(57)【要約】【課題】分解能の低下を抑制した、及びまたは消光比の低下を抑制した磁気光学カー効果顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明の磁気光学カー効果顕微鏡は、（ａ）対物レンズと、（ｂ）直線偏光の照明光を対物レンズを通して試料に斜めに入射させる照明光学系であって、照明光を対物レンズの軸を中心として回転対称となるｎ方向（ｎは８以上の４の倍数）から入射させることができる照明光学系と、（ｃ）照明光が試料によって反射されることによって生ずる反射光が、再び対物レンズを通過した後に入射される検光子と、（ｄ）検光子を通過した反射光を受けて、試料の磁化状態を反映したｎ方向からの照明光の入射に対応したｎ枚の画像を出力する撮像装置と、（ｅ）ｎ枚の画像を演算処理することにより、試料の磁化方向の試料面に平行な２方向の成分を表す第１画像および第２画像、ならびに試料面に垂直な１方向の成分を表す第３画像を生成する演算装置とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズと、
直線偏光の照明光を前記対物レンズを通して試料に斜めに入射させる照明光学系であって、前記照明光を前記対物レンズの軸を中心として回転対称となるｎ方向（ｎは8以上の4の倍数）から入射させることができる、照明光学系と、
前記照明光が前記試料によって反射されることによって生ずる反射光が、再び前記対物レンズを通過した後に入射される検光子と、
前記検光子を通過した前記反射光を受けて、前記試料の磁化状態を反映した前記ｎ方向からの前記照明光の入射に対応したｎ枚の画像を出力する撮像装置と、
前記ｎ枚の画像を演算処理することにより、前記試料の磁化方向の試料面に平行な２方向の成分を表す第１画像および第２画像、ならびに前記試料面に垂直な１方向の成分を表す第３画像を生成する演算装置と、を備える磁気光学カー効果顕微鏡。
【請求項２】
前記対物レンズの後側焦平面近傍に、前記対物レンズの開口を制限するためのスリットをさらに備え、
前記照明光の偏光方向は、入射面に対して常に垂直または平行であり、
前記スリットは、入射面近傍の光のみを透過するように帯状の開口を有し、かつ前記照明光の入射方向の変化に応じて方向を変えることを特徴とする、請求項１に記載の磁気光学カー効果顕微鏡。
【請求項３】
前記検光子と前記撮像装置の間に設けられたリレー光学系と、
前記リレー光学系と前記撮像装置の間に設けられ、前記撮像装置の開口を制限するためのスリットをさらに備え、
前記照明光の偏光方向は、入射面に対して常に垂直または平行であり、
前記スリットは、帯状の開口を有し、かつ前記照明光の入射方向の変化に応じて方向を変えることを特徴とする、請求項１に記載の磁気光学カー効果顕微鏡。
【請求項４】
前記照明光学系および前記検光子を、前記対物レンズの光軸を回転軸として回転させる回転機構をさらに備える、請求項１に記載の磁気光学カー効果顕微鏡。
【請求項５】
前記照明光学系、前記検光子、および前記スリットを、前記対物レンズの光軸を回転軸として回転させる回転機構をさらに備える、請求項２に記載の磁気光学カー効果顕微鏡。
【請求項６】
前記照明光学系、前記検光子、および前記スリットを、前記対物レンズの光軸を回転軸として回転させる回転機構をさらに備える、請求項３に記載の磁気光学カー効果顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気光学カー効果顕微鏡に関し、より具体的には、磁性体の磁区を観察するための磁気光学カー効果顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気光学カー効果顕微鏡は、磁性体が直線偏光を反射する際に、磁性体の磁化の方向や大きさに応じ反射光の偏光が変化（回転）する現象である磁気光学カー効果を用いて、磁性体の磁区構造を観察する顕微鏡である。磁気光学カー効果顕微鏡は、典型的には、光源、偏光子、対物レンズ、検光子、および撮像素子を含む。
【０００３】
磁性体の磁区構造（磁化状態）には、試料の表面に垂直な磁化成分と平行な磁化成分がある。磁気光学カー効果顕微鏡によって両磁化成分を観察するためには、直線偏光の照明光を試料の表面に対して斜めに入射（傾斜照明）させる必要がある。傾斜照明を利用する場合、入射光の開口が試料に対向する対物レンズの開口のごく一部分のみに制限されるために、言い換えれば入射光がスポット状となるために、分解能が低下してしまう。
