(57)【要約】      （修正有）【課題】柔軟性がなく破れやすい薄膜であっても、簡便にベース基材から薄膜を連続的に剥離する方法の提供。【解決手段】ベース基材１の面に形成された薄膜２に支持体３が薄膜に重ねられた状態で、支持体３の対向する一対の両端部７よりも外側に薄膜２が露出するように、支持体３を薄膜２に重ねる工程と、支持体３の両端部７のそれぞれの端部と、その端部より外側に露出している薄膜２の部分とにまたがるように、粘着テープ４を支持体３の両端部７と薄膜２とに貼り付け、支持体３の両端部７以外の１箇所の端部を引き起こし、粘着テープ４により支持体３の両端部７と薄膜２とが貼り付けられた状態のまま、前記引き起こした端部の側から剥がすようにして支持体３をベース基材１から離していくことで、支持体３と共に薄膜２をベース基材１から剥離する方法。【選択図】図３
2018094546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース基材の面に形成された薄膜をそのベース基材から剥離する薄膜剥離方法であって、以下の工程Ａ１、Ａ２およびＡ３をこの順に行う、薄膜剥離方法。
工程Ａ１：  ベース基材の面に形成された薄膜に支持体を重ねる工程であって、支持体が薄膜に重ねられた状態で、支持体の対向する一対の両端部よりも外側に薄膜が露出するように、支持体を薄膜に重ねる工程。
工程Ａ２：  前記支持体の前記両端部のそれぞれの端部と、その端部より外側に露出している前記薄膜の部分とにまたがるように、粘着テープを支持体の両端部と薄膜とに貼り付ける工程。
工程Ａ３：  前記支持体の前記両端部以外の１箇所の端部を引き起こし、前記粘着テープにより支持体の両端部と前記薄膜とが貼り付けられた状態のまま、前記引き起こした端部の側から剥がすようにして支持体を前記ベース基材から離していくことで、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離する工程。
【請求項２】
前記工程Ａ２において、前記粘着テープが前記支持体の前記両端部と前記薄膜とに貼り付けられた状態で、粘着テープよりも外側に薄膜が露出するように、粘着テープを支持体の両端部と薄膜とに貼り付け、
前記工程Ａ３において、前記粘着テープと粘着テープよりも外側に露出している前記薄膜部分との境界に沿って薄膜に亀裂を生じさせて、粘着テープよりも外側に露出している薄膜の部分を前記ベース基材に残したまま、それ以外の部分の薄膜を支持体と共にベース基材から剥離する、
請求項１の薄膜剥離方法。
【請求項３】
前記工程Ａ３において、前記支持体の前記両端部にわたる長さを有する棒状材を、支持体の両端部にわたるようにして支持体の上に置き、支持体と前記薄膜とを棒状材に沿わせて曲げながら、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離する、請求項１または２の薄膜剥離方法。
【請求項４】
前記工程Ａ１の前に、前記工程Ａ１における前記支持体の前記対向する一対の両端部の一方の端部の外側となる位置から他方の端部の外側となる位置にわたり、前記薄膜の面から前記ベース基材に達する直線状の切れ込みを入れ、
前記工程Ａ３において、前記直線状の切れ込みの位置を、前記薄膜が前記支持体と共に前記ベース基材から剥離し始める位置とする、
請求項１または２の薄膜剥離方法。
【請求項５】
前記工程Ａ１において、さらに、前記支持体の前記対向する一対の両端部とは別のもう一対の両端部のうちの一方の端部よりも外側に前記薄膜が露出するように支持体を薄膜に重ね、
前記工程Ａ１と前記工程Ａ２の間に、前記支持体の前記もう一対の両端部のうちの前記一方の端部に沿って、支持体よりも外側で、前記薄膜の面から前記ベース基材に達する直線状の切れ込みを入れ、
前記工程Ａ３において、前記直線状の切れ込みが沿う前記支持体の前記端部を、支持体の前記引き起こす端部とする、
請求項１または２の薄膜剥離方法。
【請求項６】
前記工程Ａ３において、前記支持体の前記両端部にわたる長さを有する棒状体を、前記直線状の切れ込みの近傍で、支持体の両端部にわたるようにして支持体の上に置き、支持体と前記薄膜とを棒状体に沿わせて曲げながら、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離する、請求項４または５の薄膜剥離方法。
【請求項７】
前記支持体の前記両端部が平行である、請求項１〜６のいずれかの薄膜剥離方法。
【請求項８】
ベース基材の面に形成された薄膜をそのベース基材から剥離する薄膜剥離方法であって、以下の工程Ｂ１、Ｂ２およびＢ３をこの順に行う、薄膜剥離方法。
工程Ｂ１：  ベース基材の面に形成された薄膜に支持体を重ねる工程であって、支持体が薄膜に重ねられた状態で、支持体の周縁よりも外側に薄膜が露出するように、支持体を薄膜に重ねる工程。
工程Ｂ２：  前記支持体の前記周縁と、周縁よりも露出している前記薄膜の部分とにまたがるように、粘着テープを支持体の周縁と薄膜とに貼り付ける工程。
