(57)【要約】【課題】  印刷画像に、ニジミ、カスレが発生することが抑制されたスクリーン印刷版を提供する。【解決手段】  第１金属層１と第２金属層２との２層を備え、第２金属層２の両主面間を貫通して開口部３が形成され、第２金属層２側から、第１金属層１と第２金属層２とを見たとき、開口部３の縁部よりも内側の第１金属層１にメッシュ孔４が形成され、開口部３の縁部よりも外側の第２金属層２の主面にコーティング層５が形成されたものとする。コーティング層５の表面の表面自由エネルギーは、第１金属層１および第２金属層２の表面の表面自由エネルギーよりも小さくする。【選択図】  図１
2018192749.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属層を備え、
前記金属層は、印刷部と非印刷部とを備え、
前記金属層の前記印刷部に、両主面間を貫通して、複数個のメッシュ孔が形成されたスクリーン印刷版であって、
前記金属層の一方の主面の前記非印刷部に、前記金属層の表面よりも表面自由エネルギーが小さいコーティング層が形成されたスクリーン印刷版。
【請求項２】
前記金属層が、少なくとも、相互に積層された第１金属層と第２金属層との２層を備え、
前記第２金属層に、両主面間を貫通して開口部が形成され、
前記第２金属層側から、前記第１金属層と前記第２金属層との積層方向に、前記第１金属層と前記第２金属層とを見たとき、
前記開口部の縁部よりも内側の前記第１金属層に前記メッシュ孔が形成され、
前記開口部の縁部よりも外側の前記第２金属層の主面に前記コーティング層が形成された、請求項１に記載されたスクリーン印刷版。
【請求項３】
前記金属層が１層からなる、請求項１に記載されたスクリーン印刷版。
【請求項４】
前記コーティング層の表面の表面自由エネルギーが２０ｍＮ／ｍ以下である、請求項１ないし３のいずれか１項に記載されたスクリーン印刷版。
【請求項５】
導電性の基台を用意する工程と、
前記基台の一方の主面上に第１感光性レジストを塗布する工程と、
前記第１感光性レジストを所定のパターン形状に露光する工程と、
前記第１感光性レジストを現像する工程と、
所定のパターン形状からなる前記第１感光性レジストが形成された前記基台の一方の主面上に、めっきを施し、前記第１感光性レジストが形成された部分にメッシュ孔が形成された第１金属層を形成する工程と、
前記基台から前記第１感光性レジストを除去する工程と、
前記メッシュ孔を含む前記第１金属層上に、第２感光性レジストを塗布する工程と、
前記第２感光性レジストを所定のパターン形状に露光する工程と、
前記第２感光性レジストを現像する工程と、
所定のパターン形状からなる前記第２感光性レジストが形成された第１金属層上に、めっきを施し、前記第２感光性レジストが形成された部分に開口部が形成された第２金属層を形成する工程と、
前記第２金属層および前記第２感光性レジストの上に、表面の表面自由エネルギーが、前記第１金属層および前記第２金属層の表面の表面自由エネルギーよりも小さいコーティング層を形成する工程と、
前記第２感光性レジストを、前記第２感光性レジストの上に形成された前記コーティング層とともに除去する工程と、を備えたスクリーン印刷版の製造方法。
【請求項６】
導電性の基台を用意する工程と、
前記基台の一方の主面上に第１感光性レジストを塗布する工程と、
前記第１感光性レジストを所定のパターン形状に露光する工程と、
前記第１感光性レジストを現像する工程と、
所定のパターン形状からなる前記第１感光性レジストが形成された前記基台の一方の主面上に、めっきを施し、前記第１感光性レジストが形成された部分にメッシュ孔が形成された金属層を形成する工程と、
前記基台から第１感光性レジストを除去する工程と、
前記メッシュ孔を含む前記金属層上に、第２感光性レジストを塗布する工程と、
前記第２感光性レジストを所定のパターン形状に露光する工程と、
前記第２感光性レジストを現像する工程と、
前記金属層および前記第２感光性レジストの上に、表面の表面自由エネルギーが、前記金属層の表面の表面自由エネルギーよりも小さいコーティング層を形成する工程と、
前記第２感光性レジストを、前記第２感光性レジストの上に形成された前記コーティング層とともに除去する工程と、を備えたスクリーン印刷版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクリーン印刷版に関する。また、本発明は、本発明のスクリーン印刷版を製造するのに適したスクリーン印刷版の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１（特開２０１５‐１３１４２６号公報）に、金属層にメッシュ孔が形成されたスクリーン印刷版が開示されている。図１３に、特許文献１に開示されたスクリーン印刷版１１００を示す。
