(57)【要約】【課題】プレートホルダを二軸方向に移動させる移動機構に機械誤差に起因するプレート上の位置の相違による高さのばらつきを軽減し、キャリブラントの測定回数を抑える。【解決手段】試料室の平坦な底面板１ａの上に直接、金属製のプレートホルダ３を載置する。底面板１ａの下方にはｘ軸方向に延伸するリニアガイド２１を配置し、リニアガイド２１の可動部２１ａの上にｙ軸方向に延伸するリニアガイド２２を固定する。リニアガイド２２の可動部２２ａの上に磁石２３を固定し、底面板１ａを挟んで磁石２３の磁力によりプレートホルダ３を引きつける。モータ等によりリニアガイド２１、２２を介して磁石２３を二次元的に移動させると、それに追従してプレートホルダ３も二次元的に移動する。平坦な底面板１ａがプレートホルダ３のｚ軸方向の位置を規制するので、移動に伴うプレート３上の試料の高さの変位を抑えることができる。【選択図】図２
2018006050.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料保持部により保持される試料にレーザ光又は粒子線を照射して該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートの裏面側に配置され、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の互いに直交する二軸方向に可動部を移動可能である直交駆動部と、
c)前記可動部と一体である又は該可動部に取り付けられた、前記ベースプレートを挟んでそのおもて面に載置された金属製の前記試料保持部を引き寄せる磁石と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
【請求項２】
試料保持部により保持される試料にレーザ光又は粒子線を照射して該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の一軸方向に押す及び／又は引く第１の駆動部と、
c)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内で前記第１の駆動部により押される及び／又は引かれる方向と直交する方向に押す及び／又は引く第２の駆動部と、
を備えることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の飛行時間型質量分析装置であって、
前記ベースプレートは試料が収容される試料室の底面板であることを特徴とする飛行時間型質量分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は飛行時間型質量分析装置に関し、さらに詳しくは、試料にレーザ光、電子線、イオン線、中性原子線などを照射して該試料中の成分をイオン化するイオン源を備えた飛行時間型質量分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
固体状の試料にレーザ光を照射して該試料中の成分をイオン化する手法として、マトリクス支援レーザ脱離イオン化（ＭＡＬＤＩ）法がよく知られている。ＭＡＬＤＩ法によるイオン源を搭載した飛行時間型質量分析装置（以下、慣用に従って「ＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳ」と称す）では、一般に、平板状であるサンプルプレート上に保持されている試料に対してパルス的にレーザ光を照射し、該試料に含まれる成分由来のイオンを発生させる。そして、試料の上方に配置した電極により生成した電場によって上記各種イオンに一定の加速エネルギを付与して飛行空間に導入し、それらイオンが一定距離である飛行空間を飛行して検出器に到達するまでの飛行時間をそれぞれ計測する。各イオンの飛行時間はそのイオンの質量電荷比と所定の関係を有する。そこで、この関係を利用して、計測された飛行時間を質量電荷比に換算し、例えば質量電荷比とイオン強度との関係を示すマススペクトルを作成する。
【０００３】
一般的なＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳでは、サンプルプレート上に測定対象である試料をスポッティングするためのウェルと呼ばれる凹部（場合によっては凹部はなく単にスポット位置のみが示されていることもある）が行列状に多数形成されており、各ウェルにそれぞれ液体試料をスポッティングして乾燥させることで試料が形成される。そして、このサンプルプレートをプレートホルダに装着し、該プレートホルダを水平面内で互いに直交する二軸方向に移動させることで目的とするウェル中の試料をレーザ光照射位置に移動させ、該試料に対する質量分析を実施するようにしている（特許文献１等参照）。
【０００４】
図５は、従来のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおけるサンプルプレートの移動機構の概略構成図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は上面図である。ここでは、図５（ｃ）中に示すように、サンプルプレート２がセットされる水平面はｘ軸−ｙ軸面であり、レーザ光照射により生成されるイオンの飛行方向はｚ軸方向である。
【０００５】
