(57)【要約】【課題】本発明は、コイルの配置位置に対する要求精度を高くする必要が無く、製造を容易にすることである。【解決手段】第１励磁ステータボビン９０の第１励磁側内設位置９００には、第１輪状励磁コイル２２が内設されている。前記第１励磁ステータボビン９０は第１スペーサ８０を介して第１検出ステータボビン７０に接続されている。前記第１検出ステータボビン７０と、前記第１励磁ステータボビン９０と、前記第１スペーサ８０とは例えばパーマロイ等の任意の磁性材料で形成されている。第２検出ステータボビン７１には、第２輪状検出コイル４３が内設されている。前記第２検出ステータボビン７１は第２スペーサ８１を介して前記第２励磁ステータボビン９１に接続されている。前記第２励磁ステータボビン９１と、前記第２検出ステータボビン７１と、前記第２スペーサ８１とは例えばパーマロイ等の任意の磁性材料で形成されている。【選択図】図１
2018040708.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１輪状検出コイル（４２）が内設されている第１検出ステータボビン（７０）と、
第１輪状励磁コイル（２２）が内設されており、前記第１輪状検出コイル（４２）と前記第１輪状励磁コイル（２２）との中心軸が一致するように前記第１検出ステータボビン（７０）に接続された第１励磁ステータボビン（９０）と、
前記第１輪状励磁コイル（２２）と逆向きに巻回された第２輪状励磁コイル（２３）が内設されており、前記第１輪状励磁コイル（２２）と前記第２輪状励磁コイル（２３）との中心軸が一致するように前記第１励磁ステータボビン（９０）に隣接して接続された第２励磁ステータボビン（９１）と、
第２輪状検出コイル（４３）が内設され、前記第２輪状励磁コイル（２３）と前記第２輪状検出コイル（４３）との中心軸が一致するように前記第２励磁ステータボビン（９１）の前記第１励磁ステータボビン（９０）の接続されていない側に接続された第２検出ステータボビン（７１）と、
前記第１輪状検出コイル（４２）と前記第１輪状励磁コイル（２２）と前記第２輪状励磁コイル（２３）と前記第２輪状検出コイル（４３）との中心軸に設けられた貫通孔（７０２，７１２，９０２，９１２）を軸方向に貫通して設けられた管状の内壁（３２）の内側を、軸方向に移動可能なプローブ（３１）と、
前記プローブ（３１）の外側に前記プローブ（３１）と同軸に且つ共に移動可能に設けられたコア（３０）と
を備え、
前記第１検出ステータボビン（７０）と前記第２検出ステータボビン（７１）と前記第１励磁ステータボビン（９０）と前記第２励磁ステータボビン（９１）と前記コア（３０）とは、磁性材料で形成され、
プローブ（３１）は、非磁性材料で形成され、
前記第１輪状励磁コイル（２２）及び前記第２輪状励磁コイル（２３）を励磁し、前記コア（３０）の位置に応じて前記第１輪状検出コイル（４２）及び前記第２輪状検出コイル（４３）に発生する電気信号を比較する
ことを特徴とするリニアセンサ。
【請求項２】
前記第１輪状検出コイル（４２）及び前記第１輪状励磁コイル（２２）はそれぞれが対向する側から遠位の側に向かって径が細くなるテーパ部（４２０，２２０）を備え、前記第２輪状検出コイル（４３）及び前記第２輪状励磁コイル（２３）は、各々が対向する側から遠位の側に向かって径が細くなるテーパ部（４３０，２３０）を備えている、請求項１に記載のリニアセンサ。
【請求項３】
前記第１検出ステータボビン（７０）と前記第１励磁ステータボビン（９０）との間に磁性材料で形成された第１スペーサ（８０）が設けられており、前記第２検出ステータボビン（７１）と前記第２励磁ステータボビン（９１）との間に磁性材料で形成された第２スペーサ（８１）が設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載のリニアセンサ。
【請求項４】
