(57)【要約】【課題】洗浄液に超音波振動が重畳されたことにより洗浄液にキャビテーション現象が生起され、洗浄液のキャビテーション現象により研磨テープの研磨面に局部的な衝撃力が付与され、キャビテーション効果により研磨テープの研磨面の目詰まりを除去することができる。【解決手段】研磨加工後の研磨テープＴを連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構Ａと、研磨テープの研磨面Ｔ１に洗浄液Ｌを供給する洗浄液供給機構Ｂを備えてなり、洗浄液供給機構に洗浄液に超音波振動を重畳する振動重畳ユニットＢ１が組み込まれ、振動重畳ユニットは超音波振動する振動子１４及び、振動子により振動され洗浄液に振動を重畳する振動重畳部材１５からなり、振動重畳部材にスリット１６ａをもつ櫛歯部１６が形成され、振動重畳部材に櫛歯部のスリットに洗浄液を給送するノズル部１５ａが設けられ、研磨テープに櫛歯部を近接配置してなる。【選択図】図２
2018075684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨加工後の研磨テープを連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構と、該研磨テープの研磨面に洗浄液を供給する洗浄液供給機構を備えてなり、上記洗浄液供給機構に上記洗浄液に超音波振動を重畳する振動重畳ユニットが組み込まれ、該振動重畳ユニットは超音波振動する振動子及び、該振動子により振動され、該洗浄液に振動を重畳する振動重畳部材からなり、該振動重畳部材にスリットをもつ櫛歯部が形成され、該振動重畳部材に該櫛歯部のスリットに上記洗浄液を給送するノズル部が設けられ、上記研磨テープに上記櫛歯部を近接配置してなることを特徴とする目詰まり除去装置。
【請求項２】
上記研磨テープを上記櫛歯部のスリットに挿通配置してなることを特徴とする請求項１記載の目詰まり除去装置。
【請求項３】
上記研磨テープの移送方向と上記振動重畳部材の櫛歯部のスリットの長さ方向とが所定の交差角をもって交差配置して研磨テープの研磨面に櫛歯部の先端縁部がテープ幅方向に配置され、上該研磨テープを該櫛歯部のスリットに挿通配置してなることを特徴とする請求項１又は２記載の目詰まり除去装置。
【請求項４】
上記櫛歯部の先端面を上記研磨テープの研磨面に近接配置してなることを特徴とする請求項１記載の目詰まり除去装置。
【請求項５】
上記櫛歯部のスリットは複数個形成されてなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の目詰まり除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は研磨加工後の研磨テープの研磨面に生じた目詰まりを除去し、使用済みの研磨テープの再使用を図る目詰まり除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の目詰まり除去装置として、研磨加工後の使用済みの研磨テープが浸漬通過する超音波洗浄槽を備えてなる構造のものが知られている。
【０００３】
すなわち、研磨加工後の使用済みの研磨テープには不可避的に目詰まりが生じ、目詰まりにより研磨テープの研磨特性及び被加工物の被研磨面の加工面性状が低下することになり、このため、研磨加工後の使用済みの研磨テープの目詰まりを除去し、高価な研磨テープを一回の使用で廃棄することなく、数回再使用を可能としようとするものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１９２３６０号公報
