(57)【要約】【課題】搬送部の動作を設定する際、その設定を容易かつ正確に行なうことができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品を搬送する搬送部と、第１設定画面を表示した後に、第２設定画面を表示する順次設定モードを選択可能な表示部と、を備え、前記第１設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための第１情報を受付可能で、前記第２設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための、前記第１情報と異なる第２情報を受付可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送する搬送部と、
第１設定画面を表示した後に、第２設定画面を表示する順次設定モードを選択可能な表示部と、
を備え、
前記第１設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための第１情報を受付可能で、
前記第２設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための、前記第１情報と異なる第２情報を受付可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記電子部品が載置される載置部が設置されており、
前記載置部の画像を撮像可能な撮像部を備える請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記撮像部は、前記搬送部に搭載されている請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記第１情報および前記第２情報のうちの少なくとも一方は、前記載置部の画像に基づいて、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための情報である請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記載置部は、前記電子部品が収納され、マトリックス状に配置された複数の凹部を有し、
前記第１情報および前記第２情報のうちの少なくとも一方は、
前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに平面視で基準となる前記凹部を指定するための情報か、
前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに基準となる前記凹部の撮像画像を表示するための情報か、
前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに載置部に対する高さの基準となる前記凹部を指定するための情報か、
前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに高さの基準となる前記載置部の面を指定するための情報かのうちのいずれかである請求項２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記第１情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに平面視で基準となる前記凹部を指定するための情報であり、
前記第２情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに基準となる前記凹部の撮像画像を表示するための情報である請求項５に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記第１情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに基準となる前記凹部の撮像画像を表示するための情報であり、
前記第２情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに高さの基準となる前記載置部の面を指定するための情報である請求項５に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
前記第１情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに載置部に対する高さの基準となる前記凹部を指定するための情報であり、
前記第２情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに高さの基準となる前記載置部の面を指定するための情報である請求項５に記載の電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記第１設定画面は、前記第２設定画面を表示させる第２設定画面表示操作部を含む請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記第１設定画面は、少なくとも１つのチェックボックスを含み、全ての前記チェックボックスにチェックが入っている場合に、前記第２設定画面表示操作部に対する操作が可能となる請求項９に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
前記順次設定モードは、第３設定画面を含む請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１２】
前記表示部には、前記第１設定画面または前記第２設定画面の表示を省略して、前記第３設定画面を表示させる第３設定画面表示操作部が表示される請求項１１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１３】
前記第１設定画面と前記第２設定画面とを並べて表示する一括設定モードに選択可能である請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１４】
前記表示部には、前記順次設定モードと前記一括設定モードとのいずれかを選択可能なモード選択操作部が表示される請求項１３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１５】
前記順次設定モードは、前記順次設定モードの途中から前記一括設定モードに移行可能な一括設定モード移行操作部を含む請求項１３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１６】
前記一括設定モードは、前記一括設定モードから前記順次設定モードに移行可能な順次設定モード移行操作部を含む請求項１３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１７】
前記電子部品を検査する検査部に接続可能であり、
検査前の前記電子部品が前記検査部に搬送されて供給される供給領域と、
検査後の前記電子部品が前記検査部から搬送されて回収される回収領域と、を備え、
前記順次設定モードは、前記供給領域および前記回収領域に対して設定されている請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１８】
電子部品を搬送する搬送部と、
第１設定画面を表示した後に、第２設定画面を表示する順次設定モードを選択可能な表示部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記第１設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための第１情報を受付可能で、
前記第２設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための、前記第１情報と異なる第２情報を受付可能であることを特徴とする電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えばＩＣデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、ＩＣデバイスを搬送するためのＩＣハンドラー、すなわち、電子部品搬送装置が組み込まれている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に記載されている電子部品搬送装置では、各種のデーターの入力や各種の動作指示入力は、パネルディスプレイに表示される操作画面上で行なわれる。また、操作画面を操作する際には、必要に応じてヘルプ画面をパネルディスプレイに表示可能となっている。ヘルプ画面は、操作画面に含まれる項目の内容解説についての詳細情報が含まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−３８０８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の電子部品検査装置では、ヘルプ画面を表示させたとしても、操作画面に不慣れなオペレーター、すなわち、オペレーターの初心者は、操作画面に含まれる項目に、各種のデーター等を正確な順番で入力することはできないことがある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下のものとして実現することが可能である。
【０００８】
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を搬送する搬送部と、
第１設定画面を表示した後に、第２設定画面を表示する順次設定モードを選択可能な表示部と、
を備え、
前記第１設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための第１情報を受付可能で、
前記第２設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための、前記第１情報と異なる第２情報を受付可能であることを特徴とする。
【０００９】
これにより、搬送部に対して電子部品を搬送する動作を設定する場合には、順次設定モードを選択することができる。この順次設定モードでは、搬送部の動作設定用の第１設定画面と第２設定画面とがこの順に表示されていく。例えばオペレーターが初心者である場合には、そのオペレーターは、表示部に順に表示される第１設定画面、第２設定画面に従って、すなわち、第１設定画面、第２設定画面を逐一確認して、第１情報、第２情報を確認したり入力したりすることができる。これにより、搬送部の動作設定が正確な順序で漏れなく行なわれる。
【００１０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記電子部品が載置される載置部が設置されており、
前記載置部の画像を撮像可能な撮像部を備えるのが好ましい。
【００１１】
これにより、電子部品の搬送に先立って、撮像部により、載置部の画像を撮像しておくことができる。この撮像画像に基づいて、搬送部を目標位置（例えば搬送対象である電子部品）に正確に移動させることができる。そして、この移動先で、搬送部は、電子部品を載置部上から正確に把持することができる。またはその反対に、搬送部は、電子部品を載置部上に正確に解放することができる。
【００１２】
本発明の電子部品搬送装置では、前記撮像部は、前記搬送部に搭載されているのが好ましい。
【００１３】
これにより、電子部品の搬送に先立って、撮像部により、載置部の画像を撮像しておくことができる。この撮像画像に基づいて、搬送部を目標位置（例えば搬送対象である電子部品）に正確に移動させることができる。そして、この移動先で、搬送部は、電子部品を載置部上から正確に把持することができる。またはその反対に、搬送部は、電子部品を載置部上に正確に解放することができる。
【００１４】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１情報および前記第２情報のうちの少なくとも一方は、前記載置部の画像に基づいて、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための情報であるのが好ましい。
【００１５】
これにより、載置部の画像に基づいた電子部品の搬送を円滑に行なうことができる。
【００１６】
本発明の電子部品搬送装置では、前記載置部は、前記電子部品が収納され、マトリックス状に配置された複数の凹部を有し、
前記第１情報および前記第２情報のうちの少なくとも一方は、
前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに平面視で基準となる前記凹部を指定するための情報か、
前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに基準となる前記凹部の撮像画像を表示するための情報か、
前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに載置部に対する高さの基準となる前記凹部を指定するための情報か、
