(57)【要約】【課題】気体の逆流を抑制して排気性能を向上する。【解決手段】静翼部７０は、内周リブ７１と、外周リブ７２と、周方向に配列された救数のステータ本体７３とを備え、ステータ本体７３は、内周桟７４と、外周桟７５と、内周側側面７３ａと、外周側側面７３ｂと、内周側側面７３ａと外周側側面７３ｂ間に設けられた径方向側面７３ｃとを有する。ステータ本体７３の内周側側面７３ａ、外周側側面７３ｂおよび径方向側面７３ｃは、それぞれ、内周リブ７１、外周リブ７２および周方向に隣接する他のステータ本体７３から切断された切断面である。【選択図】図３
2018145917.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動翼部と静翼部とが軸方向に多段に配列された排気部を備え、
前記静翼部は、内周リブと、外周リブと、前記内周リブと前記外周リブ間に配置され、前記内周リブおよび前記外周リブに対して傾斜して軸方向に突出するステータ本体とを有し、
前記静翼部の少なくとも１つは、前記ステータ本体が、前記内周リブに連結される内周桟と、前記外周リブに連結される外周桟と、内周側側面と、外周側側面と、前記内周側側面と前記外周側側面間に設けられた径方向側面とを有し、
前記内周側側面、前記外周側側面および前記径方向側面は、それぞれ、前記内周リブ、前記外周リブおよび周方向に隣接する他のステータ本体から切断された切断面である、真空ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
前記ステータ本体は、前記外周側側面の周方向の長さが前記内周側側面の周方向の長さと同一もしくはそれより小さいかあるいは、前記ステータ本体は、前記外周側側面が前記外周リブに対して傾斜する翼角度が、前記内周側側面が前記内周リブに対して傾斜する翼角度より小さい、真空ポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載の真空ポンプにおいて、
前記ステータ本体は、前記内周側側面が前記内周リブから突出する内周側翼高さが、前記外周側側面が前記外周リブから突出する外周側翼高さとほぼ同じである、真空ポンプ。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記排気部は吸気側である上流側と排気側である下流側との間に設けられ、前記静翼部は、少なくとも、前記排気部の下流側に配置されている、真空ポンプ。
【請求項５】
動翼部と静翼部とが軸方向に多段に配列された排気部を備え、
前記静翼部が、内周リブと、外周リブと、前記内周リブと前記外周リブ間に配置され、前記内周リブおよび前記外周リブに対して傾斜して軸方向に突出するステータ本体とを有し、
前記ステータ本体が、前記内周リブに連結される内周桟と、前記外周リブに連結される外周桟と、内周側側面と、外周側側面と、前記内周側側面と前記外周側側面間に設けられた径方向側面とを有する真空ポンプの製造方法において、
前記静翼部の前記ステータ本体を、前記内周側側面、前記外周側側面および前記径方向側面のそれぞれを、前記内周リブ、前記外周リブおよび周方向に隣接する他のステータ本体から切断し、前記内周リブおよび前記外周リブに対して傾斜させる切り曲げ加工により形成する工程を含み、前記切り曲げ加工は、一つの工程で行う、真空ポンプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプおよび真空ポンプの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
軸方向に多段に配列された動翼部と静翼部からなる排気部を有する真空ポンプがある。静翼部は、周方向に配列された複数のステータ本体を有する。ステータ本体は、内周リブと外周リブとの間に、該内周リブおよび外周リブに対して傾斜した状態で軸方向に突出されている。ステータ本体を内・外周リブに対して傾斜状に立ち上げるには、例えば、絞り加工等により立ち上げ部を塑性変形させる。この加工方法により形成される静翼部は、ステータ本体の翼角度を大きくすると塑性変形部に割れが発生するため、ステータ本体の翼角度に限界がある。
【０００３】
