(57)【要約】      （修正有）【課題】金属または金属質の基材、およびその金属または金属質の基材の表面を処理した物品、およびその処理した物品を製造する方法、処理した物品を有する装置、および処理した物品を組み入れる方法の開示。【解決手段】表面処理はフッ素、ケイ素および炭素が含まれる。ある圧力範囲およびある温度範囲内で、ある時間の長さにわたって、１つ以上の工程の間に、フッ素・ケイ素・炭素含有ガスを導入することによって、外表面および／または内表面の上および／または中において、金属または金属質の基材の中に、フッ素-ケイ素-炭素含有ガスの成分（例えば、フッ素、ケイ素および炭素）が生じる。【選択図】図１
2018024934.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属または金属質の基材と、その金属または金属質の基材の表面処理を含み、その表面処理にはフッ素、ケイ素および炭素が含まれる、処理した物品。
【請求項２】
金属または金属質の基材はステンレス鋼の基材である、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項３】
金属または金属質の基材は鉄基合金である、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項４】
金属または金属質の基材はニッケル基合金である、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項５】
金属または金属質の基材は、重量で、
０．０８％以下の炭素、１８％と２０％の間のクロム、２％以下のマンガン、８％と１０．５％の間のニッケル、０．０４５％以下のリン、０．０３％以下の硫黄、１％以下のケイ素、および残部の鉄、
０．０８％以下の炭素、２％以下のマンガン、０．０４５％以下のリン、０．０３％以下の硫黄、０．７５％以下のケイ素、１６％と１８％の間のクロム、１０％と１４％の間のニッケル、２％と３％の間のモリブデン、０．１％以下の窒素、および残部の鉄、または、
０．０３％以下の炭素、２％以下のマンガン、０．０４５％以下のリン、０．０３％以下の硫黄、０．７５％以下のケイ素、１６％と１８％の間のクロム、１０％と１４％の間のニッケル、２％と３％の間のモリブデン、０．１％以下の窒素、および残部の鉄、
の組成を有する、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項６】
金属または金属質の基材は、重量で、
１４％と１７％の間のクロム、６％と１０％の間の鉄、０．５％と１．５％の間のマンガン、０．１％と１％の間の銅、０．１％と１％の間のケイ素、０．０１％と０．２％の間の炭素、０．００１％と０．２％の間の硫黄、および残部のニッケル、
２０％と２４％の間のクロム、１％と５％の間の鉄、８％と１０％の間のモリブデン、１０％と１５％の間のコバルト、０．１％と１％の間のマンガン、０．１％と１％の間の銅、０．８％と１．５％の間のアルミニウム、０．１％と１％の間のチタン、０．１％と１％の間のケイ素、０．０１％と０．２％の間の炭素、０．００１％と０．２％の間の硫黄、０．００１％と０．２％の間のリン、０．００１％と０．２％の間のホウ素、および残部のニッケル、
２０％と２３％の間のクロム、４％と６％の間の鉄、８％と１０％の間のモリブデン、３％と４．５％の間のニオブ、０．５％と１．５％の間のコバルト、０．１％と１％の間のマンガン、０．１％と１％の間のアルミニウム、０．１％と１％の間のチタン、０．１％と１％の間のケイ素、０．０１％と０．５％の間の炭素、０．００１％と０．０２％の間の硫黄、０．００１％と０．０２％の間のリン、および残部のニッケル、
２５％と３５％の間のクロム、８％と１０％の間の鉄、０．２％と０．５％の間のマンガン、０．００５％と０．０２％の間の銅、０．０１％と０．０３％の間のアルミニウム、０．３％と０．４％の間のケイ素、０．００５％と０．０３％の間の炭素、０．００１％と０．００５％の間の硫黄、および残部のニッケル、または、
１７％と２１％の間の、２．８％と３．３％の間の、４．７５％と５．５％の間のニオブ、０．５％と１．５％の間のコバルト、０．１％と０．５％の間のマンガン、０．２％と０．８％の間の銅、０．６５％と１．１５％の間のアルミニウム、０．２％と０．４％の間のチタン、０．３％と０．４％の間のケイ素、０．０１％と１％の間の炭素、０．００１％と０．０２％の間の硫黄、０．００１％と０．０２％の間のリン、０．００１％と０．０２％の間のホウ素、および残部のニッケル、
の組成を有する、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項７】
金属または金属質の基材は、重量で、
２％と３％の間のコバルト、１５％と１７％の間のクロム、５％と１７％の間のモリブデン、３％と５％の間のタングステン、４％と６％の間の鉄、０．５％と１％の間のケイ素、０．５％と１．５％の間のマンガン、０．００５％と０．０２％の間の炭素、０．３％と０．４％の間のバナジウム、および残部のニッケル、
０．１５％以下の炭素、３．５％と５．５％の間のタングステン、４．５％と７％の間の鉄、１５．５％と１７．５％の間のクロム、１６％と１８％の間のモリブデン、０．２％と０．４％の間のバナジウム、１％以下のマンガン、１％以下の硫黄、１％以下のケイ素、０．０４％以下のリン、０．０３％以下の硫黄、および残部のニッケル、
２．５％以下のコバルト、２２％以下のクロム、１３％以下のモリブデン、３％以下のタングステン、３％以下の鉄、０．０８％以下のケイ素、０．５％以下のマンガン、０．０１％以下の炭素、０．３５％以下のバナジウム、および残部のニッケル、または、
１％と２％の間のコバルト、２０％と２２％の間のクロム、８％と１０％の間のモリブデン、０．１％と１％の間のタングステン、１７％と２０％の間の鉄、０．１％と１％の間のケイ素、０．１％と１％の間のマンガン、０．０５％と０．２％の間の炭素、および残部のニッケル、
の組成を有する、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項８】
金属または金属質の基材は、重量で、
０．０１％と０．０５％の間のホウ素、０．０１％と０．１％の間のクロム、０．００３％と０．３５％の間の銅、０．００５％と０．０３％の間のガリウム、０．００６％と０．８％の間の鉄、０．００６％と０．３％の間のマグネシウム、０．０２％と１％の間のケイ素＋鉄、０．００６％と０．３５％の間のケイ素、０．００２％と０．２％の間のチタン、０．０１％と０．０３％の間のバナジウム＋チタン、０．００５％と０．０５％の間のバナジウム、０．００６％と０．１％の間の亜鉛、および残部のアルミニウム、
