(57)【要約】【課題】検査対象物の表面状態を判定し、さらに、当該検査対象物の反りも検知する場合でも、装置が大型化することを防止することができる検査装置および検査方法を提供すること。【解決手段】検査対象物ＷＦの表面ＷＦ１の情報を取り入れる情報取り入れ手段２０と、情報取り入れ手段２０が取り入れた情報を基にして、検査対象物ＷＦの表面状態を判定する制御手段３０とを有し、情報取り入れ手段２０は、検査対象物ＷＦの表面ＷＦ１に焦点を合わせる測距手段２１を備え、制御手段３０は、測距手段２１の測距結果を基にして、検査対象物ＷＦの反りＷＰを検知可能に構成されている。【選択図】図１
2018179680.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の表面の情報を取り入れる情報取り入れ手段と、
前記情報取り入れ手段が取り入れた前記情報を基にして、前記検査対象物の表面状態を判定する制御手段とを有し、
前記情報取り入れ手段は、前記検査対象物の表面に焦点を合わせる測距手段を備え、
前記制御手段は、前記測距手段の測距結果を基にして、前記検査対象物の反りを検知可能に構成されていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
検査対象物の表面の情報を取り入れる情報取り入れ手段と、
前記情報取り入れ手段が取り入れた前記情報を基にして、前記検査対象物の外縁位置を特定する制御手段とを有し、
前記情報取り入れ手段は、前記検査対象物の表面に焦点を合わせる測距手段を備え、
前記制御手段は、前記測距手段の測距結果を基にして、前記検査対象物の反りを検知可能に構成されていることを特徴とする検査装置。 
【請求項３】
前記制御手段は、前記測距手段の測距結果を基にした前記検査対象物の反り量の計測が可能に構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記測距手段の測距結果を基にした前記検査対象物の反り位置の特定が可能に構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３の何れかに記載の検査装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記検査対象物の反りの検知結果と、前記検査対象物の反り量の計測結果と、前記検査対象物の反り位置の特定結果との少なくとも１つをデータ化し、当該データを他の装置に出力する出力手段を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項４の何れかに記載の検査装置。
【請求項６】
検査対象物の表面の情報を情報取り入れ手段で取り入れる情報取り入れ工程と、
前記情報取り入れ工程で取り入れた前記情報を基にして、前記検査対象物の表面状態を判定する制御工程と、
前記情報取り入れ手段に備わっている測距手段で前記検査対象物の表面までの距離を測距する測距工程と、
前記測距工程の測距結果を基にして、前記検査対象物の反りを検知する反り検知工程とを有することを特徴とする検査方法。
【請求項７】
検査対象物の表面の情報を情報取り入れ手段で取り入れる情報取り入れ工程と、
前記情報取り入れ工程で取り入れた前記情報を基にして、前記検査対象物の外縁位置を特定する制御工程と、
前記情報取り入れ手段に備わっている測距手段で前記検査対象物の表面までの距離を測距する測距工程と、
前記測距工程の測距結果を基にして、前記検査対象物の反りを検知する反り検知工程とを有することを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査対象物の表面状態を判定する検査装置において、当該検査対象物の反りも検知する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
また、特許文献１に記載された検査装置では、検査対象物の外縁位置を特定するとともに、当該検査対象物の反りも検知する構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１８９２１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の検査装置では、ウェーハ５００（検査対象物）の表面の情報を取り入れる表面検査装置５５１（情報取り入れ手段）と、検査対象物の反り量（反り）を検知するセンサヘッド５４６ａ、５４６ｂ（測距手段）とが別体で構成されているため、装置が大型化するという不都合がある。
