(57)【要約】【課題】ロボットハンドの把持面を部材の粘着面から円滑に剥離させることができるようにする。【解決手段】ロボットハンド２０は、一例として、把持面４１と、中央排気口４２と、二重の周辺環状溝４３、４４とを備える。把持面４１は、部材２００の粘着面２０３に粘着される。中央排気口４２は、把持面４１の中央部に開口し、空気を排出する。二重の周辺環状溝４３、４４は、中央排気口４２の周囲に環状に形成され、把持面４１に開口する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部材の粘着面に粘着される把持面と、
前記把持面の中央部に開口し、空気を排出する中央排気口と、
前記中央排気口の周囲に環状に形成され、前記把持面に開口する周辺環状溝と、
を備えるロボットハンド。
【請求項２】
前記周辺環状溝は、空気を排出する周辺排気口である、
請求項１に記載のロボットハンド。
【請求項３】
前記周辺環状溝は、多重である、
請求項１又は請求項２に記載のロボットハンド。
【請求項４】
部材を把持するロボットハンドを含み、
前記ロボットハンドは、
前記部材の粘着面に粘着される把持面と、
前記把持面の中央部に開口し、空気を排出する中央排気口と、
前記中央排気口の周囲に環状に形成され、前記把持面に開口する周辺環状溝と、
を備えるロボット装置。
【請求項５】
前記中央排気口に空気を供給する中央空気供給部と、
前記周辺環状溝としての周辺排気口に空気を供給する周辺空気供給部と、
前記中央排気口から空気が排出されてから前記周辺排気口から空気が排出されるように前記中央空気供給部及び前記周辺空気供給部を制御する制御部と、
を備える、
請求項４に記載のロボット装置。
【請求項６】
前記周辺空気供給部は、
前記周辺排気口と接続されたタンクと、
前記周辺排気口を通じて前記タンクの内側に空気を流入させる流入状態と、前記周辺排気口を通じて前記タンクの内側の空気を排出させる排出状態とに切り替わる切替部と、
を有し、
前記タンクには、前記タンクの内側の圧力に応じた圧力検出信号を出力する圧力検出器が設けられ、
前記制御部は、前記圧力検出器から出力された圧力検出信号に基づいて、前記タンクの内側の圧力が規定圧力に達した場合に、前記切替部が前記流入状態から前記排出状態に切り替わるように前記切替部を制御する、
請求項５に記載のロボット装置。
【請求項７】
前記周辺排気口は、多重の周辺排気口であり、
前記周辺空気供給部は、前記周辺空気供給部から前記多重の周辺排気口の各々に空気が供給される順番を切り替える切替部を有し、
前記制御部は、前記多重の周辺排気口のうち内側の周辺排気口から外側の周辺排気口へ順番に前記周辺空気供給部から空気が供給されるように前記切替部を制御する、
請求項５又は請求項６に記載のロボット装置。
【請求項８】
前記把持面、前記中央排気口、及び、前記周辺排気口を有する把持部と、
前記把持部を前記部材から遠ざかる方向に相対移動させる駆動部と、
を備え、
前記制御部は、前記把持部が前記部材から遠ざかる方向に相対移動しながら、前記中央排気口及び前記周辺排気口から空気が順次排出されるように、前記中央空気供給部、前記周辺空気供給部、及び、前記駆動部を制御する、
請求項５〜請求項７のいずれか一項に記載のロボット装置。
【請求項９】
部材の粘着面にロボットハンドの把持面を粘着させ、
前記把持面の中央部に開口する中央排気口から空気を排出させて前記粘着面と前記把持面との間に空気層を形成し、
前記空気層を拡大させて、前記中央排気口の周囲に環状に形成され前記把持面に開口する周辺環状溝の内側空間と前記空気層とを連通させ、
前記粘着面から前記把持面を剥離させる、
ことを含む部材剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の開示する技術は、ロボットハンド、ロボット装置、及び、部材剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
粘着面に台紙が貼られた部材は、粘着面から台紙が剥離されてから対象物に搬送され、対象物に貼り付けられる。このような作業を自動的に行うには、貼付装置が使用される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、部材を把持して搬送するために、この種の貼付装置に適用可能な技術としては、一対の把持部を有するロボットハンドを備え、このロボットハンドの一対の把持部で部材を把持するものがある（例えば、特許文献２、３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−３００４７２号公報
【特許文献２】特開２０１４−１０８８７８号公報
【特許文献３】特開２０１６−２６０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記技術より、粘着面と台紙との間に一方の把持部を挿入し、部材を一対の把持部で把持した状態で、粘着面から台紙を剥離させることが想定される。しかしながら、この場合には、部材の粘着面に一方の把持部の把持面が粘着される。部材を対象物に適切に貼り付けるためには、把持面が粘着面から円滑に剥離することが望まれる。
【０００６】
そこで、本願の開示する技術は、一つの側面として、ロボットハンドの把持面を部材の粘着面から円滑に剥離させることができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本願の開示する技術によれば、把持面と、中央排気口と、周辺環状溝とを有するロボットハンドが提供される。把持面は、部材の粘着面に粘着される。中央排気口は、把持面の中央部に開口し、空気を排出する。周辺環状溝は、中央排気口の周囲に環状に形成され、把持面に開口する。
【発明の効果】
【０００８】
本願の開示する技術によれば、ロボットハンドの把持面を部材の粘着面から円滑に剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第一実施形態に係るロボット装置の側面図である。
【図２】図１に示されるロボットハンド及びその周辺部の拡大図である。
【図３】図１に示されるロボットハンドの二面図である。
【図４】粘着面に台紙が貼られた部材の一例を示す二面図である。
【図５】台紙抑え装置の一例を示す側面図である。
【図６】図１に示されるロボット装置を用いて部材の粘着面から台紙を剥離させる一例を側面断面図にて説明する図である。
【図７Ａ】図２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第一段階の一例を側面断面図にて説明する図である。
