(57)【要約】【課題】回転機構を備えるロードポートにおいて、容器の受渡位置を、回転機構を備えないロードポートに合わせた場合でも、容器の回転時に容器のドア部等への衝突を回避すること。【解決手段】ロードポート４は、開口部３０を有するベース２０と、ベース２０に設けられ、開口部３０を開閉するドア部２１と、ベース２０と直交する前後方向において、ベース２０から前方に突設され、載置トレイ２３を支持するフレーム２２と、載置トレイ２３を鉛直軸周りに回転させる回転機構２４と、ＦＯＵＰ３００がＯＨＴ４００によって載置トレイ２３に載置された後、回転機構２４が載置トレイ２３を回転させる前に又は回転させている最中に、ドア部２１及び載置トレイ２３のうち少なくともいずれか一方を他方から遠ざける移動機構とを備える。ＦＯＵＰ３００とドア部２１等とが相対的に遠ざかるため、ＦＯＵＰ３００が回転時にドア部２１等に衝突することを回避できる。【選択図】図８
2018006705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収容する容器が載置される載置部を備えており、前記載置部が、予め設置された軌道に沿って走行し前記容器を輸送する輸送手段との間で前記容器を受渡し可能な受渡位置にあるときに、前記容器を前記輸送手段との間で受渡しするロードポートであって、
立設配置され、開口部を有するベースと、
前記ベースに設けられ、前記開口部を開閉するドア部と、
前記ベースと直交する前後方向において、前記ベースから前方に突設され、前記載置部を支持するフレームと、
前記載置部を鉛直軸周りに回転させる回転機構と、
前記容器が前記輸送手段によって前記載置部に載置された後、前記回転機構が前記載置部を回転させる前に又は回転させている最中に、前記ドア部及び前記載置部のうち少なくともいずれか一方を他方から遠ざける移動機構と、を備えることを特徴とするロードポート。
【請求項２】
前記移動機構は、前記載置部を前記受渡位置から前記前後方向に移動させるものであり、
前記容器が前記輸送手段によって前記受渡位置にある前記載置部に載置された後、前記回転機構が前記載置部を回転させる前に又は回転させている最中に、前記載置部を前記受渡位置よりも前記前方に移動させることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
【請求項３】
前記回転機構は、前記移動機構が前記受渡位置よりも前記前方の回転位置まで前記載置部を移動させた後に、前記載置部を回転させることを特徴とする請求項２に記載のロードポート。
【請求項４】
前記移動機構は、前記載置部を前記フレームよりも前記前方に突出させることで、前記載置部を前記回転位置に移動させることを特徴とする請求項３に記載のロードポート。
【請求項５】
前記フレームの前記前方にある障害物を検知する検知手段と、
前記検知手段が前記障害物を検知した場合に前記載置部の前記回転位置への移動を規制する制御手段と、を備えることを特徴とする請求項４に記載のロードポート。
【請求項６】
前記移動機構は、前記回転機構を下方から支持し、且つ、前記前後方向に移動可能な可動部を有しており、
前記載置部は、前記回転機構によって下方から支持されており、
前記載置部に載置された前記容器の下面に形成されたノズル挿入口に接続する接続位置と、前記ノズル挿入口から下方に離間する離間位置との間で昇降可能な、ガスの注入又は排出用のノズルが、前記可動部に支持されていることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載のロードポート。
【請求項７】
前記移動機構が、前記容器の側面に設けられた蓋が前記ドア部とともに開閉されるドア開閉位置へ前記載置部を移動させる前に又は移動させる最中に、前記ノズルが前記接続位置に移動し、前記ノズルを介して前記容器へのガスの注入又は排出が開始されることを特徴とする請求項６に記載のロードポート。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のロードポートである第１ロードポートと、
前記載置部を備えており、且つ、前記回転機構を備えていない第２ロードポートと、
前記基板を前記容器に出し入れする搬送手段を有する搬送室と、を備え、
前記第１ロードポートの前記載置部の前記受渡位置と、前記第２ロードポートの前記載置部の前記受渡位置とが、前記輸送手段の前記軌道に沿って配置されていることを特徴とする基板搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を収容する容器を回転させる回転機構を備えるロードポート及び当該ロードポートを備える基板搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体ウェハ等の基板を収容するＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）等の容器と、基板を搬送する搬送手段が設置された搬送室との間で基板の出し入れが行われる際に、容器が載置されるロードポートという装置が知られている。なお、ロードポートは、上記搬送手段及び搬送室とともに、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）等の基板搬送システムを構成する。
【０００３】
通常、上記の容器は、容器の側面に設けられた蓋と、この蓋を開閉するためにロードポートに設けられたドアとが正対する状態でロードポートに載置されるが、そのような向きで容器が載置されない場合がある。例えば、工場内で容器を保管するストッカーが、容器を回転させる回転機構を備えていない場合等に、容器が通常と反対向きになった状態でロードポートに載置されうる。このような場合には、容器の蓋がドアと正対するように容器を回転させる必要があるが、そのための回転手段を備えたロードポートが、特許文献１〜３に開示されている。
