(57)【要約】【課題】被着体支持手段と被着体との密着を確実に解除することができる支持装置を提供すること。【解決手段】支持装置２０は、被着体ＷＦを支持する被着体支持手段２３と、被着体支持手段２３の外側に所定の間隔を隔てて設けられ、被着体ＷＦの被着面ＷＦ１からはみ出した接着シートＡＳのはみ出し部分ＡＳ１を支持するシート支持手段２４と、被着体支持手段２３と被着体ＷＦとの密着を解除する密着解除手段２５とを備え、密着解除手段２５は、被着体支持手段２３とシート支持手段２４との間の隙間ＧＡを閉塞する閉塞手段２５Ａと、閉塞手段２５Ａ、シート支持手段２４、はみ出し部分ＡＳ１、被着体ＷＦおよび、被着体支持手段２３で形成される密閉空間の内圧を上昇させる内圧上昇手段２５Ｂとを備え、内圧上昇手段２５Ｂによる密閉空間の内圧の上昇によって被着体支持手段２３と被着体ＷＦとの密着を解除する。【選択図】図１
2018006504.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着面からはみ出る大きさの接着シートが貼付された被着体を支持する被着体支持手段と、
前記被着体支持手段の外側に所定の間隔を隔てて設けられ、前記被着体の被着面からはみ出した前記接着シートのはみ出し部分を支持するシート支持手段と、
前記被着体支持手段と前記被着体との密着を解除する密着解除手段とを備え、
前記密着解除手段は、前記被着体支持手段と前記シート支持手段との間の隙間を閉塞する閉塞手段と、前記閉塞手段、前記シート支持手段、前記はみ出し部分、前記被着体および、前記被着体支持手段で形成される密閉空間の内圧を上昇させる内圧上昇手段とを備え、前記内圧上昇手段による前記密閉空間の内圧の上昇によって前記被着体支持手段と前記被着体との密着を解除することを特徴とする支持装置。
【請求項２】
前記閉塞手段は、弾性変形して前記隙間を閉塞する密閉部材を備えていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項３】
被着面からはみ出る大きさの接着シートが貼付された被着体を被着体支持手段で支持する被着体支持工程と、
前記被着体支持手段の外側に所定の間隔を隔てて設けられたシート支持手段で、前記被着体の被着面からはみ出したはみ出し部分を支持するシート支持工程と、
前記被着体支持手段と前記被着体との密着を解除する密着解除工程とを備え、
前記密着解除工程は、前記被着体支持手段と前記シート支持手段との間の隙間を閉塞手段で閉塞する閉塞工程と、前記閉塞手段、前記シート支持手段、前記はみ出し部分、前記被着体および、前記被着体支持手段で形成される密閉空間の内圧を上昇させる内圧上昇工程とを備え、前記内圧上昇工程による前記密閉空間の内圧の上昇によって前記被着体支持手段と前記被着体との密着を解除することを特徴とする支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、支持装置および支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被着面からはみ出る大きさの接着シートが貼付された被着体を支持する被着体支持手段と、被着体支持手段の外側で所定の間隔を隔てて設けられ、被着体の被着面からはみ出した接着シートのはみ出し部分を支持するシート支持手段と、被着体支持手段と被着体との密着を解除する密着解除手段とを備えた支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−２４１３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の支持装置では、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）（被着体）と支持面（被着体支持手段）との接触領域に気体を滞留させることで、被着体支持手段と被着体との密着を解除する構成が採用されているため、被着体の外縁形状や特性等によっては、当該被着体の外縁と支持面との密閉性が不足し、その部分から気体が外部に流出して接触領域で気体を滞留させることができなくなり、被着体支持手段と被着体との密着を解除できなくなるという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、被着体支持手段と被着体との密着を確実に解除することができる支持装置および支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明の支持装置は、被着面からはみ出る大きさの接着シートが貼付された被着体を支持する被着