(57)【要約】【課題】連結にかかる時間が短縮され、かつ、連結の精度を高めることができ、特にレンズドファイバに関する高精度の連結が実現される構造を備えた光部品の連結構造およびその連結方法を提供する。【解決手段】光部品の連結構造１００は、第１の光部品２０、第２の光部品５０および連結はんだ層６２を有している。第１の光部品２０は、光ファイバ１と、光ファイバ１を保持する第１のホルダー１０と、第１のホルダー１０の第１の接続端面に形成されている第１の金属層６０とを有する。第２の光部品５０は、光導波路５１と、その光導波路５１を保持する第２のホルダー５２と、第２のホルダー５２の第２の接続端面に形成されている第２の金属層６１とを有する。連結はんだ層６２は、第１の金属層６０と第２の金属層６１の双方に直に接触し、かつはんだを用いて形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光部品の連結構造であって、
該光部品の連結構造は、第１の光部品、第２の光部品および連結はんだ層を有し、
該第１の光部品は、第１の光ファイバまたは第１の光導波路の少なくとも一方と、該第１の光ファイバまたは第１の光導波路の少なくとも一方を保持する第１のホルダーと、該第１のホルダーの前記第２の光部品に接続される第１の接続端面に形成されている第１の金属層とを有し、
該第２の光部品は、第２の光ファイバまたは第２の光導波路の少なくとも一方と、該第２の光ファイバまたは第２の光導波路の少なくとも一方を保持する第２のホルダーと、該第２のホルダーの前記第１の光部品に接続される第２の接続端面に形成されている第２の金属層とを有し、
該連結はんだ層は、前記第１の金属層と前記第２の金属層の双方に直に接触し、かつはんだを用いて形成されている光部品の連結構造。
【請求項２】
前記第１のホルダーが押圧されるホルダー押圧によって、前記第１の光ファイバまたは前記第１の光導波路と、前記第２の光ファイバまたは第２の光導波路との間隔が調整された間隔調整済構造を更に有する請求項１記載の光部品の連結構造。
【請求項３】
前記連結はんだ層は、前記第１の光ファイバまたは第１の光導波路に最も近い位置に配置されているファイバ近傍部の厚さが該ファイバ近傍部以外の厚さよりも薄い厚さ相違構造を有する請求項１または２記載の光部品の連結構造。
【請求項４】
光部品の連結構造であって、
該光部品の連結構造は、第１の光部品、第２の光部品および連結はんだ層を有し、
該第１の光部品は、レンズ形状の先端部を有するレンズドファイバと、該レンズドファイバを保持する第１のホルダーと、該第１のホルダーの前記第２の光部品に接続される第１の接続端面に形成されている第１の金属層とを有し、
該第２の光部品は、光導波路と、該光導波路を保持する第２のホルダーと、該第２のホルダーの前記第１の光部品に接続される第２の接続端面に形成されている第２の金属層とを有し、
該連結はんだ層は、前記第１の金属層と前記第２の金属層の双方に直に接触し、かつはんだを用いて形成され、
前記第１のホルダーが押圧されるホルダー押圧によって、前記レンズドファイバの焦点が前記光導波路に一致するように、前記レンズドファイバと前記光導波路との間隔が調整された間隔調整済構造を有する光部品の連結構造。
【請求項５】
前記連結はんだ層は、前記レンズドファイバに最も近い位置に配置されているファイバ近傍部の厚さが該ファイバ近傍部以外の厚さよりも薄い厚さ相違構造を有する請求項４記載の光部品の連結構造。
【請求項６】
前記第１のホルダーが前記第１の接続端面と対向する第１の後端面を有し、かつ前記第２のホルダーが前記第２の接続端面と対向する第２の後端面を有し、
前記第１のホルダーが第１の平行部を有し、さらに前記第２のホルダーが第２の平行部を有し、
該第１の平行部は、前記第１の後端面または第１の接続端面の一部であって、かつ前記第１の後端面と前記第１の接続端面の平行に形成された部分であり、
該第２の平行部は、前記第２の接続端面の一部であって、かつ前記第１の後端面と平行に形成された部分である請求項４または５記載の光部品の連結構造。
【請求項７】
第１の光部品と第２の光部品とが連結される光部品の連結方法であって、
該第１の光部品が製造される第１の光部品製造工程と、
該第２の光部品が製造される第２の光部品製造工程とを有し、
該第１の光部品製造工程は、第１の光ファイバまたは第１の光導波路の少なくとも一方が第１のホルダーに保持されている第１のホルダー部品が用意され、該第１のホルダー部品について、前記第２の光部品に接続される第１の接続端面に第１の金属層が形成されて前記第１の光部品が製造され、
該第２の光部品製造工程は、第２の光ファイバまたは第２の光導波路の少なくとも一方が第２のホルダーに保持されている第２のホルダー部品が用意され、該第２のホルダー部品について、前記第１の光部品に接続される第２の接続端面に第２の金属層が形成されて前記第２の光部品が製造され、
前記光部品の連結方法は、さらに
前記第１の光部品および第２の光部品について、前記第１の接続端面と前記第２の接続端面とを対面させて、前記第１の金属層と前記第２の金属層との間にはんだを挟み込むホルダー対面工程と、
前記第１の光ファイバまたは第１の光導波路の少なくとも一方と、前記第２の光ファイバまたは第２の光導波路の少なくとも一方との光軸が一致するように調整する光軸調整工程と、
前記第１の光部品または前記第２の光部品に対するレーザ照射によって、前記はんだを溶融および硬化させて前記第１の金属層と前記第２の金属層との間にはんだ層を形成するはんだ層形成工程とを有する光部品の連結方法。
【請求項８】
前記第１のホルダーまたは前記第２のホルダーが光軸方向に沿って押圧されるホルダー押圧が行われるホルダー押圧工程と、
該ホルダー押圧によって、前記第１の光ファイバまたは前記第１の光導波路と、前記第２の光ファイバまたは第２の光導波路との間隔が調整される間隔調整工程とを更に有し、
前記ホルダー押圧が行われているときに、前記はんだ層形成工程が実行される請求項７記載の光部品の連結方法。
【請求項９】
前記ホルダー押圧工程は、前記第１の接続端面と対向する第１の後端面の前記第１のホルダーの重心延長線上に配置される第１の重心延長部または前記第２の接続端面と対向する第２の後端面の前記第２のホルダーの重心延長線上に配置される第２の重心延長部が前記光軸方向に沿って押圧される請求項８記載の光部品の連結方法。
【請求項１０】
