(57)【要約】      （修正有）【課題】高精細な蒸着パターンを歩留まりよく形成可能な蒸着パターン形成方法、蒸着パターン形成装置、フレーム付き蒸着マスク、およびフレームの提供。【解決手段】蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスク１０を用い、蒸着マスク１０と蒸着対象物２０とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を蒸着マスク１０の開口部を通して蒸着対象物２０に付着させる、蒸着パターン形成方法において、前記蒸着マスク１０と蒸着対象物２０とを密着させる際に、前記蒸着対象物２０を所定の方向に意図的に撓ませた状態とする蒸着パターン形成方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクを用い、前記蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を前記蒸着マスクの開口部を通して前記蒸着対象物に付着させる、蒸着パターン形成方法であって、
前記蒸着マスクと前記蒸着対象物をと密着させる際に、前記蒸着対象物を所定の方向に意図的に撓ませた状態とする、蒸着パターン形成方法。
【請求項２】
前記蒸着マスクはフレームに固定されており、
前記フレームによって前記蒸着対象物を所定の方向に意図的に撓ませた状態とする、請求項１に記載の蒸着パターン形成方法。
【請求項３】
蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクを用い、前記蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を前記蒸着マスクの開口部を通して前記蒸着対象物に付着させる、蒸着パターン形成装置であって、
前記蒸着マスクと前記蒸着対象物をと密着させる際に、前記蒸着対象物を所定の方向に撓ませるための、撓ませ手段、を含む、蒸着パターン形成装置。
【請求項４】
前記蒸着マスクはフレームに固定されており、
前記撓ませ手段は、前記フレームに備えられている、請求項３に記載の蒸着パターン形成装置。
【請求項５】
蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクと、
前記蒸着マスクを固定するフレームと、を有するフレーム付き蒸着マスクであって、
前記フレームには、前記フレーム付き蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を前記蒸着マスクの開口部を通して前記蒸着対象物に付着させることで蒸着パターンを形成する際に、前記蒸着対象物を所定の方向に意図的に撓ませた状態とするための撓ませ手段が設けられている、フレーム付き蒸着マスク。
【請求項６】
蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクを固定するためのフレームであって、
前記フレームには、当該フレームに固定された蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を前記蒸着マスクの開口部を通して前記蒸着対象物に付着させることで蒸着パターンを形成する際に、前記蒸着対象物を所定の方向に意図的に撓ませた状態とするための撓ませ手段が設けられている、フレーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、蒸着パターン形成方法、蒸着パターン形成装置、フレーム付き蒸着マスク、およびフレームに関する。
【背景技術】
【０００２】
蒸着マスクを用いた蒸着パターンの形成は、通常、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させ、蒸着源から放出された蒸着材を、開口部を通して、蒸着対象物に付着させることにより行われる。
【０００３】
上記蒸着パターンの形成に用いられる蒸着マスクとしては、例えば、蒸着作成するパターンに対応する樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクと、金属マスク開口部（スリットと称される場合もある）を有する金属マスクとを積層してなる蒸着マスク（例えば、特許文献１）等が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５２８８０７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示の実施形態は、高精細な蒸着パターンを歩留まりよく形成可能な蒸着パターン形成方法、蒸着パターン形成装置、フレーム付き蒸着マスク、およびフレームを提供することを主たる課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一実施形態にかかる蒸着パターン形成方法は、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクを用い、前記蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を前記蒸着マスクの開口部を通して前記蒸着対象物に付着させる、蒸着パターン形成方法であって、前記蒸着マスクと前記蒸着対象物をと密着させる際に、前記蒸着対象物を所定の方向に意図的に撓ませた状態とする、蒸着パターン形成方法である。
