(57)【要約】      （修正有）【課題】精密で、正確で、効率的な方式で複数のスキャナを用いて大きな表面を検査するための方法およびシステムを提供する。【解決手段】様々なコンポーネントの表面を検査、例えば、これらの表面上の高さの偏差を評価するための方法であって、複数のライン・スキャナからの検査データを結合されたデータ・セットに集約するステップを含む。この結合されたデータ・セットは、スキャナの任意の１つの測定領域より大きな表面の一部を表す。さらに、隣接するスキャナの各ペアは異なる期間で動作して干渉を回避する。動作期間はオフセットであるので、隣接するスキャナのペアによりスキャンされた表面部分は干渉なしに重複しうる。スキャンされた部分のこの重複は、表面全体が分析されることを保証する。検査表面と相対的なスキャナの位置は、スキャン毎に、または、スキャンの間にさえも変化しうる。このアプローチは大きな表面の正確なスキャンを可能とする。【選択図】図１Ａ
2018105843.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンポーネントの表面を検査する方法であって、
第１のライン・スキャナの測定のフィールドが第２のライン・スキャナの測定のフィールドと部分的に重複するように、前記第１のライン・スキャナおよび前記第２のライン・スキャナをそれぞれに対して、かつ、前記コンポーネントの前記表面に対して整列するステップと、
第１の部分をスキャンするステップが前記第１の部分に対応する第１のデータ・セットを生成するように、第１の期間の間に前記第１のライン・スキャナを用いて前記表面の前記第１の部分をスキャンするステップと、
第２の部分をスキャンするステップが前記第２の部分に対応する第２のデータ・セットを生成するように、前記第１の期間に対する第２の期間オフセットの間に前記第２のライン・スキャナを用いて前記表面の前記第２の部分をスキャンするステップと、
前記第１のデータ・セットおよび前記第２のデータ・セットを結合されたデータ・セットに集約するステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記第１の期間は前記第２の期間と重複しない、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第２の期間は前記第１の期間の後即座に開始する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の期間は部分的に前記第２の期間と重複する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第１のライン・スキャナの測定の前記フィールドは前記第２のライン・スキャナの測定の前記フィールドと同一直線上にある、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記表面の前記第１の部分は前記表面の前記第２の部分と同一直線上にある、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記表面の前記第１の部分は前記表面の前記第２の部分と平行でありオフセットする、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記結合されたデータ・セットは、前記第１のデータ・セットの第１の非重複部分および前記第２のデータ・セットの第２の非重複部分を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記第１のデータ・セットおよび前記第２のデータ・セットを集約するステップは、前記第１のデータ・セットおよび前記第２のデータ・セットを空間的に整列させるステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２のライン・スキャナを用いて前記第２の部分をスキャンしている間に、前記コンポーネントは前記第１のライン・スキャナに対して位置を変化させる、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
第３の部分をスキャンすることが前記第３の部分に対応する第３のデータ・セットを生成し、第３のライン・スキャナの測定のフィールドが前記第２のライン・スキャナの測定の前記フィールドと部分的に重複するように、前記第１の期間中に前記第３のライン・スキャナを用いて前記表面の前記第３の部分をスキャンするステップをさらに含み、前記第３のデータ・セットは前記第１のデータ・セットおよび前記第２のデータ・セットとともに集約される、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
コンポーネントの表面を検査するための検査システムであって、
第１の期間の間に前記表面の第１の部分をスキャンし、前記第１の部分に対応する第１のデータ・セットを生成するための第１のライン・スキャナと、
前記第１の期間に対する第２の期間オフセットの間に前記表面の第２の部分をスキャンし、前記第２の部分に対応する第２のデータ・セットを生成するための第２のライン・スキャナであって、前記第１のライン・スキャナの測定のフィールドは前記第２のライン・スキャナの測定のフィールドと部分的に重複する、第２のライン・スキャナと、
前記第１のデータ・セットおよび前記第２のデータ・セットを結合されたデータ・セットへと集約するためのシステム・コントローラと、
を備える、検査システム。
【請求項１３】
前記第１のライン・スキャナおよび前記第２のライン・スキャナを前記コンポーネントに対して移動させるための動きデバイスをさらに備える、請求項１２に記載の検査システム。
【請求項１４】
前記コンポーネントに対する前記第１のライン・スキャナおよび前記第２のライン・スキャナのうち少なくとも１つの位置を決定するためのエンコーダをさらに備える、請求項１２に記載の検査システム。
【請求項１５】
前記システム・コントローラはデータ・セット集約器、メモリ、および分析モジュールを備え、前記データ・セット集約器は前記第１のデータ・セットおよび前記第２のデータ・セットを前記結合されたデータ・セットに集約するように動作可能であり、前記メモリは前記結合されたデータ・セットを格納するように動作可能であり、前記分析モジュールは前記結合されたデータ・セットを分析するように動作可能である、請求項１２に記載の検査システム。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
大規模なコンポーネントの表面を検査することは、複合材料または、より具体的には、繊維強化材料の形成のような、多くの応用例に対して本質的である。一般に、検査ツールの精度は、その測定領域に反比例する。換言すれば、より小さい測定領域を有する検査ツールは、より大きな測定領域を有するツールより正確な測定をもたらす。同時に、より小さい測定領域は各スキャンの間により小さい検査された領域をもたらす。
【０００２】
複数の検査ツールを、大きな表面の検査と並行して使用できるが、これらのツールの同時の動作は困難でありうる。例えば、同時に動作する２つの隣接する検査ツールは互いに干渉しうる。この干渉は、表面全体の検査を確保するための重複する測定領域を有しうる光検査ツールに関して特に厳しい可能性がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
したがって、精密で、正確で、および効率的な方式で複数のスキャナを用いて大きな表面を検査するための方法およびシステムが必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
これらの表面上の高さの偏差の評価のような、様々なコンポーネントの表面を検査するための方法およびシステムが提供される。方法は、複数のライン・スキャナからの検査データを結合されたデータ・セットに集約するステップを含む。この結合されたデータ・セットは、当該スキャナの任意の１つの測定領域より大きな表面の一部を表す。さらに、隣接するスキャナの各ペアは干渉を回避するために異なる期間で動作する。動作期間はオフセットであるので、隣接するスキャナのペアによりスキャンされた表面部分は干渉なしに重複しうる。当該スキャンされた部分のこの重複は、当該表面全体が分析されることを保証する。当該検査表面と相対的なスキャナの位置は、スキャンとスキャンの間に、幾つかの実施形態では、スキャン中にさえも変化しうる。このアプローチは大きな表面の正確なスキャンを可能とする。
【０００５】
幾つかの実施形態では、コンポーネントの表面を検査する方法が、第１のライン・スキャナの測定領域が第２のライン・スキャナの測定領域と部分的に重複するように、第１のライン・スキャナおよび第２のライン・スキャナをそれぞれに対して、かつ、当該コンポーネントの表面に対して整列するステップを含む。当該方法はついで、第１の部分をスキャンするステップが第１の部分に対応する第１のデータ・セットを生成するように、第１の期間の間に第１のライン・スキャナを用いて当該表面の第１の部分をスキャンするステップで進む。当該方法はまた、第２の部分をスキャンするステップが第２の部分に対応する第２のデータ・セットを生成するように、第１の期間に対する第２の期間オフセットの間に第２のライン・スキャナを用いて当該表面の第２の部分をスキャンするステップで進む。当該方法はついで、第１のデータ・セットおよび第２のデータ・セットを結合されたデータ・セットに集約するステップを含む。
【０００６】
幾つかの実施形態では、第１の期間は第２の期間と重複しない。第２の期間が、第１の期間の後に即座に開始してもよい。あるいは、第１の期間が、第２の期間と部分的に重複してもよい。当該期間の間の幾つかの重複が、この重複がスキャンにより大幅な干渉をもたらさない場合に、許容されてもよい。例えば、当該重複が、第１の期間および第２の期間の各々の２０％より少ないかまたは１０％よりさえ小さくてもよい。さらに、当該データ・セットを取得するプロセスが各期間全体にわたる応答を統合することに基づいてもよく、幾つかの重複が、最小の影響のみを有してもよい。
【０００７】
幾つかの実施形態では、第１のライン・スキャナの測定領域は第２のライン・スキャナの測定領域と同一直線上にある。より具体的には、当該表面の第１の部分が当該表面の第２の部分と同一線上にあってもよい。例えば、当該検査された表面が、当該スキャナに関して静的のままであり、両方のデータ・セットを取得することが両方の部分が同一線上にあることをもたらしてもよい。あるいは、当該表面の第１の部分が、当該表面の第２の部分と平行でオフセットしてもよい。例えば、当該検査された表面が、例えば、当該スキャナの測定領域に垂直な方向に当該スキャナに関して移動してもよい。
【０００８】
幾つかの実施形態では、当該結合されたデータ・セットは、第１のデータ・セットの第１の非重複部分と第２のデータ・セットの第２の非重複部分を含む。当該結合されたデータ・セットが、さらに第１のデータ・セットの第１の重複部分と第２のデータ・セットの第２の重複部分の組合せを含んでもよい。例えば、第１のデータ・セットの第１の重複部分と第２のデータ・セットの第２の重複部分の組合せが第１のデータ・セットの第１の重複部分と第２のデータ・セットの第２の重複部分の平均であってもよい。
