(57)【要約】【課題】ターンテーブルからクロスを容易に剥離することができ、しかもその構造が簡単なターンテーブル用クロスの剥離治具を提供する。【解決手段】ターンテーブル用クロスの剥離治具１０は、クロスの外周縁を挟持するクロス挟持部材１１と、クロス挟持部材１１を引っ張るためのハンドル１２と、を備える。クロス挟持部材１１は、クロスの外周縁をその上下から挟持する上部材２１および下部材２２を有し、上部材２１および下部材２２の互いに対向する面には互いに噛合可能な歯が設けられており、当該歯が設けられた部分の長手方向の長さＬは５ｃｍ以上である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クロスの外周縁を挟持するクロス挟持部材と、
前記クロス挟持部材を引っ張るためのハンドルと、
を備え、
前記クロス挟持部材は、前記クロスの外周縁をその上下から挟持する上部材および下部材を有し、
前記上部材および下部材の互いに対向する面には互いに噛合可能な歯が設けられており、
前記歯が設けられた部分の長手方向の長さは５ｃｍ以上である
ことを特徴とするターンテーブル用クロスの剥離治具。
【請求項２】
前記上部材および下部材のいずれか一方には前記クロスの外周縁を挟持した際に当該クロスを突き破るピンが設けられており、他方には当該ピンが挿入されるピン挿入穴が形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のターンテーブル用クロスの剥離治具。
【請求項３】
前記上部材および下部材の少なくとも一部は、軟質部材からなるカバーで覆われている
ことを特徴とする請求項１または２に記載のターンテーブル用クロスの剥離治具。
【請求項４】
前記クロス挟持部材と前記ハンドルとを接続する延長バーをさらに備え、
前記延長バーの一端は前記クロス挟持部材の長手方向端部に回転可能に取り付けられ、前記延長バーの他端は前記ハンドルの長手方向端部に回転可能に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のターンテーブル用クロスの剥離治具。
【請求項５】
前記ハンドルは、Ｕ字形状を有し、前記クロス挟持部材に直接固定されている
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のターンテーブル用クロスの剥離治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターンテーブルに貼り付けられたクロスを剥離するのに用いられるターンテーブル用クロスの剥離治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハの製造工程においては、半導体ウェハ表面を平坦且つ鏡面化するためにポリッシング装置が使用されている。この種のポリッシング装置は、各々独立した回転数で回転するターンテーブルとトップリングとを有し、トップリングに保持された半導体ウェハの表面をターンテーブル上に貼り付けられたクロスの表面（研磨面）に接触させ、砥液を供給しながらこれを研磨する。
【０００３】
ところで、ターンテーブル上のクロスは半導体ウェハを研磨する際に当該ターンテーブルから剥がれないように、当該ターンテーブル上に強固に接着されている。このため、クロスが摩耗して新規のクロスと貼り替える必要が生じた場合には、クロスを剥がすのに強い力が必要になる。
【０００４】
特許文献１および２には、従来のターンテーブル用クロスの剥離治具が開示されている。この剥離治具では、ラチェットハンドルを使用して巻取シリンダを回転させるようになっている。
【０００５】
ところで、特許文献３には、ターンテーブル上からクロスを引き剥がすのに強大な力を必要とすることなく、比較的容易にクロスを引き剥がすことができるターンテーブルが提案されている。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−２１７１４８号公報
【特許文献２】特開平１０−２１７１４９号公報
