(57)【要約】【課題】搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物の重量が重くなっても、アームの内部に配置されるベルトの破断を防止することが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】この産業用ロボットは、中空状に形成されるアーム６と、アーム６の内部に配置される２個のプーリ３７、３８と、プーリ３７、３８の軸方向で重なるように配置され２個のプーリ３７、３８に架け渡される複数のベルト６０と、複数のベルト６０の張力を調整する張力調整機構とを備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、
中空状に形成されるアームと、前記アームの内部に配置される２個のプーリと、前記プーリの軸方向で重なるように配置され２個の前記プーリに架け渡される複数のベルトと、複数の前記ベルトの張力を調整する張力調整機構とを備えることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結される前記アームとしての第２アームと、前記第２アームの基端側が先端側に回動可能に連結される第１アームと、前記第１アームが回動可能に連結される本体部とを備えるとともに、２個の前記プーリとして、前記第２アームの基端側の内部に配置される第１プーリと、前記第２アームの先端側の内部に配置される第２プーリとを備え、
前記第１プーリは、前記第１アームの先端側に固定され、
前記第２プーリは、前記ハンドに固定されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
複数の前記ベルトのそれぞれの張力を調整する複数の前記張力調整機構を備えることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
２個の前記プーリには、２本の前記ベルトが架け渡されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項５】
前記ベルトは、鋼板製のスチールベルトであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の産業用ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空中で、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、本体部と共通アームと２個のアームと２個のハンドとを備えている。共通アームは、略Ｖ形状に形成されている。略Ｖ形状に形成される共通アームの中心部分は、本体部に回動可能に連結されている。また、略Ｖ形状に形成される共通アームの２個の先端側のそれぞれには、２個のアームのそれぞれの基端側が回動可能に連結されている。２個のアームのそれぞれの先端側には、２個のハンドのそれぞれが回動可能に連結されている。
【０００３】
特許文献１に記載の産業用ロボットでは、共通アームとアームとの連結部である関節部に、共通アームの先端側に固定される円筒状の第１筒部材と、アームの基端側に固定される円筒状の第２筒部材とが配置されている。第２筒部材は、第１筒部材を囲むように第１筒部材の外周側に配置されている。第１筒部材と第２筒部材との間には軸受が配置されている。第１筒部材には、アームの基端側の内部に配置されるプーリが固定され、第２筒部材には、共通アームの先端側の内部に配置されるプーリが固定されている。アームの先端側の内部には、ハンドが固定されるプーリが配置されており、このプーリと、アームの基端側の内部に配置されるプーリとにベルトが架け渡されている。また、共通アームの内部の中心部分には、プーリが配置されており、このプーリと、共通アームの先端側の内部に配置されるプーリとにベルトが架け渡されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１０３３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、産業用ロボットで搬送されるガラス基板等の搬送対象物は大型化しており、搬送対象物の大型化に伴って、搬送対象物の重量が重くなっている。特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、搬送対象物の重量が重くなると、ベルトに作用する負荷が大きくなる。大きな負荷が作用したときのベルトの破断を防止するためには、ベルトの幅を広くすれば良い。
【０００６】
