(57)【要約】【課題】電極パネル（誘電体平板）の表面におけるＰＭの堆積を抑制できる、プラズマリアクタおよび排ガス浄化装置を提供する。【解決手段】複数の電極パネル１２が積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置されており、エンジンから排出される排ガスは、各電極パネル１２間を積層方向と直交する方向に流通する。複数の電極パネル１２は、積層方向に交互に正極パネル１２＋または負極パネル１２−となる。負極パネル１２−では、電極２２が誘電体平板２１の厚さ方向の中央に配置されている。正極パネル１２＋では、上流側部分２５と下流側部分２６とで異なる電極構造を有しており、上流側部分２５では、電極２４が誘電体平板２３における積層方向の一方面２３Ａおよび他方面２３Ｂ上に配置され、下流側部分２６では、電極２４が誘電体平板２３の厚さ方向の中央に配置されている。【選択図】図２
2018035732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンジンから排出される排ガスを浄化する排ガス浄化装置に用いられるプラズマリアクタであって、
誘電体からなる平板状の誘電体平板および電極を備え、排ガスの流れ方向と直交する積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置され、前記積層方向に交互に正極または負極となる複数の電極パネルを含み、
正極または負極の一方となる前記電極パネルでは、前記誘電体平板の厚さ方向の内側に前記電極が配置され、
正極または負極の他方となる前記電極パネルでは、前記流れ方向の上流側の部分で、前記誘電体平板の厚さ方向の一方面および他方面上に前記電極が配置され、前記流れ方向の下流側の部分で、前記誘電体平板の厚さ方向の内側に前記電極が配置されている、プラズマリアクタ。
【請求項２】
エンジンから排出される排ガスを浄化する排ガス浄化装置であって、
誘電体からなる平板状の誘電体平板および電極を備え、排ガスの流れ方向と直交する積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置される複数の電極パネルと、
前記積層方向に互いに隣り合う前記電極の間に電圧を印加する電源とを含み、
前記複数の電極パネルは、前記流れ方向の上流側の部分では、前記電極間に印加される電圧が第１放電開始電圧以上で前記電極間に誘電体バリア放電が発生し、前記流れ方向の下流側の部分では、前記電極間に印加される電圧が前記第１放電開始電圧よりも高い第２放電開始電圧以上で前記電極間に誘電体バリア放電が発生するように構成されている、排ガス浄化装置。
【請求項３】
エンジンから排出される排ガスを浄化する排ガス浄化装置であって、
誘電体からなる平板状の誘電体平板および電極を備え、排ガスの流れ方向と直交する積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置される複数の電極パネルと、
前記積層方向に互いに隣り合う前記電極の間に電圧を印加する電源と、
前記排ガスに含まれるＰＭ（Particulate Matter：粒子状物質）量に応じて前記電極間における誘電体バリア放電が発生する部分の面積が異なるように、前記電源から前記電極間に印加される電圧を制御する制御部とを含む、排ガス浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジンから排出される排ガスを浄化する排ガス浄化装置および排ガス浄化装置に用いられるプラズマリアクタに関する。
【背景技術】
【０００２】
エンジン、とくにディーゼルエンジンから排出される排ガスには、ＣＯ（一酸化炭素）、ＨＣ（炭化水素）、ＮＯｘ（窒素酸化物）およびＰＭ（Particulate Matter：粒子状物質）などが含まれる。
【０００３】
排ガスに含まれるＰＭを除去する手法として、たとえば、ＰＭをＤＰＦ（Diesel particulate filter）で捕集し、燃料のポスト噴射または排気管内噴射により排ガスを昇温し、ＤＰＦに捕集されたＰＭを燃焼させる手法が提案されている。しかしながら、この手法は、ＰＭを燃焼させる際に燃料を消費することによる燃費の悪化の問題を有している。また、いわゆる街乗り（市街地走行）では、排ガスの温度がＰＭを燃焼させる高温にならないため、かかる手法は、街乗りに多用される小型車には不向きである。
【０００４】
そこで、プラズマリアクタを用いて、排ガスに含まれるＰＭを除去する手法が提案されている。プラズマリアクタは、図９に示されるように、複数の電極パネル９１を備えている。電極パネル９１は、たとえば、平板状の誘電体（誘電体平板）９２の厚さ方向の中央に電極（内蔵電極）９３を配置した構成であり、複数の電極パネル９１は、排ガスの流れ方向と直交する積層方向に間隔を空けて対向配置される。積層方向に互いに隣り合う電極パネル９１の電極９３間に電圧が印加されると、誘電体バリア放電が生じて、電極パネル９１間に低温プラズマ（非平衡プラズマ）が発生し、電極パネル９１間を流れる排ガス中のＰＭが酸化により除去される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−７５７７８号公報
【特許文献２】特開２０１０−２０３４０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、電極パネル９１間を流通する排ガスに含まれるＰＭ量が多い場合、排ガス中からＰＭを除去しきれずに、ＰＭが電極パネル９１（誘電体平板９２）の表面、とりわけ、図１０に示されるように、電極パネル９１の表面における排ガスの流れ方向の上流側の部分に多く付着して堆積し、ＰＭ除去性能が低下するおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、電極パネル（誘電体平板）の表面におけるＰＭの堆積を抑制できる、プラズマリアクタおよび排ガス浄化装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するため、本発明の一の局面に係るプラズマリアクタは、エンジンから排出される排ガスを浄化する排ガス浄化装置に用いられるプラズマリアクタであって、誘電体からなる平板状の誘電体平板および電極を備え、排ガスの流れ方向と直交する積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置され、積層方向に交互に正極または負極となる複数の電極パネルを含み、正極または負極の一方となる電極パネルでは、誘電体平板の厚さ方向の内側に電極が配置され、正極または負極の他方となる電極パネルでは、流れ方向の上流側の部分（以下、この項において、単に「上流側部分」という。）で、誘電体平板の厚さ方向の一方面および他方面上に電極が配置され、流れ方向の下流側の部分（以下、この項において、単に「下流側部分」という。）で、誘電体平板の厚さ方向の内側に電極が配置されている。
