(57)【要約】【課題】  静電センサの前方に圧電センサを重ねて配置することで、圧電センサの感度を高くでき、平面状の圧電センサの配置しやすくした入力装置を提供することを目的としている。【解決手段】  入力装置１は、静電センサの駆動電極の上に浮遊状態で導電層２３が配置されている。圧電センサは、静電センサの前方に配置され、第１電極と圧電層３３と第２電極３４とが重ねられた構造である。圧電層３３の広幅部３３ａと、第１電極と第２電極３４の広幅部３４ａは導電層２３の上に重ねられている。そのため、第１電極と第２電極３４の面積を広く確保でき圧電センサの感度を高くできる。また第１電極と第２電極３４が存在していない領域を静電検知領域Ｓとすることで、静電センサの感度も高くできる。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電センサと、前方から力が与えられたときに出力が変化する圧電センサと、が設けられた入力装置において、
前記圧電センサは、前後に対向する第１電極および第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に挟まれた圧電層とを有し、
前記圧電センサが、前記静電センサよりも前方に位置し、前記圧電センサの前記第１電極と前記第２電極が存在していない領域が、前記静電センサによる検知動作が可能な静電検知領域となっていることを特徴とする入力装置。
【請求項２】
前記静電センサは、撓み変形可能なリジッド構造であり、
前記圧電センサは、フィルム基材に、前記第１電極と前記圧電層および前記第２電極が積層されたシート状の圧電センサである請求項１記載の入力装置。
【請求項３】
前記静電センサには、複数の駆動電極と複数のセンス電極とが絶縁層を介して交差して設けられ、
前記静電検知領域内に、前記センス電極が位置している請求項１または２記載の入力装置。
【請求項４】
前記第１電極および前記第２電極は、前記駆動電極の前方で前記駆動電極に沿って設けられている請求項３記載の入力装置。
【請求項５】
前記第１電極および前記第２電極は、前記駆動電極と重なる部分に、幅寸法が拡大した広幅部を有している請求項４のいずれかに記載の入力装置。
【請求項６】
前記駆動電極に、幅寸法が広げられた主電極部が設けられており、前記主電極部は、前記第１電極および前記第２電極の前記広幅部と同じ大きさか、または前記広幅部からはみ出る大きさに形成されている請求項５記載の入力装置。
【請求項７】
前記静電センサには、後方に複数の前記駆動電極が、前方に前記絶縁層を介し複数の前記センス電極が設けられており、隣り合う前記センス電極の間で且つ前記駆動電極の前方位置に、前記駆動電極および前記センス電極のいずれにも導通していない導電層が形成されており、
前記第１電極および前記第２電極が、前記導電層の前方に設けられている請求項４記載の入力装置。
【請求項８】
前記センス電極と前記導電層は同じ導電材料で形成されており、前記センス電極と前記導電層とで、前方に向く表面が互いに同一平面上に位置している請求項７記載の入力装置。
【請求項９】
前記第１電極および前記第２電極は、前記導電層と重なる部分に、幅寸法が拡大した広幅部を有している請求項７または８記載の入力装置。
【請求項１０】
前記導電層が、前記第１電極および前記第２電極の前記広幅部と同じ大きさか、または前記広幅部からはみ出る大きさに形成されている請求項７記載の入力装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電センサと圧電センサとが重ねられて設けられた入力装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、押圧力測定を備えたタッチパネルに関する発明が記載されている。
【０００３】
このタッチパネルは、圧電体の上に、支持フィルムが重ねられている。支持フィルムの上下両面にＴＰ専用電極が設けられており、圧電体の上に接着剤を介して支持フィルムが固定されている。
【０００４】
このタッチパネルは力測定機能と位置検出機能を備えている。力測定は、表ガラスの表面が指などで押されたときに圧電体に生じる電力を測定することで行われる。位置検出は、表ガラスの表面に指などが押されたときに、ＴＰ専用電極を用いて、投影型静電容量方式で行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−２０９２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載されたタッチパネルは、圧電体が、支持フィルムとＴＰ専用電極とで構成された投影型静電容量方式のセンサの下側に配置されている。圧電体は、外部からの力で撓み変形したときの曲率が大きい方が、検知感度が高くなる。しかし、特許文献１に記載されているタッチパッドでは、圧電体が表ガラスから裏側に離れた位置に設けられているため、表ガラスが押されたときに圧電体に生じる曲率が小さくなり、検知感度を高くするのが困難である。
