(57)【要約】【課題】撮像対象の表面形状が平坦ではなく、湾曲しているような場合においても、安価で小型な装置を用いて、高速に撮像対象の表面を撮像することが可能な、撮像装置および検査システムを提供する。【解決手段】撮像対象の表面を撮像する撮像装置において、撮像対象の表面の画像を取得する複数の撮像レンズと、複数の撮像レンズを、撮像対象の表面から略同一の距離の位置に、撮像対象の表面に沿って保持する撮像レンズ保持部材と、複数の撮像レンズそれぞれにより得られた複数の画像を、それぞれ伝送する複数のイメージガイドファイバと、伝送された複数の画像を、それぞれ結像させる結像レンズと、結像された複数の画像を、撮像するラインセンサとを備える撮像装置、および当該撮像装置を含む検査システムが、提供される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像対象の表面を撮像する撮像装置において、
前記撮像対象の表面の画像を取得する複数の撮像レンズと、
前記複数の撮像レンズを、前記撮像対象の表面から略同一の距離の位置に、前記撮像対象の表面に沿って保持する撮像レンズ保持部材と、
複数の前記撮像レンズそれぞれにより得られた複数の画像を、それぞれ伝送する複数のイメージガイドファイバと、
伝送された前記複数の画像を、それぞれ結像させる結像レンズと、
結像された前記複数の画像を、撮像するラインセンサと、
を備える、撮像装置。
【請求項２】
前記結像レンズは、セルフォック（登録商標）レンズアレイである、請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記撮像レンズ保持部材は、隣り合う前記撮像レンズの撮像領域が重なるように前記複数の撮像レンズを所定の配列に並べて保持する、請求項１または２に記載の撮像装置。
【請求項４】
前記イメージガイドファイバの端面が一列となるように、複数の前記イメージガイドファイバを保持するイメージガイドファイバ保持部材を備える、請求項１〜３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記撮像対象は管状体であり、
前記撮像対象の表面は、前記撮像対象の外面である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記撮像対象は管状体であり、
前記撮像対象の表面は、前記撮像対象の内面である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項７】
撮像対象の表面を撮像する撮像装置と、
前記撮像対象の表面欠陥を検出する検査装置と、
を有する検査システムであって、
前記撮像装置は、
前記撮像対象の表面の画像を取得する複数の撮像レンズと、
前記複数の撮像レンズを、前記撮像対象の表面から略同一の距離の位置に、前記撮像対象の表面に沿って保持する撮像レンズ保持部材と、
複数の前記撮像レンズそれぞれにより得られた複数の画像を、それぞれ伝送する複数のイメージガイドファイバと、
伝送された前記複数の画像を、それぞれ結像させる結像レンズと、
結像された前記複数の画像を、撮像するラインセンサと、
を備える、検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像装置および検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
管やシリンダなどの被検査体を撮像するための技術が開発されている。上記技術としては、例えば下記の特許文献１〜４に記載の技術が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−６９３７１号公報
【特許文献２】特開平８−２６１９４７号公報
【特許文献３】特開２００７−１０４４７号公報
【特許文献４】特開２００８−２８６７９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば特許文献１に記載の技術が用いられる場合には、被検査体の軸方向に光軸を有するラインカメラの視野をミラーにより９０［度］折り曲げ、当該ミラーを回転させることによって、被検査体の内面が撮像される。しかしながら、特許文献１に記載の技術を用いる場合には、機械的なミラー回転機構が必要となる。また、特許文献１に記載の技術を用いる場合には、被検査体の内面の全周を一度に撮像することができないために、被検査体の内面全体を撮像するのに時間を要してしまう。
【０００５】
また、例えば特許文献２に記載の技術が用いられる場合には、被検査体の周方向が複数の撮像デバイスで分割して撮像されるので、被検査体の内面の全周を高速に撮像することが可能である。しかしながら、特許文献２に記載の技術が用いられる場合には、複数の撮像デバイスを用いる必要があるため小型化が困難である。
【０００６】
また、例えば特許文献３に記載の技術が用いられる場合には、プリズムを用いることによって、複数の視点から被検査体を撮像した画像を得ることが可能である。しかしながら、特許文献３に記載の技術が用いられる場合には、被検査体の形状に応じたプリズムを用いる必要がある。そのため、特許文献３に記載の技術が用いられる場合には、例えば製品の製造ラインにおいて製品のサイズが変わるごとに、製品に対応するプリズムを準備しなければならない。また、プリズムは高価であるので、特許文献３に記載の技術が用いられる場合には、撮像装置のコストの増加へと繋がる虞がある。
【０００７】
また、例えば特許文献４に記載の技術が用いられる場合には、複数の光ファイバを用いることによって被検査体の表面が検査される。しかしながら、特許文献４に記載の技術を用いたとしても、例えば結像レンズが無いために、被検査体の撮像面の像を光ファイバで伝送することができない。
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、撮像対象の表面形状が平坦ではなく、湾曲しているような場合においても、安価で小型な装置を用いて、高速に撮像対象の表面を撮像することが可能な、新規かつ改良された撮像装置および検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明の一の観点によれば、撮像対象の表面を撮像する撮像装置において、前記撮像対象の表面の画像を取得する複数の撮像レンズと、前記複数の撮像レンズを、前記撮像対象の表面から略同一の距離の位置に、前記撮像対象の表面に沿って保持する撮像レンズ保持部材と、複数の前記撮像レンズそれぞれにより得られた複数の画像を、それぞれ伝送する複数のイメージガイドファイバと、伝送された前記複数の画像を、それぞれ結像させる結像レンズと、結像された前記複数の画像を、撮像するラインセンサと、を備える、撮像装置が、提供される。
