(57)【要約】【課題】本発明は砥石の形状を板状物の研削部の形状になじませる調整工程を行う必要がなく、板状物の加工品質を良好にできる板状物の研削装置などを提供する。【解決手段】軸Ａ方向一端部を閉塞したカップ型に形成され、軸Ａ方向他端部に円環状端面１１ａを有するホイール１１と、円環状端面１１ａに沿って配置される円環形状の砥石１２とを有する研削工具１０と、研削工具１０を回転駆動させるモータ３と、ガラス基板５を研削工具１０に対して相対的に移動させる搬送装置２とを備え、砥石１２の先端面１２ａは内周側が外周側よりも軸Ａ方向他端側へ突出するテーパ面に形成され、研削工具１０をガラス基板５の表面に対してガラス基板５の移動方向に傾斜させた姿勢にて、砥石１２をガラス基板５の一箇所に当接させた状態で研削工具１０を回転駆動するとともに、搬送装置２によりガラス基板５を研削工具１０に対して相対的に移動させてガラス基板５を研削する。【選択図】図６
2018020393.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物に研削加工を施す板状物の研削装置であって、
略円筒形状の軸方向一端部を閉塞したカップ型に形成され、前記軸方向他端部に円環状端面を有するホイールと、前記円環状端面に沿って配置される円環形状の砥石とを有する研削工具と、
前記研削工具を前記軸を中心として回転駆動させる駆動源と、
前記板状物を前記研削工具に対して前記板状物の表面と平行な方向へ相対的に移動させる搬送装置とを備え、
前記砥石の前記軸方向他端側の面の少なくとも一部は、内周側が外周側よりも前記軸方向他端側へ突出するテーパ面に形成され、
前記研削工具を前記板状物の表面に対して前記板状物の移動方向に傾斜させた姿勢にて、前記砥石を前記板状物の端部における一箇所に当接させた状態で、前記駆動源により前記研削工具を回転駆動するとともに、前記搬送装置により前記板状物を前記研削工具に対して相対的に移動させることで、前記板状物を研削する、
ことを特徴とする板状物の研削装置。
【請求項２】
前記研削工具の周囲を覆うカバー部材を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載の板状物の研削装置。
【請求項３】
前記カバー部材の内部の雰囲気を前記カバー部材の外部へ吸引する吸引具を備える、
ことを特徴とする請求項２に記載の板状物の研削装置。
【請求項４】
前記カバー部材は、略円筒形状の軸方向一端部を閉塞したカップ型に形成されて、前記ホイールの外周部及び前記軸方向一端部を覆い、
前記カバー部材における前記軸方向他端側の周縁部には、可撓性を有し、前記砥石の外周部を覆う柔軟部材が付設されている、
ことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の板状物の研削装置。
【請求項５】
略円筒形状の軸方向一端部を閉塞したカップ型に形成され、前記軸方向他端部に円環状端面を有するホイールと、前記円環状端面に沿って配置される円環形状の砥石とを有し、
前記砥石の前記軸方向他端側の面は、内周側が外周側よりも前記軸方向他端側へ突出するテーパ面に形成される、
ことを特徴とする研削工具。
【請求項６】
前記テーパ面の、前記軸と直交する面に対する傾斜角度は０．１°〜１０°である、
ことを特徴とする請求項５に記載の研削工具。
【請求項７】
前記砥石は、砥粒と、前記砥粒を互いに結合保持する結合剤とを含み、
前記結合剤は、合金からなる、
ことを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の研削工具。
【請求項８】
請求項５〜７の何れかに一項に記載の研削工具に対して、板状物を前記板状物の表面と平行な方向へ相対的に移動させながら、
前記研削工具を前記板状物の表面に対して前記ガラス基板の移動方向に傾斜させた姿勢にて、前記砥石を前記板状物の端部における一箇所に当接させた状態で、
前記研削工具を前記軸を中心として回転させることにより、前記板状物の研削を行う、
ことを特徴とする板状物の製造方法。
【請求項９】
前記研削工具による前記板状物の研削は、乾式研削にて行われる、
ことを特徴とする請求項８に記載の板状物の製造方法。
【請求項１０】
前記研削工具は、
