(57)【要約】【課題】部品の電気特性を精度よく測定することが可能な部品実装装置を提供する。【解決手段】この部品実装装置１００は、基板Ｐに部品３１を実装する実装ヘッド４２と、部品３１を供給する部品供給部３と、測定用電極９１１および９１２を含み、部品供給部３から供給される部品３１の電気特性を測定する電気特性測定部９と、実装ヘッド４２に絶縁性の測定用ノズル４１ａを装着させた状態で、絶縁性の測定用ノズル４１ａにより部品を吸着して搬送させ、部品３１を測定用電極９１１および９１２に当接させて電気特性を測定する制御を行う制御部８とを備える。制御部８は、電気特性を測定した部品３１を廃棄する制御を行うように構成されている。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に部品を実装する実装ヘッドと、
前記部品を供給する部品供給部と、
測定用電極を含み、前記部品供給部から供給される前記部品の電気特性を測定する電気特性測定部と、
前記実装ヘッドに絶縁性の測定用ノズルを装着させた状態で、絶縁性の前記測定用ノズルにより前記部品を吸着して搬送させ、前記部品を前記測定用電極に当接させて電気特性を測定する制御を行う制御部とを備え、
前記制御部は、電気特性を測定した前記部品を廃棄する制御を行うように構成されている、部品実装装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記部品の電気特性を測定した測定結果に基づいて、前記部品供給部から供給される前記部品が正しい種類か否かを判定するとともに、前記部品の電気特性の測定結果に関わらず、電気特性を測定した前記部品を廃棄する制御を行うように構成されている、請求項１に記載の部品実装装置。
【請求項３】
前記測定用ノズルは、前記部品と当接する部分の抵抗値が１０14Ω以上の絶縁性を有している、請求項１または２に記載の部品実装装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記部品の電気特性を測定する際に、前記測定用電極における前記部品の当接位置を順番に変更するように構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の部品実装装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記測定用電極の状態を確認し、確認結果に基づいて、前記測定用電極の交換を促す通知を行う制御、または、前記測定用電極を清掃する制御を行うように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の部品実装装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記測定用電極を清掃する場合に、前記実装ヘッドに清掃のための清掃用ノズルを装着して、前記清掃用ノズルにより、前記測定用電極を清掃する制御を行うように構成されている、請求項５に記載の部品実装装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記電気特性測定部による前記部品の電気特性を測定する回数が所定の回数に到達した場合に、撮像部により前記測定用電極を撮像して前記測定用電極の状態を確認する制御と、状態確認のための治具部品を前記測定用電極に当接させて電気特性を測定することにより前記測定用電極の状態を確認する制御と、のうち少なくとも一方を行うように構成されている、請求項５または６に記載の部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、部品実装装置に関し、特に、電気特性測定部を備える部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気特性測定部を備える部品実装装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、基板に部品を実装するヘッドと、部品を供給する部品供給部と、正極プローブおよび負極プローブを含み、部品供給部から供給される部品の電気特性を測定する電子部品検査装置（電気特性測定部）とを備える電子部品実装装置（部品実装装置）が開示されている。