(57)【要約】【課題】インクジェットヘッド内を効率的に洗浄することができ、かつ廃インクの発生を抑制することができるインクジェット装置を提供する。【解決手段】往路が、インクタンクからインクジェットヘッドまでインクを輸送し、復路が、その逆方向にインクを輸送する。バイパス流路が、往路から復路に、インクジェットヘッドを経由することなくインクを輸送する。洗浄流路が、インクジェットヘッドに洗浄液を供給しインクジェットヘッドから洗浄液を回収する。切替部が、往路、インクジェットヘッド、復路、及びインクタンクを含む循環路にインクを循環させる循環状態と、往路、バイパス流路、復路、及びインクタンクを含む循環路にインクを循環させるとともに、洗浄流路を通してインクジェットヘッドへの洗浄液の供給とインクジェットヘッドからの洗浄液の回収とを行うことによりインクジェットヘッドの洗浄を行う洗浄状態とを切り替える。【選択図】図１
2018030047.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するインクジェットヘッドと、
前記インクを貯蔵するインクタンクと、
前記インクタンクから前記インクジェットヘッドまで前記インクを輸送する往路と、
前記インクジェットヘッドから前記インクタンクまで前記インクを輸送する復路と、
前記往路から前記復路に、前記インクジェットヘッドを経由することなく前記インクを輸送するバイパス流路と、
前記インクジェットヘッドに洗浄液を供給し、前記インクジェットヘッドから前記洗浄液を回収する洗浄流路と、
前記往路、前記インクジェットヘッド、前記復路、及び前記インクタンクを含む循環路に前記インクを循環させる循環状態と、前記往路、前記バイパス流路、前記復路、及び前記インクタンクを含む循環路に前記インクを循環させるとともに、前記洗浄流路を通して前記インクジェットヘッドへの前記洗浄液の供給と前記インクジェットヘッドからの前記洗浄液の回収とを行うことにより前記インクジェットヘッドの洗浄を行う洗浄状態とを切り替え可能に構成された切替部と
を有するインクジェット装置。
【請求項２】
前記インクジェットヘッドは、各々がインク導入口とインク排出口とを含む複数のヘッドブロックで構成されており、
前記往路は、複数の前記ヘッドブロックの前記インク導入口に前記インクを分配する分配部を含み、
前記復路は、複数の前記ヘッドブロックの前記インク排出口から流出した前記インクを合流させて前記インクタンクに戻す合流部を含み、
前記バイパス流路は、前記分配部で分配された後の前記インクを輸送する前記往路と、前記合流部で合流される前の前記インクを輸送する前記復路とを接続し、
前記洗浄流路は、複数の前記ヘッドブロックから１つを選択して、選択された前記ヘッドブロックに前記洗浄液を流すヘッドブロック選択部を有する請求項１に記載のインクジェット装置。
【請求項３】
さらに、
前記洗浄液を貯蔵するとともに、前記洗浄流路に前記洗浄液を流出させる洗浄液タンクと、
前記洗浄液タンクに貯蔵されている前記洗浄液を加温する加温装置と
を有する請求項１または２に記載のインクジェット装置。
【請求項４】
インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインクを循環させながら、前記インクジェットヘッドから前記インクを吐出させるインクジェット装置の洗浄方法であって、
前記インクタンクから前記インクジェットヘッドに向かう前記インクを、前記インクジェットヘッドに流入する前に折り返して前記インクジェットヘッドを経由することなく循環させながら、前記インクジェットヘッドに洗浄液を流して洗浄するインクジェット装置の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット装置及びインクジェット装置の洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板の表面に形成された導電体をパターニングするためのレジスト膜をインクジェットヘッドからインクを吐出することにより形成するインクジェットプリンタが公知である（特許文献１）。
【０００３】
