(57)【要約】【課題】被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる電極の検査装置を提供する。【解決手段】負極電極の検査方法は、検出工程、測定工程、及び判定工程を含む。検出工程では、長尺帯状の金属箔１１と、金属箔１１の両面に存在する負極活物質層１２と、負極活物質層１２の表面にセラミックスラリーが塗工されて形成された保護層の前駆体である塗工部１８とを有する帯状電極１９を長手方向に搬送する。長手方向から見た帯状電極１９の側面視が円弧となるように支持した状態で搬送された箇所に対し、蛍光Ｘ線検出装置４１を円弧Ｌの中心Ｃを軸として帯状電極１９の短手方向に揺動させ、帯状電極１９から発生する蛍光Ｘ線を検出する。測定工程では、検出された蛍光Ｘ線から、帯状電極１９の塗工部１８に含まれるアルミニウムのエネルギ強度を測定する。判定工程では、エネルギ強度に基づいて、帯状電極１９の塗工部１８の形成状態の良否を判定する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
集電体と、前記集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面を覆う被覆層とを有する電極の検査方法であって、
長尺帯状の集電体と、前記長尺帯状の集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面に被覆層材料が塗工されて形成された前記被覆層の前駆体である塗工部とを有する帯状電極を長手方向に搬送し、前記長手方向から見た前記帯状電極の側面視が円弧となるように支持した状態で搬送された箇所に対し、蛍光Ｘ線検出装置を前記円弧の中心を軸として前記帯状電極の短手方向に揺動させ、前記帯状電極から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出工程と、
前記蛍光Ｘ線から、前記帯状電極の塗工部に含まれる元素のエネルギ強度を測定する測定工程と、
前記エネルギ強度に基づいて、前記帯状電極の塗工部の形成状態の良否を判定する判定工程と
を含むことを特徴とする電極の検査方法。
【請求項２】
前記検出工程の最中に、前記帯状電極の塗工部に向けてガスを噴射するガス噴射工程を含む請求項１に記載の電極の検査方法。
【請求項３】
前記ガス噴射工程は、前記帯状電極の塗工部を乾燥させる乾燥工程の一部を兼ねる請求項２に記載の電極の検査方法。
【請求項４】
前記検出工程において、前記蛍光Ｘ線検出装置を連続的に揺動させる請求項１〜請求項３の何れか一項に記載の電極の検査方法。
【請求項５】
前記被覆層は、前記活物質層を保護する保護層である請求項１〜請求項４の何れか一項に記載の電極の検査方法。
【請求項６】
前記測定工程においてエネルギ強度を測定される元素は、原子番号３〜２０の軽元素である請求項５に記載の電極の検査方法。
【請求項７】
前記電極は、負極電極であり、
前記軽元素は、アルミニウムである請求項６に記載の電極の検査方法。
【請求項８】
集電体と、前記集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面を覆う被覆層とを有する電極の検査装置であって、
長尺帯状の集電体と、前記長尺帯状の集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面に被覆層材料が塗工されて形成された前記被覆層の前駆体である塗工部とを有する帯状電極を長手方向に搬送する搬送装置と、
前記帯状電極から発生する蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出装置と、
前記蛍光Ｘ線から、前記帯状電極の塗工部に含まれる元素のエネルギ強度を測定する測定部と、
前記エネルギ強度に基づいて、前記帯状電極の塗工部の形成状態の良否を判定する判定装置と
を備え、
前記搬送装置は、前記帯状電極を支持する支持部材を有し、前記支持部材は、前記帯状電極を前記長手方向から見た側面視において円弧状をなす支持凹部を有し、
前記蛍光Ｘ線検出装置は、前記支持凹部の円弧の中心を軸として前記帯状電極の短手方向に揺動可能であることを特徴とする電極の検査装置。
【請求項９】
前記帯状電極の塗工部のうち前記蛍光Ｘ線の検出が行われる部分に向けてガスを噴射するガス噴射装置を備える請求項８に記載の電極の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集電体と、集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、活物質層の表面に存在する被覆層とを有する電極の検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