しかしながら、ベルトの幅が広くなると、ベルトの幅方向における中心部の張力と、ベルトの幅方向における端部の張力とに差異が生じやすくなる。すなわち、ベルトの幅が広くなると、ベルトの幅が狭い場合と比較して、プーリの真円度やプーリの軸心の傾き等の影響で、ベルトの幅方向における中心部の張力と、ベルトの幅方向における端部の張力とに差異が生じやすくなる。また、ベルトの幅方向の中心部の張力と、ベルトの幅方向の端部の張力とに差異が生じると、ベルトの幅方向の中心部に作用する負荷と、ベルトの幅方向の端部に作用する負荷との差異が大きくなって、最悪、ベルトが破断するおそれがある。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物の重量が重くなっても、アームの内部に配置されるベルトの破断を防止することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、中空状に形成されるアームと、アームの内部に配置される２個のプーリと、プーリの軸方向で重なるように配置され２個のプーリに架け渡される複数のベルトと、複数のベルトの張力を調整する張力調整機構とを備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明において、たとえば、産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームとしての第２アームと、第２アームの基端側が先端側に回動可能に連結される第１アームと、第１アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えるとともに、２個のプーリとして、第２アームの基端側の内部に配置される第１プーリと、第２アームの先端側の内部に配置される第２プーリとを備え、第１プーリは、第１アームの先端側に固定され、第２プーリは、ハンドに固定されている。
【００１０】
本発明の産業用ロボットでは、アームの内部に配置される２個のプーリに、プーリの軸方向で重なるように配置される複数のベルトが架け渡されている。そのため、本発明では、搬送対象物の重量が重くなっても、１本のベルトの幅を比較的狭くすることが可能になる。したがって、本発明では、張力調整機構によって調整されるベルトの幅方向の中心部の張力とベルトの幅方向の端部の張力との差異を抑制することが可能になり、ベルトの幅方向の中心部に作用する負荷とベルトの幅方向の端部に作用する負荷との差異を抑制することが可能になる。その結果、本発明では、搬送対象物の重量が重くなっても、アームの内部に配置されるベルトの破断を防止することが可能になる。
【００１１】
本発明において、産業用ロボットは、複数のベルトのそれぞれの張力を調整する複数の張力調整機構を備えることが好ましい。このように構成すると、プーリの軸方向で重なる複数のベルトが２個のプーリに架け渡されていても、複数のベルトのそれぞれの張力が適切な張力となるように、複数のベルトのそれぞれの張力を調整することが可能になる。
【００１２】
本発明において、たとえば、２個のプーリには、２本のベルトが架け渡されている。
【００１３】
本発明において、ベルトは、鋼板製のスチールベルトであることが好ましい。このように構成すると、ベルトがゴム製のベルトである場合と比較して、ベルトからの発塵を抑制することが可能になる。一方で、ベルトがスチールベルトである場合には、ベルトがゴム製のベルトである場合と比較して、ベルトの幅が広くなると、ベルトの幅方向の中心部の張力とベルトの幅方向の端部の張力とにより大きな差異が生じやすくなるが、本発明では、１本のベルトの幅を比較的狭くすることが可能になるため、ベルトがスチールベルトであっても、張力調整機構によって調整されるベルトの幅方向の中心部の張力とベルトの幅方向の端部の張力との差異を抑制することが可能になる。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明では、搬送対象物を搬送する産業用ロボットにおいて、搬送対象物の重量が重くなっても、アームの内部に配置されるベルトの破断を防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットの側面図である。
【図３】図２のＥ部の概略構成を説明するための断面図である。
【図４】図２のＦ部の概略構成を説明するための断面図である。
【図５】図３のＧ部の拡大図である。
【図６】図４のＨ部の拡大図である。
【図７】（Ａ）は、図３に示すプーリおよびベルトの平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＪ部の拡大図であり、（Ｃ）は、（Ａ）のＫ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１７】
（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図２のＥ部の概略構成を説明するための断面図である。図４は、図２のＦ部の概略構成を説明するための断面図である。
