(57)【要約】【課題】駆動の高速化と走査位置決め精度の向上とを両立させたガルバノスキャナを得ること。【解決手段】ガルバノスキャナ１は、シャフト３を備えた回転体２６と、シャフト３の前端３ａに連結され、入射した光を偏向させるガルバノミラー２と、シャフト３が中心軸となる回転が可能に回転体２６を収容するフレームケース４と、ガルバノミラー２の先端に設置された制振部材２２と、制振部材２２と対向して配置された磁石１９と、制振部材２２の一部及び磁石１９を内部に収容するカップ状の鉄心１１と、鉄心１１の内部に充填された磁性流体２１とを有し、制振部材２２の一部は、磁性流体２１に浸かっている。【選択図】図１
2018106059.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフトを備えた回転体と、
前記シャフトの一端に連結され、入射した光を偏向させるガルバノミラーと、
前記シャフトが中心軸となる回転が可能に前記回転体を収容するフレームケースと、
前記ガルバノミラーの先端に設置された制振部材と、
前記制振部材と対向して配置された磁石と、
前記制振部材の一部及び前記磁石を内部に収容する収容部材と、
前記収容部材の内部に充填された磁性流体とを有し、
前記制振部材の一部は、前記磁性流体に浸かっていることを特徴とするガルバノスキャナ。
【請求項２】
前記磁石は円柱状であり、
前記制振部材は、円筒状の壁部と円板状の底面部とを備えたカップ状であり、
前記壁部は、前記磁石及び前記収容部材の双方に対して間を空けて配置されていることを特徴とする請求項１に記載のガルバノスキャナ。
【請求項３】
前記制振部材は、前記底面部に貫通孔が形成されており、
前記底面部は、前記磁性流体に浸かっていることを特徴とする請求項２に記載のガルバノスキャナ。
【請求項４】
前記磁石は円柱状であり、
前記制振部材は、前記ガルバノミラーの面に垂直な方向のみに壁部を備えた形状であり、
前記制振部材の壁部は、前記磁石及び前記収容部材の双方に対して間を空けて配置されていることを特徴とする請求項１に記載のガルバノスキャナ。
【請求項５】
シャフトを備えた回転体と、
前記シャフトの一端に連結され、入射した光を偏向させるガルバノミラーと、
前記シャフトが中心軸となる回転が可能に前記回転体を収容するフレームケースと、
前記ガルバノミラーの先端に設置された磁石と、
前記シャフトの一端の延長上に支持された収容部材と、
前記収容部材の内部に充填された磁性流体とを有し、
前記磁石は、前記磁性流体に浸かっていることを特徴とするガルバノスキャナ。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載のガルバノスキャナを備えたレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、面倒れ振動を抑制したガルバノスキャナ及びこれを用いたレーザ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スマートフォンをはじめとする電子情報機器の生産工程では、基板に穴開け加工を施すに当たって、レーザによる基板穴開け加工装置が一般的に用いられている。また、基板に穴開け加工を高速で行うためには、ガルバノスキャナによるレーザビームの走査位置決めも重要になっている。電子情報機器の高機能化及び小型化にともない、穴開け位置の精度向上が求められており、さらに、電子情報機器の需要増大とにともない、穴開け加工の高速化が求められている。
【０００３】
ガルバノスキャナは、ガルバノミラーを設置したシャフトを駆動用のモータの前後の２箇所に配置した軸受で支持し、モータでシャフトを回動させることによってガルバノミラーの向きを変え、レーザビームの反射方向を変更する。
【０００４】
ガルバノスキャナの駆動の高速化にともない、ガルバノミラーが設置されたシャフトの角加速度は増大するが、角加速度の増大はガルバノミラーの面倒れ振動を励起する加振力の増大を引き起こし、ひいては走査位置決め精度の悪化を引き起こす。
【０００５】
特許文献１には、磁性流体軸受を用いてポリゴンスキャナの走査位置決め精度を高めた光ビーム走査装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−１６０６４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ガルバノミラーの面倒れ振動を抑制するために、特許文献１に開示されるような磁性流体軸受けを用いてガルバノミラーの先端部を支持すると、ガルバノミラー及びシャフトを３箇所で支持する構造となる。しかし、物体を３箇所で回転可能に支持しようとすると、芯出しが困難となり、角加速度を高めることは難しくなる。芯出しができていない状態でガルバノミラーの角加速度を増大させると、シャフトのこじりによる抵抗力に起因するトルクむらによって走査位置決め精度が悪化してしまう可能性がある。
