０に伝達し、さらに変形力に抗する力をフィルム４６に伝達する役割を有する。
コンプライアンス領域４９のフィルム４６の変位が不均一であると、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動が適正に調整されなくなるおそれがあるので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は均一に変位することが好ましい。
例えば、支持部１５２が変形すると、支持部１５２の変形の状態によって、支持部１５２から片持ち梁１５０やフィルム４６に作用する力の方向が変化し、片持ち梁１５０やフィルム４６の変位が不均一になりやすい。一方、支持部１５２が変形しにくいと、支持部１５２から片持ち梁１５０やフィルム４６に作用する力の方向が変化しにくく、片持ち梁１５０やフィルム４６は均一に変位しやすい。
片持ち梁１５０やフィルム４６を均一に変位させ、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動を適正に調整するために、支持部１５２は、片持ち梁１５０よりも厚く、変位しにくくなっている。
【００７３】
仮に、片持ち梁１５０が、支持部１５２よりも剛性が高く、変位しにくい場合、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の過度な変位（変形）を抑制することができるが、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の適正な変位が阻害される。
例えば、マニホールド１００内の圧力変化を小さくし、マニホールド１００内の圧力を安定させるためには、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は適正に変位することが好ましい。このため、片持ち梁１５０も適正に変位することが好ましい。従って、片持ち梁１５０は、変形力によって適正に変位（弾性変形）しやすいことが好ましく、支持部１５２よりも剛性が低いことが好ましい。
このため、片持ち梁１５０は、支持部１５２よりも薄く、変位（弾性変形）しやすくなっている。
【００７４】
片持ち梁１５０は、支持部１５２よりも薄いので、片持ち梁１５０と支持部１５２との境界に段差１５３が形成されている。また、本体部４７ａは、支持部１５２と同じ厚さであり、片持ち梁１５０よりも厚い。このため、片持ち梁１５０と本体部４７ａとの境界にも、同様の段差が形成される。
【００７５】
換言すれば、枠部材４７の薄くなった部分が、片持ち梁１５０である。第１の方向Ｘに延在する枠部材４７の厚くなった部分が、支持部１５２である。そして、片持ち梁１５０の支持部１５２に接する部分が、片持ち梁１５０の先端１５１である。さらに、第１露出開口部４５ａや開口４８が設けられた枠部材４７の厚くなった部分が、本体部４７ａである。
【００７６】
なお、片持ち梁１５０と支持部１５２とは、同じ厚さであってもよい。さらに、片持ち梁１５０と支持部１５２とは、同じ材料で構成されることに限定されず、異なる材料で構成されていてもよい。
例えば、片持ち梁１５０と支持部１５２とが同じ厚さである場合、片持ち梁１５０は変形しやすい材料で構成され、支持部１５２は変形しにくい材料で構成されることが好ましい。
【００７７】
なお、片持ち梁１５０は、開口４８の縁に固定された部分から先端１５１に向けて薄くなっている構成であってもよい。片持ち梁１５０を、開口４８の縁に固定された部分から先端１５１に向けて薄くすると、開口４８の縁に固定された部分における応力集中を緩和することができる。
【００７８】
図６Ａ及び図６Ｂは、本実施形態に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図である。図７は、比較例に係る記録ヘッドのコンプライアンス領域におけるフィルムの変位状態を示す概略図である。また、図６Ｂと図７とは、同じ状態が図示されている。
なお、比較例に係る記録ヘッドでは、梁部材５６に片持ち梁１５０及び支持部１５２が設けられていない点が、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩと異なる。
【００７９】
図６Ａに示すように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩでは、ノズル２１からインクが噴射されない待機状態の場合、マニホールド１００内の圧力は負圧（大気圧を基準）となっているため、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、マニホールド１００の内側に（上下方向に）に撓み変形する。
【００８０】
