(57)【要約】【課題】矩形ワークの傾きを防止しながら矩形ワークの上面を良好に研削すること。【解決手段】矩形ワークの研削方法は、矩形ワーク（Ｗ）を挟む少なくとも２つのポーラス部材（１５ａ、１５ｂ）と、矩形ワークと少なくとも２つのポーラス部材とを支持する支持板（２１）とを備え、少なくとも２つのポーラス部材と矩形ワークとを接着剤（１８）で支持板に接着して矩形ワークを支持板の上に立設させるワーク固定工程と、支持板を保持テーブル（３１）に保持させ矩形ワークの上面（１１）を研削砥石（４８）で研削する研削工程と、を備える構成にした。矩形ワークを挟む部材をポーラス部材とするため、軽量化することができる。この軽量化により、保持テーブルを回転したときの２つのポーラス部材に加わる遠心力を小さくすることができるため、２つのポーラス部材が傾けられることを防止できる。【選択図】図１
2018001355.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形ワークの研削方法であって、
矩形ワークを挟む少なくとも２つのポーラス部材と、矩形ワークと該少なくとも２つのポーラス部材とを支持する支持板とを備え、
該少なくとも２つのポーラス部材と矩形ワークとを接着剤で該支持板に接着して矩形ワークを該支持板の上に立設させるワーク固定工程と、
該支持板を保持テーブルに保持させ矩形ワークの上面を研削砥石で研削する研削工程と、を備える矩形ワークの研削方法。
【請求項２】
該ワーク固定工程は、
該支持板に該少なくとも２つのポーラス部材と矩形ワークとを接着する該接着剤を加温して軟化する軟化工程と、
該軟化工程の後、矩形ワークを交換する交換工程と、
該交換工程の後、該接着剤を冷却して固める硬化工程と、を備える請求項１記載の矩形ワークの研削方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの側面を研削する矩形ワークの研削方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
研削装置では、保持テーブルの上方に研削砥石が備えられ、保持テーブルが回転するとともに、研削砥石が回転しながら保持テーブルに保持されたワークに接触してワークが研削される（例えば、特許文献１参照）。メモリとしての矩形ワークの側面（上面）を研削する場合においては、矩形ワークは立設されて研削される。このため、矩形ワークを立設させるための専用の治具が用意される。治具には矩形ワークに対応した凹部が形成され、凹部に矩形ワークを差し込んで治具表面に対して矩形ワークを立設させた状態で矩形ワークの上面が研削される。治具を用いて矩形ワークが立設される場合、サイズが異なる矩形ワークを研削する際にはサイズに応じて治具を用意する必要があるので、治具の保管、交換が面倒である。
【０００３】
そのため、治具を用いないで矩形ワークを立設させたい。治具を用いないで矩形ワークを立設させて上面を研削する研削方法としては、矩形ワークの下部を支持板に接着剤で接着して、支持板を介して矩形ワークを保持テーブルに保持し、矩形ワークの上面を研削する方法が考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−５４９２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、矩形ワークの下部のみが支持板に接着されているため、研削砥石の接触による負荷や保持テーブルの回転による遠心力により、回転の中心軸に対して平行に矩形ワークが立設せずに傾けられた状態で矩形ワークの上面が研削されてしまうという問題がある。
【０００６】
また、矩形ワークを２つの部材で挟み２つの部材の下部を支持板に接着剤で接着して、矩形ワークを立設させて上面を研削する方法が考えられる。この場合、矩形ワークを仕上げ高さに研削できるように、２つの部材の高さは矩形ワークの仕上げ高さよりも低くされている。しかしながら、保持テーブルの回転により２つの部材に加わる遠心力が大きくなると、２つの部材は矩形ワークを支えきれず、矩形ワークが傾けられてしまい、研削不良が生じる問題がある。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、矩形ワークの傾きを防止しながら矩形ワークの上面を良好に研削できる矩形ワークの研削方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の矩形ワークの研削方法は、矩形ワークの研削方法であって、矩形ワークを挟む少なくとも２つのポーラス部材と、矩形ワークと少なくとも２つのポーラス部材とを支持する支持板とを備え、少なくとも２つのポーラス部材と矩形ワークとを接着剤で支持板に接着して矩形ワークを支持板の上に立設させるワーク固定工程と、支持板を保持テーブルに保持させ矩形ワークの上面を研削砥石で研削する研削工程と、を備える。
【０００９】