【０００７】
上記の蒸着パターン形成方法にあっては、前記蒸着マスクはフレームに固定されており、  前記フレームによって前記蒸着対象物を所定の方向に意図的に撓ませた状態としてもよい。
【０００８】
また、本開示の一実施形態にかかる蒸着パターン形成装置は、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクを用い、前記蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を前記蒸着マスクの開口部を通して前記蒸着対象物に付着させる、蒸着パターン形成装置であって、前記蒸着マスクと前記蒸着対象物をと密着させる際に、前記蒸着対象物を所定の方向に撓ませるための、撓ませ手段、を含む、蒸着パターン形成装置である。
【０００９】
上記の蒸着パターン形成装置にあっては、前記蒸着マスクはフレームに固定されており、前記撓ませ手段は、前記フレームに備えられていてもよい。
【００１０】
また、本開示の一実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクは、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクと、前記蒸着マスクを固定するフレームと、を有するフレーム付き蒸着マスクであって、前記フレームには、前記フレーム付き蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を前記蒸着マスクの開口部を通して前記蒸着対象物に付着させることで蒸着パターンを形成する際に、前記蒸着対象物を所定の方向に意図的に撓ませた状態とするための撓ませ手段が設けられている、フレーム付き蒸着マスクである。
【００１１】
また、本開示の一実施形態にかかるフレームは、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクを固定するためのフレームであって、前記フレームには、当該フレームに固定された蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を前記蒸着マスクの開口部を通して前記蒸着対象物に付着させることで蒸着パターンを形成する際に、前記蒸着対象物を所定の方向に意図的に撓ませた状態とするための撓ませ手段が設けられている、フレームである。
【発明の効果】
【００１２】
本開示の蒸着パターン形成方法、蒸着パターン形成装置、フレーム付き蒸着マスク、およびフレームによれば、高精細な蒸着パターンを歩留まりよく形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本開示の実施形態にかかる蒸着パターン形成方法を説明するための図であり、（ａ）は、蒸着対象物と蒸着マスクを密着させた状態を蒸着対象物側からみた正面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。
【図２】本開示の別の実施形態にかかる蒸着パターン形成方法を説明するための図であり、蒸着対象物と蒸着マスクを密着させた状態を蒸着対象物側からみた正面図である。
【図３】本開示の実施形態にかかる蒸着パターン形成方法を説明するための図であり、（ａ）は、蒸着対象物と蒸着マスクを密着させた状態を蒸着対象物側からみた正面図であり、（ｂ）および（ｃ）は、（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。
【図４】本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクを説明するための図であり、（ａ）は、フレーム付き蒸着マスクの正面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を、図面等を参照しながら説明する。なお、本発明は多くの異なる態様で実施することが可能であり、以下に例示する実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本願明細書および各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。また、説明の便宜上、上方または下方などの語句を用いて説明するが、上下方向が逆転してもよい。左右方向についても同様である。
【００１５】
＜蒸着パターン形成方法＞
図１は、本開示の実施形態にかかる蒸着パターン形成方法を説明するための図であり、（ａ）は、蒸着対象物と蒸着マスクを密着させた状態を蒸着対象物側からみた正面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。
【００１６】
従来から、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクを用い、この蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を蒸着マスクの開口部を通して蒸着対象物に付着させることで、蒸着対象物に蒸着パターンを形成する方法が実施されていた。
【００１７】
