(57)【要約】【課題】複数の構造体を接着剤で接合して接合体とする構成において接着剤の塗布ムラをより確実に検出することにより、接合体における接着不良を未然に抑制することが可能な接合体の製造方法、ＭＥＭＳデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、および接合体の製造装置を提供する。【解決手段】複数の構造体が積層された状態で接着剤２１により相互に接合された接合体の製造方法であって、接着剤層３０を媒体としての転写フィルム３３の一方の面に形成する接着剤層形成工程と、接着剤層形成工程において形成された接着剤層３０の粘度を調整する粘度調整工程と、粘度調整工程において粘度が調整された接着剤層３０を構造体に転写する転写工程と、を含み、転写工程よりも前の段階において、転写フィルム３３上の接着剤層３０の表面粗さを測定する表面粗さ測定工程が行われることを特徴とする。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の構造体が積層された状態で接着剤により相互に接合された接合体の製造方法であって、
接着剤層を媒体の一方の面に形成する接着剤層形成工程と、
前記接着剤層形成工程において形成された前記接着剤層の粘度を調整する粘度調整工程と、
前記粘度調整工程において粘度が調整された前記接着剤層を前記構造体に転写する転写工程と、を含み、
前記転写工程よりも前の段階において、前記媒体上の前記接着剤層の表面粗さを測定する表面粗さ測定工程が行われることを特徴とする接合体の製造方法。
【請求項２】
前記表面粗さ測定工程は、前記媒体上に形成された前記接着剤層の前記表面粗さを非接触で測定することを特徴とする請求項１に記載の接合体の製造方法。
【請求項３】
前記転写工程は、前記表面粗さ測定工程において、前記接着剤層の前記表面粗さが、予め定められた所定値より小さい場合に、転写を行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の接合体の製造方法。
【請求項４】
前記転写工程は、前記表面粗さ測定工程において、前記接着剤層に向けて光を照射したときの反射光の受光強度が予め定められた所定値よりも大きい場合に、転写を行うことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の接合体の製造方法。
【請求項５】
前記表面粗さ測定工程は、前記接着剤層形成工程と前記粘度調整工程との間に行うようにすることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の接合体の製造方法。
【請求項６】
前記表面粗さ測定工程は、前記粘度調整工程と前記転写工程との間に行うようにすることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の接合体の製造方法。
【請求項７】
前記表面粗さ測定工程において前記接着剤層の厚みも合わせて測定することを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の接合体の製造方法。
【請求項８】
複数の構造体が積層された状態で接着剤により相互に接合された接合体を有するＭＥＭＳデバイスの製造方法であって、
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の接合体の製造方法により前記接合体を製造することを特徴とするＭＥＭＳデバイスの製造方法。
【請求項９】
複数の構造体が積層された状態で接着剤により相互に接合されて内部に液体流路が形成された接合体を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の接合体の製造方法により前記接合体を製造することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
複数の構造体が積層された状態で接着剤により相互に接合された接合体の製造装置であって、
接着剤層を媒体の一方の面に形成する接着剤層形成部と、
前記接着剤層形成部により形成された前記接着剤層の粘度を調整する粘度調整部と、
前記粘度調整部により粘度が調整された前記接着剤層を前記構造体に転写する転写部と、
前記媒体上の前記接着剤層の表面粗さを測定する表面粗さ測定部と、
を備え、
前記表面粗さ測定部は、製造ラインにおいて前記転写部よりも前に配置されたことを特徴とする接合体の製造装置。
【請求項１１】
前記表面粗さ測定部は、
前記媒体上に形成されている前記接着剤層の前記表面粗さを非接触で測定する測定装置と、
前記接着剤層の前記表面粗さを測定する際に、前記媒体を前記接着剤層が形成された面とは反対の面側から支持する支持部材と、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の接合体の製造装置。
【請求項１２】
前記測定装置は、光を照射する照射部と、光を受光する受光部と、を有し、
前記支持部材は、前記光を照射する位置と対応する位置に、前記測定装置による前記接着剤層の前記表面粗さの測定に要する測定スポットよりも大きな貫通孔部が設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の接合体の製造装置。
【請求項１３】
前記支持部材は、
少なくとも前記接着剤層の前記表面粗さを測定する際に、前記媒体を前記測定装置の方へ向けて所定量押し込む位置に配置されることを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載の接合体の製造装置。
【請求項１４】
前記支持部材は、前記測定装置の方へ向けて湾曲する湾曲面を有することを特徴とする請求項１１から請求項１３のいずれか一項に記載の接合体の製造装置。
【請求項１５】
前記支持部材を、前記媒体に接触させて該媒体を支持する位置と、前記媒体に接触しない位置とに移動させる支持部材移動機構を備えたことを特徴とする請求項１１から請求項１４のいずれか一項に記載の接合体の製造装置。
【請求項１６】
前記支持部材は、少なくとも前記媒体の搬送方向に回転可能に設けられたローラー部材であることを特徴とする請求項１４に記載の接合体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合体の製造方法、ＭＥＭＳデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、および接合体の製造装置に関し、特に、複数の構造体が接着剤により接合されてなる接合体の製造方法、ＭＥＭＳデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、および接合体の製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この噴射ヘッドから各種の液体を噴射（吐出）する装置である。この液体噴射装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。
【０００３】
