(57)【要約】【課題】試料中の高濃度の成分に検出部のセンサが曝露されることを防止して、検出部のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部のセンサの検知精度が低下することを抑制することができるガス分析装置を提供することを課題とする。【解決手段】試料中の所定の成分の濃度を検出するガス分析装置１であって、試料中の成分を分離する成分分離部５と、成分分離部５において分離された試料中の一部の成分を排気する排気部６と、成分分離部５において分離されて排気部６において排気される試料中の一部の成分以外の試料中の一部の成分の濃度を検出する検出部７と、を備えるものとする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料中の所定の成分の濃度を検出するガス分析装置であって、
前記試料中の成分を分離する成分分離部と、
前記成分分離部において分離された試料中の一部の成分を排気する排気部と、
前記成分分離部において分離されて前記排気部において排気される試料中の一部の成分以外の試料中の一部の成分の濃度を検出する検出部と、
を備える、ガス分析装置。
【請求項２】
前記排気部は、前記検出部よりも上流側に配置される、
請求項１に記載のガス分析装置。
【請求項３】
前記成分分離部において分離された試料中の一部の成分を前記排気部側に流通させる流路と、前記成分分離部において分離されて前記排気部において排気される試料中の一部の成分以外の試料中の一部の成分を検出部側に流通させる流路と、に流路を切替える切替手段をさらに備え、
前記切替手段は、前記成分分離部が試料中の成分を分離するときのリテンションタイムに基づいて前記流路の切替え動作を行う、請求項１または２に記載のガス分析装置。
【請求項４】
前記検出部は、少なくとも、前記排気部が前記成分分離部において分離された試料中の一部の成分を排気しているときから、前記成分分離部において分離されて前記排気部において排気される試料中の一部の成分以外の試料中の一部の成分の濃度を検出する動作を行う、
請求項１または請求項２に記載のガス分析装置。
【請求項５】
試料中の所定の成分の濃度を検出するガス分析方法であって、
前記試料中の成分を分離する工程と、
前記分離された試料中の一部の成分を排気する工程と、
前記分離されて排気される試料中の一部の成分以外の試料中の一部の成分の濃度を検出する工程と、を備える、
ガス分析方法。
【請求項６】
都市ガス中の付臭剤の濃度を検出するガス分析方法であって、
前記都市ガス中のメタンと付臭剤とを分離する工程と、
前記分離された都市ガス中のメタンを排気する工程と、
前記分離された都市ガス中の付臭剤の濃度を検出する工程と、を備え
前記分離された都市ガス中のメタンを排気する工程を行った後に、前記分離された都市ガス中の付臭剤の濃度を検出する工程を行う、
ガス分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス分析装置およびガス分析方法の技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
試料中の所定の成分の濃度を検出するガス分析装置に関する技術は、公知となっている（特許文献１参照）。前記ガス分析装置は、成分分離部と検出部とを備える。
前記ガス分析装置の成分分離部は、管状のカラムとヒータとを備え、カラム内を流通する試料中の各種の成分のリテンションタイムを利用して、当該試料中の成分を分離する。
前記ガス分析装置の検出部は、センサを備え、成分分離部において分離された試料中の一部の成分の濃度を検出する。検出部のセンサは、分離された試料中の成分の数ｐｐｂ〜ｐｐｍの濃度を検出可能な高感度のもので構成される。
【０００３】
また、前記ガス分析装置は、例えば、都市ガス中（試料）の付臭剤（所定の成分）の濃度を検出することに用いられる。例えば、都市ガスを供給するガス会社等では、前記ガス分析装置等を用いて、付臭剤が適切な濃度で都市ガスに添加されているか否かについて定期的に検査を行っている。都市ガスには、臭覚で都市ガスの漏洩を感知できるように付臭剤が添加されており、都市ガス中における付臭剤の濃度は、数ｐｐｍ〜数十ｐｐｍ程度に設定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１２９００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記ガス分析装置では、成分分離部において分離された試料中の成分には、高濃度のものがある。例えば、都市ガス中のメタンは、付臭剤に比べて数万倍の濃度となっている。