【００１８】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するためのロボットである。このロボット１は、特に大型の基板２の搬送に適した大型のロボットである。また、ロボット１は、真空中で基板２を搬送する。ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド４、５と、２個のハンド４、５のそれぞれが先端側に回動可能に連結される２個のアーム６、７と、２個のアーム６、７の基端側が回動可能に連結される共通アーム８と、共通アーム８が回動可能に連結される本体部９とを備えている。本形態の共通アーム８は、第１アームであり、アーム６、７は、第２アームである。
【００１９】
図２に示すように、ハンド４は、アーム６の先端側に回動可能に連結されている。ハンド５は、アーム７の先端側に回動可能に連結されている。ハンド４は、ハンド５よりも下側に配置されている。アーム６は、ハンド４よりも下側に配置されている。アーム７は、ハンド５よりも上側に配置されている。共通アーム８は、アーム６よりも下側に配置されている。また、共通アーム８は、本体部９よりも上側に配置されている。
【００２０】
本体部９は、上下方向を回動の軸方向として共通アーム８を回動させる回動軸（図示省略）と、この回動軸を回動させる回動機構（図示省略）と、この回動機構と一緒に共通アーム８を昇降させる昇降機構（図示省略）と、回動機構や昇降機構が収容されるケース体とを備えている。このケース体は、有底円筒状に形成されるケース本体１１と、ケース本体１１の上端の開口を覆う蓋体１２とから構成されている。蓋体１２の中心には、共通アーム８を回動させる回動軸が配置される貫通孔が形成されている。また、蓋体１２には、ケース本体１１の径方向の外側に広がる鍔部１２ａが形成されている。
【００２１】
上述のように、ロボット１は、真空中で基板２を搬送するためのロボットである。図２に示すように、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも上側の部分は、真空チャンバー１３の中に配置されている。すなわち、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも上側の部分は、真空領域ＶＲの中（真空中）に配置されている。一方、ロボット１の、鍔部１２ａの下面よりも下側の部分は、大気領域ＡＲの中（大気中）に配置されている。
【００２２】
ハンド４、５は、基板２が搭載される複数のフォーク部１５を備えている。アーム６、７は、上下方向から見たときの形状が細長い長円形状となるとともに上下方向の厚さが薄いブロック状に形成されている。アーム６の長さとアーム７の長さとは等しくなっている。また、アーム６、７は、中空状に形成されている。中空状に形成されるアーム６、７の内部は真空となっている。共通アーム８は、略Ｖ形状に形成されている。略Ｖ形状に形成される共通アーム８の中心部分は、本体部９に回動可能に連結されている。また、略Ｖ形状に形成される共通アーム８の一方の先端側にアーム６が回動可能に連結され、共通アーム８の他方の先端側にアーム７が回動可能に連結されている。
【００２３】
アーム６と共通アーム８との連結部は、関節部１６となっている。アーム７と共通アーム８との連結部は、関節部１７となっている。また、ロボット１は、アーム６に対してハンド４を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム６を回動させる駆動機構１８（図３参照）と、アーム７に対してハンド５を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム７を回動させる駆動機構１９（図４参照）とを備えている。以下、共通アーム８の具体的な構成および駆動機構１８、１９の構成について説明する。
【００２４】
（共通アームおよび駆動機構の構成）
図５は、図３のＧ部の拡大図である。図６は、図４のＨ部の拡大図である。図７（Ａ）は、図３に示すプーリ３７、３８およびベルト６０の平面図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＪ部の拡大図であり、図７（Ｃ）は、図７（Ａ）のＫ部の拡大図である。
【００２５】
共通アーム８は、本体部９に連結される基端部２２と、アーム６、７の基端側のそれぞれが連結される２個の先端部２３、２４と、２個の先端部２３、２４のそれぞれと基端部２２とを繋ぐ２個の連結部２５、２６とを備えている。本形態では、基端部２２と２個の先端部２３、２４と２個の連結部２５、２６とによって共通アーム８が構成されている。先端部２３には、アーム６の基端側が連結され、先端部２４には、アーム７の基端側が連結されている。連結部２５は、基端部２２と先端部２３とを繋ぎ、連結部２６は、基端部２２と先端部２４とを繋いでいる。
【００２６】