この構成によれば、矩形ワークを挟む部材をポーラス部材とするため、軽量化することができる。この軽量化により、保持テーブルを回転したときの２つのポーラス部材に加わる遠心力を小さくすることができるため、２つのポーラス部材が傾けられることを防止できる。これにより、矩形ワークが傾くことを防止した状態で、矩形ワークの上面を良好に研削することができる。
【００１０】
本発明の矩形ワークの研削方法においては、ワーク固定工程は、支持板に少なくとも２つのポーラス部材と矩形ワークとを接着する接着剤を加温して軟化する軟化工程と、軟化工程の後、矩形ワークを交換する交換工程と、交換工程の後、接着剤を冷却して固める硬化工程と、を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、矩形ワークの傾きを防止しながら矩形ワークの上面を良好に研削できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態に係る研削方法に用いる研削装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態に係るワーク固定工程の説明図である。
【図３】本実施の形態に係るワーク固定工程の説明図である。
【図４】本実施の形態に係る研削工程の説明図である。
【図５】本実施の形態に係る研削工程における加工の流れの説明図である。
【図６】本実施の形態に係る研削工程における加工の流れの説明図である。
【図７】本実施の形態に係る他の例の研削工程における加工の流れの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係る矩形ワークの研削方法について説明する。本実施の形態に係る矩形ワークは、例えばメモリ等に使用されるシリコンカーバイドの矩形チップである。
【００１４】
まず、本実施の形態に係る矩形ワークの研削方法に用いる研削装置について説明する。図１は、本実施の形態に係る研削方法に用いる研削装置の斜視図である。図１に示すように、研削装置にて研削される矩形ワークＷは、所定の厚みを持った板状に形成されている。矩形ワークＷは、厚さ方向両側に表裏面を形成する一対の主面を備えている。これら主面は、矩形状に形成され、一対の主面の各辺を結ぶ位置に４つの側面が形成される。本実施の形態の研削方法では、１つの側面が上面１１として上向きに配置されて研削される。
【００１５】
研削装置には保持テーブル３１が設けられている。保持テーブル３１の下方には、保持テーブル３１を回転させる回転手段（不図示）が設けられている。保持テーブル３１の表面には、多孔質のポーラス材によって支持板２１を吸着する保持面３３が形成されている。保持面３３は、保持テーブル３１内の流路を通じて吸引源（不図示）に接続されており、保持面３３に生じる負圧によって円板からなる支持板２１が吸引保持される。
【００１６】
保持テーブル３１の上方に配置される研削手段４１は、モータ等を含むスピンドル４３の下端にマウント４４を設けて構成されている。マウント４４の下面には、ホイール基台４７に複数の研削砥石４８が真円の環状に配設された研削ホイール４６が回転可能に装着されている。研削ホイール４６は、スピンドル４３の駆動によって回転される。複数の研削砥石４８は、例えば、ダイヤモンド砥粒をメタルボンド等のボンド剤で固めたセグメント砥石で構成される。研削砥石４８により、保持テーブル３１に保持された支持板２１上の矩形ワークＷを研削する。
【００１７】
保持テーブル３１の回転軸と研削ホイール４６の回転軸は、間隔を開けて配置されている。支持板２１上で一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂに挟まれて立設された矩形ワークＷが保持テーブル３１の回転により回転し、回転する研削ホイール４６が矩形ワークＷの上面１１に近付けられる。そして、研削砥石４８が矩形ワークＷの上面１１を接触しながら通過することで矩形ワークＷの上面１１が研削される。
【００１８】
ここで、支持板２１において矩形ワークＷを立設させる手順ついて以下に説明する。矩形ワークＷは、支持板２１の外周側にて周方向に略９０°間隔となる４か所に配置されている（図１では１か所不図示）。矩形ワークＷは、上面視したときに、上面１１の長辺中央部が支持板２１の直径位置を通過し、且つ、支持板２１の径方向と上面１１の長辺とが直交する向きに配置されている。言い換えると、矩形ワークＷは保持テーブル３１の回転によって円周方向に回転され、その円周の接線方向に対して上面１１の長辺が平行になる向きに配置されている。
【００１９】
一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂは、それぞれ略同一の方形状をなす板体であり、支持板２１に対して垂直に起立した状態で配置される。また、ポーラス部材１５ａ、１５ｂは、上述した矩形ワークＷと同じ向きに配置され、矩形ワークＷの厚みと略同じ間隔をあけて平行に配置されている。一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂは接着剤１８により支持板２１に支持されている。
