(57)【要約】【課題】より安定して稼働させることが可能な弁ユニット、及び、液体噴射装置を提供する。【解決手段】流路の一部である穴（６４）が設けられた弁座（６３，７２）と、弁座との間で第１方向に相対移動する弁体（５８）と、を備える弁ユニット（２１）であって、弁体は、弁座との間で穴を開閉する第１部分（７６）と、第１方向からの平面視において穴の内側に位置する第２部分（７５）と、第１部分により穴が閉じられた状態で当該穴の内側に位置し、第１方向において第１部分と第２部分との間に位置する第３部分（７９）と、を有し、第１方向からの平面視において、穴と第３部分との隙間は、穴と第２部分との隙間よりも広い、ことを特徴とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路の一部である穴が設けられた弁座と、
弁座との間で第１方向に相対移動する弁体と、
を備える弁ユニットであって、
前記弁体は、
前記弁座との間で前記穴を開閉する第１部分と、
前記第１方向からの平面視において前記穴の内側に位置する第２部分と、
前記第１部分により前記穴が閉じられた状態で当該穴の内側に位置し、前記第１方向において前記第１部分と前記第２部分との間に位置する第３部分と、を有し、
前記第１方向からの平面視において、前記穴と前記第３部分との隙間は、前記穴と前記第２部分との隙間よりも広い、ことを特徴とする弁ユニット。
【請求項２】
前記第１部分は、
前記弁座に対して離間又は当接して前記穴を開閉する弾性部材と、
前記弾性部材が配置された保持部と、
前記第１方向における前記保持部と前記第３部分との間に位置し、前記第１方向に交差する第２方向において前記第３部分よりも幅が狭い部分を有し、前記保持部に配置された前記弾性部材により囲繞された幅狭部と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の弁ユニット。
【請求項３】
前記第１方向からの平面視において、前記第２部分と前記穴との隙間の間隔は、第１の間隔と、前記第１の間隔よりも広い第２の間隔とを含むことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の弁ユニット。
【請求項４】
前記第２部分は、前記第１方向において、前記第１部分とは反対側の端部に、前記第１部分から遠ざかる側に向けて細くなるテーパー形状を有することを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の弁ユニット。
【請求項５】
前記弁座は、前記穴が設けられた穴部材と、当該穴部材における前記穴の開口周縁部に設けられ、前記弁体により前記穴が閉じられた閉弁時に前記弁体が当接される当接部材と、を有し、
前記当接部材のうち前記弁体が当接する部分の撥液性は、前記穴部材の撥液性よりも高く、
前記当接部材の硬度は、前記穴部材の硬度よりも高いことを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の弁ユニット。
【請求項６】
前記穴部材における前記穴の前記当接部材側の開口部に、前記第１方向に交差する第２方向における内寸が前記穴における他の部分の内寸よりも拡大した拡大部を有することを特徴とする請求項５に記載の弁ユニット。
【請求項７】
請求項１から請求項６の何れか一項に記載の弁ユニットと、
前記弁ユニットから供給された液体をノズルから噴射する噴射機構と、
を備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばインクジェット記録装置等の液体噴射装置に用いられる弁ユニット、及び、液体噴射装置に関し、特に、より安定して稼働させることが可能な弁ユニット、及び、液体噴射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は、液体供給部材から液体噴射ヘッドのノズルに至るまでの流路に、当該流路を開閉する弁ユニットを有する構成のものがある。例えば、特許文献１に開示されているインクジェット記録装置は、流路の一部をなす連通穴（連通口）が開設された弁座と、この弁座に対して進退する弁体とを備え、弁体が弁座に当接することにより連通穴（液体流路）を開閉するように構成されている。弁体は、開閉時の進退方向に沿って延びる軸部を備え、この軸部が連通穴に挿通されることで、弁座に対して弁体が傾いたりしないように当該軸部がガイドする。そして、この特許文献１に開示されている構成においては、弁座と弁体とが当接する（シールする）部分におけるインクの溶質の堆積によるシール性の低下を抑制するため、例えば、弁座における弁体が当接する位置に、金属板等の硬質な部材からなるスペーサー（当接部材）が設けられている。スペーサーには、連通穴と連通する開口部が開設されている。また、このスペーサーの表面には撥液処理が施され、これによりインクの堆積をより抑制するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−０２２７０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のような弁ユニットでは、弁体と弁座の相対位置（弁体の軸方向に交差する方向における相対位置）がずれた場合、開閉動作時に弁体の軸部が弁座、特に、連通穴の開口周縁の角部や上記のスペーサー等に干渉し、これにより弁体の円滑な開閉動作に支障を来すおそれがある。また、弁体の開閉動作に直ちに支障を来さないとしても、弁体が弁座に干渉する状態では、開閉動作が繰り返されることにより、弁体が次第に削れたり、弁体が弁座に対して次第に傾斜したりあるいは位置ずれしたりすることにより、シール性が低下するおそれがある。このため、より長期に亘って安定的に稼働することが困難となる。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、より安定して稼働させることが可能な弁ユニット、及び、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、流路の一部である穴が設けられた弁座と、
弁座との間で第１方向に相対移動する弁体と、
を備える弁ユニットであって、
前記弁体は、
前記弁座との間で前記穴を開閉する第１部分と、
前記第１方向からの平面視において前記穴の内側に位置する第２部分と、
前記第１部分により前記穴が閉じられた状態で当該穴の内側に位置し、前記第１方向において前記第１部分と前記第２部分との間に位置する第３部分と、を有し、
前記第１方向からの平面視において、前記穴と前記第３部分との隙間は、前記穴と前記第２部分との隙間よりも広い、ことを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、穴と当該穴の内側に位置する第２部分とのガイドにより、弁座に対して弁体の位置がずれたり傾いたりすることが抑制される。また、第１方向において第２部分よりも第１部分側に第３部分が設けられていることで、弁体と弁座との間により広い隙間が形成されるので、この隙間が逃げとして機能し、弁体の開閉動作時に当該弁体が弁座、特に、穴の開口周縁部に干渉することが抑制される。これにより、弁体と弁座との干渉によって弁座に対して弁体の位置がずれたり傾いたりすることが抑制され、弁体と弁座による穴の開閉動作をより円滑に行うことができる。さらに、弁体又は弁座の耐久性が低下することが抑制される。その結果、より長期に亘ってより安定して稼働させることが可能な弁ユニットを実現することが可能となる。
