(57)【要約】【課題】表示素子の断線不良を防止しつつ、高信頼性を有する表示装置を提供することを目的の一つとする。【解決手段】  互いに離間した、複数の第１画素電極及び複数の第２画素電極と、複数の第１画素電極及び複数の第２画素電極の端部、及びそれらの間を覆うと共に、複数の第１画素電極及び複数の第２画素電極の上面を露出するように開口を有するバンクと、複数の第１画素電極の上面を覆う、第１発光層を有する第１有機層と、複数の第２画素電極の上面を覆う、第２発光層を有する第２有機層と、第１有機層、第２有機層、及びバンクを覆う、対向電極と、を有し、第１発光層は、第１波長を有する光を出射し、第２発光層は、第１波長よりも長い第２波長を有する光を出射し、第２有機層の膜厚は、第１有機層の膜厚よりも大きく、バンクの第２側面と、第２画素電極の上面とがなす角は、バンクの第１側面と、第１画素電極の上面とがなす角よりも大きい表示装置。【選択図】図２
2018116829.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに離間した、複数の第１画素電極及び複数の第２画素電極と、
前記複数の第１画素電極及び前記複数の第２画素電極の端部、及びそれらの間を覆うと共に、前記複数の第１画素電極及び前記複数の第２画素電極の上面を露出するように開口を有するバンクと、
前記複数の第１画素電極の上面を覆う、第１発光層を有する第１有機層と、
前記複数の第２画素電極の上面を覆う、第２発光層を有する第２有機層と、
前記第１有機層、前記第２有機層、及び前記バンクを覆う、対向電極と、
を有し、
前記第１発光層は、第１波長を有する光を出射し、
前記第２発光層は、前記第１波長よりも長い第２波長を有する光を出射し、
前記第２有機層の膜厚は、前記第１有機層の膜厚よりも大きく、
前記バンクの第２側面と、前記第２画素電極の上面とがなす角は、前記バンクの第１側面と、前記第１画素電極の上面とがなす角よりも大きいこと、
を特徴とする、表示装置。
【請求項２】
前記第２画素電極の上面における前記バンクの第２開口端部と、前記第２画素電極の端部との第２距離は、前記第１画素電極の上面における前記バンクの第１開口の端部と、前記第１画素電極の端部との第１距離よりも小さい、請求項１記載の表示装置。
【請求項３】
前記第１有機層と、前記第２有機層とに亘って連続的に設けられた共通層を含むことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記複数の第１画素電極の一と、前記複数の第１画素電極の他の一とが隣接する領域において、前記バンクの側面と、前記複数の第１画素電極の一の上面とがなす角と、前記バンクの側面と、前記複数の第１画素電極の他の一の上面とがなす角とは等しい、
ことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の表示装置。
【請求項５】
前記複数の第２画素電極の一と、前記複数の第２画素電極の他の一とが隣接する領域において、前記バンクの側面と、前記複数の第２画素電極の一の上面とがなす角と、前記バンクの側面と、前記複数の第２画素電極の他の一の上面とがなす角とは等しいことを特徴とする、請求項４に記載の表示装置。
【請求項６】
互いに離間した、複数の第１画素電極、複数の第２画素電極及び複数の第３画素電極と、
前記複数の第１画素電極乃至前記複数の第３画素電極の端部、及びそれらの間を覆うと共に、前記複数の第１画素電極乃至前記複数の第３画素電極の上面を露出するように開口を有するバンクと、
前記複数の第１画素電極の上面を覆うように設けられた、第１発光層を有する第１有機層と、
前記複数の第２画素電極の上面を覆うように設けられた、第２発光層を有する第２有機層と、
前記複数の第３画素電極の上面を覆うように設けられた、第３発光層を有する第３有機層と、
前記第１有機層乃至前記第３有機層、及び前記バンクを覆うように設けられた、対向電極と、を有し、
前記第１発光層は、第１波長を有する光を出射し、
前記第２発光層は、前記第１波長よりも長い第２波長を有する光を出射し、
前記第３発光層は、前記第２波長よりも長い第３波長を有する光を出射し、
前記第２有機層の膜厚は、前記第１有機層の膜厚より大きく、
前記第３有機層の総厚は、前記第２有機層の膜厚より大きく、
前記バンクが、前記第２画素電極の上面となす角は、前記バンクが、前記第１画素電極の上面となす角よりも大きく、
前記バンクが、前記第３画素電極の上面となす角は、前記バンクが、前記第２画素電極の上面となす角よりも大きいことを特徴とする、表示装置。
【請求項７】
前記第２画素電極の上面における前記バンクの開口端と、前記第２画素電極の端部との距離は、前記第１画素電極の上面における前記バンクの開口端と、前記第１画素電極の端部との距離よりも小さく、
前記第３画素電極の上面における前記バンクの開口端と、前記第３画素電極の端部との距離は、前記第２画素電極の上面における前記バンクの開口端と、前記第２画素電極の端部との距離よりも小さい、請求項６記載の表示装置。
【請求項８】
前記第１有機層と、前記第２有機層と、前記第３有機層とに亘って連続的に設けられた共通層を含むことを特徴とする、請求項６又は請求項７に記載の表示装置。
【請求項９】
前記複数の第１画素電極の一と、前記複数の第１画素電極の他の一とが隣接する領域において、前記バンクの側面と、前記複数の第１画素電極の一の上面とがなす角と、前記バンクの側面と、前記複数の第１画素電極の他の一の上面とがなす角とは等しいことを特徴とする、請求項６又は請求項７に記載の表示装置。