前記第１検出ステータボビン（７０）と前記第２検出ステータボビン（７１）と前記第１励磁ステータボビン（９０）と前記第２励磁ステータボビン（９１）と第１スペーサ（８０）と第２スペーサ（８１）との少なくとも一つ及び前記コア（３０）に、スリット（７０３，７１３，９０３，９１３）が設けられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のリニアセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はリニアセンサに関し、特に、ステータボビンとコアとスペーサとによって磁気回路が構成されるリニアセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
リニアセンサとしては、例えば以下の特許文献１等に記載された構成を図８として挙げることができる。すなわち、従来のリニアセンサ１０は、主として第１励磁コイル２０と、第２励磁コイル２１と、コア３０と、第１検出コイル４０と、第２検出コイル４１と、増幅回路５０と、電源端子６０と、出力端子６１と、グランド端子６２とから構成されている。前記コア３０は、プローブに取り付けられており前記第１，第２励磁コイル２０，２１の内側を移動可能に設けられている。前記第１、第２検出コイル４０，４１は、前記第１，第２励磁コイル２０，２１から所定の間隔を空けて設けられている。
【０００３】
前記リニアセンサ１０では、交流電流で励磁された前記第１，第２励磁コイル２０，２１内を前記コア３０が移動することにより、前記コア３０の位置に対して前記第１，第２検出コイル４０，４１に鎖交し検出される磁束量が変化する。そのため前記第１、第２検出コイル４０，４１に発生する電圧の差が前記コア３０の位置に対応して変化し、前記増幅回路５０によって該電圧の差が増幅されて前記出力端子６１から出力される。この前記出力端子６１の出力電圧を測定することにより、前記コア３０の位置を検出することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１４９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記のような前記リニアセンサ１０では、前記第１，第２検出コイル４０，４１に鎖交する磁束は、前記第１、第２検出コイル４０，４１と前記第１，第２励磁コイル２０，２１との間隔部分の磁束であり、すなわち透磁率の低い空気部分の磁束である。そのため、前記第１、第２検出コイル４０，４１に鎖交する磁束が少なくなり、前記出力端子６１から出力される出力電圧も小さくなる。よって、前記リニアセンサの精度を高くするためには前記前記第１，第２励磁コイル２０，２１及び前記第１、第２検出コイル４０，４１の配置位置に対する要求精度が高くなるので、前記リニアセンサ１０の製造が難しくなるという課題があった。
【０００６】
この発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、励磁コイルと検出コイルとを設けたステータボビンを磁性材料で形成することで、検出コイルに鎖交する磁束を多くし、検出コイルからの出力電圧を大きくすることで前記リニアセンサの検出コイルの配置位置に対する要求精度を高くする必要が無く、製造を容易にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係るリニアセンサは、第１輪状検出コイルが内設されている第１検出ステータボビンと、第１輪状励磁コイルが内設されており、前記第１輪状検出コイルと前記第１輪状励磁コイルとの中心軸が一致するように前記第１検出ステータボビンに接続された第１励磁ステータボビンと、前記第１輪状励磁コイルと逆向きに巻回された第２輪状励磁コイルが内設されており、前記第１輪状励磁コイルと前記第２輪状励磁コイルとの中心軸が一致するように前記第１励磁ステータボビンに隣接して接続された第２励磁ステータボビンと、第２輪状検出コイルが内設されており、前記第２輪状励磁コイルと前記第２輪状検出コイルとの中心軸が一致するように前記第２励磁ステータボビンの前記第１励磁ステータボビンの接続されていない側に接続された第２検出ステータボビンと、前記第１輪状検出コイルと前記第１輪状励磁コイルと前記第２輪状励磁コイルと前記第２輪状検出コイルとの中心軸に設けられた貫通孔を軸方向に貫通して設けられた管状の内壁の内側を、軸方向に移動可能なプローブと、前記プローブの外側に前記プローブと同軸に且つ共に移動可能に設けられたコアとを備え、前記第１検出ステータボビンと前記第２検出ステータボビンと前記第１励磁ステータボビンと前記第２励磁ステータボビンと前記コアとは、磁性材料で形成され、プローブは、非磁性材料で形成され、前記第１輪状励磁コイル及び前記第２輪状励磁コイルを励磁し、前記コアの位置に応じて前記第１輪状検出コイル及び前記第２輪状検出コイルに発生する電気信号を比較し、また、前記第１輪状検出コイル及び前記第１輪状励磁コイルはそれぞれが対向する側から遠位の側に向かって径が細くなるテーパ部を備え、前記第２輪状検出コイル及び前記第２輪状励磁コイルは、各々が対向する側から遠位の側に向かって径が細くなるテーパ部を備えており、また、前記第１検出ステータボビンと前記第１励磁ステータボビンとの間に磁性材料で形成された第１スペーサが設けられており、前記第２検出ステータボビンと前記第２励磁ステータボビンとの間に磁性材料で形成された第２スペーサが設けられており、また、前記第１検出ステータボビンと前記第２検出ステータボビンと前記第１励磁ステータボビンと前記第２励磁ステータボビンと前記第１スペーサと前記第２スペーサとの少なくとも一つ及び前記コアに、スリットが設けられている。
【発明の効果】
【０００８】
この発明のリニアセンサによれば、前記第１検出ステータボビンと前記第２検出ステータボビンと前記第１励磁ステータボビンと前記第２励磁ステータボビンと前記コアとは、磁性材料で形成され、プローブは、非磁性材料で形成され、前記第１輪状励磁コイル及び前記第２輪状励磁コイルを励磁し、前記コアの位置に応じて前記第１輪状検出コイル及び前記第２輪状検出コイルに発生する電気信号を比較するので、検出コイルに鎖交する磁束を多くし、出力端子から出力される出力電圧を大きくすることで前記リニアセンサの検出コイルの配置位置に対する要求精度を高くする必要が無く、製造を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】この発明の実施の形態に係る概略上面図である。
【図２】図１に示すリニアセンサを切断線Ａ−Ａ’で切断した断面図である。
【図３】図１に示すリニアセンサの概略展開図である。
【図４】図１に示すリニアセンサの概略正面図である。
【図５】図１に示すリニアセンサの回路図である。
【図６】図４に示すリニアセンサの他の動作を示す回路図である。
【図７】図４に示すリニアセンサの他の動作を示す回路図である。
【図８】従来のリニアセンサの構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、この発明の実施の形態を添付図面の図１〜図５に基づいて説明する。なお、従来例と同一又は同等部分には同一符号を付して説明する。
図１は、この発明の実施の形態に係るリニアセンサ１００の構成の概略上面図である。リニアセンサ１００には、第１検出ステータボビン７０と、第２検出ステータボビン７１と、第１励磁ステータボビン９０と、第２励磁ステータボビン９１と、第１スペーサ８０と、第２スペーサ８１と、プローブ３１が設けられている。
【００１１】
