(57)【要約】【課題】ワークに所定の加工を行うワーク加工装置において、加工機に対するワークテーブルの相対位置を適切に補正する。【解決手段】液滴吐出装置は、ワークＷを載置するワークテーブル２０と、ワークテーブル２０に載置されたワークＷに液滴と吐出する液滴吐出ヘッド３４と、ワークテーブル２０を移動させるＹ軸リニアモータ１３と、Ｙ軸リニアモータ１３の位置を測定するＹ軸リニアスケール１６と、ワークテーブル２０に載置されたワークＷの位置を検出する検出器１６０と、Ｙ軸リニアスケール１６の測定結果と検出器１６０の検出結果に基づいて、ワークテーブル２０の位置の補正量を算出する補正器１６１と、を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに所定の加工を行うワーク加工装置であって、
前記ワークを載置するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークを加工する加工機と、
前記ワークテーブルと前記加工機を相対的に移動させる移動機構と、
前記移動機構の位置を測定する位置測定器と、
前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置を検出する検出器と、
前記位置測定器の測定結果と前記検出器の検出結果に基づいて、前記ワークテーブルの位置の補正量を算出する補正器と、を有することを特徴とする、ワーク加工装置。
【請求項２】
前記補正器は、前記移動機構の位置と前記補正量の相関を示す補正テーブルを用いることを特徴とする、請求項１に記載のワーク加工装置。
【請求項３】
前記検出器の検出結果は、前記ワークの位置、前記補正量又は前記補正テーブルであることを特徴とする、請求項２に記載のワーク加工装置。
【請求項４】
前記検出器は、前記加工機による前記ワークの加工前に、前記ワークの位置を検出することを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のワーク加工装置。
【請求項５】
前記移動機構は、前記ワークテーブルと前記加工機を両方移動させることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のワーク加工装置。
【請求項６】
前記所定の加工は、前記ワークに機能液の液滴を吐出して描画する加工であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれか一項に記載のワーク加工装置。
【請求項７】
ワークテーブルに載置されたワークに対し、加工機によって所定の加工を行うワーク加工方法であって、
移動機構によって前記ワークテーブルと前記加工機を相対的に移動させる際、位置測定器によって移動機構の位置を測定する第１の工程と、
前記移動機構によって前記ワークテーブルと前記加工機を相対的に移動させる際、検出器によって、前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置を検出する第２の工程と、
補正器によって、前記位置測定器の測定結果と前記検出器の検出結果に基づいて、前記ワークテーブルの位置の補正量を算出する第３の工程と、を有することを特徴とする、ワーク加工方法。
【請求項８】
前記第３の工程において、前記補正器は、前記移動機構の位置と前記補正量の相関を示す補正テーブルを用いることを特徴とする、請求項７に記載のワーク加工方法。
【請求項９】
前記第２の工程において、前記検出器の検出結果は、前記ワークの位置、前記補正量又は前記補正テーブルであることを特徴とする、請求項８に記載のワーク加工方法。
【請求項１０】
前記第２の工程は、前記加工機による前記ワークの加工前に行われることを特徴とする、請求項７〜９のいずれか一項に記載のワーク加工方法。
【請求項１１】
前記移動機構は、前記ワークテーブルと前記加工機を両方移動させることを特徴とする、請求項７〜１０のいずれか一項に記載のワーク加工方法。
【請求項１２】
前記所定の加工は、前記ワークに機能液の液滴を吐出して描画する加工であることを特徴とする、請求項７〜１１のいずれか一項に記載のワーク加工方法。
【請求項１３】
請求項７〜１２のいずれか一項に記載のワーク加工方法をワーク加工装置によって実行させるように、当該ワーク加工装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
【請求項１４】
請求項１３に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに所定の加工を行うワーク加工装置、当該ワーク加工装置を用いたワーク加工方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液を使用してワークに描画を行う装置として、当該機能液を液滴にして吐出するインクジェット方式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、例えば有機ＥＬ装置、カラーフィルタ、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する際など、広く用いられている。
【０００３】
例えば特許文献１に記載された液滴吐出装置は、機能液の液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）と、ワークを搭載するワークステージ（ワークテーブル）と、案内用の一対の支持ベースが延伸する方向（主走査方向）に沿ってワークテーブルを移動させる移動機構（リニアモータ）と、を備えている。そして、ワークテーブルにより液滴吐出ヘッドに対してワークを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドからワーク上に予め形成されたバンクに対して機能液を吐出することで、ワークに対する描画が行われる。
【０００４】
このような液滴吐出装置においては、ワーク上の所望の位置に対して正確に機能液を吐出するために、予めワークのアライメントが行われる。ワークテーブルは回転動作を含めて水平方向に移動自在に構成されており、ワークテーブル上方に設けられたアライメント用のカメラによりワークのアライメントマークを撮像する。そして、撮像された画像に基づいてワークテーブルの水平方向の位置を補正することで、ワークのアライメントが行われる。その後、アライメントされたワークを予め定められた位置に移動させ、液滴吐出ヘッドからワークのバンク内に機能液が吐出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１９８０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ワークのアライメントを行った後、種々の要因により、液滴吐出ヘッドとワーク上のバンクとの位置関係が変化する場合がある。要因としては、例えば温度変化による構造物やワークの変形、リニアモータに設けられるリニアスケールの熱伸縮、機構の経時変化、液滴吐出装置が設置される床や建屋の変形、ワークテーブル上のワークの載置状態の差（ワークの姿勢ずれ）などが挙げられる。さらに、リニアモータの位置とワークテーブルの表面のアッベ誤差、ワークテーブルを往復させる際のバックラッシュ誤差、機能液吐出ヘッドの位置ずれなど、装置としての精度悪化要因も挙げられる。
