(57)【要約】【課題】ダイシング時にダイシングテープからテープ屑が発生することを防止することができるようにする。【解決手段】回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を分割する際、半導体基板の断面幅と保護膜の断面幅が異なる部分を有するようにダイシングが行われる。本技術は、例えば、ウエハレベルCSPの製造工程等に適用できる。【選択図】図５
2018006591.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を分割する際、前記半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分を有するように分割する
半導体装置の製造方法。
【請求項２】
ダイシングテープが貼り付けられる前記保護膜に対してダイシングラインに沿ってスリットを形成した後、前記スリットに到達する位置まで前記半導体基板をブレードで切削する
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
ダイシングテープが貼り付けられる前記保護膜と前記半導体基板に対してダイシングラインに沿ってスリットを形成した後、前記スリットに到達する位置まで前記半導体基板をブレードで切削する
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記ブレードで切削する半導体基板の面は、前記スリットを形成した面と反対側の面である
請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記スリットの幅は、ブレードで切削される幅よりも狭い
請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
フォトリソグラフィ技術を用いて、前記スリットを形成する
請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
ドライエッチングを用いて、前記スリットを形成する
請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
ブレードで切削する工程の後に、ウェットエッチングを用いて前記スリットの幅を拡げる
請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
ブレードで切削する工程の後に、前記ブレードの切削幅と同じになるように、前記スリットの幅を拡げる
請求項８に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１０】
ブレードで切削する工程の後に、前記ブレードの切削幅よりも広くなるように、前記スリットの幅を拡げる
請求項８に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記半導体装置は固体撮像装置である
請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を備え、
前記半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分を有する
半導体装置。
【請求項１３】
回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を備え、
前記半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分を有する
半導体装置
を備える電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本技術は、半導体装置およびその製造方法、並びに電子機器に関し、特に、ダイシング時にダイシングテープからテープ屑が発生することを防止することができるようにした半導体装置およびその製造方法、並びに電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハレベルCSP（Chip Size Package）では、ウエハの状態で再配線や端子（電極パッド）が形成された後、チップサイズに個片化される。ウエハ状態からチップ状態への個片化には、高速回転しているブレードでウエハをチップサイズに切削加工するブレードダイシングが用いられる。
【０００３】
ブレードダイシングでは、例えば、特許文献１に開示されるように、ダイシングテープ上にダイボンディングフィルムと半導体ウエハとを固定した状態で、ダイボンディングフィルムと半導体ウエハがブレードでチップサイズに分割される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−２０３９２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ダイシングテープとダイボンディングフィルムはどちらも樹脂材料であるため、ダイシング時にダイシングテープから発生するテープ屑がブレードによって巻き上げられ、ダイボンディングフィルムの側面に付着することがある。この付着したテープ屑は、後で脱落してダスト不良の原因となる。
