(57)【要約】      （修正有）【課題】黒色発現による露光透過度の低下と、現像性悪化により工程上のマージンが低下する問題を解決する黒色感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】５〜１２の官能基を含み、酸価が１０〜６０ｍｇＫＯＨ／ｇであるモノマーと複数の顔料を用いて黒色化した黒色感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
５〜１２の官能基を含み、
酸価が１０〜６０ｍｇＫＯＨ／ｇであるモノマー；を含む、黒色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記モノマーは、水酸基をさらに含むものである、請求項１に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記モノマーは、６〜８の官能基を含むものである、請求項１に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記モノマーは、酸価が２０〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇであるものである、請求項１に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記官能基は、エチレン性不飽和二重結合を含むものである、請求項１に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記モノマーは、前記黒色感光性樹脂組成物全体１００重量部に対して１．７〜４．２重量部で含まれるものである、請求項１に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項７】
黒色着色剤；結合剤樹脂；光重合開始剤；溶剤および添加剤からなる群から選択される１以上をさらに含むものである、請求項１に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記着色剤は、レッド、ブルーおよびブラック顔料からなる群から選択される１以上をさらに含むものである、請求項７に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記着色剤は、ブルー顔料を含むものである、請求項８に記載の黒色感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
請求項１〜請求項９のいずれか一項に記載された黒色感光性樹脂組成物の硬化物を含む、ブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は黒色感光性樹脂組成物、これから製造された画像表示装置用ブラックマトリックス、カラムスペーサーおよびブラックマトリックス一体型カラムスペーサーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
黒色感光性樹脂組成物は、カラーフィルター、液晶表示材料、有機発光素子、ディスプレイなどの必須材料である。一例として、カラー液晶ディスプレイのカラーフィルターには、レッド（ｒｅｄ）、グリーン（ｇｒｅｅｎ）、ブルー（ｂｌｕｅ）などの着色層間の境界部分に遮光層を形成することによって、表示コントラストや発色効果を高めることができる。
【０００３】
最近では、ディスプレイの内部に使われる一つの素材が多様な役割を同時に遂行するようにする技術が開発されており、これによって黒色感光性樹脂組成物がアレイ基板上にブラックマトリックスおよびセルギャップ維持用スペーサーを形成する役割も要求されており、黒色感光性樹脂組成物の需要が一層増加している。
【０００４】
大韓民国公開特許第２００７−００９４４６０号は黒色感光性組成物に関するもので、光重合性化合物と光重合開始剤と黒色顔料を含有する黒色感光性組成物であって、形状安定剤として有機顔料を含有する黒色感光性組成物に関する内容を開示している。
【０００５】
また、大韓民国公開特許第２０１２−００３３８９３号は感光性樹脂組成物に関するもので、（Ａ）バインダー樹脂；（Ｂ）多官能性モノマー；（Ｃ）光重合開始剤または光増減剤；（Ｄ）ブラック顔料；および（Ｅ）溶媒を含み、前記ブラック顔料はアニリンブラック、ペリレンブラック、金属酸化物のうち選択される１種以上の感光性樹脂組成物に関する内容を開示している。
【０００６】
しかし、前記文献の黒色感光性樹脂組成物は、黒色発現による露光透過度の限界と、これによる現像工程への不利などによって、工程上のマージンが低い問題点がある。
【０００７】
したがって、工程上のマージンを改善することによって製造収率が向上した黒色感光性樹脂組成物の開発が要求されているのが実情である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】大韓民国公開特許第２００７−００９４４６０号（２００７．０２．０６．）
【特許文献２】大韓民国公開特許第２０１２−００３３８９３号（２０１２．０４．０９．）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は前記のような問題点を解決するためのものであり、工程上のマージンを高め得る黒色感光性樹脂組成物を提供することにその目的がある。
【００１０】
また、本発明は前述した黒色感光性樹脂組成物を利用して製造されたブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーを提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するための本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は、５〜１２の官能基を含み、酸価が１０〜６０ｍｇＫＯＨ／ｇであるモノマー；を含むことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明は前述した黒色感光性樹脂組成物の硬化物を含むブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーを提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は、特定モノマーを含むことによって現像性、信頼性、または工程性に優れ、工程マージンを向上させ得る利点がある。
【００１４】
また、本発明に係る黒色感光性樹脂組成物を利用して製造されたブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーは、信頼性に優れ、製造が容易な利点がある。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明についてさらに詳細に説明する。
【００１６】
本発明において、ある部材が他の部材「上に」位置しているとする時、これはある部材が他の部材に接している場合だけでなく、二つの部材の間にさらに別の部材が存在する場合も含む。
【００１７】
本発明において、ある部分がある構成要素を「含む」とする時、これは特に反対の記載がない限り、他の構成要素を除外するものではなく他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。
【００１８】
＜黒色感光性樹脂組成物＞