そして、前記ガス分析装置では、都市ガス中のメタンのように成分分離部において分離された試料中の高濃度の成分に検出部のセンサが曝露された場合には、検出部のセンサが高感度な仕様であることから、早期に劣化して検知精度の低下が生じる虞があった。
【０００６】
本発明は以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、試料中の高濃度の成分に検出部のセンサが曝露されることを防止して、検出部のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部のセンサの検知精度が低下することを抑制することができるガス分析装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００８】
即ち、本願に開示するガス分析装置においては、試料中の所定の成分の濃度を検出するガス分析装置であって、前記試料中の成分を分離する成分分離部と、前記成分分離部において分離された試料中の一部の成分を排気する排気部と、前記成分分離部において分離されて前記排気部において排気される試料中の一部の成分以外の試料中の一部の成分の濃度を検出する検出部と、を備えるものである。
【０００９】
本願に開示するガス分析装置においては、前記排気部は、前記検出部よりも上流側に配置されるものである。
【００１０】
本願に開示するガス分析装置においては、前記成分分離部において分離された試料中の一部の成分を前記排気部側に流通させる流路と、前記成分分離部において分離されて前記排気部において排気される試料中の一部の成分以外の試料中の一部の成分を検出部側に流通させる流路と、に流路を切替える切替手段をさらに備え、前記切替手段は、前記成分分離部が試料中の成分を分離するときのリテンションタイムに基づいて前記流路の切替え動作を行うものである。
【００１１】
本願に開示するガス分析装置においては、前記検出部は、少なくとも、前記排気部が前記成分分離部において分離された試料中の一部の成分を排気しているときから、前記成分分離部において分離されて前記排気部において排気される試料中の一部の成分以外の試料中の一部の成分の濃度を検出する動作を行うものである。
【００１２】
本願に開示するガス分析方法においては、試料中の所定の成分の濃度を検出するガス分析方法であって、前記試料中の成分を分離する工程と、前記分離された試料中の一部の成分を排気する工程と、前記分離されて排気される試料中の一部の成分以外の試料中の一部の成分の濃度を検出する工程と、を備えるものである。
【００１３】
本願に開示する都市ガス中の付臭剤の濃度を検出するガス分析方法においては、都市ガス中の付臭剤の濃度を検出するガス分析方法であって、前記都市ガス中のメタンと付臭剤とを分離する工程と、前記分離された都市ガス中のメタンを排気する工程と、前記分離された都市ガス中の付臭剤の濃度を検出する工程と、を備え、前記分離された都市ガス中のメタンを排気する工程を行った後に、前記分離された都市ガス中の付臭剤の濃度を検出する工程を行うものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明によれば、試料中の高濃度の成分に検出部のセンサが曝露されることを防止して、検出部のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係るガス分析装置を示すブロック図。
【図２】同じくガス分析装置における試料中の所定の成分の濃度を検出する動作を示すフロー図。
【図３】同じくガス分析装置における試料中の所定の成分の濃度を検出する動作を示すフロー図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
次に、図１から図３に示すガス検出装置またはガス検出方法について説明する。
【００１７】
図１に示すように、ガス分析装置１は、試料中の所定の成分の濃度を検出する。
