(57)【要約】【課題】光学特性への影響を回避しつつ内部の液体の膨張を緩和できるレンズシステムおよび焦点距離可変レンズ装置を提供する。【解決手段】レンズシステム３は、入力される駆動信号により振動する筒状の振動部材３２と、振動部材３２を収容するケース３１と、ケース３１に充填されて振動部材３２が浸漬される液体３５と、振動部材３２よりも外側で振動部材３２とケース３１との隙間に設置された圧力緩和部材３８とを有する。圧力緩和部材３８には、多数の独立気泡を有するフッ素ゴム製の発泡体が用いられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力される駆動信号により振動する筒状の振動部材と、前記振動部材を収容するケースと、前記ケースに充填されて前記振動部材が浸漬される液体と、前記振動部材よりも外側で前記振動部材と前記ケースとの隙間に設置された圧力緩和部材とを有することを特徴とするレンズシステム。
【請求項２】
請求項１に記載のレンズシステムにおいて、
前記圧力緩和部材は、多数の独立気泡を有するフッ素ゴム製の発泡体であることを特徴とするレンズシステム。
【請求項３】
入力される駆動信号に応じて屈折率が変化するレンズシステムと、前記レンズシステムと同じ光軸上に配置された対物レンズと、前記レンズシステムおよび前記対物レンズを通して測定対象物の画像を検出する画像検出部と、入力される発光信号に基づいて前記測定対象物をパルス照明するパルス照明部と、を有し、
前記レンズシステムは、入力される駆動信号により振動する筒状の振動部材と、前記振動部材を収容するケースと、前記ケースに充填されて前記振動部材が浸漬される液体と、前記振動部材よりも外側で前記振動部材と前記ケースとの隙間に設置された圧力緩和部材とを有することを特徴とする焦点距離可変レンズ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレンズシステムおよび焦点距離可変レンズ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
焦点距離可変レンズ装置として、例えば特許文献１に記載された原理の液体レンズシステム（以下単にレンズシステムと呼ぶ）を利用した装置が開発されている。
レンズシステムは、圧電材料で形成された円筒状の振動部材を、透明な液体に浸漬して形成される。レンズシステムにおいて、振動部材の内周面と外周面とに交流電圧を印加すると、振動部材が厚み方向に伸縮し、振動部材の内側の液体を振動させる。液体の固有振動数に応じて印加電圧の周波数を調整することで、液体には同心円状の定在波が形成され、振動部材の中心軸線を中心として屈折率が異なる同心円状の領域が形成される。このため、レンズシステムにおいて、振動部材の中心軸線に沿って光を通せば、この光は同心円状の領域ごとの屈折率に従って、拡大または縮小する経路を辿ることになる。
【０００３】
焦点距離可変レンズ装置は、前述したレンズシステムと、例えば通常の凸レンズを用いた対物レンズとを、同じ光軸上に配置して構成される。
通常の凸レンズに平行光を入射させると、レンズを通過した光は所定の焦点距離にある焦点位置に焦点を結ぶ。これに対し、凸レンズと同軸に配置されたレンズシステムに平行光を入射させると、この光はレンズシステムで拡大または縮小され、凸レンズを通過した光は元の（レンズシステムがなかった状態の）焦点位置よりも遠くまたは近くにずれた位置に焦点を結ぶ。
従って、焦点距離可変レンズ装置においては、レンズシステムに入力される駆動信号（内部の液体に定在波を発生させる周波数の交流電圧）を印加し、この駆動信号の振幅を増減させることで、焦点距離可変レンズ装置としての焦点位置を一定の範囲内（対物レンズの焦点距離を基準としてレンズシステムにより増減できる所定の変化幅）で任意に制御することができる。
【０００４】
