(57)【要約】      （修正有）【課題】ハースライナーの位置を精度良く検出する監視装置の提供。【解決手段】ハースライナーを撮像する撮像部１１と、撮像部１１が撮像した撮像画像を解析することにより、ハースライナーの位置を検出するハースライナー位置監視部１５と、を備える監視装置１。ハースライナー位置監視部１５は、蒸着供給位置にあるハースライナーを含む撮像画像を用いて、撮像対象となったハースライナーの位置が正常な位置にあるか否かを判定し、正常な位置から外れていると判定した場合には、報知部１３から警告を発する監視装置１。【選択図】図１
2018035403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に蒸着材料を蒸着させることにより当該基板への成膜を行う蒸着装置の監視を行う監視装置であって、
上記蒸着装置が備える、上記蒸着材料を保持するための容器を撮像する撮像部と、
上記撮像部が撮像した撮像画像を解析することにより、上記容器の位置を検出する容器位置検出部と、を備えることを特徴とする監視装置。
【請求項２】
上記撮像部が撮像した撮像画像を解析することにより、上記容器に供給された蒸着材料の湯面位置を検出する湯面位置検出部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の監視装置。
【請求項３】
上記蒸着装置は、上記容器に供給された蒸着材料に対して電子ビームを出射するビーム出射源をさらに備え、
上記撮像部が撮像した撮像画像を解析することにより、上記ビーム出射源から出射された電子ビームの、上記容器における照射位置を検出する照射位置検出部をさらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の監視装置。
【請求項４】
上記容器位置検出部によって、上記容器の位置が正常な位置から外れていると判定された場合には、警告を発する報知制御部をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項５】
上記撮像部は、正常な位置にあるときの上記容器の開口面の中心を通る垂線から所定の角度を有した位置に配置されており、
上記容器位置検出部は、
上記撮像画像の画素値に基づいて、上記撮像画像に含まれる容器の輪郭部分のエッジを検出するエッジ検出部と、
上記エッジ検出部が検出したエッジに基づいて、上記容器の、基準位置に対する傾き量を算出する傾き量算出部と、
上記傾き量算出部が算出した上記傾き量に基づいて、上記容器の位置が正常な位置にあるか否かを判定する位置判定部と、を備えることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項６】
上記エッジ検出部は、上記撮像画像に含まれる上記容器の中心を通る直線と、当該容器の輪郭部分とが交わる２箇所のエッジを検出し、
上記傾き量算出部は、上記２箇所のエッジ間の距離に基づいて、上記傾き量を算出することを特徴とする請求項５に記載の監視装置。
【請求項７】
上記蒸着装置は、上記容器に供給された蒸着材料に対して電子ビームを出射するビーム出射源を備え、上記ビーム出射源は、光子と、上記電子ビームを構成する熱電子とを放出可能であり、
上記撮像部は、上記ビーム出射源から放出される上記光子を照明光として利用して撮像を行うことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の監視装置。
【請求項８】
基板に蒸着材料を蒸着させることにより当該基板への成膜を行う蒸着装置の監視を行う監視方法であって、
上記蒸着装置が備える、上記蒸着材料を保持するための容器を撮像する撮像工程と、
上記撮像工程において撮像した撮像画像を解析することにより、上記容器の位置を検出する容器位置検出工程と、を含むことを特徴とする監視方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置の監視に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、基板に蒸着材料を蒸着させることにより当該基板への成膜を行う蒸着装置を監視する技術が開発されている。その一例が、特許文献１および２に開示されている。
【０００３】
特許文献１には、監視手段により材料容器（ハースライナー）内の蒸着材料の湯面状況を撮像し、撮像データの画像処理により湯面状況の監視を行う技術が開示されている。また、特許文献２には、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラによって蒸着材料に対する電子ビームの照射位置を認識し、当該照射位置に基づいて、電子ビームの位置の制御を行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１９８８５９号公報（２０１４年１０月２３日公開）
【特許文献２】特開２００５−１２６７５９号公報（２００５年５月１９日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１および２には、蒸着材料を保持するための容器の位置の監視についての開示は無い。従来から、当該位置の監視は目視にて行われているが、この場合、監視のための作業者が必要である。また、作業者ごとに監視基準、すなわち上記容器の位置が正常であるか否かの判断基準が異なる可能性がある。
【０００６】
本発明は、前記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、蒸着材料を保持するための容器の位置を精度良く検出することが可能な監視装置等を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る監視装置は、基板に蒸着材料を蒸着させることにより当該基板への成膜を行う蒸着装置の監視を行う監視装置であって、上記蒸着装置が備える、上記蒸着材料を保持するための容器を撮像する撮像部と、上記撮像部が撮像した撮像画像を解析することにより、上記容器の位置を検出する容器位置検出部と、を備える。
【０００８】
さらに、上記の課題を解決するために、本発明一態様に係る監視方法は、基板に蒸着材料を蒸着させることにより当該基板への成膜を行う蒸着装置の監視を行う監視方法であって、上記蒸着装置が備える、上記蒸着材料を保持するための容器を撮像する撮像工程と、上記撮像工程において撮像した撮像画像を解析することにより、上記容器の位置を検出する容器位置検出工程と、を含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様に係る監視装置および監視方法によれば、上記容器の位置を精度良く検出することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る監視装置の具体的な構成の一例を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る監視システムの一例を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る蒸着装置が備えるターレットの構成の一例を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る蒸着装置が備えるハースライナーおよびその周辺の概略的な断面図であり、（ａ）はハースライナーが正常な位置にあるときの断面図であり、（ｂ）はハースライナーが傾いた状態となっているときの断面図である。
【図５】撮像部が撮像した、ハースライナーとその周辺領域とを含む基準画像および撮像画像の一例を示す図である。
【図６】図５の基準画像におけるハースライナーの輪郭部分と、図５の撮像画像におけるハースライナーの輪郭部分とを比較した結果を示す図である。
【図７】図５の「基準画像」、「右上がり」、「左上がり」、「手前上がり」、「奥上がり」のそれぞれの場合における、ハースライナーの中心位置の座標値（ピクセル）と、ハースライナーのＸ軸に対する長軸の角度と、撮像画像の基準画像に対する相関値（％）とを示す図である。
【図８】本発明の一実施形態に係るエッジ検出部が検出する上部エッジおよび下部エッジの一例を示す図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る傾き量算出部が上部エッジおよび下部エッジ間の距離を算出した結果の一例を示す図である。
【図１０】ハースライナーの左右方向の傾き量について説明するための図であり、（ａ）は、「右上がり」の場合のハースライナーの輪郭部分を示す図であり、（ｂ）は、「右奥上がり」の場合のハースライナーの輪郭部分を示す図であり、（ｃ）は、「奥上がり」の場合のハースライナーの輪郭部分を示す図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る傾き量算出部が第１距離に対する第２距離の割合を算出した結果を示す図である。
【図１２】撮像画像においてエッジ検出部が検出するエッジの一例を示す図である。
【図１３】（ａ）〜（ｃ）は、湯面位置の推移を説明するための図である。
【図１４】照射位置を示す撮像画像の一例を示す図である。
【図１５】照射位置の補正が行われる様子の一例を示す図であり、（ａ）は、照射位置が正常な位置からずれている状態を示す図であり、（ｂ）は、照射位置が正常な位置に戻った状態を示す図である。
【図１６】ハースライナーと照射位置との関係を説明するための図であり、（ａ）はハースライナーの位置が正常な位置にある状態を示す図であり、（ｂ）および（ｃ）はハースライナーの位置が正常な位置からずれている状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明の一実施態様について、図１〜図１６を用いて以下に詳細に説明する。
【００１２】
〔監視システムの構成〕
まず、図２〜図４を用いて、本実施形態に係る監視システムの一例について説明する。図２は、本実施形態に係る監視システムの一例を示す図である。図３は、蒸着装置２が備えるターレット２５の構成の一例を示す図である。図４は、ハースライナー２４およびその周辺の概略的な断面図であり、（ａ）はハースライナー２４が正常な位置にあるときの断面図であり、（ｂ）はハースライナー２４が傾いた状態となっているときの断面図である。
【００１３】
なお、蒸着装置が備える、蒸着材料を保持するための容器としては、例えば坩堝が挙げられる。また、坩堝の内壁にハースライナーが設けられている場合には、上記容器としては、例えばハースライナーが挙げられる。本実施形態では、上記容器がハースライナーである場合を例に挙げて説明する。
【００１４】
図２に示すように、本実施形態に係る監視システムは、監視装置１、蒸着装置２および材料供給装置３を備えている。蒸着装置２は、基板１００に蒸着材料ＭＡを蒸着させることにより基板１００への成膜を行う装置である。監視装置１は、この蒸着装置２を監視する装置である。また、材料供給装置３は、蒸着装置２が備えるハースライナー２４に蒸着材料ＭＡを供給する装置である。蒸着材料ＭＡとしては、例えばアルミワイヤー材等が挙げられるが、これに限らず、蒸着装置２が基板１００に成膜を行う種々の材料（例えば金属材料）であってよい。以下では、監視装置１および蒸着装置２の構成をより具体的に説明する。