図５に示すように、試料室の底面板１ａの上にはｘ軸方向に延伸する第１のリニアガイド５１が取り付けられ、そのリニアガイド５１により直線的に移動自在である可動部５１ａの上に、ｙ軸方向に延伸する第２のリニアガイド５２が固定されている。そして、この第２のリニアガイド５２により直線的に移動自在である可動部５２ａの上にサンプルプレート２を保持可能なプレートホルダ３が固定されている。第１のリニアガイド５１の可動部５１ａ及び第２のリニアガイド５２の可動部５２ａはそれぞれ図示しないモータ等の駆動力によって移動され、それによってプレートホルダ３は所定の二次元範囲内の任意の位置に移動可能である。なお、リニアガイド５１、５２は例えば非特許文献１に開示されているものを利用することができる。
【０００６】
上述したＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳではサンプルプレート２上の試料表面がイオンの飛行開始地点となる。そのため、様々な要因によってサンプルプレート２の表面の高さが変わると、飛行距離が微妙に変化してそれが質量電荷比の誤差に繋がる。そこで、目的化合物由来のイオンの質量電荷比を正確に求めるために、理論的な（つまりは正確な）質量電荷比が既知である標準物質を含む標準試料（キャリブラントと呼ばれる）を測定した結果に基づいて、目的試料を測定した結果を校正する、キャリブレーションと呼ばれる処理が一般に行われる。
【０００７】
１枚のサンプルプレートで厚さの不均一性やそりなどがある場合、１枚のサンプルプレートの面内の位置によっても飛行距離は異なる。このため、サンプルプレート上には、目的試料をスポッティングするサンプルウェルのほかに、キャリブラントをスポッティングするキャリブラントウェルが複数設けられ、或る目的試料の測定結果のキャリブレーションは、該目的試料が形成されているサンプルウェルに最も近いキャリブラントウェルに形成されているキャリブラントを測定した結果を利用して行われる。こうしたキャリブレーションによって、目的試料を測定して得られた試料成分に対する質量電荷比値は真値に近い値に修正される（特許文献２参照）。
【０００８】
キャリブラントウェルが多いとそれだけキャリブラントの測定に要する時間が長くなり測定効率が低下する。そのため、１枚のサンプルプレートにおいて１箇所のキャリブラントウェルに形成されているキャリブラントの測定の結果を利用して、該サンプルプレート内の全ての目的試料に対するキャリブレーションが行えることが望ましい。そのために、サンプルプレートの厚さの均一性の向上や湾曲の防止などが図られている。しかしながら、実際にはサンプルプレート以外の要因でも１枚のサンプルプレート上において試料の高さ、つまりは試料の表面とイオンを引き出し加速するための電極との間の距離がばらつくという問題がある。
【０００９】
即ち、図５を用いて説明したように、従来のサンプルプレートの移動機構は、試料室の底面板１ａ上に複数の部材を積み上げた構成である。そのため、各部材の公差が加算され、結果としてサンプルプレート２上の位置によって高さのばらつきが大きくなることがある。
【００１０】
図６は、従来のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおいてサンプルプレート上の一方向（ｘ軸方向）に配列されたサンプルウェルの位置（この位置はサンプル番号＃で示される）毎の高さの変位量を実測した結果の一例である。質量精度の観点からはおおよそ±１００ppmの変動に抑える必要があるが、この例では、これを大きく逸脱するサンプルウェルが存在することが分かる。このように大きな変位がある場合には、やはりサンプルウェルの近傍に設けたキャリブラントの測定結果に基づいてキャリブレーションを行う必要があり、１枚のサンプルプレート上に複数のキャリブラントを形成することは必須である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２０１５−１７９０１７号公報（段落［０００３］）
【特許文献２】特開２０１５−１７９６３０号公報（段落［０００３］−［０００４］）
【非特許文献】
【００１２】
【非特許文献１】「LMガイド」、［online］、THK株式会社、［平成２８年４月２５日検索］、インターネット＜URL: http://www.thk.com/?q=jp/node/6709＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は上記課題に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、サンプルプレートを互いに直交する二軸方向に移動させることが可能な移動機構に起因する、試料とイオン引き出し・加速用の電極との間の距離のばらつきを軽減することにより、キャリブレーションのためにサンプルプレート上に形成するキャリブラントの数を減らすことができる飛行時間型質量分析装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために成された本発明に係る第１の態様の飛行時間型質量分析装置は、試料保持部により保持される試料にレーザ光又は粒子線を照射して該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートの裏面側に配置され、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の互いに直交する二軸方向に可動部を移動可能である直交駆動部と、
c)前記可動部と一体である又は該可動部に取り付けられた、前記ベースプレートを挟んでそのおもて面に載置された金属製の前記試料保持部を引き寄せる磁石と、
