(57)【要約】【課題】±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合が可能な貼合装置を提供する。【解決手段】セパレータ３を持つ長尺第１フィルム１を搬送する第１搬送部１１と、長尺第２フィルム４を搬送する第２搬送部１２と、第１フィルムのハーフカットでシート状個片２を形成するハーフカット処理部１３と、シート状個片を吸着保持する吸着保持部１４と、シート状個片以外の残余部分及びセパレータをブレード１６で反転してシート状個片をセパレータから剥離する剥離部１５と、吸着保持部で、シート状個片を吸着する第１吸着動作と、吸着動作を全体的又は部分的に停止又は緩める吸着制御動作と、シート状個片を再び吸着する第２吸着動作とを順に実施制御する吸着動作制御部１７と、剥離部からシート状個片と第２フィルムとの貼合位置９２へシート状個片を移動させる移送機構部１８と、貼合位置にてシート状個片を第２フィルムに貼り付ける貼付部１９とを備える。【選択図】図１
2018001465.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム同士を貼り合わせる貼合装置において、
長尺で一方の表面にセパレータが配置された第１フィルムを搬送する第１搬送部と、
長尺の第２フィルムを搬送する第２搬送部と、
前記第１フィルムから前記セパレータを残して前記第１フィルムだけを所定の大きさと形状にハーフカットしてシート状個片を形成するハーフカット処理部と、
ハーフカットして形成された前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持部と、
ハーフカットして形成された前記第１フィルムの前記シート状個片以外の残余部分及び前記セパレータをブレードによって反転して、前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を前記セパレータから剥離する剥離部と、
前記吸着保持部において、前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着する第１吸着動作と、前記第１吸着動作後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う吸着制御動作と、前記吸着制御動作後に前記第１フィルムの前記シート状個片を再び吸着する第２吸着動作とを順に実施するように制御する吸着動作制御部と、
剥離して前記吸着保持部で吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を、前記剥離部から前記第１フィルムの前記シート状個片と前記第２フィルムとの貼合わせ位置へ移動させる移送機構部と、
前記貼合わせ位置にて、前記第２吸着動作を実施している前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を、前記第２フィルムに対して貼り付ける貼付部と、
を備える貼合装置。
【請求項２】
前記吸着保持部は、
吸引孔を有する領域を複数個有する吸着盤と、
前記吸着盤のそれぞれの領域の前記吸引孔に連通する吸引機構部と吸引孔を備え、
前記吸着動作制御部での前記吸着制御動作は、
すべての領域のうち少なくとも１つの領域の前記吸引孔での前記吸引機構部による吸引動作を維持した状態で、残りの領域の前記吸引孔での前記吸引機構部による吸引動作を、一時的に全体的に停止するか、又は一時的に全体的に緩めるように制御する、請求項１に記載の貼合装置。
【請求項３】
前記吸着動作制御部での前記吸着制御動作は、
すべての領域のうちいずれか一端部の領域又は中央部の領域の前記吸引孔での前記吸引機構部による吸引動作を維持した状態で、残りの領域の前記吸引孔での前記吸引機構部による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御する、請求項２に記載の貼合装置。
【請求項４】
前記吸着動作制御部での前記吸着制御動作は、
