(57)【要約】【課題】電気的接点が相対的に位置ずれしても、電気的接点が受けるフレキシブル配線の反力を抑制する。【解決手段】互いに離間した第１電気的接点および第２電気的接点と、第１電気的接点と第２電気的接点とを接続するフレキシブル配線と、第１電気的接点とフレキシブル配線と第２電気的接点とを介して供給された電気信号に基づいて、ノズルから液体を吐出するための駆動力を発生する駆動素子と、を備え、フレキシブル配線は、その幅方向から見て折り畳まれる折り畳み部を有する液体吐出ヘッド。【選択図】図７
2018075718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに離間した第１電気的接点および第２電気的接点と、
前記第１電気的接点と第２電気的接点とを接続するフレキシブル配線と、
前記第１電気的接点と前記フレキシブル配線と前記第２電気的接点とを介して供給された電気信号に基づいて、ノズルから液体を吐出するための駆動力を発生する駆動素子と、を備え、
前記フレキシブル配線は、その幅方向から見て折り畳まれる折り畳み部を有する
液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記折り畳み部は、前記フレキシブル配線の幅方向から見て、２つの山折り部とその間の谷折り部とを有し、
前記谷折り部の折り目は、前記２つの山折り部の折り目の相対位置に応じて動く
請求項１の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記フレキシブル配線の幅方向から見て、互いに直交する方向を第１方向と第２方向とすると、
前記２つの山折り部の折り目の相対位置が前記第１方向に変化すると、前記谷折り部の折り目が前記第２方向に揺動する
請求項２の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記第２方向において、前記２つの山折り部の折り目は離間し、
前記第１方向において、前記谷折り部の折り目は、前記第１電気的接点を挟んで前記２つの山折り部の折り目とは反対側にある
請求項３の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第２方向において、前記２つの山折り部の折り目は離間し、
前記第２方向において、前記第１電気的接点と前記第２電気的接点との間に前記２つの山折り部の折り目がある
請求項３の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記第１電気的接点と第２電気的接点と前記フレキシブル配線とからなる配線構造は複数組あり、
前記複数組の配線構造における前記第１電気的接点は、共通の回路基板に設けられている
請求項２から請求項５の何れかの液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記ノズルと前記駆動素子とを備える複数の液体吐出ユニットと、
前記複数の液体吐出ユニットを保持する保持体と、を備え、
前記第１電気的接点は、前記保持体に固定され、
前記第２電気的接点は、前記液体吐出ユニットの各々に固定されている
請求項２から請求項６の何れかの液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記フレキシブル配線のうち、前記折り畳み部の方が、前記第１電気的接点に接続する端部および前記第２電気的接点に接続する端部よりも剛性が低い
請求項１から請求項７の何れかの液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
駆動素子を駆動して複数のノズルからインクなどの液体を用紙などの媒体に吐出する液体吐出ヘッドでは、製造工程でノズルの位置がずれてしまうと、媒体へ液体の着弾位置がずれる虞がある。このため、例えば特許文献１では、ヘッド固定基板とヘッドとの間に配置されるスペーサーによってヘッドの高さ方向の位置を調整することで、ノズルの位置を調整している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１３６８６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、駆動素子を駆動するための電力は、弾性力を有するフレキシブル配線で供給する場合があり、フレキシブル配線は、ヘッド固定基板に設けられる回路基板の電気的接点（コネクター）と、ヘッドの電気的接点（コネクター）とを接続する。このため、もし電気的接点が相対的に位置ずれすると、フレキシブル配線には電気的接点の位置ずれに応じた曲げ剛性による曲げ応力が発生する。したがって、特許文献１のようにヘッド固定基板にヘッドの高さをスペーサーによって調整して固定しても、回路基板の取り付け誤差などにより電気的接点が相対的に位置ずれすると、電気的接点がフレキシブル配線の曲げ応力による反力を受けてヘッドが変形し、ノズルの位置ずれ（例えばアライメントずれ）が発生する虞がある。以上の事情を考慮して、本発明は、電気的接点が相対的に位置ずれしても、電気的接点が受けるフレキシブル配線の反力を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
