(57)【要約】      （修正有）【課題】放熱対策や電磁波ノイズ対策用の部材等を配置した場合でも、スペース効率が悪化せず、光ファイバの配線エリアが制限を受けない光ファイバ配線シートを提供する。【解決手段】光ファイバ３が配線された光ファイバ層と、光ファイバ層の片面あるいは両面に設けられた基材層４とを備えた光ファイバ配線シート２００（ａ，ｂ，ｃ，ｄ）であって、基材の少なくとも一つが伝熱路及び／又は電磁波遮蔽部材である光ファイバ配線シート。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバが配線された光ファイバ層と、
前記光ファイバ層の片面あるいは両面に設けられた基材層とを備えた光ファイバ配線シートであって、
前記基材の少なくとも一つが伝熱路及び／又は電磁波遮蔽部材であることを特徴とする光ファイバ配線シート。
【請求項２】
前記光ファイバは接着剤により固定されていることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ配線シート。
【請求項３】
前記光ファイバ配線シートは、サーキットボード上に設置されることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ配線シート。
【請求項４】
前記伝熱路が、少なくともサーキットボードに設置された発熱を伴う素子部から、冷却手段まで形成されていることを特徴とする請求項３に記載の光ファイバ配線シート。
【請求項５】
前記電磁波遮蔽部材が、少なくともサーキットボードに設置された電磁波発生源となる素子部上に形成されていることを特徴とする請求項３に記載の光ファイバ配線シート。
【請求項６】
前記伝熱路が、銅箔、銅繊維不織布、銅繊維織布から成ることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ配線シート。
【請求項７】
前記電磁波遮蔽部材が、ステンレス箔、ステンレス繊維不織布、ステンレス繊維織布から成ることを特徴とする請求項１に記載の光ファイバ配線シート。
【請求項８】
請求項１に記載の光ファイバ配線シートを具備するサーキットボード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、データセンタのネットワーク機器、光素子、光回路パッケージ、光回路装置等の光通信、光情報処理、オンボード接続等に用いられる光素子、部品、装置間を相互に接続するための光ファイバ配線シート及びそれを用いたサーキットボードに関する。
【背景技術】
【０００２】
通信量の大容量化に伴う電力消費量削減や発熱対策として、電気通信から光通信への移行が進みつつあり、電気回路と光通信回路とが組み合わされる場面が多く見られるようになっている。そのような中で、光ファイバをＩＮとＯＵＴの配線を規定してシート状に配線した光ファイバ配線シートが用いられ、各種提案がなされている。
【０００３】
一方、光ファイバの冷却を目的とした検討も成されている。特許文献１には、導電性フィラーを含有する熱導電性成形体に光ファイバを保持させた保持構造が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２３７５７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
光ファイバ配線シートは、光ファイバのシャッフル（配列変換部）配線部分を平面シート（基材）で固定したものである。電気回路基板の一部を光通信回路に置き換える構造においては、光ファイバ配線シートが電気回路配線と共存することとなる。このような構成では、電気回路素子で発生する熱が光ファイバ配線シートに伝わることとなる。その熱による光ファイバのへの影響により光通信速度が低下する恐れが発生するだけでなく、光ファイバ配線シートが電気回路基板上に設置されることにより電気回路基板より発生する熱の放熱の妨げとなる恐れも高くなる。
【０００６】
