(57)【要約】【課題】ガラスパネルユニットの内部空間の減圧状態が破壊されることを、ゲッターを利用して抑制する。【解決手段】ガラスパネルユニットは、第一パネル１０、第二パネル２０、枠体５０、減圧空間６００、およびゲッター４を備える。減圧空間６００は、第一パネル１０と第二パネル２０と枠体５０で囲まれて形成され、減圧状態で密閉される。ゲッター４は、減圧空間６００の中に位置するように、第一パネル１０と第二パネル２０の一方または両方に配される。ゲッター４と枠体５０の距離Ｄ１は、枠体５０の幅寸法Ｗ１よりも小さく設けられる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくともガラス板からなる第一基板がその厚み方向の一方に有する第一面と、少なくともガラス板からなる第二基板がその厚み方向の一方に有する第二面の、一方または両方にゲッターを塗布するゲッター塗布工程と、
前記第一基板が有する前記第一面と、前記第二基板が有する前記第二面を、枠状のシールを介して気密に接合させることで、前記第一面と前記第二面と前記シールに囲まれた内部空間を形成する接合工程と、
前記内部空間を減圧する減圧工程と、
前記内部空間を、減圧された状態を維持しながら封止する封止工程を含み、
前記封止工程で封止された前記内部空間において、前記ゲッターは、前記シールに沿ってライン状に設けられ、
前記ゲッターと前記シールの間の距離は、前記シールの幅寸法よりも小さい
ことを特徴とするガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項２】
前記ゲッターは、前記シールの全周に亘って、前記シールに沿うように設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載のガラスパネルユニットの製造方法。
【請求項３】
少なくともガラス板からなる第一パネルと、
少なくともガラス板からなり、前記第一パネルに対向して位置する第二パネルと、
前記第一パネルと前記第二パネルに気密に接合される枠体と、
前記第一パネルと前記第二パネルと前記枠体で囲まれて形成され、減圧状態で密閉された減圧空間と、
前記減圧空間の中に位置するように、前記第一パネルと前記第二パネルの一方または両方に配されたゲッターを備え、
前記ゲッターの少なくとも一部が、前記枠体に密着して位置する
ことを特徴とするガラスパネルユニット。
【請求項４】
少なくともガラス板からなり、前記第一パネルと前記第二パネルのうち一方のパネルに対向して位置する第三パネルと、
前記一方のパネルと前記第三パネルに気密に接合される第二枠体と、
前記一方のパネルと前記第三パネルの間に形成され、乾燥ガスが封入された空間をさらに備える
ことを特徴とする請求項３に記載のガラスパネルユニット。
【請求項５】
請求項３または４に記載のガラスパネルユニットと、
前記ガラスパネルユニットの周縁部に嵌め込まれた窓枠を備える
ことを特徴とするガラス窓。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対のパネル間に減圧された内部空間が形成されたガラスパネルユニットの製造方法、ガラスパネルユニットおよびこれを備えたガラス窓に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、第一ガラスパネル（第一基板）と第二ガラスパネル（第二基板）の互いの周縁部を枠状のシールで接合させて内部空間を形成し、この内部空間から空気を排出した封止することで、ガラスパネルユニットを形成することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−６９２３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記したガラスパネルユニットにおいては、減圧された内部空間と周囲の大気との差圧によって、シールに対してこれを内側に引き込むような力が働く。この力によってシールに破損が生じると、内部空間の減圧状態が破壊される（リークパスを生じる）ことになる。