蓄電装置としての二次電池に使用される電極の一例として、集電体としての金属箔と、金属箔の両面又は片面に存在する活物質層と、活物質層の表面に存在する被覆層としての保護層とを有する電極が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような構成の電極では、被覆層材料としての保護層材料の塗工部の形成状態が良好か否かを検査する必要がある。特許文献１では、活物質層及び保護層材料の塗工部が形成された金属箔から発生した蛍光Ｘ線を測定し、その測定結果から保護層材料の塗工部の厚み（目付量）を取得して、塗工部の形成状態が良好か否かを検査している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１９３９０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような塗工部の形成状態の検査では、高精度の検査が望まれている。
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる電極の検査方法、及び電極の検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決する電極の検査方法は、集電体と、前記集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面を覆う被覆層とを有する電極の検査方法であって、長尺帯状の集電体と、前記長尺帯状の集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面に被覆層材料が塗工されて形成された前記被覆層の前駆体である塗工部とを有する帯状電極を長手方向に搬送し、前記長手方向から見た前記帯状電極の側面視が円弧となるように支持した状態で搬送された箇所に対し、蛍光Ｘ線検出装置を前記円弧の中心を軸として前記帯状電極の短手方向に揺動させ、前記帯状電極から発生する蛍光Ｘ線を検出する検出工程と、前記蛍光Ｘ線から、前記帯状電極の塗工部に含まれる元素のエネルギ強度を測定する測定工程と、前記エネルギ強度に基づいて、前記帯状電極の塗工部の形成状態の良否を判定する判定工程とを含むことを要旨とする。
【０００６】
これによれば、検出工程において帯状電極の塗工部と蛍光Ｘ線検出装置との距離を一定にできるため、検出結果のばらつきが抑制され、蛍光Ｘ線の定量的な検出が可能となる。よって、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。
【０００７】
また、電極の検査方法について、前記検出工程の最中に、前記帯状電極の塗工部に向けてガスを噴射するガス噴射工程を含むのが好ましい。
これによれば、帯状電極の塗工部と蛍光Ｘ線検出装置との間の雰囲気を一定に保つことができるため、検出結果のばらつきが抑制される。よって、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。また、帯状電極が円弧状に支持されていることで、円弧の内側のガスが逃げ出しづらくなり、雰囲気をより一定に保ちやすくなる。
【０００８】
また、電極の検査方法について、前記ガス噴射工程は、前記帯状電極の塗工部を乾燥させる乾燥工程の一部を兼ねるのが好ましい。
電極の検査は、被覆層材料を塗工して電極を製造する途中に行われる。帯状電極の塗工部と蛍光Ｘ線検出装置との間の雰囲気を一定に保つためにガスを噴射することで被覆層材料の乾燥が促進されるため、塗工部の形成状態を検査しつつ、塗工部が形成された帯状電極の生産性を向上できる。また、高温のガスを用いた場合、帯状電極が円弧状に支持されていることで、円弧の内側のガスの温度が低下しづらくなり、塗工部の乾燥をより効果的に行うことができる。
【０００９】
また、電極の検査方法について、前記検出工程において、前記蛍光Ｘ線検出装置を連続的に揺動させるのが好ましい。
これによれば、帯状電極の被覆層材料の塗工部を長手方向及び短手方向全体で検査することができる。
【００１０】
また、電極の検査方法について、前記被覆層は、前記活物質層を保護する保護層であるのが好ましい。
これによれば、保護層材料の塗工状態を精度良く検査できる。保護層は、活物質層を有する複数の電極を積層した際に電極間を絶縁させる絶縁機能を有するため、保護層材料の塗工状態を検査することは重要である。
【００１１】
また、電極の検査方法について、前記測定工程においてエネルギ強度を測定される元素は、原子番号３〜２０の軽元素であるのが好ましい。
