(57)【要約】      （修正有）【課題】互いに分離された少なくとも二つのインレットを有する改善された真空ンポンプであって、コンパクトな構造形状を提供する。【解決手段】真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、互いに別々の少なくとも二つのインレット（１５ａ，１５ｂ）を有するハウジング（１１）を有し、ステーターとローターのポンプ作用によって流体がアウトレットの方向へ搬送される真空ポンプにおいて、少なくとも二つのインレット（１５ａ，１５ｂ）が、ローターの周囲方向（Ｕ）で見て互いにオフセットされてハウジング（１１）に設けられており、そして、回転軸（２１）に対して垂直に推移する少なくとも一つの平面（Ｅ１）が、少なくとも二つのインレット（１５ａ，１５ｂ）を通って推移していることにより解決される。【選択図】図７
2018084231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、
少なくとも一つのレシーバー（３５）を接続するための、互いに別々の少なくとも二つのインレット（１５，１５ａ，１５ｂ）を有するハウジング（１１，１１９，１２１）を有し、
流体、特に少なくとも一つのレシーバー（３５）から吸引される流体を、ハウジング（１１，１１９，１２１）に設けられる真空ポンプのアウトレット（２７，１１７）の方向に搬送するための、ハウジング（１１，１１９，１２１）内に設けられた少なくとも一つのポンプ段（１７）を有し、
その際、ポンプ段（１７）が、ステーターに対して、回転軸（２１，１５１）を中心として回転可能な少なくとも一つのローター（１９，１４９）を有し、その際、ステーターとローター（１９，１４９）は、これらが回転するローター（１９，１４９）においてポンプ作用を奏するよう設けられており、このポンプ作用によって流体がアウトレット（２７，１１７）の方向へ搬送される真空ポンプにおいて、
少なくとも二つのインレット（１５，１５ａ，１５ｂ）が、ローター（１９，１４９）の周囲方向（Ｕ）で見て互いにオフセットされてハウジング（１１，１１９，１２１）に設けられており、そして、回転軸（２１，１５１）に対して垂直に推移する少なくとも一つの平面（Ｅ１）が、少なくとも二つのインレット（１５，１５ａ，１５ｂ）を通って推移していることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
主インレット（１３，１１５）が、少なくとも二つのインレット（１５，１５ａ，１５ｂ）に対して追加的にハウジング（１１，１１９，１２１）に設けられており、特に、ハウジング（１１，１１９，１２１）の軸方向の端部に設けられており、その際、平面（Ｅ１）が、主インレット（１３，１１５）を通らず推移していることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
各インレット（１５，１５ａ，１５ｂ）が、中心（Ｍ１，Ｍ２）を有する、特に円形状のインレット開口部を有し、その際、平面（Ｅ１）が、インレット（１５，１５ａ，１５ｂ）の中心（Ｍ１，Ｍ２）を通って推移することを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
各インレット（１５，１５ａ，１５ｂ）は、中心（Ｍ１，Ｍ２）を有する、特に円形状のインレット開口部を有し、その際、平面（Ｅ１）が、平面（１５，１５ａ，１５ｂ）の少なくとも一つの中心（Ｍ１，Ｍ２）を通らず推移していることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
各インレット（１５，１５ａ，１５ｂ）が、特に円形状のインレット開口部を有し、その際、各インレット開口部（１５，１５ａ，１５ｂ）が、所定の面積を有し、そしてその際、インレット開口部の当該面積の少なくとも２５％、好ましくは３０％、更に好ましくは４０％、もっと更に好ましくは５０％が、軸方向で見て、同じ軸方向高さに位置していることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
インレット（１５，１５ａ，１５ｂ）は、インレット（１５，１５ａ，１５ｂ）において異なる圧力レベルが発生可能である、又は少なくとも近似的に同じ圧力レベルが発生可能であるようポンプ段（１７）と接続されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
平面（Ｅ１）がアウトレット（２７，１１７）を通って推移していることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
これらが、少なくとも一つのホルベックポンプ段（１６３，１６５，１６７，１６９）を有し、その際、少なくとも二つのインレット（１５，１５ａ，１５ｂ）がホルベックポンプ段（１６３，１６５，１６７，１６９）内へと開口していることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
これらが、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段（１５５，１５７）を有し、その際、少なくとも二つのインレット（１５，１５ａ，１５ｂ）がターボ分子ポンプ段（１５５，１５７）内に開口していることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