【０００７】
また、静電容量方式のセンサを構成する場合に、基板の表側に静電検知用の電極を設け、基板の裏側に検知回路を収納したＩＣチップなどを実装する構造が好ましい。しかし、静電容量方式のセンサの裏側に圧電体を設ける構造では、前記ＩＣチップなどの電子部品の実装領域が制限され、設計が困難である。
【０００８】
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、静電センサの表側に圧電センサを配置することで、押圧力の検知感度が高めることができ、静電センサによる位置検知も高精度に行うことができる入力装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、静電センサと、前方から力が与えられたときに出力が変化する圧電センサと、が設けられた入力装置において、
前記圧電センサは、前後に対向する第１電極および第２電極と、前記第１電極と前記第２電極との間に挟まれた圧電層とを有し、
前記圧電センサが、前記静電センサよりも前方に位置し、前記圧電センサの前記第１電極と前記第２電極が存在していない領域が、前記静電センサによる検知動作が可能な静電検知領域となっていることを特徴とするものである。
【００１０】
本発明の入力装置では、前記静電センサが、撓み変形可能なリジッド構造であり、
前記圧電センサは、フィルム基材に、前記第１電極と前記圧電層および前記第２電極が積層されたシート状の圧電センサである。
【００１１】
本発明の入力装置は、前記静電センサに、複数の駆動電極と複数のセンス電極とが絶縁層を介して交差して設けられ、前記静電検知領域内に、前記センス電極が位置しているものである。
【００１２】
本発明の入力装置では、前記第１電極および前記第２電極が、前記駆動電極の前方で前記駆動電極に沿って設けられていることが好ましい。
【００１３】
本発明の入力装置は、前記第１電極および前記第２電極は、前記駆動電極と重なる部分に、幅寸法が拡大した広幅部を有しているものが好ましい。
【００１４】
さらに本発明の入力装置は、前記駆動電極に、幅寸法が広げられた主電極部が設けられており、前記主電極部は、前記第１電極および前記第２電極の前記広幅部と同じ大きさか、または前記広幅部からはみ出る大きさに形成されていることが好ましい。
【００１５】
さらに本発明の入力装置は、前記静電センサの、後方に複数の前記駆動電極が、前方に前記絶縁層を介し複数の前記センス電極が設けられており、隣り合う前記センス電極の間で且つ前記駆動電極の前方位置に、前記駆動電極および前記センス電極のいずれにも導通していない導電層が形成されており、
前記第１電極および前記第２電極が、前記導電層の前方に設けられているものとして構成できる。
【００１６】
この場合に、前記センス電極と前記導電層は同じ導電材料で形成されており、前記センス電極と前記導電層とで、前方に向く表面が互いに同一平面上に位置していることが好ましい。
【００１７】
本発明の入力装置では、前記第１電極および前記第２電極は、前記導電層と重なる部分に、幅寸法が拡大した広幅部を有している。
【００１８】
この場合に、前記導電層が、前記第１電極および前記第２電極の前記広幅部と同じ大きさか、または前記広幅部からはみ出る大きさに形成されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、静電センサの表側に圧電センサが設けられているため、表側から押圧力が与えられて、静電センサと圧電センサとが撓むときに、圧電センサに作用する曲率が大きくなる。したがって、押圧力の検知感度を高くすることが可能である。
【００２０】
例えば、圧電センサの第１電極と第２電極を、静電センサの駆動電極に沿って前方に重ねて設けることで、圧電センサを設けても静電センサの感度を十分に高く確保でき、圧電センサの検知感度と静電センサの検知感度のバランスを良好に設定できるようになる。
【００２１】
また、静電センサの前方に圧電センサを配置することで、静電センサの後方の表面に配線層や電子部品を配置しやすくなる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の入力装置の全体構造を示す分解斜視図、
【図２】静電センサを前方から示す正面図、