この対策として、放熱対策や電磁波ノイズ対策用の部材等を配置させることによる対策を取ると、光ファイバ配線シートと放熱・電磁波対策部材の両方を配置することとなり、スペース効率が悪化すると供に、光ファイバの配線エリアが制限を受ける場合があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題に鑑み、本発明者らが鋭意検討を重ねた結果、伝熱路及び／又は電磁波遮蔽部材を具備する光ファイバ配線シートとすることで、電気回路素子から発生する熱を伝熱路を介して逃がし、光ファイバ配線シートの特定部分に熱が集中した状態を避けることで光通信速度を安定させやすい光ファイバ配線シートを見出した。そして、電磁波遮蔽部材を具備した場合には、電気回路素子等より発生する電磁波が外に漏れることを抑えることができるようになった。
【０００８】
すなわち、本発明１は、光ファイバが配線された光ファイバ層と、光ファイバ層の片面あるいは両面に設けられた基材層とを備えた光ファイバ配線シートであって、基材の少なくとも一つが伝熱路及び／又は電磁波遮蔽部材であることを特徴とする光ファイバ配線シートである。
【０００９】
本発明２は、前記光ファイバは接着剤により固定されていることを特徴とする前記発明１の光ファイバ配線シートである。
【００１０】
本発明３は、前記光ファイバ配線シートは、サーキットボード上に設置されることを特徴とする前記発明１に記載の光ファイバ配線シートである。
【００１１】
本発明４は、前記伝熱路が、少なくともサーキットボードに設置された発熱を伴う素子部から、冷却手段まで形成されていることを特徴とする本発明３に記載の光ファイバ配線シートである。
【００１２】
本発明５は、前記電磁波遮蔽部材が、少なくともサーキットボードに設置された電磁波発生源となる素子部上に形成されていることを特徴とする前記発明３に記載の光ファイバ配線シートである。
【００１３】
本発明６は、前記伝熱路が、銅箔、銅繊維不織布、銅繊維織布から成ることを特徴とする前記発明１に記載の光ファイバ配線シートである。
【００１４】
本発明７は、前記電磁波遮蔽部材が、ステンレス箔、ステンレス繊維不織布、ステンレス繊維織布から成ることを特徴とする前記発明１に記載の光ファイバ配線シートである。
【００１５】
本発明８は、前記発明１に記載した光ファイバ配線シートを具備するサーキットボードである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の光ファイバ配線シートを用いることにより、多数本の光ファイバ配線を効率的に行いつつも、熱対策、電磁波対策等を合わせて実施することが可能となる。また、光ファイバ配線シートを多機能化することにより、システム全体の省スペース化にも寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】サーキットボードの一例を示す概略図である。
【図２】本発明の第一実施形態の光ファイバ配線シートがサーキットボード上に配置された態様の一例を示す概略図である。
【図３】本発明の伝熱機能を有する第一実施形態の光ファイバ配線シートの断面を示す概略図である。
【図４】本発明の第二実施形態の光ファイバ配線シートがサーキットボード上に配置された態様の一例を示す概略図である。
【図５】本発明の電磁波遮蔽機能を有する第二実施形態の光ファイバ配線シートの断面を示す概略図である。
【図６】本発明の伝熱機能および電磁波遮蔽機能を有する第三実施形態の光ファイバ配線シートの断面を示す概略図である。
【図７】本発明に用いられる光ファイバの一例であるテープ心線の束を示す部分透視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の光ファイバ配線シートを説明するが、本発明の光ファイバ配線シートはこれら実施形態例に限られない。
【００１９】
図１は、本発明の光ファイバ配線シートを適用することができるサーキットボード１００の一例を示す概略図である。サーキットボード１００上には、例えばメモリ１、ＩＣ２等が配置され、また、電気回路からの信号を光通信回路への信号として出力するレーザーダイオード５、光通信回路からの信号をサーキットボード１００に入力するフォトディテクター６が配置されている。この他に、熱伝導性の良い金属からなるヒートシンク７や、ファン等の冷却手段８等が設けられている。
【００２０】
