(57)【要約】      （修正有）【課題】流路形成構造において、流路に対して軸体を挿入する際に生じる、流路の中心軸に対する軸体の軸ぶれを抑制する。【解決手段】流体が通過する流路と、流路に挿入される軸体４０と、を具備し、軸体４０の上流側と流路の内周面とが、位相の異なる複数の位置で接触し、軸体４０の下流側と流路の内周面とが、位相の異なる複数の位置で接触し、軸体４０と流路の内周面との間の隙間に流体が流れるものであって、上流側又は下流側のうちの一方側の接触位置のいずれかが、他方側の全ての接触位置とは位相が異なる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が通過する流路と、
前記流路に挿入される軸体と、を具備し、
前記軸体の上流側と前記流路の内周面とが、位相の異なる複数の位置で接触し、
前記軸体の下流側と前記流路の内周面とが、位相の異なる複数の位置で接触し、
前記軸体と前記流路の内周面との間の隙間に前記流体が流れるものであって、
前記上流側又は前記下流側のうちの一方側の接触位置のいずれかが、他方側の全ての接触位置とは位相が異なっていることを特徴とする流路形成構造。
【請求項２】
前記上流側又は前記下流側のいずれか一方又は双方の接触位置が、等位相間隔になっている請求項１記載の流路形成構造。
【請求項３】
前記上流側及び前記下流側の双方の接触位置が、等位相間隔になっていると共に同数になっており、
前記上流側の接触位置と前記下流側の接触位置とが、前記位相間隔の二分の一の位相ずれている請求項１記載の流路形成構造。
【請求項４】
前記軸体の上流側と前記流路の内周面、又は  前記軸体の下流側と前記流路の内周面のいずれか一方又は双方が、前記軸体又は前記流路の内周面の接触位置に設けられたスペーサーで接触している請求項１乃至３のいずれかに記載の流路形成構造。
【請求項５】
前記軸体の上流側又は下流側のいずれか一方又は双方が、各接触位置に角を有する柱状になっており、
前記各角が前記流路の内周面と接触している請求項１乃至３のいずれかに記載の流路形成構造。
【請求項６】
前記軸体の上流側又は下流側のいずれか一方又は双方が、各接触位置に角を有する角柱状になっている請求項５記載の流路形成構造。
【請求項７】
前記請求項１乃至６の流路形成構造を具備し、
前記流路に並列接続される流量測定流路と、
前記流量測定流路に設置される流量センサと、をさらに備える流量測定装置。
【請求項８】
前記請求項１乃至６の流路形成構造を具備し、
前記流路に並列接続される流量測定流路と、
前記流量測定流路に設置される流量センサと、
前記流路における前記流量測定流路との合流箇所よりも下流側に設置され、前記流路を流れる流体の流量を前記流量センサで測定された流量に基づき制御する流量制御機構と、をさらに備える流量制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路形成構造、その流路形成構造を具備する流量測定装置及び流量制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の流路形成構造として、特許文献１には、流体が通過する流路と、流路に挿入される軸体とを具備し、軸体の途中に設けられたテーパー軸体よりも上流側及び下流側を流路の内周面に接触させ、流路と軸体との間に形成される隙間に流体を流すものが開示されている。
【０００３】
しかし、前記流路形成構造においては、流路に対して軸体を挿入する際に軸ぶれが生じ、この軸ぶれが要因となって、製品毎に、軸体の上流側と流路の内周面との間の形成される流路と、軸体のテーパー軸体と流路の内周面との間に形成される流路との差圧流量特性について、直線性が損なわれ、かつ、ばらつきが生じるという問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平４−１１０６１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、流路形成構造において、流路に対して軸体を挿入した際に生じる、流路の中心軸に対する軸体の軸ぶれを抑制することを主たる課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち、本発明に係る流路形成構造は、流体が通過する流路と、前記流路に挿入される軸体と、を具備し、前記軸体の上流側と前記流路の内周面とが、位相の異なる複数の位置で接触し、前記軸体の下流側と前記流路の内周面とが、位相の異なる複数の位置で接触し、前記軸体と前記流路の内周面との間の隙間に前記流体が流れるものであって、前記上流側又は前記下流側のうちの一方側の接触位置のいずれかが、他方側の全ての接触位置とは位相が異なっていることを特徴とするものである。
