(57)【要約】【課題】一対の電極の上下方向の長さにバラつきが生じ難く、検出精度のバラつきを低減することのできる振動片の製造方法、振動片、振動子、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】振動片は、基部と、前記基部から延出し、貫通孔が設けられている振動腕と、を備え、前記振動腕の壁部は、前記振動腕の延出方向に垂直な断面において、前記貫通孔の貫通方向である壁高さ方向の中央を含む位置に、前記壁高さ方向に直交する方向の厚みである壁厚みが前記壁高さ方向の両端部での壁厚みのいずれよりも厚い凸状部を有し、前記凸状部は、前記貫通孔に臨む内面および前記内面と対向し前記貫通孔に臨まない外面の少なくとも一方に設けられ、前記壁部上に設けられ、前記凸状部上で前記壁高さ方向の一方側と他方側とに分割された電極と、を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、前記基部から延出し、貫通孔が設けられている振動腕と、を備え、前記振動腕の延出方向に垂直な断面において、前記振動腕の壁部が、前記貫通孔の貫通方向である壁高さ方向の中央を含む位置に、前記壁高さ方向に直交する方向の厚みである壁厚みが前記壁高さ方向の両端部での壁厚みのいずれよりも厚い凸状部を有し、前記凸状部が前記貫通孔に臨む内面および前記内面と対向し前記貫通孔に臨まない外面の少なくとも一方に設けられている、圧電体を準備する工程と、
前記壁高さ方向において、前記凸状部および前記凸状部の両側に広がるように前記内面および前記外面の少なくとも一方に導電膜を形成する工程と、
前記導電膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜の前記凸状部上に位置する部分の少なくとも一部を露光および現像により除去して開口を形成する工程と、
前記導電膜の前記開口から露出する部分をエッチングにより除去し、前記凸状部上で前記壁高さ方向の一方側と他方側とに分割された電極を形成する工程と、を有することを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項２】
前記凸状部は、少なくとも前記内面に設けられている請求項１に記載の振動片の製造方法。
【請求項３】
前記凸状部は、
前記振動腕を前記壁高さ方向に貫通する貫通孔をドライエッチングにより形成する工程と、
前記振動腕の一部を前記貫通孔に臨む面側からウェットエッチングにより除去する工程と、により形成される請求項２に記載の振動片の製造方法。
【請求項４】
前記振動腕は、検出振動腕である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動片の製造方法。
【請求項５】
前記貫通孔は、前記振動腕の延出方向に沿って互いに離間して複数形成されている請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動片の製造方法。
【請求項６】
前記壁高さ方向から見た平面視において、前記貫通孔が矩形であり、前記貫通孔の４隅から前記貫通孔へ矩形状に突出する突出部を有し、
前記露光では、前記貫通孔の内面の直交する２つの内面のうちの一方の内面に平行な成分を有する露光光で他方の内面を露光し、前記他方の内面に平行な成分を有する露光光で前記一方の内面を露光する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動片の製造方法。
【請求項７】
基部と、
前記基部から延出し、貫通孔が設けられている振動腕と、を備え、
前記振動腕の壁部は、
前記振動腕の延出方向に垂直な断面において、前記貫通孔の貫通方向である壁高さ方向の中央を含む位置に、前記壁高さ方向に直交する方向の厚みである壁厚みが前記壁高さ方向の両端部での壁厚みのいずれよりも厚い凸状部を有し、
前記凸状部は、前記貫通孔に臨む内面および前記内面と対向し前記貫通孔に臨まない外面の少なくとも一方に設けられ、
前記壁部上に設けられ、前記凸状部上で前記壁高さ方向の一方側と他方側とに分割された電極と、を有することを特徴とする振動片。
【請求項８】
前記振動腕は、検出振動腕である請求項７に記載の振動片。
【請求項９】
前記貫通孔は、前記振動腕の延出方向に沿って互いに離間して複数設けられている請求項７または８に記載の振動片。
【請求項１０】
前記壁高さ方向から見た平面視において、
前記貫通孔は、矩形であり、
前記貫通孔の４隅から前記貫通孔へ矩形状に突出する突出部を有し、
前記貫通孔の内面において、前記突出部と前記突出部以外の部分とにわたって設けられている電極を有する請求項７ないし９のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれか１項に記載の振動片を備えることを特徴とする振動子。
【請求項１２】
請求項７ないし１０のいずれか１項に記載の振動片を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１３】
請求項７ないし１０のいずれか１項に記載の振動片を備えることを特徴とする移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片の製造方法、振動片、振動子、電子機器および移動体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、慣性センサー素子として用いられる音叉型（２つの音叉が組み合わされたＨ型）の振動素子が開示されている。このような慣性センサー素子は、基部と、基部から一方側へ延出する一対の駆動振動腕と、基部から他方側へ延出する一対の検出振動腕と、を有している。また、検出振動腕には当該検出振動腕を厚さ方向に貫通する貫通孔が形成されており、貫通孔内には上下（厚さ方向の一方側と他方側）に分割された一対の電極が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−２０８２６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、貫通孔内において電極を上下（厚さ方向の一方側と他方側）に分割することは、その製造上難しく、一対の電極の上下方向の長さにバラつきが生じ易い。そのため、慣性センサー素子の個体間で検出精度のバラつきが生じ易い。
【０００５】
本発明の目的は、一対の電極の上下方向の長さにバラつきが生じ難く、検出精度のバラつきを低減することのできる振動片の製造方法、振動片、振動子、電子機器および移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
【０００７】
本適用例の振動片の製造方法は、基部と、前記基部から延出し、貫通孔が設けられている振動腕と、を備え、前記振動腕の延出方向に垂直な断面において、前記振動腕の壁部が、前記貫通孔の貫通方向である壁高さ方向の中央を含む位置に、前記壁高さ方向に直交する方向の厚みである壁厚みが前記壁高さ方向の両端部での壁厚みのいずれよりも厚い凸状部を有し、前記凸状部が前記貫通孔に臨む内面および前記内面と対向し前記貫通孔に臨まない外面の少なくとも一方に設けられている、圧電体を準備する工程と、
前記壁高さ方向において、前記凸状部および前記凸状部の両側に広がるように前記内面および前記外面の少なくとも一方に導電膜を形成する工程と、
前記導電膜上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記フォトレジスト膜の前記凸状部上に位置する部分の少なくとも一部を露光および現像により除去して開口を形成する工程と、
前記導電膜の前記開口から露出する部分をエッチングにより除去し、前記凸状部上で前記壁高さ方向の一方側と他方側とに分割された電極を形成する工程と、を有することを特徴とする。
これにより、壁高さ方向の一方側の電極と他方側の電極との寸法バラつきを低減することができる。そのため、検出精度のバラつきを低減することのできる振動片を製造することができる。
【０００８】
本適用例の振動片の製造方法では、前記凸状部は、少なくとも前記内面に設けられていることが好ましい。
一般的に、内面の方が外面よりも空間的制約が大きく、電極を形成し難い（寸法バラつきが生じやすい）。そのため、内面側に凸状部を設けることで、内面上に寸法バラつきの小さい電極を形成することができる。
【０００９】
本適用例の振動片の製造方法では、前記凸状部は、
前記振動腕を前記壁高さ方向に貫通する貫通孔をドライエッチングにより形成する工程と、
前記振動腕の一部を前記貫通孔に臨む面側からウェットエッチングにより除去する工程と、により形成されることが好ましい。
これにより、より簡単に、貫通孔および凸状部を形成することができる。
【００１０】
本適用例の振動片の製造方法では、前記振動腕は、検出振動腕であることが好ましい。
これにより、一方の電極および他方の電極からバランスよく検出信号を取り出すことができるため、より精度よく、物理量を検出することができる。
【００１１】
本適用例の振動片の製造方法では、前記貫通孔は、前記振動腕の延出方向に沿って互いに離間して複数形成されていることが好ましい。
これにより、振動腕の不要な振動モードの発生を抑制しつつ、貫通孔の全長を長くすることができる。
【００１２】
本適用例の振動片の製造方法では、前記壁高さ方向から見た平面視において、前記貫通孔が矩形であり、前記貫通孔の４隅から前記貫通孔へ矩形状に突出する突出部を有し、
前記露光では、前記貫通孔の内面の直交する２つの内面のうちの一方の内面に平行な成分を有する露光光で他方の内面を露光し、前記他方の内面に平行な成分を有する露光光で前記一方の内面を露光することが好ましい。
これにより、より精度よく、貫通孔の内面上のレジスト膜を露光することができる。
【００１３】
本発明の振動片は、基部と、
前記基部から延出し、貫通孔が設けられている振動腕と、を備え、
前記振動腕の壁部は、
前記振動腕の延出方向に垂直な断面において、前記貫通孔の貫通方向である壁高さ方向の中央を含む位置に、前記壁高さ方向に直交する方向の厚みである壁厚みが前記壁高さ方向の両端部での壁厚みのいずれよりも厚い凸状部を有し、
前記凸状部は、前記貫通孔に臨む内面および前記内面と対向し前記貫通孔に臨まない外面の少なくとも一方に設けられ、
前記壁部上に設けられ、前記凸状部上で前記壁高さ方向の一方側と他方側とに分割された電極と、を有することを特徴とする。
これにより、壁高さ方向の一方側の電極と他方側の電極との寸法バラつきを低減することができる。そのため、検出精度のバラつきを低減することのできる振動片を製造することができる。
【００１４】
本発明の振動片では、前記振動腕は、検出振動腕であることが好ましい。
これにより、一方の電極および他方の電極からバランスよく検出信号を取り出すことができるため、より精度よく、物理量を検出することができる。
【００１５】
本発明の振動片では、前記貫通孔は、前記振動腕の延出方向に沿って互いに離間して複数設けられていることが好ましい。
これにより、振動腕の不要な振動モードの発生を抑制しつつ、貫通孔の占有面積を大きくすることができる。
【００１６】
本発明の振動片では、前記壁高さ方向から見た平面視において、
前記貫通孔は、矩形であり、
前記貫通孔の４隅から前記貫通孔へ矩形状に突出する突出部を有し、
前記貫通孔の内面において、前記突出部と前記突出部以外の部分とにわたって設けられている電極を有することが好ましい。