【請求項１０】
前記複数の第２画素電極の一と、前記複数の第２画素電極の他の一とが隣接する領域において、前記バンクの側面と、前記複数の第２画素電極の一の上面とがなす角と、前記バンクの側面と、前記複数の第２画素電極の他の一の上面とがなす角とは等しいことを特徴とする、請求項９に記載の表示装置。
【請求項１１】
前記複数の第３画素電極の一と、前記複数の第３画素電極の他の一とが隣接する領域において、前記バンクの側面と、前記複数の第３画素電極の一の上面とがなす角と、前記バンクの側面と、前記複数の第３画素電極の他の一の上面とがなす角とは等しいことを特徴とする、請求項１０に記載の表示装置。
【請求項１２】
前記共通層は、ホール注入層、ホール輸送層、ホールブロッキング層、電子注入層、電子輸送層、電子ブロッキング層のいずれか一を含む、請求項３又は請求項８に記載の表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造しやすく且つ高信頼性を有する表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器に用いられる表示装置として、液晶の電気光学効果を利用した液晶表示装置や、有機エレクトロルミネセンス（有機ＥＬ：Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子を用いた有機ＥＬ表示装置などが開発され、実用化されている。
【０００３】
特に、表示素子として有機ＥＬ素子を用いた場合、高い視野角と高精細な表示が可能であるという特徴を有する。特許文献１には、複数の発光色を呈する有機ＥＬ素子が設けられた表示装置が開示されている。上記複数の発光色を呈する有機ＥＬ素子は、陽極と陰極との間に発光色（例えば、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ））ごとに有機ＥＬ層の膜厚が異なる発光層を有する。それぞれの有機ＥＬ素子は、バンク（隔壁ということもできる）により隔てられている。有機ＥＬ素子は、発光色ごとに光路長が調整されることで、光の取り出し効率が向上する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２９４４２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
各画素における発光面積を大きくしようとすると、バンクの側面傾斜部は切り立った形状となる。その結果、有機ＥＬ層上の陰極が隣接するバンクの形状によって断線する恐れがある。そのため、従来はバンクの形状のうち側面傾斜部を緩やかにすることにより、陰極の段線が回避されていた。しかしながら、側面傾斜部を緩やかにした結果、バンクの総幅は大きくなるため、発光面積が小さくなり、有機ＥＬ素子の寿命が低減するおそれがある。
【０００６】
このような課題に鑑み、本発明は、表示素子の断線不良を防止しつつ、高信頼性を有する表示装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一実施形態によれば、互いに離間した、複数の第１画素電極及び複数の第２画素電極と、複数の第１画素電極及び複数の第２画素電極の端部、及びそれらの間を覆うと共に、複数の第１画素電極及び複数の第２画素電極の上面を露出するように開口を有するバンクと、複数の第１画素電極の上面を覆う、第１発光層を有する第１有機層と、複数の第２画素電極の上面を覆う、第２発光層を有する第２有機層と、第１有機層、第２有機層、及びバンクを覆う、対向電極と、を有し、第１発光層は、第１波長を有する光を出射し、第２発光層は、第１波長よりも長い第２波長を有する光を出射し、第２有機層の膜厚は、第１有機層の膜厚よりも大きく、バンクの第２側面と、第２画素電極の上面とがなす角は、バンクの第１側面と、第１画素電極の上面とがなす角よりも大きいことを特徴とする表示装置が、提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態に係る、表示装置の上面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る、表示装置の断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る、表示素子の拡大図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る、表示装置の断面図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る、表示素子の拡大図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図１３】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図１５】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図１６】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図１７】本発明の一実施形態に係る、表示装置の製造方法を示す断面図である。
【図１８】本発明の一実施形態に係る、表示装置の断面図である。