常温において粘度の高いインクを用いる場合、インクジェットヘッドから吐出できる程度まで粘度を低下させるために、インクを加温しなければならない。インクジェットプリンタによる膜形成後に装置の運転を停止させると、インクジェットヘッド内に残っているインクの粘度が高くなる。インクジェットヘッド内には、微細なインクの流路が多数形成されている。インクジェットヘッド内に残った粘度の高いインクは、この微細なインクの流路の詰まりの原因になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１３３４５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
装置の運転を停止させる前に、インクジェットヘッドに残ったインクを吸引してインクの残留量を減らすことができる。ところが、この方法でインクジェットヘッドからインクを完全に排出することは困難である。インクタンクからインクジェットヘッドまでのインクの供給系を洗浄液で洗浄することにより、インクジェットヘッド内のインクを排出ことができる。ところが、この方法では、インクの供給系に洗浄液が残留するため、運転再開時にインクで供給系を洗浄（共洗い）する必要がある。このため、廃インクが発生してしまう。
【０００６】
本発明の目的は、インクジェットヘッド内を効率的に洗浄することができ、かつ廃インクの発生を抑制することができるインクジェット装置及びインクジェット装置の洗浄方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一観点によると、
インクを吐出するインクジェットヘッドと、
前記インクを貯蔵するインクタンクと、
前記インクタンクから前記インクジェットヘッドまで前記インクを輸送する往路と、
前記インクジェットヘッドから前記インクタンクまで前記インクを輸送する復路と、
前記往路から前記復路に、前記インクジェットヘッドを経由することなく前記インクを輸送するバイパス流路と、
前記インクジェットヘッドに洗浄液を供給し、前記インクジェットヘッドから前記洗浄液を回収する洗浄流路と、
前記往路、前記インクジェットヘッド、前記復路、及び前記インクタンクを含む循環路に前記インクを循環させる循環状態と、前記往路、前記バイパス流路、前記復路、及び前記インクタンクを含む循環路に前記インクを循環させるとともに、前記洗浄流路を通して前記インクジェットヘッドへの前記洗浄液の供給と前記インクジェットヘッドからの前記洗浄液の回収とを行うことにより前記インクジェットヘッドの洗浄を行う洗浄状態とを切り替え可能に構成された切替部と
を有するインクジェット装置が提供される。
【０００８】
本発明の他の観点によると、
インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインクを循環させながら、前記インクジェットヘッドから前記インクを吐出させるインクジェット装置の洗浄方法であって、
前記インクタンクから前記インクジェットヘッドに向かう前記インクを、前記インクジェットヘッドに流入する前に折り返して前記インクジェットヘッドを経由することなく循環させながら、前記インクジェットヘッドに洗浄液を流して洗浄するインクジェット装置の洗浄方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
洗浄中にインクを循環させている流路には洗浄液が流れないため、洗浄後に洗浄液が残留しない。インクの流路の一部のみに洗浄液を流すことにより、インクジェットヘッド内を効率的に洗浄することができ、かつ廃インクの発生を抑制することができる
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施例によるインクジェット装置の概略図である。
【図２】図２Ａは、インクジェットヘッドからインクを吐出させて基板に膜形成を行っているときのインクジェット装置の概略図であり、図２Ｂは、インクジェットヘッドを洗浄しているときのインクジェット装置の概略図である。
【図３】図３Ａ及び図３Ｂは、それぞれ他の実施例によるインクジェット装置の循環状態及び洗浄状態の概略図である。
【図４】図４は、さらに他の実施例によるインクジェット装置の概略図である。
【図５】図５は、さらに他の実施例によるインクジェット装置の概略図である。