しかしながら、従来にあっては、蒸着マスクおよび蒸着対象物のそれぞれが、独自に「撓む」ことについて考慮されていない場合が多く、蒸着マスクの撓みと蒸着対象物の撓みが一致しない場合には、これらが密着しない部分が発生し、当該部分においては所望の蒸着パターンが形成できないことがあった。近年は、蒸着マスクおよび蒸着対象物が共に大型化している傾向があり、この「撓み」の問題は無視できなくなってきている。
【００１８】
このような状況にあって、図１に示す本開示の実施形態にかかる蒸着パターン形成方法にあっては、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスク１０を用い、前記蒸着マスク１０と蒸着対象物２０とを密着させて、蒸着源（図示せず）から放出された蒸着材を前記蒸着マスク１０の開口部を通して前記蒸着対象物２０に付着させる蒸着パターン形成方法において、前記蒸着マスク１０と前記蒸着対象物２０とを密着させる際に、前記蒸着対象物２０を所定の方向、具体的には、図１においてはＸ軸方向、に意図的に撓ませた状態としている。
【００１９】
このように、蒸着対象物２０を所定の方向、具体的にはＸ軸方向に意図的に撓ませた状態とすることにより、蒸着対象物２０の撓み方向、および撓み量を事前に把握することが可能となり、当該撓み方向および撓み量に合わせて蒸着マスク１０を蒸着対象物２０に密着せしめることが可能となる。その結果、蒸着マスク１０と蒸着対象物２０との密着精度を向上し、蒸着パターンが不良となる部分を減少せしめることで、高密度・高精細の蒸着パターンを歩留まり良く形成することが可能となる。
【００２０】
ここで、本開示の実施形態にかかる蒸着パターン形成方法において、蒸着対象物２０を所定の方向、具体的にはＸ軸方向に意図的に撓ませる方法については特に限定されない。たとえば、図１に示すように、蒸着対象物２０を載置・固定するためのフレーム３０を、蒸着対象物２０のＹ軸に平行な二辺（符号２１および２２）が位置する部分にのみ設け、蒸着対象物２０のＸ軸に平行な二辺（符号２３および２４）については、フレーム３０を設けることなく自由端としておくことより、蒸着対象物２０を重力によって、Ｘ軸方向にのみ意図的に撓ませることができる。なお、図１にあっては、蒸着対象物２０は、Ｙ軸方向においては、フレーム３０に載置・固定されているため、撓みは生じていない。
【００２１】
図２は、本開示の別の実施形態にかかる蒸着パターン形成方法を説明するための図であり、蒸着対象物と蒸着マスクを密着させた状態を蒸着対象物側からみた正面図である。
【００２２】
蒸着対象物２０を意図的に撓ませる方向は、図１に示したＸ軸方向に限定されることはない。たとえば、図２に示すように、蒸着対象物２０を載置・固定するためのフレーム３０を、蒸着対象物２０のＸ軸に平行な二辺（符号２３および２４）が位置する部分にのみ設け、蒸着対象物２０のＹ軸に平行な二辺（符号２１および２２）については、フレーム３０を設けることなく自由端としておくことより、蒸着対象物２０を重力によって、Ｙ軸方向にのみ意図的に撓ませることができる。なお、図１にあっては、蒸着対象物２０は、Ｘ軸方向においては、フレーム３０に載置・固定されているため、撓みは生じていない。
【００２３】
図３は、本開示の実施形態にかかる蒸着パターン形成方法を説明するための図であり、（ａ）は、蒸着対象物と蒸着マスクを密着させた状態を蒸着対象物側からみた正面図であり、（ｂ）および（ｃ）は、（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。
【００２４】
蒸着対象物２０を所定方向に意図的に撓ませる方法は、図１や図２に示したように、蒸着対象物２０の向かい合う二辺（Ｙ軸に平行な二辺２１、２２、またはＸ軸に平行な二辺２３、２４）が位置する部分にのみフレーム３０を設ける方法のみではない。たとえば、図３（ａ）に示すように、蒸着対象物２０の四辺（符号２１〜２４）のすべてが位置する部分にフレーム３０が設けられつつ、蒸着対象物２０のＹ軸に平行な二辺（符号２１および２２）が位置する部分のフレーム３０の形状を、図３（ｂ）に示すように、意図的にお椀型に凹ませておくことで、ここに載置・固定された蒸着対象物２０を、Ｙ軸方向にのみ意図的に撓ませることができる。なお、この場合、蒸着対象物２０のＸ軸に平行な二辺（符号２３および２４）が位置する部分のフレーム３０には凹みはなく平坦であるため、蒸着対象物２０は、Ｘ軸方向においては、撓みは生じていない。
【００２５】
また、図示はしないが、図３におけるフレーム３０の凹みを形成する位置は限定されず、Ｘ軸に平行な二辺（符号２３および２４）が位置する部分のフレーム３０に凹みを設けることで、蒸着対象物２０をＸ軸方向に意図的に撓ませることも可能である。
【００２６】
また、図３（ｂ）に示すように、フレーム３０上に載置された蒸着対象物２０をＹ軸方向にのみ意図的に撓ませるにあたり、冷却板４０と、フレーム３０のお椀型の凹みに嵌合する凸形状を呈する押圧板４１と、を用いて、蒸着対象物２０をフレーム３０に押しつけるようにしてもよい。このような冷却板４０と押圧板４１を用いることで、フレーム３０の凹みに沿って蒸着対象物２０をよりよく撓ませることができる。
【００２７】
フレーム３０に設けられる凹みの形状は、図３（ｂ）に示された形状に限定されることはなく、例えば、図３（ｃ）に示すように、蒸着対象物２０が載置される面の全体がすり鉢状の凹みとなっていてもよい。このように、フレーム３０に設けられる凹みの形状やその曲率については適宜設計可能である。
