(57)【要約】【課題】連続性のあるスクライブラインを形成しつつ、スクライビングホイールの回転性を改善し、刃の寿命を長くすることができるスクライブヘッド及びそれを備えたスクライブ装置を提供する。【解決手段】スクライブヘッド１は、刃２２を有するスクライビングホイール２０と、スクライビングホイール２０を保持するホルダ１０とを備える。ホルダ１０は、円柱状のホルダ本体１１と、ホルダ本体１１から延出すると共に互いに対向する一対の脚部１２，１３とを有する。脚部１２及び脚部１３には、ベアリング３０がそれぞれ内蔵されている。ベアリング３０は、脚部１２，１３に対して外輪３１が固定され且つ内輪３２が回転するように該脚部１２，１３にそれぞれ取り付けられている。スクライビングホイール２０は、ベアリング３０の内輪３２の回転に伴い回転するように脚部１２と脚部１３との間に配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
刃を有する円板状のスクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを保持するホルダとを備えるスクライブヘッドであって、
前記スクライビングホイールは、ベアリングを介して前記ホルダに回転自在に取り付けられていることを特徴とするスクライブヘッド。
【請求項２】
前記ホルダは、ホルダ本体と、該ホルダ本体から延出すると共に互いに対向する一対の脚部とを有し、
前記ベアリングは、前記一対の脚部に対して外輪が固定され且つ内輪が回転するように、該一対の脚部の少なくとも一方に取り付けられ、
前記スクライビングホイールは、前記ベアリングの内輪の回転に伴い回転するように前記一対の脚部の間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のスクライブヘッド。
【請求項３】
前記ホルダは、ホルダ本体と、該ホルダ本体から延出すると共に互いに対向する一対の脚部とを有し、
前記ベアリングは、前記一対の脚部に対して内輪が固定され且つ外輪が回転するように前記一対の脚部の間に配置され、
前記スクライビングホイールは、前記ベアリングの外輪の回転に伴い回転するように前記一対の脚部の間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のスクライブヘッド。
【請求項４】
前記ベアリングは、圧入、溶接、接着、熱かしめ又はロウ付けによって前記ホルダに固定されていることを特徴とする請求項２に記載のスクライブヘッド。
【請求項５】
前記スクライビングホイールの中央位置に設けられた中央孔を貫通する貫通軸を更に備え、
前記貫通軸は、圧入、溶接、接着、熱かしめ又はロウ付けによって前記ベアリングに固定されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のスクライブヘッド。
【請求項６】
前記ベアリングが取り付けられた前記脚部の外側には、前記ベアリングの側部を覆うカバー部材が設けられていることを特徴とする請求項２又は４に記載のスクライブヘッド。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のスクライブヘッドを備えることを特徴とするスクライブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスやセラミックなどの脆性材料基板の分断に用いられるスクライブヘッド及びそれを備えたスクライブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、このような分野の技術としては、スクライビングホイールを有するスクライブヘッドを用いて脆性材料基板にスクライブライン（すなわち、切筋）を形成し、その後スクライブラインに沿って該基板に力を加えることにより基板を分断することが知られている。
【０００３】