前記砥石の前記板状物に対する当接箇所が上方から下方へ向かって移動する方向に回転される、
ことを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の板状物の製造方法。
【請求項１１】
前記研削工具の前記板状物の搬送方向に対する傾斜角度は、前記砥石と前記板状物との接触面積が最大となる角度である、
ことを特徴とする請求項８〜請求項１０の何れか一項に記載の板状物の製造方法。
【請求項１２】
前記板状物は、厚さが２ｍｍ以上の結晶化ガラスである、
ことを特徴とする請求項８〜請求項１１の何れか一項に記載の板状物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板などの板状物に研削加工を行う研削工具、板状物の研削装置、及び板状物の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板などの板状物に研削加工を施すための研削工具においては、略円筒形状の軸方向一端部を閉塞したカップ型に形成され、前記軸方向他端部に円環状端面を有するホイールと、前記円環状端面に沿って配置される円環状の砥石とを有する研削工具が知られている（特許文献１参照）。
例えば、図１１に示す研削工具１１０は、略円筒形状の軸Ａ方向の一端部を閉塞したカップ型に形成され、軸Ａ方向の他端部に円環状端面１１１ａを有するホイール１１１と、円環状端面１１１ａに沿って配置される円環状の砥石１１２とを有している。研削工具１１０においては、砥石１１２の軸Ａ方向他端側の面１１２ａはホイール１１１の円環状端面１１１ａと平行な平坦面に形成されている。
【０００３】
板状のガラス基板１０５を研削工具１１０に対して相対的に移動させながら、研削工具１１０によりガラス基板１０５の端部を研削して面取り加工を施す場合、図１２に示すように、研削工具１１０を、ガラス基板１０５の面取り角度に合わせて、ガラス基板１０５の表面に対してガラス基板１０５の移動方向と直交する方向に傾斜させた姿勢で、ガラス基板１０５の端部に当接させるとともに軸Ａを中心として回転させることで、面取り加工が行われる。
また、ガラス基板１０５の面取り加工を行う場合、研削工具１１０を、ガラス基板１０５の表面に対してガラス基板１０５の移動方向に傾斜させることで、砥石１１２のガラス基板１０５の移動方向における上流側端部のみがガラス基板１０５に当接するように構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−５１０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図１３に示すように、砥石１１２のガラス基板１０５の移動方向における上流側端部の一箇所のみがガラス基板１０５に当接するように研削工具１１０を傾斜させた場合、新品の研削工具１１０の使用を開始した時点では、砥石１１２はガラス基板１０５に対して極狭い面積でほぼ点接触することとなる。
砥石１１２とガラス基板１０５とが極狭い面積で接触している状態では、チッピング等が発生し易く、面取り加工を施されたガラス基板１０５の面取り品位が不安定になる問題があった。
【０００６】
そこで、本発明においては、板状物の加工品質を良好にすることができる研削工具、板状物の研削装置、及び板状物の製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する研削工具、板状物の研削装置、及び板状物の製造方法は、以下の特徴を有する。
即ち、板状物に研削加工を施す板状物の研削装置であって、略円筒形状の軸方向一端部を閉塞したカップ型に形成され、前記軸方向他端部に円環状端面を有するホイールと、前記円環状端面に沿って配置される円環形状の砥石とを有する研削工具と、前記研削工具を前記軸を中心として回転駆動させる駆動源と、前記板状物を前記研削工具に対して前記板状物の表面と平行な方向へ相対的に移動させる搬送装置とを備え、前記砥石の前記軸方向他端側の面の少なくとも一部は、内周側が外周側よりも前記軸方向他端側へ突出するテーパ面に形成され、前記研削工具を前記板状物の表面に対して前記板状物の移動方向に傾斜させた姿勢にて、前記砥石を前記板状物の端部における一箇所に当接させた状態で、前記駆動源により前記研削工具を回転駆動するとともに、前記搬送装置により前記板状物を前記研削工具に対して相対的に移動させることで、前記板状物を研削する。
