(57)【要約】【課題】高熱伝導性と低線膨張性を有し且つ各部位によって熱特性（熱伝導性、線膨張性）が異なる金属−炭素粒子複合材及びその製造方法を提供すること。【解決手段】金属−炭素粒子複合材30は、金属マトリックス９中に鱗片状黒鉛粒子1aが分散した複数の鱗片状黒鉛粒子分散層１と、金属マトリックス９中に炭素繊維2aが分散した複数の炭素繊維分散層２と、金属マトリックス９で形成された複数の金属層３と、を積層状に備える。複数の鱗片状黒鉛粒子分散層１と複数の炭素繊維分散層２と複数の金属層３とは接合一体化されている。鱗片状黒鉛粒子分散層１及び炭素繊維分散層２のうち一方と金属層３とは複合材30の厚さ方向の略全体に亘って交互に積層された状態に配列している。複合材30の各部位によって金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子1aと炭素繊維2aとの体積割合が異なっている。【選択図】図１
2018075617.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属マトリックス中に炭素粒子としての鱗片状黒鉛粒子が分散した複数の鱗片状黒鉛粒子分散層と、前記金属マトリックス中に炭素粒子としての炭素繊維が分散した複数の炭素繊維分散層と、前記金属マトリックスで形成された複数の金属層と、を積層状に備えるとともに、
前記複数の鱗片状黒鉛粒子分散層と前記複数の炭素繊維分散層と前記複数の金属層とが接合一体化されており、
前記鱗片状黒鉛粒子分散層及び前記炭素繊維分散層のうち一方と前記金属層とは複合材の厚さ方向の略全体に亘って交互に積層された状態に配列しており、
複合材の各部位によって前記金属マトリックス中に含有されている前記鱗片状黒鉛粒子と前記炭素繊維との体積割合が異なっている金属−炭素粒子複合材。
【請求項２】
さらに、前記鱗片状黒鉛粒子分散層と前記炭素繊維分散層と前記金属層は、複合材の厚さ方向の各部位毎に異なる規則的な積層順序で積層された状態に配列している請求項１記載の金属−炭素粒子複合材。
【請求項３】
積層状に接合一体化された複数の冷却器構成層を備え、
前記複数の構成層のうち少なくとも一つが請求項１又は２記載の金属−炭素粒子複合材製であるパワーモジュール用冷却器。
【請求項４】
炭素粒子としての鱗片状黒鉛粒子と第１バインダとを含有する第１塗工液を第１金属箔上に塗工し乾燥することにより、前記第１金属箔上に鱗片状黒鉛粒子層が形成された鱗片状黒鉛粒子塗工箔を得る工程と、
炭素粒子としての炭素繊維と第２バインダとを含有する第２塗工液を第２金属箔上に塗工し乾燥することにより、前記第２金属箔上に炭素繊維層が形成された炭素繊維塗工箔を得る工程と、
複数の前記鱗片状黒鉛粒子塗工箔と複数の前記炭素繊維塗工箔とが積層された状態の積層体を形成する工程と、
前記積層体を加熱することにより前記複数の前記鱗片状黒鉛粒子塗工箔と前記複数の前記炭素繊維塗工箔を一括して接合一体化する工程と、
を含み、
前記積層体を形成する工程では、前記積層体を、前記積層体の厚さ方向の各部位によって前記鱗片状黒鉛粒子塗工箔と前記炭素繊維塗工箔との枚数比が異なるように形成する金属−炭素粒子複合材の製造方法。
【請求項５】
さらに、前記積層体を形成する工程では、前記積層体を、前記鱗片状黒鉛粒子塗工箔と前記炭素繊維塗工箔が前記積層体の厚さ方向の各部位において規則的な積層順序で積層された状態になるように形成する請求項４記載の金属−炭素粒子複合材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属マトリックスと金属マトリックス中に分散した炭素粒子とを含む金属−炭素粒子複合材、その製造方法及びパワーモジュール用冷却器に関する。
【０００２】
なお、本明細書及び特許請求の範囲では、「アルミニウム」の語は、特に明示する場合を除き、純アルミニウム及びアルミニウム合金の双方を含む意味で用いられ、「銅」の語は、特に明示する場合を除き、純銅及び銅合金の双方を含む意味で用いられる。
【０００３】
また、本発明に係る金属−炭素粒子複合材の上下方向は限定されるものではないが、本明細書及び特許請求の範囲では、複合材の構成を理解し易くするため、複合材の厚さ方向及び積層体の厚さ方向をそれぞれ複合材の上下方向及び積層体の上下方向と定義する。
【０００４】
また、本発明に係るパワーモジュール用冷却器の上下方向は限定されるものではないが、本明細書及び特許請求の範囲では、冷却器の構成を理解し易くするため、発熱性素子（例：パワー半導体チップ）が搭載される冷却器の搭載面側を冷却器の上側、及び、その反対側を冷却器の下側とそれぞれ定義する。
【背景技術】
【０００５】
金属−炭素粒子複合材を開示した文献として、例えば、特許５１５０９０５号公報（特許文献１）、特許第４４４１７６８号公報（特許文献２）及び特開２００６−１２３２（特許文献３）がある。
【０００６】
特許第５１５０９０５号公報は、シート状又はフォイル状の金属支持体上に炭素粒子としての炭素繊維を含有する皮膜が形成されたプリフォームを形成し、これを複数積み重ねて積層体を形成し、積層体を加熱圧接することでプリフォーム同士を一体化させることにより、金属−炭素粒子複合材としての金属基炭素繊維複合材の製造方法を開示している。この方法では、得られる複合材において熱伝導率が高くなるのは炭素繊維が配列した一方向のみである。
【０００７】
特許第４４４１７６８号公報は、鱗状黒鉛粉末と所定の鱗状金属粉末との混合体を用いて焼結前駆体を形成し、焼結前駆体を加圧しながら焼結することにより、金属−炭素粒子複合材としての金属−黒鉛複合材の製造方法を開示している。この方法では、製造時において金属粉末の取り扱いが難しいし、製造コストが高いという問題がある。
【０００８】
特開２００６−１２３２号公報は、結晶性カーボン材層と金属層とが積層され複合化された複合体をホットプレス焼結することにより、金属−炭素粒子複合材としての高熱伝導・低熱膨張複合材の製造方法を開示している。この方法では、複合体の焼結が難しく、そのため、接合が不十分で接合界面のずれが生じ易いと考えられる。
【０００９】
金属−炭素粒子複合材を開示したその他の文献として、特開２０１５−２５１５８号公報（特許文献４）及び特開２０１５−２１７６５５号公報（特許文献５）がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許第５１５０９０５号公報
【特許文献２】特許４４４１７６８号公報
【特許文献３】特開２００６−１２３２号公報
【特許文献４】特開２０１５−２５１５８号公報
【特許文献５】特開２０１５−２１７６５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
而して、ＳｉＣ等を用いた次世代半導体チップは高温動作が可能である。そのようなチップを冷却する冷却器の材料は、チップの動作温度が高くなることによる熱応力を低減するために低線膨張性を有していること、及び、冷却性能を高めるために高熱伝導性を有していることが望ましい。
【００１２】
さらに、冷却器には高い放熱性及び高い冷熱信頼性が要求される。この要求を確実に実現するため、冷却器の材料は、各部位によって熱特性（熱伝導性、線膨張性）が異なるものであることが望ましい。
【００１３】