そして、スクライビングホイールとしては、例えば下記特許文献に記載されるものが挙げられる。特許文献１には、円板状のホイールの外周に沿ってＶ字状に形成される刃と、刃先に所定の間隔で設けられた複数の突起とを有するスクライビングホイールが開示されている。このような構造を有するスクライビングホイールでは、スクライブラインの形成時に突起が脆性材料基板に深く食い込むことによって、ホイールスリップの発生を防止し、スクライブ機能を向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１８８５３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述したスクライビングホイールでは、以下の問題が生じている。すなわち、刃先に複数の突起を設けることで、刃先が凹凸状になる。このため、該スクライビングホイールによって形成されたスクライブラインが非連続で破線状になり、スクライブラインが交差すべき角部に隙間が生じる可能性がある。このような状況において基板に力を加えて分断すると、意図しない場所に割れが生じてしまい、基板の角部に所望の角部を形成できない問題があった。また、該スクライビングホイールを用いてスクライブラインを形成する際に、切子などの異物が刃先の凹部に入り込んでそこに溜まり易くなる。これに起因して脆性材料基板とスクライビングホイールとの摩擦抵抗が低下し、スクライビングホイールが基板上に滑りやすくなるので、スクライビングホイールの回転性が低下し、刃の寿命が短くなる問題もあった。
【０００６】
本発明は、連続性のあるスクライブラインを形成しつつ、スクライビングホイールの回転性を改善し、刃の寿命を長くすることができるスクライブヘッド及びそれを備えたスクライブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する本発明のスクライブヘッドは、刃を有する円板状のスクライビングホイールと、前記スクライビングホイールを保持するホルダとを備えるスクライブヘッドであって、前記スクライビングホイールは、ベアリングを介して前記ホルダに回転自在に取り付けられていることを特徴としている。
【０００８】
本発明のスクライブヘッドでは、スクライビングホイールがベアリングを介してホルダに回転自在に取り付けられているので、スクライビングホイールの回転が円滑になり、スクライビングホイールの回転抵抗を低減することができる。このため、スクライビングホイールの回転性を改善することができ、スクライビングホイールの刃の寿命を長くすることが可能になる。また、刃先に突起を設けた従来のスクライビングホイールと比べて、連続性のあるスクライブラインを形成することができる。
【０００９】
本発明に係るスクライブヘッドにおいて、前記ホルダは、ホルダ本体と、該ホルダ本体から延出すると共に互いに対向する一対の脚部とを有し、前記ベアリングは、前記一対の脚部に対して外輪が固定され且つ内輪が回転するように、該一対の脚部の少なくとも一方に取り付けられ、前記スクライビングホイールは、前記ベアリングの内輪の回転に伴い回転するように前記一対の脚部の間に配置されていることが好適である。このようにすれば、スクライビングホイールは円滑に回転するので、スクライビングホイールの回転性を改善することができ、スクライビングホイールの刃の寿命を長くすることができる。
【００１０】
本発明に係るスクライブヘッドにおいて、前記ホルダは、ホルダ本体と、該ホルダ本体から延出すると共に互いに対向する一対の脚部とを有し、前記ベアリングは、前記一対の脚部に対して内輪が固定され且つ外輪が回転するように前記一対の脚部の間に配置され、前記スクライビングホイールは、前記ベアリングの外輪の回転に伴い回転するように前記一対の脚部の間に配置されていることが好適である。このようにすれば、スクライビングホイールは円滑に回転するので、スクライビングホイールの回転性を改善することができ、スクライビングホイールの刃の寿命を長くすることができる。
【００１１】
本発明に係るスクライブヘッドにおいて、前記ベアリングは、圧入、溶接、接着、熱かしめ又はロウ付けによって前記ホルダに固定されていることが好適である。このようにすれば、ベアリングを容易にホルダに固定させることができる。
【００１２】
本発明に係るスクライブヘッドにおいて、前記スクライビングホイールの中央位置に設けられた中央孔を貫通する貫通軸を更に備え、前記貫通軸は、圧入、溶接、接着、熱かしめ又はロウ付けによって前記ベアリングに固定されていることが好適である。このようにすれば、貫通軸を容易にベアリングに固定させることができる。
【００１３】
本発明に係るスクライブヘッドにおいて、前記ベアリングが取り付けられた前記脚部の外側には、前記ベアリングの側部を覆うカバー部材が設けられていることが好適である。このようにすれば、切子などの異物によるベアリング内部への侵入を防止することができ、ベアリングの円滑な回転状態を維持することができる。
