(57)【要約】【課題】基板ホルダにおいて大型の基板の保持を向上させる。【解決手段】基板を挟持して固定する第１及び第２保持部材を備え、前記第１保持部材は、第１保持部材本体と、前記第１保持部材本体に設けられ、前記第１保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能な又は前記第１保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクランプと、を有し、前記第２保持部材は、第２保持部材本体を有し、前記クランプは、前記第１保持部材本体及び前記第２保持部材本体が互いに当接した状態で前記第２保持部材に係合し、前記第２保持部材を前記第１保持部材に固定可能に構成されている、基板ホルダ。【選択図】図２Ｃ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を挟持して固定するための第１及び第２保持部材を備え、
前記第１保持部材は、第１保持部材本体と、前記第１保持部材本体に設けられ、前記第１保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能な又は前記第１保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクランプと、を有し、
前記第２保持部材は、第２保持部材本体を有し、
前記クランプは、前記第１保持部材本体及び前記第２保持部材本体が互いに当接した状態で前記第２保持部材に係合し、前記第２保持部材を前記第１保持部材に固定可能に構成されている、
基板ホルダ。
【請求項２】
請求項１に記載の基板ホルダにおいて、
前記クランプは、第１付勢部材によって閉じる方向に付勢されており、
前記クランプが開いた状態で前記第２保持部材本体を前記第１保持部材本体に当接させ、その後、前記クランプを閉じた状態で、前記第２保持部材を前記第１保持部材に固定可能に構成されている、基板ホルダ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、複数のクランプを有し、これらの複数のクランプを連結する連結部材を更に有し、
前記連結部材は、前記複数のクランプを同期して動作させるように構成されている、基板ホルダ。
【請求項４】
請求項３に記載の基板ホルダにおいて、
前記連結部材は、前記第１保持部材本体に回転可能に取り付けられた回転軸である、基板ホルダ。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の基板ホルダにおいて、
前記連結部材に設けられた第１力受部を有し、
前記連結部材は、前記第１力受部に力が与えられることにより動作するように構成される、基板ホルダ。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載の基板ホルダにおいて、
前記クランプは、先端に係合部を有し、
前記第２保持部材は、前記クランプの前記係合部を受け入れる形状の係合受部を有する、基板ホルダ。
【請求項７】
請求項６に記載の基板ホルダにおいて、
前記係合受部は、前記第２保持部材本体と別体であり、前記第２保持部材本体に取り付けられている、基板ホルダ。
【請求項８】
請求項１乃至７に記載の基板ホルダにおいて、前記基板を保持するためのクリップを更に有した、基板ホルダ。
【請求項９】
請求項８に記載の基板ホルダにおいて、
前記クリップは、前記第２保持部材本体の基板と当接する側の面に前記第２保持部材に設けられ、前記第２保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能又は前記第２保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能である、基板ホルダ。
【請求項１０】
請求項９に記載の基板ホルダにおいて、
前記クリップは、第２付勢部材によって閉じる方向に付勢されている、基板ホルダ。
【請求項１１】
請求項１０に記載の基板ホルダにおいて、
前記第２保持部材は、前記第２保持部材本体に設けられた第２力受部を有し、
前記第２力受部は、前記基板と当接する側の面とは反対の面から力を受けて、前記クリップに当接するように変位可能に構成されており、
前記クリップは、前記第２力受部に押圧されることによって前記第２付勢部材に抗して開くように構成されている、基板ホルダ。
【請求項１２】
請求項１乃至１１の何れかに記載の基板ホルダにおいて、
前記第１保持部材は、前記基板と当接する面において、前記第１弾性突出部を保持する第１ホルダと、前記第１ホルダとは別の第２ホルダであって前記第２弾性突出部を保持する前記第２ホルダと、を更に備える、基板ホルダ。
【請求項１３】
請求項１乃至１２の何れかに記載の基板ホルダにおいて、前記基板ホルダは、一端側にアーム部を備えている、基板ホルダ。
【請求項１４】
請求項１乃至１３の何れかに記載の基板ホルダにおいて、前記基板ホルダは、矩形形状の基板を保持するように構成されている、基板ホルダ。
【請求項１５】
基板を保持するための基板ホルダと、
基板ホルダを受け入れて前記基板にめっき処理するめっき槽と、
を備え、
前記基板ホルダは、基板を挟持して固定するための第１及び第２保持部材を備え、
前記第１保持部材は、第１保持部材本体と、前記第１保持部材本体に設けられ、前記第１保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能な又は前記第１保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクランプと、を有し、
前記第２保持部材は、第２保持部材本体を有し、
前記クランプは、前記第１保持部材本体及び前記第２保持部材本体が互いに当接した状態で前記第２保持部材に係合し、前記第２保持部材を前記第１保持部材に固定可能に構成されている、基板ホルダを備える、めっき装置。
【請求項１６】
基板を保持する方法であって、
前記基板を第１及び第２保持部材の間に挟持し、
前記第１保持部材の面に平行な軸の周りを回転可能な又は前記第１保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクランプによって、前記第２保持部材を前記第１保持部材側に押圧するように固定する、方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の基板を保持する方法において、
前記基板を第１及び第２保持部材の間に挟持する際に、