［態様１］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１）に係る液体吐出ヘッドは、互いに離間した第１電気的接点および第２電気的接点と、第１電気的接点と第２電気的接点とを接続するフレキシブル配線と、第１電気的接点とフレキシブル配線と第２電気的接点とを介して供給された電気信号に基づいて、ノズルから液体を吐出するための駆動力を発生する駆動素子と、を備え、フレキシブル配線は、その幅方向から見て折り畳まれる折り畳み部を有する。以上の態様によれば、第１電気的接点と第２電気的接点が相対的に位置ずれしても、その位置ずれ量に応じてフレキシブル配線の折り畳み部が動き易くなるので、フレキシブル配線に発生する曲げ応力が緩和される。これにより、各電気的接点が受けるフレキシブル配線の反力を抑制できる。
【０００６】
［態様２］
態様１の好適例（態様２）において、折り畳み部は、フレキシブル配線の幅方向から見て、２つの山折り部とその間の谷折り部とを有し、谷折り部の折り目は、２つの山折り部の折り目の相対位置に応じて動く。以上の態様によれば、第１電気的接点と第２電気的接点同士が相対的に位置ずれすることで、２つの山折り部の折り目の相対位置が変わると、その相対位置に応じて谷折り部が動くので、谷折り部がない場合に比較して、フレキシブル配線に発生する曲げ応力が緩和され易い。これにより、各電気的接点が受けるフレキシブル配線の反力を抑制できる。
【０００７】
［態様３］
態様２の好適例（態様３）において、フレキシブル配線の幅方向から見て、互いに直交する方向を第１方向と第２方向とすると、２つの山折り部の折り目の相対位置が第１方向に変化すると、谷折り部の折り目が第２方向に揺動する。以上の態様によれば、２つの山折り部の相対位置が第１方向に変化し易いような各電気的接点の第１方向の相対的な位置ずれに対しても、谷折り部の折り目が第２方向に揺動することで、フレキシブル配線に発生する曲げ応力が緩和され易い。
【０００８】
［態様４］
態様３の好適例（態様４）において、第２方向において、２つの山折り部の折り目は離間し、第１方向において、谷折り部の折り目は、第１電気的接点を挟んで２つの山折り部の折り目とは反対側にある。以上の態様によれば、山折り部の折り目から谷折り部の折り目までの長さが第１方向に長くなるので、折り畳み部が折り畳まれ易い。したがって、液体吐出ヘッドの組立性を高めることができる。
【０００９】
［態様５］
態様３の好適例（態様５）において、第２方向において、２つの山折り部の折り目は離間し、第２方向において、第１電気的接点と第２電気的接点との間に２つの山折り部の折り目がある。以上の態様によれば、第２方向において第１電気的接点と第２電気的接点との間に収まるので、液体吐出ヘッドを小型化できる。また、第１方向において谷折り部４７４の折り目が第１電気的接点を挟んで２つの山折り部とは反対側にある場合に比較して、谷折り部の折り目が動き易い。したがって、電気的接点が受けるフレキシブル配線の反力の抑制効果を高めることができ、第１電気的接点と第２電気的接点との位置ずれが大きくても、各電気的接点が受けるフレキシブル配線の反力を抑制できる。
【００１０】
［態様６］
態様２から態様５の何れかの好適例（態様６）において、第１電気的接点と第２電気的接点とフレキシブル配線とからなる配線構造は複数組あり、複数組の配線構造における第１電気的接点は、共通の回路基板に設けられている。以上の態様によれば、複数組のフレキシブル配線に電気信号の配線を分割して設けることができるので、１組のみのフレキシブル配線に電気信号の配線を設ける場合と比較して、フレキシブル配線の発熱を分散できる。
【００１１】
［態様７］
態様２から態様６の好適例（態様７）において、ノズルと駆動素子とを備える複数の液体吐出ユニットと、複数の液体吐出ユニットを保持する保持体と、を備え、第１電気的接点は、保持体に固定され、第２電気的接点は、液体吐出ユニットの各々に固定されている。以上の態様によれば、フレキシブル配線で接続される第１電気的接点は保持体に固定され、第２電気的接点は液体吐出ユニットの各々に固定されているから、保持体に対して、ノズル面を基準として複数の液体吐出ユニットを位置決めする場合であっても、フレキシブル配線によって第１電気的接点と第２電気的接点との相対位置のばらつきを吸収できる。したがって、複数の液体吐出ユニットの電気的接点が受けるフレキシブル配線の反力を抑制できる。
【００１２】
［態様８］