一方、特許文献１で開示された反り検出部５４０（検査装置）では、ウェーハ５００（検査対象物）の表面の情報を取り入れるセンサ５４９（情報取り入れ手段）と、検査対象物の反り量（反り）を検知するセンサヘッド５４６ａ、５４６ｂ（測距手段）とが別体で構成されているため、装置が大型化するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、検査対象物の表面状態を判定し、さらに、当該検査対象物の反りも検知する場合でも、装置が大型化することを防止することができる検査装置および検査方法を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、検査対象物の外縁位置を特定し、さらに、当該検査対象物の反りも検知する場合でも、装置が大型化することを防止することができる検査装置および検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、情報取り入れ手段が備えている測距手段の測距結果を基にして、検査対象物の反りを検知するので、検査対象物の表面状態を判定し、さらに、当該検査対象物の反りも検知する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
また、本発明によれば、情報取り入れ手段が備えている測距手段の測距結果を基にして、検査対象物の反りを検知するので、検査対象物の外縁位置を特定し、さらに、当該検査対象物の反りも検知する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
さらに、検査対象物の反り量を計測可能にすれば、当該検査対象物の反りの様子を詳しく調べることができる。
また、検査対象物の反り位置を特定可能にすれば、当該検査対象物の反りの様子をより詳しく調べることができる。
さらに、検査対象物の反りの検知結果と、検査対象物の反り量の計測結果と、反り位置の特定結果との少なくとも１つをデータ化し、当該データを他の装置に出力する構成とすれば、検査対象物の反りに応じた取り扱い方を他の装置で選択して所定の処理を施すことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係る検査装置の側面図。（Ｂ）は、（Ａ）の部分平面図。
【図２】本発明の第２実施形態に係る検査装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）を紙面手前方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
［第１実施形態］
本発明の検査装置１０は、検査対象物としての半導体ウエハ（以下、「ウエハ」ともいう）ＷＦの表面ＷＦ１の情報を取り入れる情報取り入れ手段２０と、情報取り入れ手段２０が取り入れた情報を基にして、ウエハＷＦの表面状態（表面ＷＦ１の状態）を判定する制御手段３０とを備え、ウエハＷＦを支持する支持手段４０の上方であって、搬送手段５０の近傍に配置されている。
なお、ウエハＷＦは、Ｖ字状のノッチＶＮがその外縁ＷＦ２に形成されている。
【００１１】
情報取り入れ手段２０は、カメラや投影機等の撮像手段、光学センサや音波センサ等の各種センサ等からなり、ウエハＷＦの表面ＷＦ１の情報を取り入れるために、当該表面ＷＦ１に焦点を合わせる測距手段２１を備え、表面ＷＦ１を撮像したりセンシングしたりして、当該表面ＷＦ１の画像データやセンシングデータ等の情報を取り入れることが可能に構成されている。測距手段２１は、三角測距方式やタイム・オブ・フライト方式等によって、自動でウエハＷＦの表面ＷＦ１の任意の位置に焦点を合わせることができるものであればよく、当該測距手段２１の測距基準位置２１Ａから焦点を合わせた位置までの離間距離ＳＤを測距結果として取り入れることが可能に構成されている。
【００１２】
制御手段３０は、パーソナルコンピュータ、シーケンサ、本発明の検査装置１０の周辺機器も含めた設備全体または当該設備の一部を制御するホストコンピュータ等からなり、上述したウエハＷＦの表面状態の判定の他、測距手段２１の測距結果を基にしたウエハＷＦの反りＷＰの検知と、測距手段２１の測距結果を基にしたウエハＷＦの反り量の計測と、測距手段２１の測距結果を基にしたウエハＷＦの反り位置の特定とが可能になっており、ウエハＷＦの表面状態の判定結果と、ウエハＷＦの反りＷＰの検知結果と、ウエハＷＦの反り量の計測結果と、ウエハＷＦの反り位置の特定結果と、その他の情報とをデータ化し、当該データを他の装置としての支持手段４０および搬送手段５０に出力する出力手段３１を備えている。
【００１３】
支持手段４０は、本体部４１Ａに対して出力テーブル４１ＢをＸ軸方向およびＹ軸方向へ移動可能な駆動機器としてのＸＹテーブル４１と、出力テーブル４１Ｂ上に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面４２Ａを有する支持テーブル４２とを備えている。
【００１４】