前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに高さの基準となる前記載置部の面を指定するための情報かのうちのいずれかであるのが好ましい。
【００１７】
このような第１情報や第２情報は、隣り合う凹部同士のピッチ間距離が小さくなればなるほど、電子部品の把持や開放を迅速かつ正確に行なうのに必要な情報となる。これにより、電子部品の把持や開放を迅速かつ正確に行なうことができる。
【００１８】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに平面視で基準となる前記凹部を指定するための情報であり、
前記第２情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに基準となる前記凹部の撮像画像を表示するための情報であるのが好ましい。
【００１９】
凹部を指定しなければ、の凹部の撮像画像を得ることが困難となるため、このような情報の順番は有効となる。
【００２０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに基準となる前記凹部の撮像画像を表示するための情報であり、
前記第２情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに高さの基準となる前記載置部の面を指定するための情報であるのが好ましい。
【００２１】
凹部の撮像画像を得なければ、載置部の凹部の周り、すなわち、載置部の上面がどこに存在するのかを把握するのが困難となるため、このような情報の順番は有効となる。
【００２２】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに載置部に対する高さの基準となる前記凹部を指定するための情報であり、
前記第２情報は、前記搬送部が前記電子部品を把持する、または、把持した前記電子部品を解放するときに高さの基準となる前記載置部の面を指定するための情報であるのが好ましい。
【００２３】
高さの基準となる凹部を指定しなければ、その指定凹部と、高さの基準となる載置部の上面の指定箇所との位置関係を把握するのが困難となるため、このような情報の順番は有効となる。
【００２４】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１設定画面は、前記第２設定画面を表示させる第２設定画面表示操作部を含むのが好ましい。
【００２５】
これにより、第２設定画面表示操作部を操作するまでは、表示部に第１設定画面が表示されたままとなり、よって、例えば、第１情報を十分に確認したり、入力したりする時間を十分に確保することができる。
【００２６】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１設定画面は、少なくとも１つのチェックボックスを含み、全ての前記チェックボックスにチェックが入っている場合に、前記第２設定画面表示操作部に対する操作が可能となるのが好ましい。
【００２７】
これにより、チェックボックスに対するチェック漏れを防止することができる。
【００２８】
本発明の電子部品搬送装置では、前記順次設定モードは、第３設定画面を含むのが好ましい。
【００２９】
これにより、例えば第３設定画面を第１設定画面や第２設定画面と異なる機能を有する画像とすることができる。
【００３０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記表示部には、前記第１設定画面または前記第２設定画面の表示を省略して、前記第３設定画面を表示させる第３設定画面表示操作部が表示されるのが好ましい。
【００３１】
これにより、第１情報や第２情報の確認や入力を省略することができる。
【００３２】
本発明の電子部品搬送装置では、前記第１設定画面と前記第２設定画面とを並べて表示する一括設定モードに選択可能であるのが好ましい。
【００３３】
これにより、例えばオペレーターが熟練者である場合には、順次設定モードよりも一括設定モードを選択した方が、搬送部の動作設定を迅速に行なうことができると考えられる。
【００３４】
本発明の電子部品搬送装置では、前記表示部には、前記順次設定モードと前記一括設定モードとのいずれかを選択可能なモード選択操作部が表示されるのが好ましい。
【００３５】
これにより、電子部品搬送装置のオペレーターは、電子部品検査装置を操作する習熟度に応じて、順次設定モードと一括設定モードとのいずれかを選択することができる。例えば、オペレーターが熟練者である場合には、一括設定モードを選択することができ、反対に、オペレーターが初心者である場合には、順次設定モードを選択するのが好ましい。
【００３６】
本発明の電子部品搬送装置では、前記順次設定モードは、前記順次設定モードの途中から前記一括設定モードに移行可能な一括設定モード移行操作部を含むのが好ましい。
【００３７】
これにより、順次設定モードを途中で停止して、一括設定モードで第１情報や第２情報等の入力等をやり直すことができる。
【００３８】
本発明の電子部品搬送装置では、前記一括設定モードは、前記一括設定モードから前記順次設定モードに移行可能な順次設定モード移行操作部を含むのが好ましい。
【００３９】
これにより、一括設定モードを停止して、順次設定モードで第１情報や第２情報等の入力等をやり直すことができる。
【００４０】
本発明の電子部品搬送装置では、前記電子部品を検査する検査部に接続可能であり、
検査前の前記電子部品が前記検査部に搬送されて供給される供給領域と、
検査後の前記電子部品が前記検査部から搬送されて回収される回収領域と、を備え、
前記順次設定モードは、前記供給領域および前記回収領域に対して設定されているのが好ましい。
【００４１】
これにより、供給領域で搬送部の動作に要する各種諸条件の設定を正確な順序で漏れなく行なうことができる。同様に、回収領域で搬送部の動作に要する各種諸条件の設定を正確な順序で漏れなく行なうことができる。
【００４２】
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を搬送する搬送部と、
第１設定画面を表示した後に、第２設定画面を表示する順次設定モードを選択可能な表示部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記第１設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための第１情報を受付可能で、
前記第２設定画面は、前記搬送部によって前記電子部品を搬送するための、前記第１情報と異なる第２情報を受付可能であることを特徴とする。
【００４３】
これにより、搬送部に対して電子部品を搬送する動作を設定する場合には、順次設定モードを選択することができる。この順次設定モードでは、搬送部の動作設定用の第１設定画面と第２設定画面とがこの順に表示されていく。例えばオペレーターが初心者である場合には、そのオペレーターは、表示部に順に表示される第１設定画面、第２設定画面に従って、すなわち、第１設定画面、第２設定画面を逐一確認して、第１情報、第２情報を確認したり入力したりすることができる。これにより、搬送部の動作設定が正確な順序で漏れなく行なわれる。
【００４４】
また、検査部にまで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対する検査を検査部で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部から搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】図１は、本発明の電子部品検査装置の第１実施形態を正面側から見た概略斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す電子部品検査装置の動作状態を示す概略平面図である。
【図３】図３は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図４】図４は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図５】図５は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図６】図６は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図７】図７は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図８】図８は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図９】図９は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１０】図１０は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１１】図１１は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１２】図１２は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１３】図１３は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１４】図１４は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１５】図１５は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１６】図１６は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１７】図１７は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１８】図１８は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図１９】図１９は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図２０】図２０は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図２１】図２１は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図２２】図２２は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図２３】図２３は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【図２４】図２４は、図１に示す電子部品検査装置のモニターに表示されるフォーム（一例）である。
【発明を実施するための形態】
【００４６】
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００４７】
以下、図１〜図２４を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第１実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向（第１の方向）」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向（第２の方向）」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向（第３の方向）」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。
【００４８】
本発明の電子部品搬送装置１０は、図１に示す外観を有し、図２に示す配置（構成）となっている。この電子部品搬送装置１０は、ハンドラーであり、電子部品を搬送するデバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）と、第１設定画面を表示した後に、第２設定画面を表示する順次設定モードを選択可能なモニター３００（表示部）と、を備えている。そして、モニター３００に表示された第１設定画面は、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）によって電子部品を搬送するための第１情報を受付可能で、第２設定画面は、搬送部２５によって電子部品を搬送するための、第１情報と異なる第２情報を受付可能である。
これにより、後述するように、撮像部１３１を搭載したデバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）に対して、撮像部１３１による撮像を行ないつつ、電子部品を搬送する動作を設定する場合には、順次設定モードを選択することができる。この順次設定モードでは、デバイス搬送ヘッド１３の動作設定用の第１設定画面と第２設定画面とがこの順に表示されていく。例えばオペレーターが初心者である場合には、そのオペレーターは、モニター３００に順に表示される第１設定画面、第２設定画面に従って、すなわち、第１設定画面、第２設定画面を逐一確認して、第１情報、第２情報を確認したり入力したりすることができる。これにより、デバイス搬送ヘッド１３の動作設定が正確な順序で漏れなく行なわれる。