液体噴射ヘッドに用いられるＭＥＭＳデバイスとしては、構造体（基板）が複数積層された状態で接着剤により接合された接合体を有するものがある。この接合体を構成する各構造体には、ノズルに連通する液体流路や、液体流路内の液体に圧力変動を生じさせてノズルから噴射させるための可動領域等が設けられている。このような接合体からなるＭＥＭＳデバイスは、微細な構造を有するため、接着剤を塗布する領域も非常に狭い範囲となっている。このため、従来ではこのような微細な構造を有する構造体同士の接合に関し、接着剤をフィルムに塗布した後、構造体に接着剤を転写する製造方法が採用されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１６０３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、フィルムに接着剤を塗布する際に塗布ムラなどによって膜厚が均一にならない場合があり、この場合、構造体同士の間の接着剤に気泡が混入して接着不良が生じてしまうという課題があった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の構造体を接着剤で接合して接合体とする構成において接着剤の塗布ムラをより確実に検出することにより、接合体における接着不良を未然に抑制することが可能な接合体の製造方法、ＭＥＭＳデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、および接合体の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の接合体の製造方法は、複数の構造体が積層された状態で接着剤により相互に接合された接合体の製造方法であって、接着剤層を媒体の一方の面に形成する接着剤層形成工程と、前記接着剤層形成工程において形成された前記接着剤層の粘度を調整する粘度調整工程と、前記粘度調整工程において粘度が調整された前記接着剤層を前記構造体に転写する転写工程と、を含み、前記転写工程よりも前の段階において、前記媒体上の前記接着剤層の表面粗さを測定する表面粗さ測定工程が行われることを特徴とする。
【０００８】
上記方法によれば、転写工程よりも前の段階において媒体上の接着剤層の表面粗さを測定することにより、接合体において接着不良が生じることを未然に抑制することが可能となる。
【０００９】
上記方法では、前記表面粗さ測定工程は、前記媒体上に形成された前記接着剤層の前記表面粗さを非接触で測定することが好ましい。
【００１０】
この方法によれば、製造ラインにおいて、接着剤層の表面粗さの測定を接着剤層に対して非接触で行うので、接着剤層に対してダメージを与えることなく表面粗さの測定を精度よく行うことができる。このため、接合体の接合信頼性が向上する。また、製造効率が向上する。
【００１１】
上記方法では、前記転写工程は、前記表面粗さ測定工程において、前記接着剤層の前記表面粗さが、予め定められた所定値より小さい場合に、転写を行うことが好ましい。
【００１２】
この方法によれば、製造ラインにおいて表面粗さの測定を非接触で精度よく行うことができる。このため、接合体の接合信頼性が向上する。また、製造効率が向上する。
【００１３】
上記方法では、前記転写工程は、前記表面粗さ測定工程において、前記接着剤層に向けて光を照射したときの反射光の受光強度が予め定められた所定値よりも大きい場合に、転写を行うことが好ましい。
【００１４】
この方法によれば、製造ラインにおいて表面粗さの測定を非接触で精度よく行うことができる。このため、接合体の接合信頼性が向上する。また、製造効率が向上する。
【００１５】
上記方法では、前記表面粗さ測定工程は、前記接着剤層形成工程と前記粘度調整工程との間に行うようにすることを特徴とする。
【００１６】
このように、接着剤層の粘度が調整される前に表面粗さを測定することにより、接着不良が発生する可能性がある場合に、接着剤層のムラの改善を行うことが容易となる。
【００１７】
また、上記方法では、前記表面粗さ測定工程は、前記粘度調整工程と前記転写工程との間に行うようにすることができる。
【００１８】
このように、接着剤層の粘度が調整された後に表面粗さを測定することにより、粘度調整を経て接着剤層の表面粗さに変化があった場合においてもその変化後の接着剤層の表面粗さを把握することが可能となる。これにより、接合体の接合信頼性がより向上する。
【００１９】
上記接合体の製造方法では、前記表面粗さ測定工程において前記接着剤層の厚みも合わせて測定することが好ましい。
【００２０】
この方法によれば、表面粗さの測定と接着剤層の厚みを合わせて測定することにより、製造効率がより向上する。また、接着剤層の厚みが把握されることにより、所望とする厚みの接着剤層を選別することができる。その結果、接合体における接合部分からの接着剤のはみだしを低減することができる。
【００２１】
本発明のＭＥＭＳデバイスの製造方法は、複数の構造体が積層された状態で接着剤により相互に接合された接合体を有するＭＥＭＳデバイスの製造方法であって、上記の何れかに記載の接合体の製造方法により前記接合体を製造することを特徴とする。
【００２２】
このＭＥＭＳデバイスの製造方法によれば、接合体において構造体同士の剥離が抑制されるので、信頼性の高いＭＥＭＳデバイスを製造することが可能となる。
【００２３】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、複数の構造体が積層された状態で接着剤により相互に接合されて内部に液体流路が形成された接合体を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、上記の何れかに記載の接合体の製造方法により前記接合体を製造することを特徴とする。
【００２４】
この液体噴射ヘッドの製造方法によれば、接合部分からの液漏れや剥離が抑制されるので、信頼性の高い液体噴射ヘッドを製造することが可能となる。
【００２５】
本発明の接合体の製造装置は、複数の構造体が積層された状態で接着剤により相互に接合された接合体の製造装置であって、接着剤層を媒体の一方の面に形成する接着剤層形成部と、前記接着剤層形成部により形成された前記接着剤層の粘度を調整する粘度調整部と、前記粘度調整部により粘度が調整された前記接着剤層を前記構造体に転写する転写部と、前記媒体上の前記接着剤層の表面粗さを測定する表面粗さ測定部と、を備え、前記表面粗さ測定部は、製造ラインにおいて前記転写部よりも前に配置されたことを特徴とする。
【００２６】
この接合体の製造装置によれば、装置が行う製造ラインにおいて、構造体に接着剤層を転写する転写部よりも前に、媒体上の接着剤層の表面粗さを測定する表面粗さ測定部を備えていることにより、接合体において接着不良が生じることを未然に抑制することが可能となる。
【００２７】
上記接合体の製造装置において、前記表面粗さ測定部は、前記媒体上に形成されている前記接着剤層の前記表面粗さを非接触で測定する測定装置と、前記接着剤層の前記表面粗さを測定する際に、前記媒体を前記接着剤層が形成された面とは反対の面側から支持する支持部材と、を含むことを特徴とする。
【００２８】
この製造装置によれば、製造ラインにおいて、接着剤層の表面粗さの測定を、接着剤層に対して非接触で、且つ、媒体を接着剤層が形成された面とは反対側の面から支持部材により支持した状態で行うことができる。これにより、接着剤層に対してダメージを与えることなく、媒体の接着剤層が形成された表面粗さ測定部分を平坦化した状態で測定することができるので、表面粗さの測定を精度よく行うことが可能になる。したがって、信頼性の高い接合体を、製造効率よく製造することができる。
