(57)【要約】【課題】外力を加えられた状態の磁性材料の磁気特性を測定することができる振動試料型磁力計を提供すること。【解決手段】振動試料型磁力計は、加振される測定試料の周囲に配置される励磁用電磁石と、励磁用電磁石により磁化された測定試料Ｓの振動による誘導電圧を検出する検出コイルと、検出コイルによる検出結果に基づいて、測定試料Ｓの磁気特性を算出する演算器と、を有し、測定試料に圧力を加える加圧手段と、加圧手段によって加えた圧力を計測する圧力計測手段と、を有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加振される測定試料の周囲に配置される励磁用電磁石と、
前記励磁用電磁石により磁化された前記測定試料の振動による誘導電圧を検出する検出コイルと、
前記検出コイルによる検出結果に基づいて、前記測定試料の磁気特性を算出する演算器と、
を有する振動試料型磁力計であって、
前記測定試料に圧力を加える加圧手段と、
前記加圧手段によって加えた前記圧力を計測する圧力計測手段と、
を有し、
前記測定試料に圧力を加えた状態で前記測定試料を振動させることができるように構成されている振動試料型磁力計。
【請求項２】
前記加圧手段によって加える前記圧力の大きさは可変であり、
複数の大きさの前記圧力のもとにおける前記磁気特性を算出するようになっている請求項１に記載の振動試料型磁力計。
【請求項３】
前記圧力を加えずに前記磁気特性を算出する第一工程と、
前記圧力を加えて前記磁気特性を算出する第二工程と、
前記圧力を加えずに前記磁気特性を算出する第三工程と、
を実施することができるように構成されている請求項１または請求項２のいずれかに記載の振動試料型磁力計。
【請求項４】
前記測定試料に熱を加える加熱手段と、
前記加熱手段によって加熱された前記測定試料の温度を計測する温度計測手段と、
を有する請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の振動試料型磁力計。
【請求項５】
前記圧力及び前記熱のいずれも加えずに前記磁気特性を算出する第一工程と、
前記圧力及び／または前記熱を加えて前記磁気特性を算出する第二工程と、
前記圧力及び前記熱のいずれも加えずに前記磁気特性を算出する第三工程と、
を実施することができるように構成されている請求項４に記載の振動試料型磁力計。
【請求項６】
前記加圧手段は、
前記測定試料を保持する中空の振動棒と、
前記振動棒に挿入されて、前記測定試料に圧力を加える加圧棒と、
前記加圧棒に圧力を加える圧力調整手段と、
で構成される請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の振動試料型磁力計。
【請求項７】
前記圧力計測手段は、
前記加圧棒の前記測定試料と接する端部とは反対側の端部と接するように配置されている請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の振動試料型磁力計。
【請求項８】
前記加圧手段によって加える前記圧力を変更する第一工程と、
前記加熱手段によって加える前記熱を変更する第二工程と、
前記圧力と前記熱の組合せごとに前記磁気特性を算出する算出工程と、
を実施することができるように構成されている請求項４乃至請求項７のいずれかに記載の振動試料型磁力計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動試料型磁力計（ＶＳＭ：Ｖｉｂｒａｔｉｎｇ  Ｓａｍｐｌｅ  Ｍａｇｎｅｔｏｍｅｔｅｒ）に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動試料型磁力計として、加振される測定試料の周囲に励磁用電磁石およびこの電磁石により磁化された測定試料の振動による誘導電圧を検出する検出コイルを配置するとともに、演算器によって、演算式Ｖ＝ｋａｆＭ（Ｖ：検出コイルの検出電圧、ａ：加振振幅、ｆ：加振周波数、Ｍ：磁気モーメント）を基にＭを算出するものが知られている（特許文献１参照）。この種の振動試料型磁力計は、例えば、図１に示す加振棒２００を備えている。