(57)【要約】      （修正有）【課題】図形毎にドーズ量が異なる場合でもデータ量を低減可能なデータフォーマットを用いた描画データの作成方法を提供することを目的とする。【解決手段】描画データの作成方法は、荷電粒子ビームを用いて試料に複数の図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、複数の図形情報が定義されると共に、複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成することを特徴とする。【選択図】図４
2018142727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子ビームを用いて試料に複数の図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
アレイ配置された図形群を抽出する工程と、
前記アレイ配置された図形群の抽出とは別に、各図形のドーズ量情報を抽出する工程と、
アレイ配置された図形群と、アレイ配置されない複数の同じ図形と、同じ図形がない複数の同じ図形種の図形とのそれぞれの場合ごとに、複数の図形情報が定義されると共に、前記複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義されるデータフォーマットに従ってフォーマット変換することによって前記描画データを作成する工程と、
を備えたことを特徴とする描画データの作成方法。
【請求項２】
前記データフォーマットは、
同じ図形がアレイ配置されることを示す識別子、図形種を示す識別子、アレイ配置される図形の基準座標、図形サイズ、配置ピッチ、及び図形個数の各情報を有する複数の図形情報と、各図形のドーズ量情報の定義順情報と、連続する、各図形のドーズ量情報と、が定義されることを特徴とする請求項１記載の描画データの作成方法。
【請求項３】
前記データフォーマットは、
同じ図形が繰り返し配置されることを示す識別子、図形種を示す識別子、図形数、第１番目の図形の座標、図形サイズ、第２番目以降の図形座標の各情報を有する複数の図形情報と、連続する、各図形のドーズ量情報と、が定義されることを特徴とする請求項１記載の描画データの作成方法。
【請求項４】
前記データフォーマットは、
同じ図形種の図形が繰り返し配置されることを示す識別子、図形種を示す識別子、図形数、第１番目の図形から順に、図形の座標、及び図形サイズの各情報を繰り返した複数の図形情報と、連続する、各図形のドーズ量情報と、が定義されることを特徴とする請求項１記載の描画データの作成方法。
【請求項５】
２番目以降の図形のドーズ量情報に、当該図形のドーズ量と１つ前の図形のドーズ量との差分値を用いることを特徴とする請求項２〜４いずれか記載の描画データの作成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、描画データの作成方法に係り、例えば、描画装置に入力される描画データの作成手法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの微細化の進展を担うリソグラフィ技術は半導体製造プロセスのなかでも唯一パターンを生成する極めて重要なプロセスである。近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、半導体デバイスに要求される回路線幅は年々微細化されてきている。これらの半導体デバイスへ所望の回路パターンを形成するためには、高精度の原画パターン（レチクル或いはマスクともいう。）が必要となる。ここで、電子線（電子ビーム）描画技術は本質的に優れた解像性を有しており、高精度の原画パターンの生産に用いられる。
【０００３】
図２０は、可変成形型電子線描画装置の動作を説明するための概念図である。
可変成形型電子線（ＥＢ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  ｂｅａｍ）描画装置は、以下のように動作する。第１のアパーチャ４１０には、電子線３３０を成形するための矩形の開口４１１が形成されている。また、第２のアパーチャ４２０には、第１のアパーチャ４１０の開口４１１を通過した電子線３３０を所望の矩形形状に成形するための可変成形開口４２１が形成されている。荷電粒子ソース４３０から照射され、第１のアパーチャ４１０の開口４１１を通過した電子線３３０は、偏向器により偏向され、第２のアパーチャ４２０の可変成形開口４２１の一部を通過して、所定の一方向（例えば、Ｘ方向とする）に連続的に移動するステージ上に搭載された試料３４０に照射される。すなわち、第１のアパーチャ４１０の開口４１１と第２のアパーチャ４２０の可変成形開口４２１との両方を通過できる矩形形状が、Ｘ方向に連続的に移動するステージ上に搭載された試料３４０の描画領域に描画される。第１のアパーチャ４１０の開口４１１と第２のアパーチャ４２０の可変成形開口４２１との両方を通過させ、任意形状を作成する方式を可変成形方式（ＶＳＢ方式）という。
【０００４】
電子ビーム描画装置では、ＣＡＤデータから変換されたパターンデータ（描画データ）を入力する。そして、入力されたパターンデータに対してデータ変換処理を行って描画処理へと進んでいく。その際、描画装置へと入力されるパターンデータのデータ量は少ない方が望ましいことは言うまでもない。よって、複数の図形パターンを定義するパターンデータはデータ圧縮されたフォーマットで定義される（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
図２１は、ノーマル表現でのデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。図２１（ｂ）の例では、同じ図形種で配置座標およびサイズの異なる３つの図形パターンが示されている。図２１（ｂ）の例では、これらの図形パターンは、いずれも図形種が矩形の場合を示している。図２１（ａ）に示すデータフォーマットでは、図形パターンの位置とサイズとを順に列記するノーマル表現（ＮＲ）のフォーマットであることを示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＮＲ）、図形種を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が、図形パターン毎に順に定義される。よって、図２１（ａ）に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、１＋１＋２＋Ｎ×（３×２＋２×２）＝４＋１０Ｎバイトのデータ量で定義できる。
【０００６】
図２２は、オプティマイズ表現でのデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。図２２（ｂ）の例では、同じ図形種およびサイズで配置座標の異なる３つの図形パターンが示されている。図２２（ｂ）の例では、これらの図形パターンは、いずれも図形種が矩形の場合を示している。図２２（ａ）に示すデータフォーマットでは、１個目の図形パターンの位置とサイズとに続き、２個目以降の図形パターンの位置を順に列記するオプティマイズ表現（ＯＲ）のフォーマットであることを示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＯＲ）、図形種を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、１つの図形パターンの各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、２つ目以降の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）が順に定義される。よって、図２２（ａ）に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、１＋１＋２＋（３×２＋２×２）＋（Ｎ−１）×（３×２）＝８＋６Ｎバイトのデータ量で定義できる。
【０００７】
図２３は、アレイ表現でのデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。図２３（ｂ）の例では、同じ図形種およびサイズでアレイ配置される３×３個の図形パターンが示されている。図２３（ｂ）の例では、アレイ配置される図形パターンは、図形種が矩形の場合を示している。図２３（ａ）に示すデータフォーマットでは、同じ図形種およびサイズでアレイ配置される複数の図形パターンを定義したアレイ表現（ＡＲ）のフォーマットであることを示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＡＲ）、図形種を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、基準となる１個目の図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、各３バイトの配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び各２バイトの配置個数（ＮＸ，ＮＹ）が定義される。よって、図２３（ａ）に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、１＋１＋２×（３×２＋２×２）＝２２バイトのデータ量で定義できる。
【０００８】
上述した各データフォーマットでは、各図形パターンを描画する際のドーズ量を定義しない場合を示していた。例えば、多数に上る図形パターンにすべて一定のドーズ量が設定されている場合に適している。ここで、電子ビーム描画では、マスクプロセス或いは未知のメカニズムに起因する寸法変動を電子ビームのドーズ量を調整することで解決することが行われる。従来、描画装置内において、補正モデルを設定し、かかるモデルに沿ってドーズ量を補正する演算が行われており、描画装置内の演算結果に応じてドーズ量が制御されていた。例えば、近接効果補正演算等が挙げられる。しかしながら、描画装置内での計算されたドーズ量を使用しても補正残差等が残る場合もある。特に、一部のパターン或いは局所的な領域について他のパターンや領域とは区別して、さらに付加的にドーズ量を制御したい場合がある。かかる場合、変調ドーズ量は、描画装置へのデータ入力前の段階で、ユーザ或いは補正ツール等によって設定される。そのため、例えば、図形パターン群毎にドーズ変調量を設定する場合がある。例えば、上述した各データフォーマットにおいて、一連のパターンデータに一意のドーズ変調量を設定すると以下のようにパターンデータを作成できる。
【０００９】
図２４は、ノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。図２４（ｂ）の例では、同じ図形種で配置座標およびサイズの異なる３つの図形パターンが示されている。図２４（ｂ）の例では、これらの図形パターンは、いずれも図形種が矩形の場合を示している。また、ドーズ変調量として１１０％の場合を示している。これらの図形パターンのパターンデータは、図２４（ａ）で示すようなノーマル表現でのデータフォーマットで定義できる。図２４（ａ）に示すデータフォーマットでは、ドーズ変調量が定義されることを示す１バイトのコード（ｃｏｄｅｄｏｓｅ）、２バイトのドーズ変調量（Ｄ）、図形パターンの位置とサイズとを順に列記するノーマル表現（ＮＲ）のフォーマットであることを示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＮＲ）、図形種を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が、図形パターン毎に順に定義される。よって、図２４（ａ）に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、１＋２＋１＋１＋２＋Ｎ×（３×２＋２×２）＝７＋１０Ｎバイトのデータ量で定義できる。
【００１０】
図２５は、オプティマイズ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。図２５（ｂ）の例では、同じ図形種およびサイズで配置座標の異なる３つの図形パターンが示されている。図２５（ｂ）の例では、これらの図形パターンは、いずれも図形種が矩形の場合を示している。また、ドーズ変調量として１１５％の場合を示している。これらの図形パターンのパターンデータは、図２５（ａ）で示すようなオプティマイズ表現でのデータフォーマットで定義できる。図２５（ａ）に示すデータフォーマットでは、ドーズ変調量が定義されることを示す１バイトのコード（ｃｏｄｅｄｏｓｅ）、２バイトのドーズ変調量（Ｄ）、１個目の図形パターンの位置とサイズとに続き、２個目以降の図形パターンの位置を順に列記するオプティマイズ表現（ＯＲ）のフォーマットであることを示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＯＲ）、図形種を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、１つの図形パターンの各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、２つ目以降の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）が順に定義される。よって、図２５（ａ）に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、１＋２＋１＋１＋２＋（３×２＋２×２）＋（Ｎ−１）×（３×２）＝１１＋６Ｎバイトのデータ量で定義できる。