前記基板を前記第２保持部材の上に置いて、前記基板をクリップで保持し、前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに近づけて、前記基板を前記第１及び第２保持部材の間に挟持するようにした、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板ホルダ、めっき装置、及び基板を保持する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハやプリント基板等の基板の表面に配線やバンプ（突起状電極）等を形成したりすることが行われている。この配線及びバンプ等を形成する方法として、電解めっき法が知られている。
【０００３】
電解めっき法に用いるめっき装置では、円形又は多角形の基板の端面をシールし、表面（被めっき面）を露出させて保持する基板ホルダを備える。このようなめっき装置において基板表面にめっき処理を行うときは、基板を保持した基板ホルダをめっき液中に浸漬させる。
【０００４】
特許文献１には、半導体ウェハの基板ホルダが記載されている。この基板ホルダでは、固定保持部材（第１保持部材２２）に載置した基板を可動保持部材（第２保持部材２４）で挟み、第２保持部材２４上の押えリング２７を回転させて第１保持部材２２上のクランパ３３と係合させることによって、基板を基板ホルダに固定している。
特許文献２には、角形のプリント基板の基板保持用治具が記載されている。この基板保持用治具では、矩形のフレーム２０に設けられた４箇所の把持部材３０でプリント基板Ｐを固定している。
特許文献３には、基板を水平な状態で搬送し、めっきユニット２６の保持ベース４２上に水平に保持された状態でめっき処理を施すめっき装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１６−１１７９１７号公報
【特許文献２】特許第４１７９７０７号公報
【特許文献３】特開２００９−２７０１６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の構成は、円形の半導体ウェハをめっき処理するためのものであるが、現在、種々の寸法、形状、厚みの基板をめっき処理することが要請されてきている。特に、特許文献１の基板ホルダで大型薄膜の基板を保持する場合、押えリングの回転によって基板に撓みを生じる可能性がある。
特許文献２に記載の基板保持用治具では、把持部材３０の一対のブロック３１、３２の間に基板の端部を挟み込んだ状態で両ブロックをねじ止めして基板を把持部材３０で固定するが、この構成は、基板保持用治具による保持を自動化するのに適していない。
特許文献３に記載の構成では、ガラス基板の被処理面を上向きにしたまま、装置内を搬送し処理することによって、複雑な姿勢転換機構を設けることなく装置を小型化することが記載されている。しかし、ガラス基板よりも薄膜で反りがあるような基板を処理する場合、被処理面を上向きにしたまま搬送すると、基板表面に傷を生じたり、基板が破損するおそれがある。
【０００７】
本発明の目的は、上述した課題の少なくとも一部を解決することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
［１］  本発明の一形態に係る基板ホルダは、基板を挟持して固定する第１及び第２保持部材を備え、  前記第１保持部材は、第１保持部材本体と、前記第１保持部材本体に設けられ、前記第１保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能な又は前記第１保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクランプと、を有し、  前記第２保持部材は、第２保持部材本体を有し、  前記クランプは、前記第１保持部材本体及び前記第２保持部材本体が互いに当接した状態で前記第２保持部材に係合し、前記第２保持部材を前記第１保持部材に固定可能に構成されている。
【０００９】
この基板ホルダによれば、第１保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能な又は第１保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクランプによって、基板を挟持する第１保持部材と第２保持部材とを互いに固定するため、基板に回転方向の力が加わることを抑制ないし防止できる。特に基板が大型薄膜である場合は、基板に回転方向の力が加わると基板に撓みを生じるおそれがあるが、この基板ホルダによれば、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。
【００１０】
［２］  ［１］に記載の基板ホルダにおいて、  前記クランプは、第１付勢部材によって閉じる方向に付勢されており、  前記クランプが開いた状態で前記第２保持部材本体を前記第１保持部材本体に当接させ、その後、前記クランプを閉じた状態で、前記第２保持部材を前記第１保持部材に固定可能に構成されている。
この構成では、クランプがノーマルクローズ型であるため、第２保持部材本体を第１保持部材本体に当接する際にクランプを開けば、クランプした状態ではアクチュエータ等によって外部から力を加える必要がなく、エネルギー消費を抑制できる。
【００１１】
［３］  ［１］又は［２］に記載の基板ホルダにおいて、  前記第１保持部材は、複数のクランプを有し、これらの複数のクランプを連結する連結部材を更に有し、  前記連結部材は、前記複数のクランプを同期して動作させるように構成されている。
この構成では、第２保持部材を複数の箇所でクランプによって挟持することが可能であり、また、連結部材によって各クランプの動作が同期されるので、クランプ動作を効率よく行うことができる。また、複数のクランプを連結部材で連動させることで、外部から力を加えるアクチュエータの構成を簡易にすることができる。
【００１２】
［４］  ［３］に記載の基板ホルダにおいて、  前記連結部材は、前記第１保持部材本体に回転可能に取り付けられた回転軸である。
この場合、連結部材を回転軸によって構成することにより構成が簡易であり、各クランプを確実に同期させることができる。
【００１３】
［５］  ［３］又は［４］に記載の基板ホルダにおいて、  前記連結部材に設けられた第１力受部を有し、  前記第１力受部は、前記連結部材は、前記第１力受部に力が与えられることにより動作するように構成される。
この場合、例えばアクチュエータで第１力受部に力を加えることで、連動部材を介して各クランプを動作させることができるので、クランプによる保持を自動化することが容易である。
【００１４】