【０００４】
特許文献１に記載のロードポートは、容器が載置される載置部と、載置部を移動させる移動機構と、移動機構を回転させる回転機構と、を備える。載置部は、フォーク部を備えた移載機（すなわち、床上を走行する移載機）との間で容器の受渡しが行われる受渡位置と、容器の蓋がドアとともに開閉されるドア開閉位置との間で移動可能である。回転機構が載置部とともに容器を回転させることにより、容器の蓋とドアとが正対する。なお、容器を回転させる回転位置は、受渡位置とドア開閉位置との間にある。
【０００５】
特許文献２、３にも特許文献１と同様に、容器を回転させる回転機構を有するロードポートが開示されているが、特許文献２、３に記載のロードポートでは、容器を回転させる回転位置が、ロードポートに容器を運ぶ装置等との間で容器が受け渡される受渡位置と同じとされている。
【０００６】
一方、半導体工場等の工場内で容器を輸送する輸送手段として、予め設置された軌道に沿って走行するＯＨＴ（Overhead Hoist Transfer）等の無人搬送車が知られている。そのような輸送手段が配置された工場内で、回転機構を備えるロードポートと、回転機構を備えていないロードポート（以下、通常ロードポートと称する）とが混在する場合に、搬送効率を向上させるため、双方のロードポートにおける容器の受渡位置を輸送手段の軌道に沿って配置したいという要望がある。なお、輸送手段の走行軌道と、前述の搬送室のうちロードポートが配置されている壁面との距離は規格によって定められており、例えばＯＨＴの場合、ＳＥＭＩ規格によって、基板の大きさによらず平面視で２４３ｍｍ前後と定められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１３−２１９１５９号公報
【特許文献２】特許第４１６８７２４号公報
【特許文献３】特許第４８１６６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１〜３に記載のロードポートのように、ＯＨＴ等の無人搬送車による容器の受渡しを前提としておらず、受渡位置をドア開閉位置から十分遠い位置にすることができる場合には、容器の回転位置を受渡位置と同一又は受渡位置よりもドア開閉位置側に設定することができる。しかしながら、前述の規格に準拠して、ドア開閉位置に近い位置に受渡位置を定めると、これらのロードポートでは、寸法上、回転時に容器がドアやその周辺の壁面に衝突してしまう。このため、これらの回転機構を備えるロードポートにおける受渡位置と、回転機構を備えないロードポートにおける受渡位置とを、同一の輸送手段の軌道に沿って配置することができず、容器の輸送効率が落ちるという問題がある。
【０００９】
本発明の目的は、回転機構を備えるロードポートにおいて、輸送手段から載置部に容器が受け渡される受渡位置を、回転機構を備えないロードポートにおける受渡位置と同一の輸送手段の軌道に沿って配置した場合でも、容器の回転時に容器のドア等への衝突を回避することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の発明のロードポートは、基板を収容する容器が載置される載置部を備えており、前記載置部が、予め設置された軌道に沿って走行し前記容器を輸送する輸送手段との間で前記容器を受渡し可能な受渡位置にあるときに、前記容器を前記輸送手段との間で受渡しするロードポートであって、立設配置され、開口部を有するベースと、前記ベースに設けられ、前記開口部を開閉するドア部と、前記ベースと直交する前後方向において、前記ベースから前方に突設され、前記載置部を支持するフレームと、前記載置部を鉛直軸周りに回転させる回転機構と、前記容器が前記輸送手段によって前記載置部に載置された後、前記回転機構が前記載置部を回転させる前に又は回転させている最中に、前記ドア部及び前記載置部のうち少なくともいずれか一方を他方から遠ざける移動機構と、を備えることを特徴とするものである。
【００１１】
回転機構を備えるロードポートにおいて、容器が輸送手段によって載置部に載置された後、回転機構が載置部を回転させる前に又は回転させている最中に、ドア部と載置部との前後方向の距離が相対的に遠ざかる。したがって、回転機構を備えるロードポートにおいて、輸送手段から載置部に容器が受け渡される受渡位置を、回転機構を備えないロードポートにおける受渡位置と同一の輸送手段の軌道に沿って配置した場合でも、容器の回転時に容器がドア部やベースに衝突することを回避することができる。
【００１２】
第２の発明のロードポートは、前記第１の発明において、前記移動機構は、前記載置部を、前記輸送手段との間で前記容器が前記載置部に受渡しされる受渡位置から前後方向に移動させるものであり、前記容器が前記輸送手段によって前記受渡位置にある前記載置部に載置された後、前記回転機構が前記載置部を回転させる前に又は回転させている最中に、前記載置部を前記受渡位置よりも前記前方に移動させることを特徴とするものである。
【００１３】
容器が載置部に載置された後、回転手段が載置部を回転させる前に又は回転させながら、載置部が移動機構によって受渡位置よりも前方に移動するため、容器の回転時に容器がドア部やベースに衝突することを回避することができる。なお、ドア部を後退させる場合と比べて、ロードポート側の空気が開口部を通じて後方の空間に入り込みにくいため、後方の空間の汚染の心配が少ない。
【００１４】
第３の発明のロードポートは、前記第２の発明において、前記回転機構は、前記移動機構が、前記受渡位置よりも前記前方の回転位置まで前記載置部を移動させた後に、前記載置部を回転させることを特徴とするものである。