【００４９】
また、図２に示すように、本発明の電子部品検査装置１は、電子部品搬送装置１０を有し、さらに、電子部品を検査する検査部１６を有する。すなわち、本発明の電子部品検査装置１は、電子部品を搬送するデバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）と、第１設定画面を表示した後に、第２設定画面を表示する順次設定モードを選択可能なモニター３００（表示部）と、電子部品を検査する検査部１６と、を備えている。そして、モニター３００に表示された第１設定画面は、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）によって電子部品を搬送するための第１情報を受付可能で、第２設定画面は、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）によって電子部品を搬送するための、第１情報と異なる第２情報を受付可能である。
これにより、前述した電子部品搬送装置１０の利点を持つ電子部品検査装置１が得られる。また、検査部１６にまで電子部品を搬送することができ、よって、当該電子部品に対する検査を検査部１６で行なうことができる。また、検査後の電子部品を検査部１６から搬送することができる。
以下、各部の構成について詳細に説明する。
【００５０】
図１、図２に示すように、電子部品搬送装置１０を内蔵する電子部品検査装置１は、例えばＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージであるＩＣデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）する装置である。なお、以下では、説明の便宜上、前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。ＩＣデバイス９０は、本実施形態では平板状をなすものとなっている。
【００５１】
なお、ＩＣデバイスとしては、前記のものの他に、例えば、「ＬＳＩ（Large Scale Integration）」「ＣＭＯＳ（Complementary MOS）」「ＣＣＤ（Charge Coupled Device）」や、ＩＣデバイスを複数モジュールパッケージ化した「モジュールＩＣ」、また、「水晶デバイス」、「圧力センサー」、「慣性センサー（加速度センサー）」、「ジャイロセンサー」、「指紋センサー」等が挙げられる。
【００５２】
電子部品検査装置１（電子部品搬送装置１０）は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域Ａ２（供給領域）と、検査領域Ａ３と、デバイス回収領域Ａ４（回収領域）と、トレイ除去領域Ａ５とを備え、これらの領域は、後述するように各壁部で分けられている。そして、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで前記各領域を矢印α９０方向に順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。このように電子部品検査装置１は、各領域を経由するようにＩＣデバイス９０（電子部品）を搬送する搬送部２５を有する電子部品搬送装置１０と、検査領域Ａ３内で検査を行なう検査部１６と、制御部８００とを備えたものとなっている。また、その他、電子部品検査装置１は、モニター３００と、シグナルランプ４００と、操作パネル７００とを備えている。
【００５３】
なお、電子部品検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１、トレイ除去領域Ａ５が配された方、すなわち、図２中の下側が正面側となり、検査領域Ａ３が配された方、すなわち、図２中の上側が背面側として使用される。
【００５４】
また、電子部品検査装置１は、ＩＣデバイス９０の種類ごとに交換される「チェンジキット（Change Kit（「Ｃ／Ｋ」と表記することもある）」と呼ばれるものを予め搭載して（設置して）用いられる。このチェンジキットには、ＩＣデバイス９０（電子部品）が載置される載置部材（載置部）があり、その載置部材には、デバイス供給領域Ａ２に配置される第１載置部材と、デバイス回収領域Ａ４に配置される第２載置部材とがある。第１載置部材としては、例えば、後述する温度調整部１２、デバイス供給部１４と、回転ステージ２７とがある。第２載置部材としては、例えば、後述するデバイス回収部１８と、回転ステージ２８とがある。また、ＩＣデバイス９０が載置される載置部材には、前記のようなチェンジキットとは別に、ユーザーが用意するトレイ２００、回収用トレイ１９、その他、検査部１６もある。デバイス供給領域Ａ２に配置されたトレイ２００は、第１載置部材と言うことができ、デバイス回収領域Ａ４に配置されたトレイ２００および回収用トレイ１９は、第２載置部材と言うことができる。
【００５５】
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が供給される給材部である。トレイ供給領域Ａ１は、トレイ２００を複数積み重ねて搭載可能な搭載領域と言うこともできる。なお、本実施形態では、各トレイ２００には、複数の凹部（ポケット）が行列状に配置されている。各凹部には、ＩＣデバイス９０を１つずつ収納することができる。
【００５６】
デバイス供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１から搬送されたトレイ２００上の検査前の各ＩＣデバイス９０（電子部品）が検査領域Ａ３（検査部１６）まで搬送されて供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１とデバイス供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂが設けられている。トレイ搬送機構１１Ａは、搬送部２５の一部であり、トレイ２００を、当該トレイ２００に載置されたＩＣデバイス９０ごとＹ方向の正側、すなわち、図２中の矢印α１１Ａ方向に移動させることができる。これにより、ＩＣデバイス９０を安定してデバイス供給領域Ａ２に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構１１Ｂは、空のトレイ２００をＹ方向の負側、すなわち、図２中の矢印α１１Ｂ方向に移動させることができる移動部である。これにより、空のトレイ２００をデバイス供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に移動させることができる。
【００５７】
デバイス供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート（英語表記：soak plate、中国語表記（一例）：均温板））１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、トレイ搬送機構１５と、回転ステージ２７とが設けられている。また、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３とを跨ぐように移動するデバイス供給部１４も設けられている。
【００５８】
温度調整部１２は、複数のＩＣデバイス９０が載置される載置部材であり、当該載置されたＩＣデバイス９０を一括して加熱または冷却することができる「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部１６で検査される前のＩＣデバイス９０を予め加熱または冷却して、当該検査（高温検査または低温検査）に適した温度に調整することができる。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２まで搬送される。なお、この載置部材としての温度調整部１２は、固定されていることにより、当該温度調整部１２上でのＩＣデバイス９０に対して安定して温度調整することができる。また、温度調整部１２は、グランドされて（接地されて）いる。
【００５９】
デバイス搬送ヘッド１３は、ＩＣデバイス９０を把持する把持部であり、デバイス供給領域Ａ２内でＸ方向およびＹ方向に移動可能に支持され、さらにＺ方向にも移動可能に支持されている。このデバイス搬送ヘッド１３は、搬送部２５の一部でもあり、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担うことができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１３のＸ方向の移動を矢印α１３Ｘで示し、デバイス搬送ヘッド１３のＹ方向の移動を矢印α１３Ｙで示している。
【００６０】
デバイス供給部１４は、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０が載置される載置部材であり、当該ＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送することができる「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれるものである。このデバイス供給部１４も、搬送部２５の一部となり得る。
【００６１】
また、載置部材としてのデバイス供給部１４は、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向、すなわち、矢印α１４方向に沿って往復移動可能に支持されている。これにより、デバイス供給部１４は、ＩＣデバイス９０をデバイス供給領域Ａ２から検査領域Ａ３の検査部１６近傍まで安定して搬送することができ、また、デバイス供給部１４は、検査領域Ａ３でＩＣデバイス９０がデバイス搬送ヘッド１７によって取り去られた後は再度デバイス供給領域Ａ２に戻ることができる。
【００６２】
図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、Ｙ方向負側のデバイス供給部１４を「デバイス供給部１４Ａ」と言い、Ｙ方向正側のデバイス供給部１４を「デバイス供給部１４Ｂ」と言うことがある。そして、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、デバイス供給領域Ａ２内でデバイス供給部１４Ａまたはデバイス供給部１４Ｂまで搬送される。また、デバイス供給部１４は、温度調整部１２と同様に、当該デバイス供給部１４に載置されたＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部１２で温度調整されたＩＣデバイス９０に対して、その温度調整状態を維持して、検査領域Ａ３の検査部１６近傍まで搬送することができる。なお、デバイス供給部１４も、温度調整部１２と同様に、グランドされている。
【００６３】
デバイス供給部１４Ａとデバイス供給部１４Ｂとの間には、回転ステージ２７が配置されている。回転ステージ２７は、Ｚ軸回りに矢印α２７方向に回動可能に支持されている。そして、ＩＣデバイス９０をデバイス供給部１４に載置する際に、ＩＣデバイス９０の姿勢、すなわち、ＩＣデバイス９０のＺ軸回りの向きを変更して（変えて）載置したい場合には、ＩＣデバイス９０を回転ステージ２７に一旦載置することができる。この載置状態で回転ステージ２７が回動することにより、ＩＣデバイス９０の姿勢を変更することができる。姿勢が変更されたＩＣデバイス９０は、そのままの姿勢で、デバイス搬送ヘッド１３によってデバイス供給部１４まで搬送される。
【００６４】
トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００をデバイス供給領域Ａ２内でＸ方向の正側、すなわち、矢印α１５方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによってデバイス供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。
【００６５】
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０を検査する領域である。この検査領域Ａ３には、ＩＣデバイス９０に対して検査を行なう検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７とが設けられている。
【００６６】