態様１から態様７の好適例（態様８）において、フレキシブル配線のうち、折り畳み部の方が、第１電気的接点に接続する端部および第２電気的接点に接続する端部よりも剛性が低い。以上の態様によれば、折り畳み部の方が、第１電気的接点に接続する端部および第２電気的接点に接続する端部よりも剛性が低いから、折り畳み部が折り畳まれ易くなる。したがって、各電気的接点が受けるフレキシブル配線の反力の抑制効果を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。
【図２】液体噴射ヘッドの分解斜視図である。
【図３】液体噴射ヘッドを別の角度から見た場合の分解斜視図である。
【図４】液体噴射ヘッドを媒体側から見た平面図である。
【図５】図２に示す液体噴射ユニットの分解斜視図である。
【図６】図５に示す噴射ヘッド部の断面図である。
【図７】図２に示す液体吐出部Ｇ3のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。
【図８】図７に示すフレキシブル配線の作用説明図である。
【図９】本実施形態の比較例に係るフレキシブル配線の構成を示す図である。
【図１０】第１変形例に係るフレキシブル配線の構成を示す図である。
【図１１】図１０に示すフレキシブル配線の作用説明図である。
【図１２】本実施形態の効果の検証結果を示す図である。
【図１３】第２変形例に係るフレキシブル配線の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
＜液体吐出装置＞
図１は、本発明の実施形態に係る液体吐出装置１００の部分的な構成図である。本実施形態の液体吐出装置１００は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体１１に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。液体吐出装置１００は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体（吐出対象）１１に吐出する液体吐出装置であり、制御装置１０と搬送機構１２と液体吐出ヘッド１４とを具備する。複数色のインクＩを貯留する液体容器（インクカートリッジ）１８が液体吐出装置１００には装着される。本実施形態では、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)、ブラック(K)の４色のインクＩが液体容器１８に貯留される。なお、インクＩは、複数色に限られず、単色であってもよい。
【００１５】
制御装置１０は、液体吐出装置１００の各要素を統括的に制御する。搬送機構１２は、制御装置１０による制御のもとで媒体１１をＹ方向に搬送する。ただし、搬送機構１２の構造は以上の例示に限定されない。液体吐出ヘッド１４は、液体容器１８から供給されるインクＩを制御装置１０による制御のもとで媒体１１に吐出する。本実施形態の液体吐出ヘッド１４は、Ｙ方向に交差するＸ方向に長尺なラインヘッドである。なお、Ｘ-Ｙ平面（媒体１１の表面に平行な平面）に垂直な方向を以下ではＺ方向と表記する。すなわち、Ｚ方向は、Ｘ方向に直交すると共に、Ｙ方向にも直交している。液体吐出ヘッド１４によるインクＩの吐出方向がＺ方向に相当する。
【００１６】
＜液体吐出ヘッド＞
図２および図３は、図１に示す液体吐出ヘッド１４の構成を説明するための分解斜視図である。図２および図３に示すように、液体吐出ヘッド１４は、流路構造体Ｇ1と流路制御部Ｇ2と液体吐出部Ｇ3とを含んで構成される。流路構造体Ｇ1と流路制御部Ｇ2と液体吐出部Ｇ3とはこの順でＺ方向に積層されている。液体吐出部Ｇ3は、６個の液体吐出ユニットＵ3と保持体１４２と回路基板４０を備える。６個の液体吐出ユニットＵ3は、Ｘ方向に沿って、保持体１４２に保持される。
【００１７】
回路基板４０は、Ｘ方向に沿った長尺な基板である。回路基板４０は、後述の圧電素子７３２を駆動する駆動信号を各液体噴射ユニットＵ3に供給する回路などを備える。本実施形態では、２つの回路基板４０の各々が、液体吐出部Ｇ3の両側の側面の各々に固定されている。回路基板４０は、Ｘ−Ｚ面に沿って固定される。なお、本実施形態では、２つの回路基板４０を備える場合を例示したが、これに限られず、１つの回路基板４０を液体吐出部Ｇ3の両側の側面の一方に固定するようにしてもよい。
【００１８】
図４は、液体吐出部Ｇ3のうち媒体１１との対向面の平面図である。図４に例示される通り、６個の液体吐出ユニットＵ3はＸ方向に沿って配列される。各液体吐出ユニットＵ3は、Ｘ方向に沿って配列する複数（本実施形態の例示では６個）の吐出部７０を具備する。各吐出部７０は、複数のノズルＮからインクＩを吐出するヘッドチップを包含する。１個の吐出部７０の複数のノズルＮは、Ｘ方向およびＹ方向に対して所定の角度で傾斜するＷ方向に沿って２列に配列される。液体吐出ユニットＵ3の各吐出部７０には４系統（４色）のインクＩが並列に供給される。１個の吐出部７０の複数のノズルＮは４個の集合に区分され、集合毎に相異なるインクＩを吐出する。