【００１５】
＜監視装置１＞
監視装置１は、撮像部１１およびカメラシャッタ１２を備える。なお、撮像部１１およびカメラシャッタ１２以外の構成については後述する。
【００１６】
撮像部１１は、電子ビームＥＢが照射される蒸着材料ＭＡを保持するためのハースライナー２４（具体的には、ハースライナー２４、およびその周辺領域）を撮像するものである。撮像部１１としては、ＣＣＤカメラ等が挙げられる。撮像部１１は、正常な位置にあるときのハースライナー２４の開口面の中心を通る垂線（中心線ＣＬ）から所定の角度αを有した位置に配置されている。この位置から撮像することにより、監視装置１は、撮像画像において、ハースライナー２４の様々な方向への傾き量を算出することが可能となる。
【００１７】
カメラシャッタ１２は、撮像部１１がハースライナー２４を撮像するタイミングで、撮像部１１の前方を開放状態とするが、それ以外のときには閉鎖状態とする。この制御により、撮像する以外の時間帯において、飛散した蒸着材料ＭＡが撮像部のレンズ（不図示）に付着することを防止することができる。また、撮像部のレンズ前方には、当該防止の目的でガラス板が接着されていてもよい。
【００１８】
＜蒸着装置２＞
蒸着装置２は、電子ビーム源（ＥＢ（Electron Beam）源）２１、ビーム偏向用磁石２２、ポールピース２３、ハースライナー２４、ターレット２５、ターレット回転部２６、および基板回転部２７を備えている。また、図１に示すように、蒸着装置２は、ビーム出射制御部２８および電源２９を備えている。
【００１９】
電子ビーム源２１は、ビーム出射制御部２８の制御を受けて、ハースライナー２４に供給された（保持された）蒸着材料ＭＡに対して電子ビームＥＢを出射するビーム出射源である。また、電子ビーム源２１は、光子と、電子ビームＥＢを構成する熱電子とを放出可能なフィラメントを含む。フィラメントに電流とともに加速電圧が印加されることにより、電子ビーム源２１は、放出された熱電子を電子ビームＥＢとして、電子ビーム源２１の前方に出射する。
【００２０】
また、フィラメントに電流を印加するが、加速電圧を印加しないようにすることにより、フィラメントは光子のみ放出する。この場合、電子ビーム源２１は、その周囲を照明する照明光源（白熱灯）として機能する。撮像部１１が撮像するタイミングで電子ビーム源２１を照明光源として機能させることにより、撮像のための照明光源を別途設置する必要がない。また、照明光源を別途設置する場合、撮像部１１の近傍に設けられることが多い。この場合、ハレーションが生じてしまい、ハースライナー２４およびターレット２５を鮮明に撮像することができない可能性がある。上記のように、照明光源として電子ビーム源２１を用いることにより、ハレーションの発生を防ぎ、ハースライナー２４およびターレット２５を鮮明に撮像することが可能となる。なお、電子ビーム源２１とは別に照明光源を上記ハレーションが生じないような位置に設置してもよい。
【００２１】
ビーム偏向用磁石２２およびポールピース２３は、電子ビーム源２１から出射された電子ビームＥＢの進路を変更する進路変更部である。具体的には、ビーム偏向用磁石２２およびポールピース２３は、ビーム出射制御部２８の制御を受けて、発生させる磁力を変更することにより、電子ビームＥＢの進路を変更する。これにより、電子ビームＥＢは、電子ビーム源２１から略円弧の軌跡を描いて、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡに照射される。また、その照射位置は、成膜レートが最大となる位置、すなわちハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの湯面（表面）の中心に照射されるように制御される。
【００２２】
ハースライナー２４は、材料供給装置３により供給された蒸着材料ＭＡを保持するためのるつぼである。ハースライナー２４は、ターレット回転部２６の駆動により、その位置が変更される。材料供給装置３の近傍（材料供給位置）において、ハースライナー２４に蒸着材料ＭＡが供給される。また、基板１００と対向する位置（蒸着位置）において、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡは、電子ビーム源２１から出射された電子ビームＥＢを受けて、溶解されるともに蒸発する。そして、蒸発した蒸着材料ＭＡが基板１００に蒸着（付着）することで、基板１００への蒸着材料ＭＡの成膜が行われる。
【００２３】
ターレット２５は、ハースライナー２４が複数設けられた基台である。本実施形態では、図３に示すように、その周囲に６つのハースライナー２４が設けられている。ターレット２５がターレット回転部２６の駆動によって回転軸ＡＸの周りを回転することにより、ハースライナー２４を上記材料供給位置と上記蒸着位置との間で移動させることができる。そのため、蒸着位置にあるハースライナー２４Ａに供給された蒸着材料ＭＡを蒸発させることにより基板１００への成膜を行うとともに、材料供給位置にある別のハースライナー２４Ｂに蒸着材料ＭＡを供給することができる。すなわち、ハースライナー２４への蒸着材料ＭＡの供給と、基板１００への蒸着材料ＭＡの蒸着とを、連続的に行うことができる。
【００２４】
また、図４に示すように、ハースライナー２４は、ターレット２５に対して、断熱材（リフレクター）３０を介して設けられている。断熱材３０は、ハースライナー２４に供給された蒸着材料ＭＡの保温性を高めるものである。断熱材３０により、当該蒸着材料ＭＡを効率良く溶解することができる。また、断熱材３０により、ハースライナー２４をターレット２５に対して位置決めすることができる。
【００２５】
ターレット回転部２６は、ターレット２５の略中心に接続され、ターレット２５を回転軸ＡＸの周りに回転させるものである。また、基板回転部２７は、成膜対象となる基板１００がその略中心に取り付けられることにより、成膜中の基板１００を回転させる。
【００２６】
また、図１に示すビーム出射制御部２８は、電子ビーム源２１、ビーム偏向用磁石２２およびポールピース２３を制御することにより、電子ビームＥＢの出射制御、およびハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡにおける照射位置制御を行う。また、電源２９は、蒸着装置２が備える各部材の電力供給源である。
【００２７】
その他、蒸着装置２は制御部（不図示）を備え、当該制御部によって、ターレット回転部２６および基板回転部２７の駆動が制御される。
【００２８】
〔監視装置１の具体的な構成〕
次に、図１、図４〜図１６を用いて、監視装置１の具体的な構成について説明する。図１は、監視装置１の具体的な構成の一例を示すブロック図である。
【００２９】
図１に示すように、監視装置１は、上述した撮像部１１およびカメラシャッタ１２の他、制御部１０、報知部１３および記憶部１４を備えている。制御部１０は、監視装置１を統括的に制御するものである。制御部１０の具体的構成については後述する。
【００３０】
報知部１３は、上記監視システムを利用する作業者に対して各種報知を行うものである。報知部１３は、例えば、報知制御部１８の制御を受けて、ハースライナー２４の位置、ハースライナー２４における蒸着材料ＭＡの湯面位置、または当該蒸着材料ＭＡにおける電子ビームＥＢの照射位置がそれぞれ正常な位置から外れている場合に、警告を発する。報知部１３は、例えば、各種報知を音にて出力するスピーカー、および／または、各種報知を画像にて出力する表示装置で実現される。
【００３１】
記憶部１４は、例えば、制御部１０が実行する各種の制御プログラム等を記憶するものであり、例えばハードディスク、フラッシュメモリ等の不揮発性の記憶装置によって構成される。記憶部１４には、例えば、（１）監視処理の工程を示す監視プログラム、（２）撮像部１１が撮像した撮像画像を示すデータ、（３）撮像画像との比較対象となる基準画像を示すデータ、（４）撮像設定を示すデータ、（５）制御部１０での判定処理に用いられる各種閾値（所定の範囲を規定する値）が格納されている。なお、基準画像とは、撮像部１１によって予め撮像され登録された、正常な位置にあるハースライナー２４の撮像結果を示す画像である。
【００３２】
＜制御部１０の具体的構成＞
制御部１０は、図１に示すように、ハースライナー位置監視部（容器位置検出部）１５、湯面位置監視部（湯面位置検出部）１６、照射位置監視部（照射位置検出部）１７、報知制御部１８および停止制御部１９を備えている。
【００３３】
（ハースライナー位置監視部１５）
ハースライナー位置監視部１５は、ハースライナー２４の位置の監視を可能とするために、撮像部１１が撮像した撮像画像を解析することにより、当該位置を検出し、当該位置が正常な位置（基準位置）にあるか否かを判定する。すなわち、ハースライナー位置監視部１５は、撮像部１１が撮像した撮像画像を解析することにより、少なくともハースライナー２４の位置を検出する処理を行う画像解析装置として機能する。そして、監視装置１は、この画像解析装置を含むものといえる。
【００３４】
ハースライナー２４の位置が正常な位置にある場合には、図４の（ａ）に示すように、ハースライナー２４の底面の全体が断熱材３０に接しており、ハースライナー２４の開口面がターレット２５の上面に略平行である。換言すれば、この場合、ハースライナー２４の開口面の中心を通る垂線は中心線ＣＬと略一致している。
【００３５】
しかし、例えば、ハースライナー２４に供給された蒸着材料ＭＡは、溶解するとハースライナー２４の壁面を伝って外部へと漏れ出すことがある。この現象を「濡れ上がり」とも称する。この濡れ上がりが生じた場合、外部に漏れ出した蒸着材料ＭＡによって、ハースライナー２４の周囲に設けられた断熱材３０が変形し、これによりハースライナー２４が、図４の（ｂ）に示すように正常な位置から傾いてしまう可能性がある。図４の（ｂ）に示すように、ハースライナー２４が正常な位置から傾いた場合には、開口面の垂線ＰＬが中心線ＣＬに対して所定の角度を有することになる。換言すれば、開口面がターレット２５の上面に対して所定の角度を有することになる。この場合、ターレット２５の上面に設けられた、当該上面への蒸着材料ＭＡの付着を防止する防着板（不図示）と当接してしまい、ターレット２５の回転を妨げる可能性がある。
【００３６】
ハースライナー位置監視部１５は、このような不具合を目視に依存することなく回避するために、ハースライナー２４の位置を検出することで監視する。具体的には、ハースライナー位置監視部１５は、上記蒸着供給位置にあるハースライナー２４を含む撮像画像を用いて、撮像対象となったハースライナー２４の位置が正常な位置にあるか否かを判定し、正常な位置から外れていると判定した場合には、報知部１３から警告を発する。
【００３７】
