(57)【要約】【課題】過昇温による動作精度の低下を低減することができる圧電駆動装置を提供すること、また、この圧電駆動装置を備える電子部品搬送装置を提供すること。【解決手段】第１部材と、前記第１部材に対して相対的に位置または姿勢を変更可能に設けられている第２部材と、前記第２部材を前記第１部材に対して相対的に位置または姿勢を変化させる駆動力を発生させる第１圧電アクチュエーターと、を備え、前記第１部材および前記第２部材のうちの少なくとも一方の部材は、前記第１部材および前記第２部材が重なる方向に沿って貫通している第１孔を有することを特徴とする圧電駆動装置。【選択図】図９
2018186673.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材と、
前記第１部材に対して鉛直方向上側または鉛直方向下側に配置され、前記第１部材に対して相対的に位置または姿勢を変更可能に設けられている第２部材と、
前記第２部材を前記第１部材に対して相対的に位置または姿勢を変化させる駆動力を発生させる第１圧電アクチュエーターと、を備え、
前記第１部材および前記第２部材のうちの少なくとも一方の部材は、前記第１部材および前記第２部材が重なる方向に貫通している第１孔を有することを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項２】
前記第１部材と前記第２部材との間に配置されている直動軸受を備える請求項１に記載の圧電駆動装置。
【請求項３】
前記第１部材と前記第２部材との間には、前記第１部材および前記第２部材が重なる方向に対して交差する方向で外部に開放している空間が設けられている請求項１または２に記載の圧電駆動装置。
【請求項４】
前記第２部材は、前記第１部材に対して第１方向に移動可能に設けられ、
前記第１圧電アクチュエーターは、前記第２部材を前記第１部材に対して前記第１方向に移動させる駆動力を発生させる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電駆動装置。
【請求項５】
第３部材と、
前記第１部材に支持され、前記第３部材に対して前記第１方向に交差している第２方向に移動可能に設けられている第４部材と、
前記第４部材を前記第３部材に対して前記第２方向に移動させる駆動力を発生させる第２圧電アクチュエーターと、
第５部材と、
前記第３部材に支持され、前記第５部材に対して前記第１方向および前記第２方向に交差する回動軸まわりに回動可能に設けられている第６部材と、
前記第６部材を前記第５部材に対して前記回動軸まわりに回動させる駆動力を発生させる第３圧電アクチュエーターと、を備え、
前記第１部材は、前記第１孔を有し、
前記第３部材および前記第４部材は、それぞれ、前記第３部材および前記第４部材が重なる方向に貫通している第２孔を有し、
前記第６部材は、前記第５部材および前記第６部材が重なる方向に貫通している第３孔を有する請求項４に記載の圧電駆動装置。
【請求項６】
前記第１孔を通る配線を備える請求項１ないし５のいずれか１項に記載の圧電駆動装置。
【請求項７】
前記第１部材および前記第２部材のうちの少なくとも一方の部材は、前記第１部材と前記第２部材との間の空間に連通し、かつ、前記第１部材と前記第２部材とが重なる方向に対して交差する方向で外部に開放している連通部を有する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の圧電駆動装置。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の圧電駆動装置を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置および電子部品搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子を用いた圧電アクチュエーターからの駆動力により駆動を行う圧電駆動装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような圧電駆動装置は、例えば、ＩＣチップ等の電子部品の電気的特性を検査する検査装置（ハンドラー）に用いられる。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載の検査装置は、圧電駆動装置として位置変更機構部を備える。この位置変更機構部は、支持部と、支持部に支持され、支持部に対してＸ方向に往復移動可能な第１移動部と、第１移動部に支持され、第１移動部に対してＹ方向に往復移動可能な第２移動部と、第２移動部に支持され、第２移動部に対してＺ軸まわりに回動可能な回動部と、第１移動部を支持部に対して移動させる第１圧電アクチュエーターと、第２移動部を第１移動部に対して移動させる第２圧電アクチュエーターと、回動部を第２移動部に対して回動させる第３圧電アクチュエーターと、を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１４８３９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の圧電駆動装置では、放熱について特段の配慮がなされていないため、圧電駆動装置が有する部品の過昇温により、動作精度が低下してしまう可能性がある。
【０００６】
本発明の目的は、過昇温による動作精度の低下を低減することができる圧電駆動装置を提供すること、また、この圧電駆動装置を備える電子部品搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。
【０００８】
本適用例の圧電駆動装置は、第１部材と、
前記第１部材に対して鉛直方向上側または鉛直方向下側に配置され、前記第１部材に対して相対的に位置または姿勢を変更可能に設けられている第２部材と、
前記第２部材を前記第１部材に対して相対的に位置または姿勢を変化させる駆動力を発生させる第１圧電アクチュエーターと、を備え、
前記第１部材および前記第２部材のうちの少なくとも一方の部材は、前記第１部材および前記第２部材が重なる方向に貫通している第１孔を有することを特徴とする。
【０００９】
このような圧電駆動装置によれば、第１孔を通じて第１部材と第２部材との間の空間に気体（例えば空気）の流れ（対流）を生じさせ、第１部材および第２部材の放熱を効率的に行うことができる。そのため、圧電駆動装置の過昇温による動作精度の低下を低減することができる。
【００１０】
本適用例の圧電駆動装置では、前記第１部材と前記第２部材との間に配置されている直動軸受を備えることが好ましい。
【００１１】
これにより、第２部材を第１部材に対して一方向に移動可能に設けることができる。また、直動軸受を第１部材と第２部材との間に介在させることで、第１部材と第２部材との間に、第１部材および第２部材が重なる方向に対して交差する方向で外部に開放している空間を設けることができる。そのため、当該空間での気体の流れをより生じさせやすくし、その結果、第１部材および第２部材の放熱をより効率的に行うことができる。
【００１２】
本適用例の圧電駆動装置では、前記第１部材と前記第２部材との間には、前記第１部材および前記第２部材が重なる方向に対して交差する方向で外部に開放している空間が設けられていることが好ましい。
【００１３】