【図６】図６は、さらに他の実施例によるインクジェット装置の概略図である。
【図７】図７は、さらに他の実施例によるインクジェット装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１、図２Ａ及び図２Ｂを参照して、実施例によるインクジェット装置及びその洗浄方法について説明する。
【００１２】
図１は、実施例によるインクジェット装置の概略図である。インクジェットヘッド１０及びインクタンク１１が、往路１２及び復路１３により接続されている。インクジェットヘッド１０は複数のノズル孔を有し、各ノズル孔からインクの液滴を吐出する。インクタンク１１はインクを貯蔵する。往路１２は、インクタンク１１からインクジェットヘッド１０までインクを輸送する。復路１３は、インクジェットヘッド１０からインクタンク１１までインクを輸送する。インクタンク１１、往路１２、インクジェットヘッド１０、及び復路１３により、インクを循環させる循環路が形成される。加温装置４０が、インクタンク１１内のインクを加温する。インクとして、例えばエッチング用のレジスト膜を形成するためのレジスト液、ソルダーレジスト膜を形成するためのレジスト液等を用いることができる。
【００１３】
往路１２及び復路１３に、それぞれ供給ポンプ２０及び回収ポンプ２１が挿入されている。供給ポンプ２０は、インクタンク１１からインクジェットヘッド１０にインクを送る。回収ポンプ２１は、インクジェットヘッド１０からインクタンク１１にインクを送る。
【００１４】
供給ポンプ２０とインクジェットヘッド１０との間の往路１２に第１の流路切替弁３１が挿入されている。インクジェットヘッド１０と回収ポンプ２１との間の復路１３に第２の流路切替弁３２が挿入されている。バイパス流路１８が第１の流路切替弁３１と第２の流路切替弁３２とを接続する。
【００１５】
第１の洗浄液流路１５が、洗浄液タンク１４と第１の流路切替弁３１とを接続する。洗浄液タンク１４は洗浄液を貯蔵する。第２の洗浄液流路１６が、第２の流路切替弁３２と廃液タンク１７とを接続する。第１の洗浄液流路１５に洗浄液供給ポンプ２２が挿入されている。洗浄液供給ポンプ２２は、洗浄液タンク１４から第１の流路切替弁３１に洗浄液を送る。第２の洗浄液流路１６に洗浄液排出ポンプ２３が挿入されている。洗浄液排出ポンプ２３は、第２の流路切替弁３２から廃液タンク１７に洗浄液を送る。洗浄液として、インク専用の洗浄液を用いることができる。その他に、例えばアセトン、イソプロピルアルコール、エタノール等の揮発性の溶剤を用いることができる。加温装置４１が、洗浄液タンク１４内の洗浄液を加温する。
【００１６】
第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２は、以下に説明するように、循環状態と洗浄状態との２つの状態を切り替える切替部３０として機能する。
【００１７】
切替部３０が循環状態のとき、第１の流路切替弁３１は、第１の流路切替弁３１より上流側の往路１２と下流側の往路１２とを導通させ、第１の洗浄液流路１５及びバイパス流路１８を往路１２から遮断する。第２の流路切替弁３２は、第２の流路切替弁３２より上流側の復路１３と下流側の復路１３とを導通させ、第２の洗浄液流路１６及びバイパス流路１８を復路１３から遮断する。切替部３０を循環状態にすることにより、インクを循環させながらインクジェットヘッド１０からインクを吐出させることができる。
【００１８】
切替部３０が洗浄状態のとき、第１の流路切替弁３１は、第１の流路切替弁３１より上流側の往路１２をバイパス流路１８に導通させ、第１の洗浄液流路１５を第１の流路切替弁３１より下流側の往路１２に導通させる。第２の流路切替弁３２は、バイパス流路１８を第２の流路切替弁３２より下流側の復路１３に導通させ、第２の流路切替弁３２より上流側の復路１３を第２の洗浄液流路１６に導通させる。第１の洗浄液流路１５及び第２の洗浄液流路１６は、インクジェットヘッド１０に洗浄液を供給し、インクジェットヘッド１０から洗浄液を回収する洗浄流路として機能する。
【００１９】
