(57)【要約】      （修正有）【課題】ステージ上に載せられた対象物の重量などに応じ、適切な駆動制御を実現できる駆動ステージ装置の制御方法を提供する。【解決手段】ステージをエアベアリングで浮上させ、エアベアリングで浮上した状態のステージの高さを第１高さとして測定するＳＴ１２１。ステージにワークを載置しＳＴ１２２、ワークが載置された状態で前記ステージの高さを第２高さとして測定するＳＴ１２３。第１高さと第２高さとの差を沈み量として算出しＳＴ１２４、沈み量に基づいてワークの重量を算出するＳＴ１２５。前記算出されたワーク重量に基づいてステージの回転駆動あるいは水平移動の上限速度を決定する。ステージの回転駆動あるいは水平移動の速さが前記上限速度を超えないように制御する。【選択図】図５
2018179849.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージをエアベアリングで浮上させ、
前記エアベアリングで浮上した状態の前記ステージの高さを第１高さとして測定し、
前記ステージにワークを載置し、
前記ワークが載置された状態で前記ステージの高さを第２高さとして測定し、
前記第１高さと前記第２高さとの差を沈み量として算出し、
前記沈み量に基づいて前記ワークの重量を算出し、
前記算出されたワーク重量に基づいて前記ステージの回転駆動あるいは水平移動の上限速度を決定し、
前記ステージの回転駆動あるいは水平移動の速度が前記上限速度を超えないように制御する
ことを特徴とする駆動ステージ装置の制御方法。
【請求項２】
ステージをエアベアリングで浮上させ、
前記エアベアリングで浮上した状態の前記ステージの高さを第１高さとして測定し、
前記ステージにワークを載置し、
前記ワークが載置された状態で前記ステージの高さを第２高さとして測定し、
前記第１高さと前記第２高さとの差を沈み量として算出し、
前記沈み量に基づいて前記ワークの重量を算出し、
前記算出されたワーク重量に基づいて前記ステージの回転駆動あるいは水平移動の加速度あるいは減速度のリミットを決定し、
前記ステージの回転駆動あるいは水平移動の加速度あるいは減速度が前記リミットを超えないように制御する
ことを特徴とする駆動ステージ装置の制御方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の駆動ステージ装置の制御方法において、
前記算出された前記ワークの重量を当該駆動ステージ装置の最大耐荷重と対比し、
前記算出された前記ワークの重量が前記最大耐荷重を超えている場合には、ユーザに報知する
ことを特徴とする駆動ステージ装置の制御方法。
【請求項４】
ワークを載せて回転する回転テーブルを有する回転テーブル装置と、前記ワークの表面を検出して前記ワークの形状を測定する座標測定部とを具備する形状測定装置の制御方法であって、
前記回転テーブルをエアベアリングで浮上させ、
前記エアベアリングで浮上した状態の前記回転テーブルの高さを第１高さとして測定し、
前記回転テーブルに前記ワークを載置し、
前記ワークが載置された状態で前記回転テーブルの高さを第２高さとして測定し、
前記第１高さと前記第２高さとの差を沈み量として算出し、
前記沈み量に基づいて前記ワークの重量を算出し、
前記算出されたワーク重量に基づいて前記回転テーブルの回転速度の上限を決定し、
前記回転テーブルの回転速度が前記上限を超えないように制御しながら、前記回転テーブルに載置された前記ワークの形状を前記座標測定部で測定する
ことを特徴とする形状測定装置の制御方法。
【請求項５】
ワークを載せて回転する回転テーブルを有する回転テーブル装置と、前記ワークの表面を検出して前記ワークの形状を測定する座標測定部とを具備する形状測定装置の制御方法であって、
前記回転テーブルをエアベアリングで浮上させ、
前記エアベアリングで浮上した状態の前記回転テーブルの高さを第１高さとして測定し、