この特許文献１の電子部品実装装置では、ヘッドに装着された導電性の吸着ノズルにより部品を吸着させた状態で、部品を正極プローブおよび負極プローブに当接させて、部品の電気特性を測定するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１０３６３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の電子部品実装装置（部品実装装置）では、導電性の吸着ノズルにより部品を吸着させた状態で、部品を正極プローブおよび負極プローブに当接させて、部品の電気特性を測定するため、部品の電気特性測定時に吸着ノズルに測定用の電流が流れてしまう。このため、吸着ノズルの電気特性の影響を含んだ部品の電気特性が計測されるので、部品の電気特性を精度よく測定することが困難であるという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、部品の電気特性を精度よく測定することが可能な部品実装装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の一の局面による部品実装装置は、基板に部品を実装する実装ヘッドと、部品を供給する部品供給部と、測定用電極を含み、部品供給部から供給される部品の電気特性を測定する電気特性測定部と、実装ヘッドに絶縁性の測定用ノズルを装着させた状態で、絶縁性の測定用ノズルにより部品を吸着して搬送させ、部品を測定用電極に当接させて電気特性を測定する制御を行う制御部とを備え、制御部は、電気特性を測定した部品を廃棄する制御を行うように構成されている。
【０００８】
この発明の一の局面による部品実装装置では、上記のように、実装ヘッドに絶縁性の測定用ノズルを装着させた状態で、絶縁性の測定用ノズルにより部品を吸着して搬送させ、部品を測定用電極に当接させて電気特性を測定する制御を行う制御部を設ける。これにより、部品の電気特性測定時に測定用ノズルに電流が流れるのを抑制することができるので、部品の電気特性を精度よく測定することができる。また、制御部を、電気特性を測定した部品を廃棄する制御を行うように構成することによって、電気特性測定時に部品に静電気が帯電した場合でも、電気特性を測定した部品を廃棄するので、実装時に部品に帯電した静電気が放電して部品や基板が損傷するのを抑制することができる。これらの結果、部品の電気特性を精度よく測定することができるとともに、製品としての部品が実装された基板の信頼性を確保することができる。
【０００９】
上記一の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、部品の電気特性を測定した測定結果に基づいて、部品供給部から供給される部品が正しい種類か否かを判定するとともに、部品の電気特性の測定結果に関わらず、電気特性を測定した部品を廃棄する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、部品供給部に正しい種類の部品がセットされているのか否かを部品の電気特性を測定することにより容易に判定することができる。たとえば、同一の種類の複数の部品がテープに保持されて供給されたり、同一の種類の複数の部品がトレイに載置されて供給される場合に、１つの部品の電気特性を測定することにより、部品供給部に正しい種類の部品のテープまたはトレイがセットされているのか否かを容易に判定することができる。また、電気特性を測定した１つの部品は必ず廃棄され、その廃棄された部品以外の電気特性が測定されない部品が実装されるので、部品実装の信頼性を確実に確保することができる。
【００１０】
上記一の局面による部品実装装置において、好ましくは、測定用ノズルは、部品と当接する部分の抵抗値が１０14Ω以上の絶縁性を有している。このように構成すれば、部品の電気特性測定時に測定用ノズルに電流が流れるのを効果的に抑制することができるので、部品の電気特性をより精度よく測定することができる。
【００１１】
上記一の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、部品の電気特性を測定する際に、測定用電極における部品の当接位置を順番に変更するように構成されている。このように構成すれば、測定用電極の同じ位置に部品を当接させる場合と比べて、測定用電極が汚れたり削れたりするのを抑制することができるので、測定用電極の表面の状態が悪化するのを遅らせることができる。これにより、測定用電極のメンテナンスを行わずに部品の電気特性を精度よく測定することが可能な期間を長くすることができる。