上記のような機能を実現するため、ハースライナー位置監視部１５は、画像取得部１５１、エッジ検出部１５２、相関値算出部１５３、傾き量算出部１５４およびハースライナー位置判定部（位置判定部）１５５を備えている。
【００３８】
画像取得部１５１は、撮像部１１が撮像した撮像画像を撮像部１１から取得する。
【００３９】
エッジ検出部１５２は、撮像部１１が撮像した撮像画像の画素値に基づいて、当該撮像画像に含まれるハースライナー２４の輪郭部分のエッジを検出する。なお、ハースライナー位置監視部１５は、ハースライナー２４およびターレット２５の輪郭部分を、撮像画像の画素値に基づいて検出する。本実施形態では、説明容易化のために、エッジ検出部１５２が、撮像画像に含まれるハースライナー２４の輪郭部分およびその位置を検出（抽出）するものとして説明する。また、撮像画像は、ハースライナー２４の輪郭をサーチするサーチ領域を含む画像ともいえる。
【００４０】
具体的には、エッジ検出部１５２は、撮像画像において、隣接する画素の画素値を互いに比較することにより、画素値の変化が大きい箇所（すなわち、濃淡（明るさ）の変化が大きい箇所）をエッジとして抽出する。当該エッジとしては、主として、ハースライナー２４の輪郭部分と、その輪郭部分の外周にターレット２５の輪郭部分とが抽出される。エッジ検出部１５２は、撮像画像の中央付近に存在する略楕円形状を構成する２つの線を、ハースライナー２４の内周（内淵）および外周（外淵）を構成する線として特定し、当該外周を構成する線の少なくとも一部のエッジを、ハースライナー２４の輪郭部分のエッジとして抽出する。なお、特に断りが無い限り、後述においてハースライナーの輪郭部分は、ハースライナー２４の外周部分を指すものとする。また、エッジ検出部１５２は、内周側の線の少なくとも一部のエッジを抽出してもよい。
【００４１】
特に、エッジ検出部１５２は、傾き量算出部１５４による、ハースライナー２４の、正常な位置（基準位置）に対する傾き量の算出のために、撮像画像に含まれるハースライナー２４の中心を通る直線と、当該ハースライナーの輪郭部分とが交わる２箇所のエッジを検出する。
【００４２】
具体的には、エッジ検出部１５２は、撮像画像における上下方向の傾き量の算出のために、撮像画像におけるハースライナー２４の輪郭部分のエッジのうち、当該輪郭部分の最上部を含む上部領域のエッジである上部エッジＥＤｂ（図８参照）と、当該輪郭部分の最下部を含む下部領域のエッジである下部エッジＥＤｈ（図８参照）とを特定する。換言すれば、エッジ検出部１５２は、撮像画像における上記直線（図８の直線Ｌ０）上の２箇所のエッジとして、ハースライナー２４の上部エッジＥＤｂおよび下部エッジＥＤｈを検出する。
【００４３】
なお、上部領域は、撮像部１１から見てハースライナー２４の奥側の輪郭部分、下部領域は、撮像部１１から見てハースライナーの手前側の輪郭部分に対応する。つまり、上記上下方向とは、撮像部１１から見て、ハースライナー２４の奥側から手前側、および手前側から奥側の方向を指し、図５では、各画像におけるＹ軸方向を指す。
【００４４】
また、エッジ検出部１５２は、傾き量算出部１５４による、撮像画像における左右方向（撮像部１１から見て左右方向）の傾き量の算出のために、撮像画像において設定された２つの直線のそれぞれにおける、ハースライナー２４の輪郭部分のエッジを検出する。上記左右方向は、図５では、各画像におけるＸ軸方向を指す。
【００４５】
具体的には、エッジ検出部１５２は、撮像画像において、ハースライナー２４の輪郭部分のエッジのうち、ハースライナー２４の中心を通る直線（Ｘ≠０かつＹ≠０、例えば図１０に示す直線Ｌ１）と交わる２箇所のエッジを抽出（特定）する。また、エッジ検出部１５２は、撮像画像において、ハースライナー２４の輪郭部分のエッジのうち、ハースライナー２４の中心を通る直線であって、上記直線とは異なる直線（Ｘ≠０かつＹ≠０、例えば図１０に示す直線Ｌ２）と交わる２箇所のエッジを抽出する。すなわち、エッジ検出部１５２は、撮像画像において、ハースライナー２４の中心を通る直線とハースライナー２４の輪郭部分との交点のエッジを抽出する処理を２回行う。そして、エッジ検出部１５２は、上記抽出したエッジに対応する撮像画像における位置座標（図１０に示すＰ１〜Ｐ４、Ｐ１１〜Ｐ１４、Ｐ２１〜Ｐ２４、Ｐ３１〜Ｐ３４）を特定する。
【００４６】
相関値算出部１５３は、撮像部１１が撮像した撮像画像の画素値に基づいて、記憶部１４に格納された基準画像におけるハースライナー２４の輪郭部分に対する、当該撮像画像におけるハースライナー２４の輪郭部分の相関値を算出する。この相関値の算出には、例えば、パターンマッチングを用いて基準画像と撮像画像との間の相関値（類似度）を算出する正規化相関という統計手法が用いられる。
【００４７】
正規化相関においては、相関値は、次式によって算出される。次式において、Ｉは、撮像画像における各画素の画素値（輝度値）、Ｍは、基準画像における各画素の画素値、ｎは、撮像画像および基準画像における全画素数である。また、バー（−）は平均値を示す。
【００４８】
【数１】
2018035403.tif 000003
【００４９】
上記式において、撮像画像が基準画像に類似していればいるほど、１００（％）に近い値を示す。すなわち、ハースライナー２４が正常な位置にあれば、相関値は１００（％）を示し、その位置からの位置ずれが大きくなればなるほど、相関値は低い値となる。
【００５０】
一般に、撮像画像と基準画像とにおいて、ターレット２５の位置は変わらないため、相関値に影響を与えるのは、主としてハースライナー２４の位置となる。したがって、相関値算出部１５３が算出する相関値は、基準画像におけるハースライナー２４の輪郭部分に対する、当該撮像画像におけるハースライナー２４の輪郭部分の相関値といえる。すなわち、上記相関値は、ハースライナー２４の輪郭部分が、正常な位置からどの程度ずれているかを示す指標として用いることができる。
【００５１】
また、相関値算出部１５３は、基準画像におけるハースライナー２４の輪郭部分に対する、撮像画像においてエッジ検出部１５２が検出したエッジが構成する閉区間（すなわち、ハースライナー位置監視部１５が検出した輪郭部分）の相関値を算出してもよい。また、撮像画像において複数の閉区間が抽出されている場合には、相関値算出部１５３は、相関値が最も高い閉区間を、撮像画像におけるハースライナー２４の輪郭部分であるものと特定し、当該相関値のみ、傾き量算出部１５４に送信する。
【００５２】
傾き量算出部１５４は、エッジ検出部１５２の検出結果、または相関値算出部１５３の算出結果に基づいて、ハースライナー２４の、正常な位置に対する傾き量を算出する。
【００５３】
ここで、図５〜図７を用いて、ハースライナー２４が正常な位置から傾いている場合の例について説明する。なお、図５および図６では、基準画像および撮像画像の左上端を原点とし、上辺をＸ軸、左辺をＹ軸とした座標系が設定されている。
【００５４】
図５は、撮像部１１が撮像した、ハースライナー２４とその周辺領域とを含む基準画像および撮像画像の一例を示す図である。図５において、「基準画像」は、上述のとおり、ハースライナー２４が正常な位置にある場合の画像である。ハースライナー２４が正常な位置にある場合には、撮像画像は基準画像と略同一の画像となる。「奥上がり」は、ハースライナー２４の上側（ｙ＝０に近い側）がターレット２５の上面方向に傾いた場合の画像である。「手前上がり」は、ハースライナー２４の下側（ｙ＝０から＋ｙ方向に離れた側）がターレット２５の上面方向に傾いた場合の画像である。「左上がり」は、ハースライナー２４の左側（ｘ＝０に近い側）がターレット２５の上面方向に傾いた場合の画像である。「右上がり」は、ハースライナー２４の右側（ｘ＝０から＋ｘ方向に離れた側）がターレット２５の上面方向に傾いた場合の画像である。
【００５５】
また、「ＨＬ」は、図５に示す基準画像または撮像画像においてエッジ検出部１５２が検出したハースライナー２４の輪郭部分を示す。
【００５６】
ここで、本実施形態のハースライナー２４の開口面は略円形である。そのため、図５に示すように、図２に示す位置に配置された撮像部１１が撮像した撮像画像に含まれるハースライナー２４の形状は略楕円形となる。なお、開口面の形状は略円形でなくてもよく、例えば略楕円形状であってもよいし、矩形であってもよい。成膜処理を精度良くかつ効率的に行うことが可能な形状であれば、任意の形状をとることが可能である。
【００５７】
図６は、図５の基準画像におけるハースライナー２４の輪郭部分ＨＬｓと、図５の撮像画像におけるハースライナー２４の輪郭部分ＨＬｂ、ＨＬｈ、ＨＬｌ、ＨＬｒとを比較した結果を示す図である。図６の「基準画像」は、図５の「基準画像」における輪郭部分ＨＬｓを示したものである。また、図６の「奥上がり」、「手前上がり」、「左上がり」、「右上がり」の実線はそれぞれ、図５の「奥上がり」、「手前上がり」、「左上がり」、「右上がり」における輪郭部分ＨＬｂ、ＨＬｈ、ＨＬｌ、ＨＬｒを示したものであり、点線は、輪郭部分ＨＬｓを示している。なお、図６の「左上がり」、「右上がり」では、便宜上、傾き量算出部１５４が算出した角度分だけ、輪郭部分ＨＬｓを傾かせて重畳させている。また、輪郭部分ＨＬｓ、ＨＬｂ、ＨＬｈ、ＨＬｌ、ＨＬｒは、エッジ検出部１５２によって検出される輪郭部分である。
【００５８】
図６に示すように、ハースライナー２４が正常な位置から傾いた場合には、基準画像の輪郭部分ＨＬｓとの相違が明らかとなる。そのため、当該相違がある場合には、相関値が１００（％）ではない値をとることが図６からもわかる。
【００５９】
そして、図７は、図５の「基準画像」、「右上がり」、「左上がり」、「手前上がり」、「奥上がり」のそれぞれの場合における、ハースライナー２４の中心位置の座標値（ピクセル）と、ハースライナー２４のＸ軸に対する長軸の角度と、撮像画像の基準画像に対する相関値（％）を示す図である。すなわち、図７は、傾き量算出部１５４の算出結果を示す図である。
【００６０】
なお、図７の例ではハースライナー２４の中心位置が示されているが、基準画像と撮像画像との比較においては、必ずしも当該中心位置が必要となるわけではなく、基準画像および撮像画像の任意の位置である「基準位置」を少なくとも１点抽出すればよい。なお、この基準位置は、基準画像および撮像画像において互いに対応する位置である。また、相関値算出部１５３は、上記基準位置において、撮像画像の、基準画像との相関値を算出してもよい。
【００６１】
図７に示すように、傾き量算出部１５４は、相関値算出部１５３が算出した相関値を上記傾き量として算出する。上述のとおり、相関値が１００（％）から離れた値となるほど、ハースライナー２４が正常な位置からずれた位置にあることが推定できる。すなわち、上述の通り、相関値は、ハースライナー２４の正常な位置からのずれ度合いを示す指標として用いることができる。
【００６２】