【図７Ｂ】図２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第二段階の一例を側面断面図にて説明する図である。
【図７Ｃ】図２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第三段階の一例を側面断面図にて説明する図である。
【図８Ａ】図２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第一段階の一例を平面図にて説明する図である。
【図８Ｂ】図２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第二段階の一例を平面図にて説明する図である。
【図８Ｃ】図２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第三段階の一例を平面図にて説明する図である。
【図９】図２に示されるロボットハンドの各排気口の流量及びタンクの圧力と時間との関係の一例を示すグラフである。
【図１０】図２に示されるロボットハンドによって部材を対象物に貼り付ける工程の一例を説明する図である。
【図１１】図１に示される制御部の処理の流れの一例を示すフローチャートである。
【図１２】第二実施形態に係るロボットハンド及びその周辺部の側面図である。
【図１３】図１２に示されるロボットハンドの二面図である。
【図１４Ａ】図１２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第一段階の一例を側面断面図にて説明する図である。
【図１４Ｂ】図１２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第二段階の一例を側面断面図にて説明する図である。
【図１５Ａ】図１２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第一段階の一例を平面図にて説明する図である。
【図１５Ｂ】図１２に示されるロボットハンドの把持部を部材の粘着面から剥離させる工程の第二段階の一例を平面図にて説明する図である。
【図１６】図１２に示されるロボットハンドの各排気口の流量及びタンクの圧力と時間との関係の一例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［第一実施形態］
はじめに、本願の開示する技術の第一実施形態を説明する。
【００１１】
図１に示される第一実施形態に係るロボット装置１０は、粘着面を有する部材の搬送及びこの部材の対象物への貼付に好適に使用される。このロボット装置１０は、後に詳述するロボットハンド２０に加えて、ロボットアーム１１と、吸着用のポンプ１２と、剥離用のポンプ１３と、タンク１４とを備える。また、このロボット装置１０は、その他に、切替部８０と、圧力検出器９０と、制御部１００とを備える。
【００１２】
本実施形態では、一例として、長尺シート状（長尺板状）の柔軟性貼付物である部材２００をロボット装置１０の搬送対象物としている。柔軟性貼付物である部材２００としては、例えば、ゴムシート材がある。図４に示されるように、この部材２００は、柔軟性を有する部材本体２０１と、粘着性を有する粘着層２０２とを備える。
【００１３】
粘着層２０２は、例えば、両面テープであり、部材本体２０１の厚さ方向一方側の面に貼り付けられている。この粘着層２０２における部材本体２０１への貼付面と反対側の面は、部材２００の粘着面２０３であり、この粘着面２０３には、台紙２０４が貼り付けられている。部材２００の表面２０５は、部材２００における粘着面２０３と反対側の面である。
【００１４】
図１に示されるように、ロボットアーム１１には、一例として、垂直多関節ロボットが適用されている。このロボットアーム１１の先端部には、ロボットハンド２０が設けられている。
【００１５】
ロボットハンド２０は、吸着部３０と、把持部４０と、シリンダ５０と、開閉機構６０と、回転機構７０とを備えている。吸着部３０及び把持部４０は、互いに対向して配置されている。この吸着部３０及び把持部４０は、部材２００の厚さ方向両側に配置され、後述するように、台紙２０４を粘着面２０３から剥離させる際に、部材２００をその厚さ方向両側から把持する。
【００１６】
図２に示されるように、吸着部３０は、吸着面３１と、一対の吸着口３２と、連通路３３とを有する。吸着面３１は、把持部４０と対向する面であり、吸着部３０及び把持部４０の対向方向と直交している。一対の吸着口３２は、吸着面３１に開口している。連通路３３は、吸着部３０の内部に形成されており、一対の吸着口３２と連通している。一対の吸着口３２は、連通路３３及び接続路８３を通じて吸着用のポンプ１２と接続されている。ポンプ１２は、空気を吸引するように作動する構成となっている。吸着面３１は、後述するように、台紙２０４が剥離された部材２００を搬送する際に、部材２００の表面２０５を吸着する。
【００１７】
把持部４０は、把持面４１と、中央排気口４２と、二重の周辺排気口４３、４４と、複数の連通路４５、４６、４７とを有する。把持面４１は、吸着部３０と対向する面であり、吸着部３０及び把持部４０の対向方向と直交している。この把持面４１は、後述するように、台紙２０４が剥離された部材２００を搬送する際に、部材２００の粘着面２０３に粘着される。
【００１８】
中央排気口４２は、把持面４１の中央部（略中央側の部分）に位置しており、把持面４１に開口している。図２において、中央排気口４２は、一つのみ図示されているが、図３に示されるように、中央排気口４２は、把持面４１の中央部に複数形成されている。二重の周辺排気口４３、４４は、いずれも中央排気口４２の周囲に環状に形成されている。この二重の周辺排気口４３、４４は、「周辺環状溝」の一例であり、環状に延びる溝状に形成され、把持面４１に開口している。
【００１９】
一例として、二重の周辺排気口４３、４４のうち、内側の周辺排気口４３は、把持面４１の法線方向視にて楕円形を成しており、外側の周辺排気口４４は、把持面４１の法線方向視にて四角形を成している。この二重の周辺排気口４３、４４は、把持面４１における外縁部４８（外周部）よりも内側に形成されている。
【００２０】
この二重の周辺排気口４３、４４は、後述するように、中央排気口４２から空気を排出することで把持面４１を粘着面２０３から剥離させる際に部分的な剥離の進行を規制する役割を果たすものである。二重の周辺排気口４３、４４が大きいと、部分的な剥離の進行を規制した状態での剥離面積が大きく確保され、ひいては、粘着面２０３と把持面４１との間に作用する剥離抵抗力（粘着力）を低下させることができる。したがって、二重の周辺排気口４３、４４は、剥離抵抗力を低下させるのに十分な大きさであることが望ましい。
