(57)【要約】【課題】部品点数を削減するとともにクランプアームの回動位置を直接的且つ高精度に検出することがき、クランプアームの回動角度範囲の変更作業を容易に行うことができるクランプ装置を提供する。【解決手段】クランプ装置１０は、駆動部１２の作用下にクランプアーム１８と一体的に回動する回動軸９０に設けられ、回動軸９０の軸線回りに沿って延在した金属製の検出体２０と、検出体２０に対向するように配設され、検出体２０の磁気損失を検出する１つの近接センサ２２とを備える。検出体２０は、近接センサ２２の検出面１２４に対向するセンサ対向部１２６の面積が回動軸９０の回転に伴って変化するように形成されている。【選択図】図３
2018030186.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回動するクランプアームによってワークをクランプするクランプ装置において、
クランプボディと、
前記クランプボディに設けられた駆動部と、
前記駆動部の作用下に前記クランプアームと一体的に回動する回動軸と、
前記回動軸に設けられ、前記回動軸の軸線回りに沿って延在した金属製の検出体と、
前記検出体に対向するように配設され、前記検出体に渦電流を発生させるとともに磁気損失を検出する１つの近接センサと、を備え、
前記検出体は、当該検出体における前記近接センサの検出面に対向するセンサ対向部の面積が前記回動軸の回転に伴って変化するように形成されている、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項２】
請求項１記載のクランプ装置において、
前記検出体は、板状に形成されている、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項３】
請求項２記載のクランプ装置において、
前記検出体には、前記センサ対向部の面積が前記回動軸の回転に伴って変化するように、前記検出体の延在方向に沿って長溝が形成されている、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項４】
請求項３記載のクランプ装置において、
前記長溝の側辺は、前記検出体の延在方向と交差する方向に直線状に延在している、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項５】
請求項３記載のクランプ装置において、
前記長溝の側辺は、曲線状に延在している、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項６】
請求項３〜５のいずれか１項に記載のクランプ装置において、
前記検出体には、１つの前記長溝が形成され、
前記センサ対向部は、前記長溝の両側に跨って設けられる、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項７】
請求項３〜６のいずれか１項に記載のクランプ装置において、
前記検出体には、当該検出体の幅方向に２つの前記長溝が並設され、
前記センサ対向部は、２つの前記長溝の間に設けられる、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項８】
請求項７記載のクランプ装置において、
前記検出体には、２つの前記長溝の端部同士を互いに連通する連通溝が形成され、
前記連通溝の溝幅は、前記検出面の直径以上である、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のクランプ装置において、
前記検出体は、ねじ部材によって前記回動軸に対して固定されている、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１０】
請求項９記載のクランプ装置において、
前記検出体の延在方向の少なくとも一方の端部には、前記ねじ部材が挿通する挿通孔が形成された取付部が設けられている、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１１】
請求項９又は１０に記載のクランプ装置において、
前記検出体の延在方向の両端部には、前記回動軸の外周面を径方向外方から挟持する保持部が設けられている、
ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか１項に記載のクランプ装置において、
前記回動軸の外周面うち前記検出面に対向する部位には、凹部が形成されている、
ことを特徴とするクランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回動するクランプアームによってワークをクランプするクランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、自動車等の自動組立ラインにおいて、プレス成形された複数の板材をクランプ装置でクランプした状態で互いに溶接する溶接工程が行われている。
【０００３】
このクランプ装置では、流体圧の作用下にシリンダ部のピストンを軸線方向に変位させることにより、ピストンロッドに連結されたトグルリンク機構を介してクランプアームを回動させている。これにより、クランプアームがクランプ位置とアンクランプ位置とに切り替わる。
【０００４】
特許文献１には、ピストンロッドとともにストローク変位する金属製の保持部材の位置を２つの誘導型の近接センサによって検出することにより、クランプアームの回動位置（クランプ状態及びアンクランプ状態）を検出するクランプ装置が開示されている。このクランプ装置では、複数の互いに異なる形状の保持部材を取り換えることによってクランプアームの回動角度範囲の変化に対応している。
【０００５】
特許文献２には、ピストンロッドの位置をスイッチ保持部に取り付けられた２つのリミットスイッチにより検出するクランプ装置が開示されている。スイッチ保持部には、リミットスイッチを装着するための取付孔がピストンロッドの軸線方向に沿って複数設けられており、リミットスイッチの取付位置が変更可能になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１１３４６８号公報
【特許文献２】欧州特許出願公開第０６３６４４９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の場合、ピストンロッドとともにストローク変位する保持部材の位置を検出することにより、クランプアームの回動位置（回転角度）を間接的に検出している。そのため、クランプアームの位置の検出精度には、トグルリンク機構の加工精度や組付精度等が影響する。よって、クランプアームの回動位置の検出精度を向上させることは容易ではない。
【０００８】
また、特許文献１のクランプ装置は２つの近接センサを備えているため部品点数が増加する。さらに、クランプアームの回動角度範囲を変更する場合、保持部材を交換する必要があるため作業が煩雑である。