【００１０】
かかる構成により、１つのラインセンサの視野を分割して撮像を行うことが可能な構成が実現され、撮像対象の表面形状が平坦ではなく、湾曲しているような場合においても、安価で小型な装置を用いて、高速に撮像対象の表面を撮像することができる。
【００１１】
また、上記結像レンズは、セルフォック（登録商標）レンズアレイであってもよい。
【００１２】
また、前記撮像レンズ保持部材は、隣り合う前記撮像レンズの撮像領域が重なるように前記複数の撮像レンズを所定の配列に並べて保持してもよい。
【００１３】
また、前記イメージガイドファイバの端面が一列となるように、複数の前記イメージガイドファイバを保持するイメージガイドファイバ保持部材を備えていてもよい。
【００１４】
また、前記撮像対象は管状体であり、前記撮像対象の表面は、前記撮像対象の外面であってもよい。
【００１５】
また、前記撮像対象は管状体であり、前記撮像対象の表面は、前記撮像対象の内面であってもよい。
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明の他の観点によれば、撮像対象の表面を撮像する撮像装置と、前記撮像対象の表面欠陥を検出する検査装置と、を有する検査システムであって、前記撮像装置は、前記撮像対象の表面の画像を取得する複数の撮像レンズと、前記複数の撮像レンズを、前記撮像対象の表面から略同一の距離の位置に、前記撮像対象の表面に沿って保持する撮像レンズ保持部材と、複数の前記撮像レンズそれぞれにより得られた複数の画像を、それぞれ伝送する複数のイメージガイドファイバと、伝送された前記複数の画像を、それぞれ結像させる結像レンズと、結像された前記複数の画像を、撮像するラインセンサと、を備える、検査システムが、実現される。
【００１７】
かかる構成により、撮像対象形状が平坦ではなく、湾曲しているような場合においても、安価で小型な装置を用いて、高速に撮像対象の表面を撮像して、撮像対象の表面欠陥を検出することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、撮像対象の表面形状が平坦ではなく、湾曲しているような場合においても、安価で小型な装置を用いて、高速に撮像対象の表面を撮像することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】棒鋼などの柱状体を検査する際に用いられる既存の撮像装置における撮像の一例を示す説明図である。
【図２】ラインカメラを用いる場合に生じうる問題の一例を説明するための説明図である。
【図３】本発明の実施形態に係る撮像装置の構成の一例を示す説明図である。
【図４】本発明の実施形態に係る撮像装置が備えるイメージガイドファイバの構成の一例を示す説明図である。
【図５】本発明の実施形態に係る撮像装置が備える結像レンズの構成の一例を示す説明図である。
【図６】本発明の実施形態に係る撮像レンズ保持部材が、複数の撮像レンズを保持する配列の一例を示す説明図である。
【図７】本発明の実施形態に係る撮像装置における撮像の一例を示す説明図である。
【図８】本発明の実施形態に係る検査システムの構成の一例を示すブロック図である。
【図９】本発明の実施形態に係る検査装置において行われる処理の一例を示す流れ図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る検査装置が行うラベリングを説明するための説明図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る検査装置のハードウェア構成の一例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２１】
［１］本発明の実施形態に係る撮像装置
［１−１］本発明の実施形態に係る撮像装置の概要
本発明の実施形態に係る撮像装置は、撮像対象の表面を撮像する撮像装置である。
【００２２】
本発明の実施形態に係る撮像対象としては、例えば、鋼管などの管状体や、レールなどの柱状体、鉄道車輪踏面などの円盤体などの、任意の形状の物体が挙げられる。つまり、本発明の実施形態に係る撮像対象には、表面形状が平坦ではなく、湾曲している物体が、含まれる。
【００２３】
また、撮像に際して、撮像対象は、搬送ロールなどの公知の搬送手段を用いて、撮像装置に対して相対的に移動されていてもよい。撮像対象の移動方向としては、例えば、管状体や柱状体の軸方向や、円盤体の円周方向が、挙げられる。上記移動方向は、例えば、後述する撮像レンズの配列方向に対して略直角方向であることが好ましい。上記移動方向を上記略直角方向とすることによって、一連の撮像処理が行われる間に、撮像対象を広範囲に撮像することが可能となる。
【００２４】
撮像対象が管状体である場合、本発明の実施形態に係る撮像対象の表面としては、例えば、撮像対象の外面と、撮像対象の内面との一方または双方が挙げられる。また、撮像対象が柱状体または円盤体である場合、本発明の実施形態に係る撮像対象の表面としては、例えば、撮像対象の外面が挙げられる。本発明の実施形態に係る撮像対象の外面とは、例えば、撮像対象の外周面全体、または、撮像対象の外周面の一部の面である。また、本発明の実施形態に係る撮像対象の内面とは、例えば、撮像対象の内周面全体、または、撮像対象の内周面の一部の面である。
【００２５】
ここで、撮像対象の外面と内面との双方を撮像する場合、本発明の実施形態に係る撮像装置は、例えば、撮像対象の外面と撮像対象の内面とを、同時にまたはそれぞれ独立に撮像することができる。
【００２６】
なお、撮像対象の外面と内面との双方を撮像する場合、本発明の実施形態に係る撮像装置は、撮像対象の外面と撮像対象の内面とが撮像された画像を、１つの撮像画像として生成することも可能である。
【００２７】
図１は、棒鋼などの柱状体２０を検査する際に用いられる既存の撮像装置１０Ａ、１０Ｂにおける撮像の一例を示す説明図である。図１のＡは、ラインカメラである撮像装置１０Ａにおける撮像の一例を示しており、図１のＢは、エリアカメラである撮像装置１０Ｂにおける撮像の一例を示している。
【００２８】