前記残りの領域のうち少なくとも１つの領域の前記吸引孔での前記吸引機構部による吸引動作を、再稼働するか、又は再強化したのちに、前記吸引動作を維持していた領域での前記吸引機構部による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御する、請求項２又は請求項３に記載の貼合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロールフィルムから取り出したフィルムを別のロールフィルムに貼着する貼合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ロール状に巻かれた基材上に配置された各種機能フィルムを、テンション管理しながらロール状の基材から取り出して、別のロールに貼り合わせて搬送する技術が一般的に知られている。
【０００３】
さらに、特許文献１のように、フィルム同士を貼合する技術も一般的に知られている。例えば、図１４及び図１５に示すように、一定のテンション１１０で張られかつロール状態で供給されるフィルム１０３に対して、厚み方向において、セパレータ１０１を残して機能フィルム１０２のみをカットするハーフカットを行う。そして、図示しない剥離ブロック上でセパレータ１０１のみを鋭角に送ることにより、セパレータ１０１から機能フィルム１０２のみを剥離し、機能フィルム１０２を、図示しない貼合台で吸着固定される。貼合台に吸着固定された機能フィルム１０２を貼合台で搬送しながら、機能フィルム１０２の位置調整を行い、機能フィルム１０２を貼合対象物のロールに貼り付けている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１３９１０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の場合、機能フィルムを切り出すロールと貼合対象物のロールとには、それぞれ、一定のテンションが張られているが、セパレータの剥離によりロールに作用していたテンションが無くなるとともに、ハーフカットされた機能フィルム１０２では、縮む力１０５が発生している。この結果、機能フィルム１０２には、どのような応力が発生して残留しているか不明な状態であり、そのような不明な状態のまま、機能フィルム１０２と貼合対象物との貼合が行われるため、貼合後にどのような反りが発生するか全く不明なものとなり、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合ができなかった。
【０００６】
従って、本発明の目的は、前記問題を解決することにあって、貼合後の反りを効果的に防止できて、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合が可能な貼合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明の第１態様によれば、フィルム同士を貼り合わせる貼合装置において、
長尺で一方の表面にセパレータが配置された第１フィルムを搬送する第１搬送部と、
長尺の第２フィルムを搬送する第２搬送部と、
前記第１フィルムから前記セパレータを残して前記第１フィルムだけを所定の大きさと形状にハーフカットしてシート状個片を形成するハーフカット処理部と、
ハーフカットして形成された前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着保持する吸着保持部と、
ハーフカットして形成された前記第１フィルムの前記シート状個片以外の残余部分及び前記セパレータをブレードによって反転して、前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を前記セパレータから剥離する剥離部と、
前記吸着保持部において、前記第１フィルムの前記シート状個片を吸着する第１吸着動作と、前記第１吸着動作後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う吸着制御動作と、前記吸着制御動作後に前記第１フィルムの前記シート状個片を再び吸着する第２吸着動作とを順に実施するように制御する吸着動作制御部と、
剥離して前記吸着保持部で吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を、前記剥離部から前記第１フィルムの前記シート状個片と前記第２フィルムとの貼合わせ位置へ移動させる移送機構部と、
前記貼合わせ位置にて、前記第２吸着動作を実施している前記吸着保持部に吸着保持された前記第１フィルムの前記シート状個片を、前記第２フィルムに対して貼り付ける貼付部と、