これにより、第１部材と第２部材との間の空間での気体の流れをより生じさせやすくし、その結果、第１部材および第２部材の放熱をより効率的に行うことができる。
【００１４】
本適用例の圧電駆動装置では、前記第２部材は、前記第１部材に対して第１方向に移動可能に設けられ、
前記第１圧電アクチュエーターは、前記第２部材を前記第１部材に対して前記第１方向に移動させる駆動力を発生させることが好ましい。
これにより、対象物を移動可能な圧電駆動装置を実現することができる。
【００１５】
本適用例の圧電駆動装置では、第３部材と、
前記第１部材に支持され、前記第３部材に対して前記第１方向に交差している第２方向に移動可能に設けられている第４部材と、
前記第４部材を前記第３部材に対して前記第２方向に移動させる駆動力を発生させる第２圧電アクチュエーターと、
第５部材と、
前記第３部材に支持され、前記第５部材に対して前記第１方向および前記第２方向に交差する回動軸まわりに回動可能に設けられている第６部材と、
前記第６部材を前記第５部材に対して前記回動軸まわりに回動させる駆動力を発生させる第３圧電アクチュエーターと、を備え、
前記第１部材は、前記第１孔を有し、
前記第３部材および前記第４部材は、それぞれ、前記第３部材および前記第４部材が重なる方向に貫通している第２孔を有し、
前記第６部材は、前記第５部材および前記第６部材が重なる方向に貫通している第３孔を有することが好ましい。
【００１６】
これにより、対象物を２元的に移動および回動可能な圧電駆動装置を実現することができる。また、第１部材が第１孔を有し、第３部材および第４部材がそれぞれ第２孔を有し、第６部材が第３孔を有することで、第１部材と第２部材との間の空間、第３部材と第４部材との間の空間、および、第５部材と第６部材との間の空間の互いの気体の流通を可能とし、それぞれの空間に気体（例えば空気）の流れ（対流）を生じさせ、これらの部材の放熱を効率的に行うことができる。また、これらの孔を通じて配線を引き回すことができる。
【００１７】
本適用例の圧電駆動装置では、前記第１孔を通る配線を備えることが好ましい。
これにより、第１部材および第２部材の外側に引き回す配線をなくすかまたは少なくすることができ、圧電駆動装置全体の小型化を図ることができる。
【００１８】
本適用例の圧電駆動装置では、前記第１部材および前記第２部材のうちの少なくとも一方の部材は、前記第１部材と前記第２部材との間の空間に連通し、かつ、前記第１部材と前記第２部材とが重なる方向に対して交差する方向で外部に開放している連通部を有することが好ましい。
【００１９】
これにより、第１部材と第２部材との間の空間に気体の流れをより生じさせやすくすることができる。
【００２０】
本適用例の電子部品搬送装置は、本適用例の圧電駆動装置を備えることを特徴とする。
このような電子部品搬送装置によれば、圧電駆動装置の過昇温による動作精度の低下を低減することができるので、電子部品搬送装置の特性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係る圧電駆動装置（圧電駆動ユニット）の概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示す圧電駆動装置が備えるＸ１方向駆動用の圧電駆動装置の断面図である。
【図３】図２に示す圧電駆動装置をＺ軸方向から見た図である。
【図４】図２に示す圧電駆動装置が備える圧電アクチュエーターの平面図である。
【図５】図４に示す圧電アクチュエーターの動作を説明するための図である。
【図６】図１に示す圧電駆動装置が備えるＹ１方向駆動用の圧電駆動装置をＺ軸方向から見た図である。
【図７】図１に示す圧電駆動装置が備えるθ１方向駆動用の圧電駆動装置の断面図である。
【図８】図７に示す圧電駆動装置をＺ軸方向から見た図である。
【図９】図１に示す圧電駆動装置の作用を説明するための断面図である。
【図１０】本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の圧電駆動装置および電子部品搬送装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
１．圧電駆動装置
図１は、本発明の実施形態に係る圧電駆動装置（圧電駆動ユニット）の概略構成を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交している３軸としてＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を適宜用いて説明を行う。また、各図において、これらの軸を示す矢印の先端側を「＋」、基端側を「−」とする。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、Ｘ軸およびＹ軸の双方に平行な平面（法線がＺ軸方向となる平面）を「ＸＹ平面」、Ｘ軸およびＺ軸の双方に平行な平面（法線がＹ軸方向となる平面）を「ＸＺ平面」という。Ｙ軸およびＺ軸の双方に平行な平面（法線がＸ軸方向となる平面）を「ＹＺ平面」という。Ｚ軸方向から見ることを「平面視」という。
【００２４】
図１に示す圧電駆動装置１０は、Ｘ軸方向（図中矢印Ｘ１で示す方向）、Ｙ軸方向（図中矢印Ｙ１で示す方向）およびＺ軸まわり（図中矢印θ１で示す方向）の駆動を行う圧電駆動ユニットである。この圧電駆動装置１０は、Ｘ軸方向での駆動を行う圧電駆動装置１Ｘ（第１圧電駆動装置）と、Ｙ軸方向での駆動を行う圧電駆動装置１Ｙ（第２圧電駆動装置）と、Ｚ軸まわりの駆動を行う圧電駆動装置１θ（第３圧電駆動装置）と、を有し、これらがＺ軸方向に沿って並んで連結されている。
【００２５】
特に、この圧電駆動装置１０では、圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θの内部にそれぞれ空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθを有し、当該空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθが、互いに連通しかつ側部の凹部３４、９４および孔９５等を介して外部に連通（開放）している。これにより、圧電駆動装置１０内の通気を行い、圧電駆動装置１０の放熱性を向上させることができる。以下、圧電駆動装置１０の各部を順次説明する。
【００２６】
（第１圧電駆動装置）
図２は、図１に示す圧電駆動装置が備えるＸ１方向駆動用の圧電駆動装置の断面図である。図３は、図２に示す圧電駆動装置をＺ軸方向から見た図である。図４は、図２に示す圧電駆動装置が備える圧電アクチュエーターの平面図である。図５は、図４に示す圧電アクチュエーターの動作を説明するための図である。なお、図３では、説明の便宜上、後述する駆動部５Ｘおよび検出部６Ｘの一部および第２部材３Ｘの図示を省略している。
【００２７】
図２に示すように、圧電駆動装置１Ｘは、第１部材２Ｘと、第２部材３Ｘと、第２部材３Ｘを第１部材２Ｘに対してＸ軸方向（図１中矢印Ｘ１で示す方向）に相対的に移動させるように案内する案内機構４Ｘと、第２部材３Ｘを第１部材２Ｘに対してＸ軸方向に相対的に移動させる駆動部５Ｘと、第１部材２Ｘに対する第２部材３ＸのＸ軸方向での相対的な移動を検出する検出部６Ｘ（エンコーダー）と、を有する。
【００２８】