前記ホルダー押圧工程は、押圧部材を前記第１の重心延長部または前記第２の重心延長部に接触させ、かつ垂直方向に作動させて実行される請求項９記載の光部品の連結方法。
【請求項１１】
第１の光部品と第２の光部品とが連結される光部品の連結方法であって、
該第１の光部品が製造される第１の光部品製造工程と、
該第２の光部品が製造される第２の光部品製造工程とを有し、
該第１の光部品製造工程は、レンズ形状の先端部を有するレンズドファイバが第１のホルダーに保持されている第１のホルダー部品が用意され、該第１のホルダー部品について、前記第２の光部品に接続される第１の接続端面に第１の金属層が形成されて前記第１の光部品が製造され、
該第２の光部品製造工程は、光導波路が第２のホルダーに保持されている第２のホルダー部品が用意され、該第２のホルダー部品について、前記第１の光部品に接続される第２の接続端面に第２の金属層が形成されて前記第２の光部品が製造され、
前記光部品の連結方法は、さらに
前記第１の光部品および第２の光部品について、前記第１の接続端面と前記第２の接続端面とを対面させて、前記第１の金属層と前記第２の金属層との間にはんだを挟み込むホルダー対面工程と、
前記レンズドファイバと、前記光導波路との光軸が一致するように調整する光軸調整工程と、
前記第１のホルダーが光軸方向に沿って押圧されるホルダー押圧が行われるホルダー押圧工程と、
該ホルダー押圧によって、前記レンズドファイバの焦点が前記光導波路に一致するように、前記レンズドファイバと前記光導波路との間隔が調整される間隔調整工程と、
前記ホルダー押圧が行われているときに、前記第１の光部品に対するレーザ照射によって、前記はんだを溶融および硬化させて前記第１の金属層と前記第２の金属層との間にはんだ層を形成するはんだ層形成工程とを有する光部品の連結方法。
【請求項１２】
前記ホルダー押圧工程は、前記第１の接続端面と対向する第１の後端面の前記第１のホルダーの重心延長線上に配置される第１の重心延長部が前記光軸方向に沿って押圧される請求項１１記載の光部品の連結方法。
【請求項１３】
前記ホルダー押圧工程は、押圧部材を前記第１の重心延長部に接触させ、かつ垂直方向に作動させて実行される請求項１２記載の光部品の連結方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路と光ファイバの少なくとも一方を有する光部品が連結されている光部品の連結構造および光部品の連結方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光通信システム、光計測器、光センサ等を構成する光部品の一つとして、光導波路を有する光導波路デバイスが知られている。近年、光通信システムの大容量化や高機能化に伴い、光導波路デバイスにも大規模集積化や高機能化が進展している。従来、これらを実現する技術として、シリコン基板上に微細な光導波路とともに、発光素子や受光素子といった光デバイスが集積されるシリコンフォトニクスが知られている。シリコンフォトニクスを活用して製造される光導波路基板は、シリコンフォトニクス基板ともいう。
【０００３】
一般に光導波路デバイスと光ファイバとが連結されるときには、光導波路の端面と光ファイバの端面との突き合せおよび光軸の位置合せが行われ、その後、光ファイバが光導波路デバイスに固定される。そして、光ファイバが光導波路デバイスに固定されるときには、例えば特許文献１、特許文献２に開示されているように、接着剤が用いられる場合があった。また、例えば、特許文献３、特許文献４に開示されているように、溶接が行われる場合もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１６／０３４１９１９Ａ１号明細書
【特許文献２】米国特許第４８７１２２６号明細書
【特許文献３】特開平１−３１０３１５号公報
【特許文献４】米国特許第４８６７５２４号明細書
【特許文献５】特開平５−２７１４０号公報
【特許文献６】米国特許出願公開第２０１１／２２８６５０Ａ１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来、光ファイバの中には、光ファイバの先端部がレンズ形状を有する光ファイバ（レンズドファイバともいう）があった。そして、従来技術では、特許文献１に開示されているように、レンズドファイバが光導波路デバイスに連結されるときにも、接着剤が用いられていた。特許文献１では、光導波路デバイスと、光ファイバとが連結される部分（以下「光ファイバ連結部分ともいう」）に紫外線硬化型エポキシ樹脂系の接着剤が塗布され、その光ファイバ連結部分に紫外線が照射されることによって、その接着剤が硬化されていた。
【０００６】
しかし、紫外線の照射によって接着剤が硬化されるときは、接着剤が硬化するまでに、一つの光ファイバ連結部分につき、概ね１２０秒ほどの時間がかかる。そのため、光導波路デバイスと光ファイバとの連結に接着剤が用いられる場合、光導波路デバイスと光ファイバの連結構造が効率よく製造されることができなかった。また、接着剤が硬化する前に、光導波路の光軸と光ファイバの光軸とがずれることがある。そのため、接着剤が用いられる場合は、連結の精度が低下することもあった。
【０００７】
一方、例えば、特許文献５に開示されているように、光ファイバが光導波路デバイスに固定されるときに、はんだが用いられる場合もあった。
【０００８】
しかし、特許文献５に開示されている従来技術では、粒状のはんだバンプが用いられている。はんだバンプの大きさが相違すると、光導波路の端面と光ファイバの端面との距離が相違することがある。そのため、特許文献１のように、レンズドファイバが用いられるときは、レンズドファイバの焦点の位置がずれることがある。したがって、はんだバンプが用いられると、連結の精度が低下することがあった。
【０００９】
さらに一方、ハードディスク装置などの磁気記録技術の分野に熱アシスト磁気記録ヘッドと呼ばれる磁気記録ヘッドがあった。熱アシスト磁気記録ヘッドは、熱アシスト磁気記録方式が採用されている磁気記録ヘッドである。熱アシスト磁気記録方式では、レーザ光によって磁気記録媒体が瞬間的に加熱され、データが磁気記録媒体に記録される。この熱アシスト磁気記録ヘッドに関し、従来、レーザ光の発光素子がはんだを用いて光導波路に連結される技術があった（例えば、特許文献６参照）。
【００１０】
