(57)【要約】【課題】金属層と弾性層との剥がれが抑制されたベルト部材の提供。【解決手段】外周表面に深さ１ｎｍ以上１００ｎｍ以下の凹部１０８を有し、かつ外周表面における酸素原子の原子組成比が４０ａｔｏｍ％以上８０ａｔｏｍ％以下である金属層１０Ｂと、金属層１０Ｂの外周側に、金属層１０Ｂに直に接するか又は接着剤層１０Ｃを介して配置される弾性層１０Ｄと、を有するベルト部材。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周表面に深さ１ｎｍ以上１００ｎｍ以下の凹部を有し、かつ外周表面における酸素原子の原子組成比が４０ａｔｏｍ％以上８０ａｔｏｍ％以下である金属層と、
前記金属層の外周側に、前記金属層に直に接するか又は接着剤層を介して配置される弾性層と、
を有するベルト部材。
【請求項２】
前記金属層は、少なくとも外周表面を構成する層がニッケルめっき層である請求項１に記載のベルト部材。
【請求項３】
前記弾性層が前記接着剤層を介して前記金属層の外周側に配置され、かつ前記接着剤層がシランカップリング剤を含有する請求項１又は請求項２に記載のベルト部材。
【請求項４】
前記弾性層が前記金属層の外周側に直に接して配置され、かつ前記弾性層がシリコーンゴムを含有する請求項１又は請求項２に記載のベルト部材。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のベルト部材であって、前記金属層が電磁誘導により発熱する電磁誘導金属層を少なくとも有する層であるベルト部材と、
前記ベルト部材の外周表面を加圧する加圧部材と、
前記電磁誘導金属層を電磁誘導によって発熱させる電磁誘導装置と、
を有し、
未定着のトナー像が表面に形成された記録媒体を前記ベルト部材と前記加圧部材とで挟み込んで前記トナー像を前記記録媒体に定着させる定着装置。
【請求項６】
像保持体と、
前記像保持体の表面を帯電させる帯電装置と、
帯電した前記像保持体の表面に静電潜像を形成する静電潜像形成装置と、
前記像保持体の表面に形成された静電潜像をトナーにより現像してトナー像を形成する現像装置と、
前記像保持体の表面に形成されたトナー像を記録媒体に転写する転写装置と、
前記トナー像を前記記録媒体に定着させる請求項５に記載の定着装置と、
を有する画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベルト部材、定着装置及び画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電磁誘導加熱方式によりベルト部材を加熱して定着を行う画像形成装置用の定着装置が提案されている。
【０００３】
例えば特許文献１には、「電磁誘導を利用して渦電流を発生させることにより発熱する電子写真用の無端ベルトにおいて、該無端ベルトが、少なくとも、金属層と、該金属層の外周側に設けられたＪＩＳタイプＡで規定される硬度が３５度以下の弾性層と、を含む無端ベルト」が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−０５３７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
金属層の外周側に弾性層を配置したベルト部材では、金属層と弾性層との間に接着剤層を介した場合であっても、繰り返して回転駆動されたり外部から加圧されたりするなどの使用状況によって、金属層と弾性層との間で剥がれが発生することがあった。
本発明は、金属層の外周側に該金属層に直に接するか又は接着剤層を介して弾性層が配置される態様において、金属層の外周表面に凹部を有しない場合、金属層の外周表面における酸素原子の原子組成比が４０ａｔｏｍ％未満である場合に比べ、金属層と弾性層との剥がれが抑制されたベルト部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、以下の発明が提供される。
【０００７】
請求項１に係る発明は、管状の基材と、
外周表面に深さ１ｎｍ以上１００ｎｍ以下の凹部を有し、かつ外周表面における酸素原子の原子組成比が４０ａｔｏｍ％以上８０ａｔｏｍ％以下である金属層と、
前記金属層の外周側に、前記金属層に直に接するか又は接着剤層を介して配置される弾性層と、
を有するベルト部材。
【０００８】
請求項２に係る発明は、
前記金属層は、少なくとも外周表面を構成する層がニッケルめっき層である請求項１に記載のベルト部材。
【０００９】
請求項３に係る発明は、
前記弾性層が前記接着剤層を介して前記金属層の外周側に配置され、かつ前記接着剤層がシランカップリング剤を含有する請求項１又は請求項２に記載のベルト部材。
【００１０】
請求項４に係る発明は、
前記弾性層が前記金属層の外周側に直に接して配置され、かつ前記弾性層がシリコーンゴムを含有する請求項１又は請求項２に記載のベルト部材。
【００１１】
請求項５に係る発明は、
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載のベルト部材であって、前記金属層が電磁誘導により発熱する電磁誘導金属層を少なくとも有する層であるベルト部材と、
前記ベルト部材の外周表面を加圧する加圧部材と、
前記電磁誘導金属層を電磁誘導によって発熱させる電磁誘導装置と、
を有し、
未定着のトナー像が表面に形成された記録媒体を前記ベルト部材と前記加圧部材とで挟み込んで前記トナー像を前記記録媒体に定着させる定着装置。
【００１２】
請求項６に係る発明は、
像保持体と、
前記像保持体の表面を帯電させる帯電装置と、
帯電した前記像保持体の表面に静電潜像を形成する静電潜像形成装置と、
前記像保持体の表面に形成された静電潜像をトナーにより現像してトナー像を形成する現像装置と、
前記像保持体の表面に形成されたトナー像を記録媒体に転写する転写装置と、
前記トナー像を前記記録媒体に定着させる請求項５に記載の定着装置と、
を有する画像形成装置。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１、又は２に係る発明によれば、金属層の外周側に該金属層に直に接するか又は接着剤層を介して弾性層が配置される態様において、金属層の外周表面に凹部を有しない場合、金属層の外周表面における酸素原子の原子組成比が４０ａｔｏｍ％未満である場合に比べ、金属層と弾性層との剥がれが抑制されたベルト部材が提供される。
