(57)【要約】【課題】圧電素子に接続された配線が保護部材の表面まで引き出される構成の液体吐出装置において、保護部材表面における高精細な配線形成を不要とし、コストを抑えること。【解決手段】ヘッドユニット１６は、振動膜上面において搬送方向に配列された複数の圧電素子４１と、頂壁部５３と２つの側壁部５４を有し、複数の圧電素子４１を覆うように配置された保護部材２６と、複数の圧電素子４１から走査方向に保護部材２６の外側まで引き出され、保護部材２６の側壁部５３の表面を経て頂壁部５４へ延びる複数の駆動配線４５と、頂壁部５３の表面に配置され、複数の駆動配線４５とそれぞれ接続された複数の駆動接点５６と、頂壁部５３の表面において、複数の駆動接点５６と電気的に接続されたＣＯＦ２５とを備える。複数の駆動配線４５の、保護部材２６の表面での間隔が振動膜上面における間隔よりも大きい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路部材の素子配置面において、第１方向に配列された複数の第１圧電素子と、
前記第１圧電素子と対向する頂壁部と、前記頂壁部の、前記素子配置面と平行で前記第１方向と直交する第２方向における両端部にそれぞれ連結された２つの側壁部を有し、前記複数の第１圧電素子を覆うように前記素子配置面に配置された保護部材と、
前記複数の第１圧電素子から、前記第２方向において前記保護部材の外側まで引き出され、さらに前記側壁部の表面を経て前記保護部材の頂壁部へ延びる、複数の第１配線と、
前記頂壁部の表面に配置され、前記複数の第１配線とそれぞれ接続された複数の第１接点と、
前記保護部材の前記頂壁部の表面において、前記複数の第１接点と電気的に接続された駆動装置と、を備え、
前記複数の第１配線の、前記保護部材の表面での前記第１方向における間隔が、前記素子配置面における間隔よりも大きいことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記複数の第１配線の、前記側壁部における前記第１方向における間隔が、前記素子配置面における間隔よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記複数の第１配線には、長配線と、前記側壁部における配線長さが前記長配線よりも短い短配線が含まれ、
前記長配線に接続される前記駆動接点は、前記短配線に接続される前記駆動配線よりも、前記第２方向において前記側壁部に近い位置に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記側壁部において前記複数の第１配線の延在方向が異なることによって、前記複数の第１配線の、前記側壁部における配線長さが異なっており、
前記複数の第１接点は、対応する前記第１配線の前記配線長さが長いほど、前記第２方向において前記側壁部に近い位置に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記複数の第１配線は、前記第１方向の一方側に位置するものほど、前記側壁部における配線長さが長くなっており、
前記頂壁部の表面において、前記複数の第１接点は、前記第１方向の前記一方側に位置するものほど、前記第２方向において前記側壁部に近い位置に配置され、前記第１方向及び前記第２方向と交差する第３方向に並んでいることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記複数の第１配線には、長配線と、前記側壁部における配線長さが前記長配線よりも短い短配線が含まれ、
前記長配線は、前記短配線よりも、延在方向と直交する平面における断面積が大きいことを特徴とする請求項２〜５の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記側壁部において前記複数の第１配線の延在方向が異なることによって、前記複数の第１配線の、前記側壁部における配線長さが異なっており、
前記複数の第１配線は、前記側壁部における配線長さが長いほど、延在方向と直交する平面における断面積が大きいことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記側壁部は、前記素子配置面と直交する方向に対して、前記素子配置面から離れるほど前記第２方向の内側に傾いており、
前記側壁部は、第１傾斜部と、前記第１傾斜部と前記第１方向に並び、且つ、前記第１傾斜部と比べて傾斜が急で前記第２方向に短い第２傾斜部を有し、
前記側壁部において前記複数の第１配線の延在方向が異なっており、
前記第２傾斜部に配置される前記第１配線は、前記第１傾斜部に配置される前記第１配線と比べて、前記側壁部での前記第２方向に対する角度が大きく、配線長さが長いことを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記複数の第１配線の、前記頂壁部における前記第１方向における間隔が、前記素子配置面における間隔よりも大きいことを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記第１接点は、前記頂壁部の前記第２方向における端部に配置されていることを特徴とする請求項１〜９の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記保護部材の前記２つの側壁部のうちの、前記第１接点が配置されている端部側に位置する側壁部は、他の側壁部よりも厚いことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
前記複数の第１配線は、前記複数の第１圧電素子から前記第２方向の一方側にそれぞれ引き出され、前記一方側の側壁部の表面を経て前記頂壁部へ延び、
前記複数の第１圧電素子に対して前記第２方向の他方側に配置された複数の第２圧電素子と、
前記複数の第２圧電素子とそれぞれ接続され、前記複数の第２圧電素子から前記他方側に引き出され、前記他方側の側壁部を経て前記頂壁部へ延びる、複数の第２配線と、
前記頂壁部の表面に配置され、前記複数の第２配線とそれぞれ接続された複数の第２接点とを備え、
前記複数の第２配線の、前記保護部材の表面における前記第１方向における間隔が、前記素子配置面における間隔よりも大きいことを特徴とする請求項１〜１１の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１３】
前記第１接点と前記第２接点が、共に、前記頂壁部の前記第２方向の前記一方側の端部に配置されていることを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出装置。
【請求項１４】
前記第２配線の延在方向と直交する平面における断面積は、前記第１配線よりも大きいことを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出装置。