を備えることを特徴としている。
【００１５】
また上記課題を解決するために成された本発明に係る第２の態様の飛行時間型質量分析装置は、試料保持部により保持される試料にレーザ光又は粒子線を照射して該試料からイオンを生成し、生成されたイオンを加速して飛行空間中に導入し該飛行空間においてイオンを質量電荷比に応じて分離して検出する飛行時間型質量分析装置であって、
a)おもて面が平面であるベースプレートと、
b)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内の一軸方向に押す及び／又は引く第１の駆動部と、
c)前記ベースプレートのおもて面に載置された前記試料保持部の側面を、該ベースプレートのおもて面と略平行な面内で前記第１の駆動部により押される及び／又は引かれる方向と直交する方向に押す及び／又は引く第２の駆動部と、
を備えることを特徴としている。
【００１６】
本発明に係る飛行時間型質量分析装置において、試料中の成分をイオン化するイオン化法は、ＭＡＬＤＩ法のほか、レーザ脱離イオン化法（ＬＤＩ）、表面支援レーザ脱離イオン化法（ＳＡＬＤＩ）、二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）、シリコン上脱離イオン化法（ＤＩＯＳ）、エレクトロスプレイ支援／レーザ脱離イオン化法（ＥＬＤＩ）、高速原子衝撃法（ＦＡＢ）、などを含む。
【００１７】
また、本発明に係る飛行時間型質量分析装置において試料保持部は、例えばサンプルプレートを保持するプレートホルダや試料を上に載せる平板状の台である。
【００１８】
本発明に係る飛行時間型質量分析装置において、ベースプレートはそのおもて面が水平な面、垂直な面、又はそのいずれでもない斜めの面のいずれもよい。例えばベースプレートのおもて面が水平である場合には、試料保持部はその水平であるベースプレート上に直接載置され、該試料保持部はそのベースプレートの上面を摺動（又は滑動）する。
【００１９】
ベースプレートのおもて面上に直接載置された試料保持部を移動させるために、第１の態様では、ベースプレートの裏面側に配置された直交駆動部及び磁石を用い、磁石による磁力の作用により非接触で以て試料保持部を二次元的に移動させる。一方、第２の態様では、ベースプレートのおもて面側に配置された第１及び第２なる二つの駆動部により、試料保持部の側面に力を作用させることで該試料保持部を二次元的に移動させる。
第１、第２の態様のいずれにおいても、ベースプレートのおもて面自体が、試料保持部が二軸方向に移動する際のその二軸に直交する方向（ベースプレートの厚さ方向）の位置を規制する一種のガイドとして機能する。そのため、ベースプレートのおもて面の平坦性が高ければ、試料保持部の移動に伴う試料とイオン引き出し・加速用の電極との間の距離の変動は抑えられる。
【００２０】
なお、本発明に係る飛行時間型質量分析装置において、上記ベースプレートは試料が収容される試料室の底面板とすることができる。真空雰囲気の下でイオン化が行われるイオン化法が用いられる場合には、試料室は密閉可能であって質量分析の際に試料室内は真空排気される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る飛行時間型質量分析装置によれば、試料が担持されるサンプルプレートを二次元的に移動させる移動機構に起因する、１枚のサンプルプレート内でのサンプルプレート表面とイオン引き出し・加速用の電極との間の距離のばらつきを軽減することができる。それにより、例えば１枚のサンプルプレート上に用意するキャリブラントの数を従来に比べて減らすことができ、キャリブラントの測定に要する時間を短縮して測定効率を向上させることができる。また、キャリブラントを多数用意する手間も軽減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施例であるＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳの概略構成図。
【図２】本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおけるプレートホルダの移動機構の概略構成図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は上面図。
【図３】本発明の他の実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおけるプレートホルダの移動機構の概略構成図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は上面図。
【図４】図３に示した移動機構の変形例の概略構成を示す上面図。
【図５】従来のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおけるプレートホルダの移動機構の概略構成図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は上面図。
