(57)【要約】【課題】被測定試料の磁化を高精度で測定することができ、被測定試料に印加された磁界の強度を高精度で測定することができる磁化測定装置を提供する。【解決手段】磁化測定装置に備えられた測定部は、同心円状に設けられたコイル５１、５２、５３及び５４と、磁化測定部５５と、磁界測定部５６と、を有する。磁化測定部５５は、コイル５１の誘導起電力の絶対値とコイル５２の誘導起電力の絶対値との差分値に基づいて、磁性体の磁化を測定する。磁界測定部５６は、コイル５３の誘導起電力の絶対値とコイル５４の誘導起電力の絶対値との差分値に基づいて、磁界の強度を測定する。コイル５１の厚さＴＨ１、コイル５２の厚さＴＨ２、コイル５３の厚さＴＨ３、及び、コイル５４の厚さＴＨ４は、いずれも７ｍｍ未満である。【選択図】図２
2018179660.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性体の磁化を測定する磁化測定装置において、
第１方向に延在する第１軸上に前記磁性体を保持する保持部と、
前記保持部に保持されている前記磁性体に前記第１方向の第１磁界を印加する印加部と、
前記印加部により印加される前記第１磁界を掃引する掃引部と、
前記第１磁界を前記掃引部により掃引しながら前記印加部により前記磁性体に前記第１磁界を印加する際に、前記磁性体の磁化及び前記第１磁界の強度を測定する測定部と、
を備え、
前記測定部は、
前記第１軸の周りに、前記保持部に保持されている前記磁性体を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第１誘導起電力を発生する第１コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第１コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第２誘導起電力を発生する第２コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第２コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第３誘導起電力を発生する第３コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第３コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第４誘導起電力を発生する第４コイルと、
前記第１誘導起電力の絶対値と前記第２誘導起電力の絶対値との差分である第１差分値に基づいて、前記保持部に保持されている前記磁性体の磁化を測定する磁化測定部と、
前記第３誘導起電力の絶対値と前記第４誘導起電力の絶対値との差分である第２差分値に基づいて、前記第１磁界の強度を測定する磁界測定部と、
を有し、
前記第１コイルの巻き数をＮＡとし、前記第２コイルの巻き数をＮＢとし、前記第３コイルの巻き数をＮＣとし、前記第４コイルの巻き数をＮＤとし、前記第１コイルの前記第１軸に垂直な断面の面積をＳＡとし、前記第２コイルの前記第１軸に垂直な断面の面積をＳＢとしたとき、
（ＮＡ×ＳＡ−ＮＢ×ＳＢ）／（ＮＡ×ＳＡ）の絶対値が０．０２以下であり、
（ＮＣ−ＮＤ）／ＮＣの絶対値が０．０２以下であり、
前記第１コイルの第１部分、前記第２コイルの第２部分、前記第３コイルの第３部分、及び、前記第４コイルの第４部分は、前記第１方向において、互いに同じ位置に配置され、
前記第１方向における前記第１コイルの第１厚さ、前記第１方向における前記第２コイルの第２厚さ、前記第１方向における前記第３コイルの第３厚さ、及び、前記第１方向における前記第４コイルの第４厚さは、いずれも７ｍｍ未満である、磁化測定装置。
【請求項２】
磁性体の磁化を測定する磁化測定装置において、
第１方向に延在する第１軸上に前記磁性体を保持する保持部と、
前記保持部に保持されている前記磁性体に前記第１方向の第１磁界を印加する印加部と、
前記印加部により印加される前記第１磁界を掃引する掃引部と、
前記第１磁界を前記掃引部により掃引しながら前記印加部により前記磁性体に前記第１磁界を印加する際に、前記磁性体の磁化及び前記第１磁界の強度を測定する測定部と、
を備え、
前記測定部は、
前記第１軸の周りに、前記保持部に保持されている前記磁性体を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第１誘導起電力を発生する第１コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第１コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第２誘導起電力を発生する第２コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第２コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第３誘導起電力を発生する第３コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第３コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第４誘導起電力を発生する第４コイルと、
前記第１誘導起電力の絶対値と前記第２誘導起電力の絶対値との差分である第１差分値に基づいて、前記保持部に保持されている前記磁性体の磁化を測定する磁化測定部と、
前記第３誘導起電力の絶対値と前記第４誘導起電力の絶対値との差分である第２差分値に基づいて、前記第１磁界の強度を測定する磁界測定部と、
を有し、
前記第１コイルの巻き数をＮＡとし、前記第２コイルの巻き数をＮＢとし、前記第３コイルの巻き数をＮＣとし、前記第４コイルの巻き数をＮＤとし、前記第１コイルの前記第１軸に垂直な断面の面積をＳＡとし、前記第２コイルの前記第１軸に垂直な断面の面積をＳＢとしたとき、
（ＮＡ×ＳＡ−ＮＢ×ＳＢ）／（ＮＡ×ＳＡ）の絶対値が０．０２以下であり、
（ＮＣ−ＮＤ）／ＮＣの絶対値が０．０２以下であり、
前記第１コイルの第１部分、前記第２コイルの第２部分、前記第３コイルの第３部分、及び、前記第４コイルの第４部分は、前記第１方向において、互いに同じ位置に配置され、
前記第１方向における前記第１コイルの第１厚さ、前記第１方向における前記第２コイルの第２厚さ、前記第１方向における前記第３コイルの第３厚さ、及び、前記第１方向における前記第４コイルの第４厚さは、いずれも前記保持部に保持されている前記磁性体の前記第１方向における第５厚さよりも薄い、磁化測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の磁化測定装置において、
前記第１コイルの前記第１方向における中心位置を第１位置とし、前記第２コイルの前記第１方向における中心位置を第２位置とし、前記第３コイルの前記第１方向における中心位置を第３位置とし、前記第４コイルの前記第１方向における中心位置を第４位置とし、前記保持部に保持されている前記磁性体の前記第１方向における中心位置を第５位置とし、前記第１位置と前記第５位置との間の前記第１方向における距離を第１距離とし、前記第２位置と前記第５位置との間の前記第１方向における距離を第２距離とし、前記第３位置と前記第５位置との間の前記第１方向における距離を第３距離とし、前記第４位置と前記第５位置との間の前記第１方向における距離を第４距離としたとき、
前記第５厚さに対する前記第１距離の比は、０．２以下であり、
前記第５厚さに対する前記第２距離の比は、０．２以下であり、
前記第５厚さに対する前記第３距離の比は、０．２以下であり、
前記第５厚さに対する前記第４距離の比は、０．２以下である、磁化測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の磁化測定装置において、
前記第５位置を調整する調整部を備えている、磁化測定装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の磁化測定装置において、
前記印加部は、前記第１軸の周りに、前記第４コイルを囲むように巻回され、且つ、前記第１方向に延在する円筒形状を有する第５コイルを有し、
前記第１コイル、前記第２コイル、前記第３コイル及び前記第４コイルは、前記第１方向における前記第５コイルの中央部に囲まれている、磁化測定装置。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の磁化測定装置において、
前記印加部は、前記第１軸の周りに、前記第４コイルを囲むように巻回され、且つ、前記磁性体に、パルス磁界としての前記第１磁界を印加する第６コイルを有し、
前記掃引部は、前記第６コイルにパルス電流を流すことにより、前記第１磁界を掃引する、磁化測定装置。
【請求項７】
磁性体の磁化を測定する磁化測定方法において、
（ａ）第１方向に延在する第１軸上に、保持部により前記磁性体を保持するステップ、