搬送手段５０は、第１〜第６アーム５１Ａ〜５１Ｆによって構成された駆動機器としての多関節ロボット５１と、当該多関節ロボット５１の作業部である第６アーム５１Ｆに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面５２Ａを有する搬送アーム５２とを備えている。多関節ロボット５１は、その作業範囲内において、搬送アーム５２を介して第６アーム５１Ｆで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボット等が例示できる。
【００１５】
以上の検査装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が図１中実線で示す初期位置で待機している検査装置１０に対し、当該検査装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。その後、搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、図示しないウエハ配置位置に配置されているウエハＷＦの表面ＷＦ１に搬送アーム５２の支持面５２Ａを当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持し、当該ウエハＷＦを支持テーブル４２の支持面４２Ａ上に載置する。次いで、支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦの吸着保持を開始すると、搬送手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２を初期位置に復帰させる。
【００１６】
そして、情報取り入れ手段２０がカメラ等に備わっている測距手段２１を駆動し、ウエハＷＦの表面ＷＦ１に焦点を合わせ、当該表面ＷＦ１を一括で撮像またはセンシングし、当該表面ＷＦ１の情報を取り入れる。情報取り入れ手段２０がウエハＷＦの表面ＷＦ１の情報を取り入れると、制御手段３０が当該情報を読み取り、それを基にして、例えば、表面ＷＦ１に形成された傷や割れ、表面ＷＦ１に付着した異物の存在、表面ＷＦ１に形成または印刷された造形物の不良等を不具合として表面状態を判定する。このとき、制御手段３０は、情報取り入れ手段２０が取り入れた情報を基にして、ウエハＷＦの中心ＷＦＣの位置を特定して当該中心ＷＦＣを基準位置として設定するとともに、ノッチＶＮの位置も特定する。次いで、制御手段３０が出力手段３１を駆動し、ウエハＷＦの中心ＷＦＣの位置情報を支持手段４０に出力すると、支持手段４０がＸＹテーブル４１を駆動し、Ｚ軸方向上方から見下ろした平面視において、測距手段２１の測距基準位置２１Ａと、ウエハＷＦの中心ＷＦＣとが重なるように支持テーブル４２を移動させる。
【００１７】
その後、支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止すると、ウエハＷＦに反りＷＰがある場合、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、反りＷＰ部が支持面４２Ａから浮き上がる。次いで、情報取り入れ手段２０がカメラ等に備わっている測距手段２１を駆動し、ウエハＷＦの外縁ＷＦ２に焦点を合わせ、測距基準位置２１Ａから外縁ＷＦ２までの離間距離ＳＤを測距結果として取り入れる。情報取り入れ手段２０が測距結果を取り入れると、制御手段３０が当該測距結果を読み取り、当該測距結果を基にして、ウエハＷＦの反り量の計測と反り位置の特定とを行う。
なお、本実施形態の測距方法の場合、測距基準位置２１Ａから外縁ＷＦ２までの離間距離ＳＤは、ウエハＷＦに反りＷＰがない場合、一定の距離である基準長さとなるが、ウエハＷＦに反りＷＰがある場合、基準長さよりも短くなるので、制御手段３０は、基準長さよりも短くなった離間距離ＳＤから、反り量の計測と、反り位置の特定とができるようになっている。また、制御手段３０は、離間距離ＳＤの長さが基準長さに対して短くなった場合、反りＷＰがあると認識し、離間距離ＳＤの長さが基準長さに対して短くならなかった場合、反りＷＰがないと認識することで、ウエハＷＦの反りＷＰの検知を行う。
【００１８】
本実施形態の場合、制御手段３０は、ウエハＷＦの中心ＷＦＣを基準位置とし、ウエハＷＦのどの位置に、どのような反りＷＰがあるのかを特定する。すなわち、制御手段３０は、例えば、図１（Ｂ）に示すように、ウエハＷＦの中心ＷＦＣからノッチＶＮの底点ＶＮ１に延びる線分ＬＳから、中心ＷＦＣを中心として、角度α１から角度α２までの間であって、角度α３の位置に最大反り量Ｈ１の反りＷＰ１と、角度β１から角度β２までの間であって、角度β３の位置に最大反り量Ｈ２の反りＷＰ２とが存在することを特定する。その後、制御手段３０が出力手段３１を駆動し、ウエハＷＦの表面状態の判定結果と、ウエハＷＦの反りＷＰの検知結果と、ウエハＷＦの反り量の計測結果と、ウエハＷＦの反り位置の特定結果と、その他の情報としてのウエハＷＦの中心ＷＦＣの位置情報およびノッチＶＮの位置情報とをデータ化し、当該データを搬送手段５０に出力する。
【００１９】