【０００４】
特許文献１は、傾斜照明を用いて面内成分と垂直成分とを分離しながら磁性体の磁気的物理量を表わす画像を得るための磁気光学カー効果を利用した磁気特性測定装置を開示する。特許文献１の装置では、入射光学系の可動ミラーの向きを制御して、試料への入射光（傾斜照明）の入射方向を変えながら試料の各位置での面内磁化成分と垂直磁化成分を表す画像を得ている。しかし、特許文献１の装置では、試料への入射光（傾斜照明）の入射方向が最大で４方向しかなく、磁区画像（磁化成分）の分解能を高くすることは難しい。
【０００５】
一方、磁気光学顕微鏡の検出感度には光学系の消光比が重要となる。すなわち、磁気光学効果による偏光回転は非常に小さいため、光学系における偏光の乱れが小さいことが検出感度を上げる上で重要である。この光学系における偏光の乱れは、主に対物レンズの偏光の乱れ（偏光ムラ）に起因する。
【０００６】
特許文献２は、対物レンズの偏光ムラに起因する消光比の低下を抑制することができるカー効果顕微鏡を開示する。特許文献２のカー効果顕微鏡では、ベレークプリズムを採用し、対物レンズを回転させることによってベレークプリズムから出射されたスポット光を対物レンズの消光比が高くなる領域（対物レンズの十字型領域）に入射することにより、消光比の低下を抑制している。しかし、特許文献２のカー効果顕微鏡では、ベレークプリズムと対物レンズの双方を精度良く移動及び位置合わせさせる必要があり、その制御が難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１３−２０５４００号公報
【特許文献１】特開２００６−１１３５２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、偏斜照明を用いることに由来する分解能の低下を抑制した、及びまたは対物レンズにおける偏光回転による消光比の低下を抑制した磁気光学カー効果顕微鏡を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様の磁気光学カー効果顕微鏡は、（ａ）対物レンズと、（ｂ）直線偏光の照明光を対物レンズを通して試料に斜めに入射させる照明光学系であって、照明光を対物レンズの軸を中心として回転対称となるｎ方向（ｎは8以上の4の倍数）から入射させることができる、照明光学系と、（ｃ）照明光が試料によって反射されることによって生ずる反射光が、再び対物レンズを通過した後に入射される検光子と、（ｄ）検光子を通過した反射光を受けて、試料の磁化状態を反映したｎ方向からの照明光の入射に対応したｎ枚の画像を出力する撮像装置と、（ｅ）ｎ枚の画像を演算処理することにより、試料の磁化方向の試料面に平行な２方向の成分を表す第１画像および第２画像、ならびに試料面に垂直な１方向の成分を表す第３画像を生成する演算装置と、を備える。
【００１０】
本発明の一態様の磁気光学カー効果顕微鏡は、（ｆ）対物レンズの後側焦平面近傍に、対物レンズの開口を制限するためのスリット、あるいは（ｇ）検光子と撮像装置の間に設けられたリレー光学系及び（ｈ）リレー光学系と撮像装置の間に設けられ、撮像素子の開口を制限するためのスリットをさらに備える。
【００１１】
本発明の一態様の磁気光学カー効果顕微鏡は、（ｉ）照明光学系および検光子を、対物レンズの光軸を回転軸として回転させる回転機構、（ｊ）照明光学系、検光子、およびスリットを、対物レンズの光軸を回転軸として回転させる回転機構、あるいは（ｋ）照明光学系、検光子、およびスリットを、対物レンズの光軸を回転軸として回転させる回転機構をさらに備える。なお、（ｋ）の回転機構において、リレー光学系は本来的には回転させる必要はないが、他の検光子、スリット等と一体的に回転させることがその回転機構の構成が容易になる場合は、それらと一緒に回転させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡の構成を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡において、照明光の入射方向を変えた場合の、（ａ）対物レンズの後側焦平面での開口と照明光の位置関係と、（ｂ）像に反映される空間周波数範囲を示した図である。