（ｂ）前記保持部に保持されている前記磁性体に、前記第１方向の第１磁界を、印加部により印加するステップ、
（ｃ）前記印加部により印加される前記第１磁界を掃引部により掃引しながら前記（ｂ）ステップを行うステップ、
（ｄ）前記（ｃ）ステップを行う際に、前記磁性体の磁化及び前記第１磁界の強度を、測定部により測定するステップ、
を備え、
前記測定部は、
前記第１軸の周りに、前記保持部に保持されている前記磁性体を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第１誘導起電力を発生する第１コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第１コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第２誘導起電力を発生する第２コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第２コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第３誘導起電力を発生する第３コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第３コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第４誘導起電力を発生する第４コイルと、
前記第１誘導起電力の絶対値と前記第２誘導起電力の絶対値との差分である第１差分値に基づいて、前記保持部に保持されている前記磁性体の磁化を測定する磁化測定部と、
前記第３誘導起電力の絶対値と前記第４誘導起電力の絶対値との差分である第２差分値に基づいて、前記第１磁界の強度を測定する磁界測定部と、
を有し、
前記第１コイルの巻き数をＮＡとし、前記第２コイルの巻き数をＮＢとし、前記第３コイルの巻き数をＮＣとし、前記第４コイルの巻き数をＮＤとし、前記第１コイルの前記第１軸に垂直な断面の面積をＳＡとし、前記第２コイルの前記第１軸に垂直な断面の面積をＳＢとしたとき、
（ＮＡ×ＳＡ−ＮＢ×ＳＢ）／（ＮＡ×ＳＡ）の絶対値が０．０２以下であり、
（ＮＣ−ＮＤ）／ＮＣの絶対値が０．０２以下であり、
前記第１コイルの第１部分、前記第２コイルの第２部分、前記第３コイルの第３部分、及び、前記第４コイルの第４部分は、前記第１方向において、互いに同じ位置に配置され、
前記第１方向における前記第１コイルの第１厚さ、前記第１方向における前記第２コイルの第２厚さ、前記第１方向における前記第３コイルの第３厚さ、及び、前記第１方向における前記第４コイルの第４厚さは、いずれも７ｍｍ未満である、磁化測定方法。
【請求項８】
磁性体の磁化を測定する磁化測定方法において、
（ａ）第１方向に延在する第１軸上に、保持部により前記磁性体を保持するステップ、
（ｂ）前記保持部に保持されている前記磁性体に、前記第１方向の第１磁界を、印加部により印加するステップ、
（ｃ）前記印加部により印加される前記第１磁界を掃引部により掃引しながら前記（ｂ）ステップを行うステップ、
（ｄ）前記（ｃ）ステップを行う際に、前記磁性体の磁化及び前記第１磁界の強度を、測定部により測定するステップ、
を備え、
前記測定部は、
前記第１軸の周りに、前記保持部に保持されている前記磁性体を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第１誘導起電力を発生する第１コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第１コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第２誘導起電力を発生する第２コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第２コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第３誘導起電力を発生する第３コイルと、
前記第１軸の周りに、前記第３コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第４誘導起電力を発生する第４コイルと、
前記第１誘導起電力の絶対値と前記第２誘導起電力の絶対値との差分である第１差分値に基づいて、前記保持部に保持されている前記磁性体の磁化を測定する磁化測定部と、
前記第３誘導起電力の絶対値と前記第４誘導起電力の絶対値との差分である第２差分値に基づいて、前記第１磁界の強度を測定する磁界測定部と、
を有し、
前記第１コイルの巻き数をＮＡとし、前記第２コイルの巻き数をＮＢとし、前記第３コイルの巻き数をＮＣとし、前記第４コイルの巻き数をＮＤとし、前記第１コイルの前記第１軸に垂直な断面の面積をＳＡとし、前記第２コイルの前記第１軸に垂直な断面の面積をＳＢとしたとき、
（ＮＡ×ＳＡ−ＮＢ×ＳＢ）／（ＮＡ×ＳＡ）の絶対値が０．０２以下であり、
（ＮＣ−ＮＤ）／ＮＣの絶対値が０．０２以下であり、
前記第１コイルの第１部分、前記第２コイルの第２部分、前記第３コイルの第３部分、及び、前記第４コイルの第４部分は、前記第１方向において、互いに同じ位置に配置され、
前記第１方向における前記第１コイルの第１厚さ、前記第１方向における前記第２コイルの第２厚さ、前記第１方向における前記第３コイルの第３厚さ、及び、前記第１方向における前記第４コイルの第４厚さは、いずれも前記保持部に保持されている前記磁性体の前記第１方向における第５厚さよりも薄い、磁化測定方法。
【請求項９】
請求項８に記載の磁化測定方法において、
前記第１コイルの前記第１方向における中心位置を第１位置とし、前記第２コイルの前記第１方向における中心位置を第２位置とし、前記第３コイルの前記第１方向における中心位置を第３位置とし、前記第４コイルの前記第１方向における中心位置を第４位置とし、前記保持部に保持されている前記磁性体の前記第１方向における中心位置を第５位置とし、前記第１位置と前記第５位置との間の前記第１方向における距離を第１距離とし、前記第２位置と前記第５位置との間の前記第１方向における距離を第２距離とし、前記第３位置と前記第５位置との間の前記第１方向における距離を第３距離とし、前記第４位置と前記第５位置との間の前記第１方向における距離を第４距離としたとき、
前記第５厚さに対する前記第１距離の比は、０．２以下であり、
前記第５厚さに対する前記第２距離の比は、０．２以下であり、
前記第５厚さに対する前記第３距離の比は、０．２以下であり、
前記第５厚さに対する前記第４距離の比は、０．２以下である、磁化測定方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の磁化測定方法において、
（ｅ）前記第５位置を、調整部により調整するステップ、
を備えている、磁化測定方法。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の磁化測定方法において、
前記（ｂ）ステップでは、前記第１軸の周りに、前記第４コイルを囲むように巻回され、且つ、前記第１方向に延在する円筒形状を有する第５コイルを有する前記印加部により、前記第１磁界を印加し、
前記第１コイル、前記第２コイル、前記第３コイル及び前記第４コイルは、前記第１方向における前記第５コイルの中央部に囲まれている、磁化測定方法。
【請求項１２】
請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の磁化測定方法において、
前記（ｂ）ステップでは、前記第１軸の周りに、前記第４コイルを囲むように巻回され、且つ、前記磁性体に、パルス磁界としての前記第１磁界を印加する第６コイルを有する前記印加部により、前記第１磁界を印加し、
前記（ｃ）ステップでは、前記第６コイルに前記掃引部によりパルス電流を流すことにより、前記第１磁界を前記掃引部により掃引しながら前記（ｂ）ステップを行う、磁化測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁化測定装置及び磁化測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
永久磁石等の磁性体よりなる被測定試料の飽和磁化、残留磁束密度又は保磁力等を評価するために、被測定試料の磁化−磁界曲線（Ｊ−Ｈ曲線）が測定される。このようなＪ−Ｈ曲線の測定方法として、励磁コイルにより磁界を掃引しながら印加して被測定試料を磁化させ、被測定試料の周りに巻回された検出コイルに生じる誘導起電力から磁化を求める方法がある。
【０００３】
特開２０１３−５０３９０号公報（特許文献１）には、永久磁石の磁気特性を測定するための磁気特性測定センサーにおいて、永久磁石の磁束密度を測定するためのＢコイルと、永久磁石の磁界強度の測定に用いるＨコイル及び／又は永久磁石の磁化の測定に用いるＭコイルとを、永久磁石の周囲に同軸上に巻回した技術が開示されている。
【０００４】
