(57)【要約】【課題】はんだの濡れ拡がりに起因する実装不良を抑制しつつ、変位を効率的に得ることができる圧電素子を提供する。【解決手段】圧電素子１は、互いに対向する一対の主面３ａ，３ｂと、一対の主面３ａ，３ｂを連結するように延びる４つの側面３ｃ〜３ｆと、を有する圧電素体３と、少なくとも一対の主面３ａ，３ｂ上に配置され、圧電素体３に電圧を印加するための第１電極５及び第２電極７と、を備え、第１電極５及び第２電極７の少なくとも一方は、４つの側面３ｃ〜３ｆのうちの一対の側面３ｅ，３ｆの対向方向において、一方の側面３ｅから他方の側面３ｆにわたって延びる領域Ａ１，Ａ２を有し、領域Ａ１，Ａ２には、当該領域Ａ１，Ａ２の延在方向に沿って、圧電素体３側に凹む凹部３０，３２が複数並んで設けられている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一対の主面と、一対の前記主面を連結するように延びる４つの側面と、を有する圧電素体と、
少なくとも一対の前記主面上に配置され、前記圧電素体に電圧を印加するための第１電極及び第２電極と、を備え、
前記第１電極及び前記第２電極の少なくとも一方は、４つの前記側面のうちの一対の前記側面の対向方向において、一方の前記側面から他方の前記側面にわたって延びる領域を有し、
前記領域には、当該領域の延在方向に沿って、前記圧電素体側に凹む凹部が複数並んで設けられている、圧電素子。
【請求項２】
複数の前記凹部それぞれの開口縁部には、前記第１電極又は前記第２電極の表面よりもはんだの濡れ性が低い第１部材が設けられている、請求項１に記載の圧電素子。
【請求項３】
複数の前記凹部は、前記領域において行列状に配置されている、請求項１又は２に記載の圧電素子。
【請求項４】
複数の前記凹部は、前記領域において千鳥状に配置されている、請求項３に記載の圧電素子。
【請求項５】
前記第１電極及び前記第２電極のそれぞれは、複数の金属層が積層されて形成されており、
複数の前記凹部それぞれの内側面には、合金からなる第２部材が設けられている、請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の圧電素子として、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載の圧電素子は、圧電素体と、圧電素子に電圧を印加する第１の電極及び第２の電極と、第１の電極上に配置され、第１の電極よりもはんだの濡れ性が低い導電膜と、を備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２０１１／１４５４５３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
圧電素子をランド電極等に実装したときに、はんだが濡れ拡がると、圧電素子とランド電極とを接合するために十分なはんだを確保できなくなるおそれがある。一方の電極とランド電極との間のはんだの量が不足すると、圧電素子に傾きが生じることがある。これにより、他方の電極とランド電極との間のはんだに応力が加わり、実装不良となるおそれがある。従来の圧電素子では、導電膜のはんだの濡れ性を第１電極よりも低くすることにより、圧電素子をはんだ実装したときに、第１の電極におけるはんだの濡れ拡がりの抑制を図っている。しかしながら、従来の圧電素子では、第１の電極上に導電膜が広範囲にわたって配置されているため、導電膜が圧電素体の活性部の変位を阻害するおそれがある。したがって、従来の圧電素子では、変位を効率的に得ることができない。
【０００５】
