(57)【要約】【課題】  長さが異なるピンフィンを有する冷却器を製造する。【解決手段】  冷却器は、第１ヒートシンクと第２ヒートシンクと冷却液流路を有している。本明細書が開示する製造方法は、第１金属部品をプレスして第１ヒートシンクを作成する第１工程と、第２金属部品をプレスして前記第２ヒートシンクを作成する第２工程を有している。プレス型が、複数のピンフィン成形面と外周部成形面とを有している。第１工程では、ピンフィン成形面に接触する部分の第１金属部品の幅Ｄ１と外周部成形面に接触する部分の第１金属部品の幅ｄ１との比ｄ１／Ｄ１が、０．１５よりも大きい。第２工程では、ピンフィン成形面に接触する部分の第２金属部品の幅Ｄ２と外周部成形面に接触する部分の第２金属部品の幅ｄ２との比ｄ２／Ｄ２が、０．１５よりも小さい。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却器の製造方法であって、
前記冷却器が、
複数の第１ピンフィンを有する第１放熱面を備える第１ヒートシンクと、
複数の第２ピンフィンを有する第２放熱面を備えており、前記第１ピンフィンと前記第２ピンフィンが非接触の状態で前記第１放熱面と前記第２放熱面が対向するように配置されている第２ヒートシンクと、
前記第１放熱面と前記第２放熱面の間の空間によって構成されている冷却液流路、
を有しており、
前記製造方法が、
第１金属部品をプレス型でプレスすることによって前記第１ヒートシンクを作成する第１工程と、
第２金属部品をプレス型でプレスすることによって前記第２ヒートシンクを作成する第２工程、
を有しており、
前記第１工程で用いられるプレス型と前記第２工程で用いられるプレス型のそれぞれが、複数のピンフィン成形孔を有するピンフィン成形面と、前記ピンフィン成形面の周囲に配置されている外周部成形面とを有しており、
前記第１工程では、前記ピンフィン成形面に接触する部分の前記第１金属部品の幅Ｄ１と前記外周部成形面に接触する部分の前記第１金属部品の幅ｄ１との比ｄ１／Ｄ１が、０．１５よりも大きく、
前記第２工程では、前記ピンフィン成形面に接触する部分の前記第２金属部品の幅Ｄ２と前記外周部成形面に接触する部分の前記第２金属部品の幅ｄ２との比ｄ２／Ｄ２が、０．１５よりも小さい、
製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書に開示の技術は、冷却器の製造方法に関する。
【０００２】
特許文献１に、複数のピンフィンを有するヒートシンクの製造方法が開示されている。この製造方法では、平板状の金属部品をプレス型によってプレスする。プレス型は、複数のピンフィン成形孔を有する。金属部品をプレスすると、各ピンフィン成形孔内に金属部品を構成する金属が流入する。これによって、複数のピンフィンを有するヒートシンクが製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−５０３１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図９に示すように、２つのヒートシンク１００を有する冷却器が知られている。各ヒートシンク１００は、複数のピンフィン１０４を有する放熱面１０２を備えている。放熱面１０２同士が対向するように２つのヒートシンク１００が配置されている。２つの放熱面１０２の間の空間によって冷却液流路１１０が構成されている。各ヒートシンク１００の放熱面１０２とは反対側の表面１０３は、冷却対象の電子部品に接続される。冷却液流路１１０には、冷却液が流れる。冷却液は、各ヒートシンク１００を冷却する。このような冷却器において、一般に、各ピンフィン１０４の長さは均一である。また、一方のヒートシンク１００の各ピンフィン１０４は他方のヒートシンク１００の各ピンフィン１０４に対して非接触となっている。対向するピンフィン１０４の先端同士の間に隙間１２０が設けられている。各ピンフィン１０４の長さが均一であるので、各隙間１２０は平面状（図９に示す断面では直線状）に配列されている。このため、矢印１３０に示すように、各隙間１２０を通る冷却液が直線状に流れ、この冷却液の流れがピンフィン１０４にほとんど当たらない。したがって、隙間１２０を通る冷却液とピンフィン１０４との間で熱交換が生じ難い。
