(57)【要約】      （修正有）【課題】温度調節対象部の温度を短時間で安定させる冷却水温度制御装置を得る。【解決手段】冷却水温度制御装置は、第１流入部、第２流入部および流出部を有し、各流入部から流入する冷却水の流量比率を調節して流出させる三方弁と、冷却水供給部の出口と前記第１流入部とを接続する第１送り用配管と、前記流出部と温度調節対象部の入口とを接続する第２送り用配管と、温度調節対象部の出口と冷却水供給部の入口とを接続する戻し用配管と、戻し用配管と前記第２流入部とを接続する戻し側バイパス用配管と、三方弁から温度調節対象部に冷却水を送るポンプと、第２送り用配管を流れる冷却水の温度を測定する温度センサと、第２送り用配管に設けられたヒータと、第１流入部から流入する冷却水供給量を最大にするよう三方弁を制御すると共にヒータをオンにする第１の制御、およびポンプを駆動しながら前記流量比率を調節する第２の制御を実施する制御部とを備える。【選択図】図３
2018116696.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一次冷却水により温度が調節された二次冷却水を用いて温度調節対象部を冷却するための冷却水温度制御装置であって、
一次冷却水と二次冷却水とを熱交換させるための熱交換器と、
二次冷却水を溜めるためのタンクと、
前記タンクと二次冷却水供給部とを接続するための注入用配管と、
前記注入用配管を介して、前記二次冷却水供給部から前記タンクに注入する二次冷却水の流量を調節するためのバルブと、
前記タンクに溜めた二次冷却水の量を検出するための水量検出部と、
前記熱交換器における二次冷却水の入口と前記タンクとを接続するための第１循環用配管と、
前記熱交換器における二次冷却水の出口と前記温度調節対象部における二次冷却水の入口とを接続するための第２循環用配管と、
前記温度調節対象部における二次冷却水の出口と前記タンクとを接続するための第３循環用配管と、
前記タンクに溜めた二次冷却水を、前記熱交換器と前記温度調節対象部と前記タンクとの間で循環させるためのポンプと、
前記水量検出部からの検出結果に基づいて、前記バルブおよび前記ポンプを制御する制御部と、
を備える冷却水温度制御装置。
【請求項２】
一次冷却水により温度が調節された二次冷却水を用いて温度調節対象部を冷却するための冷却水温度制御装置であって、
一次冷却水と二次冷却水とを熱交換させるための熱交換器と、
二次冷却水を溜めるためのタンクと、
前記熱交換器における二次冷却水の入口と前記タンクとを接続するための第１循環用配管と、
前記熱交換器における二次冷却水の出口と前記温度調節対象部における二次冷却水の入口とを接続するための第２循環用配管と、
前記温度調節対象部における二次冷却水の出口と前記タンクとを接続するための第３循環用配管と、
前記タンクに溜めた二次冷却水を加熱するためのヒータと、
前記第２循環用配管を流れる二次冷却水の温度を計測するための温度計測部と、
第１流入部、第２流入部、および、流出部を有し、前記第１流入部および前記第２流入部から流入する冷却水量の混合比率を調整して前記流出部から流出させるよう構成された三方弁と、
一次冷却水供給部の出口と前記熱交換器における一次冷却水の入口とを接続するための送り用配管と、
前記熱交換器における一次冷却水の出口と前記三方弁の前記第１流入部とを接続するための第１戻し用配管と、
前記三方弁の前記流出部と前記一次冷却水供給部の入口とを接続するための第２戻し用配管と、
前記送り用配管と前記三方弁の前記第２流入部とを接続するための送り側バイパス用配管と、
前記温度計測部からの検出結果に基づいて、前記ヒータおよび前記三方弁を制御する制御部と、
を備える冷却水温度制御装置。
【請求項３】
冷却水を用いて温度調節対象部を冷却するための冷却水温度制御装置であって、
第１流入部、第２流入部、および、流出部を有し、前記第１流入部および前記第２流入部から流入する冷却水量の混合比率を調整して前記流出部から流出させるよう構成された三方弁と、
冷却水供給部の出口と前記三方弁の前記第１流入部とを接続するための第１送り用配管と、
前記三方弁の前記流出部と前記温度調節対象部の入口とを接続するための第２送り用配管と、
前記温度調節対象部の出口と前記冷却水供給部の入口とを接続するための戻し用配管と、
前記戻し用配管と前記三方弁の前記第２流入部とを接続するための戻し側バイパス用配管と、
前記第２送り用配管に設けられ、前記冷却水を前記三方弁と前記温度調節対象部との間で循環させるためのポンプと、
前記第２送り用配管を流れる冷却水の温度を計測するための温度計測部と、
前記温度計測部からの検出結果に基づいて、前記三方弁および前記ポンプを制御する制御部と、
を備える冷却水温度制御装置。
【請求項４】
前記タンクに溜めた二次冷却水に窒素を導入するための窒素導入部をさらに備える、
請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項５】
前記タンクに溜めた二次冷却水に窒素を導入するための窒素導入部をさらに備える、
請求項２記載の冷却水温度制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、冷却水温度制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体プロセスの微細化に伴って、半導体プロセスの光リソグラフィにおける転写パターンの微細化が急速に進展している。次世代においては、７０ｎｍ〜４５ｎｍの微細加工、さらには３２ｎｍ以下の微細加工が要求されるようになる。このため、例えば３２ｎｍ以下の微細加工の要求に応えるべく、波長１３ｎｍ程度のＥＵＶ光を生成するための装置と縮小投影反射光学系とを組み合わせた露光装置の開発が期待されている。
【０００３】
ＥＵＶ光生成装置としては、ターゲット物質にレーザ光を照射することによって生成されるプラズマを用いたＬＰＰ（Ｌａｓｅｒ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、放電によって生成されるプラズマを用いたＤＰＰ（Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  Ｐｌａｓｍａ）方式の装置と、軌道放射光を用いたＳＲ（Ｓｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎ  Ｒａｄｉａｔｉｏｎ）方式の装置との３種類の装置が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第７４０５４１６号明細書
【概要】
【０００５】
本開示の一態様による冷却水温度制御装置は、一次冷却水により温度が調節された二次冷却水を用いて温度調節対象部を冷却するための冷却水温度制御装置であって、一次冷却水と二次冷却水とを熱交換させるための熱交換器と、二次冷却水を溜めるためのタンクと、前記タンクと二次冷却水供給部とを接続するための注入用配管と、前記注入用配管を介して、前記二次冷却水供給部から前記タンクに注入する二次冷却水の流量を調節するためのバルブと、前記タンクに溜めた二次冷却水の量を検出するための水量検出部と、前記熱交換器における二次冷却水の入口と前記タンクとを接続するための第１循環用配管と、前記熱交換器における二次冷却水の出口と前記温度調節対象部における二次冷却水の入口とを接続するための第２循環用配管と、前記温度調節対象部における二次冷却水の出口と前記タンクとを接続するための第３循環用配管と、前記タンクに溜めた二次冷却水を、前記熱交換器と前記温度調節対象部と前記タンクとの間で循環させるためのポンプと、前記水量検出部からの検出結果に基づいて、前記バルブおよび前記ポンプを制御する制御部と、を備えてもよい。
【０００６】
本開示の他の態様による冷却水温度制御装置は、一次冷却水により温度が調節された二次冷却水を用いて温度調節対象部を冷却するための冷却水温度制御装置であって、一次冷却水と二次冷却水とを熱交換させるための熱交換器と、二次冷却水を溜めるためのタンクと、前記熱交換器における二次冷却水の入口と前記タンクとを接続するための第１循環用配管と、前記熱交換器における二次冷却水の出口と前記温度調節対象部における二次冷却水の入口とを接続するための第２循環用配管と、前記温度調節対象部における二次冷却水の出口と前記タンクとを接続するための第３循環用配管と、前記タンクに溜めた二次冷却水を加熱するためのヒータと、前記第２循環用配管を流れる二次冷却水の温度を計測するための温度計測部と、第１流入部、第２流入部、および、流出部を有し、前記第１流入部および前記第２流入部から流入する冷却水量の混合比率を調整して前記流出部から流出させるよう構成された三方弁と、一次冷却水供給部の出口と前記熱交換器における一次冷却水の入口とを接続するための送り用配管と、前記熱交換器における一次冷却水の出口と前記三方弁の前記第１流入部とを接続するための第１戻し用配管と、前記三方弁の前記流出部と前記一次冷却水供給部の入口とを接続するための第２戻し用配管と、前記送り用配管と前記三方弁の前記第２流入部とを接続するための送り側バイパス用配管と、前記温度計測部からの検出結果に基づいて、前記ヒータおよび前記三方弁を制御する制御部と、を備えてもよい。
【０００７】
本開示のさらに他の態様による冷却水温度制御装置は、冷却水を用いて温度調節対象部を冷却するための冷却水温度制御装置であって、第１流入部、第２流入部、および、流出部を有し、前記第１流入部および前記第２流入部から流入する冷却水量の混合比率を調整して前記流出部から流出させるよう構成された三方弁と、冷却水供給部の出口と前記三方弁の前記第１流入部とを接続するための第１送り用配管と、前記三方弁の前記流出部と前記温度調節対象部の入口とを接続するための第２送り用配管と、前記温度調節対象部の出口と前記冷却水供給部の入口とを接続するための戻し用配管と、前記戻し用配管と前記三方弁の前記第２流入部とを接続するための戻し側バイパス用配管と、前記第２送り用配管に設けられ、前記冷却水を前記三方弁と前記温度調節対象部との間で循環させるためのポンプと、前記第２送り用配管を流れる冷却水の温度を計測するための温度計測部と、前記温度計測部からの検出結果に基づいて、前記三方弁および前記ポンプを制御する制御部と、を備えてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示のいくつかの実施形態を、単なる例として、添付の図面を参照して以下に説明する。
【図１】図１は、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。
【図２】図２は、第１実施形態に係る冷却水温度制御装置が適用されるＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。
【図３】図３は、第１温度制御システムの構成を概略的に示す。
【図４】図４は、第１温度制御システムを構成する第２，第３冷却水温度制御装置の第２，第３循環調節部の構成を概略的に示す。
【図５】図５は、第２温度制御システムの構成を概略的に示す。
【図６】図６は、第２温度制御システムを構成する第４，第５冷却水温度制御装置の第４，第５循環調節部の構成を概略的に示す。
【図７】図７は、第１冷却水温度制御装置における温度調節処理を示すフローチャートである。
【図８】図８は、冷却水のヒータによる温度制御サブルーチンを示すフローチャートである。
【図９】図９は、温度調節処理中における第１冷却水温度制御装置の動作を概略的に示す。
【図１０】図１０は、冷却水の三方弁による温度制御サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１１】図１１は、二次冷却水の注入処理を示すフローチャートである。
【図１２】図１２は、二次冷却水の注入処理を示すフローチャートである。
【図１３】図１３は、第２〜第５冷却水温度制御装置における温度調節処理を示すフローチャートである。
【図１４】図１４は、二次冷却水のヒータによる温度制御サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１５】図１５は、温度調節処理中における第２〜第５冷却水温度制御装置の動作を概略的に示す。
【図１６】図１６は、一次冷却水の三方弁による温度制御サブルーチンを示すフローチャートである。
【図１７】図１７は、第２実施形態に係る第２冷却水温度制御装置の第２循環調節部の構成を概略的に示す。
【実施形態】
【０００９】
内容
１．概要
２．ＥＵＶ光生成装置の全体説明
２．１  構成
２．２  動作
３．ＥＵＶ光生成装置の実施形態
３．１  用語の説明
３．２  第１実施形態
３．２．１  構成
３．２．２  動作
３．２．２．１  第１冷却水温度制御装置における温度調節処理
３．２．２．２  第２〜第５冷却水温度制御装置における温度調節処理
３．２．２．２．１  二次冷却水の注入処理
３．２．２．２．２  第２〜第５冷却水温度制御装置における温度調節処理
３．３  第２実施形態
３．３．１  構成
【００１０】
以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳しく説明する。以下に説明される実施形態は、本開示のいくつかの例を示すものであって、本開示の内容を限定するものではない。また、各実施形態で説明される構成および動作の全てが本開示の構成および動作として必須であるとは限らない。なお、同一の構成要素には同一の参照符号を付して、重複する説明を省略する。
【００１１】
１．概要