そこで、周方向に隣接するステータ本体間およびステータ本体と内・外周リブ間に、一部を除いてクリアランスを設け、このクリアランス間の部分を軸方向に傾斜状に曲げるステータ本体の形成方法が知られている。この方法では、はじめに、打抜き加工により、クリアランスを設け、その後、軸方向に傾斜状に立ち上げる曲げ加工を行って、所定の翼角度を有するステータ本体を形成する。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３４８９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載された静翼部では、ステータ本体は、打抜き加工によりスリットを形成されるので、ステータ本体間に形成される隙間が大きくなる。ステータ本体間の隙間は気体の逆流の要因となるため、排気性能が低下する。また、特許文献１に記載された静翼部では、ステータ本体を形成するには、スリット形成工程と曲げ加工工程とを別々に行う必要があり、加工工程が増え、製造コストが掛かる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプは、動翼部と静翼部とが軸方向に多段に配列された排気部を備え、前記静翼部は、内周リブと、外周リブと、前記内周リブと前記外周リブ間に配置され、前記内周リブおよび前記外周リブに対して傾斜して軸方向に突出するステータ本体とを有し、前記静翼部の少なくとも１つは、前記ステータ本体が、前記内周リブに連結される内周桟と、前記外周リブに連結される外周桟と、内周側側面と、外周側側面と、前記内周側側面と前記外周側側面間に設けられた径方向側面とを有し、前記内周側側面、前記外周側側面および前記径方向側面は、それぞれ、前記内周リブ、前記外周リブおよび周方向に隣接する他のステータ本体から切断された切断面である。
さらに好ましい実施形態では、前記ステータ本体は、前記外周側側面の周方向の長さが前記内周側側面の周方向の長さと同一もしくはそれより小さいかあるいは、前記ステータ本体は、前記外周側側面が前記外周リブに対して傾斜する翼角度が、前記内周側側面が前記内周リブに対して傾斜する翼角度より小さい、
さらに好ましい実施形態では、前記ステータ本体は、前記内周側側面の前記内周リブから突出する内周側翼高さが、前記外周側側面の前記外周リブから突出する外周側翼高さとほぼ同じである。
さらに好ましい実施形態では、前記静翼部は、少なくとも、前記排気部の下流側に配置されている。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプの製造方法は、動翼部と静翼部とが軸方向に多段に配列された排気部を備え、前記静翼部が、内周リブと、外周リブと、前記内周リブと前記外周リブ間に配置され、前記内周リブおよび前記外周リブに対して傾斜して軸方向に突出するステータ本体とを有し、前記ステータ本体が、前記内周リブに連結される内周桟と、前記外周リブに連結される外周桟と、内周側側面と、外周側側面と、前記内周側側面と前記外周側側面間に設けられた径方向側面とを有する真空ポンプの製造方法において、前記静翼部の前記ステータ本体を、前記内周側側面、前記外周側側面および前記径方向側面のそれぞれを、前記内周リブ、前記外周リブおよび周方向に隣接する他のステータ本体から切断し、前記内周リブおよび前記外周リブに対して傾斜させる切り曲げ加工により形成する工程を含み、前記切り曲げ加工は、一つの工程で行う。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の真空ポンプによれば、排気性能を向上することができる。また、本発明の真空ポンプの製造方法によれば、加工工程が削減され、製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１は、本発明に係る真空ポンプの第１の実施の形態としてのターボ分子ポンプの断面図である。
【図２】図２は、本発明の静翼部を軸方向上方からみた平面図である。
【図３】図３は、図２に図示された静翼部のステータ本体付近の拡大斜視図である。
【図４】図４（Ａ）は、図２のＩＶA−ＩＶA方向からみたステータ本体の径方向側面図であり、図４（Ｂ）は、図２のＩＶB方向からみたステータ本体の内周側側面図であり、図４（Ｃ）は図２のＩＶC方向からみたステータ本体の外周側側面図である。
【図５】図５は、図１に図示されたタービン翼排気部の上流側に配置された静翼部の一例を示し、図５（Ａ）は斜視図であり、図５（Ｂ）は内周側側面図であり、図５（Ｃ）は外周側側面図である。
【図６】図６は、図２に示された静翼部の加工方法を説明するための平面図である。
【図７】図７は、図６に図示された静翼部の一部の拡大図である。
【図８】図８は、比較例のステータ本体の構造を説明するための図である。
【図９】図９は、図８に図示されたステータ本体の図であり、図９（Ａ）は径方向側面図であり、図９（Ｂ）は内周側側面図であり、図９（Ｃ）は外周側側面図である。
【図１０】図１０は、本発明のステータ本体の一実施の形態の構造を説明するための図である。
【図１１】図１１は、図１０に図示されたステータ本体の図であり、図１１（Ａ）は径方向側面図であり、図１１（Ｂ）は内周側側面図であり、図１１（Ｃ）は外周側側面図である。