【０００５】
これに対し、本願発明者らは、図１０に例示するように、隙間１２０の高さ方向（ピンフィンの長手方向）における位置が変化している冷却器を検討している。このように隙間１２０の高さ方向の位置が変化していると、いずれかの隙間１２０を通った冷却液の流れが他のピンフィン１０４に当たり易くなり、冷却器の冷却効率が向上する。
【０００６】
図１０のようにピンフィンの先端同士の間の隙間の位置が変化している冷却器では、各ヒートシンクにおいて、ピンフィン毎にピンフィンの長さが異なる。本明細書では、長さが異なる複数のピンフィンを有するヒートシンクを好適に作成する技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書が開示する製造方法では、第１ヒートシンクと第２ヒートシンクと冷却液流路を有する冷却器を製造する。前記第１ヒートシンクは、複数の第１ピンフィンを有する第１放熱面を有している。前記第２ヒートシンクは、複数の第２ピンフィンを有する第２放熱面を有している。前記第１ピンフィンと前記第２ピンフィンが非接触の状態で前記第１放熱面と前記第２放熱面が対向するように前記第２ヒートシンクは配置されている。前記製造方法が、第１金属部品をプレス型でプレスすることによって前記第１ヒートシンクを作成する第１工程と、第２金属部品をプレス型でプレスすることによって前記第２ヒートシンクを作成する第２工程を有している。前記第１工程で用いられるプレス型と前記第２工程で用いられるプレス型のそれぞれが、複数のピンフィン成形孔を有するピンフィン成形面と、前記ピンフィン成形面の周囲に配置されている外周部成形面とを有している。前記第１工程では、前記ピンフィン成形面に接触する部分の前記第１金属部品の幅Ｄ１と前記外周部成形面に接触する部分の前記第１金属部品の幅ｄ１との比ｄ１／Ｄ１が、０．１５よりも大きい。前記第２工程では、前記ピンフィン成形面に接触する部分の前記第２金属部品の幅Ｄ２と前記外周部成形面に接触する部分の前記第２金属部品の幅ｄ２との比ｄ２／Ｄ２が、０．１５よりも小さい。
【０００８】
なお、外周部成形面に接触する部分の金属部品（第１金属部品または第２金属部品）の幅ｄ１、ｄ２は、外周部成形面に最初に接触する部分の金属部品の幅を意味する。プレスによって金属部品が変形するため、外周部成形面に接触する部分の金属部品の幅は変化するが、上記の幅ｄ１、ｄ２は変形前の幅を意味する。また、上述した幅ｄ１、ｄ２、Ｄ１、Ｄ２は、ピンフィン成形面と外周部成形面とを横切る所定の一方向における幅を意味する。例えば、第１の方向において幅ｄ１、ｄ２、Ｄ１、Ｄ２を測定してもよいし、第１の方向に直交する第２の方向において幅ｄ１、ｄ２、Ｄ１、Ｄ２を測定してもよい。すなわち、ピンフィン成形面と外周部成形面とを横切る何れか１つの方向において測定された幅ｄ１、ｄ２、Ｄ１、Ｄ２が上記の条件を満たしていればよい。また、第１工程で用いられるプレス型と第２工程で用いられるプレス型は、共通のプレス型であってもよいし、異なるプレス型であってもよい。
【０００９】
この製造方法では、プレス型により金属部品をプレスすることでヒートシンクを成形する。金属部品をプレスする際に、ピンフィン成形孔内に金属部品を構成する金属が流入することで、ピンフィンが成形される。このとき、ピンフィン成形面の外周側に位置するピンフィン成形孔に流入する金属に加わる圧力は、外周部成形面によってプレスされる金属の量に応じて変化する。外周部成形面によってプレスされる金属の量が多いほど、外周側のピンフィン成形孔内に流入する金属に加わる圧力が大きくなる。このため、外周部成形面によってプレスされる金属の量が多いほど、外周側のピンフィンが長くなる。本願発明者らは、実験により、外周部成形面に接触する部分の金属部品の幅ｄとピンフィン成形面に接触する部分の金属部品の幅Ｄとの比ｄ／Ｄと外周部のピンフィンの長さとの関係を調査した。その結果、比ｄ／Ｄが大きいほど外周側のピンフィンの長さが長くなることが判明した。さらに、比ｄ／Ｄが０．１５よりも大きい場合に外周側のピンフィンが中央側のピンフィンよりも長くなり、比ｄ／Ｄが０．１５よりも小さい場合に外周側のピンフィンが中央側のピンフィンよりも短くなることが判明した。