【０００３】
スクリーン印刷版１１００は、第１金属層（第１層）１０１と第２金属層（第２層）１０２とが積層された金属層（印刷シート）１０３を備えている。第１金属層１０１を貫通してメッシュ孔１０４が形成されている。第２金属層１０２を貫通して開口部１０５が形成されている。第２金属層１０２側から金属層１０３を見たとき、開口部１０５の外縁の内側にメッシュ孔１０４が形成されている。
【０００４】
スクリーン印刷版１１００は、図１３における上側が被印刷物に当接する面であり、第２金属層１０２の開口部１０５が被印刷物に印刷ペーストを付与する印刷部Ｐを構成し、第２金属層１０２の開口部１０５以外の部分が被印刷物に印刷ペーストを付与しない非印刷部ＮＰを構成している。スクリーン印刷版１１００は、図１３における下側から、スキージーゴムなどによって、メッシュ孔１０４を通して印刷部Ｐに印刷ペーストを供給し、被印刷物に印刷をおこなう。
【０００５】
スクリーン印刷版１１００には、印圧や、金属層１０３と被印刷物との距離や、スキージーゴムの選定などが不適切である場合や、長時間連続して印刷した場合に、印刷部Ｐから非印刷部ＮＰに印刷ペーストが回り込み、印刷された画像（以下「印刷画像」という）にニジミが発生してしまう場合があった。すなわち、被印刷物の、本来、印刷ペーストが付着すべきではない部分にまで、印刷ペーストが付着してしまう場合があった。
【０００６】
この問題を解決したスクリーン印刷版が、特許文献２（特開２０１２‐６３９０号公報）に開示されている。図１４に、特許文献２に開示されたスクリーン印刷版（スクリーン印刷用孔版）１２００を示す。
【０００７】
スクリーン印刷版１２００は、金属、樹脂、炭素繊維などからなるメッシュ２０１を備えている。メッシュ２０１に、所定のパターン形状からなる開口部（印刷パターン開口部）２０２を設けて乳剤２０３が形成されている。スクリーン印刷版１２００は、開口部２０２の部分が印刷部Ｐを構成し、乳剤２０３の部分が非印刷部ＮＰを構成している。
【０００８】
スクリーン印刷版１２００は、さらに、開口部２０２の内部のメッシュ２０１、開口部２０２の内壁、開口部２０２の周囲の非印刷部ＮＰに、それぞれ、印刷ペーストを弾くフッ素含有シランカップリング剤の薄膜２０４が形成されている。スクリーン印刷版１２００は、薄膜２０４によって、印刷ペーストの印刷部Ｐから非印刷部ＮＰへの回り込みを抑制し、印刷画像にニジミが発生することを抑制している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１５‐１３１４２６号公報
【特許文献２】特開２０１２‐６３９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
スクリーン印刷版１２００には、フッ素含有シランカップリング剤の薄膜２０４が、開口部２０２の周囲の非印刷部ＮＰだけではなく、開口部２０２の内部のメッシュ２０１や開口部２０２の内壁にも形成されているため、開口部２０２の内部において薄膜２０４が印刷ペーストを弾き、開口部２０２の内部に印刷ペーストが充分に供給されず、印刷画像に、カスレが発生してしまう場合があった。すなわち、被印刷物の、印刷ペーストが付着すべき部分において、印刷ペーストの付着量が不足し、精度の高い印刷ができない場合があった。
【００１１】
スクリーン印刷版１２００は、印刷画像にニジミが発生することは抑制されたが、代わりに、印刷画像にカスレが発生してしまう虞があるという問題をかかえている。そのため、ニジミおよびカスレの両方の発生が抑制された新しいスクリーン印刷版の開発が求められている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上述した従来の課題を解決するためになされたものであり、その手段として本発明の一局面にかかるスクリーン印刷版は、金属層を備え、金属層は、印刷部と非印刷部とを備え、金属層の印刷部に、両主面間を貫通して、複数個のメッシュ孔が形成され、金属層の一方の主面の非印刷部に、金属層の表面よりも表面自由エネルギーが小さいコーティング層が形成されたものとする。
【００１３】
