(57)【要約】【課題】レーザ共振器で発生した熱の放熱性を改善し、特性が極めて良好かつ安定なレーザ特性を実現することができるレーザ装置、点火装置および内燃機関を提供する。【解決手段】面発光レーザ１２１を備えて励起光を出射する励起用光源１０１と、前記励起用光源１０１から出射される励起光によりレーザ媒質を励起させてＱスイッチレーザ動作を行うレーザ共振器１１４と、前記レーザ共振器１１４における前記励起光の光軸に対して垂直な入射側の第１の面と前記励起光の光軸に対して垂直な出射側の第２の面とを除いた側面の少なくとも一部に成膜される金属膜１１５と、前記金属膜１１５が成膜された前記レーザ共振器１１４を密着性良く押圧して固定する固定部材１１３と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
面発光レーザを備えて励起光を出射する励起用光源と、
前記励起用光源から出射される励起光によりレーザ媒質を励起させてＱスイッチレーザ動作を行うレーザ共振器と、
前記レーザ共振器における前記励起光の光軸に対して垂直な入射側の第１の面と前記励起光の光軸に対して垂直な出射側の第２の面とを除いた側面の少なくとも一部に成膜される金属膜と、
前記金属膜が成膜された前記レーザ共振器を押圧して固定する固定部材と、
を備えることを特徴とするレーザ装置。
【請求項２】
前記レーザ共振器の前記第１の面および前記第２の面の形状は、矩形である、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項３】
前記レーザ共振器の前記第１の面および前記第２の面の形状は、円形である、
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項４】
前記金属膜は、前記レーザ共振器における前記第１の面と前記第２の面とを除いた側面であって、前記固定部材と接触する側面の全ての領域に成膜される、
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載のレーザ装置。
【請求項５】
前記励起用光源と前記レーザ共振器とを接続する光ファイバーを備え、
前記光ファイバーは、前記励起用光源から出射される励起光を前記レーザ共振器へと伝送する、
ことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載のレーザ装置。
【請求項６】
前記光ファイバーのコアの直径が、１．０ｍｍ以上かつ２．０ｍｍ未満である、
ことを特徴とする請求項５に記載のレーザ装置。
【請求項７】
前記金属膜の材料は、前記固定部材の材料よりもヤング率の小さい材料である、
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載のレーザ装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか一項に記載のレーザ装置と、
前記レーザ装置が備える面発光レーザを駆動する駆動装置と、
前記駆動装置の駆動により前記レーザ装置から出射される光の光路上に配置され、前記光を集光する出射光学系と、
を備えることを特徴とする点火装置。
【請求項９】
前記レーザ共振器で発生する熱を冷却する冷却機構を備える、
ことを特徴とする請求項８に記載の点火装置。
【請求項１０】
燃料を燃焼させて燃焼ガスを生成する内燃機関において、
前記燃料に点火するための請求項８または９に記載の点火装置を備える、
ことを特徴とする内燃機関。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ装置、点火装置および内燃機関に関する。
【背景技術】
【０００２】
光励起によって発振するレーザ結晶を用いた固体レーザ装置は、レーザ点火装置、レーザ加工装置、医療用機器など様々な分野への応用が期待され、また実用化されている。その中でも特に、レーザ結晶の先端部に過飽和吸収体と呼ばれる媒質を設けたＱスイッチレーザは、非常に尖頭値の高いレーザ出力を有することから、レーザ点火といった高い空間的エネルギー密度を必要とする応用に関して非常に有望である。
【０００３】