これにより、より精度よく、貫通孔の内面上に電極を形成することができる。
【００１７】
本発明の振動子は、本発明の振動片を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の振動片の効果を享受でき、信頼性の高い振動子が得られる。
【００１８】
本発明の電子機器は、本発明の振動片を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の振動片の効果を享受でき、信頼性の高い電子機器が得られる。
【００１９】
本発明の移動体は、本発明の振動片を備えることを特徴とする。
これにより、本発明の振動片の効果を享受でき、信頼性の高い移動体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る振動片を示す斜視図である。
【図２】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】検出振動腕に形成された貫通孔を示す斜視図である。
【図４】図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】本実施形態の変形例を示す断面図である。
【図６】本実施形態の変形例を示す断面図である。
【図７】図１に示す振動片の作動を説明するための模式図である。
【図８】図１に示す振動片の作動を説明するための模式図である。
【図９】図１に示す振動片の製造方法を示すフローチャートである。
【図１０】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図１１】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図１２】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図１３】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図１４】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図１５】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図１６】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図１７】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図１８】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図１９】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図２０】図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図２１】本発明の第２実施形態に係る振動片を示す断面図である。
【図２２】図２１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図２３】図２１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図２４】本発明の第３実施形態に係る振動片を示す断面図である。
【図２５】本発明の参考例に係る振動片を示す断面図である。
【図２６】図２５に示す振動片が有する貫通孔を示す平面図である。
【図２７】図２５に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図２８】図２５に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図２９】図２５に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図３０】図２５に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図３１】図２５に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図３２】本発明の第４実施形態に係る振動片を示す平面図である。
【図３３】図３２に示す振動片が有する貫通孔を示す部分拡大斜視図である。
【図３４】図３２に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図３５】図３２に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図３６】図３２に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図３７】図３２に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【図３８】本発明の第５実施形態に係る振動子を平面図である。
【図３９】本発明の第６実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図４０】本発明の第７実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図４１】本発明の第８実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【図４２】本発明の第９実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の振動片の製造方法、振動子、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動片を示す斜視図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図３は、検出振動腕に形成された貫通孔を示す斜視図である。図４は、図１中のＢ−Ｂ線断面図である。図５および図６は、それぞれ、本実施形態の変形例を示す断面図である。図７および図８は、それぞれ、図１に示す振動片の作動を説明するための模式図である。図９は、図１に示す振動片の製造方法を示すフローチャートである。図１０ないし図２０は、それぞれ、図１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。なお、以下では、説明の便宜上、図１〜図６および図１０〜図２０の上側を「上側」とも言い、下側を「下側」とも言う。また、図１〜図８、図１０〜図２０に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸に沿う方向を「Ｘ軸方向」ともいい、Ｙ軸に沿う方向を「Ｙ軸方向」ともいい、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ軸方向」ともいう。また、各軸の矢印側を＋（プラス）側とし、矢印と反対側を−（マイナス）側とする。また、図１および図３では、説明の便宜上、電極３の図示を省略している。
【００２３】
図１に示す振動片１は、Ｙ軸まわりの角速度ωを検出することのできるジャイロセンサーである。図１ないし図３に示すように、このような振動片１は、振動体２と、振動体２に設けられた電極３とを有している。
【００２４】
振動体２は、圧電体である。すなわち、振動体２は、圧電材料で構成されている。特に、本実施形態では、振動体２は、水晶で構成されている。これにより、他の圧電材料と比較して優れた周波数温度特性を有する振動片１が得られる。なお、圧電材料としては、水晶に限定されず、例えば、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）、ランガサイト（Ｌａ３Ｇａ５ＳｉＯ１４）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、リン酸ガリウム（ＧａＰＯ４）、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ、Ｚｎ２Ｏ３）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、チタン酸鉛（ＰｂＰＯ３）、ニオブ酸ナトリウムカリウム（（Ｋ，Ｎａ）ＮｂＯ３）、ビスマスフェライト（ＢｉＦｅＯ３）、ニオブ酸ナトリウム（ＮａＮｂＯ３）、チタン酸ビスマス（Ｂｉ４Ｔｉ３Ｏ１２）、チタン酸ビスマスナトリウム（Ｎａ０．５Ｂｉ０．５ＴｉＯ３）等であってもよい。
【００２５】
また、図１に示すように、振動体２は、水晶基板の結晶軸であるＹ軸（機械軸）およびＸ軸（電気軸）で規定されるＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸（光軸）方向に厚みを有する板状をなしている。すなわち、振動体２は、Ｚカット水晶板で構成されている。なお、Ｚ軸は、振動体２の厚さ方向と一致していなくてもよく、例えば、常温近傍における周波数の温度による変化を小さくする観点から、厚さ方向に対して若干傾けてもよい。具体的には、Ｚ軸は、振動体２の厚さ方向に対してＸ軸およびＹ軸の少なくとも一方の軸まわりに０度〜１０度の範囲で傾斜（回転）していてもよい。
【００２６】
振動体２の厚さＴ（Ｚ軸方向の長さ）としては、特に限定されないが、例えば、５０μｍ以上、１５０μｍ以下であるのが好ましく、８０μｍ以上、１００μｍ以下程度であるのがより好ましい。振動体２の厚さをこのような数値範囲とすることで、振動体２の機械的強度を保ちつつ、振動体２の小型化を図ることができる。さらには、振動体２の側面に配置される電極３の面積を十分に広く確保することができる。そのため、振動体２の等価直列抵抗であるＣＩ値（クリスタルインピーダンス）を低くすることができ、振動片１を発振させ易くなる。また、振動片１からより大きな出力信号が得られる。
【００２７】
また、振動体２は、基部２０と、一対の駆動振動腕２１、２１と、一対の検出振動腕２３、２３と、一対の調整振動腕２５、２５と、支持部２７と、連結部２８とを有し、これらが一体的に形成されている。なお、振動体２の形状としては、本実施形態の形状に限定されない。
【００２８】
一対の駆動振動腕２１、２１は、基部２０から−Ｙ軸方向に延出している。また、一対の駆動振動腕２１、２１は、Ｘ軸方向に並んで配置されている。また、各駆動振動腕２１は、基部２０から延出する腕部２１１と、腕部２１１の先端側に設けられ、腕部２１１よりも幅（Ｘ軸方向の長さ）の広い幅広部２１２と、腕部２１１の上面および下面に形成された溝部２１３とを有している。なお、駆動振動腕２１の構成としては、特に限定されず、例えば、幅広部２１２を省略してもよいし、溝部２１３を省略してもよい。
【００２９】
一対の検出振動腕２３、２３は、基部２０から＋Ｙ軸方向に延出している。また、一対の検出振動腕２３、２３は、Ｘ軸方向に並んで配置されている。また、各検出振動腕２３は、基部２０から延出する腕部２３１と、腕部２３１の先端側に設けられ、腕部２３１よりも幅の広い幅広部２３２と、腕部２３１に形成された複数の貫通孔２３３とを有している。
【００３０】