図６Ｂに示すように、ノズル２１からインクが噴射され、マニホールド１００内のインクが消費されると、マニホールド１００内の負圧が高まり、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、片持ち梁１５０を弾性変形させながらマニホールド１００の内側に（上下方向に）にさらに撓み変形する。
上述したように、フィルム４６を撓み変形させる力（変形力）に抗する力が、片持ち梁１５０から支持部１５２を介してフィルム４６に作用するので、片持ち梁１５０が設けられていない場合と比べてフィルム４６の撓み変形が抑制される。片持ち梁１５０は、マニホールド１００内の圧力変化を緩和する方向に作用するので、印刷開始時及び印刷途中において、マニホールド１００内の圧力変動が小さくなる。従って、印刷中のインクの噴射特性の変動、特にインク滴の重量のばらつきが抑制される。
【００８１】
図７は、図６Ｂと同じ状態であり、マニホールド１００内のインクが消費され、マニホールド１００内の負圧が高まった状態が図示されている。
図７に示すように、比較例に係る記録ヘッドでは、マニホールド１００内のインクが消費され、マニホールド１００内の負圧が高まった場合、梁部材５６に片持ち梁１５０及び支持部１５２が設けられていないので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６がさらに大きく撓み変形する。仮に、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が撓み切ってしまうと、フィルム４６はこれ以上撓み変形しにくくなるので、マニホールド１００内の圧力調整が難しくなる。
従って、比較例に係る記録ヘッドは、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩと比べて、マニホールド１００内の圧力調整能力が弱くなる。一方、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が撓み切ってしまうという過度の変形が抑制されるので、マニホールド１００内の圧力を適正に調整することができる。
【００８２】
図８は、待機状態からインクの噴射を開始した際のマニホールド内の圧力変動の状態を示す概略図である。
図８では、縦軸がマニホールド１００内の圧力であり、横軸がインクの噴射を開始してからの時間（経過時間）である。また、図中の実線は本実施形態に係る記録ヘッドＩＩに対応し、図中の破線は比較例に係る記録ヘッドに対応する。
【００８３】
図８の破線で示すように、比較例に係る記録ヘッドは、マニホールド１００内の圧力調整能力が弱いので、インクの噴射開始直後のＴ１において、マニホールド１００内のインクが消費されるもののコンプライアンス領域４９が圧力変動を吸収できないことから、マニホールド１００内が大きく負圧となる。これにより、Ｔ１では、噴射されるインク滴の重量が小さくなり印刷濃度が薄くなる。その後のＴ２では、上流側からマニホールド１００内にインクが供給される反動によって一時的にマニホールド１００内の圧力は正圧となる。これにより、Ｔ２では、インク滴の重量が大きくなり印刷濃度が濃くなる。その後、Ｔ３においてコンプライアンス領域４９がマニホールド１００内の圧力変動を吸収して、マニホールド１００内の圧力が安定し、インク滴の重量が中間すなわち、印刷濃度が中間となる。
【００８４】
図８の実線で示すように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩでは、マニホールド１００内の圧力変動をコンプライアンス領域４９が吸収することができるため、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３においてマニホールド１００内の圧力の差を低減して、インク滴の重量の差を比較例に比べて小さくすることができる。従って、片持ち梁１５０や支持部１５２を設けることによって、噴射されるインク滴の重量のばらつきを抑制することができる。
【００８５】
図９は、本実施形態に係る記録ヘッドにおけるコンプライアンス領域の変位の状態を示す他の概略図である。図１０は、比較例に係る記録ヘッドにおけるコンプライアンス領域の変位の状態を示す他の概略図である。
上述したように、比較例に係る記録ヘッドでは、梁部材５６に片持ち梁１５０及び支持部１５２が設けられていない。
【００８６】
例えば、コンプライアンス領域４９内にインクが充填されていない状態で、記録ヘッドＩＩを駆動すると、コンプライアンス領域４９のフィルム４６がカバーヘッド１３０の側に変位する場合がある。
【００８７】