レーザ結晶を励起する為の光源としては、一般的に半導体レーザが用いられる。面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical  Cavity  Surface  Emitting  Laser）は、基板に対して垂直な方向にレーザ発振を行う半導体レーザであり、温度に対する波長の安定性が非常に高く、また、２次元アレイ化による高出力化が容易、といった特徴を持っている。それらの特徴から、固体レーザの励起用光源としては面発光レーザを用いるのが望ましい。
【０００４】
ところが、面発光レーザを励起用光源として用いた場合、ＶＣＳＥＬは各発光素子の発光面積が大きいことから、励起光の品質が悪くなりやすい傾向がある。このような場合、レーザ共振器のレーザ媒質の励起効率が低下すると共に、発熱が大きくなり、発熱による特性の劣化やばらつきが起こるという課題が生ずる。
【０００５】
そこで、従来、冷却機構を設け、レーザ共振器で発生する熱を冷却する技術が開示されている（例えば、特許文献１）。
【０００６】
しかし、レーザ共振器を保持するための保持部材は機械精度によって加工されるため、レーザ共振器とレーザ共振器の固定部材との間の接触面積はレーザ共振器の表面積に対して小さくなり、この箇所の熱抵抗が高くなりやすい。すなわち、冷却機構を設けても冷却効果を十分に引き出すことが出来ないと言う課題が生ずる。このため、従来の技術では、所望の冷却効果を得るために設けられる冷却機構が大型で高コストになりやすい、または冷却機構を設けたとしても所望の冷却効果を得ることが出来ない、という問題がある。
【０００７】
そこで、特許文献２には、レーザ共振器とレーザ共振器の固定部材との間に弾性体を設ける技術が開示されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献２に開示の技術では、弾性体をレーザ共振器に対して密着性良く押圧する必要があり、これは実用上困難である。例えば、弾性体を押圧する際に弾性体に接触面に平行な方向の力が加わってしまうと、弾性体の変形が生じレーザ共振器との間に隙間が出来てしまうことが考えられる。このような変形無く密着させられたとしても、機械誤差の範囲で製作された弾性体とレーザ共振器との間には、どうしてもある程度の隙間や不均一性が生じてしまう。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、レーザ共振器で発生した熱の放熱性を改善し、特性が極めて良好かつ安定なレーザ特性を実現することができるレーザ装置、点火装置および内燃機関を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、面発光レーザを備えて励起光を出射する励起用光源と、前記励起用光源から出射される励起光によりレーザ媒質を励起させてＱスイッチレーザ動作を行うレーザ共振器と、前記レーザ共振器における前記励起光の光軸に対して垂直な入射側の第１の面と前記励起光の光軸に対して垂直な出射側の第２の面とを除いた側面の少なくとも一部に成膜される金属膜と、前記金属膜が成膜された前記レーザ共振器を押圧して固定する固定部材と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、レーザ共振器で発生した熱の放熱性を改善し、特性が極めて良好かつ安定なレーザ特性を実現することができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施の形態にかかるエンジンの概略構成を示す図である。
【図２】図２は、点火装置の構成を概略的に示す模式図である。
【図３】図３（ａ）はレーザ共振器の構成を概略的に示す斜視図、（ｂ）は正面図である。
【図４】図４は、レーザ共振器の構成の変形例を概略的に示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に添付図面を参照して、レーザ装置、点火装置および内燃機関の実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
図１は、実施の形態にかかるエンジン３００の概略構成を示す図である。図１に示すように、内燃機関であるエンジン３００は、点火装置３０１、燃料噴出機構３０２、排気機構３０３、燃焼室３０４、及びピストン３０５などを備えている。
【００１５】
ここで、エンジン３００の動作について簡単に説明する。
（１）燃料噴出機構３０２が、燃料と空気の可燃性混合気を燃焼室３０４内に噴出させる（吸気）。
