(57)【要約】【課題】外的な力を低減するために緩衝機構を付与するとともに、動作中の負荷トルクを確実に測定することができる減速機を提供することを課題とする。【解決手段】減速装置０１００は、入力回転軸０１０２と出力回転軸０１０３の間で入力に対する出力の回転数を減じる減速機構０１０１と、減速機構０１０１を収容するハウジング０１０４Ａと、弾性体からなり、クッション力の働く主要方向が、略回転接線方向である緩衝手段０１０５と、を有する。緩衝手段０１０５により生じるハウジング１０４Ａの変位量が、計測装置０１１１，０１１２により測定される。【選択図】図１
2018179043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力回転軸と出力回転軸の間で入力に対する出力の回転数を減じる減速部と、
前記減速部を収容するハウジングと、
弾性体からなり、クッション力の働く主要方向が、前記ハウジングと前記減速部との間の略回転接線方向である緩衝手段と、
前記緩衝手段により前記ハウジング内に生じる変位量を計測する計測手段とを備えた減速装置。
【請求項２】
前記ハウジングは外ケースと内ケースとに分割され、前記外ケースと前記内ケースとの間に前記緩衝手段が配置されている請求項１に記載の減速装置。
【請求項３】
前記計測手段は前記外ケースと前記内ケースとの間の変位量を計測する請求項２に記載の減速装置。
【請求項４】
前記計測手段は前記緩衝手段の変形量を測定する請求項１に記載の減速装置。
【請求項５】
前記ハウジングの内ケースに内歯車が形成され、この内歯車は減速部を構成する請求項１に記載の減速装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、衝撃を吸収する機能を備えるとともに、負荷トルクを確実に測定することができる減速装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業用ロボットは近年、人との協働作業用途における研究がなされ、各メーカーから多くの協働作業が可能な産業用ロボットが開発・販売されている。産業用ロボットの動作を具現する重要な技術要素として減速装置がある。減速機はサーボモータと組み合わされ産業用ロボットの関節を構成する。産業用ロボットに用いる減速装置に求められる条件は、バックラッシュが少ないことである。
【０００３】
また、ヒューマノイドロボットは近年盛んに研究がなされ様々な分野での活躍が期待されている。ヒューマノイドロボットの動作を具現する重要な技術要素として減速装置がある。減速機はサーボモータと組み合わされヒューマノイドロボットの関節を構成する。ヒューマノイドロボットに用いる減速装置に求められる条件は、バックラッシュが少ないことである。
【０００４】
バックラッシュの少ない減速装置としては、遊星歯車型減速機、偏心揺動型減速機、波動歯車型減速機などがある。とくに波動歯車型減速機は、バックラッシュが少ないことに加え、高減速比、軽量、コンパクトであることから、小型の産業用ロボットやヒューマノイドロボットの関節に多用されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−８４９８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、この波動歯車型減速機にはウィークポイントがある。波動歯車型減速機は、フレクスプラインがウェーブジェネレータにより楕円形状に撓められ、長軸の部分で外輪の内歯と歯が噛み合うという特有の構成となっており、外部からの衝撃を受けると歯の噛み合いがずれるという現象（脱調）が容易に生じてしまうという性質がある。  
【０００７】
二足歩行が予定されるヒューマノイドロボットについては、転倒などにより受ける衝撃の他に、予定された動作を行う際に減速装置に対して予期せず生じる過剰な負荷も衝撃として減速装置に作用する。このような外的な力を受けることで、可撓性の構成を備える波動歯車型減速機は容易に脱調が生じ、のみならず歯車の損傷が生じてしまい、予定された動作を不能にしてしまう。
【０００８】
ヒューマノイドロボットの関節を構成する減速装置において、脱調や歯車の損傷が生じないようにすることは、ヒューマノイドロボットの動作の安定化などに資するとともに、ひいてはヒューマノイドロボットの実用化のために極めて重要である。
【０００９】
このために減速装置に弾性体からなる衝撃手段を設けることが考えられている。
【００１０】
一方、動作中の減速装置の負荷トルクを測定しておき、減速装置を安全かつ安定して使用することも望まれている。
