(57)【要約】【課題】複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる切断装置および切断方法を提供すること。【解決手段】切断対象物ＷＦを支持する支持手段２０と、切断媒体ＬＢを生成して出力する切断媒体生出手段３０と、支持手段２０と切断媒体生出手段３０とを相対移動させ、切断対象物ＷＦに所定形状の切断予定線ＭＬを形成する移動手段４０とを備え、支持手段２０は、複数で構成されるとともに、切断媒体生出手段３０は、単数で構成され、切断媒体生出手段３０は、切断媒体ＬＢを出力する複数の切断媒体出力部３２Ａ、３２Ｂを有し、移動手段４０は、複数の支持手段２０と単数の切断媒体生出手段３０とを相対移動させ、複数の切断対象物ＷＦそれぞれに同時に所定形状の切断予定線ＭＬを形成する。【選択図】図１
2018116956.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切断対象物を支持する支持手段と、
切断媒体を生成して出力する切断媒体生出手段と前記支持手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断装置。
【請求項２】
切断媒体を生成して出力する切断媒体生出手段と、
前記切断対象物を支持する支持手段と前記切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断装置。
【請求項３】
切断対象物を支持する支持手段と、
切断媒体を生成して出力する切断媒体生出手段と、
前記支持手段と切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断装置。
【請求項４】
前記切断線または前記切断予定線の形成によって、前記切断対象物から発せられた塵埃が他の切断対象物に当たることを抑制する塵埃遮蔽手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の切断装置。
【請求項５】
切断対象物を支持手段で支持する支持工程と、
切断媒体を生成して出力する切断媒体生出手段と前記支持手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動工程とを有し、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動工程は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断方法。
【請求項６】
切断媒体を切断媒体生出手段で生成して出力する切断媒体生出工程と、
前記切断対象物を支持する支持手段と前記切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動工程とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動工程は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断方法。
【請求項７】
切断対象物を支持手段で支持する支持工程と、
切断媒体を切断媒体生出手段で生成して出力する切断媒体生出工程と、
前記支持手段と切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動工程とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切断媒体生出手段は、単数で構成され、
前記切断媒体生出手段は、前記切断媒体を出力する複数の切断媒体出力部を有し、
前記移動工程は、前記複数の支持手段と前記単数の切断媒体生出手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切断装置および切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、切断媒体を介して複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する切断装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−８４８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された従来のダイシング装置（切断装置）では、レーザＬ（切断媒体）を介して複数のワークＷ（切断対象物）に改質層Ｐ（切断予定線）を形成するレーザヘッド４１（切断媒体生出手段）を開示しているが、当該切断媒体生出手段は、切断媒体を出力するレーザ出力部４１Ｄ（切断媒体出力部）を１つしか備えていないため、複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断予定線を形成する場合、装置が大型化するという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる切断装置および切断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、切断媒体生出手段が複数の切断媒体出力部を有し、単数の切断媒体生出手段に対して複数の支持手段を相対移動させる構成なので、複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