焦点距離可変レンズ装置において、レンズシステムに入力される駆動信号としては、例えば正弦波状の交流信号が用いられる。このような駆動信号が入力されると、焦点距離可変レンズ装置の焦点距離（焦点位置）は正弦波状に変化する。この際、駆動信号の振幅が０のとき、レンズシステムを通る光は屈折されず、焦点距離可変レンズ装置の焦点距離は対物レンズの焦点距離となる。駆動信号の振幅が正負のピークにあるとき、レンズシステムを通る光は最も大きく屈折され、焦点距離可変レンズ装置の焦点距離は対物レンズの焦点距離から最も変化した状態となる。
このような焦点距離可変レンズ装置を用いて画像を取得する際には、駆動信号の正弦波の位相に同期して発光信号を出力してパルス照明を行う。これにより、正弦波状に変化する焦点距離のうち、所定の焦点距離にある状態でパルス照明を行うことで、この焦点距離にある対象物の画像が検出される。一周期のうち複数の位相でパルス照明を行い、各位相に対応して画像検出を行えば、同時に複数の焦点距離の画像を得ることもできる。
【０００５】
前述したレンズシステムにおいては、外気温の影響あるいは稼働に伴う発熱などにより、内部の液体の温度が変化する。液体の温度が変化すると、レンズシステムの内部の液体が膨張し、内圧が上昇して液体が漏れ出す可能性がある。
このような温度上昇に伴う液体の膨張および内圧上昇を緩和するために、レンズシステムの内部の流体中に、空気などを注入して気泡を形成することがなされている。このような気泡があると、温度が上昇した際に、液体の膨張に応じて気泡が圧縮され、ケースの内部に過剰な内圧上昇を生じないようにすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１０／０１７７３７６号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述した気泡入りのレンズシステムによれば、温度上昇に伴う液体の膨張および内圧上昇を気泡によって緩和することができる。
ところが、気泡がレンズシステムの光路部分（振動部材の内側で液体が定在波を生じる部分）に入り込んでしまうと、液体の共振が十分に得られなくなり、レンズシステムとしての所期の屈折率が得られなくなる可能性がある。
これに対し、液体を収容するケースの一部に、気泡を保持する凹みを形成する等の対策が図られているが、レンズシステムの姿勢変化が大きい場合など、気泡が凹みから脱出し、レンズシステムの光路部分に入り込み、やはり光学特性に影響してしまうことがあった。
【０００８】
本発明の目的は、光学特性への影響を回避しつつ内部の液体の膨張を緩和できるレンズシステムおよび焦点距離可変レンズ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のレンズシステムは、入力される駆動信号により振動する筒状の振動部材と、前記振動部材を収容するケースと、前記ケースに充填されて前記振動部材が浸漬される液体と、前記振動部材よりも外側で前記振動部材と前記ケースとの隙間に設置された圧力緩和部材とを有することを特徴とする。
【００１０】
本発明では、温度上昇により内部の液体が膨張しても、圧力緩和部により圧力の上昇を緩和することができる。この際、圧力緩和部は、振動部材よりも外側で振動部材とケースとの隙間に設置され、従来の気泡のように移動することもなく、振動部材の内側に形成される光路部分への影響を回避でき、レンズシステムの光学特性への影響を回避することができる。
なお、圧力緩和部材が設置する部位については、振動部材よりも外側であって振動部材とケースとの隙間であればよく、具体的には振動部材の外面とケースの内面との間、または振動部材の連続方向（光路が延びる方向）の周縁とこれに対向するケースの内面との間が利用できる。
【００１１】
本発明のレンズシステムにおいて、前記圧力緩和部材は、多数の独立気泡を有するフッ素ゴム製の発泡体であることが好ましい。
【００１２】
本発明では、温度上昇により内部の液体が膨張しても、液体の圧力により独立気泡の各々が圧縮され、圧力緩和部材の全体として体積が減少し、レンズシステムの内部の圧力を緩和することができる。
さらに、フッ素ゴム製であるため、レンズシステムの内部の液体の種類によらず耐油性、耐化学薬品性、耐熱性、耐炎性、耐候性、耐オゾン性を確保することができる。