【００１１】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、負荷トルクを確実に測定することができる減速装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するための手段として、以下の発明などを提供する。すなわち、入力回転軸と出力回転軸の間で入力に対する出力の回転数を減じる減速部と、前記減速部を収容するハウジングと、弾性体からなり、クッション力の働く主要方向が、前記ハウジングと前記減速部との間の略回転接線方向である緩衝手段と、前記緩衝手段により前記ハウジング内に生じる変位量を計測する計測手段とを備えた減速装置を提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、負荷トルクを確実に測定することができる減速装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１（ａ）（ｂ）は実施形態１の減速装置の一例を示す概念図。
【図２】図２（ａ）（ｂ）は図１（ａ）に示した減速装置の断面と、その一部を拡大して示す概念図。
【図３】図３は弾性体の形状について説明するための概念図。
【図４】図４は実施形態２の減速装置の一例を示す概念図。
【図５】図５は実施形態２の減速装置を関節に用いた産業用ロボットの一例を示す概念図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明は、これらの実施形態に何ら限定されるべきものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得る。
【００１６】
＜実施形態１＞
＜概要＞
本実施形態の減速装置は、入力回転軸と出力回転軸の間で入力に対する出力の回転数を減じる減速部と、前記減速部を収容するハウジングと、弾性体からなり、クッション力の働く主要方向が、前記ハウジングと前記減速部との間の略回転接線方向である緩衝手段と、前記緩衝手段により前記ハウジング内に生じる変位量を計測する計測手段とを備えた減速装置となっている。この緩衝手段により、減速部の回転軸に対する過剰な負荷を吸収し減速部を構成する歯車などの各要素の損傷を防止する。また計測手段により、減速装置に加わる負荷トルクを測定する。
【００１７】
＜構成＞
本実施形態の減速装置は、減速機構（減速部ともいう）、ハウジング及び緩衝手段からなる。図１は、係る減速装置の一例を示す概念図である。図１（ａ）は、ハウジング内の一部を透視した概念図である。また、図１（ｂ）は、図１（ａ）の「Ａ−Ａ」方向での断面を示す概念図である。
【００１８】
図示するように、「減速装置」０１００は、「入力回転軸」０１０２と「出力回転軸」０１０３の間で入力に対する出力を減じる「減速機構」（減速部ともいう）０１０１と、この減速機構を収容する金属製の「ハウジング本体」０１０４と、減速機構の外郭に複数配置される「弾性体」０１０５により構成される緩衝手段とからなる。
【００１９】
なお、この弾性体０１０５は円柱形状であり、内歯車０１０８の外周面に設けられる溝０１０８ａとハウジング本体０１０４の内周面に設けられる溝０１０４ａのそれぞれによって自身が固定されるように嵌合した状態で配置されている。また、弾性体は、その長手方向が入力回転軸又は出力回転軸の軸線方向と略平行になるように配置されている。また、弾性体は、その長手方向が入力回転軸又は出力回転軸の軸線方向と一定の傾きをもって配置してもよい。この場合、先の配置の場合に比べて、弾性体が配置される総面積を大きくすることができる。
【００２０】
図１（ｂ）に示すように、減速機構として偏心揺動型の減速機構を示している。図示するように、「入力回転軸」０１０２は「クランク」０１０６に接続され、クランクは「遊星歯車」０１０７に接続される。入力回転軸の回転により遊星歯車は、波型形状の接触面を備える金属製の「内歯車」０１０８と自身の波型形状の歯を接触させ転がり（自転）ながら自転方向と逆向きに公転する。この自転を６つの「内ピン」０１０９により取り出す。６つの内ピンを入力回転軸の中心と同心円上に配置することで入力回転軸と出力回転軸を同心にすることができる。また後述のように内歯車０１０８を除く各要素により減速機構は構成される。そして、このような減速機構を収容するのが「ハウジング本体」０１０４である。
【００２１】