【図１２】図１２は、本発明のステータ本体の他の実施の形態の構造を説明するための図である。
【図１３】図１３は、図１２に図示されたステータ本体の図であり、図１３（Ａ）は径方向側面図であり、図１３（Ｂ）は内周側側面図であり、図１３（Ｃ）は外周側側面図である。
【図１４】図１４は、ステータ本体を形成する金型の模式図であり、図１４（Ａ）はパンチの斜視図であり、図１４（Ｂ）はダイの斜視図である。
【図１５】図１５は、図１４に図示された金型を用いてステータ本体を形成する方法を説明するための断面図であり、図１５（Ａ）は、図７のＸＶA-ＸＶA切断面における断面図であり、図１５（Ｂ）は、図７のＸＶB-ＸＶB切断面における断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の第２の実施形態の静翼部のステータ本体付近の外観形状を示す斜視図である。
【図１７】図１７は、図１６に図示されたステータ本体の図であり、図１７（Ａ）は径方向側面図であり、図１７（Ｂ）は内周側側面図であり、図１７（Ｃ）は外周側側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
−第１の実施形態−
図１は、本発明に係る真空ポンプ１の第１の実施形態としてのターボ分子ポンプの断面図である。以下では、真空ポンプ１の一実施の形態を、ターボ分子ポンプを例として説明する。なお、ターボ分子ポンプには電力を供給する電源ユニットが接続されるが、図１では図示を省略した。
図１に示す真空ポンプ１は、排気機能部として、タービン翼を備えたタービン翼排気部Ｐ１と、ねじ溝排気部Ｐ２とを備えている。
【００１０】
タービン翼排気部Ｐ１は、ポンプロータ３に形成された複数段（図１では６段として例示）の動翼部１７と、ポンプケーシング１２側に配置された複数段（図１では６段として例示）の静翼部５０とで構成される。動翼部１７と静翼部５０とは、軸方向に交互に配置されている。各静翼部５０は、その外周側の周縁が該静翼部５０間に配置されたスペーサ５で挟持されることにより固定されている。ねじ溝排気部Ｐ２は、タービン翼排気部Ｐ１の下流側に設けられている。ねじ溝排気部Ｐ２は、ロータ円筒部１８ａ、１８ｂとねじステータ１６ａ、１６ｂとで構成される。ねじステータ１６ａは、ポンプケーシング１２の内周側に配置されている。ロータ円筒部１８ａは、ねじステータ１６ａ、１６ｂの間に配置され、ロータ円筒部１８ｂは、ねじステータ１６ｂの内面側に配置されている。ねじステータ１６ａの内周面とロー円筒部１８ａの外周面の一方、ねじステータ１６ｂの外周面とロータ円筒部１８ａの内周面の一方、およびねじステータ１６ｂの内周面とロータ円筒部１８ｂの外周面の一方にはねじ溝が形成されている。
【００１１】
ポンプロータ３は回転軸であるシャフト１０に締結されており、シャフト１０はモータ４により回転駆動される。モータ４としては、例えば、ＤＣブラシレスモータが用いられ、ベース２にモータステータ４ａが設けられ、シャフト１０にモータロータ４ｂが設けられている。シャフト１０とポンプロータ３とから成る回転体ユニットＲは、永久磁石６ａ、６ｂを用いた永久磁石磁気軸受６と転がり軸受である軸受３０とにより回転自在に支持されている。
【００１２】
永久磁石６ａ、６ｂは、軸方向に磁化されたリング状の永久磁石である。ポンプロータ３に設けられた複数の永久磁石６ａは、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。一方、固定側の複数の永久磁石６ｂは、ポンプケーシング１２に固定された磁石ホルダ１１に装着されている。これらの永久磁石６ｂも、同極同士が対向するように軸方向に複数配置されている。シャフト１０に設けられた永久磁石６ａの軸方向位置は、その内周側に配置された永久磁石６ｂの位置よりも若干上側となるように設定されている。すなわち、回転側の永久磁石の磁極は、固定側の永久磁石の磁極に対して軸方向に所定量だけずれている。この所定量の大きさによって、永久磁石磁気軸受６の支持力が異なる。図１に示す例では、永久磁石６ａの方が図示上側に配置されているため、永久磁石６ａと永久磁石６ｂとの反発力により、ラジアル方向の支持力と軸方向上向き（ポンプ排気口側方向）の力とが回転体ユニットＲに働いている。
【００１３】
磁石ホルダ１１の中央には、軸受９が設けられている。軸受９は、シャフト１０上部のラジアル方向の振れを制限するタッチダウン軸受として機能するものである。定常回転状態ではシャフト１０と軸受９とが接触することはなく、大外乱が加わった場合や、回転の加速時または減速時にシャフト１０の振れ回りが大きくなった場合に、シャフト１０が軸受９に接触する。
【００１４】
