(57)【要約】【課題】金属薄膜層にクラックが生じても、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる電磁波シールドフィルムおよび電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板、ならびにそれらの製造方法を提供する。【解決手段】絶縁性保護層１２と、表面抵抗が０．０１〜０．３Ωである金属薄膜層１４と、導電性フィラーを含み、表面抵抗が１〜１００Ωである等方導電性接着剤層１６とを順に備え、導電性フィラーの割合が、等方導電性接着剤層１６の１００体積％のうち、３０〜８０体積％である電磁波シールドフィルム１０；フレキシブルプリント配線板と、絶縁フィルムと、電磁波シールドフィルム１０とを備えた電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性保護層と、
表面抵抗が０．０１〜０．３Ωである金属薄膜層と、
導電性フィラーを含み、表面抵抗が１〜１００Ωである等方導電性接着剤層と
を順に備え、
前記導電性フィラーの割合が、前記等方導電性接着剤層の１００体積％のうち、３０〜８０体積％である、電磁波シールドフィルム。
【請求項２】
絶縁性保護層と、
表面抵抗が０．０１〜０．３Ωである金属薄膜層と、
導電性フィラーを含み、表面抵抗が１〜１００Ωである等方導電性接着剤層と
を順に備え、
前記金属薄膜層にクラックが生じることによる、前記金属薄膜層および前記等方導電性接着剤層からなる電磁波シールド層の抵抗の上昇が、１０倍以下である、電磁波シールドフィルム。
【請求項３】
前記絶縁性保護層の表面に設けられた第１の離型フィルムをさらに備えた、請求項１または２に記載の電磁波シールドフィルム。
【請求項４】
前記等方導電性接着剤層の表面に設けられた第２の離型フィルムをさらに備えた、請求項３に記載の電磁波シールドフィルム。
【請求項５】
請求項４に記載の電磁波シールドフィルムを製造する方法であって、
下記の工程（ａ）〜（ｄ）を有する、電磁波シールドフィルムの製造方法。
（ａ）第１の離型フィルムの片面に絶縁性保護層を形成する工程。
（ｂ）前記絶縁性保護層の表面に表面抵抗が０．０１〜０．３Ωである金属薄膜層を形成することによって、第１の離型フィルムと、絶縁性保護層と、金属薄膜層とを順に備えた第１の積層体を得る工程。
（ｃ）第２の離型フィルムの片面に等方導電性接着剤層を形成することによって、第２の離型フィルムと、導電性フィラーを含み、表面抵抗が１〜１００Ωである等方導電性接着剤層とを順に備えた第２の積層体を得る工程。
（ｄ）前記第１の積層体と前記第２の積層体とを、前記第１の積層体の前記金属薄膜層と前記第２の積層体の前記等方導電性接着剤層とが接触するように貼り合わせる工程。
【請求項６】
ベースフィルムの少なくとも片面にプリント回路が設けられたフレキシブルプリント配線板と、
前記フレキシブルプリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の表面に設けられた絶縁フィルムと、
前記絶縁フィルムの表面に前記等方導電性接着剤層が接着された請求項１または２に記載の電磁波シールドフィルムと
を備え、
前記等方導電性接着剤層が、前記絶縁フィルムに形成された貫通孔を通って前記プリント回路に電気的に接続された、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板。
【請求項７】
下記の工程（ｅ）〜（ｇ）を有する、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の製造方法。
（ｅ）ベースフィルムの少なくとも片面にプリント回路を有するフレキシブルプリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の表面に、前記プリント回路に対応する位置に貫通孔が形成された絶縁フィルムを設け、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板を得る工程。
（ｆ）前記工程（ｅ）の後、前記絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板と、請求項１〜３のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルムとを、前記絶縁フィルムの表面に前記等方導電性接着剤層が接触するように重ね、これらを熱プレスすることによって、前記絶縁フィルムの表面に前記等方導電性接着剤層を接着し、かつ前記等方導電性接着剤層を、前記貫通孔を通って前記プリント回路に電気的に接続する工程。
（ｇ）前記電磁波シールドフィルムが第１の離型フィルムを備えている場合は、前記工程（ｆ）の後、前記第１の離型フィルムを剥離する工程。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波シールドフィルム、該電磁波シールドフィルムが設けられたフレキシブルプリント配線板、およびそれらの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フレキシブルプリント配線板から発生する電磁波ノイズや外部からの電磁波ノイズを遮蔽するために、電磁波シールドフィルムをフレキシブルプリント配線板の表面に設けることがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図９は、従来の電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の製造工程の一例を示す断面図である。
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１０１は、フレキシブルプリント配線板１３０と、絶縁フィルム１４０と、離型フィルム１１８を剥離した電磁波シールドフィルム１１０とを備える。
フレキシブルプリント配線板１３０は、ベースフィルム１３２の片面にプリント回路１３４が設けられたものである。
絶縁フィルム１４０は、フレキシブルプリント配線板１３０のプリント回路１３４が設けられた側の表面に設けられる。
電磁波シールドフィルム１１０は、絶縁性保護層１１２と、絶縁性保護層１１２の第１の表面を覆う金属薄膜層１１４と、金属薄膜層１１４の表面を覆う異方導電性接着剤層１１６と、絶縁性保護層１１２の第２の表面を覆う離型フィルム１１８（キャリアフィルム）とを備える。
電磁波シールドフィルム１１０の異方導電性接着剤層１１６は、絶縁フィルム１４０の表面に接着され、かつ硬化されている。また、異方導電性接着剤層１１６は、絶縁フィルム１４０に形成された貫通孔１４２を通ってプリント回路１３４に電気的に接続されている。
【０００４】
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１０１は、例えば、図９に示すように、下記の工程を経て製造される。
（ｉ）フレキシブルプリント配線板１３０のプリント回路１３４が設けられた側の表面に、プリント回路１３４のグランドに対応する位置に貫通孔１４２が形成された絶縁フィルム１４０を設ける工程。
（ｉｉ）電磁波シールドフィルム１１０を、絶縁フィルム１４０の表面に、電磁波シールドフィルム１１０の異方導電性接着剤層１１６が接触するように重ね、これらを熱プレスすることによって、絶縁フィルム１４０の表面に異方導電性接着剤層１１６を接着し、かつ異方導電性接着剤層１１６を、貫通孔１４２を通ってプリント回路１３４のグランドに電気的に接続する工程。
（ｉｉｉ）熱プレス後、キャリアフィルムとしての役割を終えた離型フィルム１１８を、絶縁性保護層１１２から剥離し、取り除くことによって、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１０１を得る工程。
【０００５】