図９に示すように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩでは、カバーヘッド１３０とフィルム４６との間に支持部１５２や片持ち梁１５０（図９では図示省略）が配置されるので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、カバーヘッド１３０側に変位した際、カバーヘッド１３０に当接しにくくなる（貼り付きにくくなる）。
【００８８】
図１０に示すように、比較例に係る記録ヘッドでは、カバーヘッド１３０とフィルム４６との間に支持部１５２や片持ち梁１５０が設けられていないので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、カバーヘッド１３０側に変位した際、カバーヘッド１３０に当接しやすくなる。さらに、フィルム４６やカバーヘッド１３０に結露等によって水分が付着している状態で、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が、カバーヘッド１３０に当接すると、当該水分によって、フィルム４６がカバーヘッド１３０に貼り付き、固着されるおそれがある。フィルム４６がカバーヘッド１３０に貼り付き、固着されると、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の変位が阻害されるので、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動を調整することが難しくなる。
【００８９】
本実施形態では、支持部１５２や片持ち梁１５０によって、コンプライアンス領域４９のフィルム４６のカバーヘッド１３０への当接（貼り付き）が抑制されるので、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の変位が阻害されず、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動を適正に調整することができる。
【００９０】
さらに、支持部１５２や片持ち梁１５０のカバーヘッド１３０に対向する面、及びカバーヘッド１３０の支持部１５２や片持ち梁１５０に対向する面の少なくとも一方に撥水処理を施すと、撥水処理が施されていない場合と比べて、結露等の水分の付着が抑制されるので、水分（結露）によりコンプライアンス領域４９のフィルム４６がカバーヘッド１３０に貼り付き、固着されるという不具合をより強く抑制することができる。
【００９１】
図１１は、図３に対応する図であり、他の比較例に係る記録ヘッドの枠部材の概略平面図である。図１２Ａは、図１１に示したＢ─Ｂ’付近の模式図であり、他の比較例に係る記録ヘッドのフィルムの変位状態を示す模式図である。図１２Ｂは、図１２Ａに対応する図であり、本実施形態に係る記録ヘッドのフィルムの変位状態を示す模式図である。
なお、図１１、図１２Ａ、及び図１２Ｂでは、説明に不要な構成要素の図示が省略されている。
【００９２】
図１１に示すように、他の比較例に係る記録ヘッドの枠部材５７では、開口４８の内側に支持部１５２が設けられていなく、開口４８の内側に突出した一対の片持ち梁１５０Ａが、第１の方向Ｘに沿って複数配置されている。この点が、本実施形態との相違点である。
図１２Ａに示すように、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は、開口４８の内側に突出した片持ち梁１５０Ａのフィルム４６に対向する面（以降、接触面と称す）の全体に接する。そして、変形力がフィルム４６から片持ち梁１５０Ａの接触面の全体に作用し、変形力に抗する力が片持ち梁１５０Ａの接触面の全体からフィルム４６に作用する。その結果、片持ち梁１５０Ａの接触面の周辺で、フィルム４６の撓み変形が抑制される。
【００９３】
図１２Ｂに示すように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩでは、変形力が、支持部１５２を介して片持ち梁１５０の先端１５１に集中的に作用する。変形力が片持ち梁１５０の先端１５１に集中的に作用する場合、変形力が片持ち梁１５０Ａの接触面の全体に作用する場合と比べて、変形力が固定端（片持ち梁１５０の開口４８の縁の側）から離れた位置に作用するので、片持ち梁１５０を変形させる曲げモーメントが大きくなり、片持ち梁１５０が変形しやすくなる。
すなわち、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、他の比較例に係る記録ヘッドと比べて、片持ち梁１５０を変形させる曲げモーメントが大きくなるので、仮に片持ち梁１５０の剛性が高い場合であっても片持ち梁１５０が変形しやすくなり、片持ち梁１５０は適正に変位するようになる。従って、コンプライアンス領域４９のフィルム４６も適正に変位するようになり、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動を適正に調整することができる。