【図６】従来のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおいてサンプルプレート上の一方向に配列されたサンプルウェルの位置毎の高さの変位量を実測した結果を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の一実施例であるＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳについて、添付図面を参照して説明する。図１は本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳの概略構成図である。図２は本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおけるプレートホルダの移動機構の概略構成図であり、図５と同様に、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は上面図である。
【００２４】
図１に示すように、平板状で金属製であるサンプルプレート２は金属製のプレートホルダ３に装着された状態で試料室１内の底面板１ａ上に直接載置される。試料室１の下方には、プレートホルダ３を底面板１ａ上で二次元的に移動させるＸ−Ｙ移動機構２０が配置されている。一方、試料室１の内部と連通して該試料室１の上方に配置される真空チャンバ１０内には、下方から上に向かって、引出電極１１、加速電極１２、反射鏡１４、フライトチューブ１５、検出器１６が配置されている。また、真空チャンバ１０に形成された窓１０ａの外側にはレーザ照射部１３が設けられている。
【００２５】
測定実行時には、所定のレーザ光照射位置にセットされたサンプルプレート２上の一つの試料に対し、レーザ照射部１３から出射して窓１０ａ、反射鏡１４を経たパルス状のレーザ光が照射され、それにより、その試料に含まれる成分がイオン化される。レーザ光の照射位置は固定されており、Ｘ−Ｙ移動機構２０によりプレートホルダ３を適宜移動させることで、サンプルプレート２上の任意の位置の試料に対してレーザ光を照射し測定を行うことができる。
【００２６】
サンプルプレート２の上方に配置されている引出電極１１及び加速電極１２には、図示しない電圧発生部からそれぞれ所定の電圧が印加される。また、プレートホルダ３を介してサンプルプレート２へも所定の電圧が印加される。上述したようにレーザ光が照射されることで試料から発生したイオンは、引出電極１１と試料との間に形成されている電場によってその発生位置近傍から上方に引き出され、さらに加速電極１２により形成される加速電場によって加速エネルギを付与される。これにより上方向（ｚ軸方向）に飛行を開始したイオンは、フライトチューブ１５内に形成された無電場、無磁場の飛行空間中を飛行して検出器１６に到達する。飛行空間中では質量電荷比が小さいイオンほど大きな飛行速度を有するため、ほぼ同時に飛行を開始した各種のイオンの中で、質量電荷比が小さなイオンから順に検出器１６に到達する。検出器１６は入射したイオンの量に応じた検出信号を出力する。
【００２７】
なお、本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳはイオンを直線的に飛行させるリニアＴＯＦＭＳであるが、イオンの飛行軌道を反転させるリフレクトロンを備えたリフレクトロンＴＯＦＭＳ、或いは、イオンを周回軌道に沿って繰り返し飛行させるマルチターンＴＯＦＭＳなどでもよいことは当然である。
【００２８】
本実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおいて、本発明における試料保持部に相当するプレートホルダ３を二次元的に移動させるＸ−Ｙ移動機構２０について詳述する。
上述したようにプレートホルダ３は本発明におけるベースプレートに相当する平坦な底面板１ａ上に載置されている。この上面板は例えば非磁性ステンレス等の磁力に引き付けられない材料から成る。その上面は高い平坦性を有するのみならず、高い平滑性を有していることが好ましい。そのために、底面板１ａの上面は適宜の表面加工又は表面処理がなされているものであってもよい。
【００２９】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、Ｘ−Ｙ移動機構２０は、図５に示した従来装置におけるリニアガイド５１、５２と同様の二つのリニアガイド２１、２２を、本発明における直交駆動部に相当する要素として含む。即ち、このＸ−Ｙ移動機構２０の筐体（図示せず）の底面板には、ｘ軸方向に延伸する第１のリニアガイド２１が固定され、該リニアガイド２１の可動部２１ａの上にはｙ軸方向に延伸する第２のリニアガイド２２が固定されている。第２のリニアガイド２２の可動部２２ａの上には磁石２３が固定され、磁石２３の上面と底面板１ａの下面とはほぼ接触しているか或いは微小な間隙を有している。二つのリニアガイド２１、２２の可動部２１ａ、２２ａはそれぞれ図示しないモータ等の駆動力によりｘ軸方向、ｙ軸方向に移動可能である。これにより、磁石２３は底面板１ａの下方の略水平面（ｘ軸−ｙ軸面）内で二次元的に任意の位置に移動可能である。
【００３０】
磁石２３の磁力は底面板１ａを通してその上方に載置されたプレートホルダ３に及ぶ。プレートホルダ３は磁石２３に引き付けられるため、上述したように磁石２３が略水平面内で二次元的に任意の位置に移動されるとき、それに追従して底面板１ａの上で二次元的に移動する。磁石２３が二次元的に移動する際に該磁石２３の上面と底面板１ａの下面との間隙の大きさが或る程度変化したとしても、磁石２３の磁力がプレートホルダ３に及んでいる限り、プレートホルダ３は底面板１ａの上を滑動又は摺動する。即ち、底面板１ａの上面全体がプレートホルダ３が二次元的に移動する際にその下面のｚ軸方向の位置を規制するガイドとして機能するため、底面板１ａの上面の平坦性が高ければプレートホルダ３の移動に際してのｚ軸方向の変位は非常に小さい。それにより、レーザ光照射位置における、サンプルプレート２上の試料の高さの変位は従来装置に比べて大幅に抑制されることになる。