しかし、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１０１にあっては、貫通孔１４２の部分等の凹凸がある部分にて、電磁波シールドフィルム１１０が凹凸の形状に沿って曲げ変形するため、金属薄膜層１１４にクラックが生じやすい。異方導電性接着剤層１１６は厚さ方向に導電性を有するが、面方向には導電性を有さないため、金属薄膜層１１４にクラックが生じると、金属薄膜層１１４および異方導電性接着剤層１１６からなる電磁波シールド層の抵抗が高くなり、電磁波シールド層による電磁波ノイズの遮蔽効果が低下する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−１１２５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、金属薄膜層にクラックが生じても、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる電磁波シールドフィルムおよび電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板、ならびにそれらの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、下記の態様を有する。
（１）絶縁性保護層と、表面抵抗が０．０１〜０．３Ωである金属薄膜層と、導電性フィラーを含み、表面抵抗が１〜１００Ωである等方導電性接着剤層とを順に備え、前記導電性フィラーの割合が、前記等方導電性接着剤層の１００体積％のうち、３０〜８０体積％である、電磁波シールドフィルム。
（２）絶縁性保護層と、表面抵抗が０．０１〜０．３Ωである金属薄膜層と、導電性フィラーを含み、表面抵抗が１〜１００Ωである等方導電性接着剤層とを順に備え、前記金属薄膜層にクラックが生じることによる、前記金属薄膜層および前記等方導電性接着剤層からなる電磁波シールド層の抵抗の上昇が、１０倍以下である、電磁波シールドフィルム。
（３）前記絶縁性保護層の表面に設けられた第１の離型フィルムをさらに備えた、（１）または（２）の電磁波シールドフィルム。
（４）前記等方導電性接着剤層の表面に設けられた第２の離型フィルムをさらに備えた、（３）の電磁波シールドフィルム。
（５）前記（４）の電磁波シールドフィルムを製造する方法であって、下記の工程（ａ）〜（ｄ）を有する、電磁波シールドフィルムの製造方法。
（ａ）第１の離型フィルムの片面に絶縁性保護層を形成する工程。
（ｂ）前記絶縁性保護層の表面に表面抵抗が０．０１〜０．３Ωである金属薄膜層を形成することによって、第１の離型フィルムと、絶縁性保護層と、金属薄膜層とを順に備えた第１の積層体を得る工程。
（ｃ）第２の離型フィルムの片面に等方導電性接着剤層を形成することによって、第２の離型フィルムと、導電性フィラーを含み、表面抵抗が１〜１００Ωである等方導電性接着剤層とを順に備えた第２の積層体を得る工程。
（ｄ）前記第１の積層体と前記第２の積層体とを、前記第１の積層体の前記金属薄膜層と前記第２の積層体の前記等方導電性接着剤層とが接触するように貼り合わせる工程。
（６）ベースフィルムの少なくとも片面にプリント回路が設けられたフレキシブルプリント配線板と、前記フレキシブルプリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の表面に設けられた絶縁フィルムと、前記絶縁フィルムの表面に前記等方導電性接着剤層が接着された（１）または（２）の電磁波シールドフィルムとを備え、前記等方導電性接着剤層が、前記絶縁フィルムに形成された貫通孔を通って前記プリント回路に電気的に接続された、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板。
（７）下記の工程（ｅ）〜（ｇ）を有する、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の製造方法。
（ｅ）ベースフィルムの少なくとも片面にプリント回路を有するフレキシブルプリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の表面に、前記プリント回路に対応する位置に貫通孔が形成された絶縁フィルムを設け、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板を得る工程。
（ｆ）前記工程（ｅ）の後、前記絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板と、（１）〜（３）のいずれかの電磁波シールドフィルムとを、前記絶縁フィルムの表面に前記等方導電性接着剤層が接触するように重ね、これらを熱プレスすることによって、前記絶縁フィルムの表面に前記等方導電性接着剤層を接着し、かつ前記等方導電性接着剤層を、前記貫通孔を通って前記プリント回路に電気的に接続する工程。
（ｇ）前記電磁波シールドフィルムが第１の離型フィルムを備えている場合は、前記工程（ｆ）の後、前記第１の離型フィルムを剥離する工程。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の電磁波シールドフィルムは、金属薄膜層にクラックが生じても、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる。
本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法によれば、金属薄膜層にクラックが生じても、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる電磁波シールドフィルムを製造できる。
本発明の電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板は、金属薄膜層にクラックが生じても、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる。
本発明の電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の製造方法によれば、金属薄膜層にクラックが生じても、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の電磁波シールドフィルムの一例を示す断面図である。
【図２】本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法における工程（ａ）〜（ｂ）の一例を示す断面図である。
【図３】本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法における工程（ｃ）の一例を示す断面図である。
【図４】本発明の電磁波シールドフィルムの製造方法における工程（ｄ）の一例を示す断面図である。
【図５】金属薄膜層にクラックが生じる前の電磁波シールド層の全体抵抗を概算するために用いた電磁波シールド層のモデルケースを示す斜視図である。
【図６】金属薄膜層にクラックが生じた後の電磁波シールド層の全体抵抗を概算するために用いた電磁波シールド層のモデルケースを示す斜視図である。
【図７】本発明の電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の一例を示す断面図である。
【図８】本発明の電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の製造方法における工程（ｅ）〜（ｇ）の一例を示す断面図である。
【図９】従来の電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の製造工程の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下の用語の定義は、本明細書および特許請求の範囲にわたって適用される。
導電性粒子の平均粒子径は、導電性粒子の電子顕微鏡像から３０個の導電性粒子を無作為に選び、それぞれの導電性粒子について、最小径および最大径を測定し、最小径と最大径との中央値を一粒子の粒子径とし、測定した３０個の導電性粒子の粒子径を算術平均して得た値である。