【特許文献２】特許第５９８２６９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら上記従来構造の場合、上記超音波洗浄槽の構築が必要となり、それだけ、装置の大型化並びに装置コストの高騰を余儀なくされることがあるという不都合を有している。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明はこのような不都合を解決することを目的とするもので、本発明のうち、請求項１記載の発明は、研磨加工後の研磨テープを連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構と、該研磨テープの研磨面に洗浄液を供給する洗浄液供給機構を備えてなり、上記洗浄液供給機構に上記洗浄液に超音波振動を重畳する振動重畳ユニットが組み込まれ、該振動重畳ユニットは超音波振動する振動子及び、該振動子により振動され、該洗浄液に振動を重畳する振動重畳部材からなり、該振動重畳部材にスリットをもつ櫛歯部が形成され、該振動重畳部材に該櫛歯部のスリットに上記洗浄液を給送するノズル部が設けられ、上記研磨テープに上記櫛歯部を近接配置してなることを特徴とする目詰まり除去装置にある。
【０００７】
又、請求項２記載の発明は、上記研磨テープを上記櫛歯部のスリットに挿通配置してなることを特徴とするものであり、又、請求項３記載の発明は、上記研磨テープの移送方向と上記振動重畳部材の櫛歯部のスリットの長さ方向とが所定の交差角をもって交差配置して研磨テープの研磨面に櫛歯部の先端縁部がテープ幅方向に配置され、上記研磨テープを該櫛歯部のスリットに挿通配置してなることを特徴とするものである。
【０００８】
又、請求項４記載の発明は、上記櫛歯部の先端面を上記研磨テープの研磨面に近接配置してなることを特徴とするものであり、又、請求項５記載の発明は、上記櫛歯部のスリットは複数個形成されてなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明は上述の如く、請求項１記載の発明にあっては、洗浄液供給機構に組み込まれた振動重畳ユニットにより洗浄液に超音波振動が重畳され、振動重畳ユニットは超音波振動する振動子及び、振動子により振動され、洗浄液に振動を重畳する振動重畳部材からなり、振動重畳部材にスリットをもつ櫛歯部が形成され、振動重畳部材に櫛歯部のスリットに上記洗浄液を給送するノズル部が設けられ、研磨テープに上記櫛歯部が近接配置され、洗浄液に超音波振動が重畳されたことにより洗浄液にキャビテーション現象が生起され、洗浄液のキャビテーション現象により研磨テープの研磨面に局部的な衝撃力が付与され、キャビテーション効果により研磨テープの研磨面の目詰まりを除去することができ、研磨加工によって生じた研磨加工後のいわゆる使用済みの研磨テープの研磨面の目詰まりを除去することができ、使用済みの研磨テープを未使用の研磨テープに近い状態で再使用することができ、高価な研磨テープを一回の使用で廃棄することなく、数回再使用することが可能となり、高価な研磨テープの再使用により研磨テープの無駄を抑制することができ、それだけ、経済性を高めることができると共に研磨作業性を向上することができる。
【００１０】
又、請求項２記載の発明にあっては、上記研磨テープは上記櫛歯部のスリットに挿通配置されているから、研磨テープの研磨面と櫛歯部のスリット内面とが近接し、超音波振動による洗浄液のキャビテーション現象が研磨面に良好に作用し、それだけ、目詰まり除去を良好に行うことができ、又、請求項３記載の発明にあっては、上記研磨テープの移送方向と上記振動重畳部材の櫛歯部のスリットの長さ方向とが所定の交差角をもって交差配置して研磨テープの研磨面に櫛歯部の先端縁部がテープ幅方向に配置され、上記研磨テープを櫛歯部のスリットに挿通配置してなるから、超音波振動の振幅が大きな櫛歯部の先端縁部が研磨テープのテープ幅方向に配置されることになり、超音波振動による洗浄液のキャビテーション現象が研磨面に良好に作用し、それだけ、目詰まり除去を良好に行うことができる。
【００１１】