【０００９】
幾つかの実施形態では、第１のデータ・セットと第２のデータ・セットを集約するステップは、第１のデータ・セットと第２のデータ・セットを空間的に整列させるステップを含む。この空間配置を、検査されたコンポーネントの表面と相対的な当該スキャナの位置に基づいて、または、より具体的には、その表面と相対的な測定領域の位置に基づいて実施してもよい。
【００１０】
幾つかの実施形態では、当該コンポーネントは、第２のデータ・セットを取得する間に、第１のライン・スキャナに対して位置を変化させる。より具体的には、当該コンポーネントが、第１のデータ・セットを取得している間に、第１のライン・スキャナと相対的な位置を変更してもよい。例えば、当該コンポーネントが、第１のライン・スキャナと相対的にかつ第２のライン・スキャナと相対的に移動してもよい。当該コンポーネントが、第１のライン・スキャナの測定領域と垂直な方向に移動してもよい。
【００１１】
幾つかの実施形態では、当該方法は、第３の部分のスキャンが第３の部分に対応する第３のデータ・セットを生成するように、第３の期間の間に第１のライン・スキャナを用いて当該表面の第３の部分をスキャンするステップをさらに含む。第３の期間は第１の期間と相対的なオフセットであり、第２の期間に対してオフセットする。
【００１２】
幾つかの実施形態では、当該方法がさらに、第３の部分をスキャンするステップが第３の部分に対応する第３のデータ・セットを生成するように、第１の期間中に第３のライン・スキャナを用いて当該表面の第３の部分をスキャンするステップを含んでもよい。第３のライン・スキャナの測定領域が第２のライン・スキャナの測定領域と部分的に重複する。これらの実施形態では、第３のデータ・セットが、第１のデータ・セットおよび第２のデータ・セットとともに集約される。第３のライン・スキャナの測定領域が、第１のライン・スキャナの測定領域と同一線上にあってもよい。
【００１３】
幾つかの実施形態では、当該方法は当該コンポーネントを形成するステップをさらに含む。第１のデータ・セットを取得するステップ、第２のデータ・セットを取得するステップ、および結合されたデータ・セットを生成するステップを、当該コンポーネントを形成するステップと関連して実施してもよい。当該コンポーネントが複合構造であってもよい。
【００１４】
コンポーネントの表面を検査するために使用される複数のライン・スキャナから取得されたデータ・セットを集約する方法も提供される。当該方法は、当該複数のライン・スキャナの隣接するライン・スキャナの各ペアの測定領域が重複するように、当該表面の線形検査に対するアレイ内で当該複数のライン・スキャナを整列するステップを含む。当該アレイが線形アレイであってもよい。これらのスキャナの測定領域が、共線形であり当該線形アレイに沿って延伸してもよい。
【００１５】
当該方法は、当該隣接するライン・スキャナの各ペア内のスキャナが異なる期間で動作するように、当該複数のライン・スキャナを用いて表面をスキャンするステップで進む。当該方法はついで、当該表面を結合されたデータ・セットにスキャンするステップの間に、当該複数のライン・スキャナにより生産されたデータ・セットを集約するステップで進む。
【００１６】
幾つかの実施形態では、当該方法は、当該表面と相対的な当該複数のライン・スキャナの位置を変更するステップと当該複数のライン・スキャナを用いて当該表面をスキャンすることを繰り返すステップとをさらに含む。当該複数のライン・スキャナを用いて当該表面をスキャンするステップを、当該表面と相対的な当該複数のライン・スキャナの位置が変化する速度に基づいて決定された期間の後に繰り返してもよい。
【００１７】
また、コンポーネントの表面を検査するための検査システムが提供される。幾つかの実施形態では、当該システムは第１のライン・スキャナ、第２のライン・スキャナ、およびシステム・コントローラを含む。第１のライン・スキャナは、第１の期間の間に当該表面の第１の部分をスキャンし、第１のデータ・セットを生成するために使用される。第２のライン・スキャナは、第２の期間の間に当該表面の第２の部分をスキャンし、第２のデータ・セットを生成するために使用される。第１のライン・スキャナの測定領域が第２のライン・スキャナの測定領域と部分的に重複する。さらに、第１の期間は第２の期間に対してオフセットする。当該システム・コントローラは、第１のデータ・セットおよび第２のデータ・セットを結合されたデータ・セットに集約するために使用される。
【００１８】
幾つかの実施形態では、当該検査システムは第１のライン・スキャナおよび第２のライン・スキャナを当該コンポーネントに対して移動させるための動きデバイスをさらに含む。当該検査システムが、さらに当該コンポーネントに対する第１のライン・スキャナおよび第２のライン・スキャナのうち少なくとも１つの位置を決定するためのエンコーダを含んでもよい。当該検査システムの当該システム・コントローラが、データ・セット集約器、メモリ、および分析モジュールを備えてもよい。当該データ・セット集約器が、第１のデータ・セットおよび第２のデータ・セットを当該結合されたデータ・セットに集約するように動作してもよい。当該メモリが、当該結合されたデータ・セットを格納するように動作してもよい。最後に、当該分析モジュールが当該結合されたデータ・セットを分析するように動作してもよい。
【００１９】
これらおよび他の実施形態を、図面を参照してさらに以下で説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１Ａ】幾つかの実施形態に従う、検査されたコンポーネントの表面をスキャンする２つのスキャナのアレイを含む検査システムの略斜視図である。
【図１Ｂ】幾つかの実施形態に従う、検査されたコンポーネントの表面をスキャンする３つのスキャナのアレイを含む検査システムの略側面図である。
【図１Ｃ】幾つかの実施形態に従う図１Ａの検査システムの略側面図である。
【図１Ｄ】幾つかの実施形態に従う図１Ａの検査システムの略ブロック図である。
【図２】幾つかの実施形態に従う、コンポーネントの表面を検査する方法に対応するプロセス流れ図である。
【図３Ａ】幾つかの実施形態に従う２つのスキャナの動作シーケンス図の異なる例の図である。
【図３Ｂ】幾つかの実施形態に従う２つのスキャナの動作シーケンス図の異なる例の図である。
【図３Ｃ】幾つかの実施形態に従う２つのスキャナの動作シーケンス図の異なる例の図である。
【図４Ａ】幾つかの実施形態に従う、図１Ａに示された当該検査システムの当該２つのスキャナにより取得された２つのデータ・セットの略表現の図である。
【図４Ｂ】幾つかの実施形態に従う、図１Ａに示された当該検査システムの当該２つのスキャナにより取得された２つのデータ・セットの略表現の図である。
【図４Ｃ】幾つかの実施形態に従う、図４Ａおよび４Ｂに示された２つのデータ・セットを集約するステップにより生産された結合されたデータ・セットの略表現の図である。
【図５Ａ】幾つかの実施形態に従う、当該検査されたコンポーネントの表面上の検査部分の異なる位置を示す検査されたコンポーネントの略上面図である。
【図５Ｂ】幾つかの実施形態に従う、当該検査されたコンポーネントの表面上の検査部分の異なる位置を示す検査されたコンポーネントの略上面図である。
【図６Ａ】幾つかの実施形態に従う３つのスキャナの動作シーケンス図の１例を示す図である。
【図６Ｂ】幾つかの実施形態に従う、当該検査されたコンポーネントの表面上の検査部分の異なる位置を示す検査されたコンポーネントの略上面図である。
【図７】幾つかの実施形態に従うデータ処理検査システムの図である。
【図８】本明細書で説明された複合構造の表面上の高さの偏差を評価するための方法およびシステムを利用しうる航空機生産およびサービス方法のブロック図である。
【図９】本明細書で説明された複合構造を含みうる航空機の略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下の記述では、当該提供された概念の徹底的な理解を提供するために多数の特定の詳細が説明されている。当該提供された概念をこれらの特定の詳細の一部または全部なしで実施してもよい。他の事例では、周知のプロセス動作は説明された概念を不必要に不明瞭にしないために詳細に説明されていない。幾つかの概念を当該特定の実施形態に関連して説明するが、これらの実施形態は限定を意図しないことは理解されよう。
【００２２】
導入
様々な検査ツールを、表面をスキャンするために使用してもよい。当該スキャンするステップを使用して高さの偏差および他の表面特性を決定してもよい。かかる検査ツールの１例はライン・スキャナである。当該ライン・スキャナがまた、表面形状測定装置と称されてもよい。各スキャンの間に、ライン・スキャナが当該表面のスキャンされた部分に対応するデータ・セットを生成する。当該ライン・スキャナを、当該スキャナ、表面、またはその両方を移動させることで当該スキャンされた表面と相対的に移動してもよい。当該移動が、各スキャンを完了した後におよび／または実際のスキャンの間に発生してもよい。例えば、ライン・スキャナが表面の上のロボットアームにより支持されてもよく、スキャンが、当該ロボットアームが当該表面に沿って移動する際にトリガされてもよい。当該移動が、各スキャンの間におよびスキャンとスキャンの間に（例えば、別のスキャナが動作しているときに）進んでもよい。あるいは、ライン・スキャナが、コンベヤ・ベルトまたは移動ウェブのような（例えば、ロール・ツー・ロールのプロセスで）移動表面を測定する固定位置にあってもよい。当該スキャナが当該表面に沿って移動し新たなデータ・セットを生成すると、これらのセットを集合的な表面表現に集約してもよい。各スキャンが、固定時間ベースの周波数でトリガされるか、または、エンコーダまたはシステム・コントローラのような幾つかの外部トリガソースを用いてもよい。
【００２３】
ライン・スキャナが有限サイズのそれらの測定領域を有してもよい。これら測定領域はしばしば、特に航空機、自動車、および他の業界で共通な大規模コンポーネントに対して、スキャンされた表面の寸法よりも小さい。さらに、小さな測定領域（例えば、２インチ）を有するライン・スキャナを使用して正確な測定を保証してもよい。したがって、複数のスキャナを、所望のスキャン寸法／幅をカバーするために配列に配置してもよい。このスキャナのアレイにより生産された複数のデータ・セットを一緒に集約して、結合されたデータ・セットを生成してもよい。
【００２４】
スキャンの間に、ライン・スキャナは、光線を検査された表面に投影し、当該表面の照射された部分の光画像をキャプチャする。幾つかの実施形態では、複数の画像を同一のスキャン期間の間に高フレーム・レートでキャプチャしてもよい。当該表面の当該照射された部分がスキャンされた部分と称されてもよい。この部分のサイズは、当該スキャナの測定領域のサイズに依存し、当該当該表面と相対的なライン・スキャナの位置にも依存する。三角測量を当該ライン・スキャナにより使用して、これらの光画像からの様々な高精度表面特性（例えば、高さの偏差）を計算してもよい。これらの特性が当該投影された光線に沿った固定間隔で計算されてもよい。当該ライン・スキャナが、データ・セットを出力してもよい。当該データ・セットがデータ値の１Ｄアレイの形態であってもよい。幾つかの実施形態では、当該データ・セットは当該投影された光線に沿った高度値を表す。