【図３】図２に示す静電センサの電極構造を示すＩＩＩ部の部分拡大正面図、
【図４】静電センサの積層構造を示す、図３のＩＶ−ＩＶ線の断面図、
【図５】圧電センサの電極パターンを拡大して示す拡大正面図、
【図６】圧電センサの積層構造を示す、図５のＶＩ−ＶＩ線の断面図、
【図７】静電センサに圧電センサが重ねられた状態を前方から見た拡大正面図、
【図８】（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、圧電センサの電極パターンの変形例を拡大して示す拡大正面図、
【図９】圧電センサの配線と駆動検出回路とを示す回路ブロック図、
【図１０】（Ａ）（Ｂ）は圧電センサの動作を説明する線図、
【発明を実施するための形態】
【００２３】
図１に示す入力装置１は、パーソナルコンピュータのキーボード装置に実装して使用される。入力装置１は、キーボード装置以外の各種電子機器の入力部に使用することができる。また、全体を透明に構成することで、カラー液晶パネルなどの表示パネルの前方に配置して使用することも可能である。
【００２４】
図１に示す実施の形態の入力装置１は、金属製のシャーシ２の表側（Ｚ１側）に、静電センサ１０と圧電センサ３０および表面シート４０が重ねられて、設けられている。静電センサ１０と圧電センサ３０および表面シート４０は長方形である。シャーシ２と静電センサ１０との間の４か所にクッションシート３が介在している。クッションシート３はエラストマーシートや発泡樹脂シートである。クッションシート３は、長方形の静電センサ１０の４つの角部とシャーシ２との間に貼られている。静電センサ１０と圧電センサ３０は接着剤層を介して全面的に貼着されており、圧電センサ３０と表面シート４０も接着剤層を介して全面的に貼着されている。
【００２５】
図２ないし図４に基づいて、静電センサ１０の構造を説明する。
静電センサ１０は、図４に示すように多層構造のリジッド基板を構成しており、所定の剛性を有し、前方（Ｚ１方向）から後方（Ｚ２方向）に向けて押圧力が作用したときに、クッションシート３で支持された４つの角部を支点として撓み変形可能である。
【００２６】
静電センサ１０はポリカーボネートなどの絶縁基材１１を有し、絶縁基材１１の前方（Ｚ１方向）に向く表面に、静電用電極である駆動電極２１が形成されている。駆動電極２１の前方は電極間絶縁層１２で覆われており、電極間絶縁層１２の前方に向く表面に、同じく静電用電極であるセンス電極２２が形成されている。また、電極間絶縁層１２の前方に向く表面には、隣り合うセンス電極２２の間に、導電層２３が形成されている。センス電極２２と導電層２３は、前方絶縁層１３で覆われている。
【００２７】
図４に示すように、絶縁基材１１の後方（Ｚ２方向）の表面の全面に接地電位に設定されるシールド電極層１４が設けられている。シールド電極層１４の後方の表面に、第１後方絶縁層１５が形成されており、第１後方絶縁層１５の後方の表面に配線層１６が形成されている。配線層１６は後方から第２後方絶縁層１７で覆われている。
【００２８】
図２と図３に、静電用電極である駆動電極２１とセンス電極２２および導電層２３の平面パターンが示されている。これら静電用電極は、銅箔をエッチングして形成され、あるいは銀ペーストを使用した印刷工程で形成されている。
【００２９】
複数の駆動電極２１のそれぞれは、Ｘ方向に一定の間隔を空けてＹ方向に連続して延びて形成されている。図３に示すように、駆動電極２１は、四角形状（菱形形状）の主電極部２１ａと主電極部２１ａの間を繋ぐ連結部２１ｂとが交互に連続して一体に形成されている。主電極部２１ａは、連結部２１ｂよりもＸ方向の幅寸法が大きい。
【００３０】
センス電極２２は、Ｙ方向に一定の間隔を空けてＸ方向に向けて連続して形成されている。それぞれのセンス電極２２と、駆動電極２１の連結部２１ｂは電極間絶縁層１２を挟んで交差している。それぞれのセンス電極２２には、駆動電極２１との交差部と交差部との中間に、幅寸法がやや大きくなったセンス作用部２２ａが設けられている。
【００３１】
電極間絶縁層１２の前方（Ｚ１方向）に向く表面には、センス電極２２と同じ階層に導電層２３が形成されている。導電層２３は、センス電極２２とは接続されておらず、その下の階層に位置する駆動電極２１にも接続されていない。導電層２３は、センス電極２２と同じ導電性材料で同じ工程で形成される。そのため、センス電極２２の前方（Ｚ１方向）に向く表面と、導電層２３の前方（Ｚ１方向）に向く表面は、Ｘ−Ｙ平面と平行な同一の仮想平面上に位置している。
【００３２】
センス電極２２とその間の領域に位置する導電層２３は、前方に向く表面が同一面であるため、センス電極２２と導電層２３を覆う前方絶縁層１３の前方に向く表面１３ａを平滑化しやすくなる。そのため、平滑な表面１３ａにシート状の圧電センサ３０を貼着したときに、圧電センサ３０に歪みが生じるのを抑制しやすくなる。また、導電層２３は正方形で、駆動電極２１の主電極部２１ａは菱形であるが、主電極部２１ａと導電層２３は、Ｘ方向とＹ方向の幅寸法がほぼ一致している。駆動電極２１に駆動電力が与えられると、駆動電極２１の主電極部２１ａとその上に位置する導電層２３とが、静電容量を介して結合されることになる。
【００３３】
図４に示すシールド電極層１４は、銅箔や銀ペーストなどで絶縁基材１１の後方（Ｚ２方向）に向く面の全域を覆うように形成されている。配線層１６は、複数の配線ラインを構成し、それぞれの配線ラインが駆動電極２１とセンス電極２２に導通している。第２後方絶縁層１７の後方（Ｚ２方向）に向く表面１７ａに駆動回路を内蔵したＩＣなどが実装されており、それぞれの配線ラインはＩＣなどの電極部に接続されている。
【００３４】
次に、図５と図６に基づいて圧電センサ３０の構造を説明する。
図６に示すように圧電センサ３０はシート状であり、ＰＥＴなどの合成樹脂材料で形成されたフィルム基材３１の前方（Ｚ１方向）に向く表面に、第１電極３２と圧電層３３と第２電極３４が前後方向に順に積層されている。第１電極３２はスクリーン印刷で形成されたカーボン電極である。その上に、圧電ペーストがスクリーン印刷されて圧電層３３が形成され、さらに、その上にスクリーン印刷により第２電極３４が形成される。さらに、第２電極３４が絶縁コート３８で覆われる。
【００３５】
圧電ペーストには、ニオブ酸カリウムや、ニオブ酸ナトリウムカリウム、チタン酸バリウムなどのペロブスカイト型強誘電体粉と熱可塑性のポリエステルウレタン樹脂を混ぜたペーストなどが使用される。
【００３６】
図５と図９に示すように、フィルム基材３１の表面には、複数の圧電層３３が、Ｘ方向に間隔を空けてＺ方向に連続して延びている。圧電層３３には、広幅部３３ａと細幅部３３ｂがＹ方向に向けて交互に形成されている。第２電極３４は、全ての圧電層３３の上に重ねられて、圧電層３３と共にＹ方向に連続して延びている。第２電極３４にも広幅部３４ａと細幅部３４ｂがＹ方向に交互に形成されている。第１電極３２と第２電極３４は同じ形状で同じ寸法であり、前後方向（Ｚ方向）で一致するように重ねられている。
【００３７】
図９に示すように、圧電センサ３０のフィルム基材３１上のＸ方向に延びる縁部の内側に、全ての第１電極３２に導通する第１電極配線層３５と、全ての第２電極３４に導通する第２電極配線層３６が設けられている。図１に示すように、圧電センサ３０の短辺から細幅の引出し片３９が延び出ている。引出し片３９は、フィルム基材３１の一部を延長させたものであり、その表面に、第１電極配線層３５と第２電極配線層３６が形成されている。引出し片３９は、静電センサ１０の後方で折り曲げられて、図４に示す配線層１６に接続され、または静電センサ１０の後方の表面に実装されたＩＣなどに接続されている。そして、第１電極配線層３５と第２電極配線層３６がＩＣなどに内蔵された駆動検出回路４４に接続されている。
【００３８】
図９に示すように、駆動検出回路４４では、第１電極配線層３５と第２電極配線層３６がマルチプレクサ４５に接続されている。マルチプレクサ４５により、第１電極配線層３５と第２電極配線層３６の一方がレファレンス電圧Ｖｒｅｆに接続され、他方がフィルタ４６に接続される。マルチプレクサ４５からの検知出力は、フィルタ４６を通過し、アンプ４７で増幅されてコンパレータ４８に与えられる。
【００３９】
図１に示すように、入力装置１では、静電センサ１０の前方（Ｚ１方向）に向く前面、すなわち、図４に示す前方絶縁層１３の前方に向く表面１３ａに、図６に示す積層構造の圧電センサ３０が積層されて貼着される。このとき、圧電センサ３０は、フィルム基材３１が表面１３ａに向けられて貼着されてもよいし、第２電極３４を覆う絶縁コート３８が表面１３ａに向けられて貼着されていてもよい。
【００４０】
図７に、静電センサ１０に圧電センサ３０が重ねられたときの、電極の重なり状態が、前方（Ｚ１方向）から見た状態で示されている。
圧電センサ３０の、第１電極３２と圧電層３３および第２電極３４は、静電センサ１０の静電用電極のうちの駆動電極２１とセンス電極２２のいずれか一方に沿ってその前方に重なるように配置されている。実施の形態では、全ての第１電極３２と圧電層３３および第２電極３４が、全ての駆動電極２１に沿ってその前方に重なるように配置されている。
【００４１】