【０００７】
また近年、液滴吐出装置で製造されるテレビなどの製品は、大型で高精細（例えば４Ｋ、８Ｋ）が主流になっており、ワークの大型化に対応すべく液滴吐出装置も大型化している。このため、上述した要因による液滴吐出ヘッドとバンクとの位置ずれ、すなわち、液滴吐出ヘッドから吐出された液滴がワーク上のバンクに着弾する際の位置ずれが無視できない状況になっている。しかも、ピクセルサイズの影響で、その位置ずれの許容範囲も例えば±２μｍ以下と小さくなってきている。
【０００８】
そこで、液滴吐出装置のように精密制御が必要なステージにおいては、環境変化にロバストに対応できるワークテーブルの位置補正の技術が求められている。また、精密ステージは、液滴吐出装置以外にも、例えば工作機械や処理液の塗布装置にも用いられ、かかる装置でもワークテーブルの位置補正の技術が必要とされている。しかしながら現状では、このような精密ステージにおいて、ワークテーブルの位置を適切に補正するには至っていない。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、ワークに所定の加工を行うワーク加工装置において、加工機に対するワークテーブルの相対位置を適切に補正し、当該加工機とワークを高精度に位置合わせすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するため、すなわち、ワークテーブルの位置補正を適切に行うため、本発明者らは、補正テーブルを利用して、リニアモータの位置（リニアモータの可動子の位置）を補正することを試みた。以下、本発明者らが試みた具体的な位置補正方法について説明する。図９は、当該位置補正方法を実現するための位置補正装置５００の構成を示している。
【００１１】
図９に示すように、リニアモータ５１０によって、ワークＷを載置したワークテーブル５１１を移動させながら、液滴吐出ヘッド５１２からワークＷ上のバンクに対して機能液の液滴を吐出する。ワークテーブル５１１を移動させる際には、リニアスケール５１３によって、リニアモータ５１０の位置を測定する。
【００１２】
リニアスケール５１３からのエンコーダパルス（パルス信号）は、分岐ボード５２０を介して、リニアモータ５１０の移動を制御するモーションコントローラ５２１と、リニアスケール５１３からのパルス信号を逆変換するエンコーダ逆変換器５２２と、に出力される。
【００１３】
モーションコントローラ５２１では、補正テーブルを用いて、リニアモータ５１０への指令信号（パルス列）を補正して出力する。補正テーブルは、位置補正装置５００の立ち上げ時に、コンピュータ５２３からモーションコントローラ５２１にインストールされる。また、補正テーブルは、リニアモータ５１０の目標位置（指令位置）と補正位置の相関を示しており、例えばリニアモータ５１０の目標位置に対して、実際のリニアモータ５１０の位置を測定することで、ワークＷの量産の前に予め取得されている。
【００１４】
エンコーダ逆変換器５２２では、逆変換テーブルを用いて、リニアスケール５１３からのパルス信号を逆変換して、インクジェットコントローラ５２４に出力する。インクジェットコントローラ５２４は、液滴吐出ヘッド５１２における液滴の吐出タイミングを制御するものであって、リニアモータ５１０の位置に基づいて液滴の吐出タイミングが設定されている。逆変換テーブルは、位置補正装置５００の立ち上げ時に、コンピュータ５２３からエンコーダ逆変換器５２２にインストールされる。また、逆変換テーブルは、リニアスケール５１３からのパルス信号を、液滴吐出ヘッド５１２の吐出タイミングに変換するものであって、補正テーブルと同様にワークＷの量産の前に予め取得されている。
【００１５】
次に、以上の構成の位置補正装置５００の動作について説明する。例えばワークテーブル５１１の移動開始点を０ｍｍとして、リニアモータ５１０が１０００ｍｍの目標位置に移動させるように当該リニアモータ５１０に指令信号が出力されている場合において、例えばカメラなど外部の計測器によって、その目標位置として実際は９００ｍｍが正しいことが判明しているとする。かかる場合、リニアスケール５１３からは９００ｍｍを示すパルス信号が出力される。
【００１６】
モーションコントローラ５２１では、補正テーブルに基づいて、リニアモータ５１０に対する指令信号を当初の１０００ｍｍから９００ｍｍに変換する。そして、モーションコントローラ５２１からリニアモータ５１０に、９００ｍｍを示すパルス信号が出力され、リニアモータ５１０の位置が決められる。
【００１７】
一方、リニアモータ５１０の位置が９００ｍｍに指令されても、液滴吐出ヘッド５１２の吐出タイミングは目標位置１０００ｍｍのままである。そこで、エンコーダ逆変換器５２２では、逆変換テーブルを用いて、リニアスケール５１３からの９００ｍｍを示すパルス信号を１０００ｍｍに逆変換する。そして、エンコーダ逆変換器５２２からインクジェットコントローラ５２４に、１０００ｍｍを示すパルス信号が出力され、液滴吐出ヘッド５１２における液滴の吐出タイミングが制御される。
【００１８】
以上のように、位置補正装置５００では、リニアモータ５１０の位置と液滴吐出ヘッド５１２における液滴の吐出タイミングを合致させている。
【００１９】
しかしながら、位置補正装置５００では、指令信号の補正機能を有するモーションコントローラ５２１が用いられるが、このようなモーションコントローラ５２１は汎用的ではなく、モーションコントローラ５２１、リニアモータ５１０、リニアスケール５１３の選定に制約が出る。また、市販のモーションコントローラ５２１を用いた場合、リニアモータ５１０の位置補正の点数が制限され、またその位置補正の補間処理も必要となり、設計の自由度に制約が出る。
【００２０】
また、位置補正装置５００では、リニアモータ５１０の位置補正と液滴吐出ヘッド５１２の吐出タイミング補正を両方行う必要があり、その制御が複雑で、両補正の同期がとれないおそれがある。また、このように両補正を行うためには分岐ボード５２０が別途必要となる。さらに、エンコーダ逆変換器５２２の逆変換テーブルを更新するためには、更新の都度、位置補正装置５００の電源をリセットする必要もある。このように位置補正装置５００を用いた制御は、煩雑なものとなる。
【００２１】
したがって、位置補正装置５００は、ワークテーブル５１１の位置補正に有用ではあるが、改善の余地がある。
【００２２】
そこで、本発明は、ワークに所定の加工を行うワーク加工装置であって、前記ワークを載置するワークテーブルと、前記ワークテーブルに載置された前記ワークを加工する加工機と、前記ワークテーブルと前記加工機を相対的に移動させる移動機構と、前記移動機構の位置を測定する位置測定器と、前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置を検出する検出器と、前記位置測定器の測定結果と前記検出器の検出結果に基づいて、前記ワークテーブルの位置の補正量を算出する補正器と、を有することを特徴としている。