これによれば、保護層材料の主成分を生成できる原子番号３以上、電極の重量エネルギ密度を低下させない原子番号２０以下の軽元素から発せられる蛍光Ｘ線のエネルギ強度によって、保護層材料の塗工部の形成状態を検査することができる。
【００１２】
また、電極の検査方法について、前記電極は、負極電極であり、前記軽元素は、アルミニウムであるのが好ましい。
一般に、保護層は負極電極に形成されることが多く、またアルミニウムを含むことが多いため、アルミニウムから発せられる蛍光Ｘ線のエネルギ強度によって、負極電極に形成された保護層材料の塗工部の形成状態を検査することができる。
【００１３】
上記課題を解決する電極の検査装置は、集電体と、前記集電体の両面又は片面に存在する活物質層と、前記活物質層の表面を覆う被覆層とを有する電極の検査装置であって、長尺帯状の集電体と、前記長尺帯状の集電体の両面又は片面を覆う活物質層と、前記活物質層の表面に被覆層材料が塗工されて形成された前記被覆層の前駆体である塗工部とを有する帯状電極を長手方向に搬送する搬送装置と、前記帯状電極から発生する蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出装置と、前記蛍光Ｘ線から、前記帯状電極の塗工部に含まれる元素のエネルギ強度を測定する測定部と、前記エネルギ強度に基づいて、前記帯状電極の塗工部の形成状態の良否を判定する判定装置とを備え、前記搬送装置は、前記帯状電極を支持する支持部材を有し、前記支持部材は、前記帯状電極を前記長手方向から見た側面視において円弧状をなす支持凹部を有し、前記蛍光Ｘ線検出装置は、前記支持凹部の円弧の中心を軸として前記帯状電極の短手方向に揺動可能であることを要旨とする。
【００１４】
これによれば、円弧状に支持された帯状電極の塗工部と蛍光Ｘ線検出装置との距離を一定にできるため、検出結果のばらつきが抑制され、蛍光Ｘ線の定量的な検出が可能となる。よって、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。
【００１５】
また、電極の検査装置について、前記帯状電極の塗工部のうち前記蛍光Ｘ線の検出が行われる部分に向けてガスを噴射するガス噴射装置を備えるのが好ましい。
これによれば、帯状電極の塗工部と蛍光Ｘ線検出装置との間の雰囲気を一定に保つことができるため、検出結果のばらつきが抑制される。よって、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。また、支持凹部が帯状電極を円弧状に支持することで、円弧の内側のガスが逃げ出しづらくなり、雰囲気をより一定に保ちやすくなる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、被覆層材料の塗工部の形成状態を精度良く検査できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】電極の斜視図。
【図２】保護層形成工程を示す概略側面図。
【図３】保護層形成工程における検出工程を示す概略断面図。
【図４】保護層形成工程における検出工程を示す斜視図。
【図５】別例の搬送装置の支持部材を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、電極の検査方法を二次電池用の電極の検査方法に具体化した一実施形態を図１〜図４を参照して説明する。
この実施形態の検査方法によって検査される電極を使用した蓄電装置としての二次電池は、図示しないが、外観が角型をなす角型電池であり、リチウムイオン二次電池である。この二次電池は、ケース内に電極組立体を備える。電極組立体は、電極としての複数の正極電極と、複数の負極電極を備える。電極組立体は、正極電極と負極電極とが、両者の間を、セパレータで絶縁した状態で交互に積層されて構成されている。以下、検査される電極を負極電極に具体化し、その構成及び検査方法について説明する。
【００１９】
図１に示すように、二次電池用の負極電極１０は、集電体としての矩形状の金属箔１１と、金属箔１１の両面に存在する活物質層としての負極活物質層１２とを備える。金属箔１１は、後の検査に用いられる元素としてのアルミニウムを含まない金属（例えば、銅）で構成される。負極電極１０は、その一辺に沿って、負極活物質層１２が存在せず、金属箔１１が露出した未塗工部１３を有する。そして、負極電極１０において、未塗工部１３の一部には、集電タブ１４が突出する状態に存在する。負極電極１０は、負極活物質層１２の表面全体を覆う被覆層としての保護層１５を備える。保護層１５は、正極電極と負極電極１０を絶縁させる絶縁機能を有する。保護層１５は、セラミック粒子としてのアルミナ粒子と樹脂製のバインダとを含み、バインダを介してアルミナ粒子同士、又はアルミナ粒子と負極活物質層１２表面の活物質粒子とが結合して層構造を有する。アルミナ粒子を主成分とする保護層１５の耐熱温度は、樹脂製のセパレータよりも高い。また、保護層１５は、アルミナ粒子を主成分とするため、元素の中でも軽元素であるアルミニウムを主成分として含む。