第１部材２Ｘおよび第２部材３Ｘは、それぞれ、例えば、金属材料、セラミックス材料等で構成され、ＸＹ平面に沿った略板状の全体形状を有する。そして、第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間には、空間ＳＸが形成されている。また、第１部材２Ｘおよび第２部材３Ｘの平面視での外形は、それぞれ、図示では、矩形（四角形）であるが、これに限定されず、例えば、五角形等の他の多角形、円形、楕円形等であってもよい。
【００２９】
ここで、図２に示すように、第１部材２Ｘの一方（図２中の上側）の面には、凹部２３が形成されている。そして、凹部２３の底面は、後述する駆動部５Ｘの被駆動部材５１が設置される設置面２１を構成している。また、第１部材２Ｘの一方（図２中の上側）の面には、凹部２３の外側に、後述する検出部６Ｘの光学スケール６１が設置される設置面２２が設けられている。
【００３０】
このように、第１部材２Ｘの一方（図２中の上側）の面には、凹部２３が形成されることにより、ＸＹ平面に沿った互いに高さの異なる設置面２１、２２が形成されている。図３に示すように、凹部２３は、Ｘ軸方向に沿って延びており、これに伴い、設置面２１も、Ｘ軸方向に沿って延びている。
【００３１】
また、図２に示すように、第１部材２Ｘには、その厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通している孔２４Ｘが設けられている。本実施形態では、孔２４Ｘは、図３に示すように、第１部材２Ｘの＋Ｙ軸方向側に偏在し、平面視でＸ軸方向に沿って延びた形状をなしている。また、孔２４Ｘは、その上端（図２中上側の端）が前述した設置面２２に開口している。なお、孔２４Ｘの位置、形状および大きさ等は、図示のものに限定されない。
【００３２】
図２に示すように、第２部材３Ｘの一方（図２中の上側）の面には、第１部材２Ｘとは反対側に開放している凹部３１が形成されている。また、第２部材３Ｘには、凹部３１の底面に開口して第２部材３Ｘの厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通している孔３２、３３Ｘが形成されている。また、第２部材３Ｘの一方（図２中の上側）の面には、凹部３１の壁面および第２部材３Ｘの側面のそれぞれに開口して凹部３１の内外を連通させる凹部３４が形成されている。
【００３３】
ここで、孔３３Ｘは、図３に示すように、平面視で、前述した第１部材２Ｘの孔２４Ｘに重なる部分を有するように配置されている。図示では、孔３３Ｘは、平面視で、孔２４Ｘに重なる部分と重ならない部分とを有する。本実施形態では、孔３３Ｘは、平面視でＸ軸方向に沿って延びた形状をなしている。また、孔３３Ｘの幅（Ｙ軸方向での長さ）および長さ（Ｘ軸方向での長さ）は、前述した孔２４Ｘの幅（Ｙ軸方向での長さ）および長さ（Ｘ軸方向での長さ）よりも小さい。なお、孔３３Ｘの位置、形状および大きさ等は、図示のものに限定されない。例えば、孔３３Ｘの幅および長さは、孔２４Ｘの幅および長さに等しくてもよいし、孔２４Ｘの幅および長さよりも大きくてもよい。また、孔２４Ｘは、平面視で孔３３Ｘと一致していてもよいし一致していなくてもよく、また、平面視で孔３３Ｘに包含されていてもよいし孔３３Ｘを包含していてもよい。また、孔２４Ｘは、その位置、形状および大きさ等または孔３３Ｘの位置、形状および大きさ等によっては、平面視で孔３３Ｘに重なっていなくてもよい。また、孔３２は、後述するように駆動部５Ｘの圧電アクチュエーター５２Ｘおよび支持部材５３が挿通されるが、空間ＳＸ内にゴミ等の不要物が侵入して検出部６Ｘに付着するのを防止する観点から、必要以上に大きくしないことが好ましい。
【００３４】
案内機構４Ｘは、直動軸受であり、図２に示すように、前述した第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間に配置されている。この案内機構４Ｘは、１対のスライダー４１と、１対のスライダー４１に対応して設けられている１対のレール４２と、スライダー４１とレール４２との間に設けられている複数のボール４３と、を有する。
【００３５】
１対のレール４２は、それぞれ、Ｘ軸方向に沿って延びて配置され、第２部材３Ｘに例えばネジ、ビス等を用いて固定されている。１対のスライダー４１は、それぞれ、対応するレール４２に沿って移動可能であり、第１部材２Ｘに例えばネジ、ビス等を用いて固定されている。また、スライダー４１、レール４２およびボール４３は、第１部材２Ｘおよび第２部材３ＸのＸ軸方向以外の方向での相対的な移動を規制（制限）するように構成されている。なお、１対のレール４２の一方または双方は、第２部材３Ｘに対し一体的に形成されていてもよい。また、１対のスライダー４１の一方または双方は、第１部材２Ｘに対し一体的に形成されていてもよい。また、スライダー４１、レール４２およびボール４３は、第１部材２Ｘおよび第２部材３ＸのＸ軸方向での相対的な移動を所定範囲内に規制（制限）するように構成されていてもよい。
【００３６】
このような案内機構４Ｘを第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間に設けることにより、第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間の空間ＳＸは、１対のレール４２の両端側で外部に開放されている。
【００３７】
駆動部５Ｘは、第１部材２Ｘに設置されている被駆動部材５１と、被駆動部材５１に駆動力を伝達する複数（図示では３つ）の圧電アクチュエーター５２Ｘ（第１圧電アクチュエーター）と、複数の圧電アクチュエーター５２Ｘを第２部材３Ｘに対して支持している複数（図示では３つ）の支持部材５３と、を有する。
【００３８】
被駆動部材５１は、前述した第１部材２Ｘの設置面２１上に設置され、例えば、嵌合、接着剤による接着、ビス止め等により第１部材２Ｘに固定されている。また、被駆動部材５１は、第１部材２Ｘに対し一体的に形成されていてもよい。この被駆動部材５１は、板状またはシート状をなし、例えばセラミックス材料等の比較的耐摩耗性の高い材料で構成されている。また、被駆動部材５１は、図３に示すように、Ｘ軸方向に沿って延びている。
【００３９】
複数の圧電アクチュエーター５２Ｘは、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。図４に示すように、圧電アクチュエーター５２Ｘは、振動部５２１と、支持部５２２と、これらを接続している１対の接続部５２３と、振動部５２１から突出している突出部５２４と、を有している。
【００４０】
振動部５２１は、ＸＺ平面に沿った板状をなしている。また、振動部５２１は、Ｚ軸方向に沿って延びている長手形状をなしている。この振動部５２１は、振動部５２１の幅方向（Ｘ軸方向）の中央部に振動部５２１の長手方向に沿って配置されている圧電素子５２１５と、圧電素子５２１５に対して振動部５２１の幅方向の一方側に振動部５２１の長手方向に沿って配置されている２つの圧電素子５２１１、５２１２と、圧電素子５２１５に対して振動部５２１の幅方向の他方側に振動部５２１の長手方向に沿って配置されている２つの圧電素子５２１３、５２１４と、を有する。
【００４１】