該略図中にあるメモリ１やＩＣ２等の電気回路素子は、回路の高集積化、データ容量の増加等によって、より発熱しやすくなったり、電磁波障害を生ずる恐れが増加したりしている。
【００２１】
本発明に係る基材とは、光ファイバを支持する部材を指し、特に限定されるものではない。具体的には、後述する光ファイバ配線基材シート、伝熱路、電磁波遮蔽部材等が基材に相当する。
【００２２】
（第一実施形態：伝熱路）
図２は、本発明の伝熱機能を有する光ファイバ配線シート２００（２００ａ〜２００ｄ）がサーキットボード上に配置された態様の一例を示す概略図である。図３は、本発明の伝熱機能を有する第一実施形態の光ファイバ配線シートの例２００ａ〜２００ｄを示す断面図である。
【００２３】
第一実施形態の一例である図３（ａ）の光ファイバ配線シート２００ａは、基材としても機能する伝熱シート４と、この上に設けられた光ファイバ層から構成されており、光ファイバ層は、接着剤１０と、接着剤中に埋設された光ファイバ３とで構成されている。すなわち、光ファイバ３は、伝熱シート４上に固定されて配線されている。
【００２４】
変更例である図３（ｂ）の光ファイバ配線シート２００ｂは、基材として機能する光ファイバ配線基材シート９と、この表面に設けられた光ファイバ層と、伝熱シート４から構成されており、光ファイバ層は、接着剤１０と、接着剤中に埋設された光ファイバ３とで構成されている。すなわち、光ファイバ３は、光ファイバ配線基材シート９と伝熱シート４との間に固定されて配線されている。
【００２５】
変更例である図３（ｃ）の光ファイバ配線シート２００ｃは、伝熱シート４と、この上に設けられた光ファイバ３から構成されており、光ファイバ３は、光ファイバ３は、伝熱シート４上に図示しない接着剤や粘着剤で固定されて配線されている。
【００２６】
変更例である図３（ｄ）の光ファイバ配線シート２００ｄは、光ファイバ配線基材シート９と、伝熱シート４とこれらの間に設けられた光ファイバ３とから構成されており、光ファイバ３は、光ファイバ配線基材シート９と伝熱シート４との間に図示しない接着剤や粘着剤で固定されて配線されている。
【００２７】
図７は、本発明に用いられる光ファイバ３の一例であるテープ心線の束を示す部分透視図である。光ファイバ３は、例えば図に示すように複数のテープ心線３１〜３４を配列したものであり、個々のテープ心線は、中央部の部分透視箇所で示すように、複数の光ファイバ素線が紫外線硬化樹脂等で被覆されてなる。図７は例示であり、本発明の光ファイバ３はこれのみに限定されず、任意の公知の光ファイバを適用することができる。
【００２８】
伝熱シート４は、伝熱路の一例である。すなわち、発熱源で生じた熱を、例えば冷却手段まで伝える役割を担う。伝熱シート４は、熱伝導性を有する部材（シート）のみから構成されていても良いし、伝熱シートを保持するその他の基材（シート）と積層されていてもよい。すなわち、光ファイバ３は、熱伝導性を有するシートに直接配線されていても良いし、例えばポリイミド等の高分子シートに配線された光ファイバ配線シートと熱伝導性を有する部材（伝熱シート等）が積層された構造を取っていても良い。
【００２９】
熱伝導性を有する部材（伝熱路）としては、金属箔、金属繊維不織布、金属メッシュ等の金属織布や、カーボンシート、窒化ホウ素等、熱伝導性に寄与する材質を含むものであれば、いずれのものも使用することが出来る。
【００３０】
更に、金属繊維不織布は、金属繊維間が結着していることが好ましい。金属繊維間が結着しているとは、金属繊維が物理的に固定されている状態を指す。結着方法としては、金属繊維不織布を焼結する方法、化学エッチングにより結着する方法、レーザー溶着する方法、ＩＨ加熱を利用して結着する方法、ケミカルボンド法、サーマルボンド法等を用いることができる。このような方法の中でも、結着が確実に行われることで、金属繊維間が固定されることから、金属繊維不織布を焼結する方法が好適に用いられる。
【００３１】
光ファイバは、接着剤等によって基材に固定される。基材が片面のみの存在する場合にはタック性を有さない接着剤が好ましい。本明細書において接着剤とは、光ファイバ、基材等を固定する機能を有するものを指す。すなわち、接着剤は粘着剤を含む。
【００３２】