切替部３０を洗浄状態にすることにより、インクタンク１１、往路１２、バイパス流路１８、及び復路１３を含む循環路にインクを循環させることができる。このように、バイパス流路１８は、インクジェットヘッド１０を経由することなく往路１２から復路１３にインクを輸送することができる。さらに、第１の洗浄液流路１５を通してインクジェットヘッド１０への洗浄液の供給と、第２の洗浄液流路１６を通してインクジェットヘッド１０からの洗浄液の回収とを行うことにより、インクジェットヘッド１０の洗浄を行うことができる。
【００２０】
インクジェットヘッド１０の下方に、基板を支持するステージ４５が配置されている。ステージ４５は、その上に支持した基板を水平な二次元方向に移動させることができる。インクジェットヘッド１０から吐出したインクの液滴がステージ４５に支持された基板に付着する。基板に付着したインクを硬化させることにより、基板に膜を形成することができる。
【００２１】
制御装置５５が、ステージ４５による基板の移動、及びインクジェットヘッド１０のノズル孔からのインクの吐出を制御する。制御装置５５が、形成すべき膜のパターンを定義する画像データに基づいてステージ４５の移動、及び各ノズル孔からインクを吐出するタイミングを制御することにより、基板に所望のパターンの膜を形成することができる。
【００２２】
インクジェットヘッド１０を洗浄するときは、インクジェットヘッド１０の下方にステージ４５に代えてトレイ４６を配置する。トレイ４６は、洗浄中にインクジェットヘッド１０ノズル孔から滴下した洗浄液を受け止める。
【００２３】
図２Ａは、インクジェットヘッド１０からインクを吐出させて基板に膜形成を行っているときのインクジェット装置の概略図である。膜形成の前に、基板５０をステージ４５の上まで搬送し、ステージ４５に支持させる。第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２を循環状態にし、供給ポンプ２０及び回収ポンプ２１を動作させることにより、インクタンク１１、往路１２、インクジェットヘッド１０、及び復路１３からなる循環路にインクを循環させる。洗浄液供給ポンプ２２及び洗浄液排出ポンプ２３は停止状態とする。
【００２４】
この状態で、ステージ４５により基板５０を移動させながら、インクジェットヘッド１０の各ノズル孔からインクを吐出させることにより、基板５０に膜を形成することができる。
【００２５】
図２Ｂは、インクジェットヘッド１０を洗浄しているときのインクジェット装置の概略図である。第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２を洗浄状態にする。供給ポンプ２０及び回収ポンプ２１を動作させることにより、インクタンク１１、往路１２、バイパス流路１８、及び復路１３からなる循環路にインクを循環させる。トレイ４６をインクジェットヘッド１０の下方に配置する。
【００２６】
さらに、洗浄液供給ポンプ２２及び洗浄液排出ポンプ２３を動作させる。これにより、洗浄液タンク１４から洗浄液が流出し、第１の洗浄液流路１５、インクジェットヘッド１０、第２の洗浄液流路１６を経由して、廃液タンク１７に回収される。インクジェットヘッド１０のノズル孔から滴下した洗浄液がトレイ４６に回収される。
【００２７】
次に、上記実施例によるインクジェット装置の優れた効果について説明する。
【００２８】
装置の運転を停止して電源をオフにする前に、切替部３０を洗浄状態にして、インクジェットヘッド１０の洗浄を行うことができる（図２Ｂ）。このとき、インクタンク１１、第１の流路切替弁３１より上流側の往路１２、及び第２の流路切替弁３２より下流側の復路１３には洗浄液が流れない。インクの循環路のうち洗浄液が流れるのは、第１の流路切替弁３１より下流側の往路１２、インクジェットヘッド１０、及び第２の流路切替弁３２より上流側の復路１３のみである。インクが流れる循環路の全体を洗浄液で洗浄する場合に比べて、インクが流れる循環路に残留する洗浄液を少なくすることができる。
【００２９】
さらに、インク専用の洗浄液で洗浄した後、揮発性の溶剤で洗浄を行うと、インクの循環路に残留していた洗浄液は、装置の運転再開時までにほぼ蒸発する。一部の洗浄液がインクの循環路に残留していたとしても、残留していた洗浄液は加温されたインクに接触することにより短時間のうちに蒸発する。このため、装置の運転再開時にインクの循環路をインクで共洗いする必要が無い。その結果、廃インクがほとんど発生しない。