また、独立気泡であるため、外圧により潰れた際に内部の気体が漏れ出して復元できなくなる等の不都合を回避できる。
【００１３】
なお、本発明の圧力緩和部材としては、フッ素ゴム製以外の多数の独立気泡を有する合成樹脂製の発泡体であってもよく、内部に圧縮性流体が封入された袋体、外圧により弾性変形して体積が減少する箱体などとしてもよい。
多数の独立気泡を有する合成樹脂製の発泡体としては、フッ素ゴム製の独立発泡体のほか、ポリウレタン樹脂やポリスチレン樹脂などの独立発泡体が利用できる。これらの材料は梱包用途にも多用されるものであり、確保も容易で廉価であるとともに、成形が容易であるためレンズシステムのケース内の空間を有効に利用することができる。
【００１４】
内部に圧縮性流体が封入された袋体としては、例えばポリエチレン樹脂の袋に空気を封入したものであればよく、これも梱包用途にも多用されるものであり、確保も容易で廉価である。また、柔軟な袋体とすることができ、多様な形状に対応できるため、レンズシステムのケース内の隙間に容易に押込むことができる。
【００１５】
外圧により弾性変形して体積が減少する箱体としては、例えば扁平な金属の箱を形成し、その平坦面を薄いダイヤフラムとすることで、外圧を受けた際にダイヤフラムを凹ませることができる。あるいは、ダイヤフラムの内側に、ダイヤフラムを外向きに付勢する弾性部材を設置してもよい。他に、外圧により弾性変形して体積が減少する構成としては、シリンダとピストンを用い、ピストンが外圧を受けて内部へ移動する構成を用いることもできる。これらの構成では、内部の圧縮性流体あるいは弾性部材の弾性により、圧力の緩和機能を調整することができる。
【００１６】
なお、本発明のレンズシステムにおいて、圧力緩和部材は、温度上昇により体積が減少する材料で形成された部材であるとしてもよい。
このような圧力緩和部材を用いれば、温度上昇により内部の液体が膨張しても、圧力緩和部材の体積が減少する。予め液体の膨張と圧力緩和部材の体積減少との変化量のバランスを調整しておけば、液体の膨張分を圧力緩和部材の体積減少分で相殺することができる。これにより、レンズシステムの内部の圧力を緩和することができる。
このような温度上昇により体積が減少する材料としては、東京工業大学応用セラミックス研究所の東正樹教授らが、中央大学、高輝度光科学研究センター、京都大学との共同研究により発見した、室温付近で既存材料の２倍以上の大きさの「負の熱膨張」を示す酸化物材料「ＢｉＮｉ１−ｘＦｅｘＯ３（ビスマス・ニッケル・鉄酸化物）」が挙げられる。
【００１７】
本発明の焦点距離可変レンズ装置は、入力される駆動信号に応じて屈折率が変化するレンズシステムと、前記レンズシステムと同じ光軸上に配置された対物レンズと、前記レンズシステムおよび前記対物レンズを通して測定対象物の画像を検出する画像検出部と、入力される発光信号に基づいて前記測定対象物をパルス照明するパルス照明部と、を有し、前記レンズシステムは、入力される駆動信号により振動する筒状の振動部材と、前記振動部材を収容するケースと、前記ケースに充填されて前記振動部材が浸漬される液体と、前記振動部材よりも外側で前記振動部材と前記ケースとの隙間に設置された圧力緩和部材とを有することを特徴とする。
【００１８】
本発明では、駆動信号として例えば正弦波状の交流信号（レンズシステムに定在波を発生させる周波数）を制御部からレンズシステムに入力し、レンズシステムの屈折率を変動させることで、焦点距離可変レンズ装置としての焦点位置を測定対象物の表面で変動させる。そして、制御部により、駆動信号を基準とした特定の位相で発光信号を出力し、この発光信号に基づいてパルス照明部を発光させることで、発光時点の焦点距離での測定対象物の表面の画像が対物レンズおよびレンズシステムを通して画像検出部へと導入され、画像として検出することができる。
【００１９】
