(57)【要約】【課題】チタンシリサイド領域に対してチタン含有領域を選択的に除去することを可能とする方法を提供する。【解決手段】一実施形態の方法では、被加工物のシリコン層上にチタン含有領域及びチタンシリサイド領域が形成される。次いで、チタンシリサイド領域に対してチタン含有領域を選択的にエッチングするために、チタン含有領域及びチタンシリサイド領域を含む被加工物に、フッ素含有ガスが供給される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チタンシリサイド領域を形成する方法であって、
被加工物のシリコン層の清浄な面を露出させるための前処理を行う工程と、
前処理を行う前記工程の実行後に、前記シリコン層上にチタン含有領域及びチタンシリサイド領域を形成する工程と、
前記チタンシリサイド領域に対して前記チタン含有領域を選択的にエッチングするために、前記チタン含有領域及び前記チタンシリサイド領域を含む前記被加工物に、フッ素含有ガスを供給する工程と、
を含む方法。
【請求項２】
前記フッ素含有ガスは、三フッ化塩素ガスである、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記三フッ化塩素ガスの流量は、５ｓｃｃｍ以下である、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記チタン含有領域は、チタン、酸化チタン、及び、窒化チタンのうち少なくとも一つから形成されている、請求項１〜３の何れか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、チタンシリサイド領域を形成する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスといった電子デバイスの製造においては、シリコン層上にコンタクトを形成するために、チタンシリサイド領域が形成されることがある。チタンシリサイドを形成する方法については、特許文献１及び特許文献２に記載されている。
【０００３】
特許文献１及び特許文献２に記載された方法では、被加工物は、シリコン基板、及び、当該シリコン基板上に形成された絶縁膜を有する。絶縁膜には、シリコン基板を部分的に露出させる開口が形成されている。特許文献１及び特許文献２に記載された方法では、絶縁膜及びシリコン基板上にチタン膜が形成され、当該チタン膜の全領域のうちシリコン基板上の領域からチタンシリサイド領域が形成される。しかる後に、チタン膜がチタンシリサイド領域に対して選択的にエッチングされる。チタン膜のエッチングにおいては、四塩化チタンガスが用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−３０８３６０号公報
【特許文献２】特開２００１−２１０７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
四塩化チタンガスによるチタン膜のエッチングでは、エッチング時間の経過と共にエッチングレートが低下する。したがって、四塩化チタンガスをエッチングに用いると、チタンシリサイド領域のみならずチタン膜が残されることがある。故に、チタンシリサイド領域に対してチタン含有領域を選択的に除去することを可能とすることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一態様においては、チタンシリサイド領域を形成する方法が提供される。この方法は、被加工物のシリコン層の清浄な面を露出させるための前処理を行う工程と、前処理を行う工程の実行後にシリコン層上にチタン含有領域及びチタンシリサイド領域を形成する工程と、チタンシリサイド領域に対してチタン含有領域を選択的にエッチングするために、チタン含有領域及びチタンシリサイド領域を含む被加工物に、フッ素含有ガスを供給する工程と、を含む。
【０００７】
一態様に係る方法では、チタン含有領域のエッチングにフッ素含有ガスが用いられている。フッ素含有ガスによれば、チタンシリサイド領域に対してチタン含有領域が選択的に除去される。
【０００８】
一実施形態では、フッ素含有ガスは、三フッ化塩素ガスである。一実施形態では、三フッ化塩素ガスの流量は、５ｓｃｃｍ以下に設定される。
【０００９】
一実施形態では、チタン含有領域は、チタン、酸化チタン、及び、窒化チタンのうち少なくとも一つから形成されている。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、チタンシリサイド領域に対してチタン含有領域を選択的に除去することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】一実施形態に係るチタンシリサイド領域を形成する方法を示す流れ図である。