【０００９】
この構成によれば、複数の電極パネルが積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置されており、エンジンから排出される排ガスは、各電極パネル間を積層方向と直交する方向に流通する。各電極パネルは、誘電体からなる誘電体平板および導電性材料からなる電極を備えている。
【００１０】
複数の電極パネルは、積層方向に交互に正極または負極となる。正極または負極の一方となる電極パネルでは、誘電体平板の厚さ方向の内側に電極が配置されている。正極または負極の他方となる電極パネルでは、上流側部分において、誘電体平板の厚さ方向の一方面および他方面上に電極が配置され、下流側部分において、誘電体平板の厚さ方向の内側に電極が配置されている。
【００１１】
これにより、電極パネル間の上流側部分では、下流側部分と比較して、各電極パネル間に生じる空間（ギャップ）の積層方向の寸法が同じであっても、電極間に介在する誘電体の厚さが小さいので、静電容量が大きく、かつ、電極間の距離が短い。そのため、電極パネル間の上流側部分では、下流側部分と比較して、電極間に発生する誘電体バリア放電の強度が大きくなり、ひいてはプラズマの強度が大きくなる。その結果、電極パネル間の上流側部分におけるＰＭ除去性能を引き上げることができる。
【００１２】
よって、電極パネル間の上流側部分で排ガスからＰＭを良好に除去することができ、下流側部分を流通する排ガスに含まれるＰＭ量を低減させることができる。その結果、電極パネル間の上流側部分はもちろん、下流側部分においても、電極パネルの表面にＰＭが付着して堆積することを抑制できる。
【００１３】
正極または負極の一方となる電極パネル（誘電体平板の厚さ方向の内側に電極が配置された構造の電極パネル）では、電極と誘電体平板の厚さ方向の一方面および他方面との各間に、誘電体平板に絶縁破壊が生じない距離が設けられ、正極または負極の他方となる電極パネルの誘電体平板は、正極または負極の一方となる電極パネルの誘電体平板の厚さ（電極の厚さを除く。）と同等の厚さを有していることが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、正極または負極の一方となる電極パネルでは、誘電体平板に絶縁破壊が生じることを抑制でき、正極または負極の他方となる電極パネルでは、正極または負極の一方となる電極パネルと同等の機械的強度を確保することができる。
【００１５】
また、正極または負極の他方となる電極パネルでは、誘電体平板の厚さ方向の一方面および他方面上に配置された電極の表面が電極の酸化を防止するためのコート層で被覆されていることが好ましい。
【００１６】
これにより、電極の酸化による劣化を抑制することができる。
【００１７】
本発明の他の局面に係る排ガス浄化装置は、エンジンから排出される排ガスを浄化する排ガス浄化装置であって、誘電体からなる平板状の誘電体平板および電極を備え、排ガスの流れ方向と直交する積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置される複数の電極パネルと、積層方向に互いに隣り合う電極の間に電圧を印加する電源とを含み、複数の電極パネルは、電極パネル間の上流側部分（流れ方向の上流側の部分）では、電極間に印加される電圧が第１放電開始電圧以上で電極間に誘電体バリア放電が発生し、下流側部分（流れ方向の下流側の部分）では、電極間に印加される電圧が第１放電開始電圧よりも高い第２放電開始電圧以上で電極間に誘電体バリア放電が発生するように構成されている。
【００１８】
この構成によれば、複数の電極パネルが積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置されており、エンジンから排出される排ガスは、各電極パネル間を積層方向と直交する方向に流通する。各電極パネルは、誘電体からなる誘電体平板および導電性材料からなる電極を備えている。
【００１９】
積層方向に互いに隣り合う電極パネルの電極間には、電源から電圧が印加される。複数の電極パネルの構成により、電極間に第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満の電圧が印加されると、電極パネル間の上流側部分で、誘電体バリア放電が発生する。このとき、電極パネル間の下流側部分では、誘電体バリア放電が発生しない。電極間に第２放電開始電圧以上の電圧が印加されると、電極パネル間の下流側部分でも誘電体バリア放電が発生し、電極パネル間の全域で誘電体バリア放電が発生する。
【００２０】
そのため、電極パネル間を流通する排ガスに含まれるＰＭ量が少ないときおよび/または排ガス流量が少ないときには、電源から電極間に第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満の電圧を印加することにより、電極パネル間の上流側部分で誘電体バリア放電によるプラズマを発生させて、排ガスからＰＭを除去することができながら、省電力化を図ることができる。
【００２１】
一方、電極パネル間を流通する排ガスに含まれるＰＭ量が多いときおよび/または排ガス流量が多いときには、電源から電極間に第２放電開始電圧以上の電圧を印加することにより、電極パネル間の全域となる広い部分で誘電体バリア放電によるプラズマを発生させて、ＰＭの除去性能を上げることができる。また、電極パネル間の上流側部分では、誘電体バリア放電の発生に必要な第１放電開始電圧よりも高い電圧が電極間に印加されるので、下流側部分と比較して、電極間に発生する誘電体バリア放電の強度が大きくなり、ひいてはプラズマの強度が大きくなる。そのため、電極パネル間の上流側部分におけるＰＭの除去性能をとくに引き上げることができる。
【００２２】
よって、電極パネル間の上流側部分で排ガスからＰＭを良好に除去することができ、下流側部分を流通する排ガスに含まれるＰＭ量を低減させることができる。その結果、電極パネル間の上流側部分はもちろん、下流側部分においても、電極パネルの表面にＰＭが付着して堆積することを抑制できる。
【００２３】
排ガス浄化装置は、排ガスに含まれるＰＭ量と相関関係を有する値が閾値以下である場合に、電極間に第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満の電圧が印加され、相関関係を有する値が閾値を超える場合に、電極間に第２放電開始電圧以上の電圧が印加されるように、電源から電極間に印加される電圧を制御する制御部をさらに含む構成であってもよい。