【００２１】
複数の連通路４５、４６、４７は、把持部４０の内部に形成されている。連通路４５は、中央排気口４２と連通しており、他の連通路４６、４７は、二重の周辺排気口４３、４４とそれぞれ連通している。図２に示されるように、中央排気口４２は、連通路４５及び接続路８５を通じて剥離用のポンプ１３と接続されている。ポンプ１３は、「中央空気供給部」の一例であり、中央排気口４２に空気を供給するように作動する構成となっている。二重の周辺排気口４３、４４は、連通路４６、４７及び接続路８６、８７を通じてタンク１４とそれぞれ接続されている。
【００２２】
接続路８６のタンク１４側は、一対の分岐路８６Ａ、８６Ｂに分岐されており、接続路８７のタンク１４側は、一対の分岐路８７Ａ、８７Ｂに分岐されている。これら複数の分岐路８６Ａ、８６Ｂ、８７Ａ、８７Ｂには、切替部８０が設けられている。
【００２３】
切替部８０は、二重の周辺排気口４３、４４とタンク１４との間に設けられている。この切替部８０は、複数の分岐路８６Ａ、８６Ｂ、８７Ａ、８７Ｂの各々に設けられた複数の逆止弁８１Ａ、８１Ｂ、８２Ａ、８２Ｂを有している。
【００２４】
逆止弁８１Ａ、８２Ａは、二重の周辺排気口４３、４４の側からタンク１４の側に向かう方向を順方向としており、逆止弁８１Ｂ、８２Ｂは、タンク１４の側から二重の周辺排気口４３、４４の側に向かう方向を順方向としている。複数の逆止弁８１Ａ、８１Ｂ、８２Ａ、８２Ｂは、一定の圧力が加わると開放する構成となっている。この複数の逆止弁８１Ａ、８１Ｂ、８２Ａ、８２Ｂには、後述する制御部１００によって制御される電磁式逆止弁が適用されている。
【００２５】
制御部１００によって逆止弁８１Ａが開放可能とされた場合、切替部８０は、内側の周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側に空気を流入させる流入状態となる。また、制御部１００によって逆止弁８２Ａが開放可能とされた場合、切替部８０は、外側の周辺排気口４４を通じてタンク１４の内側に空気を流入させる流入状態となる。
【００２６】
さらに、制御部１００によって逆止弁８１Ｂが開放可能とされた場合、切替部８０は、内側の周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側の空気を排出させる排出状態となる。また、制御部１００によって逆止弁８２Ｂが開放可能とされた場合、切替部８０は、外側の周辺排気口４４を通じてタンク１４の内側の空気を排出させる排出状態となる。
【００２７】
タンク１４は、上述の切替部８０と共に、二重の周辺排気口４３、４４に空気を供給する周辺空気供給部１５を構成している。周辺空気供給部１５は、逆止弁８１Ａ、８２Ａが開放しているときには、二重の周辺排気口４３、４４を通じてタンク１４の内側に空気が流入する構成となっている。また、周辺空気供給部１５は、逆止弁８１Ｂ、８２Ｂが開放しているときには、二重の周辺排気口４３、４４を通じてタンク１４の内側の空気が排出される構成となっている。
【００２８】
圧力検出器９０は、タンク１４に設けられている。この圧力検出器９０は、タンク１４の内側の圧力を検出すると共に、この検出した圧力に応じた圧力検出信号を制御部１００に出力するように構成されている。
【００２９】
シリンダ５０は、吸着部３０に接続された可動部５１を有しており、この可動部５１と共に吸着部３０を把持部４０との対向方向に移動させるように構成されている。
【００３０】
開閉機構６０は、モータ６１と、ギア６２とを有する。ギア６２は、モータ６１の回転力を直線力に変換し、把持部４０を吸着部３０との対向方向に移動させるように構成されている。モータ６１は、把持部４０及び吸着部３０の対向方向に沿って把持部４０を部材２００から遠ざかる方向に移動させる駆動源であり、「駆動部」の一例である。
【００３１】
回転機構７０は、モータ７１と、アーム７２とを有する。アーム７２には、上述の開閉機構６０及び把持部４０が設けられている。この回転機構７０は、モータ７１が作動すると、アーム７２が回転し、把持部４０が部材２００に対する吸着部３０と反対側に位置する状態から、把持部４０が吸着部３０に対する部材２００と反対側に位置する状態（図１０参照）に変化するように構成されている。
【００３２】
制御部１００には、演算部及び記憶部等を有するコンピュータが適用されている。この制御部１００は、上述のポンプ１２、１３、複数の逆止弁８１Ａ、８１Ｂ、８２Ａ、８２Ｂ、開閉機構６０のモータ６１、及び、回転機構７０のモータ７１等を制御するように構成されている。
【００３３】
次に、上述の第一実施形態に係るロボット装置１０を用いて、部材から台紙を剥離させると共に、この部材を対象物に貼り付ける作業について説明する。
【００３４】
図５に示されるように、複数の部材２００は、一枚の台紙２０４に並んだ状態で貼り付けられている。複数の部材２００及び対象物２１０は、ステージ２２０の上に載置されている。部材２００を台紙２０４から剥離させる際には、台紙押さえ用の汎用ロボット装置１３０が使用される。汎用ロボット装置１３０は、ロボットアーム１３１と、押さえ用ハンド１３２と、コントローラ１３３とを備える。
【００３５】
図６の状態（１）に示されるように、台紙２０４は、吸着固定部２２１によってステージ２２０上に固定される。また、台紙２０４は、押さえ用ハンド１３２によりステージ２２０上に押え付けられる。
【００３６】
そして、ロボット装置１０のロボットアーム１１が作動することにより、台紙２０４と部材２００との間に把持部４０が挿入される。また、シリンダ５０及び開閉機構６０が作動することにより、吸着部３０及び把持部４０が部材２００の一端を把持する。このとき、把持部４０の把持面４１には、部材２００の粘着面２０３が粘着される。
【００３７】
続いて、図６の状態（２）から状態（３）に示されるように、ロボットアーム１１が作動することにより、部材２００が台紙２０４から剥離される。部材２００を台紙２０４から剥離させる際には、吸着用のポンプ１２が作動し、一対の吸着口３２から空気が吸引されることにより、吸着部３０に部材２００の表面２０５が吸着される。これにより、台紙２０４から部材２００が剥離される際に、部材２００に作用する粘着力によって吸着部３０の位置が部材２００に対してずれることが抑制される。
【００３８】
続いて、以下、図１１のフローチャートに示される複数の処理が実行されることで、把持部４０を部材２００から剥離させる部材剥離方法が実行される。