【０００９】
特許文献２において、クランプアームの回動角度範囲を変更する場合、リミットスイッチをアーム開度に対応した取付孔の位置に変更する必要があるため作業が煩雑である。
【００１０】
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、部品点数を削減するとともにクランプアームの回動位置を直接的且つ高精度に検出することがき、クランプアームの回動角度範囲の変更作業を容易に行うことができるクランプ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明に係るクランプ装置は、回動するクランプアームによってワークをクランプするクランプ装置において、クランプボディと、前記クランプボディに設けられた駆動部と、前記駆動部の作用下に前記クランプアームと一体的に回動する回動軸と、前記回動軸に設けられ、前記回動軸の軸線回りに沿って延在した金属製の検出体と、前記検出体に対向するように配設され、前記検出体に渦電流を発生させるとともに磁気損失を検出する１つの近接センサと、を備え、前記検出体は、当該検出体における前記近接センサの検出面に対向するセンサ対向部の面積が前記回動軸の回転に伴って変化するように形成されていることを特徴とする。
【００１２】
このような構成によれば、回動軸の回転に伴うセンサ対向部の面積の変化を１つの近接センサによって検出している。そのため、部品点数を削減するとともにクランプアームの回動位置を直接的且つ高精度に検出することができる。また、クランプアームの回動角度範囲を変更する際に、検出体を交換したり近接センサの位置を変更したりする必要がないため、クランプアームの回動角度範囲の変更作業を容易に行うことができる。
【００１３】
上記のクランプ装置において、前記検出体は、板状に形成されていてもよい。
【００１４】
このような構成によれば、検出体をプレス成形によって容易に製造することができる。
【００１５】
上記のクランプ装置において、前記検出体には、前記センサ対向部の面積が前記回動軸の回転に伴って変化するように、前記検出体の延在方向に沿って長溝が形成されていてもよい。
【００１６】
このような構成によれば、長溝によってセンサ対向部の面積を容易に変更することができる。
【００１７】
上記のクランプ装置において、前記長溝の側辺は、前記検出体の延在方向と交差する方向に直線状に延在していてもよい。
【００１８】
このような構成によれば、近接センサの共振インピーダンスやインダクタンスを非線形に変化させることができる。
【００１９】
上記のクランプ装置において、前記長溝の側辺は、曲線状に延在していてもよい。
【００２０】
このような構成によれば、近接センサの共振インピーダンスやインダクタンスを線形に変化させることができる。
【００２１】
上記のクランプ装置において、前記検出体には、１つの前記長溝が形成され、前記センサ対向部は、前記長溝の両側に跨って設けられていてもよい。
【００２２】
このような構成によれば、検出体の構成を簡素化することができるとともに剛性の低下を抑えることができる。
【００２３】
上記のクランプ装置において、前記検出体には、当該検出体の幅方向に２つの前記長溝が並設され、前記センサ対向部は、２つの前記長溝の間に設けられていてもよい。
【００２４】
このような構成によれば、回動軸の回転によってセンサ対向部の面積を確実に変化させることができる。
【００２５】
上記のクランプ装置において、前記検出体には、２つの前記長溝の端部同士を互いに連通する連通溝が形成され、前記連通溝の溝幅は、前記検出面の直径以上であってもよい。
【００２６】
このような構成によれば、検出面が連通溝に対向した際に近接センサの共振インピーダンスやインダクタンスを不連続にする（急激に変化させる）ことができる。これにより、クランプ装置の使用環境の温度変化によって近接センサの共振インピーダンスやインダクタンスが変動した場合であっても、クランプ状態又はアンクランプ状態を確実に検出することができる。
【００２７】
上記のクランプ装置において、前記検出体は、ねじ部材によって前記回動軸に対して固定されていてもよい。
【００２８】
このような構成によれば、検出体を回動軸に強固に固定することができる。そのため、回動軸が回転する際にセンサ対向面と検出面との間の距離が変動することを抑えることができる。
【００２９】
上記のクランプ装置において、前記検出体の延在方向の少なくとも一方の端部には、前記ねじ部材が挿通する挿通孔が形成された取付部が設けられていてもよい。
【００３０】
このような構成によれば、簡易な構成で検出体を回動軸に固定することができる。
【００３１】
上記のクランプ装置において、前記検出体の延在方向の両端部には、前記回動軸の外周面を径方向外方から挟持する保持部が設けられていてもよい。
【００３２】
このような構成によれば、検出体を回動軸に対してより高精度且つ強固に固定することができる。
【００３３】
上記のクランプ装置において、前記回動軸の外周面うち前記検出面に対向する部位には、凹部が形成されていてもよい。
【００３４】
このような構成によれば、回動軸を金属で構成した場合であっても、近接センサによって回動軸に渦電流が発生することを抑えることができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、回動軸の回転に伴うセンサ対向部の面積の変化を１つの近接センサによって検出しているため、部品点数を削減するとともにクランプアームの回動位置を直接的且つ高精度に検出することができ、クランプアームの回動角度範囲の変更作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施形態に係るクランプ装置の斜視図である。
【図２】前記クランプ装置の一部分解斜視図である。
【図３】前記クランプ装置のクランプ状態を示す縦断面図である。
【図４】前記クランプ装置を構成する支持レバー及び検出体の分解斜視図である。
【図５】前記検出体の展開図である。
【図６】前記クランプ装置の要部ブロック図である。
【図７】前記クランプ装置のアンクランプ状態を示す縦断面図である。
【図８】センサ対向部の面積と検出共振インピーダンスとの関係を示すグラフである。
【図９】図９Ａは第１変形例に係る検出体の斜視図であり、図９Ｂは当該検出体の展開図であり、図９Ｃは当該検出体におけるセンサ対向部の面積と検出共振インピーダンスとの関係を示すグラフである。
【図１０】図１０Ａは第２変形例に係る検出体の斜視図であり、図１０Ｂは当該検出体の展開図であり、図１０Ｃは当該検出体におけるセンサ対向部の面積と検出共振インピーダンスとの関係を示すグラフである。
【図１１】図１１Ａは第３変形例に係る検出体の斜視図であり、図１１Ｂは当該検出体の展開図であり、図１１Ｃは当該検出体におけるセンサ対向部の面積と検出共振インピーダンスとの関係を示すグラフである。