【請求項１５】
前記２つの側壁部は、前記素子配置面と直交する方向に対して、前記素子配置面から離れるほど前記第２方向の内側に傾いており、
前記一方側の側壁部の前記素子配置面に対する傾斜角度が、前記他方側の側壁部の傾斜角度よりも小さいことを特徴とする請求項１３又は１４に記載の液体吐出装置。
【請求項１６】
前記頂壁部の表面において、前記第１接点と前記第２接点が、前記第１方向において交互に並んで配置されていることを特徴とする請求項１２〜１５の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１７】
前記頂壁部の表面において、前記第１接点と前記第２接点が、前記第２方向において離れて配置されていることを特徴とする請求項１２〜１５に記載の液体吐出装置。
【請求項１８】
前記駆動装置が設けられた配線部材を有し、
前記配線部材が、前記頂壁部の表面の前記複数の第１接点と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜１７の何れかに記載の液体吐出装置。
【請求項１９】
前記配線部材の先端部は、折り曲げられた状態で、前記頂壁部の表面の前記第１接点と電気的に接続され、
前記配線部材の折れ曲がり部を、前記保護部材又は前記流路部材に固定する固定部を有することを特徴とする請求項１８に記載の液体吐出装置。
【請求項２０】
前記固定部は、液状の固定材が硬化したものであることを特徴とする請求項１９に記載の液体吐出装置。
【請求項２１】
前記保護部材又は前記流路部材に、前記液状の固定材を収容する凹部が形成されていることを特徴とする請求項２０に記載の液体吐出装置。
【請求項２２】
前記保護部材の、前記第１接点が配置された領域から離れた位置に、前記凹部が形成されていることを特徴とする請求項２１に記載の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、液体吐出装置として、プリンタに使用されるインクジェットヘッドが開示されている。この特許文献１のインクジェットヘッドは、複数のノズルが形成されたノズルプレートと、複数のノズルに連通する複数の圧力室が形成された流路部材（流路形成基板）と、流路部材に複数の圧力室に対応して設けられた複数の圧電素子を備えている。また、流路部材には、複数の圧電素子を覆うように保護部材（封止板）が設置されている。
【０００３】
複数の圧電素子の各々には配線（リード電極）が接続されている。各配線は、流路部材の上面において圧電素子から保護部材の外側まで延び、さらに、保護部材の側面を経て、保護部材の上面まで引き出されている。保護部材の上面に配置された配線の端部には、配線部材であるフレキシブル基板が電気的に接続される。尚、この特許文献１では、上記配線のうち、流路部材上面の配線部分（第１リード電極）と保護部材表面の配線部分（第２リード電極）との間で、配線間隔は同じである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−７８２７２号公報（特に、図５参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、ノズルを高密度に配置してヘッドの小型化を図る観点から、圧電素子の配列間隔も小さくすることが望まれている。これに関し、特許文献１では、圧電素子から引き出された配線の、流路部材上面における間隔と保護部材表面における間隔が同じとなっている。上記構成では、圧電素子の配列間隔を小さくした場合に、保護部材の表面における配線間隔も小さくせざるを得なくなり、保護部材表面においても高精度な配線形成が必要となってコストが高くなる。また、保護部材表面での配線間隔が小さいと、複数の配線と電気的に接続される配線部材（フレキシブル基板）側の接点や配線の間隔も小さくする必要があるため、配線部材のコストアップにもなる。
【０００６】
本発明の目的は、圧電素子に接続された配線が保護部材の表面まで引き出される構成の液体吐出装置において、保護部材表面における高精細な配線形成を不要とし、コストを抑えることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明の液体吐出装置は、流路部材の素子配置面において、第１方向に配列された複数の第１圧電素子と、前記第１圧電素子と対向する頂壁部と、前記頂壁部の、前記素子配置面と平行で前記第１方向と直交する第２方向における両端部にそれぞれ連結された２つの側壁部を有し、前記複数の第１圧電素子を覆うように前記素子配置面に配置された保護部材と、前記複数の第１圧電素子から、前記第２方向において前記保護部材の外側まで引き出され、さらに前記側壁部の表面を経て前記保護部材の頂壁部へ延びる、複数の第１配線と、前記頂壁部の表面に配置され、前記複数の第１配線とそれぞれ接続された複数の第１接点と、前記保護部材の前記頂壁部の表面において、前記複数の第１接点と電気的に接続された駆動装置と、を備え、
前記複数の第１配線の、前記保護部材の表面での前記第１方向における間隔が、前記素子配置面における間隔よりも大きいことを特徴とするものである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施形態に係るプリンタ１の概略的な平面図である。
【図２】ヘッドユニット１６の平面図である。
【図３】ヘッドユニット１６の平面図（インク供給部材２７の図示省略）である。
【図４】ヘッドユニット１６の第１流路部材２１及び保護部材２６の斜視図である。
【図５】ヘッドユニット１６の平面図（インク供給部材２７と保護部材２６の図示省略）である。
【図６】図２のVI-VI線断面図である。
【図７】図６の一部拡大図である。
【図８】保護部材２６の側面図である。
【図９】変更形態のヘッドユニット１６Ａの平面図である。
【図１０】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｂの平面図である。
【図１１】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｃの平面図である。
【図１２】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｄの平面図である。
【図１３】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｅの平面図である。
【図１４】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｆの、第１流路部材２１及び保護部材２６Ｆの斜視図である。
【図１５】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｇの、第１流路部材２１及び保護部材２６の斜視図である。