ここで、レンズシステムの内部の液体の温度が変化し、温度上昇により内部の液体が膨張しても、圧力緩和部により圧力の上昇を緩和することができる。この際、圧力緩和部は、振動部材よりも外側で振動部材とケースとの隙間に設置されるため、振動部材の内側に形成される光路部分には影響がなく、光学特性への影響を回避することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、光学特性への影響を回避しつつ内部の液体の膨張を緩和できるレンズシステムおよび焦点距離可変レンズ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の焦点距離可変レンズ装置の一実施形態を示すブロック図。
【図２】前記実施形態のレンズシステムを示す斜視図。
【図３】前記実施形態のレンズシステムの動作を示す模式図。
【図４】前記実施形態のレンズシステムの焦点距離を示す模式図。
【図５】前記実施形態の圧力緩和部材を示す模式図。
【図６】前記実施形態の圧力緩和部材の設置状態を示す模式図。
【図７】本発明に適用できる圧力緩和部材の変形例を示す断面図。
【図８】本発明に適用できる圧力緩和部材の変形例を示す斜視図。
【図９】本発明に適用できる圧力緩和部材の変形例を示す斜視図。
【図１０】本発明に適用できる圧力緩和部材の変形例を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１において、焦点距離可変レンズ装置１は、焦点距離を可変しつつ測定対象物９の表面の画像を検出するために、当該表面に交差する同じ光軸Ａ上に配置された対物レンズ２、レンズシステム３および画像検出部４を備えている。
さらに、焦点距離可変レンズ装置１は、測定対象物９の表面をパルス照明するパルス照明部５と、パルス照明部５、画像検出部４、レンズシステム３を制御する制御部６とを備えている。
【００２３】
対物レンズ２は、既存の凸レンズで構成される。
画像検出部４は、既存のＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサあるいは他の形式のカメラ等で構成され、入射される画像Ｌｇを所定の信号形式の検出画像Ｉｍとして制御部６へ出力することができる。
パルス照明部５は、ＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）などの発光素子で構成され、制御部６から発光信号Ｃｉが入力された際に、所定時間だけ照明光Ｌｉを発光させ、測定対象物９の表面に対するパルス照明を行うことができる。
【００２４】
レンズシステム３は、制御部６から入力される駆動信号Ｃｆに応じて屈折率が変化する。駆動信号Ｃｆは、レンズシステム３に定在波を発生させる周波数の交流であって、正弦波状の交流信号である。
焦点距離可変レンズ装置１において、焦点位置Ｐｆまでの焦点距離Ｄｆは、対物レンズ２の焦点距離を基本としつつ、レンズシステム３の屈折率を変化させることで、任意に変化させることができる。
【００２５】
図２において、レンズシステム３は、円筒形のケース３１を有し、ケース３１の内部には円筒状の振動部材３２が設置されている。振動部材３２は、その外周面３３とケース３１の内周面との間に介装されたエラストマ製のスペーサ３９で支持されている。
振動部材３２は、圧電材料を円筒状に形成したものであり、外周面３３と内周面３４との間に駆動信号Ｃｆの交流電圧が印加されることで、厚み方向に振動する。
ケース３１の内部には、シリコーン樹脂などの透明な液体３５が充填されており、振動部材３２は全体を液体３５に浸漬され、円筒状の振動部材３２の内側は液体３５で満たされている。駆動信号Ｃｆの交流電圧は、振動部材３２の内側にある液体３５に定在波を発生させる周波数に調整されている。
【００２６】
図３に示すように、レンズシステム３においては、振動部材３２を振動させると、内部の液体３５に定在波が生じ、屈折率が交替する同心円状の領域が生じる（図３（Ａ）部および図３（Ｂ）部参照）。
このとき、レンズシステム３の中心軸線からの距離（半径）と液体３５の屈折率との関係は、図３（Ｃ）部に示す屈折率分布Ｗのようになる。
【００２７】
