(57)【要約】【課題】細かい場所のバリ取りや面取りなどの研磨を簡単に行うことができる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置１０は、ワーク４０を研磨する研磨部材３０を先端に有し、かつ、前記研磨部材３０を直線往復運動する第１アーム１３と、前記ワーク４０を把持する把持部２０を先端に有し、かつ、回転往復運動によって前記ワーク４０を揺動する第２アーム１３と、を備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを研磨する研磨部材を先端に有し、かつ、前記研磨部材を直線往復運動する第１アームと、
前記ワークを把持する把持部を先端に有し、かつ、回転往復運動によって前記ワークを揺動する第２アームと、を備えている、研磨装置。
【請求項２】
前記第２アームは、前記研磨部材が直線往復運動する方向と直交する軸を中心に回転往復運動によって前記ワークを揺動する、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記第１アームは複数の前記研磨部材を有し、
複数の前記研磨部材は、前記第１アームの軸を中心に周方向に間隔を空けて配置されて回動する、請求項１または２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記第１アームは吸着部をさらに有し、
前記吸着部は吸着した前記ワークを前記把持部に供給する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記第１アームはカメラをさらに有し、
前記カメラにより撮影された画像に基づき前記吸着部により吸着された前記ワークと前記把持部との位置合わせを行う、請求項４に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記第１アームおよび前記第２アームを備えたロボットにより構成されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを研磨してバリ取りや面取りなどを行なえる研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、バリ取り装置として、たとえば、特許文献１に示すバリ取り装置が知られている。このバリ取り装置では、ワークの端面周縁に対向させて砥石を設け、砥石を回転駆動し、砥石をワークの端面周縁に沿って移動させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０７８１９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のバリ取り装置では、ワークの端面周縁だけを研磨するため、これに繋がるワークの端面も研磨したい場合、ワークに対する砥石の位置変えるために砥石を取り付け直す必要があり、手間が嵩む。また、回転する砥石では、細かい場所および平滑性を有する場所などを研磨することができないことがある。
【０００５】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、細かい場所のバリ取りや面取りなどの研磨を簡単に行うことができる研磨装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のある形態に係る研磨装置は、ワークを研磨する研磨部材を先端に有し、かつ、前記研磨部材を直線往復運動する第１アームと、前記ワークを把持する把持部を先端に有し、かつ、回転往復運動によって前記ワークを揺動する第２アームと、を備えている。
【０００７】
これによれば、ワークの角およびそれに繋がる面を研磨し、バリなどを除去することができる。また、直線往復運動する研磨部材によって、細かい場所を平滑性を維持しながら研磨してそのバリなどを除去することができる。さらに、第１アームおよび第２アームの動きが直線往復運動および回転往復運動と単純であるため、これらの動きを教示（ティーチング）し易い。
【０００８】