０．０５％と０．４％の間のクロム、０．０３％と０．９％の間の銅、０．０５％と１％の間の鉄、０．０５％と１．５％の間のマグネシウム、０．５％と１．８％の間のマンガン、０．５％と０．１％の間のニッケル、０．０３％と０．３５％の間のチタン、０．５％以下のバナジウム、０．０４％と１．３％の間の亜鉛、および残部のアルミニウム、
０．０００３％と０．０７％の間のベリリウム、０．０２％と２％の間のビスマス、０．０１％と０．２５％の間のクロム、０．０３％と５％の間の銅、０．０９％と５．４％の間の鉄、０．０１％と２％の間のマグネシウム、０．０３％と１．５％の間のマンガン、０．１５％と２．２％の間のニッケル、０．６％と２１．５％の間のケイ素、０．００５％と０．２％の間のチタン、０．０５％と１０．７％の間の亜鉛、および残部のアルミニウム、または、
０．１５％と１．５％の間のビスマス、０．００３％と０．０６％の間のホウ素、０．０３％と０．４％の間のクロム、０．０１％と１．２％の間の銅、０．１２％と０．５％の間のクロム＋マンガン、０．０４％と１％の間の鉄、０．００３％と２％の間の鉛、０．２％と３％の間のマグネシウム、０．０２％と１．４％の間のマンガン、０．０５％と０．２％の間のニッケル、０．５％と０．５％の間の酸素、０．２％と１．８％の間のケイ素、０．０５％以下のストロンチウム、０．０５％と２％の間のスズ、０．０１％と０．２５％の間のチタン、０．０５％と０．３％の間のバナジウム、０．０３％と２．４％の間の亜鉛、０．０５％と０．２％の間のジルコニウム、０．１５０％と０．２％の間のジルコニウム＋チタン、および残部のアルミニウム、
の組成を有する、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項９】
金属または金属質の基材は、重量で、０．４％と０．８％の間のケイ素、０．７％以下の鉄、０．１５％と０．４％の間の銅、０．１５％以下のマンガン、０．８％と１．２％の間のマグネシウム、０．０４％と０．３５％の間のクロム、０．２５％以下の亜鉛、０．１５％以下のチタン、任意の付随的不純物、および残部のアルミニウム、または、
１１％と１３％の間のケイ素、０．６％以下の不純物、および残部のアルミニウム、
の組成を有する、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項１０】
表面処理にはオルガノフルオロトリアルコキシシランに対応する成分が含まれる、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項１１】
表面処理にはオルガノフルオロシリルヒドリドに対応する成分が含まれる、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項１２】
表面処理にはオルガノフルオロシリルに対応する成分が含まれる、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項１３】
表面処理にはトリデカフルオロ１,１,２,２-テトラヒドロオクチルシランに対応する成分が含まれる、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項１４】
処理した物品は吸気装置と排気装置のうちの一方または両方の一部である、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項１５】
処理した物品は燃料噴射装置の一部である、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項１６】
処理した物品は燃焼装置の一部である、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項１７】
処理した物品は熱伝達装置の一部である、請求項１に記載の処理した物品。
【請求項１８】
請求項１に記載の処理した物品を製造する方法。
【請求項１９】
流路と、金属または金属質の基材を有する処理した物品と、金属または金属質の基材の表面処理を含む装置であって、表面処理にはフッ素、ケイ素および炭素が含まれていて、表面処理は装置の流路の中にある、前記装置。
【請求項２０】
流路を通して流体を流すことを含む方法であって、表面処理が流路の中にあり、またその表面処理は金属または金属質の基材を有する処理した物品の中にあり、その表面処理にはフッ素、ケイ素および炭素が含まれる、前記方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
優先権
[0001]本出願は米国仮特許出願６２/３１４４８８号（２０１６年３月２９日提出、名称「処理した物品、処理した物品を有する装置、および処理した物品を組み入れる方法」）についての優先権と利益を主張する非仮特許出願である。上記の米国仮特許出願の内容の全てが、参考文献として本明細書に取り込まれる。
【技術分野】
【０００２】
[0002]本発明は、処理した物品、およびその処理した物品を製造する方法、処理した物品を有する装置、および処理した物品を組み入れる方法を対象とする。特に本発明は、防汚性および／または耐コークス化性を与えるために金属の表面上または金属質の表面上にケイ素、炭素およびフッ素を付与する処理を対象とする。
【背景技術】
【０００３】
[0003]金属および金属質の基材のコークスと汚れの形成は、著しいシステム性能の低下、経済的な損失、および回復不能の物理的な損傷を生じさせる。汚れは、それらの基材の動作上の特徴に影響しうる表面上での物質の望ましくない蓄積から生じる。コークス化は、表面上での炭素質の付着物の望ましくない形成と蓄積である。表面のコークス化と汚れは熱伝達特性に影響を及ぼす場合があり、管（パイプ）において閉塞を起こし、管（パイプ）の中で流れの不安定さを生じさせ、振動の特性に影響を及ぼし、腐食を招き、そして／または、多くの他のタイプの問題を生じさせる。
【０００４】
[0004]ある程度のレベルの耐コークス化性を与えるための公知の技術がある。例えば、米国特許６３３７４５９号（これは参考文献として本明細書に取り込まれる）は、表面に多少の耐コークス化性を与えるための多層の手段を記載している。その手段は、金属の基材に溶接されている表面層を拠りどころとしている。表面層は、重量で、３６〜４９％のクロム、３５〜６３％のニッケル、および０．５〜５％のモリブデンを含む。この参考文献によれば、ケイ素と炭素は望ましくない不純物とみなされていて、炭素は重量で０．１％以下の濃度であり、またケイ素は重量で０．３％以下の濃度である。フッ素は表面層に存在しない。様々な温度に曝される環境において、金属の基材上での金属の表面層のそのような使用は、熱膨張率の差に基づいて望ましくないほどに限定される場合があり、その熱膨張率の差により、溶接された材料に伴う疲労、表層剥離、またはその他の問題を招くことがある。