基端部２２と２個の先端部２３、２４と２個の連結部２５、２６とは別体で形成されており、基端部２２と２個の先端部２３、２４と２個の連結部２５、２６とが固定されて一体化されることで共通アーム８が構成されている。基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とは、アルミニウム合金またはステンレス鋼で形成されている。また、基端部２２と先端部２３、２４と連結部２５、２６とは、中空状に形成されている。すなわち、共通アーム８は、中空状に形成されている。共通アーム８の内部は、大気圧となっている。
【００２７】
基端部２２は、上下方向から見たときの形状が略五角形状となるブロック状に形成されている。基端部２２の下面の中心には、本体部９の回動軸の上端が固定されている。先端部２３、２４は、上下方向から見たときの形状が略長方形状となるブロック状に形成されている。連結部２５、２６は、筒状に形成されるパイプであり、細長い円筒状に形成されている。連結部２５、２６の長さは、たとえば、４（ｍ）となっている。
【００２８】
連結部２５の一端は、基端部２２にネジ（図示省略）によって固定され、連結部２５の他端は、先端部２３にネジ（図示省略）によって固定されている。連結部２６の一端は、基端部２２にネジ（図示省略）によって固定され、連結部２６の他端は、先端部２４にネジ（図示省略）によって固定されている。なお、連結部２５、２６の両端には、径方向の外側に広がる鍔部が形成されている。
【００２９】
駆動機構１８は、アーム６に対してハンド４を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム６を回動させるモータ３０と、モータ３０に連結される減速機３１とを備えている。減速機３１は、減速機３１の出力軸となる回動軸３２と、回動軸３２を回動可能に支持する軸受３３と、回動軸３２の外周側に配置される磁性流体シール３４とを備えている。また、駆動機構１８は、減速機３１の入力軸３５に固定されるプーリ３６を備えている。
【００３０】
さらに、駆動機構１８は、アーム６の基端側の内部に配置される第１プーリとしてのプーリ３７と、アーム６の先端側の内部に配置される第２プーリとしてのプーリ３８とを備えている。すなわち、駆動機構１８は、アーム６の内部に配置される２個のプーリ３７、３８を備えている。本形態では、ハンド４が一定方向を向いた状態で直線的に移動するように、プーリ３７のピッチ円径とプーリ３８のピッチ円径との比が１：２に設定されている。
【００３１】
減速機３１は、中空波動歯車装置であり、関節部１６に配置されている。この減速機３１は、上述の回動軸３２、軸受３３および磁性流体シール３４に加えて、剛性内歯歯車４１と、可撓性外歯歯車４２と、入力軸３５の外周側に取り付けられるウエーブベアリング４３とを備えている。また、減速機３１は、軸受３３および磁性流体シール３４を保持するケース体４４を備えている。ケース体４４は、全体として略円筒状に形成されている。ケース体４４の上端側部分は、先端部２３の上面部分に固定されている。減速機３１の、ケース体４４の上端側部分と回動軸３２の上端側部分とを除いた部分は、先端部２３の内部に配置されている。
【００３２】
軸受３３は、クロスローラベアリングである。軸受３３の外輪は、ケース体４４の上端側部分に固定されている。軸受３３の内輪は、回動軸３２に固定されている。回動軸３２は、磁性材料で形成されている。また、回動軸３２は、中空状に形成されている。回動軸３２の上端側には、回動軸３２の内周側を塞ぐ蓋４５が固定されている。回動軸３２は、アーム６の基端側に固定されている。具体的には、回動軸３２の上端がアーム６の基端側の下面部に固定されている。
【００３３】
磁性流体シール３４は、複数の磁石と、複数の磁石のそれぞれを上下方向で挟むように配置される円環状のポールピースと、ポールピースの内周面と回動軸３２の外周面との間に保持される磁性流体とを備えている。磁性流体シール３４の磁石およびポールピースは、ケース体４４の上端側部分の内周面に固定されている。磁性流体シール３４は、軸受３３の上側に配置されている。また、磁性流体シール３４は、アーム６の上面よりも上側に配置されている。
【００３４】
入力軸３５は、中空状に形成されている。入力軸３５は、軸受を介してケース体４４の下端側部分に回転可能に支持されている。入力軸３５には、上下方向から見たときの外周面の形状が楕円形状となる楕円部が形成されている。剛性内歯歯車４１は、ケース体４４の下端側部分に固定されている。剛性内歯歯車４１の内周面には、内歯が形成されている。可撓性外歯歯車４２の上端側部分は、回動軸３２の下端に固定されている。可撓性外歯歯車４２の下端側部分の外周面には、剛性内歯歯車４１の内歯と噛み合う外歯が形成されている。可撓性外歯歯車４２は、入力軸３５に対して相対回転可能となっている。
【００３５】
