(57)【要約】【課題】カッタ刃の交換頻度を低減させ、オペレータの負担低減および装置の稼働効率の向上を実現できる粘着テープ切断装置を提供する。【解決手段】  粘着テープ切断装置１９は、複数の刃先２８ａおよび刃先２８ｂを有するカッタ刃２５を備えている。第１粘着テープＴ１を切断する際は専ら一方の刃先２８ａを用い、別種類の第２粘着テープＴ２を切断する際は専ら他方の刃先２８ｂを用いるように制御される。複数の刃先を有するカッタ刃２５において、粘着テープの切断に用いる刃先を切り換えることにより、ウエハＷに貼り付ける粘着テープの変更または一方の刃先２８ａの破損などの事態が発生した場合、カッタ刃２５を交換せずとも他方の刃先２８ｂに切り換えて粘着テープの切断を続行できる。その結果、カッタ刃の交換頻度を大きく低減できるとともに粘着テープ切断装置１９の稼働効率を向上できる。【選択図】図１２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハの表面に貼り付けられた粘着テープを当該半導体ウエハの外形に沿って切断する粘着テープ切断装置であって、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記粘着テープを切断する第１の刃先および第２の刃先が設けられているカッタ刃を支持するカッタ支持ユニットと、
前記保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの外周に沿って、当該半導体ウエハの中心周りに前記カッタ刃を第１方向へ旋回移動させる第１旋回機構と、
前記第１の刃先によって前記粘着テープを切断させる第１状態と前記第２の刃先によって前記粘着テープを切断させる第２状態とを切り換える刃先切換機構と、
を備えることを特徴とする粘着テープ切断装置。
【請求項２】
請求項１に記載の粘着テープ切断装置において、
前記保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの外周に沿って、当該半導体ウエハの中心周りに前記カッタ刃を前記第１方向と逆方向である第２方向へ旋回移動させる第２旋回機構を備え、
前記第１の刃先および前記第２の刃先は互いに逆方向を向くように構成され、
前記刃先切換機構は、
前記カッタ刃の旋回方向を前記第１方向と前記第２方向との間で切り換えることによって、前記第１状態と前記第２状態とを切り換える
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。
【請求項３】
請求項１に記載の粘着テープ切断装置において、
前記カッタ刃を、前記カッタ刃の軸心周りに回転させるカッタ回転機構を備え、
前記第１の刃先および前記第２の刃先は互いに逆方向を向くように構成され、
前記刃先切換機構は、
前記カッタ回転機構が前記カッタ刃を回転させることによって前記第１状態と前記第２状態とを切り換える
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の粘着テープ切断装置において、
前記カッタ刃は、それぞれ独立した第１カッタ分体および第２カッタ分体によって構成され、
前記第１の刃先は前記第１カッタ分体に設けられ、
前記第２の刃先は前記第２カッタ分体に設けられている
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。
【請求項５】
請求項４に記載の粘着テープ切断装置において、
前記カッタ支持ユニットは互いに分離可能な第１ユニット分体および第２ユニット分体によって構成され、
前記第１カッタ分体は前記第１ユニット分体によって支持され、
前記第２カッタ分体は前記第２ユニット分体によって支持され、
前記保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの外周に沿って、当該半導体ウエハの中心周りに、前記第１カッタ分体および前記第２カッタ分体を互いに逆方向へ旋回移動させる分離旋回機構を備える
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の粘着テープ切断装置において、
前記第１の刃先および前記第２の刃先のうち、前記第１の刃先を加熱する第１加熱器と、
前記第１の刃先および前記第２の刃先のうち、前記第２の刃先を加熱する第２加熱器と、
前記第１加熱器による加熱および前記第２加熱器による加熱をそれぞれ独立して制御する加熱制御機構とを備える
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。
【請求項７】
請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の粘着テープ切断装置において、
前記粘着テープの厚み方向において、前記粘着テープと前記第１カッタ分体との相対的な位置、および前記粘着テープと前記第２カッタ分体との相対的な位置をそれぞれ独立して制御する相対位置制御機構を備える
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の粘着テープ切断装置において、
前記粘着テープの特性に応じて、前記粘着テープが第１粘着テープと、前記第１粘着テープとは前記特性が異なる第２粘着テープとのいずれであるかを検知するテープ検知機構を備え、
前記刃先切換機構は、
前記第１粘着テープが前記半導体ウエハに貼り付けられている場合は前記第１状態に切り換え、前記第２粘着テープが前記半導体ウエハに貼り付けられている場合は前記第２状態に切り換える
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の粘着テープ切断装置において、
前記第１の刃先と前記第２の刃先とは、刃先の特性が異なる
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハの外周に沿ってカッタ刃を相対走行させて半導体ウエハに貼り付けられた粘着テープをウエハの外形に沿って切り抜くための粘着テープ切断装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、適宜「ウエハ」という）からチップ部品を製造する場合、ウエハの表面に回路パターンが形成処理された後、ウエハ表面に保護用の粘着テープが貼り付けられ、ウエハの外形に沿って当該粘着テープを切断する。
【０００３】
ウエハの外形に沿って粘着テープを切断する構成としては一例として、次のような構成によって実施されている。すなわち、ウエハの中心を通る縦軸周りに旋回駆動される支持アームの遊端部にカッタ刃を備えたカッタホルダを配備する。カッタ刃は、その刃先がカッタ刃の進行方向に向くように構成されている。当該カッタ刃を粘着テープに突き刺し、支持アームの旋回に伴ってカッタ刃をウエハ外周に沿って走行させることにより、カッタ刃の刃先は粘着テープをウエハの外形に沿って切断する（例えば、特許文献１、２を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６１−２４９２９９号公報
【特許文献２】特開２０１３−２３２５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。すなわち従来の粘着テープ切断装置ではカッタ刃の交換頻度が高いので、装置の作業効率が低下するという問題やオペレータの作業負担が増大するという問題が懸念される。
【０００６】
同一の刃先を用いて所定の粘着テープＡを繰り返し切断する場合、予備実験などによる蓄積された使用データに基づいて、当該粘着テープＡに対する刃先の使用寿命が設定される。一例として使用寿命が１００枚分と設定された場合、粘着テープＡを１００枚切断した際に、摩耗などによって刃先の使用寿命が尽きたと判断されてカッタ刃が交換される。このように、カッタ刃の刃先が常に同じ種類の粘着テープのみを切断する場合は刃先の使用寿命の予測が容易であるので、予測される使用寿命に基づいてカッタ刃の交換タイミングを適切に管理できる。
【０００７】
しかしながらウエハに粘着テープを貼り付ける場合、厚さや基材の材料などがそれぞれ異なる多種類の粘着テープのうち、ウエハの材質や用途などの諸条件に応じて、当該条件に適切な粘着テープが選択される。粘着テープの厚さや基材の材料に応じて刃先の摩耗しやすさも変化するので、粘着テープの種類に応じて刃先の使用寿命もそれぞれ異なる。そのため、例えば同一の刃先を用いて４０枚の粘着テープＡを切断した後、切断対象が粘着テープＡから別種の粘着テープＢに変更された場合、変更後の粘着テープＢに対する当該刃先の使用寿命を予測・管理することは非常に困難である。
【０００８】
従って、従来の粘着テープ切断装置では切断対象となる粘着テープの種類が変更された場合、想定外にカッタ刃が摩耗・破損する事態を避けるべく、刃先の使用寿命が尽きていなくともカッタ刃をカッタホルダから外して新たなカッタ刃に交換する。その結果、使用する粘着テープの種類を変更する頻度が上昇するに従って、カッタ刃の交換頻度も上昇するのでオペレータの作業負担が増大するとともに、カッタ刃の廃棄量増大によるコスト上昇を招く。
【０００９】
また、粘着テープの切断に用いられるカッタ刃は、切断対象となる粘着テープの厚みや堅さなどに応じて適切な刃先の形状等が異なる。そのため従来の粘着テープ切断装置では、粘着テープの種類に応じて最適な刃先を適用するという観点からも、粘着テープの種類を変更するたびにカッタ刃を交換する必要がある。従って、従来の装置ではカッタ刃の交換頻度の抑制が困難であるので、オペレータの負担および装置の稼働効率を改善することは非常に困難である。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、カッタ刃の交換頻度を低減させ、オペレータの負担低減および装置の稼働効率の向上を実現できる粘着テープ切断装置を提供することを主たる目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、本発明は、半導体ウエハの表面に貼り付けられた粘着テープを当該半導体ウエハの外形に沿って切断する粘着テープ切断装置であって、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記粘着テープを切断する第１の刃先および第２の刃先が設けられているカッタ刃を支持するカッタ支持ユニットと、