本発明の一側面は、はんだの濡れ拡がりに起因する実装不良を抑制しつつ、変位を効率的に得ることができる圧電素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面に係る圧電素子は、互いに対向する一対の主面と、一対の主面を連結するように延びる４つの側面と、を有する圧電素体と、少なくとも一対の主面上に配置され、圧電素体に電圧を印加するための第１電極及び第２電極と、を備え、第１電極及び第２電極の少なくとも一方は、４つの側面のうちの一対の側面の対向方向において、一方の側面から他方の側面にわたって延びる領域を有し、領域には、当該領域の延在方向に沿って、圧電素体側に凹む凹部が複数並んで設けられている。
【０００７】
本発明の一側面に係る圧電素子では、第１電極及び第２電極の少なくとも一方は、一対の側面の対向方向に沿って延びる領域を有している。この領域には、当該領域の延在方向に沿って、圧電素体側に凹む凹部が複数並んで設けられている。この構成では、電極にはんだが付与されたときに、はんだが濡れ拡がった場合であっても、はんだが領域に設けられた凹部に到達すると、圧電素体側に向かって凹む凹部によってはんだの濡れ拡がりが抑制される。したがって、第１電極及び／又は第２電極とランド電極等との間のはんだの量を確保でき、はんだの量のアンバランスによって圧電素子に傾きが発生することを抑制できるため、はんだに応力が加わることを抑制できる。これにより、はんだの濡れ拡がりに起因する実装不良を抑制できる。また、圧電素子では、第１電極及び／又は第２電極の一部の領域に凹部が設けられている。そのため、凹部は、圧電素体の活性部の変位を阻害しない。したがって、圧電素子では、活性部の変位を効率的に得ることができる。
【０００８】
一実施形態においては、複数の凹部それぞれの開口縁部には、第１電極又は第２電極の表面よりもはんだの濡れ性が低い第１部材が設けられていてもよい。この構成では、凹部の開口縁部に設けられた第１部材によって、はんだの濡れ拡がりをより一層抑制できる。
【０００９】
一実施形態においては、複数の凹部は、領域において行列状に配置されていてもよい。この構成では、はんだの濡れ拡がる方向においても凹部が設けられているため、はんだの濡れ拡がりをより一層抑制できる。
【００１０】
一実施形態においては、複数の凹部は、領域において千鳥状に配置されていてもよい。この構成では、例えば、一対の側面の対向方向で隣接する２つの凹部の間をはんだが進行した場合であっても、その進行方向の先の位置に凹部が設けられている。したがって、はんだの濡れ拡がりをより一層抑制できる。
【００１１】
一実施形態においては、第１電極及び第２電極のそれぞれは、複数の金属層が積層されて形成されており、複数の凹部それぞれの内側面には、合金からなる第２部材が設けられていてもよい。この構成では、凹部の内側面に合金からなる第２部材を設けることにより、第１電極及び第２電極を構成する複数の金属層の密着性の向上が図れる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一側面によれば、はんだの濡れ拡がりに起因する実装不良を抑制しつつ、変位を効率的に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１（ａ）及び図１（ｂ）は、一実施形態に係る圧電素子の斜視図である。
【図２】図２は、図１（ａ）におけるII-II線に沿った断面構成を示す図である。
【図３】図３（ａ）及び図３（ｂ）は、圧電素子の平面図である。
【図４】図４（ａ）及び図４（ｂ）は、凹部の配置を示す図である。
【図５】図５（ａ）は、凹部の断面構成を示す図であり、図５（ｂ）は、凹部の平面図である。
【図６】図６（ａ）は、凹部の断面構成を示す図であり、図６（ｂ）は、凹部の平面図である。
【図７】図７は、圧電素子の実装構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１５】