図１のＡおよび図１のＢに示すように、照明装置３０により柱状体２０に光が当てられ、撮像装置１０Ａ、１０Ｂによって柱状体２０の撮像が行われる。
【００２９】
このとき、ラインカメラである撮像装置１０Ａにより撮像が行われる場合には、図１のＡに示すように、柱状体２０の移動方向に対して柱状体２０の表面と撮像装置１０Ａとがなす角度を、一定に保つことが可能である。一方、エリアカメラである撮像装置１０Ｂにより撮像が行われる場合には、図１のＢに示すように、柱状体２０の移動方向に対して柱状体２０の表面と撮像装置１０Ａとがなす角度を、一定に保つことができない。さらに、撮像対象が金属体の場合には、柱状体２０の表面と撮像装置１０Ａ、１０Ｂそれぞれの視線とがなす角度によって大きく見え方が異なる。
【００３０】
よって、柱状体２０の長手方向に均一な撮像画像を得るためには、図１のＢに示すようなエリアカメラよりも、図１のＡに示すようなラインカメラの方が適している。
【００３１】
上記のように、移動方向に対して均一な撮像画像を得るためにはラインカメラを用いればよい。しかしながら、ラインカメラを用いた場合でも、移動方向と直交するラインカメラの配列方向、すなわち柱状体２０の円周方向については、均一な撮像画像を得ることができるとは、限らない。
【００３２】
図２は、ラインカメラを用いる場合に生じうる問題の一例を説明するための説明図である。図２では、ラインカメラとして、撮像装置１０Ａと、撮像装置１０Ｃとを示していている。
【００３３】
図２のＡに示すように、移動方向と直交するラインカメラのセンサ配列方向、すなわち柱状体２０の円周方向については、撮像装置１０Ａの視野内で柱状体２０の表面と撮像装置１０Ａの視線とがなす角度に差が生じる。よって、ラインカメラである撮像装置１０Ａを用いた場合でも、柱状体２０の長手方向に均一な撮像画像を得ることができるとは、限らない。
【００３４】
一方、図２のＡに示すような、撮像装置の視野内で柱状体２０の表面と撮像装置の視線とがなす角度に差が生じることによる影響を少なくするためには、例えば図２のＢに示すように、センササイズの小さなラインカメラである撮像装置１０Ｃを複数配置し、一つ一つの撮像装置１０Ｃの視野サイズを小さくすることによって、柱状体２０の表面と撮像装置１０Ｃそれぞれの視野とがなす角度の変化を小さくして、撮像対象の表面を撮像する方法が、考えられる。
【００３５】
しかしながら、センササイズの小さなラインカメラは、需要がないために市販品が存在せず、市販品を利用して複数のラインカメラを配置することはできない。また、仮に、センササイズの小さな市販品のラインカメラが存在したとしても、需要がないために高価である可能性が高い。そのため、上記のようなセンササイズの小さなラインカメラを複数配置して撮像対象の表面を撮像する方法を用いる場合には、撮像装置のコストの増加へと繋がる虞がある。また、センササイズの小さなラインカメラを複数用いた場合には、特許文献２を参照して示したように小型化が困難である。そのため、センササイズの小さなラインカメラを複数用いた場合には、例えば、管状体（撮像対象の一例）の内面の撮像に用いることができない可能性がある。
【００３６】
そこで、本発明の実施形態では、撮像装置を、１台のラインカメラの視野を分割して撮像を行うことが可能な構成とすることとした。
【００３７】
［１−２］本発明の実施形態に係る撮像装置の構成
以下、本発明の実施形態に係る撮像装置の構成の一例について、説明する。以下では、本発明の実施形態に係る撮像装置の撮像対象が、柱状体である場合を主に例に挙げる。
【００３８】
図３は、本発明の実施形態に係る撮像装置１００の構成の一例を示す説明図である。図３では、撮像装置１００の撮像対象として、円柱形状の撮像対象５０を併せて示している。
【００３９】
撮像装置１００は、例えば、複数の撮像レンズ１０２と、複数のイメージガイドファイバ１０４と、ラインセンサ１０６と、結像レンズ１０８と、撮像レンズ保持部材１１０と、イメージガイドファイバ保持部材１１２とを備える。
【００４０】
［１−２−１］撮像レンズ１０２
撮像レンズ１０２は、撮像対象の表面の画像を取得するためのレンズである。複数の撮像レンズ１０２それぞれは、後述する撮像レンズ保持部材１１０に保持されており、撮像レンズ保持部材１１０の保持機構に位置決めされることで、撮像対象の表面に沿うように配置される。
【００４１】
より具体的には、複数の撮像レンズ１０２は、例えば、隣り合う撮像レンズ１０２の撮像領域が重なるように、後述する所定の配列で並べて配置される。上記のように、隣り合う撮像レンズ１０２の撮像領域が重なるように複数の撮像レンズ１０２が配置されることによって、撮像対象の表面の一部が撮像されていない事態が生じることを防止することができる。
【００４２】
なお、例えば、複数の撮像レンズ１０２による撮像領域全体が撮像対象の表面全体となるように複数の撮像レンズ１０２が配置されている場合、または、撮像対象の表面の一部が撮像されていない事態が許容される場合などには、複数の撮像レンズ１０２は、隣り合う撮像レンズ１０２の撮像領域が重ならないように配置されていてもよい。
【００４３】
複数の撮像レンズ１０２は、例えば図３に示すように、撮像レンズ保持部材１１０に配置される。撮像レンズ保持部材１１０は、複数の撮像レンズ１０２を、撮像レンズ１０２それぞれを撮像対象の表面に沿うように保持する。
【００４４】
ここで、図３では、複数の撮像レンズ１０２が、撮像対象５０の外周面の一部が撮像されるように配置される場合の一例を示している。
【００４５】
なお、本発明の実施形態に係る複数の撮像レンズ１０２の配置の例は、図３に示す例に限られない。例えば上述したように、複数の撮像レンズ１０２は、撮像対象５０の外周面の全体が撮像されるように配置されていてもよいし、撮像対象５０の内周面の全体または一部が撮像されるように配置されていてもよい。例えば、撮像レンズ保持部材１１０を、撮像対象５０に合わせた構造、撮像対象５０に合わせた配置とすることによって、撮像装置１００は、撮像対象５０の外面と内面との一方または双方を撮像することができる。
【００４６】
また、図３では、撮像装置１００が６つの撮像レンズ１０２を有する例を示しているが、本発明の実施形態に係る撮像装置が有する撮像レンズ１０２の数は、６つに限られない。例えば本発明の実施形態に係る撮像装置は、２つ以上の任意の数の撮像レンズ１０２を有する構成であってもよい。
【００４７】
［１−２−２］イメージガイドファイバ１０４
