(57)【要約】【課題】スケールに対する検出器の姿勢の異常を検知することができるエンコーダの提供。【解決手段】エンコーダ１は、一方の測定対象部に設けられるとともに目盛Ｃが配列されたスケール５と、他方の測定対象部に設けられるとともにスケール５との相対移動量を検出する検出器３と、を備える。スケール５は、スケール５に対する検出器３の姿勢を検知する検知手段９を備えるため、読取部７ａが読み取る信号の変化に基づいてスケール５に対する検出器３の姿勢の異常を検知できなくても、その異常を検知することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の測定対象部に設けられるとともに目盛が配列されたスケールと、他方の測定対象部に設けられるとともにスケールとの相対移動量を検出する検出器と、を備えたエンコーダであって、
前記スケールは、
当該スケールに対する前記検出器の姿勢の異常を検知する検知手段を備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
請求項１に記載されたエンコーダにおいて、
前記検出器は、
正常な姿勢であるときに前記スケールに接触して転動する転がり部材を備え、
前記検知手段は、
前記転がり部材が前記スケールに対して接触しているか否かを検知することによって、前記スケールに対する前記検出器の姿勢の異常を検知することを特徴とするエンコーダ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載されたエンコーダにおいて、
前記検出器は、
導電性の前記転がり部材を備え、
前記検知手段は、
電圧が印加された膜状の検知部を備え、
前記検知部に印加した電圧が変化したとき、前記スケールに対して前記転がり部材が接触していることを検知し、
前記検知部に印加した電圧が変化しないとき、前記スケールに対して前記転がり部材が接触していないことを検知することを特徴とするエンコーダ。
【請求項４】
請求項３に記載されたエンコーダにおいて、
前記スケールは、
前記目盛から前記検出器によって相対移動量が検出される測定エリアと、
前記検知手段を有するとともに前記測定エリアの外に設けられる検知エリアと、を備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載されたエンコーダにおいて、
前記検出器は、
複数の前記転がり部材を備え、
前記スケールは、
前記検知手段にて前記検出器の姿勢の異常を検知するための検知位置を有し、
前記検知手段は、
前記検知位置に前記複数の転がり部材のそれぞれと一致する位置に設けられた複数の前記検知部を備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項６】
請求項３または請求項４に記載されたエンコーダにおいて、
前記検出器は、
第１の前記転がり部材および第２の前記転がり部材を備え、
前記スケールは、
前記検知手段にて前記検出器の姿勢の異常を検知するための第１の検知位置および第２の検知位置を有し、
前記検知手段は、
前記第１の検知位置に前記検出器が位置するとき、前記第１の転がり部材のみと一致する位置に設けられた第１の前記検知部と、
前記第２の検知位置に前記検出器が位置するとき、前記第２の転がり部材のみと一致する位置に設けられた第２の前記検知部と、を備え、
前記第１の検知部および前記第２の検知部は、
共通の電圧が印加されていることを特徴とするエンコーダ。
【請求項７】
請求項３から請求項６のいずれかに記載されたエンコーダにおいて、
前記転がり部材は、前記検出器を介して接地され、
前記検知手段は、
前記スケールの目盛の配列方向に沿って形成された導電性の導電層を備え、
前記検知部は、
前記スケールの目盛の配列方向と交差する方向に前記導電層から延びて形成されることを特徴とするエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スケールに対する検出器の姿勢の異常を検知するエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、互いに相対移動する一対の測定対象部の相対移動量を検出するエンコーダが知られている。エンコーダは、目盛を有するスケールと、スケールに沿って移動する読取部を有する検出器と、を備える。検出器は、読取部がスケールの目盛から読み取る信号に基づいてスケールと検出器との相対移動量を検出する。
このようなエンコーダは、スケールに対して検出器がずれて配置される等、スケールに対する検出器の姿勢が変化すると読取部が読み取る信号が変化し、相対移動量の検出精度が低下するという問題がある。
【０００３】
これに対して、例えば、特許文献１に記載された光電式エンコーダは、メインスケール（スケール）と、メインスケールを介して光（信号）を受光する受光素子（読取部）を有し、受光素子が受光した光からメインスケールとの相対移動量を検出する受光部（検出器）と、を備える。光電式エンコーダは、メインスケールと受光部の間に第１のレンズおよび第２のレンズを有する。第１のレンズおよび第２のレンズは同じ物であり、第２のレンズは第１のレンズに対して逆向きに配置したものである。そして、光電式エンコーダは、第１のレンズおよび第２のレンズの間にアパーチャを有する。アパーチャは、第１のレンズおよび第２のレンズの焦点位置に配設され、受光部がメインスケールに沿って相対移動する方向およびメインスケールにおける目盛が配置される面の垂線と直交する方向に長いスリットを有する。
【０００４】
特許文献１の光電式エンコーダは、メインスケールに対して受光部がずれて配置される等により第１のレンズで発生する収差について、第２のレンズを第１のレンズに対して逆向きに配置することにより逆補正することができる。また、アパーチャは、第２のレンズの焦点位置に配設されているため、第２のレンズから受光素子へ照射される光を平行光にすることができる。したがって、光電式エンコーダは、第２のレンズにより収差を逆補正し、アパーチャにより光を平行光にするため、例えばメインスケールに対して受光部が離間したとしても、受光部が正常な位置（離間していない位置）に配置されたときと同様の光量を受光素子に照射できる。このため、光電式エンコーダは、受光部が検出する相対移動量の検出精度を安定させて信頼性を高めることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４８３８１１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、従来では、スケールに対する検出器の姿勢の異常は、検出器の読取部が読み取る信号に基づいて検知されている。