図１に示されるように、圧電素子１は、圧電素体３と、第１電極５及び第２電極７と、を備えている。圧電素子１は、例えば、磁気ディスクを備えたディスク装置などに適用される。すなわち、デュアル・アクチュエータ方式のディスク装置において、ボイスコイルモータ以外の第二のアクチュエータとして、圧電素子１が用いられる。
【００１６】
圧電素体３は、一対の主面３ａ，３ｂと、一対の端面（側面）３ｃ，３ｄと、一対の側面３ｅ，３ｆと、を有している。本実施形態では、圧電素体３は、直方体形状を呈している。一対の主面３ａ，３ｂのそれぞれは、略長方形状を呈している。一対の端面３ｃ，３ｄは、主面３ａ，３ｂの長辺方向において対向している。一対の側面３ｅ，３ｆは、主面３ａ，３ｂの短辺方向において対向している。
【００１７】
圧電素体３は、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料としては、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ、Ｌａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３］、又はチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）などが挙げられる。本実施形態では、圧電素体３は、圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体である圧電素体層が積層されて構成されている。圧電素体３では、複数の圧電素体層の積層方向が一対の主面３ａ，３ｂの対向方向と一致する。実際の圧電素体３では、各圧電素体層は、各圧電素体層の間の境界が視認できない程度に一体化されている。
【００１８】
圧電素体３は、内部電極９と、内部電極１１と、備えている。各内部電極９，１１は、例えば、平面視で、略長方形状を呈している。各内部電極９，１１は、積層型の電子素子の内部電極として通常用いられる導電性材料（例えば、Ｎｉ、Ｐｔ又はＰｄなど）からなる。各内部電極９，１１は、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成される。
【００１９】
図１又は図２に示されるように、第１電極５は、第１電極部分５ａと、第２電極部分５ｂと、を有している。第１電極部分５ａは、一方の主面３ａ上に配置されている。第１電極部分５ａの他方の端面３ｄ側の端部は、他方の端面３ｄよりも一方の端面３ｃ側に位置している。すなわち、第１電極部分５ａの一対の端面３ｃ，３ｄの対向方向の長さは、一対の端面３ｃ，３ｄ間の長さよりも短い。これにより、第１電極部分５ａの他方の端面３ｄ側の端部は、後述する第２電極７の第３電極部分７ｃの一方の端面３ｃ側の端部と離間している。第２電極部分５ｂは、一方の端面３ｃ上に配置されている。第１電極部分５ａ及び第２電極部分５ｂは、一体的に形成されている。第２電極部分５ｂは、内部電極９の一端と物理的に接触している。これにより、第１電極５は、内部電極９に電気的に接続されている。
【００２０】
第１電極５は、第１層（金属層）１５と、第２層（金属層）１７と、第３層（金属層）１９と、から構成されている。第１層１５、第２層１７及び第３層１９は、圧電素体３側からこの順番で配置（積層）されている。第１層１５は、Ｃｒからなる。第２層１７は、ＮｉＣｕからなる。第３層１９は、Ａｕからなる。本実施形態では、第１層１５、第２層１７及び第３層１９それぞれの厚みは、例えば、同等である。
【００２１】
