(57)【要約】【目的】本発明は、太陽電池および太陽電池の製造方法に関し、フィンガー電極の上部に直接に外部端子である帯状のリボンを接続して抵抗成分が少なくし、太陽電池の効率を向上させることを目的とする。【構成】絶縁膜の上に銀および鉛を含むフィンガー電極を形成すると共に、フィンガー電極の部分あるいは余裕を持たせた部分を開口として絶縁膜の上に固定バーを形成した後に焼成し、焼成時のフィンガー電極に含まれる銀および鉛の作用により該フィンガー電極の下の膜である絶縁膜を貫通して領域とフィンガー電極との間に電気導電性通路を形成し、かつ更に、焼成時に同時に固定バーに含まれるガラス材料の作用により絶縁膜に強固に固着およびハンダ付け良好な固定バーを形成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に光などを照射したときに高電子濃度を生成する領域を形成すると共に該領域の上に光などを透過する絶縁膜を形成し、該絶縁膜の上に前記領域から電子を取り出す取出口であるフィンガー電極を形成して該フィンガー電極を介して前記電子を外部に取り出す太陽電池において、
前記絶縁膜の上に銀および鉛を含むフィンガー電極を形成すると共に、該フィンガー電極の部分あるいは余裕を持たせた部分を開口として前記絶縁膜の上に固定バーを形成した後に焼成し、
該焼成時の前記フィンガー電極に含まれる銀および鉛の作用により該フィンガー電極の下の膜である前記絶縁膜を貫通して前記領域と該フィンガー電極との間に電気導電性通路を形成し、かつ更に、該焼成時に同時に前記固定バーに含まれるガラス材料の作用により前記絶縁膜に強固に固着およびハンダ付け良好な前記固定バーを形成したことを特徴とする太陽電池。
【請求項２】
前記ガラス材料として、バナジウムとバリウム、および、錫と亜鉛あるいはその酸化物のいずれか１つ以上を含むバナジン酸塩ガラスとしたことを特徴とする請求項１記載の太陽電池。
【請求項３】
前記焼成は、フィンガー電極をファイアリングする温度と前記固定バーを形成する温度とのうち前者が後者と等しいあるいは高く、かつ前者の温度で行うことを特徴とする請求項１あるいは請求項２記載の太陽電池。
【請求項４】
前記焼成は、１秒以上６０秒以下としたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の太陽電池。
【請求項５】
前記余裕を持たせた部分を開口とするとして、前記フィンガー電極および固定バーの形成時の誤差による影響が小さくなる所定幅の部分を開口とすることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の太陽電池。
【請求項６】
前記余裕を持たせた部分を開口するとして、前記フィンガー電極および前記固定バーの上に外部端子を超音波ハンダ付けする際の該超音波ハンダこての先端の接触部分と等しいあるいは若干狭い開口とし、該先端の接触部分が直接に前記絶縁膜に触れないようにしたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の太陽電池。
【請求項７】
前記フィンガー電極および前記固定バーに、外部端子をハンダ付けするハンダ材料は、錫、錫の酸化物、亜鉛、亜鉛の酸化物の少なくとも１つ以上を含んだことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の太陽電池。
【請求項８】
前記ハンダ材料は、添加物として銅、銀のうち１つ以上を必要に応じて添加したことを特徴とする請求項７記載の太陽電池。
【請求項９】
前記フィンガー電極および前記固定バーに外部端子のハンダ付けは、超音波ハンダ付けすることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれに記載の太陽電池。
【請求項１０】
前記外部端子は、帯状のリボンとしたことを特徴とする請求項９記載の太陽電池。
【請求項１１】