ガス分析装置１は、例えば、都市ガス中（試料）の付臭剤（所定の成分）の濃度を検出する。都市ガスには、臭覚で都市ガスの漏洩を感知できるように付臭剤が添加されている。都市ガス中における付臭剤の濃度は数十ｐｐｍ程度に設定されている。都市ガスに付加される付臭剤（付臭物質）には、例えば、ブチルメルカプタン（ＴＢＭ（ｔｅｒｔｉａｒｙ  ｂｕｔｙｌｍｅｒｃａｐｔａｎ））、シクロヘキセン（ＣＨ（ｃｙｃｌｏｈｅｘｅｎｅ））、テトラヒドロチオフェン（ＴＨＴ（ｔｅｔｒａｈｙｄｒｏ  ｔｈｉｏｐｈｅｎｅ））、または、これらを混合させたもの等がある。
ガス分析装置１は、制御部２と、試料導入部４と、成分分離部５と、排気部６と、検出部７と、切替手段８と、を備える。
【００１８】
制御部２は、ガス分析装置１（試料導入部４、成分分離部５、排気部６、検出部７、および、切替手段８）の各種の動作を制御する。制御部２は、各種情報を記憶する記憶装置２１、および、時計機能（例えばリアルタイムクロック）を備える。制御部２は、例えば、ガス分析装置１に電気的に接続されるＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）で構成される。なお、制御部２は、ガス分析装置１に内臓されるマイコン等で構成することもできる。
【００１９】
キャリアガス供給部３は、ガス分析装置１外の大気またはボンベ内の圧縮空気等をキャリアガスとして、成分分離部５に供給する。キャリアガス供給部３は、供給管３０を介して成分分離部５に接続される。供給管３０内は、キャリアガスが成分分離部５に流通する流路として構成される。
供給管３０の中途部には、キャリアガスの流量を計測する流量計測器３１（例えば、マスフローコントローラ）が設けられる。キャリアガス供給部３は、流量計測器３１の計測した流量に基づいてキャリアガスの流量を一定のものとなるように調整して成分分離部５に供給する。
【００２０】
試料導入部４は、ガス分析装置１外から試料を成分分離部５に供給する。
試料導入部４は、流量計測器３１の下流側において供給管３０に接続され、所定量の試料を供給管３０に導入する。試料導入部４によって供給管３０に導入された試料は、キャリアガスに混合されて、当該キャリアガスに混合された試料は成分分離部５に導入される。
試料導入部４は、例えば注射器のようにサンプルを注入する機構であってもよく、サンプリング管を備えるオートサンプリング機構としてもよい。
【００２１】
成分分離部５は、供給管３０から供給される試料中の各種の成分（一部の成分）を分離する。
成分分離部５は、試料が流通する充填剤を有する管状のカラム（不図示）と、カラムを加熱して所定の温度に保つヒータ（不図示）と、を備える。成分分離部５は、カラム内を流通する試料中の各種の成分のリテンションタイムを利用して、試料中の成分を分離する。ガス分析装置１では、試料が成分分離部５（カラム）を流通することによって、分離された試料中の成分がリテンションタイムの短いものから順次成分分離部５から流出する。
成分分離部５は、流通管５０を介して検出部７に接続される。
流通管５０内は、キャリアガス、成分分離部５において分離された試料中の成分が流通する流路として構成される。
【００２２】
排気部６は、成分分離部５において分離された試料中の一部の成分（以下、「試料中の排気成分」という）をガス分析装置１外に排気する。
排気部６は、排気管６０および流通管５０を介して成分分離部５に接続される。排気管６０は、流通管５０に接続される。排気管６０内は、キャリアガス、または、試料中の排気成分が流通する流路（排気用流路）として構成される。試料中の排気成分は、流通管５０内の排気管６０が接続される部分より上流側部分、および、排気管６０内を流通して、排気管６０外に流出することによってガス分析装置１外に排気される。
【００２３】
検出部７は、半導体センサを備え、成分分離部５において分離されて排気部６において排気される試料中の一部の成分（試料中の排気成分）以外の試料中の一部の成分（以下、「試料中の検出成分」という）の濃度を検出する。
流通管５０内における排気部６が接続される部分よりも下流側の部分は、試料中の検出成分が検出部７に流通する流路（検出用流路）として構成される。
検出部７には、流出管７０が接続される。流出管７０内は、検出部７において濃度の検出を終えて検出部７から流出した試料中の検出成分が流通する流路として構成される。流通管５０内を流通する試料中の検出成分は、流通管５０外に流出することによってガス分析装置１外に排気される。