また、塵埃遮蔽手段を備えれば、切断線または切断予定線の形成によって切断対象物から発せられた塵埃が、他の切断対象物を損傷させることを防止することができる。
【０００８】
ここで、本発明でいう切断線とは、切断対象物を貫通する切込が連続的に続く完全な切断のことであり、切断予定線とは、切断線とは異なり、当該切断予定線が形成された切断対象物に、例えば、張力や振動等の外力を付与することで、当該切断予定線を境にして切断対象物を完全に切断することができる擬似的な切断のことである。このような切断予定線は、例えば、切断対象物を貫通する切込が断続的に続く擬似的な切断、切断対象物の厚み方向の途中までの深さであって当該切断対象物を貫通することのない切込が連続的または断続的に続く擬似的な切断、切断対象物の組成、特性、性質、材質、形状、組織等を変更させた改質層が連続的または断続的に続く擬似的な切断および、切断対象物を貫通する切込と当該切断対象物を貫通することのない切込と改質層との少なくとも２つが規則的または不規則的に、連続的または断続的に続く擬似的な切断等をも含むものとする。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態に係る切断装置の正面図。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は、図１の切断装置の動作説明図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、変形例の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１に示すＢＤ方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１１】
本発明の切断装置１０は、切断対象物としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを支持する支持手段２０と、切断媒体としてのレーザ光ＬＢを生成して出力する切断媒体生出手段３０と、支持手段２０と切断媒体生出手段３０とを相対移動させ、ウエハＷＦに所定形状の切断予定線ＭＬを形成する移動手段４０と、切断予定線ＭＬの形成によって、ウエハＷＦから発せられた塵埃が他のウエハＷＦに当たることを抑制する塵埃遮蔽手段５０とを備えている。
なお、本実施形態の場合、ウエハＷＦは、接着シートＡＳを介してフレーム部材としてのリングフレームＲＦと一体化され一体物ＷＫとされている。
【００１２】
支持手段２０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって一体物ＷＫを支持可能な支持面２１Ａを有する支持テーブル２１を備え、図１中右側に配置された第１支持手段２０Ａと、同図左側に配置された第２支持手段２０Ｂとの複数で構成されている。
【００１３】
切断媒体生出手段３０は、レーザ光ＬＢを生成する切断媒体生成部としてのレーザ発振器３１と、当該レーザ発振器３１で生成されたレーザ光ＬＢを出力する切断媒体出力部としての対物レンズ３２とを備え、対物レンズ３２は、図１中上側に配置された第１対物レンズ３２Ａと、同図下側に配置された第２対物レンズ３２Ｂとの複数で構成されている。このような構成により、切断媒体生出手段３０は、レーザ発振器３１で生成したレーザ光ＬＢを第１、第２対物レンズ３２Ａ、３２Ｂによって、それぞれ所定の集光位置に集光するようになっている。
【００１４】
移動手段４０は、第１〜第６アーム４１Ａ〜４１Ｆによって構成され、その作業範囲内において、作業部である第６アーム４１Ｆで支持した第１支持手段２０Ａを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての多関節ロボット４１と、第１〜第６アーム４２Ａ〜４２Ｆによって構成され、その作業範囲内において、作業部である第６アーム４２Ｆで支持した第２支持手段２０Ｂを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての多関節ロボット４２とを備えている。このような構成により、移動手段４０は、複数の支持手段としての第１、第２支持手段２０Ａ、２０Ｂと単数の切断媒体生出手段３０とを相対移動させ、複数のウエハＷＦそれぞれに同時に所定形状の切断予定線ＭＬを形成するようになっている。
【００１５】
塵埃遮蔽手段５０は、第１、第２対物レンズ３２Ａ、３２Ｂから出力されたレーザ光ＬＢの透過を許容する遮蔽板５１を備え、第１対物レンズ３２Ａの上方と、第２対物レンズ３２Ｂの下方とに２体配置されている。
【００１６】