【００１５】
載置部が、移動機構によって受渡位置よりも前方の回転位置まで移動した後に、回転機構によって回転するため、容器の回転時に容器がドア部やベースに衝突することをより確実に回避することができる。
【００１６】
第４の発明のロードポートは、前記第３の発明において、前記移動機構は、前記載置部を前記フレームよりも前記前方に突出させることで、前記載置部を前記回転位置に移動させることを特徴とするものである。
【００１７】
本発明によれば、載置部のみが回転位置まで突出するため、フレームを回転位置まで突出させる必要がなくなり、フレームの前後方向の大きさがコンパクトになり、ロードポートの設置面積を小さくすることができる。
【００１８】
第５の発明のロードポートは、前記第４の発明において、前記フレームの前記前方にある障害物を検知する検知手段と、前記検知手段が前記障害物を検知した場合に前記載置部の前記回転位置への移動を規制する制御手段と、を備えることを特徴とするものである。
【００１９】
本発明によれば、人等が近くを通行するときに、載置部及び容器がフレームよりも前方に飛び出すことを防止できるため、安全性が確保できる。
【００２０】
第６の発明のロードポートは、前記第２〜第５のいずれかの発明において、前記移動機構は、前記回転機構を下方から支持し、且つ、前記前後方向に移動可能な可動部を有しており、前記載置部は、前記回転機構によって下方から支持されており、前記載置部に載置された前記容器の下面に形成されたノズル挿入口に接続する接続位置と、前記ノズル挿入口から下方に離間する離間位置との間で昇降可能な、ガスの注入又は排出用のノズルが、前記可動部に支持されていることを特徴とするものである。
【００２１】
本発明によれば、回転機構が移動機構の可動部によって支持され、載置部が回転機構に支持されるため、載置部のみが回転機構によって回転し、移動機構の可動部の上面に設けられたガス注入又は排出用のノズルは回転しない。したがって、ノズルに接続されるガスの注入又は排出用の配管によって回転機構の動きを妨げられることなく、載置部を回転させることができる。
【００２２】
第７の発明のロードポートは、前記第６の発明において、前記移動機構が、前記容器の側面に設けられた蓋が前記ドア部とともに開閉されるドア開閉位置へ前記載置部を移動させる前に又は移動させる最中に、前記ノズルが前記接続位置に移動し、前記ノズルを介して前記容器へのガスの注入又は排出が開始されることを特徴とするものである。
【００２３】
ガスの注入又は排出用のノズルは、可動部の上面に設けられているため、載置部が移動機構によって移動している間でも、ノズルと載置部との前後方向の相対位置は変化しない。そのため、載置部がドア開閉位置に移動させる前に又は移動させる最中に、容器へのガスの注入又は排出を開始することができる。したがって、載置部の移動完了後にガスの注入等を始めるよりも早くガスの注入等を完了させることができ、ドア部の開閉までの時間を短縮することができる。
【００２４】
第８の発明の基板搬送システムは、前記第１〜第７のいずれかの発明のロードポートである第１ロードポートと、前記載置部を備えており、且つ、前記回転機構を備えていない第２ロードポートと、前記基板を前記容器に出し入れする搬送手段を有する搬送室と、を備え、前記第１ロードポートの前記載置部の前記受渡位置と、前記第２ロードポートの前記載置部の前記受渡位置とが、前記輸送手段の前記軌道に沿って配置されていることを特徴とするものである。
【００２５】
回転機構を備える第１ロードポート及び回転機構を備えていない第２ロードポートについて、それぞれのロードポートの載置部が取る受渡位置が、同一の輸送手段の走行軌道に沿って配置される。したがって、それぞれのロードポートに対して、同一の輸送手段を用いて容器の受渡しをすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】（ａ）は、本実施形態に係るロードポートを含む半導体装置及びその周辺の概略的な平面図、（ｂ）は同じく正面図である。
【図２】ロードポートの斜視図である。
【図３】ロードポートの右側面図である。
【図４】載置トレイの位置を示す右側面図であり、（ａ）は中間の位置、（ｂ）は前方の位置、（ｃ）は後方の位置をそれぞれ示す。
【図５】ノズルの昇降を示す右側面図であり、（ａ）はノズルが離間位置に、（ｂ）はノズルが接続位置にある状態をそれぞれ示す。
【図６】図１（ａ）の拡大図である。
【図７】ロードポートの動作のフローチャートである。
【図８】ロードポートの動作を示す平面図である。
【図９】ロードポートの動作を示す右側面図である。
【図１０】変形例に係るロードポートの斜視図である。
【図１１】ロードポートの右側面図である。
【図１２】ロードポートの動作を示す平面図である。
【図１３】別の変形例に係るＥＦＥＭの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
次に、本発明の実施の形態について、図１〜図８を参照しながら説明する。なお、図１に示すように、複数のロードポート４、５が並ぶ方向を左右方向とする。また、左右方向と直交し、ロードポート４、５が搬送室６に向かう方向を前後方向とする。前後方向において、ロードポート４、５側を前方、搬送室６側を後方とする。
【００２８】
（ロードポートを含む半導体装置及び周辺の概略構成）