【０００６】
本技術は、このような状況に鑑みてなされたものであり、ダイシング時にダイシングテープからテープ屑が発生することを防止することができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本技術の第１の側面の半導体装置の製造方法は、回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を分割する際、前記半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分を有するように分割する。
【０００８】
本技術の第２の側面の半導体装置は、回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を備え、前記半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分を有する。
【０００９】
本技術の第３の側面の電子機器は、回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を備え、前記半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分を有する半導体装置を備える。
【００１０】
本技術の第１乃至第３の側面においては、回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分が形成される。
【００１１】
半導体装置及び電子機器は、独立した装置であっても良いし、他の装置に組み込まれるモジュールであっても良い。
【発明の効果】
【００１２】
本技術の第１乃至第３の側面によれば、ダイシング時にダイシングテープからテープ屑が発生することを防止することができる。
【００１３】
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】ウエハレベルCSPと呼ばれる半導体チップの概略の工程を説明する図である。
【図２】個片化の一般的な工程を説明する図である。
【図３】テープ屑の付着に起因するダスト不良を説明する図である
【図４】本技術を適用した第１のダイシング方法を説明する図である。
【図５】本技術を適用した第１のダイシング方法を説明する図である。
【図６】第１のダイシング方法によって個片化された半導体チップの概略断面図である。
【図７】第１のダイシング方法の変形例を示す図である。
【図８】第２のダイシング方法の概要を説明する図である。
【図９】半導体基板の所定の深さまでスリットSLを形成する第１の方法を説明する図である。
【図１０】半導体基板の所定の深さまでスリットSLを形成する第２の方法を説明する図である。
【図１１】第２のダイシング方法によって個片化された半導体チップの概略断面図である。
【図１２】個片化された半導体チップが固体撮像装置である場合の概略構造を示す図である。
【図１３】本技術を適用した電子機器としての撮像装置の構成例を示すブロック図である。
【図１４】固体撮像装置を用いたイメージセンサの使用例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本技術を実施するための形態（以下、実施の形態という）について説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．ウエハレベルCSPの概略工程と問題点
２．第１のダイシング方法
３．第２のダイシング方法
４．固体撮像装置の概略構成例
【００１６】
＜１．ウエハレベルCSPの概略工程と問題点＞
図１は、ウエハレベルCSPと呼ばれる半導体チップ（半導体装置）の概略の工程を説明する図である。
【００１７】
ガラス積層ウエハ１４は、図１に示されるように、ウエハ状態のまま、集積回路、再配線、端子（電極パッド）などがチップ単位で複数形成された半導体基板１１に、シール樹脂１２とガラス基板１３が積層された半導体ウエハである。半導体基板１１の破線は、行列状に配列されたチップどうしの境界を示している。
【００１８】
ウエハレベルCSPと呼ばれる半導体チップ２１は、ウエハ状態のガラス積層ウエハ１４を、チップサイズに分割して個片化することで作製される。
【００１９】
チップ分割工程では、例えば、図２に示されるように、半導体基板１１上に形成された再配線層などの回路面を保護する保護膜３１の上面に、ダイシングテープ３２を貼り付けた後、ダイシングライン３３に沿ってブレード３４で切削加工することで、ウエハ状態のガラス積層ウエハ１４が個々の半導体チップ２１へ分割される。ダイシングライン３３とは、ダイシングストリート（スクライブライン）の中央部に相当する線である。