【００３０】
インクの循環路に残留する洗浄液を少なくするために、第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２の挿入位置をインクジェットヘッド１０に近づけることが好ましい。インクジェットヘッド１０のインク流入口及びインク排出口にそれぞれ第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２を直接接続してもよい。このとき、第１の流路切替弁３１よりも下流側の往路１２及び第２の流路切替弁３２よりも上流側の復路１３の流路長は実質的に０になる。
【００３１】
洗浄液を加温装置４１（図２Ｂ）で加温することにより、洗浄効果を高めることができる。
【００３２】
インクジェットヘッド１０の洗浄中にインクの循環を停止させると、往路１２及び復路１３に残留するインクの温度が低下して高粘度になる。高粘度のインクが往路１２及び復路１３に残留した状態でインクジェットヘッド１０へのインクの循環を再開させると、高粘度のインクがインクジェットヘッド１０に流れ込み、インクジェットヘッド１０内の微細な流路が詰まってしまう危険性がある。本実施例においては、インクタンク１１からインクジェットヘッド１０に向かうインクを、インクジェットヘッド１０に流入する前に、第１の流路切替弁３１、バイパス流路１８、及び第２の流路切替弁３２で折り返してインクジェットヘッド１０を経由することなく循環させながら、インクジェットヘッド１０に洗浄液を流して洗浄することができる。洗浄中にもこの循環路をインクが循環しているため、高粘度のインクがインクの循環路に残留することを防止できる。
【００３３】
インクジェットヘッド１０の洗浄が終了すると、切替部３０を循環状態に切り替えることにより、加温されたインクを直ちにインクジェットヘッド１０に供給することができる。このため、インクジェットヘッド１０の洗浄終了からインクの吐出開始までの時間を短縮することができる。
【００３４】
インクジェットヘッド１０の洗浄中に、インクタンク１１から往路１２へのインクの流出を停止させて回収ポンプ２１を動作させることにより、往路１２内のインクを、バイパス流路１８を経由してインクタンク１１に回収することができる。
【００３５】
インクジェットヘッド１０の洗浄後、バイパス流路１８を経由したインクの循環も停止させた場合、循環路内に高粘度のインクが残留する場合がある。運転再開時に、切替部３０を洗浄状態にして、バイパス流路１８を経由したインクの循環を行わせ、循環路に残留していた高粘度インクを加温することができる。高粘度のインクが加温されて低粘度になった後に、切替部３０を循環状態に切り替えることにより、高粘度のインクがインクジェットヘッド１０へ流入することを防止できる。これにより、インクジェットヘッド１０内の微細な流路の詰まりを抑制することができる。
。  
【００３６】
洗浄液供給ポンプ２２の吐出圧のみで洗浄液を廃液タンク１７まで流すことができる場合には、洗浄液排出ポンプ２３を省略してもよい。洗浄液供給ポンプ２２及び洗浄液排出ポンプ２３の両方を配置した場合には、両者の吐出圧を調整することにより、インクジェットヘッド１０からの洗浄液の滴下量を調整することができる。
【００３７】
インクジェットヘッド１０を洗浄した後、第１の流路切替弁３１のみを循環状態にし、第２の流路切替弁３２は洗浄状態にしたまま、インクジェットヘッド１０にインクを供給してもよい。このとき、インクジェットヘッド１０に残留していた洗浄液は、インクによって押し出されて廃液タンク１７にインクとともに回収される。
【００３８】
インクジェットヘッド１０から洗浄液を押し出した後、第２の流路切替弁３２も循環状態にすることにより、インクジェットヘッド１０にインクを循環させることができる。
【００３９】
次に、図３Ａ及び図３Ｂを参照して、他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図１、図２Ａ及び図２Ｂに示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
【００４０】