前記回転テーブルに前記ワークを載置し、
前記ワークが載置された状態で前記回転テーブルの高さを第２高さとして測定し、
前記第１高さと前記第２高さとの差を沈み量として算出し、
前記沈み量に基づいて前記ワークの重量を算出し、
前記算出されたワーク重量に基づいて前記回転テーブルの回転の加速度あるいは減速度のリミットを決定し、
前記回転テーブルの回転の加速度あるいは減速度が前記リミットを超えないように制御しながら、前記回転テーブルに載置された前記ワークの形状を前記座標測定部で測定する
ことを特徴とする形状測定装置の制御方法。
【請求項６】
請求項４に記載の形状測定装置の制御方法において、
前記ワークの径と重量とに基づいて前記ワークの慣性モーメントを算出し、
前記ワークの前記慣性モーメントに基づいて前記回転テーブルの回転速度の前記上限を決定する
ことを特徴とする形状測定装置の制御方法。
【請求項７】
請求項５に記載の形状測定装置の制御方法において、
前記ワークの径と重量とに基づいて前記ワークの慣性モーメントを算出し、
前記ワークの前記慣性モーメントに基づいて前記回転テーブルの回転の加速度あるいは減速度の前記リミットを決定する
ことを特徴とする形状測定装置の制御方法。
【請求項８】
請求項４から請求項７のいずれかに記載の形状測定装置の制御方法において、
前記第２高さの測定後に該回転テーブル装置の心出しを実行する
ことを特徴とする形状測定装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動ステージ装置の駆動制御方法に関し、例えば、回転テーブルの駆動制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
形状測定装置として真円度測定装置が知られている（特許文献１）。真円度測定装置は、回転機構を有し、円形形体の測定対象物（以下、「ワーク」と称す）の半径変化を精密に測定する機能を有する。真円度測定装置の測定精度は回転テーブルの回転精度と密接に関連している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許３９４９９１０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
回転テーブルの回転がブレると、その分だけ形状測定の結果が劣化するのは当然である。したがって、回転テーブルには、回転精度を保証できる最大の耐荷重が設定されている。
耐荷重を超えるワークを回転テーブルに載せた状態で回転テーブルを駆動させてしまうと、回転精度が保証されないのはもちろんのこと、回転テーブルの内部機構を傷めてしまう原因にもなる。
しかしながら、耐荷重を超えるワークを真円度測定機で測定してしまう誤操作がしばしば生じる。
【０００５】
また、回転テーブルの回転制御においては、最大荷重のワークを想定した制御が常に適用されている。つまり、ワークの重量が最大耐荷重の場合であっても回転精度が保たれるように、回転テーブルをゆっくり加速していき、最大回転速さも十分に低めに設定しておき、さらに、ゆっくり減速して止める、という制御を行う。ワークが軽量であったとしても同じ制御を適用する。そのため、ワークが軽量の場合には測定時間が必要以上に長く掛かることになるが、回転テーブルの損傷を防ぐためにはやむ得ない処置であった。
【０００６】
回転テーブルを例に説明したが、上記の課題は、"回転"に限らず、対象物を載せた状態で移動する移動ステージ（ｍｏｔｉｏｎ  ｓｔａｇｅ）にも共通する課題である。
【０００７】
なお、回転軸を回転中心として回転テーブルを回転させる回転テーブル装置と、一次元または二次元方向に移動ステージを移動させる移動ステージ装置と、を総称して、駆動ステージ装置と称することにする。
【０００８】