しかし、特許文献６の従来技術は、レーザ光の発光素子（レーザダイオード）が光導波路に連結される構造に関する技術である。特許文献６の従来技術では、光ファイバが光導波路デバイスに固定される場合が考慮されていなかった。また、たとえ、特許文献１の従来技術において、特許文献６の従来技術が考慮され、はんだが接着剤の代わりに用いられたとしても、連結にかかる時間が短縮され、それに伴う連結精度の低下が回避されるだけであり、連結の精度が高められることはなかった。
【００１１】
また、特許文献１の従来技術に他の従来技術を適用しても、レンズドファイバの焦点の位置を高い精度で合わせることはできなかった。
【００１２】
以上述べた課題は、光導波路デバイスと光ファイバとが連結される構造だけでなく、光導波路デバイスと光導波路デバイスとが連結される構造や、光ファイバと光ファイバとが連結される構造についても共通であった。
【００１３】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、連結にかかる時間が短縮され、かつ、連結の精度を高めることができ、特にレンズドファイバに関する高精度の連結が実現される構造を備えた光部品の連結構造およびその連結方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明は、光部品の連結構造であって、その光部品の連結構造は、第１の光部品、第２の光部品および連結はんだ層を有し、その第１の光部品は、第１の光ファイバまたは第１の光導波路の少なくとも一方と、その第１の光ファイバまたは第１の光導波路の少なくとも一方を保持する第１のホルダーと、その第１のホルダーの第２の光部品に接続される第１の接続端面に形成されている第１の金属層とを有し、その第２の光部品は、第２の光ファイバまたは第２の光導波路の少なくとも一方と、その第２の光ファイバまたは第２の光導波路の少なくとも一方を保持する第２のホルダーと、その第２のホルダーの第１の光部品に接続される第２の接続端面に形成されている第２の金属層とを有し、その連結はんだ層は、第１の金属層と第２の金属層の双方に直に接触し、かつはんだを用いて形成されている光部品の連結構造を特徴とする。
【００１５】
上記光部品の連結構造は第１のホルダーが押圧されるホルダー押圧によって、第１の光ファイバまたは第１の光導波路と、第２の光ファイバまたは第２の光導波路との間隔が調整された間隔調整済構造を更に有することが好ましい。
【００１６】
また、連結はんだ層は、第１の光ファイバまたは第１の光導波路に最も近い位置に配置されているファイバ近傍部の厚さがそのファイバ近傍部以外の厚さよりも薄い厚さ相違構造を有することが好ましい。
【００１７】
また、本発明は、光部品の連結構造であって、その光部品の連結構造は、第１の光部品、第２の光部品および連結はんだ層を有し、その第１の光部品は、レンズ形状の先端部を有するレンズドファイバと、そのレンズドファイバを保持する第１のホルダーと、その第１のホルダーの第２の光部品に接続される第１の接続端面に形成されている第１の金属層とを有し、その第２の光部品は、光導波路と、その光導波路を保持する第２のホルダーと、その第２のホルダーの第１の光部品に接続される第２の接続端面に形成されている第２の金属層とを有し、その連結はんだ層は、第１の金属層と第２の金属層の双方に直に接触し、かつはんだを用いて形成され、第１のホルダーが押圧されるホルダー押圧によって、レンズドファイバの焦点が光導波路に一致するように、レンズドファイバと光導波路との間隔が調整された間隔調整済構造を有する光部品の連結構造を提供する。
【００１８】
上記光部品の連結構造の場合、連結はんだ層は、レンズドファイバに最も近い位置に配置されているファイバ近傍部の厚さがそのファイバ近傍部以外の厚さよりも薄い厚さ相違構造を有することが好ましい。
【００１９】
また、第１のホルダーが第１の接続端面と対向する第１の後端面を有し、かつ第２のホルダーが第２の接続端面と対向する第２の後端面を有し、第１のホルダーが第１の平行部を有し、さらに第２のホルダーが第２の平行部を有し、その第１の平行部は、第１の後端面または第１の接続端面の一部であって、かつ第１の後端面と第１の接続端面の平行に形成された部分であり、その第２の平行部は、第２の接続端面の一部であって、かつ第１の後端面と平行に形成された部分であることが好ましい。
【００２０】
さらに、本発明は、第１の光部品と第２の光部品とが連結される光部品の連結方法であって、その第１の光部品が製造される第１の光部品製造工程と、その第２の光部品が製造される第２の光部品製造工程とを有し、その第１の光部品製造工程は、第１の光ファイバまたは第１の光導波路の少なくとも一方が第１のホルダーに保持されている第１のホルダー部品が用意され、その第１のホルダー部品について、第２の光部品に接続される第１の接続端面に第１の金属層が形成されて第１の光部品が製造され、その第２の光部品製造工程は、第２の光ファイバまたは第２の光導波路の少なくとも一方が第２のホルダーに保持されている第２のホルダー部品が用意され、その第２のホルダー部品について、第１の光部品に接続される第２の接続端面に第２の金属層が形成されて第２の光部品が製造され、光部品の連結方法は、さらに第１の光部品および第２の光部品について、第１の接続端面と第２の接続端面とを対面させて、第１の金属層と第２の金属層との間にはんだを挟み込むホルダー対面工程と、第１の光ファイバまたは第１の光導波路の少なくとも一方と、第２の光ファイバまたは第２の光導波路の少なくとも一方との光軸が一致するように調整する光軸調整工程と、第１の光部品または第２の光部品に対するレーザ照射によって、はんだを溶融および硬化させて第１の金属層と第２の金属層との間にはんだ層を形成するはんだ層形成工程とを有する光部品の連結方法を提供する。
【００２１】
上記光部品の連結方法において、第１のホルダーまたは第２のホルダーが光軸方向に沿って押圧されるホルダー押圧が行われるホルダー押圧工程と、そのホルダー押圧によって、第１の光ファイバまたは第１の光導波路と、第２の光ファイバまたは第２の光導波路との間隔が調整される間隔調整工程とを更に有し、ホルダー押圧が行われているときに、はんだ層形成工程が実行されるようにすることができる。
【００２２】
