(57)【要約】【課題】本発明は、インクジェットヘッドのインク吐出安定性を長期に渡って維持することができるインクジェットヘッド用ワイパーブレードを提供することを目的とする。【解決手段】インクジェットヘッドのインク吐出面を払拭するワイパーブレードであって、該ワイパーブレードが弾性ゴムからなり該弾性ゴムは、ｔａｎδのピーク温度が−１０℃以上１０℃以下であり、かつ、アセトンでの平衡膨潤率が１０％以下であるインクジェットヘッド用ワイパーブレード。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッドのインク吐出面を払拭するワイパーブレードであって、
該ワイパーブレードが弾性ゴムからなり
該弾性ゴムは、ｔａｎδのピーク温度が−１０℃以上１０℃以下であり、かつ、アセトンでの平衡膨潤率が１０％以下であるインクジェットヘッド用ワイパーブレード。
【請求項２】
前記アセトンでの平衡膨潤率が５％以下である請求項１に記載のインクジェットヘッド用ワイパーブレード。
【請求項３】
前記ワイパーブレードの静止摩擦係数が０．１５以下である請求項１または請求項２に記載のインクジェットヘッド用ワイパーブレード。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のワイパーブレードと該ワイパーブレードを支持するワイパーブレード支持部材とを含むワイピングユニット。
【請求項５】
インクジェットヘッドと該インクジェットヘッドのインク吐出面を払拭するワイパーブレードとを備えるインク吐出ユニットであって、前記ワイパーブレードは請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ワイパーブレードであるインク吐出ユニット。
【請求項６】
前記インクジェットヘッドはインク吐出面に撥インク膜が形成されており、
前記ワイパーブレードの静止摩擦係数は、前記撥インク膜の静止摩擦係数よりも小さい請求項５に記載のインク吐出ユニット。
【請求項７】
前記撥インク膜は、エーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造をＰＴＦＥ骨格にもつフッ素樹脂を含有する膜である請求項６に記載のインク吐出ユニット。
【請求項８】
前記インクジェットヘッドはノズル孔が形成されたノズル基材を含み、前記撥インク膜は前記ノズル基材の表面に形成されており、
前記撥インク膜はノズル孔の外周部分において、ノズル孔のエッジ側に向かって膜厚が薄くなる方向に傾斜している請求項７に記載のインク吐出ユニット。
【請求項９】
請求項５〜８のいずれか１項に記載のインク吐出ユニットを備えていることを特徴とするインクを吐出する装置。
【請求項１０】
吐出されるインクが、アクリル／メタクリルモノマーを含むインクであるか、またはソルベントインクである請求項９に記載のインクを吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はワイパーブレード、ワイピングユニット、インク吐出ユニット及びインクを吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のインクジェット記録装置では産業用途への展開が進み、ユーザーからは高画質化と生産性との両立がより強く求められてきている。それゆえインクがメディアに着弾したあとの浸透性や速乾性を高めるために、インクの表面エネルギーを小さくしたり、人体に無害な範囲で有機溶媒が添加される。
【０００３】
昨今の市場要求に応えるため、インクジェット記録装置による印刷物は、屋外での耐候性や耐擦傷性が向上するようなインク処方設計、すなわちＵＶインクやソルベントインクの需要が伸びている。しかしこれらインクに含まれる低分子量アクリレート／メタクリレートや有機溶剤は、インクジェットヘッドの撥インク膜の表面清掃部材であるワイパーブレードに大きな負荷を掛ける。
こういったインクを安定性高く吐出し続けるために、インクジェットヘッドの吐出面表面には撥インク膜が設けられ、その表面に付着したインクを除去するためのワイパーブレードを備える維持ユニットが併用される。
【０００４】
また、インクジェットヘッドおよびワイパーブレードの清掃方法は、インクジェット記録装置を使用する顧客によって様々で、固着したインクが、アセトンのようにゴムを大きく膨潤させる有機溶剤で拭き取られる場合がある。従来用いられるＥＰＤＭなどのゴムワイパーの場合、前記インク成分や清掃溶剤により容易に膨潤するため、撥インク膜やＳＵＳ製ノズルカバーとの摺擦により大きく摩耗したり、部分的にエッジが欠けるなど、インク払拭性能の低下を招く。つまりインクの拭き残しが発生し吐出安定性を低下させる。しかし膨潤しないからといって樹脂フィルムをワイパーとして用いると、樹脂フィルムは撥インク膜より硬すぎるため撥インク膜を早期に摩耗させてしまい、やはり吐出安定性を低下させる。
【０００５】
吐出状態を安定させる維持ユニットは、インク吐出面に設けられた撥インク膜への付着物を除去するワイパーブレードを備え、その除去機能を向上させたり、長寿命化を図るためにゴム硬度を適正範囲に設定する方法や（特許文献１）、撥インク膜と同一のフッ素含有加水分解性化合物の縮合体により表面を撥インク処理する方法が知られている（特許文献２）。
またフッ素系エラストマーをワイパーブレードとして用いることで、ＵＶインクやソルベントインクに対応する方法が知られている（特許文献３）。
【０００６】
吐出面に設ける撥インク膜としては例えばテフロン（登録商標）ＡＦなどのヘテロ環状構造中にエーテル結合を有するフッ素樹脂を使用すること、撥インク膜の成膜方法として、浸漬法、転写法、スプレー塗布法、スピンコート法、ワイヤーバー塗布法、熱蒸着法、メニスカス・コーティング法などによること、成膜後にガラス転移点以上の温度で加熱することが知られている（特許文献４〜８）。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記の実情に鑑みてなされたものであり、インクジェットヘッドのインク吐出安定性を長期に渡って維持することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するため、本発明に係るインクジェットヘッド用ワイパーブレードは下記（１）の構成を有する。
（１）インクジェットヘッドのインク吐出面を払拭するワイパーブレードであって、
該ワイパーブレードが弾性ゴムからなり
