(57)【要約】【課題】比較的大型で、かつ、動作速度が比較的速い水平多関節型の産業用ロボットの関節部がバネ定数のばらつきの比較的大きな減速機によって構成されていても、アームを伸縮させてハンドを動作させたときのハンドの振動を短時間で収束させることが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】水平多関節型の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるアーム４と、アーム４の基端側が回動可能に連結される本体部とを備えており、複数の関節部１１〜１３のそれぞれは、減速機２４〜２６によって構成されている。複数の関節部１１〜１３のそれぞれを構成する複数の減速機２４〜２６のバネ定数は、アーム４の基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっている。【選択図】図３
2018089764.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の関節部を備える水平多関節型の産業用ロボットであって、
搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、
複数の前記関節部のそれぞれは、減速機によって構成され、
複数の前記関節部のそれぞれを構成する複数の前記減速機のバネ定数は、前記アームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっていることを特徴とする産業用ロボット。
【請求項２】
前記アームは、基端側が前記本体部に回動可能に連結される第１アーム部と、前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに先端側に前記ハンドが回動可能に連結される第２アーム部とを備え、
前記本体部と前記第１アーム部との連結部は、前記関節部としての第１関節部となっており、前記第１アーム部と前記第２アーム部との連結部は、前記関節部としての第２関節部となっており、前記第２アーム部と前記ハンドとの連結部は、前記関節部としての第３関節部となっており、
前記第２関節部を構成する前記減速機のバネ定数は、前記第１関節部を構成する前記減速機のバネ定数よりも小さくなっており、前記第３関節部を構成する前記減速機のバネ定数は、前記第２関節部を構成する前記減速機のバネ定数よりも小さくなっていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
【請求項３】
前記アームを伸縮させるとともに前記アームに対して前記ハンドを回動させる１台のモータを備え、
前記モータは、複数の前記減速機に連結されるとともに前記本体部に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。
【請求項４】
複数の前記関節部のそれぞれを構成する複数の前記減速機の大きさは、前記アームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
【請求項５】
搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、複数の関節部のそれぞれが減速機によって構成される水平多関節型の産業用ロボットの製造方法であって、
複数の前記関節部のそれぞれを構成する複数の前記減速機のバネ定数が前記アームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなるように、前記減速機を選択する減速機選択工程を備えることを特徴とする産業用ロボットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の関節部を備える水平多関節型の産業用ロボットに関する。また、本発明は、かかる産業用ロボットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークを搬送する水平多関節型のロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のロボットは、ワークが載置されるハンドを備えている。また、このロボットは、基台と、基端が基台に回動可能に連結される第１アームと、第１アームの先端に基端が回動可能に連結される第２アームとを備えている。ハンドは、第２アームの先端に回動可能に連結されている。基台と第１アームとの連結部、第１アームと第２アームとの連結部、および、第２アームとハンドとの連結部は、関節部となっている。３個の関節部のそれぞれは、減速機によって構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２９１０８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、特許文献１に記載のロボット等の水平多関節型のロボットで搬送されるワーク（搬送対象物）は大型化しており、搬送対象物の大型化に伴ってロボットも大型化している。また、近年、特許文献１に記載のロボット等の水平多関節型のロボットが設置される所定の製造ラインでは、タクトタイム短縮の要求があり、ロボットの動作速度の高速化が求められている。本願発明者は、比較的大型で、かつ、動作速度が比較的速い水平多関節型のロボットを開発しており、このロボットのコストを低減するために、関節部を構成する減速機として比較的安価な減速機の採用を検討している。