本発明の目的は、ステージ上に載せられた対象物の重量などに応じ、適切な駆動制御を実現できる駆動ステージ装置の制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の駆動ステージ装置の制御方法は、
ステージをエアベアリングで浮上させ、
前記エアベアリングで浮上した状態の前記ステージの高さを第１高さとして測定し、
前記ステージにワークを載置し、
前記ワークが載置された状態で前記ステージの高さを第２高さとして測定し、
前記第１高さと前記第２高さとの差を沈み量として算出し、
前記沈み量に基づいて前記ワークの重量を算出し、
前記算出されたワーク重量に基づいて前記ステージの回転駆動あるいは水平移動の上限速度を決定し、
前記ステージの回転駆動あるいは水平移動の速度が前記上限速度を超えないように制御する
ことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の駆動ステージ装置の制御方法は、
ステージをエアベアリングで浮上させ、
前記エアベアリングで浮上した状態の前記ステージの高さを第１高さとして測定し、
前記ステージにワークを載置し、
前記ワークが載置された状態で前記ステージの高さを第２高さとして測定し、
前記第１高さと前記第２高さとの差を沈み量として算出し、
前記沈み量に基づいて前記ワークの重量を算出し、
前記算出されたワーク重量に基づいて前記ステージの回転駆動あるいは水平移動の加速度あるいは減速度のリミットを決定し、
前記ステージの回転駆動あるいは水平移動の加速度あるいは減速度が前記リミットを超えないように制御する
ことを特徴とする。
【００１１】
本発明の一実施形態では、
前記算出された前記ワークの重量を当該駆動ステージ装置の最大耐荷重と対比し、
前記算出された前記ワークの重量が前記最大耐荷重を超えている場合には、ユーザに報知する
ことが好ましい。
【００１２】
本発明の形状測定装置の制御方法は、
ワークを載せて回転する回転テーブルを有する回転テーブル装置と、前記ワークの表面を検出して前記ワークの形状を測定する座標測定部とを具備する形状測定装置の制御方法であって、
前記回転テーブルをエアベアリングで浮上させ、
前記エアベアリングで浮上した状態の前記回転テーブルの高さを第１高さとして測定し、
前記回転テーブルに前記ワークを載置し、
前記ワークが載置された状態で前記回転テーブルの高さを第２高さとして測定し、
前記第１高さと前記第２高さとの差を沈み量として算出し、
前記沈み量に基づいて前記ワークの重量を算出し、
前記算出されたワーク重量に基づいて前記回転テーブルの回転速度の上限を決定し、
前記回転テーブルの回転速度が前記上限を超えないように制御しながら、前記回転テーブルに載置された前記ワークの形状を前記座標測定部で測定する
ことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の形状測定装置の制御方法は、
ワークを載せて回転する回転テーブルを有する回転テーブル装置と、前記ワークの表面を検出して前記ワークの形状を測定する座標測定部とを具備する形状測定装置の制御方法であって、
前記回転テーブルをエアベアリングで浮上させ、
前記エアベアリングで浮上した状態の前記回転テーブルの高さを第１高さとして測定し、
前記回転テーブルに前記ワークを載置し、
前記ワークが載置された状態で前記回転テーブルの高さを第２高さとして測定し、
前記第１高さと前記第２高さとの差を沈み量として算出し、
前記沈み量に基づいて前記ワークの重量を算出し、
前記算出されたワーク重量に基づいて前記回転テーブルの回転の加速度あるいは減速度のリミットを決定し、
前記回転テーブルの回転の加速度あるいは減速度が前記リミットを超えないように制御しながら、前記回転テーブルに載置された前記ワークの形状を前記座標測定部で測定する
ことを特徴とする。
【００１４】
本発明の一実施形態では、
前記ワークの径と重量とに基づいて前記ワークの慣性モーメントを算出し、