【００２９】
上記接合体の製造装置において、前記測定装置は、光を照射する照射部と、光を受光する受光部と、を有し、前記支持部材は、前記光を照射する位置と対応する位置に、前記測定装置による前記接着剤層の前記表面粗さの測定に要する測定スポットよりも大きな貫通孔部が設けられていることが好ましい。
【００３０】
この製造装置によれば、接着剤層の表面粗さの測定を非接触で行うことができるとともに、支持部材の光を照射する位置と対応する位置に、測定装置の測定スポットよりも大きな貫通孔部が設けられているので、支持部材からの光の反射の影響を受けることなく、表面粗さの測定を精度よく行うことができる。
【００３１】
上記接合体の製造装置において、前記支持部材は、少なくとも前記接着剤層の前記表面粗さを測定する際に、前記媒体を前記測定装置の方へ向けて所定量押し込む位置に配置されることが好ましい。
【００３２】
この構成によれば、接着剤層が形成された媒体の表面粗さ測定部分を、支持部材によってより効果的に平坦化することができるので、表面粗さの測定精度を向上させることが可能になる。
【００３３】
上記接合体の製造装置において、前記支持部材は、前記測定装置の方へ向けて湾曲する湾曲面を有することを特徴とする。
【００３４】
この構成によれば、支持部材の端部により媒体が屈曲するのを抑えながら、接着剤層が形成された媒体の表面粗さ測定部分を支持部材により支持して安定した測定を行うことが可能になる。
【００３５】
上記接合体の製造装置において、前記支持部材を、前記媒体に接触させて該媒体を支持する位置と、前記媒体に接触しない位置とに移動させる支持部材移動機構を備えたことが好ましい。
【００３６】
この製造装置によれば、支持部材移動機構により、媒体の搬送時には支持部材を媒体に接触しない位置に移動させ、表面粗さ測定時のみ媒体を支持する位置に支持部材を移動させることによって、支持部材が搬送中の媒体に接触して変形やキズなどのダメージを与えるのを防止しつつ、安定した表面粗さの測定を行うことができる。
【００３７】
上記接合体の製造装置において、前記支持部材は、少なくとも前記媒体の搬送方向に回転可能に設けられたローラー部材であることを特徴とする。
【００３８】
この構成によれば、媒体の搬送中に支持部材が媒体に接触していても、ローラー部材が回転することにより、支持部材としてのローラー部材が媒体にダメージを与えることがなく、表面粗さ測定時には媒体を支持して安定した測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】液体噴射装置（プリンター）の構成を説明する斜視図。
【図２】液体噴射ヘッド（記録ヘッド）の構成を説明する断面図。
【図３】図２における領域Ｘの拡大図。
【図４】本発明に係る接合体の製造装置の構成の一例を示す模式図。
【図５】膜厚測定装置で接着剤層の膜厚を測定した際の反射スペクトルのピーク周波数の強度と接合体における接合強度との関係を示した表。
【図６】接合体の製造工程について説明するフローチャート。
【図７】第２の実施形態における接合体の製造装置の構成を示す模式図。
【図８Ａ】第３の実施形態に係る接合体の製造装置の図４におけるＤ部の拡大模式図。
【図８Ｂ】第３の実施形態に係る接合体の製造装置の図４におけるＤ部の拡大模式図。
【図９】第３の実施形態における製造装置の支持部材を示す模式平面図。
【図１０】変形例１における接合体の製造装置の構成を示す図４のＤ部に相当する部分模式図。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明に係る接合体を有するＭＥＭＳデバイスを備えた液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載した液体噴射装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例示する。
【００４１】
まず、プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。
図１は、プリンター１の斜視図である。本実施形態におけるプリンター１は、記録紙等の記録媒体２（液体の着弾対象の一種）の表面に対してインクを噴射して当該インクを着弾させることによりドットを形成し、このドットの配列により画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、インクを噴射する記録ヘッド３、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４、キャリッジ４を主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構５、記録媒体２を副走査方向に移送するプラテンローラー６等を備えている。液体の一種であるインクは、液体供給源としてのインクカートリッジ７に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。なお、インクカートリッジ７がプリンター１の本体側に配置され、当該インクカートリッジ７からインク供給チューブを通じて記録ヘッド３に供給される構成を採用することもできる。
【００４２】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーター等のパルスモーター９により駆動される。従ってパルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向（記録媒体２の幅方向）に往復移動する。そして、プリンター１では、キャリッジ４を主走査方向に往復移動させながら、記録媒体２に対して記録ヘッド３のノズル２７からインクを噴射させることで、当該記録媒体２に対して画像等を記録する。
【００４３】
図２は、記録ヘッド３の内部構成を示す断面図である。また、図３は、図２における領域Ｘの拡大断面図である。なお、便宜上、各部材の積層方向を上下方向として説明する。また、図３においては、保護基板１９の図示が省略されている。本実施形態における記録ヘッド３は、複数の基板（本発明における構造体に相当）、具体的には、ノズルプレート１４、連通基板１５、および圧力室形成基板１６が、この順で積層されて後述する接着剤２１（接着剤層３０）により相互に接合されてユニット化された接合体１２を有している。この接合体１２における圧力室形成基板１６の連通基板１５側とは反対側の面には、弾性膜１７、圧電素子１８（駆動素子あるいはアクチュエーターの一種）、および保護基板１９が積層されて、本発明に係るＭＥＭＳデバイス１３が構成されている。そして、このＭＥＭＳデバイス１３がケース２０に取り付けられて記録ヘッド３が構成されている。
【００４４】
ケース２０は、底面側にＭＥＭＳデバイス１３が固定される合成樹脂製の箱体状部材である。このケース２０の下面側には、当該下面からケース２０の高さ方向の途中まで直方体状に窪んだ収容空部２２が形成されており、ＭＥＭＳデバイス１３が下面に接合されると、ＭＥＭＳデバイス１３における圧力室形成基板１６、弾性膜１７、圧電素子１８、および保護基板１９が、収容空部２２内に収容される。また、ケース２０には、インク導入路２３が形成されている。上記インクカートリッジ７側からのインクは、インク導入路２３を通じてＭＥＭＳデバイス１３の共通液室２４に導入される。