本発明は、上述した技術背景に鑑みてなされたもので、その目的は、高熱伝導性と低線膨張性を有し且つ各部位によって熱特性（熱伝導性、線膨張性）が異なる金属−炭素粒子複合材、その製造方法及びパワーモジュール用冷却器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は以下の手段を提供する。
【００１５】
［１］  金属マトリックス中に炭素粒子としての鱗片状黒鉛粒子が分散した複数の鱗片状黒鉛粒子分散層と、前記金属マトリックス中に炭素粒子としての炭素繊維が分散した複数の炭素繊維分散層と、前記金属マトリックスで形成された複数の金属層と、を積層状に備えるとともに、
前記複数の鱗片状黒鉛粒子分散層と前記複数の炭素繊維分散層と前記複数の金属層とが接合一体化されており、
前記鱗片状黒鉛粒子分散層及び前記炭素繊維分散層のうち一方と前記金属層とは複合材の厚さ方向の略全体に亘って交互に積層された状態に配列しており、
複合材の各部位によって前記金属マトリックス中に含有されている前記鱗片状黒鉛粒子と前記炭素繊維との体積割合が異なっている金属−炭素粒子複合材。
【００１６】
［２］  さらに、前記鱗片状黒鉛粒子分散層と前記炭素繊維分散層と前記金属層は、複合材の厚さ方向の各部位毎に異なる規則的な積層順序で積層された状態に配列している前項１記載の金属−炭素粒子複合材。
【００１７】
［３］  積層状に接合一体化された複数の冷却器構成層を備え、
前記複数の構成層のうち少なくとも一つが前項１又は２記載の金属−炭素粒子複合材製であるパワーモジュール用冷却器。
【００１８】
［４］  炭素粒子としての鱗片状黒鉛粒子と第１バインダとを含有する第１塗工液を第１金属箔上に塗工し乾燥することにより、前記第１金属箔上に鱗片状黒鉛粒子層が形成された鱗片状黒鉛粒子塗工箔を得る工程と、
炭素粒子としての炭素繊維と第２バインダとを含有する第２塗工液を第２金属箔上に塗工し乾燥することにより、前記第２金属箔上に炭素繊維層が形成された炭素繊維塗工箔を得る工程と、
複数の前記鱗片状黒鉛粒子塗工箔と複数の前記炭素繊維塗工箔とが積層された状態の積層体を形成する工程と、
前記積層体を加熱することにより前記複数の前記鱗片状黒鉛粒子塗工箔と前記複数の前記炭素繊維塗工箔を一括して接合一体化する工程と、
を含み、
前記積層体を形成する工程では、前記積層体を、前記積層体の厚さ方向の各部位によって前記鱗片状黒鉛粒子塗工箔と前記炭素繊維塗工箔との枚数比が異なるように形成する金属−炭素粒子複合材の製造方法。
【００１９】
［５］  さらに、前記積層体を形成する工程では、前記積層体を、前記鱗片状黒鉛粒子塗工箔と前記炭素繊維塗工箔が前記積層体の厚さ方向の各部位において規則的な積層順序で積層された状態になるように形成する前項４記載の金属−炭素粒子複合材の製造方法。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は以下の効果を奏する。
【００２１】
前項［１］では、金属マトリックス中に鱗片状黒鉛粒子が分散していることにより、材料の熱伝導性が金属単体よりも向上する。また、金属マトリックス中に炭素繊維が分散していることにより、材料の線膨張性が金属単体よりも低下する。したがって、前項［１］記載の金属−炭素粒子複合材は高熱伝導性（高い熱伝導率）と低線膨張性（低い線膨張率）を有している。
【００２２】
さらに、鱗片状黒鉛粒子分散層及び炭素繊維分散層のうち一方と金属層とが複合材の厚さ方向の略全体に亘って交互に積層された状態に配列しているので、複合材は高い接合強度を有している。
【００２３】
しかも、複合材の各部位によって金属マトリックス中に含有されている鱗片状黒鉛粒子と炭素繊維との体積割合が異なっているので、複合材の熱特性（熱伝導性、線膨張性）は複合材の各部位によって異なっている。
【００２４】
前項［２］では、鱗片状黒鉛粒子分散層と炭素繊維分散層と金属層が複合材の厚さ方向の各部位毎に異なる規則的な積層順序で積層された状態に配列している。これにより、複合材の熱特性を複合材の各部位によって確実に異ならせることができる。
【００２５】
さらに、複合材を製造する前に複合材の厚さ方向の各部位における金属マトリックス中に含有される鱗片状黒鉛粒子と炭素繊維との体積割合を予め設計し、鱗片状黒鉛粒子分散層と炭素繊維分散層と金属層を複合材の厚さ方向の各部位毎に異なる規則的な積層順序で積層した状態にして複合材を製造することにより、複合材の厚さ方向の各部位における熱伝導率と線膨張率を設計値に近づけることができる。
【００２６】
前項［３］では、複数の冷却器構成層のうち少なくとも一つが前項［１］又は［２］記載の金属−炭素粒子複合材製であるから、高い放熱性及び高い冷熱信頼性を有するパワーモジュール用冷却器を提供できる。
【００２７】
前項［４］では、本発明に係る金属−炭素粒子複合材を容易に製造できる。さらに、金属マトリックスの金属材料として金属箔が使用されることにより、金属粉末を使用する場合よりも金属材料の取り扱いが容易であるし製造コストが易くなる。さらに、複合材の厚さの制御が容易であり、薄い複合材を製造し易い。
【００２８】
前記［５］では、前項［２］の効果と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態に係る金属−炭素粒子複合材の概略断面図である。
【図２】図２は、鱗片状黒鉛粒子塗工箔の概略斜視図（左）とその断面モデル図（右）である。
【図３】図３は、炭素繊維塗工箔の概略斜視図（左）とその断面モデル図（右）である。
【図４】図４は、同複合材形成用積層体の概略断面図である。
【図５】図５は、同複合材の製造工程図である。
【図６】図６は、本発明の第２実施形態に係る金属−炭素粒子複合材の概略断面図である。
【図７】図７は、同複合材形成用積層体の概略断面図である。
【図８】図８は、本発明の一実施形態に係るパワーモジュール用冷却器の概略正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
次に、本発明の幾つかの実施形態について図面を参照して以下に説明する。
【００３１】
図１〜５は、本発明の第１実施形態に係る金属−炭素粒子複合材及びその製造方法を説明するための図である。
【００３２】
図１に示すように、本第１実施形態に係る金属−炭素粒子複合材３０は、金属マトリックス（ドットハッチングで示す）９中に炭素粒子としての鱗片状黒鉛粒子１ａが分散した複数の鱗片状黒鉛粒子分散層１と、金属マトリックス９中に炭素粒子としての炭素繊維２ａが分散した複数の炭素繊維分散層２と、金属マトリックス９で形成された複数の金属層３と、を積層状に備えている。
【００３３】
さらに、複数の鱗片状黒鉛粒子分散層１と複数の炭素繊維分散層２と複数の金属層３とが積層状に接合一体化されており、これにより複合材３０が形成されている。複合材３０は金属基炭素粒子複合材の一種である。
【００３４】
各鱗片状黒鉛粒子分散層１中には炭素繊維２ａは実質的に存在していない。各炭素繊維分散層２中には鱗片状黒鉛粒子１ａは実質的に存在していない。各金属層３中には鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａは実質的に存在していない。
【００３５】