ハウジング本体０１０４は、後述する産業用ロボット１（図５参照）または図示しないヒューマノイドロボットの関節の基部側又はアーム側に固定され減速機構０１０１を収容する。入力回転軸０１０２はモータなどによる動力が伝達される回転軸であり、出力回転軸０１０３は入力回転軸の回転数に対して減じられた回転運動を出力する回転軸である。ここで、産業用ロボット１は、図５に示すように、複数の減速装置０１００と、各減速装置０１００を介して接続された一対のアーム２ａｐ，２ｂｐ，２ｃｐ，２ａｄ，２ｂｄ，２ｃｄと、を有している。また、減速装置０１００は、一方向ｄａｘ，ｄｂｘ，ｄｃｘ、あるいは他方向ｄａｙ，ｄｂｙ，ｄｃｙに相対回転する。
【００２２】
ハウジング本体０１０４が基部側又はアーム側のいずれか一方に固定されることで、他方側を相対的に動かすことができる。例えば、産業用ロボットロボット１の関節に本減速装置０１００を用いる場合、入力回転軸側となる上側のアーム側にハウジング本体０１０４を固定することで、出力回転軸側の下側の基部側を上側に対して動かすことができる。
【００２３】
緩衝手段０１０５は、弾性体からなり、クッション力の働く主要方向が、前記ハウジング本体０１０４と減速機構０１０１との間の略回転接線方向であるように構成される。なお図１において、ハウジング本体０１０４と、内歯車０１０８とによりハウジング０１０４Ａが構成される。
【００２４】
また図１に示すように、ハウジング０１０４Ａを構成する内歯車０１０８とハウジング本体０１０４のうち、内歯車０１０８の内周面には磁石０１１１が埋込まれており、他方、ハウジング本体０１０４の外周面には磁気センサ０１１２が埋込まれている。
【００２５】
そしてハウジング０１０４Ａの中心と、磁石０１１１と、磁気センサ０１１２は、直線上に並んでいる（図１参照）。また、動作中に減速装置０１００の入力回転軸側と出力回転軸側との間に過剰な負荷がかかることがある。この場合、弾性体からなる緩衝手段０１０５が変形して、この減速装置０１００に対して加わる負荷トルクを吸収して減速機構０１０１の損傷を防止することができる。
【００２６】
この際、緩衝手段０１０５の変形に伴って磁石０１１１に対して磁気センサ０１１２は回転方向に沿って変位する。そして磁気センサ０１１２の回転方向の変位量に応じて、磁気センサ０１１２から出力信号が制御部０１２０へ送られる。
【００２７】
次に制御部０１２０は磁気センサ０１１２からの出力信号に基づいて、磁石０１１１に対する磁気センサ０１１２の回転方向変位量を求めることができ、この変位量に基づいて減速装置０１００に加わる負荷トルクの値を確実に測定することができる。
【００２８】
このように磁石０１１１と磁気センサ０１１２とによって、磁石０１１１に対する磁気センサ０１１２の回転方向変位量、すなわち内歯車０１０８に対するハウジング本体０１０４の回転方向変位量を求めることができる。この場合磁石０１１１と磁気センサ０１１２は、内歯車０１０８とハウジング本体０１０４との間に生じる相対的な変位量を求める測定手段を構成する。
【００２９】
なお、上述した内歯車０１０８に対するハウジング本体０１０４の回転方向変位量は、緩衝手段０１０５の変形量に一致する。
【００３０】
次に図２および図３により、本実施の形態による減速装置０１００について、更に述べる。
【００３１】
図２は、図１に示した減速装置の断面と、その一部を拡大して示す概念図である。緩衝手段０１０５を構成する一の「弾性体」０２０１は、減速機構の外郭を構成する「内歯車」０２０２と、減速機構を収容する「ハウジング本体」０２０３との間で、内歯車０２０２とハウジング本体０２０３の双方によって自身が固定されるように嵌合した状態で配置されている。
【００３２】
ここで、ハウジング本体０２０３が入力回転軸側に固定されている場合を考える。この場合において、出力回転軸の回転方向は６つの内ピンに描かれるように反時計回りであるとする。この場合、出力回転軸と接続される産業用ロボット１のアーム、及びヒューマノイドロボットの腕や脚に過剰な負荷がかかった場合（例えば、人との予期せぬ衝突や障害物などにより腕や脚の動きが妨げられるような場合）に、一の「弾性体」０２０１には、入力回転軸又は出力回転軸を中心とし当該弾性体０２０１までの距離を半径とする円周上であって当該弾性体０２０１の位置での略回転接線方向（図中の破線０２０４）に力が作用する。
【００３３】