前記ワークの前記慣性モーメントに基づいて前記回転テーブルの回転速度の前記上限を決定する
ことが好ましい。
【００１５】
また、本発明の一実施形態では、
前記ワークの径と重量とに基づいて前記ワークの慣性モーメントを算出し、
前記ワークの前記慣性モーメントに基づいて前記回転テーブルの回転の加速度あるいは減速度の前記リミットを決定する
ことが好ましい。
【００１６】
本発明の一実施形態では、
前記第２高さの測定後に該回転テーブル装置の心出しを実行する
ことが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】真円度測定装置の外観図である。
【図２】回転テーブル装置の内部構成図である。
【図３】ホストコンピュータとモーションコントローラの機能ブロック図である。
【図４】回転テーブル装置の駆動制御方法を説明するためのフローチャートである。
【図５】回転テーブル装置の駆動制御方法を説明するためのフローチャートである。
【図６】ワークが無い状態で回転テーブルがエアベアリングで浮上している様子を例示する図である。
【図７】ワークの重量で回転テーブルが少し沈んだ状態を例示する図である。
【図８】ワーク重量Ｍｗと回転テーブルの沈み量Ｄとの関係を例示する図である。
【図９】ワーク重量Ｍｗと回転テーブルの沈み量Ｄとの関係を例示する図である。
【図１０】ワーク重量Ｍと回転速度リミットとの関係を例示する図である。
【図１１】ワーク重量Ｍと加速度リミット（減速度リミット）との関係を例示する図である。
【図１２】ワークＷの径を検出する様子を例示した図である。
【図１３】移動ステージ装置を例示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
図１は、真円度測定装置の外観図である。
真円度測定装置１００は、測定機本体部２００と、モーションコントローラ１３０と、ホストコンピュータ１１０と、操作部１５０と、を備える。
【００１９】
測定機本体部２００は、基台２１０と、座標測定部３００と、回転テーブル装置４００と、を備える。
【００２０】
座標測定部３００は、Ｚ軸コラム３１０と、Ｚスライダ３２０と、Ｘアーム３３０と、ヘッドホルダ３４０と、プローブヘッド３５０と、を備える。
Ｚ軸コラム３１０は、Ｚ軸に平行に基台２１０上に立設されている。Ｚスライダ３２０は、Ｚ方向（上下方向）に移動可能にＺ軸コラム３１０に設けられている。Ｘアーム３３０は、Ｘ方向に進退可能にＺスライダ３２０に支持されている。ヘッドホルダ３４０はＬ字型の部材であって、ヘッドホルダ３４０の基端はＸアーム３３０の先端に取り付けられ、ヘッドホルダ３４０の先端にはプローブヘッド３５０が取り付けられている。
プローブヘッド３５０は、てこ式電気マイクロメータであり、ヘッドホルダ３４０の先端に取り付けられている。プローブヘッド３５０は、スタイラス３６０を有し、スタイラス３６０の先端にはワークに接触する測定子３６１が設けられている。（測定子は接触式に限らず、ワーク表面を検出できるものであればよい。非接触式の測定子としては、静電容量式や光学式（クロマチックポイントセンサ）などがある。）
【００２１】
なお、スタイラス３６０の角度、ヘッドホルダ３４０の倒れ角、Ｘアーム３３０の進退量、および、Ｚスライダ３２０の位置（昇降量）は、それぞれエンコーダ（不図示）で検出される。
【００２２】
回転テーブル装置４００は、回転テーブル４１０と、回転駆動部４２０と、を備える。
回転駆動部４２０は基台２１０上に設置され、円板状の回転テーブル４１０を回転させる。回転駆動部４２０の側面には調整用つまみ４３０が周方向に９０度間隔で配置されている。
調整用つまみ４３０を操作することにより回転テーブル４１０のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向の微小位置および微小傾きを調整できるようになっており、これにより、回転テーブル４１０の心出しおよび水平出しができるようになっている。