請求項３に係る発明によれば、金属層の外周側に接着剤層を介して弾性層が配置される態様において、接着剤層が接着剤としてシランカップリング剤を含有しない層である場合に比べ、金属層と弾性層との剥がれが抑制されたベルト部材が提供される。
請求項４に係る発明によれば、金属層の外周側に該金属層に直に接して弾性層が配置される態様において、弾性層が弾性材料としてシリコーンゴムを含有しない層である場合に比べ、金属層と弾性層との剥がれが抑制されたベルト部材が提供される。
【００１４】
請求項５、又は６に係る発明によれば、金属層の外周側に該金属層に直に接するか又は接着剤層を介して弾性層が配置されるベルト部材を用いた態様において、該ベルト部材が金属層の外周表面に凹部を有しない場合、金属層の外周表面における酸素原子の原子組成比が４０ａｔｏｍ％未満である場合に比べ、ベルト部材における金属層と弾性層との剥がれが抑制された定着装置及び画像形成装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本実施形態に係るベルト部材の一例における金属層、接着剤層、及び弾性層の部分を拡大して示す拡大断面図である。
【図２】本実施形態に係るベルト部材の層構成の一例を示す概略断面図である。
【図３】本実施形態に係る定着装置の一例を示す概略構成図である。
【図４】本実施形態に係る画像形成装置の一例を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一例である実施形態について詳細に説明する。
【００１７】
＜ベルト部材＞
本実施形態に係るベルト部材は、少なくとも金属層と、前記金属層の外周側に、前記金属層に直に接するか又は接着剤層を介して配置される弾性層と、を有する。
金属層は、外周表面に深さ１ｎｍ以上１００ｎｍ以下の凹部を有する。また金属層は、外周表面における酸素原子（Ｏ）の原子組成比（外周表面を構成する全原資に対する比率）が４０ａｔｏｍ％以上８０ａｔｏｍ％以下である。
【００１８】
本実施形態では、上記の構成を有することにより、金属層と弾性層との剥がれが抑制される。
その理由は以下の通り推察される。
【００１９】
従来から、金属層の外周側にゴム層などの弾性層が積層されたベルト部材が、様々な分野で用いられている。具体例としては、電磁誘導により発熱する電磁誘導金属層を少なくとも含む金属層と、この金属層の外周側に外部からの加圧に対して弾性を付与する観点で設けられる弾性層と、を有する電磁誘導発熱ベルト等が挙げられ、例えば画像形成装置における定着装置用の定着ベルト等に用いられている。
なお、金属層上にゴム層などの弾性層を形成する場合、接着力を高める観点で、一般的に両者の間に接着剤層（プライマー層）を設けることが行われる。しかし、接着力を高めるために接着剤層（プライマー層）を介して金属層上に弾性層を積層したベルト部材であっても、繰り返して回転駆動されたり外部から加圧されたりするなどの使用状況によって、金属層と弾性層との間で剥がれが発生することがあった。特に、ベルト部材が画像形成装置中の定着装置における定着ベルトとして用いられる場合、ベルト部材が回転駆動されると共に、ベルト部材の外周面に接触して配置される加圧部材から圧力が加えられるため、ベルト部材の周方向に応力が加わり、この応力が金属層と弾性層との間に集中して弾性層が金属層から剥離することがあった。
【００２０】
これに対し本実施形態に係るベルト部材は、まず第１に、金属層の外周表面における酸素原子（Ｏ）の原子組成比が上記範囲である。外周表面における酸素原子の原子組成比が上記範囲であるということは、金属層の表面において水酸基「−ＯＨ」や酸素原子「Ｏ」等の官能基が適度に存在していることの指標である。そして、こうした水酸基「−ＯＨ」や酸素原子「Ｏ」等の官能基は、接着剤（プライマー）を構成する化合物や弾性層中の弾性材料（ゴム材料等）を構成する化合物と化学的に結合を形成する役割を担う。
なお、通常であれば、金属で構成されている金属層の表面では、接着剤（プライマー）を構成する化合物と反応し得る水酸基や酸素原子などの官能基の存在が少ないのが一般的である。また、金属層を形成した後にその表面が露出した状態のまま酸素雰囲気下（大気中など）に放置されると、金属層表面で酸化皮膜の形成が進んで不動態化が進行し、表面に存在する官能基はさらに減少する傾向にある。そのため、金属層と接着剤層との間でこの官能基による結合は形成されにくいと考えられる。
しかし本実施形態に係るベルト部材は、上記の通り金属層の表面に水酸基や酸素原子等の官能基が適度に存在しており、これらの官能基が化学結合を形成する役割を担う。そのため、本実施形態において金属層の外周側に接着剤層（プライマー層）を介して弾性層が配置される場合であれば、金属層の外周表面における官能基と接着剤層を構成する化合物との間で結合が形成され、接着力が高められる。一方、金属層の外周側に接着剤層を介さずに直に弾性層が配置される場合であれば、金属層の外周表面における官能基と弾性層中の弾性材料を構成する化合物との間で結合が形成され、やはり接着力が高められるものと考えられる。
また第２に、本実施形態に係るベルト部材は、金属層の外周表面に深さ１ｎｍ以上１００ｎｍ以下の凹部を有しており、こうした微細な凹凸を有することによる投錨効果（アンカー効果）によっても接着力が高められるものと考えられる。
【００２１】
そして、これらの接着力の向上により、本実施形態に係るベルト部材が繰り返して回転駆動されたり外部から加圧されたりするなどの使用状況におかれた場合でも、金属層と弾性層との剥がれが抑制されるものと推察される。
【００２２】
・凹部
本実施形態に係るベルト部材は金属層の外周表面に凹部を有する。
ここで、図を用い一例を挙げて説明する。図１は金属層の外周側に接着剤層を介して弾性層を備えた本実施形態に係るベルト部材の一例を拡大して示す拡大断面図である。図１に示すように、金属層１０Ｂ上には接着剤層１０Ｃと弾性層１０Ｄとが積層され、金属層１０Ｂの外周表面には凹部１０８が点在している。
この凹部１０８の深さ、開口幅、密度の好ましい範囲について、以下に示す。
【００２３】