加振棒２００は、加振棒本体２０２、磁力計本体側の参照コイルと協働する永久磁石配置部２０４、加振棒先端近傍部２０６、凹状孔２０６ａ、及び、測定試料Ｓを凹状孔２０６ａに固定する固定部材２０８から構成される。そして、図２に示すように、測定試料Ｓを凹状孔２０６ａに固定した状態で、加振棒２００を矢印Ｘ方向に振動させて、測定試料Ｓの磁気特性を算出するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−１７２９２２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、測定対象である磁性材料の主な用途は、自動車などに使用されるモーターである。モーターが実際に使用される際には、回転による遠心力など、様々な要因による外力を受け、磁性材料にもその力が及ぶ。その力によって、磁性材料の磁気特性は変化する。また、外力は一様ではなく、強い力から弱い力まで様々なレベルがあり、かつ、変動する。ところが、従来の技術においては、このような外力のもとにおける磁気特性を測定することはできない。
【０００５】
本発明はかかる問題の解決を試みたものであり、外力を加えられた状態の磁性材料の磁気特性を測定することができる振動試料型磁力計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第一の発明は、加振される測定試料の周囲に配置される励磁用電磁石と、前記励磁用電磁石により磁化された前記測定試料の振動による誘導電圧を検出する検出コイルと、前記検出コイルによる検出結果に基づいて、前記測定試料の磁気特性を算出する演算器と、を有する振動試料型磁力計であって、前記測定試料に圧力を加える加圧手段と、前記加圧手段によって加えた前記圧力を計測する圧力計測手段と、を有し、前記測定試料に圧力を加えた状態で前記測定試料を振動させることができるように構成されている振動試料型磁力計である。
【０００７】
第一の発明の構成によれば、外力を加えられた状態の磁性材料の特性を測定することができる。
【０００８】
第二の発明は、第一の発明の構成において、前記加圧手段によって加える前記圧力の大きさは可変であり、複数の大きさの前記圧力のもとにおける前記磁気特性を算出するようになっている振動試料型磁力計である。
【０００９】
第二の発明の構成によれば、様々な大きさの圧力のもとで、測定試料の磁気特性を算出することができる。
【００１０】
第三の発明は、第一の発明または第二の発明の構成において、前記圧力を加えずに前記磁気特性を算出する第一工程と、前記圧力を加えて前記磁気特性を算出する第二工程と、前記圧力を加えずに前記磁気特性を算出する第三工程と、を実施することができるように構成されている振動試料型磁力計である。
【００１１】
第三の発明の構成によれば、測定試料に圧力を加えずに磁気特性を算出した後、圧力を加えて磁気特性を算出し、その後、圧力を加えずに磁気特性を算出することができるから、圧力による磁気特性の変化が可逆的か否かを判断するためのデータを取得することができる。
【００１２】
第四の発明は、第一の発明ないし第三の発明のいずれかの構成において、前記測定試料に熱を加える加熱手段と、前記加熱手段によって加熱された前記測定試料の温度を計測する温度計測手段と、を有する振動試料型磁力である。
【００１３】
第四の発明の構成によれば、様々な大きさの圧力に加えて、様々な温度のもとで、磁性材料の磁気特性を算出することができる。
【００１４】
第五の発明は、第四の発明の構成において、前記圧力及び前記熱のいずれも加えずに前記磁気特性を算出する第一工程と、前記圧力及び／または前記熱を加えて前記磁気特性を算出する第二工程と、前記圧力及び前記熱のいずれも加えずに前記磁気特性を算出する第三工程と、を実施することができるように構成されている振動試料型磁力計である。
【００１５】
第五の発明の構成によれば、測定試料に圧力及び温度のいずれも加えずに磁気特性を算出した後、圧力及び／または温度を加えて磁気特性を算出し、その後、圧力及び温度のいずれも加えずに磁気特性を算出することができるから、圧力及び温度による磁気特性の変化が可逆的な否かを判断するためのデータを取得することができる。
【００１６】