【０００５】
しかしながら、本願発明者の検討によると、比較的大型で、かつ、動作速度が比較的速い水平多関節型のロボットの関節部を比較的安価な減速機によって構成した場合、ロボットによっては、アームを伸縮させてハンドを動作させたときにハンドの振動が収束しにくくなることが明らかになった。また、本願発明者の検討によると、比較的安価な減速機の場合、同じ型番の減速機でも減速機のバネ定数のばらつきが大きいために、ある関節部の共振周波数と他の関節部の共振周波数とのずれが大きくなって、複数の関節部の共振周波数のばらつきが大きくなる場合があること、また、複数の関節部の共振周波数のばらつきが大きくなるロボットにおいて、アームを伸縮させてハンドを動作させたときにハンドの振動が収束しにくくなることが明らかになった。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、比較的大型で、かつ、動作速度が比較的速い水平多関節型の産業用ロボットの関節部がバネ定数のばらつきの比較的大きな減速機によって構成されていても、アームを伸縮させてハンドを動作させたときのハンドの振動を短時間で収束させることが可能な産業用ロボットを提供することにある。また、本発明の課題は、比較的大型で、かつ、動作速度が比較的速い水平多関節型の産業用ロボットの関節部がバネ定数のばらつきの比較的大きな減速機によって構成されていても、アームを伸縮させてハンドを動作させたときのハンドの振動を短時間で収束させることが可能となる産業用ロボットの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、複数の関節部を備える水平多関節型の産業用ロボットであって、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、複数の関節部のそれぞれは、減速機によって構成され、複数の関節部のそれぞれを構成する複数の減速機のバネ定数は、アームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっていることを特徴とする。
【０００８】
本発明において、たとえば、アームは、基端側が本体部に回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに先端側にハンドが回動可能に連結される第２アーム部とを備え、本体部と第１アーム部との連結部は、関節部としての第１関節部となっており、第１アーム部と第２アーム部との連結部は、関節部としての第２関節部となっており、第２アーム部とハンドとの連結部は、関節部としての第３関節部となっており、第２関節部を構成する減速機のバネ定数は、第１関節部を構成する減速機のバネ定数よりも小さくなっており、第３関節部を構成する減速機のバネ定数は、第２関節部を構成する減速機のバネ定数よりも小さくなっている。
【０００９】
水平多関節型の産業用ロボットの場合、各関節部に作用する負荷イナーシャは、アームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなる。また、水平多関節型の産業用ロボットの各関節部が減速機によって構成されている場合、各関節部の共振周波数は、減速機のバネ定数を、関節部に作用する負荷イナーシャ（すなわち、減速機に作用する負荷イナーシャ）で割った値の平方根に比例する。本発明の産業用ロボットでは、複数の関節部のそれぞれを構成する複数の減速機のバネ定数は、アームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっている。すなわち、本発明では、バネ定数のばらつきの比較的大きな減速機によって各関節部が構成されていても、各関節部を構成する各減速機のバネ定数がアームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっている。
【００１０】
そのため、本発明では、バネ定数のばらつきの比較的大きな減速機によって各関節部が構成されていても、複数の関節部の共振周波数のばらつきを抑制することが可能になる。たとえば、第１関節部の共振周波数と第２関節部の共振周波数と第３関節部の共振周波数とのばらつきを抑制することが可能になる。したがって、本発明では、比較的大型で、かつ、動作速度が比較的速い水平多関節型の産業用ロボットの関節部がバネ定数のばらつきの比較的大きな減速機によって構成されていても、アームを伸縮させてハンドを動作させたときのハンドの振動を短時間で収束させることが可能になる。
【００１１】
本発明において、産業用ロボットは、アームを伸縮させるとともにアームに対してハンドを回動させる１台のモータを備え、モータは、複数の減速機に連結されるとともに本体部に配置されていることが好ましい。このように構成すると、モータがアームの内部に配置されている場合と比較して、アーム部分の重心を本体部に近づけることが可能になる。したがって、アームの伸縮動作を安定させることが可能になる。また、モータがアームの内部に配置されている場合と比較して、アームの剛性を低減させることが可能になるため、アームの構造を簡素化することが可能になる。また、このように構成すると、モータがアームの内部に配置されている場合と比較して、モータの配線の引き回しが容易になる。