ウエーブベアリング４３は、可撓性の内輪および外輪を備えたボールベアリングである。このウエーブベアリング４３は、入力軸３５の楕円部の外周面に沿って配置されており、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車４２の、外歯が形成される下端側部分は、ウエーブベアリング４３を囲むようにウエーブベアリング４３の外周側に配置されており、この部分は、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車４２の外歯は、楕円状に撓む可撓性外歯歯車４２の下端側部分の長軸方向の２か所で、剛性内歯歯車４１の内歯と噛み合っている。
【００３６】
モータ３０は、先端部２３に固定されている。また、モータ３０は、先端部２３の内部に配置されるとともに、減速機３１よりも連結部２５側に配置されている。モータ３０の出力軸には、プーリ４６が固定されている。プーリ３６は、入力軸３５の下端に固定されている。プーリ３６とプーリ４６とにベルト４７が架け渡されている。ベルト４７は、ゴム製のベルトである。プーリ３６、４６およびベルト４７は、先端部２３の内部に配置されている。
【００３７】
アーム６の基端側の内部には、プーリ３７を回動可能に支持する支持軸５０が固定されている。支持軸５０は、下端に鍔部５０ａを有する鍔付きの円筒状に形成されており、鍔部５０ａがアーム６の基端側の下面部に固定されている。すなわち、支持軸５０は、アーム６の下面部から立ち上がっている。また、支持軸５０は、支持軸５０の軸心と回動軸３２の軸心とが一致するように固定されている。本形態では、共通のネジ５１によって、回動軸３２と支持軸５０とがアーム６の基端側の下面部に固定されている。
【００３８】
プーリ３７は、軸受を介して支持軸５０に回動可能に支持されている。また、プーリ３７は、共通アーム８に固定されている。具体的には、プーリ３７は、固定部材５３を介して先端部２３に固定されている。すなわち、プーリ３７は、固定部材５３を介して共通アーム８の一方の先端側に固定されている。固定部材５３は、共通アーム８の一方の先端に固定される側面部５３ａと、側面部５３ａの上端に固定される上面部５３ｂとから構成されている。上面部５３ｂは、アーム６の基端側部分の上側に配置されている。アーム６の基端側の上面部分には、図５に示すように、プーリ３７の上端側部分が配置される開口部６ａが形成されている。プーリ３７の上端は、上面部５３ｂに固定されている。プーリ３７の上端面は、上面部５３ｂの下面に接触している。
【００３９】
アーム６の先端側の内部には、プーリ３８を回動可能に支持する支持軸５８が固定されている。支持軸５８は、アーム６の先端側の下面部から立ち上がっている。プーリ３８は、軸受を介して支持軸５８に回動可能に支持されている。また、プーリ３８の上端には、ハンド４の基端側が固定されている。プーリ３７とプーリ３８とには、ベルト６０が架け渡されている。本形態では、プーリ３７、３８の軸方向（すなわち、上下方向）で重なるように配置される２本のベルト６０がプーリ３７とプーリ３８とに架け渡されている。
【００４０】
ベルト６０は、鋼板製のスチールベルトである。このベルト６０は、細長い帯状に形成されている。ベルト６０の幅（上下方向の幅）は、５０（ｍｍ）程度となっている。細長い帯状に形成されるベルト６０の長手方向の中心部分は、ネジ６１によってプーリ３７に固定されている（図７（Ａ）、（Ｂ）参照）。
【００４１】
また、駆動機構１８は、２本のベルト６０の張力を調整する張力調整機構６２（図７（Ｃ）参照）を備えている。本形態の駆動機構１８は、２本のベルト６０のそれぞれの張力を調整する２個の張力調整機構６２を備えている。２個の張力調整機構６２は、上下方向で重なるように配置されている。張力調整機構６２は、プーリ３８に固定されるとともにベルト６０の両端部のそれぞれが固定される２個のベルト端部固定部材６３と、プーリ３８の周方向における２個のベルト端部固定部材６３の距離を調整するためのボルト６４およびナット６５とを備えている。
【００４２】
ベルト端部固定部材６３は、プーリ３８の径方向においてベルト６０の外側に配置されるベルト固定部６３ａと、プーリ３８の周方向におけるベルト固定部６３ａの端部からプーリ３８の径方向の外側へ立ち上がるボルト保持部６３ｂとを備えている。２個のベルト端部固定部材６３は、プーリ３８の周方向においてボルト保持部６３ｂ同士が対向するように配置されている。ベルト６０の端部は、ネジ６６によってベルト固定部６３ａに固定されている。ボルト保持部６３ｂには、ボルト６４の軸部が挿通される挿通穴が形成されている。
【００４３】
ベルト端部固定部材６３は、ネジ６７によってプーリ３８に固定されている。ベルト６０の張力は、ナット６５へのボルト６４のねじ込み量によって調整されている。すなわち、ベルト６０の張力は、プーリ３８の周方向における２個のボルト保持部６３ｂの距離によって調整されている。ベルト端部固定部材６３は、ベルト６０の張力が調整された後、ネジ６７によってプーリ３８に固定される。なお、ベルト６０およびベルト固定部６３ａには、プーリ３８の周方向を長手方向とする長穴が形成されており、この長穴にネジ６７が挿通されている。