軸受３０は、ベース２に固定される軸受ハウジング３１に収納されている。軸受３０は油潤滑式もしくはグリース潤滑式の転がり軸受である。軸受ハウジング３１の下部には、ボルト等の締結部材を用いて下部カバー１９が固定されている。
【００１５】
ポンプケーシング１２の上部には吸気口２１が設けられている。
ベース２には排気ポート２５が設けられ、排気ポート２５には排気口２５ａが設けられている。モータ４により回転体ユニットＲを高速回転駆動することにより、吸気口２１から吸引されたプロセスガスが、タービン翼排気部Ｐ１およびねじ溝排気部Ｐ２を経由して、排気ポート２５の排気口２５ａから排気される。なお、図１には、ガスの流れを矢印で示している。
【００１６】
タービン翼排気部Ｐ１を構成する静翼部５０は、タービン翼排気部Ｐ１の吸気側、換言すれば、上流側に配置された静翼部６０と、タービン翼排気部Ｐ１の排気側、換言すれば、下流側に配置された静翼部７０とを備えている。上流側の静翼部６０は、気体流路の上流側に複数段（図１では３段として例示）配列され、下流側の静翼部７０は、上流側の静翼部６０の下方に複数段（図１では３段として例示）配置されている。
下流側では、圧縮比を大きくするため、翼角度の小さいステータ本体を有する静翼部とすることが好ましい。以下、下流側に配置される静翼部７０の第１の実施形態について説明する。
【００１７】
図２は、本発明の静翼部を軸方向上方からみた平面図である。
静翼部７０は、円形リングを２分割した、半リング形状の一対の分割静翼部７０Ａ、７０Ｂにより構成される。分割静翼部７０Ａ、７０Ｂは、周方向の両端面が向かい合うように円形リング状に配置され、分割静翼部７０Ａ、７０Ｂの外周リブ７２がスペーサ５により挟持される。分割静翼部７０Ａ、７０Ｂは、円の中心を通る直線、図では左右に延びる直線に対して線対称の形状に形成されており、以下では、一方の分割静翼部を、単に静翼部７０として説明する。
静翼部７０は、内周リブ７１と、外周リブ７２と、内周リブ７１と外周リブ７２との間に、周方向に沿って配列された複数のステータ本体７３とを有する。
【００１８】
図３は、図２に図示された静翼部のステータ本体付近の拡大斜視図である。図４（Ａ）は、図２のＩＶA−ＩＶA方向からみたステータ本体の径方向側面図であり、図４（Ｂ）は、図２のＩＶB方向からみたステータ本体の内周側側面図であり、図４（Ｃ）は図２のＩＶC方向からみたステータ本体の外周側側面図である。
ステータ本体７３は、内・外周リブ７１、７２に対して傾斜して設けられ、軸方向の上・下に突出している。図４に図示されるように、ステータ本体７３の内周側の翼高さｈiと、外周側の翼高さｈoとは、ほぼ同一である。ステータ本体７３の内周側の周方向の長さのほぼ中央に内周リブ７１に連結される内周桟７４が設けられている。ステータ本体７３の外周側の周方向の長さのほぼ中央に外周リブ７２に連結される外周桟７５が設けられている。つまり、ステータ本体７３は、内・外周桟７４、７５で接続されて内・外周リブ７１、７２と一体に形成されている。内・外周桟７４、７５の厚さは、それぞれ、内・外周リブ７１、７２と同じである。
内・外周桟７４、７５の周方向の長さ、およびステータ本体７３の内周側の翼角度θiと外周側の翼角度θoとは、ステータ本体７３の内周側の翼高さｈiと、外周側の翼高さｈoとが、ほぼ同一となるように設定される。このことについては、後述する。
【００１９】
ステータ本体７３は、内周側側面７３ａ、外周側側面７３ｂおよび径方向側面７３ｃを有する。内周側側面７３ａ、外周側側面７３ｂおよび径方向側面７３ｃは、それぞれ、内周リブ７１、外周リブ７２および周方向に隣接するステータ本体７３から切断された切断面である。これらの切断面は、それぞれ、先鋭な切断刃により切断されて形成される。また、内周側側面７３ａ、外周側側面７３ｂおよび径方向側面７３ｃを切断して、それぞれ、内周リブ７１、外周リブ７２および周方向に隣接するステータ本体７３から切断する工程と、ステータ本体７３を内・外周リブ７１、７２に対して傾斜させる工程とは、切り曲げ工程として１つの工程で同時に行われる。これらについての詳細も、後述する。
【００２０】
図５は、図１に図示されたタービン翼排気部Ｐ１の上流側に配置された静翼部６０の一例を示し、図５（Ａ）は斜視図であり、図５（Ｂ）は内周側側面図であり、図５（Ｃ）は外周側側面図である。
図示はしないが、静翼部６０も静翼部７０と同様に、円形リングを２分割した半リング形状の一対の分割静翼部により構成される。静翼部６０は、内周リブ６１と、外周リブ６２と、内周リブ６１と外周リブ６２との間に、周方向に沿って配列された複数のステータ本体６３とを有する。上流側に配置される静翼部６０では、ステータ本体６３の内・外周側側部６３ａ、６３ｂは、それぞれ、内・外周リブ６１、６２から傾斜状に立ち上がるように塑性変形されて形成される。