凹部１０８は、その深さ（平均深さ）が１ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。凹部１０８の深さが１ｎｍ以上であることで、アンカー効果による接着力の向上が図られ、金属層１０Ｂからの弾性層１０Ｄの剥がれが抑制される。
なお、凹部１０８の深さ（平均深さ）は、接着力向上の観点では、好ましくは２ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、より好ましくは５ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。
一方、凹部１０８の深さ（平均深さ）は、凹部の形成し易さの観点では、好ましくは１ｎｍ以上５０ｎｍ以下であり、より好ましくは１ｎｍ以上２０ｎｍ以下であり、さらに好ましくは１ｎｍ以上１０ｎｍ以下である。
したがって、この両面の観点から、凹部１０８の深さ（平均深さ）は、２ｎｍ以上２０ｎｍ以下が好ましく、５ｎｍ以上１０ｎｍ以下がより好ましい。
【００２４】
凹部１０８の開口幅（開口面の最長部の長さの平均値）は、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下が好ましく、より好ましくは２ｎｍ以上９０ｎｍ以下であり、さらに好ましくは５ｎｍ以上８０ｎｍ以下である。
凹部１０８の開口幅が１ｎｍ以上であることで、アンカー効果による接着力の向上が図られ、金属層１０Ｂからの弾性層１０Ｄの剥がれが抑制される。
【００２５】
凹部１０８の密度（１μｍ２当たりの凹部１０８の平均存在数）は、３個／μｍ２以上１０００００個／μｍ２以下が好ましく、より好ましくは５個／μｍ２以上１０００００個／μｍ２以下であり、さらに好ましくは１０個／μｍ２以上１０００００個／μｍ２以下である。
凹部１０８の密度が３個／μｍ２以上であることで、アンカー効果による接着力の向上が図られ、金属層１０Ｂからの弾性層１０Ｄの剥がれが抑制される。一方、凹部１０８の密路が１０００００個／μｍ２以下であることで、凹部１０８同士の合体が抑制され、アンカー効果を発揮し得る形状となり接着力が得られる。
【００２６】
なお、凹部１０８の深さとは、凹部の開口面から最深部までの長さを指し、図１に示す凹部１０８であればＤ１やＤ２で示される部分の長さを言う。
また、凹部１０８の開口幅とは、開口面の最長部の長さを指し、図１に示す凹部１０８であればＷ１やＷ２で示される部分の長さを言う。
凹部１０８の深さ及び開口幅は、金属層１０Ｂの外周表面について原子間力顕微鏡（ＡＦＭ、エスアイアイ・ナノテクノロジー社製、製品名：Ｓ−ｉｍａｇｅ＋ＮａｎｏＮａｖｉ２）を用いて観察を行い、１０個の凹部１０８について開口幅（開口面最長部長さ）、最大深さを測定し、その平均値を取って算出する。また、密度はその際に凹部１０８の数を数え、そこから１μｍ２当たりの平均存在数を計算して算出する。
【００２７】
・原子組成比
本実施形態に係るベルト部材は金属層の外周表面における酸素原子（Ｏ）の原子組成比（外周表面を構成する全原資に対する比率）が４０ａｔｏｍ％以上８０ａｔｏｍ％以下であり、好ましくは４２ａｔｏｍ％以上８０ａｔｏｍ％以下であり、より好ましくは４５ａｔｏｍ％以上８０ａｔｏｍ％以下である。
酸素原子の原子組成比が４０ａｔｏｍ％以上であることは、金属層の表面において水酸基「−ＯＨ」や酸素原子「Ｏ」等の官能基が適度に存在していることを表していると言え、金属層１０Ｂからの弾性層１０Ｄの剥がれが抑制される。一方、酸素原子の原子組成比が８０ａｔｏｍ％以下であることで、酸化皮膜で完全には覆われていないことを表していると言え、金属層１０Ｂからの弾性層１０Ｄの剥がれが抑制される。
【００２８】
なお、金属層の外周表面における原子組成比（酸素（Ｏ））は、Ｘ線光電分光法（ＸＰＳ）により測定される。
測定は、Ｘ線光電子分光分析装置（日本電子株式会社（ＪＥＯＬ）製、製品名：ＪＰＳ−９０１０ＭＸ）を用い、条件（ＭｇＫα線、１０ｋＶ、２０Ａ）にて測定し、各元素のピークの強度から求める。
【００２９】
なお、金属層上に接着剤層や弾性層等が既に形成されている状態からこれらの測定を行う場合、接着剤層や弾性層等を剥がして（例えば刃物等で切り出したり、溶剤で溶解させるなどして剥がし）、金属層の外周表面を露出させた上で測定を行う。
【００３０】
・達成方法
金属層の外周表面に前記範囲の深さ凹部を形成する方法、及び金属層の外周表面における酸素原子（Ｏ）の原子組成比を前述の範囲に制御する方法としては、特に限定されるものではない。例えば、以下の(1)又は(2)に記載の表面処理方法によれば凹部の形成と酸素原子の原子組成比の制御を１つの処理によって行うことができる。
【００３１】
(1)エッチング液により金属層表面をエッチングしながら液中に気泡を発生させる方法
金属層の外周表面をエッチング液（例えば硝酸と過酸化水素水との混合液等）に浸漬して金属層表面をエッチングすると共に、エッチング液中に気泡を発生させてその気泡を破裂させる方法が挙げられる。金属層をエッチングすることで表面に形成された酸化皮膜が除去されて金属層の新たな表面が露出し、露出した表面における官能基（水酸基（−ＯＨ）、酸素（Ｏ）等）の存在によって酸素原子の原子組成比が前述の範囲に制御されるものと考えられる。また、その際にエッチング液中に気泡を発生させることで、この気泡が金属層の表面で破裂することにより凹部が形成されるものと考えられる。
なお、凹部の深さや開口幅は、発生させる気泡の大きさを制御することで調整され、また凹部の密度は、発生させる気泡の密度を制御することで調整される。
【００３２】
エッチング液中に気泡を発生させる方法としては、特に限定されず、例えば以下の方法が挙げられる。
・超音波振動による方法：金属層を浸漬したエッチング液に対し超音波振動を与えて気泡を発生させる方法が挙げられる。超音波振動によれば、出力や周波数の調整によって発生させる気泡の大きさや密度を容易に制御し得る。超音波振動の付与時間としては、例えば１秒以上３０秒以下が好ましく、２秒以上２５秒以下がより好ましい。
・圧力で液中に気体を溶存させる方法：金属層を浸漬したエッチング液に対し圧力をかけて気体（例えば大気）を液中に溶存させ、その後圧力を開放することで気泡を発生させる方法が挙げられる。かける圧力の大きさや開放するときの速度等の調整によって発生させる気泡の大きさや密度を制御し得る。