【０００５】
[0005]炭素、ケイ素およびフッ素を含むコーティングまたは薄膜を有する増強した材料が知られている。そのようなコーティングまたは薄膜は改善をもたらしうるが、しかし付着力に限界があり、コーティングの加工処理条件（例えば、温度の要件）により適応性に限界がある場合があり、そして／または、望ましくない化学物質（例えば、自然性のガス、有毒な物質および／または有害物質）の使用を必要とする場合がある。
【０００６】
[0006]例えば、欧州特許０３５２０６１号に記載されているように、向上した特性を得るために、スパッタ法によって表面に炭素、ケイ素およびフッ素が付与されている。同様に、米国特許６５９２９９３号（これは、その内容の全てが参考文献として本明細書に取り込まれる）は、ガラス上に配置されるダイヤモンド状の炭素をフッ素化することを記載している。米国特許出願公開２０１６/００４９３０９号（これは参考文献として本明細書に取り込まれる）は、シリコンウェーハをプラズマ化学気相成長によってフッ素化することを記載している。米国特許６４４４２６８号（これは参考文献として本明細書に取り込まれる）は、ポリマー、シリカ、セラミックスおよびガラスをハロゲン化することを記載している。
【０００７】
[0007]これら上述の参考文献はそれぞれ、金属または金属質の表面を含まない分野を対象とし、従って、金属および金属質の基材についての防汚および／または耐コークス化の問題を解決しない。これら参考文献は別の欠点も有している。欧州特許０３５２０６１号におけるスパッタ法と米国特許出願公開２０１６/００４９３０９号におけるプラズマ化学気相成長法は、視線方向の（line-of-site）の技術に限定される。米国特許６４４４２６８号に記載されているハロゲン化ポリマーは、熱的な制限に基づいて適用可能性に限界がある。
【０００８】
[0008]金属または金属質の基材とともにフッ素を用いる技術がある。米国特許５１４１５６７号（これはその内容の全てが参考文献として本明細書に取り込まれる）は、窒化処理を行うプロセスにおいて鋼に中間物質としてフッ素を添加することを記載している。そのようなプロセスにおいて、フッ素は鋼の一部には残らず、後続の処理工程が用いられるまで存在するに過ぎない。従って、その窒化の処理は金属および金属質の基材についての防汚および／または耐コークス化の問題を解決しない。
【０００９】
[0009]上述の欠点の一つ以上を改良する、処理した物品、およびその処理した物品を製造する方法、処理した物品を有する装置、および処理した物品を組み入れる方法が当分野で望まれているだろう。
【発明の概要】
【００１０】
[0010]一つの態様において、処理した物品は、金属または金属質の基材、およびその金属または金属質の基材の表面処理を含み、その表面処理にはフッ素、ケイ素および炭素が含まれる。
【００１１】
[0011]別の態様において、装置は、流路、金属または金属質の基材を有する処理した物品、および金属または金属質の基材の表面処理を含み、その表面処理にはフッ素、ケイ素および炭素が含まれる。その表面処理は装置の流路の中にある。
【００１２】
[0012]別の態様において、方法は、流路を通して流体を流すことを含む。表面処理は流路の中にあり、またその表面処理は金属または金属質の基材を有する処理した物品の中にあり、その表面処理にはフッ素、ケイ素および炭素が含まれる。
【００１３】
[0013]本発明のその他の特徴と利点は、添付する図面とともに以下の詳細な説明によって明らかになるであろうが、その説明は本発明の原理を例として示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】[0014]図１は本開示の態様に従う処理した部品の拡大部分を伴う透視図である。
【図２】[0015]図２は本開示の態様に従う（例えば、自動車の）吸気と排気の装置の中の処理した部品を示す概略図である。
【図３】[0016]図３は本開示の態様に従う（例えば、自動車の）燃料噴射装置の中の処理した部品を示す概略図である。
【図４】[0017]図４は本開示の態様に従う（例えば、自動車の）排気ガス再循環装置の中の処理した部品を示す概略図である。
【図５】[0018]図５は本開示の態様に従う（例えば、自動車の）排気ガス再循環装置の中の処理した部品を示す概略図である。
【図６】[0019]図６は本開示の態様に従う燃焼装置（例えば、航空機のエンジン）を示す概略断面図である。
【図７】[0020]図７は本開示の態様に従う加熱、換気、空調および冷却装置（ＨＶＡＣ＆Ｒ装置）の中の処理した部品を示す概略透視図である。
【図８】[0021]図８は本開示の態様に従うハニカムの配置（例えば、熱伝達装置における配置）を有する処理した部品を示す透視図である。
【図９】[0022]図９は本開示の態様に従う積層板（例えば、熱伝達装置におけるもの）を有する処理した部品を示す透視図である。
【図１０】[0023]図１０は本開示の態様に従う１つ以上のフィン（例えば、熱伝達装置におけるもの）を有する処理した部品を示す透視図である。
【図１１】[0024]図１１は本開示の態様に従う１つ以上の管（例えば、熱伝達装置におけるもの）を有する処理した部品を示す透視切り欠き図である。
【００１５】
[0025]可能な場合は常に、同じ参照符号は図面の全体にわたって同じ部分を表わすために用いられるだろう。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
[0026]ここで提示するものは、処理した物品、およびその処理した物品を製造する方法、処理した物品を有する装置、および処理した物品を組み入れる方法である。本開示の態様は、例えば、ここで開示する１つ以上の特徴を含まない概念と比較して、耐コークス化性および／または防汚性（例えば、耐生物付着性）を向上させ、経済的な損失および／または回復不能の物理的な損傷を低減させ、疎油性と疎水性を付与し、視線方向を超える処理を可能にし、処理を行う前の複雑な形状の物の溶接および／または組み立てを可能にし、管（パイプ）内の詰まりを低下または解消し、管（パイプ）中の流れの安定を促進し、基材の振動特性を維持し、腐食を低減させ、疲労に耐えさせ、表層剥離に耐えさせ、熱膨張率の不適合に関連する問題を解消し、望ましくない化学物質（または例えば、自燃性の化学物質）の使用を回避させ、広い温度条件の下での使用を可能にし、金属または金属質の材料の直接的な修正または処理を可能にし、非視線方向の（三次元の）修正または処理を可能にし、金属または金属質の材料の内部にフッ素を保持させ、そして／または、これらの組み合わせを可能にする。