また、傾き量算出部１５４は、エッジ検出部１５２が検出した、撮像画像におけるハースライナー２４の輪郭部分の位置に基づいて、所定の位置に対する角度を算出する。例えば、傾き量算出部１５４は、エッジ検出部１５２が特定した各輪郭部分の位置座標から各輪郭部分の中心位置（図７の例ではＸおよびＹの値）を算出する。そして、傾き量算出部１５４は、算出した中心位置を通る直線が各輪郭部分との交点において切り取られた線分の長さをそれぞれ算出し、当該線分の長さのうち最も長い線分を、各輪郭部分の長軸として決定する。そして、傾き量算出部１５４は、各輪郭部分の長軸とＸ軸とのなす角度を算出する。
【００６３】
図７の例では、算出した角度は、「右上がり」および「奥上がり」の場合にプラスの値となり、「左上がり」および「前上がり」の場合にマイナスの値となっている。そのため、算出した角度は、ハースライナー２４の正常な位置からの傾き度合いを示す指標として用いることができる。
【００６４】
また、傾き量算出部１５４は、エッジ検出部１５２が検出したハースライナー２４の輪郭部分のエッジに基づいて上記傾き量を算出する。具体的には、傾き量算出部１５４は、エッジ検出部１５２が検出した２箇所のエッジ間の距離に基づいて、上記傾き量を算出する。
【００６５】
より具体的には、傾き量算出部１５４は、ハースライナー２４の上下方向の傾き度合いを示す指標として、図８に示すように、撮像画像において、エッジ検出部１５２がハースライナー２４の中心を通る直線Ｌ０上で検出した上部エッジＥＤｂと下部エッジＥＤｈとの距離Ｄｂｈ（上部エッジＥＤｂと下部エッジＥＤｈのとの間の差分値（画素数））を上記傾き量として算出する。なお、図８は、エッジ検出部１５２が検出する上部エッジＥＤｂおよび下部エッジＥＤｈの一例を示す図である。
【００６６】
傾き量算出部１５４が上記距離Ｄｂｈを算出した結果の一例を図９に示す。図９に示すように、撮像画像におけるハースライナー２４の傾き方向と上記距離Ｄｂｈとの間には相関関係があることが分かる。特に、ハースライナー２４が上下方向（撮像部１１から見て手前−奥方向）に傾いている場合に、上記距離Ｄｂｈの値は最小値または最大値となり、ハースライナー２４が正常な位置にある場合の距離Ｄｂｈの値（図９の一点鎖線付近の値）から大きく離れた値となる。つまり、上記距離Ｄｂｈを上記傾き量として算出することにより、特にハースライナー２４が上記手前方向または奥方向にどの程度傾いているのかを特定することができる。
【００６７】
また、傾き量算出部１５４は、ハースライナー２４の左右方向の傾き度合いを示す指標として、撮像画像に設定された２つの直線Ｌ１、Ｌ２（図１０参照）のそれぞれにおける、ハースライナー２４の輪郭部分との交点を結んだ各線分の割合を上記傾き量として算出する。図１０は、ハースライナー２４の左右方向の傾き量について説明するための図であり、（ａ）は、「右上がり」の場合の輪郭部分ＨＬｒを示す図であり、（ｂ）は、「右奥上がり」の場合の輪郭部分ＨＬｒｂを示す図であり、（ｃ）は、「奥上がり」の場合の輪郭部分ＨＬｂを示す図である。
【００６８】
図１０の（ａ）〜（ｃ）の例では、撮像画像において、ハースライナー２４の中心を通る直線Ｌ１がハースライナー２４の輪郭部分ＨＬｓ、ＨＬｒ、ＨＬｒｂまたはＨＬｂと交わる２箇所のエッジがエッジ検出部１５２によって検出される。また、撮像画像において、ハースライナー２４の中心を通る直線Ｌ２がハースライナー２４の輪郭部分ＨＬｓ、ＨＬｒ、ＨＬｒｂまたはＨＬｂと交わる２箇所のエッジがエッジ検出部１５２によって検出される。直線Ｌ１、Ｌ２は、図１０の（ａ）〜（ｃ）に示すように、例えば、傾きの大きさが互いに同じで、かつ傾きの正負が互いに異なるように設定される。この場合、ハースライナー２４の左右方向の傾きを精度良く検出することができる。但し、ハースライナー２４の左右方向の傾きを検出することができるのであれば、直線Ｌ１、Ｌ２の傾きの大きさおよび正負の関係は上記に限られない。
【００６９】
傾き量算出部１５４は、２つの直線Ｌ１、Ｌ２のうちの一方の直線Ｌ１において検出された２つのエッジ間の第１距離を算出する。また、他方の直線Ｌ２において検出された２つのエッジ間の第２距離を算出する。そして、傾き量算出部１５４は、第１距離に対する第２距離の割合を、上記傾き値として算出する。
【００７０】
傾き量算出部１５４は、基準画像の輪郭部分ＨＬｓの場合には、図１０の（ａ）〜（ｃ）に示すように、直線Ｌ１と交差する輪郭部分ＨＬｓの２箇所のエッジに対応する位置座標Ｐ１およびＰ２の間の第１距離を算出する。また、傾き量算出部１５４は、直線Ｌ２と交差する輪郭部分ＨＬｓの２つのエッジに対応する位置座標Ｐ３およびＰ４の間の第２距離を算出する。そして、傾き量算出部１５４は、第１距離に対する第２距離の割合を上記傾き量として算出する。輪郭部分ＨＬｓの場合、第１距離および第２距離は略同一であるため、その値は１に近い値となる。
【００７１】
同様に、傾き量算出部１５４は、「右上がり」の輪郭部分ＨＬｒの場合には、図１０の（ａ）に示すように、第１距離として位置座標Ｐ１１およびＰ１２の間の距離を算出し、第２距離として、位置座標Ｐ１３およびＰ１４の間の距離を算出する。また、「右奥上がり」の輪郭部分ＨＬｒｂの場合、図１０の（ｂ）に示すように、第１距離として位置座標Ｐ２１およびＰ２２の間の距離を算出し、第２距離として、位置座標Ｐ２３およびＰ２４の間の距離を算出する。また、「奥上がり」の輪郭部分ＨＬｂの場合、図１０の（ｃ）に示すように、第１距離として位置座標Ｐ３１およびＰ３２の間の距離を算出し、第２距離として、位置座標Ｐ３３およびＰ３４の間の距離を算出する。
【００７２】
ここで、「右上がり」の場合、図１０の（ａ）に示すように、「基準画像」の場合に比べ、第１距離（Ｐ１１−Ｐ１２間の距離）が短くなり、第２距離（Ｐ１３−Ｐ１４間の距離）が長くなる。また、「右奥上がり」の場合、図１０の（ｂ）に示すように、「基準画像」の場合に比べ、第２距離（Ｐ２３−Ｐ２４間の距離）が長くなるが、第１距離（Ｐ２１−Ｐ２２間の距離）は、基準画像の場合の第１距離（Ｐ１−Ｐ２間の距離）と略同一である。また、「奥上がり」の場合、図１０の（ｃ）に示すように、「基準画像」の場合に比べ、第１距離（Ｐ３１−Ｐ３２間の距離）および第２距離（Ｐ３３−Ｐ３４間の距離）ともに長くなる。
【００７３】
そのため、上記割合の大きさは、「右上がり」＞「右奥上がり」＞「奥上がり」という関係になる。すなわち、上記割合とハースライナー２４の傾きの方向との間には相関関係があることが分かる。
【００７４】
傾き量算出部１５４が上記割合を算出した結果を図１１に示す。図１１に示すように、特に、ハースライナー２４が左右方向（撮像部１１から見て左右方向）に傾いている場合に、上記割合は最小値または最大値となり、ハースライナー２４が正常な位置にある場合の上記割合（図１１の一点鎖線付近の値）から大きく離れた値となる。つまり、上記割合を上記傾き量として算出することにより、特にハースライナー２４が上記左右方向にどの程度傾いているのかを特定することができる。
【００７５】
ハースライナー位置判定部１５５は、傾き量算出部１５４の算出結果に基づいて、ハースライナー２４の位置が正常な位置にあるか否かを判定する。
【００７６】
ハースライナー位置判定部１５５は、傾き量算出部１５４によって算出された上記傾き量としての上記角度が所定の範囲内であるか、および相関値が所定の閾値以上であるかどうかによって、ハースライナー２４の位置が正常な位置にあるか否かを判定する。つまり、ハースライナー位置判定部１５５は、上記角度が所定の範囲外となった場合、および相関値が所定の閾値未満となった場合に、ハースライナー２４に、蒸着装置２における基板１００への蒸着処理において支障をきたす程度の位置ずれが生じたものと判定する。そして、この場合には、報知制御部１８および／または停止制御部１９に当該判定結果を通知する。
【００７７】
また、ハースライナー位置判定部１５５は、傾き量算出部１５４によって算出された上記傾き量としての上記距離Ｄｂｈが所定の範囲内（図９に示す閾値ＴＨ１および閾値ＴＨ２の間の値）であるか否かを判定する。そして、ハースライナー位置判定部１５５は、上記距離Ｄｂｈが所定の範囲外となった場合に、ハースライナー２４に、上記手前−奥方向において蒸着処理に支障をきたす程度の位置ずれ（傾き）が生じたものと判定し、報知制御部１８および／または停止制御部１９に当該判定結果を通知する。
【００７８】
また、ハースライナー位置判定部１５５は、傾き量算出部１５４によって算出された上記傾き量としての上記割合が所定の範囲内（図１１に示す閾値ＴＨ３および閾値ＴＨ４の間の値）であるか否かを判定する。そして、ハースライナー位置判定部１５５は、上記割合が所定の範囲外となった場合に、ハースライナー２４に、上記左右方向において蒸着処理に支障をきたす程度の位置ずれ（傾き）が生じたものと判定し、報知制御部１８および／または停止制御部１９に当該判定結果を通知する。
【００７９】
ここで、傾き量算出部１５４によって算出される上記傾き量としての上記相関値を用いれば、ハースライナー２４が正常な位置からどの程度ずれているかを判定することが可能である。また、傾き量算出部１５４によって算出される上記傾き量としての上記角度を用いれば、ハースライナー２４に傾きが生じているかどうかを判定することが可能である。しかしながら、上記相関値および角度では、ハースライナー２４にどの程度の傾きが生じており、かつ、どの方向（例えば、撮像部１１から見て手前−奥方向、または左右方向）に傾いているかまで判定することは困難である。
【００８０】
上記のように、傾き量算出部１５４によって上記距離Ｄｂｈおよび上記割合を算出することにより、撮像部１１から見て手前−奥方向、および左右方向へのハースライナー２４の傾き量を精度良く算出することができる。このため、ハースライナー２４の位置ずれの判定を精度良く行うことが可能となる。
【００８１】
なお、ハースライナー２４の傾き量として、上記距離Ｄｂｈおよび上記割合のみが算出されてもよく、上記相関値および角度が算出されることは必ずしも必要ない。また、上記相関値および角度を用いてハースライナー２４の大雑把な位置ずれ判定を行い、その判定結果に基づいて、上記距離Ｄｂｈおよび上記割合を用いてハースライナー２４の詳細な位置ずれ判定を行ってもよい。この場合、例えば、上記相関値および角度を用いた位置ずれ判定において位置ずれが生じていないと判定された場合に、上記距離Ｄｂｈおよび上記割合を用いたハースライナー２４の詳細な位置ずれ判定が行われてもよい。
【００８２】
その他、ハースライナー位置監視部１５は、撮像部１１の撮像タイミングおよび撮像設定の制御、並びに、カメラシャッタ１２の開閉タイミングの制御を行う。後述の湯面位置監視部１６および照射位置監視部１７においても同様の制御が行われる。また、ハースライナー位置監視部１５は、撮像部１１が撮像を行うときに、蒸着装置２の電子ビーム源２１が光子のみを放出するよう、蒸着装置２のビーム出射制御部２８に指示を与える。撮像部１１は、ビーム出射制御部２８の制御を受けて、電子ビーム源２１から放出される光子を照明光として利用して撮像を行う。なお、湯面位置および照射位置の検出において、照明光源として電子ビーム源２１を用いる場合には、湯面位置監視部１６および照射位置監視部１７が当該制御を行ってもよい。