【０００８】
したがって、駆動の高速化と、走査位置決め精度の向上とを両立できるガルバノスキャナの実現が望まれていた。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、駆動の高速化と走査位置決め精度の向上とを両立させたガルバノスキャナを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、シャフトを備えた回転体と、シャフトの一端に連結され、入射した光を偏向させるガルバノミラーと、シャフトが回転の中心軸となる回転が可能に回転体を収容するフレームケースと、ガルバノミラーの先端に設置された制振部材と、制振部材と対向して配置された磁石と、制振部材の一部及び磁石を内部に収容する収容部材と、収容部材の内部に充填された磁性流体とを有する。制振部材の一部は、磁性流体に浸かっている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、駆動の高速化と走査位置決め精度の向上とを両立させたガルバノスキャナを得られるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図
【図２】実施の形態１に係るガルバノスキャナの斜視図
【図３】実施の形態１に係るガルバノスキャナのガルバノミラーの先端部の拡大図
【図４】実施の形態１に係るガルバノスキャナの変形例を示す図
【図５】本発明の実施の形態２に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図
【図６】本発明の実施の形態３に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図
【図７】実施の形態３に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図
【図８】実施の形態３に係るガルバノスキャナのガルバノミラーの先端部の拡大図
【図９】実施の形態３に係るガルバノスキャナの制振部材の斜視図
【図１０】本発明の実施の形態４に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図
【図１１】本発明の実施の形態５に係るレーザ加工装置の構成図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に、本発明の実施の形態に係るガルバノスキャナ及びレーザ加工装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１４】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。図２は、実施の形態１に係るガルバノスキャナの斜視図である。図３は、実施の形態１に係るガルバノスキャナのガルバノミラーの先端部の拡大図である。ガルバノスキャナ１は、レーザ光源からのレーザ光を加工対象物上で走査させる。ガルバノスキャナ１は、回転体２６及び固定体２７で構成される。
【００１５】
回転体２６は、ガルバノミラー２、シャフト３及び磁石５を備える。回転体２６は、シャフト３を回転の中心軸とする回転が可能とされている。ガルバノミラー２は、入射した光を偏向させるミラーである。ガルバノミラー２は、シャフト３の一端に連結されている。以下の説明においては、シャフト３のガルバノミラー２が連結される側の端を前端３ａ、ガルバノミラー３が連結されない側の端を後端３ｂと定義する。したがって、ガルバノスキャナ１は、シャフト３の軸方向に沿って見た場合に、ガルバノミラー２が配置されている側が前であり、ガルバノミラー２が配置されている方と反対の側が後である。上記のように前後を定義すると、ガルバノミラー２は、シャフト３の前端３ａに連結されていると言うことができる。ミラーマウント１２は、シャフト３にガルバノミラー２を連結する。マウント押さえ具１３は、留め具１４が挿入された状態で、シャフト３にミラーマウント１２を固定する。磁石５は、シャフト３に固定されており、後述する前側軸受８及び後側軸受９の間に位置する。
【００１６】