【００２３】
本発明によれば、先ず、移動機構によってワークテーブルと加工機を相対的に移動させる際、位置測定器によって移動機構の位置を測定する。一方、移動機構によってワークテーブルと加工機を相対的に移動させる際、検出器によって、ワークテーブルに載置されたワークの位置を検出する。そして、補正器によって、位置測定器からの測定結果と、検出器からの検出結果とを用いて、ワークテーブルの位置の補正量を算出する。
【００２４】
かかる場合、ワーク加工装置における各部材の温度変化や経時変化といった要因によりワークの位置ずれが生じても、位置測定器、検出器及び補正器を用いて、ワークテーブルの位置を適切に補正することができる。また、上述した図９に示した位置補正装置では、リニアモータ（移動機構）の位置補正と液滴吐出ヘッド（加工機）の吐出タイミング補正との同期がとれないおそれがあったが、本発明では補正器のみで補正を行っており、ワークテーブルの位置を適切に補正することができる。したがって、加工機によるワークの加工精度を高くすることができる。
【００２５】
また、例えば加工機によるワークの加工前に、検出器がワークの位置を検出する場合、ワークテーブルと加工機を相対的に移動させている間に、補正器ではリアルタイムにワークテーブルの位置を補正することができる。
【００２６】
しかも、ワークテーブルの位置を補正するにあたり、本発明のワーク加工装置の構成及び加工方法は非常にシンプルである。上述した図９に示した位置補正装置では、モーションコントローラ、リニアモータ及びリニアスケール、すなわち移動機構の選定に制約があったが、本発明ではかかる制約はなく、移動機構の選択の自由度が向上する。
【００２７】
前記補正器は、前記移動機構の位置と前記補正量の相関を示す補正テーブルを用いてもよい。
【００２８】
前記検出器の検出結果は、前記ワークの位置、前記補正量又は前記補正テーブルであってもよい。
【００２９】
前記検出器は、前記加工機による前記ワークの加工前に、前記ワークの位置を検出してもよい。
【００３０】
前記移動機構は、前記ワークテーブルと前記加工機を両方移動させてもよい。
【００３１】
前記所定の加工は、前記ワークに機能液の液滴を吐出して描画する加工であってもよい。
【００３２】
別な観点による本発明は、ワークテーブルに載置されたワークに対し、加工機によって所定の加工を行うワーク加工方法であって、移動機構によって前記ワークテーブルと前記加工機を相対的に移動させる際、位置測定器によって移動機構の位置を測定する第１の工程と、前記移動機構によって前記ワークテーブルと前記加工機を相対的に移動させる際、検出器によって、前記ワークテーブルに載置された前記ワークの位置を検出する第２の工程と、補正器によって、前記位置測定器の測定結果と前記検出器の検出結果に基づいて、前記ワークテーブルの位置の補正量を算出する第３の工程と、を有することを特徴としている。
【００３３】
前記第３の工程において、前記補正器は、前記移動機構の位置と前記補正量の相関を示す補正テーブルを用いてもよい。
【００３４】
前記第２の工程において、前記検出器の検出結果は、前記ワークの位置、前記補正量又は前記補正テーブルであってもよい。
【００３５】
前記第２の工程は、前記加工機による前記ワークの加工前に行われてもよい。
【００３６】
前記移動機構は、前記ワークテーブルと前記加工機を両方移動させてもよい。
【００３７】
前記所定の加工は、前記ワークに機能液の液滴を吐出して描画する加工であってもよい。
【００３８】
また別な観点による本発明によれば、前記ワーク加工方法をワーク加工装置によって実行させるように、当該ワーク加工装置のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。
【００３９】
さらに別な観点による本発明によれば、前記プログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体が提供される。
【発明の効果】
【００４０】
本発明によれば、ワーク加工装置における各部材の温度変化や経時変化といった要因により、加工機に対するワークの位置ずれが生じても、加工機に対するワークテーブルの相対位置を適切に補正し、当該加工機とワークを高精度に位置合わせすることができる。しかも、この相対位置の補正にあたり、ワーク加工装置及び加工方法は非常にシンプルにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本実施の形態にかかる液滴吐出装置の構成の概略を示す側面図である。
【図２】本実施の形態にかかる液滴吐出装置の構成の概略を示す平面図である。
【図３】ワーク上にバンクと基準マークが形成された状態を示す平面図である。
【図４】制御部の構成の概略を模式的に示す説明図である。
【図５】補正テーブルの一例を示す図である。
【図６】補正器においてパルス信号を変換する様子を示す説明図である。
【図７】ワークを液滴吐出ヘッドに向けて移動させる様子を示す説明図である。
【図８】他の実施の形態にかかる制御部の構成の概略を模式的に示す説明図である。
【図９】従来の位置補正装置の構成の概略を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。本実施の形態では、ワークの加工として、ワークに機能液の液滴を吐出して描画する場合について説明する。また、本実施の形態では、ワーク加工装置として液滴吐出装置を用いる。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００４３】
＜液滴吐出装置の構成＞
先ず、本実施の形態に係る液滴吐出装置の構成について、図１及び図２を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置１の構成の概略を示す側面図である。図２は、液滴吐出装置１の構成の概略を示す平面図である。なお、以下においては、ワークＷの主走査方向をＹ軸方向、主走査方向に直交する副走査方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に直交する鉛直方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向回りの回転方向をθ方向とする。
【００４４】
また、本実施の形態で用いられるワークＷには、図３に示すように区画壁であるバンク１００が形成される。バンク１００は、例えばフォトリソグラフィー処理やエッチング処理等を行うことによって所定のパターンにパターニングされる。バンク１００には、略矩形状の開口部１０１が行方向（Ｙ軸方向）と列方向（Ｘ軸方向）に所定のピッチで複数並べて形成されている。この開口部１０１の内部は、液滴吐出装置１により吐出された液滴が着弾する着弾領域となる。なお、バンク１００には、例えば感光性ポリイミド樹脂が用いられる。
【００４５】