［６］  ［１］乃至［５］の何れかに記載の基板ホルダにおいて、  前記クランプは、先端に係合部を有し、  前記第２保持部材は、前記クランプの前記係合部を受け入れる形状の係合受部を有する。
この場合、第２保持部材にクランプの係合部を受け入れる形状の係合受部を設けることによって、クランプによる係合を向上し得る。
【００１５】
［７］  ［６］に記載の基板ホルダにおいて、  前記係合受部は、前記第２保持部材本
体と別体であり、前記第２保持部材本体に取り付けられている。
この場合、別体の係合受部を第２保持部材本体に取り付ける構成とすることで、係合受部の寸法、形状、個数等を適宜選択することが容易になる。
【００１６】
［８］  ［１］乃至［７］に記載の基板ホルダにおいて、前記基板を保持するためのクリップを更に有することが可能である。基板をクリップで保持した後、第１及び第２保持部材で基板を挟持するので、基板の保持を正確かつ確実に行うことができる。
［９］  ［８］に記載の基板ホルダにおいて、前記クリップは、前記第２保持部材本体の基板と当接する側の面に設けられ、前記基板を保持するためのクリップを更に有し、  前記クリップは、前記第２保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能又は前記第２保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能である。
この基板ホルダによれば、第２保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能な又は第２保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクリップによって、基板を第２保持部材に固定するため、基板に回転方向等の基板面に平行な方向の力が加わることを抑制ないし防止できる。特に基板が大型薄膜である場合は、基板に回転方向等の基板面に平行な方向の力が加わると基板に撓みを生じるおそれがあるが、この基板ホルダによれば、大型薄膜の基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。また、クリップによる基板固定後の第２保持部材の移動、姿勢の変更等が容易である。
【００１７】
［１０］  ［９］に記載の基板ホルダにおいて、  前記クリップは、第２付勢部材によって閉じる方向に付勢されている。
この構成では、クリップがノーマルクローズ型であるため、基板を第２保持部材本体に当接する際にクリップを開けば、クリップした状態ではアクチュエータ等によって外部から力を加える必要がなく、エネルギー消費を抑制できる。
【００１８】
［１１］  ［１０］に記載の基板ホルダにおいて、  前記第２保持部材は、前記第２保持部材本体に設けられた第２力受部を有し、  前記第２力受部は、前記基板と当接する側の面とは反対の面から力を受けて、前記クリップに当接するように変位可能に構成されており、  前記クリップは、前記第２力受部に押圧されることによって前記第２付勢部材に抗して開くように構成されている。
この場合、例えばアクチュエータで第２力受部に力を加えることで、クリップを動作させることができるので、クリップによる固定を自動化することが容易である。基板と当接する側の面とは反対の面から力を受ける第２力受部を設けるため、アクチュエータを基板当接面とは反対側に配置することができ、基板固定後の第２保持部材の移動、姿勢の変更等が容易である。
【００１９】
［１２］  ［１］乃至［１１］の何れかに記載の基板ホルダにおいて、  前記第１保持部材は、前記基板と当接する面において、前記第１弾性突出部を保持する第１ホルダと、前記第１ホルダとは別の第２ホルダであって前記第２弾性突出部を保持する前記第２ホルダと、を更に備える。
この場合、第１弾性突出部及び第２弾性突出部を保持するホルダを別々に設けるので、各弾性突出部の交換を別々に行うことができる。
【００２０】
［１３］  ［１］乃至［１２］の何れかに記載の基板ホルダにおいて、前記基板ホルダは、一端側にアーム部を備えている。
この場合、アーム部で基板ホルダを垂直に懸架した状態で搬送することが可能となり、基板表面の破損のおそれを抑制または防止できる。
【００２１】
［１４］  ［１］乃至［１３］の何れかに記載の基板ホルダにおいて、前記基板ホルダは、矩形形状の基板を保持するように構成されている。
大型薄膜の矩形形状基板を、撓みを生じずに保持することができる。
【００２２】
［１５］  本発明の一形態に係るめっき装置は、基板を保持する基板ホルダと、基板ホルダを受け入れて前記基板にめっき処理するめっき槽と、を備える。基板ホルダは、前記基板ホルダは、基板を挟持して固定する第１及び第２保持部材を備える。前記第１保持部材は、第１保持部材本体と、前記第１保持部材本体に設けられ、前記第１保持部材本体の面に平行な軸の周りを回転可能な又は前記第１保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクランプと、を有する。前記第２保持部材は、第２保持部材本体を有する。前記クランプは、前記第１保持部材本体及び前記第２保持部材本体が互いに当接した状態で、前記第２保持部材を前記第１保持部材側に押圧するように前記第２保持部材に係合するように構成されている。
このめっき装置によれば、［１］で前述したと同様の採用効果を奏する。また、大型薄膜の基板を適切に基板ホルダに保持できるため、めっき品質を確保、向上できる。
【００２３】
［１６］  本発明の一形態に係る基板を保持する方法では、  前記基板を第１及び第２保持部材の間に挟持し、  前記第１保持部材の面に平行な軸の周りを回転可能な又は前記第１保持部材本体の面に交差する方向に往復移動可能なクランプによって、前記第２保持部材を前記第１保持部材側に押圧するように固定する。
この方法によれば、［１］で前述したと同様の作用効果を奏する。
【００２４】
［１７］  ［１６］に記載の基板を保持する方法において、  前記基板を第１及び第２保持部材の間に挟持する際に、  前記基板を前記第２保持部材の上に置いて、前記基板をクリップで保持し、  前記第１保持部材と前記第２保持部材とを互いに近づけて、前記基板を前記第１及び第２保持部材の間に挟持するようにしてもよい。
この場合、基板を第２保持部材にクリップで保持した後、第１及び第２保持部材で基板を挟持するので、クリップによる基板保持後の第２保持部材の移動、姿勢の変更等が可能となるとともに、基板の保持を正確かつ確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板ホルダが使用されるめっき装置の全体配置図である。