このような振動部５２１は、図示しないが、例えば、シリコン基板等の２つの基板と、これらの基板間に配置されているチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電体と、圧電体の表裏に適宜設けられている複数の電極と、を有している。ここで、支持部５２２および１対の接続部５２３は、それぞれ、例えば、前述した振動部５２１が有する２つの基板と一体で形成されている２つの基板を有する。また、支持部５２２は、例えば、前述した振動部５２１が有する圧電体と同等の厚さを有する絶縁性のスペーサーが当該２つの基板間に介挿されている。
【００４２】
突出部５２４は、振動部５２１の長手方向（Ｚ軸方向）での一方（図４中の下側）の端部（先端部）には、その幅方向での中央部に突出部５２４が突出して設けられている。突出部５２４は、例えば、セラミックス等の耐摩耗性に優れた材料で構成され、振動部５２１に接着剤等により接合されている。この突出部５２４は、振動部５２１の振動を被駆動部材５１へ摩擦摺動により伝達する機能を有する。なお、突出部５２４の形状は、振動部５２１の駆動力を被駆動部材５１に伝達可能であればよく、図示の形状に限定されない。
【００４３】
図２に示す支持部材５３は、例えば、金属材料、セラミックス材料等で構成され、支持部５２２および第２部材３Ｘのそれぞれに対して、例えばネジ等を用いて固定されている。ここで、支持部材５３が弾性変形可能な弾性部（図示せず）を有しており、当該弾性部の弾性変形を伴って突出部５２４が被駆動部材５１に対して所定圧力で接触（押圧）するように、支持部５２２が支持部材５３を介して第２部材３Ｘに対して固定されている。また、圧電アクチュエーター５２Ｘおよび支持部材５３は、前述した第２部材３Ｘの孔３２に挿通された状態で、第２部材３Ｘに対して固定されている。
【００４４】
以上のような駆動部５Ｘが有する圧電アクチュエーター５２Ｘは、図示しない回路部から所定周波数の駆動信号が圧電素子５２１１〜５２１５に適宜入力されることにより作動する。例えば、圧電素子５２１１、５２１４への駆動信号と圧電素子５２１２、５２１３への駆動信号との位相差を１８０°とし、圧電素子５２１１、５２１４への駆動信号と圧電素子５２１５への駆動信号との位相差を３０°とすることで、図５に示すように、各圧電素子５２１１〜５２１５の伸縮により、振動部５２１がＳ字形状に屈曲振動し、これにより、突出部５２４の先端が図中矢印αで示す方向に楕円運動する。その結果、被駆動部材５１は、突出部５２４から一方向（図中矢印βで示す方向）に駆動力を繰り返し受ける。これにより、第１部材２Ｘおよび第２部材３ＸがＸ軸方向に相対的に移動する。
【００４５】
なお、図５に示す場合とは逆方向に、第１部材２Ｘおよび第２部材３ＸをＸ軸方向に相対的に移動させる場合には、圧電素子５２１１、５２１４への駆動信号との位相差が２１０°となるように圧電素子５２１５に駆動信号を印加すればよい。
【００４６】
ここで、図示しない回路部は、例えば、前述した第２部材３Ｘの凹部３１内に設置されている。この回路部は、前述した圧電アクチュエーター５２Ｘおよびセンサー６２を作動させるための回路を有する。例えば、回路部は、圧電アクチュエーター５２Ｘを駆動（駆動信号を発生）するための駆動回路、センサー６２の発光素子を駆動するための駆動回路、センサー６２の受光素子からの信号に基づいて第１部材２Ｘに対する第２部材３Ｘの相対的な位置を演算するための演算回路等を含んでいる。なお、回路部は、圧電駆動装置１Ｘの外部に設けられていてもよい。
【００４７】
検出部６Ｘは、光学式のリニアエンコーダーである。この検出部６Ｘは、第１部材２Ｘに設置されている光学スケール６１と、光学スケール６１の移動を検出するセンサー６２と、を有する。
【００４８】
光学スケール６１は、前述した第１部材２Ｘの設置面２２上に設置され、例えば接着剤等を用いて第１部材２Ｘに固定されている。この光学スケール６１は、例えば、スリット板、偏光板等である。また、光学スケール６１は、図３に示すように、Ｘ軸方向に沿って延びている。
【００４９】
センサー６２は、図示しないが、光学スケール６１に光を照射する半導体レーザー等の発光素子と、光学スケール６１からの反射光を受光するフォトダイオード等の受光素子と、を含んで構成されている。このセンサー６２は、第２部材３Ｘの凹部３１とは反対側の面上に、光学スケール６１に対応する位置に設置されている。なお、光学スケール６１およびセンサー６２の配置は、図示の配置に限定されない。
【００５０】
以上のような検出部６Ｘでは、第１部材２Ｘに対する第２部材３ＸのＸ軸方向での相対的な移動状態（位置、移動速度等）に応じて、センサー６２の受光素子の出力信号の波形が変化する。したがって、この受光素子の出力信号に基づいて、第１部材２Ｘに対する第２部材３ＸのＸ軸方向での相対的な移動状態を検出することができる。
【００５１】
以上のように、圧電駆動装置１Ｘは、第１部材２Ｘと、第１部材２Ｘに対して鉛直方向上側または鉛直方向下側に配置され、第１部材２Ｘに対して相対的に位置を変更可能に設けられている第２部材３Ｘと、第２部材３Ｘを第１部材２Ｘに対して相対的に位置を変化させる駆動力を発生させる第１圧電アクチュエーターである圧電アクチュエーター５２Ｘと、を備える。そして、第１部材２Ｘは、第１部材２Ｘおよび第２部材３Ｘが重なる方向（Ｚ軸方向）に貫通している第１孔である孔２４Ｘを有する。また、第２部材３Ｘは、第１部材２Ｘおよび第２部材３Ｘが重なる方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通している第１孔である孔３３Ｘを有する。
【００５２】
このような圧電駆動装置１Ｘによれば、孔２４Ｘ、３３Ｘを通じて第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間の空間ＳＸに気体（例えば空気）の流れ（対流）を生じさせ、第１部材２Ｘおよび第２部材３Ｘの放熱を効率的に行うことができる。そのため、圧電駆動装置１Ｘの過昇温による動作精度の低下（例えば、駆動部５Ｘの駆動効率低下、検出部６Ｘの検出精度低下等）を低減することができる。なお、圧電駆動装置１Ｘは、圧電駆動装置１０が有する圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θのうち最も上側に位置するため、孔３３Ｘは、必ずしも必要でなく、十分な放熱効果が得られる場合には、省略してもよい。
【００５３】
ここで、圧電駆動装置１Ｘは、前述したように、第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間に配置されている直動軸受である案内機構４Ｘを備える。これにより、第２部材３Ｘを第１部材２Ｘに対して一方向（Ｘ軸方向）に移動可能に設けることができる。また、案内機構４Ｘを第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間に介在させることで、第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間に、第１部材２Ｘおよび第２部材３Ｘが重なる方向（Ｚ軸方向）に対して交差する方向（特にＸ軸方向）で外部に開放している空間ＳＸを設けることができる。そのため、当該空間ＳＸでの気体の流れをより生じさせやすくし、その結果、第１部材２Ｘおよび第２部材３Ｘの放熱をより効率的に行うことができる。
【００５４】