【図３】本発明の他の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡の構成を示す図である。
【図４】本発明の他の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡において、スリットによって対物レンズの開口を制限した際の、（ａ）対物レンズの後側焦平面での開口と照明光の位置関係と、（ｂ）像に反映される空間周波数範囲を示した図である。
【図５】本発明の他の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡において、スリットによって対物レンズの開口を制限しかつ入射方向を変えた像を複数撮影した場合における、（ａ）対物レンズの後側焦平面での開口と照明光の位置関係と、（ｂ）像に反映される空間周波数範囲を示した図である。
【図６】本発明の他の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡の構成を示す図である。
【図７】従来の磁気光学カー効果顕微鏡、および本発明の磁気光学カー効果顕微鏡によって実際に観察された磁区像と、それぞれのフーリエ変換像である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。図１は、本発明の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡の構成を示す図である。磁気光学カー効果顕微鏡１００は、照明光学系１と、対物レンズ２と、検光子４と、結像光学系５と、演算装置６と、回転機構７を含む。照明光学系１は、光源１１、コンデンサレンズ１２、開口絞り１３、視野絞り１４、レンズ１５、偏光子１６、レンズ１７、及びハーフミラー１８を含む。結像光学系５は、結像レンズ５１と撮像素子５２を含む。
【００１４】
光源１１は、例えばハロゲン電球、発光ダイオード（ＬＥＤ）、レーザダイオード（ＬＤ）などの発光源を用いることができる。撮像素子５２は、例えばＣＣＤやＣＭＯＳからなる２次元イメージセンサ（エリアセンサ）を含むカメラを用いることができる。演算装置６は、撮像素子５２によって撮影された像を数値的に演算し表示可能な、プロセッサ（ＣＰＵ）、メモリ、ディスプレイ等を含むパーソナルコンピュータ（ＰＣ）等を用いることができる。
【００１５】
照明光学系１は、光源１１が出力する光から偏光子１６により直線偏光Ｉ１を生成し、ハーフミラー１８を介して対物レンズ２に直線偏光の照明光Ｉ１を入射させるための光学系である。照明光学系１は、ケラー照明の構成となっており、レンズ１５およびレンズ１７により、開口絞り１３と対物レンズ２の後側焦平面（試料３と反対側の焦点面）、および視野絞り１４と試料３の表面とが、それぞれ光学的に共役な関係となっている。したがって、対物レンズ２の後側焦平面において、照明光Ｉ１は開口絞り１３によって規定されるスポット状の分布（スポット光）となる。
【００１６】
磁気光学カー効果顕微鏡１００において、試料面内方向の磁化成分（面内磁化）を観察対象とする場合には、照明光を試料面に斜めに入射させて、縦カー効果と極カー効果を利用する。そのため、照明光Ｉ１は試料３に対して斜めに入射する必要があるため、照明光Ｉ１は、対物レンズ２の後側焦平面の開口の外周付近においてスポット状となるように対物レンズ２に入射される。このような照明光の入射方法は、従来から偏斜照明、傾斜照明などと呼ばれている。これにより、光は、スポットの中心と光軸Ａ−Ａ´が張る面を入射面としてその近傍を伝播する。入射光の偏光は、偏光子１６の角度により規定され、通常、入射面に平行なｐ偏光、または入射面に垂直なs偏光とする。これは、試料３や対物レンズ２における、ｐ偏光とｓ偏光の間の反射率や透過率の差異に起因する偏光回転を避けるためである。
【００１７】