また、複数の貫通孔２３３は、腕部２３１の延在方向（Ｙ軸方向）に沿って互いに離間して形成されている。また、複数の貫通孔２３３は、互いにほぼ同じ形状および寸法を有している。また、各貫通孔２３３のＺ軸方向から見た平面視での形状、すなわち開口形状は、矩形である。特に、本実施形態では、Ｙ軸方向を長手とする長方形である。なお、前記「矩形」は、厳密な矩形の他、例えば、４隅が面取り、丸み付けされているもの、隣り合う辺同士でなす角が９０°から若干ずれているもの、製造上不可避的な形状のずれを有するもの等を含む広い概念である（他の実施形態についても同様である）。
【００３１】
また、図２に示すように、貫通孔２３３を含む横断面（Ｙ軸を法線方向とする断面）で見たとき、腕部２３１は、貫通孔２３３に対して一方側（−Ｘ軸方向側）に位置する壁部２３４と、他方側（＋Ｘ軸方向側）に位置する壁部２３６とを有している。
【００３２】
また、壁部２３４は、一対の側面を有している。このうち、一方の側面は、貫通孔２３３に臨み、貫通孔２３３の内周面を構成する内面２３４ａであり、他方の側面は、振動体２の外側に臨む外面２３４ｂである。また、壁部２３４のＺ軸方向（貫通孔２３３の貫通方向である壁高さ方向）の中央部には、内面２３４ａから貫通孔２３３内（＋Ｘ軸方向）に突出する凸状部２３５が設けられている。
【００３３】
同様に、壁部２３６は、一対の側面を有している。このうち、一方の側面は、貫通孔２３３に臨み、貫通孔２３３の内周面を構成する内面２３６ａであり、他方の側面は、振動体２の外側に臨む外面２３６ｂである。また、壁部２３６のＺ軸方向（貫通孔２３３の貫通方向である壁高さ方向）の中央部には、内面２３６ａから貫通孔２３３内（−Ｘ軸方向）に突出する凸状部２３７が設けられている。
【００３４】
ここで、図３に示すように、貫通孔２３３内には、その周方向に沿った環状の凸条２３８が形成されている。そして、凸条２３８の一部で凸状部２３５、２３７が形成されている。すなわち、凸状部２３５、２３７は、凸条２３８から一体的に形成されている。ただし、凸状部２３５、２３７は、分割（分離）して形成されていてもよい。
【００３５】
なお、本実施形態では、凸状部２３５のＺ軸方向（厚さ方向）の二等分線Ｌ１が、壁部２３４のＺ軸方向（厚さ方向）の二等分線Ｌ２と一致しているが、凸状部２３５が二等分線Ｌ２と重なっていれば、すなわち、壁部２３４のＺ軸方向の中央を含む位置に凸状部２３５が位置していれば、二等分線Ｌ１が二等分線Ｌ２からずれていてもよい。凸状部２３７についても同様である。
【００３６】
以上、検出振動腕２３について詳細に説明した。ただし、検出振動腕２３の構成としては、特に限定されず、例えば、幅広部２３２を省略してもよい。また、貫通孔２３３が１つ、２つまたは４つ以上であってもよい。また、複数の貫通孔２３３のうちの少なくとも１つの貫通孔２３３が他の貫通孔２３３と異なる形状をなしていてもよい。
【００３７】
なお、腕部２３１の幅（Ｘ軸方向の長さ）としては、特に限定されないが、例えば、５０μｍ以上、８０μｍ以下とすることができる。また、貫通孔２３３の開口の幅（Ｘ軸方向の長さ）としては、特に限定されないが、腕部２３１の幅の１／２以上、３／４以下であるのが好ましい。これにより、腕部２３１の機械的強度を保ちつつ、壁部２３４、２３６の厚さを十分に薄くすることができる。そのため、壁部２３４、２３６を介してＸ軸方向に対向する第１、第２検出信号電極３３、３４の離間距離が短くなり、これらの間から、より効率的に電荷を取り出すことができる。
【００３８】
また、凸状部２３５、２３７の突出長さ（Ｘ軸方向の長さ）としては、特に限定されないが、例えば、３μｍ以上、１０μｍ以下とすることができる。これにより、腕部２３１の幅の増大を抑制しつつ、後述する振動片１の製造方法でも説明するように、電極３を形成する際の露光のずれを十分に許容することができ、凸状部２３５、２３７上で分割される第１、第２検出信号電極３３、３４の寸法ずれを抑制することができる。
【００３９】
また、対向する凸状部２３５、２３７の離間距離（貫通孔２３３の最小ギャップ）としては、特に限定されないが、２０μｍ以上、４０μｍ以下とすることができる。これにより、腕部２３１の幅の増大を抑制しつつ、後述する振動片１の製造方法でも説明するように、凸状部２３５の頂面２３５ａのフォトレジスト膜６に露光光Ｌを照射し易くなる。そのため、より容易に、凸状部２３５上で電極３を分割することができ、より確実に、第１、第２検出信号電極３３、３４を形成することができる。
【００４０】
また、図１に示すように、一対の調整振動腕２５、２５は、基部２０から＋Ｙ軸方向に延出している。また、一対の調整振動腕２５、２５は、間に一対の検出振動腕２３、２３が位置するようにＸ軸方向に並んで配置されている。また、各調整振動腕２５は、基部２０から延出する腕部２５１と、腕部２５１の先端側に設けられ、腕部２５１よりも幅の広い幅広部２５２とを有している。なお、調整振動腕２５の構成としては、特に限定されず、例えば、幅広部２５２を省略してもよい。また、調整振動腕２５自体を省略してもよい。
【００４１】
また、図１に示すように、支持部２７は、連結部２８を介して基部２０を支持している。また、支持部２７は、一対の駆動振動腕２１、２１に対して−Ｙ軸方向側に配置されていてＸ軸方向に延在する部分２７１と、部分２７１の一端部（−Ｘ軸方向側の端部）から＋Ｙ軸方向側へ延出する部分２７２と、部分２７１の他端部（＋Ｘ軸方向側の端部）から＋Ｙ軸方向側へ延出する部分２７３とを有している。なお、支持部２７の構成としては、基部２０を支持することができれば、特に限定されない。また、支持部２７は、省略してもよい。
【００４２】
また、図１に示すように、連結部２８は、基部２０の一端部（−Ｘ軸方向側の端部）と支持部２７の部分２７２とを連結する第１連結部２８１と、基部２０の他端部（＋Ｘ軸方向側の端部）と支持部２７の部分２７３とを連結する第２連結部２８２と、基部２０の両端部と支持部２７の部分２７１とを連結する第３連結部２８３とを有している。また、第３連結部２８３は、基部２０の一端部から延出した部分と他端部から延出した部分とが合流した上で、部分２７１の中央部に連結されている。なお、連結部２８の構成としては、基部２０と支持部２７とを連結することができれば、特に限定されない。また、例えば、連結部２８は、支持部２７と共に省略してもよい。
【００４３】
以上、振動体２の構成について説明した。次に、振動体２上に設けられた電極３および端子４について説明する。図２および図４に示すように、電極３は、駆動信号電極３１と、駆動接地電極３２と、第１検出信号電極３３と、第２検出信号電極３４と、検出接地電極３５とを有している。また、図１に示すように、端子４は、駆動信号端子４１と、駆動接地端子４２と、第１検出信号端子４３と、第２検出信号端子４４と、検出接地端子４５とを有している。
【００４４】
また、図４に示すように、駆動信号電極３１は、一方の駆動振動腕２１（２１Ａ）の腕部２１１の各溝部２１３の内面と、他方の駆動振動腕２１（２１Ｂ）の腕部２１１の両側面とにそれぞれ形成されている。この駆動信号電極３１は、駆動振動腕２１、２１の駆動振動を励起させるための電極である。
【００４５】
また、図４に示すように、駆動接地電極３２は、一方の駆動振動腕２１（２１Ａ）の腕部２１１の両側面と、他方の駆動振動腕２１（２１Ｂ）の腕部２１１の各溝部２１３の内面とにそれぞれ形成されている。この駆動接地電極３２は、駆動信号電極３１に対してグランドとなる電極である。
【００４６】
また、図２に示すように、第１検出信号電極３３は、一方の検出振動腕２３（２３Ａ）の腕部２３１の内面２３４ａの上側部分、外面２３４ｂの下側部分、内面２３６ａの下側部分および外面２３６ｂの上側部分と、他方の検出振動腕２３（２３Ｂ）の腕部２３１の内面２３４ａの下側部分、外面２３４ｂの上側部分、内面２３６ａの上側部分および外面２３６ｂの下側部分とにそれぞれ設けられている。また、第１検出信号電極３３は、一方の調整振動腕２５（２５Ｂ）の腕部２５１の上面右側部分、下面右側部分および左側側面にも設けられている。
【００４７】
また、図２に示すように、第２検出信号電極３４は、一方の検出振動腕２３（２３Ａ）の腕部２３１の内面２３４ａの下側部分、外面２３４ｂの上側部分、内面２３６ａの上側部分および外面２３６ｂの下側部分と、他方の検出振動腕２３（２３Ｂ）の腕部２３１の内面２３４ａの上側部分、外面２３４ｂの下側部分、内面２３６ａの下側部分および外面２３６ｂの上側部分とにそれぞれ設けられている。また、第２検出信号電極３４は、他方の調整振動腕２５（２５Ａ）の腕部２５１の上面左側部分、下面左側部分および右側側面にも設けられている。
【００４８】
ここで、内面２３４ａに設けられた第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、凸状部２３５の頂面２３５ａ上で分割されている。そのため、第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、それぞれ、内面２３４ａおよび凸状部２３５に亘って形成されている。同様に、内面２３６ａに設けられた第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、凸状部２３７の頂面２３７ａ上で分割されている。そのため、第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、それぞれ、内面２３６ａおよび凸状部２３７に亘って形成されている。
【００４９】
これら第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、検出振動腕２３の検出振動が励起されたときに、その検出振動によって発生する電荷を検出するための電極である。
【００５０】
なお、後述する振動片１の製造方法において説明するように、露光光Ｌの照射位置がずれることで、凸状部２３５上での第１、第２検出信号電極３３、３４の分割箇所がずれる場合がある。具体的には、例えば、図５に示すように、分割箇所が凸状部２３５の上側の側面２３５ｂ上に位置する場合があり、図６に示すように、分割箇所が凸状部２３５の上側の側面２３５ｂと頂面２３５ａとにわたって位置する場合がある。なお、第１、第２検出信号電極３３、３４の凸状部２３５上にある部分は、腕部２５１のＺ軸方向（厚さ方向）の中央部に位置し、Ｚ軸方向に屈曲振動しても殆ど変位しない部分であること、および、凸状部２３５を合わせた壁部２３４の幅（Ｘ軸方向）が大きいことから、実質的に、電荷を取り出す部分として機能しないため、分割位置が上述したようにずれていても、本実施形態と同様の検出特性を発揮することができる。
【００５１】
また、図２に示すように、検出接地電極３５は、調整振動腕２５Ａの腕部２５１の上面右側部分、下面右側部分および左側側面と、調整振動腕２５Ｂの腕部２５１の上面左側部分、下面左側部分および右側側面とにそれぞれ形成されている。この検出接地電極３５は、第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４に対してグランドとなる電極である。
【００５２】
また、図１に示すように、支持部２７には駆動信号端子４１、駆動接地端子４２、第１検出信号端子４３、第２検出信号端子４４および検出接地端子４５が設けられている。そして、駆動信号端子４１は、図示しない駆動信号配線を介して駆動信号電極３１に電気的に接続され、駆動接地端子４２は、図示しない駆動接地配線を介して駆動接地電極３２に電気的に接続され、第１検出信号端子４３は、図示しない第１検出信号配線を介して第１検出信号電極３３に電気的に接続され、第２検出信号端子４４は、図示しない第２検出信号配線を介して第２検出信号電極３４に電気的に接続され、検出接地端子４５は、図示しない検出接地配線を介して検出接地電極３５に電気的に接続されている。