【００２５】
検査された表面の寸法が個々のスキャナの測定領域サイズを超過するとき、複数のスキャナが寸法全体をカバーするように隣り合って配置されてもよい。隣接するスキャナの測定領域が、検査においてギャップがないことを保証するように重複してもよい。しかし、当該照射された／検査された表面部分における重複が、キャプチャされた光画像における様々な干渉を引き起こしうる。当該検査された部分における重複を回避することが、当該表面全体を検査する必要があるときの状況におけるオプションでなくてもよい。例えば、少なくとも５０ミリメートルのギャップが当該干渉を十分に回避するために２つの隣接する検査された部分の間で必要でありうることが分かっている。換言すれば、当該表面の一部が、少なくとも５０ミリメートルの幅であるが、これは検査されないであろう。これは、多くのタイプの表面検査に対して受け入れ可能ではないかもしれない。
【００２６】
２つの隣接するスキャナの間の干渉を、これらのスキャナが異なる期間でまたは、より具体的には、互いに関してオフセットする２つの期間で動作するときに、削減または削除できることが分かっている。この特徴を、隣接するスキャナの時間ベースの動作オフセットと称してもよい。当該時間ベースのオフセットにより、隣接するスキャナの測定領域を互いの隣に配置してもよく、干渉なしに重複さえしうる。
【００２７】
幾つかの実施形態では、検査された表面はライン・スキャナと相対的に移動している。本開示の目的のため、当該ライン・スキャナと相対的な当該検査された表面の移動は、特に断らない限り、全ての可能なオプション、即ち、（ａ）当該ライン・スキャナが静止している間に当該検査された表面を移動すること、（ｂ）当該検査された表面が静止している間に当該ライン・スキャナを移動すること、（ｃ）当該検査された表面および当該ライン・スキャナの両方を移動することを含む。後者の例では、当該検査された表面および当該ライン・スキャナが同一の方向に沿って移動してもよい。ここでの着目は、当該検査された表面の当該ライン・スキャナへの相対的な移動である。これらの実施形態では、当該スキャナの時間ベースのオフセット動作のため、検査ギャップが（移動の方向に）形成される。特に、第１のライン・スキャナを用いて第１の部分をスキャンした後、第１のライン・スキャナが、第２のライン・スキャナ（第１のライン・スキャナに隣接）がそのスキャンを実施する間の短期間だけオフにされてもよい。当該期間の間に第１のライン・スキャナの測定領域を過ぎて移動する表面の一部は検査されない。この部分を、同一のライン・スキャナにより検査された２つの部分の間のギャップと称してもよい。しかし、各スキャン期間は非常に短いので、これらのギャップは非常に小さく、（上述した）干渉を回避するのに必要な物理オフセットより一般にかなり小さい。さらに、当該ギャップを、移動速度および／またはスキャン期間を変更することで制御することができる。
【００２８】
全体として、干渉防止のための時間ベースのオフセットを移動速度およびスキャン期間に基づいて選択してもよい。本開示の目的のため、ｖｍａｘが最大実現可能移動速度（毎秒ミリメートルで測定される）、電子スキャン期間（秒で測定される）として定義され、Δｔは、同一のスキャナに対する２つの連続スキャンの開始の間の時間遅延（秒で測定された、第１のライン・スキャナまたは第２のライン・スキャナに対する時間のトリガ間隔）であり、Δｄは、同一のスキャナに対して検査されていないギャップ（ミリメートルで測定された、第１のライン・スキャナまたは第２のライン・スキャナに対する物理トリガ間隔）である。
【００２９】
これらのパラメータを２つのスキャナの１例に適用すると、スキャン期間（ｅ）が、トリガ間隔（Δｔ）の半分を超過しない、即ち、ｅ≦１／２Δｔである。この例に対して、第１のライン・スキャナのスキャンが、第２のライン・スキャナのよるスキャンの開始前に終了してもよい。両方のスキャナに対するスキャン期間が同一であってもよく、トリガ間隔もそうである。幾つかの実施形態では、第１のスキャンの終了が、第２のスキャンの開始と十分に一致、即ち、ｅ〜１／２Δｔであってもよい。あるいは、幾つかの遅延を第１のスキャンの終了後かつ第２のスキャンの開始前に提供、即ち、ｅ＜１／２Δｔであってもよい。幾つかの実施形態では、スキャンが時間で重複、即ち、ｅ＞１／２Δｔであってもよい。
【００３０】
さらに、（同一のスキャナに対する）スキャンの間の時間遅延、検査されていないギャップ幅、および移動速度の間の相関関係がΔｔ≧Δｄ／ｖｍａｘに従ってもよい。検査されていないギャップ（Δｄ）を、線形エンコーダからの信号をダウンサンプリングしてライン・スキャナを固定ピッチでトリガすることによって、選択してもよい。スキャンの間の時間遅延（Δｔ）が可変のマシン速度および固定のピッチに基づいて可変であってもよい。
【００３１】
全体として、表面検査を、複数の時間ベースのオフセットラインを用いて十分に強化することができる。部分的に、表面をスキャンできる速度を、１つのアレイ内のライン・スキャナの数に比例して増大させることができる。このアプローチにより、より広範囲の低解像度レーザ・スキャナでのみ一般に可能なより大きなカバレージ領域を用いつつ、高解像度のライン・スキャナを使用することができる。ライン・スキャナをアレイ内に配置することで、カバレージを高め、したがって、表面をスキャンできる速度を高めることができる。
【００３２】
検査システムの例
図１Ａは、幾つかの実施形態に従う、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂを含む検査システム１００の略斜視図である。検査システム１００が、検査されたコンポーネント１９０の表面１９２をスキャンするプロセスにおいて示されている。検査されたコンポーネント１９０が検査システム１００の一部ではないことに留意すべきである。検査されたコンポーネント１９０が、図１Ａおよび幾つかの他の図面で単に参照として提示され、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂのような、検査システム１００の様々な特徴を示す。
【００３３】
図１Ａに示された検査システム１００は第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂを含む。幾つかの実施形態では、検査システム１００が、図１Ｂに示すように１つまたは複数の追加のスキャナ、例えば、第３のライン・スキャナ１１０ｃを含んでもよい。全てのスキャナがアレイ１１１に集約されてもよい。アレイ１１１は図１Ａおよび１ＢにおいてＸ方向に延伸する。
【００３４】
第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂはアレイ１１１または、より具体的には、Ｘ方向に延伸する線形アレイ１１１に配置される。本例では、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａは第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂと平行であり、または、より具体的には、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａは第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂと共線形である。
【００３５】
幾つかの実施形態では、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂの各々は、そのそれぞれの測定領域１１２ａ／１１２ｂ内の検査されたコンポーネント１９０の表面１９２上の高さの偏差を検出するように動作可能である。図１Ａおよび１Ｂに示すように、第１のライン・スキャナ１１０ａは、表面１９２上の第１のスキャンされた部分１９４ａを定義する第１の測定領域１１２ａを有する。第２のライン・スキャナ１１０ｂが、表面１９２上の第２のスキャンされた部分１９４ｂを定義する第２の測定領域１１２ｂを有するように示されている。第１の測定領域１１２ａおよび第２の測定領域１１２ｂの各々が線であってもよく、この場合、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂをまた、線形スキャナと称してもよい。
【００３６】
図１Ａ乃至１Ｃに示すように、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａは第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂと部分的に重複する。この重複特徴を使用して、少なくとも１つの方向に検査された部分１９４ａおよび１９４ｂの間にギャップが無いことを保証してもよい。当該方向は本例ではＸ方向である。測定領域１１２ａおよび１１２ｂが重複したとしても、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂの動作の間の干渉は、それらの動作期間がオフセットされ、照射された／検査された部分１９４ａおよび１９４ｂが実際のスキャンの間に重複しないので、全くないかまたは殆どないことに留意すべきである。
【００３７】
図１Ｃを参照すると、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａは点Ｘ０およびＸ２の間のＸ方向に延伸し、第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２Ｂは点Ｘ１およびＸ３の間のＸ方向に延伸する。これらの２つの測定領域１１２ａおよび１１２ｂの重複部分１１６は点Ｘ１およびＸ２の間で延伸する。重複する部分１１６のサイズが測定領域１１２ａおよび１１２ｂの各々の対応するサイズの約１％および２５％の間、または、より具体的には、約５％および２０％の間であってもよい。重複する部分１１６のサイズが大きいほど、表面１９２のより多くが検査され、スキャナのあまり正確でない配置が必要とされることが保証される。他方、重複する部分１１６のサイズを大きくすることが、全体の検査時間を遅くし、かつ／または、追加のスキャナを必要としうる。測定領域１１２ａおよび１１２ｂは、それぞれのスキャナ１１０ａおよび１１０ｂの特性ならびに、これらのスキャナ１１０ａおよび１１０ｂの、互いに対するおよび検査された表面１９２に対する相対的な位置（例えば、スキャナ１１０ａおよび１１０ｂおよび検査された表面１９２の間の距離）により定義されることに留意すべきである。図１Ａ乃至１Ｃに示されていない幾つかの他の実施形態では、測定領域１１２ａおよび１１２ｂは重複しない。その代わり、測定領域１１２ａおよび１１２ｂが、単に或る点で触れてもよく、または、測定領域１１２ａおよび１１２ｂの各々の対応するサイズの１０％未満であるかまたは５％より少ないギャップだけ離れてもよい。