図２は、図１に示す前記リニアセンサ１００を切断線Ａ−Ａ’で切断した断面図である。前記リニアセンサ１００は主として、第１輪状検出コイル４２と、第２輪状検出コイル４３と、第１輪状励磁コイル２２と、第２輪状励磁コイル２３と、第１検出ステータボビン７０と、第２検出ステータボビン７１と、第１励磁ステータボビン９０と、第２励磁ステータボビン９１と、プローブ３１と、コア３０とから構成されている。
【００１２】
前記リニアセンサ１０の一端に設けられた前記第１検出ステータボビン７０の第１検出側内設位置７００には、前記第１輪状検出コイル４２が内設されている。前記第１検出ステータボビン７０には、前記第１検出ステータボビン７０と同軸に同じ外径を有する第１スペーサ８０が隣接して接続されている。前記第１スペーサ８０には、前記第１励磁ステータボビン９０が隣接して接続されている。
【００１３】
前記第１励磁ステータボビン９０の第１励磁側内設位置９００には、前記第１輪状励磁コイル２２が内設されている。前記第１輪状検出コイル４２と前記第１輪状励磁コイル２２との中心軸が一致するように、前記第１励磁ステータボビン９０は前記第１スペーサ８０を介して前記第１検出ステータボビン７０に接続されている。前記第１検出ステータボビン７０と、前記第１励磁ステータボビン９０と、前記第１スペーサ８０とは例えばパーマロイ等の任意の磁性材料で形成されている。
【００１４】
前記第１輪状検出コイル４２及び前記第１輪状励磁コイル２２には、それぞれが対向する側から遠位の側に向かって径が細くなる第１検出コイルテーパ部４２０及び第１励磁コイルテーパ部２２０が設けられている。前記第１検出側内設位置７００及び前記第１励磁側内設位置９００には、前記第１検出コイルテーパ部４２０及び前記第１励磁コイルテーパ部２２０に合致するように、第１検出ボビンテーパ部７０１及び第１励磁ボビンテーパ部９０１が設けられている。
【００１５】
前記第１励磁ステータボビン９０には、前記第２励磁ステータボビン９１が隣接して接続されている。前記第２励磁ステータボビン９１の第２励磁側内設位置９１０には、前記第２輪状励磁コイル２３が内設されており、前記第１輪状励磁コイル２２と前記第２輪状励磁コイル２３との中心軸が一致するように前記第１励磁ステータボビン９０と前記第２励磁ステータボビン９１とが接続されている。前記第２輪状励磁コイル２３は、前記第１輪状励磁コイル２２に対して逆向きに巻回されている。
【００１６】
前記第２励磁ステータボビン９１には、前記第２励磁ステータボビン９１と同軸で同じ外径を有する第２スペーサ８１が隣接して接続されている。前記第２スペーサ８１には、前記第２検出ステータボビン７１が隣接して接続されている。
【００１７】
前記第２検出ステータボビン７１には、前記第２輪状検出コイル４３が内設されている。前記第２輪状励磁コイル２３と前記第２輪状検出コイル４３との中心軸が一致するように、前記第２検出ステータボビン７１は前記第２スペーサ８１を介して前記第２励磁ステータボビン９１に接続されている。前記第２励磁ステータボビン９１と、前記第２検出ステータボビン７１と、前記第２スペーサ８１とは例えばパーマロイ等の任意の磁性材料で形成されている。
【００１８】
前記第２輪状励磁コイル２３及び前記第２輪状検出コイル４３には、それぞれが対向する側から遠位の側に向かって径が細くなる第２励磁コイルテーパ部２３０及び第２検出コイルテーパ部４３０が設けられている。前記第２励磁側内設位置９１０及び前記第２検出側内設位置７１０には、前記第２励磁コイルテーパ部２３０及び前記第２検出コイルテーパ部４３０に合致するように、第２励磁ボビンテーパ部９１１及び第２検出ボビンテーパ部７１１が設けられている。
【００１９】
前記第１検出ステータボビン７０には第１検出ボビン貫通孔７０２が、前記第１励磁ステータボビン９０に第１励磁ボビン貫通孔９０２が、前記第２励磁ステータボビン９１に第２励磁ボビン貫通孔９１２が、前記第２検出ステータボビン７１に第２検出ボビン貫通孔７１２が、それぞれの中心軸に設けられている。
【００２０】