【図１９】本発明の一実施形態に係る、表示装置の断面図である。
【図２０】本発明の一実施形態に係る、表示装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本発明の各実施の形態について図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。
【００１０】
また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一または類似の符号（例えば、１ｘｘｘなど）を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。さらに各要素に対する「第１」、「第２」と付記された文字は、各要素を区別するために用いられる便宜的な標識であり、特段の説明がない限りそれ以上の意味を有さない。
【００１１】
また、本明細書において、ある部材又は領域が他の部材又は領域の「上に（又は下に）」あるとする場合、特段の限定がない限りこれは他の部材又は領域の直上（又は直下）にある場合のみでなく他の部材又は領域の上方（又は下方）にある場合を含み、すなわち、他の部材又は領域の上方（又は下方）において間に別の構成要素が含まれている場合も含む。なお、以下の説明では、特に断りのない限り、断面視においては、第１基板に対して表示素子が配置される側を「上」又は「表面」といい、その逆を「下」又は「裏面」として説明する。
【００１２】
また、本明細書において「αはＡ、Ｂ又はＣを含む」、「αはＡ，Ｂ及びＣのいずれかを含む」、「αはＡ，Ｂ及びＣからなる群から選択される一つを含む」、といった表現は、特に明示が無い限り、αはＡ〜Ｃの複数の組み合わせを含む場合を排除しない。さらに、これらの表現は、αが他の要素を含む場合も排除しない。
【００１３】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の実施形態に係る、表示装置１０の上面図を示す。
【００１４】
（１−１．表示装置の構成）
図１に、本発明の一実施形態に係る表示装置１０の上面図を示す。図１において、表示装置１０は、基板１００と、複数の表示素子１３０を有する表示部１０３と、表示部１０３を囲む周縁部１０４とを有する。周縁部１０４には、ソースドライバとしての機能を有する駆動回路１０６と、ゲートドライバとしての機能を有する駆動回路１０７と、フレキシブルプリント基板１０８とを有する。表示装置１０において、表示部１０３と、駆動回路１０６、駆動回路１０７、及びフレキシブルプリント基板１０８は、それぞれ電気的に接続される。駆動回路１０６及び駆動回路１０７は、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｌａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）等の集積回路で構成される。又は、基板１００上に直接素子を形成することによって駆動回路１０６、及び駆動回路１０７を設けても良い。表示装置１０において、フレキシブルプリント基板１０８を介して外部からの映像信号が入力されることにより駆動回路１０６及び駆動回路１０７が表示素子１３０を駆動させ、表示部１０３において静止画及び動画が表示される。表示素子１３０としては、有機ＥＬ素子が設けられる。なお、表示部１０３の長軸方向においては、同色を表示する表示素子１３０が配置される。
【００１５】
Ａ１−Ａ２間には、２つの表示素子１３０（第１表示素子１３０−１、第２表示素子１３０−２）が含まれる。例えば、第１表示素子１３０−１には、青色または緑を発光する有機ＥＬ素子が配置される。このとき、第１表示素子１３０−１−１および第１表示素子１３０−１−１の長軸方向に沿って配置された第１表示素子１３０−１−２には、青色または緑の同色の有機ＥＬ素子が配置される。同様にして、第２表示素子１３０−２には、赤色を発光する有機ＥＬ素子が配置される。このとき、第２表示素子１３０−２−１および第２表示素子１３０−２−２には、赤色の有機ＥＬ素子が配置される。
【００１６】
（１−２．表示素子の構成）
次に、表示部１０３のＡ１−Ａ２間の断面図を図２に示す。図２に示すように、表示素子１３０は、画素電極１５３、有機層１５５及び対向電極１６０を含む。なお、第１表示素子１３０−１と第２表示素子１３０−２とで、画素電極１５３および有機層１５５が別々に設けられる。そのため、第１表示素子１３０−１には、第１画素電極１５３−１および第１有機層１５５−１が設けられ、第２表示素子１３０−２には、第２画素電極１５３−２および第２有機層１５５−２が設けられる。また、表示素子１３０は、有機層１５５で発光した光を対向電極１６０側に放射する、いわゆるトップエミッション型の構造を有する。また、表示装置１０は、表示素子１３０のほか、半導体層、配線層、絶縁層を含む薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）層１５０、バンク１５９、封止層１６１、充填材１８０及び基板１０１を含む。
【００１７】