【００２０】
保護膜３１とダイシングテープ３２の材料には、どちらも樹脂材料が用いられるため、図３に示されるように、ダイシングテープ３２の切削時に発生するダイシングテープ３２のテープ屑３５が保護膜３１の側面に付着することがある。この保護膜３１の側面に付着したテープ屑３５は、後で脱落してダスト不良の原因となる。したがって、テープ屑３５の発生しないダイシング方法が望まれている。
【００２１】
そこで、以下では、テープ屑３５が発生することを防止したダイシング方法について説明する。なお、以下の説明では、図１乃至図３で説明した部分と対応する部分については同一の符号を付すこととし、その部分の説明は適宜省略する。
【００２２】
＜２．第１のダイシング方法＞
図４及び図５を参照して、本技術を適用した第１のダイシング方法を説明する。
【００２３】
まず、図４のAに示されるように、ガラス積層ウエハ１４を構成する半導体基板１１のシール樹脂１２側とは反対側の面に、再配線や端子などの回路面を保護する保護膜３１が、スピンコート法などを用いて形成される。保護膜３１の材料には、例えば、感光性レジストなどの樹脂材料が用いられる。
【００２４】
そして、図４のBに示されるように、ダイシングライン３３を中心とする所定幅の領域が遮光されたマスク４１を介して、保護膜３１に対して光が照射される。
【００２５】
マスク４１を通過して光が照射された領域の保護膜３１は硬化され、光が照射されないマスク領域の保護膜３１は硬化されないため、図４のCに示されるように、保護膜３１に、ダイシングライン３３を中心とする所定幅のスリットSLが形成される。スリットSLの平面形状は、図１の半導体基板１１において破線で示したチップどうしの境界と同じ格子状となる。スリットSLの幅SL_Wは、後述するブレード３４の切削幅よりも狭い、例えば、５乃至３０μｍ程度に設定される。
【００２６】
なお、図４のCのスリットSLは、半導体基板１１が露出するまで保護膜３１が開口されているが、半導体基板１１に接する保護膜３１の一部は残すようにしてもよい。言い換えれば、スリットSLの深さが、保護膜３１の全膜厚T1に対して、最表面から所定の深さT2（T2＜T1）となるように形成してもよい。
【００２７】
次に、図５のAに示されるように、スリットSLが形成された保護膜３１の上面にダイシングテープ３２が貼り付けられ、ガラス積層ウエハ１４全体が反転される。
【００２８】
そして、図５のBに示されるように、ダイシング装置のブレード３４の深さ（ブレードハイト）が、スリットSLに到達し、かつ、ダイシングテープ３２に到達しない位置に設定され、平面方向についてはダイシングライン３３に沿って切削加工される。
【００２９】
ブレード３４がスリットSLに到達する位置で切削した結果、図５のCに示されるように、ウエハ状態のガラス積層ウエハ１４が、個々の半導体チップ２１に分割される。ブレード３４で切削されて形成されたブレード幅BLは、例えば、３５乃至６０μｍ程度となっている。
【００３０】
以上のように、第１のダイシング方法では、フォトリソグラフィ技術を用いて、ダイシングテープ３２が貼り付けられる保護膜３１に対してダイシングラインに沿ってスリットSLを形成した後、ダイシング装置が、スリットSLに到達する位置まで半導体基板１１と保護膜３１をブレード３４で切削する。
【００３１】
この第１のダイシング方法によれば、ブレード３４はダイシングテープ３２に到達せず、スリットSLに到達する深さで切削すればよいので、ダイシングテープ３２を切削することがなく、ダイシングテープ３２のテープ屑３５は発生しない。従って、ダイシング時にダイシングテープ３２からテープ屑３５が発生することを防止することができる。
【００３２】
図６は、第１のダイシング方法によって個片化された半導体チップ２１の概略断面図を示している。
【００３３】
第１のダイシング方法によって個片化された半導体チップ２１は、スリットSLによって分割された部分と、ブレード３４によって分割された部分とがあるので、保護膜３１の断面幅に広い部分と狭い部分とがある。保護膜３１の断面幅の狭い方が、半導体基板１１の断面幅と同じ幅となるので、保護膜３１の断面幅は、半導体基板１１の断面幅よりも広い部分を有する。
【００３４】
＜変形例＞
図７のA及びBは、上述した第１のダイシング方法の変形例を示している。
【００３５】
上述した第１のダイシング方法によれば、スリットSLによって分割された部分と、ブレード３４によって分割された部分とがあることで、保護膜３１の断面幅が広い部分と狭い部分とがあった。
【００３６】