【特許文献３】特開２００７−７５９４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１および２に開示された従来の剥離治具では、少なくともクロスの巻取開始時は、ラチェットハンドルが巻取シリンダの一端部に直接係合されるため、当該ラチェットハンドはポリッシングルーム内に配置されることになる。ポリッシングルーム内にはドレッサー、アトマイザ、トップリング、砥液ノズル等の多数の周辺機器が予め設置されているため、ラチェットハンドルを揺動させる際にラチェットハンドルが周辺機器に干渉する可能性がある。
【０００８】
したがって、従来の剥離治具では、ラチェットハンドルが周辺機器に干渉する直前までクロスを剥がしたら、ラチェットハンドルが周辺機器に干渉しなくなる位置までターンテーブルを回転させ、またラチェットハンドルが周辺機器に干渉する直前までターンテーブル用クロスを剥がしていく、という作業を何度も繰り返す必要があり、作業が煩雑であった。
【０００９】
従来の剥離治具を用いる代わりに、ペンチやプライヤでクロスの外周縁を掴んで引っ張ることも考えられるが、ペンチやプライヤのハンドルを握りながら引っ張るため、力が入りづらく、確実にクロスを把持できずに不安全な作業となるおそれがあった。
【００１０】
また、特許文献３に開示されたような、ターンテーブル上からクロスを引き剥がすのに強大な力を必要とすることなく、比較的容易に引き剥がすことができるターンテーブルにおいては、クロスの接着力が比較的弱いため、ラチェットハンドルを使用した複雑な構造の剥離治具までは必要とされない。
【００１１】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたものである。本発明の目的は、ターンテーブルからクロスを容易に剥離することができ、しかもその構造が簡単なターンテーブル用クロスの剥離治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具は、
クロスの外周縁を挟持するクロス挟持部材と、
前記クロス挟持部材を引っ張るためのハンドルと、
を備え、
前記クロス挟持部材は、前記クロスの外周縁をその上下から挟持する上部材および下部材を有し、
前記上部材および下部材の互いに対向する面には互いに噛合可能な歯が設けられており、
前記歯が設けられた部分の長手方向の長さは５ｃｍ以上である。
【００１３】
本発明によれば、５ｃｍ以上の長さで設けられた上部材の歯と下部材の歯との間にクロスが挟み込まれることで、クロスがクロス挟持部材に強固に固定される。これにより、ハンドルを掴んで引っ張る際にクロス挟持部材からクロスが抜け落ちることを防止でき、ターンテーブルからクロスを容易に剥離することができる。また、本発明によれば、ラチェット構造などの複雑な構造を採用しておらず、構造が簡単である。したがって、従来の剥離治具に比べて製造コストを大幅に低減できる。
【００１４】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具において、前記上部材および下部材のいずれか一方には前記クロスの外周縁を挟持した際に当該クロスを突き破るピンが設けられており、他方には当該ピンが挿入されるピン挿入穴が形成されていてもよい。
【００１５】
このような態様によれば、クロス挟持部材のピンがクロスを突き破ることで、クロスがクロス挟持部材に更に強固に固定され、ハンドルを掴んで引っ張る際にクロス挟持部材からクロスが抜け落ちることを確実に防止できる。
【００１６】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具において、前記上部材および下部材の少なくとも一部は、軟質部材からなるカバーで覆われていてもよい。
【００１７】
このような態様によれば、ハンドルを掴んで引っ張る際にクロス挟持部材をターンテーブルの上面に誤って接触させたとしても、カバーにより衝撃が吸収されることで、ターンテーブルの損傷が低減され得る。