【００１１】
図２６は、アレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。図２６（ｂ）の例では、同じ図形種およびサイズでアレイ配置される３×３個の図形パターンが示されている。図２６（ｂ）の例では、アレイ配置される図形パターンは、図形種が矩形の場合を示している。また、ドーズ変調量として１２０％の場合を示している。これらの図形パターンのパターンデータは、図２６（ａ）で示すようなアレイ表現でのデータフォーマットで定義できる。図２６（ａ）に示すデータフォーマットでは、ドーズ変調量が定義されることを示す１バイトのコード（ｃｏｄｅｄｏｓｅ）、２バイトのドーズ変調量（Ｄ）、同じ図形種およびサイズでアレイ配置される複数の図形パターンを定義したアレイ表現（ＡＲ）のフォーマットであることを示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＡＲ）、図形種を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、基準となる１個目の図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、各３バイトの配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び各２バイトの配置個数（ＮＸ，ＮＹ）が定義される。よって、図２６（ａ）に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、１＋２＋１＋１＋２×（３×２＋２×２）＝２５バイトのデータ量で定義できる。
【００１２】
図２７は、ドーズ変調量が定義されたパターンレイアウトの一例を示す図である。図２７の例では、各周辺レイアウトに囲まれた領域において、中央部にドーズ変調量１００％（変調なし）のアレイパターンが配置される。アレイパターンの図面左側の位置にドーズ変調量１１０％の縦長の矩形パターンが配置される。アレイパターンの図面右側の位置にドーズ変調量１０５％の縦長の矩形パターンが配置される。アレイパターンの図面上側の位置にドーズ変調量１１５％の横長の矩形パターンが配置される。アレイパターンの図面下側の位置にドーズ変調量１０８％の横長の矩形パターンが配置される。かかるレイアウトのパターンデータを作成する場合、ドーズ変調量の定義が無ければ、１つのアレイ表現でのドーズ変調量無しデータフォーマットと４つのノーマル表現でのドーズ変調量無しデータフォーマットで定義できる。よって、２２バイト＋４４バイトの計６６バイトのデータ量で定義できる。一方、ドーズ変調量を定義する場合、アレイパターンはドーズ変調量１００％（変調なし）なので１つのアレイ表現でのドーズ変調量無しデータフォーマットで定義できる。一方、残りの４つのパターンは、ノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットで定義できる。よって、２２バイト＋６８バイトの計９０バイトのデータ量で定義できる。よって、データ量が約１．３６倍に増えることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００５−０７９１１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
電子ビーム描画では、今後、例えば、従来、描画装置内で行われていた近接効果補正等の補正計算を描画装置にデータ入力する前の段階で行うことが検討されている。
【００１５】
図２８は、図形毎にドーズ変調量が定義されたパターンレイアウトの一例を示す図である。近接効果補正或いは近接効果よりもさらに影響範囲の小さい現象に対する補正を描画装置に入力する前の段階で行った場合、図２８（ａ）に示すように、アレイ配置された各図形パターンについても、図形パターン毎にドーズ変調量が変化する。図形パターン毎にドーズ変調量が変化するため、上述したデータフォーマットでパターンデータを定義する場合、中央のアレイ部分についても、図２８（ｂ）に示すように、すべてノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットで定義しなければならない。アレイパターンは、図２８（ａ）の例では４×５個の計２０個の矩形パターンで構成される。かかる場合、図２８（ａ）の例では、合計２４個のノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットで定義する必要が生じる。よって、図２８（ａ）の例では４０８バイトのデータ量が必要になる。これは、ドーズ変調量が定義されていないデータフォーマットのデータ量（図２７の例では例えば６６バイト）の数倍（約６．１８倍）になってしまうといった問題があった。
【００１６】
そこで、本発明は、上述した問題点を克服し、図形毎にドーズ量が異なる場合でもデータ量を低減可能なデータフォーマットを用いた描画データの作成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の一態様の描画データの作成方法は、
荷電粒子ビームを用いて試料に複数の図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
複数の図形情報が定義されると共に、複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成することを特徴とする。
【００１８】
また、データフォーマットは、
同じ図形がアレイ配置されることを示す識別子、図形種を示す識別子、アレイ配置される図形の基準座標、図形サイズ、配置ピッチ、及び図形個数の各情報を有する複数の図形情報と、各図形のドーズ量情報の定義順情報と、連続する、各図形のドーズ量情報と、が定義されると好適である。
【００１９】
或いは、データフォーマットは、
同じ図形が繰り返し配置されることを示す識別子、図形種を示す識別子、図形数、第１番目の図形の座標、図形サイズ、第２番目以降の図形座標の各情報を有する複数の図形情報と、連続する、各図形のドーズ量情報と、が定義されると好適である。
【００２０】
或いは、データフォーマットは、
同じ図形種の図形が繰り返し配置されることを示す識別子、図形種を示す識別子、図形数、第１番目の図形から順に、図形の座標、及び図形サイズの各情報を繰り返した複数の図形情報と、連続する、各図形のドーズ量情報と、が定義されると好適である。
【００２１】
また、２番目以降の図形のドーズ量情報に、当該図形のドーズ量と１つ前の図形のドーズ量との差分値を用いると好適である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の一態様によれば、図形毎にドーズ量が異なる場合でもデータ量を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施の形態１における描画システムの構成を示す概念図である。
【図２】実施の形態１における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。
【図３】実施の形態１における図形毎にドーズ変調量が定義されたパターンレイアウトの一例を示す図である。
【図４】実施の形態１における描画データの作成方法の要部工程を示すフローチャート図である。
【図５】実施の形態１におけるアレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。
【図６】実施の形態１におけるアレイ表現でのドーズ量の定義順の一例を示す図である。
【図７】実施の形態１におけるオプティマイズ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。
【図８】実施の形態１におけるノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。
【図９】実施の形態２における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。
【図１０】実施の形態２における描画データの作成方法の要部工程を示すフローチャート図である。
【図１１】実施の形態２におけるアレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。
【図１２】実施の形態２におけるオプティマイズ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。
【図１３】実施の形態２におけるノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。
【図１４】実施の形態２におけるアレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。
【図１５】実施の形態２におけるアレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。
【図１６】実施の形態２におけるオプティマイズ表現及びノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例をそれぞれ示す図である。
【図１７】各実施の形態におけるアレイ表現でのデータフォーマットの効果を説明するための概念図である。
【図１８】各実施の形態におけるノーマル表現或いはオプティマイズ表現でのデータフォーマットの効果を説明するための概念図である。
【図１９】各実施の形態におけるアレイ表現でのデータフォーマットの効果を説明するための他の概念図である。
【図２０】可変成形型電子線描画装置の動作を説明するための概念図である。
【図２１】ノーマル表現でのデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。
【図２２】オプティマイズ表現でのデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。
【図２３】アレイ表現でのデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。
【図２４】ノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。
【図２５】オプティマイズ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。
【図２６】アレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマット及び配置図形の一例を示す図である。
【図２７】ドーズ変調量が定義されたパターンレイアウトの一例を示す図である。
【図２８】図形毎にドーズ変調量が定義されたパターンレイアウトの一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、実施の形態では、荷電粒子ビームの一例として、電子ビームを用いた構成について説明する。但し、荷電粒子ビームは、電子ビームに限るものではなく、イオンビーム等の荷電粒子を用いたビームでも構わない。また、荷電粒子ビーム装置の一例として、可変成形型の描画装置について説明する。
【００２５】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１における描画システムの構成を示す概念図である。図１において、描画システムは、描画装置１００、及び描画データ変換装置３００を有している。
【００２６】
描画装置１００は、描画部１５０と制御部１６０を備えている。描画装置１００は、荷電粒子ビーム描画装置の一例である。特に、可変成形型の描画装置の一例である。描画部１５０は、電子鏡筒１０２と描画室１０３を備えている。電子鏡筒１０２内には、電子銃２０１、照明レンズ２０２、第１のアパーチャ２０３、投影レンズ２０４、偏向器２０５、第２のアパーチャ２０６、対物レンズ２０７、主偏向器２０８及び副偏向器２０９が配置されている。描画室１０３内には、ＸＹステージ１０５が配置される。ＸＹステージ１０５上には、描画時には描画対象となるマスク等の試料１０１が配置される。試料１０１には、半導体装置を製造する際の露光用マスクが含まれる。また、試料１０１には、レジストが塗布された、まだ何も描画されていないマスクブランクスが含まれる。
【００２７】
制御部１６０は、制御計算機１１０、メモリ１１１、制御回路１３０、及び、磁気ディスク装置等の記憶装置１４０，１４２を有している。制御計算機１１０、メモリ１１１、制御回路１３０、及び記憶装置１４０，１４２は、図示しないバスを介して接続されている。制御計算機１１０内には、ショットデータ生成部１１２、照射量演算部１１３、及び描画制御部１１４が配置される。ショットデータ生成部１１２、照射量演算部１１３、及び描画制御部１１４といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。ショットデータ生成部１１２、照射量演算部１１３、及び描画制御部１１４に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１１１にその都度格納される。