体支持手段と、前記被着体支持手段の外側に所定の間隔を隔てて設けられ、前記被着体の被着面からはみ出した前記接着シートのはみ出し部分を支持するシート支持手段と、前記被着体支持手段と前記被着体との密着を解除する密着解除手段とを備え、前記密着解除手段は、前記被着体支持手段と前記シート支持手段との間の隙間を閉塞する閉塞手段と、前記閉塞手段、前記シート支持手段、前記はみ出し部分、前記被着体および、前記被着体支持手段で形成される密閉空間の内圧を上昇させる内圧上昇手段とを備え、前記内圧上昇手段による前記密閉空間の内圧の上昇によって前記被着体支持手段と前記被着体との密着を解除する、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明の支持装置では、前記閉塞手段は、弾性変形して前記隙間を閉塞する密閉部材を備えている、ことが好ましい。
【０００８】
一方、本発明の支持方法は、被着面からはみ出る大きさの接着シートが貼付された被着体を被着体支持手段で支持する被着体支持工程と、前記被着体支持手段の外側に所定の間隔を隔てて設けられたシート支持手段で、前記被着体の被着面からはみ出したはみ出し部分を支持するシート支持工程と、前記被着体支持手段と前記被着体との密着を解除する密着解除工程とを備え、前記密着解除工程は、前記被着体支持手段と前記シート支持手段との間の隙間を閉塞手段で閉塞する閉塞工程と、前記閉塞手段、前記シート支持手段、前記はみ出し部分、前記被着体および、前記被着体支持手段で形成される密閉空間の内圧を上昇させる内圧上昇工程とを備え、前記内圧上昇工程による前記密閉空間の内圧の上昇によって前記被着体支持手段と前記被着体との密着を解除する、という構成を採用している。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、閉塞手段、シート支持手段、はみ出し部分、被着体および、被着体支持手段で形成される密閉空間の内圧を上昇させて被着体支持手段と被着体との密着を解除するので、被着体の外縁形状や特性等によって当該密閉空間の密閉性が不足することがなく、被着体支持手段と被着体との密着を確実に解除することができる。
【００１０】
この際、閉塞手段が弾性変形して隙間を閉塞する密閉部材を備えていれば、隙間の密閉性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）はシート貼付装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は本発明の変形例に係る側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦを支持する支持装置２０と、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する貼付手段３０と、支持装置２０と貼付手段３０とを相対移動させる移動手段４０であって、スライダ４１Ａで支持装置２０を支持する駆動機器としてのリニアモータ４１とを備えている。
【００１４】
支持装置２０は、スライダ４１Ａに支持されたフレーム２１上に支持された駆動機器としての直動モータ２２と、その出力軸２２Ａに支持され、被着面ＷＦ１からはみ出る大きさの接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを支持する被着体支持手段２３と、ブラケット２１Ａを介してフレーム２１上に支持されるとともに、被着体支持手段２３の外側で所定の間隔を隔てて設けられ、ウエハＷＦの被着面ＷＦ１からはみ出した接着シートＡＳのはみ出し部分ＡＳ１を支持するシート支持手段２４と、被着体支持手段２３とウエハＷＦとの密着を解除する密着解除手段２５とを備えている。
被着体支持手段２３は、ウエハＷＦを支持するウエハ支持面２３Ａに複数の貫通孔２３Ｂを有する上面視円形状の部材で構成され、貫通孔２３Ｂに連通する配管２３Ｃを介してウエハＷＦを保持する減圧ポンプや真空エジェクタ等の保持手段としての減圧手段２３Ｄが接続されている。
シート支持手段２４は、リングフレームＲＦと、リングフレームＲＦを支持するフレーム支持面２４Ａに複数の貫通孔２４Ｂを有する上面視円環形状の部材とで構成され、貫通孔２４Ｂに連通する配管２４Ｃを介してリングフレームＲＦを保持する減圧ポンプや真空エジェクタ等の保持手段としての減圧手段２４Ｄが接続されている。