さらに、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、変形力に抗する力が支持部１５２を介してフィルム４６に作用するので、支持部１５２の周辺でフィルム４６の撓み変形が抑制される。一方、他の比較例に係る記録ヘッドの枠部材５７は、開口４８の内側に支持部１５２が設けられていないので、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩと比べて、フィルム４６の撓み変形が抑制される領域の面積が狭くなる。従って、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、他の比較例に係る記録ヘッドと比べて、フィルム４６の撓み変形が抑制される領域の面積が広く、フィルム４６の過度の変形を確実に抑制することができる。
このように、本実施形態に係る記録ヘッドＩＩは、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の過度な変位を確実に抑制する効果に加えて、コンプライアンス領域４９のフィルム４６を適正に変位させる効果を得ることができるので、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動が適正に調整され、マニホールド１００内の圧力変化が小さくなり、インクの噴射特性（例えば、ノズル２１から噴射される液滴量）が均一になる。
【００９４】
（実施形態２）
「液体噴射装置」
図１３は、実施形態２に係るプリンターの構成を示す概略図である。
次に図１３を参照し、「液体噴射装置」の一例であるプリンター１０００の概要を説明する。
図１３に示すように、プリンター１０００は、搬送ユニット２００、キャリッジユニット３０１、及び実施形態１に係る記録ヘッドＩＩなどを有する。プリンター１０００は、コントローラー６００によって各ユニット（搬送ユニット２００、キャリッジユニット３０１）が制御され、用紙Ｓに画像を印刷する。
【００９５】
搬送ユニット２００は、用紙Ｓを搬送方向Ｈに移動させる機能を有する。搬送ユニット２００は、給紙ローラー２１０、搬送モーター２２０、搬送ローラー２３０、プラテン２４０、排紙ローラー２５０などを備える。給紙ローラー２１０は、プリンター１０００の背面から挿入された用紙Ｓをプリンター１０００の内部に給紙する。搬送ローラー２３０は、給紙ローラー２１０によって給紙された用紙Ｓをプラテン２４０の上部の印刷可能な領域まで搬送する。プラテン２４０は、印刷中の用紙Ｓを支持する。排紙ローラー２５０は、用紙Ｓをプリンター１０００の前面（搬送方向Ｈ）に排出する。給紙ローラー２１０、搬送ローラー２３０、及び排紙ローラー２５０は、搬送モーター２２０によって駆動される。
【００９６】
キャリッジユニット３０１は、記録ヘッドＩＩを所定の方向（走査方向）に往復移動（走査）させる機能を有する。キャリッジユニット３０１は、キャリッジ３１０やキャリッジモーター３２０などを備える。キャリッジ３１０は、走査方向に往復移動可能であり、キャリッジモーター３２０によって駆動される。また、キャリッジ３１０は、インクを収容するインクカートリッジ６を着脱可能に保持する。
【００９７】
プリンター１０００では、記録ヘッドＩＩによってインクを液滴として噴射する液滴噴射動作と、搬送ローラー２３０によって搬送方向Ｈに用紙Ｓを搬送する搬送動作とを交互に繰り返し、複数のドットから構成される画像を用紙Ｓに印刷する。
【００９８】
上述したように、記録ヘッドＩＩでは、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動が適正に調整され、マニホールド１００内の圧力変化が小さくなり、インクの噴射特性（例えば、ノズル２１から噴射される液滴量）が均一になる。
従って、当該記録ヘッドＩＩを備えるプリンター１０００においても、インクの噴射特性（例えば、ノズル２１から噴射される液滴量）が均一になるので、用紙Ｓに印刷される画像の印刷品位（例えば、均一性）を高めることができる。
【００９９】
本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。
【０１００】
（変形例１）
図１４は、図３に対応する図であり、変形例１に係る枠部材の概略平面図である。
図１４に示すように、本変形例に係る枠部材４７Ａでは、開口４８の内側に、第２の方向Ｙに突出する複数の（三つの）片持ち梁１５０と、片持ち梁１５０の先端１５１に設けられ第１の方向Ｘに延在する支持部１５２とが配置されている。すなわち、本変形例に係る枠部材４７Ａでは、開口４８の内側に、三つの片持ち梁１５０と一つの支持部１５２とが配置されている。このように、本変形例に係る枠部材４７Ａでは、開口４８の内側に片持ち梁１５０が第１の方向Ｘに沿って複数配置され、複数配置された片持ち梁１５０は、第１の方向Ｘに延在する支持部１５２に接続されている。