この研磨装置では、前記第２アームは、前記研磨部材が直線往復運動する方向と直交する軸を中心に回転往復運動によって前記ワークを揺動してもよい。これにより、ワークの縁およびそれに繋がる角を効率的に研磨することができる。
【０００９】
この研磨装置では、前記第１アームは複数の前記研磨部材を有し、複数の前記研磨部材は、前記第１アームの軸を中心に周方向に間隔を空けて配置されて回動してもよい。これによれば、第１アームの軸を中心に複数の研磨部材を回動することにより、ワークに対して所定の位置関係で研磨部材を配置することができる。
【００１０】
この研磨装置では、前記第１アームは吸着部をさらに有し、前記吸着部は吸着した前記ワークを前記把持部に供給してもよい。これによれば、小さなワークや薄いワークであっても吸着部により吸着して、把持部に供給することができる。
【００１１】
この研磨装置では、前記第１アームはカメラをさらに有し、前記カメラにより撮影された画像に基づき前記吸着部により吸着された前記ワークと前記把持部との位置合わせを行ってもよい。これによれば、カメラにより撮影されたワークの画像に基づき、ワークと把持部とを所定の位置関係に配置することができる。
【００１２】
この研磨装置では、前記第１アームおよび前記第２アームを備えたロボットにより構成されていてもよい。これによれば、先端を取替可能な汎用ロボットを使用することにより、先端を取り替えるだけで、ワークの研磨作業が可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、以上に説明した構成を有し、細かい場所のバリ取りや面取りなどの研磨を簡単に行うことができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、実施形態１に係る研磨装置を適用したロボットの一例の全体的な構成を概略的に示す平面図である。
【図２】図２は、図１のロボットの制御装置の構成を概略的に示す機能ブロック図である。
【図３】図３は、カメラによりワークを撮影している状態を概略的に示す斜視図である。
【図４】図４は、吸着部により吸着したワークを把持に供給している状態を概略的に示す斜視図である。
【図５】図５は、ワークを第１研磨部材により研磨している状態を概略的に示す斜視図である。
【図６】図６は、ワークを第２研磨部材により研磨している状態を概略的に示す斜視図である。
【図７】図７Ａは、ワークの斜視図である。図７Ｂは、ワークを底端側から視た平面図である。図７Ｃは、ワークを同軸で揺動している状態をその底端側から視た平面図である。図７Ｄは、ワークを偏心して揺動している状態をその底端側から視た平面図である。図７Ｅは、切れ込み面を研磨部材で研磨している状態をその底端側から視た平面図である。図７Ｆは、切れ込み面に繋がる角を研磨部材で研磨している状態をその底端側から視た平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、好ましい実施形態を、図面を参照しながら説明する。なお、以下では全ての図面を通じて同一または相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複する説明を省略する。また、図面は理解しやすくするために、それぞれの構成要素を模式的に示したものである。さらに、一対のアームを広げた方向を左右方向と称し、基軸の軸心に平行な方向を上下方向と称し、左右方向および上下方向に直交する方向を前後方向と称する。
【００１６】
（実施形態１）
本実施形態１に係る研磨装置１０は、ワーク４０（図３）を研磨してバリ取りや面取りなどを行うことが可能な装置である。図１に示すロボット１１により本発明に係る研磨装置１０を構成した場合について説明する。ただし、研磨装置１０はロボット１１により構成される場合に限定されない。なお、このロボット１１について、水平多関節型の双腕ロボットを説明するが、水平多関節型・垂直多関節型などの他のロボットを採用することができる。
【００１７】