導電性繊維の平均繊維長は、導電性繊維の電子顕微鏡像から３０本の導電性繊維を無作為に選び、それぞれの導電性繊維について、繊維長を測定し、測定した３０本の導電性繊維の繊維長を算術平均して得た値である。
導電性繊維の平均繊維径は、導電性繊維の電子顕微鏡像から３０本の導電性繊維を無作為に選び、それぞれの導電性繊維について、最小径および最大径を測定し、最小径と最大径との中央値を一繊維の繊維径とし、測定した３０本の導電性繊維の繊維径を算術平均して得た値である。
導電性粒子および導電性繊維の比表面積は、脱気した粒子等を液体窒素に浸漬させ、吸着した窒素量を測定し、この値から算出した値である。
フィルム（離型フィルム、絶縁フィルム等）、塗膜（絶縁性保護層、導電性接着剤層等）、金属薄膜層等の厚さは、透過型電子顕微鏡を用いて測定対象の断面を観察し、５箇所の厚さを測定し、平均した値である。
貯蔵弾性率は、測定対象に与えた応力と検出した歪から算出され、温度または時間の関数として出力する動的粘弾性測定装置を用いて、粘弾性特性の一つとして測定される。
表面抵抗は、石英ガラス上に金を蒸着して形成した、２本の薄膜金属電極（長さ１０ｍｍ、幅５ｍｍ、電極間距離１０ｍｍ）を用い、この電極上に被測定物を置き、被測定物上から、被測定物の１０ｍｍ×２０ｍｍの領域を０．０４９Ｎの荷重で押し付け、１ｍＡ以下の測定電流で測定される電極間の抵抗である。
【００１２】
＜電磁波シールドフィルム＞
図１は、本発明の電磁波シールドフィルムの一例を示す断面図である。
電磁波シールドフィルム１０は、絶縁性保護層１２と、絶縁性保護層１２の第１の表面を覆う金属薄膜層１４と、金属薄膜層１４の表面を覆う等方導電性接着剤層１６と、絶縁性保護層１２の第２の表面を覆う第１の離型フィルム１８と、等方導電性接着剤層１６の表面を覆う第２の離型フィルム２０とを備える。
【００１３】
（絶縁性保護層）
絶縁性保護層１２は、金属薄膜層１４を形成する際のベース（下地）となり、電磁波シールドフィルム１０を、フレキシブルプリント配線板の表面に設けられた絶縁フィルムの表面に貼着した後には、金属薄膜層１４を保護する。
絶縁性保護層１２の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、１×１０６Ω以上が好ましい。絶縁性保護層１２の表面抵抗は、実用上の点から、１×１０１９Ω以下が好ましい。
【００１４】
絶縁性保護層１２としては、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、硬化させて形成された塗膜、熱可塑性樹脂を含む塗料を塗布して形成された塗膜、熱可塑性樹脂を溶融成形したフィルムからなる層等が挙げられる。ハンダ付け等の際の耐熱性の点から、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、硬化させて形成された塗膜が好ましい。
【００１５】
熱硬化性樹脂としては、アミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、ＵＶ硬化アクリレート樹脂等が挙げられ、耐熱性に優れる点から、アミド樹脂、エポキシ樹脂が好ましい。
【００１６】
絶縁性保護層１２の１６０℃における貯蔵弾性率は、５×１０６〜１×１０８Ｐａが好ましく、８×１０６〜２×１０７Ｐａがより好ましい。通常、熱硬化性樹脂の硬化物は硬いため、これからなる塗膜は、柔軟性に乏しく、特に、厚さを薄くした場合は、非常に脆く自立膜として存在できるほどの強度がない。絶縁性保護層１２は、第１の離型フィルム１８を剥離する際の温度下（導電性接着剤を硬化させる温度で、通常１５０〜２００℃の温度）において、十分な強度を有することが好ましい。絶縁性保護層１２の１６０℃における貯蔵弾性率が５×１０６Ｐa以上であれば、絶縁性保護層１２が軟化することがない。絶縁性保護層１２の１６０℃における貯蔵弾性率が１×１０８Ｐａ以下であれば、柔軟性や強度が十分となる。その結果、第１の離型フィルム１８を剥離する際に絶縁性保護層１２はもとより電磁波シールドフィルム１０が破断しにくい。
【００１７】
絶縁性保護層１２は、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板に意匠性を付与するために、着色されていてもよい。
絶縁性保護層１２は、貯蔵弾性率等の特性、材料等が異なる２種以上の層から構成されていてもよい。
【００１８】
絶縁性保護層１２の厚さは、１〜１０μｍが好ましく、１〜５μｍがより好ましい。絶縁性保護層１２の厚さが１μｍ以上であれば、耐熱性が良好となる。絶縁性保護層１２の厚さが１０μｍ以下であれば、電磁波シールドフィルム１０を薄くできる。
【００１９】
（金属薄膜層）
金属薄膜層１４は、金属の薄膜からなる層である。金属薄膜層１４は、面方向に広がるように形成されていることから、面方向に導電性を有し、電磁波シールド層等として機能する。
【００２０】
金属薄膜層１４としては、物理蒸着（真空蒸着、スパッタリング、イオンビーム蒸着、電子ビーム蒸着等）、ＣＶＤ、めっき等によって形成された金属薄膜、金属箔等が挙げられ、厚さを薄くでき、かつ厚さが薄くても面方向の導電性に優れ、ドライプロセスにて簡便に形成できる点から、物理蒸着による金属薄膜（蒸着膜）が好ましい。
【００２１】
金属薄膜層１４を構成する金属薄膜の材料としては、アルミニウム、銀、銅、金、導電性セラミックス等が挙げられる。電気伝導度の点からは、銅が好ましく、化学的安定性の点からは、導電性セラミックスが好ましい。
【００２２】
金属薄膜層１４の厚さは、０．０１〜１μｍが好ましく、０．０５〜１μｍがより好ましい。金属薄膜層１４の厚さが０．０１μｍ以上であれば、面方向の導電性がさらに良好になる。金属薄膜層１４の厚さが０．０５μｍ以上であれば、電磁波ノイズの遮蔽効果がさらに良好になる。金属薄膜層１４の厚さが１μｍ以下であれば、電磁波シールドフィルム１０を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム１０の生産性、可とう性がよくなる。
【００２３】
金属薄膜層１４の表面抵抗は、０．０１〜０．３Ωであり、０．０２〜０．２Ωが好ましく、０．０５〜０．１Ωがより好ましい。金属薄膜層１４の表面抵抗が０．０１Ω以上であれば、金属薄膜層１４を十分に薄くできる。金属薄膜層１４の表面抵抗が０．３Ω以下であれば、電磁波シールド層として十分に機能できる。
【００２４】
（等方導電性接着剤層）
等方導電性接着剤層１６は、厚さ方向および面方向に導電性を有し、かつ接着性を有する。
等方導電性接着剤層１６は、厚さ方向に導電性を有し、面方向に導電性を有しない異方導電性接着剤層に比べ、電磁波シールド層として十分に機能できる。
【００２５】
等方導電性接着剤層１６は、導電性フィラーを含む。等方導電性接着剤層１６は、厚さ方向および面方向の導電性の点から、導電性フィラーとして導電性粒子２２を含むことが好ましく、面方向の導電性がさらに良好になり、表面抵抗が低くなる点、また、等方導電性接着剤層１６の強度が高くなり、クラックが生じにくい点から、導電性フィラーとして導電性粒子２２および導電性繊維２４を含むことがより好ましい。
【００２６】
また、等方導電性接着剤層１６においては、面方向の導電性がさらに良好になり、表面抵抗が低くなる点、また、等方導電性接着剤層１６の強度が高くなり、クラックが生じにくい点から、導電性繊維２４の繊維方向の向きが、等方導電性接着剤層１６の厚さ方向よりも、等方導電性接着剤層１６の面方向に偏っている、すなわち導電性繊維２４が等方導電性接着剤層１６の面方向に配向していることが好ましい。
【００２７】
等方導電性接着剤層１６としては、硬化後に耐熱性を発揮できる点から、熱硬化性の等方導電性接着剤層が好ましい。
熱硬化性の等方導電性接着剤層１６は、例えば、熱硬化性接着剤と導電性粒子２２と導電性繊維２４とを含む。等方導電性接着剤層１６は、未硬化の状態であってもよく、Ｂステージ化された状態であってもよい。
【００２８】