図１は、半導体工場に設置された半導体製造装置１及びその周辺の概略図である。図１（ａ）に示すように、半導体製造装置１は、ウェハ等の基板を処理する基板処理装置２と、基板を基板処理装置２との間で受渡しするＥＦＥＭ３（本発明の基板搬送システム）とを備える。半導体製造装置１は、以下の一連の動作を行う。まず、ＥＦＥＭ３が、基板を収容するＦＯＵＰ３００（本発明の容器）を、後述するＯＨＴ４００（本発明の輸送手段）等から受け取る。次に、ＥＦＥＭ３は、ＦＯＵＰ３００から基板を取り出して、基板処理装置２に基板を渡す。基板処理装置２は、ＥＦＥＭ３から受け取った基板の処理を行い、基板をＥＦＥＭ３に戻す。ＥＦＥＭ３は、基板をＦＯＵＰ３００に戻す。その後、ＦＯＵＰ３００は、ＯＨＴ４００等によって運ばれていく。
【００２９】
基板処理装置２は、図示しない基板処理機構と、制御装置１０とを備える。制御装置１０は、基板処理機構を制御して、基板の処理やＥＦＥＭ３との間での基板の受渡しを行うほか、上位コンピュータであるホスト２００等との間で通信を行う。
【００３０】
ＥＦＥＭ３は、１台のロードポート４（本発明のロードポート及び第１ロードポート）と、２台のロードポート５（本発明の第２ロードポート）と、搬送室６と、搬送ロボット７（本発明の搬送手段）と、制御装置１１とを備える。なお、ロードポート４とロードポート５との大きな相違点は、後述する回転機構２４の有無である。すなわち、ロードポート４は回転機構２４を備え、ロードポート５は回転機構２４を備えていない。
【００３１】
ロードポート４、５は、それぞれの後端部が、後述する搬送室６の前側の隔壁８に沿うように、左右方向に並設される。ロードポート４、５には、ＦＯＵＰ３００が載置される。  なお、ＦＯＵＰ３００は、ＯＨＴ４００によって工場内を輸送される。図１（ａ）、（ｂ）に示すように、ＯＨＴ４００は、工場内の天井に予め設置されたレール４０１（本発明の軌道）に沿って走行し、上方からロードポート４、５にアクセスする無人搬送車である。ＯＨＴ４００は、ホスト２００からの指令に基づいて、ＦＯＵＰ３００をロードポート４又はロードポート５に受渡しする。
【００３２】
搬送室６は、隔壁８によって外部空間から隔離された搬送空間９を構成する。なお、レール４０１と、搬送室６の前方の隔壁８との前後方向の距離Ｌは、例えばＳＥＭＩ規格によって定められる２４３ｍｍ前後である。
【００３３】
搬送ロボット７は、搬送室６内に設置され、ロードポート４、５に載置されたＦＯＵＰ３００と基板処理装置２との間で基板の受渡しをする。制御装置１１は、搬送ロボット７の制御を行うほか、基板処理装置２の制御装置１０、後述するロードポート４の制御装置２９及びホスト２００等との間で通信を行う。
【００３４】
（ロードポートの構成）
次に、ロードポート４の構成について説明する。なお、図２に示される方向を前後左右上下方向とする。
【００３５】
図２、図３及び図５に示すように、ロードポート４は、ベース２０と、ドア部２１と、フレーム２２と、載置トレイ２３（本発明の載置部）と、回転機構２４と、移動機構２５と、窒素ガスパージユニット２７と、制御装置２９（本発明の制御手段）等を備える。
【００３６】
ベース２０は、正面視で略矩形状の平板状の部分である。ベース２０は、搬送室６の隔壁８の一部を構成するように立設配置される。また、ベース２０の上側部分には、正面視で略矩形状の開口部３０が形成されている。開口部３０は、ＦＯＵＰ３００の側面に設けられた蓋３０１が前後に通過できる大きさを有する。
【００３７】
ドア部２１は、ドア３１と、ドアアーム３２とを有する。ドア３１は、略矩形状の平板状の部材であり、開口部３０を後方から塞ぐことができる大きさを有する。ドア３１は、ＦＯＵＰ３００の蓋３０１を吸着する吸着部３３と、蓋３０１の錠を開閉するラッチキー３４とを有する。ドアアーム３２は、ドア３１の後部に取り付けられ、ドア３１を下方から支持する部材である。また、ドアアーム３２は、ドア移動部３５に接続される。ドア移動部３５は、ベース２０の後方に設けられ、ドア３１及びドアアーム３２を前後方向及び上下方向に移動させる。
【００３８】
フレーム２２は、ベース２０から前方に突設された部分である。フレーム２２は、平面視で略矩形状であり、ＦＯＵＰ３００よりも大きい面積を有する。なお、フレーム２２の前面には、センサ２６（本発明の検知手段）が設けられている。センサ２６は、例えば発光部と受光部とを有する光学センサである。発光部が、フレーム２２の前方に光を発し、フレーム２２の前方に障害物がある場合、障害物によって反射された光を受光部が検知し、検知信号を制御装置２９に送る。
【００３９】
載置トレイ２３は、平面視で略矩形状の部材であり、ＦＯＵＰ３００が安定して載置されることができる面積を有する。載置トレイ２３は、後述するように、回転機構２４及び移動機構２５を介してフレーム２２に下方から支持される。
【００４０】
載置トレイ２３の上面には、３つの位置決めピン３６、３７、３８が設けられている。位置決めピン３６、３７、３８は、後述する正規の向きにＦＯＵＰ３００が載置された場合に、ＦＯＵＰ３００の底面に設けられた図示しない３つの穴と係合するように配置されている。なお、図２及び図３における載置トレイ２３の向きは、ＦＯＵＰ３００の蓋３０１とドア３１とが正対する状態における向きである。すなわち、位置決めピン３６と位置決めピン３７との前後方向の位置が略等しく、位置決めピン３８が位置決めピン３６、３７よりも前方に位置するとき、ＦＯＵＰ３００の蓋３０１とドア３１とが正対する。載置トレイ２３の上記の向きを、正規の向きと称する。
【００４１】
また、載置トレイ２３には、載置トレイ２３の上面から下面に亘って貫通する、２つのノズル通過孔３９、４０が形成されている。これらのノズル通過孔３９、４０は、載置トレイ２３が正規の向きにあるときに、後述する注入ノズル５５及び排出ノズル５６をそれぞれ通過させることができるように配置されている。
【００４２】