工程Ｂ３：  前記支持体の前記周縁の一部分を引き起こし、前記粘着テープにより支持体の周縁と前記薄膜とが貼り付けられた状態のまま、前記引き起こした部分から剥がすようにして支持体を前記ベース基材から離していくことで、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離する工程。
【請求項９】
前記工程Ｂ２において、前記粘着テープが前記支持体の前記周縁と前記薄膜とに貼り付けられた状態で、粘着テープよりも外側に薄膜が露出するように、粘着テープを支持体の周縁と薄膜とに貼り付け、
前記工程Ｂ３において、前記粘着テープと粘着テープよりも外側に露出している前記薄膜の部分との境界に沿って薄膜に亀裂を生じさせて、粘着テープよりも外側に露出している薄膜の部分を前記ベース基材に残したまま、それ以外の部分の薄膜を支持体と共にベース基材から剥離する、
請求項８の薄膜剥離方法。
【請求項１０】
前記工程Ｂ３において、棒状材を前記支持体の上に置き、支持体と前記薄膜とを棒状体に沿わせて曲げながら、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離し、
前記棒状体が、前記支持体がはみ出すことなく支持体の全体を沿わせることができる長さを有する、請求項８または９の薄膜剥離方法。
【請求項１１】
ベース基材の一方の面に塗液を塗布し、その塗液を乾燥させて薄膜が形成されたベースし基材を作製した後、請求項１〜１０のいずれかの薄膜剥離方法により前記ベース基材から前記薄膜を剥離することで前記薄膜を得る、薄膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はベース基材に塗工された薄膜を、破れ、キズ、シワなどの欠陥なく所望の形状に剥離する方法と、この薄膜の剥離方法を利用した薄膜の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ミクロンオーダーからナノオーダーに至る薄膜が機能材料としてエレクトロニスク、電池、医療材分野など様々な分野で利用されている。薄膜を安定して形成する手段としては、ベース基材に塗工された薄膜をベース基材から剥離する手段が一般的である。例えばフィルムなどの平滑なベース基材に薄膜が連続塗工されている場合は、ロール・トゥ・ロールで連続的に薄膜をベース基材から剥離できれば、生産性向上とコスト削減が図れる。
しかし、対象となる膜が、ナノオーダーの厚みの超薄膜の場合は、ベース基材から剥離する際、破れ、キズ、シワなどの欠陥が発生し易いので、これらの欠陥を防止する技術が必要である。
【０００３】
上記の欠陥を防止する方法として、特許文献１，２には、弾力性のある環状枠を薄膜に貼り付けて、環状枠と共に薄膜を引き剥がす方法が開示されている。この方法では、環状枠と薄膜を接着した後に、その一部を掴みベース基材より引き倒すことにより、環状枠を片持ちばり状に撓ませながら、環状枠を接着する左右両側の周縁部より徐々に薄膜をベース基材から引き剥がす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２−８４６２６号公報
【特許文献２】特開平７−８０８６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１や特許文献２の方法は、あらかじめ型取りされた環状枠をその都度薄膜が塗工された部分のみに貼り付けて環状枠を引き剥がすため、ロール・トゥ・ロールで連続的に剥離することは困難である。また、薄膜が環状枠で把持されない部分があるため、薄膜に柔軟性がなく破れやすい場合はハンドリングができず、膜がなびいてしまい、薄膜に破れ、キズ、シワが発生してしまう問題がある。
【０００６】
本発明は柔軟性がなく破れやすい薄膜であっても、破れ、キズ、シワが発生することなく、安定かつ簡便にベース基材から薄膜を連続的に剥離する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
１．  上記課題を解決する本発明の第１の薄膜剥離方法は、ベース基材の面に形成された薄膜をそのベース基材から剥離する薄膜剥離方法であって、以下の工程Ａ１、Ａ２およびＡ３をこの順に行う、薄膜剥離方法である。
工程Ａ１：  ベース基材の面に形成された薄膜に支持体を重ねる工程であって、支持体が薄膜に重ねられた状態で、支持体の対向する一対の両端部よりも外側に薄膜が露出するように、支持体を薄膜に重ねる工程。
工程Ａ２：  前記支持体の前記両端部のそれぞれの端部と、その端部より外側に露出している前記薄膜の部分とにまたがるように、粘着テープを支持体の両端部と薄膜とに貼り付ける工程。
工程Ａ３：  前記支持体の前記両端部以外の１箇所の端部を引き起こし、前記粘着テープにより支持体の両端部と前記薄膜とが貼り付けられた状態のまま、前記引き起こした端部の側から剥がすようにして支持体を前記ベース基材から離していくことで、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離する工程。