固定体２７は、フレームケース４、コイル６及び鉄芯７を備える。コイル６は、磁石５の周囲に設けられている。鉄芯７は、コイル６の周囲に設けられている。リード線１８に接続された不図示の電源からコイル６へ電流が流れることで、コイル６は、電磁力を発生させる。磁石５の磁界の周囲に電磁力を作用させることで、磁石５を回転させる回転トルクが発生する。回転体２６は、磁石５に作用する回転トルクによって回転する。
【００１７】
フレームケース４は、磁石５、コイル６及び鉄芯７を内部に収納する。フレームケース４は、回転体２６の磁石５を回転させる内部スペース４ａを備えており、シャフト３が中心軸となる回転が可能に回転体２６を収容する。前側軸受８及び後側軸受９は、シャフト３を回転可能に支持する軸受である。前側軸受８は、フレームケース４の内部スペース４ａのうち前側の端部に設けられている。後側軸受９は、フレームケース４の内部スペース４ａのうち後側の端部に設けられている。
【００１８】
後側軸受９は、フレームケース４に固定されている。一方、前側軸受８は、フレームケース４に固定されていない。予圧バネ１６は、座金１７を介して前側軸受８へ予圧を付与する。押さえ板１５は、フレームケース４の前端４ａと予圧バネ１６とに当接させて設けられている。
【００１９】
ガルバノスキャナ１の駆動を継続するうち、回転体２６は、温度上昇による熱膨張を生じることがある。フレームケース４の内部では、外側に位置する固定体２７に対して、内側に位置する回転体２６の方が、熱がこもりやすいため、熱膨張は、固定体２７に比べて回転体２６のほうが大きくなる。
【００２０】
ガルバノスキャナ１は、後側軸受９をフレームケース４に固定する一方、前側軸受８をフレームケース４に固定しないことで、軸方向における回転体２６の熱膨張に対し、前側軸受８を軸方向において変位可能とする。これにより、ガルバノスキャナ１は、軸方向における回転体２６の寸法変化を吸収可能とする。
【００２１】
一般に、ガルバノスキャナ１は、シャフト３の回転角度を検出するための角度検出器２８が取り付けられた状態で使用される。角度検出器２８は、シャフト３の後端３ｂ側に固定された円盤２９と、フレームケース４の後端４ｂに固定された検出器３１とで構成されている。角度検出器２８には、光学式又は磁気式を適用可能である。すなわち、角度検出器２８を光学式とする場合には、円盤２９に複数のスリットを設けるとともに、検出器３１には発光素子及び受光素子を設け、発光素子から出射され円盤２９のスリットを通過した光を受光素子で検出することによってシャフト３の回転角度を検出する。また、角度検出器２８を磁気式とする場合には、円盤２９の外周面をＳ極とＮ極とに交互に着磁させるとともに、検出器３１に磁界検出素子を設け、磁界の変化を磁界検出素子で検出することによってシャフト３の回転角度を検出する。
【００２２】
フレームケース４は、固定台１０に固定されている。固定台１０には、カップ状の鉄心１１が設置されている。鉄心１１は、シャフト３の前端３ａの延長上に支持されている。鉄心１１の底面１１ａには、磁石１９が設置されている。鉄心１１の内側の空間には磁性流体２１が充填されている。磁性流体２１は、磁石１９及び鉄心１１が形成する磁界の内側に閉じ込められているため、鉄心１１の外側には流出しない。鉄心１１は、透磁率が高く磁気抵抗が小さい磁性体であると、磁性流体２１を閉じ込める効果が高くなるため好ましい。
【００２３】
ガルバノミラー２の先端部には、非磁性体で形成された制振部材２２が設置されている。制振部材２２は、炭化ケイ素で形成すると、軽量かつ高剛性にすることができるが、この他の素材を用いてもよい。制振部材２２の一部である端部は、磁性流体２１に浸っており、磁石１９と制振部材２２とは対向して配置されている。したがって、鉄心１１は、制振部材２２の一部及び磁石１９を内部に収容する収容部材を構成している。制振部材２２の端部と鉄心１１との間及び制振部材２２の端部と磁石１９との間には隙間が空いている。換言すると、制振部材２２の端部は、鉄心１１及び磁石１９のどちらとも接触せずに、磁性流体２１に浸っている。すなわち、鉄心１１の内部には、制振部材２２の端部と磁石１９とが収容されており、制振部材２２の端部及び磁石１９は磁性流体２１に浸っている。なお、磁石１９は、制振部材２２と対向して配置されていればよく、必ずしも鉄心１１の底面１１ａに設置される必要はない。すなわち、磁石１９は、鉄心１１の底面１１ａと接することなく鉄心１１の側壁１１ｂに支持されてもよい。
【００２４】
実施の形態１に係るガルバノスキャナ１は、ガルバノミラー２に面倒れ振動が発生すると、制振部材２２もガルバノミラー２とともに移動する。制振部材２２の端部は磁性流体２１に浸っているため、磁性流体２１の粘性によりガルバノミラー２の面倒れ振動を減衰させる力を受け、振動のエネルギーは熱エネルギーに変換される。したがって、制振部材２２の端部が磁性流体２１に浸っていることにより、ガルバノミラー２の面倒れ振動が抑制される。なお、ガルバノミラー２がミラー面と平行な方向に振動する場合でも、振動のエネルギーは熱エネルギーに変換され、振動は抑制される。