また、本発明の別の一局面にかかるスクリーン印刷版は、金属層が、少なくとも、相互に積層された第１金属層と第２金属層との２層を備え、第２金属層に、両主面間を貫通して開口部が形成され、第２金属層側から、第１金属層と第２金属層との積層方向に、第１金属層と第２金属層とを見たとき、開口部の縁部よりも内側の第１金属層にメッシュ孔が形成され、開口部の縁部よりも外側の第２金属層の主面にコーティング層が形成されたものとする。この場合には、コーティング層によって印刷ペーストの印刷部への回り込みを抑制することができるため、印刷画像のニジミの発生が抑制される。また、メッシュ孔が形成された第１金属層にはコーティング層が形成されていないため、印刷部に充分に印刷ペーストが供給され、印刷画像のカスレの発生が抑制される。
【００１４】
また、本発明のさらに別の一局面にかかるスクリーン印刷版は、金属層が１層で構成される。この場合にも、コーティング層によって印刷ペーストの印刷部への回り込みが抑制され、印刷画像のニジミの発生が抑制される。また、メッシュ孔が形成された印刷部にはコーティング層が形成されていないため、充分に印刷ペーストが供給され、印刷画像のカスレの発生が抑制される。
【００１５】
コーティング層の表面の表面自由エネルギーは、２０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましい。この場合には、コーティング層によって、印刷ペーストの印刷部への回り込みを効果的に抑制できるため、より確実にニジミの発生を抑制することができる。
【００１６】
また、本発明の一局面にかかるスクリーン印刷版の製造方法は、導電性の基台を用意する工程と、基台の一方の主面上に第１感光性レジストを塗布する工程と、第１感光性レジストを所定のパターン形状に露光する工程と、第１感光性レジストを現像する工程と、所定のパターン形状からなる第１感光性レジストが形成された基台の一方の主面上に、めっきを施し、第１感光性レジストが形成された部分にメッシュ孔が形成された第１金属層を形成する工程と、基台から第１感光性レジストを除去する工程と、メッシュ孔を含む第１金属層上に、第２感光性レジストを塗布する工程と、第２感光性レジストを所定のパターン形状に露光する工程と、第２感光性レジストを現像する工程と、所定のパターン形状からなる第２感光性レジストが形成された第１金属層上に、めっきを施し、第２感光性レジストが形成された部分に開口部が形成された第２金属層を形成する工程と、第２金属層および第２感光性レジストの上に、表面の表面自由エネルギーが、第１金属層および第２金属層の表面の表面自由エネルギーよりも小さいコーティング層を形成する工程と、第２感光性レジストを、第２感光性レジストの上に形成されたコーティング層とともに除去する工程と、を備えたものとする。
【００１７】
また、本発明の別の一局面にかかるスクリーン印刷版の製造方法は、導電性の基台を用意する工程と、基台の一方の主面上に第１感光性レジストを塗布する工程と、第１感光性レジストを所定のパターン形状に露光する工程と、第１感光性レジストを現像する工程と、所定のパターン形状からなる第１感光性レジストが形成された基台の一方の主面上に、めっきを施し、第１感光性レジストが形成された部分にメッシュ孔が形成された金属層を形成する工程と、基台から第１感光性レジストを除去する工程と、メッシュ孔を含む金属層上に、第２感光性レジストを塗布する工程と、第２感光性レジストを所定のパターン形状に露光する工程と、第２感光性レジストを現像する工程と、金属層および第２感光性レジストの上に、表面の表面自由エネルギーが、金属層の表面の表面自由エネルギーよりも小さいコーティング層を形成する工程と、第２感光性レジストを、第２感光性レジストの上に形成されたコーティング層とともに除去する工程と、を備えたものとする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のスクリーン印刷版を使用して印刷された印刷画像は、ニジミの発生およびカスレの発生の両方が抑制されている。
【００１９】
また、本発明のスクリーン印刷版の製造方法によれば、本発明のスクリーン印刷版を容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１（Ａ）は、第１実施形態にかかるスクリーン印刷版１００の断面図である。図１（Ｂ）は、スクリーン印刷版１００の要部断面図である。
【図２】図２は、比較例にかかるスクリーン印刷版１３００の断面図である。
【図３】図３は、スクリーン印刷版１００およびスクリーン印刷版１３００を使って、それぞれ、連続印刷をおこなった場合の面積３ＣＶの推移を示すグラフである。
【図４】図４（Ａ）〜（Ｄ）は、それぞれ、スクリーン印刷版１００の製造方法の一例において実施する工程を示す断面図である。
【図５】図５（Ｅ）〜（Ｈ）は、図４（Ｄ）の続きであり、それぞれ、スクリーン印刷版１００の製造方法の一例において実施する工程を示す断面図である。