密着解除手段２５は、被着体支持手段２３とシート支持手段２４との間の隙間ＧＡを閉塞する閉塞手段２５Ａと、閉塞手段２５Ａ、シート支持手段２４、はみ出し部分ＡＳ１、ウエハＷＦおよび、被着体支持手段２３で形成される密閉空間ＳＣ（図２参照）の内圧を上昇させる内圧上昇手段２５Ｂとを備え、内圧上昇手段２５Ｂによる密閉空間ＳＣの内圧の上昇によって被着体支持手段２３とウエハＷＦとの密着を解除するようになっている。
閉塞手段２５Ａは、フレーム２１上に支持された駆動機器としての直動モータ２５Ｃと、その出力軸２５Ｄに支持されたプレート２５Ｅと、プレート２５Ｅ上に支持され、ゴムや樹脂等の弾性部材で構成されて弾性変形して隙間ＧＡを閉塞する上面視円環形状の密閉部材２５Ｆとを備えている。
内圧上昇手段２５Ｂは、貫通孔２３Ｂに連通する配管２５Ｇを介してウエハＷＦとウエハ支持面２３Ａとの間に空気ＡＲを送る加圧ポンプやタービン等の加圧手段２５Ｈを備えている。
【００１５】
貼付手段３０は、剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３３と、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３４と、駆動機器としての回動モータ３５Ａによって駆動され、ピンチローラ３６とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ３５と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３７とを備えている。
【００１６】
以上のシート貼付装置１０において、一体物ＷＫを形成する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示すシート貼付装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力する。そして、作業者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１中実線で示すようにウエハＷＦおよびリングフレームＲＦをそれぞれ被着体支持手段２３およびシート支持手段２４上に載置すると、支持装置２０が減圧手段２３Ｄ、２４Ｄを駆動し、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦをそれぞれウエハ支持面２３Ａおよびフレーム支持面２４Ａで吸着保持を開始する。次に、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの上面が同一平面上に位置しないことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、支持装置２０が直動モータ２２を駆動し、両者が同一平面上に位置するように被着体支持手段２３の高さを調整する。
【００１７】
その後、移動手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持装置２０を左方向に移動させ、支持装置２０が所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、支持装置２０の左方への移動速度と同じ速度で接着シートＡＳが左方に供給されるように原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板３３で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ３４によってウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに押圧されて貼付され、一体物ＷＫが形成される。一体物ＷＫが形成された後、支持装置２０が押圧ローラ３４の左方の所定位置に到達すると、移動手段４０および支持装置２０がリニアモータ４１および減圧手段２３Ｄの駆動を停止する。その後、支持装置２０が直動モータ２５Ｃを駆動し、図２（Ａ）に示すように、密閉部材２５Ｆを上昇させて被着体支持手段２３とシート支持手段２４との隙間ＧＡを閉塞し、密閉空間ＳＣを形成する。この隙間ＧＡの閉塞の際、密閉部材２５Ｆが弾性変形するため、被着体支持手段２３の底面とシート支持手段２４の底面とに段差があったり、それらの底面が荒れていたりしても、密閉空間ＳＣの密閉性が低下することはない。
【００１８】