【００８３】
また、ハースライナー位置監視部１５は、上述のように、撮像画像を解析することにより、ハースライナー２４およびターレット２５の輪郭部分を検出する。これにより、ハースライナー位置監視部１５は、ターレット２５に対するハースライナー２４の相対位置を検出し、監視することができる。そのため、ターレット２５に対してハースライナー２４が、蒸着処理に支障をきたす程度に位置ずれを起こしていないかどうかを判定することができる。つまり、ハースライナー位置監視部１５は、上述した処理の前提として、大雑把な位置ずれの判定を行うことも可能である。
【００８４】
また、ハースライナー位置監視部１５は、例えば、基準画像におけるハースライナー２４の基準位置の座標（例：中心座標）と、撮像画像における、当該座標に対応する位置の座標（例：中心座標）との距離を算出し、当該距離が所定の範囲内にあるか否かを判定してもよい。この場合、ハースライナー位置監視部１５は、当該距離が所定の範囲外となったときに、ハースライナー２４に位置ずれが生じていることを検出し、警告を発生させる。これにより、ハースライナー位置監視部１５は、ハースライナー２４が、ターレット２５の上面に対して略平行にずれた場合に、どの程度の位置ずれを生じているか否かを特定することができる。また、算出した距離の方向を特定することにより、どの方向に位置ずれが生じているのかも特定することが可能となる。
【００８５】
（湯面位置監視部１６）
湯面位置監視部１６は、ハースライナー２４に供給された蒸着材料ＭＡの湯面位置の監視を可能とするために、撮像部１１が撮像した撮像画像を解析することにより、当該湯面位置を検出し、当該湯面位置が正常な位置（基準位置）にあるか否かを判定する。すなわち、湯面位置監視部１６は、撮像部１１が撮像した撮像画像を解析することにより、少なくとも上記湯面位置を検出する処理を行う画像解析装置として機能する。そして、監視装置１は、この画像解析装置を含むものといえる。
【００８６】
蒸着材料ＭＡを溶解することにより基板１００への成膜を行う場合、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの量を適切に管理しないと、ハースライナー２４から蒸着材料が溢れ出る、または空焚きしてしまうという不具合が生じる可能性がある。湯面位置監視部１６は、このような不具合を目視に依存することなく回避するために、上記湯面位置を監視する。
【００８７】
具体的には、湯面位置監視部１６は、上記蒸着供給位置にあるハースライナー２４を含む撮像画像を用いて、撮像対象となったハースライナー２４が保持する蒸着材料ＭＡの湯面位置が正常な位置にあるか否かを判定し、正常な位置から外れていると判定した場合には、報知部１３から警告を発する。
【００８８】
また、湯面位置監視部１６は、上記のように判定した場合には、上記湯面位置が正常な位置となる蒸着材料ＭＡの供給量を算出する。そして、湯面位置監視部１６は、材料供給装置３に、当該供給量分の蒸着材料ＭＡを、撮像対象となったハースライナー２４へと供給させる。
【００８９】
上記のような機能を実現するため、湯面位置監視部１６は、画像取得部１６１、エッジ検出部１６２、湯面位置判定部１６３および供給量決定部１６４を備えている。
【００９０】
画像取得部１６１は、撮像部１１が撮像した撮像画像を撮像部１１から取得する。
【００９１】
エッジ検出部１６２は、エッジ検出部１５２と同様、撮像画像の画素値に基づいて、当該撮像画像に含まれるハースライナー２４の輪郭部分のエッジと、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの湯面部分のエッジとを検出する。エッジ検出部１６２は、撮像画像において特定されたハースライナー２４内に存在する線の少なくとも一部を、湯面部分のエッジとして特定する。図１２の例では、エッジ検出部１６２は、上記輪郭部分のエッジとしてのエッジＥＤｂと、上記湯面部分のエッジとしてのエッジＥＤｆとを検出する。上記輪郭部分のエッジと上記湯面部分のエッジとは互いに対向した位置で検出されることが好ましい。なお、図１２は、撮像画像においてエッジ検出部１６２が検出するエッジの一例を示す図である。
【００９２】
湯面位置判定部１６３は、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの湯面位置が所定の範囲内に存在するか否かを判定する。具体的には、湯面位置判定部１６３は、エッジ検出部１６２が検出したエッジＥＤｂおよびＥＤｆの間の距離Ｄｓを算出する。そして、湯面位置判定部１６３は、算出した距離Ｄｓが予め設定された所定の範囲内であるか否かを判定する。
【００９３】
ここで、上記湯面位置の推移について、図１３を用いて説明する。図１３は、上記湯面位置の推移を説明するための図である。
【００９４】
図１３の（ａ）は、上記湯面位置が正常な位置にある場合を示す。当該正常な位置とは、蒸着装置２における基板１００への蒸着処理において支障がない程度に、ハースライナー２４に蒸着材料ＭＡが供給されているときの、蒸着材料ＭＡの湯面位置である。図１３の（ａ）では、例えば基板１００への成膜前の状態を示しており、この場合に湯面位置判定部１６３が算出した距離Ｄｓ１は所定の範囲内となる。
【００９５】
図１３の（ｂ）は、上記湯面位置が正常な位置にない場合を示す。図１３の（ｂ）では、基板１００への成膜が完了し、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡが少なくなり、これ以上の蒸着処理を行えない状態を示している。この場合に湯面位置判定部１６３が算出した距離Ｄｓ２は距離Ｄｓ１よりも長くなり、所定の範囲外（蒸着処理に支障をきたす状態、例えば蒸着材料ＭＡが漏れ出る可能性、または空焚きしてしまう可能性が高い状態）となる。
【００９６】
図１３の（ｃ）は、図１３の（ｂ）の状態から、上記湯面位置が正常な位置に戻った場合を示す。図１３の（ｃ）では、材料供給装置３によってハースライナー２４に蒸着材料ＭＡが供給され、蒸着処理を再び行うことが可能となった状態を示している。この場合に湯面位置判定部１６３が算出した距離Ｄｓ３は、距離Ｄｓ２よりも短く、距離Ｄｓ１と同様、所定の範囲内となる。すなわち、図１３の（ａ）および（ｃ）に示す上記湯面位置は、ともに蒸着処理が行うことが可能な範囲内にある。
【００９７】
なお、図示しないが、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの量が多くなればなるほど、湯面位置判定部１６３が算出する距離Ｄｓは短くなる。したがって、上記湯面位置が、図１３の（ａ）に示す基準位置よりもはるかに高い位置（例えば、ハースライナー２４の開口面付近）となった場合には、蒸着材料ＭＡがハースライナー２４から漏れ出る可能性があるため、蒸着処理に支障をきたすこととなる。そのため、当該位置となる場合の距離Ｄｓについては所定の範囲外となるよう、所定の範囲が設定される。
【００９８】
このように、上記距離Ｄｓは、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの量と相関がある。そのため、湯面位置判定部１６３が上記距離Ｄｓを算出し、当該距離Ｄｓが所定の範囲内にあるか否かを判定することにより、上記湯面位置が正常な位置にあるか否かを判定することができる。すなわち、湯面位置判定部１６３により、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの湯面変化量を測定することが可能となる。
【００９９】
そして、湯面位置判定部１６３が、上記距離Ｄｓが所定の範囲外となった場合には、蒸着処理において支障をきたす程度に、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの量が多くなっている、または少なくなっていると判定する。この場合には、報知制御部１８および／または停止制御部１９に当該判定結果を通知する。また、供給量決定部１６４にも当該判定結果を通知する。
【０１００】
供給量決定部１６４は、湯面位置判定部１６３によって上記距離Ｄｓが所定の範囲外であると判定された場合に、当該距離Ｄｓ（すなわち湯面位置）に基づいて、撮像対象となったハースライナー２４に材料供給装置３が供給する蒸着材料ＭＡの供給量を決定する。
【０１０１】
具体的には、距離Ｄｓと供給量とは予め対応付けて記憶部１４に格納されているので、供給量決定部１６４は、記憶部１４を参照することにより、距離Ｄｓに対応する供給量を読み出し、材料供給装置３がハースライナー２４に供給する供給量として決定する。そして、供給量決定部１６４は、決定した供給量を示すデータを材料供給装置３に送信する。これにより、作業者によらず、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡを、蒸着処理を行うことが可能な量に適切に管理することが可能となる。
【０１０２】
（照射位置監視部１７）
照射位置監視部１７は、電子ビーム源２１から出射された電子ビームＥＢの、ハースライナー２４における照射位置の監視を可能とするために、撮像部１１が撮像した撮像画像を解析することにより、当該照射位置を検出し、当該照射位置が正常な位置（基準位置）にあるか否かを判定する。すなわち、照射位置監視部１７は、撮像部１１が撮像した撮像画像を解析することにより、少なくとも上記照射位置を検出する処理を行う画像解析装置として機能する。そして、監視装置１は、この画像解析装置を含むものといえる。
【０１０３】
上記照射位置が正常な位置（ハースライナー２４の位置が正常な位置である場合にはハースライナー２４の中心位置）にある場合、蒸発した蒸着材料ＭＡの拡がり方が一定となるため、基板１００に成膜される膜の厚さを一定にすることができる。また、成膜レートを最大化することができる。しかしながら、ビーム偏向用磁石２２またはポールピース２３が電子ビームＥＢにより加熱され、発生する磁力の強さが変わることがある。また、ハースライナー２４に位置ずれが生じることがある。このような要因により、上記照射位置が正常な位置からずれると、膜厚分布が不均一となり、成膜レートが低下する可能性がある。また、電子ビームＥＢがハースライナー２４に直接照射されることにより、ハースライナー２４が損傷してしまう可能性もある。照射位置監視部１７は、このような不具合を目視に依存することなく回避するために、上記照射位置を監視する。なお、一般に、上記正常な位置は、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの湯面の重心となる。
【０１０４】
具体的には、照射位置監視部１７は、上記蒸着供給位置にあるハースライナー２４を含む撮像画像を用いて、撮像対象となったハースライナー２４に供給された蒸着材料ＭＡの湯面における、電子ビームＥＢの照射位置が正常な位置にあるか否かを判定する。そして、照射位置監視部１７は、上記照射位置が正常な位置から外れていると判定した場合には、報知部１３から警告を発する。
【０１０５】