【図６】図６（Ｉ）〜（Ｌ）は、図５（Ｈ）の続きであり、それぞれ、スクリーン印刷版１００の製造方法の一例において実施する工程を示す断面図である。
【図７】図７（Ａ）は、第２実施形態にかかるスクリーン印刷版２００の断面図である。図７（Ｂ）は、スクリーン印刷版２００の要部断面図である。
【図８】図８（Ａ）は、スクリーン印刷版２００で印刷した印刷画像の断面図である。図８（Ｂ）は、比較例にかかるスクリーン印刷版１３００で印刷した印刷画像の断面図である。
【図９】図９は、スクリーン印刷版２００のコーティング層１５の表面の表面自由エネルギーと、印刷画像の面積３ＣＶとの関係を示すグラフである。
【図１０】図１０（Ａ）〜（Ｄ）は、それぞれ、スクリーン印刷版２００の製造方法の一例において実施する工程を示す断面図である。
【図１１】図１１（Ｅ）〜（Ｈ）は、図１０（Ｄ）の続きであり、それぞれ、スクリーン印刷版２００の製造方法の一例において実施する工程を示す断面図である。
【図１２】図１２（Ｉ）〜（Ｋ）は、図１１（Ｈ）の続きであり、それぞれ、スクリーン印刷版２００の製造方法の一例において実施する工程を示す断面図である。
【図１３】特許文献１に開示されたスクリーン印刷版１１００の断面図である。
【図１４】特許文献２に開示されたスクリーン印刷版１２００の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。
【００２２】
なお、各実施形態は、本発明の実施の形態を例示的に示したものであり、本発明が実施形態の内容に限定されることはない。また、異なる実施形態に記載された内容を組合せて実施することも可能であり、その場合の実施内容も本発明に含まれる。
【００２３】
［第１実施形態］
図１（Ａ）、（Ｂ）に、それぞれ、第１実施形態にかかるスクリーン印刷版１００を示す。ただし、図１（Ａ）は、スクリーン印刷版１００の断面図である。また、図１（Ｂ）は、スクリーン印刷版１００の要部断面図であり、図１（Ａ）の破線Ｘで示す部分を拡大して示している。
【００２４】
スクリーン印刷版１００は、相互に積層され、一体化された、第１金属層１と第２金属層２とを備えている。
【００２５】
第１金属層１および第２金属層２を構成する金属の種類は、それぞれ、任意であるが、本実施形態においては、いずれもニッケルを主成分とする金属を用いた。なお、第１金属層１と第２金属層２とで金属の種類が異なっても良い。
【００２６】
第１金属層１および第２金属層２の厚みも、それぞれ、任意である。本実施形態においては、第１金属層１の厚みを１０μｍ、第２金属層の厚みを８μｍとした。
【００２７】
第２金属層２の両主面間を貫通して、複数個の開口部３が形成されている。平面方向に見た開口部３の形状は任意であるが、本実施形態においては、長方形とした。第２金属層２を平面方向に見たとき、複数個の開口部３は、第２金属層２にマトリックス状に配置されて形成されている。
【００２８】
第１金属層１に、複数個のメッシュ孔４が形成されている。第２金属層２側から、第１金属層１と第２金属層２との積層方向に、第１金属層１と第２金属層２とを見たとき、メッシュ孔４は、各開口部３の縁部よりも内側に形成されている。
【００２９】
第２金属層２側から、第１金属層１と第２金属層２との積層方向に、第１金属層１と第２金属層２とを見たとき、開口部３の縁部よりも外側の第２金属層２の主面に、コーティング層５が形成されている。コーティング層５の厚みは任意であるが、本実施形態においては５０ｎｍとした。
【００３０】
コーティング層５の表面の表面自由エネルギーは、第１金属層１および第２金属層２の表面の表面自由エネルギーよりも小さい。コーティング層５の表面の表面自由エネルギーは、２０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましい。２０ｍＮ／ｍ以下であれば、コーティング層５が、印刷ペーストに対して良好な撥水性を示すからである。
【００３１】
コーティング層５の材質には、たとえば、フッ素化合物、疎水性シランカップリング剤、ＤＬＣ（Diamond-like Carbon；ダイヤモンドライクカーボン）などを用いることができる。本実施形態においては、コーティング層５の材質に、フッ素化合物を用いた。ただし、コーティング層５の材質は任意であり、上記以外のものを用いても良い。
【００３２】
スクリーン印刷版１００は、図１（Ａ）、（Ｂ）における下側が、印刷時に、被印刷物に当接する面である。そして、第２金属層２に形成された開口部３が、被印刷物に印刷ペーストを付与する印刷部Ｐを構成している。また、第２金属層２の主面のコーティング層５が形成されている部分が、被印刷物に印刷ペーストを付与しない非印刷部ＮＰを構成している。