熱硬化性接着剤としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、ＵＶ硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。耐熱性に優れる点から、エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分（カルボキシル変性ニトリルゴム等）、粘着付与剤等を含んでいてもよい。
熱硬化性接着剤は、等方導電性接着剤層１６の強度を高め、打ち抜き特性を向上させるために、セルロース樹脂、ミクロフィブリル（ガラス繊維等）を含んでいてもよい。
【００２９】
導電性粒子２２としては、黒鉛粉、焼成カーボン粒子、金属（銀、白金、金、銅、ニッケル、パラジウム、アルミニウム、ハンダ等）の粒子、めっきされた焼成カーボン粒子等が挙げられる。等方導電性接着剤層１６の流動性の点からは、堅く球状である焼成カーボン粒子が好ましい。
【００３０】
導電性粒子２２の平均粒子径は、０．１〜１０μｍが好ましく、０．２〜１μｍがより好ましい。導電性粒子２２の平均粒子径が０．１μｍ以上であれば、導電性粒子２２の接触点数が増えることになり、３次元方向の導通性を安定的に高めることができる。導電性粒子２２の平均粒子径が１０μｍ以下であれば、等方導電性接着剤層１６の流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができる。
【００３１】
導電性粒子２２の比表面積は、０．２〜５０ｍ２／ｇが好ましく、０．５〜２０ｍ２／ｇがより好ましい。導電性粒子２２の比表面積が０．２ｍ２／ｇ以上であれば、導電性粒子２２を入手しやすい。導電性粒子２２の比表面積が５０ｍ２／ｇ以下であれば、導電性粒子２２の吸油量が大きくなりすぎず、その結果、導電性接着剤の粘度が高くなりすぎず、塗布性がさらに良好となる。また、等方導電性接着剤層１６の流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）をさらに確保できる。
【００３２】
導電性フィラーが導電性粒子２２のみの場合、導電性粒子２２の割合は、等方導電性接着剤層１６の１００体積％のうち、３０〜８０体積％が好ましく、５０〜７０体積％がより好ましい。導電性粒子２２の割合が３０体積％以上であれば、等方導電性接着剤層１６の導電性が安定化する。導電性粒子２２の割合が８０体積％以下であれば、等方導電性接着剤層１６の接着性、流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）が良好になる。また、電磁波シールドフィルム１０の可とう性がよくなる。
【００３３】
導電性繊維２４としては、カーボンナノファイバ、金属（銅、白金、金、銀、ニッケル等）のナノワイヤ等が挙げられ、等方導電性接着剤層１６の厚みがミクロンレベルと薄いことから繊維径の細いカーボンナノファイバが好ましい。カーボンナノファイバとしては、分散性に優れている点、等方導電性接着剤層１６の流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）を確保する点から、気相法炭素繊維が好ましい。
【００３４】
導電性繊維２４の平均繊維長は、０．５〜５μｍが好ましく、１〜３μｍがより好ましい。導電性繊維２４の平均繊維長が０．５μｍ以上であれば、等方導電性接着剤層１６の導電性および強度がさらに良好になる。導電性繊維２４の平均繊維長が５μｍ以下であれば、等方導電性接着剤層１６の接着性、流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）が良好になる。
【００３５】
導電性繊維２４の平均繊維径は、０．０１〜０．５μｍが好ましく、０．０５〜０．３μｍがより好ましい。導電性繊維の平均繊維径が０．０１μｍ以上であれば、等方導電性接着剤層１６の導電性および強度がさらに良好になる。導電性繊維２４の平均繊維径が０．５μｍ以下であれば、等方導電性接着剤層１６の接着性、流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）が良好になる。
【００３６】
導電性繊維２４のアスペクト比は、５〜３００が好ましく、１０〜１００がより好ましい。導電性繊維のアスペクト比が５以上であれば、等方導電性接着剤層１６の導電性および強度がさらに良好になる。導電性繊維のアスペクト比が３００以下であれば、等方導電性接着剤層１６の接着性、流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）が良好になる。
【００３７】
導電性繊維２４の比表面積は、２〜５０ｍ２／ｇが好ましく、２〜４０ｍ２／ｇがより好ましい。導電性繊維２４の比表面積が２ｍ２／ｇ以上であれば、導電性繊維２４を入手しやすい。導電性繊維２４の比表面積が５０ｍ２／ｇ以下であれば、導電性繊維２４の吸油量が大きくなりすぎず、その結果、導電性接着剤の粘度が高くなりすぎず、塗布性がさらに良好となる。また、等方導電性接着剤層１６の流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）をさらに確保できる。
【００３８】
導電性フィラーが導電性粒子２２および導電性繊維２４である場合、導電性繊維２４の割合は、等方導電性接着剤層１６の１００体積％のうち、３〜３０体積％が好ましく、５〜２０体積％がより好ましい。ただし、導電性粒子２２および導電性繊維２４の合計は、３０〜８０体積％（好ましくは５０〜７０体積％）である。導電性繊維２４の割合が３体積％以上であれば、等方導電性接着剤層１６の導電性および強度がさらに良好になる。導電性繊維２４の割合が３０体積％以下であれば、導電性接着剤の粘度が高くなりすぎず、塗布性が良好となる。また、等方導電性接着剤層１６の流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を等方導電性接着剤層１６で十分に埋めることができる。
【００３９】
等方導電性接着剤層１６の厚さは、５〜２０μｍが好ましく、７〜１７μｍがより好ましい。等方導電性接着剤層１６の厚さが５μｍ以上であれば、等方導電性接着剤層１６の導電性がさらに良好になり、電磁波シールド層として十分に機能できる。また、等方導電性接着剤層１６の流動性（絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性）を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができ、耐折性も確保でき繰り返し折り曲げても等方導電性接着剤層１６が断裂することはない。等方導電性接着剤層１６の厚さが２０μｍ以下であれば、電磁波シールドフィルム１０を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム１０の可とう性がよくなる。
【００４０】
等方導電性接着剤層１６の表面抵抗は、１〜１００Ωであり、１〜５０Ωが好ましく、１〜１０Ωがより好ましい。等方導電性接着剤層１６の表面抵抗が１Ω以上であれば、等方導電性接着剤層１６の流動性も高く、強度が高く強靭となる。等方導電性接着剤層１６の表面抵抗が１００Ω以下であれば、金属薄膜層１４にクラックが生じても、金属薄膜層１４および等方導電性接着剤層１６からなる電磁波シールド層の抵抗の上昇が抑えられ、その結果、電磁波シールドフィルム１０が、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる。
【００４１】
（第１の離型フィルム）
第１の離型フィルム１８は、絶縁性保護層１２や金属薄膜層１４を形成する際のキャリアフィルムとなるものであり、電磁波シールドフィルム１０のハンドリング性を良好にする。第１の離型フィルム１８は、電磁波シールドフィルム１０をフレキシブルプリント配線板等に貼り付けた後には、絶縁性保護層１２から剥離される。
【００４２】
第１の離型フィルム１８の樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリアセテート、ポリカーボネート、ポリフェニレンサルファイド、ポリアミド、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、合成ゴム、液晶ポリマー等が挙げられ、電磁波シールドフィルム１０を製造する際の耐熱性（寸法安定性）およびコストの点から、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。