【００１４】
また、本発明に係るスクライブ装置は、上述のスクライブヘッドを備えることを特徴としている。このように構成されたスクライブ装置によれば、連続性のあるスクライブラインを形成しつつ、スクライビングホイールの回転性を改善することができ、スクライビングホイールの刃の寿命を長くすることが可能になる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、連続性のあるスクライブラインを形成しつつ、スクライビングホイールの回転性を改善し、刃の寿命を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）は第１実施形態のスクライブヘッドを示す正面図であり、（ｂ）は第１実施形態のスクライブヘッドを示す側面図であり、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図２】図１（ｃ）の部分拡大断面図である。
【図３】（ａ）は第２実施形態のスクライブヘッドを示す側面図であり、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図４】（ａ）は第３実施形態のスクライブヘッドを示す側面図であり、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図５】（ａ）は第４実施形態のスクライブヘッドを示す側面図であり、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明に係るスクライブヘッド及びスクライブ装置の実施形態について説明する。図面の説明において同一の要素には同一符号を付し、重複説明は省略する。また、以下の説明では、上下に関する方向及び位置は、スクライブヘッドの通常の使用状態、すなわちスクライビングホイールを脆性材料基板の上に転動させてスクライブラインを形成する状態を基準としている。
【００１８】
＜第１実施形態＞
図１（ａ）は第１実施形態のスクライブヘッドを示す正面図であり、図１（ｂ）は第１実施形態のスクライブヘッドを示す側面図であり、図１（ｃ）は図１（ｂ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図２は図１（ｃ）の部分拡大断面図である。本実施形態に係るスクライブヘッド１は、スクライブ装置の先端に着脱可能に取り付けられたものであり、主に、刃２２を有するスクライビングホイール２０と、該スクライビングホイール２０を保持するホルダ１０とを備える。
【００１９】
ホルダ１０は、略円柱状のホルダ本体１１と、該ホルダ本体１１から同一方向に延出すると共に、互いに対向する一対の脚部１２，１３とを有する。該ホルダ１０をスクライブ装置（図示せず）に取り付ける際に定められた位置にスムーズに取り付けるために、ホルダ本体１１の上部は、その一部が上下方向に沿って切り取られ、不規則な形状になっている。具体的には、ホルダ本体１１の上部は、上下方向に延びる平坦面を有する第１取付部１１ａと、上下方向に延びる傾斜面を有する第２取付部１１ｂとを有するように形成されている。
【００２０】
脚部１２，１３は、ホルダ本体１１から下方に突出し、互いに所定の間隔で離れて配置されている。脚部１２と脚部１３との間には、スクライビングホイール２０と、該スクライビングホイール２０の位置を規定する位置決め部２５とが配置されている。そして、スクライビングホイール２０の回転に影響を与えないように、脚部１２，１３の最下端が刃２２の刃先の最下端よりも高い位置になっている。言い換えれば、刃２２の刃先の最下端は、脚部１２，１３の最下端から更に下方に突出するようになっている。
【００２１】
一方、スクライビングホイール２０は、所定の厚さを有する円板状のホイール本体２１と、ホイール本体２１の外周に形成された断面Ｖ字状の刃２２とを有する。ホイール本体２１と刃２２とは、例えば炭化タングステン及びコバルトを焼結してなる超硬合金、多結晶焼結ダイヤモンド（ＰＣＤ）などの材料によって形成されている。刃２２の刃先は、平滑になっている。
【００２２】