該弾性ゴムは、ｔａｎδのピーク温度が−１０℃以上１０℃以下であり、かつ、アセトンでの平衡膨潤率が１０％以下であるインクジェットヘッド用ワイパーブレード。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のインクジェットヘッド用ワイパーブレードを用いることにより、インクジェットヘッドのインク吐出安定性を長期に渡って維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】インクジェットヘッドとワイピングユニットとの配置関係を示す図である。
【図２】ノズル板と当接中のワイパーブレードの変形状態を示す模式図である。
【図３】長期使用後のワイパーブレードエッジの摩耗状態を説明する図である。
【図４】エッジ欠けが起こるメカニズムを説明する模式図である。
【図５】ワイパーブレードエッジの欠け状態説明図である。
【図６】低架橋密度材料の粘弾性測定結果の一例を示す図である。
【図７】高架橋密度材料の粘弾性測定結果の一例を示す図である。
【図８】本発明の実施形態に係るノズル板の平面説明図である。
【図９】１つのノズル部分の拡大断面説明図である。
【図１０】撥インク膜の膜厚の説明に供するノズル孔部分の平面説明図である。
【図１１】本発明の実施形態に係るノズル板の１つのノズル部分の拡大断面説明図である。
【図１２】ノズル板の製造方法の一例の説明に供する説明図である。
【図１３】真空蒸着によって撥インク膜を得るための装置を説明する図である。
【図１４】ベーク前の撥インク膜の状態を説明するである。（ａ）は撥インク膜の断面のＳＥＭ写真であり、（ｂ）は撥インク膜の表面のＳＥＭ写真である。
【図１５】ベーク後の撥インク膜の状態を説明する図である。（ａ）は撥インク膜の断面のＳＥＭ写真であり、（ｂ）は撥インク膜の表面のＳＥＭ写真である。
【図１６】ワイピング耐性評価装置の説明に供する説明図である。
【図１７】本発明に係るインクジェットヘッドの一例のノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。
【図１８】同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【図１９】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図２０】同装置の要部側面説明図である。
【図２１】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図２２】テトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソール（ＴＦＥ／ＰＤＤ）中のＴＦＥとＰＤＤとの比率とガラス転移温度との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明は下記（１）に記載のインクジェットヘッド用ワイパーブレードに係るものであるが、下記（２）〜（１０）を発明の実施形態として含むのでこれらの実施形態についても合わせて説明する。
（１）インクジェットヘッドのインク吐出面を払拭するワイパーブレードであって、
該ワイパーブレードが弾性ゴムからなり
該弾性ゴムは、ｔａｎδのピーク温度が−１０℃以上１０℃以下であり、かつ、アセトンでの平衡膨潤率が１０％以下であるインクジェットヘッド用ワイパーブレード。
（２）前記アセトンでの平衡膨潤率が５％以下である上記（１）に記載のインクジェットヘッド用ワイパーブレード。
（３）前記ワイパーブレードの静止摩擦係数が０．１５以下である上記（１）または（２）に記載のインクジェットヘッド用ワイパーブレード。
（４）上記（１）乃至（３）のいずれか１項に記載のワイパーブレードと該ワイパーブレードを支持するワイパーブレード支持部材とを含むワイピングユニット。
（５）インクジェットヘッドと該インクジェットヘッドのインク吐出面を払拭するワイパーブレードとを備えるインク吐出ユニットであって、前記ワイパーブレードは上記（１）乃至（３）のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド用ワイパーブレードであるインク吐出ユニット。
（６）前記インクジェットヘッドはインク吐出面に撥インク膜が形成されており、
前記ワイパーブレードの静止摩擦係数は、前記撥インク膜の静止摩擦係数よりも小さい上記（５）に記載のインク吐出ユニット。
（７）前記撥インク膜は、エーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造をＰＴＦＥ骨格にもつフッ素樹脂を含有する膜である上記（６）に記載のインク吐出ユニット。
（８）前記インクジェットヘッドはノズル孔が形成されたノズル基材を含み、前記撥インク膜は前記ノズル基材の表面に形成されており、
前記撥インク膜はノズル孔の外周部分において、ノズル孔のエッジ側に向かって膜厚が薄くなる方向に傾斜している上記（７）に記載のインク吐出ユニット。
（９）上記（５）乃至（８）のいずれか１項に記載のインク吐出ユニットを備えていることを特徴とするインクを吐出する装置。
（１０）吐出されるインクが、アクリル／メタクリルモノマーを含むインクであるか、またはソルベントインクである上記（９）に記載のインクを吐出する装置。
【００１２】
上記実施形態では、単層構造の弾性ゴムをワイパーブレードとする点は従来技術と同じであるが、粘弾性測定におけるｔａｎδのピーク温度が−１０℃から１０℃の範囲にあり、かつ、アセトンの平衡膨潤率が１０％以下のゴムを選択することで、ＵＶインクやソルベントインクなど、ゴムを大きく膨潤させる成分を多量に含むインクを撥インク膜表面より除去するワイパーブレードとして好適なものとなる。また、アセトンの平衡膨潤率は５％以下であることが好ましい。
【００１３】
弾性ゴムのｔａｎδのピーク温度より低い温度ではそのゴムはガラス状態となり、ピーク温度より高い温度ではゴム状態となる。弾性ゴムの架橋密度が上がると、ピーク温度が高い方向へシフトする。
ワイパーブレードの使用環境温度（例えば、インク吐出装置内の機内温度）は１０〜３５℃であり、ピーク温度が１０℃以下であれば、使用環境温度ではゴムはゴム状態で使えるので、撥インク膜表面の凹凸に対して追従性が得られる。
通常のゴムのｔａｎδのピーク温度は−３０℃であり、架橋が進み、膨潤が起きない条件として下限値を−１０℃と規定し、使用環境温度でゴム弾性を得るために上限値を１０℃とした。
【００１４】
またインクジェット印刷物への市場要求のもう一つに速乾性があり、メディア浸透性を高めるためにインクの表面張力が小さくなってきている。動的表面張力が２５ｍＮ／ｍ以下になってくると、一般的なシリコーン撥インク膜などでは容易に弾くことができなくなり、インクジェットヘッドの吐出安定性が得られない。この課題に対しては、テフロン（登録商標）ＡＦなどのエーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造をＰＴＦＥ骨格にもつフッ素樹脂を含有する膜を使用することで、動的表面張力が２０ｍＮ／ｍ以下のインクでも撥インク性を得ることができる。
