(57)【要約】【課題】ターンテーブルからクロスを容易に剥離することができるターンテーブル用クロスの剥離治具を提供する。【解決手段】ターンテーブル用クロスの剥離治具１０は、筒形状を有し、その外周に当該筒の軸線方向に延びるスリットが形成された巻取シリンダ１１と、巻取シリンダ１１の内部に配置され、スリットに挿入されるクロスの外周縁を挟持するクロス挟持部材１２と、巻取シリンダ１１の一端部に同軸状に延びるように取り付けられた延長バー１３と、延長バー１３の先端部に設けられ、巻取シリンダ１１を回転させるための回転治具１５と係合する係合部１４と、係合部１４に設けられ、回転治具１５を回転させる際に巻取シリンダ１１を支持するための持ち手１６と、を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒形状を有し、その外周に当該筒の軸線方向に延びるスリットが形成された巻取シリンダと、
前記巻取シリンダの内部に配置され、前記スリットに挿入されるクロスの外周縁を挟持するクロス挟持部材と、
前記巻取シリンダの一端部に同軸状に延びるように取り付けられた延長バーと、
前記延長バーの先端部に設けられ、前記巻取シリンダを回転させるための回転治具と係合する係合部と、
前記係合部に設けられ、前記回転治具を回転させる際に前記巻取シリンダを支持するための持ち手と、
を備えたことを特徴とするターンテーブル用クロスの剥離治具。
【請求項２】
前記係合部は、前記回転治具の回転トルクを低減させるギア付きレンチである
ことを特徴とする請求項１に記載のターンテーブル用クロスの剥離治具。
【請求項３】
前記クロス挟持部材は、前記クロスの外周縁をその上下から挟持する上部材および下部材を有し、
前記上部材および下部材の互いに対向する面には互いに噛合可能な歯が設けられている
ことを特徴とする請求項１または２に記載のターンテーブル用クロスの剥離治具。
【請求項４】
前記クロス挟持部材は、前記クロスの外周縁をその上下から挟持する上部材および下部材を有し、
前記上部材および下部材のいずれか一方には前記クロスの外周縁を挟持した際に当該クロスを突き破るピンが設けられており、他方には当該ピンが挿入されるピン挿入穴が形成されている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のターンテーブル用クロスの剥離治具。
【請求項５】
前記延長バーの軸線長さは、前記巻取シリンダの軸線方向の長さより長い
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のターンテーブル用クロスの剥離治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターンテーブルに貼り付けられたクロスを剥離するのに用いられるターンテーブル用クロスの剥離治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハの製造工程においては、半導体ウェハ表面を平坦且つ鏡面化するためにポリッシング装置が使用されている。この種のポリッシング装置は、各々独立した回転数で回転するターンテーブルとトップリングとを有し、トップリングに保持された半導体ウェハの表面をターンテーブル上に貼り付けられたクロスの表面（研磨面）に接触させ、砥液を供給しながらこれを研磨する。
【０００３】
ところで、ターンテーブル上のクロスは半導体ウェハを研磨する際に当該ターンテーブルから剥がれないように、当該ターンテーブル上に強固に接着されている。このため、クロスが摩耗して新規のクロスと貼り替える必要が生じた場合には、クロスを剥がすのに強い力が必要になる。
【０００４】
特許文献１および２には、従来のターンテーブル用クロスの剥離治具が開示されている。この剥離治具では、ラチェットハンドルを使用して巻取シリンダを回転させるようになっている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２１７１４８号公報
【特許文献２】特開平１０−２１７１４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１および２に開示された従来の剥離治具では、少なくともクロスの巻取開始時は、ラチェットハンドルが巻取シリンダの一端部に直接係合されるため、当該ラチェットハンドはポリッシングルーム内に配置されることになる。ポリッシングルーム内にはドレッサー、アトマイザ、トップリング、砥液ノズル等の多数の周辺機器が予め設置されているため、ラチェットハンドルを揺動させる際にラチェットハンドルが周辺機器に干渉する可能性がある。