拡大図に示すように、出力回転軸に接続される腕や脚に過負荷がかかると出力回転軸から内ピン及び遊星歯車を介して減速機構の外郭となる内歯車に対して出力回転軸の回転方向と逆の回転方向へ力が作用する（図中矢印０２０５）。一方、ハウジング本体０２０３は入力回転軸側に固定されるため、出力回転軸が受けた力の反作用として、上記回転接線方向上で逆向きの力が作用する（図中矢印０２０６）。弾性体０２０１は、自身に作用するそれらの力を、自身が撓む（変形する）ことにより吸収する。この弾性体０２０１の他にも減速装置には複数の弾性体が配置され、各弾性体が同様に撓むことにより、出力回転軸にかかる力を吸収する。このように自身が撓むことにより力を吸収する作用をクッション作用といい、吸収する力の方向をクッション力の働く方向という。
【００３４】
弾性体０２０１の撓みにより緩衝作用を得ることから、弾性体０２０１を介在させずに内歯車０２０２の外周面とハウジング本体０２０３の内周面とが接する部分については、双方を接着又は接合することは好ましくない。また、内歯車０２０２の外周面とハウジング本体０２０３の内周面との接触面に潤滑油を介在させてもよい。この場合、過負荷などにより減速機構に作用する力を弾性体０２０１により集中させることができ、減速機構及びハウジング本体０２０３の損傷をより防止し得る。なお、図２において、ハウジング本体０２０３と、内歯車０２０２とによりハウジング０２０３Ａが構成される。
【００３５】
さらに弾性体の形状について図３を用いて説明する。図３に示すように、「弾性体」０３０１の断面形状が略真円である場合、その断面形状は法線方向（図中鎖線０３０２）に対して線対照となる。このような形状である場合、弾性体がうける力の向きが正逆いずれの回転方向（図中太線両端矢印０３０３）であってもクッション力は平等に作用する。
【００３６】
減速機構に対する過剰な負荷などの外的な力は、入力回転軸又は出力回転軸を回転させる回転接線方向に働き、その力の向きは正逆双方に働き得る。したがって、正逆いずれかの方向に対するクッション力に優劣が生じることは好ましくない。そのため、図３に示すように、法線方向に対して対照な形状とすることが好ましい。
【００３７】
つぎに緩衝手段を構成する弾性体の配置について説明する。上述したように、緩衝手段は、主として入力回転軸又は出力回転軸を回転させる回転接線方向にクッション力を作用させることを意図している。また、正逆いずれの回転接線方向に対しても平等にクッション力が作用することが好ましい。そこで、弾性体は、入力回転軸又は／及び出力回転軸の軸心を中心として略点対称に配置されるようにすることが好ましい。
【００３８】
また、弾性体０１０５，０２０１，０３０１の材料としては、ウレタンゴムやシリコンゴムなどの合成樹脂製のゴムなどを用いることができ、天然ゴムなどであってもよい。また、回転接線方向に伸縮する方向を揃えたつるまきばねや板ばねなどのばねを弾性体として配置してもよい。樹脂製のゴムが溶けるおそれのある高温環境下では、耐熱性を有する金属製のばねを弾性体に用いることが好適である。
【００３９】
また、弾性体０１０５，０２０１，０３０１として油を用いてもよい。例えば、内歯車の外周面とハウジングの内周面との間に油の流路を設け、当該流路に流す油の流量を調整することで、調整可能な油圧による弾性体を構成することもできる。なお、内歯車とハウジングのみで密封された流路を形成することが難しい場合には、伸縮性のパイプ等を配置する溝を設け、そのパイプ等の中に油を流すことによってもよい。
【００４０】
＜効果＞
本実施形態の減速装置０１００により、減速機構０１０１の入力回転軸又は出力回転軸に対する過剰な負荷を吸収し減速機構０１０１を構成する歯車などの各要素の破損を防止することができる。
【００４１】
また本実施形態によれば、磁石０１１１と磁気センサ０１１２とによって内歯車０１０８とハウジング本体０１０４との間に生じる相対的な変位量を求めることができ、この変位量から減速装置０１００に加わる負荷トルクの値を確実に測定することができる。
【００４２】
一般に減速装置に加わる負荷トルクの値を求める場合、ハウジング本体０１０４と内歯車０１０８は金属製となっているため、ハウジング本体０１０４と内歯車０１０８の変形量は小さい。このためこの小さな変形量から負荷トルクの値を求めるためには高分解能、高精度のセンサが必要となる。
【００４３】
これに対して本実施の形態によれば、弾性体からなる緩衝手段０１０５が大きく変形することによりハウジング本体０１０４と内歯車０１０８との相対的変位量を大きくとることができ、このことにより高分解能、高精度のセンサを用いることなく、減速装置０１００に加わる負荷トルクを確実に測定することができる。
【００４４】
また、減速装置０１００に複数のひずみゲージを設けることなく、磁石０１１１と磁気センサ０１１２の一対の組合わせを設けるだけで減速装置０１００に加わる負荷トルクの値を容易に測定することができる。