【００１７】
[0027]図１を参照すると、処理した物品１０１は、金属または金属質の基材１０３の外表面１０５および／または内表面１０７の上に（および／または中に）施すことが可能な表面処理を伴う金属または金属質の基材１０３を含む。その表面処理にはフッ素、ケイ素および炭素が含まれ、そして少なくとも１００℃（例えば、２００℃超、３００℃超、４００℃超、５００℃超、６００℃超、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲）の温度に耐えることができる。その表面処理は、赤外分光分析によって検出可能な炭素・フッ素結合とケイ素・酸素結合を伴う分子を付与する。
【００１８】
[0028]表面処理は、接触角の測定および／または熱酸化測定によって検出することができる。例えば、１つの態様において、熱酸化を行う前に、表面処理は１１５°と１７０°の間の範囲内の水の接触角を有し、例えば、１１５°と１４０°の間、１１８°と１３５°の間、１２０°と１２１°の間（例えば、３０４ステンレス鋼の上で）、１２５°と１２６°の間（例えば、３１６ステンレス鋼の上で）、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲）の水の接触角を有する。加えて、あるいはその代わりとして、１つの態様において、熱酸化を行う前に、表面処理は６５°と１１０°の間の範囲内のヘキサデカンの接触角を有し、例えば、６５°と９０°の間、７０°と８５°の間、７７°と７８°の間（例えば、３０４ステンレス鋼の上で）、７５°と７６°の間（例えば、３１６ステンレス鋼の上で）、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲）のヘキサデカンの接触角を有する。
【００１９】
[0029]表面処理は、熱酸化特性に基づいて、例えば、空気中で（または別の７０％〜７５％の酸素環境中で）３００℃において検出することができる。１つの態様において、そのような熱酸化の下で表面処理の接触角は少なくとも１時間の熱酸化の期間で増大するか、少なくとも２時間の熱酸化の期間、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲の期間で増大する。さらなる態様において、そのような熱酸化の下で接触角は少なくとも３時間、少なくとも４時間、あるいは７０時間までの期間にわたる範囲内でそのままになる。そのような範囲には、（これらに限定はされないが）７７°と８１°の間（例えば、３０４ステンレス鋼の上でのヘキサデカンの接触角）、７５°と８５°の間（例えば、３１６ステンレス鋼の上でのヘキサデカンの接触角）、１２０°と１３３°の間（例えば、３０４ステンレス鋼の上での水の接触角）、１２５°と１３５°の間（例えば、３１６ステンレス鋼の上での水の接触角）、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲が含まれる。
【００２０】
[0030]表面処理は、密閉されたチャンバおよび／または容器の中に、ある圧力範囲およびある温度範囲内で、ある時間の長さにわたって、１つ以上の工程の間に、フッ素・ケイ素・炭素含有ガスを導入することによって付与される。「密閉された」という用語を用いることは、静的な技術を包含していて、プラズマ化学気相成長のような一定の流れの技術とは区別されることを意図している。密閉されたチャンバおよび／または容器についての適当な寸法には、（これらに限定はされないが）５ｃｍよりも大きな最小幅、１０ｃｍよりも大きな最小幅、２０ｃｍよりも大きな最小幅、３０ｃｍよりも大きな最小幅、１００ｃｍよりも大きな最小幅、３００ｃｍよりも大きな最小幅、１０００ｃｍよりも大きな最小幅、１０ｃｍと１００ｃｍの間、１００ｃｍと３００ｃｍの間、１００ｃｍと１０００ｃｍの間、３００ｃｍと１０００ｃｍの間の最小幅、均一な加熱または実質的に均一な加熱が可能な任意の他の最小幅を有すること、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲が含まれる。幾つかの態様において、例えば、メートルのオーダーのような、もっとずっと大きな寸法が示される。
【００２１】
[0031]チャンバおよび／または容器についての適当な容積には、（これらに限定はされないが）１０００ｃｍ３よりも大きな容積、３０００ｃｍ３よりも大きな容積、５０００ｃｍ３よりも大きな容積、１００００ｃｍ３よりも大きな容積、２００００ｃｍ３よりも大きな容積、３０００ｃｍ３と５０００ｃｍ３の間、５０００ｃｍ３と１００００ｃｍ３の間、５０００ｃｍ３と２００００ｃｍ３の間、１００００ｃｍ３と２００００ｃｍ３の間の容積、均一な加熱または実質的に均一な加熱が可能な任意の他の容積、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲が含まれる。幾つかの態様において、例えば、立法メートルのオーダーのような、もっとずっと大きな寸法が示される。
【００２２】
[0032]ある圧力範囲およびある温度範囲内で、ある時間の長さにわたって、１つ以上の工程の間に、フッ素・ケイ素・炭素含有ガスを導入することによって、外表面１０５および／または内表面１０７の上および／または中において金属または金属質の基材１０３の中にフッ素-ケイ素-炭素含有ガスの成分（例えば、フッ素、ケイ素および炭素）が生じる。それらの成分を付与するための適当なフッ素・ケイ素・炭素含有ガスとしては、（これらに限定はされないが）オルガノフルオロトリアルコキシシラン、オルガノフルオロシリルヒドリド、オルガノフルオロシリル、および／またはトリデカフルオロ１,１,２,２-テトラヒドロオクチルシランが挙げられる。
【００２３】
[0033]１つの態様において、フッ素・ケイ素・炭素含有ガスを導入するための圧力の範囲は、０．０１ｐｓｉａと２００ｐｓｉａの間、１．０ｐｓｉａと１００ｐｓｉａの間、５ｐｓｉａと４０ｐｓｉａの間、２０ｐｓｉａと２５ｐｓｉａの間、２５ｐｓｉａ超、２０ｐｓｉａ超、２０ｐｓｉａ未満、１５ｐｓｉａ未満、１．０ｐｓｉａ、５ｐｓｉａ、２０ｐｓｉａ、２３ｐｓｉａ、２５ｐｓｉａ、４０ｐｓｉａ、１００ｐｓｉａ、２００ｐｓｉａ、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲である。
【００２４】