【００５３】
以上のような電極３および端子４の構成としては、それぞれ、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Ｃｒ（クロム）、Ｗ（タングステン）などのメタライズ層（下地層）に、Ｎｉ（ニッケル）、Ａｕ（金）、Ａｇ（銀）、Ｃｕ（銅）などの電極層を積層した金属被膜で構成することができる。これにより、振動体２との密着性に優れた電極３および端子４となる。
【００５４】
以上、振動片１の構成について説明した。このような振動片１では、振動片１に角速度が加わらない状態において、駆動信号電極３１に駆動信号を入力すると、駆動振動腕２１、２１が図７中の矢印Ａで示すようにＸ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動（駆動振動）する。また、この駆動振動に伴って、調整振動腕２５、２５も、矢印Ｂで示すようにＸ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動（調整振動）する。
【００５５】
この駆動振動を行っている状態でＹ軸まわりの角速度ωが振動片１に加わると、駆動振動腕２１、２１にコリオリ力が作用し、このコリオリ力により、駆動振動腕２１、２１が、図８中の矢印Ｃで示すようにＺ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動する。そして、これに伴い、検出振動腕２３、２３が矢印Ｄで示すようにＺ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動（検出振動）する。この検出振動により、検出振動腕２３、２３に発生した電荷を第１、第２検出信号電極３３、３４から検出信号として取り出し、この検出信号に基づいて角速度ωが求められる。
【００５６】
なお、このとき、調整振動腕２５、２５も、駆動振動腕２１、２１と同様にＺ軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動するが、この屈曲振動による電荷は、出力されない。すなわち、コリオリ力の作用の有無にかかわらず、調整振動腕２５、２５から出力される電荷は、前述した調整振動によるもののみであって一定である。そのため、例えば、調整振動腕２５、２５上の電極３を加工（一部除去）して、調整振動腕２５、２５から出力される電荷量を調整することで、振動片１の製造バラツキ等に起因する漏れ出力を調整することができる。
【００５７】
以上、振動片１について説明した。このような振動片１は、前述したように、基部２０と、基部２０から延出し、貫通孔２３３が設けられ、貫通孔２３３を囲む壁部から突出する凸状部２３５、２３７を有することにより壁部の凸状部２３５、２３７が位置する部位の厚さが他所（貫通孔２３３の端部付近の壁部の厚さ）より大である振動体２と、壁部上に設けられ、凸状部２３５、２３７上で分割された電極３と、を有している。
【００５８】
より具体的には、振動片１は、基部２０と、基部２０から延出し、貫通孔２３３が設けられている振動腕としての検出振動腕２３と、を備えている。また、検出振動腕２３の壁部２３４、２３６は、検出振動腕２３の延出方向（Ｙ軸方向）に垂直な断面において、貫通孔２３３の貫通方向である壁高さ方向（Ｚ軸方向）の中央を含む位置に、壁高さ方向（Ｚ軸方向）に直交する方向（Ｘ軸方向）の厚みである壁厚みが壁高さ方向（Ｚ軸方向）の両端部での壁厚みのいずれよりも厚い凸状部２３５、２３７を有している。また、凸状部２３５は、貫通孔２３３に臨む内面２３４ａおよび内面２３４ａと対向し貫通孔２３３に臨まない外面２３４ｂの少なくとも一方（本実施形態では内面２３４ａ）に設けられている。同様に、凸状部２３７は、貫通孔２３３に臨む内面２３６ａおよび内面２３６ａと対向し貫通孔２３３に臨まない外面２３６ｂの少なくとも一方側（本実施形態では内面２３６ａ）に設けられている。また、振動片１は、壁部２３４上に設けられ、凸状部２３５上でＺ軸方向（壁高さ方向）の一方側と他方側とに分割された電極３（第１、第２検出信号電極３３、３４）と、壁部２３６上に設けられ、凸状部２３７上でＺ軸方向（壁高さ方向）の一方側と他方側とに分割された電極３（第１、第２検出信号電極３３、３４）とを有している。このような構成とすることで、Ｚ軸方向に並ぶ第１、第２検出信号電極３３、３４の寸法バラつきを低減することができる。そのため、高い検出精度を発揮することができると共に、検出精度のバラつきを低減することのできる振動片１となる。なお、当該効果については、後述する振動片１の製造方法において詳細に説明する。
【００５９】
また、前述したように、検出振動腕２３には、貫通孔２３３および凸状部２３５、２３７が形成されている。すなわち、貫通孔２３３および凸状部２３５、２３７を有する振動腕は、角速度ωを検出するための検出振動腕２３である。これにより、Ｚ軸方向に並び、凸状部２３５、２３７上でＺ軸方向に分割された第１、第２検出信号電極３３、３４の寸法バラつきを低減することができる。そのため、壁部２３４、２３６を介してＸ軸方向に対向する複数組（４組）の第１、第２検出信号電極３３、３４間から、バランスよく電荷を取り出すことができる。よって、より精度よく、角速度ωを検出することができる。
【００６０】
また、前述したように、貫通孔２３３は、検出振動腕２３の延出方向（Ｙ軸方向）に沿って互いに離間して複数設けられている。このような構成によれば、貫通孔２３３を腕部２３１の全長にわたって形成しつつ、それぞれの貫通孔２３３を小さくすることができる。そのため、第１、第２検出信号電極３３、３４の面積を大きく保ち、第１、第２検出信号電極３３、３４間から取り出される電荷の減少を抑制することができる。また、貫通孔２３３を複数形成することで、腕部２３１の途中に、壁部２３４、２３６を連結する梁部２３９が形成されるため（図１参照）、腕部２３１の機械的強度の過度な低下を抑制することができる。また、梁部２３９によって、壁部２３４、２３６を一体的に（１つの弾性体として）変形させることができるため、不要な振動モード（スプリアス振動モード）の発生を抑制することができる。そのため、検出振動腕２３を精度よく安定して振動させることができる。
【００６１】
次に、振動片１の製造方法について説明する。図９に示すように、振動片１の製造方法は、準備工程と、導電膜形成工程と、レジスト膜形成工程と、パターニング工程と、エッチング工程とを有している。
【００６２】
準備工程は、基部２０と、基部２０から延出し、貫通孔２３３が設けられている振動腕としての検出振動腕２３とを備え、検出振動腕２３の延出方向（Ｙ軸方向）に垂直な断面において、検出振動腕２３の壁部２３４（２３６）が、貫通孔２３３の貫通方向である壁高さ方向（Ｚ軸方向）の中央を含む位置に、壁高さ方向（Ｚ軸方向）に直交する方向（Ｘ軸方向）の厚みである壁厚みが壁高さ方向（Ｚ軸方向）の両端部での壁厚みのいずれよりも厚い凸状部２３５（２３７）を有し、凸状部２３５（２３７）が貫通孔２３３に臨む内面２３４ａ（２３６ａ）および内面２３４ａ（２３６ａ）と対向し貫通孔２３３に臨まない外面２３４ｂ（２３６ｂ）の少なくとも一方に設けられている、圧電体としての振動体２を準備する工程である。また、導電膜形成工程は、壁高さ方向（Ｚ軸方向）において、凸状部２３５（２３７）および凸状部２３５（２３７）の両側に広がるように内面２３４ａ（２３６ａ）および外面２３４ｂ（２３６ｂ）の少なくとも一方に導電膜５を形成する工程である。また、レジスト膜形成工程は、導電膜５上にフォトレジスト膜６を形成する工程である。また、パターニング工程は、フォトレジスト膜６の凸状部２３５（２３７）上に位置する部分の少なくとも一部を露光および現像により除去して開口６１を形成する工程である。また、エッチング工程は、導電膜５の開口６１から露出する部分をエッチングにより除去し、凸状部２３５（２３７）上で壁高さ方向（Ｚ軸方向）の一方側と他方側とに分割された電極３を形成する工程である。以下、これら各工程について順に詳細に説明する。なお、以下では、説明の便宜上、検出振動腕２３（２３Ａ）の断面を示す図に基づいて説明する。
【００６３】
［準備工程］
本工程は、基部２０と、貫通孔２３３を囲む壁部から突出する凸状部２３５、２３７を有することにより壁部の凸状部２３５、２３６が位置する部位の厚さが他所（貫通孔の端部付近の壁部の厚さ）より大である検出振動腕２３と、を有する振動体２を準備する工程である。
【００６４】
まず、水晶基板をエッチング法（ドライエッチング法、ウェットエッチング法等）によりパターニングすることで、図１０に示すように、振動体２の外形形状を得る。次に、図１１に示すように、検出振動腕２３をＺ軸方向（壁高さ方向）に貫通する貫通孔２３３をドライエッチング法により形成する。なお、貫通孔２３３は、検出振動腕２３の延在方向に沿って互いに離間して複数形成する。このように、貫通孔２３３の形成にドライエッチング法を用いることで、例えばウェットエッチング法を用いる場合と比較して、アスペクト比の高い貫通孔２３３を形成することができる。そのため、貫通孔２３３の形成が容易となる。ただし、貫通孔２３３の形成方法としては、ドライエッチング法に限定されず、例えば、検出振動腕２３の厚さが十分に薄い場合（すなわち、高いアスペクト比が必要ない場合）等にはウェットエッチング法により形成してもよい。
【００６５】
次に、図１２に示すように、ウェットエッチング法によって、壁部２３４、２３６の中央部を除く両端部（上側部分および下側部分）の一部を内面２３４ａ、２３６ａ側から除去する。これにより、壁部２３４から貫通孔２３３内に突出する凸状部２３５と、壁部２３６から貫通孔２３３内に突出する凸状部２３７とが形成される。なお、本工程は、ウェットエッチング法に限定されず、ドライエッチング法を用いてもよい。
【００６６】
以上の説明から、凸状部２３５、２３７は、検出振動腕２３をＺ軸方向（壁高さ方向）に貫通する貫通孔２３３をドライエッチング法により形成する工程と、検出振動腕２３の一部を貫通孔２３３に臨む面（内面２３４ａ、２３６ａ）側からウェットエッチング法により除去する工程と、により形成される。このような形成方法によれば、より簡単に、貫通孔２３３および凸状部２３５、２３７を形成することができる。なお、説明の便宜上、図示では、凸状部２３５、２３７が矩形をなしているが、ウェットエッチングで凸状部２３５、２３７を形成した場合、エッチング残渣部が生じ、矩形から崩れた形状となる場合もある。また、貫通孔２３３および凸状部２３５、２３７の形成方法は、特に限定されず、上述した形成方法以外の方法で形成してもよい。例えば、貫通孔２３３は、振動体２の外形形状を得る際に、同時に形成してもよい。
【００６７】
次に、図示しないが、例えば、ウェットエッチング法により、駆動振動腕２１に溝部２１３を形成する。以上によって振動体２が得られる。ただし、溝部２１３の形成は、どのタイミングで行ってもよく、例えば、貫通孔２３３の形成前に行ってもよいし、例えば、凸状部２３５、２３７の形成と同時に行ってもよい。
【００６８】
［導電膜形成工程］
本工程は、凸状部２３５、２３７の表面を包含する領域に導電膜５を形成する工程である。
【００６９】