前記保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの外周に沿って、当該半導体ウエハの中心周りに前記カッタ刃を第１方向へ旋回移動させる第１旋回機構と、
前記第１の刃先によって前記粘着テープを切断させる第１状態と前記第２の刃先によって前記粘着テープを切断させる第２状態とを切り換える刃先切換機構と、
を備えることを特徴とする。
【００１２】
（作用・効果）この構成によれば、カッタ刃は第１の刃先と第２の刃先とを備えている。そして刃先切換機構は、第１の刃先によって粘着テープを切断させる第１状態と、第２の刃先によって粘着テープを切断させる第２状態とを切り換える。カッタ刃に設けられている複数の刃先から、粘着テープの切断に用いられる刃先を適宜選択して切り換えることができるので、第１の刃先と第２の刃先のうち一方が使用不可能である状態となっても他方の刃先に切り換えて粘着テープの切断を続行できる。従って、カッタ刃を交換する頻度を低減できるので、粘着テープ切断装置の作業効率を向上できるとともにオペレータの負担を低減できる。
【００１３】
また、上述した発明において、前記保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの外周に沿って、当該半導体ウエハの中心周りに前記カッタ刃を前記第１方向と逆方向である第２方向へ旋回移動させる第２旋回機構を備え、前記第１の刃先および前記第２の刃先は互いに逆方向を向くように構成され、前記刃先切換機構は、前記カッタ刃の旋回方向を前記第１方向と前記第２方向との間で切り換えることによって、前記第１状態と前記第２状態とを切り換えることが好ましい。
【００１４】
（作用・効果）この構成によれば、カッタ刃を第１方向に旋回移動させる第１旋回機構と、カッタ刃を第１方向と逆方向である第２方向へ旋回させる第２旋回機構とを備えている。刃先切換機構は、カッタ刃の旋回方向を第１方向と第２方向との間で切り換えることによって、第１状態と第２状態とを切り換える。この場合、カッタ刃の旋回方向の切り換えという単純な制御によって粘着テープの切断に用いる刃先を切り換えられるので、刃先の切り換えに要する時間を短縮できる。その結果、粘着テープ切断装置の作業効率をより向上できる。
【００１５】
また、上述した発明において、前記カッタ刃を前記カッタ刃の軸心周りに回転させるカッタ回転機構を備え、前記第１の刃先および前記第２の刃先は互いに逆方向を向くように構成され、前記刃先切換機構は、前記カッタ回転機構が前記カッタ刃を回転させることによって前記第１状態と前記第２状態とを切り換えることが好ましい。
【００１６】
（作用・効果）この構成によれば、第１の刃先および第２の刃先は互いに逆方向を向いているので、カッタ刃を前記カッタ刃の軸心周りに回転させることによって第１状態と第２状態とを切り換えることができる。この場合、カッタ刃の回転という単純な制御によって粘着テープの切断に用いる刃先を切り換えられるので、刃先の切り換えに要する時間を短縮できる。またカッタ刃の旋回方向を第１方向に限定できるので、粘着テープ切断装置の作業効率をより向上できるとともに、粘着テープ切断装置の構成や制御機構をより単純化できる。
【００１７】
また、上述した発明において、前記カッタ刃は、それぞれ独立した第１カッタ分体および第２カッタ分体によって構成され、前記第１の刃先は前記第１カッタ分体に設けられ、前記第２の刃先は前記第２カッタ分体に設けられていることが好ましい。
【００１８】
（作用・効果）この構成によれば、カッタ刃に設けられている複数の刃先は、それぞれ独立した別のカッタ分体に設けられている。そのため、第１の刃先と第２の刃先のうち一方が欠損した場合であっても、当該欠損による衝撃が一方のカッタ分体から他方のカッタ分体へ伝達されることを回避できる。その結果、一方の刃先の欠損によって他方の刃先が欠損する事態を確実に回避できる。従って、一方の刃先が欠損した場合であっても速やかに他方の刃先に切り換えることにより、カッタ刃を交換しなくとも粘着テープの切断を続行できるので、カッタ刃の交換頻度をさらに低減できる。
【００１９】
また、上述した発明において、前記カッタ支持ユニットは互いに分離可能な第１ユニット分体および第２ユニット分体によって構成され、前記第１カッタ分体は前記第１ユニット分体によって支持され、前記第２カッタ分体は前記第２ユニット分体によって支持され、前記保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの外周に沿って、当該半導体ウエハの中心周りに、前記第１カッタ分体および前記第２カッタ分体を互いに逆方向へ旋回移動させる分離旋回機構を備えることが好ましい。
【００２０】
（作用・効果）この構成によれば、カッタ刃を支持するカッタ支持ユニットは、分離可能な複数のユニット分体によって構成される。第１の刃先を備える第１カッタ分体は第１ユニット分体によって支持され、第２の刃先を備える第２カッタ分体は第２ユニット分体によって支持される。そして分離旋回機構は第１カッタ分体および第２カッタ分体を互いに逆方向へ旋回移動させることにより、第１の刃先と第２の刃先とを同時に用いて互いに逆方向から粘着テープをウエハの外形に沿って切断できる。この場合、粘着テープの切断に要する時間を凡そ半分に低減できるので、粘着テープの切断装置による切断効率を大きく向上できる。
【００２１】
また、上述した発明において、前記第１の刃先および前記第２の刃先のうち、前記第１の刃先を加熱する第１加熱器と、前記第１の刃先および前記第２の刃先のうち、前記第２の刃先を加熱する第２加熱器と、前記第１加熱器による加熱および前記第２加熱器による加熱をそれぞれ独立して制御する加熱制御機構とを備えることが好ましい。
【００２２】
（作用・効果）この構成によれば、第１の刃先と第２の刃先とをそれぞれ独立して加熱制御できる。そのため、粘着テープの切断に一方の刃先の加熱が必要である場合であっても、当該一方の刃先を加熱するために他方の刃先まで加熱する必要がない。そのため、当該一方の刃先の加熱に要する時間およびエネルギーを低減できるので、粘着テープの切断に要する時間およびコストを低減できる。
【００２３】
また、上述した発明において、前記粘着テープの厚み方向において、前記粘着テープと前記第１カッタ分体との相対的な位置、および前記粘着テープと前記第２カッタ分体との相対的な位置をそれぞれ独立して制御する相対位置制御機構を備えることが好ましい。
【００２４】
（作用・効果）この構成によれば、第１カッタ分体と第２カッタ分体との各々について、粘着テープの厚み方向における粘着テープとの相対的な位置を独立して制御できる。そのため、第１の刃先および第２の刃先の各々についても、粘着テープの厚み方向における粘着テープとの相対位置が独立制御される。従って、厚さの異なる粘着テープＴの各々に対して刃先の各々を適応できる。また粘着テープに対して各々の刃先が切断する深さを適宜変更できるので、多様な粘着テープの切断条件に適用可能な、より汎用性の高い粘着テープ切断装置を実現できる。
【００２５】
また、上述した発明において、前記粘着テープの特性に応じて、前記粘着テープが第１粘着テープと、前記第１粘着テープとは特性が異なる第２粘着テープとのいずれであるかを検知するテープ検知機構を備え、前記刃先切換機構は、前記第１粘着テープが前記半導体ウエハに貼り付けられている場合は前記第１状態に切り換え、前記第２粘着テープが前記半導体ウエハに貼り付けられている場合は前記第２状態に切り換えることが好ましい。
【００２６】
（作用・効果）この構成によれば、テープ検知機構は粘着テープの特性に応じて、半導体ウエハに貼り付けられている粘着テープが第１粘着テープと第２粘着テープとのいずれであるかを検知する。そして刃先切換機構は、第１粘着テープが半導体ウエハに貼り付けられている場合は第１状態に切り換え、第２粘着テープが半導体ウエハに貼り付けられている場合は第２状態に切り換える。
【００２７】
すなわち、第１粘着テープＴ１を切断する際は専ら第１の刃先を用い、別の特性を有する第２粘着テープを切断する際は専ら第２の刃先を用いるように制御される。複数の刃先を有するカッタ刃において、粘着テープＴの特性によって切断に用いる刃先を切り換えることにより、ウエハに貼り付ける粘着テープの特性を変更するたびにカッタ刃を交換する必要がない。その結果、カッタ刃の交換頻度を大きく低減できるとともに粘着テープ切断装置の稼働効率を向上できる。
【００２８】
また、上述した発明において、前記第１の刃先と前記第２の刃先とは、刃先の特性が異なることが好ましい。
【００２９】
（作用・効果）この構成によれば、第１の刃先と第２の刃先とは刃先の特性が異なるように構成される。そのため、粘着テープの厚みなど粘着テープの特性が異なる多種類の粘着テープの各々に対して、カッタ刃を交換することなく第１の刃先と第２の刃先のうち、より適性の高い刃先を選択して当該粘着テープの切断に用いることができる。従って、カッタ刃の交換頻度を低く抑えつつ、多様な粘着テープの特性に応じた汎用性の高い粘着テープ切断装置を実現できる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の粘着テープ切断装置によれば、カッタ刃の交換頻度を低減させ、オペレータの負担低減および装置の稼働効率の向上を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の基本構成を示す斜視図である。
【図２】実施例１に係る粘着テープ切断装置の全体を示す正面図である。
【図３】実施例１に係る粘着テープ切断装置の要部を示す斜視図である。
【図４】実施例１に係る粘着テープ切断装置の要部を示す平面図である。
【図５】実施例１に係る粘着テープ切断装置の要部を示す側面図である。
【図６】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の全体を示す正面図である。
【図７】実施例１に係る粘着テープ切断装置の構成を示す図である。（ａ）は正面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図８】実施例１に係る粘着テープ貼付け装置の動作を示すフローチャートである。