[0034]１つの態様において、フッ素・ケイ素・炭素含有ガスを導入するための温度の範囲は、１００℃と７００℃の間、１００℃と４５０℃の間、１００℃と３００℃の間、２００℃と５００℃の間、３００℃と６００℃の間、４５０℃と７００℃の間、７００℃、４５０℃、１００℃、２００℃と６００℃の間、３００℃と６００℃の間、４００℃と５００℃の間、３００℃、４００℃、５００℃、６００℃、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲である。
【００２５】
[0035]１つの態様において、フッ素・ケイ素・炭素含有ガスを導入するための時間の長さは、少なくとも１０分、少なくとも１時間、少なくとも２時間、少なくとも３時間、少なくとも４時間、少なくとも５時間、少なくとも７時間、少なくとも１０時間、１０分と２４時間の間、１時間と１０時間の間、１時間と５時間の間、１時間と４時間の間、２時間と１０時間の間、４時間と６時間の間、４時間と８時間の間、４時間と１０時間の間、６時間と８時間の間、１０時間未満、８時間未満、６時間未満、４時間未満、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲である。
【００２６】
[0036]フッ素・ケイ素・炭素含有ガスを導入する１つ以上の工程は、１つのサイクル、２つのサイクル、３つのサイクル、４つのサイクル、または４つよりも多くのサイクルを含み、これらのサイクルの前または後に、同時に行われるか、または連続して行われる加熱工程および／または酸化工程のような他の工程がある。例えば、１つの態様において、表面処理には、フッ素・ケイ素・炭素含有ガスの導入の前に行われる酸化工程が含まれる。酸化工程には、所定の酸化条件の下でコーティングの中に反応性の酸素種を付与することができる何らかの適当な化学種に曝すことが含まれる。
【００２７】
[0037]酸化工程は、水（単独で、ゼロ空気とともに、または不活性ガスとともに）、酸素（例えば、重量で少なくとも５０％の濃度で）、空気（例えば、単独、非単独、および／またはゼロ空気として）、亜酸化窒素、オゾン、過酸化物、またはこれらの組み合わせへの曝露によって達成することができる。本明細書において、「ゼロ空気」という用語は、０．１ｐｐｍ未満の全炭化水素を含む大気を指す。「空気」という用語は、概して言えば、重量として大部分が窒素の気体状の流体であって、その中で酸素が二番目に高い濃度の種であるものを指す。例えば、１つの態様において、酸化工程における窒素は重量で少なくとも７０％（例えば、７５％と７６％の間）の濃度で存在し、そして酸素は重量で少なくとも２０％（例えば、２３％と２４％の間）の濃度で存在する。
【００２８】
[0038]１つの態様において、酸化工程は酸化剤としての水とともに行われる（例えば、２５℃と６００℃の間の温度範囲内で、３００℃と６００℃の間の温度範囲内で、または４５０℃の温度において行われる）。１つの態様において、酸化工程は空気および水とともに行われる（例えば、１００℃と６００℃の間の温度範囲内で、３００℃と６００℃の間の温度範囲内で、または４５０℃の温度において行われる）。１つの態様において、酸化工程は空気だけを用いて行われる（例えば、１００℃と６００℃の間の温度範囲内で、３００℃と６００℃の間の温度範囲内で、または４５０℃の温度において行われる）。１つの態様において、酸化工程は亜酸化窒素（Ｎ２Ｏ）とともに行われる。特に、Ｎ２Ｏは、カルボシランで被覆したサンプルを伴った容器の中で実質的に純粋なＮ２Ｏの圧力で加熱下で（例えば、約４５０℃で）適用される。
【００２９】
[0039]フッ素・ケイ素・炭素含有ガスの導入の前または後に行われる他の適当な工程には、チャンバおよび／または容器をパージすること、クリーニング（洗浄）すること、および／または加熱することが含まれる。１つの態様において、パージでは、パージガスを選択的に供給することによってチャンバおよび／または容器からガスを排出するか、または実質的に排出する。適当なパージガスは窒素、ヘリウム、アルゴン、または何らかのその他の不活性ガスである。パージは、チャンバおよび／または容器を化学的に活性な環境にする、１回のパージサイクル、２回のパージサイクル、３回のパージサイクル、３回よりも多いパージサイクル、または任意の適当な回数のパージサイクルで行われる。
【００３０】
[0040]１つの態様において、クリーニングによって金属または金属質の基材１０３から望ましくない物質が除去される。クリーニングには、密閉されたチャンバおよび／または容器の比較的高い温度において揮発するかもしれない物質、あるいはフッ素、ケイ素および炭素を付与するための表面処理の能力を抑制するかもしれない物質を除去するための何らかの適当な技術が含まれる。
【００３１】
[0041]１つの態様において、加熱は、フッ素・ケイ素・炭素含有ガスの低温からフッ素・ケイ素・炭素含有ガスの高温までである。用いられるフッ素・ケイ素・炭素含有ガスの種類に応じて、適当な温度としては、（これらに限定はされないが）３０℃未満、６０℃未満、１００℃未満、１５０℃未満、２００℃未満、２５０℃未満、３００℃未満、３５０℃未満、４００℃未満、４４０℃未満、４５０℃未満、１００℃と３００℃の間、１２５℃と２７５℃の間、２００℃と３００℃の間、２３０℃と２７０℃の間、またはこれらの任意の適当な組み合わせ、副次的組み合わせ、範囲、または副次的範囲が挙げられる。
【００３２】
[0042]金属または金属質の基材１０３は、表面処理を受けることが可能な任意の適当な金属または合金である。適当な金属または金属質の基材１０３には、（これらに限定はされないが）鉄基合金、ニッケル基合金、ステンレス鋼（マルテンサイト系またはオーステナイト系）、アルミニウム合金、および／または複合金属が含まれる。処理を行う前に、金属または金属質の基材１０３にはフッ素が存在しないか、または実質的に存在しない。
【００３３】
[0043]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、０．０８％以下の炭素、１８％と２０％の間のクロム、２％以下のマンガン、８％と１０．５％の間のニッケル、０．０４５％以下のリン、０．０３％以下の硫黄、１％以下のケイ素、および残部の鉄（例えば、６６％と７４％の間の鉄）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００３４】
[0044]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、０．０８％以下の炭素、２％以下のマンガン、０．０４５％以下のリン、０．０３％以下の硫黄、０．７５％以下のケイ素、１６％と１８％の間のクロム、１０％と１４％の間のニッケル、２％と３％の間のモリブデン、０．１％以下の窒素、および残部の鉄の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００３５】
