(57)【要約】【課題】この発明は、洗浄槽に貯液された洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した清浄な状態に保つことができる洗浄装置の提供を目的とする。【解決手段】本発明の洗浄装置１０は、被洗浄物Ａを浸漬して洗浄する洗浄液Ｓが貯液された洗浄槽１１０，２１０と、洗浄槽１１０，２１０からオーバーフローされた洗浄液Ｓを貯留する貯留槽１２０，２２０と、被洗浄物Ａの洗浄処理に使用された洗浄液Ｓを蒸留再生する蒸留再生装置３１０とを備えている。洗浄液Ｓを貯留槽１２０，２２０から洗浄槽１１０，２１０へ返還する際に、洗浄液Ｓに混入する被除去物Ｄをフィルタ１１２，２１２で取り除いて循環させる。貯留槽２２０に貯留された洗浄液Ｓを、回収路５１０を介して貯留槽１２０へ返還するとともに、貯留槽１２０から洗浄槽２１０へ返還する際に、蒸留再生装置３１０により蒸留再生され、フィルタ２１２で濾過して返還する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を浸漬して洗浄するための洗浄液が貯液された洗浄槽と、該洗浄槽からオーバーフローされる洗浄液を貯留するための貯留槽とを１組として、前記被洗浄物を浸漬する順に複数組配置した洗浄装置であって、
各組の前記洗浄槽の底部と前記貯留槽の底部とが、
前記貯留槽から前記洗浄槽に向けて前記洗浄液を液送する循環手段と、該洗浄液から前記被除去物を取り除くための取り除き手段とを介して循環路で接続され、
前記被洗浄物が先に浸漬される前洗浄工程の前記洗浄槽に設けた前記貯留槽と、該被洗浄物が次に浸漬される後洗浄工程の前記洗浄槽に設けた前記貯留槽とが、
後洗浄工程の前記貯留槽から前洗浄工程の前記貯留槽に向けて前記洗浄液を回収する回収路で接続され、
前洗浄工程の前記貯留槽と後洗浄工程の前記洗浄槽とが、
前洗浄工程の前記貯留槽から後洗浄工程の前記洗浄槽に向けて前記洗浄液を液送する返還手段を介して返還路で接続され、
前記返還路が、
後洗浄工程の前記洗浄槽に設けた前記貯留槽と前記取り除き手段との間の前記循環路に接続された
洗浄装置。
【請求項２】
前洗浄工程の前記貯留槽に設けた前記洗浄液を流入する流入口が、
後洗浄工程の前記貯留槽に設けた前記洗浄液を流出する流出口より低い位置に設けられ、
前記流出口が、
後洗浄工程の前記貯留槽に貯液された前記洗浄液の液面部分と対応する位置に設けられ、
前記回収路の一端が前記流入口に接続され、該回収路の他端が前記流出口に接続された
請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前洗浄工程の前記貯留槽から後洗浄工程の前記洗浄槽に向けて返還される前記洗浄液の返還量が、
後洗浄工程の前記貯留槽から前洗浄工程の前記貯留槽へ回収される回収量と対応する量に設定された
請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記返還路が、
前記洗浄液を蒸留再生する蒸留再生手段を介して前記循環路に接続された
請求項１〜３のいずれか一つに記載の洗浄装置。
【請求項５】
前洗浄工程の前記洗浄槽と後洗浄工程の前記貯留槽との間が、
後洗浄工程の前記貯留槽から前洗浄工程の前記洗浄槽に向けて前記洗浄液のオーバーフローが阻止される高さに設けた連設部で連設された
請求項１〜４のいずれか一つに記載の洗浄装置。
【請求項６】
前洗浄工程の前記洗浄槽と後洗浄工程の前記貯留槽とが分離して配置され、
前洗浄工程の前記洗浄槽と後洗浄工程の前記貯留槽との間が、
後洗浄工程の前記貯留槽から前洗浄工程の前記洗浄槽に向けて前記洗浄液のオーバーフローが不可能な間隔に隔てられた
請求項１〜４のいずれか一つに記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば有機ＥＬ用の有機材料が付着したマスク、硝子基板、液晶表示板、電子部品、光学部品、精密部品、金属部品等の被洗浄物を洗浄処理する際に用いられる洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上述の被洗浄物を洗浄処理する洗浄装置としては、様々なものが多数提案されており、特許文献１に開示の洗浄装置も、このような洗浄装置の一つである。  
特許文献１の洗浄装置は、例えば被洗浄物を、前洗浄工程及び後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液に対して順に浸漬し、被洗浄物に付着した被除去物を洗浄除去する。各工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を、後洗浄工程の洗浄槽から前洗浄工程の洗浄槽へオーバーフローさせるとともに、前洗浄工程の洗浄槽から貯留槽へオーバーフローされた洗浄液を蒸留再生装置により蒸留再生して、後洗浄工程の洗浄槽へ返還する。