【図９】実施例１に係るステップＳ３の工程を説明する正面図である。
【図１０】実施例１において第１粘着テープを貼り付ける場合における、ステップＳ４の工程を説明する正面図である。（ａ）は粘着テープ貼付け装置の全体を示す正面図であり、（ｂ）は第１粘着テープに突き刺されたカッタ刃を示す縦断面図であり、（ｃ）はカッタ刃の刃先２８ａが第１粘着テープを切断する状態を示す平面図である。
【図１１】実施例１に係るステップＳ５の工程を説明する正面図である。
【図１２】実施例１において第２粘着テープを貼り付ける場合における、ステップＳ４の工程を説明する正面図である。（ａ）は粘着テープ貼付け装置の全体を示す正面図であり、（ｂ）は第２粘着テープに突き刺されたカッタ刃を示す縦断面図であり、（ｃ）はカッタ刃の刃先２８ｂが第２粘着テープを切断する状態を示す平面図である。
【図１３】実施例１と従来例において、粘着テープ切断装置の構成の相違点を説明する正面図である。（ａ）は従来例に係るカッタ刃であり、（ｂ）は実施例１に係るカッタ刃である。（ｃ）は粘着テープの積層構造を説明する断面図である。
【図１４】実施例２に係る粘着テープ切断装置の構成を示す図である。（ａ）は正面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図であり、（ｃ）は実施例２の変形例に係るカッタ刃の正面図であり、（ｄ）は（ｃ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図１５】実施例２に係るステップＳ４において、粘着テープ切断装置の動作を示す図である。（ａ）は刃先２８ａを用いて第１粘着テープを切断する図であり、（ｂ）は刃先２８ｂを用いて第２粘着テープを切断する図である。
【図１６】実施例２に係る粘着テープ切断装置が有する効果を説明する図である。（ａ）は実施例１に係るカッタ刃を示す正面図であり、（ｂ）は実施例２に係るカッタ刃を示す正面図である。
【図１７】実施例３に係る粘着テープ切断装置の構成を示す図である。（ａ）はユニット分体同士が接している状態を示す正面図であり、（ｂ）はユニット分体同士が分離した状態を示す正面図である。
【図１８】実施例３に係る粘着テープ切断装置の要部を示す斜視図である。
【図１９】実施例３に係るステップＳ４において、カッタ刃の動作を示す図である。（ａ）は粘着テープに突き刺されたカッタ刃を示す縦断面図であり、（ｂ）は刃先２８ａおよび２８ｂが粘着テープを同時に切断する状態を示す平面図であり、（ｃ）各刃先が粘着テープを切断する軌跡を説明する平面図である。
【図２０】変形例（１）に係るステップＳ４の動作を示す図である。（ａ）は粘着テープ切断装置の全体において、カッタ刃を回転させて刃先を切り換える動作を示す正面図であり、（ｂ）は粘着テープ切断装置の要部において、カッタ刃を回転させて刃先を切り換える動作を示す正面図であり、（ｃ）はカッタ刃の刃先２８ｂが第２粘着テープを切断する状態を示す平面図である。
【図２１】変形例（２）に係る粘着テープ切断装置の構成を示す図である。
【図２２】変形例（４）に係る粘着テープ切断装置の構成を示す図である。
【図２３】変形例（５）に係る粘着テープ切断装置を説明する図である。（ａ）は粘着テープ切断装置の要部を示す斜視図であり、（ｂ）は第１粘着テープを切断する際に刃先２８ａへ切り換える状態を示す正面図であり、（ｃ）は第２粘着テープを切断する際に刃先２８ｂへ切り換える状態を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００３２】
以下、図面を参照して本発明の実施例１を説明する。図１は、実施例１に係る粘着テープ切断装置を備える、粘着テープ貼付け装置１の全体構成を示す斜視図である。
【００３３】
＜全体構成の説明＞
この粘着テープ貼付け装置１は、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と略称する）Ｗを収納したカセットＣが装填されるウエハ供給／回収部３、ロボットアーム５を備えたウエハ搬送機構７、アライメントステージ９、ウエハＷを載置して吸着保持するチャックテーブル１１、ウエハＷに向けて表面保護用の粘着テープＴを供給するテープ供給部１３、テープ供給部１３から供給されたセパレータ付きの粘着テープＴからセパレータＳを剥離回収するセパレータ回収部１５、チャックテーブル１１に載置されて吸着保持されたウエハＷに粘着テープＴを貼付ける貼付けユニット１７、ウエハＷに貼付けられた粘着テープＴをウエハＷの外形に沿って切り抜き切断する粘着テープ切断装置１９、ウエハＷに貼付けて切断処理した後の不要な粘着テープＴを剥離する剥離ユニット２１、剥離ユニット２１で剥離された粘着テープＴを巻き取り回収するテープ回収部２３などが備えられている。上記各構造部および機構についての具体的な構成は図２〜図６を用いて、以下に説明する。
【００３４】
ウエハ供給／回収部３は２台のカセットＣを並列して装填することが可能であり、各カセットＣには、複数枚のウエハＷが回路パターン面（表面）を上向きにした水平姿勢で多段に差込み収納されている。
【００３５】
ウエハ搬送機構７に備えられたロボットアーム５は、水平に進退移動可能に構成されるとともに、全体が駆動旋回および昇降可能となっている。そして、ロボットアーム５の先端には、馬蹄形をした真空吸着式のウエハ保持部５ａが備えられている。このウエハ保持部５ａは、カセットＣに多段に収納されたウエハＷ同士の間隙に差し入れてウエハＷを裏面から吸着保持し、吸着保持したウエハＷをカセットＣから引き出して、アライメントステージ９、チャックテーブル１１、および、ウエハ供給／回収部３の順に搬送するようになっている。
【００３６】
アライメントステージ９はｘ方向およびｙ方向へ移動する機能と、ｚ方向の軸周りに旋回する旋回機能とを有している。アライメントステージ９は、ウエハ搬送機構７によって搬入載置されたウエハＷを、その外周に形成されたノッチやオリエンテーションフラットなどに基づいて位置合せを行うようになっている。
【００３７】
チャックテーブル１１は、ウエハ搬送機構７から移載されて所定の位置合わせ姿勢で載置されたウエハＷを真空吸着するようになっている。また、このチャックテーブル１１の上面には、後述する粘着テープ切断装置１９に備えたカッタ刃２５をウエハＷの外形に沿って旋回移動させて粘着テープＴを切断するために、図２に示すカッタ走行溝２７が形成されている。チャックテーブル１１は本発明における保持テーブルに相当する。チャックテーブル１１はウエハＷを真空吸着する構成に限られず、ウエハＷを載置できる構成であれば他の構成に適宜変更できる。
【００３８】
テープ供給部１３は図６に示すように、供給ボビン２９から繰り出されたセパレータＳ付きの粘着テープＴを１または２以上のガイドローラ３１に巻回案内し、セパレータＳを剥離した粘着テープＴを貼付けユニット１７に導くよう構成されている。供給ボビン２９は、適度の回転抵抗を与えられて過剰なテープ繰り出しが行われないように構成されている。
【００３９】
セパレータ回収部１５は、粘着テープＴから剥離されたセパレータＳを巻き取る回収ボビン３３が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。
【００４０】
貼付けユニット１７には貼付けローラ３５が前向き水平に備えられており、図６に示すスライド案内機構３７および図示されないネジ送り式の駆動機構によって左右水平に往復駆動されるようになっている。
【００４１】
剥離ユニット２１には剥離ローラ３９が前向き水平に備えられている。剥離ローラ３９は、スライド案内機構３７および図示されないネジ送り式の駆動機構によって左右水平に往復駆動されるように構成されている。
【００４２】
図１に戻り、テープ回収部２３は、不要となった粘着テープＴ、すなわち不要テープＴｎを巻き取る回収ボビン４１が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。不要テープＴｎは、ウエハＷの外形に沿って切り抜かれた残りの粘着テープ片などが挙げられる。
【００４３】
粘着テープ切断装置１９は、基本的には、駆動昇降可能な可動台４３の下部に、後述する回動軸５３の中心上に位置する縦軸心Ｐ周りに駆動旋回可能に一対の支持アーム４５が並列装備される。また、この支持アーム４５の遊端側に備えたカッタ支持ユニット４７に、カッタ刃２５が先端を下向きにした状態で装着されている。つまり、支持アーム４５が縦軸心Ｐを旋回中心として旋回することにより、カッタ刃２５がウエハＷの外周に沿って旋回移動して粘着テープＴを切り抜くよう構成されている。その詳細な構造が図２〜図５に示されている。
【００４４】
可動台４３は、モータ４９を正逆回転駆動することにより、縦レール５１に沿ってねじ送り昇降されるようになっている。この可動台４３の遊端部に縦軸心Ｐ周りに回動可能に装備された回動軸５３が、可動台４３の上に配備されたモータ５５に２本のベルト５７を介して減速連動されている。
【００４５】
つまり、モータ５５の作動によって回動軸５３が所定の方向に回動されるようになっている。回動軸５３は、チャックテーブル１１の中心１１ｘの上方に位置するように構成される。すなわち、縦軸心Ｐは中心１１ｘを通るように構成されている。また、モータ５５は正逆回転駆動が可能となるように構成されている。すなわち、回動軸５３はモータ５５の駆動方向に応じて、縦軸心Ｐの軸周りに時計回りまたは反時計回りに適宜回動可能となっている。
【００４６】
図２に示すように、モータ４９およびモータ５５の各々における回転方向および回転速度は、制御装置９３によってそれぞれ制御される。すなわち制御装置９３はコンピュータ制御などによって、支持アーム４５の水平スライド移動、回動軸５３の回動、後述するロータリーシリンダ７０の回動、およびモータ７９による操作フランジ７７の旋回など、粘着テープ貼付け装置１における各種動作を適宜制御する。支持アーム４５、回動軸５３、モータ５５、および制御部９３などからなる、カッタ刃２５を旋回移動させる一連の機構は、本発明における第１旋回機構および第２旋回機構に相当する。
【００４７】