検出部７において試料中の検出成分の濃度が検出された検出結果は、制御部２に送信される。
【００２４】
切替手段８は、流通管５０における排気管６０が接続される部分に三方弁８１が設けられて構成される。切替手段８は、三方弁８１によって（流通管５０における排気管６０が接続される部分において）、成分分離部５から流出する試料中の成分（試料中の排気成分または試料中の検出成分）によって流路を切り替える。切替手段８は、成分分離部５の下流側且つ検出部７の上流側において、試料中の排気成分を排気部６側へ流通させる流路（排気用流路）と、試料中の検出成分を検出部７側へ流通させる流路（検出用流路）と、に成分分離部５から流出する流体の流路を切替える。
【００２５】
切替手段８は、制御部２の指示に基づいて、排気用流路と検出用流路との流路の切替え動作を所定のタイミングで自動で行う。切替手段８による流路の切替え動作を行う所定のタイミングは、制御部２の記憶装置２１に予め記憶されることによって、予め設定される。切替手段８は、成分分離部５が試料中の成分を分離するときのリテンションタイムに基づいて、排気用流路と検出用流路との流路の切替え動作を行う。
【００２６】
ガス分析装置１では、例えば、試料が都市ガスである場合には、試料導入部４によって都市ガスの導入が開始されてから約２５０秒経過後に、メタンのリテンションタイムが経過して、メタンが成分分離部５から流出し終える。そして、ガス分析装置１では、このようにメタンが成分分離部５から流出し終えた後、都市ガス中の付臭剤の各成分が成分分離部５から流出し始める。
このため、ガス分析装置１では、例えば、試料が都市ガスであり、都市ガス中の付臭剤の成分の濃度を検出する場合には、試料導入部４によって試料（都市ガス）の導入が開始されてから２５０秒経過後に、切替手段８が排気用流路から検出用流路に流路の切替え動作を行うように設定される。このようにして、ガス分析装置１では、成分分離部５によって都市ガス（試料）から分離されたメタン（試料中の排気成分）を排気部６において排気し、メタン（試料中の排気成分）の排気を終えると切替手段８によって排気用流路から検出用流路に流路の切替えを行い、都市ガス中の付臭剤の各種の成分（試料中の検出成分）を検出部７に流入させて、検出部７において都市ガス中の付臭剤の各種の成分（試料中の検出成分）を検出する。
【００２７】
以上のように、試料中の成分を分離する成分分離部５と、成分分離部５において分離された試料中の一部の成分（試料中の排気成分）を排気する排気部６と、成分分離部５において分離されて排気部６において排気される試料中の一部の成分（試料中の排気成分）以外の試料中の一部の成分（試料中の検出成分）の濃度を検出する検出部７と、を備える、ガス分析装置１では、成分分離部５において分離された試料中の排気成分（高濃度の成分）は排気部６において排気され、成分分離部５において分離された試料中の検出成分の濃度が検出部７において検出される。
このため、ガス分析装置１では、試料中の排気成分を高濃度の所定の成分を含むものとして排気部６において排気することによって、当該試料中の排気成分を検出部７に流入させずに、試料中の検出成分の濃度を検出部７において検出することができる。
したがって、ガス分析装置１によれば、試料中の高濃度の成分に検出部７のセンサが曝露されることを防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【００２８】
また、ガス分析装置１では、キャリアガスとして大気等を用いることから、キャリアガスとしてヘリウム等の不活性ガスを用いることを要するものに比べて、安価に試料中の所定の成分の濃度を検出することができる。
【００２９】
以上のように、排気部６が検出部７よりも上流側に配置されるガス分析装置１では、排気部６が検出部７よりも上流側に配置されることから、試料中の高濃度の成分に検出部７のセンサが曝露されることをより確実に防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【００３０】
以上のように、試料中の排気成分を排気部６側に流通させる流路と、試料中の検出成分を検出部７側に流通させる流路と、に流路を切替える切替手段８を備えるガス分析装置１では、試料中の排気成分を排気部６側に流通させる流路と、試料中の検出成分を検出部７側に流通させる流路と、に切り替えることから、試料中の高濃度の成分に検出部７のセンサが曝露されることをより確実に防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【００３１】