【００２４】
ＰＭ量と相関関係を有する値は、エンジンから排出される排ガスの単位体積に含まれるＰＭ量であってもよいし、エンジンから排出される排ガスの流量であってもよい。
【００２５】
本発明のさらに他の局面に係る排ガス浄化装置は、エンジンから排出される排ガスを浄化する排ガス浄化装置であって、誘電体からなる平板状の誘電体平板および電極を備え、排ガスの流れ方向と直交する積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置される複数の電極パネルと、積層方向に互いに隣り合う電極の間に電圧を印加する電源と、排ガスに含まれるＰＭ量に応じて電極間における誘電体バリア放電が発生する部分の面積が異なるように、電源から電極間に印加される電圧を制御する制御部とを含む。
【００２６】
この構成によれば、複数の電極パネルが積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置されており、エンジンから排出される排ガスは、各電極パネル間を積層方向と直交する方向に流通する。各電極パネルは、誘電体からなる誘電体平板および導電性材料からなる電極を備えている。
【００２７】
積層方向に互いに隣り合う電極パネルの電極間には、電源から電圧が印加される。この電極間に印加される電圧は、エンジンから排出される排ガスに含まれるＰＭ量に応じて電極間における誘電体バリア放電が発生する部分の面積が異なるように制御される。この制御により、電極パネル間を流通する排ガスの単位体積あたりに含まれるＰＭ量が少ないときおよび/または排ガス流量が少ないときには、電極間における誘電体バリア放電が発生する部分の面積を小さくして、排ガスからＰＭを除去することができながら、省電力化を図ることができる。
【００２８】
一方、電極パネル間を流通する排ガスの単位体積あたりに含まれるＰＭ量が多いときおよび/または排ガス流量が多いときには、電極間における誘電体バリア放電が発生する部分の面積を大きくすることにより、排ガスからＰＭを良好に除去することができる。
【００２９】
よって、電極パネル間の全域において、電極パネルの表面にＰＭが付着して堆積することを抑制できる。
【００３０】
複数の電極パネルは、電極パネル間の上流側部分では、電極間に印加される電圧が第１放電開始電圧以上で電極間に誘電体バリア放電が発生し、下流側部分では、電極間に印加される電圧が第１放電開始電圧よりも高い第２放電開始電圧以上で電極間に誘電体バリア放電が発生するように構成されている場合、制御部は、エンジンから排出される排ガスに含まれるＰＭ量と相関関係を有する値（排ガスの単位体積あたりに含まれるＰＭ量および/または排ガス流量）が閾値以下である場合に、電源から電極間に第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満の電圧が印加され、ＰＭ量と相関関係を有する値が閾値を超える場合に、電源から電極間に第２放電開始電圧以上の電圧が印加されるように、電源から電極間に印加される電圧が制御されてもよい。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、電極パネル間の全域において、電極パネルの表面にＰＭが付着して堆積することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施形態に係る排ガス浄化装置の構成を図解的に示す断面図である。
【図２】第１実施形態に係る電極パネルの構造を図解的に示す断面図である。
【図３】プラズマリアクタ用電源の構成を示す回路図である。
【図４】プラズマリアクタＥＣＵの機能的な構成を示すブロック図である。
【図５】第２実施形態に係る電極パネルの構造を図解的に示す断面図である。
【図６】第３実施形態に係る電極パネルの構造を図解的に示す断面図である。
【図７】第４実施形態に係る電極パネルの構造を図解的に示す断面図である。
【図８】第５実施形態に係る電極パネルの構造を図解的に示す断面図である。
【図９】従来のプラズマリアクタの電極パネルの構造を図解的に示す断面図である。
【図１０】電極パネルにおけるＰＭの付着状況を示す写真である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下では、本発明の実施の形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００３４】
＜排ガス浄化装置＞
図１は、本発明の実施形態に係る排ガス浄化装置１の構成を図解的に示す断面図である。
【００３５】
排ガス浄化装置１は、車両のエンジン（図示せず）から排出される排ガスを浄化する装置である。具体的には、エンジンの排ガスには、ＣＯ、ＨＣ、ＮＯｘおよびＰＭなどが含まれており、排ガス浄化装置１は、その排ガスからＰＭを除去するために用いられる。排ガス浄化装置１は、プラズマリアクタ２およびプラズマリアクタ用電源３を備えている。
【００３６】
プラズマリアクタ２は、エキゾーストパイプなどの排気管４の途中部に介装される。プラズマリアクタ２は、ケース（ボディ）１１と、ケース１１内に収容された複数の電極パネル１２とを備えている。
【００３７】
ケース１１は、金属製であり、管状（筒状）に形成されている。ケース１１の一方の開口は、排ガスを流入させる流入口１３であり、他方の開口は、排ガスを流出させる流出口１４である。エンジンから排気管４に排出される排ガスは、排気管４を流れる途中で、流入口１３からケース１１内に流入して、ケース１１内を流通し、流出口１４から流出する。
【００３８】
各電極パネル１２は、平板状をなしている。複数の電極パネル１２は、たとえば、ケース１１の中心線と直交する積層方向に間隔を空けて、互いに平行をなして（それぞれケース１１の中心線方向に延びるように）配置されている。
【００３９】
電極パネル１２には、電極パネル１２の積層方向の一方側から順に、プラス配線１５およびマイナス配線１６が交互に接続されている。プラス配線１５およびマイナス配線１６間には、プラズマリアクタ用電源３からパルス波状に変化する高電圧（リアクタ印加電圧）が印加される。これにより、プラス配線１５が接続された電極パネル１２は正極となり、マイナス配線１６が接続された電極パネル１２は負極となって、その正極となる電極パネル１２（以下、「正極パネル１２＋」という。）と負極となる電極パネル１２（以下、「負極パネル１２−」という。）との間に、誘電体バリア放電によるプラズマが発生する。
【００４０】
流入口１３からケース１１内に流入する排ガスは、流出口１４に向けて流れ、その途中で正極パネル１２＋と負極パネル１２−との間を流通する。正極パネル１２＋と負極パネル１２−との間におけるプラズマの発生によって、正極パネル１２＋と負極パネル１２−との間を流通する排ガスに含まれるＰＭが酸化（燃焼）されて除去される。