【００３３】
スクリーン印刷版１００は、図１（Ａ）、（Ｂ）における上側から、スキージーゴムなどによって、メッシュ孔４を通して印刷部Ｐに印刷ペーストを供給して、被印刷物に印刷をおこなう。
【００３４】
上記の構造からなるスクリーン印刷版１００は、印刷時に、コーティング層５によって、印刷ペーストの非印刷部ＮＰへの回り込みが抑制されるため、印刷画像にニジミが発生しにくい。また、メッシュ孔４が形成された第１金属層１にはコーティング層５が形成されていないため、印刷部Ｐに充分に印刷ペーストが供給され、印刷画像にカスレが発生しにくい。
【００３５】
本発明の有効性を確認するために、次の実験をおこなった。
【００３６】
（実験１）
まず、実施例として、第１実施形態にかかるスクリーン印刷版１００を作製した。また、比較例として、図２に示すスクリーン印刷版１３００を作製した。スクリーン印刷版１３００は、第２金属層２に、コーティング層５が形成されていない。すなわち、スクリーン印刷版１３００は、スクリーン印刷版１００から、コーティング層５を省略したものである。
【００３７】
スクリーン印刷版１００、１３００は、積層型セラミック電子部品の製造工程において、セラミックグリーンシートに内部電極用の導電性ペースト（印刷ペースト）を印刷するためのスクリーン印刷版として、開口部３（印刷部Ｐ）を形成した。なお、積層型セラミック電子部品としては、積層型セラミックサーミスタや積層型セラミックコンデンサなどをあげることができる。
【００３８】
具体的には、スクリーン印刷版１００、１３００では、第１金属層１および第２金属層２を、縦寸法１２０ｍｍ、横寸法１２０ｍｍの正方形とした。また、開口部３を、積層型セラミック電子部品の内部電極の形状、大きさに合せて、横寸法０．４７０ｍｍ、縦寸法０．１２０ｍｍの長方形とした。そして、第２金属層２に、開口部３を、横方向の間隔を０．６６０ｍｍ、縦方向の間隔を０．１３０ｍｍとして、マトリックス状に、連続的に形成した。また、第１金属層１に、直径１６μｍの円筒形のメッシュ孔４を、１つの開口部３に対して、横１９個×縦５個、合計９５個形成した。
【００３９】
スクリーン印刷版１００においては、コーティング層５を、フッ素化合物を真空蒸着して形成し、厚みは５０ｎｍとした。また、コーティング層５の表面の表面自由エネルギーは、１４ｍＮｍとした。一方、スクリーン印刷版１３００の非印刷部ＮＰの表面の表面自由エネルギー、すなわち、第２金属層２の表面の表面自由エネルギーは、９０ｍＮｍとした。
【００４０】
スクリーン印刷版１００を使い、セラミックグリーンシートに導電性ペーストを印刷した。同様に、スクリーン印刷版１３００を使い、セラミックグリーンシートに導電性ペーストを印刷した。そして、両者の印刷画像のバラツキを測定した。具体的には、光学式測長機を用い、印刷後のセラミックグリーンシート面内の印刷画像を、２．４ｃｍ間隔で、５×５の２５ポイントで測定し、面積、横寸法、縦寸法のバラツキを、３ＣＶで評価した。３ＣＶは、次の式１で定義される。
【数１】
2018192749.tif 000003
【００４１】
面積３ＣＶ、横寸法３ＣＶ、縦寸法３ＣＶの比較結果を表１に示す。
【表１】
2018192749.tif 000004
【００４２】
表１から分かるように、実施例にかかるスクリーン印刷版１００を使用した場合は、比較例にかかるスクリーン印刷版１３００を使用した場合に比べて、面積、横寸法、縦寸法の全てにおいて３ＣＶが下がっており、面積、横寸法、縦寸法の全てにおいてバラツキが抑制されていることが確認できた。すなわち、実施例にかかるスクリーン印刷版１００を使用すれば、ニジミのない、精度の高い印刷画像を得ることができることが分かった。
【００４３】
（実験２）
次に、スクリーン印刷版１００を使い、１００ショットの連続印刷をおこなった。同様に、スクリーン印刷版１３００を使い、１００ショットの連続印刷をおこなった。そして、両者の印刷画像の面積３ＣＶの推移を比較した。結果を図３に示す。
【００４４】
図３から分かるように、比較例にかかるスクリーン印刷版１３００を使用した場合は、印刷ショット数が増えるにしたがって、面積３ＣＶが徐々に増大している。これに対し、実施例にかかるスクリーン印刷版１００を使用した場合は、印刷ショット数が増えても、面積３ＣＶは増大せず、安定している。このことから、実施例にかかるスクリーン印刷版１００を使用すれば、連続印刷をおこなっても、ニジミのない、精度の高い印刷画像を得ることができることが分かった。
【００４５】