ワークＷの端部には、基準マーク１０２がＹ軸方向に沿って開口部１０１と同じピッチで複数形成されている。基準マーク１０２は、例えばインクジェット方式の描図方法などを用いてワークＷの上面に描図されている。なお、図３では、基準マーク１０２として略十字形のマークを描図しているが、基準マーク１０２の形状は本実施の形態の内容に限定されるものではなく、例えば円形や三角形であってもよく、識別可能なものであれば任意に設定できる。また、図３ではワークＷのＸ軸負方向側の端部に基準マーク１０２が形成された状態を描図しているが、基準マーク１０２はワークＷのＸ軸正方向側の端部に形成されていてもよい。
【００４６】
液滴吐出装置１は、主走査方向（Ｙ軸方向）に延在して、ワークＷを主走査方向に移動させるＹ軸ステージ１０と、Ｙ軸ステージ１０を跨ぐように架け渡され、副走査方向（Ｘ軸方向）に延在する一対のＸ軸ステージ１１、１１とを有している。Ｙ軸ステージ１０の上面には、一対のＹ軸ガイドレール１２、１２がＹ軸方向に延伸して設けられ、各Ｙ軸ガイドレール１２には、移動機構としてのＹ軸リニアモータ１３が設けられている。各Ｘ軸ステージ１１の上面には、Ｘ軸ガイドレール１４がＸ軸方向に延伸して設けられ、当該Ｘ軸ガイドレール１４には、Ｘ軸リニアモータ１５が設けられている。なお、以下の説明では、Ｙ軸ステージ１０上において、Ｘ軸ステージ１１よりＹ軸負方向側のエリアを搬入出エリアＡ１といい、一対のＸ軸ステージ１１、１１間のエリアを処理エリアＡ２といい、Ｘ軸ステージ１１よりＹ軸正方向側のエリアを待機エリアＡ３という。
【００４７】
Ｙ軸リニアモータ１３には、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置を測定する、位置測定器としてのＹ軸リニアスケール１６が設けられている。Ｙ軸リニアスケール１６からは、Ｙ軸リニアモータ１３の位置を示すエンコーダパルス（パルス信号）が出力される。なお、Ｙ軸リニアモータ１３の位置とは、Ｙ軸リニアモータ１３の可動子の位置を意味する。
【００４８】
Ｙ軸ステージ１０上には、ワークテーブル２０が設けられている。一対のＸ軸ステージ１１、１１には、キャリッジユニット３０と撮像ユニット４０が設けられている。
【００４９】
ワークテーブル２０は、例えば真空吸着テーブルであり、ワークＷを吸着して載置する。ワークテーブル２０は、当該ワークテーブル２０の下面側に設けられたテーブル移動機構２１によって、Ｘ軸方向に移動自在であると共にθ方向に回転自在に支持されている。ワークテーブル２０とテーブル移動機構２１は、テーブル移動機構２１の下面側に設けられたＹ軸スライダ２２に支持されている。Ｙ軸スライダ２２は、Ｙ軸ガイドレール１２に取り付けられ、Ｙ軸リニアモータ１３によってＹ軸方向に移動自在に構成されている。したがって、ワークＷを載置した状態でワークテーブル２０をＹ軸スライダ２２によってＹ軸ガイドレール１２に沿ってＹ軸方向に移動させることで、ワークＷをＹ軸方向に移動させることができる。なお、本実施の形態では、テーブル移動機構２１がワークテーブル２０をＸ軸方向に移動させ、且つθ方向に回転させていたが、ワークテーブル２０をＸ軸方向に移動させる機構とθ方向に回転させる機構はそれぞれ別であってもよい。
【００５０】
テーブル移動機構２１には、当該テーブル移動機構２１のＸ軸方向の位置を測定するＸ軸リニアスケール２３と、テーブル移動機構２１のθ方向の位置を測定するロータリエンコーダ２４とが設けられている。Ｘ軸リニアスケール２３とロータリエンコーダ２４からは、それぞれテーブル移動機構２１（ワークテーブル２０）のＸ軸方向の位置とθ方向の位置を示すエンコーダパルス（パルス信号）が出力される。
【００５１】
なお、搬入出エリアＡ１におけるワークテーブル２０の上方には、ワークテーブル２０上のワークＷを撮像するワークアライメントカメラ（図示せず）が設けられている。そして、ワークアライメントカメラで撮像された画像に基づいて、Ｙ軸スライダ２２及びテーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０に載置されたワークＷのＹ軸方向、Ｘ軸方向及びθ方向の位置が必要に応じて補正される。これにより、ワークＷがアライメントされて所定の初期位置に設定される。
【００５２】
キャリッジユニット３０は、Ｘ軸ステージ１１において、複数、例えば１０個設けられている。各キャリッジユニット３０は、キャリッジプレート３１と、キャリッジ保持機構３２と、キャリッジ３３と、加工機としての液滴吐出ヘッド３４とを有している。キャリッジ保持機構３２は、キャリッジプレート３１の下面の中央部に設けられ、当該キャリッジ保持機構３２の下端部にキャリッジ３３が着脱自在に取り付けられている。
【００５３】
キャリッジプレート３１は、Ｘ軸ガイドレール１４に取り付けられ、Ｘ軸リニアモータ１５によってＸ軸方向に移動自在になっている。なお、複数のキャリッジプレート３１を一体としてＸ軸方向に移動させることも可能である。
【００５４】
キャリッジ３３には、モータ（図示せず）が取り付けられている。このモータにより、キャリッジ３３はＸ軸方向及びθ方向に移動自在に構成されている。なお、キャリッジ３３のＸ軸方向及びθ方向の移動は、例えばキャリッジ保持機構３２によって行われてもよい。
【００５５】
キャリッジ３３の下面には、複数の液滴吐出ヘッド３４がＹ軸方向及びＸ軸方向に並べて設けられている。本実施の形態では、例えばＹ軸方向に６個、Ｘ軸方向に２個、すなわち合計１２個の液滴吐出ヘッド３４が設けられている。液滴吐出ヘッド３４の下面、すなわちノズル面には複数の吐出ノズル（図示せず）が形成されている。そして、当該吐出ノズルからは、液滴吐出ヘッド３４直下の液滴吐出位置に対して機能液の液滴が吐出されるようになっている。
【００５６】
撮像ユニット４０は、Ｙ軸リニアモータ１３によってワークテーブル２０をＹ軸方向に移動させたときの、ワークＷ上の基準マーク１０２の軌跡と、平面視において概ね重なる位置に配置される。具体的には、例えば図２に示すように、Ｘ軸方向の負方向側の下から２番目のキャリッジプレート３１ａの配置が、ワークＷをＹ軸方向に移動させたときの基準マーク１０２の軌跡と概ね重なっている場合、撮像ユニット４０はキャリッジプレート３１ａに設けられる。なお、撮像ユニット４０はＸ軸方向に移動可能に構成されていてもよい。
【００５７】
撮像ユニット４０は、キャリッジ３３（液滴吐出ヘッド３４）を挟んでＹ軸方向に対向して設けられた第１の撮像部４１と第２の撮像部４２を有している。第１の撮像部４１及び第２の撮像部４２としては、例えばＣＣＤカメラが用いられ、ワークテーブル２０の移動中、停止中、ワーク処理中（液滴吐出中）のいずれにおいても、当該ワークテーブル２０に載置されたワークＷを撮像することができる。第１の撮像部４１は、キャリッジ３３に対してＹ軸負方向側に配置されており、第２の撮像部４２は、キャリッジ３３に対してＹ軸正方向側に配置されている。
【００５８】
第１の撮像部４１は、ワークＷに形成された基準マーク１０２を撮像する。第１の撮像部４１は、一対のＸ軸ステージ１１、１１のうち、Ｙ軸負方向側のＸ軸ステージ１１の側面に設けられたベース４３に支持されている。そして、ワークＷが搬入出エリアＡ１から処理エリアＡ２に向けて移動し、第１の撮像部４１の直下にワークテーブル２０が案内された際、第１の撮像部４１は、所定の周期でワークテーブル２０上に載置されたワークＷを撮像する。取得された撮像画像は、後述する制御部１５０の検出器１６０に入力される。なお、第１の撮像部４１による撮像のタイミングは、例えば後述する補正器１６１から出力される変換後のパルス信号に基づいて決定されてもよいし、或いはワーク処理前に予め設定されていてもよい。