【０００５】
本発明は、内部空間の減圧状態が破壊されることを、ゲッターによって効果的に抑制することのできるガラスパネルユニットの製造方法、ガラスパネルユニットおよびこれを備えたガラス窓を提供することを、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一様態に係るガラスパネルユニットの製造方法は、少なくともガラス板からなる第一基板がその厚み方向の一方に有する第一面と、少なくともガラス板からなる第二基板がその厚み方向の一方に有する第二面の、一方または両方にゲッターを塗布するゲッター塗布工程と、前記第一基板が有する前記第一面と、前記第二基板が有する前記第二面を、枠状のシールを介して気密に接合させることで、前記第一面と前記第二面と前記シールに囲まれた内部空間を形成する接合工程と、前記内部空間を減圧する減圧工程と、前記内部空間を、減圧された状態を維持しながら封止する封止工程を含む。
【０００７】
前記封止工程で封止された前記内部空間において、前記ゲッターは、前記シールに沿ってライン状に設けられる。前記ゲッターと前記シールの間の距離は、前記シールの幅寸法よりも小さい。
【０００８】
本発明の一様態に係るガラスパネルユニットは、少なくともガラス板からなる第一パネルと、少なくともガラス板からなり、前記第一パネルに対向して位置する第二パネルと、前記第一パネルと前記第二パネルに気密に接合される枠体と、前記第一パネルと前記第二パネルと前記枠体で囲まれて形成され、減圧状態で密閉された減圧空間と、前記減圧空間の中に位置するように、前記第一パネルと前記第二パネルの一方または両方に配されたゲッターを備える。前記ゲッターの少なくとも一部が、前記枠体に密着して位置する。
【０００９】
本発明の一様態に係るガラス窓は、前記ガラスパネルユニットと、前記ガラスパネルユニットの周縁部に嵌め込まれた窓枠を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、ゲッターを利用して、ガラスパネルユニットの内部空間の減圧状態が破壊されるという事態が、効果的に抑えられるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、実施形態１のガラスパネルユニットの製造過程を示す概略斜視図である。
【図２】図２は、同上の製造方法の製造過程を示す概略平面図である。
【図３】図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】図４は、同上の製造方法で形成される組立品を示す一部破断された概略平面図である。
【図５】図５は、同上の製造方法で形成されるガラスパネルユニットを示す概略平面図である。
【図６】図６は、図５のＢ−Ｂ線断面図である。
【図７】図７Ａは、図６のＰ部拡大図であり、図７Ｂは、図７Ａの状態から枠体が内側に引き込まれた状態を示す概略断面図であり、図７Ｃは、変形例のガラスパネルユニットの要部を示す概略断面図である。
【図８】図８は、実施形態２のガラスパネルユニットを示す概略平面図である。
【図９】図９は、図８のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１０】図１０は、実施形態１のガラスパネルユニットを備えるガラス窓を示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（ガラスパネルユニット）
（実施形態１）
実施形態１のガラスパネルユニットおよびこれの製造方法について、図１〜図７Ｃに基づいて説明する。
【００１３】
図５、図６等に示すように、実施形態１のガラスパネルユニット９０は、第一パネル１０、第二パネル２０、枠体５０、複数（多数）のスペーサー７、およびゲッター４を備える。
【００１４】
第一パネル１０は、平板状のガラス板１０５と、ガラス板１０５の厚み方向の第一の側を覆うコーティング１０６を備える。ガラス板１０５の材料は、例えばソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。