前記基板の前記領域、絶縁膜、フィンガー電極、および固定バーを設けた表側と反対の裏側の全面にアルミニウムを形成してこれに裏側の外部端子をハンダ付けあるいは超音波ハンダ付けしたことを特徴とする請求項１から請求項１０記載の太陽電池。
【請求項１２】
前記裏側の外部端子は、前記表側の固定バーとほぼ同じ位置に対応する該裏側の前記アルミニウムの上の位置あるいは任意の位置に前記固定バーを形成して焼成し、この上に該裏側の外部端子をハンダ付けあるいは超音波ハンダ付けすることを特徴とする請求項１１に記載の太陽電池。
【請求項１３】
基板上に光などを照射したときに高電子濃度を生成する領域を形成すると共に該領域の上に光などを透過する絶縁膜を形成し、該絶縁膜の上に前記領域から電子を取り出す取出口であるフィンガー電極を形成して該フィンガー電極を介して前記電子を外部に取り出す太陽電池の製造方法において、
前記絶縁膜の上に銀および鉛を含むフィンガー電極を形成すると共に、該フィンガー電極の部分あるいは余裕を持たせた部分を開口として前記絶縁膜の上に固定バーを形成した後に焼成するステップと、
該焼成時の前記フィンガー電極に含まれる銀および鉛の作用により該フィンガー電極の下の膜である前記絶縁膜を貫通して前記領域と該フィンガー電極との間に電気導電性通路を形成し、かつ更に、該焼成時に同時に前記固定バーに含まれるガラス材料の作用により前記絶縁膜に強固に固着およびハンダ付け良好な前記固定バーを形成するステップと
を有することを特徴とする太陽電池の製造方法。
【請求項１４】
前記基板の前記領域、絶縁膜、フィンガー電極、および固定バーを設けた表側と反対の裏側の全面にアルミニウムを形成してこれに外部端子をハンダ付けあるいは超音波ハンダ付けしたことを特徴とする請求項１３記載の太陽電池の製造方法。
【請求項１５】
前記裏側の外部端子は、前記表側の固定バーとほぼ同じ位置に対応する該裏側の前記アルミニウムの上の位置あるいは任意の位置に前記固定バーを形成して焼成し、この上に該裏側の外部端子をハンダ付けあるいは超音波ハンダ付けすることを特徴とする請求項１４に記載の太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に光などを照射したときに高電子濃度を生成する領域を作成すると共に領域の上に光などを透過する絶縁膜を形成し、絶縁膜の上に領域から電子を取り出す取出口を形成するフィンガー電極を形成し、更に複数のフィンガー電極を電気的に接続して電子を外部に取り出す、従来のバスバー電極に代えた固定バーを有する太陽電池および太陽電池の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、太陽電池セルの設計では、太陽電池セル内に生成した電子を効率よく接続された外部回路に流すかということが肝要である。これを達成するためにセルから外部に連なる部分の抵抗成分を小さくすることと、生成した電子が消失しないようにすることとが特に重要である。
【０００３】
そのため、本発明者らが出願した、導電性ガラスであるバナジン酸塩ガラスをバスバー電極に用いてフィンガー電極と外部取り出しのリボン（リード線）との接続間の抵抗値を小さくし、且つ、バスバー電極に集められた電子の消失を少なくなるようにした技術がある（特願２０１６−０１５８７３、特願２０１５−１８０７２０）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述した従来の導電性ガラスをバスバー電極に使ってフィンガー電極と外部取り出しのリボン（リード線）との接続間の抵抗値を小さくし、かつバスバー電極に集められた電子の消失を少なくなるようにしていたのではいまだ充分でなく、さらに導電性ガラスの焼成工程の良し悪しの依存性を少なくし、かつ一般的な材料を活用してさらに改善して高効率を達成することが必要であるという課題があった。
【０００５】
また、安価で高効率の太陽電池セルの構造およびその製造方法が必要であるという課題もあった。
【０００６】