支持部材５９は回動軸５３から下方に延出されている。そして支持部材５９の下端部に、支持アーム４５が水平方向へスライド調節可能に貫通支持されている。つまり支持アーム４５のスライド調節によって、カッタ刃２５の旋回中心である縦軸心Ｐからの距離が調節される。このような構成により、カッタ刃２５の旋回半径をウエハ径に対応して変更調節することが可能になっている。実施例１において支持アーム４５の数は２本であるが、支持アーム４５の数は適宜変更してよい。
【００４８】
支持アーム４５の他端部にはブラケット６１が固着されている。このブラケット６１にはカッタ刃を支持するカッタ支持ユニット４７が装着支持されている。カッタ支持ユニット４７は、図３および図４に示すように、ブラケット６１に縦向き支点Ｑ周りに所定範囲内で回動可能に支持された回動部材６３、回動部材６３の端部下面に連結された縦壁状の支持ブラケット６５、支持ブラケット６５の側面に連結されたカッタ支持部材６７、カッタ支持部材６７に支持されたブラケット６９、このブラケット６９に取り付けられたロータリーシリンダ７０、およびロータリーシリンダ７０の下方に接続されているカッタホルダ７１などから構成されている。なお、カッタ刃２５は、カッタホルダ７１の側面に交換可能に締め付け固定されている。
【００４９】
ロータリーシリンダ７０は、カッタ刃２５の縦軸心Ｑの軸周りにカッタホルダ７１を回転させる。カッタホルダ７１の回転移動に従って、カッタホルダ７１に固定されているカッタ刃２５は、縦軸心Ｑ周りにおいて姿勢を変更する。すなわち、カッタ刃２５の姿勢変更によって、その刃先の向きを所定の範囲内で調整できる。
【００５０】
ここで、回動部材６３の上方には、図４に示すように、長孔７３と突起７５との係合によって回動部材６３と一体に回動する操作フランジ７７が配備されている。この操作フランジ７７をモータ７９によって回動することにより、支持アーム４５に対するカッタ支持ユニット４７全体の縦軸心Ｑ周りでの姿勢を変更して、カッタ刃２５の移動方向に対する刃先の角度（切り込み角度）を所定の範囲内で調整することが可能となっている。
【００５１】
ロータリーシリンダ７０およびモータ７９は、いずれもその機能によってカッタ刃２５の向きを縦向き支点Ｑの軸周りに変更させるために用いられる。ロータリーシリンダ７０は主に、カッタ刃２５の向きを縦軸心Ｑの軸周りに大きく（例えば１８０度）変更させるために用いられる。一方、モータ７９は主に、縦軸心Ｑの軸周りにおけるカッタ刃２５の向きを微調整させるために用いられる。ロータリーシリンダ７０および制御部９３は、本発明におけるカッタ回転機構に相当する。
【００５２】
カッタ支持部材６７に対してブラケット６９は、案内レール機構８１を介して支持アーム４５の長手方向（図５においてはｙ方向）に直線スライド移動可能に支持されている。また、カッタ支持部材６７とブラケット６９とに亘ってバネ８３が張設され、このバネ８３の弾性復元力によってブラケット６９が縦軸心（旋回中心）Ｐに近づく方向にスライド付勢されている。
【００５３】
＜カッタ刃の構成の説明＞
ここで本発明の特徴である、カッタ刃２５の構成について説明する。図７（ａ）および図７（ｂ）に示すように、カッタ刃２５はカッタ本体部２６と、刃先２８ａと、刃先２８ｂとを備えている。
【００５４】
刃先２８ａおよび刃先２８ｂはカッタ本体部２６にそれぞれ設けられている。そして水平面（ｘｙ平面）における刃先２８ａの向きＦ１と、水平面における刃先２８ｂの向きＦ２とは互いに逆方向となるように構成されている。すなわちカッタ刃２５は、背中合わせに配備された刃先２８ａおよび刃先２８ｂを有する、両刃の構造となっている。
【００５５】
実施例１に係るカッタ刃２５では、粘着テープＴの表面（実施例１では水平面であるｘｙ平面）に対する刃先２８ａの傾斜角度θ１に比べて、水平面に対する刃先２８ｂの傾斜角度θ２は大きくなるように構成されている。そのため、粘着テープＴの厚み方向（図ではｚ方向）における切断刃の長さは刃先２８ａより刃先２８ｂの方が長くなっている。従って、刃先２８ｂは刃先２８ａに比べて、より厚い粘着テープＴの切断に適した構造となっている。傾斜角度θ１およびθ２の大きさは実施例１の構成に限ることはなく、それぞれ適宜変更してよい。
【００５６】
上述したように、回動軸５３は制御装置９３の制御に応じて、縦軸心Ｐの軸周りに時計回りまたは反時計回りに適宜回動可能となっている。回動軸５３の回動方向に従って、カッタ刃２５は縦軸心Ｐの周りに両方向へ旋回移動できる。すなわち、制御装置９３がカッタ刃２５の旋回方向を適宜制御することによって、同一のカッタ刃２５に設けられている刃先２８ａと刃先２８ｂのうち、粘着テープＴの切断に用いられる刃先を適宜選択して切り換えることが可能となる。回動軸５３および制御部９３などからなる、粘着テープＴの切断に用いられる刃先を切り換える機構は、本発明における刃先切換機構に相当する。
【００５７】
実施例１では回動軸５３が時計回り方向に回動される場合は刃先２８ａが用いられ、反時計回りに回動される場合は刃先２８ｂが用いられるものとする。このように本発明に係る粘着テープ切断装置１９では、回動方向を適宜制御することによって、粘着テープＴの切断に用いられる刃先を切り換えることができる。
【００５８】
従って、一例として刃先２８ａが使用不可能な事態となった場合であってもカッタ刃２５をカッタ支持ユニット４７から外して交換することなく、粘着テープＴの切断に用いられる刃先を刃先２８ｂに切り換えることによって粘着テープＴの切断過程を続行できる。そのため、カッタ刃２５の交換頻度を低減できる。なお、ウエハ中心Ｗｘを中心とする時計回り方向は、本発明における第１方向に相当する。ウエハ中心Ｗｘを中心とする反時計回り方向は、本発明における第２方向に相当する。
【００５９】
また、ウエハＷの貼り付けに用いられる粘着テープＴの種類に応じて、当該粘着テープＴの切断に用いる刃先を切り換えることができる。粘着テープＴの種類とは、粘着テープＴの特性の違いによって区別されるものである。粘着テープＴの特性の一例としては、粘着テープＴの厚みや、粘着テープＴを構成する基材Ｔｓまたは粘着材Ｔｇの材料などが挙げられる。
【００６０】
後述するように、実施例１では第１粘着テープＴ１の切断には刃先２８ａが専ら用いられ、第１粘着テープＴ１とは異なる特性を有する、第２粘着テープＴ２の切断には刃先２８ｂが専ら用いられるものとする。第２粘着テープＴ２は、第１粘着テープＴ１より厚いという点で、第１粘着テープとは異なる特性を有する。
【００６１】
＜基本動作の説明＞
次に、上記実施例１に係る粘着テープ貼り付け装置を用いて回路面保護用の粘着テープＴをウエハＷに貼り付けるための一連の基本動作を説明する。図８は、保護用の粘着テープＴをウエハＷに貼り付ける工程を説明するフローチャートである。なお、粘着テープはウエハの表面に貼り付けられる回路面保護用のテープに限ることはなく、任意の目的に用いられる粘着テープについても、本実施例に係る粘着テープ貼付装置の構成を適用できる。
【００６２】
また、ここでは粘着テープＴのうち、厚みが比較的薄い第１粘着テープＴ１を貼り付ける場合を例にとって説明する。そして、カッタ刃２５のうち刃先２８ａを用いて第１粘着テープＴ１を切断するものとする。刃先２８ａを用いて第１粘着テープＴ１を切断する状態は、本発明における第１状態に相当する。
【００６３】
ステップＳ１（ウエハの搬入）
貼付け指令が出されると、先ず、ウエハ搬送機構７におけるロボットアーム５がカセット台に載置装填されたカセットＣに向けて移動される。ロボットアーム５は、ウエハ保持部５ａをカセットＣに収容されているウエハ同士の隙間に挿入し、ウエハ保持部５ａでウエハＷを裏面（下面）から吸着保持して搬出し、取り出したウエハＷをアライメントステージ９に移載する。
【００６４】
ステップＳ２（ウエハの位置合わせ）
載置されたウエハＷは、アライメントステージ９によって吸着保持される。その後、ウエハＷの外周に形成されているノッチやオリエンテーションフラットなどを利用して適宜位置合わせされる。位置合わせが完了したウエハＷは、再びロボットアーム２によって搬出される。搬出されたウエハＷは、ウエハＷの中心Ｗｘがチャックテーブル１１の中心１１ｘの上にある状態でチャックテーブル１１に載置される。
【００６５】
載置されたウエハＷは、チャックテーブル１１によって吸着保持される。このとき、図６において実線で示すように、貼付けユニット１７と剥離ユニット２１は左側の初期位置にある。また、粘着テープ切断装置１９は、上方の初期位置で待機している。
【００６６】
ステップＳ３（粘着テープの貼付け）
次に、図６において点線の仮想線で示すように、貼付けユニット１７の貼付けローラ３５が下降される。そして図９に示すように、貼付けローラ３５で粘着テープＴを下方に押圧しながら、点線で示す初期位置から実線で示す終端位置まで、ウエハＷ上を前方に移動する。これによって第１粘着テープＴ１が、ウエハＷの表面全体に貼付けられる。
【００６７】
ステップＳ４（粘着テープの切断）
図１０（ａ）に示すように、貼付けユニット１７が終端位置に達すると、上方に待機していた粘着テープ切断装置１９が下降されて、チャックテーブル１１のカッタ走行溝２７においてカッタ刃２５が第１粘着テープＴ１に突き刺される。このとき、カッタ刃２５はバネ８３によって、ウエハＷの外周縁から外方に少し（一例として数ｍｍ程度）離れた位置からウエハＷの外周縁に押しつけられる。
【００６８】
カッタ刃２５が粘着テープＴに突き刺されると、制御部９３はモータ５５の回転を制御して回動軸５３を時計回りに回動させる。回動軸５３の回動に従って、支持アーム４５は図１０に示すように縦軸心Ｐの周りに旋回される。支持アーム４５の旋回に伴って、カッタ刃２５はウエハＷの外周縁Ｗａに押しつけられた状態で、図１０（ｂ）に示すように、刃先２８ａが向いている方向Ｆ１へ移動する。
【００６９】
制御部９３の制御を受けることによって、カッタ刃２５はウエハ外周縁Ｗａに刃先２８ａを摺接させながら時計回り方向へ旋回移動する（図１０（ｃ））。カッタ刃２５の旋回移動に伴って、刃先２８ａが第１粘着テープＴ１をウエハＷの外周縁Ｗａに沿って切断していく。なお図１０（ｃ）において、外周縁Ｗａのうち、刃先２８ａによって第１粘着テープＴ１が切断されている部分は太線で示し、第１粘着テープＴ１が切断されていない部分は点線で示している。カッタ刃２５が縦軸心Ｐの周りに時計方向へ１周することにより、刃先２８ａによって第１粘着テープＴ１が切り抜かれる（ステップＳ４）。