【００２０】
次に、負極電極１０の製造工程について説明する。負極電極１０の製造工程は、長尺帯状の金属箔１１の両面に負極活物質層１２を形成する活物質層形成工程と、負極活物質層１２の表面に保護層１５を形成する被覆層形成工程としての保護層形成工程と、負極活物質層１２及び保護層１５が形成された金属箔１１を負極電極１０の形状に切断する切断工程とを含む。
【００２１】
図示しないが、活物質層形成工程は、塗布工程、乾燥工程、及びプレス工程を含む。塗布工程は、長尺帯状の金属箔１１の片面に活物質ペーストを塗工する工程である。ただし、後に未塗工部１３となる部分には活物質ペーストを塗工しない。乾燥工程は、塗工された活物質ペーストを乾燥させ、負極活物質層前駆体を形成する工程である。プレス工程は、乾燥工程後、負極活物質層前駆体が形成された金属箔１１をロールプレス機に通すことで、負極活物質層前駆体の活物質密度を上げる工程である。これにより、帯状の金属箔１１の一方の面には、所定の密度と厚みを有する負極活物質層１２が形成される。また、金属箔１１の他方の面についても同様に負極活物質層１２を形成する。活物質層形成工程にて、両面に負極活物質層１２が形成された長尺帯状の金属箔１１は電極材料１６となる。以下、電極材料１６の長手方向と直交し、かつ電極材料１６の面に沿う方向を短手方向とする。
【００２２】
図２に示すように、保護層形成工程は、塗工工程、検査工程、及び乾燥工程を含む。塗工工程は、電極材料１６を長手方向に搬送しながら、電極材料１６の負極活物質層１２の表面に被覆層材料としての保護層材料であるセラミックスラリー１７を塗工し、保護層１５の前駆体となる塗工部１８を形成する工程である。よって、塗工部１８は、セラミックスラリー１７の塗工によって形成される。検査工程は、塗工工程で形成された塗工部１８の形成状態を検査する工程である。
【００２３】
保護層形成工程に用いる搬送装置２０は、供給リール２１と、巻取リール２２と、複数のガイドロール２３と、支持部材としての搬送ロール２４とを備える。供給リール２１は、塗工工程よりも上流側の場所に配置され、巻取リール２２は、乾燥工程よりも下流側の場所に配置されている。ガイドロール２３は、供給リール２１と巻取リール２２の間の場所に配置されている。供給リール２１、巻取リール２２、及びガイドロール２３は、図示しない支持装置によって回転可能に支持されている。電極材料１６は、供給リール２１に巻回されている。供給リール２１から供給された電極材料１６は、巻取リール２２に巻き取られる。
【００２４】
図４に示すように、搬送ロール２４は、検査工程に配置されている。搬送ロール２４は、図示しない支持装置によって回転可能に支持されている。搬送ロール２４は、全周に亘って存在する支持凹部２４ａを有する。支持凹部２４ａは、搬送ロール２４の直径が回転軸方向両端部から中央にかけて曲線的に小さくなることで構成されている。支持凹部２４ａは、搬送ロール２４の回転軸方向両端より内側にある。電極材料１６の長手方向から見た側面視において、支持凹部２４ａは円弧状をなしている。凹部６１ａの表面に固形潤滑剤等を塗布して表面コートを施してもよいし施さなくてもよい。支持凹部２４ａの円弧Ｌの中心を中心Ｃとする。電極材料１６は、搬送ロール２４によって支持される際、支持凹部２４ａに沿って円弧状に変形させた状態で支持される。また、搬送ロール２４が回転することによって、電極材料１６は長手方向に搬送される。
【００２５】
塗工工程を行う塗工装置は、グラビア塗工装置３０である。グラビア塗工装置３０は、セラミックスラリー１７の貯留部３１と、円柱状のグラビアロール３２と、グラビアロール３２と電極材料１６を間に挟んで対向するバックロール３３とを備える。貯留部３１にて貯留されるセラミックスラリー１７は、アルミナ粒子と例えばＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）などのバインダとを、水又はＮＭＰ（Ｎメチルピロリドン）などの非水溶媒により混練することで得る。なお、セラミックスラリー１７に含まれるアルミナ粒子の濃度は均一にされている。
【００２６】
図示しないが、グラビアロール３２の外周面には、斜線型のグラビアパターンが彫刻されている。このため、グラビアロール３２は、軸方向に対し斜めに延びる溝３２ａを有する。また、グラビアロール３２は、外周面の一部が常に貯留部３１内に露出する状態に支持されている。