【００２１】
つまり、ステータ本体６３は、板状の部材を絞り加工することにより、内・外周リブ６１、６２から周方向に向けて上げ勾配の傾斜状に形成される。ステータ本体６３は、内・外周リブ６１、６２からその上方、換言すれば、真空ポンプ１の吸気口２１側にのみ突出して形成されており、内・外周リブ６１、６２の下方には突出していない。円周方向に配列されたステータ本体６３間には、内周リブ６１と外周リブ６２とを接続する差渡し部６６が設けられている。従って、ステータ本体６３は、内周側側部６３ａと、外周側側部６３ｂと、径方向側面６３ｃと、差渡し部６６に連結された連結部６４とを有する。ステータ本体６３の内周側側部６３ａは、周方向全長に亘り内周リブ６１に連結された塑性変形部となっている。また、ステータ本体６３の外周側側部６３ｂには、径方向側面６３ｃに対応する先端側に切欠き６３ｋが形成され、該切欠き６３ｋ以外の部分は、外周リブ６２に連結された塑性変形部となっている。差渡し部６６とステータ本体６３の径方向側面６３ｃとの間にはスリット６７が設けられている。
【００２２】
ステータ本体６３を形成するには、下記の２工程を必要とする。
・第１工程：ステータ本体６３の径方向側面６３ｃ側のスリット６７と、切欠き６３ｋとを打抜き加工により形成する。
・第２工程：第１の工程の後、絞り加工により、ステータ本体６３の内周側側部６３ａと外周側側部６３ｂとを塑性変形させて、径方向側面６３ｃ側が上げ勾配の傾斜面を形成する。
【００２３】
静翼部６０は、ステータ本体６３の内・外周側側部６３ａ、６３ｂを塑性変形させて形成するので、塑性変形部に割れが発生し易い。従って、塑性変形部の割れなどの発生を抑えるため、ステータ本体６３の翼角度を余り大きくすることはできない。これに対し、静翼部７０のステータ本体７３は、内・外周側側面７３ａ、７３ｂが内・外周リブ７１、７２から切断されているため、翼角度を大きくすることができる。通常、静翼部６０のステータ本体６３の翼角度は１５度程度が限界とされているが、静翼部７０のステータ本体７３の翼角度はそれ以上にすることが可能である。
【００２４】
図６は、図２に示された静翼部の加工方法を説明するための平面図であり、図７は、図６に図示された静翼部の一部の拡大図である。
図６、図７に図示されるように、ステータ本体７３は、切断により、内周側側面７３ａと、外周側側面７３ｂと、径方向側面７３ｃとが形成され、この切断と同時に、内・外形リブ７１、７２に対して周方向に上げ勾配の傾斜状にステータ本体７３が形成されるように曲げ加工される。ここで、切り曲げ加工とは、切断と曲げ加工を一つの工程で同時に行う加工法を指す。
ステータ本体７３は、図６、図７に示された二点鎖線で示す線で、切り曲げされる。ステータ本体７３の径方向側面７３ｃは、円の中心Ｏを通る（図１０等参照）直線に沿って延出されており、ステータ本体７３は、平面視形状が扇型に形成されている。内・外周桟７４、７５の周方向の長さＷi、Ｗo（図７参照）、およびステータ本体７３の内・外周側の翼角度θi、θo（図４（Ｂ）、４（Ｃ）参照）は、ステータ本体７３の内周側の翼高さｈiと、外周側の翼高さｈoとが、ほぼ同一となるように設定される。ステータ本体７３の内周側の翼高さｈiを外周側の翼高さｈoとほぼ同一とすることにより、ステータ本体７３の内周側における動翼部１７との隙間を、ステータ本体７３の外周側における動翼部１７との隙間と同様に、小さくすることができる。ステータ本体７３と動翼部１７との隙間が大きいと、気体の逆流が増大するが、このように、ステータ本体７３の内外周側の隙間を共に小さくすることができるため、排気性能の向上を図ることができる。
以下、ステータ本体７３の内・外周側の翼高さｈi、ｈoをほぼ同一するための、内・外周桟７４、７５の周方向の長さＷi、Ｗoと、ステータ本体７３の内・外周側の翼角度θi、θoとの関係を、比較例と対比して説明する。
【００２５】
図８は、比較例のステータ本体の構造を説明するための図である。また、図９は、図８に図示されたステータ本体の図であり、図９（Ａ）は径方向側面図であり、図９（Ｂ）は内周側側面図であり、図９（Ｃ）は外周側側面図である。
図８に示す比較例のステータ本体８３では、径方向側面８３ｃは、円の中心Ｏを通る直線上に位置する。また、ステータ本体８３の外周リブ８２との連結部である外周桟８５の両側の各端部８５ａ、８５ｂは、それぞれ、内周リブ８１との連結部である内周桟８４の両側の各端部８４ａ、８４ｂと円の中心Ｏを結ぶ直線の延長上に位置する。
従って、この状態では、
外周桟８５の周方向の長さＷo＞内周桟８４の周方向の長さＷi
であり、また、
外周側側面８３ｂの周方向の長さＬo＞内周側側面８３ａの周方向の長さＬi
である。