【０００８】
２．  本発明の第１の薄膜剥離方法は、前記工程Ａ２において、前記粘着テープが前記支持体の前記両端部と前記薄膜とに貼り付けられた状態で、粘着テープよりも外側に薄膜が露出するように、粘着テープを支持体の両端部と薄膜とに貼り付け、前記工程Ａ３において、前記粘着テープと粘着テープよりも外側に露出している前記薄膜部分との境界に沿って薄膜に亀裂を生じさせて、粘着テープよりも外側に露出している薄膜の部分を前記ベース基材に残したまま、それ以外の部分の薄膜を支持体と共にベース基材から剥離することが好ましい。
【０００９】
３．  本発明の第１の薄膜剥離方法は、前記工程Ａ３において、前記支持体の前記両端部にわたる長さを有する棒状体を、支持体の両端部にわたるようにして支持体の上に置き、支持体と前記薄膜とを棒状体に沿わせて曲げながら、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離することが好ましい。
【００１０】
４．  本発明の第１の薄膜剥離方法は、前記工程Ａ１の前に、前記工程Ａ１における前記支持体の前記対向する一対の両端部の一方の端部の外側となる位置から他方の端部の外側となる位置にわたり、前記薄膜の面から前記ベース基材に達する直線状の切れ込みを入れ、前記工程Ａ３において、前記直線状の切れ込みの位置を、前記薄膜が前記支持体と共に前記ベース基材から剥離し始める位置とすることが好ましい。
【００１１】
５．  本発明の第１の薄膜剥離方法は、前記工程Ａ１において、さらに、前記支持体の前記対向する一対の両端部とは別のもう一対の両端部のうちの一方の端部よりも外側に前記薄膜が露出するように支持体を薄膜に重ね、前記工程Ａ１と前記工程Ａ２の間に、前記支持体の前記もう一対の両端部のうちの前記一方の端部に沿って、支持体よりも外側で、前記薄膜の面から前記ベース基材に達する直線状の切れ込みを入れ、前記工程Ａ３において、前記直線状の切れ込みが沿う前記支持体の前記端部を、支持体の前記引き起こす端部とすることが好ましい。
【００１２】
６．  本発明の第１の薄膜剥離方法は、前記４または５の好ましい態様での前記工程Ａ３において、前記支持体の前記両端部にわたる長さを有する棒状材を、前記直線状の切れ込みの近傍で、支持体の両端部にわたるようにして支持体の上に置き、支持体と前記薄膜とを棒状材に沿わせて曲げながら、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離することが好ましい。
【００１３】
７．  本発明の第１の薄膜剥離方法は、前記支持体の前記両端部が平行であることが好ましい。
【００１４】
８．  上記課題を解決する本発明の第２の薄膜剥離方法は、ベース基材の面に形成された薄膜をそのベース基材から剥離する薄膜剥離方法であって、以下の工程Ｂ１、Ｂ２およびＢ３をこの順に行う、薄膜剥離方法である。
工程Ｂ１：  ベース基材の面に形成された薄膜に支持体を重ねる工程であって、支持体が薄膜に重ねられた状態で、支持体の周縁よりも外側に薄膜が露出するように、支持体を薄膜に重ねる工程。
工程Ｂ２：  前記支持体の前記周縁と、周縁よりも露出している前記薄膜の部分とにまたがるように、粘着テープを支持体の周縁と薄膜とに貼り付ける工程。
工程Ｂ３：  前記支持体の前記周縁の一部分を引き起こし、前記粘着テープにより支持体の周縁と前記薄膜とが貼り付けられた状態のまま、前記引き起こした部分から剥がすようにして支持体を前記ベース基材から離していくことで、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離する工程。
【００１５】
９．  本発明の第２の薄膜剥離方法は、工程Ｂ２において、前記粘着テープが前記支持体の前記周縁と前記薄膜とに貼り付けられた状態で、粘着テープよりも外側に薄膜が露出するように、粘着テープを支持体の周縁と薄膜とに貼り付け、前記工程Ｂ３において、前記粘着テープと粘着テープよりも外側に露出している前記薄膜の部分との境界に沿って薄膜に亀裂を生じさせて、粘着テープよりも外側に露出している薄膜の部分を前記ベース基材に残したまま、それ以外の部分の薄膜を支持体と共にベース基材から剥離することが好ましい。
【００１６】
１０．  本発明の第２の薄膜剥離方法は、工程Ｂ３において、棒状体を前記支持体の上に置き、支持体と前記薄膜とを棒状体に沿わせて曲げながら、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離することが好ましい。この際、前記棒状体が、前記支持体がはみ出すことなく支持体の全体を沿わせることができる長さを有することが好ましい。
【００１７】
