(57)【要約】【課題】長期間に亘って、フィルタの目詰まりを抑制しつつ、コンタミネーションを捕捉できるようにする。【解決手段】背圧制御弁２５０の潤滑油入口２５０Ａには、その端面から背圧室へと延びる円筒形状の円筒部２５０Ｂが突出形成され、その先端部にフィルタユニット３００が取り付けられる。フィルタユニット３００は、開孔率及び濾過面積が相互に異なる複数のフィルタ、例えば、略円板形状の第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０を含んで構成されている。第１のフィルタ３２０は、開孔率が比較的大きく、円筒部２５０Ｂの先端開口を閉塞可能な濾過面積を有している。第２のフィルタ３４０は、第１のフィルタ３２０より開孔率が小さく、第１のフィルタ３２０より小さな濾過面積を有している。そして、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、潤滑油の流通方向に沿って積層されている。【選択図】図３
2018179067.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象空間に存在する流体の圧力と当該制御対象空間の外部に存在する流体の圧力との差圧に応じて開閉し、前記制御対象空間に存在する流体の圧力を制御する流体制御弁であって、
流体の入口側に開孔率及び濾過面積が相互に異なる複数のフィルタが配設された、
流体制御弁。
【請求項２】
前記複数のフィルタは、前記流体の流通方向に沿って積層された、
請求項１に記載の流体制御弁。
【請求項３】
前記複数のフィルタは、前記流体の流通方向に交差する断面上に配置された、
請求項１に記載の流体制御弁。
【請求項４】
前記複数のフィルタのうち前記濾過面積が最も小さいフィルタは、他のフィルタより開孔率が小さい、
請求項１〜請求項３のいずれか１つに記載の流体制御弁。
【請求項５】
前記複数のフィルタは、前記濾過面積が最も小さいフィルタに優先的に流体を供給するガイド部材で覆われる、
請求項４に記載の流体制御弁。
【請求項６】
前記制御対象空間は、スクロール型圧縮機において旋回スクロールを固定スクロールに押し付ける背圧を作用させる背圧室である、
請求項１〜請求項５のいずれか１つに記載の流体制御弁。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか１つに記載の流体制御弁を備えた圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を制御する流体制御弁、及び、流体制御弁を備えた圧縮機に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧縮機の一例として挙げられるスクロール型圧縮機は、互いに噛み合わされる固定スクロール及び旋回スクロールを有する、スクロールユニットを備えている。スクロールユニットは、旋回スクロールが固定スクロールの軸心周りを公転旋回運動することで、固定スクロールと旋回スクロールとにより区画される圧縮室の容積を変化させ、気体冷媒を圧縮して吐出する。スクロール型圧縮機では、旋回スクロールの背面に背圧を作用させて固定スクロールに押し付けることで、圧縮運転中に旋回スクロールが固定スクロールから離れることを抑制し、圧縮不良を発生し難くしている。このとき、特開２０１５−２２４６１９号公報（特許文献１）に記載されるように、旋回スクロールの背面に作用させる背圧は、背圧室に存在する流体の圧力とその外部に存在する流体の圧力との差圧に応じて開閉する背圧制御弁で調整されている。
【０００３】
また、スクロール型圧縮機を流れる流体は、例えば、樹脂製のシール部材の摩耗によって発生するコンタミネーション（異物）、金属同士の摺動によって発生するコンタミネーションを含んでいる。コンタミネーションが含まれる流体が背圧制御弁に導入されると、弁体が円滑に動かなくなり、背圧を適切に調整できなくなるおそれがある。このため、特許文献１に記載の技術では、背圧制御弁の流体入口側に、同一面積を有する異なる開孔率の２つのフィルタを重ねて配設し、背圧制御弁へのコンタミネーションの導入を抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−２２４６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、背圧制御弁へのコンタミネーションの導入を抑制するため、開孔率が小さい細かい目のフィルタを使用すると、比較的短期間でフィルタに目詰まりが発生し、例えば、流体が流れなくなって背圧を適切に制御できなくなってしまう。また、開孔率が大きい粗い目のフィルタを使用すると、フィルタの目詰まりは発生し難くなるが、微細なコンタミネーションが背圧制御弁へと導入され、弁体が円滑に動かなくなって背圧を適切に制御できなくなってしまう。
【０００６】
そこで、本発明は、長期間に亘って、フィルタの目詰まりを抑制しつつ、コンタミネーションを捕捉可能な流体制御弁及び圧縮機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このため、制御対象空間に存在する流体の圧力とその外部に存在する流体の圧力との差圧に応じて開閉し、制御対象空間に存在する流体の圧力を制御する流体制御弁は、流体の入口側に開孔率及び濾過面積が相互に異なる複数のフィルタを配設して構成される。また、圧縮機は、流体の入口側に開孔率及び濾過面積が相互に異なる複数のフィルタが配設された流体制御弁を備えている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、長期間に亘って、フィルタの目詰まりを抑制しつつ、コンタミネーションを捕捉することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】スクロール型圧縮機の一例を示す縦断面図である。
【図２】気体冷媒及び潤滑油の流れを説明するブロック図である。
【図３】背圧制御弁の第１実施形態を示す縦断面図である。