【００１０】
上記の製造方法では、第１工程では、比ｄ１／Ｄ１が０．１５よりも大きい条件で第１金属部品をプレスすることで、第１ヒートシンクを作成する。このため、第１ヒートシンクでは、外周側のピンフィンが中央側のピンフィンよりも長い。第２工程では、比ｄ２／Ｄ２が０．１５よりも小さい条件で第２金属部品をプレスすることで、第２ヒートシンクを作成する。このため、第２ヒートシンクでは、外周側のピンフィンが中央側のピンフィンよりも短い。この方法によれば、第１ヒートシンクと第２ヒートシンクを容易に作成することができる。第１ヒートシンクの放熱面が第２ヒートシンクの放熱面に対向するように第１ヒートシンクと第２ヒートシンクを配置すると、第１ヒートシンクの外周側のピンフィン（長いピンフィン）に対向する位置に第２ヒートシンクの外周側のピンフィン（短いピンフィン）が配置され、第１ヒートシンクの中央側のピンフィン（短いピンフィン）に対向する位置に第２ヒートシンクの中央側のピンフィン（長いピンフィン）が配置される。このため、第１ヒートシンクのピンフィンと第２ヒートシンクのピンフィンの間に設けられる隙間の位置が、ピンフィンの長手方向に変化している構造が得られる。したがって、この製造方法によれば、冷却効率が高い冷却器を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】冷却器６０の断面図。
【図２】ヒートシンク２０の斜視図。
【図３】ヒートシンク３０の斜視図。
【図４】プレス型１０の断面図。
【図５】プレス型１０の断面図。
【図６】プレス型１０の断面図。
【図７】変形例のヒートシンクの斜視図。
【図８】変形例のヒートシンクの斜視図。
【図９】従来の冷却器の断面図。
【図１０】本明細書が提供する冷却器の一例の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１は、本実施形態の製造方法により製造される冷却器６０を示している。図１に示すように、冷却器６０は、ヒートシンク２０とヒートシンク３０を有している。
【００１３】
図１、２に示すように、ヒートシンク２０は、基部２０ｄと、基部２０ｄから柱状に伸びる複数のピンフィン２０ｃを有している。基部２０ｄは、平板形状を有している。基部２０ｄは、厚み方向に沿って平面視したときに、外周縁がｘ方向とｙ方向（ｘ方向に直交する方向）に沿って伸びる矩形を有している。基部２０ｄは、放熱面２０ａと冷却面２０ｂを有している。冷却面２０ｂは放熱面２０ａの裏面である。図示していないが、冷却面２０ｂには、冷却対象の電子部品が固定される。例えば、インバータ回路用のスイッチング用半導体部品が冷却面２０ｂに固定される。放熱面２０ａに、複数のピンフィン２０ｃが設けられている。複数のピンフィン２０ｃは、放熱面２０ａにおいてｘ方向とｙ方向に沿って配列されている。ピンフィン２０ｃ毎に、ピンフィン２０ｃの長さが異なる。放熱面２０ａの中央に位置するピンフィン２０ｃは最も長い。放熱面２０ａの中央から外周側に向かうにしたがって、ピンフィン２０ｃが短くなる。放熱面２０ａの最も外周側に位置するピンフィン２０ｃは最も短い。このため、図１に示すように、各ピンフィン２０ｃの先端を繋いで得られる仮想面２０ｅは、凸形状となっている。
【００１４】