【００２８】
描画データ変換装置３００には、磁気ディスク装置等の記憶装置３４０，３４２が図示しないバスを介して接続されている。
【００２９】
また、描画装置１００の制御計算機１１０には、図示しないネットワーク等を介して、描画データ変換装置３００、及び記憶装置３４０，３４２に接続されている。記憶装置３４０には、設計データであるレイアウトデータ（ＣＡＤデータ）が格納される。そして、描画データ変換装置３００内でデータ変換が行われ、描画装置１００に入力可能な描画データが作成される。作成された描画データは、記憶装置３４２に格納される。
【００３０】
ここで、図１では、実施の形態１を説明する上で必要な構成を記載している。描画装置１００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、位置偏向用には、主偏向器２０８と副偏向器２０９の主副２段の多段偏向器を用いているが、１段の偏向器或いは３段以上の多段偏向器によって位置偏向を行なう場合であってもよい。また、描画装置１００には、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない。
【００３１】
描画装置１００で描画処理を行うためには、かかるレイアウトデータを描画装置１００へ入力可能な描画データにデータ変換する必要がある。また、描画装置１００では、図示しないが、一般に、その内部で近接効果補正等のドーズ量補正計算を行うが、描画装置内での計算されたドーズ量を使用しても補正残差等が残る場合もある。そのため、ユーザは、描画装置へ入力する前の段階で、図形パターン毎にドーズ変調量を設定する。或いは、描画装置１００内で行われる近接効果補正計算を描画装置へ入力する前の段階で実施して、図形パターン毎にドーズ変調量を設定する。かかるドーズ変調量の計算および設定は、描画装置１００へのデータ入力前の段階で、例えば、レイアウトデータから描画データにデータ変換する前に行われる。或いは、描画データにデータ変換する途中の段階で行われてもよい。或いは、描画データにデータ変換した後に行われてもよい。描画データにデータ変換した後の場合には、改めてドーズ変調量付きのデータフォーマットにデータ変換されればよい。ドーズ変調量は、ユーザ或いは図示しない補正ツール等によって設定される。実施の形態１では、図形パターン毎にドーズ変調量が計算および設定されている場合を想定して、その後のデータ変換処理について説明する。
【００３２】
図２は、実施の形態１における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２において、描画データ変換装置３００内には、分類処理部５０，５２、設定部５４、判定部５６、アレイ認識処理部５８、判定部６０、抽出部６２、変換部６４、判定部６６、判定部６８、抽出部７０，７２、変換部７４、格納部７６、設定部７８、変換部８０、判定部８２、バッファメモリ８１、及びメモリ８３が配置される。分類処理部５０，５２、設定部５４、判定部５６、アレイ認識処理部５８、判定部６０、抽出部６２、変換部６４、判定部６６、判定部６８、抽出部７０，７２、変換部７４、格納部７６、設定部７８、変換部８０、及び判定部８２といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。分類処理部５０，５２、設定部５４、判定部５６、アレイ認識処理部５８、判定部６０、抽出部６２、変換部６４、判定部６６、判定部６８、抽出部７０，７２、変換部７４、格納部７６、設定部７８、変換部８０、及び判定部８２に入出力される情報および演算中の情報はメモリ８３にその都度格納される。
【００３３】
ここで、図２では、実施の形態１を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない。
【００３４】
図３は、実施の形態１における図形毎にドーズ変調量が定義されたパターンレイアウトの一例を示す図である。図３の例では、各周辺レイアウトに囲まれた領域において、中央部にアレイパターン１２が配置される。アレイパターンの図面左側の位置にドーズ変調量１４１％の縦長の矩形パターン１０ａが配置される。アレイパターンの図面下側の位置にドーズ変調量１３９％の横長の矩形パターン１０ｂが配置される。アレイパターンの図面右側の位置にドーズ変調量１３５％の縦長の矩形パターン１０ｃが配置される。アレイパターンの図面上側の位置にドーズ変調量１４８％の横長の矩形パターン１０ｄが配置される。近接効果補正或いは／及び近接効果よりもさらに影響範囲の小さい現象に対する補正を描画装置に入力する前の段階で行った場合、図３に示すように、アレイ配置されたアレイパターン１２を構成する各図形パターンについても、図形パターン毎にドーズ変調量が変化する。図形パターン毎にドーズ変調量が変化するため、上述したデータフォーマットでパターンデータを定義する場合、中央のアレイ部分についても、図２８（ｂ）に示すように、すべてノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットで定義しなければならない。これでは、上述したように、ドーズ変調量が定義されていないデータフォーマットのデータ量（図２７の例では例えば６６バイト）の数倍（図２８の例では例えば約６．１８倍）になってしまうといった問題があった。そこで、実施の形態１では、データフォーマットを改良し、データ量を低減する。
【００３５】
図４は、実施の形態１における描画データの作成方法の要部工程を示すフローチャート図である。レイアウトデータから描画データへと変換する際、例えば、描画領域を複数の領域に仮想分割したフレーム領域、その下層のブロック領域、その下層のセル領域、及びその下層の各図形といった階層化を行い、データ圧縮を図る場合がある。また、図形の回転処理、ミラー処理、拡大／縮小処理等の処理を行う場合もある。実施の形態１では、これらの処理については従来手法で同様で構わないので説明を省略する。例えば、かかる処理が終了した各図形パターンデータを描画データとして定義する段階のデータ変換処理について重点を置いて説明する。
【００３６】
分類処理工程（Ｓ１０２）において、分類処理部５０は、記憶装置３４０からレイアウトデータを読み込み（或いは、さらに上述した変換処理が終了したパターンデータを読み込み）、図形種毎に分類する。これにより、図形コードによるデータ圧縮ができる。
【００３７】
分類処理工程（Ｓ１０４）において、分類処理部５２は、分類された１つの図形種の図形群について、図形サイズ毎に分類する。図形サイズは、ｘ，ｙ両方向について、それぞれ同一の図形毎にＫ種類（図形サイズ番号１〜Ｋ）に分類する。
【００３８】
設定工程（Ｓ１０６）において、設定部５４は、図形サイズ番号ｉに１（分類された１番目の図形サイズ）を設定する。
【００３９】
判定工程（Ｓ１０８）において、判定部５６は、図形サイズ番号ｉがＫ以下かどうかを判定する。図形サイズ番号ｉがＫ以下の場合、アレイ認識処理工程（Ｓ１１０）に進む。図形サイズ番号ｉがＫ以下でない場合、抽出工程（Ｓ１３１）に進む。
【００４０】
アレイ認識処理工程（Ｓ１１０）において、アレイ認識処理部５８は、図形サイズ番号ｉの図形群の中からアレイ配置された図形群を認識し、抽出する。
【００４１】
判定工程（Ｓ１１２）において、判定部６０は、図形サイズ番号ｉの図形群の中からアレイ配置された図形群を抽出できたかどうかを判定する。アレイ配置された図形群を抽出できた場合には、抽出工程（Ｓ１１４）に進む。アレイ配置された図形群を抽出できない場合には、判定工程（Ｓ１２０）に進む。
【００４２】
抽出工程（Ｓ１１４）において、抽出部６２は、アレイ配置された図形群の各図形のドーズ量情報（例えば、ドーズ変調量情報）を抽出する。
【００４３】
変換工程（Ｓ１１６）において、変換部６４は、アレイ配置された図形群のパターンデータについて、実施の形態１におけるアレイ表現（Ｄ−ＡＲ１）のデータフォーマットを用いて、フォーマット変換（データ変換）を実施する。
【００４４】
図５は、実施の形態１におけるアレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。図５の例では、同じ図形種およびサイズでアレイ配置されるＮＸ×ＮＹ個の図形パターンについて定義している。図５に示すデータフォーマットでは、同じ図形種およびサイズでアレイ配置される複数の図形パターンを定義したアレイ表現（Ｄ−ＡＲ１）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ１）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、基準となる１個目の図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、各３バイトの配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び各２バイトの配置個数（ＮＸ，ＮＹ）が定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ１）は、同じ図形がアレイ配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。１個目の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）は、アレイ配置される図形の基準座標の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ１）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、１個目の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）、サイズ（Ｗ，Ｈ）、配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び配置個数（ＮＸ，ＮＹ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態１のアレイ表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図５の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報として、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量Ｄｉの定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量Ｄｉの２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、定義される複数の図形情報の２バイトの各ドーズ量Ｄｉが定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従って順に定義される。ドーズ量Ｄｉは、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。よって、図５に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、１＋１＋２×（３×２＋２×２）＋１＋２＋２×（ＮＸ×ＮＹ）＝２５＋２×（ＮＸ×ＮＹ）バイトのデータ量で定義できる。
【００４５】
図６は、実施の形態１におけるアレイ表現でのドーズ量の定義順の一例を示す図である。図６（ａ）では、ｘ，ｙ方向に３×３のアレイ配置された矩形パターンを一例として示している。ドーズ量の定義順は、まず、ｘ方向の１列目に、ｘ方向の１列目の下側端（−ｙ方向端）の図形からｙ方向に向かって順に定義され、ｙ方向最上段まで定義する。続いて、ｙ方向最上段まで定義した後、ｘ方向の１列目から２列目に移動し、ｙ方向最上段から−ｙ方向に向かって順に定義され、ｙ方向最下段まで定義する。続いて、ｙ方向最下段まで定義した後、ｘ方向の２列目から３列目に移動し、ｙ方向最下段からｙ方向に向かって順に定義され、ｙ方向最上段まで定義する。このように、ｘ方向に向かって順に、ｙ方向に対してジグザグに進む定義順で、各図形のドーズ量Ｄ１〜Ｄ９が定義される。定義順はかかる場合に限るものではない。
【００４６】
図６（ｂ）では、ｘ，ｙ方向に３×３のアレイ配置された矩形パターンを他の一例として示している。ドーズ量の定義順は、まず、ｘ方向の１列目に、ｘ方向の１列目の下側端（−ｙ方向端）の図形からｙ方向に向かって順に定義され、ｙ方向最上段まで定義する。続いて、ｙ方向最上段まで定義した後、ｙ方向最上段の位置でｘ方向に向かって順に定義され、ｘ方向最後列まで定義する。ｘ方向最後列まで定義した後、−ｙ方向に向かって順に定義され、ｙ方向最下段まで定義する。ｙ方向最下段まで定義した後、−ｘ方向に向かって順にまだ定義されてないｘ方向列のうちのより前側のｘ方向列（ｘ方向最前列＋１列目）まで定義される。続いて、その位置からｙ方向に向かって順にまだ定義されてないｙ方向段のうちのより上段のｙ方向段（ｙ方向最上段−１段目）まで定義される。このように、外周部から螺旋状に内側に向かう定義順で、各図形のドーズ量Ｄ１〜Ｄ９が定義されてもよい。定義順の種類に応じて、それぞれ識別子を定義すればよい。