なお、「干渉」は、穴の内周と第２部分の外周との間のガイドのための接触を除く意味で用いる。
【０００８】
上記構成において、前記第１部分は、
前記弁座に対して離間又は当接して前記穴を開閉する弾性部材と、
前記弾性部材が配置された保持部と、
前記第１方向における前記保持部と前記第３部分との間に位置し、前記第１方向に交差する第２方向において前記第３部分よりも幅が狭い部分を有し、前記保持部に配置された前記弾性部材により囲繞された幅狭部と、
を有する構成を採用することが望ましい。
【０００９】
この構成によれば、幅狭部が第３部分よりも幅が狭い部分を有するので、当該幅狭部と第３部分との間に段差が生じ、幅狭部の周囲に設けられた弾性部材が当該段差に係止する。これにより、弾性部材が保持部に対して浮いたり外れたりする等のように位置ずれすることが抑制される。また、幅狭部が第３部分よりも幅が狭い部分を有するので、その分だけ弾性部材と保持部との接触面積を増やすことができる。これにより、弾性部材が保持部に対して位置ずれすることがより確実に抑制される。
【００１０】
上記構成において、前記第１方向からの平面視において、前記第２部分と前記穴との隙間の間隔は、第１の間隔と、前記第１の間隔よりも広い第２の間隔とを含む構成を採用することが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、より狭い第１の間隔の部分で弁座に対する弁体の位置をガイドすることができ、また、より広い第２の間隔の部分で、液体が穴の内部を円滑に流れることができる。
【００１２】
また、上記構成において、前記第２部分は、前記第１方向において、前記第１部分とは反対側の端部に、前記第１部分から遠ざかる側に向けて細くなるテーパー形状を有する構成を採用することが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、第２部分にテーパー形状が設けられていることにより、弁座に弁体を組み付ける際に第２部分を穴に挿通しやすくなり、製造時の作業性が向上する。また、開閉動作時に弁座に第２部分が擦れることが抑制され、弁体と弁座とをより円滑に相対移動させることができる。このため、弁ユニットの安定的な稼働に寄与することが可能となる。
【００１４】
また、上記構成において、前記弁座は、前記穴が設けられた穴部材と、当該穴部材における前記穴の開口周縁部に設けられ、前記弁体により前記穴が閉じられた閉弁時に前記弁体が当接される当接部材と、を有し、
前記当接部材のうち前記弁体が当接する部分の撥液性は、前記穴部材の撥液性よりも高く、
前記当接部材の硬度は、前記穴部材の硬度よりも高い構成を採用することが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、より撥液性の高い当接部材が配置されることにより、当該弁体が繰り返し当接することによる液体の溶質の堆積が抑制される。また、弁ユニットの製造時に穴と当接部材との相対位置がずれることにより穴の内側に当接部材の一部が突出した場合においても、弁体に第３部分が設けられていることにより、突出部分が弁体に干渉することが抑制され、弁体の開閉動作を円滑に行うことができる。その結果、弁ユニットの安定的な稼働に資することが可能となる。
【００１６】
また、上記構成において、前記穴部材における前記穴の前記当接部材側の開口部に、前記第１方向に交差する第２方向における内寸が前記穴における他の部分の内寸よりも拡大した拡大部を有する構成を採用することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、弁体の開閉動作時に当該弁体が弁座に干渉することがより確実に抑制される。また、拡大部は、穴の開口周縁部に当接部材が接着される場合に余剰な接着剤が導入される逃げとして機能する。これにより、穴部材と当接部材との間から漏出した余剰な接着剤が流路内の液体の流れを阻害したり、弁体の開閉動作を妨げたりすることがより効果的に抑制される。
【００１８】
また、本発明の液体噴射装置は、上記何れかの構成の弁ユニットと、
前記弁ユニットから供給された液体をノズルから噴射する噴射機構と、
を備えることを特徴とする。
【００１９】
本発明によれば、長期に亘って安定的に稼働可能な弁ユニットを備えるため、より長期に亘り信頼性を確保することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】液体噴射装置の一形態を説明する平面図である。
【図２】液体噴射ヘッド（噴射機構）の一形態を説明する断面図である。
【図３】弁ユニットの一形態について説明する閉弁状態の断面図である。
【図４】弁ユニットの一形態について説明する開弁状態の断面図である。
【図５】圧力調整弁の断面図である。
【図６】圧力調整弁の軸部の径方向における断面図である。
【図７】接続軸部の径方向における断面図である。
【図８】変形例における接続軸部の径方向における断面図である。
【図９】圧力調整弁の軸部７５と弁座における連通穴の変形例について説明する径方向における断面図である。
【図１０】第２の実施形態における弁ユニットの一形態について説明する閉弁状態の断面図である。
【図１１】第２の実施形態における弁ユニットの一形態について説明する開弁状態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明に係る弁ユニットを有する液体噴射装置として、液体噴射ヘッドの一種であり、本発明における噴射機構の一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）１０を搭載したインクジェット式プリンター（以下、プリンター）１を例に挙げて行う。
【００２２】
図１は、プリンター１の構成を示す平面図である。本実施形態におけるプリンター１は、記録用紙、布、あるいは樹脂フィルム等の記録媒体（液体の着弾対象：図示せず）の表面に記録ヘッド１０（図２等参照）から液体状のインク（本発明における液体の一種）を噴射させて画像やテキスト等の記録を行う装置である。このプリンター１は、フレーム２と、このフレーム２内に配設されたプラテン３と、を備えており、図示しない搬送機構によってプラテン３上に記録媒体が搬送される。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイドロッド４が架設されており、このガイドロッド４には、記録ヘッド１０を収容したキャリッジ５が摺動可能に支持されている。このキャリッジ５は、図示しないキャリッジ移動機構によってガイドロッド４に沿って記録媒体の搬送方向と交差する主走査方向に往復移動するように構成されている。キャリッジ移動機構は、パルスモーター６と、このパルスモーター６の駆動により回転する駆動プーリー７と、この駆動プーリー７とはフレーム２における反対側に設けられた遊転プーリー８と、駆動プーリー７及び遊転プーリー８の間に架設されたタイミングベルト９とを有する。本実施形態におけるプリンター１は、記録媒体に対してキャリッジ５を相対的に往復移動させながら記録ヘッド１０のノズル３０（図２参照）からインクを噴射させて記録動作を行う。
【００２３】