【００３３】
また、用い得るエッチング液としては、上記硝酸と過酸化水素水との混合液の他、塩酸、硫酸等が挙げられる。
これらの中でも、硝酸と過酸化水素水との混合液が取扱い性に優れる。
【００３４】
(2)オゾン含有液中で金属層表面を酸化しながら液中に気泡を発生させる方法
金属層の外周表面をオゾン含有液（例えばオゾン溶存水等）に浸漬して金属層表面を酸化すると共に、オゾン含有液中に気泡を発生させてその気泡を破裂させる方法が挙げられる。金属層をオゾン含有液に浸漬することで表面が酸化されて官能基（水酸基（−ＯＨ）、酸素（Ｏ）等）が生成され、酸素原子の原子組成比が前述の範囲に制御されるものと考えられる。また、その際にオゾン含有液中に気泡を発生させることで、この気泡が金属層の表面で破裂することにより凹部が形成されるものと考えられる。
なお、凹部の深さや開口幅は、発生させる気泡の大きさを制御することで調整され、また凹部の密度は、発生させる気泡の密度を制御することで調整される。
オゾン含有液中に気泡を発生させる方法としては、特に限定されず、例えば前述の超音波振動による方法や、圧力で液中に気体を溶存させる方法等が挙げられる。
【００３５】
次いで、本実施形態に係るベルト部材を構成する各層について詳細に説明する。
【００３６】
ここでは、本実施形態に係るベルト部材の構成を、図を用い一例を挙げて説明する。図１は、本実施形態に係るベルト部材の一例を示す概略構成図であり、画像形成装置において定着ベルトとして用いられるベルト部材を示す構成図である。
図１に示すベルト部材１０は、管状の基材１０Ａの外周面上に、金属層１０Ｂと、接着剤層１０Ｃと、弾性層１０Ｄと、離型層１０Ｅと、が順に積層された層構成を有する無端ベルトである。なお、金属層１０Ｂは、複数の層が積層されてなる多層型の金属層であり、下地金属層１０２、電磁誘導作用により自己発熱する電磁誘導金属層１０４、及び金属保護層１０６がこの順に積層されてなる。
そして、金属層１０Ｂの外周表面を構成する金属保護層１０６は、深さが前記範囲である凹部を有し、かつ酸素原子の原子組成比が前述の範囲である。
【００３７】
なお、以下においては図１に示す構成のベルト部材１０を例にして説明するが、本実施形態はこの構造に限定されるものではない。例えば、図１には金属層１０Ｂとして、下地金属層１０２、電磁誘導金属層１０４、及び金属保護層１０６がこの順に積層されてなる構造を示すが、積層される金属層の数が異なっていてもよい。例えば、単層の金属層からなっていてもよい。また、接着剤層１０Ｃを有していなくてもよく、離型層１０Ｅを有していなくてもよい。
なお、以下において、各層の符号は省略して説明する場合がある。
【００３８】
［基材１０Ａ］
基材１０Ａは、例えば隣接する金属層１０Ｂが電磁誘導作用により自己発熱する層を有する態様の場合、発熱した状態でも物性の変化が少なく高強度を維持し得る層であることがよい。このため、基材１０Ａは、主として耐熱性樹脂から構成されることが好ましい（本明細書において、「主として」、「主成分」とは、質量比で５０％以上であることを意味し、以下も同義である）。
【００３９】
耐熱性樹脂から主に構成される基材１０Ａの場合、ベルト部材の内周面と接触する押圧部材との摺動性が確保され、押圧部材の寿命が延長される。更に、耐熱性樹脂には断熱効果があるため、金属層１０Ｂからの熱を押圧部材へ逃がすことなく、効率よく外周表面側に伝熱し得る。
【００４０】
基材１０Ａを構成しうる耐熱性樹脂としては、ポリイミド、芳香族ポリアミド、サーモトロピック液晶ポリマー等の液晶材料、高耐熱かつ高強度の樹脂等が挙げられるが、これら以外にも、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルケトン、ポリサルフォン、ポリイミドアミド等が用いられる。これらの中でも、ポリイミドが望ましい。
また、耐熱性樹脂中に断熱効果のある充填材を加えたり、耐熱性樹脂を発泡させることにより、断熱効果を更に向上させてもよい。
【００４１】
基材１０Ａの厚さは、ベルト部材の長期にわたる繰り返しの周動搬送を実現する剛性と柔軟性とを両立させる観点から、１０μｍ以上２００μｍ以下の範囲が望ましく、３０μｍ以上１００μｍ以下の範囲がより望ましい。
【００４２】
また、基材１０Ａの引張り強度は２００ＭＰａ以上（より好ましくは２５０ＭＰａ以上）を満たすことが好ましい。基材の引張り強度は、樹脂の種類、充填材の種類及び添加量によって調整し得る。
なお、基材の引張り強度（ＭＰａ）は、基材を幅５ｍｍの短冊形状に切り出し、これを引張試験機Ｍｏｄｅｌ  １６０５Ｎ（アイコーエンジニアリング社製）に設置し、１０ｍｍ／ｓｅｃ等速で引張った際の引張破断強度（ＭＰａ）にして測定される。
【００４３】
［下地金属層１０２］
下地金属層１０２は、基材１０Ａの外周面に電磁誘導金属層１０４を電解めっき法により形成するために予め形成される層である。電磁誘導金属層１０４の形成はコスト等の観点から電解めっき法で行うことが好ましいが、主に樹脂で構成される基材１０Ａを用いる場合には直接電解めっきを行うことが容易でないため、電磁誘導金属層１０４形成の観点で下地金属層１０２を設けることが好ましい。
【００４４】
基材１０Ａの外周面に下地金属層１０２を形成する方法としては、無電解めっき法、スパッタリング法、蒸着法等が挙げられ、成膜の容易性の観点から化学めっき法（無電解めっき法）が望ましく、中でも一般的な無電解ニッケルめっき層、無電解銅めっき層等が望ましい。
【００４５】
なお、無電解めっき法によって基材１０Ａの外周面に下地金属層１０２を形成する前に、金属粒子が付着し易いように、基材１０Ａの外周面の表面粗さを予め粗くする処理（粗面化処理）を施してもよい。粗面化処理としては、例えば、アルミナ砥粒等を用いたサンドブラスト、切削、サンドペーパーがけ等により、基材１０Ａの表面を粗面化する方法が挙げられる。
【００４６】
下地金属層１０２の厚さは０．１μｍ以上５μｍ以下の範囲が望ましく、０．３μｍ以上３μｍ以下の範囲がより望ましい。
【００４７】
なお、本実施形態に係るベルト部材を構成する各層の厚さは、ベルト部材の円筒体の周方向、軸方向について断面を作製し、走査型電子顕微鏡（日本電子社製「ＪＳＭ６７００Ｆ」）の加速電圧２．０ｋＶ、５０００倍における観察像から膜厚を測定した値である。