また、照射位置監視部１７は、上記のように判定した場合には、上記照射位置を正常な位置まで移動させるための移動量（補正量）を算出する。そして、照射位置監視部１７は、蒸着装置２に、当該補正量分だけ電子ビームの照射位置が変更させる。
【０１０６】
上記のような機能を実現するため、照射位置監視部１７は、画像取得部１７１、照射位置特定部１７２、重心位置判定部１７３および補正量決定部１７４を備えている。
【０１０７】
画像取得部１７１は、撮像部１１が撮像した撮像画像を撮像部１１から取得する。
【０１０８】
照射位置特定部１７２は、撮像部１１が撮像した撮像画像の画素値に基づいて、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡに対する電子ビームＥＢの照射位置を特定する。具体的には、照射位置特定部１７２は、撮像画像において、所定の画素値以上の画素値を有し、かつ所定の面積以上の面積を有する範囲を、上記照射位置として抽出する。なお、所定の画素値および面積は、例えば、予め撮像した撮像画像を解析することにより設定されている。
【０１０９】
重心位置判定部１７３は、照射位置特定部１７２が特定した照射位置（照射領域）の重心位置を特定し、その重心位置が所定の範囲内にあるか否かを判定する。換言すれば、重心位置判定部１７３は、電子ビームＥＢの照射位置が正常な位置にあるか否かを判定するものである。
【０１１０】
具体的には、重心位置判定部１７３は、上記照射位置の周囲における任意の位置座標を複数特定し、当該複数の位置座標を用いて、当該照射位置の重心位置を算出する。そして、算出した重心位置が所定の範囲内にあるか否かを判定する。この所定の範囲は、膜厚が不均一または成膜レートが低下しない程度の範囲であり、例えば、湯面の重心およびその近傍を含む範囲に設定される。この範囲は、予め撮像した基準画像において特定された湯面の重心を用いて設定されていてもよいし、撮像画像において特定された湯面においてその重心を算出し、その算出した重心を用いて設定されてもよい。
【０１１１】
なお、本実施形態では、照射位置内の重心位置を用いて上記判定を行っているが、これに限られない。すなわち、照射位置が湯面の重心またはその近傍にあるか否かが判定できればよく、照射位置内の任意の点を上記判定に用いてもよい。
【０１１２】
図１４は、上記照射位置を示す撮像画像の一例を示す図である。図１４の例では、照射位置特定部１７２は撮像画像において照射位置ＩＡを特定し、重心位置判定部１７３は照射位置ＩＡ内の重心位置ＣＰを特定する。
【０１１３】
補正量決定部１７４は、重心位置判定部１７３が特定した照射位置内の重心位置が所定の範囲外にあると判定した場合に、当該重心位置が正常な位置となるように、ビーム偏向用磁石２２およびポールピース２３において発生させる磁力の値を、上記照射位置の補正量として決定する。具体的には、撮像画像内の位置座標と、当該位置座標から湯面の重心へと照射位置を変更するために必要となる磁力の値とが予め対応付けて記憶部１４に格納されているので、補正量決定部１７４は、記憶部１４を参照することにより、上記重心位置が示す位置座標と対応する上記磁力の値を読み出し、上記補正量として決定する。そして、補正量決定部１７４は、決定した補正量を示すデータを蒸着装置２のビーム出射制御部２８に送信する。ビーム出射制御部２８は、当該データが示す補正量（磁力の値）に従って、ビーム偏向用磁石２２およびポールピース２３において発生させる磁力を変更する。これにより、作業者によらず、上記照射位置の正常な位置への補正を行うことが可能となる。
【０１１４】
図１５は、上記照射位置の補正が行われる様子の一例を示す図であり、（ａ）は、照射位置が正常な位置からずれている状態を示す図であり、（ｂ）は、照射位置が正常な位置に戻った状態を示す図である。図１５の（ａ）に示す撮像画像について、照射位置特定部１７２による照射位置ＩＡの特定が行われ、重心位置判定部１７３によって照射位置ＩＡ内の重心位置ＣＰが所定の範囲外にある（すなわち、正常な位置（湯面の重心）から所定量ずれている）と判定される。補正量決定部１７４は、この判定結果を受けて、当該重心位置ＣＰに基づいて補正量を決定し、ビーム出射制御部２８は、当該補正量に従ってビーム偏向用磁石２２およびポールピース２３において発生させる磁力を変更する。その結果、図１５の（ｂ）では、補正後の照射位置ＩＡは、その重心位置ＣＰが湯面の略重心となる位置、すなわち正常な位置へと変更されている。
【０１１５】
（ハースライナーと照射位置との関係）
次に、図１６を用いて、ハースライナー２４と上記照射位置との関係について説明する。図１６は、ハースライナー２４と上記照射位置との関係を説明するための図であり、（ａ）はハースライナー２４の位置が正常な位置にある状態を示す図であり、（ｂ）および（ｃ）はハースライナー２４の位置が正常な位置からずれている状態を示す図である。
【０１１６】
図１６の（ａ）の場合、ハースライナー２４の位置が正常な位置にあるので、上記照射位置内の重心位置ＣＰが中心線ＣＬと湯面との交点位置にあるとき、当該重心位置ＣＰは当該湯面の重心にあることになる。すなわち、この場合、上記照射位置が正常な位置にあることになる。
【０１１７】
一方、図１６の（ｂ）に示すように、ハースライナー２４がターレット２５の上面に対して略平行（すなわち、ハースライナー２４の開口面と略垂直）な方向にずれている場合、上記照射位置の正常な位置（湯面の重心）も、そのずれた方向にずれた分だけ移動することになる。したがって、上記照射位置内の重心位置ＣＰが、図１６の（ｂ）に示す位置、すなわち中心線ＣＬからずれた位置にあるとき、上記照射位置が正常な位置にあることになる。
【０１１８】
また、図１６の（ｃ）に示すように、ハースライナー２４がターレット２５の上面（または中心線ＣＬ）に対して傾いている場合も、図１６の（ｂ）の場合と同様、上記照射位置の正常な位置は、その傾きに応じて中心線ＣＬからずれた位置となる。したがって、上記照射位置の重心位置ＣＰが、図１６の（ｃ）に示す位置、すなわち中心線ＣＬからずれた位置にあるとき、上記照射位置が正常な位置にあることになる。
【０１１９】
上述した補正量決定部１７４は、湯面の重心を基準として上記補正量を決定するため、ハースライナー２４に位置ずれ（傾き）が生じている場合であっても、当該位置ずれを考慮した上記照射位置の補正を行うことができる。なお、補正量決定部１７４は、傾き量算出部１５４が算出した傾き量に基づいて湯面の重心を特定することにより、上記照射位置の正常な位置を特定してもよい。また、ハースライナー位置監視部１５が、ターレット２５の上面に対して略平行な方向の位置ずれを検出している場合には、補正量決定部１７４は、ハースライナー位置監視部１５が算出した位置ずれ量に基づいて湯面の重心を特定することにより、上記照射位置の正常な位置を特定してもよい。この場合、傾き量または位置ずれ量と湯面の重心とは対応付けて記憶部１４に格納されている。
【０１２０】
このように、補正量決定部１７４は、ハースライナー位置監視部１５が検出したハースライナー２４の傾き量（位置ずれ量）に応じて、上記照射位置の補正を行うものといえる。
【０１２１】
（制御部１０のその他の構成）
報知制御部１８は、ハースライナー位置監視部１５、湯面位置監視部１６または照射位置監視部１７によって異常が発生していると判定された場合に、報知部１３を介して警告を発する。具体的には、報知制御部１８は、（１）ハースライナー位置監視部１５によって、撮像対象となったハースライナー２４の位置が正常な位置から外れていると判定された場合、（２）湯面位置監視部１６によって、撮像対象となったハースライナー２４に供給された蒸着材料ＭＡの湯面位置が正常な位置から外れていると判定された場合、（３）照射位置監視部１７によって、撮像対象となったハースライナー２４における電子ビームＥＢの照射位置が正常な位置から外れていると判定された場合に、報知部１３を介して警告を発する。
【０１２２】
なお、報知制御部１８は、上記（１）の場合には、ハースライナー２４について、撮像部１１から見てどの方向にどの程度の傾きが生じているかを報知させることも可能である。その他、例えば上記（２）の場合には、湯面位置、または湯面位置から換算されるハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの量を報知させることも可能である。
【０１２３】
停止制御部１９は、ハースライナー位置監視部１５、湯面位置監視部１６または照射位置監視部１７によって異常が発生していると判定された場合に、電源２９による蒸着装置２の各部への電力供給を停止させる。具体的には、停止制御部１９は、上記（１）〜（３）の場合に、上記電力供給の停止を示す指示を電源２９に与える。
【０１２４】
なお、上記（１）〜（３）の場合に、報知制御部１８および停止制御部１９の両方の機能（警告報知および蒸着装置２の電源供給停止）が実行される必要は必ずしもない。例えば、上記（１）〜（３）の場合において正常な位置からのずれ量がある程度の範囲内である場合には、蒸着処理に支障をきたす可能性があり、継続的な蒸着処理の実行は回避した方が良い状態（メンテナンスが必要な状態、所謂「軽故障」）であると判定され、報知制御部１８のみが機能してもよい。一方、上記ずれ量がある程度の範囲をも超えた場合には、蒸着処理に支障をきたすばかりでなく、安全性を担保できなくなる状態（所謂「重故障」）であると判定され、少なくとも停止制御部１９が機能してもよい。
【０１２５】
また、制御部１０は、報知部１３を介して各種データの提示を行ってもよい。例えば、傾き量算出部１５４が算出した各種値を、報知部１３を介して出力してもよい。
【０１２６】
〔監視システムの処理フロー〕
次に、監視システムの処理フロー（監視方法）の一例について説明する。
【０１２７】
まず、蒸着装置２は、基板１００への蒸着材料ＭＡの蒸着前に、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの溶かし込みを行う（処理ステップ（以降Ｓと称する）１）。具体的には、ビーム出射制御部２８は、溶かし込みに必要な電流を電子ビーム源２１に印加してハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡを溶解する。
【０１２８】
次に、蒸着装置２は、基板１００への成膜（本蒸着）を行う（Ｓ２）。具体的には、ビーム出射制御部２８は、成膜に必要な電流を電子ビーム源２１に印加することにより、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡを蒸発させることにより成膜を行う。
【０１２９】
次に、監視装置１は、蒸着装置２による成膜処理が完了すると、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの湯面管理を行う（Ｓ３）。具体的には、湯面位置監視部１６による処理が行われる。
【０１３０】