【図２Ａ】一実施形態に係る基板ホルダの概略正面図である。
【図２Ｂ】基板ホルダの概略側面図である。
【図２Ｃ】基板ホルダの概略背面図である。
【図３Ａ】基板ホルダの前方斜視図である。
【図３Ｂ】基板ホルダの後方斜視図である。
【図４Ａ】基板ホルダの前面図である。
【図４Ｂ】基板ホルダの背面図である。
【図５Ａ】バックプレートの正面図である。
【図５Ｂ】バックプレートの背面図である。
【図６Ａ】バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大背面図である。
【図６Ｂ】バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大斜視図である。
【図７】クランプと連結部材の関係を示す斜視図である。
【図８Ａ】クランプ状態のクランプの斜視図である。
【図８Ｂ】クランプ状態のクランプの側面図である。
【図９Ａ】クランプ状態のクランプの断面斜視図である。
【図９Ｂ】クランプ状態のクランプの断面図である。
【図１０Ａ】アンクランプ状態のクランプの構成を示す斜視図である。
【図１０Ｂ】アンクランプ状態のクランプの側面図である。
【図１１Ａ】アンクランプ状態のクランプの断面斜視図である。
【図１１Ｂ】アンクランプ状態のクランプの構成を示す断面図である。
【図１２Ａ】バックプレートのクリップを示す一部切欠き側面図である。
【図１２Ｂ】バックプレートのクリップを示す一部拡大斜視図である。
【図１３Ａ】閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。
【図１３Ｂ】閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。
【図１４Ａ】開放時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。
【図１４Ｂ】開放時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。
【図１５】フロントプレートのインナーシール部を示す断面図である。
【図１６】フロントプレートのインナーシール部及びアウターシール部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の各実施形態において、同一または相当する部材には同一符号を付して重複した説明を省略する。また、本明細書において「前面」、「背面」、「フロント」、「バック」、「上」、「下」、「左」、「右」等の表現を用いるが、これらは、説明の都合上、例示の図面の紙面上における位置、方向を示すものであり、装置使用時等の実際の配置では異なる場合がある。
【００２７】
図１は、本発明の一実施形態に係る基板ホルダが使用されるめっき装置の全体配置図である。図１に示すように、このめっき装置１００は、基板ホルダ１に基板（被処理物の一例に相当する）をロードし、又は基板ホルダ１から基板をアンロードするロード／アンロード部１１０と、基板を処理する処理部１２０と、洗浄部５０ａとに大きく分けられる。処理部１２０は、さらに、基板の前処理及び後処理を行う前処理・後処理部１２０Ａと、基板にめっき処理を行うめっき処理部１２０Ｂとを含む。なお、このめっき装置１００で処理する基板は、角形基板、円形基板を含む。また、角形基板は、矩形等の多角形のガラス基板、液晶基板、プリント基板、その他の多角形のめっき対象物を含む。円形基板は、半導体ウェハ、ガラス基板、その他の円形のめっき対象物を含む。
【００２８】
ロード／アンロード部１１０は、２台のカセットテーブル２５と、基板脱着機構２９とを有する。カセットテーブル２５は、半導体ウェハ、ガラス基板、液晶基板、プリント基板等の基板を収納したカセット２５ａを搭載する。基板脱着機構２９は、基板を基板ホルダ１（図２Ａ以降で後述）に着脱するように構成される。また、基板脱着機構２９の近傍（例えば下方）には基板ホルダ１を収容するためのストッカ３０が設けられる。これらのユニット２５，２９，３０の中央には、これらのユニット間で基板を搬送する搬送用ロボットからなる基板搬送装置２７が配置されている。基板搬送装置２７は、走行機構２８により走行可能に構成される。
【００２９】
洗浄部５０ａは、めっき処理後の基板を洗浄して乾燥させる洗浄装置５０を有する。基板搬送装置２７は、めっき処理後の基板を洗浄装置５０に搬送し、洗浄された基板を洗浄装置５０から取り出すように構成される。
【００３０】
前処理・後処理部１２０Ａは、プリウェット槽３２と、プリソーク槽３３と、プリリンス槽３４と、ブロー槽３５と、リンス槽３６と、を有する。プリウェット槽３２では、基板が純水に浸漬される。プリソーク槽３３では、基板の表面に形成したシード層等の導電層の表面の酸化膜がエッチング除去される。プリリンス槽３４では、プリソーク後の基板が基板ホルダと共に洗浄液（純水等）で洗浄される。ブロー槽３５では、洗浄後の基板の液切りが行われる。リンス槽３６では、めっき後の基板が基板ホルダと共に洗浄液で洗浄される。プリウェット槽３２、プリソーク槽３３、プリリンス槽３４、ブロー槽３５、リ
ンス槽３６は、この順に配置されている。なお、このめっき装置１００の前処理・後処理部１２０Ａの構成は一例であり、めっき装置１００の前処理・後処理部１２０Ａの構成は限定されず、他の構成を採用することが可能である。
【００３１】
めっき処理部１２０Ｂは、オーバーフロー槽３８を備えた複数のめっき槽３９を有する。各めっき槽３９は、内部に一つの基板を収納し、内部に保持しためっき液中に基板を浸漬させて基板表面に銅めっき等のめっきを行う。ここで、めっき液の種類は、特に限られることはなく、用途に応じて様々なめっき液が用いられる。
【００３２】
めっき装置１００は、これらの各機器の側方に位置して、これらの各機器の間で基板ホルダを基板とともに搬送する、例えばリニアモータ方式を採用した基板ホルダ搬送装置３７を有する。この基板ホルダ搬送装置３７は、基板脱着機構２９、プリウェット槽３２、プリソーク槽３３、プリリンス槽３４、ブロー槽３５、リンス槽３６、及びめっき槽３９との間で基板ホルダを搬送するように構成される。
【００３３】