【００１５】
コーティング１０６はたとえば熱線反射膜であるが、他の物理特性を有する膜でもよい。また、第一パネル１０において、ガラス板１０５の厚み方向の第一の側ではなく第二の側（第一の側と反対側）に適宜のコーティングが施されてもよいし、ガラス板１５の厚み方向の第一の側と第二の側のそれぞれに適宜のコーティングが施されてもよい。
【００１６】
実施形態１のガラスパネルユニット９０において、第一パネル１０の厚み方向の一面（以下「第一面１０ａ」）は、コーティング１０６の表面で構成されている。ガラス板１０５にコーティング１０６が施されてない場合には、第一パネル１０の第一面１０ａは、ガラス板１０５の厚み方向の一面で構成される。第一パネル１０は、少なくともガラス板１０５で構成されていればよい。第一パネル１０は、全体として透明であるが、半透明や非透明であってもよい。
【００１７】
第二パネル２０は、平板状のガラス板２０５で構成されている。第二パネル２０の厚み方向の一面（以下「第二面２０ａ」）は、ガラス板２０５の厚み方向の一面で構成されている。第二パネル２０は、少なくともガラス板２０５で構成されていればよく、ガラス板２０５の厚み方向の両側または片側に、適宜のコーティングが施されることも有り得る。ガラス板２０５の材料は、例えばソーダライムガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。第二パネル１０は、全体として透明であるが、半透明や非透明であってもよい。
【００１８】
枠体５０は、ガラスフリットを溶融させてシールの機能を発揮させたものであり、互いに対向して位置する第一パネル１０と第二パネル２０の間に挟み込まれた状態で位置する。枠体５０は、第一パネル１０が有する第一面１０ａの周縁部に対して全周にわたって気密に接合され、かつ、第二パネル２０が有する第二面２０ａの周縁部に対して全周にわたって気密に接合されている。
【００１９】
実施形態１のガラスパネルユニット９０においては、第一パネル１０と第二パネル２０と枠体５０で囲まれた減圧空間６００が、気密に形成されている。第一パネル１０の第一面１０ａが減圧空間６００に面し、第二パネル２０の第二面２０ａが減圧空間６００に面している。
【００２０】
複数のスペーサー７は、互いに対向して位置する第一パネル１０と第二パネル２０の間に挟み込まれた状態で位置する。複数のスペーサー７は、枠体５０に囲まれて位置する。すなわち、複数のスペーサー７は、減圧空間６００内に配置される。各スペーサー７が、第一パネル１０の第一面１０ａと、第二パネル２０の第二面２０ａに接触することで、第一パネル１０と第二パネル２０の間隔が所定間隔に維持される。
【００２１】
図１〜図６等では、理解を助けるために各構成を概略的に示しているが、各構成（たとえばスペーサー７の個数、寸法形状等）は、図示の構造に限定的に解釈されない。各スペーサー７の材質、寸法形状、隣接するスペーサー７間の間隔、スペーサー７の配置パターン等は、適宜に選択可能である。また、スペーサー７が配置されないことも有り得る。
【００２２】
ゲッター４は、第一パネル１０と第二パネル２０の間で枠体５０に囲まれて位置するように（つまり減圧空間６００の中に位置するように）、第二パネル２０の第二面２０ａに配されている。ゲッター４と、第一パネル１０の第一面１０ａとは非接触であり、ゲッター４と第一パネル１０の間には、隙間が設けられている。ゲッター４は、窒素、酸素等の気体を吸着する性質を有する。
【００２３】
ゲッター４は、第一パネル１０の第一面１０ａに配されることも可能である。この場合、ゲッター４と、第二パネル２０の第二面２０ａとが非接触に設けられ、ゲッター４と第二パネル２０の間に隙間が形成される。ゲッター４が、第一パネル１０の第一面１０ａと第二パネル２０の第二面２０ａの両方に配されることも可能である。
【００２４】
図５に示すように、実施形態１のガラスパネルユニット９０において、ゲッター４は、枠体５０の全周に亘って枠体５０に沿って位置するように、枠体５０よりも一回り小さな枠状（全周にわたって連続する無端のライン状）に設けられている。