レシーバー（３５）が、少なくとも二つのアウトレットを有し、これらが、真空ポンプ（３３）の少なくとも二つのインレット（１５，１５ａ，１５ｂ）への接続の為に形成され、そしてレシーバー（３５）のハウジングに設けられていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空ポンプへの接続の為のレシーバー（３５）。
【請求項１１】
請求項１から９のいずれか一項に記載の少なくとも一つの真空ポンプ（３３）と、真空ポンプ（３３）に接続される請求項１０に記載される少なくとも一つのレシーバー（３５）を有する真空システム（３１）であって、その際、レシーバー（３３）のアウトレットと、真空ポンプ（３３）のインレット（１３，１５，１５ａ，１５ｂ）の間の真空接続部のシールの為に、真空シール（４１，４３）、特にОリングシールが設けられており、これらが好ましくは異なる厚さを有することを特徴とする真空システム（３１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプに関する。この真空ポンプは、少なくとも一つのレシーバーを、ハウジング内に設けられた少なくとも一つのポンプ段に接続するための、互いに分離された少なくとも二つのインレットを有するハウジングを有する。ポンプ段は、流体、特にレシーバーから吸引される流体を、ハウジングに設けられる真空ポンプのインレットの方向へと搬送する為のものである。その際、ポンプ段は、回転軸を中心としてステーターに対して回転可能な少なくとも一つのローターを有する。その際、ステーターとローターは、これらが、ローターが回転する際にポンプ作用を奏するよう形成されている。これによって流体がアウトレットの方へと搬送される。
【背景技術】
【０００２】
そのような真空ポンプは、先行技術から公知である。これらは、スプリットフロー真空ポンプ又はマルチインレット真空ポンプとも称される。そのような、複数のインレットを有する真空ポンプにおいて、これらは簡単にはコンパクトな形状で実現されることができないという問題がある。というのは、複数のインレットは、相応して大きな構造空間を真空ポンプのハウジングにおいて必要とするからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】国際公開第２００４０６８０９９Ａ１号
【特許文献２】欧州特許出願公開第２９７５２６８Ａ２号
【特許文献３】ドイツ連邦共和国実用新案第２０２０１３０１０２０４号
【特許文献４】欧州特許出願公開第１６２６１７９Ａ２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、互いに分離された少なくとも二つのインレットを有する、改善された真空ンポンプであって、その際、真空ポンプが、コンパクトな構造形状で実現されることが可能である、という真空ポンプを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題は、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプによって解決される。本発明の好ましい実施形と発展形は、従属請求項に記載されている。
【０００６】
発明に係る真空ポンプ、特にターボ分子ポンプ、好ましくは、スプリットフローポンプは、少なくとも一つのレシーバーの接続の為の互いに分離された少なくとも二つのインレットを有するハウジングを有し、ハウジング内に設けられた、流体、特に少なくとも一つのレシーバーから吸引される流体を、ハウジングに設けられる真空ポンプのアウトレットの方向へと搬送するための少なくとも一つのポンプ段を有し、その際、ポンプ段は、回転軸を中心としてステーターに対して回転可能な少なくとも一つのローターを有し、その際、ステーター及びローターは、これらが、ローターが回転する際にポンプ作用を奏するよう形成されており、これによって流体はアウトレットの方向へと搬送される。そしてその際、少なくとも二つのインレットは、ローターの周囲方向で見て互いにオフセットしてハウジングに設けられており、そして、回転軸に垂直に推移する少なくとも一つの平面が、少なくとも二つのインレットを通って推移している。
【０００７】
本発明に係る真空ポンプにおいて、平面は回転軸に垂直に、その上、両方のインレットを通って推移している、又は両方のインレットと交差しているので、これらインレットは、真空ポンプのハウジングにおいて、少なくとも基本的に、同じ軸方向構造高さに位置している。よって、軸方向に沿ってオフセットされたインレットの配置と異なり、発明に係る真空ポンプの軸方向長さは短く保持されることが可能である。発明に係る真空ポンプは、よってコンパクトに形成されることが可能であり、これによってコンパクトな構造形状が実現されることができる。
【０００８】
「軸方向」及び「軸の方向」との概念は、回転軸に沿って推移する方向に合わせられる。他方で、「周囲方向」の概念は、回転軸の周りを周囲方向に推移する方向に合わせられる。
【０００９】
発明に係る真空ポンプにおいて、主インレットは、少なくとも二つのインレットに追加的にハウジングに設けられていることが可能である。好ましくは、主インレットは、ハウジングの軸方向の端部に、特に軸方向端部に位置するハウジングの正面に存在している。その際、好ましくは、少なくとも二つのインレットは、このハウジング正面に設けられていない。
【００１０】
主インレットと、他方のインレットは、特に真空ポンプのポートであることが可能である。これらに真空引きすべき容器又はレシーバーが接続可能である。
【００１１】
