(57)【要約】【課題】無駄なマスククリーニングが実行されることによるタクトの増大を防止できる。【解決手段】基板２に接触させたマスク１５上でスキージ４３を摺動させ、マスク１５上に供給されたペーストＰｓｔをスキージ４３で掻き寄せることによりマスク１５の開口１５Ｈを通じて基板２にペーストＰｓｔを印刷する印刷工程を実行した後、ペーストＰｓｔが印刷された基板２にペーストＰｓｔの印刷量不足が生じているか否かを検査する印刷量検査工程を実行する（ステップＳＴ１２）。この印刷量検査工程で基板２にペーストＰｓｔの印刷量不足が生じていたことを検知した場合には、更にマスク１５の開口１５Ｈに目詰まりが生じているか否かを検査する目詰まり検査工程を実行し（ステップＳＴ１３）、この検査でマスク１５の開口１５Ｈに目詰まりが生じていることを検知した場合にはじめて、マスク１５のクリーニングを行う（ステップＳＴ１４）。【選択図】図９
2018001635.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷対象物に接触させたマスク上でスキージを摺動させ、前記マスク上に供給されたペーストを前記スキージで掻き寄せることにより前記マスクの開口を通じて前記印刷対象物にペーストを印刷する印刷工程と、
前記印刷工程でペーストが印刷された前記印刷対象物にペーストの印刷量不足が生じているか否かを検査する印刷量検査工程と、
前記印刷量検査工程で前記印刷対象物にペーストの印刷量不足が生じていたことを検知した場合に前記マスクの開口に目詰まりが生じているか否かを検査する目詰まり検査工程と、
前記目詰まり検査工程で前記マスクの開口に目詰まりが生じていることを検知した場合に前記マスクのクリーニングを行うマスククリーニング工程と含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項２】
前記目詰まり検査工程で前記マスクの開口に目詰まりが生じていないことを検知した場合に、前記印刷工程の休止継続時間が予め設定された基準時間を超えていたか否かを判断し、その判断結果に応じて印刷条件を変更することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項３】
前記印刷条件は前記マスク上での前記スキージの摺動速度であり、前記休止継続時間が前記基準時間を超えていた場合に、前記マスク上での前記スキージの摺動速度を上げるように変更することを特徴とする請求項２に記載のスクリーン印刷方法。
【請求項４】
前記印刷条件は前記マスク上での前記スキージの摺動速度であり、前記休止継続時間が前記基準時間を超えていなかった場合に、前記マスク上での前記スキージの摺動速度を下げるように変更することを特徴とする請求項２又は３に記載のスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク上でスキージを摺動させることにより、マスクの開口を通じて印刷対象物にペーストを印刷するスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷装置は、印刷対象物としての基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させ、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せることにより、マスクの開口を通じて基板にペーストを印刷する。そして、このような印刷工程の後には、スクリーン印刷装置の下流工程側に設けられた検査装置によって基板の各電極にペーストが正常に印刷されているかどうかの検査がなされる。この基板の印刷状態の検査（印刷検査と称する）において、電極におけるペーストの「欠け」や「未転写」等の印刷量不足を検知した場合には、マスクの開口内のペーストが残って目詰まりを起こしている可能性が高い。このため下記の特許文献１には、印刷検査において印刷量不足を検知した場合に、マスク清掃装置によって、マスクの下面に付着したペーストを拭き取って清掃する技術が開示されている（例えば、下記の特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−４７６００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、印刷後の基板に印刷量不足が生じていた場合、その原因としてはマスクの目詰まりのほか、印刷条件が適当でなかった場合等もあり得る。この点、上記従来のスクリーン印刷装置では、印刷量不足が検知された場合には必ずマスクのクリーニングを実行するようにしていため、結果として印刷不良の原因がマスクの目詰まりでなかった場合には時間のロスとなり、その分生産性が低下するおそれがあるという問題点があった。