結像光学系５は、スポット状の照明光（入射光）Ｉ１が試料３によって反射されることによって生成される反射光Ｉ２から磁区構造の観察像を得るための光学系である。反射光Ｉ２の偏光面は、カー効果により回転され、入射光Ｉ１の偏光面と異なる方向を向き、その偏光面の回転角度は試料３の磁化の大きさに比例する。従って、面内の磁区構造の存在は偏光面の回転角度に分布を発生させる。反射光Ｉ２は、対物レンズ２を介して結像光学系５の検光子４に入射される。検光子４の偏光面は、入射光Ｉ１の偏光面に対応する面と垂直な偏光面の偏光を通過させるように定められている。従って、検光子４を出射する光は、検光子４に入射された偏光の回転角度の分布に対応した強度分布を有している。
【００１８】
検光子４を出射した光は、結像レンズ５１を介して撮像素子５２に入射され、撮像素子５２上に試料３の像を結ぶ。検光子４の偏光軸を、照明光に対して直交する（クロスニコルとなる）角度から適切に傾けることにより、磁気光学カー効果による偏光回転を像のコントラストに変換することができる。その結果、撮像素子５２によって撮影される観察像は、検光子４に入射された偏光の回転角度の分布、すなわち試料３の磁化の大きさの分布を表す像となる。言い換えれば、撮像素子５２によって撮影される観察像は、試料３の面内の磁区構造の観察像となる。撮影される像における明るさは、偏光回転角のおよそ２乗の依存性を持つが、検光子４の角度を変えた２枚の像を撮影し、これらの差分をとることにより、偏光回転角に対してほぼ線形な値をもつ数値画像に変換できる。
【００１９】
また、照明光を光軸Ａ−Ａ´に対称な位置から入射させると、光の進行方向が元の配置と逆になる。このとき、磁化の試料面内成分ＭxおよびＭyからの偏光回転への寄与は符号を反転させるのに対し、磁化の試料面に垂直な成分Ｍzからの寄与は符号を変えない。このため、光軸Ａ−Ａ´に対称な２箇所から照明光を入射させた像をそれぞれ撮影し、これらの差分および和分を取ることにより、それぞれ面内成分および面に垂直な成分のみの寄与を分離することができる。演算装置６は、撮像素子５２によって撮影された観察像（数値画像）を数値的に演算処理する。
【００２０】
回転機構７は、対物レンズ２と、試料３と、検光子４と、結像光学系５との位置関係を固定とし、照明光学系１を対物レンズ２の光軸Ａ−Ａ´を軸として一体的に回転させることができる機構を含むことができる。この場合、照明光学系１の回転軸と光軸Ａ−Ａ´は、数十から数百マイクロメートル程度の精度で一致すればよい。照明光学系１を一体的に回転させることに代えて、あるいは加えて、照明光学系１と、対物レンズ２と、試料３と，検光子４と、結像光学系５との位置関係を固定とし、照明光学系１の内部で、開口絞り１３、レンズ１５、あるいはレンズ１７などの素子の位置を動かすことにより、対物レンズ２の後側焦平面における開口絞り１３の像の位置を変化させるようにしてもよい。また、上記した照明光学系１の回転、素子の位置の移動に代えて、あるいは加えて、照明光学系１と、対物レンズ２と、検光子４と、結像光学系５との位置関係を固定とし、試料３を、より具体的には試料３を載せたステージ（図示無し）を光軸Ａ−Ａ´を軸として回転させるようにしてもよい。
【００２１】
図２を参照しながら図１の磁気光学カー効果顕微鏡１００の動作について説明する。図２は、照明光の入射方向を変えた場合の、（ａ）対物レンズの後側焦平面での開口と照明光の位置関係と、（ｂ）像に反映される空間周波数範囲を示した図である。照明光Ｉ１の入射方向が一方向の場合、磁気光学カー効果顕微鏡１００は、従来の磁気光学カー効果顕微鏡として動作する。すなわち、入射方向をｘ方向とすると、図２の（ａ）の破線円２１に示されるように、照明光Ｉ１は、既に上述したように、対物レンズ２の後側焦平面の開口の外周付近においてスポット状となるように対物レンズ２に入射される。この場合の撮影した画像の空間周波数範囲は、図２の（ｂ）の破線円２３に示されるものとなる。
【００２２】
照明光Ｉ１を光軸Ａ−Ａ´のまわりに角度αだけ回転させた方向から入射させた場合、照明光のスポットは、図２（ａ）の円２０で示されるように、対物レンズ２の後側焦平面の開口の外周付近において回転する。その時に得られる像の空間周波数範囲も、図２（ｂ）の実線円２２で示されるように、破線円２３で示される空間周波数範囲を原点を中心に角度αだけ回転させた領域となる。角度αとして、
αｎ=２πｎ／Ｎ(ラジアン)    (ｎ＝０、２、・・・、Ｎ−１)