図３に示すように、回転機構２４は、モータ４１と、シャフト４２とを有する。モータ４１には、例えば回転式のエアモータ等が用いられる。モータ４１は、後述する移動機構２５の可動部４７に支持される。シャフト４２は、モータ４１の上部及び載置トレイ２３の下部に、鉛直方向に延びるように取り付けられ、載置トレイ２３を下方から支持するとともにモータ４１の回転動力を載置トレイ２３に伝える。上記の構成を有する回転機構２４のモータ４１がシャフト４２を回転させることによって、載置トレイ２３は、鉛直軸周りに回転する。
【００４３】
図２〜図４に示すように、移動機構２５は、シリンダ４５と、伝動部４６と、可動部４７と、スライドレール４８と、レールブロック４９とを有する。シリンダ４５には、例えば、シリンダ４５を構成するロッド５０が３種類の位置を取りうる３ポジションエアシリンダが用いられる。シリンダ４５は、ロッド５０が前後方向に移動するようにフレーム２２内に設けられる。伝動部４６は、ロッド５０の端部及び可動部４７の下部に取り付けられ、シリンダ４５の動力を可動部４７に伝えるように設置される。可動部４７は、伝動部４６の上部に接続され、前後方向に移動するように設置される。また、可動部４７は、回転機構２４のモータ４１を下方から支持する。スライドレール４８は、可動部４７の下部に前後方向に沿って取り付けられる。レールブロック４９は、フレーム２２の上面に固定され、スライドレール４８を下方から前後移動可能に支持する。
【００４４】
上記の構成を有する移動機構２５のシリンダ４５が、ロッド５０を前後方向に動かすことによって、載置トレイ２３は、図４に示すように、前後方向において３つの位置の間で移動可能になる。ロードポート４が図１に示すように配置されている状態で、図４（ａ）に示すように、載置トレイ２３が前後方向において中間の位置にあるとき、載置トレイ２３は、レール４０１の真下に位置する。すなわち、載置トレイ２３は、ＯＨＴ４００によってＦＯＵＰ３００を受け渡されることができる。載置トレイ２３の上記の位置を、受渡位置と称する。
【００４５】
また、図４（ｂ）に示すように、載置トレイ２３が受渡位置よりも前方にあるとき、後述するように、載置トレイ２３は回転機構２４によって回転させられる。この前方の位置を、回転位置と称する。さらに、図４（ｃ）に示すように、載置トレイ２３が受渡位置よりも後方にあるとき、載置トレイ２３上のＦＯＵＰ３００の蓋３０１がドア部２１に近接し、蓋３０１がドア部２１とともに開閉される。この後方の位置を、ドア開閉位置と称する。
【００４６】
また、ロードポート４は、図５に示すように、ＦＯＵＰ３００内に窒素ガスの注入及び排出をする窒素ガスパージユニット２７を備える。窒素ガスパージユニット２７は、窒素ガスを供給するガス供給手段５１と、ＦＯＵＰ３００内に予め満たされているエアーを排出する排気手段５２と、配管５３，５４と、注入ノズル５５及び排出ノズル５６（本発明のノズル）と、モータ５７，５８とを有する。
【００４７】
注入ノズル５５は、移動機構２５の可動部４７の上面から上向きに突出するように設けられ、載置トレイ２３が正規の向きにあるときにノズル通過孔３９を通過できるように配置されている。注入ノズル５５は、配管５３に接続され、また、モータ５７によって昇降可能になっている。配管５３は、ガス供給手段５１につながっている。同様に、排出ノズル５６は、載置トレイ２３が正規の向きにあるときにノズル通過孔４０を通過できるように配置され、配管５４に接続され、また、モータ５８によって昇降可能になっている。配管５４は、排気手段５２につながっている。
【００４８】
図５（ａ）に示すように、注入ノズル５５及び排出ノズル５６が最も下降したときは、注入ノズル５５及び排出ノズル５６の上端が載置トレイ２３よりも下方に離間した位置（離間位置）にある。また、図５（ｂ）に示すように、注入ノズル５５及び排出ノズル５６が最も上昇したときは、注入ノズル５５及び排出ノズル５６の上端部がＦＯＵＰ３００の底面のノズル挿入口３０２、３０３にそれぞれ接続される位置（接続位置）にある。
【００４９】
制御装置２９は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等を備える。制御装置２９は、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、ＣＰＵにより、ロードポート４の各機構を制御するほか、ＥＦＥＭ３の制御装置１１やホスト２００等との間で通信を行う。
【００５０】
次に、ロードポート５について説明する。ロードポート５の構成は、ロードポート４の構成と概ね同様であるが、前述のように、回転機構２４を備えていないという点でロードポート４の構成と異なる。すなわち、ロードポート５において、ＦＯＵＰ３００は、蓋３０１がドア３１と正対する状態で載置トレイ２３に載置される。なお、ロードポート５の載置トレイ２３は、移動機構２５に直接的に支持されている。また、ロードポート５の載置トレイ２３は、回転位置には移動せず、受渡位置とドア開閉位置との間で移動させられる。ロードポート４とロードポート５とにおいて、載置トレイ２３の受渡位置及びドア開閉位置の前後方向の位置は、同じである。
【００５１】
（ロードポートの動作ステップ）
次に、図６に示すように、ＥＦＥＭ３に設置されたロードポート４の動作ステップについて、図６〜図９を用いて説明する。
【００５２】
図７は、ロードポート４の動作のフローチャートである。まず、載置トレイ２３上にＦＯＵＰ３００が載置されていない状態で、ロードポート４の制御装置２９はホスト２００と通信し、ＯＨＴ４００によって輸送されてくるＦＯＵＰ３００の情報を取得する（Ｓ１０１）。なお、このＦＯＵＰ３００の情報には、載置トレイ２３に載置されるときのＦＯＵＰ３００の向きに関する情報が含まれる。ＦＯＵＰ３００の蓋３０１がロードポート４のドア３１に正対する向きで載置される場合には、正規の向きである旨の情報が、蓋３０１が正規の向きと反対の向きで載置される場合には、反対向きである旨の情報が、それぞれホスト２００から送られてくる。