【００３９】
なお、図９には、ロボットハンド２０の各排気口の流量及びタンク１４の圧力と時間との関係の一例が示されている。グラフＦ１は、中央排気口４２からの排出空気の流量、グラフＦ２は、内側の周辺排気口４３からの排出空気の流量、グラフＦ３は、外側の周辺排気口４４からの排出空気の流量をそれぞれ示している。また、グラフＰは、タンク１４の内側の圧力を示している。
【００４０】
先ず、ステップＳ１では、図７Ａ、図８Ａの状態（４）に示されるように、制御部１００が開閉機構６０のモータ６１を作動させる。開閉機構６０のモータ６１が作動すると、把持部４０が部材２００から遠ざかる方向に移動し始める。制御部１００は、以下のステップＳ２〜ステップＳ６を実行する間、モータ６１を作動させ、把持部４０を部材２００から遠ざかる方向に移動させる。
【００４１】
続いて、ステップＳ２では、制御部１００が剥離用のポンプ１３を作動させる。図７Ａ、図８Ａの状態（４）、（５）に示されるように、ポンプ１３が作動すると、中央排気口４２から空気が排出される（図９のタイミングＴ１以降のグラフＦ１を参照）。中央排気口４２から空気が排出されると、この空気によって粘着面２０３の一部が押されることで粘着面２０３の一部が把持面４１から剥離して粘着面２０３が凹み、把持面４１と粘着面２０３との間に空気層２０６が形成される。また、ポンプ１３が継続して作動することで、空気層２０６が拡大し、中央排気口４２の周辺部において、把持面４１に対する粘着面２０３の剥離が進行する。図８Ａ〜図８Ｃにおいて、グレーに色付けされた粘着面２０３に部分的に表示された白抜き部分は、空気層２０６、すなわち、粘着面２０３の剥離部分を示している。
【００４２】
そして、図７Ａ、図８Ａの状態（５）に示されるように、空気層２０６がさらに拡大し、空気層２０６の一部が内側の周辺排気口４３に達する。ここで、第一実施形態では、中央排気口４２の周辺に環状の内側の周辺排気口４３が形成されている。したがって、空気層２０６の一部が局所的に拡がっても、空気層２０６の一部が内側の周辺排気口４３に達したときには、周辺排気口４３の内側空間と空気層２０６とが連通し、空気層２０６の一部の空気が内側の周辺排気口４３の周方向に沿って拡散する。これにより、内側の周辺排気口４３にて部分的な剥離の進行が規制され、空気層２０６と外気との間に排気流路（空気漏れ流路）が形成されることが抑制される。
【００４３】
また、このとき、内側の周辺排気口４３の側からタンク１４の側に向かう方向を順方向とする逆止弁８１Ａは、制御部１００によって開放可能な状態とされている。したがって、空気層２０６の一部が内側の周辺排気口４３に達すると、内側の周辺排気口４３と連通する連通路４６及び接続路８６の内圧の上昇に伴い逆止弁８１Ａが開放し、内側の周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側に空気が流入する。
【００４４】
また、内側の周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側に空気が流入すると、タンク１４の内側の圧力が上昇する（図９のタイミングＴ２以降のグラフＰを参照）。このときのタンク１４の内側の圧力は、圧力検出器９０によって検出され、圧力検出器９０は、タンク１４の内側の圧力に応じた圧力検出信号を制御部１００に出力する。
【００４５】
続いて、ステップＳ３では、制御部１００が圧力検出信号に基づいてタンク１４の内側の圧力が規定圧力に達したか判断する。このときの規定圧力は、図９の規定圧力Ｐ１に設定される。空気層２０６が拡大し、空気層２０６と内側の周辺排気口４３との接続領域が拡大すると、内側の周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側に空気が流入する量が増加し、タンク１４の内側の圧力がさらに増加する。タンク１４の内側の圧力が規定圧力（図９の規定圧力Ｐ１）に達すると、制御部１００は、ステップＳ４に移行する。
【００４６】
そして、ステップＳ４では、図７Ｂ、図８Ｂの状態（６）に示されるように、制御部１００が、タンク１４の側から内側の周辺排気口４３の側に向かう方向を順方向とする逆止弁８１Ｂを開放可能な状態にする。これにより、逆止弁８１Ａが閉止して、逆止弁８１Ｂが開放し、タンク１４の内側の空気が内側の周辺排気口４３を通じて排出される（図９のタイミングＴ３以降のグラフＦ２を参照）。
【００４７】
このようにして、中央排気口４２に加えて内側の周辺排気口４３からも空気が排出されると、内側の周辺排気口４３の内側において粘着面２０３が把持面４１から剥離すると共に、内側の周辺排気口４３から外側の周辺排気口４４に向けて剥離領域が拡がり、空気層２０６がさらに拡大する。なお、中央排気口４２に加えて内側の周辺排気口４３からも空気が排出されると、タンク１４の内側の圧力が低下する（図９のタイミングＴ３以降のグラフＰを参照）。
【００４８】
そして、図７Ｂ、図８Ｂの状態（７）に示されるように、空気層２０６がさらに拡大すると、空気層２０６の一部が外側の周辺排気口４４に達する。このとき、外側の周辺排気口４４の側からタンク１４の側に向かう方向を順方向とする逆止弁８２Ａは、制御部１００によって開放可能な状態とされている。空気層２０６の一部が外側の周辺排気口４４に達すると、周辺排気口４４の内側空間と空気層２０６とが連通し、外側の周辺排気口４４と連通する連通路４７及び接続路８７の内圧が上昇して逆止弁８２Ａが開放する。そして、外側の周辺排気口４４を通じてタンク１４の内側に空気が流入する（図９のタイミングＴ４以降のグラフＰを参照）。このときのタンク１４の内側の圧力は、圧力検出器９０によって検出され、圧力検出器９０は、タンク１４の内側の圧力に応じた圧力検出信号を制御部１００に出力する。
【００４９】
続いて、ステップＳ５では、制御部１００が圧力検出信号に基づいてタンク１４の内側の圧力が規定圧力に達したか判断する。このときの規定圧力は、図９の規定圧力Ｐ２に設定される。規定圧力Ｐ２は、上述の規定圧力Ｐ１よりも低く設定されている。空気層２０６が拡大し、空気層２０６と外側の周辺排気口４４との接続領域が拡大すると、外側の周辺排気口４４を通じてタンク１４の内側に空気が流入する量が増加し、タンク１４の内側の圧力がさらに増加する。このようにして、タンク１４の内側の圧力が規定圧力（図９の規定圧力Ｐ２）に達すると、制御部１００は、ステップＳ６に移行する。
【００５０】
そして、ステップＳ６では、図７Ｃ、図８Ｃの状態（８）に示されるように、制御部１００が、タンク１４の側から外側の周辺排気口４４の側に向かう方向を順方向とする逆止弁８２Ｂを開放可能な状態にする。これにより、逆止弁８２Ａが閉止して、逆止弁８２Ｂが開放し、タンク１４の内側の空気が外側の周辺排気口４４を通じて排出される（図９のタイミングＴ５以降のグラフＦ３を参照）。