接着剤としては、シリコーン系粘着剤、アクリル系粘着剤等、光ファイバや基材を固定することが出来る限りにおいてはいずれのものも使用することができるが、アクリル系粘着剤が好適に使用される。
【００３３】
一般的には、アクリル系粘着剤は、アクリル系樹脂で構成され、その構成成分は、アクリルモノマー主成分、他のコモノマー成分および少量の官能基含有モノマー成分より構成された共重合体が使用され、例えば、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類等の有機溶剤中でラジカル重合させたり、または乳化剤の存在下で乳化水分散体を乳化重合させることによって合成することができる。合成されたアクリル系粘着剤は、単独でも使用することができるが、必要に応じて硬化剤を併用してもよい。また、使用目的に応じて、ロジンエステルやＣ９系石油樹脂等の粘着付与剤や、酸化チタン等の顔料を充填剤として添加してもよい。
【００３４】
アクリル系粘着剤を構成する主モノマー成分としては、例えば、エチルアクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、ラウリルアクリレート、ベンジルアクリレート等のアクリル酸の炭素数２以上のアルキルエステル類、ｎ−ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレート、ラウリルメタクリレート、ベンジルメタクリレート等のメタクリル酸の炭素数４以上のアルキルエステル類が挙げられる。
【００３５】
また、これらのアルキルアクリレート類およびアルキルメタクリレート類と共重合可能なコモノマーとしては、メチルアクリレートや、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート等のメタクリル酸の炭素数３以下のアルキルエステル類、酢酸ビニル、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、アクリルアミド、スチレン等が挙げられる。
【００３６】
官能基含有モノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸等のモノカルボン酸、マレイン酸、フマール酸、シトラコン酸、グルタコン酸、イタコン酸等の多価カルボン酸、およびこれらの酸無水物等のカルボキシル基含有モノマー、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ−メチロールメタクリルアミド等のヒドロキシル基含有モノマー、ジメチルアミノエチルメタクリレート、ｔ−ブチルアミノエチルメタクリレート、アクリルアミド等のアミノ基含有モノマー等が挙げられる。
【００３７】
硬化剤としては、例えば、トリレンジイソシアネート、水素化トリレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトリレンジイソシアネートアダクト、トリメチロールプロパンのキシリレンジイソシアネートアダクト等のイソシアネート系化合物、ビスフェノールＡ、エピクロルヒドリン型エポキシ樹脂、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物、グリオキザール、マロンジアルデヒド、スクシンジアルデヒド、マレインジアルデヒド、ホルムアルデヒド等のアルデヒド系化合物、ヘキサメチレンジアミン、トリエチレンジアミン、ポリエチレンイミン、ヘキサメチレンテトラミン等のアミン化合物、アルミニウム、鉄、銅、亜鉛、錫、チタン、ニッケル等の多価金属の塩化物や、その他の金属塩、アルミニウム、鉄、銅、亜鉛、錫、チタン、ニッケル等の多価金属のアセチルアセトンまたはアセト酢酸エステル配位化合物等の金属キレート化合物が挙げられる。
【００３８】
光ファイバ配線基材シート９としては、ポリイミド、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等）、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ４−メチルペンテン−１等）、ポリアミド（ナイロン６、ナイロン６６等）、フッ素樹脂（テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体等）等が挙げられる。