【図２】一例の被加工物の一部拡大断面図である。
【図３】図１に示す方法において利用可能な処理システムを示す図である。
【図４】図３の処理システムに用いることが可能な成膜装置を示す図である。
【図５】図３の処理システムに用いることが可能なエッチング装置を示す図である。
【図６】図１に示す方法の実行中に得られる被加工物の一部拡大断面図である。
【図７】図１に示す方法の実行後の被加工物の一部拡大断面図である。
【図８】四塩化チタンガスを用いたエッチングにおけるチタン膜のエッチング後の膜厚の時間依存性、及び、三フッ化塩素ガスを用いたエッチングにおけるチタン膜のエッチング後の膜厚の時間依存性を示すグラフである。
【図９】図９の（ａ）は、三フッ化塩素ガスを用いたチタン膜及びチタンシリサイド膜のエッチングの流量依存性を示すグラフであり、図９の（ｂ）は、三フッ化塩素ガスを用いた酸化チタン膜及びチタンシリサイド膜のエッチングの流量依存性を示すグラフである。
【図１０】図１０の（ａ）は、三フッ化塩素ガスを用いたチタン膜及びチタンシリサイド膜のエッチングの時間依存性を示すグラフであり、図１０の（ｂ）は、三フッ化塩素ガスを用いた酸化チタン膜及びチタンシリサイド膜のエッチングの時間依存性を示すグラフであり、図１０の（ｃ）は、三フッ化塩素ガスを用いた窒化チタン膜及びチタンシリサイド膜のエッチングの時間依存性を示すグラフである。
【図１１】図１１の（ａ）は、三フッ化塩素ガスを用いたチタン膜及びチタンシリサイド膜のエッチングの温度依存性を示すグラフであり、図１１の（ｂ）は、三フッ化塩素ガスを用いたチタン膜及びチタンシリサイド膜のエッチングの圧力依存性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して種々の実施形態について詳細に説明する。なお、各図面において同一又は相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
【００１３】
図１は、一実施形態に係るチタンシリサイド領域を形成する方法を示す流れ図である。図１に示す方法ＭＴは、被加工物上にチタンシリサイド領域を形成するために実行される。図２は、一例の被加工物の一部拡大断面図である。方法ＭＴは、図２に示す被加工物Ｗに対して適用され得る。
【００１４】
図２に示すように、被加工物Ｗは、シリコン層ＳＬ及び絶縁膜ＩＬを有している。シリコン層ＳＬは、シリコンから形成されている。絶縁膜ＩＬは、シリコン層ＳＬ上に形成されている。絶縁膜ＩＬは、例えば酸化シリコンから形成されている。絶縁膜ＩＬには、開口が形成されている。絶縁膜ＩＬの開口は、シリコン層ＳＬの表面を部分的に露出させている。
【００１５】
図３は、図１に示す方法において利用可能な処理システムを示す図である。方法ＭＴは、図３に示す処理システムを用いて実行され得る。図３に示す処理システム１は、台２ａ、２ｂ，２ｃ，２ｄ、容器４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ、ローダーモジュールＬＭ、アライナＡＮ、ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２、搬送モジュールＴＭ、プロセスモジュールＰＭ１，ＰＭ２，ＰＭ３，ＰＭ４を備えている。なお、処理システム１の台の個数、容器の個数、ロードロックモジュールの個数は、１個以上の任意の個数であり得る。
【００１６】
台２ａ、２ｂ，２ｃ，２ｄは、ローダーモジュールＬＭの一縁に沿って配列されている。容器４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄはそれぞれ、台２ａ、２ｂ，２ｃ，２ｄ上に配置されている。容器４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、その内部に被加工物Ｗを収容するように構成されている。容器４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの各々は、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｕｎｉｆｉｅｄ  Ｐｏｄ）と称される容器であり得る。
【００１７】