図２に示すように、ホイール本体２１の中央位置には、円形の中央孔２３が形成され、その内部には、貫通軸２４が貫通されている。貫通軸２４は、円柱状を呈しており、例えば高剛性の金属材料又は炭化タングステン及びコバルトを焼結してなる超硬合金などのセラミック材料によって形成されている。また、貫通軸２４は、その外径が中央孔２３の内径よりも僅かに大きく、中央孔２３に圧入されることによってホイール本体２１に固定されている。ここで、圧入に代えて溶接、接着、熱かしめ、或いはロウ付けなどで該貫通軸２４をホイール本体２１に固定させても良い。
【００２３】
また、ホイール本体２１の片側には、貫通軸２４と一体的に形成された位置決め部２５が配置されている。位置決め部２５は、円板状を呈し、貫通軸２４と同軸上に配置されている。この位置決め部２５は、ホイール本体２１の側面に当接することで、該ホイール本体２１を貫通軸２４上の所定位置に規定している。そして、スクライビングホイール２０の回転に影響を与えないように、該位置決め部２５の外径がホイール本体２１の外径よりも小さく設定されている。
【００２４】
また、脚部１２及び脚部１３には、ベアリング３０がそれぞれ内蔵されている。本実施形態において、ベアリング３０には、外輪３１と、内輪３２と、これらの間に配置される複数のボール３３とからなる、所謂ボールベアリングが用いられているが、ボールベアリングに代えて、ローラベアリング、ニードルベアリング、メタルベアリング（無給油ブッシュともいう）、或いはエアベアリング、液体ベアリングなどが用いられても良い。そして、ボールベアリングの材質としては、ステンレスやセラミックなどが挙げられる。摩耗をより少なくするためには、セラミック製のボールベアリングが好ましい。
【００２５】
本実施形態において、ベアリング３０は、脚部１２，１３に対して外輪３１が固定され且つ内輪３２が回転するように、脚部１２，１３にそれぞれ取り付けられている。具体的には、図２に示すように脚部１２，１３には、ベアリング３０を嵌め合うための円形の嵌合孔１４が同軸上に形成されている。ベアリング３０は、嵌合孔１４に圧入されて脚部１２，１３にそれぞれ固定されている。
【００２６】
図１（ｂ）に示すように、脚部１２，１３における嵌合孔１４の下方には、該嵌合孔１４と連通する切り欠き部１５がそれぞれ設けられている。切り欠き部１５は、位置決め部２５と一体的に形成された貫通軸２４を嵌合孔１４に入れるための構造であり、その幅が貫通軸２４の外径よりも大きく、且つ嵌合孔１４の直径よりも小さく設定されている。
【００２７】
貫通軸２４は、その一端部が脚部１２に取り付けられたベアリング３０の内輪３２、他端部が脚部１３に取り付けられたベアリング３０の内輪３２にそれぞれ圧入されることで、これらのベアリング３０に固定されている。なお、貫通軸２４とベアリング３０とを固定する方法としては、圧入のほか、溶接、接着、熱かしめ又はロウ付け等も挙げられる。
【００２８】
このような構造を有するスクライブヘッド１は、例えば以下の方法で組み立てることができる。まず、位置決め部２５と一体的に形成された貫通軸２４を、ホイール本体２１の中央孔２３に圧入しスクライビングホイール２０に固定させる。この際に、位置決め部２５をホイール本体２１の側面と当接させるまでに該貫通軸２４の圧入を行う。
【００２９】
次に、スクライビングホイール２０及び位置決め部２５を脚部１２，１３間の隙間に入れるように両者の位置を合わせながら、スクライビングホイール２０に固定された貫通軸２４を、切り欠き部１５から嵌合孔１４に入れる。続いて、横方向（すなわち、上下方向に直交する方向）からベアリング３０を脚部１２，１３の嵌合孔１４にそれぞれ圧入しながら、貫通軸２４の両端部をベアリング３０の内輪にそれぞれ圧入する。これによって、スクライブヘッド１の組立作業が完了する。
【００３０】
このように構成されたスクライブヘッド１では、ベアリング３０は、脚部１２，１３に対して外輪３１が固定され且つ内輪３２が回転するように該脚部１２，１３にそれぞれ取り付けられている。一方、スクライビングホイール２０は、ベアリング３０の内輪３２の回転に伴い回転するように脚部１２と脚部１３との間に配置されている。このため、スクライビングホイール２０の回転が円滑になり、スクライビングホイール２０の回転抵抗を低減することができる。従って、スクライビングホイール２０の回転性を改善することができ、該スクライビングホイール２０の刃２２の寿命を長くすることが可能になる。また、刃２２の刃先が平滑になっているので、刃先に突起を設けた従来のスクライビングホイールと比べて、連続性のあるスクライブラインを形成することができる。これによって、従来のようにスクライブラインが交差すべき角部に隙間が生じることなく、脆性材料基板の角部に所望の角部を確実に形成することができる。