【０００７】
このようなものであれば、軸体の上流側又は下流側のうちの一方側が所定位相で流路の内周面に接触し、他方側が所定位相で流路の内周面に接触せず、これにより、所定位相で流路の内周面に接触しない他方側において生じる流路の中心軸に対する軸体の所定位相側への軸ぶれが、所定位相で流路の内周面に接触する一方側において補正され、流路の中心軸に対する軸体の軸ぶれが抑制される。よって、流路に対して軸体を差し込んだ場合における軸ぶれが小さくなり、製品毎の軸体と流路の内周面との間に形成される隙間の再現性が向上し、製品毎の差圧流量特性について、直線性が損なわれず、かつ、ばらつきも小さくなる。
【０００８】
前記流路形成構造において、前記上流側又は前記下流側のいずれか一方又は双方の接触位置が、等位相間隔になっているものであってもよい。
【０００９】
このようなものであれば、各接触位置が等位相間隔になることにより、その各接触位置によって生じる軸体に対する応力の偏りがなくなり、流路の中心軸に対する軸体の軸ぶれをより抑制することができる。
【００１０】
前記流路形成構造において、前記上流側又は前記下流側の双方の接触位置が、等位相間隔になっていると共に同数になっており、前記上流側の接触位置と前記下流側の接触位置とが、前記位相間隔の二分の一の位相ずれているものであってもよい。
【００１１】
このようなものであれば、前記上流側又は前記下流側の双方の接触位置が等位相間隔になっていると共に同数になっている場合には、軸体の上流側又は下流側のうちの一方側の接触位置がない非接触位相で生じる流路の中心軸に対する該非接触位相側への軸ぶれが、その非接触位相の近傍の位相にある他方側の二つの接触位置における軸体と流路の内周面との接触によって補正され、かつ、その非接触位相が前記他方側の二つの接触位置の中央の位相に位置付けられることから、流路の中心軸に対する軸体の軸ぶれをさらに抑制できる。
【００１２】
前記いずれかの流路形成構造において、前記軸体の上流側と前記流路の内周面、又は  前記軸体の下流側と前記流路の内周面のいずれか一方又は双方が、前記軸体又は前記流路の内周面の接触位置に設けられたスペーサーで接触しているものであってもよく、また、前記軸体の上流側又は下流側のいずれか一方又は双方が、各接触位置に角を有する柱状になっており、前記各角が前記流路の内周面と接触しているものであってもよい。後者のようなものでれば、軸体の加工性が向上する。また、前記軸体の上流側又は下流側のいずれか一方又は双方が、各接触位置に角を有する角柱状になっているものであれば、さらに軸体の加工性が向上する。
【００１３】
また、本発明の流量測定装置は、前記いずれかの流路形成構造を具備し、前記流路に並列接続される流量測定流路と、前記流量測定流路に設置される流量センサと、をさらに備えることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の流量制御装置は、前記いずれかの流路形成構造を具備し、前記流路に並列接続される流量測定流路と、前記流量測定流路に設置される流量センサと、前記流路における前記流量測定流路との合流箇所よりも下流側に設置され、前記流路を流れる流体の流量を前記流量センサで測定された流量に基づき制御する流量制御機構と、をさらに備えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