ここで、圧電センサ３０の第１電極３２と第２電極３４は同じ形状で同じ寸法であり、前後方向で完全に重ねられている。図７に示すように、第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａは、駆動電極２１の主電極部２１ａおよびその上に位置する導電層２３のさらにその前方に重ねられている。
【００４２】
第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａは、主電極部２１ａと導電層２３のいずれかに対してはみ出していないことが好ましい。逆に、主電極部２１ａとこれに容量接合されている導電層２３の少なくとも一方は、第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａと同じ形状で同じ大きさ（同じ面積）であるか、または主電極２３と導電層２３の少なくとも一方は、第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａよりも大きく（大きい面積を有し）、主電極２３と導電層２３の少なくとも一方が、広幅部３４ａよりも平面的にはみ出していることが好ましい。
【００４３】
次に、入力装置１の動作を説明する。
入力装置１では、図９に示す駆動検出回路４４が常に動作しており、第１電極３２と第２電極３４のいずれか一方にレファレンス電圧Ｖｒｅｆが与えられ、他方の電位変化がフィルタ４６を通過しアンプ４７で増幅されてコンパレータ４８に与えられる。
【００４４】
図１０（Ａ）には、前方（Ｚ１方向）から表面シート４０の表面のいずれかの箇所が指などで押されたとき（加圧時）と、指が離れるとき（減圧時）の第１電極３２と第２電極３４との間の電圧の変化が圧電出力として示されている。図１０（Ａ）に示す圧電出力は、圧電センサ３０全体の撓み加速度の変動に応じて変化する。図１０（Ｂ）に示すように、コンパレータ４８では、正の加速度で得られた電圧変化が波形整形されてＯＮ出力とされ、負の加速度で得られた電圧変化が波形整形されてＯＦＦ出力とされる。
【００４５】
図示しない制御部では、図１０（Ｂ）に示すＯＮ出力が得られたときに、指などで入力装置１が押されたことが検知され、ＯＦＦ出力が得られたときに、指などが入力装置１から離れたことが検知される。
【００４６】
図７に示すように、圧電センサ３０の第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａは、導電層２３の表面で比較的広い面積を有して形成されているため、操作面の全体面積に対する第１電極３２と第２電極３４の面積比を２０％以上で、好ましくは３０％以上に確保できる。そのため、圧電センサ３０の検知感度を高くすることが可能である。
【００４７】
図７に示すように、第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａは、その辺がＸ−Ｙ方向に対して角度を有して延びる菱形形状であり、導電層２３はその辺がＸ−Ｙ方向に延びる四角形である。そのため、前方から見たときに、導電層２３の４か所の角部のそれぞれが、第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａからはみ出ている。また、センス電極２２は、隣り合う導電層２３の間を通過してＸ方向に延びている。
【００４８】
図７に示すように、静電センサ１０は、圧電センサ３０の第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａが存在していない領域が主な静電検知領域Ｓとなる。この静電検知領域Ｓは、４つの広幅部３４ａに囲まれた領域であり、その周囲４か所が、広幅部３４ａから露出している導電層２３の角部で囲まれ、中央部をセンス電極２２が通過している。すなわち、静電検知領域Ｓは、駆動電極２１またはこれに結合された導電層２３が周囲に位置し、且つセンス電流２２が通過している領域に設定されることが好ましい。
【００４９】
静電センサ１０は、複数の駆動電極２１に順番に駆動電圧が与えられるが、駆動電極２１の主電極部２１ａと浮遊状態にある導電層２３とが静電容量を介して結合されるため、静電検知領域Ｓでは、導電層２３からセンス電極２２に至る電界が、入力装置１の表面シート４０の前方に形成される。そのため、センス電極２２に流れる電流値の変化を順番に監視することによって、表面シート４０の表面に触れた指の座標位置を比較的高感度に検知することができる。
【００５０】