【００５９】
第２の撮像部４２は、一対のＸ軸ステージ１１、１１のうち、Ｙ軸正方向側のＸ軸ステージ１１の側面に設けられたベース４４に支持されている。そして、第２の撮像部４２の直下にワークテーブル２０が案内された際、第２の撮像部４２は、ワークテーブル２０上に載置されたワークＷを撮像することにより、ワークＷの上面に着弾した液滴を撮像することができる。
【００６０】
なお、ワークテーブル２０の往道パス（Ｙ軸正方向）では、第１の撮像部４１と第２の撮像部４２におけるワークＷの撮像画像は上述のとおりとなるが、ワークテーブル２０の復道パス（Ｙ軸負方向）では、第１の撮像部４１と第２の撮像部４２における撮像画像はその逆になる。
【００６１】
＜制御部＞
以上の液滴吐出装置１には、制御部１５０が設けられている。制御部１５０は、例えばコンピュータであり、データ格納部（図示せず）を有している。データ格納部には、例えばワークＷに吐出される液滴を制御し、当該ワークＷに所定のパターンを描画するための描画データ（ビットマップデータ）などが格納されている。また、制御部１５０は、プログラム格納部（図示せず）を有している。プログラム格納部には、液滴吐出装置１における各種処理を制御するプログラムなどが格納されている。
【００６２】
なお、前記データや前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部１５０にインストールされたものであってもよい。
【００６３】
制御部１５０は、図４に示すように第１の撮像部４１で取得された撮像画像を処理して当該撮像画像から基準マーク１０２の位置を検出する検出器１６０と、ワークテーブル２０の位置（Ｙ軸リニアモータ１３及びテーブル移動機構２１の位置）を補正する補正器１６１と、Ｙ軸リニアモータ１３及びテーブル移動機構２１の移動を制御するモーションコントローラ１６２（モーションドライバ）と、液滴吐出ヘッド３４の吐出タイミングを制御するインクジェットコントローラ１６３と、を有している。
【００６４】
（検出器）
検出器１６０における基準マーク１０２の位置（中心位置）の検出方法は任意であるが、例えば特開２０１７−１３０１１号公報に記載の方法を用いることができる。そして、検出器１６０は、複数の基準マーク１０２の位置を検出することで、ワークＷの位置を検出する。また、第１の撮像部４１は、液滴吐出ヘッド３４が取り付けられるＸ軸ステージ１１に設けられるので、検出器１６０では、液滴吐出ヘッド３４に対するワークＷの位置を検出する。なお、第１の撮像部４１で取得された撮像画像は、Ｙ軸成分、Ｘ軸成分及びθ成分を含んでおり、検出器１６０で検出されるワークＷの位置もＹ軸方向位置、Ｘ軸方向位置及びθ方向位置を含んでいる。
【００６５】
なお、検出器１６０では、検出されたワークＷの位置に基づいて、ワークＷの目標位置からの位置ずれ量をさらに算出してもよい。このワークＷの位置ずれ量の算出方法は任意であるが、例えば特開２０１７−１３０１１号公報に記載の方法を用いることができる。すなわち、当該方法を用いて、Ｙ軸リニアスケール１６で測定されたＹ軸リニアモータ１３の位置に基づき、ワークＷの目標位置を推定する。そして、算出されたワークＷの目標位置と、検出器１６０で検出されたワークＷの位置とを比較して、位置ずれ量を算出する。なお、ワークＷの位置ずれ量は、Ｙ軸方向位置、Ｙ軸方向ピッチ、Ｙ軸方向Ｙａｗ、Ｙ軸方向位置基準のＸ軸方向位置、Ｙ軸方向位置基準のθ方向位置を含んでいる。
【００６６】
また、検出器１６０では、上述のように算出されたワークＷの位置ずれ量に基づいて、図５に示す補正テーブルをさらに作成してもよい。この補正テーブルは、Ｙ軸リニアモータ１３の１ストローク、例えば１００ｍｍピッチ毎に、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置に対して、ワークＷのＹ軸方向の位置ずれ量をプロットして作成される。このワークＷの位置ずれ量は、ワークＷの位置の補正量、すなわちワークテーブル２０の位置の補正量を示している。したがって、補正テーブルは、その横軸がＹ軸リニアモータ１３の位置であって、縦軸がワークテーブル２０の位置の補正量であり、Ｙ軸リニアスケール１６で測定されたＹ軸リニアモータ１３の位置において、当該ワークテーブル２０の位置をどれだけ移動させればよいかを示している。なお、図５に示した補正テーブルは、ワークテーブル２０のＹ軸方向位置の補正量の一例を示しているが、他にもＹ軸方向ピッチ、Ｙ軸方向Ｙａｗ、Ｙ軸方向位置基準のＸ軸方向位置、Ｙ軸方向位置基準のθ方向位置のそれぞれに対して補正テーブルが作成される。したがって、Ｙ軸方向にはＹ軸リニアモータ１３の位置を補正し、Ｘ軸方向及びθ方向にはテーブル移動機構２１の位置を補正することで、ワークテーブル２０の姿勢を補正することができる。さらに、図５に示す補正テーブルは、プロットを２次補間したものであるが、多次元補間してもよい。
【００６７】
以上のように検出器１６０では、ワークＷの位置、ワークＷの位置ずれ量、又は補正テーブルのいずれかが算出される。そして、検出器１６０における検出結果の信号は、補正器１６１に出力される。なお、検出器１６０から補正器１６１に、ワークＷの位置又はワークＷの位置ずれ量が出力される場合には、補正器１６１において補正テーブルが作成される。
【００６８】
なお、上記説明においては、検出器１６０は第１の撮像部４１の撮像画像を用いてワークＷの位置を検出したが、これは、ワークテーブル２０（Ｙ軸リニアモータ１３）が搬入出エリアＡ１から処理エリアＡ２に移動する場合（往道パス）である。一方、ワークテーブル２０が待機エリアＡ３から処理エリアＡ２に移動する場合（復道パス）、検出器１６０は第２の撮像部４２の撮像画像を用いてワークＷの位置を検出する。
【００６９】
また、検出器１６０では、第１の撮像部４１で撮像されたワークＷの撮像画像を用いてワークＷの位置を検出したが、例えばワークテーブル２０に基準マークを設け、当該基準マークを含むワークテーブル２０の撮像画像を用いてもよい。
【００７０】
また、検出器１６０では、ＣＣＤカメラである第１の撮像部４１で取得された撮像画像に基づいてワークＷの位置を検出したが、例えばレーザ干渉計（図示せず）又はレーザ変位計（図示せず）を用いてワークＷの位置を検出してもよい。レーザ干渉計又はレーザ変位計を用いる場合、液滴吐出ヘッド３４と、ワークテーブル２０又はワークＷとにレーザを照射し、液滴吐出ヘッド３４に対するワークＷの位置を検出する。かかる場合、例えば１列の測長器（レーザ干渉計又はレーザ変位計）でワークＷをワークＷの位置を測定する場合、当該ワークＷの位置としてＹ軸方向位置が検出され、例えば２列の測長器を用いる場合、Ｙ軸方向位置及びθ方向位置が検出される。
【００７１】
（補正器）