（２）ピストン３０５が上昇し、可燃性混合気を圧縮する（圧縮）。
（３）点火装置３０１が、燃焼室３０４内にレーザ光を出射する。これにより、燃料に点火される（着火）。
（４）燃焼ガスが発生し、ピストン３０５が降下する（燃焼）。
（５）排気機構３０３が、燃焼ガスを燃焼室３０４外へ排気する（排気）。
【００１６】
このように、吸気、圧縮、着火、燃焼、排気からなる一連の過程が繰り返される。そして、燃焼室３０４内の気体の体積変化に対応してピストン３０５が運動し、運動エネルギーを生じさせる。燃料には例えば天然ガスやガソリン等が用いられる。
【００１７】
なお、エンジン３００は、該エンジン３００の外部に設けられ、該エンジン３００と電気的に接続されているエンジン制御装置２２０（図２参照）の指示に基づいて、上記動作を行う。
【００１８】
次に、点火装置３０１について説明する。
【００１９】
ここで、図２は点火装置３０１の構成を概略的に示す模式図である。図２に示すように、点火装置３０１は、レーザ装置１００、駆動装置２００、出射光学系２１０及び保護部材２１２などを有している。
【００２０】
レーザ装置１００は、面発光レーザ光源１０１と、光ファイバー１０２と、励起光学系１１２と、レーザ結晶保持・固定部材１１３と、レーザ共振器１１４と、を備える。面発光レーザ光源１０１と、光ファイバー１０２と、励起光学系１１２と、レーザ結晶保持・固定部材１１３と、レーザ共振器１１４とは、ハウジング１１１に収容される。
【００２１】
面発光レーザ光源１０１は、面発光レーザアレイ１２１と、集光光学系１２２と、を備える。なお、本実施の形態では、ＸＹＺ３次元直交座標系を用い、面発光レーザ光源１０１（面発光レーザアレイ１２１）からの光の出射方向を＋Ｚ方向として説明する。
【００２２】
面発光レーザアレイ１２１は、励起用光源であり、複数の発光部を有している。各発光部は、垂直共振器型の面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical  Cavity  Surface  Emitting  Laser）である。面発光レーザアレイ１２１からレーザ光を出射する際には、複数の発光部は、同時に発光される。また、面発光レーザアレイ１２１から出射される光の波長は、８０８ｎｍである。面発光レーザアレイ１２１は、駆動装置２００により駆動される。
【００２３】
面発光レーザアレイ１２１は、温度による波長ずれが非常に少ないため、励起波長のずれによって特性が大きく変化するＱスイッチレーザ（レーザ共振器１１４）を励起するのに有利な光源である。そこで、面発光レーザアレイ１２１を励起用光源に用いると、環境の温度制御を簡易なものにできるという利点がある。
【００２４】
集光光学系１２２は、集光レンズであり、面発光レーザアレイ１２１から出射される光を集光する。
【００２５】
なお、集光光学系１２２は、複数の光学素子から構成されていても良い。集光光学系１２２は、ここでは一例として、マイクロレンズアレイ及び集光レンズを有している。マイクロレンズアレイは、面発光レーザアレイ１２１から出射された光の光路上に配置されている。このマイクロレンズアレイは、面発光レーザアレイ１２１の複数の発光部に対応する複数のレンズ部を有している。そして、各レンズ部は、対応する発光部から出射された光を略平行光とする。すなわち、マイクロレンズアレイは、面発光レーザアレイ１２１から出射された光をコリメートする。面発光レーザアレイ１２１とマイクロレンズアレイとのＺ軸方向に関する距離は、マイクロレンズアレイの焦点距離に応じて決定されている。集光レンズは、マイクロレンズアレイを介した光を集光する。集光レンズは、マイクロレンズアレイを介した光の断面積、光ファイバー１０２のコア径及びＮＡに応じて適切なものが選択されている。
【００２６】
光ファイバー１０２は、励起用光源である面発光レーザ光源１０１とレーザ共振器１１４とを接続する。光ファイバー１０２は、集光光学系１２２によって光が集光される位置にコアの−Ｚ側端面の中心が位置するように配置されている。ここでは、光ファイバー１０２として、コアの直径が１．５ｍｍの光ファイバーを用いている。このようにコアの直径が１．０ｍｍ以上かつ２．０ｍｍ未満の光ファイバー１０２を用いることで、集光スポット径の大きくなりやすい面発光レーザ光源１０１においても、効率よく励起光を伝送することができる。すなわち、より高効率なレーザ装置１００を提供することができる。