図３Ａ及び図３Ｂは、それぞれ循環状態及び洗浄状態のインクジェット装置の概略図である。本実施例においては、図１に示したインクジェット装置の第１の流路切替弁３１の機能が２つの三方弁３３ａ、３３ｂによって実現され、第２の流路切替弁３２の機能が２つの三方弁３４ａ、３４ｂによって実現される。
【００４１】
２つの三方弁３３ａ、３３ｂが往路１２に直列に挿入されており、２つの三方弁３４ａ、３４ｂが復路１３に直列に挿入されている。往路１２の上流側の三方弁３３ａと、復路１３の下流側の三方弁３４ａとがバイパス流路１８で接続されている。往路１２の下流側の三方弁３３ｂに第１の洗浄液流路１５が接続されており、復路１３の上流側の三方弁３４ｂに第２の洗浄液流路１６が接続されている。４つの三方弁３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂが切替部３０としての機能を有する。
【００４２】
図３Ａに示すように、切替部３０が循環状態のとき、三方弁３３ａ、３３ｂが、往路１２をインクタンク１１からインクジェットヘッド１０まで導通させ、バイパス流路１８及び第１の洗浄液流路１５を往路１２から遮断する。さらに、三方弁３４ａ、３４ｂが、復路１３をインクジェットヘッド１０からインクタンク１１まで導通させ、バイパス流路１８及び第２の洗浄液流路１６を復路１３から遮断する。
【００４３】
図３Ｂに示すように、切替部３０が洗浄状態のとき、三方弁３３ａが、三方弁３３ａより上流側の往路１２をバイパス流路１８に接続し、三方弁３３ｂが、第１の洗浄液流路１５をインクジェットヘッド１０に接続する。さらに、三方弁３４ａが、バイパス流路１８を三方弁３４ａより下流側の復路１３に接続し、三方弁３４ｂがインクジェットヘッド１０を第２の洗浄液流路１６に接続する。
【００４４】
図３Ａ及び図３Ｂに示した実施例によるインクジェット装置においても、図１に示した実施例によるインクジェット装置と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
次に、図４を参照してさらに他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図１、図２Ａ及び図２Ｂに示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
【００４６】
図４は、本実施例によるインクジェット装置の概略図である。本実施例では、インクジェットヘッド１０が複数のヘッドブロック１０Ａで構成されている。複数のヘッドブロック１０Ａの各々は、インク導入口３６とインク排出口３７とを含む。
【００４７】
往路１２に挿入された分配部６１が、１本の往路１２を複数の往路１２Ａに分岐させる。分岐後の複数の往路１２Ａは、それぞれヘッドブロック１０Ａのインク導入口３６に接続されている。分配部６１は、複数のヘッドブロック１０Ａのインク導入口３６に前記インクを分配する機能を有する。
【００４８】
複数の復路１３Ａが、それぞれヘッドブロック１０Ａのインク排出口３７を合流部６２に接続する。合流部６２は、複数のヘッドブロック１０Ａのインク排出口３７から流出したインクを１本の復路１３に合流させてインクタンク１１に戻す機能を有する。
【００４９】
第１の流路切替弁３１は、分配部６１よりも上流側の往路１２に挿入されている。第２の流路切替弁３２は、合流部６２より下流側の復路１３に挿入されている。トレイ４６は、複数のヘッドブロック１０Ａから滴下する洗浄液を回収する。
【００５０】
第１の流路切替弁３１及び第２の流路切替弁３２からなる切替部３０が洗浄状態のとき、第１の洗浄液流路１５から往路１２に流入した洗浄液は、分配部６１で複数のヘッドブロック１０Ａに分配され、複数のヘッドブロック１０Ａから排出された洗浄液は、合流部６２で合流する。合流部６２で合流した洗浄液は、第２の流路切替弁３２を経由して第２の洗浄液流路１６に流出する。
【００５１】
本実施例においては、インクジェットヘッド１０を複数のヘッドブロック１０Ａで構成することにより、ステージ４５の１回の走査で基板のより広い領域に膜材料を塗布することができる。また、複数のヘッドブロック１０Ａを同時に洗浄することができる。
【００５２】
次に、図５を参照して、さらに他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図４に示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