ロボット１１は、図１に示すように、台車１２と、台車１２に支持された一対のロボットアーム（以下、単に「アーム」と記載する場合がある）１３、１３と、台車１２内に収納された制御装置１４とを備えている。各アーム１３は、水平多関節型ロボットアームであって、アーム部１５とリスト部１７とハンド部１８、１９とを備えている。なお、左のアーム１３および右のアーム１３は、ハンド部１８、１９を除いて実質的に同じ構造であってもよい。また、左のアーム１３および右のアーム１３は、独立して動作したり、互いに関連して動作したりすることができる。
【００１８】
アーム部１５は、本例では、第１リンク１５ａおよび第２リンク１５ｂとで構成されている。第１リンク１５ａは、台車１２の上面に固定された基軸１６と回転関節Ｊ１により連結され、基軸１６の軸心を通る回転軸線Ｌ１まわりに回動可能である。第２リンク１５ｂは、第１リンク１５ａの先端と回転関節Ｊ２により連結され、第１リンク１５ａの先端に規定された回転軸線Ｌ２まわりに回動可能である。
【００１９】
リスト部１７は、第２リンク１５ｂの先端と直動関節Ｊ３により連結され、第２リンク１５ｂに対し昇降移動可能である。各ハンド部１８、１９は、リスト部１７の下端と回転関節Ｊ４により連結され、リスト部１７の下端に規定された回転軸線Ｌ３のまわりに回動可能である。この実施の形態では、回転軸線Ｌ３は上下方向に延びる。
【００２０】
右ハンド部１８は、右ハンド部１８をリスト部１７に脱着可能な装着部１８ａ、および、ワーク４０を把持する把持部２０により構成されており、把持部２０は右のアーム（第２アーム）１３の先端に設けられている。なお、右ハンド部１８の詳細については後述する。
【００２１】
左ハンド部１９は、左ハンド部１９をリスト部１７に脱着可能な装着部１９ａ、および、ワーク４０を研磨する研磨部材３０により構成されており、研磨部材３０は左のアーム（第１アーム）１３の先端に設けられている。なお、左ハンド部１９の詳細については後述する。
【００２２】
左ハンド部１９は、ワーク４０を吸着する吸着部３１をさらに有していてもよく、吸着部３１は左のアーム（第１アーム）１３の先端に設けられている。吸着部３１は配管３５を介して真空発生装置３６に接続されている。真空発生装置３６は、たとえば、真空ポンプやＣＯＮＶＵＭ（登録商標）など、吸着部３１に負圧を発生させる装置であり、台車１２やアーム１３に設けられている。配管３５には、たとえば、開閉弁（図示せず）が設けられている。開閉弁により配管３５を開放および閉塞することによって、吸着部３１による吸着およびその解除が行われる。この真空発生装置３６の動作および開閉弁の開閉は制御装置１４により制御される。これにより、真空発生装置３６は、吸着部３１を介して吸引し、ワーク４０を吸着することができる。
【００２３】
上記構成の各アーム１３は、各関節Ｊ１〜Ｊ４を有する。そして、アーム１３には、各関節Ｊ１〜Ｊ４に対応付けられるように、駆動用のサーボモータ（図示せず）、および、そのサーボモータの回転角を検出するエンコーダ（図示せず）等が設けられている。また、２本のアーム１３、１３の第１リンク１５ａ、１５ａの回転軸線Ｌ１は同一直線上にあり、一方のアーム１３の第１リンク１５ａと他方のアーム１３の第１リンク１５ａとは上下に高低差を設けて配置されている。
【００２４】
制御装置１４は、図２に示すように、ＣＰＵ等の演算部１４ａと、ＲＯＭ、ＲＡＭ等の記憶部１４ｂと、サーボ制御部１４ｃと、を備える。制御装置１４は、例えばマイクロコントローラ等のコンピュータを備えたロボットコントローラである。なお、制御装置１４は、集中制御する単独の制御装置１４によって構成されていてもよいし、互いに協働して分散制御する複数の制御装置１４によって構成されていてもよい。
【００２５】
記憶部１４ｂには、ロボットコントローラとしての基本プログラム、各種固定データ等の情報が記憶されている。演算部１４ａは、記憶部１４ｂに記憶された基本プログラム等のソフトウェアを読み出して実行することにより、ロボット１１の各種動作を制御する。すなわち、演算部１４ａは、ロボット１１の制御指令を生成し、これをサーボ制御部１４ｃに出力する。サーボ制御部１４ｃは、演算部１４ａにより生成された制御指令に基づいて、ロボット１１の各アーム１３の関節Ｊ１〜Ｊ４に対応するサーボモータの駆動を制御するように構成されている。
【００２６】