【００４３】
第１の離型フィルム１８の１６０℃における貯蔵弾性率は、０．８×１０８〜４×１０８Ｐａが好ましく、０．８×１０８〜３×１０８Ｐａがより好ましい。第１の離型フィルム１８の１６０℃における貯蔵弾性率が０．８×１０８Ｐａ以上であれば、電磁波シールドフィルム１０のハンドリング性が良好となる。第１の離型フィルム１８の１６０℃における貯蔵弾性率が４×１０８Ｐａ以下であれば、第１の離型フィルム１８の柔軟性が良好となる。
【００４４】
第１の離型フィルム１８の厚さは、５〜５００μｍが好ましく、１０〜１５０μｍがより好ましく、２５〜１００μｍがさらに好ましい。第１の離型フィルム１８の厚さが５μｍ以上であれば、電磁波シールドフィルム１０のハンドリング性が良好となる。また、第１の離型フィルム１８がクッション材として十分に働き、フレキシブルプリント配線板の表面に設けられた絶縁フィルムの表面に電磁波シールドフィルム１０の等方導電性接着剤層１６を熱プレスにて貼着する際に、等方導電性接着剤層１６が絶縁フィルムの表面の凹凸形状に追随しやすくなる。第１の離型フィルム１８の厚さが５００μｍ以下であれば、絶縁フィルムの表面に電磁波シールドフィルム１０の等方導電性接着剤層１６を熱プレスする際に等方導電性接着剤層１６に熱が伝わりやすい。
【００４５】
（離型剤層）
離型フィルム本体１８ａの絶縁性保護層１２側の表面に、離型剤による離型処理が施されて、離型剤層１８ｂが形成される。第１の離型フィルム１８が離型剤層１８ｂを有することによって、後述する工程（ｇ）において第１の離型フィルム１８を絶縁性保護層１２から剥離する際に、第１の離型フィルム１８が剥離しやすく、絶縁性保護層１２や硬化後の等方導電性接着剤層１６が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
【００４６】
離型剤層１８ｂの厚さは、０．０５〜２．０μｍが好ましく、０．１〜１．５μｍがより好ましい。離型剤層１８ｂの厚さが前記範囲内であれば、後述する工程（ｇ）において第１の離型フィルム１８がさらに剥離しやすくなる。
【００４７】
（第２の離型フィルム）
第２の離型フィルム２０は、等方導電性接着剤層１６を保護するものであり、電磁波シールドフィルム１０のハンドリング性を良好にする。第２の離型フィルム２０は、電磁波シールドフィルム１０をフレキシブルプリント配線板等に貼り付ける前に、等方導電性接着剤層１６から剥離される。
【００４８】
第２の離型フィルム２０の樹脂材料としては、第１の離型フィルム１８の樹脂材料と同様なものが挙げられる。
第２の離型フィルム２０の厚さは、５〜５００μｍが好ましく、１０〜１５０μｍがより好ましく、２５〜１００μｍがさらに好ましい。
【００４９】
（離型剤層）
離型フィルム本体２０ａの等方導電性接着剤層１６側の表面に、離型剤による離型処理が施されて、離型剤層２０ｂが形成される。第２の離型フィルム２０が離型剤層２０ｂを有することによって、後述する工程（ｇ）において第２の離型フィルム２０を等方導電性接着剤層１６から剥離する際に、第２の離型フィルム２０が剥離しやすく、等方導電性接着剤層１６が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
【００５０】
離型剤層２０ｂの厚さは、０．０５〜２．０μｍが好ましく、０．１〜１．５μｍがより好ましい。離型剤層２０ｂの厚さが前記範囲内であれば、後述する工程（ｇ）において第２の離型フィルム２０がさらに剥離しやすくなる。
【００５１】
（電磁波シールドフィルムの厚さ）
電磁波シールドフィルム１０の厚さ（離型フィルムを除く）は、１０〜４５μｍが好ましく、１０〜３０μｍがより好ましい。電磁波シールドフィルム１０の厚さ（離型フィルムを除く）が１０μｍ以上であれば、第１の離型フィルム１８を剥離する際に破断しにくい。電磁波シールドフィルム１０の厚さ（離型フィルムを除く）が４５μｍ以下であれば、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を薄くできる。
【００５２】
（電磁波シールドフィルムの製造方法）
本発明の電磁波シールドフィルムは、例えば、下記の工程（ａ）〜（ｄ）を有する方法によって製造できる。
（ａ）第１の離型フィルムの片面に絶縁性保護層を形成する工程。
（ｂ）絶縁性保護層の表面に金属薄膜層を形成することによって、第１の離型フィルムと、絶縁性保護層と、金属薄膜層とを順に備えた第１の積層体を得る工程。
（ｃ）第２の離型フィルムの片面に等方導電性接着剤層を形成することによって、第２の離型フィルムと、等方導電性接着剤層とを順に備えた第２の積層体を得る工程。
（ｄ）第１の積層体と第２の積層体とを、金属薄膜層と等方導電性接着剤層とが接触するように貼り合わせる工程。
【００５３】
以下、図１に示す電磁波シールドフィルム１０を製造する方法について、図２〜図４を参照しながら説明する。
【００５４】
（工程（ａ））
図２に示すように、第１の離型フィルム１８の離型剤層１８ｂの表面に絶縁性保護層１２を形成する。
【００５５】
絶縁性保護層１２の形成方法としては、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、硬化させる方法、熱可塑性樹脂を含む塗料を塗布する方法、熱可塑性樹脂を溶融成形したフィルムを貼着する方法等が挙げられる。ハンダ付け等の際の耐熱性の点から、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、硬化させる方法が好ましい。
熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料は、必要に応じて溶剤、他の成分を含んでいてもよい。
【００５６】
絶縁性保護層１２を、塗料の塗布によって形成した場合、絶縁性保護層１２を比較的薄くできる。なお、熱硬化性樹脂の硬化物は硬いため、絶縁性保護層１２を薄くした場合は、強度が不十分となる。上述したように、絶縁性保護層１２の１６０℃における貯蔵弾性率を、５×１０６〜１×１０８Ｐａの範囲とすることによって、柔軟性や強度と、耐熱性とのバランスが良好となる。
【００５７】
絶縁性保護層１２の貯蔵弾性率の制御は、架橋密度および架橋構造からもたらされる強靭性の観点から熱硬化性樹脂、硬化剤等の種類や組成を選択し、熱硬化性樹脂の硬化物の貯蔵弾性率を調整することによって行われる。
このほか、貯蔵弾性率は、熱硬化性樹脂を硬化させる際の温度、時間等の硬化条件を調整する、または熱硬化性を有さない成分として熱可塑性エラストマー等の熱可塑性樹脂を添加することによって調整できる。
【００５８】
（工程（ｂ））
図２に示すように、絶縁性保護層１２の表面に金属薄膜層１４を形成、第１の積層体１０ａを得る。
【００５９】
金属薄膜層１４の形成方法としては、物理蒸着、ＣＶＤ、めっき等によって金属薄膜を形成する方法、金属箔を貼り付ける方法等が挙げられる。面方向の導電性に優れる金属薄膜層１４を形成できる点から、物理蒸着、ＣＶＤ、めっき等によって金属薄膜を形成する方法が好ましく、金属薄膜層１４の厚さを薄くでき、かつ厚さが薄くても面方向の導電性に優れる金属薄膜層１４を形成でき、ドライプロセスにて簡便に金属薄膜層１４を形成できる点から、物理蒸着による方法がより好ましい。
【００６０】
（工程（ｃ））
図３に示すように、第２の離型フィルム２０の離型剤層２０ｂの表面に等方導電性接着剤層１６を形成し、第２の積層体１０ｂを得る。
【００６１】
等方導電性接着剤層１６の形成方法としては、導電性接着剤組成物を塗布する方法が挙げられる。
導電性接着剤組成物としては、上述した熱硬化性接着剤と導電性粒子２２と導電性繊維２４とを含むものを用いる。
【００６２】
（工程（ｄ））
図４に示すように、第１の積層体１０ａと第２の積層体１０ｂとを、金属薄膜層１４と等方導電性接着剤層１６とが接触するように貼り合わせる。