を備える貼合装置を提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の前記第１態様によれば、前記吸着動作制御部で、前記吸着保持部において、前記吸着動作後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う吸着制御動作を行うことによって、前記吸着保持部に保持されていたシート状個片のテンションを解放することができる。この結果、貼合後の反りを効果的に防止できて、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態にかかる貼合装置の全体の斜視図
【図２】実施形態にかかる貼合装置で実施する貼合方法の概略工程図
【図３】ハーフカット後の剥離前の装置状態の説明図
【図４】ハーフカットされた機能フィルムを吸着盤に吸着する説明図
【図５】ハーフカットされた機能フィルムをロールから剥離する説明図
【図６】剥離された機能フィルムにかかっている応力を表す説明図
【図７】吸着を停止又は緩めることで機能フィルムにかかっている応力をリセットし、再度しっかりと吸着した状態を表した説明図
【図８】吸着盤の平面図
【図９】吸着盤の吸引孔の領域分割を説明する図
【図１０】変形例にかかる吸着盤の吸引孔の領域分割を説明する図
【図１１】貼合対象物のロールテンションを調整した装置状態の説明図
【図１２】カメラで両材料のアライメントマークを認識して調整する説明図
【図１３】吸着盤を上昇させて貼合対象物に貼付する説明図
【図１４】ハーフカット前のロールテンションのかかった状態の説明図
【図１５】ハーフカットによってシート化される事により縮む方向に応力がかかる事を表す説明図
【図１６】は貼合された機能フィルムの状態を表している説明図であり、（ａ）は貼合する両方の材料が共に前工程までのテンションと応力が同じであれば位置ズレは起きない事を表す説明図であり、（ｂ）は貼合時に発生する不明な応力が加わる事でフィルムの伸び縮みにより発生する微妙なズレを表す説明図
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（本発明の知見）
まず、本発明を説明する前に、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合ができない理由について説明する。
【００１１】
図１４及び図１５で先に説明したように、センサ基材のような機能フィルム１０２などがセパレータ１０１上に何層にも積層されて構成されかつロールテンション１１０が加えられた基材シート１０３において、機能フィルム１０２に対してのみ、図１５のようにハーフカット１０４を入れると、機能フィルム１０２に縮む力１０５が働く。このとき、機能フィルム１０２の厚み又は材料によって、機能フィルム１０２に作用する応力は不明であり、ロールのテンション１１０の調整だけで、機能フィルム１０２に作用する応力を制御するのは困難である。その上、機能フィルム１０２をセパレータ１０１から剥離することにより、機能フィルム１０２には、どのような応力が残留しているか全く不明な状態となる。そのような不明な状態のまま、機能フィルム１０２が吸着盤などで吸着保持されて、機能フィルム１０２と貼合対象物との貼合が行われるため、貼合後にどのような反りが発生するか全く不明なものとなり、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合ができなかった。
【００１２】
特に、フォトリソグラフ又はエッチングで形成されたパターンは、定められたロールテンションで加工されており、貼合するときに発生する不明な応力がパターンに加わると、フィルムの伸び縮みにより、図１６の上側（ａ）に示す理想的な貼合に対して、下側（ｂ）に示すように、微妙なズレが発生して貼合することになり、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合ができなかった。
【００１３】
そこで、発明者らは、吸着盤などで吸着保持されている機能フィルム１０２において、吸着保持を一旦停止又は緩和して、残留している応力を解放することを想到して発明をするに至ったものである。
【００１４】
（実施形態）
以下、図面を参照して本発明における第１実施形態を詳細に説明する。
【００１５】
本発明の第１の実施形態にかかる貼合方法を実施できる貼合装置は、図１及び図３に示すように、フィルム同士を貼り合わせる貼合装置であって、第１搬送部１１と、第２搬送部１２と、ハーフカット処理部１３と、吸着保持部１４と、剥離部１５と、吸着動作制御部１７と、移送機構部１８と、貼付部１９とを備えて構成している。