【００４１】
排ガス浄化装置１が搭載される車両には、複数のＥＣＵ（Electronic Control Unit：電子制御ユニット）が備えられている。各ＥＣＵは、マイコン（マイクロコントローラユニット）を含む構成であり、マイコンには、たとえば、ＣＰＵおよび各種のメモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭ、データフラッシュ（フラッシュメモリ）など）が内蔵されている。複数のＥＣＵは、ＣＡＮ（Controller Area Network）通信プロトコルによる双方向通信が可能に接続されている。
【００４２】
複数のＥＣＵには、プラズマリアクタＥＣＵ５が含まれる。プラズマリアクタＥＣＵ５の機能については、後述する。
【００４３】
＜電極パネル＞
図２は、第１実施形態に係る電極パネル１２の構造を図解的に示す断面図である。
【００４４】
負極パネル１２−は、誘電体平板２１および電極２２を備えている。
【００４５】
誘電体平板２１は、誘電体からなる。誘電体としては、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を例示することができる。誘電体平板２１は、平板状に形成されている。
【００４６】
電極２２は、導電性材料からなる。導電性材料としては、タングステン（Ｗ）を例示することができる。電極２２は、たとえば、縦方向に延びる複数の線状部および縦方向と直交する横方向に延びる複数の線状部からなる格子状をなし、四角形状の網目を多数有している。電極２２は、誘電体平板２１の厚さ方向の中央に配置されている。言い換えれば、電極２２は、誘電体平板２１を厚さ方向に２分割した各分割部分に挟み込まれて、その両面が誘電体平板２１に覆われている。
【００４７】
負極パネル１２−では、誘電体平板２１の外表面（周端面および積層方向の両面）と電極２２との間の距離が誘電体平板２１に絶縁破壊が生じない距離に設定されている。
【００４８】
誘電体平板２１に絶縁破壊が生じない距離は、誘電体平板２１の材料である誘電体の種類、正極パネル１２＋と負極パネル１２−との間に印加される電圧によって定まる。たとえば、誘電体平板２１の材料がアルミナである場合、絶縁破壊が生じる印加電圧は、１５ｋＶ／ｍｍ以上である。正極パネル１２＋と負極パネル１２−との間に印加される電圧が３ｋＶである場合、誘電体平板２１に絶縁破壊が生じない距離は、０．２ｍｍ以上である。
【００４９】
正極パネル１２＋は、誘電体平板２３および電極２４を備えている。
【００５０】
誘電体平板２３は、誘電体からなり、平板状に形成されている。誘電体としては、アルミナを例示することができる。誘電体平板２３の厚さ（積層方向の寸法）は、たとえば、負極パネル１２−の厚さから電極２２の厚さを引いた厚さ、つまり誘電体平板２１単体の厚さと同一に設定されている。
【００５１】
電極２４は、導電性材料からなる。導電性材料としては、タングステンを例示することができる。電極２４は、たとえば、縦方向に延びる複数の線状部および縦方向と直交する横方向に延びる複数の線状部からなる格子状をなし、四角形状の網目を多数有している。
【００５２】
正極パネル１２＋は、正極パネル１２＋と負極パネル１２−との間における排ガスの流れ方向（以下、単に「流れ方向」という。）の上流側の約半分の上流側部分２５と下流側の約半分の下流側部分２６とで異なる電極構造を有している。すなわち、上流側部分２５では、電極２４が誘電体平板２３における積層方向の一方面２３Ａおよび他方面２３Ｂ上に配置され、下流側部分２６では、電極２４が誘電体平板２３の厚さ方向の中央（誘電体平板２３を厚さ方向に２分割した各分割部分の間）に配置されている。これにより、電極２４は、正極パネル１２＋の上流側部分２５で誘電体平板２３の表面２３Ａ，２３Ｂからそれぞれ露出した表面電極部分２４Ａ，２４Ｂと、下流側部分２６で誘電体平板２３に内蔵された内蔵電極部分２４Ｃとを一体に備えている。
【００５３】
正極パネル１２＋の上流側部分２５では、表面電極部分２４Ａ，２４Ｂの酸化を防止するため、表面電極部分２４Ａ，２４Ｂの表面がそれぞれコート層２７Ａ，２７Ｂで被覆されている。言い換えれば、正極パネル１２＋は、表面電極部分２４Ａ，２４Ｂの酸化を防止するために表面電極部分２４Ａ，２４Ｂの表面をそれぞれ被覆するコート層２７Ａ，２７Ｂを有している。コート層２７Ａ，２７Ｂの材料は、耐熱性、耐食性の理由から、アルミナなどを用いるのが好ましいが、電極２４の酸化を防止可能な材料であれば、たとえば、ガラスが用いられてもよい。
【００５４】
正極パネル１２＋の下流側部分２６では、誘電体平板２３の外表面と内蔵電極部分２４Ｃとの間の距離が誘電体平板２３に絶縁破壊が生じない距離以上に設定されている。
【００５５】
かかる構成により、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間では、正極パネル１２＋の下流側部分２６と負極パネル１２−との間と比較して、電極２２，２４間の距離が短い。そのため、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間では、電極２２と表面電極部分２４Ａ，２４Ｂとの間に第１放電開始電圧以上の電圧が印加されると誘電体バリア放電が発生するのに対し、正極パネル１２＋の下流側部分２６と負極パネル１２−との間では、電極２２と内蔵電極部分２４Ｃとの間に第１放電開始電圧よりも高い第２放電開始電圧以上の電圧が印加されないと誘電体バリア放電が発生しない。
【００５６】
＜プラズマリアクタ用電源＞
図３は、プラズマリアクタ用電源３の構成を示す回路図である。
【００５７】
プラズマリアクタ用電源３は、フライバック型昇圧トランス３１、通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２およびゲートドライブ回路３３を備えている。
【００５８】
フライバック型昇圧トランス３１は、一次コイル３４および二次コイル３５を有している。一次コイル３４の一端は、配線３６に接続されている。一次コイル３４の他端は、通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２を介して、グランドに接続（接地）されている。二次コイル３５の一端および他端は、それぞれプラス端子およびマイナス端子を介して、プラス配線１５およびマイナス配線１６（図１参照）と電気的に接続されている。
【００５９】
通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２は、たとえば、エンハンスメント型のｎＭＯＳＦＥＴであり、そのドレインがフライバック型昇圧トランス３１の一次コイル３４の他端に接続され、ソースがグランドに接続されている。