以上のように、切替手段８は、成分分離部５が試料中の成分を分離するときのリテンションタイムに基づいて流路の切替え動作を行うガス分析装置１では、例えば、成分分離部５から流出する成分をセンサ等によって検出し、当該センサの検出結果に基づいて流路の切替え動作を行うものに比べて、試料中の排気成分を排気部６側に流通させる流路と、試料中の検出成分を検出部７側に流通させる流路と、に流路を切替える構成を、簡易な構成で実現することができる。
【００３２】
以上のように、検出部７は、少なくとも、排気部６が試料中の排気成分を排気しているときから、試料中の検出成分の濃度を検出する動作を行う、ガス分析装置１では、例えば、センサ等が試料中の所定の成分検知することによって、試料中の検出成分の濃度を検出する動作の停止または開始等を行うことを要さずに、試料中の検出成分の濃度を検出する動作を行うことができ、検出部７が試料中の検出成分の濃度を検出するものを、簡易な構成で実現することができる。
【００３３】
次に、ガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する一連の動作について、図２を用いて説明する。
なお以下において、試料が都市ガスであり、試料中の検出成分が都市ガス中の付臭剤の成分であるものとして、ガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する一連の動作について説明する。
【００３４】
図２に示すように、ガス分析装置１では、まず、試料導入部４によってガス分析装置１外から試料（都市ガス）を成分分離部５に供給する工程を行う（ステップＳ１１）。
このとき、試料導入部４は、供給管３０に試料（都市ガス）を導入し、供給管３０内を流通するキャリアガスに試料（都市ガス）を混合させて、当該キャリアガスに混合された試料（都市ガス）を成分分離部５に導入する。
試料導入部４によって試料を成分分離部５に供給する工程を終えると、ステップＳ１２に移行する。
【００３５】
次に、ガス分析装置１では、ステップＳ１１において供給された試料（都市ガス）中の成分を成分分離部５によって分離する工程を行う（ステップＳ１２）。
このとき、ガス分析装置１では、試料（都市ガス）が成分分離部５を流通することによって、試料（都市ガス）中の成分が分離されて、試料中の排気成分（メタン）がまず成分分離部５から流出する。そして、試料中の排気成分（メタン）が成分分離部５から流出し終えると、試料中の検出成分（都市ガス中の付臭剤の成分）が成分分離部５から流出する。このようにして、試料（都市ガス）中の成分を成分分離部５によって分離する。
試料（都市ガス）中の成分を成分分離部５によって分離する工程を終えると、ステップＳ１３に移行する。
【００３６】
次に、ガス分析装置１では、ステップＳ１２において成分分離部５によって試料（都市ガス）から分離された試料中の排気成分（メタン）を排気部６によって排気する工程を行う（ステップＳ１３）。
このとき、排気部６は、試料中の排気成分（メタン）を、排気流路に流通させて排気管６０外に流出させることによって、ガス分析装置１外に排気する。なお、試料中の排気成分（メタン）が排気部６側に流通するように（排気流路を流通するように）、ステップＳ１１において試料導入部４によって試料（都市ガス）を成分分離部５に供給する工程を行う前に予め設定されている。
試料中の排気成分（メタン）を排気部６によって排気する工程を終えると、ステップＳ１４に移行する。
【００３７】
次に、ガス分析装置１では、切替手段８が所定のタイミングで排気用流路から検出用流路に流路の切替えする工程を行う（ステップＳ１４）。
このとき、ステップＳ１１において試料導入部４によって試料（都市ガス）の供給が開始されてから２５０秒経過後に、切替手段８が排気用流路から検出用流路に流路の切替え動作を行う。切替手段８が排気用流路から検出用流路に流路の切替えを行うことによって、ステップＳ１２において成分分離部５によって試料（都市ガス）から分離された試料中の検出成分（都市ガス中の付臭剤の成分）は、成分分離部５から流出した後、検出部７側へ流通する（検出用流路を流通する）。