【００５１】
このようにして、中央排気口４２及び内側の周辺排気口４３に加えて外側の周辺排気口４４からも空気が排出されると、外側の周辺排気口４４の内側において粘着面２０３が把持面４１から剥離すると共に、外側の周辺排気口４４から把持面４１の外縁部４８に向けて剥離領域が拡がり、空気層２０６がさらに拡大する。また、このようにして空気層２０６が拡大されることで、粘着面２０３と把持面４１との間に作用する剥離抵抗力（粘着力）が低下した状態となる。
【００５２】
そして、図７Ｃ、図８Ｃの状態（９）に示されるように、把持部４０が部材２００から遠ざかる方向に所定距離移動すると、粘着面２０３が把持面４１から完全に剥離される。
【００５３】
続いて、粘着面２０３が把持面４１から剥離されると、図１０の状態（１０）に示されるように、回転機構７０が作動し、把持部４０が吸着部３０に対する部材２００と反対側に移動する。また、図１０の状態（１１）に示されるように、ロボットアーム１１が作動して、ロボットハンド２０と共に部材２００が対象物２１０に搬送される。そして、ロボットハンド２０（吸着部３０）が対象物２１０に対して位置決めされ、部材２００が対象物２１０に位置決めされた状態で貼り付けられる。
【００５４】
第一実施形態では、以上の要領で、部材２００から台紙２０４が剥離されると共に、この部材２００が対象物２１０に貼り付けられる部材貼付方法が実行される。
【００５５】
次に、第一実施形態の作用及び効果について説明する。
【００５６】
先ず、第一実施形態の作用及び効果を明確にするために、図７Ａ〜図７Ｃ及び図８Ａ〜図８Ｃに示される第一実施形態に係るロボットハンド２０の把持部４０から二重の周辺排気口４３、４４が省かれた場合を比較例として検討する。この比較例では、中央排気口４２から空気が排出されると、この空気によって粘着面２０３の一部が押されることで粘着面２０３の一部が把持面４１から剥離して粘着面２０３が凹み、把持面４１と粘着面２０３との間に空気層２０６が形成される。
【００５７】
しかしながら、二重の周辺排気口４３、４４が省かれた上述の比較例では、以下の懸念がある。すなわち、ポンプ１３が継続して作動して空気層２０６が拡大すると、粘着面２０３が把持面４１から剥離する前に、空気層２０６の一部が局所的に外気と連通し、空気層２０６と外気との間に排気流路（空気漏れ流路）が形成されてしまう虞がある。排気流路が形成された場合には、中央排気口４２からの空気の排出量を増加させても、空気層２０６の空気が排気流路を通じて外部に漏れてしまい、把持面４１に対する粘着面２０３の剥離面積を拡大させることが困難になる。この結果、粘着面２０３と把持面４１との間に作用する剥離抵抗力が低下せず、把持面４１を粘着面２０３から円滑に剥離させることが困難になる。
【００５８】
これに対し、上記第一実施形態によれば、把持部４０には、把持面４１に開口する溝状の二重の周辺排気口４３、４４が形成されている。この二重の周辺排気口４３、４４は、中央排気口４２の周囲に環状に形成されている。したがって、空気層２０６の一部が局所的に拡がっても、空気層２０６の一部が内側の周辺排気口４３に達したときには、空気層２０６の一部の空気が内側の周辺排気口４３の周方向に沿って拡散する。
【００５９】
これにより、内側の周辺排気口４３にて部分的な剥離の進行が規制されるので、空気層２０６と外気との間に排気流路（空気漏れ流路）が形成されることが抑制される。したがって、ポンプ１３を継続して作動させることで、空気層２０６、つまり剥離領域を安定して拡大させることができ、剥離抵抗力を低下させることができるので、把持面４１を粘着面２０３から円滑に剥離させることが可能になる。
【００６０】
この結果、部材２００を吸着部３０によって吸着した状態で、把持面４１を粘着面２０３から剥離させても、部材２００に対する吸着部３０の吸着位置がずれてしまうことを抑制することができる。これにより、部材２００を対象物２１０に精度良く貼り付けることができる。
【００６１】
また、把持面４１の非粘着性を上げて把持面４１を粘着面２０３から剥離しやすくすることも不要であるので、剥離させるとき以外は把持面４１の粘着性を確保できる。これにより、吸着部３０及び把持部４０で部材２００を的確に把持することができるので、粘着面２０３から台紙２０４を容易に剥離させることができる。
【００６２】
しかも、この第一実施形態によれば、把持面４１には、二重の周辺排気口４３、４４が形成されている。したがって、万が一、空気層２０６の一部が内側の周辺排気口４３を通り越した場合でも、内側の周辺排気口４３の外側には、外側の周辺排気口４４がある。これにより、空気層２０６の一部が外側の周辺排気口４４に達した場合には、この空気層２０６の一部の空気が外側の周辺排気口４４の周方向に沿って拡散するので、外側の周辺排気口４４にて部分的な剥離の進行を規制することができる。
【００６３】
また、内側の周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側に空気が流入し、タンク１４の内側の圧力が規定圧力（図９の規定圧力Ｐ１）に達した場合には、逆止弁８１Ａが閉止して、逆止弁８１Ｂが開放する。そして、内側の周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側の空気が排出されるので、これにより、内側の周辺排気口４３の周辺部における剥離を促進させることができる。
【００６４】
同様に、剥離が進行し、外側の周辺排気口４４を通じてタンク１４の内側に空気が流入し、タンク１４の内側の圧力が規定圧力（図９の規定圧力Ｐ２）に達した場合には、逆止弁８２Ａが閉止して、逆止弁８２Ｂが開放する。そして、外側の周辺排気口４４を通じてタンク１４の内側の空気が排出されるので、これにより、外側の周辺排気口４４の周辺部における剥離も促進させることができる。
【００６５】
このように、二重の周辺排気口４３、４４から空気が排出されることにより剥離を促進させることができるので、例えば、一重の周辺排気口から空気を排出させる場合に比して、把持面４１を粘着面２０３からより一層円滑に剥離させることが可能になる。
【００６６】
さらに、この第一実施形態によれば、内側の周辺排気口４３から空気を排出させてから、外側の周辺排気口４４から空気を排出させる。したがって、把持面４１を内側から外側へ順に剥離させることができる。これにより、空気層２０６の一部が局所的に外気と連通すること、すなわち、空気層２０６と外気との間に排気流路が形成されることをより一層効果的に抑制することができる。