【００６０】
配線３６には、ヒューズ３７を介して、直流電源であるバッテリ３８のプラス端子が接続されている。バッテリ３８は、たとえば、公称電圧が１２Ｖの鉛電池である。
【００６１】
ゲートドライブ回路３３は、通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２のゲートにパルス電圧（ゲート電圧）を印加する回路である。
【００６２】
プラズマリアクタＥＣＵ５は、ゲートドライブ回路３３を制御し、ゲートドライブ回路３３からのパルス電圧（ゲート電圧）の出力／停止を切り替える。プラズマリアクタＥＣＵ５からゲートドライブ回路３３にオン指示信号が入力されると、ゲートドライブ回路３３から出力されるパルス電圧が立ち上がり、そのパルス電圧が通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２のゲートに印加されることにより、通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２がオンになる。プラズマリアクタＥＣＵ５からゲートドライブ回路３３にオフ指示信号が入力されると、ゲートドライブ回路３３から出力されるパルス電圧が立ち下がり、通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２のゲートへのパルス電圧の印加がなくなることにより、通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２がオフになる。
【００６３】
通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２がオンになると、フライバック型昇圧トランス３１の一次コイル３４にバッテリ３８の電圧が一次電圧として印加され、一次コイル３４にエネルギが蓄積される。その後、通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２がオフになると、一次コイル３４に蓄積されたエネルギが開放されて、一次コイル３４に起電力が生じ、フライバック型昇圧トランス３１の二次コイル３５に巻数比に応じた二次電圧が発生する。通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２のオン／オフが繰り返されることにより、二次電圧がパルス的に発生し、パルス波状に変化する二次電圧がプラズマリアクタ２の電極パネル１２（電極２２，２４）間に印加される。
【００６４】
なお、プラズマリアクタ用電源３の構成として、フライバック型昇圧トランス３１を用いた回路を取り上げたが、プラズマリアクタ用電源３の構成は、プラズマリアクタ２の電極パネル１２（電極２２，２４）間に電圧を印加することができればよく、フライバック型昇圧トランス３１を用いた回路には限定されない。
【００６５】
＜プラズマリアクタＥＣＵの機能的な構成＞
図４は、プラズマリアクタＥＣＵ５の機能的な構成を示すブロック図である。
【００６６】
プラズマリアクタＥＣＵ５は、プラズマリアクタ用電源３を制御する機能のための処理部として、目標電圧設定部４１、減算部４２および信号出力部４３を備えている。これらの処理部は、プログラム処理によってソフトウエア的に実現されるか、その一部が論理回路などのハードウェアにより実現される。
【００６７】
目標電圧設定部４１は、プラズマリアクタ２の電極パネル１２間に印加される印加電圧の目標値である目標電圧値を設定する。
【００６８】
プラズマリアクタＥＣＵ５のメモリには、たとえば、エンジンから排出される排ガス（プラズマリアクタ２に流入する排ガス）の単位体積あたりに含まれるＰＭ量と目標電圧値との関係がマップの形態で記憶されている。このＰＭ量と目標電圧値との関係では、たとえば、目標電圧値の最低値が第１放電開始電圧に設定されている。また、ＰＭ量が所定の閾値以下の範囲では、目標電圧値が第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満に設定され、ＰＭ量が閾値を越える範囲では、目標電圧値が第２放電開始電圧以上に設定されている。
【００６９】
排ガスの単位体積あたりに含まれるＰＭ量は、たとえば、Ａ／Ｆセンサにより検出される空燃比（Air / Fuel ratio）から推定することができる。空燃比からＰＭ量を推定する手法は、公知であるから（たとえば、特開２００６−２６７２号公報参照）、その説明を省略する。
【００７０】
目標電圧設定部４１は、プラズマリアクタ２に流入する排ガスの単位体積あたりに含まれるＰＭ量を推定し、メモリに記憶されているＰＭ量と目標電圧値との関係に従って、その推定したＰＭ量に応じた目標電圧値を設定する。
【００７１】
減算部４２は、目標電圧設定部４１により設定される目標電圧値からプラズマリアクタ２の電極パネル１２間に実際に印加されているリアクタ印加電圧を減算する。リアクタ印加電圧は、たとえば、電圧センサにより検出することができる。
【００７２】
信号出力部４３は、減算部４２により演算された減算値が０に近づくようにオン指示信号およびオフ指示信号を生成し、そのオン指示信号およびオフ指示信号をゲートドライブ回路３３に向けて出力する。そして、オン指示信号およびオフ指示信号に従って、ゲートドライブ回路３３から通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２のゲートに電圧が印加され、通電制御用ＭＯＳＦＥＴ３２がオン／オフすることにより、フライバック型昇圧トランス３１の二次コイル３５に目標電圧値に応じた二次電圧が発生し、その二次電圧がプラズマリアクタ２の電極パネル１２間にプラズマ印加電圧として印加される。
【００７３】
＜作用効果＞
以上のように、複数の電極パネル１２が積層方向に間隔を空けて互いに平行をなして配置されており、エンジンから排出される排ガスは、各電極パネル１２間を積層方向と直交する方向に流通する。
【００７４】
複数の電極パネル１２は、積層方向に交互に正極パネル１２＋または負極パネル１２−となる。負極パネル１２−では、電極２２が誘電体平板２１の厚さ方向の中央に配置されている。正極パネル１２＋では、上流側部分２５と下流側部分２６とで異なる電極構造を有しており、上流側部分２５では、電極２４が誘電体平板２３における積層方向の一方面２３Ａおよび他方面２３Ｂ上に配置され、下流側部分２６では、電極２４が誘電体平板２３の厚さ方向の中央に配置されている。
【００７５】