【００２７】
このようなグラビアロール３２は、モータ３４によって回転駆動される。モータ３４には、制御装置３５が接続されている。モータ３４は、制御装置３５によって回転数が制御される。グラビアロール３２が回転することにより、貯留部３１内のセラミックスラリー１７は、グラビアロール３２の溝３２ａ内に入り込みつつグラビアパターンの表面に付着する。グラビアパターンの表面に付着したセラミックスラリー１７は、グラビアロール３２の回転によって、貯留部３１内から電極材料１６に向けて搬送される。そして、塗工位置Ｐにおいて、搬送されたセラミックスラリー１７は、供給リール２１から供給された電極材料１６の負極活物質層１２の表面に接触する。これにより、負極活物質層１２の表面にセラミックスラリー１７が塗工され、塗工部１８が形成される。上述したように、セラミックスラリー１７におけるアルミナ粒子の濃度は一定であるため、塗工部１８におけるアルミニウムの濃度も一定である。塗工部１８が形成された電極材料１６は、帯状電極１９となる。
【００２８】
検査工程には、電極の検査装置としての負極電極の検査装置４０が用いられる。検査装置４０は、後述する蛍光Ｘ線検出装置４１、ガス噴射装置４４、測定装置４５、及び判定装置４８を備える。
【００２９】
検査工程は、帯状電極１９を長手方向に搬送しながら、帯状電極１９から発生する蛍光Ｘ線βを検出する検出工程を含む。検出工程は、検査装置４０の蛍光Ｘ線検出装置４１を用いて行われる。蛍光Ｘ線検出装置４１は、搬送ロール２４の支持凹部２４ａの上方に配置されている。なお、本実施形態では、蛍光Ｘ線検出装置４１として、Ｏｘｆｏｒｄ社製ハンドヘルド金属材料判別器（型式：Ｘ−ＭＥＴ８０００、Ｘ線管球：電圧５０ｋＶ、ロジウムターゲット、検出器：シリコンドリフト式）を用いたが、これに限定されない。
【００３０】
図２及び図３に示すように、蛍光Ｘ線検出装置４１は、１次Ｘ線αを照射可能なＸ線管４２と、蛍光Ｘ線βを検出可能な検出部４３とが一体化された装置である。Ｘ線管４２は、帯状電極１９上の照射範囲Ｑ（例えば、長手方向５ｍｍかつ短手方向５ｍｍに広がる矩形状の範囲）に１次Ｘ線αを照射する（図４参照）。すると、１次Ｘ線αの照射範囲Ｑにおいて帯状電極１９の厚みを構成する部分の原子が励起状態となり、励起状態から安定状態に戻る際に蛍光Ｘ線βが発生する。検出部４３は、この蛍光Ｘ線βを検出する。
【００３１】
蛍光Ｘ線検出装置４１は、支持凹部２４ａの円弧Ｌの中心Ｃを揺動軸として、帯状電極１９の短手方向に揺動可能である。また、上述したように、帯状電極１９は、長手方向から見た側面視において、支持凹部２４ａによって円弧Ｌに沿って支持された状態で搬送される。このため、蛍光Ｘ線検出装置４１と帯状電極１９との距離Ｘは常に一定である。また、本実施形態の蛍光Ｘ線検出装置４１は、帯状電極１９の短手方向の一端（他端）から他端（一端）まで連続的に揺動するとともに、帯状電極１９上で短手方向の異なる位置に存在する複数の照射範囲Ｑ（例えば、第１〜第５照射範囲Ｑ１〜Ｑ５）について、帯状電極１９から発生する蛍光Ｘ線βを検出する。よって、蛍光Ｘ線検出装置４１は、帯状電極１９の長手方向及び短手方向の全体を検査する。そして、検出部４３は、帯状電極１９の第１〜第５照射範囲Ｑ１〜Ｑ５で発生した蛍光Ｘ線βの検出結果を測定装置４５に出力する。
【００３２】
ところで、検出部４３は、帯状電極１９に含まれる複数の元素の蛍光Ｘ線βを検出する。蛍光Ｘ線βは、元素ごとに異なる固有のエネルギを有する。例えば、金属箔１１は銅製であるため、検出部４３は、銅固有のエネルギを有する蛍光Ｘ線βを検出する。また、塗工部１８は、アルミナ粒子（アルミニウム）を含むため、検出部４３は、アルミニウム固有のエネルギを有する蛍光Ｘ線βを検出する。また、各元素の蛍光Ｘ線βのエネルギ強度は、照射範囲Ｑにおいて帯状電極１９の厚みを構成する部分に含まれる原子の量によって決まる。検出部４３が測定装置４５に出力する蛍光Ｘ線βの検出結果は、帯状電極１９に含まれる複数の元素のエネルギ強度を含む。
【００３３】
また、検査工程は、帯状電極１９の塗工部１８に向かってガスを噴射するガス噴射工程を含む。ガス噴射工程は、上記検出工程の最中に行われる。ガス噴射工程は、検査装置４０のガス噴射装置４４を用いて行われる。なお、図２では、ガス噴射装置４４の図示を省略している。
【００３４】