【００１２】
上記一の局面による部品実装装置において、好ましくは、制御部は、測定用電極の状態を確認し、確認結果に基づいて、測定用電極の交換を促す通知を行う制御、または、測定用電極を清掃する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、測定用電極の状態が悪化した場合に、通知により測定用電極が交換されるか、または、測定用電極が清掃されるので、部品の電気特性の測定精度が低下するのを抑制することができる。
【００１３】
この場合、好ましくは、制御部は、測定用電極を清掃する場合に、実装ヘッドに清掃のための清掃用ノズルを装着して、清掃用ノズルにより、測定用電極を清掃する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、清掃用ノズルが装着された実装ヘッドにより、測定用電極を自動で清掃することができるので、ユーザが測定用電極を清掃する場合に比べて、ユーザの作業負担を軽減することができる。
【００１４】
上記測定用電極の状態を確認する構成において、好ましくは、制御部は、電気特性測定部による部品の電気特性を測定する回数が所定の回数に到達した場合に、撮像部により測定用電極を撮像して測定用電極の状態を確認する制御と、状態確認のための治具部品を測定用電極に当接させて電気特性を測定することにより測定用電極の状態を確認する制御と、のうち少なくとも一方を行うように構成されている。このように構成すれば、部品の電気特性を測定する回数が所定の回数に到達したことに基づいて、電気特性測定部の測定用電極の状態を定期的に確認することができる。また、撮像部により測定用電極を撮像して測定用電極の状態を確認する場合、撮像した画像を解析することにより、測定用電極の汚れや削れなどの有無を容易に確認することができる。また、状態確認のための治具部品を測定用電極に当接させて電気特性を測定して測定用電極の状態を確認する場合、電気特性が既知の治具部品に通電して測定し、測定結果と既知の電気特性とを比較することにより、測定の精度を確認することができるので、測定精度の悪化を容易に検出することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、上記のように、部品の電気特性を精度よく測定することが可能な部品実装装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態による部品実装装置の概略を示した平面図である。
【図２】本発明の一実施形態による部品実装装置の制御的な構成を示したブロック図である。
【図３】本発明の一実施形態による部品実装装置の電気特性測定部の測定用電極を説明するための平面図である。
【図４】本発明の一実施形態による部品実装装置の電気特性測定部の測定用電極を説明するための側面図である。
【図５】本発明の一実施形態による部品実装装置の実装ヘッドに装着された清掃用ノズルを示した側面図である。
【図６】本発明の一実施形態による部品実装装置の電気特性測定部の測定用電極の状態確認のための治具部品を示した側面図である。
【図７】本発明の一実施形態による部品実装装置の制御部による部品の電気特性測定処理を説明するためのフローチャートである。
【図８】本発明の一実施形態による部品実装装置の制御部による測定用電極確認処理を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
（部品実装装置の構成）
図１〜図６を参照して、本発明の一実施形態による部品実装装置１００の構成について説明する。
【００１９】
図１に示すように、部品実装装置１００は、一対のコンベア２により基板ＰをＸ方向に搬送し、実装作業位置Ｍにおいて基板Ｐに部品３１を実装する部品実装装置である。図１に示すように、部品実装装置１００は、基台１と、一対のコンベア２と、部品供給部３と、ヘッドユニット４と、支持部５と、一対のレール部６と、部品認識カメラ７と、制御部８（図２参照）とを備えている。また、部品実装装置１００は、電気特性測定部９を備えている。また、基台１上には、ノズルステーション１１と、廃棄部１２とが設けられている。
【００２０】