また、従来の高価な銀の使用量を無くしないし低減し、および鉛（鉛ガラス）の使用量を低減ないし無くし、太陽電池の製造コストの更なる低減かつ無公害にするという課題もあった。
【０００７】
また、太陽電池の基板の裏側の端子を簡単かつ確実かつ安価に強固にハンダ付けが充分に行われてないという課題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、フィンガー電極の上部が絶縁膜の上に露出していることに着目し、この露出しているフィンガー電極の上部に直接に外部端子である帯状のリボンを接続すれば抵抗成分が少なくなると共に電子の漏洩が少なくなる構成などを発見した。
【０００９】
そのため、フィンガー電極と外部端子との間の抵抗成分を少なくすると共に従来のバスバー電極の材料である銀、導電性ガラスなどの高価な材料に代えて、安価な材料で固定バーを形成して外部端子を強固に固定すると共に、低抵抗にしかつ電子の漏洩を少なくする構造を採用し、高効率かつ安価な太陽電池の製造を可能にした。
【００１０】
また、太陽電池の基板の裏側に、接続端子を強固に安価な材料で確実にハンダ付け可能にした。
【００１１】
そのため、本発明者らは、基板上に光などを照射したときに高電子濃度を生成する領域を形成すると共に領域の上に光などを透過する絶縁膜を形成し、絶縁膜の上に領域から電子を取り出す取出口であるフィンガー電極を形成して該フィンガー電極を介して電子を外部に取り出す太陽電池において、絶縁膜の上に銀および鉛を含むフィンガー電極を形成すると共に、フィンガー電極の部分あるいは余裕を持たせた部分を開口として絶縁膜の上に固定バーを形成した後に焼成し、焼成時の前記フィンガー電極に含まれる銀および鉛の作用によりフィンガー電極の下の膜である絶縁膜を貫通して領域と該フィンガー電極との間に電気導電性通路を形成し、かつ更に、焼成時に同時に固定バーに含まれるガラス材料の作用により絶縁膜に強固に固着およびハンダ付け良好な固定バーを形成するようにしている。
【００１２】
この際、ガラス材料として、バナジウムとバリウム、および、錫と亜鉛あるいはその酸化物のいずれか１つ以上を含むバナジン酸塩ガラスとするようにしている。
【００１３】
また、焼成は、フィンガー電極をファイアリングする温度と固定バーを形成する温度とのうち前者が後者と等しいあるいは高く、かつ前者の温度で行うようにしている。
【００１４】
また、焼成は、１秒以上６０秒以下とするようにしている。
【００１５】
また、余裕を持たせた部分を開口とするとして、フィンガー電極および固定バーの形成時の誤差による影響が小さくなる所定幅の部分を開口とするようにしている。
【００１６】
また、余裕を持たせた部分を開口するとして、フィンガー電極および固定バーの上に外部端子を超音波ハンダ付けする際の超音波ハンダこての先端の接触部分と等しいあるいは若干狭い開口とし、先端の接触部分が直接に絶縁膜に触れないようにしている。
【００１７】
また、フィンガー電極および固定バーに、外部端子をハンダ付けするハンダ材料は、錫、錫の酸化物、亜鉛、亜鉛の酸化物の少なくとも１つ以上を含むようにしている。
【００１８】
また、ハンダ材料は、添加物として銅、銀のうち１つ以上を必要に応じて添加するようにしている。
【００１９】
また、フィンガー電極および固定バーに外部端子のハンダ付けは、超音波ハンダ付けするようにしている。
【００２０】
また、外部端子は、帯状のリボンとするようにしている。
【００２１】
また、基板の領域、絶縁膜、フィンガー電極、および固定バーを設けた表側と反対の裏側の全面にアルミニウムを形成してこれに裏側の外部端子をハンダ付けあるいは超音波ハンダ付けするようにしている。
【００２２】
また、裏側の外部端子は、表側の固定バーとほぼ同じ位置に対応する裏側のアルミニウムの上の位置あるいは任意の位置に固定バーを形成して焼成し、この上に裏側の外部端子をハンダ付けあるいは超音波ハンダ付けするようにしている。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は、上述したように、フィンガー電極の上部が酸化膜の上に露出している構成でフィンガー電極の上部と外部端子である帯状のリボンとが電気的に直接接続するために、抵抗成分の少ない構成となり、高効率の太陽電池となる。