前記第１検出ボビン貫通孔７０２，前記第２検出ボビン貫通孔７１２，前記第１励磁ボビン貫通孔９０２、前記第２励磁ボビン貫通孔９１２の内側には、管状の内壁３２が設けられている。前記内壁３２の内側には、前記リニアセンサ１００の軸方向に移動可能なプローブ３１が設けられている。前記プローブ３１は、非磁性材料で形成されている。前記プローブ３１の長手方向の一部の外周には、前記プローブ３１と同軸に且つ共に移動可能に磁性材料で形成されたコア３０が設けられている。
【００２１】
図３に示すように、前記コア３０には長手方向に延びるスリット３００が設けられている。また、図４に示すように、前記第１検出ステータボビン７０には長手方向に延びる第１検出ステータスリット７０３が、前記第２検出ステータボビン７１には長手方向に延びる第２検出ステータスリット７１３が、前記第１励磁ステータボビン９０には長手方向に延びる第１励磁ステータスリット９０３が、前記第２励磁ステータボビン９１には長手方向に延びる第２励磁ステータスリット９１３がそれぞれ設けられている。なお、前記第１検出ステータスリット７０３と、前記第２検出ステータスリット７１３と、前記第１励磁ステータスリット９０３と、前記第２励磁ステータスリット９１３とのうち少なくとも１つが設けられていればよく、また、前記第１スペーサ８０又は前記第２スペーサ８１にスリットが設けられていてもよい。
【００２２】
図５に示すように、前記第１，第２輪状励磁コイル２２，２３は交流電源１０１に接続されている。また、前記第１，第２輪状検出コイルは、検出部１０２に接続されている。
【００２３】
次に、この発明の実施の形態に係るリニアセンサの動作を図１〜７を用いて示す。
図５に示すように、前記交流電源１０１より第１、第２輪状励磁コイル２２，２３に交流電流が印加されると、前記第１、第２輪状励磁コイル２２，２３が励磁される。
【００２４】
図２に示すように、励磁された前記第１、第２輪状励磁コイル２２，２３から発生した第１，第２磁束１０３，１０４は前記第１，第２励磁ステータボビン９０，９１と、前記コア３０と、前記第１，第２スペーサ８０，８１と、前記第１，第２検出ステータボビン７０，７１とを通り磁気回路を構成する。前記第１，第２磁束１０３，１０４が前記第１、第２検出ステータボビン７０，７１を通ることで、図５に示すように前記第１，第２輪状検出コイル４２，４３に前記第１，第２磁束１０３，１０４が鎖交し、前記電圧Ｅ１及びＥ２が発生して前記第１、第２磁束１０３，１０４（図２参照）が検出される。前記電圧Ｅ１及びＥ２が前記検出部１０２に入力されると、。前記電圧Ｅ１及びＥ２を比較するために前記検出部１０２において出力電圧ＥＯＵＴ＝Ｅ１−Ｅ２が演算され、ＥＯＵＴの値より前記コア３０の位置を演算することで前記プローブ３１の位置を検出することができる。
【００２５】
例えば、図５に示すように、前記コア３０から前記第１輪状検出コイル４２まで及び前記コア３０から前記第２輪状検出コイル４３までの距離が等しくなるように前記コア３０が位置している場合は、前記第１、第２検出ステータボビン７０，７１を通る磁束の量が等しくなる。そのため、前記電圧Ｅ１及びＥ２の値が等しくなり、ＥＯＵＴの値が０Ｖとなる。よって、前記検出部１０２によって前記コア３０から前記第１輪状検出コイル４２まで及び前記コア３０から前記第２輪状検出コイル４３までの距離が等しくなるように前記コア３０が位置していることを検出できる。
【００２６】
また、図６に示すように、前記コア３０から前記第１輪状検出コイル４２への距離の方が前記コア３０から前記第２輪状検出コイル４３からの距離よりも短くなるように前記コア３０が位置している場合は、前記第１検出ステータボビン７０を通る第１磁束１０３の方が前記第２検出ステータボビン７１を通る第２磁束１０４よりも量が多くなる。そのため、前記第１輪状検出コイル４２に鎖交する前記第１磁束１０３により発生する前記電圧Ｅ１の方が前記第２輪状検出コイル４３に鎖交する前記第２磁束１０４により発生する電圧Ｅ２よりも高くなり、ＥＯＵＴは正の値をとる。この時、前記検出部１０２によってＥＯＵＴの値を測定することで、前記コア３０の位置を検出することができる。