【図４】背圧制御弁の第１実施形態を示す側面図である。
【図５】背圧制御弁の第２実施形態を示す縦断面図である。
【図６】背圧制御弁の第３実施形態を示す縦断面図である。
【図７】背圧制御弁の第３実施形態を示す側面図である。
【図８】背圧制御弁の第４実施形態を示す縦断面図である。
【図９】背圧制御弁の第５実施形態を示す縦断面図である。
【図１０】背圧制御弁の第６実施形態を示す縦断面図である。
【図１１】適用可能な他の背圧制御弁の一例を示す縦断面図である。
【図１２】他の背圧制御弁に適用可能なフィルタユニットの一例を示す要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付された図面を参照し、本発明を実施するための実施形態について詳述する。
図１は、スクロール型圧縮機１００の一例を示す。なお、スクロール型圧縮機１００が、圧縮機の一例として挙げられる。
【００１１】
スクロール型圧縮機１００は、例えば、車両用空調機器の冷媒回路に組み込まれ、冷媒回路の低圧側から吸入した気体冷媒（流体）を圧縮して吐出する。スクロール型圧縮機１００は、スクロールユニット１２０と、気体冷媒の吸入室Ｈ１及び吐出室Ｈ２を有するハウジング１４０と、スクロールユニット１２０を駆動する電動モータ１６０と、電動モータ１６０を制御するインバータ１８０と、を備えている。なお、スクロールユニット１２０は、電動モータ１６０に代えて、例えば、エンジン出力によって駆動されてもよい。また、インバータ１８０は、スクロール型圧縮機１００に組み込まれていなくてもよい。
【００１２】
スクロールユニット１２０は、互いに噛み合わされる固定スクロール１２２及び旋回スクロール１２４を有している。固定スクロール１２２は、円板形状の底板１２２Ａと、底板１２２Ａの一面から立設するインボリュート形状（渦巻き形状）のラップ１２２Ｂと、を含んでいる。旋回スクロール１２４は、固定スクロール１２２と同様に、円板形状の底板１２４Ａと、底板１２４Ａの一面から立設するインボリュート形状のラップ１２４Ｂと、を含んでいる。ここで、円板形状とは、見た目で円板形状であると認識できる程度でよく、例えば、外面に凸部、凹部、スリットなどが形成されていてもよい（形状については以下同様）。
【００１３】
固定スクロール１２２及び旋回スクロール１２４は、そのラップ１２２Ｂ及び１２４Ｂを噛み合わせるように配置されている。詳細には、固定スクロール１２２のラップ１２２Ｂの先端部が、旋回スクロール１２４の底板１２４Ａの一面に接触し、旋回スクロール１２４のラップ１２４Ｂの先端部が、固定スクロール１２２の底板１２２Ａの一面に接触するように配置されている。なお、ラップ１２２Ｂ及び１２４Ｂの先端部には、チップシール（図示せず）が取り付けられている。
【００１４】
また、固定スクロール１２２及び旋回スクロール１２４は、そのラップ１２２Ｂ及び１２４Ｂの周方向の角度が互いにずれた状態で、そのラップ１２２Ｂ及び１２４Ｂの側壁が互いに部分的に接触するように配置されている。従って、固定スクロール１２２のラップ１２２Ｂと旋回スクロール１２４のラップ１２４Ｂとの間には、圧縮室Ｈ３として機能する、三日月形状の密閉空間が形成されている。
【００１５】
旋回スクロール１２４は、その自転が阻止された状態で、後述するクランク機構２４０を介して、固定スクロール１２２の軸心周りに公転可能に配置されている。従って、スクロールユニット１２０は、固定スクロール１２２のラップ１２２Ｂと旋回スクロール１２４のラップ１２４Ｂとにより区画される圧縮室Ｈ３を中央部に移動させ、その容積を徐々に減少させる。その結果、スクロールユニット１２０は、ラップ１２２Ｂ及び１２４Ｂの外端部から圧縮室Ｈ３に吸入される気体冷媒を圧縮する。
【００１６】
ハウジング１４０は、電動モータ１６０及びインバータ１８０を収容するフロントハウジング１４２と、スクロールユニット１２０を収容するセンターハウジング１４４と、リアハウジング１４６と、インバータカバー１４８と、を有している。そして、フロントハウジング１４２、センターハウジング１４４、リアハウジング１４６及びインバータカバー１４８が、例えば、ボルト及びワッシャを含む締結具（図示せず）によって、一体的に締結されることで、スクロール型圧縮機１００のハウジング１４０が構成されている。
【００１７】
フロントハウジング１４２は、円筒形状の周壁部１４２Ａと円板形状の仕切壁部１４２Ｂとを有している。フロントハウジング１４２の内部空間は、仕切壁部１４２Ｂにより、電動モータ１６０を収容するための空間とインバータ１８０を収容するための空間とに仕切られている。周壁部１４２Ａの一端側の開口は、インバータカバー１４８によって閉塞されている。また、周壁部１４２Ａの他端側の開口は、センターハウジング１４４によって閉塞されている。仕切壁部１４２Ｂには、その径方向の中央部に後述する駆動軸１６６の一端部を回転自由に支持する、円筒形状の支持部１４２Ｂ１が、周壁部１４２Ａの他端側に向かって突設されている。
【００１８】
また、フロントハウジング１４２の周壁部１４２Ａ及び仕切壁部１４２Ｂとセンターハウジング１４４とにより、気体冷媒の吸入室Ｈ１が区画されている。吸入室Ｈ１には、周壁部１４２Ａに形成された吸入ポートＰ１を介して、冷媒回路の低圧側から気体冷媒が吸入される。なお、吸入室Ｈ１では、気体冷媒が電動モータ１６０の周囲を流通して電動モータ１６０を冷却可能になっており、電動モータ１６０一方側の空間とその他方側の空間とが連通する、１つの吸入室Ｈ１が形成されている。吸入室Ｈ１には、回転駆動される駆動軸１６６などの摺動箇所の潤滑のため、適量の潤滑油が貯留されている。このため、吸入室Ｈ１においては、気体冷媒は潤滑油との混合流体として流れている。
【００１９】