【００４７】
判定工程（Ｓ１１８）において、判定部６６は、アレイ抽出されなかった残りの図形が存在するかどうかを判定する。残りの図形が存在する場合には判定工程（Ｓ１２０）に進む。残りの図形が存在しない場合には設定工程（Ｓ１３０）に進む。
【００４８】
判定工程（Ｓ１２０）において、判定部６８は、残りの図形の個数が１個より多いかどうかを判定する。１個より多い場合には抽出工程（Ｓ１２２）に進む。１個より多くない場合（１個の場合）には抽出工程（Ｓ１２８）に進む。
【００４９】
抽出工程（Ｓ１２２）において、抽出部７０は、残りの図形の個数が１個より多い場合に、残りの図形群の各図形のドーズ量情報（例えば、ドーズ変調量情報）を抽出する。
【００５０】
変換工程（Ｓ１２４）において、変換部７４は、残りの図形群のパターンデータについて、実施の形態１におけるオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ１）のデータフォーマットを用いて、フォーマット変換（データ変換）を実施する。
【００５１】
図７は、実施の形態１におけるオプティマイズ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。図７の例では、同じ図形種およびサイズで配置座標の異なるＮ個の図形パターンについて定義している。図７に示すデータフォーマットでは、１個目の図形パターンの位置とサイズとに続き、２個目以降の図形パターンの位置を順に列記するオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ１）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＯＲ１）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、及び２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、第１番目の図形パターンの各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘ１，Ｙ１）及び各２バイトのｘ、ｙ方向の図形サイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、第２番目以降の図形パターンの座標（Ｘｉ，Ｙｉ）が順に定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＯＲ１）は、同じ図形が繰り返し配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＯＲ１）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形数（Ｎ）、座標（Ｘ１，Ｙ１）、図形サイズ（Ｗ，Ｈ）、及び座標（Ｘｉ，Ｙｉ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態１のオプティマイズ表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図７の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報として、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量Ｄｉの定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量Ｄｉの２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、定義される複数の図形情報の２バイトの各ドーズ量Ｄｉが定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従って順に定義される。ドーズ量Ｄｉは、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）が示す定義順の例は、アレイ配置のように規則的には配置されていないかもしれないが、蛇行或いは螺旋状に定義するといった図６と同様で構わない。その他の定義順でもよい。よって、図７に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、１＋１＋２＋（３×２＋２×２）＋（Ｎ−１）×（３×２）＋１＋２＋２×Ｎ＝１１＋８Ｎバイトのデータ量で定義できる。
【００５２】
格納工程（Ｓ１２８）において、格納部７６は、残りの図形の個数が１個の場合に、残りの１つの図形のパターンデータを、実施の形態１におけるノーマル表現（Ｄ−ＮＲ１）のデータフォーマット用に、バッファメモリ８１に格納する。
【００５３】
設定工程（Ｓ１３０）において、設定部７８は、図形サイズ番号ｉに１を加算する。そして、判定工程（Ｓ１０８）に戻り、図形サイズ番号ｉがＫを超えるまで、判定工程（Ｓ１０８）から設定工程（Ｓ１３０）を繰り返す。判定工程（Ｓ１０８）において、図形サイズ番号ｉがＫより大きくなった場合に抽出工程（Ｓ１３１）に進む。
【００５４】
かかる構成により、図形種および図形サイズが同じ図形群について、図形毎にドーズ量が異なる場合でもデータ量を低減できるアレイ表現（Ｄ−ＡＲ１）のデータフォーマット及び／或いはオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ１）のデータフォーマットを用いて、描画データを作成できる。
【００５５】
抽出工程（Ｓ１３１）において、抽出部７２は、図形サイズ番号１〜Ｋにおいて、アレイ表現（Ｄ−ＡＲ１）及びオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ１）のいずれにも該当せずにバッファメモリ８１に格納された、図形種が同じで図形サイズが異なる図形群について、それぞれ、該当図形のドーズ量情報（例えば、ドーズ変調量情報）を抽出する。
【００５６】
変換工程（Ｓ１３２）において、変換部８０は、バッファメモリ８１に格納された、図形種が同じで図形サイズが異なる図形群のパターンデータについて、実施の形態１におけるノーマル表現（Ｄ−ＮＲ１）のデータフォーマットを用いて、フォーマット変換（データ変換）を実施する。
【００５７】
図８は、実施の形態１におけるノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。図８の例では、同じ図形種で、図形サイズと配置座標の異なるＮ個の図形パターンについて定義している。図８に示すデータフォーマットでは、各図形パターンの位置とサイズを順に列記するノーマル表現（Ｄ−ＮＲ１）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＮＲ１）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、及び２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、各図形パターンについて各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘｉ，Ｙｉ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向の図形サイズ（Ｗｉ，Ｈｉ）が第１番目の図形パターンから順に定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＮＲ１）は、同じ図形種の図形が繰り返し配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＮＲ１）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形数（Ｎ）、第１番目の図形から順に繰り返した座標（Ｘｉ，Ｙｉ）、及び図形サイズ（Ｗｉ，Ｈｉ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態１のノーマル表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図８の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報として、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量Ｄｉの定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量Ｄｉの２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、定義される複数の図形情報の２バイトの各ドーズ量Ｄｉが定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従って順に定義される。ドーズ量Ｄｉは、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）が示す定義順の例は、アレイ配置のように規則的には配置されていないかもしれないが、蛇行或いは螺旋状に定義するといった図６と同様で構わない。その他の定義順でもよい。或いはバッファメモリ８１への格納順で構わない。よって、図８に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、１＋１＋２＋Ｎ×（３×２＋２×２）＋１＋２＋２×Ｎ＝７＋１２Ｎバイトのデータ量で定義できる。
【００５８】
よって、図形毎にドーズ量が異なる図形群をノーマル表現のデータフォーマットで定義する場合でも、図２８（ｂ）に示したようなそれぞれ個別のデータフォーマットで定義する場合に比べてデータ量を低減できる。
【００５９】
判定工程（Ｓ１３６）において、判定部８２は、すべての図形種についてフォーマット変換（データ変換）が終了したかどうかを判定する。すべての図形種について終了していない場合には、分類処理工程（Ｓ１０４）に戻る。そして、すべての図形種について終了するまで分類処理工程（Ｓ１０４）から判定工程（Ｓ１３６）までの各工程を繰り返す。すべての図形種について終了した場合には終了する。
【００６０】
以上のようにして、電子ビームを用いて試料１０１に複数の図形パターンを描画する描画装置１００に入力されるための描画データを作成する。作成された描画データは、記憶装置３４２に格納される。このように、実施の形態１によれば、図形毎にドーズ量が異なる場合でもデータ量を低減できる。
【００６１】
次に、描画装置１００では、かかる描画データを記憶装置３４２から入力（転送）し、記憶装置１４０に格納する。そして、描画装置１００において描画処理が行われる。
【００６２】
ショットデータ生成工程として、ショットデータ生成部１１２は、記憶装置１４０から描画データを読み出し、複数段のデータ変換処理を行って、装置固有のショットデータを生成する。描画装置１００で図形パターンを描画するためには、１回のビームのショットで照射できるサイズに描画データに定義された各図形パターンを分割する必要がある。そこで、ショットデータ生成部１１２は、実際に描画するために、各図形パターンを１回のビームのショットで照射できるサイズに分割してショット図形を生成する。そして、ショット図形毎にショットデータを生成する。ショットデータには、例えば、図形種、図形サイズ、照射位置、及びドーズ量（或いはドーズ変調量）といったパターンデータが定義される。
【００６３】
照射量演算工程として、照射量演算部１１３は、所定のサイズのメッシュ領域毎の照射量ｄを演算する。照射量ｄは、基準照射量Ｄｂａｓｅにドーズ量（ドーズ変調量）を乗じた値で演算できる。描画データに定義されたドーズ量（ドーズ変調量）に近接効果補正分が考慮されていない場合には、近接効果を補正する近接効果補正照射係数をさらに乗じても好適である。或いは、さらに、かぶり効果を補正するかぶり効果補正照射係数やローディング効果を補正するローディング効果補正照射係数といった補正係数を乗じても好適である。近接効果補正等の各現象に対する補正計算は、従来と同様の手法で構わない。
【００６４】
描画工程として、描画制御部１１４は、制御回路１２０に描画処理を行うように制御信号を出力する。制御回路１２０は、ショットデータと各補正照射量のデータを入力し、描画制御部１１４から制御信号に従って描画部１５０を制御し、描画部１５０は、電子ビーム２００を用いて、当該図形パターンを試料１００に描画する。具体的には、以下のように動作する。
【００６５】