そこで、例えば、図５のBに示した、ブレード３４でダイシングライン３３に沿って切削する工程の後に、保護膜３１のスリットSLの側面をウェットエッチングすることで、図７のAに示されるように、スリットSLの幅SL_Wがブレード幅BLと同じになるように、段差を除去する工程を追加してもよい。
【００３７】
また、段差を除去する工程では、図７のBに示されるように、保護膜３１のスリットSLの幅SL_Wがブレード幅BLよりも広くなるように、保護膜３１のスリットSLの側面をウェットエッチングしてもよい。
【００３８】
このように、ブレード３４で切削する工程の後に、ウェットエッチングを用いて、スリットSLの幅SL_Wを拡げてもよい。
【００３９】
＜３．第２のダイシング方法＞
次に、本技術を適用した第２のダイシング方法を説明する。
【００４０】
図８は、第２のダイシング方法の概要を説明する図である。
【００４１】
上述した第１のダイシング方法では、スリットSLが形成される部分が、保護膜３１の層だけであったが、第２のダイシング方法では、図８に示されるように、保護膜３１の層に加えて、半導体基板１１の所定の深さまで、スリットSLが形成される。
【００４２】
このように、半導体基板１１の所定の深さまでスリットSLを形成する方法としては、２種類の方法が採用できる。
【００４３】
初めに、図９を参照して、半導体基板１１の所定の深さまでスリットSLを形成する第１の方法について説明する。
【００４４】
まず、図９のAに示されるように、第１のダイシング方法の図４のBと同様に、マスク４１を用いて保護膜３１に光を照射することにより、保護膜３１のダイシングライン３３を中心とする所定領域にスリットSLが形成される。この時点でのスリットSLの深さは、保護膜３１の膜厚と同じ深さとなっている。
【００４５】
次に、図９のBに示されるように、スリットSLが形成された保護膜３１をマスクとして、ドライエッチングによって、半導体基板１１の所定の深さまで、スリットSLがさらに掘り込まれる。
【００４６】
その後、図９のCに示されるように、図５のA乃至Cを参照して説明した第１のダイシング方法と同様に、スリットSLが形成された保護膜３１の上面にダイシングテープ３２を貼り付けてガラス積層ウエハ１４全体を反転させてから、ダイシング装置が、ダイシングテープ３２より手前のスリットSLに到達する位置にブレードハイトを設定し、ブレード３４（不図示）で半導体基板１１を切削する。これにより、図８に示したように、ウエハ状態のガラス積層ウエハ１４が、個々の半導体チップ２１に分割される。
【００４７】
次に、図１０を参照して、半導体基板１１の所定の深さまでスリットSLを形成する第２の方法について説明する。
【００４８】
まず、図１０のAに示されるように、ガラス積層ウエハ１４を構成する半導体基板１１のシール樹脂１２側とは反対側の面に保護膜３１を形成し、その保護膜３１の上面にレジスト６１が塗布される。そして、レジスト６１が、ダイシングライン３３を中心とする所定幅の領域が開口されるようにパターニングされる。
【００４９】
次に、図１０のBに示されるように、パターニングされたレジスト６１をマスクとして、半導体基板１１の所定の深さまでドライエッチングすることによって、保護膜３１を貫通し、半導体基板１１の所定の深さまで掘り込まれたスリットSLが形成される。
【００５０】
その後は、図１０のCに示されるように、図５のA乃至Cを参照して説明した第１のダイシング方法と同様に、スリットSLが形成された保護膜３１の上面にダイシングテープ３２を貼り付けてガラス積層ウエハ１４全体を反転させてから、ダイシング装置が、ダイシングテープ３２より手前のスリットSLに到達する位置にブレードハイトを設定し、ブレード３４（不図示）で半導体基板１１を切削する。これにより、図８に示したように、ウエハ状態のガラス積層ウエハ１４が、個々の半導体チップ２１に分割される。
【００５１】
以上のように、第２のダイシング方法では、フォトリソグラフィ技術とドライエッチングを用いて、ダイシングテープ３２が貼り付けられる保護膜３１と半導体基板１１に対してダイシングラインに沿ってスリットSLを形成した後、ダイシング装置が、スリットSLに到達する位置まで半導体基板１１をブレード３４で切削する。ブレード３４で切削する半導体基板１１の面は、スリットSLを形成した面と反対側の面である。
【００５２】
図１１は、第２のダイシング方法によって個片化された半導体チップ２１の概略断面図を示している。
【００５３】
第２のダイシング方法によって個片化された半導体チップ２１は、スリットSLによって分割された部分と、ブレード３４によって分割された部分とがあるので、半導体基板１１の断面幅に広い部分と狭い部分とがある。半導体基板１１の断面幅の広い方が、保護膜３１の断面幅と同じ幅となるので、半導体基板１１の断面幅は、保護膜３１の断面幅よりも狭い部分を有する。
【００５４】
従って、第１及び第２のダイシング方法のどちらを用いてガラス積層ウエハ１４を分割した場合であっても、半導体チップ２１は、半導体基板１１の断面幅と保護膜３１の断面幅が異なる部分を有する構造となる。