フレーム２の一側には、インクカートリッジ１３（液体供給源又は液体貯留容器の一種）を着脱可能に搭載するカートリッジホルダー１４が設けられている。インクカートリッジ１３は、エアーチューブ１５を介してエアーポンプ１６と接続されており、このエアーポンプ１６からの空気が各インクカートリッジ１３内に供給される。そして、この加圧空気によってインクカートリッジ１３の内部が加圧されることにより、当該インクカートリッジ１３内のインクがインク供給チューブ１７を通じて記録ヘッド１０側に供給（圧送）される。インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７から送られてくるインクは、まずキャリッジ５に搭載された弁ユニット２１に導入される。弁ユニット２１に導入されたインクは、供給圧力が調整されて記録ヘッド１０内部のインク流路に供給される。なお、液体貯留容器としては、例示したものには限られず、カートリッジ型、パック型、タンク型等、種々の構成のものを採用することができる。インクとしては、例えば、水系の染料インクもしくは顔料インクや、これらの水系のインクよりも耐候性が高められた有機溶剤系（エコソルベント系）インクや、紫外線の照射による硬化する光硬化型インク等、周知の種々の組成のものを用いることができる。
【００２４】
インク供給チューブ１７は、例えば、合成樹脂で作製された可撓性を有する中空部材であり、このインク供給チューブ１７の内部には、各インクカートリッジ１３に対応するインク流路が形成されている。また、プリンター１本体側と記録ヘッド１０側との間には、プリンター１本体側の制御部（図示せず）から記録ヘッド１０側に駆動信号等を伝送するＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）１８が配線されている。
【００２５】
フレーム２の内側において、記録ヘッド１０の移動範囲における一側（カートリッジホルダー１４側）に設けられたホームポジションには、記録ヘッド１０のノズル面を封止するキャップ１２を有するキャッピング機構１１が配設されている。キャッピング機構１１は、ホームポジションで待機状態にある記録ヘッド１０のノズル面（ノズル３０を有する面であり、ノズルプレート２４及び固定板２３を含む記録ヘッド１０の底面）をキャップ１２により封止してノズル３０からインクの溶媒が蒸発することを抑制する。また、キャッピング機構１１は、記録ヘッド１０のノズル面を封止した状態で封止空部内を吸引ポンプ等の吸引手段よって負圧化し、ノズル３０からインクや気泡を強制的に吸引するクリーニング動作（メンテナンス動作）を行うことができる。
【００２６】
次に、本実施形態における記録ヘッド１０の構成について説明する。
図２は、記録ヘッド１０の断面図である。本実施形態における記録ヘッド１０は、固定板２３、ノズルプレート２４、連通板２５、アクチュエーター基板２６、コンプライアンス基板２７、ケース２８等の複数の構成部材が積層されて接着剤等によって接合されてユニット化されている。
【００２７】
本実施形態におけるアクチュエーター基板２６は、ノズルプレート２４に形成されたノズル３０と連通する圧力室３３が形成された圧力室形成基板２９と、各圧力室３３内のインクに圧力変動を生じさせる駆動素子としての圧電素子３１と、これらの圧力室形成基板２９及び圧電素子３１を保護する保護基板３２とを積層した状態で備えている。保護基板３２の平面視における略中央部には、駆動ＩＣ３８を実装したフレキシブル基板３９が挿通される配線空部４０が開設されている。この配線空部４０内に、圧電素子３１から延設されたリード電極が配置され、このリード電極にフレキシブル基板３９の配線端子が電気的に接続される。圧電素子３１のリード電極に接続されたフレキシブル基板３９は、ＦＦＣ１８を通じて制御部から送られてくる駆動信号等を圧電素子３１に供給する。なお、フレキシブル基板３９としては、駆動ＩＣ３８を備えるものには限られず、当該駆動ＩＣ３８がインターポーザーとして機能する保護基板３２の上部に別途配置され、当該フレキシブル基板３９には駆動ＩＣ３８が設けられない構成を採用することもできる。
【００２８】
アクチュエーター基板２６の圧力室形成基板２９は、シリコン単結晶基板から作製されている。この圧力室形成基板２９には、圧力室３３となる空間が各ノズル３０に対応して複数列設されている。この圧力室３３は、ノズル列に交差（本実施形態においては直交）する方向に長尺な空部である。この圧力室３３の長手方向の一側の端部には、ノズル連通口３４が連通し、他側の端部に個別連通口３５が連通する。本実施形態における圧力室形成基板２９には、圧力室３３の列が２列形成されている。
【００２９】
圧力室形成基板２９の上面（連通板２５側とは反対側の面）には、振動板３６が積層され、この振動板３６によって圧力室３３の上部開口が封止されている。すなわち、振動板３６により、圧力室３３の一部が区画されている。この振動板３６は、例えば、圧力室形成基板２９の上面に形成された二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜と、この弾性膜上に形成された酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜と、から成る。そして、この振動板３６上における各圧力室３３に対応する領域に圧電素子３１がそれぞれ積層されている。
【００３０】
本実施形態の圧電素子３１は、所謂撓みモードの圧電素子である。この圧電素子３１は、例えば、振動板３６上に、下電極層、圧電体層及び上電極層（いずれも図示せず）が順次積層されてなる。このように構成された圧電素子３１は、下電極層と上電極層との間に両電極の電位差に応じた電界が付与されると、上下方向に撓み変形する。本実施形態では、２列に形成された圧力室３３の列に対応して、圧電素子３１の列が２列形成されている。なお、下電極層及び上電極層は、両側の圧電素子３１の列から当該列の間の配線空部４０内までリード電極として延在され、上述したようにフレキシブル基板３９と電気的に接続されている。
【００３１】
保護基板３２は、２列に形成された圧電素子３１の列を覆うように振動板３６上に積層されている。保護基板３２の内部には、圧電素子３１の列を収容可能な長尺な収容空間４１が形成されている。この収容空間４１は、保護基板３２の下面側（振動板３６側）から上面側（ケース２８側）に向けて保護基板３２の高さ方向途中まで形成された窪みである。本実施形態における保護基板３２には、配線空部４０の両側に収容空間４１がそれぞれ形成されている。
【００３２】
アクチュエーター基板２６の下面には、このアクチュエーター基板２６よりも広い面積を有する連通板２５が接合される。この連通板２５は、圧力室形成基板２９と同様にシリコン単結晶基板から作製されている。本実施形態における連通板２５には、圧力室３３とノズル３０とを連通するノズル連通口３４と、各圧力室に共通に設けられたリザーバー４３と、このリザーバー４３と圧力室３３とを連通する個別連通口３５と、が形成されている。リザーバー４３（共通液室あるいはマニホールドとも呼ばれる。）は、ノズル列方向に沿って延在する空部であり、連通板２５において、ノズルプレート２４のノズル列毎に対応して２つ形成されている。すなわち、リザーバー４３は、インクの種類毎に設けられている。個別連通口３５は、各圧力室３３にそれぞれ対応してノズル列方向に沿って複数形成されている。この個別連通口３５は、圧力室３３の長手方向における他側（ノズル連通口３４とは反対側）の端部と連通する。
【００３３】