複数のイメージガイドファイバ１０４それぞれは、複数の撮像レンズ１０２それぞれにより得られた画像を、それぞれ伝送する。例えば図３に示すように、イメージガイドファイバ１０４は撮像レンズ１０２に対応して設けられる。つまり、本発明の実施形態に係る撮像装置では、例えば、撮像レンズ１０２の数と同数のイメージガイドファイバ１０４が設けられる。
【００４８】
図４は、本発明の実施形態に係る撮像装置１００が備えるイメージガイドファイバ１０４の構成の一例を示す説明図であり、イメージガイドファイバ１０４の断面を示している。
【００４９】
イメージガイドファイバ１０４は、例えば、画像が伝送されるイメージサークル１２０と、イメージサークル１２０の外周を覆うガラスジャケット１２２と、ガラスジャケット１２２の外周を覆う被覆層１２４とを有する。
【００５０】
イメージサークル１２０は、例えば、複数のコア１２６と、コア１２６それぞれの外周を囲む複数の第１クラッド１２８と、複数の第１クラッド１２８において共有され、第１クラッド１２８それぞれの外周を囲む第２クラッド１３０とを有する。
【００５１】
イメージサークル１２０の直径は、例えば約１［ｍｍ］程度である。イメージサークル１２０には、例えば、径が５〜１０［μｍ］程度のコア１２６が、１００００［個］程度設けられる。
【００５２】
イメージガイドファイバ１０４において１つのコア１２６は、撮像装置における１つの画素に相当する。そのため、イメージガイドファイバ１０４におけるコア１２６の１［個］がラインセンサ１０６の１画素に対応するようにすると、コア１２６の個数およびラインセンサ１０６の画素数の無駄をなくすことができる。
【００５３】
イメージガイドファイバ１０４は、例えば図４に示す構成を有することによって、撮像レンズによって一方の端面に結像された画像を、コア１２６ごとに空間的に分割して、他方の端面に伝送することができる。
【００５４】
なお、本発明の実施形態に係るイメージガイドファイバ１０４の構成は、図４に示す例に限られない。例えば、本発明の実施形態に係る撮像装置１００は、撮像レンズ１０２により得られた画像を伝送することが可能な、任意の構成をとることが可能である。
【００５５】
再度図３を参照して、撮像装置１００の構成の一例を説明する。例えば図３に示すように、複数のイメージガイドファイバ１０４は、イメージガイドファイバ保持部材１１２によって、保持される。
【００５６】
イメージガイドファイバ保持部材１１２は、図３のＡに示すように、複数のイメージガイドファイバ１０４の撮像対象とは逆側の（すなわち、結像レンズ１０８側の）端面が一列となるように、複数のイメージガイドファイバ１０４を保持する。
【００５７】
なお、後述する結像レンズ１０８により、複数のイメージガイドファイバ１０４それぞれにより伝送された画像を、ラインセンサ１０６上に結像させることが可能な場合には、本発明の実施形態に係る撮像装置は、イメージガイドファイバ保持部材１１２を有していなくてもよい。
【００５８】
［１−２−３］ラインセンサ１０６
ラインセンサ１０６は、複数の撮像素子が一列に配置されたイメージセンサである。
【００５９】
撮像素子としては、例えば、ＣＭＯＳ（Complementary  Metal  Oxide  Semiconductor）や、ＣＣＤ（Charge  Coupled  Device）が挙げられる。また、本発明の実施形態に係る撮像素子は、ＣＭＯＳにＣＣＤなどの他の構成要素が積層されて構成される、スタック型の撮像素子であってもよい。
【００６０】
なお、図３では、ラインセンサ１０６の撮像素子を直線で表し、結像レンズ１０８によりラインセンサ１０６上に結像したイメージガイドファイバ１０４の端面の像を丸印で表現している。
【００６１】
［１−２−４］結像レンズ１０８
結像レンズ１０８は、複数のイメージガイドファイバ１０４により伝送された画像を、ラインセンサ１０６上に結像させるレンズである。
【００６２】
結像レンズ１０８としては、例えば図３に示すような円形レンズが等倍で用いられるレンズ（以下、「等倍レンズ」または「円形レンズ」と示す。）が挙げられる。
【００６３】
結像レンズ１０８として等倍レンズが選択された場合には、上述したように、イメージガイドファイバ１０４におけるコア１２６の径とラインセンサ１０６の画素サイズとを同程度にすると、コア１２６およびラインセンサ１０６の画素の双方の無駄をなくすことができる。このとき、例えば、ラインセンサ１０６の画素サイズとしては、１０［μｍ］、７［μｍ］程度のものが多いので、コア１２６の径も同程度のものを選定すればよい。
【００６４】
なお、結像レンズ１０８は、図３に示すような円形レンズに限られない。例えば、結像レンズ１０８は、セルフォックレンズが複数並べられたセルフォックレンズアレイであってもよい。
【００６５】
図５は、本発明の実施形態に係る撮像装置１００が備える結像レンズ１０８の構成の一例を示す説明図であり、セルフォックレンズアレイの一例を示している。
【００６６】
なお、図５では、便宜上、３つのセルフォックレンズが並べられたセルフォックレンズアレイを示しているが、結像レンズ１０８を構成するセルフォックレンズアレイが有するセルフォックレンズの数は、図５に示す例に限られない。例えば、結像レンズ１０８を構成するセルフォックレンズアレイは、イメージガイドファイバ１０４の１本ずつのレンズ視野が合成されてできた視野全体が、ラインセンサ１０６を覆う大きさとなっていればよい。
【００６７】
セルフォックレンズは、レンズ内に有する屈折率分布により光線を曲げて集光する作用を有するレンズである。屈折率分布は、例えば、棒状のガラス材をイオン交換処理することなどによって形成される。
【００６８】
セルフォックレンズが複数並べられたセルフォックレンズアレイは、例えば図５に示すように、正立等倍像（物体面側に存在する物体と同じ向きであり、かつ同じ大きさの結像）が得られる。また、セルフォックレンズアレイは、ラインセンサを覆うような長方形の視野を有するため、ラインセンサには不要な円形視野を持つ円形レンズよりもより小型であり、かつ軽量である。
【００６９】
よって、結像レンズ１０８としてセルフォックレンズアレイが用いられる場合には、結像レンズ１０８として円形レンズが用いられる場合よりも、撮像装置１００の小型化を図ることができ、かつ撮像装置１００の軽量化を図ることができる。
【００７０】
［１−２−５］撮像レンズ保持部材１１０