以上のように構成されるめっき装置１００を複数含むめっき処理システムは、上述した各部を制御するように構成されたコントローラ１７５を有する。コントローラ１７５は、所定のプログラムを格納したメモリ１７５Ｂと、メモリ１７５Ｂのプログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１７５Ａと、ＣＰＵ１７５Ａがプログラムを実行することで実現される制御部１７５Ｃとを有する。制御部１７５Ｃは、例えば、基板搬送装置２７の搬送制御、基板脱着機構２９における基板の基板ホルダへの着脱制御、基板ホルダ搬送装置３７の搬送制御、各めっき槽３９におけるめっき電流及びめっき時間の制御、並びに、各めっき槽３９に配置されるアノードマスク（図示せず）の開口径及びレギュレーションプレート（図示せず）の開口径の制御等を行うことができる。また、コントローラ１７５は、めっき装置１００及びその他の関連装置を統括制御する図示しない上位コントローラと通信可能に構成され、上位コントローラが有するデータベースとの間でデータのやり取りをすることができる。ここで、メモリ１７５Ｂを構成する記憶媒体は、各種の設定データや後述するめっき処理プログラム等の各種のプログラムを格納している。記憶媒体としては、コンピュータで読み取り可能なＲＯＭやＲＡＭなどのメモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭやフレキシブルディスクなどのディスク状記憶媒体などの公知のものが使用され得る。
【００３４】
［基板ホルダ］
図２Ａは、一実施形態に係る基板ホルダの概略正面図である。図２Ｂは、基板ホルダの概略側面図である。図２Ｃは、基板ホルダの概略背面図である。図３Ａは、基板ホルダの前方斜視図である。図３Ｂは、基板ホルダの後方斜視図である。図４Ａは、基板ホルダの前面図である。図４Ｂは、基板ホルダの背面図である。
【００３５】
基板ホルダ１は、フロントプレート３００とバックプレート４００とを備えている。これらのフロントプレート３００とバックプレート４００との間に基板Ｓが保持される。本実施例では、基板ホルダ１は、基板Ｓの片面を露出した状態で基板Ｓを保持する。基板Ｓは、半導体ウェハ、ガラス基板、液晶基板、プリント基板、その他の被めっき物であり得る。基板Ｓは、円形、角形等の何れの形状である。なお、以下の説明では、角形の基板を例に挙げて説明するが、基板ホルダ１の開口部の形状を変更すれば、円形その他の形状の基板を保持することが可能である。
【００３６】
フロントプレート３００は、フロントプレート本体３１０と、アーム部３３０とを備えている。アーム部３３０は、基板ホルダ搬送装置３７に把持される把持部分であり、めっき槽３９に配置される際に支持される部分である。基板ホルダ１は、めっき装置の設置面に対して、垂直に立てた状態で搬送され、垂直に立てた状態でめっき槽３９内に配置され
る。
【００３７】
フロントプレート本体３１０は、概ね矩形状であり、前面３０１と背面３０２とを有する。フロントプレート本体３１０は、取付部３２０によって２箇所でアーム部３３０に取り付けられている。フロントプレート本体３１０には、開口部３０３が設けられており、開口部３０３から基板Ｓの被めっき面が露出される。本実施形態では、開口部３０３は、矩形状の基板Ｓに対応して矩形状に形成されている。なお、基板Ｓが円形の半導体ウェハ等である場合には、開口部３０３の形状も円形に形成される。
【００３８】
フロントプレート本体３１０のアーム部３３０に近い側には、配線バッファ部３１１が設けられている。配線バッファ部３１１は、アーム部３３０を介してフロントプレート本体３１０まで到達するケーブルの分配を行う領域であり、また、予備の長さのケーブルを収容する領域である。配線バッファ部３１１は、フロントプレート本体３１０の他の部分よりも若干厚みを持って形成されている（図２Ｂ参照）。アーム部３３０の一端側には、外部の配線と電気的に接続するためのコネクタ３３１が設けられている（図３Ａ等参照）。バックプレート４００は、フロントプレート本体３１０の背面３０２にクランプ３４０によって固定される（図２Ｃ、図３Ｂ、図４Ｂ）。
【００３９】
（バックプレートのフロントプレートへの取付構造）
図５Ａは、バックプレートの正面図である。図５Ｂは、バックプレートの背面図である。図６Ａは、バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大背面図である。図６Ｂは、バックプレートの取り付け状態を示す、基板ホルダの一部拡大斜視図である。図７は、クランプと連結部材の関係を示す斜視図である。
【００４０】
バックプレート４００は、バックプレート本体４１０を備え、バックプレート本体４１０は、概ね矩形状であるが、フロントプレート３００のフロントプレート本体３１０よりも小さい寸法を有する（図３Ｂ、図４Ｂ）。バックプレート本体４１０は、前面４０１（図５Ａ）と背面４０２（図５Ｂ）とを有する。
【００４１】
バックプレート本体４１０の前面４０１は、基板Ｓの載置面であり、フロントプレート本体３１０の背面３０２に取り付けられる。バックプレート本体４１０の前面４０１には、基板Ｓを保持（固定）するためのクリップ４２０が、基板Ｓの各辺に対応して合計８個設けられている。この例では、クリップ４２０は、基板Ｓの上辺及び下辺にそれぞれ１個づつ、左片及び右辺にそれぞれ３個づつ配置されている。なお、クリップ４２０の数及び配置は、基板Ｓの寸法、形状に応じて適宜選択されるものであり、図示の数及び配置に限定されない。
【００４２】
バックプレート本体４１０の４隅のうちの３隅には、位置決め片４９０が設けられている。位置決め片４９０には、貫通孔４９０ａが形成されている。位置決め片４９０は、バックプレート本体４１０と一体に形成してもよいし、バックプレート本体４１０とは別体で形成し、バックプレート本体４１０に取り付けるようにしてもよい。フロントプレート本体３１０の背面３０２には、位置決め片４９０の各々に対応する位置に位置決めピン３９０が設けられている（図６Ａ，Ｂ）。位置決めピン３９０は、フロントプレート本体３１０と一体に形成してもよいし、フロントプレート本体３１０とは別体で形成し、フロントプレート本体３１０に取り付けるようにしてもよい。バックプレート４００をフロントプレート３００に取り付ける際に、バックプレート４００の位置決め片４９０の貫通孔４９０ａに位置決めピン３９０を挿通させ、両者の位置合わせを行う。
【００４３】
フロントプレート３００の背面３０２には、図４Ｂに示すように、バックプレート４００の４辺の各辺に対応して、固定部材３５０が配置されている。２つの固定部材３５０が
、バックプレート４００の１辺に対して設けられており、バックプレート４００の１辺に沿って並んで配置されている。各固定部材３５０には、図６Ａ、図６Ｂ、図７に示すように、２つのクランプ３４０が取り付けられている。よって、１辺あたり、４つのクランプ３４０が設けられている。また、各辺の２つの固定部材３５０の間には、４つのクリップ４２０を同時に動作させるためのレバー３４２が取り付けられている。