画素電極１５３は、ＴＦＴ層１５０上に設けられる。画素電極１５３は、画素を駆動させる電極としての機能を有し、さらに光を反射させる性質を有することが好ましい。例えば画素電極１５３には、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、等の光反射性の金属材料が用いられてもよい。また、画素電極１５３は、正孔注入性に優れるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ：酸化インジウムスズ）やＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｚｉｎｃ  Ｏｘｉｄｅ：酸化インジウム亜鉛）が含まれる透明導電層と、光反射性の金属層とが積層された構造を有してもよい。なお、第１表示素子１３０−１の第１画素電極１５３−１と、第２表示素子１３０−２の第２画素電極１５３−２とは、互いに離間する。また、図２では特に図示していないが、画素電極１５３は、適宜ＴＦＴ層１５０のドレイン電極と接続される。
【００１８】
バンク１５９は、第１画素電極１５３−１及び第２画素電極１５３−２の端部及びそれらの間の領域を覆う。また、バンク１５９は、第１画素電極１５３−１及び第２画素電極１５３−２の上面を露出するように開口１５４（第１開口１５４−１、第２開口１５４−２）を有する。バンク１５９には、有機樹脂材料が用いられる。例えば、バンク１５９には、アクリルやポリイミドなどが用いられる。また、バンク１５９の膜厚は、１μｍ以上１０μｍ未満の範囲で適宜設定される。
【００１９】
有機層１５５は、バンク１５９及び画素電極１５３の上面を覆う。第１表示素子１３０−１の場合、第１有機層１５５−１は、第１画素電極１５３の上面（第１開口１５４−１に相当する）を覆う。第２表示素子１３０−２の場合、第２有機層１５５−２は、第２画素電極１５３−２の上面を覆う。また、有機層１５５は、表示素子１３０ごとにバンク１５９により隔てられた領域に選択的に形成されている。有機層１５５には、有機エレクトロルミネセンス材料などを含む発光層１５７（図３にて記載）が含まれる。第１有機層１５５−１は、第１発光層１５７−１を有する。第１発光層１５７−１は、第１波長を有する光を出射する。第２有機層１５５−２は、第２発光層１５７−２を有する。第２発光層１５７−２は、第２波長を有する光を出射する。
【００２０】
対向電極１６０は、第１有機層１５５−１、第２有機層１５５−２及びバンク１５９を覆う。対向電極１６０は、表示素子１３０の陰極としての機能を有する。対向電極１６０は、有機層１５５で発光した光を一部反射させ、一部は透過させる機能を有する。対向電極１６０には、銀（Ａｇ）とマグネシウム（Ｍｇ）との合金の薄膜が用いられる。なお、対向電極１６０は、定電位を有する電源線と接続される。
【００２１】
以下において、第１表示素子１３０−１と、第２表示素子１３０−２とを比較する。図３に第１表示素子１３０−１及び第２表示素子１３０−２の拡大図を示す図を示す。
【００２２】
第２発光層１５７−２より出射される第２波長は、第１発光層１５７−１より出射される第１波長よりも大きい。また、第２有機層１５５−２の膜厚は、第１有機層１５５−１の膜厚よりも大きい。
【００２３】
図３に示すように、第１有機層１５５−１は、第１発光層１５７−１のほか、ホール注入層１５６−１ａ、ホール輸送層１５６−１ｂ、ホールブロッキング層１５６−１ｃのうち少なくとも１つ以上を含んでもよい。また、有機層１５５−１は、電子注入層１５８−１ａ、電子輸送層１５８−１ｂ、電子ブロッキング層１５８−１ｃのうち少なくとも１つ以上を含んでもよい。同様にして、第２有機層１５５−２は、第２発光層１５７−２のほか、ホール注入層１５６−２ａ、ホール輸送層１５６−２ｂ、ホールブロッキング層１５６−２ｃのうち少なくとも１つ以上を含んでもよい。また、第２有機層１５５−２は、電子注入層１５８−２ａ、電子輸送層１５８−２ｂ、電子ブロッキング層１５８−２ｃのうち少なくとも１つ以上を含んでもよい。
【００２４】
第２有機層１５５−２に含まれた第２ホール注入層１５６−２ａ、第２ホール輸送層１５６−２ｂ及び第２ホールブロッキング層１５６−２ｃのうち少なくとも一以上の膜厚は、第１有機層１５５−１に含まれた第１ホール注入層１５６−１ａ、第１ホール輸送層１５６−１ｂ及び第１ホールブロッキング層１５６−１ｃのうち少なくとも一以上の膜厚に比べて大きい。このとき、第２有機層１５５−２の膜厚は、第１有機層１５５−１に比べて大きいといえる。なお、第２電子注入層１５８−２ａ、第２電子輸送層１５８−２ｂ及び第２電子ブロッキング層１５８−２ｃの少なくとも一以上の膜厚は、第１電子注入層１５８−１ａ、第１電子輸送層１５８−１ｂ及び第１電子ブロッキング層１５８−１ｃの少なくとも一以上の膜厚に比べて大きくてもよい。
【００２５】
上記のように、異なる波長それぞれに対して有機層１５５の膜厚を変えることで、画素電極１５３、有機層１５５及び対向電極１６０における光の干渉効果が最適化される。具体的には、発光波長ごとに、最適な光路長があり、画素電極１５３との対向電極１６０との間で一部の光を反射させながら、他の光は対向電極１６０側を透過して出射されることで、ある特定の波長の光をより強める効果が得られる。このような現象をマイクロキャビティ効果という。
【００２６】
また、図２に示すように、第１表示素子１３０−１において、バンク１５９は第１側面１５９−１ｂを有する。なお、断面視において、第１側面１５９−１ｂ及び第１画素電極１５３−１の上面１５３−１ａがなす角を第１テーパー角１５９−１ｔとする。同様に、第２表示素子１３０−２において、バンク１５９は第２側面１５９−２ｂを有する。この時、断面視において、第２側面１５９−２ｂ及び第２画素電極１５３−２の上面１５３−２ａがなす角を第２テーパー角１５９−２ｔとする。この場合、第２テーパー角１５９−２ｔは、第１テーパー角１５９−１ｔに比べて大きい。