本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は５〜１２の官能基を含み、酸価が１０〜６０ｍｇＫＯＨ／ｇであるモノマー；を含むことを特徴とする。
【００１９】
また、本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は、黒色顔料を含む着色剤；結合剤樹脂；光重合開始剤；溶剤および添加剤からなる群から選択される１以上をさらに含むことができる。
【００２０】
本発明の一態様は、５〜１２の官能基を含み、酸価が１０〜６０ｍｇＫＯＨ／ｇであるモノマー；を含む黒色感光性樹脂組成物に関するものである。
【００２１】
本発明において、前記「モノマー」は「単量体」と混用され得、「オリゴマー」および「ポリマー」と区別され得る。
【００２２】
本発明に係るモノマーは５〜１２の官能基を含み、好ましくは５〜９の官能基を含み、さらに好ましくは６〜８の官能基を含むことができ、前記官能基は不飽和基を含むかまたは感光性を有しているものを使うことができる。
【００２３】
本発明に係るモノマーが前記範囲内の官能基を含む場合、より優れた感度を有することができるので、ブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーの製造がより容易となり得る。
【００２４】
本発明の一実施形態において、前記モノマーは水酸基をさらに含むことができる。理論によって拘束されることを望んではいないが、一般のカラーフィルターを製造するための着色感光性樹脂組成物の場合においてモノマーが水酸基を含む場合、現像性には有利であるものの、信頼性および工程マージンに悪影響を及ぼしかねない。しかし、本発明に係る黒色感光性組成物に含まれるモノマー内に水酸基が含まれる場合、現像性、信頼性および工程性に優れたものとなる特徴がある。具体的には、前記モノマー内に水酸基が含まれる場合、後述する光開始剤および結合剤樹脂との架橋反応により架橋度が高くなることによって信頼性に優れたものとなり得る利点がある。
【００２５】
本発明に係るモノマーは酸価が１０〜６０ｍｇＫＯＨ／ｇ、好ましくは１０〜５０ｍｇＫＯＨ／ｇ、さらに好ましくは２０〜４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり得る。前記モノマーの酸価が前記範囲内である場合、工程マージンを高めることができる利点がある。前記モノマーの酸価が前記範囲未満の場合、現像性が多少低下する可能性がある問題点があり、前記範囲を超過する場合、モノマー内の酸価が過度に高くなることによって工程上のマージンが減少する恐れがある問題点があるため、前記範囲内で含まれることが好ましい。
【００２６】
本発明で酸価とは、アクリル系重合体１ｇの中和に必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）で測定される値であり、通常は水酸化カリウム水溶液を使って滴定することによって求めることができる。
【００２７】
本発明のさらに他の実施形態において、前記官能基はエチレン性不飽和二重結合を含むことができる。前記官能基が前記エチレン性不飽和二重結合を含む場合、後述する光重合アルカリ性樹脂と反応して架橋度が高くなり、工程上扱い易い利点がある。
【００２８】
本発明のさらに他の実施形態において、前記モノマーは前記黒色感光性樹脂組成物全体１００重量部に対して１．７〜４．２重量部、好ましくは１．８〜４．０重量部、さらに好ましくは２．０〜３．８重量部で含まれ得る。
【００２９】
前記モノマーが前記範囲内で含まれる場合、現像性、信頼性または工程性に優れたものとなるので、工程マージンに優れた黒色感光性樹脂組成物の提供が可能な利点がある。前記モノマーが前記範囲未満で含まれる場合、現像性が多少低下する可能性があるためパターンの形成が困難であり得、前記範囲を超過する場合、現像性および工程性のマージン値が多少低下する可能性があるため、前記範囲を満足するように含まれることが好ましい。
【００３０】
前記モノマーは直接合成して使ってもよく、市販されているものを購入して使ってもよい。市販されている前記モノマーは例えば、大阪有機化学のＶｉｓｃｏａｔ＃８０２−Ａ、Ｖｉｓｃｏａｔ＃８０２−Ｂ、Ｖｉｓｃｏａｔ＃８０２−Ｃ、Ｖｉｓｃｏａｔ＃８０２−Ｄなどが挙げられるがこれに限定されず、本発明に係るモノマーを満足するものを使うことができる。
【００３１】
本発明のさらに他の実施形態において、前記黒色感光性樹脂組成物は黒色着色剤；結合剤樹脂；光重合開始剤；溶剤および添加剤からなる群から選択される１以上をさらに含むことができる。
【００３２】
本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は黒色着色剤を含む。
【００３３】
本発明のさらに他の実施形態は、前記着色剤はレッド、ブルーおよびブラック顔料からなる群から選択される一つ以上を含む黒色感光性樹脂組成物に関するものである。
【００３４】
前記ブラック（黒色）顔料は例えば、アニリンブラック、ペリレンブラック、チタンブラック、カーボンブラックであり得、遮光性があるものであれば特に制限なく使うことができる。
【００３５】
使用可能なカーボンブラックとしては、御国色素社のＣＨＢＫ−１７；東海カーボン（株）のシースト５ＨＩＩＳＡＦ−ＨＳ、シーストＫＨ、シースト３ＨＨＡＦ−ＨＳ、シーストＮＨ、シースト３Ｍ、シースト３００ＨＡＦ−ＬＳ、シースト１１６ＨＭＭＡＦ−ＨＳ、シースト１１６ＭＡＦ、シーストＦＭＦＥＦ−ＨＳ、シーストＳＯＦＥＦ、シーストＶＧＰＦ、シーストＳＶＨＳＲＦ−ＨＳ、およびシーストＳＳＲＦ；三菱化学（株）のダイアグラムブラック、ダイアグラムブラックＮ３３９、ダイアグラムブラックＳＨ、ダイアグラムブラックＨ、ダイアグラムＬＨ、ダイアグラムＨＡ、ダイアグラムＳＦ、ダイアグラムＮ５５０Ｍ、ダイアグラムＭ、ダイアグラムＥ、ダイアグラムＧ、ダイアグラムＲ、ダイアグラムＮ７６０Ｍ、ダイアグラムＬＲ、＃２７００、＃２６００、＃２４００、＃２３５０、＃２３００、＃２２００、＃１０００、＃９８０、＃９００、ＭＣＦ８８、＃５２、＃５０、＃４７、＃４５、＃４５Ｌ、＃２５、＃ＣＦ９、＃９５、＃３０３０、＃３０５０、ＭＡ７、ＭＡ７７、ＭＡ８、ＭＡ１１、ＯＩＬ７Ｂ、ＯＩＬ９Ｂ、ＯＩＬ１１Ｂ、ＯＩＬ３０Ｂ、およびＯＩＬ３１Ｂ；デグサ（株）のＰＲＩＮＴＥＸ−Ｕ、ＰＲＩＮＴＥＸ−Ｖ、ＰＲＩＮＴＥＸ−１４０Ｕ、ＰＲＩＮＴＥＸ−１４０Ｖ、ＰＲＩＮＴＥＸ−９５、ＰＲＩＮＴＥＸ−８５、ＰＲＩＮＴＥＸ−７５、ＰＲＩＮＴＥＸ−５５、ＰＲＩＮＴＥＸ−４５、ＰＲＩＮＴＥＸ−３００、ＰＲＩＮＴＥＸ−３５、ＰＲＩＮＴＥＸ−２５、ＰＲＩＮＴＥＸ−２００、ＰＲＩＮＴＥＸ−４０、ＰＲＩＮＴＥＸ−３０、ＰＲＩＮＴＥＸ−３、ＰＲＩＮＴＥＸ−Ａ、ＳＰＥＣＩＡＬ  ＢＬＡＣＫ−５５０、ＳＰＥＣＩＡＬ  ＢＬＡＣＫ−３５０、ＳＰＥＣＩＡＬ  ＢＬＡＣＫ−２５０、ＳＰＥＣＩＡＬ  ＢＬＡＣＫ−１００、およびＬＡＭＰ  ＢＬＡＣＫ−１０１；コロンビア  