【００４４】
各辺の２つの固定部材３５０に亘って回転軸３４１が取り付けられている。回転軸３４１は、固定部材３５０に対して回転自在に取り付けられている（図７）。各クランプ３４０及びレバー３４２は、回転軸３４１にキー結合（キー及びキー溝）によって回転不能に取り付けられている（図８Ａ，Ｂ、図９Ａ，Ｂ）。４つのクランプ３４０は、同一の位相で回転軸３４１に取り付けられているが、レバー３４２は、４つのクランプ３４０とは異なる位相で回転軸３４１に取り付けられている。この構成により、レバー３４２が回転すると、それに伴い、４つのクランプ３４０が同期して回転する。なお、ここでは、フロントプレート本体３１０の面３０１、３０２に平行な回転軸３４１の周りにクランプ３４０が回転するように構成したが、フロントプレート本体３１０の面３０１、３０２に垂直な方向に往復運動してバックプレート４００をクランプするように、クランプ３４０を構成してもよい。
【００４５】
クランプ３４０は、その先端部において鉤状に湾曲した係合部３４０ａを有する。クランプ３４０の基端側には貫通孔を有し、この貫通孔に回転軸３４１が挿通され、キー及びキー溝によって回転不能に固定されている。レバー３４２は、外部からの力を受けていない場合、図７に示すように、圧縮ばね３４３によってフロントプレート３００の背面３０２から立ち上がるように付勢されており、これに伴い、各クランプ３４０は閉じる方向に付勢されている。言い換えれば、クランプ３４０は、ノーマルクローズ型で構成されている。圧縮ばね３４３の一端はばね受け部材３４４に当接又は固定されており、他端はレバー３４２に当接又は固定されている。また、レバー３４２は、外部からの押圧力を受けることが可能な力受部として構成されている。レバー３４２は、例えば、基板着脱機構２９に設けられるアクチュエータから押圧力を受けることが可能である。図１０Ｂにおいて、アクチュエータＡＲ１を模式的に示している。アクチュエータＡＲ１は、例えば、エアシリンダ、モータ等の駆動部ＤＲＶと、駆動部ＤＲＶによって駆動される棒状部材ＲＤとを備える。レバー３４２は、アクチュエータＡＲ１から押圧力を受けると、フロントプレート３００の背面３０２に向かって倒れる方向に回転し、これに伴い、クランプ３４０は開く方向に回転する。この例では、アクチュエータＡＲ１は、各辺のレバー３４２に対応して４つ設けられる。好ましくは、４つのアクチュエータＡＲ１は、同時に駆動されてレバー３４２を押す。但し、４つのアクチュエータＡＲ１は、別々に駆動してもよく、同時に駆動することに限定されない。
【００４６】
バックプレート４００の背面４０２には、クランプ３４０に対応する位置に係合受部４３０が設けられている。係合受部４３０は、本実施形態で示すように、バックプレート４００のバックプレート本体４１０とは別部材で形成され、バックプレート本体４１０に取り付けても良いし、バックプレート本体４１０と一体に形成したものであってもよい。係合受部４３０には、クランプ３４０の鉤状の係合部３４０ａが引っ掛かり、係合することが可能な形状を有する突出部４３０ａが形成されている。突出部４３０ａは、クランプ３４０の係合部３４０ａの係合を確実に受けるために、係合部３４０ａよりも長い寸法を有する。
【００４７】
以下、図面を参照しつつ、バックプレート４００のフロントプレート３００への取り付け構造を説明する。
図８Ａは、クランプ状態のクランプの斜視図である。図８Ｂは、クランプ状態のクランプの側面図である。図９Ａは、クランプ状態のクランプの断面斜視図である。図９Ｂは、
クランプ状態のクランプの断面図である。図１０Ａは、アンクランプ状態のクランプの構成を示す斜視図である。図１０Ｂは、アンクランプ状態のクランプの側面図である。図１１Ａは、アンクランプ状態のクランプの断面斜視図である。図１１Ｂは、アンクランプ状態のクランプの構成を示す断面図である。
【００４８】
前述したように、クランプ３４０は、ノーマルクローズ型であり、レバー３４２に押圧力を受けていない状態では、図８Ａ，Ｂ及び図９Ａ，Ｂに示すように、閉じた状態にある。フロントプレート３００にバックプレート４００を取り付ける場合には、先ず、アクチュエータＡＲ１（図１０Ｂ）によってフロントプレート３００のレバー３４２に押圧力を加え、図１０Ａ，Ｂ及び図１１Ａ，Ｂに示すように、圧縮ばね３４３の付勢力に抗してクランプ３４０を開く方向に回転させる。クランプ３４０を開放させた状態で、フロントプレート３００の背面３０２の所定の位置にバックプレート４００を配置する。このとき、フロントプレート３００の位置合わせピン３９０が、バックプレート４００の位置合わせ片４９０の貫通孔４９０ａに係合して、バックプレート４００がフロントプレート３００の所定の位置に位置合わせされる。
【００４９】
次に、フロントプレート３００のレバー３４２からアクチュエータＡＲ１の押圧力を取り除く。これにより、レバー３４２が圧縮ばね３４３の付勢力によってレバー３４２が元の位置に向かって回転し、各クランプ３４０が閉じる方向に回転する。この結果、クランプ３４０の係合部３４０ａが、バックプレート４００の係合受部４３０に係合し、バックプレート４００がフロントプレート３００に固定される（図８Ａ，Ｂ及び図９Ａ，Ｂ）。
【００５０】
バックプレート４００を取り外す場合には、前述したように、アクチュエータ（図示せず）によってフロントプレート３００のレバー３４２に押圧力を加え、圧縮ばね３４３の付勢力に抗してクランプ３４０を開く方向に回転させる（図１０Ａ，Ｂ及び図１１Ａ，Ｂ）。この結果、クランプ３４０が係合受部４３０から解放され、バックプレート４００をフロントプレート３００から取り外し可能となる。
【００５１】
（基板のバックプレートへの取付構造）
図１２Ａは、バックプレートのクリップを示す一部切欠き側面図である。図１２Ｂは、バックプレートのクリップを示す一部拡大斜視図である。図１３Ａは、閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。図１３Ｂは、閉鎖時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。図１４Ａは、開放時のクリップの状態を示す一部切欠き斜視図である。図１４Ｂは、開放時のクリップの状態を示す一部切欠き断面図である。
【００５２】