【００４８】
［電磁誘導金属層１０４］
電磁誘導金属層１０４は、磁界が印加された際にこの層内に発生する渦電流により発熱する機能を有する発熱層であり、電磁誘導作用を生ずる金属で構成される。
電磁誘導作用を生ずる金属としては、例えば、ニッケル、鉄、銅、金、銀、アルミニウム、クロム、錫、亜鉛などの単一金属、又は、２種類以上の金属を含む合金を選択してもよい。コスト、発熱性能、及び加工性を考慮すると、銅、ニッケル、アルミニウム、鉄、クロムが適しており、その中でも特に、銅又は銅を主成分とする合金が望ましい。
【００４９】
電磁誘導金属層１０４は、周知の方法、例えば電解めっき処理を施すことで形成される。
【００５０】
電磁誘導金属層１０４の厚さは、その金属材質により最適な厚さが異なるが、例えば銅を電磁誘導金属層１０４に用いる場合、効率的に発熱させる観点から、電磁誘導金属層１０４の厚さは３μｍ以上５０μｍ以下の範囲であることが好ましく、３μｍ以上３０μｍ以下の範囲であることがより好ましく、５μｍ以上２０μｍ以下の範囲であることがさらに好ましい。
【００５１】
［金属保護層１０６］
電磁誘導金属層１０４の外周表面側には、膜強度を向上させ、繰り返しの変形による亀裂や、長時間の繰り返し加熱による酸化劣化等を抑制し、発熱特性を維持するために、金属保護層を電磁誘導金属層１０４と接触して設けることが好ましい。
そして、本実施形態に係るベルト部材は、金属層１０Ｂの外周表面に深さが前記範囲である凹部を有し、かつ酸素原子の原子組成比が前述の範囲である。
【００５２】
金属保護層１０６は、薄膜で破断強度が高く、耐久性及び耐酸化性が高いことが良く、耐酸化金属であることが望ましい。具体的には、例えば、銅、又はニッケルを含んで構成されることがよく、特に、繰り返しの変形による亀裂の発生、及び繰り返し加熱での酸化劣化等の抑制の点から、耐酸化金属であるニッケル（又はニッケル合金）を含むことが望ましい。
また、酸素原子の原子組成比を前述の範囲に制御し易くする観点からも、金属層１０Ｂの外周表面にはニッケル（又はニッケル合金）を含むことが望ましい。
【００５３】
金属保護層１０６の厚さは、その材質により最適な厚さが異なるが、例えばニッケルによって金属保護層１０６を形成する場合は、破断強度の不足による亀裂発生を抑制する一方、柔軟性が得られ、膜自体の熱容量が大きくなりすぎず、ウォームアップ時間を短く抑える観点から、２μｍ以上２０μｍ以下の範囲であることが好ましく、２μｍ以上１５μｍ以下の範囲であることがより好ましく、５μｍ以上１０μｍ以下の範囲であることがさらに好ましい。
【００５４】
金属保護層１０６を形成する方法としては、薄膜での加工性を考慮した場合、電解めっき法で形成することが好ましく、中でも強度が高い電解ニッケルめっきがより好ましい。
【００５５】
電界めっき法により形成する場合、ニッケルイオン等の金属イオンを含むめっき液を準備し、このめっき液に下地金属層１０２及び電磁誘導金属層１０４を有する基材１０Ａを浸漬して電解めっきを行い、求められる厚さの電解めっき層（金属保護層１０６）を形成する。
【００５６】
［接着剤層１０Ｃ］
金属層１０Ｂの外周表面を構成する層（図１では金属保護層１０６）と弾性層１０Ｄとの間には、両層の接着性を向上させる観点で、接着剤層１０Ｃを介在させてもよい。
【００５７】
なお、熱伝導性等の観点から、接着剤層１０Ｃは通常薄膜の層（例えば１μｍ以下）として設けられる。接着剤層１０Ｃの厚さとしては、接着剤層の成形容易性の観点から、０．１μｍ以上１μｍ以下が好ましく、０．２μｍ以上０．５μｍ以下がより好ましい。
【００５８】
接着剤層１０Ｃに用いられる接着剤としては、隣接する金属層１０Ｂが発熱した状態でも物性の変化が少なく、かつ外周表面側への伝熱性に優れるものが好ましい。具体的には、シランカップリング剤系接着剤、シリコーン系接着剤、エポキシ樹脂系接着剤、及びウレタン樹脂系接着剤等が挙げられる。
【００５９】
これらの中でも、シランカップリング剤系接着剤がより好ましい。接着剤層１０Ｃがシランカップリング剤系接着剤を含有することで、金属層１０Ｂが外周表面に有する官能基（水酸基（−ＯＨ）、酸素原子（Ｏ）等）との結合の形成により接着剤層１０Ｃとの接着がより強固になり、剥離の発生がより抑制し易くなる。
シランカップリング剤系接着剤としては、例えばビニル基系シランカップリング剤、エポキシ基系シランカップリング剤、アミノ基系シランカップリング剤、メタクリル基系シランカップリング剤、スチリル基系シランカップリング剤、及びアミノ基系シランカップリング剤等が挙げられ、この中でもビニル基系カップリング剤がより好ましい。
【００６０】
［弾性層１０Ｄ］
弾性層１０Ｄは、ベルト部材への外周側からの加圧に対して弾性を付与する観点で設けられる層であり、例えば画像形成装置において定着ベルトとして用いられる場合であれば、記録媒体上のトナー像の凹凸に追従して、ベルト部材の表面がトナー像に密着する役割を担う層である。特に、多色画像を形成する場合、弾性層１０Ｄにより、記録媒体及びトナー像の加熱ムラによる発色性低下及び光沢ムラが抑制された画像が得られ易くなる。また、弾性層１０Ｄが加圧部材との接触領域内で変形し、低荷重でも接触幅が得られることから、プロセス速度（記録媒体の搬送速度）が速くなってもトナー像への熱の受け渡しがなされて定着が行われ、白黒画像を形成する場合でも、高速化が実現し易くなる。
【００６１】
弾性層１０Ｄは、例えば、１００Ｐａの外力印加により変形させても、もとの形状に復元する弾性材料から構成されることがよい。
弾性層１０Ｄに用いられる弾性材料としては、シリコーンゴムが好ましい。金属層１０Ｂの外周表面に直に接するよう弾性層１０Ｄを形成する態様において、弾性層１０Ｄがシリコーンゴムを含有することで、金属層１０Ｂが外周表面に有する官能基（水酸基（−ＯＨ）、酸素原子（Ｏ）等）との結合の形成により弾性層１０Ｄとの接着がより強固になり、剥離の発生がより抑制し易くなる。
【００６２】
シリコーンゴムとしては、例えば、ＲＴＶシリコーンゴム、ＨＴＶシリコーンゴム、液状シリコーンゴムなどが挙げられ、具体的には、ポリジメチルシリコーンゴム（ＭＱ）、メチルビニルシリコーンゴム（ＶＭＱ）、メチルフェニルシリコーンゴム（ＰＭＱ）、フルオロシリコーンゴム（ＦＶＭＱ）等が挙げられる。