【００５３】
次に、制御装置２９は、ホスト２００から受け取った情報に基づき、ＦＯＵＰ３００が載置トレイ２３に載置される向きが正規の向きであるか反対向きであるかを判定する（Ｓ１０２）。まず、ＦＯＵＰ３００が反対向きで載置トレイ２３に載置される場合について説明する。
【００５４】
制御装置２９は、載置トレイ２３が正規の向きに配置されている場合、回転機構２４のモータ４１を駆動して、反対向きのＦＯＵＰ３００が載置されるように載置トレイ２３を回転させる。載置トレイ２３が初めから反対向きに配置されている場合は、制御装置２９は、載置トレイ２３を回転させない。また、制御装置２９は、載置トレイ２３が受渡位置以外の位置にある場合、移動機構２５のシリンダ４５を動作させて、載置トレイ２３を受渡位置に移動させる。載置トレイ２３が初めから受渡位置にある場合は、制御装置２９は、載置トレイ２３を移動させない。すなわち、制御装置２９は、載置トレイ２３が、図８（ａ）に示すような位置及び向きにある状態で待機する（Ｓ１０３）。
【００５５】
このとき、図６に示すように、ロードポート４の載置トレイ２３は、平面視でレール４０１に沿って配置されており、ＦＯＵＰ３００がＯＨＴ４００によって載置されることができる。なお、同様に、ロードポート５における載置トレイの受渡位置も、平面視でレール４０１に沿って配置されている。
【００５６】
次に、図８（ｂ）及び図９（ａ）に示すように、ＦＯＵＰ３００がＯＨＴ４００によって載置トレイ２３に載置される（Ｓ１０４）。その後、図８（ｃ）に示すように、制御装置２９は、移動機構２５のシリンダ４５を動作させて、載置トレイ２３を受渡位置よりも前方の回転位置に移動させ、載置トレイ２３をドア３１から遠ざける（Ｓ１０５）。図８（ｃ）及び図９（ｂ）に示すように、載置トレイ２３が回転位置にある状態では、載置トレイ２３は、フレーム２２よりも前方に突出している。
【００５７】
なお、図示しないが、フレーム２２の前方に障害物がある場合、センサ２６が予め障害物を検知して、制御装置２９に検知信号を送る。検知信号を受け取った制御装置２９は、例えばシリンダ４５への制御信号を発しない等、載置トレイ２３の回転位置への移動を規制する。したがって、人等が近くを通行するときに、載置トレイ２３やＦＯＵＰ３００がフレーム２２よりも前方に飛び出すことを防止でき、安全性が確保できる。
【００５８】
次に、図８（ｄ）、（ｅ）及び図９（ｃ）に示すように、制御装置２９は回転機構２４のモータ４１を駆動して、載置トレイを１８０°回転させる（Ｓ１０６）。ここで、載置トレイ２３が受渡位置にある状態でＦＯＵＰ３００が回転すると、ＦＯＵＰ３００はロードポート４のドア３１或いはベース２０に衝突してしまうが、載置トレイ２３が受渡位置よりも前方の回転位置にあるときにＦＯＵＰ３００が回転するため、ＦＯＵＰ３００は、ドア３１やベース２０に衝突せずに回転する。すなわち、ロードポート４において、載置トレイ２３の受渡位置を、ロードポート５における載置トレイ２３の受渡位置と同一のＯＨＴ４００のレール４０１に沿って配置した場合でも、ＦＯＵＰ３００が回転時にドア３１やベース２０に衝突することを回避することができる。なお、本実施形態では、後述の変形例で示すようにドア部２１ａを後退させる場合と比べて、ロードポート４側の空気が開口部３０を通じて搬送空間９に入り込みにくいため、搬送空間９の汚染の心配が少ない。
【００５９】
なお、回転機構２４は移動機構２５の可動部４７によって支持され、載置トレイ２３は回転機構２４によって支持されるため、回転機構２４によって回転するのは載置トレイ２３及びＦＯＵＰ３００のみである。すなわち、可動部４７の上面に設けられた前述の注入ノズル５５及び排出ノズル５６は回転しない。したがって、載置トレイ２３は、配管５３、５４によって回転機構２４の動きを妨げられることなく回転することができる。
【００６０】
次に、制御装置２９は窒素ガスパージユニット２７のモータ５７、５８を駆動して、注入ノズル５５及び排出ノズル５６を接続位置まで上昇させてＦＯＵＰ３００の底部のノズル挿入口３０２、３０３に接続させる。そして、制御装置２９は、ガス供給手段５１及び排気手段５２を制御して、注入ノズル５５及び排出ノズル５６を通じて、ＦＯＵＰ３００への窒素ガスの注入及びエアーの排出を開始する（Ｓ１０７）。なお、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、載置トレイ２３が反対向きに配置されている状態では、注入ノズル５５及び排出ノズル５６の前後方向の位置とノズル通過孔３９、４０の前後方向との位置とが一致しないため、注入ノズル５５及び排出ノズル５６をＦＯＵＰ３００に接続させることはできない。図９（ｃ）に示すように、載置トレイ２３が正規の向きに配置されることによって、初めて注入ノズル５５、及び排出ノズル５６のＦＯＵＰ３００への接続が可能になる。
【００６１】
次に、図８（ｆ）に示すように、制御装置２９はシリンダ４５を動作させて、載置トレイ２３を後方のドア開閉位置に移動させる（Ｓ１０８）。そして、制御装置２９は、ガス供給手段５１及び排気手段５２の動作を止め、モータ５７、５８を駆動して注入ノズル５５及び排出ノズル５６を離間位置まで下降させる（Ｓ１０９）。なお、ガスの注入及び排出は、載置トレイ２３がドア開閉位置へ移動するよりも前に開始されるため、載置トレイ２３の移動完了後に窒素ガスの注入等を始めるよりも早く窒素ガスの注入等を完了させることができ、後述するドア開閉動作までの時間を短縮することができる。
【００６２】