このような案内機構４Ｘにより、第２部材３Ｘは、第１部材２Ｘに対してＸ軸方向（第１方向）に移動可能に設けられている。そして、圧電アクチュエーター５２Ｘ（第１圧電アクチュエーター）は、第２部材３Ｘを第１部材２Ｘに対してＸ軸方向に移動させる駆動力を発生させる。これにより、対象物を移動可能な圧電駆動装置１Ｘを実現することができる。
【００５５】
また、第２部材３Ｘは、第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間の空間ＳＸに（孔３３Ｘを介して）連通し、かつ、第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとが重なる方向（Ｚ軸方向）に対して交差する方向（Ｙ軸方向）で外部に開放している連通部である凹部３４（溝）を有する。これにより、第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間の空間ＳＸに気体の流れをより生じさせやすくすることができる。なお、第１部材２Ｘに、空間ＳＸに連通し、かつ、第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとが重なる方向（Ｚ軸方向）に対して交差する方向（Ｙ軸方向）で外部に開放している凹部、孔、溝等の連通部を設けてもよい。また、前述したように、案内機構４Ｘにより空間ＳＸが側方に開放しているため、十分な放熱効果が得られたり孔３３Ｘを省略したりする場合には、凹部３４を省略してもよい。
【００５６】
（第２圧電駆動装置）
図６は、図１に示す圧電駆動装置が備えるＹ１方向駆動用の圧電駆動装置をＺ軸方向から見た図である。なお、図６において、前述した圧電駆動装置１Ｘと同様の構成については、同一符号を付している。
【００５７】
圧電駆動装置１Ｙは、主に後述する孔２４Ｙ、３３Ｙの位置が前述した孔２４Ｘ、３３Ｘと異なる以外は、前述した圧電駆動装置１Ｘと同様に構成されている。これにより、圧電駆動装置１Ｙは、前述した圧電駆動装置１Ｘと同様の効果を奏することができる。ただし、圧電駆動装置１ＹのＸＹ平面内での姿勢は、圧電駆動装置１Ｘとは９０°異なる。以下、圧電駆動装置１Ｙの各部を説明するが、前述した圧電駆動装置１Ｙと同様の事項については、その説明を省略する。
【００５８】
この圧電駆動装置１Ｙは、第１部材２Ｙ（第３部材）と、第１部材２Ｙに対向して配置されている第２部材３Ｙ（第４部材）と、第２部材３Ｙを第１部材２Ｙに対してＹ軸方向に相対的に移動させるように案内する案内機構４Ｙと、第２部材３Ｙを第１部材２Ｙに対してＹ軸方向に相対的に移動させる駆動部５Ｙと、第１部材２Ｙに対する第２部材３ＹのＹ軸方向での相対的な移動を検出する検出部６Ｙ（エンコーダー）と、を有する。なお、第１部材２Ｙと第２部材３Ｙとの間には、空間ＳＸと同様の空間ＳＹが形成されている。
【００５９】
ここで、第１部材２Ｙは、前述した第１部材２Ｘの孔２４Ｘに代えて、孔２４Ｘとは異なる位置に設けられた孔２４Ｙを有する以外は、第１部材２Ｘと同様に構成されている。孔２４Ｙは、第１部材２Ｙをその厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通している。本実施形態では、前述した第１部材２ＸとはＸＹ平面内で９０°異なる姿勢の第１部材２Ｙにおいて、孔２４Ｙは、図６に示すように、第１部材２Ｙの＋Ｙ軸方向側に偏在し、平面視でＸ軸方向に沿って延びた形状をなしている。また、孔２４Ｙは、その上端（図６中紙面手前側の端）が設置面２２に開口している。
【００６０】
特に、孔２４Ｙは、平面視で、前述した圧電駆動装置１Ｘの孔２４Ｘ、３３Ｘのそれぞれに重なる部分を有するように配置されている（後述する図９参照）。本実施形態では、図６に示すように、孔２４Ｙは、平面視でＸ軸方向に沿って延びた形状をなしている。なお、孔２４Ｙの位置、形状および大きさ等は、図示のものに限定されない。また、孔２４Ｙは、その位置、形状および大きさ等または孔２４Ｘ、３３Ｘの位置、形状および大きさ等によっては、平面視で孔２４Ｘ、３３Ｘの少なくとも一方に重なっていなくてもよい。
【００６１】
また、第２部材３Ｙは、前述した第２部材３Ｘの孔３３Ｘに代えて、孔３３Ｘとは異なる位置に設けられた孔３３Ｙを有する以外は、第２部材３Ｘと同様に構成されている。孔３３Ｙは、第２部材３Ｙをその厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通している。本実施形態では、前述した第２部材３ＸとはＸＹ平面内で９０°異なる姿勢の第２部材３Ｙにおいて、孔３３Ｙは、図６に示すように、平面視でＸ軸方向に沿って延びた形状をなしている。
【００６２】
ここで、孔３３Ｙは、平面視で、前述した第１部材２Ｙの孔２４Ｙに重なる部分を有するように配置されている。図示では、孔３３Ｙは、平面視で、孔２４Ｙを包含している。特に、孔３３Ｙは、平面視で、前述した圧電駆動装置１Ｘの孔２４Ｘ、３３Ｘのそれぞれに重なる部分を有するように配置されている（後述する図９参照）。本実施形態では、孔３３Ｙは、平面視でＸ軸方向に沿って延びた形状をなしている。なお、孔３３Ｙの位置、形状および大きさ等は、図示のものに限定されない。
【００６３】
案内機構４Ｙは、ＸＹ平面内での姿勢が前述した案内機構４Ｘとは９０°異なるが、案内機構４Ｘと同様に構成されている。駆動部５Ｙは、ＸＹ平面内での姿勢が前述した駆動部５Ｘとは９０°異なるが、駆動部５Ｘと同様に構成されている。ここで、駆動部５Ｙは、前述した圧電アクチュエーター５２Ｘ（第１圧電アクチュエーター）と同様に構成された圧電アクチュエーター５２Ｙ（第２圧電アクチュエーター）を有する。検出部６Ｙは、ＸＹ平面内での姿勢が前述した検出部６Ｘとは９０°異なるが、検出部６Ｘと同様に構成されている。
【００６４】
このような圧電駆動装置１Ｙの第２部材３Ｙは、前述した圧電駆動装置１Ｘの第１部材２Ｘに対して、前述した姿勢となるように、例えばネジ等を用いて固定されている。なお、圧電駆動装置１０においては、圧電駆動装置１Ｙの第２部材３Ｙが圧電駆動装置１Ｘの第１部材２Ｘと一体で構成されていてもよい。
【００６５】
（第３圧電駆動装置）
図７は、図１に示す圧電駆動装置が備えるθ１方向駆動用の圧電駆動装置の断面図である。図８は、図７に示す圧電駆動装置をＺ軸方向から見た図である。なお、図７および図８において、前述した圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙと同様の構成については、同一符号を付している。
【００６６】
図７に示すように、圧電駆動装置１θは、第１部材８と、第２部材９と、第２部材９を第１部材８に対してＺ軸に平行な軸線ａＺまわり（図１中矢印θ１で示す方向）に相対的に回動可能に支持している軸受４θと、第２部材９を第１部材８に対して軸線ａＺまわりに相対的に回動させる駆動部５θと、第１部材８に対する第２部材９の軸線ａＺまわりの相対的な回動を検出する検出部６θ（エンコーダー）と、を有する。
【００６７】
第１部材８および第２部材９は、それぞれ、例えば、金属材料、セラミックス材料等で構成されている。図８に示すように、第１部材８の平面視での外形は円形であり、第２部材９の平面視での外形は矩形（四角形）であるが、これらの外形は、これに限定されない。
【００６８】