【００４５】
人との協働作業を行うような産業用ロボット１については、人との予期せぬ接触により、人及び産業用ロボット１の減速装置に対し、衝撃として作用する。このような衝撃は、人においては怪我に繋がり、ロボットの減速機構においては、可撓性の構成を備える波動歯車型減速機は脱調が生じる。さらに、歯車の損傷が生じて動作を不能にしてしまう。
【００４６】
人との協働作業を行うような産業用ロボットにおいて、人へ危害を加えないために、ソフトウェアのみならず、ハードウェアにおいて、安全対策を行うことで、極めて重要であり、減速装置においても、脱調や歯車の損傷が生じないようにすることは、産業用ロボットの動作を安定化することができる。
【００４７】
＜実施形態２＞
＜概要＞
本実施形態は、実施形態１の減速装置を基本とし、減速機構が偏心揺動型減速機構であって、内歯車や遊星歯車をプラスティック製とするとともに、内歯車を固定する金属製のリングを有し、この金属製のリングとハウジングとの間に弾性体を配置する減速装置である。
【００４８】
このような構成とすることで、減速装置の軽量化を図るとともに、内歯車や遊星歯車を金属製のリングにより内包することで、例えば、本減速装置を関節に用いるヒューマノイドロボットが転倒するなどして衝撃を受けた場合であっても、内歯車や遊星歯車を破損から保護することができる。また、可撓性のあるプラスティックを内歯車に用いるため、内歯車に生じる応力を、内歯車を剛性に優れる金属製のリングで囲繞することで、その応力を分散させ、内歯車の破損を防止することができる。
【００４９】
＜構成＞
図４は、本実施形態の減速装置の断面の一例を示す概念図である。「減速装置」０６００は、「遊星歯車」０６０２や「内ピン」０６０３や「入力回転軸」０６０４及び「クランク」０６０５などを内包する「内歯車」０６０６により偏心揺動型の減速機能を実現する。また内歯車０６０６の外周に、その内歯車０６０６を更に固定する「内歯車固定リング」０６０７が設けられている。そして、内歯車固定リング０６０７を囲む「ハウジング本体」０６０８と内歯車固定リング０６０７との間に緩衝手段を構成する複数の「弾性体」０６０９が配置される。
【００５０】
ここで減速装置０６００は遊星歯車０６０２と、内ピン０６０３と、入力回転軸０６０４と、クランク０６０５とを有する減速機構（減速部）０６０１を含む。
【００５１】
そして、これらの構成要素のうち少なくとも内歯車０６０６と遊星歯車０６０２はプラスティック製である。なお、クランクや内ピンもその一部又は全部をプラスティック製としてもよい。このようにプラスティック製とすることで減速装置の軽量化を図ることが可能となる。
【００５２】
またハウジング本体０６０８と内歯車固定リング０６０７は金属製である。用いる具体的な金属は特段限定されるものではないが、例えば、鉄、鋼、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミ合金などを用いることができる。
【００５３】
図示するように内歯車０６０６の外周にＶ字状の溝０６０６ｂを設け、内歯車固定リング０６０７の内周に内歯車０６０６の溝０６０６ｂと嵌合する突起０６０７ｂを設けて内歯車固定リング０６０７により内歯車０６０６が固定される。そして、内歯車固定リング０６０７の外周面には実施形態１における内歯車と同様に弾性体０６０９を嵌合するための溝０６０７ａが設けられ、ハウジング本体０６０８の内周面にも同様に弾性体０６０９を嵌合する溝０６０８ａが設けられている。
【００５４】
弾性体０６０９は、上述のように内歯車固定リング０６０７とハウジング本体０６０８とに設けられる溝０６０７ａ，０６０８ａの双方に嵌合されて配置される。そして、内歯車固定リング０６０７の外周面とハウジング０６０８の内周面とは、弾性体０６０９が配置される溝０６０７ａ，０６０８ａの部分を除いて互いに接するように配置される。双方の間に隙間が生じないようにすることが、減速装置０６００の機械的強度を高めるうえで好ましい。
【００５５】
また、内歯車固定リング０６０７を構成する金属の内部あるいは内歯車固定リング０６０７の内周面であって、弾性体０６０９配置箇所近傍に発熱体（例えば、ニクロム線など）を配置してもよい。ゴムは温度に応じてその弾性が変化し得る。そこで、弾性体の近傍に発熱体を配置し、その加熱により弾性体の弾性を適宜調整し得るように構成してもよい。
【００５６】