図１に示すように、一対のコンベア２は、基台１上に設置され、基板ＰをＸ方向に搬送するように構成されている。また、一対のコンベア２は、搬送中の基板Ｐを実装作業位置Ｍで停止させた状態で保持するように構成されている。また、一対のコンベア２は、基板Ｐの寸法に合わせてＹ方向の間隔を調整可能に構成されている。
【００２１】
部品供給部３は、部品３１を供給するように構成されている。具体的には、部品供給部３は、一対のコンベア２の外側（Ｙ１側およびＹ２側）に配置されている。また、部品供給部３には、複数のテープフィーダ３ａが配置されている。つまり、部品３１は、部品供給部３に配置されたテープフィーダ３ａからヘッドユニット４に供給される。
【００２２】
テープフィーダ３ａは、複数の部品３１を所定の間隔を隔てて保持したテープが巻き付けられたリール（図示せず）を保持している。テープフィーダ３ａは、リールを回転させて部品３１を保持するテープを送出することにより、テープフィーダ３ａの先端から部品３１を供給するように構成されている。ここで、部品３１は、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ、コイルおよび抵抗などの電子部品を含む。また、同じテープには、同じ種類の部品３１が保持されている。つまり、同じテープに保持された複数の部品３１は、略等しい電気特性を有している。電気特性は、たとえば、抵抗、静電容量、インダクタンス、インピーダンスを含んでいる。
【００２３】
ヘッドユニット４は、部品３１が装着される基板Ｐに対して作業を行うように構成されている。具体的には、ヘッドユニット４は、一対のコンベア２および部品供給部３の上方位置に配置されており、ノズル４１が下端に取り付けられた複数の実装ヘッド４２と、基板認識カメラ４３とを含んでいる。また、図２に示すように、ヘッドユニット４は、エジェクタ４４と、Ｚ軸モータ４５と、Ｒ軸モータ４６と、ロータリ軸モータ４７とを含んでいる。なお、基板認識カメラ４３は、特許請求の範囲の「撮像部」の一例である。
【００２４】
実装ヘッド４２は、基板Ｐに部品３１を実装するように構成されている。実装ヘッド４２は、昇降可能（Ｚ方向に移動可能）に構成されている。また、実装ヘッド４２は、エジェクタ４４（図２参照）によりノズル４１の先端部に発生された負圧によって、部品供給部３のテープフィーダ３ａから供給される部品３１を吸着するように構成されている。また、実装ヘッド４２は、部品実装装置１００の外部から供給される正圧によりノズル４１の先端部に発生された正圧によって、基板Ｐにおける装着位置に部品３１を装着（実装）する作業を行うように構成されている。なお、負圧とは、実装ヘッド４２の雰囲気（周辺）の空気圧より低い空気圧のことであり、部品３１を吸着するのに十分な空気圧である。また、正圧とは、実装ヘッド４２の雰囲気（周辺）の空気圧より高い空気圧のことである。
【００２５】
複数の実装ヘッド４２は、円周状に配置されている。また、複数の実装ヘッド４２は、上下方向に延びるロータリ軸線回りに回転されるように構成されている。つまり、複数の実装ヘッド４２は、ロータリ式である。また、複数の実装ヘッド４２は、部品３１を吸着または装着する吸装着位置に対して回転して移動されるように構成されている。
【００２６】
実装ヘッド４２は、先端に装着されるノズル４１を交換可能に構成されている。具体的には、実装ヘッド４２は、ノズルステーション１１に載置されたノズル４１を装着可能に構成されているとともに、装着したノズル４１をノズルステーション１１に載置することが可能に構成されている。つまり、実装ヘッド４２に装着されるノズル４１を交換する場合、実装ヘッド４２に装着されたノズル４１がノズルステーション１１に載置され、その後、ノズルステーション１１の必要なノズル４１が実装ヘッド４２に装着される。ノズルステーション１１には、部品実装用のノズル４１と、電気特性測定用の絶縁性の測定用ノズル４１ａ（図４参照）と、後述する測定用電極９１１および９１２（図３および図４参照）の清掃用の清掃用ノズル４１ｂ（図５参照）とが配置されている。また、部品実装用のノズル４１と、測定用ノズル４１ａとは、部品３１の種類や大きさに応じて複数設けられている。
【００２７】