【００２０】
矩形ワークＷは、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの間に配置される。矩形ワークＷは、下面が接着剤１８により支持板２１に接着されると共に、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂによって挟持される。これにより矩形ワークＷは、その主面が保持テーブル３１の回転中心軸に対して平行であり、支持板２１の上で垂直になるように立設される。
【００２１】
ここで、支持板２１を上面視したときに、矩形ワークを挟む一対の部材の長辺が支持板２１の径方向に対して直交する方向に向けられて並設されている場合、一対の部材は保持テーブルの回転による遠心力を受けて倒れ易くなる。一対の部材が倒れると、一対の部材に挟まれる矩形ワークＷも垂直に立設せずに傾けられ、保持テーブル上で矩形ワークＷが傾いた状態で研削されるため、研削不良を生じる。本実施の形態においては、矩形ワークＷを挟む部材の材質をポーラスとすることにより、軽量化を図ることができる。これにより、保持テーブル３１の回転によって一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂに加わる遠心力を小さくすることができるため、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂが傾けられることを防止できる。よって、矩形ワークＷが傾くことを防止した状態で、矩形ワークＷの上面１１を良好に研削することができる。
【００２２】
次に、図２から図４を参照して、本実施の形態に係る矩形ワークの研削方法について詳細に説明する。本実施の形態に係る矩形ワークの研削方法は、ワーク固定工程、研削工程を含む。図２及び図３は、本実施の形態に係るワーク固定工程の説明図である。図４は、本実施の形態に係る研削工程の説明図である。
【００２３】
まず、本実施の形態に係るワーク固定工程について説明する。図２Ａに示すように、本実施の形態に係るワーク固定工程では、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂは、支持板２１の外周側にて周方向に略９０°間隔となる４か所に矩形ワークＷの厚みと略同じ間隔をあけて配置される。一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂは長辺中央部が支持板２１の直径位置を通過し、且つ、支持板２１の径方向と長辺とが直交する向きに平行となるように並べられる。一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの下部は、接着剤１８により支持板２１に接着される。矩形ワークＷは、接着された一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの間に配置される。
【００２４】
次に、図２Ｂに示すように、矩形ワークＷは一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂに挟持され、矩形ワークＷの下面は接着剤１８により支持板２１に接着される。これにより矩形ワークＷは、支持板２１上に支持される。矩形ワークＷとポーラス部材１５ａ、１５ｂとを支持する支持板２１は、後述する研削工程において保持テーブル３１に保持されて矩形ワークＷが研削される。
【００２５】
次に図３Ａから図３Ｃを用いて、ワーク固定工程について詳細に説明する。ワーク固定工程では、軟化工程、交換工程、硬化工程の順に実施する。
【００２６】
まず、本実施の形態に係るワーク固定工程の軟化工程について説明する。図３Ａは、軟化工程の説明図である。なお、説明の便宜上、支持板２１が保持テーブル３１に保持されている状態で軟化工程が行われる場合について説明するが、支持板２１は後述する研削工程において保持テーブル３１に保持されてもよい。
【００２７】
図３Ａに示すように、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの底面１６ａ、１６ｂはそれぞれ傾斜している。その傾斜方向は、それぞれ外側に向かうに従って、支持板２１の上面２３との間隔が広がる方向となる。一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂは接着剤１８により支持板２１に接着され、接着剤１８はポーラス部材１５ａ、１５ｂの底面１６ａ、１６ｂと支持板２１の上面２３に形成された間隔に入り込むようにしてポーラス部材１５ａ、１５ｂを支持板２１上に支持する。矩形ワークＷ及び一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの上方には送風機５１が備えられている。送風機５１にはヒーター５２が内蔵されており、ヒーター５２のオン、オフにより送風機５１から送風される冷風と温風が切り替わるように構成されている。
【００２８】