１１．  本発明の薄膜の製造方法は、ベース基材の一方の面に塗液を塗工し、その塗液を乾燥させて薄膜が形成されたベース基材を作製した後、本発明の第１の薄膜剥離方法または第２の薄膜剥離方法により前記ベース基材から前記薄膜を剥離することで前記薄膜を得る、薄膜の製造方法である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の第１の薄膜剥離方法によれば、支持体の両端部と薄膜とが貼り付けられた状態のまま、支持体と共に薄膜をベース基材から剥離し、さらに薄膜を支持体全体で支持しながら剥離することができるので、柔軟性がなく破れやすい薄膜であっても、破れ、キズ、シワを発生させることなく剥離することができる。
【００１９】
また、本発明の好ましい第１の薄膜剥離方法によれば、粘着テープが支持体の両端部と薄膜とに貼り付けられた状態で、粘着テープよりも外側に薄膜が露出するように、粘着テープを支持体の両端部と薄膜とに貼り付けることで、粘着テープよりも外側に露出している薄膜部分との境界に沿って薄膜に剥離の起点となる亀裂を意図的に発生させて剥離し、安定的かつ連続的にベース基材から薄膜を剥離することができる。
【００２０】
本発明の第２の薄膜剥離方法によれば、支持体の周縁よりも外側に薄膜が露出するように、支持体を薄膜に重ねて、支持体の周縁と、周縁よりも露出している薄膜の部分とにまたがるように、粘着テープを支持体の周縁と薄膜とに貼り付け、支持体の周縁の一部分を引き剥がすことで、ベース基材に形成された円形、楕円、四角、多角形などの異形の薄膜であってもシワ、破れなく剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の薄膜剥離方法の実施形態を模式的に示す断面図である。
【図２】図１の実施形態の上面図を示す模式図である。
【図３】図１の実施形態での剥離過程を示す模式図である。
【図４】本発明の第１の薄膜剥離方法を用いて、ロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する方法を示す模式図である。
【図５】本発明の第２の薄膜剥離方法の実施形態を模式的に示す断面図である。
【図６】図５の実施形態の上面図を示す模式図である。
【図７】図５の実施形態での剥離過程を示す模式図である。
【図８】図２の実施形態において剥離開始位置を定める切れ込みを付与した模式図である。
【図９】図８の実施形態での剥離過程を示す模式図である。
【図１０】図８と異なる方法で剥離開始位置を定める切れ込みを付与した模式図である。
【図１１】図１０の実施形態での剥離工程を示す模式図である。
【図１２】図８の実施形態においてロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する方法を示す模式図である。
【図１３】図１０の実施形態においてロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する際に切れ込みを入れる方法を示す模式図である。
【図１４】図１０の実施形態におけるロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する方法を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。但し本発明はこれらに限定されるものではない。
【００２３】
[第１の薄膜剥離方法の実施形態]
まず本発明の第１の薄膜剥離方法の実施形態の一例について図１を用いて説明する。図１は本発明の第１の薄膜剥離方法の構成を模式的に示す断面図である。
【００２４】
図１を参照する。本発明の剥離方法は、ベース基材１に塗工された薄膜２を支持体３、粘着テープ４、棒状体５を用いてベース基材１からを剥離する。以下、各構成要素について詳述していく。
【００２５】
ベース基材１は薄膜２を塗工するためのベース材であり、薄膜２が均一に塗工できるように、薄膜を突き破らない表面粗度の基材を用いることが好ましい。ベース基材１としては、ガラス基板やシリコンウエハーでもよいが、ロール・トゥ・ロールで連続的に塗工・搬送できるフィルムのような柔軟性を有する素材が好ましい。
【００２６】
薄膜２の膜厚がある程度厚い場合は、本発明の薄膜剥離方法を用いなくてもベース基材１から薄膜を剥離することはできる。そのため、薄膜２の膜厚は、本発明の薄膜剥離方法の効果が発現するような薄さ、具体的には０．０１μｍ〜２００μｍの厚みが好ましい。薄膜２は、フィルムのような柔軟性のあるベース基材１をロール・トゥ・ロールで連続的に搬送し、ダイやグラビアコーターなどで連続的に均一に塗液を塗工して形成することが好ましい。
【００２７】
支持体３は剥離した薄膜２を移し取り、剥離した薄膜２に破れ、キズ、シワ等が発生しないようにすると同時に、剥離後のハンドリング性を向上させるために、平滑かつ薄膜に追従する柔軟な素材であればよい。このような素材としては、厚み５０〜１００μｍのＰＥＴフィルムが好ましい。
【００２８】