このように構成した本発明によれば、軸体を流路に対して挿入した場合における流路の中心軸に対する軸体の軸ぶれが抑制され、流路と軸体との間の隙間に形成される流路の再現性を向上させることができ、差圧流量特性の直線性が損なわれず、かつ、そのばらつきが抑制される。これにより、製品の組み立て時における精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態における流量制御装置の構成を概略的に示す概略断面図である。
【図２】第１実施形態における軸体をバイパス流路に挿入した状態を示す断面図である。
【図３】第１実施形態における軸体を示す斜視図である。
【図４】第１実施形態における軸体をバイパス流路に挿入した状態を示す軸方向から目視した断面図である。
【図５】第１実施形態における軸体と比較軸体とを使用した実験で得た差圧流量特性を示すグラフである。
【図６】その他の実施形態における軸体をバイパス流路に挿入した状態を示す軸方向から目視した断面図である。
【図７】その他の実施形態における軸体を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明に係る流路形成構造を備えた流量制御装置を図面に基づいて説明する。
【００１８】
本実施形態の流量制御装置１００は、図１に示すように、流体を一端から導入し他端へ導出するメイン流路１０と、メイン流路１０に対して並列に接続される流量測定流路２０とを備える本体３０と、メイン流路１０の途中に挿入される軸体４０と、流量測定流路２０に設置される流量センサ５０と、メイン流路１０の軸体４０よりも下流側に設置される流量制御バルブ６０（流量制御機構）とを備える構成になっている。なお、本体３０は、複数のブロック体３１，３２，３３に分割されており、これらのブロック体３１，３２，３３を接続することにより、メイン流路１０，２０が形成され、流量測定流路２０の一部は、ブロック体３２に接続される毛細管３４からなっている。なお、メイン流路１０が、請求項における流路に対応している。
【００１９】
メイン流路１０は、本体３０外からメイン流路１０に流体を導入するための導入口１１と、導入口１１から下流側に伸びて流量測定流路２０が接続される分岐流路１２と、分岐流路１２から下流側に伸びて軸体４０が挿入されるバイパス流路１３と、バイパス流路１３から下流側に伸びる流量制御流路１４と、流量制御流路１４から下流側に伸びて本体３０外へ流体を導出するための導出口１５とを備えている。
【００２０】
バイパス流路１３は、図２に示すように、分岐流路１２に連通する上流側流路１３ａと、流量制御流路１４に連通する下流側流路１３ｂと、上流側流路１３ａと下流側流路１３ｂとを連通する流路調整流路１３ｃとを有している。なお、上流側流路１３ａは、上流側が同一径になっており、下流側が流路調整流路１３ｃに向かって徐々に縮径したテーパー状になっている。下流側流路１３ｂは、同一径になっており、上流側流路１３ａの下流端の内径よりも小さい内径になっている。流路調整流路１３ｃは、上流側流路１３ａの下流端から続くように下流側流路１３ｂの上流端に向かって徐々に縮径したテーパー状になっている。
【００２１】
軸体４０は、バイパス流路１３の上流側流路１３ａ内に位置付けられる上流側軸体４１と、バイパス流路１３の下流側流路１３ｂ内に位置付けられる下流側軸体４２と、バイパス流路１３の流路調整路１３ｃ内に位置付けられ、上流側軸体４１と下流側軸体４２とを繋ぐ流路調整軸体４３とを有している。
【００２２】
上流側軸体４１は、上流側流路１３ａの内径よりも小さい外径を有する円柱状になっており、図３（ａ）又は図２のＡ−Ａ断面である図４（ａ）に示すように、その外周面に１２０度毎に配置され、軸体４０の中心軸に沿って伸びる三つのスペーサー４１ａ・・・を有している。すなわち、前記三つのスペーサー４１ａ・・・は、軸体４０の周方向に沿って等間隔毎に配置されている。なお、各スペーサー４１ａの先端面は、上流側流路１３ａの内径と略同一の径を有する同心円状に配置されており、上流側流路１３ａの内周面と面接触するように該内面に沿った円弧面状に形成されている。よって、上流側軸体４１は、上流側流路４１の内周面に対して三つの位相の異なる位置で接触する。また、各スペーサー４１ａは、同一形状に形成されており、上流側軸体１３ａの上流端から下流端まで伸びている。そして、各スペーサー４１ａの上流側は、上流側軸体４１の外周面に対する高さが同じ高さで続いており、各スペーサー４１ａの下流側は、上流側軸体４１の外周面に対する高さが下流端に向かって徐々に低くなっている。これにより、各スペーサー４１ａの下流側が、上流側流路１３ａのテーパー状に形成された下流側に沿って傾斜する。また、各スペーサー４１ａは、上流側流路１３ａの内周面に接触する部分（上流側）が周方向に沿って上流端及び下流端を一致させて平行に並んでいる。