また、ホルダー押圧工程は、第１の接続端面と対向する第１の後端面の第１のホルダーの重心延長線上に配置される第１の重心延長部または第２の接続端面と対向する第２の後端面の第２のホルダーの重心延長線上に配置される第２の重心延長部が光軸方向に沿って押圧されることが好ましい。
【００２３】
さらに、ホルダー押圧工程は、押圧部材を第１の重心延長部または第２の重心延長部に接触させ、かつ垂直方向に作動させて実行されることが好ましい。
【００２４】
さらに、本発明は、第１の光部品と第２の光部品とが連結される光部品の連結方法であって、その第１の光部品が製造される第１の光部品製造工程と、その第２の光部品が製造される第２の光部品製造工程とを有し、その第１の光部品製造工程は、レンズ形状の先端部を有するレンズドファイバが第１のホルダーに保持されている第１のホルダー部品が用意され、その第１のホルダー部品について、第２の光部品に接続される第１の接続端面に第１の金属層が形成されて第１の光部品が製造され、その第２の光部品製造工程は、光導波路が第２のホルダーに保持されている第２のホルダー部品が用意され、第２のホルダー部品について、第１の光部品に接続される第２の接続端面に第２の金属層が形成されて第２の光部品が製造され、光部品の連結方法は、さらに第１の光部品および第２の光部品について、第１の接続端面と第２の接続端面とを対面させて、第１の金属層と第２の金属層との間にはんだを挟み込むホルダー対面工程と、レンズドファイバと、光導波路との光軸が一致するように調整する光軸調整工程と、第１のホルダーが光軸方向に沿って押圧されるホルダー押圧が行われるホルダー押圧工程と、そのホルダー押圧によって、レンズドファイバの焦点が光導波路に一致するように、レンズドファイバと光導波路との間隔が調整される間隔調整工程と、ホルダー押圧が行われているときに、第１の光部品に対するレーザ照射によって、はんだを溶融および硬化させて第１の金属層と第２の金属層との間にはんだ層を形成するはんだ層形成工程とを有する光部品の連結方法を提供する。
【００２５】
ホルダー押圧工程は、第１の接続端面と対向する第１の後端面の第１のホルダーの重心延長線上に配置される第１の重心延長部が光軸方向に沿って押圧されるようにすることができる。
【００２６】
また、ホルダー押圧工程は、押圧部材を第１の重心延長部に接触させ、かつ垂直方向に作動させて実行されるようにすることができる。
【００２７】
本発明のその他の側面、特徴および有利な点は、添付図面に関連する以下の詳細な説明によって明らかになる。添付図面は、本件の開示範囲の一部であって本発明の原理原則を一例として図示したものである。
【発明の効果】
【００２８】
以上詳述したように、本発明によれば、連結にかかる時間が短縮され、かつ、連結の精度を高めることができ、特にレンズドファイバに関する高精度の連結が実現される構造を備えた光部品の連結構造およびその連結方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態に係る光部品の連結構造の蓋部が外されている状態を示す一部省略した平面図である。
【図２】光部品の連結構造の要部を示す一部省略した平面図である。
【図３】光部品の連結構造の蓋部が外されている状態を示す一部省略した斜視図である。
【図４】光部品の連結構造の分解斜視図である。
【図５】図３に示す平面Ｓ１００で切断した光部品の連結構造の要部断面図である。
【図６】図５のＲで示された部分を拡大した断面図である。
【図７】第１のホルダー部品を示す正面図である。
【図８】第１の光部品と蓋部の要部を示す側面図である。
【図９】連結前の第１の光部品と第２の光部品とが対面している状態を示す一部省略した側面図である。
【図１０】光部品の連結装置および第１、第２の光部品を示す斜視図である。
【図１１】光部品の連結装置に保持されている第１、第２の光部品を示す一部省略した正面図である。
【図１２】変形例にかかる光部品の連結構造の要部を示す一部省略した平面図である。
【図１３】別の変形例にかかる光部品の連結構造の要部を示す一部省略した平面図である。
【図１４】光ファイバ心線が省略された第１の光部品と、蓋部および押圧装置を示した斜視図である。
【図１５】変形例にかかる光部品の連結構造を示す図１と同様の平面図である。
【図１６】別の変形例にかかる光部品の連結構造を示す図１と同様の平面図である。
【図１７】さらに別の変形例にかかる光部品の連結構造を示す平面図である。
【図１８】変形例にかかる光部品の連結構造の要部を示す平面図である。
【図１９】別の変形例にかかる光部品の連結構造の要部を示す平面図である。
【図２０】図１７に示した光部品の連結構造の要部を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。なお、同一要素には同一符号を用い、重複する説明は省略する。
【００３１】
（光部品の連結構造）
まず、図１〜図６を参照して本発明の実施の形態に係る光部品の連結構造１００について説明する。ここで、図１は本発明の実施の形態に係る光部品の連結構造１００の蓋部７０が外されている状態を示す一部省略した平面図、図２は光部品の連結構造１００の要部を示す一部省略した平面図である。図３は光部品の連結構造１００の蓋部７０が外されている状態を示す一部省略した斜視図、図４は光部品の連結構造１００の分解斜視図である。図５は、図３に示す平面Ｓ１００で切断した光部品の連結構造１００の要部断面図、図６は図５のＲで示された部分を拡大した断面図である。
【００３２】
光部品の連結構造１００は、図１に詳しく示すように、第１の光部品２０と、第２の光部品５０と、連結はんだ層６２とを有している。
【００３３】
第１の光部品２０は、光ファイバ心線３と、第１のホルダー１０と、第１の金属層６０とを有している。
【００３４】
光ファイバ心線３は、光ファイバ１と被覆層２とを有している。光ファイバ１は、コア１ａとクラッド層１ｂとを有し、コア１ａの周囲をクラッド層１ｂが覆う２層構造を有している。光ファイバ１は、テーパ状に加工されたレンズ形状の先端部１ｃを有するレンズドファイバである。
【００３５】
被覆層２は、光ファイバ１の周囲を覆う部材であり、シリコーン樹脂を用いて形成されている。被覆層２の先端側の一部が取り除かれている。被覆層２が取り除かれた部分で光ファイバ１が露出している。
【００３６】