【００３９】
図２に示す通り、伝熱機能を有する光ファイバ配線シート２００（以下、配線シートともいう）は、サーキットボード１００上で、例えばレーザーダイオード５とフォトディテクター６間の光配線を担いつつ、伝熱路としても機能する。配線シートはサーキットボード１００に配置されたヒートシンク７、ＩＣ２、メモリ１等の発熱を伴う素子に適宜接続又は隣接し、これらが発する熱を例えば、冷却手段８へと導く機能を果たす。冷却手段８の具体例としては、放熱フィン等の放熱器が挙げられる。
【００４０】
更には、光ファイバの分散光を検知する装置（例えばＢｒｉｌｌｏｕｉｎ  Ｏｐｔｉｃａｌ−ｆｉｂｅｒ  Ｔｉｍｅ  Ｄｏｍａｉｎ Ｒｅｆｌｅｃｔｏｍｅｔｅｒ）に光ファイバを接続することにより、サーキットボード１００の異常発熱を検知するシステムとして利用することもできる。
【００４１】
（作用効果）
第一実施形態の光ファイバ配線シートは、光配線を効率的に行いつつも、サーキットボード１００で発生した熱の放熱対策を合わせて実施することが可能となる。すなわち、本発明の光ファイバ配線シートを用いれば、システム全体の省スペース化に寄与できると共に、放熱機能を有する光ファイバ配線シート及び、それを用いたサーキットボードを提供することができる。
【００４２】
（第二実施形態：電磁波遮蔽）
図４は、本発明の電磁波遮蔽機能を有する光ファイバ配線シート３００（３００ａ〜３００ｄ）がサーキットボード上に配置された態様の一例を示す概略図である。図５は、本発明の電磁波遮蔽機能を有する第二実施形態の光ファイバ配線シートの例３００ａ〜３００ｄを示す断面図である。
【００４３】
第二実施形態の一例である図５（ａ）の光ファイバ配線シート３００ａは、基材としても機能する電磁波遮蔽シート１１と、この上に設けられた光ファイバ層から構成されており、光ファイバ層は、接着剤１０と、接着剤中に埋設された光ファイバ３とで構成されている。すなわち、光ファイバ３は、電磁波遮蔽シート１１上に固定されて配線されている。
【００４４】
変更例である図５（ｂ）の光ファイバ配線シート３００ｂは、基材として機能する光ファイバ配線基材シート９と、この表面に設けられた光ファイバ層と、電磁波遮蔽シート１１から構成されており、光ファイバ層は、接着剤１０と、接着剤中に埋設された光ファイバ３とで構成されている。すなわち、光ファイバ３は、光ファイバ配線基材シート９と電磁波遮蔽シート１１との間に固定されて配線されている。
【００４５】
変更例である図５（ｃ）の光ファイバ配線シート３００ｃは、電磁波遮蔽シート１１と、この上に設けられた光ファイバ３から構成されており、光ファイバ３は、光ファイバ３は、電磁波遮蔽シート１１上に図示しない接着剤や粘着剤で固定されて配線されている。
【００４６】
変更例である図５（ｄ）の光ファイバ配線シート３００ｄは、光ファイバ配線基材シート９と、電磁波遮蔽シート１１とこれらの間に設けられた光ファイバ３とから構成されており、光ファイバ３は、光ファイバ配線基材シート９と電磁波遮蔽シート１１との間に図示しない接着剤や粘着剤で固定されて配線されている。
【００４７】
電磁波遮蔽シート１１は、電磁波遮蔽部材の一例である。電磁波遮蔽部材は電磁波遮蔽性、電磁波減衰性を有する部材であればいずれのものも使用することができる。
【００４８】
電磁波遮蔽シート１１は、電磁波遮蔽性、電磁波減衰性を有する部材（シート）からのみ構成されていても良いし、それ以外の配線基材（シート）と積層されていてもよい。すなわち、光ファイバ３は、電磁波遮蔽性、電磁波減衰性を有するシートに直接配線されていても良いし、例えばポリイミド等の高分子シートに配線された光ファイバ配線シートと熱伝導性を有する部材（シート）が積層された構造を取っていても良い。
【００４９】
電磁波遮蔽シート１１としては、金属箔、金属繊維不織布、金属メッシュ等の金属織布や、カーボンシート、金属酸化物フィラーを高分子材料で分散固定したシート等、電磁波遮蔽性、電磁波減衰性に寄与するものであれば、いずれのものも使用することが出来る。
【００５０】
接着剤１０については、第一実施形態と同様のものを使用することができる。
【００５１】
光ファイバ配線基材シート９としては、第一実施形態と同様のものを使用することができる。