【０００５】
そこで本発明は、無駄なマスククリーニングを実行することによる生産性の低下を防止できるスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のスクリーン印刷方法は、印刷対象物に接触させたマスク上でスキージを摺動させ、前記マスク上に供給されたペーストを前記スキージで掻き寄せることにより前記マスクの開口を通じて前記印刷対象物にペーストを印刷する印刷工程と、前記印刷工程でペーストが印刷された前記印刷対象物にペーストの印刷量不足が生じているか否かを検査する印刷量検査工程と、前記印刷量検査工程で前記印刷対象物にペーストの印刷量不足が生じていたことを検知した場合に前記マスクの開口に目詰まりが生じているか否かを検査する目詰まり検査工程と、前記目詰まり検査工程で前記マスクの開口に目詰まりが生じていることを検知した場合に前記マスクのクリーニングを行うマスククリーニング工程と含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、無駄なマスククリーニングを実行することによる生産性の低下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態における印刷システムの構成図
【図２】本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置の斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置の側面図
【図４】本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置の一部の斜視図
【図５】本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置の制御系統を示すブロック図
【図６】本発明の一実施の形態における印刷システムが備える検査装置の斜視図
【図７】本発明の一実施の形態における印刷システムが備える検査装置の制御系統を示すブロック図
【図８】本発明の一実施の形態における印刷システムが行うスクリーン印刷作業の手順を示すメインルーチンのフローチャート
【図９】本発明の一実施の形態における印刷システムが行うスクリーン印刷作業の手順を示すサブルーチンのフローチャート
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置が行うスクリーン印刷作業の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における印刷システムのスクリーン印刷装置が行うマスククリーニング作業の動作説明図
【図１２】本発明の一実施の形態における印刷システムが行うスクリーン印刷作業の手順を示すサブルーチンの変形例のフローチャート
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における印刷システム１を示している。この印刷システム１は、電子回路用形成のプリント基板（以下、基板２と称する）を印刷対象物としており、これを搬入してその電極２ｄに半田等のペーストＰｓｔを印刷するスクリーン印刷装置１Ａと、スクリーン印刷装置１Ａから基板２を受け取ってその基板２に印刷されたペーストＰｓｔの検査を行う検査装置１Ｂから構成されている。ここでは説明の便宜上、作業者ＯＰから見た左右方向をＸ軸方向とし、左方を上流工程側、右方を下流工程側とする。また、作業者ＯＰから見た前後方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１０】
図２、図３及び図４において、スクリーン印刷装置１Ａは基台１１上に搬入コンベア１２、基板昇降機構１３及び搬出コンベア１４を備えており、基板昇降機構１３の上方にはマスク１５、カメラユニット１６、印刷ヘッド１７及びマスククリーナ１８を有している。基板昇降機構１３は基台１１の中央部に設けられており、搬入コンベア１２は基板昇降機構１３の左方に設けられている。搬出コンベア１４は基板昇降機構１３の右方に設けられている。
【００１１】