補正器１６１は、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号と、検出器１６０からの信号とに基づき、補正テーブルを用いてワークテーブル２０の位置の補正量を算出する。そして、この補正量をモーションコントローラ１６２にフィードバックする。具体的には、以下のステップＳ１〜Ｓ３を行う。
【００７２】
先ず、補正器１６１では、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号を受信してカウントし、Ｙ軸リニアモータ１３の現在位置を把握する。また、後述するステップＳ３においてパルス信号を変換するために、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号の形状（パルス形状）を解析しておく（ステップＳ１）。ステップＳ１において、補正器１６１では、Ｘ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２４からのパルス信号も受信する。
【００７３】
次に、補正器１６１では、検出器１６０からの検出結果の信号を受信する。検出器１６０からの信号は、上述したようにワークＷの位置、ワークＷの位置ずれ量、又は補正テーブルのいずれかである。また、検出器１６０からの信号がワークＷの位置又はワークＷの位置ずれ量である場合、補正器１６１において補正テーブルが作成される。そして、ステップＳ１で把握したＹ軸リニアモータ１３の位置に基づき、補正テーブルを用いて、ワークテーブル２０の位置の補正量を算出する。具体的には、補正テーブルを２次元補間又は多次元補間する。なお、図５に示した補正テーブルは、２次元補間したものである。この補正量の算出は、Ｙ軸リニアモータ１３（ワークテーブル２０）の移動中に行われ、時々刻々変化するＹ軸リニアモータ１３の位置に対応して補正量が算出される。したがって、補正器１６１では、リアルタイムに現在位置でのワークテーブル２０の位置の補正量を算出する（ステップＳ２）。
【００７４】
次に、補正器１６１では、ステップＳ１で解析したパルス形状と、ステップＳ２で算出したワークテーブル２０のＹ軸方向の補正量とに基づいて、Ｙ軸リニアスケール１６から受信したパルス信号を変換する。図６は、パルス信号を変換する様子を示し、左図はＹ軸リニアスケール１６からのパルス信号を示し、右図は変換後、モーションコントローラ１６２に出力するパルス信号を示している。例えば複数の基準マーク１０２の位置が、パルス信号に対して全体的にずれている場合、図６（ａ）に示すようにパルスを挿入するか、図６（ｂ）に示すようにパルスを削除する。また、例えば複数の基準マーク１０２の位置からワークＷが伸縮している場合において、パルス信号に傾きを付与したい場合、図６（ｃ）に示すようにパルスピッチを伸ばすか、図６（ｄ）に示すようにパルスピッチを縮める。そして、このように変換されたパルス信号は、モーションコントローラ１６２に出力される（ステップＳ３）。
【００７５】
このようにステップＳ３において変換されたパルス信号は、インクジェットコントローラ１６３にも出力される。インクジェットコントローラ１６３は、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御するものであって、Ｙ軸リニアモータ１３の位置に基づいて液滴の吐出タイミングが設定されている。本実施の形態では、補正器１６１から出力されたパルス信号がインクジェットコントローラ１６３に出力されることで、液滴吐出ヘッド３４から適切なタイミングで液滴を吐出することができる。
【００７６】
なお、ステップＳ３において、補正器１６１では、ステップＳ２で算出したワークテーブル２０のＸ軸方向及びθ方向の補正量に基づいて、Ｘ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２からのパルス信号をそれぞれ変換する。変換されたパルス信号は、モーションコントローラ１６２に出力される。
【００７７】
また、Ｙ軸リニアモータ１３が高速で移動する場合、リアルタイムで補正量を算出する補正器１６１は、高速信号処理が必要となる。このため、補正器１６１は、ＡＳＩＣ（特定アプリケーション向け集積回路）やフィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）で機能実装するのが好ましい。
【００７８】
（モーションコントローラ）
モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、Ｙ軸リニアモータ１３に対して指令信号（パルス列）を出力して、Ｙ軸リニアモータ１３（ワークテーブル２０）の移動を制御する。また、モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＸ軸方向及びθ方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、テーブル移動機構２１に対して指令信号（パルス列）を出力して、テーブル移動機構２１の移動を制御する。なお、モーションコントローラ１６２は、Ｙ軸、Ｘ軸、θ等に関するパルス信号を受信して、フルクローズ制御を構成している。
【００７９】
（インクジェットコントローラ）
インクジェットコントローラ１６３は、補正器１６１から受信したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、液滴吐出ヘッド３４に対して指令信号（パルス列）を出力して、液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御する。
【００８０】
＜液滴吐出装置におけるワーク処理＞
次に、以上のように構成された液滴吐出装置１を用いて行われるワーク処理について説明する。
【００８１】
先ず、搬入出エリアＡ１にワークテーブル２０を配置し、搬送機構（図示せず）により液滴吐出装置１に搬入されたワークＷが当該ワークテーブル２０に載置される。続いて、ワークアライメントカメラによってワークテーブル２０上のワークＷが撮像される。そして、当該撮像された画像に基づいて、テーブル移動機構２１により、ワークテーブル２０に載置されたワークＷのＸ軸方向及びθ方向の位置が補正され、ワークＷのアライメントが行われる（ステップＴ１）。
【００８２】
その後、Ｙ軸リニアモータ１３によって、ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から処理エリアＡ２に移動させる。処理エリアＡ２では、液滴吐出ヘッド３４の下方に移動したワークＷに対して、当該液滴吐出ヘッド３４から液滴を吐出する。さらに、図７に示すようにワークＷの全面が液滴吐出ヘッド３４の下方を通過するように、ワークテーブル２０をさらに待機エリアＡ３側に移動させる。そして、ワークＷをＹ軸方向に往復動させると共に、適宜、Ｘ軸方向に移動させて、ワークＷに所定のパターンが描画される（ステップＴ２）。
【００８３】