【００１９】
流路構造体Ｇ1には、液体容器１８から４系統のインクＩが供給される流路構造体Ｇ1は、４系統のインクＩの各々を、相異なる液体吐出ユニットＵ3に対応する６系統に分配する。すなわち、流路構造体Ｇ1による１系統のインクＩの分配数（６）はインクＩの種類数Ｋ（Ｋ＝４）を上回る。
【００２０】
流路制御部Ｇ2は、液体吐出ヘッド１４の流路（例えば流路の開閉や流路内の圧力）を制御する要素であり、相異なる液体吐出ユニットＵ3に対応する６個の流路制御ユニットＵ2を含んで構成される。４系統のインクＩとが流路構造体Ｇ1での分配により６個の流路制御ユニットＵ2に並列に供給される。各流路制御ユニットＵ2は、流路構造体Ｇ1が各液体吐出ユニットＵ3に分配した４系統のインクＩの流路の開閉や圧力を制御する。
【００２１】
流路構造体Ｇ1での分配後に、各流路制御ユニットＵ2を経由した４系統のインクＩが６個の液体吐出ユニットＵ3に並列に供給される。後述する図５に示すように、各液体吐出ユニットＵ3は、液体分配部６０を具備する。液体分配部６０は、前段の流路制御ユニットＵ2から供給される４系統のインクＩの各々を、相異なる吐出部７０に対応する６系統に分配する。すなわち、液体分配部６０による分配後の４系統のインクＩが６個の吐出部７０の各々に並列に供給される。各吐出部７０は、４系統のインクＩの各々を相異なるノズルＮから吐出する。
【００２２】
図２に示すように、液体吐出部Ｇ3の各液体吐出ユニットＵ3のうち流路制御部Ｇ2との対向面には４個の供給口ＳI3が形成される。流路制御部Ｇ2と液体吐出部Ｇ3（保持体１４２）とが相互に固定された状態では、各液体吐出ユニットＵ3の各供給口ＳI3には、流路制御ユニットＵ2の出口流路を形成する各流路管ＤI2が挿入される。したがって、各液体吐出ユニットＵ3の４個の供給口ＳI3には、流路制御ユニットＵ2の流路管ＤI2から各系統のインクＩが並列に供給される。
【００２３】
図５は、任意の１個の液体吐出ユニットＵ3の分解斜視図である。図５に示すように、液体吐出ユニットＵ3は、フィルター部５２と連通部材５４と基礎配線基板５６と液体分配部６０との積層体に、固定板５８に固定される６個の吐出部７０を接合して構成される。フィルター部５２は、流路制御部Ｇ2から供給される各インクＩに包含される気泡や異物を除去する要素である。図５に示すように、フィルター部５２は、流路制御部Ｇ2を経由した各インクＩが供給される４個の供給口ＳI3が形成され、各供給口ＳI3から供給されるインクＩに対応する４個のフィルター５２６を備える。連通部材５４は、４つのフィルター部５２の流出口を液体分配部６０に連通させる。連通部材５４は、弾性材料（例えばゴム）で形成された平板材である。液体分配部６０は、連通部材５４を介して供給される４系統のインクＩの各々を、各吐出部７０に対応する６系統に分配する。
【００２４】
各吐出部７０の各々には個別配線基板７８が接合される。個別配線基板７８は、液体分配部６０に形成された挿入口（図示略）に挿入されて基礎配線基板５６に接合される。各個別配線基板７８は、基礎配線基板５６と各吐出部７０とを電気的に接続するための可撓性の配線基板である。固定板５８は、各吐出部７０を支持する平板状の部材であり、例えばステンレス鋼等の高剛性の金属で形成される。図５に示すように、固定板５８には、相異なる吐出部７０に対応する６個の開口部５８２が形成される。各開口部５８２は、平面視でＷ方向に長尺な略矩形状の貫通孔である。
【００２５】
図５の６個の吐出部７０の各々は、液体分配部６０から供給される４系統のインクＩを各ノズルＮから吐出する。図６は、１個の吐出部７０の断面図（Ｗ方向に垂直な断面）である。図６に示すように、本実施形態の吐出部７０は、流路形成基板７１の一方の表面に圧力室形成基板７２と振動板７３とを積層するとともに他方の表面にノズル板７４とコンプライアンス部７５とを設置したヘッドチップを包含する。複数のノズルＮは、ノズル板７４に形成される。したがって、ノズル板７４の媒体１１との対向面は、ノズルＮが形成されるノズル面として機能する。なお、１個の吐出部７０には、ノズルＮの各列に対応する構造が略線対称に形成されるから、以下ではノズルＮの１列分に便宜的に着目して吐出部７０の構造を説明する。６個のノズル板７４の各々は、６個の開口部５８２の各々から露出する。
【００２６】
流路形成基板７１は、インクＩの流路を構成する平板材である。本実施形態の流路形成基板７１には、開口部７１２と供給流路７１４と連通流路７１６とが形成される。供給流路７１４および連通流路７１６はノズルＮ毎に形成され、開口部７１２は、１系統のインクＩを吐出する複数のノズルＮにわたり連続する。圧力室形成基板７２は、相異なるノズルＮに対応する複数の開口部７２２が形成された平板材である。流路形成基板７１や圧力室形成基板７２は、例えばシリコンの単結晶基板で形成される。
【００２７】