（スクリーン印刷版１００の製造方法の一例）
スクリーン印刷版１００の製造方法の一例を、図４（Ａ）〜図６（Ｌ）を参照して説明する。
【００４６】
まず、図４（Ａ）に示すように、製造に使用する導電性の基台５０を用意する。基台５０を構成する金属の種類は任意であるが、本実施形態においては、ステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いた。
【００４７】
次に、図４（Ｂ）に示すように、基台５０の一方の主面上に、第１感光性レジスト５１を塗布する。本実施形態においては、第１感光性レジスト５１に、ネガ型のものを使用した。
【００４８】
次に、図４（Ｃ）に示すように、形成したいメッシュ孔４の形状および個数に対応した貫通孔が形成されたマスク５２を用いて、第１感光性レジスト５１を露光する。
【００４９】
次に、図４（Ｄ）に示すように、第１感光性レジスト５１を現像する。この結果、基台５０上に、形成したいメッシュ孔４の形状および個数に対応した、形状および個数からなる第１感光性レジスト５１が現像される。
【００５０】
次に、図５（Ｅ）に示すように、第１感光性レジスト５１が現像された基台５０の一方の主面上に、電解めっきを施し、第１金属層１を形成する。本実施形態においては、電解めっきに、ニッケル電解めっきを用いた。
【００５１】
次に、図５（Ｆ）に示すように、基台５０から第１感光性レジスト５１を除去する。この結果、第１金属層１に、メッシュ孔４が形成される。
【００５２】
次に、図５（Ｇ）に示すように、メッシュ孔４を含む第１金属層１上に、第２感光性レジスト５３を塗布する。第２感光性レジスト５３には、第１感光性レジスト５１と同じものを使用した。
【００５３】
次に、図５（Ｈ）に示すように、形成したい開口部３の形状および個数に対応した貫通孔が形成されたマスク５４を用いて、第２感光性レジスト５３を露光する。
【００５４】
次に、図６（Ｉ）に示すように、第２感光性レジスト５３を現像する。この結果、第１金属層１上に、形成したい開口部３の形状および個数に対応した、形状および個数からなる第２感光性レジスト５３が現像される。
【００５５】
次に、図６（Ｊ）に示すように、第２感光性レジスト５３が現像された第１金属層１上に、電解めっきを施し、第２金属層２を形成する。この工程においても、電解めっきに、ニッケル電解めっきを用いた。
【００５６】
次に、図６（Ｋ）に示すように、第２金属層２および第２感光性レジスト５３の上に、真空蒸着により、コーティング層５を形成する。ただし、コーティング層５の形成方法は真空蒸着には限定されず、スパッタリング、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition；化学蒸着）など、他の薄膜技術を用いてコーティング層５を形成しても良い。
【００５７】
次に、図６（Ｌ）に示すように、第２感光性レジスト５３を、第２感光性レジスト５３の上に形成されたコーティング層５とともに、第１金属層１から除去する。この結果、第２金属層２に開口部３が形成され、基台５０に上にスクリーン印刷版１００が形成される。
【００５８】
最後に、図示しないが、スクリーン印刷版１００を基台５０から取り外す。以上により、スクリーン印刷版１００が完成する。
【００５９】
［第２実施形態］
図７（Ａ）、（Ｂ）に、それぞれ、第２実施形態にかかるスクリーン印刷版２００を示す。ただし、図７（Ａ）は、スクリーン印刷版２００の断面図である。また、図７（Ｂ）は、スクリーン印刷版２００の要部断面図であり、図７（Ａ）の破線Ｘで示す部分を拡大して示している。
【００６０】
上述した第１実施形態にかかるスクリーン印刷版１００は、相互に積層され、一体化された、第１金属層１と第２金属層２との２層を備えていた。これに対し、第２実施形態にかかるスクリーン印刷版１００は、１層の金属層１１を備えている。
【００６１】
本実施形態においては、金属層１１を、ニッケルを主成分とする金属によって作製し、厚みは１０μｍとした。
【００６２】
金属層１１に、複数個のメッシュ孔１４が形成されている。メッシュ孔１４は、複数個ずつ集めて形成され、グループ化されている。
【００６３】
金属層１１の一方の主面（図７における下側の主面）に、コーティング層１５が形成されている。コーティング層１５は、メッシュ孔１４が形成された領域には形成されず、その部分がくり抜かれ、コーティング層１５の非形成部１５ａを構成している。非形成部１５ａは、集めて形成された複数個のメッシュ孔１４ごとに、１つ形成されている。本実施形態においては、平面方向に見た各非形成部１５ａの形状を長方形とした。本実施形態においても、コーティング層５の材質にフッ素化合物を用いた。コーティング層１５の表面の表面自由エネルギーは、金属層１１の表面の表面自由エネルギーよりも小さい。