[0045]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、０．０３％以下の炭素、２％以下のマンガン、０．０４５％以下のリン、０．０３％以下の硫黄、０．７５％以下のケイ素、１６％と１８％の間のクロム、１０％と１４％の間のニッケル、２％と３％の間のモリブデン、０．１％以下の窒素、および残部の鉄の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００３６】
[0046]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、１４％と１７％の間のクロム、６％と１０％の間の鉄、０．５％と１．５％の間のマンガン、０．１％と１％の間の銅、０．１％と１％の間のケイ素、０．０１％と０．２％の間の炭素、０．００１％と０．２％の間の硫黄、および残部のニッケル（例えば、７２％）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００３７】
[0047]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、２０％と２４％の間のクロム、１％と５％の間の鉄、８％と１０％の間のモリブデン、１０％と１５％の間のコバルト、０．１％と１％の間のマンガン、０．１％と１％の間の銅、０．８％と１．５％の間のアルミニウム、０．１％と１％の間のチタン、０．１％と１％の間のケイ素、０．０１％と０．２％の間の炭素、０．００１％と０．２％の間の硫黄、０．００１％と０．２％の間のリン、０．００１％と０．２％の間のホウ素、および残部のニッケル（例えば、４４．２％と５６％の間）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００３８】
[0048]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、２０％と２３％の間のクロム、４％と６％の間の鉄、８％と１０％の間のモリブデン、３％と４．５％の間のニオブ、０．５％と１．５％の間のコバルト、０．１％と１％の間のマンガン、０．１％と１％の間のアルミニウム、０．１％と１％の間のチタン、０．１％と１％の間のケイ素、０．０１％と０．５％の間の炭素、０．００１％と０．０２％の間の硫黄、０．００１％と０．０２％の間のリン、および残部のニッケル（例えば、５８％）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００３９】
[0049]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、２５％と３５％の間のクロム、８％と１０％の間の鉄、０．２％と０．５％の間のマンガン、０．００５％と０．０２％の間の銅、０．０１％と０．０３％の間のアルミニウム、０．３％と０．４％の間のケイ素、０．００５％と０．０３％の間の炭素、０．００１％と０．００５％の間の硫黄、および残部のニッケル（例えば、５９．５％）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４０】
[0050]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、１７％と２１％の間の、２．８％と３．３％の間の、４．７５％と５．５％の間のニオブ、０．５％と１．５％の間のコバルト、０．１％と０．５％の間のマンガン、０．２％と０．８％の間の銅、０．６５％と１．１５％の間のアルミニウム、０．２％と０．４％の間のチタン、０．３％と０．４％の間のケイ素、０．０１％と１％の間の炭素、０．００１％と０．０２％の間の硫黄、０．００１％と０．０２％の間のリン、０．００１％と０．０２％の間のホウ素、および残部のニッケル（例えば、５０％と５５％の間）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４１】
[0051]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、２％と３％の間のコバルト、１５％と１７％の間のクロム、５％と１７％の間のモリブデン、３％と５％の間のタングステン、４％と６％の間の鉄、０．５％と１％の間のケイ素、０．５％と１．５％の間のマンガン、０．００５％と０．０２％の間の炭素、０．３％と０．４％の間のバナジウム、および残部のニッケルの組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４２】
[0052]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、０．１５％以下の炭素、３．５％と５．５％の間のタングステン、４．５％と７％の間の鉄、１５．５％と１７．５％の間のクロム、１６％と１８％の間のモリブデン、０．２％と０．４％の間のバナジウム、１％以下のマンガン、１％以下の硫黄、１％以下のケイ素、０．０４％以下のリン、０．０３％以下の硫黄、および残部のニッケルの組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４３】
[0053]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、２．５％以下のコバルト、２２％以下のクロム、１３％以下のモリブデン、３％以下のタングステン、３％以下の鉄、０．０８％以下のケイ素、０．５％以下のマンガン、０．０１％以下の炭素、０．３５％以下のバナジウム、および残部のニッケル（例えば、５６％）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４４】
[0054]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、１％と２％の間のコバルト、２０％と２２％の間のクロム、８％と１０％の間のモリブデン、０．１％と１％の間のタングステン、１７％と２０％の間の鉄、０．１％と１％の間のケイ素、０．１％と１％の間のマンガン、０．０５％と０．２％の間の炭素、および残部のニッケルの組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４５】