【００３８】
図１Ｄは、幾つかの実施形態に従う図１Ａの検査システム１００の略ブロック図である。第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂが検査されたコンポーネント１９０と相対的に可動であってもよい。この移動が手動であってもよい。あるいは、検査システム１００が場合によっては、検査されたコンポーネント１９０と相対的に第１のライン・スキャナ１１０ａおよび／または第２のライン・スキャナ１１０ｂを移動させるために使用される動きデバイス１３５を備えてもよい。動きデバイス１３５の幾つかの例は、ステップ・モータ、線形テーブル（例えば、Ｙテーブル）、Ｘ−Ｙテーブル、回転デバイス、または幾つかの他の適切なデバイスである。第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂを一緒にまたは互いと独立に移動してもよい。例えば、第１のライン・スキャナ１１０ａが検査されたコンポーネント１９０をスキャンすると、それが、第２のライン・スキャナ１１０ｂが新たな位置に移動する間に、検査されたコンポーネント１９０と相対的に静止したままであってもよい。あるいは、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂが静止したままであってもよく、検査されたコンポーネント１９０が第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂと相対的に移動してもよい。幾つかの実施形態では、システム・コントローラ１３０が、検査されたコンポーネント１９０と相対的にスキャナ１１０ａおよび１１０ｂの一方または両方の位置を変化させる命令を動きデバイス１３５に送信してもよい。
【００３９】
幾つかの実施形態では、検査システム１００は場合によっては、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび／または第２のライン・スキャナ１１０ｂの（例えば、検査されたコンポーネント１９０と相対的な）位置を決定するための１つまたは複数のエンコーダ１３７を備える。さらに、エンコーダ１３７を、特に第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂが互いに関して可動であるとき、互いと相対的な第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂの位置を決定して、例えば、所望の重複の確立または変更を促進するために使用してもよい。あるいは、スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂの第１の位置が互いに関して固定であってもよい。これらの位置が、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび／または第２のライン・スキャナ１１０ｂにより生産された各データ・セットに関連付けられてもよい。エンコーダ１３７が、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび／または第２のライン・スキャナ１１０ｂの位置に関する情報をシステム・コントローラ１３０に連続的に送信してもよい。システム・コントローラ１３０はこの位置情報を使用して、スキャンを開始し、位置を様々なデータ・セットと関連付け、および／またはデータ・セットを集約してもよい。
【００４０】
検査システム１００のシステム・コントローラ１３０を使用して、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂの動作を制御してもよい。システム・コントローラ１３０を使用して、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂから受信されたデータ・セットを、例えば、データ・セット集約器１３２を用いて集約してもよい。データ・セット集約器１３２は、第１のライン・スキャナ１１０ａから受信されたデータ・セットおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂから受信された別のデータ・セットに対する結合されたデータ・セットを生成する。データ・セット集約器１３２により生産された結合されたデータ・セットおよび、幾つかの実施形態では、他のデータをシステム・コントローラ１３０のメモリ１３６に格納してもよい。例えば、メモリ１３６がまた、スキャナ１１０ａおよび１１０ｂから受信されたデータ・セット、エンコーダ１３７から受信された情報（例えば、スキャンの時刻でのスキャナ位置）を格納してもよい。メモリ１３６がまた、高さ許容値のような結合されたデータ・セットを分析するために使用される様々なデータ点を格納してもよい。
【００４１】
システム・コントローラ１３０の別のオプションのコンポーネントは分析モジュール１３３である。分析モジュール１３３を、結合されたデータ・セットを分析して例えば、許容値を超える高さの偏差を決定するために使用し、そのように構成してもよい。幾つかの実施形態では、分析モジュール１３３が、外れ値を識別し、外れ値表現を構築してもよい。幾つかの実施形態では、システム・コントローラ１３０が、当該外れ値表現を、ディスプレイ、プリンタ、または別のコンピュータシステムのような出力デバイス１３４に送信してもよい。
【００４２】
検査方法の例
図２は、幾つかの実施形態に従う、コンポーネント１９０の表面１９２を検査する方法２００に対応するプロセス流れ図である。方法２００の幾つかの動作を、上述した検査１００を用いて実施してもよい。
【００４３】
幾つかの実施形態では、方法２００が、オプションの動作２１０の間にコンポーネント１９０を形成することで開始してもよい。例えば、コンポーネント１９０が、複数のプライから形成された複合構造であってもよい。これらのプライが、積層材に配置されたフラット・シートであってもよい。当該積層材を形成するために、初期のフラット積層材がダイへのプレスまたは金型周囲の曲げを受けてもよい。リンクルおよび他の高さ変形が、その形成の間にコンポーネント１９０において発生してもよい。
【００４４】
幾つかの実施形態では、表面１９２のスキャンが動作２１０の間にコンポーネント１９０の形成と関連して実施される。例えば、動作２１２ａおよび２１２ｂならびに動作２２０を、コンポーネント１９０を形成している間に実施し反復してもよく、これをインプロセス検査と称してもよい。例えば、表面１９２を、各プライを追加した後、より具体的には、任意のインプロセス欠陥を検出するための各プライを追加している間に、スキャンしてもよい。表面１９２をさらに、当該積層材を形成する間にスキャンしてもよい。
【００４５】
幾つかの実施形態では、方法２００は、オプションの動作２１１の間に、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂを互いと相対的におよびコンポーネント１９０の表面１９２と相対的に整列するステップを含む。例えば、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂが、コンポーネント１９０の表面１９２上に配置された支持に取り付けられてもよい。動作２１１を完了した後、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａが、例えば、図１Ａ乃至１Ｃに示し上述したように、第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂと部分的に重複してもよい。
【００４６】
図２に戻ると、方法２００が、動作２１２ａの間に、第１のライン・スキャナ１１０ａを用いて表面１９２の第１の部分１９４ａをスキャンするステップを含んでもよい。この動作２１２ａは第１の期間１６０ａの間に実施され、第１の部分１９４ａを表すことに対応する第１のデータ・セット１５０ａを生成する。例えば、動作２１２ａの間、第１のライン・スキャナ１１０ａが、第１の部分１９４ａを照射し、第１の部分１９４ａの１つまたは複数の光画像をキャプチャして、高さの偏差のような当該部分の様々な特性を決定してもよい。第１の部分１９４ａは、第１の期間１６０ａの間の第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａに対応する。
【００４７】
方法２００が、動作２１２ｂの間に、第２のライン・スキャナ１１０ｂを用いて表面１９２の第２の部分１９４ｂをスキャンするステップを含んでもよい。この動作２１２ｂが上述した動作２１２ａと同様であってもよいが、第１の期間１６０ａと相対的な第２の期間１６０ｂオフセットの間に実施される。また、動作２１２ｂは、第２の部分１９４ｂに対応する第２のデータ・セット１５０ｂを生成する。第２の部分１９４ｂは、第２の期間１６０ｂの間の、第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂに対応する。第１の期間１６０ａおよび第２の期間１６０ｂの間のオフセットはこれらの２つのスキャンの間の干渉を削減するために使用される。
【００４８】
図３Ａ乃至３Ｃは、第１の期間１６０ａが第２の期間１６０ｂに対してオフセットする動作シーケンス１７０ａおよび１７０ｂの３つの例を示す。特に、第１の動作シーケンス１７０ａは第１のライン・スキャナ１１０ａに対応し、第２の動作シーケンス１７０ｂは第２のライン・スキャナ１１０ｂに対応する。
【００４９】
図３Ａを参照すると、第１の期間１６０ａはｔ０で開始してｔ１で終了し、第２の期間１６０ｂはｔ１で開始してｔ２で終了する。したがって、本例では第１の期間１６０ａの終了は第２の期間１６０ｂの開始と一致する。換言すれば、第２の期間１６０ｂは第１の期間１６０ａの直後に開始する。さらに、本例では第１の期間１６０ａは第２の期間１６０ｂと重複しない。
【００５０】
第１のライン・スキャナ１１０ａを用いてスキャンするステップを第３の期間１６０ｃの間に反復してもよい。第３の期間１６０ｃは図３Ａに示すようにｔ２で開始してｔ３で終了する。本例では第２の期間１６０ｂの終了は第３の期間１６０ｃの開始と一致する。換言すれば、第１のライン・スキャナ１１０ａのトリガ遅延（２つのスキャンの開始の間の期間）は第１の期間１６０ａおよび第２の期間１６０ｂの合計に等しい。同様な方式で、第２のライン・スキャナ１１０ｂを用いてスキャンするステップが第４の期間１６０ｄの間に反復してもよい。第４の期間１６０ｄはｔ３で開始してｔ４で終了する。当業者は、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂを用いたこれらのスキャンが、確立されたオフセットでの反復を継続してもよいことを理解する。
【００５１】
