(57)【要約】      （修正有）【課題】インクチャネルから排出されたインクが流動する共通インク排出路において、インクチャネル内の気泡の除去やインクの沈降防止等が確実に行えるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置の提供。【解決手段】複数のインクチャネル23と、各インクチャネル23内に圧力変化を生じさせる吐出圧力発生手段と、複数のノズル22と、各インクチャネル23に連通する共通インク排出路と、共通インク排出路に連通した導入路425と、圧力を付与して複数のインクチャネル23及び導入路425にインクを流入させる流路圧力付与手段とを備え、各インクチャネル23内と共通インク排出路内との間の圧力差により共通インク排出路への流動が生じ、導入路425内と共通インク排出路内との間の圧力差により共通インク排出路への流動が生じ、これら流動が合流して共通インク排出路内の流動が生じる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
共通インク室を介してインクが供給される複数のインクチャネルと、
前記各インクチャネル内に圧力変化を生じさせる吐出圧力発生手段と、
前記圧力変化により前記各インクチャネルから吐出されるインクの流路となる複数のノズルと、
前記各インクチャネルに連通し、外部にインクを排出するための排出路連結部に至る共通インク排出路と、
前記共通インク排出路に連通した導入路と、
前記複数のインクチャネル及び前記導入路の上流側のインクに圧力を付与して、これら複数のインクチャネル及び導入路にインクを流入させる流路圧力付与手段とを備え、
前記各インクチャネル内と前記共通インク排出路内との間の圧力差により前記各インクチャネルから前記共通インク排出路への流動が生じ、前記導入路内と前記共通インク排出路内との間の圧力差により前記導入路から前記共通インク排出路への流動が生じ、これら流動が合流して前記共通インク排出路内の流動が生じることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記導入路は、前記各インクチャネルよりも、前記共通インク排出路内の流動における上流側に位置していることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記導入路には、前記共通インク室からインクが流入することを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記共通インク室から前記導入路を経て前記共通インク排出路に至る流路の流路抵抗は、前記共通インク室から１つの前記インクチャネルを経て前記共通インク排出路に至る流路の流路抵抗よりも小さいことを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記導入路から前記共通インク排出路に至る流路の流量は、１つの前記インクチャネルから前記共通インク排出路に至る流路の流量よりも多いことを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記導入路から前記共通インク排出路への流動により、前記共通インク排出路内の流速が速められていることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記導入路内のインクの温度は、前記各インクチャネル内のインクの温度よりも低いことを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記各インクチャネルは、一方向に配列されてチャネル列を構成しており、
前記導入路は、前記チャネル列の一端側の該チャネル列の外側に設けられており、
前記排出路連結部は、前記チャネル列の他端側の該チャネル列の外側に設けられていることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記共通インク排出路は、複数の流路から構成されていることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
請求項１〜９の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドの前記共通インク室に移送されるインクが貯蔵されるインクタンクとを備え、
前記流路圧力付与手段は、さらに、前記インクタンク内のインクの前記共通インク室への移送を行うことを特徴とするインクジェット記録装置。
【請求項１１】
請求項１〜９の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドの前記共通インク室に移送されるインクが貯蔵されるインクタンクとを備え、
前記流路圧力付与手段は、さらに、前記インクタンク内のインクの前記共通インク室への移送及び前記共通インク室に移送されたインクの回収を行い、
前記インクチャネルから前記共通インク排出路を経て排出されたインクは、前記共通インク室から回収されたインクに合流されることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関し、詳しくは、インクチャネルから排出されたインクが流動する共通インク排出路において十分なインク流量が得られ、かつ、十分な流速が得られ、インクチャネル内の気泡の除去やインクの沈降防止等が確実に行えるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的なプリンタ（インクジェット記録装置）において用いられるインクジェットヘッドとして、シアーモード（エッジ（エンド）シュータ、サイドシュータ）型、ベンドモード型など各種のインクジェットヘッドが提案されている。
【０００３】
これら各種のインクジェットヘッドにおいては、インクチャネル（圧力室）に流入されたインクを、ノズルからの吐出とは別流路であるインク排出用流路を介してインクチャネルから排出するようにしたインクジェットヘッド（循環ヘッド）が提案されている（特許文献１、２）。インク排出用流路を介してインクチャネルからインクを排出する目的は、インクチャネル内の気泡の除去、顔料の沈降防止、インク初期導入時のインク廃棄量の低減、デキャップの防止などである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１６−０６８５３７号公報
【特許文献２】特開２０１２−０６１７６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前述のようにインク排出用流路を介してインクチャネルからインクを排出するようにしたインクジェットヘッドにおいては、インク排出用流路内のインク流動が十分な流速（時間あたりの流動距離）及び流量（時間あたりの流動体積）に達していないと、気泡の除去や顔料の沈降防止等の目的を達成することができない。
【０００６】
インク排出用流路内に気泡残留や顔料沈降が発生すると、これらが流路を塞いでしまい、インクチャネルからのインク排出を行うことができなくなる虞がある。例えば、インク排出用流路の上流側においては、多数のインクチャネルから流入するインクが合流している下流側に比較して、インクチャネルから流入するインクの量が少ないため、気泡残留や顔料沈降が発生し易い。
【０００７】