ローダーモジュールＬＭは、その内部にチャンバＬＣを提供している。チャンバＬＣの圧力は、大気圧に設定される。ローダーモジュールＬＭは、搬送装置ＴＵ１を備えている。搬送装置ＴＵ１は、例えば多関節ロボットである。搬送装置ＴＵ１は、容器４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの各々とアライナＡＮとの間、アライナＡＮとロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々との間、容器４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの各々とロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々との間で、チャンバＬＣを介して、被加工物Ｗを搬送するように構成されている。アライナＡＮは、ローダーモジュールＬＭに接続されている。アライナＡＮは、その内部において被加工物Ｗの位置を較正する。
【００１８】
ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２は、ローダーモジュールＬＭと搬送モジュールＴＭの間に設けられている。ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々は、予備減圧室を提供している。ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々の予備減圧室とチャンバＬＣとの間にはゲートバルブが設けられている。
【００１９】
搬送モジュールＴＭは、その内部にチャンバＴＣを提供している。チャンバＴＣは、減圧可能に構成されている。チャンバＴＣとロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々の間にはゲートバルブが設けられている。搬送モジュールＴＭは、搬送装置ＴＵ２を有している。搬送装置ＴＵ２は、例えば多関節ロボットである。搬送装置ＴＵ２は、ロードロックモジュールＬＬ１，ＬＬ２の各々とプロセスモジュールＰＭ１，ＰＭ２，ＰＭ３，ＰＭ４の各々の間、プロセスモジュールＰＭ１，ＰＭ２，ＰＭ３，ＰＭ４のうち任意の二つのプロセスモジュールの間で、チャンバＴＣを介して、被加工物Ｗを搬送するように構成されている。
【００２０】
プロセスモジュールＰＭ１，ＰＭ２，ＰＭ３，ＰＭ４の各々は、専用の基板処理を実行する装置である。プロセスモジュールＰＭ１，ＰＭ２，ＰＭ３，ＰＭ４の各々のチャンバは、ゲートバルブを介してチャンバＴＣに接続されている。方法ＭＴの後述する工程ＳＴ１は、プロセスモジュールＰＭ１及びプロセスモジュールＰＭ４を用いて実行される。一例において、プロセスモジュールＰＭ１は、減圧されたチャンバに、フッ化水素ガスとアンモニアガスの混合ガスを供給する。これにより、被加工物Ｗのシリコン層ＳＬの表面の酸化膜（自然酸化膜）を構成する酸化シリコンが、ケイフッ化アンモニウムに変質する。しかる後に、被加工物Ｗは、プロセスモジュールＰＭ４に搬送される。プロセスモジュールＰＭ４は、減圧されたチャンバ内で被加工物Ｗを加熱する。被加工物Ｗが加熱されると、ケイフッ化アンモニウムが気化し、発生した気体が排気される。これにより、酸化膜が除去される。しかる後に、被加工物ＷはプロセスモジュールＰＭ２に搬送される。
【００２１】
方法ＭＴの後述する工程ＳＴ２は、プロセスモジュールＰＭ２を用いて実行される。プロセスモジュールＰＭ２は、チタン含有領域及びチタンシリサイド領域を形成するための成膜装置である。プロセスモジュールＰＭ２においてチタン含有領域及びチタンシリサイド領域がその上に形成された被加工物Ｗは、プロセスモジュールＰＭ３に搬送される。方法ＭＴの後述する工程ＳＴ３は、プロセスモジュールＰＭ３を用いて実行される。プロセスモジュールＰＭ３は、チタン含有領域をエッチングするためのエッチング装置である。
【００２２】
処理システム１は、制御部ＭＣを更に備え得る。制御部ＭＣは、方法ＭＴの実行において、処理システム１の各部を制御するように構成されている。制御部ＭＣは、プロセッサ（例えばＣＰＵ）、及び、メモリといった記憶装置、制御信号の入出力インタフェイスを備えたコンピュータ装置であり得る。記憶装置には、制御プログラム及びレシピデータが記憶されている。プロセッサが制御プログラム及びレシピデータに従って動作することにより、処理システム１の各部に制御信号が送出される。このような制御部ＭＣの動作により、方法ＭＴが実行され得る。
【００２３】
図４は、図３の処理システムに用いることが可能な成膜装置を示す図である。図３に示す成膜装置１０Ａは、プロセスモジュールＰＭ２として採用され得る。成膜装置１０Ａは、チャンバ本体１２を備えている。チャンバ本体１２は、略筒形状を有する。チャンバ本体１２は、その内部空間をチャンバ１２ｃとして提供している。チャンバ１２ｃは、被加工物Ｗがその中で処理される処理空間１２ｐを含んでいる。チャンバ本体１２は、例えば金属から形成されている。チャンバ１２ｃ内にはステージ１４が設けられている。ステージ１４は被加工物Ｗを支持するように構成されている。チャンバ本体１２の側壁には、通路１２ｔが形成されている。被加工物Ｗは、チャンバ１２ｃの外部からチャンバ１２ｃに搬入されるとき、チャンバ１２ｃからチャンバ１２ｃの外部に搬出されるときに、通路１２ｔを通過する。チャンバ本体１２の側壁には、通路１２ｔの開閉のためのゲートバルブ１２ｇが設けられている。