【００５３】
図５は、本実施例によるインクジェット装置の概略図を示す。図４に示した実施例では、分配部６１よりも上流側の往路１２に第１の流路切替弁３１が挿入され、合流部６２よりも下流側の復路１３に第２の流路切替弁３２が挿入されていた。本実施例では、分配部６１で分岐された後の複数の往路１２Ａにそれぞれ第１の流路切替弁３１Ａが挿入されている。さらに、合流部６２で合流される前の複数の復路１３Ａにそれぞれ第２の流路切替弁３２Ａが挿入されている。
【００５４】
１つのヘッドブロック１０Ａに対応する第１の流路切替弁３１Ａと第２の流路切替弁３２Ａとを、バイパス流路１８Ａが接続している。
【００５５】
第１の洗浄液流路１５が複数の第１の洗浄液流路１５Ａに分岐して、分岐後の複数の第１の洗浄液流路１５Ａがそれぞれ第１の流路切替弁３１Ａに接続されている。複数の第２の流路切替弁３２Ａにそれぞれ第２の洗浄液流路１６Ａが接続されており、複数の第２の洗浄液流路１６Ａが１本の第２の洗浄液流路１６に合流している。複数の第１の開閉弁６６が、それぞれ複数の第１の洗浄液流路１５Ａに挿入されている。複数の第２の開閉弁６７が、それぞれ複数の第２の洗浄液流路１６Ａに挿入されている。
【００５６】
洗浄液供給ポンプ２２は分岐前の１本の第１の洗浄液流路１５に挿入されており、洗浄液排出ポンプ２３は、合流後の１本の第２の洗浄液流路１６に挿入されている。
【００５７】
本実施例においては、複数の第１の流路切替弁３１Ａ及び複数の第２の流路切替弁３２Ａが、図４に示した切替部３０としての機能を有する。
【００５８】
切替部３０を洗浄状態にすることにより、複数のヘッドブロック１０Ａを洗浄することができる。
【００５９】
複数の第１の開閉弁６６をすべて導通させ、複数の第２の開閉弁６７をすべて導通させて洗浄を行うと、洗浄液が、詰まりの生じていないヘッドブロック１０Ａに優先的に流れる。また、すべてのヘッドブロック１０Ａに詰まりが生じている場合でも、洗浄によって最初に詰まりが解消したヘッドブロック１０Ａに優先的に洗浄液が流れてしまう。このため、詰まりが生じているヘッドブロック１０Ａの洗浄が進み難くなってしまう。
【００６０】
第１の開閉弁６６のうち１つを選択的に導通させ、第２の開閉弁６７のうち対応する１つを選択的に導通させることにより、複数のヘッドブロック１０Ａのうち１つを洗浄することができる。これにより、詰まりが生じているヘッドブロック１０Ａを効率的に洗浄することができる。第１の開閉弁６６及び第２の開閉弁６７は、複数のヘッドブロック１０Ａから１つを選択して、選択されたヘッドブロック１０Ａに洗浄液を流すヘッドブロック選択部として機能する。
【００６１】
次に、図６を参照してさらに他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図５に示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
。  
【００６２】
図６は、本実施例によるインクジェット装置の概略図である。切替部３０が循環状態にされているとき、複数のヘッドブロック１０Ａが分配部６１及び合流部６２に並列に接続される。切替部３０が洗浄状態にされているとき、複数のヘッドブロック１０Ａは洗浄液タンク１４から廃液タンク１７までの洗浄液流路に直列に挿入される。例えば、１段目のヘッドブロック１０Ａに対応する第１の流路切替弁３１Ａが、第１の洗浄液流路１５を介して洗浄液タンク１４に接続されている。１つのヘッドブロック１０Ａに対応する第２の流路切替弁３２Ａが直列接続流路１９を介して後段のヘッドブロック１０Ａの第１の流路切替弁３１Ａに接続されている。最終段のヘッドブロック１０Ａに対応する第２の流路切替弁３２Ａが第２の洗浄液流路１６を介して廃液タンク１７に接続されている。
【００６３】
切替部３０が洗浄状態にされているとき、洗浄液タンク１４から流出した洗浄液が、複数のヘッドブロック１０Ａを順番に流れて廃液タンク１７に回収される。
【００６４】
本実施例では、ヘッドブロック１０Ａの個数が増えた場合に、図５に示した実施例と比べて洗浄液用の配管の本数を減らすことができる。