制御手段３０が出力したデータが入力されると、搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、ウエハＷＦの中心ＷＦＣの位置とノッチＶＮの方向とが、搬送アーム５２に対して所定の位置、所定の方向となるようにして、支持面５２ＡをウエハＷＦの表面ＷＦ１に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦの吸着保持を開始する。次いで、搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、支持面５２Ａで支持したウエハＷＦを次工程に搬送する。
【００２０】
ここで、制御手段３０が出力したデータが入力されている搬送手段５０は、例えば、制御手段３０によって表面ＷＦ１に不具合がないと判定され、かつ、制御手段３０によって反りＷＰがないと検知されたウエハＷＦや、制御手段３０によって表面ＷＦ１に不具合がないと判定され、かつ、自らが反り量や、反りＷＰの領域の広さが規定値以下と判断したウエハＷＦや、制御手段３０によって表面ＷＦ１の不具合が規定値以下と判定され、かつ、制御手段３０によって反りＷＰがないと検知されたウエハＷＦや、制御手段３０によって表面ＷＦ１の不具合が規定値以下と判定され、かつ、自らが反り量や、反りＷＰの領域の広さが規定値以下と判断したウエハＷＦを良品ウエハとし、当該良品ウエハを正規の次工程（例えば、ウエハＷＦを研削したり、個片化したりする工程等）に搬送する。
一方、搬送手段５０は、例えば、前記良品ウエハ以外のウエハＷＦを不良ウエハとし、当該不良ウエハを、正規の次工程ではなく、別の工程（例えば、ウエハＷＦを回収したり、不具合箇所や反りＷＰを補修、修理、除去したりする工程等）に搬送する。その後、搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２を初期位置に復帰させ、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような検査装置１０によれば、情報取り入れ手段２０が備えている測距手段２１の測距結果を基にして、ウエハＷＦの反りＷＰを検知するので、ウエハＷＦの表面状態を判定し、さらに、当該ウエハＷＦの反りＷＰも検知する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
【００２２】
［第２実施形態］
本発明の検査装置１０Ａは、情報取り入れ手段２０と、情報取り入れ手段２０が取り入れた情報を基にして、ウエハＷＦの外縁位置（外縁ＷＦ２の位置）を特定する制御手段３０Ａとを備え、支持手段４０Ａの上方であって、搬送手段５０の近傍に配置されている。
なお、第２実施形態において、第１実施形態と同等の構成で同等の機能を有するものは、当該第１実施形態と同じ番号を付してその構成説明は省略し、動作説明は簡略化する。
【００２３】
制御手段３０Ａは、制御手段３０と同等のものからなり、上述したウエハＷＦの外縁位置の特定の他、ウエハＷＦの反りＷＰの検知と、ウエハＷＦの反り量の計測と、ウエハＷＦの反り位置の特定とが可能になっており、ウエハＷＦの外縁位置の特定結果と、ウエハＷＦの反りＷＰの検知結果と、ウエハＷＦの反り量の計測結果と、ウエハＷＦの反り位置の特定結果と、その他の情報とをデータ化し、当該データを他の装置としての支持手段４０Ａおよび搬送手段５０に出力する出力手段３１Ａを備えている。
【００２４】
支持手段４０Ａは、出力軸４３Ａで支持テーブル４２を支持する駆動機器としての回動モータ４３を備えている。
【００２５】
以上の検査装置１０Ａの動作を説明する。
先ず、検査装置１０と同様にして支持面４２ＡでウエハＷＦの吸着保持を開始すると、支持手段４０Ａが回動モータ４３を駆動し、Ｚ軸を中心として支持テーブル４２を回転させる。支持テーブル４２の回転が始まると、情報取り入れ手段２０がカメラ等に備わっている測距手段２１を駆動し、ウエハＷＦの表面ＷＦ１に焦点を合わせ、外縁ＷＦ２を部分的に撮像またはセンシングし、当該外縁ＷＦ２を含む表面ＷＦ１の情報を取り入れる。情報取り入れ手段２０がウエハＷＦの表面ＷＦ１の情報を取り入れると、制御手段３０Ａが当該情報を読み取り、それを基にして、ウエハＷＦの外縁位置を特定するとともに、ウエハＷＦの中心ＷＦＣの位置を特定して当該中心ＷＦＣを基準位置として設定し、ノッチＶＮの位置も特定する。
【００２６】
その後、支持手段４０Ａが図示しない減圧手段の駆動を停止すると、ウエハＷＦに反りＷＰがある場合、反りＷＰが支持面４２Ａから浮き上がり、その後も支持テーブル４２の回転が継続され、情報取り入れ手段２０が測距基準位置２１Ａから外縁ＷＦ２までの離間距離ＳＤを測距結果として取り入れる。情報取り入れ手段２０が測距結果を取り入れると、制御手段３０ＡがウエハＷＦの反りＷＰの検知と、反り量の計測と、反り位置の特定とを行い、出力手段３１Ａを駆動し、ウエハＷＦの反りＷＰの検知結果と、ウエハＷＦの反り量の計測結果と、ウエハＷＦの反り位置の特定結果と、その他の情報としてのウエハＷＦの中心ＷＦＣの位置情報およびノッチＶＮの位置情報とをデータ化し、当該データを支持手段４０Ａおよび搬送手段５０に出力する。