一方、実施形態１に係る枠部材４７では、開口４８の内側に、一つの片持ち梁１５０と一つの支持部１５２とが配置されている。
この点が、本変形例と実施形態１との相違点である。
【０１０１】
実施形態１では、第１の方向Ｘに延在する支持部１５２が一つの支持点（片持ち梁１５０）によって支持されている。このため、支持部１５２を回転させる力（モーメント）が作用すると、支持部１５２は第１の方向Ｘと交差する方向に回転し（傾き）、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が不均一に変位するおそれがある。
【０１０２】
本変形例では、第１の方向Ｘに延在する支持部１５２が複数の支持点（片持ち梁１５０）によって支持され、支持部１５２の両端に近い位置に片持ち梁１５０が配置されている。支持部１５２の両端に近い位置に片持ち梁１５０が配置されると、支持部１５２を回転させる力（モーメント）が作用したとしても、支持部１５２は第１の方向Ｘと交差する方向に傾きにくく、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向に変位し、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が均一に変位しやすくなる。
【０１０３】
なお、コンプライアンス領域４９のフィルム４６の変位が不均一であると、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が適正に変位しなく、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動が適正に調整されなくなるおそれがある。本変形例では、コンプライアンス領域４９のフィルム４６は均一に変位するので、コンプライアンス領域４９によってマニホールド１００内の圧力変動の適正な調整を、確実に実施することができる。
【０１０４】
（変形例２）
図１５は、図３に対応する図であり、変形例２に係る枠部材の概略平面図である。
図１５に示すように、本変形例に係る枠部材４７Ｂでは、開口４８の内側に、片持ち梁１５０と片持ち梁１５０の先端１５１に設けられた支持部１５２とが、第１の方向Ｘに沿って複数（三つ）配置されている。一方、実施形態１に係る枠部材４７では、開口４８の内側に、片持ち梁１５０と片持ち梁１５０の先端１５１に設けられた支持部１５２とが、一つ配置されている。
この点が、本変形例と実施形態１との相違点である。
【０１０５】
換言すれば、本変形例では、実施形態１に係る支持部１５２が複数に分離され、複数に分離された支持部１５２のそれぞれに片持ち梁１５０が接続されている。このため、本変形では、支持部１５２の長さ（第１の方向Ｘの寸法）が、実施形態１と比べて短くなっている。このように、支持部１５２の長さは、本変形例と実施形態１とで異なる。
さらに、本変形例では、片持ち梁１５０と第１の方向Ｘとがなす角度は直角であり、片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度は直角である。また、片持ち梁１５０と第１の方向Ｘとがなす角度は、本変形例と実施形態１とで同じである。
【０１０６】
片持ち梁１５０の先端１５１に設けられる支持部１５２の長さが短くなると、支持部１５２の長さが長い場合と比べて、支持部１５２の剛性が高められ、支持部１５２が変形しにくくなる。支持部１５２が変形しにくい場合、支持部１５２が変形しやすい場合と比べて、支持部１５２からフィルム４６や片持ち梁１５０に作用する力の方向が均一になり、フィルム４６や片持ち梁１５０が均一に変位するようになる。
【０１０７】
（変形例３）
図１６は、図１５に対応する図であり、変形例３に係る枠部材の概略平面図である。
図１６に示すように、本変形例に係る枠部材４７Ｃでは、片持ち梁１５０と第１の方向Ｘとがなす角度は鋭角であり、片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度は鋭角である。一方、変形例２に係る梁部材４７Ｂでは、片持ち梁１５０と第１の方向Ｘとがなす角度は直角であり、片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度は直角である。
この点が本変形例と変形例２との相違点である。
【０１０８】
片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度を鋭角にすると、片持ち梁１５０と支持部１５２とがなす角度が直角である場合と比べて、片持ち梁１５０を長くすることができる。片持ち梁１５０を長くすると、片持ち梁１５０が撓みやすくなり（弾性変形しやすくなり）、片持ち梁１５０のばね板として機能を高めることができる。