【００２５】
ゲッター４は、枠体５０に近接した位置で設けられている。具体的には、図７Ａに拡大して示すように、ゲッター４と枠体５０の間の距離Ｄ１が、全周にわたって、枠体５０の幅寸法Ｗ１（たとえば５ｍｍ）よりも小さく設けられている。
【００２６】
ゲッター４が枠体５０の内側に距離Ｄ１だけ離れて位置することで、所定の真空度にまで減圧された減圧空間６００と周囲の大気との差圧により、枠体５０の一部が内側に強く引き込まれても、ゲッター４が堰となって働き、枠体５０の破損を抑制する（図７Ｂ参照）。なお、枠体５０が内側に引き込まれ、枠体５０の一部がゲッター４に乗り上がった場合でも、ゲッター４による気体の吸着作用に大きな影響が生じないことは、確認されている。
【００２７】
ゲッター４は、枠体５０に対してその一部または全部が接触するように設けてもよい。つまり、ゲッター４と枠体５０の間の距離Ｄ１は、０≦Ｄ１＜Ｗ１の範囲内であればよい。図７Ｃには、ゲッター４と枠体５０が密着している変形例を示している。
【００２８】
なお、ゲッター４は、枠体５０に沿ってライン状に設けられていればよく、図示のような枠状の形態に限定されない。たとえば、ゲッター４が枠体５０に沿って全周に設けられ、かつ、その一部分（一または複数箇所）が分断された形状でもよい。ゲッター４が全周にわたって設けられないことも有り得る。
【００２９】
次に、実施形態１のガラスパネルユニットの製造方法（以下、単に「本製造方法」という。）について説明する。
【００３０】
本製造方法では、図４に示すような、減圧された第一空間６１とこれとは気密に仕切られた第二空間６２を備える組立品９を形成したうえで、第二空間６２を含む部分を切除することで、図５や図６に示すガラスパネルユニット９０を得る。減圧された第一空間６１が、ガラスパネルユニット９０の減圧空間６００を構成する。
【００３１】
組立品９は、第一基板１、第二基板２、シール５、複数のスペーサー７、およびゲッター４を用いて形成することができる。
【００３２】
第一基板１は、平板状のガラス板１５と、ガラス板１５の厚み方向の第一の側を覆うコーティング１６を備える（図３参照）。後述の切断工程において第一基板１の一部が切除されることで、第一パネル１が形成される。このとき、第一基板１の第一面１ａが切除されることで、第一パネル１の第一面１０ａが形成される。また、ガラス板１５の一部が切除されて、第一パネル１のガラス板１０５が形成され、コーティング１６の一部が切除されて、第一パネル１のコーティング１０６が形成される。
【００３３】
第二基板２は、平板状のガラス板２５で構成されている（図３参照）。切断工程において第二基板２（ガラス板２５）の一部が切除されることで、第二パネル２０（ガラス板２０５）が形成される。このとき、第二基板２の第二面２ａが切除されることで、第二パネル２の第二面２０ａが形成される。
【００３４】
シール５は、枠状の外周部５１と、外周部５１の内側の空間を仕切る仕切り部５２とで形成されている（図４参照）。シール５が仕切り部５２に沿って切断されることで、枠体５０が形成される。
【００３５】
以下、さらに詳しく説明する。
【００３６】
本製造方法は、シール塗布工程、ゲッター塗布工程、スペーサー実装工程、接合工程、減圧工程、封止工程、および切断工程を備える。
【００３７】
シール塗布工程、ゲッター塗布工程、スペーサー実装工程、接合工程、減圧工程および封止工程を経ることで、組立品９が形成される。さらに切断工程を経ることで、ガラスパネルユニット９０が形成される。
【００３８】
シール塗布工程、ゲッター塗布工程、およびスペーサー実装工程は、いずれの工程が先に行われてもよいし、各工程が同時に行われてもよい。
【００３９】
まず、シール塗布工程について説明する。
【００４０】
シール塗布工程では、第二基板２が厚み方向の一方に有する第二面２ａ上に、低融点のガラスフリットからなるシール５（外周部５１、仕切り部５２）が塗布される（図１等参照）。この時点のシール５では、外周部５１と仕切り部５２と間に隙間が設けられている。シール５は、第一基板１の第一面１ａ側に塗布されることも可能であるし、第一基板１の第一面１ａと第２基板２の第二面２ａの両方に塗布される（たとえば外周部５１を第一基板１側に塗布し、仕切り部５２を第二基板２側に塗布する）ことも有り得る。後述するように、外周部５１と仕切り部５２は、互いに異なる温度で溶融するように設けられている。