【００２４】
チャンバ本体１２上には、排気ダクト１３が設けられている。排気ダクト１３は、金属から形成されている。排気ダクト１３は、処理空間１２ｐを囲むように、周方向に延在している。排気ダクト１３の内側の壁部には、スリット状の開口１３ａが形成されている。処理空間１２ｐ内のガスは、開口１３ａから排気ダクト１３内に流れる。排気ダクト１３の外側の壁部には、排気口１３ｅが形成されている。排気口１３ｅには排気部１６が接続されている。排気部１６は、圧力調整弁といった圧力調整装置、及び、真空ポンプといった減圧ポンプを有している。排気ダクト１３内に流入したガスは、排気口１３ｅを介して排出される。
【００２５】
ステージ１４は、チャンバ１２ｃ内において、排気ダクト１３よりも内側に配置されている。ステージ１４は、略円盤形状を有しており、例えばセラミックス又は金属から形成されている。ステージ１４の内部には、ヒータが内蔵されている。ステージ１４内のヒータが発熱することにより、被加工物Ｗが加熱される。なお、ステージ１４は、被加工物Ｗを保持するために、静電チャックを有していてもよい。
【００２６】
ステージ１４は、その上に被加工物Ｗが載置される載置領域を提供している。ステージ１４には、カバー部材１８が取り付けられている。カバー部材１８は、ステージ１４の載置領域の外周側の領域、及び、ステージ１４の側面を覆うように延在している。
【００２７】
ステージ１４の周囲には、ガイドリング５４が設けられている。ガイドリング５４は、絶縁体、例えば酸化アルミニウムから形成されている。ガイドリング５４は、略円筒形状を有している。ガイドリング５４の上端は鍔状に形成されている。ガイドリング５４の上端は、排気ダクト１３によって支持されている。ガイドリング５４とカバー部材１８との間には間隙が形成されている。このガイドリング５４により、ステージ１４の周囲におけるガスの流れが制御される。
【００２８】
ステージ１４は、支持部材２０及び支持台２２を介して昇降機構２４に接続されている。支持部材２０は、チャンバ本体１２の底部に形成された開口を通って、チャンバ本体１２の外部まで延在している。支持部材２０の一端はステージ１４に結合されており、支持部材２０の他端は昇降機構２４に接続されている。支持台２２は、支持部材２０の一端と他端の間に設けられている。チャンバ本体１２の底部と支持台２２の間には、支持部材２０を囲むように、ベローズ２６が設けられている。ベローズ２６の一端はチャンバ本体１２に接続されており、その他端は支持台２２に接続されている。このベローズ２６により、チャンバ本体１２の底部における気密が確保されている。
【００２９】
昇降機構２４は、ステージ１４を第１の位置と第２の位置との間で昇降移動させる。第１の位置（図４において一点鎖線で示す位置）にステージ１４が位置しているときには、被加工物Ｗがステージ１４と搬送装置ＴＵ２との間で受け渡される。第２の位置（図４に示されるステージ１４の位置）にステージ１４が位置しているときには、ステージ１４上に載置された被加工物Ｗが処理される。ステージ１４の下方には、複数の支持ピン２８が設けられている。複数の支持ピン２８がステージ１４の貫通口を介して当該ステージ１４の上面から突き出されると、被加工物Ｗはステージ１４から離れて、複数の支持ピン２８によって支持される。
【００３０】
排気ダクト１３の上面側には、支持板３０が設けられている。支持板３０は、略円板形状を有しており、金属から形成されている。排気ダクト１３と支持板３０との間には、リング形状を有する絶縁部材３１が設けられている。絶縁部材３１と支持板３０との間にはＯリング３２が設けられている。Ｏリング３２により、チャンバ１２ｃの気密が確保される。また、絶縁部材３１により、支持板３０は排気ダクト１３から電気的に絶縁されている。支持板３０の下面側には、金属製の天板３４が固定されている。
【００３１】
天板３４の下面側には凹部が形成されている。天板３４の下面側には、当該天板３４の凹部を覆うようにシャワーヘッド３６が設けられている。シャワーヘッド３６は金属製である。シャワーヘッド３６は、略円盤形状を有している。シャワーヘッド３６の中央領域は、略平坦な下面を提供しており、ステージ１４の載置領域に対面している。シャワーヘッド３６の周縁領域は、その中央領域よりも下方に突き出している。
【００３２】
ステージ１４が第２の位置に配置されているときには、シャワーヘッド３６の周縁領域は、間隙を介してカバー部材１８に対面する。シャワーヘッド３６とステージ１４によって囲まれた空間は、処理空間１２ｐとなる。
【００３３】