上記の連通板２５の下面の略中央部分には、複数のノズル３０が形成されたノズルプレート２４が接合される。本実施形態におけるノズルプレート２４は、連通板２５及びアクチュエーター基板２６よりも小さい外形の板材であり、シリコン単結晶基板から構成されている。このノズルプレート２４は、連通板２５の下面において、リザーバー４３の開口から外れた位置であって、ノズル連通口３４が開口した領域に、これらのノズル連通口３４と複数のノズル３０とがそれぞれ連通する状態で接着剤等により接合される。本実施形態におけるノズルプレート２４には、複数のノズル３０が列設されてなるノズル列が合計２条形成されている。
【００３４】
また、連通板２５の下面において、ノズルプレート２４の周囲を囲むように、当該ノズルプレート２４の外形に倣った形状の貫通開口４６が中央部に形成されたコンプライアンス基板２７が接合される。このコンプライアンス基板２７の貫通開口４６は、固定板２３の貫通口２３ａと連通して、その内側にノズルプレート２４が配置されるように構成されている。コンプライアンス基板２７は、連通板２５の下面に位置決めされて接合された状態で、連通板２５の下面におけるリザーバー４３の開口を封止する。本実施形態におけるコンプライアンス基板２７は、コンプライアンスシート４４と、これを支持する支持板４５とが接合されて構成されている。
【００３５】
連通板２５の下面には、コンプライアンス基板２７のコンプライアンスシート４４が接合されて、連通板２５と支持板４５との間にコンプライアンスシート４４が挟まれた状態となる。コンプライアンスシート４４は、可撓性を有する薄膜、例えばポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等の合成樹脂材料により作製されている。支持板４５は、コンプライアンスシート４４よりも剛性が高く且つ厚みのあるステンレス鋼等の金属材料で形成されている。この支持板４５のリザーバー４３に対向する領域には、このリザーバー４３の下面開口に倣った形状に支持板４５の一部が除去されている。このため、リザーバー４３の下面側の開口は、可撓性を有するコンプライアンスシート４４のみで封止されている。換言すると、コンプライアンスシート４４は、リザーバー４３の一部を区画している。
【００３６】
支持板４５の下面には固定板２３が接合されている。これにより、コンプライアンスシート４４の可撓領域と、これに対向する固定板２３との間には、コンプライアンス空間４７が形成されている。そして、このコンプライアンス空間４７におけるコンプライアンスシート４４の可撓領域が、インク流路内、特にリザーバー４３内の圧力変動に応じてリザーバー４３側又はコンプライアンス空間４７側に変位する。したがって、支持板４５の厚みは、コンプライアンス空間４７として必要な高さに応じて定められている。
【００３７】
アクチュエーター基板２６及び連通板２５は、ケース２８に固定されている。ケース２８の下面側にはアクチュエーター基板２６を収容する収容空部４９が形成されている。そして、収容空部４９にアクチュエーター基板２６が収容された状態でケース２８の下面が連通板２５によって封止される。図２に示されるように、このケース２８の平面視における略中央部分には、収容空部４９と連通する挿通空部５０が開設されている。この挿通空部５０は、アクチュエーター基板２６の配線空部４０とも連通する。上記のフレキシブル基板３９は、挿通空部５０を通じて配線空部４０に挿入されるように構成されている。また、ケース２８の内部において、挿通空部５０及び収容空部４９の両側には、連通板２５のリザーバー４３と連通する液室空部５１が形成されている。また、ケース２８の上面には、各液室空部５１と連通する導入口５２がそれぞれ開設されている。導入口５２は、後述する弁ユニット２１における導出路６５と連通する。このため、弁ユニット２１から送られてきたインクは、導入口５２、液室空部５１、及びリザーバー４３へと導入され、リザーバー４３から個別連通口３５を通じて各圧力室３３に供給される。
【００３８】
固定板２３は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の板材である。本実施形態における固定板２３には、ノズルプレート２４に対応する位置に、当該ノズルプレート２４に形成されたノズル３０を露出させるため、ノズルプレート２４の外形に倣った形状の貫通口２３ａが厚さ方向を貫通する状態で形成されている。上述したように、この貫通口２３ａは、コンプライアンス基板２７の貫通開口４６と連通する。本実施形態では、この固定板２３における固定板２３の下面と貫通口２３ａにおけるノズルプレート２４の露出部分とにより、本発明におけるノズル面が構成されている。この固定板２３は、アクチュエーター基板２６及び連通板２５が固定されたケース２８が収容される図示しない保持部材に接着剤等により接合されている。
【００３９】
そして、上記構成の記録ヘッド１０では、液室空部５１からリザーバー４３及び圧力室３３を通ってノズル３０に至るまでの流路内がインクで満たされた状態で、駆動ＩＣ３８からの駆動信号に従い圧電素子３１が駆動されることにより、圧力室３３内のインクに圧力変動が生じ、この圧力振動によって所定のノズル３０からインクが噴射される。
【００４０】
図３及び図４は、弁ユニット２１の一形態について説明する模式的な断面図であり、図３は閉弁状態を示し、図４は開弁状態を示している。本実施形態における弁ユニット２１は、インクカートリッジ１３から記録ヘッド１０に供給するインクの供給圧力を調整する部材である。本実施形態における弁ユニット２１は、合成樹脂等から作製されたユニット本体部５４内に、圧力調整弁５８（本発明における弁体に相当）を備えている。本実施形態におけるユニット本体部５４は、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）あるいは変性ポリフェニレンエーテル（変性ＰＰＥ：ザイロン（登録商標））等の合成樹脂から作製されている。
【００４１】
ユニット本体部５４は、圧力調整弁５８が配設された弁収容室６１と、当該弁収容室６１に連通する圧力調整室６２と、圧力調整室６２の開口部を封止する受圧部材６７と、を備えている。圧力調整室６２は、ユニット本体部５４の一方の面（図３における上面）から他方の面（同図における下面）に向けて窪んだ空部である。この圧力調整室６２と弁収容室６１とは仕切壁６３（本発明における穴部材に相当）により仕切られており、この仕切壁６３に形成された連通穴６４（本発明における穴に相当）により相互に連通している。また、圧力調整室６２において、連通穴６４から下流側に外れた位置には、弁ユニット２１の外部に通じる導出路６５が形成されている。この導出路６５は、圧力調整室６２内のインクを記録ヘッド１０側に導出する流路である。
【００４２】
ユニット本体部５４の一方の面における圧力調整室６２の開口は、ダイヤフラム状の受圧部材６７により封止されている。受圧部材６７は、圧力調整室６２の内圧の低下に伴って圧力調整室６２の内側（ユニット本体部５４の他方の面側）へ弾性変形する可撓性のフィルム部材６８と、このフィルム部材６８の内側に設けられた受圧板６９とにより構成されている。フィルム部材６８は、例えば、可撓性を有する薄手のフィルムから成る。このフィルム部材６８としては、例えば、ポリエチレンフィルムあるいはポリプロピレンフィルムに、塩化ビニリデンをコーティングしたナイロンフィルムを接着ラミネートしたものを用いることができる。また、フィルム部材６８の他の材料として、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）などを使用してもよい。このフィルム部材６８は、圧力調整室６２となる窪みの開口部（即ち、圧力調整室６２の一側の開口）を密封するようにユニット本体部５４の一方の面に接着又は溶着されている。したがってフィルム部材６８は圧力調整室６２の一部を区画している。受圧板６９は、例えば、合成樹脂や金属等からなる円盤状の部材であり、フィルム部材６８の圧力調整室６２側の面に接着又は溶着されている。この受圧板６９には、圧力調整弁５８の軸部７５の先端部８０（図５参照）が当接される。