【００６４】
スクリーン印刷版２００は、図７（Ａ）、（Ｂ）における下側が、印刷時に、被印刷物に当接する面である。そして、金属層１１の主面のコーティング層１５の非形成部１５ａが、被印刷物に印刷ペーストを付与する印刷部Ｐを構成している。また、金属層１１の主面のコーティング層１５が形成されている部分が、被印刷物に印刷ペーストを付与しない非印刷部ＮＰを構成している。
【００６５】
スクリーン印刷版２００は、図７（Ａ）、（Ｂ）における上側から、スキージーゴムなどによって、メッシュ孔１４を通して印刷部Ｐに印刷ペーストを供給して、被印刷物に印刷をおこなう。
【００６６】
上記の構造からなるスクリーン印刷版２００は、印刷時に、コーティング層１５によって、印刷ペーストの非印刷部ＮＰへの回り込みが抑制されるため、印刷画像にニジミが発生しにくい。また、金属層１１のメッシュ孔１４が形成された領域にはコーティング層１５が形成されていないため、印刷部Ｐに充分に印刷ペーストが供給され、印刷画像にカスレが発生しにくい。
【００６７】
図２に示した比較例にかかるスクリーン印刷版１３００で印刷した印刷画像の面積３ＣＶは、表１に示したとおり２．４３％であった。第１実施形態にかかるスクリーン印刷版１００で印刷した印刷画像の面積３ＣＶは、表１に示したとおり０．８５％であった。これに対し、同じ条件で第２実施形態にかかるスクリーン印刷版２００で印刷した印刷画像の面積３ＣＶは、０．８０であった。第２実施形態にかかるスクリーン印刷版２００を使用すれば、第１実施形態にかかるスクリーン印刷版１００を使用した場合よりも、さらに精度の高い印刷画像を得ることができることが分かった。
【００６８】
第２実施形態にかかるスクリーン印刷版２００で印刷した印刷画像の断面を図８（Ａ）に示す。また、比較のために、比較例にかかるスクリーン印刷版１３００で印刷した印刷画像の断面を図８（Ｂ）に示す。
【００６９】
スクリーン印刷版２００で印刷した印刷画像は、図８（Ａ）から分かるように、上面が平坦であり、整った形状をしている。これに対し、比較例にかかるスクリーン印刷版１３００で印刷した印刷画像は、上面の両肩部分が大きく盛り上がった、いわゆるサドル形状をしている。たとえば、印刷画像が、積層型セラミック電子部品の製造工程において、セラミックグリーンシートに印刷された内部電極用の導電性ペーストである場合、形状がサドル形状であることは、完成した積層型セラミック電子部品の電気的特性に個体バラツキを発生させる原因になってしまう。すなわち、印刷画像の両肩部分の盛り上がりはプレス成形時に、その上下面のセラミックグリーンシートを押圧して、潰れてしまうが、個体ごとにどのように潰れるかが不規則であり、結果的に、形成された内部電極の形状および面積に大きなバラツキが発生してしまう。そして、内部電極の形状および面積のバラツキによって、完成した積層型セラミック電子部品の電気的特性にバラツキが発生してしまうからである。
【００７０】
スクリーン印刷版２００を使用して印刷した印刷画像は、断面の上面が平坦であり、整った形状をしているため、スクリーン印刷版２００を使用して積層型セラミック電子部品の内部電極用の導電性ペーストを印刷すれば、完成した積層型セラミック電子部品の電気的特性のバラツキを抑制することができる。
【００７１】
次に、コーティング層１５の表面の表面自由エネルギーの最適値を調べるため、次の実験をおこなった。
【００７２】
（実験３）
まず、第２実施形態にかかるスクリーン印刷版２００を５つ作製した。
【００７３】
作製されたスクリーン印刷版２００のコーティング層１５の表面の表面自由エネルギーを調べたところ、１１ｍＮ／ｍであった。一方、コーティング層１５を形成していない金属層１１の表面の表面自由エネルギーは、９０Ｎ／ｍであった。なお、表面自由エネルギーは、特定溶媒を接触角で測定する方法によって調べた。
【００７４】
次に、４つのスクリーン印刷版２００のコーティング層１５の表面に対し、それぞれ、異なる強度でプラズマ処理をおこなった。プラズマ処理後の各コーティング層１５の表面の表面自由エネルギーは、１７ｍＮ／ｍ、２０ｍＮ／ｍ、２５ｍＮ／ｍ、３０ｍＮ／ｍであった。すなわち、プラズマ処理をおこなうことで、各コーティング層１５の表面の表面自由エネルギーは上昇した。
【００７５】
次に、５つのスクリーン印刷版２００を使い、上述した実験１と同じ条件で、セラミックグリーンシートに導電性ペーストを印刷し、各印刷画像の面積３ＣＶを調べた。結果を図９に示す。
【００７６】