【００１６】
この貼合装置では、図２に示すように、第１搬送部１１側では、第１搬送部１１から第１フィルム１が搬出された（巻き戻された）のち、ハーフカット工程Ｓ１１と、吸着及び剥離工程Ｓ１２と、移送工程Ｓ１３とを行う一方、第２搬送部１２側では、第２搬送部１２から第２フィルム４が搬出された（巻き戻された）のち、必要に応じてセパレータ剥離工程Ｓ２１と、貼付部１９での吸着工程Ｓ２２と、貼付部１９でのアライメント工程Ｓ２３と、貼付工程Ｓ２４とを経て、第２フィルム４が巻き取られるものである。
【００１７】
第１搬送部１１は、一定のロールテンション２０で、長尺で一方の表面にセパレータ３が配置された第１フィルム１を第１フィルム１の搬送方向沿いに搬送する。第１フィルム１は、長尺の樹脂フィルムのセパレータ３側の一方面、セパレータ３側とは反対側の他方面のうちいずれかに第１導電パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された機能フィルムである。例えば、導電パターンとして一種の電極と当該電極から引き出された配線とを形成したセンサ基材用フィルムである。第１搬送部１１としては、具体的には、図１及び図３に示すように、第１フィルム巻戻ローラ１１ａから巻き戻された第１フィルム１を多数の案内ローラ１１ｃで案内するとともに、ハーフカット処理部１３と吸着保持部１４と剥離部１５とに案内したのち、第１機能フィルム２以外の第１フィルム１を第１フィルム巻取ローラ１１ｂで巻取るようにしている。
【００１８】
第２搬送部１２は、一定のテンションで、長尺の第２フィルム４を第２フィルム４の搬送方向沿いに搬送する。第２フィルム４は、長尺の樹脂フィルムの両面に第２導電パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された機能フィルムである。例えば、導電パターンとして表裏合わせて２種の電極と当該電極から各々引き出された配線とを形成したセンサ基材用フィルムである。なお、第２フィルム４も、一方面にセパレータが配置されていて、貼付部１９に搬送される前に剥離されてもよい。この第２フィルム４の導電パターンに対して第１フィルム１から抜き出したシート状個片２の導電パターンを高精度に位置合わせして、第２フィルム４と第１フィルム１から抜き出したシート状個片２とを貼合させるのが、この貼付装置である。第２搬送部１２としては、具体的には、図１及び図３に示すように、第２フィルム巻戻ローラ１２ａから巻き戻された第２フィルム４を多数の案内ローラ１２ｃで案内するとともに、貼付部１９の第１フィルム１から抜き出されたシート状個片２を第２フィルム４との貼合わせ位置９２に案内したのち、第２フィルム４にシート状個片２が貼合された状態で第２フィルム巻取ローラ１２ｂで巻取るようにしている。第２フィルム巻戻ローラ１２ａの近傍には、第２フィルム４のテンションを検出して、テンションを制御できる機構１２ｄが配置されている（図１１を参照）。
【００１９】
ハーフカット処理部１３は、ハーフカット工程Ｓ１１を実施するものであり、第１フィルム１からセパレータ３を残して第１フィルム１だけを所定の大きさと形状とに、厚み方向にハーフカットして、多数のシート状個片２すなわち第１機能フィルム２を形成する。ハーフカット処理部１３は、図３に示すように、第１フィルム巻戻ローラ１１ａの近傍に配置されて、ハーフカット部７でハーフカットされて生ずるシート状個片２をセパレータ３と共に、吸着保持部１４と剥離部１５とに案内ローラ１２ｃで案内される。
【００２０】
吸着保持部１４及び剥離部１５は、吸着及び剥離工程Ｓ１２を実施するものである。
【００２１】