ここで、図７に示すように、第１部材８の一方（図７中の上側）の面には、凹部８３が形成されている。そして、凹部８３の底面は、後述する駆動部５θの被駆動部材５４が設置される設置面８１を構成している。また、第１部材８の一方（図７中の上側）の面には、凹部８３の周囲に、後述する検出部６θの光学スケール６４が設置される設置面８２が設けられている。
【００６９】
また、第１部材８には、凹部８３の底面に開口し、軸線ａＺを中心として第１部材８の厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通している孔８４が形成されている。図８に示すように、凹部８３および孔８４の外形は、それぞれ、Ｚ軸方向から見たとき、軸線ａＺを中心とする円形をなしている。これに伴い、設置面８１は、平面視で、軸線ａＺを中心とする円環状をなしている。また、設置面８２も、平面視で、軸線ａＺを中心とする円環状をなしている。
【００７０】
また、図７に示すように、第１部材８の外周面８５には、幅（径）が小さい縮径部８５１と、縮径部８５１に対して＋Ｚ軸方向側において縮径部８５１よりも幅（径）が大きい拡径部８５２と、を有する。なお、第１部材８の平面視での外形は、図示では、円形であるが、これに限定されず、例えば、四角形、五角形等の他の多角形、楕円形等であってもよい。また、孔８４は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
【００７１】
図７に示すように、第２部材９には、第１部材８側に開放している凹部９１と、第１部材８とは反対側に開放している凹部９２と、凹部９１、９２の両底面に開口して第２部材９を厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通している複数（本実施形態では３つ）の孔９３と、凹部９２の壁面および第２部材９の側面のそれぞれに開口して凹部９２の内外を連通させる凹部９４と、凹部９１の壁面および第２部材９の側面のそれぞれに開口して凹部９１の内外を連通させる孔９５と、が形成されている。凹部９１は、平面視で、円形をなしており、この凹部９１内には、前述した第１部材８が挿入されている。そして、第１部材８の上面と第２部材９の凹部９１の底面との間には、空間Ｓθが形成されている。
【００７２】
ここで、第２部材９は、Ｚ軸方向での一方側と他方側とに分割された２つの部材９ａ、９ｂで構成されており、孔９５は、−Ｚ軸方向側の部材９ｂに形成された凹部９５１と、＋Ｚ軸方向側の部材９ａに形成された凹部９５２とによって構成されている。
【００７３】
このような第２部材９は、前述した圧電駆動装置１Ｙの第１部材２Ｙに対して例えばネジ等を用いて固定されている。なお、圧電駆動装置１０においては、第２部材９が圧電駆動装置１Ｙの第１部材２Ｙと一体で構成されていてもよい。
【００７４】
軸受４θは、図７に示すように、前述した第１部材８と第２部材９との間に配置されている。この軸受４θは、内輪４４と、外輪４５と、これらの間に設けられている複数のボール４６（転動部材）と、を有する。
【００７５】
内輪４４は、前述した第１部材８の外周面８５（縮径部８５１）に嵌合して固定されている。外輪４５は、前述した第２部材９の凹部９１の内周面に嵌合して固定されている。また、内輪４４、外輪４５およびボール４６は、第１部材８および第２部材９の軸線ａＺまわりの回動方向以外の方向での相対的な移動を規制（制限）するように構成されている。
【００７６】
このような軸受４θは、内輪４４と外輪４５との間にボール４６が介在していて、内輪４４とボール４６との接触面積および外輪４５とボール４６との接触面積が小さいため、内輪４４と外輪４５との間の熱抵抗を大きくすることができる。そのため、第１部材８から第２部材９への熱伝導を低減することができる。なお、内輪４４と外輪４５との間でこれらに接触して転動する転動部材として、ボール４６に代えて、ローラー（コロ）を用いてもよい。
【００７７】
駆動部５θは、第１部材８に設置されている被駆動部材５４と、被駆動部材５４に駆動力を伝達する複数（図示では３つ）の圧電アクチュエーター５２θ（第３圧電アクチュエーター）と、複数の圧電アクチュエーター５２θを第２部材９に対して支持している複数（３つの）の支持部材５５と、を有する。ここで、圧電アクチュエーター５２θは、前述した圧電アクチュエーター５２Ｘ（第１圧電アクチュエーター）と同様に構成されている。
【００７８】
被駆動部材５４は、前述した第１部材８の設置面８１上に設置され、例えば接着剤等を用いて第１部材８に固定されている。また、被駆動部材５４は、図８に示すように、平面視で、軸線ａＺを中心とする円環状をなしている。ここで、被駆動部材５４は、前述した被駆動部材５１と同様、板状またはシート状をなし、例えばセラミックス材料等の比較的耐摩耗性の高い材料で構成されている。なお、被駆動部材５４の平面視形状は、図示の形状（環状）に限定されず、例えば、圧電駆動装置１θの可動範囲によっては、周方向での一部が欠損していてもよい。
【００７９】
複数の支持部材５５は、複数の圧電アクチュエーター５２θに対応して設けられ、複数の圧電アクチュエーター５２θが軸線ａＺを中心とする同一円周上に等角度間隔に並ぶように配置されている。そして、各支持部材５５は、支持部５２２および第２部材９のそれぞれに対して、例えばネジ等を用いて固定されている。ここで、駆動部５Ｘの圧電アクチュエーター５２θおよび支持部材５５は、前述した第２部材９の各孔９３に挿通された状態で、第２部材９に対して固定されている。また、支持部材５５は、前述した支持部材５３と同様、例えば、金属材料、セラミックス材料等で構成されている。
【００８０】
以上のような駆動部５θの圧電アクチュエーター５２θは、前述した駆動部５Ｘの圧電アクチュエーター５２Ｘと同様に作動することで、被駆動部材５４に駆動力を与え、第１部材８および第２部材９を軸線ａＺまわりに相対的に回動させる。
【００８１】
検出部６θは、第１部材８に設置されている光学スケール６４と、光学スケール６４の移動を検出するセンサー６２と、を有する。
【００８２】
光学スケール６４は、前述した第１部材８の設置面８２上に設置され、例えば接着剤等を用いて第１部材８に固定されている。この光学スケール６４は、前述した光学スケール６１と同様、例えば、スリット板、偏光板等である。ただし、光学スケール６４は、平面視で、軸線ａＺを中心とする円環状をなしている。なお、光学スケール６４の平面視形状は、図示の形状（環状）に限定されず、例えば、圧電駆動装置１θの可動範囲によっては、周方向での一部が欠損していてもよい。
【００８３】
以上のような検出部６θでは、第１部材８に対する第２部材９の軸線ａＺまわりの相対的な回動状態（回動位置、角速度等）に応じて、センサー６２の受光素子の出力信号の波形が変化する。したがって、この受光素子の出力信号に基づいて、第１部材８に対する第２部材９の軸線ａＺまわりの相対的な回動状態を検出することができる。
【００８４】
以上のように、圧電駆動装置１θは、第１部材８と、第１部材８に対して鉛直方向上側または鉛直方向下側に配置され、第１部材８に対して相対的に姿勢を変更可能に設けられている第２部材９と、第２部材９を第１部材８に対して相対的に姿勢を変化させる駆動力を発生させる圧電アクチュエーター５２θと、を備える。そして、第１部材８は、第１部材８および第２部材９が重なる方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通している８４を有する。また、第２部材９は、第１部材８および第２部材９が重なる方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通している複数の孔９３を有する。