【００１８】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具において、前記クロス挟持部材と前記ハンドルとを接続する延長バーをさらに備え、前記延長バーの一端は前記クロス挟持部材の長手方向端部に回転可能に取り付けられ、前記延長バーの他端は前記ハンドルの長手方向端部に回転可能に取り付けられていてもよい。
【００１９】
このような態様によれば、ハンドルを掴んで引っ張る際に、引っ張る力の向きに応じて延長バーの両端部が回動することで、ハンドルの位置を持ち易い位置に位置決めすることができる。これにより、ハンドルに効果的に力をかけることができ、ターンテーブルからクロスを一層容易に剥離することができる。
【００２０】
本発明によるターンテーブル用クロスの剥離治具において、前記ハンドルは、Ｕ字形状を有し、前記クロス挟持部材に直接固定されていてもよい。
【００２１】
このような態様によれば、構造が極めて簡単であり、剥離治具の製造コストを一層低減できる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、ターンテーブルからクロスを容易に剥離することができ、しかもその構造が簡単なターンテーブル用クロスの剥離治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態による剥離治具を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す剥離治具を異なる角度から見た斜視図である。
【図３】図３は、図１に示す剥離治具のクロス挟持部材の縦断面図である。
【図４】図４は、図３に示すクロス挟持部材の異なる位置における縦断面図である。
【図５】図５は、図１に示す剥離治具の使用方法を説明するための模式図である。
【図６】図６は、図１に示す剥離治具の使用方法を説明するための模式図である。
【図７】図７は、本発明の一変形例による剥離治具を示す斜視図である。
【図８】図８は、本発明の別の変形例による剥離治具を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示の理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２５】
図１は、本発明の一実施の形態による剥離治具を示す斜視図である。図２は、図１に示す剥離治具を異なる角度から見た斜視図である。
【００２６】
図１および図２に示すように、剥離治具１０は、クロスの外周縁を挟持するクロス挟持部材１１と、クロス挟持部材１１を引っ張るためのハンドル１２と、クロス挟持部材１１とハンドル１２とを接続する一対の延長バー１３ａ、１３ｂと、を備えている。以下、各構成部品について説明する。
【００２７】
図３は、クロス挟持部材１１の縦断面図である。図４は、図３に示すクロス挟持部材の異なる位置における縦断面図である。
【００２８】
図１〜図４に示すように、クロス挟持部材１１は、上部材２１および下部材２２と、上部材２１および下部材２２を固定する３本の固定用ネジ２３と、上部材２１と下部材２２との間に挟持されたクロス５５を突き破る２本のピン２４と、を有している。
【００２９】
このうち上部材２１は、金属製であって細長平板形状を有しており、その長手方向中央および両端近傍にそれぞれ固定用ネジ２３を挿通する貫通孔が形成されている。図示された例では、固定用ネジ２３は、その頭部が指で直接回動できるように、いわゆる蝶ネジタイプに形成されている。
【００３０】
図１〜図４に示すように、上部材２１の一側辺中央には舌片状に突出する挟持部分２１ａが設けられている。この挟持部分２１ａの下面には多数の平行な凹凸溝からなる歯２１ｂが形成されている。また、上部材２１の挟持部分２１ａには、クロス５５の外周縁を挟持した際に当該クロス５５を突き破る（または押し付ける）ピン２４が螺合する螺合孔２１ｆが形成されている。
【００３１】
さらに、挟持部分２１ａの上面中央には上下に貫通する確認孔２５が形成されている。
【００３２】
一方、下部材２２は、金属製であって細長平板形状を有しており、その長手方向中央および両端近傍に固定用ネジ２３と螺合する螺合孔が形成されている。