としてＮ枚の像を撮影すると、Ｎが十分に大きいときには、通常の顕微鏡における空間周波数範囲を覆うことができ、これらの像を重ね合わせることにより、分解能の低下のほとんどない像を再構成することができる。
【００２３】
ただし、照明光の入射方向が角度αの時には、面内磁化のα方向成分が縦カー効果を通じて偏光回転に寄与する。すなわち、各画像のコントラストに反映される磁化は、
Ａ||(Ｍx(x,y)cosα+Ｍy (x, y)sinα)+Ａ⊥Ｍz(x, y)
と表される。したがって、照明光学系の回転角度αにおいて撮影した像をh(α:x,y)とすると、分解能を回復した画像は以下の様に計算される。この計算は、撮像素子５２から画像情報を取得した演算装置６によって実行される。
【数１】
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【数２】
2018116136.tif 000004
【数３】
2018116136.tif 000005
式（１）〜（３）のｈx、ｈy、およびｈzは、それぞれ、磁化のｘ成分、ｙ成分、およびｚ成分をコントラストとする数値画像である。この３つの数値画像から、試料３の磁化方向の試料面に平行な２方向（ｘ、ｙ）の成分を表す第１画像および第２画像、ならびに試料面に垂直な１方向（ｚ）の成分を表す第３画像を得ることができる。ここで、角度αは等間隔としたが、
【数４】
2018116136.tif 000006
を満たせば必ずしも等間隔である必要はない。
【００２４】
式（１）〜（３）において、Ｎ＝１の場合は、従来の磁気光学カー効果顕微鏡となり、また、Ｎ＝２およびＮ＝４の場合には本発明の効果である空間分解能低下の抑制の効果は得られない。本発明の効果を得るにはＮ＝３またはＮ＝５以上が必要であるが、特にＮ＝８以上で４の倍数（８、１２、１６、・・・）であることが好ましい。
【００２５】
図３は、本発明の他の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡１１０の構成を示す図である。図３では、図１の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡の構成に対して、対物レンズ２の後側焦平面の位置に、照明光Ｉ１の入射方向に応じて回転可能なスリット８を具備している点が相違している。他の構成は図１の構成と同様である。照明光Ｉ１の偏光方向は、偏光子１６によって、入射面に対して垂直または平行な方向に規定される。
【００２６】
図４、図５を参照しながら図３の磁気光学カー効果顕微鏡１１０の動作について説明する。磁気光学カー効果顕微鏡の光学系における偏光の乱れの主な原因は、対物レンズ２におけるｓ偏光とｐ偏光の透過率の違いに起因する偏光回転である。照明光として入射面に平行または垂直な偏光の光を入射させた場合、入射面近傍を通る光線は、対物レンズ２の面に対してほぼｓ偏光またはｐ偏光となるため、偏光の乱れが小さく、消光比が高くなる。一方、試料面で回折された後に、入射面から離れる方向に伝播する光は、対物レンズ２を通過する際に大きな偏光回転を受けることになる。したがって、対物レンズ２の後側焦平面に入射面近傍以外の光線を遮蔽するスリット８を配置することにより消光比を改善することができる。
【００２７】
しかしながら、図４（ａ）の領域２４で示すように、対物レンズ２の開口が制限されるため、像に反映される空間周波数領域は、図４（ｂ）に示すように、照明光スポットと開口領域の畳み込み積分が値を持つ領域２６となる。このため、入射方向に垂直な方向の分解能は大きく低下してしまう。そこで、図５（ａ）で示すように、図１の第１の実施形態と同様に、照明光Ｉ１の入射方向とスリット８の角度を変化させながら（領域２４を回転させながら）複数枚の画像を撮影し、これらを重ね合わせる。その際に、Ｎを十分に大きくとれば、図５（ｂ）に示すように、像に反映される空間周波数領域２６を、通常の顕微鏡における領域まで広げることができる。これにより、磁気光学カー効果顕微鏡において、空間分解能の低下を抑えつつ、光学系の消光比を改善することができる。
【００２８】