【００１２】
本発明において、複数の関節部のそれぞれを構成する複数の減速機の大きさは、アームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっていることが好ましい。このように構成すると、アームの基端側から先端側に向かうにしたがって減速機の重量を次第に軽くすることが可能になる。したがって、アーム部分の重心を本体部に近づけることが可能になり、その結果、アームの伸縮動作を安定させることが可能になる。
【００１３】
また、上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットの製造方法は、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備え、複数の関節部のそれぞれが減速機によって構成される水平多関節型の産業用ロボットの製造方法であって、複数の関節部のそれぞれを構成する複数の減速機のバネ定数がアームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなるように、減速機を選択する減速機選択工程を備えることを特徴とする。
【００１４】
本発明の産業用ロボットの製造方法は、複数の関節部のそれぞれを構成する複数の減速機のバネ定数がアームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなるように、減速機を選択する減速機選択工程を備えている。そのため、本発明の製造方法で製造された産業用ロボットでは、複数の関節部のそれぞれを構成する複数の減速機のバネ定数がアームの基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなる。
【００１５】
したがって、本発明では、バネ定数のばらつきの比較的大きな減速機によって各関節部が構成されていても、複数の関節部の共振周波数のばらつきを抑制することが可能になる。その結果、本発明では、比較的大型で、かつ、動作速度が比較的速い水平多関節型の産業用ロボットの関節部がバネ定数のばらつきの比較的大きな減速機によって構成されていても、アームを伸縮させてハンドを動作させたときのハンドの振動を短時間で収束させることが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明では、比較的大型で、かつ、動作速度が比較的速い水平多関節型の産業用ロボットの関節部がバネ定数のばらつきの比較的大きな減速機によって構成されていても、アームを伸縮させてハンドを動作させたときのハンドの振動を短時間で収束させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの平面図である。
【図２】図１に示す産業用ロボットの側面図である。
【図３】図２に示すアームおよびアーム支持部材の先端部の内部構造を説明するための断面図である。
【図４】（Ａ）は、図３のＥ部の拡大図であり、（Ｂ）は、図３のＦ部の拡大図であり、（Ｃ）は、図３のＧ部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
【００１９】
（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の平面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３は、図２に示すアーム４およびアーム支持部材１５の先端部の内部構造を説明するための断面図である。
【００２０】
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である液晶ディスプレイ用のガラス基板２（以下、「基板２」とする。）を搬送するための水平多関節型のロボットである。このロボット１は、大型の基板２を搬送するための比較的大型のロボットである。また、本形態のロボット１の動作速度は、比較的速くなっている。
【００２１】
ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３のそれぞれが先端側に連結される２本のアーム４と、２本のアーム４を支持する本体部５と、本体部５を支持するベース部材６とを備えている。ハンド３は、アーム４の先端側に回動可能に連結されている。アーム４の基端側は、本体部５に回動可能に連結されている。本体部５は、ベース部材６に回動可能に連結されている。
【００２２】
アーム４は、第１アーム部８と第２アーム部９との２個のアーム部によって構成されており、本体部５に対して伸縮する。第１アーム部８の基端側は、本体部５に回動可能に連結されている。第２アーム部９の基端側は、第１アーム部８の先端側に回動可能に連結されている。第２アーム部９の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。第１アーム部８および第２アーム部９は、中空状に形成されている。
【００２３】