ここで、ステップＴ２では、ワークテーブル２０の往道パスにおいて、当該ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から処理エリアＡ２に移動させる際、すなわち処理エリアＡ２にて液滴吐出ヘッド３４からワークＷに液滴を吐出する前に、Ｙ軸リニアスケール１６によってＹ軸リニアモータ１３の位置をリアルタイムに測定する。Ｙ軸リニアスケール１６におけるパルス信号は、補正器１６１に出力される。また、Ｘ軸リニアスケール２３とロータリエンコーダ２４によって、それぞれテーブル移動機構２１のＸ軸方向の位置とθ方向の位置も測定し、これらＸ軸リニアスケール２３からのパルス信号とロータリエンコーダ２４からのパルス信号も、補正器１６１に出力される。
【００８４】
一方この際、第１の撮像部４１において、所定の周期でワークテーブル２０上に載置されたワークＷを撮像し、検出器１６０においてワークＷの位置を検出する。検出器１６０では、さらにワークＷの位置ずれ量又は補正テーブルを算出してもよい。検出器１６０における検出結果の信号は、補正器１６１に出力される。
【００８５】
補正器１６１では、上述したステップＳ１〜Ｓ３を行う。すなわち、補正器１６１は、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号と、検出器１６０からの信号とに基づき、補正テーブルを用いてワークテーブル２０の位置の補正量を算出する。そして、当該補正量に基づいて変換したパルス信号を、補正器１６１からモーションコントローラ１６２に出力する。また、このうち、Ｙ軸方向のパルス信号は、インクジェットコントローラ１６３にも出力される。
【００８６】
モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、Ｙ軸リニアモータ１３に対して指令信号（パルス列）を出力し、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置を補正する。また、モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＸ軸方向及びθ方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、テーブル移動機構２１に対して指令信号（パルス列）を出力して、テーブル移動機構２１の移動を制御する。一方、インクジェットコントローラ１６３も、液滴吐出ヘッド３４に対して指令信号を出力し、当該液滴吐出ヘッド３４における液滴の吐出タイミングを制御する。こうして、液滴吐出ヘッド３４に対して、ワークテーブル２０に載置されたワークＷが適切な位置に配置される。
【００８７】
なお、ワークテーブル２０の復道パスにおいて、当該ワークテーブル２０を待機エリアＡ３から処理エリアＡ２に移動させる際には、検出器１６０は第２の撮像部４２の撮像画像を用いてワークＷの位置を検出する。
【００８８】
そして、ワークテーブル２０が搬入出エリアＡ１に移動すると、描画処理が終了したワークＷが液滴吐出装置１から搬出される。続いて、次のワークＷが液滴吐出装置１に搬入される。次いで、上述したステップＴ１のワークＷのアライメントが行われ、引き続きステップＴ２が行われる。
【００８９】
以上のように各ワークＷに対してステップＴ１〜Ｔ２が行われ、一連のワーク処理が終了する。
【００９０】
以上の実施の形態によれば、液滴吐出装置１における各部材の温度変化や経時変化といった要因によりワークＷの位置ずれが生じても、Ｙ軸リニアスケール１６、検出器１６０及び補正器１６１を用いて、ワークテーブル２０の位置を適切に補正することができる。したがって、液滴吐出ヘッド３４とワークＷを高精度に位置合わせすることができ、液滴吐出ヘッド３４からワークＷへの液滴の吐出精度（着弾精度）を高くすることができる。
【００９１】
なお、本実施の形態によれば、液滴吐出装置１におけるワークＷの位置ずれだけでなく、液滴吐出ヘッド３４側に位置ずれが生じても、ワークテーブル２０の位置を適切に補正することができる。液滴吐出ヘッド３４側に位置ずれが生じる要因としては、例えばワークＷの厚み変動に起因する吐出タイミングのずれや、液滴吐出ヘッド３４とワークＷの隙間変動、温度変化や経時変化に起因する液滴の着弾タイミングの変動、液滴吐出ヘッド３４の固定的な位置偏差、液滴吐出ヘッド３４の温度変化や経時変化などが挙げられる。
【００９２】
また、Ｙ軸リニアスケール１６によるＹ軸リニアモータ１３の位置測定と、検出器１６０によるワークＷの位置検出は、液滴吐出ヘッド３４からワークＷに液滴を吐出する前にリアルタイムに行われる。そして、補正器１６１で用いられる補正テーブルは、液滴吐出装置１における各部材の変化に合わせて自由自在に作成することができ、さらにＹ軸リニアモータ１３（ワークテーブル２０）の移動中に更新することも可能となる。したがって、ワークテーブル２０の位置を適切に補正することができる。
【００９３】
しかも、制御部１５０の構成（検出器１６０及び補正器１６１）、ワークテーブル２０の位置補正の方法は非常にシンプルである。また、上述した図９に示した位置補正装置５００では、モーションコントローラ、リニアモータ及びリニアスケールの構成の選定に制約があったが、本実施の形態ではかかる制約はない。移動機構としてはＹ軸リニアモータ１３に限定されず、モータシステムでも適用できる。また、位置測定器もＹ軸リニアスケール１６に限定されず、位置測定用途のエンコーダであれば適用可能である。したがって、装置選択の自由度が向上する。
【００９４】
＜他の実施の形態＞
次に、本発明の他の実施の形態について説明する。
【００９５】
以上の実施の形態の補正テーブルは、検出器１６０から検出されたワークＷの位置に基づいて作成されたが、他の補正テーブルを用いてもよい。
【００９６】
例えば図８に示すようにコンピュータ１７０に補正テーブルを格納しておき、コンピュータ１７０から補正器１６１に当該補正テーブルをインストールしてもよい。例えばある液滴吐出装置１の固有の癖、例えば特定部材の温度変化や経時変化が分かっている場合、コンピュータ１７０には、この癖に基づいて補正テーブルを予め作成しておいてもよい。
【００９７】
また、補正テーブルを作成するにあたり、ベーステーブルに変動テーブルを重ね合せてもよい。ベーステーブルは、例えば液滴吐出装置１の固有の癖に基づく補正テーブルである。この癖は経時的に大きく変動するものではないため、装置の立ち上げ時に作成しておく。変動テーブルは、例えば上述した検出器１６０から検出されたワークＷの位置に基づいて作成される補正テーブルである。すなわち、日々変動する要因によって作成される補正テーブルである。
【００９８】
さらに、例えば液滴吐出装置１に温度計（図示せず）を設け、この温度計による温度測定結果に基づいて補正テーブルを作成してもよい。かかる場合、例えば上記実施の形態においてワークＷの位置から作成される補正テーブルに、この温度測定結果から作成される補正テーブルを重ね合せて、新たに補正テーブルを作成してもよい。
【００９９】
以上の実施の形態では、補正テーブルを算出するにあたり、液滴吐出ヘッド３４からワークＷに液滴を吐出する前に、第１の撮像部４１（第２の撮像部４２）で撮像されたワークＷの撮像画像を用いたが、液滴吐出ヘッド３４からワークＷに液滴を吐出した後のワークＷの撮像画像を用いてもよい。
【０１００】