このような構成により、研削工具の使用開始時点から砥石と板状物との接触面積を大きくすることができるため、板状物に生じるチッピングを抑制して板状物に対して高品位の研削加工を施すことが可能となる。
【０００８】
また、前記研削装置は、前記研削工具の周囲を覆うカバー部材を備える。
これにより、板状物の研削時に発生する研削粉が外部に飛散することを防止できる。
【０００９】
また、前記研削装置は、前記カバー部材の内部の雰囲気を前記カバー部材の外部へ吸引する吸引具を備える。
これにより、板状物の研削時に発生した研削粉をカバー部材の内部の雰囲気とともに吸引具により吸引して、カバー部材の外部に排出して回収することができる。
【００１０】
また、前記カバー部材は、略円筒形状の軸方向一端部を閉塞したカップ型に形成されて、前記ホイールの外周部及び前記軸方向一端部を覆い、前記カバー部材における前記軸方向他端側の周縁部には、可撓性を有し、前記砥石の外周部を覆う柔軟部材が付設されている。
これにより、研削工具を板状物に近づけて当接させる際に、研削工具の板状物に対する当接を阻害することがない。また、板状物の研削により発生する研削粉が板状物の外部に飛散することを防止できる。
【００１１】
また、略円筒形状の軸方向一端部を閉塞したカップ型に形成され、前記軸方向他端部に円環状端面を有するホイールと、前記円環状端面に沿って配置される円環形状の砥石とを有し、前記砥石の前記軸方向他端側の面は、内周側が外周側よりも前記軸方向他端側へ突出するテーパ面に形成される。
これにより、研削工具の使用開始時点から砥石と板状物との接触面積を大きくすることができるため、板状物に生じるチッピングを抑制して板状物に対して高品位の研削加工を施すことが可能となる。
【００１２】
また、前記テーパ面の、前記軸と直交する面に対する傾斜角度は０．１°〜１０°である。
これにより、前記砥石におけるテーパ面の一箇所のみを板状物に当接させつつ、板状物における面取り面の加工品質を安定させることが可能となる。
【００１３】
また、前記砥石は、砥粒と、前記砥粒を互いに結合保持する結合剤とを含み、前記結合剤は、合金からなる。
これにより、前記砥石を、テーパ面を有した円環形状に形成することが容易になるとともに、高い切れ味を長期間維持することが可能となる。
【００１４】
また、板状物の製造方法は、請求項５〜７の何れかに一項に記載の研削工具に対して、板状物を前記板状物の表面と平行な方向へ相対的に移動させながら、前記研削工具を前記板状物の表面に対して前記ガラス基板の移動方向に傾斜させた姿勢にて、前記砥石を前記板状物の端部における一箇所に当接させた状態で、前記研削工具を前記軸を中心として回転させることにより、前記板状物の研削を行う。
これにより、研削工具の使用開始時点から砥石と板状物との接触面積を大きくすることができるため、板状物に生じるチッピングを抑制して板状物に対して高品位の研削加工を施すことが可能となる。
【００１５】
また、前記研削工具による前記板状物の研削は、乾式研削にて行われる。
これにより、研削液の供給、回収、及び循環などを行うための設備が不要であり、研削装置を簡単な構造とすることができる。
【００１６】
また、前記研削工具は、前記砥石の前記板状物に対する当接箇所が上方から下方へ向かって移動する方向に回転される。
これにより、板状物の表面にチッピングが生じることを抑制することが可能となる。
【００１７】
また、前記研削工具の前記板状物の搬送方向に対する傾斜角度は、前記砥石と前記板状物との接触面積が最大となる角度である。
これにより、研削工具による板状物の面取り加工を安定して行うことができ、板状物の加工品質を良好にすることが可能となる。
【００１８】
また、前記板状物は、厚さが２ｍｍ以上の結晶化ガラスである。
これにより、結晶化ガラスに対して高品位の面取り加工を施すことが可能である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、板状物に対して高品位の研削加工を施すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】研削工具の軸方向一端側を示す斜視図である。