【００５２】
本実施形態の光ファイバ配線シート３００（以下、配線シートともいう）は、サーキットボード１００上で、光配線を担いつつも、電磁波遮蔽・減衰部材としても機能する。配線シート３００はサーキットボード１００上の電磁波発生源となる素子部上を含め、サーキットボード１００全体を覆う。また、配線シート３００は、アース手段１２と接続されていても良い。
【００５３】
また、光ファイバ配線シート３００は、サーキットボードを覆うハウジングと一体になっていても良い。
【００５４】
（作用効果）
第二実施形態の光ファイバ配線シートによれば、光配線を効率的に行いつつも、サーキットボードの電磁波対策を合わせて実施することが可能となる。従って、本発明の光ファイバ配線シートを用いれば、システム全体の省スペース化に寄与できると共に、電磁波遮蔽・減衰性を有する光ファイバ配線シート及び、それを用いたサーキットボードを提供することができる。
【００５５】
（第三実施形態：伝熱路と電磁波遮蔽）
図６は、本発明の伝熱機能と電磁波遮蔽機能を有する光ファイバ配線シート４００の例４００ａ〜４００ｂを示す断面図である。
【００５６】
第三実施形態の一例である図６（ａ）の光ファイバ配線シート４００ａは、光ファイバ層が上述した伝熱シート４と電磁波遮蔽シート１１の間に挟持された構成を有しており、光ファイバ層は、接着剤１０と、接着剤中に埋設された光ファイバ３とで構成されている。すなわち、光ファイバ３は、伝熱シート４と電磁波遮蔽シート１１との間に固定されて配線されている。
【００５７】
変更例である図６（ｂ）の光ファイバ配線シート４００ｂは、伝熱シート４と、電磁波遮蔽シート１１とこれらの間に設けられた光ファイバ３とから構成されており、光ファイバ３は、伝熱シート４と電磁波遮蔽シート１１との間に図示しない接着剤や粘着剤で固定されて配線されている。
【００５８】
光ファイバ配線シート４００をサーキットボード１００上に設けて使用する際は、放熱源である素子に伝熱シート４が直接接触していることが好ましいので、通常伝熱シート４をサーキットボード側に接触させて使用される。電磁波遮蔽シート１１はサーキットボード１００に接していなくとも、サーキットボード１００を含む機器筐体外部に対して十分に電磁波遮蔽効果を発揮することができる。
【００５９】
（作用効果）
第三実施形態の光ファイバ配線シートによれば、光配線を効率的に行いつつも、サーキットボードの放熱対策と電磁波対策を合わせて実施することが可能となる。従って、本発明の光ファイバ配線シートを用いれば、システム全体の省スペース化に寄与できると共に、放熱機能と電磁波遮蔽・減衰性を併せ持つ光ファイバ配線シート及び、それを用いたサーキットボードを提供することができる。
【００６０】
以上、本発明の光ファイバ配線シートをサーキットボード上に設置した態様について説明してきたが、本発明の光ファイバ配線シートは、サーキットボード上に設置されるのみならず、光配線用途であれば、いずれの場所、部材にも設置が可能である。
【符号の説明】
【００６１】
１      メモリ
２      ＩＣ
３      光ファイバ
３０    光ファイバ（素線）
３１〜３８  光ファイバ（テープ心線）
４      伝熱シート
５      レーザーダイオード
６      フォトディテクター
７      ヒートシンク
８      冷却手段
９      光ファイバ配線基材シート
１０    接着剤
１１    電磁波遮蔽シート
１２    アース手段
１００  サーキットボード
２００、２００ａ〜２００ｄ  伝熱機能を有する光ファイバ配線シート
３００、３００ａ〜３００ｄ  電磁波遮蔽機能を有する光ファイバ配線シート
４００、４００ａ、４００ｂ  伝熱機能をおよび電磁波遮蔽機能を有する光ファイバ配線シート
【図１】
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【図２】
2018156067.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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