切替手段８が排気用流路から検出用流路に流路の切替えする工程を行った後、ステップＳ１５に移行する。
【００３８】
次に、ガス分析装置１では、ステップＳ１２において成分分離部５によって試料（都市ガス）から分離された試料中の検出成分（都市ガス中の付臭剤の成分）の濃度を検出部７において検出する工程を行う（ステップＳ１５）。
このとき、検出部７は、少なくとも、ステップＳ１３において排気部６が試料中の排気成分（メタン）を排気しているときから、試料中の検出成分（都市ガス中の付臭剤の成分）の濃度を検出する動作を行っている。検出部７は、ステップＳ１１において試料導入部４によって試料（都市ガス）を成分分離部５に供給する工程を行う前から、試料中の検出成分（都市ガス中の付臭剤の成分）の濃度を検出する工程を終えるまで、試料中の検出成分（都市ガス中の付臭剤の成分）の濃度を検出する動作を継続して行っている（連続駆動している）。
検出部７において試料中の検出成分の濃度が検出された検出結果は、制御部２に送信される。検出部７において濃度の検出を終えた試料中の検出成分（都市ガス中の付臭剤の成分）は、ガス分析装置１外に排気される。
試料中の検出成分（都市ガス中の付臭剤の成分）の濃度を検出部７において検出する工程を終えると、ガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する動作を終了する。
このようにして、ガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する動作を行う。
【００３９】
以上のように、試料中の成分を分離する工程と、試料中の排気成分を排気する工程と、試料中の検出成分の濃度を検出する工程と、を備える、ガス分析方法では、試料中の排気成分（高濃度の成分）は排気され、試料中の検出成分の濃度が検出される。
このため、ガス分析方法では、試料中の排気成分を高濃度の所定の成分を含むものとして排気することによって、当該試料中の排気成分を検出部７に流入させずに、試料中の検出成分の濃度を検出部７において検出することができる。
したがって、ガス分析方法によれば、試料中の高濃度の成分に検出部７のセンサが曝露されることを防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【００４０】
以上のように、試料中の排気成分を排気する工程を行った後に、試料中の検出成分の濃度を検出する工程を行う、ガス分析方法では、試料中の高濃度の成分に検出部７のセンサが曝露されることをより確実に防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【００４１】
以上のように、都市ガス中のメタンと付臭剤とを分離する工程と、分離された都市ガス中のメタンを排気する工程と、分離された都市ガス中の付臭剤の濃度を検出する工程と、を備える、ガス分析方法では、分離された都市ガス中のメタンは排気され、都市ガス中の付臭剤の濃度が検出される。
このため、ガス分析方法では、都市ガス中のメタン（高濃度の成分）を排気することによって、当該メタンを検出部７に流入させずに、都市ガス中の付臭剤の濃度を検出部７において検出することができる。
したがって、ガス分析方法によれば、都市ガス中のメタン（高濃度の成分）に検出部７のセンサが曝露されることを防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【００４２】
以上のように、分離された都市ガス中のメタンを排気する工程を行った後に、分離された都市ガス中の付臭剤の濃度を検出する工程を行う、ガス分析方法では、都市ガス中のメタン（高濃度の成分）に検出部７のセンサが曝露されることをより確実に防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【００４３】
なお、ガス分析装置１は、試料が都市ガスであり、都市ガス中のメタン（試料中の排気成分）を排気して、その後、都市ガス中の付臭剤の成分（試料中の検出成分）の濃度を検出するものとして説明したが、試料、試料中の排気成分、および、試料中の検出成分が他のものについてもガス分析装置１を用いることができる。
例えば、ガス分析装置１は、試料が水素ガスであり、水素ガス中の水素（試料中の排気成分）を排気して、その後、水素ガス中の一酸化炭素等の不純物（試料中の検出成分）の濃度を検出する構成とすることもできる。