ワークをこの回転テーブル４１０の上にセットすると、回転テーブル４１０とともにワークが回転する。
【００２３】
回転駆動部４２０の構成を説明する。
図２は、回転駆動部４２０の構成図である。図中、下から上方向にＺ軸をとり、Ｚ軸に垂直な平面上に互いに直交するＹ軸およびＸ軸をとる。
【００２４】
回転駆動部４２０は、基台２１０上に設置されたハウジング４４０内に収納されている。そして、回転駆動部４２０は、ロータ４５０と、モータ４７０と、軸継手５００と、を備える。
【００２５】
ロータ４５０は、回転皿４５１と、ロータ軸４５２と、を有する。回転皿４５１は、円板状であり、その上面に回転テーブル４１０を載せられるようになっている。回転皿４５１の下面からＺ方向の下方に向けてロータ軸４５２が延出している。
【００２６】
なお、ロータ４５０は、円筒形状のロータ支持部４６０によって下支えされている。
ロータ軸４５２がロータ支持部４６０の筒孔４６１を挿通しているとともに、回転皿４５１はロータ支持部４６０の上面に乗っている。
そして、ロータ支持部４６０とロータ４５０との間には通気孔４６２からエアが供給され、エアベアリング４６３によってロータ４５０が軸受けされている。
【００２７】
モータ４７０は、ロータ４５０の下方に配置され、モータ４７０の出力軸４７１はＺ軸方向に延在している。
モータ出力軸４７１とロータ軸４５２とがほぼ同軸になるように、モータ４７０とロータ４５０とはお互いの位置が調整されている。モータ出力軸４７１には、ロータリーエンコーダ（不図示）が付設されている。
【００２８】
軸継手５００は、モータ出力軸４７１とロータ軸４５２とを連結する。軸継手５００は、モータ出力軸４７１とロータ軸４５２との間でＸ、Ｙ、Ｚ軸方向にスライドするスライド機構（不図示）を有し、モータ出力軸４７１とロータ軸４５２との軸ずれを吸収しながら原動軸（モータ出力軸４７１）から従動軸（ロータ軸４５２）に回転動力を伝達する。
【００２９】
図３にホストコンピュータ１１０とモーションコントローラ１３０の機能ブロック図を示す。
ホストコンピュータ１１０は、ＣＰＵ（中央処理装置）や所定プログラムを格納したＲＯＭ、ＲＡＭを有するいわゆるコンピュータ端末であって、モーションコントローラ１３０に所定の動作指令を与えるとともに、測定機本体部２００で取得されたデータに基づいてワークＷ（図７参照）の形状解析等の演算処理を実行する。さらに、ホストコンピュータ１１０は、回転テーブル４１０の回転速度の上限を設定するためのリミット演算部１２０を有している。
リミット演算部１２０は、沈み量算出部１２１と、重量算出部１２２と、リミット設定部１２３と、を有している。
各機能部の具体的な動作については、フローチャートを参照しながら後述する。
また、ホストコンピュータ１１０は、モニタやキーボード、マウスを介して入出力インターフェースをユーザに提供する。
【００３０】
モーションコントローラ１３０は、ホストコンピュータ１１０からの指令に基づき、測定機本体部２００の駆動制御を実行する。
モーションコントローラ１３０は、座標測定部３００に駆動指令を与える駆動指令部１３１と、回転テーブル装置４００を駆動制御するテーブル制御部１４０と、座標測定部３００および回転テーブル装置４００のエンコーダの検出値をカウントするカウンタ１３３と、備える。
テーブル制御部１４０は、ホストコンピュータ１１０からの指令に基づいてモータ４７０に駆動パルスを与え、ロータ４５０を回転させる。
ここで、テーブル制御部１４０は、回転テーブル４１０の回転速度および加減速度のリミットを記憶するリミット値記憶部１４１を有している。リミット値記憶部１４１に設定されるリミット値については、フローチャートを参照しながら後述する。
【００３１】