【００３１】
また、図示しないが、本実施形態に係るスクライブ装置は、主に、上述したスクライブヘッド１と、脆性材料基板を載置してＸＹ平面で移動可能に設けられた載置台と、載置台の上方に設けられて脆性材料基板のアライメントマークを撮像する撮像部と、載置台の上方に設けられてスクライブヘッド１を取り付けるためのジョイント部と、載置台をＸＹ平面で移動させるための駆動部と、装置全体の制御を行う制御部とを備える。載置台、撮像部、ジョイント部、駆動部及び制御部については、既に周知されたものを用いることができ、ここでその詳細な説明を省略する。このように構成されたスクライブ装置によれば、連続性のあるスクライブラインを形成しつつ、スクライビングホイール２０の回転性を改善することができ、スクライビングホイール２０の刃２２の寿命を長くすることができる。
【００３２】
＜第２実施形態＞
以下、図３を参照して本発明の第２実施形態を説明する。本実施形態に係るスクライブヘッド２と第１実施形態との相違点は、ベアリング３０がホルダ１０の脚部１２，１３側に配置されずにスクライビングホイール２０側に配置されること、及び、位置決め部２５を設けないことである。その他の構造等は第１実施形態と同様である。また、本実施形態に係るスクライブ装置と第１実施形態との相違点は、スクライブヘッド２の構造の違いだけであるので、その説明を省略する。
【００３３】
図３に示すように、本実施形態では１個のベアリング３０が用いられている。このベアリング３０は、ホイール本体２１の中央位置に設けられた中央孔２８に圧入され、ホイール本体２１に固定されている。ベアリング３０の内輪３２は、それを貫通する円柱状の貫通軸２６に固定されている。貫通軸２６とベアリング３０とを固定する方法としては、圧入、溶接、接着、熱かしめ又はロウ付け等が挙げられる。貫通軸２６の両端部は、更に脚部１２，１３に設けられた軸孔１６にそれぞれ圧入され、脚部１２，１３にそれぞれ固定されている。
【００３４】
このような構成を有するスクライブヘッド２では、ベアリング３０は、貫通軸２６を介して脚部１２，１３に対し内輪３２が固定され且つ外輪３１が回転するように、該脚部１２，１３の間に配置されている。一方、スクライビングホイール２０は、ベアリング３０の外輪３１の回転に伴い回転するように脚部１２と脚部１３との間に配置されている。このため、スクライビングホイール２０の回転が円滑になり、スクライビングホイール２０の回転抵抗を低減することができる。その結果、スクライビングホイール２０の回転性を改善することができ、スクライビングホイール２０の刃２２の寿命を長くすることが可能になる。更に、刃２２の刃先が平滑になっているので、刃先に突起を設けた従来のスクライビングホイールと比べて、連続性のあるスクライブラインを形成することができる。
【００３５】
＜第３実施形態＞
以下、図４を参照して本発明の第３実施形態を説明する。本実施形態に係るスクライブヘッド３と第１実施形態との相違点は、ベアリング３０がホルダ１０の脚部１２，１３側に配置されずにスクライビングホイール２０側に配置されることである。その他の構造等は第１実施形態と同様である。また、本実施形態に係るスクライブ装置と第１実施形態との相違点は、スクライブヘッド３の構造の違いだけであるので、その説明を省略する。
【００３６】
図４（ｂ）に示すように、脚部１２及び脚部１３の間には、ベアリング３０、スクライビングホイール２０及び位置決め部３４が並設されている。具体的には、スクライビングホイール２０はベアリング３０と位置決め部３４に挟持されている。ベアリング３０は、接着や溶接などでホイール本体２１に固定されている。一方、位置決め部３４は、スクライビングホイール２０を挟んでベアリング３０の反対側に配置されている。
【００３７】
ホイール本体２１の中央位置に設けられた円形の中央孔２３には、貫通軸２７の一端部が圧入されている。更に、この中央孔２３に圧入された貫通軸２７の一端部は、ベアリング３０の内輪３２にも圧入されている。一方、貫通軸２７の他端部は脚部１２に設けられた軸孔１６に圧入されている。なお、貫通軸２７は、円柱状を呈しており、円板状の位置決め部３４と一体的に形成されている。
【００３８】