撮像レンズ保持部材１１０は、複数の撮像レンズ１０２を、撮像対象物の表面から略同一の距離の位置に、撮像対象の表面に沿って保持する。撮像レンズ保持部材１１０は、例えば、撮像対象の表面形状に沿った形状を有しており、当該形状の表面上等間隔に、複数の撮像レンズ１０２を保持する機構を有する。
【００７１】
撮像対象の表面から「略同一の距離の位置」とは、例えば、複数の撮像レンズ１０２を、それぞれ撮像対象の表面から「同一の距離」に設けることで、同一の分解能など、同一の測定条件を得ることを目的として決定される位置である。しかしながら、各撮像レンズ１０２には、それぞれ誤差や焦点深度における遊びが存在し得るので、一般的な調整の範囲で、撮像レンズ１０２それぞれと撮像対象の表面との距離を、調整することが可能である。つまり、撮像対象の表面から「略同一の距離の位置」には、撮像対象の表面から同一の距離にある位置と、撮像対象の表面から上記調整の範囲内で異なる距離にある位置とが、含まれる。
【００７２】
また、撮像レンズ保持部材１１０は、隣り合う撮像レンズの撮像領域が重なるように、複数の撮像レンズ１０２を所定の配列に並べて保持する。
【００７３】
図６は、本発明の実施形態に係る撮像レンズ保持部材１１０が、複数の撮像レンズ１０２を保持する配列の一例を示す説明図である。図６のＡ、図６のＢ、および図６のＣそれぞれが、複数の撮像レンズ１０２が保持される所定の配列の例に該当する。
【００７４】
例えば図６のＡに示すように、撮像レンズ保持部材１１０は、複数の撮像レンズ１０２が一列に並ぶ配列で、複数の撮像レンズ１０２を保持する。
【００７５】
また、撮像レンズ保持部材１１０は、例えば図６のＢに示すように、複数の撮像レンズ１０２が千鳥状に並ぶ配列で、複数の撮像レンズ１０２を保持してもよいし、例えば図６のＣに示すように、斜めに並ぶ配列で、複数の撮像レンズ１０２を保持してもよい。
【００７６】
撮像レンズ保持部材１１０が、図６のＡ、図６のＢ、および図６のＣそれぞれに示すように、複数の撮像レンズ１０２を保持することによって、例えば、限られたスペースでより多くの撮像レンズ１０２を保持することができるという効果が、奏される。
【００７７】
なお、撮像レンズ保持部材１１０が複数の撮像レンズ１０２を保持する配列は、図６に示す例に限られず、撮像レンズ保持部材１１０は、種々の配列で複数の撮像レンズ１０２を保持することが、可能である。
【００７８】
［１−２−６］イメージガイドファイバ保持部材１１２
イメージガイドファイバ保持部材１１２は、複数のイメージガイドファイバ１０４を束ねて保持する部材である。図３のＡに示すように、イメージガイドファイバ保持部材１１２は、複数のイメージガイドファイバ１０４の撮像対象とは逆側の（すなわち、結像レンズ１０８側の）端面が一列となるように、複数のイメージガイドファイバ１０４を保持する。
【００７９】
イメージガイドファイバ保持部材１１２が、上記のように複数のイメージガイドファイバ１０４を保持することによって、結像レンズ１０８を介して、ラインセンサ１０６上に、撮像対象５０表面の画像を、より確実に結像させることができる。
【００８０】
［１−２−７］撮像装置１００における撮像の一例
図７は、本発明の実施形態に係る撮像装置１００における撮像の一例を示す説明図である。
【００８１】
図７のＡは、撮像装置１００により撮像される撮像対象の表面の一例を示している。
【００８２】
図７のＢは、図７のＡに示す撮像対象の表面に対する、複数の撮像レンズ１０２の視野の一例を示している。
【００８３】
図７のＣは、複数のイメージガイドファイバ１０４における、結像レンズ１０８側の端面に伝送された画像の一例を示している。伝送された画像は、撮像レンズ１０２によって、図７のＣに示すように、撮像レンズ１０２の視野に含まれる撮像対象の表面が、縮小、倒立した状態となる。
【００８４】
図７のＤは、結像レンズ１０８がセルフォックレンズアレイである場合において、ラインセンサ１０６上に結像された像の一例を示している。結像レンズ１０８がセルフォックレンズアレイである場合には、図７のＤに示すように、正立等倍像がラインセンサ１０６上に結像される。
【００８５】
ラインセンサ１０６では、結像された画像の撮像が行われる。なお、撮像装置１００における撮像の例が、図７に示す例に限られないことは、言うまでもない。なお、図６のＢや図６のＣに示すように、撮像レンズ１０２が一列ではない配列になっている場合には、イメージガイドファイバ保持部材１１２で、イメージガイドファイバ１０４の端面が一列に保持されているため、複数の撮像レンズ１０２で撮像した画像群と、複数のイメージガイドファイバ１０４が結像した画像群との間で幾何学的な位置のずれが生じることになる。このような場合には、例えば、ラインセンサ１０６により得られた画像データに対してハードウェア画像処理またはソフトウェア画像処理を行い、画像の幾何学的な位置を補正することによって、撮像対象の表面の画像を正確に撮像することができるようになる。
【００８６】
以上のように、撮像装置１００は、複数の撮像レンズ１０２、複数のイメージガイドファイバ１０４、および結像レンズ１０８を配置することによって、１つのラインセンサ１０６の視野を分割して撮像することができる。
【００８７】
また、撮像装置１００は、例えば撮像対象の表面の形状に合わせた撮像レンズ保持部材１１０を用いることで、撮像対象の表面の形状に対応するように、複数の撮像レンズ１０２を対向して配置することができるため、表面が湾曲している形状などの任意の形状を有する撮像対象の表面の画像を、撮像レンズ１０２で取得し、取得した画像をイメージガイドファイバ１０４で伝送し、結像レンズ１０８を介して１つのラインセンサ１０６に結像して、撮像する。そのため、撮像装置１００は、撮影対象の形状に限定されずに、複雑な表面形状を有する撮像対象の表面を容易に撮像することが可能であり、例えば、撮像対象が管状体であれば、管状体の内面と外面を、同時にまたはそれぞれ個別に撮像することも可能である。
【００８８】
また、撮像装置１００は、１つのラインセンサ１０６の視野を分割して同時に撮像するので、撮像対象の表面をより高速に撮像することができる。
【００８９】
したがって、撮像装置１００は、撮像対象の表面形状が平坦ではなく、湾曲しているような場合においても、安価で小型な装置を用いて、高速に撮像対象の表面を撮像することができる。
【００９０】