第２電極７は、第１電極部分７ａと、第２電極部分７ｂと、第３電極部分７ｃと、を有している。第１電極部分７ａは、他方の主面３ｂ上に配置されている。第１電極部分７ａの一方の端面３ｃ側の端部は、一方の端面３ｃよりも他方の端面３ｄ側に位置している。すなわち、第１電極部分７ａの一対の端面３ｃ，３ｄの対向方向の長さは、一対の端面３ｃ，３ｄ間の長さよりも短い。これにより、第１電極部分７ａの一方の端面３ｃ側の端部は、第１電極５の第２電極部分５ｂの他方の主面３ｂ側の端部と離間している。第２電極部分７ｂは、他方の端面３ｄ上に配置されている。第３電極部分７ｃは、一方の主面３ａ上に配置されている。第３電極部分７ｃの一方の端面３ｃ側の端部は、第１電極５の第１電極部分５ａの他方の端面３ｄ側の端部と離間している。第２電極部分７ｂは、内部電極１１の一端と物理的に接触している。これにより、第２電極７は、内部電極１１に電気的に接続されている。
【００２２】
第２電極７は、第１層（金属層）２１と、第２層（金属層）２３と、第３層（金属層）２５と、から構成されている。第１層２１、第２層２３及び第３層２５は、圧電素体３側からこの順番で配置されている。第１層２１は、Ｃｒからなる。第２層２３は、ＮｉＣｕからなる。第３層２５は、Ａｕからなる。本実施形態では、第１層２１、第２層２３及び第３層２５それぞれの厚みは、例えば、同等である。
【００２３】
第１電極５及び第２電極７は、内部電極９，１１を介して、圧電素体３に電圧を印加するための電極として機能する。圧電素子１では、圧電素体３における、第１電極５の第１電極部分５ａと内部電極１１とで挟まれた領域、内部電極９と内部電極１１とで挟まれた領域、及び、第２電極７の第２電極部分７ｂと内部電極９とで挟まれた領域が、活性部となり、電圧が印加されたときに変位する。
【００２４】
本実施形態では、図３（ａ）に示されるように、第１電極５の第１電極部分５ａは、領域Ａ１を有する。領域Ａ１は、第１電極５の第１電極部分５ａにおいて、圧電素体３の端面３ｃ側に設けられている。領域Ａ１は、一対の側面３ｅ，３ｆの対向方向において、一方の側面３ｅから他方の側面３ｆにわたって帯状に延在している。領域Ａ１は、一対の端面３ｃ，３ｄの対向方向において所定の幅を有している。
【００２５】
領域Ａ１には、複数の凹部３０が設けられている。凹部３０は、圧電素体３側に凹んでいる。本実施形態では、凹部３０は、圧電素体３を露出させている。具体的には、凹部３０は、圧電素体３の一方の主面３ａを露出させる。すなわち、凹部３０は、第１電極５の第１層１５、第２層１７及び第３層１９を貫通している。凹部３０は、平面視において（一対の主面３ａ，３ｂの対向方向から見て）、略円形状を呈している。凹部３０の直径（図５（ａ）に示される開口端３０ｃの直径）は、例えば、０．０１ｍｍ程度である。凹部３０は、例えば、レーザーの照射により形成される。具体的には、一対の主面３ａ，３ｂの対向方向に沿ってレーザーを照射する。このとき、レーザーが第１層１５、第２層１７及び第３層１９に到達するように、第３層１９側からレーザーを照射する。レーザーの強度は、第１電極５の特性（材料、厚み等）に応じて適宜設定する。
【００２６】
凹部３０は、領域Ａ１の延在方向に沿って並んで配置されている。本実施形態では、領域Ａ１の延在方向に沿って並ぶ複数の凹部３０の列が、一対の端面３ｃ，３ｄの対向方向において所定の間隔をあけて６列設けられている。凹部３０は、千鳥状に配置されている。具体的には、一の列において隣接する一対の凹部３０の間に、当該一の列に隣接する他の列の凹部３０が配置されている。
【００２７】
図４（ａ）に示されるように、凹部３０は、一対の側面３ｅ，３ｆの対向方向において、距離Ｄ１をあけて配置されている。距離Ｄ１は、凹部３０の中心間の距離である。距離Ｄ１は、例えば、０．０２ｍｍ程度である。凹部３０は、一対の端面３ｃ，３ｄの対向において、距離Ｄ２をあけて配置されている。距離Ｄ２は、凹部３０の中心間の距離である。距離Ｄ２は、例えば、０．０２ｍｍ程度である。
【００２８】
図５（ａ）及び図５（ｂ）に示されるように、凹部３０の開口縁部３０ａには、第１部材３３が設けられている。本実施形態では、開口縁部３０ａは、開口端３０ｃから径方向において所定距離だけ外側の領域である。本実施形態では、第１部材３３は、開口縁部３０ａの全周にわたって設けられている。第１部材３３は、第１電極５の第３層１９よりもはんだのぬれ性が低い材料で形成されている。本実施形態では、第１部材３３は、例えば、第３層１９を形成するＡｕよりのはんだのぬれ性が低いＮｉＣｕである。