【００７０】
ステップＳ５（不要テープの剥離・回収）
ウエハの外周縁Ｗａに沿って第１粘着テープＴ１が切り抜かれると、図１１に示すように、粘着テープ切断装置１９は元の待機位置まで上昇される。次いで、剥離ユニット２１が前方へ移動しながら、第１粘着テープＴ１のうちウエハＷ上で切り抜き切断されて残った不要テープＴｎ１を巻き上げて剥離する。
【００７１】
剥離ユニット２１が剥離作業の終了位置に達すると、剥離ユニット２１と貼付けユニット１７とが逆方向に移動して初期位置に復帰する。このとき、不要テープＴｎ１が回収ボビン４１に巻き取られるとともに、一定量の第１粘着テープＴ１がテープ供給部１３から繰り出される。
【００７２】
ステップＳ６（ウエハの回収）
ステップＳ５までの各処理が終了すると、チャックテーブル１１における吸着が解除された後、第１粘着テープＴ１の貼付け処理が完了したウエハＷはロボットアーム５のウエハ保持部５ａに移載されてウエハ供給/回収部３のカセットＣに差込み回収される（ステップＳ６）。このとき、ウエハの回収動作と並行して、貼付けユニット１７および剥離ユニット２１の各々は、図６において実線で示されている初期位置へと復帰する。
【００７３】
以上で１回の粘着テープ貼付け処理が完了し、以後、上記作動を順次繰返してゆく。
【００７４】
＜粘着テープの種類の変更に基づく動作の説明＞
ここで、ウエハＷの変更やウエハＷに対する処理工程の変更などの理由により、ウエハＷに貼り付ける粘着テープＴを、異なる種類の粘着テープＴに変更した場合における粘着テープ切断装置１９の動作について説明する。なお、異なる種類の粘着テープＴとは、特性（厚みや構成材料など）が異なる粘着テープＴを意味する。実施例１では、ウエハＷに貼り付ける粘着テープＴを、比較的薄い第１粘着テープＴ１から、比較的厚い第２粘着テープＴ２に変更した場合における粘着テープ切断装置１９の動作について説明する。
【００７５】
第２粘着テープＴ２をウエハＷに貼り付ける場合、刃先２８ａと比べて刃先２８ｂの方が、粘着テープの厚み方向（ｚ方向）に長くなっている。そのため、刃先２８ｂの方が、比較的厚い第２粘着テープＴ２の切断に適している。そのため、第２粘着テープＴ２を切断する場合には、切断に用いられる刃先を刃先２８ａから刃先２８ｂへと切り換える必要がある。
【００７６】
そこで制御部９３は、粘着テープＴの切断に用いる刃先を刃先２８ａから刃先２８ｂへと変更すべく、ステップＳ４において回動軸５３を回動させる方向を、時計方向から反時計方向に切り換える。刃先２８ｂを用いて第２粘着テープＴ２を切断する状態は、本発明における第２状態に相当する。
【００７７】
実施例１では、粘着テープＴの特性（粘着テープの厚みや構成する材料の種類など）を図示しないセンサが検知することにより、ウエハＷに貼り付ける粘着テープＴの種類が特定される。すなわちセンサの動作によって、ウエハＷに貼り付ける粘着テープＴが第１粘着テープＴ１から第２粘着テープＴ２へ変更されたことが検知される。
【００７８】
第１粘着テープＴ１から第２粘着テープＴ２への変更が検知されることにより、当該変更を示す信号が制御部９３へ自動的に送信される。なお、オペレータがキーボードなどの入力手段を手動で操作することによって、第２粘着テープＴ２への変更を示す信号が送信される構成であってもよい。また、粘着テープＴに付された識別コードなどを検知することによって、ウエハＷに貼り付けられる粘着テープの種類を特定してもよい。センサは本発明におけるテープ検知機構に相当する。
【００７９】
実施例１において、第１粘着テープＴ１を貼り付ける動作と、第２粘着テープＴ２を貼り付ける動作とは、ステップＳ４の工程を除いて共通する。そこで、ステップＳ４における動作の違いについて、以下説明する。
【００８０】
貼付けユニット１７が終端位置に達してステップＳ３の工程が完了すると、図１２（ａ）に示すように、上方に待機していたテープ切断装置１９が下降されて、チャックテーブル１１のカッタ走行溝２７において、先端を下向きにしたカッタ刃２５が第１粘着テープＴ１に突き刺される。このとき、カッタ刃２５はバネ８３によって、ウエハＷの外周縁から外方に少し（一例として数ｍｍ程度）離れた位置からウエハＷの外周縁に押しつけられる。
【００８１】
カッタ刃２５が粘着テープＴに突き刺されると、制御部９３はモータ５５の回転を制御して回動軸５３を反時計回りに回動させる。回動軸５３の回動に従って、支持アーム４５は図１２に示すように、縦軸心Ｐの周りを反時計回りに旋回される。支持アーム４５の旋回に伴って、カッタ刃２５はウエハＷの外周縁Ｗａに押しつけられた状態で、図１２（ｂ）に示すように、刃先２８ｂが向いている方向Ｆ２へ移動する。刃先２８ｂは傾斜角度θ２が大きいので、厚みが比較的厚い第２粘着テープＴ２であっても、カッタ刃２５は好適に当該第２粘着テープＴ２を好適に切断できる。
【００８２】
制御部９３の制御を受けることによって、カッタ刃２５はウエハ外周縁Ｗａに刃先２８ｂを摺接させながら反時計回り方向へ旋回移動する（図１２（ｃ））。カッタ刃２５の旋回移動に伴って、刃先２８ｂが第２粘着テープＴ２をウエハＷの外周縁Ｗａに沿って切断していく。カッタ刃２５が縦軸心Ｐの周りに反時計方向へ１周することにより、刃先２８ｂによって、第２粘着テープＴ２はウエハＷの外形に沿って切り抜かれる。
【００８３】
その後、ステップＳ５の工程に進み、切り抜かれて不要となった第２粘着テープ（不要テープＴｎ２）が剥離・回収されるとともに、ステップＳ６において第２粘着テープＴ２が貼り付けられたウエハＷが回収される。以上で第２粘着テープＴ２の貼付け処理が完了し、以後、上記作動を順次繰返してゆく。
【００８４】
＜実施例１の構成による効果＞
このように、本発明に係る粘着テープ切断装置において、同一のカッタ刃２５は複数の刃先２８ａおよび２８ｂを備え、切断対象となる粘着テープＴの種類に応じて、使用する刃先を適宜切り換えるように構成されている。このような構成を備えることにより、粘着テープＴの厚みや、基材または粘着材を構成する材料などを例とする、粘着テープＴの特性に応じて使用する刃先を切り換えることができる。
【００８５】
従って、ウエハＷの貼り付けに用いる粘着テープＴの特性に対して、カッタ刃２５に備えられている刃先の中から最適な刃先を適宜選択できるので、粘着テープＴの種類を変更した場合であっても、ウエハＷに貼り付けられた粘着テープＴの切断を好適に実行できる。また、使用する刃先を刃先２８ａから刃先２８ｂへ切り換えるためにカッタ刃２５をカッタ支持ユニット４７から取り外して交換する必要がない。
【００８６】
そのため、本発明に係る粘着テープ切断装置では、粘着テープＴの種類を頻繁に変更する場合であってもカッタ刃２５の交換頻度を低く抑えることができる。その結果、オペレータの作業負担を低減できるとともに、粘着テープ切断装置１９の作業効率を向上できる。また、同一のカッタ刃２５を用いて複数種類の粘着テープＴ１およびＴ２を切断できるので、粘着テープ切断装置１９の汎用性を向上させることも可能となる。
【００８７】
さらに、本発明に係る粘着テープ切断装置では、刃先の各々について使用寿命を適宜管理しつつ、複数種類の粘着テープを切断できるという効果を得ることができる。当該効果について、以下説明する。
【００８８】
従来の粘着テープ切断装置は、常に同じ種類の粘着テープＴをウエハＷの形状に沿って切り抜くことを想定して用いられている。この場合、粘着テープ切断装置を移動させる方向は常に同じ方向である。そのため、従来の粘着テープ切断装置に用いられるカッタ刃Ｃは、図１３（ａ）に示すように、１枚のカッタ本体部Ｂに対して１つの刃先Ｍが配備される構成となっている。そして従来のカッタ刃Ｃは、常に同じ方向Ｊへ旋回移動するように制御される。
【００８９】
カッタ刃に配備されている刃先Ｍの使用寿命は、粘着テープＴの種類ごとに設定される。一例として、刃先Ｍの使用寿命は第１粘着テープＴ１に対しては２００枚分、第２粘着テープＴ２に対しては１００枚分と設定される。粘着テープＴに対する刃先Ｍの使用寿命は、一般的に未使用状態の刃先Ｍを用いて同一種類の粘着テープＴを切り続け、刃先が摩耗などに耐えられる枚数として設定される。
【００９０】
すなわち、未使用状態の刃先Ｍを用いて第１粘着テープＴ１を切断し続ける場合、２００枚の第１粘着テープＴ１を切断した際に、刃先Ｍは摩耗・劣化してこれ以上切断に供することができないと判断される。そして刃先Ｍはカッタ支持ユニットＨから取り外されて廃棄される。
【００９１】
同一の刃先Ｍを用いて同一種類の第１粘着テープＴ１を切り続けるという操作は、従来から想定されているので、使用寿命に関する実験データが蓄積されている。そのため、同一種類の粘着テープを切り続ける操作を行う場合、信頼性の高い使用寿命の情報に基づいて刃先Ｍを管理できる。従って、刃先Ｍの使用寿命の把握・管理が容易であるとともに、当該刃先Ｍを使用寿命の限界まで正確に使い続けることができるので、カッタ刃Ｃを無駄なく使用できる。
【００９２】
しかしながら、同一の刃先Ｍを用いて異なる種類の粘着テープＴを切断する場合、刃先Ｍの使用寿命を正確に把握・管理することは非常に困難である。一例として、刃先Ｍを用いて３０枚の第１粘着テープＴを切断した後、当該刃先Ｍを用いて第２粘着テープＴ２を切断する場合を想定する。未使用の刃先Ｍは第２粘着テープＴ２を１００枚切断できることは蓄積された予備実験データから正確に把握できる。
【００９３】
しかし、３０枚の第１粘着テープＴを切断した状態の刃先Ｍを用いて第２粘着テープＴ２を切断することは一般的に想定されていないので、このような摩耗した状態における刃先Ｍの使用寿命に関する実験データは蓄積されていない。従って、３０枚の第１粘着テープＴを切断した状態の刃先Ｍを用いて第２粘着テープＴ２を切断する場合、何枚の第２粘着テープＴ２の切断によって刃先Ｍの使用寿命が限界に達するかを正確に把握することは非常に困難である。
【００９４】
このように、刃先Ｍを用いて異なる種類の粘着テープＴを切断する場合は使用寿命を正確に把握できない。そのため、想定外に刃先Ｍが劣化・破損することによって粘着テープ貼り付け工程が停止する事態を回避すべく、同一の刃先Ｍは同一種類の粘着テープＴの切断に専ら用いられる。
【００９５】