バックプレート４００の前面４０１には、基板Ｓの各辺に対応して合計８個のクリップ４２０が設けられている（図５Ａ参照）。また、バックプレート４００の背面４０２には、クリップ４２０の各々に対応する位置に、ボタン４７０が設けられている（図５Ｂ参照）。ボタン４７０に力が加わっていない場合、ボタン４７０の前面４０１側の面は、２つのクリップ４２１の基端部と所定の間隔を持って配置されている（図１３Ｂ）。ボタン４７０は、力受部４７１と、力受部４７１をバックプレート本体４１０に対して変位可能に支持する弾性部分４７２と、弾性部分４７２の外周にある取付部４７３とを有する。ボタン４７０は、取付部４７３において押え部材４７４、及び締結部材４７５によって固定されている。締結部材４７５は、例えば、スタッド、ボルト等である。
【００５３】
各クリップ４２０は、図１２Ａ，Ｂに示すように、バックプレート本体４１０の前面４０１に固定された固定部４２３と、固定部４２３に回転不能に固定された固定軸４２４と、固定軸４２４に対して並進しつつ回転可能に支持された２つのクリップ４２１と、クリップ４２１の各々に設けられクリップ４２１を閉鎖方向に付勢する巻ばね４２２と、を備えている。
【００５４】
クリップ４２１は、その先端部に爪部４２１ａを有し、その基端側には長穴４２１ｂ及び２つの丸穴４２１ｃが形成されている。クリップ４２１は、固定軸４２４を長穴４２１ｂに挿通させて取り付けられている。図１３Ｂに示すように巻ばね４２２は、巻回部４２２ｃと、巻回部４２２ｃから延びる脚部４２２ａ、４２２ｂを有している。巻ばね４２２は、針金等を複数回円形に巻いて巻回部４２２ｃを設け、所定の長さの脚部４２２ａ、４２２ｂを残したものである。脚部４２２ａは、略直角に折れ曲がる折曲部を先端に有し、この折曲部が、クリップ４２１の２つ丸穴４２１ｃのうち基端側の丸穴４２１ｃに挿入及び嵌合されている。他方の脚部４２２ｂは、クリップ４２１には取り付けられておらず、略直角に折れ曲がる折曲部を先端に有し、この折曲部が、固定部４２３に設けられた規制面４２３ａに当接した状態で支持されている。また、脚部４２２ａは、固定部４２３に設けられた案内面４２３ｂによって案内される（図１３Ｂ、図１４Ｂ）。
【００５５】
この構成により、クリップ４２１は、バックプレート本体４１０から離れる方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の外側に向かって回転することが可能である（図１３Ｂから図１４Ｂ）。この結果、クリップ４２１は、開放状態となる（図１４Ａ，Ｂ）。また、逆に、クリップ４２１は、バックプレート本体４１０に接近する方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の内側に向かって回転することが可能である（図１４Ｂから図１３Ｂ）。この結果、クリップ４２１は、閉鎖状態となる（図１３Ａ，Ｂ）。なお、本実施形態では、クリップ４２１は、外部から力を受けない状態では、巻ばね４２２によって閉鎖方向に付勢されており、ノーマルクローズ型である（図１３Ａ，Ｂ）。
【００５６】
基板Ｓをバックプレート４００に載置する場合、バックプレート４００の８個のボタン４７０（力受部４７１）に、外部からアクチュエータＡＲ２によって押圧力を加える（図１４Ｂ）。これにより、図１４Ａ，Ｂに示すように、力受部４７１が前面４０１側に変位し、２つのクリップ４２１の基端部に当接する。力受部４７１から受ける力によって、クリップ４２１は、図１４Ｂに示すように、バックプレート本体４１０から離れる方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の外側に回転し、開放状態となる（図１４Ｂ）。図１４Ｂに模式的に示したように、アクチュエータＡＲ２は、例えば、エアシリンダ、モータ等の駆動部ＤＲＶと、駆動部ＤＲＶによって駆動される棒状部材ＲＤとを備える。アクチュエータＡＲ２は、８個のボタン４７０に対応して８台設けられている。好ましくは、８台のアクチュエータＡＲ２は、同時に駆動されてボタン４７０を押す。但し、８台のアクチュエータＡＲ２は、別々に駆動してもよく、同時に駆動することに限定されない。
【００５７】
クリップ４２１が開放した状態で、バックプレート４００の前面４０１の所定の位置に基板Ｓを載置し、その後、ボタン４７０からアクチュエータＡＲ２による押圧力を解放する。この結果、クリップ４２１は、巻ばね４２２の付勢力によって、バックプレート本体４１０に接近する方向に移動しつつ、バックプレート本体４１０の内側に回転し、閉鎖状態となる（図１４Ｂから図１３Ｂ）。このとき、クリップ４２１の先端の爪部４２１ａが基板Ｓの周縁部に係合し、基板Ｓをバックプレート４００の前面４０１に固定することができる。
【００５８】
このように基板Ｓを取り付けたバックプレート４００を、図５から図１３で説明したように、フロントプレート３００に取り付ければ、基板ホルダ１への基板Ｓの取り付けが完了する。基板Ｓをバックプレート４００から取り外す場合、前述したように、バックプレート４００の８個のボタン４７０（力受部４７１）に、外部からアクチュエータＡＲ２によって押圧力を加える（図１４Ａ、Ｂ）。
【００５９】
なお、ここでは、バックプレート本体４１０の面４０１、４０２に平行な固定軸４２４の周りにクリップ４２１が回転するように構成したが、バックプレート本体４１０の面４
０１、４０２に垂直な方向に往復運動して基板Ｓをクランプするようにクリップ４２１を構成してもよい。
【００６０】
（シール部の構成）
図１５は、フロントプレートのインナーシール部を示す断面図である。図１６は、フロントプレートのインナーシール部及びアウターシール部を示す断面図である。
【００６１】
フロントプレート３００の背面３０２には、開口部３０３に隣接してインナーシール３６１が設けられている。インナーシール３６１は、シールホルダ３６３によってフロントプレート３００の背面３０２に取り付けられている。インナーシール３６１は、基板Ｓとフロントプレート３００との間をシールし、めっき液が基板Ｓの端部に侵入することを防止する。シールホルダ３６３には、基板Ｓに電位を供給するためのコンタクト３７０も取り付けられている。
【００６２】
また、図１６に示すように、フロントプレート３００の背面３０２には、インナーシール３６１よりも外側において、アウターシール３６２がシールホルダ３６４によって取り付けられている。アウターシール３６２は、バックプレート４００に当接し、フロントプレート３００とバックプレート４００との間をシールする。
【００６３】
本実施形態では、インナーシール３６１及びアウターシール３６２を取り付けるシールホルダ３６３、３６４が別部材で構成されているので、インナーシール３６１及びアウターシール３６２を別々に交換することができる。
【００６４】