したがって、気泡の除去や顔料の沈降防止等の目的を達成するには、インク排出用流路内のインクの流量を十分なものとしつつ、流速も十分なものとする必要がある。
【０００８】
そこで、本発明は、インクチャネルから排出されたインクが流動する共通インク排出路において十分なインク流量が得られ、かつ、十分な流速が得られ、インクチャネル内の気泡の除去やインクの沈降防止等が確実に行えるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを課題とする。
【０００９】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１１】
１．
共通インク室を介してインクが供給される複数のインクチャネルと、
前記各インクチャネル内に圧力変化を生じさせる吐出圧力発生手段と、
前記圧力変化により前記各インクチャネルから吐出されるインクの流路となる複数のノズルと、
前記各インクチャネルに連通し、外部にインクを排出するための排出路連結部に至る共通インク排出路と、
前記共通インク排出路に連通した導入路と、
前記複数のインクチャネル及び前記導入路の上流側のインクに圧力を付与して、これら複数のインクチャネル及び導入路にインクを流入させる流路圧力付与手段とを備え、
前記各インクチャネル内と前記共通インク排出路内との間の圧力差により前記各インクチャネルから前記共通インク排出路への流動が生じ、前記導入路内と前記共通インク排出路内との間の圧力差により前記導入路から前記共通インク排出路への流動が生じ、これら流動が合流して前記共通インク排出路内の流動が生じることを特徴とするインクジェットヘッド。
２．
前記導入路は、前記各インクチャネルよりも、前記共通インク排出路内の流動における上流側に位置していることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。
３．
前記導入路には、前記共通インク室からインクが流入することを特徴とする前記１又は２記載のインクジェットヘッド。
４．
前記共通インク室から前記導入路を経て前記共通インク排出路に至る流路の流路抵抗は、前記共通インク室から１つの前記インクチャネルを経て前記共通インク排出路に至る流路の流路抵抗よりも小さいことを特徴とする前記３記載のインクジェットヘッド。
５．
前記導入路から前記共通インク排出路に至る流路の流量は、１つの前記インクチャネルから前記共通インク排出路に至る流路の流量よりも多いことを特徴とする前記１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッド。
６．
前記導入路から前記共通インク排出路への流動により、前記共通インク排出路内の流速が速められていることを特徴とする前記１〜５の何れかに記載のインクジェットヘッド。
７．
前記導入路内のインクの温度は、前記各インクチャネル内のインクの温度よりも低いことを特徴とする前記１〜６の何れかに記載のインクジェットヘッド。
８．
前記各インクチャネルは、一方向に配列されてチャネル列を構成しており、
前記導入路は、前記チャネル列の一端側の該チャネル列の外側に設けられており、
前記排出路連結部は、前記チャネル列の他端側の該チャネル列の外側に設けられていることを特徴とする前記１〜７の何れかに記載のインクジェットヘッド。
９．
前記共通インク排出路は、複数の流路から構成されていることを特徴とする前記１〜８の何れかに記載のインクジェットヘッド。
１０．
前記１〜９の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドの前記共通インク室に移送されるインクが貯蔵されるインクタンクとを備え、
前記流路圧力付与手段は、さらに、前記インクタンク内のインクの前記共通インク室への移送を行うことを特徴とするインクジェット記録装置。
１１．
前記１〜９の何れかに記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドの前記共通インク室に移送されるインクが貯蔵されるインクタンクとを備え、
前記流路圧力付与手段は、さらに、前記インクタンク内のインクの前記共通インク室への移送及び前記共通インク室に移送されたインクの回収を行い、
前記インクチャネルから前記共通インク排出路を経て排出されたインクは、前記共通インク室から回収されたインクに合流されることを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、インクチャネルから排出されたインクが流動する共通インク排出路において十分なインク流量が得られ、かつ、十分な流速が得られ、インクチャネル内の気泡の除去やインクの沈降防止等が確実に行えるインクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドが用いられるインクジェット記録装置の一例を示す要部概略構成図
【図２】本発明に係るインクジェットヘッドにおけるインクの流路を示す流路図
【図３】図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの斜視図
【図４】図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの分解斜視図
【図５】図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの縦断面図
【図６】インクジェットヘッドのノズルプレートの構造の他の例を示す要部拡大平面図
【図７】導入路の他の例の縦断面図
【図８】インクジェットヘッドの構成の他の例を示す概略構成図
【図９】図８に示すインクジェットヘッドにおける導入路を示す縦断面図
【図１０】ヘッドチップの他の例の縦断面図
【図１１】図１に示すインクジェットヘッドのノズルプレートの構造を示す要部拡大縦断面図
【図１２】インク回収管を一部切欠した状態を示す流量調整部材の一例を示す斜視図
【図１３】本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の例を示す縦断面図
【図１４】本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の例を示す横断面図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
【００１５】
〔インクジェット記録装置〕
図１は、本発明に係るインクジェット記録装置の一例を示す要部概略構成図であり、インクジェットヘッドを一部断面で示している。
【００１６】
インクジェット記録装置１００は、図示しない搬送手段によって一定方向（副走査方向）に搬送される記録媒体上に、インクジェットヘッド１からインクを吐出してドットを形成して画像を記録する。いわゆるワンパス方式のインクジェット記録装置においては、インクジェットヘッド１は固定して配置され、記録媒体が搬送される過程で、ノズル２２から記録媒体に向けてインクを吐出し画像を記録する。また、いわゆるスキャン方式のインクジェット記録装置においては、インクジェットヘッド１は、図示しないキャリッジに搭載され、該キャリッジが主走査方向に往復移動する過程で、ノズル２２から記録媒体に向けてインクを吐出し画像を記録する。
【００１７】