【００５５】
＜４．固体撮像装置の概略構成例＞
図１２は、上述した第１または第２のダイシング方法を用いて個片化された半導体チップ２１が固体撮像装置である場合の概略の構造を示している。
【００５６】
半導体チップ２１としての固体撮像装置８１は、図中の矢印の方向で装置に入射する光を電気信号へ変換し、外部端子９３から出力する。
【００５７】
固体撮像装置８１は、光電変換するためのフォトダイオードPD、光電変換動作や光電変換された電気信号を読み出す動作を制御する、複数個の画素トランジスタなどが画素単位に形成された半導体基板９１を備える。なお、以下では、便宜上、図１２における、光が固体撮像装置８１へ入射する入射面の側を上側、入射面と対向する装置のもう一方の面の側を下側と呼ぶことにする。
【００５８】
半導体基板９１の下側には、不図示の再配線などを保護する保護膜９２と外部端子９３が形成されている。外部端子９３は、例えば、はんだボールである。
【００５９】
半導体基板９１の上側には、例えば、R（赤）、G（緑）、またはB(青)のカラーフィルタ９４とオンチップレンズ９５が形成されている。オンチップレンズ９５の上側には、固体撮像装置８１の構造物、特にオンチップレンズ９５やカラーフィルタ９４を保護するためのガラス基板９７が、シール樹脂９６を介して配置されている。
【００６０】
以上のように構成される固体撮像装置８１において、半導体基板９１が、上述した半導体基板１１に対応し、シール樹脂９６がシール樹脂１２に対応し、ガラス基板９７がガラス基板１３に対応する。また、保護膜９２が保護膜３１に対応する。
【００６１】
＜電子機器への適用例＞
本技術は、固体撮像装置への適用に限られるものではない。即ち、本技術は、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、撮像機能を有する携帯端末装置や、画像読取部に固体撮像装置を用いる複写機など、画像取込部（光電変換部）に固体撮像装置を用いる電子機器全般に対して適用可能である。固体撮像装置は、ワンチップとして形成された形態であってもよいし、撮像部と信号処理部または光学系とがまとめてパッケージングされた撮像機能を有するモジュール状の形態であってもよい。
【００６２】
図１３は、本技術を適用した電子機器としての、撮像装置の構成例を示すブロック図である。
【００６３】
図１３の撮像装置１００は、レンズ群などからなる光学部１０１、図１２の固体撮像装置８１（半導体チップ２１）の構成が採用される固体撮像装置（撮像デバイス）１０２、およびカメラ信号処理回路であるDSP(Digital Signal Processor)回路１０３を備える。また、撮像装置１００は、フレームメモリ１０４、表示部１０５、記録部１０６、操作部１０７、および電源部１０８も備える。DSP回路１０３、フレームメモリ１０４、表示部１０５、記録部１０６、操作部１０７および電源部１０８は、バスライン１０９を介して相互に接続されている。
【００６４】
光学部１０１は、被写体からの入射光（像光）を取り込んで固体撮像装置１０２の撮像面上に結像する。固体撮像装置１０２は、光学部１０１によって撮像面上に結像された入射光の光量を画素単位で電気信号に変換して画素信号として出力する。この固体撮像装置１０２として、図１２の固体撮像装置８１、即ち、テープ屑３５の発生を防止した第１または第２のダイシング方法を採用して作製された固体撮像装置を用いることができる。
【００６５】
表示部１０５は、例えば、LCD(Liquid Crystal Display)や有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイ等の薄型ディスプレイで構成され、固体撮像装置１０２で撮像された動画または静止画を表示する。記録部１０６は、固体撮像装置１０２で撮像された動画または静止画を、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録する。
【００６６】
操作部１０７は、ユーザによる操作の下に、撮像装置１００が持つ様々な機能について操作指令を発する。電源部１０８は、DSP回路１０３、フレームメモリ１０４、表示部１０５、記録部１０６および操作部１０７の動作電源となる各種の電源を、これら供給対象に対して適宜供給する。
【００６７】
＜イメージセンサの使用例＞
図１４は、上述の固体撮像装置８１を用いたイメージセンサの使用例を示す図である。
【００６８】
上述の固体撮像装置８１を用いたイメージセンサは、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。
【００６９】
・ディジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞の用に供される画像を撮影する装置