【００２７】
なお、バンク１５９の側面は直線形状にならずに、曲面形状となる場合がある。また、バンクの側壁部は、下部においてより小さいテーパー角を有する部分がある。そのため、バンク１５９のテーパー角は、バンク１５９の側面において上面及び下面の中間付近に相当する部分との接線と、画素電極の上面とがなす角を用いてもよい。
【００２８】
また、バンク１５９は、第１画素電極１５３−１の上面において、第１開口１５４−１を有する。第１開口端部１５９−１ａと、第１画素電極端部１５３−１ｂとの距離を第１距離１５３−１ｃとする。同様に、バンク１５９は、第２画素電極１５３−２の上面において、第２開口１５４−２を有する。第２開口端部１５９−２ａと、第２画素電極端部１５３−２ｂとの距離を第２距離１５３−２ｃとする。このとき、第２距離１５３−２ｃは、第１距離１５３−１ｃよりも小さい。
【００２９】
なお、図１に示したように第１表示素子１３０−１は、表示部１０３において、長軸方向に沿って複数設けられる。この時、第１表示素子１３０−１−１および第１表示素子１３０−１−２は、バンク１５９の形状、有機層１５５の膜厚などにおいて同様の構造を有する。つまり、隣接する領域に設けられた２つの第１表示素子１３０−１において、第１表示素子１３０−１の一（第１表示素子１３０−１−１）は、複数の第１画素電極１５３−１の一を含むといえる。同様に、第１表示素子１３０−１の他の一（第１表示素子１３０−１−２）は、第１画素電極１５３−１の他の一を含むといえる。上記領域において、バンク１５９の側面と、複数の第１画素電極１５３−１の一の上面とがなす角と、バンク１５９の側面と、複数の第１画素電極１５３−１の他の一の上面とがなす角とは等しい。これは、第２表示素子１３０−２においても同様である。
【００３０】
上記構造において、それぞれの色を発光する表示素子１３０は、最適なバンク１５９の形状、最適な有機層１５５の膜厚を有する。つまり、有機層１５５の膜厚が薄い第１表示素子１３０−１では、バンク１５９のテーパー角が小さい。一方、有機層１５５の膜厚が大きい第２表示素子１３０−２では、バンク１５９のテーパー角が大きい。また、有機層１５５の膜厚とバンク１５９のテーパー角には以下のような関係がある。波長が長い光を出射する表示素子１３０においては、有機層１５５の膜厚が大きく、バンク１５９のテーパー角が大きい。波長が短い光を出射する表示素子１３０においては、有機層１５５の膜厚が小さく、バンク１５９のテーパー角が小さい。これにより、対向電極１６０のバンク１５９の側面における被覆率が高められ、表示部１０３全域において有機層１５５上に設けられる対向電極１６０の断線が防止される。また、第２表示素子１３０−２では、バンク１５９のテーパー角を最大限高めることができるため、隣接する表示素子１３０間のバンク１５９の上面を広くすることができる。これにより、異なる有機材料が蒸着される時も、バンク１５９の上面に蒸着されるにとどまるため、第２表示素子１３０−２に不要な有機材料が混入することが防止される。また、第２表示素子１３０−２では、バンク１５９のテーパー角を最大限高めることができることにより、発光領域を広げることができる。これにより、電流印加による第２有機層１５５−２の劣化が抑えられ、表示素子の寿命を長くすることができる。なお、断線せずに発光面積を確保できるバンク１５９のテーパー角は、３０度以上７０度未満で適宜設定してもよい。
【００３１】
（１−３．表示装置の製造方法）
次に、表示装置の製造方法を図４乃至図９に示す。まず、図４に示すように、ＴＦＴ層１５０の平坦化された表面上に、画素電極１５３（第１画素電極１５３−１及び第２画素電極１５３−２）を形成する。画素電極１５３は、スパッタリング法、真空蒸着法、メッキ法などにより形成される。また、画素電極１５３は、適宜フォトリソグラフィ法、ナノインプリンティング法、インクジェット法、エッチング法などにより、所定の形状に加工される。なお、図示しないが、画素電極１５３は、ＴＦＴから延びる配線と適宜接続される。
【００３２】
次に、図５に示すようにバンク１５９となる有機膜１７０を形成する。有機膜１７０は、スピンコーティング法、インクジェット法、ラミネート法、ディップコーティング法等により形成される。有機膜１７０には、有機樹脂材料が用いられる。例えば、有機膜１７０には、アクリルやポリイミドなどが用いられる。有機膜１７０には、感光性材料が含まれてもよい。
【００３３】
有機膜１７０は、フォトリソグラフィ法により加工される。なお、有機膜１７０を加工する際、図６に示すように、ハーフトーンマスク２００を用いて露光処理が行われてもよい。ハーフトーンマスク２００は、透過部２０１、遮光部２０３及び半透過部２０５を有する。ハーフトーンマスク２００において、第１画素電極１５３−１の端部に対向する部分には半透過部２０５−１が設けられる。同様に、第２画素電極１５３−２の端部に対向する部分には半透過部２０５−２が設けられる。第２半透過部２０５−２の幅は、第１半透過部２０５−１の幅に比べて小さい。
【００３４】
ハーフトーンマスク２００を用いて露光処理後、現像処理することにより、図７に示すように、バンク１５９が形成される。バンク１５９は、第１画素電極１５３−１上において、テーパー角１５９−１ｔを有する。また、バンク１５９は、第２画素電極１５３−２上において、テーパー角１５９−２ｔを有する。