図１では、１つのインクジェットヘッド１のみを示しているが、一般にインクジェット記録装置１００には、例えばイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）等の各色インク用の複数のインクジェットヘッド１が搭載される。本実施形態に示すインクジェット記録装置１００においては、インクを貯蔵するインクタンク１０１とインクジェットヘッド１の共通インク室４１とが、インク移送管１０２及びインク返送管１０３によって連通されている。
【００１８】
インク移送管１０２の途中には、インクジェット記録装置１００の制御部１０４によって駆動制御される流路圧力付与手段となる移送ポンプ１０５が設けられている。この移送ポンプ１０５が駆動することにより、インクタンク１０１内のインクが、インク移送管１０２を介してインクジェットヘッド１に移送される。また、移送ポンプ１０５が駆動することにより、インクジェットヘッド１内のインクが、インク返送管１０３を介してインクタンク１０１に戻される。このインクジェット記録装置１００において、移送ポンプ１０５は、インクタンク１０１内のインクのインクジェットヘッド１への移送及び前記共通インク室に移送されたインクの回収を行っている。
【００１９】
インクタンク１０１は、格別限定されないが、タンクの底面に到達しない仕切り板１０１ａによって、インク移送室１０１ｂとインク返送室１０１ｃとに仕切ることが好ましい。この場合、インク移送室１０１ｂ内にインク移送管１０２の一端部を配置し、また、インク返送室１０１ｃ内にインク返送管１０３の一端部を配置する。仕切り板１０１ａは、インク返送室１０１ｃに返送されてきたインクに含まれる気泡が再度インク移送管１０２に流入しないように、インクを十分に脱気するために設けられる。気泡自体は浮力が高いので、気泡が仕切り板１０１ａの下側を通過してインク移送室１０１ｂに流入することが制限される。このような態様は、インクを循環使用する場合に好ましい態様である。
【００２０】
〔インクジェットヘッド〕
次に、図１に示した本発明に係るインクジェットヘッド１の構成について説明する。
【００２１】
本発明は、例えばシアーモード（エッジ（エンド）シュータ、サイドシュータ）型、ベンドモード型、いわゆるＭＥＭＳ型など各種のインクジェットヘッドに適用することができる。すなわち、本発明に係るインクジェットヘッドは、これら各種のインクジェットヘッドとして構成することができ、以下に述べる実施形態における方式のインクジェットヘッドに限定されない。
【００２２】
本実施形態に示すインクジェットヘッド１は、シアーモードヘッドとして構成したものである。このインクジェットヘッド１は、インク吐出面１Ｓが鉛直方向下側に向くように設置されて使用される。ただし、本発明のインクジェットヘッドの使用状態は、インク吐出面１Ｓを鉛直方向下側に向ける状態に限定されず、傾けて使用してもよい。なお、本明細書において、「上」及び「下」は、「鉛直方向上側」及び「鉛直方向下側」を意味し、図１に示す使用状態の側面図における上側及び下側に対応する。
【００２３】
インクジェットヘッド１は、図１に示すように、共通インク室４１を構成するインクマニホールド４と、このインクマニホールド４に接着された配線基板３と、配線基板３の下面部に接着されたヘッドチップ２と、ヘッドチップ２の下面部に接着されたノズルプレート２１とを有して構成されている。
【００２４】
インクマニホールド４は、合成樹脂材料等によって、下面部に開口部４ａを有する横長の箱型に形成されている。このインクマニホールド４は、開口部４ａを、下面部に接着された配線基板３によって塞がれている。インクマニホールド４の内部空間は、インクタンク１０１から供給されるインクが貯留される共通インク室４１となる。配線基板３は、例えばガラス基板である。この配線基板３には、図示しない電源回路にＦＰＣ基板を介して接続される図示しない配線パターンが形成されている。
【００２５】
図２は、このインクジェットヘッドにおけるインクの流路を示す流路図である。
【００２６】
共通インク室４１には、図１及び図２に示すように、この共通インク室４１内にインクを供給する流路となるインク供給管５ａが連設されている。このインク供給管５ａは、配線基板３から遠い側（上側）において、共通インク室４１に連通されている。このインク供給管５ａの上端側には、接続部７ａが設けられている。この接続部７ａは、インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ａに着脱可能に接続される。インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ａは、インク移送管１０２に連通している。これにより、インクジェットヘッド１は、インクジェット記録装置１００からのインクの移送が可能となる。
【００２７】
また、共通インク室４１には、この共通インク室４１内からインクを回収する流路となるインク回収管５ｂが連設されている。このインク回収管５ｂは、配線基板３から遠い側（上側）において、共通インク室４１に連通されている。このインク回収管５ｂの上端側には、接続部７ｂが設けられている。この接続部７ｂは、インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ｂに着脱可能に接続される。インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ｂは、インク返送管１０３に連通している。これにより、インクジェットヘッド１は、インクジェット記録装置１００へのインクの返送が可能となる。
【００２８】
このインクジェットヘッド１において、インク供給管５ａから、インク回収管５ｂの途中の後述するバッファ空間部６に至る流路が、主流路Ｆ１となる。
【００２９】
インク供給管５ａとインク回収管５ｂとは、共通インク室４１の長手方向の両端部に離して配置することが好ましい。本実施形態におけるインク供給管５ａは、インクマニホールド４の上面側における図１中の左側の端部に配置され、また、インク回収管５ｂは、インクマニホールド４の上面側における図１中の右側の端部に配置されている。これにより、インク供給管５ａから共通インク室４１に供給されたインクを、インク回収管５ｂに向けて、共通インク室４１内の全体に亘って流すことができる。従って、共通インク室４１内にインクが滞留する部位が形成されにくく、インク中の気泡をより効率良く排除することができる。
【００３０】
図３は、図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの斜視図である。
図４は、図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの分解斜視図である。
図５は、図１に示すインクジェットヘッドのヘッドチップの縦断面図である。
【００３１】
ヘッドチップ２には、図３〜図５に示すように、複数のインクチャネル（圧力室）２３及び複数のダミーチャネル（擬似圧力室）２５が形成されている。各インクチャネル２３及び各ダミーチャネル２５は、ヘッドチップ２の上面部から下面部に亘って穿設された透孔である。各インクチャネル２３は、上方端が配線基板３に開設された注入孔３１ａを介して共通インク室４１に連通しており、移送ポンプ１０５が付与する圧力により、注入孔３１ａからインクが流入されて充填される。各インクチャネル２３の下方端は、ノズル２２を介して外方（下方）に連通している。各ダミーチャネル２５は、上方端を配線基板３により閉蓋され、下方端をノズルプレート２１により閉蓋されて、密閉された空気室となっている。各インクチャネル２３及び各ダミーチャネル２５は、一方向（図３〜図５中矢印Ｘ方向）に配列されてチャネル列を構成している。