センターハウジング１４４は、フロントハウジング１４２との締結側とは反対側が開口した有底円筒形状をなし、その内部にスクロールユニット１２０を収容することができる。センターハウジング１４４は、円筒部１４４Ａとその一端側の底壁部１４４Ｂとを有している。円筒部１４４Ａと底壁部１４４Ｂとによって区画される空間に、スクロールユニット１２０が収容されている。円筒部１４４Ａの他端側には、固定スクロール１２２が嵌合する嵌合部１４４Ａ１が形成されている。従って、センターハウジング１４４の開口は、固定スクロール１２２によって閉塞されている。また、底壁部１４４Ｂは、その径方向の中央部が電動モータ１６０に向かって膨出するように形成されている。底壁部１４４Ｂの膨出部１４４Ｂ１の径方向の中央部には、駆動軸１６６の他端部を貫通させるための貫通孔が形成されている。そして、膨出部１４４Ｂ１のスクロールユニット１２０側には、駆動軸１６６の他端部を回転自由に支持するベアリング２００が嵌合する嵌合部が形成されている。
【００２０】
センターハウジング１４４の底壁部１４４Ｂと旋回スクロール１２４の底板１２４Ａとの間には、円環形状のスラストプレート２１０が配置されている。底壁部１４４Ｂの外周部は、スラストプレート２１０を介して旋回スクロール１２４からのスラスト力を受ける。底壁部１４４Ｂ及び底板１２４Ａのスラストプレート２１０と当接する部位には、シール部材（図示せず）が夫々埋設されている。
【００２１】
また、底板１２４Ａの電動モータ１６０側端面と底壁部１４４Ｂとの間、つまり、旋回スクロール１２４の固定スクロール１２２とは反対側の端面とセンターハウジング１４４との間には、背圧室Ｈ４が形成されている。センターハウジング１４４には、吸入室Ｈ１からスクロールユニット１２０のラップ１２２Ｂ及び１２４Ｂの外端部付近の空間Ｈ５へと気体冷媒（詳細には、気体冷媒と潤滑油との混合流体）を導入するための冷媒導入通路Ｌ１が形成されている。冷媒導入通路Ｌ１は、空間Ｈ５と吸入室Ｈ１とを連通しているため、空間Ｈ５の圧力は、吸入室Ｈ１の圧力（吸入圧Ｐｓ）と等しい。
【００２２】
リアハウジング１４６は、センターハウジング１４４の円筒部１４４Ａの嵌合部１４４Ａ１側端部に、締結具によって締結されている。従って、固定スクロール１２２は、その底板１２２Ａが嵌合部１４４Ａ１とリアハウジング１４６との間に挟持されて固定されている。また、リアハウジング１４６は、センターハウジング１４４との締結側（一端側）が開口した有底円筒形状をなし、円筒部１４６Ａとその他端側の底壁部１４６Ｂとを有している。
【００２３】
リアハウジング１４６の円筒部１４６Ａ及び底壁部１４６Ｂと固定スクロール１２２の底板１２２Ａとにより、気体冷媒の吐出室Ｈ２が区画されている。底板１２２Ａの中央部には、気体冷媒の吐出通路（吐出孔）Ｌ２が形成され、吐出通路Ｌ２には、吐出室Ｈ２からスクロールユニット１２０への流れを規制する、例えば、リードバルブからなる逆止弁２２０が付設されている。吐出室Ｈ２には、スクロールユニット１２０の圧縮室Ｈ３で圧縮された気体冷媒が吐出通路Ｌ２及び逆止弁２２０を介して吐出される。
【００２４】
リアハウジング１４６には、吐出室Ｈ２の気体冷媒から潤滑油を分離するためのオイルセパレータ２３０が配置されている。具体的には、リアハウジング１４６の後端部、即ち、センターハウジング１４４とは反対側に位置する端部には、その外周壁から内部へと向かって延びる、円形横断面を有する気液分離室２３０Ａが形成されている。気液分離室２３０Ａには、これと同心になるように、円形横断面を有する段付形状の内筒２３０Ｂが内挿されている。内筒２３０Ｂの基端部は、気液分離室２３０Ａの段部２３０Ａ１に係止し、その先端部は、気液分離室２３０Ａの最奥部から所定間隔を隔てた位置まで延びている。ここで、少なくとも内筒２３０Ｂが配置されている気液分離室２３０Ａの空間は、気体冷媒から潤滑油を分離する分離部として機能し、気液分離室２３０Ａの最奥部に位置する円柱形状の空間は、オイルセパレータ２３０によって分離された潤滑油を一時的に貯留する貯留部として機能する。
【００２５】
リアハウジング１４６における気液分離室２３０Ａの開口は、内筒２３０Ｂを押圧可能なボルト（図示せず）によって閉塞されている。ボルトには、その頭部の端面から軸部の先端部へと貫通する貫通孔が形成されている。そして、ボルトの頭部には、オイルセパレータ２３０によって潤滑油が分離された気体冷媒を冷媒回路の高圧側へと導くために、配管を接続する吐出ポートＰ２が形成されている。また、気液分離室２３０Ａは、その内周面の接線方向に延びる導入ポート１４６Ｃを介して、吐出室Ｈ２に連通している。
【００２６】
従って、スクロールユニット１２０によって圧縮された気体冷媒は、吐出室Ｈ２を経て、導入ポート１４６Ｃからオイルセパレータ２３０へと導入される。オイルセパレータ２３０へと導入された気体冷媒は、気液分離室２３０Ａの内周面と内筒２３０Ｂの外周面により形成される円環形状の空間を旋回しつつ下方へと流れる。このとき、気体冷媒に含まれる潤滑油のミストは、気体冷媒が旋回するときに発生する遠心力を受け、その外方へと移動する。潤滑油のミストが外方へと移動すると、気液分離室２３０Ａの内周面に付着し、重力を利用してその底部へと滴下される。そして、オイルセパレータ２３０により分離された潤滑油は、後述する背圧供給通路Ｌ３へと導かれる。一方、潤滑油が分離された気体冷媒は、内筒２３０Ｂの先端部からその内部空間へと入り込み、その圧力を利用してボルトの頭部に形成された吐出ポートＰ２から吐出される。
【００２７】
なお、図１では、潤滑油の混合前又は分離後の気体冷媒の流れは斜線付き矢印で示され、潤滑油と混合された気体冷媒（混合流体）の流れは黒塗り矢印で示され、気体冷媒から分離された潤滑油の流れは白抜き矢印で示されている。
【００２８】
電動モータ１６０は、例えば、三相交流モータからなり、ロータ１６２と、ロータ１６２の径方向外側に配置されるステータコアユニット１６４と、を有している。そして、例えば、車載のバッテリ（図示せず）からの直流電流が、インバータ１８０により交流電流に変換され、電動モータ１６０に供給される。
【００２９】
ロータ１６２は、その径方向中心に形成された軸孔に圧入される駆動軸１６６を介して、ステータコアユニット１６４の径方向内側で回転可能に支持されている。駆動軸１６６の一端部は、フロントハウジング１４２の支持部１４２Ｂ１に回転可能に支持されている。駆動軸１６６の他端部は、センターハウジング１４４に形成された貫通孔を貫通して、ベアリング２００によって回転可能に支持されている。インバータ１８０からの給電により、ステータコアユニット１６４に磁界が発生すると、ロータ１６２に回転力が作用して駆動軸１６６が回転駆動される。駆動軸１６６の他端部は、クランク機構２４０を介して、旋回スクロール１２４に連結されている。