しかしながら、このようなエンコーダは、レンズやアパーチャ等により読取部が読み取る信号が変化しにくくなるため、スケールに対する検出器の姿勢に異常があったとしても、その異常を検知することができない場合があるという問題がある。
【０００７】
本発明の目的は、スケールに対する検出器の姿勢の異常を検知することができるエンコーダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のエンコーダは、一方の測定対象部に設けられるとともに目盛が配列されたスケールと、他方の測定対象部に設けられるとともにスケールとの相対移動量を検出する検出器と、を備えたエンコーダであって、スケールは、スケールに対する検出器の姿勢の異常を検知する検知手段を備えることを特徴とする。
【０００９】
このような構成によれば、スケールは、スケールに対する検出器の姿勢を検知する検知手段を備えるため、読取部が読み取る信号に基づいてスケールに対する検出器の姿勢の異常を検知できなくても、その異常を検知することができる。
【００１０】
この際、検出器は、正常な姿勢であるときにスケールに接触して転動する転がり部材を備え、検知手段は、転がり部材がスケールに対して接触しているか否かを検知することによって、スケールに対する検出器の姿勢の異常を検知することが好ましい。
【００１１】
このような構成によれば、転がり部材がスケールの表面と接触しているとき、スケールに対する検出器の姿勢は正常な姿勢となる。これに対して、例えば、スケールに対して検出器がロール方向、ピッチ方向、およびヨー方向に傾斜して配置されると転がり部材は、スケールの表面から浮いた状態となる。
なお、スケールが有する目盛の配列方向を軸に回転する方向をロール方向、スケールの幅方向を軸に回転する方向をピッチ方向、ロール方向およびピッチ方向と直交する方向を軸に回転する方向をヨー方向という。
【００１２】
具体的には、例えば略三角形状に配置される３つの転がり部材を検出器が備えるとき、スケールに対してロール方向、ピッチ方向、およびヨー方向に傾斜して配置されると、３つの転がり部材のうち少なくとも１つの転がり部材は、スケールの表面から浮いた状態となる。また、検出器がスケールから離れる方向（ギャップ方向）にずれて配置されると、３つの転がり部材は、全部がスケールの表面から浮いた状態となる。
【００１３】
本発明では、検知手段は、転がり部材がスケールに対して接触しているときにスケールに対する検出器の姿勢が正常であると検知し、転がり部材がスケールに対して接触していないときにスケールに対する検出器の姿勢が異常であると検知することができる。
したがって、検知手段は、読取部が読み取る信号に基づいてスケールに対する検出器の姿勢の異常を検知できなくても、スケールに対して転がり部材が接触しているか否かに基づいて、スケールに対する検出器の姿勢の異常を検知することができる。
【００１４】
この際、検出器は、導電性の転がり部材を備え、検知手段は、電圧が印加された膜状の検知部を備え、検知部に印加した電圧が変化したとき、スケールに対して転がり部材が接触していることを検知し、検知部に印加した電圧が変化しないとき、スケールに対して転がり部材が接触していないことを検知することが好ましい。
【００１５】
ここで、検知部に印加された電圧は、導電性の転がり部材が検知部に接触することで変化するという特徴がある。
本発明では、検知手段は、検知部に印加された電圧が変化したとき、スケールに対して転がり部材が接触し検出器の姿勢が正常であることを検知し、検知部に印加した電圧に変化がないとき、スケールに対して転がり部材が接触せず検出器の姿勢が異常であることを検知することができる。したがって、検知手段は、検出器が導電性の転がり部材を備えることで、検知部の電圧の変化からスケールに対する検出器の姿勢の異常を検知することができる。また、検知手段は、膜状の検知部を備えるため、スケールに対する検出器の姿勢を検知するためのセンサ等を設ける場合と比べて、エンコーダの省スペース化を図ることができる。
【００１６】
この際、スケールは、目盛から検出器によって相対移動量が検出される測定エリアと、検知手段を有するとともに測定エリアの外に設けられる検知エリアと、を備えることが好ましい。
【００１７】
ここで、検知手段が備える膜状の検知部は、例えば、クロム（Ｃｒ）等の金属で形成され、転がり部材と接触することで摩耗することがある。そして、エンコーダは、膜状の検知部が摩耗して発生する摩耗粉などにより、検出不良を引き起こすことがある。
本発明では、スケールは、測定エリアと、検知エリアと、を備えるため、スケールと検出器との相対移動量の測定は測定エリアで実行し、スケールに対する検出器の姿勢の異常の検知は検知エリアで実行することができる。
すなわち、検出器は、測定の際は測定エリア内を移動し転がり部材と検知部とを接触させないので、検知部の摩耗による摩耗粉の発生を抑制することができる。
また、検知エリアは、測定エリアの外に設けられるため、エンコーダは、検出器の状態を検知するときに検出器を検知エリアに移動させて、スケールに対する検出器の姿勢の異常を検知することができる。
【００１８】
この際、検出器は、複数の転がり部材を備え、スケールは、検知手段にて検出器の姿勢の異常を検知するための検知位置を有し、検知手段は、検知位置に複数の転がり部材のそれぞれと一致する位置に設けられた複数の検知部を備えることが好ましい。
【００１９】
このような構成によれば、検知手段は、検知位置に複数の転がり部材のそれぞれと一致する位置に設けられた複数の検知部を備えるので、検知位置に設けられた複数の検知部は、複数の転がり部材と一対一対応している。検知手段は、検出器を検知位置に移動させて複数の転がり部材を複数の検知部に接触させることで、それぞれの転がり部材の状態を同時に検知することができる。
【００２０】
また、エンコーダは、検知位置に設けられた複数の検知部により、スケールに対する検出器の姿勢が異常である場合、複数の転がり部材の中でどの転がり部材がスケールに対して接触していないかを特定することができる。そして、エンコーダは、スケールに対して接触していない転がり部材を特定することにより、スケールに対する検出器の姿勢がどのようにスケールに対してずれているのかを検知することができる。
【００２１】