なお、図１〜３では、複合材３０の構成を理解し易くするため鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａは大きく図示されている。ここで、複合材３０の厚さ方向を説明の便宜上、複合材３０の上下方向と定義する。鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２と金属層３との積層方向は、複合材３０の上下方向（即ち複合材３０の厚さ方向）である。
【００３６】
本第１実施形態の複合材３０では、図１に示すように、鱗片状黒鉛粒子分散層１及び炭素繊維分散層２のうち一方と金属層３とは複合材３０の上下方向（即ち複合材３０の厚さ方向）の全体に亘って交互に積層された状態に配列している。
【００３７】
さらに、鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２と金属層３は、複合材３０の上下各部分３１、３２において規則的な積層順序で積層された状態に配列している。
【００３８】
さらに、鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２と金属層３は、複合材３０の上下各部分３１、３２毎に異なる規則的な積層順序で積層された状態に配列している。すなわち、複合材３０の上部分３１におけるこれらの層１、２、３についての積層順序と複合材３０の下部分３２におけるこれらの層１、２、３についての積層順序は互いに相異している。
【００３９】
本第１実施形態では、複合材３０の上部分３１における鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２と金属層３についての積層順序の単位７は、鱗片状黒鉛粒子分散層１／金属層３／鱗片状黒鉛粒子分散層１／金属層３／炭素繊維分散層２／金属層３という単位である。そして、鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２と金属層３は、この積層順序単位７が複合材３０の上部分３１において繰り返されるという積層規則に従って積層された状態に配列している。
【００４０】
複合材３０の上部分３１において、積層順序単位７中に存在する鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２との層数比は２：１である。そして、鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２はこの層数比で複合材３０の上部分３１において配列している。
【００４１】
複合材３０の下部分３２における鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２と金属層３についての積層順序の単位８は、炭素繊維分散層２／金属層３／炭素繊維分散層２／金属層３／鱗片状黒鉛粒子分散層１／金属層３という単位である。そして、鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２と金属層３は、この積層順序単位８が複合材３０の下部分３２において繰り返されるという積層規則に従って積層された状態に配列している。
【００４２】
複合材３０の下部分３２において、積層順序単位８中に存在する鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２との層数比は１：２である。そして、鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２はこの層数比で複合材３０の下部分３２において配列している。
【００４３】
したがって、複合材３０の全体に存在する鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２との層数比は、複合材３０の上部分３１と下部分３２で相異している。
【００４４】
さらに、複合材３０は、複合材３０の上下各部分３１、３２によって金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合が異なっている。
【００４５】
本第１実施形態では、鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２との層数比が複合材３０の上部分３１と下部分３２で相異していることにより、複合材３０の上部分３１における金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合と複合材３０の下部分３２における金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合が相異している。
【００４６】
具体的には、複合材３０の上部分３１における金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合については鱗片状黒鉛粒子１ａが炭素繊維２ａよりもリッチである。また、複合材３０の下部分３２における金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合については炭素繊維２ａが鱗片状黒鉛粒子１ａよりもリッチである。
【００４７】
したがって、複合材３０の上部分３１の熱伝導率は複合材３０の下部分３２のそれよりも高く、複合材３０の下部分３２の線膨張率は複合材３０の上部分３１のそれよりも低い。
【００４８】
このように、複合材３０は、熱特性（熱伝導率、線膨張率）が複合材３０の上部分３１と下部分３２で変化している傾斜機能材料と捉えることができる。
【００４９】
本第１実施形態の複合材３０は、図８に示したパワーモジュール用冷却器４０を構成する複数の冷却器構成層４１〜４４のうち少なくとも一つの構成層の材料として好適に使用可能である。
【００５０】
パワーモジュールは、例えば、ハイブリッドカー（ＨＥＶ）、電気自動車（ＥＶ）、電車などの車両に用いられたり、風力発電、太陽光発電などのエネルギー分野に用いられたりするものである。
【００５１】
冷却器４０は、複数の冷却器構成層４１〜４４として、配線層４１、絶縁層４２、緩衝層４３及び冷却層４４を備えている。そして、上から下へ順に、配線層４１、絶縁層４２、緩衝層４３及び冷却層４４が積層された状態でろう付け等の所定の接合手段によりこれらの層４１〜４４が接合一体化されている。
【００５２】
配線層４１の上面からなる搭載面４１ａには、一般に、半導体素子（例：パワー半導体チップ）等の発熱性素子（二点鎖線で示す）４７がはんだ層（二点鎖線で示す）４８を介して接合される。
【００５３】
絶縁層４２は電気絶縁性を有しており、通常、セラミックで形成されている。
【００５４】
緩衝層４３は、冷却器４０に発生した熱応力等の応力を緩和するための層である。
【００５５】
冷却層４４は、発熱性素子４７の熱を放散して発熱性素子４７を冷却するための層であり、例えば、複数の放熱フィンを有するヒートシンクからなる。
【００５６】