デバイス搬送ヘッド１７は、搬送部２５の一部であり、前記温度調整状態が維持されたＩＣデバイス９０が把持され、当該ＩＣデバイス９０を検査領域Ａ３内で搬送することができる。このデバイス搬送ヘッド１７は、検査領域Ａ３内でＹ方向およびＺ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド１７は、デバイス供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド１７のＹ方向の往復移動を矢印α１７Ｙで示している。また、デバイス搬送ヘッド１７は、Ｙ方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、Ｘ方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。また、図２に示す構成では、デバイス搬送ヘッド１７は、Ｙ方向に２つ配置されており、Ｙ方向負側のデバイス搬送ヘッド１７を「デバイス搬送ヘッド１７Ａ」と言い、Ｙ方向正側のデバイス搬送ヘッド１７を「デバイス搬送ヘッド１７Ｂ」と言うことがある。デバイス搬送ヘッド１７Ａは、検査領域Ａ３内で、ＩＣデバイス９０のデバイス供給部１４Ａから検査部１６への搬送を担うことができ、デバイス搬送ヘッド１７Ｂは、検査領域Ａ３内で、ＩＣデバイス９０のデバイス供給部１４Ｂから検査部１６への搬送を担うことができる。
【００６７】
また、デバイス搬送ヘッド１７は、温度調整部１２と同様に、把持したＩＣデバイス９０を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、ＩＣデバイス９０における温度調整状態を、デバイス供給部１４から検査部１６まで継続して維持することができる。
【００６８】
検査部１６は、電子部品搬送装置１０と接続可能であり、その接続状態で、電子部品であるＩＣデバイス９０が載置されて、当該ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査するものである。この検査部１６には、ＩＣデバイス９０の端子と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子とプローブピンとが電気的に接続される、すなわち、接触することにより、ＩＣデバイス９０の検査を行なうことができる。ＩＣデバイス９０の検査は、検査部１６に接続されるテスターが備える検査制御部に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部１６でも、温度調整部１２と同様に、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整することができる。
【００６９】
デバイス回収領域Ａ４は、検査領域Ａ３で検査され、その検査が終了した、すなわち、検査後の複数のＩＣデバイス９０（電子部品）が検査部１６から搬送されて回収される領域である。このデバイス回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、回転ステージ２８とが設けられている。また、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４とを跨ぐように移動するデバイス回収部１８も設けられている。また、デバイス回収領域Ａ４には、空のトレイ２００も用意されている。
【００７０】
デバイス回収部１８は、検査部１６で検査が終了したＩＣデバイス９０が載置され、当該ＩＣデバイス９０をデバイス回収領域Ａ４まで搬送することができる載置部材であり、「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。このデバイス回収部１８も、搬送部２５の一部となり得る。
【００７１】
また、デバイス回収部１８は、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４との間をＸ方向、すなわち、矢印α１８方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、Ｙ方向負側のデバイス回収部１８を「デバイス回収部１８Ａ」と言い、Ｙ方向正側のデバイス回収部１８を「デバイス回収部１８Ｂ」と言うことがある。そして、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、デバイス回収部１８Ａまたはデバイス回収部１８Ｂに搬送され、載置される。なお、ＩＣデバイス９０の検査部１６からデバイス回収部１８Ａへの搬送は、デバイス搬送ヘッド１７Ａが担い、検査部１６からデバイス回収部１８Ｂへの搬送は、デバイス搬送ヘッド１７Ｂが担う。また、デバイス回収部１８も、温度調整部１２やデバイス供給部１４と同様に、グランドされている。
【００７２】
回収用トレイ１９は、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部材であり、デバイス回収領域Ａ４内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド２０等の各種可動部が比較的多く配置されたデバイス回収領域Ａ４であっても、回収用トレイ１９上では、検査済みのＩＣデバイス９０が安定して載置されることとなる。なお、図２に示す構成では、回収用トレイ１９は、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。
【００７３】
また、空のトレイ２００も、Ｘ方向に沿って３つ配置されている。この空のトレイ２００も、検査部１６で検査されたＩＣデバイス９０が載置される載置部材となる。そして、デバイス回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
【００７４】
デバイス搬送ヘッド２０は、デバイス回収領域Ａ４内でＸ方向およびＹ方向に移動可能に支持され、さらにＺ方向にも移動可能な部分を有している。このデバイス搬送ヘッド２０は、搬送部２５の一部であり、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。なお、図２中では、デバイス搬送ヘッド２０のＸ方向の移動を矢印α２０Ｘで示し、デバイス搬送ヘッド２０のＹ方向の移動を矢印α２０Ｙで示している。
【００７５】
トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００をデバイス回収領域Ａ４内でＸ方向、すなわち、矢印α２１方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。
【００７６】
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。
【００７７】
デバイス回収部１８Ａとデバイス回収部１８Ｂとの間には、回転ステージ２８が配置されている。回転ステージ２８は、Ｚ軸回りに矢印α２８方向に回動可能に支持されている。そして、ＩＣデバイス９０を例えば空のトレイ２００に載置する際に、ＩＣデバイス９０の姿勢を元の状態に戻したい、すなわち、回転ステージ２７による姿勢変更前の状態に戻したい場合には、ＩＣデバイス９０を回転ステージ２８に一旦載置することができる。この載置状態で回転ステージ２８が回動することにより、ＩＣデバイス９０の姿勢を元の状態に戻すことができる。姿勢が戻されたＩＣデバイス９０は、そのままの姿勢で、デバイス搬送ヘッド２０によって空のトレイ２００まで搬送される。
【００７８】
また、デバイス回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつＹ方向に搬送するトレイ搬送機構２２Ａ、トレイ搬送機構２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、搬送部２５の一部であり、トレイ２００をＹ方向、すなわち、矢印α２２Ａ方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのＩＣデバイス９０をデバイス回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送することができる。また、トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をＹ方向の正側、すなわち、矢印α２２Ｂ方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５からデバイス回収領域Ａ４に移動させることができる。
【００７９】
制御部８００は、例えば、トレイ搬送機構１１Ａと、トレイ搬送機構１１Ｂと、温度調整部１２と、デバイス搬送ヘッド１３と、デバイス供給部１４と、トレイ搬送機構１５と、検査部１６と、デバイス搬送ヘッド１７と、デバイス回収部１８と、デバイス搬送ヘッド２０と、トレイ搬送機構２１と、トレイ搬送機構２２Ａと、トレイ搬送機構２２Ｂ、回転ステージ２７と、回転ステージ２８等の各部の作動を制御することができる。
【００８０】
オペレーターは、モニター３００を介して、電子部品検査装置１の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター３００は、例えば液晶画面で構成された表示画面３０１を有し、電子部品検査装置１の正面側上部に配置されている。図１に示すように、トレイ除去領域Ａ５の図中の右側には、マウスを載置するマウス台６００が設けられている。このマウスは、モニター３００に表示された画面を操作する際に用いられる。
【００８１】
また、モニター３００に対して図１の右下方には、操作パネル７００が配置されている。操作パネル７００は、モニター３００とは別に、電子部品検査装置１に所望の動作を命令するものである。
【００８２】
また、シグナルランプ４００は、発光する色の組み合わせにより、電子部品検査装置１の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ４００は、電子部品検査装置１の上部に配置されている。なお、電子部品検査装置１には、スピーカー５００が内蔵されており、このスピーカー５００によっても電子部品検査装置１の作動状態等を報知することもできる。
【００８３】
電子部品検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１とデバイス供給領域Ａ２との間が第１隔壁２３１によって区切られており、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間が第２隔壁２３２によって区切られており、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４との間が第３隔壁２３３によって区切られており、デバイス回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５との間が第４隔壁２３４によって区切られている。また、デバイス供給領域Ａ２とデバイス回収領域Ａ４との間も、第５隔壁２３５によって区切られている。
【００８４】
電子部品検査装置１は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー２４１、サイドカバー２４２、サイドカバー２４３、リアカバー２４４、トップカバー２４５がある。
【００８５】
前述したように、デバイス供給領域Ａ２には、ＩＣデバイス９０（電子部品）が載置されるトレイ２００（載置部）が設置されている。トレイ２００には、ＩＣデバイス９０を１つずつ収納される凹部が行列状に複数配置されている。例えば、ＩＣデバイス９０の大きさによっては、隣り合う凹部同士のピッチ間距離が極めて狭くなることがある。この場合、デバイス搬送ヘッド１３がＩＣデバイス９０をトレイ２００から把持し損なうおそれがある。このため、図２に示すように、電子部品検査装置１（電子部品搬送装置１０）は、トレイ２００上からＩＣデバイス９０を正確に把持すべく、当該トレイ２００（載置部）の凹部の画像を撮像可能な撮像部１３１を備えている。撮像部１３１は、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）に搭載されている。なお、撮像部１３１は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラで構成されており、Ｚ方向負側を向いて配置されている。
電子部品検査装置１では、ＩＣデバイス９０の把持に先立って、撮像部１３１により、トレイ２００の凹部の画像を撮像しておく。この撮像画像に基づいて、デバイス搬送ヘッド１３を目標位置、すなわち、把持対象であるＩＣデバイス９０に正確に移動させることができる。そして、この移動先で、デバイス搬送ヘッド１３は、ＩＣデバイス９０を正確に把持することができる。
また、前述したように、デバイス回収領域Ａ４にも、ＩＣデバイス９０（電子部品）が載置されるトレイ２００（載置部）が設置されている。前記と同様に、隣り合う凹部同士のピッチ間距離が極めて狭い場合、デバイス搬送ヘッド２０がＩＣデバイス９０をトレイ２００に正確に解放し損なうおそれがある。このため、図２に示すように、電子部品検査装置１（電子部品搬送装置１０）は、トレイ２００上からＩＣデバイス９０を正確に解放すべく、当該トレイ２００（載置部）の凹部の画像を撮像可能な撮像部２０１を備えている。撮像部２０１は、デバイス搬送ヘッド２０（搬送部２５）に搭載されている。なお、撮像部２０１も、撮像部１３１と同様に、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラで構成されており、Ｚ方向負側を向いて配置されている。