【００２５】
実施の形態１に係るガルバノスキャナ１において、ガルバノミラー２の先端部に設置した制振部材２２は、端部が磁性流体２１に浸っているだけであり軸受のような固体で支持されてはいないため、ガルバノミラー２及びシャフト３の支持箇所は前側軸受８及び後側軸受９の２箇所である。磁性流体２１は液体であるため、熱膨張によって寸法に変化が生じたり、シャフト３の取り付け誤差が多少発生したりしても、支持箇所が３箇所である場合とは異なり、こじりによる不要な摩擦力は発生しない。したがって、芯出しの精度を高めなくても駆動時にシャフト３のこじりによる抵抗力に起因するトルクむらは発生しない。また、こじりによる不要な摩擦力を発生させないことにより、前側軸受８及び後側軸受９の寿命が短くなることを避けることができる。
【００２６】
また、鉄心１１又は磁石１９と制振部材２２との間には隙間が存在しており、固体同士が摺動する箇所が存在しないため、機械摩耗及び粉塵の発生を回避できる。したがって、ガルバノスキャナ１から発生した粉塵が光学部品を汚損することは防止できる。
【００２７】
磁性流体２１は粘性を持つため、ガルバノミラー２の面倒れ振動のエネルギーを熱エネルギーに変換し、加振力に共振周波数成分が多く含まれる場合においても振動の増大を抑止することができる。なお、通常の流体も粘性を持つが、鉄心１１の内側の空間から漏れ出ないように保持することは困難である。磁性流体２１は、磁場の中に留まる性質があるために、磁石１９及び鉄心１１で磁場を発生させることで、漏れることなく鉄心１１の内側に保持することができる。
【００２８】
実施の形態１に係るガルバノスキャナ１は、シャフト３が倒れ方向に振動する加振力、又は、ガルバノミラー２の面倒れ方向に振動する加振力が発生しても、磁性流体２１がシャフト３をセンタリングするため、抵抗力によって振動が抑えられる。したがって、走査位置決め精度を向上させることができる。
【００２９】
磁性流体２１は、粘度が高い方が面倒れ振動を抑制する効果も高いが、ガルバノミラー２を回動させる抵抗も大きくなってしまう。したがって、ガルバノミラー２の面倒れ振動を抑制する効果の大きさとガルバノミラー２を回動させる抵抗の大きさとに基づいて、適正な粘度を有する磁性流体を選定すれば良い。
【００３０】
図４は、実施の形態１に係るガルバノスキャナの変形例を示す図である。実施の形態１の変形例に係るガルバノスキャナは、制振部材２２の端部には、円盤状のフランジ２２１が設けられている。したがって、制振部材２２が磁性流体２１と接する面積は、フランジ２２１が設けられていない場合よりも大きくなっている。したがって、ガルバノミラー２の面倒れ振動が発生した場合に、制振部材２２が磁性流体２１から受ける抵抗力も大きくなる。一方、シャフト３が回動する際に制振部材２２が磁性流体２１から受ける抵抗力も大きくなるが、フランジ２２１が円盤状であるため、ガルバノミラー２の面倒れ振動によって受ける抵抗力の増分と比べると、シャフト３の回動によって受ける抵抗力の増分は小さい。したがって、ガルバノスキャナ１の高速駆動を妨げることなく、ガルバノミラー２の面倒れ振動を抑制できる。
【００３１】
実施の形態１に係るガルバノスキャナ１は、磁石１９及び鉄心１１という比重の大きい部材が固定台１０側に設置され、ガルバノミラー２側には非磁性の比重が小さい部材が設置されるため、高速駆動の妨げとはなりにくく、高速駆動と走査位置決め精度の向上とを両立させることができる。
【００３２】
実施の形態２．
図５は、本発明の実施の形態２に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。実施の形態２に係るガルバノスキャナ２０では、制振部材２２は、カップ状に形成されており、円筒状の壁部２２ａと円板状の底面部２２ｂとを備えている。制振部材２２の壁部２２ａは、鉄心１１と磁石１９との間に挿入されている。壁部２２ａと磁石１９との間には、０．１ｍｍから０．４ｍｍの隙間が空いている。壁部２２ａと鉄心２０との間にも、０．１ｍｍから０．４ｍｍの隙間が空いている。ガルバノミラー２の面倒れ振動の振幅は高々２０μｍ程度であるため、磁石１９又は鉄心１１と壁部２２ａとの間に０．１ｍｍの隙間があれば、ガルバノミラー２に面倒れ振動が発生しても、制振部材２２は鉄心１１又は磁石１９に衝突しない。
【００３３】