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
【００７０】
また、本技術は、可視光の入射光量の分布を検知して画像として撮像する固体撮像装置への適用に限らず、赤外線やX線、あるいは粒子等の入射量の分布を画像として撮像する固体撮像装置や、広義の意味として、圧力や静電容量など、他の物理量の分布を検知して画像として撮像する指紋検出センサ等の固体撮像装置（物理量分布検知装置）全般に対して適用可能である。
【００７１】
また、本技術は、固体撮像装置に限らず、他の半導体集積回路を有する半導体装置全般に対して適用可能である。
【００７２】
本技術の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【００７３】
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、本明細書に記載されたもの以外の効果があってもよい。
【００７４】
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
（１）
回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を分割する際、前記半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分を有するように分割する
半導体装置の製造方法。
（２）
ダイシングテープが貼り付けられる前記保護膜に対してダイシングラインに沿ってスリットを形成した後、前記スリットに到達する位置まで前記半導体基板をブレードで切削する
前記（１）に記載の半導体装置の製造方法。
（３）
ダイシングテープが貼り付けられる前記保護膜と前記半導体基板に対してダイシングラインに沿ってスリットを形成した後、前記スリットに到達する位置まで前記半導体基板をブレードで切削する
前記（１）に記載の半導体装置の製造方法。
（４）
前記ブレードで切削する半導体基板の面は、前記スリットを形成した面と反対側の面である
前記（３）に記載の半導体装置の製造方法。
（５）
前記スリットの幅は、ブレードで切削される幅よりも狭い
前記（２）乃至（４）のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
（６）
フォトリソグラフィ技術を用いて、前記スリットを形成する
前記（２）乃至（５）のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
（７）
ドライエッチングを用いて、前記スリットを形成する
前記（２）乃至（６）のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
（８）
ブレードで切削する工程の後に、ウェットエッチングを用いて前記スリットの幅を拡げる
前記（２）乃至（７）のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
（９）
ブレードで切削する工程の後に、前記ブレードの切削幅と同じになるように、前記スリットの幅を拡げる
前記（８）に記載の半導体装置の製造方法。
（１０）
ブレードで切削する工程の後に、前記ブレードの切削幅よりも広くなるように、前記スリットの幅を拡げる
前記（８）に記載の半導体装置の製造方法。
（１１）
前記半導体装置は固体撮像装置である
前記（１）乃至（１０）のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
（１２）
回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を備え、
前記半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分を有する
半導体装置。
（１３）
回路面を保護する保護膜が形成されている半導体基板を備え、
前記半導体基板の断面幅と前記保護膜の断面幅が異なる部分を有する
半導体装置
を備える電子機器。
【符号の説明】
【００７５】
１１  半導体基板，  １２  シール樹脂，  １３  ガラス基板，  １４  ガラス積層ウエハ，  ２１  半導体チップ，  ３１  保護膜，  ３２  ダイシングテープ，  ３３  ダイシングライン，  ３４  ブレード，  ８１  固体撮像装置，  ９１  半導体基板，  ９２  保護膜，  ９６  シール樹脂，  ９７  ガラス基板，  １００  撮像装置，  １０２  固体撮像装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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