[0055]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、０．０１％と０．０５％の間のホウ素、０．０１％と０．１％の間のクロム、０．００３％と０．３５％の間の銅、０．００５％と０．０３％の間のガリウム、０．００６％と０．８％の間の鉄、０．００６％と０．３％の間のマグネシウム、０．０２％と１％の間のケイ素＋鉄、０．００６％と０．３５％の間のケイ素、０．００２％と０．２％の間のチタン、０．０１％と０．０３％の間のバナジウム＋チタン、０．００５％と０．０５％の間のバナジウム、０．００６％と０．１％の間の亜鉛、および残部のアルミニウム（例えば、９９％超）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４６】
[0056]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、０．０５％と０．４％の間のクロム、０．０３％と０．９％の間の銅、０．０５％と１％の間の鉄、０．０５％と１．５％の間のマグネシウム、０．５％と１．８％の間のマンガン、０．５％と０．１％の間のニッケル、０．０３％と０．３５％の間のチタン、０．５％以下のバナジウム、０．０４％と１．３％の間の亜鉛、および残部のアルミニウム（例えば、９４．３％と９９．８％の間）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４７】
[0057]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、０．０００３％と０．０７％の間のベリリウム、０．０２％と２％の間のビスマス、０．０１％と０．２５％の間のクロム、０．０３％と５％の間の銅、０．０９％と５．４％の間の鉄、０．０１％と２％の間のマグネシウム、０．０３％と１．５％の間のマンガン、０．１５％と２．２％の間のニッケル、０．６％と２１．５％の間のケイ素、０．００５％と０．２％の間のチタン、０．０５％と１０．７％の間の亜鉛、および残部のアルミニウム（例えば、７０．７％と９８．７％の間）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４８】
[0058]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、０．１５％と１．５％の間のビスマス、０．００３％と０．０６％の間のホウ素、０．０３％と０．４％の間のクロム、０．０１％と１．２％の間の銅、０．１２％と０．５％の間のクロム＋マンガン、０．０４％と１％の間の鉄、０．００３％と２％の間の鉛、０．２％と３％の間のマグネシウム、０．０２％と１．４％の間のマンガン、０．０５％と０．２％の間のニッケル、０．５％と０．５％の間の酸素、０．２％と１．８％の間のケイ素、０．０５％以下のストロンチウム、０．０５％と２％の間のスズ、０．０１％と０．２５％の間のチタン、０．０５％と０．３％の間のバナジウム、０．０３％と２．４％の間の亜鉛、０．０５％と０．２％の間のジルコニウム、０．１５０％と０．２％の間のジルコニウム＋チタン、および残部のアルミニウム（例えば、９１．７％と９９．６％の間）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００４９】
[0059]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、０．４％と０．８％の間のケイ素、０．７％以下の鉄、０．１５％と０．４％の間の銅、０．１５％以下のマンガン、０．８％と１．２％の間のマグネシウム、０．０４％と０．３５％の間のクロム、０．２５％以下の亜鉛、０．１５％以下のチタン、任意の付随的不純物（例えば、それぞれ０．０５％未満で、合計で０．１５％未満）、および残部のアルミニウム（例えば、９５％と９８．６％の間）の組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００５０】
[0060]１つの態様において、金属または金属質の基材１０３は、重量で、１１％と１３％の間のケイ素、０．６％以下の不純物または残留物（residuals）、および残部のアルミニウムの組成物であるか、またはこの組成物を含む。
【００５１】
[0061]表面処理（例えば、金属または金属質の基材１０３の外表面１０５および／または内表面１０７の上にある（および／または中にある）表面処理）を伴う金属または金属質の基材１０３を有する処理した物品１０１は、幾何学的形状および／または構造を有することができて、例えば、（これらに限定はされないが）管状であるか、平面状であるか、非平面状であるか、複雑な幾何学的形状であるか、角があるか、真っすぐであるか、曲がっているか、渦巻き状であるか、層状であるか、織り交ざっているか、積み重なっているか、硬直しているか、撓み易いか、穿孔されているか、切断されているか、エッチングされているか、焼結されているか、磨砕されているか、（機械的に、または電気化学的に）研磨されているか、鋳造されているか、鍛造されているか、型成形されているか、付加的に造られているか、焼き戻しされているか、非焼き戻し状態であるか、等軸晶組織を有するか、一方向凝固した組織または柱状晶組織を有するか、単結晶組織を有するか、単一の材料を有するか、（例えば、接合されるか、または溶接されて）複数の材料を有するか、またはこれらの適当な組み合わせである。
【００５２】
[0062]幾つかの態様において、処理した物品１０１は、以下のうちの一つ以上のものである：取付け部品（例えば、ユニオン継手、コネクター、アダプター、管材料の二つ以上の部品の間のその他の接続具、例えば、漏れの無い封止装置または実質的に漏れの無い封止装置を作ることができるもの）、圧縮フィッテング（フェルール（例えば、前後フェルール）を含めて）、管（例えば、コイル管、管の部分（例えば、試料採取装置を接続するために用いられるもの）、予め曲げた管、真っすぐな管、緩く巻いた管、緊密に結合した管、および／または可撓性の管）、弁（例えば、ガス採取用の弁、液体採取用の弁、移送用の弁、遮断弁、または逆止め弁、例えば、多位置構成を含めて真空または圧力を処理することができる破裂板、ステム、ポペット、ローター、取っ手のためのハンドルまたはステム、ボールステム形状物、ボール弁形状物、逆止め弁形状物、スプリング、多重物体、封止装置、ニードル弁形状物、パッキンワッシャー、および／またはステム）、クイックコネクト、試料シリンダー、調節器および／または流量調整器（例えば、Ｏリング、封止具および／またはダイヤフラムを含めて）、射出口（例えば、ガスクロマトグラフのための）、インラインフィルタ（例えば、スプリングを有するもの、焼結した金属フィルタ、網目スクリーン、および／または溶接物）、ガラスライナー、ガスクロマトグラフ部品、液体クロマトグラフィー部品、真空装置およびチャンバと関連する部品、分析装置と関連する部品、試料プローブ、制御プローブ、ダウンホール試料採取容器、穿孔および／または切削したブロック部品、マニホールド、またはこれらの組み合わせ。