【０００３】
しかし、後洗浄工程において被洗浄物から除去された被除去物が、洗浄液と一緒に後洗浄工程の洗浄槽から前洗浄工程の洗浄槽へオーバーフローされるため、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を清浄な状態に保つことが難しく、被洗浄物に付着する被除去物を前洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液にて洗浄除去することが困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１００２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明は、洗浄槽に貯液された洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した清浄な状態に保つことができる洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、被洗浄物を浸漬して洗浄するための洗浄液が貯液された洗浄槽と、該洗浄槽からオーバーフローされる洗浄液を貯留するための貯留槽とを１組として、前記被洗浄物を浸漬する順に複数組配置した洗浄装置であって、各組の前記洗浄槽の底部と前記貯留槽の底部とを、前記貯留槽から前記洗浄槽に向けて前記洗浄液を液送する循環手段と、該洗浄液から前記被除去物を取り除くための取り除き手段とを介して循環路で接続し、前記被洗浄物が先に浸漬される前洗浄工程の前記洗浄槽に設けた前記貯留槽と、該被洗浄物が次に浸漬される後洗浄工程の前記洗浄槽に設けた前記貯留槽とを、後洗浄工程の前記貯留槽から前洗浄工程の前記貯留槽に向けて前記洗浄液を回収する回収路で接続し、前洗浄工程の前記貯留槽と後洗浄工程の前記洗浄槽とを、前洗浄工程の前記貯留槽から後洗浄工程の前記洗浄槽に向けて前記洗浄液を液送する返還手段を介して返還路で接続し、前記返還路を、後洗浄工程の前記洗浄槽に設けた前記貯留槽と前記取り除き手段との間の前記循環路に接続したことを特徴とする。
【０００７】
上述の被洗浄物は、例えば有機ＥＬ用の有機材料が付着したマスク、硝子基板、液晶表示板、電子部品、光学部品、精密部品、金属部品等で構成することができる。また、被除去物は、例えば有機ＥＬ材料、油脂、溶剤、その他の汚れや異物等で構成することができる。
【０００８】
また、洗浄液は、例えば炭化水素系溶剤（ＨＣ）、非塩素系有機溶剤（ＨＦＥ）等の溶剤で構成することができる。また、循環手段及び返還手段は、例えば比容積式ポンプ、容積式ポンプ等の液送ポンプで構成することができる。また、取り除き手段は、例えばフィルタ、ストレーナ等の濾過器で構成することができる。
【０００９】
この発明によれば、洗浄槽に貯液された洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した清浄な状態に保つことができる。  
詳しくは、被洗浄物を、前洗浄工程及び後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液に対して順に浸漬する際に、循環手段を駆動して、各工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を、各工程の貯留槽へそれぞれオーバーフローさせる。
【００１０】
循環手段により液送される洗浄液を、循環路を介して洗浄槽内に対して底部側から供給し、洗浄液に混入する被除去物を、洗浄槽に貯液された洗浄液と一緒に液面部分に向けて積極的に浮き上がらせるとともに、被洗浄物から除去された被除去物を洗浄槽内に留まらせることなく、洗浄槽から貯留槽に向けて確実にオーバーフローさせる。
【００１１】
洗浄液を貯留槽から洗浄槽へ返還する際に、洗浄液に混入する被除去物を取り除き手段で取り除いて、被除去物が取り除かれた清浄な洗浄液を、循環路を介して洗浄槽へ返還するとともに、洗浄槽と貯留槽との間で循環させる。
【００１２】
洗浄液を、回収路を介して後洗浄工程の貯留槽から前洗浄工程の貯留槽へ回収しながら、返還手段を駆動して、前洗浄工程の貯留槽に貯留された洗浄液を、返還路及び循環路を介して後洗浄工程の洗浄槽へ返還するとともに、洗浄液に混入する被除去物を後洗浄工程の洗浄槽に設けた取り除き手段で取り除いて、被除去物が取り除かれた清浄な洗浄液を後洗浄工程の洗浄槽へ返還する。