少なくとも二つのインレットを通って推移する平面は、好ましくは主インレットを通らず推移する。少なくとも二つのインレットは、よって軸方向で見て、主インレットに対してオフセットされて位置している。インレットは、特に副インレットである。これらにおいて、少なくとも一つのポンプ段は、主インレットよりも低いポンプ作用を発揮する。
【００１２】
インレットは、好ましくは、ハウジングの他方の軸方向端部に位置している。これは、主インレットを有する軸方向の端部と向かい合っている。インレットは、ハウジングの周囲面に設けられる、又は形成されていることが可能である。これらは、よって好ましくは、ハウジング正面において、ハウジングの他方の軸方向端部に位置していない。好ましくは、主インレットは、ハウジングの上方の軸方向端部に、特に上方の正面に位置しており、他方で、インレットは、ハウジングの下方の軸方向端部に位置している。
【００１３】
いずれのインレットも、中心を有するインレット開口部を有している。インレット開口部は、少なくとも近似的に円形状、正方形、又は長方形に形成されていることが可能である。好ましくは、平面はインレットの中心を通って推移している。よって、複数のインレットが、ちょうど同じ構造高さに位置しており、これによって特にコンパクトな構造形状が実現されることが可能である。
【００１４】
平面は、少なくとも一つのインレットの中心を通って推移していないことも可能である。中心と、これにともない少なくとも二つのインレットは、よって軸方向で見て、少なくともわずかのずれを有することが可能である。二つのインレットの軸方向のずれは、その際、好ましくは、両方のインレットの半径の合計よりも小さい。インレットは、よって、正確ではないにしても、少なくとも基本的に同じ軸方向の高さに位置しているので、真空ポンプのコンパクトで短い構造形状が実現されることが可能である。
【００１５】
好ましくは、各インレット開口部は、所定の面積を有する。その際、インレット開口部の面積の少なくとも２５％、好ましくは少なくとも３０％、更に好ましくは少なくとも４０％、そしてもっと更に好ましくは少なくとも５０％が、軸方向でみて、同じ軸方向の高さに位置している。よって、軸方向に関して、部分的にインレット開口部のオーバーラップが生じる。これによって、インレット開口部が、少なくとも基本的に同じ軸方向構造高さに位置するということが達成され、そして真空ポンプがコンパクトな構造形状で実現されることが可能である。
【００１６】
当該（複数の）インレットは、インレットにおいて異なる圧力レベルが発生させられるようポンプ段と接続されていることが可能である、又はこれと流体接続状態にあることが可能である。ポンプ段は、よって、複数のインレットにおいて異なるポンプ作用を発揮する。
【００１７】
代替的に、（複数の）インレットは、少なくとも近似的に同じ圧力レベルが当該インレットにおいて発生されるようポンプ段と接続されていることが可能である、又はポンプ段と流体接続状態であることが可能である。
【００１８】
インレットを横切る平面は、真空ポンプのアウトレットを通って推移していることも可能である。インレットは、よって少なくとも基本的に、アウトレットと同じ軸方向構造高さに位置している。これによって、特別コンパクトで、軸方向に短い、シンクポンプの構造形状が実現されることが可能である。アウトレットは、その際、周囲方向で見て、インレットの方へずらされてハウジングに配置、又は形成されている。好ましくは、アウトレットは、周囲方向で見て、少なくとも二つのインレットの間に存在している。アウトレットは、円形状、正方形状、又は長方形状のアウトレット開口部を有することが可能である。
【００１９】
特に、アウトレット開口部は、一つの中心を有する。平面は、インレットの開口部の中心を通り、かつアウトレット開口部の中心を通って推移していることが可能である。これによって、アウトレットとインレットが、ちょうどおなじ軸方向高さに位置することが実現されることが可能である。コンパクト性は、これによって更に改善されることが可能である。もっとも、上述した中心の間の少なくともわずかな軸方向のずれもまた、意図されていることが可能である。
【００２０】
真空ポンプは、少なくとも一つのホルベックポンプ段を有することが可能である。その際、少なくとも二つのインレットが、ホルベックポンプ段内に開口している。インレットは、よってホルベックポンプ段と流体的に接続されている、又は連結されていることが可能である。
【００２１】
真空ポンプの少なくとも基本的に同じ軸方向の構造高さにおける複数のインレットの配置は、ホルベックポンプ段の使用の下、特に簡単に実現されることが可能である。というのは、インレットとホルベックポンプ段の間の連結は、例えば、ハウジング外側面から半径方向内側に向かってホルベックポンプ段のホルベック間隙まで延在するチャネルによって、特に簡単に実現されることが可能だからである。その上、複数のインレットにおける異なる圧力レベルが簡単に実現されることが可能である。
【００２２】
好ましくは、ホルベックポンプ段は、互いに入れ子式に接続される少なくとも二つのホルベックポンプ段の、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段である。
【００２３】
真空ポンプは、少なくとも一つのターボ分子ポンプ段を有することが可能である。その際、少なくとも二つのインレットがターボ分子ポンプ段内へと開口していることが可能である。インレットは、よって直接ターボ分子ポンプ段と、流体的に接続されている、または連結されていることが可能である。これによって、特に、ホルベックポンプ段へのインレットの連結に比較して、より低い圧力レベルが、複数のインレット内に実現されることが可能である。