【００２７】
さらに、図７に示すように、前記コア３０から前記第２輪状検出コイル４３への距離の方が前記コア３０から前記第１輪状検出コイル４２からの距離よりも短くなるように前記コア３０が位置している場合は、前記第２検出ステータボビン７１に鎖交する第２磁束１０４の方が前記第１検出ステータボビン７０に鎖交する第１磁束１０３よりも量が多くなる。そのため、前記第２輪状検出コイル４３に鎖交する前記第２磁束１０４により発生する前記電圧Ｅ２の方が前記第１輪状検出コイル４２に鎖交する前記第１磁束１０３により発生する電圧Ｅ１よりも高くなり、ＥＯＵＴは負の値をとる。この時、前記検出部１０２によってＥＯＵＴの値を測定することで、前記コア３０の位置を検出することができる。
【００２８】
以上のように、前記リニアセンサ１０では、前記第１、第２輪状励磁コイル２２，２３から発生した第１，第２磁束１０３，１０４が、磁性体である前記第１，第２励磁ステータボビン９０，９１と、前記コア３０と、前記第１，第２スペーサ８０，８１と、前記第１，第２検出ステータボビン７０，７１とを通り磁気回路を構成するため、従来のリニアセンサのように励磁コイルに鎖交した透磁率の低い空気部分の磁束を検出するのではなく、前記第１，第２検出ステータボビン７０，７１を通る磁束を前記第１，第２輪状励磁コイル２２，２３によって検出部１０２が検出するので、前記第１，第２輪状検出コイル４２，４３の配置位置に対する要求精度を高くせずに発生する電圧Ｅ１及びＥ２を従来のリニアセンサよりも高出力にできる。
【００２９】
このように、前記第１，第２輪状励磁コイル２２，２３が内設されている前記第１，第２励磁ステータボビン９０，９１及び前記第１，第２輪状検出コイル４２，４３が内設されている前記第１，第２検出ステータボビン７０，７１を磁性材料で形成することで、前記第１，第２輪状検出コイル４２，４３に鎖交する磁束を多くし、前記第１，第２輪状検出コイル４２，４３から出力される出力電圧を大きくすることで前記リニアセンサ１０の前記第１，第２輪状検出コイル４２，４３の配置位置に対する要求精度を高くする必要が無く、製造を容易にすることができる。
【００３０】
また、前記第１輪状検出コイル４２及び前記第１輪状励磁コイル２２はそれぞれが対向する側から遠位の側に向かって径が細くなる前記第１検出コイルテーパ部４２０及び前記第１励磁コイルテーパ部２２０を備え、前記第２輪状検出コイル４３及び前記第２輪状励磁コイル２３は、各々が対向する側から遠位の側に向かって径が細くなる前記第２検出コイルテーパ部４３０，前記第２励磁コイルテーパ部２３０を備えているので、前記第１，第２励磁ステータボビン９０，９１及び前記第１，第２検出ステータボビン７０，７１の強度を保ちつつ前記第１，第２輪状励磁コイル２２，２３及び前記第１，第２輪状検出コイル４２，４３の入るスペースを広くすることができ、さらに前記第１輪状検出コイル４２及び前記第１輪状励磁コイル２２と、前記第２輪状励磁コイル２３及び前記第２輪状検出コイル４３のそれぞれが対向する側から近位の側で前記第１，第２磁束１０３，１０４の量が大きくなり、遠位の側で前記第１，第２磁束１０３，１０４の量が小さくなるので、前記第１，第２輪状励磁コイル２２，２３及び前記第１，第２輪状検出コイル４２，４３からの漏れ磁束を低減することができる。
【００３１】