この際、検出器は、第１の転がり部材および第２の転がり部材を備え、スケールは、検知手段にて検出器の姿勢の異常を検知するための第１の検知位置および第２の検知位置を有し、検知手段は、第１の検知位置に検出器が位置するとき、第１の転がり部材のみと一致する位置に設けられた第１の検知部と、第２の検知位置に検出器が位置するとき、第２の転がり部材のみと一致する位置に設けられた第２の検知部と、を備え、第１の検知部および第２の検知部は、共通の電圧が印加されていることが好ましい。
【００２２】
ここで、複数の検知部に対して複数の転がり部材の全部が一度に接触するように構成したとき、複数の検知部に対して検知部ごとに別々の電圧を印加しなければ、検知手段は、スケールに対して接触していない転がり部材があったとしても、他の転がり部材が複数の検知部のいずれかに接触することで電圧が変化してしまうので、転がり部材の接触を検知することができない。
【００２３】
本発明では、検知手段は、第１の検知位置に検出器が位置するとき、第１の転がり部材のみと一致する位置に設けられた第１の検知部と、第２の検知位置に検出器が位置するとき、第２の転がり部材のみと一致する位置に設けられた第２の検知部と、を備えることで、複数の検知部に対して検知部ごとに別々の電圧を印加しなくても、第１の検知位置にて第１の検知部と第１の転がり部材のみが接触し、第２の検知位置にて第２の検知部と第２の転がり部材のみが接触することで、どの転がり部材がスケールに対して接触していないかを特定することができる。
【００２４】
そして、エンコーダは、スケールに対して接触していない転がり部材を特定することにより、スケールに対する検出器の姿勢がどのようにスケールに対してずれているのかを検知することができる。また、第１の検知部および第２の検知部は、印加された共通の電圧からスケールに対する検出器の姿勢を検知することができる。したがって、エンコーダは、複数の検知部に対して検知部ごとに別々の電圧を印加する必要がないため、コスト削減を図ることができる。
【００２５】
この際、転がり部材は、検出器を介して接地され、検知手段は、スケールの目盛の配列方向に沿って形成された導電性の導電層を備え、検知部は、スケールの目盛の配列方向と交差する方向に導電層から延びて形成されることが好ましい。
【００２６】
ここで、ガラス等で形成されるスケールは、転がり部材がその表面に当接して転動するのに伴って帯電することがある。スケールに帯電した電荷は、放電されることによって検出器の電気系統（電圧や周波数等）の乱れを引き起こしノイズの原因となる。また、スケールが帯電することでスケールや検出器等に埃が付着しやすくなり、検出不良等の原因となる。
【００２７】
しかしながら、このような構成によれば、転がり部材は、検出器を介して接地されているため、転がり部材と検知部とを接触させるだけで、スケールに帯電した電荷を除電することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】第１実施形態に係るエンコーダを示す正面図および断面図
【図２】前記エンコーダにおけるスケールおよび検知手段を示す正面図
【図３】前記エンコーダにおける検出器および検知位置の関係を示す図
【図４】前記エンコーダを示すブロック図
【図５】前記エンコーダにおける制御方法を示すフローチャート
【図６】第２実施形態に係るエンコーダにおけるスケールおよび検知手段を示す正面図
【図７】前記エンコーダにおける検出器および第１の検知位置の関係を示す図
【図８】前記エンコーダにおける検出器および第２の検知位置の関係を示す図
【図９】前記エンコーダにおける検出器および第３の検知位置の関係を示す図
【図１０】前記エンコーダにおける検知部に印加された電圧の変化を示す図
【図１１】前記エンコーダを示すブロック図
【図１２】前記エンコーダにおける制御方法を示すフローチャート
【図１３】第１変形例に係るスケールにおける検知手段を示す図
【図１４】第２変形例に係るスケールにおける検知手段を示す図
【図１５】第３変形例に係るスケールにおける検知手段を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、第１実施形態に係るエンコーダを示す正面図および断面図である。具体的には、図１（Ａ）はエンコーダ１の正面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ断面におけるエンコーダ１の断面図である。
【００３０】
エンコーダ１は、図１に示すように、互いに相対移動する一対の測定対象部Ｗ１，Ｗ２間の移動距離を測定する測定器である。エンコーダ１は、例えば、電磁誘導式のリニアエンコーダである。
エンコーダ１は、エンコーダ本体２と、このエンコーダ本体２に移動自在に設けられる検出器３と、を備えている。このエンコーダ１は、一方の測定対象部Ｗ１にエンコーダ本体２が固定され、他方の測定対象部Ｗ２に検出器３が固定されることで、一対の測定対象部Ｗ１，Ｗ２に取付けられる。
【００３１】
エンコーダ本体２は、長尺状のスケール枠４と、このスケール枠４に内蔵されるスケール５と、を有して構成されている。スケール枠４は、アルミ合金製の押し出し成形材等で形成され、全体略矩形中空状に形成されている。
なお、以下の説明および各図面において、スケール枠４の長手方向であり検出器３の移動方向をＸ方向と記し、Ｘ方向に直交するスケール枠４の幅方向（奥行方向）をＹ方向と記し、Ｘ，Ｙ方向に直交する上下方向をＺ方向と記す場合がある。
【００３２】
検出器３は、スケール枠４の外部に設けられるとともに他方の測定対象部Ｗ２に固定される検出器本体６と、この検出器本体６からスケール枠４の内部に延びて設けられる検出部７と、を有している。
検出部７は、検出器３とスケール５との相対移動量を読み取る読取部７ａと、検出部７に接続して設けられるとともに、検出器３がスケール５に対して正常な姿勢であるときにスケール５の表面に接触して転動する転がり部材であるベアリング８と、を有している。
読取部７ａは、励磁コイルと検出コイルとを備えている。励磁コイルは、エンコーダ１が電流を流すと磁束が発生するとともに対向する目盛Ｃに磁束を発生させる。目盛Ｃに生じた磁束は、さらに、対向する読取部７ａの検出コイルに磁束を発生させる。検出コイルは、目盛Ｃに発生する磁束の変位量を読み取り、検出器３とスケール５との相対移動量を検出している。
【００３３】
図２は、前記エンコーダにおけるスケールおよび検知手段を示す正面図である。具体的には、スケール５を−Ｙ方向側からみた図である。