次に、右ハンド部１８および左ハンド部１９について、図３〜図６を参照して説明する。なお、図３〜図６では、わかり易いように、配管３５を省略している。また、ここでは、右ハンド部１８は把持部２０により構成され、左ハンド部１９は研磨部材３０により構成されているが、右ハンド部１８が研磨部材３０により構成され、左ハンド部１９は把持部２０により構成されていてもよい。
【００２７】
左ハンド部１９は、研磨部材３０および吸着部３１に加えて、カメラ３２により構成されている。これらはそれぞれ、基台（左基台）３３に取り付けられている。左基台３３は、リスト部１７に接続されており、上下方向に延びる回転軸線Ｌ３（図１）を中心に回動する。
【００２８】
研磨部材３０は、１つまたは複数（この実施形態では、３つ）、左ハンド部１９に備えられている。たとえば、３つの研磨部材３０は、第１研磨部材３０ａ、第２研磨部材３０ｂおよび第３研磨部材３０ｃから構成されており、アーム１３の軸を中心に周方向に間隔を空けて配置されており、この軸を中心に回動する。このロボット１１では、アーム１３の軸はリスト部１７の上下方向に延びる、リスト部１７の回転軸線Ｌ３である。
【００２９】
第１研磨部材３０ａは、たとえば、金属ワイヤなどの表面に砥粒または細かい多数の溝や突起が付けられた糸ヤスリである。第１研磨部材３０ａは、変形可能であってもよい。第１研磨部材３０ａは上下方向に延び、その上下端のそれぞれはＣ字状の第１支持部材３４ａに固定されて、第１支持部材３４ａを介して左基台３３に取り付けられている。第１支持部材３４ａはリスト部１７の軸に対して径方向に延びる。
【００３０】
第２研磨部材３０ｂおよび第３研磨部材３０ｃは、平坦なヤスリであって、たとえば、ナイロンなどの樹脂により薄手の編地で形成された布ヤスリであってもよい。この場合、第２研磨部材３０ｂおよび第３研磨部材３０ｃは、柔軟で、伸縮性および可撓性を有し、変形可能であってもよい。これらは、たとえば、研磨対象とする後述の切れ込み面４０ｅと同じまたはそれより大きく、上下方向に延びる縦寸法が最も長く、上下方向に直交する方向の厚み寸法が最も短い。
【００３１】
第２研磨部材３０ｂは、第１研磨部材３０ａと第３研磨部材３０ｃとの間に配置され、第３研磨部材３０ｃより目が粗く形成されている。第２研磨部材３０ｂは、Ｃ字状の第２支持部材３４ｂに固定されて、第２支持部材３４ｂを介して左基台３３に取り付けられている。第３研磨部材３０ｃは、Ｃ字状の第３支持部材３４ｃに固定されて、第３支持部材３４ｃを介して左基台３３に取り付けられている。第２研磨部材３０ｂおよび第３研磨部材３０ｃは、その厚み方向がリスト部１７の軸を中心とした周方向に一致するように配置されている。第２研磨部材３０ｂおよび第３研磨部材３０ｃの各研磨面、ならびに、第２支持部材３４ｂおよび第２支持部材３４ｂはリスト部１７の軸に対して径方向に延びる。
【００３２】
吸着部３１は、たとえば、ワーク４０を第１パレット４１から把持部２０へ供給したり、研磨したワーク４０を把持部２０から第２パレット４２へ移したりする。吸着部３１の先端は、ゴムなどの弾性材料で形成された吸着パッドであり、下方向に開口するキャップ形状を有している。吸着部３１は、その開口が下方を向くように第２支持部材３４ｂの下面上に取り付けられている。ただし、吸着部３１の位置は、左ハンド部１９にうちで下部に位置していれば、これに限定されない。たとえば、第１支持部材３４ａ、第３支持部材３４ｃ、または、カメラ３２の下面などに設けられていてもよい。
【００３３】
吸着部３１は、第２支持部材３４ｂおよび左基台３３を介してリスト部１７に接続されている。これにより、吸着部３１は上下方向に延びる軸を中心にリスト部１７の回動により回り、上下方向に直交する面において吸着部３１の向きおよび吸着部３１に吸着されたワーク４０の向きは変えられる。
【００３４】
カメラ３２は、第１パレット４１におけるワーク４０を撮影し、撮影した画像を制御装置１４に出力する。制御装置１４は、画像を解析して、ワーク４０の向きを判定する。カメラ３２は、各研磨部材３０から間隔を空けて、リスト部１７の軸に対して径方向に延びるように、左基台３３に取り付けられている。
【００３５】