ここで、ステータ本体８３を、外周桟８５の端部８５ａと内周桟８４の端部８４ａを結ぶ直線および外周桟８５の端部８５ｂと内周桟８４の端部８４ｂを結ぶ直線で傾斜状に折曲げた状態が図９（Ａ）〜（Ｃ）に図示される。この状態では、ステータ本体８３の内周側の翼角度θiと内周側の翼角度θoとは等しい（θi＝θo）。
従って、図９（Ａ）に図示されるように、
外周側の翼高さｈo＞内周側の翼高さｈi
となる。
【００２６】
図１０は、本発明のステータ本体の一実施の形態の構造を説明するための図であり、図１１は、図１０に図示されたステータ本体の図であり、図１１（Ａ）は径方向側面図であり、図１１（Ｂ）は内周側側面図であり、図１１（Ｃ）は外周側側面図である。
図１０に示すステータ本体７３では、ステータ本体７３の外周側側面７３ｂの周方向の長さＬoは、内周側側面７３ａの周方向の長さＬiより大きい（Ｌo＞Ｌi）。径方向側面７３ｃは、円の中心Ｏを通る直線上に位置する。この実施形態では、外周側の翼角度θoと内周側の翼角度θiは、外周側側面７３ｂの翼高さｈoと内周側側面７３ａの翼高さｈiとが等しくなるように設定される。つまり、図１３に図示されるように、外周側の翼角度θoは内周側の翼角度θiより小さい（θo＜θi）。
【００２７】
図１２は、本発明のステータ本体の他の実施の形態の構造を説明するための図であり、図１３は、図１２に図示されたステータ本体の図であり、図１３（Ａ）は径方向側面図であり、図１３（Ｂ）は内周側側面図であり、図１３（Ｃ）は外周側側面図である。
図１２に示すステータ本体７３では、径方向側面７３ｃは、円の中心Ｏを通る直線上に位置する。しかし、ステータ本体７３の外周側側面７３ｂの周方向の長さＬoと内周側側面７３ａの周方向の長さＬiとは等しい（Ｌo＝Ｌi）。また、ステータ本体７３と外周リブ７２との連結部である外周桟７５の周方向の長さＷoとステータ本体７３と内周リブ７１との連結部である内周桟７４の周方向の長さＷiとは、Ｌo＝Ｌiを満足するように設定される。
従って、図１３において、外周側の翼角度θoと内周側の翼角度θiとを等しくすれば（θo＝θi）、ステータ本体７３の外周側の翼高さｈoと内周側の翼高さｈiとは等しく（ｈo＝ｈｉ）なる。
【００２８】
なお、この実施形態において、ステータ本体７３の外周側側面７３ｂの周方向の長さＬoを内周側側面７３ａの周方向の長さＬiより僅かに小さく（Ｌo＜Ｌi）して、外周側の翼角度θoを内周側の翼角度θiより少し大きくする（θo＞θi）ようにしてもよい。
【００２９】
次に、本発明のステータ本体の形成方法について説明する。
図１４は、ステータ本体を形成する金型の模式図であり、図１４（Ａ）はパンチの斜視図であり、図１４（Ｂ）はダイの斜視図である。図１５は、図１４に図示された金型を用いてステータ本体を形成する方法を説明するための断面図であり、図１５（Ａ）は、図７のＸＶA-ＸＶA切断面における断面図であり、図１５（Ｂ）は、図７のＸＶB-ＸＶB切断面における断面図である。
図１４（Ａ）、図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）に示すように、パンチ１１０は、台座１１１上に形成された切断部１１２および曲げ部１１３を有する。切断部１１２は、内周側切断部１１２ａ、外周側切断部１１２ｂおよび径方向切断部１１２ｃを有する。内周側切断部１１２ａは、内周リブ７１を切断してステータ本体７３の内周側側面７３ａを形成する。外周側切断部１１２ｂは、外周リブ７２を切断してステータ本体７３の外周側側面７３ｂを形成する。径方向切断部１１２ｃは、ステータ本体７３の径方向側面７３ｃを形成する。径方向側面７３ｃは、隣接するステータ本体７３の周方向境界面を切断して形成される面である。
【００３０】
内周側切断部１１２ａ、外周側切断部１１２ｂおよび径方向切断部１１２ｃは、それぞれ、先端部に先鋭な切り刃を有している。実施の形態では、各切断部１１２ａ〜１１２ｃは、先端側から根元側に向けて、漸次、幅（１１２ａ、１１２ｂは径方向長さ、１１２ｃは周方向長さ）が大きくなる、例えば、断面三角形状に形成されている。この場合、先端から根元まで全長に亘り、断面三角形状としてもよいし、先端側のみ断面三角形状とし、根元側は、断面矩形状のストレート形状としてもよい。
【００３１】
曲げ部１１３は、台座１１１の上面１１１ａに対して傾斜する傾斜面１１３ａを有する。曲げ部１１３は、ステータ本体７３の内・外周リブ７１、７２より上方側の部分およびステータ本体７３の内・外周リブ７１、７２より下方側の部分を傾斜状に曲げる。
【００３２】