【００３１】
なお、上記実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおいて、磁石２３は永久磁石でなく電磁石でもよいことは当然である。また、プレートホルダ３を用いずにサンプルプレート２を直接、磁力により移動させるようにしてもよい。また、サンプルプレート２を保持するプレートホルダ３の代わりに、上に試料を載せるための単なる金属板である試料台を用いてもよい。
【００３２】
次に、本発明の他の実施例のＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳにおけるプレートホルダの移動機構について説明する。図３はこの移動機構の概略構成図であり、図２と同様に、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は上面図である。図２と同じ構成要素には同じ符号を付している。
【００３３】
上記実施例の移動機構では、磁石を利用して非接触でプレートホルダ３を二次元的に移動させるようにしていたが、本実施例では、プレートホルダ３を挟み込むように配置した二組のアームを利用して底面板１ａの上でプレートホルダ３を二次元的に移動させる。即ち、図３に示すようにプレートホルダ３は、ｙ軸方向に延伸する二本のアーム３１ａ、３１ｂで挟み込まれるとともに、ｘ軸方向に延伸する二本のアーム３３ａ、３３ｂで挟み込まれる。二本一組のアーム３１ａ、３１ｂはｘ軸方向駆動部３２により、その間隔を保ったままｘ軸方向に移動される。一方、他方の二本一組のアーム３３ａ、３３ｂはｙ軸方向駆動部３４により、その間隔を保ったままｙ軸方向に移動される。例えば、二本一組のアーム３１ａ、３１ｂが図３（ａ）で左方向に移動するとき、アーム３１ｂがプレートホルダ３の右側面を押すことでプレートホルダ３は底面板１ａの上を左方向に滑動する。
【００３４】
ｘ軸方向駆動部３２及びｙ軸方向駆動部３４により二組のアーム３１ａ、３１ｂと３３ａ、３３ｂが独立に移動されることで、プレートホルダ３は底面板１ａの上の任意の位置に移動される。上記実施例と同様に、底面板１ａの上面全体がプレートホルダ３が二次元的に移動する際にその下面の位置を規制するガイドとして機能するため、底面板１ａの上面の平坦性が高ければプレートホルダ３の移動に際してのｚ軸方向の変位は非常に小さく、サンプルプレート２上の位置の相違による高さの変位も抑えられる。
【００３５】
なお、図３の例では、いずれかのアーム３１ａ、３１ｂ、３３ａ、３３ｂがプレートホルダ３の周面を後方から押すことでプレートホルダ３の移動が達成されたが、例えば図４に示すように、プレートホルダ３を挟み込むことで保持するグリップ状のアーム４１、４３をｘ軸方向駆動部４２及びｙ軸方向駆動部４４によりそれぞれ移動させる構成としてもよい。このように、底面板１ａの上に載置されたプレートホルダ３をその周面（側面）から押したり或いは引いたりすることで移動させる機構であれば、上記実施例と同様の効果を奏することは明らかである。
【００３６】
上記実施例ではいずれも底面板１ａは水平に設置されていたが、必ずしも水平でなく斜めになっていても垂直であってもよいことは明らかである。もちろん、上記他の実施例において底面板１ａが垂直に設置されている場合には、プレートホルダ３が落ちることがないように、例えばプレートホルダ３と底面板１ａとが磁性により引き付け合うようにしておけばよい。
【００３７】
また、上記実施例は本発明をＭＡＬＤＩ−ＴＯＦＭＳに適用したものであるが、サンプルプレート２上に形成された試料や試料台上に置かれた試料に対して、レーザ光のほか、細径に絞ったイオン線、電子線、中性原子線などの種々の粒子線を照射して試料中の成分をイオン化するイオン源を搭載した飛行時間型質量分析装置全般に本発明を適用可能であることは明らかである。こうしたイオン源としては、ＬＤＩ、ＳＡＬＤＩ、ＳＩＭＳ、ＤＩＯＳ、ＥＬＤＩ、ＦＡＢなどを挙げることができる。
【００３８】
また、上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜変形や修正、追加を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは明らかである。
【符号の説明】
【００３９】
１…試料室
１ａ…底面板
２…サンプルプレート
３…プレートホルダ
１０…真空チャンバ
１０ａ…窓
１１…引出電極
１２…加速電極
１３…レーザ照射部
１４…反射鏡
１５…フライトチューブ
１６…検出器
２０…Ｘ−Ｙ移動機構
２１、２２…リニアガイド
２１ａ、２２ａ…可動部
２３…磁石
３１ａ、３１ｂ、３３ａ、３３ｂ、４１、４３…アーム
３２、４２…ｘ軸方向駆動部
３４、４４…ｙ軸方向駆動部
【図１】
2018006050.tif 000003
【図２】
2018006050.tif 000004
【図３】
2018006050.tif 000005
【図４】
2018006050.tif 000006
【図５】
2018006050.tif 000007
【図６】
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