【００３２】
図６は、インクジェットヘッドのノズルプレートの構造の他の例を示す要部拡大平面図である。
【００３３】
なお、チャネル列の数（列数）は、図３及び図４においては２列としているが、これに限定されず、図６に示すように、４列としてもよい。チャネル列の数（列数）を増やすことにより、インクチャネル２３間のピッチを狭めることなく、記録媒体上に形成するドット間のピッチを狭めることができる。
【００３４】
各インクチャネル２３の両壁部（インクチャネル２３とダミーチャネル２５との間の隔壁）は、図５に示すように、吐出圧力発生手段となる一対の圧電素子（駆動壁）２４，２４により構成されている。圧電素子２４，２４は、図示しない電源回路からＦＰＣ基板及び配線基板３の配線パターンを介して電圧を印加されることによって、せん断変形する。インクチャネル２３の両壁部をなす圧電素子２４、２４がせん断変形することにより、インクチャネル２３の容積変動（膨張又は収縮）が生じる。インクチャネル２３の容積変動（膨張又は収縮）により、インクチャネル２３内のインクに圧力が付与され、このインクがノズル２２を介して吐出される。
【００３５】
圧電素子２４，２４は、一つのインクチャネル２３あたり２枚（一対）が設けられており、各インクチャネル２３それぞれの両壁部をなしている。一のインクチャネル２３の壁部を構成する圧電素子２４と、隣接するインクチャネル２３の壁部を構成する圧電素子２４との間には空隙があり、この空隙がダミーチャネル２５である。したがって、各インクチャネル２３は、独立して駆動（膨張又は収縮）することができる。
【００３６】
ダミーチャネル２５は、少なくともインクチャネル２３を挟んで両隣に位置し、隣接するインクチャネル２３の容積変動に伴って容積変動を生ずる。この実施形態においては、インクチャネル２３とダミーチャネル２５とが１つずつ交互に配列されることにより、ダミーチャネル２５が各インクチャネル２３を挟んで両隣に位置する状態になっている。
【００３７】
なお、このインクジェットヘッド１は、ダミーチャネル２５を設けずに、隣接するインクチャネル２３，２３が１枚の駆動壁２４を共用するように構成してもよい。この場合には、各インクチャネル２３が独立して駆動（膨張又は収縮）することはできないので、いわゆる３サイクル駆動を行う。
【００３８】
ヘッドチップ２に形成されるインクチャネル２３は、その数は特に問わない。本実施形態に示すヘッドチップ２は、複数のインクチャネル２３が、ヘッドチップ２の長手方向である図３〜図５中Ｘ方向に沿う複数列に配列されている。また、インクチャネル２３内のインクに吐出圧力を付与する吐出圧力発生手段の具体的な構成は問わず、公知の種々の構成を採用することができる。
【００３９】
そして、ヘッドチップ２には、導入路４２５が形成されている。この導入路４２５は、各インクチャネル２３及び各ダミーチャネル２５が構成するチャネル列の一端側の該チャネル列の外側に位置して設けられている。この導入路４２５は、ヘッドチップ２の上面部から下面部に亘って穿設された透孔であり、横断面開口面積が、１つのインクチャネル２３の横断面開口面積よりも大きくなっている。この導入路４２５は、上方端が配線基板３に開設された導入孔３１ｃを介して共通インク室４１に連通しており、移送ポンプ１０５が付与する圧力により、導入孔３１ｃからインクが流入される。
【００４０】
ヘッドチップ２の下面部に接着された平板状のノズルプレート２１には、図３〜図６に示すように、各インクチャネル２３に対応された複数のノズル２２が穿設されている。ノズル２２は、インクチャネル２３を外部（下方）に連通させる透孔である。各インクチャネル２３内のインクは、圧電素子２４の作用によって吐出圧力を付与され、ノズル２２を通って外部（下方）の記録媒体に向けて吐出される。すなわち、ノズル２２は、各インクチャネル２３内から外部（下方）に吐出されるインクの流路となる。ノズルプレート２１の下面部がインク吐出面１Ｓとなる。
【００４１】
ノズルプレート２１は、シリコン材料、ポリイミド樹脂材料又はその他の有機物材料、ステンレス、ニッケル又はその他の金属材料により形成することが好ましい。価格の点（安価であること）では、ステンレス、ポリイミド樹脂材料が優れており、加工の容易性では、ステンレス、ポリイミド樹脂材料が優れており、加工精度では、シリコン材料が優れており、化学的安定性では、ポリイミド樹脂材料が優れている。シリコン材料は硬質材料であるが、インクチャネル２３の付近を薄く作成すれば、圧電素子２４、２４の駆動による隣接するインクチャネル２３へのクロストークを防止することができる。
【００４２】
各インクチャネル２３には、図３、図４及び図６に示すように、２本の個別インク排出路２６ａ、２６ａが連通されている。個別インク排出路２６ａ、２６ａは、インクチャネル２３の長手方向の両端部においてインクチャネル２３に連通している。インクチャネル２３の両端部近傍は、気泡が残留することが多い箇所であるため、個別インク排出路２６ａ、２６ａをインクチャネル２３の長手方向の両端部に設けることは好ましい。なお、個別インク排出路２６ａ、２６ａは、インクチャネル２３の何れの箇所においてインクチャネル２３に連通するようにしてもよい。また、１個のインクチャネル２３に対する個別インク排出路２６ａの本数は、増減してもよい。
【００４３】
本実施形態において、個別インク排出路２６ａ、２６ａは、ノズルプレート２１の上面部にノズル２２近傍に始端部を有して形成された流路形成溝２８が、ヘッドチップ２の下面部によって閉蓋されることにより構成されている。
【００４４】
このように、個別インク排出路２６ａ、２６ａを、ノズルプレート２１の上面部に形成した流路形成溝２８及びヘッドチップ２の下面部により構成し、インクチャネル２３の下側に設けることにより、インクチャネル２３の深さ方向の全体に渡る流路を形成することができ、インクチャネル２３の端部近傍に残留する気泡を良好に除去することができる。また、この場合、ノズルプレート２１のみの加工によって個別インク排出路２６ａ、２６ａを形成できるので、作製が容易である。
【００４５】
導入路４２５には、図６に示すように、２本の導入溝４２５ａ、４２５ａが連通されている。導入溝４２５ａ、４２５ａは、導入路４２５の両側部において導入路４２５に連通している。なお、導入溝４２５ａ、４２５ａは、導入路４２５の何れの箇所において導入路４２５に連通するようにしてもよい。また、１個の導入路４２５に対する導入溝４２５ａ、４２５ａの本数は、増減してもよい。
【００４６】
本実施形態において、導入溝４２５ａ、４２５ａは、ノズルプレート２１の上面部に導入路４２５近傍に始端部を有して形成され、ヘッドチップ２の下面部により閉蓋されて流路を構成している。
【００４７】
このように、導入溝４２５ａ、４２５ａをノズルプレート２１の上面部に形成し、ヘッドチップ２の下面部とにより流路を構成することにより、ノズルプレート２１のみの加工によって流路を形成できるので、作製が容易である。
【００４８】