【００１５】
したがって、前記のｔａｎδのピーク温度が−１０℃以上１０℃以下の範囲にあり、かつ、アセトンの平衡膨潤率が１０％以下のゴムからなるワイパーブレードと前記のテフロン（登録商標）ＡＦなどのエーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造をＰＴＦＥ骨格にもつフッ素樹脂を含有する撥インク膜とを組合せてインク吐出装置とすることで、一般的な水性染料インクや水性顔料インク、ソルベントインク、ＵＶインクと、幅広いインク適合性を持ったシステムとすることができる。
【００１６】
次にワイパーブレードについて図１〜７を用いて詳細に説明する。
図１にインクジェットヘッド４０４とワイピングユニット５０とを示す。インクジェットヘッド４０４は、ノズル板１０とノズル板１０の表面に形成された撥インク膜４０とを備えている。また、ワイピングユニット５０はワイパーブレード１とワイパーブレード１を支持するワイパーブレード支持部材２とから構成されている。
図１は、ワイパーブレード１が撥インク膜を備えるノズル板１０の表面からインクの除去を適正に行えるように配置された状態を表わしている。
【００１７】
ワイパーブレード１の材料としては一般に弾性ゴムが用いられることが多く、その弾性によって図２に示すように大きく変形しながらノズル板１０の表面を移動しインクを除去する。また弾性ゴムが好適なもう一つの理由として、ノズル板１０の表面に微細な凹凸が存在するため、摺擦時、その凹凸に追随して変形する必要があるためである。
しかし変形しやすいゴムは一般に架橋密度が低いためそもそも耐摩耗性が低いうえに、有機溶媒等で容易に大きく膨潤するため、ソルベントインクやＵＶインク用のワイパーブレードとして用いるとさらに耐摩耗性が低い状態が継続し、ワイパーブレードエッジは図３、図５に示すように早期に大きく摩耗する。なお、図５は図３においてワイパーブレードを図に示した矢印の方向から見た図である。ワイパーブレードが撥インク膜に接触する接触圧が不均一になり、またワイパーブレードが接触しない箇所では撥インク膜表面にインクのスジが発生するなど、インク除去機能が著しく低下して、インク吐出曲がりを引き起こす。
【００１８】
これを解決するにはゴムの架橋密度を上げれば良いのであるが、一般にゴムの架橋密度を上げるとｔａｎδピーク温度も上昇する。しかしながら、ワイパーの使用温度領域、すなわち１０℃から３５℃の環境においてゴム弾性を失うほどに架橋密度を上げてしまうと、前記のようにノズル板表面の微細凹凸に追随できず撥インク膜表面のインクを除去しきれなくなるほか、局所的な高架橋密度部が撥インク膜より硬くなり撥インク膜を尖った針で引っ掻くように損耗させてしまうことがある。
【００１９】
また架橋密度を大きく上げた弾性ゴムがソルベントインクやＵＶインクに長時間曝されると、低架橋密度部分（図４中の４）は膨潤して耐摩耗性が低下するものの、高架橋密度部分（図４中の５）は膨潤し難いため、両者の分子間結合がワイピングによって破壊されることで高架橋密度部分が大きく脱落する、いわゆる「エッジ欠け」が起こる。エッジ欠けが発生した部分はインク除去がまったく不可能となり、ノズル板表面にスジ状にインク固着するため、吐出曲がりを引き起こす。
【００２０】
したがって架橋密度をただ上げれば良いわけではなく、粘弾性測定におけるｔａｎδのピーク温度が１０℃以下であることも必要となる。しかし一般的なＥＰＤＭなどでｔａｎδピーク温度が１０℃となるまで架橋密度を上げても、ソルベントインク中の有機溶剤に対しては、充分な耐膨潤性が得られない。
【００２１】
そこでゴムとしては高い耐薬品性を有するフッ素ゴムなどを主材料とし、かつｔａｎδピーク温度が−１０℃以上１０℃以下の範囲となるように架橋密度を調整することで、前述したワイパーブレードの使用環境温度でゴム弾性を維持しながらも、ノズル板１０の表面の微細凹凸に追随して変形するワイパーブレードとなる。
【００２２】
フッ素ゴムとしてデュポン社のバイトンやカルレッツ、ダイキン社のダイエルなどを主材料とし、より耐薬品性を高めるためにパーオキサイド加硫によって架橋させることが好ましい。パーオキサイドの添加量を調整することでガラス転移温度を−１０℃以上１０℃以下の範囲とすることが可能である。
【００２３】
ここで、ガラス転移温度の測定についてはＪＩＳ  Ｋ６３９４に従い、ＳＩＩナノテクノロジーズ社製ＤＭＳ７１００を用いて、引張モードにて動的粘弾性測定を行うことで、貯蔵弾性率と損失弾性率の比であるｔａｎδのピーク温度として求めることができる。図６と図７は粘弾性測定結果の一例を示す図である。測定サンプルはワイパーブレードの弾性部材を４０×１０×２ｍｍの短冊状に切り出すか、またはプレス成型後のシートを裁断して得る。測定周波数は１Ｈｚ、昇温レートは３℃／分とし、−３０℃から５０℃までの測定を実施した。ｔａｎδは下記式で示すように、貯蔵弾性率と損失弾性率との比である正接損失である。
ｔａｎδ＝損失弾性率Ｅ”／貯蔵弾性率Ｅ’
【００２４】
つぎにアセトンでの平衡膨潤率はＪＩＳ Ｋ６２５８に則り、１０×５×２ｍｍに切り出したゴム片をアセトンに７２時間完全浸漬させ、前後の質量変化により算出した。
平衡膨潤率＝（ｗ２−ｗ１）／ｗ１×１００［％］
ｗ１：初期ゴム片質量［ｇ］
ｗ２：７２時間浸漬後のゴム片質量［ｇ］
【００２５】
なお有機溶剤の中からアセトンを選んだ理由としては、ゴムを容易に膨潤させるため架橋密度の違いを相対比較するのに適していること、またソルベントインクやＵＶインクを吐出するインクジェット記録装置が使用される現場においてインクジェットヘッドのノズル板表面やワイパーブレードエッジをアセトンを染み込ませた不織布等で拭くことがユーザーの通常作業として行われていることによる。したがって最も負荷の大きい条件として、アセトンを用いて評価することが好適である。
【００２６】
ワイパーブレードの静止摩擦係数は、前記インクジェットヘッドのインク吐出面に形成された撥インク膜の静止摩擦係数よりも小さいことが好ましい。これにより、撥インク膜とワイパーブレードとの摺動ストレスが低減されることで、双方の摩耗が抑制され、ノズル孔のメニスカス位置が長期に渡って変化しないことで吐出安定性が維持される。また、ワイパーブレードの静止摩擦係数は０．１５以下であることが好ましい。
弾性ゴムは一般的に架橋密度が高いほどスティックスリップ運動が小さくなり、タック性が失われることで、表面の摩擦係数が小さくなる。
従って、架橋密度が高い弾性ゴムをワイパーブレードとして用いることにより、ノズル板の表面と摺擦する際の摩擦力が低減され、ワイパーブレード及びノズル板の双方の摩耗進行を抑制する効果が得られる。