【００４１】
次に、ゲッター塗布工程について説明する。
【００４２】
ゲッター塗布工程では、第二基板２の第二面２ａ上に、ゲッター４を形成するペースト状の材料がライン状（枠状）に塗布される。ゲッター４を形成する材料が塗布される部分は、外周部５１に囲まれる領域のうち、仕切り部５２によって仕切られた第一側の部分である。
【００４３】
本製造方法では、ゲッター４をライン状に形成するために、ゲッター４の材料として、粉末状の吸着材と溶剤を適切な濃度で混合させたものを用いる。たとえば、粉末状の吸着材としてＦｅ−Ｖ−Ｚｒ合金粉末を用い、溶剤としてイソプロピルアルコールを用いることが可能である。この場合、粉末状の吸着材の混合比はたとえば１０％とする。これにより、吸着材が溶液化される。
【００４４】
吸着材と溶剤は、上記のものに限定されず、他の物質を採用することが可能である。吸着材としては、たとえばＢａ−Ａｌ合金、ゼオライト、銅イオン等でイオン交換されたゼオライトなど、窒素や酸素を吸着可能な性質を有する吸着材が採用可能である。吸着材として、銅イオンでイオン交換されたゼオライトを用いた場合には、ゲッター４が、気体を吸着して色を好適に変化させる性質を獲得することから、ゲッター４が配される空間の真空度を容易に判断可能となる。銅イオンでイオン交換されたゼオライトは、換言すると、銅イオンを含むゼオライトである。溶剤としては、たとえばエタノール、テルピネオールなど、一般的な溶剤が採用可能である。
【００４５】
ゲッター４を形成するペースト状の材料（溶液化された吸着材）は、ディスペンサーを用いて塗布される。最終的に形成されるゲッター４の高さは、ディスペンサーから塗布される材料の量、粘度、吸着材と溶液の混合比、塗布速度などの条件で調整することができる。本製造方法では、最終的に形成されるゲッター４の最大高さが５０μｍとなるように、各条件を調整することが好ましい。なお、ゲッター４を塗布する手段はディスペンサーに限定されず、インクジェット法、印刷法など、他の手段を用いることも可能である。
【００４６】
次に、スペーサー実装工程について説明する。
【００４７】
スペーサー実装工程では、第二基板２の第二面２ａに、複数のスペーサー７が既定のパターンどおりに実装される。複数のスペーサー７が実装される部分は、外周部５１に囲まれる領域のうち、仕切り部５２によって仕切られた第一側の部分（ゲッター４が塗布される側と同じ部分）である。
【００４８】
シール塗布工程、ゲッター塗布工程、およびスペーサー実装工程が完了した時点で、図１に示すように、第二基板２の第二面２ａ上にシール５（外周部５１、仕切り部５２）、ゲッター４、および複数のスペーサー７が配置される。第二基板２には、その厚み方向に貫通するように排気孔８１が形成されている。排気孔８１は、第二面２ａの外周部５１に囲まれる領域のうち、仕切り部５２によって仕切られた第二側の部分（ゲッター４や各スペーサー７が配される側とは反対側の部分）に開口している。
【００４９】
次に、接合工程について説明する。シール塗布工程、ゲッター塗布工程、およびスペーサー実装工程の後に、接合工程が行われる。
【００５０】
接合工程では、第一基板１と第二基板２が、シール５や各スペーサー７を挟み込んだ状態でセットされ、この状態で封着炉内において全体が加熱される。
【００５１】
接合工程では、封着炉内の温度が、外周部５１の軟化点以上の所定温度（第一溶融温度）に決定される。第一溶融温度の炉内で外周部５１がいったん溶融されることで、第一基板１と第二基板２は、外周部５１を介して気密に接合される。このとき仕切り部５２は溶融されない。
【００５２】
互いに接合された第一基板１と第二基板２の間には、外周部５１によって気密に囲まれた内部空間６が形成される。内部空間６は、仕切り部５２を介して、第一空間６１と第二空間６２に仕切られる。接合工程が完了した時点において、第一空間６１と第二空間６２は通気可能である。