【００２７】
その後、支持手段４０Ａが回動モータ４３の駆動を停止し、支持テーブル４２を初期位置で停止させる。このとき、支持手段４０Ａおよび搬送手段５０には、出力手段３１Ａから出力されたデータが入力されているので、搬送手段５０は、初期位置で停止している支持テーブル４２上のウエハＷＦの中心ＷＦＣの位置およびノッチＶＮの位置が解っている。次いで、搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、ウエハＷＦの中心ＷＦＣの位置とノッチＶＮの方向とが、搬送アーム５２に対して所定の位置、所定の方向となるようにして、支持面５２ＡをウエハＷＦの表面ＷＦ１に当接させた後、図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦの吸着保持を開始する。そして、搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、第１実施形態と同様にしてウエハＷＦを正規の次工程と別の工程に振り分け搬送し、その後、搬送アーム５２を初期位置に復帰させ、以降上述と同様の動作が繰り返される。
【００２８】
以上のような検査装置１０Ａによれば、情報取り入れ手段２０が備えている測距手段２１の測距結果を基にして、ウエハＷＦの反りＷＰを検知するので、ウエハＷＦの外縁位置を特定し、さらに、当該ウエハＷＦの反りＷＰも検知する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
【００２９】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、情報取り入れ手段は、検査対象物の表面の情報を取り入れ可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００３０】
情報取り入れ手段２０は、表面ＷＦ１を撮像またはセンシングする前に、測距手段２１によって離間距離ＳＤを測距するようにしてもよいし、アクティブ方式やパッシブ方式等で測距する測距手段２１が備わっていてもよいし、レーザやエコー等で測距する測距手段２１が備わっていてもよく、検査対象物までの距離を測距できる機能を有するものであれば、どのような測距手段２１が備わっていてもよい。
情報取り入れ手段２０は、制御手段３０でウエハＷＦの表面状態を判定する際、ウエハＷＦの表面ＷＦ１を部分的に撮像またはセンシングし、当該ウエハＷＦの情報を取り入れてもよいし、制御手段３０ＡでウエハＷＦの外縁位置を特定する際、ウエハＷＦの表面ＷＦ１を一括で撮像またはセンシングし、当該ウエハＷＦの情報を取り入れてもよい。
測距手段２１は、鏡やプリズム等でレーザ光や赤外線光等の光線を反射させたり屈折させたりして測距を行ってもよく、上記の実施形態で示した測距方法以外の方法で測距を行ってもよい。
第１実施形態の測距手段２１は、測距を行う際、カメラ等を移動させたり、カメラ等と支持テーブル４２との両方を移動させたりして、平面視において測距基準位置２１Ａと中心ＷＦＣとが重なるように構成してもよいし、平面視において測距基準位置２１Ａと中心ＷＦＣとが重ならない位置から測距を行ってもよい。
第２実施形態の測距手段２１は、ウエハＷＦの外縁位置を特定する際や、測距を行う際、カメラ等を回転移動させたり、カメラ等と支持テーブル４２との両方を回転移動させたりしてもよい。
【００３１】
制御手段３０、３０Ａは、ウエハＷＦの中心ＷＦＣを基準位置として、例えば、０．１度間隔、１度間隔、３度間隔等、どのような角度間隔で反り位置を特定してもよいし、ノッチＶＮの底点ＶＮ１の位置や、ノッチＶＮとウエハＷＦの円周部とが交わる位置や、ウエハＷＦに形成されたオリエンテーションフラットとウエハＷＦの円周部とが交わる位置や、ウエハＷＦに記されたり刻まれたりしている文字や記号等の他の位置をウエハＷＦの基準位置としてもよいし、ウエハＷＦの表面ＷＦ１や外縁ＷＦ２を格子状または采の目状に区分けして、ウエハＷＦのどの位置（区域）に、どのような反りＷＰがあるのかを特定してもよいし、反りＷＰとして、ウエハＷＦの中央部が支持面４２Ａから離間するように凸状となる逆反りを検知したり、当該逆反りの反り量を計測したり、当該逆反りの反り位置を特定したりすることができるし、測距結果を読み取る際、情報取り入れ手段２０が測距結果を出力してもよいし、当該制御手段３０、３０Ａが読み取りに行くようにしてもよいし、出力手段３１、３１Ａが出力する先の他の装置は、ウエハＷＦを研削したり、個片化したりする装置や、不具合箇所や反りＷＰを補修、修理、除去したりする装置や、その他、ウエハＷＦに印字や積層等を行う装置、ウエハＷＦを洗浄したり収納したりする装置等、何ら限定されるものではない。