市販品としては、例えば、東レダウコーニングシリコーン社製の液状シリコーンゴムＳＥ６７４４等が挙げられる。
【００６３】
なお、本実施形態では、弾性層１０Ｄに含まれる弾性材料中において、シリコーンゴムが主成分である（つまり質量比で５０％以上含む）ことが好ましく、さらにその含有率は９０質量％以上であることがより好ましく、９９質量％以下であることがさらに好ましい。
【００６４】
弾性層１０Ｄには、弾性材料として他の材料を用いてもよい。例えば、フッ素ゴム等の耐熱性のゴムが挙げられる。フッ素ゴムとしては、フッ化ビニリデン系ゴム、四フッ化エチレン／プロピレン系ゴム、四フッ化エチレン／パーフルオロメチルビニルエーテルゴム、フォスファゼン系ゴム、フルオロポリエーテル等が挙げられる。
市販品としては、例えば、ＤｕＰｏｎｔ  Ｄｏｗ  ｅｌａｓｔｍｅｒｓ社製のバイトンＢ−２０２等が挙げられる。
【００６５】
弾性層１０Ｄには、各種添加剤が配合されてもよい。
特に、弾性層１０Ｄの熱伝導性を向上させる観点から、フィラーを添加することが好ましい。尚、フィラーの熱伝導率は、弾性層１０Ｄにおいてより高い熱伝導性を得る観点から、０．３Ｗ／ｍＫ以上が好ましく、更には５０Ｗ／ｍＫ以上がより好ましく、１００Ｗ／ｍＫ以上が更に好ましい。
【００６６】
フィラーの材質としては、炭化物（例えば、カーボンブラック、カーボンファイバ、カーボンナノチューブ等）、酸化チタン、炭化ケイ素、タルク、マイカ、カオリン、酸化鉄、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、酸化マグネシウム、黒鉛、窒化ケイ素、窒化ホウ素、酸化鉄、酸化セリウム、酸化アルミニウム、炭酸マグネシウム、金属ケイ素等の周知の無機フィラーが挙げられる。
これらの中でも、熱伝導性の点から、窒化ケイ素、炭化ケイ素、黒鉛、窒化ホウ素、炭化物が好ましい。
【００６７】
弾性層１０Ｄのフィラーの含有量は、求められる熱伝導性、機械的強度等により決定されればよい。例えば、弾性層１０Ｄ中に占めるフィラーの含有率は、１質量％以上２０質量％以下の範囲が好ましく、３質量％以上１５質量％以下の範囲がより好ましく、５質量％以上１０質量％以下の範囲がさらに好ましい。
【００６８】
また、添加剤としては、例えば、軟化剤（パラフィン系等）、加工助剤（ステアリン酸等）、老化防止剤（アミン系等）、加硫剤（硫黄、金属酸化物、過酸化物等）、機能性充填剤（アルミナ等）等が挙げられる。
【００６９】
弾性層１０Ｄの厚みは、例えば、３０μｍ以上６００μｍ以下であることがよく、望ましくは１００μｍ以上５００μｍ以下である。
【００７０】
［離型層１０Ｅ］
離型層１０Ｅは、外周表面に離型性を付与するための層であり、例えば画像形成装置において定着ベルトとして用いられる態様においては、記録媒体と接触する側の面（外周表面）に、定着時に溶融状態のトナー像が固着するのを抑制する役割を担う層である。なお、離型層１０Ｅは設けなくてもよい。
【００７１】
離型層１０Ｅは、フッ素系化合物等の低表面エネルギー材料を主成分として含んで構成されることがよい。フッ素系化合物としては、例えば、フッ素ゴムや、ポリテトラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」という）、パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（以下、「ＰＦＡ」という）、四フッ化エチレン六フッ化プロピレン共重合体（以下、「ＦＥＰ」という）等のフッ素樹脂などが挙げられるが、特に限定されるものではない。
【００７２】
離型層１０Ｅの厚さは、１０μｍ以上１００μｍ以下の範囲であることが望ましく、２０μｍ以上５０μｍ以下の範囲であることがより望ましい。離型層１０Ｅの厚さが１０μｍ以上であることにより、用紙の縁部での繰り返し摩擦による離型層１０Ｅの摩滅が抑制される。また、離型層１０Ｅの厚さが１００μｍ以下であることにより、表面の柔軟性が保たれ、定着画像の粒状性が維持され、ウォームアップ時間も短縮される。
【００７３】
弾性層１０Ｄと離型層１０Ｅの形成は公知の方法を適用すればよく、例えば塗布法によって金属層１０Ｂ上に順次形成すればよい。
金属層１０Ｂ上に、弾性層１０Ｄと離型層１０Ｅを塗布法により形成する場合には、これらの層を塗布形成する前に、金属層１０Ｂ表面や弾性層１０Ｄ表面に必要に応じて適切な接着剤（プライマー）による前処理を行うことが望ましい。
【００７４】
また、金属層１０Ｂ上に、弾性層１０Ｄ及び離型層１０Ｅを塗布法により積層形成する場合には、塗布形成された塗膜を加熱処理する工程を経て弾性層１０Ｄ及び離型層１０Ｅが形成される。この塗膜の加熱処理に際しては、不活性ガス（窒素ガス・アルゴンガス等）雰囲気下で行ってもよい。
【００７５】
また、離型層１０Ｅは、チューブ状の離型層を予め準備し、例えばチューブの内面に接着層を形成した上で、弾性層１０Ｄの外周上に被覆させることで、離型層を形成してもよい。
【００７６】
−用途−
本実施形態に係るベルト部材は、例えば画像形成装置において好適に用いられる。具体的には、未定着のトナー像が表面に形成された記録媒体に対して前記トナー像を定着させる電磁誘導加熱方式の定着装置に用いられる定着ベルト、加圧ベルト等として用いられる。
【００７７】
＜定着装置＞
本実施形態に係る定着装置は、前述の本実施形態に係るベルト部材と、前記ベルト部材の外周面を加圧し、未定着のトナー画像が表面に形成された記録媒体を前記ベルト部材と共に挟み込む加圧部材と、前記ベルト部材の前記金属層を電磁誘導によって発熱させる電磁誘導装置と、を有する。
【００７８】
図３は、本実施形態に係る定着装置の一例を示す概略構成図である。
本実施形態に係る定着装置１００は上記本実施形態に係るベルト部材１０を備える電磁誘導方式の定着装置である。図３に示すごとく、ベルト部材１０の一部を加圧するよう加圧ロール（加圧部材）１１が配置され、効率的に定着を行う観点でベルト部材１０と加圧ロール１１との間に接触領域（ニップ）が形成され、ベルト部材１０は加圧ロール１１の周面に沿った形に湾曲している。また、記録媒体の剥離性を確保する観点で前記接触領域（ニップ）の末端においてベルト部材が屈曲する屈曲部が形成される。