【００２７】
次にノズル板１０の撥インク膜について図８と図９を用いて説明する。
ノズル板１０は、液体を吐出するノズル１１となる孔（以下、「ノズル孔」という。）２１が形成されたノズル基材２０と、ノズル基材２０の表面に形成された中間層３０と、液体吐出面側表面に形成された撥インク膜４０とを有している。
【００２８】
ノズル基材２０は、例えば金属製平板状部材である。ノズル基材２０としてはステンレス鋼の平板状部材を使用しているが、これに限るものではない。ノズル基材２０のノズル孔２１は、本実施形態では、液体吐出面側の円筒状部分２１ａと、液体吐出面側と反対側の円錐台形状部分２１ｂとで構成されている。
【００２９】
中間層３０は、撥インク膜４０の下地となる層、例えばＳｉＯ２層、シランカップリング剤の層などの１又は複数の層で構成される。
【００３０】
撥インク膜４０は、エーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造をＰＴＦＥ骨格に有するフッ素樹脂を含有する膜（以下、「フッ素樹脂層」ともいう。）である。撥インク膜４０には、ノズル１１の外周部分において、ノズル１１のエッジ１１ａ側に向かって膜厚が薄くなる方向に傾斜している斜面４１ａが形成された斜面領域４１がある。なお、斜面領域４１の斜面４１ａは、断面形状で直線状に斜めになっていてもよく、あるいは、曲線状に斜めになっていてもよい。
【００３１】
なお、撥インク膜４０の斜面領域４１を除く斜面領域以外の領域４２は膜厚がほぼ一定で平坦である。このように、ノズル１１の外周部分において撥インク膜４０に斜面領域４１が設けられていることで、ワイパーブレードによってワイピングするとき、ワイパーブレードが撥インク膜４０のエッジに引っ掛かることによる撥インク膜４０の剥離を低減、防止できる。これにより、撥インク膜４０の耐久性を向上することができる。
【００３２】
また、中間層３０は、撥インク膜４０の下地となる層がアミノ基を有するシランカップリング剤層であることが好ましい。これにより、アミノ基と撥インク膜の材料が相互作用することで高い密着性が得られる。
【００３３】
次に、上記各実施形態における撥インク膜について説明する。
撥インク膜４０は、エーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造をＰＴＦＥ骨格に有するフッ素樹脂（以下、単に「フッ素樹脂」ともいう）を含有する膜である。フッ素樹脂は、常温以上のガラス転移点Ｔｇを有することが好ましい。
【００３４】
ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）骨格は、下記構造式（１）で表されるＴＦＥ（テトラフルオロエチレン）の構造単位を繰り返す主鎖である。
【化１】
2018034353.tif 000002
【００３５】
エーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造とは、化学構造式でヘテロ原子として酸素を１〜２個含む５〜８員環の有機化合物の構造である。
【００３６】
フッ素樹脂は、撥液（接触角）の面から、フッ素の含有率が５０質量％以上のものを用いることが好ましい。また、主鎖における環構造の割合は、目的とする被膜の強さや溶媒への溶解性、あるいは、ノズル基材との密着性等の面から、好ましくは２０質量％以上、より好ましくは３０質量％以上であることが好ましい。
【００３７】
フッ素樹脂のうち、特に非晶質フッ素樹脂を用いることが好ましい。非晶質フッ素樹脂は、膜強度、基材への密着性、膜の均一性等が優れているために本発明の効果をより一層発揮することができる。
【００３８】
エーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造を有する構造単位としては、例えば以下の構造式（２）〜（６）で示されるものがある。
【００３９】
【化２】
2018034353.tif 000003
【００４０】
【化３】
2018034353.tif 000004
【００４１】
【化４】
2018034353.tif 000005
【００４２】
【化５】
2018034353.tif 000006
【００４３】
【化６】
2018034353.tif 000007
【００４４】
ＰＴＦＥ骨格に上記構造式（５）で表される構造単位のエーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造を持つフッ素樹脂は、テフロン（登録商標）ＡＦという商品名でデュポン社より出されている。テフロン（登録商標）ＡＦは、テトラフルオロエチレン構造と、パーフルオロアルキル基を有するジオキソール構造を有するコポリマー［ＴＦＥ／ＰＤＤ：テトラフルオロエチレン−パーフルオロジオキソールコポリマー］であり、種々のインクに対する撥インク性の面で優れ好ましい。
【００４５】
上記テトラフルオロエチレン−パーフルオロジオキソールコポリマーは、非晶性フッ素樹脂であり、透明な樹脂である。テトラフルオロエチレン−パーフルオロジオキソールコポリマーとしては、適宜合成したものを使用してもよいし、市販品を使用してもよい。
【００４６】
テトラフルオロエチレン−パーフルオロジオキソールコポリマーは、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）成分に対して、パーフルオロイジオキソールコポリマー（ＰＤＤ）成分の比率が高くなるにつれて、図２２に示すようにガラス転移点が上昇する。市販されているのはガラス転移点が１６０℃のテフロン（登録商標）ＡＦ１６００、２４０℃のテフロン（登録商標）ＡＦ２４００のものである。
【００４７】
また、ＰＴＦＥ骨格に上記構造式（２）で表される構造単位のエーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造を持つフッ素樹脂は、ハイフロンという商品名でソルベイ社より出されている。
【００４８】
また、ＰＴＦＥ骨格に上記構造式（６）で表される構造単位のエーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造を持つフッ素樹脂は、サイトップＣＴＸ−１０５又はサイトップＣＴＸ−８０５という商品名で旭硝子株式会社より出されている。
【００４９】
撥インク膜４０（フッ素樹脂層）の平均厚みは、好ましくは１μｍ〜３μｍである。
【００５０】