【００３３】
また、下部材２２の一側辺中央には舌片状に突出する挟持部分２２ａが設けられている。この挟持部分２２ａの上面には多数の平行な凹凸溝からなる歯２２ｂが形成されている。上部材２１の歯２１ｂと下部材２２の歯２２ｂとは互いに噛合可能となっている。また、下部材２２の挟持部分２２ａには、クロス５５を突き破るピン２４が挿入されるピン挿入穴２２ｆが形成されている。
【００３４】
上部材２１および下部材２２の歯２１ｂ、２２ｂが設けられた部分（すなわち挟持部分２１ａ、２２ａ）の長手方向の長さＬは５ｃｍ以上であり、より好ましくは１０ｃｍ以上であり、さらに好ましくは２０ｃｍ以上である。挟持部分２１ａ、２２ａの長手方向の長さＬが長くなる程、上部材２１と下部材２２との間でクロス５５を強固に挟み付けることができる。ただし、挟持部分２１ａ、２２ａの長手方向の長さＬは、後述するハンドル１２の長さより短く設計する必要がある。ハンドル１２を両手で掴むことを想定した場合、ハンドル１２の長さは３０ｃｍ程度であるから、挟持部分２１ａ、２２ａの長手方向の長さＬは現実的には３０ｃｍ以下となる。また、クロス５５の大きさとの比較では、挟持部分２１ａ、２２ａの長手方向の長さＬは、クロス５５の直径に対して１／１５以上１／２．５以下であることが、本件発明者らの経験上好ましい。
【００３５】
本実施の形態では、挟持部分２１ａ、２１ｂ側から見て上部材２１の背面と下部材２２の背面および底面とは、それぞれ、軟質部材からなるカバー２１ｄ、２２ｄにより覆われている。カバー２１ｄ、２１ｄの材質としては、たとえば、樹脂やゴム、軟質発泡体などが用いられる。
【００３６】
上部材２１のカバー２１ｄは、上部材２１の背面にカバー取付ネジ２１ｅによって取り付けられており、下部材２２のカバー２２ｄは、下部材２２の背面および底面にカバー取付ネジ２２ｅによって取り付けられている。このような構成により、カバー２１ｄ、２２ｅが破損または汚損した場合に、カバー取付ネジ２１ｅ、２２ｅを外すだけで、カバー２１ｄ、２２ｅを容易に交換することができる。
【００３７】
本実施の形態では、ハンドル１２は両手で掴むことが想定されたハンドルであり、ハンドル１２の長手方向の長さは例えば２０ｃｍ〜３０ｃｍである。
【００３８】
図１および図２に示すように、クロス挟持部材１１の上部材２１とハンドル１２とは、一対の延長バー１３ａ、１３ｂにより接続されている。一方の延長バー１３ａの一端は、上部材２１の長手方向の一端に設けられた支柱３１ａに回転可能に取り付けられ、他端は、ハンドル１２の長手方向の一端に設けられた支柱３２ａに回転可能に取り付けられている。また、他方の延長バー１３ｂの一端は、上部材２１の長手方向の他端に設けられた支柱３１ｂに回転可能に取り付けられ、他端は、ハンドル１２の長手方向の他端に設けられた支柱３２ｂに回転可能に取り付けられている。
【００３９】
次に、このような構成からなる剥離治具１０の使用方法を説明する。
【００４０】
まず、図５に示すように、ポリッシング装置５０のポリッシングルーム５２の扉５３が開放され、ターンテーブル５１の上面に貼り付けられている円板状のクロス５５の外周縁の一部が少しだけ剥がされる。そして、当該クロス５５の剥がされた部分がクロス挟持部材１１の上部材２１の歯２１ｂおよび下部材２２の歯２２ｂで挟み込まれる（図３および図４参照）。
【００４１】
次いで、固定用ネジ２３が上部材２１の貫通孔（不図示）に挿通され、下部材２２の螺合孔（不図示）にねじ込まれることで、上部材２１の歯２１ｂと下部材２２の歯２２ｂとの間にクロス５５が強固に挟み込まれる。このとき上部材２１の挟持部分２１ａおよび下部材２２の挟持部分２２ａはいずれも、固定用ネジ２３の取り付け位置からクロス５５側に突出しているため、たとえクロス挟持部材１１の長さ寸法が短くなったとしても、クロス５５が固定用ネジ２３に当接して上部材２１の挟持部分２１ａと下部材２２の挟持部分２２ａとの間に十分挿入できなくなることはなく、その挟持を確実に行うことができる。
【００４２】