図３及び図４において、基板昇降機構１３は基板保持部２１と昇降機構部２２から成る。基板保持部２１は位置決めコンベア３１、下受け部３２及び前後一対のクランパ３３を備えている。位置決めコンベア３１は搬入コンベア１２から受け取った基板２を所定のクランプ位置に位置決めする。下受け部３２は、クランプ位置に位置決めされた基板２を下方から支持する。クランパ３３は下受け部３２が支持した基板２を側方（Ｙ軸方向）からクランプして保持する。昇降機構部２２は複数のテーブル部材が多段積みされて成るＸＹθテーブルから成り、基板保持部２１を水平面内方向及び上下方向に移動させる。
【００１２】
図１、図２及び図３において、マスク１５はＸＹ平面に広がって延びた矩形平板形状の金属部材から成る。マスク１５の外周は、枠部材１５Ｗによって支持されている。マスク１５の中央部には多数の開口１５Ｈが設けられている（図１及び図４）。これら開口１５Ｈは基板２の電極２ｄに対応して設けられている。
【００１３】
図３において、カメラユニット１６は、撮像視野を上方に向けた上方撮像部１６ａと、撮像視野を下方に向けた下方撮像部１６ｂを備えている。カメラユニット１６はボール螺子機構をアクチュエータとするカメラユニット移動機構１６Ｋ（図２）に駆動されて基板昇降機構１３とマスク１５の間の空間をＸＹ面内で移動する。
【００１４】
図２及び図３において、印刷ヘッド１７は、移動ベース４１と、２つのスキージ昇降シリンダ４２と、２つのスキージ４３を備えている。移動ベース４１はＸ軸方向に延びており、ボール螺子機構を備える印刷ヘッド移動機構１７Ｋに駆動されて、マスク１５の上方をＹ軸方向に移動する。２つのスキージ昇降シリンダ４２は移動ベース４１の上面にＹ軸方向に並んで設けられている。各スキージ昇降シリンダ４２は、ピストンロッド４２Ｒを移動ベース４１の下方に突出させており、その下端にスキージ４３が取り付けられている（図３）。
【００１５】
スキージ４３はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成る。２つのスキージ４３をＸ軸方向から見ると、２つのスキージ４３は下方に広がるように斜めに延びている（図２及び図３）。２つのスキージ４３は、互いに向き合う面がペーストＰｓｔを掻き寄せる面であり、以下の説明では掻寄せ面と称する。また、掻寄せ面とは反対側の面を背面と称する。スキージ昇降シリンダ４２がピストンロッド４２Ｒを上下方向に作動させると、スキージ４３が移動ベース４１の下方を移動ベース４１に対して昇降する。
【００１６】
図３において、マスククリーナ１８は上面にペーパー部材１８Ｐを露出させており、カメラユニット移動機構１６Ｋによりカメラユニット１６と一体にＹ軸方向に移動される。マスククリーナ１８はマスク１５が基板２と接触していな状態において、マスク１５の下面にペーパー部材１８Ｐの露出面を接触させ、カメラユニット移動機構１６ＫによってＹ軸方向に移動されることで、マスク１５の下面に付着したペーストＰｓｔを拭き取ってクリーニングする。ペーパー部材１８Ｐは、マスククリーナ１８に内蔵されて図示しないモータによって巻き取られることで、露出面が更新される。
【００１７】
図５において、スクリーン印刷装置１Ａが備える印刷装置制御部５０は、搬入コンベア１２による基板２の搬送（搬入）動作、基板昇降機構１３による基板２の保持及び移動動作、搬出コンベア１４による基板２の搬送（搬出）動作の各制御を行う。また印刷装置制御部５０は、カメラユニット移動機構１６Ｋによるカメラユニット１６の移動動作、カメラユニット１６の撮像動作、印刷ヘッド移動機構１７Ｋによる印刷ヘッド１７の移動動作、スキージ昇降シリンダ４２による各スキージ４３の昇降動作及びマスククリーナ１８におけるペーパー部材１８Ｐの巻取り動作等の各制御を行う。カメラユニット１６は撮像によって得られた画像データを印刷装置制御部５０に送信し、印刷装置制御部５０は受け取った画像データに基づいて画像認識を行う。
【００１８】
図５において、印刷装置制御部５０には、入出力装置としてのタッチパネル５１が接続されている。タッチパネル５１は、作業者ＯＰが印刷装置制御部５０に所要の入力を行う入力装置として機能するほか、印刷装置制御部５０がスクリーン印刷装置１Ａの状態を作業者ＯＰに表示したり作業者ＯＰに作業指示を与えたりする出力装置として機能する。
【００１９】
図６において、検査装置１Ｂは検査台６１上に搬送コンベア６２を備えており、搬送コンベア６２の上方には検査カメラ６３を備えている。検査カメラ６３は検査台６１上に設けられた検査カメラ移動機構６４に取り付けられている。検査カメラ移動機構６４は直交座標テーブルから構成されており、検査カメラ６３を検査台６１の上方領域で水平面内方向に移動させる。