又、請求項４記載の発明にあっては、上記櫛歯部の先端面を上記研磨テープの研磨面に近接配置してなるから、超音波振動の振幅が大きな櫛歯部の先端面が研磨テープの研磨面に近接配置され、超音波振動による洗浄液のキャビテーション現象が研磨面に良好に作用し、それだけ、目詰まり除去を良好に行うことができ、又、請求項５記載の発明にあっては、上記櫛歯部のスリットは複数個形成されているから、櫛歯部の超音波振動が良好になされ、超音波振動による洗浄液のキャビテーション現象が研磨面に良好に作用し、それだけ、目詰まり除去を良好に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の第一形態例の全体正面図である。
【図２】本発明の実施の第一形態例の部分拡大正面図である。
【図３】本発明の実施の第一形態例の部分拡大側面図である。
【図４】本発明の実施の第一形態例の部分拡大平断面図である。
【図５】本発明の実施の第一形態例の部分拡大正断面図である。
【図６】本発明の実施の第二形態例の部分拡大側面図である。
【図７】本発明の実施の第二形態例の部分拡大平断面図である。
【図８】本発明の実施の第三形態例の部分拡大平面図である。
【図９】本発明の実施の第四形態例の部分拡大側面図である。
【図１０】本発明の実施の第五形態例の部分拡大正断面図である。
【図１１】本発明の実施の第六形態例の部分拡大側面図である。
【図１２】本発明の実施の第六形態例の部分拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１乃至図１２は本発明の実施の形態例を示し、図１乃至図５は第一形態例、図６、図７は第二形態例、図８は第三形態例、図９は第四形態例、図１０は第五形態例、図１１、図１２は第六形態例である。
【００１４】
図１乃至図５の第一形態例にあっては、大別すると、研磨加工後の研磨テープＴを連続的又は間欠的に移送させるテープ移送機構Ａと、研磨テープＴの研磨面Ｔ１に洗浄液Ｌを供給する洗浄液供給機構Ｂから構成されている。
【００１５】
この場合、上記研磨テープＴの研磨面Ｔ１となる一方の面の研磨面Ｔ１にポリエステルフィルム、メタル、クロス等の基材に酸化アルミニウム、酸化クロム、シリコンカーバイド、ダイヤモンド等の所定の研磨砥粒をコーティング又は結合してなる構造となっており、又、上記洗浄液Ｌの種類として、水溶性、エマルジョン系、鉱物油系の洗浄液Ｌが用いられる。
【００１６】
この場合、上記テープ移送機構Ａにあっては、図１、図２の如く、機台１に配置され、上記研磨テープＴを巻回した実リール２から空リール３へと研磨テープＴを間欠的又は連続的に移送させる移送機構Ａ１からなり、移送機構Ａ１は実リール２から研磨テープＴを巻き解く巻解用モータ４、巻き解かれた研磨テープＴに逆張力を付与すると共に研磨テープＴに逆張力を付与しつつ研磨テープＴを繰り出す繰出ロール５及び繰出用モータ６、繰り出された研磨テープＴを入側案内ロール７から出側案内ロール８へ案内し、出側案内ロール８及び案内ロール９・１０を経て研磨テープＴを移送させる移送ロール１１及び移送用モータ１２、移送されてくる研磨テープＴを空リール３に巻き取る巻取用モータ１３を備えて構成している。
【００１７】
又、この場合、上記洗浄液供給機構Ｂにあっては、図３、図４、図５の如く、上記洗浄液Ｌに超音波振動を重畳する振動重畳ユニットＢ１が組み込まれ、振動重畳ユニットＢ１は超音波振動する振動子１４及び、振動子１４により振動され、洗浄液Ｌに振動を重畳する振動重畳部材１５からなり、この場合、振動子１４としてランジュバン振動子が用いられ、振動重畳部材１５は図外の保持手段により位置固定され、振動重畳部材１５に、この場合、三個のスリット１６ａ・１６ａ・１６ａをもつ櫛歯部１６が形成され、振動重畳部材１５に櫛歯部１６のスリット１６ａ・・に上記洗浄液Ｌを給送する対向一対の四個のノズル部１５ａ・・が設けられ、ノズル部１５ａ・・と各スリット１６ａ・・との間に二個の連通路１５ｂ・・及び三個ずつ計六個の吹き出し口１５ｃ・・を形成すると共にノズル部１５ａ・・を四個の継手１７・・及び四個の送出管１８を経て図外の洗浄液供給源に接続し、振動子１４には図示省略の電源、駆動周波数を発生させる信号発生器及び信号を増幅する増幅器が接続され、研磨テープＴの研磨面Ｔ１に上記櫛歯部１６を近接配置して構成している。
