(57)【要約】【課題】製造時に発生する内部応力を緩和して高い信頼性を実現する液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための複数の吐出口４５を有し、樹脂材料からなる第１のプレート３０と、複数の吐出口４５にそれぞれ連通する複数の貫通孔を有し、金属材料からなる第２のプレート２９と、からなる積層体８２を有している。積層体８２は、複数の吐出口４５の配列方向Ｙに沿って形成され、第２のプレート２９から第１のプレート３０に向かう方向にドーム状に湾曲して突出する複数の突出部８５を有している。第２のプレート２９は、複数の突出部８５に近接して形成された複数の貫通スリット８０を有している。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数の吐出口を有し、樹脂材料からなる第１のプレートと、前記複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の貫通孔を有し、金属材料からなる第２のプレートと、からなる積層体を有し、前記積層体が、前記複数の吐出口の配列方向に沿って形成され、前記第２のプレートから前記第１のプレートに向かう方向にドーム状に湾曲して突出する複数の突出部を有する、液体吐出ヘッドにおいて、
前記第２のプレートが、前記複数の突出部に近接して形成された複数の貫通スリットを有することを特徴とする、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記複数の貫通スリットは、それぞれが前記配列方向に沿って延びる複数の第１の貫通スリットであって、前記配列方向と直交する方向において前記突出部の両側に配置された複数の第１の貫通スリットを含む、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記第１のプレートが、該第１のプレートの前記第２のプレートが接合された面に形成され、前記配列方向と直交する方向において前記突出部を挟むように配置された複数の凹部を有する、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記凹部が、前記第１の貫通スリットに対向する位置に配置されている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記凹部が、前記配列方向と直交する方向において、前記第１の貫通スリットよりも前記突出部に近い位置に配置されている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記凹部が、前記配列方向と直交する方向において、前記第１の貫通スリットよりも前記突出部から遠い位置に配置されている、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記凹部が、前記配列方向に離散的に形成されている、請求項４から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記凹部が、前記配列方向に連続的に形成されている、請求項４から６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記複数の貫通スリットは、それぞれが前記配列方向と直交する方向に延びる複数の第２の貫通スリットであって、前記配列方向において前記突出部の両側に配置された複数の第２の貫通スリットを含む、請求項２から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
液体を吐出するための複数の吐出口を有し、樹脂材料からなる第１のプレートと、前記複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の貫通孔を有し、金属材料からなる第２のプレートと、からなる積層体を有し、前記積層体が、前記複数の吐出口の配列方向に沿って形成され、前記第２のプレートから前記第１のプレートに向かう方向にドーム状に湾曲して突出する複数の突出部を有する、液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記第２のプレートに複数の貫通スリットを形成する工程と、
前記複数のスリットを形成した後、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを接合して、前記積層体を形成する工程と、