粘着テープ４はベース基材１に塗工された薄膜２と支持体３を接着する粘着面が片側のみにある粘着テープが好ましい。粘着テープの厚みは棒状体５に沿わせて曲げた時に支持体３と棒状体５の間に隙間を作らず接触させるために、厚み０．０７ｍｍ以下が好ましい。粘着テープ４の基材の材質、接着剤については特に規定はしないが、１．０Ｎ／１０ｍｍ以上の粘着力を有することが好ましい。
【００２９】
棒状体５の材質は特に規定しないが、薄膜２と支持体３を棒状体に沿わせて曲げながら支持体３と共に薄膜２をベース基材１から剥離するので、ベース基材１の幅方向に均一な張力を付与しながら剥離と共に移動できるように撓まない直径１０〜１５０ｍｍの略一直線状のロールが好ましい。
【００３０】
次に本発明の第１の薄膜剥離方法について図２、図３を参照して説明する。図２は、図１の上面図であり、図３は剥離過程を示す模式図である。
【００３１】
あらかじめベース基材１に薄膜２が塗工された面に支持体３を重ねる（工程Ａ１）。工程Ａ１において、支持体３の対向する一対の両端部７よりも外側に薄膜２が露出するように重ねる。つまり、支持体３の幅Ｗ２は薄膜２の幅Ｗ１よりも幅が狭くなる。
【００３２】
次に支持体３の対向する一対の両端部７のそれぞれの端部とその端部より外側に露出している薄膜２にまたがるように、粘着テープ４を貼り付ける（工程Ａ２）。
【００３３】
さらに、粘着テープ４を貼り付けた支持体３の対向する両端部以外の１箇所の端部を棒状体５に沿わせて曲げながら引き剥がし、支持体３の対向する一対の両端部７と薄膜２が貼り付けられた状態のままベース基材１から薄膜２が、図３に示すように剥離される（工程Ａ３）。
【００３４】
工程Ａ２において、支持体３の対向する一対の両端部７のそれぞれの端部と、その端部より外側に露出している薄膜２にまたがるように、粘着テープ４を貼り付ける理由は、以下のとおりである。薄膜２と粘着テープ４の接着部１７において、ベース基材１から薄膜２を引き剥がす力と、ベース基材１と薄膜２の接着する力とのせん断力が接着部１７で発生することで、意図的に亀裂を発生させることができる。より好ましくは、粘着テープ４が支持体３の両端部７と薄膜２に貼り付けられた状態で粘着テープ４よりも外側に薄膜２が露出するように、粘着テープ４を支持体３の両端部７と薄膜２に貼り付ける。これは薄膜２と粘着テープ４の接着境界６が起点となり、ベース基材１から薄膜２を引き剥がす力と、ベース基材１と薄膜２の接着する力とのせん断力がより局所的に集中することで、接着境界６に亀裂を意図的に発生させる。これによって、粘着テープ４よりも外側に露出している薄膜２の一部をベース基材１に残したまま、それ以外の部分の薄膜２を剥離する。つまり、接着境界６が剥離の起点となり、接着境界６に沿って安定的に亀裂を作ることができ、接着境界６以外での亀裂による破れを防止することができるため、ベース基材１から薄膜２を連続して剥離するのに有効な方法である。
【００３５】
工程Ａ３において、棒状体５に沿わせて曲げるように引き剥がすことにより、薄膜２がベース基材１から剥離される剥離張力を剥離点８で薄膜２の幅方向に均一化することができる。この幅方向の剥離張力の差が不均一だと、剥離張力の大きい部分に比べて小さい部分が遅れて剥離することで、剥離張力の大きい部分と小さい部分との間でせん断力が作用して、薄膜２のランダムな破れが生じることがある。棒状体５を使用することで、このような現象を無くすことができる。棒状体５はベース基材１の幅にもよるが、撓みの発生しないロールを使用することが好ましい。また、棒状体５が小径な程、支持体３との接触面積が小さくなり、幅方向に均一に剥離張力を付与することができる。一方で、棒状体５を小径にし過ぎた場合、棒状体５自体の撓みで幅方向に均一に接触ができず、均一な剥離張力を付与できない懸念がある。よって、棒状体５の長さに応じて棒状体５が撓わない径を選定することが好ましい。また、剥離した薄膜２は支持体３により支持されるので、ハンドリング性向上と剥離した薄膜２の破れを防止できる。以上により、薄膜２が接着境界６以外で破れることなくベース基材１から薄膜２を均一に剥離することができる。
【００３６】
[ロール・トゥ・ロールでの薄膜剥離方法]
次に、本発明の第１の薄膜剥離方法を用いてロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する１つの方法について、図４を参照して説明する。図４は本発明の第１の薄膜剥離方法を用いてロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する場合の模式図である。
【００３７】
図４に示す装置構成は巻出Ａ９、巻出Ｂ１０、巻取Ａ１１、巻取Ｂ１２、バックアップロール１３、ニップロールＡ１４、ニップロールＢ１５、棒状体５から構成される。図示はしないが、巻出Ａ９、巻出Ｂ１０、巻取Ａ１１、巻取Ｂ１２、バックアップロール１３は、例えばサーボモーターで駆動し、搬送速度と張力をコントロールしている。
【００３８】