【０００７】
したがって、従来の剥離治具では、ラチェットハンドルが周辺機器に干渉する直前までクロスを剥がしたら、ラチェットハンドルが周辺機器に干渉しなくなる位置までターンテーブルを回転させ、またラチェットハンドルが周辺機器に干渉する直前までターンテーブル用クロスを剥がしていく、という作業を何度も繰り返す必要があり、作業が煩雑であった。
【０００８】
また、ラチェットハンドルを揺動させる際に巻取シリンダが揺動したり傾いたりしないよう支えるためには、当該巻取シリンダに巻き取られたターンテーブル用クロスの接着面を、ラチェットハンドルを持つ手とは逆の手で押さえる以外に方法がなく、その手に嵌められたグローブが接着面に貼り付いたりして、作業がしにくかった。
【０００９】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたものである。本発明の目的は、ターンテーブルからクロスを容易に剥離することができるターンテーブル用クロスの剥離治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具は、
筒形状を有し、その外周に当該筒の軸線方向に延びるスリットが形成された巻取シリンダと、
前記巻取シリンダの内部に配置され、前記スリットに挿入されるクロスの外周縁を挟持するクロス挟持部材と、
前記巻取シリンダの一端部に同軸状に延びるように取り付けられた延長バーと、
前記延長バーの先端部に設けられ、前記巻取シリンダを回転させるための回転治具と係合する係合部と、
前記係合部に設けられ、前記回転治具を回転させる際に前記巻取シリンダを支持するための持ち手と、
を備える。
【００１１】
本発明によれば、回転治具を回転させる際に回転治具を持つ手とは逆の手で持ち手を支えることで、巻取シリンダに巻き取られたクロスの接着面に触れることなく、巻取シリンダの姿勢および位置を一定に保つことができる。これにより、回転治具の回転の影響で巻取シリンダが揺動したり傾いたりすることなく、ターンテーブルからクロスを容易に剥離することができる。また、回転治具および持ち手が延長バーの先端部に取り付けられているため、回転治具を回転させる際にそれらをポリッシングルームの外側にはみ出させておくことが可能である。この場合、回転治具をポリッシングルーム内の周辺機器と干渉させることなく回転させてクロスを連続して剥ぎ取っていくことができ、ターンテーブルを途中で何度も回転させる作業が不要になる。
【００１２】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具において、前記係合部は、前記回転治具の回転トルクを低減させるギア付きレンチであってもよい。
【００１３】
このような態様によれば、回転治具を回転させるのに要する力が低減され、ターンテーブルからクロスを一層容易かつ確実に剥離することができる。
【００１４】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具において、前記クロス挟持部材は、前記クロスの外周縁をその上下から挟持する上部材および下部材を有し、前記上部材および下部材の互いに対向する面には互いに噛合可能な歯が設けられていてもよい。
【００１５】
このような態様によれば、クロスが上部材の歯と下部材の歯との間に挟み込まれることで、クロスがクロス挟持部材に強固に固定され、巻取シリンダの回転の途中でクロスがクロス挟持部材から抜け落ちることを防止できる。
【００１６】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具において、前記クロス挟持部材は、前記クロスの外周縁をその上下から挟持する上部材および下部材を有し、前記上部材および下部材のいずれか一方には前記クロスの外周縁を挟持した際に当該クロスを突き破るピンが設けられており、他方には当該ピンが挿入されるピン挿入穴が形成されていてもよい。
【００１７】
このような態様によれば、ピンがクロスを突き破ることで、クロスがクロス挟持部材に強固に固定され、巻取シリンダの回転の途中でクロスがクロス挟持部材から抜け落ちることを防止できる。
【００１８】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具において、前記延長バーの軸線長さは、前記巻取シリンダの軸線方向の長さより長くてもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ターンテーブルからクロスを容易に剥離することができるターンテーブル用クロスの剥離治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態による剥離治具がターンテーブル上に配置された状態を示す概略図である。