次に、ロードポート４はドア開閉動作を行う（Ｓ１１０）。すなわち、制御装置２９は、ドア３１のラッチキー３４によってＦＯＵＰ３００の蓋３０１を開錠し、ドア３１の吸着部３３に蓋３０１を吸着させて保持する。そして、制御装置２９はドア移動部３５を動作させて、ドア３１及び蓋３０１を後方に移動させ、ドア３１及び蓋３０１を下降させる。その後、ＥＦＥＭ３の制御装置１１が搬送ロボット７を動作させて、ＦＯＵＰ３００内から基板を取り出して基板処理装置２に渡し、処理が完了した基板を基板処理装置２から受け取ってＦＯＵＰ３００内に戻す。必要な全ての基板処理が終わった後、制御装置２９はドア移動部３５を動作させてドア３１及び蓋３０１を上昇、前進させ、蓋３０１をＦＯＵＰ３００に戻し、ラッチキー３４によって蓋３０１を施錠し、吸着部３３への蓋３０１の吸着を解除する。
【００６３】
その後、制御装置２９は、ホスト２００に基板処理が終わった旨の情報を送る。また、制御装置２９は、ホスト２００からの指令に従って、ＦＯＵＰ３００の移動及び回転の制御をする。すなわち、ＦＯＵＰ３００が正規の向きのままＯＨＴ４００によって輸送されていく場合、制御装置２９は、移動機構２５を制御して載置トレイ２３をそのままの向きで受渡位置に移動させる。また、ＦＯＵＰ３００が反対向きでＯＨＴ４００によって輸送されていく場合、制御装置２９は、移動機構２５により載置トレイ２３をいったん回転位置に移動させる。そして、制御装置２９は、回転機構２４により載置トレイ２３を反転させた後、移動機構２５を制御し、載置トレイ２３を受渡位置に移動させる。最後に、ホスト２００から指示を受けたＯＨＴ４００によって、ＦＯＵＰ３００が輸送されていく（Ｓ１１１）。
【００６４】
ステップＳ１０２に戻り、ＦＯＵＰ３００が正規の向きで載置される場合について説明する。制御装置２９は、載置トレイ２３が反対向きに配置されている場合、回転機構２４により載置トレイ２３を正規の向き（図２参照）に回転させる。また、制御装置２９は、載置トレイ２３が受渡位置以外に配置されている場合、移動機構２５により載置トレイ２３を受渡位置に移動させる。すなわち、制御装置２９は、載置トレイ２３が正規の向き且つ受渡位置にある状態で待機する（Ｓ１２１）。ＦＯＵＰ３００は、ＯＨＴ４００によって、正規の向きで載置トレイ２３に載置される（Ｓ１２２）。この場合、制御装置２９は、載置トレイ２３の回転位置への移動及び載置トレイ２３の回転を行わず、ステップＳ１０７のガスの注入及びエアーの排出を開始する。以降、制御装置２９は、ＦＯＵＰ３００が反対向きに載置された場合と同様の動作を行う。
【００６５】
以上のように、ロードポート４は、載置トレイ２３が平面視でレール４０１に沿って受渡位置を取る場合でも、ＦＯＵＰ３００の回転時にＦＯＵＰ３００がドア３１やベース２０に衝突することを回避することができる。そのため、ＥＦＥＭ３において、ロードポート４の載置トレイ２３の受渡位置と、回転機構２４を有しないロードポート５の載置トレイ２３の受渡位置とが、同一のレール４０１に沿って配置される。したがって、それぞれのロードポート４、５に対して、同一のＯＨＴ４００を用いてＦＯＵＰ３００の受渡しをすることができる。
【００６６】
また、ロードポート４の載置トレイ２３が回転位置にある状態では、載置トレイ２３は、フレーム２２よりも前方に突出している。すなわち、フレーム２２は前後方向において回転位置まで突出している必要はなく、フレーム２２の前後方向の大きさがコンパクトになる。したがって、ロードポート４の設置面積を、ロードポート５と同程度に小さくすることができる。
【００６７】
次に、前記実施形態に変更を加えた変形例について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００６８】
（１）図１０〜図１２に示すように、ロードポート４ａは、ドア部２１ａを載置トレイ２３から遠ざける移動機構６０を備えていても良い。以下、具体的に説明する。
【００６９】
図１０及び図１１に示すように、ドア部２１ａは、回動板６１，６２をさらに有する。ベース２０ａの開口部３０ａは、ドア部２１ａのドア３１ａよりも上下方向に広く、開口部３０ａの上側部分が回動板６１によって、下側部分が回動板６２によって、それぞれ塞がれる。回動板６１，６２は、左右方向を軸にしてそれぞれ回動可能に支持される。回動板６１は上側部分が、回動板６２は下側部分が、それぞれベース２０ａに支持される。
【００７０】
移動機構６０は、ドア部２１ａのドアアーム３２ａを前後方向及び上下方向に移動させるドア移動部３５ａと、回動板６１に接続されるモータ６３と、回動板６２に接続されるモータ６４と、を有する。モータ６３，６４は、回動板６１，６２を、開口部３０ａを塞ぐ閉止位置（図１０（ａ））と、開口部３０ａを開放する開放位置（図１０（ｂ））との間で、それぞれ回動させる。図１０（ｂ）に示すように、回動板６１，６２は、後方に回動することで開放位置に移動する。
【００７１】
図１２は、ＦＯＵＰ３００が反対向きに載置された場合のロードポート４ａの動作を示す平面図である。まず、制御装置２９が載置トレイ２３を反対向き、且つ、受渡位置で待機させ（図１２（ａ））、ＦＯＵＰ３００が反対向きで載置トレイ２３に載置される（図１２（ｂ））ところまでは、前記実施形態と同様である。
【００７２】
次に、制御装置２９は、図１２（ｃ）に示すように、移動機構６０を制御してドア３１ａを後退させ、且つ、回動板６１，６２を後方に回動させる。つまり、この変形例では、回動板６１，６２を後方に回動させることで、ドア部２１ａを載置トレイ２３から相対的に遠ざけている。次に、制御装置２９は、図１２（ｄ）、（ｅ）に示すように、回転機構２４を制御して、載置トレイ２３を回転させる。この変形例では、載置トレイ２３が受渡位置から移動せずに回転するが、図１２（ｄ）に示すように、ＦＯＵＰ３００の回転時にＦＯＵＰ３００がドア３１ａやベース２０ａに衝突することを回避できる。なお、制御装置２９は、移動機構２５ａを制御して載置トレイ２３を回転位置に移動させ、且つ、移動機構６０を制御してドア３１ａの後退等をさせても良い。