第六の発明は、第一乃至第五のいずれかの発明の構成において前記加圧手段は、前記測定試料を保持する中空の振動棒と、前記振動棒に挿入されて、前記測定試料に圧力を加える加圧棒と、前記加圧棒に圧力を加える圧力調整手段と、で構成される振動試料型磁力計である。
【００１７】
第六の発明の構成によれば、加圧棒によって測定試料に圧力を加え、しかも、圧力調整手段によってその圧力を調整することができる。
【００１８】
第七の発明は、第一乃至第六のいずれかの発明の構成において、前記圧力計測手段は、前記加圧棒の前記測定試料と接する端部とは反対側の端部と接するように配置されている振動試料型磁力計である。
【００１９】
加圧棒によって測定試料に圧力を加えると、その圧力と等しい反力が測定試料から加圧棒に加えられる。第七の発明の構成によれば、加圧棒に接するよう配置された圧力計測手段によって、その反力を計測することができる。
【００２０】
第八の発明は、第四乃至第七のいずれかの発明の構成において、前記加圧手段によって加える前記圧力を変更する第一工程と、前記加熱手段によって加える前記熱を変更する第二工程と、前記圧力と前記熱の組合せごとに前記磁気特性を算出する算出工程と、を実施することができるように構成されている振動試料型磁力計である。
【００２１】
第八の発明の構成によれば、様々な圧力と温度の組み合わせのもとで、磁気特性を算出することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、外力を加えられた状態の磁性材料の磁気特性を測定することができる振動試料型磁力計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】従来技術を示す概略図である。
【図２】従来技術を示す概略図である。
【図３】本発明の実施形態に係る振動試料型磁力計を示す概略図である。
【図４】振動試料型磁力計の加振棒を示す概略図である。
【図５】振動試料型磁力計の加振棒を示す概略図である。
【図６】振動試料型磁力計の加振棒を示す概略図である。
【図７】加振棒の要部を示す概略図である。
【図８】加振棒の要部の概略平面図である。
【図９】振動試料型磁力計が取得するデータの一例を示す概略図である。
【図１０】振動試料型磁力計の機能構成を示す概略図である。
【図１１】第二の実施形態に係る振動試料型磁力計の加振棒を示す概略図である。
【図１２】加振棒の要部を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための形態（以下、「実施形態」という。）について説明する。以下の説明においては、同様の構成には同じ符号を付し、その説明を省略又は簡略する。なお、当業者が適宜実施できる構成については説明を省略し、本発明の基本的な構成についてのみ説明する。
【００２５】
＜第一の実施形態＞
図３は、本発明の実施形態に係る振動試料型磁力計１（以下、「磁力計１」という。）を示す概略図である。磁力計１は、制御装置２と架台４を有する。架台４には、加振棒２０を上下に振動させるための振動装置６が配置されている。振動装置６は、電源・信号ケーブル８によって制御装置２と接続されている。振動装置６の下方には、磁気特性計測部１０が配置されている。磁気特性計測部１０は、励磁用電磁石（図示せず）と、励磁用電磁石により磁化された測定試料Ｓの振動による誘導電圧を検出する検出コイル（図示せず）とを有する。検出コイルは、加振棒２０に配置される測定試料Ｓの周囲に配置されるようになっている。制御装置２は、検出コイルによる検出結果に基づいて、測定試料の磁気特性を算出する演算器（図示せず）を有する。窒素供給管１２によって、所定の温度に調整した窒素を磁気特性計測部１０に供給し、測定試料Ｓを加熱することができるようになっている。窒素供給管１２を有する窒素供給装置（図示せず）によって供給される窒素の温度は、制御装置２によって制御される。磁気特性計測部１０及び窒素供給装置も制御装置２とケーブルで接続されている。窒素供給装置は、測定試料Ｓに熱を加える加熱手段の一例である。以下に説明するように、磁力計１の加振棒２０は、測定試料Ｓに圧力を加える加圧手段と、その加圧手段によって加えた圧力を計測する圧力計測手段を備えている。また、加振棒２０は、測定試料Ｓの温度を計測する温度計測手段を備えている。
【００２６】