【図１２】図１２Ａは第４変形例に係る検出体の斜視図であり、図１２Ｂは当該検出体の展開図であり、図１２Ｃは当該検出体におけるセンサ対向部の面積と検出共振インピーダンスとの関係を示すグラフである。
【図１３】第５変形例に係る検出体が回動軸に取り付けられた状態を示す斜視図である。
【図１４】図１４Ａは図１３の検出体の斜視図であり、図１４Ｂは図１４Ａの検出体の展開図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、本発明に係るクランプ装置について好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら説明する。
【００３８】
本発明の一実施形態に係るクランプ装置１０は、例えば、自動車等の自動組立ラインにおいて、プレス成形された複数の鋼板等の板材を互いに溶接する際にクランプするためのものである。
【００３９】
図１〜図３に示すように、クランプ装置１０は、駆動部１２と、駆動部１２に連結されたクランプボディ１４と、クランプボディ１４内に配設されたリンク機構（動力伝達機構）１６と、駆動部１２の作用下にリンク機構１６を介して回動動作するクランプアーム１８と、検出体２０と、近接センサ２２と、コントロールユニット２４とを備えている。
【００４０】
駆動部１２は、流体圧シリンダとして構成されており、扁平筒状に構成されたシリンダチューブ２６を有している。ただし、駆動部１２は、電動アクチュエータとして構成されていてもよい。図３において、シリンダチューブ２６の一端側（矢印Ａ方向）の開口はエンドブロック２８により閉塞され、シリンダチューブ２６の他端側（矢印Ｂ方向）の開口はロッドカバー３０により閉塞されている。シリンダチューブ２６内には、その軸線方向に沿って変位可能にピストン３２が配設され、ピストン３２には、ピストンロッド３４が連結されている。
【００４１】
シリンダチューブ２６は、扁平筒状に限定されるものではなく、真円筒状又は楕円筒状等の任意の形状を採用し得る。シリンダチューブ２６には、エンドブロック２８及びピストン３２の間に形成される第１シリンダ室３６に連通する第１ポート３８と、ピストン３２及びロッドカバー３０の間に形成される第２シリンダ室４０に連通する第２ポート４２とが形成されている。
【００４２】
第１ポート３８及び第２ポート４２には、ピストン３２を往復運動させるための圧縮流体（駆動流体）の供給及び排出を行うための図示しないチューブが接続されている。エンドブロック２８、シリンダチューブ２６及びロッドカバー３０は、複数の締結ボルト４４によって一体的に連結されている。
【００４３】
エンドブロック２８の略中央部には、ピストン３２のストロークを調節することによってクランプアーム１８の回動角度範囲（アーム開度）を調整する調整ボルト４６が螺合されている。調整ボルト４６は、その螺回作用下に第１シリンダ室３６の突出長を調整可能となっており、その第１シリンダ室３６内に位置する頭部には、ピストン３２の衝撃や衝突音を緩和するためのダンパ４８が装着されている。
【００４４】
ピストン３２の外周面には、環状のピストンパッキン５０が環状溝を介して装着されている。また、ピストン３２の中央には、ピストンロッド３４の一端側が固定されている。ロッドカバー３０の中央部には、ピストンロッド３４が挿通するロッド孔が形成されている。ロッド孔を構成する壁面には、環状のロッドパッキン５２が環状溝を介して装着されている。
【００４５】
クランプボディ１４は、ロッドカバー３０の他端側に接続されており、例えば、鉄、ステンレス鋼又はアルミニウム等の金属材料を含んで構成されている。クランプボディ１４には、クランプ装置１０を図示しない固定部材に取り付けるためのブラケット５３が設けられている（図１参照）。
【００４６】
図１及び図２に示すように、クランプボディ１４は、横断面がＵ字状の一対のカバー部５４、５６を有している。これらカバー部５４、５６は、略左右対称に構成されており、リンク機構１６が収容される室５８（図３参照）が形成されるように複数のねじ部材６０によって互いに締結されている。
【００４７】
図２及び図３において、ピストンロッド３４の他端部には、ナックルジョイント６２が連結されている。ナックルジョイント６２は、ピストンロッド３４の他端部を保持する孔６４が形成されたベース部６６と、ベース部６６から矢印Ｂ方向に向かって突出した２つの側板部６８、７０と、これら側板部６８、７０を繋ぐナックルピン７２とを有している。２つの側板部６８、７０は、クランプボディ１４の厚さ方向に互いに対向している。ナックルピン７２には、軸受７４を介して円環部材７６が設けられている。
【００４８】
円環部材７６は、クランプアーム１８によりワークをクランプした際、クランプボディ１４に設けられたリリース用の押圧部材７８に接触し、押圧部材７８をクランプボディ１４の外方（矢印Ｂ方向）に所定長だけ突出させる。押圧部材７８は、ピストンロッド３４の軸線方向に沿って延在したピン部材であって、その両端部が中間部よりも大径に形成されることによりクランプボディ１４から抜け出ることが阻止されている。ユーザが押圧部材７８をハンマー等の工具を用いて矢印Ａ方向に押圧することにより、ワークのクランプ状態を解除する（アンクランプ状態にする）ことができる（図７参照）。
【００４９】
リンク機構１６は、ピストン３２の往復運動を後述する回動軸９０の回動動作に変換する。このリンク機構１６は、２つのリンクプレート８０、８２、リンクピン８４及び支持レバー８６を有している。リンクプレート８０は円環部材７６と側板部６８との間に位置し、リンクプレート８２は円環部材７６と側板部７０との間に位置している。
【００５０】
各リンクプレート８０、８２は、円弧状（半円弧状）に延在している。各リンクプレート８０、８２の一端部に形成された孔にはナックルピン７２が挿通され、各リンクプレート８０、８２の他端部に形成された孔にはリンクピン８４が挿通されている。つまり、各リンクプレート８０、８２は、ナックルピン７２及びリンクピン８４のそれぞれに対して回動自在に支持されている。
【００５１】
図３及び図４に示すように、支持レバー８６は、例えば、金属材料によって構成されている。ただし、支持レバー８６は、渦電流が発生しない樹脂材料等で構成してもよい。支持レバー８６は、リンクピン８４に対して回動自在に支持された支持部８８と、支持部８８に一体的に設けられてピストンロッド３４の軸線と直交する方向に延出した回動軸９０と、回動軸９０の両端部に設けられたアーム取付部９２、９４とを有する。
【００５２】
支持部８８は、回動軸９０の軸線方向の中央に設けられており、リンクピン８４が挿通する孔が形成された支持部本体９６と、支持部本体９６から回動軸９０を跨ぐように延出した２つの脚部９８、１００とを含む。脚部１００の側面には、ピストンロッド３４とは反対側に突出した突起１０２と、検出体２０を取り付けるためのねじ孔１０４とが形成されている。