図１、３に示すように、ヒートシンク３０は、基部３０ｄと、基部３０ｄから柱状に伸びる複数のピンフィン３０ｃを有している。基部３０ｄは、平板形状を有している。基部３０ｄは、厚み方向に沿って平面視したときに、外周縁がｘ方向とｙ方向に沿って伸びる矩形を有している。基部３０ｄのｘ方向及びｙ方向におけるサイズは、ヒートシンク２０の基部２０ｄよりも大きい。基部３０ｄは、放熱面３０ａと冷却面３０ｂを有している。冷却面３０ｂは放熱面３０ａの裏面である。図示していないが、冷却面３０ｂには、冷却対象の電子部品（例えば、インバータ回路用のスイッチング用半導体部品）が固定される。放熱面３０ａに、複数のピンフィン３０ｃが設けられている。複数のピンフィン３０ｃは、放熱面３０ａにおいてｘ方向とｙ方向に沿って配列されている。ピンフィン３０ｃ毎に、ピンフィン３０ｃの長さが異なる。放熱面３０ａの中央に位置するピンフィン３０ｃは最も短い。放熱面３０ａの中央から外周側に向かうにしたがって、ピンフィン３０ｃが長くなる。放熱面３０ａの最も外周側に位置するピンフィン３０ｃは最も長い。このため、図１に示すように、各ピンフィン３０ｃの先端を繋いで得られる仮想面３０ｅは、凹形状となっている。
【００１５】
図１に示すように、ヒートシンク２０とヒートシンク３０は、ヒートシンク２０の放熱面２０ａがヒートシンク３０の放熱面３０ａと対向するように配置されている。ヒートシンク２０とヒートシンク３０は、各ピンフィン２０ｃの先端が対応するピンフィン３０ｃの先端と対向するように配置されている。対向する一対のピンフィン２０ｃ、３０ｃの間に隙間５０が設けられている。上述したように、ピンフィン２０ｃは放熱面２０ａの中央側ほど長く、ピンフィン３０ｃは放熱面３０ａの中央側ほど短い。したがって、冷却器６０の中央側では長いピンフィン２０ｃに短いピンフィン３０ｃが対向しており、冷却器６０の外周側では短いピンフィン２０ｃに長いピンフィン３０ｃが対向している。このため、各隙間５０の幅（一対のピンフィン２０ｃとピンフィン３０ｃの間の間隔）は互いに略等しい。他方、隙間５０の上下方向（ピンフィン２０ｃ、３０ｃの長手方向）における位置は、隙間５０毎に異なる。冷却器６０の中央側では隙間５０が基部３０ｄに近い側に配置されており、冷却器６０の外周側では隙間５０が基部２０ｄに近い側に配置されている。放熱面２０ａと放熱面３０ａの間の空間によって、冷却液流路４０が構成されている。冷却液流路４０には、各隙間５０も含まれる。冷却液流路４０には、ｘ方向に沿って冷却液が流れる。冷却液流路４０内を冷却液が流れる間に、冷却液とピンフィン２０ｃ、３０ｃとの間で熱交換が行われる。これによって、ヒートシンク２０、３０（すなわち、冷却面２０ｂ、３０ｂに固定されている電子部品）が冷却される。
【００１６】
冷却液が冷却液流路４０を流れる際に、一部の冷却液は隙間５０内を流れる。冷却器６０では、隙間５０毎に隙間５０の上下方向の位置が異なる。このため、所定の隙間５０内の冷却液の流れが、その隙間５０よりも下流側のピンフィン２０ｃ、３０ｃに当たる。このため、図９の矢印１３０のようにピンフィンの間の隙間のみを通って流れる冷却液の流れが生じ難い。したがって、本実施形態の冷却器６０では、ピンフィン２０ｃ、３０ｃに冷却液の流れが当たり易くなっており、ピンフィン２０ｃ、３０ｃが冷却され易い。本実施形態の冷却器６０は、冷却能力が高い。
【００１７】
次に、冷却器６０の製造方法について説明する。図４は、ヒートシンク２０、３０を作成するためのプレス型１０を示している。プレス型１０は、パンチ１２、ダイス１４及び受圧型１６を有している。パンチ１２、ダイス１４及び受圧型１６は、それぞれ、金属製の型である。ダイス１４は、受圧型１６上に固定されている。ダイス１４の下面１４ｂの全体が、受圧型１６の上面に接している。ダイス１４の上面１４ａは平坦な平面である。ダイス１４には、複数のピンフィン成形孔１８が設けられている。各ピンフィン成形孔１８は、上面１４ａから下面１４ｂまでダイス１４を貫通している。複数のピンフィン成形孔１８が設けられている範囲のダイス１４の上面１４ａを、以下では、ピンフィン成形面１５ａという。また、ピンフィン成形面１５ａよりも外周側の上面１４ａを、以下では、外周部成形面１５ｂという。外周部成形面１５ｂは平坦な平面である。ピンフィン成形面１５ａは、ｘ方向において幅Ｗａを有している。また、図示していないが、ピンフィン成形面１５ａは、ｙ方向においても幅Ｗａを有している。