本実施形態のガス噴射装置４４は、帯状電極１９の短手方向において蛍光Ｘ線検出装置４１の両端に取り付けられ、蛍光Ｘ線検出装置４１と一体化されている。ガス噴射装置４４は、蛍光Ｘ線検出装置４１の揺動に伴って帯状電極１９の短手方向に揺動するとともに、照射範囲Ｑに向けてガスを噴射する。これにより、搬送ロール２４の支持凹部２４ａの内側、すなわち帯状電極１９の塗工部１８上にガスが充満する。ガス噴射工程に用いられるガスは、例えばアルゴンなどの不活性ガスであり、ガスの温度及び湿度は、塗工部１８よりも高温、高湿に設定されている。また、このガスによって、塗工部１８の乾燥を促進させることができる。ただし、ガス噴射工程では、塗工部１８を完全に乾燥させることはできないため、後述の乾燥装置５０によって塗工部１８を更に乾燥させる必要がある。ガス噴射工程は、塗工部１８を乾燥させる乾燥工程の一部を兼ねる。
【００３５】
検査工程は、検出工程での検出結果から、帯状電極１９に含まれるアルミニウムのエネルギ強度を測定する測定工程を備える。測定工程は、検査装置４０の測定装置４５を用いて行われる。測定装置４５は、蛍光Ｘ線検出装置４１と信号接続されている。
【００３６】
測定装置４５は、アルミニウムのエネルギ強度を測定する測定部４６を備える。測定部４６には、検出部４３から帯状電極１９についての検出結果が入力される。測定部４６は、第１〜第５照射範囲Ｑ１〜Ｑ５について、帯状電極１９に含まれるアルミニウムのエネルギ強度をそれぞれ測定し、各測定値を第１〜第５検査値Ａ１〜Ａ５として設定する。また、測定部４６は、検出部４３から検出結果が出力される度にエネルギ強度の測定を行い、第１〜第５検査値Ａ１〜Ａ５を更新する。
【００３７】
検査工程は、各検査値Ａ１〜Ａ５と、エネルギ強度の上限値ＡＨ及び下限値ＡＬとを比較する比較工程を備える。比較工程は、測定装置４５の比較部４７を用いて行われる。第１〜第５検査値Ａ１〜Ａ５は、測定部４６から比較部４７に入力される。上限値ＡＨ及び下限値ＡＬは、塗工部１８の目付量の上限及び下限に対応して予め設定されたアルミニウムのエネルギ強度であり、比較部４７に記憶されている。
【００３８】
比較部４７は、第１検査値Ａ１と上限値ＡＨとを比較する。比較部４７は、第１検査値Ａ１が上限値ＡＨより大きいとき、信号Ｓ１を生成し、第１検査値Ａ１が上限値ＡＨ以下のとき、信号Ｓ２を生成する。また、比較部４７は、第１検査値Ａ１と下限値ＡＬとを比較する。比較部４７は、第１検査値Ａ１が下限値ＡＬ以上のとき、信号Ｓ３を生成し、第１検査値Ａ１が下限値ＡＬより小さいとき、信号Ｓ４を生成する。比較部４７は、第２〜第５検査値Ａ２〜Ａ５についても同様に比較し、信号Ｓ１〜Ｓ４を生成する。
【００３９】
検査工程は、比較部４７で生成された信号Ｓ１〜Ｓ４に基づいて、帯状電極１９の塗工部１８の形成状態の良否を判定する判定工程を含む。判定工程は、検査装置４０の判定装置４８によって行われる。判定装置４８は、測定装置４５と信号接続されている。判定装置４８には、信号Ｓ１〜Ｓ４が比較部４７から入力される。また、判定装置４８は、グラビア塗工装置３０のモータ３４の制御装置３５に接続されている。
【００４０】
判定装置４８は、第１検査値Ａ１について信号Ｓ２，Ｓ３が比較部４７から入力されたとき、すなわち第１検査値Ａ１が上限値ＡＨ以下かつ下限値ＡＬ以上であるとき、第１照射範囲Ｑ１での塗工部１８の形成状態を良好（目付量が目標範囲内）と判定する。判定装置４８は、第１検査値Ａ１について信号Ｓ１が比較部４７から入力されたとき、すなわち第１検査値Ａ１が上限値ＡＨより大きいとき、第１照射範囲Ｑ１での塗工部１８の形成状態を不良１（目付量が目標範囲外）と判定する。判定装置４８は、第１検査値Ａ１について信号Ｓ４が比較部４７から入力されたとき、すなわち第１検査値Ａ１が下限値ＡＬより小さいとき、第１照射範囲Ｑ１での塗工部１８の形成状態を不良２（目付量が目標範囲外）と判定する。判定装置４８は、第２〜第５検査値Ａ２〜Ａ５についても同様の判定を行う。
【００４１】
また、判定装置４８は、第１〜第５照射範囲Ｑ１〜Ｑ５での塗工部１８のうち３つ以上を不良１と判定した場合、制御装置３５に対して、「目付量過剰」の信号を出力する。判定装置４８は、第１〜第５照射範囲Ｑ１〜Ｑ５での塗工部１８のうち３つ以上を不良２と判定した場合、制御装置３５に対して、「目付量不足」の信号を出力する。制御装置３５は、「目付量過剰」の信号が入力されると、モータ３４の回転駆動を加速させることでグラビアロール３２の回転速度を加速させ、塗工部１８の目付量を減らす。一方、制御装置３５は、「目付量不足」の信号が入力されると、モータ３４の回転駆動を減速させることでグラビアロール３２の回転速度を減速させ、塗工部１８の目付量を増やす。
【００４２】
検査工程後、帯状電極１９は、乾燥装置５０内に搬送される。乾燥装置５０は、ガス噴射工程でのガスによって乾燥が進んだ状態の塗工部１８を完全に乾燥させる。塗工部１８は、保護層前駆体となる。保護層前駆体が形成された帯状電極１９は、図示しない切断工程にて負極電極１０の形状に切断される。保護層前駆体から保護層１５が形成される。こうして枚葉状の負極電極１０が製造される。