幾つかの実施形態では、第１の期間１６０ａは第２の期間１６０ｂに等しい。これらの実施形態では、トリガ遅延はスキャン期間の２倍である。あるいは、第１の期間１６０ａが第２の期間１６０ｂと異なってもよい。
【００５２】
図３Ｂは、第１の期間１６０ａが第２の期間１６０ｂに対してオフセットする別の例を示す。本例では、第１の期間１６０ａは第２の期間１６０ｂと重複する。特に、第１の期間１６０ａはｔ０で開始してｔ１で終了し、第２の期間１６０ｂはｔ１で開始してｔ４で終了する。したがって、第２の期間１６０ｂは、第１の期間１６０ａが（ｔ２で）終了する前に（ｔ１で）開始する。（ｔ１およびｔ２の間の）重複が、２つのスキャンの間の干渉を削減するために、それぞれ第１の期間１６０ａおよび第２の期間１６０ｂより十分に小さくてもよい。例えば、当該重複が、各第１の期間１６０ａおよび第２の期間１６０ｂの１０％または５％より少なくてもよい。
【００５３】
さらに、第１のライン・スキャナ１１０ａを用いてスキャンするステップを第３の期間１６０ｃ間に反復するとき、第２の期間１６０ｂも第３の期間１６０ｃと重複する。第３の期間１６０ｃはｔ３で開始してｔ６で終了する。同様な方式で、第３の期間１６０ｃは第２の期間１６０ｂとの重複に加えて第４の期間１６０ｄとも重複する。
【００５４】
図３Ｃは、第１の期間１６０ａが第２の期間１６０ｂに対してオフセットするさらに別の例を示す。本例では、第１の期間１６０ａは第２の期間１６０ｂと重複せず、第２の期間は第１の期間１６０ａの後に即座には開始しない。第１の期間１６０ａおよび第２の期間１６０ｂの間に遅延が存在する。特に、第１の期間１６０ａはｔ０で開始してｔ１で終了し、第２の期間１６０ｂはｔ２で開始してｔ２で終了する。したがって、第１の期間１６０ａの終了と第２の期間１６０ｂの開始の間に遅延（ｔ１乃至ｔ２）がある。当該遅延が、２つのスキャンの間の干渉を削減するために、各第１の期間１６０ａおよび第２の期間１６０ｂより十分により小さくてもよい。例えば、当該遅延が各第１の期間１６０ａおよび第２の期間１６０ｂの１０％または５％より少なくてもよい。
【００５５】
上述のように、複数のライン・スキャナ１１０を用いて表面１９２をスキャンする間に、それらの測定領域１１２が重複しうる。図１Ａ乃至１Ｃを参照すると、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａが、第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂと部分的に重複してもよい。特に、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａはＸ０およびＸ２の間で延伸し、第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂはＸ１およびＸ３の間で延伸する。重複部分１１６はＸ１およびＸ２の間で延伸する。重複部分１１６は、少なくともＸ方向に表面１９２をスキャンする際にギャップがないことが保証する。
【００５６】
さらに、図１Ａを参照すると、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａが第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂと同一線上にあってもよい。この同一線上にあるという特徴が、第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂを結合されたデータ・セット１５１に集約して第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂとのオフセットや他の操作の必要性を回避する間に有用でありうる。例えば、検査されたコンポーネント１９０が検査された部分１９４ａおよび１９４ｂのスキャン中にまたはそれらのスキャンとスキャンの間にスキャナ１１０ａおよび１１０ｂに対して移動されない場合、測定領域１１２ａおよび１１２ｂの共線性を、検査された部分１９４ａおよび１９４ｂの共線性に変換してもよい。しかし、検査されたコンポーネント１９０が、検査された部分１９４ａおよび１９４ｂのスキャン中にまたはそれらのスキャンとスキャンの間にスキャナ１１０ａおよび１１０ｂに対して移動される場合、第１の部分１９４ａが表面１９２の第２の部分１９４ｂに関して平行しオフセットしてもよい。
【００５７】
図２に戻ると、方法２００は、動作２２０の間に、第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂを結合されたデータ・セット１５１に集約するステップを含む。第１のデータ・セット１５０ａは、第１の部分１９４ａに対応し、図１Ａに概略的に示されるように実際のスキャン（例えば、第１の期間１６０ａ）の間に第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａにより定義される。同様に、第２のデータ・セット１５０ｂは第２の部分１９４ｂに対応し、図１Ａに概略的に示されるように、実際のスキャン（例えば、第２の期間１６０ｂ）の間に第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂにより定義される。結合されたデータ・セット１５１は第１の部分１９４ａおよび第２の部分１９４ｂの両方に対応する。図１Ａを参照すると、結合されたデータ・セット１５１は、Ｘ０およびＸ３の間で延伸する表面１９２の一部を表す。幾つかの実施形態では、結合されたデータ・セット１５１は、検査されたコンポーネント１９０の１つの次元１９１に沿って延伸する全ての部分を表す。
【００５８】
第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂを集約するステップは、第１の部分１９４ａおよび第２の部分１９４ｂの相対的な位置、例えば、第１の部分１９４ａおよび第２の部分１９４ｂが互いに関して重複および／またはオフセットするかどうかに依存する。例えば、図１Ａ乃至１Ｃは、図１Ｃに図示されＸ１およびＸ２の間で延伸する重複する部分１１６を参照して、第１の部分１９４ａおよび第２の部分１９４ｂを示す。
【００５９】
図４Ａおよび４Ｂは、幾つかの実施形態に従う第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂの略表現である。第１のデータ・セット１５０ａは第１の非重複部分１５２ａおよび第１の重複部分１５４ａを含む。第１の非重複部分１５２ａは、第１の検査された部分１９４ａの（図１Ｃに示すようにＸ０およびＸ１の間で延伸する）第１の非重複部分１１４ａに対応する。第１の重複部分１５４ａは、第１の検査された部分１９４ａの（図１Ｃに示すようにＸ１およびＸ２の間で延伸する）重複する部分１１６に対応する。
【００６０】
同様に、第２のデータ・セット１５０ｂは第２の非重複部分１５２ｂおよび第２の重複部分１５４ｂを含む。第２の非重複部分１５２ｂは第２の検査された部分１９４ｂの（図１Ｃに示すようにＸ２およびＸ３の間で延伸する）第２の非重複部分１１４ｂに対応する。第２の重複部分１５４ｂは（図１Ｃに示すようにＸ１およびＸ２の間で延伸する）重複する部分１１６に対応する。第１のデータ・セット１５０ａの第１の重複部分１５４ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂの第２の重複部分１５４ｂは検査されたコンポーネント１９０の同一の重複する部分１１６に対応することに留意すべきである。換言すれば、第１の重複部分１５４ａおよび第２の重複部分１５４ｂを冗長データとみなしてもよい。第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂを集約するとき、第１の重複部分１５４ａおよび第２の重複部分１５４ｂのうち１つを無視してもよく、または、第１の重複部分１５４ａおよび第２の重複部分１５４ｂの平均を使用して、検査された表面１９２の重複部分１１６を表してもよい。
【００６１】
図４Ｃは、幾つかの実施形態に従う結合されたデータ・セット１５１の略表現である。結合されたデータ・セット１５１は、動作２２０の間に、第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂを集約した結果である。結合されたデータ・セット１５１は第１のデータ・セット１５０ａの第１の非重複部分１５２ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂの第２の非重複部分１５２ｂを含む。結合されたデータ・セット１５１はまた、結合された重複部分１５４を含む。重複部分１５４は第１のデータ・セット１５０ａの第１の重複部分１５４ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂの第２の重複部分１５４ｂの一方または両方から導出される。例えば、結合された重複部分１５４が、第１の重複部分１５４ａまたは第２の重複部分１５４ｂの１つを選択することにより生成されてもよい。別の例では、結合された重複部分１５４が、第１の重複部分１５４ａおよび第２の重複部分１５４ｂまたは、より具体的には、これらの重複部分内のデータ値を平均してもよい。
【００６２】
幾つかの実施形態では、第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂを集約するステップは、図２の流れ図で示すようにオプションの動作２２２の間にこれらのデータ・セットを空間的に配列するステップを含む。この空間配置を、第１の部分１９４ａおよび第２の部分１９４ｂの相対的な位置に基づいて実施してもよい。例えば、動作２２２が、第１の部分１９４ａおよび第２の部分１９４ｂ内の重複する部分１１６を識別し、ついで第１の非重複部分１５２ａ、第１の重複部分１５４ａ、第２の非重複部分１５２ｂ、および第２の重複部分１５４ｂを識別するステップを含んでもよい。第１の部分１９４ａおよび第２の部分１９４ｂの相対的な位置が、少なくとも部分的に、互いと相対的なおよびコンポーネント１９０の表面１９２と相対的な第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂの配置により決定されることに留意すべきである。したがって、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂのこの配置を、第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂを空間的に配列するために使用してもよい。上述の例は、Ｘ軸に沿ったデータの空間配置を指す。配置をＹ軸のような他の軸に沿って実施して、例えば、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂと相対的な検査されたコンポーネント１９０の移動を補償してもよいことは当業者に理解される。
【００６３】