本実施形態に係る基板ホルダ１によれば、フロントプレート本体３１０の面に平行な軸の周りを回転可能な又はフロントプレート本体３１０の面に交差する方向に往復移動可能なクランプ３４０によって、基板を挟持するフロントプレート３００とバックプレート４００とを互いに固定するため、基板に回転方向の力が加わることを抑制ないし防止できる。基板が大型で薄い場合は、基板に回転方向の力が加わると基板に撓みを生じるおそれがあるが、この基板ホルダ１によれば、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。
【００６５】
また、クランプ３４０がノーマルクローズ型であるため、バックプレート本体４１０をフロントプレート本体３１０に当接する際にクランプを開けば、クランプした状態ではアクチュエータ等によって外部から力を加える必要がなく、エネルギー消費を抑制できる。
【００６６】
また、バックプレート４００を複数の箇所でクランプ３４０によって挟持することが可能であり、また、連結部材（回転軸３４１）によって各クランプ３４０の動作が同期されるので、クランプ動作を効率よく行うことができる。また、外部から力を加えるアクチュエータＡＲ１の構成を簡易にすることができる。レバー３４２が外部の第１アクチュエータＡＲ１から力を受けて回転軸３４１を介して各クランプ３４０を動作させることができるので、クランプ３４０による固定を自動化することが容易である。
【００６７】
また、バックプレート４００に、クランプ３４０の係合部３４０ａを受け入れる形状の係合受部４３０を設けることによって、クランプによる係合を向上し得る。別体の係合受部３４０をバックプレート本体４１０に取り付ける構成とすることで、係合受部３４０の寸法、形状、個数等を適宜選択することが容易になる。
【００６８】
また、バックプレート本体４１０の面に平行な軸４２４の周りを回転可能な又はバックプレート本体４１０の面に交差する方向に往復移動可能なクリップ４２１によって、基板をバックプレート４００に固定するため、基板に回転方向の力が加わることを抑制ないし
防止できる。基板が大型で薄い場合は、基板に回転方向の力が加わると基板に撓みを生じるおそれがあるが、この基板ホルダによれば、大型で薄い基板を保持する場合にも撓みの発生を抑制ないし防止できる。
【００６９】
クリップ４２１がノーマルクローズ型であるため、基板をバックプレート本体４１０に当接する際にクリップ４２１を開けば、クリップした状態ではアクチュエータ等によって外部から力を加える必要がなく、エネルギー消費を抑制できる。
【００７０】
基板と当接する側の面とは反対の面から力を受けるボタン４７０を設けるため、アクチュエータＡＲ２を基板当接面とは反対側に配置することができ、基板固定後のバックプレート４００の移動、姿勢の変更等が容易である。
【００７１】
ボタン３７０が外部の第２アクチュエータＡＲ２から力を受けてクリップ４２１を動作させることができるので、クリップ４２１による固定を自動化することが容易である。
【００７２】
インナーシール３６１及びアウターシール３６２を保持するシールホルダ３６３、３６４を別々に設けるので、各シールの交換を別々に行うことができる。
【００７３】
以上、いくつかの例に基づいて本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
【符号の説明】
【００７４】
１…基板ホルダ
２５…カセットテーブル
２５ａ…カセット
２７…基板搬送装置
２８…走行機構
２９…基板脱着機構
３０…ストッカ
３２…プリウェット槽
３３…プリソーク槽
３４…プリリンス槽
３５…ブロー槽
３６…リンス槽
３７…基板ホルダ搬送装置
３８…オーバーフロー槽
３９…めっき槽
５０…洗浄装置
５０ａ…洗浄部
１００…めっき装置
１１０…アンロード部
１２０…処理部
１２０Ａ…前処理・後処理部
１２０Ｂ…処理部
１７５…コントローラ
１７５Ａ…ＣＰＵ
１７５Ｂ…メモリ
１７５Ｃ…制御部
３００…フロントプレート
３０１…前面
３０２…背面
３０３…開口部
３１０…フロントプレート本体
３１１…配線バッファ部
３２０…取付部
３３０…アーム部
３３１…コネクタ
３４０…クランプ
３４２…レバー
３５０…固定部材
３６１…インナーシール
３６２…アウターシール
３６３…シールホルダ
３６４…シールホルダ
３７０…コンタクト
３９０…位置合わせピン
４００…バックプレート
４０１…前面
４０２…背面
４１０…バックプレート本体
４２０…クリップ部
４２１…クリップ
４２１ａ…爪部
４２１ｂ…長穴
４２１ｃ…丸穴
４２２…巻ばね
４２２ａ…脚部
４２２ｂ…脚部
４２２ｃ…巻回部
４２３…固定部
４２３ｂ…規制面
４２３ｂ…案内面
４２４…固定軸
４３０…係合受部
４３０ａ…突出部
４７０…ボタン
４７１…力受部
４７２…弾性部分
４７３…取付部
４７４…押え部材
４７５…締結部材
４９０…位置合わせ片
３４０ａ…係合部
【図１】
2018040045.tif 000003
【図２Ａ】
2018040045.tif 000004
【図２Ｂ】
2018040045.tif 000005
【図２Ｃ】
2018040045.tif 000006
【図３Ａ】
2018040045.tif 000007
【図３Ｂ】
2018040045.tif 000008
【図４Ａ】
2018040045.tif 000009
【図４Ｂ】
2018040045.tif 000010
【図５Ａ】
2018040045.tif 000011
【図５Ｂ】
2018040045.tif 000012
【図６Ａ】
2018040045.tif 000013
【図６Ｂ】
2018040045.tif 000014
【図７】
2018040045.tif 000015
【図８Ａ】
2018040045.tif 000016
【図８Ｂ】
2018040045.tif 000017
【図９Ａ】
2018040045.tif 000018
【図９Ｂ】
2018040045.tif 000019
【図１０Ａ】
2018040045.tif 000020
【図１０Ｂ】
2018040045.tif 000021
【図１１Ａ】
2018040045.tif 000022
【図１１Ｂ】
2018040045.tif 000023
【図１２Ａ】
2018040045.tif 000024
【図１２Ｂ】
2018040045.tif 000025
【図１３Ａ】
2018040045.tif 000026
【図１３Ｂ】
2018040045.tif 000027
【図１４Ａ】
2018040045.tif 000028
【図１４Ｂ】
2018040045.tif 000029
【図１５】
2018040045.tif 000030
【図１６】
2018040045.tif 000031