電子部品検査装置１では、ＩＣデバイス９０の解放に先立って、撮像部２０１により、トレイ２００の凹部の画像を撮像しておく。この撮像画像に基づいて、デバイス搬送ヘッド２０を目標位置、すなわち、ＩＣデバイス９０が収納されるべき凹部に正確に移動させることができる。そして、この移動先で、デバイス搬送ヘッド２０は、ＩＣデバイス９０を解放することができる。
【００８６】
電子部品検査装置１では、前記のように撮像部１３１や撮像部２０１を用いる場合、電子部品検査装置１に対して各種諸条件を設定する必要がある。この設定には、順次設定モード（第１モード）と一括設定モード（第２モード）とのいずれかを選択して用いる。順次設定モードは、各種諸条件の設定をモニター３００に順次表示して、すなわち、ウィザード形式（対話形式）で行なうことができるモードである。一括設定モードは、各種諸条件の設定をモニター３００に一括表示して行なうことができるモードである。
【００８７】
前述したように、電子部品搬送装置１０は、ＩＣデバイス９０（電子部品）を検査する検査部１６に接続可能である。また、電子部品搬送装置１０は、検査前のＩＣデバイス９０（電子部品）が検査部１６に搬送されて供給されるデバイス供給領域Ａ２（供給領域）と、検査後のＩＣデバイス９０（電子部品）が検査部１６から搬送されて回収されるデバイス回収領域Ａ４（回収領域）と、を備えている。そして、順次設定モードは、デバイス供給領域Ａ２（供給領域）およびデバイス回収領域Ａ４（回収領域）に対して設定されている。これにより、デバイス供給領域Ａ２で撮像部１３１を用いるときの各種諸条件の設定を正確な順序で漏れなく行なうことができる。また、デバイス回収領域Ａ４で撮像部２０１を用いるときの各種諸条件の設定も正確な順序で漏れなく行なうことができる。順次設定モードと同様に、一括設定モードも、デバイス供給領域Ａ２およびデバイス回収領域Ａ４に対して設定されている。
【００８８】
以下では、代表的に、デバイス供給領域Ａ２での順次設定モードと一括設定モードについて説明する。順次設定モード、一括設定モードの実行前、実行中、実行後のいずれかでは、図３〜図２４に示す各フォームがモニター３００に適宜表示されることとなる。なお、「フォーム」は、「画面」、「ダイアログ」、「ウィンドウ」等と呼ばれることもある。
【００８９】
まず、モニター３００には、図３に示すフォームＦＭ１が表示されている。フォームＦＭ１は、メイン画面である。このフォームＦＭ１には、ボタン群ＢＴ１００と、第１項目群ＩＴ１１０と、第２項目群ＩＴ１２０と、第３項目群ＩＴ１３０と、第４項目群ＩＴ１４０と、第５項目群ＩＴ１５０とが含まれている。
【００９０】
ボタン群ＢＴ１００には、「終了」用のボタンＢＴ１０１と、「シャットダウン」用のボタンＢＴ１０２と、「品種設定」用のボタンＢＴ１０３と、「ユニット設定」用のボタンＢＴ１０４と、「メンテナンス」用のボタンＢＴ１０５と、「ユーザー定義」用のボタンＢＴ１０６と、「電卓」用のボタンＢＴ１０７とが含まれている。
【００９１】
第１項目群ＩＴ１１０には、「ユーザー選択」設定用の項目ＩＴ１１１と、「温度モード」設定用の項目ＩＴ１１２と、「テスター接続」設定用の項目ＩＴ１１３と、「搬送モード」設定用の項目ＩＴ１１４と、「開始モード」設定用の項目ＩＴ１１５と、「ピン設定」設定用の項目ＩＴ１１６と、「デバイス回転」設定用の項目ＩＴ１１７と、「設定データー」設定用の項目ＩＴ１１８と、「テストサイト」設定用の項目ＩＴ１１９とが含まれている。
【００９２】
第２項目群ＩＴ１２０には、「供給シャトル」設定用の項目ＩＴ１２１と、「ホットプレート（温度調整部）」設定用の項目ＩＴ１２２と、「アーム２」設定用の項目ＩＴ１２３と、「アーム１」設定用の項目ＩＴ１２４と、「ソケットヒーター」設定用の項目ＩＴ１２５と、「ソケットエアー」設定用の項目ＩＴ１２６とが含まれている。
【００９３】
第３項目群ＩＴ１３０は、「供給／収納カウンター」として、「供給」確認用の項目ＩＴ１３１と、「合計」確認用の項目ＩＴ１３２と、「良品・不良品」用の項目ＩＴ１３３と、「収納１〜収納３・固定１〜固定３」確認用の項目ＩＴ１３４とが含まれている。
【００９４】
第４項目群ＩＴ１４０は、「コンタクトカウンター」として、「総合」設定用の項目ＩＴ１４１と、「品種別」設定用の項目ＩＴ１４２と、「品種別％」設定用の項目ＩＴ１４３と、「アーム１・アーム２」確認用の項目ＩＴ１４４とが含まれている。
【００９５】
第５項目群ＩＴ１５０は、「テスターカテゴリー」として、「ソケット」確認用の項目ＩＴ１５１が含まれている。
【００９６】
次に、ボタン群ＢＴ１００のボタンＢＴ１０３を操作すると、図４に示すように、フォームＦＭ２がフォームＦＭ１に重なって表示される。フォームＦＭ２は、アイコンメニューである。このフォームＦＭ２には、「セットアップ」用のボタンＢＴ２０１と、「トレイフォーム」用のボタンＢＴ２０２と、「プレートフォーム」用のボタンＢＴ２０３と、「トレイ割当」用のボタンＢＴ２０４と、「温度オフセット」用のボタンＢＴ２０５と、「コンタクト」用のボタンＢＴ２０６と、「テスターＩ／Ｆ」用のボタンＢＴ２０７と、「Ｂｉｎ設定」用のボタンＢＴ２０８と、「ダブルデバイス」用のボタンＢＴ２０９と、「クリーニング」用のボタンＢＴ２１０と、「歩留り」用のボタンＢＴ２１１と、「ＱＡサンプリング」用のボタンＢＴ２１２と、「ＦＩＦＯ機能」用のボタンＢＴ２１３と、「供給補正」用のボタンＢＴ２１４と、「回収補正」用のボタンＢＴ２１５と、「Ｅｘｉｔ」用のボタンＢＴ２１６とが含まれている。
【００９７】
次に、フォームＦＭ２のボタンＢＴ２１４を操作すると、モニター３００（表示部）には、順次設定モードと一括設定モードとのいずれかを選択可能な選択画面、すなわち、図５に示すフォームＦＭ３（モード選択操作部）が表示される。これにより、オペレーターは、電子部品検査装置１を操作する習熟度に応じて、順次設定モードと一括設定モードとのいずれかを選択することができる。例えば、オペレーターが熟練者である場合には、一括設定モードを選択することができ、反対に、オペレーターが初心者である場合には、順次設定モードを選択するのが好ましい。
【００９８】
フォームＦＭ３には、「順次設定」用のボタンＢＴ３０１と、「通常設定（一括設定）」用のボタンＢＴ３０２とが含まれている。ボタンＢＴ３０１の右側には、「指示に従って順番に設定を行ないます。」の説明ＥＸ３１１が表示されている。ボタンＢＴ３０２の右側には、「通常の設定画面を表示します。」の説明ＥＸ３１２が表示されている。そして、ボタンＢＴ３０１を選択すれば、すなわち、操作すれば、順次設定モード（図６〜図２３参照）に進む。一方、ボタンＢＴ３０２を選択すれば、一括設定モード（図２４参照）に進む。また、フォームＦＭ３には、「キャンセル」用のボタンＢＴ３０３も含まれている。
【００９９】
ここでは、まず、ボタンＢＴ３０１を選択した場合について説明する。
【０１００】
ボタンＢＴ３０１を選択すると、図６に示すフォームＦＭ４が表示される。フォームＦＭ４は、順次設定モードを行なうことを確認する画面であり、「以下の構成で設定を行ないます。」の説明ＥＸ４０１が表示されている。
【０１０１】
このフォームＦＭ４には、「デバイスサイズ」確認用の項目ＩＴ４１１と、「ハンドリング」確認用の項目ＩＴ４１２と、「トレイフォーム」確認用の項目ＩＴ４１３と、「プレートフォーム」確認用の項目ＩＴ４１４と、「回転ステージ」確認用の項目ＩＴ４１５とが含まれている。
【０１０２】
また、フォームＦＭ４には、「次へ」用のボタンＢＴ４２１と、「キャンセル」用のボタンＢＴ４２２とが含まれている。
【０１０３】
次に、フォームＦＭ４の項目ＩＴ４１１〜項目ＩＴ４１５の内容を確認して、ボタンＢＴ４２１を操作すると、図７に示すフォームＦＭ５が表示される。フォームＦＭ５は、撮像部１３１で撮像する箇所を確認する画面であり、「設定を行なうトレイ、Ｃ／Ｋを選択してください。」の説明ＥＸ５０１が表示されている。
【０１０４】
このフォームＦＭ５には、「供給トレイ（デバイス供給領域Ａ２内でのトレイ２００）」選択用のチェックボックスＣＢ５１１と、その「高さ検出」選択用のチェックボックスＣＢ５１２と、「供給シャトル」選択用のチェックボックスＣＢ５１３と、その「高さ検出」選択用のチェックボックスＣＢ５１４と、「ホットプレート」選択用のチェックボックスＣＢ５１５と、その「高さ検出」選択用のチェックボックスＣＢ５１６とが含まれている。図７中では、一例として、全てのチェックボックスにチェックが入っている。
【０１０５】
また、フォームＦＭ５には、「次へ」用のボタンＢＴ５２１と、「キャンセル」用のボタンＢＴ５２２とが含まれている。
【０１０６】
次に、フォームＦＭ５のボタンＢＴ５２１を操作すると、図８に示すフォームＦＭ６が表示される。フォームＦＭ６は、デバイス供給領域Ａ２内で必要な部材の準備を指示する画面であり、「トレイ、Ｃ／Ｋ、デバイスを準備し、チェックをしてください。」の説明ＥＸ６０１が表示されている。
【０１０７】
このフォームＦＭ６には、「供給トレイ」選択用のチェックボックスＣＢ６１１と、「供給シャトル」選択用のチェックボックスＣＢ６１２と、「ホットプレート」選択用のチェックボックスＣＢ６１３とが含まれている。チェックボックスＣＢ６１１の下側には、「トレイをローダーにセットしてください。トレイのポケット［行,列］にデバイスを納入してください。：ポケット［２,２］（左上から）」の説明ＥＸ６０２が表示されている。チェックボックスＣＢ６１２の下側には、「供給シャトル１を取り付けてください。供給シャトル１の指定［ポケット］へデバイスを挿入してください。：ポケット［Ａａ］」の説明ＥＸ６０３が表示されている。チェックボックスＣＢ６１３の下側には、「ホットプレート１を取り付けてください。ホットプレート１のポケット［行,列］にデバイスを納入してください。：ポケット［４,１］（左上から）」の説明ＥＸ６０４が表示されている。
【０１０８】
また、フォームＦＭ６には、「前へ」用のボタンＢＴ６２１と、「次へ」用のボタンＢＴ６２２と、「キャンセル」用のボタンＢＴ６２３とが含まれている。
【０１０９】
次に、説明ＥＸ６０２、説明ＥＸ６０３、説明ＥＸ６０４の指示に従って準備を行ない、図９に示すように、チェックボックスＣＢ６１１、チェックボックスＣＢ６１２、チェックボックスＣＢ６１３にチェックを入れる。なお、図９に示す状態、すなわち、全てのチェックボックスにチェックが入っている状態は、一例である。
【０１１０】
次に、フォームＦＭ６のボタンＢＴ６２２を操作すると、図１０に示すフォームＦＭ７が表示される。フォームＦＭ７は、撮像部１３１で撮像する供給トレイの位置検出の開始を確認する画面であり、「「供給トレイ」の「位置検出」を登録します。」の説明ＥＸ７０１が表示されている。また、フォームＦＭ７には、「スキップ」用のボタンＢＴ７２１と、「次へ」用のボタンＢＴ７２２と、「キャンセル」用のボタンＢＴ７２３とが含まれている。
【０１１１】
次に、フォームＦＭ７のボタンＢＴ７２２を操作すると、図１１に示すフォームＦＭ８が表示される。フォームＦＭ８は、撮像部１３１で撮像する供給トレイのポケット（トレイ２００の凹部）を選択する画面である。
【０１１２】
フォームＦＭ８には、供給トレイを模したモデル図面ＭＤ８０１と、「４ポケット」選択用のボタンＢＴ８１１と、「６ポケット」選択用のボタンＢＴ８１２と、「９ポケット」選択用のボタンＢＴ８１３と、「１２ポケット」選択用のボタンＢＴ８１４と、「１５ポケット」選択用のボタンＢＴ８１５とが含まれている。図１１中のモデル図面ＭＤ８０１では、黒塗りのポケットが選択されたポケットであり、一例として、ボタンＢＴ８１２が操作されて、６つのポケットが選択されている。
【０１１３】
また、フォームＦＭ８には、「次へ」用のボタンＢＴ８１６と、「キャンセル」用のボタンＢＴ８１７とが含まれている。
【０１１４】
次に、フォームＦＭ８のボタンＢＴ８１６を操作すると、図１２に示すフォームＦＭ９が表示される。フォームＦＭ９は、供給トレイのポケットがどこにあるのかを電子部品検査装置１に対してティーチングを行なう画面であり、「供給トレイ  ポケットとその周囲の形状を囲むように領域を指定してください。」の説明ＥＸ９０１が表示されている。
【０１１５】
このフォームＦＭ９には、撮像部１３１が実際に（リアルタイムで）撮像している実画像ＩＭ９１１が表示される。オペレーターは、マウス台６００上のマウスを操作して、実画像ＩＭ９１１中のポケットＩＭ９１２に、マーカーＩＭ９１３を重ねる。そして、この状態で、フォームＦＭ９に含まれる「次へ」用のボタンＢＴ９２１を操作する。これにより、ティーチングが行なわれる。なお、フォームＦＭ９には、「キャンセル」用のボタンＢＴ９２２も含まれている。
【０１１６】
また、フォームＦＭ９には、「切出す領域（ポケットとその周囲の形状を囲むように領域）」設定用の項目ＩＴ９３１と、「シャッター速度」設定用の項目ＩＴ９３２も含まれている。
【０１１７】
そして、フォームＦＭ９のボタンＢＴ９２１を操作すると、図１３に示すフォームＦＭ１０が表示される。フォームＦＭ１０は、ティーチングを行なったポケットが適したものであるか否を確認する画面であり、「この画像を登録しますか？」の説明ＥＸ１００１が表示されている。
【０１１８】