制御手段３０は、少なくともウエハＷＦの表面状態の判定と、ウエハＷＦの反りＷＰの検知とが可能であればよく、中心ＷＦＣの位置の特定と、ノッチＶＮの位置の特定と、反り量の計測と、反り位置の特定のうち少なくとも１つが不可能であってもよい。
出力手段３１は、ウエハＷＦの表面状態の判定結果と、反りＷＰの検知結果と、反り量の計測結果と、反り位置の特定結果と、その他の情報のうち少なくとも１つをデータ化し、当該データを他の装置に出力できればよいし、本発明の検査装置１０に備わっていなくてもよい。
制御手段３０Ａは、少なくともウエハＷＦの外縁位置の特定と、ウエハＷＦの反りＷＰの検知とが可能であればよく、中心ＷＦＣの位置の特定と、ノッチＶＮの位置の特定と、反り量の計測と、反り位置の特定のうち少なくとも１つが不可能であってもよい。
出力手段３１Ａは、ウエハＷＦの外縁位置の特定結果と、反りＷＰの検知結果と、反り量の計測結果と、反り位置の特定結果と、その他の情報のうち少なくとも１つをデータ化し、当該データを他の装置に出力できればよいし、本発明の検査装置１０Ａに備わっていなくてもよい。
【００３２】
支持手段４０、４０Ａは、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でウエハＷＦを支持する支持テーブル４２を採用してもよいし、それらウエハＷＦを支持するものの支持が解除されても、反りＷＰが支持面４２Ａから浮き上がらない場合、ウエハＷＦが支持面４２Ａに密着している場合があるので、加圧ポンプやタービン等の図示しない加圧手段によって支持面４２Ａから気体を吹き出す構成とし、ウエハＷＦを支持面４２Ａから強制的に離間させるようにしてもよいし、接着シートが貼付されたウエハＷＦを支持してもよいし、接着シートが貼付されたウエハＷＦを当該接着シート側から支持してもよいし、接着シートが貼付されたウエハＷＦを当該ウエハＷＦ側から支持してもよいし、本発明の検査装置１０、１０Ａに備わっていなくてもよい。
【００３３】
搬送手段５０は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でウエハＷＦを支持する搬送アーム５２を採用してもよいし、制御手段３０、３０ＡがウエハＷＦに反りＷＰがないことを検知した場合、当該ウエハＷＦを表裏反転させて支持面４２Ａ上に載置し、情報取り入れ手段２０が再度ウエハＷＦの表面ＷＦ１の情報を取り入れるようにしてもよいし、本発明の検査装置１０、１０Ａに備わっていなくてもよいし、良品ウエハのみならず不良ウエハも正規の次工程に搬送してもよく、この場合、正規の次工程側に出力手段３１、３１Ａがデータを出力し、当該正規の次工程側で良品ウエハと不良ウエハとの取り扱いを区別するようにすればよい。
【００３４】
検査装置１０、１０Ａは、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、ウエハＷＦを検査してもよい。
搬送手段５０が検査対象物を搬送する正規の次工程は、検査対象物を取り扱う上でどのような工程でもよく、例えば、検査対象物が接着シートであれば、接着シートの貼付工程や箱詰め工程等であってもよいし、検査対象物が食品であれば、加熱工程や袋詰め工程等であってもよい。
搬送手段５０が検査対象物を搬送する正規の次工程ではない別の工程は、どのような工程でもよく、例えば、検査対象物を廃棄する工程や、検査対象物を破壊する工程等であってもよい。
【００３５】
本発明における検査対象物の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、検査対象物は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。検査対象物が接着シートの場合、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とだけで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、検査対象物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板、紙、ゴムまたは樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００３６】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
【符号の説明】
【００３７】
１０、１０Ａ…検査装置
２０…情報取り入れ手段
２１…測距手段
３０、３０Ａ…制御手段
３１、３１Ａ…出力手段
４０…支持手段（他の装置）
４０Ａ…支持手段（他の装置）
５０…搬送手段（他の装置）
ＷＦ…ウエハ（検査対象物）
ＷＦ１…表面
ＷＰ…反り
【図１】
2018179680.tif 000003
【図２】
2018179680.tif 000004