【００２４】
また、錫（その酸化物）と亜鉛（その酸化物）などをハンダ材料とし、酸化膜、固定バー、リボンの３者をハンダ付け（超音波ハンダ付けなど）した場合には当該固定バーのハンダ密着性が良いため、フィンガー電極とリボンとの接合性を安定に長寿命化してくれるという効果が発生する。
【００２５】
また、従来の銀材料や導電性ガラスなどからなるバスバー電極の構成（本発明の固定バーに相当）に対して、安価な材料でよく大幅なコスト削減が可能である。
【００２６】
また、従来の鉛ハンダが主流を占める太陽電池における鉛使用を軽減することで環境にフレンドリーなプロセスの構築が計れる。
【００２７】
また、太陽電池の基板の裏側に、接続端子を強固に安価な材料で確実にハンダ付け可能にした。
【実施例１】
【００２８】
図１から図３は本発明の１実施例構成図を示す。
【００２９】
図１から図３において、窒化膜３は、基板（ウェハー）１上に形成した絶縁膜である。
【００３０】
フィンガー電極５は、窒化膜３の上に銀、鉛（鉛ガラス）のペーストを印刷して焼結することにより、公知のファイアリングにより当該窒化膜３を突き破って高濃度電子領域との間に電気導電性経路を形成して、電子を外部に取り出すようにしたものである（後述する）。
【００３１】
固定バー６は、本発明で設けたものであって、フィンガー電極５の部分を開口とし、窒化膜３に強固に固定すると共に、外部端子（帯状のリボン）のハンダ付けを良好にしたり、更にフィンガー電極５から取り出した電子の漏洩を低減したりなどするためのものである（後述する）。
【００３２】
固定バー領域６１は、固定バー６を形成する領域である（後述する）。
【００３３】
図１は、ウェーハの上側より、フィンガー電極５と固定バー６の部分拡大模式図例を示す。
【００３４】
図１において、図示の矩形形状の基板（シリコン基板、ウェハー）は実験に用いたものである。矩形の寸法はここでは４８ｍｍのものを用いた（数値は１例である）。
【００３５】
フィンガー電極５は、図示のように、ここでは、横方向に多数所定間隔毎に設けたものであって、焼結してファイヤーリングにより高濃度電子領域との間に電気導電性経路を形成したものである（後述する）。
【００３６】
固定バー領域６１は、図示の点線で示すように、フィンガー電極５に直角方向に所定幅で後述する固定バー６を形成する領域である。
【００３７】
図２は、ウェーハの上側より、フィンガー電極５と固定バー６の部分拡大模式図例を示す。
【００３８】
図２において、固定バー６は、図１の固定バー領域６１に形成したものであって、ここでは、図示のように、フィンガー電極５の部分を開口とした帯状の部分を複数設けたものである。ここでは、例えば図示のように、２．０ｍｍ幅、長さ１．２ｍｍで、フィンガー電極５との開口が０．５ｍｍ程度のものを複数設けたものである。この固定バー６の形成は、スクリーン印刷で行い、その後、焼結を行って窒化膜３に強固に固着させると共にハンダ付け良好にする（後述する）。
【００３９】
図３は、ウェーハの側面より、フィンガー電極５と固定バー６の部分の拡大模式断面図例を示す。
【００４０】
図３において、フィンガー電極５は、スクリーン印刷して焼結し、ファイヤーーリングにより図示のように下層の窒化膜３を突き抜けて下の高濃度電子領域との間に電気導電性経路を形成すると共に図示のように上方向に上部（頭部）として通常約４０ｎｍの突出部を形成する（後述する）。
【００４１】