カーボン（株）のＲＡＶＥＮ−１１００ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−１０８０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−１０６０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−１０４０、ＲＡＶＥＮ−１０３５、ＲＡＶＥＮ−１０２０、ＲＡＶＥＮ−１０００、ＲＡＶＥＮ−８９０Ｈ、ＲＡＶＥＮ−８９０、ＲＡＶＥＮ−８８０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−８６０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−８５０、ＲＡＶＥＮ−８２０、ＲＡＶＥＮ−７９０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−７８０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−７６０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−５２０、ＲＡＶＥＮ−５００、ＲＡＶＥＮ−４６０、ＲＡＶＥＮ−４５０、ＲＡＶＥＮ−４３０ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−４２０、ＲＡＶＥＮ−４１０、ＲＡＶＥＮ−２５００ＵＬＴＲＡ、ＲＡＶＥＮ−２０００、ＲＡＶＥＮ−１５００、ＲＡＶＥＮ−１２５５、ＲＡＶＥＮ−１２５０、ＲＡＶＥＮ−１２００、ＲＡＶＥＮ−１１９０ＵＬＴＲＡ、およびＲＡＶＥＮ−１１７０等が挙げられる。
【００３６】
前記カーボンブラックは遮光性がある顔料であれば特に限定されず、公知のカーボンブラックを使うことができる。前記黒色顔料であるカーボンブラックとしては、具体的には、チャネルブラック（ｃｈａｎｎｅｌ  ｂｌａｃｋ）、ファーネスブラック（ｆｕｒｎａｃｅ  ｂｌａｃｋ）、サーマルブラック（ｔｈｅｒｍａｌ  ｂｌａｃｋ）、ランプブラック（ｌａｍｐ  ｂｌａｃｋ）などが挙げられる。
【００３７】
また、前記黒色顔料であるカーボンブラックは、樹脂が被覆されたカーボンブラックを利用することもできる。前記樹脂が被覆されたカーボンブラックは樹脂が被覆されていないカーボンブラックに比べて導電性が低いので、ブラックマトリックスまたはブラックカラムスペーサーの形成時に優れた電気絶縁性を付与することができる。
【００３８】
前記着色剤は有機顔料および染料からなる群から選択される１以上をさらに含むことができる。具体的には、前記着色剤は可視光線に遮光性がある有機顔料および染料を単独または二種以上含むことができる。
【００３９】
前記有機顔料は、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ  Ｓｏｃｉｅｔｙ  ｏｆ  Ｄｙｅｒｓ  ａｎｄ  Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ社発行）でピグメントに分類されている化合物、具体的には下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）名が付与されているものを挙げることができるが、これに限定されるものではない。
【００４０】
具体的には、前記有機顔料は、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１２号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１３号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１４号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１５号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１６号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１７号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色２０号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色２４号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色３１号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色５３号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色５５号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色８３号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色８６号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色９３号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色９４号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１０９号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１１０号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１１７号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１２５号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１２８号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１３７号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１３８号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１３９号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１４７号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１４８号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１５０号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１５３号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１５４号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１５５号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１６６号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１６８号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１７３号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色１８０号、Ｃ．Ｉ．顔料黄色２１１号；
Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色５号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色１３号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色１４号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色２４号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色３１号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色３４号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色３６号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色３８号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色４０号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色４２号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色４３号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色４６号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色４９号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色５１号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色５５号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色５９号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色６１号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色６４号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色６５号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色６８号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色７０号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色７１号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色７２号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色７３号、Ｃ．Ｉ．顔料オレンジ色７４号；
Ｃ．Ｉ．顔料赤色１号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色５号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色９号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１７号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色３１号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色３２号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色４１号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色９７号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１０５号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１２２号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１２３号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１４４号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１４９号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１６６号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１６８号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１７０号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１７１号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１７５号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１７６号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１７７号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１７８号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１７９号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１８０号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１８５号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１９２号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色１９４号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２０２号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２０６号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２０７号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２０８号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２０９号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２１４号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２１５号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２１６号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２２０号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２２１号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２２４号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２４２号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２４３号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２５４号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２５５号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２６２号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２６４号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２６５号、Ｃ．Ｉ．顔料赤色２７２号；
Ｃ．Ｉ．顔料青色１５号、Ｃ．Ｉ．顔料青色１５：３号、Ｃ．Ｉ．顔料青色１５：４号、Ｃ．Ｉ．顔料青色１５：６号、Ｃ．Ｉ．顔料青色１６号、Ｃ．Ｉ．顔料青色６０号、Ｃ．Ｉ．顔料青色８０号；
Ｃ．Ｉ．顔料紫色１号、Ｃ．Ｉ．顔料紫色１９号、Ｃ．Ｉ．顔料紫色２３号、Ｃ．Ｉ顔料紫色２９号、Ｃ．Ｉ顔料紫色３２号、Ｃ．Ｉ顔料紫色３６号、Ｃ．Ｉ顔料紫色３８号；
Ｃ．Ｉ．顔料緑色７号、Ｃ．Ｉ．顔料緑色３６号、Ｃ．Ｉ．顔料緑色５８号、Ｃ．Ｉ．顔料緑色５９号、Ｃ．Ｉ．顔料緑色６２号、Ｃ．Ｉ．顔料緑色６３号；
Ｃ．Ｉ．顔料茶色２３号、Ｃ．Ｉ．顔料茶色２５号；
Ｃ．Ｉ．顔料黒色１号、Ｃ．Ｉ．顔料黒色７号などを使うことができ、場合によってロジン処理、酸性基または塩基性基が導入されている顔料誘導体を利用した表面処理、重合体化合物などを利用した表面グラフト処理、硫酸を利用した微細粒子化処理、または有機溶媒または水を利用した洗浄処理などが遂行されたものであってもよい。
【００４１】
これに加えて、印刷インク、インクジェットなどに使われる顔料および水溶性アゾ系、不溶性アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、イソインドリノン系、イソインドリン、ペリレン、ペリノン、ジオキシジン、アントラキノン、ジアントラキノニル、アントラピリミジン、アンサントロン、インダントロン、フラバントロン、ピラントロン系の顔料などを使うこともできるが、これに限定されない。
【００４２】
前記染料は例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色２号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色１４号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色１６号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色３３号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色３４号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色４４号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色５６号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色８２号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色９３号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色９４号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色９８号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色１１６号、Ｃ．Ｉ．ソルベント黄色１３５号；Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ色１号、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ色３号、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ色７号、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ色６３号；Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色１号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色２号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色３号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色８号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色１８号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色２３号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色２４号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色２７号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色３５号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色４３号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色４５号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色４８号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色４９号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色９１：１号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色１１９号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色１３５号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色１４０号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色１９６号、Ｃ．Ｉ．ソルベント赤色１９７号；Ｃ．Ｉ．ソルベント紫色８号、Ｃ．Ｉ．ソルベント紫色９号、Ｃ．Ｉ．ソルベント紫色１３号、Ｃ．Ｉ．ソルベント紫色２６号、Ｃ．Ｉ．ソルベント紫色２８号、Ｃ．Ｉ．ソルベント紫色３１号、Ｃ．Ｉ．ソルベント紫色５９号；Ｃ．Ｉ．ソルベント青色４号、Ｃ．Ｉ．ソルベント青色５号、Ｃ．Ｉ．ソルベント青色２５号、Ｃ．Ｉ．ソルベント青色３５号、Ｃ．Ｉ．ソルベント青色３６号、Ｃ．Ｉ．ソルベント青色３８号、Ｃ．Ｉ．ソルベント青色７０号；Ｃ．Ｉ．ソルベント緑色３号、Ｃ．Ｉ．ソルベント緑色５号、Ｃ．Ｉ．ソルベント緑色７号などが挙げられる。