【００１８】
しかして、図外の洗浄液供給源からの洗浄液Ｌは、図４の如く、上記振動重畳部材１５のノズル部１５ａ、内部の連通路１５ｂ・・及び吹き出し口１５ｃ・・を介して櫛歯部１６のスリット１６ａ内に給送噴出され、振動重畳部材１５の超音波振動によりスリット１６ａ内に給送噴出された洗浄液Ｌに振動が重畳され、超音波振動が重畳された洗浄液Ｌは研磨テープＴの研磨面Ｔ１に流下し、又は、研磨テープＴを伝って供給されることになる。
【００１９】
この場合、図３、図４、図５の如く、上記研磨テープＴは上記櫛歯部１６の三個のスリット１６ａ・・の内の中央のスリット１６ａに挿通配置されている。
【００２０】
この実施の第一形態例は上記構成であるから、洗浄液供給機構Ｂに組み込まれた振動重畳ユニットＢ１により洗浄液Ｌに超音波振動が重畳され、振動重畳ユニットＢ１は超音波振動する振動子１４及び、振動子１４により振動され、洗浄液Ｌに振動を重畳する振動重畳部材１５からなり、振動重畳部材１５にスリット１６ａ・・をもつ櫛歯部１６が形成され、振動重畳部材１５に櫛歯部１６のスリット１６ａに上記洗浄液Ｌを給送するノズル部１５ａ・・が設けられ、研磨テープＴに上記櫛歯部１６が近接配置され、超音波振動が重畳された洗浄液Ｌは研磨テープＴの研磨面Ｔ１に供給され、洗浄液Ｌに超音波振動が重畳されたことにより洗浄液Ｌにキャビテーション現象が生起され、洗浄液Ｌのキャビテーション現象により研磨テープＴの研磨面Ｔ１に局部的な衝撃力が付与され、キャビテーション効果により研磨テープＴの研磨面Ｔ１の目詰まりを除去することができ、研磨加工によって生じた研磨加工後のいわゆる使用済みの研磨テープＴの研磨面Ｔ１の目詰まりを除去することができ、使用済みの研磨テープＴを未使用の研磨テープＴに近い状態で再使用することができ、高価な研磨テープＴを一回の使用で廃棄することなく、数回再使用することが可能となり、高価な研磨テープＴの再使用により研磨テープＴの無駄を抑制することができ、それだけ、経済性を高めることができると共に研磨作業性を向上することができる。
【００２１】
この場合、上記研磨テープＴは上記櫛歯部１６のスリット１６ａに挿通配置されているから、研磨テープＴの研磨面Ｔ１と櫛歯部１６のスリット１６ａ内面とが近接し、超音波振動による洗浄液Ｌのキャビテーション現象が研磨面Ｔ１に良好に作用し、それだけ、目詰まり除去を良好に行うことができる。
【００２２】
又、この場合、上記櫛歯部１６のスリット１６ａは複数個形成されているから、櫛歯部１６の超音波振動が良好になされ、超音波振動による洗浄液Ｌのキャビテーション現象が研磨面Ｔ１に良好に作用し、それだけ、目詰まり除去を良好に行うことができる。
【００２３】
図６、図７の第二形態例は別例構造を示し、この場合、研磨テープＴの移送方向Ｔ２と上記振動重畳部材１５の櫛歯部１６のスリット１６ａの長さ方向１６ｂとが所定の交差角θをもって交差配置して研磨テープＴの研磨面Ｔ１に櫛歯部１６の先端縁部１６ｄがテープ幅Ｔ３方向に配置され、研磨テープＴを櫛歯部１６のスリット１６ａに挿通配置し、その他は上記第一形態例と同様な構造となっている。
【００２４】
この第二形態例にあっては、超音波振動の振幅が大きな櫛歯部１６の先端縁部１６ｄが研磨テープＴのテープ幅Ｔ３方向に配置され、研磨テープＴを櫛歯部１６のスリット１６ａに挿通配置しているから、超音波振動による洗浄液Ｌのキャビテーション現象が研磨面Ｔ１に良好に作用し、それだけ、目詰まり除去を良好に行うことができ、上記第一形態例と同様な作用効果を得ることができる。
【００２５】
図８の第三形態例は別例構造を示し、この場合、上記櫛歯部１６の先端面１６ｃを上記研磨テープＴの研磨面Ｔ１に近接配置し、研磨テープＴの移送方向Ｔ２とスリット１６ａの幅方向とが直交する状態に配置され、その他は上記第一形態例と同様な構造となっている。
【００２６】
図９の第四形態例は別例構造を示し、この場合、上記櫛歯部１６の先端面１６ｃを上記研磨テープＴの研磨面Ｔ１に近接配置し、研磨テープＴの移送方向Ｔ２とスリット１６ａの幅方向とが同方向に配置され、その他は上記第一形態例と同様な構造となっている。