【００２３】
下流側軸体４２は、上流端から下流端まで伸びる三角柱状になっており、図３又は図２のＢ−Ｂ断面である図４（ｂ）に示すように、下流側流路１３ｂの内周面に向く三つの角４２ａ・・・が１２０度毎に配置されている。すなわち、前記三つの角４２ａ・・・は、軸体４０の周方向に沿って等間隔毎に配置されている。よって、下流側軸体４２は、下流側流路１３ｂに対して三つの異なる位相で接触する。なお、各角４２ａの先端面は、下流側流路１３ｂの内径と同一の径を有する同心円状に配置されており、下流側流路１３ｂの内周面と面接触するように該内面に沿った円弧面状に形成されている。
【００２４】
流路調整軸体４３は、図２に示すように、上流端が上流側流路１３ａの下流端の内径と略同じ内径を有し、下流端が下流側流路１３ｂの内径と略同じ内径を有し、上流端から下流端に向かって徐々に縮径したテーパー状に形成されている。
【００２５】
そして、上流側軸体４１と上流側流路１３ａの内周面との接触位置と、下流側軸体４２と下流側流路１３ｂの内周面との接触位置とは、位相が、６０度、言い換えれば、上流側軸体４１及び下流側軸体４２の接触位置の位相間隔（１２０度）の二分の一ずれている。また、軸体４０は、中心軸から上流側軸体４１及び下流側軸体４２のいずれかの接触位置へ伸ばした平面に対して面対称となっている。なお、位相は、軸体４０の中心軸（図４中、×印にて示す）を中心とする該軸体４０の周方向への回転角度を示している。そして、位相間隔とは、隣り合う接触位置の間の回転角度を示している。
【００２６】
なお、上流側軸体４１と上流側流路１３ａの内周面とは、上流側軸体４１の該周面の位相の異なる三つの位置に設けられたスペーサー４１ａ・・・を上流側流路１３ａの内周面に接触させており、これにより、図４（ａ）に示すように、上流側軸体４１と上流側流路１３ａの内周面との間に、スペーサー４１ａ・・・によって区切られた三つの断面円弧状の隙間４１ｂ・・・が形成され、この隙間４１ｂ・・・が流体の流路となる。また、下流側軸体４２と下流側流路１３ｂの内周面とは、下流側軸体４２の位相の異なる三つの位置に形成される角４２ａ・・・を下流側流路１３ｂの内周面に接触させており、これにより、図４（ｂ）に示すように、下流側軸体４２と上流側流路１３ｂの内周面との間に、角４２ａ・・・によって区切られた三つの断面弓形状の隙間４２ｂ・・・が形成され、この隙間４２ｂ・・・が流体の流路となる。
【００２７】
流量測定流路２０は、図１に示すように、分岐流路１２に接続される上流側の一部と、バイパス流路１３の下流側流路１３ｂに接続される下流側の一部とが、本体３０を構成するブロック体３２に形成されており、その上流側の一部と下流側の一部とをブロック体３２に接続される毛細管３４で繋いだ構成になっている。そして、毛細管３４に流量測定流路２０内を流れる流体の流量を測定するための流量センサ５０が設置されている。
【００２８】
流量センサ５０は、熱式質量流量センサであり、毛細管３４に巻き付けられる二対の発熱抵抗線５１，５１と、二対の発熱抵抗線５１，５１に生じる温度差に基づき流量測定流路２０を流れる流体の質量流量を算出する演算部５２とを有している。演算部５２は、電流を流して加熱された二対の発熱抵抗線５１，５１が毛細管３４に流れる流体で冷やされることによって生じる温度差をブリッジ回路によって電気信号に変換し、この電気信号に基づき流量測定通路２０内を流れる流体の質量流量を算出するものである。
【００２９】