【図１６】図１５の第１流路部材２１及び保護部材２６の断面図である。
【図１７】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｈの、第１流路部材２１及び保護部材２６の断面図である。
【図１８】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｉの、第１流路部材２１と保護部材２６の斜視図である。
【図１９】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｊの、第１流路部材２１及び保護部材２６Ｊの断面図である。
【図２０】別の変更形態のヘッドユニット１６Ｋの、第１流路部材２１及び保護部材２６の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の実施の形態について説明する。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、図１において記録用紙１００が搬送される方向を、プリンタ１の前後方向と定義する。また、記録用紙１００の幅方向をプリンタ１の左右方向と定義する。さらに、前後左右及び左右方向と直交する、図１の紙面垂直方向をプリンタ１の上下方向と定義する。
【００１０】
（プリンタの概略構成）
図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５と、制御装置６等を備えている。
【００１１】
プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って左右方向（以下、走査方向ともいう）に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。
【００１２】
インクジェットヘッド４は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、走査方向に並ぶ４つのヘッドユニット１６を備えている。４つのヘッドユニット１６は、４色（ブラック、イエロー、シアン、マゼンタ）のインクカートリッジ１７が装着されるカートリッジホルダ７と、図示しないチューブによってそれぞれ接続されている。
【００１３】
各ヘッドユニット１６は、その下面（図１の紙面向こう側の面）に形成された複数のノズル３６（図５、図６参照）を有する。各ヘッドユニット１６のノズル３６は、インクカートリッジ１７から供給されたインクを、プラテン２に載置された記録用紙１００に向けて吐出する。尚、ヘッドユニット１６の詳細については、後ほど説明する。
【００１４】
搬送機構５は、前後方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を前方（以下、搬送方向ともいう）に搬送する。
【００１５】
制御装置６は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、及び、各種制御回路を含むＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）等を備える。  制御装置６は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＡＳＩＣにより、記録用紙１００への印刷等の各種処理を実行する。例えば、印刷処理においては、制御装置６は、ＰＣ等の外部装置から入力された印刷指令に基づいて、インクジェットヘッド４やキャリッジ駆動モータ１５等を制御して、記録用紙１００に画像等を印刷させる。具体的には、キャリッジ３とともにインクジェットヘッド４を走査方向に移動させながらインクを吐出させるインク吐出動作と、搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する搬送動作とを、交互に行わせる。
【００１６】
＜ヘッドユニットの詳細＞
次に、インクジェットヘッド４のヘッドユニット１６の構成について詳細に説明する。尚、４つのヘッドユニット１６はそれぞれ同じ構成を有するものであるため、以下では、４つのヘッドユニット１６のうちの１つについて説明する。
【００１７】
図２〜図７に示すように、ヘッドユニット１６は、第１流路部材２１、第２流路部材２２、ノズルプレート２３、圧電アクチュエータ２４、ＣＯＦ（Chip On Film）２５、保護部材２６、インク供給部材２７等を備えている。
【００１８】
（第１流路部材、第２流路部材、ノズルプレート）
まず、第１流路部材２１、第２流路部材２２、及び、ノズルプレート２３について説明する。上記３つの部材はそれぞれ矩形の平面形状を有し、上から、第１流路部材２１、第２流路部材２２、ノズルプレート２３の順で、上下に積層されている。第１流路部材２１の材質は特に限定はされないが、後述する圧電素子４１を成膜プロセスで形成する場合には、シリコン単結晶基板が用いられることが好ましい。また、第２流路部材２２とノズルプレート２３の材質については、シリコン単結晶基板には限られず、金属や樹脂などで形成されてもよい。但し、熱による反りやクラックを防止する観点から、第２流路部材２２とノズルプレート２３も、第１流路部材２１と同じ材料、即ち、シリコン単結晶基板で形成されていることが好ましい。
【００１９】
図５、図６に示すように、第１流路部材２１には、水平面に沿って平面的に配置された複数の圧力室２８が形成されている。各圧力室２８は、走査方向に長い矩形の平面形状を有する。複数の圧力室２８は、搬送方向に配列され、走査方向に並ぶ２つの圧力室列を構成している。また、２つの圧力室列の間で、圧力室２８の搬送方向における位置は互いに異なっている。より具体的には、各圧力室列における圧力室２８の配列間隔をＰとしたときに、左右２つの圧力室列の間では、圧力室２８の搬送方向における位置が、Ｐ／２ずつずれている。各圧力室２８の左右方向における外側には、各圧力室２８と連通する絞り流路３１が形成されている。
【００２０】
図６、図７に示すように、第１流路部材２１の上面には、後述する圧電アクチュエータ２４の一部を構成する振動膜４０が形成されている。この振動膜４０によって複数の圧力室２８が上方から覆われている。振動膜４０は、例えば、第１流路部材２１を構成するシリコン単結晶基板の表面が酸化されることにより形成された、二酸化シリコンの膜である。
【００２１】
第２流路部材２２は、第１流路部材２１の下側に配置されている。図３、図５、及び、図６に示すように、第２流路部材２２は、第１流路部材２１よりも一回り大きな平面形状を有する。第２流路部材２の縁部は、全周にわたって、第１流路部材２１よりも外側に張り出している。
【００２２】