図４において、駆動信号Ｃｆは正弦波状の交流信号であるため、レンズシステム３における液体３５の屈折率分布Ｗの変動幅もこれに従って変化する。そして、液体３５に生じる同心円状の領域の屈折率が正弦波状に変化し、これにより焦点位置Ｐｆまでの焦点距離Ｄｆが正弦波状に変動する。
図４（Ａ）の状態では、屈折率分布Ｗの振れ幅が最大となり、レンズシステム３は通過する光を収束させ、焦点位置Ｐｆは近く、焦点距離Ｄｆは最短となっている。
図４（Ｂ）の状態では、屈折率分布Ｗが平坦となり、レンズシステム３は通過する光をそのまま通過させ、焦点位置Ｐｆおよび焦点距離Ｄｆは標準的な値となっている。
図４（Ｃ）の状態では、屈折率分布Ｗが図４（Ａ）と逆極性で振れ幅が最大となり、レンズシステム３は通過する光を拡散させ、焦点位置Ｐｆは遠く、焦点距離Ｄｆは最大となっている。
図４（Ｄ）の状態では、再び屈折率分布Ｗが平坦となり、レンズシステム３は通過する光をそのまま通過させ、焦点位置Ｐｆおよび焦点距離Ｄｆは標準的な値となっている。
図４（Ｅ）の状態では、再び図４（Ａ）の状態に戻っており、以下同様の変動を繰り返すことになる。
【００２８】
このように、焦点距離可変レンズ装置１においては、駆動信号Ｃｆは正弦波状の交流信号であり、焦点位置Ｐｆおよび焦点距離Ｄｆも図４の焦点変動波形Ｍｆのように正弦波状に変動する。
この際、焦点変動波形Ｍｆの任意の時点で焦点位置Ｐｆにある測定対象物９をパルス照明すれば、照明時点での焦点距離Ｄｆにある焦点位置Ｐｆの画像が得られることになる。
すなわち、制御部６から入力される発光信号Ｃｉに基づいて、パルス照明部５からの照明光Ｌｉで測定対象物９の表面を照明することで、測定対象物９からの反射光Ｌｒが対物レンズ２およびレンズシステム３を通して画像検出部４に送られ、画像として検出することができる。
【００２９】
図２に戻って、レンズシステム３には、振動部材３２の外周面とケース３１の内周面との間に、シート状の圧力緩和部材３８が、全周にわたって複数設置されている。
図５に示すように、圧力緩和部材３８は、フッ素ゴム製で、多数の独立気泡３８１を有する発泡体である。
図６に示すように、圧力緩和部材３８は、振動部材３２の外周面またはケース３１の内周面のいずれかに、接着あるいは粘着により固定されている。圧力緩和部材３８の固定には機械的な手段を用いてもよい。
圧力緩和部材３８は、振動部材３２の内周面より外側に配置され、レンズシステム３の光路３Ｌと干渉しない状態で設置されている。そして、圧力緩和部材３８は、液体３５の膨張を緩和するために、全体が液体３５に浸漬されている。
【００３０】
以上のような本実施形態では、駆動信号Ｃｆとして例えば正弦波を制御部６からレンズシステム３に入力し、レンズシステム３の屈折率を変動させることで、焦点距離可変レンズ装置１としての焦点位置Ｐｆ（焦点距離Ｄｆ）を測定対象物９の表面で正弦波状に変動させることができる。
そして、制御部６により、駆動信号Ｃｆを基準とした特定の位相角で発光信号Ｃｉを出力し、この発光信号Ｃｉに基づいてパルス照明部５を発光させることで、発光時点の焦点距離Ｄｆでの測定対象物９の表面の画像Ｌｇが、対物レンズ２およびレンズシステム３を通して画像検出部４へと導入され、検出画像Ｉｍとして検出することができる。
【００３１】
一方、レンズシステム３には圧力緩和部材３８が設置されているため、レンズシステム３の内部の温度上昇により内部の液体３５が膨張しても、圧力緩和部材３８により圧力の上昇を緩和することができる。この際、圧力緩和部材３８は、振動部材３２よりも外側で振動部材３２とケース３１との隙間に設置され、従来の気泡のように移動することもなく、振動部材３２の内側に形成される光路３Ｌへの影響を回避でき、レンズシステム３の光学特性への影響を回避することができる。
【００３２】
本実施形態において、圧力緩和部材３８は、多数の独立気泡３８１を有するフッ素ゴム製の発泡体とされている。このため、レンズシステム３の温度上昇により内部の液体３５が膨張しても、液体３５の圧力により独立気泡３８１の各々が圧縮され、圧力緩和部材３８の全体として体積が減少し、レンズシステム３の内部の圧力を緩和することができる。