また、図１および図２に示すように、上部材２１に形成された確認孔２５から、挟持されたクロス５５を目視できるため、クロス５５がクロス挟持部材１１内にどの程度挿入されているかを即座に判断することができる。
【００４３】
次いで、ピン２４が上部材２１の螺合孔２１ｆに挿通され、挟持部分２２ａ、２２ｂ間に挟持されたクロス５５を突き破って、下部材２２のピン挿入穴２２ｆに挿入される。これにより、上部材２１の挟持部分２１ａと下部材２２の挟持部分２２ａとの間にクロス５５が一層強固に挟み込まれる。
【００４４】
以上のようにクロス挟持部材１１にクロス５５の外周縁が固定される作業は、図５に示すように作業者の手前側のクロスについて行われてもよいし、（図示は省略するが）作業者の向こう側のクロスについて行われてもよい。図５に示すように作業者の手前側のクロスについて行われた方が作業性がよい。
【００４５】
次に、ターンテーブル５１が図５における矢印Ａの方向に回転され、剥離治具１０が作業者の向こう側に配置される（図６参照）。そして、剥離治具１０のハンドル１２が両手で掴まれて手前側（図６における矢印Ｂの方向）に引っ張られることで、ターンテーブル５１上からクロス５５が連続して剥ぎ取られていく。
【００４６】
ところで、発明が解決しようとする課題の欄でも言及したように、ラチェットハンドルを使用した従来の剥離治具では、少なくとも巻取開始時は、ラチェットハンドルが巻取シリンダの一端部に直接係合されるため、ラチェットハンドルを揺動させる際にラチェットハンドルが周辺機器に干渉する可能性がある。そのため、従来の剥離治具では、ラチェットハンドルが周辺機器に干渉する直前までクロスを剥がしたら、ラチェットハンドルが周辺機器に干渉しなくなる位置までターンテーブルを回転させ、またラチェットハンドルが周辺機器に干渉する直前までターンテーブル用クロスを剥がしていく、という作業を何度も繰り返す必要があった。また、複雑なラチェット構造を採用しているため、製造コストを低減することが困難であった。
【００４７】
また、ラチェットハンドルを使用した従来の剥離治具を用いる代わりに、ペンチやプライヤでクロスの外周縁を掴んで引っ張る場合には、ペンチやプライヤのハンドルを握りながら引っ張るため、力が入りづらく、確実にクロスを把持できずに不安全な作業となるおそれがあった。
【００４８】
一方、本実施の形態によれば、５ｃｍ以上の長さで設けられた上部材２１の歯２１ｂと下部材２２の歯２２ｂとの間にクロス５５が挟み込まれることで、クロス５５がクロス挟持部材１１に強固に固定される。これにより、ハンドル１２を掴んで引っ張る際にクロス挟持部材１１からクロス５５が抜け落ちることを防止でき、ターンテーブル５１からクロス５５を容易かつ安全確実に剥離することができる。また、本実施の形態によれば、ラチェット構造などの複雑な構造を採用しておらず、構造が簡単である。したがって、従来の剥離治具に比べて製造コストを大幅に低減できる。
【００４９】
また、本実施の形態によれば、クロス挟持部材１１のピン２４がクロス５５を突き破ることで、クロス５５がクロス挟持部材１１に更に強固に固定され、ハンドル１２を掴んで引っ張る際にクロス挟持部材１１からクロス５５が抜け落ちることを一層確実に防止できる。
【００５０】
また、本実施の形態によれば、挟持部分２１ａ、２１ｂ側から見て上部材２１の背面と下部材２２の背面および底面が、軟質部材からなるカバー２１ｄ、２２ｄで覆われているため、ハンドル１２を掴んで引っ張る際にクロス挟持部材１１をターンテーブル５１の上面に誤って接触させたとしても、カバー２１ｄ、２２ｄにより衝撃が吸収され、ターンテーブル５１の損傷が低減され得る。
【００５１】
また、本実施の形態によれば、クロス挟持部材１１とハンドル１２とが延長バー１３ａ、１３ｂにより接続され、延長バー１３ａ、１３ｂの一端はクロス挟持部材１１の長手方向端部に回転可能に取り付けられ、延長バー１３ａ、１３ｂの他端はハンドル１２の長手方向端部に回転可能に取り付けられているため、ハンドル１２を掴んで引っ張る際に、引っ張る力の向きに応じて延長バー１３ａ、１３ｂの両端部が回動し、ハンドル１２の位置を持ち易い位置に位置決めすることができる。これにより、ハンドル１２に効果的に力をかけることができ、ターンテーブル５１からクロス５５を一層容易に剥離することができる。