【図２】図２は、図１に示す剥離治具の分解斜視図である。
【図３】図３は、図２に示す剥離治具のクロス挟持部材を拡大して示す斜視図である。
【図４】図４は、図３に示すクロス挟持部材の縦断面図である。
【図５】図５は、図２に示す剥離治具の巻取シリンダを拡大して示す斜視図である。
【図６】図６は、図５に示す巻取シリンダを異なる角度から見た斜視図である。
【図７】図７は、巻取シリンダの内部にクロス挟持部材が配置された状態を示す内部正面図である。
【図８】図８は、巻取シリンダの内部にクロス挟持部材が配置された状態を示す内部側面図である。
【図９】図９は、図１に示す剥離治具の使用方法を説明するための模式図である。
【図１０】図１０は、図１に示す剥離治具の使用方法を説明するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示の理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２２】
図１は、本発明の一実施の形態による剥離治具がターンテーブル上に配置された状態を示す概略図である。図２は、図１に示す剥離治具の分解斜視図である。
【００２３】
図１および図２に示すように、剥離治具１０は、筒形状を有する巻取シリンダ１１と、巻取シリンダ１１の内部に配置されるクロス挟持部材１２と、巻取シリンダ１１の一端部に取り付けられた延長バー１３と、延長バー１３の先端部に設けられた係合部１４と、係合部１４に係合する回転治具１５と、持ち手１６と、を備えている。以下、各構成部品について説明する。
【００２４】
図３は、クロス挟持部材１２を拡大して示す斜視図である。図４は、クロス挟持部材１２の縦断面図である。
【００２５】
図３および図４に示すように、クロス挟持部材１２は、上部材２１および下部材２２と、上部材２１および下部材２２を固定する２本の固定用ネジ２３、２４とを有している。
【００２６】
このうち上部材２１は、金属製であって細長平板形状を有しており、その長手方向両端近傍に固定用ネジ２３、２４を挿通する貫通孔２１ｃが形成されている。また、上部材２１の一側辺中央には舌片状に突出する挟持部分２１ａが設けられている。この挟持部分２１ａの下面には多数の平行な凹凸溝からなる歯２１ｂが形成されている。また、挟持部分２１ａの上面中央には上下に貫通する確認孔２５が形成されている。
【００２７】
一方、下部材２２は、金属製であって細長平板形状を有しており、その長手方向両端近傍に固定用ネジ２３、２４と螺合する螺合孔２２ｃが形成されている。また、下部材２２の一側辺中央には舌片状に突出する挟持部分２２ａが設けられている。この挟持部分２２ａの上面には多数の平行な凹凸溝からなる歯２２ｂが形成されている。上部材２１の歯２１ｂと下部材２２の歯２２ｂとは互いに噛合可能となっている。
【００２８】
図示された例では、固定用ネジ２３、２４は、その頭部が指で直接回動できるように、いわゆる蝶ネジタイプに形成されている。
【００２９】
図５は、巻取シリンダ１１を拡大して示す斜視図である。図６は、巻取シリンダ１１を図５とは異なる角度から見た斜視図である。図７は、巻取シリンダ１１の内部にクロス挟持部材１２が配置された状態を示す内部正面図である。図８は、巻取シリンダ１１の内部にクロス挟持部材１２が配置された状態を示す内部側面図である。
【００３０】
図５〜図８に示すように、巻取シリンダ１１は、金属製であって筒形状を有しており、その内部の空洞はクロス挟持部材１２を収納可能な内径を有している。
【００３１】
巻取シリンダ１１の外周には、筒の軸線方向に沿って延びる１本の長尺のスリット１１ａが形成されている。また、巻取シリンダ１１の一端面の中央部分には、矩形孔状の延長バー取付部１１ｂが設けられている。
【００３２】
図１および図２に示すように、延長バー１３は、金属製であって棒形状を有しており、巻取シリンダ１１の延長バー取付部１１ｂに同軸状に延びるように取り付けられている。図示された例では、延長バー１３の長さは巻取シリンダ１１の長手方向の長さより長く、巻取シリンダ１１をターンテーブル５１の中心に位置決めする際に延長バー１３の先端部がポリッシングルーム５２の外側にはみ出るようになっている（図１参照）。
【００３３】
延長バー１３の先端部には、巻取シリンダ１１を回転させるための回転治具１５と係合する係合部１４が設けられている。
【００３４】