本体部５と第１アーム部８との連結部は、第１関節部としての関節部１１となっており、第１アーム部８と第２アーム部９との連結部は、第２関節部としての関節部１２となっており、第２アーム部９とハンド３との連結部は、第３関節部としての関節部１３となっている。すなわち、ロボット１は、３個の関節部１１〜１３を備えている。
【００２４】
本体部５は、２本のアーム４のそれぞれの基端側を支持する２個のアーム支持部材１５と、２個のアーム支持部材１５が固定されるとともに上下動可能な昇降部材１６と、昇降部材１６を上下方向に移動可能に支持する柱状部材１７と、柱状部材１７の下端が固定されるとともにベース部材６に回動可能に連結される旋回部材１８とを備えている。柱状部材１７は、旋回部材１８に固定される第１柱部１９と、昇降部材１６を昇降可能に支持する第２柱部２０との２個の柱部によって構成されている。第２柱部２０は、第１柱部１９に昇降可能に支持されている。なお、柱状部材１７は、１個の柱部によって構成されていても良い。
【００２５】
アーム４の基端側は、アーム支持部材１５の先端側に回動可能に連結されている。すなわち、第１アーム部８の基端側は、アーム支持部材１５の先端側に回動可能に連結されており、第１アーム部８とアーム支持部材１５との連結部が関節部１１となっている。アーム支持部材１５の基端側は、昇降部材１６に固定されている。アーム支持部材１５は、中空状に形成されている。
【００２６】
図２に示すように、２本のアーム４のうちの一方のアーム４では、アーム支持部材１５と第１アーム部８と第２アーム部９とハンド３とが下側からこの順番で配置され、他方のアーム４では、アーム支持部材１５と第１アーム部８と第２アーム部９とハンド３とが上側からこの順番で配置されている。また、本形態では、２個のハンド３、２本のアーム４および２個のアーム支持部材１５が上下方向で重なるように配置されている。すなわち、本形態のロボット１は、ダブルアーム型のロボットである。
【００２７】
ロボット１では、第１柱部１９に対して第２柱部２０が上下動し、第２柱部２０に対して昇降部材１６がハンド３およびアーム４等と一緒に上下動する。また、本体部５に対してアーム４が伸縮する。具体的には、ハンド３が一定方向を向いた状態で直線状に動くようにアーム４が伸縮する。さらに、ベース部材６に対して旋回部材１８が旋回する。これらの動作の組合せによって、ロボット１は、基板２を搬送する。
【００２８】
本形態のロボット１は、図３に示すように、アーム４を伸縮させるとともにアーム４に対してハンド３を回動させる１台のモータ２１と、モータ２１の動力を伝達するための動力伝達機構２２とを備えている。以下、関節部１１〜１３および動力伝達機構２２の構成について説明する。
【００２９】
なお、上述のように、第２柱部２０は、第１柱部１９に対して上下方向に移動可能となっており、ロボット１は、第２柱部２０を昇降させる昇降機構（図示省略）を備えている。また、昇降部材１６は、第２柱部２０に対して上下方向に移動可能となっており、ロボット１は、昇降部材１６を昇降させる昇降機構（図示省略）を備えている。さらに、旋回部材１８は、ベース部材６に対して回動可能となっており、ロボット１は、旋回部材１８を回動させる回動機構（図示省略）を備えている。
【００３０】
（関節部および動力伝達機構の構成）
図４（Ａ）は、図３のＥ部の拡大図であり、図４（Ｂ）は、図３のＦ部の拡大図であり、図４（Ｃ）は、図３のＧ部の拡大図である。
【００３１】
動力伝達機構２２は、関節部１１を構成する減速機２４と、関節部１２を構成する減速機２５と、関節部１３を構成する減速機２６とを備えている。すなわち、ロボット１の３個の関節部１１〜１３のそれぞれは、減速機２４〜２６によって構成されている。また、動力伝達機構２２は、モータ２１の出力軸に固定されるプーリ２７と、減速機２４の入力軸に固定される２個のプーリ２８、２９と、減速機２５の入力軸に固定される２個のプーリ３０、３１と、減速機２６の入力軸に固定されるプーリ３２と、プーリ２７とプーリ２８とに架け渡されるベルト３３と、プーリ２９とプーリ３０とに架け渡されるベルト３４と、プーリ３１とプーリ３２とに架け渡されるベルト３５とを備えている。
【００３２】
すなわち、減速機２４には、プーリ２７、２８およびベルト３３を介してモータ２１が連結され、減速機２５には、プーリ２７〜３０、ベルト３３、３４および減速機２４の入力軸を介してモータ２１が連結されている。また、減速機２６には、プーリ２７〜３２、ベルト３３〜３５、減速機２４の入力軸および減速機２５の入力軸を介してモータ２１が連結されている。
【００３３】
減速機２４〜２６は、中空減速機であり、減速機２４〜２６の中心部分をなす減速機２４〜２６の入力軸は、円筒状に形成される中空軸となっている。また、本形態の減速機２４〜２６は、サイクロ減速機である。減速機２４〜２６は、減速機２４〜２６の入力軸の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。なお、減速機２４〜２６は、サイクロ減速機以外の中空減速機であっても良い。
【００３４】