図６のコンプライアンス部７５は、吐出部７０の流路内の圧力変動を抑制（吸収）する機構であり、封止板７５２と支持体７５４とを含んで構成される。封止板７５２は、可撓性を有するフィルム状の部材であり、支持体７５４は、流路形成基板７１の開口部７１２および各供給流路７１４が閉塞されるように封止板７５２を流路形成基板７１に固定する。
【００２８】
図６の圧力室形成基板７２のうち流路形成基板７１とは反対側の表面に振動板７３が設置される。振動板７３は、弾性的に振動可能な平板状の部材であり、例えば酸化シリコン等の弾性材料で形成された弾性膜と、酸化ジルコニウム等の絶縁材料で形成された絶縁膜との積層で構成される。振動板７３と流路形成基板７１とは、圧力室形成基板７２に形成された各開口部７２２の内側で相互に間隔をあけて対向する。各開口部７２２の内側で流路形成基板７１と振動板７３とに挟まれた空間は、インクに圧力を付与する圧力室（キャビティ）Ｃとして機能する。複数の圧力室ＣはＷ方向に沿って配列する。
【００２９】
振動板７３のうち圧力室形成基板７２とは反対側の表面には、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子７３２が形成される。各圧電素子７３２は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた積層体である。駆動信号の供給により圧電素子７３２が振動板７３とともに振動することで、圧力室Ｃ内の圧力が変動して圧力室Ｃ内のインクＩがノズルＮから吐出される。したがって、圧電素子７３２は、ノズルＮからインクを吐出するための駆動力を発生する駆動素子として機能する。各圧電素子７３２は、振動板７３に固定された保護板７６で封止および保護される。
【００３０】
図６に示すように、流路形成基板７１および保護板７６には支持体７７が固定される。支持体７７は、例えば樹脂材料の成型で一体に形成される。本実施形態の支持体７７には、流路形成基板７１の開口部７１２とともに液体貯留室（リザーバー）Ｒを形成する空間７７２と、液体貯留室Ｒに連通する供給口７７４とが形成される。各供給口７７４は、液体分配部６０の各流出口６０Bに連通する。したがって、液体分配部６０による分配後の各系統のインクＩが流出口６０Bから吐出部７０の供給口７７４を介して液体貯留室Ｒに供給および貯留される。液体貯留室Ｒに貯留されたインクＩは、複数の供給流路７１４により各圧力室Ｃに分配および充填され、各圧力室Ｃから連通流路７１６とノズルＮとを通過して外部（媒体１１側）に吐出される。
【００３１】
振動板７３には個別配線基板７８の端部が接合される。個別配線基板７８は、駆動信号や電源電圧を各圧電素子７３２に伝送するための配線が形成された可撓性の基板（フレキシブル配線基板）であり、保護板７６および支持体７７に形成されたスリット状の開口部（図示略）を通過して基礎配線基板５６側に突出する。
【００３２】
＜フレキシブル配線＞
図７は、図２に示す液体吐出部Ｇ3のＶＩＩ−ＶＩＩ断面図である。図８は、図７に示すフレキシブル配線４６の作用説明図である。図８において、点線は変形前のフレキシブル配線４６であり、実線は変形前のフレキシブル配線４６である。図２および図７に示すように、液体吐出部Ｇ3の保持体１４２には、２つの回路基板４０が起立して設けられている。２つの回路基板４０の各々には、複数の接続端子を含む第１電気的接点（第１コネクター）４２が６個ずつ、２つの回路基板４０で合計１２個設けられている。６個の第１電気的接点４２が一方の共通の回路基板４０に設けられており、別の６個の第１電気的接点４２が他方の共通の回路基板４０に設けられている。これに対して、６個の液体吐出ユニットＵ3の各々には、第２電気的接点（第２コネクター）４４が２個ずつ、６個の液体吐出ユニットＵ3で合計１２個の第２電気的接点４４が設けられている。
【００３３】
一方の回路基板４０の６個の第１電気的接点４２の各々は、６個の液体吐出ユニットＵ3の第２電気的接点４４の一方に、６個のフレキシブル配線４６でそれぞれ接続されている。他方の回路基板４０の６個の第１電気的接点４２の各々は、６個の液体吐出ユニットＵ3の第２電気的接点４４の他方に、６個のフレキシブル配線４６でそれぞれ接続されている。すなわち、本実施形態では、第１電気的接点４２と第２電気的接点４４とフレキシブル配線４６とを１組の配線構造とすると、複数組（ここでは全部で１２組）の配線構造が、６組の配線構造を１列として合計２列の配列で、液体吐出部Ｇ3の長手方向に沿って配置されている。
【００３４】
このような構成によれば、相互に別体で構成された複数のフレキシブル配線４６を介して回路基板４０と各液体吐出ユニットＵ3とが電気的に接続されるから、単体のフレキシブル配線４６を介して回路基板４０と複数の液体吐出ユニットＵ3とを電気的に接続する構成と比較して、配線の発熱が分散される。また各第２電気的接点４４には、上述した基礎配線基板５６を介して個別配線基板７８が接続されている。したがって、第１電気的接点４２とフレキシブル配線４６と第２電気的接点４４とを介して電気信号が回路基板４０から液体吐出ユニットＵ3に供給される。回路基板４０から出力された電気信号に基づいて、基礎配線基板５６上の駆動回路（図示略）により駆動信号が圧電素子７３２毎に生成され、その駆動信号が個別配線基板７８を介して圧電素子７３２に供給される。