シャワーヘッド３６によって覆われた天板３４の凹部は、ガス拡散室３４ａとなっている。シャワーヘッド３６には、多数のガス吐出孔３６ａが形成されている。ガス拡散室３４ａに供給されたガスは、ガス吐出孔３６ａから処理空間１２ｐに吐出されて、被加工物Ｗに供給される。
【００３４】
ガス拡散室３４ａ内には、複数のガス拡散部３８が設けられている。複数のガス拡散部３８は、例えば同心円状に配置されている。複数のガス拡散部３８の各々は、上端において開口され、下端において閉塞された円筒形状を有している。複数のガス拡散部３８の各々の側壁には、複数のガス吐出孔が形成されている。複数のガス吐出孔は、周方向に沿って配列されている。複数のガス拡散部３８の各々の上端の開口は、天板３４に形成されたガス供給路３４ｂの一端に接続されている。
【００３５】
天板３４の上面と支持板３０の下面との間には拡散室３０ａが形成されている。ガス供給路３４ｂの他端は、拡散室３０ａに接続されている。支持板３０には、第１の供給路３０ｂ及び第２の供給路３０ｃが形成されている。第１の供給路３０ｂの一端及び第２の供給路３０ｃの一端は拡散室３０ａに接続されている。
【００３６】
第１の供給路３０ｂの他端は、流量制御器及び開閉バルブを介して不活性ガスのソース４１に接続されている。ソース４１から出力される不活性ガスは、アルゴンガスといった希ガスであり得る。また、第１の供給路３０ｂの他端は、流量制御器及び開閉バルブを介して水素ガス（Ｈ２ガス）のソース４２に接続されている。また、第１の供給路３０ｂの他端は、流量制御器及び開閉バルブを介してアンモニアガス（ＮＨ3ガス）のソース４５に接続されている。第２の供給路３０ｃの他端は、流量制御器及び開閉バルブを介して不活性ガスのソース４３に接続されている。ソース４３から出力される不活性ガスは、アルゴンガスといった希ガスであり得る。また、第２の供給路３０ｃの他端は、流量制御器及び開閉バルブを介してチタン含有ガスのソース４４に接続されている。チタン含有ガスは、例えば四塩化チタンガスである。
【００３７】
支持板３０には、整合器５１を介して高周波電源５０接続されている。高周波電源５０は、プラズマ生成用の高周波（高周波電気エネルギー）を発生する電源である。高周波電源５０によって発生される高周波の周波数は、例えば、４５０ｋＨｚ又は１３．５６ＭＨｚである。支持板３０、天板３４、及び、シャワーヘッド３６は互いに電気的に接続されており、プラズマ生成用の高周波が供給される上部電極を構成している。
【００３８】
上部電極の周囲には、絶縁部材５２が設けられている。絶縁部材５２は、例えば石英から形成されている。絶縁部材５２は略円筒形状を有している。絶縁部材５２と上部電極の外周面との間には間隙が形成されている。絶縁部材５２の下端面は、上部電極の下端面（シャワーヘッド３６の周縁領域の下端面）と鉛直方向において略同一のレベルに設けられている。絶縁部材５２は、チャンバ本体１２及び排気ダクト１３を上部電極から電気的に絶縁する。
【００３９】
ステージ１４内には、下部電極１４ａが設けられている。下部電極１４ａと上部電極は、平行平板電極を構成している。一例においては、ステージ１４はセラミックス製であり、下部電極１４ａは略円板形状を有しており、ステージ１４に内蔵されている。下部電極１４ａは、接地されている。なお、下部電極１４ａに整合器５１を介して高周波電源５０が接続され、上部電極が接地されてもよい。なお、ステージ１４全体が下部電極として機能するように、金属製のステージヒータが用いられてもよい。支持部材２０も金属製である場合には、支持部材２０と支持台２２の間に絶縁部材が設けられ、支持部材２０と支持台２２とが互いに電気的に絶縁されてもよい。
【００４０】
成膜装置１０Ａでは、上部電極に高周波が供給されると、上部電極と下部電極１４ａとの間に形成される高周波電界により、処理空間１２ｐ内のガスが励起される。これにより、チタン含有領域を被加工物Ｗ上に形成することができる。また、ステージ１４のヒータにより、被加工物Ｗを加熱することにより、シリコン層ＳＬ上のチタンをチタンシリサイドに変質させて、チタンシリサイド領域を形成することができる。
【００４１】
成膜装置１０Ａは、制御部ＭＣに接続されている。制御部ＭＣからの制御信号により、成膜装置１０Ａの各部が制御されて、成膜装置１０Ａの各部を動作させることができる。
【００４２】
図５は、図３の処理システムに用いることが可能なエッチング装置を示す図である。図５に示すエッチング装置１０Ｂは、成膜装置１０Ａと同様の構成を有し得る。エッチング装置１０Ｂにおいて、ソース４４は、フッ素含有ガスのソースである。フッ素含有ガスは、例えば三フッ化塩素ガスである。フッ素含有ガスは、フッ化水素ガス又はフッ素ガス（Ｆ２ガス）であってもよい。エッチング装置１０Ｂの各部は、制御部ＭＣによって制御される。エッチング装置１０Ｂでは、被加工物Ｗがステージ１４上に載置された状態で、ステージ１４のヒータにより被加工物Ｗが加熱される。また、処理空間１２ｐにフッ素含有ガスが供給される。そして、フッ素含有ガスから生成される分子又は原子により、被加工物Ｗのチタン含有領域がエッチングされる。