図１４（Ｂ）、図１５（Ａ）、図１５（Ｂ）に示すように、ダイ１２０は、支持部１２１上に形成された曲げ部１２３を有する。支持部１２１は、内周側支持部１２１ａと、外周側支持部１２１ｂとを有する。内周側支持部１２１ａは、静翼部７０の内周縁を支持して内周リブ７１を形成する。外周側支持部１２１ｂは、静翼部７０の外周を支持して外周リブ７２を形成する。
【００３３】
ダイ１２０の曲げ部１２３は、パンチ１１０の曲げ部１１３と共にステータ本体７３の内・外周リブ７１、７２より上方側の部分および内・外周リブ７１、７２より下方側の部分を傾斜状に曲げる。
【００３４】
図１５（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、内周側支持部１２１ａおよびに外周側支持部１２１ｂは、それぞれ、曲げ部１２３の内周側面または外周側面に沿って周方向に延在する溝１２４が形成されている。また、支持部１２１の周方向に隣接する曲げ部１２３間には、図１５（Ｂ）に図示されるように、溝１２４ａが形成されている。溝１２４、１２４ａには、ステータ本体７３を形成する際、パンチ１１０の内・外周側切断部１１２ａ、１１２ｂおよび径方向切断部１１２ｃが挿通される。
溝１２４，１２４ａにパンチ１１０の切断刃１１２ａ〜１１２ｃが入り込み、内・外周側面７３ａ，７３ｂと、径方向側面７３ｃが形成される。
【００３５】
ダイ１２０上に、ステータ本体７３を形成する前の未加工静翼部をセットし、パンチ１１０をダイ１２０側に押出す。未加工静翼部は、予め、図６に図示される半円形のリング状に形成されている。パンチ１１０をダイ１２０側に押出すことにより、未加工静翼部は、パンチ１１０の切断部１１２により切断される。すなわち、内周側切断部１１２ａ、外周側切断部１１２ｂおよび径方向切断部１１２ｃによって未加工静翼部が切断され、ステータ本体７３の内周側側面７３ａ、外周側側面７３ｂおよび径方向側面７３ｃが形成される。パンチ１１０をダイ１２０側にさらに押出すことにより、未加工静翼部は、パンチ１１０の曲げ部１１３とダイ１２０の曲げ部１２３により、内・外周リブ７１、７２に対して傾斜するように曲げられる。
【００３６】
つまり、本発明の一実施の形態によるステータ本体７３の形成方法では、ステータ本体７３は、切断および曲げが同時（同一の工程）に行われる切り曲げ加工により形成される。
従って、切断工程と曲げ工程とが別々に行われる従来の方法に対し、加工工程が削減され、製造コストを低減することができる。
また、ステータ本体７３の内・外周側側面７３ａ、７３ｂおよび径方向側面７３ｃは、鋭利な刃先により切断して形成される。これに対し、例えば、特許文献１に記載された打抜き加工は、ダイとパンチとの間にクリアランスを設定して打抜く。打抜かれた部分は、
被加工体（母材）から脱落する。
打抜き加工では、パンチとダイとのクリアランスが小さ過ぎると、被加工体におけるパンチ端縁とダイ端縁のそれぞれに対応する部分にクラックが形成されると共に、該クラック間にタング（舌）が形成される。つまり、打抜き加工では、パンチとダイとのクリアランスが小さ過ぎると凹凸状の剪断面が形成される。これを避けるため、適切なサイズのクリアランスが必要とされる。
【００３７】
これに対し、鋭利な刃先により切断する方法では、打抜きとは異なり、直接、被加工体を切断するため、切断部のクリアランスを、打抜きにより形成されるクリアランスの幅よりも小さくすることができる。クリアランスの大きさは、ステータ本体７３の翼高さｈoに関連し、クリアランスが小さいほど、翼高さｈoを大きくすることができる。このため、本発明の一実施の形態では、ステータ本体７３の翼高さｈoを特許文献１の方法で製作する静翼に比べて大きくすることができ、真空ポンプの排気性能を向上することができる。
【００３８】
また、本発明の一実施の形態では、ステータ本体７３の外周側翼高さｈoは内周側の翼高さｈiとほぼ同じである。このため、ステータ本体７３の内周側と動翼部１７との隙間が小さくなり、排気される気体の逆流を抑制することができる。これによっても、真空ポンプの排気性能を向上することができる。
【００３９】
本発明の第１の実施形態によれば、下記の効果を奏する。
（１）ステータ本体７３は、内周リブ７１に連結される内周桟７４と、外周リブ７２に連結される外周桟７５と、内周側側面７３ａと、外周側側面７３ｂと、内周側側面７３ａと外周側側面７３ｂ間に設けられた径方向側面７３ｃとを有し、内周側側面７３ａ、外周側側面７３ｂおよび径方向側面７３ｃは、それぞれ、内周リブ７１、外周リブ７２および周方向に隣接する他のステータ本体から切断された切断面である。ステータ本体７３の内・外周側側面７３ａ、７３ｂおよび径方向側面７３ｃを、切断により形成するので、各切断部における隙間を極限まで小さくすることができる。換言すれば、ステータ本体７３の翼高さを極限まで小さくすることができる。このため、真空ポンプの排気性能を向上することができる。