【０１０９】
なお、本願における「開口の縁から第１の方向と交差する方向に突出し、先端が変位可能な片持ち梁」は、片持ち梁と第１の方向とがなす角度が直角である場合に加えて、片持ち梁と第１の方向とがなす角度が鋭角（または、鈍角）である場合を含む。
【０１１０】
（変形例４）
図１７は、図１５に対応する図であり、変形例４に係る枠部材の概略平面図である。
図１７に示すように、本変形に係る枠部材４７Ｄでは、支持部１５２が複数（二つの）の支持点（片持ち梁１５０）によって支持されている。すなわち、支持部１５２の両端が、片持ち梁１５０によって支持されている。換言すれば、本変形例に係る枠部材４７Ｄでは、片持ち梁１５０が第１の方向Ｘに沿って複数配置され、支持部１５２が複数配置された片持ち梁１５０のそれぞれで離されている。
一方、変形例２に係る枠部材４７Ｂでは、支持部１５２が一つの支持点（片持ち梁１５０）によって支持されている。
この点が、本変形例と変形例２との相違点である。
【０１１１】
支持部１５２の両端が、片持ち梁１５０によって支持されると、支持部１５２を回転させる力（モーメント）が作用したとしても、支持部１５２は第１の方向Ｘと交差する方向に回転しにくく（傾きにくく）、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙに直交する方向に変位し、コンプライアンス領域４９のフィルム４６が均一に変位しやすくなる。
【０１１２】
（変形例５）
図１８は、図１５に対応する図であり、変形例５に係る枠部材の概略平面図である。
図１８に示すように、本変形例に係る枠部材４７Ｅでは、片持ち梁１５０の第１の方向Ｘの寸法（以降、片持ち梁１５０の幅と称す）が開口４８の縁から先端１５１に向かう方向に短くなっている。すなわち、本変形例では、片持ち梁１５０の幅が開口４８の縁の側で長く、先端１５１の側で短くなっている。一方、変形例２に係る枠部材４７Ｂでは、片持ち梁１５０の幅は、開口４８の縁から先端１５１に向かう方向に同じである。
この点が、本変形例と変形例２との相違点である。
【０１１３】
片持ち梁１５０の先端１５１は、自由端であり、最も撓みが大きい箇所である。片持ち梁１５０の開口４８の縁の側は、固定端であり、最も応力が集中しやすい箇所である。最も撓みが大きい箇所（片持ち梁１５０の先端１５１）に向かって片持ち梁１５０の幅を短くし、最も応力が集中しやすい箇所（片持ち梁１５０の開口４８の縁の側）に向かって片持ち梁１５０の幅を長くすると、片持ち梁１５０の可撓性を損なわずに、片持ち梁１５０の開口４８の縁の側における応力集中を緩和することができる。従って、片持ち梁１５０の耐久性を高めることができる。
【０１１４】
なお、本変形例では、平面視で片持ち梁１５０の端は直線であり、片持ち梁１５０の端に配置される側面は平面であるが、これに限定されない。例えば、平面視で片持ち梁１５０の端は曲線であり、片持ち梁１５０の端に配置される側面は曲面（凸曲面、凹曲面）であってもよい。
さらに、本変形例は、実施形態１、変形例１、及び変形例４に対して適用可能である。
【０１１５】
（変形例６）
実施形態２のプリンター１０００は、実施形態１に係る記録ヘッドＩＩを備える構成に加えて、変形例１〜５に係る枠部材が適用された記録ヘッドを備える構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１１６】
ＩＩ…記録ヘッド、１０…流路形成基板、１１…ヘッド本体、１２…圧力発生室、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…共通連通路、２０…ノズルプレート、２０ａ…液体噴射面、２１…ノズル、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…凹部、４２…第３マニホールド部、４３…接続口、４４…導入路、４５…コンプライアンス基板、４５ａ…第１露出開口部、４６…フィルム、４６ａ…接着層、４７…枠部材、４７ａ…本体部、４８…開口、４９…コンプライアンス領域、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９０…リード電極、１００…マニホールド、１２０…駆動回路、１２１…配線基板、１３０…カバーヘッド、１３１…コンプライアンス空間、１３２…第２露出開口部、１３５…接着層、１５０…片持ち梁、１５１…先端、１５２…支持部、３００…圧電アクチュエーター。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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