前記複数の貫通スリットに近接した位置で、前記積層体を前記第２のプレートから前記第１のプレートに向かう方向にドーム状に湾曲させて突出させて、前記積層体に前記複数の突出部を形成する工程と、を含むことを特徴とする、液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記複数の突出部を形成する工程が、前記積層体の前記複数のスリットに挟まれた領域に前記複数の突出部を形成することを含む、請求項１０に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】
前記複数の貫通スリットを形成する工程が、レーザ加工、フォトリソグラフィ、または打ち抜きによって、前記複数の貫通スリットを形成することを含む、請求項１０または１１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１３】
前記複数の突出部を形成する前に、前記第１のプレートに複数の凹部を形成する工程をさらに含む、請求項１０から１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１４】
前記複数の凹部を形成する工程が、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを接合した後、前記前記第２のプレートの前記複数の貫通スリットを介したレーザ加工によって、前記第１のプレートに前記複数の凹部を形成することを含む、請求項１３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記複数の凹部を形成する工程が、前記第１のプレートと前記第２のプレートとを接合する前に、レーザ加工またはフォトリソグラフィによって、前記第１のプレートに前記複数の凹部を形成することを含む、請求項１３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記複数の突出部を形成する工程が、プレス加工によって前記複数の突出部を形成することを含む、請求項１０から１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
吐出口からインクなどの液体を吐出して記録媒体に画像を記録する液体吐出ヘッドにおいては、安定した吐出性能を維持するために、吐出口が開口する吐出口面に撥液膜を形成して、吐出口の周囲に液体が付着することを抑制することが行われている。しかしながら、記録用紙（記録媒体）に対向して配置された吐出口面には、紙ジャムなどによって浮き上がった記録用紙が衝突するおそれがあり、それにより、吐出口の周囲の撥液膜が損傷するおそれがある。そこで、特許文献１には、吐出口面に複数の突出部を設けることで、紙ジャムなどによって記録用紙が浮き上がった場合でも吐出口の周囲の撥液膜に衝突してそれらを損傷させることを抑制する液体吐出ヘッドが記載されている。複数の突出部は、吐出口が形成された樹脂プレートと、吐出口に連通する流路が形成された金属プレートとを接合し、それらにプレス加工を行い、両プレートを金属プレートから樹脂プレートに向かう方向に湾曲させて突出させることで形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−４３５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した製造方法では、プレス加工時に発生する内部応力により、接合された両プレート間に隙間が生じる可能性があり、この隙間には、その後の製造工程において外部から樹脂プレートを透過して水分（湿気）が浸入する可能性がある。このような状態で、これら２枚のプレートと液体吐出ヘッドを構成する他のプレートとを加熱接合すると、上記隙間に浸入した水分が膨張して樹脂プレートと金属プレートとを剥離させるという不具合が発生するおそれがある。
そこで、本発明の目的は、製造時に発生する内部応力を緩和して高い信頼性を実現する液体吐出ヘッドおよびその製造方法を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述した目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するための複数の吐出口を有し、樹脂材料からなる第１のプレートと、複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の貫通孔を有し、金属材料からなる第２のプレートと、からなる積層体を有し、積層体が、複数の吐出口の配列方向に沿って形成され、第２のプレートから第１のプレートに向かう方向にドーム状に湾曲して突出する複数の突出部を有し、第２のプレートが、複数の突出部に近接して形成された複数の貫通スリットを有している。