【００３５】
図２に示すように、フレキシブル配線４６の各々は、Ｘ方向に所定の幅を有する可撓性の配線基板であり、配線基板の表面には１つまたは複数の電気信号の配線が形成されている。図２および図７に示すように、本実施形態のフレキシブル配線４６は、その幅方向（Ｘ方向）から見て折り畳まれる折り畳み部４７と、第１電気的接点４２に接続する端部４６２と、第２電気的接点４４に接続する端部４６４とを備える。第１電気的接点４２には、挿入孔４２２が設けられ、端部４６２は挿入孔４２２に差し込まれて接続される。第２電気的接点４４には、挿入孔４４２が設けられ、端部４６４は挿入孔４４２に差し込まれて接続される。図７に示すように端部４６２を折り曲げて第１電気的接点４２の挿入孔４２２に差し込むようにしてもよい。
【００３６】
本実施形態における折り畳み部４７とは、フレキシブル配線４６のうち折り曲げ角度θが鋭角（０度＜θ＜９０度）となるように折り曲げられた折り目（山折り部の折り目または谷折り部の折り目）を１つ以上有する部分であり、フレキシブル配線４６の端部４６２、４６４に外部からの力がかかったときに、折り畳まれるように動いて変形（例えば折り曲げ角度θが小さくなるように変形）したり、折り目が動いて変形したりすることで、曲げ応力が緩和され得る部分である。本実施形態の折り畳み部４７は、その幅方向から見て、折り曲げ角度θが鋭角になるように折り目４７３で山折りに折り畳まれる１つの山折り部４７２を有するＶ字型の構成を例示したものである。
【００３７】
このように本実施形態のフレキシブル配線４６は、その幅方向から見て折り畳まれる折り畳み部４７を有するので、例えば取り付け誤差などによって、第１電気的接点４２と第２電気的接点４４が、図８の実線矢印のようにＹ方向に相対的に位置ずれしても、その位置ずれ量に応じてフレキシブル配線４６の折り畳み部４７が折り畳まれるように動いてＹ方向に変形し易くなる。このため、フレキシブル配線４６に発生する曲げ応力が緩和されるので、各電気的接点４２、４４が受けるフレキシブル配線４６の反力を抑制できる。したがって、フレキシブル配線４６の反力によって生じるノズルＮの位置ずれ（例えばアライメントずれ）を抑制できる。
【００３８】
図９は、本実施形態の比較例に係るフレキシブル配線４６’の構成を示す図であり、図８に対応する。フレキシブル配線４６’は、折り目で折り畳まれるように変形する折り畳み部４７がない配線基板、すなわち配線の一部Ｑが曲面状に折り曲げられていて折り目がない配線基板の具体例である。図９の構成では、もし取り付け誤差などによって図９の実線矢印のように第１電気的接点４２と第２電気的接点４４が相対的に位置ずれしても、フレキシブル配線４６’の一部Ｑが折り畳まれるように変形し難い。このため、図９の構成では、第２電気的接点４４がフレキシブル配線４６の曲げ応力による図９の点線矢印のような反力が発生し易い。このようなフレキシブル配線４６の反力は、第１電気的接点４２と第２電気的接点４４に伝わる。それによって、液体吐出ユニットＵ3と保持体１４２とが相対的に変形することでノズルＮの位置がずれてしまい、ノズルＮの配列にアライメントずれなどが発生してしまう。
【００３９】
液体吐出ユニットＵ3と保持体１４２の相対的な変形は、図２に示すＸ方向（長手方向）の中央部ほど大きくなり易い。例えば図２に示すように、液体吐出ユニットＵ3と保持体１４２とが相対的に、点線矢印のようにＹ方向にずれるように変形すると、Ｘ方向の中央部に近い液体吐出ユニットＵ3ほど、ノズルＮの位置ずれが大きくなる。具体的には、図２の点線矢印の先端を結んだ点線のように、液体吐出ユニットＵ3と保持体１４２との相対的な変形は、Ｘ方向の中央部で最も大きくなり、Ｘ方向の中央部から両方の端部に向かうに連れて小さくなる。したがって、Ｘ方向の中央部でノズルＮの位置ずれが最も大きくなる。
【００４０】
また、本実施形態のように、液体吐出ユニットＵ3が保持体１４２に対して吊り下げるように固定されている場合（液体吐出ユニットＵ3の上面にて、液体吐出ユニットＵ3が保持体１４２に固定されている場合）、液体吐出ユニットＵ3のうち保持体１４２に対する固定面とその反対側のノズル面との距離（Ｚ方向の距離）が長くなり易い。この場合に、保持体１４２が歪むと、ノズル面の位置ずれも大きくなってしまう。すなわち、液体吐出ユニットＵ3のＺ方向の長さが長いほど、フレキシブル配線４６の反力によるノズル面の位置ずれも大きくなり、ノズルＮのＹ方向の位置ずれも大きくなる。
【００４１】
他方、本実施形態の構成によれば、図９の構成で生じるフレキシブル配線４６の曲げ応力も緩和できるので、保持体１４２と液体吐出ユニットＵ3の相対的な変形を抑制でき、それによりノズルＮの位置ずれを抑制できる。