【００５３】
回動軸９０の外周面のうち軸線方向の中央には、回動軸９０の軸線Ａｘと直交する断面が半円形状の凹部１０６が形成されている。凹部１０６は、支持部８８の反対側に位置している。回動軸９０の軸線方向に沿った凹部１０６の寸法は、検出体２０の幅寸法よりも小さく近接センサ２２の後述する検出面１２４の直径よりも大きい。回動軸９０の両端部は、クランプボディ１４に設けられた軸受１０７、１０９によって回転自在に支持されている（図１及び図２参照）。アーム取付部９２、９４は、クランプアーム１８が着脱可能に構成されている。
【００５４】
図４及び図５に示すように、検出体２０は、純鉄、鋼、銅、アルミニウム等の金属材料によって構成されている。換言すれば、検出体２０は、近接センサ２２の作用によって渦電流が発生する材料で構成されている。検出体２０は、金属製の薄板をプレス成形することによって一体的に形成されている。
【００５５】
検出体２０は、回動軸９０の軸線回りに延在した本体部１０８と、本体部１０８のＲ１方向の端部に設けられた取付部１１０とを有している。本体部１０８は、略矩形状の金属板を略半円弧状に曲げることによって成形され、回動軸９０の凹部１０６を覆うように設けられている。本体部１０８の幅方向の中央には、回動軸９０の軸線回り（本体部１０８の延在方向）に沿って延在した長溝（長孔）１１２が形成されている。
【００５６】
長溝１１２は、略三角形状に形成されている。長溝１１２の各側辺１１２ａ、１１２ｂは、本体部１０８の延在方向と交差する方向に直線状に延在している。換言すれば、長溝１１２の各側辺１１２ａ、１１２ｂは、矢印Ｒ１方向に向かって互いに近接するように直線状に延在している。すなわち、長溝１１２の溝幅は、本体部１０８の一端側から他端側に（矢印Ｒ２方向）向かって徐々に広くなっている。取付部１１０は、本体部１０８の一端部の幅方向中央から四角形状に延出しており、検出体２０を支持レバー８６（回動軸９０）に対して固定するためのねじ部材１１４が挿通するねじ挿通孔１１６が形成されている。
【００５７】
図６に示すように、近接センサ２２は、誘導型近接センサとして構成されており、検出体２０の本体部１０８に近接して設けられた検出コイル１１８と、検出コイル１１８に電気的に接続された発振回路部１２０と、発振回路部１２０に電気的に接続された検出回路部１２２とを有している。検出コイル１１８は、その検出面（コイル面）１２４が本体部１０８に対向するように配設されている。具体的には、検出コイル１１８は、本体部１０８のうち検出面１２４に対向するセンサ対向部１２６（図５参照）が長溝１１２の両側に位置するようにクランプボディ１４に位置決め固定されている。
【００５８】
発振回路部１２０は、検出コイル１１８を所定の発振周波数で発振駆動する。検出回路部１２２は、発振回路部１２０の出力信号に基づいて共振インピーダンス（並列共振インピーダンス）を検出する。すなわち、近接センサ２２は、回動軸９０の回動に伴うセンサ対向部１２６の面積の変化を共振インピーダンスの変化として検出することにより、クランプアーム１８の回動位置（回転角度）を検出する。
【００５９】
図３及び図６において、コントロールユニット２４は、クランプボディ１４に設けられた筐体内に収容されており、近接センサ２２がリード線１２８によって電気的に接続されている。筐体には、ユーザが外部から押圧操作可能な設定ボタン１３０と、外部機器（電源等）に接続されたケーブルが接続可能なコネクタ１３２と、外部から視認可能な表示部１３４と設けられている。図６に示すように、表示部１３４は、電源灯１３６、クランプ灯１３８、アンクランプ灯１４０を含む。
【００６０】
コントロールユニット２４は、判定部１４２、閾値設定部１４４及び出力部１４６を有している。判定部１４２は、近接センサ２２の検出回路部１２２にて検出される共振インピーダンス（以下、検出共振インピーダンスと称する）とクランプ閾値Ｚａとの比較に基づいてクランプ状態であるか否か（クランプアーム１８がクランプ位置にあるか否か）を判定する。また、判定部１４２は、検出共振インピーダンスとアンクランプ閾値Ｚｂとの比較に基づいてアンクランプ状態であるか否か（クランプアーム１８がアンクランプ位置にあるか否か）を判定する。
【００６１】
閾値設定部１４４は、設定ボタン１３０が第１操作されたときの検出回路部１２２の出力信号（検出共振インピーダンス）に基づいてクランプ閾値Ｚａを設定する。また、閾値設定部１４４は、設定ボタン１３０が第２操作されたときの検出共振インピーダンスに基づいてアンクランプ閾値Ｚｂを設定する。閾値設定部１４４にて設定されたクランプ閾値Ｚａ及びアンクランプ閾値Ｚｂは、コントローラに記憶される。出力部１４６は、電源灯１３６、クランプ灯１３８及びアンクランプ灯１４０を点灯又は消灯させる。
【００６２】
本実施形態に係るクランプ装置１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作について説明する。なお、図７に示すアンクランプ状態を初期状態として説明する。
【００６３】
まず、ユーザは、クランプ装置１０のブラケット５３を図示しない固定部材に対して取り付ける。また、ケーブルをコネクタ１３２に接続することによりクランプ装置１０と外部機器（電源等）とを接続する。これにより、コントロールユニット２４に電源が供給され、電源灯１３６が点灯する。
【００６４】
なお、初期状態では、アンクランプ灯１４０が点灯するとともにクランプ灯１３８が消灯し、ピストン３２はシリンダチューブ２６のエンドブロック２８側の端側に位置してダンパ４８に接触している。このとき、図５に示すように、近接センサ２２の検出面１２４は、長溝１１２の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２にあり、本体部１０８のうち検出面１２４に対向するセンサ対向部１２６はＳ１の面積を有している。
【００６５】
ワークをクランプする場合、第２ポート４２を大気開放した状態で第１ポート３８に圧縮流体を供給する。そうすると、図３に示すように、ピストン３２がロッドカバー３０側（矢印Ｂ方向）に変位する。このピストン３２の直線運動は、ピストンロッド３４及びナックルジョイント６２を介してリンク機構１６へと伝達され、回動軸９０の回転作用下にクランプアーム１８が一体的に矢印Ｒ２方向（図３では時計回り）に回転する。
【００６６】
このとき、支持レバー８６に固定された検出体２０も回動軸９０と一体的に回転するため、検出面１２４が本体部１０８に対して矢印Ｒ１方向に相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が大きくなり、検出共振インピーダンスが非線形に小さくなる（図５及び図８参照）。
【００６７】