【００１３】
これにより、後洗浄工程の貯留槽に貯留された洗浄液が、前洗浄工程の洗浄槽に対して直接返還されることを防止でき、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を清浄な状態に保つことができる。
【００１４】
洗浄液を前洗浄工程の貯留槽から後洗浄工程の洗浄槽へ返還する際に、洗浄液に混入する被除去物を後洗浄工程の取り除き手段で取り除いて返還するため、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液より清浄な状態に保つことができる。
【００１５】
これにより、被洗浄物を、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にて洗浄処理した後、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にてより良好な状態に洗浄処理することができる。
【００１６】
この結果、被洗浄物に付着した被除去物を、洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にて確実に洗浄除去することができる。  
しかも、洗浄槽に貯液された洗浄液を長期に亘り清浄な状態に保つことができるとともに、被洗浄物の洗浄処理に繰り返し使用できる。  
さらに、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに必要な洗浄力が長期に亘り安定して得られるとともに、洗浄処理する際のランニングコストを低減することができる。
【００１７】
さらにまた、返還手段を駆動して、後洗浄工程の貯留槽から前洗浄工程の貯留槽へ回収された洗浄液を、返還路を介して前洗浄工程の貯留槽から後洗浄工程の洗浄槽へ返還するため、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液をオーバーフロー可能な貯液レベルに保つことができる。  
これにより、被洗浄物の全体を、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にて確実に洗浄処理することができる。
【００１８】
この発明の態様として、前洗浄工程の前記貯留槽に設けた前記洗浄液を流入する流入口を、後洗浄工程の前記貯留槽に設けた前記洗浄液を流出する流出口より低い位置に設け、前記流出口を、後洗浄工程の前記貯留槽に貯液された前記洗浄液の液面部分と対応する位置に設け、前記回収路の一端を前記流入口に接続し、該回収路の他端を前記流出口に接続することができる。
【００１９】
この発明によれば、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液より清浄な状態に保つことができる。  
詳しくは、洗浄液を後洗浄工程の洗浄槽から後洗浄工程の貯留槽へオーバーフローさせながら、後洗浄工程の貯留槽に貯留された液面部分の洗浄液を流出口から回収路内に向けて積極的に流出させる。
【００２０】
回収路は、流出口から流入口に向けて徐々に低くなるように傾斜しているため、回収路内に流入した洗浄液を後洗浄工程の貯留槽から前洗浄工程の貯留槽に向けて積極的に液送することができる。  
これにより、被洗浄物から除去された被除去物を後洗浄工程の貯留槽内に留まらせることなく、後洗浄工程の貯留槽から前洗浄工程の貯留槽に向けて積極的に返還することができる。  
この結果、被洗浄物に残着する被除去物を、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にてより確実に洗浄除去することができる。
【００２１】
またこの発明の態様として、前洗浄工程の前記貯留槽から後洗浄工程の前記洗浄槽に向けて返還される前記洗浄液の返還量を、後洗浄工程の前記貯留槽から前洗浄工程の前記貯留槽へ回収される回収量と対応する量に設定することができる。
【００２２】
この発明によれば、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液をオーバーフロー可能な貯液レベルに常時保つことができる。  
詳しくは、被洗浄物を後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液に浸漬し、被洗浄物に付着した被除去物を洗浄除去する際に、後洗浄工程の貯留槽から前洗浄工程の貯留槽へ回収される回収量と対応する量の洗浄液を、前洗浄工程の貯留槽から後洗浄工程の洗浄槽へ返還する。