一方、例えばネオジウム鉄ホウ素（ＮｄＦｅＢ）磁石等の飽和磁化の大きな永久磁石よりなる被測定試料を磁気飽和させてＪ−Ｈ曲線を測定する場合には、例えば鉄芯と電磁石を用いた閉磁気回路法では、被測定試料を磁気飽和させるために十分な強度の磁界を印加することができない。このような場合には、被測定試料にパルス磁界を印加してＪ−Ｈ曲線を測定する。
【０００５】
特開２０１６−９５２６４号公報（特許文献２）には、高磁界パルス励磁型磁気特性評価装置において、試料を一対の試料押さえ棒で挟んだ状態で、試料の周りに設けたコイルに磁界を印加して、試料の磁気特性を測定する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１３−５０３９０号公報
【特許文献２】特開２０１６−９５２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、励磁コイルにより磁界を掃引しながら印加して被測定試料を磁化させ、被測定試料の周りに巻回された検出コイルに生じる誘導起電力から磁化を求める場合、以下のような問題がある。
【０００８】
例えば磁界を掃引しながら印加する際に被測定試料内に発生する渦電流の影響が無視できなくなる。或いは、被測定試料の周辺に強磁性金属よりなるヨークを設けることができない場合、被測定試料の周辺での反磁界の影響が大きくなる。或いは、磁化を検出するコイルと磁界の強度を検出するコイルとが、印加される磁界に沿った方向において互いに間隔を空けて配置されている場合、測定される磁界が被測定試料に実際に印加されている磁界と一致しなくなる。或いは、磁界の強度を検出するコイルが被測定試料の磁化の影響を受け、測定される磁界の強度が被測定試料に実際に印加されている磁界と一致しなくなる。そのため、被測定試料の磁化を高精度で測定することができず、被測定試料に印加された磁界の強度を高精度で測定することができない。
【０００９】
本発明は、上述のような従来技術の問題点を解決すべくなされたものであって、被測定試料の磁化を高精度で測定することができ、被測定試料に印加された磁界の強度を高精度で測定することができる磁化測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１１】
本発明の一態様としての磁化測定装置は、磁性体の磁化を測定する磁化測定装置である。当該磁化測定装置は、第１方向に延在する第１軸上に磁性体を保持する保持部と、保持部に保持されている磁性体に第１方向の第１磁界を印加する印加部と、印加部により印加される第１磁界を掃引する掃引部と、を備えている。また、当該磁化測定装置は、第１磁界を掃引部により掃引しながら印加部により磁性体に第１磁界を印加する際に、磁性体の磁化及び第１磁界の強度を測定する測定部を備えている。測定部は、第１軸の周りに、保持部に保持されている磁性体を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第１誘導起電力を発生する第１コイルと、第１軸の周りに、第１コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第２誘導起電力を発生する第２コイルと、を有する。また、測定部は、第１軸の周りに、第２コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第３誘導起電力を発生する第３コイルと、第１軸の周りに、第３コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第４誘導起電力を発生する第４コイルと、を有する。また、測定部は、第１誘導起電力の絶対値と第２誘導起電力の絶対値との差分である第１差分値に基づいて、保持部に保持されている磁性体の磁化を測定する磁化測定部と、第３誘導起電力の絶対値と第４誘導起電力の絶対値との差分である第２差分値に基づいて、第１磁界の強度を測定する磁界測定部と、を有する。第１コイルの巻き数をＮＡとし、第２コイルの巻き数をＮＢとし、第３コイルの巻き数をＮＣとし、第４コイルの巻き数をＮＤとし、第１コイルの第１軸に垂直な断面の面積をＳＡとし、第２コイルの第１軸に垂直な断面の面積をＳＢとしたとき、（ＮＡ×ＳＡ−ＮＢ×ＳＢ）／（ＮＡ×ＳＡ）の絶対値が０．０２以下であり、（ＮＣ−ＮＤ）／ＮＣの絶対値が０．０２以下である。第１コイルの第１部分、第２コイルの第２部分、第３コイルの第３部分、及び、第４コイルの第４部分は、第１方向において、互いに同じ位置に配置されている。そして、第１方向における第１コイルの第１厚さ、第１方向における第２コイルの第２厚さ、第１方向における第３コイルの第３厚さ、及び、第１方向における第４コイルの第４厚さは、いずれも７ｍｍ未満であるか、又は、いずれも保持部に保持されている磁性体の第１方向における第５厚さよりも薄い。
【００１２】
また、本発明の一態様としての磁化測定方法は、磁性体の磁化を測定する磁化測定方法である。当該磁化測定方法は、第１方向に延在する第１軸上に、保持部により磁性体を保持する（ａ）ステップと、保持部に保持されている磁性体に、第１方向の第１磁界を、印加部により印加する（ｂ）ステップと、を備えている。また、当該磁化測定方法は、印加部により印加される第１磁界を掃引部により掃引しながら（ｂ）ステップを行う（ｃ）ステップと、（ｃ）ステップを行う際に、磁性体の磁化及び第１磁界の強度を、測定部により測定する（ｄ）ステップと、を備えている。測定部は、第１軸の周りに、保持部に保持されている磁性体を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第１誘導起電力を発生する第１コイルと、第１軸の周りに、第１コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第２誘導起電力を発生する第２コイルと、を有する。また、測定部は、第１軸の周りに、第２コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第３誘導起電力を発生する第３コイルと、第１軸の周りに、第３コイルを囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により第４誘導起電力を発生する第４コイルと、を有する。また、測定部は、第１誘導起電力の絶対値と第２誘導起電力の絶対値との差分である第１差分値に基づいて、保持部に保持されている磁性体の磁化を測定する磁化測定部と、第３誘導起電力の絶対値と第４誘導起電力の絶対値との差分である第２差分値に基づいて、第１磁界の強度を測定する磁界測定部と、を有する。第１コイルの巻き数をＮＡとし、第２コイルの巻き数をＮＢとし、第３コイルの巻き数をＮＣとし、第４コイルの巻き数をＮＤとし、第１コイルの第１軸に垂直な断面の面積をＳＡとし、第２コイルの第１軸に垂直な断面の面積をＳＢとしたとき、（ＮＡ×ＳＡ−ＮＢ×ＳＢ）／（ＮＡ×ＳＡ）の絶対値が０．０２以下であり、（ＮＣ−ＮＤ）／ＮＣの絶対値が０．０２以下である。第１コイルの第１部分、第２コイルの第２部分、第３コイルの第３部分、及び、第４コイルの第４部分は、第１方向において、互いに同じ位置に配置されている。そして、第１方向における第１コイルの第１厚さ、第１方向における第２コイルの第２厚さ、第１方向における第３コイルの第３厚さ、及び、第１方向における第４コイルの第４厚さは、いずれも７ｍｍ未満であるか、又は、いずれも保持部に保持されている磁性体の第１方向における第５厚さよりも薄い。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の一態様を適用することで、磁性体よりなる被測定試料の磁化を測定する磁化測定装置において、被測定試料の磁化を高精度で測定することができ、被測定試料に印加された磁界の強度を高精度で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施の形態の磁化測定装置の全体構成を示す一部断面を含むブロック図である。
【図２】実施の形態の磁化測定装置のうち被測定試料及びその周辺に配置された部分を模式的に示す図である。
【図３】比較例の磁化測定装置のうち励磁コイル及びその周辺に配置された部分を模式的に示す一部断面を含む図である。
【図４】励磁コイルがパルス磁界を印加する場合の励磁電源の構成の一例を示す回路図である。
【図５】励磁コイルがパルス磁界を印加する際に被測定試料に印加される磁界の強度の時間依存性を模式的に示すグラフである。
【図６】被測定試料の磁化ヒステリシス曲線を模式的に示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１６】
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実施の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。
【００１７】
また本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１８】