本開示の実施形態においては、一次冷却水により温度が調節された二次冷却水を用いて温度調節対象部を冷却するための冷却水温度制御装置が設けられてもよい。冷却水温度制御装置は、熱交換器と、二次冷却水を溜めるためのタンクと、タンクと二次冷却水供給部とを接続するための注入用配管と、注入用配管を流れる二次冷却水の流量を調節するためのバルブと、タンクに溜めた二次冷却水の量を検出するための水量検出部とを備えてもよい。また、冷却水温度制御装置は、タンクに溜めた二次冷却水を熱交換器と温度調節対象部とタンクとの間で循環させるための、第１循環用配管、第２循環用配管、第３循環用配管、ポンプを備えてもよい。
【００１２】
このような構成を用いて、制御部は、以下のように制御してもよい。
すなわち、まず、制御部は、ポンプを停止した状態において、水量検出部での検出結果に基づきバルブを制御して、タンクに上限量の二次冷却水を注入してもよい。次に、制御部は、バルブを閉じた状態において、ポンプを制御して二次冷却水を循環させてもよい。この後、制御部は、タンクの二次冷却水が下限量に到達したと判定した場合、二次冷却水の循環を停止してもよい。そして、制御部は、第１循環用配管、第２循環用配管、第３循環用配管、熱交換器、温度調節対象部、タンクに、二次冷却水が満たされるまで、上述の制御を行ってもよい。
【００１３】
以上のような構成により、容積が大きいタンクを用いることなく、第１循環用配管、第２循環用配管、第３循環用配管、熱交換器、温度調節対象部、タンクに、二次冷却水を満たすことが可能となり得る。
【００１４】
また、本開示の実施形態においては、冷却水温度制御装置は、熱交換器と、二次冷却水を溜めるためのタンクと、タンクに溜めた二次冷却水を熱交換器と温度調節対象部とタンクとの間で循環させるための、第１循環用配管、第２循環用配管、第３循環用配管とを備えてもよい。さらに、冷却水温度制御装置は、タンクに溜めた二次冷却水を加熱するためのヒータと、第２循環用配管を流れる二次冷却水の温度を計測するための温度計測部と、三方弁とを備えてもよい。また、冷却水温度制御装置は、一次冷却水供給部の出口と熱交換器における一次冷却水の入口とを接続するための送り用配管と、熱交換器における一次冷却水の出口と三方弁の第１流入部とを接続するための第１戻し用配管と、三方弁の流出部と一次冷却水供給部の入口とを接続するための第２戻し用配管と、送り用配管と三方弁の第２流入部とを接続するための送り側バイパス用配管とを備えてもよい。
【００１５】
このような構成を用いて、制御部は、以下のように制御してもよい。
すなわち、制御部は、ヒータで二次冷却水を加熱した後に、当該加熱した二次冷却水と一次冷却水との間で熱交換を行ってもよい。このとき、制御部は、温度計測部での計測結果に基づき三方弁を制御して、一次冷却水供給部から熱交換器に供給する一次冷却水の量を調節してもよい。具体的に、制御部は、二次冷却水の温度を上げる場合には、熱交換器に流す一次冷却水の量を減らすとともに、三方弁に流す一次冷却水の量を増やし、熱交換器の冷却能力を下げてもよい。一方、二次冷却水の温度を下げる場合には、制御部は、熱交換器に流す一次冷却水の量を増やすとともに、三方弁に流す一次冷却水の量を減らし、熱交換器の冷却能力を上げてもよい。
【００１６】
以上のような構成により、一次冷却水の量を調節することで、熱交換器の冷却能力を微調節することが可能となり得る。したがって、熱交換器を用いて二次冷却水の温度を微調節することが可能となり、二次冷却水が所望の温度に到達するまでの時間を短縮し得る。よって、温度調節対象部の温度が安定するまでの時間を短縮し得る。
【００１７】
また、本開示の実施形態においては、冷却水温度制御装置は、三方弁と、冷却水供給部の出口と三方弁の第１流入部とを接続するための第１送り用配管と、三方弁の流出部と温度調節対象部の入口とを接続するための第２送り用配管と、温度調節対象部の出口と冷却水供給部の入口とを接続するための戻し用配管と、戻し用配管と三方弁の第２流入部とを接続するための戻し側バイパス用配管とを備えてもよい。さらに、冷却水温度制御装置は、冷却水を三方弁と温度調節対象部との間で循環させるためのポンプと、第２送り用配管を流れる冷却水の温度を計測するための温度計測部とを備えてもよい。
【００１８】
このような構成を用いて、制御部は、以下のように制御してもよい。
すなわち、制御部は、温度計測部での計測結果に基づき三方弁を制御して、冷却水供給部から温度調節対象部に供給する冷却水の量を調節してもよい。具体的に、制御部は、温度調節対象部の温度を上げる場合には、冷却水供給部から新しく温度調節対象部に供給する冷却水の量を減らすとともに、温度調節対象部での温度調節に用いた後に当該温度調節対象部に再度供給する冷却水の量を増やすことで、冷却水による冷却能力を下げてもよい。一方、温度調節対象部の温度を下げる場合には、制御部は、温度調節対象部に供給する冷却水の量を増やすとともに、温度調節対象部に供給する冷却水の量を減らすことで、冷却水による冷却能力を上げてもよい。
【００１９】
以上のような構成により、冷却水の量を調節することで、当該冷却水による冷却能力を微調節することが可能となり、温度調節対象部の温度が安定するまでの時間を短縮し得る。さらに、温度調節対象部の冷却にチラーを用いる構成と比べて、冷却水温度制御装置がコンパクトになり得る。
【００２０】
さらに、本開示の実施形態においては、冷却水温度制御装置は、タンクに溜めた二次冷却水に窒素を導入するための窒素導入部を備えてもよい。
【００２１】
以上のような構成により、二次冷却水に窒素を導入することで、当該二次冷却水に溶存する酸素の量が低下し得る。したがって、熱交換器や温度調節対象部、あるいは、タンク、第１循環用配管、第２循環用配管、第３循環用配管を構成する金属が腐食することを抑制し得る。
【００２２】
２．ＥＵＶ光生成装置の全体説明
２．１  構成
図１は、例示的なＬＰＰ方式のＥＵＶ光生成装置１の構成を概略的に示す。ＥＵＶ光生成装置１は、少なくとも１つのレーザ装置３と共に用いられてもよい。ＥＵＶ光生成装置１およびレーザ装置３を含むシステムを、以下、ＥＵＶ光生成システム１１と称する。図１を参照に、以下に詳細に説明されるように、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２を含んでもよい。チャンバ２は、密閉可能であってもよい。ＥＵＶ光生成装置１は、ターゲット供給装置７をさらに含んでもよい。ターゲット供給装置７は、例えばチャンバ２に取り付けられていてもよい。ターゲット供給装置７から供給されるターゲットの材料は、スズ、テルビウム、ガドリニウム、リチウム、キセノン、またはそれらのうちのいずれか２つ以上の組合せ等を含んでもよいが、これらに限定されない。
【００２３】
チャンバ２の壁には、少なくとも１つの貫通孔が設けられていてもよい。その貫通孔をレーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３２が通過してもよい。あるいは、チャンバ２には、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３２が透過する少なくとも１つのウインドウ２１が設けられてもよい。チャンバ２の内部には例えば、回転楕円面形状の反射面を有するＥＵＶ集光ミラー２３が配置されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、第１および第２の焦点を有し得る。ＥＵＶ集光ミラー２３の表面には例えば、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層反射膜が形成されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３は、例えば、その第１の焦点がプラズマ生成位置またはその近傍（プラズマ生成領域２５）に位置し、その第２の焦点が露光装置の仕様によって規定される所望の集光位置（中間焦点（ＩＦ）中間焦点２９２）に位置するように配置されるのが好ましい。ＥＵＶ集光ミラー２３の中央部には、パルスレーザ光３３が通過するための貫通孔２４が設けられてもよい。
【００２４】
ＥＵＶ光生成装置１は、ＥＵＶ光生成制御システム５に接続されてもよい。また、ＥＵＶ光生成装置１は、ターゲットセンサ４を含んでもよい。ターゲットセンサ４は、ターゲットの存在、軌道、位置等を検出してもよい。ターゲットセンサ４は、撮像機能を有してもよい。
【００２５】
さらに、ＥＵＶ光生成装置１は、チャンバ２内部と露光装置６内部とを連通させるための接続部２９を含んでもよい。接続部２９内部には、アパーチャが形成された壁２９１が設けられてもよい。壁２９１は、そのアパーチャがＥＵＶ集光ミラー２３の第２の焦点位置に位置するように配置されてもよい。
【００２６】
さらに、ＥＵＶ光生成装置１は、レーザ光進行方向制御部３４、レーザ光集光光学系２２、ドロップレット２７を回収するためのターゲット回収装置２８等を含んでもよい。レーザ光進行方向制御部３４は、レーザ光の進行方向を規定するための光学素子と、この光学素子の位置や姿勢等を調節するためのアクチュエータとを備えてもよい。
【００２７】
２．２  動作
図１を参照に、レーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１は、レーザ光進行方向制御部３４を経て、パルスレーザ光３２としてウインドウ２１を透過して、チャンバ２に入射してもよい。パルスレーザ光３２は、少なくとも１つのレーザ光経路に沿ってチャンバ２内に進み、レーザ光集光光学系２２で反射されて、パルスレーザ光３３として少なくとも１つのドロップレット２７に照射されてもよい。
【００２８】
ターゲット供給装置７からは、ドロップレット２７がチャンバ２内部のプラズマ生成領域２５に向けて出力されてもよい。ドロップレット２７には、パルスレーザ光３３に含まれる少なくとも１つのパルスレーザ光が照射され得る。パルスレーザ光３３が照射されたドロップレット２７はプラズマ化し、そのプラズマからＥＵＶ光２５１が放射され得る。ＥＵＶ光２５１は、ＥＵＶ集光ミラー２３によって集光されるとともに反射されてもよい。ＥＵＶ集光ミラー２３で反射されたＥＵＶ光２５２は、中間焦点２９２を通って露光装置６に出力されてもよい。なお、１つのドロップレット２７に、パルスレーザ光３３に含まれる複数のパルスレーザ光が照射されてもよい。
【００２９】
ＥＵＶ光生成制御システム５は、ＥＵＶ光生成システム１１全体の制御を統括してもよい。ＥＵＶ光生成制御システム５は、ターゲットセンサ４によって撮像されたドロップレット２７のイメージデータ等を処理してもよい。ＥＵＶ光生成制御システム５は、例えば、ドロップレット２７を出力するタイミングやドロップレット２７の出力速度等を制御してもよい。また、ＥＵＶ光生成制御システム５は、例えば、レーザ装置３のレーザ発振タイミングやパルスレーザ光３２の進行方向やパルスレーザ光３３の集光位置等を制御してもよい。上述の様々な制御は単なる例示に過ぎず、必要に応じて他の制御を追加してもよい。
【００３０】
３．ＥＵＶ光生成装置の実施形態
３．１  用語の説明
以下、工業用冷却水を「ＰＣＷ」（Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｃｏｏｌｉｎｇ  Ｗａｔｅｒ）と称して説明する。温度調節対象部の温度調節に用いる水であって、超純水よりも純度が低い水を「通常水」と称して説明する。温度調節対象部の温度調節に用いる一次冷却水としては、ＰＣＷを用いてもよい。一次冷却水との熱交換により温度が調節される二次冷却水としては、超純水または通常水を用いてもよい。ＰＣＷを「一次冷却水」と表現する場合がある。超純水および通常水のうち少なくとも一方を「二次冷却水」と表現する場合がある。
【００３１】
３．２  第１実施形態
３．２．１  構成
図２は、第１実施形態に係る冷却水温度制御装置が適用されるＥＵＶ光生成装置の構成を概略的に示す。図３は、第１温度制御システムの構成を概略的に示す。図４は、第１温度制御システムを構成する第２，第３冷却水温度制御装置の第２，第３循環調節部の構成を概略的に示す。図５は、第２温度制御システムの構成を概略的に示す。図６は、第２温度制御システムを構成する第４，第５冷却水温度制御装置の第４，第５循環調節部の構成を概略的に示す。
【００３２】
ＥＵＶ光生成装置１と共に用いられるレーザ装置３は、図２に示すように、サブファブフロアＳＦＦに設置されてもよい。サブファブフロアＳＦＦは、建物の１階であってもよいが、後述するクリーンルームフロアＣＬＦの下の階であれば、いずれの階であってもよい。レーザ装置３は、筐体３００を備えてもよい。筐体３００内には、マスタＯＳＣレーザ装置３０１と、プリアンプレーザ装置３０２と、第１メインアンプレーザ装置３０３と、第２メインアンプレーザ装置３０４と、光学素子３０５とが設けられてもよい。光学素子３０５の数は図２においては２個を例示しているが、さらに多数備えてもよいし、１個でもよい。
【００３３】
マスタＯＳＣレーザ装置３０１は、図示しない放電部あるいは電源部を構成し、高精度の温度調節が要求される金属製の温度調節対象部としての金属含有部１０１を備えてもよい。
プリアンプレーザ装置３０２、第１メインアンプレーザ装置３０３、第２メインアンプレーザ装置３０４のそれぞれは、第１アルミニウム含有部１０２を備えてもよい。第１アルミニウム含有部１０２は、アルミニウムを主材料として構成され、高精度の温度調節が要求される温度調節対象部であってよい。