まず、図１３に示すように、振動体２の外表面の全域に導電膜５を成膜する。この導電膜５は、電極３および端子４となる膜である。なお、導電膜５の成膜方法としては、特に限定されず、例えば、スパッタリング法、蒸着法あるいはＣＶＤ法等を用いることができる。すなわち、この段階では、Ｚ軸方向において、凸状部２３５および凸状部２３５の両側に広がるように、内面２３４ａに導電膜５が形成されており、Ｚ軸方向において、凸状部２３７および凸状部２３７の両側に広がるように、内面２３６ａに導電膜５が形成されている。
【００７０】
［レジスト膜形成工程］
次に、図１４に示すように、導電膜５上にフォトレジスト膜６を形成（成膜）する。なお、本実施形態では、フォトレジスト膜６は、現像により露光した部分が除去されるポジ型のフォトレジスト膜を用いている。
【００７１】
［パターニング工程］
次に、フォトリソグラフィー技法を用いてフォトレジスト膜６を電極３、端子４および図示しない配線の形状に対応するようにパターニングする。特に、貫通孔２３３の内面においては、フォトレジスト膜６の凸状部２３５、２３７上に位置する部分の少なくとも一部を除去して開口６１を形成する。具体的には、まず、図１５に示すように、図示しないマスクを介して、フォトレジスト膜６の除去したい部分に略平行光である露光光Ｌを照射して露光し、露光した部分を現像液で除去する。これにより、図１６に示すように、電極３に対応する部分にのみフォトレジスト膜６が形成されたレジストパターンが形成される。
【００７２】
［エッチング工程］
本工程は、エッチングにより導電膜５の凸状部２３５、２３７上に位置する部位を除去して、導電膜５を分割する工程である。
【００７３】
まず、図１７に示すように、フォトレジスト膜６を介して導電膜５をエッチングすることにより、導電膜５のフォトレジスト膜６から露出している部分を除去する。次に、図１８に示すように、フォトレジスト膜６を除去する。これにより、電極３および端子４が形成される。特に、図１８に示すように、内面２３４ａでは、凸状部２３５上で壁高さ方向（Ｚ軸方向）の一方側と他方側とに分割された第１、第２検出信号電極３３、３４が形成され、内面２３６ａでは、凸状部２３７上で壁高さ方向（Ｚ軸方向）の一方側と他方側とに分割された第１、第２検出信号電極３３、３４が形成される。
【００７４】
以上の工程により、前述した振動片１が得られる。このような製造方法によれば、凸状部２３５、２３７の機能によって、Ｚ軸方向に並ぶ第１、第２検出信号電極３３、３４の寸法バラつきを低減することができる。そのため、高い検出精度を発揮することができると共に、検出精度のバラつきを低減することのできる振動片１となる。以下、当該効果について詳細に説明する。なお、凸状部２３５、２３７は、互いに同様の機能を発揮するため、以下では、説明の便宜上、凸状部２３５について代表して説明し、凸状部２３７については、その説明を省略する。
【００７５】
前述したパターニング工程において、内面２３４ａ上のフォトレジスト膜６を露光するには、図１５に示すように、露光光ＬをＺ軸に対して傾斜した方向から照射する必要がある（以下、「斜め露光」とも言う）。しかしながら、斜め露光では、マスクを通過する際の露光光Ｌの回析等によって、照射位置がずれるおそれがある。凸状部２３５は、このような露光光Ｌの照射位置のずれを許容する機能を有している。
【００７６】
具体的には、図１９および図２０に示すように、ずれ許容範囲Ｑ内であれば、露光光Ｌの照射位置がＺ軸方向にずれても、内面２３４ａの凸状部２３５よりも上側の部分全域に第１検出信号電極３３を形成することができ、内面２３４ａの凸状部２３５よりも下側の部分全域に第２検出信号電極３４を形成することができる。すなわち、ずれ許容範囲Ｑ内であれば、第１、第２検出信号電極３３、３４のＺ軸方向の長さが変化せず、かつ、第１、第２検出信号電極３３、３４をＺ軸方向により長く形成することができる。
【００７７】
このように、凸状部２３５を有することで、露光光Ｌの照射位置のずれを許容することができ、Ｚ軸方向に並ぶ第１、第２検出信号電極３３、３４の寸法バラつきを低減することができる。また、寸法バラつきが低減されることで、壁部２３４の上側部分において対向する第１、第２検出信号電極３３、３４の対向面積と、下側部分において対向する第１、第２検出信号電極３３、３４の対向面積とが、共により大きくなると共に、互いにほぼ等しくなる。そのため、壁部２３４を介してＸ軸方向に対向する各組の第１、第２検出信号電極３３、３４間から、バランスよく電荷を取り出すことができる。これにより、高い検出精度を発揮することができると共に、検出精度のバラつきを低減することのできる振動片１となる。
【００７８】
ここで、露光光ＬのＺ軸に対する傾きとしては、特に限定されないが、例えば、１５度以上、２５度以下であることが好ましい。また、露光光ＬのＺ軸方向の光線幅Ｌｚ１としては、特に限定されないが、凸状部２３５の頂面２３５ａ（凸状部２３７の頂面２３７ａ）のＺ軸方向の長さＬｚ２よりも短いことが好ましい。具体的には、例えば、Ｌｚ２が３０μｍ程度であれば、Ｌｚ１は、２０μｍ程度であることが好ましい。これにより、露光光Ｌを十分に細くすることができ、それに伴って、許容される露光光Ｌのずれ量が大きくなる。
【００７９】
特に、本実施形態では、前述したように、凸状部２３５は、内面２３４ａおよび外面２３４ｂのうちの少なくとも内面２３４ａに設けられている。内面２３４ａの方が外面２３４ｂよりも空間的制約が大きく、壁部２３６が邪魔して内面２３４ａ上のフォトレジスト膜６に露光光Ｌを照射し難い。そのため、内面２３４ａ上の方が、電極３を形成し難く、寸法バラつきが生じやすい。そこで、少なくとも、内面２３４ａに凸状部２３５を設けることで、上述した凸状部２３５の効果がより発揮され、第１、第２検出信号電極３３、３４の寸法バラつきをより効果的に低減することができる。
【００８０】
また、本実施形態では、前述したように、検出振動腕２３に貫通孔２３３および凸状部２３５、２３７を形成している。すなわち、貫通孔２３３および凸状部２３５、２３７を有する振動腕は、角速度ωを検出するための検出振動腕２３である。これにより、第１、第２検出信号電極３３、３４の寸法バラつきを低減することができ、より精度よく、角速度ωを検出することができる。
【００８１】
また、本実施形態では、前述したように、貫通孔２３３は、検出振動腕２３の延出方向（Ｙ軸方向）に沿って互いに離間して複数形成されている。これにより、貫通孔２３３の全長を長くしつつ、それぞれの貫通孔２３３を小さくすることができる。そのため、第１、第２検出信号電極３３、３４の面積を大きく保ち、第１、第２検出信号電極３３、３４間から取り出される電荷の減少を抑制することができる。また、貫通孔２３３を複数形成することで、腕部２３１の途中に、壁部２３４、２３６を連結する梁部２３９が形成されるため、腕部２３１の機械的強度の過度な低下を抑制することができる。また、梁部２３９によって、壁部２３４、２３６を一体的に（１つの弾性体として）変形させることができるため、不要な振動モード（スプリアス振動モード）の発生を抑制することができる。そのため、検出振動腕２３を精度よく安定して振動させることができる。
【００８２】
＜第２実施形態＞
図２１は、本発明の第２実施形態に係る振動片を示す断面図である。図２２および図２３は、ぞれぞれ、図２１に示す振動片の製造方法を示す断面図である。なお、図２１の断面は、図１中のＡ−Ａ線断面に対応している。
【００８３】
本実施形態に係る振動片１は、主に、検出振動腕２３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の振動片１と同様である。
【００８４】
なお、以下の説明では、第２実施形態の振動片１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図２１ないし図２３では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【００８５】
図２１に示すように、凸状部２３５は、外面２３４ｂのＺ軸方向の中央部（Ｚ軸方向の中央を含む位置）に設けられており、検出振動腕２３の外側へ向けてＸ軸方向に突出している。同様に、凸状部２３７は、外面２３６ｂのＺ軸方向の中央部（Ｚ軸方向の中央を含む位置）に設けられており、検出振動腕２３の外側へ向けてＸ軸方向に突出している。
【００８６】
また、第１検出信号電極３３は、一方の検出振動腕２３（２３Ａ）の腕部２３１の外面２３４ｂの上側部分および外面２３６ｂの下側部分と、他方の検出振動腕２３（２３Ｂ）の腕部２３１の外面２３４ｂの下側部分および外面２３６ｂの上側部分とにそれぞれ設けられている。
【００８７】
また、第２検出信号電極３４は、一方の検出振動腕２３（２３Ａ）の腕部２３１の外面２３４ｂの下側部分および外面２３６ｂの上側部分と、他方の検出振動腕２３（２３Ｂ）の腕部２３１の外面２３４ｂの上側部分および外面２３６ｂの下側部分とにそれぞれ設けられている。
【００８８】
ここで、外面２３４ｂに設けられた第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、凸状部２３５の頂面２３５ａ上で分割されている。そのため、第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、それぞれ、外面２３４ｂと凸状部２３５とに亘って形成されている。同様に、外面２３６ｂに設けられた第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、凸状部２３７の頂面２３７ａ上で分割されている。そのため、第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、それぞれ、外面２３６ｂと凸状部２３７とに亘って形成されている。
【００８９】
また、検出接地電極３５は、各検出振動腕２３（２３Ａ、２３Ｂ）の内面２３４ａ、２３６ａにＺ軸方向のほぼ全域にわたって設けられている。
【００９０】
このような構成によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を発揮することができる。すなわち、図２２に示すように、外面２３４ｂ上の導電膜５を分割するためには、外面２３４ｂ上のフォトレジスト膜６に対して斜め露光する必要がある。これは、外面２３４ｂのすぐ隣に調整振動腕２５が設けられているためである。一方、図２３に示すように、外面２３６ｂ上の導電膜５を分割するためにも、外面２３６ｂ上のフォトレジスト膜６に対して斜め露光する必要がある。これは、外面２３６ｂのすぐ隣に別の検出振動腕２３（２３Ｂ）が設けられているためである。したがって、外面２３４ｂに凸状部２３５を設け、外面２３６ｂに凸状部２３７を設けることで、前述した第１実施形態で説明したように、露光光Ｌの照射位置のずれを許容することができ、Ｚ軸方向に並ぶ第１、第２検出信号電極３３、３４の寸法バラつきを低減することができる。
【００９１】
＜第３実施形態＞
図２４は、本発明の第３実施形態に係る振動片を示す断面図である。なお、図２４の断面は、図１中のＡ−Ａ線断面に対応している。
【００９２】
本実施形態に係る振動片１は、主に、検出振動腕２３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の振動片１と同様である。
【００９３】