【００７９】
加圧ロール１１は、基材１１Ａ上にシリコーンゴム等による弾性層１１Ｂが形成され、さらに弾性層１１Ｂ上にフッ素系化合物による離型層１１Ｃが形成されて構成されている。
【００８０】
ベルト部材１０の内側には、加圧ロール１１と対向する位置に対向部材１３が配置されている。対向部材１３は、金属、耐熱樹脂、耐熱ゴム等からなり、ベルト部材１０の内周面に接して局所的に圧力を高めるパッド１３Ｂと、パッド１３Ｂを支持する支持体１３Ａを有している。
【００８１】
ベルト部材１０を中心として加圧ロール１１（加圧部材の一例）と対向する位置には、電磁誘導コイル（励磁コイル）１２ａを内蔵した電磁誘導装置１２が設けられている。電磁誘導装置１２は、電磁誘導コイルに交流電流を印加することにより、発生する磁場を励磁回路で変化させ、ベルト部材１０の金属層１０Ｂ（特に図１に示す態様のベルト部材では電磁誘導金属層１０４）に渦電流を発生させる。この渦電流が金属層１０Ｂの電気抵抗によって熱（ジュール熱）に変換され、結果的にベルト部材１０の表面が発熱する。
なお、電磁誘導装置１２の位置は図３に示す位置に限定されず、例えば、ベルト部材１０の接触領域に対して回転方向Ｂの上流側に設置されていてもよいし、ベルト部材１０の内側に設置されていてもよい。
【００８２】
本実施形態に係る定着装置１００では、ベルト部材１０の端部に固定されたギアに駆動装置により駆動力が伝達されることで、ベルト部材１０が矢印Ｂ方向に自己回転し、ベルト部材１０の回転に伴って加圧ロール１１は逆方向、すなわち矢印Ｃ方向に回転する。
未定着トナー像１４が形成された記録媒体１５は、矢印Ａ方向に、定着装置１００におけるベルト部材１０と加圧ロール１１との接触領域（ニップ）に通され、未定着トナー像１４が溶融状態として圧力が加えられて記録媒体１５に定着される。
【００８３】
＜画像形成装置＞
本実施形態に係る画像形成装置は、像保持体と、前記像保持体の表面を帯電させる帯電装置と、帯電した前記像保持体の表面に静電潜像を形成する静電潜像形成装置と、前記像保持体の表面に形成された静電潜像をトナーにより現像してトナー像を形成する現像装置と、前記像保持体の表面に形成されたトナー像を記録媒体に転写する転写装置と、前記トナー像を前記記録媒体に定着させる本実施形態に係る定着装置と、を有する。
【００８４】
図４は、本実施形態に係る画像形成装置の一例を示す概略構成図である。
本実施形態に係る画像形成装置２００は、図４に示すように、感光体（像保持体の一例）２０２、帯電装置２０４、レーザー露光装置（潜像形成装置の一例）２０６、ミラー２０８、現像装置２１０、中間転写体２１２、転写ロール（転写装置の一例）２１４、クリーニング装置２１６、除電装置２１８、定着装置１００、及び給紙装置（給紙ユニット２２０、給紙ローラ２２２、レジストローラ２２４、及び、記録媒体ガイド２２６）を備えている。
【００８５】
この画像形成装置２００で画像形成を行う場合、まず、感光体２０２に近接して設けられた非接触型の帯電装置２０４が、感光体２０２の表面を帯電させる。
【００８６】
帯電装置２０４により帯電した感光体２０２の表面に各色の画像情報（信号）に応じたレーザー光が、ミラー２０８を介してレーザー露光装置２０６より照射されて静電潜像が形成される。
【００８７】
現像装置２１０は、感光体２０２の表面に形成された潜像にトナーを付与することによりトナー像を形成する。現像装置２１０は、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のトナーをそれぞれ収容した各色の現像器（不図示）を備えており、現像装置２１０が矢印方向に回転することにより、感光体２０２の表面に形成されている潜像に各色のトナーを付与し、トナー像が形成される。
【００８８】
感光体２０２の表面に形成された各色のトナー像は、感光体２０２と中間転写体２１２との間に印加されたバイアス電圧により、感光体２０２と中間転写体２１２との接触部において、各色のトナー像毎に画像情報と一致するように中間転写体２１２の外周面に重ねて転写される。
【００８９】
中間転写体２１２は、外周面が感光体２０２の表面に接触し矢印Ｅ方向に回転する。
中間転写体２１２の周囲には、感光体２０２の他に、転写ロール２１４が設けられている。
【００９０】
多色のトナー像が転写された中間転写体２１２は矢印Ｅ方向に回転する。中間転写体２１２上のトナー像は、転写ロール２１４と中間転写体２１２との接触部において、給紙装置によって接触部に矢印Ａ方向に搬送されてきた記録媒体１５の表面に転写される。
【００９１】
なお、中間転写体２１２と転写ロール２１４との接触部への給紙は、給紙ユニット２２０に収納された記録媒体が、給紙ユニット２２０に内蔵された不図示の記録媒体押し上げ手段により給紙ローラ２２２に接触する位置まで押し上げられ、その記録媒体１５が給紙ローラ２２２に接触した時点で、給紙ローラ２２２及びレジストローラ２２４が回転することにより記録媒体ガイド２２６に沿って矢印Ａ方向に搬送されることにより行われる。
【００９２】
記録媒体１５の表面に転写されたトナー像は、矢印Ａ方向に移動し、ベルト部材１０と加圧ロール１１との接触領域（ニップ）では、トナー像１４は溶融状態で記録媒体１５の表面に押圧され、記録媒体１５の表面に定着される。これにより、記録媒体の表面に定着した画像が形成される。
【００９３】
中間転写体２１２の表面にトナー像を転写した後の感光体２０２の表面はクリーニング装置２１６によって清掃される。
感光体２０２の表面はクリーニング装置２１６によって清掃された後、除電装置２１８によって除電される。
【実施例】
【００９４】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、以下において「％」は、特に断りのない限り質量基準である。
【００９５】
〔実施例１〕
・基材（ＰＩ基材）の作製
ポリイミド前駆体（ポリイミドワニス「Ｕ−イミドＡＨ」、ユニチカ社製）のＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）溶液を、直径φ３０ｍｍの金型上にフローコーターにて塗布し、３８０℃までステップ昇温（２５℃→１２０℃１時間→２５０℃１時間→３８０℃１時間→２５℃）して焼成した。