プリアンプレーザ装置３０２、第１メインアンプレーザ装置３０３、第２メインアンプレーザ装置３０４、光学素子３０５のそれぞれは、第１銅含有部１０３を備えてもよい。第１銅含有部１０３は、銅を主材料として構成され、高精度の温度調節が要求される温度調節対象部であってよい。第１銅含有部１０３は、プリアンプレーザ装置３０２、第１メインアンプレーザ装置３０３、第２メインアンプレーザ装置３０４のそれぞれが有するミラーのホルダおよび、光学素子３０５の各ホルダを含んでもよい。
【００３４】
ＥＵＶ光生成装置１は、レーザ光進行方向制御部３４と、レーザ光集光光学系２２と、チャンバ２と、第１温度制御システム９０Ａと、第２温度制御システム９０Ｂとを備えてもよい。
レーザ光進行方向制御部３４は、サブファブフロアＳＦＦに設置されたレーザ装置３から出力されたパルスレーザ光３１を、クリーンルームフロアＣＬＦに設置されたレーザ光集光光学系２２に導くように構成されてもよい。レーザ光進行方向制御部３４は、サブファブフロアＳＦＦに設置された第１光学素子３４１と、クリーンルームフロアＣＬＦに設置された第２光学素子３４２、第３光学素子３４３、ビームスプリッタ３４４、第４光学素子３４５、およびセンサ３４６とを備えてもよい。
レーザ光進行方向制御部３４は、それぞれ銅を主材料として構成され、高精度の温度調節が要求される第１銅含有部１０３と、温度調節対象部としての第２銅含有部１０６とを備えてもよい。第１銅含有部１０３は、第１光学素子３４１のホルダを含んでもよい。また、第２銅含有部１０６は、第２光学素子３４２のホルダを含んでもよいし、第３光学素子３４３、ビームスプリッタ３４４、第４光学素子３４５、およびセンサ３４６の各ホルダを含んでもよい。
【００３５】
レーザ光集光光学系２２は、光学素子２２１と集光光学素子２２２とを備えてもよい。ウインドウ２１およびレーザ光集光光学系２２は、第２銅含有部１０６によって保持されてもよい。第２銅含有部１０６は、銅を主材料として構成され、高精度の温度調節が要求される温度調節対象部であってもよい。
チャンバ２は、それぞれアルミニウムを主材料として構成され、高精度の温度調節が要求される温度調節対象部としての第２アルミニウム含有部１０５を備えてもよい。第２アルミニウム含有部１０５は、チャンバ２を構成するチャンバ容器を含んでもよいし、ＥＵＶ集光ミラー２３のホルダを含んでもよい。
【００３６】
金属含有部１０１、第１アルミニウム含有部１０２、第１銅含有部１０３、第２アルミニウム含有部１０５、第２銅含有部１０６の温度が変化すると、パルスレーザ光の光軸が変動したり、パルスレーザ光の特性が変化して、適切なＥＵＶ光を生成できなくなり得る。例えば、第１銅含有部１０３であるホルダの温度が変化すると、ホルダの膨張や収縮に伴い出力ミラーや光学素子３０５の姿勢が変化し得る。出力ミラーや光学素子３０５の姿勢が変化すると、パルスレーザ光の光軸が変動してパルスレーザ光がプラズマ生成領域２５に到達しない場合がある。
このような不具合を防止するために、金属含有部１０１、第１アルミニウム含有部１０２、第１銅含有部１０３、第２アルミニウム含有部１０５、および第２銅含有部１０６の各温度は、調節されるとよい。
【００３７】
第１，第２温度制御システム９０Ａ，９０Ｂは、サブファブフロアＳＦＦに設置されてもよい。第１温度制御システム９０Ａは、レーザ装置３など、クリーンルームフロアＣＬＦに設置する必要がない装置に含まれる金属含有部１０１、第１アルミニウム含有部１０２、および第１銅含有部１０３の温度を調節してもよい。第２温度制御システム９０Ｂは、主に露光装置６やチャンバ２など、クリーンルームフロアＣＬＦに設置する必要がある装置に含まれる第２アルミニウム含有部１０５、および第２銅含有部１０６の各温度を、調節してもよい。
【００３８】
第１温度制御システム９０Ａは、図３に示すように、冷却水供給部としてのＰＣＷ供給部１１１と、二次冷却水供給部としての通常水供給部１１２と、ドレイン１１３とに接続されてもよい。さらに、温度調節対象である、金属含有部１０１と、第１アルミニウム含有部１０２と、第１銅含有部１０３とに接続されてもよい。また、第１温度制御システム９０Ａは、金属含有部１０１に接続される第１冷却水温度制御装置９００Ａと、第１アルミニウム含有部１０２に接続される第２冷却水温度制御装置９２０Ａと、第１銅含有部１０３に接続される第３冷却水温度制御装置９６０Ａとを備えてもよい。
【００３９】
ＰＣＷ供給部１１１の出口は、第１送り用配管および送り用配管としての配管Ｌ１を介して、第１冷却水温度制御装置９００Ａの第１三方弁９０１Ａの第１流入部９０２Ａに接続されてもよい。また、ＰＣＷ供給部１１１の出口は、配管Ｌ１の途中から分岐する送り用配管としての配管Ｌ２を介して、第２冷却水温度制御装置９２０Ａの第２熱交換器９４３Ａの入口に接続されてもよい。さらに、ＰＣＷ供給部１１１の出口は、配管Ｌ１の途中から分岐する送り用配管としての配管Ｌ３を介して、第３冷却水温度制御装置９６０Ａの第３熱交換器９８３Ａの入口にそれぞれ接続されてもよい。
ＰＣＷ供給部１１１の入口は、戻し用配管および第２戻し用配管としての配管Ｌ４を介して、金属含有部１０１の出口に接続されてもよい。また、ＰＣＷ供給部１１１の入口は、配管Ｌ４の途中から分岐する第２戻し用配管としての配管Ｌ５および第２戻し用配管としての配管Ｌ６をそれぞれ介して、第２冷却水温度制御装置９２０Ａの第２熱交換器９４３Ａの出口、および、第３冷却水温度制御装置９６０Ａの第３熱交換器９８３Ａの出口に、それぞれ接続されてもよい。
【００４０】
ＰＣＷ供給部１１１は、ＰＣＷを第１，第２，第３冷却水温度制御装置９００Ａ，９２０Ａ，９６０Ａ、および、それぞれ後述する第４冷却水温度制御装置９２０Ｂおよび第５冷却水温度制御装置９６０Ｂへ供給してもよい。第１，第２，第３，第４，第５冷却水温度制御装置９００Ａ，９２０Ａ，９６０Ａ，９２０Ｂ，９６０Ｂへ供給するときのＰＣＷの温度は、通常水の温度および超純水の温度よりも高くてもよい。具体的に、ＰＣＷの温度は、１０℃以上２１℃以下であってもよい。また、ＰＣＷ供給部１１１は、第１，第２，第３，第４，第５冷却水温度制御装置９００Ａ，９２０Ａ，９６０Ａ，９２０Ｂ，９６０Ｂで温度調節に利用されたＰＣＷを回収し、当該回収したＰＣＷの温度を１０℃以上２１℃以下に調節して、第１，第２，第３，第４，第５冷却水温度制御装置９００Ａ，９２０Ａ，９６０Ａ，９２０Ｂ，９６０Ｂへ再度供給してもよい。
【００４１】
通常水供給部１１２は、注入用配管としての配管Ｌ７を介して、第２冷却水温度制御装置９２０Ａの第２タンク９２７Ａに接続されてもよい。また、通常水供給部１１２は、配管Ｌ７の途中から分岐する注入用配管としての配管Ｌ８を介して、第３冷却水温度制御装置９６０Ａの第３タンク９６７Ａに接続されてもよい。
通常水供給部１１２は、二次冷却水として利用する通常水を第２，第３タンク９２７Ａ，９６７Ａにそれぞれ供給してもよい。通常水供給部１１２から供給される通常水には、アルミニウムの錆や銅の錆の発生、あるいは、藻の発生を抑制する添加剤が添加されてもよい。
【００４２】
ドレイン１１３は、第１三方弁９０１Ａの流出部９０３Ａと第１ポンプ９０８Ａの入口とを接続する第２送り用配管としての配管Ｌ９に、配管Ｌ１０を介して接続されてもよい。また、ドレイン１１３は、配管Ｌ１０の途中から分岐する配管Ｌ１１および配管Ｌ１２を介して、第２冷却水温度制御装置９２０Ａの第２タンク９２７Ａの側面部、および、第３冷却水温度制御装置９６０Ａの第３タンク９６７Ａの側面部に接続されてもよい。
ドレイン１１３は、第１，第２，第３冷却水温度制御装置９００Ａ，９２０Ａ，９６０Ａで利用されないＰＣＷや通常水を回収して排水してもよい。
【００４３】
第１冷却水温度制御装置９００Ａは、冷却水としてＰＣＷを利用してもよい。第１冷却水温度制御装置９００Ａは、冷却水の温度を調節して、当該温度を調節した冷却水を利用して、金属含有部１０１の温度を調節してもよい。例えば、第１冷却水温度制御装置９００Ａは、１０℃以上２１℃以下の温度で供給される冷却水の温度を、２５℃に調整してもよい。そして、第１冷却水温度制御装置９００Ａは、当該２５℃に調整した冷却水を金属含有部１０１の温度調節に利用してもよい。
第１冷却水温度制御装置９００Ａは、第１三方弁９０１Ａと、第１三方弁制御部９０５Ａと、第１流量計９０６Ａと、第１フィルタ９０７Ａと、第１ポンプ９０８Ａと、第１ヒータ９０９Ａと、第１ヒータ電源９１０Ａと、第１温度センサ９１１Ａと、第１バタフライバルブ９１２Ａと、第１バッファタンク９１３Ａと、第２バッファタンク９１４Ａと、第１タイマ９１５Ａと、第１制御部９１６Ａとを備えてもよい。第１制御部９１６Ａは、シーケンサやプログラマブルコントローラ、あるいは適当なＩ／Ｏ機器に接続されたコンピュータ等であってよい。以下の説明における第２制御部９４８Ａ、第３制御部９８８Ａ、第４制御部９４８Ｂ，第５制御部９８８Ｂも同様の構成であってよい。
【００４４】
第１三方弁９０１Ａは、第１流入部９０２Ａと、流出部９０３Ａと、第２流入部９０４Ａとを備えてもよい。
第１流入部９０２Ａおよび流出部９０３Ａは、上述したように、ＰＣＷ供給部１１１の出口および第１ポンプ９０８Ａの入口に、それぞれ接続されてもよい。第２流入部９０４Ａは、戻し側バイパス用配管としての配管Ｌ１５を介して、配管Ｌ４における配管Ｌ５および配管Ｌ６との接続部分よりも上流側に接続されてもよい。
第１三方弁制御部９０５Ａは、信号線を介して、第１制御部９１６Ａに接続されてもよい。第１三方弁制御部９０５Ａは、第１制御部９１６Ａからの信号に基づいて、第１三方弁制御部９０５Ａを制御して、第１流入部９０２Ａから流入する冷却水および第２流入部９０４Ａから流入する冷却水の流量比率を調節してもよい。この流量比率が調節された冷却水は、第１ポンプ９０８Ａに供給されてもよい。
【００４５】
第１流量計９０６Ａは、配管Ｌ１における配管Ｌ２および配管Ｌ３との接続部分よりも下流側に設けられ、信号線を介して、第１制御部９１６Ａに接続されてもよい。第１流量計９０６Ａは、配管Ｌ１を介して第１三方弁９０１Ａに流入する冷却水の流量を検出して、当該検出した流量に対応する信号を第１制御部９１６Ａに送信してもよい。
第１フィルタ９０７Ａは、配管Ｌ９における配管Ｌ１０との接続部分よりも上流側に設けられてもよい。
【００４６】
第１ポンプ９０８Ａの出口は、第２送り用配管としての配管Ｌ１６を介して、金属含有部１０１の入口に接続されてもよい。第１ポンプ９０８Ａは、第１制御部９１６Ａに接続されてもよい。第１ポンプ９０８Ａは、信号線を介して、第１制御部９１６Ａに接続され、当該第１制御部９１６Ａからの信号に基づいて、配管Ｌ１６を流れる冷却水の流量を調節してもよい。
第１ヒータ９０９Ａは、配管Ｌ１６に設けられてもよい。第１ヒータ９０９Ａは、第１ヒータ電源９１０Ａに接続されてもよい。
第１ヒータ電源９１０Ａは、信号線を介して第１制御部９１６Ａに接続され、第１制御部９１６Ａからの信号に基づいて、第１ヒータ９０９Ａを加熱してもよい。第１ヒータ９０９Ａが加熱されると、冷却水の温度が上昇し得る。
【００４７】
第１温度センサ９１１Ａは、配管Ｌ１６における第１ヒータ９０９Ａよりも下流側に設けられてもよい。第１温度センサ９１１Ａは、信号線を介して、第１制御部９１６Ａに接続されてもよい。第１温度センサ９１１Ａは、冷却水の温度を測定して、当該温度に対応する信号を第１制御部９１６Ａに送信してもよい。
第１バタフライバルブ９１２Ａは、配管Ｌ４における配管Ｌ１５との接続部分よりも上流側（金属含有部１０１側）に設けられてもよい。第１バタフライバルブ９１２Ａは、開度が調節されることによって、冷却水がクリーンルームフロアＣＬＦからサブファブフロアＳＦＦに落下してくる場合、泡の発生を抑制し得る。
【００４８】
第１バッファタンク９１３Ａは、配管Ｌ４と配管Ｌ１５との接続部分に設けられてもよい。第１バッファタンク９１３Ａは、金属含有部１０１から流入する冷却水が一定量以下の場合、流入する全ての冷却水を第１三方弁９０１Ａへ流す機能を有してもよい。また、第１バッファタンク９１３Ａは、金属含有部１０１から流入する冷却水が一定量を超える場合、一定量の冷却水を第１三方弁９０１Ａへ流し、残りの冷却水をＰＣＷ供給部１１１へ流す機能を有してもよい。
第２バッファタンク９１４Ａは、配管Ｌ９と配管Ｌ１０との接続部分に設けられ、第１フィルタ９０７Ａから流入する冷却水を一定量だけ第１ポンプ９０８Ａへ流し、一定量を超える冷却水をドレイン１１３へ流す機能を有してもよい。
なお、第１バッファタンク９１３Ａについての上記一定量、および、第２バッファタンク９１４Ａについての上記一定量は、同じであってもよいし異なっていてもよい。
第１タイマ９１５Ａは、信号線を介して第１制御部９１６Ａに接続され、計測した時間を表す信号を第１制御部９１６Ａへ送信してもよい。
第１制御部９１６Ａは、第１流量計９０６Ａ、第１温度センサ９１１Ａ、第１タイマ９１５Ａから送信される信号に基づいて、第１三方弁制御部９０５Ａ、第１ポンプ９０８Ａ、第１ヒータ電源９１０Ａをそれぞれ制御してもよい。
【００４９】
第２冷却水温度制御装置９２０Ａおよび第３冷却水温度制御装置９６０Ａは、一次冷却水としてＰＣＷを利用してもよい。第２冷却水温度制御装置９２０Ａおよび第３冷却水温度制御装置９６０Ａは、二次冷却水として通常水を利用してもよい。第２冷却水温度制御装置９２０Ａおよび第３冷却水温度制御装置９６０Ａは、通常水である二次冷却水の温度を一次冷却水で調節し、当該温度を調節した二次冷却水を利用して、第１アルミニウム含有部１０２の温度および第１銅含有部１０３の温度をそれぞれ調節してもよい。例えば、第２，第３冷却水温度制御装置９２０Ａ，９６０Ａは、１０℃以上２１℃以下の一次冷却水を用いて、二次冷却水の温度を２５℃に調整してもよい。そして、第２，第３冷却水温度制御装置９２０Ａ，９６０Ａは、当該２５℃に調整した二次冷却水を第１アルミニウム含有部１０２、第１銅含有部１０３の温度調節に利用してもよい。