そして、図３〜図６に示すように、ヘッドチップ２の下方側には、共通インク排出路４２１が形成されている。共通インク排出路４２１は、ヘッドチップ２の下面部に形成された溝とノズルプレート２１の上面部に形成された溝４２２とが突き合わされることにより構成されている。このようにヘッドチップ２の下面部及びノズルプレート２１の上面部の双方に形成した溝により共通インク排出路４２１を構成することにより、共通インク排出路４２１の横断面開口面積を拡げて流路抵抗を下げることができ、十分なインク流量を確保することができる。ヘッドチップ２の厚さ（高さ）はノズルプレート２１の厚さよりも厚いので、共通インク排出路４２１を構成するヘッドチップ２の下面部の溝は、十分な深さとすることができる。
【００４９】
共通インク排出路４２１は、チャネル列の方向（Ｘ方向）に形成された複数本の流路から構成されている。各インクチャネル２３に連通した各個別インク排出路２６ａ、２６ａは、共通インク排出路４２１に連通することにより合流している。各インクチャネル２３内と共通インク排出路４２１内との間の圧力差により、各インクチャネル２３から共通インク排出路４２１へのインクの流動が生じる。また、導入溝４２５ａ、４２５ａは、共通インク排出路４２１に連通している。導入路４２５内と共通インク排出路４２１内との間の圧力差により、導入路４２５から共通インク排出路４２１へのインクの流動が生じる。そして、これら流動が合流して共通インク排出路４２１内のインク流動が生じる。
【００５０】
共通インク排出路４２１は、所望の流路抵抗に設定するために、共通インク排出路４２１を構成する流路の本数や、その構造を適宜変更することができる。共通インク排出路４２１を構成する流路の本数は、流路抵抗の設定に応じて、適宜増減することができる。また、ヘッドチップ２の下面部の溝のみで十分なインク流量が確保できる場合には、ノズルプレート２１の上面部に溝４２２を設けずに、ヘッドチップ２の下面部の溝をノズルプレート２１の上面部により閉蓋して共通インク排出路４２１を構成してもよい。ヘッドチップ２の下面部の溝は、十分な深さとすることができるからである。なお、ノズルプレート２１の上面部の溝４２２のみで十分なインク流量が確保できる場合には、ヘッドチップ２の下面部に溝を設けずに、ノズルプレート２１の上面部の溝４２２をヘッドチップ２の下面部により閉蓋して共通インク排出路４２１を構成してもよい。
【００５１】
図２〜図６に示すように、共通インク排出路４２１の他端側は、ヘッドチップ２に形成された排出チャネル４２４の下方端に連通されている。排出チャネル４２４は、各インクチャネル２３及び各ダミーチャネル２５が構成するチャネル列の他端側の該チャネル列の外側に位置して設けられている。なお、排出チャネル４２４の横断面開口面積は、導入路４２５の横断面開口面積の１．５倍〜２倍程度となされている。排出チャネル４２４内のインク流量は、導入路４２５内のインク流量よりも、各インクチャネル２３を経たインクが合流している分だけ多くなるので、流路抵抗を増大させないために排出チャネル４２４の横断面開口面積を大きくするのである。
【００５２】
なお、導入路は、複数のインクチャネル２３と同一の構造の透孔から構成することもできる。すなわち、ヘッドチップ２の一端側に、印字領域から外れてインクチャネル２３と同一の構造の透孔を複数作成し、これらの下にはノズル２２を設けず個別インク排出路２６ａのみを設ければ、これら複数の透孔は、導入路として機能する。この場合には、複数の透孔の横断面積の合計を、前述した導入路４２５の横断面積に等しくすることが好ましい。この構成では、導入路を、インクチャネル２３と同一の工程内容により各インクチャネル２３の作成工程に連続した工程で作成することができ、作成が容易である。
【００５３】
図１に示すように、インクマニホールド４内には、排出チャネル４２４の上方に位置して、インク排出室４１２が設けられている。インク排出室４１２は、インクマニホールド４内において、共通インク室４１に隣接して設けられている。インク排出室４１２は、共通インク室４１に対しては、隔壁４５によって分離されている。隔壁４５は、インクマニホールド４に一体的に形成することができる。
【００５４】
このようにして、注入孔３１ａからインクチャネル２３に流入されたインクの一部は、個別インク排出路２６ａ、２６ａから共通インク排出路４２１を経て、排出チャネル４２４に至り、配線基板３に形成された排出孔３１ｂを通って、インク排出室４１２に至る。
【００５５】
また、導入孔３１ｃから導入路４２５に流入されたインクは、導入溝４２５ａ、４２５ａ及び共通インク排出路４２１を経て排出チャネル４２４に至り、排出孔３１ｂを通ってインク排出室４１２に至る。
【００５６】
このインクジェットヘッド１において、導入路４２５は、各インクチャネル２３よりも、共通インク排出路４２１内のインク流動における上流側に位置していることが好ましい。導入路４２５を各インクチャネル２３よりも共通インク排出路４２１内のインク流動における上流側に位置させると、共通インク排出路４２１の一端側（最上流部）におけるインク流量を多くすることができ、共通インク排出路４２１内及び各インクチャネル２３内の気泡の除去やインクの沈降防止等をより確実に行うことができる。
【００５７】
また、このインクジェットヘッド１においては、導入路４２５から共通インク排出路４２１への流動により、導入路４２５を設けない場合に比較して、共通インク排出路４２１内の流速が速められている。そのため、共通インク排出路４２１内のインクが十分な流速となされ、ノズル２２からのインクの吐出が良好に行えて、かつ、共通インク排出路４２１内及び各インクチャネル２３内の気泡の除去やインクの沈降防止等を確実に行うことができる。
【００５８】
さらに、前述したように、導入路４２５の横断面開口面積を、１つのインクチャネル２３の横断面開口面積よりも大きくした場合には、共通インク室４１から導入路４２５を経て共通インク排出路４２１に至る流路の流路抵抗は、共通インク室４１から１つのインクチャネル２３を経て共通インク排出路４２１に至る流路の流路抵抗よりも小さい。したがって、導入路４２５から共通インク排出路４２１に至る流路の流量を、１つのインクチャネル２３から共通インク排出路４２１に至る流路の流量よりも多くすることができる。そのため、共通インク排出路４２１の一端側（最上流部）におけるインク流量をより確実に多くすることができ、共通インク排出路４２１内及び各インクチャネル２３内の気泡の除去やインクの沈降防止等をより確実に行うことができる。
【００５９】
このインクジェットヘッド１においては、導入路４２５内及び各インクチャネル２３内から共通インク排出路４２１を経てインク排出室４１２に至る流路が形成されているので、これらの流路抵抗の総和を考慮して、この条件においてノズル２２からのメニスカスブレイクが生じないように、移送ポンプ１０５が与える圧力等の条件が決定される。また、各個別インク排出路２６ａ、２６ａの流路抵抗の合計は、ノズル２２からのメニスカスブレイクが生じないように、移送ポンプ１０５が与える圧力等の条件を勘案して規定される。各個別インク排出路２６ａ、２６ａは、その流路抵抗の合計が既定値から外れない限りにおいて、適宜に開口面積及び長さを設定することができる。
【００６０】