【００４３】
次に、本実施形態の作用について説明する。
保護層形成工程の検出工程では、搬送装置２０によって帯状電極１９を長手方向に搬送しながら、蛍光Ｘ線検出装置４１によって帯状電極１９から発生する蛍光Ｘ線βを検出する。このとき、帯状電極１９の一部は、長手方向から見た側面視において、搬送ロール２４の支持凹部２４ａによって円弧状に支持されながら搬送される。また、蛍光Ｘ線検出装置４１は、支持凹部２４ａの円弧Ｌの中心Ｃを揺動軸として、帯状電極１９の短手方向に揺動する。このため、帯状電極１９の塗工部１８と蛍光Ｘ線検出装置４１との距離Ｘは一定に保たれ、蛍光Ｘ線βの定量的な検出が可能となる。
【００４４】
次に、本実施形態の効果を記載する。
（１）検出工程において、帯状電極１９の一部は、長手方向から見た側面視において、搬送ロール２４の支持凹部２４ａによって円弧状に支持されながら長手方向に搬送される。帯状電極１９から発生する蛍光Ｘ線βを検出する蛍光Ｘ線検出装置４１は、支持凹部２４ａの円弧Ｌの中心Ｃを揺動軸として、帯状電極１９の短手方向に揺動する。このため、検出工程における帯状電極１９の塗工部１８と蛍光Ｘ線検出装置４１との距離Ｘが一定に保たれる。よって、蛍光Ｘ線βの検出結果のばらつきが抑制され、蛍光Ｘ線βの定量的な検出が可能となり、塗工部１８の形成状態を精度良く検査できる。
【００４５】
（２）検出工程は、検出工程の最中に、帯状電極１９の塗工部１８に向けてガスを噴射するガス噴射工程を含むため、帯状電極１９の塗工部１８と蛍光Ｘ線検出装置４１との間の雰囲気が一定に保たれ、検出結果のばらつきが抑制される。よって、塗工部１８の形成状態を精度良く検査できる。また、支持凹部２４ａによって帯状電極１９が円弧状に支持されていることで、円弧Ｌの内側のガスが逃げ出しづらくなり、雰囲気をより一定に保ちやすくなる。
【００４６】
（３）ガス噴射工程に用いられるガスは、不活性ガスであるため、大気による蛍光Ｘ線βの散乱が抑制され、塗工部１８の形成状態をより精度良く検査できる。
（４）蛍光Ｘ線検出装置４１を連続的に揺動させているため、帯状電極１９の塗工部１８を長手方向及び短手方向全体に亘って検査することができる。
【００４７】
（５）軽元素であるアルミニウムから発せられる蛍光Ｘ線βのエネルギ強度によって、塗工部１８の形成状態を検査することができる。
（６）ガス噴射工程は、乾燥工程の一部を兼ねる。このため、ガス噴射工程でのガスによって塗工部１８の乾燥が促進され、乾燥装置５０による乾燥時間を短縮することができる。また、高温のガスを用いても、支持凹部２４ａによって帯状電極１９が円弧状に支持されていることで、円弧Ｌの内側のガスの温度が低下しづらくなり、塗工部１８の乾燥をより効果的に行うことができる。
【００４８】
（７）ガス噴射装置４４は、蛍光Ｘ線検出装置４１とともに揺動するため、帯状電極１９の塗工部１８のうち照射範囲Ｑに向けてガスを噴射することができる。
なお、上記実施形態は、以下のように変更してもよい。
【００４９】
○  負極電極１０は、金属箔１１の片面だけに負極活物質層１２及び保護層１５を有するものであってもよい。この場合、帯状電極１９の片面だけに負極活物質層１２が設けられるとともに、その負極活物質層１２にセラミックスラリー１７の塗工部１８が形成される。
【００５０】
○  集電体は、負極活物質層１２が形成できるものであれば、金属箔１１に限定されるものではない。例えば、織物状や網状のシートを用いてもよい。
○  測定工程においてエネルギ強度が測定される元素は、アルミニウムに限定されず、他の元素であってもよい。例えば、セラミック粒子を生成できる原子番号３以上、負極電極１０の重量エネルギ密度を低下させない原子番号２０以下の軽元素であってもよい。
【００５１】
○  上記実施形態では、保護層１５が含むセラミック粒子は、アルミナ粒子であったが、窒化アルミニウムであってもよい。また、負極活物質層１２がシリコン（ケイ素）を含まない場合、保護層１５が含むセラミック粒子は、二酸化ケイ素、窒化ケイ素など、他の元素の酸化物や窒化物であってもよい。
【００５２】
○  被覆層は、金属箔１１の両面に存在する負極活物質層１２とは別の活物質層であってもよい。ただし、金属箔１１の両面に存在する負極活物質層１２に含まれる元素と、負極活物質層１２を覆う別の負極活物質層に含まれ、かつ測定工程においてエネルギ強度を測定される元素は、別の元素にする。
【００５３】
○  上記実施形態では、負極電極１０の検査方法及び検査装置４０に具体化して説明したが、正極電極についても同様の検査方法及び検査装置で検査することができる。ただし、正極電極の集電体を構成する元素と、正極電極の保護層に含まれ、かつ測定工程においてエネルギ強度を測定される元素は、別の元素にする。