【００６７】
また、把持部４０が部材２００から遠ざかる方向に移動しながら、中央排気口４２及び二重の周辺排気口４３、４４から空気が順次排出される。これにより、例えば、中央排気口４２の空気の排出と、二重の周辺排気口４３、４４からの空気の排出と、把持部４０の移動とが段階的に行われる場合に比して、把持面４１を粘着面２０３から速やかに剥離させることができる。
【００６８】
次に、第一実施形態の変形例について説明する。
【００６９】
上記第一実施形態において、部材２００は、長尺シート状（長尺板状）であるが、長尺シート状以外の形状でも良い。
【００７０】
また、部材２００は、例えば、両面テープである粘着層２０２を備えるが、部材２００は、粘着面２０３を備えれば、どのような構造でも良い。
【００７１】
また、把持部４０は、「多重の周辺排気口」の一例として、二重の周辺排気口４３、４４を有するが、周辺排気口の数は、いくつでも良い。つまり、この場合の多重とは、二重以上を意味する。
【００７２】
また、二重の周辺排気口４３、４４からは、好ましくは、空気が排出されるが、二重の周辺排気口４３、４４は、空気を排出せずに単なる周辺環状溝として構成されても良い。このような構成であっても、空気層２０６の一部が周辺環状溝に達したときには、この空気層２０６の一部の空気が周辺環状溝の周方向に沿って拡散するので、周辺環状溝にて部分的な剥離の進行を規制することができる。
【００７３】
また、上記第一実施形態において、内側の周辺排気口４３は、把持面４１の法線方向視にて楕円形を成しており、外側の周辺排気口４４は、把持面４１の法線方向視にて四角形を成している。しかしながら、二重の周辺排気口４３、４４は、把持面４１の法線方向視にてどのような形状でも良い。
【００７４】
また、中央排気口４２には、ポンプ１３から空気が供給されるが、中央排気口４２に空気を供給する中央空気供給部は、例えば、コンプレッサなどポンプ以外の装置でも良い。
【００７５】
また、二重の周辺排気口４３、４４には、タンク１４から空気が供給されるが、二重の周辺排気口４３、４４に空気を供給する周辺空気供給部は、例えば、コンプレッサやポンプなどタンク以外の装置でも良い。
【００７６】
また、切替部８０は、複数の逆止弁８１Ａ、８１Ｂ、８２Ａ、８２Ｂを有する。しかしながら、二重の周辺排気口４３、４４を通じてタンク１４の内側に空気を流入させる状態と、二重の周辺排気口４３、４４を通じてタンク１４の内側の空気を排出させる状態とに切り替わることができれば、切替部８０は、上記以外の構造でも良い。
【００７７】
また、内側の周辺排気口４３から空気を排出させる場合、制御部１００は、タンク１４の内側の圧力が規定圧力に達した段階で、逆止弁８１Ｂを開放可能な状態に切り替える。しかしながら、制御部１００は、例えば、中央排気口４２から空気が排出されてから一定の時間が経過した後に、逆止弁８１Ｂを開放可能な状態に切り替えて内側の周辺排気口４３から空気を排出させても良い。
【００７８】
同様に、外側の周辺排気口４４から空気を排出させる場合、制御部１００は、タンク１４の内側の圧力が規定圧力に達した段階で、逆止弁８２Ｂを開放可能な状態に切り替える。しかしながら、制御部１００は、例えば、内側の周辺排気口４３から空気が排出されてから一定の時間が経過した後に、逆止弁８２Ｂを開放可能な状態に切り替えて外側の周辺排気口４４から空気を排出させても良い。
【００７９】
また、制御部１００は、好ましくは、内側の周辺排気口４３から外側の周辺排気口４４へ順番にタンク１４から空気が供給されるように切替部８０を制御する。しかしながら、制御部１００は、内側の周辺排気口４３と外側の周辺排気口４４とにタンク１４から同時に空気が供給されるように切替部８０を制御しても良い。
【００８０】
また、ロボットハンド２０は、部材２００を対象物に貼り付ける作業に好適に適用されるが、部材２００を対象物に貼り付ける以外の作業に適用されても良い。
【００８１】
また、ロボットハンド２０は、把持部４０を部材２００から遠ざかる方向に移動させるが、把持部４０が粘着面２０３から相対的に遠ざかるように、部材２００を把持部４０に対して移動させても良い。
【００８２】
また、この第一実施形態では、先ず、把持部４０が部材２００から遠ざかる方向に移動し始める。そして、把持部４０の移動を伴いながら、中央排気口４２及び二重の周辺排気口４３、４４から空気が順次排出される。しかしながら、把持部４０が部材２００から遠ざかる方向に移動し始めると同時に、中央排気口４２から空気が排出されても良い。また、中央排気口４２及び二重の周辺排気口４３、４４から空気が順に排出されてから、把持部４０が部材２００から遠ざかる方向に移動し始めても良い。さらに、把持部４０の移動は、把持面４１を粘着面２０３から剥離させる動作のどのタイミングで開始されても良い。
【００８３】
また、この第一実施形態では、把持部４０を部材２００から遠ざかる方向に移動させるための駆動部として、開閉機構６０のモータ６１が用いられているが、例えばシリンダや電動アクチュエータ等のようなモータ以外の装置が用いられても良い。
【００８４】
また、上記複数の変形例のうち、組み合わせ可能な変形例は、適宜、組み合わされて実施されても良い。
【００８５】
［第二実施形態］
次に、本願の開示する技術の第二実施形態を説明する。
【００８６】
図１２に示される第二実施形態に係るロボット装置１１０では、上述の第一実施形態に係るロボット装置１０（図２参照）に対し、ロボットハンドの構造が次のように変更されている。
【００８７】
すなわち、上述の第一実施形態に係るロボットハンド２０（図２参照）において、把持部４０には、二重の周辺排気口４３、４４が形成されているが、図１２に示される第二実施形態に係るロボットハンド１２０において、把持部４０には、一つの周辺排気口４３が形成されている。周辺排気口４３は、一例として、把持面４１の法線方向視にて四角形を成している。
【００８８】
この第二実施形態において、周辺排気口４３に対応して設けられた連通路４６、接続路８６、及び、一対の逆止弁８１Ａ、８１Ｂ（切替部８０）は、上述の第一実施形態と同様の構成である。
【００８９】
そして、この第二実施形態に係るロボットハンド１２０では、以下の要領で把持部４０が部材２００から剥離される。
【００９０】
なお、図１６には、ロボットハンド１２０の各排気口の流量及びタンク１４の圧力と時間との関係の一例が示されている。グラフＦ１は、中央排気口４２からの排出空気の流量、グラフＦ２は、周辺排気口４３からの排出空気の流量をそれぞれ示している。また、グラフＰは、タンク１４の内側の圧力を示している。図１４Ａ、図１５Ａの状態（４）は、上述の図６の状態（３）の続きに相当する。