【００４３】
本発明のさらに他の実施形態において、本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は黒色の具現を容易にするために、前述した着色剤のうちレッド、ブルーおよびブラックからなる群から選択される１以上の着色剤を含む。
【００４４】
本発明のさらに他の実施形態において、前記着色剤は青色顔料を含むことができる。具体的には、本発明において、前記有機顔料は青色顔料であり得る。
【００４５】
前記着色剤が青色顔料をさらに含む場合、近赤外線領域の透過率が優秀となるにつれて露光工程上の効果が優秀となり得、有機溶剤に対する耐化学性の向上によって信頼性が優秀となり得る利点がある。
【００４６】
本発明に係る着色剤は例えば、前記黒色感光性樹脂組成物固形分全体１００重量部に対して２５〜５５重量部、好ましくは２７〜４０重量部、さらに好ましくは２８〜３３重量部で含むことができるが、これに限定されない。前記着色剤の含量が前記範囲未満の場合、光学密度（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｄｅｎｓｉｔｙ、Ｏ．Ｄ．）が多少低くなり得、前記範囲を超過する場合、比誘電率が多少高くなって表示装置の駆動に問題が多少発生する恐れがあるので、前記範囲内で含まれることが好ましい。
【００４７】
前記黒色顔料は、例えば、前記着色剤全体１００重量部に対して１〜１７重量部、さらに好ましくは２〜１７重量部で含まれ得るが、これに限定されない。前記黒色顔料が前記範囲を満足する場合、光学密度が優秀となり得る利点がある。前記黒色顔料が前記範囲未満で含まれる場合、光学密度が多少低下する可能性がある問題点があり得、前記黒色顔料が前記範囲を超過する場合、近赤外線領域での透過率が多少低下する可能性がある問題点があり得るので、前記黒色顔料が前記範囲内で含まれることが好ましい。
【００４８】
本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は結合剤樹脂を含む。前記結合剤樹脂は、通常黒色感光性樹脂組成物を利用して形成された黒色感光性樹脂層の非露光部をアルカリ可溶性にし、顔料に対して分散媒質として作用する。前記結合剤樹脂は本発明で特に限定されず、当該適用技術分野で使われる多様な重合体の中から選択することができる。
【００４９】
前記結合剤樹脂の重量平均分子量は、３０００〜３００００であることが好ましく、５０００〜２００００であることがより好ましく、前記結合剤樹脂の酸価は固形分基準で５０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲を有することが好ましい。
【００５０】
前記酸価が前記範囲を満足する場合、アルカリ現像に対する現像性が優秀であり、残渣の発生が抑制され、パターンの密着性が向上され得るため好ましい。
【００５１】
前記結合剤樹脂は前記黒色感光性樹脂組成物固形分全体１００重量部に対して５〜８５重量部、好ましくは１０〜８０重量部、さらに好ましくは１５〜７５重量部で含まれ得る。前記結合剤樹脂が前記範囲内で含まれる場合、現像液に対する溶解性が充分であるため非画素部分が基板上に残渣の発生が難しく、現像時に露光部の画素部分の膜減少が発生し難いため非画素部分の脱落性が良好である傾向がある。
【００５２】
本発明に含まれる光重合開始剤は、感光性樹脂組成物に一般に使われるものを適用することができ、例えば、アセトフェノン系、ベンゾフェノン系、トリアジン系、チオキサントン系、オキシム系、ベンゾイン系、非イミダゾール系化合物などを使うことができる。
【００５３】
アセトフェノン系化合物は、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−メチルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル［４−（１−メチルビニル）フェニル］プロパン−１−オンのオリゴマーなどが可能であり、これらのうち２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オンが好ましく使用可能である。
【００５４】
ベンゾフェノン系化合物としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどが可能である。
【００５５】
トリアジン系化合物としては、２，４，６−トリクロロ−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３’，４”−ジメトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４’−メトキシナフチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ビフェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、ビス（トリクロロメチル）−６−スチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシナフト１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（ピペロニル）−６−トリアジン、２，４−トリクロロメチル（４’−メトキシスチリル）−６−トリアジンなどが可能である。
【００５６】
チオキサントン系化合物としては、２−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが可能である。
【００５７】
オキシム系化合物としては、ｏ−エトキシカルボニル−α−オキシイミノ−１−フェニルプロパン−１−オンなどが挙げられ、市販品としてＣｉｂａ社のＯＸＥ−０１、ＯＸＥ−０２が代表的である。
【００５８】
ベンゾイン系化合物としては、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルジメチルケタールなどが使用可能である。
【００５９】
ビイミダゾール系化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５”−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２、３−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５”−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５”−テトラ（アルコキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５”−テトラ（トリアルコキシフェニル）ビイミダゾール、４，４’，５，５”位置のフェニル基がカルボアルコキシ基によって置換されているイミダゾール化合物などが可能である。
【００６０】
前記光重合開始剤は、前記黒色感光性樹脂組成物１００重量部に対して０．０１〜１０重量部、好ましくは０．０１〜５重量部で使うことができる。このような含量範囲は、モノマーの光重合速度および最終的に得られる塗膜の物性を考慮したものであって、前記範囲未満であると重合速度が低いため全体の工程時間が長くなり得、反対に前記範囲を超過する場合、過度な反応によって架橋反応が過度に発生して塗膜の物性がかえって低下し得るため、前記範囲内で適切に使うことが好ましい。
【００６１】