【００４３】
弁収容室６１は、圧力調整室６２とは仕切壁６３を間に挟んでユニット本体部５４の他方の面側に形成された円筒状の空間である。この弁収容室６１には、主に圧力調整弁５８のシール部７６、及び、当該圧力調整弁５８を仕切壁６３側（閉弁側）に付勢する付勢部材９１が収容されている。そして、仕切壁６３の弁収容室６１側の面には、上記連通穴６４が開口している。本実施形態における連通穴６４の流路断面形状（開口形状）は円形を呈している。この弁座における連通穴６４の開口部周縁には、スペーサー７２（本発明における当接部材に相当）が設けられている。仕切壁６３の弁収容室６１側の面においてスペーサー７２が設けられた部分は、本発明における弁座として機能する（以下、当該部分を適宜、弁座と称する）。スペーサー７２の詳細については後述する。弁収容室６１の弁座側（圧力調整室６２側）とは反対側の開口部は、流入口５６が開設された蓋部材５７により閉じられている。そして、インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７を通じて送られてくるインクは、弁ユニット２１内に導入されると、図示しない内部流路を通過し、流入口５６を通じて弁収容室６１に流入する。本実施形態において、流入口５６から弁収容室６１、連通穴６４、圧力調整室６２、および導出路６５に至るまでの一連の流路は本発明における流路に相当し、連通穴６４は当該流路の一部を構成している。
【００４４】
この連通穴６４における弁収容室６１側の開口径は、圧力調整室６２側の開口径よりも大きくなっている。より具体的には、本実施形態における連通穴６４は、当該連通穴６４における他の部分の内径（内寸）よりも内径が拡大した拡大部７０を弁収容室６１側（スペーサー７２側）に有している。この拡大部７０は、連通穴６４の弁収容室６１側の開口周縁部にスペーサー７２が接着される際の余剰な接着剤が導入される逃げ用空部として機能する。また、スペーサー７２が接着された領域の周囲には、仕切壁６３の弁収容室６１側の面から圧力調整室６２側に向けて窪んだ逃げ凹部７１が形成されている。当該逃げ凹部７１もスペーサー７２が接着される際の余剰な接着剤が導入される逃げ用空部として機能する。これにより、仕切壁６３とスペーサー７２との間から漏出した余剰な接着剤が流路内のインクの流れを阻害したり、圧力調整弁５８の開閉動作を妨げたりすることが抑制される。以下においては、適宜、拡大部７０の弁収容室６１側の開口が、連通穴６４の弁収容室６１側の開口であるものとして説明する。なお、連通穴６４において拡大部７０と他の部分（内径が拡大部７０における内径よりも小さい部分）との間に段差が無い形状、すなわち、例えば拡大部７０と当該他の部分とがテーパー形状（拡大部７０側から他の部分側に内径が縮小する形状）で連続される構成を採用することもできる。また、連通穴６４としては、拡大部７０を有しない構成、すなわち、流路の内径が概ね一定の（段差が生じるほどに内径が変化しない）構成を採用することもできる。
【００４５】
スペーサー７２は、合成樹脂製のユニット本体部５４の材質よりも硬質な部材であり、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、ガラスセラミックス、あるいはシリコン単結晶基板等により円盤状に形成されている。要するに、ユニット本体部５４の材質よりも硬度が高く、耐インク性を有するものをスペーサー７２の材質として採用することができる。このスペーサー７２の中央部には連通穴６４と連通する開口部７３が形成されている。この開口部７３の内径は、連通穴６４における弁収容室６１側の開口径、すなわち、本実施形態においては拡大部７０の開口径に揃えられている。このスペーサー７２の圧力調整弁５８のシール部７６が当接される面（以下、被当接面）には撥液処理が施されており、弁ユニット２１の流路における他の部分よりも撥液性が高められている。すなわち、スペーサー７２の被当接面には、撥液膜が形成されている。この撥液膜としては、例えば、フッ素系高分子を含む金属膜や、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜等のようにインクに対して撥液性を有するものが採用される。
【００４６】
このように、スペーサー７２の被当接面に撥液処理が施されることにより、当該部分に圧力調整弁５８が繰り返し当接することによるインク（溶質）の堆積が抑制される。本実施形態において金属製のスペーサー７２が採用されることにより、例えば合成樹脂製のユニット本体部５４（仕切壁６３）に撥液処理を直に施す構成と比較してインクの堆積がより確実に抑制される。その結果、圧力調整弁５８の閉弁時におけるシール性をより向上させることができる。特に、例えば、熱可塑性樹脂粒子等の樹脂成分を溶質として含むインクを扱う構成では、当該樹脂成分が、より組成の近い合成樹脂に堆積しやすい。つまり、合成樹脂製のユニット本体部５４（仕切壁６３）に撥水処理を直接施したとしても、樹脂成分の堆積を確実に防止することが難しい。これに対し、本実施形態のようにインクに含まれる樹脂成分とは組成が異なる金属製のスペーサー７２を採用することにより、このような樹脂成分の堆積をより効果的に抑制することができる。なお、本実施形態においては、スペーサー７２とユニット本体部５４との固定方法として接着剤による接着が採用されているが、これには限定されず、例えば、熱又は振動による溶着やネジ等の固定部材による固定等、種々の固定方法を採用することができる。
【００４７】
図５は、圧力調整弁５８の構成を説明する軸方向（開閉方向）における断面図である。また、図６は、圧力調整弁５８の軸部７５の径方向（軸方向に直交する方向）における断面図である。本実施形態における圧力調整弁５８は、弁座（仕切壁６３及びスペーサー７２）との間で軸部７５の軸方向（本発明における第１方向に相当）に相対移動（進退）することにより連通穴６４を開閉し、連通穴６４におけるインクの流通を許容する開弁状態と、連通穴６４おけるインクの流通を阻止する閉弁状態とに変換する。この圧力調整弁５８は、例えばコイルバネ等の付勢部材９１によって閉弁位置側、すなわち弁座側へ付勢された状態で弁収容室６１内に配設されている。この圧力調整弁５８は、軸部７５とシール部７６（本発明における第１部分に相当）とから構成されている。
【００４８】
本実施形態における軸部７５は、太さが相対的に太いガイド部７８（本発明における第２部分相当）と、太さが相対的に細い小径部７９（本発明における第３部分に相当）と、を有している。小径部７９は、軸方向においてガイド部７８とシール部７６との間に位置する円柱状の部分である。また、ガイド部７８において小径部７９とは反対側の端部には、小径部７９よりもさらに細い先端部８０が設けられている。この先端部８０のシール部７６側とは反対側の端面が、受圧部材６７と当接される当接面として機能する。そして、この先端部８０とガイド部７８との間には、ガイド部７８側から先端部８０側に向けて細くなるように面取りされたテーパー部８１（本発明におけるテーパー形状に相当）が形成されている。軸部７５にテーパー部８１が設けられていることにより、弁ユニット２１に圧力調整弁５８を組み付ける際に軸部７５を連通穴６４に挿通しやすくなり、製造時の作業性が向上する。また、圧力調整弁５８の開閉動作時に弁座に軸部７５が擦れたり密着したりすることが抑制され、圧力調整弁５８と弁座とをより円滑に相対移動させることができる。このため、圧力調整弁５８の安定的な稼働に寄与することが可能となる。