また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出するための複数の吐出口を有し、樹脂材料からなる第１のプレートと、複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の貫通孔を有し、金属材料からなる第２のプレートと、からなる積層体を有し、積層体が、複数の吐出口の配列方向に沿って形成され、第２のプレートから第１のプレートに向かう方向にドーム状に湾曲して突出する複数の突出部を有する、液体吐出ヘッドの製造方法であって、第２のプレートに複数の貫通スリットを形成する工程と、複数のスリットを形成した後、第１のプレートと第２のプレートとを接合して、積層体を形成するする工程と、複数の貫通スリットに近接した位置で、積層体を第２のプレートから第１のプレートに向かう方向にドーム状に湾曲させて突出させて、積層体に複数の突出部を形成する工程と、を含んでいる。
このような液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法では、第２のプレートに形成された複数の貫通スリットが、第１および第２のプレートからなる積層体に複数の突出部を形成する際に発生する内部応力を緩和することができる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、製造時に発生する内部応力を緩和して高い信頼性を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】液体吐出ヘッドが搭載される記録装置の概略平面図である。
【図２】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略平面図である。
【図３】一実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略平面図である。
【図４】図３の液体吐出ヘッドの概略拡大平面図および断面図である。
【図５】第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法を示す概略断面図である。
【図６】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略平面図および断面図である。
【図７】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの変形例を示す概略平面図である。
【図８】第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの変形例を示す概略断面図である。
【図９】第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドの概略平面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
本明細書では、本発明の液体吐出ヘッドについて、インクを吐出して記録媒体に画像を記録する液体吐出ヘッドを例に挙げて説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、他の液体を吐出する液体吐出ヘッド、例えば、導電性の液体を吐出して基板表面に導電パターンを形成する液体吐出ヘッドにも適用可能である。また、本発明の液体吐出ヘッドは、以下の実施形態で説明するシリアル型ヘッドに限定されず、例えば、装置本体内に固定的に設置され、記録媒体の幅方向全体にわたって複数の吐出口が配列された、いわゆるライン型ヘッドにも適用可能である。
【０００９】
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成について説明する前に、本実施形態の液体吐出ヘッドが搭載される記録装置の構成について説明する。図１は、本実施形態のインクジェット記録装置の概略平面図である。
【００１０】
記録装置１は、インクを吐出して記録用紙（記録媒体）２に画像を記録する液体吐出ヘッド３と、走査方向Ｘに沿って往復移動可能なキャリッジ４と、記録用紙２を走査方向Ｘと直交する搬送方向Ｙに搬送する搬送機構５とを備えている。また、筐体６内には、記録用紙２を支持するプラテン７が水平方向に沿って設置され、このプラテン７の上方には、走査方向Ｘに平行に延びる２つのガイドレール８ａ，８ｂが設けられている。キャリッジ４は、キャリッジ駆動モータ（図示せず）によって駆動されることで、プラテン７上の記録用紙２と対向する領域において、２本のガイドレール８ａ，８ｂに沿って走査方向Ｘに移動することができる。