一般に、冷却器４０において、配線層４１の線膨張率と絶縁層４２の線膨張率との差が大きい場合、冷却器４０に作用する冷熱サイクル負荷によって配線層４１と絶縁層４２との接合界面で剥離や割れが生じ易く、そのため冷熱サイクル負荷に対する冷熱信頼性が低い。また同じく、緩衝層４３の線膨張率と絶縁層４２の線膨張率との差が大きい場合、やはり、緩衝層４３と絶縁層４２との接合界面で剥離や割れが生じ易く、冷熱信頼性が低い。したがって、冷却器４０について冷熱サイクル負荷に対する冷熱信頼性を高めるためには、配線層４１の線膨張率と絶縁層４２の線膨張率との差、及び、緩衝層４３の線膨張率と絶縁層４２の線膨張率との差はそれぞれなるべく小さい方が望ましい。
【００５７】
図８に示した冷却器４０では、詳述すると、上述した複数の構成層４１〜４４のうち絶縁層４２を除く構成層（即ち、配線層４１、緩衝層４３及び冷却層４４）からなる群から選択される少なくとも一つが本第１実施形態の複合材３０製である。特に、配線層４１が本第１実施形態の複合材３０製であることが望ましい。その理由は次のとおりである。
【００５８】
配線層４１はその上面からなる搭載面４１ａに発熱性素子４７が接合されるものであることから、配線層４１の上部は、発熱性素子４７の熱を下方向に迅速に伝導させるため、なるべく高い熱伝導率を有していることが望ましい。配線層４１の下面は絶縁層４２に接合されることから、配線層４１の下部は、配線層４１の線膨張率と絶縁層４２の線膨張率との差を小さくして冷却器４０の冷熱信頼性を高くするため、なるべく低い線膨張率を有していることが望ましい。
【００５９】
したがって、配線層４１が本第１実施形態の複合材３０製である（即ち、配線層４１が本第１実施形態の複合材３０で形成されている）ことにより、発熱性素子４７の熱を下方向に迅速に伝導できるし、冷熱サイクル負荷に対する冷却器４０の冷熱信頼性を高めることができる。
【００６０】
次に、本第１実施形態の複合材３０の望ましい製造方法を以下に説明する。
【００６１】
図５に示すように、複合材３０の製造方法は、第１金属箔１２上に炭素粒子層としての鱗片状黒鉛粒子層１１が形成された鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３を得る工程Ｓ１（図２参照）と、第２金属箔１５上に炭素粒子層としての炭素繊維層１４が形成された炭素繊維塗工箔１６を得る工程Ｓ２（図３参照）と、複数の鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と複数の炭素繊維塗工箔１６とが積層された状態の積層体２０を形成する工程Ｓ３（図４参照）と、積層体２０を加熱することにより複数の鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と複数の炭素繊維塗工箔１６を一括して接合一体化する工程Ｓ４と、を含む。
【００６２】
図２及び３において、第１及び第２金属箔１２、１５の金属材料は複合材３０の金属マトリックス９を形成するものである。第１金属箔１２の金属材料と第２金属箔１５の金属材料は同一材料である。金属材料は限定されるものではないが、アルミニウム又は銅であることが望ましい。その理由は、これらの金属は高い熱伝導性を有しているからである。
【００６３】
第１及び第２金属箔１２、１５の厚さは限定されるものではなく、それぞれ５〜５００μｍであることが望ましく、特にそれぞれ１０〜５０μｍであることが望ましい。
【００６４】
図２に示すように、鱗片状黒鉛粒子１ａとしては例えば鱗片状黒鉛粉末を使用できる。鱗片状黒鉛粒子１ａの粒径及アスペクト比は限定されるものではなく、それぞれなるべく大きい方が望ましい。鱗片状黒鉛粒子１ａの平均粒径は３００μｍ以上であることが特に望ましく、また鱗片状黒鉛粒子１ａの平均アスペクト比は３０以上であることが特に望ましい。平均粒径の上限は限定されるものではなく例えば１０００μｍであり、また平均アスペクト比の上限は限定されるものではなく例えば１００である。
【００６５】
ここで、鱗片状黒鉛粒子１ａの粒径とは、電子顕微鏡等の観察手段で観察される鱗片状黒鉛粒子１ａの平面方向の円相当直径を意味する。鱗片状黒鉛粒子１ａのアスペクト比は、鱗片状黒鉛粒子１ａの「粒径／厚さ」により算出される。
【００６６】
図３に示すように、炭素繊維２ａとしては繊維状の炭素粒子を使用でき、具体的には例えば、ピッチ系炭素繊維、ＰＡＮ系炭素繊維、気相成長炭素繊維及びカーボンナノチューブからなる群より選択される一種の炭素繊維か又は複数種の混合炭素繊維を使用できる。炭素繊維２ａはピッチ系炭素繊維であることが特に望ましい。その理由は、ピッチ系炭素繊維の繊維方向の熱伝導率がＰＡＮ系炭素繊維のそれよりも大きいからである。
【００６７】
炭素繊維２ａの長さは限定されるものではなく、特に炭素繊維２ａの平均長さが１ｍｍ以下であることが望ましい。炭素繊維２ａの平均長さの下限は限定されるものではなく例えば１０μｍである。
【００６８】
また、鱗片状黒鉛粒子１ａ及び炭素繊維２ａは、不活性雰囲気中にて２０００〜３０００℃の温度で加熱処理されたものであっても良い。
【００６９】
鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３を得る工程Ｓ１では、鱗片状黒鉛粒子１ａと第１バインダ（図示せず）と第１バインダ用第１溶剤（図示せず）とを混合状態に含有する第１塗工液（図示せず）を第１金属箔１２上に塗工し乾燥することにより、図２に示した鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３が得られる。なお、図２中の左では第１バインダは図示省略されている。
【００７０】
炭素繊維塗工箔１６を得る工程Ｓ２では、炭素繊維２ａと第２バインダ（図示せず）と第２バインダ用第２溶剤（図示せず）とを混合状態に含有する第２塗工液（図示せず）を第２金属箔１５上に塗工し乾燥することにより、図３に示した炭素繊維塗工箔１６が得られる。なお、図３中の左では第２バインダは図示省略されている。
【００７１】
第１バインダは、鱗片状黒鉛粒子１ａに第１金属箔１２への付着力を付与して鱗片状黒鉛粒子１ａが第１金属箔１２上から脱落するのを抑制するためのものである。
【００７２】
第２バインダは、炭素繊維２ａに第２金属箔１５への付着力を付与して炭素繊維２ａが第２金属箔１５上から脱落するのを抑制するためのものである。
【００７３】
第１及び第２バインダは通常、樹脂からなる。具体的には、第１及び第２バインダとして、アクリル系樹脂、ポリエチレングリコール系樹脂、ブチレンゴム樹脂、フェノール樹脂、セルロース系樹脂などが使用できる。これらの樹脂バインダは一般に常温で固形である。
【００７４】
第１溶剤は第１バインダを溶解するものである。第２溶剤は第２バインダを溶解するものである。具体的には、第１及び第２溶剤として、水、アルコール系溶剤、炭化水素系溶剤、エステル系溶剤、エーテル系溶剤などが使用できる。これらの溶剤は一般に常温でバインダを溶解可能である。
【００７５】
第１塗工液は、鱗片状黒鉛粒子１ａと第１バインダと第１溶剤とを混合して得られる。
【００７６】
第１塗工液を第１金属箔１２上に塗工する方法は限定されない。好ましくは、第１塗工液の塗工は、特開２０１５−２５１５８号公報、特開２０１５−２１７６５５号公報等に開示されているようなロールｔｏロール方式により行われる。第１塗工液の塗工方法は、好ましくは、オフセットタイプの３本ロールコート法（即ち、オフセットタイプの３本ロールコーターによる塗工法）、グラビア印刷法、スプレー塗工法、カーテンコート法などから選択される。