制振部材２２の底面部２２ｂは、磁性流体２１に浸っていても良いし、浸っていなくても良い。底面部２２ｂが磁性流体２１に浸かっていると、ガルバノミラー２の面倒れ振動の発生時に磁性流体２１から受ける抵抗力が大きくなるため、ガルバノミラー２の面倒れ振動を抑制する効果が高くなる。一方、底面部２２ｂが磁性流体２１に浸かっていないと、ガルバノミラー２を回動させる際に、底面部２２ｂが磁性流体２１から抵抗力を受けないため、高速駆動を実現しやすくなる。したがって、ガルバノミラー２の面倒れ振動の抑制効果と高速駆動とのどちらを優先するかに基づいて、底面部２２ｂを磁性流体２１に浸すか否かを決定することができる。なお、底面部２２ｂを磁性流体２１に浸す場合には、底面部２２ｂに貫通孔を設けることで、制振部材２２と磁石１９との間に気泡が残ることを防止できる。
【００３４】
円筒状の壁部２２ａは、ガルバノミラー２の回動時に磁性流体２１内で抵抗を受けにくく、かつ、ガルバノミラー２の面倒れ振動の発生時には、磁性流体２１内で抵抗力を受ける面積が大きい。したがって、ガルバノミラー２の面倒れ振動の抑制効果とガルバノスキャナ２０の高速駆動とを両立させることができる。
【００３５】
実施の形態３．
図６及び図７は、本発明の実施の形態３に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。図８は、実施の形態３に係るガルバノスキャナのガルバノミラーの先端部の拡大図である。図９は、実施の形態３に係るガルバノスキャナの制振部材の斜視図である。実施の形態３に係るガルバノスキャナ３０では、制振部材２２は、カップの側壁に相当する部分円筒状の壁部２２ａがガルバノミラー２の面と平行な方向を中心とする一定の角度範囲には設けられておらず、垂直な方向を中心とする角度範囲に部分的に設けられている。
【００３６】
ガルバノミラー２の面と垂直な方向を中心とする角度範囲に部分的に壁部２２ａが設けられていることにより、ガルバノミラー２の面倒れ振動の発生時には磁性流体２１内で振動方向に垂直な面積が大きくなり、振動抑制効果が増大するとともに、ガルバノミラー２の回動時に磁性流体２１内で受ける抵抗は小さいため、ガルバノスキャナ３０の駆動の高速化の妨げとはなりにくい。静止部材２２をカップ状とするよりも軽量化を図れる点でも、ガルバノスキャナ３０の駆動の高速化の妨げとなりにくい。
【００３７】
実施の形態４．
図１０は、本発明の実施の形態４に係るガルバノスキャナの構成を示す断面図である。実施の形態４に係るガルバノスキャナ４０は、ガルバノミラー２の先端に棒状の磁石１９が付いている。実施の形態４において、鉄心１１は、磁性流体２１を内部に収容する収容部材を構成しており、磁石１９は、収容部材である鉄心１１に充填された磁性流体２１に浸かっている。磁石１９のＮ極及びＳ極は、シャフト３の軸方向に沿って並んでいる。磁石１９は、円柱状であると、ガルバノミラー２を回動させる際の抵抗が小さくなるため好ましい。
【００３８】
実施の形態４に係るガルバノスキャナ４０は、ガルバノミラー２に面倒れ振動が発生すると、磁石１９もガルバノミラー２とともに移動する。磁石１９は磁性流体２１に浸っているため、磁性流体２１の粘性によりガルバノミラー２の面倒れ振動を減衰させる力を受ける。したがって、磁石１９が磁性流体２１に浸っていることにより、ガルバノミラー２の面倒れ振動が抑制される。
【００３９】
実施の形態５．
図１１は、本発明の実施の形態５に係るレーザ加工装置の構成図である。レーザ加工装置５０はパルスレーザ光の照射によって加工対象物に微細穴を穴開け加工する装置である。レーザ加工装置５０は、加工対象物に設定された複数の加工位置を順次走査し、各加工位置に対してのレーザ照射を複数サイクルで行う加工処理を実施する。
【００４０】
レーザ加工装置５０は、レーザ発振器５１、ベンドミラー５２、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３、Ｘ軸ガルバノスキャナ５４、スキャンミラー５５，５６、ｆθレンズ５７、ガルバノドライバ６０及び制御装置６１を有する。
【００４１】
加工対象物であるワーク５８は、具体例を挙げるとプリント基板である。ワーク５８は、不図示のＸＹテーブルに載置されている。ＸＹテーブルは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を含む二次元方向へワーク５８を移動させる。
【００４２】
レーザ光源であるレーザ発振器５１は、レーザ光６２を射出する。レーザ光６２は、パルス状に出力されるレーザビームである。プリント基板の加工のレーザビームには、９μｍ以上１０μｍ以下の波長の赤外光、０．５μｍの波長の紫外光のいずれかが用いられる。ベンドミラー５２は、レーザ発振器５１からのレーザ光６２を反射して、スキャンミラー５５へ進行させる。