右ハンド部１８は、把持部２０により構成されており、把持部２０は、基台（右基台）２３に取り付けられている。右基台２４は、リスト部１７に接続されており、上下方向に延びる軸を中心にリスト部１７の回動により回る。
【００３６】
把持部２０は、たとえば、一対の挟持部材２１を有している。一対の挟持部材２１は、上下方向に直交する方向に延び、調整部材２３を介して右基台２４に取り付けられている。また、一対の挟持部材２１には揺動部材２２が接続されている。
【００３７】
揺動部材２２は、アクチュエータ（図示せず）などに接続されており、一対の挟持部材２１が回転往復運動可能に把持部２０に取り付けられている。回転往復運動では、一対の挟持部材２１が、上下方向に直交する方向に延びる軸を中心に所定角度で往復して回動してもよい。これにより、一対の挟持部材２１は、上下方向に直交する方向に延びる軸を中心に円弧に沿って動く。なお、揺動する軸は上下方向に直交する方向に限定されない。
【００３８】
たとえば、図７Ｃおよび図７Ｄに示すように、後述する各研磨部材３０が直線往復運動する方向（矢印の方向）に対して直交する回転軸（黒丸）を中心にワーク４０が回転往復運動する。この回転軸は、図７Ｃに示すようにワーク４０に対して同軸に設けられていてもよいし、図７Ｄに示すようにワーク４０から離れて偏心して設けられていてもよい。なお、回転往復運動の回転軸は、直線往復運動する方向に直交する方向に限定されない。
【００３９】
調整部材２３は、アクチュエータ（図示せず）などに接続されており、直線的に移動し、一対の挟持部材２１の互いの間隔が変化するように、一対の挟持部材２１の一方または両方に接続されている。この調整部材２３により、一対の挟持部材２１は互いの間隔を縮めてワーク４０を挟んで把持する。
【００４０】
次に、上記構成のロボット１１によるワーク４０を研磨してバリ取りや面取りなどを行う方法について図３〜図７を参照して説明する。この方法は制御装置１４により制御されている。
【００４１】
図３に示すように、ロボット１１の前方左側には、第１パレット４１が配置されており、第１パレット４１上にワーク４０が配置されている。また、ロボット１１の前方右側には、第２パレット４２が配置されている。
【００４２】
ワーク４０は、図７Ａに示すように、たとえば、平板の矩形状の部品であって、中央に貫通孔４０ｂが設けられており、この貫通孔４０ｂと一端とを繋ぐスリット４０ｃが設けられている。なお、図７Ｂ〜図７Ｆでは、わかり易いように、スリット４０ｃの幅を広く描いている。
【００４３】
図７Ａに示すワーク４０は、たとえば、ミシンに使う糸ガイドであり、セラミックにより形成されている。ワーク４０は、通常、焼結により硬化される前に研磨される。ワーク４０は、略矩形状の略平板部品であって、一対の対向する主面を有する。このワーク４０の一端を底端４０ａと称し、底端４０ａに平行で対向する端を天端と称し、底端４０ａと天端との間にありこれらに直交する２つの端を側端と称する。
【００４４】
ワーク４０には貫通孔４０ｂおよびスリット４０ｃが設けられている。貫通孔４０ｂは、たとえば、円柱形状であって、一対の主面間を貫通し、内周面４０ｄにより囲まれている。貫通孔４０ｂと底端４０ａとの間にはスリット４０ｃが設けられている。図７Ｂに示すように、ワーク４０をその底端４０ａから視ると、スリット４０ｃは、一方主面から他方主面にかけて一方側端から他方側端に向かう斜めの切れ込みであり、一対の切れ込み面４０ｅの間の隙間により形成される。各切れ込み面４０ｅは、平らで、各主面に対して傾斜して設けられる。スリット４０ｃの幅は、たとえば、ミシン糸の直径程度の寸法である。
【００４５】
このようなワーク４０において、ミシン糸は、一対の切れ込み面４０ｅの間のスリット４０ｃを通り、内周面４０ｄにより囲まれた貫通孔４０ｂに挿入される。よって、この際に、ミシン糸が擦れて切れないように、貫通孔４０ｂの内周面４０ｄおよびそれに繋がる角、ならびに、切れ込み面４０ｅおよびそれに繋がる角を研磨する必要がある。ただし、この研磨範囲は、同一面にない上、細かく、非常に複雑である。
【００４６】
よって、まず、カメラ３２が第１パレット４１のワーク４０上に位置するように、左ハンド部１９をアーム部１５およびリスト部１７により移動する。カメラ３２によりワーク４０を撮影して、その画像を制御装置１４へ出力する。