第１のホルダー１０は、ガラス、所定の波長の光が透過するシリコン、ＧａＡｓ，ＳｉＣ、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）等や、金、アルミニウム、ステンレス等の金属を用いて形成されている。第１のホルダー１０は、ファイバ保持部４と心線保持部５とを有している。ファイバ保持部４は光ファイバ心線３のうちの被覆層２が取り除かれた部分を保持する。心線保持部５は光ファイバ心線３の被覆層２が取り除かれていない部分を保持する。
【００３７】
ファイバ保持部４は、２つの接続部４ｂを有する概ね平面視Ｃ字形状を有している。ファイバ保持部４の表面４ａにおいて、一方の接続部４ｂから他方の接続部４ｂにつながる部分にＶ字溝部４ｃが形成されている。そのＶ字溝部４ｃの内側に光ファイバ１が収容されている。このとき、図３、図４に示すように、被覆層２の端面２ｓがファイバ保持部４の起立端面４ｄに接している。また、光ファイバ１の先端側が中空部６に突き出し、最も突き出している最端部１ｄが後述する光導波路５１に対峙している。最端部１ｄは第１の金属層６０の表面６０ｓよりも概ね５μｍ程度後退している（図９のγが概ね５μｍ程度）。
【００３８】
また、ファイバ保持部４には、第１の金属層６０が形成されている。第１の金属層６０は、接続部４ｂ、４ｂの第２の光部品５０側の端面、すなわち、第２の光部品５０に接続される（第２の光部品５０に最も近い位置に配置される）接続端面４ｓ、４ｓ（第１の接続端面、図５〜図７参照）に形成されている。第１の金属層６０ははんだとの接続性が良好な金属（例えば、金）を用いて形成されている。また、第１の金属層６０は、例えばスパッタリングまたはめっきにより形成されている。
【００３９】
心線保持部５はファイバ保持部４の起立端面４ｄに接続されている。その表面５ａに光ファイバ心線３が載置されている。心線保持部５は、ファイバ保持部４よりも薄い厚さを有している。
【００４０】
第２の光部品５０は、光導波路５１と、第２のホルダー５２と、第２の金属層６１とを有している。光導波路５１は第２のホルダー５２の表面５２ａに形成され、光導波路５１は第２のホルダー５２に保持されている。図４に示すように、光導波路５１の端面５１ｓが後述する第２の接続端面５２ｓにおいて露出している。端面５１ｓは、光ファイバ１の最端部１ｄに対峙している。
【００４１】
第２のホルダー５２は、シリコンを用いて形成されている。第２のホルダー５２はシリコンフォトニクス基板である。その表面５２ａに光導波路５１が形成されているが、発光素子や受光素子といった図示しない光デバイスが集積されることもできる。
【００４２】
第２の金属層６１は、第２の接続端面５２ｓの接続端面４ｓ、４ｓに対応した部分に形成されている。第２の接続端面５２ｓは第２のホルダー５２の第１の光部品２０側の端面である。第２の金属層６１は、はんだとの接続性が良好な金属（例えば、金）を用いて形成されている。また、第２の金属層６１は、例えば、スパッタリングまたはめっきにより形成されている。
【００４３】
そして、図５に示すように、連結はんだ層６２は、第１の金属層６０と第２の金属層６１との間に形成され、第１の金属層６０と第２の金属層６１の双方に直に接触している。図５は、光部品の連結構造１００の平面Ｓ１００で切断した要部断面図であるが、その平面Ｓ１００は第２の光部品５０の厚さ方向中間を通る平面である。
【００４４】
連結はんだ層６２は、はんだを用いて形成されている。例えば、連結はんだ層６２は、スズ、スズ合金、銀、銅、鉛合金およびビスマス合金からなるグループから選択された１つの材料を用いて形成されている。また、連結はんだ層６２と、第１の金属層６０および第２の金属層６１は、図６に示すように、厚さ相違構造を有している。
【００４５】
すなわち、連結はんだ層６２において、ファイバ近傍部６２ｄの厚さがファイバ近傍部６２ｄ以外の厚さよりも薄い厚さを有している。図６に詳しく示すように、連結はんだ層６２のファイバ近傍部６２ｄの厚さがＤ２であり、それ以外の部分の厚さはＤ２よりも大きい。例えば最も厚さが厚い部分（最厚部６２ｅ）の厚さがＤ１（Ｄ１＞Ｄ２）である。連結はんだ層６２は、ファイバ近傍部６２ｄから最厚部６２ｅに向かって漸次厚さが厚くなる厚さ変化構造を有している。ファイバ近傍部６２ｄは連結はんだ層６２および第１、第２の金属層６０、６１のうちの光ファイバ心線３に最も近い位置に配置されている部分である。
【００４６】
また、第１、第２の金属層６０、６１および連結はんだ層６２の膜厚に関し、最厚部６２ｅの厚さｔ１と、ファイバ近傍部６２ｄの厚さｔ２との差がα（ｔ２−ｔ１＝α）である。
【００４７】
そして、光部品の連結構造１００は、間隔調整済構造を有している。間隔調整済構造とは、後述するホルダー押圧によって、光ファイバ１の焦点が光導波路５１に一致するように、光ファイバ心線３（光ファイバ１）と光導波路５１との間隔が調整されている構造である。光部品の連結構造１００では、後述するホルダー押圧によって光ファイバ１の焦点が光導波路５１に一致するように、光ファイバ心線３と光導波路５１との間隔が調整された後、その押圧状態が維持されながら第１の光部品２０と第２の光部品５０とが連結されている。これによって、光部品の連結構造１００が間隔調整済構造を有している。
【００４８】
さらに、光部品の連結構造１００は蓋部７０を有している。図示した蓋部７０は、光ファイバ１をカバーするように、ファイバ保持部４の表面４ａに接着等により固定されている。蓋部７０が表面４ａに固定されていなくてもよい。
【００４９】
蓋部７０の長さ（光ファイバ心線３の長さ方向に沿った長さ）がファイバ保持部４の長さよりも短い。また、図８に示すように蓋部７０の端面７０ｓが第１の金属層６０の表面６０ｓよりも後退した位置に配置されている。表面６０ｓと端面７０ｓとの間隔がβである。
【００５０】
（光部品の連結方法）
続いて、前述した第１の光部品２０と、第２の光部品５０とが連結される光部品の連結方法について、図７から図１１を参照して説明する。図７は第１のホルダー部品１０Ａを示す正面図、図８は第１の光部品２０と蓋部７０の要部を示す側面図である。図９は連結前の第１の光部品２０と第２の光部品５０とが対面している状態を示す一部省略した側面図である。図１０は光部品の連結装置９９および第１、第２の光部品２０，５０を示す斜視図である。図１１は光部品の連結装置９９に保持されている第１、第２の光部品２０，５０を示す一部省略した正面図である。
【００５１】