部品実装用のノズル４１は、セラミックにより形成されている。ノズル４１の部品３１と当接する部分は、たとえば、１０9Ω以上１０12Ω以下の抵抗値を有している。測定用ノズル４１ａは、絶縁性の樹脂により形成されている。測定用ノズル４１ａの部品３１と当接する部分の抵抗値が、たとえば、１０14Ω以上の絶縁性を有している。測定用ノズル４１ａの部品３１と当接する部分の抵抗値は、１０14Ω以上１０16Ω以下である。つまり、測定用ノズル４１ａの電気抵抗値は、部品実装用のノズル４１の電気抵抗値よりも大きい。言い換えると、測定用ノズル４１ａは、部品実装用のノズル４１よりも大きい絶縁性を有している。
【００２８】
基板認識カメラ４３は、認識対象としての基板Ｐを撮像可能に構成されている。具体的には、基板認識カメラ４３は、図１に示すように、基板Ｐの位置を認識するために、基板ＰのフィデューシャルマークＦを撮像するように構成されている。そして、フィデューシャルマークＦの位置を撮像して認識することにより、基板Ｐにおける部品３１の装着位置を正確に取得することが可能である。また、基板認識カメラ４３の近傍には、照明（図示せず）が設けられている。照明は、基板認識カメラ４３の撮像時に光（可視光や赤外光など）を基板Ｐに照射するように構成されている。これにより、基板認識カメラ４３により基板Ｐを鮮明に撮像することが可能である。
【００２９】
また、基板認識カメラ４３は、部品供給部３の部品３１が供給される位置を撮像可能に構成されている。具体的には、基板認識カメラ４３は、テープフィーダ３ａの部品供給位置を撮像可能に構成されている。これにより、テープフィーダ３ａにより供給される部品３１の状態を取得することが可能である。また、基板認識カメラ４３は、測定用電極９１１および９１２を撮像可能に構成されている。
【００３０】
エジェクタ４４は、実装ヘッド４２に負圧を供給するように構成されている。具体的には、エジェクタ４４は、実装ヘッド４２により部品３１を吸着する動作の際に実装ヘッド４２に負圧を供給するように構成されている。また、エジェクタ４４は、実装ヘッド４２により部品３１を搬送する動作の際に実装ヘッド４２により部品３１を保持するための負圧を供給するように構成されている。また、エジェクタ４４は、実装ヘッド４２により部品３１を基板Ｐに装着する動作の際に実装ヘッド４２により部品３１を保持するための負圧を供給するように構成されている。また、エジェクタ４４は、ヘッドユニット４に設けられている。これにより、負圧を供給する装置を、ヘッドユニット４に設けることができるので、ヘッドユニット４の外部に設ける場合に比べて、負圧を供給する配管を簡素化することが可能である。
【００３１】
Ｚ軸モータ４５は、実装ヘッド４２を上下方向（Ｚ方向）に移動させるように構成されている。具体的には、Ｚ軸モータ４５は、ヘッドユニット４において吸装着位置に位置する実装ヘッド４２を上下方向に移動させるように構成されている。つまり、実装ヘッド４２は、ヘッドユニット４において吸装着位置に回転移動されることにより上下移動が可能となる。また、Ｚ軸モータ４５は、吸装着位置に位置する実装ヘッド４２を上下方向に移動させるので、複数の実装ヘッド４２の各々に設ける必要がない。
【００３２】
Ｒ軸モータ４６は、実装ヘッド４２を上下方向に延びる軸線を中心に回転させるように構成されている。これにより、実装ヘッド４２に吸着された部品３１の水平方向の向きを調整することが可能である。Ｒ軸モータ４６は、複数の実装ヘッド４２を連動して回転させるように構成されている。これにより、複数の実装ヘッド４２毎にＲ軸モータ４６を設ける必要がないので、部品点数が増加するのを抑制することが可能である。
【００３３】
ロータリ軸モータ４７は、複数の実装ヘッド４２を、上下方向に延びるロータリ軸線回りに回転させるように構成されている。
【００３４】
支持部５は、図１および図２に示すように、Ｘ軸モータ５１を含んでいる。支持部５は、図１に示すように、Ｘ軸モータ５１を駆動させることにより、支持部５に沿ってヘッドユニット４をＸ方向に移動させるように構成されている。支持部５は、両端部が一対のレール部６により支持されている。
【００３５】
一対のレール部６は、基台１上に固定されている。Ｘ１側のレール部６は、Ｙ軸モータ６１を含んでいる。レール部６は、Ｙ軸モータ６１を駆動させることにより、支持部５を一対のレール部６に沿ってＸ方向と直交するＹ方向に移動させるように構成されている。ヘッドユニット４が支持部５に沿ってＸ方向に移動可能であるとともに、支持部５がレール部６に沿ってＹ方向に移動可能であることによって、ヘッドユニット４はＸＹ方向に移動可能である。
【００３６】