【００４７】
そして、左基台３３をリスト部１７により回動して、撮影したワーク４０上に吸着部３１を移動させる。吸着部３１をリスト部１７により降下させて、ワーク４０を吸着部３１により吸着する。吸着部３１により吸着されたワーク４０をリスト部１７により上昇させると共に、ワーク４０をアーム部１５により移動させて、ワーク４０をリスト部１７およびアーム部１５により第１パレット４１から把持部２０へ搬送する。
【００４８】
この際、制御装置１４は、カメラ３２により撮影されたワーク４０の画像に基づきワーク４０の向きを判定し、判定結果に基づいてワーク４０と把持部２０との位置合わせを行う。たとえば、図４に示すように、ワーク４０の天端が調整部材２３側になり、ワーク４０の側端が一対の挟持部材２１の間に配置されるように、ワーク４０の向きが変えられる。
【００４９】
そして、ワーク４０を一対の挟持部材２１により挟み、吸着部３１は吸着を解除して、ワーク４０を把持部２０により把持する。このとき、ワーク４０の底端４０ａが左ハンド部１９側に位置する。
【００５０】
図５に示すように、第１研磨部材３０ａをワーク４０の底端４０ａからスリット４０ｃを通して貫通孔４０ｂに挿入する。第１研磨部材３０ａを貫通孔４０ｂの内周面４０ｄに当てて、第１研磨部材３０ａをリスト部１７により上下方向に往復移動させる。この際、図７Ｃまたは図７Ｄに示すように、把持部２０を揺動部材２２により揺動する。これにより、ワーク４０が、揺動部材２２の往復回転運動により揺動される。揺動部材２２の軸は、第１研磨部材３０ａが直線往復運動する方向と直交する方向（この実施形態では、左右方向）に延びる。
【００５１】
これにより、ワーク４０を囲む内周面４０ｄおよびそれに繋がる角の所定範囲の全体が第１研磨部材３０ａに当たりながら、第１研磨部材３０ａが直線往復運動する。このため、ワーク４０の貫通孔４０ｂの所定範囲を全体的に研磨してバリ取りや面取りなどを行うことができる。
【００５２】
続いて、第１研磨部材３０ａを左側に移動させて、ワーク４０の貫通孔４０ｂからスリット４０ｃを通して抜く。そして、リスト部１７の軸を中心に回動することにより、第１研磨部材３０ａに代わって第２研磨部材３０ｂがワーク４０の前に位置する。
【００５３】
図６に示すように、第２研磨部材３０ｂを把持部２０側へ移動させて、スリット４０ｃに挿入する。ここでも、第２研磨部材３０ｂをスリット４０ｃの切れ込み面４０ｅに当てて、第２研磨部材３０ｂを上下方向に往復移動させると共に、把持部２０を揺動部材２２により揺動する。これにより、図７Ｃまたは図７Ｄに示すように、ワーク４０が揺動部材２２の軸を中心に往復回転して揺動されながら、ワーク４０の第２研磨部材３０ｂが直線往復運動する。
【００５４】
このため、図７Ｅに示すように、平らな切れ込み面４０ｅに第２研磨部材３０ｂが平行に当たると共に、図７Ｆに示すように、切れ込み面４０ｅに繋がる角にも第２研磨部材３０ｂが当たる。ここで、第２研磨部材３０ｂは柔軟な布ヤスリなどで形成されているため、第２研磨部材３０ｂは切れ込み面４０ｅに繋がる角に沿って変形して角を研磨することができる。このように、ワーク４０の切れ込み面４０ｅおよびそれに繋がる角を全体的に研磨してバリ取りや面取りなどをより確実に行うことができる。
【００５５】
さらに、同様に、第２研磨部材３０ｂを左側に移動させて、ワーク４０のスリット４０ｃを通して抜く。そして、リスト部１７をその軸を中心に回動し、第３研磨部材３０ｃがワーク４０の前に移動させる。この第３研磨部材３０ｃをスリット４０ｃに挿入して、スリット４０ｃの切れ込み面４０ｅに当てる。ここで、第３研磨部材３０ｃを上下方向に往復移動させながら、把持部２０を揺動部材２２により揺動する。これにより、第３研磨部材３０ｃによりワーク４０の切れ込み面４０ｅおよびそれに繋がる角を全体的に研磨してバリ取りや面取りなどをより確実に行うことができる。
【００５６】
このようにして研磨したワーク４０の上面を、再び、吸着部３１により吸着する。また、一対の挟持部材２１の間隔を広げて、把持部２０によるワーク４０の把持を解除する。これにより、ワーク４０を吸着部３１により保持して、把持部２０から第２パレット４２へ搬送する。