【００５３】
第一空間６１は、ゲッター４と複数のスペーサー７が位置する側の空間である。第二空間６２は、排気孔８１に連続する側の空間である。排気孔８１は、第二空間６２と外部空間を連通させる孔である。
【００５４】
次に、減圧工程について説明する。接合工程の後に、減圧工程が行われる。
【００５５】
減圧工程では、内部空間６の空気が、排気孔８１を介して外部に排出され、内部空間６の全体が所定の真空度（例えば０．１Ｐａ以下の真空度）に至るまで減圧される。
【００５６】
排気孔８１を通じての排気作業は、排気孔８１と連通するように第二基板２に接続された排気管８２（図１参照）を介して、例えば真空ポンプを用いて行われる。
【００５７】
次に、封止工程について説明する。減圧工程の後に、封止工程が行われる。
【００５８】
封止工程では、内部空間６の減圧状態を維持したまま、仕切り部５２の軟化点以上の所定温度（第二溶融温度）で仕切り部５２が溶融され、外周部５１との間の隙間を塞ぐように、仕切り部５２が変形する（図４参照）。これにより、減圧された第一空間６１は、外周部５１と仕切り部５２によって全周を囲まれ、外部との間で通気不能に密閉される。変形した仕切り部５２は、減圧された内部空間６を、第一空間６１と第二空間６２に気密に隔てる隔壁として、機能する。
【００５９】
仕切り部５２を溶融させる第二溶融温度は、外周部５１を溶融させる第一溶融温度よりも高い温度に設定されている。これにより、接合工程で第一基板１と第二基板２が接合される際に、仕切り部５２が変形することが抑えられる。
【００６０】
上記の各工程を経ることで、図４に示すような、減圧された第一空間６１を備える組立品９が得られる。
【００６１】
次に、切断工程について説明する。封止工程の後に、切断工程が行われる。
【００６２】
切断工程では、封着炉から取り出された組立品９が、図４に示すような仮想的な切断線Ｃ１に沿って切断され、第一空間６１を有する部分と、第二空間６２を有する部分とに、物理的に分離される。切断線Ｃ１は、仕切り部５２をその全長に亘って通過するように設定されることが好ましい。
【００６３】
組立品９のうち、分断された一方の部分が、減圧空間６００（第一空間６１）が形成されたガラスパネルユニット９０として提供される。
【００６４】
（変形例）
実施形態１のガラスパネルユニット９０では、排気孔８１が第二基板２に形成されているが、排気孔８１は、第一基板１と第二基板２の少なくとも一方に形成されていればよい。つまり、排気孔８１が第一基板１に形成されることや、排気孔８１が第一基板１と第二基板２の両方に形成されることも有り得る。
【００６５】
また、本製造方法では、内部空間６が一つの第一空間６１と一つの第二空間６２に仕切られるが、内部空間６を仕切る形態はこれに限定されない。つまり、内部空間６が、複数の第一空間６１に仕切られることが有り得る。この場合、組立品９からは、第一空間６１の数と同数だけガラスパネルユニットが得られる。
【００６６】
また、本製造方法では、組立品９から一部を切除してガラスパネルユニット９０を得ているが、組立品９に仕切り部５２を設けることなく、組立品９をそのままガラスパネルユニット９０として提供することも可能である。この場合には、適宜の方法で排気孔８１を封止して、外周部５１に囲まれた内部空間６を、そのまま減圧空間６００とすればよい。
【００６７】
（実施形態２）
実施形態２のガラスパネルユニット９０Ａについて、図８、図９に基づいて説明する。
【００６８】
なお、実施形態２のガラスパネルユニット９０Ａの構成のうち、上述した実施形態１のガラスパネルユニット９０と同様の構成については、同一符号を付して詳しい説明を省略する。
【００６９】
実施形態２のガラスパネルユニット９０Ａは、第一パネル１０に対向して位置する第三パネル３０と、第一パネル１０と第三パネル３０の互いの枠状の周縁部を全周に亘って気密に接合する第二枠体５５を、さらに備える。第三パネル３０は、第一パネル１０や第二パネル２０と同様に、少なくともガラス板で構成されていればよく、適宜のパネルを用いることが可能である。第三パネル３０は、全体として透明であるが、半透明や非透明であってもよい。