【００６５】
次に、図７を参照してさらに他の実施例によるインクジェット装置について説明する。以下、図６に示した実施例との相違点について説明し、共通の構成については説明を省略する。
【００６６】
図７は、本実施例によるインクジェット装置の概略図である。本実施例においては、インクジェットヘッド１０のヘッドブロック１０Ａごとに、ヘッドブロック１０Ａに対応する切替部３０の状態を循環状態と洗浄状態との間で切り替えることができる。
【００６７】
切替部３０が循環状態に切り替えられているとき、図６に示した実施例の場合と同様に、第１の流路切替弁３１Ａは、第１の流路切替弁３１Ａより上流側の往路１２Ａと下流側の往路１２Ａとを導通させ、第２の流路切替弁３２Ａは、第２の流路切替弁３２Ａより上流側の復路１３Ａと下流側の復路１３Ａとを導通させる。さらに、切替部３０が循環状態に設定されているとき、第１の流路切替弁３１Ａ及び第２の流路切替弁３２Ａは、第１の洗浄液流路１５または前段の直列接続流路１９をバイパス流路１８Ａに接続し、バイパス流路１８Ａを後段の直列接続流路１９または第２の洗浄液流路１６に接続する。
【００６８】
特定の一部のヘッドブロック１０Ａに対応する切替部３０を洗浄状態にすることにより、そのヘッドブロック１０Ａのみに洗浄液を流して洗浄することができる。循環状態にされている他の切替部３０に対応するヘッドブロック１０Ａは、インクを循環させたままにすることができる。循環状態にされている切替部３０のバイパス流路１８Ａは、洗浄液をヘッドブロック１０Ａに流入させることなく後段の切替部３０まで輸送するための流路として機能する。
【００６９】
図７は、左から２番目のヘッドブロック１０Ａに対応する切替部３０が洗浄状態にされ、その他の切替部３０が循環状態にされている例を示している。図７に示した例では、左から２番目のヘッドブロック１０Ａのみを洗浄し、他のヘッドブロック１０Ａについては高温のインクを循環させた状態を維持することができる。なお、複数のヘッドブロック１０Ａに対応する切替部３０を洗浄状態にすることにより、複数のヘッドブロック１０Ａを洗浄することも可能である。
【００７０】
図７に示した実施例では、特定の１つまたは一部のヘッドブロック１０Ａのみを洗浄することができる。他のヘッドブロック１０Ａには、高温のインクが循環し、洗浄対象のヘッドブロック１０Ａにおいても、対応するバイパス流路１８Ａまで高温のインクが供給されているため、インクの供給経路の温度が高温に維持される。このため、特定のヘッドブロック１０Ａを洗浄した後、短時間で膜の形成を再開することができる。
【００７１】
上記各実施例は例示であり、異なる実施例で示した構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることは言うまでもない。複数の実施例の同様の構成による同様の作用効果については実施例ごとには逐次言及しない。さらに、本発明は上述の実施例に制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【符号の説明】
【００７２】
１０  インクジェットヘッド
１０Ａ  ヘッドブロック
１１  インクタンク
１２  往路
１２Ａ  分岐後の往路
１３  復路
１３Ａ  合流前の復路
１４  洗浄液タンク
１５  第１の洗浄液流路
１５Ａ  分岐後の第１の洗浄液流路
１６  第２の洗浄液流路
１６Ａ  合流前の第２の洗浄液流路
１７  廃液タンク
１８、１８Ａ  バイパス流路
１９  直列接続流路
２０  供給ポンプ
２１  回収ポンプ
２２  洗浄液供給ポンプ
２３  洗浄液排出ポンプ
３０  切替部
３１、３１Ａ  第１の流路切替弁
３２、３２Ａ  第２の流路切替弁
３３ａ、３３ｂ  三方弁
３４ａ、３４ｂ  三方弁
３６  インク導入口
３７  インク排出口
４０、４１  加温装置
４５  ステージ
４６  トレイ
５０  基板
５５  制御装置
６１  分配部
６２  合流部
６６  第１の開閉弁
６７  第２の開閉弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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