電子銃２０１（放出部）から放出された電子ビーム２００は、照明レンズ２０２により矩形の穴を持つ第１のアパーチャ２０３全体を照明する。ここで、電子ビーム２００をまず矩形に成形する。そして、第１のアパーチャ２０３を通過した第１のアパーチャ像の電子ビーム２００は、投影レンズ２０４により第２のアパーチャ２０６上に投影される。偏向器２０５によって、かかる第２のアパーチャ２０６上での第１のアパーチャ像は偏向制御され、ビーム形状と寸法を変化させる（可変成形させる）ことができる。そして、第２のアパーチャ２０６を通過した第２のアパーチャ像の電子ビーム２００は、対物レンズ２０７により焦点を合わせ、主偏向器２０８及び副偏向器２０９によって偏向され、連続的に移動するＸＹステージ１０５に配置された試料１０１の所望する位置に照射される。図１では、位置偏向に、主副２段の多段偏向を用いた場合を示している。かかる場合には、主偏向器２０８でストライプ領域をさらに仮想分割したサブフィールド（ＳＦ）の基準位置にステージ移動に追従しながら該当ショットの電子ビーム２００を偏向し、副偏向器２０９でＳＦ内の各照射位置にかかる該当ショットのビームを偏向すればよい。
【００６６】
以上のように実施の形態１では、描画データのデータ量を小さくできるので、描画装置１００への転送時間を短縮できる。
【００６７】
実施の形態２．
実施の形態１では、各図形のドーズ量情報を２バイトのデータとして定義したが、これに限るものではない。実施の形態２では、ドーズ量情報を圧縮したデータフォーマットについて説明する。実施の形態２における描画装置１００の構成は図１と同様である。また、以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態１と同様である。
【００６８】
図９は、実施の形態２における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２において、描画データ変換装置３００内に、さらに、圧縮処理部８４，８６，８８が配置された点以外は図２と同様である。よって、圧縮処理部８４，８６，８８といった機能は、描画データ変換装置３００内の他の機能と同様、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。分類処理部５０，５２、設定部５４、判定部５６、アレイ認識処理部５８、判定部６０、抽出部６２、変換部６４、判定部６６、判定部６８、抽出部７０，７２、変換部７４、格納部７６、設定部７８、変換部８０、判定部８２、及び圧縮処理部８４，８６，８８に入出力される情報および演算中の情報はメモリ８３にその都度格納される。
【００６９】
ここで、図９では、実施の形態２を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない。
【００７０】
図１０は、実施の形態２における描画データの作成方法の要部工程を示すフローチャート図である。実施の形態２では、実施の形態１と同様、階層化、回転処理、ミラー処理、拡大／縮小処理等の処理については従来手法で同様で構わないので説明を省略する。例えば、かかる処理が終了した各図形パターンデータを描画データとして定義する段階のデータ変換処理について重点を置いて説明する。
【００７１】
分類処理工程（Ｓ１０２）から抽出工程（Ｓ１１４）までの各工程の内容は実施の形態１と同様である。
【００７２】
圧縮工程（Ｓ１１５）において、圧縮処理部８４は、抽出されたアレイ配置された図形群のドーズ量情報を圧縮処理する。具体的には、アレイ配置されるＮＸ×ＮＹ個の図形パターンについて、基準となる第１番目の図形パターン以外の第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報を、それぞれ１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）との差分に圧縮処理する。かかる処理により、第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報のデータ量を１バイトずつ低減できる。なお、２番目以降のドーズ量定義は、全て、差分Ｃ−Ｄ定義であるわけではなく、差分が±６４階調以内に入らない場合には、新規Ｃ−Ｄ定義を使う。
【００７３】
図１１は、実施の形態２におけるアレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。図１１のＣ−Ｄ圧縮ドーズ定義に示すように、基準となる第１番目の図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）について、新規データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「０」）とドーズ量（ドーズ変調量）を示す符号なしデータ（符号なし１５ビット）との合計２バイトのデータで定義する。一方、第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮＸ×ＮＹ）については、差分データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「１」）と１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）との差分を示す符号付きデータ（符号付き７ビット）の合計１バイトのデータで定義する。
【００７４】
変換工程（Ｓ１１７）において、変換部６４は、アレイ配置された図形群のパターンデータについて、実施の形態１におけるアレイ表現（Ｄ−ＡＲ２）のデータフォーマットを用いて、フォーマット変換（データ変換）を実施する。
【００７５】
図１１の例では、同じ図形種およびサイズでアレイ配置されるＮＸ×ＮＹ個の図形パターンについて定義している。図１１に示すデータフォーマットでは、同じ図形種およびサイズでアレイ配置される複数の図形パターンを定義した実施の形態２のアレイ表現（Ｄ−ＡＲ２）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ２）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、基準となる１個目の図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、各３バイトの配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び各２バイトの配置個数（ＮＸ，ＮＹ）が定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ２）は、同じ図形がアレイ配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。１個目の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）は、アレイ配置される図形の基準座標の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ２）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、１個目の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）、サイズ（Ｗ，Ｈ）、配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び配置個数（ＮＸ，ＮＹ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態２のアレイ表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図１１の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報として、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量Ｄｉの２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、定義される基準となる第１番目の図形パターンの２バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）と定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従った第２番目以降の各図形パターンの１バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮＸ×ＮＹ）が順に定義される。ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）は、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。このように、２番目以降の図形のドーズ量情報に、当該図形のドーズ量と１つ前の図形のドーズ量との差分値を用いる。よって、図１１に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、例えば２個目以上が全部差分にできた場合に、１＋１＋２×（３×２＋２×２）＋１＋２＋２＋（ＮＸ×ＮＹ−１）＝２６＋（ＮＸ×ＮＹ）バイトのデータ量で定義できる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）が示す定義順は、図６と同様である。なお、２番目以降のドーズ量定義は、全て、差分Ｃ−Ｄ定義であるわけではなく、差分が±６４階調以内に入らない場合には、新規Ｃ−Ｄ定義を使う。
【００７６】
判定工程（Ｓ１１８）から抽出工程（Ｓ１２２）までの各工程の内容は実施の形態１と同様である。
【００７７】
圧縮工程（Ｓ１２３）において、圧縮処理部８６は、抽出された残りの図形群のドーズ量情報を圧縮処理する。具体的には、図形種および図形サイズが同じで配置位置が異なるＮ個の図形パターンについて、基準となる第１番目の図形パターン以外の第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報を、それぞれ１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）との差分に圧縮処理する。かかる処理により、第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報のデータ量を１バイトずつ低減できる。なお、２番目以降のドーズ量定義は、全て、差分Ｃ−Ｄ定義であるわけではなく、差分が±６４階調以内に入らない場合には、新規Ｃ−Ｄ定義を使う。
【００７８】
図１２は、実施の形態２におけるオプティマイズ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。図１２のＣ−Ｄ圧縮ドーズ定義に示すように、基準となる第１番目の図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）について、新規データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「０」）とドーズ量（ドーズ変調量）を示す符号なしデータ（符号なし１５ビット）との合計２バイトのデータで定義する。一方、第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮ）については、差分データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「１」）と１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）との差分を示す符号付きデータ（符号付き７ビット）の合計１バイトのデータで定義する。
【００７９】
変換工程（Ｓ１２５）において、変換部７４は、残りの図形群のパターンデータについて、実施の形態２におけるオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ２）のデータフォーマットを用いて、フォーマット変換（データ変換）を実施する。
【００８０】