次に、支持装置２０が加圧手段２５Ｈを駆動し、ウエハＷＦとウエハ支持面２３Ａとの間に空気ＡＲを送って被着体支持手段２３とウエハＷＦとの密着を解除する。このとき、供給された空気ＡＲがウエハ支持面２３ＡとウエハＷＦとの間のある一部のみから流出し、隙間ＧＡを通って雰囲気に漏れてしまうと、被着体支持手段２３とウエハＷＦとが接触している接触部全体の密着を解除できない場合があるが、本実施形態の場合、隙間ＧＡを閉塞して密閉空間ＳＣを形成しているので、雰囲気に漏れようとする空気ＡＲを当該密閉空間ＳＣ内に滞留させることができる。これにより、密閉空間ＳＣの内圧が上昇し、接着シートＡＳのはみ出し部分ＡＳ１が上方に膨むように変形し、図２（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦを引っ張り上げて被着体支持手段２３とウエハＷＦとが接触している接触部全体の密着を解除する。接触部全体の密着が解除されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、支持装置２０が加圧手段２５Ｈの駆動を停止した後、直動モータ２５Ｃを駆動し、密閉部材２５Ｆを下降させることで、ウエハＷＦがウエハ支持面２３Ａ上に再度載置される。
【００１９】
次いで、支持装置２０が減圧手段２４Ｄの駆動を停止し、図示しない搬送手段が一体物ＷＫを次工程に搬送した後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２０】
以上のような実施形態によれば、閉塞手段２５Ａ、シート支持手段２４、はみ出し部分ＡＳ１、ウエハＷＦおよび、被着体支持手段２３で形成される密閉空間ＳＣの内圧を上昇させて被着体支持手段２３とウエハＷＦとの密着を解除するので、ウエハＷＦの外縁形状や特性等によって当該密閉空間ＳＣの密閉性が不足することがなく、被着体支持手段２３とウエハＷＦとの密着を確実に解除することができる。
【００２１】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２２】
例えば、支持装置２０は、閉塞手段２５Ａに代えて、または、併用して、図３（Ａ）に示すように、隙間ＧＡの下方に設けられた上面視円環形状のプレート２６Ｃにその内縁部および外縁部がそれぞれ支持された上面視円環形状の密閉部材２６Ｄと、プレート２６Ｃに形成された貫通孔２６Ｅおよび配管２６Ｆを介してプレート２６Ｃと密閉部材２６Ｄとの間に空気を送る加圧ポンプやタービン等の加圧手段２６Ｇとを備えた閉塞手段２６Ａを採用したり、図３（Ｂ）に示すように、シート支持手段２４の内周面にその上端部および下端部がそれぞれ支持された上面視円環形状の密閉部材２７Ｃと、シート支持手段２４に形成された貫通孔２７Ｄおよび配管２７Ｅを介してシート支持手段２４の内周面と密閉部材２７Ｃとの間に空気を送る加圧ポンプやタービン等の加圧手段２７Ｆとを備えた閉塞手段２７Ａを採用したりして、密閉部材２６Ｄや２７Ｃを膨張させて隙間ＧＡを閉塞するようにしてもよい。なお、図３（Ｂ）に示す密閉部材２７Ｃを被着体支持手段２３の外周面に支持させ、被着体支持手段２３に形成された図示しない貫通孔および配管を介して被着体支持手段２３の外周面と密閉部材２７Ｃとの間に空気を送って隙間ＧＡを閉塞する図示しない閉塞手段を採用してもよい。
【００２３】
支持装置２０は、被着体支持手段２３を昇降させなくてもよいし、被着体支持手段２３を昇降させない場合や昇降させる場合でも、シート支持手段２４を昇降させる駆動機器を採用し、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの上面を同一平面上に位置させるように構成してもよいし、被着体支持手段２３とウエハＷＦとが接触している接触部全体の密着を解除した後、被着体支持手段２３とウエハＷＦとを相対移動させて当該ウエハＷＦをウエハ支持面２３Ａ上に再度載置させてから、密閉部材２５Ｆを下降させることで、ウエハＷＦに衝撃が加わることを防止してもよいし、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの上面を同一平面上に位置させなくてもよいし、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦの上面位置が予め分かっている場合、それらの上面位置を検知する検知手段はなくてもよいし、予め接着シートＡＳが貼付されているウエハＷＦを支持してもよく、この場合、貼付手段３０や移動手段４０はなくてもよい。
【００２４】
被着体支持手段２３は、上面視三角形以上の多角形、楕円形、その他の形状であってもよいし、保持手段として減圧手段２３Ｄを採用しない場合等で貫通孔２３Ｂが不要な場合、当該貫通孔２３Ｂはなくてもよい。
【００２５】