以上の切断装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が図１中実線で示す初期位置で待機している切断装置１０に対し、当該切断装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。その後、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、２体の一体物ＷＫがそれぞれ位置決めされて各支持面２１Ａ上に載置されると、第１、第２支持手段２０Ａ、２０Ｂがそれぞれ図示しない減圧手段を駆動し、各一体物ＷＫの吸着保持を開始する。
【００１７】
次いで、移動手段４０が各多関節ロボット４１、４２を駆動し、図１中二点鎖線および図２（Ａ）に示すように、第１支持手段２０Ａを第１対物レンズ３２Ａの右側上方へ移動させるとともに、第２支持手段２０Ｂを第２対物レンズ３２Ｂの左側下方へ移動させる。そして、移動手段４０が多関節ロボット４１、４２を駆動し、第１支持手段２０Ａを左方へ移動させるとともに、第２支持手段２０Ｂを右向へ移動させる。
【００１８】
そして、第１、第２対物レンズ３２Ａ、３２Ｂの集光位置に、各ウエハＷＦにおける搬送方向先端部が到達する直前に、切断媒体生出手段３０がレーザ発振器３１を駆動し、レーザ光ＬＢを生成して第１、第２対物レンズ３２Ａ、３２Ｂからそれぞれレーザ光ＬＢを出力する。移動手段４０は、図２中ＢＢで示す図のように、各レーザ光ＬＢの集光位置が各ウエハＷＦの厚み方向中央部を通過するように、第１、第２支持手段２０Ａ、２０Ｂそれぞれを移動させる。なお、ウエハＷＦの厚み方向中央部とは、当該ウエハＷＦの厚み方向中心部でもよいし、支持面２１Ａ側に片寄った中央部でもよいし、当該支持面２１Ａの反対側に片寄った中央部でもよい。そして、各ウエハＷＦにおける搬送方向後端部がそれぞれ第１、第２対物レンズ３２Ａ、３２Ｂの集光位置を通過した直後に、切断媒体生出手段３０がレーザ発振器３１の駆動を停止する。これにより、レーザ光ＬＢの集光位置となった各ウエハＷＦの厚み方向中央部には、当該レーザ光ＬＢによって改質されて脆弱となった改質層がそれぞれ形成され、この改質層が切断予定線ＭＬとなる（以降、移動手段４０が複数のウエハＷＦそれぞれに同時に切断予定線ＭＬを形成する動作を「同時形成動作」という）。その後も、移動手段４０が同時形成動作を繰り返し行うことで、２体のウエハＷＦそれぞれに同時に第１方向に延出した所定本数の切断予定線ＭＬが形成される（図２（Ｂ）参照）。
【００１９】
各ウエハＷＦそれぞれに第１方向に延出した所定本数の切断予定線ＭＬが形成されると、移動手段４０が各多関節ロボット４１、４２を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、第１方向に延出した切断予定線ＭＬがＹ軸方向と平行となるように各支持手段２０Ａ、２０Ｂを変位させる。次いで、移動手段４０が各多関節ロボット４１、４２を駆動し、上記と同様にして第１支持手段２０Ａを左方へ移動させるとともに、第２支持手段２０Ｂを右方へ移動させ、再び同時形成動作を繰り返し行う。これにより、２体のウエハＷＦそれぞれに同時に第２方向に延出した所定本数の切断予定線ＭＬが形成され、各ウエハＷＦそれぞれに格子状の切断予定線ＭＬが形成される。各ウエハＷＦそれぞれに格子状の切断予定線ＭＬが形成されると、移動手段４０が各多関節ロボット４１、４２を駆動し、各部材を初期位置に復帰させた後、支持手段２０Ａ、２０Ｂがそれぞれ図示しない減圧手段の駆動を停止し、一体物ＷＫの吸着保持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が、各ウエハＷＦに格子状の切断予定線ＭＬが形成された一体物ＷＫそれぞれを別の工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２０】
以上のような実施形態によれば、切断媒体生出手段３０が複数の対物レンズ３２Ａ、３２Ｂを有し、単数の切断媒体生出手段３０に対して複数の支持手段２０Ａ、２０Ｂを相対移動させる構成なので、複数のウエハＷＦそれぞれに同時に所定形状の切断予定線ＭＬを形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
【００２１】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、複数であって、それぞれが切断対象物を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程も同様でありその説明は省略する）。
【００２２】
支持手段２０は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で一体物ＷＫを支持する構成としてもよいし、一体物ＷＫにおけるウエハＷＦ側から当該一体物ＷＫを支持してもよいし、ウエハＷＦのみからなる切断対象物を直接支持してもよいし、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦからなる切断対象物を支持してもよいし、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦからなる切断対象物を当該接着シートＡＳ側から支持してもよいし、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦからなる切断対象物を当該ウエハＷＦ側から支持してもよいし、本発明の切断装置１０に備わっていなくてもよい。なお、本発明の切断装置１０に支持手段２０が備わっていない場合、他の装置で複数のウエハＷＦを支持しておき、移動手段４０が単数の切断媒体生出手段３０を移動させ、複数のウエハＷＦそれぞれに同時に切断線や切断予定線ＭＬを形成するように構成すればよい。