【００６３】
第１の積層体１０ａと第２の積層体１０ｂとの貼り合わせは、導電性繊維２４が等方導電性接着剤層１６の面方向に配向しやすくなる点から、プレス機（図示略）等による熱プレスによって行うことが好ましい。
【００６４】
（作用効果）
以上説明した電磁波シールドフィルム１０にあっては、金属薄膜層１４の表面抵抗が０．３Ω以下であり、かつ等方導電性接着剤層１６の表面抵抗が１０Ω以下であるため、以下に説明するように、金属薄膜層１４にクラックが生じても、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる。
【００６５】
図５は、金属薄膜層１４にクラックが生じる前の、金属薄膜層１４および等方導電性接着剤層１６からなる電磁波シールド層のモデルケースを示す斜視図である。
モデルケースにおける電磁波シールド層は、幅１０ｍｍ、長さ２０ｍｍの金属薄膜層１４と、幅１０ｍｍ、長さ２０ｍｍの等方導電性接着剤層１６との積層体である。
金属薄膜層１４の表面抵抗Ｒｍｓは、長さ１０ｍｍ、電極間距離１０ｍｍの２本の電極間の抵抗であるから、金属薄膜層１４の長さ方向（２０ｍｍ）の全体抵抗、すなわち回路の抵抗は、表面抵抗Ｒｍｓの２倍の２Ｒｍｓとなる。
等方導電性接着剤層１６の表面抵抗Ｒｃｓは、長さ１０ｍｍ、電極間距離１０ｍｍの２本の電極間の抵抗であるから、等方導電性接着剤層１６の長さ方向（２０ｍｍ）の全体抵抗は、同様に２Ｒｃｓとなる。
電磁波シールド層を、金属薄膜層１４と等方導電性接着剤層１６との並列回路と見なせば、クラックが生じる前の電磁波シールド層の長さ方向の全体抵抗Ｒ１は、並列回路の抵抗、すなわち下記式（１）で表される。
Ｒ１＝２×Ｒｍｓ・Ｒｃｓ／（Ｒｍｓ＋Ｒｃｓ）  ・・・（１）
【００６６】
図６は、金属薄膜層１４にクラックが生じた後の、金属薄膜層１４および等方導電性接着剤層１６からなる電磁波シールド層のモデルケースを示す斜視図である。
金属薄膜層１４の長さ方向の中央に、幅方向にわたって間隙０．２ｍｍのクラックが生じたとする。
電磁波シールド層を、幅１０ｍｍ、長さ９．９ｍｍの金属薄膜層１４と等方導電性接着剤層１６とからなる並列回路と、幅１０ｍｍ、長さ０．２ｍｍの等方導電性接着剤層１６からなる回路と、幅１０ｍｍ、長さ９．９ｍｍの金属薄膜層１４と等方導電性接着剤層１６とからなる並列回路とが、直列に接続していると見なせば、クラックが生じた後の電磁波シールド層の長さ方向の全体抵抗Ｒ２は、下記式（２）で表される。
Ｒ２＝２×０．９９×Ｒｍｓ・Ｒｃｓ／（Ｒｍｓ＋Ｒｃｓ）＋０．０２×Ｒｃｓ  ・・・（２）
【００６７】
金属薄膜層１４の表面抵抗Ｒｍｓが最大値の０．３Ωであり、等方導電性接着剤層１６の表面抵抗Ｒｃｓが最大値の１００Ωであった場合、クラックが生じる前の電磁波シールド層の長さ方向の全体抵抗Ｒ１は、０．５９８Ωとなり、クラックが生じた後の電磁波シールド層の長さ方向の全体抵抗Ｒ２は、２．５３８Ωとなる。このように、金属薄膜層１４にクラックが生じることによる電磁波シールド層の抵抗の上昇は、１０倍以下に抑えられ、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる。
【００６８】
一方、金属薄膜層１４の表面抵抗Ｒｍｓが最大値の０．３Ωであり、等方導電性接着剤層１６の表面抵抗Ｒｃｓが最大値を超える１０００Ωであった場合、クラックが生じる前の電磁波シールド層の長さ方向の全体抵抗Ｒ１は、０．６００Ωとなり、クラックが生じた後の電磁波シールド層の長さ方向の全体抵抗Ｒ２は、２０．５４０Ωとなる。このように、等方導電性接着剤層１６の表面抵抗Ｒｃｓが最大値を超える場合、金属薄膜層１４にクラックが生じることによって電磁波シールド層の抵抗が大きく上昇し、その結果、電磁波ノイズの遮蔽効果が低下する。
【００６９】
（他の実施形態）
本発明の電磁波シールドフィルムは、絶縁性保護層と、特定の表面抵抗の金属薄膜層と、特定の表面抵抗の等方導電性接着剤層とを順に備えたものであればよく、図１の実施形態に限定はされない。
例えば、等方導電性接着剤層１６の表面のタック性が少ない場合は、第２の離型フィルム２０を省略しても構わない。
絶縁性保護層１２が十分な柔軟性や強度を有する場合は、第１の離型フィルム１８を省略しても構わない。
離型フィルムは、離型フィルム本体のみで十分な離型性を有する場合は、離型剤層を有しなくてもよい。
【００７０】
＜電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板＞
図７は、本発明の電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の一例を示す断面図である。
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１は、フレキシブルプリント配線板３０と、絶縁フィルム４０と、離型フィルムを剥離した電磁波シールドフィルム１０とを備える。
フレキシブルプリント配線板３０は、ベースフィルム３２の少なくとも片面にプリント回路３４が設けられたものである。
絶縁フィルム４０は、フレキシブルプリント配線板３０のプリント回路３４が設けられた側の表面に設けられる。
電磁波シールドフィルム１０の等方導電性接着剤層１６は、絶縁フィルム４０の表面に接着され、かつ硬化されている。また、等方導電性接着剤層１６は、絶縁フィルム４０に形成された貫通孔（図示略）を通ってプリント回路３４に電気的に接続されている。
【００７１】
貫通孔のある部分を除くプリント回路３４（信号回路、グランド回路、グランド層等）の近傍には、電磁波シールドフィルム１０の金属薄膜層１４が、絶縁フィルム４０および等方導電性接着剤層１６を介して離間して対向配置される。
貫通孔のある部分を除くプリント回路３４と金属薄膜層１４との離間距離は、絶縁フィルム４０の厚さおよび等方導電性接着剤層１６の厚さの総和である。離間距離は、３０〜２００μｍが好ましく、６０〜２００μｍがより好ましい。離間距離が３０μｍより小さいと、信号回路のインピーダンスが低くなるため、１００Ω等の特性インピーダンスを有するためには、信号回路の線幅を小さくしなければならず、線幅のバラツキが特性インピーダンスのバラツキとなって、インピーダンスのミスマッチによる反射共鳴ノイズが電気信号に乗りやすくなる。離間距離が２００μｍより大きいと、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１が厚くなり、可とう性が不足する。
【００７２】
（フレキシブルプリント配線板）
フレキシブルプリント配線板３０は、銅張積層板の銅箔を公知のエッチング法により所望のパターンに加工してプリント回路３４（電源回路、グランド回路、グランド層等）としたものである。
銅張積層板としては、ベースフィルム３２の片面または両面に接着剤層（図示略）を介して銅箔を貼り付けたもの；銅箔の表面にベースフィルム３２を形成する樹脂溶液等をキャストしたもの等が挙げられる。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ポリウレタン、アクリル樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。
接着剤層の厚さは、０．５〜３０μｍが好ましい。
【００７３】
（ベースフィルム）
ベースフィルム３２としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
ベースフィルム３２の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、１×１０６Ω以上が好ましい。ベースフィルム３２の表面抵抗は、実用上の点から、１×１０１９Ω以下が好ましい。
ベースフィルム３２の厚さは、５〜２００μｍが好ましく、屈曲性の点から、６〜２５μｍがより好ましく、１０〜２５μｍがより好ましい。
【００７４】
（プリント回路）
プリント回路３４（信号回路、グランド回路、グランド層等）を構成する銅箔としては、圧延銅箔、電解銅箔等が挙げられ、屈曲性の点から、圧延銅箔が好ましい。