本実施の形態では、係合部１４として、遊星歯車機構を有するギア付きレンチ（パワーレンチ、倍力レンチともいう）が用いられており、回転治具１５の回転トルクを低減できるようになっている。ギアの減速比は例えば４である。
【００３５】
回転治具１５として、具体的には、たとえばラチェットハンドルが用いられる。以下、「ラチェットハンドル」に符号１５を付して説明することがある。
【００３６】
図１および図２に示すように、係合部１４には、ラチェットハンドル１５を揺動させる際に巻取シリンダ１１を支持するための持ち手１６が設けられている。
【００３７】
次に、このような構成からなる剥離治具１０の使用方法を説明する。
【００３８】
まず、図９に示すように、ポリッシング装置５０のポリッシングルーム５２の扉５３が開放され、ターンテーブル５１の上面に貼り付けられている円板状のクロス５５の外周縁の一部が少しだけ剥がされる。そして、当該クロス５５の剥がされた部分がクロス挟持部材１２の上部材２１の歯２１ｂおよび下部材２２の歯２２ｂで挟み込まれる（図３および図４参照）。
【００３９】
次いで、固定用ネジ２３、２４が上部材２１の貫通孔２１ｃに挿通され、下部材２２の螺合孔２２ｃにねじ込まれることで、上部材２１の歯２１ｂと下部材２２の歯２２ｂとの間にクロス５５が強固に挟み込まれる。このとき上部材２１の挟持部分２１ａおよび下部材２２の挟持部分２２ａはいずれも、固定用ネジ２３、２４の取り付け位置からクロス５５側に突出しているため、たとえクロス挟持部材１２の長さ寸法が短くなったとしても、クロス５５が固定用ネジ２３、２４に当接して上部材２１の挟持部分２１ａと下部材２２の挟持部分２２ａとの間に十分挿入できなくなることはなく、その挟持を確実に行うことができる。
【００４０】
また、図３に示すように、上部材２１に形成された確認孔２５から、挟持されたクロス５５を目視できるため、クロス５５がクロス挟持部材１２内にどの程度挿入されているかを即座に判断することができる。
【００４１】
次に、クロス５５を挟持したクロス挟持部材１２が、巻取シリンダ１１の内部に挿入される。このとき、クロス５５が巻取シリンダ１１のスリット１１ａ内に挿入される。
【００４２】
以上のようにクロス挟持部材１２にクロス５５の外周縁が固定され、さらにクロス挟持部材１２が巻取シリンダ１１内にセットされる作業は、図９に示すように作業者の手前側のクロスについて行われてもよいし、（図示は省略するが）作業者の向こう側のクロスについて行われてもよい。図９に示すように作業者の手前側のクロスについて行われた方が作業性がよい。
【００４３】
次に、ターンテーブル５１が図９における矢印Ａの方向に回転され、巻取シリンダ１１の延長バー取付部１１ｂ側の一端部が、開放された扉５３側に向けられる。そして、図１０に示すように、延長バー１３がポリッシングルーム５２内に挿入され、巻取シリンダ１１の延長バー取付部１１ｂに取り付けられる。このとき、延長バー１３の先端部の係合部１４は、ポリッシングルーム５２の外側にはみ出されるようになっており、係合部１４に取り付けられた持ち手１６およびラチェットハンドル１５は、ポリッシングルーム５２の外側に位置決めされる。
【００４４】
次いで、持ち手１６が一方の手で支えられながら、他方の手でラチェットハンドル１５が揺動されると、巻取シリンダ１１が一方向（図１０における矢印Ｂの方向）に回転され、巻取シリンダ１１の外周にクロス５５が巻き付けられていく。この作業はテコの原理によって弱い力でも容易かつ確実に行うことができる。
【００４５】
ところで、発明が解決しようとする課題の欄でも言及したように、従来の剥離治具では、少なくとも巻取開始時は、ラチェットハンドルが巻取シリンダの一端部に直接係合されるため、ラチェットハンドルを揺動させる際にラチェットハンドルが周辺機器に干渉する可能性がある。そのため、従来の剥離治具では、ラチェットハンドルが周辺機器に干渉する直前までクロスを剥がしたら、ラチェットハンドルが周辺機器に干渉しなくなる位置までターンテーブルを回転させ、またラチェットハンドルが周辺機器に干渉する直前までターンテーブル用クロスを剥がしていく、という作業を何度も繰り返す必要があり、作業が煩雑であった。
【００４６】
また、従来の剥離治具では、ラチェットハンドルを揺動させる際に巻取シリンダが揺動したり傾いたりしないよう支えるためには、当該巻取シリンダに巻き取られたターンテーブル用クロスの接着面を、ラチェットハンドルを持つ手とは逆の手で押さえる以外に方法がなく、その手に嵌められたグローブが接着面に貼り付いたりして、作業がしにくかった。
【００４７】