検出共振インピーダンスがクランプ閾値Ｚａよりも大きくアンクランプ閾値Ｚｂよりも小さい場合、判定部１４２は中間状態（アンクランプ状態からクランプ状態への移行状態）であると判定する。このとき、出力部１４６はアンクランプ灯１４０及びクランプ灯１３８の両方を消灯させる。これにより、ユーザは、アンクランプ灯１４０及びクランプ灯１３８の消灯を目視することにより中間状態であることを確認できる。
【００６８】
そして、検出面１２４が長溝１１２の矢印Ｒ１方向の端部に対向する位置Ｐ１まで変位すると、センサ対向部１２６の面積はＳ２になる。なお、面積Ｓ２は面積Ｓ１よりも大きい。このとき、検出共振インピーダンスがクランプ閾値Ｚａに到達するため、判定部１４２はクランプ状態であると判定する。また、出力部１４６はアンクランプ灯１４０を消灯させたままクランプ灯１３８を点灯させる。これにより、ユーザは、クランプ灯１３８を目視することによりクランプ状態であることを確認できる。この際、ピストン３２のロッドカバー３０側への変位が停止する。
【００６９】
一方、ワークのクランプ状態を解除する場合には、第１ポート３８を大気開放した状態で第２ポート４２に圧縮流体を供給する。そうすると、図７に示すように、ピストン３２がエンドブロック２８側に変位する。このピストン３２の直線運動は、ピストンロッド３４及びナックルジョイント６２を介してリンク機構１６へと伝達され、回動軸９０の回転作用下にクランプアーム１８が一体的に矢印Ｒ１方向（図７では時計回り）に回転する。
【００７０】
このとき、支持レバー８６に固定された検出体２０も回動軸９０と一体的に回転するため、検出面１２４が本体部１０８に対して矢印Ｒ２方向に向かって相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が小さくなり、検出共振インピーダンスが非線形に大きくなる（図８参照）。
【００７１】
検出共振インピーダンスがクランプ閾値Ｚａよりも大きくアンクランプ閾値Ｚｂよりも小さい場合、判定部１４２は中間状態（クランプ状態からアンクランプ状態への移行状態）であると判定する。このとき、出力部１４６はアンクランプ灯１４０及びクランプ灯１３８の両方を消灯させる。
【００７２】
そして、検出面１２４が長溝１１２の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２まで変位すると、センサ対向部１２６の面積はＳ１になる。このとき、検出共振インピーダンスがアンクランプ閾値Ｚｂに到達するため、判定部１４２はアンクランプ状態であると判定する。また、出力部１４６はクランプ灯１３８を消灯させたままアンクランプ灯１４０を点灯させる。この際、ピストン３２がダンパ４８に接触することにより、ピストン３２のエンドブロック２８側への変位が停止されるとともに回動軸９０及びクランプアーム１８の回転が停止される。
【００７３】
このようなクランプ装置１０では、ワークの形状や大きさに応じて、アーム開度の調整やクランプ閾値Ｚａ及びアンクランプ閾値Ｚｂの設定が行われる。
【００７４】
アーム開度の設定を行う場合、調整ボルト４６を螺回することにより調整ボルト４６の第１シリンダ室３６内への突出長を変更する。これにより、ピストン３２のストローク長が変更されるため、ピストン３２の直線運動の作用下にリンク機構１６を介して回動するクランプアーム１８のアーム開度が変更される。なお、アーム開度を広げたい場合には、調整ボルト４６の第１シリンダ室３６内への突出長を小さくし、アーム開度を狭くしたい場合には、調整ボルト４６の第１シリンダ室３６内への突出長を大きくする。
【００７５】
また、クランプ閾値Ｚａを変更する場合、流体圧の作用下にピストン３２をロッドカバー３０側に変位させることによりクランプアーム１８をワークに接触させてワークをクランプする。そして、この状態で、ユーザが設定ボタン１３０を所定時間（例えば、３秒）以上継続して押圧する（第１操作する）ことにより、この時の検出共振インピーダンスの値が新たなクランプ閾値Ｚａとして再設定されてコントロールユニット２４のメモリに記憶される。
【００７６】
さらに、アンクランプ閾値Ｚｂを変更する場合、クランプアーム１８を所定の回転角度（アンクランプ角度）に位置させた状態で、ユーザが設定ボタン１３０を所定時間未満（例えば、１秒程度）だけ押圧する（第２操作する）ことにより、この時の検出共振インピーダンスの値が新たなアンクランプ閾値Ｚｂとして再設定されてコントロールユニット２４のメモリに記憶される。
【００７７】
このように、ワークの形状や大きさを変更した場合であっても、クランプアーム１８を所定角度に位置させた状態で設定ボタン１３０を押圧することでクランプ閾値Ｚａ及びアンクランプ閾値Ｚｂを簡単に再設定することができる。また、設定ボタン１３０の押圧時間を変更することにより、１つの設定ボタン１３０によってクランプ閾値Ｚａ及びアンクランプ閾値Ｚｂの両方を設定することができる。
【００７８】
本実施形態によれば、回動軸９０の回転に伴うセンサ対向部１２６の面積の変化を１つの近接センサ２２によって検出している。そのため、部品点数を削減することができるとともにクランプアーム１８の回動位置を直接的且つ高精度に検出することができる。また、クランプアーム１８の回動角度範囲（アーム開度）を変更する際に、検出体２０を交換したり近接センサ２２の位置を変更したりする必要がないため、アーム開度の変更作業を容易に行うことができる。
【００７９】
本実施形態では、検出体２０が板状であるため、検出体２０をプレス成形によって容易に製造することができる。また、検出体２０には、センサ対向部１２６の面積が回動軸９０の回転に伴って変化するように、検出体２０の延在方向に沿って延在した長溝１１２が形成されている。そのため、長溝１１２によってセンサ対向部１２６の面積を容易に変更することができる。
【００８０】
さらに、長溝１１２の側辺１１２ａ、１１２ｂは、検出体２０の延在方向と交差する方向に直線状に延在しているため、近接センサ２２の共振インピーダンスを非線形に変化させることができる。さらにまた、センサ対向部１２６が長溝１１２の両側に跨って設けられているため、検出体２０の構成を簡素化することができるとともに剛性の低下を抑えることができる。
【００８１】
本実施形態では、検出体２０の延出方向の一端部にねじ部材１１４が挿通するねじ挿通孔１１６が形成された取付部１１０が設けられているため、簡易な構成で検出体２０を回動軸９０（支持レバー８６）に対して強固に固定することができる。これにより、回動軸９０が回転する際にセンサ対向部１２６と検出面１２４との距離が変動することを抑えることができる。
【００８２】
また、回動軸９０のうち回動軸９０が回動する際に検出面１２４に対向する部位に凹部１０６を形成しているため、回動軸９０を金属で構成した場合であっても、近接センサ２２によって回動軸９０に渦電流が発生することを抑えることができる。
【００８３】