【００２３】
これにより、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を、被洗浄物の全体が浸漬されるとともに、オーバーフロー可能な貯液レベルにより確実に保つことができる。  
この結果、被洗浄物の全体を、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にてより確実に洗浄処理することができる。
【００２４】
またこの発明の態様として、前記返還路を、前記洗浄液を蒸留再生する蒸留再生手段を介して前記循環路に接続することができる。  
上述の蒸留再生手段は、例えば真空蒸留再生装置、常圧蒸留再生装置等で構成することができる。
【００２５】
この発明によれば、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液より清浄な状態に保つことができる。  
詳しくは、前洗浄工程の貯留槽に貯留された洗浄液を、返還路を介して後洗浄工程の洗浄槽へ返還する際に、蒸留再生手段により蒸留再生するとともに、後洗浄工程の洗浄槽に設けた取り除き手段により洗浄液に混入する被除去物を取り除いて後洗浄工程の洗浄槽へ返還する。
【００２６】
これにより、蒸留再生手段と取り除き手段との相乗作用により、洗浄液に混入する被除去物をより確実に取り除くことができるとともに、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液より一層清浄な状態に保つことができる。
【００２７】
この結果、被洗浄物を、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にて洗浄処理した後、後洗浄工程の洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にてより良好な状態に洗浄処理することができる。
【００２８】
またこの発明の態様として、前洗浄工程の前記洗浄槽と後洗浄工程の前記貯留槽との間を、後洗浄工程の前記貯留槽から前洗浄工程の前記洗浄槽に向けて前記洗浄液のオーバーフローが阻止される高さに設けた連設部で連設することができる。
【００２９】
この発明によれば、後洗浄工程の洗浄槽において被洗浄物の洗浄処理に使用された洗浄液が、後洗浄工程の貯留槽から前洗浄工程の洗浄槽へ直接返還されることを確実に防止できる。  
詳しくは、前洗浄工程の洗浄槽と後洗浄工程の貯留槽との間に設けた連設部を、洗浄液のオーバーフローが阻止される高さに設けているため、後洗浄工程の洗浄槽において被洗浄物の洗浄処理に使用された被除去物を混入する洗浄液が、後洗浄工程の貯留槽から前洗浄工程の洗浄槽へ返還されることを確実に防止できる。
【００３０】
これにより、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液を清浄な状態に保つことができるとともに、被洗浄物に付着した被除去物を、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にて確実に洗浄除去することができる。
【００３１】
またこの発明の態様として、前洗浄工程の前記洗浄槽と後洗浄工程の前記貯留槽とを分離して配置するとともに、前洗浄工程の前記洗浄槽と後洗浄工程の前記貯留槽との間を、後洗浄工程の前記貯留槽から前洗浄工程の前記洗浄槽に向けて前記洗浄液のオーバーフローが不可能な間隔に隔てることができる。
【００３２】
この発明によれば、後洗浄工程の洗浄槽において被洗浄物の洗浄処理に使用された洗浄液が、後洗浄工程の貯留槽から前洗浄工程の洗浄槽へ直接返還されることをより確実に防止できる。  
詳しくは、前洗浄工程の洗浄槽と後洗浄工程の貯留槽との間を、洗浄液のオーバーフローが不可能な間隔に隔てているため、後洗浄工程の洗浄槽において被洗浄物の洗浄処理に使用された被除去物を混入する洗浄液が、後洗浄工程の貯留槽から前洗浄工程の洗浄槽へ返還されることをより確実に防止できる。
【００３３】
これにより、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された洗浄液をより清浄な状態に保つことができるとともに、被洗浄物に付着した被除去物を、前洗浄工程の洗浄槽に貯液された清浄な洗浄液にてより確実に洗浄除去することができる。
【発明の効果】
【００３４】