固定バー６は、本発明で採用したものであって、バナジン酸塩ガラスを含むペーストをスクリーン印刷して、フィンガー電極５の焼結時に同時加熱することにより溶融して窒化膜３に強固に固着させかつ表面がハンダ付けしやすい状態に形成されるものである（後述する）。この固定バー６は、電気的に高い絶縁性であることが望ましく、これはリボンを流れる電子が基板等に漏洩しないためである。固定バー６は、図示のように、フィンガー電極５の上部（頭部）の高さ（ここでは約４０ｎｍ）よりも低い高さ（ここでは約２０ｎｍ）に形成されるように調整する（スクリーン印刷時のバナジン酸塩ガラスを含むペーストの濃度などを調整する）ことが望ましい。これにより図示のリボン７をハンダ付け（超音波ハンダ付けが望ましい）する際にフィンガー電極５の上部（頭部）の部分に覆いかぶさるように完全にハンダ付けして接触抵抗を小さくかつ機械的強度（リボン７を引っ張っても剥離しないように）を強くすることが可能となる。
【００４２】
実験では
・固定バー６の幅：２ｍｍ
・超音波ハンダ鏝のこて先の長さ：２ｍｍ
・超音波ハンダ鏝のこて先の幅：２ｍｍ
とした場合に、フィンガー電極５と固定バー６との間隔（長さ方向の間隔）の
・上限はこて先の動作方向の長さ（上記例では２ｍｍ）より長すぎず、こて先が下方の窒化膜３に接触などして損傷しないようにする（実験で決定する）。
【００４３】
・下限は図３に図示のハンダ傾斜部分が急すぎず、また、スクリーン印刷重ね合わせ精度以内であって、ハンダ材料が切断しないようにする（実験で決定する）。
【００４４】
また、フィンガー電極５と固定バー６との幅の
・上限はリボン幅（固定バー６の幅）とする。
【００４５】
・下限は上限の０．８程度する。
【００４６】
また、超音波ハンダ付けは、２Ｗ程度とする。大すぎるとＮ＋エミッター（高濃度電子領域）に損傷を与える。小さいとハンダ密着性が得られない（ハンダ密着性の規定は０．２Ｎ以上、本発明では０．５Ｎ以上とした）ので、実験で最適なＷ数を決定する（超音波ハンダ鏝（こて先の長さ、幅など）により異なるので実験で決定する）。
【００４７】
ここで、固定バー６およびフィンガー電極５と、リボン（外部端子）とをハンダ付けする要件は、フィンガー電極５（銀）、固定バー６（バナジン酸塩ガラス）との密着性が良好な必要がある。
【００４８】
・それに適合するハンダ材料として、錫と亜鉛の合金、錫と銅の合金、錫と銀の合金などを用いる。
【００４９】
・固定バー６およびフィンガー電極５に、リボン（プリハンダ付け済み）を超音波ハンダ付けするときの超音波出力は上述したように２Ｗ程度がよい。超音波ハンダ付けすることで、必要以上に高い温度を必要としない。また、ハンダ付け領域外の無用の部分の温度を上げなくてよく、周囲の無用な温度上昇による性能劣化を防ぐことができる。
【００５０】
また、リボン（外部端子）は、中心に銅を材料とした線材であって、外側をハンダ材料で覆われている（プリハンダ済み）。
【００５１】
・基板（ウェハー）の裏側のハンダ付けは、当該基板の裏側の全面にアルミニウムをコーティングするので、これに直接あるいは上述した固定バー６と同様に形成した後に、リボンを超音波ハンダ付けする。
【００５２】
また、ハンダ材料として、錫、亜鉛などを主体とする場合に低温脆性が見込まれる場合には、これを回避するために、必要に応じて添加物（銅、銀など）を添加する（添加して合金とする）。
【００５３】
尚、固定バー６の形成は、実験では、
・バナジン酸塩ガラスを主体としたペーストを用い、スクリーン印刷して焼結して形成した。
【００５４】
・材料例：バナジウム、バリウム、（錫または亜鉛または両者（またはこれらの酸化物））のガラスペースト。
【００５５】
・概略説明：全材料を溶融し急速冷却してバナジン酸塩ガラスを生成し、粉末にしてバナジン酸塩ガラスペーストを作成する。これをスクリーン印刷して固定バー６を形成して焼結し、最終的な固定バー６を形成する。
【００５６】
この固定バー６の形成の要件は、
（１）使用する半田材料との密着性が良好
（２）電気的絶縁性が良好
（３）窒化膜３との密着性が良好
を満たすように材料、スクリーン印刷の厚さ、焼結温度などを実験で決定する。
【００５７】
次に、図４から図７の工程フローの順番に図１から図３の構成の工程を順次詳細に説明する。
【００５８】
図４から図７は、本発明の工程フローを示す。
【００５９】