これにより、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間では、正極パネル１２＋の下流側部分２６と負極パネル１２−との間と比較して、電極２２，２４間の距離が短い。そのため、電極２２，２４間に第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満の電圧が印加されると、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間で、誘電体バリア放電が発生する。このとき、正極パネル１２＋の下流側部分２６と負極パネル１２−との間では、誘電体バリア放電が発生しない。電極２２，２４間に第２放電開始電圧以上の電圧が印加されると、正極パネル１２＋の下流側部分２６と負極パネル１２−との間においても、誘電体バリア放電が発生し、正極パネル１２＋と負極パネル１２−との間の全域で、誘電体バリア放電が発生する。
【００７６】
プラズマリアクタ２に流入する排ガスの単位体積あたりに含まれるＰＭ量が閾値以下であるときには、プラズマリアクタ用電源３から電極２２，２４間に第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満の電圧を印加することにより、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間で誘電体バリア放電によるプラズマを発生させて、排ガスからＰＭを除去することができながら、省電力化を図ることができる。
【００７７】
一方、プラズマリアクタ２に流入する排ガスの単位体積あたりに含まれるＰＭ量が閾値を超えるときには、プラズマリアクタ用電源３から電極２２，２４間に第２放電開始電圧以上の電圧を印加することにより、電極パネル１２間の全域となる広い部分で誘電体バリア放電によるプラズマを発生させて、ＰＭの除去性能を上げることができる。
【００７８】
また、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間では、正極パネル１２＋の下流側部分２６と負極パネル１２−との間と比較して、電極２２，２４間に介在する誘電体の厚さが小さい。そのため、電極２２，２４間に第２放電開始電圧以上の電圧が印加された状態では、正極パネル１２＋の下流側部分２６と負極パネル１２−との間と比較して、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間に発生する誘電体バリア放電の強度が大きくなり、ひいてはプラズマの強度が大きくなる。そのため、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間におけるＰＭの除去性能をとくに引き上げることができる。
【００７９】
よって、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間で排ガスからＰＭを良好に除去することができ、正極パネル１２＋の下流側部分２６と負極パネル１２−との間を流通する排ガスに含まれるＰＭ量を低減させることができる。その結果、正極パネル１２＋の上流側部分２５と負極パネル１２−との間はもちろん、正極パネル１２＋の下流側部分２６と負極パネル１２−との間においても、電極パネル１２の表面にＰＭが付着して堆積することを抑制できる。
【００８０】
負極パネル１２−の誘電体平板２１の厚さは、誘電体平板２１に絶縁破壊が生じない距離以上に設定されている。また、正極パネル１２＋の誘電体平板２３の厚さは、たとえば、負極パネル１２−の厚さから電極２２の厚さを引いた厚さ、つまり負極パネル１２−の誘電体平板２１単体の厚さと同一に設定されている。これにより、負極パネル１２−では、誘電体平板２１に絶縁破壊が生じることを抑制でき、正極パネル１２＋では、負極パネル１２−と同等の機械的強度を確保することができる。
【００８１】
また、正極パネル１２＋は、電極２４の表面電極部分２４Ａ，２４Ｂの酸化を防止するために、表面電極部分２４Ａ，２４Ｂの表面をそれぞれ被覆するコート層２７Ａ，２７Ｂを有している。これにより、表面電極部分２４Ａ，２４Ｂが誘電体平板２３から露出していても、表面電極部分２４Ａ，２４Ｂの酸化による劣化を抑制することができる。
【００８２】
＜第２実施形態＞
図５は、第２実施形態に係る電極パネル１２の構造を図解的に示す断面図である。
【００８３】
図５に示される構成では、負極パネル１２−は、流れ方向に２分割されることにより、上流側部分５１Ｕおよび下流側部分５１Ｄを有している。上流側部分５１Ｕと下流側部分５１Ｄとは、同一の構成であり、誘電体平板５２および電極５３を備えている。誘電体平板５２および電極５３は、それぞれ図２に示される誘電体平板２１および電極２２と平面視におけるサイズが異なる以外は同一の構成を有している。
【００８４】
正極パネル１２＋は、流れ方向に２分割されることにより、上流側部分５４Ｕおよび下流側部分５４Ｄを有している。
【００８５】
上流側部分５４Ｕは、誘電体（たとえば、アルミナ）からなる平板状の誘電体平板５５と、導電性材料（たとえば、タングステン）からなる電極５６とを備えている。誘電体平板５５の厚さは、たとえば、負極パネル１２−の厚さから電極５３の厚さを引いた厚さ、つまり誘電体平板５２単体の厚さと同一に設定されている。電極５６は、誘電体平板５５における積層方向の一方面５５Ａおよび他方面５５Ｂ上に配置される表面電極部分５６Ａ，５６Ｂを含む。表面電極部分５６Ａ，５６Ｂの酸化を防止するため、表面電極部分５６Ａ，５６Ｂの表面は、コート層５７で被覆されている。
【００８６】
下流側部分５４Ｄは、誘電体平板５８および電極５９を備えている。誘電体平板５８および電極５９は、それぞれ誘電体平板５２および電極５３と同一の構成を有している。
【００８７】
図５に示される構成においても、負極パネル１２−の上流側部分５１Ｕの電極５３と正極パネル１２＋の上流側部分５４Ｕの表面電極部分５６Ａ，５６Ｂとの間の距離が、負極パネル１２−の下流側部分５１Ｄの電極５３と正極パネル１２＋の下流側部分５４Ｄの電極５９との間の距離よりも短い。そのため、負極パネル１２−の上流側部分５１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分５４Ｕとの間では、電極５３と表面電極部分５６Ａ，５６Ｂとの間に第１放電開始電圧以上の電圧が印加されると誘電体バリア放電が発生するのに対し、負極パネル１２−の下流側部分５１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分５４Ｄとの間では、電極５３，５９との間に第１放電開始電圧よりも高い第２放電開始電圧以上の電圧が印加されないと誘電体バリア放電が発生しない。
【００８８】
よって、図２に示される構成の電極パネル１２に代えて、図５に示される構成の電極パネル１２がプラズマリアクタ２に採用されても、前述の作用効果と同様の作用効果を奏することができる。