また、フォームＦＭ１０には、１つの代表的なポケットのモデル画像ＩＭ１０１１が表示される。このモデル画像ＩＭ１０１１は、フォームＦＭ８で選択されて、撮像部１３１によって撮像された６つのポケットの撮像画像を合成して得られた基準画像である。電子部品検査装置１では、この基準画像と、撮像部１３１によって撮像されたトレイ２００の凹部の実画像とを比較して、ＩＣデバイス９０が収納されている凹部を正確に検出することができる。これにより、凹部に収納されているＩＣデバイス９０にデバイス搬送ヘッド１３を正確に移動させることができる。
【０１１９】
また、フォームＦＭ１０には、「ＯＫ」用のボタンＢＴ１０２１と、「キャンセル」用のボタンＢＴ１０２２とが含まれている。ティーチングを行なったポケットが適したものである場合には、ボタンＢＴ１０２１を操作する。
【０１２０】
ボタンＢＴ１０２１の操作後には、図１４に示すフォームＦＭ１１が表示される。フォームＦＭ１１は、撮像部１３１で撮像する供給トレイの高さ検出の開始を確認する画面であり、「「供給トレイ」の「高さ検出」を登録します。」の説明ＥＸ１１０１が表示されている。また、フォームＦＭ１１には、「スキップ」用のボタンＢＴ１１２１と、「次へ」用のボタンＢＴ１１２２と、「キャンセル」用のボタンＢＴ１１２３とが含まれている。
【０１２１】
次に、フォームＦＭ１１のボタンＢＴ１１２２を操作すると、図１５に示すフォームＦＭ１２が表示される。フォームＦＭ１２は、撮像部１３１で撮像する供給トレイの高さを検出するためのポケット（トレイ２００の凹部）を選択する画面である。
【０１２２】
フォームＦＭ１２には、供給トレイを模したモデル図面ＭＤ１２０１と、「４ポケット」選択用のボタンＢＴ１２１１と、「６ポケット」選択用のボタンＢＴ１２１２と、「９ポケット」選択用のボタンＢＴ１２１３と、「１２ポケット」選択用のボタンＢＴ１２１４と、「１５ポケット」選択用のボタンＢＴ１２１５とが含まれている。図１５中のモデル図面ＭＤ１２０１では、黒塗りのポケットが選択されたポケットであり、一例として、ボタンＢＴ１２１３が操作されて、９つのポケットが選択されている。
【０１２３】
また、フォームＦＭ１２には、「次へ」用のボタンＢＴ１２１６と、「キャンセル」用のボタンＢＴ１２１７とが含まれている。
【０１２４】
次に、フォームＦＭ１２のボタンＢＴ１２１６を操作すると、図１６に示すフォームＦＭ１３が表示される。フォームＦＭ１３は、供給トレイのどこで高さを検出するのかを電子部品検査装置１に対してティーチングを行なう画面であり、「供給トレイ  吸着ノズルが下降できる平らな面を指定してください。」の説明ＥＸ１３０１が表示されている。
【０１２５】
このフォームＦＭ１３には、撮像部１３１が実際に（リアルタイムで）撮像している実画像ＩＭ１３１１が表示される。オペレーターは、マウス台６００上のマウスを操作して、実画像ＩＭ１３１１中でマーカーＩＭ１３１３を動かして、そのマーカーＩＭ１３１３によって供給トレイの高さ検出位置を指示する。そして、この状態で、フォームＦＭ１３に含まれる「次へ」用のボタンＢＴ１３２１を操作する。これにより、ティーチングが行なわれる。電子部品検査装置１では、この供給トレイの高さ検出位置を、デバイス搬送ヘッド１３がＩＣデバイス９０を把持する（吸着する）ときの高さの基準として用いる。これにより、凹部に収納されているＩＣデバイス９０をデバイス搬送ヘッド１３が正確に把持することができる。
【０１２６】
なお、フォームＦＭ１３には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１３２２と、「高さ検出位置」用の項目ＩＴ１３３１も含まれている。
【０１２７】
そして、フォームＦＭ１３のボタンＢＴ１３２１を操作すると、図１７に示すフォームＦＭ１４が表示される。フォームＦＭ１４は、ティーチングを行なった供給トレイの高さ検出位置が適したものであるか否を確認する画面であり、「高さを更新してもよろしいですか？」の説明ＥＸ１４０１が表示されている。
【０１２８】
また、フォームＦＭ１４には、「ＹＥＳ」用のボタンＢＴ１４２１と、「ＮＯ」用のボタンＢＴ１４２２とが含まれている。ティーチングを行なった供給トレイの高さ検出位置が適したものである場合には、ボタンＢＴ１４２１を操作する。
【０１２９】
ボタンＢＴ１４２１の操作後には、図１８に示すフォームＦＭ１５が表示される。フォームＦＭ１５は、撮像部１３１で撮像する供給シャトルの位置検出の開始を確認する画面であり、「「供給シャトル」の「位置検出」を登録します。」の説明ＥＸ１５０１が表示されている。また、フォームＦＭ１５には、「スキップ」用のボタンＢＴ１５２１と、「次へ」用のボタンＢＴ１５２２と、「キャンセル」用のボタンＢＴ１５２３とが含まれている。ここでは、一例として、ボタンＢＴ１５２１を操作する。なお、ボタンＢＴ１５２２を操作した場合には、供給シャトルに適するように、フォームＦＭ８以降と同様のフォームが順次表示される。
【０１３０】
ボタンＢＴ１５２１の操作後には、図１９に示すフォームＦＭ１６が表示される。フォームＦＭ１６は、撮像部１３１で撮像するホットプレートの位置検出の開始を確認する画面であり、「「ホットプレート」の「位置検出」を登録します。」の説明ＥＸ１６０１が表示されている。また、フォームＦＭ１６には、「スキップ」用のボタンＢＴ１６２１と、「次へ」用のボタンＢＴ１６２２と、「キャンセル」用のボタンＢＴ１６２３とが含まれている。ここでは、一例として、ボタンＢＴ１６２１を操作する。なお、ボタンＢＴ１６２２を操作した場合には、ホットプレートに適するように、フォームＦＭ８以降と同様のフォームが順次表示される。
【０１３１】
ボタンＢＴ１６２１の操作後には、図２０に示すフォームＦＭ１７が表示される。フォームＦＭ１７は、前述した撮像画像に基づいたＩＣデバイス９０の把持を、１つ１つのＩＣデバイス９０に対して行なうのか、それとも、複数のＩＣデバイス９０に対して一括して行なうのかを選択する画面であり、「「補正モード」を選択してください。」の説明ＥＸ１７０１が表示されている。
【０１３２】
フォームＦＭ１７には、「個別補正」用のボタンＢＴ１７１１と、「一括補正」用のボタンＢＴ１７１２とが含まれている。
ボタンＢＴ１７１１の右側には、「各ポケットに対して個別に位置補正量を計算して搬送します。高精度な補正効果を得ることができます。」の説明ＥＸ１７０２が表示されている。ボタンＢＴ１７１２の右側には、「トレイやＣ／Ｋごとに１つの補正量を計算して搬送します。スループットの大きな低下を抑えられます。」の説明ＥＸ１７０３が表示されている。
【０１３３】
また、フォームＦＭ１７には、「次へ」用のボタンＢＴ１７１３と、「キャンセル」用のボタンＢＴ１７１４も含まれている。ここでは、一例として、ボタンＢＴ１７１１を操作して、その後、ボタンＢＴ１７１３を操作する。
【０１３４】
ボタンＢＴ１７１３の操作後には、図２１に示すフォームＦＭ１８が表示される。フォームＦＭ１８は、撮像部１３１による撮像を行なうタイミングを選択する画面であり、「検出タイミングを選択してください。」の説明ＥＸ１８０１が表示されている。
【０１３５】
フォームＦＭ１８には、「トレイ」に対する撮像タイミング選択用の項目ＩＴ１８２１と、「Ｃ／Ｋ」に対する撮像タイミング選択用の項目ＩＴ１８２２とが含まれている。
【０１３６】
また、フォームＦＭ１８には、撮像タイミングの説明ＥＸ１８０２も含まれている。図２１では、説明ＥＸ１８０２として、「稼働開始時のみ：稼働開始時に一度だけ実行します。一定時間間隔：稼働開始時と、その後は指定時間間隔で定期的に実行します。トレイロードごと：稼働開始時と、その後はトレイがロードされるたびに実行します。」と表示されている。
【０１３７】
また、フォームＦＭ１８には、「次へ」用のボタンＢＴ１８１１と、「キャンセル」用のボタンＢＴ１８１２も含まれている。
【０１３８】
ボタンＢＴ１８１１を操作した後は、図２２に示すフォームＦＭ１９が表示される。フォームＦＭ１９は、デバイス搬送ヘッド１３がＩＣデバイス９０を把持するときのＩＣデバイスとの間隔を指定する画面であり、「ピックアップ・リリース時のノズルとのクリアランスを指定してください。」の説明ＥＸ１９０１が表示されている。
【０１３９】
フォームＦＭ１９には、「トレイ」上のＩＣデバイス９０との間隔設定用の項目ＩＴ１９２１と、「シャトル」上のＩＣデバイス９０との間隔設定用の項目ＩＴ１９２２と、「ホットプレート」上のＩＣデバイス９０との間隔設定用の項目ＩＴ１９２３と、「回転ステージ」上のＩＣデバイス９０との間隔設定用の項目ＩＴ１９２４とが含まれている。
【０１４０】
また、フォームＦＭ１９には、デバイス搬送ヘッド１３とＩＣデバイス９０との位置関係を描いたイメージ画像ＩＭ１９３１も含まれている。
【０１４１】
また、フォームＦＭ１９には、「次へ」用のボタンＢＴ１９１１と、「キャンセル」用のボタンＢＴ１９１２も含まれている。
【０１４２】
ボタンＢＴ１９１１を操作した後は、図２３に示すフォームＦＭ２０が表示される。フォームＦＭ２０は、順次設定モード完了の画面であり、「設定が完了しました。使用したトレイ、デバイスは取り除いてください。」の説明ＥＸ２００１が表示される。フォームＦＭ２０には、「閉じる」用のボタンＢＴ２０１１が含まれている。説明ＥＸ２００１の指示に従ってトレイやデバイスを取り除いて、ボタンＢＴ２０１１を操作することができる。
【０１４３】
以上のように、撮像部１３１を搭載したデバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）に対して、撮像部１３１による撮像を行ないつつ、ＩＣデバイス９０を搬送する動作を設定する際には、順次設定モードを選択することができる。この順次設定モードでは、デバイス搬送ヘッド１３の動作設定用の各フォーム（フォームＦＭ４〜フォームＦＭ２０）が順に表示されていく。例えばオペレーターが初心者である場合には、そのオペレーターは、モニター３００に順に表示されるフォームに従って、すなわち、フォームを逐一確認して、各種諸条件を確認したり入力したりすることができる。これにより、デバイス搬送ヘッド１３の動作設定が正確な順序で漏れなく行なわれる。
【０１４４】
また、図５に示すフォームＦＭ３で「通常設定（一括設定）」用のボタンＢＴ３０２を操作した場合には、図２４に示すフォームＦＭ２１が表示される。フォームＦＭ２１は、一括設定モードを行なう画面である。
【０１４５】
フォームＦＭ２１には、撮像部１３１を用いるか否かを選択するチェックボックスＣＢ２１０１と、「供給トレイ」に対する各種諸条件設定用のタブＴＢ２１０２と、「供給シャトル」に対する各種諸条件設定用のタブＴＢ２１０３と、「ホットプレート」に対する各種諸条件設定用のタブＴＢ２１０４とが含まれている。
【０１４６】
チェックボックスＣＢ２１０１にチェックを入れると、撮像部１３１の使用が可能な状態となる。チェックボックスＣＢ２１０１の右側には、「搬送補正を有効にする」の説明ＥＸ２１０５が表示されている。
【０１４７】
タブＴＢ２１０２には、フォームＦＭ８、フォームＦＭ９およびフォームＦＭ１０の内容に相当する項目ＩＴ２１１１と、フォームＦＭ１２およびフォームＦＭ１３の内容に相当する項目ＩＴ２１１２とが含まれている。そして、項目ＩＴ２１１１および項目ＩＴ２１１２に対する設定や選択を行なうことにより、撮像部１３１を用いる場合の電子部品検査装置１に対する各種諸条件を一括して設定することができる。なお、タブＴＢ２１０３を選択した場合には、「供給トレイ」に対して、「供給トレイ」と同様の設定が可能であり、タブＴＢ２１０４を選択した場合には、「ホットプレート」に対して、「供給トレイ」と同様の設定が可能である。
【０１４８】
また、フォームＦＭ２１には、フォームＦＭ１７の内容に相当する項目ＩＴ２１１３と、フォームＦＭ１８の内容に相当する項目ＩＴ２１１４と、フォームＦＭ１９の内容に相当する項目ＩＴ２１１５とが含まれている。
【０１４９】
また、フォームＦＭ２１には、「順次設定」用のボタンＢＴ２１２１と、「ＯＫ」用のボタンＢＴ２１２２と、「キャンセル」用のボタンＢＴ２１２３と、「適用」用のボタンＢＴ２１２４とが含まれている。
【０１５０】
そして、撮像部１３１を搭載したデバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）に対して、撮像部１３１による撮像を行ないつつ、ＩＣデバイス９０を搬送する動作を設定する際には、前述した順次設定モードの他に、一括設定モードを選択することができる。この一括設定モードでは、デバイス搬送ヘッド１３の動作設定をフォームＦＭ２１上で全て行なうことができる。例えばオペレーターが熟練者である場合には、順次設定モードよりも一括設定モードを選択した方が、デバイス搬送ヘッド１３の動作設定を迅速に行なうことができると考えられる。
【０１５１】
ところで、順次設定モードでは、例えば図７に示すフォームＦＭ５を「第１設定画面」とした場合、第１設定画面の表示後に表示される図８（図９）に示すフォームＦＭ６を「第２設定画面」と言うことができる。以下、第１設定画面をフォームＦＭ５とし、第２設定画面をフォームＦＭ６とした場合を「場合１」と言うことがある。