図４において、Ｓ１は、Ｓｉ基板（４価）を準備する。これは、太陽電池の基板（４価）となるウェハーを準備する。
【００６０】
Ｓ２は、Ｐ型（３価）の基板１を作成する。これは、Ｓ１のＳｉ基板（４価）にホウ素などを拡散してＰ型（３価）にする。
【００６１】
Ｓ３は、リン（５価）を拡散してＮ＋型を表面に作成する。これにより、高濃度電子領域（Ｎ＋型）が作成できたこととなる。
【００６２】
図５において、Ｓ４は、基板１の表側のＮ＋領域（高電子濃度領域）の上に窒化膜３を形成する。窒化膜３は、通常６０ｎｍ程度である。これにより、Ｎ＋領域（高電子濃度領域）が窒化膜３により保護されることとなる。
【００６３】
また、Ｓ４で基板１の裏側にアルミ膜４を蒸着、スパッタなどで形成する。アルミ膜４は太陽電池の裏側の電極となる部分である。
【００６４】
Ｓ５は、フィンガー電極の印刷を行う。これは、既述した図１から図３中のフィンガー電極５の形状を、銀、鉛ガラスからなるペーストを用いてスクリーン印刷を行う。
【００６５】
Ｓ６は、溶剤飛ばしを行う。これは、１００〜１２０℃に１時間程度の加熱を行い、スクリーン印刷したペーストに含まれる溶剤を完全に除去する。
【００６６】
図６のＳ７は、固定バー６の印刷を行う。これは、既述した図１から図３中の固定バー６の形状を、バナジン酸塩ガラスを含むペーストを用いてスクリーン印刷を行う。
【００６７】
Ｓ８は、固定バーの溶剤飛ばしを行う。これは、１００〜１２０℃に１時間程度の加熱を行い、スクリーン印刷したペーストに含まれる溶剤を完全に除去する。
【００６８】
Ｓ９は、焼成を行う。これは、フィンガー電極５のファイヤースルーを生じる条件で焼成を行う。詳細に説明すれば、Ｓ５とＳ６で窒化膜３の上にフィンガー電極５を銀、鉛ガラスからなるペースト（銀・鉛ガラスペースト）を用いてスクリーン印刷し、Ｓ７とＳ８で同様に重複しないように、窒化膜３の上に固定バー６をバナジン酸塩ガラスを含むペースト（バナジン酸塩ガラスペースト）を用いてスクリーン印刷した状態で、両者を同時に焼成（加熱）を行う。この焼成の条件は、既述したように、前者（銀・鉛ガラスペーストによるファイヤースルー）の焼成温度と後者（バナジン酸塩ガラスペーストの溶解・固着）の温度（一種のロー付け温度）とを比較し、前者が後者よりも高いあるいは等しいことが要件であり、ここでは前者の焼成温度（ファイヤースルーの焼成温度）を採用して焼成を行う。具体的には、例えば７５０℃〜８５０℃の範囲内で、１〜６０秒の範囲内で焼成を行う（加熱は遠赤外線ランプを用いて行う、最適な条件は実験で決める）。
【００６９】
これらにより、（１）フィンガー電極５が窒化膜３をファイヤースルーすることと、（２）固定バー６が窒化膜３に強固に固着されかつ表面がハンダ付けしやすくなることとを同時に達成できるという顕著な効果が発生する。
【００７０】
図７のＳ１０は、プリハンダ付けを行う。これは、既述した図３に示すように、Ｓ９で焼成したフィンガー電極５および固定バー６の上から超音波ハンダ鏝でハンダ材料のプリハンダ付けを行う。
【００７１】
Ｓ１１は、リボン付けを行う。これは、Ｓ１０でプリハンダ付けした上からリボンをハンダ付けを行う（詳細は既述した図３の説明を参照）。尚、プリハンダ付けされたリボンを用いて直接にフィンガー電極５および固定バー６に超音波ハンダ付けを行っても良い。
【００７２】
Ｓ１２は、裏側のリボン付けを行う。これは、図５のＳ４で基板１の裏側に形成したアルミ膜４に、リボンを超音波ハンダ付けする。この裏側のリボン付けは、プリハンダされたリボンを直接に図のＳ４のアルミ膜４に超音波ハンダ付けしてもよいし、固定バー６と同様に、開口のある裏側の固定バーをスクリーン印刷して焼成して強く固着させた後、リボンと該固定バーおよびアルミ膜４の両者を超音波ハンダ付けし、強度を強くするようにしてもよい。
【００７３】
図８は、本発明の具体例と従来例を示す。
【００７４】
図８の（ａ）は本発明のスプリット型の例の写真を示す。これは、固定バー６がフィンガー電極５から離れており、固定バー６が長さ方向に分割されている例（スプリット型という）を示す。