これにより、内径３０ｍｍ、膜厚６０μｍ、幅４００ｍｍのポリイミド（樹脂単一層）によるシームレス樹脂管状体を得た。
【００９６】
得られた管状のシームレス樹脂管状体の表面を、液体ホーニング装置（不二精機製、ＬＨ−８ＴＴＨｉＳ）を用い、表面粗さＲａ＝０．５μｍ以上１．０μｍ以下となるよう粗面化処理した。なお、ホーニング条件は砥粒＃３２０、噴射圧０．３ＭＰａ、噴射距離１００ｍｍ、処理時間１．５分で実施した。
粗面化されたシームレス樹脂管状体の表面の砥粒をイオン交換水にて洗い流した後、さらに圧縮空気で水分を除去し、ＰＩ基材を得た。
【００９７】
・下地金属層の形成
次に、ＰＩ基材をめっき治具に組み込み、無電解めっき処理により厚さ０．５μｍの無電解銅めっき層（下地金属層）を形成した。
【００９８】
・電磁誘導金属層の形成
無電解銅めっき層（下地金属層）を形成した後、めっき治具両端に電極をセットし、硫酸銅めっき液により電解めっき処理を施し、厚さ１０μｍの電解銅めっき層（電磁誘導金属層）を形成した。
【００９９】
・金属保護層の形成
次いで、ニッケルイオンを含むめっき液に浸漬してニッケルの電解めっきを行い、厚さ９μｍの電解ニッケル層（金属保護層）を形成した。
【０１００】
・金属層表面処理
前記電解ニッケル層（金属保護層）を形成した後、この金属保護層の表面を１０％硝酸と５％過酸化水素水との質量比５０：５０混合液に浸漬し、超音波装置（株式会社エスエヌディ社製、製品名：ＵＳ−３０ＪＳ）を使用し、出力２００Ｗ、周波数１００ｋＨｚの超音波振動を５秒間与え、金属層の表面処理を行った。
金属保護層表面を原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で観察し、前述の方法で凹部の深さ（平均深さ）、開口幅、密度を測定した。また、金属層保護層表面における酸素（Ｏ）の原子組成比をＸ線光電分光法（ＸＰＳ）で測定した。結果を表１に示す。
【０１０１】
・接着剤の塗布
形成された金属保護層の外周面に、接着剤としてシランカップリング剤（東レ・ダウコーニング社製、製品名：ＤＹ３９−１１１Ａ／Ｂ）を、厚さ０．３μｍとなるよう塗布して接着剤層を形成した。
【０１０２】
・弾性層及び離型層の形成
次に、金属保護層の外周面に、スパイラルコート装置を用いて液状シリコーンゴム（信越化学工業社製、液状シリコーンゴムＸ３４−１０５３）を塗布（厚さ２００μｍ）し、一次加硫（１２０℃、１５分）した後、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）チューブ（厚さ３０μｍ、内面に接着層を有するもの）を被覆し、接着焼成（２００℃、２時間）を実施した。
こうして、外周面に弾性層及び離型層を順次形成した後、両端部１５ｍｍを切除しベルト部材を得た。
【０１０３】
〔実施例２〕
実施例１において、金属層表面処理を以下の方法による処理に変更した以外は、実施例１と同様にしてベルト部材を得た。
・金属層表面処理
金属保護層の表面を、エコデザイン株式会社製のオゾン水生成装置（ＥＤ−ＯＷ−７）で発生させたオゾン水（オゾン濃度３０ｐｐｍ）に浸漬し、超音波装置（株式会社エスエヌディ社製、製品名：ＵＳ−３０ＪＳ）を使用し、出力２００Ｗ、周波数１００ｋＨｚの超音波振動を１０秒間与え、金属層の表面処理を行った。
凹部の深さ（平均深さ）、開口幅、密度、酸素（Ｏ）の原子組成比の測定結果を表１に示す。
【０１０４】
〔比較例１〕
実施例１において、金属層表面処理を行わなかったこと以外は、実施例１と同様にしてベルト部材を得た。
金属保護層表面を原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で観察した結果、凹部は存在しなかった。また、酸素（Ｏ）の原子組成比の測定結果を表１に示す。
【０１０５】
＜評価試験１／加圧繰り返しストレス試験＞
フリクションプレーヤ（株式会社レスカ社製、製品名：Ｆｒｉｃｔｉｏｎ  Ｐｌａｙｅｒ  ＦＰＲ−２０００）に、弾性層を上に向けてベルト部材を設置し、その上からステンレスピンで荷重１ｋｇｆをかけ、４５°円弧上を往復運動させた。その際に金属層における最外表面を構成する層（金属保護層）と、弾性層との間で剥離が発生するまでの回数を測定した。
また、その結果を以下の基準に照らした評価した。
Ａ（○）：３０００回まで発生なし
Ｂ（△）：２０００回まで発生なし、３０００回までに発生
Ｃ（×）：２０００回までに発生
【０１０６】
＜評価試験２／画像形成装置内耐久試験＞
ベルト部材を、画像形成装置（富士ゼロックス社製、型番：ＡｐｅｏｓＰｏｒｔ−Ｖ  Ｃ７７７６）における電磁誘導方式の定着装置に定着ベルトとして搭載し、富士ゼロックス社製のコピーペーパーＣ２紙に５００ｋｐｖ（５００×１０３枚）の画像形成を行った。その後、ベルト部材における金属保護層と弾性層との間での剥離の発生の有無を確認した。
また、その結果を以下の基準に照らした評価した。
Ａ（○）：剥離の発生なし
Ｂ（×）：剥離の発生あり
【０１０７】
【表１】
2018084650.tif 000003
【０１０８】
【表２】
2018084650.tif 000004
【０１０９】
表１及び表２に示す通り、凹部を有さずかつ酸素原子の原子組成比の値も前述の範囲を満たさない比較例に比べ、実施例では接着性が向上し剥がれが抑制されていることが分かる。
【符号の説明】
【０１１０】
１０  ベルト部材
１０Ａ  基材
１０Ｂ  金属層
１０Ｃ  接着剤層
１０Ｄ  弾性層
１０Ｅ  離型層
１１  加圧ロール
１１Ａ  基材
１１Ｂ  弾性層
１１Ｃ  離型層
１２  電磁誘導装置
１３  対向部材
１３Ａ  支持体
１３Ｂ  パッド
１４  トナー像
１５  記録媒体
１００  定着装置
１０２  下地金属層
１０４  電磁誘導金属層
１０６  金属保護層
２００  画像形成装置
２０２  感光体
２０４  帯電装置
２０６  露光装置
２１０  現像装置
２１２  中間転写体
２１４  転写ロール
【図１】
2018084650.tif 000005
【図２】
2018084650.tif 000006
【図３】
2018084650.tif 000007
【図４】
2018084650.tif 000008