【００２０】
図７において、検査装置１Ｂが備える検査装置制御部７０は、搬送コンベア６２による基板２の搬送動作、検査カメラ移動機構６４による検査カメラ６３の移動動作及び検査カメラ６３の撮像動作等の各制御を行う。検査装置制御部７０は、印刷装置制御部５０との間で信号及びデータのやり取りが可能になっている（図５も参照）。
【００２１】
検査装置制御部７０は、印刷装置制御部５０からの指示を受けて検査カメラ移動機構６４を作動させ、検査カメラ６３に基板２に印刷されたペーストＰｓｔを撮像させる。検査装置制御部７０は、得られた画像データを印刷装置制御部５０に送信する。画像データを受け取った印刷装置制御部５０は画像認識を行い、各電極２ｄについてのペーストＰｓｔの印刷状態を検出する。
【００２２】
次に、図８及び図９に示すフローチャートを用いて、上記構成の印刷システム１により基板２にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷作業（スクリーン印刷方法）の実行手順を説明する。印刷システム１によりスクリーン印刷作業を行うときは、作業者ＯＰはスクリーン印刷装置１Ａが備えるタッチパネル５１から作業開始操作を行う。作業者ＯＰがタッチパネル５１から作業開始操作を行うと、印刷装置制御部５０に制御されたスクリーン印刷装置１Ａの各部は、図８に示すメインルーチンのフローチャートにおけるステップＳＴ１〜ステップＳＴ６による印刷工程を実行する。
【００２３】
印刷工程では、先ず、搬入コンベア１２が作動して、外部から供給された基板２を受け取る。そして、その基板２を基板保持部２１に受け渡す。基板保持部２１は、位置決めコンベア３１によって基板２を受け取ったらその基板２を搬送させて所定のクランプ位置に位置決めし、下受け部３２によって基板２を下方から支持したうえで、クランパ３３によってクランプする（ステップＳＴ１の基板搬入工程）。
【００２４】
基板保持部２１が基板２を保持したらカメラユニット移動機構１６Ｋが作動し、カメラユニット１６を基板２とマスク１５の間で移動させる。これによりカメラユニット１６の上方撮像部１６ａはマスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ（図２）を下方から撮像し、下方撮像部１６ｂは基板２の基板側マーク２ｍ（図４）を上方から撮像する。カメラユニット１６はマスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍを撮像したら、その画像データを印刷装置制御部５０に送信する。画像データを受け取った印刷装置制御部５０は画像認識を行い、マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍそれぞれの位置を算出する。マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍそれぞれの位置が算出されたら、基板昇降機構１３は基板保持部２１を（すなわち基板２を）移動させて、マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍを平面視において一致させる（ステップＳＴ２の位置合わせ工程）。
【００２５】
マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍが平面視において一致したら、基板昇降機構１３が基板保持部２１を（すなわち基板２を）上昇させて、基板２の上面をマスク１５の下面に接触させる（図１０（ａ）。図中に示す矢印Ａ）。これにより基板２の電極２ｄは対応する開口１５Ｈを通じてマスク１５の上面に露出した状態となる（ステップＳＴ３の接触工程）。
【００２６】
基板２がマスク１５に接触したら、一方のスキージ昇降シリンダ４２がスキージ４３を下降させて、マスク１５に当接させる。スキージ４３がマスク１５に当接したら、印刷ヘッド移動機構１７Ｋが移動ベース４１をＹ軸方向に移動させる。スキージ４３の移動方向は、前方のスキージ４３については前方から後方に向かう方向であり（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｂ）、後方のスキージ４３については、後方から前方に向かう方向である。マスク１５上を摺動するスキージ４３は掻寄せ面によってペーストＰｓｔを掻き寄せるので、スキージ４３が通過したマスク１５の各開口１５ＨにはペーストＰｓｔが充填される（ステップＳＴ４のスキージング工程）。
【００２７】