【００２４】
少なくとも一つのターボ分子ポンプ段は、真空ポンプ内で、好ましくは少なくとも一つのホルベックポンプ段に前接続されている。つまり、主インレットを介して真空ポンプ内に搬送される流体は、先ず、ターボ分子ポンプ段を貫流し、そしてその後、初めてホルベックポンプ段を貫流する。主インレットとアウトレットの間に延在するポンプチャネルは、よって、まずターボ分子ポンプ段を通り、その後ホルベックポンプ段を通って推移する。副インレットは、例えば、ターボ分子ポンプ段の領域、又はホルベックポンプ段の領域において、ポンプチャネル内へと開口している。
【００２５】
インレットは、好ましくは、真空ポンプの、内側と外側のシールの間のボリュームを真空引きするのに使用される中間吸引のインレットでない。
【００２６】
本発明は、発明に係る真空ポンプに接続するためのレシーバーにも関する。その際、レシーバーは、少なくとも二つのアウトレットを有する。これらは、真空ポンプの少なくとも二つのインレットに接続するために形成されており、そしてレシーバーのハウジングに設けられている。アウトレットは、真空ポンプのインレットに相応して、レシーバーの周囲方向で互いに間隔をあけており、そして少なくとも基本的に同じ軸方向構造高さに位置している。レシーバーは、これによって同様にコンパクトに形成されることが可能である。
【００２７】
本発明は、その上、発明に係る少なくとも一つの真空ポンプと、少なくとも一つのレシーバーを有する真空システムに関する。レシーバーは真空ポンプに接続されており、その際、真空シール、特にＯリングが、レシーバーのアウトレットと真空ポンプのインレットの間の真空接続部のシールの為に設けられている、又は設けられる。シールは、異なる厚さを有することが可能である。公差補償を行うためである。
【００２８】
以下に、本発明を添付の図面を参照しつつ有利な実施形に基づいて例示的に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】ターボ分子ポンプの斜視図
【図２】ターボ分子ポンプの下面図
【図３】図２に示された切断線Ａ−Ａに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図４】図２に示された切断線Ｂ−Ｂに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図５】図２に示された切断線Ｃ−Ｃに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図６】発明に係る真空ポンプの断面図
【図７】発明に係る別の真空ポンプの側面図
【図８】発明に係る更にもう一つの真空ポンプの側面図
【図９】発明に係る真空ポンプの断面図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３によって取り囲まれたポンプインレット１１５を有する。このポンプインレットには、公知の方法で、図示されていないレシーバーが接続されることができる。レシーバーからガスは、ポンプインレット１１５を介してレシーバーから吸引され、そしてポンプを通って、ポンプアウトレット１１７へと搬送されることが可能である。ポンプアウトレットには、真空ポンプ（例えば回転ポンプ（独語：Ｄｒｅｈｓｃｈｉｅｂｅｒｐｕｍｐｅ）のようなもの）が接続されていることが可能である。
【００３１】
インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいては、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上側の端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これに側方からエレクトロニクスハウジング１２３が設けられている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、例えば真空ポンプ内に配置される電動モーター１２５の運転の為の、電気的又は電子的な真空ポンプのコンポーネントが収納されている。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリーの為の複数の接続部１２７が設けられている。さらに、例えばＲＳ４８５スタンダードに従うデータインターフェース１２９と、電源供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３に設けられている。
【００３２】
ターボ分子ンポンプ１１１のハウジング１１９には、特にフラッドバルブ（独語：Ｆｌｕｔｖｅｎｔｉｌ）の形式のフラッドインレット１３３が設けられている。これを介して真空ポンプ１１１は、一挙に注入される（独語：ｇｅｆｌｕｔｅｔ  ｗｅｒｄｅｎ）ことが可能である。下部分１２１の領域内には、更に一つのシールガス接続部１３５（洗浄ガス接続部（独語：Ｓｐｕｅｌｇａｓａｎｓｃｈｌｕｓｓ）とも称される）が設けられている。これを介して洗浄ガスが、電動モーター１２５（例えば図３参照）の保護の為に、ポンプによって搬送されるガスの前にモーター室１３７（この中で、真空ポンプ１１１内で電動モーター１２５が収納されている）内へと運ばれることが可能である。下部分１２５内には、更に二つの冷却媒体接続部１３９が設けられている。その際、一方の冷却媒体接続部は冷却媒体の為のインレットとして、そして他方の冷却媒体接続部はアウトレットとして設けられている。冷却媒体は、冷却目的で真空ポンプ内に導かれることが可能である。