液体吐出ヘッド３は、液体を吐出するための複数の吐出口が開口する吐出口面３０ａをプラテン７に対向させた状態で、キャリッジ４に取り付けられており、キャリッジ４と共に走査方向Ｘに移動することができる。また、液体吐出ヘッド３は、チューブ（図示せず）によってインクカートリッジホルダ９に接続されている。インクカートリッジホルダ９には、それぞれブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクが充填された４つのインクカートリッジ１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄが装着され、これらのインクがチューブを介して液体吐出ヘッド３に供給される。こうして、液体吐出ヘッド３は、キャリッジ４と共に走査方向Ｘに移動しながら、搬送機構５によって排紙部１５に向かって搬送方向Ｙに搬送される記録用紙２にインクを吐出して画像や文字などを記録することができる。
【００１１】
また、記録装置１は、キャリッジ４の移動領域のうちプラテン７の外側に配置されたメンテナンスユニット１１を備えている。メンテナンスユニット１１は、キャップ１２、吸引ポンプ１３、およびワイパー１４などから構成されている。キャップ１２は、モータなどの駆動源とギヤなどの動力伝達機構とからなるキャップ駆動部（図示せず）によって昇降駆動されるように構成されている。キャップ１２は、液体吐出ヘッド３の未使用時などにキャリッジ４がメンテナンスユニット１１の上方に移動したときに、キャップ駆動部によって上方へ移動し、液体吐出ヘッド３の吐出口面３０ａに密着してキャッピングを行う。キャッピングの後、キャップ１２に接続された吸引ポンプ１３により、キャップ１２内部の空気を吸引してキャップ１２内部を減圧することで、液体吐出ヘッド３の複数の吐出口からキャップ１２内部へインクを強制的に排出させる吸引パージを行う。この吸引パージにより、インクに混入している気泡や塵、あるいは増粘したインクなどが排出され、液体の吐出性能の低下が抑制される。なお、ワイパー１４は、吸引パージ後に液体吐出ヘッド３が液体吐出位置に移動する際、液体吐出ヘッド３の吐出口面３０ａに付着したインクを拭き取るワイピングを行うものである。
【００１２】
次に、図２から図４を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッドの構成について説明する。図２は、本実施形態の液体吐出ヘッドを吐出口面側から見た概略平面図であり、図３は、それと反対側から見た概略平面図である。図４（ａ）は、図３の一点鎖線で囲まれた領域を拡大して示す概略平面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ線に沿った概略断面図である。
【００１３】
図２から図４に示すように、液体吐出ヘッド３は、流路形成部材３１と、流路形成部材３１に接合された圧電アクチュエータ３２とを備えている。
流路形成部材３１は、液体を吐出するための複数の吐出口４５と、複数の吐出口４５にそれぞれ連通し、吐出口４５から吐出されるインクを貯留する複数の圧力室４３とを有している。複数の吐出口４５は、搬送方向Ｙに所定のピッチでそれぞれ配列され、図２に示すように４列の吐出口列４９を構成し、それに応じて、複数の圧力室４３も、図３に示すように４列の圧力室列８７を構成している。流路形成部材３１の搬送方向Ｙの一端側には、走査方向Ｘに沿って４つの供給口４０が形成され、これら４つの供給口４０は、４つのインクカートリッジ１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ（図１参照）にそれぞれ接続されている。４列の吐出口列４９は、それぞれ後述する共通液室４１を介して４つの供給口４０に連通し、それぞれブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクを吐出するものである。流路形成部材３１の詳細な構成については後述する。
【００１４】
圧電アクチュエータ３２は、圧力室４３の一部を構成し、圧力室４３内に圧力を発生させ、圧力室４３に連通する吐出口４５から圧力室４３内のインクを吐出させるものである。圧電アクチュエータ３２は、図４（ｂ）に示すように、流路形成部材３１上に設けられた振動板５０と、振動板５０上に設けられた圧電層５１と、圧電層５１上に設けられた複数の個別電極５２とを備えている。
振動板５０は、複数の圧力室４３を覆うように流路形成部材３１に接合されている。振動板５０は、金属材料からなり、複数の個別電極５２との間で圧電層５１の厚み方向に電界を生じさせる共通電極を兼ねている。この共通電極としての振動板５０は、ドライバＩＣ（図示せず）のグランド配線に接続され、常にグランド電位に保持される。圧電層５１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であって強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなり、平板状に形成されている。圧電層５１は、複数の圧力室４３と対向するように、複数の圧力室４３にわたって連続的に形成されている。複数の個別電極５２は、圧電層５１上の複数の圧力室４３と対向する領域にそれぞれ配置されている。各個別電極５２は、図４（ａ）に示すように、圧力室４３よりも一回り小さいほぼ楕円形の平面形状を有し、平面視において圧力室４３の中央部付近で圧力室４３と対向している。また、複数の個別電極５２の端部からは、個別電極５２の長手方向に沿って複数の接点部（図示せず）がそれぞれ引き出されている。