【図２】研削工具の軸方向他端側を示す斜視図である。
【図３】研削工具を示す側面断面図である。
【図４】研削装置を示す側面図である。
【図５】研削装置を示す平面図である。
【図６】研削装置を斜め上方からみた側面図である。
【図７】研削装置の正面断面図である。
【図８】研削工具及びカバー部材を示す側面断面図である。
【図９】研削工具及びカバー部材を示す底面図である。
【図１０】カバー部材を備えた研削装置を斜め上方からみた側面断面図である。
【図１１】従来の研削工具を示す側面断面図である。
【図１２】従来の研削工具を斜め上方からみた側面図である。
【図１３】従来の研削工具を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に、本発明に係る研削工具、板状物の研削装置、及び板状物の製造方法を実施するための形態を、添付の図面を用いて説明する。
【００２２】
本発明に係る板状物の研削装置の一実施形態である研削装置１は、研削工具１０と、研削工具１０を軸Ａを中心として回転駆動させる駆動源としてのモータ３と、ガラス基板５を研削工具１０に対して相対的に移動させる搬送装置２とを備えている（図４等参照）。
本実施形態における研削装置１は、ガラス基板５の端部に面取り加工を行うための研削装置に構成されている。加工対象となるガラス基板５としては、例えば厚さが２ｍｍ以上の結晶化ガラスを用いることができる。
【００２３】
図１〜図３に示すように、研削工具１０は、略円筒形状の軸Ａ方向一端部を閉塞したカップ型に形成され、軸Ａ方向他端部に円環状端面１１ａを有するホイール１１と、円環状端面１１ａに沿って配置される円環状の砥石１２とを有している。
【００２４】
ホイール１１は、本実施形態においては、軸Ａ方向の一端側から他端側へいくに従って拡径する円錐台形状に形成されているが、前記一端側と他端側とが同径に形成される円筒形状に形成することもできる。つまり、前述の略円筒形状とは、円筒形状及び円錐台形状を含むものである。
ホイール１１の軸Ａ方向の一端面には、回転軸１３を取り付けるための取付穴１１ｂが形成されている。
【００２５】
砥石１２は、円環状端面１１ａの形状に沿った円環形状に形成されており、環状端面１１ａに貼設されている。
砥石１２の軸Ａ方向他端側の先端面（環状端面１１ａ側とは反対側の面）１２ａは、内周側が外周側よりも軸Ａ方向他端側に突出するテーパ面に形成されている。
つまり、砥石１２は、外周側から内周側へいくに従って軸Ａ方向の他端側へ突出する形状に形成されており、砥石１２の厚み寸法は外周側から内周側へいくに従って大きくなっている。
【００２６】
先端面１２ａの軸Ａと直交する面（ホイール１１の円環状端面１１ａと平行な面）に対する傾斜角度θは０．１°〜１０°に設定されている。
傾斜角度θは、本実施形態では０．１°〜１０°に設定されているが、１°〜５°に設定することが好ましく、２°〜３°に設定することがさらに好ましい。
【００２７】
砥石１２は、所定の粒度の砥粒と、前記砥粒を互いに結合保持する結合剤とを含んでいる。前記砥粒は、例えばダイヤモンドにより構成される。前記結合剤は、例えば合金などの金属、樹脂、又はセラミックスにより構成される。本実施形態の場合、前記結合剤は鉄（Ｆｅ）、コバルト（Ｃｏ）、銅（Ｃｕ）、及び錫（Ｓｎ）を含む合金にて構成されており、砥石１２は所謂メタルボンド砥石に構成されている。
【００２８】
このように、メタルボンド砥石に構成される砥石１２は、結合剤が硬く高い切れ味を長期間維持することが可能である。また、ガラスやセラミックスなどの硬脆性材料の研削に適しており、ガラス基板５の面取り加工に用いた場合、加工品質を良好にすることが可能である。
また、砥石１２は、砥粒と結合剤とを含んでいるため、様々な形状への加工が容易である。従って、砥石１２を、テーパ面に形成される先端面１２ａを有した円環形状に形成することが容易となっている。
【００２９】
図４〜図７に示すように、ホイール１１の取付穴１１ｂには回転軸１３が取り付けられており、回転軸１３は軸Ａを中心としてホイール１１と一体的に回転可能に構成されている。
モータ３は回転軸１３に接続されており、研削工具１０はモータ３により回転軸１３を介して軸Ａを中心として回転駆動される。