【００３０】
クランク機構２４０は、旋回スクロール１２４の底板１２４Ａの背圧室Ｈ４側端面に突出形成された円筒形状のボス部２４０Ａと、駆動軸１６６の他端部に設けられたクランクピン２４０Ｂと、クランクピン２４０Ｂに偏心状態で取り付けられた偏心ブッシュ２４０Ｃと、を有している。偏心ブッシュ２４０Ｃは、ボス部２４０Ａに回転可能に支持されている。なお、駆動軸１６６の他端部には、旋回スクロール１２４の旋回時の遠心力に対抗するバランサウェイト２４０Ｄが取り付けられている。従って、旋回スクロール１２４は、その自転が抑制された状態で、クランク機構２４０を介して、固定スクロール１２２の軸心周りに公転可能になっている。
【００３１】
リアハウジング１４６の後端部には、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍと吐出室Ｈ２の吐出圧Ｐｄとの差圧に応じて開閉し、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍが目標背圧Ｐｃに近づくように、その弁開度を自動的に調整する、公知の機械式（自律式）の背圧制御弁２５０が組み込まれている。なお、背圧制御弁２５０が、流体制御弁の一例として挙げられる。また、背圧室Ｈ４が、制御対象空間の一例として挙げられ、吐出室Ｈ２が、制御対象空間の外部の一例として挙げられる。
【００３２】
ハウジング１４０のセンターハウジング１４４及びリアハウジング１４６には、オイルセパレータ２３０で分離された潤滑油を背圧室Ｈ４へと導入する背圧供給通路Ｌ３が形成されている。そして、背圧制御弁２５０は、背圧供給通路Ｌ３の一部を構成するように、背圧供給通路Ｌ３の途上に配設されている。従って、オイルセパレータ２３０によって分離された潤滑油は、背圧制御弁２５０により適宜減圧されつつ、背圧供給通路Ｌ３を介して背圧室Ｈ４に供給される。つまり、背圧室Ｈ４の入口側（上流側）に接続される背圧供給通路Ｌ３の開度を背圧制御弁２５０によって調整することで、背圧室Ｈ４へと流入する潤滑油の流量を増減して背圧Ｐｍを調整する。
【００３３】
駆動軸１６６には、その中心軸に沿って貫通する放圧通路Ｌ４が形成され、背圧室Ｈ４は、放圧通路Ｌ４を介して吸入室Ｈ１と連通している。放圧通路Ｌ４の途上には、オリフィスＯＬが配置されている。オリフィスＯＬは、例えば、駆動軸１６６の吸入室Ｈ１側端部に配置されている。背圧室Ｈ４の潤滑油は、オリフィスＯＬにより流量が制限されつつ、吸入室Ｈ１へと排出される。
【００３４】
そして、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍにより、旋回スクロール１２４が固定スクロール１２２に向けて押し付けられる。スクロールユニット１２０の圧縮動作中において、旋回スクロール１２４の底板１２４Ａの背圧室Ｈ４側端面に作用する背圧Ｐｍの合力が底板１２４Ａの圧縮室Ｈ３側端面に作用する圧縮反力より小さい、つまり、背圧不足状態になると、旋回スクロール１２４のラップ１２４Ｂの先端部と固定スクロール１２２の底板１２２Ａとの間に隙間が生じると共に、旋回スクロール１２４の底板１２４Ａと固定スクロール１２２のラップ１２２Ｂの先端部との間に隙間が生じて、圧縮機の体積効率が低下するおそれがある。このため、合力が圧縮反力より大きくなるように、背圧制御弁２５０によって背圧Ｐｍが調整される。
【００３５】
一方、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍによる合力が圧縮反力よりも高すぎる、つまり、背圧過剰状態になると、固定スクロール１２２と旋回スクロール１２４との間の摩擦力が大きくなるため、圧縮機の機械効率が低下する。このため、背圧制御弁２５０は、背圧Ｐｍが目標背圧Ｐｃを超えた場合、背圧過剰状態にならないように、背圧Ｐｍを低下させて目標背圧Ｐｃに近づける。
【００３６】
図２は、スクロール型圧縮機１００における、気体冷媒及び潤滑油の流れを説明するためのブロック図である。
【００３７】
冷媒回路の低圧側からの気体冷媒は、吸入ポートＰ１を介して吸入室Ｈ１に導入され、その後、冷媒導入通路Ｌ１を介してスクロールユニット１２０の外端部付近の空間Ｈ５へと導かれる。そして、空間Ｈ５へと導かれた気体冷媒は、スクロールユニット１２０の圧縮室Ｈ３へと取り込まれ、圧縮室Ｈ３の容積変化によって圧縮される。圧縮室Ｈ３で圧縮された気体冷媒は、吐出通路Ｌ２及び逆止弁２２０を介して吐出室Ｈ２へと吐出され、その後、吐出室Ｈ２から導入ポート１４６Ｃを介してオイルセパレータ２３０へと導かれる。オイルセパレータ２３０で潤滑油が分離された気体冷媒は、吐出ポートＰ２を介して冷媒回路の高圧側へと吐出される。また、オイルセパレータ２３０で分離された潤滑油は、背圧制御弁２５０によって流量が制御されつつ、背圧供給通路Ｌ３を介して背圧室Ｈ４へと供給される。背圧室Ｈ４へと供給された潤滑油は、オリフィスＯＬによって流量が制限されつつ、放圧通路Ｌ４を介して吸入室Ｈ１へと排出される。
【００３８】
ところで、オイルセパレータ２３０によって分離された潤滑油には、例えば、樹脂製のシール部材の摩耗、金属同士の摺動などによって発生するコンタミネーションが含まれている。オイルセパレータ２３０の下流に位置する背圧制御弁２５０にコンタミネーションが導入されると、例えば、背圧制御弁２５０の弁体が円滑に移動できなくなり、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍを目標背圧Ｐｃに調整できなくなってしまうおそれがある。また、オイルセパレータ２３０の下流に位置するオリフィスＯＬにコンタミネーションが導入されると、例えば、潤滑油の流路が閉塞したり狭くなったりして、背圧室Ｈ４から潤滑油を吸入室Ｈ１に排出することが困難となり、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍを目標背圧Ｐｃに調整できなくなってしまうおそれがある。