本実施の形態に係る光部品の連結方法が実行されることによって前述した光部品の連結構造１００が得られる。本実施の形態に係る光部品の連結方法は、光部品の連結装置９９を用いて実行される。連結装置９９は、図１０に示すように、保持装置８１、保持装置８２、押圧装置８３、外部装置８５、レーザ照射装置８６および外部検出装置８７を有している。
【００５２】
そして、光部品の連結方法は、第１の光部品製造工程と、第２の光部品製造工程とを有している。第１の光部品製造工程では、第１の光部品２０が製造され、第２の光部品製造工程では、第２の光部品５０が製造される。
【００５３】
第１の光部品製造工程では、まず、図７に示すように、光ファイバ心線３が第１のホルダー１０に保持されている第１のホルダー部品１０Ａが用意される。第１のホルダー部品１０Ａは、光ファイバ心線３と第１のホルダー１０とを有している。その第１のホルダー部品１０Ａについて、その第１の接続端面４ｓ、４ｓに第１の金属層６０が例えばスパッタリングまたはめっきによって形成される。第１の金属層６０は、はんだとの接続性が良好な金属（例えば、金）を用いて形成される。第１のホルダー部品１０Ａに第１の金属層６０が形成されると、図９に示すように、第１の光部品２０が製造される。
【００５４】
第２の光部品製造工程では、まず、図９に示すように光導波路５１が第２のホルダー５２に保持されている第２のホルダー部品５２Ａが用意される。第２のホルダー部品５２Ａは、光導波路５１と第２のホルダー５２とを有している。その第２のホルダー部品５２Ａにつき、第２の接続端面５２ｓ、５２ｓに第２の金属層６１が例えばスパッタリングまたはめっきによって形成される。第２の金属層６１は、はんだとの接続性が良好な金属（例えば、金）を用いて形成される。第２のホルダー部品５２Ａに第２の金属層６１が形成されると、第２の光部品５０が製造される
【００５５】
そして、光部品の連結方法は、ホルダー対面工程と、光軸調整工程と、ホルダー押圧工程と、間隔調整工程と、はんだ層形成工程とを有している。
【００５６】
ホルダー対面工程では、図９に示すように、まず、第１の光部品２０および第２の光部品５０について、第１の接続端面４ｓ，４ｓと、第２の接続端面５２ｓ、５２ｓとが対面される。
【００５７】
このとき、図１０に示すように、第１の光部品２０は保持装置８２によって保持され、第２の光部品５０は保持装置８１によって保持される。
【００５８】
保持装置８２は壁部８２ａに図示しない吸引穴が形成され、その吸引穴からの空気の吸引によって第１の光部品２０を壁部８２ａに密着させて保持する。保持装置８１は、台座部８１ａと壁部８１ｂとを有している。その台座部８１ａ上に第２の光部品５０が載せられる。その状態で壁部８１ｂの図示しない吸引穴から空気が吸引される。その空気の吸引によって、第２の光部品５０が保持される。
【００５９】
また、ホルダー対面工程では、第１の接続端面４ｓ，４ｓと、第２の接続端面５２ｓ、５２ｓとが対面されるとき、図９に示すように、第１の金属層６０と第２の金属層６１とが所定間隔をあけて対向するように、第１のホルダー１０と第２のホルダー５２とが配置される。その際、第１の金属層６０と第２の金属層６１の間にはんだ６２ｘが挟み込まれる。
【００６０】
次に、光軸調整工程が実行される。この工程では、光ファイバ1と、光導波路５１との光軸を合わせる光軸調整が行われる。すなわち、光ファイバ１の光軸と光導波路５１の光軸とが一致するように第１の光部品２０と第２の光部品５０の位置が調整される。このとき、連結装置９９では、図１０に示す外部装置８５の図示しないレーザダイオード等の発光素子が発光し、その光が光ファイバ心線３の光ファイバ１に導かれる。すると、図１１にも示すように、その外部装置８５の光が光ファイバ心線３から光導波路５１を通って穴部８１ｃから出射して、フォトダイオード等の受光素子を備えた外部検出装置８７によって検出される。外部検出装置８７は第２の光部品５０の外部に設けられている。その外部検出装置８７の検出結果が確認されながら、光軸調整が実行される。
【００６１】
なお、図示はしないが、第２の光部品５０の外側に発光素子を備えた発光装置が配置され、第１の光部品２０の外側に受光素子を有する検出装置が配置されてもよい。
【００６２】
続いて、ホルダー押圧工程が実行される。この工程では、ホルダー押圧が行われる。ホルダー押圧は、第１のホルダー１０が光軸方向に沿って押圧されることを意味している。このとき、図１０、図１４に示すように、第１のホルダー１０の後端面５ｄが押圧装置８３によって押圧される。後端面５ｄは、図１４に示すように、第１の接続端面４ｓと対向している側面である。後端面５ｄは、第１の接続端面４ｓの背面側に配置されている。
【００６３】
押圧装置８３は、本発明に係る押圧部材として、押圧ピン８４を有している。この押圧ピン８４が後端面５ｄの押圧点に接触し、その押圧点に所定の荷重（２０〜１００ｇｆ、例えば、８０ｇｆ程度）を加える。このようにして、第１のホルダー１０が光軸方向に沿って押圧される。この場合、押圧点が重心延長部５ｓであることが好ましい。重心延長部５ｓは、第１のホルダー１０の重心延長線上に配置される。重心延長線は、第１のホルダー１０の重心１０ｇを通り、かつ第１の接続端面４ｓと後端面５ｄとを通る直線である。
【００６４】
また、押圧装置８３が押圧ピン８４を垂直方向に作動させることが好ましい。こうすることで、第１のホルダー１０が重力の方向に沿って垂直方向に押圧され、ホルダー押圧が効率的に行われる。
【００６５】
押圧装置８３によるホルダー押圧によって、第１のホルダー１０と第２のホルダー５０との間隔が狭まる。そのため、間隔調整工程が実行される。間隔調整工程は、ホルダー押圧によって、光ファイバ１の焦点が光導波路５１に一致するように、光ファイバ１の最端部１ｄと、光導波路５１の端面５１ｓとの間隔が調整される工程である。間隔調整工程が実行されることによって、光ファイバ１の焦点が光導波路５１に一致する。このとき、前述した光軸調整と同様に、外部検出装置８７の検出結果が確認されながら、間隔調整工程が実行される。
【００６６】
さらに、ホルダー押圧が行われているときに、はんだ層形成工程が実行される。この工程では、第１の金属層６０と第２の金属層６１との間に連結はんだ層６２が形成される。図１０に示すように、レーザ照射装置８６がはんだ６２ｘにＹＡＧレーザＬを照射する。そのＹＡＧレーザＬの照射によってはんだ６２ｘが溶融し、その後、はんだ６２ｘは硬化する。はんだ６２ｘが溶融した後は、金とはんだとの合金からなる層が形成されると考えられる。