【００４２】
本実施形態では、フレキシブル配線４６で接続される第１電気的接点４２は回路基板４０を介して保持体１４２に固定され、第２電気的接点は液体吐出ユニットの各々に固定されているから、保持体１４２に対して、ノズル板７４のノズル面を基準として６つの液体吐出ユニットＵ3を位置決めする場合であっても、フレキシブル配線４６によって第１電気的接点４２と第２電気的接点４４との相対位置のばらつきを吸収できる。したがって、６つの液体吐出ユニットＵ3の第２電気的接点４４が受けるフレキシブル配線４６の反力を抑制できる。
【００４３】
なお、液体吐出ユニットＵ3と保持体１４２との相対的な変形は例えば十数μｍ程度の非常に小さい変形でも、例えば直径が２０μｍ程度のノズルＮから見れば大きなずれとなる。したがって、このような液体吐出ユニットＵ3と保持体１４２との相対的な変形を抑制することで、高精度の印刷が可能となる点で、本願発明の効果は大きい。
【００４４】
以上説明した図７のフレキシブル配線４６では、１つの山折り部４７２を有するＶ字型の折り畳み部４７を例示したが、このような構成に限られない。例えば図１０に示す実施形態の第１変形例のように、折り畳み部４７の構成は、フレキシブル配線４６の幅方向から見て、２つの折り目４７３で折り曲げ角度θが鋭角になるように山折りに折り畳まれる２つの山折り部４７２と、その間の折り目４７５で折り曲げ角度θが鋭角になるようい谷折りに折り畳まれる谷折り部４７４とを有するＷ字型であってもよい。Ｙ方向において、２つの山折り部４７２の折り目４７３は離間している。２つの山折り部４７２の各々は、谷折り部４７４を挟んで、谷折り部４７４の一方側と他方側に折り畳まれる。
【００４５】
このような図１０のＷ字型の折り畳み部４７では、各電気的接点４２、４４の位置ずれに応じて、折り畳み部４７が折り畳まれるように変形できるだけでなく、谷折り部４７４の折り目４７５が、２つの山折り部４７２の折り目４７３の相対位置に応じて揺動するように変形できる。このため、２つの山折り部の折り目４７３の相対位置がＺ方向に変化し易いような各電気的接点４２、４４のＺ方向の相対的な位置ずれに対しても、谷折り部４７４の折り目４７５がＹ方向に揺動することで、フレキシブル配線４６に発生する曲げ応力が緩和され易い。
【００４６】
図１１は、図１０のフレキシブル配線４６の作用説明図である。図１１において、点線は変形前のフレキシブル配線４６であり、実線は変形前のフレキシブル配線４６である。例えば取り付け誤差などによって、図１１の矢印に示すように、第１電気的接点４２と第２電気的接点４４が相対的に第１方向であるＺ方向に位置ずれして、２つの山折り部４７２の相対位置が変わっても、その相対位置に応じて谷折り部４７４の折り目４７５がＹ方向に揺動することで、フレキシブル配線４６に発生する曲げ応力が緩和される。これにより、各電気的接点４２、４４が受けるフレキシブル配線４６の反力を抑制できる。したがって、各電気的接点４２、４４が受けるフレキシブル配線４６の反力を抑制できる。
【００４７】
しかも、図１０の構成では、図７の構成よりも、折り畳み部４７の折り数が多いので、図７の構成に比較して、折り畳み部４７（谷折り部、山折り部）がＹ方向やＺ方向に動き易くなる。このため、図７の構成よりも、フレキシブル配線４６に発生する曲げ応力を緩和し易くなる。なお、図１０よりも折り畳み部４７の折り数を多くするようにしてもよい。折り畳み部４７の折り数が多いほど、折り畳み部４７がいろいろな方向に動き易くなるので、フレキシブル配線４６に発生する曲げ応力を緩和し易くなる。
【００４８】
図１２は、本実施形態の効果の検証結果を示す図であり、図７のフレキシブル配線４６（Ｖ字型）と図１０のフレキシブル配線４６（Ｗ字型）の効果を比較した検証結果を示す。図１２は、電気的接点４２、４４の相対的なＺ方向（第１方向）の位置ずれを変化させた場合において、フレキシブル配線４６によるＹ方向の反力の変化を検証したものである。図１２の横軸は、第１電気的接点４２と第２電気的接点４４とのＺ方向の相対的な位置ずれ［ｍｍ］である。縦軸は、フレキシブル配線４６のＹ方向の反力［Ｎ］であり、「Ｅ」は指数を示す。白四角のプロットが図７のフレキシブル配線４６（Ｖ字型）であり、白丸のプロットが図１０のフレキシブル配線４６（Ｗ字型）である。
【００４９】
図１２によれば、電気的接点４２、４４の相対的なＺ方向（第１方向）の位置ずれを大きくすると、図７のフレキシブル配線４６（Ｖ字型）では反力が大きくなるのに対して、図１０のフレキシブル配線４６（Ｗ字型）では、反力がほぼ０のままである。したがって、電気的接点４２、４４の相対的なＺ方向の位置ずれに対しては、図１０のフレキシブル配線４６の方が応力を緩和する効果が顕著であることが分かる。これは、図１０のフレキシブル配線４６（Ｗ字型）では、谷折り部４７４の折り目４７５が揺動するように変形するのに対して、図７のフレキシブル配線４６（Ｖ字型）では、そのような動きをする谷折り部４７４がないためであると考えられる。なお、電気的接点４２、４４の相対的なＹ方向（第２方向）の位置ずれに対しては、図７と図１０の構成の両方とも、折り畳み部４７が折り畳まれるように変形するので、図１０の構成のみならず、図７の構成においてもフレキシブル配線４６の応力を緩和する効果がある。