【００４５】
本実施形態における圧力室形成基板１６は、シリコン単結晶基板（以下、単にシリコン基板とも言う。）から作製されている。この圧力室形成基板１６には、圧力室２６を区画する圧力室空部が、ノズルプレート１４の各ノズル２７に対応して異方性エッチングによって複数形成されている。このように、シリコン基板に対して異方性エッチングによって圧力室等の流路となる微細な空間を形成することで、より高い寸法・形状精度を確保することができる。圧力室形成基板１６における圧力室空部の一方（上面側）の開口部は、弾性膜１７によって封止される。また、圧力室形成基板１６における弾性膜１７とは反対側の面には、連通基板１５が接合され、当該連通基板１５によって圧力室空部の他方の開口部が封止される。これにより、圧力室２６が区画形成される。
【００４６】
本実施形態における圧力室２６は、ノズル２７の並設方向（第１の方向）に直交する方向（第２の方向）に長尺な空部である。この圧力室２６の第２の方向の一端部は、連通基板１５のノズル連通口２８を介してノズル２７と連通する。また、圧力室２６の第２の方向の他端部は、連通基板１５の個別連通口２９を介して共通液室２４と連通する。そして、圧力室２６は、ノズル２７毎に対応してノズル列方向（第１の方向）に沿って複数並設されている。連通基板１５は、圧力室形成基板１６と同様にシリコン基板から作製された板材である。この連通基板１５には、圧力室形成基板１６の複数の圧力室２６に共通に設けられる共通液室２４（リザーバーあるいはマニホールドとも呼ばれる）となる空部が、異方性エッチングによって形成されている。この共通液室２４は、各圧力室２６の並設方向（即ち第１の方向）に沿って長尺な空部である。共通液室２４と各圧力室２６とは個別連通口２９を介して連通する。
【００４７】
上記のノズルプレート１４は、複数のノズル２７が列状に開設された板材である。本実施形態では、ドット形成密度に対応したピッチでノズル２７が複数列設されてノズル列が構成されている。本実施形態におけるノズルプレート１４は、シリコン基板から作製され、当該基板に対してドライエッチングにより円筒形状のノズル２７が形成されている。そして、本実施形態におけるＭＥＭＳデバイス１３には、上記の共通液室２４から個別連通口２９、圧力室２６、およびノズル連通口２８を通ってノズル２７に至るまでのインク流路（液体流路の一種）が形成されている。
【００４８】
圧力室形成基板１６の上面に形成された弾性膜１７は、例えば厚さが約１μｍの二酸化シリコンから構成される。この弾性膜１７上における各圧力室２６に対応する位置には、圧電素子１８がそれぞれ形成されている。本実施形態における圧電素子１８は、金属製の下電極膜、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層、および、金属製の上電極膜（何れも図示せず）が順次積層されて構成される。この構成において、上電極膜または下電極膜の一方が共通電極とされ、他方が個別電極とされる。また、個別電極となる電極膜および圧電体層が圧力室２６毎にパターニングされる。この圧電素子１８において、上電極膜および下電極膜によって圧電体層が挟まれた領域が、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる圧電能動部である。そして、印加電圧の変化に応じて圧電能動部が撓み変形することにより、圧力室２６の一面を区画する可撓面、すなわち、弾性膜１７が、ノズル２７に近づく側またはノズル２７から遠ざかる方向に変位する。これにより、圧力室２６内のインクに圧力変動が生じ、この圧力変動を利用してノズル２７からインクが噴射される。
【００４９】
図３に示すように、接合体１２を構成する構造体であるノズルプレート１４、連通基板１５、および圧力室形成基板１６は、互いに接着剤２１によって接合されている。接着剤２１は、後述するように転写フィルム３３（本発明における媒体の一種）に接着剤層３０として塗布された後、基板（構造体）の接合面に転写される。本実施形態におけるＭＥＭＳデバイス１３のように、圧力室２６の一面を区画する可撓面およびこれを変位させる圧電素子１８からなる可動領域（能動領域）を備え、また、この可動領域に通じる空間、例えば、ノズル連通口２８、圧力室２６、個別連通口２９、および共通液室２４等のインク流路を有する構成においては、接着剤２１の厚みにムラが生じた場合、気泡の抱き込み等により基板間の接着が不十分となる場合があり、その結果、この接着が不十分な箇所で剥離やインクのリークが生じるリスクもあった。以下においては、このような不具合を抑制することが可能な製造方法について説明する。
【００５０】
まず、本発明に係る接合体１２の製造装置（本発明に係るＭＥＭＳデバイス１３の製造装置あるいは記録ヘッド３の製造装置とも言える）の構成の一例について説明する。
【００５１】
図４は、接合体１２の製造装置３１の構成を説明する模式図である。
接合体１２の製造装置３１は、熱硬化性樹脂を含む接合材料として接着剤２１を収納する接着剤収容部３２と、接着剤２１を転写媒体としての転写フィルム３３の一方の面に付与し接着剤層３０を形成する接着剤層形成部３４と、転写フィルム３３に付与された接着剤層３０を加熱して当該接着剤層３０の粘度を調整する（高める）粘度調整部３５と、接着剤層３０の表面粗さを測定する表面粗さ測定部３６と、接合体１２を構成する構造体の一種である第１の部材３７（例えば、連通基板１５）に接着剤層３０を転写する転写部３８と、第１の部材３７と第２の部材４０（例えば、圧力室形成基板１６）とを接着剤２１（接着剤層３０）により接合する接合部３９と、第１の部材３７を搬送する搬送部４１と、転写フィルム３３を送り出す操出ローラー４２と、転写フィルム３３を巻き取る巻取ローラー４３と、操出ローラー４２と巻取ローラー４３との間に配置されて転写フィルム３３のテンションや搬送方向を調整する中間ローラー４４等を備えている。
【００５２】
接着剤層形成部３４は、接着剤２１が収容された接着剤収容部３２と、接着剤収容部３２からの接着剤２１を加熱する第１加熱機構４５と、当該第１加熱機構４５により加熱されて流動性を有する状態となった接着剤２１を転写フィルム３３（媒体の一種）に塗布するディスペンサー４６と、ディスペンサー４６により塗布された接着剤２１を転写フィルム３３上で平坦化し、膜状の接着剤層３０とするスキージー４７と、平坦化する際に転写フィルム３３をスキージー４７が設けられた側の面とは反対の面側から支持する支持部４８とを備えている。
【００５３】
第１加熱機構４５は、ディスペンサー４６の周囲を囲むように配置されている。この第１加熱機構４５は、ディスペンサー４６から転写フィルム３３上に接着剤２１が塗布されるのに先立って接着剤２１を加熱することで粘度を下げて当該接着剤２１に流動性を付与する。これにより、ディスペンサー４６から転写フィルム３３に対して接着剤２１を円滑に塗り拡げることができる。なお、製造装置３１が第１加熱機構４５を必ずしも備えていなくてもよく、予め流動性が付与された接着剤２１が製造装置３１に供給される構成を採用することもできる。スキージー４７は、転写フィルム３３に対してディスペンサー４６により付与された接着剤２１を平坦化して所定の膜厚の接着剤層３０とする。支持部４８は、スキージー４７により接着剤２１が平坦化される際に、転写フィルム３３を接着剤２１が付与された面とは反対の面側から支持する。