次に、第１変形例に係る検出体１５０について図９Ａ〜図９Ｃを参照しながら説明する。この検出体１５０において、上述した検出体２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、検出体１５０において、上述した検出体２０と共通する部分については、同一の作用効果が得られる。
【００８４】
図９Ａ及び図９Ｂに示すように、第１変形例に係る検出体１５０は、回動軸９０の軸線回りに延在した本体部１５２と、本体部１５２の矢印Ｒ１方向の端部に設けられた取付部１１０とを有している。本体部１５２には、回動軸９０の軸線回り（本体部１５２の延在方向）に沿って延在した２つの長溝１５４、１５６が本体部１５２の幅方向に並設されている。
【００８５】
これにより、本体部１５２には、長溝１５４、１５６の外側に位置する四角形状の外枠部１５８と、長溝１５４、１５６の間に位置する中間部１６０とが形成されることとなる。中間部１６０は、回動軸９０の軸線回りに沿って延在している。中間部１６０の延在方向の両端部は、外枠部１５８に連結している。
【００８６】
各長溝１５４、１５６は、略三角形状に形成されている。各長溝１５４、１５６のうち中間部１６０側の側辺１５４ａ、１５６ａは、本体部１５２の延在方向と交差する方向に直線状に延在している。換言すれば、各長溝１５４、１５６の側辺１５４ａ、１５６ａは、矢印Ｒ１方向に向かって互いに近接するように直線状に延在している。すなわち、中間部１６０の幅寸法は、矢印Ｒ１方向に向かって狭くなっている。
【００８７】
このような検出体１５０を用いた場合、初期状態で、近接センサ２２の検出面１２４は、中間部１６０の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２にあり、センサ対向部１２６はＳ４の面積を有している。なお、クランプ閾値Ｚａは、アンクランプ閾値Ｚｂよりも大きい。
【００８８】
図９Ｂ及び図９Ｃに示すように、ワークをクランプする場合、検出面１２４が本体部１５２に対して矢印Ｒ１方向に相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が小さくなり、検出共振インピーダンスが非線形に大きくなる。
【００８９】
検出共振インピーダンスがアンクランプ閾値Ｚｂよりも大きくクランプ閾値Ｚａよりも小さい場合、判定部１４２は中間状態（アンクランプ状態からクランプ状態への移行状態）であると判定する。そして、検出面１２４が中間部１６０の矢印Ｒ１方向の端部に対向する位置Ｐ１まで変位すると、センサ対向部１２６の面積はＳ３になる。なお、面積Ｓ３は面積Ｓ４よりも小さい。このとき、検出共振インピーダンスがクランプ閾値Ｚａに到達するため、判定部１４２はクランプ状態であると判定する。
【００９０】
一方、ワークのクランプ状態を解除する場合、検出面１２４が本体部１５２に対して矢印Ｒ２方向に相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が大きくなり、検出共振インピーダンスが非線形に小さくなる。
【００９１】
検出共振インピーダンスがクランプ閾値Ｚａよりも小さくアンクランプ閾値Ｚｂよりも大きい場合、判定部１４２は中間状態（クランプ状態からアンクランプ状態への移行状態）であると判定する。そして、検出面１２４が中間部１６０の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２まで変位すると、センサ対向部１２６の面積がＳ４になる。このとき、検出共振インピーダンスがアンクランプ閾値Ｚｂに到達するため、判定部１４２はアンクランプ状態であると判定する。
【００９２】
本変形例によれば、２つの長溝１５４、１５６の間に位置する中間部１６０にセンサ対向部１２６が設けられているため、回動軸９０の回転によってセンサ対向部１２６の面積を確実に変化させることができる。
【００９３】
次に、第２変形例に係る検出体１７０について図１０Ａ〜図１０Ｃを参照しながら説明する。この検出体１７０において、上述した検出体１５０と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、検出体１７０において、上述した検出体１５０と共通する部分については、検出体１５０と同一の作用効果が得られる。後述する第３変形例に係る検出体１８０及び第５変形例に係る検出体２００についても同様である。
【００９４】
図１０Ａ及び図１０Ｂに示すように、第２変形例に係る検出体１７０は、回動軸９０の軸線回りに延在した本体部１７２と、本体部１７２の矢印Ｒ１方向の端部に設けられた取付部１１０とを有している。本体部１７２には、２つの長溝１５４、１５６の矢印Ｒ１方向の端部同士を互いに連通した連通溝１７４が形成されている。連通溝１７４の溝幅は、検出面１２４の直径以上である。換言すれば、検出面１２４は、連通溝１７４に対向した状態で本体部１７２に覆われない。
【００９５】
本変形例では、本体部１７２には、２つの長溝１５４、１５６と連通溝１７４とによって１つの略Ｕ字状の溝１７６が形成されている。これにより、本体部１７２には、外枠部１５８と、長溝１５４、１５６の間に位置する中間部１７８とが形成されることとなる。中間部１７８は、回動軸９０の軸線回りに沿って延在している。中間部１７８の矢印Ｒ２方向の端部は外枠部１５８に連結し、中間部１７８の矢印Ｒ１方向の端部は、外枠部１５８から離間している。
【００９６】
このような検出体１７０を用いた場合、初期状態で、近接センサ２２の検出面１２４は、中間部１７８の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２にあり、センサ対向部１２６はＳ５の面積を有している。
【００９７】
図１０Ｂ及び図１０Ｃに示すように、ワークをクランプする場合、検出面１２４が本体部１７２に対して矢印Ｒ１方向に相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が小さくなり、検出共振インピーダンスが大きくなる。
【００９８】
検出共振インピーダンスがアンクランプ閾値Ｚｂよりも大きくクランプ閾値Ｚａよりも小さい場合、判定部１４２は中間状態（アンクランプ状態からクランプ状態への移行状態）であると判定する。そして、検出面１２４が連通溝１７４に対向する位置Ｐ１まで変位すると、センサ対向部１２６の面積はゼロになる。このとき、検出共振インピーダンスがクランプ閾値Ｚａに到達するため、判定部１４２はクランプ状態であると判定する。
【００９９】
一方、ワークのクランプ状態を解除する場合、検出面１２４が本体部１７２に対して矢印Ｒ２方向に相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が大きくなり、検出共振インピーダンスが小さくなる。
【０１００】