【００５２】
以上、本発明の実施形態を詳細に説明したが、本発明はこの実施形態に限定されず、この実施形態に対して様々な変形を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、変形の一例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いるとともに、重複する説明を省略する。
【００５３】
図７は、本発明の一変形例による剥離治具１０ａ、１０ｂを示す斜視図である。
【００５４】
図７に示す例では、ハンドル１２は片手で掴むことが想定されたハンドルであり、ハンドル１２の長手方向の長さは、図１および図２に示す実施形態におけるハンドル１２の長さより短くなっている。これに伴って、図１および図２に示す実施形態に比べて、クロス挟持部材１１の固定用ネジ２３の数が１本減っており、ピン２４の数も１本減っている。
【００５５】
図７に示す例では、２つの剥離治具１０ａ、１０ｂの各々のハンドル１２を左右の手で掴んで同時に引っ張ることで、ターンテーブル５１からクロス５５を容易に剥離することができる。この場合、図１および図２に示す実施形態に比べて、剥離治具１０ａ、１０ｂの１個当たりが小型軽量化されるため、剥離治具１０ａ、１０ｂをターンテーブル５１の上面に誤って接触させたとしても、ターンテーブル５１の損傷を比較的軽減することができる。
【００５６】
図８は、本発明の別の変形例による剥離治具１０ｃを示す斜視図である。
【００５７】
図８に示す例では、ハンドル１９は、Ｕ字形状を有し、クロス挟持部材１１の上部材２１に直接固定されている。この場合、構造が極めて簡単であり、剥離治具１０ｃの製造コストを一層低減することができる。
【００５８】
なお、上記した各実施形態ではクロス挟持部材１１を金属製としたが金属以外の材料で構成してもよい。
【００５９】
また、上記した各実施形態では固定用ネジ２３として蝶ネジが用いられたが、他の形状構造のネジが用いられてもよいことは言うまでもない。また、上部材２１と下部材２２とを固定するのは必ずしも固定用ネジ２３である必要はなく、ボルト・ナットなど、他の固定手段でもよい。また、上部材２１および下部材２２の一端をヒンジ構造とすれば、固定用ネジ２３はヒンジ構造の反対側に１本取り付ければよい。
【００６０】
また、上記した各実施形態では剥離治具がターンテーブル用クロス５５を剥離するために用いられたが、ビニル床材や壁紙クロスを剥がすために用いられてもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１０    剥離治具
１１    クロス挟持部材
１２    ハンドル
１３ａ、１３ｂ    延長バー
１９    ハンドル
２１    上部材
２１ａ  挟持部分
２１ｂ  歯
２１ｄ  カバー
２１ｅ  カバー取付ネジ
２１ｆ  螺合孔
２２    下部材
２２ａ  挟持部分
２２ｂ  歯
２２ｄ  カバー
２２ｅ  カバー取付ネジ
２２ｆ  ピン挿入穴
２３    固定用ネジ
２４    ピン
２５    確認孔
３１ａ、３１ｂ    支柱
３２ａ、３２ｂ    支柱
５０    ポリッシング装置
５１    ターンテーブル
５２    ポリッシングルーム
５３    扉
５５    クロス
【図１】
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【図２】
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【図３】
2018001388.tif 000005
【図４】
2018001388.tif 000006
【図５】
2018001388.tif 000007
【図６】
2018001388.tif 000008
【図７】
2018001388.tif 000009
【図８】
2018001388.tif 000010