【００３９】
そこで、背圧制御弁２５０において、潤滑油の入口側に、開孔率及び濾過面積が相互に異なる複数のフィルタを含むフィルタユニットを取り付けることで、潤滑油に含まれるコンタミネーションを除去する。ここで、複数のフィルタのうち濾過面積が最も小さいフィルタは、他のフィルタより開孔率が小さくなっている。
【００４０】
図３及び図４は、背圧制御弁２５０の第１実施形態を示す。
背圧制御弁２５０の潤滑油入口２５０Ａには、その端面から直角に延びる円筒形状の円筒部２５０Ｂが突出形成され、その先端部にフィルタユニット３００が取り付けられる。フィルタユニット３００は、開孔率及び濾過面積が相互に異なる複数のフィルタ、例えば、円板形状の第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０を含んで構成されている。第１のフィルタ３２０は、比較的大きなコンタミネーションを捕捉可能なように、開孔率が比較的大きい（目の粗い）多孔質、ナイロンメッシュなどからなり、円筒部２５０Ｂの先端開口を閉塞可能な濾過面積を有している。また、第２のフィルタ３４０は、微細なコンタミネーションを捕捉可能なように、開孔率が比較的小さい（目の細かい）多孔質、ナイロンメッシュなどからなり、第１のフィルタ３２０より小さな濾過面積を有している。
【００４１】
そして、第１のフィルタ３２０は、背圧制御弁２５０の円筒部２５０Ｂの先端面に取り付けられ、その円筒部２５０Ｂの先端開口を閉塞する。また、第２のフィルタ３４０は、第１のフィルタ３２０の潤滑油流入面に取り付けられる。ここで、第２のフィルタ３４０は、図示の例では、第１のフィルタ３２０と同心に取り付けられているが、第１のフィルタ３２０の中心に対して偏心した位置に取り付けることもできる。従って、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、その板面が背圧制御弁２５０に流入する潤滑油の流通方向に交差（具体的には直交）した状態で、潤滑油の流通方向に沿って積層されている。
【００４２】
背圧制御弁２５０の第１実施形態によれば、潤滑油に含まれる比較的大きなコンタミネーションは、開孔率が大きい第１のフィルタ３２０又は開孔率が小さい第２のフィルタ３４０によって捕捉され、潤滑油に含まれる微細なコンタミネーションは、開孔率が小さい第２のフィルタ３４０によって捕捉される。このとき、開孔率が小さい第２のフィルタ３４０は、開孔率が大きい第１のフィルタ３２０より早期に目詰まりを起こすが、第２のフィルタ３４０の外周に位置する第１のフィルタ３２０によってコンタミネーションが捕捉される。このため、長期間に亘って、フィルタユニット３００の目詰まりを抑制しつつ、コンタミネーションを捕捉することができる。これによって、スクロール型圧縮機１００の耐久性を向上させることもできる。
【００４３】
ここで、背圧制御弁２５０の潤滑油入口２５０Ａの流路面積をＡ、第１のフィルタ３２０の濾過面積をＢ、第２のフィルタ３４０の濾過面積をＣとしたとき、「Ａ＜Ｂ−Ｃ」の関係を有するように、流路面積Ａ、濾過面積Ｂ及びＣを夫々設定することが望ましい。このようにすれば、第２のフィルタ３４０が完全に目詰まりを起こしても、第２のフィルタ３４０の外周に位置する第１のフィルタ３２０によって、背圧制御弁２５０への潤滑油の流量を確保することができる。
【００４４】
図５は、背圧制御弁２５０の第２実施形態を示す。
なお、背圧制御弁２５０の第１実施形態と共通する構成については、重複説明を排除するために、その説明を省略するものとする。必要があれば、第１実施形態の説明を参照されたい。
【００４５】
背圧制御弁２５０の円筒部２５０Ｂの開口端には、軸方向の一端が開口する有底円筒形状のガイド部材３６０が更に取り付けられている。ガイド部材３６０は、その内部空間に第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０が収容されるように、ガイド部材３６０の開口端が、円筒部２５０Ｂの開口端であって第１のフィルタ３２０の外周に固定されている。また、ガイド部材３６０の底壁の中央部であって、第２のフィルタ３４０を臨む位置には、潤滑油導入孔３６０Ａが形成されている。従って、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、軸方向の一端が開口する有底円筒形状をなし、その底壁に潤滑油導入孔３６０Ａが形成されたガイド部材３６０で覆われている。
【００４６】
背圧制御弁２５０の第２実施形態によれば、背圧供給通路Ｌ３を介してオイルセパレータ２３０から供給される潤滑油は、ガイド部材３６０の潤滑油導入孔３６０Ａを通って、開孔率が小さい第２のフィルタ３４０に優先的に供給される。このため、初期摩耗などにより発生し易い微細なコンタミネーションは、第２のフィルタ３４０で捕捉され、開孔率が大きい第１のフィルタ３２０を通過して背圧制御弁２５０の内部へと導入されることが抑制される。なお、他の作用及び効果については、第１実施形態と同様であるため、その説明は省略するものとする。必要があれば、第１実施形態の説明を参照されたい（以下同様）。
【００４７】
図６及び図７は、背圧制御弁２５０の第３実施形態を示す。
フィルタユニット３００は、第１実施形態及び第２実施形態と同様に、開孔率及び濾過面積が相互に異なる複数のフィルタ、例えば、欠円形状の第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０を含んで構成されている。第１のフィルタ３２０は、比較的大きなコンタミネーションを捕捉可能なように、開孔率が比較的大きい（目の粗い）多孔質、ナイロンメッシュなどからなる。また、第２のフィルタ３４０は、微細なコンタミネーションを捕捉可能なように、開孔率が比較的小さい（目の細かい）多孔質、ナイロンメッシュなどからなる。なお、第１のフィルタ３２０の濾過面積Ｂは、背圧制御弁２５０の潤滑油入口２５０Ａの流路面積Ａよりも大きい。