上記のようにしてマスク１５の開口１５ＨへのペーストＰｓｔの充填が終了したら、基板昇降機構１３は昇降機構部２２により基板保持部２１を下降させ、基板２をマスク１５から分離させて版離れを行う。これによりマスク１５の開口１５Ｈに充填されたペーストＰｓｔが基板２の各電極２ｄ上に乗り移る（ステップＳＴ５の版離れ工程）。
【００２８】
基板昇降機構１３は版離れを行ったら基板保持部２１のクランパ３３を開いて基板２の保持を解除し、位置決めコンベア３１を作動させて基板２を搬出コンベア１４に受け渡す。搬出コンベア１４は受け取った基板２を下流工程側の検査装置１Ｂに搬出する（ステップＳＴ６の基板搬出工程）。
【００２９】
スクリーン印刷装置１Ａが基板２を検査装置１Ｂに搬出したら、検査装置１Ｂは搬送コンベア６２によって基板２を搬入し、所定の作業位置に位置させる。そして、検査カメラ移動機構６４は検査カメラ６３を基板２の上方で移動させ、検査カメラ６３は基板２の各電極２ｄに印刷されたペーストＰｓｔを撮像する。検査装置制御部７０は撮像によって得られた基板２の電極２ｄごとのペーストＰｓｔの画像データを印刷装置制御部５０に送信する。
【００３０】
スクリーン印刷装置１Ａは上記ステップＳＴ１〜ステップＳＴ６から成る印刷工程が終了したら、検査装置１Ｂから送られてくる上記データ（基板２の電極２ｄごとのペーストＰｓｔの画像データ）を受け取る（ステップＳＴ７のデータ受取り工程）。そして、以下に示す印刷検査対応処理工程を実行する（ステップＳＴ８。図９に示すサブルーチン）。
【００３１】
ステップＳＴ８の印刷検査対応処理工程では、印刷装置制御部５０は先ず、検査装置１Ｂから送られてきた画像データに基づいて、基板２の各電極２ｄにおいてペーストＰｓｔの印刷状態に異常があるか否かを判断する（ステップＳＴ１１）。そして、その結果、異常がなかった場合にはメインルーチンに戻るが、異常があると判断した場合には、電極２ｄにおける「欠け」や「未転写」等の印刷量不足が生じているか否かを判断する（ステップＳＴ１２の印刷量検査工程）。そして、印刷量が不足していると判断した場合には、目詰まり検査を実行する（ステップＳＴ１３の目詰まり検査工程）。
【００３２】
印刷装置制御部５０は、ステップＳＴ１１でペーストＰｓｔの印刷状態に異常があると判断した場合には、検査装置１Ｂに基板廃棄指令を出力し、検査装置１Ｂがその下流工程側に基板２を搬出しないようにさせるとともに、作業者ＯＰに対し、検査装置１Ｂが検査した基板２は廃棄対象である旨の報知を行う。この報知は例えば、タッチパネル５１等を通じて行う。検査装置１Ｂが廃棄基板を排出する排出コンベアを備えている場合には、印刷装置制御部５０から基板廃棄指令を受けた検査装置１Ｂが、廃棄対象とされた基板２を排出コンベアに搬出するようになっていてもよい。
【００３３】
ステップＳＴ１３の目詰まり検査工程では、印刷装置制御部５０は、カメラユニット移動機構１６Ｋによってカメラユニット１６をマスク１５の下方で移動させ、カメラユニット１６の上方撮像部１６ａによって、マスク１５が備える各開口１５Ｈを撮像することによって行う。そして、例えば、マスク１５の各開口１５Ｈが有する本来の開口面積と、撮像によって得られる画像から算出される印刷後の開口面積とを比較し、本来の開口面積に対する算出される印刷後の開口面積の割合が予め定めた処置の割合を下回る場合に、その開口１５Ｈは目詰まりを起こしていると判定する。そして、このような判定をマスク１５の全域の各開口１５Ｈについて実行し、すくなくとも一部の開口において目詰まりをおこしていると判断したときには、そのマスク１５は目詰まりを生じていると判断する。
【００３４】
ステップＳＴ１３において目詰まり検査を実行した結果、マスク１５の開口に目詰まりが生じていると判断した場合には、印刷装置制御部５０はカメラユニット移動機構１６Ｋを作動させてマスククリーナ１８をＹ軸方向に移動させ（図１１（ａ）→図１１（ｂ））、マスク１５の下面に付着したペーストＰｓｔを拭き取ってマスク１５の裏面のクリーニングを行う（ステップＳＴ１４のマスククリーニング工程）。
【００３５】