スケール５は、図２に示すように、ガラス等からなる長尺状のスケール基材５ａと、スケール５に対する検出器３の姿勢の異常を検知する検知手段９と、スケール基材５ａの長手方向（Ｘ方向）に沿って一定のピッチで配列されたコイルからなる目盛Ｃと、を有している。目盛Ｃは、銅（Ｃｕ）等の導電体で形成されている。
検知手段９は、電圧が印加された検知部１０を有する。検知部１０は、検知部１１，１２，１３を有し、クロム（Ｃｒ）等の膜状の導電体で形成されている。検知部１０の詳細については、後述する。
【００３４】
スケール５は、目盛Ｃから検出器３によって相対移動量が検出される測定エリア２０と、検知手段９を有するとともに測定エリア２０の外に設けられる検知エリア３０と、をさらに備えている。
測定エリア２０は、スケール基材５ａの長手方向（Ｘ方向）に沿って一連に形成されている。そのため、検出器３は、検知エリア３０を通過することなく測定エリア２０内において測定を実行する。
【００３５】
検知エリア３０は、検知手段９にて検出器３の姿勢の異常を検知するための検知位置４０を有し、スケール基材５ａの長手方向の一端側（＋Ｘ方向側）の端部に形成されている。なお、検知エリア３０は、スケール基材５ａの長手方向の一端側（＋Ｘ方向側）の端部にのみ設けられていてもよいし、スケール基材５ａの長手方向の他端側（−Ｘ方向側）の端部にのみ設けられていてもよいし、スケール基材５ａの両端に設けられていてもよい。
【００３６】
図３は、前記エンコーダにおける検出器および検知位置の関係を示す図である。
ベアリング８は、図３に示すように、導電性のベアリング８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，８ｅを有する。ベアリング８は、検出器３および他方の測定対象部Ｗ２（図１（Ｂ）参照）を介して接地されている。
【００３７】
ベアリング８ａは、目盛Ｃに沿って転動する位置に設けられている。ベアリング８ｂは、目盛Ｃに沿って転動するとともにベアリング８ａと同じ経路を転動する位置に設けられている。ベアリング８ｃは、ベアリング８ａ，８ｂに対して目盛Ｃを挟んで向かい側のベアリング８ａ，８ｂの経路に平行な経路を転動する位置に設けられている。ベアリング８ｄは、スケール基材５ａの側面（−Ｚ方向側）と当接して転動する位置に設けられている。ベアリング８ｅは、スケール基材５ａの側面（−Ｚ方向側）と当接して転動するとともにベアリング８ｄと同じ経路を転動する位置に設けられている。
【００３８】
検知部１１は、検出部７（検出器３）が検知位置４０に静止したとき、ベアリング８ａと一致する位置に設けられている。検知部１２は、検出部７が検知位置４０に静止したとき、ベアリング８ｂと一致する位置に設けられている。検知部１３は、検出部７が検知位置４０に静止したとき、ベアリング８ｃと一致する位置に設けられている。
検知部１１，１２，１３は、検知位置４０内においてベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと確実に接触することができる大きさに形成されている。具体的には、検知部１１，１２，１３は、Ｘ方向にベアリング８ａ，８ｂ，８ｃがある程度の距離を転動することができる長さに設けられている。
【００３９】
検知手段９は、検出部７を検知エリア３０の検知位置４０に移動させて、ベアリング８がスケール５に対して接触しているか否かを検知することによって、スケール５に対する検出器３の姿勢の異常を検知する。具体的には、検知手段９は、検知部１０に印加した電圧が変化したとき、スケール５に対してベアリング８が接触していることを検知し、検知部１０に印加した電圧が変化しないとき、スケール５に対してベアリング８が接触していないことを検知する。本実施形態では、ベアリング８が検出器３および他方の測定対象部Ｗ２を介して接地されているため、ベアリング８と検知部１０とが接触すると電圧が０へと変化する。
【００４０】
検知部１１，１２，１３は、それぞれに電圧が印加されているので、例えばベアリング８ａのみがスケール５に対して接触していないとき、検知部１２，１３に印加された電圧は０へと変化するが、検知部１１に印加された電圧は変化しない。したがって、検知手段９は、検知部１０に印加した電圧の変化から、スケール５に対してどのベアリング８が接触していないか、ひいては検出器３の姿勢がどのようにスケール５に対してずれているのかを検知することができる。
【００４１】
図４は、前記エンコーダを示すブロック図である。
エンコーダ１は、図４に示すように、エンコーダ１に対する検出器３の姿勢を判定する姿勢判定手段５０と、情報を表示する表示手段６０と、を備える。
エンコーダ１が取付けられる一対の測定対象部Ｗ１，Ｗ２（図１（Ｂ）参照）は、一対の測定対象部Ｗ１，Ｗ２を制御する制御手段１００と、制御手段１００により制御される駆動手段７０と、を備える。
【００４２】
駆動手段７０は、一対の測定対象部Ｗ１，Ｗ２に固定されるスケール５と検出器３とを相対移動させるモータ等である。
制御手段１００は、エンコーダ１の姿勢判定手段５０による判定結果などに基づき駆動手段７０を制御する。制御手段１００は、駆動手段７０を制御し、検出器３が固定されている他方の測定対象部Ｗ２を駆動させて検出器３（検出部７）を移動させている。
【００４３】
姿勢判定手段５０は、スケール５が有する検知手段９による検知結果を記憶する記憶部５１と、検出部７が検知位置４０まで移動したか否かを判定する位置判定部５２と、検知手段９による検知結果に基づきスケール５に対する検出器３の姿勢を判定する姿勢判定部５３と、を備える。
【００４４】
位置判定部５２は、検出部７が検知位置４０まで移動したか否かを目盛Ｃから読み取り判定する。具体的には、位置判定部５２は、読取部７ａにより読み取られた測定値と、記憶部５１等にあらかじめ記憶させておいた検知位置４０と対応する検知位置情報と、を照らし合わせて、検出部７が検知位置４０まで移動したか否かを判定する。なお、位置判定部５２は、スケール５に設けられるアライメントマーク等を読み取り検出部７が検知位置４０まで移動したか否かを判定してもよい。
【００４５】
姿勢判定部５３は、検知手段９により検知されたベアリング８と検知部１０との接触状態から、スケール５に対する検出器３の姿勢が正常か異常かを判定する。
表示手段６０は、姿勢判定部５３で判定された結果をＬＥＤ（Light Emitting Diode）やディスプレイ等に表示する。本実施形態では、表示手段６０は、図示しない青色のＬＥＤと赤色のＬＥＤであり、スケール５に対する検出器３の姿勢が正常であるときは青色のＬＥＤを点灯し、スケール５に対する検出器３の姿勢が異常であるときは赤色のＬＥＤを点灯する。