【００５０】
第２冷却水温度制御装置９２０Ａは、第２三方弁９２１Ａと、第２三方弁制御部９２５Ａと、第２流量計９２６Ａと、第２タンク９２７Ａと、第２循環調節部９２９Ａと、第２ヒータ電源９３８Ａと、第２バルブ９３９Ａと、第２バタフライバルブ９４０Ａと、第２ポンプ９４１Ａと、第２フィルタ９４２Ａと、第２熱交換器９４３Ａと、第２温度センサ９４６Ａと、第２タイマ９４７Ａと、第２制御部９４８Ａとを備えてもよい。なお、第２循環調節部９２９Ａは、第２タンク９２７Ａの内部に設けられてもよい。
【００５１】
第２三方弁９２１Ａは、第１流入部９２２Ａと、流出部９２３Ａと、第２流入部９２４Ａとを備えてもよい。
第１流入部９２２Ａは、第１戻し用配管としての配管Ｌ１７を介して、第２熱交換器９４３Ａの一次側冷却部９４４Ａの出口に接続されてもよい。流出部９２３Ａは、配管Ｌ４，Ｌ５を介して、ＰＣＷ供給部１１１の入口に接続されてもよい。第２流入部９２４Ａは、送り側バイパス用配管としての配管Ｌ１８を介して、配管Ｌ２に接続されてもよい。
第２三方弁制御部９２５Ａは、第２制御部９４８Ａに接続されてもよい。第２三方弁制御部９２５Ａは、第２制御部９４８Ａからの信号に基づいて、第２三方弁９２１Ａを制御して、一次側冷却部９４４Ａに供給する一次冷却水の供給量を調節してもよい。
第２流量計９２６Ａは、配管Ｌ２における配管Ｌ１８との接続部分よりも上流側に設けられてもよい。第２流量計９２６Ａは、配管Ｌ２を流れる一次冷却水の流量を検出して、当該検出した流量に対応する信号を第２制御部９４８Ａに送信してもよい。
【００５２】
第２タンク９２７Ａは、図３および図４に示すように、箱状に形成されてもよい。
第２タンク９２７Ａは、第３循環用配管としての配管Ｌ１９を介して、第１アルミニウム含有部１０２の出口に接続されてもよい。このような構成によって、第１アルミニウム含有部１０２の温度調節に利用された二次冷却水は、第２タンク９２７Ａ内に流入し得る。
また、第２タンク９２７Ａは、配管Ｌ７を介して、通常水供給部１１２に接続されてもよい。このような構成によって、通常水供給部１１２から供給される二次冷却水が第２タンク９２７Ａ内に流入し得る。
さらに、第２タンク９２７Ａの側面部における上端部近傍は、配管Ｌ１１を介してドレイン１１３に接続されてもよい。
また、第２タンク９２７Ａの底面部は、第１循環用配管としての配管Ｌ２０を介して、第２ポンプ９４１Ａの入口に接続されてもよい。
【００５３】
第２循環調節部９２９Ａは、第２筒９３０Ａと、第２フロート９３１Ａと、水量検出部としての第２上限リミットスイッチ９３２Ａと、水量検出部としての第２下限リミットスイッチ９３３Ａと、第２ヒータ９３４Ａとを備えてもよい。
第２筒９３０Ａは、第２タンク９２７Ａの内部における左側の側面部近傍に設けられてもよい。第２筒９３０Ａは、上下方向に長い形状に形成されてもよい。第２筒９３０Ａは、第２タンク９２７Ａ内の二次冷却水１２０が筒内部に流入可能なように、図示しないスリットや孔を備えてもよい。
【００５４】
第２フロート９３１Ａは、第２筒９３０Ａ内に配置されてもよい。第２フロート９３１Ａは、二次冷却水１２０に浮く性質を有する材料で形成され、第２筒９３０Ａ内の二次冷却水１２０の量に応じて、第２筒９３０Ａ内を昇降可能に構成されてもよい。
第２上限リミットスイッチ９３２Ａは、第２筒９３０Ａ内の上端部近傍に設けられてもよい。第２下限リミットスイッチ９３３Ａは、第２筒９３０Ａ内の下端部近傍に設けられてもよい。第２上限リミットスイッチ９３２Ａおよび第２下限リミットスイッチ９３３Ａは、それぞれ第２制御部９４８Ａに接続されてもよい。第２上限リミットスイッチ９３２Ａおよび第２下限リミットスイッチ９３３Ａは、第２フロート９３１Ａが接触したことを検知して、当該検知した旨の信号を第２制御部９４８Ａに送信してもよい。
なお、第２フロート９３１Ａとして、液面との距離を測定して、当該測定結果に対応する信号を第２制御部９４８Ａに送信可能なセンサを適用してもよい。この場合、第２上限リミットスイッチ９３２Ａおよび第２下限リミットスイッチ９３３Ａを設けないようにしてもよい。
【００５５】
第２ヒータ９３４Ａは、いわゆる投げ込み式のヒータであってもよい。第２ヒータ９３４Ａは、第２タンク９２７Ａ内に配置され、第２ヒータ電源９３８Ａに接続されてもよい。好ましくは、第２ヒータ９３４Ａは、少なくともその一部が第２下限リミットスイッチ９３３Ａより下側に位置しているとよい。
第２ヒータ電源９３８Ａは、第２制御部９４８Ａに接続され、第２制御部９４８Ａからの信号に基づいて、第２ヒータ９３４Ａを加熱してもよい。
第２バルブ９３９Ａは、配管Ｌ７における配管Ｌ８との分岐点よりも下流側に設けられてもよい。第２バルブ９３９Ａは、第２制御部９４８Ａに接続されてもよい。第２バルブ９３９Ａは、第２制御部９４８Ａの制御によって、開状態と閉状態とを切り替えできるように構成されてもよい。
第２バタフライバルブ９４０Ａは、配管Ｌ１９に設けられてもよい。
【００５６】
第２ポンプ９４１Ａの出口は、第１循環用配管としての配管Ｌ２１を介して、第２熱交換器９４３Ａの二次側冷却部９４５Ａの入口に接続されてもよい。第２ポンプ９４１Ａは、第２制御部９４８Ａからの信号に基づいて、配管Ｌ２１を流れる二次冷却水の流量を調節してもよい。
第２フィルタ９４２Ａは、配管Ｌ２０に設けられてもよい。
【００５７】
第２熱交換器９４３Ａは、第１アルミニウム含有部１０２の温度調節に利用する二次冷却水の温度を、一次冷却水を利用して調節してもよい。第２熱交換器９４３Ａは、一次冷却水および二次冷却水としてそれぞれ水を利用するプレート型熱交換器であってもよい。第２熱交換器９４３Ａは、一次冷却水を流すための一次側冷却部９４４Ａと、二次冷却水を流すための二次側冷却部９４５Ａとを備えてもよい。
【００５８】
一次側冷却部９４４Ａは、二次冷却水を冷却するために、二次側冷却部９４５Ａと接触して設けられてもよいし、二次側冷却部９４５Ａと接触せずに接近して設けられてもよい。
一次側冷却部９４４Ａの入口は、配管Ｌ２および配管Ｌ１を介して、ＰＣＷ供給部１１１の出口に接続されてもよい。また、一次側冷却部９４４Ａの出口は、配管Ｌ１７、第２三方弁９２１Ａ、配管Ｌ５、配管Ｌ４を介して、ＰＣＷ供給部１１１の入口に接続されてもよい。このような構成によって、一次冷却水は、一次側冷却部９４４ＡとＰＣＷ供給部１１１との間で循環し得る。
【００５９】
二次側冷却部９４５Ａの入口は、配管Ｌ２１、第２ポンプ９４１Ａ、配管Ｌ２０を介して第２タンク９２７Ａに接続されてもよい。二次側冷却部９４５Ａの出口は、第２循環用配管としての配管Ｌ２２を介して、第１アルミニウム含有部１０２の入口に接続されてもよい。このような構成によって、第２タンク９２７Ａから流出する二次冷却水は、二次側冷却部９４５Ａに流入し、一次側冷却部９４４Ａを流れる一次冷却水によって温度が調節され得る。そして、温度が調節された二次冷却水は、第１アルミニウム含有部１０２に供給され得る。
【００６０】
第２温度センサ９４６Ａは、配管Ｌ２２に設けられてもよい。第２温度センサ９４６Ａは、第２制御部９４８Ａに接続されてもよい。第２温度センサ９４６Ａは、二次冷却水の温度を測定して、当該温度に対応する信号を第２制御部９４８Ａに送信してもよい。
第２制御部９４８Ａは、第２流量計９２６Ａ、第２上限リミットスイッチ９３２Ａ、第２下限リミットスイッチ９３３Ａ、第２温度センサ９４６Ａ、第２タイマ９４７Ａからそれぞれ送信される信号に基づいて、第２三方弁制御部９２５Ａ、第２ヒータ電源９３８Ａ、第２バルブ９３９Ａ、第２ポンプ９４１Ａをそれぞれ制御してもよい。
【００６１】
第３冷却水温度制御装置９６０Ａは、第２冷却水温度制御装置９２０Ａと略等しい構成を有してもよい。以下において、第３冷却水温度制御装置９６０Ａの構成の説明については、簡略にする。
第３冷却水温度制御装置９６０Ａは、第３三方弁９６１Ａと、第３三方弁制御部９６５Ａと、第３流量計９６６Ａと、第３タンク９６７Ａと、第３循環調節部９６９Ａと、第３ヒータ電源９７８Ａと、第３バルブ９７９Ａと、第３バタフライバルブ９８０Ａと、第３ポンプ９８１Ａと、第３フィルタ９８２Ａと、第３熱交換器９８３Ａと、第３温度センサ９８６Ａと、第３タイマ９８７Ａと、第３制御部９８８Ａとを備えてもよい。
【００６２】
第３三方弁９６１Ａの第１流入部９６２Ａは、第１戻し用配管としての配管Ｌ２３を介して、第３熱交換器９８３Ａの一次側冷却部９８４Ａの出口に接続されてもよい。流出部９６３Ａは、配管Ｌ６，Ｌ４を介して、ＰＣＷ供給部１１１の入口に接続されてもよい。第２流入部９６４Ａは、送り側バイパス用配管としての配管Ｌ２４を介して、配管Ｌ３に接続されてもよい。
第３三方弁制御部９６５Ａは、第３制御部９８８Ａからの信号に基づいて、第３三方弁９６１Ａを制御して、一次側冷却部９８４Ａに供給する一次冷却水の供給量を調節してもよい。
第３流量計９６６Ａは、配管Ｌ３における配管Ｌ２４との接続部分よりも上流側に設けられ、一次冷却水の流量を検出して、当該検出した流量に対応する信号を第３制御部９８８Ａに送信してもよい。
【００６３】
第３タンク９６７Ａは、第３循環用配管としての配管Ｌ２５を介して、第１銅含有部１０３の出口に接続され、第１銅含有部１０３の温度調節に利用された二次冷却水が第３タンク９６７Ａ内に流入し得るように、構成されてもよい。また、第３タンク９６７Ａは、配管Ｌ８を介して、通常水供給部１１２に接続され、通常水供給部１１２から供給される二次冷却水が第３タンク９６７Ａ内に流入し得るように、構成されてもよい。
さらに、第３タンク９６７Ａの側面部は、配管Ｌ１２を介してドレイン１１３に接続されてもよい。また、第３タンク９６７Ａの底面部は、第１循環用配管としての配管Ｌ２６を介して、第３ポンプ９８１Ａの入口に接続されてもよい。
【００６４】
第３循環調節部９６９Ａは、第３筒９７０Ａと、第３フロート９７１Ａと、水量検出部としての第３上限リミットスイッチ９７２Ａと、水量検出部としての第３下限リミットスイッチ９７３Ａと、第３ヒータ９７４Ａとを備えてもよい。
第３上限リミットスイッチ９７２Ａおよび第３下限リミットスイッチ９７３Ａは、第３筒９７０Ａ内を昇降する第３フロート９７１Ａが接触したことを検知して、当該検知した旨の信号を第３制御部９８８Ａに送信してもよい。
【００６５】
第３バルブ９７９Ａは、配管Ｌ８に設けられてもよい。
第３バタフライバルブ９８０Ａは、配管Ｌ２５に設けられてもよい。
第３ポンプ９８１Ａの出口は、第１循環用配管としての配管Ｌ２７を介して、第３熱交換器９８３Ａの二次側冷却部９８５Ａの入口に接続されてもよい。
第３フィルタ９８２Ａは、配管Ｌ２６に設けられてもよい。
【００６６】
第３熱交換器９８３Ａは、第１銅含有部１０３の温度調節に利用する二次冷却水の温度を、一次冷却水を利用して調節してもよい。
一次側冷却部９８４Ａの入口は、配管Ｌ３，Ｌ１を介して、ＰＣＷ供給部１１１の出口に接続されてもよい。また、一次側冷却部９８４Ａの出口は、配管Ｌ２３、第３三方弁９６１Ａ、配管Ｌ６，Ｌ４を介して、ＰＣＷ供給部１１１の入口に接続されてもよい。
二次側冷却部９８５Ａの入口は、配管Ｌ２７、第３ポンプ９８１Ａ、配管Ｌ２６を介して第３タンク９６７Ａに接続されてもよい。二次側冷却部９８５Ａの出口は、第２循環用配管としての配管Ｌ２８を介して、第１銅含有部１０３の入口に接続されてもよい。
【００６７】
第３温度センサ９８６Ａは、配管Ｌ２８に設けられ、配管Ｌ２８を流れる二次冷却水の温度を測定して、当該温度に対応する信号を第３制御部９８８Ａに送信してもよい。
第３制御部９８８Ａは、第３流量計９６６Ａ、第３上限リミットスイッチ９７２Ａ、第３下限リミットスイッチ９７３Ａ、第３温度センサ９８６Ａ、第３タイマ９８７Ａからそれぞれ送信される信号に基づいて、第３三方弁制御部９６５Ａ、第３ヒータ電源９７８Ａ、第３バルブ９７９Ａ、第３ポンプ９８１Ａをそれぞれ制御してもよい。
【００６８】
第２温度制御システム９０Ｂは、図５に示すように、ＰＣＷ供給部１１１と、ドレイン１１３と、窒素ガス供給部１１４と、二次冷却水供給部としての超純水供給部１１５とに接続されてもよい。また、第２温度制御システム９０Ｂは、第４冷却水温度制御装置９２０Ｂと、第５冷却水温度制御装置９６０Ｂとを備えてもよい。第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂは、クリーンルームフロアＣＬＦに配置された第２アルミニウム含有部１０５、第２銅含有部１０６の温度を、超純水である二次冷却水を用いて調節してもよい。これによって、後述する配管Ｌ４９、配管Ｌ５２、配管Ｌ５５、配管Ｌ５８から漏水が発生したとしても、漏れる水は超純水のため、クリーンルームフロアＣＬＦの汚染を抑制し得る。なお、第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂは、第２，第３冷却水温度制御装置９２０Ａ，９６０Ａとほぼ等しい構成を有している。このため、第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂの構成の説明については、簡略にする。
【００６９】
ＰＣＷ供給部１１１の出口は、送り用配管としての配管Ｌ３２、および、当該配管Ｌ３２の途中から分岐する送り用配管としての配管Ｌ３３を介して、第４冷却水温度制御装置９２０Ｂの第４熱交換器９４３Ｂの一次側冷却部９４４Ｂの入口、および、第５冷却水温度制御装置９６０Ｂの第５熱交換器９８３Ｂの一次側冷却部９８４Ｂの入口に、それぞれ接続されてもよい。