第１設定画面であるフォームＦＭ５は、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）によってＩＣデバイス９０（電子部品）を搬送するための情報（以下「第１情報」と言う）を受付可能、すなわち、入力可能である。第１情報としては、フォームＦＭ５に含まれているチェックボックスＣＢ５１１と、チェックボックスＣＢ５１２と、チェックボックスＣＢ５１３と、チェックボックスＣＢ５１４と、チェックボックスＣＢ５１５と、チェックボックスＣＢ５１６とが挙げられる。
第２設定画面であるフォームＦＭ６は、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）によってＩＣデバイス９０（電子部品）を搬送するための、第１情報と異なる情報（以下「第２情報」と言う）を受付可能である。第２情報としては、フォームＦＭ６に含まれているチェックボックスＣＢ６１１と、チェックボックスＣＢ６１２と、チェックボックスＣＢ６１３とが挙げられる。
【０１５２】
また、場合１では、第１設定画面であるフォームＦＭ５は、第２設定画面であるフォームＦＭ６を表示させる第２設定画面表示操作部としてのボタンＢＴ５２１を含んでいる。これにより、ボタンＢＴ５２１を操作するまでは、モニター３００にフォームＦＭ５が表示されたままとなり、よって、例えば、第１情報を十分に確認したり、入力したりする時間を十分に確保することができる。
【０１５３】
また、場合１では、第１設定画面であるフォームＦＭ５は、少なくとも１つのチェックボックス（図７に示す構成ではチェックボックスＣＢ５１１、チェックボックスＣＢ５１２、チェックボックスＣＢ５１３、チェックボックスＣＢ５１４、チェックボックスＣＢ５１５、チェックボックスＣＢ５１６の計６つ）を含み、全てのチェックボックスにチェックが入っている場合に、第２設定画面表示操作部であるボタンＢＴ５２１に対する操作が可能となる。これにより、チェックボックスに対するチェック漏れを防止することができる。
【０１５４】
また、例えば図８（図９）に示すフォームＦＭ６を「第１設定画面」とした場合、第１設定画面の表示後に表示される図１１に示すフォームＦＭ８を「第２設定画面」と言うことができる。以下、第１設定画面をフォームＦＭ６とし、第２設定画面をフォームＦＭ８とした場合を「場合２」と言うことがある。
第１設定画面であるフォームＦＭ６での第１情報としては、フォームＦＭ６に含まれているチェックボックスＣＢ６１１と、チェックボックスＣＢ６１２と、チェックボックスＣＢ６１３とが挙げられる。
第２設定画面であるフォームＦＭ８での第２情報としては、フォームＦＭ８に含まれているモデル図面ＭＤ８０１と、ボタンＢＴ８１１と、ボタンＢＴ８１２と、ボタンＢＴ８１３と、ボタンＢＴ８１４と、ボタンＢＴ８１５とが挙げられる。
【０１５５】
また、例えば図１１に示すフォームＦＭ８を「第１設定画面」とした場合、第１設定画面の表示後に表示される図１２に示すフォームＦＭ９を「第２設定画面」と言うことができる。以下、第１設定画面をフォームＦＭ８とし、第２設定画面をフォームＦＭ９とした場合を「場合３」と言うことがある。
第１設定画面であるフォームＦＭ８での第１情報としては、フォームＦＭ８に含まれているモデル図面ＭＤ８０１と、ボタンＢＴ８１１と、ボタンＢＴ８１２と、ボタンＢＴ８１３と、ボタンＢＴ８１４と、ボタンＢＴ８１５とが挙げられる。
第２設定画面であるフォームＦＭ９での第２情報としては、フォームＦＭ９に含まれているマーカーＩＭ９１３と、項目ＩＴ９３１と、項目ＩＴ９３２とが挙げられる。
【０１５６】
また、場合３では、第１設定画面であるフォームＦＭ８は、第２設定画面であるフォームＦＭ９を表示させる第２設定画面表示操作部としてのボタンＢＴ８１６を含んでいる。これにより、ボタンＢＴ８１６を操作するまでは、モニター３００にフォームＦＭ８が表示されたままとなり、よって、例えば、第１情報を十分に確認したり、入力したりする時間を十分に確保することができる。
【０１５７】
また、例えば図１２に示すフォームＦＭ９を「第１設定画面」とした場合、第１設定画面の表示後に表示される図１５に示すフォームＦＭ１２を「第２設定画面」と言うことができる。以下、第１設定画面をフォームＦＭ９とし、第２設定画面をフォームＦＭ１２とした場合を「場合４」と言うことがある。
第１設定画面であるフォームＦＭ９での第１情報としては、フォームＦＭ９に含まれているマーカーＩＭ９１３と、項目ＩＴ９３１と、項目ＩＴ９３２とが挙げられる。
第２設定画面であるフォームＦＭ１２での第２情報としては、フォームＦＭ１２に含まれているモデル図面ＭＤ１２０１と、ボタンＢＴ１２１１と、ボタンＢＴ１２１２と、ボタンＢＴ１２１３と、ボタンＢＴ１２１４と、ボタンＢＴ１２１５とが挙げられる。
【０１５８】
また、例えば図１５に示すフォームＦＭ１２を「第１設定画面」とした場合、第１設定画面の表示後に表示される図１６に示すフォームＦＭ１３を「第２設定画面」と言うことができる。以下、第１設定画面をフォームＦＭ１２とし、第２設定画面をフォームＦＭ１３とした場合を「場合５」と言うことがある。
第１設定画面であるフォームＦＭ１２での第１情報としては、フォームＦＭ１２に含まれているモデル図面ＭＤ１２０１と、ボタンＢＴ１２１１と、ボタンＢＴ１２１２と、ボタンＢＴ１２１３と、ボタンＢＴ１２１４と、ボタンＢＴ１２１５とが挙げられる。
第２設定画面であるフォームＦＭ１３での第２情報としては、フォームＦＭ１３に含まれているマーカーＩＭ１３１３と、項目ＩＴ１３３１とが挙げられる。
【０１５９】
また、場合５では、第１設定画面であるフォームＦＭ１２は、第２設定画面であるフォームＦＭ１３を表示させる第２設定画面表示操作部としてのボタンＢＴ１２１６を含んでいる。これにより、ボタンＢＴ１２１６を操作するまでは、モニター３００にフォームＦＭ１２が表示されたままとなり、よって、例えば、第１情報を十分に確認したり、入力したりする時間を十分に確保することができる。
【０１６０】
また、例えば図１２に示すフォームＦＭ９を「第１設定画面」とした場合、第１設定画面の表示後に表示される図１６に示すフォームＦＭ１３を「第２設定画面」と言うことができる。以下、第１設定画面をフォームＦＭ９とし、第２設定画面をフォームＦＭ１３とした場合を「場合６」と言うことがある。
第１設定画面であるフォームＦＭ９での第１情報としては、フォームＦＭ９に含まれているマーカーＩＭ９１３と、項目ＩＴ９３１と、項目ＩＴ９３２とが挙げられる。
第２設定画面であるフォームＦＭ１３での第２情報としては、フォームＦＭ１３に含まれているマーカーＩＭ１３１３と、項目ＩＴ１３３１とが挙げられる。
【０１６１】
また、例えば図２０に示すフォームＦＭ１７を「第１設定画面」とした場合、第１設定画面の表示後に表示される図２１に示すフォームＦＭ１８を「第２設定画面」と言うことができる。以下、第１設定画面をフォームＦＭ１７とし、第２設定画面をフォームＦＭ１８とした場合を「場合７」と言うことがある。
第１設定画面であるフォームＦＭ１７での第１情報としては、フォームＦＭ１７に含まれているボタンＢＴ１７１１と、ボタンＢＴ１７１２とが挙げられる。
第２設定画面であるフォームＦＭ１８での第２情報としては、フォームＦＭ１８に含まれている項目ＩＴ１８２１と、項目ＩＴ１８２２とが挙げられる。
【０１６２】
また、場合７では、第１設定画面であるフォームＦＭ１７は、第２設定画面であるフォームＦＭ１８を表示させる第２設定画面表示操作部としてのボタンＢＴ１７１３を含んでいる。これにより、ボタンＢＴ１７１３を操作するまでは、モニター３００にフォームＦＭ１７が表示されたままとなり、よって、例えば、第１情報を十分に確認したり、入力したりする時間を十分に確保することができる。
【０１６３】
また、例えば図２１に示すフォームＦＭ１８を「第１設定画面」とした場合、第１設定画面の表示後に表示される図２２に示すフォームＦＭ１９を「第２設定画面」と言うことができる。以下、第１設定画面をフォームＦＭ１８とし、第２設定画面をフォームＦＭ１９とした場合を「場合８」と言うことがある。
第１設定画面であるフォームＦＭ１８での第１情報としては、フォームＦＭ１８に含まれている項目ＩＴ１８２１と、項目ＩＴ１８２２とが挙げられる。
第２設定画面であるフォームＦＭ１９での第２情報としては、フォームＦＭ１９に含まれている項目ＩＴ１９２１と、項目ＩＴ１９２２と、項目ＩＴ１９２３と、項目ＩＴ１９２４とが挙げられる。
【０１６４】
また、場合８では、第１設定画面であるフォームＦＭ１８は、第２設定画面であるフォームＦＭ１９を表示させる第２設定画面表示操作部としてのボタンＢＴ１８１１を含んでいる。これにより、ボタンＢＴ１８１１を操作するまでは、モニター３００にフォームＦＭ１８が表示されたままとなり、よって、例えば、第１情報を十分に確認したり、入力したりする時間を十分に確保することができる。
【０１６５】
そして、第１設定画面と第２設定画面とが例えば場合１〜場合８となっていることにより、撮像部１３１を搭載したデバイス搬送ヘッド１３に対して、撮像部１３１による撮像を行ないつつ、ＩＣデバイス９０を搬送する動作を設定する際には、その動作設定を容易かつ正確に行なうことができる。
【０１６６】
また、以上のような第１情報および第２情報のうちの少なくとも一方は、撮像部１３１によるトレイ２００（載置部）の撮像画像（画像）に基づいて、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）によってＩＣデバイス９０（電子部品）を搬送するための情報、すなわち、搬送するのに必要な情報である。なお、本実施形態では、第１情報および第２情報の双方の情報がいずれも当該搬送に必要な情報であるが、これに限定されず、第１情報および第２情報のうちの一方が当該搬送に必要な情報となっていてもよい。そして、このような情報により、撮像画像に基づいたＩＣデバイス９０の搬送を円滑に行なうことができる。
【０１６７】
トレイ２００（載置部）は、ＩＣデバイス９０（電子部品）が収納され、マトリックス状に配置された複数の凹部を有している。また、第１情報および第２情報のうちの少なくとも一方は、前述したように撮像画像に基づいたＩＣデバイス９０の搬送に要する情報であり、特に、
・情報Ａ：デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときに平面視で（ＸＹ座標の）基準となる凹部を指定するための情報か、
・情報Ｂ：デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときに基準となる凹部の撮像画像を表示するための情報か、
・情報Ｃ：デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときにトレイ２００（載置部）に対する高さの基準となる凹部を指定するための情報か、
・情報Ｄ：デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときに高さの基準となるトレイ２００（載置部）の面、すなわち、本実施形態では上面（表側の面）を指定するための情報かのうちのいずれかであるのが好ましい。このような情報Ａ、情報Ｂ、情報Ｃ、情報Ｄは、隣り合う凹部同士のピッチ間距離が小さくなればなるほど、ＩＣデバイス９０の把持や開放を迅速かつ正確に行なうのに必要な情報となる。これにより、ＩＣデバイス９０の把持や開放を迅速かつ正確に行なうことができる。
【０１６８】
そして、情報Ａ、情報Ｂ、情報Ｃ、情報Ｄのうちのいずれかを「第１情報」、「第２情報」とする組み合わせとしては、以下の組み合わせが好ましい。
【０１６９】
第１情報は、情報Ａ、すなわち、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときに平面視で（ＸＹ座標の）基準となるトレイ２００の凹部を指定するための情報である。第２情報は、情報Ｂ、すなわち、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときに基準となるトレイ２００の凹部の撮像画像を表示するための情報である。このような組み合わせは、第１設定画面をフォームＦＭ８とし、第２設定画面をフォームＦＭ９とした「場合３」で可能となる。トレイ２００の凹部を指定しなければ、トレイ２００の凹部の撮像画像を得ることが困難となるため、このような第１情報「情報Ａ」→第２情報「情報Ｂ」と言う順番は有効となる。
【０１７０】
第１情報は、情報Ｂ、すなわち、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときに基準となるトレイ２００の凹部の撮像画像を表示するための情報である。第２情報は、情報Ｄ、すなわち、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときに高さの基準となるトレイ２００（載置部）の面、すなわち、本実施形態では上面（表側の面）を指定するための情報である。このような組み合わせは、第１設定画面をフォームＦＭ９とし、第２設定画面をフォームＦＭ１３とした「場合６」で可能となる。凹部の撮像画像を得なければ、トレイ２００の凹部の周り、すなわち、トレイ２００の上面がどこに存在するのかを把握するのが困難となるため、このような第１情報「情報Ｂ」→第２情報「情報Ｄ」と言う順番は有効となる。