【００３３】
真空ポンプの下側の面１４１は、起立面として使用されることが可能であるので、真空ポンプ１１１は下側面１４１上に起立して運転されることが可能である。真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介してレシーバーに固定されることも可能であり、よっていわば懸架（又は懸吊、独語：ｈａｅｎｇｅｎｄ）して運転されることも可能である。その上、真空ポンプ１１１は、図１に示されているものと異なる方法で構成されているときに、作動させられることも可能であるよう形成されていることが可能である。下側面１４１が下に向けられて設けられておらず、横に向けられて、又は上に向けられて設けられている真空ポンプの実施形も実現可能である。
【００３４】
図２に表されている下側面１４１には、いくつかのネジ１４３が設けられている。これらによって、ここでは詳細に特定されていない真空ポンプの部材が、互いに固定されている。例えば支承部カバー１４５が下側面１４１に固定されている。
【００３５】
下側面１４１には、更に複数の固定穴１４７が設けられている。これらを介してポンプ１１１が例えば当接面に固定されることが可能である。
【００３６】
図２から５には冷却媒体配管１４８が表されている。この中を、冷却媒体接続部１３９を介して導入及び導出される冷却媒体が循環されることが可能である。
【００３７】
図３から５の断面図に示されるように、真空ポンプは、ポンプインレット１１５に及ぶプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するための複数のプロセスガス段を有する。
【００３８】
ハウジング１１９内には、ローター１４９が配置されている。これは回転軸１５１を中心として回転可能なローターシャフト１５３を有する。
【００３９】
ターボ分子ポンプ１１１は、互いに直列に接続され、ポンプ作用を奏する複数のポンプ段を有する。これらポンプ段は、ローターシャフト１５３に固定された半径方向の複数のローターディスク１５５と、該ローターディスク１５５の間に配置され、ハウジング１１９内に固定されている複数のローターディスク１５７を有する。その際、一方のローターディスク１５５と隣接するステーターディスク１５７は各一つのターボ分子的ポンプ段を形成する。ステーターディスク１５７は、スペーサーリング１５９によって所望の軸方向間隔に互いに保持されている。
【００４０】
真空ポンプ１１１は、その上、半径方向にいて互いに入れ子式に設けられ、及びポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続された複数のホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローターは、ローターシャフト１５３に設けられたローターハブ１６１と、該ローターハブ１６１に固定され、及びこれによって担持されたシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ１６３，１６５を有する。これらは、回転軸１５１に対して同軸に、及び半径方向において互いに入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ１６７．１６９が設けられている。これらは同様に回転軸１５１に対して同軸で、かつ半径方向でみて互いに入れ子式に接続されている。
【００４１】
ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、側面によって、つまりホルベックロータースリーブ１６３、１６５とホルベックステータースリーブ１６７，１６９の半径方向内側面及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ１６７の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれとターボ分子ポンプ的ポンプ段の後に接続される第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータースリーブ１６５の半径方向外側面と向き合っており、そしてこれと第三のホルベックポンプ段を形成する。
【００４２】
ホルベックロータースリーブ１６３の下側の端部には、半径方向に推移するチャネルが設けられていることが可能である。これを介して半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、内側のホルベックステータースリーブ１６９の上側の端部には、半径方向に推移するチャネルが設けられていることが可能である。これを介して中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、互いに入れ子式に接続された複数のホルベックポンプ段がシリアルに互いに接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータースリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９が設けられていることが可能である。
【００４３】
上述したホルベックステータースリーブ１６３，１６５のポンプ効果を奏する表面は、其々、らせん形状に回転軸１５１を中心として周回し、軸方向に推移する複数のホルベック溝を有する。一方で、ホルベックロータースリーブ１６３，１６５の反対側の側面は、滑らかに形成されており、そしてガスを真空ポンプ１１１を運転するためにホルベック溝内へと促進する。