【００４９】
軸部７５は、弁収容室６１側から連通穴６４に挿通されている。閉弁状態では先端部８０が圧力調整室６２内に配置されている。図６に示されるように、軸方向からの平面視において軸部７５は、連通穴６４の内側に配置されている。本実施形態におけるガイド部７８は、円柱状の主軸８２と、この主軸８２の外周に沿って一定間隔で配置されたリブ状の突起部８３を有している。本実施形態における主軸８２は、小径部７９と連続した円柱状の部分であり、その直径は小径部７９の直径と揃えられている。突起部８３は、主軸８２の外周面から当該主軸８２の径方向（本発明における第２方向に相当）に断面視で台形状に突出した部分であり、主軸８２とテーパー部８１との境界から主軸８２と小径部７９との境界まで軸方向に沿って一連に形成されている。本実施形態においては、主軸８２の外周に沿って合計８つの突起部８３が設けられている。なお、突起部８３の断面形状は台形状に限られず、半円形状や三角形状等の種々の形状を採用することができる。
【００５０】
本実施形態において、軸方向からの平面視において、円形状の断面形状を呈する連通穴６４に対して、ガイド部７８は、主軸８２の外周に沿って凹凸が交互に形成された歯車形状を呈している。これにより、連通穴６４と軸部７５との隙間には、相対的に狭い第１の間隔Ｇ１と相対的に広い第２の間隔Ｇ２が形成される。すなわち、第１の間隔Ｇ１は、連通穴６４の内周面と、これに対向する突起部８３の突出端面との間隔であり、第２の間隔Ｇ２は、連通穴６４の内周面と主軸８２の外周面との間隔である。本実施形態においては、ガイド部７８の主軸８２の直径と小径部７９の直径とが揃えられているので、小径部７９と連通穴６４との間の隙間は、第２の間隔Ｇ２と等しい。また、小径部７９と連通穴６４の拡大部７０との間には、第２の間隔Ｇ２よりも広い第３の間隔Ｇ３が形成される。すなわち、これらの間隔Ｇ１〜Ｇ３の大小関係は、Ｇ１＜Ｇ２＜Ｇ３である。これらの間隔Ｇ１〜Ｇ３は、圧力調整弁５８の開弁時において、弁収容室６１側から圧力調整室６２側に流れるインクの流路として機能する。これらの間隔Ｇ１〜Ｇ３の大きさは、軸部７５と連通穴６４とが同軸上に配置された状態での大きさを意味する。このような構成により、軸方向からの平面視において、連通穴６４と小径部７９との隙間は、連通穴６４とガイド部７８との隙間よりも広くなっている。なお、連通穴６４に対する小径部７９の隙間及びガイド部７８の隙間に関し、それぞれ複数の間隔の値がある場合にはそのうちの最小値で比較する。
【００５１】
そして、軸部７５が連通穴６４に挿通されて当該連通穴６４の内側に配置されることにより、第１の間隔Ｇ１の部分、すなわち、連通穴６４の内周面とガイド部７８の突起部８３の突出端面によって弁座と圧力調整弁５８との軸方向に交差する方向における相対位置がより高い精度で規定される。また、圧力調整弁５８の開閉動作時においては第１の間隔Ｇ１の部分が圧力調整弁５８と弁座との相対移動方向をガイドする。これにより、弁座に対して圧力調整弁５８の軸方向に交差する方向における位置がずれたり、圧力調整弁５８の姿勢が傾いたりすることが抑制される。また、開弁時には、第２の間隔Ｇ２が設けられていることにより連通穴６４をインクがより円滑に流れることができる。さらに、ガイド部７８とシール部７６との間に小径部７９が設けられているので、弁座と圧力調整弁５８との間により広い隙間が形成される。そして、この隙間が逃げ用空部として機能し、開閉動作時に当該圧力調整弁５８が弁座、特に、連通穴６４の開口周縁部に干渉することが抑制される。これにより、圧力調整弁５８と弁座との干渉によって弁座に対して圧力調整弁５８の位置がずれたり傾いたりすることが抑制され、圧力調整弁５８と弁座による穴の開閉動作をより円滑に行うことができる。さらに、圧力調整弁５８又は弁座の耐久性が低下することが抑制される。その結果、より長期に亘ってより安定して稼働させることが可能な弁ユニット２１を実現することが可能となる。特に、本実施形態のように、より硬質なスペーサー７２が弁座に設けられた構成において、位置決め公差により連通穴６４とスペーサー７２の開口部７３との相対位置がずれて連通穴６４の内周面よりも内側（連通穴６４の中心側）にスペーサー７２の一部が突出した場合においても、当該スペーサー７２の突出した部分が軸部７５に干渉することが抑制され、圧力調整弁５８の開閉動作を円滑に行うことができる。その結果、弁ユニット２１の安定的な稼働に資することが可能となる。さらに、本実施形態においては、連通穴６４が拡大部７０を弁収容室６１側に有しているので、圧力調整弁５８の開閉動作時に当該圧力調整弁５８が弁座に干渉することがより確実に抑制される。
【００５２】
なお、ガイド部７８は、圧力調整弁５８の開閉動作時に軸方向において連通穴６４の内側に位置していればよく、閉弁時又は開弁時において連通穴６４よりも外側に位置する部分を有していても良い。同様に、小径部７９は、圧力調整弁５８の開閉動作時（特に閉動作時）に軸方向において連通穴６４の内側に位置していればよく、開弁時において連通穴６４よりも外側に位置する部分を有していても良い。
【００５３】
シール部７６は、弁座である仕切壁６３の弁収容室６１側の面に対して進退することにより連通穴６４を開閉する部分である。本実施形態におけるシール部７６は、円柱状の基部８７及びこの基部８７の直径よりも大きい直径を有する円盤状のフランジ部８８を有している。このフランジ部８８の基部８７側とは反対側の面が、弁座に対するシール面（本発明における保持部に相当）として機能する。シール面の面積は、連通穴６４の弁収容室６１側の開口面積（すなわち、拡大部７０の開口面積）よりも広くなっている。そして、このフランジ部８８の中央部分からシール面に対して直交するように軸部７５が突設されている。また、シール部７６は、軸方向における軸部７５の小径部７９との間に当該小径部７９とフランジ部８８とを接続する接続軸部８４（本発明における幅狭部に相当）を備えている。これらの基部８７、フランジ部８８、接続軸部８４、および軸部７５は、例えば、ユニット本体部５４と同様にポリプロピレン等の合成樹脂から一体的に形成されている。
【００５４】
図７は、径方向における接続軸部８４の断面図であり、軸方向においてシール部７６側から軸部７５側に向かって観た状態を示している。本実施形態における接続軸部８４は、小径部７９の直径よりも小さい直径に設定されている。これにより、小径部７９と接続軸部８４との間には、段差部８５が接続軸部８４の全周に亘って形成されている。つまり、接続軸部８４は、全体的に小径部７９よりも幅狭となっている。また、後述する弾性部材７７の貫通穴８９の直径は、接続軸部８４の直径に揃えられている。さらに、接続軸部８４の軸方向の寸法（シール面との境界から小径部７９との境界までの長さ）は、弾性部材７７の厚さに揃えられている。そして、フランジ部８８に弾性部材７７が取り付けられる際、軸部７５が先端部８０から弾性部材７７の貫通穴８９に挿通される。この際、弾性部材７７の貫通穴８９は、接続軸部８４よりも太いガイド部７８及び小径部７９を通過する際には弾性により広げられ、小径部７９を越えて接続軸部８４に到達すると、弾性により元の大きさに復元する。弾性部材７７がフランジ部８８のシール面に取り付けられた状態では、接続軸部８４が弾性部材７７に囲繞される。また、弾性部材７７における貫通穴８９の開口周縁部は、段差部８５に係止する。これにより、弾性部材７７がフランジ部８８のシール面から浮いたり外れたりする等のように位置ずれすることが抑制される。また、接続軸部８４が、軸部７５よりも細い（幅狭である）ので、その分だけ弾性部材７７の貫通穴８９を小さくすることができ、当該弾性部材７７とフランジ部８８のシール面との接触面積を増やすことができる。これにより、弾性部材７７がフランジ部８８のシール面に対して位置ずれすることがより確実に抑制される。