【００１５】
上述の複数の接点部には、記録装置１のメイン制御基板（図示せず）に接続された、圧電アクチュエータ３２を駆動するドライバＩＣを実装するフレキシブル配線基板（図示せず）が接続されている。ドライバＩＣは、フレキシブル配線基板内の配線を介して複数の個別電極５２および共通電極（振動板）５０に電気的に接続され、メイン制御基板からの指令に基づいて、複数の個別電極５２のそれぞれに駆動パルス信号を供給する。
個別電極５２に駆動パルス信号が供給されると、圧電層５１の個別電極５２と共通電極（振動板）５０との間に挟まれた部分（活性部）に所定の駆動電圧が印加され、厚み方向の電界が作用する。これにより、活性部が厚み方向と直交する面内方向に収縮し、この収縮に伴って、振動板５０の圧力室４３を構成する部分が圧力室４３内に突出するように変形する。このとき、圧力室４３が収縮することで、圧力室４３内の圧力が上昇して圧力室４３内のインクが吐出口４５から吐出される。
【００１６】
次に、主に図４（ｂ）を参照して、流路形成部材３１の詳細な構成について説明する。流路形成部材３１は、積層された１１枚のプレート２０〜３０から構成されている。それらは、キャビティプレート２０、ベースプレート２１、アパーチャプレート２２、スペーサプレート２３、第１のダンパープレート２４、および第２のダンパープレート２５である。また、第１のマニホールドプレート２６、第２のマニホールドプレート２７、カバープレート２８、第３のダンパープレート２９、および吐出口プレート３０である。これらプレート２０〜３０は、接着剤によって互いに接合されている。プレート２０〜３０のうち、吐出口プレート３０を除くプレート２０〜２９は、それぞれステンレス板やニッケル合金鋼板など金属材料からなるプレートであり、吐出口プレート３０は、ポリイミドなどの合成樹脂材料からなるプレートである。
【００１７】
流路形成部材３１は、吐出口プレート３０に形成された吐出口４５と、キャビティプレート２０に形成された圧力室４３とを有している。吐出口４５は、プレート２１〜２９に形成された第１の連通流路４４を介して、圧力室４３に連通している。圧力室４３は、プレート２１〜２５に形成されたアパーチャ４２を含む第２の連通流路４６を介して、第１および第２のマニホールドプレート２６，２７に形成された共通液室４１に連通している。共通液室４１は、図２および図３に示すように、搬送方向Ｙに直線的に延び、圧力室列８７ごとに１つずつ設けられている。共通液室４１は、プレート２１〜２５に形成された供給流路（図示せず）を介して、キャビティプレート２０に形成された供給口４０に連通している。
【００１８】
また、流路形成部材３１は、共通液室４１内の圧力変動を減衰させるための第１および第２のダンパー室４７，４８を有している。第１および第２のダンパー室４７，４８は、プレート２０〜３０の積層方向において共通液室４１を挟むように設けられている。第１および第２のダンパー室４７，４８は、それぞれ共通液室４１の長手方向（搬送方向Ｙ）に延び、第１のダンパー室４７は、平面視において、共通液室４１を覆うように配置されている（図３参照）。
【００１９】
第１のダンパー室４７は、スペーサプレート２３と、第１のダンパープレート２４に形成された貫通孔２４ａと、第２のダンパープレート２５に形成された凹部２５ａとによって形成された、内部に空気を含む空間である。第１のダンパー室４７は、共通液室４１との間の仕切り壁２５ｃが共通液室４１内の圧力変動によって変形するダンパー膜として機能することで、その圧力変動を減衰させることができる。第１のダンパー室４７の平面形状は、図３に示すように長円形であるが、内部に空気が存在して仕切り壁２５ｃがダンパー膜の機能を有する形状であれば、長円形に限定されるものではない。
第１のダンパー室４７内には、第１のダンパー室４７の延在方向（搬送方向Ｙ）に沿って複数の支持部７０が形成されている。支持部７０は、スペーサプレート２３に形成された凸部２３ａと、第２のダンパープレート２５の凹部２５ａ内に形成された凸部２５ｂとによって形成されている。支持部７０は、図３および図４（ａ）に示すように、圧力室４３ごとに設けられ、圧力室４３の剛性を高める機能を有している。なお、圧力室４３に発生する曲げ変形を抑制するための支持部７０の好適な平面形状としては、曲げ剛性を得るために、図４（ａ）に示すように、圧力室４３の長手方向に沿った形状が挙げられる。また、圧力室４３にねじり変形が発生する場合の支持部７０の好適な平面形状としては、ねじり剛性を得るために、矩形状の圧力室４３の対角線方向に沿った形状が挙げられる。