この発明によれば、洗浄槽に貯液された洗浄液を、被洗浄物に付着する被除去物を除去するのに適した清浄な状態に保つことができる洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】被洗浄物を洗浄液に浸漬して洗浄処理する実施例１の洗浄装置の模式図。
【図２】洗浄槽同士を分離して配置した実施例２の洗浄装置の模式図。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
この発明の一実施形態を以下図面に基づいて詳述する。  
（実施例１）  
図１は被洗浄物Ａを洗浄液Ｓに浸漬して洗浄処理する実施例１の洗浄装置１０の模式図である。  
実施例１の洗浄装置１０は、被洗浄物Ａを浸漬して洗浄するための洗浄液Ｓ（具体的には炭化水素系溶剤）が貯液された前洗浄工程の洗浄槽１１０及び後洗浄工程の洗浄槽２１０と、洗浄槽１１０，２１０からオーバーフローされる洗浄液Ｓを貯留するための貯留槽１２０，２２０と、被洗浄物Ａの洗浄処理に使用された洗浄液Ｓを蒸留再生するための蒸留再生装置３１０とを備えている。
【００３７】
洗浄槽１１０，２１０は、洗浄槽２１０を洗浄槽１１０の一側部（図１に示す右側）に対して所定間隔を隔てて配置するとともに、被洗浄物Ａを先に浸漬する前洗浄工程の洗浄槽１１０と、洗浄物Ａを次に浸漬する後洗浄工程（具体的には最終洗浄工程）の洗浄槽２１０との順に配置している。
【００３８】
貯留槽１２０は、洗浄槽１１０における洗浄液Ｓをオーバーフローする側（図１に示す左側）に配置している。貯留槽２２０は、洗浄槽２１０における洗浄液Ｓをオーバーフローする側（図１に示す左側）に配置している。
【００３９】
洗浄槽１１０，２１０の外観形状は、上方から見て平面視略矩形に形成している。洗浄槽１１０，２１０の上面は、被洗浄物Ａを載置した載置台の搬入及び搬出が可能な大きさ及び形状に開口している。
【００４０】
洗浄槽１１０内の底部には、洗浄槽１１０に貯液された洗浄液Ｓに超音波振動を誘起するための超音波振動子４１０を配置している。  
なお、超音波振動子４１０を洗浄槽２１０内の底部に配置して、洗浄槽２１０に貯液された洗浄液Ｓに超音波振動を誘起してもよい。
【００４１】
洗浄槽１１０，２１０の内部は、被洗浄物Ａを載置台Ｂに載置したまま浸漬することが可能な洗浄液Ｓが所定量貯液される容積に形成している。  
貯留槽１２０，２２０は、洗浄槽１１０，２１０からオーバーフローされた洗浄液Ｓを貯留される容積に形成している。
【００４２】
洗浄槽１１０，２１０の四辺のうち一辺（図１に示す左側）の壁部は、洗浄槽１１０，２１０に貯液された最大貯液レベルを上回る洗浄液Ｓが貯留槽１２０，２２０に向けてオーバーフローされる高さに形成している。  
洗浄槽１１０，２１０の四辺のうち一辺（オーバーフロー側）の壁部を除く、残り三辺の壁部は、洗浄液Ｓのオーバーフローが阻止される高さに形成している。
【００４３】
洗浄槽１１０と貯留槽２２０との間は、貯留槽２２０側から洗浄槽１１０側に向けて低くなるように傾斜した連設板２３０で連設している。連設板２３０は、貯留槽２２０から洗浄槽１１０に向けて洗浄液Ｓのオーバーフローが阻止される高さに設けている。
【００４４】
また、連設板２３０は、被洗浄物Ａを運搬台Ｂに載置したまま洗浄槽１１０の上方から洗浄槽２１０の上方へ水平移動させる際に、被洗浄物Ａ及び運搬台Ｂから滴り落ちる洗浄液Ｓを受けるとともに、洗浄槽１１０に向けて流下させる。
【００４５】
洗浄槽１１０と貯留槽１２０は、貯留槽１２０から洗浄槽１１０に向けて洗浄液Ｓを液送するための循環ポンプ１１１と、洗浄槽１１０に向けて液送される洗浄液Ｓから被除去物Ｄを取り除くためのフィルタ１１２と、流量調整用のバルブ１１３とを介して循環路１１４で接続している。
【００４６】
循環路１１４の一端は、洗浄槽１１０内の洗浄液Ｓを貯液する貯液部分と連通して、洗浄槽１１０の底部（図１に示す右側）に接続している。  
循環路１１４の他端は２本に分岐するとともに、分岐した２本のうち一方の分岐側端部を、貯留槽１２０内の洗浄液Ｓを貯液する貯液部分と連通して、貯留槽１２０の底部に接続している。  
他方の分岐側端部を、洗浄槽１１０内の洗浄液Ｓを貯液する貯液部分と連通して、洗浄槽１１０の底部（図１に示す左側）に接続している。
【００４７】
洗浄槽２１０と貯留槽２２０は、貯留槽２２０から洗浄槽２１０に向けて洗浄液Ｓを液送するための循環ポンプ２１１と、洗浄槽２１０に向けて液送される洗浄液Ｓから被除去物Ｄを取り除くためのフィルタ２１２と、流量調整用のバルブ２１３とを介して循環路２１４で接続している。
【００４８】
循環路２１４の一端は、洗浄槽２１０内の洗浄液Ｓを貯液する貯液部分と連通して、洗浄槽２１０の底部（図１に示す右側）に接続している。  