操作部１５０は、操作レバーや操作ボタンを有し、手動操作によってモーションコントローラ１３０に動作指令を与える。例えば、ユーザがレバーやボタンを手動操作することによって、回転テーブルの回転速度を調整する。
【００３２】
（回転テーブル装置の駆動リミット設定方法）
図４、図５のフローチャートを参照して本実施形態に係る回転テーブル装置の駆動制御方法を説明する。
具体的には、回転テーブル装置の回転速度の上限値、加減速時の加速度（減速度）の上限値（下限値）をワークに応じて自動設定する。
以下に説明する動作の各ステップは、ホストコンピュータ１１０がパートプログラムを読み込むことで自動実行される。
【００３３】
測定機本体部２００に電源投入して起動させる。すると、回転テーブル装置４００に所定圧の圧縮空気（エア）が供給される。
エアは通気孔４６２から噴気し、これによりロータ４５０が浮上する（ＳＴ１１０）。また、測定機本体部２００はＺスライダ３２０およびＸアーム３３０の原点を取得し、測定準備を行う。
（なお、エンコーダがアブソリュート型であれば、電源投入と同時に現在位置が取得される。）
【００３４】
続いて、測定機本体部２００はワーク重量の検出を行う（ＳＴ１２０）。
ワーク重量の検出動作を図５のフローチャートを参照しながら説明する。
今、回転テーブル４１０にワークＷが載っていない状態でロータ４５０が浮上している（図６参照）。
この状態で回転テーブル４１０の高さ（ｈ０：第１高さ）を測定する（ＳＴ１２１）。
回転テーブル４１０の高さの測定は、座標測定部３００の測定機能を使用する。すなわち、Ｚスライダ３２０をＺ軸コラム３１０に沿って降下させていって、プローブヘッド３５０が回転テーブル４１０の上面に接触したときのＺスライダ３２０の高さ（ｈ０）を検出すればよい。取得した検出値（ｈ０）は、リミット演算部１２０に送られて、一旦、沈み量算出部１２１に記憶される。
【００３５】
次に、オペレータは回転テーブル４１０上にワークＷを載置する（ＳＴ１２２）（図７参照）。
このとき、ワークＷの重みがエアベアリング４６３に掛かるので空気膜の厚みが変化し、回転テーブル４１０は少し沈む。
この状態で回転テーブル４１０の高さ（ｈｗ：第２高さ）を測定する（ＳＴ１２３）。取得した検出値（ｈｗ）は、リミット演算部１２０に送られて、一旦、沈み量算出部１２１に記憶される。
【００３６】
リミット演算部１２０は、取得された検出値ｈ０、ｈｗに基づいて、ワークＷの重量を算出する。
まず、沈み量算出部１２１は、ワークＷが無いときとワークＷが載ったときとのテーブル高さの差異（沈み量Ｄ）を算出する。
Ｄ＝ｈ０−ｈｗ
【００３７】
次に、重量算出部１２２は、この沈み量Ｄからワーク重量Ｍｗを求める。
ここで、エアベアリング４６３の空気圧が一定であれば、エアベアリング４６３の膜厚は回転テーブル４１０に載置されたワーク重量Ｍｗに応じて変化する。すなわち、エアベアリング４６３の空気圧を所定値で一定とすると、ワーク重量Ｍｗと沈み量Ｄとの関係は、例えば図８のグラフのようになる。そこで、図９のような沈み量Ｄとワーク重量との関係をグラフ、テーブルあるいは関係式として用意し、重量算出部１２２に格納しておく。
【００３８】
重量算出部１２２は、算出された沈み量Ｄ（ＳＴ１２４）からワーク重量Ｍｗを算出する（ＳＴ１２５）。このようにして求められたワーク重量Ｍｗは、リミット設定部１２３に送られる。
【００３９】
リミット設定部１２３には、ワーク重量リミット、回転速度リミット、加速度リミットおよび減速度リミットが予め設定記憶されている。
ワーク重量リミットは、回転テーブル装置４００の最大耐荷重のことであり、ワーク重量リミットを超えるワークＷを回転テーブル４１０に載せてはいけない。
回転速度リミット、加速度リミットおよび減速度リミットは、ワーク重量Ｍｗに応じて設定される。