【００４４】
駆動機構１９は、駆動機構１８とほぼ同様に構成されている。したがって、以下の駆動機構１９の説明では、主として、駆動機構１８と駆動機構１９との相違点を説明する。駆動機構１９は、アーム７に対してハンド５を回動させるとともに共通アーム８に対してアーム７を回動させるモータ３０と、モータ３０に連結される減速機３１とを備えている。また、駆動機構１９は、減速機３１の入力軸３５に固定されるプーリ３６と、アーム７の基端側の内部に配置される第１プーリとしてのプーリ３７と、アーム７の先端側の内部に配置される第２プーリとしてのプーリ７８とを備えている。本形態では、ハンド５が一定方向を向いた状態で直線的に移動するように、プーリ３７のピッチ円径とプーリ７８のピッチ円径との比が１：２に設定されている。
【００４５】
駆動機構１９の減速機３１は、関節部１７に配置されている。駆動機構１９では、減速機３１のケース体４４の上端側部分が先端部２４の上面部分に固定されている。また、駆動機構１９では、減速機３１の、ケース体４４の上端側部分と回動軸３２の上端側部分とを除いた部分は、先端部２４の内部に配置されている。また、磁性流体シール３４は、アーム７の上面よりも上側に配置されている。
【００４６】
駆動機構１９では、回動軸３２の上端に、中空状に形成される第２回動軸７９の下端が固定されている。第２回動軸７９は、回動軸３２の軸心と第２回動軸７９の軸心とが一致するように回動軸３２に固定されている。第２回動軸７９の上端は、アーム７の基端側の下面部に固定されている。すなわち、回動軸３２は、第２回動軸７９を介して、アーム７の基端側に固定されている。なお、回動軸３２と第２回動軸７９とは一体で形成されていても良い。
【００４７】
また、駆動機構１９では、モータ３０は、先端部２４に固定されている。モータ３０は、先端部２４の内部に配置されるとともに、減速機３１よりも連結部２６側に配置されている。また、駆動機構１９では、プーリ３６、４６およびベルト４７は、先端部２４の内部に配置されている。
【００４８】
アーム７の基端側の内部には、プーリ３７を回動可能に支持する支持軸５０が固定されている。具体的には、支持軸５０の鍔部５０ａがアーム７の基端側の下面部に固定されている。また、支持軸５０は、支持軸５０の軸心と第２回動軸７９の軸心と回動軸３２の軸心とが一致するように固定されている。本形態では、共通のネジ５１によって、第２回動軸７９と支持軸５０とがアーム７の基端側の下面部に固定されている。
【００４９】
アーム７の基端側の内部に配置されるプーリ３７は、共通アーム８に固定されている。具体的には、このプーリ３７は、固定部材８３を介して先端部２４に固定されている。すなわち、このプーリ３７は、固定部材８３を介して共通アーム８の他方の先端側に固定されている。固定部材８３は、共通アーム８の他方の先端に固定される側面部８３ａと、側面部８３ａの上端に固定される上面部８３ｂとから構成されている。上面部８３ｂは、アーム７の基端側部分の上側に配置されている。アーム７の基端側の上面部分には、図６に示すように、プーリ３７の上端側部分が配置される開口部７ａが形成されている。プーリ３７の上端は、上面部８３ｂに固定されている。プーリ３７の上端面は、上面部８３ｂの下面に接触している。
【００５０】
アーム７の先端側の内部には、プーリ７８を回動可能に支持する円筒状の支持軸部７ｂが形成されている。支持軸部７ｂは、アーム７の先端側の下面部から立ち上がっている。プーリ７８は、軸受を介して支持軸部７ｂに回動可能に支持されている。また、プーリ７８の下端には、ハンド５の基端側が固定されている。プーリ３７とプーリ７８とには、上下方向で重なるように配置される２本のベルト６０が架け渡されている。
【００５１】
また、駆動機構１９は、駆動機構１８と同様に、２本のベルト６０のそれぞれの張力を調整する２個の張力調整機構６２を備えている。駆動機構１９においても、ベルト６０の張力は、ナット６５へのボルト６４のねじ込み量によって調整されており、ベルト端部固定部材６３は、ベルト６０の張力が調整された後、ネジ６７によってプーリ７８に固定される。
【００５２】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、プーリ３７とプーリ３８とに、上下方向で重なるように配置される２本のベルト６０が架け渡され、プーリ３７とプーリ７８とに、上下方向で重なるように配置される２本のベルト６０が架け渡されている。そのため、本形態では、ハンド４、５に搭載される基板２の重量が重くなっても、１本のベルト６０の幅を比較的狭くすることが可能になる。
【００５３】