更に、実施の形態で用いる図面においては、構造物を区別するために付したハッチング（網掛け）を図面に応じて省略する場合もある。
【００１９】
なお、以下の実施の形態においてＡ〜Ｂとして範囲を示す場合には、特に明示した場合を除き、Ａ以上Ｂ以下を示すものとする。
【００２０】
（実施の形態）
＜磁化測定装置＞
初めに、本発明の一実施形態である実施の形態の磁化測定装置について説明する。本実施の形態の磁化測定装置は、磁性体よりなる被測定試料の磁化を測定する磁化測定装置である。
【００２１】
図１は、実施の形態の磁化測定装置の全体構成を示す一部断面を含むブロック図である。図２は、実施の形態の磁化測定装置のうち被測定試料及びその周辺に配置された部分を模式的に示す図である。
【００２２】
図１に示すように、本実施の形態の磁化測定装置１１は、保持部１２と、印加部１３と、掃引部１４と、測定部１５と、制御部１６と、を備えている。保持部１２は、例えば鉛直方向である方向ＤＲ１に延在する軸ＡＸ１上に、磁性体よりなる被測定試料ＭＳ１を保持する。印加部１３は、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１に、方向ＤＲ１の磁界ＭＦ１を印加する。掃引部１４は、印加部１３により印加される磁界ＭＦ１を掃引する。測定部１５は、磁界ＭＦ１を掃引部１４により掃引しながら印加部１３により被測定試料ＭＳ１に磁界ＭＦ１を印加する際に、被測定試料ＭＳ１の磁化及び磁界ＭＦ１の強度を測定する。制御部１６は、掃引部１４による掃引、及び、測定部１５による測定を、制御する。なお、測定部１５の詳細については、後述する。
【００２３】
好適には、本実施の形態の磁化測定装置１１に備えられた保持部１２は、軸ＡＸ１に沿って、即ち方向ＤＲ１に延在し、且つ、筒状形状を有する筒状部材２１と、柱状形状をそれぞれ有し、且つ、筒状部材２１中で被測定試料ＭＳ１を上下から挟持する上側部材２２及び下側部材２３と、を有する。保持部１２が、このような構成を有することにより、被測定試料ＭＳ１を軸ＡＸ１上に保持して固定することができる。
【００２４】
また、筒状部材２１は、円筒形状を有することがより好ましく、上側部材２２及び下側部材２３は、円柱形状を有することがより好ましい。保持部１２がこのような構成を有することにより、円柱形状を有する被測定試料ＭＳ１を、軸ＡＸ１上に、軸ＡＸ１を中心として軸対称に配置することができる。
【００２５】
好適には、印加部１３は、軸ＡＸ１の周りに、被測定試料ＭＳ１を囲むように巻回され、且つ、方向ＤＲ１に延在する円筒形状を有する励磁コイル３１を有する。これにより、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１に、方向ＤＲ１の磁界ＭＦ１を印加することができる。
【００２６】
好適には、掃引部１４は、励磁コイル３１に接続され、且つ、励磁コイル３１に電流を流す励磁電源４１と、励磁電源４１が励磁コイル３１に流す電流を掃引することにより、励磁コイル３１が発生する磁界を掃引する制御盤４２と、を有する。
【００２７】
好適には、測定部１５は、コイル５１と、コイル５２と、コイル５３と、コイル５４と、磁化測定部５５と、磁界測定部５６と、を有する。即ち、測定部１５は、コイル５１、５２、５３及び５４の４つのコイルを有する。配置の詳細については後述するものの、コイル５１、５２、５３及び５４は、軸ＡＸ１の周りに、軸ＡＸ１を中心として同心円状に配置されている。また、動作の詳細については後述するが、磁化測定部５５は、コイル５１及び５２の各々の誘導起電力に基づいて、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の磁化を測定し、磁界測定部５６は、コイル５３及び５４の各々の誘導起電力に基づいて、磁界ＭＦ１の強度を測定する。
【００２８】
好適には、制御部１６は、パーソナルコンピュータ６１を有する。パーソナルコンピュータ６１は、制御盤４２に接続されている。パーソナルコンピュータ６１に含まれる例えば中央演算装置（Central Processing Unit：ＣＰＵ）等よりなる演算部が、パーソナルコンピュータ６１に含まれる例えばメモリ等よりなる記憶部に記憶されたプログラムを実行し、制御盤４２を制御することにより、励磁コイル３１が発生する磁界を掃引する。
【００２９】
次に、本実施の形態の磁化測定装置１１が備えた測定部１５について、比較例の磁化測定装置が備えた測定部と比較しながら説明する。図３は、比較例の磁化測定装置のうち励磁コイル及びその周辺に配置された部分を模式的に示す一部断面を含む図である。
【００３０】
図３に示すように、比較例の磁化測定装置１１１は測定部１１５を備えており、測定部１１５は、コイル１５１と、コイル１５２と、磁化測定部１５３と、磁界測定部１５４と、を有する。即ち、測定部１１５は、コイル１５１及び１５２の２つのコイルを有する。また、磁化測定部１５３は、コイル１５１の誘導起電力の絶対値とコイル１５２の誘導起電力の絶対値との差分である差分値に基づいて、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の磁化を測定し、磁界測定部１５４は、コイル１５２の誘導起電力に基づいて、磁界ＭＦ１の強度を測定する。なお、比較例の磁化測定装置１１１も、実施の形態の磁化測定装置１１と同様に、保持部１２と、印加部１３と、を備えている。
【００３１】
比較例の磁化測定装置１１１では、コイル１５１は、軸ＡＸ１の周りに、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１を囲むように巻回され、鎖交する磁束の変化により誘導起電力を発生する。しかし、コイル１５２は、コイル１５１と同様に、軸ＡＸ１の周りに巻回され、鎖交する磁束の変化により誘導起電力を発生するものの、コイル１５１とは異なり、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１を囲むように巻回されてはいない。即ち、コイル１５１とコイル１５２とは、軸ＡＸ１に沿って、即ち方向ＤＲ１において、互いに間隔を空けて配置されている。
【００３２】
比較例の磁化測定装置１１１では、磁化測定部１５３は、磁界ＭＦ１を掃引しながら印加する際のコイル１５１の誘導起電力の絶対値とコイル１５２の誘導起電力の絶対値との差分である差分値に基づいて、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の磁化を測定する。
【００３３】
しかし、比較例の磁化測定装置１１１では、被測定試料ＭＳ１が永久磁石の材料である例えば強磁性金属よりなる場合、被測定試料ＭＳ１の電気抵抗が小さいため、磁界を掃引しながら印加する際に被測定試料ＭＳ１内に発生する渦電流の影響が無視できなくなる。そのため、磁化測定部１５３により測定される磁化が、被測定試料ＭＳ１の真の磁化の値からずれる、という問題がある。
【００３４】
或いは、被測定試料ＭＳ１の周辺に強磁性金属よりなるヨークを設けることができない場合、被測定試料ＭＳ１の周辺で形成される磁気回路が、所謂開磁気回路となり、被測定試料ＭＳ１の周辺での反磁界の影響が大きくなり、磁化測定部１５３により測定される磁化の値が、被測定試料ＭＳ１の真の磁化の値からずれる、という問題がある。
【００３５】
或いは、励磁コイル３１の内部では、方向ＤＲ１における互いに異なる位置間での、磁界の強度が不均一になりやすい。そのため、コイル１５１とコイル１５２とが、方向ＤＲ１において互いに間隔を空けて配置されている場合、コイル１５２により測定される磁界の強度が、被測定試料ＭＳ１に実際に印加されている磁界ＭＦ１の強度と一致しなくなる。従って、磁化測定部１５３により測定される磁化の値が、磁界測定部１５４により測定された磁界の強度に対応した磁化の値からずれる、という問題がある。
【００３６】
或いは、被測定試料ＭＳ１の磁化により発生する磁束の一部がコイル１５２と鎖交することにより、コイル１５２に印加された磁界の強度が、励磁コイル３１により印加された磁界の強度と一致しなくなる。即ち、コイル１５２が被測定試料ＭＳ１の影響を受ける。そのため、磁化測定部１５３により測定される磁化の値が、磁界測定部１５４により測定された磁界の強度に対応した磁化の値からずれる、という問題がある。
【００３７】
比較例の磁化測定装置１１１では、コイル１５１とコイル１５２とが、方向ＤＲ１において互いに間隔を空けて配置されているため、コイル１５２により測定される磁界の強度が、被測定試料ＭＳ１に実際に印加されている磁界ＭＦ１の強度と一致しなくなる。このような場合であって、且つ、被測定試料ＭＳ１の磁化が、磁化を測定するためのコイル１５１の誘導起電力の絶対値と磁界の強度を測定するためのコイル１５２の誘導起電力の絶対値との差分である差分値に基づいて測定される場合には、測定された被測定試料ＭＳ１の磁化が、磁界測定部１５４により測定された磁界の強度に対応した磁化の値から更にずれやすくなる。