ＰＣＷ供給部１１１の入口は、第２戻し用配管としての配管Ｌ３５、および、当該配管Ｌ３５の途中から分岐する第２戻し用配管としての配管Ｌ３６をそれぞれ介して、第４冷却水温度制御装置９２０Ｂの第４熱交換器９４３Ｂの一次側冷却部９４４Ｂの出口、および、第５冷却水温度制御装置９６０Ｂの第５熱交換器９８３Ｂの一次側冷却部９８４Ｂの出口に、接続されてもよい。
【００７０】
ドレイン１１３は、配管Ｌ４１、および、当該配管Ｌ４１の途中から分岐する配管Ｌ４２を介して、第４冷却水温度制御装置９２０Ｂの第４タンク９２７Ｂ、および、第５冷却水温度制御装置９６０Ｂの第５タンク９６７Ｂに接続され、第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂで利用しない超純水を排水してもよい。
【００７１】
窒素ガス供給部１１４は、配管Ｌ４３、および、配管Ｌ４３の途中から分岐する配管Ｌ４４を介して、第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂの第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂにそれぞれ接続されてもよい。
窒素ガス供給部１１４は、超純水である二次冷却水中に溶存している酸素濃度を減らすための窒素ガスを第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂへ供給してもよい。
【００７２】
超純水供給部１１５は、注入用配管としての配管Ｌ３７、および、配管Ｌ３７の途中から分岐する注入用配管としての配管Ｌ３８を介して、第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂの第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂにそれぞれ接続されてもよい。
超純水供給部１１５は、超純水を二次冷却水として第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂにそれぞれ供給してもよい。
【００７３】
第４冷却水温度制御装置９２０Ｂおよび第５冷却水温度制御装置９６０Ｂは、一次冷却水としてＰＣＷを利用してもよい。第４冷却水温度制御装置９２０Ｂおよび第５冷却水温度制御装置９６０Ｂは、二次冷却水として純水を利用してもよい。第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂは、二次冷却水の温度を一次冷却水で調節して、当該温度を調節した二次冷却水を利用して、第２アルミニウム含有部１０５の温度および第２銅含有部１０６の温度をそれぞれ調節してもよい。例えば、第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂは、１０℃以上２１℃以下の一次冷却水を用いて、二次冷却水の温度を２５℃に調整し、当該２５℃に調整した二次冷却水を第２アルミニウム含有部１０５、第２銅含有部１０６の温度調節に利用してもよい。
【００７４】
第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂは、第４，第５三方弁９２１Ｂ，９６１Ｂと、第４，第５三方弁制御部９２５Ｂ，９６５Ｂと、第４，第５流量計９２６Ｂ，９６６Ｂと、第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂと、第４，第５循環調節部９２９Ｂ，９６９Ｂと、第４，第５ヒータ電源９３８Ｂ，９７８Ｂと、第４，第５バルブ９３９Ｂ，９７９Ｂと、第４，第５バタフライバルブ９４０Ｂ，９８０Ｂと、第４，第５ポンプ９４１Ｂ，９８１Ｂと、第４，第５フィルタ９４２Ｂ，９８２Ｂと、第４，第５熱交換器９４３Ｂ，９８３Ｂと、第４，第５温度センサ９４６Ｂ，９８６Ｂと、第４，第５タイマ９４７Ｂ，９８７Ｂと、第４，第５制御部９４８Ｂ，９８８Ｂとを備えてもよい。
【００７５】
第４，第５三方弁９２１Ｂ，９６１Ｂの第１流入部９２２Ｂ，９６２Ｂは、第１戻し用配管としての配管Ｌ４７，Ｌ５３をそれぞれ介して、第４熱交換器９４３Ｂの一次側冷却部９４４Ｂの出口、および、第５熱交換器９８３Ｂの一次側冷却部９８４Ｂの出口に接続されてもよい。流出部９２３Ｂ，９６３Ｂは、配管Ｌ３５，Ｌ３６をそれぞれ介して、ＰＣＷ供給部１１１の入口に接続されてもよい。第２流入部９２４Ｂは、送り側バイパス用配管としての配管Ｌ４８を介して、配管Ｌ３２に接続されてもよい。第２流入部９６４Ｂは、送り側バイパス用配管としての配管Ｌ５４を介して、配管Ｌ３３に接続されてもよい。
第４，第５三方弁制御部９２５Ｂ，９６５Ｂは、第４，第５制御部９４８Ｂ，９８８Ｂからの信号に基づいて、第４，第５三方弁９２１Ｂ，９６１Ｂをそれぞれ制御してもよい。第４，第５三方弁９２１Ｂ，９６１Ｂの制御によって、一次側冷却部９４４Ｂ，９８４Ｂに供給する一次冷却水の供給量が調節され得る。
【００７６】
第４，第５流量計９２６Ｂ，９６６Ｂは、配管Ｌ３２における配管Ｌ４８との接続部分よりも上流側、および、配管Ｌ３３における配管Ｌ５４との接続部分よりも上流側にそれぞれ設けられてもよい。第４，第５流量計９２６Ｂ，９６６Ｂは、配管Ｌ３２，Ｌ３３を流れる一次冷却水の流量を検出して、当該検出した流量に対応する信号をそれぞれ第４，第５制御部９４８Ｂ，９８８Ｂに送信してもよい。
【００７７】
第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂのそれぞれは、図５および図６に示すように、第３循環用配管としての配管Ｌ４９，Ｌ５５をそれぞれ介して、第２アルミニウム含有部１０５および第２銅含有部１０６のそれぞれの出口に接続されてもよい。これにより、第２アルミニウム含有部１０５、第２銅含有部１０６の温度調節に利用された二次冷却水が、第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂに流入し得る。
また、第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂのそれぞれは、配管Ｌ３７，Ｌ３８をそれぞれ介して、超純水供給部１１５に接続されてもよい。これにより、超純水供給部１１５から供給される二次冷却水が第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂに流入し得る。
【００７８】
第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂのそれぞれの側面部は、配管Ｌ４１，Ｌ４２をそれぞれ介して、ドレイン１１３に接続されてもよい。
第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂのそれぞれの底面部における左右方向略中央には、上方に延びる第４，第５プレート９２８Ｂ，９６８Ｂが設けられてもよい。第４，第５プレート９２８Ｂ，９６８Ｂの上端は、第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂの上下方向略中央より下側に位置してもよい。
また、第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂのそれぞれの底面部における第４，第５プレート９２８Ｂ，９６８Ｂよりも左側は、第１循環用配管としての配管Ｌ５０，Ｌ５６をそれぞれ介して、第４，第５ポンプ９４１Ｂ，９８１Ｂのそれぞれの入口に接続されてもよい。
【００７９】
第４，第５循環調節部９２９Ｂ，９６９Ｂは、第４，第５筒９３０Ｂ，９７０Ｂと、第４，第５フロート９３１Ｂ，９７１Ｂと、水量検出部としての第４，第５上限リミットスイッチ９３２Ｂ，９７２Ｂと、水量検出部としての第４，第５下限リミットスイッチ９３３Ｂ，９７３Ｂと、第４，第５ヒータ９３４Ｂ，９７４Ｂと、窒素導入部としての第４，第５泡発生部９３５Ｂ，９７５Ｂとを備えてもよい。
【００８０】
第４，第５筒９３０Ｂ，９７０Ｂは、第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂ内の二次冷却水１２１が筒内部に流入可能なように、図示しないスリットや孔を備えてもよい。
【００８１】
第４，第５上限リミットスイッチ９３２Ｂ，９７２Ｂは、第４，第５筒９３０Ｂ，９７０Ｂのそれぞれの上端部近傍に設けられてもよい。第４，第５下限リミットスイッチ９３３Ｂ，９７３Ｂは、第４，第５筒９３０Ｂ，９７０Ｂのそれぞれの下端部近傍に設けられてもよい。第４上限リミットスイッチ９３２Ｂおよび第４下限リミットスイッチ９３３Ｂは、第４フロート９３１Ｂが接触したことを検知した旨の信号を第４制御部９４８Ｂに送信してもよい。第５上限リミットスイッチ９７２Ｂおよび第５下限リミットスイッチ９７３Ｂは、第５フロート９７１Ｂが接触したことを検知した旨の信号を第５制御部９８８Ｂに送信してもよい。
【００８２】
第４，第５ヒータ９３４Ｂ，９７４Ｂは、第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂ内に配置され、第４，第５プレート９２８Ｂ，９６８Ｂと第４，第５筒９３０Ｂ，９７０Ｂとの間に位置するように設けられてもよい。好ましくは、第４，第５ヒータ９３４Ｂ，９７４Ｂは、少なくともその一部がそれぞれ第４，第５下限リミットスイッチ９３３Ｂ，９７３Ｂより下側に位置しているとよい。第４，第５ヒータ９３４Ｂ，９７４Ｂは、第４，第５ヒータ電源９３８Ｂ，９７８Ｂに接続されてもよい。
第４，第５泡発生部９３５Ｂ，９７５Ｂは、第４，第５プレート９２８Ｂ，９６８Ｂの右側にそれぞれ設けられてもよい。第４，第５泡発生部９３５Ｂ，９７５Ｂは、多孔質の部材で構成されてもよい。第４，第５泡発生部９３５Ｂ，９７５Ｂは、第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂの上面部を貫通する配管Ｌ４３，Ｌ４４をそれぞれ介して、窒素ガス供給部１１４に接続されてもよい。このような構成によって、窒素ガス供給部１１４から窒素ガスが第４，第５泡発生部９３５Ｂ，９７５Ｂに供給されると、第４，第５泡発生部９３５Ｂ，９７５Ｂは、孔９３６Ｂ，９７６Ｂから窒素ガスの泡９３７Ｂ，９７７Ｂを発生し得る。この泡９３７Ｂ，９７７Ｂが二次冷却水１２１を通過すること（窒素ガスによるバブリング）によって、二次冷却水１２１中の溶存酸素濃度が低下し得る。そして、当該溶存酸素濃度を低下させることによって、配管などの第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂを構成する金属が酸化されて腐食することを抑制し得る。
【００８３】
ここで、配管Ｌ５０，Ｌ５６が第４，第５プレート９２８Ｂ，９６８Ｂを挟んで第４，第５泡発生部９３５Ｂ，９７５Ｂと反対側に設けられている。このため、泡９３７Ｂ，９７７Ｂは、第４，第５プレート９２８Ｂ，９６８Ｂによって、当該第４，第５プレート９２８Ｂ，９６８Ｂよりも配管Ｌ５０，Ｌ５６の接続部側に行くことが阻止され得る。したがって、配管Ｌ５０，Ｌ５６から流出する二次冷却水１２１に泡９３７Ｂ，９７７Ｂが混合することが抑制され得る。
【００８４】
第４，第５ヒータ電源９３８Ｂ，９７８Ｂは、第４，第５制御部９４８Ｂ，９８８Ｂからの信号に基づいて、第４，第５ヒータ９３４Ｂ，９７４Ｂをそれぞれ加熱してもよい。
第４バルブ９３９Ｂは、配管Ｌ３７における配管Ｌ３８との分岐点よりも下流側に設けられてもよい。第５バルブ９７９Ｂは、配管Ｌ３８に設けられてもよい。第４，第５バルブ９３９Ｂ，９７９Ｂは、第４，第５制御部９４８Ｂ，９８８Ｂの制御によって、それぞれ開状態と閉状態とを切り替えできるように構成されてもよい。
第４，第５バタフライバルブ９４０Ｂ，９８０Ｂは、配管Ｌ４９，Ｌ５５にそれぞれ設けられてもよい。
【００８５】
第４，第５ポンプ９４１Ｂ，９８１Ｂのそれぞれの出口は、第１循環用配管としての配管Ｌ５１、配管Ｌ５７をそれぞれ介して、第４，第５熱交換器９４３Ｂ，９８３Ｂの二次側冷却部９４５Ｂ，９８５Ｂのそれぞれの入口に接続されてもよい。第４，第５ポンプ９４１Ｂ，９８１Ｂは、第４，第５制御部９４８Ｂ，９８８Ｂからの信号に基づいて、配管Ｌ５１，Ｌ５７を流れる二次冷却水の流量を調節してもよい。
第４，第５フィルタ９４２Ｂ，９８２Ｂは、配管Ｌ５０，Ｌ５６にそれぞれ設けられてもよい。
【００８６】
第４，第５熱交換器９４３Ｂ，９８３Ｂは、第２アルミニウム含有部１０５の温度調節および第２銅含有部１０６の温度調節にそれぞれ利用する二次冷却水の温度を、一次冷却水を利用して調節してもよい。
第４，第５熱交換器９４３Ｂ，９８３Ｂの一次側冷却部９４４Ｂ，９８４Ｂのそれぞれの入口は、配管Ｌ３２，Ｌ３３を介して、ＰＣＷ供給部１１１の出口に接続されてもよい。また、一次側冷却部９４４Ｂの出口は、配管Ｌ４７、第４三方弁９２１Ｂ、配管Ｌ３５を介して、ＰＣＷ供給部１１１の入口に接続されてもよい。さらに、一次側冷却部９８４Ｂの出口は、配管Ｌ５３、第５三方弁９６１Ｂ、配管Ｌ３６，Ｌ３５を介して、ＰＣＷ供給部１１１の入口に接続されてもよい。このような構成によって、一次冷却水は、一次側冷却部９４４ＢとＰＣＷ供給部１１１との間、および一次側冷却部９８４ＢとＰＣＷ供給部１１１との間で循環し得る。
【００８７】