【００２９】
凹部３０の内側面３０ｂには、第２部材３４が設けられている。本実施形態では、第２部材３４は、圧電素体３の主面３ａから凹部３０の開口端３０ｃまで延びていると共に、内側面３０ｂの全周にわたって設けられている。第２部材３４は、合金で形成されている。本実施形態では、第２部材３４は、例えば、ＮｉＣｕである。本実施形態では、第１部材３３と第２部材３４とは、一体に形成されている。
【００３０】
第２電極７の第１電極部分７ａは、領域Ａ２を有する。領域Ａ２は、第２電極７の第１電極部分７ａにおいて、圧電素体３の端面３ｄ側に設けられている。領域Ａ２は、一対の側面３ｅ，３ｆの対向方向に沿って帯状に延在している。領域Ａ２は、一対の端面３ｃ，３ｄの対向方向において所定の幅を有している。
【００３１】
領域Ａ２には、複数の凹部３２が設けられている。凹部３２は、圧電素体３側に凹んでいる。本実施形態では、凹部３２は、圧電素体３を露出させている。具体的には、凹部３２は、圧電素体３の一方の主面３ｂを露出させる。すなわち、凹部３２は、第２電極７の第１層２１、第２層２３及び第３層２５を貫通している。凹部３２は、平面視において、略円形状を呈している。凹部３２の直径（図６（ａ）に示される開口端３２ｃの直径）は、例えば、０．０１ｍｍ程度である。
【００３２】
凹部３２は、領域Ａ２の延在方向に沿って並んで配置されている。本実施形態では、領域Ａ２の延在方向に沿って並ぶ複数の凹部３２の列が、一対の端面３ｃ，３ｄの対向方向において所定の間隔をあけて６列設けられている。凹部３２は、千鳥状に配置されている。具体的には、一の列において隣接する一対の凹部３２の間に、当該一の列に隣接する他の列の凹部３２が配置されている。
【００３３】
図４（ｂ）に示されるように、凹部３２は、一対の側面３ｅ，３ｆの対向方向において、距離Ｄ３をあけて配置されている。距離Ｄ３は、凹部３２の中心間の距離である。距離Ｄ３は、例えば、０．０２ｍｍ程度である。凹部３２は、一対の端面３ｃ，３ｄの対向において、距離Ｄ４をあけて配置されている。距離Ｄ４は、凹部３２の中心間の距離である。距離Ｄ４は、例えば、０．０２ｍｍ程度である。
【００３４】
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示されるように、凹部３２の開口縁部３２ａには、第１部材３５が設けられている。本実施形態では、開口縁部３２ａは、開口端３２ｃから径方向において所定距離だけ外側の領域である。本実施形態では、第１部材３５は、開口縁部３２ａの全周にわたって設けられている。第１部材３５は、第２電極７の第３層２５よりもはんだのぬれ性が低い材料で形成されている。本実施形態では、第１部材３５は、例えば、第３層２５を形成するＡｕよりのはんだのぬれ性が低いＮｉＣｕである。
【００３５】
凹部３２の内側面３２ｂには、第２部材３６が設けられている。本実施形態では、第２部材３６は、圧電素体３の主面３ｂから凹部３２の開口端３２ｃまで延びていると共に、内側面３２ｂの全周にわたって設けられている。第２部材３６は、合金で形成されている。本実施形態では、第２部材３６は、例えば、ＮｉＣｕである。本実施形態では、第１部材３５と第２部材３６とは、一体に形成されている。
【００３６】
図７に示されるように、圧電素子１は、ランド電極Ｌ１，Ｌ２にはんだＳ１，Ｓ２で実装される。具体的には、圧電素子１の第２電極７の第３電極部分７ｃとランド電極Ｌ１とが対向するように配置し、第１電極５の第１電極部分５ａとランド電極Ｌ２とが対向するように配置する。すなわち、圧電素体３の主面３ａが実装面となるように圧電素子１を配置する。第３電極部分７ｃとランド電極Ｌ１とをはんだＳ１により接合し、第１電極部分５ａとランド電極Ｌ２とをはんだＳ２により接合する。