図５、図６に示すように、第２流路部材２２の左右の張出部分には、２つの圧力室列にそれぞれ対応して搬送方向に延びる２つのマニホールド３０がそれぞれ形成されている。即ち、各マニホールド３０の開口３０ａは、第１流路部材２１から露出している。２つのマニホールド３０には後述するインク供給部材２７が接続されている。このインク供給部材２７を介して、１つのインクカートリッジ１７に貯留されているインクが、２つのマニホールド３０にそれぞれ供給される。即ち、本実施形態では、２つのマニホールド３０に同色のインクが供給される。
【００２３】
また、第２流路部材２２には、各マニホールド３０の左右方向における内側端部に連通する連通路３２が形成されている。各圧力室２８は、絞り流路３１と連通路３２を介して、対応するマニホールド３０と連通している。さらに、第２流路部材２２には、各圧力室２８と、後述するノズルプレート２３のノズル３６とを連通させる連通路３３も形成されている。
【００２４】
第２流路部材２２の下面には、各マニホールド３０を覆うように、可撓性のダンパー膜３４が接合されている。ダンパー膜３４は、各マニホールド３０内のインク圧力変動を減衰させるためのものである。ダンパー膜３４の下方には、金属製の枠状のスペーサ３８を介して保護プレート３５が配置され、ダンパー膜３４は保護プレート３５によって保護されている。
【００２５】
ノズルプレート２３には、複数の圧力室２８にそれぞれ対応する複数のノズル３６が形成されている。各ノズル３６は、第２流路部材２２に形成された連通路３３を介して、第１流路部材２１の圧力室２８と連通している。図５に示すように、複数のノズル３６は、圧力室２８の配列に従って２列に配列されている。上述した圧力室２８と同様、２つのノズル列の間においても、ノズル３６の搬送方向の位置がＰ／２ずつずれている。
【００２６】
（圧電アクチュエータ）
次に、圧電アクチュエータ２４について説明する。図５〜図７に示すように、圧電アクチュエータ２４は、第１流路部材２１の上方に配置されている。圧電アクチュエータ２４は、振動膜４０と、振動膜４０の上に配置された複数の圧電素子４１を有する。
【００２７】
上述したように、振動膜４０は、第１流路部材２１の上面に形成されて、複数の圧力室２８を覆っている。振動膜４０の厚みは、例えば、１．０〜１．５μｍである。振動膜４０の上面の、複数の圧力室２８と重なる位置には、複数の圧電素子４１がそれぞれ配置されている。複数の圧電素子４１は、圧力室２８と同様、前後方向に配列され、左右２つの圧電素子列を構成している。尚、以下の説明において、右側の圧電素子４１を「圧電素子４１ｘ」、左側の圧電素子４１を「圧電素子４１ｙ」と呼ぶ場合もある。
【００２８】
個々の圧電素子４１の構成について説明する。各圧電素子４１は、振動膜４０の上に配置された下電極４２と、下電極４２の上に配置された圧電膜４３と、圧電膜４３の上に配置された上電極４４を有する。
【００２９】
下電極４２は、振動膜４０の上面において、圧力室２８と重なるように配置されている。この下電極４２は、後述するドライバＩＣ６０から個別に駆動信号が供給される、いわゆる個別電極である。下電極４２は、例えば、白金（Ｐｔ）で形成されている。また、その厚みは、例えば、０．１〜０．３μｍである。
【００３０】
下電極４２は、駆動配線４５（４５ｘ、４５ｙ）を介してＣＯＦ２５と接続されている。ＣＯＦ２５に設けられた後述のドライバＩＣ６０によって下電極４２に駆動信号が印加されると、下電極４２の電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で切り換えられる。図４、図７に示すように、駆動配線４５は、振動膜４０の上面に形成された下配線部４６と、後述する保護部材２６の表面に形成された上配線部４７とを有する。ここでは、振動膜４０に形成された下配線部４６について説明し、保護部材２６に形成された上配線部４７については後述する。
【００３１】
下配線部４６は、振動膜４０の上面において、下電極４２から走査方向の外側に引き出されている。右側の圧電素子４１ｘにおいては、下電極４２から右側に引き出された下配線部４６は、後述する保護部材２６の右側の側壁部５４の外側まで延び、下配線部４６の端部は保護部材２６から露出している。また、左側の圧電素子４１ｙにおいても、下電極４２から左側に引き出された下配線部４６は、保護部材２６の左側の側壁部５４よりも外側の領域まで延び、下配線部４６の端部は保護部材２６からは露出している。複数の下配線部４６は、圧力室２８の配列間隔Ｐ（即ち、圧電素子４１の配列間隔）と同じ間隔で、前後方向に並べられている。下配線部４６は、保護部材２６から露出した端部において、保護部材２６の表面に形成された上配線部４７と導通している。
【００３２】
尚、下配線部４６の材質は特に限定されないが、下電極４２と同じ材料（例えば、白金）を用いれば、下電極４２と下配線部４６とを、同一の工程（成膜・エッチング）で一度に形成することができる。
【００３３】
圧電膜４３は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料により形成される。圧電膜４３の厚みは、例えば、１．０〜２．０μｍである。図５に示すように、本実施形態では、右側の複数の圧電素子４１ｘの圧電膜４３が繋がり、左側の複数の圧電素子４１ｙの圧電膜４３も繋がっている。つまり、振動膜４０の上には、右側の圧力室２８を覆う圧電体４８と、左側の圧力室２８列を覆う圧電体４８の、２つの圧電体４８が配置されている。
【００３４】
上電極４４は、圧電膜４３の上面に配置されている。上電極４４は、例えば、イリジウムで形成されている。また、上電極４４の厚みは、例えば、０．１μｍである。圧電体４８の上面において、複数の圧力室２８に対応する上電極４４が互いに繋がることにより、圧電体４８の上面のほぼ全域を覆う共通電極４９が構成されている。
【００３５】
共通電極４９は、グランド配線５０を介してＣＯＦ２５のグランドと接続されており、常にグランド電位に保持されている。図４、図５に示すように、グランド配線５０は、駆動配線４５と同様に、振動膜４０の上面に形成された下配線部５１と、後述する保護部材２６の表面に形成された上配線部５２とを有する。１つの圧電体４８の共通電極４９の前後両端部から２つの下配線部５１が引き出され、振動膜４０の上面において走査方向外側に延びている。下配線部５１は、保護部材２６よりも外側の領域まで延び、下配線部５１の端部は保護部材２６からは露出している。下配線部５１は、保護部材２６から露出した端部において、保護部材２６の表面に形成された上配線部５２と導通している。
【００３６】