【００９１】
図１４Ａ、図１５Ａの状態（４）、（５）に示されるように、剥離用のポンプ１３が作動すると、中央排気口４２から空気が排出される（図１６のタイミングＴ１以降のグラフＦ１を参照）。中央排気口４２から空気が排出されると、この空気によって粘着面２０３の一部が押されることで粘着面２０３の一部が把持面４１から剥離して粘着面２０３が凹み、把持面４１と粘着面２０３との間に空気層２０６が形成される。また、ポンプ１３が継続して作動することで、空気層２０６が拡大し、中央排気口４２の周辺部において、把持面４１に対する粘着面２０３の剥離が進行する。図１５Ａ、図１５Ｂにおいて、グレーに色付けされた粘着面２０３に部分的に表示された白抜き部分は、空気層２０６、すなわち、粘着面２０３の剥離部分を示している。
【００９２】
そして、図１４Ａ、図１５Ａの状態（５）に示されるように、空気層２０６がさらに拡大し、空気層２０６の一部が周辺排気口４３に達する。ここで、第二実施形態では、中央排気口４２の周辺に環状の周辺排気口４３が形成されている。したがって、空気層２０６の一部が局所的に拡がっても、この空気層２０６の一部が周辺排気口４３に達したときには、周辺排気口４３の内側空間と空気層２０６とが連通し、空気層２０６の一部の空気が周辺排気口４３の周方向に沿って拡散する。これにより、周辺排気口４３にて部分的な剥離の進行が規制され、空気層２０６と外気との間に排気流路（空気漏れ流路）が形成されることが抑制される。
【００９３】
また、このとき、周辺排気口４３の側からタンク１４の側に向かう方向を順方向とする逆止弁８１Ａは、制御部１００によって開放可能な状態とされている。したがって、空気層２０６の一部が周辺排気口４３に達すると、周辺排気口４３と連通する連通路４６及び接続路８６の内圧の上昇に伴い逆止弁８１Ａが開放し、周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側に空気が流入する。
【００９４】
また、周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側に空気が流入すると、タンク１４の内側の圧力が上昇する（図１６のタイミングＴ２以降のグラフＰを参照）。このときのタンク１４の内側の圧力は、圧力検出器９０によって検出され、圧力検出器９０は、タンク１４の内側の圧力に応じた圧力検出信号を制御部１００に出力する。
【００９５】
続いて、制御部１００は、圧力検出信号に基づいてタンク１４の内側の圧力が規定圧力に達したか判断する。このときの規定圧力は、図１６の規定圧力Ｐ１に設定される。空気層２０６が拡大し、空気層２０６と周辺排気口４３との接続領域が拡大すると、周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側に空気が流入する量が増加し、タンク１４の内側の圧力がさらに増加する。
【００９６】
そして、図１４Ｂ、図１５Ｂの状態（６）に示されるように、タンク１４の内側の圧力が規定圧力（図９の規定圧力Ｐ１）に達すると、制御部１００は、タンク１４の側から周辺排気口４３の側に向かう方向を順方向とする逆止弁８１Ｂを開放可能な状態にする。これにより、逆止弁８１Ａが閉止して、逆止弁８１Ｂが開放し、タンク１４の内側の空気が周辺排気口４３を通じて排出される（図１６のタイミングＴ３以降のグラフＦ２を参照）。
【００９７】
このようにして、中央排気口４２に加えて周辺排気口４３からも空気が排出されると、周辺排気口４３の内側において粘着面２０３が把持面４１から剥離すると共に、周辺排気口４３から把持面４１の外縁部４８に向けて剥離領域が拡がり、空気層２０６がさらに拡大する。また、このようにして空気層２０６が拡大されることで、粘着面２０３と把持面４１との間に作用する剥離抵抗力（粘着力）が低下した状態となる。
【００９８】
そして、図１４Ｂ、図１５Ｂの状態（７）に示されるように、把持部４０が部材２００から遠ざかる方向に所定距離移動すると、粘着面２０３が把持面４１から完全に剥離される。第二実施形態では、以下の要領で、把持部４０が部材２００から剥離される。
【００９９】
次に、第二実施形態の作用及び効果について説明する。
【０１００】
上記第二実施形態によれば、把持部４０には、把持面４１に開口する溝状の周辺排気口４３が形成されている。この周辺排気口４３は、中央排気口４２の周囲に環状に形成されている。したがって、空気層２０６の一部が局所的に拡がっても、空気層２０６の一部が周辺排気口４３に達したときには、空気層２０６の一部の空気が周辺排気口４３の周方向に沿って拡散する。
【０１０１】
これにより、周辺排気口４３にて部分的な剥離の進行が規制されるので、空気層２０６と外気との間に排気流路（空気漏れ流路）が形成されることが抑制される。したがって、ポンプ１３を継続して作動させることで、空気層２０６、つまり剥離領域を安定して拡大させることができ、剥離抵抗力を低下させることができるので、把持面４１を粘着面２０３から円滑に剥離させることが可能になる。
【０１０２】
この結果、部材２００を吸着部３０によって吸着した状態で、把持面４１を粘着面２０３から剥離させても、部材２００に対する吸着部３０の吸着位置がずれてしまうことを抑制することができる。これにより、部材２００を対象物に精度良く貼り付けることができる。
【０１０３】
また、把持面４１の非粘着性を上げて把持面４１を粘着面２０３から剥離しやすくすることも不要であるので、剥離させるとき以外は把持面４１の粘着性を確保できる。これにより、吸着部３０及び把持部４０で部材２００を的確に把持することができるので、粘着面２０３から台紙２０４を容易に剥離させることができる。
【０１０４】
また、周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側に空気が流入し、タンク１４の内側の圧力が規定圧力（図１６の規定圧力Ｐ）に達した場合には、逆止弁８１Ｂが開放し、周辺排気口４３を通じてタンク１４の内側の空気が排出される。これにより、周辺排気口４３の周辺部における剥離を促進させることができる。
【０１０５】
また、把持部４０が部材２００から遠ざかる方向に移動しながら、中央排気口４２及び周辺排気口４３から空気が順次排出される。これにより、例えば、中央排気口４２の空気の排出と、周辺排気口４３からの空気の排出と、把持部４０の移動とが段階的に行われる場合に比して、把持面４１を粘着面２０３から速やかに剥離させることができる。
【０１０６】