【００３０】
搬送装置２は、例えば水平方向に配置されるベルトコンベアにて構成されており、搬送装置２上にガラス基板５が水平に載置されている。
本実施形態の場合、研削工具１０の位置が固定されており、ガラス基板５を搬送装置２により搬送することで、ガラス基板５が研削工具１０に対して相対的に移動するように構成しているが、ガラス基板５の位置を固定して、研削工具１０が移動するように構成することも可能である。
【００３１】
研削装置１においては、研削工具１０によってガラス基板５の端部に面取り加工が行われ、ガラス基板５の端部には面取り面５ａが形成されるが、搬送装置２は、ガラス基板５を、面取り加工が行われる端部が延在する方向に沿って（図４、図５における左方から右方へ向かって）水平に搬送するように構成されている。
研削工具１０は、面取り加工が行われるガラス基板５の端部が、研削工具１０の回転中心を通過する位置に配置され、砥石１２の先端面１２ａがガラス基板５の端部に当接している。
【００３２】
研削装置１において、研削工具１０は、ガラス基板５の面取り角度、即ち面取り面５ａの傾斜角度に合わせて、ガラス基板５の表面に対してガラス基板５の搬送方向と直交する方向に傾斜させた姿勢で配置されている（図７参照）。
また、研削工具１０は、ガラス基板５の表面に対してガラス基板５の搬送方向に傾斜されている。これにより、砥石１２のガラス基板５の搬送方向における上流側部分のみがガラス基板５に当接することとなっている（図６参照）。
【００３３】
研削工具１０の、ガラス基板５の表面に対するガラス基板５の搬送方向への傾斜角度は、ガラス基板５に当接する砥石１２における前記上流側部分とガラス基板５との接触面積が最大となる角度に設定されている。
具体的には、研削工具１０の、ガラス基板５の表面に対するガラス基板５の搬送方向への傾斜角度は、砥石１２の先端面１２ａの傾斜角度θと同じ角度に設定されている。これにより、砥石１２の先端面１２ａと、ガラス基板５の面取り面５ａとが平行になり、砥石１２とガラス基板５の接触面積が最大となる。
【００３４】
研削装置１においては、砥石１２のガラス基板５の搬送方向における上流側部分を、水平に配置されたガラス基板５の端部に当接させた状態で、ガラス基板５を搬送装置２により水平方向に搬送しながら、モータ３により研削工具１０を軸Ａを中心として回転させることにより、ガラス基板５の端部が研削されて面取り面５ａが形成される。
【００３５】
この場合、研削工具１０は、砥石１２のガラス基板５の搬送方向における上流側端部のみがガラス基板５に当接するように傾斜しているが、砥石１２の先端面１２ａは、内周側が外周側よりも突出するテーパ面に形成されているため、新品の研削工具１０の使用開始時点であっても、砥石１２とガラス基板５とが面で接触することとなり、互いの接触面積を大きくすることができる。
このように、研削工具１０の使用開始時点から砥石１２とガラス基板５との接触面積を大きくすることができるため、生産効率を向上するとともに、ガラス基板５に生じるチッピングを抑制してガラス基板５に対して高品位の面取り加工を施すことが可能となる。
【００３６】
また、研削工具１０の、ガラス基板５の表面に対するガラス基板５の搬送方向への傾斜角度は、砥石１２とガラス基板５の接触面積が最大となる角度に設定されているため、研削工具１０によるガラス基板５の面取り加工を安定して行うことができ、ガラス基板５の加工品質を良好にすることが可能となっている。
【００３７】
また、本実施形態においては、テーパ面に形成される砥石１２の先端面１２ａの傾斜角度θを０．１°〜１０°に設定しているため、先端面１２ａの一箇所のみをガラス基板５に当接させつつ、ガラス基板５における面取り面５ａの加工品質を安定させることが可能となっている。
【００３８】
また、研削工具１０によるガラス基板５の研削は、ガラス基板５の研削部分に水などの研削液を供給しない乾式研削にて行われる。
このように、研削装置１におけるガラス基板５の研削は乾式研削にて行われるため、研削液の供給、回収、及び循環などを行うための設備が不要であり、研削装置１を簡単な構造とすることができる。
【００３９】