ドライバＩＣ６０から下電極４２に駆動信号が供給されたときの、各圧電素子４１の動作について説明する。駆動信号が供給されていない状態では、下電極４２の電位はグランド電位となっており、上電極４４と同電位である。この状態から、ある下電極４２に駆動信号が供給されて下電極４２に駆動電位が印加されると、下電極４２と上電極４４との間に電位差が生じ、圧電膜４３に、その厚み方向に平行な電界が作用する。この電界により、圧電膜４３は厚み方向に伸びて面方向に収縮し、その結果、圧力室２８を覆う振動膜４０が圧力室２８側に凸となるように撓む。これにより、圧力室２８の容積が減少して圧力室２８内に圧力波が発生することで、圧力室２８に連通するノズル３６からインクの液滴が吐出される。
【００３７】
（保護部材）
図３、図４、図６〜図８に示すように、保護部材２６は、第１流路部材２１の振動膜４０の上に、複数の圧電素子４１を覆うように配置されている。保護部材２６は、複数の圧電素子４１と対向する水平な頂壁部５３と、頂壁部５３の左右方向両端部とそれぞれ連結された２つの側壁部５４と、頂壁部５３の前後方向両端部とそれぞれ連結された２つの側壁部５５とを有する。尚、２つの側壁部５４が並ぶ左右方向は、振動膜４０の面方向に平行で、且つ、圧電素子４１の配列方向と直交する方向である。側壁部５４，５５の各々は、振動膜４０の面方向と直交する上下方向に対して、内側に傾くように傾斜している。尚、保護部材２６の材質は特に限定されないが、例えば、シリコンで形成されたものを好適に採用できる。
【００３８】
保護部材２６の内側には、前後方向に延び、且つ、その上端において頂壁部５３の左右方向中央部と接続された隔壁部２６ａが形成されている。この隔壁部２６ａにより、保護部材２６の内側空間が、左右２つの圧電素子４１の列をそれぞれ収容する２つの空間に区画されている。
【００３９】
保護部材２６の表面には、駆動配線４５の一部である上配線部４７と、グランド配線５０の一部である上配線部５２とが形成されている。上配線部４７，５２の材質は特に限定されるものではないが、例えば、金（Ａｕ）で形成されている。また、上配線部４７は、保護部材２６によって覆われる下配線部４６と違って露出している。そこで、断線を防止するため、上配線部４７，５２の厚みは、振動膜４０に形成された下配線部４６，５１よりも厚いことが好ましい（例えば、１μｍ）。
【００４０】
図３、図４に示すように、保護部材２６の右側の側壁部５４の表面から頂壁部５３の上面にかけて、右側の複数の圧電素子４１ｘに対応した複数の上配線部４７と、２本の上配線部５２が形成されている。同様に、保護部材２６の左側の側壁部５４の表面から頂壁部５３の上面にかけて、左側の圧電素子４１ｙに対応した複数の上配線部４７と、２本の上配線部５２とが形成されている。
【００４１】
保護部材２６の右側及び左側において、駆動配線４５の上配線部４７は、前後方向に間隔を空けて配置されている。また、グランド配線５０の上配線部５２は、複数の上配線部４７に対して前後両側に配置されている。駆動配線４５の上配線部４７の下側の端部は、振動膜４０の上面において、圧電素子４１の下電極４２から保護部材２６の外側まで引き出された下配線部４６と導通している。グランド配線５０の上配線部５２も同様に、振動膜４０の上面において、圧電素子４１の上電極４４（共通電極４９）から保護部材２６の外側まで引き出された下配線部５１と導通している。
【００４２】
頂壁部５３の上面の中央部には、上配線部４７と接続された駆動接点５６が、前後方向に並んで配置されている。詳細には、右側の駆動配線４５ｘの上配線部４７の端部と接続された駆動接点５６ｘと、左側の駆動配線４５ｙの上配線部４７の端部と接続された駆動接点５６ｙとが、前後方向において交互に並んで配置されている。即ち、右側の駆動接点５６ｘと左側の駆動接点５６ｙの左右方向位置が一致している。この構成では、駆動接点５６の配置領域を左右方向に小さくすることができ、保護部材２６の左右方向のサイズを小さくすることが可能となる。また、駆動接点５６の配置領域が左右方向に小さいと、後述するＣＯＦ２５の接合領域が小さくなる。この場合、接合時にＣＯＦ２５の姿勢が少し傾いたとしても、保護部材２６側の駆動接点５６とＣＯＦ２５側の接点とを接触させやすいという利点がある。また、複数の駆動接点５６に対して前後両側には２つのグランド接点５７が配置されている。１つのグランド接点５７に対して、右側から延びる上配線部５２と左側から延びる上配線部５２が接続されている。
【００４３】
ところで、保護部材２６は複数の圧電素子４１を覆う部材であることもあって、この保護部材２６は、前後方向において、振動膜４０の上面における複数の圧電素子４１の配置領域よりも長い。従って、保護部材２６の表面において、上配線部４７を大きな間隔で配置することが可能である。そこで、本実施形態では、保護部材２６の表面における、駆動配線４５の前後方向における間隔（上配線部４７の間隔）が、振動膜４０の上面における間隔（下配線部４６の間隔）よりも大きくなっている。
【００４４】
具体的には、図３、図４、図８に示すように、まず、左右２つの側壁部５４のそれぞれにおいて、複数の上配線部４７が、扇状に広がりながら上方に延びている。側壁部５４において間隔が広がった複数の上配線部４７は、頂壁部５３の上面においては左右方向と平行に延びている。これにより、側壁部５４の表面、及び、頂壁部５３の上面に形成された複数の上配線部４７の間隔Ｐ’は、振動膜４０の上面に配置された下配線部４６の間隔Ｐ（＝圧電素子４１の配列間隔）よりも大きくなっている。
【００４５】
この構成では、保護部材２６の表面に、複数の駆動配線４５を高精細に形成する必要がないため、ヘッドユニット１６の製造コストを下げることができる。また、上配線部４７の間隔を大きくすることによって、頂壁部５３の上面に配置された駆動接点５６の配列間隔も大きくすることができるため、後述するＣＯＦ２５側の接点や配線の間隔を大きくできるという利点もある。
【００４６】
保護部材２６の表面の上配線部４７，５２は、例えば、次のような方法で形成できる。まず、スパッタリング等により、保護部材２６の表面全域に導電膜を成膜する。次に、この導電膜をエッチングでパターニングし、上配線部４７，５２を形成する。ここで、鉛直方向に延びる側壁部５４の表面では、水平な面と比べて、エッチングによる配線形成の難易度が高く、高精細な配線形成は難しい。この点、本実施形態では、保護部材２６の表面でも、特に、側壁部５４において上配線部４７の間隔が大きくなっている。つまり、側壁部５４の表面（傾斜面）に、エッチングによる高精度な配線形成を行う必要がなく、側壁部５４における上配線部４７の形成が容易になる。
【００４７】
また、側壁部５４の面方向が鉛直方向に近づくほど、その表面における配線形成の難易度が上がる。この点、側壁部５４が上下方向に対して内側に傾斜していることから、側壁部５４に上配線部４７を形成しやすくなる。側壁部５４の、振動膜４０の上面に対する傾斜角度が緩いほど、上配線部４７の形成はさらに容易になる。例えば、側壁部５４の上記傾斜角度は、４５度以下であることが好ましい。
【００４８】
（ＣＯＦ）