循環路２１４の他端は２本に分岐するとともに、分岐した２本のうち一方の分岐側端部は、貯留槽２２０内の洗浄液Ｓを貯液する貯液部分と連通して、貯留槽２２０の底部に接続している。  
他方の分岐側端部は、洗浄槽２１０内の洗浄液Ｓを貯液する貯液部分と連通して、洗浄槽２１０の底部（図１に示す左側）に接続している。
【００４９】
貯留槽１２０と貯留槽２２０は、貯留槽２２０から貯留槽１２０に向けて洗浄液Ｓを液送するための回収路５１０で接続している。回収路５１０の一端は、貯留槽１２０の側壁下部に設けた流入口１２１に接続している。回収路５１０の他端は、貯留槽２２０の側壁中央部に設けた流入口１２１より上位の流出口２２１に接続している。
【００５０】
貯留槽１２０の流入口１２１は、貯留槽２２０の流出口２２１より低い位置に設けている。流出口２２１は、貯留槽２２０に貯液された洗浄液Ｓの液面部分と対応する位置に設けている。  
これにより、貯留槽２２０に貯留された液面部分の洗浄液Ｓが流出口２２１から回収路５１０内に向けて積極的に流出される。
【００５１】
また、回収路５１０は、流出口２２１に接続した他端側から、流入口１２１に接続した一端側に向けて徐々に低くなるように傾斜しているため、回収路５１０内に流入した洗浄液Ｓが貯留槽２２０から貯留槽１２０に向けて積極的に液送される。
【００５２】
貯留槽１２０と洗浄槽２１０は、貯留槽１２０から洗浄槽２１０に向けて返還される洗浄液Ｓを蒸留再生するための蒸留再生装置３１０と、洗浄液Ｓを貯留槽１２０から洗浄槽２１０に向けて液送するための返還ポンプ３１１と、流量調整用のバルブ３１２とを介して返還路３１３で接続している。
【００５３】
返還路３１３の一端は、貯留槽１２０の側壁上部に設けた流出口１２２に接続している。返還路３１３の他端は、貯留槽２２０と循環ポンプ２１１との間の循環路２１４に接続している。流出口１２２は、貯留槽１２０に貯液された洗浄液Ｓの液面部分と対応する位置に設けている。
【００５４】
蒸留再生装置３１０は、貯留槽１２０から液送される洗浄液Ｓを、略真空状態に減圧された図示しない蒸留槽内で蒸留して気化し、洗浄液Ｓに混入する被除去物Ｄを分離する。洗浄液Ｓの蒸気を凝縮して液化するとともに、液化した洗浄液Ｓから水分を比重分離する。
【００５５】
すなわち、貯留槽１２０に貯留された洗浄液Ｓを洗浄槽２１０へ液送する際に、蒸留再生装置３１０により蒸留再生され、フィルタ２１２で濾過された清浄な洗浄液Ｓを洗浄槽２１０へ返還する。
【００５６】
これにより、蒸留再生装置３１０とフィルタ２１２との相乗作用により、洗浄液Ｓに混入する被除去物Ｄをより確実に取り除くことができるとともに、洗浄槽２１０に貯液された洗浄液Ｓを、洗浄槽１１０に貯液された洗浄液Ｓより一層清浄な状態に常時保つことができる。
【００５７】
上述の洗浄装置１０を用いて、被洗浄物Ａ（具体的には有機ＥＬ用の有機材料が付着したマスク）を洗浄処理する際の洗浄方法について説明する。  
先ず、被洗浄物Ａを洗浄槽１１０，２１０に貯液された洗浄液Ｓに対して順に浸漬する際に、循環ポンプ１１１，２１１を駆動して、洗浄槽１１０，２１０に貯液された洗浄液Ｓを、貯留槽１２０，２２０へそれぞれオーバーフローさせる。
【００５８】
貯留槽１２０，２２０に貯留された洗浄液Ｓを、循環路１１４，２１４を介して洗浄槽１１０，２１０へ返還する際に、被洗浄物Ａから除去された被除去物Ｄが洗浄液Ｓに混入していれば、洗浄液Ｓに混入する被除去物Ｄをフィルタ１１２，２１２で取り除いて、被除去物Ｄが取り除かれた清浄な洗浄液Ｓを洗浄槽１１０，２１０へそれぞれ返還するとともに、洗浄槽１１０と貯留槽１２０との間及び洗浄槽２１０と貯留槽２２０との間で循環させる。
【００５９】
返還ポンプ３１１を駆動して、洗浄槽１１０から貯留槽１２０へオーバーフローされた洗浄液Ｓと、回収路５１０を介して貯留槽２２０から貯留槽１２０へ回収された洗浄液Ｓとを、返還路３１３を介して蒸留再生装置３１０へ液送する。  
蒸留再生装置３１０により蒸留再生した洗浄液Ｓを、返還路３１３から循環路２１４へ合流させて、フィルタ２１２により濾過した清浄な洗浄液Ｓを洗浄槽２１０へ返還する。
【００６０】
被洗浄物Ａを前洗浄工程（図１に示す左側）に配置した洗浄槽１１０にて洗浄処理する場合、被洗浄物Ａを運搬台Ｂに載置したまま洗浄槽１１０の上方へ移動させた後、運搬台Ｂを下降させて、被洗浄物Ａの全体を洗浄槽１１０内の洗浄液Ｓに浸漬するとともに、被洗浄物Ａに付着した被除去物Ｄを超音波振動子４１０により誘起させた洗浄液Ｓの超音波振動により洗浄除去する。
【００６１】