【００３５】
次に、図８に示すように、有機層１５５（第１有機層１５５−１、第２有機層１５５−２）を形成する。有機層１５５は、真空蒸着法、塗布法またはインクジェット法により形成される。第１有機層１５５−１及び第２有機層１５５−２は、それぞれ別々に形成される。例えば、真空蒸着法により形成する場合、シャドーマスクが用いられる。
【００３６】
次に、図９に示すように、バンク１５９及び有機層１５５上に対向電極１６０を形成する。対向電極１６０は、スパッタリング法又は物理蒸着法により形成される。対向電極１６０には、半透過性の金属材料が用いられる。例えば、対向電極１６０には、銀及びマグネシウムの合金が用いられる。以上により、表示素子１３０（第１表示素子１３０−１、第２表示素子１３０−２）が形成される。さらに、封止層１６１、充填材１８０、基板１０１を設けられることにより、表示装置１０が製造される。
【００３７】
＜第２実施形態＞
（２−１．表示素子の構成）
異なる３つの表示素子がある場合について、以下に説明する。なお、第１実施形態で用いた構造及び方法は、本実施形態でも援用することができる。また、第１実施形態と区別するため、表示素子１１３０を用いて説明する。
【００３８】
表示部１１０３のＡ１−Ａ２間の断面図を図１０に示す。図１０に示すように、Ａ１−Ａ２間には、３つの表示素子１１３０（第１表示素子１１３０−１、第２表示素子１１３０−２及び第３表示素子１１３０−３）が含まれる。複数の第１表示素子１１３０−１は、青色を発光する発光素子である。第２表示素子１１３０−２は、緑色を発光する発光素子である。第３表示素子１１３０−３は、赤色を発光する発光素子である。表示素子１１３０は、画素電極１１５３、有機層１１５５、対向電極１１６０を含む。
【００３９】
画素電極１１５３は、薄膜トランジスタを含むＴＦＴ層１１５０上に設けられる。なお、第１表示素子１１３０−１の第１画素電極１１５３−１と、第２表示素子１１３０−２の第２画素電極１１５３−２と、第２表示素子１１３０−３の第３画素電極１１５３−３とは、互いに離間する。なお、画素電極１１５３は、定電位を有する電源線と接続される。
【００４０】
バンク１１５９は、ＴＦＴ層１１５０及び画素電極１１５３上に設けられる。またバンク１１５９は、第１画素電極１１５３−１、第２画素電極１１５３−２及び第３画素電極１１５３−３の端部及びそれらの間の領域を覆う。また、バンク１１５９は、第１画素電極１１５３−１、第２画素電極１１５３−２及び第３画素電極１１５３−３の上面を露出するように開口１１５４（第１開口１１５４−１、第２開口１１５４−２及び第３開口１１５４−３）を有する。
【００４１】
有機層１１５５は、バンク１１５９及び画素電極１１５３の上面を覆う。第１表示素子１１３０−１であれば、第１有機層１１５５−１は、第１画素電極１１５３の上面（第１開口１１５４−１に相当する）を覆う。第２表示素子１１３０−２であれば、第２有機層１１５５−２は、第２画素電極１１５３−２の上面を覆う。第３表示素子１１３０−３であれば、第３有機層１１５５−３は、第３画素電極１１５３−３の上面を覆う。また、有機層１１５５は、表示素子１１３０ごとにバンク１１５９により隔てられている。第１有機層１１５５−１は、図１１において示されるように、第１発光層１１５７−１を有する。第１発光層１１５７−１は、第１波長を有する光を出射する。第２有機層１１５５−２は、図１１において示されるように、第２発光層１１５７−２を有する。第２発光層１１５７−２は、第２波長を有する光を出射する。第３有機層１１５５−３は、図１１において示されるように、第３発光層１１５７−３を有する。第３発光層１１５７−３は、第３波長を有する光を出射する。
【００４２】
対向電極１１６０は、第１有機層１１５５−１、第２有機層１１５５−２、第３有機層１１５５−３及びバンク１１５９を覆う。
【００４３】
以下において、第１表示素子１１３０−１と、第２表示素子１１３０−２と、第３表示素子１１３０−３とを比較する。図１１に第１表示素子１１３０−１、第２表示素子１１３０−２及び第３表示素子１１３０−３の拡大図を示す。
【００４４】
第２発光層１１５７−２より出射される第２波長は、第１発光層１１５７−１より出射される第１波長よりも大きい。第３発光層１１５７−３より出射される第３波長は、第１発光層１１５７−２より出射される第２波長よりも大きい。また、第２有機層１１５５−２の膜厚は、第１有機層１１５５−１の膜厚よりも大きい。また、第３有機層１１５５−３の膜厚は、第２有機層１１５５−２の膜厚よりも大きい。
【００４５】
図１１に示すように、有機層１１５５は、発光層１１５７のほか、ホール注入層１１５６ａ、ホール輸送層１１５６ｂ、ホールブロッキング層１１５６ｃのうち少なくとも１つ以上を含んでもよい。また、有機層１１５５は、電子注入層１１５８ａ、電子輸送層１１５８ｂ、電子ブロッキング層１１５８ｃのうち少なくとも１つ以上を含んでもよい。
【００４６】