【００７０】
第一パネル１０と第三パネル３０の互いの対向面１０ｂ，３０ｂの間には、密閉された空間６０２が形成されている。
【００７１】
第三パネル３０は、第一パネル１０と第二パネル２０のうち一方のパネルに対向して位置すればよい。図示は省略しているが、第三パネル３０が第二パネル２０に対向して位置する場合、第二枠体５５は第二パネル２０と第三パネル３０の互いの枠状の周縁部に接合され、第二パネル２０と第三パネル３０の間に、密閉された空間６０２を形成する。
【００７２】
図９に示すように、第二枠体５５の内側には、中空枠状のスペーサー５６がさらに配置されている。スペーサー５６の中空部分には、乾燥剤５７が充填されている。
【００７３】
スペーサー５６はアルミニウム等の金属で形成され、貫通孔５６１を内周側に有する。スペーサー５６の中空部分は、貫通孔５６１を介して空間６０２に連通する。乾燥剤５７は、たとえばシリカゲルである。第二枠体５５は、たとえばシリコン樹脂、ブチルゴム等の高気密性の樹脂で形成されることが好ましい。
【００７４】
空間６０２は、第一パネル１０（または第二パネル２０）と第三パネル３０と第二枠体５５とで密閉された空間である。空間６０２には、乾燥ガスが充填される。乾燥ガスは、たとえばアルゴン等の乾燥した希ガス、乾燥空気等である。乾燥空気には、空間６０２に封入された後に乾燥剤５７の作用で乾燥した空気も含まれる。
【００７５】
実施形態２のガラスパネルユニット９０Ａにおいては、厚み方向の両端に位置する第三パネル３０と第二パネル２０（または第一パネル１０）の間に、所定の真空度に至るまで減圧された減圧空間６００と、乾燥ガスが充填された空間６０２が介在する。これにより、実施形態２のガラスパネルユニット９０Ａは、さらに高い断熱性を発揮する。
【００７６】
（ガラス窓）
図１０には、実施形態１のガラスパネルユニット９０と、窓枠９１を備えるガラス窓９００を示している。ガラス窓９００は、実施形態１のガラスパネルユニット９０の周縁部に、矩形枠状の窓枠９１が嵌め込まれた構造であり、高い断熱性を有する。
【００７７】
実施形態２のガラスパネルユニット９０Ａに対しても、窓枠９１を同様に嵌め込むことが可能である。この場合も、高い断熱性を有するガラス窓９００が得られる。
【００７８】
（効果）
上述した各実施形態から明らかなように、第１の形態のガラスパネルユニットの製造方法は、ゲッター塗布工程と、減圧工程と、封止工程を含む。
【００７９】
ゲッター塗布工程では、第一基板（１）がその厚み方向の一方に有する第一面（１ａ）と、第二基板（２）がその厚み方向の一方に有する第二面（２ａ）の、一方または両方にゲッター（４）を塗布する。第一基板（１）は、少なくともガラス板（１５）からなる。第二基板（２）は、少なくともガラス板（２５）からなる。
【００８０】
減圧工程では、第一基板（１）が有する第一面（１ａ）と、第二基板（２）が有する第二面（２ａ）を、枠状のシール（５）を介して気密に接合させることで、第一面（１ａ）と第二面（２ａ）とシール（５）に囲まれた内部空間（６）を形成する。
【００８１】
減圧工程では、内部空間（６）を減圧する。封止工程では、内部空間（６）を、減圧された状態を維持しながら封止する。
【００８２】
封止工程で封止された内部空間（６）において、ゲッター（４）は、シール（５）に沿ってライン状に設けられている。ゲッター（４）とシール（５）の間の距離（Ｄ１）は、シール（５）の幅寸法（Ｗ１）よりも小さい。
【００８３】
したがって、第１の形態のガラスパネルユニットの製造方法によれば、減圧状態で封止された内部空間（６）と周囲の大気との間の差圧により、シール（５）に対してその一部を内側に引き込む力が働いても、その引き込みは内側のゲッター（４）によって抑えられる。つまり、ガスを吸着するためのゲッター（４）が、シール（５）が引き込まれて破損することを抑える堰として働く。
【００８４】