一方、本実施の形態によれば、ラチェットハンドル１５を揺動させる際にラチェットハンドル１５を持つ手とは逆の手で持ち手１６を支えることで、巻取シリンダ１１に巻き取られたクロス５５の接着面に触れることなく、巻取シリンダ１１の姿勢および位置を一定に保つことができる。これにより、ラチェットハンドル１５の揺動の影響で巻取シリンダ１１が揺動したり傾いたりすることなく、ターンテーブル５１からクロス５５を容易に剥離することができる。
【００４８】
また、本実施の形態によれば、ラチェットハンドル１５および持ち手１６が延長バー１３の先端部に設けられているため、ラチェットハンドル１５を揺動させる際にそれらをポリッシングルーム５２の外側にはみ出させておくことが可能である。この場合、ラチェットハンドル１５をポリッシングルーム５２内の周辺機器と干渉させることなく揺動させてクロス５５を連続して剥ぎ取っていくことができ、ターンテーブル５１を途中で何度も回転させる作業が不要になる。
【００４９】
また、本実施の形態によれば、係合部１４がラチェットハンドル１５の回転トルクを低減させるギア付きレンチであるため、ラチェットハンドル１５を回すのに要する力が低減され、ターンテーブル５１からクロス５５を一層容易かつ確実に剥離することができる。
【００５０】
また、本実施の形態によれば、クロス５５がクロス挟持部材１２の上部材２１の歯２１ｂと下部材２２の歯２２ｂとの間に挟み込まれることで、クロス５５がクロス挟持部材１２に強固に固定され、巻取シリンダ１１の回転の途中でクロス５５がクロス挟持部材１２から抜け落ちることを防止できる。
【００５１】
以上、本発明の実施形態を詳細に説明したが、本発明はこの実施形態に限定されず、例えば以下のような変形が可能である。
【００５２】
上記実施形態では上部材２１および下部材２２の挟持部分２１ａ、２２ａにそれぞれ凹凸溝からなる歯２１ｂ、２２ｂが設けられていたが、その代わりに、一方にはクロス５５の外周縁を挟持した際に当該クロス５５を突き破るピンが設けられ、他方には当該ピンが挿入されるピン挿入穴が形成されていてもよい。またその他の構造の挟持面（例えば摩擦面を有する部材を貼り付けるなど）としてもよく、場合によっては凹凸溝からなる歯２１ｂ、２２ｂやピン等は何ら設けられていなくてもよい。
【００５３】
また、上記実施形態ではクロス挟持部材１２と巻取シリンダ１１とは別部材であったが、これらは一体としてもよい。すなわち、たとえば巻取シリンダの内周面から２枚の近接する舌片を突出させ、スリットを挿通されたクロスの端をこの舌片で挟持し、その後にこの舌片同士をネジなどで圧接するようにしてもよい。
【００５４】
また、上記実施形態ではクロス挟持部材１２と巻取シリンダ１１とをいずれも金属製としたが金属以外の材料で構成してもよい。
【００５５】
また、上記実施形態では固定用ネジ２３、２４として蝶ネジが用いられたが、他の形状構造のネジが用いられてもよいことは言うまでもない。また、上部材２１と下部材２２とを固定するのは必ずしも固定用ネジ２３、２４である必要はなく、ボルト・ナットなど、他の固定手段でもよい。また、上部材２１および下部材２２の一端をヒンジ構造とすれば、固定用ネジ２３、２４はヒンジ構造の反対側に１本取り付ければよい。
【００５６】
また、上記実施形態では巻取シリンダ１１を回転させるための回転治具としてラチェットハンドルが用いられたが、円形のハンドルなど他の形状構造の回転治具が用いられてもよい。
【００５７】
また、上記実施形態では剥離治具１０がターンテーブル用クロス５５を剥離するために用いられたが、ビニル床材や壁紙クロスを剥がすために用いられてもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１０    剥離治具
１１    巻取シリンダ
１１ａ  スリット
１１ｂ  延長バー取付部
１２    クロス挟持部材
１３    延長バー
１４    係合部
１５    ラチェットハンドル（回転治具）
１６    持ち手
２１    上部材
２１ａ  挟持部分
２１ｂ  歯
２１ｃ  螺合孔
２２    下部材
２２ａ  挟持部分
２２ｂ  歯
２２ｃ  螺合孔
２３    固定用ネジ
２４    固定用ネジ
２５    確認孔
５０    ポリッシング装置
５１    ターンテーブル
５２    ポリッシングルーム
５３    扉
５５    クロス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018001386.tif 000009
【図８】
2018001386.tif 000010
【図９】
2018001386.tif 000011
【図１０】
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