二次側冷却部９４５Ｂの入口は、配管Ｌ５１、第４ポンプ９４１Ｂ、配管Ｌ５０を介して第４タンク９２７Ｂに接続されてもよい。二次側冷却部９４５Ｂの出口は、第２循環用配管としての配管Ｌ５２を介して、第２アルミニウム含有部１０５の入口に接続されてもよい。二次側冷却部９８５Ｂの入口は、配管Ｌ５７、第５ポンプ９８１Ｂ、配管Ｌ５６を介して第５タンク９６７Ｂに接続されてもよい。二次側冷却部９８５Ｂの出口は、第２循環用配管としての配管Ｌ５８を介して、第２銅含有部１０６の入口に接続されてもよい。このような構成によって、第４，第５タンク９２７Ｂ，９６７Ｂから流出する二次冷却水は、二次側冷却部９４５Ｂ，９８５Ｂにそれぞれ流入し、一次側冷却部９４４Ｂ，９８４Ｂを流れる一次冷却水によって温度が調節され得る。そして、温度が調節された二次冷却水は、第２アルミニウム含有部１０５および第２銅含有部１０６にそれぞれ供給され得る。
【００８８】
第４，第５温度センサ９４６Ｂ，９８６Ｂは、配管Ｌ５２，Ｌ５８にそれぞれ設けられ、配管Ｌ５２，Ｌ５８をそれぞれ流れる二次冷却水の温度を測定して、当該温度に対応する信号を第４，第５制御部９４８Ｂ，９８８Ｂに送信してもよい。
第４，第５制御部９４８Ｂ，９８８Ｂは、第４，第５流量計９２６Ｂ，９６６Ｂ、第４，第５上限リミットスイッチ９３２Ｂ，９７２Ｂ、第４，第５下限リミットスイッチ９３３Ｂ，９７３Ｂ、第４，第５温度センサ９４６Ｂ，９８６Ｂ、第４，第５タイマ９４７Ｂ，９８７Ｂからそれぞれ送信される信号に基づいて、第４，第５三方弁制御部９２５Ｂ，９６５Ｂ、第４，第５ヒータ電源９３８Ｂ，９７８Ｂ、第４，第５バルブ９３９Ｂ，９７９Ｂ、第４，第５ポンプ９４１Ｂ，９８１Ｂをそれぞれ制御してもよい。
【００８９】
３．２．２  動作
３．２．２．１  第１冷却水温度制御装置における温度調節処理
図７は、第１冷却水温度制御装置における温度調節処理を示すフローチャートである。図８は、冷却水のヒータによる温度制御サブルーチンを示すフローチャートである。図９は、温度調節処理中における第１冷却水温度制御装置の動作を概略的に示す。図１０は、冷却水の三方弁による温度制御サブルーチンを示すフローチャートである。
【００９０】
第１冷却水温度制御装置９００Ａの第１制御部９１６Ａは、少なくとも、配管Ｌ９，Ｌ１６、金属含有部１０１、配管Ｌ４，Ｌ１５内にＰＣＷが冷却水として存在している状態において、図７に示すように、冷却水１３３の第１ヒータ９０９Ａによる温度制御サブルーチンを行ってもよい（ステップＳ１）。このステップＳ１の処理によって、ＰＣＷ供給部１１１から金属含有部１０１に供給される冷却水の温度は、下限温度Ｔ１Ｌ（℃）以上、上限温度Ｔ１Ｈ（℃）以下に調節され得る。
ここで、上限温度Ｔ１Ｈおよび下限温度Ｔ１Ｌで規定される温度範囲は、冷却水の目標温度である２５℃を中心値とした範囲であってよい。例えば、上限温度Ｔ１Ｈは、２５．１℃であってもよい。下限温度Ｔ１Ｌは、２４．９℃であってもよい。
【００９１】
具体的に、第１制御部９１６Ａは、図８に示すように、第１タイマ９１５Ａをセットして計測時間Ｍ１の計測を開始してもよい（ステップＳ１１）。
さらに、第１制御部９１６Ａは、図９に示すように、配管Ｌ１，Ｌ９を介して、ＰＣＷ供給部１１１から第１ポンプ９０８Ａへ流入する冷却水１３１の供給量を最小にするとともに、金属含有部１０１から配管Ｌ４，Ｌ１５を介して第１ポンプ９０８Ａへ流入する冷却水１３２の供給量を最大にするように、第１三方弁９０１Ａを制御してもよい（ステップＳ１２）。このとき、第１制御部９１６Ａは、第１流入部９０２Ａから流出部９０３Ａへの流路を閉じるとともに、第２流入部９０４Ａから流出部９０３Ａへの流路を全開にするための信号を、第１三方弁制御部９０５Ａへ送信してもよい。
【００９２】
次に、第１制御部９１６Ａは、第１ヒータ電源９１０Ａをオンにして、第１ヒータ９０９Ａによる加熱を開始してもよい（ステップＳ１３）。これによって、配管Ｌ１６に存在する冷却水１３３の温度が上昇し得る。この後、第１制御部９１６Ａは、第１タイマ９１５Ａによる計測時間Ｍ１が予め設定された設定時間Ｋ１を経過したか否かを判定してもよい（ステップＳ１４）。設定時間Ｋ１は、冷却水１３３の温度が、下限温度Ｔ１Ｌ以上、上限温度Ｔ１Ｈ以下まで上昇し得る時間に設定されてもよい。
そして、第１制御部９１６Ａは、ステップＳ１４において設定時間Ｋ１を経過していないと判断した場合、ステップＳ１４の処理を再度行い、設定時間Ｋ１を経過したと判定した場合、第１ポンプ９０８Ａへ信号を送信して、第１ポンプ９０８Ａを駆動してもよい（ステップＳ１５）。この第１ポンプ９０８Ａの駆動によって、配管Ｌ４，Ｌ１５，Ｌ９，Ｌ１６、金属含有部１０１の間において、ＰＣＷ供給部１１１から冷却水が供給されることなく、制御開始時に冷却水１３２，１３３として存在していたＰＣＷが循環し得る。そして、当該ＰＣＷが冷却水１３３として配管Ｌ１６を通過するごとに、当該冷却水１３３の温度が上昇し得る。
【００９３】
この後、第１制御部９１６Ａは、第１温度センサ９１１Ａからの信号に基づいて、冷却水１３３の測定温度Ｔ１を測定し（ステップＳ１６）、測定温度Ｔ１が下限温度Ｔ１Ｌ以上かつ上限温度Ｔ１Ｈ以下か否かを判定してもよい（ステップＳ１７）。ここで、金属含有部１０１を冷却するときにおける当該金属含有部１０１と冷却水１３３との熱交換、あるいは、第１ヒータ９０９Ａによる加熱によって、冷却水１３３の温度が上昇し得る。
【００９４】
第１制御部９１６Ａは、ステップＳ１７において、下限温度Ｔ１Ｌ以上かつ上限温度Ｔ１Ｈ以下であると判定した場合、第１ヒータ９０９Ａをオフにして（ステップＳ１８）、冷却水１３３の第１ヒータ９０９Ａによる温度制御サブルーチンを終了し得る。
一方、第１制御部９１６Ａは、ステップＳ１７において、下限温度Ｔ１Ｌ以上かつ上限温度Ｔ１Ｈ以下でないと判定した場合、測定温度Ｔ１が下限温度Ｔ１Ｌ未満か否かを判定してもよい（ステップＳ１９）。そして、第１制御部９１６Ａは、ステップＳ１９において、下限温度Ｔ１Ｌ未満であると判定した場合、第１ヒータ９０９Ａの電流値を上げて（ステップＳ２０）、ステップＳ１７の処理を行ってもよい。このステップＳ２０の制御によって、冷却水１３３の温度が下限温度Ｔ１Ｌ以上に上がり得る。
また、第１制御部９１６Ａは、ステップＳ１９において、下限温度Ｔ１Ｌ未満でないと判断した場合、測定温度Ｔ１が上限温度Ｔ１Ｈを超えていると見なして、第１ヒータ９０９Ａの電流値を下げてもよい（ステップＳ２１）。このステップＳ２１の制御によって、冷却水１３３の温度が上限温度Ｔ１Ｈ未満に下がり得る。この後、第１制御部９１６Ａは、ステップＳ１７の処理を行ってもよい。
以上の処理によって、下限温度Ｔ１Ｌ以上、上限温度Ｔ１Ｈ以下の温度に調整された冷却水１３３が、金属含有部１０１に供給され得る。
【００９５】
この後、第１制御部９１６Ａは、図７に示すように、ステップＳ１の処理の後、冷却水１３３の第１三方弁９０１Ａによる温度制御サブルーチンを行ってもよい（ステップＳ２）。このステップＳ２の処理によって、第１ヒータ９０９Ａを用いることなく、冷却水１３３の温度を調節し得る。そして、金属含有部１０１と、温度が調節された冷却水１３３との熱交換によって、金属含有部１０１の温度は、調節され得る。
【００９６】
具体的に、第１制御部９１６Ａは、図１０に示すように、第１ポンプ９０８Ａを駆動して（ステップＳ３１）、冷却水１３３の測定温度Ｔ１を測定してもよい（ステップＳ３２）。そして、第１制御部９１６Ａは、測定温度Ｔ１が下限温度Ｔ１Ｌ以上かつ上限温度Ｔ１Ｈ以下か否かを判定してもよい（ステップＳ３３）。
【００９７】
第１制御部９１６Ａは、ステップＳ３３において、下限温度Ｔ１Ｌ以上かつ上限温度Ｔ１Ｈ以下であると判定した場合、ＰＣＷ供給部１１１からの冷却水１３１の供給量および金属含有部１０１からの冷却水１３２の供給量を変化させず（ステップＳ３４）、冷却水１３３の第１三方弁９０１Ａによる温度制御サブルーチンを終了し得る。このステップＳ３４の制御においては、冷却水１３３における冷却水１３１と冷却水１３２との混合割合が変化しないため、冷却水１３３の温度が、下限温度Ｔ１Ｌ以上かつ上限温度Ｔ１Ｈ以下に維持され得る。
【００９８】
一方、第１制御部９１６Ａは、ステップＳ３３において、下限温度Ｔ１Ｌ以上かつ上限温度Ｔ１Ｈ以下でないと判定した場合、測定温度Ｔ１が下限温度Ｔ１Ｌ未満か否かを判定してもよい（ステップＳ３５）。そして、第１制御部９１６Ａは、ステップＳ３５において、下限温度Ｔ１Ｌ未満であると判定した場合、第１三方弁９０１Ａを制御して、ＰＣＷ供給部１１１からの冷却水１３１の供給量を減らすとともに、金属含有部１０１からの冷却水１３２の供給量を増やし（ステップＳ３６）、ステップＳ３３の処理を行ってもよい。このステップＳ３６の制御においては、冷却水１３３における冷却水１３２の混合割合が増えて、当該冷却水１３２よりも温度が低い冷却水１３１の混合割合が減るため、冷却水１３３の温度が上がり得る。
【００９９】
また、第１制御部９１６Ａは、ステップＳ３５において、下限温度Ｔ１Ｌ未満でないと判定した場合、測定温度Ｔ１が上限温度Ｔ１Ｈを超えていると見なして、第１三方弁９０１Ａを制御することによりＰＣＷ供給部１１１からの冷却水１３１の供給量を増やすとともに、金属含有部１０１からの冷却水１３２の供給量を減らし（ステップＳ３７）、ステップＳ３３の処理を行ってもよい。このステップＳ３７の制御においては、冷却水１３３における冷却水１３２の混合割合が減って、冷却水１３１の混合割合が増えるため、冷却水１３３の温度が下がり得る。
以上の処理によって、下限温度Ｔ１Ｌ以上、上限温度Ｔ１Ｈ以下の温度に調整された冷却水１３３が、金属含有部１０１に供給され得る。
【０１００】
そして、第１制御部９１６Ａは、図７に示すように、ステップＳ２の処理の後、冷却水１３３による金属含有部１０１の温度調節を停止するか否かを判定してもよい（ステップＳ３）。第１制御部９１６Ａは、ステップＳ３において停止しないと判定した場合、ステップＳ２の処理を行い、停止すると判定した場合、処理を終了してもよい。
【０１０１】
３．２．２．２  第２〜第５冷却水温度制御装置における温度調節処理
以下、第２冷却水温度制御装置９２０Ａにおける温度調節処理について説明する。なお、第３，第４，第５冷却水温度制御装置９６０Ａ，９２０Ｂ，９６０Ｂについては、第２冷却水温度制御装置９２０Ａと同様の処理が行われるため、説明を省略あるいは簡略にする。
【０１０２】
３．２．２．２．１  二次冷却水の注入処理
図１１および図１２は、二次冷却水の注入処理を示すフローチャートである。
まず、二次冷却水循環経路（第２タンク９２７Ａ、配管Ｌ２０、配管Ｌ２１、二次側冷却部９４５Ａ、配管Ｌ２２、第１アルミニウム含有部１０２、配管Ｌ１９で構成される二次冷却水の循環経路）の全体に二次冷却水が注入されていない状態において、第２制御部９４８Ａは、図１１に示すように、第２タイマ９４７Ａをリセットし（ステップＳ４１）、第２バルブ９３９Ａを開いて、通常水供給部１１２から通常水を二次冷却水として第２タンク９２７Ａへ注入してもよい（ステップＳ４２）。次に、第２制御部９４８Ａは、第２上限リミットスイッチ９３２Ａからの信号に基づいて、第２フロート９３１Ａが第２上限リミットスイッチ９３２Ａに接触したか否か、すなわち二次冷却水１２０の液面が上限に到達したか否かを判定してもよい（ステップＳ４３）。
第２制御部９４８Ａは、ステップＳ４３において上限に到達していないと判定した場合、ステップＳ４３の処理を再度実施し、上限に到達したと判定した場合、第２バルブ９３９Ａを閉じて、二次冷却水の注入を停止してもよい（ステップＳ４４）。
なお、ステップＳ４４の処理の終了時点では、第２タンク９２７Ａ、配管Ｌ２０、配管Ｌ２１、二次側冷却部９４５Ａに二次冷却水１２０が存在し得る。
【０１０３】
この後、第２制御部９４８Ａは、第２タイマ９４７Ａによる計測時間Ｍ２の計測を開始し（ステップＳ４５）、第２ポンプ９４１Ａを駆動してもよい（ステップＳ４６）。第２ポンプ９４１Ａが駆動すると、第２タンク９２７Ａに溜まっていた二次冷却水１２０が配管Ｌ２２を介して第１アルミニウム含有部１０２に流入し得るとともに、第２タンク９２７Ａにおける二次冷却水１２０の液面が下がり得る。
そして、第２制御部９４８Ａは、二次冷却水が配管Ｌ１９を介して第２タンク９２７Ａに戻ったか否かを判定してもよい。具体的に、第２制御部９４８Ａは、計測時間Ｍ２が予め設定された設定時間Ｋ２を経過していないか否かを判定してもよい（ステップＳ４７）。設定時間Ｋ２は、二次冷却水が注入されていない状態の二次冷却水循環経路に二次冷却水を注入し始めてから、二次冷却水循環経路の全体に二次冷却水を注入し終えるまでの時間よりも、長い時間に設定されてもよい。
【０１０４】
第２制御部９４８Ａは、ステップＳ４７において、設定時間Ｋ２を経過していないと判定した場合、第２フロート９３１Ａが第２下限リミットスイッチ９３３Ａに接触したか否か、すなわち二次冷却水１２０の液面が下限に到達したか否かを判定してもよい（ステップＳ４８）。ここで、設定時間Ｋ２を経過する前に、二次冷却水１２０の液面が下限に到達した場合、第２制御部９４８Ａは、二次冷却水循環経路の全体に二次冷却水が注入されていないと判定し得る。
そして、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ４８において下限に到達していないと判定した場合、ステップＳ４７の処理を再度実施してもよい。一方、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ４８において下限に到達したと判定した場合、第２ポンプ９４１Ａを停止してもよい（ステップＳ４９）。第２ポンプ９４１Ａが停止すると、二次冷却水の循環が停止するため、通常水供給部１１２から第２タンク９２７Ａへ新しい二次冷却水を追加して溜めることが可能な状態になり得る。
この後、第２制御部９４８Ａは、二次冷却水循環経路に二次冷却水を追加するために、ステップＳ４２の処理を行ってもよい。