さらに、撮像装置１００は、上述したセンササイズの小さなラインカメラを複数配置して撮像対象の表面を撮像する方法のように、センササイズの小さなラインカメラを用いる必要はなく、また、例えば特許文献３に記載の技術が用いられる場合のように、撮像対象ごとに高価な構成部材を準備する必要もない。よって、撮像装置１００では、コストの増加を抑えることができる。
【００９１】
なお、本発明の実施形態に係る撮像装置の構成は、上述した構成に限られない。
【００９２】
例えば、本発明の実施形態に係る撮像装置は、ラインセンサ１０６が有する撮像素子により生成されたアナログ信号をデジタル信号（画像データ）に変換する信号処理回路を、ラインセンサ１０６の後段に、さらに備えていてもよい。
【００９３】
信号処理回路は、例えば、ＡＧＣ（Automatic  Gain  Control）回路やＡＤＣ（Analog  to  Digital  Converter）を備える。信号処理回路は、例えばＲＡＷ現像に係る各種処理を行う。さらに、信号処理回路は、例えば、Ｗｈｉｔｅ  Ｂａｌａｎｃｅ補正処理や、色調補正処理、ガンマ補正処理、ＹＣｂＣｒ変換処理、エッジ強調処理など各種信号処理を行ってもよい。
【００９４】
また、本発明の実施形態に係る撮像装置は、撮像により生成された撮像画像を示す信号（アナログ信号またはデジタル信号）を、後述する検査装置２００などの外部装置へと送信する通信デバイスを、さらに備えていてもよい。本発明の実施形態に係る通信デバイスの一例については、後述する。
【００９５】
［２］本発明の実施形態に係る検査システム
次に、本発明の実施形態に係る撮像装置を含む、撮像対象の表面を検査する検査システムについて、説明する。
【００９６】
図８は、本発明の実施形態に係る検査システム１０００の構成の一例を示すブロック図である。
【００９７】
検査システム１０００は、例えば、撮像装置１００と、検査装置２００とを有する。検査装置２００は、任意の通信方式の有線通信、または、任意の通信方式の無線通信によって、撮像装置１００において生成された撮像画像を取得する。
【００９８】
撮像装置１００は、上述したように、表面形状が平坦ではなく、湾曲しているような場合を含む任意の形状の撮像対象の表面を撮像する。
【００９９】
検査装置２００は、撮像対象が撮像された撮像画像（撮像装置１００において生成された撮像画像）に基づいて、撮像対象の表面欠陥を検出する。以下では、撮像対象の表面欠陥を、単に「欠陥」と示す場合がある。
【０１００】
なお、図８では、撮像装置１００と検査装置２００とが別体の装置である例を示しているが、図８に示す撮像装置１００と検査装置２００とは、１つの装置であってもよい。撮像装置１００と検査装置２００とが１つの装置である例としては、後述する検査装置２００が、撮像装置１００に相当する撮像デバイスを備える例が、挙げられる。
【０１０１】
以下では、既に説明を行った撮像装置１００については説明を省略し、検査装置２００における本発明の実施形態に係る表面欠陥検査方法に係る処理の一例、および検査装置２００の構成の一例について、説明する。
【０１０２】
［２−１］検査装置２００における表面欠陥検査方法に係る処理の一例
まず、検査装置２００において行われる表面欠陥検査方法に係る処理の一例を説明する。
【０１０３】
図９は、本発明の実施形態に係る検査装置２００において行われる処理の一例を示す流れ図である。
【０１０４】
検査装置２００は、撮像画像を処理する画像処理を行う（Ｓ１００）。ステップＳ１００の画像処理において、検査装置２００は、例えば、撮像画像の輝度の平均値が一定となるように撮像画像の輝度値を補正し（輝度の正規化）、補正された撮像画像を二値化する。そして、検査装置２００は、得られた二値画像のラベリングを行い、個々の欠陥の存在および種類を特定する。
【０１０５】
ここで、二値化とは、例えば、検査装置２００が、輝度値が予め設定された閾値以上（または閾値以下）であり正常な状態とは異なる外観を有する部分の画素を「１」とし、それ以外の画素を「０」として、二値画像を作成することをいう。また、上記閾値は、例えば、撮像対象の欠陥に該当する部分が「１」となるように、撮像対象の種類や用途などに応じて適宜設定される。
【０１０６】
また、ラベリングとは、検査装置２００が、二値画像中の「１」として検出された画素が連続している領域に、同じラベル番号を付与し、一つの欠陥とすることである。また、ラベリングの基準としては、例えば、上下または左右が接している画素を同一ラベルとする４連結や、上下左右に加えて斜め方向に接している画素も同一ラベルとする８連結などがある。
【０１０７】
図１０は、本発明の実施形態に係る検査装置２００が行うラベリングを説明するための説明図である。例えば、図１０のＡに示す二値画像が得られたとき、検査装置２００は、４連結の場合には、図１０のＢに示すように３つの欠陥として検出し、８連結の場合には、図１０のＣに示すように２つの欠陥として検出する。
【０１０８】
次に、ステップＳ１００において画像処理が行われると、検査装置２００は、上記二値画像および撮像画像から欠陥の特徴量を抽出する（Ｓ１０２）。すなわち、検査装置２００は、例えば、同一ラベル番号が付いた画素について統計量を算出し、個々の欠陥の特徴量などを計算することによって、欠陥の特徴量を抽出する。以下では、ステップＳ１０２の処理を「特徴抽出処理」と示す場合がある。
【０１０９】
ここで、本発明の実施形態に係る欠陥の特徴量とは、欠陥判定に用いられる個々の欠陥の有する特徴である。欠陥の特徴量としては、例えば、欠陥の面積、欠陥の幅、欠陥の長さ、欠陥の外接長方形の座標などが、挙げられる。
【０１１０】
欠陥の面積は、例えば、欠陥を構成する画素の個数で表される。例えば図９のＣにおけるラベル番号１の欠陥の場合、欠陥の面積は、面積＝９である。
【０１１１】
また、欠陥のＸ座標の最大値をｘＭ、最小値をｘｍとすると、欠陥の幅は、幅＝ｘＭ−ｘｍ＋１であり、欠陥のＹ座標の最大値をｙＭ、最小値をｙｍとすると、欠陥の長さは、長さ＝ｙＭ−ｙｍ＋１である。
【０１１２】
そして、検査装置２００は、ステップＳ１０２において抽出された欠陥の特徴量に基づいて、欠陥を判定する（Ｓ１０４）。より具体的には、検査装置２００は、例えば、欠陥の種類、または、欠陥の種類および有害度を判定する。以下では、ステップＳ１０４の処理を「欠陥判定処理」と示す場合がある。
【０１１３】
ここで、本発明の実施形態に係る欠陥の有害度とは、欠陥の程度を表す指標である。欠陥の有害度は、例えば、判定された欠陥が許容できる欠陥であるか否かなど、他の処理における判定の指標として用いられる。