ノズル基材２０の表面に存在する凹凸が撥インク膜４０を構成するフッ素樹脂層表面に影響することなく平滑な表面を得るためには、撥インク膜４０は１μｍ以上の膜厚とすることが好ましい。また、撥インク膜４０はノズル１１の形状やノズル径を維持する観点からは薄い方が好ましい。撥インク膜４０の平均厚みを１μｍ〜３μｍの範囲とすると、ワイピング耐久性の観点からも、ノズル１１の形状の観点からも好ましい。平均厚みは、例えば断面ＳＥＭにより測定することができる。
【００５１】
撥インク膜４０（フッ素樹脂層）の算術平均粗さＲａは、１．０ｎｍ以下であることが好ましい。平均粗さＲａが１．０ｎｍ以下であると、ノズル面は極めて平滑になり、ワイピングによる拭き残しが少なくなり、耐摩耗性も優れる。
【００５２】
算術平均粗さＲａは、次のように定義される。長さｌの区間において粗さ曲線からその平均線の方向に基準長さだけを抜き取り、抜き取られた部分の平均線の方向にＸ軸を、縦倍率の方向にＹ軸を取る。粗さ曲線をｙ＝ｆ(ｘ)で表したときに、次の式（１）によって求められる値をマイクロメートル（μｍ）で表したものをいう。
【００５３】
【数１】
2018034353.tif 000008
【００５４】
次に、本発明に係るワイパーブレードの製造方法の一例について説明する。
弾性ゴムの材料としてはフッ素ゴムを用いることが好ましい。
フッ素ゴムにパーオキサイドを添加し、１５０〜３００℃の温度でプレス成型を行うことで、ゴムの架橋が行われ、所定の厚さのゴムシートが成型される。
これをワイパーブレードの形状に裁断、もしくは打ち抜きを行うことで、ワイパーブレードを得る。
【００５５】
次に、本発明に係るノズル板の製造方法の一例について図１２を参照して説明する。
図１２（ａ）の基材準備工程では、ノズル基材２０となる金属製平板状部材に対して鏡面研磨工程、洗浄工程の前工程を行う。
なお、ノズル基材２０は、例えば、長さ３０ｍｍ、幅１５ｍｍ、厚み０．０５ｍｍの金属製平板状部材にプレス加工でノズル孔２１を開口したものである。
【００５６】
金属製平板状部材としては、鉄基合金の代表例としてのステンレス鋼を使用できる。「ステンレス鋼」とはＪＩＳ  Ｇ０２０３：２０００の番号４２０１に記載されるように、Ｃｒ含有量が１０.５％以上の鋼であり、種々の鋼種を使用できる。
【００５７】
オーステナイト系であれば、Ｃｒ：１０.５〜３５質量％、好ましくは、１１〜３０質量％、Ｎｉ：５〜３０質量％程度、フェライト系であれば、Ｃｒ：１０．５〜３５質量％程度、好ましくは１５〜３０質量％程度の鋼種を採用することができる。例えば、ＪＩＳＧ４３０５：２００５や、ＪＩＳ Ｇ４３１２−１９９１に規定される鋼種を例示することができる。あるいは、これらの規格鋼種などをベースとして他の合金元素を添加し、各種特性の改善を図ったステンレス鋼も使用できる。
【００５８】
ニッケル基合金としては、Ｃｒ：１２〜２７質量％、Ｆｅ：５〜１８質量％を含有する
高耐食性Ｎｉ−Ｃｒ−Ｆｅ合金を使用できる。この種の合金は「インコネル合金」として知られている。
【００５９】
そして、金属製平板状部材に、吐出面と反対側からパンチによる孔開け加工を行い、孔開け加工により生じるバリは、研磨または化学的なエッチングにより除去する。
【００６０】
次いで、図１２（ｂ）の中間層形成工程では、中間層３０として、ノズル基材２０の表面にスパッタ法などでＳＩＯ２膜３１を成膜し、液体吐出面側と反対側の面にテープ６０を貼り付けた後、ＳＩＯ２膜３１の表面にシランカップリング剤層３２を成膜して形成する。
【００６１】
ここで、シランカップリング剤としては、アミノシラン系のカップリング剤が好ましく、特に、３−アミノプロピルトリエトキシシランが好ましい。具体的には、ＫＢＥ−９０３（信越化学）、Ａ１１００（モメンティブパフォーマンスマテリアル）などが挙げられる。シランカップリング剤層３２の形成は、ディッピング法、スピンコート法、又はスプレー法などいずれの方法を用いても良い。
【００６２】
アミノシラン系のカップリング剤は、フッ素樹脂の分子中におけるヘテロ環のエーテル部とアミノ基の親和性が良いことから、アミノ基をもつシランカップリング剤をシリカ層の上に一層設けることでフッ素樹脂の定着性が大きく向上する。
【００６３】
その後、図１２（ｃ）に示す撥インク膜４０となる蒸着膜４４の成膜工程を行い、蒸着工法によって、ノズル基材２０上に、撥インク材料（ＡＦと表記）を蒸着した蒸着膜４４を成膜する。このとき、撥インク膜４０となる蒸着膜４４はノズル基材２０上であるシランカップリング剤層３２の表面（中間層３０の表面）に成膜される
前述したように、撥インク膜４０としてのフッ素樹脂層は、撥インク性を有するフッ素樹脂を含む。フッ素樹脂としては、エーテル結合を有する含フッ素ヘテロ環状構造をＰＴＦＥ骨格にもつフッ素樹脂を用いている。
【００６４】
このようなフッ素樹脂としては、前述したように、テトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマー（テフロン（登録商標）ＡＦ：デュポン社製）、サイトップＣＴＸ−１０５（商品名、旭硝子株式会社製）、又はサイトップＣＴＸ−８０５（商品名、旭硝子株式会社製）が特に好ましい。
【００６５】
上記フッ素樹脂は、１．５〜８．０×１０−３Ｐａの高真空下で、３５０〜４２０℃に加熱し、蒸着膜の厚さが蒸着源に対向したノズル基材２０上の厚みが１〜３μｍ程度になるまで真空蒸着する。真空蒸着は、例えば、図１３に示すように、真空槽５００内に、蒸着源５０１とノズル基材２０とを対向配置して行う。
【００６６】
その後、図１２（ｄ）に示すように、アニーリングによる平坦化工程を行う。
ノズル基材２０を特に加熱せず、成り行きの温度で蒸着することで得られた膜を、フッ素樹脂のガラス転移温度以上の温度でベーク（アニール）する加熱処理を行う。
【００６７】
ベークは、対流式乾燥炉、循環送風式乾燥炉、フラッシュアニール装置、ハロゲンランプヒータ、真空乾燥機など、いずれの方法でもよいが、窒素雰囲気下で実施するのが好ましい。
【００６８】
フッ素樹脂のガラス転移温度以上の温度でベーク（アニール）することにより、緻密で、表面が平滑で、ノズル１１へ近づくに従って膜厚が薄くなる斜面領域４１を有する撥インク膜（フッ素樹脂層）４０となる。
【００６９】
ベーク前の撥インク膜について、断面のＳＥＭ写真を図１４（ａ）に、表面のＳＥＭ写真を図１４（ｂ）にそれぞれ示す。
また、ベーク後の撥インク膜について、断面のＳＥＭ写真を図１５（ａ）に、表面のＳＥＭ写真を図１５（ｂ）にそれぞれ示す。
【００７０】
また、フッ素樹脂膜の表面は、ク前は、図１４（ａ）に示すように、膜内部には細孔６００が存在し、膜表面は純水に対する接触角が１２９°、Ｒａ＝８ｎｍであるのに対して、ベーク後は、図１５（ａ）に示すようにノズル１１のエッジ１１ａから４０ｎｍの範囲内でテーパ形状（斜面形状）となり、４０ｎｍの周囲より外側では平坦な面となった。
【００７１】