図７に示すように、圧電センサ３０の第１電極３２と第２電極３４を、静電センサ１０の駆動電極２１に沿うように重ね、第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａを、駆動電極２１の幅広の主電極部２１ａと導電層２３の上に重ねることで、第１電極３２と第２電極３４の専有面積を可能な限り広くでき、圧電センサ３０の検知感度を高めることができる。しかも、主電極部２１ａあるいはこれと結合されている導電層２３を第１電極３２と第２電極３４とからはみ出させることで、第１電極３２と第２電極３４が存在していない領域を検知感度の高い静電検知領域Ｓに設定することが可能である。
図８（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）は、圧電センサの変形例を示している。
【００５１】
図８（Ａ）に示す圧電センサ３０Ａでは、圧電層３３の広幅部３３ａおよび第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａが、その辺がＸ−Ｙ方向に延びる四角形（長方形）となっている。
図８（Ｂ）に示す圧電センサ３０Ｂは、圧電層３３の広幅部３３ａおよび第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａのＸ方向の幅寸法がやや小さくなっている。
図８（Ｃ）に示す圧電センサ３０Ｃでは、圧電層３３および第１電極３２と第２電極３４は、幅寸法が均一のストライプ形状である。
【００５２】
いずれにせよ、表面シート４０の表面である操作領域において、第１電極３２と第２電極３４と専有面積比を２０％以上、好ましくは３０％以上に設定し、同様に、静電検知領域Ｓの面積比を操作面全体の面積に対して４０％以上で好ましくは５０％以上となるように設定することで、静電センサ１０と圧電センサ３０の双方の検知感度を高くすることができる。
【００５３】
本発明の入力装置は、図４に示すように、静電センサ１０が多層構造のリジッド基板を構成しており、圧電センサ３０は、フィルム基材３１を有するシート状センサである。リジッド構造の静電センサ１０にシート状の圧電センサ３０を重ねることにより、共にリジッドな構造や、共にシート状の構造に比べて、静電センサ１０と圧電センサ３０との積層体が、適度な剛性を有し、指などで押されたときに、圧電センサ３０で検知できる適度な撓み強度を有するものとなる。
【００５４】
また、リジッドな静電センサ１０の前方にシート状の圧電センサ３０が重ねられているため、前方から力が与えられて撓んだときに、圧電センサ３０の曲率を大きくでき、圧電センサ３０の感度を高め、押圧力の変化に対する追従性も高めることができる。このとき、シート状の圧電センサ３０が、リジッドな静電センサ１０の撓み変形に柔軟に追従できるようになる。
【００５５】
また、図４に示すように、静電センサ１０はＺ２方向に向く後方に配線層１６が設けられ、またＩＣなどが配置されるため、平面状の圧電センサ３０をＺ２側に重ねるのは困難である。一方で、静電センサ１０のＺ１側は平面であるため、薄く平面状の圧電センサ３０を重ねやすくなる。
【００５６】
なお、前記実施の形態では、図３と図４に示すように、圧電センサ１０のセンス電極２２と同じ階層に浮遊状態の導電層２３が形成されているが、この導電層２３を設けない構造も可能である。この場合には、図７に示すように静電センサ１０と圧電センサ３０とが重ねられたときに、駆動電極２１の主電極部２１ａが、第１電極３２と第２電極３４の広幅部３４ａと同じ形状で同じ大きさであるか、または主電極部２１ａが広幅部３４ａからはみ出す大きさで形成されることが好ましい。この構造とすることにより、静電検知領域Ｓにおける静電センサの感度を高めることができる。
【００５７】
さらに、本発明は駆動検出回路４４が図９に示す構造に限られず、例えば、マルチプレクサ４５やコンパレータ４８を使用せずに、第１電極３２と第２電極３４の電位差（圧電出力）を、マイクロコンピュータのＡ／Ｄ変換部に入力して演算処理してもよい。または、第１電極３２と第２電極３４の電位差（圧電出力）をアナログデータとして、アナログ検知回路に入力することも可能である。
【符号の説明】
【００５８】
１  入力装置
２  シャーシ
１０  静電センサ
１１  絶縁基材
２１  駆動電極
２１ａ  主電極部
２２  センス電極
２３  導電層
３０  圧電センサ
３２  第１電極
３３  圧電層
３４  第２電極
３４ａ  広幅部
３５  下側配線層
３６  上側配線層
４４  駆動回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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