吸着保持部１４は、図３に示すように、剥離部１５の近傍でかつハーフカット処理部１３側に配置されている。吸着保持部１４は、第１フィルム１の搬送が間欠的に停止されて剥離部１５の近傍の吸着保持位置９１に停止し、かつ、セパレータ３上の、ハーフカットされることにより第１フィルム１から生じたシート状個片２を吸着保持する。吸着保持部１４は、図８に示す多数の吸引孔４１を有して第１フィルム１のうちシート状個片２のみに全面を吸着保持可能な吸着盤４２と、吸着盤４２の各吸引孔４１に連通する真空吸引装置などの吸引機構部４７とを備え、吸着動作制御部１７で吸引機構部４７による吸引動作（すなわち吸着動作）を制御している。吸着盤４２は、図４に示すように昇降装置１４ｂにより上下方向沿いに昇降するとともに、図５に示すように第１移動装置１４ｃにより第１フィルム１の搬送方向沿いに移動可能としている。よって、吸着盤４２の下部には、昇降装置１４ｂと第１移動装置１４ｃとが配置され、さらには、移送機構部１８と連結されるか又は移送機構部１８に支持されて、移送機構部１８で吸着盤４２が、第１フィルム１の搬送方向と直交する方向沿いに、剥離部１５と、第１フィルム１のシート状個片２と貼合わせ装置９２との間を往復移動可能としている。昇降装置１４ｂと第１移動装置１４ｃと移送機構部１８とは、それぞれ、例えばサーボモータなどのアクチュエータを利用して構成される直線的に往復移動可能な駆動装置であって高精度で位置決めできる機構が良い。
【００２２】
剥離部１５は、案内板１５ａでセパレータ３及び第１フィルム１を第１フィルム１の搬送方向沿いに案内しつつ、ハーフカットして形成された第１フィルム１のシート状個片２以外の残余部分１ａ及びセパレータ３を、案内板１５ａの先端に固定されたブレード１６によって鋭角に反転して、吸着保持位置９１で吸着保持部１４に吸着保持された第１フィルム１のシート状個片２を、セパレータ３から円滑に剥離する。このとき、図５に示すように、第１フィルム１を第１搬送部１１で搬送方向沿いに搬送するとともに、吸着保持部１４も第１移動装置１４ｃにより第１フィルム１の搬送方向沿いに第１フィルム１の搬送速度と同じ速度で同期して移動しつつ、この剥離動作が行われる。
【００２３】
剥離動作によりセパレータ３から剥離された第１フィルム１のシート状個片２は、図６に示すように、吸着保持部１４の吸着盤１４ａに吸着保持されている（下記の第１吸着動作Ｓ４１を参照。）が、この状態では、従来と同様に、縮む力８１の他、剥がした力８２及び吸着力８３などの力が作用して、不明な応力が残留している。この残留している不明な応力は、吸着動作制御部１７での以下の動作で解消することができる。
【００２４】
吸着動作制御部１７は、吸着保持部１４において、吸引機構部４７による吸引動作を制御することにより、第１吸着動作Ｓ４１と、吸着制御動作Ｓ４２と、第２吸着動作Ｓ４３とを順に実施する。これらの一連の動作は、剥離動作から貼合わせ位置９２への移送動作終了までの間に行われる。よって、例えば、剥離動作開始から剥離動作終了までに第１吸着動作Ｓ４１を行い、剥離動作終了後から移送開始前に吸着制御動作Ｓ４２を行い、移送開始後から移送終了までに第２吸着動作Ｓ４３を行うことができる。又は、剥離動作開始から移送動作終了までに第１吸着動作Ｓ４１を行い、移送動作終了後に吸着制御動作Ｓ４２と第２吸着動作Ｓ４３とを順に行うこともできる。
【００２５】
第１吸着動作Ｓ４１は、第１フィルム１のシート状個片２を吸着盤１４ａの全ての吸引孔４１で吸着する。
【００２６】
吸着制御動作Ｓ４２は、図７に示すように、第１吸着動作Ｓ４１後に吸着動作を、全体的に停止するか、全体的に緩めるか、部分的に停止するか、部分的に緩めるかのいずれかを行う。この吸着制御動作Ｓ４２により、吸着盤１４ａにシート状個片２が吸着保持されているとき、シート状個片２に残留している不明な応力を、シート状個片２から解放するようにしている。よって、シート状個片２に対する吸引孔４１による吸着保持力をすべて停止すれば、確実に解放できるが、その際、応力の影響等によりシート状個片２が吸着盤１４ａの当初に吸着保持した位置から大きく位置ずれして、アライメントの認識時に視野角から外れることが懸念される。そのような場合には、吸着保持力を全体的に緩めるか、すべての吸引孔４１のうちの一部の吸引孔４１による吸着保持力を維持しつつ残りの吸引孔４１による吸着保持力を停止して部分的に停止するか、又は、すべての吸引孔４１のうちの一部の吸引孔４１による吸着保持力を維持しつつ残りの吸引孔４１による吸着保持力を低下させて部分的に緩めるようにすればよい。このようにすれば、シート状個片２が、吸着盤１４ａの当初に吸着保持した位置から大きく位置ずれすることを防止することができる。
【００２７】
この動作は、図８に示す吸着盤１４ａに多数配列された吸引孔４１を、例えば図９に示すように複数の（例えば６列の）縦列の領域４３に分割し、各領域４３毎に吸引孔４１による吸着保持力を独立して制御できるように吸着動作制御部１７で吸引機構部４７を制御すればよい。具体的には、真空吸引装置及び真空を発生させる機構と各領域４３とを連結する連結通路に制御弁をそれぞれ配置し、吸着動作制御部１７で各制御弁を開閉制御すれば、各領域４３毎の吸着保持力を吸着維持、吸着停止、及び緩めるなどの動作制御を行うことができる。