流量制御流路１４は、一部がブロック体３３から露出しており、ここに流量制御バルブ６０が設置される。流量制御バルブ６０は、流量制御流路１４の露出箇所を覆うように配置され、流量制御流路１４の開度を制御するダイヤフラム６１と、ダイヤフラム６１を駆動させるピエゾアクチュエータ６２と、ピエゾアクチュエータ６２の駆動を制御するバルブ制御部６３とを備えるものである。なお、バルブ制御部６３は、ＣＰＵ、メモリ、Ａ／Ｄ・Ｄ／Ａコンバータ、入出力手段等を備えたいわゆるコンピュータを有し、前記メモリに格納されているプログラムが実行され、各種機器が協働することによって前記各機能が実現されるようにしてある。具体的には、バルブ制御部６３は、流量センサ５０の演算部５２から送信される二対の発熱抵抗線５１，５１の温度差を変換した電気信号と、予めメモリに記憶された流量設定信号とを比較して差信号を算出し、この差信号に基づきピエゾアクチュエータ６２を駆動させる機能を発揮するものである。
【００３０】
バイパス流路１３の軸方向に対する軸体４０の位置を調整することにより、流量調整軸体１３ｃと流量調整流路４３の内周面との間の円環状の隙間４３ａが形成され、これにより、上流側の三つの隙間４１ｂ・・・と、前記円環状の隙間４３ａと、下流側の三つの隙間４２ｂ・・・とが連通して流体が流れる流路となる。なお、図２に示すように、メイン流路１０のバイパス流路１３に流れる流体の流量は、バイパス流路１３の軸方向に対する軸体４０の位置を上流側へ移動させることによって増加し、バイパス流路１３の軸方向に対する軸体４０の位置を下流側へ移動させることによって減少する。具体的には、バイパス流路１３の軸方向に対する軸体４０の位置を上流側に移動させることにより、前記円環状の隙間４３ａの間隔が広がって連通した流路を流れる流体の流量が増加し、バイパス流路１３の軸方向に対する軸体４０の位置を下流側に移動させることにより、前記円環状の隙間４３ａの間隔が狭まって連通した流路を流れる流体の流量が減少する。
【００３１】
前記軸体４０及び前記バイパス流路１３のような構成にすれば、上流側流路１３ａに挿入された上流側軸体４１は、上流側の接触位置の間（中間）の位相側への軸ずれを起こし易く、上流側の接触位置の位相側への軸ずれを起こし難くなり、一方、下流側流路１３ａに挿入された下流側軸体４１は、下流側の接触位置の間（中間）の位相側への軸ずれを起こし易く、下流側の接触位置の位相側への軸ずれを起こし難くなるが、上流側の接触位置と下流側の接触位置とが、６０度（即ち、前記位相間隔の二分の一の位相）だけずらしてあるため、上流側と下流側とで、軸ずれを起こし易い位相と軸ずれを起こし難い位相とが逆転し、上流側と下流側とで互いに軸ぶれが補正され、これにより、バイパス流路１３の中心軸に対する軸体４０の軸ぶれが抑制される。
【００３２】
なお、流量制御装置１００のバイパス流路１３に挿入する軸体として、本実施形態の軸体４０と、上流側の接触位置と下流側の接触位置との位相をずらすことなく同位相とした比較軸体とをそれぞれ三つ用意し、軸体を変更した他は条件を合わせて六つの流量制御装置を作成し、各流量制御装置における差圧流量特性を測定する実験を行った。各流量制御装置は、軸体の上流側に位置する分岐流路の圧力及び軸体の下流側に位置するバイパス流路の圧力を圧力センサで測定し、その差圧が同一圧力になった状態で流体Ｎ２が同一流量流れるように軸体をバイパス流路に固定して流路を形成した。そして、得られた六つの流量制御装置の差圧流量特性を測定した結果を図５に示す。図５（ａ）が本実施形態の軸体４０を使用した流量制御装置の差圧流量特性を示すグラフであり、図５（ｂ）が比較軸体を使用した流量制御装置の差圧流量特性を示すグラフであり、両グラフにおいて、横軸が、前記両圧力センサで測定した圧力の差圧ΔＰ（％）であり、縦軸が、流量直線性（％Ｒ．Ｓ．）であり、流量制御装置毎に異なる記号・線種（三角・点線、ひし形・実線、四角・一点鎖線）で測定結果を示している。両グラフを比較すると、本実施形態の軸体４０を使用した三つの流量制御装置の方が比較軸体を使用した三つの流量制御装置に比べて、明らかに各直線のばらつきが小さくなっており、また、各直線の差圧が１０％における直線性の絶対値が約１％Ｒ．Ｓ．程度改善されていることが分かる。
【００３３】
なお、本実施形態においては、流量センサ５０に加えて流量制御機構６０を備えることにより、流量制御装置１００としているが、流量制御機構６０を設けることなく、流量測定装置としてもよい。