フィルタ１１２により濾過された清浄な洗浄液Ｓを、循環ポンプ１１１の液送力により循環路１１４を介して洗浄槽１１０内に対して底部側から供給し、洗浄液Ｓに混入する被除去物Ｄを、洗浄槽１１０に貯液された洗浄液Ｓと一緒に液面部分に向けて積極的に浮き上がらせる。  
これにより、被洗浄物Ａから除去された被除去物Ｄを洗浄槽１１０内に留まらせることなく、洗浄槽１１０から貯留槽１２０に向けて積極的にオーバーフローさせることができる。
【００６２】
洗浄槽１１０に貯液された洗浄液Ｓと、貯留槽１２０に貯留された洗浄液Ｓを、循環ポンプ１１１が発生する負圧により循環路１１４内へ積極的に吸い込むとともに、洗浄液Ｓに混入する被除去物Ｄをフィルタ１１２で取り除いて、被除去物Ｄが取り除かれた清浄な洗浄液Ｓを洗浄槽１１０へ返還する。
【００６３】
すなわち、被除去物Ｄが取り除かれた清浄な洗浄液Ｓを洗浄槽１１０と貯留槽１２０との間で循環させるため、被洗浄物Ａを、洗浄槽１１０に貯液された清浄な洗浄液Ｓにて洗浄処理することができる。
【００６４】
次に、被洗浄物Ａを後洗浄工程（図１に示す左側）に配置した洗浄槽２１０にて洗浄処理する場合、被洗浄物Ａを運搬台Ｂに載置したまま上昇させて洗浄槽１１０の洗浄液Ｓから取り出した後、洗浄槽１１０の上方から洗浄槽２１０の上方へ水平移動させる。運搬台Ｂを下降させて、被洗浄物Ａの全体を洗浄槽２１０内の洗浄液Ｓに浸漬するとともに、被洗浄物Ａに残着する被除去物Ｄを洗浄除去する。
【００６５】
フィルタ２１２により濾過された清浄な洗浄液Ｓを、循環ポンプ２１１の液送力により循環路２１４を介して洗浄槽２１０内に対して底部側から供給し、洗浄液Ｓに混入する被除去物Ｄを、洗浄槽２１０に貯液された洗浄液Ｓと一緒に液面部分に向けて積極的に浮き上がらせる。  
これにより、被洗浄物Ａから除去された被除去物Ｄを洗浄槽２１０内に留まらせることなく、洗浄槽２１０から貯留槽２２０に向けて積極的にオーバーフローさせることができる。
【００６６】
洗浄槽２１０に貯液された洗浄液Ｓと、貯留槽２２０に貯留された洗浄液Ｓを、循環ポンプ２１１が発生する負圧により循環路２１４内へ積極的に吸い込むとともに、洗浄液Ｓに混入する被除去物Ｄをフィルタ２１２で取り除いて、被除去物Ｄが取り除かれた清浄な洗浄液Ｓを洗浄槽２１０へ返還する。
【００６７】
すなわち、被除去物Ｄが取り除かれた清浄な洗浄液Ｓを洗浄槽２１０と貯留槽２２０との間で循環させるため、被洗浄物Ａを、洗浄槽２１０に貯液された清浄な洗浄液Ｓにて洗浄処理することができる。
【００６８】
被洗浄物Ａの洗浄処理が終了した際、被洗浄物Ａを運搬台Ｂに載置したまま上昇させ、洗浄槽２１０の洗浄液Ｓから取り出した後、図示しない洗浄液除去工程において被洗浄物Ａに付着する洗浄液Ｓを洗浄除去する。
【００６９】
例えば被洗浄物Ａをリンス用の洗浄液（具体的には非塩素系有機溶剤）に浸漬するか、リンス用の洗浄液を被洗浄物Ａに吹き付ける等して、被洗浄物Ａに付着する洗浄液Ｓを洗浄除去した後、被洗浄物Ａを図示しない真空乾燥機にて乾燥処理する。  
この結果、被洗浄物Ａに付着した被除去物Ｄを、洗浄槽１１０，２１０に貯液された清浄な洗浄液Ｓにて確実に洗浄除去することができる。
【００７０】
しかも、洗浄槽１１０，２１０から貯留槽１２０，２２０へオーバーフローされた被除去物Ｄが混入する洗浄液Ｓを、循環ポンプ１１１，２１１が発生する負圧により循環路１１４，２１４内へ積極的に吸い込むため、洗浄液Ｓに混入する被除去物Ｄを貯留槽１２０，２２０に留まらせることなく、フィルタ１１２，２１２で確実に取り除くことができる。
【００７１】
さらに、洗浄液Ｓを、返還路３１３及び循環路２１４を介して貯留槽１２０から洗浄槽２１０へ返還する際に、蒸留再生装置３１０により蒸留再生し、フィルタ２１２により被除去物Ｄが取り除かれた清浄な洗浄液Ｓを洗浄槽２１０へ返還するため、蒸留再生装置３１０及びフィルタ２１２の相乗作用により、被除去物Ｄを洗浄液Ｓからより確実に取り除くことができる。
【００７２】
これにより、洗浄槽２１０に貯液された洗浄液Ｓを、洗浄槽１１０に貯液された洗浄液Ｓより清浄な状態に保つことができるとともに、被洗浄物Ａを、洗浄槽１１０に貯液された清浄な洗浄液Ｓにて洗浄処理した後、洗浄槽２１０に貯液されたより清浄な洗浄液Ｓにてより良好な状態に洗浄処理することができる。
【００７３】
さらにまた、被洗浄物Ａを洗浄槽２１０に貯液された洗浄液Ｓに浸漬して、被洗浄物Ａの体積と対応する量の洗浄液Ｓを洗浄槽２１０から貯留槽２２０へオーバーフローさせた際に、回収路５１０を介して、貯留槽２２０から貯留槽１２０へ回収される回収量と対応する量の洗浄液Ｓを、返還ポンプ３１１及び返還路３１３を介して、貯留槽１２０から洗浄槽２１０に向けて連続して返還する。