【０１１４】
ここで、検査装置２００は、例えば、ニューラルネットワークやサポートベクターマシン等の処理手段により欠陥の特徴量を入力として、欠陥の種類や有害度を判定する。
【０１１５】
よって、検査装置２００は、例えば図９に示す処理を行うことによって、撮像画像から欠陥を検出し、検出された欠陥から抽出された特徴量に基づいて欠陥を判定することができる。なお、本発明の実施形態に係る表面欠陥検査方法に係る処理の例が、図９を参照して説明した例に限られないことは、言うまでもない。
【０１１６】
［２−２］検査装置２００の構成の一例
次に、検査装置２００の構成の一例を説明する。検査装置２００は、撮像装置１００と有線または無線で接続されており、検査装置２００は、例えば図８に示すように、画像処理部２０２と、特徴抽出部２０４と、欠陥判定部２０６とを備える。
【０１１７】
また、検査装置２００は、例えば、検査装置２００全体を制御する制御部（図示せず）、記憶部（図示せず）、検査装置２００の使用者が操作可能な操作部（図示せず）、および様々な画面を表示画面に表示する表示部（図示せず）などを備えていてもよい。検査装置２００は、例えば、データの伝送路としてのバスにより上記各構成要素間を接続する。
【０１１８】
記憶部（図示せず）は、検査装置２００が備える記憶手段であり、例えば、表面欠陥の検出に係る処理に用いられるデータや各種アプリケーションなどの、様々なデータを記憶する。ここで、記憶部（図示せず）としては、例えば、ハードディスクなどの磁気記録媒体や、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリなどが挙げられる。また、記憶部（図示せず）は、検査装置２００から着脱可能であってもよい。
【０１１９】
操作部（図示せず）としては、後述する操作デバイスが挙げられる。また、表示部（図示せず）としては、後述する表示デバイスが挙げられる。
【０１２０】
図１１は、本発明の実施形態に係る検査装置２００のハードウェア構成の一例を示す説明図である。検査装置２００は、例えば、プロセッサ２５０と、ＲＯＭ２５２と、ＲＡＭ２５４と、記録媒体２５６と、入出力インタフェース２５８と、操作デバイス２６０と、表示デバイス２６２と、通信デバイス２６４とを備える。また、検査装置２００は、例えば、データの伝送路としてのバス２６６で各構成要素間を接続する。また、検査装置２００は、例えば、検査装置２００が備えているバッテリなどの内部電源から供給される電力、または、接続されている外部電源から供給される電力などによって、駆動する。
【０１２１】
プロセッサ２５０は、例えば、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）などの演算回路で構成される、１または２以上のプロセッサや、各種処理回路などで構成される。プロセッサ２５０は、例えば、検査装置２００全体を制御する制御部（図示せず）として機能する。また、プロセッサ２５０は、検査装置２００において、例えば、画像処理部２０２、特徴抽出部２０４、および欠陥判定部２０６の役目を果たす。なお、画像処理部２０２、特徴抽出部２０４、および欠陥判定部２０６の一部または全部は、専用の回路または汎用の回路（例えば、プロセッサ２５０とは別体のプロセッサなど）で構成されていてもよい。
【０１２２】
ＲＯＭ２５２は、プロセッサ２５０が使用するプログラムや演算パラメータなどの制御用データなどを記憶する。ＲＡＭ２５４は、例えば、プロセッサ２５０により実行されるプログラムなどを一時的に記憶する。
【０１２３】
記録媒体２５６は、記憶部（図示せず）として機能し、例えば表面欠陥の検出に係る処理に用いられるデータや各種アプリケーションなどの、様々なデータを記憶する。ここで、記録媒体２５６としては、例えば、ハードディスクなどの磁気記録媒体や、フラッシュメモリなどの不揮発性メモリが挙げられる。また、記録媒体２５６は、検査装置２００から着脱可能であってもよい。
【０１２４】
入出力インタフェース２５８は、例えば、操作デバイス２６０や、表示デバイス２６２を接続する。操作デバイス２６０は、操作部（図示せず）として機能し、また、表示デバイス２６２は、表示部（図示せず）として機能する。ここで、入出力インタフェース２５８としては、例えば、ＵＳＢ（Universal  Serial  Bus）端子や、ＨＤＭＩ（High-Definition  Multimedia  Interface）（登録商標）端子、ＤＶＩ（Digital  Visual  Interface）端子、各種処理回路などが挙げられる。
【０１２５】
また、操作デバイス２６０は、例えば、検査装置２００上に備えられ、検査装置２００の内部で入出力インタフェース２５８と接続される。操作デバイス２６０としては、例えば、ボタンや、方向キー、あるいは、これらの組み合わせなどが挙げられる。
【０１２６】
また、表示デバイス２６２は、例えば、検査装置２００上に備えられ、検査装置２００の内部で入出力インタフェース２５８と接続される。表示デバイス２６２としては、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどが挙げられる。
【０１２７】
なお、入出力インタフェース２５８が、検査装置２００の外部の操作入力デバイス（例えば、キーボードやマウスなど）や外部の表示デバイスなどの、外部デバイスと接続することも可能であることは、言うまでもない。また、表示デバイス２６２は、例えばタッチパネルなど、表示とユーザ操作とが可能なデバイスであってもよい。
【０１２８】
通信デバイス２６４は、検査装置２００が備える通信手段であり、撮像装置１００などの外部装置と、直接的に（またはネットワークを介して）無線または有線で通信を行うための通信部（図示せず）として、機能する。ここで、通信デバイス２６４としては、例えば、ＬＡＮ（Local  Area  Network）端子および送受信回路（有線通信）や、通信アンテナおよびＲＦ（Radio  Frequency）回路（無線通信）、ＩＥＥＥ８０２．１５．１ポートおよび送受信回路（無線通信）、ＩＥＥＥ８０２．１１ポートおよび送受信回路（無線通信）などが挙げられる。
【０１２９】
検査装置２００は、例えば図１１に示す構成によって、撮像対象が撮像された撮像画像に基づいて、撮像対象の表面欠陥を検出する。
【０１３０】
なお、本発明の実施形態に係る検査装置２００のハードウェア構成は、図１１に示す構成に限られない。