ところで、このインクジェットヘッド１においては、導入路４２５内のインクの温度は、各インクチャネル２３内のインクの温度よりも低くなっている。各インクチャネル２３内のインクは、圧電素子２４、２４が発する熱によって加熱されており、また、各インクチャネル２３内のインクを冷却してしまうとインクの粘度が上昇してしまいノズル２２からの吐出に影響するからである。一方、導入路４２５内のインクは、圧電素子２４、２４により加熱されることはなく、また、冷却してもノズル２２からの吐出に影響しないので冷却することもできる。導入路４２５内のインク温度が低いことにより、共通インク排出路４２１内のインク温度が下がり、この温度低下によりインク中の泡が小さくなるので、泡の排出性が向上する。
【００６１】
この実施形態においては、導入路４２５へのインクの流入は、各インクチャネル２３への流入と同様に、共通インク室４１から行っている。この態様は、各インクチャネル２３及び導入路４２５をヘッドチップ２に並列的に形成するだけで実現できるので、作成が容易である。
【００６２】
そして、図１及び図２に示すように、インク排出室４１２には、排出路連結部５ｄを介して、インク排出室４１２内からインクを排出する流路をなすインク排出管５ｃが接続されている。排出路連結部５ｄは、排出チャネル４２４の上方側に位置して、各インクチャネル２３及び各ダミーチャネル２５が構成するチャネル列の他端側の該チャネル列の外側に位置して設けられている。インク排出管５ｃの上端側は、インク回収管５ｂに合流している。インク回収管５ｂとインク排出管５ｃとは、合流箱６１に接続されることによって合流している。
【００６３】
合流箱６１は、合成樹脂材料や金属材料から一体的に構成されており、内部にバッファ空間部６が形成されている。合流箱６１の外面には、バッファ空間部６に至る第１乃至第３の開口部４８ａ，４８ｂ，４８ｃが形成されている。第１の開口部４８ａからバッファ空間部６を経て第３の開口部４８ｃに至る流路は、インク回収管５ｂの中途部に介在されている。実装状態としては、インク回収管５ｂを中途部において上流側及び下流側に分け、上流側を第１の開口部４８ａに接続させ、下流側を第３の開口部４８ｃに接続させることになる。そして、第２の開口部４８ｂには、インク排出管５ｃを接続させる。
【００６４】
このように、本実施形態に示すインクジェットヘッド１は、インク回収管５ｂ及びインク排出管５ｃが合流箱６１によって合流されているため、インクジェット記録装置１００側の配管等との接続部位は、インク供給管５ａ（接続部７ａ）及びインク回収管５ｂ（接続部７ｂ）の２箇所のみで済む。従って、インクジェット記録装置１００側の配管等との接続部位の数は、一般的なインクジェットヘッドに対して増加せず、接続作業が煩雑化することはない。
【００６５】
また、本実施形態に示すインクジェットヘッド１は、インク供給管５ａ（接続部７ａ）及びインク回収管５ｂ（接続部７ｂ）の２箇所のみで、インクジェット記録装置１００側の接続部１０６ａ、１０６ｂと接続される構造であるため、循環機構を備えた既設のインクジェット記録装置のインクジェットヘッドとの互換性を備えている。すなわち、一般に、インクマニホールド４内のインクを循環させる循環機構を有するインクジェット記録装置は、各インクジェットヘッドに対して、インクの供給部及び回収部の２箇所で配管接続する構造となっている。そのため、本実施形態のインクジェットヘッド１によれば、既設装置を設計変更する必要なく、接続部７ａ、７ｂの２箇所のみの接続によって交換及び設置が可能である。
【００６６】
このインクジェットヘッド１において、導入路４２５及び個別インク排出路２６ａ、２６ａから、共通インク排出路４２１、排出チャネル４２４、排出孔３１ｂ、インク排出室４１２及びインク排出管５ｃを経て、バッファ空間部６に至る流路が、インク排出用流路４２３となる。このインク排出用流路４２３は、導入路４２５及びインクチャネル２３に連通し、これら導入路４２５及びインクチャネル２３内のインクを排出させ、バッファ空間部６においてインク回収管５ｂに合流させる流路である。そして、導入孔３１ｃ及び各注入孔３１ａを経て、インク排出用流路４２３までが、副流路Ｆ２となる（図２参照）。
【００６７】
ところで、インク排出用流路４２３は各インクチャネル２３に対応した個別インク排出路２６ａ、２６ａの全てを通過する流路として構成されているため、インクチャネル２３の高密度化に伴い、インク排出用流路４２３全体の流路抵抗は大きくなっている。従って、インク排出管５ｃをインク回収管５ｂに合流させても、インク供給管５ａからインク回収管５ｂを経る主流路Ｆ１の流量が多く、各注入孔３１ａからインク排出用流路４２３に至る副流路Ｆ２の流量が少ないために、これらが円滑に合流しないことが考えられる。このインクジェットヘッド１においては、主流路Ｆ１と副流路Ｆ２との合流（インク排出管５ｃとインク回収管５ｂとの合流）を、バッファ空間部６において行い、また、後述する流量調整部材９や吸引ポンプを使用することにより、これら主流路Ｆ１及び副流路Ｆ２の流量が異なっても、円滑に合流させることができる。
【００６８】
上述のようなインクジェットヘッド１及びこれを備えたインクジェット記録装置１００によれば、インク供給管５ａからインクを供給するだけで、共通インク室４１内の残留気泡を主流路Ｆ１を経てインク回収管５ｂから排出させるのみならず、ノズル２２から引き込まれたインクチャネル２３近傍の気泡をも、副流路Ｆ２を経てインク排出管５ｃから迅速に排出させることができる。よって、インクマニホールド４内の全体（共通インク室４１内及びインクチャネル２３の近傍）の残留気泡除去を効率的に行うことができる。また、沈降し易い粒子や顔料等が含まれているインクを使用する場合でも、画像記録中の個別インク排出路２６ａ、２６ａ及び共通インク排出路４２１における粒子や顔料等の沈降を効果的に抑制して、インクの濃度偏差を抑制することができる。
【００６９】
〔導入路の他の実施形態〕
図７は、導入路の他の例の縦断面図である。
【００７０】
導入路４２５へのインクの流入は、各インクチャネル２３への流入とは別経路で行ってもよい。例えば、図７に示すように、共通インク室４１を導入路４２５上（導入孔３１ｃ上）の領域及び各インクチャネル２３上（注入孔３１ａ上）の領域に隔壁４６によって分割し、これら各領域のそれぞれにインク供給管５ａからインクが供給されるようにしてもよい。また、インク供給管５ａを２つの分岐路に分岐させ、一方の分岐路からは共通インク室４１及び各注入孔３１ａを経て各インクチャネル２３にインクを流入させ、他方の分岐路からは共通インク室４１を経ずに直接導入孔３１ｃを経て導入路４２５にインクを流入させるようにしてもよい。
【００７１】
この場合には、導入路４２５へのインクの流入圧力と、各インクチャネル２３への流入圧力とは、別個の流路圧力付与手段（移送ポンプ）により付与するようにしてもよい。
【００７２】
この実施形態においても、導入路４２５がチャネル列の一端側の該チャネル列の外側に設けられ、排出チャネル４２４及びインク排出室４１２がチャネル列の他端側の該チャネル列の外側に設けられていることにより、共通インク排出路４２１の一端側から他端側へ全域に亘って一方向にインクが流動するので、共通インク排出路４２１の端部も含む全域に亘ってインク流量を増大させることができる。
【００７３】
図８は、インクジェットヘッドの構成の他の例を示す概略構成図である。
【００７４】