【００４０】
（２）ステータ本体７３は、外周側側面７３ｂの周方向の長さが内周側側面７３ａの周方向の長さと同一もしくはそれより小さいか、あるいは、外周側側面７３ｂが外周リブ７２に対して傾斜する翼角度が、内周側側面７３ａが内周リブ７１に対して傾斜する翼角度より小さい。このため、ステータ本体７３の外周側翼高さｈoを内周側の翼高さｈiに近付けることができる。これにより、ステータ本体７３の内周側と動翼部１７との隙間が小さくなり、気体の逆流を抑制することができるので、排気性能を向上することができる。
【００４１】
（３）ステータ本体７３は、内周側側面７３ａが内周リブ７１から突出する内周側翼高さｈiは、外周側側面７３ｂの外周リブ７２から突出する外周側翼高さｈoとほぼ同じである。このように、ステータ本体７３が内周側翼高さｈiを外周側翼高さｈoとほぼ同じとすることにより、ステータ本体７３の内周側における気体の逆流を十分に抑制することができ、排気性能を向上することができる。
【００４２】
（４）静翼部７０のステータ本体７３は、内周側側面７３ａ、外周側側面７３ｂおよび径方向側面７３ｃのそれぞれを、内周リブ７１、外周リブ７２および周方向に隣接する他のステータ本体７３から切断し、内周リブ７１および外周リブ７２に対して傾斜させる切り曲げ加工により形成する。このため、静翼部７０にステータ本体７３を形成する際の加工工程を削減し、製造コストを低減することができる。
【００４３】
−第２の実施形態−
図１６および図１７を参照して、本発明の第２の実施形態を説明する。
図１６は、本発明の第２の実施形態の静翼部のステータ本体付近の外観形状を示す斜視図である。図１７は、図１６に図示されたステータ本体の図であり、図１７（Ａ）は径方向側面図であり、図１７（Ｂ）は内周側側面図であり、図１７（Ｃ）は外周側側面図である。
第１の実施形態では、ステータ本体７３は、内・外周リブ７１、７２の上下両方向に突出して形成されていた。第２の実施形態では、ステータ本体７３は、内・外周リブ７１、７２の上下方向の一方のみに突出して形成されている。
図１６および図１７に図示されるように、ステータ本体７３は、内・外周リブ７１、７２の上方（真空ポンプ１の吸気口２１側）に向けてのみ、軸方向に対して傾斜して突出している。つまり、ステータ本体７３は、周方向の一端側が内・外周リブ７１、７２に連結され、その一端側から他端側に向けて上げ勾配の傾斜状に形成されている。
【００４４】
第２の実施形態においても、ステータ本体７３の内周側翼高さｈiは外周側翼高さｈoとほぼ同じである。ステータ本体７３の内周側翼高さｈiと外周側翼高さｈoとをほぼ同じにするには、第１の実施形態と同様な構造を採用すればよい。
第２の実施形態における他の構造は、第１の実施形態と同様であり、対応する部材に同一の符号を付して説明を省略する。
第２の実施形態においても、第１の実施形態と同様な効果を奏する。
【００４５】
なお、上記実施形態では、真空ポンプ１を、ボールベアリング型のターボ分子ポンプとして例示した。しかし、本発明は、磁気軸受型のターボ分子ポンプに適用することができる。また、上記実施形態では、タービン翼排気部Ｐ１とねじ溝排気部Ｐ２とを有する真空ポンプ１として例示したが、本発明は、タービン翼排気部Ｐ１のみを有する真空ポンプに適用することができる。
【００４６】
上記実施形態では、タービン翼排気部Ｐ１の上流側には、静翼部６０が配列された構造として例示した。しかし、タービン翼排気部Ｐ１をすべて静翼部７０により構成するようにしてもよい。その場合、上流側と下流側の静翼部７０の翼角度または翼高さを異なるものとしてもよい。
【００４７】
上記では、種々の実施の形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００４８】
１      真空ポンプ
３      ポンプロータ
１０      シャフト
１７      動翼部
５０      静翼部
７０      静翼部
７１      内周リブ
７２      外周リブ
７３      ステータ本体
７３ａ    内周側側面
７３ｂ    外周側側面
７３ｃ    径方向側面
７４      内周桟
７５      外周桟
ｈi       内周側翼高さ
ｈo       外周側翼高さ
Ｐ１      タービン翼排気部
Ｗi       内周桟の周方向の長さ
Ｗo       外周桟の周方向の長さ
θi       内周側翼角度
θo       外周側翼角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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