軟化工程においては、ヒーター５２をオンにして送風機５１から接着剤１８に向かって温風を吹きかけることにより、接着剤１８は加温されて軟化される。一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの底面１６ａ、１６ｂは上記のように傾斜しているため、接着剤１８が軟化すると一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂはそれぞれ外側に向かって傾き易い。これにより、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの上端間が広がって、それらの間に矩形ワークＷが入れ易くなる。
【００２９】
次に本実施の形態に係る交換工程について説明する。図３Ｂは、交換工程の説明図である。図３Ｂに示すように、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの上端側はそれぞれ、外側に向かって傾いている。この状態で、矩形ワークＷは一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの間に配置される。先行して研削された矩形ワークＷがある場合は、先行の矩形ワークＷが後行の矩形ワークＷと交換される。
【００３０】
次に本実施の形態に係る硬化工程について説明する。図３Ｃは、硬化工程の説明図である。図３Ｃに示すように、硬化工程を行う前は軟化工程の加温で接着剤１８は軟化されており、それぞれ外側に向かって傾けられた一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの間には矩形ワークＷが配置されている。硬化工程では、オペレータが一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂを外側に傾いた状態からそれぞれ内側に向かって戻すことで、矩形ワークＷは一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂに挟持される。またこの際、オペレータは一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂが矩形ワークＷの厚みに応じた位置に配置されるように微調節することができる。なお、矩形ワークＷの下面は接着剤１８により支持板２１に接着される。
【００３１】
硬化工程においては、ヒーター５２をオフにして送風機５１から接着剤１８に向かって冷風を吹きかけることにより、接着剤１８は冷却されて固められる。接着剤１８は、ポーラス部材１５ａ、１５ｂの底面１６ａ、１６ｂと支持板２１との上面２３に形成された間隔に入り込むようにしてポーラス部材１５ａ、１５ｂと矩形ワークＷとを支持板２１上に支持する。これにより矩形ワークＷは、その主面が保持テーブル３１の回転中心軸に対して平行であり、支持板２１の上で垂直になるように立設される。矩形ワークＷは、下面が接着剤１８で支持板２１に接着される他に、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂで挟持されることによって支持板２１上に支持されるため、矩形ワークＷを支持板２１上に支持するための接着剤１８の量を減らすことができる。接着剤としては、加温で軟化、冷却で固化するものであれば特に限定されないが、融点が７０℃以上のものが好ましく、アドフィックス、シフトワックス等のワックスが挙げられる。
【００３２】
このように、接着剤１８が軟化することにより一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂがそれぞれ外側に傾くことで、矩形ワークＷを交換することができる。そして、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂを後行の矩形ワークＷの厚みに応じた位置に配置し、それぞれ内側に戻した状態で接着剤１８が硬化されることにより、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂは後行の矩形ワークＷの厚みに応じて矩形ワークＷを支持することができる。このため、矩形ワークＷの交換の度に矩形ワークＷのサイズに合う治具を準備する必要がない。
【００３３】
次に本実施の形態に係る研削工程について説明する。図４に示すように、矩形ワークＷは、接着剤１８による接着及びポーラス部材１５ａ、１５ｂの挟持により支持板２１上に立設されている。そして、支持板２１が保持テーブル３１に吸引保持されることにより矩形ワークＷが保持テーブル３１に保持される。保持テーブル３１の上方には、研削手段４１が配置されている。矩形ワークＷは保持テーブル３１の回転により回転し、回転する研削ホイール４６が矩形ワークＷの上面１１に近付けられる。そして、研削砥石４８が矩形ワークＷの上面１１に接触して通過することで矩形ワークＷの上面１１が円弧状に研削される。
【００３４】