なお、第二実施形態において、上述の第一実施形態と同様の構成については、第一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１０７】
次に、第二実施形態の変形例について説明する。
【０１０８】
上記第二実施形態において、周辺排気口４３からは、好ましくは、空気が排出されるが、周辺排気口４３から空気が排出されずに、この周辺排気口４３が周辺環状溝として構成されても良い。このような構成であっても、空気層２０６の一部が周辺環状溝に達したときには、この空気層２０６の一部の空気が周辺環状溝の周方向に沿って拡散するので、周辺環状溝にて部分的な剥離の進行を規制することができる。
【０１０９】
また、上記第二実施形態において、周辺排気口４３は、把持面４１の法線方向視にて四角形を成しているが、周辺排気口４３は、把持面４１の法線方向視にてどのような形状でも良い。
【０１１０】
また、上記第二実施形態において、第一実施形態と同様の構成については、第一実施形態と同様の変形例が採用されても良い。
【０１１１】
以上、本願の開示する技術の第一及び第二実施形態について説明したが、本願の開示する技術は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。
【０１１２】
なお、上述の本願の開示する技術の一実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【０１１３】
（付記１）
部材の粘着面に粘着される把持面と、
前記把持面の中央部に開口し、空気を排出する中央排気口と、
前記中央排気口の周囲に環状に形成され、前記把持面に開口する周辺環状溝と、
を備えるロボットハンド。
（付記２）
前記周辺環状溝は、空気を排出する周辺排気口である、
付記１に記載のロボットハンド。
（付記３）
前記周辺環状溝は、多重である、
付記１又は付記２に記載のロボットハンド。
（付記４）
前記周辺環状溝は、前記把持面における外縁部よりも内側に形成されている、
付記１〜付記３のいずれか一項に記載のロボットハンド。
（付記５）
前記部材における前記粘着面と反対側の面を吸着する吸着部と、
前記把持面、前記中央排気口、及び、前記周辺環状溝を有する把持部と、
を備える、
付記１〜付記４のいずれか一項に記載のロボットハンド。
（付記６）
部材を把持するロボットハンドを含み、
前記ロボットハンドは、
前記部材の粘着面に粘着される把持面と、
前記把持面の中央部に開口し、空気を排出する中央排気口と、
前記中央排気口の周囲に環状に形成され、前記把持面に開口する周辺環状溝と、
を備えるロボット装置。
（付記７）
前記中央排気口に空気を供給する中央空気供給部と、
前記周辺環状溝としての周辺排気口に空気を供給する周辺空気供給部と、
前記中央排気口から空気が排出されてから前記周辺排気口から空気が排出されるように前記中央空気供給部及び前記周辺空気供給部を制御する制御部と、
を備える、
付記６に記載のロボット装置。
（付記８）
前記周辺空気供給部は、
前記周辺排気口と接続されたタンクと、
前記周辺排気口と前記タンクとの間に設けられ、前記周辺排気口を通じて前記タンクの内側に空気を流入させる流入状態と、前記周辺排気口を通じて前記タンクの内側の空気を排出させる排出状態とに切り替わる切替部と、
を有し、
前記タンクには、前記タンクの内側の圧力に応じた圧力検出信号を出力する圧力検出器が設けられ、
前記制御部は、前記圧力検出器から出力された圧力検出信号に基づいて、前記タンクの内側の圧力が規定圧力に達した場合に、前記切替部が前記流入状態から前記排出状態に切り替わるように前記切替部を制御する、
付記７に記載のロボット装置。
（付記９）
前記周辺排気口は、多重の周辺排気口であり、
前記周辺空気供給部は、前記周辺空気供給部から前記多重の周辺排気口の各々に空気が供給される順番を切り替える切替部を有し、
前記制御部は、前記多重の周辺排気口のうち内側の周辺排気口から外側の周辺排気口へ順番に前記周辺空気供給部から空気が供給されるように前記切替部を制御する、
付記７又は付記８に記載のロボット装置。
（付記１０）
前記把持面、前記中央排気口、及び、前記周辺排気口を有する把持部と、
前記把持部を前記部材から遠ざかる方向に相対移動させる駆動部と、
を備え、
前記制御部は、前記把持部が前記部材から遠ざかる方向に相対移動しながら、前記中央排気口及び前記周辺排気口から空気が順次排出されるように、前記中央空気供給部、前記周辺空気供給部、及び、前記駆動部を制御する、
付記７〜付記９のいずれか一項に記載のロボット装置。
（付記１１）
部材の粘着面にロボットハンドの把持面を粘着させ、
前記把持面の中央部に開口する中央排気口から空気を排出させて前記粘着面と前記把持面との間に空気層を形成し、
前記空気層を拡大させて、前記中央排気口の周囲に環状に形成され前記把持面に開口する周辺環状溝の内側空間と前記空気層とを連通させ、
前記粘着面から前記把持面を剥離させる、
ことを含む部材剥離方法。
（付記１２）
前記中央排気口から空気を排出させてから、前記周辺環状溝としての周辺排気口から空気を排出させる、
付記１１に記載の部材剥離方法。
（付記１３）
前記周辺排気口としての多重の周辺排気口のうち内側の周辺排気口から外側の周辺排気口へ順番に空気を排出させる、
付記１２に記載の部材剥離方法。
（付記１４）
前記把持部を前記部材から遠ざかる方向に相対移動させながら、前記中央排気口及び前記周辺排気口から空気を順次排出させる、
付記１２又は付記１３に記載の部材剥離方法。
（付記１５）
前記部材の粘着面とは反対側の面を前記ロボットハンドの吸着部で吸着させた状態で、前記空気層を拡大させて前記周辺環状溝の内側空間と前記空気層とを連通させてから前記把持面を前記粘着面から剥離させる、
付記１１〜付記１４のいずれか一項に記載の部材剥離方法。
【符号の説明】
【０１１４】
１０  ロボット装置
１１  ロボットアーム
１３  ポンプ（中央空気供給部の一例）
１４  タンク
１５  周辺空気供給部
２０  ロボットハンド
３０  吸着部
３１  吸着面
３２  吸着口
４０  把持部
４１  把持面
４２  中央排気口
４３  周辺排気口
４４  周辺排気口
６１  モータ（駆動部の一例）
８０  切替部
９０  圧力検出器
１００  制御部
１１０  ロボット装置
１２０  ロボットハンド
２００  部材
２０３  粘着面
２０４  台紙
２０５  表面
２０６  空気層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６】
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