【００５４】
本実施形態における接着剤２１（接着剤層３０）を構成する熱硬化性樹脂としては、シリコーンゴム、付加型、縮合型のシリコーンレジン、エポキシレジン、アクリルレジン等が挙げられるが、付加型シリコーンレジンであるのが好ましい。これにより、最終的に得られる接合体１２における構造体の間で発生する応力を緩和する作用を発揮させることができるので、剥離し難くなり、その結果、接合信頼性を向上することができる。また、硬化反応時における脱ガス、硬化収縮が少ない。さらに、接着剤２１（接着剤層３０）を用いて形成される接合体１２の耐水性、耐溶剤性、耐インク性等を特に優れたものとすることができ、接合体１２の膨潤率を小さいものとすることができる。このため、液体（インク）と接触する接合体１２の製造に好適に適用することができる。
【００５５】
付加型シリコーンレジンとしては、例えば、メチル系シリコーンレジン、フェニル系シリコーンレジン、メチルフェニル系シリコーンレジン等のストレートシリコーンレジン；アルキッド変性シリコーンレジン、エポキシ変性シリコーンレジン、アクリル変性シリコーンレジン、ポリエステル変性シリコーンレジン等の変性シリコーンレジン等が挙げられるが、特に、メチル系ストレートシリコーンレジン、フェニル系シリコーンレジンおよび変性シリコーンレジンよりなる群から選択される１種または２種以上が好ましく、メチル系ストレートシリコーンレジンがより好ましい。
【００５６】
接着剤２１は、熱硬化性樹脂以外の成分（その他の成分）を含むものであってもよい。このような成分としては、例えば、溶剤、硬化剤、架橋剤、触媒、重合開始剤、重合禁止剤、着色剤、酸化防止剤、防腐剤、防黴剤等が挙げられる。触媒としては、例えば、Ｐｔ触媒、Ａｌ錯体、Ｆｅ錯体、ロジウム錯体等を用いることができる。重合禁止剤を含むことにより、接着剤層形成部３４（接着剤層形成工程）の前に接着剤２１を構成する熱硬化性樹脂の不本意な重合反応が進行することを効果的に防止することができるとともに、粘度調整工程での硬化度（重合度）の調整が容易となる。
【００５７】
転写フィルム３３は、操出ローラー４２により製造ラインに送り出され、接着剤層形成部３４、粘度調整部３５、表面粗さ測定部３６、および、転写部３８を順次経由して巻取ローラー４３により巻き取られる。転写フィルム３３の構成材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ）等が挙げられるが、中でも、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。ポリエチレンテレフタレートは、比較的安価であるとともに、適度な可撓性を有しており、取り扱い性（取り扱いのしやすさ）に優れている。これにより、接着剤２１（接着剤層３０）の離型性を優れたものとし、構造体に対する接着剤２１の転写をより円滑に行うことができる。転写フィルム３３の厚さは、１０〔μｍ〕以上２０００〔μｍ〕以下であるのが好ましい。接着剤層形成工程で形成される接着剤２１（接着剤層３０）の膜の厚さは、１〔μｍ〕以上３〔μｍ〕以下であるのが好ましい。これにより、最終的に得られる接合体１２において、接合部位からの接着剤２１のはみ出し等をより効果的に防止することができるとともに、接合体１２における接合強度をより望ましいものとすることができる。特に、本実施形態における接合体１２は内部にインク流路を有するため、接着剤２１の流路へのはみ出しが抑制されることで、例えば、当該接着剤２１が付着することによる可撓部分の変位の阻害や、当該接着剤２１による流路の狭窄等に起因するインク吐出に対する悪影響を抑制することが可能となる。
【００５８】
粘度調整部３５は、転写フィルム３３上の接着剤２１を加熱することにより、熱硬化性樹脂の硬化反応を一部進行させ（熱硬化性樹脂が仮硬化し）、接着剤層３０の粘度を上昇させる。これにより、接着剤層３０の形状の安定性が向上する。その結果、後段の転写部３８による転写工程において、接着剤層３０の不本意な変形や流れ出しが抑制される。本実施形態における粘度調整部３５は、転写フィルム３３上の接着剤層３０を加熱する第２加熱機構４９を備えている。本実施形態における第２加熱機構４９は、転写フィルム３３上の接着剤層３０の外表面側（転写フィルム３３側の面とは反対の面側）に設けられており、当該面側から接着剤層３０を加熱する。なお、第２加熱機構４９の設置部位は特に限定されず、転写フィルム３３の接着剤層３０が形成された面とは反対の面側（背面側）であってもよい。また、複数個の第２加熱機構４９を用いてもよく、例えば、第２加熱機構４９は、接着剤層３０が付与された転写フィルム３３の両面側にそれぞれ配置されていてもよい。第２加熱機構４９による加熱温度（設定温度）は、例えば６０℃以上１２０℃以下に設定され、加熱時間は例えば２分間以上１０分間以下に設定される。
【００５９】
表面粗さ測定部３６は、膜厚測定装置５１を使用して接着剤層３０の膜厚を測定するとともに表面粗さを非接触で測定する。本実施形態における膜厚測定装置５１は、光学ユニット５２と装置本体５３とから構成されている。装置本体５３は、図示しない光源、分光部、制御部、表示部、および入力装置等を備えている。この膜厚測定装置５１は、光学ユニット５２の光を照射する照射部から転写フィルム３３上の接着剤層３０に光を照射するとともに、当該接着剤層３０からの反射光を当該光学ユニット５２の光を受光する受光部で受光し、当該反射光の波長毎の強度を検出する。すなわち、膜厚測定装置５１は、接着剤層３０側から光学ユニット５２を通じて入射された反射光を波長毎に分光し、分光された波長毎の受光強度を検出する。そして、膜厚測定装置５１は、検出した光の受光強度に基づいて接着剤層３０の膜厚および表面粗さを間接的に求める。
【００６０】
より具体的には、光学ユニット５２から白色光等の非可干渉的（インコヒーレント）な光が接着剤層３０に向けて照射されると、接着剤層３０の表面での反射光と、当該接着剤層３０の奥の転写フィルム３３の一方の面と接着剤層３０との界面での反射光とが、光路長の違いにより相互に干渉する。この干渉後の反射光の分光スペクトル（以下、反射スペクトル）の波長は、接着剤層３０の膜厚が厚くなるほど小さくなる。そして、膜厚測定装置５１は、例えば反射スペクトルのピーク強度（ピーク周波数の強度）に基づいて膜厚を求める。また、この反射スペクトルのピーク強度は、接着剤層３０の表面粗さに応じて変化する。すなわち、接着剤層３０の表面が粗いほどに反射スペクトルのピーク強度がより低くなる。このため、接着剤層３０の望ましい表面粗さと反射スペクトルのピーク強度との関係を予め求めておくことにより、膜厚測定装置５１の受光強度に基づいて接着剤層３０の表面粗さを把握することができる。接着剤層３０の表面粗さは、接着剤層３０の膜厚のムラによって現れる。本実施形態における接着剤層３０の厚さは１〔μｍ〕以上３〔μｍ〕以下に調整されるため、この表面が粗いほど接着性の低下に繋がる。なお、この種の膜厚測定装置の構成は周知であるため、より詳細な説明は省略する。また、膜厚の求め方は例示したものに限られず周知の種々の方法を採用することができる。例えば、電磁波の干渉を利用したものであれば同様にして表面粗さを測定することができる。要は、接着剤層３０に対して非接触で膜厚を求める方式の膜厚測定装置であればよい。
【００６１】