研削工程において保持テーブル３１が回転すると、ポーラス部材１５ａ、１５ｂには径方向外側に向かって遠心力が掛かり傾こうとする。本実施の形態においては、矩形ワークＷを挟む部材（ポーラス部材１５ａ、１５ｂ）の材質をポーラスとすることにより、軽量化を図っている。これにより、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂに加わる遠心力を小さくすることができ、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂが遠心力によって傾けられることが防止できる。よって、矩形ワークＷが支持板２１上に垂直に立設された状態が維持され、矩形ワークＷの上面１１を良好に研削することができる。
【００３５】
次に、研削砥石４８により矩形ワークＷの上面１１が研削される様子について説明する。図５及び図６は、本実施の形態に係る研削工程における加工の流れの説明図である。図５及び図６において、矩形ワークの符号は、保持テーブル３１の回転において順にＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄを付し、それぞれの上面において１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄを付す。
【００３６】
図５Ａに示すように、矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄは、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂで挟持されて支持板２１上の外周側に立設されている。支持板２１の上方には研削手段４１における研削砥石４８が配置され、研削砥石４８の回転軸と保持テーブル３１の回転軸は、研削砥石４８が支持板２１の回転中心を通るように間隔を開けて配置されている。支持板２１を介して保持テーブル３１に保持された矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄは保持テーブル３１の回転により回転する。研削砥石４８の下側に矩形ワークＷａが位置付けられ、回転する研削砥石４８が矩形ワークＷａの上面に近付けられることで矩形ワークＷａの上面１１ａが削られる。
【００３７】
このとき、保持テーブル３１の回転方向に対して先行する矩形ワークＷｂは研削砥石４８の内側に位置し、矩形ワークＷｃ、Ｗｄは研削砥石４８の外側に位置する。矩形ワークＷｂ、Ｗｃ、Ｗｄの上面１１ｂ、１１ｃ、１１ｄは、研削砥石４８が通過しないため削られない。
【００３８】
矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄ及び一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂは、保持テーブル３１の回転により径方向外側に向かって遠心力を受ける。本実施の形態においては、矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄを挟む部材の材質をポーラスとすることにより軽量化を図り、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂに加わる遠心力を小さくしている。これにより、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂが遠心力によって傾けられることを防止できるため、矩形ワークＷａ（Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄ）が傾くことを防止した状態で、矩形ワークＷａ（Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄ）の上面１１ａ（１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ）を良好に研削することができる。
【００３９】
図５Ｂに示すように、矩形ワークＷａは、保持テーブル３１の回転により研削砥石４８の内側に向かって移動する。回転する研削砥石４８が矩形ワークＷａの上面１１ａを通過することで、矩形ワークＷａの上面１１ａが研削砥石４８の形状に沿って円弧状に削られていく。このとき、先行する矩形ワークＷｂは研削砥石４８の内側に位置しており、矩形ワークＷｂの上面１１ｂは研削砥石４８により削られない。
【００４０】
図５Ｃ及び５Ｄに示すように、矩形ワークＷａは、保持テーブル３１の回転により研削砥石４８の内側に向かって進んでいく。研削砥石４８が矩形ワークＷａの上面１１ａを通過することで、矩形ワークＷａの上面１１ａが削られ、研削痕６１ａが形成される。
【００４１】
図５Ｅに示すように、矩形ワークＷａは、保持テーブル３１の回転によりさらに研削砥石４８の内側に向かって移動する。研削砥石４８が矩形ワークＷａの上面１１ａを全面に亘って通過することで、矩形ワークＷａの上面１１ａの全面に円弧状の研削痕６１ａが形成される。このとき、研削砥石４８に先行する矩形ワークＷｂの上面１１ｂが近付けられることで、矩形ワークＷｂの上面１１ｂが削られる。