例えば、ワークＷが軽量であれば、回転テーブル４１０を速く回転させたり、加減速度を大きくしたりしてもよい。一方、ワークＷが重たい場合、回転テーブル４１０をゆっくり回転させないと、回転テーブル装置４００が損傷してしまう。
そこで、図１０のようなワーク重量Ｍと回転速度リミットとの関係がグラフ、テーブルあるいは関係式として用意され、リミット設定部１２３に予め格納されている。同じく、図１１のようなワーク重量Ｍと加速度リミット（減速度リミット）との関係がグラフ、テーブルあるいは関係式として用意され、リミット設定部１２３に予め格納されている。
【００４０】
図４のフローチャートに戻って、リミット設定部１２３は、求められたワーク重量Ｍｗをワーク重量リミットＭｍａｘと対比してワークＷが制限値を超える重量オーバーか否か判定し（ＳＴ１３０）、重量オーバーになっていれば警告を発する（ＳＴ１３１）。
ワーク重量Ｍｗがワーク重量リミット以下であれば（ＳＴ１３０：ＮＯ）、リミット設定部１２３は、ワーク重量Ｍｗに応じた回転速度リミットＶｗ、加速度リミットＡｗおよび減速度リミットを決定する（ＳＴ１４０）。
（今回、減速度リミットは、加速度リミットＡｗと大きさが同じで符号が反対ということにする。）
リミット設定部１２３で設定されたリミット値Ｖｗ、Ａｗは、テーブル制御部１４０のリミット値記憶部１４１に格納される（ＳＴ１５０）。
【００４１】
このようにして、ワークＷに応じて回転テーブル４１０の回転速度の上限値、加速度（減速度）の上限値（下限値）が設定された。
このあと、真円度測定装置１００は、回転テーブル４１０でワークＷを回転させながらワークＷの形状を測定する。
このとき、テーブル制御部１４０は、回転テーブル４１０の回転速度や加速度が設定されたリミット値を超えないようにする。例えば、ユーザが操作部を用いた手動操作で回転テーブル４１０の回転を任意に操作することもあるが、その場合でも、設定されたリミット値以上の回転速度にならないようにする。これにより、回転テーブル装置４００が損傷しないように自動的に保護される。
【００４２】
ワークの形状測定にあたって、テーブル制御部１４０は前記設定されたリミット値を用いて回転テーブル装置を回転駆動するようにする。例えば、ワークが軽量であれば、それに応じて大きな加速度、速い回転速度で回転テーブル４１０を回転させる。これにより、形状測定の効率が向上する。
【００４３】
なお、オペレータが回転テーブル上にワークを載置したあと、回転体であるワークの軸心が鉛直かつ回転中心になるように自動調心する心出し機能があるが、心出しを行うのは、上述のリミット設定の後にしなければならない。心出しを先に行ってしまうと、ワークは垂直になるが、回転テーブル４１０の面はその分だけ傾くので、沈み量Ｄが正しく測定できなくなるからである。
【００４４】
（変形例１）
上記実施形態の説明では、回転テーブル４１０の沈み量Ｄからワーク重量を算出し、ワーク重量に応じた回転速度、加減速度をリミット値として求めた。
変形例として、ワークの慣性モーメントＩｗに応じた回転速度、加減速度をリミット値としてもよい。
例えば、図１２に例示するように、ワークＷの径（一例として最大径）を予め測定しておき、測定された径と上記実施形態で説明したように算出されたワークＷの重量とを用いてワークＷの慣性モーメントＩｗを概略算出する。算出された慣性モーメントＩｗに応じて回転速度、加減速度のリミット値を設定する。
（例えば、図１０および図１１において、ワーク重量を慣性モーメントに読み替えていただきたい。）
【００４５】
なお、ワークの径を取得するにあたっては、座標測定部３００の測定機能を用いて自動あるいは手動で測定してもよいし、それほど精密な値が必要というわけでもないのでオペレータが入力手段（キーボード等）で入力してもよい。
【００４６】
（変形例２）
上記実施形態の説明では、測定装置（真円度測定装置）が座標測定部３００を具備していたので、この座標測定部３００の測定機能を用いて回転テーブルの沈み量を検出（測定）したが、座標測定部の測定機能とは別に回転テーブルの沈み量を測定する測定器を回転テーブル装置に付設しておいてもよい。