【００３４】
＜その他の実施形態＞
図６及び図７は、その他の実施形態を示しており、図６は、軸体４０を軸方向から目視した断面を示しており、左側の図が上流側軸体４１を上流側流路１３ａに挿入した状態を示し、右側の図が下流側軸体４２を下流側流路１３ｂに挿入した状態を示している。
【００３５】
図６（ａ）に示すその他の実施形態においては、上流側軸体４１が、外周面に六つのスペーサー４１ａ・・・６０度毎に設けており、下流側軸体４２が、三角柱状になっている。そして、上流側軸体４１と上流側流路１３ａの内周面とは、六つのスペーサー４１ａ・・・を介して接触し、下流側軸体４２と下流側流路１３ｂの内周面とは、三角柱の三つの角４２ａ・・・で接触している。これにより、上流側軸体４１と上流側流路１３ａの内周面とは六つの位相で接触し、下流側軸体４２と下流側流路１３ｂの内周面とは三つの位相で接触し、上流側の六つの接触位置と下流側の三つの接触位置とは、１２０度毎に位相が一致している。
【００３６】
図６（ｂ）に示すその他の実施形態においては、上流側軸体４１が、円柱状に形成されており、上流側流路１３ａが、内周面に三つのスペーサー１３ｃ・・・を１２０度毎に設けており、下流側軸体４２が、六角柱状になっている。そして、上流側軸体４１と上流側流路１３ａの内周面とは、三つのスペーサー１３ｃ・・・を介して接触し、下流側軸体４２と下流側流路１３ｂの内周面とは、六角柱の六つの角で接触している。これにより、上流側軸体４１と上流側流路１３ａの内周面とは、三つの位相で接触し、下流側軸体４２と下流側流路１３ｂの内周面とは六つの位相で接触し、上流側の三つの接触位置と下流側の六つの接触位置とは、１２０度毎に位相が一致している。なお、下流側軸体４２を多角柱状にする場合、角数が多くなるほど、下流側軸体４２と下流側流路１３ｂとの間の隙間４２ｂ・・・の断面積が小さくなり、流路を流れる流体の偏流を防止することができる。
【００３７】
図７に示すその他の実施形態においては、上流側軸体４１が、外周面に四つのスペーサー４１ａ・・・を９０度毎に設けており、四つのスペーサー４１ａ・・・が交互に軸体４０の軸方向に対する位置を上流側又は下流側へずらして配置されている。これらその他の実施形態においても、軸体４０のバイパス流路１３に対する軸ぶれを抑制することができる。
【００３８】
なお、前記実施形態における下流側軸体のように、上流側軸体を多角柱状に形成してもよく、前記実施形態における上流側軸体のように、下流側軸体の外周面にスペーサーを設けてもよい。
【００３９】
また、上流側軸体又は下流側軸体のいずれか一方又は双方を、各接触位置に角を有する柱状、例えば、星形断面形状を有する柱状等にしてもよい。この場合には、軸体と流路の内周面との間の隙間は、前記実施形態のように断面円弧状や断面弓形状にならず、軸体の形状と流路の内周面の形状によって断面形状が決まる。
【００４０】
また、前記実施形態においては、上流側又は下流側の双方の軸体と流路とを等位相毎に接触させているが、間欠的に位相が異なる位置で接触させれば、必ずしも等位相毎に接触させる必要はない。
【００４１】
また、前記実施形態においては、本体３０を複数に分割されたブロック体から構成しているが、一つのブロック体から構成されるものであってもよい。本発明に係る流路形成構造による流路を流れる流体は、気体だけでなく、液体や粉末等を含む混合物のようなものであってもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１００  流量制御装置
１０  メイン流路
１３  バイパス流路
１３ａ  上流側流路
１３ｂ  下流側流路
１３ｃ  流量調整流路
２０  流量測定流路
３０  本体
４０  軸体
４１  上流側軸体
４２  下流側軸体
４３  流量調整軸体
５０  流量センサ
６０  流量制御バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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