図４に示すように、加振棒２０は、振動棒２２を有する。振動棒２２は、中空の円筒状部材であり、一端が開口部２２ａとなっており、他端が閉塞端部となっている。開口部２２ａの近傍の外周には螺子部（雄螺子部）２２ｂが形成されている。測定試料Ｓは、開口部２２ａから振動棒２２に入れられて、閉塞端部側の空間部２６ａにおいて保持される。振動棒２２には永久磁石が配置される拡径部２４が形成されている。拡径部２４に配置された永久磁石の振動周波数と振幅が参照コイル（図示せず）によって検知されて、加振棒２０の振動状態が制御装置２に認識されるようになっている。
【００２７】
加振棒２０は、加圧棒２８を有する。加圧棒２８は、振動棒２２の中空部に挿入されて測定試料Ｓに圧力を加えるようになっている。加圧棒２８は、中空の円筒状部材であり、測定試料Ｓに圧力を加える側は閉塞端部２８ａとなっている。閉塞端部２８ａ近傍には、熱電対３０が配置されている。制御装置２は電圧計を有しており、熱電対３０の熱起電力（電圧）を測定し、測定した電圧を温度に換算することができるようになっている。制御装置２及び熱電対３０は、温度計測手段の一例である。
【００２８】
図５に示すように、測定試料Ｓは振動棒２２の閉塞端部近傍の空間部２６ａに配置される。そして、加圧棒２８が振動棒２２に挿入され、加圧棒２８によって、測定試料Ｓは、空間部２６ａにしっかりと固定される。この状態で、加振棒２０は、磁力計１の振動装置６によって矢印Ｘ方向（上下方向）に振動する。
【００２９】
測定試料Ｓには、加圧棒２８によって、矢印Ｘ１方向の圧力が加えられる。矢印Ｘ１の圧力が測定試料Ｓに作用すると、反作用として、矢印Ｘ２方向の力が加圧棒２８に作用する。矢印Ｘ１方向の力と、その反作用としての矢印Ｘ２方向の力の大きさは等しい。
【００３０】
図６に示すように、振動棒２２には、加圧装置４０が配置されている。加圧装置４０の全体形状は円筒形状であり、一端が開口部、他端が閉口部となっている。加圧装置４０の
閉口部は肉厚底部４２ａ（図７参照）となっている。加圧装置４０には、回転装置５０が配置されており、加圧装置４０を、振動棒２２の中心軸を回転軸とする回転方向に回転させることができるようになっている。振動棒２２には、固定装置５２が配置されており、回転装置５０が駆動して、加圧装置４０を回転させているときに、振動棒２２を固定することができるようになっている。加圧装置４０は圧力調整手段の一例である。そして、振動棒２２、加圧棒２８及び加圧装置４０は、加圧手段の一例である。
【００３１】
以下、図７及び図８を参照して、加圧装置４０の構成を説明する。
【００３２】
加圧装置４０は、筐体４２を有する。筐体４２は、円筒形状の部材であり、一端が閉塞端部４２ａとなっており、他端が開口している。閉塞端部４２ａは、肉厚に形成されている。
【００３３】
閉塞端部の内面４２ａａには、ロードセル(荷重変換器)４４が配置されている。本実施形態のロードセル４４は、ひずみゲージを使用し、力を電気信号に変換するものである。ロードセル４４は出力ケーブル（図示せず）を介して電気信号を制御装置２に送信するようになっている。この構成により、加圧棒２８が測定試料Ｓから受ける力は、ロードセル４４に伝わり、ロードセル４４かからの電気信号が制御装置２に送信されるようになっている。ここで、筐体４２の閉塞端部４２ａは肉厚に構成されており、高剛性であるから、ロードセル４４は、精度よく測定試料Ｓから加圧棒２８が受けた圧力を計測することができる。ロードセル４４は、圧力計測手段の一例である。
【００３４】
加圧装置４０の開口端部近傍には螺子部（雌螺子部）４２ｂが形成されている。螺子部４２ｂは、振動棒２２の螺子部２２ｂと螺合するようになっている。螺子部４２ｂと螺子部２２ｂとの螺合の程度は図６の長さＬで示される。長さＬを調整することで、加圧棒２８によって、測定試料Ｓに加える矢印Ｘ１方向の圧力を変更することができるようになっている。長さＬを長くすれば、加圧棒２８によって、測定試料Ｓに加える矢印Ｘ１方向の圧力は大きくなり、反作用としての矢印Ｘ２方向の力も大きくなる。これに対して、長さＬを短くすれば、加圧棒２８によって、測定試料Ｓに加える矢印Ｘ１方向の圧力は小さくなり、反作用としての矢印Ｘ２方向の力も小さくなる。回転装置５０（図６参照）によって、長さＬを制御することができる。