巻出Ａ９にはロール状の支持体３をセットし、巻出Ｂ１０にはあらかじめ薄膜２を塗工したロール状のベース基材１をセットする。セットしたベース基材１と支持体３を巻出して、バックアップロール１３の上でベース基材１上の薄膜２に支持体３を重ね合わせる。支持体３のずれや薄膜２と支持体３の間に空気が入り込むのを防止するために、ニップロールＡ１４でニップする。薄膜２と支持体３の間に空気が入ると剥離の際に剥離張力のバランスが幅方向で崩れ、薄膜２の破れの原因となる。
【００３９】
そして、ベース基材１上の薄膜２が塗工された面に重ね合わせた支持体３の対向する一対の両端部７のそれぞれの端部と、その端部より外側に露出している薄膜２にまたがるように、２条がけした粘着テープコア１６から繰り出した粘着テープ４を貼り付けてニップロールＢ１５でニップする。両端部７が平行な支持体３を用いることで、粘着テープ４を連続的に貼り付けることができる。そして、棒状体５に沿わせて曲げるように薄膜２と共に支持体３を引き剥がし、巻取Ａ１１で薄膜２と共に支持体３を巻き取り、ベース基材１を巻取Ｂ１２で巻き取る。この時、巻取Ａ１１と巻取Ｂ１２で張力を付与することで、剥離張力を幅方向で一定に保つことができる。
【００４０】
[第２の薄膜剥離方法]
次に、本発明の第２の薄膜剥離方法の実施形態の一例について、図５および図６を用いて説明する。図５は第２の薄膜剥離方法を模式的に示す断面図である。図６は図５の上面の模式図である。
【００４１】
図５および図６を参照する。第２の実施形態は、円形状の薄膜１０２がベース基材１０１に形成され、円形状の支持体１０３の周縁全体に粘着テープ１０４を貼り付けている以外は第１の実施形態である図１と同じ構成である。
【００４２】
薄膜１０２はベース基材１０１の上に円形状に塗工されているが、楕円や異形形状など形状に限定はない。
【００４３】
次に、第２の薄膜剥離方法で破れ、キズ、シワなく、薄膜１０２を剥離する方法について図６および図７を用いて説明する。図７は本発明の第２の薄膜剥離方法での剥離過程を示す模式図である。
【００４４】
図６および図７を参照する。まず、ベース基材１０１に薄膜１０２が塗工された面に支持体１０３を重ねる（工程Ｂ１）。
【００４５】
次に支持体１０３の周縁部１０７よりも露出している薄膜１０２の部分にまたがるようにして粘着テープ１０４を支持体１０３の周縁部１０７と薄膜１０２に貼り付ける（工程Ｂ２）。
【００４６】
さらに、支持体１０３の周縁部１０７の一部分を引き剥がし、粘着テープ１０４により支持体１０３の周縁部１０７と薄膜１０２とが貼り付けられた状態のまま、棒状体１０５に沿わせて曲げながら支持体１０３をベース基材１０１から引き剥がしていくことで、支持体１０３と共に薄膜１０２をベース基材１０１から剥離する（工程Ｂ３）。
【００４７】
工程Ｂ２において支持体１０３の周縁部１０７よりも露出している薄膜１０２の部分にまたがるようにして粘着テープ１０４を支持体１０３の周縁部１０７と薄膜１０２に貼り付けることによって薄膜が円形や異形形状の薄膜の場合でも、薄膜１０２と粘着テープ１０４の接着部１０９において、ベース基材１０１から薄膜１０２を引き剥がす力と、ベース基材１０１と薄膜１０２の接着する力とのせん断力が接着部１０９で発生することで、意図的に亀裂を発生させることができる。より好ましくは、粘着テープ１０４が支持体１０３の周縁部１０７と薄膜１０２に貼り付けられた状態で粘着テープ１０４よりも外側に薄膜１０２が露出するように、粘着テープ１０４を支持体１０３の周縁部１０７と薄膜１０２に貼り付ける。これにより、粘着テープ１０４と薄膜１０２の接着境界１０６が起点となり、ベース基材１０１から薄膜１０２を引き剥がす力と、ベース基材１０１と薄膜１０２の接着する力のせん断力がより局所的に集中することで、接着境界１０６に沿って意図的に亀裂を発生させる。つまり、粘着テープ１０４の外側に露出している薄膜１０２の部分をベース基材１０１に残したまま、それ以外の部分の薄膜１０２を剥離することで接着境界１０６以外での亀裂の発生を防ぐことができる。
【００４８】
工程Ｂ３において、棒状体１０５に沿わせて曲げるように引き起こすことにより、第１の薄膜剥離方法の工程Ａ３で棒状体５を使用して剥離する場合と同じ理由で、薄膜１０２がベース基材１０１から剥離する剥離点１０８を薄膜１０２の幅方向に均一化することができる。また、剥離した薄膜１０２は支持体１０３により支持されるので、ハンドリング性向上と剥離した薄膜１０２の破れを防止できる。以上により、薄膜が円形や異形形状など非矩形状であっても、薄膜１０２が接着境界１０６以外で破れることなくベース基材１０１から均一に剥離することができる。
【００４９】
[薄膜の製造方法]
これまで説明をしてきた第１の薄膜剥離方法、第２の薄膜剥離方法を用いれば、容易に薄膜を作成することができる。具体的には、  ベース基材１（１０１）の一方の面に塗液を塗工し、その塗液を乾燥させて薄膜２（１０２）が形成されたベース基材１（１０１）を作製した後、第１の薄膜剥離方法または第２の薄膜剥離方法によりベース基材１（１０１）から薄膜２（１０２）を剥離することで、破、キズ、シワのない薄膜２（１０２）を得ることができる。