【００４６】
図５は、前記エンコーダにおける制御方法を示すフローチャートである。
図５に基づいてエンコーダ１における検出器３の姿勢の異常を検知する動作について説明する。
制御手段１００は、図５に示すように、先ず、駆動手段７０により他方の測定対象部Ｗ２を駆動させてエンコーダ１の検出部７を検知エリア３０内の検知位置４０に向かって移動させる開始工程を実行する（ステップＳＴ０１）。
【００４７】
次に、位置判定部５２は、検出部７が検知位置４０まで移動したか否かを判定する（ステップＳＴ０２）。位置判定部５２により検出部７が検知位置４０まで移動していないと判定された場合（ステップＳＴ０２でＮＯ）、制御手段１００は、検出部７が検知位置４０まで移動したと判定されるまで駆動手段７０を駆動し検出部７を移動させる。位置判定部５２により検出部７が検知位置４０まで移動したと判定された場合（ステップＳＴ０２でＹＥＳ）、制御手段１００は、検知位置４０で検出部７が停止するように駆動手段７０を停止させる停止工程を実行する（ステップＳＴ０３）。
【００４８】
続いて、検知手段９は、停止した検出部７が備えるベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと検知位置４０に設けられた検知部１１，１２，１３とがそれぞれ接触しているか否かを検知し、スケール５に対する検出器３の姿勢を判定する姿勢判定工程を実行する（ステップＳＴ０４）。ここで、検知手段９による検知結果は記憶部５１に保存される。
【００４９】
記憶部５１に保存された検知結果に基づき、姿勢判定部５３は、ベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと検知部１１，１２，１３とがそれぞれ接触しているか否かを判定する。
姿勢判定部５３がベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと検知部１１，１２，１３とがそれぞれ接触していると判定したとき、スケール５に対する検出器３の姿勢は正常であるとして表示手段６０は青色のＬＥＤを点灯する（ステップＳＴ０５）。
姿勢判定部５３がベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと検知部１１，１２，１３とのいずれかが接触していないと判定したとき、スケール５に対する検出器３の姿勢は異常であるとして表示手段６０は赤色のＬＥＤを点灯する（ステップＳＴ０５）。
【００５０】
なお、姿勢判定部５３は、姿勢判定工程として、検知手段９により検出された接触していないベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと検知部１１，１２，１３から、スケール５に対する検出器３の姿勢がどのように異常であるのかを判定してもよい（ステップＳＴ０４）。
具体的には、例えば検知手段９がベアリング８ａ，８ｂと検知部１１，１２とが接触し、ベアリング８ｃと検知部１３とが接触していないことを検知した場合、姿勢判定部５３は、スケール５に対して検出器３がロール方向にずれた姿勢であることを判定する。また、検知手段９がベアリング８ｂ，８ｃと検知部１２，１３とが接触し、ベアリング８ａと検知部１１とが接触していないことを検知した場合、姿勢判定部５３は、スケール５に対して検出器３がピッチ方向にずれた姿勢であることを判定する。
姿勢判定部５３により判定された結果は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）などの表示手段６０に表示される（ステップＳＴ０５）。
【００５１】
このような本実施形態によれば、以下の作用・効果を奏することができる。
（１）スケール５は、スケール５に対する検出器３の姿勢を検知する検知手段９を備えるため、読取部７ａが読み取る信号の変化に基づいてスケール５に対する検出器３の姿勢の異常を検知できなくても、その異常を検知することができる。
（２）検知手段９は、読取部７ａが読み取る信号の変化に基づいてスケール５に対する検出器３の姿勢の異常を検知できなくても、スケール５に対してベアリング８が接触しているか否かから、スケール５に対する検出器３の姿勢の異常を検知することができる。
【００５２】
（３）検知手段９は、検出器３が導電性の転がり部材であるベアリング８を備えることで、検知部１０の電圧の変化からスケール５に対する検出器３の姿勢の異常を検知することができる。
（４）検知手段９は、膜状の検知部１０を備えるため、スケールに対する検出器の姿勢を検知するためのセンサ等を設ける場合と比べて、エンコーダ１の省スペース化を図ることができる。
（５）検出器３は、測定の際は測定エリア２０内を移動しベアリング８と検知部１０とを接触させないので、検知部１０の摩耗による摩耗粉の発生を抑制することができる。
【００５３】
（６）検知エリア３０は、測定エリア２０の外に設けられるため、エンコーダ１は、検出器３の状態を検知するときに検出器３を検知エリア３０に移動させて、スケール５に対する検出器３の姿勢の異常を検知することができる。
（７）検知手段９は、検知位置４０に複数のベアリング８ａ〜８ｃのそれぞれと一致する位置に設けられた複数の検知部１１〜１３を備えるので、検知位置４０に設けられた複数の検知部１１〜１３は、複数のベアリング８ａ〜８ｃと一対一対応している。検知手段９は、検出器３を検知位置４０に移動させて複数のベアリング８ａ〜８ｃを複数の検知部１１〜１３に接触させることで、それぞれのベアリング８ａ〜８ｃの状態を同時に検知することができる。
【００５４】
（８）エンコーダ１は、検知位置４０に設けられた複数の検知部１１〜１３により、スケール５に対する検出器３の姿勢が異常である場合、複数のベアリング８ａ〜８ｃの中でどのベアリング８ａ〜８ｃがスケール５に対して接触していないかを特定することができる。そして、エンコーダ１は、スケール５に対して接触していないベアリング８ａ〜８ｃを特定することにより、スケール５に対する検出器３の姿勢がどのようにスケール５に対してずれているのかを検知することができる。
【００５５】
〔第２実施形態〕
以下、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
また、本実施形態では、ベアリング８ａを第１の転がり部材とし、ベアリング８ｃを第２の転がり部材とし、ベアリング８ｂを第３の転がり部材とする。