【００７５】
図８の（ｂ）は本発明のタッチバー型の例の写真を示す。これは、固定バー６がフィンガー電極５に接しており、固定バー６が長さ方向に分割されている例（タッチバー型という）を示す。
【００７６】
以上のうち図８の（ｂ）のタッチバー型は、固定バー６のスクリーン印刷時の精度（位置合わせなど）と、フィンガー電極５のスクリーン印刷時の精度（位置合わせなど）とが大きい場合には採用できなく、これら精度誤差が影響しないように図８の（ａ）のスプリット側を選択する方が望ましい。
【００７７】
また、図８の（ａ）のスプリット型にした場合には、既述したように、超音波ハンダ付けする際にこて先のサイズ（長さ方向）よりも若干小さい方が、こて先が下の窒化膜３に接触して破壊してしまうなどの事態を防止できるので、良好なハンダ付けを行うことが可能となる。
【００７８】
図８の（ｃ）は、従来のバスバー電極の下にフィンガー電極がある例を示す。この従来の場合には、フィンガー電極に直交するように帯状のバスバー電極を銀、鉛ガラスを含むペーストをスクリーン印刷して焼成して形成していたので、フィンガー電極がバスバー電極の上に突出することができず、本発明の当該フィンガー電極に直接にリボンをハンダ付け不可であり、結果としてフィンガー電極ーバスバー電極ーリボンを経由して外部に電子を取り出していたため、経路の抵抗を小さくできなく、結果として太陽電池の効率を低下させてしまうという欠点があった。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の１実施例構成図（全体の外観図）である。
【図２】本発明の１実施例構成図（ウェハーの上側より、フィンガー電極５と固定バー６の部分拡大模式図例）である。
【図３】本発明の１実施例構成図（ウェハーの側面より、フィンガー電極５と固定バー６の部分の拡大模式断面図例）である。
【図４】本発明の固定フロー（その１）である。
【図５】本発明の固定フロー（その２）である。
【図６】本発明の固定フロー（その３）である。
【図７】本発明の固定フロー（その４）である。
【図８】本発明の具体例と従来例である。
【図９】本発明の具体例と従来例である。
【符号の説明】
【００８０】
１：基板（シリコン基板）
３：窒化膜（絶縁膜）
４：アルミ膜
５：フィンガー電極
６：固定バー
６１：固定バー領域
７：リボン（プリハンダ付け）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018110178.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年1月23日(2017.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2018110178.tif 000012
【図２】
2018110178.tif 000013
【図３】
2018110178.tif 000014
【図４】
2018110178.tif 000015
【図５】
2018110178.tif 000016
【図６】
2018110178.tif 000017
【図７】
2018110178.tif 000018
【図８】
2018110178.tif 000019
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
【図１】本発明の１実施例構成図（全体の外観図）である。
【図２】本発明の１実施例構成図（ウェハーの上側より、フィンガー電極５と固定バー６の部分拡大模式図例）である。
【図３】本発明の１実施例構成図（ウェハーの側面より、フィンガー電極５と固定バー６の部分の拡大模式断面図例）である。
【図４】本発明の工程フロー（その１）である。
【図５】本発明の工程フロー（その２）である。
【図６】本発明の工程フロー（その３）である。
【図７】本発明の工程フロー（その４）である。
【図８】本発明の具体例と従来例である。