図１２の例では、同じ図形種およびサイズで配置座標の異なるＮ個の図形パターンについて定義している。図１２に示すデータフォーマットでは、１個目の図形パターンの位置とサイズとに続き、２個目以降の図形パターンの位置を順に列記する実施の形態２のオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ２）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＯＲ２）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、及び２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、第１番目の図形パターンの各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘ１，Ｙ１）及び各２バイトのｘ、ｙ方向の図形サイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、第２番目以降の図形パターンの座標（Ｘｉ，Ｙｉ）が順に定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＯＲ２）は、同じ図形が繰り返し配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＯＲ２）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形数（Ｎ）、座標（Ｘ１，Ｙ１）、図形サイズ（Ｗ，Ｈ）、及び座標（Ｘｉ，Ｙｉ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態２のオプティマイズ表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図１２の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報となる、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、第１番目の図形パターンの２バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）と定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従った第２番目以降の各図形パターンの１バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮ）が順に定義される。ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）は、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）が示す定義順の例は、アレイ配置のように規則的には配置されていないかもしれないが、蛇行或いは螺旋状に定義するといった図６と同様で構わない。その他の定義順でもよい。このように、２番目以降の図形のドーズ量情報に、当該図形のドーズ量と１つ前の図形のドーズ量との差分値を用いる。よって、図１２に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、例えば２個目以上が全部差分にできた場合に、１＋１＋２＋（３×２＋２×２）＋（Ｎ−１）×（３×２）＋１＋２＋２＋Ｎ−１＝１２＋７Ｎバイトのデータ量で定義できる。なお、２番目以降のドーズ量定義は、全て、差分Ｃ−Ｄ定義であるわけではなく、差分が±６４階調以内に入らない場合には、新規Ｃ−Ｄ定義を使う。
【００８１】
格納工程（Ｓ１２９）において、格納部７６は、残りの図形の個数が１個の場合に、残りの１つの図形のパターンデータを、実施の形態２におけるノーマル表現（Ｄ−ＮＲ２）のデータフォーマット用に、バッファメモリ８１に格納する。
【００８２】
設定工程（Ｓ１３０）において、設定部７８は、図形サイズ番号ｉに１を加算する。そして、判定工程（Ｓ１０８）に戻り、図形サイズ番号ｉがＫを超えるまで、判定工程（Ｓ１０８）から設定工程（Ｓ１３０）を繰り返す。判定工程（Ｓ１０８）において、図形サイズ番号ｉがＫより大きくなった場合に抽出工程（Ｓ１３１）に進む。
【００８３】
かかる構成により、図形種および図形サイズが同じ図形群について、図形毎にドーズ量が異なる場合でもデータ量を実施の形態１よりもさらに低減できるアレイ表現（Ｄ−ＡＲ２）のデータフォーマット及び／或いはオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ２）のデータフォーマットを用いて、描画データを作成できる。
【００８４】
抽出工程（Ｓ１３１）において、抽出部７２は、図形サイズ番号１〜Ｋにおいて、アレイ表現（Ｄ−ＡＲ２）及びオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ２）のいずれにも該当せずにバッファメモリ８１に格納された、図形種が同じで図形サイズが異なる図形群について、それぞれ、該当図形のドーズ量情報（例えば、ドーズ変調量情報）を抽出する。
【００８５】
圧縮工程（Ｓ１３３）において、圧縮処理部８８は、バッファメモリ８１に格納された、図形種が同じで図形サイズが異なる図形群のドーズ量情報を圧縮処理する。具体的には、図形種および図形サイズが同じで配置位置が異なるＮ個の図形パターンについて、基準となる第１番目の図形パターン以外の第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報を、それぞれ１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）との差分に圧縮処理する。かかる処理により、第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報のデータ量を１バイトずつ低減できる。なお、２番目以降のドーズ量定義は、全て、差分Ｃ−Ｄ定義であるわけではなく、差分が±６４階調以内に入らない場合には、新規Ｃ−Ｄ定義を使う。
【００８６】
図１３は、実施の形態２におけるノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。図１３のＣ−Ｄ圧縮ドーズ定義に示すように、基準となる第１番目の図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）について、新規データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「０」）とドーズ量（ドーズ変調量）を示す符号なしデータ（符号なし１５ビット）との合計２バイトのデータで定義する。一方、第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮ）については、差分データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「１」）と１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）との差分を示す符号付きデータ（符号付き７ビット）の合計１バイトのデータで定義する。
【００８７】
変換工程（Ｓ１３５）において、変換部８０は、バッファメモリ８１に格納された、図形種が同じで図形サイズが異なる図形群のパターンデータについて、実施の形態２におけるノーマル表現（Ｄ−ＮＲ２）のデータフォーマットを用いて、フォーマット変換（データ変換）を実施する。
【００８８】
図１３の例では、同じ図形種で、図形サイズと配置座標の異なるＮ個の図形パターンについて定義している。図１３に示すデータフォーマットでは、各図形パターンの位置とサイズを順に列記するノーマル表現（Ｄ−ＮＲ２）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＮＲ２）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、及び２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、各図形パターンについて各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘｉ，Ｙｉ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向の図形サイズ（Ｗｉ，Ｈｉ）が第１番目の図形パターンから順に定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＮＲ２）は、同じ図形種の図形が繰り返し配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＮＲ２）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形数（Ｎ）、第１番目の図形から順に繰り返した座標（Ｘｉ，Ｙｉ）、及び図形サイズ（Ｗｉ，Ｈｉ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態２のノーマル表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図１３の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報として、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量Ｄｉの定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、第１番目の図形パターンの２バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）と定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従った第２番目以降の各図形パターンの１バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮ）が順に定義される。ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）は、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）が示す定義順の例は、アレイ配置のように規則的には配置されていないかもしれないが、蛇行或いは螺旋状に定義するといった図６と同様で構わない。その他の定義順でもよい。或いはバッファメモリ８１への格納順で構わない。このように、２番目以降の図形のドーズ量情報に、当該図形のドーズ量と１つ前の図形のドーズ量との差分値を用いる。よって、図１３に示すデータフォーマットで、かかる図形パターン群のパターンデータを作成した場合、例えば２個目以上が全部差分にできた場合に、１＋１＋２＋Ｎ×（３×２＋２×２）＋１＋２＋２＋Ｎ−１＝８＋１１Ｎバイトのデータ量で定義できる。なお、２番目以降のドーズ量定義は、全て、差分Ｃ−Ｄ定義であるわけではなく、差分が±６４階調以内に入らない場合には、新規Ｃ−Ｄ定義を使う。
【００８９】
よって、図形毎にドーズ量が異なる図形群をノーマル表現のデータフォーマットで定義する場合でも、図２８（ｂ）に示したようなそれぞれ個別のデータフォーマットで定義する場合に比べてデータ量を低減できる。
【００９０】
判定工程（Ｓ１３６）において、判定部８２は、すべての図形種についてフォーマット変換（データ変換）が終了したかどうかを判定する。すべての図形種について終了していない場合には、分類処理工程（Ｓ１０４）に戻る。そして、すべての図形種について終了するまで分類処理工程（Ｓ１０４）から判定工程（Ｓ１３６）までの各工程を繰り返す。すべての図形種について終了した場合には終了する。
【００９１】
以上のようにして、電子ビームを用いて試料１０１に複数の図形パターンを描画する描画装置１００に入力されるための描画データを作成する。作成された描画データは、記憶装置３４２に格納される。このように、実施の形態２によれば、図形毎にドーズ量が異なる場合でもデータ量を低減できる。描画装置１００の動作については、実施の形態１と同様である。
【００９２】
以上のように実施の形態２では、描画データのデータ量をさらに小さくできるので、描画装置１００への転送時間をさらに短縮できる。
【００９３】
ここで、アレイ配置される図形群については、すべての図形のドーズ量（ドーズ変調量）が異なるとは限らない。例えば、一部分の領域内の各図形については同じドーズ量（ドーズ変調量）になる場合もある。
【００９４】
図１４は、実施の形態２におけるアレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。図１４（ａ）の例では、同じ図形種およびサイズでアレイ配置されるＮＸ×ＮＹ個の図形パターンについて定義している。また、ＮＸ×ＮＹ個の図形パターンのうち、図１４（ｂ）の点線で示す一部分の領域内の各図形（中同じ図形群）については、同じドーズ量（ドーズ変調量）に設定されている。図１４（ａ）に示すデータフォーマットでは、同じ図形種およびサイズでアレイ配置され、一部分の領域内の各図形（中同じ図形群）が同じドーズ量となる複数の図形パターンを定義した実施の形態２のアレイ表現（Ｄ−ＡＲ３）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ３）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、基準となる１個目の図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、各３バイトの配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び各２バイトの配置個数（ＮＸ，ＮＹ）が定義される。続いて、同じドーズ量となる一部分の領域内の各図形のうちの基準となる１個目の図形パターンの各３バイトの座標（ＩＤＸ，ＩＤＹ）、及び同じドーズ量となる一部分の領域内の各２バイトの配置個数（ＮＮＸ，ＮＮＹ）が定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ３）は、同じ図形がアレイ配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。１個目の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）は、アレイ配置される図形の基準座標の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ３）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、１個目の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）、サイズ（Ｗ，Ｈ）、配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び配置個数（ＮＸ，ＮＹ）、座標（ＩＤＸ，ＩＤＹ）、及び配置個数（ＮＮＸ，ＮＮＹ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態２のアレイ表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図１４の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報として、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、座標（ＩＤＸ，ＩＤＹ）、及び配置個数（ＮＮＸ，ＮＮＹ）の一部分の領域内の各図形の同一ドーズ量情報（Ｃ−Ｄ０）、基準となる第１番目の図形パターンの２バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）、そして、定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従った、中同じ図形群以外の第２番目以降の各図形パターンの１バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮＸ×ＮＹ）が順に定義される。