図２に戻ると、方法２００が、動作２４０の間に、コンポーネント１９０と相対的なスキャナ１１０ａおよび１１０ｂの位置を変更するステップを含んでもよい。特に、動作２４０を、スキャナからコンポーネントへの位置変更動作２４０と称してもよいが、これが、スキャナ１１０ａおよび１１０ｂがオプションの動作２４２により反映されるように静止したままである間にコンポーネント１９０を移動するステップを含んでもよい。当該動作を、コンポーネント移動動作２４２と称してもよい。あるいは、スキャナからコンポーネントへの位置変更動作２４０が、コンポーネント１９０がオプションの動作２４４により反映されるように静止したままである間に１つまたは両方のスキャナ１１０ａおよび１１０ｂを移動するステップを含んでもよい。当該動作をスキャナ移動動作２４４と称してもよい。さらに、スキャナからコンポーネントへの位置変更動作２４０が、１つまたは両方のスキャナ１１０ａおよび１１０ｂおよびコンポーネント１９０を同時に移動させるステップを含んでもよい。換言すれば、スキャナからコンポーネントへの位置変更動作２４０が、コンポーネント移動動作２４２およびスキャナ移動動作２４４の両方を含んでもよい。これらを同時に実施してもよい。動作２４２および／または動作２４４の最中の移動が、例えば、図１Ａに概略的に示すように、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａに垂直な方向１９５であってもよい。
【００６４】
幾つかの実施形態では、コンポーネント１９０が、第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置を変更してもよい。それを、コンポーネント１９０も第２のライン・スキャナ１１０ｂと相対的なその位置を変更する間に行ってもよい。例えば、コンポーネント１９０が、第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置および第２のライン・スキャナ１１０ｂと相対的なその位置を同時に変更してもよい。あるいは、コンポーネント１９０が、コンポーネント１９０および第２のライン・スキャナ１１０ｂの間の相対的な位置を一定に維持しつつ、第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置を変更してもよい。例えば、第２のライン・スキャナ１１０ｂがコンポーネント１９０に対するその相対的な位置を維持しつつ、第１のライン・スキャナ１１０ａをコンポーネント１９０と相対的に（第２のライン・スキャナ１１０ｂと独立に）移動してもよい。
【００６５】
この移動（コンポーネント１９０が第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置を変更すること）を、動作２１２ｂの間に第２のライン・スキャナ１１０ｂを用いて第２の部分１９４ｂをスキャンする間に実施してもよい。さらに、第１の部分１９４ａが、この移動の間に第１のライン・スキャナ１１０ａを用いてスキャンされてもよい。換言すれば、コンポーネント１９０が、第１のライン・スキャナ１１０ａが第１の部分１９４ａをコンポーネント１９０の表面１９２でスキャンする間に、第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置を変更してもよい。
【００６６】
図２に戻ると、コンポーネント１９０が第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置を変更した後に、第１のライン・スキャナ１１０ａを用いて表面１９２をスキャンするステップを、判定ブロック２３０により反映されるように反復してもよい。当該追加のスキャンするステップを、図３Ａ乃至３Ｃを参照して上述したように、第１の期間１６０ａに対してオフセットされ第２の期間１６０ｂに対してオフセットされた第３の期間１６０ｃの間に実施してもよい。当該追加のスキャンするステップが表面１９２の第３の部分１９４ｃに対応する第３のデータ・セット１５０ｃを生成する。第３の部分１９４ｃの異なる例およびその第１の位置１９４ａと相対的な位置が図５Ａおよび５Ｂに示されている。コンポーネント１９０が第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置を変更するので、第３の部分１９４ｃはＹ方向の第１の部分１９４ａに対してオフセットする。同様な方式で、第２のライン・スキャナ１１０ｂを用いて表面１９２をスキャンするステップを繰り返して第４の部分１９４ｄをスキャンしてもよい。このスキャンするステップを第４の期間１９０ｄの間に実施してもよい。第４の期間１９０ｄは第１の期間１６０ａ、第２の期間１６０ｂ、および第３の期間１６０ｃに対してオフセットする。
【００６７】
図５Ａで図示した例では、コンポーネント１９０は、第１のライン・スキャナ１１０ａがスキャンを実施する間に第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置を変更しない。したがって、第１の部分１９４ａおよび第３の部分１９４ｃは線形プロフィールを有する。本例では、コンポーネント１９０が、第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置を他の時点に、例えば、第２のライン・スキャナ１１０ｂが第２の部分１９４ｂをスキャンする間に、変更してもよい。しかし、この図示された例では、コンポーネント１９０も、第２のライン・スキャナ１１０ｂがスキャンを実施する間に、第２のライン・スキャナ１１０ｂと相対的なその位置を変更しない。例えば、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂが、全体の動作の間に互いと独立に移動してもよい。
【００６８】
図５Ｂは、第１のライン・スキャナ１１０ａがスキャンを実施する間にコンポーネント１９０が第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的なその位置を変更する別の例を示す。したがって、第１の部分１９４ａおよび第３の部分１９４ｃはＹ方向に幅を有する。同様に、コンポーネント１９０は、第２のライン・スキャナ１１０ｂがスキャンを実施する間に、第２のライン・スキャナ１１０ｂと相対的なその位置を変更する。したがって、第２の部分１９４ｂおよび第４の部分１９４ｄはＹ方向に幅を有する。さらに、同一のスキャナにより（例えば、第１の部分１９４ａおよび第３の部分１９４ｃの間のおよび、別々に、第２の部分１９４ｂおよび第４の部分１９４ｄの間の）Ｙ方向に検査された隣接する部分の各ペアの間の検査されていないギャップが、この方向の典型的な表面欠陥のサイズより小さくてもよい。さらに、上述のように、当該検査されていないギャップを制御してもよく、幾つかの実施形態では、線形エンコーダからの信号をダウンサンプリングしてライン・スキャナを固定のピッチでトリガすることで選択してもよい。
【００６９】
第１の部分１９４ａの（Ｙ方向の）の幅は、検査されたコンポーネント１９０が第１のライン・スキャナ１１０ａと相対的に移動する速度と第１の期間１６０ａの期間とに依存する。同様に、第２の部分１９４ｂの（Ｙ方向の）幅は、検査されたコンポーネント１９０が第２のライン・スキャナ１１０ｂと相対的に移動する速度と第２の期間１６０ｂの期間とに依存する。幾つかの実施形態では、第１の部分１９４ａおよび／または第２の部分１９４ｂの幅が約１インチおよび１０インチの間または、より具体的には、約２インチと３インチの間であってもよい。第１の部分１９４ａの幅が第２の部分１９４ｂの幅と同一であってもよい。本例では、第１の期間１６０ａの期間が第２の期間１６０ｂの期間と同一であってもよい。また、検査されたコンポーネント１９０がスキャナと相対的に移動する速度が両方の期間の間で同一であってもよい。
【００７０】
幾つかの実施形態では、検査システム１００は図１Ｂに概略的に示すように第３のライン・スキャナ１１０ｃを含む。第３のライン・スキャナ１１０ｃが、第２のライン・スキャナ１１０ｂが第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第３のライン・スキャナ１１０ｃの間に配置されるように、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂを有するアレイ１１１を形成してもよい。したがって第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａは第３のライン・スキャナ１１０ｃの測定領域１１２ｃと重複せず、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第３のライン・スキャナ１１０ｃが同時に動作してもよい。第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂは隣接するライン・スキャナ１１３ａの第１のペアを形成する。第２のライン・スキャナ１１０ｂおよび第３のライン・スキャナ１１０ｃは隣接するライン・スキャナ１１３ｂの第２のペアを形成する。したがって、第２のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａが、第３のライン・スキャナ１１０ｃの測定領域１１２ｃと重複してもよい。この点、第２のライン・スキャナ１１０ｂおよび第３のライン・スキャナ１１０ｃの動作が大幅な重複を有するべきではない。さらに、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａが第３のライン・スキャナ１１０ｃの測定領域１１２ｃと同一線上にあってもよい。幾つかの実施形態では、測定値１１２ａ乃至１１２ｂの３つのフィールド全てが共線形であってもよい。
【００７１】
図６Ａは、３つのスキャナ１１０ａ乃至１１０ｃの１つの例示的な動作シーケンス１７０ａ乃至１７０ｃを示す。本例では、第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第３のライン・スキャナ１１０ｃは第１の期間１６０ａの間に同時に動作する。換言すれば、第１のライン・スキャナ１１０ａの動作シーケンス１７０ａが、第３のライン・スキャナ１１０ｃの動作シーケンス１７０ｂと同一であるが、第２のライン・スキャナ１１０ｂの動作シーケンス１７０ｂと異なってもよい。第１の期間１６０ａは第２のライン・スキャナ１１０ｂが動作している間に第２の期間１６０ｂに対してオフセットする。
【００７２】
これらの３つのスキャナの実施形態では、方法２００は第３のライン・スキャナ１１０ｃを用いて表面１９２の第３の部分１９４ｃをスキャンするステップをさらに含む。第１の部分１９４ａおよび第２の部分１９４ｂと相対的な第３の部分１９４ｃの位置が図６Ｂに図示されている。このスキャンが第３の部分１９４ｃに対応する第３のデータ・セット１５０ｃを生成する。この第３のデータ・セット１５０ｃの例は、第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂとともに集約される（２２０）。この動作例を、上述した、第３のデータ・セット１５０ｃが第１のライン・スキャナ１１０ａの追加のスキャンの間に取得される別の例と混同すべきではない。