従来の粘着テープ切断装置が備えるカッタＣは、１つの刃先Ｍを有する１枚のカッタ本体部Ｂによって構成される。そのため、刃先Ｍを用いて第１粘着テープＴ１を切断した後に別種の第２粘着テープＴ２を切断する場合、刃先Ｍが切断した第１粘着テープＴ１の枚数に関わらず、必ずカッタＣをカッタ支持ユニットＨから取り外して新たなカッタＣに交換する必要がある。その結果、カッタＣの交換頻度が上昇してオペレータの作業負担が増大する問題や、使用寿命の限界に達していないカッタＣを廃棄する結果、カッタＣの廃棄量が増大して装置のコストが上昇するという問題が懸念される。
【００９６】
一方で、本発明に係る粘着テープ切断装置が備えるカッタ刃２５は、複数の刃先２８ａおよび２８ｂを有するカッタ本体部２６によって構成されている。この場合、切断対象となる粘着テープＴの種類に応じて、刃先２８ａおよび刃先２８ｂをそれぞれ適宜使い分けることができる。従って、刃先２８ａを用いて第１粘着テープＴ１を３０枚切断した状態で切断対象を第２粘着テープＴ２へ変更した場合であっても、使用する刃先を刃先２８ｂへ切り換えて、未使用状態の刃先２８ｂによって第２粘着テープＴ２を切断できる。
【００９７】
さらにその後、切断対象を第２粘着テープＴ２から第１粘着テープＴ１へ再度変更した場合、使用する刃先を刃先２８ｂから刃先２８ａへ再度切り換える。刃先２８ａは第１粘着テープＴ１を３０枚切断したことは把握管理されているので、その後の第１粘着テープＴ１の切断による刃先２８ａの使用寿命を正確に把握・管理できる。従って、刃先２８ａおよび刃先２８ｂの各々を、使用寿命の限界近くまでより効率よく使用することができるので、カッタ刃２５の交換頻度を低下できるとともに、カッタ刃２５の廃棄量を低減することも可能となる。
【００９８】
また、実施例１ではウエハの中心周りにおけるカッタ刃の旋回方向を、正方向と逆方向に適宜切り換えることによって、粘着テープＴの切断に用いられる刃先を切り換える。刃先２８ａおよび刃先２８ｂは、互いに逆向きとなるように同一のカッタ刃２５に配備されているので、カッタ刃の旋回方向を逆にするという単純な制御によって、粘着テープＴの切断に用いられる刃先を刃先２８ａおよび刃先２８ｂの一方から他方へと切り換えることができる。すなわち、使用する刃先を刃先２８ａから刃先２８ｂに切り換える際に、支持アーム４５をウエハＷの径方向へスライド移動させてカッタ刃２５の位置を微調整するなどといった複雑な制御を必要としない。
【００９９】
そして回動軸５３の回動方向を制御することによって、カッタ刃２５の旋回方向の切り換えを速やかに実行できる。従って、粘着テープＴの切断に用いられる刃先の切り換えを、カッタ刃の旋回方向の切り換えによって実行する構成とすることにより、切断に用いられる刃先の切り換えに要する時間を大きく短縮できる。その結果、粘着テープ切断装置１９の汎用性および作業効率を向上できる。
【実施例２】
【０１００】
次に、本発明の実施例２を説明する。実施例２に係る粘着テープ切断装置の構成および粘着テープ貼付け装置の構成は、実施例１に係る構成と共通する。但し、カッタ刃２５の構成が実施例１と相違する。
【０１０１】
すなわち図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示すように、実施例２に係るカッタ刃２５Ａにおいて、カッタ本体部２６はカッタ分体２６ａおよびカッタ分体２６ｂによって構成されている。カッタ分体２６ａおよびカッタ分体２６ｂはそれぞれ独立している。刃先２８ａはカッタ分体２６ａに配備されており、刃先２８ｂはカッタ分体２６ｂに配備されている。カッタ刃２５Ａに設けられている刃先２８ａおよび刃先２８ｂは、実施例１と同様に、互いに逆方向を向くように構成されている。
【０１０２】
実施例２に係るカッタ刃２５Ａにおいて、カッタ分体２６ａの背面Ｂａおよびカッタ分体２６ｂの背面Ｂｂは、図１４（ａ）に示すように接している構成であってもよい。また、図１４（ｃ）および図１４（ｄ）に示すように、背面Ｂａおよび背面Ｂｂの間に間隔が空くように構成されてもよい。さらに、カッタ分体２６ａおよびカッタ分体２６ｂの少なくとも一方を刃先２８ａの向きと平行に移動さる構成でもよい。すなわち、分体２６ａと分体２６ｂとが接触している状態（図１４（ａ））と、分体２６ａと分体２６ｂとが分離している状態（図１４（ｃ））とを適宜切り換える構成でもよい。
【０１０３】
実施例２に係る粘着テープ切断装置および粘着テープ貼付け装置の動作については実施例１に係る装置の動作と共通する。すなわち、ウエハＷに第１粘着テープＴ１を貼り付ける場合は、粘着テープの切断に用いる刃先として刃先２８ａが選択される。そして制御部９３が回動軸５３を正方向（ここでは時計回り方向）へ回動させることにより、カッタ刃２５Ａは縦軸心Ｐの周りに正方向へ旋回移動するように制御を受ける。そのため、カッタ刃２５Ａの移動に従って、方向Ｆ１を向いている刃先２８ａによって第１粘着テープＴ１が切断される（図１５（ａ））。
【０１０４】
一方で、ウエハＷに第２粘着テープＴ２を貼り付ける場合は、粘着テープの切断に用いる刃先として刃先２８ｂが選択される。そして制御部９３が回動軸５３を正方向とは反対向きの逆方向（ここでは反時計回り方向）へ回動させることにより、カッタ刃２５Ａは縦軸心Ｐの周りに逆方向へ旋回移動するように制御を受ける。そのため、カッタ刃２５Ａの移動に従って、方向Ｆ２を向いている刃先２８ｂによって第２粘着テープＴ２が切断される（図１５（ｂ））。
【０１０５】
＜実施例２の構成による効果＞
実施例２に係る粘着テープ切断装置１９において、カッタ刃２５Ａは全体として、実施例１に係るカッタ刃２５と同様に、互いに逆方向を向くように構成されている刃先２８ａと刃先２８ｂとを備えている。そのため、実施例２に係る粘着テープ切断装置は実施例１と同様の有利な効果を得ることができる。すなわち、カッタ刃２５Ａの進行方向を正方向から逆方向に変更するという単純な制御によって、刃先２８ａおよび刃先２８ｂをそれぞれ適宜使い分けることができる。
【０１０６】
従って、ウエハＷの貼り付けに用いる粘着テープＴの特性に対して、カッタ刃２５Ａをカッタ支持ユニット４７から取り外して交換することなく、カッタ刃Ａ２５に備えられている刃先の中から最適な刃先を適宜選択できる。そのため、切断対象となる粘着テープＴの種類を変更した場合であっても、変更後の粘着テープＴに対する切断工程を迅速かつ好適に実行できる。その結果、オペレータの作業負担を低減できるとともに、粘着テープ切断装置１９の作業効率を向上できる。
【０１０７】
また、粘着テープＴの種類に応じて、それぞれ異なる刃先を専ら用いることにより、刃先２８ａおよび２８ｂの各々の使用寿命を正確に把握・管理できる。すなわち、第１粘着テープＴ１の切断によって刃先２８ａがある程度摩耗した状態で切断対象を第２粘着テープＴ２へ変更した場合であっても、使用する刃先を刃先２８ｂへ切り換えて、専ら第２粘着テープＴ２の切断に用いられる刃先２８ｂによって第２粘着テープＴ２を切断できる。従って、刃先２８ａおよび刃先２８ｂの各々を、使用寿命の限界近くまでより効率よく使用することができるので、カッタ刃２５Ａの交換頻度および廃棄量を低減できる。
【０１０８】
そして、実施例２に係る粘着テープ切断装置は、カッタ刃２５Ａが備える特徴的な構成に起因する新たな効果を奏することができる。すなわち実施例２において、カッタ本体部２６は複数のカッタ分体２６ａおよびカッタ分体２６ｂによって、ユニット化された構成を有している。そのため、実施例２に係るカッタ刃２５Ａでは刃先２８ａを備えるカッタ分体２６ａと、刃先２８ｂを備えるカッタ分体２６ｂとが背中合わせとなって互いに逆方向を向くように構成されている。
【０１０９】
このように、複数の刃先の各々が独立した別のカッタ分体に配備される構成を備えることにより、ウエハＷとの干渉や刃先事態の劣化などに起因して、いずれかの刃先が破損する場合であっても、他の刃先が破損するという事態を好適に回避できる。
【０１１０】
すなわち複数の刃先２８ａおよび２８ｂが単一のカッタ本体部２６に配備される構成では、図１６（ａ）に示すように、例として刃先２８ａが欠損した場合、刃先２８ａの欠損による衝撃などが単一のカッタ本体部２６を介して刃先２８ｂに伝達される。その結果、刃先２８ａの欠損に起因して刃先２８ｂまでもが欠損する事態が考えられる。
【０１１１】
一方、実施例２に係るカッタ刃２５Ａでは、複数のカッタ分体によってカッタ本体部２６が構成され、複数の刃先はそれぞれ別のカッタ分体に配備される。そのため、刃先２８ａが欠損した場合であっても当該欠損による衝撃が伝播するのは刃先２８ａが配備されるカッタ分体２６ａの内部に限られる。
【０１１２】
従って、カッタ分体２６ａと独立しているカッタ分体２６ｂには刃先２８ａの欠損による影響を受けることはない。その結果、カッタ分体２６ａに配備される刃先２８ａの欠損に起因して、カッタ分体２６ｂに配備される刃先２８ｂが欠損することを確実に回避できる。
【０１１３】
このように、実施例２では刃先２８ａが欠損した場合であっても、制御部９３によって回動軸５３の回動方向を切り換えるという単純な制御によって、残っている刃先２８ｂを用いて粘着テープＴの切断工程を実行できる。そのため、いずれかの刃先が欠損した場合であってもカッタ刃２５Ａを交換することなく残りの刃先を速やかに用いることができるので、カッタ刃２５Ａの交換頻度をより低く抑えることができる。
【実施例３】
【０１１４】
次に、本発明の実施例３を説明する。実施例３に係る粘着テープ切断装置の構成および粘着テープ貼付け装置の構成は、基本的には実施例２に係る構成と共通する。但し、実施例３に係る粘着テープ切断装置１９において、カッタ支持ユニット４７は複数のユニット分体、すなわちユニット分体４７ａおよびユニット分体４７ｂから構成されている点において実施例２と相違する。
【０１１５】
すなわち実施例１に係るカッタ刃２５において、単一の部材からなるカッタ本体部２６は、単一のカッタ支持ユニット４７に接続されている（図７（ａ））。そして実施例２に係るカッタ刃２５Ａにおいても、カッタ本体部２６を構成する複数のカッタ分体２６ａおよび２６ｂは、いずれも単一のカッタ支持ユニット４７に接続されている（図１４（ａ））。単一のカッタ支持ユニット４７は、支持アーム４５の旋回方向に従って、全体として所定の方向へ旋回する。すなわち実施例１および実施例２において、刃先２８ａおよび刃先２８ｂの各々が旋回移動する方向は、常に同じである。