【００４８】
そして、欠円形状の第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、図７に示すように、切欠部同士が連結され、同一面上に位置する円板形状に形成されている。このように形成された第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、一体となって、背圧制御弁２５０の円筒部２５０Ｂの先端面に取り付けられ、その円筒部２５０Ｂの先端開口を閉塞する。従って、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、その板面が背圧制御弁２５０に流入する潤滑油の流通方向に交差（具体的には直交）した状態で、潤滑油の流通方向に交差する横断面上に並んで配置されている。
【００４９】
背圧制御弁２５０の第３実施形態によれば、潤滑油に含まれる比較的大きなコンタミネーションは、開孔率が大きい第１のフィルタ３２０又は開孔率が小さい第２のフィルタ３４０によって捕捉され、潤滑油に含まれる微細なコンタミネーションは、開孔率が小さい第２のフィルタ３４０によって捕捉される。このとき、開孔率が小さい第２のフィルタ３４０は、開孔率が大きい第１のフィルタ３２０より早期に目詰まりを起こすが、同一面上に配置された第１のフィルタ３２０によってコンタミネーションが捕捉される。このため、長期間に亘って、フィルタユニット３００の目詰まりを抑制しつつ、コンタミネーションを捕捉することができる。なお、背圧制御弁２５０の潤滑油入口の流路面積Ａ、第１のフィルタ３２０の濾過面積Ｂ、第２のフィルタ３４０の濾過面積Ｃの関係は、第１実施形態と同様に設定することができる（以下同様）。
【００５０】
図８は、背圧制御弁２５０の第４実施形態を示す。
なお、背圧制御弁２５０の第３実施形態と共通する構成については、重複説明を排除するために、その説明を省略するものとする。必要があれば、第３実施形態の説明を参照されたい。
【００５１】
背圧制御弁２５０の円筒部２５０Ｂの開口端には、軸方向の一端が開口する有底円筒形状のガイド部材３６０が更に取り付けられている。ガイド部材３６０は、その内部空間に第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０が収容されるように、ガイド部材３６０の開口端が、円筒部２５０Ｂの開口端であって、一体化された第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０の外周に固定されている。また、ガイド部材３６０の円筒形状の周壁であって、開孔率が小さい第２のフィルタ３４０を臨む位置には、潤滑油導入孔３６０Ａが形成されている。従って、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、軸方向の一端が開口する有底円筒形状をなし、その底壁に潤滑油導入孔３６０Ａが形成されたガイド部材３６０で覆われている。なお、第４実施形態の作用及び効果は、第２実施形態と同様であるため、その説明を省略する。
【００５２】
図９は、背圧制御弁２５０の第５実施形態を示す。
フィルタユニット３００は、第１実施形態〜第４実施形態と同様に、開孔率及び濾過面積が相互に異なる複数のフィルタ、例えば、円板形状の第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０を含んで構成されている。第１のフィルタ３２０は、比較的大きなコンタミネーションを捕捉可能なように、開孔率が比較的大きい（目の粗い）多孔質、ナイロンメッシュなどからなり、円筒部２５０Ｂの先端開口を閉塞可能な濾過面積を有している。また、第２のフィルタ３４０は、微細なコンタミネーションを捕捉可能なように、開孔率が比較的小さい（目の細かい）多孔質、ナイロンメッシュなどからなり、第１のフィルタ３２０より小さい濾過面積を有している。さらに、第１のフィルタ３２０の潤滑油流出面、即ち、背圧制御弁２５０の内部を臨む面の中心部には、第２のフィルタ３４０の外径及び厚さに応じた円柱形状の凹部３２０Ａが形成され、ここに第２のフィルタ３４０が嵌合して一体化されている。
【００５３】
そして、一体化された第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、第２のフィルタ３４０が背圧制御弁２５０の内部を臨むように、背圧制御弁２５０の円筒部２５０Ｂの先端面に取り付けられ、その円筒部２５０Ｂの先端開口を閉塞する。従って、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、その板面が背圧制御弁２５０に流入する潤滑油の流通方向に交差（具体的には直交）した状態で、潤滑油の流通方向に沿って積層されている。なお、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、第２のフィルタ３４０が背圧制御弁２５０の外方を臨むように、背圧制御弁２５０の円筒部２５０Ｂの先端面に取り付けることもできる。
【００５４】
背圧制御弁２５０の第５実施形態の作用及び効果は、第１実施形態の作用及び効果と同様であるため、重複説明を排除するために、その説明を省略する。必要があれば、第１実施形態の説明を参照されたい。なお、背圧制御弁２５０の第５実施形態において、第２実施形態と同様に、背圧制御弁２５０の円筒部２５０Ｂの先端面にガイド部材３６０を取り付けることもできる。
【００５５】
図１０は、背圧制御弁２５０の第６実施形態を示す。
フィルタユニット３００は、第１実施形態〜第５実施形態と同様に、開孔率及び濾過面積が相互に異なる複数のフィルタ、例えば、軸方向の一端が開口する有底円筒形状の第１のフィルタ３２０と、円板形状の第２のフィルタ３４０と、を含んで構成されている。第１のフィルタ３２０は、比較的大きなコンタミネーションを捕捉可能なように、開孔率が比較的大きい（目の粗い）多孔質、ナイロンメッシュなどからなり、その周壁の一端によって円筒部２５０Ｂの先端開口を閉塞可能な濾過面積を有している。また、第２のフィルタ３４０は、微細なコンタミネーションを捕捉可能なように、開孔率が比較的小さい（目の細かい）多孔質、ナイロンメッシュなどからなり、第１のフィルタ３２０より小さい濾過面積を有している。