【００２０】
一方、第２のダンパー室４８は、第３のダンパープレート２９に形成された凹部２９ｂとカバープレート２８とによって形成された、内部に空気を含む空間である。第２のダンパー室４８も、カバープレート２８の第２のダンパー室４８と共通液室４１との間に位置する部分が共通液室４１内の圧力変動によって変形するダンパー膜として機能することで、その圧力変動を減衰させることができる。
【００２１】
また、流路形成部材３１は、吐出口プレート３０の吐出口４５が開口する面すなわち吐出口面３０ａに形成された撥液膜８１と、第３のダンパープレート２９と吐出口プレート３０とからなる積層体８２に形成された複数の突出部８５とを有している。撥液膜８１は、フッ素系樹脂からなり、吐出口４５の周囲にインクが付着することを抑制するために設けられている。複数の突出部８５は、吐出口面３０ａから記録用紙２に向かって突出し、紙ジャムなどによって浮き上がった記録用紙２が吐出口４５の周囲の撥液膜８１に衝突してそれらを損傷させることを抑制するために設けられている。複数の突出部８５は、図２に示すように、４つの共通液室４１とそれぞれ重なる領域で搬送方向Ｙに沿って配列されて４列の突出部列８６を構成し、４列の吐出口列４９とそれぞれ走査方向Ｙに並列して配置されている。このように配置された突出部８５により、吐出口面３０ａにおける吐出口４５の周囲が記録用紙２から保護され、記録用紙２に接触しにくくなることで、撥液膜８１の損傷を効果的に抑制することができる。
【００２２】
突出部８５は、第３のダンパープレート２９から吐出口プレート３０に向かう方向にドーム状に湾曲して突出するように形成されている。突出部８５の頂部は、丸みを帯びた形状を有し、それにより、記録用紙２が突出部８５に衝突しても記録用紙２の損傷を抑制することができる。吐出口面３０ａからの突出部８５の高さは、吐出口４５の周囲への記録用紙２の接触を確実に抑制するために、例えば１００μｍ程度であることが好ましい。
突出部８５の平面形状は、図２に示すように、搬送方向Ｙに沿った長軸を有する楕円形である。これは、金属の圧延プレートである第３のダンパープレート２９の圧延方向が搬送方向Ｙであるためである。すなわち、後述するように、パンチによるプレス加工によって第３のダンパープレート２９（および吐出口プレート３０）を塑性変形させて突出部８５を形成する際に、第３のダンパープレート２９の圧延方向に金属材料が広がりやすいためである。なお、突出部８５の平面形状は、楕円形に限定されず、パンチやダイの形状を変更することで、様々な平面形状の突出部８５を形成することができる。また、第３のダンパープレート２９の材質特性（延性など）によっては、第３のダンパープレート２９の塑性変形が特定方向に偏らない場合もある。この場合には、円柱形状のパンチを用いることで、ほぼ真円形の平面形状を有する突出部８５を形成することもできる。
【００２３】
上述したように、突出部８５の形成は、金属材料からなる第３のダンパープレート２９と樹脂材料からなる吐出口プレート３０とを接合し、それらにプレス加工を施すことで行われる。しかしながら、このプレス加工時に発生する内部応力により、接合された両プレート２９，３０間に隙間が生じる可能性があり、この隙間には、その後の製造工程において外部から吐出口プレート３０を透過して水分（湿気）が浸入する可能性がある。このような状態で、これら２枚のプレート２９，３０と流路形成部材３１の他のプレート２０〜２８とを加熱接合すると、上記隙間に浸入した水分が膨張して第３のダンパープレート２９と吐出口プレート３０とを剥離させるという不具合が発生するおそれがある。
そこで、本実施形態では、このようなプレス加工に伴う内部応力を緩和するために、図２から図４に示すように、突出部８５に近接して複数の貫通スリット８０が形成されている。複数の貫通スリット８０は、第３のダンパープレート２９に形成され、それぞれ搬送方向（複数の吐出口４５の配列方向）Ｙに沿って延び、搬送方向Ｙと直交する走査方向Ｘにおいて突出部８５を両側から挟むように配置されている。複数の貫通スリット８０は、後述するように、液体吐出ヘッド３の製造時に発生する内部応力を緩和するだけでなく、完成した液体吐出ヘッド３の使用時に熱膨張などにより発生する応力も緩和することができる。なお、図示した例では、複数の貫通スリット８０は、走査方向Ｘにおいて突出部８５の両側に配置されているが、片側だけに配置されていてもよく、その場合にも内部応力を緩和することはできる。