【００３８】
一方、前述したように、本実施の形態の磁化測定装置１１では、測定部１５は、コイル５１、５２、５３及び５４の４つのコイルを有し、コイル５１、５２、５３及び５４は、軸ＡＸ１の周りに、軸ＡＸ１を中心として同心円状に配置されている。
【００３９】
コイル５１は、軸ＡＸ１の周りに、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により誘導起電力を発生する。コイル５２は、軸ＡＸ１の周りに、コイル５１を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により誘導起電力を発生する。コイル５３は、軸ＡＸ１の周りに、コイル５２を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により誘導起電力を発生する。コイル５４は、軸ＡＸ１の周りに、コイル５３を囲むように巻回され、且つ、鎖交する磁束の変化により誘導起電力を発生する。
【００４０】
磁化測定部５５は、コイル５１の誘導起電力の絶対値とコイル５２の誘導起電力の絶対値との差分である差分値に基づいて、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の磁化を測定する。磁界測定部５６は、コイル５３の誘導起電力の絶対値とコイル５４の誘導起電力の絶対値との差分である差分値に基づいて、磁界ＭＦ１の強度を測定する。
【００４１】
コイル５１及び５２については、コイル５１の巻き数をＮＡとし、コイル５２の巻き数をＮＢとし、コイル５１の軸ＡＸ１に垂直な断面の面積をＳＡとし、コイル５２の軸ＡＸ１に垂直な断面の面積をＳＢとしたとき、コイル５１及び５２の各々の巻き数と断面の面積との積が、ＮＡ×ＳＡ＝ＮＢ×ＳＢを満たすようにする。
【００４２】
なお、コイル５１の軸ＡＸ１に垂直な断面の面積とは、コイル５１の導線（巻線）の中心が作る円の内側の面積、或いは、コイル５１の中心から導線（巻線）の内端（導線のコイル中心側の側面）までの距離と、導線（巻線）の半径と、の和、を半径とする円の面積、を意味する。コイル５２、５３及び５４についても、同様である。
【００４３】
また、ＮＢ×ＳＢがＮＡ×ＳＡと完全に等しくなくてもよく、ＮＢ×ＳＢがＮＡ×ＳＡと略等しければよい。従って、（ＮＡ×ＳＡ−ＮＢ×ＳＢ）／（ＮＡ×ＳＡ）の絶対値が０．０２以下（２％以下）であればよい。これにより、ＮＢ×ＳＢをＮＡ×ＳＡと略等しくすることができる。或いは、（ＮＡ×ＳＡ−ＮＢ×ＳＢ）／（ＮＢ×ＳＢ）の絶対値が０．０２以下であってもよく、２×（ＮＡ×ＳＡ−ＮＢ×ＳＢ）／（ＮＡ×ＳＡ＋ＮＢ×ＳＢ）の絶対値が０．０２以下であってもよい。なお、絶対値が０．０２以下であるとは、絶対値が０であるか、又は、絶対値が０よりも大きく、且つ、０．０２以下であることを意味する。
【００４４】
また、被測定試料ＭＳ１の磁気モーメントをＭとし、磁界ＭＦ１の強度をＨとし、コイル５１が検出する磁束密度をＢＡとし、コイル５２が検出する磁束密度をＢＢとしたとき、磁束密度ＢＡ及びＢＢは、被測定試料ＭＳ１の磁気モーメントＭと磁界Ｈとの和に比例するので、以下の数式（数１）で表される。
【００４５】
【数１】
2018179660.tif 000003
【００４６】
ここで、コイル５１に鎖交する磁束をφＡとし、コイル５２に鎖交する磁束をφＢとし、被測定試料ＭＳ１の軸ＡＸ１に垂直な断面の面積をＳＳとしたとき、磁束φＡは、以下の数式（数２）で表され、磁束φＢは、以下の数式（数３）で表される。
【００４７】
【数２】
2018179660.tif 000004
【００４８】
【数３】
2018179660.tif 000005
【００４９】
また、コイル５１の誘導起電力である誘起電圧をｅＪＡとし、コイル５２の誘導起電力である誘起電圧をｅＪＢとし、コイル５１とコイル５２とを反直列に接続したときのコイル５１及び５２の誘導起電力である誘起電圧をｅＪとしたとき、誘起電圧ｅＪは、以下の数式（数４）で表される。
【００５０】
【数４】
2018179660.tif 000006
【００５１】
数式（数４）に示すように、ＮＢ×ＳＢがＮＡ×ＳＡと略等しい場合には、誘起電圧ｅＪは、磁界Ｈには影響を受けず、被測定試料ＭＳ１の磁気モーメントＭにのみ影響を受ける。従って、誘起電圧ｅＪを時間積分することにより、磁気モーメントＭを得ることができる。磁気モーメントＭは、以下の数式（数５）で表される。
【００５２】
【数５】
2018179660.tif 000007
【００５３】
また、被測定試料ＭＳ１の体積をＶとしたとき、磁気モーメントＭを被測定試料ＭＳ１の体積Ｖで割ることにより、磁化Ｊを求めることができる。磁化Ｊは、以下の数式（数６）で表される。
【００５４】
【数６】
2018179660.tif 000008
【００５５】
一方、コイル５３及び５４については、コイル５３の巻き数をＮＣとし、コイル５４の巻き数をＮＤとしたとき、コイル５３及び５４の各々の巻き数が、ＮＣ＝ＮＤを満たすようにする。
【００５６】
また、ＮＤがＮＣと完全に等しくなくてもよく、ＮＤがＮＣと略等しければよい。従って、（ＮＣ−ＮＤ）／ＮＣの絶対値が０．０２以下（２％以下）であればよい。これにより、ＮＤをＮＣと略等しくすることができる。或いは、（ＮＣ−ＮＤ）／ＮＤの絶対値が０．０２以下であってもよく、２×（ＮＣ−ＮＤ）／（ＮＣ＋ＮＤ）の絶対値が０．０２以下であってもよい。
【００５７】
また、コイル５３が検出する磁束密度をＢＣとし、コイル５４が検出する磁束密度をＢＤとしたとき、磁束密度ＢＣ及びＢＤは、被測定試料ＭＳ１の磁気モーメントＭと磁界Ｈとの和に比例するので、以下の数式（数７）で表される。
【００５８】
【数７】
2018179660.tif 000009
【００５９】
ここで、コイル５３の軸ＡＸ１に垂直な断面の面積をＳＣとし、コイル５４の軸ＡＸ１に垂直な断面の面積をＳＤとし、コイル５３に鎖交する磁束をφＣとし、コイル５４に鎖交する磁束をφＤとしたとき、磁束φＣは、以下の数式（数８）で表され、磁束φＤは、以下の数式（数９）で表される。
【００６０】
【数８】
2018179660.tif 000010
【００６１】
【数９】
2018179660.tif 000011
【００６２】
また、コイル５３の誘導起電力である誘起電圧をｅＨＣとし、コイル５４の誘導起電力である誘起電圧をｅＨＤとし、コイル５３とコイル５４とを反直列に接続したときのコイル５３及び５４の誘導起電力である誘起電圧をｅＨとしたとき、誘起電圧ｅＨは、以下の数式（数１０）で表される。
【００６３】
【数１０】
2018179660.tif 000012
【００６４】
数式（数１０）に示すように、ＮＤがＮＣと略等しい場合には、誘起電圧ｅＨは、被測定試料ＭＳ１の磁気モーメントＭには影響を受けず、磁界Ｈにのみ影響を受ける。従って、誘起電圧ｅＨを時間積分することにより、磁界Ｈを得ることができる。磁界Ｈは、以下の数式（数１１）で表される。
【００６５】
【数１１】
2018179660.tif 000013
【００６６】
図２に示すように、本実施の形態の磁化測定装置１１では、コイル５１の部分ＰＲ１、コイル５２の部分ＰＲ２、コイル５３の部分ＰＲ３、及び、コイル５４の部分ＰＲ４は、方向ＤＲ１において、互いに同じ位置ＰＳ１に配置されている。これにより、コイル５１、５２、５３及び５４を、互いに同一の平面ＰＬ１上に配置することができる。
【００６７】
本実施の形態の磁化測定装置１１では、方向ＤＲ１におけるコイル５１の厚さＴＨ１、方向ＤＲ１におけるコイル５２の厚さＴＨ２、方向ＤＲ１におけるコイル５３の厚さＴＨ３、及び、方向ＤＲ１におけるコイル５４の厚さＴＨ４は、いずれも保持部１２（図１参照）に保持されている被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における厚さＴＨＳよりも薄い。
【００６８】
ここで、厚さＴＨＳが７ｍｍである場合を考える。これは、日本電子材料工業会標準規格ＥＭＡＳ−７００７のパルス磁界を用いた永久磁石測定方法において、印加される磁界に沿った方向における試験片の長さ、即ち印加される磁界ＭＦ１に沿った方向における被測定試料ＭＳ１の長さが７ｍｍであることによる。
【００６９】
このような場合には、コイル５１の厚さＴＨ１、コイル５２の厚さＴＨ２、コイル５３の厚さＴＨ３、及び、コイル５４の厚さＴＨ４は、いずれも７ｍｍ未満である。これにより、コイル５１、５２、５３及び５４の各々の厚さを、日本電子材料工業会標準規格ＥＭＡＳ−７００７のパルス磁界を用いた永久磁石測定方法により７ｍｍと規定された試験片、即ち被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における厚さＴＨＳよりも薄くすることができる。
【００７０】