【００５６】
そして、第１のフィルタ３２０は、その開口端面が背圧制御弁２５０の円筒部２５０Ｂの先端面に取り付けられ、その円筒部２５０Ｂの先端開口を閉塞する。また、第２のフィルタ３４０は、公知の手段を介して、円筒部２５０Ｂの開口中央部に取り付けられている。ここで、第２のフィルタ３４０は、図示の例では、第１のフィルタ３２０の底壁と同心に取り付けられているが、第１のフィルタ３２０の底壁の中心に対して偏心した位置に取り付けることもできる。従って、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、その板面が背圧制御弁２５０に流入する潤滑油の流通方向に交差（具体的には直交）した状態で、潤滑油の流通方向に沿って積層されている。
【００５７】
背圧制御弁２５０の第６実施形態の作用及び効果は、第１実施形態の作用及び効果と同様であるため、重複説明を排除するために、その説明を省略する。必要があれば、第１実施形態の説明を参照されたい。なお、背圧制御弁２５０の第６実施形態において、第２実施形態と同様に、背圧制御弁２５０の円筒部２５０Ｂの先端面にガイド部材３６０を取り付けることもできる。
【００５８】
背圧制御弁２５０としては、軸方向の一端面に潤滑油の入口がある制御弁に限らず、図１１に示すように、周面に潤滑油の入口がある制御弁であってもよい。なお、以下の説明においては、上記背圧制御弁２５０との混同を回避するため、図中の符号を変えて、背圧制御弁４００と称することとする。
【００５９】
背圧制御弁４００は、段付円柱形状の外形をなすバルブハウジング４１０と、バルブハウジング４１０に内挿されるバルブユニット４２０と、バルブユニット４２０を閉弁方向に付勢するベローズ組立体４３０と、を有している。
【００６０】
バルブハウジング４１０の大径部には、その小径部から離れる方向に沿って、円柱形状をなす吐出圧導入室Ｈ６及び第１感圧室Ｈ７、並びに、段付円柱形状をなす第２感圧室Ｈ８が夫々形成されている。吐出圧導入室Ｈ６は、バルブハウジング４１０の大径部の周壁に形成された複数の第１連通孔４１０Ａを介して、吐出室Ｈ２側の背圧供給通路Ｌ３に接続されている。第１感圧室Ｈ７は、バルブハウジング４１０の大径部の周壁に形成された複数の第２連通孔４１０Ｂを介して、背圧室Ｈ４側の背圧供給通路Ｌ３に接続されている。第２感圧室Ｈ８は、バルブハウジング４１０の大径部の周壁に形成された第３連通孔４１０Ｃを介して、吸入室Ｈ１の吸入圧Ｐｓを感知する圧力感知通路Ｌ５に接続されている。
【００６１】
また、バルブハウジング４１０の小径部には、円柱形状をなすバルブ背圧室Ｈ９が形成されている。バルブ背圧室Ｈ９は、バルブハウジング４１０の小径部の先端に形成された第４連通孔４１０Ｄを介して、圧力感知通路Ｌ５から分岐した圧力感知分岐通路Ｌ５Ａに接続されている。
【００６２】
バルブユニット４２０は、円柱形状をなす弁軸４２２と、円板形状をなす弁体４２４と、を有している。弁体４２４は、弁軸４２２に対して一体化されている。
【００６３】
バルブハウジング４１０の横断面の中央部には、バルブユニット４２０の弁体４２４が第１感圧室Ｈ７に位置する状態で、バルブユニット４２０が軸方向に往復動可能に配置されている。また、バルブハウジング４１０の吐出圧導入室Ｈ６と第１感圧室Ｈ７との隔壁には、バルブユニット４２０の弁軸４２２の外径より大きい内径を有する、第５連通孔４１０Ｅが形成されている。従って、バルブユニット４２０が閉弁位置から開弁方向へと移動すると、隔壁と弁体４２４との間隔が変化し、第５連通孔４１０Ｅを介して、吐出圧導入室Ｈ６から第１感圧室Ｈ７へと減圧しつつ供給される、背圧調整用の潤滑油の流量を変化させることができる。
【００６４】
第２感圧室Ｈ８には、バルブユニット４２０の弁軸４２２を介して、その弁体４２４を閉弁方向に付勢するベローズ組立体４３０が配置されている。ベローズ組立体４３０は、軸方向に伸縮可能なベローズ４３２と、ベローズ４３２の内部に収容されるコイルばね４３４と、ベローズ４３２の開口を閉塞しつつ第２感圧室Ｈ８の小径部に嵌合するキャップ４３６と、を有している。そして、ベローズ４３２の上面中央部に形成された凹部４３２Ａに対して、バルブユニット４２０の弁軸４２２の一端部が接離可能に嵌合されている。
【００６５】
バルブ背圧室Ｈ９には、バルブユニット４２０の弁軸４２２を介して、弁体４２４を開弁方向に付勢するコイルばね４４０が配置されている。
なお、吸入室Ｈ１及び吐出室Ｈ２が、制御対象空間の外部の一例として挙げられる。
【００６６】
ここで、かかる背圧制御弁４００による背圧Ｐｍの調整動作について説明する。
平衡状態から吐出圧Ｐｄが上昇すると、第５連通孔４１０Ｅを介して弁体４２４が吐出圧Ｐｄから受ける力が増加し、弁体４２４、ベローズ組立体４３０及びコイルばね４４０に作用する力の合力が図中下方へと向かい、バルブユニット４２０を開弁方向へと移動させる。バルブユニット４２０が開弁方向に移動すると、背圧供給通路Ｌ３の開度が大きくなり、第５連通孔４１０Ｅを介して吐出圧導入室Ｈ６から第１感圧室Ｈ７へと供給される潤滑油の流量が増加する。そして、背圧供給通路Ｌ３を介して背圧室Ｈ４へと供給される潤滑油の流量が増加し、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍが上昇する。
【００６７】
一方、平衡状態から吐出圧Ｐｄが低下すると、第５連通孔４１０Ｅを介して弁体４２４が吐出圧Ｐｄから受ける力が減少し、ベローズ組立体４３０のコイルばね４３４の付勢力によってバルブユニット４２０が閉弁方向へ移動する。このため、背圧供給通路Ｌ３の開度が小さくなり、背圧供給通路Ｌ３を介して背圧室Ｈ４へと供給される潤滑油の流量が減少し、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍが低下する。
【００６８】