インクジェットヘッドは、図８に示すように、インク排出管５ｃをチャネル列の両端側に２本設けて構成してもよい。各インク排出管５ｃ、５ｃの上端側は、インク回収管５ｂに合流する。インク回収管５ｂと各インク排出管５ｃ、５ｃとは、合流箱６１に接続させることによって合流させる。合流箱６１には、バッファ空間部６に至る第１乃至第３の開口部４８ａ，４８ｂ，４８ｂ，４８ｃを形成する。第２の開口部４８ｂは、２個形成する。インク回収管５ｂの上流側を第１の開口部４８ａに接続させ、下流側を第３の開口部４８ｃに接続させる。第２の開口部４８ｂ、４８ｂには、各インク排出管５ｃ、５ｃを接続させる。
【００７５】
図９は、図８に示すインクジェットヘッドにおける導入路を示す縦断面図である。
【００７６】
この場合には、排出チャネル４２４及びインク排出室４１２は、図９に示すように、チャネル列の両端側の該チャネル列の外側の２箇所に設ける。そして、導入路４２５は、チャネル列の中央部付近において該チャネル列の外側に設けることが好ましい。この導入路４２５からは、共通インク排出路４２１の中央部分にチャネル列の側方よりインクが流入し、２方向に分かれてチャネル列の両端側の排出チャネル４２４を経て各インク排出室４１２、４１２に至る。各インクチャネル２３に流入され個別インク排出路から共通インク排出路４２１に至ったインクは、チャネル列の中央より一端側に近い位置においては一端側の排出チャネル４２４及びインク排出室４１２を経て一端側のインク排出管に向かい、チャネル列の中央より他端側に近い位置においては他端側の排出チャネル４２４及びインク排出室４１２を経て他端側のインク排出管に向かう。この場合にも、共通インク排出路４２１の端部も含む全域に亘ってインク流量を増大させることができる。
【００７７】
〔共通インク排出路の他の実施形態〕
ヘッドチップ２とノズルプレート２１との間には、スペーサプレートを介在させてもよい。この場合には、ヘッドチップ２の下面部の溝に突き合わされて共通インク排出路４２１を構成する溝４２２は、ノズルプレート２１の上面部ではなく、スペーサプレートの上面部に設けることができる。スペーサプレートを用いることにより、ノズルプレート２１に対する加工工程を減らし、製造の容易化を図ることができる。
【００７８】
図１０は、ヘッドチップの他の例の縦断面図である。
【００７９】
共通インク排出路４２１は、ヘッドチップ２の下方側に形成することに限定されず、図１０に示すように、ヘッドチップ２の側面部に溝を設け、閉蓋部材２７により閉蓋して構成してもよい。共通インク排出路４２１をヘッドチップ２の側面部に設ける場合には、共通流路４２１の幅を大きくすることが可能である。ヘッドチップ２の側面は、共通流路４２１となる溝の幅を阻害なく拡げられる面積を有するからである。閉蓋部材２７により閉蓋しなければならないという構造上の制限はあるものの、共通流路４２１の幅を大きくすることにより共通流路４２１の流路抵抗を下げられるという効果が得られる。
【００８０】
〔ノズルプレートの詳細構造〕
図１１は、図１に示すインクジェットヘッドのノズルプレートの構造を示す要部拡大縦断面図である。
【００８１】
図１１に示すように、ノズル２２のインクチャネル２３側の開口端２２ａと、個別インク排出路２６ａ、２６ａのノズルプレート２１側の内面部（流路形成溝２８の底面部）とを、同一平面上に形成することも好ましい。さらに、共通インク排出路４２１の底面部となる溝４２２の底部も、個別インク排出路２６ａ、２６ａのノズルプレート２１側の内面部（流路形成溝２８の底面部）と同一平面上に形成することが好ましい。これらが同一平面上となることにより、インクチャネル２３から個別インク排出路２６ａ、２６ａ内に至る流路及び共通インク排出路４２１に至る流路に段差がなくなるので、流路抵抗が増大せず、インクチャネル２３から個別インク排出路２６ａ、２６ａ内及び共通インク排出路４２１内に至る流路へのインクの流動が容易となる。
【００８２】
ノズルプレート２１の上面部のインクチャネル２３に対応する領域（インクチャネル２３の底面となる領域）を、流路形成溝２８と同一の深さまで彫り込んで凹部２３ａとすることにより、ノズル２２の開口端２２ａと、流路形成溝２８の底面部とが、同一平面上となる。また、共通インク排出路４２１の底面部を、流路形成溝２８と同一の深さまで彫り込むことにより、流路形成溝２８の底面部と共通インク排出路４２１の底面部とが、同一平面上となる。このように同一の深さの凹部２３ａ、流路形成溝２８及び共通インク排出路４２１を作成することは、１つの工程で行うことができるので、ノズルプレート２１の作成を煩雑化することはない。
【００８３】
〔圧力損失調整手段〕
このインクジェットヘッド１には、主流路Ｆ１の流路抵抗と副流路Ｆ２の流路抵抗との相対関係を調整する圧力損失調整手段を設けることが好ましい。
【００８４】
この圧力損失調整手段は、主流路Ｆ１と副流路Ｆ２との流路抵抗の差に相当する圧力損失Δｐを、主流路Ｆ１に付与する。または、圧力損失調整手段は、副流路Ｆ２の流路抵抗を減らして、主流路Ｆ１の流路抵抗に相当するものにする。
【００８５】
副流路Ｆ２の流路抵抗は、導入孔３１ｃ及び全ての注入孔３１ａ、導入路４２５及び全ての個別インク排出路２６ａ、２６ａ、及び共通インク排出路４２１を含むインク排出用流路４２３全体における流路径、流路長、屈曲部の数、流速などによって決まる流路抵抗である。これら個別インク排出路２６ａ、２６ａ及び共通インク排出路４２１は、流路径が極めて細いうえに流路長が長いので、大きな流路抵抗を生じさせている。
【００８６】
このインクジェットヘッド１においては、圧力損失調整手段により、主流路Ｆ１の流路抵抗と、副流路Ｆ２の流路抵抗とを均衡させることにより、インク供給管５ａ内のインク圧力ｐ０によって、容易に主流路Ｆ１及び副流路Ｆ２の両方に均等にインクを流すことができる。
【００８７】
圧力損失調整手段の一例を図１２に示す。図１２は、圧力損失調整手段の一例が設けられたインク回収管５ｂを一部破断した状態を示す斜視図である。
【００８８】
圧力損失調整手段としては、例えば、図１２に示すように、インク回収管５ｂの流路断面積を部分的に狭める流量調整部材９を用いることができる。この流量調整部材９は、インク回収管５ｂ内に保持され、インク回収管５ｂの内径を部分的に狭くする部材である。本実施形態の流量調整部材９は、インク回収管５ｂの内壁に沿う円筒部９５と、この円筒部９５の一端部を閉蓋する円盤部９６とを有して一体的に構成されている。円盤部９６の中央部には、流路孔９４が形成されている。この流量調整部材９が配置された部位におけるインク回収管５ｂの流路は、この流路孔９４のみとなる。従って、流量調整部材９は、この流路孔９４によってインク回収管５ｂの流路断面積を部分的に狭め、インク回収管５ｂ内を流れるインクの圧力を損失させる。
【００８９】
流量調整部材９の材質は特に限定されないが、インクの非浸透性、インク回収管５ｂへの挿入し易さ及びインクに対する耐腐食性に優れるステンレス等の金属、セラミックス、合成樹脂が挙げられる。
【００９０】
なお、流量調整部材９の流路孔９４内の流路長を短くすることにより、流路孔９４内に気泡が入ったときの流路抵抗の変動を抑え、流速のばらつきを抑えることができる。図１２に示した流量調整部材９の流路孔９４内の流路長は、例えば０．５ｍｍ程度である。流路孔９４内の流路長を０．５ｍｍ程度にすることにより、気泡による流路抵抗の変動を抑えることができる。
【００９１】