このように、本実施の形態の磁化測定装置１１では、方向ＤＲ１における厚さが薄いコイル５１、５２、５３及び５４を用いる。これにより、コイル５１及び５２に、方向ＤＲ１での被測定試料ＭＳ１の中心位置における磁束を鎖交させることができ、コイル５１及び５２の各々の誘起電圧に基づいて、被測定試料ＭＳ１の磁化を高精度で測定することができる。また、コイル５３及び５４に、方向ＤＲ１での被測定試料ＭＳ１の中心位置における磁界を印加することができ、コイル５３及び５４の各々の誘起電圧に基づいて、被測定試料ＭＳ１に印加されている磁界ＭＦ１の強度を高精度で測定することができる。
【００７１】
磁界を掃引しながら印加する際に被測定試料ＭＳ１内に流れる渦電流は、被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における中央部よりも、被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における両端部、即ち被測定試料ＭＳ１の上端部又は下端部に流れる。前述した比較例の磁化測定装置１１１では、方向ＤＲ１におけるコイル１５１の厚さＴＨ１０１は、方向ＤＲ１における被測定試料ＭＳ１の厚さＴＨＳよりも厚い。そのため、コイル１５１の誘導起電力に対する、被測定試料ＭＳ１の上端部又は下端部に流れる渦電流の影響が無視できないほど大きくなる。
【００７２】
一方、本実施の形態の磁化測定装置１１では、コイル５１の厚さＴＨ１、コイル５２の厚さＴＨ２、コイル５３の厚さＴＨ３、及び、コイル５４の厚さＴＨ４は、いずれも方向ＤＲ１における被測定試料ＭＳ１の厚さＴＨＳよりも薄い。そのため、コイル５１及び５２の各々の誘導起電力の絶対値の差分である誘起電圧ｅＪに対する、被測定試料ＭＳ１の上端部又は下端部に流れる渦電流の影響が無視できるほど小さくなる。従って、磁化測定部５５により測定される磁化の値を、被測定試料ＭＳ１の真の磁化の値に近づけることができる。
【００７３】
また、本実施の形態の磁化測定装置１１では、厚さＴＨ１、ＴＨ２、ＴＨ３及びＴＨ４は、いずれも厚さＴＨＳよりも薄い。そのため、コイルの厚さに対して被測定試料ＭＳ１の厚さが相対的に厚くなって被測定試料ＭＳ１の周辺での反磁界の影響が小さくなる。従って、磁化測定部５５により測定される磁化の値を、被測定試料ＭＳ１の真の磁化の値に近づけることができる。
【００７４】
また、本実施の形態の磁化測定装置１１では、コイル５１、５２、５３及び５４が、互いに同一の平面ＰＬ１上に配置されている。これにより、コイル５１、５２、５３及び５４の各々に印加される磁界の強度が互いに等しくなる。そのため、磁化測定部５５により測定される磁化の値を、磁界測定部５６により測定された磁界の強度に対応した磁化の値に近づけることができる。
【００７５】
また、本実施の形態の磁化測定装置１１では、ＮＤをＮＣと略等しくすることにより、コイル５３及び５４の誘起電圧ｅＨは、被測定試料ＭＳ１の磁気モーメントＭには影響を受けず、磁界Ｈにのみ影響を受ける。そのため、コイル５３及び５４により測定される磁界の強度が、被測定試料ＭＳ１に実際に印加されている磁界ＭＦ１の強度と等しくなる。従って、磁化測定部５５により測定される磁化の値を、磁界測定部５６により測定された磁界の強度に対応した磁化の値に近づけることができる。
【００７６】
また、本実施の形態の磁化測定装置１１では、被測定試料ＭＳ１の磁化を、磁界を測定する回路である磁界測定部５６と別に設けられた回路である磁化測定部５５により測定する。そのため、被測定試料ＭＳ１の磁化は、磁化を測定するためのコイルの誘導起電力の絶対値と磁界の強度を測定するためのコイルの誘導起電力の絶対値との差分である差分値に基づいて測定されるものではない。従って、測定される磁化の値の精度を向上させることができる。
【００７７】
即ち、本実施の形態の磁化測定装置１１によれば、被測定試料ＭＳ１の磁化を、磁化測定部５５により高精度で測定することができ、被測定試料ＭＳ１に印加された磁界の強度を、磁界測定部５６により高精度で測定することができる。
【００７８】
図１に示す例では、磁化測定部５５は、コイル５１及び５２とパーソナルコンピュータ６１との間に設けられ、磁界測定部５６は、コイル５３及び５４とパーソナルコンピュータ６１との間に設けられている。しかし、磁化測定部５５及び磁界測定部５６は、制御部１６が有するパーソナルコンピュータ６１に含まれていてもよい。
【００７９】
また、コイル５１とコイル５２とは、掃引部１４により磁界ＭＦ１が掃引された場合に、コイル５１の誘導起電力の絶対値と、コイル５２の誘導起電力の絶対値との差分である差分値が磁化測定部５５に出力されるように、反直列に接続されていてもよい。或いは、コイル５１の誘導起電力及びコイル５２の誘導起電力の各々が別々に磁化測定部５５に出力され、磁化測定部５５が、コイル５１の誘導起電力の絶対値と、コイル５２の誘導起電力の絶対値との差分（上記数式（数４）に示す誘起電圧ｅＪの絶対値）を、磁化測定部５５内で算出してもよい。
【００８０】
また、コイル５３とコイル５４とは、掃引部１４により磁界ＭＦ１が掃引された場合に、コイル５３の誘導起電力の絶対値と、コイル５４の誘導起電力の絶対値との差分である差分値が磁界測定部５６に出力されるように、反直列に接続されていてもよい。或いは、コイル５３の誘導起電力及びコイル５４の誘導起電力の各々が別々に磁界測定部５６に出力され、磁界測定部５６が、コイル５３の誘導起電力の絶対値と、コイル５４の誘導起電力の絶対値との差分（上記数式（数１０）に示す誘起電圧ｅＨの絶対値）を、磁界測定部５６内で算出してもよい。
【００８１】
好適には、パーソナルコンピュータ６１は、磁化測定部５５が検出した誘起電圧ｅＪに基づいて、被測定試料ＭＳ１の磁化Ｊを算出し、磁界測定部５６が検出した誘起電圧ｅＨに基づいて、被測定試料ＭＳ１に印加されている磁界ＭＦ１の強度（磁界Ｈ）を算出し、算出された磁化Ｊと磁界Ｈとからなる組データを、例えばメモリ等の記憶部に記憶する。そして、パーソナルコンピュータ６１は、記憶部に記憶された複数の組データに基づいて、縦軸に磁化Ｊが表され、横軸に磁界Ｈが表されたグラフに磁化ヒステリシス曲線を表示する。
【００８２】
好適には、コイル５１の部分ＰＲ１、コイル５２の部分ＰＲ２、コイル５３の部分ＰＲ３、及び、コイル５４の部分ＰＲ４の各々は、方向ＤＲ１において、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における中心位置ＣＰ１と同じ位置に配置されている。
【００８３】
これにより、コイル５１、５２、５３及び５４の各々が、方向ＤＲ１において、被測定試料ＭＳ１の上端部及び下端部のいずれからも遠くなるので、コイル５１及び５２の各々の誘導起電力の絶対値の差分である誘起電圧ｅＪに対する、被測定試料ＭＳ１の上端部又は下端部に流れる渦電流の影響を更に小さくすることができる。
【００８４】
コイル５１の方向ＤＲ１における中心位置を位置ＣＥ１とし、コイル５２の方向ＤＲ１における中心位置を位置ＣＥ２とし、コイル５３の方向ＤＲ１における中心位置を位置ＣＥ３とし、コイル５４の方向ＤＲ１における中心位置を位置ＣＥ４とする。このような場合、更に好適には、位置ＣＥ１、位置ＣＥ２、位置ＣＥ３及び位置ＣＥ４の各々は、方向ＤＲ１において、被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における中心位置ＣＰ１と同じ位置に配置されている。
【００８５】
これにより、コイル５１、５２、５３及び５４の各々が、方向ＤＲ１において、被測定試料ＭＳ１の上端部及び下端部のいずれからもより遠くなるので、コイル５１及び５２の各々の誘導起電力の絶対値の差分である誘起電圧ｅＪに対する、被測定試料ＭＳ１の上端部又は下端部に流れる渦電流の影響を更により小さくすることができる。
【００８６】
なお、方向ＤＲ１において、位置ＣＥ１が中心位置ＣＰ１と同じ位置に配置されなくてもよく、方向ＤＲ１における被測定試料ＭＳ１の厚さＴＨＳに対する、位置ＣＥ１と中心位置ＣＰ１との間の方向ＤＲ１における距離の比が、０．２以下であればよい。また、方向ＤＲ１において、位置ＣＥ２が中心位置ＣＰ１と同じ位置に配置されなくてもよく、厚さＴＨＳに対する、位置ＣＥ２と中心位置ＣＰ１との間の方向ＤＲ１における距離の比が、０．２以下であればよい。また、方向ＤＲ１において、位置ＣＥ３が中心位置ＣＰ１と同じ位置に配置されなくてもよく、厚さＴＨＳに対する、位置ＣＥ３と中心位置ＣＰ１との間の方向ＤＲ１における距離の比が、０．２以下であればよい。また、方向ＤＲ１において、位置ＣＥ４が中心位置ＣＰ１と同じ位置に配置されなくてもよく、厚さＴＨＳに対する、位置ＣＥ４と中心位置ＣＰ１との間の方向ＤＲ１における距離の比が、０．２以下であればよい。
【００８７】