【００５６】
図６は、第２実施形態に係るエンコーダにおけるスケールおよび検知手段を示す正面図
である。
前記第１実施形態のエンコーダ１における検知手段９は、検知位置４０においてベアリング８に一対一対応する位置に設けられる検知部１０を備えていた。
本実施形態のエンコーダ１Ａにおける検知手段９Ａは、図６に示すように、導電性を有する導電層Ｄと、導電層Ｄ上に形成されるとともに一定のピッチで配列されたコイルからなる目盛Ｃ２と、をさらに備え、検知部１０Ａは、導電層Ｄから延びて形成される点で、前記第１実施形態の検知手段９と異なる。
【００５７】
導電層Ｄは、クロム（Ｃｒ）等の導電体であり、スケール５Ａの長手方向（Ｘ方向）に沿って−Ｙ方向側の一面に直線状に形成されている。
目盛Ｃ２は、導電層Ｄよりも導電性の高い銅（Ｃｕ）等の導電体で形成されている。なお、導電層Ｄおよび目盛Ｃ２は、導電層Ｄよりも目盛Ｃ２の導電性が高いものであれば、どのような導電体を用いてもよい。
検知部１０Ａは、スケール５Ａの目盛Ｃ２の配列方向（Ｘ方向）と交差する方向（Ｚ方向）に導電層Ｄから延びて形成されている。
【００５８】
前記第１実施形態のスケール５における測定エリア２０は、目盛Ｃを有し、検知エリア３０は、複数の検知部１１，１２，１３が設けられた検知位置４０を有していた。
本実施形態のスケール５Ａにおける測定エリア２０Ａは、導電層Ｄ上に形成される目盛りＣ２を備える点で前記第１実施形態と異なる。また、検知エリア３０Ａは、第１の転がり部材であるベアリング８ａに対応する第１の検知位置４１と、第２の転がり部材であるベアリング８ｃに対応する第２の検知位置４２と、第３の転がり部材であるベアリング８ｂに対応する第３の検知位置４３と、を備える点で前記第１実施形態と異なる。
【００５９】
前記第１実施形態の複数の検知部１１，１２，１３は、それぞれに電圧が印加されていた。本実施形態の複数の検知部１４，１５，１６は、導電層Ｄにより共通して電圧が印加されている点で前記第１実施形態と異なる。すなわち、本実施形態では、導電層Ｄに電圧が印加されている。
【００６０】
第１の検知位置４１は、第１の転がり部材であるベアリング８ａのみと一致する位置に設けられた第１の検知部１４を備える。第２の検知位置４２は、第２の転がり部材であるベアリング８ｃのみと一致する位置に設けられた第２の検知部１５を備える。第３の検知位置４３は、ベアリング８ｂと一致する位置に設けられた第３の検知部１６を備える。
【００６１】
図７〜９は、前記エンコーダにおける検出器および検知位置との関係を示す図であり、図１０は、前記エンコーダにおける検知部に印加された電圧の変化を示す図である。
具体的には、図７は、第１の検知位置４１にて、第１の転がり部材であるベアリング８ａと第１の検知部１４が接触するときの図であり、図８は、第２の検知位置４２にて、第２の転がり部材であるベアリング８ｃと第２の検知部１５が接触するときの図であり、図９は、第３の検知位置４３にて、第３の転がり部材であるベアリング８ｂと第３の検知部１６が接触するときの図である。また、図１０における（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）について、（Ａ）は、図７に対応し、（Ｂ）は、図８に対応し、（Ｃ）は、図９に対応している。
図７〜１０に基づいてベアリング８および検知部１０Ａが接触したときの導電層Ｄに印加された電圧の変化について説明する。
【００６２】
先ず、図７に示すように、検出部７をスケール５Ａに沿って＋Ｘ方向に移動させる。第１の転がり部材であるベアリング８ａと第１の検知部１４が接触すると、スケール５Ａに対する検出器３の姿勢が正常である場合、図１０の（Ａ）に示すように、導電層Ｄに印加された電圧は０へと変化する。
なお、ベアリング８は、検出器３および他方の測定対象部Ｗ２を介して接地されていることから、ベアリング８と導電層Ｄとが接触すると、導電層Ｄは接地される。ベアリング８と導電層Ｄ（検知部１０Ａ）とが接触している間、接地されることにより、導電層Ｄに印加された電圧は０へと変化する。これにより、スケール５Ａに帯電した電荷は、導電層Ｄを介して除電される。
【００６３】
次に、図８に示すように、第２の検知位置４２に向かって検出部７を移動させる。第２の転がり部材であるベアリング８ｂと第２の検知部１５が接触すると、スケール５Ａに対する検出器３の姿勢が正常である場合、図１０の（Ｂ）に示すように、導電層Ｄに印加された電圧は０へと変化する。
続いて、図９に示すように、検知位置４３に向かって検出部７を移動させる。第３の転がり部材であるベアリング８ｂと第３の検知部１６が接触すると、スケール５Ａに対する検出器３の姿勢が正常である場合、図１０の（Ｃ）に示すように、導電層Ｄに印加された電圧は０へと変化する。
【００６４】
図１１は、前記エンコーダを示すブロック図である。
本実施形態のエンコーダ１Ａは、図１１に示すように、スケール５Ａと、姿勢判定手段５０Ａを除き、前記第１実施形態と略同様の構成を備える。
スケール５Ａが備える検知手段９Ａは、第１の検知部１４、第２の検知部１５、および第３の検知部１６をさらに備える。
【００６５】
姿勢判定手段５０Ａの位置判定部５２Ａは、第１の検知位置４１、第２の検知位置４２および第３の検知位置４３のそれぞれについて検出部７が移動したか否かを判定する。姿勢判定部５３Ａは、検知手段９Ａにより検知された第１の検知位置４１、第２の検知位置４２および第３の検知位置４３におけるベアリング８と検知部１０Ａとの接触状態から、スケール５Ａに対する検出器３の姿勢が正常か異常かを判定する。
【００６６】
図１２は、前記エンコーダにおける制御方法を示すフローチャートである。
図１２に基づいてエンコーダ１Ａによる検出器３の姿勢の異常を検知する動作について説明する。
制御手段１００は、図１２に示すように、先ず、駆動手段７０により他方の測定対象部Ｗ２を駆動させてエンコーダ１Ａの検出部７を検知エリア３０Ａ内の検知位置４１〜４３に向かって移動させる開始工程を実行する（ステップＳＴ１１）。
【００６７】
次に、位置判定部５２Ａは、検出部７が第１の検知位置４１まで移動したか否かを判定する（ステップＳＴ１２）。位置判定部５２Ａにより検出部７が第１の検知位置４１まで移動していないと判定された場合（ステップＳＴ１２でＮＯ）、制御手段１００は、検出部７が第１の検知位置４１まで移動したと判定されるまで駆動手段７０を駆動し検出部７を移動させる。位置判定部５２Ａにより検出部７が第１の検知位置４１まで移動したと判定された場合（ステップＳＴ１２でＹＥＳ）、制御手段１００は、第１の検知位置４１を通過させ、第２の検知位置４２に向かって駆動手段７０を駆動し検出部７を移動させる。このとき、第１の検知位置４１に設けられた第１の検知部１４は、第１の転がり部材であるベアリング８ａと接触したか否かの検知結果を記憶部５１に保存する。