【００１８】
パンチ１２は、ダイス１４から間隔を開けてダイス１４の上方に配置されている。パンチ１２の下面１２ａは、平坦な平面である。図示しない駆動装置によって、パンチ１２をダイス１４に対して進退動させることができる。
【００１９】
まず、プレス型１０を用いて、ヒートシンク３０を作成する。ヒートシンク３０の作成工程では、図４に示すように、ダイス１４上に金属部品７０を載置する。金属部品７０は、厚みが一定の平板形状の金属板である。ｘ方向及びｙ方向において、金属部品７０の幅Ｗ１はピンフィン成形面１５ａの幅Ｗａよりも広い。ここでは、ダイス１４の上面１４ａの中央に金属部品７０を配置する。金属部品７０によって、全てのピンフィン成形孔１８が塞がれる。すなわち、金属部品７０によってピンフィン成形面１５ａの全域が覆われる。また、金属部品７０の外周部によって、ピンフィン成形面１５ａよりも外周側の外周部成形面１５ｂも覆われる。ｘ方向及びｙ方向において、外周部成形面１５ｂに接触する部分の金属部品７０の幅ｄ１は、ｄ１≒（Ｗ１−Ｗａ）／２の関係を満たす。また、ｘ方向及びｙ方向において、ピンフィン成形面１５ａに接触する部分の金属部品７０の幅Ｄ１は、ピンフィン成形面１５ａの幅Ｗａと等しい。ヒートシンク３０の作成工程においては、比ｄ１／Ｄ１が、０．１５よりも大きい。
【００２０】
次に、図５に示すように、プレス型１０によって金属部品７０をプレスする。金属部品７０のプレスは、いわゆる冷間鍛造によって行う。すなわち、常温下で、パンチ１２をダイス１４に向かって下降させる。パンチ１２の下面１２ａを金属部品７０の上面に接触させ、パンチ１２によって金属部品７０をダイス１４に向けてプレスする。これによって、金属部品７０を塑性変形させる。このとき、図５において実線矢印で示すように、金属部品７０を構成する金属が各ピンフィン成形孔１８内に流入する。このようにピンフィン成形孔内に流入する金属が、ピンフィン３０ｃとなる。また、ピンフィン３０ｃが形成された金属部品７０が、ヒートシンク３０となる。また、外周部成形面１５ｂ上の金属部品７０が、図５において破線矢印で示すように、外周側及び内周側に向かって流動する。外周部成形面１５ｂ上において内周側（すなわち、ピンフィン成形面１５ａ側）に流動する金属が多いと、ピンフィン成形面１５ａの外周側に位置するピンフィン成形孔１８内に流入する金属に加わる圧力が大きくなり、外周側のピンフィン成形孔１８に流入する金属の量が多くなる。ヒートシンク３０の作成工程では、外周部成形面１５ｂによってプレスされる部分の金属部品７０の幅ｄ１が広く、比ｄ１／Ｄ１が０．１５よりも大きいので、外周側のピンフィン成形孔１８に流入する金属が多い。このため、外周側のピンフィン３０ｃが、中央側のピンフィン３０ｃよりも長くなる。したがって、図１、２に示すように、中央側から外周側に向かうにしたがってピンフィン３０ｃが長くなるヒートシンク３０が得られる。
【００２１】
次に、プレス型１０を用いて、ヒートシンク２０を作成する。ヒートシンク２０の作成工程では、図６に示すように、ダイス１４上に金属部品８０を載置する。金属部品８０は、厚みが一定の平板形状の金属板である。ｘ方向及びｙ方向において、金属部品８０の幅Ｗ２はピンフィン成形面１５ａの幅Ｗａよりも広い。また、金属部品８０の幅Ｗ２は、上述した金属部品７０の幅Ｗ１よりも狭い。ここでは、ダイス１４の上面１４ａの中央に金属部品８０を配置する。金属部品８０によってピンフィン成形面１５ａの全域が覆われる。また、金属部品８０の外周部によって、外周部成形面１５ｂも覆われる。ｘ方向及びｙ方向において、外周部成形面１５ｂに接触する部分の金属部品８０の幅ｄ２は、ｄ２≒（Ｗ２−Ｗａ）／２の関係を満たす。幅Ｗ２が幅Ｗ１よりも狭いので、幅ｄ２は上述した金属部品７０の幅ｄ１よりも狭い。また、ｘ方向及びｙ方向において、ピンフィン成形面１５ａに接触する部分の金属部品８０の幅Ｄ２は、ピンフィン成形面１５ａの幅Ｗａと等しい。ヒートシンク２０の作成工程においては、比ｄ２／Ｄ２が、０．１５よりも小さい。