また、方向ＤＲ１において、位置ＣＥ２が位置ＣＥ１と同じ位置に配置されなくてもよく、厚さＴＨ１、厚さＴＨ２、又は、厚さＴＨ１及びＴＨ２の平均値に対する、位置ＣＥ１と位置ＣＥ２との間の方向ＤＲ１における距離の比が、０．２以下であればよい。また、方向ＤＲ１において、位置ＣＥ３が位置ＣＥ１と同じ位置に配置されなくてもよく、厚さＴＨ１、厚さＴＨ３、又は、厚さＴＨ１及びＴＨ３の平均値に対する、位置ＣＥ１と位置ＣＥ３との間の方向ＤＲ１における距離の比が、０．２以下であればよい。また、方向ＤＲ１において、位置ＣＥ４が位置ＣＥ１と同じ位置に配置されなくてもよく、厚さＴＨ１、厚さＴＨ４、又は、厚さＴＨ１及びＴＨ４の平均値に対する、位置ＣＥ１と位置ＣＥ４との間の方向ＤＲ１における距離の比が、０．２以下であればよい。また、位置ＣＥ２と位置ＣＥ３との間の関係、位置ＣＥ２と位置ＣＥ４との間の関係、及び、位置ＣＥ３と位置ＣＥ４との間の関係についても、前述した、位置ＣＥ１と位置ＣＥ２との間の関係、位置ＣＥ１と位置ＣＥ３との間の関係、及び、位置ＣＥ１と位置ＣＥ４との間の関係と同様である。
【００８８】
好適には、励磁コイル３１は、軸ＡＸ１の周りに、コイル５４を囲むように巻回され、コイル５１、５２、５３及び５４は、方向ＤＲ１における励磁コイル３１の中央部に囲まれている。
【００８９】
このような場合、被測定試料ＭＳ１、並びに、コイル５１、５２、５３及び５４に印加される磁界ＭＦ１は、方向ＤＲ１に平行になるので、方向ＤＲ１に交差する成分の磁界の影響を排除することができ、平行磁界中における被測定試料ＭＳ１の磁化を測定することができる。また、方向ＤＲ１における励磁コイル３１の中央部では、方向ＤＲ１における互いに異なる位置間での磁界の強度の均一性が高い（ばらつきが小さい）ので、方向ＤＲ１における被測定試料ＭＳ１の位置が被測定試料ＭＳ１ごとにずれた場合でも、被測定試料ＭＳ１の磁化を高精度で測定することができる。
【００９０】
好適には、磁化測定装置１１は、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における位置を調整する調整部１７を備えている。調整部１７は、コイル５１の部分ＰＲ１、コイル５２の部分ＰＲ２、コイル５３の部分ＰＲ３、及び、コイル５４の部分ＰＲ４の各々が、方向ＤＲ１において、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における中心位置ＣＰ１と同じ位置に配置されるように、位置を調整する。
【００９１】
このような調整部１７として、例えばモータ７１と、モータ７１と接続されたギア７２と、ギア７２とかみ合わされ、且つ、下側部材２３に固定されたギア７３と、を有する調整部１７を用いることができる。これにより、例えば下側部材２３を軸ＡＸ１に沿って方向ＤＲ１と同じ方向又は逆方向に移動させることができ、コイル５１、５２、５３及び５４の各々が、方向ＤＲ１において、被測定試料ＭＳ１の上端部及び下端部のいずれからも遠くなるように調整することができる。そのため、コイル５１及び５２の各々の誘導起電力の絶対値の差分である誘起電圧ｅＪに対する、被測定試料ＭＳ１の上端部又は下端部に流れる渦電流の影響を更に小さくすることができる。
【００９２】
なお、前述したように、方向ＤＲ１において、位置ＣＥ１が中心位置ＣＰ１と同じ位置に配置されなくてもよく、方向ＤＲ１における被測定試料ＭＳ１の厚さＴＨＳに対する、位置ＣＥ１と中心位置ＣＰ１との間の方向ＤＲ１における距離の比が、０．２以下になるように調整することができる。位置ＣＥ２、位置ＣＥ３及び位置ＣＥ４についても、位置ＣＥ１と同様である。
【００９３】
また、前述したように、方向ＤＲ１において、位置ＣＥ２が位置ＣＥ１と同じ位置に配置されなくてもよく、厚さＴＨ１、厚さＴＨ２、又は、厚さＴＨ１及びＴＨ２の平均値に対する、位置ＣＥ１と位置ＣＥ２との間の方向ＤＲ１における距離の比が、０．２以下になるように調整することができる。また、位置ＣＥ１と位置ＣＥ３との間の関係、位置ＣＥ１と位置ＣＥ４との間の関係、位置ＣＥ２と位置ＣＥ３との間の関係、位置ＣＥ２と位置ＣＥ４との間の関係、及び、位置ＣＥ３と位置ＣＥ４との間の関係についても、位置ＣＥ１と位置ＣＥ２との間の関係と同様である。
【００９４】
好適には、励磁コイル３１は、軸ＡＸ１の周りに、コイル５４を囲むように巻回され、且つ、被測定試料ＭＳ１に、パルス磁界を印加する。また、掃引部１４は、励磁コイル３１にパルス電流を流すことにより、磁界ＭＦ１を掃引する。これにより、被測定試料が、例えばネオジウム鉄ホウ素（ＮｄＦｅＢ）磁石等の飽和磁化の大きな永久磁石よりなる場合でも、被測定試料を磁気飽和させるために十分な強度の磁界を印加することができる。以下では、励磁コイル３１がパルス磁界を印加する際に被測定試料ＭＳ１の磁化を測定する場合について説明する。図４は、励磁コイルがパルス磁界を印加する場合の励磁電源の構成の一例を示す回路図である。
【００９５】
図４に示すように、掃引部１４（図１参照）が有する励磁電源４１は、充電部４３と、コンデンサ４４と、サイリスタ４５及び４６と、を有する。充電部４３の一方の端子は、コンデンサ４４の一方の端子に接続され、充電部４３の他方の端子は、コンデンサ４４の他方の端子に接続され、充電部４３は、コンデンサ４４を充電する。また、コンデンサ４４の一方の端子は、互いに逆並列に接続されたサイリスタ４５及び４６を介して、励磁コイル３１の一方の端子と接続され、コンデンサ４４の他方の端子は、励磁コイル３１の他方の端子と接続されている。サイリスタ４５及び４６は、例えばサイリスタ４５がオン時にコンデンサ４４の一方の端子から励磁コイル３１の一方の端子に向かう方向に電流を流すように接続され、サイリスタ４６がオン時に励磁コイル３１の一方の端子からコンデンサ４４の一方の端子に向かう方向に電流を流すように接続されている。
【００９６】
掃引部１４としての制御盤４２に含まれる演算処理部（図示は省略）が、充電部４３のコンデンサ４４への充電のオンオフ、並びに、サイリスタ４５及び４６のオンオフを制御する。これにより、励磁コイル３１は、方向ＤＲ１に平行で且つ方向ＤＲ１と同じ向き（正方向）の磁界ＭＦ１の強度を、０から最大強度まで増加させた後、最大強度から０まで減少させることができる。即ち、励磁コイル３１は、方向ＤＲ１に平行で且つ方向ＤＲ１と同じ向き（正方向）にパルス磁界を印加することができる。また、励磁コイル３１は、方向ＤＲ１に平行で且つ方向ＤＲ１と逆向き（負方向）の磁界ＭＦ１の強度を、０から最大強度まで増加させた後、最大強度から０まで減少させることができる。即ち、励磁コイル３１は、方向ＤＲ１に平行で且つ方向ＤＲ１と逆向き（負方向）にパルス磁界を印加することができる。その結果、励磁コイル３１により被測定試料ＭＳ１に印加する磁界を、正方向及び負方向の両方向に掃引しながら、被測定試料ＭＳ１の磁化を測定することができる。
【００９７】
パルス磁界のパルス幅を、例えば１〜２００ｍｓｅｃ（ミリ秒）程度とすることができる。また、パルス磁界のパルス高さ（最大強度）を、例えば１００〜１００００ｋＡ／ｍ程度とすることができる。
【００９８】
励磁コイル３１がパルス磁界を印加する場合、励磁コイル３１がパルス磁界の平均掃引速度よりも小さい掃引速度で磁界を印加する場合に比べて、コイル５１及び５２の各々の誘導起電力の絶対値の差分である誘起電圧ｅＪに対する、被測定試料ＭＳ１の上端部又は下端部に流れる渦電流の影響が大きくなる。
【００９９】
一方、本実施の形態の磁化測定装置１１では、コイル５１の厚さＴＨ１、コイル５２の厚さＴＨ２、コイル５３の厚さＴＨ３、及び、コイル５４の厚さＴＨ４は、いずれも方向ＤＲ１における被測定試料ＭＳ１の厚さＴＨＳよりも薄い。そのため、コイル５１及び５２の各々の誘導起電力の絶対値の差分である誘起電圧ｅＪに対する、被測定試料ＭＳ１の上端部又は下端部に流れる渦電流の影響を小さくすることができる。従って、励磁コイル３１がパルス磁界を印加する場合、励磁コイル３１がパルス磁界の平均掃引速度よりも小さい掃引速度で磁界を印加する場合に比べて、磁化測定部５５により測定される磁化の値を被測定試料ＭＳ１の真の磁化の値に近づける効果が、大きくなる。
【０１００】
なお、励磁コイル３１により被測定試料ＭＳ１に印加する磁界の強度を掃引部１４が掃引する際に、コイル５１、５２、５３及び５４の各々の誘導起電力を測定できればよいので、励磁コイル３１が印加する磁界は、パルス磁界でなくてもよい。励磁電源４１として、直流電源を用い、掃引部１４が、直流電源が励磁コイル３１に流す電流を掃引することにより、励磁コイル３１が発生する磁界が、例えば０から最大強度まで漸増した後、最大強度から０まで漸減するようにしてもよい。
【０１０１】
＜磁化測定方法＞
次に、図１及び図２を参照し、本実施の形態の磁化測定方法について説明する。本実施の形態の磁化測定方法は、磁性体よりなる被測定試料の磁化を測定する磁化測定方法である。
【０１０２】
本実施の形態の磁化測定方法では、方向ＤＲ１に延在する軸ＡＸ１上に、保持部１２により、磁性体よりなる被測定試料ＭＳ１を保持する（ステップＳ１１）。そして、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１に、方向ＤＲ１の磁界ＭＦ１を、印加部１３により印加する（ステップＳ１２）。
【０１０３】
本実施の形態の磁化測定方法では、印加部１３により印加される磁界ＭＦ１を掃引部１４により掃引しながらステップＳ１２を行う（ステップＳ１３）。そして、ステップＳ１３を行う際に、被測定試料ＭＳ１の磁化及び磁界の強度を、測定部１５により測定する（ステップＳ１４）。