【００２４】
次に、図５を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。ここでは、特に、流路形成部材の製造工程について説明する。図５は、本実施形態の流路形成部材の製造工程における液体吐出ヘッドの概略断面図である。
【００２５】
まず、図５（ａ）に示すように、金属材料からなる第３のダンパープレート２９を用意し、ハーフエッチングによって、第３のダンパープレート２９に、第２のダンパー室４８を形成する凹部２９ｂを形成して、薄肉部２９ａを形成する。さらに、レーザ加工、フォトリソグラフィ、または打ち抜きによって、第１の連通流路４４を形成する複数の貫通孔２９ｃを形成するとともに、薄肉部２９ａに近接した位置に複数の貫通スリット８０を形成する。
【００２６】
次に、図５（ｂ）に示すように、吐出口面３０ａとなる一方の面に撥液膜８１が形成された、樹脂材料からなる吐出口プレート３０を用意し、吐出口プレート３０の他方の面に第３のダンパープレート２９を積層して接合する。具体的には、吐出口プレート３０と第３のダンパープレート２９との間に接着剤を介在させ、その状態で２枚のプレート２９，３０を押圧して接合することで、２枚のプレート２９，３０からなる積層体８２を形成する。
なお、撥液膜８１は、吐出口プレート３０にフッ素系樹脂のフィルムを貼り付けることで形成するか、あるいは、液状のフッ素系樹脂を塗布することで形成することができる。
【００２７】
次に、図５（ｃ）に示すように、吐出口プレート３０の撥液膜８１が形成された面３０ａに、例えばＵＶ剥離性の接着剤を用いて、合成樹脂フィルムからなる保護膜７１を貼り付けて接着する。そして、積層体８２の吐出口プレート３０に対してレーザ加工を行い、吐出口プレート３０の複数の貫通孔２９ｃに対向する領域に複数の吐出口４５を形成する。
【００２８】
次に、図５（ｄ）に示すように、積層体８２にプレス加工を行い、複数の突出部８５を形成する。具体的には、複数の孔８３ｃを有するダイ８３の上に、下面３０ａに保護膜７１が貼り付けられた状態の積層体８２を設置する。このとき、第３のダンパープレート２９の薄肉部２９ａがダイ８３の複数の孔８３ｃを覆うように積層体８２を設置する。そして、第３のダンパープレート２９の薄肉部２９ａにパンチ８４を当接させ、パンチ８４のテーパ状の先端部を第３のダンパープレート２９から吐出口プレート３０に向かって押し込んでプレス加工を行う。こうして、第３のダンパープレート２９を塑性変形させ、積層体８２を部分的に下方に湾曲させて突出させることで、吐出口プレート３０の下面３０ａから突出する複数のドーム状の突出部８５を形成する。
このとき、上述したように第３のダンパープレート２９にはプレス加工による内部応力が発生するが、本実施形態では、第３のダンパープレート２９の薄肉部２９ａに近接して形成された複数の貫通スリット８０によって、この内部応力を緩和することができる。こうして、プレス加工時に発生する内部応力によって第３のダンパープレート２９と吐出口プレート３０との間に隙間が生じることを抑制することができる。なお、プレス加工による内部応力をより効果的に緩和するために、複数の貫通スリット８０は、吐出口４５の配列方向と直交する方向（図の左右方向）において薄肉部２９ａの両側に対称的に配置されていることが好ましい。
このプレス加工時には、吐出口プレート３０の下面３０ａは保護膜７１に覆われ、ダイ８３には接触しないため、吐出口プレート３０の下面３０ａに形成された撥液膜８１が損傷することも抑制される。
【００２９】
次に、図５（ｅ）に示すように、吐出口プレート３０の下面３０ａから保護膜７１を剥離する。例えば、保護膜７１がＵＶ剥離性の接着剤で吐出口プレート３０に接合されている場合には、ＵＶの照射によって保護膜７１を簡単に剥離することができる。また、保護膜７１の種類によっては、適切な溶剤により保護膜７１を溶解させて除去することもできる。
【００３０】
次に、図５（ｆ）に示すように、積層体８２と、流路形成部材３１を構成する他のプレート２０〜２８と、圧電アクチュエータ３２の振動板５０とを接合する接合工程を行う。なお、流路形成部材３１を構成する他のプレート２０〜２８には、エッチングによって、圧力室４３や共通液室４１、第１の連通流路４４などを形成する貫通孔が予め形成されている。この接合工程では、積層体８２、プレート２０〜２８、および振動板５０のそれぞれの接合面に熱硬化性接着剤を塗布した後、これらを互いに積層し、ヒータプレート９０、９１によって上下両方向から、例えば１５０℃で加熱しながら押圧する。こうして、積層体８２、プレート２０〜２８、および振動板５０が接合される。ここで、下側のヒータプレート９１には、押圧の際に積層体８２の突出部８５が押し潰されるのを抑制するために、図示したように、突出部８５に接触しないような形状、例えば、凹状や孔状の逃がし部が形成されていることが好ましい。