図４、図６、図７に示すように、保護部材２６の頂壁部５３の上面の中央部には、ＣＯＦ２５の先端部が折り曲げられた状態で、導電性接着剤等で接合されている。これにより、複数の駆動接点５６及び２つのグランド接点５７は、ＣＯＦ２５に形成された配線（図示省略）と電気的に接続されている。尚、図６、図７に示すように、保護部材２６の頂壁部５３の中央部下側には隔壁部２６ａが存在する。頂壁部５３の中央部にＣＯＦ２５を上から押し付けて接合する際に、押圧力の一部が隔壁部２６ａによって受け止められて頂壁部５３の撓みが抑制される。これにより、ＣＯＦ２５側の接点が保護部材２６側の接点５６，５７と確実に接触した状態で、ＣＯＦ２５が接合されるため、ＣＯＦ２５の電気的接続の信頼性が上がる。
【００４９】
ＣＯＦ２５の折れ曲がり部２５ａは、固定部５８によって保護部材２６と固定されている。固定部５８は特定の構成には限られないが、例えば、硬化性樹脂からなる液状の固定材を折れ曲がり部２５ａの裏側に注入し、この固定材を硬化させることで、固定部５８を簡便に形成できる。ＣＯＦ２５の折れ曲がり部２５ａが、固定部５８によって保護部材２６と固定されることで、ＣＯＦ２５の保護部材２６からの剥離が抑制される。
【００５０】
尚、図６、図７に示すように、保護部材２６の上面に、固定部５８を構成する液状の固定材を収容する凹部２６ｂが形成されていてもよい。凹部２６ｂの形状は特に限定されないが、保護部材２６の表面に形成される上配線部４７の断線を防止する観点からは、図のような曲面的な形状を有するものが好ましい。保護部材２６の上面の所定位置に凹部２６ｂが形成されることにより、液状の固定材が周囲に流れ出しにくくなり、固定部５８を所定位置に確実に形成することができる。さらに、凹部２６ｂは、保護部材２６の上面の、駆動接点５６が配置された領域から離れた位置に形成されていることが好ましい。凹部２６ｂが駆動接点５６から離れていると、固定部５８の位置も駆動接点５６から離れることになる。これにより、ＣＯＦ２５の接合時に、固定部５８が一緒に押圧されてしまって潰れることがない。また、ＣＯＦ２５の接合の際に、固定部５８が邪魔にならない。
【００５１】
図示は省略するが、ＣＯＦ２５の保護部材２６と反対側の端部は、制御装置６（図１参照）に接続されている。また、ＣＯＦ２５には、ドライバＩＣ６０が設けられている。ドライバＩＣ６０は、ＣＯＦ２５に形成された配線（図示省略）を介して、制御装置６と電気的に接続されている。また、ドライバＩＣ６０は、ＣＯＦ２５の配線を介して、複数の駆動接点５６とも電気的に接続されている。ドライバＩＣ６０は、制御装置６から送られる制御信号に基づいて、駆動接点５６に繋がる下電極４２に対して駆動信号を出力し、下電極４２の電位をグランド電位と所定の駆動電位との間で切り換える。また、グランド接点５７は、ＣＯＦ２５のグランド（図示省略）と電気的に接続される。これにより、共通電極４９を構成する上電極４４はグランド電位に保持される。
【００５２】
尚、上述したように、保護部材２６の頂壁部５３における上配線部４７の間隔は、振動膜４０の下配線部４６の間隔よりも大きい。これにより、頂壁部５３の上面の駆動接点５６の配列間隔も大きくなる。この構成では、ＣＯＦ２５側の接点や配線の間隔も広くできることから、ＣＯＦ２５に高精度なプロセスで配線形成を行う必要がない。従って、ＣＯＦ２５の製造コストを低く抑えることができるという利点がある。尚、本実施形態では、右側の駆動接点５６ｘと左側の駆動接点５６ｙとが前後に交互に並んだ構成であるため、頂壁部５３上での駆動接点５６の間隔が小さくなる。しかし、保護部材２６において駆動配線４５の間隔が広げられた構成を採用することで、駆動接点５６の間隔が小さくなりすぎることがなく、過剰なコストアップを抑制できる。
【００５３】
（インク供給部材）
図２、図６に示すように、インク供給部材２７は、第２流路部材２２とほぼ同じ大きさの矩形の平面形状を有し、第２流路部材２２及び保護部材２６の上方に配置されている。インク供給部材２７は、例えば合成樹脂で形成されている。インク供給部材２７の走査方向中央部には、上方に延びるＣＯＦ２５を通過させるための穴２７ａが形成されている。
【００５４】
インク供給部材２７は、インクカートリッジ１７が装着されたホルダ７（図１参照）と接続されている。インク供給部材２７内にはインク供給流路５９が形成されており、インク供給流路５９の下端は、第２流路部材２２に形成されたマニホールド３０と連通する。この構成により、ホルダ７のインクカートリッジ１７内のインクが、インク供給部材２７のインク供給流路５９を介して、第２流路部材２２のマニホールド３０に供給される。
【００５５】
以上説明した実施形態において、ヘッドユニット１６が、本発明の「液体吐出装置」に相当する。第１流路部材２１が、本発明の「流路部材」に相当する。搬送方向が本発明の「第１方向」に相当し、走査方向が本発明の「第２方向」に相当する。右側の圧電素子４１ｘが本発明の「第１圧電素子」、左側の圧電素子４１ｙが本発明の「第２圧電素子」に相当する。圧電素子４１が配置された振動膜４０の上面が、本発明の「素子配置面」に相当する。右側の圧電素子４１ｘに対応する駆動配線４５ｘ、駆動接点５６ｘが、本発明の「第１配線」「第１接点」に相当し、左側の圧電素子４１ｙに対応する駆動配線４５ｙ、駆動接点５６ｙが、本発明の「第２配線」「第２接点」に相当する。ＣＯＦ２５が本発明の配線部材に相当し、ドライバＩＣ６０が本発明の「駆動装置」に相当する。
【００５６】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００５７】
１］図９のヘッドユニット１６Ａでは、保護部材２６の頂壁部５３において、右側の上配線部４７Ａｘに接続される駆動接点５６Ａｘと、左側の上配線部４７Ａｙに接続される駆動接点５６Ａｙとが、左右方向に離れて配置されている。この構成では、前記実施形態の図３のように、駆動接点５６ｘと駆動接点５６ｙとが前後に交互に配置されている構成と比べて、駆動接点５６Ａの前後方向における配列間隔を広げることができる。
【００５８】
２］前記実施形態では、複数の上配線部４７は、側壁部５４においては扇状に広がる一方で、頂壁部５３では互いに平行に配置されている。これに対して、図１０のヘッドユニット１６Ｂのように、頂壁部５３においても、複数の上配線部４７Ｂが扇状（放射状）に広がるように配置されてもよい。尚、図１０において、側壁部５４では複数の上配線部４７Ｂが左右方向と平行に配置されてもよい。つまり、頂壁部５３においてのみ複数の上配線部４７Ｂが扇状に配置されてもよい。
【００５９】