【００６７】
レーザ照射装置８６は、前述したホルダー押圧が行われているとき、すなわち、第１のホルダー１０が押圧ピン８４によって押圧されている状態で、ＹＡＧレーザＬを瞬時に（例えば０．１秒程度）照射する。すると、はんだ６２ｘにおけるＹＡＧレーザＬの受光部が加熱される。はんだ６２ｘがその熱によって溶融する。その後、はんだ６２ｘが硬化すると、連結はんだ層６２が第１の金属層６０と第２の金属層６１との間に形成される。連結はんだ層６２は、第１の金属層６０および第２の金属層６１の双方に直に密着している。以上によって、第１の光部品２０が第２の光部品５０に連結されて、光部品の連結構造１００が製造される。
【００６８】
（光部品の連結構造の作用効果）
以上のように、光部品の連結構造１００は第１の光部品２０と、第２の光部品５０とが連結はんだ層６２によって連結されている。連結はんだ層６２は、はんだを用いて形成されている。はんだを用いた本発明に係る連結方法は、ごく短時間（概ね６秒程度）で終了する。
【００６９】
そのため、第１の光部品２０と第２の光部品５０とがごく短時間で連結されている。光部品の連結構造１００は、従来技術に比べ、光部品の連結に要する時間が大幅に短縮されている。したがって、光部品の連結構造１００は、従来技術よりも効率よく製造されることができる。光部品の連結構造１００が従来技術よりもより多く製造されることができる。
【００７０】
また、はんだ６２ｘがごく短時間で硬化し、連結工程がごく短時間で終了する。そのため、連結工程が終了する前に光ファイバ１の光軸がずれることはなく、焦点の位置がずれることもない。したがって、光部品の連結構造１００は、連結の精度が常に維持され、低下することがない。
【００７１】
そのうえ、光部品の連結構造１００は間隔調整済構造を有している。そのため、光部品の連結構造１００では、光ファイバ１の焦点が光導波路５１に一致するように、最端部１ｄと端面５１ｓとの間隔が調節された状態が維持されている。したがって、光部品の連結構造１００の連結の精度が高められており、特にレンズドファイバに関する高精度の連結が実現されている。
【００７２】
特に連結はんだ層６２がはんだ６２ｘを用いて形成されているため、ホルダー押圧によって、連結はんだ層６２が僅かながら変形する。したがって、第１の光部品２０と第２の光部品５０との間隔の微調整が可能であり、光軸調整、焦点位置の調整が高い精度で行える。
【００７３】
最端部１ｄと端面５１ｓとの間隔が調節されるとき、第１のホルダー１０が光軸方向に沿って押圧されることが好ましい。最端部１ｄと端面５１ｓとの間隔が調節された後でも、光軸が一致するようにするためである。この点、光部品の連結構造１００では、ホルダー押圧工程において、光軸方向に沿ったホルダー押圧によって、第１のホルダー１０が押圧されている。したがって、光部品の連結構造１００では、ホルダー押圧による間隔調整が行われた後も、第１の光部品２０と、第２の光部品５０の光軸が一致したままであり、高精度の連結が実現されている。
【００７４】
また、ホルダー押圧工程の際、後端面５ｄの重心延長部５ｓに押圧ピン８４が接触されて、第１のホルダー１０が押圧される。重心延長部５ｓは、第１のホルダー１０の重心延長線上に配置されている。ホルダー押圧の際、重心延長部５ｓとは異なる部分が押圧されると、モーメントが発生し、光軸のずれが生じるおそれがある。しかしながら、重心延長部５ｓが押圧されることによって、モーメントの発生が回避される。そのため、第１のホルダー１０が光軸方向に沿って押圧され、高精度の連結が行われる。
【００７５】
さらに、重心延長部５ｓは、後端面５ｄの中央付近に存在している。したがって、第１のホルダー１０が押圧されると、連結はんだ層６２において、中空部６の周囲の部分にそれ以外の部分よりも強い荷重がかかる。そのため、図６に示したように、連結はんだ層６２が前述した厚さ相違構造を有している。厚さ相違構造を有しているということは、光部品の連結構造１００では、ホルダー押圧が重心延長部５ｓを対象として行われたことを示している。
【００７６】
さらに、ホルダー押圧工程において、第１のホルダー１０が垂直方向に押圧されているから、押圧ピン８４の重量が活用され、より効果的にホルダー押圧が行われる。
【００７７】
さらにまた、蓋部７０が第１の金属層６０の表面６０ｓよりも後退した位置に配置されている。そのため、第１の光部品２０が第２の光部品５０に連結される際、特に、ホルダー対面工程が実行される際、蓋部７０と第２の光部品５０との接触が回避される。したがって、第１の光部品２０と第２の光部品５０との連結が効率的に行われる。
【００７８】
光部品の連結構造１００では、従来技術のように、光部品が溶接によって連結される場合に比べて、光部品がより少ないエネルギーのレーザ照射によって連結される。そのため、製造に要するエネルギーが削減される。
【００７９】
（変形例１）
前述した実施の形態では、外部検出装置８７が第２の光部品５０の外部に設けられていた。図１２に示すように、光部品の連結構造は、第１の光部品２０と第２の光部品５５とを有していてもよい。第２の光部品５５は、第２の光部品５０と比べ、光導波路５１ａとともに、受光素子であるフォトダイオード８９がシリコンフォトニクス基板（第２のホルダー）の表面に形成されている点で相違している。フォトダイオード８９にはプローブ９０が接続されている。
【００８０】
（変形例２）
また、図１３に示すように、光部品の連結構造は、第１の光部品２０と第２の光部品５６とを有していてもよい。第２の光部品５６は、第２の光部品５０と比べて、光導波路５１ａとともに、発光素子であるレーザダイオード９１がシリコンフォトニクス基板（第２のホルダー）の表面に形成されている点で相違している。レーザダイオード９１にはプローブ９０が接続されている。
【００８１】
この場合、第２の光部品５６が発光素子を有するので、連結方法が実行されるときには、第１の光部品２０の外側にフォトダイオード等の受光素子が配置される。
【００８２】
（変形例３）
前述した実施の形態では、光ファイバ心線３が保持されている第１の光部品２０と、光導波路５1が保持されている第２の光部品５０とを有する光部品の連結構造１００について説明した。光部品の連結構造１００の場合、第１の光部品２０がレンズドファイバを有し、第２の光部品５０が光導波路５１を有している。
【００８３】