なお、ノズル基材２０にフッ素樹脂を蒸着する蒸着処理を行うときに、ガラス転移温度未満の温度でノズル基材２０を加熱しながら蒸着することによっても、上記蒸着後にベークを行った場合と同様の作用効果を得ることができる。
【００７２】
また、得られた膜は、接着剤を硬化させるのに一般的に必要な１５０℃以上の温度においても流動しないことから、蒸着後高温環境下に晒しても成膜領域以外の領域を撥液材料で汚すこともなく、その結果、吐出信頼性の高いノズル板を得ることができる。
【００７３】
ここで、撥インク膜４０の膜厚について図１０も参照して説明する。図１０は同説明に供するノズル孔部分の平面説明図である。
【００７４】
図１０に示すように、ノズル１１のエッジ１１ａからエッジ１１ａの法線上にノズル中心１１ｏとは反対方向に５μｍ離れた円周ＣＣ上における２０点で膜厚を測定し、次の（２）式で求める膜厚の母集団の相加平均を平均膜厚ｍとする。
【００７５】
【数１】
2018034353.tif 000009
【００７６】
そして、次の（３）式で得られる量を分散と定義し、この分散の正の平方根σを、母集団（膜厚）の標準偏差とする。
【００７７】
【数２】
2018034353.tif 000010
【００７８】
ここで、変動係数である「膜厚標準偏差σ／平均膜厚ｍ」が小さいほど、膜厚に対する膜厚ばらつきが小さく平坦であることを意味する。
円周ＣＣ上における平均膜厚ａは、円周ＣＣを等間隔にφ１０μｍのスポット径でエリプソメータにより測定した。
【００７９】
このσ／ｍを変えたときのワイピング後の表面の液体拭き残しの有無を評価したところ、σ／ｍ＝０．０３：無し、σ／ｍ＝０．０６：無し、σ／ｍ＝０．０９：無しであったが、σ／ｍ＝０．１２：有り、σ／ｍ＝０．１５：有りとなった。液体の拭き残しがない場合には、吐出される液体の噴射曲がりが発生しない。
したがって、σ／ｍ＜０．１、とすることで、噴射曲りを低減できる。
【００８０】
次にノズル板の他の実施形態を図１１に示したノズル部分の拡大断面図に基づいて説明する。
ノズル板１０は、ノズル基材２０のノズル孔２１の内壁面にも中間層３０を形成し、ノズル１１の内壁面にも撥インク膜４０を形成している。
【００８１】
ここで、ノズル１１の内壁面（ノズル基材２０のノズル孔２１の壁面に相当する。）の撥インク膜４０ｂの膜厚ｔ２は、撥インク膜４０ａの斜面領域以外の領域４２の膜厚ｔ１の１／１０以下（ｔ２／ｔ１＜０．１）とすることが好ましい。
【００８２】
ノズル１１の内壁面における撥インク膜４０ａの膜厚ｔ２は、膜厚が厚くなるとノズル径のバラつきが多くなるので、安定した吐出を実現させるためには薄いほうが好ましい。一方、液体吐出面側における撥インク膜４０ａの膜厚ｔ１は一般的に厚いほど耐久性が向上する。
これら相反する膜厚を有する撥インク膜４０は、例えば、気相法を用いて成膜することで得られる。
なお、膜厚の測定はイオンポリッシュによりノズル断面を出し、ＳＥＭ観察することで測定可能である。
【００８３】
このノズル１１の内壁面の撥インク膜４０ｂの膜厚ｔ２と撥インク膜４０ａの斜面領域以外の領域４２の膜厚ｔ１との関係について評価した。なお、ｔ２／ｔ１の比率が０．１を超えるものは、撥インク膜をディップ工法で成膜し、その後、ノズル内に送風することでノズル内に流入したディップ液を飛ばし開口させた状態で乾燥させることでサンプルを得た。
【００８４】
この結果、噴射曲がりの有無は、ｔ２／ｔ１＜０．０５：無し、ｔ２／ｔ１＜０．１０：無し、ｔ２／ｔ１≧０．３：有り、となった。このことから、ｔ２／ｔ１＜０．１０であれば噴射曲りを低減ないし防止できる。
【００８５】
次に、本発明に係るインクジェットヘッドの一例について図１７及び図１８を参照して説明する。図１７は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図であり、図１８は同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）の断面説明図である。
【００８６】
このインクジェットヘッドは、本発明に係るノズル板１０１と、流路板１０２と、壁面部材としての薄膜部材からなる振動板部材１０３とを積層接合している。そして、振動板部材１０３を変位させる圧電アクチュエータ１１１と、共通液室部材としてのフレーム部材１２０とを備えている。
【００８７】
ノズル板１０１、流路板１０２及び振動板部材１０３によって、液体を吐出する複数のノズル１０４が通じる個別液室１０６と、個別液室１０６に液体を供給する流体抵抗部１０７と、流体抵抗部１０７に通じる液導入部１０８とを構成している。
【００８８】
そして、フレーム部材１２０の共通流路としての共通液室１１０から振動板部材１０３に形成した供給口１０９を通じて、液導入部１０８、流体抵抗部１０７を経て個別液室１０６に液体が供給される。なお、供給口１０９にはフィルタが設けられても良い。
【００８９】
振動板部材１０３は、流路板１０２の個別液室１０６の壁面を形成する壁面部材である。この振動板部材１０３は３層構造とし、流路板１０２側の１層で個別液室１０６に対応する部分に変形可能な振動領域（振動板）１３０を形成している。
そして、この振動板部材１０３の個別液室１０６とは反対側に、振動板部材１０３の振動領域１３０を変形させるアクチュエータ手段、圧力発生手段としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１１を配置している。
【００９０】
この圧電アクチュエータ１１１は、ベース部材１１３上に接着剤接合した複数の積層型圧電部材１１２を有し、圧電部材１１２にはハーフカットダイシングによって溝加工して１つの圧電部材１１２に対して所要数の柱状の圧電素子（圧電柱）１１２Ａ、１１２Ｂを所定の間隔で櫛歯状に形成している。
【００９１】
圧電部材１１２の圧電素子１１２Ａ、１１２Ｂは、同じものであるが、駆動波形を与えて駆動させる圧電素子１１２Ａと、駆動波形を与えないで単なる支柱として使用する圧電素子１１２Ｂとしている。
そして、圧電素子１１２Ａを振動板部材１０３の振動領域１３０に形成した島状の厚肉部である凸部１３０ａに接合している。また、圧電素子１１２Ｂを振動板部材１０３の厚肉部である凸部１３０ｂに接合している。
この圧電部材１１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、圧電素子１１２Ａの外部電極に駆動信号を与えるためのフレキシブル配線部材としてのＦＰＣ１１５が接続されている。
【００９２】
フレーム部材１２０は、例えばエポキシ系樹脂或いは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成し、ヘッドタンクや液体カートリッジから液体が供給される共通液室１１０が形成されている。