例えば、歪みゲージやスケールを回転テーブル装置に組み込んで回転テーブルの沈み量を検出してもよい。
ただ、回転テーブルの駆動速度を適切に制御するという本発明の趣旨からいって、ワーク重量の検出精度は例えばｋｇ単位や１０ｋｇ単位でよいのであって、ワーク重量を精密に検出する必要はない。したがって、重量に特化した重量センサーを別途に付設するのではなく、形状測定装置が元来具備している座標測定機能を用いて回転テーブルの沈み量を検出するのがよい。
【００４７】
（変形例３）
上記実施形態では回転テーブル装置の回転速度を例に説明したが、駆動ステージとしては例えば図１３に例示するような移動ステージ装置３０もある。
移動ステージ装置は、移動ステージ３３をＸ駆動軸３５とＹ駆動軸３４とによって２次元的にスライド移動させるものである。
このとき、移動ステージ３３を滑らかに移動させるため、エアベアリングが用いられる。
上記実施形態と同じく、ワークが有るときと無いときとで移動ステージの沈み量を検出し、沈み量からワーク重量を算出し、ワーク重量に応じた移動速度および加減速度を算出するようにする。ワークの重量に応じて移動ステージ装置の駆動制御が行われるので、上記実施形態と同様に、測定効率の向上が図られる。
【００４８】
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
図１０や図１１において、ワーク重量に対して上限速度および上限加速度を単調減少する一次関数で規定する例を示したがこれは一例に過ぎない。ワーク重量に対して上限速度および上限加速度を規定するにあたっては、上に凸の曲線でも下に凸の曲線でもよいのはもちろんのことである。
【００４９】
上記実施形態の説明では、回転テーブル（移動ステージ）の速度および加減速度の両方を制限する例を説明したが、速度および加減速度のうちのいずれか一方だけをワーク重量（あるいは慣性モーメント）に応じて制限するようにしてもよいことはもちろんである。
【符号の説明】
【００５０】
３０…移動ステージ装置、３３…移動ステージ、３４…Ｙ駆動軸、３５…Ｘ駆動軸、１００…真円度測定装置、１１０…ホストコンピュータ、１２０…リミット演算部、１２１…沈み量算出部、１２２…重量算出部、１２３…リミット設定部、１３０…モーションコントローラ、１３１…駆動指令部、１３３…カウンタ、１４０…テーブル制御部、１４１…リミット値記憶部、１５０…操作部、２００…測定機本体部、２１０…基台、３００…座標測定部、３１０…Ｚ軸コラム、３２０…Ｚスライダ、３３０…Ｘアーム、３４０…ヘッドホルダ、３５０…プローブヘッド、３６０…スタイラス、３６１…測定子、４００…回転テーブル装置、４１０…回転テーブル、４２０…回転駆動部、４３０…調整用つまみ、４４０…ハウジング、４５０…ロータ、４５１…回転皿、４５２…ロータ軸、４６０…ロータ支持部、４６１…筒孔、４６２…通気孔、４６３…エアベアリング、４７０…モータ、４７１…モータ出力軸、５００…軸継手。
【図１】
2018179849.tif 000003
【図２】
2018179849.tif 000004
【図３】
2018179849.tif 000005
【図４】
2018179849.tif 000006
【図５】
2018179849.tif 000007
【図６】
2018179849.tif 000008
【図７】
2018179849.tif 000009
【図８】
2018179849.tif 000010
【図９】
2018179849.tif 000011
【図１０】
2018179849.tif 000012
【図１１】
2018179849.tif 000013
【図１２】
2018179849.tif 000014
【図１３】
2018179849.tif 000015