【０１３１】
例えば、検査装置２００は、接続されている外部の通信デバイスを介して外部装置などと通信を行う場合には、通信デバイス２６４を備えていなくてもよい。また、通信デバイス２６４は、複数の通信方式によって、１または２以上の外部装置などと通信を行うことが可能な構成であってもよい。
【０１３２】
また、上述したように、検査装置２００は、撮像装置１００に相当する撮像デバイスをさらに備えていてもよい。検査装置２００が撮像装置１００に相当する撮像デバイスを備える場合（すなわち、検査装置２００が検査システム１０００として機能する場合）、当該撮像デバイスは、撮像により撮像画像（動画像または静止画像）を生成する撮像部（図示せず）として機能する。
【０１３３】
また、検査装置２００は、例えば、記録媒体２５６や、操作デバイス２６０、表示デバイス２６２を備えない構成をとることが可能である。
【０１３４】
また、検査装置２００は、例えば、後述する検査装置２００の適用例に応じた構成をとることが可能である。
【０１３５】
また、例えば、図１１に示す構成（または変形例に係る構成）の一部または全部は、１、または２以上のＩＣ（Integrated  Circuit）で実現されてもよい。
【０１３６】
再度図８を参照して、検査装置２００の構成の一例について説明する。画像処理部２０２は、例えば図９に示す表面欠陥検査方法に係る処理のうちのステップＳ１００の処理を行う役目を果たす。
【０１３７】
より具体的には、画像処理部２０２は、撮像画像を示す画像信号（以下、単に「撮像画像」と示す場合がある。）に対して、画像処理を行う。画像処理部２０２は、画像処理として、例えば、撮像画像の輝度の平均値が一定となるように撮像画像の輝度値を補正する処理や、撮像画像を二値化する処理を行う。
【０１３８】
なお、画像処理部２０２における処理は、上記に示す例に限られない。例えば、画像処理部２０２は、図９のステップＳ１００に示すラベリングに係る処理を行ってもよい。
【０１３９】
特徴抽出部２０４は、例えば図９に示す表面欠陥検査方法に係る処理のうちのステップＳ１０２の処理を行う役目を果たす。
【０１４０】
より具体的には、特徴抽出部２０４は、画像処理部２０２から伝達される画像処理がされた撮像画像に基づいて、例えば、図９のステップＳ１００に示す処理およびステップＳ１０２に示す処理、または、図９のステップＳ１０２に示す処理を行うことによって、撮像対象の欠陥の特徴量を抽出する。
【０１４１】
欠陥判定部２０６は、例えば図９に示す表面欠陥検査方法に係る処理のうちのステップＳ１０４の処理を行う役目を果たす。
【０１４２】
検査装置２００は、例えば図８に示す構成を有することによって、上述した表面欠陥検査方法に係る処理を行う。
【０１４３】
ここで、上述した表面欠陥検査方法に係る処理が行われることによって、撮像画像から欠陥が検出され、検出された欠陥から抽出された特徴量に基づいて欠陥が判定される。
【０１４４】
したがって、検査装置２００は、撮像対象が撮像された撮像画像に基づいて、撮像対象の表面欠陥を検出することができる。
【０１４５】
なお、本発明の実施形態に係る検査装置２００の構成は、図８に示す例に限られない。例えば、上述した表面欠陥検査方法に係る処理は、任意の切り分け方によって１つの処理または２以上の処理と捉えることが可能であり、検査装置２００は、上述した表面欠陥検査方法に係る処理の切り分け方に応じた構成をとることができる。
【０１４６】
以上、本発明の実施形態に係る検査システムの構成要素として、検査装置２００を挙げて説明したが、本発明の実施形態は、かかる形態に限られない。本発明の実施形態は、例えば、ＰＣ（Personal  Computer）やサーバなどのコンピュータや、タブレット型の装置など、本発明の実施形態に係る表面欠陥検査方法に係る処理を行うことが可能な、様々な機器に適用することができる。また、本発明の実施形態は、例えば、上記のような機器に組み込むことが可能な、処理ＩＣに適用することもできる。また、上述したように、本発明の実施形態に係る検査装置は、例えば、撮像装置１００に相当する撮像デバイスを備え、本発明の実施形態に係る検査システムとして機能してもよい。
【０１４７】
［３］本発明の実施形態に係るプログラム
コンピュータを、本発明の実施形態に係る検査装置として機能させるためのプログラム（例えば、上述した表面欠陥検査方法に係る処理を実行することが可能なプログラム）が、コンピュータにおいてプロセッサなどにより実行されることによって、撮像対象が撮像された撮像画像に基づいて、撮像対象の表面欠陥を検出することができる。
【０１４８】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【０１４９】
例えば、上記では、コンピュータを、本発明の実施形態に係る検査装置として機能させるためのプログラム（コンピュータプログラム）が提供されることを示したが、本発明の実施形態は、さらに、上記プログラムを記憶させた記録媒体も併せて提供することができる。
【０１５０】
上述した構成は、本発明の実施形態の一例を示すものであり、当然に、本発明の技術的範囲に属するものである。
【符号の説明】
【０１５１】
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１００    撮像装置
２０    柱状体
３０    照明装置
５０    撮像対象
１０２    撮像レンズ
１０４    イメージガイドファイバ
１０６    ラインセンサ
１０８    結像レンズ
１１０    撮像レンズ保持部材
１１２    イメージガイドファイバ保持部材
２００    検査装置
２０２    画像処理部
２０４    特徴抽出部
２０６    欠陥判定部
１０００    検査システム
【図１】
2018179786.tif 000003
【図２】
2018179786.tif 000004
【図３】
2018179786.tif 000005
【図４】
2018179786.tif 000006
【図５】
2018179786.tif 000007
【図６】
2018179786.tif 000008
【図７】
2018179786.tif 000009
【図８】
2018179786.tif 000010
【図９】
2018179786.tif 000011
【図１０】
2018179786.tif 000012
【図１１】
2018179786.tif 000013