また、図１０に示すように、第１表示素子１１３０−１において、バンク１１５９は第１側面１１５９−１ｂを有する。第１側面１１５９−１ｂ及び第１画素電極１１５３−１の上面１１５３−１ａがなす角を第１テーパー角１１５９−１ｔとする。同様に、第２表示素子１１３０−２において、バンク１１５９は第２側面１１５９−２ｂを有する。第２側面１１５９−２ｂ及び第２画素電極１１５３−２の上面１１５３−２ａがなす角を第２テーパー角１１５９−２ｔとする。同様に、第３表示素子１１３０−３において、バンク１１５９は第３側面１１５９−３ｂを有する。第３側面１１５９−３ｂ及び第３画素電極１１５３−３の上面１１５３−３ａがなす角を第３テーパー角１１５９−３ｔとする。この時、第２テーパー角１１５９−２ｔは、第１テーパー角１１５９−１ｔに比べて大きい。また、第３テーパー角１１５９−３ｔは、第２テーパー角１１５９−２ｔに比べて大きい。
【００４７】
なお、バンク１１５９の側面は直線形状にならずに、曲面形状となる場合がある。また、バンクの側壁部は、下部においてより小さいテーパー角を有する部分がある。そのため、バンク１１５９のテーパー角は、バンク１１５９の側面において上面及び下面の中間付近に相当する部分との接線と、画素電極の上面とがなす角を用いてもよい。
【００４８】
また、バンク１１５９は、第１画素電極１１５３−１の上面において、第１開口１１５４−１を有する。第１開口端部１１５９−１ａと、第１画素電極端部１１５３−１ｂとの距離を第１距離１１５３−１ｃとする。同様に、バンク１１５９は、第２画素電極１１５３−２の上面において、第２開口１１５４−２を有する。第２開口端部１１５９−２ａと、第２画素電極端部１１５３−２ｂとの距離を第２距離１１５３−２ｃとする。同様に、バンク１１５９は、第３画素電極１１５３−３の上面において、第３開口１１５４−３を有する。第３開口端部１１５９−３ａと、第３画素電極端部１１５３−３ｂとの距離を第３距離１１５３−３ｃとする。このとき、第２距離１１５３−２ｃは、第１距離１１５３−１ｃよりも小さい。また、第３距離１１５３−３ｃは、第２距離１１５３−２ｃよりも小さい。
【００４９】
上記構造において、それぞれの色を発光する表示素子１１３０は、最適なバンク１１５９の形状、最適な有機層１１５５の膜厚を有する。つまり、有機層１１５５の膜厚が薄い第１表示素子１１３０−１では、バンク１１５９のテーパー角が最も小さい。一方、有機層１１５５の膜厚が大きい第３表示素子１１３０−３では、バンク１１５９のテーパー角が最も大きい。第２表示素子１１３０−２では、バンク１１５９のテーパー角及び有機層１１５５の膜厚が第１表示素子１１３０−１および第３表示素子１１３０−３の中間である。これにより、対向電極１１６０のバンク１１５９の側面における被覆率が高められ、それぞれの表示素子１１３０において対向電極１１６０の断線が抑えられる。また、第３表示素子１１３０−３では、発光面積を大きくすることもできるため、第３有機層１１５５−３の劣化を抑えることができる。また、第３表示素子１１３０−３では、バンク１１５９のテーパー角を最大限大きくすることができるので、隣接する表示素子１１３０間のバンク１１５９の上面を広くすることができる。これにより、異なる有機材料が蒸着される時も、バンク１１５９の上面に蒸着されるにとどまるため、第２表示素子１１３０−２に不要な有機材料が混入することが防止される。
【００５０】
なお、図示しないが、第１表示素子１１３０−１は、表示部１０３において、長軸方向に沿って複数設けられる。この時、隣接する領域に設けられた２つの第１表示素子１１３０−１において、第１表示素子１１３０−１の一は、複数の第１画素電極１１５３−１の一を含む。同様に、第１表示素子１１３０−１の他の一は、第１画素電極１５３−１の他の一を含む。上記領域において、バンク１１５９の側面と、複数の第１画素電極１１５３−１の一の上面とがなす角と、バンク１１５９の側面と、複数の第１画素電極１１５３−１の他の一の上面とがなす角とは等しい。これは、第２表示素子１１３０−２および第３表示素子１１３０−３においても同様である。
【００５１】
（２−２．表示装置の製造方法）
次に、表示装置、特に表示素子１１３０の製造方法を図１２乃至図１７に示す。
【００５２】
まず、図１２に示すように、平坦なＴＦＴ層１１５０上に、画素電極１１５３（第１画素電極１１５３−１、第２画素電極１１５３−２及び第３画素電極１１５３−３）を形成する。
【００５３】
次に、図１３に示すようにバンク１１５９となる有機膜１１７０を形成する。
【００５４】
有機膜１１７０をフォトリソグラフィ法により加工する。図１４に示すように、フォトリソグラフィ法において、ハーフトーンマスク１２００が用いられる。ハーフトーンマスク１２００において、第１画素電極１１５３−１の端部に対向する部分には半透過部１２０５−１が設けられる。同様に、第２画素電極１１５３−２の端部に対向する部分には半透過部１２０５−２が設けられる。同様に、第３画素電極１１５３−３の端部に対向する部分には半透過部１２０５−３が設けられる。第２半透過部１２０５−２の幅は、第１半透過部１２０５−１の幅に比べて小さい。また、第３半透過部１２０５−３の幅は、第２半透過部１２０５−２の幅に比べて小さい。
【００５５】
ハーフトーンマスク１２００を用いて露光処理後、現像処理することにより、図１５に示すように、バンク１１５９が形成される。バンク１１５９は、第１画素電極１１５３−１上において、テーパー角１１５９−１ｔを有する。また、バンク１１５９は、第２画素電極１１５３−２上において、テーパー角１１５９−２ｔを有する。また、バンク１１５９は、第３画素電極１１５３−３上において、テーパー角１１５９−３ｔを有する。
【００５６】
次に、図１６に示すように、有機層１１５５（第１有機層１１５５−１、第２有機層１１５５−２、第３有機層１１５５−３）を形成する。第１有機層１１５５−１、第２有機層１１５５−２及び第３有機層１１５５−３は、それぞれ別々に形成される。