平衡状態から吸入圧Ｐｓが上昇すると、ベローズ組立体４３０及びバルブユニット４２０の弁軸４２２が吸入圧Ｐｓから受ける力が増加し、弁体４２４、ベローズ組立体４３０及びコイルばね４４０に作用する力の合力が図中下方へと向かい、バルブユニット４２０を開弁方向へと移動させる。バルブユニット４２０が開弁方向に移動すると、背圧供給通路Ｌ３の開度が大きくなり、第５連通孔４１０Ｅを介して吐出圧導入室Ｈ６から第１感圧室Ｈ７へと供給される潤滑油の流量が増加する。そして、背圧供給通路Ｌ３を介して背圧室Ｈ４へと供給される潤滑油の流量が増加し、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍが上昇する。
【００６９】
一方、平衡状態から吸入圧Ｐｓが低下すると、ベローズ組立体４３０及びバルブユニット４２０の弁軸４２２が吸入圧Ｐｓから受ける力が減少し、ベローズ組立体４３０のコイルばね４３４の付勢力によってバルブユニット４２０が閉弁方向へ移動する。このため、背圧供給通路Ｌ３の開度が小さくなり、背圧供給通路Ｌ３を介して背圧室Ｈ４へと供給される潤滑油の流量が減少し、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍが低下する。
【００７０】
平衡状態から背圧Ｐｍが上昇すると、弁体４２４が背圧Ｐｍから受ける力が増加し、弁体４２４、ベローズ組立体４３０及びコイルばね４４０に作用する力の合力が図中上方へと向かい、バルブユニット４２０を閉弁方向へと移動させる。バルブユニット４２０が閉弁方向に移動すると、背圧供給通路Ｌ３の開度が小さくなり、第５連通孔４１０Ｅを介して吐出圧導入室Ｈ６から第１感圧室Ｈ７へと供給される潤滑油の流量が減少する。そして、背圧供給通路Ｌ３を介して背圧室Ｈ４へと供給される潤滑油の流量が減少し、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍが低下する。
【００７１】
一方、平衡状態から背圧Ｐｍが低下すると、弁体４２４が背圧Ｐｍから受ける力が減少し、コイルばね４４０の付勢力によってバルブユニット４２０が開弁方向へ移動する。このため、背圧供給通路Ｌ３の開度が大きくなり、背圧供給通路Ｌ３を介して背圧室Ｈ４へと供給される潤滑油の流量が増加し、背圧室Ｈ４の背圧Ｐｍが上昇する。
【００７２】
かかる背圧制御弁４００においては、コンタミネーションの導入を抑制するフィルタユニット３００は、バルブハウジング４１０の第１連通孔４１０Ａ（潤滑油入口）を覆うように配設される。フィルタユニット３００は、図１２に示すように、円弧形状の第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０を一体化した円環形状をなし、バルブハウジング４１０の大径部の外周面に密着するように取り付けられる。この場合、第１のフィルタ３２０は、第２のフィルタ３４０よりも多くの第１連通孔４１０Ａを覆う大きさに形成されている。このような背圧制御弁４００の作用及び効果は、図３〜図１０に示す背圧制御弁２５０と同様であるため、その説明は省略する。必要があれば、図３〜図１０に関連する説明を参照されたい。
【００７３】
なお、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０を含むフィルタユニット３００に対して、例えば、内周面のみが開口する円環形状のガイド部材を更に取り付け、その外周面に形成された第２のフィルタ３４０を臨む潤滑油導入孔によって、第２のフィルタ３４０に優先的に潤滑油を供給することもできる。また、フィルタユニット３００は、円環形状をなす構成に限らず、例えば、バルブハウジング４１０の各第１連通孔４１０Ａを個別に覆う第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０であってもよい。
【００７４】
以上、本発明を実施するための実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、下記に一例を列挙するように、技術的思想に基づいて種々の変形及び変更が可能である。
【００７５】
フィルタユニット３００は、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０に限らず、３つ以上のフィルタを含んで構成することもできる。また、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、円板形状、欠円形状、円弧形状に限らず、例えば、楕円形状、三角形状、矩形形状、多角形状などの任意の形状を有することもできる。さらに、第１のフィルタ３２０及び第２のフィルタ３４０は、別部材であってもよく、同一部材状に形成されていてもよい。その他、背圧制御弁２５０の潤滑油入口２５０Ａの流路面積Ａ、第１のフィルタ３２０の濾過面積Ｂ及び第２のフィルタ３４０の濾過面積Ｃの大小関係は適宜設定可能である。
【００７６】
流体制御弁を備える圧縮機は、スクロール型圧縮機１００に限らず、例えば、遠心式圧縮機、軸流式圧縮機などのターボ圧縮機、往復圧縮機、斜板式圧縮機、ダイアフラム圧縮機、ツインスクリュー圧縮機、シングルスクリュー圧縮機、ロータリー圧縮機、ロータリーピストン型圧縮機、スライドベーン型圧縮機などの容積圧縮機などであってもよい。
【符号の説明】
【００７７】
１００  スクロール型圧縮機（圧縮機）
１２０  スクロールユニット
１２２  固定スクロール
１２４  旋回スクロール
２５０  背圧制御弁（流体制御弁）
３００  フィルタユニット
３２０  第１のフィルタ
３４０  第２のフィルタ
３６０  ガイド部材
３６０Ａ  潤滑油導入孔
４００  背圧制御弁（流体制御弁）
Ｈ１  吸入室（制御対象空間の外部）
Ｈ２  吐出室（制御対象空間の外部）
Ｈ４  背圧室（制御対象空間）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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