図５は、反射スペクトルのピーク強度と、接合体１２における接着剤層３０（接着剤２１）の接合強度との関係を説明する表である。なお、表において「×」は、接着剤層３０によって接合体１２の構造体同士を接合した際の接着強度が十分に得られず、接合部分において剥離やインク漏れが生じるおそれがあるため不合格の判定であることを示している。不合格と判定された接着剤層３０は、接合体１２の構造体同士の接合には使用されない（第１の部材３７には転写されない）。また、「○」は、接着剤層３０によって接合体１２の構造体同士を接合した際に望ましい接着強度が得られ、接合部分において剥離やインク漏れが生じるおそれが少なく合格の判定であることを示している。合格と判定された接着剤層３０は、接合体１２の構造体同士の接合に使用される（第１の部材３７に転写される）。
【００６２】
このように、上記の膜厚測定装置５１で検出される反射スペクトルのピーク強度と接着剤層３０の表面における表面粗さには相関があり、このピーク周波数の強度が一定以上であれば、比較的安定した膜厚の接着剤層３０が得られる。例えば、図５に示すように、本実施形態における膜厚測定装置５１における接着剤層３０の膜厚測定時の反射スペクトルのピーク強度と接合強度との相関を観た場合、ピーク強度が１．０以下では、接合後の接合体１２における接着剤層３０による接着強度が十分に得られず、接合箇所の剥離や当該箇所におけるインク漏れ等が生じる虞があるため不合格と判定される（×）。これに対し、ピーク強度が１５以上では、接着剤層３０の膜厚がより均一なものとなり、接合後の接合体１２における接着剤層３０による接着強度がより望ましいものとなるので、合格と判定される（○）。すなわち、合格と判定された接着剤層３０によれば、接合体１２における接着剤層３０の気泡の抱き込み等による構造体同士の剥離やインクの漏れ等を抑制することが可能となる。このように、膜厚測定装置５１による検出値（受光強度）と接着剤層３０の表面における表面粗さとの相関を予め取得しておき、当該相関に基づけば接着剤層３０について所望とする品質が得られるように合否判定を行うことが可能となる。
【００６３】
本実施形態における転写部３８は、表面粗さ測定部３６において合格と判定されて送られてきた接着剤層３０と、搬送部４１により転写部３８に送られてきた第１の部材３７とが互いに接触する方向に転写フィルム３３を押圧する押圧機構５５と、接着剤層３０を第１の部材３７に転写する際に、第１の部材３７を、押圧機構５５が設けられた側の面とは反対の面側から支持する支持部５６とを備えている。転写部３８において第１の部材３７に転写される接着剤層３０は、粘度調整工程を経て粘度が高められ、また、表面粗さ測定工程において合格と判定されたものであるため、形状と膜厚が安定したものである。したがって、接着剤層３０が転写された後の状態において、第１の部材３７と接着剤層３０との密着性が向上し、第１の部材３７と接着剤層３０との間に不本意な隙間（気泡の抱き込み）等が発生することを効果的に防止することができる。その結果、接合体１２における第１の部材３７と第２の部材４０との接合の信頼性が向上し、接合体１２全体としての耐久性、信頼性をより高めることができる。
【００６４】
本実施形態における接合部３９は、第１の部材３７と第２の部材４０との間の接着剤層３０を加熱する第３加熱機構５８と、第１の部材３７上に転写された接着剤層３０と第２の部材４０とが互いに接触する方向に第２の部材４０を押圧する押圧機構５９と、押圧機構５９による押圧状態で第１の部材３７を支持する支持部６０とを備えている。接着剤層３０が間に挟まれた状態で第１の部材３７と第２の部材４０とが押圧機構５９により押圧された状態で第３加熱機構５８により加熱が行われることで、接着剤層３０を構成する熱硬化性樹脂の硬化がさらに進み（本硬化し）、これにより、第１の部材３７と第２の部材４０とが接着剤層３０（接着剤２１）により接合される。第３加熱機構５８に関し、本実施形態においては、押圧機構５９と一体的に設けられており、第２の部材４０側から加熱する構成となっているが、これには限定されず、例えば押圧機構５９とは独立して設けられたものであってもよく、また例えば、支持部６０が設けられた側に設けられたものであってもよい。
【００６５】
図６は、上記製造装置３１による接合体１２の製造工程（製造方法）について説明するフローチャートである。本実施形態における接合体１２を構成する各基板（構造体）にインク流路となる空間等が異方性エッチング等により形成されたならば、続いて、各基板を接着剤２１（接着剤層３０）により接合する。なお、以下においては、特に第１の部材３７としての連通基板１５と、第２の部材４０としての圧力室形成基板１６とを接合する工程について説明する。まず、接着剤層形成部３４により転写フィルム３３の一方の面に対して所定の厚さに接着剤２１が塗布されることで接着剤層３０が形成される（接着剤層形成工程Ｓ１）。次に、この転写フィルム３３上に形成された接着剤層３０について粘度調整部３５により加熱処理が行われ、完全に硬化しない程度に硬化が進められて接着剤層の粘度が高められる（粘度調整工程Ｓ２）。本実施形態における接着剤層３０（接着剤２１）は、付加型のシリコーン樹脂であるため、加熱処理により、ヒドロシランとビニル基がヒドロシリル化によって高粘度化する。この粘度調整工程において接着剤層３０の粘度をある程度高めておくことにより、後の転写工程における接着剤２１の流れ出しが抑制される。
【００６６】
続いて、表面粗さ測定部３６において、膜厚測定装置５１を使用して転写フィルム３３上の接着剤層３０に光を照射したときの受光強度に基づいて当該接着剤層３０の膜厚および表面粗さが測定される（表面粗さ測定工程Ｓ３）。そして、上述したように、表面粗さに基づいて接着剤層３０の合否判定が行われる。すなわち、反射光の受光強度（反射スペクトルのピーク強度）が予め定められた所定値よりも大きい場合に合格とされ、所定値以下の場合には不合格とされる。なお、所定値以上を合格とし、所定値未満を不合格としてもよい。以上に述べた合否判定基準を換言すれば、接着剤層３０の「表面粗さ」が、予め定められた所定値より小さい場合に合格とされ、所定値以上の場合は不合格とされるということができる。
【００６７】
このように接着剤層３０に光を照射したときの受光強度に基づいて接着剤層３０の表面粗さを測定する構成を採用することにより、製造ラインにおいて表面粗さの測定を接着剤層３０に対して非接触で行うので、接着剤層３０に対してダメージを与えることなく精度よくかつ安定的に表面粗さの測定を行うことができる。このため、接合体１２の接合信頼性が向上する。しかも、例えば、接着剤層３０が形成された転写フィルム３３を切り出して製造ラインとは別途に表面粗さを接触式の測定器等で測定する必要が無く、製造効率が向上する。また、接着剤層３０の粘度が調整された後に表面粗さが測定されることにより、粘度調整（加熱）を経て接着剤層３０の表面粗さに変化があった場合においてもその変化後の接着剤層３０の表面粗さを把握することが可能となる。これにより、最終的な接合体１２の接合信頼性がより向上する。さらに、表面粗さの測定と接着剤層３０の膜厚を同一工程で測定することにより、製造効率がより一層向上する。そして、接着剤層３０の厚みが把握されることにより、接合体１２における接合部分からの接着剤２１のはみだしを低減することができる。本実施形態における記録ヘッド３においてはインク流路側への接着剤２１のはみだしが抑制されるので、吐出特性への悪影響を低減することができる。