【００７３】
コントローラ・コンピュータ検査システムの例
図７を参照すると、幾つかの実施形態に従う検査システム１００のシステム・コントローラ１３０の図が提示されている。システム・コントローラ１３０を使用して、上述した検査システム１００の様々な例のシステム・コントローラまたは他のコンポーネントで使用される１つまたは複数のコンピュータを実装してもよい。幾つかの実施形態では、システム・コントローラ１３０は通信フレームワーク１００２を含む。通信フレームワーク１００２は、プロセッサユニット１００４、メモリ１００６、永続記憶１００８、通信ユニット１０１０、入力／出力Ｉ／Ｏユニット１０１２、およびディスプレイ１０１４の間の通信を提供する。本例では、通信フレームワーク１００２がバス検査システムの形をとってもよい。
【００７４】
プロセッサユニット１００４は、メモリ１００６にロードできるソフトウェア／命令のための命令を実行することを提供する。これら命令を、第１のライン・スキャナ１１０ａの測定領域１１２ａが第２のライン・スキャナ１１０ｂの測定領域１１２ｂと部分的に重複するように、互いとおよびコンポーネント１９０の表面１９２と相対的に第１のライン・スキャナ１１０ａおよび第２のライン・スキャナ１１０ｂを整列するステップと、第１の部分１９４ａをスキャンするステップ（２１２ａ）が第１の部分１９４ａに対応する第１のデータ・セット１５０ａを生成するように、第１の期間１６０ａの間に第１のライン・スキャナ１１０ａを用いて表面１９２の第１の部分１９４ａをスキャンするステップ（２１２ａ）と、第２の部分１９４ｂをスキャンするステップ（２１２ｂ）が第２の部分１９４ｂに対応する第２のデータ・セット１５０ｂを生成するように、第１の期間１６０ｂに対してオフセットされた第２の期間１６０ｂの間に第２のライン・スキャナ１１０ｂを用いて表面１９２の第２の部分１９４ｂをスキャンするステップ（２１２ｂ）と、第１のデータ・セット１５０ａおよび第２のデータ・セット１５０ｂを結合されたデータ・セット１５１に集約するステップ（２２０）とのような、図２を参照して上述した方法２００の様々な動作を実行するために使用してもよい。
【００７５】
プロセッサユニット１００４が、当該特定の実装に依存して、幾つかのプロセッサ、ａマルチプロセッサコア、または幾つかの他のタイプのプロセッサであってもよい。メモリ１００６および永続記憶１００８は記憶装置１０１６の例である。記憶装置は、情報を、例えば、限定ではなく、データ、プログラムコードを機能的形態で、および／または他の適切な情報を一時的におよび／または永続的に格納できる任意のハードウェアである。記憶装置１０１６がまた、これらの例示的な例ではコンピュータ可読記憶装置と称してもよい。メモリ１００６は、これらの例では、例えば、ランダム・アクセス・メモリまたは任意の他の適切な揮発性または不揮発性記憶装置であってもよい。永続記憶１００８が、当該特定の実装に依存して様々な形態をとってもよい。例えば、永続記憶１００８が、１つまたは複数のコンポーネントまたはデバイスを含んでもよい。例えば、永続記憶１００８がハードドライブ、フラッシュメモリ、再書き込み可能光ディスク、再書き込み可能磁気テープ、または以上の幾つかの組合せであってもよい。永続記憶１００８により使用される当該媒体も取外し可能であってもよい。例えば、取外し可能ハードドライブを永続記憶１００８のために使用してもよい。永続記憶１００８が、上述した方法２００の動作を実行するための命令が符号化されたコンピュータ可読媒体であってもよい。
【００７６】
通信ユニット１０１０は、これらの例示的な例では、他のデータ処理検査システムまたはデバイスとの通信を提供する。これらの例示的な例では、通信ユニット１０１０はネットワークインタフェースカードである。入力／出力ユニット１０１２は、システム・コントローラ１３０に接続されうる他のデバイスとのデータの入力および出力を可能とする。例えば、入力／出力ユニット１０１２が、キーボード、マウス、および／または幾つかの他の適切な入力デバイスを通じてユーザ入力に対する接続を提供してもよい。さらに、入力／出力ユニット１０１２が、出力をプリンタに送信してもよい。ディスプレイ１０１４は情報をユーザに表示する機構を提供する。
【００７７】
当該動作検査システム、アプリケーション、および／またはプログラムのための命令を記憶装置１０１６に配置してもよい。記憶装置１０１６は通信フレームワーク１００２を通じてプロセッサユニット１００４と通信する。当該異なる実施形態の当該プロセスがコンピュータ実行型の命令を用いてプロセッサユニット１００４により実施されてもよい。当該命令をメモリ１００６のようなメモリに配置してもよい。
【００７８】
これらの命令は、プロセッサユニット１００４内のプロセッサにより読み取って実行しうるプログラムコード、コンピュータ使用可能プログラムコード、またはコンピュータ可読プログラムコードと称される。当該異なる実施形態における当該プログラムコードを、メモリ１００６または永続記憶１００８のような異なる物理またはコンピュータ可読記憶媒体で具体化してもよい。
【００７９】
プログラムコード１０１８が、選択的に取外し可能であるコンピュータ可読媒体１０２０上の機能的形態内に配置され、プロセッサユニット１００４により実行するためにシステム・コントローラ１３０にロードまたは転送されうる。プログラムコード１０１８およびコンピュータ可読媒体１０２０は、これらの例示的な例では、コンピュータプログラム製品１０２２を形成する。１つの例では、コンピュータ可読媒体１０２０がコンピュータ可読記憶媒体１０２４またはコンピュータ可読信号媒体１０２６であってもよい。
【００８０】
これらの例示的な例では、コンピュータ可読記憶媒体１０２４は、プログラムコード１０１８を伝播または送信する媒体ではなくプログラムコード１０１８を格納するために使用される物理または有形の記憶装置である。
【００８１】
あるいは、プログラムコード１０１８が、コンピュータ可読信号媒体１０２６を用いてシステム・コントローラ１３０に転送してもよい。コンピュータ可読信号媒体１０２６が、例えば、プログラムコード１０１８を含む伝播データ信号であってもよい。例えば、コンピュータ可読信号媒体１０２６が電磁気信号、光信号、および／または任意の他の適切なタイプの信号であってもよい。これら信号を、無線通信リンク、光ファイバケーブル、同軸ケーブル、ワイヤ、および／または任意の他の適切なタイプの通信リンクのような通信リンクで送信してもよい。
【００８２】
システム・コントローラ１３０に対して図示された様々なコンポーネントは、異なる実施形態を実装しうる方式に対するアーキテクチャ的な限定を提供することを意味しない。当該異なる例示的な実施形態を、システム・コントローラ１３０に対して図示したものに加えておよび／またはその代わりに、コンポーネントを含むデータ処理検査システムで実装してもよい。図７に示した他のコンポーネントを、示した例示的な例から変更してもよい。当該異なる実施形態を、プログラムコード１０１８を実行できる任意のハードウェアデバイスまたは検査システムを用いて実装してもよい。
【００８３】
航空機および航空機を製造し動作させる方法の例
本開示の例を図８に示す航空機製造およびサービス方法１１００および図９に示す航空機１１０２の文脈で説明してもよい。事前生産の間に、例示的な方法１１００が、航空機１１０２の仕様および設計（ブロック１１０４）および材料調達（ブロック１１０６）を含んでもよい。生産の間に、航空機１１０２のコンポーネントおよびサブアセンブリ製造（ブロック１１０８）および検査システム統合（ブロック１１１０）を行ってもよい。上述したコンポーネントの表面を検査する方法をこれらの段階のうち１つまたは複数の間に実施してもよい。その後、航空機１１０２が、サービス（ブロック１１１４）に置かれるべき認証および配送（ブロック１１１２）を受けてもよい。サービス中に、航空機１１０２を定期的な保守およびサービス（ブロック１１１６）に対してスケジュールしてもよい。定期的な保守およびサービスが、航空機１１０２の１つまたは複数の検査システムの修正、再構成、改良、等を含んでもよい。
【００８４】
例示的な方法１１００の当該プロセスの各々を検査システムインテグレータ、サードパーティ、および／またはオペレータ（例えば、顧客）により実施または実行してもよい。この説明のため、検査システムインテグレータが、限定ではなく、任意数の航空機製造業者および主要検査システム下請け業者を含んでもよく、サードパーティが、限定ではなく、任意数のベンダ、下請け業者、およびサプライヤを含んでもよく、オペレータが航空会社、リース企業、軍用エンティティ、サービス組織、等であってもよい。説明された方法およびシステムは、航空機１１０２およびコンポーネントの仕様および設計（ブロック１１０４）およびサブアセンブリ製造（ブロック１１０８）の間に使用される。例えば、機体および内部に使用される様々な複合構造を、プロセス開発および／または実際の製造の間に（例えば、高さの偏差に対して）検査してもよい。特に、説明された検査方法およびシステムを、航空機１１０２の翼、機体、尾部、ドア、およびナセルの点火コンポーネントおよびサブアセンブリ製造１１０８、システム統合１１１０、およびサービス１１１４に対して使用してもよい。
【００８５】
図９に示すように、例示的な方法１１００により生産された航空機１１０２が、複数の高レベル検査システム１１２０および内部１１２２を有する機体１１１８を含んでもよい。内部１１２２が、当該１つまたは複数の埋め込み型の栓抜きを含んでもよい。高レベル検査システム１１２０の例は推進検査システム１１２４、電気検査システム１１２６、油圧検査システム１１２８、および環境検査システム１１３０のうち１つまたは複数を含む。任意数の他の検査システムを含めてもよい。航空宇宙の例が示されているが、本明細書で開示した原理を、当該自動車業界のような他の業界に適用してもよい。したがって、航空機１１０２に加えて、本明細書で開示した原理を、他のビークル、例えば、地上ビークル、水中ビークル、空間ビークル、等に適用してもよい。
【００８６】
本明細書で図示または説明した装置（複数可）および方法（複数可）を、製造およびサービス方法（例示的な方法１１００）の段階のうち任意の１つまたは複数の間に使用してもよい。例えば、コンポーネントおよびサブアセンブリ製造（ブロック１１０８）に対応するコンポーネントまたはサブアセンブリを、航空機１１０２がサービス中に（ブロック１１１４）、生成されたコンポーネントまたはサブアセンブリと同様に組み立てまたは製造してもよい。また、当該装置（複数可）、方法（複数可）、またはそれらの組合せの１つまたは複数の例を、生産段階（ブロック１１０８）および（ブロック１１１０）の間に、例えば、航空機１１０２のアセンブリを十分に利用しまたは航空機１１０２のコストを減らすことによって利用してもよい。同様に、当該装置または方法の現実化、またはそれらの組合せの１つまたは複数の例、を、例えばおよび限定ではなく、航空機１１０２がサービス中に（ブロック１１１４）および／または保守およびサービスの間に（ブロック１１１６）利用してもよい。
【００８７】
結論