【００２７】
これら第三形態例及び第四形態例にあっても、超音波振動の振幅が大きな櫛歯部１６の先端面１６ｃが研磨テープＴの研磨面Ｔ１に近接配置されているから、超音波振動による洗浄液Ｌのキャビテーション現象が研磨面Ｔ１に良好に作用し、それだけ、目詰まり除去を良好に行うことができ、上記第一形態例と同様な作用効果を得ることができる。
【００２８】
図１０の第五形態例は別例構造を示し、この場合、櫛歯部１６のスリット１６ａを五個形成し、研磨テープＴを二個の折返ロールＲ１・Ｒ１により折り返して三個のスリット１６ａ・・に挿通配置して構成している。
【００２９】
この第五形態例にあっても、超音波振動による洗浄液Ｌのキャビテーション現象が研磨面Ｔ１に良好に作用し、それだけ、目詰まり除去を良好に行うことができ、上記第一形態例と同様な作用効果を得ることができる。
【００３０】
図１１、図１２の第六形態例は別例構造を示し、この場合、上記振動重畳部材１５の櫛歯部１６を折曲形成し、櫛歯部１６に三個のスリット１６ａ・１６ａ・１６ａを形成し、櫛歯部１６の折曲面１６ｅを研磨テープＴの研磨面Ｔ１に近接配置して構成している。
【００３１】
この第六形態例にあっても、上記第一形態例と同様な作用効果を得ることができる。
【実施例】
【００３２】
上記図６、図７の実施の第二形態例を参照し、振動重畳部材１５は、この場合、６ＡＬ−４Ｖ−Ｔｉ、いわゆる６４チタン合金製の２５ｍｍ×２５ｍｍ×８８ｍｍのほぼ四角柱状に形成され、スリット１６ａとして幅２ｍｍのスリットが六個形成され、スリット長さは４５ｍｍとされ、研磨時の実験条件として、テープ幅Ｔ３が２５ｍｍの研磨テープＴを用い、研磨テープＴの送り速度を３０ｍｍ／ｍｉｎ、被加工物の回転数７０ｍ／ｍｉｎ、図示省略の圧接ロールの偏心揺振回転数を１，０００ｒｐｍ、図示省略の圧接ロールによる研磨テープＴを経た被加工物への加圧力を０．１５ＭＰａとし、被加工物の材料には直径３０ｍｍのＳ４５Ｃ材を用いた。また、洗浄液Ｌには水溶性切削油（ユシロ科学製ユシローケンＦＧＳ６９０・ｓｙｎｔｈｅｔｉｃ  ｔｙｐｅ）を用いて研磨を行った。また回転中の被加工物に未使用の研磨テープＴを２０秒間だけ押し付けることで目詰まりを発生させた。
【００３３】
この場合、洗浄液Ｌに超音波振動を重畳すると、洗浄液Ｌ中にキャビテーション現象が発生して局部的に大きな力が作用し、洗浄効果が発生する。この性質を用いて、研磨テープＴの目詰まりを除去する。ランジュバン振動子に振動重畳部材１５を組み合わせた振動重畳ユニットＢ１を採用した。
【００３４】
又、この場合、振動重畳部材１５の櫛歯部１６のスリット１６ａ内に目詰まりした研磨テープＴを挿通し、振動重畳ユニットＢ１を周波数２８．２ｋＨｚ、出力４０Ｗで駆動させる。振動重畳ユニットＢ１は櫛歯部１６の先端縁部１６ｄにかけて振幅が大きくなるため、超音波洗浄に偏りが出来ないように振動重畳ユニットＢ１を研磨テープＴに対してθ＝４５°傾けることで、超音波振動の振幅が大きな櫛歯部１６の先端縁部１６ｄを通過するように配置した。振動重畳ユニットＢ１には櫛歯部１６の根元から、先端縁部１６ｄへ洗浄液Ｌを供給する機能が備わっており、これを利用して、櫛歯部１６に６リットル／ｍｉｎの洗浄液Ｌを供給する。この結果、櫛歯部１６の先端縁部１６ｄでは洗浄液Ｌ中に継続的なキャビテーション現象が発生し、目詰まりを除去できる。テープユニットによってテープ研磨加工と同じ、即ち、３０ｍｍ／ｍｉｎで研磨テープＴを巻取移送させながら超音波洗浄を行った。
【００３５】
この実験の結果については、研磨テープＴの表面の観察はマイクロスコープ（ＫＥＹＥＮＣＥ製ＶＨＸ−１００）で撮影し、画像を二値化して目詰まり面積を求めた。二値化処理とは画像の濃淡を２５５段階で評価し、或る、しきい値で白と黒の二階調に変換する処理である。研磨による除去体積量の測定には電気マイクロメータ（Ｍａｈｒ製ｍｉｌｌｉｔｒｏｎ１２０２ＩＣ）を使用し、未研磨部に対する研磨部との段差を均等に５箇所測定し、平均値を求めた。被加工面の表面粗さは表面粗さ測定器（ミツトヨ製ＳＶ−３０００）で測定した。