【００５０】
[第１の薄膜剥離方法の別の実施形態]
次に、ベース基材１から薄膜２を剥離する剥離開始位置を特定の位置に定める方法について、図８、図１０を用いて説明する。図８は図２の実施形態において剥離開始位置を定める切れ込みを付与した模式図である。図１０は図８と異なる方法で切れ込みを付与した模式図である。また、図９は図８の実施形態での剥離過程を示す模式図であり、図１１は図１０の実施形態での剥離工程を示す模式図である。
【００５１】
図８を参照する。図８の実施態様は、切れ込み１８を付与した以外は図２の実施態様と同じである。以下剥離開始位置を定める方法について詳細を述べる。
【００５２】
ベース基材１に薄膜２が塗工された面に支持体３を重ねる工程Ａ１の前に、薄膜２の面からベース基材１に達する直線状の切れ込み１８を入れる。切れ込み１８の長さは、支持体３を重ねた際に支持体の両端部７がくるそれぞれの位置よりも、切れ込み１８のそれぞれの両端が外側になる長さとする。切れ込み１８は、粘着テープ４と薄膜２の接着境界６の外側まで達することがより好ましい。切れ込み１８を入れる方法は薄膜２を突き破り、ベース基材１を突き破らない方法であれば特に限定はしないが、例えば先端の鋭い針、キリまたはマイナスドライバー等で一気に引っかく方法であると簡便に一直線の切れ込みを付与することができる。
【００５３】
次に、図２の第１の薄膜剥離方法の実施形態と同様に支持体３の粘着テープ４を貼り付けた両端部以外の１箇所の端部を引き起こす。ここで接着境界６に亀裂を意図的に発生させて、ベース基材１から薄膜２の剥離を開始する。そして、支持体３の引き起こしが切れ込み１８に達すると、接着境界６による亀裂と切れ込み１８による亀裂がつながり、切れ込み１８を起点として支持体３の全幅でベース基材１から薄膜２が剥離することで、剥離開始位置を定めることができる。
【００５４】
さらに、工程Ａ３において棒状体５を置く際に、棒状体５を切れ込み１３の近傍に置くことで、支持体３の粘着テープ４を貼り付けた両端部に一直線状の均一な剥離張力を付与できるので好ましい。
【００５５】
次に図１０を参照する。図１０の実施態様では、支持体３が、粘着テープ４を貼り付けられる両端部７以外の１箇所の端部の外側に薄剥膜２が露出するように、薄膜２の上に重ねられており、さらに、上記１箇所の端部に沿って切れ込み１８が付与されている。これら以外は図２の実施態様と同じである。
【００５６】
図１０の実施形態について詳細を述べる。工程Ａ１において、支持体３の粘着テープ４が貼りつけられる対向する一対の両端部７とは別のもう一対の両端部のうちの一方の端部よりも外側に薄膜２が露出するように、支持体３を薄膜２に重ねる。そして、工程Ａ１と工程Ａ２の間に、支持体３の上記薄膜２を露出させた端部に沿って、薄膜２の面からベース基材１に達する直線状の切れ込み１８を入れる。切れ込み１８の長さは、切れ込み１８の両端が支持体３の両端部７よりも外側となる長さとする。支持体３の端部が切れ込み１３を付与する際のガイドとなり、一直線の切れ込みを入れやすい。その後の工程は第１の実施形態と同じであるが、支持体３を引き起こす端部と切れ込み１８が同じ位置のため、剥離開始位置を正確に定めることができる。
【００５７】
さらに、工程Ａ３において棒状体５を置く際に、棒状体５を切れ込み１３の近傍に置くことで、支持体３の粘着テープ４を貼り付けた両端部に一直線状の均一な剥離張力を付与できるので好ましい。
【００５８】
次に、図８の実施形態での薄膜剥離方法を用いてロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する１つの方法について、図１２を用いて説明する。図１２は図８の実施形態においてロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する方法を示す模式図である。巻出Ｂ１０とニップロールＡ１４との間で、ベース基材１の上に塗工された薄膜２に切り込み１８を付与している以外は、本発明の第１の薄膜剥離方法を用いてロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する場合の模式図である図４と同じである。
【００５９】
まず、巻出Ａ９から巻き出した支持体３と巻出Ｂ１０から巻き出したベース基材１とをニップロールＡ１４を通過させて、いったんベース基材１と支持体３の搬送を止める。そして、ベース基材１と支持体３とがニップロールＡ１４で重なる位置を確認して、ニップロールＡ１４の手前で、支持体３よりも切れ込み１８の開始端と終端が外側になるように、先端の鋭い針、キリまたはマイナスドライバー等で一気に引っかく。また、薄膜２の全幅に切れ込み１８を入れておくと、確実に切れ込み１８の開始端と終端を支持体３よりも外側にできる。その後の工程は図４での工程と同じである。切れ込み１８を入れた位置が棒状体５を通過すると、切れ込み１８と、粘着テープ４と薄膜２の境界で発生する亀裂とがつながり、切れ込み１８を起点として確実に薄膜２を剥離することができる。