【００８９】
＜第３実施形態＞
図６は、第３実施形態に係る電極パネル１２の構造を図解的に示す断面図である。
【００９０】
図６に示される構成では、負極パネル１２−は、流れ方向に２分割されることにより、上流側部分６１Ｕおよび下流側部分６１Ｄを有している。上流側部分６１Ｕと下流側部分６１Ｄとは、同一の構成であり、誘電体平板６２および電極６３を備えている。誘電体平板６２および電極６３は、それぞれ図２に示される誘電体平板２１および電極２２と平面視におけるサイズが異なる以外は同一の構成を有している。
【００９１】
正極パネル１２＋は、流れ方向に２分割されることにより、上流側部分６４Ｕおよび下流側部分６４Ｄを有している。上流側部分６４Ｕと下流側部分６４Ｄとは、同一の構成であり、誘電体平板６５および電極６６を備えている。誘電体平板６５および電極６６は、それぞれ誘電体平板６２および電極６３と同一の構成を有している。
【００９２】
そして、図６に示される構成では、負極パネル１２−の上流側部分６１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分６４Ｕとは、それらの間に積層方向に寸法Ｇ１の空間（ギャップ）を空けて積層されているのに対し、負極パネル１２−の下流側部分６１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分６４Ｄとは、それらの間に積層方向に寸法Ｇ１よりも大きい寸法Ｇ２の空間を空けて積層されている。
【００９３】
この構成においても、負極パネル１２−の上流側部分６１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分６４Ｕとの間では、負極パネル１２−の下流側部分６１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分６４Ｄとの間と比較して、電極６３，６６間の距離が短い。そのため、負極パネル１２−の上流側部分６１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分６４Ｕとの間では、電極６３，６６間に第１放電開始電圧以上の電圧が印加されると誘電体バリア放電が発生するのに対し、負極パネル１２−の下流側部分６１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分６４Ｄとの間では、電極６３，６６間に第１放電開始電圧よりも高い第２放電開始電圧以上の電圧が印加されないと誘電体バリア放電が発生しない。
【００９４】
よって、図２に示される構成の電極パネル１２に代えて、図６に示される構成の電極パネル１２がプラズマリアクタ２に採用されても、前述の作用効果と同様の作用効果を奏することができる。
【００９５】
＜第４実施形態＞
図７は、第４実施形態に係る電極パネル１２の構造を図解的に示す断面図である。
【００９６】
図７に示される構成では、負極パネル１２−は、流れ方向に２分割されることにより、上流側部分７１Ｕおよび下流側部分７１Ｄを有している。上流側部分７１Ｕおよび下流側部分７１Ｄは、それぞれ異なる厚さＴ１，Ｔ２を有し、その厚さＴ１，Ｔ２が異なる以外は同一の構成であり、誘電体平板７２および電極７３を備えている。厚さＴ１は、厚さＴ２よりも小さいが、誘電体平板７２に絶縁破壊が生じない寸法に設定されている。誘電体平板７２は、図２に示される誘電体平板２１と平面視におけるサイズおよび厚さが異なる以外は同一の構成を有している。電極７３は、図２に示される電極２２と平面視におけるサイズが異なる以外は同一の構成を有している。
【００９７】
正極パネル１２＋は、流れ方向に２分割されることにより、上流側部分７４Ｕおよび下流側部分７４Ｄを有している。上流側部分７４Ｕおよび下流側部分７４Ｄは、それぞれ異なる厚さＴ１，Ｔ２を有し、その厚さＴ１，Ｔ２が異なる以外は同一の構成であり、誘電体平板７５および電極７６を備えている。誘電体平板７５は、図２に示される誘電体平板２１と平面視におけるサイズおよび厚さが異なる以外は同一の構成を有している。電極７６は、図２に示される電極２２と平面視におけるサイズが異なる以外は同一の構成を有している。
【００９８】
そして、図７に示される構成では、負極パネル１２−の上流側部分７１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分７４Ｕとの間および負極パネル１２−の下流側部分７１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分７４Ｄの間に、いずれも積層方向に寸法Ｇの空間（ギャップ）が設けられている。
【００９９】
この構成では、負極パネル１２−の上流側部分７１Ｕおよび正極パネル１２＋の上流側部分７４Ｕの厚さＴ１が負極パネル１２−の下流側部分７１Ｄおよび正極パネル１２＋の下流側部分７４Ｄの厚さＴ２よりも小さいので、負極パネル１２−の上流側部分７１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分７４Ｕとの間では、負極パネル１２−の下流側部分７１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分７４Ｄとの間と比較して、電極７３，７６間の距離が厚さＴ１，Ｔ２の差の２倍分（（Ｔ２−Ｔ１）×２）だけ短い。そのため、負極パネル１２−の上流側部分７１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分７４Ｕとの間では、電極７３，７６間に第１放電開始電圧以上の電圧が印加されると誘電体バリア放電が発生するのに対し、負極パネル１２−の下流側部分７１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分７４Ｄとの間では、電極７３間に第１放電開始電圧よりも高い第２放電開始電圧以上の電圧が印加されないと誘電体バリア放電が発生しない。
【０１００】
また、正極パネル１２＋の上流側部分７１Ｕと負極パネル１２−の上流側部分７４Ｕとの間では、負極パネル１２−の下流側部分７１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分７４Ｄとの間と比較して、電極７３，７６間に介在する誘電体の厚さが小さい。
【０１０１】
よって、図２に示される構成の電極パネル１２に代えて、図７に示される構成の電極パネル１２がプラズマリアクタ２に採用されても、前述の作用効果と同様の作用効果を奏することができる。
【０１０２】
＜第５実施形態＞
図８は、第５実施形態に係る電極パネル１２の構造を図解的に示す断面図である。