【００６８】
次に、上記表面粗さ測定工程において合格と判定されて表面粗さ測定部３６から送られてきた接着剤層３０が、搬送部４１により転写部３８に送られてきた第１の部材３７の接合面に転写部３８により転写される（転写工程Ｓ４）。その後、転写フィルム３３が接着剤層３０から剥離される。これにより、第１の部材３７の接合面において、インク流路の開口以外の部分に、接着剤層３０が均一な厚さで転写される。
【００６９】
第１の部材３７の接合面に接着剤層３０が転写されたならば、続いて、当該接着剤層３０が転写された面に対して接合相手の第２の部材４０が貼り合わされる（接合工程Ｓ５）。すなわち、第１の部材３７としての連通基板１５の接着剤層３０が転写された面には、接合相手の第２の部材４０としての圧力室形成基板１６が接合される。そして、接着剤層３０が間に挟まれた状態で第１の部材３７と第２の部材４０とが押圧機構５９により押圧された状態で第３加熱機構５８により加熱が行われることで接着剤層３０が本硬化し、これにより、第１の部材３７と第２の部材４０とが接着剤層３０（接着剤２１）により接合される。
【００７０】
以上で説明した流れと同様にして、連通基板１５の圧力室形成基板１６とは反対側の面にノズルプレート１４が接合される。この場合、例えば、連通基板１５のノズルプレート１４との接合面に接着剤層３０が転写され、両基板が接合される。このようにして接合体１２がユニット化され、当該接合体１２の内部には、共通液室２４、個別連通口２９、圧力室２６、およびノズル連通口２８を通ってノズル２７に至るまでのインク流路が形成される。
【００７１】
以上のように本発明に係る接合体の製造方法によれば、転写工程よりも前の段階において、転写フィルム３３上の接着剤層３０の表面粗さが測定されることにより、転写する前に接着剤層３０の塗布ムラを把握することが可能となる。これにより、この接着剤層３０（接着剤２１）により構造体同士が接合されてなる接合体１２において接着不良が生じることを未然に抑制することが可能となる。このため、歩留まりが向上し、接合体１２の信頼性が向上し、この接合体１２を有するＭＥＭＳデバイス１３および記録ヘッド３の信頼性も向上する。また、この接合体１２を有するＭＥＭＳデバイス１３および記録ヘッド３では、接着剤層３０の膜厚にムラが生じることが抑制されるので、接着が不十分な箇所からのインクの漏出リスクや剥離のリスクが低減される。
【００７２】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００７３】
図７は、第２の実施形態における接合体１２の製造装置３１′の構成を説明する模式図である。上記第１の実施形態においては、粘度調整工程と転写工程との間に表面粗さ測定工程が行われる例を示したが、これには限られず、表面粗さ測定工程が、接着剤層形成工程と粘度調整工程との間に行われるようにしてもよい。すなわち、図７に示す製造装置３１′では、表面粗さ測定部３６が、接着剤層形成部３４と粘度調整部３５との間に配置されている。このように、接着剤層３０の粘度が調整される前に表面粗さが測定されることにより、接着剤層３０の形成時の塗布ムラを把握することが可能となる。そして、接着不良が発生する可能性がある場合に、接着剤層３０のムラの改善（例えば、ディスペンサー４６による接着剤２１の追加およびスキージー４７による再度の均し）を行うことが容易となる。その結果、歩留まりがより向上する。なお、その他の構成については上記第１の実施形態と同様であるため、詳細な説明については省略する。
【００７４】
また、以上においては、本願発明に係る接合体として記録ヘッド３に用いられるＭＥＭＳデバイス１３を構成する接合体１２を例示したが、これには限られず、複数の構造体が接着剤によって接合された接合体であって、接着剤が構造体に転写されるものであれば、本発明を適用することが可能である。例えば、受動領域としての可動領域の圧力変化、振動、あるいは変位等を検出するセンサー等を構成する接合体にも本発明を適用することができる。
【００７５】
また、上記実施形態においては、液体噴射ヘッドとしてインクジェット式記録ヘッド３を例に挙げて説明したが、本発明は、構造体である複数の基板を接着剤により接合することで液体流路等の空間が画成される構成を採用する他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドでは液体の一種としてＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液体の一種として液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは液体の一種として生体有機物の溶液を噴射する。
【００７６】
図８Ａおよび図８Ｂは、第３の実施形態に係る接合体の製造装置３１Ａの図４におけるＤ部の拡大模式図であり、図８Ａは、表面粗さ測定（膜厚測定）をしていない状態を示し、図８Ｂは、表面粗さ測定（膜厚測定）している状態を示している。また、図９は、第３の実施形態における製造装置３１Ａの支持部材７０を示す模式平面図である。以下、これらの図を参照して、第３の実施形態に係る製造装置３１Ａの構成について説明する。なお、上記実施形態と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。
【００７７】
図８Ａに示すように、本実施形態に係る製造装置３１Ａの表面粗さ測定部３６は、上記実施形態と同様な構成を有し接着剤層３０の厚みを非接触で測定する膜厚測定装置５１と、表面粗さ測定部３６において、媒体としての転写フィルム３３を接着剤層３０が形成された面とは反対の面側から支持する支持部材７０とを有している。また、表面粗さ測定部３６は、支持部材７０を、転写フィルム３３に接触させて支持する位置と、転写フィルムに接触しない位置とに移動させる支持部材移動機構７５を備えている。本実施形態の支持部材移動機構７５は、支持部材７０に接続されたシャフト部７６を有し、例えばサーボモーターによりシャフト部７６をスライド動作させることにより、支持部材７０を転写フィルム３３に接触させて支持する位置と、接触しない位置とに移動できるようになっている。図８Ａは、支持部材７０が転写フィルム３３に接触していない状態、即ち、表面粗さ測定（膜厚測定）していない状態を示し、図８Ｂは、支持部材７０が転写フィルム３３に接触して支持している状態、即ち、表面粗さ測定（膜厚測定）している状態を示している。図８Ａに示す、支持部材７０が転写フィルム３３に接触していない位置にあるときに、転写フィルム３３を搬送することにより、搬送中の転写フィルム３３に支持部材７０が接触している場合に起こり得る転写フィルム３３の変形やキズなどのダメージを防止することができる。
【００７８】
本実施形態の製造装置３１Ａによれば、製造ラインにおいて、接着剤層３０の厚みの測定による表面粗さの測定を、接着剤層３０に対して非接触で、且つ、転写フィルム３３を接着剤層３０が形成された面とは反対側の面から支持部材７０により支持した状態で行うことができる。これにより、接着剤層３０に対してダメージを与えることなく、また、転写フィルム３３の接着剤層３０が形成された膜厚測定部分を反りや撓みなどを解消して平坦化した状態で測定することができるので、表面粗さの測定を精度よく行うことが可能になる。したがって、信頼性の高い接合体１２を、製造効率よく製造することができる。