【００６０】
次に、図１０の実施形態での薄膜剥離方法を用いてロール・トゥ・ロールで連続的に剥離する１つの方法について、図１３、図１４を用いて説明する。図１３の装置構成は図４と同じである。巻出Ａ９から巻き出された支持体３がニップロールＡ１４を通過して、ニップロールＢ１５に達する手前で、いったんベース基材１と支持体３の搬送を止める。そして、支持体３の端部とベース基材１とが重なってできる段差に沿って先端の鋭い針、キリまたはマイナスドライバー等で一気に引っかくことで切れ込み１８を形成する。その後、支持体３と同じ部材であるリード１９を、リード用粘着テープ２０で支持体３の端部と貼り付けて、図４と同じように粘着テープ４もセットする。図１４のようにセット後の剥離の工程は図１２の実施形態と同じである。
【実施例】
【００６１】
（実施例１）
図１の第１の薄膜剥離方法の実施形態で薄膜の剥離を実施した。
ベース基材１に厚み１００μm、幅４００mmの全角ＰＥＴフィルムを準備し、ベース基材１にダイを用いてポリビニルアルコールを膜厚が１０μｍ、幅Ｗ１＝３５０ｍｍで塗工し、薄膜２を形成した。
上記薄膜２に、厚み５０μｍ、幅Ｗ２＝３００ｍｍの支持体３であるＰＥＴフィルムを対向する一対の両端部から薄膜２が露出するように重ね合わせた。
【００６２】
さらに、支持体３の一対の両端部７のそれぞれの端部の外側に露出している薄膜２にまたがるように幅２５ｍｍの粘着テープ４を貼り付けた。このとき、粘着テープ４よりも外側に薄膜２が露出するように、粘着テープを貼り付けた。
【００６３】
そして、支持体３の粘着テープ４で貼り付けていない端部の１箇所を引き起こして、直径２０ｍｍ、長さ４００ｍｍのＳＵＳ 製ロールの棒状体５に支持体３を沿わせて曲げながら引き剥がしたところ、粘着テープ４と薄膜２の接着境界６に沿って薄膜２に亀裂が発生し、薄膜２が支持体３と接する領域で破れることなく安定して剥離できた。
【００６４】
（実施例２）
実施例１と同じ部材を用いて、図８の実施形態の薄膜剥離方法で剥離を実施した。
ベース基材１の上に塗工された薄膜２の塗工幅Ｗ１＝３５０ｍｍの全幅に渡ってマイナスドライバーを用いて一直線の切れ込み１８を入れた。そして、支持体３であるＰＥＴフィルムを対向する一対の両端部から薄膜２が露出するように重ね合わせて、その後は実施例１と同じ手順で剥離を実施した。支持体３の引き起こしが切れ込み１８に達すると、接着境界６による亀裂と切れ込み１８による亀裂がつながり、切れ込み１８を起点として支持体３の全幅でベース基材１から薄膜２が剥離することができた。
【００６５】
（実施例３）
実施例１と同じ部材を用いて、図１０の実施形態の薄膜剥離を実施した。支持体３と粘着テープ４を貼り付ける対向する一対の両端部７とは別のもう一対の両端部のうちの一方の端部よりも外側に薄膜２が露出するように、支持体３を薄膜２の上に重ねた。そして、マイナスドライバーを用いて支持体３の端部に沿って、薄膜２の面からベース基材１に達する一直線の切れ込み１８を形成した。切れ込み１８の長さは、開始端と終端が支持体３の両端部７よりもそれぞれ１０ｍｍずつ外側になるようにした。そして、支持体３を引き起こすと、支持体３を引き起こす端部と切れ込み１８が同じ位置のため、剥離開始位置を正確に定めることができた。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、ベース基材上に塗工形成された薄膜を連続かつ安定的に剥離する工程に利用することができる。
【符号の説明】
【００６７】
１        ベース基材
２        薄膜
３        支持体
４        粘着テープ
５        棒状体
６        接着境界
７        両端部
８        剥離点
９        巻出Ａ
１０      巻出Ｂ
１１      巻取Ａ
１２      巻取Ｂ
１３      バックアップロール
１４      ニップロールＡ
１５      ニップロールＢ
１６      粘着テープコア
１７      接着部
１８      切れ込み
１９      リード
２０      リード用粘着テープ
１０１    ベース基材
１０２    薄膜
１０３    支持体
１０４    粘着テープ
１０５    棒状体
１０６    接着境界
１０７    周縁部
１０８    剥離点
１０９    接着部
Ｗ１      薄膜２の幅
Ｗ２      支持体３の幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018094546.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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