【００２８】
吸着盤１４ａにおける吸引孔４１の領域の分け方としては、図９に示すものに限らず、図１０（ａ）に示すように横方向の領域４４に分けたり、図１０（ｂ）に示すようにマトリックス状の領域４５に分けたり、図１０（ｃ）に示すように同心円状の領域４６に分けたりすることができる。このように、吸着盤１４ａにおける吸引孔４１を複数の領域に分割したのち、任意の領域毎に吸着保持力を吸着維持、吸着停止、及び緩めるなどの動作制御を行うほか、特定の領域での吸着保持力を吸着維持しつつ、残りの領域での吸着保持力を吸着停止又は緩めるなどの動作制御を行うようにしてもよい。
【００２９】
さらに、残りの領域のうち、少なくとも１つの領域の吸引孔４１での吸引機構部４７による吸引動作を、再稼働するか、又は再強化したのちに、吸引動作を維持していた領域での吸引機構部４７による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御するようにしてもよい。このようにすれば、すべての領域で、残留している不明な応力をすべて解放することができる。
【００３０】
よって、例えば、分割された領域のうち、いずれか一端部の領域（例えば、図９の右端又は左端の領域、図１０（ａ）の上端又は下端の領域）の吸引孔４１での吸引機構部４７による吸引動作を維持した状態で、残りの領域の吸引孔で４１の吸引機構部４７による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御すれば、一端部が支持された状態で、一端部を除く他の領域の残留応力を解放することができ、その後、他端部を吸着維持して一端部の吸着を停止して、一端部の領域の残留応力を解放すれば、残留応力をより円滑に解放することができる。同様に、例えば、分割された領域のうち、中央部の領域（例えば、図１０（ｃ）の中心の領域）の吸引孔４１での吸引機構部４７による吸引動作を維持した状態で、残りの領域の吸引孔で４１の吸引機構部４７による吸引動作を、停止するか、又は緩めるように制御すれば、中央部が支持された状態で、中央部を除く他の領域の残留応力を解放することができ、その後、中央部以外の部分を吸着維持して中央部の吸着を停止して、中央部の領域の残留応力を解放すれば、残留応力をより円滑に解放することができる。
【００３１】
第２吸着動作Ｓ４３は、吸着制御動作Ｓ４２後に、残留している応力が無くなったと思われる第１フィルム１のシート状個片２を吸着盤１４ａに再び吸着して、貼合動作に備える。
【００３２】
移送機構部１８は、移送工程Ｓ１３を実施するものであり、吸着保持部１４を支持するか、又は、吸着保持部１４と一体的に設けられている。移送機構部１８は、吸着保持部１４の吸着盤１４ａを、剥離部１５と、貼付部１９の第１フィルム１のシート状個片２と第２フィルム４との貼合わせ位置９２との間で往復移動可能に配置している。剥離部１５で剥離した第１フィルム１のシート状個片２を吸着保持した吸着保持部１４の吸着盤１４ａを、第１フィルム１の搬送方向とは直交する横方向に移動し、第２フィルム４の搬送方向を横切って、図１１〜図１３に示すように、貼合わせ位置９２の貼付部１９の下方まで移動させる。
【００３３】
貼付部１９は、図１１〜図１３に示すように、吸着保持部１４と協働して、吸着工程Ｓ２２とアライメント工程Ｓ２３と貼付工程Ｓ２４とを行うものである。貼付部１９は、貼合わせ位置９２に配置され、真空吸引装置などの吸引機構部１９ａに接続された多数の吸引孔４１を有する吸着盤として機能し、第２フィルム４の貼り付け位置を吸着保持する。よって、貼付部１９で吸着保持された第２フィルム４の貼り付け位置に対して、吸着盤１４ａに吸着保持されたシート状個片２の高精度な位置決め、すなわち、第２フィルム４に形成されている導電パターンに対して、シート状個片２が有する導電パターンの高精度な位置決めを行うとともに、吸着盤１４ａを上方に移動させて、貼り付け動作を行うものである。
【００３４】