しかしながら、本発明において、第１の光部品および第２の光部品は、それぞれ光ファイバと、光導波路の少なくとも一方を有していればよい。
【００８４】
したがって、例えば、本発明に係る光部品の連結構造は、図１５に示す光部品の連結構造２００とすることができる。光部品の連結構造２００は、第１の光部品２０Ａと、第２の光部品２０Ｂとを有し、両者が連結はんだ層６２を介して連結されている。第１、第２の光部品２０Ａ、２０Ｂの両方とも光ファイバ心線３を保持しており、その双方の光ファイバ心線３が対峙している。第１、第２の光部品２０Ａ、２０Ｂは双方ともに第１の光部品２０と同様の構造を有している。
【００８５】
また、本発明に係る光部品の連結構造は、図１６に示す光部品の連結構造２０１とすることもできる。光部品の連結構造２０１は、第１の光部品５０Ａと、第２の光部品５０Ｂとを有し、両者が連結はんだ層６２を介して連結されている。第１、第２の光部品５０Ａ、５０Ｂは両方とも光導波路５１を保持しており、その双方の光導波路５１が対峙している。第１、第２の光部品５０Ａ、５０Ｂは双方ともに第２の光部品５０と同様の構造を有している。
【００８６】
（変形例４）
さらに、本発明は、図１７に示す光部品の連結構造２０５についても適用される。光部品の連結構造２０５は、光ファイバ心線３が保持されている第１の光部品２０５ｃと、光導波路２０５ａが保持されている第２の光部品２０５ｂと、多芯光ファイバが保持されている第３の光部品２０５ｄとを有している。第１の光部品２０５ｃ、第２の光部品２０５ｂおよび第３の光部品２０５ｄは、第１の金属層６０と同様の金属層（図示せず）がそれぞれの接続端面に形成されている。また、各金属層の間に連結はんだ層６２と同様のはんだ層（図示せず）が形成されている。第１の光部品２０５ｃ、第２の光部品２０５ｂおよび第３の光部品２０５ｄは、はんだ層によって連結されている。
【００８７】
しかしながら、第１の光部品２０５ｃ、第２の光部品２０５ｂおよび第３の光部品２０５ｄの接続端面が側面に対して斜め方向に形成されている（接続端面と側面とのなす角度が直角から８度程度傾斜した角度になっている）。これは、接続端面における光の反射の影響を避けるためである。
【００８８】
そして、ホルダー押圧工程が、前述した光部品の連結方法のようにして実行されると、図２０に示すように、押圧ピン８４によって加えられる荷重Ｆ１が接続端面２０５ｅに対し、その垂直方向と異なる方向に作用する。図１８に示すように、接続端面２０５ｅと側面２０５ｓとのなす角Ａ１は鋭角になっている。荷重Ｆ１は、接続端面２０５ｅと直交する荷重Ｆ２と、接続端面２０５ｅと平行な荷重Ｆ３の合力であるが、荷重Ｆ３はホルダー押圧には寄与しない。
【００８９】
そこで、光部品の連結構造は、第１のホルダーが第１の平行部を有し、さらに第２のホルダーが第２の平行部を有することが好ましい。第１の平行部は第１の後端面または第１の接続端面の一部であって、かつ第１の後端面と第１の接続端面とが平行に形成された部分である。第２の平行部は第２の接続端面の一部であって、かつ第１の後端面と平行に形成された部分である。
【００９０】
具体的に説明すると、例えば、図１７に示した光部品の連結構造２０５の場合、第１の光部品（第１のホルダー）２０５ｃが、図１８に示すように、平行部２０５ｈを有することができる。平行部２０５ｈは、第１の後端面２０５ｆと平行に形成された部分であり、第１の接続端面２０５ｅの一部である。第１の光部品（第１のホルダー）２０５ｃが平行部２０５ｈを有すると、ホルダー押圧が実行されるときの荷重が平行部２０５ｈに対して垂直方向に作用する。この場合、第２の光部品（第１のホルダー）２０５ｂは、第２の接続端面の一部に、第１の後端面２０５ｆと平行に形成された部分を有している。
【００９１】
また、光部品の連結構造２０５の場合、第１の光部品（第１のホルダー）２０５ｃが図１９に示すように、平行部２０５ｇを有することができる。平行部２０５ｇは第１の接続端面２０５ｅと平行に形成された部分であり、第１の後端面２０５ｄの一部である。第１の光部品（第１のホルダー）２０５ｃが平行部２０５ｇを有すると、ホルダー押圧が実行されるときの荷重が第１の接続端面２０５ｅに対して垂直方向に作用する。この場合、荷重Ｆ１の延長線上に保持部材９７が配置され、第２の光部品２０５ｂの位置ずれが回避されることが好ましい。
【００９２】
その他、以上の実施の形態では、はんだ層形成工程において、ＹＡＧレーザＬがはんだ６２ｘに照射されていた。この点、第１のホルダー１０が金、銀、アルミニウム、ステンレス等の金属を用いて形成されているときは、はんだ層形成工程において、ＹＡＧレーザＬが第１のホルダー１０に照射されてもよい。この場合、ＹＡＧレーザＬの照射によって第１のホルダー１０が加熱される。その熱が第１のホルダー１０からはんだ６２ｘに伝わり、その熱によってはんだ６２ｘが溶融する。そのため、この場合も、連結はんだ層６２が形成される。また、ＹＡＧレーザＬの代わりにＣＷレーザが照射されてもよい。
【００９３】
以上の説明は、最も実践的で好ましい実施の形態であると考えられる事項にそって詳しく説明されているが、本発明は、開示されている実施の形態に限定されるものではない。様々な変形例および本発明の精神及び範囲内に含まれる均等な配置をも包含するものと理解される。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
本発明を適用することにより、連結にかかる時間が短縮され、かつ、連結の精度を高めることができ、特にレンズドファイバに関する高精度の連結が実現される構造を備えた光部品の連結構造およびその連結方法が得られる。本発明は、光部品の連結構造およびその連結方法の分野で利用することができる。
【符号の説明】
【００９５】
１…光ファイバ、１ｃ…先端部、２…被覆層、３…光ファイバ心線、１０…第１のホルダー、２０，２０Ａ，５０Ａ，２０５ｃ…第１の光部品、２０Ｂ，５０，５０Ｂ，５５，５６，２０５ｂ…第２の光部品、５１，５１ａ…光導波路、５２…第２のホルダー、６０…第１の金属層、６１…第２の金属層、６２…連結はんだ層、１０３…溝部、１００，２００，２０１，２０５…光部品の連結構造。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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