なお、以下の説明では、第３実施形態の振動片１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図２４では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。
【００９４】
図２４に示すように、本実施形態の検出振動腕２３では、凸状部２３５は、内面２３４ａのＺ軸方向の中央部（Ｚ軸方向の中央を含む位置）と、外面２３４ｂのＺ軸方向の中央部（Ｚ軸方向の中央を含む位置）とに設けられている。同様に、凸状部２３７は、内面２３６ａのＺ軸方向の中央部（Ｚ軸方向の中央を含む位置）と、外面２３６ｂのＺ軸方向の中央部（Ｚ軸方向の中央を含む位置）に設けられている。
【００９５】
また、内面２３４ａに設けられた第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、凸状部２３５（２３５’）の頂面２３５ａ上で分割され、外面２３４ｂに設けられた第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、凸状部２３５（２３５”）の頂面２３５ａ上で分割されている。同様に、内面２３６ａに設けられた第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、凸状部２３７（２３７’）の頂面２３７ａ上で分割され、外面２３６ｂに設けられた第１検出信号電極３３および第２検出信号電極３４は、凸状部２３７（２３７”）の頂面２３７ａ上で分割されている。
【００９６】
このような構成によれば、前述した第１実施形態で説明した効果と、前述した第２実施形態で説明した効果とを共に発揮することができる。
【００９７】
＜参考例＞
図２５は、本発明の参考例に係る振動片を示す断面図である。図２６は、図２５に示す振動片が有する貫通孔を示す平面図である。図２７ないし図３１は、それぞれ、図２５に示す振動片の製造方法を示す断面図である。なお、図２５の断面は、図１中のＡ−Ａ線断面に対応している。
【００９８】
本参考例に係る振動片１は、主に、検出振動腕２３に形成された貫通孔２３３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の振動片１と同様である。
【００９９】
なお、以下の説明では、本参考例の振動片１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図２５ないし図３１では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。また、本参考例では、検出振動腕２３に形成された複数の貫通孔２３３が互いに同様の構成であるため、以下では、説明の便宜上、１つの貫通孔２３３について説明し、それ以外の貫通孔２３３の説明を省略する。
【０１００】
図２５に示すように、本参考例の振動片１では、検出振動腕２３から凸状部２３５、２３７が省略されている。また、図２６に示すように、Ｚ軸方向（壁高さ方向）から見た平面視において、貫通孔２３３は、矩形（特に、Ｙ軸方向を長手とする長方形）である。また、検出振動腕２３は、貫通孔２３３の４隅から貫通孔２３３へ矩形状に突出する突出部２３０（２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ、２３０Ｄ）を有している。
【０１０１】
言い換えると、図２６に示すように、Ｚ軸方向から見た平面視において、貫通孔２３３は、十字状をなしている。また、貫通孔２３３の内面は、Ｘ軸方向に並んで配置され、互いにＹＺ平面で構成された一対の内面２３３ａ、２３３ｂ（内面２３４ａ、２３６ａ）と、Ｙ軸方向に並んで配置され、互いにＸＺ軸平面で構成された一対の内面２３３ｃ、２３３ｄと、内面２３３ａの＋Ｙ軸方向側の端から−Ｘ軸方向に延出するＸＺ平面で構成された内面２３３ｅと、内面２３３ｅの−Ｘ軸方向側の端から＋Ｙ軸方向に延出し、内面２３３ｃの＋Ｘ軸側の端に接続するＹＺ平面で構成された内面２３３ｆと、内面２３３ｂの＋Ｙ軸方向側の端から＋Ｘ軸方向に延出するＸＺ平面で構成された内面２３３ｇと、内面２３３ｇの＋Ｘ軸方向側の端から＋Ｙ軸方向に延出し、内面２３３ｃの−Ｘ軸側の端に接続するＹＺ平面で構成された内面２３３ｈと、内面２３３ａの−Ｙ軸方向側の端から−Ｘ軸方向に延出するＸＺ平面で構成された内面２３３ｉと、内面２３３ｉの−Ｘ軸方向側の端から−Ｙ軸方向に延出し、内面２３３ｄの＋Ｘ軸側の端に接続するＹＺ平面で構成された内面２３３ｊと、内面２３３ｂの−Ｙ軸方向側の端から＋Ｘ軸方向に延出するＸＺ平面で構成された内面２３３ｋと、内面２３３ｋの＋Ｘ軸方向側の端から−Ｙ軸方向に延出し、内面２３３ｄの−Ｘ軸側の端に接続するＹＺ平面で構成された内面２３３ｌとを有している。そして、内面２３３ｅ、２３３ｆで突出部２３０Ａが形成され、内面２３３ｇ、２３３ｈで突出部２３０Ｂが形成され、内面２３３ｉ、２３３ｊで突出部２３０Ｃが形成され、内面２３３ｋ、２３３ｌで突出部２３０Ｄが形成されている。
【０１０２】
また、図２５に示すように、第１検出信号電極３３は、一方の検出振動腕２３（２３Ａ）の腕部２３１の内面２３４ａの上側部分、外面２３４ｂの下側部分、内面２３６ａの下側部分および外面２３６ｂの上側部分と、他方の検出振動腕２３（２３Ｂ）の腕部２３１の内面２３４ａの下側部分、外面２３４ｂの上側部分、内面２３６ａの上側部分および外面２３６ｂの下側部分とにそれぞれ設けられている。
【０１０３】
また、第２検出信号電極３４は、一方の検出振動腕２３（２３Ａ）の腕部２３１の内面２３４ａの下側部分、外面２３４ｂの上側部分、内面２３６ａの上側部分および外面２３６ｂの下側部分と、他方の検出振動腕２３（２３Ｂ）の腕部２３１の内面２３４ａの上側部分、外面２３４ｂの下側部分、内面２３６ａの下側部分および外面２３６ｂの上側部分とにそれぞれ設けられている。
【０１０４】
また、内面２３４ａ上の第１、第２検出信号電極３３、３４は、それぞれ、内面２３４ａと突出部２３０Ｂ、２３０Ｄとにわたって設けられている。同様に、内面２３６ａ上の第１、第２検出信号電極３３、３４は、それぞれ、内面２３６ａと突出部２３０Ａ、２３０Ｃとにわたって設けられている。すなわち、貫通孔２３３の内面において、突出部２３０と突出部２３０以外の部分とにわたって設けられている電極３を有している。
【０１０５】
以上のように、本実施形態では、突出部２３０が設けられ、第１、第２検出信号電極３３、３４を貫通孔２３３の内面において、突出部２３０と突出部２３０以外の部分とにわたって形成されている。これにより、貫通孔２３３の内面において、第１、第２検出信号電極３３、３４をより確実に分離することができ、より精度よく、貫通孔２３３の内面上に第１、第２検出信号電極３３、３４を形成することができる。なお、当該効果については、後述する振動片１の製造方法において詳細に説明する。
【０１０６】
次に、本実施形態の振動片１の製造方法について説明する。本実施形態の振動片１の製造方法は、前述した第１実施形態と同様に、準備工程と、導電膜形成工程と、レジスト膜形成工程と、パターニング工程と、エッチング工程とを有している。このうち、パターニング工程以外は、前述した第１実施形態と同様であるため、以下では、主にパターニング工程について説明し、他の工程については、その説明を省略する。
【０１０７】
パターニング工程では、貫通孔２３３の内面上のフォトレジスト膜６を露光する工程として、＋Ｘ軸側から斜め露光する第１露光工程と、−Ｘ軸側から斜め露光する第２露光工程と、＋Ｙ軸側から斜め露光する第３露光工程と、−Ｙ軸側から斜め露光する第４露光工程とを有している。
【０１０８】
［第１露光工程］
まず、図２７に示すように、主に、内面２３３ｂ上のフォトレジスト膜６に、Ｚ軸に対して傾斜した露光光Ｌを＋Ｘ軸側から照射する（斜め露光する）。なお、露光光Ｌは、平行光であり、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｘ軸と平行である。また、露光光Ｌは、内面２３３ｂの幅（Ｙ軸方向の長さ）よりも長く、貫通孔２３３の長さ（Ｙ軸方向の長さ）よりも短い幅ＷＬを有している。このような露光光Ｌによって、内面２３３ｂ上のフォトレジスト膜６が露光される。また、内面２３３ｂの両側に並んで位置する内面２３３ｈの一部（内面２３３ｂ側の半分程度）および内面２３３ｌの一部（内面２３３ｂ側の半分程度）についても同時に露光される。また、内面２３３ｂの両側に直交して位置する内面２３３ｇ、２３３ｋ上のフォトレジスト膜６についても同時に露光される。
【０１０９】
ここで、突出部２３０Ｂの内面２３３ｈおよび突出部２３０Ｄの内面２３３ｌは、それぞれ、内面２３４ａと同じ方向を向いている。そのため、例えば、図２８に示すように、露光光Ｌの幅ＷＬを広げて貫通孔２３３の長さとほぼ等しくすることで、内面２３３ｈ、２３３ｌ上のフォトレジスト膜６についても、本工程において、内面２３３ｂ上のフォトレジスト膜６と共に露光可能である。
【０１１０】
しかしながら、本工程において、内面２３３ｈ、２３３ｌ上のフォトレジスト膜６を露光しようとすると、露光光Ｌが内面２３３ｃに阻害されて内面２３３ｈ（特に、内面２３３ｈ、２３３ｃで形成される角部（入隅部分））に照射され難く、同様に、露光光Ｌが内面２３３ｄに阻害されて内面２３３ｌ（特に、内面２３３ｌ、２３３ｄで形成される角部）に照射され難い。そのため、内面２３３ｈ、２３３ｌ上のフォトレジスト膜６に対して露光不良が生じ、後のエッチング工程において、第１、第２検出信号電極３３、３４を分割することができないおそれがある。さらには、内面２３３ｃ、２３３ｄで反射された露光光Ｌが、フォトレジスト膜６の意図しない部分に照射され、後のエッチング工程において、導電膜５の意図しない部分が除去され、第１、第２検出信号電極３３、３４の寸法が設計力大きくずれてしまったり、第１、第２検出信号電極３３、３４が断線してしまったりするおそれもある。
【０１１１】
そのため、本工程おいて、内面２３３ｈ、２３３ｌ上のフォトレジスト膜６の一部しか露光しないことで、上述の問題の発生を抑制することができ、貫通孔２３３の内面上において、第１、第２検出信号電極３３、３４をより確実に分離することができ、より精度よく、第１、第２検出信号電極３３、３４を形成することができる。なお、このようなことから、突出部２３０Ｂ、２３０Ｄは、露光光Ｌの幅を貫通孔２３３の長さ（Ｙ軸方向の長さ）よりも小さくし、露光光Ｌの照射を内面２３３ｈ、２３３ｌに阻害されなくするという機能を有していると言える。ここで、突出部２３０Ｂ、２３０Ｄの幅（Ｙ軸方向の長さ）としては、特に限定されないが、例えば、０．１μｍ以上、５μｍ以下であることが好ましい。これにより、上述した突出部２３０の効果をより確実に発揮することができると共に、突出部２３０を十分小さくすることができる。突出部２３０を小さくすることで、その分、壁部２３４、２３６を長く確保することができるため、第１、第２検出信号電極３３、３４からより効率的に電荷を取り出すことができる。
【０１１２】
なお、以上のような効果は、後述する第２露光工程、第３露光工程および第４露光工程についても同様である。そのため、第２露光工程、第３露光工程および第４露光工程では、詳細な記載を省略する。
【０１１３】
［第２露光工程］