【００５５】
フランジ部８８には、シール面を覆う状態で弾性部材７７を有している。この弾性部材７７は、例えば、エラストマー等から構成されている。この弾性部材７７において、シール面を被覆する部分の中央部には貫通穴８９が開設されている。また、本実施形態における弾性部材７７は、シール面の外周縁を越えてフランジ部８８のシール面とは反対側の面（基部８７側の面）に向けて屈曲され、さらにフランジ部８８のシール面とは反対側の面における外周縁に重なるようにフランジ部８８の中央側に向けて屈曲された形状となっている。すなわち、本実施形態における弾性部材７７は、フランジ部８８のシール面と、フランジ部８８の側面と、フランジ部８８のシール面とは反対側の面の一部を覆う状態でフランジ部８８に嵌着されている。これにより、貫通穴８９の開口周縁部が上記の段差部８５に係止することと相俟って、弾性部材７７がフランジ部８８に対して位置ずれすることがより効果的に抑制される。なお、フランジ部８８への弾性部材７７の取付手法としては、例示した嵌着には限られず、接着剤による接着でも良いし、また、２色成形によってフランジ部８８と一体化するようにしても良い。また、弾性部材７７は、少なくともフランジ部８８のシール面における上記スペーサー７２（スペーサー７２を有さない構成では連通穴６４の開口周縁部）と当接する部分に設けられていれば良い。
【００５６】
また、本実施形態における弾性部材７７の弁座（スペーサー７２）と対向する部分には、軸方向における断面視で半円状の当接部９０が一体的に形成されている。そして、図３に示されるように、閉弁時においては、当接部９０が弁座（仕切壁６３）におけるスペーサー７２に対して弾性により弾性部材７７が密着することにより、連通穴６４の開口周縁部を液密にシールする。すなわち、連通穴６４を閉じる。
【００５７】
シール部７６のフランジ部８８と蓋部材５７との間には、コイルバネ等の付勢部材９１が配設されている。この付勢部材９１は、シール部７６におけるフランジ部８８のシール面とは反対側の面に当接して圧力調整弁５８全体を弁座側に付勢し、圧力調整室６２の内部が所定圧力に減圧されるまで閉弁状態を維持する。即ち、圧力調整弁５８は、付勢部材９１の付勢力に抗する応力を受けない限り、シール部７６の弾性部材７７が連通穴６４の開口周縁部に配置されたスペーサー７２に密着する閉弁位置に維持される。そして、圧力調整弁５８の閉弁状態における閉弁位置では、圧力調整弁５８は弁収容室６１側から圧力調整室６２側へのインクの流入を遮断する。
【００５８】
圧力調整弁５８によって圧力調整室６２へのインクの流入が遮断されると、圧力調整室６２の内圧が、記録ヘッド１０によるインクの消費に伴って低下していく。圧力調整室６２内が減圧されると、大気圧との差圧により受圧部材６７のフィルム部材６８が圧力調整室６２の内側へ変形して、受圧板６９を仕切壁６３側（圧力調整弁５８側）へ押圧する。これにより、受圧板６９は、閉弁位置にある圧力調整弁５８の軸部７５の先端部８０を押圧し、付勢部材９１の弾性力に抗しながら圧力調整弁５８を軸方向において弁座（仕切壁６３及びスペーサー７２）から離隔する側（図４中、白抜きの矢印参照）に移動させる。これにより、図４に示されるように、弾性部材７７の当接部９０が弁座のスペーサー７２から離間して、密着状態が解除された位置（開弁位置）まで圧力調整弁５８が変位する。
【００５９】
上記の開弁状態では、弁収容室６１側から連通穴６４を通じて圧力調整室６２内へのインクの流通が許容される（図４中、ハッチングの矢印参照）。圧力調整室６２に流入したインクは、導出路６５を通じて記録ヘッド１０のインク流路に供給される。開弁後、圧力調整室６２内にインクが流入すると、これに伴って圧力調整室６２の内圧が次第に上昇する。圧力調整室６２の内圧の上昇により、受圧部材６７が、仕切壁６３側（圧力調整弁５８側）から遠ざかる側に向かって次第に変位する。最終的には、圧力調整弁５８が付勢部材９１による付勢力によって弁座に向けて移動して閉弁位置まで変位し、これにより弾性部材７７の当接部９０が弁座のスペーサー７２に密着して連通穴６４を閉塞し、圧力調整室６２へのインクの流入を遮断する。
【００６０】
このように、本発明に係るプリンター１は、長期に亘って安定的に稼働可能な弁ユニット２１を備えるため、より長期に亘り信頼性を確保することが可能となる。
【００６１】
次に、弁ユニット２１の変形例等について説明する。
図８は、接続軸部８４の変形例について説明する断面図であり、図７と同様に軸方向においてシール部７６側から軸部７５側に向かって観た状態を示している。なお、上記の実施形態において同等の機能を有する部分について同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する（以下、同様）。上記の第１の実施形態における接続軸部８４は、全体的に小径部７９の直径よりも小さい直径に設定された円柱状であったが、これには限られず、軸方向からの平面視において小径部７９よりも幅が狭い部分を少なくとも有していればよい。図８に示される変形例における接続軸部８４は、概ね小径部７９と同一の直径を有する円柱状に形成されているが、円柱の外周面から円柱の中心側に向けて部分的に切り欠かれた切欠部９２を２つ有しており、これらの切欠部９２が形成された部分の幅（径方向の寸法）が小径部７９よりも狭くなっている。これにより、小径部７９と接続軸部８４との間に段差部８５が形成されている。本変形例においても、弾性部材７７における貫通穴８９の開口周縁部が、段差部８５に係止する。これにより、弾性部材７７がフランジ部８８のシール面に対して位置ずれすることが抑制される。要するに、接続軸部８４は、第１方向におけるフランジ部８８のシール面と小径部７９との間に位置し、軸方向に交差（本実施形態においては直交）する径方向において小径部７９よりも幅が狭い部分を有していればよい。
【００６２】
図９は、圧力調整弁５８の軸部７５と弁座における連通穴６４の変形例について説明する径方向における断面図である。上記実施形態では、軸方向からの平面視において連通穴６４が円形を呈するのに対して圧力調整弁５８の軸部７５のガイド部７８が凹凸形状を呈した構成を例示したが、これには限られない。図９に例示される軸部７５のガイド部７８は、軸方向からの平面視において円形を呈している。すなわち、ガイド部７８は円柱状に形成されている。これに対し、本変形例における連通穴６４は、内周面に沿って一定間隔で配置された凹部９３を複数有している。この凹部９３は、連通穴６４における圧力調整室６２側の開口縁から小径部７９との境界まで軸方向に沿って連続した溝状に形成されている。本変形例における連通穴６４には、内周面に沿って合計８つの凹部９３が設けられており、隣り合う凹部９３の間には、径方向において軸部７５に向けて突出した凸部９４が設けられている。