【００７４】
これにより、被洗浄物Ａを浸漬した際にオーバーフローされる量の洗浄液Ｓを貯留槽１２０から洗浄槽２１０へ連続して返還するため、洗浄槽２１０に貯液された洗浄液Ｓをオーバーフロー可能な一定の貯液レベルに保つことができるとともに、被洗浄物Ａの全体を洗浄槽２１０に貯液された清浄な洗浄液Ｓにて確実に洗浄処理することができる。
【００７５】
さらにまた、洗浄液Ｓが、貯留槽２２０から洗浄槽１１０に向けてオーバーフローされることを連設板２３０で阻止し、洗浄液Ｓを、回収路５１０を介して貯留槽２２０から貯留槽１２０へ回収するため、貯留槽２２０に貯留された洗浄液Ｓが洗浄槽１１０へ直接返還されることを確実に防止できる。
【００７６】
これにより、洗浄槽１１０に貯液された洗浄液Ｓを清浄な状態に保つことができるとともに、被洗浄物Ａに付着した被除去物Ｄを、洗浄槽１１０に貯液された清浄な洗浄液Ｓにてより確実に洗浄除去することができる。
【００７７】
以下、上述の洗浄装置１０におけるその他の例について説明する。この説明において、前記構成と同一または同等の部位については同一の符号を記してその詳しい説明を省略する。
【００７８】
（実施例２）  
実施例１では洗浄槽１１０と貯留槽２２０との間を連設板２３０で連設した洗浄装置１０について説明したが、実施例２では、図２に示すように、洗浄槽１１０と洗浄槽２１０とを分離して配置した洗浄装置１０について説明する。  
図２は洗浄槽１１０，２１０同士を分離して配置した実施例２の洗浄装置１０の模式図である。
【００７９】
実施例２の洗浄装置１０は、洗浄槽１１０と洗浄槽２１０とを分離して配置するとともに、貯留槽１２０，２２０同士を回収路５１０で接続している。  
つまり、洗浄液Ｓを、回収路５１０を介して貯留槽２２０から貯留槽１２０へ回収するため、貯留槽２２０に貯留された洗浄液Ｓが洗浄槽１１０へ直接返還されることを確実に阻止できる。
【００８０】
これにより、洗浄槽１１０に貯液された洗浄液Ｓを清浄な状態に常時保つことができるため、被洗浄物Ａに付着した被除去物Ｄを、洗浄槽１１０に貯液された清浄な洗浄液Ｓにてより確実に洗浄除去することができる。  
この結果、実施例１に加えた作用及び効果を奏することができる。
【００８１】
この発明の構成と、前記実施形態との対応において、  
この発明の循環手段は、実施形態の循環ポンプ１１１，２１１に対応し、  
以下同様に、  
前洗浄工程の洗浄槽と貯留槽は、洗浄槽１１０と貯留槽１２０に対応し、  
後洗浄工程の洗浄槽と貯留槽は、洗浄槽２１０と貯留槽２２０に対応し、  
取り除き手段は、フィルタ１１２，２１２に対応し、  
連設部は、連設板２３０に対応し、  
返還手段は、返還ポンプ３１１に対応し、
蒸留再生手段は、蒸留再生装置３１０に対応するも、  
この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、請求項に示される技術思想に基づいて応用することができ、多くの実施の形態を得ることができる。
【００８２】
上述の実施例では、被洗浄物Ａを炭化水素系溶剤の洗浄液Ｓにて洗浄処理する洗浄装置１０について説明したが、本発明の洗浄装置１０の構成は、例えば被洗浄物Ａに残着する炭化水素系溶剤の洗浄液Ｓを、非塩素系有機溶剤の洗浄液にて洗浄除去する洗浄装置や洗浄工程にも適用することができる。
【００８３】
また、超音波振動子４１０が配置された洗浄槽１１０を１槽配置した洗浄装置１０について説明したが、例えば超音波洗浄を複数回行う必要がある場合、超音波振動子が配置された洗浄槽を複数槽（例えば２槽、３槽等）を配置してもよい。
【００８４】
さらに、回収路５１０に、例えば貯留槽２２０から貯留槽１２０に向けて洗浄液Ｓを液送するためのポンプを設けてもよい。洗浄槽２１０から貯留槽２２０へオーバーフローされた洗浄液Ｓを、ポンプの液送力により貯留槽２２０から貯留槽１２０に向けて積極的に液送することができる。
【符号の説明】
【００８５】
Ａ…被洗浄物
Ｂ…運搬台
Ｓ…洗浄液
Ｄ…被除去物
１０…洗浄装置
１１０，２１０…洗浄槽
１１１，２１１…循環ポンプ
１１２，２１２…フィルタ
１１４，２１４…循環路
１２０，２２０…貯留槽
１２１…流入口
１２２，２２１…流出口
２３０…連設板
３１０…蒸留再生装置
３１１…返還ポンプ
３１３…返還路
４１０…超音波振動子
５１０…回収路
【図１】
2018015687.tif 000003
【図２】
2018015687.tif 000004