この流量調整部材９によって付与される圧力損失Δｐは、主流路Ｆ１と副流路Ｆ２との流路抵抗の差に相当する圧力損失Δｐであり、流路孔９４の内径によって調整される。この圧力損失Δｐにより、主流路Ｆ１の流路抵抗と、副流路Ｆ２の流路抵抗とが均衡される。すなわち、インク供給管５ａ内のインク圧力ｐ０は、主流路Ｆ１のバッファ空間部６の直前において圧力ｐ１に減圧され、副流路Ｆ２のバッファ空間部６の直前における圧力ｐ２にほぼ等しいものとなる。また、インク供給管５ａ内のインク圧力ｐ０は、移送ポンプ１０５が与える圧力にほぼ等しい。副流路Ｆ２の圧力ｐ２は、ノズル２２からのメニスカスブレイクが生じないように、メニスカスブレイクが生じる圧力ｐｘより小さく設定される。
【００９２】
なお、インク圧力ｐ０は、インク供給管５ａにＴ字分岐を設け、分岐させた先においてマノメータにより測定することができる。圧力ｐ１は、インク回収管５ｂ（流量調整部材９より下流、バッファ空間部６より上流）にＴ字分岐を設け、分岐させた先においてマノメータにより測定することができる。圧力ｐ２は、インク排出管５ｃ（バッファ空間部６より上流）にＴ字分岐を設け、分岐させた先においてマノメータにより測定することができる。
【００９３】
流量調整部材９の流路孔９４の具体的な内径は、導入路４２５、個別インク排出路２６ａ、２６ａ及び共通インク排出路４２１などの圧力損失要素による圧力損失を考慮して、インク回収管５ｂの圧力損失が所望の圧力損失となるように適宜調整される。流量調整部材９の流路孔９４の内径を調整すれば、主流路Ｆ１及び副流路Ｆ２の両方に均等にインクを流すことができる。これにより、共通インク室４１内（主流路Ｆ１）と、導入路４２５、各インクチャネル２３内、個別インク排出路２６ａ、２６ａ及び共通インク排出路４２１内（副流路Ｆ２）とに、迅速にインクを貯留させることができるため、インクの流動、特に、初期導入の際に好ましい。
【００９４】
インク排出管５ｃには、図１、図２及び図８に示すように、逆止弁８を設けてもよい。この逆止弁８は、インク排出室４１２からバッファ空間部６に向けたインクの流出を許容し、その逆方向のインクの流れを阻止するように機能する。例えば、インク中に含まれる夾雑物によって各個別インク排出路２６ａ、２６ａ及び共通インク排出路４２１が目詰まりし、副流路Ｆ２の圧力ｐ２が下がると、共通インク室４１内の主流路Ｆ１の圧力ｐ１との間に圧力差が生じる。この場合に、インク回収管５ｂから回収されたインクが、バッファ空間部６を経てインク排出管５ｃに逆流する虞がある。インク排出管５ｃに逆止弁８を設けることにより、インクの逆流によって各個別インク排出路２６ａ、２６ａ及び共通インク排出路４２１に気泡や夾雑物が戻ることを防止することができる。
【００９５】
なお、この逆止弁８も圧力損失要素の一つであるため、逆止弁のクラッキング圧力（開弁圧）は低いほうがよく、ノズル２２からのメニスカスブレイクが生じる圧力ｐｘ（例えば５ｋＰａ程度）よりも低いことが必要である。また、ノズル２２からのメニスカスブレイクを確実に防止するには、移送ポンプ１０５による加圧をせずに、インク返送管１０３に（インク回収管５ｂとインク排出用流路４２３とのバッファ空間部６よりも下流側に）吸引ポンプを設け、この吸引ポンプが生じさせる負圧のみによりインクを循環させるようにしてもよい。
【００９６】
なお、以上説明した実施形態のインクジェット記録装置１００においては、インクジェットヘッド１とインクタンク１０１との間でインクを循環させているが、本発明はこれに限定されない。図示しないが、インク回収管５ｂ及びインク排出管５ｃから流出したインクを、インクタンク１０１に戻さずに、廃インクタンクに排出させるように構成してもよい。
【００９７】
〔インクジェットヘッドの他の実施形態〕
この実施形態は、本発明のインクジェットヘッドを、シアーモード型ではないインクジェットヘッドとして構成した例である。図１３は、本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の例を示す縦断面図であり、図１４は、本発明に係るインクジェットヘッドのさらに他の例を示す横断面図である。図１と同一符号の部位は同一構成の部位であるため、これらの説明は上記説明を援用し、ここでは省略する。
【００９８】
本発明のインクジェットヘッド１は、図１３及び図１４に示すように、基板３上に圧電素子２４を配置した構成とすることもできる。このインクジェットヘッド１においては、基板３上に圧電素子２４が配置されており、この基板３の下面側にインクチャネルとなるインクチャネル２３が構成されている。圧電素子２４は、インクチャネル２３の上面（天井面）の一部をなしており、駆動することにより、インクチャネル２３の容積を変動させる。インクチャネル２３の下面（底面）は、ノズルプレート２１によって閉蓋されている。ノズルプレート２１には、各インクチャネル２３に対応された複数の吐出ノズル２２が形成されている。吐出ノズル２２は、インクチャネル２３に対して連通し、インクチャネル２３を外部（下方）に連通させている。ノズルプレート２１の下面部がインク吐出面１Ｓとなる。各インクチャネル２３内のインクは、圧電素子２４の作用によって吐出圧力を付与され、吐出ノズル２２を通って外部の記録媒体に向けて（下方）に吐出される。
【００９９】
各インクチャネル２３は、注入孔３１ａを介して共通インク室４１に連通している。共通インク室４１内のインクは、注入孔３１ａを介して、各インクチャネル２３に流入される。
【０１００】
各インクチャネル２３内のノズル２２の近傍は、個別インク排出路２６ａを介して、マニホールド４内に穿設された共通インク排出路４２１に連通し合流している。個別インク排出路２６ａは、前述の実施形態と同様に、ノズルプレート２１の上面部に形成された溝がヘッドチップ２の下面部によって閉蓋されて構成され、ヘッドチップ２及びマニホールド４内に穿設された隧道を経て共通インク排出路４２１に至る。
【０１０１】
共通インク室４１は、導入路４２５を介して、共通インク排出路４２１に連通している。共通インク排出路４２１には、共通インク室４１から導入路４２５を経たインクと、共通インク室４１から注入孔３１ａ、インクチャネル２３及び個別インク排出路２６ａを経たインクとが流入する。
【０１０２】
共通インク排出路４２１に至ったインクは、前述したように、インク排出室４１２に至り、インク排出管５ｃを経て、インク回収管５ｂに合流する。
【符号の説明】
【０１０３】
１：インクジェットヘッド
２：ヘッドチップ
２１：ノズルプレート
２２：ノズル
２２ａ：開口端
２３：インクチャネル
２３ａ：凹部
２４：圧電素子
２５：ダミーチャネル
２６ａ：個別インク排出路
２７：閉蓋部材
２８：流路形成溝
３：配線基板
３１ａ：注入孔
３１ｂ：排出孔
３１ｃ：導入孔
４：インクマニホールド
４１：共通インク室
４１２：インク排出室
４２１：共通インク排出路
４２２：溝
４２３：インク排出用流路
４２４：排出チャネル
４２５：導入路
４２５ａ：導入溝
４５：隔壁
４６：隔壁
５ａ：インク供給管
５ｂ：インク回収管
５ｃ：インク排出管
５ｄ：排出路連結部
６：バッファ空間部
６１：合流箱
８：逆止弁
９：流量調整部材
Ｆ１：主流路
Ｆ２：副流路
１００：インクジェット記録装置
１０１：インクタンク
１０２：インク移送管
１０３：インク返送管
１０４：制御部
１０５：移送ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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