【００９５】
ここで、図１４の例では、中同じ図形群の各図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ０）については、新規データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「０」）とドーズ量（ドーズ変調量）を示す符号なしデータ（符号なし１５ビット）の合計２バイトのデータで定義する。基準となる第１番目の図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）について、新規データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「０」）とドーズ量（ドーズ変調量）を示す符号なしデータ（符号なし１５ビット）の合計２バイトのデータで定義する。一方、中同じ図形群以外の第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮＸ×ＮＹ）については、差分データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「１」）と１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）との差分を示す符号付きデータ（符号付き７ビット）の合計１バイトのデータで定義する。よって、データ長（Ｌｄｏｓｅ）が示す複数の図形の個数は、ＮＸ×ＮＹ−ＮＮＸ×ＮＮＹ＋１個となる。なお、２番目以降のドーズ量定義は、全て、差分Ｃ−Ｄ定義であるわけではなく、差分が±６４階調以内に入らない場合には、新規Ｃ−Ｄ定義を使う。
【００９６】
ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）は、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。このように、中同じ図形群以外の２番目以降の図形のドーズ量情報に、当該図形のドーズ量と１つ前の図形のドーズ量との差分値を用いる。かかるデータフォーマットによれば、中同じ図形群のドーズ量情報について統合できるので、データ量をさらに圧縮できる。
【００９７】
また、アレイ配置される図形群については、規則的に配置されずに一部分の領域内の各図形が抜けている場合（中抜けアレイ）もある。
【００９８】
図１５は、実施の形態２におけるアレイ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。図１５（ａ）の例では、同じ図形種およびサイズでアレイ配置されるＮＸ×ＮＹ個の図形パターンについて定義している。また、ＮＸ×ＮＹ個の図形パターンのうち、図１５（ｂ）の点線で示す一部分の領域内の各図形（中抜け図形群）が抜けたアレイ配置に設定されている。図１５（ａ）に示すデータフォーマットでは、同じ図形種およびサイズでアレイ配置され、一部分の領域内の各図形（中抜け図形群）が抜けた実施の形態２のアレイ表現（Ｄ−ＡＲ４）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ４）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、基準となる１個目の図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、各３バイトの配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び各２バイトの配置個数（ＮＸ，ＮＹ）が定義される。続いて、中抜け部分の各図形のうちの基準となる１個目の図形パターンの各３バイトの座標（ＩＤＸ，ＩＤＹ）、及び各２バイトの抜け個数（ＮＮＸ，ＮＮＹ）が定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ４）は、同じ図形がアレイ配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。１個目の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）は、アレイ配置される図形の基準座標の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＡＲ３）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、１個目の図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）、サイズ（Ｗ，Ｈ）、配置ピッチ（ＰＸ，ＰＹ）、及び配置個数（ＮＸ，ＮＹ）、座標（ＩＤＸ，ＩＤＹ）、及び抜け個数（ＮＮＸ，ＮＮＹ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態２のアレイ表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図１５（ａ）の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報として、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、基準となる第１番目の図形パターンの２バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）、そして、定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従った、中抜け図形群以外の第２番目以降の各図形パターンの１バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮＸ×ＮＹ）が順に定義される。
【００９９】
ここで、図１５（ａ）の例では、基準となる第１番目の図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）について、新規データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「０」）とドーズ量（ドーズ変調量）を示す符号なしデータ（符号なし１５ビット）の合計２バイトのデータで定義する。一方、中抜け図形群以外の第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮＸ×ＮＹ）については、差分データであることを識別する１ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「１」）と１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）との差分を示す符号付きデータ（符号付き７ビット）の合計１バイトのデータで定義する。よって、ドーズ量情報が定義される複数の図形の個数は、ＮＸ×ＮＹ−ＮＮＸ×ＮＮＹ個となる。なお、２番目以降のドーズ量定義は、全て、差分Ｃ−Ｄ定義であるわけではなく、差分が±６４階調以内に入らない場合には、新規Ｃ−Ｄ定義を使う。
【０１００】
ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）は、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。このように、中抜け図形群以外の２番目以降の図形のドーズ量情報に、当該図形のドーズ量と１つ前の図形のドーズ量との差分値を用いる。かかるデータフォーマットによれば、中抜け図形群のドーズ量情報について不要にできるので、データ量をさらに圧縮できる。
【０１０１】
また、オプティマイズ表現或いはノーマル表現で定義可能な図形群についても、一部の領域で同じドーズ量（ドーズ変調量）が設定されている場合もある。
【０１０２】
図１６は、実施の形態２におけるオプティマイズ表現及びノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例をそれぞれ示す図である。図１６（ａ）では、実施の形態２におけるノーマル表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示している。図１６（ｂ）では、実施の形態２におけるオプティマイズ表現でのドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示している。
【０１０３】
図１６（ｂ）の例では、同じ図形種およびサイズで配置座標の異なるＮ個の図形パターンについて定義している。図１６（ｂ）に示すデータフォーマットでは、１個目の図形パターンの位置とサイズとに続き、２個目以降の図形パターンの位置を順に列記する、一部の図形で同じドーズ量となる実施の形態２のオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ５）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＯＲ５）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、及び２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、第１番目の図形パターンの各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘ１，Ｙ１）及び各２バイトのｘ、ｙ方向の図形サイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。続いて、第２番目以降の図形パターンの座標（Ｘｉ，Ｙｉ）が順に定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＯＲ５）は、同じ図形が繰り返し配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＯＲ５）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形数（Ｎ）、座標（Ｘ１，Ｙ１）、図形サイズ（Ｗ，Ｈ）、及び座標（Ｘｉ，Ｙｉ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態２の一部同一ドーズ量のオプティマイズ表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図１６（ｂ）の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報となる、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、第１番目の図形パターンの２バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）と定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従った第２番目以降の各図形パターンの１バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮ）が順に定義される。ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）は、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。