また、光重合開始剤とともに光重合開始補助剤を使うことができるが、前記光重合開始剤とともに光重合開始補助剤を使う場合、感光性樹脂組成物がさらに高感度になって生産性が向上するため好ましい。前記光重合開始補助剤としては、アミンおよびカルボン酸化合物からなる群から選択される１種以上の化合物が好ましく使われ得る。
【００６２】
このような光重合開始補助剤は、光重合開始剤１モル当たり通常１０モル以下、好ましくは０．０１〜５モルの範囲内で使うことが好ましい。前記範囲内で光重合開始補助剤を使う場合、重合効率を高めて生産性の向上効果を期待することができる。
【００６３】
前記溶剤は、上述した各構成と相溶性を有するものの、反応しないものであれば限定されずに使うことができる。一般に使われている各種有機溶剤を使うことができ、前記溶剤は塗布性、乾燥性の面で沸点が１００℃〜２００℃である有機溶剤が好ましい。
【００６４】
例えば、前記溶剤はアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、３−エトキシプロピオン酸エチルや、３−メトキシプロピオン酸メチルなどのエステル類が挙げられ、さらに好ましくはプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチルなどが挙げられる。これらの溶剤はそれぞれ単独でまたは二種類以上混合して使うことができる。
【００６５】
本発明の黒色感光性樹脂組成物中の溶剤の含量は、前記黒色感光性樹脂組成物全体１００重量部に対して６０〜９０重量部で含まれることが好ましく、６５〜８５重量部で含まれることがより好ましい。前記溶剤の含量が前記範囲以内で含まれる場合には、ロールコーター、スピンコーター、スリットアンドスピンコーター、スリットコーター（ダイコーターともいう）、インクジェットなどの塗布装置で塗布した時に塗布性が良好となり得る。
【００６６】
本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は分散性、コーティング性または密着性などを増進させるために当業界で通常使われる添加剤をさらに含むことができる。
【００６７】
前記分散剤としては、例えば、陽イオン系、陰イオン系、非イオン系などの適切な分散剤が使用できるが、重合体分散剤が好ましい。具体的には、アクリル系共重合体、ポリウレタン、ポリエステル、ポリエチレンイミン、ポリアリルアミンなどが挙げられる。このような分散剤は商業的に入手することができ、例えば、アクリル系共重合体として、ＤｉｓｐｅｒＢＹＫ−２０００、ＤｉｓｐｅｒＢＹＫ−２００１、ＢＹＫ−ＬＰＮ６９１９、ＢＹＫ−ＬＰＮ２１１１６（以上、ビックケミー（ＢＹＫ）社製造）、Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ  ５０００（Ｌｕｂｒｉｚｏｌ社製造）、ポリウレタンとして、ＤｉｓｐｅｒＢＹＫ−１６１、ＤｉｓｐｅｒＢＹＫ−１６２、ＤｉｓｐｅｒＢＹＫ−１６３、ＤｉｓｐｅｒＢＹＫ−１６５、ＤｉｓｐｅｒＢＹＫ−１６７、ＤｉｓｐｅｒＢＹＫ−１７０、ＤｉｓｐｅｒＢＹＫ−１８２（以上、ビックケミー（ＢＹＫ）社製造）、Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ  ７６５００（Ｌｕｂｒｉｚｏｌ社製造）、ポリエチレンイミンとして、Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ  ２４０００（Ｌｕｂｒｉｚｏｌ社製造）、ポリエステルとして、アジスポＰＢ８２１、アジスポＰＢ８２２、アジスポＰＢ８８０（味の素ファインテクノ株式会社製造）などが挙げられる。
【００６８】
また、前記添加剤は例えば、基板との接着性を高めるためにカルボキシ基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基およびこれらの組み合わせからなる群から選択される反応性置換基を有するシランカップリング剤を含むことができるが、これに限定されない。前記シランカップリング剤は具体的には、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシランなどが挙げられ、これを単独または二種以上組み合わせて使うことができるが、これに限定されない。
【００６９】
コーティング性を増進させるためには界面活性剤をさらに追加することができる。例えば、Ｍ−１０００、ＢＭ−１１００（ＢＭ  Ｃｈｅｍｉｅ社）、フロラードＦＣ−１３５／ＦＣ−１７０Ｃ／ＦＣ−４３０（住友スリーエム（株））などのフッ素系界面活性剤を使うことができるが、これに限定されず、当業界で通常使われる界面活性剤を使うことができる。
【００７０】
本発明において、前記添加剤の含量は限定されず、本発明の目的を阻害しない範囲で適切に追加して使うことができる。例えば、前記添加剤は前記黒色感光性樹脂組成物全体１００重量部に対して０．０１〜１０重量部、好ましくは０．０５〜５重量部で含まれ得るが、これに限定されない。
【００７１】
＜ブラックマトリックス、カラムスペーサー、ブラックマトリックス一体型カラムスペーサー＞
本発明の他の態様は、前述した黒色感光性樹脂組成物の硬化物を含むブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーに関するものである。
【００７２】
本発明に係る黒色感光性樹脂組成物は、現像工程および露光工程のマージンが高まるに伴って、ブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーの製造収率に優れた利点がある。
【００７３】
本発明において、前記ブラックマトリックス一体型カラムスペーサーとは、ブラックマトリックスとカラムスペーサーをそれぞれ形成するのではなく、一つのパターンでブラックマトリックスとカラムスペーサーの役割をいずれも遂行できるものを意味する。
【００７４】
前記ブラックマトリックス、カラムスペーサーまたはブラックマトリックス一体型カラムスペーサーの導入は、コーティング後にフォトリソグラフィ方法を通じてパターニングして形成することができるが、これに限定されない。フォトリソグラフィ方法は本発明で特に限定されず、感光性樹脂組成物を利用した公知の方法であればいずれでも適用可能である。一例として次のような段階を含むことができる：
ａ）基板に黒色感光性樹脂組成物を塗布する段階；
ｂ）溶剤を乾燥させるプリベーク段階；
ｃ）得られた皮膜の上にフォトマスクを当てて活性光線を照射して露光部を硬化させる段階；
ｄ）アルカリ水溶液を利用して未露光部を溶解させて現像工程を遂行する段階；および
ｅ）乾燥およびポストベーク遂行段階
【００７５】
前記基板はガラス基板やポリマー板が使われる。ガラス基板としては、特にソーダ石灰ガラス、バリウムまたはストロンチウム含有ガラス、鉛ガラス、アルミノケイ酸ガラス、硼珪酸ガラス、バリウム硼珪酸ガラスまたは石英などを好ましく使うことができる。またポリマー板としては、ポリカーボネート、アクリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフィドまたはポリスルホンなどが挙げられる。
【００７６】
この時、塗布は所望の厚さが得られるように、ロールコーター、スピンコーター、スリットアンドスピンコーター、スリットコーター（ダイコーターともいう）、インクジェットなどの塗布装置を利用した湿式コーティング方法によって遂行され得る。
【００７７】