上述したステップＴ２のワークテーブル２０の往道パスにおいて、当該ワークテーブル２０を搬入出エリアＡ１から処理エリアＡ２に移動させた後、当該処理エリアＡ２において、液滴吐出ヘッド３４からワークＷのバンク１００内に液滴を吐出する際、さらに基準マーク１０２に対して液滴を吐出する。そして、ワークテーブル２０を処理エリアＡ２から待機エリアＡ３に移動させる際、第２の撮像部４２において、所定の周期でワークテーブル２０上に載置されたワークＷを撮像し、検出器１６０においてワークＷの位置を検出する。このワークＷにおける基準マーク１０２の位置（中心位置）の検出方法は任意であるが、例えば特開２０１７−１３０１２号公報に記載の方法を用いることができる。そして、検出器１６０における検出結果の信号は、補正器１６１に出力される。
【０１０１】
補正器１６１では、上述したステップＳ１〜Ｓ３を行う。すなわち、補正器１６１は、Ｙ軸リニアスケール１６からのパルス信号と、検出器１６０からの信号とに基づき、補正テーブルを用いてワークテーブル２０のＹ軸方向の補正量を算出する。そして、当該補正量に基づいて変換したＹ軸方向のパルス信号を、補正器１６１からモーションコントローラ１６２に出力する。また、ワークテーブル２０のＸ軸方向及びθ方向の補正量を算出する。そして、当該補正量に基づいて変換したＸ軸方向及びθ方向のパルス信号も、補正器１６１からモーションコントローラ１６２に出力する。
【０１０２】
モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＹ軸方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、Ｙ軸リニアモータ１３に対して指令信号（パルス列）を出力し、当該Ｙ軸リニアモータ１３の位置を補正する。また、モーションコントローラ１６２は、補正器１６１から受信したＸ軸方向及びθ方向のパルス信号（変換後のパルス信号）に基づいて、テーブル移動機構２１に対して指令信号（パルス列）を出力して、テーブル移動機構２１の移動を制御する。こうして、次回以降のワークＷに対する液滴の吐出において、液滴吐出ヘッド３４とワークＷを高精度に位置合わせすることができる。
【０１０３】
なお、ワークテーブル２０の復道パスにおいて、当該ワークテーブル２０を待機エリアＡ３から処理エリアＡ２に移動させる際には、検出器１６０は第１の撮像部４１の撮像画像を用いてワークＷの位置を検出する。
【０１０４】
また、このように第２の撮像部４２（第１の撮像部４１）に代えて、液滴吐出装置１の外部に設けられた検査装置を用いてもよい。検査装置では、液滴吐出後のワークＷを撮像して検査する。補正器１６１におけるワークテーブル２０の位置の補正量算出には、この検査装置での撮像画像を用いてもよい。
【０１０５】
以上の実施の形態では、ワークテーブル２０をＹ軸方向に移動させていたが、液滴吐出ヘッド３４をＹ軸方向に移動させてもよい。かかる場合、補正器１６１は、液滴吐出ヘッド３４を移動させるＹ軸リニアモータ（図示せず）の位置を補正する。
【０１０６】
また、ワークテーブル２０と液滴吐出ヘッド３４の両方をＹ軸方向に移動させてもよい。かかる場合、補正器１６１は、ワークテーブル２０を移動させるＹ軸リニアモータ１３の位置と、液滴吐出ヘッド３４を移動させる（図示せず）の位置とを補正する。
【０１０７】
以上の実施の形態は、ワーク加工装置として液滴吐出装置１を用いた場合について説明したが、本発明はワークを移動させる精密ステージを備えた装置であれば、他のワーク加工装置にも適用することができる。他のワーク加工装置としては、例えばワークを加工する工作機械や、ワークに処理液を塗布する塗布装置などがある。
【０１０８】
なお、本発明は液滴吐出装置１のように、加工機とワークテーブルの両方が移動する場合に特に有用である。かかる場合、従来であれば、加工機の移動とワークテーブルの移動を両方補正して同期がとれないおそれがあったが、本発明は補正器１６１のみで補正を行っており、ワークテーブル２０の位置を適切に補正することができる。
【０１０９】
＜液滴吐出装置の適用例＞
以上のように構成された液滴吐出装置１は、例えば特開２０１７−１３０１１号公報に記載された、有機発光ダイオードの有機ＥＬ層を形成する基板処理システムに適用される。具体的に液滴吐出装置１は、ワークＷとしてのガラス基板上に正孔注入層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板（正孔注入層）上に正孔輸送層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置、ガラス基板（正孔輸送層）上に発光層を形成するための有機材料を塗布する塗布装置に適用される。なお、基板処理システムにおいて、有機発光ダイオードの正孔注入層、正孔輸送層及び発光層を形成する他に、電子輸送層と電子注入層も形成する場合、液滴吐出装置１は、これら電子輸送層と電子注入層の塗布処理にも適用できる。
【０１１０】
また、液滴吐出装置１は、上述のように有機発光ダイオードの有機ＥＬ層を形成する際に適用するほか、例えばカラーフィルタ、液晶表示装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）等の電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）を製造する際にも適用してもよいし、或いは金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成、及び光拡散体形成等を製造する際にも適用してもよい。
【０１１１】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【０１１２】
１      液滴吐出装置
１０    Ｙ軸ステージ
１１    Ｘ軸ステージ
１２    Ｙ軸ガイドレール
１３    Ｙ軸リニアモータ
１４    Ｘ軸ガイドレール
１５    Ｘ軸リニアモータ
１６    Ｙ軸リニアスケール
２０    ワークテーブル
２１    テーブル移動機構
２２    Ｙ軸スライダ
２３    Ｘ軸リニアスケール
２４    ロータリエンコーダ
３０    キャリッジユニット
３３    キャリッジ
３４    液滴吐出ヘッド
４０    撮像ユニット
４１    第１の撮像部
４２    第２の撮像部
１００  バンク
１０１  開口部
１０２  基準マーク
１５０  制御部
１６０  検出器
１６１  補正器
１６２  モーションコントローラ
１６３  インクジェットコントローラ
１７０  コンピュータ
Ｗ      ワーク
【図１】
2018147292.tif 000003
【図２】
2018147292.tif 000004
【図３】
2018147292.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2018147292.tif 000008
【図７】
2018147292.tif 000009
【図８】
2018147292.tif 000010
【図９】
2018147292.tif 000011