また、前記第１検出ステータボビン７０と前記第１励磁ステータボビン９０との間に磁性材料で形成された前記第１スペーサ８０が設けられており、前記第２検出ステータボビン７１と前記第２励磁ステータボビンとの間に磁性材料で形成された前記第２スペーサ８１が設けられていることで、前記第１，第２励磁ステータボビン９０，９１と、前記コア３０と、前記第１，第２スペーサ８０，８１と、前記第１，第２検出ステータボビン７０，７１とで磁気回路を構成しつつ、前記第１検出ステータボビン７０と前記第１励磁ステータボビン９０との間の距離及び前記第２検出ステータボビン７１と前記第２励磁ステータボビン９１との間の距離を任意に調節することができる。
【００３２】
また、前記第１検出ステータボビン７０と前記第２検出ステータボビン７１と前記第１励磁ステータボビン９０と前記第２励磁ステータボビン９１と前記第１スペーサ８０と前記第２スペーサ８１との少なくとも一つ及び前記コア３０に、前記第１検出ステータスリット７０３と、前記第２検出ステータスリット７１３と、前記第１励磁ステータスリット９０３と、前記第２励磁ステータスリット９１３とのうち少なくとも１つと、前記スリット３００が設けられているので、前記第１検出ステータボビン７０と前記第２検出ステータボビン７１と前記第１励磁ステータボビン９０と前記第２励磁ステータボビン９１と前記コア３０とに渦連流が発生することを防止することができ、さらに前記第１，第２輪状励磁コイル２２，２３及び前記第１，第２輪状検出コイル４２，４３の配線の引き出しを容易にすることができる。
【００３３】
尚、本発明によるリニアアクチュエータの要旨としては、以下の通りである。すなわち、前記第１輪状検出コイル４２が内設されている前記第１検出ステータボビン７０と、前記第１輪状励磁コイル２２が内設されており、前記第１輪状検出コイル４２と前記第１輪状励磁コイル２２との中心軸が一致するように前記第１検出ステータボビン７０に接続された前記第１励磁ステータボビン９０と、前記第１輪状励磁コイル２２と逆向きに巻回された前記第２輪状励磁コイル２３が内設されており、前記第１輪状励磁コイル２２と前記第２輪状励磁コイル２３との中心軸が一致するように前記第１励磁ステータボビン９０に隣接して接続された前記第２励磁ステータボビン９１と、前記第２輪状検出コイル４３が内設されており、前記第２輪状励磁コイル２３と前記第２輪状検出コイル４３との中心軸が一致するように前記第２励磁ステータボビン９１の前記第１励磁ステータボビン９０の接続されていない側に接続された前記第２検出ステータボビン７１と、前記第１輪状検出コイル４２と前記第１輪状励磁コイル２２と前記第２輪状励磁コイル２３と前記第２輪状検出コイル４３との中心軸に設けられた前記第１検出ボビン貫通孔７０２，前記第２検出ボビン貫通孔７１２，前記第１励磁ボビン貫通孔９０２、前記第２励磁ボビン貫通孔９１２を軸方向に貫通して設けられた管状の内壁３２の内側を、軸方向に移動可能な前記プローブ３１と、前記プローブ３１の外側に前記プローブ３１と同軸に且つ共に移動可能に設けられた前記コア３０とを備え、前記第１検出ステータボビン７０と前記第２検出ステータボビン７１と前記第１励磁ステータボビン９０と前記第２励磁ステータボビン９１と前記コア３０とは、磁性材料で形成され、プローブ３１は、非磁性材料で形成され、前記第１輪状励磁コイル２２及び前記第２輪状励磁コイル２３を励磁し、前記コア３０の位置に応じて前記第１輪状検出コイル４２及び前記第２輪状検出コイル４３に発生する電気信号を比較するように構成されており、また、前記第１輪状検出コイル４２及び前記第１輪状励磁コイル２２はそれぞれが対向する側から遠位の側に向かって径が細くなる前記第１検出コイルテーパ部４２０及び前記第１励磁コイルテーパ部２２０を備え、前記第２輪状検出コイル４３及び前記第２輪状励磁コイル２３は、各々が対向する側から遠位の側に向かって径が細くなる前記第２検出コイルテーパ部４３０，前記第２励磁コイルテーパ部２３０を備えているように構成されており、また、前記第１検出ステータボビン７０と前記第１励磁ステータボビン９０との間に磁性材料で形成された前記第１スペーサ８０が設けられており、前記第２検出ステータボビン７１