Ｓ３では、まず、湯面位置監視部１６は、カメラシャッタ１２を開状態とし、撮像部１１にハースライナー２４の撮像を行わせる。また、撮像後には、カメラシャッタ１２を閉状態とする。湯面位置監視部１６の画像取得部１６１が、撮像部１１から撮像画像を取得すると、湯面位置監視部１６は、当該取得した撮像画像を解析することにより、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの湯面位置を検出する。具体的には、エッジ検出部１６２は、当該取得した撮像画像を解析することにより、ハースライナー２４の輪郭部分のエッジと、当該エッジに対向する湯面部分のエッジとを検出する。そして、湯面位置判定部１６３は、湯面位置が正常な位置にあるか否かを判定し、正常な位置にない場合には、報知制御部１８が警告を発する。場合によっては、停止制御部１９が蒸着装置２を停止させる。また、この場合には、供給量決定部１６４は、湯面位置に応じた、ハースライナー２４への蒸着材料ＭＡの供給量を決定し、材料供給装置３に供給量を示すデータを送信する。
【０１３１】
また、監視装置１では、画像取得部１６１が画像を取得した後、湯面位置監視部１６は、その旨をハースライナー位置監視部１５に通知する。ハースライナー位置監視部１５は、ビーム出射制御部２８に対し、電子ビーム源２１のフィラメントから光子のみを放出させるよう指示を行う。ビーム出射制御部２８は、当該指示を受けると、当該光子のみを放出させるために、加速電圧を印加することなく、かつ溶かし込みおよび蒸着時とは異なる電流を電子ビーム源２１に印加する（Ｓ４）。これにより、撮像部１１は、電子ビーム源２１から放出される光子を照明光として利用して撮像を行う。すなわち、電子ビーム源２１が照明光源として機能することになる。また、ハースライナー位置監視部１５は、撮像部１１の設定を、湯面位置検出のための撮像設定（湯面位置撮像設定）から、ハースライナー２４の位置検出のための撮像設定（ハース位置撮像設定）に切り替える（Ｓ５）。Ｓ４およびＳ５の処理タイミングは、ハースライナー２４の撮像前であればよい。
【０１３２】
次に、監視装置１は、ハースライナー２４の位置管理を行う（Ｓ６）。具体的には、ハースライナー位置監視部１５による処理が行われる。
【０１３３】
Ｓ６では、まず、ハースライナー位置監視部１５は、カメラシャッタ１２を開状態とし、撮像部１１にハースライナー２４の撮像を行わせる（撮像工程）。また、撮像後には、カメラシャッタ１２を閉状態とする。ハースライナー位置監視部１５の画像取得部１５１が、撮像部１１から撮像画像を取得すると、ハースライナー位置監視部１５は、当該取得した撮像画像を解析することにより、ハースライナー２４の位置を検出する（容器位置検出工程）。具体的には、エッジ検出部１５２は、当該取得した撮像画像を解析することにより、ハースライナー２４の輪郭部分のエッジを検出する。また、相関値算出部１５３は、当該取得した撮像画像を解析することにより、相関値を算出する。傾き量算出部１５４は、エッジ検出部１５２の検出結果、および相関値算出部１５３の算出結果に基づいて、上記傾き量を算出する。その後、ハースライナー位置判定部１５５は、上記傾き量算出部１５４の算出結果に基づいて、ハースライナー２４が正常な位置にあるか否かを判定し、正常な位置にない場合には、報知制御部１８が警告を発する。場合によっては、停止制御部１９が蒸着装置２を停止させる。
【０１３４】
また、監視装置１では、画像取得部１５１が画像を取得した後、ハースライナー位置監視部１５は、その旨を湯面位置監視部１６に通知する。湯面位置監視部１６は、撮像部１１の設定を、ハースライナー２４の位置検出のための撮像設定から、湯面位置検出のための撮像設定に切り替える（Ｓ７）。なお、Ｓ７の処理タイミングは、ハースライナー２４の撮像前（後述のＳ１０の処理前）であればよい。
【０１３５】
次に、材料供給装置３は、監視装置１によるＳ６の処理が完了後に、Ｓ２の成膜処理において用いられたハースライナー２４に対して蒸着材料ＭＡの供給を行う（Ｓ８）。湯面位置監視部１６から供給量を示すデータを受信している場合には、当該供給量分だけ、蒸着材料ＭＡの供給を行う。
【０１３６】
次に、蒸着装置２は、材料供給装置３による蒸着材料ＭＡの供給処理が完了すると、Ｓ１と同様に、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの溶かし込みを行う（Ｓ９）。このとき、Ｓ１と同様、ビーム出射制御部２８により、電子ビーム源２１に対して所定の電流が印加される。監視装置１は、蒸着装置２による当該溶かし込み処理が完了すると、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの湯面管理を行う（Ｓ１０）。この処理は、Ｓ３における湯面位置監視部１６による処理と同様である。
【０１３７】
なお、Ｓ３の処理は、基板１００への成膜後の湯面状態を管理するために行われ、Ｓ１０の処理は、蒸着材料ＭＡの供給後の湯面状態を管理するために行われる。
【０１３８】
また、監視装置１では、画像取得部１６１が画像を取得した後、湯面位置監視部１６は、その旨を照射位置監視部１７に通知する。照射位置監視部１７は、撮像部１１の設定を、湯面位置検出のための撮像設定から、照射位置検出のための撮像設定（照射位置撮像設定）に切り替える（Ｓ１１）。なお、Ｓ１１の処理タイミングは、ハースライナー２４の撮像前（後述のＳ１２の処理前）であればよい。
【０１３９】
次に、監視装置１は、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡに対する、電子ビームＥＢの照射位置管理を行う（Ｓ１２）。具体的には、照射位置監視部１７による処理が行われる。
【０１４０】
Ｓ１２では、まず、照射位置監視部１７は、カメラシャッタ１２を開状態とし、撮像部１１にハースライナー２４の撮像を行わせる。また、撮像後には、カメラシャッタ１２を閉状態とする。照射位置監視部１７の画像取得部１７１が、撮像部１１から撮像画像を取得すると、照射位置監視部１７は、当該取得した撮像画像を解析することにより、ハースライナー２４における、電子ビームＥＢの照射位置を検出する。具体的には、照射位置特定部１７２は、当該取得した撮像画像を解析することにより、ハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの湯面における電子ビームの照射位置を特定する。重心位置判定部１７３は、照射位置特定部１７２が特定した照射位置における重心位置を算出し、当該重心位置が正常な位置（上記湯面の重心またはその近傍）にあるか否かを判定する。そして、重心位置判定部１７３は、正常な位置にない場合には、報知制御部１８が警告を発する。場合によっては、停止制御部１９が蒸着装置２を停止させる。また、この場合には、補正量決定部１７４は、照射位置に応じた上記補正量を決定し、ビーム出射制御部２８に当該補正量を示すデータを送信する。ビーム出射制御部２８は、ビーム偏向用磁石２２およびポールピース２３を制御することにより、上記照射位置が正常な位置となるように、照射位置の補正を行う（図中の「ビーム補正」）。その後、照射位置監視部１７は、撮像部１１およびカメラシャッタ１２を制御することにより、撮像部１１にハースライナー２４を撮像させる。そして、画像取得部１７１、照射位置特定部１７２および重心位置判定部１７３による上述の処理が行われることにより、補正後の照射位置が正常な位置にあるか否かが判定される。また、上記の処理中、撮像画像取得のために蒸着材慮ＭＡを赤熱状態とするために、照射位置監視部１７は、ビーム出射制御部２８を制御することにより、所定の電流を電子ビーム源２１に印加させる。
【０１４１】
また、監視装置１では、画像取得部１７１が画像を取得した後、照射位置監視部１７は、その旨を湯面位置監視部１６に通知する。湯面位置監視部１６は、撮像部１１の設定を、照射位置検出のための撮像設定から、湯面位置検出のための撮像設定に切り替える（Ｓ１３）。なお、Ｓ１３の処理タイミングは、次回のハースライナー２４の撮像前（Ｓ３の処理前）であればよい。
【０１４２】
ここで、Ｓ４においてのみ、電子ビーム源２１を照明光源として用いている。Ｓ３の湯面位置監視部１６によるハースライナー２４の撮像は、Ｓ２の基板１００への成膜直後に行われる。蒸着材料ＭＡは、電子ビームＥＢの照射によって赤熱状態となる。つまり、成膜直後においては、電子ビームＥＢの照射による余熱によって蒸着材料ＭＡの赤熱状態が維持されている。そのため、Ｓ３の撮像時には、照明光源が必要とならない。また、Ｓ１０の湯面位置監視部１６による撮像についても、Ｓ９において、溶かし込みのために電子ビームＥＢが蒸着材料ＭＡに照射されている。そのため、Ｓ１０の撮像時には、余熱によって蒸着材料ＭＡの赤熱状態が維持されているため、照明光源は必要とならない。また、Ｓ１２の照射位置監視部１７による撮像についても、電子ビームＥＢが蒸着材料ＭＡに照射されており、蒸着材料ＭＡが赤熱状態となっているため、照明光源は必要とならない。
【０１４３】
一方、Ｓ６のハースライナー位置監視部１５による撮像時には、Ｓ２の成膜完了から所定の時間が経過し、蒸着材料ＭＡは赤熱状態ではなくなっている。当該撮像においては、ハースライナー２４およびターレット２５の輪郭部分全体を鮮明に撮像することが好ましいが、蒸着材料ＭＡが赤熱状態である場合には、特にターレット２５の輪郭部分の鮮明な画像を取得することが困難な場合がある。そのため、当該輪郭部分の鮮明な画像を取得するためには、蒸着材料ＭＡが赤熱状態ではなくなった状態で撮像することが好ましい。そこで、Ｓ６の撮像時には、照明光源を利用している。なお、ターレット２５に対するハースライナー２４の相対位置の特定によるハースライナー２４の位置ずれを監視しない場合には、当該撮像時において照明光源を用いる必要は必ずしもない。この場合、例えば、Ｓ３の処理と同時にＳ６の処理を行ってもよい。
【０１４４】
なお、ハースライナー位置監視部１５、湯面位置監視部１６および照射位置監視部１７の処理順は、上記順序に限らない。但し、上述のように、ハースライナー２４およびターレット２５の輪郭部分の鮮明な画像を取得するためには、蒸着材料ＭＡが赤熱状態でないことが好ましい。そのため、ハースライナー２４の位置管理のための撮像を行う前には、電子ビーム源２１を照明光源として機能させておくことが好ましい。
【０１４５】
〔主たる効果〕
従来、作業者による継続的な監視を行う必要があったが、長時間に亘る連続的な成膜において、継続的に監視を行うことには限界があった。また、作業者毎に監視基準のぶれを回避することは困難であった。
【０１４６】
監視装置１では、ハースライナー位置監視部１５により、撮像画像を解析することによりハースライナー２４の位置を定量的に検出することができるので、当該位置を精度良く検出することができる。したがって、作業者の目視による継続的な監視の場合とは異なり、ハースライナー２４の位置ずれおよび傾きを自動検出することができる。
【０１４７】
そのため、作業者毎に異なり得る監視基準のぶれを抑制することができるとともに、継続的な監視の不要による省人化を図ることが可能となる。したがって、精度良く、かつ効率的な蒸着処理を実現することが可能となるため、基板１００の歩留まり改善および量産化を図ることが可能となる。