また、研削工具１０は軸Ａを中心として回転されるが、その回転方向は、ガラス基板５と当接する箇所となる、砥石１２のガラス基板５の搬送方向における軸Ａよりも上流側の部分が上方から下方へ移動する方向となっている。
これにより、ガラス基板５の端部は、上方から下方へ移動する砥石１２によって表面側から端面側へ向けて研削されることとなり、ガラス基板５の表面にチッピングが生じることを抑制することが可能となっている。
【００４０】
図８、図９に示すように、研削装置１には、研削工具１０を覆うカバー部材２１を設けることができる。
カバー部材２１は、略円筒形状の軸Ａ方向の一端部を閉塞したカップ型に形成されており、ホイール１１の外周部及び軸Ａ方向の一端部を覆っている。研削工具１０の砥石１２は、カバー部材２１の軸Ａ方向の他端部からカバー部材２１の外部へ露出している。
【００４１】
カバー部材２１における軸Ａ方向他端側の周縁部２１ａには、可撓性を有する柔軟部材にて形成されたブラシ２２が付設されている。ブラシ２２は周縁部２１ａから軸Ａ方向の他端側へ延出し、周縁部２１ａの全周にわたって付設されている。ブラシ２２は砥石１２の先端面１２ａよりも軸Ａ方向の他端側へ延出しており、砥石１２の外周部を覆っている。
【００４２】
カバー部材２１の軸Ａ方向の一端面には吸引孔２１ｂが形成されており、吸引孔２１ｂには吸引管２３の一端部が接続されている。吸引管２３の他端部には吸引具２４が接続されている。
吸引具２４は、カバー部材２１の内部の雰囲気を吸引管２３を介して吸引し、カバー部材２１の外部へ排出可能に構成されている。
【００４３】
図１０に示すように、カバー部材２１、ブラシ２２、及び吸引具２４を備えた研削装置１においては、研削工具１０によりガラス基板５の面取り加工を行う際に、研削工具１０とガラス基板５との当接箇所がカバー部材２１及びブラシ２２により覆われることとなる。前記当接箇所ではガラス基板５が研削されて研削粉が発生するが、前記当接箇所はカバー部材２１及びブラシ２２により覆われているため、前記研削粉が外部に飛散することを防止できる。
【００４４】
また、ガラス基板５の面取り加工を行う際に吸引具２４を作動させることで、前記当接箇所にて発生した研削粉をカバー部材２１内部の雰囲気とともに吸引具２４により吸引して、カバー部材２１の外部に排出して回収することができる。
【００４５】
また、研削工具１０をガラス基板５に近づけて当接させる際、研削工具１０がガラス基板５に当接する前にブラシ２２がガラス基板５に当接するが、ブラシ２２は可撓性を有する柔軟部材にて形成されていて、ガラス基板５に当接した際に屈曲することが可能なため、研削工具１０のガラス基板５に対する当接を阻害することがない。
さらに、研削工具１０とガラス基板５との当接部がブラシ２２により覆われるため、ガラス基板５の研削により発生する研削粉がカバー部材２１の外部に飛散することを防止できる。
【００４６】
本実施形態においては、研削工具１０の砥石１２の外周部を覆う部材としてブラシ２２が設けられているが、可撓性を有する柔軟部材であればこれに限るものではない。例えば、カバー部材２１における軸Ａ方向他端側の周縁部２１ａには、布状のカーテン部材を取り付けることができる。
【符号の説明】
【００４７】
１      研削装置
２      搬送装置
３      モータ
５      ガラス基板
１０      研削工具
１１      ホイール
１２      砥石
１２ａ    先端面
２１      カバー部材
２１ａ    周縁部
２２      ブラシ
２４      吸引具
【図１】
2018020393.tif 000003
【図２】
2018020393.tif 000004
【図３】
2018020393.tif 000005
【図４】
2018020393.tif 000006
【図５】
2018020393.tif 000007
【図６】
2018020393.tif 000008
【図７】
2018020393.tif 000009
【図８】
2018020393.tif 000010
【図９】
2018020393.tif 000011
【図１０】
2018020393.tif 000012
【図１１】
2018020393.tif 000013
【図１２】
2018020393.tif 000014
【図１３】
2018020393.tif 000015