【０１０３】
図８に示される構成では、負極パネル１２−は、流れ方向に３分割されることにより、上流側部分８１Ｕ、中間部分８１Ｍおよび下流側部分８１Ｄを有している。上流側部分８１Ｕ、中間部分８１Ｍおよび下流側部分８１Ｄは、互いに同一の構成であり、誘電体平板８２および電極８３を備えている。誘電体平板８２および電極８３は、それぞれ図２に示される誘電体平板２１および電極２２と平面視におけるサイズが異なる以外は同一の構成を有している。
【０１０４】
正極パネル１２＋は、流れ方向に３分割されることにより、上流側部分８４Ｕ、中間部分８４Ｍおよび下流側部分８４Ｄを有している。上流側部分８４Ｕ、中間部分８４Ｍおよび下流側部分８４Ｄは、互いに同一の構成であり、誘電体平板８５および電極８６を備えている。誘電体平板８５および電極８６は、それぞれ誘電体平板８２および電極８３と同一の構成を有している。
【０１０５】
そして、図８に示される構成では、負極パネル１２−の上流側部分８１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分８４Ｕとは、それらの間に積層方向に寸法Ｇ３の空間（ギャップ）を空けて積層されている。負極パネル１２−の中間部分８１Ｍと正極パネル１２＋の中間部分８４Ｍとは、それらの間に積層方向に寸法Ｇ３よりも大きい寸法Ｇ４の空間（ギャップ）を空けて積層されている。負極パネル１２−の下流側部分８１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分８４Ｄとは、それらの間に積層方向に寸法Ｇ４よりも大きい寸法Ｇ５の空間を空けて積層されている。
【０１０６】
この構成では、負極パネル１２−の上流側部分８１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分８４Ｕとの間では、負極パネル１２−の中間部分８１Ｍと正極パネル１２＋の中間部分８４Ｍとの間と比較して、電極８３，８６間の距離が短い。また、負極パネル１２−の中間部分８１Ｍと正極パネル１２＋の中間部分８４Ｍとの間では、負極パネル１２−の下流側部分８１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分８４Ｄとの間と比較して、電極８３，８６間の距離が短い。
【０１０７】
そのため、負極パネル１２−の上流側部分８１Ｕと正極パネル１２＋の上流側部分８４Ｕとの間では、電極８３，８６間に第１放電開始電圧以上の電圧が印加されると誘電体バリア放電が発生するのに対し、負極パネル１２−の中間部分８１Ｍと正極パネル１２＋の中間部分８４Ｍとの間では、電極８３，８６間に第１放電開始電圧よりも高い第２放電開始電圧以上の電圧が印加されないと誘電体バリア放電が発生しない。また、負極パネル１２−の下流側部分８１Ｄと正極パネル１２＋の下流側部分８４Ｄとの間では、電極８３，８６間に第２放電開始電圧よりも高い第３放電開始電圧以上の電圧が印加されないと誘電体バリア放電が発生しない。
【０１０８】
よって、図２に示される構成の電極パネル１２に代えて、図８に示される構成の電極パネル１２がプラズマリアクタ２に採用されても、前述の作用効果と同様の作用効果を奏することができるうえ、プラズマリアクタ２に流入する排ガスに含まれるＰＭ量に応じて、正極パネル１２＋と負極パネル１２−との間における誘電体バリア放電（プラズマ）が発生する部分の面積を３段階で変化させることができるので、一層の省電力化を図ることができる。
【０１０９】
なお、電極パネル１２（正極パネル１２＋および負極パネル１２−）が流れ方向に３分割された構成を取り上げたが、電極パネル１２が流れ方向に４分割以上に分割されて、流れ方向の下流側ほど電極パネル１２間に設けられる空間（ギャップ）の積層方向に寸法が小さくされてもよい。
【０１１０】
＜変形例＞
以上、本発明のいくつかの実施形態について説明したが、本発明は、他の形態で実施することもできる。
【０１１１】
たとえば、前述の実施形態では、プラズマリアクタ２に流入する排ガスの単位体積あたりに含まれるＰＭ量が閾値以下であるときに、プラズマリアクタ用電源３から電極２２，２４間に第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満の電圧が印加され、そのＰＭ量が閾値を超えるときに、プラズマリアクタ用電源３から電極２２，２４間に第２放電開始電圧以上の電圧が印加されるとした。しかしながら、プラズマリアクタ用電源３から電極２２，２４間に印加される電圧の制御態様は、これに限らず、プラズマリアクタ２に流入する排ガスの流量が或る閾値以下であるときに、プラズマリアクタ用電源３から電極２２，２４間に第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満の電圧が印加され、排ガスの流量が当該閾値を超えるときに、プラズマリアクタ用電源３から電極２２，２４間に第２放電開始電圧以上の電圧が印加されるという制御態様であってもよいし、それ以外の制御態様であってもよい。ただし、プラズマリアクタ２に流入する排ガスの単位体積あたりに含まれるＰＭ量やプラズマリアクタ２に流入する排ガスの流量など、プラズマリアクタ２に流入する排ガス（エンジンから排出される排ガス）に含まれるＰＭ量と相関関係を有する値が閾値以下であるときに、プラズマリアクタ用電源３から電極２２，２４間に第１放電開始電圧以上かつ第２放電開始電圧未満の電圧が印加され、その相関関係を有する値が当該閾値を超えるときに、プラズマリアクタ用電源３から電極２２，２４間に第２放電開始電圧以上の電圧が印加されることが好ましい。
【０１１２】
また、前述の第１実施形態および第２実施形態において、負極パネル１２−および正極パネル１２＋の構造が前述の構造と逆転されてもよい。
【０１１３】
その他、前述の構成には、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【０１１４】
１：排ガス浄化装置
２：プラズマリアクタ
３：プラズマリアクタ用電源（電源）
６：プラズマリアクタＥＣＵ（制御部）
１２：電極パネル
２１，２３，５２，５５，５８，６２，６５，７２，７５，８２，８５：誘電体平板
２２，２４，５３，５６，５９，６３，６６，７３，７６，８３，８６：電極
２３Ａ：一方面
２３Ｂ：他方面
２４Ａ，２４Ｂ，５６Ａ，５６Ｂ：表面電極部分
２４Ｃ：内蔵電極部分
【図１】
2018035732.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2018035732.tif 000011
【図１０】
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