図６は、本発明の他の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡１２０の構成を示す図である。図６では、図１の一実施形態の磁気光学カー効果顕微鏡の構成に対して、検光子４と結像光学系５の間に、ハーフミラー（ダイクロイックミラー）１９、リレー光学系９、及びスリット１０が配置され、さらにモニター光学系３０が具備されている点が相違している。他の構成は図１の構成と同様である。リレー光学系９は、対向する２つのリレーレンズ９１、９２を含む。スリット１０は、リレー光学系９と結像光学系５（結像レンズ５１）の間に設けられ、結像光学系５（結像レンズ５１）の開口を制限するように配置される。モニター光学系３０は、光源３１、ハーフミラー３２、レンズ３３、及びカメラ（撮像素子）３４を含む。
【００２９】
磁気光学カー効果顕微鏡による撮影は、しばしば数分から数時間程度の長時間の露光を必要とする。露光時間が長時間になると、顕微鏡筐体の温度変化等により、像の焦点や位置にずれが生じることがある。このため、図６に示すように、光学系の途中にモニター用の光学系３０を挿入し、試料位置や焦点の制御をする必要が生じることがある。その際に、図３のように対物レンズ２の後側焦平面にスリット８が配置されると、モニター光学系３０によって観察される試料の像も、スリット８によって分解能が低下するため、試料位置や焦点の制御が困難になる。このような場合、リレー光学系９によって対物レンズ２の後側焦平面の電場分布を後方に転送することによって、光学系の消光比の改善効果を損なうことなくモニター光学系３０の分解能を上げることができる。
【００３０】
図６の磁気光学カー効果顕微鏡１２０において、ハーフミラー（ダイクロイックミラー）１９は、照明光学系１の光源１１の波長の光を透過し、モニター光学系３０の光源３１の波長の光を反射する。モニター光学系３０は試料の像を随時観察可能である。スリット１０および検光子４は、図３の場合と同様に、照明光学系１の回転に応じて、光軸Ａ−Ａ´を軸として回転することができる。なお、その回転に際して、リレー光学系９は本来的には回転させる必要はないが、他の照明光学系１、検光子４等と一体的に回転させることがその回転機構の構成を容易にさせる場合は一緒に回転させることもできる。リレー光学系９は、リレーレンズ９１、９２によって対物レンズ２の後側焦平面の光電場分布をスリットの位置に転送する。このような構成は、例えば、リレーレンズ９１、９２の焦点距離をｆとしたとき、対物レンズ２の後側焦平面とリレーレンズ９１の間の距離をｆ、リレーレンズ９１とリレーレンズ９２の間の距離を２ｆ、リレーレンズ９２とスリット１０の間の距離をｆとすることにより実現できる。図６の構成により得られる画像は、図６によるものと同等となる。
【実施例】
【００３１】
図７は、従来の磁気光学カー効果顕微鏡、および本発明の磁気光学カー効果顕微鏡によって実際に観察された磁区像と、それぞれのフーリエ変換像である。図７において、（A1)は従来法によって撮影された磁区像、（B1）は本発明による方法で撮影された磁区像を示す。どちらも、矢印で示すｙ方向の磁化成分の像を示したものである。また、（A2）および（B2）は、（A1）および（B1）のフーリエ変換（パワースペクトル）像である。図の中心が空間周波数０に相当する点となっており、明暗が空間周波数成分の大小を表す。従来法では、図（A2）中の白線円で囲んだ空間周波数領域に分解能がないため値が小さいのに対し、本発明による方法ではｘ軸方向の分解能が向上しているため大きな値を有している。
【００３２】
本発明の実施形態について、図を参照しながら説明をした。しかし、本発明はこれらの実施形態に限られるものではない。さらに、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々なる改良、修正、変形を加えた態様で実施できるものである。
【符号の説明】
【００３３】
１：照明光学系、
２：対物レンズ、
３：試料、
４：検光子、
５：結像光学系、
６：演算装置、
７：回転機構、
８、１０：スリット、
９：リレー光学系、
３０：モニター光学系
１００、１１０、１２０：磁気光学カー効果顕微鏡
【図１】
2018116136.tif 000007
【図２】
2018116136.tif 000008
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018116136.tif 000013