【００４３】
再び図１を参照して、方法ＭＴについて説明する。以下の説明では、成膜装置１０Ａ及びエッチング装置１０Ｂを有する処理システム１を用いて、図２に示した被加工物Ｗに対して方法ＭＴが適用される場合を例にとって、方法ＭＴを説明する。以下の説明では、図１に加えて、図６及び図７を参照する。図６は、図１に示す方法の実行中に得られる被加工物の一部拡大断面図である。図７は、図１に示す方法の実行後の被加工物の一部拡大断面図である。
【００４４】
図１に示すように、方法ＭＴでは、まず、工程ＳＴ１が実行される。工程ＳＴ１では、図２に示した被加工物Ｗに対して前処理が施される。前処理は、被加工物Ｗのシリコン層ＳＬの清浄な面を露出させるために行われる。前処理では、被加工物Ｗのシリコン層ＳＬの表面の酸化膜（自然酸化膜）が除去される。具体的に、工程ＳＴ１では、被加工物Ｗが、プロセスモジュールＰＭ１に搬送される。そして、プロセスモジュールＰＭ１内の減圧されたチャンバに、フッ化水素ガスとアンモニアガスの混合ガスが供給される。これにより、被加工物Ｗのシリコン層ＳＬの表面の酸化膜を構成する酸化シリコンが、ケイフッ化アンモニウムに変質する。次いで、被加工物Ｗは、プロセスモジュールＰＭ４に搬送される。そして、プロセスモジュールＰＭ４内の減圧されたチャンバ内で被加工物Ｗが加熱される。被加工物Ｗは、例えば、５０℃以上５００℃以下の範囲内の温度、より好ましくは１５０℃以上２００℃以下に加熱される。これにより、ケイフッ化アンモニウムが気化する。発生した気体は、排気される。これにより、酸化膜が除去される。しかる後に、被加工物ＷはプロセスモジュールＰＭ２、即ち、成膜装置１０Ａに搬送される。
【００４５】
続く工程ＳＴ２では、前処理が適用された被加工物Ｗ上にチタン含有領域及びチタンシリサイド領域が形成される。具体的に、工程ＳＴ２は、成膜装置１０Ａのステージ１４上に被加工物Ｗが載置された状態で実行される。工程ＳＴ２では、ステージ１４のヒータにより被加工物Ｗが加熱される。被加工物Ｗは、３００℃以上８００℃以下の範囲内の温度に加熱される。例えば、被加工物は４００℃以上５００℃に加熱される。工程ＳＴ２では、成膜装置１０Ａの処理空間１２ｐに、チタン含有ガス（例えば四塩化チタンガス）、水素ガス、及び、不活性ガス（例えば、アルゴンガス）が供給される。そして、成膜装置１０Ａの上部電極に、高周波が印加される。これにより、工程ＳＴ２では、処理空間１２ｐにおいてプラズマが生成されて、チタン含有ガスの分子が分解され、被加工物Ｗ上にチタン膜が形成される。チタン膜は、図６に示すように、絶縁膜ＩＬ上ではチタン含有領域Ｒ１を形成する。チタン含有領域Ｒ１は、チタンから形成されている。チタン膜は、シリコン層ＳＬ上ではシリコンと結合して、チタンシリサイド領域Ｒ２を形成する。なお、チタン膜の成膜後に窒素含有ガス（例えば、ＮＨ３ガス）が処理空間１２ｐに供給され、チタン含有領域Ｒ１の表面が窒化されてもよい。この場合には、チタン含有領域Ｒ１は表面側から窒化されて窒化チタン膜に変質する。チタンシリサイド領域Ｒ２はチタン膜とシリコンが結合した領域であるため、殆ど変質しない。工程ＳＴ２の実行後に、図６に示す被加工物Ｗは、プロセスモジュールＰＭ３、即ち、エッチング装置１０Ｂに搬送される。
【００４６】
続く工程ＳＴ３では、チタン含有領域Ｒ１がチタンシリサイド領域Ｒ２に対して選択的にエッチングされる。工程ＳＴ３は、エッチング装置１０Ｂのステージ１４上に被加工物Ｗが載置された状態で実行される。工程ＳＴ３では、ステージ１４のヒータにより被加工物Ｗが加熱される。被加工物Ｗは、５０℃〜５００℃、より好ましくは１５０℃以上２００℃以下の範囲内の温度に加熱される。また、工程ＳＴ３では、エッチング装置１０Ｂの処理空間１２ｐに、フッ素含有ガスが供給される。フッ素含有ガスは、三フッ化塩素ガスである。フッ素含有ガスは、フッ化水素ガス又はフッ素ガス（Ｆ２ガス）であってもよい。工程ＳＴ３では、三フッ化塩素ガスの流量は、１０ｓｃｃｍ以下、又は、５ｓｃｃｍ以下の流量に設定される。また、工程ＳＴ３では、処理空間１２ｐの圧力は、０．５Ｔｏｒｒ（６６．６Ｐａ）以上１０Ｔｏｒｒ（１３３０Ｐａ）以下の範囲内の圧力に設定される。工程ＳＴ３では、フッ素含有ガスに加えて、水素ガス（Ｈ２ガス）及び／又はアルゴンガスといった不活性ガスが処理空間１２ｐに供給されてもよい。工程ＳＴ３では、図７に示すように、フッ素含有ガスから生成される分子又は原子により、チタン含有領域Ｒ１が選択的にエッチングされる。
【００４７】