【００３５】
図９は、磁力計１が取得する磁気特性の一例である。図９に示すように、様々な圧力と温度の組合せごとに、例えば、残留磁気密度Ｂｒ及び保持力Ｈｃｉのデータを取得する。
【００３６】
次に、図１０を参照して、磁力計１の機能構成を説明する。磁力計１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１００、記憶部１０２、測定条件制御部１０４、温度制御部１０６、圧力制御部１０８、磁気特性計測部１１０、圧力センサー部１１２、温度センサー部１１４を有する。
【００３７】
記憶部１０２には、圧力計測プログラム、温度算出プログラム、第一計測プログラム、第二計測プログラム、第三計測プログラム及び第四計測プログラムが格納されている。第一計測プログラムは、複数の大きさの圧力のもとにおける磁気特性を算出するためのプログラムである。第二計測プログラムは、圧力を加えずに磁気特性を算出する第一工程と、圧力を加えて前記磁気特性を算出する第二工程と、圧力を加えずに磁気特性を算出する第三工程を実施するためのプログラムである。第三計測プログラムは、圧力及び記熱のいずれも加えずに磁気特性を算出する第一工程と、圧力及び／または熱を加えて磁気特性を算出する第二工程と、圧力及び記熱のいずれも加えずに磁気特性を算出する第三工程を実施するためのプログラムである。第四計測プログラムは、加える圧力を変更するためのプログラムと、加熱手段によって加える熱を変更するためのプログラムを含み、圧力と熱の組合せごとに磁気特性を算出するためのプログラムである。
【００３８】
磁力計１は、圧力計測プログラムによって、ロードセル４４からの電気信号を圧力に換算することができる。電気信号から圧力へ換算するためのデータは、記憶部１０２に格納されている。また、磁力計１は、温度算出プログラムによって、熱電対３０の熱起電力を温度に換算することができる
【００３９】
磁力計１は、第一計測プログラムによって、例えば、以下のような測定を実施する。磁力計１は、まず、圧力ｐ１・温度ｔ１における磁気特性を測定する。圧力ｐ１は測定試料Ｓを固定するための最小限度の圧力であり、温度ｔ１は室温（例えば、２５℃）とする。次に、磁力計１は、温度ｔ１は維持したまま、長さＬ１を長くし、圧力ｐ１よりも大きな圧力である圧力ｐ２における磁気特性を測定する。圧力ｐ２は、例えば、特定のモーターの通常速度における回転時において生じる遠心力を実験的に求めて適用する。続いて、磁力計１は、温度ｔ１を維持したまま、圧力を圧力ｐ２よりも大きな圧力ｐ３に増加させて、磁気特性を測定する。圧力ｐ３は、例えば、圧力ｐ２よりも２０％大きな圧力である。これにより、磁力計１は、複数の大きさの圧力における磁気特性を測定することができる。なお、一定程度までは圧力が大きくなるほど、磁性材料の磁気特性が劣化し、その劣化の程度を磁力計１において測定できることは、本願の発明者による実験によって判明している。
【００４０】
磁力計１は、第二計測プログラムによって、例えば、以下のような測定を実施する。磁力計１は、まず、圧力ｐ１・温度ｔ１における磁気特性を測定する。次に、磁力計１は、温度ｔ１は維持したまま、長さＬ１を長くし、圧力ｐ１よりも大きな圧力である圧力ｐ２における磁気特性を測定する。続いて、磁力計１は、温度ｔ１を維持したまま、圧力ｐ１に戻るまで長さＬ１を短くし、磁気特性を測定する。これにより、磁力計１は、測定試料Ｓへ加える圧力を圧力ｐ１から圧力ｐ２にしたうえで、圧力ｐ１に戻した状態の磁気特性を計測することができるから、圧力ｐ２において劣化した磁気特性が、再度の圧力ｐ１における計測において、最初の圧力ｐ１における磁気特性と同一になるのか、あるいは、同一ではないのかを計測することができる。すなわち、圧力増加による磁気特性の劣化が、測定試料Ｓにおいて可逆的な変化なのか、あるいは、不可逆的な変化なのかを判断するためのデータを取得することができる。さらに、磁気特性の劣化が、可逆的な変化であるための限界圧力を判断するためのデータを取得することができる。
【００４１】