【００８５】
このような圧電駆動装置１θによれば、孔８４、９３を通じて第１部材８と第２部材９との間の空間Ｓθに気体（例えば空気）の流れ（対流）を生じさせ、第１部材８および第２部材９の放熱を効率的に行うことができる。そのため、圧電駆動装置１θの過昇温による動作精度の低下（例えば、駆動部５θの駆動効率低下、検出部６θの検出精度低下等）を低減することができる。なお、圧電駆動装置１θは、圧電駆動装置１０が有する圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θのうち最も下側に位置するため、孔８４は、他の部材により塞がれる可能性がある場合には、必ずしも必要でなく、省略してもよい。
【００８６】
また、第２部材９は、第１部材８と第２部材９との間の空間Ｓθに連通し、かつ、第１部材８と第２部材９とが重なる方向（Ｚ軸方向）に対して交差する方向（Ｙ軸方向）で外部に開放している連通部である凹部９４および孔９５を有する。これにより、第１部材８と第２部材９との間の空間Ｓθに気体の流れをより生じさせやすくすることができる。なお、第１部材８に、空間Ｓθに連通し、かつ、第１部材８と第２部材９とが重なる方向（Ｚ軸方向）に対して交差する方向で外部に開放している凹部、孔、溝等の連通部を設けてもよい。また、前述したように、十分な放熱効果が得られる場合には、凹部９４および孔９５のうちの少なくとも一方を省略してもよい。
【００８７】
以上、圧電駆動装置１０の各部について説明した。このような圧電駆動装置１０は、例えば、後述するように電子部品搬送装置等に用いられ（図１０参照）、圧電駆動装置１θの第１部材８に熱が伝わる。この熱を効率的に逃すべく、圧電駆動装置１０では、圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θ内の空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθが互いに連通しかつ凹部３４、９４および孔９５等を介して外部に連通している。これにより、圧電駆動装置１０内の通気を行い、圧電駆動装置１０の放熱性を向上させることができる。以下、この点について詳述する。
【００８８】
図９は、図１に示す圧電駆動装置の作用を説明するための断面図である。
図９に示すように、圧電駆動装置１０は、＋Ｚ軸方向側から−Ｚ軸方向側に向けて、前述した圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θがこの順に配置されている。
【００８９】
ここで、圧電駆動装置１Ｘの孔２４Ｘおよび圧電駆動装置１Ｙの孔３３Ｙを介して、圧電駆動装置１Ｘ内の空間ＳＸと圧電駆動装置１Ｙ内の空間ＳＹとが連通している。また、圧電駆動装置１Ｙの孔２４Ｙおよび圧電駆動装置１θの孔９３を介して、圧電駆動装置１Ｙ内の空間ＳＹと圧電駆動装置１θ内の空間Ｓθとが連通している。このように、圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θ内の空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθが互いに連通している。これにより、圧電駆動装置１θの第１部材８の熱を空間Ｓθから空間ＳＹ、ＳＸへ逃して当該熱が空間Ｓθにこもるのを低減することができる。
【００９０】
本実施形態では、Ｚ軸方向から見たとき、圧電駆動装置１Ｘの孔２４Ｘ、３３Ｘ、圧電駆動装置１Ｙの孔２４Ｙ、３３Ｙおよび圧電駆動装置１θの孔９３が互いに重なる部分を有するように設けられている。特に、Ｚ軸方向から見たときに孔２４Ｘ、３３Ｘ、２４Ｙ、３３Ｙが互いに重なる部分を有することで、図９に示すように、これらの孔を通じて配線１１を配置することが容易となる。また、Ｚ軸方向から見たときに孔２４Ｘ、３３Ｘ、２４Ｙ、３３Ｙ、９３が互いに異なる位置、大きさまたは形状となっているため、空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθ間で気体が流通する際に、乱流を生じさせ、空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθ内の広範囲に好適な対流を生じさせることができる。なお、Ｚ軸方向から見たときに孔２４Ｘ、３３Ｘ、２４Ｙ、３３Ｙ、９３が互いに重ならないようにしてもよく、この場合、空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθ間でのゴミ等の不要物の移動がし難くなるという利点がある。
【００９１】
また、空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθは、圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙの凹部３４（連通部）および圧電駆動装置１θの凹部９４および孔９５を介して、外部に連通している。また、空間ＳＸ、ＳＹは、案内機構４Ｘ、４Ｙが配置されていない部分において、側方に開放しており、この点でも、外部に連通している。このように、空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθの内外が連通していることで、空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθに対流を好適に生じさせることができ、その結果、圧電駆動装置１０の放熱性を高めることができる。
【００９２】
以上のように、圧電駆動装置１０は、圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θを備える。ここで、圧電駆動装置１Ｘは、第１部材２Ｘと、第１部材２Ｘに対してＸ軸方向（第１方向）に移動可能に設けられている第２部材３Ｘと、第２部材３Ｘを第１部材２Ｘに対してＸ軸方向に移動させる駆動力を発生させる第１圧電アクチュエーターである圧電アクチュエーター５２Ｘと、を備える。圧電駆動装置１Ｙは、第３部材である第１部材２Ｙと、第１部材２Ｘ（第１部材）に支持され、第１部材２Ｙに対してＸ軸方向（第１方向）に交差（本実施形態では直交）しているＹ軸方向（第２方向）に移動可能に設けられている第４部材である第２部材３Ｙと、第２部材３Ｙを第１部材２Ｙに対してＹ軸方向に移動させる駆動力を発生させる第２圧電アクチュエーターである圧電アクチュエーター５２Ｙと、を備える。圧電駆動装置１θは、第５部材である第１部材８と、第１部材２Ｙ（第３部材）に支持され、第１部材８に対してＸ軸方向（第１方向）およびＹ軸方向（第２方向）に交差（本実施形態では直交）する軸線ａＺ（回動軸）まわりに回動可能に設けられている第６部材である第２部材９と、第２部材９を第１部材８に対して軸線ａＺまわりに回動させる駆動力を発生させる第３圧電アクチュエーターである圧電アクチュエーター５２θと、を備える。このような圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θを用いて圧電駆動装置１０を構成することで、対象物を２元的に移動および回動可能な圧電駆動装置１０を実現することができる。