【００５７】
次に、図１７に示すように、バンク１１５９、第１有機層１１５５−１、第２有機層１１５５−２及び第３有機層１１５５−３上に対向電極１１６０を形成する。以上により、表示素子１１３０が製造される。
【００５８】
＜変形例＞
本発明の第１実施形態では、第１有機層１５５−１と、第２有機層１５５−２とが別々に形成される例を示したが、第１有機層１５５−１と、第２有機層１５５−２において、同一材料が用いられる場合、図１８において示される共通層１６２が第１有機層１５５−１と、第２有機層１５５−２に亘って連続的に設けられてもよい。共通層１６２は、ホール注入層、ホール輸送層、ホールブロッキング層、電子注入層、電子輸送層、電子ブロッキング層のいずれか一を含んでもよい。例えば、図１８に示すように、ホール注入層１５６−１ａ、ホール輸送層１５６−１ｂ、ホールブロッキング層１５６−１ｃのうち少なくとも１つ以上を含む第１層１５６−１及び第１発光層１５７−１と、ホール注入層１５６−２ａ、ホール輸送層１５６−２ｂ、ホールブロッキング層１５６−２ｃのうち少なくとも１つ以上を含む第２層１５６−２及び第２発光層１５７−２とは、それぞれ別々に設けられる。一方、第１発光層１５７−１と、第２発光層１５７−２とに亘って、電子注入層、電子輸送層、電子ブロッキング層のいずれか一以上を含む共通層１６２が設けられる。
【００５９】
同様に、図１９において示される第１共通層１１６２−１および第２共通層１１６２−２が、第１発光層１１５７−１と、第２発光層１１５７−２と、第３発光層１１５７−３とに亘って連続的に設けられてもよい。図１９に示すように、第１発光層１１５７−１、第２発光層１１５７−２及び第３発光層１１５７−３は、別々に設けられる。一方、第１発光層１１５７−１と、第２発光層１１５７−２とに亘って、ホール注入層１１５６ａ、ホール輸送層１１５６ｂおよびホールブロッキング層１１５６ｃのうち少なくとも１つ以上を含む共通層１１６２−１及び電子注入層１１５８ａ、電子輸送層１１５８ｂ、電子ブロッキング層１１５８ｃのいずれか一以上を含む共通層１１６２−２が設けられる。上記構造を有することにより、製造工程が簡略化される。これにより、製造コストを低減することができる。また、製造工程が簡略化されることにより、スループットが向上する、または製品の歩留まりが向上する。
【００６０】
また、本発明の第２実施形態では、３つの表示素子において異なる膜厚を有する有機層の例を示したが、図２０に示すように、第１有機層１１５５−１の膜厚と、第２有機層１１５５−２の膜厚とが同じであってもよい。このとき、第３有機層１１５５−３の膜厚は、第２有機層１１５５−２の膜厚よりも大きい。これにより、３つの表示素子で必ずしも有機層１１５５の膜厚を変える必要がない場合には、２つの表示素子１１３０を同時に形成することができるため、製造工程が簡略化される。これにより、製造コストを低減することができる。また、製造工程が簡略化されることにより、スループットが向上する、または製品の歩留まりが向上する。
【００６１】
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。例えば、前述の各実施形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除若しくは設計変更を行ったもの、又は、工程の追加、省略若しくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００６２】
１０・・・表示装置、１００・・・基板、１０１・・・基板、１０３・・・表示部、１０４・・・周縁部、１０６・・・駆動回路、１０７・・・駆動回路、１０８・・・フレキシブルプリント基板、１３０・・・表示素子、１５３・・・画素電極、１５５・・・有機層、１５７・・・発光層、１５９・・・バンク、１６０・・・対向電極、１６１・・・封止層、１６２・・・共通層、１７０・・・有機膜、１８０・・・充填材、２００・・・ハーフトーンマスク、２０１・・・透過部、２０３・・・遮光部、２０５・・・半透過部
【図１】
2018116829.tif 000003
【図２】
2018116829.tif 000004
【図３】
2018116829.tif 000005
【図４】
2018116829.tif 000006
【図５】
2018116829.tif 000007
【図６】
2018116829.tif 000008
【図７】
2018116829.tif 000009
【図８】
2018116829.tif 000010
【図９】
2018116829.tif 000011
【図１０】
2018116829.tif 000012
【図１１】
2018116829.tif 000013
【図１２】
2018116829.tif 000014
【図１３】
2018116829.tif 000015
【図１４】
2018116829.tif 000016
【図１５】
2018116829.tif 000017
【図１６】
2018116829.tif 000018
【図１７】
2018116829.tif 000019
【図１８】
2018116829.tif 000020
【図１９】
2018116829.tif 000021
【図２０】
2018116829.tif 000022