【００３６】
上記実験の結果、未使用の研磨テープＴ、使用済みの目詰まりした研磨テープＴ、目詰まり除去後の研磨テープＴでの単位時間あたりの除去体積量を比較した。未使用の研磨テープＴによる除去体積量が平均０．３５μｍ３／ｓｅｃに対して使用済みの目詰まりした研磨テープＴによる除去体積量が平均０．１３μｍ３／ｓｅｃ、目詰まり除去後の研磨テープＴが平均０．３μｍ３／ｓｅｃである。すなわち、目詰まりによって低下した研磨能率を、超音波洗浄の効果によって８６％まで復元できたことがわかる。また、被加工面の表面粗さを算術平均粗さを用いて評価した。未使用の研磨テープＴで加工した箇所では０．０７μｍ、使用済みの目詰まりした研磨テープＴで加工した箇所は０．０５μｍ、目詰まり除去後の研磨テープＴで加工した箇所では０．０６μｍとなった。超音波洗浄により目詰まりが除去されたことで、目詰まり除去後の研磨テープＴで加工した箇所の表面粗さが未使用の研磨テープＴで加工した箇所の表面粗さに近づいたものと考えられる。これは、目詰まりは、被削材の除去能力が低下する一方で、バニッシ効果によって表面粗さを向上させたのだと考えられる。よって、超音波洗浄によって目詰まりが除去されたことで加工能力が復元したと考えられる。
【００３７】
又、それぞれの研磨テープＴ表面を撮影した画像と、二値化した画像を比較した結果、しきい値は未使用の研磨テープＴがほぼ全て白（ＲＧＢ値ＦＦＦＦＦＦ）になる値を基準とし１００とし、撮影範囲２．７ｍｍ×２．７ｍｍにおいて、二値化後の黒い部分（ＲＧＢ値００００００）の割合はそれぞれ使用済みの目詰まりした研磨テープＴで９１％、目詰まり除去後の研磨テープＴで１８％となり、ある程度の目詰まりが除去され、研磨テープＴ表面の画像からも目詰まりが除去されていることが確認された。
【００３８】
したがって、上記実施例において、観察によって目詰まりが除去されていることが確認され、未使用の研磨テープＴ、使用済みの目詰まりした研磨テープＴ、目詰まり除去後の研磨テープＴをそれぞれ比較することで、目詰まり除去により研磨量、表面粗さが未使用のものに近づき、加工能力が復元したことがわかり、また、研磨テープＴ表面の画像からも目詰まりが除去されていることが確認され、研磨テープＴの目詰まり除去により加工能力の復元が確認された。
【００３９】
尚、本発明は上記実施の形態例に限られるものではなく、テープ移送機構Ａ、洗浄液供給機構Ｂ、振動重畳ユニットＢ１、振動重畳部材１５、櫛歯部１６、スリット１６ａの数や形態、構造等は適宜変更して設計されるものである。
【００４０】
以上、所期の目的を充分達成することができる。
【符号の説明】
【００４１】
Ｔ    研磨テープ
Ｔ１    研磨面
Ｔ２    移送方向
Ｔ３    テープ幅
Ａ    テープ移送機構
Ｂ    洗浄液供給機構
Ｂ１    振動重畳ユニット
Ｌ    洗浄液
θ    交差角
１４    振動子
１５    振動重畳部材
１５ａ    ノズル部
１６    櫛歯部
１６ａ    スリット
１６ｂ    長さ方向
１６ｃ    先端面
１６ｄ    先端縁部
【図１】
2018075684.tif 000003
【図２】
2018075684.tif 000004
【図３】
2018075684.tif 000005
【図４】
2018075684.tif 000006
【図５】
2018075684.tif 000007
【図６】
2018075684.tif 000008
【図７】
2018075684.tif 000009
【図８】
2018075684.tif 000010
【図９】
2018075684.tif 000011
【図１０】
2018075684.tif 000012
【図１１】
2018075684.tif 000013
【図１２】
2018075684.tif 000014