【００６３】
本変形例においても、上記実施形態と同様に、軸方向からの平面視において連通穴６４と軸部７５との隙間には、相対的に狭い第１の間隔Ｇ１と相対的に広い第２の間隔Ｇ２が設けられている。そして、圧力調整弁５８の開閉動作時においては連通穴６４の内周面、すなわち、凸部９４の突出端面とガイド部７８の外周面とが、弁座と圧力調整弁５８との相対位置を規定し、また、弁座と圧力調整弁５８との相対移動方向をガイドする。これにより、弁座に対して圧力調整弁５８の軸方向に交差する方向における位置がずれたり、圧力調整弁５８の姿勢が傾いたりすることが抑制される。また、連通穴６４の凹部９３とガイド部７８との間隔Ｇ１，Ｇ２は、インクが流通する流路として機能する。なお、ガイド部７８側の凹凸形状、又は、連通穴６４側の凹凸形状に関し、形成される数や形状は例示したものには限られない。また、圧力調整弁５８と弁座との相対移動方向をガイドすることが可能であれば、軸部７５と連通穴６４との両方に凹凸形状が形成されてもよい。
【００６４】
図１０及び図１１は、弁ユニット２１の第２の実施形態について説明する模式的な断面図であり、図１０は閉弁状態を示し、図１１は開弁状態を示している。本実施形態における弁ユニット２１では、圧力調整弁５８の本体部分（軸部７５、フランジ部８８、基部８７）が、例えばステンレス鋼等の金属から作製されており、第１の実施形態における合成樹脂製の圧力調整弁５８よりも重量が重くなっている。圧力調整弁５８の材料としては、比重が７〔ｇ／ｃｍ３〕以上であるものを使用することが望ましい。また、鉛直方向（ここでは厳密な鉛直方向（重力方向）ではなく、鉛直方向に対して多少傾いた範囲も含む意味で用いる）において仕切壁６３を間に挟んで上側に弁収容室６１が、下側に圧力調整室６２が、それぞれ配置されている。本実施形態においては第１の実施形態における付勢部材９１を有しておらず、弁座である仕切壁６３に対して圧力調整弁５８は自重により閉弁方向に付勢されている。
【００６５】
さらに、本実施形態における軸部７５は、金属から圧力調整弁５８の本体部分と一体に形成された円柱部９５と、これとは別体のカバー部９６と、を有している。カバー部９６は、例えば、ユニット本体部５４と同じポリプロピレン（ＰＰ）あるいは変性ポリフェニレンエーテル（変性ＰＰＥ：ザイロン（登録商標））等の合成樹脂により有底の円筒状に作製されている。カバー部９６は、合成樹脂に代えて金属により作製されていてもよい。このカバー部９６の内径は円柱部９５の外径と同一か又は僅かに大きく設計されており、カバー部９６の外径は内径よりも大きく、且つ、連通穴６４の内径よりも少し小さく設計されている。カバー部９６の内部空間の軸方向における寸法（深さ）は、円柱部９５の軸方向における全長よりも短く設計されている。このため、カバー部９６内に円柱部９５が奥まで挿通された状態では、円柱部９５におけるシール部７６側の部分が、カバー部９６より外側に露出する。本実施形態における軸部７５では、カバー部９６により覆われた部分がガイド部７８として機能し、円柱部９５のカバー部９６より露出した部分が小径部７９として機能する。そして、本実施形態においては、第１の実施形態におけるスペーサー７２が設けられていないが、連通穴６４の開口周縁における閉弁時に弾性部材７７が当接する部分に撥液処理が直接施されていてもよい。
【００６６】
このように、本実施形態においても、ガイド部７８とシール部７６との間に小径部７９が設けられているので、開閉動作時に圧力調整弁５８の軸部７５が弁座に干渉することが抑制される。本実施形態のようにスペーサー７２が設けられていない構成であっても、連通穴６４の開口周縁の角が軸部７５に干渉することが抑制され、圧力調整弁５８の開閉動作を円滑に行うことができる。また、圧力調整弁５８の本体部分がユニット本体部５４よりも硬質な部材であっても、圧力調整弁５８の本体部分よりも硬質でない部分であるカバー部９６により覆われた部分をガイド部７８として機能させることができる。その結果、圧力調整弁５８を長期に亘って安定的に稼働することが可能となる。なお、本実施形態においても、カバー部９６と連通穴６４との少なくとも何れか一方に凹凸形状が形成されることにより、連通穴６４と軸部７５との隙間に、相対的に狭い第１の間隔と相対的に広い第２の間隔が形成されることが望ましい。
【００６７】
また、上記各実施形態では、弾性部材７７が圧力調整弁５８に設けられた構成を例示したが、これには限られず、圧力調整弁５８が弾性部材７７を備えず、弁座（仕切壁６３）における連通穴６４の開口周縁部に弾性部材７７に相当する部材が設けられてもよい。
【００６８】
さらに、上記実施形態においては、弁ユニット２１が、記録ヘッド１０から独立した部材である構成を例示したが、これには限られず、液体噴射ヘッド自体が本発明に係る弁ユニットを有する構成（噴射機構が、本発明に係る弁ユニットに相当する機能を有する構成）を採用することもできる。
【００６９】
そして、上記実施形態においては、弁ユニットとして、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド１０にインクを供給する弁ユニット２１を例示したが、これには限られず、本発明の弁ユニットは、流路の一部を構成する穴に弁体の軸部が挿通されるものであって、種々の液体が流通する流路の穴を開閉する用途に用いることが可能である。例えば、アンブレラ弁のような逆止弁にも本発明を適用することが可能である。
【符号の説明】
【００７０】
１…プリンター，２…フレーム，３…プラテン，４…ガイドロット，５…キャリッジ，６…パルスモーター，７…駆動プーリー，８…遊転プーリー，９…タイミングベルト，１０…記録ヘッド，１１…キャッピング機構，１２…キャップ，１３…インクカートリッジ，１４…カートリッジホルダー，１５…エアーチューブ，１６…エアーポンプ，１７…インク供給チューブ，１８…ＦＦＣ，１９…回路基板，２０…導入流路，２１…弁ユニット，２３…固定板，２４…ノズルプレート，２５…連通板，２６…アクチュエーター基板，２７…コンプライアンス基板，２８…ケース，２９…圧力室形成基板，３０…ノズル，３１…圧電素子，３２…保護基板，３３…圧力室，３４…ノズル連通口，３５…個別連通口，３６…振動板，３８…駆動ＩＣ，３９…フレキシブル基板，４０…配線空部，４１…収容空間，４３…リザーバー，４４…コンプライアンスシート，４５…支持板，４６…貫通開口，４７…コンプライアンス空間，４９…収容空部，５０…挿通空部，５１…液室空部，５４…ユニット本体部，５６…流入口，５７…蓋部材，５８…圧力調整弁，６０…流路接続部，６１…弁収容室６１…圧力調整室，６３…仕切壁，６４…連通穴，６５…導出路，６７…受圧部材，６８…フィルム部材，６９…受圧板，７０…拡大部，７１…逃げ凹部，７２…スペーサー，７３…開口部，７５…軸部，７６…シール部，７７…弾性部材，７８…ガイド部，７９…小径部，８０…先端部，８１…面取り部，８２…主軸，８３…突起部，８４…接続軸部，８５…段差部，８７…基部，８８…フランジ部，８９…貫通穴，９０…当接部，９１…付勢部材，９２…切欠部，９３…凹部９３…凸部，９５…円柱部，９６…カバー部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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