【００３７】
はんだＳ２は、第１電極部分５ａとランド電極Ｌ２とがはんだＳ２により接合されるとき、第１電極部分５ａにおいて濡れ拡がる。第１電極部分５ａで濡れ拡がったはんだＳ２は、領域Ａ１に到達すると、拡がりが抑制される。なお、はんだＳ２は、第２電極部分５ｂにも濡れ拡がり得る。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態に係る圧電素子１では、第１電極５及び第２電極７は、一対の側面３ｅ，３ｆの対向方向に沿って延びる領域Ａ１，Ａ２を有している。この領域Ａ１，Ａ２には、当該領域Ａ１，Ａ２の延在方向に沿って、圧電素体３を露出させる凹部３０，３２が複数並んで設けられている。この構成では、電極にはんだが付与されたときに、はんだが濡れ拡がった場合であっても、はんだが領域Ａ１，Ａ２に設けられた凹部３０，３２に到達すると、圧電素体３を露出させる深さを有する凹部３０，３２によってはんだの濡れ拡がりが抑制される。したがって、第１電極５及び／又は第２電極７とランド電極等との間のはんだの量を確保でき、はんだの量のアンバランスによって圧電素子１に傾きが発生することを抑制できるため、はんだに応力が加わることを抑制できる。これにより、はんだの濡れ拡がりに起因する実装不良を抑制できる。また、圧電素子１では、第１電極５及び／又は第２電極７の一部の領域Ａ１，Ａ２に凹部３０，３２が設けられている。そのため、凹部３０，３２は、圧電素体３の活性部の変位を阻害しない。したがって、圧電素子１では、活性部の変位を効率的に得ることができる。
【００３９】
また、本実施形態に係る圧電素子１は、第１電極５及び第２電極７の領域Ａ１，Ａ２に凹部３０，３２が設けられていることにより、以下の作用効果を奏し得る。圧電素子１は、電圧が印加されたとき変位に伴って伸縮する。このとき、第１電極５及び第２電極７は、伸縮しない。本実施形態に係る圧電素子１では、第１電極５及び第２電極７に凹部３０，３２が設けられているため、変位による伸縮の際に第１電極５及び第２電極７に生じる応力を、凹部３０，３２によって緩和できる。したがって、圧電素子１では、伸縮に起因する応力によって、第１電極５及び第２電極７が破損すること等を抑制できる。
【００４０】
本実施形態に係る圧電素子１では、複数の凹部３０，３２それぞれの開口縁部３０ａ，３２ａには、第１電極５又は第２電極７の表面よりもはんだの濡れ性が低い第１部材３３，３５が設けられている。この構成では、凹部３０，３２の開口縁部３０ａ，３２ａに設けられた第１部材３３，３５によって、はんだの濡れ拡がりをより一層抑制できる。
【００４１】
本実施形態に係る圧電素子１では、複数の凹部３０，３２は、領域Ａ１，Ａ２において行列状に配置されていている。具体的には、複数の凹部３０，３２は、領域Ａ１，Ａ２において千鳥状に配置されていている。この構成では、例えば、一対の側面３ｅ，３ｆの対向方向で隣接する２つの凹部３０（３２）の間をはんだが進行した場合であっても、その進行方向の先の位置に凹部３０（３２）が設けられている。したがって、はんだの濡れ拡がりをより一層抑制できる。
【００４２】
本実施形態に係る圧電素子１では、第１電極５は、第１層１５、第２層１７及び第３層１９が積層されて形成されており、第２電極７は、第１層２１、第２層２３及び第３層２５が積層されて形成されている。複数の凹部３０，３２それぞれの内側面３０ｂ，３２ｂには、合金からなる第２部材３４，３６が設けられている。この構成では、凹部３０，３２の内側面３０ｂ，３２ｂに合金からなる第２部材３４，３６を設けることにより、第１電極５及び第２電極７を構成する複数の金属層の密着性の向上が図れる。
【００４３】
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００４４】