【００９３】
このインクジェットヘッドにおいては、例えば圧電素子１１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって圧電素子１１２Ａが収縮し、振動板部材１０３の振動領域１３０が引かれて個別液室１０６の容積が膨張することで、個別液室１０６内に液体が流入する。
【００９４】
その後、圧電素子１１２Ａに印加する電圧を上げて圧電素子１１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材１０３の振動領域１３０をノズル１０４方向に変形させて個別液室１０６の容積を収縮させる。これにより、個別液室１０６内の液体が加圧され、ノズル１０４から液体が吐出（噴射）される。
【００９５】
そして、圧電素子１１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板部材１０３の振動領域１３０が初期位置に復元し、個別液室１０６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室１１０から個別液室１０６内に液体が充填される。そこで、ノズル１０４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００９６】
次に、本発明に係るインクを吐出する装置の一例について図１９及び図２０を参照して説明する。図１９は同装置の要部平面説明図、図２０は同装置の要部側面説明図である。
【００９７】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００９８】
このキャリッジ４０３には、インクジェットヘッド４０４を搭載している。インクジェットヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色のインクを吐出する。また、インクジェットヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００９９】
インクジェットヘッド４０４の外部に貯留されている液体をインクジェットヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されているインクが供給される。
【０１００】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０からインクが送液される。
【０１０１】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【０１０２】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着してインクジェットヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方にインクジェットヘッド４０４の維持回復を行う維持回復ユニット４２０が配置されている。
【０１０３】
維持回復ユニット４２０は、本発明に係るワイパーブレード４２２を有するワイピングユニット（図１参照）と、例えばインクジェットヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１などで構成されている。
【０１０４】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【０１０５】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じてインクジェットヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。
このように、この装置では、本発明に係るワイパーブレードを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【０１０６】
次に、本発明に係るインク吐出ユニットの例について図２１を参照して説明する。図２１はインク吐出ユニットの要部平面説明図である。
インク吐出ユニットは、少なくともインクジェットヘッドと本発明に係るワイパーブレード（ワイピングユニット）を含んで構成され、図２１で示す液体吐出ユニットでは、前記インクを吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、維持回復ユニット４２０と、インクジェットヘッド４０４とで構成されている。なお、図２１で示すインク吐出ユニットに、供給機構４９４を更に取付けることもできる。
【０１０７】
本願において、「インクを吐出する装置」は、インクジェットヘッド又はインク吐出ユニットを備え、インクジェットヘッドを駆動させて、インクを吐出させる装置である。たとえば、インクによって用紙などの記録材に画像形成を行うインクジェット記録装置が含まれる。
【０１０８】
この「インクを吐出する装置」は、インクが付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
また、「インクを吐出する装置」は、吐出されたインクによって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【０１０９】
上記「インクが付着可能なもの」とは、インクが少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、インクが付着するすべてのものが含まれる。
【０１１０】
また、「インクを吐出する装置」には、特に限定しない限り、インクジェットヘッドを移動させるシリアル型装置、インクジェットヘッドを移動させないライン型装置のいずれも含まれる。
【０１１１】
また、「インクジェットヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。
【０１１２】
また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【実施例】
【０１１３】
以下に実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明の技術的範囲は下記実施例に何ら限定されるものではない。
【０１１４】
[ワイパーブレード]
フッ素ゴムとしてバイトンＧＢＬ−２００を用い、ゴム１００部に対してパーオキサイドを５部添加し、プレス成型にて１８０℃で１時間、さらに２５０℃で５時間の二次加硫を行い、厚さ１ｍｍのゴムシートを得た。これを裁断し、ワイパーブレードを得た。
【０１１５】
[ノズル基材]
長さ３０ｍｍ、幅１５ｍｍ、厚み０．０５ｍｍのＳＵＳ３１６Ｌからなる金属製平板状部材に対し、液体吐出面と反対側からパンチによって孔開け加工を行った。孔開け加工に用いたパンチは、円筒状の先端部分を長さ１０μｍ、直径２０μｍとする。液体吐出面側に生じたバリは研磨により除去した。