方法ＭＴでは、チタン含有領域Ｒ１のエッチングにフッ素含有ガスが用いられている。フッ素含有ガスによれば、チタンシリサイド領域Ｒ２に対してチタン含有領域Ｒ１が選択的に除去される。したがって、チタンシリサイド領域Ｒ２に対してチタン含有領域Ｒ１を選択的に除去することが可能となる。
【００４８】
上述した実施形態に限定されることなく種々の変形態様が構成され得る。例えば、上述した実施形態では、チタン含有領域Ｒ１は、チタンから形成されているが、方法ＭＴは、酸化チタン及び／又は窒化チタンを含むチタン含有領域をチタンシリサイド領域に対して選択的にエッチングするためにも、利用可能である。また、工程ＳＴ３では、フッ素含有ガスに加えて水素ガス（Ｈ２ガス）が供給されてもよい。或いは、水素ガスの代わりにアンモニアガス（ＮＨ３ガス）といった水素を含有するガスがフッ素含有ガスと共に供給されてもよい。
【００４９】
以下、方法ＭＴの評価のために行った種々の実験について説明する。
【００５０】
（第１の実験）
【００５１】
第１の実験では、エッチング装置１０Ｂにおいて三フッ化塩素（ＣｌＦ３）ガスを用いて、チタン膜のエッチングを行った。また、エッチング装置１０Ｂにおいて四塩化チタン（ＴｉＣｌ４）ガスを用いて、チタン膜のエッチングを行った。以下、第１の実験における諸条件を示す。
＜第１の実験における諸条件＞
・ＣｌＦ３ガスを用いた場合
処理空間１２ｐの圧力：１Ｔｏｒｒ（１３３Ｐａ）
チタン膜を有する被加工物の温度：２００℃
ＣｌＦ３ガスの流量：１０ｓｃｃｍ
添加ガス（Ａｒガス）の流量：３９９０ｓｃｃｍ
・ＴｉＣｌ４ガスを用いた場合
処理空間１２ｐの圧力：３Ｔｏｒｒ（４００Ｐａ）
チタン膜を有する被加工物の温度：４８０℃
ＴｉＣｌ４ガスの流量：１８０ｓｃｃｍ
添加ガス（Ａｒガス）の流量：１０００ｓｃｃｍ
【００５２】
第１の実験では、エッチング時間とエッチングによって残されたチタン膜の膜厚との関係を調査した。図８にその結果を示す。図８において、横軸はエッチング時間を示しており、縦軸は、エッチングによって残されたチタン膜の膜厚を示している。図８に示すように、ＴｉＣｌ４ガスを用いた場合には、エッチング時間が１０秒以上になるとチタン膜の膜厚の減少量が極端に低下していた。即ち、ＴｉＣｌ４ガスを用いた場合には、チタン膜の膜厚は２ｎｍ程度減少したが、チタン膜の膜厚が２ｎｍ程度減少した後には当該チタン膜のエッチングレートは極端に遅くなっていた。一方、ＣｌＦ３ガスを用いた場合には、エッチング時間が１０秒のときに、チタン膜の膜厚がゼロになった。即ち、ＣｌＦ３ガスを用いた場合には、エッチング時間が１０秒のときに、チタン膜が完全に除去された。したがって、第１の実験の結果、ＣｌＦ３ガスを用いることにより、チタン膜を除去可能であることが確認された。このエッチングレートの差は、チタンのフッ化物がチタンの塩化物に比して形成され易いこと、及び／又は、チタンのフッ化物の気化速度が、チタンの塩化物の気化速度よりも高いことに起因するものと推測される。
【００５３】
（第２の実験）
【００５４】
第２の実験では、チタン（Ｔｉ）膜、酸化チタン（ＴｉＯ２）膜、及び、チタンシリサイド（ＴｉＳｉｘ）膜のエッチングのＣｌＦ３ガスの流量に対する依存性を調査した。第２の実験では、エッチング装置１０ＢにおいてＣｌＦ３ガスを用いて、チタン（Ｔｉ）膜、酸化チタン（ＴｉＯ２）膜、及び、チタンシリサイド（ＴｉＳｉｘ）膜をエッチングした。以下、第２の実験における諸条件を示す。
＜第２の実験における諸条件＞
処理空間１２ｐの圧力：３Ｔｏｒｒ（４００Ｐａ）
被加工物の温度：１６０℃
添加ガス（Ａｒガス）の流量：１２６００ｓｃｃｍ
エッチング時間：６０秒
【００５５】
図９の（ａ）に、ＣｌＦ３ガスを用いたＴｉ膜及びＴｉＳｉｘ膜のエッチングの流量依存性を示し、図９の（ｂ）に、ＣｌＦ３ガスを用いたＴｉＯ２膜及びＴｉＳｉｘ膜のエッチングの流量依存性を示す。図９の（ａ）及び図９の（ｂ）のグラフにおいて、横軸はＣｌＦ３ガスの流量を示しており、左側の縦軸はエッチング量、即ち、各膜の膜厚の減少量を示している。図９の（ａ）のグラフにおいて、右側の縦軸は、選択比、即ち、Ｔｉ膜のエッチング量をＴｉＳｉｘ膜のエッチング量で除することにより得られた値を示している。図９の（ｂ）のグラフにおいて、右側の縦軸は、選択比、即ち、ＴｉＯ２膜のエッチング量をＴｉＳｉｘ膜のエッチング量で除することにより得られた値を示している。図９の（ａ）及び図９の（ｂ）に示すように、ＣｌＦ３ガスを用いると、その流量が１０ｓｃｃｍ以下又は５ｓｃｃｍ以下である場合に、約１．５よりも大きな選択比を得ることが可能であることが確認された。即ち、ＣｌＦ３ガスによれば、チタンシリサイドに対して、チタン及び酸化チタンを選択的にエッチングすることが可能であることが確認された。
【００５６】
（第３の実験）
【００５７】