【００７７】
鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３を得る工程Ｓ１では、第１塗工液は、詳述すると、第１金属箔１２上として、第１金属箔１２の厚さ方向の片側の表面１２ａにその略全体に亘って塗工される。次いで、第１塗工液は所定の乾燥手段（例：乾燥炉）によって乾燥されて第１塗工液中の溶剤が除去される。これにより、図２に示した鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３が得られる。
【００７８】
本第１実施形態では、第１塗工液が塗工される第１金属箔１２の表面１２ａは、第１金属箔１２が水平状に配置された状態における第１金属箔１２の上表面である。したがって、鱗片状黒鉛粒子層１１は詳述すると第１金属箔１２の上表面１２ａ上にその略全体に亘って形成されている。
【００７９】
第２塗工液は、炭素繊維２ａと第２バインダと第２溶剤とを混合して得られる。
【００８０】
第２塗工液を第２金属箔１５上に塗工する方法は限定されない。好ましくは、第２塗工液の塗工は、特開２０１５−２５１５８号公報、特開２０１５−２１７６５５号公報等に開示されているようなロールｔｏロール方式により行われる。第２塗工液の塗工方法は、好ましくは、グラビア印刷法、バーコート法、ナイフコート法、ドクターブレード法などから選択される。
【００８１】
炭素繊維塗工箔１６を得る工程Ｓ２では、第２塗工液は、詳述すると、第２金属箔１５上として、第２金属箔１５の厚さ方向の片側の表面１５ａにその略全体に亘って塗工される。そして、第２塗工液は所定の乾燥手段（例：乾燥炉）によって乾燥されて第２塗工液中の溶剤が除去される。これにより、図３に示した炭素繊維塗工箔１６が得られる。
【００８２】
本第１実施形態では、第２塗工液が塗工される第２金属箔１５の表面１５ａは、第２金属箔１５が水平状に配置された状態における第２金属箔１５の上表面である。したがって、炭素繊維層１４は詳述すると第２金属箔１５の上表面１５ａ上にその略全体に亘って形成されている。
【００８３】
積層体２０を形成する工程Ｓ５において、図４に示すように、積層体２０は、上述したように、複数の鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と複数の炭素繊維塗工箔１６とが積層された状態のものである。詳述すると、積層体２０は、複数の鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と複数の炭素繊維塗工箔１６とが、各炭素粒子層（鱗片状黒鉛粒子層１１、炭素繊維層１４）間に第１金属箔１２又は第２金属箔１５が必ず介在するように上下方向に積層された状態のものである。したがって、積層体２０の全体において、複数の鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と複数の炭素繊維塗工箔１６は、炭素粒子層同士が重ね合わされないように積層されている。
【００８４】
積層体２０を形成する工程Ｓ４では、積層体２０は、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６が積層体２０の上下各部分２１、２２において規則的な積層順序で積層された状態になるように形成される。
【００８５】
さらに、積層体２０は、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６が積層体２０の上下各部分２１、２２毎に異なる規則的な積層順序で積層された状態になるように形成される。すなわち、積層体２０の上部分２１におけるこれらの塗工箔１３、１６についての積層順序と積層体２０の下部分２２におけるこれらの塗工箔１３、１６についての積層順序は互いに相異している。
【００８６】
本第１実施形態では、積層体２０の上部分２１における鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６についての積層順序の単位１７は、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３／鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３／炭素繊維塗工箔１６という単位である。そして、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６は、この積層順序単位１７が積層体２０の上部分２１において繰り返されるという積層規則に従って積層され、これにより、積層体２０の上部分２１が形成される。
【００８７】
積層体２０の上部分２１において、積層順序単位１７中に存在する鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６との枚数比は２：１である。そして、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６はこの枚数比で積層体２０の上部分２１において配列している。
【００８８】
積層体２０の下部分２２における鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６についての積層順序の単位１８は、炭素繊維塗工箔１６／炭素繊維塗工箔１６／鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３という単位である。そして、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６は、この積層順序単位１８が積層体２０の下部分２２において繰り返されるという積層規則に従って積層され、これにより、積層体２０の下部分２２が形成される。
【００８９】
積層体２０の下部分２２において、積層順序単位１８中に存在する鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６との枚数比は１：２である。そして、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６はこの枚数比で積層体２０の下部分２２において配列している。
【００９０】
したがって、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６との枚数比は、積層体２０の上部分２１と下部分２２で相異している。
【００９１】
接合一体化する工程Ｓ４では、積層体２０は所定の焼結雰囲気（例：非酸化雰囲気）中にて加熱されることにより焼結され、これにより、積層体２０の全体に存在する複数の鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と複数の炭素繊維塗工箔１６が一括して接合一体化（詳述すると焼結一体化）される。これにより、上述した複合材３０が得られる。
【００９２】
積層体２０の焼結方法は、真空ホットプレス法、パルス通電焼結法（ＳＰＳ法）、熱間静水圧焼結法（ＨＩＰ法）、押出法、圧延法などから選択される。
【００９３】