磁力計１は、第三計測プログラムによって、例えば、以下のような測定を実施する。磁力計１は、まず、圧力ｐ１・温度ｔ１における磁気特性を測定する。次に、磁力計１は、温度を温度ｔ１よりも高い温度である温度ｔ２に上げ、圧力ｐ１よりも大きな圧力である圧力ｐ２における磁気特性を測定する。温度ｔ２は、例えば、特定のモーターの通常速度における回転時のモーター内の温度を実験的に求めて適用する。続いて、磁力計１は、温度を温度ｔ１に戻し、圧力を圧力ｐ１に戻して、磁気特性を測定する。このように、磁力計１は、測定試料Ｓへ加える圧力・温度を圧力ｐ１・温度ｔ１から圧力ｐ２・温度ｔ２にしたうえで、圧力ｐ１・温度ｔ１に戻した状態の磁気特性を計測することができるから、圧力ｐ２温度ｔ２において劣化した磁気特性が、再度の圧力ｐ１・温度ｔ１における計測において、最初の圧力ｐ１・温度ｔ１における磁気特性と同一になるのか、あるいは、同一ではないのかを計測することができる。すなわち、圧力増加・温度上昇による磁気特性の劣化が、測定試料Ｓにおいて可逆的な変化なのか、あるいは、不可逆的な変化なのかを判断するためのデータを取得することができる。さらに、磁気特性の劣化が、可逆的な変化であるための限界圧力・限界温度を判断するためのデータを取得することができる。
【００４２】
磁力計１は、第四計測プログラムによって、例えば、以下のような測定を実施する。磁力計１は、まず、圧力ｐ１・温度ｔ１における磁気特性を測定する。次に、磁力計１は、温度を温度ｔ１よりも高い温度である温度ｔ２に上げ、圧力ｐ１よりも大きな圧力である圧力ｐ２における磁気特性を測定する。温度ｔ２は、例えば、特定のモーターの回転時のモーター内の温度を実験的に求めて適用する。続いて、磁力計１は、圧力を圧力ｐ３まで増加し、温度を温度ｔ２よりも高い温度ｔ３に上昇させて、磁気特性を測定する。これにより、磁力計１は、圧力と熱の組合せごとに磁気特性を算出することができる。
【００４３】
なお、本実施形態とは異なり、回転装置５０を省略し、手動で長さＬ１を調整するようにしてもよい。
＜第二の実施形態＞
次に、第二の実施形態について説明する。なお、第一の実施形態と共通の構成は説明を省略する。
【００４４】
図１１及び図１２に示すように、加圧装置４１には、筐体４２の閉塞端部の内面４２ａａに加圧機構５２が配置されている。加圧機構５２は、本体部５２ａと天井部５２ｂで構成される。本体部５２ａには、エアシリンダが配置されており、天井部５２ｂを矢印Ｘ１方向Ｘ２方向に移動させるようになっている。エアシリンダの動作は制御装置２で制御される。加圧装置４１と振動棒２２は螺子によって着脱自在に固定されている。加圧機構５２によってロードセル４４が矢印Ｘ１方向に移動させられることによって、加圧棒２８に力を及ぼすことができるようになっている。加圧棒２８が矢印Ｘ１方向の力を測定試料Ｓに加えると、測定試料Ｓからは、反作用として、矢印Ｘ２方向の力が加圧棒２８に加えられ、その力は、ロードセル４４に伝わる。加圧装置４１は圧力調整手段の一例である。
【００４５】
なお、本実施形態とは異なり、加圧機構５２の本体部５２ａは、油圧装置やバネなど、天井部５２ｂを矢印Ｘ方向に移動させる他の機構であってもよい。
【００４６】
なお、本発明は上述の第一実施形態または第二の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【符号の説明】
【００４７】
１      振動試料型磁力計
１２    窒素供給管
２０    加振棒
２２    振動棒
２８    加圧棒
３０    熱電対
４０    加圧装置
４２    筐体
４４    ロードセル
５０    回転装置
５２    加圧機構
【図１】
2018084463.tif 000003
【図２】
2018084463.tif 000004
【図３】
2018084463.tif 000005
【図４】
2018084463.tif 000006
【図５】
2018084463.tif 000007
【図６】
2018084463.tif 000008
【図７】
2018084463.tif 000009
【図８】
2018084463.tif 000010
【図９】
2018084463.tif 000011
【図１０】
2018084463.tif 000012
【図１１】
2018084463.tif 000013
【図１２】
2018084463.tif 000014