第３の実験では、チタン（Ｔｉ）膜、酸化チタン（ＴｉＯ２）膜、窒化チタン（ＴｉＮ）膜、及び、チタンシリサイド（ＴｉＳｉｘ）膜のＣｌＦ３ガスを用いたエッチングの時間に対する依存性を調査した。第３の実験では、エッチング装置１０ＢにおいてＣｌＦ３ガスを用いて、チタン（Ｔｉ）膜、酸化チタン（ＴｉＯ２）膜、窒化チタン（ＴｉＮ）膜、及び、チタンシリサイド（ＴｉＳｉｘ）膜をエッチングした。以下、第３の実験における諸条件を示す。
＜第３の実験における諸条件＞
処理空間１２ｐの圧力：３Ｔｏｒｒ（４００Ｐａ）
ＣｌＦ３ガスの流量：１，５ｓｃｃｍ
被加工物の温度：１６０℃
添加ガス（Ａｒガス）の流量：１２６００ｓｃｃｍ
【００５８】
図１０の（ａ）に、ＣｌＦ３ガスを用いたＴｉ膜及びＴｉＳｉｘ膜のエッチングの時間依存性を示し、図１０の（ｂ）に、ＣｌＦ３ガスを用いたＴｉＯ２膜及びＴｉＳｉｘ膜のエッチングの時間依存性を示し、図１０の（ｃ）に、ＣｌＦ３ガスを用いたＴｉＮ膜及びＴｉＳｉｘ膜のエッチングの時間依存性を示す。図１０の（ａ）、図１０の（ｂ）、及び、図１０の（ｃ）のグラフにおいて、横軸はエッチング時間を示しており、左側の縦軸はエッチング量、即ち、各膜の膜厚の減少量を示している。図１０の（ａ）のグラフにおいて、右側の縦軸は、選択比、即ち、Ｔｉ膜のエッチング量をＴｉＳｉｘ膜のエッチング量で除することにより得られた値を示している。図１０の（ｂ）のグラフにおいて、右側の縦軸は、選択比、即ち、ＴｉＯ２膜のエッチング量をＴｉＳｉｘ膜のエッチング量で除することにより得られた値を示している。図１０の（ｃ）のグラフにおいて、右側の縦軸は、選択比、即ち、ＴｉＮ膜のエッチング量をＴｉＳｉｘ膜のエッチング量で除することにより得られた値を示している。図１０に示すように、ＣｌＦ３ガスを用いることにより、エッチング時間によらず、１．２以上の選択比が得られることが確認された。また、ＣｌＦ３ガスを用いることにより、窒化チタンをチタンシリサイドに対して選択的にエッチング可能であることが確認された。
【００５９】
（第４の実験）
【００６０】
第４の実験では、ＣｌＦ３ガスを用いたチタン（Ｔｉ）膜及びチタンシリサイド（ＴｉＳｉｘ）膜のエッチングの温度依存性（被加工物の温度に対する依存性）と、ＣｌＦ３ガスを用いたチタン（Ｔｉ）膜及びチタンシリサイド（ＴｉＳｉｘ）膜のエッチングの圧力依存性（処理空間１２ｐの圧力に対する依存性）を調査した。第４の実験では、エッチング装置１０ＢにおいてＣｌＦ３ガスを用いて、チタン（Ｔｉ）膜及びチタンシリサイド（ＴｉＳｉｘ）膜をエッチングした。以下、第４の実験における諸条件を示す。
＜第４の実験の温度依存性の調査における諸条件＞
処理空間１２ｐの圧力：３Ｔｏｒｒ（４００Ｐａ）
ＣｌＦ３ガスの流量：１，５ｓｃｃｍ
添加ガス（Ａｒガス）の流量：１２６００ｓｃｃｍ
エッチング時間：７５秒
＜第４の実験の圧力依存性の調査における諸条件＞
ＣｌＦ３ガスの流量：１，５ｓｃｃｍ
被加工物の温度：１６０℃
添加ガス（Ａｒガス）の流量：１２６００ｓｃｃｍ
エッチング時間：７５秒
【００６１】
図１１の（ａ）に、ＣｌＦ３ガスを用いたＴｉ膜及びＴｉＳｉｘ膜のエッチングの温度依存性を示し、図１１の（ｂ）に、ＣｌＦ３ガスを用いたＴｉ膜及びＴｉＳｉｘ膜のエッチングの圧力依存性を示す。図１１の（ａ）のグラフにおいて、横軸は被加工物の温度を表している。図１１の（ｂ）のグラフにおいて、横軸は処理空間１２ｐの圧力を表している。図１１の（ａ）及び図１１の（ｂ）のグラフにおいて、左側の縦軸はエッチング量、即ち、各膜の膜厚の減少量を示している。図１１の（ａ）及び図１１の（ｂ）のグラフにおいて、右側の縦軸は、選択比、即ち、Ｔｉ膜のエッチング量をＴｉＳｉｘ膜のエッチング量で除することにより得られた値を示している。図１１の（ａ）及び図１１の（ｂ）に示すように、ＣｌＦ３ガスを用いると、被加工物の温度、及び、処理空間１２ｐの圧力に略依存することなく、チタンシリサイドに対してチタンを選択的にエッチングすることが可能であることが確認された。
【符号の説明】
【００６２】
１…処理システム、ＬＭ…ローダーモジュール、ＬＬ１，ＬＬ２…ロードロックモジュール、ＴＭ…搬送モジュール、ＰＭ１，ＰＭ２，ＰＭ３，ＰＭ４…プロセスモジュール、１０Ａ…成膜装置、１０Ｂ…エッチング装置、１２…チャンバ本体、１２ｃ…チャンバ、１４…ステージ、３６…シャワーヘッド、４１，４２，４３，４４…ガスのソース、５０…高周波電源、Ｗ…被加工物、ＳＬ…シリコン層、ＩＬ…絶縁膜、Ｒ１…チタン含有領域、Ｒ２…チタンシリサイド領域、ＭＴ…方法。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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