減速機２５の大きさは、減速機２４の大きさよりも小さくなっている。減速機２６の大きさは、減速機２５の大きさよりも小さくなっている。すなわち、３個の関節部１１〜１３のそれぞれを構成する３個の減速機２４〜２６の大きさは、アーム４の基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっている。また、減速機２５のバネ定数は、減速機２４のバネ定数よりも小さくなっている。減速機２６のバネ定数は、減速機２５のバネ定数よりも小さくなっている。すなわち、３個の関節部１１〜１３のそれぞれを構成する３個の減速機２４〜２６のバネ定数は、アーム４の基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっている。
【００３５】
なお、減速機２４は、本体部５と第１アーム部８との連結部である関節部１１を構成し、減速機２５は、第１アーム部８と第２アーム部９との連結部である関節部１２を構成し、減速機２６は、第２アーム部９とハンド３との連結部である関節部１３を構成しているため、減速機２５に作用する負荷イナーシャは、減速機２４に作用する負荷イナーシャよりも小さくなっており、減速機２６に作用する負荷イナーシャは、減速機２５に作用する負荷イナーシャよりも小さくなっている。
【００３６】
モータ２１は、アーム支持部材１５の先端部に取り付けられており、アーム支持部材１５の先端部に配置されている。すなわち、モータ２１は、本体部５に配置されている。モータ２１は、モータ２１の出力軸の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。プーリ２７、２８およびベルト３３は、中空状に形成されるアーム支持部材１５の先端側の内部に配置されている。
【００３７】
減速機２４の出力軸は、アーム支持部材１５の先端部に固定されている。入力軸および出力軸を回転可能に支持する減速機２４のケース体は、第１アーム部８の基端部に固定されている。プーリ２８は、減速機２４の入力軸の一端に固定され、プーリ２９は、減速機２４の入力軸の他端に固定されている。減速機２４の入力軸の内周側には、図示を省略する配線や配管を引き回すための円筒状の管状部材３８が配置されている（図４（Ｃ）参照）。
【００３８】
減速機２５の出力軸は、第２アーム部９の基端部に固定されている。入力軸および出力軸を回転可能に支持する減速機２５のケース体は、第１アーム部８の先端部に固定されている。プーリ３０は、減速機２５の入力軸の一端に固定され、プーリ３１は、減速機２５の入力軸の他端に固定されている。プーリ２９、３０およびベルト３４は、中空状に形成される第１アーム部８の内部に配置されている。減速機２５の入力軸の内周側には、図示を省略する配線や配管を引き回すための円筒状の管状部材３９が配置されている（図４（Ｂ）参照）。
【００３９】
減速機２６の出力軸は、第２アーム部９の先端部に固定されている。入力軸および出力軸を回転可能に支持する減速機２６のケース体は、ハンド３の基端部に固定されている。プーリ３１は、減速機２６の入力軸の一端に固定されている。プーリ３１、３２およびベルト３５は、中空状に形成される第２アーム部９の内部に配置されている。減速機２６の入力軸の内周側には、図示を省略する配線や配管を引き回すための円筒状の管状部材４０が配置されている（図４（Ａ）参照）。
【００４０】
本形態では、モータ２１が駆動すると、アーム４が伸縮する。また、本形態では、モータ２１の動力によって、ハンド３が一定方向を向いた状態で直線状に動くように、第１アーム部８の長さ、第２アーム部９の長さ、減速機２４〜２６の減速比、および、プーリ２７〜３２の径が設定されている。
【００４１】
（ロボットの製造工程）
減速機２４の大きさは、上述のように、減速機２５の大きさよりも大きくなっているため、一般には、減速機２４のバネ定数は減速機２５のバネ定数よりも大きくなっている。また、減速機２５の大きさは減速機２６の大きさよりも大きくなっているため、一般には、減速機２５のバネ定数は減速機２６のバネ定数よりも大きくなっている。一方で、本形態の減速機２４〜２６は、比較的安価なものであり、減速機２４〜２６のバネ定数のばらつきが比較的大きくなっている。
【００４２】
そのため、本形態では、複数のロボット１の製造用としてロボット１の製造ラインで準備される複数の減速機２４、複数の減速機２５および複数の減速機２６の中から、無作為に１台ずつ減速機２４〜２６を選択して、ロボット１を製造すると、製造されたロボット１において、減速機２５のバネ定数が減速機２４のバネ定数よりも大きくなったり、減速機２６のバネ定数が減速機２５のバネ定数よりも大きくなったりする場合が生じうる。
【００４３】
そこで、本形態のロボット１の製造工程には、減速機２５のバネ定数が減速機２４のバネ定数よりも小さくなり、かつ、減速機２６のバネ定数が減速機２５のバネ定数よりも小さくなるように（すなわち、３個の関節部１１〜１３のそれぞれを構成する３個の減速機２４〜２６のバネ定数が、アーム４の基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなるように）、複数の減速機２４、複数の減速機２５および複数の減速機２６の中から、減速機２４〜２６を１台ずつ選択する減速機選択工程が含まれている。
【００４４】
すなわち、減速機選択工程では、減速機２５のバネ定数が減速機２４のバネ定数よりも小さくなり、かつ、減速機２６のバネ定数が減速機２５のバネ定数よりも小さくなるように、複数の減速機２４、複数の減速機２５および複数の減速機２６の中から、減速機２４〜２６を１台ずつ選別して組み合わせている。ロボット１の製造工程では、減速機選択工程で選択された減速機２４〜２６が１台のロボット１に組み込まれる。