銅箔の厚さは、１〜５０μｍが好ましく、１８〜３５μｍがより好ましい。
プリント回路３４の長さ方向の端部（端子）は、ハンダ接続、コネクター接続、部品搭載等のため、絶縁フィルム４０や電磁波シールドフィルム１０に覆われていない。
【００７５】
（絶縁フィルム）
絶縁フィルム４０は、基材フィルム（図示略）の片面に、接着剤の塗布、接着剤シートの貼り付け等によって接着剤層（図示略）を形成したものである。
基材フィルムの表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、１×１０６Ω以上が好ましい。基材フィルムの表面抵抗は、実用上の点から、１×１０１９Ω以下が好ましい。
基材フィルムとしては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、液晶ポリマーフィルムがより好ましく、ポリイミドフィルムがさらに好ましい。
基材フィルムの厚さは、１〜１００μｍが好ましく、可とう性の点から、３〜２５μｍがより好ましい。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ポリウレタン、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ポリスチレン、ポリオレフィン等が挙げられる。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分（カルボキシル変性ニトリルゴム等）を含んでいてもよい。
接着剤層の厚さは、１〜１００μｍが好ましく、１．５〜６０μｍがより好ましい。
【００７６】
貫通孔の開口部の形状は、特に限定されない。貫通孔の開口部の形状としては、例えば、円形、楕円形、四角形等が挙げられる。
【００７７】
（電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の製造方法）
本発明の電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板は、例えば、下記の工程（ｅ）〜（ｇ）を有する方法によって製造できる。
（ｅ）ベースフィルムの少なくとも片面にプリント回路を有するフレキシブルプリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に、プリント回路に対応する位置に貫通孔が形成された絶縁フィルムを設け、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板を得る工程。
（ｆ）工程（ｅ）の後、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板と、本発明の電磁波シールドフィルムとを、絶縁フィルムの表面に等方導電性接着剤層が接触するように重ね、これらを熱プレスすることによって、絶縁フィルムの表面に等方導電性接着剤層を接着し、かつ等方導電性接着剤層を、貫通孔を通ってプリント回路に電気的に接続する工程。
（ｇ）工程（ｆ）の後、第１の離型フィルムを剥離し、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を得る工程。
【００７８】
以下、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を製造する方法について、図８を参照しながら説明する。
【００７９】
（工程（ｅ））
図８に示すように、フレキシブルプリント配線板３０に、プリント回路３４に対応する位置に貫通孔４２が形成された絶縁フィルム４０を重ね、フレキシブルプリント配線板３０の表面に絶縁フィルム４０の接着剤層（図示略）を接着し、接着剤層を硬化させることによって、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板２を得る。フレキシブルプリント配線板３０の表面に絶縁フィルム４０の接着剤層を仮接着し、工程（ｆ）にて接着剤層を本硬化させてもよい。
接着剤層の接着および硬化は、例えば、プレス機（図示略）等による熱プレスによって行う。
【００８０】
（工程（ｆ））
図８に示すように、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板２に、第２の離型フィルム２０を剥離した電磁波シールドフィルム１０を重ね、熱プレスすることによって、絶縁フィルム４０の表面に等方導電性接着剤層１６が接着され、かつ等方導電性接着剤層１６が、貫通孔４２を通ってプリント回路３４に電気的に接続された電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の前駆体３を得る。
【００８１】
等方導電性接着剤層１６の接着および硬化は、例えば、プレス機（図示略）等による熱プレスによって行う。
熱プレスの時間は、２０秒〜６０分間であり、３０秒〜３０分間がさらに好ましい。熱プレスの時間が２０秒以上であれば、絶縁フィルム４０の表面に等方導電性接着剤層１６が接着される。熱プレスの時間が６０分以下であれば、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１の製造時間を短縮できる。
【００８２】
熱プレスの温度（プレス機のプレス板の温度）は、１４０〜１９０℃が好ましく、１５０〜１７５℃がより好ましい。熱プレスの温度が１４０℃以上であれば、絶縁フィルム４０の表面に等方導電性接着剤層１６が接着される。また、熱プレスの時間を短縮できる。熱プレスの温度が１９０℃以下であれば、電磁波シールドフィルム１０、フレキシブルプリント配線板３０等の劣化等を抑えることができる。
【００８３】
熱プレスの圧力は、１０ＭＰａ〜２０ＭＰａが好ましく、１０ＭＰａ〜１６ＭＰａがより好ましい。熱プレスの圧力が１０ＭＰａ以上であれば、絶縁フィルム４０の表面に等方導電性接着剤層１６が接着される。また、熱プレスの時間を短縮できる。熱プレスの圧力が２０ＭＰａ以下であれば、電磁波シールドフィルム１０、フレキシブルプリント配線板３０等の破損等を抑えることができる。
【００８４】
（工程（ｇ））
図８に示すように、絶縁性保護層１２から第１の離型フィルム１８を剥離し、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１を得る。
【００８５】
工程（ｆ）における熱プレスの時間が２０秒〜１０分間の短時間である場合、第１の離型フィルム１８を剥離する前または剥離した後に等方導電性接着剤層１６の本硬化を行うことが好ましい。
等方導電性接着剤層１６の本硬化は、例えば、オーブン等の加熱装置を用いて行う。
加熱時間は、１５〜１２０分間であり、３０〜６０分間が好ましい。加熱時間が１５分以上であれば、等方導電性接着剤層１６を十分に硬化できる。加熱時間が１２０分以下であれば、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１の製造時間を短縮できる。
加熱温度（オーブン中の雰囲気温度）は、１２０〜１８０℃が好ましく、１２０〜１５０℃が好ましい。加熱温度が１２０℃以上であれば、加熱時間を短縮できる。加熱温度が１６０℃以下であれば、電磁波シールドフィルム１０、フレキシブルプリント配線板３０等の劣化等を抑えることができる。
加熱は、特殊な装置を使用しなくてもよい点から、無加圧で行うことが好ましい。
【００８６】
（作用効果）
以上説明した電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１にあっては、金属薄膜層１４の表面抵抗が０．３Ω以下であり、かつ等方導電性接着剤層１６の表面抵抗が１０Ω以下であるため、金属薄膜層１４にクラックが生じても、電磁波ノイズの遮蔽効果を維持できる。
【００８７】
（他の実施形態）
本発明の電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板は、フレキシブルプリント配線板と、絶縁フィルムと、本発明の電磁波シールドフィルムとを備えたものであればよく、図示例の実施形態に限定はされない。