【００７３】
載置トレイ２３の回転が完了した後、制御装置２９は、図１２（ｆ）に示すように、移動機構６０を制御して、ドア３１ａを前進させ、回動板６１，６２を閉止位置に移動させる。また、制御装置２９は、移動機構２５ａを制御して、載置トレイ２３をドア開閉位置に移動させる。以降のロードポート４ａの動作は、前述の実施形態と同様である。
【００７４】
（２）回転機構２４が載置トレイ２３を回転させる角度は、１８０°に限られず、例えば９０°回転させるような構成でも良い。図１３に示すＥＦＥＭ３ｂでは、２台のロードポート５が搬送室６ｂの前方の壁面に沿って設置されているのに対し、ロードポート４は搬送室６ｂの左方の壁面に沿って設置されている。このような場合、ロードポート４が、載置トレイ２３を正規の向きから９０°回転させた状態で待機することによって、ＯＨＴ４００との間でＦＯＵＰ３００の受渡しが可能になる。そして、ＦＯＵＰ３００がＯＨＴ４００によって載置トレイ２３に載置された後、制御装置２９は、移動機構２５によって載置トレイ２３を回転位置に移動させ、回転機構２４によって載置トレイ２３を９０°回転させる。
【００７５】
（３）ロードポート４の他の構成も、適宜変更できる。例えば、ロードポート４が窒素ガスパージユニット２７を備えておらず、ガスの注入及び排出の動作ステップがなくても良い。また、フレーム２２の前後方向の大きさを、載置トレイ２３が回転位置にあるときでもフレーム２２から前方に突出しない程度に大きくしても良い。さらに、ＦＯＵＰ３００が載置される載置部は、載置トレイ２３に限られない。例えば、前述の特許文献２（特許第４１６８７２４号公報）に記載されるような平面視で三角形状のものでも良く、ＦＯＵＰ３００が載置されるものであれば良い。
【００７６】
回転機構２４の構成は本実施形態のものに限られず、載置トレイ２３を鉛直軸周りに回転させることができれば良い。また、移動機構２５の構成も本実施形態のものに限られず、載置トレイ２３を３つの位置の間で前後方向に移動させることができれば良い。センサ２６は、例えば超音波検知器などでも良い。
【００７７】
（４）移動機構２５が載置トレイ２３を回転位置に移動させるよりも前に、回転機構２４が載置トレイ２３を回転させ始めても良い。すなわち、ＦＯＵＰ３００がドア３１やベース２０に衝突しないようなタイミングで、回転機構２４が載置トレイ２３を回転させている最中に、移動機構２５が載置トレイ２３を前方に移動させても良い。
【００７８】
（５）ロードポート４の制御装置２９は、必ずしもロードポート４内に組み込まれていなくても良く、基板処理装置２の制御装置１０或いはＥＦＥＭ３の制御装置１１がロードポート４の制御に兼用されても良い。
【００７９】
（６）その他の構成も適宜変更できる。例えば、ＥＦＥＭ３において、ロードポート４，５の台数は３台に限定されない。また、ロードポート５を全てロードポート４に置き換えても良い。ＦＯＵＰ３００に注入されるガスは、窒素以外の不活性ガスでも良い。基板が収容される容器は、ＦＯＵＰ３００に限られず、例えば、工場間で基板を輸送するためのＦＯＳＢ（Front Opening Shipping Box）等でも良い。ロードポート４、５と、搬送室６とを備える搬送システムは、ＥＦＥＭ３に限られず、例えば、複数の容器間で基板の出し入れをするソータ等でも良い。基板を搬送する搬送手段は、搬送ロボット７に限られない。容器を輸送する輸送手段は、ＯＨＴ４００に限られず、予め設置された軌道に沿って容器を輸送するものであれば良い。上記軌道と、搬送室６の前方の隔壁８との前後方向の距離Ｌは、２４３ｍｍ前後に限られない。
【符号の説明】
【００８０】
３，３ｂ              ＥＦＥＭ
４，４ａ，５          ロードポート
６，６ｂ              搬送室
７                    搬送ロボット
１０，１１，２９      制御装置
２０，２０ａ          ベース
２１，２１ａ          ドア部
２２                  フレーム
２３                  載置トレイ
２４                  回転機構
２５                  移動機構
２６                  センサ
２９                  制御装置
３０，３０ａ          開口部
３１，３１ａ          ドア
３９，４０            ノズル通過孔
４７                  可動部
５５                  注入ノズル
５６                  排出ノズル
６０                  移動機構
３００                ＦＯＵＰ
４００                ＯＨＴ
４０１                レール
【図１】
2018006705.tif 000003
【図２】
2018006705.tif 000004
【図３】
2018006705.tif 000005
【図４】
2018006705.tif 000006
【図５】
2018006705.tif 000007
【図６】
2018006705.tif 000008
【図７】
2018006705.tif 000009
【図８】
2018006705.tif 000010
【図９】
2018006705.tif 000011
【図１０】
2018006705.tif 000012
【図１１】
2018006705.tif 000013
【図１２】
2018006705.tif 000014
【図１３】
2018006705.tif 000015