次に、図２９に示すように、主に、内面２３３ａ上のフォトレジスト膜６に、Ｚ軸に対して傾斜した露光光Ｌを−Ｘ軸方向側から照射する（斜め露光する）。なお、露光光Ｌは、平行光であり、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｘ軸と平行である。また、露光光Ｌは、内面２３３ａの幅（Ｙ軸方向の長さ）よりも長く、貫通孔２３３の長さ（Ｙ軸方向の長さ）よりも短い幅を有している。このような露光光Ｌによって、内面２３３ａ上のフォトレジスト膜６が露光される。また、内面２３３ａの両側に並んで位置する内面２３３ｆの一部（内面２３３ａ側の半分程度）および内面２３３ｊの一部（内面２３３ａ側の半分程度）についても同時に露光される。また、内面２３３ａの両側に直交して位置する内面２３３ｅ、２３３ｉ上のフォトレジスト膜６についても同時に露光される。
【０１１４】
［第３露光工程］
次に、図３０に示すように、主に、内面２３３ｃ上のフォトレジスト膜６に、Ｚ軸に対して傾斜した露光光Ｌを−Ｙ軸方向側から照射する（斜め露光する）。なお、露光光Ｌは、平行光であり、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｙ軸と平行である。また、露光光Ｌは、内面２３３ｃの幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも長く、貫通孔２３３の幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも短い幅を有している。このような露光光Ｌによって、内面２３３ｃ上のフォトレジスト膜６が露光される。また、内面２３３ｃの両側に並んで位置する内面２３３ｅの一部（内面２３３ｃ側の半分程度）および内面２３３ｇの一部（内面２３３ｃ側の半分程度）についても同時に露光される。また、内面２３３ｃの両側に直交して位置する内面２３３ｆ、２３３ｈ上のフォトレジスト膜６についても同時に露光される。
【０１１５】
［第４露光工程］
次に、図３１に示すように、主に、内面２３３ｄ上のフォトレジスト膜６に、Ｚ軸に対して傾斜した露光光Ｌを＋Ｙ軸方向側から照射する（斜め露光する）。なお、露光光Ｌは、平行光であり、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｙ軸と平行である。また、露光光Ｌは、内面２３３ｄの幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも長く、貫通孔２３３の幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも短い幅を有している。このような露光光Ｌによって、内面２３３ｄ上のフォトレジスト膜６が露光される。また、内面２３３ｄの両側に並んで位置する内面２３３ｉの一部（内面２３３ｄ側の半分程度）および内面２３３ｋの一部（内面２３３ｄ側の半分程度）についても同時に露光される。また、内面２３３ｄの両側に直交して位置する内面２３３ｊ、２３３ｌ上のフォトレジスト膜６についても同時に露光される。
【０１１６】
以上により、貫通孔２３３の内面上のフォトレジスト膜６を露光することができる。以上の説明から、貫通孔２３３の内面上のフォトレジスト膜６の露光は、貫通孔２３３の内面の直交する２つの内面（ＸＺ平面で構成された内面、ＹＺ平面で構成された内面）のうちの一方の内面（ＸＺ平面で構成された面）に平行な成分を有する露光光Ｌで他方の内面（ＹＺ平面で構成された面）を露光し、他方の内面（ＹＺ平面で構成された面）に平行な成分を有する露光光Ｌで一方の内面（ＸＺ平面で構成された面）を露光する。このような方法によれば、より確実にかつ精度よく露光することができる。なお、第１露光工程、第２露光工程、第３露光工程および第４露光工の順番は、特に限定されない。
【０１１７】
なお、本実施形態では、内面２３３ａ、２３３ｂ、２３３ｆ、２３３ｈ、２３３ｊ、２３３ｌがＹＺ平面で構成されており、内面２３３ｃ、２３３ｄ、２３３ｅ、２３３ｇ、２３３ｉ、２３３ｋがＸＺ平面で構成されているが、例えば、内面２３３ａ、２３３ｂ、２３３ｆ、２３３ｈ、２３３ｊ、２３３ｌのうちの少なくとも１つの内面が、ＹＺ平面に対してＹ軸およびＺ軸の少なくとも一方の軸まわりに若干（例えば、５度未満）傾いていてもよく、内面２３３ｃ、２３３ｄ、２３３ｅ、２３３ｇ、２３３ｉ、２３３ｋのうちの少なくとも１つの内面は、ＸＺ平面に対してＸ軸およびＺ軸の少なくとも一方の軸まわりに若干傾いていてもよい。
【０１１８】
＜第４実施形態＞
図３２は、本発明の第４実施形態に係る振動片を示す平面図である。図３３は、図３２に示す振動片が有する貫通孔を示す部分拡大斜視図である。図３４ないし図３７は、それぞれ、図３２に示す振動片の製造方法を示す断面図である。
【０１１９】
本実施形態に係る振動片１は、主に、検出振動腕２３の構成が異なること以外は、前述した第１実施形態の振動片１と同様である。
【０１２０】
なお、以下の説明では、第４実施形態の振動片１に関し、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図３２ないし図３７では、前述した第１実施形態と同様の構成について、同一符号を付している。また、本実施形態では、検出振動腕２３に形成された複数の貫通孔２３３が互いに同様の構成であるため、以下では、説明の便宜上、１つの貫通孔２３３について説明し、それ以外の貫通孔２３３の説明を省略する。
【０１２１】
本実施形態の検出振動腕２３は、前述した第１実施形態の構成と、前述した第３実施形態の構成を組み合わせた構成となっている。すなわち、図３２および図３３に示すように、検出振動腕２３は、貫通孔２３３内に突出する凸状部２３５、２３７（凸条２３８）を有している。また、Ｚ軸方向（壁高さ方向）から見た平面視において、貫通孔２３３が矩形である。また、検出振動腕２３は、貫通孔２３３の４隅から貫通孔２３３へ矩形状に突出する突出部２３０（２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ、２３０Ｄ）を有している。このような構成とすることで、本実施形態の振動片１は、前述した第１実施形態で説明した効果と、前述した第３実施形態で説明した効果を共に発揮することができる。そのため、より精度よく、第１、第２検出信号電極３３、３４を形成することができる。
【０１２２】
次に、本実施形態の振動片１の製造方法について説明する。本実施形態の振動片１の製造方法は、前述した第１実施形態と同様に、準備工程と、導電膜形成工程と、レジスト膜形成工程と、パターニング工程と、エッチング工程とを有している。このうち、パターニング工程以外は、前述した第１実施形態と同様であるため、以下では、主にパターニング工程について説明し、他の工程については、その説明を省略する。
【０１２３】
パターニング工程では、貫通孔２３３の内面上のフォトレジスト膜６を露光する工程として、＋Ｘ軸側から斜め露光する第１露光工程と、−Ｘ軸側から斜め露光する第２露光工程と、＋Ｙ軸側から斜め露光する第３露光工程と、−Ｙ軸側から斜め露光する第４露光工程とを有している。
【０１２４】
［第１露光工程］
まず、図３４に示すように、主に、内面２３３ｂ上のフォトレジスト膜６に、Ｚ軸に対して傾斜した露光光Ｌを＋Ｘ軸側から照射する（斜め露光する）。なお、露光光Ｌは、平行光であり、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｘ軸と平行である。また、露光光Ｌは、内面２３３ｂの幅（Ｙ軸方向の長さ）よりも長く、貫通孔２３３の長さ（Ｙ軸方向の長さ）よりも短い幅を有している。このような露光光Ｌによって、内面２３３ｂ上のフォトレジスト膜６が露光される。また、内面２３３ｂの両側に並んで位置する内面２３３ｈの一部（内面２３３ｂ側の半分程度）および内面２３３ｌの一部（内面２３３ｂ側の半分程度）についても同時に露光される。また、内面２３３ｂの両側に直交して位置する内面２３３ｇ、２３３ｋ上のフォトレジスト膜６についても同時に露光される。
【０１２５】
［第２露光工程］
次に、図３５に示すように、主に、内面２３３ａ上のフォトレジスト膜６に、Ｚ軸に対して傾斜した露光光Ｌを−Ｘ軸方向側から照射する（斜め露光する）。なお、露光光Ｌは、平行光であり、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｘ軸と平行である。また、露光光Ｌは、内面２３３ａの幅（Ｙ軸方向の長さ）よりも長く、貫通孔２３３の長さ（Ｙ軸方向の長さ）よりも短い幅を有している。このような露光光Ｌによって、内面２３３ａ上のフォトレジスト膜６が露光される。また、内面２３３ａの両側に並んで位置する内面２３３ｆの一部（内面２３３ａ側の半分程度）および内面２３３ｊの一部（内面２３３ａ側の半分程度）についても同時に露光される。また、内面２３３ａの両側に直交して位置する内面２３３ｅ、２３３ｉ上のフォトレジスト膜６についても同時に露光される。
【０１２６】
［第３露光工程］
次に、図３６に示すように、主に、内面２３３ｃ上のフォトレジスト膜６に、Ｚ軸に対して傾斜した露光光Ｌを−Ｙ軸方向側から照射する（斜め露光する）。なお、露光光Ｌは、平行光であり、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｙ軸と平行である。また、露光光Ｌは、内面２３３ｃの幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも長く、貫通孔２３３の幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも短い幅を有している。このような露光光Ｌによって、内面２３３ｃ上のフォトレジスト膜６が露光される。また、内面２３３ｃの両側に並んで位置する内面２３３ｅの一部（内面２３３ｃ側の半分程度）および内面２３３ｇの一部（内面２３３ｃ側の半分程度）についても同時に露光される。また、内面２３３ｃの両側に直交して位置する内面２３３ｆ、２３３ｈ上のフォトレジスト膜６についても同時に露光される。
【０１２７】
［第４露光工程］
次に、図３７に示すように、主に、内面２３３ｄ上のフォトレジスト膜６に、Ｚ軸に対して傾斜した露光光Ｌを＋Ｙ軸方向側から照射する（斜め露光する）。なお、露光光Ｌは、平行光であり、Ｚ軸方向から見た平面視で、Ｙ軸と平行である。また、露光光Ｌは、内面２３３ｄの幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも長く、貫通孔２３３の幅（Ｘ軸方向の長さ）よりも短い幅を有している。このような露光光Ｌによって、内面２３３ｄ上のフォトレジスト膜６が露光される。また、内面２３３ｄの両側に並んで位置する内面２３３ｉの一部（内面２３３ｄ側の半分程度）および内面２３３ｋの一部（内面２３３ｄ側の半分程度）についても同時に露光される。また、内面２３３ｄの両側に直交して位置する内面２３３ｊ、２３３ｌ上のフォトレジスト膜６についても同時に露光される。
【０１２８】
以上により、貫通孔２３３の内面上のフォトレジスト膜６を露光することができる。以上の説明から、貫通孔２３３の内面上のフォトレジスト膜６の露光では、貫通孔２３３の内面の直交する２つの内面（ＸＺ平面で構成された内面、ＹＺ平面で構成された内面）のうちの一方の内面（ＸＺ平面で構成された面）に平行な成分を有する露光光Ｌで他方の内面（ＹＺ平面で構成された面）を露光し、他方の内面（ＹＺ平面で構成された面）に平行な成分を有する露光光Ｌで一方の内面（ＸＺ平面で構成された面）を露光する。このような方法によれば、より確実にかつ精度よく露光することができる。なお、第１露光工程、第２露光工程、第３露光工程および第４露光工の順番は、特に限定されない。