【０１４８】
また、監視装置１では、湯面位置監視部１６による湯面位置管理、および、照射位置監視部１７による電子ビームＥＢの照射位置管理が行われる。それゆえ、上記と同様、作業者の目視による継続的な監視の場合とは異なり、湯面位置および照射位置を自動検出することができる。そのため、作業者毎に異なり得る監視基準のぶれを抑制することができるとともに、継続的な監視の不要による省人化を図ることが可能となる。
【０１４９】
また、湯面位置の検出結果を材料供給装置３にフィードバックすることにより、自動でハースライナー２４内の蒸着材料ＭＡの容量管理を適切に行うことができる。さらに、照射位置の検出結果を蒸着装置２にフィードバックすることにより、自動で照射位置を補正することができる。
【０１５０】
そして、ハースライナー２４の位置管理、湯面位置管理および照射位置管理を行うことにより、蒸着処理の全工程において、省人化および監視基準の厳格化を図ることができる。
【０１５１】
なお、本実施形態では、監視装置１により上記３つの管理が行われる場合について説明したが、これに限らず、少なくともハースライナー２４の位置管理が監視装置１によって行われればよい。但し、ハースライナー２４の位置管理の他に、湯面位置管理および／または照射位置管理が行われることにより、上記全工程において、上記不具合の自動検出を行うことにより、省人化および監視基準の厳格化を図ることができるため、より精度良く、かつ効率的な蒸着処理を実現することが可能となる。
【０１５２】
〔ソフトウェアによる実現例〕
監視装置１の制御ブロック（特に制御部１０の各機能ブロック）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。
【０１５３】
後者の場合、監視装置１は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムおよび各種データがコンピュータ（またはＣＰＵ）で読み取り可能に記録されたＲＯＭ（Read Only Memory）または記憶装置（これらを「記録媒体」と称する）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えている。そして、コンピュータ（またはＣＰＵ）が上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。
【０１５４】
〔まとめ〕
（１）上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る監視装置は、基板に蒸着材料を蒸着させることにより当該基板への成膜を行う蒸着装置の監視を行う監視装置であって、上記蒸着装置が備える、上記蒸着材料を保持するための容器を撮像する撮像部と、上記撮像部が撮像した撮像画像を解析することにより、上記容器の位置を検出する容器位置検出部と、を備える。
【０１５５】
上記構成によれば、撮像画像を用いて容器の位置の検出を定量的に行うことができる。そのため、当該位置を精度良く検出することができる。また、容器の位置ずれの発生を定量的に判断することが可能となる。したがって、目視にて容器の位置を監視する場合に発生し得る監視基準（位置ずれの判断基準）のぶれを抑制することができる。
【０１５６】
また、撮像画像を用いて容器の位置の検出を行うため、目視にて容器の位置を監視する必要が無い。そのため、容器の位置の監視において、省人化を図ることができる。
【０１５７】
（２）さらに、本発明の一態様に係る監視装置は、上記（１）の構成において、上記撮像部が撮像した撮像画像を解析することにより、上記容器に供給された蒸着材料の湯面位置を検出する湯面位置検出部をさらに備えることが好ましい。
【０１５８】
上記構成によれば、撮像画像を用いて湯面位置の検出を定量的に行うことができる。そのため、当該湯面位置を精度良く検出することができる。また、湯面位置が正常な位置にあるか否かを定量的に判断することが可能となる。したがって、目視にて湯面位置を監視する場合に発生し得る監視基準（湯面位置が正常な位置にあるか否かの判断基準）のぶれを抑制することができる。
【０１５９】
また、撮像画像を用いて湯面位置の検出を行うため、目視にて湯面位置を監視する必要が無い。そのため、湯面位置の監視において、省人化を図ることができる。
【０１６０】
また、撮像画像を用いて、容器の位置および湯面位置を定量的に検出し、当該検出結果に基づいてそれぞれの位置が正常な位置にあるか否かの判断を行うことが可能となるため、基板への安定した成膜を実現することが可能となる。
【０１６１】
（３）さらに、本発明の一態様に係る監視装置は、上記（１）または（２）の構成において、上記蒸着装置は、上記容器に供給された蒸着材料に対して電子ビームを出射するビーム出射源をさらに備え、上記撮像部が撮像した撮像画像を解析することにより、上記ビーム出射源から出射された電子ビームの、上記容器における照射位置を検出する照射位置検出部をさらに備えることが好ましい。
【０１６２】
上記構成によれば、撮像画像を用いて電子ビームの照射位置の検出を定量的に行うことができる。そのため、当該照射位置を精度良く検出することができる。また、照射位置が正常な位置にあるか否かを定量的に判断することが可能となる。したがって、目視にて照射位置を監視する場合に発生し得る監視基準（照射位置が正常な位置にあるか否かの判断基準）のぶれを抑制することができる。
【０１６３】
また、撮像画像を用いて照射位置の検出を行うため、目視にて照射位置を監視する必要が無い。そのため、照射位置の監視において、省人化を図ることができる。
【０１６４】
また、撮像画像を用いて、少なくとも容器の位置および照射位置を定量的に検出し、当該検出結果に基づいてそれぞれの位置が正常な位置にあるか否かの判断を行うことが可能となるため、基板への安定した成膜を実現することが可能となる。
【０１６５】
（４）さらに、本発明の一態様に係る監視装置は、上記（１）から（３）のいずれかの構成において、上記容器位置検出部によって、上記容器の位置が正常な位置から外れていると判定された場合には、警告を発する報知制御部をさらに備えることが好ましい。
【０１６６】
上記構成によれば、作業者は、上記容器の位置が正常な位置から外れている場合の警告を契機として、容器の位置を調整すべきか否かの判断を行うことができる。
【０１６７】
（５）さらに、本発明の一態様に係る監視装置では、上記（１）から（４）のいずれかの構成において、上記撮像部は、上記容器の開口面の中心を通る垂線から所定の角度を有した位置に配置されており、上記容器位置検出部は、上記撮像画像の画素値に基づいて、上記撮像画像に含まれる容器の輪郭部分のエッジを検出するエッジ検出部と、上記エッジ検出部が検出したエッジに基づいて、上記容器の、基準位置に対する傾き量を算出する傾き量算出部と、上記傾き量算出部が算出した上記傾き量に基づいて、上記容器の位置が正常な位置にあるか否かを判定する位置判定部と、を備えることが好ましい。
【０１６８】
上記構成によれば、容器の輪郭部分のエッジに基づいて容器の傾き量を算出することで、容器が正常な位置にあるか否かを判定することができる。
【０１６９】
（６）さらに、本発明の一態様に係る監視装置では、上記（５）の構成において、上記エッジ検出部は、上記撮像画像に含まれる上記容器の中心を通る直線と、当該容器の輪郭部分とが交わる２箇所のエッジを検出し、上記傾き量算出部は、上記２箇所のエッジ間の距離に基づいて、上記傾き量を算出することが好ましい。
【０１７０】
上記構成によれば、傾き量を精度良く算出することができる。
【０１７１】
（７）さらに、本発明の一態様に係る監視装置は、上記（１）から（６）のいずれかの構成において、上記蒸着装置は、上記容器に供給された蒸着材料に対して電子ビームを出射するビーム出射源を備え、上記ビーム出射源は、光子と、上記電子ビームを構成する熱電子とを放出可能であり、上記撮像部は、上記ビーム出射源から放出される上記光子を照明光として利用して撮像を行うことが好ましい。
【０１７２】
上記構成によれば、容器の撮像時に用いられる照明光源として、蒸着装置が備えるビーム出射源を用いることができる。それゆえ、照明光源を別途備える必要が無い。
【０１７３】
（８）さらに、上記の課題を解決するために、本発明一態様に係る監視方法は、基板に蒸着材料を蒸着させることにより当該基板への成膜を行う蒸着装置の監視を行う監視方法であって、上記蒸着装置が備える、上記蒸着材料を保持するための容器を撮像する撮像工程と、上記撮像工程において撮像した撮像画像を解析することにより、上記容器の位置を検出する容器位置検出工程と、を含む。
【０１７４】
上記方法によれば、上記（１）と同様の効果を奏する。
【０１７５】
なお、本発明の各態様に係る監視装置は、コンピュータによって実現してもよく、この場合には、コンピュータを上記監視装置が備える各部（ソフトウェア要素）として動作させることにより上記監視装置をコンピュータにて実現させる監視装置の制御プログラム、およびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体も、本発明の範疇に入る。
【０１７６】
〔付記事項〕
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０１７７】
１      監視装置
２      蒸着装置
１１    撮像部
１５    ハースライナー位置監視部（容器位置検出部）
１６    湯面位置監視部（湯面位置検出部）
１７    照射位置監視部（照射位置検出部）
１８    報知制御部
２１    電子ビーム源（ビーム出射源）
２４    ハースライナー（容器）
１００  基板
１５２  エッジ検出部
１５４  傾き量算出部
１５５  ハースライナー位置判定部（位置判定部）
ＣＬ    中心線（垂線）
ＥＢ    電子ビーム
ＩＡ    照射位置
ＭＡ    蒸着材料
α      所定の角度
【図１】
2018035403.tif 000004
【図２】
2018035403.tif 000005
【図３】
2018035403.tif 000006
【図４】
2018035403.tif 000007
【図５】
2018035403.tif 000008
【図６】
2018035403.tif 000009
【図７】
2018035403.tif 000010
【図８】
2018035403.tif 000011
【図９】
2018035403.tif 000012
【図１０】
2018035403.tif 000013
【図１１】
2018035403.tif 000014
【図１２】
2018035403.tif 000015
【図１３】
2018035403.tif 000016
【図１４】
2018035403.tif 000017
【図１５】
2018035403.tif 000018
【図１６】
2018035403.tif 000019