【０１０５】
一方、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ４７において、二次冷却水１２０の液面が下限に到達することなく、計測時間Ｍ２が設定時間Ｋ２を経過したと判定した場合、図１２に示すように、第２ポンプ９４１Ａを停止してもよい（ステップＳ５０）。ここで、二次冷却水循環経路のうち第２タンク９２７Ａ以外の全てを満たすこと可能な量の二次冷却水が通常水供給部１１２から供給され、二次冷却水が第２タンク９２７Ａに戻った状態となってもよい。
そして、第２制御部９４８Ａは、二次冷却水を通常水供給部１１２から第２タンク９２７Ａへ注入し（ステップＳ５１）、二次冷却水１２０の液面が上限に到達したか否かを判定してもよい（ステップＳ５２）。第２制御部９４８Ａは、ステップＳ５２において上限に到達していないと判定した場合、ステップＳ５２の処理を再度実施し、上限に到達したと判定した場合、二次冷却水の注入を停止してもよい（ステップＳ５３）。
以上の処理によって、二次冷却水循環経路の全体に二次冷却水が注入され得る。
【０１０６】
３．２．２．２．２  第２〜第５冷却水温度制御装置における温度調節処理
図１３は、第２〜第５冷却水温度制御装置における温度調節処理を示すフローチャートである。図１４は、二次冷却水のヒータによる温度制御サブルーチンを示すフローチャートである。図１５は、温度調節処理中における第２〜第５冷却水温度制御装置の動作を概略的に示す。図１６は、一次冷却水の三方弁による温度制御サブルーチンを示すフローチャートである。
【０１０７】
第２冷却水温度制御装置９２０Ａの第２制御部９４８Ａは、図１１および図１２に示す処理の後、図１３に示す、二次冷却水の第２ヒータ９３４Ａによる温度制御サブルーチンを行ってもよい（ステップＳ６１）。このステップＳ６１の処理によって、二次冷却水循環経路を循環する二次冷却水の温度は、下限温度Ｔ２Ｌ（℃）以上、上限温度Ｔ２Ｈ（℃）以下に調節され得る。
ここで、上限温度Ｔ２Ｈおよび下限温度Ｔ２Ｌで規定される温度範囲は、二次冷却水の目標温度である２５℃を中心値とした範囲である。例えば、上限温度Ｔ２Ｈは、２５．１℃であってもよい。下限温度Ｔ２Ｌは、２４．９℃であってもよい。
【０１０８】
具体的に、第２制御部９４８Ａは、図１４に示すように、第２タイマ９４７Ａにより計測時間Ｍ３の計測を開始してもよい（ステップＳ７１）。第２制御部９４８Ａは、図１５に示すように、ＰＣＷ供給部１１１から第２熱交換器９４３Ａへ流入する一次冷却水１３５の供給量を最小にするように、第２三方弁９２１Ａを制御してもよい（ステップＳ７２）。このとき、第２制御部９４８Ａは、第１流入部９２２Ａから流出部９２３Ａへの流路を閉じるとともに、第２流入部９２４Ａから流出部９２３Ａへの流路を全開にするための信号を、第２三方弁制御部９２５Ａへ送信してもよい。これによって、二次冷却水の温度調節中に、当該二次冷却水が一次冷却水１３５により冷却されることが抑制され得る。
【０１０９】
次に、第２制御部９４８Ａは、第２ヒータ電源９３８Ａをオンにして、第２ヒータ９３４Ａによる加熱を開始してもよい（ステップＳ７３）。これによって、第２タンク９２７Ａに存在する二次冷却水の温度が上昇し得る。この後、第２制御部９４８Ａは、計測時間Ｍ３が予め設定された設定時間Ｋ３を経過したか否かを判定してもよい（ステップＳ７４）。設定時間Ｋ３は、第２タンク９２７Ａ内の二次冷却水の温度が、下限温度Ｔ２Ｌ以上、上限温度Ｔ２Ｈ以下まで上昇し得る時間に設定されてもよい。
そして、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ７４において設定時間Ｋ３を経過していないと判定した場合、ステップＳ７４の処理を再度行い、設定時間Ｋ３を経過したと判定した場合、第２ポンプ９４１Ａを駆動してもよい（ステップＳ７５）。この第２ポンプ９４１Ａの駆動によって、二次冷却水が二次冷却水循環経路を循環し得る。そして、二次冷却水が第２タンク９２７Ａを通過するごとに、当該二次冷却水の温度が上昇し得る。
【０１１０】
この後、第２制御部９４８Ａは、第２温度センサ９４６Ａからの信号に基づいて、二次冷却水の測定温度Ｔ２を測定し（ステップＳ７６）、測定温度Ｔ２が下限温度Ｔ２Ｌ以上かつ上限温度Ｔ２Ｈ以下か否かを判定してもよい（ステップＳ７７）。ここで、第１アルミニウム含有部１０２を冷却するときにおける当該第１アルミニウム含有部１０２と二次冷却水との熱交換や、第２ヒータ９３４Ａによる加熱によって、二次冷却水の温度が上昇し得る。
【０１１１】
第２制御部９４８Ａは、ステップＳ７７において、下限温度Ｔ２Ｌ以上かつ上限温度Ｔ２Ｈ以下であると判定した場合、第２ヒータ電源９３８Ａをオフにして（ステップＳ７８）、二次冷却水の第２ヒータ９３４Ａによる温度制御サブルーチンを終了し得る。
一方、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ７７において、下限温度Ｔ２Ｌ以上かつ上限温度Ｔ２Ｈ以下でないと判定した場合、測定温度Ｔ２が下限温度Ｔ２Ｌ未満か否かを判定してもよい（ステップＳ７９）。そして、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ７９において、下限温度Ｔ２Ｌ未満であると判定した場合、第２ヒータ９３４Ａの電流値を上げることで二次冷却水の温度を上げ（ステップＳ８０）、ステップＳ７７の処理を行ってもよい。
また、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ７９において、下限温度Ｔ２Ｌ未満でないと判定した場合、測定温度Ｔ２が上限温度Ｔ２Ｈを超えていると見なして、第２ヒータ９３４Ａの電流値を下げることで二次冷却水の温度を下げ（ステップＳ８１）、ステップＳ７７の処理を行ってもよい。
以上の処理によって、下限温度Ｔ２Ｌ以上、上限温度Ｔ２Ｈ以下の温度に調整された二次冷却水が、第１アルミニウム含有部１０２に供給され得る。
【０１１２】
この後、第２制御部９４８Ａは、図１３に示すように、ステップＳ６１の処理の後、一次冷却水の第２三方弁９２１Ａによる温度制御サブルーチンを行ってもよい（ステップＳ６２）。このステップＳ６２の処理によって、二次冷却水と、温度が調節された一次冷却水との間で熱交換を行い、二次冷却水の温度を調節し得る。そして、第１アルミニウム含有部１０２と、温度が調節された二次冷却水との熱交換によって、第１アルミニウム含有部１０２の温度は、調節され得る。
【０１１３】
具体的に、第２制御部９４８Ａは、図１６に示すように、第２ポンプ９４１Ａを駆動してもよい（ステップＳ９１）。そして、第２制御部９４８Ａは、二次冷却水の測定温度Ｔ２を測定して（ステップＳ９２）、測定温度Ｔ２が下限温度Ｔ２Ｌ以上かつ上限温度Ｔ２Ｈ以下か否かを判定してもよい（ステップＳ９３）。
第２制御部９４８Ａは、ステップＳ９３において、下限温度Ｔ２Ｌ以上かつ上限温度Ｔ２Ｈ以下であると判定した場合、第２熱交換器９４３Ａに流入する一次冷却水１３５の量、および、配管Ｌ１８を介して第２三方弁９２１Ａに流入する一次冷却水１３６の量を変化させず（ステップＳ９４）、一次冷却水の第２三方弁９２１Ａによる温度制御サブルーチンを終了し得る。このステップＳ９４においては、二次冷却水との熱交換に利用される一次冷却水１３５の量が変化しないため、二次冷却水の温度が、下限温度Ｔ２Ｌ以上かつ上限温度Ｔ２Ｈ以下に維持され得る。
【０１１４】
一方、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ９３において、下限温度Ｔ２Ｌ以上かつ上限温度Ｔ２Ｈ以下でないと判定した場合、測定温度Ｔ２が下限温度Ｔ２Ｌ未満か否かを判定してもよい（ステップＳ９５）。そして、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ９５において、下限温度Ｔ２Ｌ未満であると判定した場合、第２三方弁９２１Ａを制御して、第２熱交換器９４３Ａに流入する一次冷却水１３５の量を減らすとともに、第２三方弁９２１Ａに流入する一次冷却水１３６の量を増やし（ステップＳ９６）、ステップＳ９３の処理を行ってもよい。このステップＳ９６の制御によって、第２熱交換器９４３Ａの二次冷却水に対する冷却能力が下がり得る。これによって、二次冷却水の温度が上がり得る。
【０１１５】
また、第２制御部９４８Ａは、ステップＳ９５において、下限温度Ｔ２Ｌ未満でないと判定した場合、測定温度Ｔ２が上限温度Ｔ２Ｈを超えていると見なして、第２熱交換器９４３Ａに流入する一次冷却水１３５の量を増やすとともに、第２三方弁９２１Ａに流入する一次冷却水１３６の量を減らし（ステップＳ９７）、ステップＳ９３の処理を行ってもよい。このステップＳ９７の制御によって、第２熱交換器９４３Ａの二次冷却水に対する冷却能力が上がり得る。これによって、二次冷却水の温度が下がり得る。
以上の処理によって、下限温度Ｔ２Ｌ以上、上限温度Ｔ２Ｈ以下の温度に調整された二次冷却水が、第１アルミニウム含有部１０２に供給され得る。
【０１１６】
そして、第２制御部９４８Ａは、図１３に示すように、ステップＳ６２の処理の後、二次冷却水による第１アルミニウム含有部１０２の温度調節を停止するか否かを判断し（ステップＳ６３）、停止しないと判断した場合、ステップＳ６２の処理を行い、停止すると判断した場合、処理を終了してもよい。
【０１１７】
なお、第３冷却水温度制御装置９６０Ａは、通常水を二次冷却水として用いて上述の処理を行い、第１銅含有部１０３の温度を調節してもよい。
また、第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ，９６０Ｂは、超純水を二次冷却水として用いて上述の処理を行い、第２アルミニウム含有部１０５および第２銅含有部１０６の温度を調節してもよい。第４，第５冷却水温度制御装置９２０Ｂ、９６０Ｂは、図１３に示すステップＳ６１の処理の前に第４，第５泡発生部９３５Ｂ，９７５Ｂによる窒素ガスのバブリングを開始して、ステップＳ６３の処理後に窒素ガスのバブリングを終了してもよい。窒素ガスのバブリングの開始タイミング、終了タイミングについては、温度調節処理中であれば、いずれのタイミングであってもよい。
【０１１８】
以上のような構成により、第２冷却水温度制御装置９２０Ａの第２制御部９４８Ａは、第２ポンプ９４１Ａの停止中に、第２上限リミットスイッチ９３２Ａおよび第２下限リミットスイッチ９３３Ａによる検出結果に基づいて、第２バルブ９３９Ａを開くことにより第２タンク９２７Ａに上限量の二次冷却水を注入してもよい。次に、第２制御部９４８Ａは、第２バルブ９３９Ａを閉じた状態で二次冷却水の循環を開始し、第２タンク９２７Ａの二次冷却水が下限量に到達したと判定した場合、二次冷却水の循環を停止してもよい。そして、第２制御部９４８Ａは、二次冷却水循環経路（第２タンク９２７Ａ、配管Ｌ２０，Ｌ２１、二次側冷却部９４５Ａ、配管Ｌ２２、第１アルミニウム含有部１０２、配管Ｌ１９で構成される二次冷却水の循環経路）全体に、二次冷却水が満たされるまで、上述の制御を繰り返し行ってもよい。
【０１１９】
以上のような構成により、一般的なチラー等に比べて、容積が小さい第２タンク９２７Ａを用いて、二次冷却水循環経に二次冷却水を満たすことが可能となり得る。このため、ダンクが小型化でき、装置全体がコンパクトに構成できてもよい。
【０１２０】
また、第２制御部９４８Ａは、第２ヒータ９３４Ａで二次冷却水を加熱した後に、当該加熱した二次冷却水と一次冷却水との間で熱交換を行ってもよい。このとき、第２制御部９４８Ａは、二次冷却水の温度を上げる場合には、一次冷却水１３５の量を減らすとともに、一次冷却水１３６の量を増やし、第２熱交換器９４３Ａの冷却能力を下げてもよい。一方、二次冷却水の温度を下げる場合には、第２制御部９４８Ａは、一次冷却水１３５の量を増やすとともに、一次冷却水１３６の量を減らし、第２熱交換器９４３Ａの冷却能力を上げてもよい。
【０１２１】
以上のような構成により、二次冷却水が所望の温度に到達するまでの時間を短縮し得る。さらに、一次冷却水１３５および一次冷却水１３６の量を調節することで、第２熱交換器９４３Ａの冷却能力を微調節することが可能となり得る。したがって、第２熱交換器９４３Ａを用いて二次冷却水の温度を微調節することが可能となってよい。よって、第１アルミニウム含有部１０２の温度が安定するまでの時間を短縮し得る。
【０１２２】
また、第４冷却水温度制御装置９２０Ｂは、二次冷却水１２１に窒素を導入することで、当該二次冷却水１２１に溶存する酸素の量が低下し得る。したがって、二次冷却水循環経路（第４タンク９２７Ｂ、配管Ｌ５０，Ｌ５１、二次側冷却部９４５Ｂ、配管Ｌ５２、第１アルミニウム含有部１０２、配管Ｌ４９で構成される二次冷却水の循環経路）を構成する金属が酸化されて腐食することを抑制し得る。
【０１２３】
第１冷却水温度制御装置９００Ａの第１制御部９１６Ａは、第１温度センサ９１１Ａでの計測結果に基づき第１三方弁９０１Ａを制御して金属含有部１０１の温度を上げる場合には、冷却水１３１の量を減らすとともに、冷却水１３２の量を増やすことで、一次冷却水による冷却能力を下げてもよい。一方、金属含有部１０１の温度を下げる場合には、第１制御部９１６Ａは、冷却水１３１の量を増やすとともに、冷却水１３２の量を減らすことで、冷却水１３３による冷却能力を上げてもよい。
【０１２４】
以上のような構成により、冷却水１３１および冷却水１３２の量を調節することで、冷却水１３３による冷却能力を微調節することが可能となってよい。さらに、金属含有部１０１の冷却にチラーを用いる構成と比べて、第１冷却水温度制御装置９００Ａがコンパクトになり得る。