したがって、本形態では、張力調整機構６２によって調整されるベルト６０の幅方向の中心部（上下方向の中心部）の張力とベルト６０の幅方向の端部（上下方向の両端部）の張力との差異を抑制することが可能になり、ベルト６０の上下方向の中心部に作用する負荷とベルト６０の上下方向の両端部に作用する負荷との差異を抑制することが可能になる。その結果、本形態では、基板２の重量が重くなっても、ベルト６０の破断を防止することが可能になる。
【００５４】
また、本形態では、上下方向で重なる２本のベルト６０がプーリ３７、３８およびプーリ３７、７８に架け渡されているため、万が一、１本のベルト６０が破断したとしても、残りの１本のベルト６０によって、アーム６、７に対するハンド４、５のふらつきを防止することが可能になる。
【００５５】
本形態では、ベルト６０はスチールベルトである。そのため、本形態では、ベルト６０がゴム製のベルトである場合と比較して、ベルト６０からの発塵を抑制することが可能になる。なお、ベルト６０がスチールベルトである場合には、ベルト６０がゴム製のベルトである場合と比較して、ベルト６０の幅が広くなると、ベルト６０の幅方向の中心部の張力とベルト６０の幅方向の端部の張力とにより大きな差異が生じやすくなる。しかしながら、本形態では、１本のベルト６０の幅を比較的狭くすることが可能になるため、ベルト６０がスチールベルトであっても、張力調整機構６２によって調整されるベルト６０の幅方向の中心部の張力とベルト６０の幅方向の端部の張力との差異を抑制することが可能になる。
【００５６】
本形態では、２本のベルト６０のそれぞれの張力は、２個の張力調整機構６２のそれぞれによって調整されている。そのため、本形態では、上下方向で重なる２本のベルト６０がプーリ３７、３８およびプーリ３７、７８に架け渡されていても、２本のベルト６０のそれぞれの張力が適切な張力となるように、２本のベルト６０のそれぞれの張力を調整することが可能になる。
【００５７】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００５８】
上述した形態では、駆動機構１８、１９は、２本のベルト６０のそれぞれの張力を調整する２個の張力調整機構６２を備えているが、駆動機構１８、１９は、２本のベルト６０の張力を一緒に調整する１個の張力調整機構６２を備えていても良い。また、上述した形態では、ベルト６０は、スチールベルトであるが、ベルト６０は、ゴム製のベルトであっても良い。この場合には、たとえば、ベルト６０は、環状に形成される無端ベルトであり、張力調整機構６２は、ベルト６０の張力を調整するためのテンションプーリを備えている。さらに、上述した形態では、プーリ３７、３８およびプーリ３７、７８に２本のベルト６０が架け渡されているが、プーリ３７、３８およびプーリ３７、７８に３本以上のベルト６０が架け渡されていても良い。
【００５９】
上述した形態では、上下方向で重なる２本のベルト６０がアーム６、７の内部に配置されているが、上下方向で重なる２本のベルト６０が共通アーム８の内部に配置されていても良い。また、上述した形態では、ハンド４と共通アーム８との間に１個のアーム６が配置され、ハンド５と共通アーム８との間に１個のアーム７が配置されているが、ハンド４、５と共通アーム８との間に２個以上のアームが配置されても良い。また、上述した形態では、共通アーム８は、略Ｖ形状に形成されているが、共通アーム８は、直線状に形成されていても良い。
【００６０】
上述した形態では、ロボット１は、２個のアーム６、７が回動可能に連結される共通アーム８を備えているが、ロボット１は、共通アーム８に代えて、１個のアーム６またはアーム７が先端側に回動可能に連結されるとともに基端側が本体部９に回動可能に連結されるアームを備えていても良い。また、上述した形態では、ロボット１は、真空中で基板２を搬送しているが、ロボット１は、大気中で基板２を搬送しても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、液晶ディスプレイ用のガラス基板であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ用のガラス基板であっても良いし、半導体ウエハ等であっても良い。
【符号の説明】
【００６１】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  基板（ガラス基板、搬送対象物）
４、５  ハンド
６、７  アーム（第２アーム）
８  共通アーム（第１アーム）
９  本体部
３７  プーリ（第１プーリ）
３８、７８  プーリ（第２プーリ）
６０  ベルト
６２  張力調整機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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