より詳細には、図１０では、特に、頂壁部５３の中央部において、左側から右側へ放射状に広がるように、左右の上配線部４７Ｂが扇状に配置されている。この構成では、次のような利点がある。ＣＯＦ２５の製造ばらつき、環境温度、湿度、接合時の熱収縮等、様々な条件により、ＣＯＦ２５全体が、設計仕様におけるサイズに対して伸びたり、あるいは、縮んだりする場合がある。この場合、ＣＯＦ２５を頂壁部５３の所定位置に接合したときに、上記の伸縮の影響で、ＣＯＦ２５側の接点の位置が頂壁部５３側の駆動接点５６Ｂに対してずれる。尚、この接点の位置ズレは特定の方向に一斉にずれるのではなく、全体的に（放射状に）位置がずれる。この点、図１０のように、頂壁部５３において、複数の上配線部４７Ｂが扇状（放射状）に配置されていると、ＣＯＦ２５に伸縮が生じている場合でも、ＣＯＦ２５の接合位置を左右方向に少しずらすだけで、ＣＯＦ２５側の接点と頂壁部５３側の駆動接点５６Ｂの位置を合わせることができる。
【００６０】
尚、図１０では、頂壁部５３の中央部において、複数の上配線部４７Ｂが、左側から右側へ放射状に延びている。これに対して、ＣＯＦ２５は、その先端が右側に位置し、左側が折り曲げられて上方へ立ち上がっている。このとき、ＣＯＦ２５側の配線は、頂壁部５３に接合される先端部において、頂壁部５３上の複数の上配線部４７Ｂと同様に、折り曲げ部のある左側から右側に扇状に広がるように形成されるのが自然である。これとは反対に、ＣＯＦ２６の先端が左側に位置している場合、ＣＯＦ側の配線は、折り曲げ部のある右側から左側に扇状に狭まるように形成される。ＣＯＦ２６の先端部における配線間隔を広げて電気的接続を容易にする観点からは、図１０のように、ＣＯＦ２５は、その先端が右側に位置する状態で接合されることが好ましい。
【００６１】
３］振動膜４０上面の下配線部４６の間隔と、保護部材２６表面の上配線部４７の間隔とが異なっていると、複数の圧電素子４１に対応する複数の駆動配線４５の間で、配線長さに差が生じる。配線長さが違うと配線抵抗も異なり、駆動信号の波形の鈍り方に差が出る。具体的には、駆動信号がパルス信号である場合には、Ｔｒ（パルスの立ち上がり時間）、Ｔｆ（パルスの立ち下がり時間）がばらつく。これにより、圧電素子４１間で挙動のばらつきが生じる。そこで、複数の駆動配線４５の間での配線抵抗の差が小さくなるような構成が採用されることが好ましい。これについて、いくつか例を挙げて説明する。
【００６２】
（１）前記実施形態の図３、図８のように、側壁部５４において複数の上配線部４７の間隔が広がっている構成では、複数の上配線部４７の延在方向が異なった状態となり、配線長さも異なってくる。そこで、側壁部５４における配線長さの違いを吸収するために、複数の上配線部４７の間で、頂壁部５３における配線長さが異なっていてもよい。
【００６３】
例えば、図１１のヘッドユニット１６Ｃでは、複数の上配線部４７Ｃは、側壁部５４の表面において扇状に広がっている。その上で、頂壁部５３においては、複数の上配線部４７Ｃの端部（駆動接点５６）の左右方向位置がずれている。複数の駆動接点５６Ｃは、側壁部５４における上配線部４７Ｃの長さが長いほど、具体的には前後両端側にあるものほど、上配線部４７Ｃが延びてくる側の側壁部５４に近い位置にある。つまり、上配線部４７Ｃは、側壁部５４における配線長さが長いものほど、頂壁部５３での配線長さが短くなっている。このように、頂壁部５３での配線長さを異ならせることによって、複数の駆動配線の間での全長差、即ち、配線抵抗の差が小さく抑えられる。
【００６４】
尚、図１１では、全ての上配線部４７Ｃについて、配線長さが長いものほど、駆動接点５６が側壁部５４に近い位置に配置されているが、駆動接点５６の位置調整は、一部の上配線部４７Ｃについてのみ適用されてもよい。即ち、複数の上配線部４７Ｃに、長配線（前後方向端側の上配線部）と、長配線よりも側壁部５４における配線長さが短い短配線（前後方向中央側の上配線部）が含まれ、長配線に接続される駆動接点５６が、短配線に接続される駆動接点５６よりも、側壁部５４に近い位置にあってもよい。
【００６５】
但し、図１１では、上配線部４７Ｃが側壁部５４において扇状に広がっているために、頂壁部５３の上面において複数の駆動接点５６Ｃの位置が左右に広がる。駆動接点５６Ｃの配置領域が広がっていると、ＣＯＦ２５側の接点も左右に広がって配置される。つまり、ＣＯＦ２５の接合面が大きくなるため、ＣＯＦ２５を頂壁部５３に押し付けて接合する際に、ＣＯＦ２５側の一部の接点が頂壁部５３に十分に押し付けられず、駆動接点５６Ｃとの接続が不十分になることも考えられる。
【００６６】
この点に関し、図１２のヘッドユニット１６Ｄでは、前後方向に並ぶ複数の上配線部４７Ｄは、前後方向の一方側に位置するものほど、側壁部５４における配線長さが長くなっている。即ち、右側の上配線部４７Ｄｘは、前側に位置するものほど側壁部５４における配線長さが長い。また、左側の上配線部４７Ｄｙは、後側に位置するものほど側壁部５４における配線長さが長い。
【００６７】
この構成では、頂壁部５３の表面において、駆動接点５６Ｄは、前後方向の前記一方側に位置するものほど、左右方向において側壁部５４に近い位置に配置される。これにより、右側の上配線部４７Ｄｘに対応する駆動接点５６Ｄｘと、左側の上配線部４７Ｄｙに対応する駆動接点５６Ｄｙは、共に、前後方向及び左右方向と交差する、斜め方向に並ぶことになる。また、ＣＯＦ２５の先端部は、前記斜め方向に沿った姿勢で保護部材２６の上面に配置され、複数の駆動接点５６Ｄと接続される。この構成では、全ての複数の駆動接点５６Ｄが斜め方向に並ぶため、駆動接点５６Ｄの配置領域幅が小さくなり、ＣＯＦ２５との電気的接続の信頼性が向上する。尚、図１２では、頂壁部５３における上配線部４７Ｄは、上記斜め方向と直交する方向に延びている。この場合、ＣＯＦ２５の先端部において、ＣＯＦ２５側の配線を、先端縁Ｅｄと直交するように形成することができ、配線を形成しやすくなる。
【００６８】
（２）側壁部５４において複数の上配線部４７の配線長さが異なる場合に、延在方向と直交する面での断面積を異ならせて、配線抵抗の差を小さく抑えるようにしてもよい。例えば、図１３のヘッドユニット１６Ｅでは、前後方向外側に位置する、側壁部５４における配線長さが長いものほど、上配線部４７Ｅの太さが太くなっている。尚、太さの代わりに、上配線部４７Ｅの厚みを異ならせてもよい。
【００６９】
尚、図１３の断面積調整も、一部の上配線部４７Ｅについてのみ適用されてもよい。即ち、複数の上配線部４７Ｅに、長配線（前後方向端側の上配線部）と、長配線よりも側壁部５４における配線長さが短い短配線（前後方向中央側の上配線部）が含まれ、長配線の断面積が、短配線の断面積よりも大きくなっていてもよい。
【００７０】
（３）１つの側壁部内で傾斜を変化させることにより、この側壁部に形成される複数の上配線部の配線長さを異ならせることもできる。例えば、図１４のヘッドユニット１６Ｆでは、側壁部５４Ｆは、その前後方向中央部において裾部（下端部）が張り出すことにより、傾斜の異なる第１傾斜部６１と第２傾斜部６２とが、前後方向に並ぶ構成となっている。具体的には、側壁部５４Ｆの稜線Ｒ付近の中央部は、傾斜が緩やかな第１傾斜部６１となり、側壁部５４Ｆの前後両端側部分は、傾斜が急な第２傾斜部６２となる。第２傾斜部６２は、第１傾斜部６１よりも傾斜が急であるために、左右方向の長さが第１傾斜部６１よりも短くなる。