積層体２０を加熱する際においては、積層体２０をその厚さ方向（即ち、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３及び炭素繊維塗工箔１６の積層方向）に加圧しながら加熱することが望ましい。その理由は積層体２０を強固に焼結できるからである。
【００９４】
積層体２０を焼結するための積層体２０の加熱温度（即ち積層体２０の焼結温度）は限定されるものではなく、通常、第１及び第２金属箔１２、１５の金属材料の融点以下であり、特に、金属材料の融点と当該融点よりも約５０℃低い温度との間の温度に設定されることが望ましい。その理由は積層体２０を確実に焼結できるからである。具体的には、金属材料が例えばアルミニウムである場合、積層体２０の加熱温度（焼結温度）は５５０〜６２０℃の範囲に設定されることが望ましい。
【００９５】
積層体２０中に存在する第１及び第２バインダは、接合一体化する工程Ｓ４において積層体２０の温度が略室温から積層体２０を焼結する温度まで上昇するように積層体２０を加熱する途中で昇華又は分解等により消失して積層体２０から除去される。
【００９６】
接合一体化する工程Ｓ４においては、積層体２０が加熱されることによって、第１及び第２金属箔１２、１５の金属材料の一部が炭素粒子層（鱗片状黒鉛粒子層１１、炭素繊維層１４）中に浸入して炭素粒子層（１１、１４）内に存在する微細な空隙（例：鱗片状黒鉛粒子層１１中の鱗片状黒鉛粒子１ａ間の隙間、炭素繊維層１４中の炭素繊維２ａ間の隙間）に充填されて、当該空隙が略消滅する。これにより、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６との接合強度（焼結強度）が向上するとともに複合材３０の密度が上昇する。
【００９７】
また、第１及び第２金属箔１２、１５の金属材料の一部が鱗片状黒鉛粒子層１１中に浸入することによって、鱗片状黒鉛粒子層１１中の鱗片状黒鉛粒子１ａは複合材３０の金属マトリックス９中に分散した状態になり、すなわち鱗片状黒鉛粒子層１１は複合材３０の鱗片状黒鉛粒子分散層１になる。
【００９８】
また、第１及び第２金属箔１２、１５の金属材料の一部が炭素繊維層１４中に浸入することによって、炭素繊維層１４中の炭素繊維２ａは複合材３０の金属マトリックス９中に分散した状態になり、すなわち炭素繊維層１４は複合材３０の炭素繊維分散層２になる。
【００９９】
また、第１及び第２金属箔１２、１５は複合材３０の金属層になる。
【０１００】
したがって、複合材３０においては、図１に示すように、鱗片状黒鉛粒子分散層１及び炭素繊維分散層２のうち一方と金属層３とは交互に積層された状態に配列する。
【０１０１】
さらに、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６との枚数比が積層体２０の上部分２１と下部分２２で相異していることにより、複合材３０の上部分３１と下部分３２で金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合が異なるようになる。
【０１０２】
具体的には、積層体２０の上部分２１における鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６との枚数比が２：１であることにより、上述したように、複合材３０の上部分３１における金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合については鱗片状黒鉛粒子１ａが炭素繊維２ａよりもリッチになる。また、積層体２０の下部分２２における鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３と炭素繊維塗工箔１６との枚数比が１：２であることにより、上述したように、複合材３０の下部分３２における金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合については炭素繊維２ａが鱗片状黒鉛粒子１ａよりもリッチになる。
【０１０３】
本第１実施形態の複合材３０は、図１に示すように、金属マトリックス９中に鱗片状黒鉛粒子１ａが分散しているので、高い熱伝導率を有しており、また金属マトリックス９中に炭素繊維２ａが分散しているので、低い線膨張率を有している。
【０１０４】
さらに、鱗片状黒鉛粒子分散層１及び炭素繊維分散層２のうち一方と金属層３とが交互に積層された状態に配列しているので、複数の炭素粒子分散層（鱗片状黒鉛粒子分散層１、炭素繊維分散層２）が各炭素粒子分散層（１、２）間に金属層３を介在しないで積層された状態に配列している場合に比べて、複合材３０は高い接合強度（高い焼結強度）を有している。
【０１０５】
しかも、複合材３０の上部分３１と下部分３２で金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合が異なっているので、複合材３０の熱特性（熱伝導性、線膨張性）は複合材３０の上部分３１と下部分３２で異なっている。そのため、複合材３０を、熱特性が複合材３０の上部分３１と下部分３２で変化している傾斜機能材料として使用することができる。
【０１０６】
さらに、鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２と金属層３が複合材３０の上下各部分３１、３２毎に異なる規則的な積層順序で積層された状態に配列している。これにより、複合材３０の熱特性を複合材３０の上下各部位３１、３２によって確実に異ならせることができる。
【０１０７】
さらに、複合材３０を製造する前に複合材３０の上下各部分３１、３２における金属マトリックス９中に含有される鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの体積割合を予め設計し、鱗片状黒鉛粒子分散層１と炭素繊維分散層２と金属層３を複合材３０の上下各部分３１、３２毎に異なる規則的な積層順序で積層した状態にして複合材３０を製造することにより、複合材３０の上下各部分３１、３２における熱伝導率と線膨張率を設計値に近づけることができる。
【０１０８】
本第１実施形態の複合材３０の製造方法は、次のような利点がある。
【０１０９】
すなわち、鱗片状黒鉛粒子１ａと炭素繊維２ａとの混合層を金属箔上に形成することは技術的に困難である。そこで本第１実施形態では、鱗片状黒鉛粒子層１１を第１金属箔１２上に形成し、炭素繊維層１４を第１金属箔１２とは別の金属箔である第２金属箔１５上に形成している。こうすることにより、複合材３０を容易に製造できる。
【０１１０】
さらに、金属マトリックス９の金属材料として金属箔が使用されているので、金属粉末を使用する場合よりも取り扱いが容易であるし製造コストが易くなる。さらに、複合材３０の厚さの制御が容易であり、薄い複合材を製造し易い。
【０１１１】
また、パワーモジュール用冷却器４０（図８参照）において、複数の冷却器構成層４１〜４４のうち少なくとも一つが本第１実施形態の複合材３０製であるから、冷却器４０は高い放熱性及び高い冷熱信頼性を有している。
【０１１２】
特に、冷却器４０の配線層４１が本第１実施形態の複合材３０製である場合には、発熱性素子４７の熱を下方向に迅速に伝導できて冷却器４０の放熱性を更に高めることができるし、冷熱サイクル負荷に対する冷却器４０の冷熱信頼性を更に高めることができる。