【０１１６】
一方で、図１７（ａ）に示すように、実施例３に係るカッタ刃２５Ｂにおいて、カッタ分体２６ａおよびカッタ分体２６ｂの各々は、それぞれ異なるユニット分体４７ａおよびユニット分体４７ｂに接続されている。そして図１７（ｂ）に示すようにユニット分体４７ａおよびユニット分体４７ｂの各々は分離可能であり、かつ互いに逆方向へ移動可能に構成される。従って、カッタ分体２６ａが備えている刃先２８ａと、カッタ分体２６ｂが備えている刃先２８ｂとは、互いに逆方向へ同時に旋回移動できるように構成されている。
【０１１７】
ユニット分体４７ａおよびユニット分体４７ｂが互いに逆方向へ旋回移動する構成の一例を以下、説明する。図１８に示すように、回動軸５３はそれぞれ独立した複数の回動軸、すなわち回動軸５３ａおよび回動軸５３ｂを備えている。回動軸５３ａおよび回動軸５３ｂは、制御部９３の制御に従って、互いに逆方向へ回動する。実施例３において、回動軸５３ａは時計回りに回動可能であり、回動軸５３ｂは反時計回りに回動可能であるものとする。
【０１１８】
支持アーム４５は複数本のアームによって構成されている。そしてカッタ支持ユニット４７を構成する複数のユニット分体には、それぞれ少なくとも１本のアームが接続されている。実施例３では図１８に示すように、２本のアーム４５ａおよび４５ｂによって構成されているものとする。そしてアーム４５ａはユニット分体４７ａに接続されており、アーム４５ｂはユニット分体４７ｂに接続されているものとする。
【０１１９】
なお図１８においては説明の便宜上、ユニット分体４７ａおよびユニット分体４７ｂの構成を簡略化して示している。実際のユニット分体４７ａおよびユニット分体４７ｂの各々は、実施例１に係るカッタ支持ユニット４７と同様に、回動部材６３、ロータリーシリンダ７０、操作フランジ７７などの各構成を備えている。
【０１２０】
ここで実施例３に係る粘着テープ切断装置１９において特徴的な動作について説明する。実施例３に係る粘着テープ切断装置１９は、実施例１および実施例２と同様に、切断対象が第１粘着テープＴ１である場合は刃先２８ａを専ら使用し、切断対象が第２粘着テープＴ２である場合は使用する刃先を切り換えて刃先２８ｂを専ら使用することができる。
【０１２１】
その一方で、実施例３に係る粘着テープ切断装置１９は他の実施例と異なり、同一の粘着テープＴに対して刃先２８ａおよび刃先２８ｂの両方を同時に使用することもできる。実施例３において、同時に刃先２８ａおよび刃先２８ｂの両方を用いて、第１粘着テープＴ１を切断する場合の動作について説明する。なお、ステップＳ１からステップＳ６までの工程のうち、ステップＳ４を除く工程は実施例１と同様であるので説明を省略する。
【０１２２】
実施例３に係るステップＳ４において、上方に待機していたテープ切断装置１９が下降されて、カッタ走行溝２７においてカッタ刃２５Ｂが第１粘着テープＴ１に突き刺される。第１粘着テープＴ１において、カッタ刃２５Ｂ突き刺される位置を切断開始位置Ｄとする。
【０１２３】
カッタ刃２５Ｂが第１粘着テープＴ１に突き刺されると、制御部９３はモータ５５の回転を制御して回動軸５３ａを時計回りに回動させるとともに、回動軸５３ｂを反時計回りに回動させる。その結果、支持アーム４５のうちアーム４５ａは縦軸心Ｐの周りに時計回り方向へ旋回すると同時に、アーム４５ｂは縦軸心Ｐの周りに反時計回り方向へ旋回する。
【０１２４】
刃先２８ａを備えるカッタ分体２６ａはユニット分体４７ａを介してアーム４５ａに支持されているので、アーム４５ａの旋回移動に従って時計回りに旋回する。一方で刃先２８ｂを備えるカッタ分体２６ｂはユニット分体４７ｂを介してアーム４５ｂに支持されているので、アーム４５ｂの旋回移動に従って反時計回りに旋回する。
【０１２５】
従って、刃先２８ａおよび刃先２８ｂは図１９（ａ）および図１９（ｂ）に示すように、点線で示す切断開始位置から実線で示す位置へ、それぞれ同時に逆方向へ旋回移動する。その結果、図１９（ｃ）に示すように、縦軸心Ｐの周りに時計方向へ半周する軌跡Ｍ１に沿ってカッタ分体２６ａが旋回移動するとともに、縦軸心Ｐの周りに反時計方向へ半周する軌跡Ｍ２に沿ってカッタ分体２６ｂが旋回移動することによって、第１粘着テープＴ１が切り抜かれる。
【０１２６】
実施例３ではカッタ刃２５Ｂを支持するカッタ支持ユニット４７は分離可能な複数のユニット分体４７ａおよび４７ｂによって構成されている。そしてユニット分体４７ａおよび４７ｂが同時に逆方向へ旋回移動することによって、カッタ刃２５Ｂが備える複数の刃先２８ａおよび２８ｂの各々は、互いに逆方向へ旋回しつつ粘着テープＴを同時に切断する。
【０１２７】
実施例１および実施例２では粘着テープＴを切断するためには回動軸５３を３６０°回転させる必要がある。一方、実施例３においてユニット分体４７ａおよび４７ｂを同時に逆方向へ旋回移動させる場合、回動軸５３ａおよび回動軸５３ｂの各々を１８０°回転させることによって粘着テープＴをウエハＷの外形に沿って切断できる。この場合、実施例１などの構成に比べて粘着テープＴの切断に要する時間をおよそ半分に低減できるので、粘着テープ切断装置１９の作業効率を大きく向上できる。
【０１２８】
なお、実施例３に係る粘着テープ切断装置１９は、ユニット分体４７ａおよび４７ｂを分離させることなく、同時に同じ方向へ旋回させて使用することも可能である。この場合、実施例３に係る粘着テープ切断装置１９は、実施例２と同様の工程に沿って粘着テープＴを切断する。そのため実施例２と同様に、カッタ刃２５Ｂの交換頻度が低下する効果、刃先２８ａおよび２８ｂの使用寿命を正確に管理・把握できる効果など、本発明に特徴的な一連の有利な効果を得ることができる。
【０１２９】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【０１３０】
（１）各実施例において、カッタ刃２５は互いに逆向きの刃先２８ａおよび刃先２８ｂを備え、当該カッタ刃２５の進行方向を正方向と逆方向に切り換えることによって、粘着テープＴの切断に用いる刃先を刃先２８ａと刃先２８ｂとの間で切り換える。しかし、粘着テープＴの切断に用いる刃先を切り換える構成は、カッタ刃２５の進行方向を正逆切り換える構成に限られない。
【０１３１】
他の一例として、カッタ刃２５の進行方向は常に同じ方向としつつ、カッタ刃２５をカッタ刃の軸心周りに回転移動させることによって、粘着テープＴの切断に用いる刃先を刃先２８ａから刃先２８ｂへ切り換える構成が挙げられる。具体的には図４に示されるロータリーシリンダ７０の作動によって、カッタ刃２５を縦軸心Ｑの周りに１８０°回転させることによって使用する刃先を切り換える。変形例（１）に係る粘着テープ切断装置１９Ａにおいて、回動軸５３は時計回り方向に回動するものとする。
【０１３２】
変形例（１）に係る粘着テープ切断装置１９Ａにおいて、切断対象が第１粘着テープＴ１から第２粘着テープＴ２へ変更された場合、ステップＳ４を開始する前に、図示しないセンサなどによって当該変更を示す信号が制御部９３へ送信される。制御部９３はロータリーシリンダ７０を制御することによって、第２粘着テープＴ２の上方に位置しているカッタ刃２５を縦軸心Ｑの周りに１８０°回転させる（図２０（ａ））。
【０１３３】
カッタ刃２５が縦軸心Ｑの軸周りに回転移動することにより、刃先２８ａおよび刃先２８ｂの向きが１８０°切り換えられる。すなわちロータリーシリンダ７０の動作によって、刃先２８ｂは方向Ｆ２を向いている初期状態から（図２０（ｂ）、左図）、方向Ｆ１を向く状態へと切り換えられる（図２０（ｂ）、右図）。
【０１３４】
そしてステップＳ４において、上方に待機していた粘着テープ切断装置１９Ａが下降されて、カッタ刃２５が第２粘着テープＴ２に突き刺される（図１０（ａ）を参照）。カッタ刃２５が第２粘着テープＴ２に突き刺されると、制御部９３はモータ５５の回転を制御して回動軸５３を時計回りに回動させる。回動軸５３の回動に従って、カッタ刃２５はウエハＷの外周縁に押しつけられた状態で、刃先２８ｂが向いている方向Ｆ１へ移動する。
【０１３５】
制御部９３の制御を受けることによって、カッタ刃２５はウエハ外周縁Ｗａに刃先２８ｂを摺接させながら時計回り方向へ旋回移動する（図２０（ｃ））。カッタ刃２５が縦軸心Ｐの周りに時計方向へ１周することにより、刃先２８ｂによって第２粘着テープＴ２が切り抜かれ、ステップＳ４に係るテープ切断過程が完了する。
【０１３６】
このような変形例（１）では、カッタ刃２５を通る縦軸心Ｑの軸周りにカッタ刃２５自身を回転させる制御とカッタ刃２５を所定の一方向（正方向）へ旋回移動させる制御を有している。これらの単純な制御によって、カッタ刃２５に備えられている刃先２８ａと刃先２８ｂとのうち、粘着テープＴの切断に用いる刃先を速やかに切り換えることができる。
【０１３７】
なお、実施例１のように旋回方向を正逆に切り換えて刃先を変更する構成では、刃先を切り換える際にカッタ刃２５を縦軸心Ｑの周りに回転させる必要がない。そのため、実施例１ではロータリーシリンダ７０およびモータ７９を省略してもよい。一方、変形例（１）では、カッタ刃２５を縦軸心Ｑの周りに回転させることによって、粘着テープＴの切断に用いる刃先が切り換えられる。そのため、実施例２ではカッタ刃の旋回方向を所定の一方向（例えば時計回りの方向）に固定する構成としてもよい。
【０１３８】
（２）各実施例および各変形例において、粘着テープ切断装置１９はカッタ刃２５を加熱する加熱器を内蔵する構成であってもよい。本発明に特徴的な、加熱器を備える構成の一例として、実施例２のような複数のカッタ分体を備える構成において、各々の刃先を異なる温度に制御する構成が挙げられる。
【０１３９】
すなわち図２１に示すように、粘着テープ切断装置１９は加熱器９７ａと加熱器９７ｂとを備えている。加熱器９７ａはカッタ分体２６ａおよび刃先２８ａを所定の温度Ｎ１に加熱する。加熱器９７ｂはカッタ分体２６ｂおよび刃先２８ｂを所定の温度Ｎ２に加熱する。加熱器９７ａおよび９７ｂはいずれも制御部９３による制御を受ける。
【０１４０】