【００７１】
複数の上配線部４７Ｆは、側壁部５４Ｆにおいて、前後方向中央から両端側へ扇状に広がるように配置されている。つまり、側壁部５４Ｆの前後両端側の上配線部４７Ｆは、中央側の上配線部４７Ｆと比べて、左右方向に対する傾き角度が大きい。前記実施形態（図３、図４）では、側壁部５４の傾斜が一定であるため、前後両端側の上配線部４７の長さが、中央側の上配線部４７よりも長くなってしまう。しかし、図１４では、前後両端側の第２傾斜部６２の傾斜が、中央側の第１傾斜部６１よりも急になっている。この傾斜の違いにより、中央側の上配線部４７Ｆが長くなる。これにより、側壁部５４Ｆにおける上配線部４７Ｆの延在方向の違いによる配線長さの差が小さく抑えられる。
【００７２】
４］前記実施形態では、図４、図６のように、ＣＯＦ２５と接続される駆動接点５６が、頂壁部５３の中央部の上面に配置されているが、図１５、図１６のヘッドユニット１６Ｇのように、頂壁部５３の左右方向の一方の端部に駆動接点５６Ｇが配置されてもよい。頂壁部５３の端部は側壁部５４に近いことから、ＣＯＦ２５を押しつけて接合したときに撓みにくい。そのため、ＣＯＦ２５を保護部材２６に十分に押しつけることができ、電気的接続の信頼性が高まる。また、図１５、図１６では、右側の上配線部４７Ｇｘの駆動接点５６Ｇｘと、左側の上配線部４７Ｇｙの駆動接点５６Ｇｙとが、頂壁部５３の一方の端部（右端部）に集中して配置されていることから、ＣＯＦ２５の接続が容易になる。
【００７３】
尚、図１５，図１６では、ＣＯＦ２５が、その先端が外側（右側）を向くような姿勢で接合されているが、前記実施形態のように、先端が中央側を向く姿勢で接合されてもよい。また、図１４では、第１傾斜部６１と第２傾斜部６２の間で、連続的に傾斜が変化しているが、第１傾斜部６１と第２傾斜部６２との間に段差があって傾斜が急に変化する構成でもよい。
【００７４】
また、図１５において、保護部材２６の右端部にＣＯＦ２５を押し付けて接合したときに、その押圧力の大部分は、その右端部側に位置する側壁部５４に集中して作用する。そこで、図１７のヘッドユニット１６Ｈに示すように、保護部材２６Ｈの、駆動接点５６Ｈに近い右側の側壁部５４Ｈａは、左側の側壁部５４Ｈｂよりも厚くなっていてもよい。これにより、右側の側壁部５４Ｈａの強度が高くなり、ＣＯＦ２５の押圧力に十分耐えることができる。
【００７５】
また、図１４のように、全ての駆動接点５６Ｇが、頂壁部５３の右端部に配置されている場合、左側から延びてくる上配線部４７Ｇｙは右側の上配線部４７Ｇｘよりも長くなり、配線抵抗が大きくなる。そこで、左右の上配線部の配線抵抗の差を小さくするための工夫が採用されることが好ましい。
【００７６】
例えば、左右の上配線部の間で、延在方向と直交する平面の断面積が異なっていてもよい。図１８のヘッドユニット１６Ｉでは、全ての駆動接点５６Ｉｘ，５６Ｉｙが、頂壁部５３の右端部上面に配置された上で、左側の上配線部４７Ｉｙが右側の上配線部４７Ｉｘよりも太くなっている。あるいは、左側の上配線部４７Ｉｙの厚みが、右側の上配線部４７Ｉｘよりも厚くなっていてもよい。左側の上配線部４７Ｇｙの断面積を、右側の上配線部４７Ｇｘの断面積よりも大きくすることで、左右の上配線部４７Ｇ間での、配線長さの違いによる配線抵抗の差を小さくすることができる。
【００７７】
また、左右の上配線部の配線長さの差を小さくするため、左右２つの側壁部の傾斜角度を異ならせてもよい。図１９のヘッドユニット１６Ｊの保護部材２６Ｊでは、駆動接点５６に近い右側の側壁部５４Ｊａの、振動膜４０に対する傾斜角度が、駆動接点５６から離れた左側の側壁部５４Ｊｂの傾斜角度よりも小さくなっている。傾斜が緩い右側の側壁部５４Ｊａでは、左右方向の長さは長くなることから、その分、右側の上配線部４７Ｊｘの長さが長くなる。これにより、左右の上配線部４７Ｊｘ、４７Ｊｙの間での配線長さの差が小さくなる。
【００７８】
５］ＣＯＦ２５の折れ曲がり部分２５ａが、保護部材に支持あるいは固定されている形態には限られない。図２０のヘッドユニット１６Ｋでは、ＣＯＦ２５の折れ曲がり部分２５ａが、第１流路部材２１に設けられた支持部６３によって支えられている。さらに、ＣＯＦ２５が、硬化性樹脂等の液状の固化材からなる固定部６４によって支持部６３に固定されていてもよい。尚、前記実施形態の図７と同様に、第１流路部材２１又は支持部６３に、液状の固化材を収容する凹部が形成されてもよい。
【００７９】
６］保護部材に、２枚以上のＣＯＦが接合されてもよい。例えば、保護部材の頂壁部の右側部分と左側部分にそれぞれＣＯＦが接合される。右側のＣＯＦは、保護部材の右側の側壁部を経由する駆動配線（駆動接点）に接続され、左側のＣＯＦは、保護部材の左側の側壁部を経由する駆動配線（駆動接点）に接続される。この構成では、各ＣＯＦにおいて接点の間隔を小さくすることが可能であり、ＣＯＦの製造コストを抑えることができる。
【００８０】
７］保護部材によって覆われる圧電素子４１の列が１列であってもよい。この場合、１列の圧電素子４１から左右に交互に駆動配線が引き出されてもよい。あるいは、１列の圧電素子４１の全てから同じ方向に駆動配線が引き出されてもよい。同じ方向に駆動配線が引き出される場合は、保護部材の２つの側壁部のうちの一方にのみ上配線部が形成される。
【００８１】
８］前記実施形態では、配線部材であるＣＯＦ２５にドライバＩＣ６０が実装され、ＣＯＦ２５を介して、ドライバＩＣ６０が駆動接点５６と電気的に接続されているが、配線部材を介さず、ドライバＩＣ６０が保護部材２６の上面の駆動接点５６と直接接続されてもよい。
【００８２】
以上説明した実施形態は、本発明を、記録用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットヘッドに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を吐出して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。
【符号の説明】
【００８３】
１６  ヘッドユニット
２１  第１流路部材
２５  ＣＯＦ
２６  保護部材
４０  振動膜
４１  圧電素子
４５  駆動配線
４６  下配線部
４７  上配線部
５３  頂壁部
５４  側壁部
５６  駆動接点
５８  固定部
６０  ドライバＩＣ
６１  第１傾斜部
６２  第２傾斜部
６４  固定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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