ステップＳＴ１４でマスク１５のクリーニングを行ったら、再び目詰まり検査を実行する（ステップＳＴ１５）。その結果、マスク１５の目詰まりが解消していた場合にはメインルーチンに戻り、マスク１５の目詰まりが解消していなかった場合には、スクリーン印刷装置１Ａの印刷動作を停止させたうえで、タッチパネル５１等に、異常停止の旨の報知を行って作業者ＯＰに対策を促し（ステップＳＴ１６）、メインルーチンに戻る。また、前述のステップＳＴ１２の印刷量検査工程で印刷量が不足していないと判断した場合にも、ステップＳＴ１６において異常停止の旨の報知を行い、作業者ＯＰに対策を促す。ステップＳＴ１６で対策を促された作業者ＯＰは、例えば、スキージ４３がマスク１５に当接する圧力（印圧）を変更する等の印刷条件の設定の変更を試みたり、マスク１５の開口１５Ｈからマスク１５の裏面にペーストＰｓｔが回り込んでマスク１５の裏面を汚す「にじみ」が生じていないかどうかを確認したりする。
【００３６】
一方、ステップＳＴ１３において目詰まり検査を実行した結果、マスク１５に目詰まりが生じていないと判断した場合には、印刷装置制御部５０は、直前に行ったスキージ４３によるペーストＰｓｔの掻寄せ動作と、そのペーストＰｓｔの掻寄せ動作の更にひとつ前のペーストＰｓｔの掻寄せ動作との間の時間間隔（休止継続時間）を印刷ヘッド移動機構１７Ｋの移動履歴等を参照して算出する（ステップＳＴ１７）。そして、その算出した休止継続時間が予め設定された基準時間を超えていたか否かを判断し（ステップＳＴ１８）、その判断結果に応じて印刷条件を変更する。ここで、上記基準時間はペーストＰｓｔを放置することによってスキージ４３によるマスク１５上での摺動（スキージング）に伴うマスク１５の開口１５Ｈへの充填性が低下する時間に基づいて定められ、例えば、２０分〜３０分程度の時間が設定される。
【００３７】
ここでは、印刷条件をマスク１５上でのスキージ４３の摺動速度であるとしており、ステップＳＴ１８で、休止継続時間が予め設定された基準時間を超えていた場合には、マスク１５上でのスキージ４３の摺動速度を上げるように変更する（ステップＳＴ１９）。スキージ４３の摺動速度を上げるのは、ペーストＰｓｔの放置による粘度上昇に伴う流動性低下を防ぎ、基板２に、より転写し易くするためである。一方、ステップＳＴ１８で、休止継続時間が上記基準時間を超えていなかった場合には、マスク１５上でのスキージ４３の摺動速度を下げるように変更する（ステップＳＴ２０）。スキージ４３の摺動速度を上げるのは、マスク１５の開口１５ＨをペーストＰｓｔが通過する時間を十分確保するためである。なお、休止継続時間が基準時間とちょうど同じであった場合には、スキージ４３の摺動速度の上げ下げのどちらを採用しても構わないし、現状の摺動速度を維持するのであっても構わない。
【００３８】
印刷装置制御部５０は、サブルーチンが終了してメインルーチンに戻ると、ペーストＰｓｔを印刷すべき全ての基板２についてスクリーン印刷作業を施したか否か等に基づいて、一連の作業を終了すべきか否かを判断する（図８のステップＳＴ９）。そして、作業を終了すべきでないと判断した場合にはステップＳＴ１に戻る。ここで、ステップＳＴ１に戻るときであって、ステップＳＴ８でマスク１５上でのスキージ４３の摺動速度を変更する設定を行った場合には、その後に行われる印刷工程では、変更された摺動速度でスキージ４３が摺動されるので、ペーストＰｓｔの印刷状態が改善される蓋然性は高くなる。一方、印刷装置制御部５０は、作業を終了すべきと判断した場合には作業を終了する。
【００３９】
図１２は上記スクリーン印刷作業のサブルーチンの変形例を示している。この変形例が図９の例と異なるところは、ステップＳＴ１２の印刷量検査工程で印刷量が不足していないと判断した場合において、マスク１５の開口１５Ｈからマスク１５の裏面にペーストＰｓｔが回り込む「にじみ」が生じている場合を想定し、マスククリーナ１８によってマスク１５の裏面をクリーニングする（ステップＳＴ２１）。そして、マスク１５のクリーニングが終了したら、にじみ検査を実行する（ステップＳＴ２２）。
【００４０】
ステップＳＴ２２のにじみ検査は、カメラユニット移動機構１６Ｋによってカメラユニット１６をマスク１５の下方で移動させ、カメラユニット１６の上方撮像部１６ａによって、マスク１５が備える各開口１５Ｈの近傍領域を撮像することによって行う。そして、開口１５Ｈの近傍に予め定めた基準の範囲を超えてペーストＰｓｔが広がっていたような場合にはにじみが解消していないとして、スクリーン印刷装置１Ａの印刷動作を停止させたうえで、タッチパネル５１等に、異常停止の旨の報知を行って作業者ＯＰに対策を促し（ステップＳＴ１６）、メインルーチンに戻る。一方、ステップＳＴ２２で、ペーストＰｓｔの広がりが上記基準の範囲を超えない程度に収まっていた場合には、にじみが解消したとして、メインルーチンに戻る。
【００４１】