例えば、フレキシブルプリント配線板は、裏面側にグランド層を有するものであってもよい。また、フレキシブルプリント配線板は、両面にプリント回路を有し、両面に絶縁フィルムおよび電磁波シールドフィルムが貼り付けられたものであってもよい。
【実施例】
【００８８】
以下、実施例を示す。なお、本発明は実施例に限定されるものではない。
【００８９】
（貯蔵弾性率）
貯蔵弾性率は、動的粘弾性測定装置（Ｒｈｅｏｍｅｔｒｉｃ  Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ，Ｉｎｃ．製、ＲＳＡII）を用いて測定した。
【００９０】
（実施例１）
第１の離型フィルム１８および第２の離型フィルム２０として、非シリコーン系離型剤にて片面が離型処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム（リンテック社製、Ｔ１５７、厚さ：５０μｍ、１６０℃における貯蔵弾性率：６×１０８Ｐａ）を用意した。
【００９１】
工程（ａ）：
第１の離型フィルム１８の離型剤層１８ｂの表面に、溶剤溶解性アミド樹脂（ティーアンドケイ東華社製、ＴＰＡＥ−６１７Ｃ）および硬化剤（トルエンジイソシアネート）をＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドに溶解した塗料を塗布し、１５０℃で０．４時間加熱し、アミド樹脂を硬化させて、絶縁性保護層１２（厚さ：５μｍ、１６０℃における貯蔵弾性率：８×１０６Ｐａ、表面抵抗：８×１０１２Ω）を形成した。
【００９２】
工程（ｂ）：
絶縁性保護層１２の表面に、電子ビーム蒸着法にて銅を物理的に蒸着させ、厚さ０．０７μｍ、表面抵抗０．３Ωの蒸着膜（金属薄膜層１４）を形成し、第１の積層体１０ａを得た。
【００９３】
工程（ｃ）：
第２の離型フィルム２０の離型剤層２０ｂの表面に、硬化性エポキシ樹脂としてエポキシ樹脂（ＤＩＣ社製、ＥＸＡ−４８１６）と硬化剤（味の素ファインテクノ社製、ＰＮ−２３）との混合物、導電性粒子２２として銀粒子（ＤＯＷＡエレクトロニクス社製、ＡＧ  ６−１１、平均粒子径：３．６μｍ、比表面積：０．２１ｍ２／ｇ、真密度：１０．５ｇ／ｃｍ３）およびカーボンナノファイバ（昭和電工社製、ＶＧＣＦ、平均繊維長：６μｍ、平均繊維径：０．１５μｍ、アスペクト比：６０、比表面積：１３ｍ２／ｇ、真密度：２．１ｇ／ｃｍ３）を溶剤（メチルエチルケトン）に溶解または分散させた導電性接着剤組成物を、ダイコーターを用いて塗布し、溶剤を揮発させて、等方導電性接着剤層１６（厚さ：１０μｍ、銀粒子：５８体積％、カーボンナノファイバ：１５体積％、表面抵抗：８０Ω）を形成し、第２の積層体１０ｂを得た。
【００９４】
工程（ｄ）：
第１の積層体１０ａと第２の積層体１０ｂとを、金属薄膜層１４と等方導電性接着剤層１６とが接触するように重ね、ホットプレス装置（ＶＩＧＯＲ社製、ＶＦＰＣ−０５Ｒ）を用い、温度：９０℃、圧力：２ＭＰａで３秒間熱プレスし、電磁波シールドフィルム１０を得た。
【００９５】
工程（ｅ）：
厚さ２５μｍのポリイミドフィルム（表面抵抗：１×１０１７Ω）（基材フィルム）の表面に、ニトリルゴム変性エポキシ樹脂からなる絶縁性接着剤組成物を、乾燥膜厚が２５μｍになるように塗布し、接着剤層を形成し、絶縁フィルム４０（厚さ：５０μｍ）を得た。
【００９６】
厚さ１２μｍのポリイミドフィルム（表面抵抗：１×１０１７Ω）（ベースフィルム３２）の表面に、プリント回路３４が形成されたフレキシブルプリント配線板３０を用意した。
フレキシブルプリント配線板３０に絶縁フィルム４０を熱プレスにより貼り付けて、絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板２を得た。
【００９７】
工程（ｆ）：
フレキシブルプリント配線板３０に、第２の離型フィルム２０を剥離した電磁波シールドフィルム１０を重ね、ホットプレス装置（ＶＩＧＯＲ社製、ＶＦＰＣ−０５Ｒ）を用い、温度：１７０℃、圧力：１５ＭＰａで３０秒間熱プレスし、絶縁フィルム４０の表面に等方導電性接着剤層１６を接着して、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の前駆体３を得た。
電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の前駆体３を、高温恒温器（楠本化成社製、ＨＴ２１０）を用い、温度：１７０℃で３０分間加熱することによって、等方導電性接着剤層１６を本硬化させた。
【００９８】
工程（ｇ）：
絶縁性保護層１２から第１の離型フィルム１８を剥離し、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板１を得た。
【００９９】
（比較例１）
工程（ａ）〜（ｂ）：
実施例１と同様にして、第１の積層体を得た。
【０１００】
工程（ｃ）：
第２の離型フィルムの離型剤層の表面に、硬化性エポキシ樹脂としてエポキシ樹脂（ＤＩＣ社製、ＥＸＡ−４８１６）と硬化剤（味の素ファインテクノ社製、ＰＮ−２３）との混合物、導電性粒子２２として焼成カーボン粒子（エア・ウォーター・ベルパール社製、ＣＲ２−８００ＳＲ、平均粒子径：５．０μｍ、比表面積：０．８ｍ２／ｇ、真密度：１．３４ｇ／ｃｍ３）を溶剤（メチルエチルケトン）に溶解または分散させた導電性接着剤組成物を、ダイコーターを用いて塗布し、溶剤を揮発させて、等方導電性接着剤層（厚さ：１０μｍ、焼成カーボン粒子：７５体積％、カーボンナノファイバ：１０体積％、表面抵抗：６２０Ω）を形成し、第２の積層体を得た。
【０１０１】
工程（ｄ）：
第２の積層体として、比較例１の工程（ｃ）で得られた第２の積層体を用いた以外は、実施例１と同様にして、電磁波シールドフィルムを得た。
【０１０２】
工程（ｅ）〜（ｇ）：
電磁波シールドフィルムとして、比較例１の工程（ｄ）で得られた電磁波シールドフィルムを用いた以外は、実施例１と同様にして、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板を得た。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
本発明の電磁波シールドフィルムは、スマートフォン、携帯電話、光モジュール、デジタルカメラ、ゲーム機、ノートパソコン、医療器具等の電子機器用のフレキシブルプリント配線板における、電磁波シールド用部材として有用である。
【符号の説明】
【０１０４】
１  電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板
２  絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板
３  電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板の前駆体
１０  電磁波シールドフィルム
１０ａ  第１の積層体
１０ｂ  第２の積層体
１２  絶縁性保護層
１４  金属薄膜層
１６  等方導電性接着剤層
１８  第１の離型フィルム
１８ａ  離型フィルム本体
１８ｂ  離型剤層
２０  第２の離型フィルム
２０ａ  離型フィルム本体
２０ｂ  離型剤層
２２  導電性粒子
２４  導電性繊維
３０  フレキシブルプリント配線板
３２  ベースフィルム
３４  プリント回路
４０  絶縁フィルム
４２  貫通孔
１０１  電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板
１１０  電磁波シールドフィルム
１１２  絶縁性保護層
１１４  金属薄膜層
１１６  異方導電性接着剤層
１１８  離型フィルム
１３０  フレキシブルプリント配線板
１３２  ベースフィルム
１３４  プリント回路
１４０  絶縁フィルム
１４２  貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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