【００４２】
図５Ｆ及び５Ｇに示すように、矩形ワークＷａは研削砥石４８の内側に位置すると、矩形ワークＷａの上面１１ａは研削砥石４８が通過しないため削られない。このとき、矩形ワークＷｂは、保持テーブル３１の回転により研削砥石４８の外側に向かって移動する。研削砥石４８が矩形ワークＷｂの上面１１ｂを通過することで、矩形ワークＷｂの上面１１ｂが研削砥石４８の形状に沿って円弧状に削られていく。
【００４３】
図５Ｈに示すように、保持テーブル３１の回転により研削砥石４８が矩形ワークＷｂの上面１１ｂを全面に亘って通過することで、矩形ワークＷｂの上面１１ｂの全面に研削痕６１ｂが形成される。
【００４４】
図６Ａに示すように、矩形ワークＷａは、保持テーブル３１の回転により、研削砥石４８の外側に向かって移動し、再び研削砥石４８の下側に位置付けられる。矩形ワークＷａの上面１１ａが研削砥石４８に削られ、研削痕６１ａが形成されている上面１１ａに研削痕６１ｂが形成されていく。このとき、先行する矩形ワークＷｂは研削砥石４８の外側に位置しており、矩形ワークＷｂの上面１１ｂは研削砥石４８により削られない。
【００４５】
図６Ｂは、図６Ａにおける矩形ワークＷａの拡大図である。矩形ワークＷａの上面１１ａの研削砥石４８の内側に位置する部分には、矩形ワークＷａが研削砥石４８の内側に向かって移動する際に形成された研削痕６１ａが残っている。矩形ワークＷａの上面１１ａの研削砥石４８の外側に位置する部分には、矩形ワークＷｂが研削砥石４８の外側に向かって移動する際に形成された研削痕６１ｂが生じている。研削痕は研削砥石４８の形状に沿って形成されるため、研削痕６１ｂは、研削痕６１ａとは円弧の形成の向きが逆になっている。このように、矩形ワークＷａの上面１１ａにおいては、研削痕６１ａが形成された後に研削痕６１ｂが形成される。研削痕６１ａの上に研削痕６１ｂが形成されることで、矩形ワークＷａの上面１１ａに研削痕が残ることを抑えることができる。
【００４６】
また、矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄは、支持板２１の径方向に対して直交する向きに長辺が配置されているため、保持テーブル３１の回転により矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄは研削中に長手方向に送られて削られていく。このため、研削砥石４８の矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄの上面１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄに対する接触面の幅は矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄの短辺の幅と略等しくなる。これに対し、矩形ワークＷが研削砥石４８に対して短手方向に送られて削られていく場合は、研削砥石４８の矩形ワークＷに対する接触面の幅は矩形ワークＷの長辺の幅と略等しくなる（図７参照）。図５に示すように、矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄが支持板２１の径方向に対して直交する向きに長辺が配置されることで、研削砥石４８が矩形ワークＷａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄに接触する接触面の面積を小さくすることができる。これにより、研削砥石４８の研削による消耗を小さくすることができる。
【００４７】
以上のように、本実施の形態に係る矩形ワークの研削方法では、矩形ワークＷを挟む部材をポーラス部材１５ａ、１５ｂとするため、軽量化することができる。ポーラス部材１５ａ、１５ｂによる軽量化により、保持テーブル３１の回転により２つのポーラス部材１５ａ、１５ｂに加わる遠心力を小さくすることができるため、２つのポーラス部材１５ａ、１５ｂが傾けられることを防止できる。これにより、矩形ワークＷが傾くことを防止した状態で、矩形ワークＷの上面１１を良好に研削することができる。
【００４８】
上記実施の形態においては、矩形ワークＷを２つのポーラス部材１５ａ、１５ｂで支持する構成としたが、矩形ワークＷは３つ以上のポーラス部材で支持されていてもよい。
【００４９】
また、上記実施の形態においては、ポーラス部材１５ａ、１５ｂの底面１６ａ、１６ｂが傾斜している構成としたが、矩形ワークＷを支持板２１上に立設できれば、ポーラス部材１５ａ、１５ｂの底面１６ａ、１６ｂは傾斜していなくてもよい。
【００５０】
また、上記実施の形態においては、硬化工程において、オペレータが一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂをそれぞれ外側に傾いた状態から内側に向かって戻す構成としたが、一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂはロボットにより戻される構成としてもよい。