【００４４】
ローターシャフト１５３の回転可能な支承の為に、ローラー支承部１８１がポンプアウトレット１７１の領域に、そして永久磁石支承部１８３がポンプインレット１１５の領域に設けられている。
【００４５】
ローラー支承部１８１の領域においては、ローターシャフト１５３に円すい形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、ローラー支承部１８１の方に向かって増加する外直径を有するものである。スプラッシュナット１８５は、運転媒体リザーバーの少なくとも一つのスキマーと、滑り接触している。運転媒体リザーバーは、互いに積層された吸収性の複数のディスク１８７を有している。これらは、ローラー支承部１８１の為の運転媒体、例えば潤滑媒体を染み込まされている。
【００４６】
真空ポンプ１１１の運転中、運転媒体は、毛細管効果によって運転媒体リザーバーからスキマーを介して回転するスプラッシュナット１８５へと送られ、そして遠心力によって、スプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット１８５の大きくなる外直径の方向へと、ローラー支承部１８１に向かって搬送され、そこで例えば潤滑機能を発揮する。ローラー支承部１８１と運転媒体リザーバーは、槽形状のインサート１８９と支承部カバー１４５によって真空ポンプ内に囲まれている。
【００４７】
永久磁石支承部１８３は、ローター側の支承半部１９１とステーター側の支承半部１９３を有する。これらは、各一つのリング積層部を有する。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング１９５，１９７を有する。リングマグネット１９５，１９７は、互いに、半径方向の支承間隙１９９を形成しつつ向かい合っており、その際、ローター側のリングマグネット１９５は、半径方向外側に、そしてステーター側のリングマグネット１９７は半径方向内側に配置されている（設けられている）。支承間隙１９９内に存在する磁場は、リングマグネット１９５，１９７の間に磁気的反発力を引き起こす。これは、ローターシャフト１５３の半径方向の支承を行う。ローター側のリングマグネット１９５は、ローターシャフト１５３のキャリア部分２０１によって担持されている。このローターシャフトは、リングマグネット１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステーター側のリングマグネット１９７は、ステーター側のキャリア部分２０３によって担持されている。このキャリア部分は、リングマグネット１９７を通って延在しており、そしてハウジング１１９の半径方向の支柱２０５に掛けられている。回転軸１５１に平行に、ローター側のリングマグネット１９５は、キャリア部分２０３と連結されるカバー要素２０７によって固定されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、一方の方向において、回転軸１５１に平行に、キャリア部分２０３と接続される固定リング２０９を通る方向によって、及びキャリア部分２０３と接続される固定リング２１１によって固定されている。固定リング２１１とリングマグネット１９７の間には、更に、さらばね２１３が設けられていることが可能である。
【００４８】
磁石支承部の内部には、緊急用又は案是尿支承部２１５が設けられている。これは、真空ポンプ１１の通常の運転中非接触で空転し、そしてローター１４９がステーターに対して半径方向に偏った際に初めて（これと）係合するに至り、ローター１４９の為の半径方向のストッパーを形成する。というのは、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのが防止されるからである。安全用支承部２１５は、潤滑されていないローラー支承部として形成されており、そしてローター１４９、及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成している。これは、安全用支承部２１５が、通常のポンプ運転中に係合していないことを実現する。安全用支承部２１５が係合に至った際の半径方向の偏りは、十分大きく寸法決めされているので、安全用支承部２１５が真空ポンプの通常の運転中に係合に至らず、そして同時に十分小さく寸法決めされているので、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突することがあらゆる状況で防止される。
【００４９】
真空ポンプ１１１は、ローター１４９の回転駆動の為の電動モーター１２５を有する。伝動モーター１２５のアンカー（アンクル、独語：Ａｎｋｅｒ）は、ローター１４９によって形成されている。そのローターシャフト１５３は、モーターステーター２１７を貫通して延在している。ローターシャフト１５３の、モーターステーター２１７を通って延在する部分には、半径方向外側に、又は埋め込まれて、永久磁石装置が設けられていることが可能である。モーターステーター２１７と、モーターステーター２１７を通って延在するローター１４９の部分の間には、中間空間２１９が設けられている。これは、半径方向のモーター間隙を有する。これを介してモーターステーター２１７と永久磁石装置が、駆動トルクの伝達の為に磁気的に影響することが可能である。
【００５０】