【０１７１】
第１情報は、情報Ｃ、すなわち、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときにトレイ２００（載置部）に対する高さの基準となるトレイ２００の凹部を指定するための情報である。第２情報は、情報Ｄ、すなわち、デバイス搬送ヘッド１３（搬送部２５）がＩＣデバイス９０（電子部品）を把持する、または、把持したＩＣデバイス９０（電子部品）を解放するときに高さの基準となるトレイ２００（載置部）の面、すなわち、本実施形態では上面（表側の面）を指定するための情報である。このような組み合わせは、第１設定画面をフォームＦＭ１２とし、第２設定画面をフォームＦＭ１３とした「場合５」で可能となる。高さの基準となるトレイ２００の凹部を指定しなければ、その指定凹部と、高さの基準となるトレイ２００の上面の指定箇所との位置関係を把握するのが困難となるため、このような第１情報「情報Ｃ」→第２情報「情報Ｄ」と言う順番は有効となる。
【０１７２】
また、順次設定モードは、第３設定画面を含んでいる。その第３設定画面としては、特に限定されず、例えば、図１０に示すフォームＦＭ７、図１４に示すフォームＦＭ１１、図１８に示すフォームＦＭ１５、図１９に示すフォームＦＭ１６とすることができる。フォームＦＭ７には、「スキップ」用のボタンＢＴ７２１が含まれ、フォームＦＭ１１には、「スキップ」用のボタンＢＴ１１２１が含まれ、フォームＦＭ１５には、「スキップ」用のボタンＢＴ１５２１が含まれ、フォームＦＭ１６には、「スキップ」用のボタンＢＴ１６２１が含まれている。例えばフォームＦＭ７のボタンＢＴ７２１を操作することにより、場合３において第１設定画面であるフォームＦＭ８と、第２設定画面であるフォームＦＭ８との表示を省略して、フォームＦＭ１１に飛ぶことができる。このように、モニター３００（表示部）には、第１設定画面または第２設定画面の表示を省略して、第３設定画面を表示させる第３設定画面表示操作部としてのボタンＢＴ７２１が表示される。これにより、第１情報や第２情報の確認や入力を省略することができる。
【０１７３】
前述したように、図６に示すフォームＦＭ４には、「キャンセル」用のボタンＢＴ４２２が含まれている。図７に示すフォームＦＭ５には、「キャンセル」用のボタンＢＴ５２２が含まれている。図８（図９）に示すフォームＦＭ６には、「キャンセル」用のボタンＢＴ６２３が含まれている。図１０に示すフォームＦＭ７には、「キャンセル」用のボタンＢＴ７２３が含まれている。図１１に示すフォームＦＭ８には、「キャンセル」用のボタンＢＴ８１７が含まれている。図１２に示すフォームＦＭ９には、「キャンセル」用のボタンＢＴ９２２が含まれている。図１３に示すフォームＦＭ１０には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１０２２が含まれている。図１４に示すフォームＦＭ１１には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１１２３が含まれている。図１５に示すフォームＦＭ１２には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１２１７が含まれている。図１６に示すフォームＦＭ１３には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１３２２が含まれている。図１８に示すフォームＦＭ１５には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１５２３が含まれている。図１９に示すフォームＦＭ１６には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１６２３が含まれている。図２０に示すフォームＦＭ１７には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１７１４が含まれている。図２１に示すフォームＦＭ１８には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１８１２が含まれている。図２２に示すフォームＦＭ１９には、「キャンセル」用のボタンＢＴ１９１２が含まれている。そして、いずれの「キャンセル」用のボタンを操作しても、順次設定モードの途中から一括設定モード、すなわち、図２４に示すフォームＦＭ２１に移行することができる。このように、順次設定モードは、順次設定モードの途中から一括設定モードに移行可能な一括設定モード移行操作部としての「キャンセル」用のボタンを含んでいる。これにより、オペレーターは、順次設定モードを途中で停止して、一括設定モードで第１情報や第２情報等の入力等をやり直すことができる。なお、順次設定モードで「キャンセル」用のボタンを操作するまでの第１情報や第２情報等は、制御部８００には記憶されてもよいし、記憶されなくてもよい。
【０１７４】
図２４に示すように、一括設定モードであるフォームＦＭ２１には、前述したように、項目ＩＴ２１１１と、項目ＩＴ２１１２と、項目ＩＴ２１１３と、項目ＩＴ２１１４と、項目ＩＴ２１１５とが含まれている。そして、これらの項目のいずれかを任意に「第１設定画面」と「第２設定画面」と言うことができる。また、フォームＦＭ２１では、第１設定画面と第２設定画面とが並べて表示されている。このように電子部品検査装置１では、第１設定画面と第２設定画面とを並べて表示する一括設定モードに選択可能である。例えばオペレーターが熟練者である場合には、順次設定モードよりも一括設定モードを選択した方が、デバイス搬送ヘッド１３の動作設定を迅速に行なうことができると考えられる。
【０１７５】
また、一括設定モードであるフォームＦＭ２１は、一括設定モードから順次設定モードに移行可能な順次設定モード移行操作部としてのボタンＢＴ２１２１を含んでいる。これにより、オペレーターは、一括設定モードを停止して、順次設定モードで第１情報や第２情報等の入力等をやり直すことができる。なお、一括設定モードでボタンＢＴ２１２１を操作するまでの第１情報や第２情報等は、制御部８００には記憶されてもよいし、記憶されなくてもよい。
【０１７６】
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１７７】
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１７８】
また、順次設定モード、一括設定モードは、前記実施形態ではデバイス供給領域内で、撮像部の撮像結果に基づいてトレイからＩＣデバイスを把持することを一例としているが、供給シャトル、温度調整部または回転ステージからＩＣデバイスを把持することであってもよい。これは、デバイス回収領域でも同様に適用可能である。
【符号の説明】
【０１７９】
１…電子部品検査装置、１０…電子部品搬送装置、１１Ａ…トレイ搬送機構、１１Ｂ…トレイ搬送機構、１２…温度調整部、１３…デバイス搬送ヘッド、１３１…撮像部、１４…デバイス供給部、１４Ａ…デバイス供給部、１４Ｂ…デバイス供給部、１５…トレイ搬送機構、１６…検査部、１７…デバイス搬送ヘッド、１７Ａ…デバイス搬送ヘッド、１７Ｂ…デバイス搬送ヘッド、１８…デバイス回収部、１８Ａ…デバイス回収部、１８Ｂ…デバイス回収部、１９…回収用トレイ、２０…デバイス搬送ヘッド、２０１…撮像部、２１…トレイ搬送機構、２２Ａ…トレイ搬送機構、２２Ｂ…トレイ搬送機構、２３１…第１隔壁、２３２…第２隔壁、２３３…第３隔壁、２３４…第４隔壁、２３５…第５隔壁、２４１…フロントカバー、２４２…サイドカバー、２４３…サイドカバー、２４４…リアカバー、２４５…トップカバー、２５…搬送部、２７…回転ステージ、２８…回転ステージ、９０…ＩＣデバイス、２００…トレイ、３００…モニター、３０１…表示画面、４００…シグナルランプ、５００…スピーカー、６００…マウス台、７００…操作パネル、８００…制御部、Ａ１…トレイ供給領域、Ａ２…デバイス供給領域、Ａ３…検査領域、Ａ４…デバイス回収領域、Ａ５…トレイ除去領域、ＢＴ１００…ボタン群、ＢＴ１０１…ボタン、ＢＴ１０２…ボタン、ＢＴ１０３…ボタン、ＢＴ１０４…ボタン、ＢＴ１０５…ボタン、ＢＴ１０６…ボタン、ＢＴ１０７…ボタンＢＴ２０１…ボタン、ＢＴ２０２…ボタン、ＢＴ２０３…ボタン、ＢＴ２０４…ボタン、ＢＴ２０５…ボタン、ＢＴ２０６…ボタン、ＢＴ２０７…ボタン、ＢＴ２０８…ボタン、ＢＴ２０９…ボタン、ＢＴ２１０…ボタン、ＢＴ２１１…ボタン、ＢＴ２１２…ボタン、ＢＴ２１３…ボタン、ＢＴ２１４…ボタン、ＢＴ２１５…ボタン、ＢＴ２１６…ボタン、ＢＴ３０１…ボタン、ＢＴ３０２…ボタン、ＢＴ３０３…ボタン、ＢＴ４２１…ボタン、ＢＴ４２２…ボタン、ＢＴ５２１…ボタン、ＢＴ５２２…ボタン、ＢＴ６２１…ボタン、ＢＴ６２２…ボタン、ＢＴ６２３…ボタン、ＢＴ８１１…ボタン、ＢＴ８１２…ボタン、ＢＴ８１３…ボタン、ＢＴ８１４…ボタン、ＢＴ８１５…ボタン、ＢＴ８１６…ボタン、ＢＴ８１７…ボタン、ＢＴ９２１…ボタン、ＢＴ９２２…ボタン、ＢＴ１０２１…ボタン、ＢＴ１０２２…ボタン、ＢＴ１１２１…ボタン、ＢＴ１１２２…ボタン、ＢＴ１１２３…ボタン、ＢＴ１２１１…ボタン、ＢＴ１２１２…ボタン、ＢＴ１２１３…ボタン、ＢＴ１２１４…ボタン、ＢＴ１２１５…ボタン、ＢＴ１２１６…ボタン、ＢＴ１２１７…ボタン、ＢＴ１３２１…ボタン、ＢＴ１３２２…ボタン、ＢＴ１４２１…ボタン、ＢＴ１４２２…ボタン、ＢＴ１５２１…ボタン、ＢＴ１５２２…ボタン、ＢＴ１５２３…ボタン、ＢＴ１６２１…ボタン、ＢＴ１６２２…ボタン、ＢＴ１６２３…ボタン、ＢＴ１７１１…ボタン、ＢＴ１７１２…ボタン、ＢＴ１７１３…ボタン、ＢＴ１７１４…ボタン、ＢＴ１８１１…ボタン、ＢＴ１８１２…ボタン、ＢＴ１９１１…ボタン、ＢＴ１９１２…ボタン、ＢＴ２０１１…ボタン、ＢＴ２１２１…ボタン、ＢＴ２１２２…ボタン、ＢＴ２１２３…ボタン、ＢＴ２１２４…ボタン、ＣＢ５１１…チェックボックス、ＣＢ５１２…チェックボックス、ＣＢ５１３…チェックボックス、ＣＢ５１４…チェックボックス、ＣＢ５１５…チェックボックス、ＣＢ５１６…チェックボックス、ＣＢ６１１…チェックボックス、ＣＢ６１２…チェックボックス、ＣＢ６１３…チェックボックス、ＣＢ２１０１…チェックボックス、ＥＸ３１１…説明、ＥＸ３１２…説明、ＥＸ４０１…説明、ＥＸ５０１…説明、ＥＸ６０１…説明、ＥＸ６０２…説明、ＥＸ６０３…説明、ＥＸ６０４…説明、ＥＸ７０１…説明、ＥＸ９０１…説明、ＥＸ１００１…説明、ＥＸ１１０１…説明、ＥＸ１３０１…説明、ＥＸ１５０１…説明、ＥＸ１６０１…説明、ＥＸ１７０１…説明、ＥＸ１７０２…説明、ＥＸ１７０３…説明、ＥＸ１８０１…説明、ＥＸ１８０２…説明、ＥＸ１９０１…説明、ＥＸ２００１…説明、ＥＸ２１０５…説明、ＦＭ１…フォーム、ＦＭ２…フォーム、ＦＭ３…フォーム、ＦＭ４…フォーム、ＦＭ５…フォーム、ＦＭ６…フォーム、ＦＭ７…フォーム、ＦＭ８…フォーム、ＦＭ９…フォーム、ＦＭ１０…フォーム、ＦＭ１１…フォーム、ＦＭ１２…フォーム、ＦＭ１３…フォーム、ＦＭ１４…フォーム、ＦＭ１５…フォーム、ＦＭ１６…フォーム、ＦＭ１７…フォーム、ＦＭ１８…フォーム、ＦＭ１９…フォーム、ＦＭ２０…フォーム、ＦＭ２１…フォーム、ＩＭ９１１…実画像、ＩＭ９１２…ポケット、ＩＭ９１３…マーカー、ＩＭ１０１１…モデル画像、ＩＭ１３１１…実画像、ＩＭ１３１３…マーカー、ＩＭ１９３１…イメージ画像、ＩＴ１１０…第１項目群、ＩＴ１１１…項目、ＩＴ１１２…項目、ＩＴ１１３…項目、ＩＴ１１４…項目、ＩＴ１１５…項目、ＩＴ１１６…項目、ＩＴ１１７…項目、ＩＴ１１８…項目、ＩＴ１１９…項目、ＩＴ１２０…第２項目群、ＩＴ１２１…項目、ＩＴ１２２…項目、ＩＴ１２３…項目、ＩＴ１２４…項目、ＩＴ１２５…項目、ＩＴ１２６…項目、ＩＴ１３０…第３項目群、ＩＴ１３１…項目、ＩＴ１３２…項目、ＩＴ１３３…項目、ＩＴ１３４…項目、ＩＴ１４０…第４項目群、ＩＴ１４１…項目、ＩＴ１４２…項目、ＩＴ１４３…項目、ＩＴ１４４…項目、ＩＴ１５０…第５項目群、ＩＴ１５１…項目、ＩＴ４１１…項目、ＩＴ４１２…項目、ＩＴ４１３…項目、ＩＴ４１４…項目、ＩＴ４１５…項目、ＩＴ９３１…項目、ＩＴ９３２…項目、ＩＴ１３３１…項目、ＩＴ１８２１…項目、ＩＴ１８２２…項目、ＩＴ１９２１…項目、ＩＴ１９２２…項目、ＩＴ１９２３…項目、ＩＴ１９２４…項目、ＩＴ２１１１…項目、ＩＴ２１１２…項目、ＩＴ２１１３…項目、ＩＴ２１１４…項目、ＩＴ２１１５…項目、ＭＤ８０１…モデル図面、ＭＤ１２０１…モデル図面、ＴＢ２１０２…タブ、ＴＢ２１０３…タブ、ＴＢ２１０４…タブ、α１１Ａ…矢印、α１１Ｂ…矢印、α１３Ｘ…矢印、α１３Ｙ…矢印、α１４…矢印、α１５…矢印、α１７Ｙ…矢印、α１８…矢印、α２０Ｘ…矢印、α２０Ｙ…矢印、α２１…矢印、α２２Ａ…矢印、α２２Ｂ…矢印、α２７…矢印、α２８…矢印、α９０…矢印
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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