この変形例では、ステップＳＴ１２の印刷量検査工程で印刷量の不足が検知されなかった場合であって、マスク１５ににじみが生じていたときに、自動でその解消が図られる。このため、作業者ＯＰの負担が軽減されるとともに、スクリーン印刷装置１Ａの印刷動作を停止させる必要がなくなるので、生産性が向上する。
【００４２】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、印刷工程（ステップＳＴ１〜ステップＳＴ６）でペーストＰｓｔが印刷された印刷対象物である基板２にペーストＰｓｔの印刷量不足が生じているか否かを検査する印刷量検査工程（ステップＳＴ１２）を実行した結果、基板２にペーストＰｓｔの印刷量不足が生じていたことを検知した場合には、更に、マスク１５の開口１５Ｈに目詰まりが生じているか否かを検査する目詰まり検査工程を実行する（ステップＳＴ１３）。そして、この目詰まり検査工程でマスクの開口に目詰まりが生じていることを検知した場合にはじめて、マスク１５のクリーニングを行うようになっている（ステップＳＴ１４）。このため、ペーストＰｓｔの印刷量不足が生じていた場合であってもマスク１５に目詰まりが生じていなければマスク１５のクリーニングは行わず、無駄なマスククリーニングを実行することによる生産性の低下を防止できる。
【００４３】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、目詰まり検査工程でマスク１５の開口１５Ｈに目詰まりが生じていないことを検知した場合に、印刷工程の休止継続時間が予め設定された基準時間を超えていたか否かを判断し、その判断結果に応じて印刷条件（マスク１５上でのスキージ４３の摺動速度）を変更するようになっている。印刷量不足が生じた場合、その原因としてはマスク１５の目詰まりのほか、印刷条件が適当でなかった場合等もあり得るところである。この点、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法によれば、印刷量不足が検知された場合にマスクのクリーニング以外の対処法を自動で実行するようになっており、作業者ＯＰの手を介さない分、生産性の向上を図ることができる。
【００４４】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に記載したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、印刷工程の休止継続時間が予め設定された基準時間を超えていたか否かに応じて変更する印刷条件はマスク１５上でのスキージ４３の摺動速度であったが、これは一例であり、スキージ４３の摺動速度に限らず、他の印刷条件であってもよい。例えば、休止継続時間が基準時間を超えて、ペーストＰｓｔの放置による粘度上昇が想定される場合、スキージ４３の摺動速度は変化せず、ペーストＰｓｔの掻き寄せ性を向上させる目的で印圧を上げることもできる。また、休止継続時間が基準時間を超えていない場合、ペーストＰｓｔの量が不足してきたと想定でき、ペーストＰｓｔの追加補充指示を行うこともできる。
【００４５】
また、変更する印刷条件としてマスク１５上でのスキージ４３の摺動速度を設定している場合に、上述の実施の形態では、休止継続時間が基準時間を超えていた場合にはスキージ４３の摺動速度を上げ、休止継続時間が基準時間を超えていなかった場合には、スキージ４３の摺動速度を下げるようにしており、休止継続時間によって必ずスキージ４３の摺動速度を上げるか下げるかどちらかをするようになっていたが、「休止継続時間が基準時間を超えていた場合にはスキージ４３の摺動速度を上げる」と「休止継続時間が基準時間を超えていなかった場合には、スキージ４３の摺動速度を下げる」のどちらか一方のみを採用し、他の場合にはスキージ４３の摺動速度をそのままにする等、柔軟な設定をすることも可能である。
【００４６】
また、上述の実施の形態では、ペーストＰｓｔが印刷される対象としての印刷対象物が電子回路形成用のプリント基板であるとして説明したが、これは一例であり、必ずしも基板２でなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
無駄なマスククリーニングが実行されることによるタクトの増大を防止できる。
【符号の説明】
【００４８】
２  基板（印刷対象物）
１５  マスク
１５Ｈ  開口
４３  スキージ
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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