図９から分かるように、コーティング層の表面の表面自由エネルギーが２０ｍＮ／ｍ以下であれば、面積３ＣＶが小さく、優れた印刷画像を得られることが分かった。以上の結果から、印刷画像のニジミの発生を抑制するためには、コーティング層の表面自由エネルギーは、２０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましいと考えられる。
【００７７】
（スクリーン印刷版２００の製造方法の一例）
スクリーン印刷版２００の製造方法の一例を、図１０（Ａ）〜図１２（Ｋ）を参照して説明する。
【００７８】
まず、図１０（Ａ）に示すように、導電性の基台６０を用意する。
【００７９】
次に、図１０（Ｂ）に示すように、基台６０の一方の主面上に、第１感光性レジスト６１を塗布する。
【００８０】
次に、図１０（Ｃ）に示すように、形成したいメッシュ孔１４の形状および個数に対応した貫通孔が形成されたマスク６２を用いて、第１感光性レジスト６１を露光する。
【００８１】
次に、図１０（Ｄ）に示すように、第１感光性レジスト６１を現像する。
【００８２】
次に、図１１（Ｅ）に示すように、第１感光性レジスト６１が現像された基台６０の一方の主面上に、電解めっきを施し、金属層１１を形成する。
【００８３】
次に、図１１（Ｆ）に示すように、基台６０から第１感光性レジスト６１を除去する。この結果、金属層１１に、メッシュ孔１４が形成される。
【００８４】
次に、図１１（Ｇ）に示すように、メッシュ孔１４を含む金属層１１上に、第２感光性レジスト６３を塗布する。
【００８５】
次に、図１１（Ｈ）に示すように、形成したいコーティング層１５の非形成部１５ａの形状および個数に対応した貫通孔が形成されたマスク６４を用いて、第２感光性レジスト６３を露光する。
【００８６】
次に、図１２（Ｉ）に示すように、第２感光性レジスト６３を現像する。この結果、金属層１１上に、形成したいコーティング層１５の非形成部１５ａの形状および個数に対応した、形状および個数からなる第２感光性レジスト６３が現像される。
【００８７】
次に、図１２（Ｊ）に示すように、金属層１１および第２感光性レジスト６３の上に、真空蒸着により、コーティング層１５を形成する。
【００８８】
次に、図１２（Ｋ）に示すように、第２感光性レジスト６３を、第２感光性レジスト６３の上に形成されたコーティング層１５とともに、金属層１１から除去する。この結果、金属層１１上に、コーティング層１５と、コーティング層１５の非形成部１５ａとが形成され、基台６０上にスクリーン印刷版２００が形成される。
【００８９】
最後に、図示しないが、スクリーン印刷版２００を基台６０から取り外す。以上により、スクリーン印刷版２００が完成する。
【００９０】
以上、第１実施形態にかかるスクリーン印刷版１００、第２実施形態にかかるスクリーン印刷版２００、スクリーン印刷版１００の製造方法の一例、スクリーン印刷版２００の製造方法の一例について説明した。しかしながら、本発明が上述した内容に限定されることはなく、発明の趣旨に沿って、種々の変更をなすことができる。
【００９１】
たとえば、スクリーン印刷版１００、２００では、コーティング層５、１５の材質にフッ素化合物を用いたが、コーティング層５、１５の材質は任意であり、疎水性シランカップリング剤、ＤＬＣなどを用いても良い。
【００９２】
また、スクリーン印刷版１００、２００では、第１金属層１、第２金属層２、金属層１１を、ニッケルを主成分とする金属によって形成したが、第１金属層１、第２金属層２、金属層１１を構成する金属の種類は任意であり、他の種類の金属であっても良い。
【００９３】
また、第１金属層１、第２金属層２、金属層１１の形成方法も、電解めっきには限られず、他の方法を用いることができる。
【００９４】
また、スクリーン印刷版１００、２００の製造方法の一例では、第１感光性レジスト５１、６１、第２感光性レジスト５３、６３にネガ型のものを使用したが、これに代えて、ポジ型のものを使用しても良い。
【符号の説明】
【００９５】
１・・・第１金属層
２・・・第２金属層
１１・・・金属層
３・・・開口部
４、１４・・・メッシュ孔
５、１５・・・コーティング層
１５ａ・・・（コーティング層１５の）非形成部
５０、６０・・・基台
５１、６１・・・第１感光性レジスト
５３、６３・・・第２感光性レジスト
５２、５４、６２、６４・・・マスク
Ｐ・・・印刷部
ＮＰ・・・非印刷部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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