【００９３】
特に、圧電駆動装置１Ｘにおいて、第１部材２Ｘは、第１孔である孔２４Ｘを有する。また、圧電駆動装置１Ｙにおいて、第１部材２Ｙ（第３部材）は、第１部材２Ｙおよび第２部材３Ｙが重なる方向（Ｚ軸方向）に貫通している第２孔である孔２４Ｙを有し、第２部材３Ｙ（第４部材）は、第２孔である孔３３Ｙを有する。また、圧電駆動装置１θにおいて、第２部材９（第６部材）は、第１部材８および第２部材９が重なる方向（Ｚ軸方向）に貫通している第３孔である孔９３を有する。
【００９４】
このような孔２４Ｘ、２４Ｙ、３３Ｙ、９３により、第１部材２Ｘと第２部材３Ｘとの間の空間ＳＸ、第１部材２Ｙと第２部材３Ｙとの間の空間ＳＹ、および、第１部材８と第２部材９との間の空間Ｓθの互いの気体の流通を可能とし、それぞれの空間ＳＸ、ＳＹ、Ｓθに気体（例えば空気）の流れ（対流）を生じさせ、これらの部材の放熱を効率的に行うことができる。また、これらの孔２４Ｘ、２４Ｙ、３３Ｙ、９３を通じて配線１１、１２を引き回すことができる。この配線１１、１２は、電気配線の他、光ファイバーのような光配線であってもよい。
【００９５】
このように、圧電駆動装置１０は、孔２４Ｘ、３３Ｘ（第１孔）を通る配線１１、孔２４Ｙ、３３Ｙ（第２孔）を通る配線１２と、を備える。これにより、第１部材２Ｘ、２Ｙおよび第２部材３Ｘ、３Ｙの外側に引き回す配線をなくすかまたは少なくすることができ、それにより、圧電駆動装置１０全体の小型化を図ることができる。また、配線１１、１２は、凹部３４を通じて外部に引き出すことができる。
【００９６】
なお、本実施形態の圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θは、圧電アクチュエーター５２Ｘ、５２Ｙ、５２θのそれぞれが「第１圧電アクチュエーター」であり、孔２４Ｘ、３３Ｘ、２４Ｙ、３３Ｙ、９３、８４のそれぞれが「第１孔」であるとも言える。
【００９７】
２．電子部品搬送装置
次に、本発明の電子部品搬送装置の実施形態について説明する。
【００９８】
図１０は、本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。
図１０に示す電子部品搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用されており、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、を有している。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等などが挙げられる。
【００９９】
また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。
【０１００】
また、電子部品保持部２２３０は、圧電駆動装置１０と、電子部品Ｑを保持する保持部２２３３と、を有している。ここで、圧電駆動装置１０は、微小な位置決めを行う位置決めユニットとして用いられる。圧電駆動装置１０が備える圧電駆動装置１Ｘの第２部材３Ｘは、Ｘステージ２２２０に対して固定されている。また、保持部２２３３は、圧電駆動装置１０が備える圧電駆動装置１θの第１部材８に対して固定されている。
【０１０１】
以上のような電子部品搬送装置２０００は、圧電駆動装置１０（１Ｘ、１Ｙ、１θ）を備える。このような電子部品搬送装置２０００によれば、圧電駆動装置１０の過昇温による動作精度の低下を低減することができるので、電子部品搬送装置２０００の特性を高めることができる。
【０１０２】
以上、本発明の圧電駆動装置および電子部品搬送装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１０３】
また、前述した実施形態では圧電駆動装置を電子部品搬送装置に適用した構成について説明したが、圧電駆動装置は、これら以外の各種機器、例えば、水平多関節ロボット、垂直多関節ロボット等のロボット等に適用することができる。
【０１０４】
また、前述した実施形態は、圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θを組み合わせて圧電駆動装置１０として用いる場合を例に説明したが、圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θのうちの１つを単独でまたは２つを組み合わせて用いてもよく、また、他の圧電駆動装置を組み合わせて用いてもよい。この場合、圧電駆動装置１Ｘ、１Ｙ、１θが有する圧電アクチュエーター５２Ｘ、５２Ｙ、５２θのそれぞれを「第１圧電アクチュエーター」と捉え、孔２４Ｘ、３３Ｘ、２４Ｙ、３３Ｙ、９３、８４をそれぞれ「第１孔」と捉えればよい。
【符号の説明】
【０１０５】
１Ｘ…圧電駆動装置、１Ｙ…圧電駆動装置、１θ…圧電駆動装置、２Ｘ…第１部材、２Ｙ…第１部材（第３部材）、３Ｘ…第２部材、３Ｙ…第２部材（第４部材）、４Ｘ…案内機構（直動軸受）、４Ｙ…案内機構（直動軸受）、４θ…軸受、５Ｘ…駆動部、５Ｙ…駆動部、５θ…駆動部、６Ｘ…検出部、６Ｙ…検出部、６θ…検出部、８…第１部材（第５部材）、９…第２部材（第６部材）、９ａ…部材、９ｂ…部材、１０…圧電駆動装置、１１…配線、１２…配線、２１…設置面、２２…設置面、２３…凹部、２４Ｘ…孔（第１孔）、２４Ｙ…孔（第２孔）、３１…凹部、３２…孔、３３Ｘ…孔（第１孔）、３３Ｙ…孔（第２孔）、３４…凹部（連通部）、４１…スライダー、４２…レール、４３…ボール、４４…内輪、４５…外輪、４６…ボール、５１…被駆動部材、５２Ｘ…圧電アクチュエーター（第１圧電アクチュエーター）、５２Ｙ…圧電アクチュエーター（第２圧電アクチュエーター）、５２θ…圧電アクチュエーター（第３圧電アクチュエーター）、５３…支持部材、５４…被駆動部材、５５…支持部材、６１…光学スケール、６２…センサー、６４…光学スケール、８１…設置面、８２…設置面、８３…凹部、８４…孔（第３孔）、８５…外周面、９１…凹部、９２…凹部、９３…孔（第３孔）、９４…凹部（連通部）、９５…孔（連通部）、５２１…振動部、５２２…支持部、５２３…接続部、５２４…突出部、８５１…縮径部、８５２…拡径部、９５１…凹部、９５２…凹部、２０００…電子部品搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３３…保持部、５２１１…圧電素子、５２１２…圧電素子、５２１３…圧電素子、５２１４…圧電素子、５２１５…圧電素子、Ｑ…電子部品、ＳＸ…空間、ＳＹ…空間、Ｓθ…空間、Ｘ１…矢印、Ｙ１…矢印、ａＺ…軸線、α…矢印、β…矢印、θ１…矢印
【図１】
2018186673.tif 000003
【図２】
2018186673.tif 000004
【図３】
2018186673.tif 000005
【図４】
2018186673.tif 000006
【図５】
2018186673.tif 000007
【図６】
2018186673.tif 000008
【図７】
2018186673.tif 000009
【図８】
2018186673.tif 000010
【図９】
2018186673.tif 000011
【図１０】
2018186673.tif 000012