【００５３】
[0063]加えて、あるいはその代わりとして、幾つかの態様において、処理した物品１０１は装置の一部である。例えば、図２を参照すると、１つの態様において、処理した物品１０１は内燃機関またはその一部のための吸気および／または排気の装置２０１であり、例えば、ガソリン（図２を参照）またはディーゼル燃料（図４、図５を参照）を使用するように構成されている。図４および図５を参照すると、１つの態様において、処理した物品１０１は、排気ガス再循環クーラーブロック４０１、排気ガス再循環クーラーブロックのハウジング４０３、排気ガス再循環クーラー弁４０５、ターボチャージャーのハウジング４０７、ターボチャージャーコンプレッサーのハウジング４０９、ターボチャージャープレートおよび部品４１１、排気弁４１３、微粒子捕集フィルター４１５、微粒子捕集フィルターのハウジング４１７、尿素水噴射装置および部品、またはこれらのその他の適当な部分である。
【００５４】
[0064]図３を参照すると、１つの態様において、処理した部品１０１は燃料噴射装置３０１、または燃料噴射装置３０１の一部であり、例えば、燃料噴射ノズル３０８（および、幾つかの態様において、燃料噴射チップおよび／または燃料噴射ニードル）、ピストン３１１、ピストンヘッド３１３、ピストンスリーブ３１５、燃料噴射弁および排気弁３１７、燃料噴射弁および排気弁の弁座３１９、および／またはその他の適当な構成要素である。
【００５５】
[0065]図６を参照すると、１つの態様において、処理した部品１０３は燃焼装置６０１（例えば、エンジンまたは乗り物、例えば、航空機または自動車、または発電用タービン）である。さらなる態様において、処理した部品１０３は、取入れ領域６０３（例えば、少なくとも部分的に空気の入り口６０５を画定しているもの）、圧縮領域６０７、燃焼領域６０９（例えば、少なくとも部分的に燃焼室６１１、燃料供給路６１３、またはその他の燃焼に関連する造作を画定しているもの）、タービン領域６１３（例えば、少なくとも部分的にブレードまたはバケット、翼、フィン、エンジェルウイング、シュラウド、ありつぎ（dovetails）、および／またはプラットホームのような構成要素を画定しているもの）、排気領域６１５、および／またはその他の適当な構成要素（例えば、弁、フラップ、プレート、チャンバ、管、および／または取付け部品）の中に配置されている。
【００５６】
[0066]図７を参照すると、１つの態様において、処理した部品１０３は、加熱、換気、空調および冷却装置（ＨＶＡＣ＆Ｒ装置７０１）またはＨＶＡＣ＆Ｒ装置７０１の一部であり、例えば、蒸気圧縮装置７１４、ボイラー７１６、換気ダクト７１８、供気ダクト７２０、エアハンドラー７２２、熱交換アセンブリまたは熱交換要素、またはＨＶＡＣ＆Ｒ装置７０１のその他の適当な構成要素である。
【００５７】
[0067]図８〜１１を参照すると、１つの態様において、処理した部品１０３は、熱伝達装置または熱伝達装置の一部であり、例えば、熱交換器、冷却器、またはチラーである。熱伝達装置の特定の態様としては、（これらに限定はされないが）ハニカムの配置８０１（図８を参照）、一つ以上の積層板９０１（図９を参照）、一つ以上のフィン１００１（図１０を参照）、管束１１０１（図１１を参照）が挙げられる。他の態様において、ハニカムの配置８０１、積層板９０１、フィン１００１、および／または管束１１０１は、別の装置（図示せず）の一部であり、あるいは熱伝達装置または別の装置（図示せず）の中の将来的なアセンブリ（集成体）のためのスタンドアローン型の（独立型の）構成要素である。
【００５８】
[0068]本発明について１つ以上の態様を参照して説明したが、本発明の範囲から逸脱することなく様々な変更を行うことができて、またその構成要素を置き換えて同等物にすることができる、ということを当業者であれば理解するだろう。加えて、特定の条件や材料に適合させるために、本発明の本質的な範囲から逸脱することなく、本発明が教示していることに対して多くの修正を行うことができる。従って、本発明は本発明を実施するために想定される最良の形態として開示された特定の態様に限定されず、本発明は添付する特許請求の範囲に入る全ての態様を含む、ということが意図されている。さらに、詳細な説明において特定された全ての数値については、正確な値と近似値の両方が明確に特定されているものとして解釈されるべきである。全ての組成物は、付随的な不純物（例えば、そのような組成物の性能に影響しないもの）を有する可能性があるものと理解されるべきである。
【符号の説明】
【００５９】
１０１  処理した物品、  １０３  基材、  １０５  基材の外表面、  １０７  基材の内表面、  ２０１  吸気および／または排気の装置、  ３０１  燃料噴射装置、  ３０８  燃料噴射ノズル、３１１  ピストン、  ３１３  ピストンヘッド、  ３１５  ピストンスリーブ、  ３１７  燃料噴射弁および排気弁、  ３１９  燃料噴射弁および排気弁の弁座、  ４０１  排気ガス再循環クーラーブロック、  ４０３  排気ガス再循環クーラーブロックのハウジング、  ４０５  排気ガス再循環クーラー弁、  ４０７  ターボチャージャーのハウジング、  ４０９  ターボチャージャーコンプレッサーのハウジング、  ４１１  ターボチャージャープレートおよび部品、  ４１３  排気弁、  ４１５  微粒子捕集フィルター、  ４１７  微粒子捕集フィルターのハウジング、  ６０１  燃焼装置、  ６０３  取入れ領域、  ６０５  空気の入り口、  ６０７  圧縮領域、  ６０９  燃焼領域、  ６１１  燃焼室、  ６１３  燃料供給路、  ６１３  タービン領域、  ６１５  排気領域、  ７０１  ＨＶＡＣ＆Ｒ装置、  ７１４  蒸気圧縮装置、  ７１６  ボイラー、  ７１８  換気ダクト、  ７２０  供気ダクト、  ７２２  エアハンドラー  ８０１  ハニカムの配置、  ９０１  積層板、  １００１  フィン、  １１０１  管束。
【図１】
2018024934.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2018024934.tif 000009
【図８】
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【図９】
2018024934.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【外国語明細書】
2018024934000001.pdf