【００２３】
切断媒体生出手段３０は、ウエハＷＦを貫通する切込を形成することで、当該ウエハＷＦに切断線の基となる切れ目を形成するものでもよいし、ウエハＷＦを貫通することのない切込を形成することで、当該ウエハＷＦに切断予定線ＭＬの基となる切れ目を形成するものでもよいし、ウエハＷＦを貫通し断続的に続く切込や、ウエハＷＦを貫通することなく連続的または断続的に続く切込からなる切断予定線ＭＬの基となる切れ目を形成するものでもよいし、移動手段４０による支持手段２０の移動に合わせて切断媒体の出力のＯＮ−ＯＦＦ動作を繰り返すことで、切断線または切断予定線ＭＬの基となる切れ目を形成するものでもよいし、本発明の切断装置１０に備わっていなくてもよく、本発明の切断装置１０に切断媒体生出手段３０が備わっていない場合、複数の切断媒体出力部を有する単数の切断媒体生出手段を備えた他の装置に対し、移動手段４０がウエハＷＦを支持している複数の支持手段２０を移動させ、これら複数のウエハＷＦそれぞれに同時に切断線または切断予定線ＭＬを形成するように構成すればよい。
切断媒体生出手段３０は、単数のレーザ発振器３１から取り出した１つのレーザ光を複数に分割し、分割されたレーザ光それぞれを複数の対物レンズ３２から出力してもよいし、単数のレーザ発振器３１から複数のレーザ光を取り出し、取り出したレーザ光それぞれを複数の対物レンズ３２から出力してもよいし、複数のレーザ発振器３１から取り出した各レーザ光それぞれを複数の対物レンズ３２から出力してもよい。
切断媒体生出手段３０は、切断媒体として、エネルギー線、イオンビーム、火力、熱、気体、液体等を生成する切断媒体生成部３１と、当該切断媒体生成部３１で生成されたエネルギー線、イオンビーム、火力、熱、気体、液体等を出力する複数の切断媒体出力部とを備えた構成でもよく、複数の切断媒体出力部を備え、複数の切断対象物それぞれに同時に切断線または切断予定線ＭＬの基となるものが形成できればどのようなものでもよいし、切断媒体出力部を３以上備えていてもよい。
【００２４】
移動手段４０は、複数の支持手段２０を停止または移動させながら単数の切断媒体生出手段３０を移動させ、複数のウエハＷＦそれぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線ＭＬを形成するように構成してもよいし、所定の位置に載置または保持されている一体物ＷＫを第１、第２支持手段２０Ａ、２０Ｂでそれぞれ支持し、単数の切断媒体生出手段３０と相対移動させて複数のウエハＷＦそれぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線ＭＬを形成するようにしてもよいし、複数の支持手段２０Ａ、２０Ｂと単数の切断媒体生出手段３０との相対移動方向を水平方向としたり、重力方向としたり、水平方向に対して傾斜する方向としたりしてもよいし、図３（Ａ）に示すように、支持手段２０と切断媒体生出手段３０との相対移動方向を水平方向ＨＤに対して傾斜角α１傾斜する方向とし、切断媒体生出手段３０で切断線または切断予定線ＭＬを形成している部位の重力方向上方から冷却水やオイル等の切断補助液ＳＬを流す切断補助液供給手段６０を備えてもよく、この場合、切断補助液ＳＬの粘度によって、傾斜角α１の角度を１５度〜９０度の間とすれば、切断補助液ＳＬがウエハＷＦ上で滞留することなく重力方向下方へ流れるので効果的であり、傾斜角α１の角度を３０度〜６０度の間とすれば、切断補助液ＳＬのウエハＷＦ上での滞留と、重力方向下方への流れとの両方のバランスがよくなり、さらに効果的である。なお、第１支持手段２０Ａの傾斜角α１と第２支持手段２０Ｂの傾斜角α１とは、同じでもよいし異なっていてもよい。
移動手段４０は、図３（Ｂ）に示すように、３体以上（同図では４体）の支持手段２０と単数の切断媒体生出手段３０とを相対移動させ、３体以上のウエハＷＦそれぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線ＭＬを形成する構成でもよいし、同図に示すように、各ウエハＷＦに対してそれぞれ半分の位置にまで切断線または切断予定線ＭＬが形成された際、支持手段２０で支持しているもの同士が当接しないタイミングで複数の支持手段２０と単数の切断媒体生出手段３０とを相対移動させてもよく、この場合、一度に多くのウエハＷＦに切断線または切断予定線ＭＬを形成することができる。