前記プリベークは、オーブン、ホットプレートなどによって加熱することによって行われる。この時、プリベークにおける加熱温度および加熱時間は使う溶剤によって適宜選択され、例えば、８０〜１５０℃の温度で１〜３０分間行われる。
【００７８】
また、プリベーク後に行われる露光は、露光機によって行われてフォトマスクを通じて露光することによって、パターンに対応した部分のみを感光させる。この時、照射する光は、例えば、可視光線、紫外線、Ｘ線および電子線などが可能である。
【００７９】
露光後のアルカリ現像非露光部分の除去されない部分の感光性樹脂組成物を除去する目的で行われて、この現像によって所望のパターンが形成される。このアルカリ現像に適合した現像液としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液などを使うことができる。
【００８０】
前記ポストベークは、パターニングされた膜と基板との密着性を高めるために遂行し、８０〜２２０℃で１０〜１２０分の条件で熱処理を通じて行われる。ポストベークもプリベークと同様に、オーブン、ホットプレートなどを利用して遂行する。
【００８１】
本発明に係る黒色感光性樹脂組成物を利用して製造されたブラックマトリックス、カラムスペーサー、ブラックマトリックス一体型カラムスペーサーは、液晶ディスプレイ、ＯＬＥＤ、フレキシブルディスプレイなどのような多様な画像表示装置に適用可能である。
【実施例】
【００８２】
以下、本明細書を具体的に説明するために実施例を挙げて詳細に説明する。しかし、本明細書に係る実施例は多様な異なる形態に変形され得、本明細書の範囲は下記で詳述される実施例に限定されるものと解釈されない。本明細書の実施例は、当業界で平均的な知識を有する者に対して本明細書をより完全に説明するために提供されるものである。また、以下で含量を表わす「％」および「部」は、特に言及しない限り重量基準である。
【００８３】
合成例：結合剤樹脂の合成
攪拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を具備したフラスコを準備した。モノマー滴下ロートとして、３，４−エポキシトリシクロデカン−８−イル（メタ）アクリレートと３，４−エポキシトリシクロデカン−９−イル（メタ）アクリレートをモル比５０：５０で混合した混合物４０重量部、メチルメタクリレ−ト５０重量部、アクリル酸４０重量部、ビニルトルエン７０重量部、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート４重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）４０重量部を添加して攪拌を準備した。連鎖移動剤滴下槽として、ｎ−トデカンチオール６重量部、ＰＧＭＥＡ２４重量部を添加して攪拌を準備した。その後、フラスコにＰＧＭＥＡ３９５重量部を添加してフラスコ内の雰囲気を空気から窒素に取り替えた後、攪拌してフラスコの温度を９０℃まで昇温させた。その後モノマーおよび連鎖移動剤を滴下ロートから滴下を開始した。滴下は９０℃を維持しながら、それぞれ２時間の間進め、１時間後に１１０℃まで昇温して５時間の間維持して固形分酸価が１００ｍｇＫＯＨ／ｇである樹脂を得た。
【００８４】
アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）の測定は、ＧＰＣ法で下記の条件で測定した。
【００８５】
ＨＬＣ−８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製造）装置を使った。ＴＳＫ−ＧＥＬＧ４０００ＨＸＬとＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬカラムを直列連結して使用し、カラムの温度は４０℃にした。テトラヒドロフランを移動相の溶媒として使用し、１．０ｍＬ／分の流速で流しながら測定した。測定試料の濃度は０．６重量％であり、注入量は５０μｌであり、ＲＩ検出器を使って分析した。較正用標準物質としては、ＴＳＫ  ＳＴＡＮＤＡＲＤ  ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ  Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製造）を使用し、前記条件で得られたアルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量と数平均分子量を測定した。
【００８６】
ＧＰＣによって測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は１７、０００であり、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ）は２．３であった。
【００８７】
黒色感光性樹脂組成物の製造：実施例１〜４および比較例１〜４
下記の表１による構成および組成で、実施例および比較例に係る黒色感光性樹脂組成物を製造した。
【００８８】
【表１】
2018116270.tif 000002
【００８９】
実験例
【００９０】
（１）パターン基板の製作
５ｃｍ×５ｃｍのガラス基板（コーニング社）を中性洗剤および水で洗浄後、乾燥させた。前記ガラス基板上に前記実施例および比較例で製造された黒色感光性樹脂組成物それぞれを最終膜厚が３．０μｍとなるようにスピンコーティングし、８０〜１２０℃で先焼成して１〜２分間乾燥させて溶剤を除去した。その後、露光量４０〜１００  ｍＪ／ｃｍ２で露光してパターンを形成し、アルカリ水溶液を使って非露光部を除去した。引き続き、２００〜２５０℃で１０〜３０分間後焼成してパターン基板を製造した。
【００９１】
（２）露光マージン
基準露光量から−１０ｍＪして基板を製作し、基準露光量から＋１０ｍＪして基板を製作して三種の基板（基準露光量、基準露光量−１０ｍＪ、基準露光量＋１０ｍＪ）でのマージン結果を表２に示した。前記製作した三種の基板に形成されたパターンの線幅を測定し比較して、工程マージン中の露光マージンに対する結果を確認した。
【００９２】
線幅はラインパターンマスクを利用して基板の製作後に評価を進めた。評価はＳＮＵ社ＳＩＳ−２０００を利用して、パターン測定を進めた。
【００９３】
したがって、工程マージンのうち、露光マージンは２０ｍＪの露光範囲内の結果上の数値を利用して評価し、評価の結果、範囲は次のとおりである。
【００９４】
優秀◎＝±０．５以下、良好○＝±１．０以下、不足△＝±１．０超過
【００９５】
（３）現像マージン
基準現像時間より１０秒短くして基板を製作し、基準現像時間より１０秒長くして基板を製作して、合計三種の基板の特性を評価した。
【００９６】
形成されたパターンの線幅を測定して、工程マージン（露光マージン）を測定し、線幅はラインパターンマスクを利用して基板の製作後に評価を進めた。評価はＳＮＵ社ＳＩＳ−２０００を利用して、パターン測定を進めた。
【００９７】
現像マージンは、２０ｓｅｃ現像工程内の結果上の数値を利用して評価し、評価の結果、範囲は次のとおりである。
【００９８】
優秀◎＝±１．０以下、良好○＝±１．５以下、不足△＝±１．５超過
【００９９】
【表２】
2018116270.tif 000003
【０１００】
表２を参照すると、本発明に係る黒色感光性樹脂組成物を利用して形成されたパターン基板は露光マージンまたは現像マージンが優秀であるが、比較例に係る黒色感光性樹脂組成物を利用して形成されたパターン基板は露光マージンおよび現像マージンがすべて優れていないことが分かる。