第２の形態のガラスパネルユニットの製造方法では、第１の形態においてさらに、ゲッター（４）が、シール（５）の全周に亘って、シール（５）に沿うように設けられる。
【００８５】
したがって、第２の形態のガラスパネルユニットの製造方法によれば、シール（５）が破損して内部空間（６）の減圧状態が破壊される事態が、より効果的に抑えられる。
【００８６】
なお、第１の形態や第２の形態のガラスパネルユニットの製造方法で製造されたガラスパネルユニット（９０，９０Ａ）は、必ずしもゲッター（４）に枠体（５０）が接触し、ゲッター（４）が堰として機能している状態になくてもよい。ガラスパネルユニット（９０，９０Ａ）は、枠体（５０）の一部が引き込まれたときにゲッター（４）に接触する構造であればよい。
【００８７】
第１の形態のガラスパネルユニット（９０，９０Ａ）は、第一パネル（１０）と、第二パネル（２０）と、枠体（５０）と、減圧空間（６００）と、ゲッター（４）を備える。
【００８８】
第一パネル（１０）は、少なくともガラス板（１０５）からなる。第二パネル（２０）は、少なくともガラス板（２０５）からなり、第一パネル（１０）に対向して位置する。枠体（５０）は、第一パネル（１０）と第二パネル（２０）に気密に接合される。減圧空間（６００）は、第一パネル（１０）と第二パネル（２０）と枠体（５０）で囲まれて形成され、減圧状態で密閉される。
【００８９】
ゲッター（４）は、減圧空間（６００）の中に位置するように、第一パネル（１０）と第二パネル（２０）の一方または両方に配される。ゲッター（４）の少なくとも一部が、枠体（５０）に密着して位置する。
【００９０】
したがって、第１の形態のガラスパネルユニット（９０，９０Ａ）によれば、減圧空間（６００）と周囲の大気との間の差圧により、枠体（５０）の一部が内側に引き込まれることを、ゲッター（４）が堰となって抑えることができる。
【００９１】
第２の形態のガラスパネルユニット（９０Ａ）では、第１の形態において、第三パネル（３０）と、第二枠体（５５）と、空間（６０２）をさらに備える。
【００９２】
第三パネル（３０）は、少なくともガラス板からなり、第一パネル（１０）と第二パネル（２０）のうち一方のパネルに対向して位置する。第二枠体（５５）は、この一方のパネルと第三パネル（３０）に気密に接合される。空間（６０２）は、この一方のパネルと第三パネル（３０）の間に形成され、乾燥ガスが封入される。
【００９３】
したがって、第２の形態のガラスパネルユニット（９０Ａ）によれば、減圧空間（６００）に加えて、乾燥ガスが封入される空間（６０２）を有することで、さらに高い断熱性を発揮することができる。
【００９４】
第１の形態のガラス窓（９００）は、第１の形態または第２の形態のガラスパネルユニット（９０，９０Ａ）と、ガラスパネルユニット（９０，９０Ａ）の周縁部に嵌め込まれた窓枠（９１）を備える。
【００９５】
したがって、第１の形態のガラス窓（９００）によれば、減圧空間（６００）を備えることで高い断熱性能を発揮することができ、かつ、減圧空間（６００）の減圧状態が破壊されることはゲッター４を利用して効果的に抑えられる。
【００９６】
なお、ガラスパネルユニットの製造方法、ガラスパネルユニットおよびこれを備えたガラス窓は、前記した各実施形態に限定されず、各実施形態において適宜の設計変更を行うことや、各実施形態の構成を適宜組み合わせて適用することが可能である。
【符号の説明】
【００９７】
１  第一基板
１ａ  第一面
１５  ガラス板
１０  第一パネル
１０５  ガラス板
２  第二基板
２ａ  第二面
２５  ガラス板
２０  第二パネル
２０５  ガラス板
３０  第三パネル
４  ゲッター
５  シール
５０  枠体
５５  第二枠体
６  内部空間
６００  減圧空間
６０２  空間
９０  ガラスパネルユニット
９０Ａ  ガラスパネルユニット
９１  窓枠
９００  ガラス窓
Ｄ１  距離
Ｗ１  幅寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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