【００４５】
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ロボット１の製造工程に、減速機２５のバネ定数が減速機２４のバネ定数よりも小さくなり、かつ、減速機２６のバネ定数が減速機２５のバネ定数よりも小さくなるように、複数の減速機２４、複数の減速機２５および複数の減速機２６の中から、減速機２４〜２６を１台ずつ選択する減速機選択工程が含まれており、製造されたロボット１では、減速機２５のバネ定数は、減速機２４のバネ定数よりも小さくなり、減速機２６のバネ定数は、減速機２５のバネ定数よりも小さくなっている。
【００４６】
また、本形態では、減速機２５に作用する負荷イナーシャは、減速機２４に作用する負荷イナーシャよりも小さくなっており、減速機２６に作用する負荷イナーシャは、減速機２５に作用する負荷イナーシャよりも小さくなっている。また、関節部１１の共振周波数は、減速機２４のバネ定数を減速機２４に作用する負荷イナーシャで割った値の平方根に比例し、関節部１２の共振周波数は、減速機２５のバネ定数を減速機２５に作用する負荷イナーシャで割った値の平方根に比例し、関節部１３の共振周波数は、減速機２６のバネ定数を減速機２６に作用する負荷イナーシャで割った値の平方根に比例する。
【００４７】
そのため、本形態では、バネ定数のばらつきの比較的大きな減速機２４〜２６によって各関節部１１〜１３が構成されていても、関節部１１の共振周波数と関節部１２の共振周波数と関節部１３の共振周波数とのばらつきを抑制することが可能になる。その結果、本形態では、比較的大型で、かつ、動作速度が比較的速い水平多関節型のロボット１の関節部１１〜１３がバネ定数のばらつきの比較的大きな減速機２４〜２６によって構成されていても、アーム４を伸縮させてハンド３を動作させたときのハンド３の振動を短時間で収束させることが可能になる。
【００４８】
本形態では、アーム４を伸縮させるとともにアーム４に対してハンド３を回動させるモータ２１がアーム支持部材１５の先端部に配置されている。そのため、本形態では、モータ２１がアーム４の内部に配置されている場合と比較して、アーム４の重心をアーム支持部材１５に近づけることが可能になる。また、本形態では、減速機２５の大きさが減速機２４の大きさよりも小さくなっており、減速機２６の大きさが減速機２５の大きさよりも小さくなっている。そのため、本形態では、アーム４の基端側から先端側に向かうにしたがって減速機２４〜２６の重量を次第に軽くして、アーム４の重心をアーム支持部材１５に近づけることが可能になる。したがって、本形態では、アーム４の伸縮動作を安定させることが可能になる。
【００４９】
また、本形態では、モータ２１がアーム支持部材１５の先端部に配置されているため、モータ２１がアーム４の内部に配置されている場合と比較して、モータ２１の配線の引き回しが容易になる。また、モータ２１がアーム支持部材１５の先端部に配置されているため、モータ２１がアーム４の内部に配置されている場合と比較して、アーム４の剛性を低減させることが可能になり、その結果、アーム４の構造を簡素化することが可能になる。
【００５０】
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
【００５１】
上述した形態において、モータ２１は、アーム４の内部に配置されていても良い。また、上述した形態において、アーム４を伸縮させるモータと、アーム４に対してハンド３を回動させるモータとが個別に設けられていても良い。また、上述した形態において、減速機２４と減速機２５とは同じ大きさであっても良いし、減速機２５と減速機２６とは同じ大きさであっても良い。また、減速機２４と減速機２５と減速機２６とが同じ大きさであっても良い。
【００５２】
上述した形態において、アーム４は、３個以上のアーム部によって構成されていても良い。この場合には、４個以上の関節部のそれぞれが減速機によって構成されるとともに、４個以上の関節部のそれぞれを構成する４個以上の減速機のバネ定数は、アーム４の基端側から先端側に向かうにしたがって次第に小さくなっている。
【００５３】
上述した形態では、ロボット１は、２個のハンド３と２個のアーム４とを備えるいわゆるダブルアーム型のロボットであるが、ロボット１は、１個のハンド３と１個のアーム４とを備えるシングルアーム型のロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット１によって搬送される搬送対象物は基板２であるが、ロボット１によって搬送される搬送対象物は、基板２以外の半導体ウエハ等であっても良い。
【符号の説明】
【００５４】
１  ロボット（産業用ロボット）
２  基板（ガラス基板、搬送対象物）
３  ハンド
４  アーム
５  本体部
８  第１アーム部
９  第２アーム
１１  関節部（第１関節部）
１２  関節部（第２関節部）
１３  関節部（第３関節部）
２１  モータ
２４〜２６  減速機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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