【０１０４】
図１６（ａ）の例では、同じ図形種で、図形サイズと配置座標の異なるＮ個の図形パターンについて定義している。図１６（ａ）に示すデータフォーマットでは、各図形パターンの位置とサイズを順に列記するノーマル表現（Ｄ−ＮＲ５）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＮＲ５）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、及び２バイトの図形数（Ｎ）が定義される。続いて、各図形パターンについて各３バイトの各図形パターンの座標（Ｘｉ，Ｙｉ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向の図形サイズ（Ｗｉ，Ｈｉ）が第１番目の図形パターンから順に定義される。表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＮＲ５）は、同じ図形種の図形が繰り返し配置されることを示す識別子の一例である。図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）は、図形種を示す識別子の一例である。このように、まず、表現コード（ｃｏｄｅＤ−ＮＲ５）、図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形数（Ｎ）、第１番目の図形から順に繰り返した座標（Ｘｉ，Ｙｉ）、及び図形サイズ（Ｗｉ，Ｈｉ）といった、複数の図形情報が定義される。実施の形態２の一部同一ドーズ量のノーマル表現のデータフォーマットでは、かかる複数の図形情報が定義される前或いは後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。図１６（ａ）の例では、かかる複数の図形情報が定義された後に各図形のドーズ量情報が連続して定義される。ドーズ量情報として、ドーズ量或いはドーズ変調量を示すドーズ量Ｄｉの定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の定義順を示す１バイトの定義順コード（Ｏｄｅｆ）、定義される複数の図形情報の全ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）の２バイトのデータ長（Ｌｄｏｓｅ）が定義される。続いて、第１番目の図形パターンの２バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）と定義順コード（Ｏｄｅｆ）に従った第２番目以降の各図形パターンの１バイトのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮ）が順に定義される。ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）は、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）が示す定義順の例は、アレイ配置のように規則的には配置されていないかもしれないが、蛇行或いは螺旋状に定義するといった図６と同様で構わない。その他の定義順でもよい。或いはバッファメモリ８１への格納順で構わない。
【０１０５】
図１６（ａ）及び図１６（ｂ）の例では、基準となる第１番目の図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ１）について、新規データであることを識別する２ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「０」）とドーズ量（ドーズ変調量）を示す符号なしデータ（符号なし１４ビット）との合計２バイトのデータで定義する。一方、第２番目以降の各図形パターンのドーズ量情報（Ｃ−Ｄ２）〜（Ｃ−ＤＮ）については、１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）と異なるドーズ量（ドーズ変調量）である場合には、差分データであることを識別する２ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「１」）と１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）との差分を示す符号付きデータ（符号付き７ビット）の合計１バイトのデータで定義する。他方、１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）と同じドーズ量（ドーズ変調量）である場合には、繰り返しデータであることを識別する２ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「２」）と繰り返し数を示す符号なしデータ（符号なし６ビット）の合計１バイトのデータで定義する。同じドーズ量（ドーズ変調量）が２個以上の図形で続く場合には、その個数から１を引いた値を定義する。或いは、１つ手前のドーズ量（ドーズ変調量）と同じドーズ量（ドーズ変調量）である場合には、繰り返しデータであることを識別する２ビットの識別フラグ（Ｃ−Ｄ識別フラグ「３」）と繰り返し数を示す符号なしデータ（符号なし１４ビット）の合計２バイトのデータで定義してもよい。同じドーズ量（ドーズ変調量）が２個以上の図形で続く場合には、その個数から１を引いた値を定義する。よって、ドーズ量情報が定義される複数の図形の個数は、Ｎ−（繰り返し定義ｉの繰り返し数の合計）個となる。
【０１０６】
ドーズ量（Ｃ−Ｄｉ）は、各図形のドーズ量情報の一例となる。定義順コード（Ｏｄｅｆ）は、各図形のドーズ量情報の定義順情報の一例となる。このように、２番目以降の図形のドーズ量情報に、当該図形のドーズ量と１つ前の図形のドーズ量との差分値或いは繰り返し数を用いる。かかるデータフォーマットによれば、繰返し数分のドーズ量情報について不要にできるので、データ量をさらに圧縮できる。
【０１０７】
次に、上述した各実施の形態で説明したデータフォーマットの効果について説明する。
【０１０８】
図１７は、各実施の形態におけるアレイ表現でのデータフォーマットの効果を説明するための概念図である。図１７（ａ）に示すように、アレイ配置されるＮＸ×ＮＹ個の図形パターンを想定する。図１７（ｂ）に示すように、アレイ配置されるＮＸ×ＮＹ個の図形パターンを個別に独立したノーマル表現（ＮＲ）のデータフォーマットで定義した場合、データ量は１７×ＮＸ×ＮＹバイトになる。これに対して、図１７（ｃ）に示すように、実施の形態１のアレイ表現（Ｄ−ＡＲ１）でのデータフォーマット（非圧縮）で定義した場合、データ量は２５＋２×ＮＸ×ＮＹバイトになる。よって、ＮＸ×ＮＹを無限大に想定すると、その圧縮比は約８．５倍にできる（約１／８．５のデータ量に圧縮できる）。さらに、図１７（ｄ）に示すように、実施の形態２のアレイ表現（Ｄ−ＡＲ２）でのデータフォーマット（圧縮）で定義した場合、データ量は２６＋ＮＸ×ＮＹバイトになる。よって、ＮＸ×ＮＹを無限大に想定すると、その圧縮比は約１７倍にできる（約１／１７のデータ量に圧縮できる）。
【０１０９】
図１８は、各実施の形態におけるノーマル表現或いはオプティマイズ表現でのデータフォーマットの効果を説明するための概念図である。図１８（ａ）に示すように、Ｎ個の図形パターンを想定する。図１７（ｂ）に示すように、Ｎ個の図形パターンを個別に独立したノーマル表現（ＮＲ）のデータフォーマットで定義した場合、データ量は１７×Ｎバイトになる。これに対して、図１８（ａ）に示すように、実施の形態２のノーマル表現（Ｄ−ＮＲ２）でのデータフォーマット（圧縮）で定義した場合、データ量は８＋１１Ｎバイトになる。よって、Ｎを無限大に想定すると、その圧縮比は約１．５４倍にできる（約１／１．５４のデータ量に圧縮できる）。また、図１８（ｂ）に示すように、実施の形態２のオプティマイズ表現（Ｄ−ＯＲ２）でのデータフォーマット（圧縮）で定義した場合、データ量は１２＋７×Ｎバイトになる。よって、Ｎを無限大に想定すると、その圧縮比は約２．４３倍にできる（約１／２．４３のデータ量に圧縮できる）。
【０１１０】
図１９は、各実施の形態におけるアレイ表現でのデータフォーマットの効果を説明するための他の概念図である。図１９（ａ）にはテストパターンの一例が示されている。かかるテストパターンでは、セルサイズが１２８μｍで、３×３６３のアレイパターンが５１個、１×３６３のアレイパターンが１個、及び１×５１のアレイパターンが１個、それぞれ配置されているものとする。かかるセルを８０ｍｍ×１２０ｍｍの領域に敷き詰めた場合を想定する。かかる図形パターン群を従来の個別に独立したノーマル表現（ＮＲ）でのドーズ量を定義しないデータフォーマットで定義した場合、データ量は例えば約０．６９ＧＢになる。一方、かかる図形パターン群を従来の個別に独立したノーマル表現（ＮＲ）でのドーズ量付きのデータフォーマットで定義した場合、データ量は例えば約５１９ＧＢになり、データ量が膨大に増加してしまう。これに対して、かかるドーズ量付きの図形パターン群を実施の形態１のアレイ表現（Ｄ−ＡＲ１）のデータフォーマット（非圧縮）で定義した場合、データ量は例えば約６１．８５ＧＢになり、データ量を１／８．４に圧縮できる。さらに、かかるドーズ量付きの図形パターン群を実施の形態２のアレイ表現（Ｄ−ＡＲ２）のデータフォーマット（差分による圧縮）で定義した場合、データ量は例えば約３１．３４ＧＢになり、データ量を１／１６．６に圧縮できる。
【０１１１】
以上、具体例を参照しつつ実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。
【０１１２】
また、装置構成や制御手法等、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる装置構成や制御手法を適宜選択して用いることができる。例えば、描画装置１００を制御する制御部構成については、記載を省略したが、必要とされる制御部構成を適宜選択して用いることは言うまでもない。
【０１１３】
その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての荷電粒子ビーム描画装置及び方法は、本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【０１１４】
５０，５２  分類処理部
５４  設定部
５６  判定部
５８  アレイ認識処理部
６０  判定部
６２  抽出部
６４  変換部
６６，６８  判定部
７０，７２  抽出部
７４  変換部
７６  格納部
７８  設定部
８０  変換部
８１  バッファメモリ
８２  判定部
８３  メモリ
８４，８６，８８  圧縮処理部
１００  描画装置
１０１，３４０  試料
１０２  電子鏡筒
１０３  描画室
１０５  ＸＹステージ
１１２  ショットデータ生成部
１１３  照射量演算部
１１４  描画制御部
１１５  補正部
１２０  制御回路
１４０，１４２，３４０，３４２  記憶装置
１５０  描画部
１６０  制御部
２００  電子ビーム
２０１  電子銃
２０２  照明レンズ
２０３，４１０  第１のアパーチャ
２０４  投影レンズ
２０５  偏向器
２０６，４２０  第２のアパーチャ
２０７  対物レンズ
２０８  主偏向器
２０９  副偏向器
３００  描画データ変換装置
３３０  電子線
４１１  開口
４２１  可変成形開口
４３０  荷電粒子ソース
【図１】
2018142727.tif 000003
【図２】
2018142727.tif 000004
【図３】
2018142727.tif 000005
【図４】
2018142727.tif 000006
【図５】
2018142727.tif 000007
【図６】
2018142727.tif 000008
【図７】
2018142727.tif 000009
【図８】
2018142727.tif 000010
【図９】
2018142727.tif 000011
【図１０】
2018142727.tif 000012
【図１１】
2018142727.tif 000013
【図１２】
2018142727.tif 000014
【図１３】
2018142727.tif 000015
【図１４】
2018142727.tif 000016
【図１５】
2018142727.tif 000017
【図１６】
2018142727.tif 000018
【図１７】
2018142727.tif 000019
【図１８】
2018142727.tif 000020
【図１９】
2018142727.tif 000021
【図２０】
2018142727.tif 000022
【図２１】
2018142727.tif 000023
【図２２】
2018142727.tif 000024
【図２３】
2018142727.tif 000025
【図２４】
2018142727.tif 000026
【図２５】
2018142727.tif 000027
【図２６】
2018142727.tif 000028
【図２７】
2018142727.tif 000029
【図２８】
2018142727.tif 000030