【００５０】
なお、図１３に示す本実施形態の第２変形例のように、フレキシブル配線４６の幅方向から見て、Ｙ方向（第２方向）において、２つの山折り部４７２の折り目４７３が離間し、Ｚ方向（第１方向）において、谷折り部４７４の折り目４７５が第１電気的接点４２を挟んで２つの山折り部４７２の折り目４７３とは反対側にあるように、折り畳み部４７を構成してもよい。この構成によれば、山折り部４７２の折り目４７３から谷折り部４７４の折り目４７５までの長さがＺ方向に長くなるので、折り畳み部４７が折り畳まれ易い。したがって、液体吐出ヘッド１４の組立性を高めることができる。
【００５１】
上記図１０のフレキシブル配線４６の折り畳み部４７では、Ｙ方向において２つの山折り部４７２の折り目４７３が離間し、Ｙ方向において第１電気的接点４２と第２電気的接点４４との間に２つの山折り部４７２の折り目４７３がある。したがって、Ｙ方向においてフレキシブル配線４６が第１電気的接点４２と第２電気的接点４４との間に収まるので、液体吐出ヘッド１４を小型化できる。また、図１３の構成のようにＺ方向において谷折り部４７４の折り目４７５が第１電気的接点４２を挟んで２つの山折り部４７２の折り目４７３とは反対側にある場合と比較して、谷折り部４７４の折り目４７５が動き易い。したがって、各電気的接点４２、４４が受けるフレキシブル配線４６の反力の抑制効果を高めることができ、各電気的接点４２、４４との位置ずれが大きくても、各電気的接点４２、４４が受けるフレキシブル配線４６の反力を抑制できる。
【００５２】
＜変形例＞
以上に例示した各実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。
【００５３】
（１）上述した図７、図１０、図１３の構成において、フレキシブル配線４６のうち、折り畳み部４７の方が、第１電気的接点４２に接続する端部４６２および第２電気的接点４４に接続する端部４６４よりも剛性が低くなるようにしてもよい。この構成によれば、折り畳み部４７が折り畳まれ易くなる。したがって、各電気的接点４２、４４が受けるフレキシブル配線４６の反力の抑制効果を高めることができる。
【００５４】
（２）上述した各実施形態では、液体噴射ヘッド１４を媒体１１の全幅にわたり配列したラインヘッドを例示したが、液体噴射ヘッド１４を搭載したキャリッジをＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドにも本発明を適用可能である。
【００５５】
（３）上述した各実施形態では、圧力室に機械的な振動を付与する圧電素子を利用した圧電方式の液体吐出ヘッド１４を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を利用した熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。
【００５６】
（４）上述した各実施形態で例示した液体吐出装置は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。
【符号の説明】
【００５７】
１００…液体吐出装置、１０…制御装置、１１…媒体、１２…搬送機構、１４…液体吐出ヘッド、１４２…保持体、１６…ポンプ、１８…液体容器、２４…キャリッジ、４０…回路基板、４２…第１電気的接点、４２２…挿入孔、４４…第２電気的接点、４４２…挿入孔、４６…フレキシブル配線、４６２、４６４…端部、４６’…フレキシブル配線、４７…折り畳み部、４７２…山折り部、４７３…折り目、４７４…谷折り部、４７５…折り目、５２…フィルター部、５２６…フィルター、５４…連通部材、５６…基礎配線基板、５８…固定板、５８２…開口部、６０…液体分配部、６０B…流出口、７０…吐出部、７１…流路形成基板、７１２…開口部、７１４…供給流路、７１６…連通流路、７２…圧力室形成基板、７２２…開口部、７３…振動板、７３２…圧電素子、７４…ノズル板、７５…コンプライアンス部、７５２…封止板、７５４…支持体、７６…保護板、７７…支持体、７７２…空間、７７４…供給口、７８…個別配線基板、Ｃ…圧力室、ＤI2…流路管、Ｇ1…流路構造体、Ｇ2…流路制御部、Ｇ3…液体吐出部、Ｉ…インク、Ｎ…ノズル、Ｒ…液体貯留室、ＳI3…供給口、Ｕ2…流路制御ユニット、Ｕ3…液体吐出ユニット、Ｙ…第２方向、Ｚ…第１方向。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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