部品認識カメラ７は、基台１の上面上に固定されている。部品認識カメラ７は、部品３１を撮像可能に構成されている。具体的には、部品認識カメラ７は、一対のコンベア２の外側（Ｙ１側およびＹ２側）に配置されている。部品認識カメラ７は、部品３１の基板Ｐへの装着に先立って部品３１の吸着状態（吸着姿勢）を認識するために、実装ヘッド４２のノズル４１に吸着された部品３１を下側（Ｚ２側）から撮像するように構成されている。これにより、実装ヘッド４２のノズル４１に吸着された部品３１の吸着状態を制御部８により取得することが可能である。また、部品認識カメラ７の近傍には、照明（図示せず）が設けられている。照明は、部品認識カメラ７の撮像時に光（可視光や赤外光など）をノズル４１に吸着された部品３１に照射するように構成されている。これにより、部品認識カメラ７によりノズル４１に吸着された部品３１を鮮明に撮像することが可能である。
【００３７】
制御部８は、ＣＰＵ（セントラルプロセッシングユニット）と、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）、ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）などの記憶部とを含んでいる。制御部８は、一対のコンベア２による基板Ｐの搬送動作、ヘッドユニット４による実装動作、基板認識カメラ４３や部品認識カメラ７による撮像動作などの部品実装装置１００の全体の動作を制御するように構成されている。また、制御部８は、実装動作を行うプログラムに基づいて、実装動作を制御するように構成されている。たとえば、制御部８は、Ｘ軸モータ５１、Ｙ軸モータ６１を駆動させて、ヘッドユニット４を水平方向に移動させる制御を行うように構成されている。また、制御部８は、Ｚ軸モータ４５を駆動させて、実装ヘッド４２の昇降移動を制御するように構成されている。また、制御部８は、Ｒ軸モータ４６を駆動させて、実装ヘッド４２を、上下方向（Ｚ方向）の軸線回りに回転させるように構成されている。また、制御部８は、ロータリ軸モータ４７を駆動させて、複数の実装ヘッド４２をロータリ軸線回りに回転させるように構成されている。また、制御部８は、エジェクタ４４のエア圧（負圧）を制御するように構成されている。
【００３８】
電気特性測定部９は、部品供給部３から供給される部品３１の電気特性を測定するように構成されている。電気特性測定部９は、図３に示すように、基板９１と、固定部材９２と、配線９３とを含んでいる。基板９１には、測定用電極９１１および９１２が設けられている。電気特性測定部９は、部品３１が抵抗である場合、電気特性として抵抗値を測定する。また、電気特性測定部９は、部品３１がコンデンサである場合、電気特性として静電容量を測定する。また、電気特性測定部９は、部品３１がコイルである場合、電気特性としてインダクタンスを測定する。また、電気特性測定部９は、部品３１がダイオードである場合、電気特性として抵抗値および極性を測定する。
【００３９】
電気特性測定部９は、部品３１に設けられた２つの電極のうち一方が測定用電極９１１に当接され、他方が測定用電極９１２に当接された状態で、交流電圧または直流電圧を印加して、部品３１の電気特性を測定するように構成されている。
【００４０】
基板９１は、基台１上に配置されている。基板９１の上面には、測定用電極９１１および９１２が配置されている。測定用電極９１１および９１２は、水平方向において離間して配置されている。具体的には、測定用電極９１１および９１２は、最少の部品３１の電極が当接可能な距離だけ離間して配置されている。たとえば、測定用電極９１１および９１２は、０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度の範囲で互いに離間して配置されている。測定用電極９１１および９１２は、金（Ａｕ）により形成されている。また、測定用電極９１１および９１２は、コネクタ９３ｂおよび９３ａを介して配線９３にそれぞれ接続されている。配線９３は、電気特性測定部９に接続されている。
【００４１】
測定用電極９１１は、長手方向において、Ｗ１の長さを有する。また、部品３１は、電極が並ぶ方向と直交する方向において、Ｗ２の幅を有する。Ｗ１は、Ｗ２よりも大きい。Ｗ１は、Ｗ２の５倍以上の長さを有することが好ましい。Ｗ１は、Ｗ２の１０倍以上の長さを有することがより好ましい。Ｗ１は、Ｗ２の２０倍以上の長さを有することがさらに好ましい。Ｗ１は、たとえば、１０ｍｍ〜５０ｍｍ程度である。Ｗ２は、たとえば、０．２ｍｍ〜１０ｍｍ程度である。