上記実施形態では、凹部３０，３２が圧電素体３側に凹んでおり、圧電素体３を露出させる形態を一例に説明した。しかし、凹部は、圧電素体側に凹んでいればよく、圧電素体を露出させていなくてもよい。例えば、複数の凹部のうち、全ての凹部が圧電素体を露出させていてもよいし、一部の凹部が圧電素体を露出させいてもよいし、全ての凹部が圧電素体を露出させていなくてもよい。また、圧電素体３を露出させるとは、凹部３０，３２の開口面積の大部分において圧電素体３が露出している状態、及び、圧電素体３の少なくとも一部が露出している状態を含み得る。
【００４５】
上記実施形態では、第１電極５が第１層１５、第２層１７及び第３層１９からなり、第２電極７が第１層２１、第２層２３及び第３層２５からなる形態を一例に説明した。しかし、第１電極５及び第２電極７の構成はこれに限定されない。例えば、圧電素子の第１電極（第２電極）は、第１層と、第２層との２層から構成されていてもよい。第１層は、例えばＮｉＣｒであり、第２層は、例えばＡｕからなる。第１層の厚みは、第２層の厚みよりも厚いことが好ましい。例えば、第１層の厚みは、第２層の厚みの２倍である。
【００４６】
上記実施形態では、第１電極５が領域Ａ１を有し、第２電極７が領域Ａ２を有する形態を一例に説明した。しかし、第１電極５及び第２電極７の少なくとも一方が、凹部が設けられた領域を有していればよい。上記実施形態においては、少なくとも、第１電極５が領域Ａ１を有していればよい。
【００４７】
上記実施形態では、凹部３０，３２が円形状を呈している形態を一例に説明した。しかし、凹部の形状は、例えば、矩形状などであってもよい。
【００４８】
上記実施形態では、凹部３０，３２が千鳥状に配置されている形態を一例に説明した。しかし、凹部の配置形態はこれに限定されない。凹部は、領域Ａ１，Ａ２において、領域Ａ１，Ａ２の延在方向において複数並んで配置されていればよい。
【００４９】
上記実施形態では、凹部３０の開口縁部３０ａに第１部材３３が設けられており、内側面３０ｂに第２部材３４が設けられている形態を一例に説明した。しかし、第１部材及び第２部材が設けられていなくてもよいし、第１部材及び第２部材の少なくとも一方が設けられていてもよい。また、第２部材３４は、圧電素体３の主面３ａ上の一部に設けられていてもよい。凹部３２の第１部材３５及び第２部材３６についても同様である。
【００５０】
上記実施形態では、凹部３０の開口縁部３０ａの全周にわたって第１部材３３が連続的に設けられている形態を一例に説明した。しかし、第１部材は、開口縁部３０ａにおいて断続的に設けられていてもよい。また、凹部３０の内側面３０ｂの全周にわたって第２部材３４が連続的に設けられている形態を一例に説明した。しかし、第２部材は、内側面３０ｂにおいて断続的に設けられていてもよい。凹部３２の第１部材３５及び第２部材３６についても同様である。
【００５１】
上記実施形態では、第１電極５及び第２電極７を形成する材料の一例を挙げて説明した。しかし、電極を形成する材料は上記実施形態に記載の材料に限定されない。
【００５２】
上記実施形態では、凹部３０，３２をレーザーの照射により形成する形態を一例に説明した。しかし、凹部３０，３２の形成方法は、他の方法であってもよい。
【符号の説明】
【００５３】
１…圧電素子、３…圧電素体、３ａ，３ｂ…主面、３ｃ，３ｄ…端面（側面）、３ｅ，３ｆ…側面、５…第１電極、７…第２電極、３０，３２…凹部、３０ａ，３２ａ…開口縁部、３０ｂ，３２ｂ…内側面、３３，３５…第１部材、３４，３６…第２部材、Ａ１，Ａ２…領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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