本明細書で開示した当該装置（複数可）および方法（複数可）の異なる例は様々なコンポーネント、特徴、および機能を含む。本明細書で開示した装置（複数可）および方法（複数可）の様々な例が、本明細書で開示した装置（複数可）および方法（複数可）の他の例の何れかのコンポーネント、特徴、および機能の何れかを任意の組合せで含んでもよく、かかる可能性の全てが本開示の趣旨および範囲内にあると意図されていることは理解されるべきである。
【００８８】
本明細書で説明した例の多数の修正は、上述の説明および当該関連する図面に提示された教示事項の利益を有する、本開示が関係する当業者には容易に想到されるであろう。
【００８９】
本発明はまた、以下の項で参照される。これらの項は特許請求の範囲と混同すべきではない。
【００９０】
Ａ１：コンポーネントの表面を検査する方法であって、
第１のライン・スキャナの測定のフィールドが第２のライン・スキャナの測定のフィールドと部分的に重複するように、第１のライン・スキャナおよび第２のライン・スキャナをそれぞれに対して、かつ、当該コンポーネントの表面に対して整列するステップと、
第１の部分をスキャンするステップが第１の部分に対応する第１のデータ・セットを生成するように、第１の期間の間に第１のライン・スキャナを用いて当該表面の第１の部分をスキャンするステップと、
第２の部分をスキャンするステップが第２の部分に対応する第２のデータ・セットを生成するように、第１の期間に対する第２の期間オフセットの間に第２のライン・スキャナを用いて当該表面の第２の部分をスキャンするステップと、
第１のデータ・セットおよび第２のデータ・セットを結合されたデータ・セットに集約するステップと、
を含む、方法。
【００９１】
Ａ２：第１の期間は第２の期間と重複しない、段落Ａ１に記載の方法。
【００９２】
Ａ３：第２の期間は第１の期間の後即座に開始する、段落Ａ１に記載の方法。
【００９３】
Ａ４：第１の期間は部分的に第２の期間と重複する、段落Ａ１に記載の方法。
【００９４】
Ａ５：第１のライン・スキャナの測定領域は第２のライン・スキャナの測定領域と同一直線上にある、段落Ａ１に記載の方法。
【００９５】
Ａ６：当該表面の第１の部分は当該表面の第２の部分と同一直線上にある、段落Ａ１に記載の方法。
【００９６】
Ａ７：当該表面の第１の部分は当該表面の第２の部分と平行でありオフセットする、段落Ａ１に記載の方法。
【００９７】
Ａ８：当該結合されたデータ・セットは、第１のデータ・セットの第１の非重複部分および第２のデータ・セットの第２の非重複部分を含む、段落Ａ１に記載の方法。
【００９８】
Ａ９：当該結合されたデータ・セットは、第１のデータ・セットの第１の重複部分および第２のデータ・セットの第２の重複部分の組合せをさらに含む、段落８に記載の方法。
【００９９】
Ａ１０：第１のデータ・セットの第１の重複部分および第２のデータ・セットの第２の重複部分の組合せは、第１のデータ・セットの第１の重複部分および第２のデータ・セットの第２の重複部分の平均である、段落９に記載の方法。
【０１００】
Ａ１１：第１のデータ・セットと第２のデータ・セットを集約するステップは、第１のデータ・セットと第２のデータ・セットを空間的に整列させるステップを含む、段落Ａ１に記載の方法。
【０１０１】
Ａ１２：第１のデータ・セットと第２のデータ・セットを空間的に整列させるステップは、互いと当該コンポーネントの表面と相対的に第１のライン・スキャナおよび第２のライン・スキャナを整列することに基づいて実施される、段落Ａ１に記載の方法。
【０１０２】
Ａ１３：第２のライン・スキャナを用いて第２の部分をスキャンしている間に、当該コンポーネントは第１のライン・スキャナに対して位置を変化させる、段落Ａ１に記載の方法。
【０１０３】
Ａ１４：第１のライン・スキャナを用いて第１の部分をスキャンする間に当該コンポーネントは第１のライン・スキャナに対して位置を変化させる、段落Ａ１３に記載の方法。
【０１０４】
Ａ１５：当該コンポーネントは第１のライン・スキャナに対して、かつ、第２のライン・スキャナに対して、同時に位置を変化させる、段落Ａ１４に記載の方法。
【０１０５】
Ａ１６：当該コンポーネントは、第１のライン・スキャナの測定領域と垂直な方向に、第１のライン・スキャナに対して位置を変化させる、段落Ａ１３に記載の方法。
【０１０６】
Ａ１７：第３の部分をスキャンするステップが第３の部分に対応する第３のデータ・セットを生成し、第３の期間が第１の期間と相対的なオフセットであり第２の期間と相対的なオフセットであるように、第３の期間の間に第１のライン・スキャナを用いて当該表面の第３の部分をスキャンするステップをさらに含む、段落Ａ１３に記載の方法。
【０１０７】
Ａ１８：はさらに、第３の部分をスキャンすることが第３の部分に対応する第３のデータ・セットを生成し、第３のライン・スキャナの測定のフィールドが第２のライン・スキャナの測定領域と部分的に重複するように、第１の期間中に第３のライン・スキャナを用いて当該表面の第３の部分をスキャンするステップを含む、第３のデータ・セットは第１のデータ・セットおよび第２のデータ・セットとともに集約される、段落Ａ１に記載の方法。
【０１０８】
Ａ１９：第３のライン・スキャナの測定領域は第１のライン・スキャナの測定領域と同一線上にある、段落Ａ１８に記載の方法。
【０１０９】
Ａ２０：当該コンポーネントを形成するステップ、第１のデータ・セットを取得するステップ、第２のデータ・セットを取得するステップをさらに含み、
第１のデータ・セットと第２のデータ・セットを集約するステップは当該コンポーネントを形成するステップと関連して実施される、
段落Ａ１に記載の方法。
【０１１０】
本発明のさらなる態様によれば、以下が提供される。
【０１１１】
Ｂ１：コンポーネントの表面を検査するために使用される複数のライン・スキャナから取得されたデータ・セットを集約する方法であって、
当該複数のライン・スキャナの隣接するライン・スキャナの各ペアの測定領域が重複するように、当該表面の線形検査に対するアレイ内で当該複数のライン・スキャナを整列するステップと、
当該隣接するライン・スキャナの各ペア内のスキャナが異なる期間で動作するように、当該複数のライン・スキャナを用いて当該表面をスキャンするステップと、
スキャンするステップの間に、当該表面を結合されたデータ・セットに当該複数のライン・スキャナにより生産された当該データ・セットを集約するステップと、
を含む、方法。
【０１１２】
Ｂ２：当該表面と相対的な当該複数のライン・スキャナの位置を変更するステップおよび当該複数のライン・スキャナを用いて当該表面をスキャンすることを繰り返すステップをさらに含む、段落Ｂ１に記載の方法。
【０１１３】
Ｂ３：当該複数のライン・スキャナを用いて当該表面をスキャンするステップは当該表面と相対的な当該複数のライン・スキャナの位置が変化する速度に基づいて決定された期間の後に反復される、段落Ｂ２に記載の方法。
【０１１４】
Ｂ４：当該アレイは線形アレイである、段落Ｂ１に記載の方法。
【０１１５】
Ｂ５：当該測定領域は共線形であり、当該線形アレイに沿って延伸する、段落Ｂ４に記載の方法。
【０１１６】
本発明のさらなる態様によれば、以下が提供される。
【０１１７】
Ｃ１：コンポーネントの表面を検査するための検査システムであって、
第１の期間の間に当該表面の第１の部分をスキャンし、第１の部分に対応する第１のデータ・セットを生成するための第１のライン・スキャナと、
第１の期間に対する第２の期間オフセットの間に当該表面の第２の部分をスキャンし、第２の部分に対応する第２のデータ・セットを生成するための第２のライン・スキャナであって、第１のライン・スキャナの測定のフィールドは第２のライン・スキャナの測定のフィールドと部分的に重複する、第２のライン・スキャナと、
第１のデータ・セットおよび第２のデータ・セットを結合されたデータ・セットへと集約するためのシステム・コントローラと、
を備える、システム。
【０１１８】
Ｃ２：第１のライン・スキャナおよび第２のライン・スキャナを当該コンポーネントに対して移動させるための動きデバイスをさらに含む、段落Ｃ１に記載の検査システム。
【０１１９】
Ｃ３：当該コンポーネントに対する第１のライン・スキャナおよび第２のライン・スキャナのうち少なくとも１つの位置を決定するためのエンコーダをさらに含む、段落Ｃ１に記載の検査システム。
【０１２０】
Ｃ４：当該システム・コントローラはデータ・セット集約器、メモリ、および分析モジュールを備え、当該データ・セット集約器は第１のデータ・セットおよび第２のデータ・セットを当該結合されたデータ・セットに集約するように動作可能であり、当該メモリは当該結合されたデータ・セットを格納するように動作可能であり、当該分析モジュールは当該結合されたデータ・セットを分析するように動作可能である、段落Ｃ１に記載の検査システム。
【０１２１】
したがって、本開示は図示された特定の例に限定されず、修正および他の例が添付の特許請求の範囲に含まれることが意図されていることは理解される。さらに、上述の記述および当該関連する図面を本開示の例を要素および／または機能の特定の例示的な組合せの文脈で説明するが、要素および／または機能の異なる組合せを添付の特許請求の範囲から逸脱することなく代替的な実装により提供してもよいことは理解されるべきである。したがって、添付の特許請求の範囲における括弧内の参照番号は、例示的な目的のために提供されるにすぎず、クレーム主題の範囲を本開示で提供した特定の例に限定する意図はない。
【符号の説明】
【０１２２】
１３０  システム・コントローラ
１１０ａ  第１のライン・スキャナ
１１０ｂ  第２のライン・スキャナ
１３２  データ・セット集約器
１３３  分析モジュール
１３４  出力デバイス
１３５  動きデバイス（複数可）
１３６  メモリ
１３７  エンコーダ（複数可）
１５０ａ  第１のデータ・セット
１５０ｂ  第２のデータ・セット
【図１Ａ】
2018105843.tif 000003
【図１Ｂ】
2018105843.tif 000004
【図１Ｃ】
2018105843.tif 000005
【図１Ｄ】
2018105843.tif 000006
【図２】
2018105843.tif 000007
【図３Ａ】
2018105843.tif 000008
【図３Ｂ】
2018105843.tif 000009
【図３Ｃ】
2018105843.tif 000010
【図４Ａ】
2018105843.tif 000011
【図４Ｂ】
2018105843.tif 000012
【図４Ｃ】
2018105843.tif 000013
【図５Ａ】
2018105843.tif 000014
【図５Ｂ】
2018105843.tif 000015
【図６Ａ】
2018105843.tif 000016
【図６Ｂ】
2018105843.tif 000017
【図７】
2018105843.tif 000018
【図８】
2018105843.tif 000019
【図９】
2018105843.tif 000020
【外国語明細書】
2018105843000001.pdf