【０１１３】
図６及び７は、本発明の第２実施形態に係る金属−炭素粒子複合材１３０及びその製造方法を説明するための図である。これらの図において、上記第１実施形態の複合材３０の要素と同じ作用を奏する要素には、上記第１実施形態の複合材３０の要素に付された符号に１００を加算した符号が付されている。以下、本第２実施形態について上記第１実施形態との相異点を中心に説明する。
【０１１４】
図６に示すように、本第２実施形態では、複合材１３０の上部分１３１における鱗片状黒鉛粒子分散層１０１と炭素繊維分散層１０２と金属層１０３についての積層順序の単位１０７は、炭素繊維分散層１０２／金属層１０３／炭素繊維分散層１０２／金属層１０３／鱗片状黒鉛粒子分散層１０１／金属層１０３という単位である。そして、鱗片状黒鉛粒子分散層１０１と炭素繊維分散層１０２と金属層１０３は、この積層順序単位１０７が複合材１３０の上部分１３１において繰り返されるという積層規則に従って積層された状態に配列している。
【０１１５】
複合材１３０の上部分１３１において、積層順序単位１０７中に存在する鱗片状黒鉛粒子分散層１０１と炭素繊維分散層１０２との層数比は１：２である。そして、鱗片状黒鉛粒子分散層１０１と炭素繊維分散層１０２はこの層数比で複合材１３０の上部分１３１において配列している。
【０１１６】
複合材１３０の下部分１３２における鱗片状黒鉛粒子分散層１０１と炭素繊維分散層１０２と金属層１０３についての積層順序の単位１０８は、鱗片状黒鉛粒子分散層１０１／金属層１０３／鱗片状黒鉛粒子分散層１０１／金属層１０３／炭素繊維分散層１０２／金属層１０３という単位である。そして、鱗片状黒鉛粒子分散層１０１と炭素繊維分散層１０２と金属層１０３は、この積層順序単位１０８が複合材１３０の下部分１３２において繰り返されるという積層規則に従って積層された状態に配列している。
【０１１７】
複合材１３０の下部分１３２において、積層順序単位１０８中に存在する鱗片状黒鉛粒子分散層１０１と炭素繊維分散層１０２との層数比は２：１である。そして、鱗片状黒鉛粒子分散層１０１と炭素繊維分散層１０２はこの層数比で複合材１３０の下部分１３２において配列している。
【０１１８】
したがって、鱗片状黒鉛粒子分散層１０１と炭素繊維分散層１０２との層数比は、複合材１３０の上部分１３１と下部分１３２で相異している。
【０１１９】
そのため、複合材１３０は、複合材１３０の上下各部分１３１、１３２によって金属マトリックス１０９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１０１ａと炭素繊維１０２ｂとの体積割合が異なっている。
【０１２０】
具体的には、複合材１３０の上部分１３１における金属マトリックス１０９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１０１ａと炭素繊維１０２ａとの体積割合については炭素繊維１０２ａが鱗片状黒鉛粒子１０１ａよりもリッチである。また、複合材１３０の下部分１３２における金属マトリックス９中に含有されている鱗片状黒鉛粒子１０１ａと炭素繊維１０２ａとの体積割合については鱗片状黒鉛粒子１０１ａが炭素繊維１０２ａよりもリッチである。
【０１２１】
したがって、複合材１３０の上部分１３１の線膨張率は複合材１３０の下部分１３２のそれよりも低く、複合材１３０の下部分１３２の熱伝導率は複合材１３０の上部分１３１のそれよりも高い。
【０１２２】
図７に示すように、本第２実施形態における積層体１２０を形成する工程Ｓ３（図５参照）では、積層体１２０は、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６が積層体１２０の上下各部分１２１、１２２において規則的な積層順序で積層された状態になるように形成される。
【０１２３】
さらに、積層体１２０の上部分１２１におけるこれらの塗工箔１１３、１１６についての積層順序と積層体１２０の下部分１２２におけるこれらの塗工箔１１３、１１６についての積層順序は互いに相異している。
【０１２４】
本第２実施形態では、積層体１２０の上部分１２１における鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６についての積層順序の単位１１７は、炭素繊維塗工箔１１６／炭素繊維塗工箔１１６／鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３という単位である。そして、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６は、この積層順序単位１１７が積層体１２０の上部分１２１において繰り返されるという積層規則に従って積層され、これにより、積層体１２０の上部分１２１が形成される。
【０１２５】
積層体１２０の上部分１２１において、積層順序単位１１７中に存在する鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６との枚数比は１：２である。そして、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６はこの枚数比で積層体１２０の上部分１２１において配列している。
【０１２６】
積層体１２０の下部分１２２における鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６についての積層順序の単位１１８は、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３／鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３／炭素繊維塗工箔１１６という単位である。そして、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６は、この積層順序単位１１８が積層体１２０の下部分１２２において繰り返されるという積層規則に従って積層され、これにより、積層体１２０の下部分１２２が形成される。
【０１２７】
積層体１２０の下部分１２２において、積層順序単位１１８中に存在する鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６との枚数比は２：１である。そして、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６はこの枚数比で積層体１２０の下部分１２２において配列している。
【０１２８】
したがって、鱗片状黒鉛粒子塗工箔１１３と炭素繊維塗工箔１１６との枚数比は、積層体１２０の上部分１２１と下部分１２２で相異している。
【０１２９】
本第２実施形態の複合材１３０は、上記第１実施形態の複合材３０と同様に、図８に示したパワーモジュール用冷却器４０を構成する複数の冷却器構成層４１〜４４のうち少なくとも一つの構成層の材料として好適に使用可能である。特に、緩衝層４３が本第２実施形態の複合材１３０製であることが望ましい。その理由は次のとおりである。
【０１３０】