【００４３】
スキャンミラー５５は、レーザ発振器５１からのレーザ光６２を反射する。スキャンミラー５５は、入射したレーザ光６２を偏向させるミラーである。Ｙ軸ガルバノスキャナ５３は、スキャンミラー５５を駆動する。スキャンミラー５６は、スキャンミラー５５からのレーザ光６２を反射する。スキャンミラー５６は、入射したレーザ光６２を偏向させるミラーである。Ｘ軸ガルバノスキャナ５４は、スキャンミラー５６を駆動する。
【００４４】
スキャンミラー５５は、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３のシャフトに連結されている。Ｙ軸ガルバノスキャナ５３は、シャフトが回転の中心軸となって回転体を往復回転させる。Ｙ軸ガルバノスキャナ５３は、ワーク５８におけるレーザ光６２の照射位置をＹ軸方向において走査させる。
【００４５】
スキャンミラー５６は、Ｘ軸ガルバノスキャナ５４のシャフトに連結されている。Ｘ軸ガルバノスキャナ５４は、シャフトが回転の中心軸となって回転体を往復回転させる。Ｘ軸ガルバノスキャナ５４は、ワーク５８におけるレーザ光６２の照射位置をＸ軸方向において走査させる。
【００４６】
ｆθレンズ５７は、スキャンミラー５６からのレーザ光６２を、ワーク５８の加工表面に対して垂直なレーザ光６３とする。ｆθレンズ５７は、ワーク５８内の加工位置５９にレーザ光６３を集光させる。ガルバノドライバ６０は、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４を駆動する。
【００４７】
制御部である制御装置６１は、レーザ加工装置５０の全体の動作を制御する。制御装置６１は、レーザ発振器５１のレーザ光６２の発振、ガルバノドライバ６０によるＹ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４の駆動を制御する。また、制御装置６１は、ＸＹテーブルを駆動する不図示のモータを制御する。
【００４８】
Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４は、実施の形態１に係るガルバノスキャナ１と同様の構成を備える。従って、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４は、ガルバノミラーの面倒れ振動の共振を低減でき、高い位置精度を実現できる。レーザ加工装置５０は、正確な加工位置５９へレーザ光６３を進行可能とし、高精度な加工ができるという効果を奏する。
【００４９】
Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４は、実施の形態２に係るガルバノスキャナ２０、実施の形態３に係るガルバノスキャナ３０及び実施の形態４に係るガルバノスキャナ４０のいずれかと同様の構成を備えるものであっても良い。レーザ加工装置５０は、Ｙ軸ガルバノスキャナ５３及びＸ軸ガルバノスキャナ５４の少なくともいずれかが、実施の形態１から実施の形態４のガルバノスキャナ１，２０，３０，４０のいずれかと同様の構成を備えるものであれば良いものとする。いずれの場合も、レーザ加工装置５０は、正確な加工位置５９へレーザ光６３を照射可能とし、高精度な加工を実現できる。
【００５０】
以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１，２０，３０，４０  ガルバノスキャナ、２  ガルバノミラー、３  シャフト、３ａ，４ａ  前端、３ｂ，４ｂ  後端、４  フレームケース、４ａ  内部スペース、５  磁石、６  コイル、７  鉄芯、８  前側軸受、９  後側軸受、１０  固定台、１１  鉄心、１１ａ  底面、１１ｂ  側壁、１５  押さえ板、１６  予圧バネ、１７  座金、１９  磁石、２１  磁性流体、２２  制振部材、２２ａ  壁部、２２ｂ  底面部、２６  回転体、２７  固定体、２８  角度検出器、２９  円盤、３１  検出器、５０  レーザ加工装置、５１  レーザ発振器、５２  ベンドミラー、５３  Ｙ軸ガルバノスキャナ、５４  Ｘ軸ガルバノスキャナ、５５，５６  スキャンミラー、５７  ｆθレンズ、６０  ガルバノドライバ、６１  制御装置、２２１  フランジ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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