【００５１】
また、上記実施の形態においては、上面視したときに、矩形ワークＷ及び一対のポーラス部材１５ａ、１５ｂの長辺が、支持板２１の径方向に対して直交する方向に向けられて配置される構成としたが、この構成に限定されない。図７は、本実施の形態に係る他の例の研削工程における加工の流れの説明図である。図７に示すように、矩形ワークＷ及び一対のポーラス部材１５ｃ、１５ｄは支持板２１の径方向と長辺とが平行に配置される構成としてもよい。ポーラス部材１５ｃ、１５ｄの長辺が径方向に対して平行な向きで配置されているため、保持テーブル３１の回転によりポーラス部材１５ｃ、１５ｄが遠心力を受けても、ポーラス部材１５ｃ、１５ｄは倒れ難い。
【００５２】
矩形ワークＷ及び一対のポーラス部材１５ｃ、１５ｄの長辺が支持板２１の径方向に対して平行な向きに配置される場合において、研削砥石４８により矩形ワークＷの上面１１が研削される様子について説明する。図７において、矩形ワークの符号は、保持テーブル３１の回転において順にＷｅ、Ｗｆ、Ｗｇ、Ｗｈを付し、それぞれの上面において１１ｅ、１１ｆ、１１ｇ、１１ｈを付す。
【００５３】
図７Ａから図７Ｄに示すように、矩形ワークＷｅ及び一対のポーラス部材１５ｃ、１５ｄは、保持テーブル３１の回転により研削砥石４８の下側に位置付けられる。研削砥石４８が矩形ワークＷｅの上面１１ｅを通過することで、矩形ワークＷｅの上面１１ｅが研削砥石４８の形状に沿って円弧状に削られる。保持テーブル３１の回転により、矩形ワークＷｅは、研削砥石４８の内側に向かって進み、矩形ワークＷｅは研削砥石４８に対して短手方向に削られていく。研削砥石４８の矩形ワークＷｅの上面１１ｅに対する接触面の幅は矩形ワークＷｅの長辺の幅と略等しくなり、矩形ワークＷｅの上面１１ｅには研削痕６１ａ、６１ｂ（図６参照）よりも長い研削痕６１ｃ（図７Ａから図７Ｃでは不図示）が形成されていく。
【００５４】
このとき、保持テーブル３１の回転方向に対して先行する矩形ワークＷｆは研削砥石４８の内側に位置し、矩形ワークＷｇ、Ｗｈは研削砥石４８の外側に位置し、上面１１ｆ、１１ｇ、１１ｈは研削砥石４８が通過しないため削られない。
【００５５】
図７Ｅに示すように、矩形ワークＷｅは、保持テーブル３１の回転により研削砥石４８の内側に移動する。このとき、先行する矩形ワークＷｆは研削砥石４８の下側に位置付られ、矩形ワークＷｆの上面１１ｆが削られる。
【００５６】
図７Ｆから図７Ｈに示すように、矩形ワークＷｆは、保持テーブル３１の回転により研削砥石４８の外側に向かって移動する。研削砥石４８により、矩形ワークＷｆの上面１１ｆが研削砥石４８の形状に沿って円弧状に削られ、研削痕６１ｄ（図７Ｆでは不図示）が形成される。研削痕６１ｄは、研削痕６１ｃとは円弧の形成の向きが逆になっている。
【００５７】
矩形ワークＷｅは、保持テーブル３１の回転により、研削砥石４８の外側に向かって移動し、再び研削砥石４８の下側に位置付けられる。矩形ワークＷｅの上面１１ｅが研削砥石４８に削られ、研削痕６１ｃが形成されている上面１１ｅに研削痕６１ｄが形成される。これにより、研削痕６１ｃが研削痕６１ｄにより削られて矩形ワークＷｅの上面１１ｅに研削痕が残ることを抑えることができる。
【００５８】
また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記各実施の形態を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００５９】
また、本発明の実施の形態は上記の各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施態様をカバーしている。
【００６０】
本実施の形態では、本発明を矩形ワークを研削する研削方法に適用した構成について説明したが、矩形ワークが傾くことが防止できる研磨等の他の加工方法に適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
以上説明したように、本発明は、矩形ワークの傾きを防止しながら矩形ワークの上面を良好に研削できるという効果を有し、特に、ワークの側面を研削する矩形ワークの研削方法に有用である。
【符号の説明】
【００６２】
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆ、１１ｇ、１１ｈ  矩形ワークの上面
１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ  ポーラス部材
１８  接着剤
２１  支持板
３１  保持テーブル
４８  研削砥石
Ｗ、Ｗａ、Ｗｂ、Ｗｃ、Ｗｄ、Ｗｅ、Ｗｆ、Ｗｇ、Ｗｈ  矩形ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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