【００７９】
また、本実施形態では、図８Ｂに示すように、表面粗さ測定（膜厚測定）している状態において、支持部材７０は、支持部材移動機構７５により、接着剤層３０が形成された転写フィルム３３を膜厚測定装置５１の方へ向けて所定量押し込む位置に配置される。これにより、接着剤層３０が形成された転写フィルム３３の膜厚測定部分の反りや撓みを支持部材７０によって平坦化することができるので、表面粗さの測定精度をさらに向上させることが可能になる。
【００８０】
図９に示すように、本実施形態の支持部材７０は、表面粗さ測定（膜厚測定）時に膜厚測定装置５１から光が照射される位置と対応する位置に、膜厚測定装置５１による接着剤層３０の厚み測定に要する測定スポット５２Ｓよりも大きな貫通孔部７７が設けられている。本実施形態の支持部材７０は、転写フィルム３３を支持した際の転写フィルム３３の幅Ｗ３３の範囲内の、さらに接着剤層３０の幅Ｗ３０の範囲内における中央、および、それを挟んだ両端部の３箇所に設けられた貫通孔部７７が、転写フィルム３３の長手方向（転写フィルム３３の幅Ｗ３３方向と交差する方向）に３列配置されている。
このような構成の支持部材７０によれば、転写フィルム３３に形成された接着剤層３０の表面粗さ測定（膜厚測定）時に、支持部材７０の光を照射する位置と対応する位置に、膜厚測定装置５１の測定スポット５２Ｓよりも大きな貫通孔部７７が設けられているので、光学ユニット５２が受光する接着剤層３０からの反射光が、支持部材７０からの光の反射の影響を受け難くなるので、表面粗さの測定（膜厚測定）を精度よく行うことができる。
また、支持部材７０の転写フィルム３３支持面に異物が存在することによる表面粗さ測定（膜厚測定）への悪影響を回避することができる。
【００８１】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。
【００８２】
図１０は、変形例１における接合体の製造装置３１Ｂの構成を示す図４のＤ部に相当する部分模式図である。
図１０に示す本変形例の接合体の製造装置３１Ｂにおいて、支持部材７０Ａは、膜厚測定装置５１の方へ向けて湾曲する湾曲面を有している。なお、その他の構成については上記実施形態と同様であるため、詳細な説明については省略する。
この構成によれば、支持部材７０Ａの端部により媒体としての転写フィルム３３が屈曲するなどの変形を抑えながら、接着剤層３０が形成された転写フィルム３３の膜厚測定部分が、支持部材７０Ａの膜厚測定装置５１の方へ向けて突出するように湾曲する湾曲面によりしっかりと支持されるので、安定した表面粗さ測定（膜厚測定）を行うことができる。
【００８３】
また、接合体の製造装置の変形例２として、支持部材が、少なくとも媒体としての転写フィルム３３の搬送方向に回転可能に設けられたローラー部材である構成としてもよい。この構成によれば、転写フィルム３３の搬送中に支持部材が転写フィルム３３に接触していても、支持部材としてのローラー部材が転写フィルム３３の搬送に伴って回転することにより、搬送中の転写フィルム３３と支持部材としてのローラー部材との擦れ合いが抑制されるので、搬送中も表面粗さ測定中も、常時、支持部材としてのローラー部材により転写フィルム３３を支持したまま、接合体１２の製造を行なう製造装置を提供することができる。したがって、搬送中に転写フィルム３３の変形やキズなどのダメージを与えることなく、表面粗さ測定時には支持部材としてのローラー部材により安定した膜厚測定を行うことにより、信頼性の高い接合体１２を、製造効率よく製造することができる。
【００８４】
以上、本発明の接合体の製造方法、ＭＥＭＳデバイスの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、および接合体の製造装置について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本発明の各部の構成は、前述した実施形態と同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができ、また、他の任意の構成を付加することもできる。
また、本発明は、前述した複数の実施形態のうちの任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【００８５】
また、上記第３の実施形態では、第１の実施形態の接合体１２の製造装置３１の構成における表面粗さ測定部３６に、支持部材７０を配置した製造装置３１Ａを説明した。これに限らず、第２の実施形態の製造装置３１´の構成における表面粗さ測定部３６（図７参照）に、支持部材７０を配置した構成としてもよい。
【００８６】
また、第３の実施形態の製造装置３１Ａでは、支持部材７０を、転写フィルム３３に接触させて支持する位置と、転写フィルム３３に接触しない位置とに移動させる支持部材移動機構７５を備えた構成とした。これに限らず、例えば、支持部材７０の転写フィルム３３支持面やその他の転写フィルム３３との接触部分に滑りやすくする表面処理などを施すことにより、搬送中に支持部材７０が転写フィルムと接触していてもキズなどのダメージが及ばない措置を講ずれば、支持部材移動機構７５が無く、媒体としての転写フィルム３３を搬送中も含めて支持部材７０により常時支持（接触）している状態としてもよい。
【００８７】
また、上記第３の実施形態の支持部材７０は、円形状の貫通孔部７７がマトリクス状に９つ設けられた例を説明したが、これに限定されるものではない。貫通孔部７７の開口形状は円形状に限らず、媒体としての転写フィルム３３を支持できて、且つ、測定スポット５２Ｓよりも大きければ、例えば楕円形や長穴形状であってもよい。また、膜厚測定の測定値の精度が確認できれば、貫通孔部７７の数は９箇所より少なくしてもよく、また、その逆であれば、貫通孔部７７を９箇所より多く配置してもよい。
【符号の説明】
【００８８】
１…プリンター、２…記録媒体、３…記録ヘッド、４…キャリッジ、５…キャリッジ移動機構、６…プラテンローラー、７…インクカートリッジ、８…タイミングベルト、９…パルスモーター、１０…ガイドロッド、１２…接合体、１３…ＭＥＭＳデバイス、１４…ノズルプレート、１５…連通基板、１６…圧力室形成基板、１７…弾性膜、１８…圧電素子、１９…保護基板、２０…ケース、２１…接着剤、２２…収容空部、２３…インク導入路、２４…共通液室、２６…圧力室、２７…ノズル、２８…ノズル連通口、２９…個別連通口、３０…接着剤層、３１，３１´，３１Ａ，３１Ｂ…製造装置、３２…接着剤収容部、３３…転写フィルム、３４…接着剤層形成部、３５…粘度調整部、３６…表面粗さ測定部、３７…第１の部材、３８…転写部、３９…接合部、４０…第２の部材、４１…搬送部、４２…操出ローラー、４３…巻取ローラー、４４…中間ローラー、４５…第１加熱機構、４６…ディスペンサー、４７…スキージー、４８…支持部、４９…第２加熱機構、５２…光学ユニット、５２Ｓ…測定スポット、５３…装置本体、５５…押圧機構、５６…支持部、５８…第３加熱機構、５９…押圧機構、６０…支持部、７０，７０Ａ…支持部材、７５…支持部材移動機構、７６…シャフト部、７７…貫通孔部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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