モーターステーター２１７は、ハウジング内において、電動モーター１２５の為に設けられるモーター室１３７の内部固定されている。シールガス接続部１３５を介してシールガス（洗浄ガスとも称され、そして例えば空気や窒素であることが可能である）が、モーター室１３７内に至る。シールガスを介して、電動モーター１２５はプロセスガス、例えばプロセスガスの腐食性に作用する部分から保護されることが可能である。モーター室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介して真空引きされることが可能である。つまり、モーター室１３７内は、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される予真空ポンプによって実現される真空圧となっている。
【００５１】
ローターハブ１６１と、モーター室１３７を境界づける壁部２２１の間には、その上、いわゆる公知のラビリンスハブ２２３が設けられていることが可能である。これは特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対するより良好な、モーター室２１７のシーリングを達成する為である。
【００５２】
上述した真空ポンプ１１１は、スプリットフロー真空ポンプとして形成されていることが可能であるので、これは、主インレットとして使用されるポンプインレット１１５（これはポンプ１１１の上側の正面に形成されている）に対して追加的に、更に、副インレットとして使用される追加的な二以上のインレット（図１から５には図示されていない）を有する。これら副インレットは、真空ポンプ１１１又はハウジング１１９（下部分１２１含めて）の周囲面に設けられている、又は形成されている。
【００５３】
発明に従い、少なくとも二つの副インレットがローター軸１５３の周回方向において互いにオフセットされてハウジング１１９（これも下部分１２１を有する）に設けられており、そして、回転シャフト又は回転軸１５１に垂直に推移する、少なくとも一つの平面（図１から５には図示されていない）が副インレットを通って推移している。よって副インレットは、少なくとも基本的に、回転軸１５１の長手方向に関して、同じ軸方向構造高さに位置している。これによって真空ポンプ１１１は、副インレットにも拘わらず、コンパクト又は比較的短く形成されることが可能である。これは、特に、副インレットが、回転軸１５１の長手方向において互いにオフセットされて配置されている、又は形成されている配置又は装置に比較してそうである。副インレットは、その際、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１内に開口している。代替として、副インレットは、複数のターボ分子ポンプ段のうちの一つの中に、又は他の箇所においてポンプチャネル内に開口していることが可能である。
【００５４】
図６に純粋な簡略断面図として示された真空ポンプ３３は、ハウジング１１を有する。これは、ハウジング１１９の形式で下部分１２１を設けられていることが可能である。そして、前記真空ポンプ３３は、主インレット１３の他に更に少なくとももう二つのインレット１５を有する。これらの内、図６には一方のインレット１５のみが見て取ることができる。インレット１５は、副インレットとして使用される。各インレット１３，１５には、レシーバー（図示せず）のアウトレットが接続されることが可能である。レシーバーをポンプ３３を介して真空引きするためある。
【００５５】
更に、ハウジング１１内には、少なくとも一つのポンプ段１７が形成されている。これは、例えば少なくとも一つのターボ分子ポンプ段、ホルベックポンプ段、又はターボ分子ポンプ段と後続するホルベックポンプ段の組合せであることが可能である。ポンプ段１７は、ローター１９を有する（上述したローター１４９参照）。このローターは、回転シャフト又は回転軸２１をステーター（図示せず）に対して回転可能である。ポンプ作用を発生させるためである。ポンプ作用によって、流体（例えばプロセスガスや空気のようなもの）は、レシーバーから、又は接続される複数のレシーバーから、複数のインレット１３，１５を介してポンプ内に搬送されることが可能であり、そしてポンプを通してそのアウトレット（図示せず、図１のポンプアウトレット１１７参照）へとポンピングされることが可能である。そこから、これは、例えば予真空ポンプによって更にポンピングされることが可能である。
【００５６】
図６の真空ポンプ３３には、少なくとも二つのインレット１５が主インレット１３と離れて位置し、そして特にハウジング１１においてローター１９の回転方向Ｕにおいて互いにオフセットされて位置している。その際、少なくとも一つの平面Ｅ１が、回転軸２１に垂直に、そして少なくとも二つのインレット１５を通って推移している。回転軸２１に関して見て、両方のインレット１５は、よって真空ポンプ３３の同じ軸方向構造高さに位置しており、これによって真空ポンプ３３のコンパクトで、かつ短い形成が可能である。
【００５７】
更に図６に示されているように、平面Ｅ１は、主インレット１３を通って推移している。回転軸２１に垂直に推移し、そして平面Ｅ１に対して軸方向でオフセットされている少なくとも一つの他の平面Ｅ２が、主インレット１３と交差する。
【００５８】
図７の側面図として示された真空ポンプは、上側のハウジング部分２３と下側のハウジング部分２５有するハウジング１１を有する。ハウジング内部では、図７の真空ポンプが図６のポンプのように構成されている。更に、図示されていない主インレットは、上側のハウジング部分２３に設けられていることが可能である。例えばハウジング部分２３の上側の正面に図１から５の真空ポンプ１から５におけるのと同様な方法で設けられていることが可能である。