【００２２】
次に、ヒートシンク２０の作成工程と同様にして、プレス型１０によって金属部品８０をプレスする。すると、金属部品８０を構成する金属が各ピンフィン成形孔１８内に流入して、ピンフィン２０ｃが形成される。プレスによってピンフィン２０ｃが形成された金属部品８０が、ヒートシンク２０となる。また、外周部成形面１５ｂ上の金属部品８０が、外周側及び内周側に向かって流動する。ヒートシンク２０の作成工程では、外周部成形面１５ｂによってプレスされる部分の金属部品８０の幅ｄ２が狭く、比ｄ２／Ｄ２が０．１５よりも小さいので、外周側のピンフィン成形孔１８に流入する金属が少ない。このため、外周側のピンフィン２０ｃが、中央側のピンフィン２０ｃよりも短くなる。したがって、図１、３に示すように、中央側から外周側に向かうにしたがってピンフィン２０ｃが短くなるヒートシンク２０が得られる。
【００２３】
ヒートシンク２０、３０を作成したら、ヒートシンク２０、３０を図１に示すようにピンフィン２０ｃとピンフィン３０ｃが対向するように配置する。これによって、図１に示す冷却装置が完成する。
【００２４】
以上に説明したように、この製造方法によれば、金属材料をプレス型でプレスするだけで、位置によってピンフィンの長さが異なるヒートシンクを容易に作成することができる。また、この製造方法では、金属部品のサイズを変更するだけで、ヒートシンク２０とヒートシンク３０を作り分けることができる。すなわち、共通のプレス型１０によってヒートシンク２０とヒートシンク３０を作成することができる。ヒートシンク２０を作成する工程とヒートシンク３０を作成する工程の間でプレス型を変更する必要がないので、効率的に冷却器６０を製造することができる。
【００２５】
なお、上述した実施形態では、ｘ方向とｙ方向のそれぞれにおいて、ピンフィン２０ｃ、３０ｃの長さが変化していた。しかしながら、図７、８に示すように、ｘ方向においてピンフィンの長さが変化しており、ｙ方向においてはピンフィンの長さが一定であってもよい。ｙ方向において比ｄ／Ｄを約０．１５とすることで、ｙ方向において各ピンフィンの長さほぼ一定にすることができる。
【００２６】
また、上述した実施形態では、共通のプレス型によってヒートシンク２０とヒートシンク３０を作成したが、異なるプレス型によってこれらを作成してもよい。
【００２７】
以上、実施形態について詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独あるいは各種の組み合わせによって技術有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの１つの目的を達成すること自体で技術有用性を持つものである。
【符号の説明】
【００２８】
１０  ：プレス型
１２  ：パンチ
１４  ：ダイス
１５ａ：ピンフィン成形面
１５ｂ：外周部成形面
１６  ：受圧型
１８  ：ピンフィン成形孔
２０  ：ヒートシンク
２０ａ：放熱面
２０ｂ：冷却面
２０ｃ：ピンフィン
３０  ：ヒートシンク
３０ａ：放熱面
３０ｂ：冷却面
３０ｃ：ピンフィン
４０  ：冷却液流路
５０  ：隙間
６０  ：冷却器
７０  ：金属部品
８０  ：金属部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018006649.tif 000009
【図８】
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【図９】
2018006649.tif 000011
【図１０】
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