と前記第２励磁ステータボビン９１との間に磁性材料で形成された前記第２スペーサ８１が設けられているように構成されており、また、前記第１検出ステータボビン７０と前記第２検出ステータボビン７１と前記第１励磁ステータボビン９０と前記第２励磁ステータボビン９１と前記第１スペーサ８０と前記第２スペーサ８１との少なくとも一つ及び前記コア３０に、前記第１検出ステータスリット７０３と、前記第２検出ステータスリット７１３と、前記第１励磁ステータスリット９０３と、前記第２励磁ステータスリット９１３とのうち少なくとも１つと、前記スリット３００がが設けられているように構成されている。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明によるリニアセンサは、第１輪状検出コイルが内設されている第１検出ステータボビンと、第１輪状励磁コイルが内設されており、第１輪状検出コイルと第１輪状励磁コイルとの中心軸が一致するように第１検出ステータボビンに接続された第１励磁ステータボビンと、第１輪状励磁コイルと逆向きに巻回された第２輪状励磁コイルが内設されており、第１輪状励磁コイルと第２輪状励磁コイルとの中心軸が一致するように第１励磁ステータボビンに隣接して接続された第２励磁ステータボビンと、第２輪状検出コイルが内設されており、第２輪状励磁コイルと第２輪状検出コイルとの中心軸が一致するように第２励磁ステータボビンの第１励磁ステータボビンの接続されていない側に接続された第２検出ステータボビンと、第１輪状検出コイルと第１輪状励磁コイルと第２輪状励磁コイルと第２輪状検出コイルとの中心軸に設けられた貫通孔を軸方向に貫通して設けられた管状の内壁の内側を、軸方向に移動可能なプローブと、プローブの外側にプローブと同軸に且つ共に移動可能に設けられたコアとを備え、第１検出ステータボビンと第２検出ステータボビンと第１励磁ステータボビンと第２励磁ステータボビンとコアとは、磁性材料で形成され、プローブは、非磁性材料で形成され、第１輪状励磁コイル及び第２輪状励磁コイル）を励磁し、コアの位置に応じて第１輪状検出コイル及び第２輪状検出コイルに発生する電気信号を比較するので、リニアセンサの前記第１，第２輪状検出コイルの配置位置に対する要求精度を高くせずに製造を容易にすることができる。
【符号の説明】
【００３５】
２２        第１輪状励磁コイル
２３        第２輪状励磁コイル
３０        コア
３１        プローブ
３２        内壁
４２        第１輪状検出コイル
４３        第２輪状検出コイル
７０        第１検出ステータボビン
７１        第２検出ステータボビン
８０        第１スペーサ
８１        第２スペーサ
９０        第１励磁ステータボビン
９１        第２励磁ステータボビン
１００      リニアセンサ
２２０      第１励磁コイルテーパ部（テーパ部）
２３０      第２励磁コイルテーパ部（テーパ部）
４２０      第１検出コイルテーパ部（テーパ部）
４３０      第２検出コイルテーパ部（テーパ部）
７０２      第１検出ボビン貫通孔（貫通孔）
７０３      第１検出ステータスリット（スリット）
７１２      第２検出ボビン貫通孔（貫通孔）
７１３      第２検出ステータスリット（スリット）
９０２      第１励磁ボビン貫通孔（貫通孔）
９０３      第１励磁ステータスリット（スリット）
９１２      第２励磁ボビン貫通孔（貫通孔）
９１３      第２励磁ステータスリット（スリット）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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