【００５９】
図７の真空ポンプは、二つのインレット１５ａ，１５ｂを有する。これらは、ローター１９の周回方向Ｕにおいてみてたがいにオフセットして、下側のハウジング部分２５に設けられている。その際、回転軸２１に垂直に推移する平面Ｅ１が両方のインレット１５ａ，１５ｂを通って推移している。
【００６０】
表されているように、両方のインレット１５ａ，１５ｂは、各中心Ｍ１又はＭ２を有する円形状の断面を有する。平面Ｅ１は、両方の中心Ｍ１及びＭ２を通って推移している。これによって中心Ｍ１、Ｍ２は、回転軸２１に関して同じ軸方向の構造高さにある。
【００６１】
代替として、中心Ｍ１及びＭ２は、軸方向で見て僅かに軸方向のオフセットを有する。そのような軸方向のオフセットにおいて、平面Ｅ１は、両方の中心Ｍ１及びＭ２を同時に推移せず、しかしまったくもって確かに両方のインレット１５ａ，１５ｂを横切る。インレット１５ａ，１５ｂは、よってわずかに異なる軸方向の高さを有する。
【００６２】
図８の真空ポンプは、図７の真空ポンプのように構成されている。ただし、図８の真空ポンプにおいては、アウトレット２７は周囲方向Ｕで見て両方のインレット１５ａ，１５ｂの間に位置している。アウトレット２７は、円形のアウトレット開口部を有する。その中心Ｍ３を通って平面Ｅ１が推移している。同じことは、インレット１５ａ，１５ｂのインレット開口部の中心Ｍ１，Ｍ２にも言える。アウトレット２７は、両方のインレット１５ａ，１５ｂとちょうど同じ軸方向の構造高である。
【００６３】
図９の真空システム３１は、上述したような真空ポンプ３３と、チャンバー３７，３９を有するレシーバー３５を有する。チャンバー３７は、真空ポンプ３３の主インレット１３に真空密に接続されている。他方で、他のチャンバー３９は、副インレット１５に真空密に接続されている。図９に示されていない、他の副インレット１５ｂには、レシーバー３５の図示されていない別のチャンバーが真空密に接続されている。
【００６４】
図９に示されているように、チャンバー３７は、回転軸２１に関する半径方向においてチャンバー３９に対してわずかに突き出している。この突出を補償する、又はそれ以外の公差を補償するために、厚いシール４１、特にＯリングシールがチャンバー３９のアウトレットとインレット１５ａの間に挿入されていることが可能である。他方で、薄いシール４３、特にＯリングシールが、チャンバー３７のアウトレットと主インレット１３の間に配置されている。
【００６５】
記載した真空ポンプは、コンパクトな構造を可能とする。というのは、副インレット１５，１５ａ，１５ｂが基本的に同じ軸方向の構造高さに配置されているからである。その際、副インレット１５，１５ａ，１５ｂは、ポンプ運転の間、インレット内に異なる圧力レベルが作用するようポンプ段と接続されていることが可能である。
【符号の説明】
【００６６】
１１    ハウジング
１３    主インレット
１５    副インレット
１５ａ  副インレット
１５ｂ  副インレット
１７    ポンプ段
１９    ローター
２１    回転軸
２３    上側のハウジング部分
２５    下側のハウジング部分
２７    アウトレット
３１    真空システム
３３    真空ポンプ
３５    レシーバー
３７    チャンバー
３９    チャンバー
４１    シール
４３    シール
１１１  ターボ分子ポンプ
１１３  インレットフランジ
１１５  ポンプインレット
１１７  ポンプアウトレット
１１９  ハウジング
１２１  下部分
１２３  エレクトロニクスハウジング
１２５  電動モーター
１２７  アクセサリー接続部
１２９  データインターフェース
１３１  電源供給接続部
１３３  フラッドインレット（独語：Ｆｌｕｔｅｉｎｌａｓｓ）
１３５  シールガス接続部
１３７  モーター室
１３９  冷却媒体接続部
１４１  下側面
１４３  ネジ
１４５  支承部カバー
１４７  固定穴
１４８  冷却媒体配管
１４９  ローター
１５１  回転軸
１５３  ローター軸
１５５  ローターディスク
１５７  ステーターディスク
１５９  スペーサーリング
１６１  ローター刃部
１６３  ホルベックロータースリーブ
１６５  ホルベックロータースリーブ
１６７  ホルベックステータースリーブ
１６９  ホルベックステータースリーブ
１７１  ホルベック間隙
１７３  ホルベック間隙
１７５  ホルベック間隙
１７９  接続チャネル
１８１  ローラー支承部
１８３  永久磁石支承部
１８５  スプラッシュナット
１８７  ディスク
１８９  インサート
１９１  ローター側の支承半部
１９３  ローター側の支承半部
１９５  リングマグネット
１９７  リングマグネット
１９９  支承間隙
２０１  キャリア部分
２０３  キャリア部分
２０５  半径方向の支柱
２０７  カバー要素
２０９  支持リング
２１１  固定リング
２１３  さらばね
２１５  緊急用又は安全用支承部
２１７  モーターステーター
２１９  中間空間
２２１  壁部
２２３  ラビリンスシール
Ｕ      周囲方向
Ｅ１    平面
Ｅ２    平面
Ｍ１    中心
Ｍ２    中心
Ｍ３    中心
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018084231.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【外国語明細書】
2018084231000001.pdf