その後、振動板５０の上に、別工程で製造した圧電層５１を貼り付けるとともに、圧電層５１に上に複数の個別電極５２を形成して、圧電アクチュエータ３２を形成し、図２から図４に示す液体吐出ヘッド３が完成する。
【００３１】
上述の接合工程では、第３のダンパープレート２９にカバープレート２８が接合されることで、複数の貫通スリット８０からなる複数の空間が形成される。こうして、複数の貫通スリット８０は、液体吐出ヘッド３の製造時に発生する内部応力を緩和するだけでなく、完成した液体吐出ヘッド３においても、複数の空間を形成することでその使用時に熱膨張などにより発生する応力も緩和することができる。このような観点から、貫通スリット８０内に体膨張係数の小さい樹脂などを充填して、熱膨張を抑制するようになっていてもよい。
【００３２】
（第２の実施形態）
図６（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドを吐出口面側から見た概略平面図である。図６（ｂ）は、本実施形態の液体吐出ヘッドの概略断面図である。本実施形態は、第１の実施形態に対して、複数の凹部１００を追加したものであり、これ以外の構成については、第１の実施形態と同様である。
複数の凹部１００は、液体吐出ヘッド３の製造時に発生する内部応力を緩和することを目的として、複数の貫通スリット８０とは別に、吐出口プレート３０の第３のダンパープレート２９に対向する面に形成されている。複数の凹部１００は、走査方向Ｘにおいて突出部８５を両側から挟むように、複数の貫通スリット８０に対向する位置に配置されている。
【００３３】
図６（ａ）に示す例では、凹部１００は、積層体８２の積層方向から見たとき、それぞれの貫通スリット８０の内側に１つずつ形成されているが、凹部１００の配置は、これに限定されるものではない。例えば、図７（ａ）に示すように、凹部１００は、それぞれの貫通スリット８０の内側に２つずつ形成されていてもよく、あるいは、それ以上形成されていてもよい。また、図７（ｂ）に示すように、凹部１００は、複数の貫通スリット８０にわたって搬送方向Ｙに連続的に形成されていてもよい。
また、走査方向Ｘにおける凹部１００の形成位置も、上述した貫通スリット８０に対向する位置に限定されるものではない。例えば、図８（ａ）に示すように、貫通スリット８０よりも突出部８５に近い位置であってもよく、あるいは、図８（ｂ）に示すように、貫通スリット８０よりも突出部８５から遠い位置であってもよい。なお、このような場合にも、搬送方向Ｙにおける凹部１００の配置は、図６（ａ）および図７（ａ）の場合と同様に、離散的であってもよく、あるいは、図７（ｂ）の場合と同様に連続的であってもよい。
【００３４】
本実施形態における凹部１００の形成は、図６（ａ）および図７（ａ）の場合には、吐出口４５を形成する工程（図５（ｃ）参照）と同時に、貫通スリット８０を介したレーザ加工によって行うことができる。また、その他の場合には、吐出口プレート３０を第３のダンパープレート２９に接合する工程（図５（ｂ）参照）の前に、レーザ加工またはフォトリソグラフィによって凹部１００を形成することができる。
【００３５】
（第３の実施形態）
図９は、本発明の第３の実施形態に係る液体吐出ヘッドを吐出口面側から見た概略平面図である。本実施形態では、上述した実施形態の複数の貫通スリット（第１の貫通スリット）８０に加えて、さらに別の複数の貫通スリット（第２の貫通スリット）９０が第３のダンパープレート２９に設けられている。なお、この図では、第１の実施形態に対して複数の第２の貫通スリット９０を追加した場合を示しているが、複数の凹部１００が設けられた第２の実施形態に対しても同様の追加が可能である。
複数の第２の貫通スリット９０は、それぞれが走査方向Ｘに延び、搬送方向Ｙにおいて突出部８５を両側から挟むように配置されている。複数の第２の貫通スリット９０も、内部応力をより効果的に緩和するために、搬送方向Ｙにおいて突出部８５の両側に対称的に配置されていることが好ましい。なお、第２の貫通スリット９０の形成も、第１の貫通スリット８０を形成する工程（図５（ａ）参照）と同時に、レーザ加工、フォトリソグラフィ、または打ち抜きによって行うことができる。
【符号の説明】
【００３６】
２９  第３のダンパープレート（第２のプレート）
３０  吐出口プレート（第１のプレート）
４５  吐出口
８０  貫通スリット
８２  積層体
８５  突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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