【００２７】
また、光ファイバー１０２を設けることによって、面発光レーザ光源１０１をレーザ共振器１１４から離れた位置に置くことができるので、面発光レーザ光源１０１を、レーザ共振器１１４で発生した熱の影響から分離することができる。これにより、配置設計の自由度を増大させることができ、より信頼性の高いレーザ装置１００を提供できる。また、レーザ装置１００を点火装置３０１に用いる際に、熱源から面発光レーザ光源１０１を遠ざけることができるため、エンジン３００を冷却する方法の幅を広げることが可能である。さらに振動源であるエンジン３００から面発光レーザ光源１０１を遠ざけることができるため、面発光レーザ光源１０１の信頼性を高めることが可能である。
【００２８】
光ファイバー１０２に入射した光はコア内を伝播し、コアの＋Ｚ側端面から出射される。励起光学系１１２は、光ファイバー１０２から出射された光の光路上に配置され、該光を集光する。なお、励起光学系１１２として、複数の光学素子を用いる場合もある。励起光学系１１２で集光された光は、レーザ共振器１１４に入射する。
【００２９】
なお、本実施の形態では、光ファイバー１０２を用いて面発光レーザ光源１０１から出射される励起光をレーザ共振器１１４へと伝送する形態を示したが、これに限定されるものではない。例えば、レーザ共振器１１４の直前に面発光レーザアレイ１２１を設け、面発光レーザアレイ１２１より出射されたレーザ光でレーザ共振器１１４を直接励起する方式を用いても構わない。
【００３０】
ここでは、励起光学系１１２は、第１レンズ１１２ａ、第２レンズ１１２ｂを有している。なお、励起光学系１１２は、３つ以上のレンズを有していても良い。第１レンズ１１２ａは、コリメートレンズであり、光ファイバー１０２から出射された光を略平行光とする。第２レンズ１１２ｂは、集光レンズであり、第１レンズ１１２ａによって略平行光とされた光を集光する。
【００３１】
レーザ共振器１１４は、Ｑスイッチレーザである。Ｑスイッチレーザは、予め励起用光源からの光を照射することで反転分布を増加させ、Ｑスイッチ素子を解除することによりエネルギーを取り出すものであり、高いピークエネルギーを得ることができるという特徴がある。そのような特徴から、Ｑスイッチレーザは、内燃機関における燃焼室内の可燃性混合気の点火装置に応用されている。
【００３２】
レーザ共振器１１４は、レーザ媒質１１４ａ、及び可飽和吸収体１１４ｂを有している。レーザ媒質１１４ａは、Ｎｄ：ＹＡＧセラミック結晶であり、Ｎｄが１．１％ドープされている。可飽和吸収体１１４ｂは、Ｃｒ：ＹＡＧセラミック結晶であり、初期透過率が約５０％のものである。
【００３３】
なお、ここでは、Ｎｄ：ＹＡＧ結晶及びＣｒ：ＹＡＧ結晶は、いずれもセラミックスである。そして、レーザ共振器１１４は、レーザ媒質１１４ａと可飽和吸収体１１４ｂとが接合されている、いわゆるコンポジット結晶である。
【００３４】
励起光学系１１２からの光は、レーザ媒質１１４ａに入射される。すなわち、励起光学系１１２からの光によってレーザ媒質１１４ａが励起される。なお、面発光レーザアレイ１２１から出射される光の波長（ここでは、８０８ｎｍ）は、ＹＡＧ結晶において最も吸収効率の高い波長である。そして、可飽和吸収体１１４ｂは、Ｑスイッチレーザ動作を行う。
【００３５】
レーザ媒質１１４ａの入射側（−Ｚ側）の面、及び可飽和吸収体１１４ｂの出射側（＋Ｚ側）の面は光学研磨処理がなされ、ミラーの役割を果たしている。なお、以下では、便宜上、レーザ媒質１１４ａの入射側の光軸に対して垂直な面を「第１の面」ともいい、可飽和吸収体１１４ｂの出射側の光軸に対して垂直な面を「第２の面」ともいう。
【００３６】
そして、第１の面及び第２の面には、面発光レーザアレイ１２１から出射される光の波長（ここでは８０８ｎｍ）、及びレーザ共振器１１４から出射される光の波長（ここでは１０６４ｎｍ）に応じた誘電体多層膜がコーティングされている。具体的には、第１の面には、波長が８０８ｎｍの光に対して高い透過率を示し、波長が１０６４ｎｍの光に対して高い反射率を示すコーティングがなされている。また、第２の面には、波長が１０６４ｎｍの光に対して約５０％の反射率を示すコーティングがなされている。これにより、レーザ共振器１１４内で光が共振し増幅される。