図４において、ハウジング本体０６０８と、内歯車固定リング０６０７と、内歯車０６０６とによりハウジング０６０８Ａが構成される。また、ハウジング本体０６０８はハウジング０６０８Ａの外ケースを構成し、内歯車固定リング０６０７はハウジング０６０８Ａの内ケースを構成する。
【００５７】
さらに上述のように減速機構０６０１は遊星歯車０６０２と、内ピン０６０３と、入力回転軸０６０４と、クランク０６０５とを有する。
【００５８】
また図４に示すように、ハウジング０６０８Ａのうち、内歯車固定リング０６０７の内周面には磁石０１１１が埋込まれており、他方、ハウジング本体０６０８の外周面には磁気センサ０１１２が埋込まれている。
【００５９】
そしてハウジング０６０８Ａの中心と、磁石０１１１と、磁気センサ０１１２は、直線上に並んでいる（図４参照）。また、動作中に減速装置０６００の入力回転軸側と出力回転軸側との間に過剰な負荷がかかることがある。この場合、弾性体からなる緩衝手段０６０９が変形して、この減速装置０６００に対して加わる負荷トルクを吸収して減速機構０６０１の損傷を防止することができる。
【００６０】
この際、緩衝手段０６０９の変形に伴って磁石０１１１に対して磁気センサ０１１２は回転方向に沿って変位する。そして磁気センサ０１１２の回転方向の変位量に応じて、磁気センサ０１１２から出力信号が制御部０１２０へ送られる。
【００６１】
次に制御部０１２０は磁気センサ０１１２からの出力信号に基づいて、磁石０１１１に対する磁気センサ０１１２の回転方向変位量を求めることができ、この変位量に基づいて減速装置０６００に加わる負荷トルクの値を確実に測定することができる。
【００６２】
このように磁石０１１１と磁気センサ０１１２とによって、磁石０１１１に対する磁気センサ０１１２の回転方向変位量、すなわち内歯車固定リング０６０７に対するハウジング本体０１０４の回転方向変位量を求めることができる。この場合、磁石０１１１と磁気センサ０１１２は、内歯車固定リング０６０７とハウジング本体０６０８との間に生じる相対的な変位量を求める測定手段を構成する。
【００６３】
なお、上述した内歯車固定リング０６０７に対するハウジング本体０６０８の回転方向変位量は、緩衝手段０６０９の変形量に一致する。
【００６４】
＜変形例＞
次に本発明の変形例について説明する。図４に示す実施形態２において、ハウジング本体０６０８と内歯車固定リング０６０７として金属製のものを用い、内歯車０６０６としてプラスチック製のものを用いた例を示したが、これに限らずハウジング本体０６０８と内歯車固定リング０６０７として金属製のものを用い、内歯車０６０６としてプラスチック製のものより高い弾性をもつウレタンゴムまたはシリコンゴム製の弾性体からなるものを用いてもよい。
【００６５】
このように内歯車０６０６として弾性体を用いた場合は、ハウジング本体０６０８と内歯車固定リング０６０７との間の弾性体からなる緩衝手段０６０９は除くことができ、緩衝手段０６０９の代わりに弾性体からなる内歯車０６０６が減速装置０６００に対して加わる負荷トルクを吸収することができる。
【００６６】
ハウジング本体０６０８と内歯車固定リング０６０７との間から弾性体からなる緩衝手段０６０９が取り除かれた場合、ハウジング本体０６０８と内歯車固定リング０６０７とは適宜係合手段（図示せず）により円周方向に沿って堅固に係合される。
【００６７】
この場合、磁石０１１１を、内歯車固定リング０６０７内周面ではなく、内歯車０６０６内であって内周面側に設置することが望ましい。
【符号の説明】
【００６８】
１  産業用ロボット
２ａｐ，２ｂｐ，２ｃｐ  一方のアーム
２ａｄ，２ｂｄ，２ｃｄ  他方のアーム
０１００  減速装置
０１０１  減速機構
０１０２  入力回転軸
０１０３  出力回転軸
０１０４  ハウジング本体
０１０４Ａ  ハウジング
０１０５  緩衝手段
０１０６  クランク
０１０７  遊星歯車
０１０８  内歯車
０１０９  内ピン
０１１１  磁石
０１１２  磁気センサ
０１２０  制御部
０２０１  弾性体
０２０２  内歯車
０２０３  ハウジング本体
０２０３Ａ  ハウジング
０３０１  弾性体
０６００  減速装置
０６０１  減速機構
０６０２  遊星歯車
０６０３  内ピン
０６０４  入力回転軸
０６０５  クランク
０６０６  内歯車
０６０７  内歯車固定リング
０６０８  ハウジング本体
０６０８Ａ  ハウジング
０６０９  弾性体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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