【０１２５】
なお、第２，第３冷却水温度制御装置９２０Ａ，９６０Ａにおいて、二次冷却水として通常水の代わりに超純水を用いてもよい。
また、第１冷却水温度制御装置９００Ａに第１ヒータ９０９Ａおよび第１ヒータ電源９１０Ａを設けなくてもよい。
【０１２６】
３．３  第２実施形態
３．３．１  構成
図１７は、第２実施形態に係る第２冷却水温度制御装置の第２循環調節部の構成を概略的に示す。
第２実施形態の第２冷却水温度制御装置９２０Ｃを構成する第２循環調節部９２９Ｃと第１実施形態の第２循環調節部９２９Ａとの相違点は、図１７に示すように、第２循環調節部９２９Ｃが第２筒９３０Ａ、第２フロート９３１Ａ、第２上限リミットスイッチ９３２Ａ、第２下限リミットスイッチ９３３Ａ、第２ヒータ９３４Ａ、第２制御部９４８Ａを備えないことと、第２循環調節部９２９Ｃが第２ヒータ９３４Ｃ、第２制御部９４８Ｃ、水量検出部としての上限検出センサ９４９Ｃ、水量検出部としての下限検出センサ９５０Ｃを備えたこととであってもよい。
第２ヒータ９３４Ｃは、第２ヒータ電源９３８Ａに接続されてもよい。
上限検出センサ９４９Ｃは、第２タンク９２７Ａ内の中央よりも上側に設けられてもよい。下限検出センサ９５０Ｃは、第２タンク９２７Ａ内の中央よりも下側に設けられてもよい。上限検出センサ９４９Ｃおよび下限検出センサ９５０Ｃは、それぞれ第２制御部９４８Ｃに接続されてもよい。上限検出センサ９４９Ｃおよび下限検出センサ９５０Ｃは、二次冷却水１２０が触れていることを検知して、当該検知した旨の信号（接触検知信号）を第２制御部９４８Ｃに送信してもよい。
【０１２７】
第２制御部９４８Ｃは、接触検知信号を上限検出センサ９４９Ｃおよび下限検出センサ９５０Ｃの両方から受信した場合、二次冷却水１２０の液面が上限に到達したと判定してもよい。また、第２制御部９４８Ｃは、接触検知信号を下限検出センサ９５０Ｃのみから受信した場合、二次冷却水１２０の液面が上限と下限との間に位置していると判定してもよい。さらに、第２制御部９４８Ｃは、接触検知信号を上限検出センサ９４９Ｃおよび下限検出センサ９５０Ｃの両方から受信しない場合、二次冷却水１２０の液面が下限に到達したと判定してもよい。
そして、第２制御部９４８Ｃは、第１実施形態と同様の図１１〜図１４、図１６に示すような処理を行ってもよい。
なお、第１実施形態の第２，第３，第４，第５循環調節部９２９Ａ，９６９Ａ，９２９Ｂ，９６９Ｂの代わりに、図１７に示す構成を適用してもよい。
【符号の説明】
【０１２８】
１０１…温度調節対象部としての金属含有部、１０２，１０５…温度調節対象部としての第１，第２アルミニウム含有部、１０３，１０６…温度調節対象部としての第１，第２銅含有部、１１１…冷却水供給部としてのＰＣＷ供給部、１１２…二次冷却水供給部としての通常水供給部、１１５…二次冷却水供給部としての超純水供給部、９００Ａ，９２０Ａ，９６０Ａ，９２０Ｂ，９６０Ｂ…第１，第２，第３，第４，第５冷却水温度制御装置、９０１Ａ，９２１Ａ，９６１Ａ，９２１Ｂ，９６１Ｂ…第１，第２，第３，第４，第５三方弁、９０２Ａ，９２２Ａ，９６２Ａ，９２２Ｂ，９６２Ｂ…第１流入部、９０３Ａ，９２３Ａ，９６３Ａ，９２３Ｂ，９６３Ｂ…流出部、９０４Ａ，９２４Ａ，９６４Ａ，９２４Ｂ，９６４Ｂ…第２流入部、９０８Ａ，９４１Ａ，９８１Ａ，９４１Ｂ，９８１Ｂ…第１，第２，第３，第４，第５ポンプ、９１１Ａ，９４６Ａ，９８６Ａ，９４６Ｂ，９８６Ｂ…第１，第２，第３，第４，第５温度計測部、９２０Ｃ…第２冷却水温度制御装置、９２７Ａ，９６７Ａ，９２７Ｂ，９６７Ｂ…第２，第３，第４，第５タンク、９３２Ａ，９７２Ａ，９３２Ｂ，９７２Ｂ…水量検出部としての第２，第３，第４，第５上限リミットスイッチ、９３３Ａ，９７３Ａ，９３３Ｂ，９７３Ｂ…水量検出部としての第２，第３，第４，第５下限リミットスイッチ、９３４Ａ，９７４Ａ，９３４Ｂ，９７４Ｂ…第２，第３，第４，第５ヒータ、９３４Ｃ…第２ヒータ、９３５Ｂ，９７５Ｂ…窒素導入部としての第４，第５泡発生部、９３９Ａ，９７９Ａ，９３９Ｂ，９７９Ｂ…第２，第３，第４
，第５バルブ、９４３Ａ，９８３Ａ，９４３Ｂ，９８３Ｂ…第２，第３，第４，第５熱交換器、９４９Ｃ…水量検出部としての上限検出センサ、９５０Ｃ…水量検出部としての下限検出センサ、Ｌ１…第１送り用配管および送り用配管、Ｌ２，Ｌ３，Ｌ３２，Ｌ３３…送り用配管、Ｌ４…戻し用配管および第２戻し用配管、Ｌ５，Ｌ６，Ｌ３５，Ｌ３６…第２戻し用配管、Ｌ７，Ｌ８，Ｌ３７，Ｌ３８…注入用配管、Ｌ９，Ｌ１６…第２送り用配管、Ｌ１５…戻し側バイパス用配管、Ｌ１７，Ｌ２３，Ｌ４７，Ｌ５３…第１戻し用配管、Ｌ１８，Ｌ２４，Ｌ４８，Ｌ５４…送り側バイパス用配管、Ｌ１９，Ｌ２５，Ｌ４９，Ｌ５５…第３循環用配管、Ｌ２０，Ｌ２１，Ｌ２６，Ｌ２７，Ｌ５０，Ｌ５１，Ｌ５６，Ｌ５７…第１循環用配管、Ｌ２２，Ｌ２８，Ｌ５２，Ｌ５８…第２循環用配管。
【図１】
2018116696.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【手続補正書】
【提出日】平成29年12月26日(2017.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却水供給部から冷却水を供給して、温度調節対象部を流れる冷却水の温度を制御する冷却水温度制御装置であって、 第１流入部、第２流入部および流出部を有し、前記第１流入部から流入する冷却水および前記第２流入部から流入する冷却水の流量比率を調節して前記流出部から流出させるよう構成された三方弁と、 前記冷却水供給部の出口と前記三方弁の前記第１流入部とを接続するための第１送り用配管と、 前記三方弁の前記流出部と前記温度調節対象部の入口とを接続するための第２送り用配管と、 前記温度調節対象部の出口と前記冷却水供給部の前記入口とを接続するための戻し用配管と、 前記戻し用配管と前記三方弁の前記第２流入部とを接続するための戻し側バイパス用配管と、 前記三方弁から前記温度調節対象部に冷却水を送るように、前記第２送り用配管に設けられたポンプと、 前記第２送り用配管を流れる冷却水の温度を測定するための温度センサと、 前記第２送り用配管に設けられたヒータと、  前記第１流入部から流入する冷却水供給量を最大にするよう前記三方弁を制御すると共に前記ヒータをオンにすることで冷却水を加熱する第１の制御、および前記ポンプを駆動しながら前記温度センサの検出結果に基づいて前記三方弁による前記流量比率を調節することで冷却水温度を維持する第２の制御を実施するよう構成された制御部と、  を備える冷却水温度制御装置。
【請求項２】
前記温度調節対象部は、レーザ装置の一部である請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項３】
前記第１送り用配管に設けられた流量計をさらに備える請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項４】
前記第２送り用配管に設けられたフィルタをさらに備える請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項５】
前記戻し用配管に設けられたバタフライバルブをさらに備える請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項６】
前記戻し用配管と前記戻し側バイパス用配管との接続部に設けられ、前記温度調節対象部から流入する冷却水量が一定量以下の場合、流入する全ての冷却水を前記三方弁に流すよう構成された第１バッファタンクをさらに備える請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項７】
前記第２送り用配管の前記三方弁と前記ポンプとの間に設けられ、前記三方弁から流入する冷却水量を一定量だけ前記ポンプへ流し、前記一定量を超えた冷却水をドレインへ排出する第２バッファタンクをさらに備える請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項８】
前記第１の制御は、前記ヒータをオンさせた後に前記ポンプを駆動すると共に、前記温度センサの検出結果に基づいて前記ヒータの電流値を調節する制御を含む請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項９】
前記冷却水供給部が供給する冷却水の温度は、１０℃以上２１℃以下であり、 前記制御部は前記温度調節対象部に送る冷却水の温度を２４．９℃以上２５．１℃以下に制御する請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項１０】
前記制御部に接続されるタイマをさらに備え、 前記タイマは、前記ヒータが冷却水を加熱する時間を計測するよう構成されている請求項１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項１１】
冷却水供給部から冷却水を供給して、レーザ装置の一部を流れる冷却水の温度を制御する冷却水温度制御装置であって、 第１流入部、第２流入部および流出部を有し、前記第１流入部から流入する冷却水および前記第２流入部から流入する冷却水の流量比率を調節して前記流出部から流出させるよう構成された三方弁と、 前記冷却水供給部の出口と前記三方弁の前記第１流入部とを接続するための第１送り用配管と、 前記三方弁の前記流出部と前記レーザ装置の一部の入口とを接続するための第２送り用配管と、 前記レーザ装置の一部の出口と前記冷却水供給部の前記入口とを接続するための戻し用配管と、 前記戻し用配管と前記三方弁の前記第２流入部とを接続するための戻し側バイパス用配管と、 前記三方弁から前記レーザ装置の一部に冷却水を送るように、前記第２送り用配管に設けられたポンプと、 前記第２送り用配管を流れる冷却水の温度を測定するための温度センサと、 前記第２送り用配管に設けられたヒータと、 前記三方弁と前記ヒータとを制御して冷却水を加熱し、前記ポンプと前記温度センサと前記三方弁とを制御して冷却水を所定の温度範囲に維持するよう構成された制御部と、 を備える冷却水温度制御装置。
【請求項１２】
前記冷却水供給部が供給する冷却水の温度は、１０℃以上２１℃以下であり、 前記所定の温度範囲は、２４．９℃以上２５．１℃以下である請求項１１記載の冷却水温度制御装置。
【請求項１３】
前記制御部に接続されるタイマをさらに備え、 前記タイマは、前記ヒータが冷却水を加熱する時間を計測するよう構成されている請求項１１記載の冷却水温度制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】  本開示の一態様による冷却水温度制御装置は、冷却水供給部から冷却水を供給して、温度調節対象部を流れる冷却水の温度を制御する冷却水温度制御装置であって、第１流入部、第２流入部および流出部を有し、前記第１流入部から流入する冷却水および前記第２流入部から流入する冷却水の流量比率を調節して前記流出部から流出させるよう構成された三方弁と、前記冷却水供給部の出口と前記三方弁の前記第１流入部とを接続するための第１送り用配管と、前記三方弁の前記流出部と前記温度調節対象部の入口とを接続するための第２送り用配管と、前記温度調節対象部の出口と前記冷却水供給部の前記入口とを接続するための戻し用配管と、前記戻し用配管と前記三方弁の前記第２流入部とを接続するための戻し側バイパス用配管と、前記三方弁から前記温度調節対象部に冷却水を送るように、前記第２送り用配管に設けられたポンプと、前記第２送り用配管を流れる冷却水の温度を測定するための温度センサと、前記第２送り用配管に設けられたヒータと、前記第１流入部から流入する冷却水供給量を最大にするよう前記三方弁を制御すると共に前記ヒータをオンにすることで冷却水を加熱する第１の制御、および前記ポンプを駆動しながら前記温度センサの検出結果に基づいて前記三方弁による前記流量比率を調節することで冷却水温度を維持する第２の制御を実施するよう構成された制御部と、を備えてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】 本開示はさらに、特にレーザ装置の一部を温度調節対象部とする、他の態様による冷却水温度制御装置を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】 すなわち、本開示の他の態様による冷却水温度制御装置は、冷却水供給部から冷却水を供給して、レーザ装置の一部を流れる冷却水の温度を制御する冷却水温度制御装置であって、第１流入部、第２流入部および流出部を有し、前記第１流入部から流入する冷却水および前記第２流入部から流入する冷却水の流量比率を調節して前記流出部から流出させるよう構成された三方弁と、前記冷却水供給部の出口と前記三方弁の前記第１流入部とを接続するための第１送り用配管と、前記三方弁の前記流出部と前記レーザ装置の一部の入口とを接続するための第２送り用配管と、前記レーザ装置の一部の出口と前記冷却水供給部の前記入口とを接続するための戻し用配管と、前記戻し用配管と前記三方弁の前記第２流入部とを接続するための戻し側バイパス用配管と、前記三方弁から前記レーザ装置の一部に冷却水を送るように、前記第２送り用配管に設けられたポンプと、前記第２送り用配管を流れる冷却水の温度を測定するための温度センサと、前記第２送り用配管に設けられたヒータと、前記三方弁と前記ヒータとを制御して冷却水を加熱し、前記ポンプと前記温度センサと前記三方弁とを制御して冷却水を所定の温度範囲に維持するよう構成された制御部と、を備えてもよい。