また例えば、ガス分析装置１は、高濃度アルコール類やアセトン等とトルエンとが共存する所定のガスの場合、リテンションタイムが短いアルコール類やアセトン等を成分分離部５において分離して排気部６から排気して、その後（切替手段８による流路切替後）に、当該所定のガス中のトルエンの濃度を検出部７において検出する構成とすることもできる。
【００４４】
また、ガス分析装置１では、例えば、試料がシロキサンとトルエンである場合には、試料導入部４によってシロキサンとトルエンの導入が開始されてから所定時間経過後に、トルエンのリテンションタイムが経過して、トルエンが成分分離部５から流出し終える。そして、ガス分析装置１では、このようにトルエンが成分分離部５から流出し終えた後、シロキサンが成分分離部５から流出し始める。
このため、ガス分析装置１では、例えば、試料がシロキサンとトルエンであり、シロキサンとトルエンとを含む所定のガス中のトルエンの濃度を検出する場合には、試料導入部４によって試料（シロキサンとトルエン）の導入が開始されてから所定時間過後に、切替手段８が検出用流路から排気用流路に流路の切替え動作を行うように設定される。このようにして、ガス分析装置１では、成分分離部５によってシロキサンとトルエンとを含む所定のガス中のトルエン（試料中の検出成分）を検出部７に流入させて、検出部７においてシロキサンとトルエンとを含む所定のガス中のトルエン（試料中の検出成分）の濃度を検出し、シロキサンとトルエンとを含む所定のガス中のトルエン（試料中の検出成分）の濃度の検出を終えると切替手段８によって検出用流路から排気用流路に流路の切替えを行い、シロキサンとトルエンとを含む所定のガス中のトルエンが分離されたシロキサン（試料中の排気成分）を排気部６において排気する。
【００４５】
次に、別実施形態のガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する一連の動作について、図３を用いて説明する。
なお、図３におけるガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する一連の動作の説明については、図２におけるガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する一連の動作と同一の部分については適宜省略し、図２におけるガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する一連の動作異なる部分を中心に説明する。
また以下において、試料がシロキサンとトルエンであり、試料中の検出成分がシロキサンとトルエンとを含む所定のガス中のトルエンであるものとして、ガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する一連の動作について説明する。
【００４６】
図３に示すように、ガス分析装置１では、まず、試料導入部４によってガス分析装置１外から試料（シロキサンとトルエン）を成分分離部５に供給する工程を行う（ステップＳ２１）。
試料導入部４によって試料を成分分離部５に供給する工程を終えると、ステップＳ２２に移行する。
【００４７】
次に、ガス分析装置１では、ステップＳ２１において供給された試料（シロキサンとトルエン）中の成分を成分分離部５によって分離する工程を行う（ステップＳ２２）。
このとき、ガス分析装置１では、試料（シロキサンとトルエン）が成分分離部５を流通することによって、試料（シロキサンとトルエン）中の成分が分離されて、トルエンがまず成分分離部５から流出する。そして、試料中の検出成分（トルエン）が成分分離部５から流出し終えると、試料中の排気成分（シロキサン）が成分分離部５から流出する。このようにして、試料（シロキサンとトルエン）中の成分を成分分離部５によって分離する。
試料（シロキサンとトルエン）中の成分を成分分離部５によって分離する工程を終えると、ステップＳ２３に移行する。
【００４８】
次に、ガス分析装置１では、ステップＳ２２において成分分離部５によって試料（シロキサンとトルエン）から分離された試料中の検出成分（トルエン）の濃度を検出部７において検出する工程を行う（ステップＳ２３）。