【０１０４】
前述したように、測定部１５は、コイル５１、５２、５３及び５４の４つのコイルを有し、コイル５１、５２、５３及び５４は、軸ＡＸ１の周りに、軸ＡＸ１を中心として同心円状に配置されている。また、測定部１５は、磁化測定部５５と、磁界測定部５６と、を有する。磁化測定部５５は、コイル５１の誘導起電力の絶対値とコイル５２の誘導起電力の絶対値との差分である差分値に基づいて、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の磁化を測定する。磁界測定部５６は、コイル５３の誘導起電力の絶対値とコイル５４の誘導起電力の絶対値との差分である差分値に基づいて、磁界ＭＦ１の強度を測定する。
【０１０５】
また、前述したように、方向ＤＲ１におけるコイル５１の厚さＴＨ１、方向ＤＲ１におけるコイル５２の厚さＴＨ２、方向ＤＲ１におけるコイル５３の厚さＴＨ３、及び、方向ＤＲ１におけるコイル５４の厚さＴＨ４は、いずれも７ｍｍ未満であるか、又は、いずれも保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における厚さＴＨＳよりも薄い。
【０１０６】
このような本実施の形態の磁化測定方法によれば、被測定試料ＭＳ１の磁化を、磁化測定部５５により高精度で測定することができ、被測定試料ＭＳ１に印加された磁界ＭＦ１の強度を、磁界測定部５６により高精度で測定することができる。
【０１０７】
好適には、本実施の形態の磁化測定方法では、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における位置を調整部１７により調整する（ステップＳ１５）。そして、ステップＳ１５では、コイル５１の部分ＰＲ１、コイル５２の部分ＰＲ２、コイル５３の部分ＰＲ３、及び、コイル５４の部分ＰＲ４の各々が、方向ＤＲ１において、保持部１２に保持されている被測定試料ＭＳ１の方向ＤＲ１における中心位置ＣＰ１と同じ位置に配置されるように、被測定試料ＭＳ１の位置を調整部１７により調整する。これにより、コイル５１、５２、５３及び５４の各々が、方向ＤＲ１において、被測定試料ＭＳ１の上端部及び下端部のいずれからも遠くなるので、コイル５１及び５２の各々の誘導起電力の絶対値の差分である誘起電圧ｅＪに対する、被測定試料ＭＳ１の上端部又は下端部に流れる渦電流の影響を小さくすることができる。
【０１０８】
次に、励磁コイル３１がパルス磁界としての磁界ＭＦ１を印加する際に被測定試料ＭＳ１の磁化を測定する場合について説明する。図５は、励磁コイルがパルス磁界を印加する際に被測定試料に印加される磁界の強度の時間依存性を模式的に示すグラフである。図６は、被測定試料の磁化ヒステリシス曲線を模式的に示すグラフである。
【０１０９】
掃引部１４が、図４に示す励磁電源４１を有する場合、前述したように、励磁コイル３１により被測定試料ＭＳ１に印加する磁界を、正方向及び負方向の両方向に掃引しながら、被測定試料ＭＳ１の磁化を測定することができる。そこで、図５に示すように、まず方向ＤＲ１と同じ向き（正方向）に十分な強度を有するパルス磁界を印加し（図５の波形ＷＦ１参照）、被測定試料ＭＳ１の磁化が飽和するまで被測定試料ＭＳ１を磁化させながら磁化−磁界曲線（Ｊ−Ｈ曲線）の測定を行う。このとき、励磁コイル３１に掃引部１４によりパルス電流を流すことにより、磁界ＭＦ１を掃引部１４により掃引しながら、励磁コイル３１により磁界ＭＦ１を印加する。
【０１１０】
次に、方向ＤＲ１と逆方向（負方向）に同じ強度を有するパルス磁界を印加し（図５の波形ＷＦ２参照）、被測定試料ＭＳ１の磁化が飽和するまで被測定試料ＭＳ１を磁化させながらＪ−Ｈ曲線の測定を行う。次に、再び方向ＤＲ１と同じ向き（正方向）に同じ強度を有するパルス磁界を印加し（図５の波形ＷＦ３参照）、被測定試料ＭＳ１の磁化が飽和するまで被測定試料ＭＳ１を磁化させながらＪ−Ｈ曲線の測定を行う。
【０１１１】
その後、被測定試料ＭＳ１を取り出した状態で、方向ＤＲ１と同じ向き（正方向）、及び、方向ＤＲ１と逆方向（負方向）に、それぞれ同じ強度を有するパルス磁界を印加しながらＪ−Ｈ曲線の測定を行う（図５の波形ＷＦ４及びＷＦ５参照）。そして、波形ＷＦ２の際のＪ−Ｈ曲線から波形ＷＦ５の際のＪ−Ｈ曲線を差し引いたＪ−Ｈ曲線を、縦軸に磁化Ｊが表され横軸に磁界Ｈが表されたグラフの第２象限と第３象限とに表し、波形ＷＦ３の際のＪ−Ｈ曲線から波形ＷＦ４の際のＪ−Ｈ曲線を差し引いたＪ−Ｈ曲線を、同じグラフの第４象限と第１象限とに表す。これにより、図６に示すように、被測定試料ＭＳ１の磁化ヒステリシス曲線を得ることができる。
【０１１２】
また、図６に示す磁化ヒステリシス曲線から、被測定試料ＭＳ１の残留磁化Ｊｒ、及び、保磁力ＨｃＪを求めることができる。残留磁化Ｊｒは、第１象限に表され、且つ、磁界Ｈを減少させる際の曲線、即ちＪ−Ｈ減磁曲線のＨ＝０に対応した磁化の値であり、保磁力ＨｃＪは、第２象限に表され、且つ、磁界Ｈを減少させる際の曲線、即ちＪ−Ｈ減磁曲線のＪ＝０に対応した磁界の強度の値である。また、Ｂ＝Ｊ＋μ０Ｈの関係により、残留磁化Ｊｒと残留磁束密度Ｂｒとは略等しいので、残留磁化Ｊｒから残留磁束密度Ｂｒを算出することができる。
【実施例】
【０１１３】
以下、実施例に基づいて本実施の形態を更に詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施例によって限定されるものではない。
【０１１４】
実施例の磁化測定装置として、図１及び図２に示す磁化測定装置１１を用意した。実施例の磁化測定装置１１は、巻き数が３５０である励磁コイル３１と、コイル５１、５２、５３及び５４と、を備えていた。このような実施例の磁化測定装置１１において、励磁コイル３１に流す電流を４２５０Ａとしたときの、方向ＤＲ１における励磁コイル３１の中心位置ＣＰ１における磁束密度、並びに、コイル５１、５２、５３及び５４の各々の内部の平均磁束密度を計算した。その結果を、表１に示す。なお、表１では、方向ＤＲ１における励磁コイル３１の中心位置ＣＰ１を、「励磁コイル中心」と表記し、コイル５１、５２、５３、５４を、Ｊコイル内側、Ｊコイル外側、Ｈコイル内側、Ｈコイル外側と表記している。
【０１１５】
【表１】
2018179660.tif 000014
【０１１６】
表１に示すように、方向ＤＲ１における励磁コイル３１の中心位置ＣＰ１における磁束密度と、コイル５１、５２、５３及び５４の各々の内部における平均磁束密度との差は、０．０７５％以下であった。そのため、励磁コイル３１の中心位置ＣＰ１における磁界、並びに、コイル５１、５２、５３及び５４の内部に印加される磁界の強度は、一致しているとみなすことができた。
【０１１７】
次に、被測定試料ＭＳ１として、直径が１０ｍｍで、厚さが７ｍｍのネオジウム鉄ホウ素（ＮｄＦｅＢ）ボンド磁石及びＮｄＦｅＢ焼結磁石を用いた場合について、磁化ヒステリシス曲線を２０回繰り返して測定し、得られた磁化ヒステリシス曲線から、残留磁束密度Ｂｒ及び保磁力ＨｃＪを求めた。その結果、被測定試料ＭＳ１としてＮｄＦｅＢボンド磁石を用いた場合は、残留磁束密度Ｂｒの繰り返し精度は±０．３８％であり、保磁力ＨｃＪの繰り返し精度は±０．１９％であり、いずれも小さい値であった。また、被測定試料ＭＳ１としてＮｄＦｅＢ焼結磁石を用いた場合は、残留磁束密度Ｂｒの繰り返し精度は±０．３０％であり、保磁力ＨｃＪの繰り返し精度は±０．２０％であり、いずれも小さい値であった。
【０１１８】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【０１１９】
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
【０１２０】
例えば、前述の各実施の形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０１２１】
１１  磁化測定装置
１２  保持部
１３  印加部
１４  掃引部
１５  測定部
１６  制御部
１７  調整部
２１  筒状部材
２２  上側部材
２３  下側部材
３１  励磁コイル
４１  励磁電源
４２  制御盤
４３  充電部
４４  コンデンサ
４５、４６  サイリスタ
５１〜５４  コイル
５５  磁化測定部
５６  磁界測定部
６１  パーソナルコンピュータ
７１  モータ
７２、７３  ギア
ＡＸ１  軸
ＣＥ１〜ＣＥ４、ＰＳ１  位置
ＣＰ１  中心位置
ＤＲ１  方向
ＭＦ１  磁界
ＭＳ１  被測定試料
ＰＬ１  平面
ＰＲ１〜ＰＲ４  部分
ＷＦ１〜ＷＦ５  波形
【図１】
2018179660.tif 000015
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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