さらに、フッ素ゴム製であるため、レンズシステム３の内部の液体３５の種類によらず耐油性、耐化学薬品性、耐熱性、耐炎性、耐候性、耐オゾン性を確保することができる。
また、独立気泡３８１であるため、外圧により潰れた際に内部の気体が漏れ出して復元できなくなる等の不都合を回避できる。
【００３３】
なお、本発明は前述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形などは本発明に含まれる。
前記実施形態では、レンズシステム３の振動部材３２の外周面とケース３１の内周面との間に、シート状の圧力緩和部材３８を、全周にわたって複数設置したが、圧力緩和部材３８は全周に連続した１枚のシートであってもよく、筒状に連続していてもよい。
レンズシステム３において、圧力緩和部材３８を設置する部位は、振動部材３２の内側の光路３Ｌよりも外側であって振動部材３２とケース３１との隙間であればよく、前記実施形態のような振動部材３２の外面とケース３１の内面との間のほか、振動部材３２の連続方向（光路３Ｌが延びる方向）の周縁とこれに対向するケース３１の内面との間などが利用できる。
【００３４】
前記実施形態では、圧力緩和部材３８として多数の独立気泡３８１を有するフッ素ゴム製のシートを用いたが、フッ素ゴム製以外の合成樹脂製で独立気泡を有する発泡体であってもよく、内部に圧縮性流体が封入された袋体、外圧により弾性変形して体積が減少する箱体などを用いてもよい。
図７に示すように、内部に圧縮性流体が封入された袋体としては、例えばポリエチレン樹脂の袋３８２の内部に、空気を封入したものが利用できる。
このような袋３８２は、柔軟性を有し、多様な形状に対応できるため、前記実施形態のレンズシステム３のケース３１と振動部材３２との間の隙間に容易に押込むことができる。
【００３５】
図８に示すように、外圧により弾性変形して体積が減少する箱体としては、例えば扁平な金属の箱３８３の平坦な表面を薄いダイヤフラム３８４とすることで、外圧を受けた際にダイヤフラム３８４を凹ませることで体積を減少させることができる。
図９に示すように、箱３８３の内部に、ダイヤフラム３８４を外向きに付勢する弾性部材３８５を設置してもよい。
図１０に示すように、シリンダ３８６とピストン３８７を用い、ピストン３８７が外圧を受けて内部へ移動する構成を用いることもできる。これらの構成では、内部の圧縮性流体あるいは弾性部材３８８の弾性により、圧力の緩和機能を調整することができる。
さらに、圧力緩和部材３８としては、温度上昇により体積が減少する材料で形成された部材であるとしてもよい。
【００３６】
前記実施形態では、駆動信号Ｃｆおよび焦点変動波形Ｍｆを正弦波としたが、これは三角波、鋸歯状波、矩形波その他の波形であってもよい。
レンズシステム３の具体的構成は適宜変更してよく、ケース３１および振動部材３２は円筒状のほか六角筒状などであってもよく、制御部６の具体的構成も実施にあたって適宜選択することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明はレンズシステムおよび焦点距離可変レンズ装置に利用できる。
【符号の説明】
【００３８】
１…焦点距離可変レンズ装置、２…対物レンズ、３…レンズシステム、３１…ケース、３２…振動部材、３３…外周面、３４…内周面、３５…液体、３８…圧力緩和部材、３８１…独立気泡、３８２…袋、３８３…箱、３８４…ダイヤフラム、３８５…弾性部材、３８６…シリンダ、３８７…ピストン、３８８…弾性部材、３９…スペーサ、３Ｌ…光路、４…画像検出部、５…パルス照明部、６…制御部、９…測定対象物、Ｃｆ…駆動信号、Ｃｉ…発光信号、Ｄｆ…焦点距離、Ｉｍ…検出画像、Ｌｇ…画像、Ｌｉ…照明光、Ｌｒ…反射光、Ｍｆ…焦点変動波形、Ｐｆ…焦点位置、Ｗ…屈折率分布。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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