【００３７】
ここで、図３（ａ）はレーザ共振器１１４の構成を概略的に示す斜視図、（ｂ）は正面図である。図３に示すように、レーザ共振器１１４の第１の面および第２の面を除いた側面には、金属膜１１５が成膜されている。すなわち、レーザ結晶保持・固定部材１１３と接触する面の全ての領域に、金属膜１１５が成膜されている。ここでは、金属膜１１５は、メタライズ法により厚さ５０μｍの銀（Ａｇ）を成膜したものである。なお、レーザ結晶保持・固定部材１１３の材料は、銅（Ｃｕ）である。
【００３８】
なお、本実施の形態においては、レーザ共振器１１４の第１の面および第２の面を除いた側面、すなわちレーザ結晶保持・固定部材１１３と接触する面の全ての領域に金属膜１１５を成膜するようにしたが、これに限るものではない。例えば、レーザ共振器１１４における第１の面と第２の面とを除いた側面の少なくとも一部に金属膜１１５を成膜するものであっても、レーザ共振器１１４で発生した熱の放熱性を改善することが可能である。
【００３９】
図３に示すように、金属膜１１５が成膜されたレーザ共振器１１４は、レーザ結晶保持・固定部材１１３に密着性良く押圧されて固定され、レーザ装置１００内の所定の位置に保持される。
【００４０】
金属膜１１５の材料は、レーザ結晶保持・固定部材１１３の材料よりもヤング率（縦弾性係数）の小さい材料である。これにより、金属膜１１５が変形し、接触面積が大きくなりやすく、放熱効果を高めることができる。
【００４１】
すなわち、レーザ装置１００においては、レーザ共振器１１４とレーザ結晶保持・固定部材１１３との間に設けられた金属膜１１５が変形することで、レーザ共振器１１４とレーザ結晶保持・固定部材１１３との接触面積を大きくすることができる。これにより、より放熱性が高くかつ均一なレーザ装置１００を提供することができる。
【００４２】
なお、本実施の形態では、レーザ共振器１１４に金属膜１１５を成膜する方法として、レーザ共振器１１４の側面に銀をメタライズする方式について示したが、これに限定されるものではない。例えば、金属膜１１５をめっきや蒸着によって形成しても良い。材料も銀に限定されず、例えばニッケルや、銀銅チタン等でも構わない。ただし、ＹＡＧセラミック結晶は高温になると変質してしまう虞がある為、レーザ共振器１１４の側面にメタライズを設ける方法を用いる際には、約１０００℃以下で金属膜１１５を設けることが可能な材料を用いる事が望ましい。また、本実施の形態のように金属膜１１５の材料にはレーザ結晶保持・固定部材１１３よりもヤング率の小さい材料を用いるのが望ましいが、これに限定されるものではない。
【００４３】
なお、本実施の形態では、レーザ結晶保持・固定部材１１３が独立した部材である場合について示したが、これに限定されるものではない。例えば、レーザ結晶保持・固定部材１１３とハウジング１１１とが一体となっているような場合でも構わない。
【００４４】
ところで、図３（ｂ）に示すように、レーザ共振器１１４の第１の面および第２の面の形状は、矩形である。このようにレーザ共振器１１４の第１の面および第２の面の形状を矩形にすることにより、レーザ共振器１１４およびレーザ結晶保持・固定部材１１３の加工を簡単にすることができる。したがって、これらの加工コストが安価になり、また加工の面精度も高く出来るため、よりレーザ共振器１１４とレーザ結晶保持・固定部材１１３との接触面積を大きくしやすくなる。つまり、より高効率で安定なレーザ装置１００を、低コストで実現することができる。
【００４５】
出射光学系２１０は、レーザ装置１００（レーザ共振器１１４）から出射される光の光路上に配置される。出射光学系２１０は、例えば少なくとも１つのレンズで構成されている。この場合に、レンズの光軸方向の位置やレンズの組み合わせによって、レーザ装置１００（レーザ共振器１１４）から出射される光の集光位置の調整を行うことができる。出射光学系２１０は、一例としてここでは、集光レンズが用いられている。この出射光学系２１０により光が集光され、集光点で高いエネルギー密度を得ることができる。
【００４６】
保護部材２１２は、出射光学系２１０から出射される光の光路上に配置された、透明もしくは半透明の部材から成る。保護部材２１２は、燃焼室３０４に臨む面に形成された開口の周囲部に該開口を覆うように取り付けられている。保護部材２１２の材料として、高温高圧環境下での耐久性に優れたサファイアガラスが用いられている。