一方、脚部１２と対向する脚部１３において、その中央位置には、円形の嵌合孔１７が脚部１２に設けられた軸孔１６と同軸上に形成されている。該嵌合孔１７の中には、一端部が円錐状に加工された固定ピン２９が圧入されている。固定ピン２９は、その円錐状の端部が更にベアリング３０の内輪３２の内部に挿入し内輪３２と当接することにより、ベアリング３０を固定させる。従って、ベアリング３０は、固定ピン２９及び貫通軸２７を介して、脚部１２，１３に対し内輪３２が固定され且つ外輪３１が回転するように、脚部１２と脚部１３との間に配置されている。そして、スクライビングホイール２０は、ベアリング３０の外輪３１の回転に伴い回転するように、脚部１２と脚部１３との間に配置されている。
【００３９】
本実施形態のスクライブヘッド３によれば、スクライビングホイール２０の回転が円滑になり、スクライビングホイール２０の回転抵抗を低減することができる。その結果、スクライビングホイール２０の回転性を改善することができ、スクライビングホイール２０の刃２２の寿命を長くすることが可能になる。また、刃２２の刃先が平滑になっているので、刃先に突起を設けた従来のスクライビングホイールと比べて、連続性のあるスクライブラインを形成することができる。
【００４０】
＜第４実施形態＞
以下、図５を参照して本発明の第４実施形態を説明する。本実施形態に係るスクライブヘッド４と第１実施形態との相違点は、ベアリング３０の内部への異物侵入を防止するためのカバー部材４０が更に設けられることである。その他の構造等は第１実施形態と同様である。また、本実施形態に係るスクライブ装置と第１実施形態との相違点は、スクライブヘッド４の構造の違いだけであるので、その説明を省略する。
【００４１】
図５に示すように、ホルダ１０の脚部１３の外側には、平板状のカバー部材４０が設けられている。このカバー部材４０はネジ４１によって脚部１３と締結固定されている。そして、カバー部材４０の大きさは、ベアリング３０の側部を覆う大きさであれば良い。また、スクライビングホイール２０の回転に影響を与えないように、カバー部材４０の最下端は脚部１３の最下端よりも少し高い位置になっている。一方、脚部１２側にも同様にカバー部材４０が取り付けられており、重複説明を省略する。
【００４２】
本実施形態のスクライブヘッド４は、第１実施形態と同様な作用効果を得られるほか、更に以下の作用効果も得られる。すなわち、ホルダ１０の脚部１２，１３にそれぞれカバー部材４０が設けられるので、スクライブの際に生じた切子などの異物がベアリング３０内部に侵入することを防止できる。このため、異物の侵入によるボール回転への影響を抑制することができるので、スクライビングホイール２０の回転性を確保する効果を奏する。
【００４３】
以上、本発明の実施形態について詳述したが、本発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の精神を逸脱しない範囲で、種々の設計変更を行うことができるものである。例えば、上述の第１実施形態では、脚部１２，１３にベアリング３０がそれぞれ配置された例を挙げて説明したが、本発明は脚部１２及び脚部１３のいずれか一方にベアリング３０を配置する場合にも適用される。また、上述の第４実施形態において、ベアリング３０の内部への異物侵入を防止するために、カバー部材４０が設けられた例を説明したが、カバー部材に代えてカバー付きのベアリングを用いても良い。
【符号の説明】
【００４４】
１，２，３，４    スクライブヘッド
１０    ホルダ
１１    ホルダ本体
１１ａ    第１取付部
１１ｂ    第２取付部
１２，１３    脚部
１４，１７    嵌合孔
１５    切り欠き部
１６    軸孔
２０    スクライビングホイール
２１    ホイール本体
２２    刃
２３，２８    中央孔
２４，２６，２７    貫通軸
２５，３４    位置決め部
２９    固定ピン
３０    ベアリング
３１    外輪
３２    内輪
３３    ボール
４０    カバー部材
４１    ネジ
【図１】
2018020533.tif 000003
【図２】
2018020533.tif 000004
【図３】
2018020533.tif 000005
【図４】
2018020533.tif 000006
【図５】
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