【００５７】
上記構成によれば、研磨部材３０を直線往復運動すると共に、研磨部材３０が直線往復運動する方向と直交する軸を中心の回転往復運動によってワーク４０を揺動する。これにより、縁などの一部だけでなく、その周囲も含めてワーク４０を研磨するため、バリ除去および面取りを簡単で確実に行うことができる。
【００５８】
また、各研磨部材３０は、上下方向に直線状に長く延び、上下方向に直交する厚み方向に薄い。さらに、各研磨部材３０は上下方向に直線往復運動する。これにより、ワーク４０において貫通孔４０ｂおよびスリット４０ｃなどの小さく狭い場所を平滑に研磨することができる。
【００５９】
さらに、一方のアーム１３を固定して他方のアーム１３だけを動かして同様の動きをしようとすると、可動部に対して複雑な動きを教示しないとならない。これに対し、第１アーム１３の動きが直線往復運動であり、第２アーム１３の動きが直線往復運動および回転往復運動と単純であるため、これらの動きに対する教示（ティーチング）が容易である。
【００６０】
複数の研磨部材３０は、アーム１３の軸を中心に周方向に間隔を空けて配置されており、この軸を中心に回動する。このため、アーム１３の軸を中心に左ハンド部１９を回動することにより、ワーク４０とワーク４０の前に位置する研磨部材３０との位置関係を一定にすることができる。よって、ワーク４０に対する研磨部材３０の位置を調整する必要がない。
【００６１】
さらに、吸着部３１は吸着したワーク４０を把持部２０に供給する。たとえば、厚みの薄いワーク４０でも吸着部３１により確実で簡単にワーク４０を取得し、把持部２０に供給することができる。
【００６２】
また、カメラ３２により撮影された画像に基づき吸着部３１により吸着されたワーク４０と把持部２０との位置合わせを行う。これにより、把持部２０は所定の向きでワーク４０を把持するため、把持部２０により把持されたワーク４０と所定の向きに配置された各研磨部材３０との向きとの関係を一定にすることができる。よって、ワーク４０に所定の角度で各研磨部材３０を当てて研磨することができる。
【００６３】
さらに、研磨装置１０は、第１アーム１３および第２アーム１３を備えたロボット１１により構成されている。この研磨装置１０では、把持部２０が装着部１８ａを介して右アーム１３のリスト部１７に脱着可能に装着され、各研磨部材３０が装着部１９ａを介して左アーム１３のリスト部１７に脱着可能に装着されている。このような、把持部２０および各研磨部材３０などの先端を取替可能な汎用のロボット１１を使用することにより、先端を取り替えるだけで、ワーク４０の研磨作業が可能となる。
【００６４】
なお、上記実施形態では、右ハンド部１８が装着部１８ａを介してリスト部１７に連結されたが、右ハンド部１８がリスト部１７に直接に連結されていてもよい。また、左ハンド部１９が装着部１９ａを介してリスト部１７に連結されていたが、左ハンド部１９がリスト部１７に直接に連結されていてもよい。
【００６５】
上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。従って、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造および／または機能の詳細を実質的に変更できる。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明は、細かい場所のバリ取りや面取りなどの研磨を簡単に行うことができる研磨装置等として有用である。
【符号の説明】
【００６７】
１０    ：研磨装置
１１    ：ロボット
１３    ：アーム
２０    ：把持部
２２    ：挟持部材
３０    ：研磨部材
３０ａ  ：第１研磨部材（研磨部材）
３０ｂ  ：第２研磨部材（研磨部材）
３０ｃ  ：第３研磨部材（研磨部材）
３１    ：吸着部
３２    ：カメラ
４０    ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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