【００６８】
続いて、位置判定部５２Ａは、検出部７が第２の検知位置４２まで移動したか否かを判定する（ステップＳＴ１３）。位置判定部５２Ａにより検出部７が第２の検知位置４２まで移動していないと判定された場合（ステップＳＴ１３でＮＯ）、制御手段１００は、検出部７が第２の検知位置４２まで移動したと判定されるまで駆動手段７０を駆動し検出部７を移動させる。位置判定部５２Ａにより検出部７が第２の検知位置４２まで移動したと判定された場合（ステップＳＴ１３でＹＥＳ）、制御手段１００は、第２の検知位置４２を通過させ、検知位置４３に向かって駆動手段７０を駆動し検出部７を移動させる。このとき、第２の検知位置４２に設けられた第２の検知部１５は、第２の転がり部材であるベアリング８ｃと接触したか否かの検知結果を記憶部５１に保存する。
【００６９】
続いて、位置判定部５２Ａは、検出部７が第３の検知位置４３まで移動したか否かを判定する（ステップＳＴ１４）。位置判定部５２Ａにより検出部７が第３の検知位置４３まで移動していないと判定された場合（ステップＳＴ１４でＮＯ）、検出部７が第３の検知位置４３まで移動したと判定されるまで駆動手段７０を駆動し検出部７を移動させる。位置判定部５２Ａにより検出部７が第３の検知位置４３まで移動したと判定された場合（ステップＳＴ１４でＹＥＳ）、制御手段１００は、第３の検知位置４３で検出部７が停止するように駆動手段７０を停止させる停止工程を実行する（ステップＳＴ１５）。
このとき、第３の検知位置４３に設けられた第３の検知部１６は、ベアリング８ｂと接触したか否かの検知結果を記憶部５１に保存する。
【００７０】
続いて、第１の検知位置４１、第２の検知位置４２および第３の検知位置４３において記憶部５１に保存された検知結果に基づき、姿勢判定部５３Ａは、ベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと検知部１４，１５，１６とがそれぞれ接触しているか否かを判定する姿勢判定工程を実行する（ステップＳＴ１６）。
姿勢判定部５３Ａがベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと検知部１４，１５，１６とがそれぞれ接触していると判定したとき、スケール５Ａに対する検出器３の姿勢は正常であるとして表示手段６０は青色のＬＥＤを点灯する（ステップＳＴ１７）。
姿勢判定部５３Ａがベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと検知部１４，１５，１６とのいずれかが接触していないと判定したとき、スケール５Ａに対する検出器３の姿勢は異常であるとして表示手段６０は赤色のＬＥＤを点灯する（ステップＳＴ１７）。
【００７１】
なお、姿勢判定部５３Ａは、第１実施形態にて述べたように、姿勢判定工程として検知手段９Ａにより検出された接触していないベアリング８ａ，８ｂ，８ｃと検知部１４，１５，１６から、スケール５Ａに対する検出器３の姿勢がどのように異常であるのかを判定してもよい（ステップＳＴ１６）。
【００７２】
このような本実施形態においても、前記第１実施形態における（１）〜（６）と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
（９）検知手段９Ａは、複数の検知部１０Ａに対して検知部１０Ａごとに別々の電圧を印加しなくても、第１の検知位置４１にて第１の検知部１４と第１の転がり部材であるベアリング８ａのみが接触し、第２の検知位置４２にて第２の検知部１５と第２の転がり部材であるベアリング８ｃのみが接触することで、どのベアリング８がスケール５Ａに対して接触していないかを特定することができる。
【００７３】
（１０）エンコーダ１Ａは、スケール５Ａに対して接触していないベアリング８を特定することにより、スケール５Ａに対する検出器３の姿勢がどのようにスケール５Ａに対してずれているのかを検知することができる。
(１１)第１の検知部１４および第２の検知部１５は、印加された共通の電圧からスケールに対する検出器３の姿勢を検知することができる。したがって、エンコーダ１Ａは、複数の検知部１０Ａに対して検知部１０Ａごとに別々の電圧を印加する必要がないため、コスト削減を図ることができる。
（１２）ベアリング８は、検出器３を介して他方の測定対象部Ｗ２に接地されているため、ベアリング８と検知部１０Ａ（導電層Ｄ）とを接触させるだけで、スケール５Ａに帯電した電荷を除電することができる。
【００７４】
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、電磁誘導式のリニアエンコーダであるエンコーダ１，１Ａに本発明を用いる場合を説明したが、光電式のリニアエンコーダであってもよい。すなわち、エンコーダ１，１Ａとしては、エンコーダ本体２に移動自在に設けられる検出器を備えたものであればよく、検出器の形式や検出方式等は特に限定されるものではない。
【００７５】
エンコーダ１，１Ａは、リニアエンコーダではなくロータリーエンコーダであってもよい。この場合、検出器はスケール基材の周方向に沿って移動し、検知エリアは、スケール基材の周方向に沿って形成された測定エリアの一部に設けられる。
【００７６】
前記各実施形態では、検知手段９，９Ａは、ベアリング８および検知部１０，１０Ａを接触させることで、スケール５，５Ａに対する検出器３の姿勢を検知していたが、検知手段は、スケールに対する検出器の姿勢を検知することができればよく、例えば、ギャップセンサ等のセンサであってもよい。
また、前記各実施形態では、転がり部材はベアリング８を用いたが、検出部７を移動させることで検知手段９，９Ａの検知部１０，１０Ａに接触させることができればどのような構成であってもよい。
【００７７】
前記各実施形態では、検知手段は、ベアリング８と接触したか否かを検知するために検知部１０，１０Ａを備えていたが、検知部は、圧力センサや接触センサ、歪みゲージ等のセンサであってもよい。すなわち、検知手段は、転がり部材であるベアリングがスケールに対して接触しているか否かを検知することによって、スケールに対する検出器の姿勢の異常を検知することができれば、どのような構成であってもよい。