基材や粘着材の材料によっては、粘着テープＴを切断するためには刃先を加熱する場合がある。一例として、第２粘着テープＴ２の切断には加熱された刃先を用いる必要がある場合、使用する刃先が刃先２８ａから刃先２８ｂへ切り換えられる際に、加熱器９７ｂによって刃先２８ｂが加熱される。加熱された刃先２８ｂによって、第２粘着テープＴ２は好適に切断される。
【０１４１】
加熱器９７ｂはカッタ刃２５Ａの全体ではなく、カッタ刃２５Ａの一部すなわちカッタ分体２６ｂおよび刃先２８ｂを加熱するので、刃先２８ｂの加熱に要する時間およびコストをいずれも低減できる。このように、変形例（２）に係る粘着テープ切断装置１９は複数の加熱器を備え、刃先２８ａの温度と刃先２８ｂの温度との各々を、個々に制御できる。
【０１４２】
そのため、切断対象となる複数種類の粘着テープＴの特性の各々に応じて、刃先２８ａおよび２８ｂの各々を、それぞれ異なる温度に制御できる。従って、複数種類の粘着テープＴの各々が有する特性に刃先の温度を適応させ、より好適な切断過程を実行できる。また、加熱に要する時間およびコストを低減できるので、粘着テープＴの切断に要する時間なども合わせて低減できる。
【０１４３】
（３）各実施例および各変形例において、刃先２８ａおよび刃先２８ｂは粘着テープＴの表面に対する刃先の傾斜角度（ｘｚ平面に平行な断面における刃先の角度）であるθ１およびθ２が異なっている構成となっている。しかし、刃先２８ａおよび刃先２８ｂは刃先の傾斜角度が異なる構成に限ることはなく、その他の特性が異なっていてもよい。
【０１４４】
刃先２８ａおよび刃先２８ｂにおいて異なる刃先の特性とは、一例として図１３（ｂ）において符号Ｇで示される刃先の厚さ、図７（ｂ）において符号α１およびα２で示されるｘｙ平面に平行な断面における刃先の角度、ｙｚ平面に平行な断面における刃先の角度、刃の幅、刃先を構成する材料、刃先の硬度、粘着テープＴの厚み方向における刃先の長さなどが挙げられる。
【０１４５】
刃先２８ａおよび刃先２８ｂの特性を異ならせることにより、それぞれ異なる種類の粘着テープＴ１およびＴ２を切断対象とする場合において、刃先２８ａの特性を第１粘着テープＴ１の特性に適した構成にさせる一方で、刃先２８ｂの特性を第２粘着テープＴ２の特性に適した構成にさせることができる。その結果、複数の刃先を用いて、複数種類の粘着テープＴの各々をより好適に切断できる。
【０１４６】
（４）各実施例および各変形例において、図２２に示すように、刃先２８ａおよび刃先２８ｂの少なくとも一方について、高さ方向ｚすなわち粘着テープＴの厚み方向における粘着テープＴとの相対的な位置を適宜変更できる構成であってもよい。この場合、高さ方向ｚに刃先を変位させることにより、粘着テープＴの厚み方向における粘着テープＴと刃先２８ａとの相対的な位置、および粘着テープＴの厚み方向における粘着テープＴと刃先２８ｂとの相対的な位置がそれぞれ独立して変更される。
【０１４７】
このような構成を備えることにより、厚さの異なる粘着テープＴの各々に対して刃先２８ａおよび刃先２８ｂの各々を適応できる。また粘着テープＴに対して切断する深さを適宜変更できるので、多様な粘着テープＴの切断条件（ハーフカットなど）の各々に適用可能な、より汎用性の高い粘着テープ切断装置１９を実現できる。
【０１４８】
（５）本発明に係る複数の刃先を備える粘着テープ切断装置１９Ｂの構成としては、各実施例のような、ウエハＷの径方向における、縦軸心Ｐ（またはウエハ中心Ｗｘ）から各々の刃先までの長さが全て同じ構成に限られない。他の構成例として、粘着テープ切断装置１９は従来に係る片刃のカッタ刃を複数内蔵する構成が挙げられる。
【０１４９】
変形例（５）に係る粘着テープ切断装置１９Ｂは図２３（ａ）に示すように、カッタホルダ７１を含むカッタ支持ユニット４７は、刃先２８ａが配備されているカッタ刃２５ｃと、刃先２８ｂが配備されているカッタ刃２５ｄとを備えている。
【０１５０】
カッタ刃２５ｃおよびカッタ刃２５ｄはウエハＷの径方向（支持アーム４５の長手方向）に並列するように構成される。刃先２８ａおよび刃先２８ｂは、いずれも同じ方向を向くように構成されている。また、カッタ刃２５ｃおよびカッタ刃２５ｄの各々は、高さ方向ｚへ相対移動可能に構成される。粘着テープ切断装置１９が備えるカッタ刃の数は３以上であってもよい。
【０１５１】
変形例（５）に係る粘着テープ切断装置１９Ｂを用いて第１粘着テープＴ１を切断する場合、制御部９３は支持アーム４５をウエハＷの径方向にスライド移動させ、カッタ刃２５ｃをカッタ走行溝２７の上方に移動させる。また、制御部９３はカッタ刃２５ｃの高さがカッタ刃２５ｄの高さより低くなるように制御する（図２３（ｂ））。
【０１５２】
この状態で粘着テープ切断装置１９Ｂを下降させることにより、刃先２８ａが第１粘着テープＴ１に突き刺される。そして支持アーム４５を所定の方向（ここでは時計回り方向）へ旋回移動させることにより、刃先２８ａは第１粘着テープＴ１をウエハＷの外形に沿って切断する。
【０１５３】
次に粘着テープ切断装置１９Ｂを用いて第２粘着テープＴ２を切断する場合、制御部９３は支持アーム４５をウエハＷの径方向にスライド移動させ、カッタ刃２５ｄをカッタ走行溝２７の上方に移動させる。また、制御部９３はカッタ刃２５ｄの高さがカッタ刃２５ｃの高さより低くなるように制御する（図２３（ｃ））。
【０１５４】
この状態で粘着テープ切断装置１９Ｂを下降させることにより、刃先２８ｂが第２粘着テープＴ２に突き刺される。そして支持アーム４５を時計回り方向へ旋回移動させることにより、刃先２８ｂは第２粘着テープＴ２をウエハＷの外形に沿って切断する。変形例（５）のように、従来構成に係る片刃のカッタ刃を複数並列させることによっても、複数種類の粘着テープＴの各々に対して、カッタ刃２５をカッタ支持ユニット４７から取り外すことなく刃先を切り換える構成を実現できる。
【０１５５】
（６）本発明に係る粘着テープの切断装置において、「ウエハＷの外形に沿って粘着テープＴを切断する」とは、各実施例で示したような、粘着テープＴをウエハＷと同一の大きさに切り抜く構成に限られない。具体的には各実施例のような、刃先２８ａまたは刃先２８ｂをウエハＷの外周縁Ｗａに接触させ、ウエハＷの外周縁Ｗａと平行に粘着テープＴを切断する構成に限られない。
【０１５６】
すなわち本発明に係る粘着テープ切断装置において、「ウエハＷの外形に沿って粘着テープＴを切断する」とは、粘着テープＴをウエハＷの直径と比べてわずかに広い大きさとなるように切り抜かれる構成を含むものとする。この場合、刃先２８ａまたは刃先２８ｂはステップＳ４において、ウエハＷの外周縁Ｗａから外方に距離ｋだけ離れた位置を切断開始位置Ｄとして粘着テープＴに突き刺される。
【０１５７】
そして刃先２８ａまたは刃先２８ｂは、ウエハＷの外周縁Ｗａとの距離ｋを保ちつつ、ウエハＷの外周縁Ｗａより径方向に距離ｋだけ広い軌跡に沿って粘着テープＴを切断する。その結果、刃先２８ａまたは刃先２８ｂがウエハＷの外周縁Ｗａに接触することなく、粘着テープＴはウエハＷの直径と比べて径方向に微小な距離ｋの分、広い大きさとなるように切り抜かれる。
【０１５８】
このような変形例（６）において、切り抜かれた粘着テープＴがウエハＷからはみ出している長さをできるだけ短くすべく、距離ｋの値はできるだけ小さいことが好ましい。具体的には距離ｋの長さは０．５ｍｍ以下であることが好ましく、０．１ｍｍ以下であることがより好ましい。変形例（６）では刃先２８ａまたは刃先２８ｂがウエハＷの外周縁Ｗａに干渉することに起因する、当該刃先の摩耗または欠損を確実に回避できる。
【０１５９】
変形例（６）に係る、刃先を外周縁Ｗａに接触させずに粘着テープＴをウエハＷの外形に沿って切断する構成は、特にバックグラインド処理後のウエハＷを用いて粘着テープＴの貼り付けを行う場合に有効である。すなわち、バックグラインド処理によって外周縁Ｗａは表面が粗くなっているので、表面が粗い外周縁Ｗａに刃先が接触することによってチッピングが発生する事態が懸念される。そこで刃先を外周縁Ｗａに接触させずに粘着テープＴをウエハＷの外形に沿って切断することにより、刃先の欠損などの発生を確実に回避しつつ粘着テープＴを切断できる。
【０１６０】
（７）各実施例において、第１粘着テープＴ１と第２粘着テープＴ２とにおいて相違する粘着テープＴの特性は、粘着テープＴの厚みである場合を例にとって説明しているが、粘着テープの特性は、粘着テープＴの厚みに限られない。本発明において、粘着テープＴの特性としては、図１３（ｃ）に示すような、粘着テープＴを構成する基材Ｔｓの厚さや材質、粘着テープＴを構成する粘着材Ｔｇの厚さや材質や粘着力、基材Ｔｓと粘着材Ｔｇとの間における中間層Ｔｍの有無が挙げられる。
【０１６１】
さらに粘着テープＴの特性としては、粘着テープＴの剛性、粘着テープＴの延びやすさ、粘着テープＴにおける感圧性の有無、粘着テープＴにおけるＵＶ硬化性の有無、粘着テープＴの熱特性などが他の例として挙げられる。また、第１粘着テープＴ１と第２粘着テープＴ２とは同じ特性であってもよい。すなわち、第１粘着テープＴ１の切断工程において刃先２８ａが摩耗などによって使用不可能になった場合、カッタ刃２５を交換することなく刃先を２８ｂに切り換えて第１粘着テープＴ１の切断工程を続行することもできる。
【符号の説明】
【０１６２】
１          …  粘着テープ貼付け装置
１１          …  チャックテーブル
１７          …  貼付けユニット
１９          …  粘着テープ切断装置
２１          …  剥離ユニット
２５          …  カッタ刃
２６          …  カッタ本体部
２８ａ、２８ｂ…  刃先
４５          …  支持アーム
４７          …  カッタ支持ユニット
５３          …  回動軸
７０          …  ロータリーシリンダ
９３          …  制御部
９７ａ、９７ｂ…  加熱器
Ｗ          …  ウエハ
Ｗａ        …  外周縁
Ｔ          …  粘着テープ
Ｔ１        …  第１粘着テープ
Ｔ２        …  第２粘着テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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