検出共振インピーダンスがクランプ閾値Ｚａよりも小さくアンクランプ閾値Ｚｂよりも大きい場合、判定部１４２は中間状態（クランプ状態からアンクランプ状態への移行状態）であると判定する。そして、検出面１２４が中間部１７８の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２まで変位すると、センサ対向部１２６の面積がＳ５になる。このとき、検出共振インピーダンスがアンクランプ閾値Ｚｂに到達するため、判定部１４２はアンクランプ状態であると判定する。
【０１０１】
本変形例によれば、連通溝１７４の溝幅が検出面１２４の直径以上であるため、検出面１２４が連通溝１７４に対向する位置Ｐ２に変位した際に近接センサ２２の検出共振インピーダンスを不連続にする（急激に変化させる）ことができる。これにより、クランプ装置１０の使用環境の温度変化によって近接センサ２２の検出共振インピーダンスが変動した場合であっても、クランプ状態を確実に検出することができる。
【０１０２】
本変形例の検出体１７０は、上述した構成に限定されない。連通溝１７４は、２つの長溝１５４、１５６の矢印Ｒ２方向の端部同士を連通してもよい。この場合、クランプ装置１０の使用環境の温度変化によって近接センサ２２の共振インピーダンスが変動した場合であっても、アンクランプ状態を確実に検出することができる。
【０１０３】
次に、第３変形例に係る検出体１８０について図１１Ａ〜図１１Ｃを参照しながら説明する。図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、本変形例に係る検出体１８０は、回動軸９０の軸線回りに延在した本体部１８２と、本体部１８２の矢印Ｒ１方向の端部に設けられた取付部１１０とを有している。
【０１０４】
本体部１８２には、回動軸９０の軸線回り（本体部１８２の延在方向）に沿って延在した２つの長溝１８４、１８６が本体部１８２の幅方向に並設されている。これにより、本体部１８２には、長溝１８４、１８６の外側に位置する四角形状の外枠部１５８と、長溝１８４、１８６の間に位置する中間部１８８とが形成されることとなる。中間部１８８は、回動軸９０の軸線回りに沿って延在している。中間部１８８の延在方向の両端部は、外枠部１５８に連結している。
【０１０５】
各長溝１８４、１８６のうち中間部１８８側の側辺１８４ａ、１８６ａは曲線状に延在している。換言すれば、各長溝１８４、１８６の側辺１８４ａ、１８６ａは、矢印Ｒ１方向に向かって互いに近接するように曲線状に延在している。すなわち、中間部１８８の幅寸法は、矢印Ｒ１方向に向かって狭くなっている。
【０１０６】
このような検出体１８０を用いた場合、初期状態で、近接センサ２２の検出面１２４は、中間部１８８の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２にあり、センサ対向部１２６はＳ７の面積を有している。
【０１０７】
図１１Ｂ及び図１１Ｃに示すように、ワークをクランプする場合、検出面１２４が本体部１８２に対して矢印Ｒ１方向に相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が小さくなり、検出共振インピーダンスが線形に大きくなる。そして、検出面１２４が中間部１８８の矢印Ｒ１方向の端部に対向する位置Ｐ１まで変位すると、センサ対向部１２６の面積はＳ６になる。なお、面積Ｓ６は面積Ｓ７よりも小さい。このとき、検出共振インピーダンスがクランプ閾値Ｚａに到達するため、判定部１４２はクランプ状態であると判定する。
【０１０８】
一方、ワークのクランプ状態を解除する場合、検出面１２４が本体部１８２に対して矢印Ｒ２方向に相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が大きくなり、検出共振インピーダンスが線形に小さくなる。そして、検出面１２４が中間部１８８の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２まで変位すると、センサ対向部１２６の面積がＳ７になる。このとき、検出共振インピーダンスがアンクランプ閾値Ｚｂに到達するため、判定部１４２はアンクランプ状態であると判定する。
【０１０９】
本変形例によれば、長溝１８４、１８６の各側辺１８４ａ、１８６ａが曲線状に延在しているため、近接センサ２２の共振インピーダンスを線形に変化させることができる。これにより、クランプアーム１８の回転角度を検出することができる。
【０１１０】
次に、第４変形例に係る検出体１９０について図１２Ａ〜図１２Ｃを参照しながら説明する。この検出体１９０において、上述した検出体１８０と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明は省略する。また、検出体１９０において、上述した検出体１８０と共通する部分については、検出体１８０と同一の作用効果が得られる。
【０１１１】
図１２Ａ及び図１２Ｂに示すように、本変形例に係る検出体１９０は、回動軸９０の軸線回りに延在した本体部１９２と、本体部１９２の両端部に設けられた取付部１１０とを有している。本体部１９２には、２つの長溝１８４、１８６の矢印Ｒ１方向の端部同士を互いに連通した連通溝１９４が形成されている。連通溝１９４の溝幅は、検出面１２４の直径以上である。換言すれば、検出面１２４は、連通溝１９４に対向した状態で本体部１９２に覆われない。
【０１１２】
本変形例では、本体部１９２には、２つの長溝１８４、１８６と連通溝１９４とによって１つの略Ｕ字状の溝１９６が形成されている。これにより、本体部１９２には、外枠部１５８と、長溝１８４、１８６の間に位置する中間部１９８とが形成されることとなる。中間部１９８は、回動軸９０の軸線回りに沿って延在している。中間部１９８の矢印Ｒ２方向の端部は外枠部１５８に連結し、中間部１９８の矢印Ｒ１方向の端部は、外枠部１５８から離間している。
【０１１３】
このような検出体１９０を用いた場合、初期状態で、近接センサ２２の検出面１２４は、中間部１９８の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２にあり、センサ対向部１２６はＳ８の面積を有している。
【０１１４】
図１２Ｂ及び図１２Ｃに示すように、ワークをクランプする場合、検出面１２４が本体部１９２に対して矢印Ｒ１方向に相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が小さくなり、検出共振インピーダンスが線形に大きくなる。そして、検出面１２４が連通溝１９４に対向する位置Ｐ１まで変位すると、センサ対向部１２６の面積はゼロになる。このとき、検出共振インピーダンスがクランプ閾値Ｚａに到達するため、判定部１４２はクランプ状態であると判定する。
【０１１５】