すなわち、第２吸着動作Ｓ４３を実施している吸着保持部１４に吸着保持された第１フィルム１のシート状個片２を、貼付部１９で吸着保持された第２フィルム４に対して貼り付ける。このとき、シート状個片２が四角形の場合、図１６に示すように、四隅に第１アライメントマーク６９を形成しておくとともに、対応する、第２フィルム４の貼付位置の四角形の領域の四隅に第２アライメントマーク７０を形成しておく。これらの位置決めマークは、四隅に対応して４か所に配置されたカメラ４８で両部材２，４の第１及び第２アライメントマーク６９，７０をそれぞれ認識して、シート状個片２すなわち吸着盤１４ａを高精度で位置調整する。このとき、例えば、吸着保持部１４の第１移動装置１４ｃで第２フィルム４の搬送方向沿いの位置調整を行い、移送機構部１８で第２フィルム４の搬送方向と直交する横方向沿いの位置調整を行うことにより、高精度でアライメント調整を行う。その後、昇降装置１４ｂにより吸着盤１４ａを上昇させて、貼付部１９で吸着保持された第２フィルム４に対してシート状個片２を高精度で貼り付ける。
【００３５】
カメラ４８は、吸着保持部１４に予め備えていてもよい。
【００３６】
前記実施形態によれば、吸着保持を一時的に停止又は緩和して、シート状個片２に残留していた応力を解放したのち、貼合するため、シート状個片２には残留応力が無く、フィルム対フィルムであってもシートの伸び縮みによる位置ズレが起きず、貼合後の反りを効果的に防止できて、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合が可能となり、品質向上に繋がる。
【００３７】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、残留応力を解放するため、吸着保持力の停止又は緩和以外に、吸着保持力の停止する上にエアなどを吸引孔４１から少量吹き出して、残留応力をより解放しやすくしてもよい。
【００３８】
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、第２フィルム４も、長尺の樹脂フィルムの一方面のみに第２導電パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された機能フィルムであってもよい。また、第１フィルム１及び第２フィルム４の一方が、絵柄パターンが長手方向に一定間隔で多数個形成された加飾フィルムであってもよい。さらには、フィルム状の有機ＬＥＤと機能フィルム又は加飾フィルムとの貼り合せにも適用可能である。
【００３９】
なお、前記様々な実施形態又は変形例のうちの任意の実施形態又は変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせ又は実施例同士の組み合わせ又は実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態又は実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明にかかる貼合装置は、貼合後の反りを効果的に防止できて、±１０μｍオーダーでの高精度な位置での貼合が可能であり、ロールフィルムから取り出したフィルムを別のロールフィルムに貼着する場合に有用である。
【符号の説明】
【００４１】
１  第１フィルム
１ａ  シート状個片以外の残余部分
２  シート状個片
３  セパレータ
４  第２フィルム
７  ハーフカット部
１１  第１搬送部
１１ａ  第１フィルム巻戻ローラ
１１ａ  第１フィルム巻取ローラ
１１ｃ  案内ローラ
１２  第２搬送部
１２ａ  第２フィルム巻戻ローラ
１２ｂ  第２フィルム巻取ローラ
１２ｃ  案内ローラ
１３  ハーフカット処理部
１４  吸着保持部
１５  剥離部
１５ａ  案内板
１６  ブレード
１７  吸着動作制御部
１８  移送機構部
１９  貼付部
１９ａ  吸引機構部
２０  ロールテンション
４１  吸引孔
４２  吸着盤
４３，４４，４５，４６  領域
４７  吸引機構部
４８  カメラ
９１  吸着保持位置
９２  貼合わせ位置
Ｓ１１  ハーフカット工程
Ｓ１２  吸着及び剥離工程
Ｓ１３  移送工程
Ｓ２１  剥離工程
Ｓ２２  吸着工程
Ｓ２３  アライメント工程
Ｓ２４  貼付工程
Ｓ４１  第１吸着動作
Ｓ４２  吸着制御動作
Ｓ４３  第２吸着動作
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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