【０１２９】
なお、本実施形態では、内面２３３ａ、２３３ｂ、２３３ｆ、２３３ｈ、２３３ｊ、２３３ｌがＹＺ平面で構成されており、内面２３３ｃ、２３３ｄ、２３３ｅ、２３３ｇ、２３３ｉ、２３３ｋがＸＺ平面で構成されているが、例えば、内面２３３ａ、２３３ｂ、２３３ｆ、２３３ｈ、２３３ｊ、２３３ｌのうちの少なくとも１つの内面が、ＹＺ平面に対してＹ軸およびＺ軸の少なくとも一方の軸まわりに若干（例えば、５度未満）傾いていてもよく、内面２３３ｃ、２３３ｄ、２３３ｅ、２３３ｇ、２３３ｉ、２３３ｋのうちの少なくとも１つの内面は、ＸＺ平面に対してＸ軸およびＺ軸の少なくとも一方の軸まわりに若干傾いていてもよい。
【０１３０】
＜第５実施形態＞
図３８は、本発明の第５実施形態に係る振動子を平面図である。
【０１３１】
図３８に示す振動子１０は、振動片１と、振動片１を収納するパッケージ９と、を有している。
【０１３２】
パッケージ９は、上面に開口する凹部９１１を有する箱状のベース９１と、ベース９１に接合され、凹部９１１の開口を塞ぐ板状のリッド９２とを有している。そして、凹部９１１の開口がリッド９２で塞がれることにより形成された収納空間Ｓ内に振動片１が収納されている。そして、振動片１は、導電性接着剤９６を介して凹部９１１に固定されている。
【０１３３】
なお、収納空間Ｓの雰囲気としては、特に限定されないが、例えば、真空状態（１０Ｐａ以下の減圧状態）とされる。これにより、粘性抵抗が低減され、振動片１を効率的に駆動することができる。
【０１３４】
ベース９１の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。この場合、セラミックシート（グリーンシート）の積層体を焼成することでベース９１を製造することができる。また、リッド９２の構成材料としては、特に限定されないが、ベース９１の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース９１の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、リッド９２の構成材料を金属材料（例えばコバール等の合金）とするのが好ましい。
【０１３５】
また、ベース９１は、凹部９１１に臨んで設けられた複数の内部端子９４と、底面に設けられ、対応する内部端子９４と電気的に接続された図示しない外部端子とを有している。また、各内部端子９４は、導電性接着剤９６を介して振動片１が有するいずれかの端子４（駆動信号端子４１、駆動接地端子４２、第１検出信号端子４３、第２検出信号端子４４または検出接地端子４５）と電気的に接続されている。
【０１３６】
このような振動子１０は、振動片１を有している。そのため、前述した振動片１の効果を享受でき、優れた信頼性を発揮することができる。
【０１３７】
なお、このような振動子は、さらにパッケージ９に収納された回路素子を有していてもよい。この回路素子には、例えば、外部のホストデバイスと通信を行うインターフェース部と、振動片１を駆動し、振動片１に加わった角速度ωを検出する駆動／検出回路と、が含まれている。
【０１３８】
＜第６実施形態＞
図３９は、本発明の第６実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【０１３９】
図３９に示すモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００は、本発明の振動片を備える電子機器を適用したものである。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサーとして機能する振動片１が内蔵されている。
【０１４０】
このようなパーソナルコンピューター１１００（電子機器）は、振動片１を有している。そのため、前述した振動片１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１４１】
＜第７実施形態＞
図４０は、本発明の第７実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【０１４２】
図４０に示す携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）は、本発明の振動片を備える電子機器を適用したものである。この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ（図示せず）、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサーとして機能する振動片１が内蔵されている。
【０１４３】
このような携帯電話機１２００（電子機器）は、振動片１を有している。そのため、前述した振動片１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１４４】
＜第８実施形態＞
図４１は、本発明の第８実施形態に係る電子機器を示す斜視図である。
【０１４５】
図４１に示すデジタルスチールカメラ１３００は、本発明の振動片を備える電子機器を適用したものである。この図において、ケース（ボディー）１３０２の背面には表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。そして、撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押すと、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、ジャイロセンサーとして機能する振動片１が内蔵されている。
【０１４６】
このようなデジタルスチールカメラ１３００（電子機器）は、振動片１を有している。そのため、前述した振動片１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１４７】
なお、本発明の電子機器は、前述した第６実施形態のパーソナルコンピューター、第７実施形態の携帯電話機、本実施形態のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計（スマートウォッチを含む）、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ＨＭＤ（ヘッドマウントディスプレイ）等のウェアラブル端末、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、移動体端末基地局用機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ネットワークサーバー等に適用することができる。
【０１４８】
＜第９実施形態＞
図４２は、本発明の第９実施形態に係る移動体を示す斜視図である。
【０１４９】
図４２に示す自動車１５００は、本発明の振動片を備える移動体を適用した自動車である。この図において、自動車１５００には、ジャイロセンサーとして機能する振動片１が内蔵されており、振動片１によって車体１５０１の姿勢を検出することができる。振動片１の検出信号は、車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号に基づいて車体１５０１の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。
【０１５０】
このような自動車１５００（移動体）は、振動片１を有している。そのため、前述した振動片１の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
【０１５１】
なお、振動片１は、他にも、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。
【０１５２】
また、移動体としては、自動車１５００に限定されず、例えば、飛行機、船舶、ＡＧＶ（無人搬送車）、二足歩行ロボット、ドローン等の無人飛行機等にも適用することができる。
【０１５３】
以上、本発明の振動片の製造方法、振動片、振動子、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。例えば、検出振動腕に並んで配置された複数の貫通孔に、異なる実施形態の構成が含まれていてもよい。
【０１５４】
また、前述した実施形態では、振動片が角速度センサーである構成について説明したが、振動片としては、角速度センサーに限定されず、例えば、所定の周波数の信号を出力する発振器であってもよいし、角速度以外の物理量（加速度、気圧）等を検出することのできる物理量センサーであってもよい。
【０１５５】
また、前述した実施形態では、貫通孔および凸状部が検出振動腕に形成された構成について説明したが、これに限定されない。例えば、貫通孔および凸状部は、駆動振動腕に形成されていてもよいし、調整振動腕に形成されていてもよい。
【符号の説明】
【０１５６】
１…振動片、１０…振動子、２…振動体、２０…基部、２１、２１Ａ、２１Ｂ…駆動振動腕、２１１…腕部、２１２…幅広部、２１３…溝部、２３、２３Ａ、２３Ｂ…検出振動腕、２３０、２３０Ａ、２３０Ｂ、２３０Ｃ、２３０Ｄ…突出部、２３１…腕部、２３２…幅広部、２３３…貫通孔、２３３ａ、２３３ｂ、２３３ｃ、２３３ｄ、２３３ｅ、２３３ｆ、２３３ｇ、２３３ｈ、２３３ｉ、２３３ｊ、２３３ｋ、２３３ｌ…内面、２３４…壁部、２３４ａ…内面、２３４ｂ…外面、２３５、２３５’、２３５”…凸状部、２３５ａ…頂面、２３５ｂ…側面、２３６…壁部、２３６ａ…内面、２３６ｂ…外面、２３７、２３７’、２３７”…凸状部、２３７ａ…頂面、２３８…凸条、２３９…梁部、２５、２５Ａ、２５Ｂ…調整振動腕、２５１…腕部、２５２…幅広部、２７…支持部、２７１、２７２、２７３…部分、２８…連結部、２８１…第１連結部、２８２…第２連結部、２８３…第３連結部、３…電極、３１…駆動信号電極、３２…駆動接地電極、３３…第１検出信号電極、３４…第２検出信号電極、３５…検出接地電極、４…端子、４１…駆動信号端子、４２…駆動接地端子、４３…第１検出信号端子、４４…第２検出信号端子、４５…検出接地端子、５…導電膜、６…フォトレジスト膜、６１…開口、９…パッケージ、９１…ベース、９１１…凹部、９２…リッド、９４…内部端子、９６…導電性接着剤、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチールカメラ、１３０２…ケース、１３０４…受光ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１５００…自動車、１５０１…車体、１５０２…車体姿勢制御装置、１５０３…車輪、Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ…矢印、Ｌ…露光光、Ｌ１、Ｌ２…二等分線、Ｌｚ１…光線幅、Ｌｚ２…長さ、Ｑ…ずれ許容範囲、Ｓ…収納空間、ＷＬ…幅、ω…角速度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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