一方、ワークのクランプ状態を解除する場合、検出面１２４が本体部１９２に対して矢印Ｒ２方向に相対的に変位するとともにセンサ対向部１２６の面積が大きくなり、検出共振インピーダンスが線形に小さくなる。そして、検出面１２４が中間部１９８の矢印Ｒ２方向の端部に対向する位置Ｐ２まで変位すると、センサ対向部１２６の面積がＳ８になる。このとき、検出共振インピーダンスがアンクランプ閾値Ｚｂに到達するため、判定部１４２はアンクランプ状態であると判定する。
【０１１６】
本変形例によれば、本体部１９２の延在方向の両端部に取付部１１０を設けているため、検出体１９０を回動軸９０（支持レバー８６）に対して一層強固に固定することができる。
【０１１７】
次に、第５変形例に係る検出体２００について図１３〜図１４Ｂを参照しながら説明する。図１３〜図１４Ｂに示すように、本変形例に係る検出体２００は、本体部１９２の矢印Ｒ１方向の端部に設けられた２つの第１保持部２０２と、本体部１９２の矢印Ｒ２方向の端部に設けられた２つの第２保持部２０４とを有している。
【０１１８】
２つの第１保持部２０２は、取付部１１０を挟むように本体部１９２の幅方向の両端部に設けられている。各第１保持部２０２と取付部１１０との間には所定の隙間が形成されている。各第１保持部２０２は、回動軸９０の径方向（検出体２００の厚さ方向）に弾性変形可能に構成されている。つまり、各第１保持部２０２は、本体部１９２から回動軸９０の延在方向に沿って延出した第１延出部２０２ａと、第１延出部２０２ａの先端から矢印Ｒ１方向に向かって回動軸９０の径方向外側に延出した第１受入部２０２ｂとを含む。
【０１１９】
２つの第２保持部２０４は、本体部１９２の幅方向の両端部に互いに離間した状態で設けられている。第２保持部２０４は、上述した第１保持部２０２と同様に構成されており、本体部１９２から回動軸９０の延在方向に沿って延出した第２延出部２０４ａと、第２延出部２０４ａの先端から矢印Ｒ２方向に向かって回動軸９０の径方向外側に延出した第２受入部２０４ｂとを含む。検出体２００が回動軸９０に取り付けられていない状態で互いに対向する第１保持部２０２と第２保持部２０４の間隔は、回動軸９０の外径よりも若干小さく設定されている。
【０１２０】
本変形例では、第１保持部２０２と第２保持部２０４との間に回動軸９０が挿入されると、回動軸９０の外周面に接触した第１受入部２０２ｂと第２受入部２０４ｂとが径方向外方に押圧されて第１保持部２０２と第２保持部２０４とが互いに離間する方向（拡開する方向）に弾性変形する。そして、回動軸９０に対して検出体２００を完全に装着されると、復元力により第１延出部２０２ａと第２延出部２０４ａとが回動軸９０の外周面に押し付けられる。
【０１２１】
本変形例によれば、第１保持部２０２と第２保持部２０４とは、回動軸９０の外周面を径方向外方から保持するため、検出体２００を回動軸９０に対してより強固に固定することができる。
【０１２２】
本実施形態は、上述した構成に限定されない。例えば、検出体２０、１５０、１７０、１８０、２００において、延在方向の両端部に取付部１１０を設けてもよい。また、検出体２０、１５０、１７０、１８０、１９０において、第１保持部２０２及び第２保持部２０４を設けてもよい。また、近接センサ２２は、共振インピーダンスではなくインダクタンスの変化に基づいてクランプアーム１８の回動位置を検出するようにしてもよい。
【０１２３】
上記の検出体２０、１５０、１７０は、アンクランプ状態からクランプ状態に移行する際にセンサ対向部１２６の面積が小さくなり、クランプ状態からアンクランプ状態に移行する際にセンサ対向部１２６の面積が大きくなるように構成されていてもよい。この場合、アンクランプ状態からクランプ状態に移行する際に検出共振インピーダンスが大きくなり、クランプ状態からアンクランプ状態に移行する際に検出共振インピーダンスが小さくなる。
【０１２４】
また、上記の検出体１８０、１９０は、アンクランプ状態からクランプ状態に移行する際にセンサ対向部１２６の面積が大きくなり、クランプ状態からアンクランプ状態に移行する際にセンサ対向部１２６の面積が小さくなるように構成されていてもよい。この場合、アンクランプ状態からクランプ状態に移行する際に検出共振インピーダンスが小さくなり、クランプ状態からアンクランプ状態に移行する際に検出共振インピーダンスが大きくなる。
【０１２５】
上述した各検出体２０、１５０、１７０、１８０、１９０は、取付部１１０に形成されたねじ挿通孔１１６にねじ部材１１４を挿通させた状態で支持レバー８６のねじ孔１０４に螺合することにより支持レバー８６に対して取り付けられる。換言すれば、各検出体２０、１５０、１７０、１８０、１９０は、同一寸法の取付部１１０を有している。そのため、検出体２０、１５０、１７０、１８０、１９０を容易に交換することができる。つまり、支持レバー８６の構造や近接センサ２２を変更することなく、検出体２０、１５０、１７０、１８０、１９０を交換することにより、種々のセンサ特性の要求に容易に対応することができる。
【０１２６】
具体的には、例えば、クランプ装置１０の用途によってクランプ状態の検出共振インピーダンスを高精度に検出する必要がある場合には、クランプ状態でのセンサ対向部１２６の面積がゼロになる（検出共振インピーダンスが急激に変化する）検出体１５０、１７０、１９０を用いればよい。
【０１２７】
また、例えば、クランプ特性を変更する場合（例えば、動力伝達機構をトグルリンク機構から楔機構に変更する場合）、クランプ力の特性が変化するが、そのクランプ特性に合った検出体を用いることにより、クランプ状態及びアンクランプ状態を簡便且つ高精度に検出することができる。
【０１２８】
さらに、クランプアーム１８の回動角度範囲を変更する場合には、その回動角度範囲の全範囲に亘ってセンサ対向部１２６の面積が変化するような検出体を用いることにより、クランプ状態及びアンクランプ状態を簡便且つ高精度に検出することができる。
【０１２９】
本発明に係るクランプ装置は、上述の実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【０１３０】
１０…クランプ装置                  １２…駆動部
１４…クランプボディ                １８…クランプアーム
２０、１５０、１７０、１８０、１９０、２００…検出体
２２…近接センサ                    ９０…回動軸
１０６…凹部                        １１０…取付部
１１２、１５４、１５６、１８４、１８６…長溝
１１２ａ、１１２ｂ、１５４ａ、１５６ａ、１８４ａ、１８６ａ…側辺
１２４…検出面                      １２６…センサ対向部
２０２…第１保持部                  ２０４…第２保持部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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