このとき、検出部７は、ステップＳ２１において試料導入部４によって試料（シロキサンとトルエン）を成分分離部５に供給する工程を行う前から、試料中の検出成分（トルエン）の濃度を検出する工程を終えるまで、試料中の検出成分（トルエン）の濃度を検出する動作を継続して行っている（連続駆動している）。なお、試料中の検出成分（トルエン）が検出部７側に流通するように（検出用流路を流通するように）、ステップＳ２１において試料導入部４によって試料（シロキサンとトルエン）を成分分離部５に供給する工程を行う前に予め設定されている。
検出部７において試料中の検出成分の濃度が検出された検出結果は、制御部２に送信される。検出部７において濃度の検出を終えた試料中の検出成分（トルエン）は、ガス分析装置１外に排気される。
【００４９】
次に、ガス分析装置１では、切替手段８が所定のタイミングで検出用流路から排気用流路に流路の切替えする工程を行う（ステップＳ２４）。
このとき、ステップＳ２１において試料導入部４によって試料（シロキサンとトルエン）の供給が開始されてから所定時間経過後に、切替手段８が検出用流路から排気用流路に流路の切替え動作を行う。切替手段８が検出用流路から排気用流路に流路の切替えを行うことによって、ステップＳ２２において成分分離部５によって試料（シロキサンとトルエン）から分離された試料中の排気成分（シロキサン）は、成分分離部５から流出した後、排気部６側へ流通する（排気用流路を流通する）。
切替手段８が検出用流路から排気用流路に流路の切替えする工程を行った後、ステップＳ２５に移行する。
【００５０】
次に、ガス分析装置１では、ステップＳ２２において成分分離部５によって試料（シロキサンとトルエン）から分離された試料中の排気成分（シロキサン）を排気部６によって排気する工程を行う（ステップＳ２５）。
このとき、排気部６は、試料中の排気成分（シロキサン）を、流通管５０内の排気管６０が接続される部分より上流側部分、および、排気管６０内を流通させて、排気管６０外に流出させることによって、ガス分析装置１外に排気する。
試料中の排気成分（シロキサン）を排気部６によって排気する工程を終えると、ガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する動作を終了する。
このようにして、ガス分析装置１における試料中の所定の成分の濃度を検出する動作を行う。
【００５１】
以上のように、試料中の検出成分の濃度を検出する工程を行った後に、試料中の排気成分を排気する工程を行う、ガス分析方法では、試料中の高濃度の成分や被毒性の成分に検出部７のセンサが曝露されることをより確実に防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【００５２】
以上のように、シロキサンとトルエンとを分離する工程と、分離されたトルエンの濃度を検出する工程と、分離されたシロキサンを排気する工程と、を備える、ガス分析方法では、分離されたトルエンの濃度が検出され、シロキサンが排気される。
このため、ガス分析方法では、シロキサンとトルエンとを含む所定のガスからまずトルエンを分離して検出部７において当該トルエンの濃度を検出した後に、シロキサンを排気することから、シロキサンを検出部７に流入させずに、シロキサンとトルエンとを含む所定のガス中のトルエンの濃度を検出部７において検出することができる。
したがって、ガス分析方法によれば、シロキサンとトルエンとを含む所定のガス中のシロキサンに検出部７のセンサが曝露されることを防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【００５３】
以上のように、シロキサンとトルエンとを含む所定のガスから分離されたトルエンの濃度を検出する工程を行った後、シロキサンとトルエンとを含む所定のガスから分離されたシロキサンを排気する工程を行う、ガス分析方法では、シロキサンに検出部７のセンサが曝露されることをより確実に防止して、検出部７のセンサが早期に劣化することを防止し、検出部７のセンサの検知精度が低下することを抑制することができる。
【符号の説明】
【００５４】
１    ガス分析装置
２    制御部
３    キャリアガス供給部
４    試料導入部
５    成分分離部
６    排気部
７    検出部
８    切替手段
【図１】
2018179686.tif 000003
【図２】
2018179686.tif 000004
【図３】
2018179686.tif 000005