【０１１６】
これにより、インク吐出面側の円筒状部分２１ａの直径が２０μｍ、インク吐出面と反対側の面の円錐台形状部分２１ｂの開口の直径が４０μｍ、円筒状部分２１ａの高さが１０μｍのノズル孔２１を３８４個形成したノズル基材２０を得た。
【０１１７】
[撥インク膜]
上記ノズル基材２０のインク吐出面側に、テトラフルオロエチレンパーフルオロジオキソールコポリマー（テフロン（登録商標）ＡＦ２４００：デュポン社製）を、１．５〜８．０×１０−３Ｐａの高真空下で、３５０〜４２０℃に加熱し、蒸着膜の厚さが蒸着源に対向した部分で１〜３μｍ程度になるまで真空蒸着した。
得られた蒸着膜は、フッ素樹脂のガラス転移温度以上の温度でベークすることにより、緻密で表面が平滑な撥インク膜となるフッ素樹脂膜を形成した。
【０１１８】
［ワイピング耐久性の評価］
図１６に示す評価装置を使用したワイピング耐久性を評価した。具体的には、インク６１０を収容した容器６０１内に、ノズル板１を固定治具６０２で固定し、ワイパー６１１を固定治具６１２に固定して、ノズル板１の撥インク膜４０表面に対するワイピング（払拭）動作を行った。
【０１１９】
インク６１０としては、株式会社ミマキエンジニアリング社製のインクジェット用インクであるＳＰＣ−０３７１（ＵＶインク）、およびＳＳ−２１（ソルベントインク）を使用した。
【０１２０】
＜インク付着／噴射曲り評価＞
実施例１〜１０、比較例１〜４のノズル板を備えるインクジェットヘッドを構成して、株式会社リコー製ＩＰＳｉＯ  Ｇ５１５に搭載して、ワイピング後のインク付着残り、および噴射曲りの評価を行った。評価は１万回のワイピング耐久試験を実施した後の状態（耐久試験後）のノズル板表面へのインク付着有無と、ノズルチェックパターンを印刷し印刷されたノズルチェックパターンを目視観察することにより噴射曲がりの有無により評価した。
【０１２１】
この評価結果を表１及び表２に示した。表１及び表２中、「△」は実使用上問題のない程度に収まっていることを、「×」は実使用に耐えない程度のインク付着と曲りが生じていることを意味する。「○」は「△」よりもインク付着と噴射曲りが少なく、更に、「◎」は「○」よりもインク付着と噴射曲りが少ないことを意味している。
【０１２２】
【表１】
2018034353.tif 000011
【０１２３】
【表２】
2018034353.tif 000012
【０１２４】
実施例１〜１０のいずれも、ワイピング耐久試験後、ノズル板上のインク付着およびノズルチェックパターンの曲がりが実使用上問題ない。
一方、比較例１〜４はいずれもワイピング耐久後に撥インク膜が大きく摩耗しており、またワイパーブレードのインク払拭機能が低下しているため、ノズル板上のインク付着が多く、ノズルチェックパターンが実使用に耐えないレベルで曲がっている。
比較例１は、ワイパーブレードが従来用いられるＥＰＤＭゴムであるためインクによって膨潤し大きく摩耗しインク払拭機能が早期に低下した。
比較例２は、電子写真分野のクリーニングブレードとして従来用いられるウレタンゴムブレードをワイパーブレードとして用いたが、実施例１と同じくインク成分によって膨潤したため大きく摩耗しインク払拭機能が早期に低下した。
比較例３は、ノズル孔近傍の撥インク膜が直角形状であるため、ワイピング耐久試験後に大きく摩耗しノズルチェックパターンが実使用に耐えないレベルで曲がっている。
比較例４は、従来用いられるＥＰＤＭの架橋度を増してｔａｎδピーク温度を１０℃を超える温度としたものをワイパーブレードとしたが、早期にブレード稜線が多数欠けインク払拭が全くできない箇所が生じた。
【符号の説明】
【０１２５】
１    ワイパーブレード
２    ワイパーブレード支持部材
３    ワイパーブレードエッジの摩耗部
４    弾性ゴムの低架橋密度部分
５    弾性ゴムの高架橋密度部分
６    ワイパーブレードエッジの欠け部
７    ｔａｎδピーク温度
１０  ノズル板
１１  ノズル
１１ａ  エッジ
１１ｏ  ノズル中心
２０  ノズル基材
２１  ノズル孔
２１ａ  ノズル孔の液体吐出面側の円筒状部分
２１ｂ  ノズル孔の液体吐出面側と反対側の円錐台形状部分
３０  中間層
３１  ＳＩＯ２膜
３２  シランカップリング剤層
４０  撥インク膜
４０ａ  液体吐出面側における撥インク膜
４０ｂ  ノズルの内壁面の撥インク膜
４１  撥インク膜の斜面領域
４１ａ  撥インク膜の斜面
４２  撥インク膜の斜面領域以外の領域
４４  蒸着膜
５０  ワイピングユニット
６０  テープ
１０１  ノズル板
１０２  流路板
１０３  振動板部材
１０４  ノズル
１０６  個別液室
１０７  流体抵抗部
１０８  液導入部
１０９  供給口
１１０  共通液室
１１１  圧電アクチュエータ
１１２  圧電部材
１１２Ａ、１１２Ｂ  圧電素子
１１３  ベース部材
１１５  ＦＰＣ
１２０  フレーム部材
１３０  振動領域
１３０ａ、１３０ｂ  凸部
４０１  ガイド部材
４０３  キャリッジ
４０４  インクジェットヘッド
４０５  主走査モータ
４０６  駆動プーリ
４０７  従動プーリ
４０８  タイミングベルト
４１０  用紙
４１２  搬送ベルト
４１３  搬送ローラ
４１４  テンションローラ
４１６  副走査モータ
４１７  タイミングベルト
４１８  タイミングプーリ
４２０  維持回復ユニット
４２１  キャップ部材
４２２  ワイパーブレード
４４０  液体吐出ユニット
４４１  ヘッドタンク
４５０  液体カートリッジ
４５１  カートリッジホルダ
４５２  送液ユニット
４５６  チューブ
４９１Ａ、４９１Ｂ  側板
４９１Ｃ  背板
４９３  主走査移動機構
４９４  供給機構
４９５  搬送機構
５００  真空槽
５０１  蒸着源
６００  細孔
６０１  容器
６０２  固定治具
６１０  インク
６１１  ワイパーブレード
６１２  固定治具
【先行技術文献】
【特許文献】
【０１２６】
【特許文献１】特開平０９−０７６５１７号公報
【特許文献２】特開２００６−１５９７３０号公報
【特許文献３】特許第５１３８４７５号公報
【特許文献４】特開平４−２１１９５９号公報
【特許文献５】特開２００８−１８８９１１号公報
【特許文献６】特開２０１０−５９９４号公報
【特許文献７】特開２０１０−２６０２８１号公報
【特許文献８】特開平７−６８７６５号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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