移動手段４０は、チャックモータやチェックシリンダ等の把持手段を備え、当該把持手段で支持手段２０を着脱可能な構成としてもよいし、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、６軸以下の多関節ロボット、７軸以上の多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできるし、第１方向に延出した切断線または切断予定線ＭＬのみを形成してもよいし、第２方向に延出した切断線または切断予定線ＭＬのみを形成してもよいし、第１、第２方向以外のその他の方向に延出した切断線または切断予定線ＭＬを形成してもよいし、切断線または切断予定線ＭＬを１本だけ形成してもよいし、直線でなく曲線や他の図柄さらには円形、楕円形、多角形等の切断線または切断予定線ＭＬを形成してもよいし、ウエハＷＦの端縁にまで至らない切断線または切断予定線ＭＬを形成してもよい。
移動手段４０は、切断線または切断予定線ＭＬが連続的に続くように支持手段２０と切断媒体生出手段３０とを相対移動させてもよいし、切断線または切断予定線ＭＬが断続的に続くように、支持手段２０と切断媒体生出手段３０とを離間接近させながらそれらを相対移動させてもよいし、切断線と切断予定線ＭＬとが規則的または不規則的に、連続的または断続的に続くように支持手段２０と切断媒体生出手段３０とを相対移動させてもよいし、第１支持手段２０Ａを第１対物レンズ３２Ａの左側上方から右方へ移動させ、且つ、第２支持手段２０Ｂを第２対物レンズ３２Ｂの右側下方から左方へ移動させたり、第１、第２支持手段２０Ａ、２０Ｂを同じ方向に移動させたりして、両ウエハＷＦそれぞれに切断線または切断予定線ＭＬを形成してもよいし、各ウエハＷＦに形成される切断線または切断予定線ＭＬの形状が全て同じとなるように、全てが異なるように、または、一部が同じで他が異なるように、各支持手段２０Ａ、２０Ｂと切断媒体生出手段３０とを相対移動させてもよい。
【００２５】
塵埃遮蔽手段５０は、上側の遮蔽板５１だけでもよいし、下側の遮蔽板５１だけでもよいし、上側の遮蔽板５１や下側の遮蔽板５１に代えてまたは併用して、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段で塵埃を吸引するものを採用してもよいし、本発明の切断装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２６】
切断装置１０は、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、ウエハＷＦに切断線または切断予定線ＭＬを形成してもよい。
一体物ＷＫの位置決めは、例えば、リングフレームＲＦに形成された１箇所または複数箇所のＶ型、Ｕ型等の切欠に、支持面２１Ａ上に設けられた図示しない１体または複数体の位置決め部材を当て嵌めてもよいし、リングフレームＲＦに形成された１箇所または複数箇所のフラット部に、支持面２１Ａ上に設けられた図示しない１体または複数体の位置決め部材を押し当ててもよい。
切断装置１０は、位置決めすることなく支持面２１Ａ上に載置された一体物ＷＫやウエハＷＦを吸着保持した後、カメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段でウエハＷＦの位置を検知し、当該図示しない検知手段の検知結果を基に、移動手段４０が同時形成動作を行ってもよい。
切断装置１０は、切断予定線ＭＬが形成された切断対象物に、例えば張力や振動等の外力を付与して当該切断対象物を完全に切断する張力付与手段や振動付与手段を備えていてもよく、このような、張力付与手段としては、例えば、切断対象物を引っ張るエキスパンド装置や、切断対象物を繰り出す繰出装置等が例示でき、振動付与手段としては、例えば、切断対象物に所定波長の振動を付与するバイブレータや、切断対象物を研削するグラインダ等が例示できる。
フレーム部材は、円形や多角形の環状のものでもよいし、閉ループ状のものでもよいし、一部が繋がっていない環状のものでもよい。
【００２７】
本発明における切断対象物、接着シートＡＳおよびフレーム部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、切断対象物は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。切断対象物が接着シートＡＳの場合、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とだけで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、１層または２層以上のものであってよい。また、切断対象物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板、紙、ゴムまたは樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２８】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
【符号の説明】
【００２９】
１０…切断装置
２０…支持手段
３０…切断媒体生出手段
３２…対物レンズ（切断媒体出力部）
４０…移動手段
５０…塵埃遮蔽手段
ＬＢ…レーザ光（切断媒体）
ＭＬ…切断予定線
ＷＦ…ウエハ（切断対象物）
【図１】
2018116956.tif 000003
【図２】
2018116956.tif 000004
【図３】
2018116956.tif 000005