【００７８】
前記各実施形態では、ベアリング８および検知部１０，１０Ａを接触させることで検知部１０，１０Ａに印加された電圧は０に変化し、検知手段９，９Ａは、これに基づいてスケール５，５Ａに対する検出器３の姿勢を判断していたが、検知手段は、転がり部材および検知部を接触させることで検知部に印加された電圧に変化が生じれば、どのような値に基づき検出器３の姿勢を判断してもよい。
要するに、検知部１０，１０Ａは、検出器３および他方の測定対象部Ｗ２を介して接地されていなくてもよい。
【００７９】
前記各実施形態では、検知エリア３０，３０Ａは、スケール５，５Ａの長手方向の一端側（＋Ｘ方向側）の端部に形成されていたが、測定エリア２０の中間部に設けられていてもよい。また、検知エリア３０，３０Ａは、測定エリア２０よりも広範に設けられていてもよいし、検知エリア３０，３０Ａと測定エリア２０とが交互に設けられてもよい。
【００８０】
図１３は、第１変形例に係るスケールにおける検知手段を示す図である。
前記第２実施形態では、エンコーダ１Ａにおける導電層Ｄは、測定エリア２０Ａおよび検知エリア３０Ａの両方のエリアに亘って形成されていた。
第１変形例に係るエンコーダ１Ｂにおける導電層Ｄ２は、図１３に示すように、スケール５Ｂの検知エリア３０Ｂにおいて目盛Ｃ２の部分を避けて、検知部１０Ａだけを接続するように形成されていてもよい。すなわち、導電層は、検知部１０Ａに印加される電圧を共有にする場合、分断されずに形成されていれば、どのように形成されていてもよい。
【００８１】
図１４は、第２変形例に係るスケールにおける検知手段を示す図である。
前記第２実施形態では、スケール５Ｃにおける目盛Ｃは、測定エリア２０Ａおよび検知エリア３０Ａの両方に形成されていた。
第２変形例に係るエンコーダ１Ｃにおける目盛Ｃ３は、図１４に示すように、検知エリア３０Ｃに設けられていなくてもよい。また、エンコーダ１Ｃが光電式のリニアエンコーダであった場合は、検知エリア３０Ｃに設けられた目盛Ｃ３は、機能しないように埋める等してもよい。
【００８２】
図１５は、第３変形例に係るスケールにおける検知手段を示す図である。
前記各実施形態では、スケール５，５Ａにおける検知エリア３０，３０Ａは、検知位置４０，４１〜４３を備えていたが、検知エリアは、検知位置を備えていなくてもよい。
第３変形例に係るエンコーダ１Ｄにおける検知手段９Ｂは、図１５に示すように、スケール５Ｄの目盛Ｃ２の配列方向（Ｘ方向）と交差する方向（Ｚ方向）に導電層Ｄ３から延びて形成される検知部１０Ｂを備える。
【００８３】
検知部１０Ｂは、導電層Ｄ３から＋Ｚ方向に延びて形成される第１の検知部１７と、導電層Ｄ３から−Ｚ方向に延びて形成される第２の検知部１８と、を備える。
本変形例では、検知エリア３０Ｄにおいて、スケール５Ｄに対して検出器３の姿勢が正常である場合、検出部７をスケール５Ｄに沿って＋Ｘ方向に移動させると、先ず、第１の転がり部材であるベアリング８ａは第１の検知部１７と接触する。続いて検出部７をスケール５Ｄに沿って＋Ｘ方向に移動させると、第２の転がり部材であるベアリング８ｃは第２の検知部１８と接触する。さらに検出部７をスケール５Ｄに沿って＋Ｘ方向に移動させると、第３の転がり部材であるベアリング８ｂは第１の検知部１７と接触する。
【００８４】
したがって、このような構成によれば、検出部７をスケール５Ｄに沿ってＸ方向に移動させることで、転がり部材８は検知部１０Ｂと一つずつ接触するため、導電層Ｄ３に共通の電圧が印加されるとともに検知エリア３０Ｄが検知位置を備えていなくても、スケール５Ｄに対する検出器３の姿勢の異常を検知することができる。
また、スケール５Ｄに対する検出器３の姿勢が異常であるとき、スケール５Ｄと接触していないベアリング８は、読取部７ａにより読み取られた測定値と、記憶部５１等にあらかじめ記憶させておいた位置情報等と、を照らし合わせることで特定することができる。
【００８５】
前記各実施形態では、検知部１０，１０Ａは、目盛Ｃ，Ｃ２が形成される面に形成されていたが、ベアリング８ｄ，８ｅに対応するようにスケール基材５ａの側面に設けられていても良い。すなわち、検知部１０，１０Ａは、ベアリング８と接触することでスケール５，５Ａに対する検出器３の姿勢が異常であるか否かが検知できればよい。
【００８６】
前記第２実施形態では、第１の転がり部材をベアリング８ａとし、第２の転がり部材をベアリング８ｃとしていたが、第１の転がり部材をベアリング８ｃとし、第２の転がり部材をベアリング８ｂとしてもよい。また、これに対応した第１の検知位置に第１の検知部が設けられ、第２の検知位置に第２の検知位置が設けられていればよい。
前記各実施形態では、複数の検知部１０，１０Ａは３つであったが、検知手段９，９Ａは３つ以上の検知部を備えていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
以上のように、本発明は、エンコーダの制御システム、エンコーダおよびエンコーダの制御システムの制御方法に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００８８】
１，１Ａ〜１Ｄ            エンコーダ
３                        検出器
５，５Ａ〜５Ｄ            スケール
７                        検出部
８                        ベアリング
９，９Ａ，９Ｂ            検知手段
１０，１０Ａ，１０Ｂ        検知部
２０，２０Ａ                測定エリア
３０，３０Ａ〜３０Ｄ        検知エリア
４０                        検知位置
４１                        第１の検知位置
４２                        第２の検知位置
Ｃ，Ｃ２，Ｃ３              目盛
Ｄ，Ｄ２，Ｄ３              導電層
Ｗ１，Ｗ２                  一対の測定対象部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
2018179617.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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