【００２８】
さらには、図示はしないが、図３と同様に、蒸着対象物２０の四辺（符号２１〜２４）すべてが位置する部分にフレーム３０が設けられつつ、当該フレーム３０の所定の部分、例えば、蒸着対象物２０のＹ軸に平行な二辺２１、２２が位置する部分のみ、他の部分と比べて嵩高に設計しておくことにより、図１に示した場合と同様の効果を得られ、蒸着対象物２０をＸ軸方向に撓ませることが可能である。
【００２９】
以上、本開示の蒸着パターン形成方法の種々の実施形態を説明したが、これらの態様のすべてにおいて、蒸着対象物２０は特に限定されることはない。その材質にあっても、従来公知の樹脂、金属、ガラス、これらの積層体など、種々の材質から選択して用いることができる。また、形状についても、図示するような矩形状に限定されることはなく、種々の形状であってもよい。
【００３０】
また同様に、本開示の蒸着パターン形成方法を実施するにあたり用いられる蒸着マスク１０についても特に限定されることはなく、従来公知の蒸着マスク１０を適宜選択して用いることができる。具体的には、金属製の蒸着マスク、樹脂製の蒸着マスク、金属と樹脂を積層した積層マスクなどを用いることができ、またこれらの蒸着マスクが蒸着マスク用フレームに固定されてなる、フレーム付き蒸着マスクを用いることもできる。
【００３１】
また、本開示の蒸着パターン形成方法においては、蒸着マスク１０と蒸着対象物２０とを密着させる方法、蒸着源、蒸着材などについても何ら限定することはなく、従来公知のそれぞれを適宜用いることができる。
【００３２】
なお、本開示の蒸着パターン形成方法の種々の実施形態のいずれの形態にあっても、蒸着マスク１０と蒸着対象物２０とを密着させる際には、蒸着対象物２０とフレーム３０とが重なっている部分、またはその内側（蒸着対象物の中心側）を、弾性部材などを用いて押し込みつつ固定することが好ましい。これにより、蒸着マスク１０と蒸着対象物２０との密着精度を向上することができる。
【００３３】
＜蒸着パターン形成装置＞
次に、本開示の実施形態にかかる蒸着パターン形成装置について説明する。
【００３４】
本開示の実施形態にかかる蒸着パターン形成装置は、蒸着作製するパターンに対応する開口部が設けられた蒸着マスクを用い、前記蒸着マスクと蒸着対象物とを密着させて、蒸着源から放出された蒸着材を前記蒸着マスクの開口部を通して前記蒸着対象物に付着させる、蒸着パターン形成装置であって、前記蒸着マスクと前記蒸着対象物をと密着させる際に、前記蒸着対象物を所定の方向に撓ませるための、撓ませ手段、を含んでいる。
【００３５】
ここで、撓ませ手段の具体的な構造については特に限定されることはなく、蒸着対象物を所定の方向に撓ませることができる構造であればよい。具体的には、上記＜蒸着パターン形成方法＞において説明した、蒸着対象物２０を載置・固定するためのフレーム３０などを挙げることができる。
【００３６】
なお、蒸着パターン形成装置における、撓ませ手段以外の構成についても特に限定されることはなく、従来公知の蒸着パターン形成装置を用いることが可能である。
【００３７】
＜フレーム付き蒸着マスクおよびフレーム＞
次に、本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスク、および本開示の実施形態にかかるフレームについて説明する。
【００３８】
図４は、本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクを説明するための図であり、（ａ）は、フレーム付き蒸着マスクの正面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。
【００３９】
図４に示すように、本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクは、蒸着作製するパターンが形成された蒸着マスク１０と、フレーム３０と、から構成されている。より具体的には、複数（図４においては４枚）の蒸着マスク１０が、フレーム３０のＹ軸に平行な二辺３１、３２に固定されており、一方で、フレーム３０のＸ軸に平行な二辺３３、３４においては、撓ませ手段としての凹部３５が設けられているので、蒸着マスク１０は、当該撓ませ手段としての凹部３５が存在する部分においてはフレーム３０によって支えられていない状態となっており、図４（ｂ）に示すように撓んだ状態となっている。
【００４０】
このような本開示の実施形態にかかるフレーム付き蒸着マスクによれば、この上に蒸着対象物として、例えばガラス基板などを載置した場合、当該ガラス基板も撓ませ手段としての凹部３５によって蒸着マスク１０と同様に自重によって撓んだ状態となり、結果として、蒸着マスクとガラス基板との密着性を向上せしめることができる。
【００４１】
なお、本開示の実施形態にかかるフレームは、図４に示したフレーム付き蒸着マスクにおいて蒸着マスク１０を固定する前段階のフレームのみの状態であり、ここでの説明は省略する。
【符号の説明】
【００４２】
１０・・・蒸着マスク
２０・・・蒸着対象物
３０・・・フレーム
３５・・・撓ませ手段
４０・・・冷却板
４１・・・押圧板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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