シート支持手段２４は、リングフレームＲＦを構成要件とせずに、フレーム支持面２４Ａで直接はみ出し部分ＡＳ１を支持してもよいし、リングフレームＲＦ以外の他の部材を構成要件とし、当該他の部材を介してはみ出し部分ＡＳ１を支持してもよいし、上面視三角形以上の多角形の環状、楕円形の環状、その他の形状の環状であってもよいし、保持手段として減圧手段２４Ｄを採用しない場合等で貫通孔２４Ｂが不要な場合、当該貫通孔２４Ｂはなくてもよいし、リングフレームＲＦやリングフレームＲＦに代わる他の部材の形状は、上面視三角形以上の多角形の環状、円形や楕円形の環状、その他の形状の環状や、環状でないもの等であってもよいし、はみ出し部分ＡＳ１の上方から当該シート支持手段２４に向けてはみ出し部分ＡＳ１を押圧して支持するシート支持補助手段を設けてもよい。
【００２６】
閉塞手段２５Ａは、密閉部材２５Ｆを固定しておき、または、移動させつつ、被着体支持手段２３およびシート支持手段２４を移動させて隙間ＧＡを閉塞するようにしてもよいし、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する前または貼付と並行して、隙間ＧＡを閉塞してもよいし、密閉部材２５Ｆ、２６Ｄおよび２７Ｃとして、ゴムや軟質樹脂等の弾性変形可能な部材を採用することができるし、密閉部材２５Ｆ、２６Ｄおよび２７Ｃに代えて金属や硬質樹脂等の弾性変形しない部材を採用してもよいし、プレート２５Ｅはなくてもよいし、密閉部材２６Ｄや２７Ｃを膨張させるものは、大気、単体ガスおよび混合ガス等の気体や、水やオイル等の液体、ジェル状体等の流体や固体でもよいし、プレート２５Ｅ、２６Ｃや、密閉部材２５Ｆ、２６Ｄおよび２７Ｃは、上面視円形の環状、三角形以上の多角形の環状、楕円形の環状、その他の形状の環状であってもよい。
【００２７】
内圧上昇手段２５Ｂは、加圧手段２５Ｈに代えてまたは併用して、ウエハＷＦとウエハ支持面２３Ａとの間に大気、単体ガスおよび混合ガス等の気体や、水やオイル等の液体、ジェル状体等の流体を送るものでもよいし、ウエハＷＦとウエハ支持面２３Ａとの間ではなく、例えば、被着体支持手段２３の外周面やシート支持手段２４の内周面等から直接密閉空間ＳＣに上記の空気、気体、液体、ジェル状体または固体を送って内圧を上昇させてもよい。
【００２８】
貼付手段３０は、帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、その内側が接着シートＡＳとされ、所定の間隔を隔てて複数の接着シートＡＳが剥離シートＲＬに仮着された原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、切断手段により接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側に接着シートＡＳを形成してもよいし、帯状の接着シート基材をウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付した後、切断手段により接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側に接着シートＡＳを形成してもよいし、他の装置で接着シートＡＳをウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに貼付して一体物ＷＫを形成する場合、なくてもよい。
【００２９】
移動手段４０は、支持装置２０の位置を固定しておき、または、移動させつつ貼付手段３０を移動させて当該貼付手段３０でウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付してもよいし、なくてもよい。
【００３０】
接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の処理対象物に貼付することができる。
【００３１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、被着体支持手段は、被着体の被着面からはみ出る大きさの接着シートが貼付された被着体を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３２】
２０    支持装置
２３    被着体支持手段
２４    シート支持手段
２５    密着解除手段
２５Ａ、２６Ａ、２７Ａ  閉塞手段
２５Ｂ  内圧上昇手段
２５Ｆ、２６Ｄ、２７Ｃ  密閉部材
ＡＳ    接着シート
ＡＳ１  はみ出し部分
ＧＡ    隙間
ＳＣ    密閉空間
ＷＦ    ウエハ（被着体）
ＷＦ１  被着面
【図１】
2018006504.tif 000003
【図２】
2018006504.tif 000004
【図３】
2018006504.tif 000005