緩衝層４３の上面は絶縁層４２に接合されることから、緩衝層４３の上部は、緩衝層４３の線膨張率と絶縁層の線膨張率との差を小さくて冷却器４０の冷熱信頼性を高くするため、なるべく低い線膨張率を有していることが望ましい。緩衝層４３の下面は冷却層（例：ヒートシンク）４４に接合されることから、緩衝層４３の下部は、発熱性素子４７の熱を下方向に迅速に伝導させるため、なるべく高い熱伝導率を有していることが望ましい。
【０１３１】
したがって、緩衝層４３が本第２実施形態の複合材１３０製である（即ち、緩衝層４３が本第２実施形態の複合材１３０で形成されている）ことにより、発熱性素子４７の熱を下方向に迅速に伝導できるし、冷熱サイクル負荷に対する冷却器４０の冷熱信頼性を高めることができる。
【０１３２】
以上で本発明の幾つかの実施形態を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で様々に変更可能である。
【０１３３】
本発明では、複合材の上部分における積層順序単位中に存在する鱗片状黒鉛粒子分散層と炭素繊維分散層との層数比は、２：１（第１実施形態）、１：２（第２実施形態）に限定されるものではなく、その他の層数比であっても良く、通常１〜５：１〜５の範囲に設定される。また本発明では、複合材の下部分における積層順序単位中に存在する鱗片状黒鉛粒子分散層と炭素繊維分散層との層数比は、１：２（第１実施形態）、２：１（第２実施形態）に限定されるものではなく、その他の層数比であっても良く、通常１〜１０：１〜１０の範囲に設定される。
【０１３４】
さらに本発明では、複合材における金属マトリックス中に含有されている鱗片状黒鉛粒子と炭素繊維との体積割合が異なる部位（即ち、複合材の熱特性が異なる部位）は、上記実施形態のように複合材の上部分と下部分との二部位であることに限定されるものではなく、その他に例えば、複合材の上端部と中間部と下端部との三部位であっても良いし、複合材の厚さ方向（即ち複合材の上下方向）における四部位以上であっても良い。すなわち本発明では、複合材における金属マトリックス中に含有されている鱗片状黒鉛粒子と炭素繊維との体積割合が異なる部位は、複合材の厚さ方向における複数の部位であれば良い。
【０１３５】
また本発明では、積層体を形成する工程において、積層体は、長尺な鱗片状黒鉛粒子塗工箔（例えば、鱗片状黒鉛粒子塗工箔の条材）と長尺な炭素繊維塗工箔（例えば、炭素繊維塗工箔の条材）が積層された状態でロール状に複数回巻かれることにより、形成されたものであっても良い。
【０１３６】
また本発明に係る金属−炭素粒子複合材は、上記第１実施形態（上記第２実施形態を含む）で示した製造方法により製造されたものであることが、複合材の接合強度（焼結強度）を容易に確実に高めることができる点で望ましいが、次のような製造方法により製造されたものであっても良い。
【０１３７】
すなわち、鱗片状黒鉛粒子塗工箔を得る工程において、第１塗工液を第１金属箔の厚さ方向の両側の表面にそれぞれ塗工し乾燥することにより、第１金属箔の厚さ方向の両側の表面にそれぞれ鱗片状黒鉛粒子層が形成された鱗片状黒鉛粒子塗工箔（これを便宜上「鱗片状黒鉛粒子両面塗工箔」という）を得る。また、炭素繊維塗工箔を得る工程において、第２塗工液を第２金属箔の厚さ方向の両側の表面にそれぞれ塗工し乾燥することにより、第２金属箔の厚さ方向の両側の表面にそれぞれ炭素繊維層が形成された炭素繊維塗工箔（これを便宜上「炭素繊維両面塗工箔」という）を得る。
【０１３８】
さらに、金属箔の厚さ方向の両側の表面のうち一方の表面に第１塗工液を他方の表面に第２塗工液をそれぞれ塗工し乾燥することにより、金属箔の厚さ方向の両側の表面のうち一方の表面に鱗片状黒鉛粒子層が他方の表面に炭素繊維層がそれぞれ形成された塗工箔（これを便宜上「鱗片状黒鉛粒子／炭素繊維両面塗工箔」という）を得ても良い。
【０１３９】
上述した両面塗工箔（即ち、「鱗片状黒鉛粒子両面塗工箔」、「炭素繊維両面塗工箔」、「鱗片状黒鉛粒子／炭素繊維両面塗工箔」）を用いて複合材を製造する場合、積層体を形成する工程において炭素粒子層（鱗片状黒鉛粒子層、炭素繊維層）同士が重ね合わされた状態で複数の両面塗工箔が積層されると、接合一体化する工程において炭素粒子層同士の重ね合わせ界面にて接合不良（焼結不良）が発生する虞がある。そこで、この接合不良を抑制するため、複数の両面塗工箔を積層する際に各両面塗工箔間に金属箔を介在させることが望ましい。こうすることにより、接合一体化する工程において金属箔の金属材料の一部がその厚さ方向の両側に配置された炭素粒子層にそれぞれ浸入し、そのため、得られる複合材の接合強度（焼結強度）を確実に高めることができる。
【０１４０】
しかしながら、上記第１実施形態（上記第２実施形態を含む）で示したように、第１塗工液を第１金属箔１２の厚さ方向の片側の表面１２ａに塗工し乾燥することにより、第１金属箔１２の厚さ方向の片側の表面１２ａに鱗片状黒鉛粒子層１１が形成された鱗片状黒鉛粒子塗工箔１３（これを便宜上「鱗片状黒鉛粒子片面塗工箔１３」という）を得るとともに、第２塗工液を第２金属箔１５の厚さ方向の片側の表面１５ａに塗工し乾燥することにより、第２金属箔１５の厚さ方向の片側の表面１５ａに炭素繊維層１４が形成された炭素繊維塗工箔１６（これを便宜上「炭素繊維片面塗工箔１６」という）を得ることが望ましい。その理由は次のとおりである。
【０１４１】
すなわち、上記第１実施形態（上記第２実施形態を含む）で示したように、上述した片面塗工箔（即ち、「鱗片状黒鉛粒子片面塗工箔１３」、「炭素繊維片面塗工箔１６」）を用いて複合材３０を製造する場合では、積層体２０を形成する工程Ｓ３において炭素粒子層（鱗片状黒鉛粒子層１１、炭素繊維層１４）同士が重ね合わされないように複数の片面塗工箔１３、１６を積層できるので、複数の片面塗工箔１３、１６を積層する際に各片面塗工箔１３、１６間に金属箔を介在させる必要がない。そのため、得られる複合材３０の接合強度（焼結強度）を容易に確実に高めることができる。
【０１４２】
また、本発明に係る金属−炭素粒子複合材は、パワーモジュール用冷却器の材料だけではなくそれ以外の用途の材料としても使用可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１４３】
本発明は、金属マトリックスと金属マトリックス中に分散した炭素粒子（鱗片状黒鉛粒子及び炭素繊維）とを含む金属−炭素粒子複合材、その製造方法、及び、パワーモジュール用冷却器に利用可能である。
【符号の説明】
【０１４４】
１、１０１：鱗片状黒鉛粒子分散層
１ａ、１０１ａ：鱗片状黒鉛粒子
２、１０２：炭素繊維分散層
２ａ、１０２ａ：炭素繊維
３、１０３：金属層
９、１０９：金属マトリックス
１１：鱗片状黒鉛粒子層
１２：第１金属箔
１３、１１３：鱗片状黒鉛粒子塗工箔
１４：炭素繊維層
１５：第２金属箔
１６、１１６：炭素繊維塗工箔
２０、１２０：積層体
３０、１３０：金属−炭素粒子複合材
４０：パワーモジュール用冷却器
【図１】
2018075617.tif 000003
【図２】
2018075617.tif 000004
【図３】
2018075617.tif 000005
【図４】
2018075617.tif 000006
【図５】
2018075617.tif 000007
【図６】
2018075617.tif 000008
【図７】
2018075617.tif 000009
【図８】
2018075617.tif 000010