【００５４】
○  活物質層形成工程における活物質ペーストの塗工工程は、長尺帯状の金属箔１１の長手方向に連続して行う連続塗工でもよいし、間隔を空けて塗布する間欠塗工でもよい。間欠塗工の場合、保護層形成工程におけるセラミックスラリー１７の塗工工程を、グラビアロール３２の回転を間欠的に停止させて、電極材料１６の長手方向に間隔を空けて塗布する間欠塗工とすることができる。
【００５５】
○  帯状電極１９を長手方向から見た側面視において円弧状に支持するための支持部材は、上記実施形態の搬送ロール２４に限定されない。
例えば、図５に示すように、搬送ロール２４の代わりに、帯状電極１９を支持する円弧状の凹部６１ａを有する支持部６１を支持部材としてもよい。支持部６１は、図示しない支持装置によって固定されている。この場合、帯状電極１９は、供給リール２１から巻取リール２２に巻き取られることによって長手方向に搬送される。凹部６１ａの表面に固形潤滑剤等を塗布して表面コートを施してもよいし施さなくてもよい。
【００５６】
○  検出工程だけでなく検出工程に連続する後工程（実施形態では乾燥工程）においても、支持凹部２４ａによって帯状電極１９を円弧状に支持してもよい。
○  蛍光Ｘ線検出装置４１を揺動させる範囲は、塗工部１８の短手方向の幅に合わせるなど適宜変更してよい。
【００５７】
○  上記実施形態では、蛍光Ｘ線検出装置４１を連続的に揺動させていたが、間欠的に揺動させてもよい。
○  検出工程は、乾燥工程の前に行われていたが、乾燥工程後に行われてもよい。
【００５８】
○  ガス噴射工程は、省略してもよい。
○  ガス噴射工程におけるガスの温度や湿度によっては、ガス噴射工程は乾燥工程の一部を兼ねない。
【００５９】
○  ガス噴射装置４４の個数は、適宜変更してよい。また、ガス噴射装置４４は、蛍光Ｘ線検出装置４１と別体であってもよい。この場合、ガス噴射装置４４を揺動させてもよいし、固定してもよい。
【００６０】
○  ガス噴射工程に用いられる不活性ガスとしては、アルゴンの他に窒素や二酸化炭素を用いてもよい。また、ガス噴射工程に用いられるガスは、不活性ガスに限定されず、空気でもよい。また、ガス噴射工程に用いられるガスの温度や湿度は、適宜変更してよい。ガスの温度や湿度が塗工部１８の温度や湿度より高い場合、塗工部１８を乾燥させることができる。
【００６１】
○  蛍光Ｘ線検出装置４１と測定装置４５は、一体化してもよいし、別体としてもよい。
○  上記実施形態では、蛍光Ｘ線検出装置４１が帯状電極１９の短手方向の一端（他端）から他端（一端）まで揺動する間に、帯状電極１９上の５つの照射範囲Ｑ１〜Ｑ５で検出を行っていたが、照射範囲Ｑの数は適宜変更してよい。
【００６２】
○  上記実施形態では、各照射範囲Ｑ１〜Ｑ５について帯状電極１９に含まれるアルミニウムのエネルギ強度を測定し、測定値を第１〜第５検査値Ａ１〜Ａ５として設定していたが、第１〜第５照射範囲Ｑ１〜Ｑ５について測定値の平均を取り、エネルギ強度の平均値を１つの検査値として設定してもよい。
【００６３】
○  判定装置４８が制御装置３５に対して「目付量過剰」又は「目付量不足」の信号を出力する条件は、適宜変更してよい。
○  上記実施形態では、塗工部１８の形成状態の良否判定を塗工工程にフィードバックすることで活用していたが、保護層１５が形成された負極電極１０の良品・不良品の選別などに活用してもよい。
【００６４】
○  上記実施形態では、活物質層形成工程、保護層形成工程、及び切断工程を別の製造ラインで行っていたが、同じ製造ラインで続けて行ってもよい。
○  積層型電極組立体用の電極の検査方法に限らず、巻回型電極組立体用の電極の検査方法に適用してもよい。
【００６５】
○  上記実施形態における電極の検査方法は、例えば、ニッケル水素二次電池に用いられる電極や、リチウムキャパシタなどの蓄電装置に用いる電極の検査方法に適用してもよい。
【符号の説明】
【００６６】
１０…電極としての負極電極、１１…集電体としての金属箔、１２…活物質層としての負極活物質層、１５…被覆層としての保護層、１７…被覆層材料としてのセラミックスラリー、１８…塗工部、１９…帯状電極、２０…搬送装置、２４…支持部材としての搬送ロール、２４ａ…支持凹部、４０…検査装置、４１…蛍光Ｘ線検出装置、４４…ガス噴射装置、４６…測定部、４８…判定装置、Ｌ…円弧、β…蛍光Ｘ線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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