【００４７】
図２に戻り、駆動装置２００は、エンジン制御装置２２０の指示に基づいて、面発光レーザアレイ１２１を駆動する。すなわち、駆動装置２００は、エンジン３００の動作における着火のタイミングで点火装置３０１から光が出射されるように、面発光レーザアレイ１２１を駆動する。なお、面発光レーザアレイ１２１における複数の発光部は、同時に点灯及び消灯される。
【００４８】
このように本実施の形態によれば、レーザ共振器１１４のレーザ結晶保持・固定部材１１３と接触する面の全ての領域に金属膜１１５を直接成膜することで、レーザ共振器１１４と金属膜１１５との間は原子レベルでの密着性を確保することができ、非常に高い熱伝導効果を提供することができる。これにより、レーザ共振器１１４で発生した熱の放熱性を改善し、特性が極めて良好かつ安定なレーザ特性を実現することができる。また、高効率で安定なレーザ装置１００、および従来と同等の大きさ・コストで従来よりも高効率で動作が安定な内燃機関であるエンジン３００、または従来と同等の特性で従来よりも小型で低コストの内燃機関であるエンジン３００を提供することができる。
【００４９】
また、従来のように点火装置３０１にレーザ共振器１１４で発生する熱を冷却する冷却機構を設けた場合であっても、その冷却効果を高効率に得られるため、冷却機構を小型で低コストにすることができる。
【００５０】
さらに、レーザ共振器１１４のレーザ結晶保持・固定部材１１３と接触する面の全ての領域に金属膜１１５を直接成膜することで、レーザ共振器１１４の外側へ抜けようとする励起光が側面の金属膜１１５によって反射され、レーザ共振器１１４内に戻され、励起光として利用することができる。そのため、放熱効果を高めるのと同時に、励起光の利用効率を高めることができる。すなわち、高効率で安定なレーザ装置１００を、小型かつ低コストで実現することができる。
【００５１】
なお、本実施の形態においては、レーザ共振器１１４の第１の面および第２の面の形状を矩形としたが、これに限るものではない。ここで、図４は、レーザ共振器１１４の構成の変形例を概略的に示す正面図である。図４に示すように、レーザ共振器１１４の第１の面および第２の面の形状を円形としてもよい。この場合、光軸方向から見たとき、レーザ共振器１１４における発熱は同心円状に発生する。これにより、レーザ共振器１１４で発生した熱を効率よく放熱することができる。
【００５２】
なお、本実施の形態においては、内燃機関として燃焼ガスによってピストンを運動させるエンジン（ピストンエンジン）３００の場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ロータリーエンジンや、ガスタービンエンジンや、ジェットエンジンであっても良い。要するに、燃料を燃焼させて燃焼ガスを生成するものであれば良い。
【００５３】
また、排熱を利用して、動力や温熱や冷熱を取り出し、総合的にエネルギー効率を高めるシステムであるコジェネレーションに、点火装置３０１を用いても良い。
【００５４】
また、ここでは、点火装置３０１が内燃機関に用いられる場合について説明したが、これに限定されるものではない。
【００５５】
また、ここでは、レーザ装置１００が点火装置３０１に用いられる場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、レーザ加工機、レーザピーニング装置、テラヘルツ発生装置などに用いることができる。
【符号の説明】
【００５６】
１００      レーザ装置
１０１      励起用光源
１０２      光ファイバー
１１３      固定部材
１１４      レーザ共振器
１１５      金属膜
１２１      面発光レーザ
２００      駆動装置
２１０      出射光学系
３００      内燃機関
３０１      点火装置
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５７】
【特許文献１】特許第５８１３２２４号公報
【特許文献２】特開２０１３−０１６６７８号公報
【図１】
2018152539.tif 000003
【図２】
2018152539.tif 000004
【図３】
2018152539.tif 000005
【図４】
2018152539.tif 000006