【００４２】
基板９１は、固定部材９２により、基台１上に固定されている。具体的には、固定部材９２は、ネジなどの締結部材を含んでいる。そして、基板９１は、固定部材９２により締結されて基台１上に固定されている。固定部材９２は、基板９１の４隅に1つずつ設けられている。基板９１には、測定用電極９１１および９１２と、コネクタ９３ｂとを接続する配線（図示せず）が設けられている。また、基板９１は、部品３１が実装される基板Ｐと略等しい高さ位置に配置されている。これにより、基板Ｐの上面を撮像する基板認識カメラ４３により、基板９１の測定用電極９１１および９１２を容易に撮像することが可能である。
【００４３】
コネクタ９３ａおよび９３ｂは、着脱可能に構成されている。コネクタ９３ａは、配線９３の先端に設けられている。コネクタ９３ｂは、基板９１に設けられている。コネクタ９３ａおよび９３ｂを接続することにより、測定用電極９１１および９１２と、電気特性測定部９とが接続される。また、コネクタ９３ａおよび９３ｂの接続を外すとともに、基板９１の固定部材９２による固定状態を解除することにより、基板９１を取り外すことが可能になる。
【００４４】
ここで、本実施形態では、制御部８は、実装ヘッド４２に絶縁性の測定用ノズル４１ａを装着させた状態で、絶縁性の測定用ノズル４１ａにより部品３１を吸着して搬送させ、部品３１を測定用電極９１１および９１２に当接させて電気特性を測定する制御を行うように構成されている。また、制御部８は、電気特性を測定した部品３１を廃棄する制御を行うように構成されている。
【００４５】
具体的には、制御部８は、部品３１の電気特性を測定した測定結果に基づいて、部品供給部３から供給される部品３１が正しい種類か否かを判定するように構成されている。つまり、制御部８は、部品供給部３に正しいリールがセットされたテープフィーダ３ａが取り付けられているか否かを判定する。言い換えると、制御部８は、誤った種類の部品３１を保持したテープフィーダ３ａが部品供給部３の所定の位置に配置されていることを検知する。制御部８は、たとえば、テープフィーダ３ａが部品供給部３に配置された場合、テープフィーダ３ａの位置が変更された場合、テープフィーダ３ａに新しいリールがセットされた場合など、セットされた部品３１の種類が正しいか否かを確認する必要がある場合に、部品３１の電気特性を測定するように構成されている。
【００４６】
また、制御部８は、部品３１の電気特性の測定結果に関わらず、電気特性を測定した部品３１を廃棄する制御を行うように構成されている。つまり、制御部８は、電気特性を測定した部品３１の電気特性が所定の範囲内であり、セットされている部品３１の種類が正しい場合でも、電気特性を測定した部品３１を廃棄するように構成されている。また、制御部８は、電気特性を測定した部品３１の電気特性が所定の範囲外であり、セットされている部品３１の種類が誤っている場合も、電気特性を測定した部品３１を廃棄するように構成されている。廃棄される部品３１は、実装ヘッド４２により搬送されて廃棄部１２に廃棄される。
【００４７】
また、制御部８は、部品３１の電気特性を測定する際に、測定用電極９１１および９１２における部品３１の当接位置を順番に変更するように構成されている。具体的には、制御部８は、電気特性を測定する部品３１の測定用電極９１１および９１２における当接位置を、所定回数測定毎に変更するように構成されている。たとえば、制御部８は、図３に示すように、測定用電極９１１および９１２における当接位置を、平面視において、前回の測定時の当接位置と重ならないように、順次変更するように構成されている。
【００４８】
また、制御部８は、測定用電極９１１および９１２の状態を確認し、確認結果に基づいて、測定用電極９１１および９１２の交換を促す通知を行う制御、または、測定用電極９１１および９１２を清掃する制御を行うように構成されている。具体的には、制御部８は、測定用電極９１１および９１２の状態を確認し、測定用電極９１１および９１２の状態が悪化して交換する必要があると判断した場合、通知部１３により測定用電極９１１および９１２の交換を促す通知を行うように構成されている。また、制御部８は、測定用電極９１１および９１２の状態を確認し、測定用電極９１１および９１２の状態が悪化して清掃する必要があると判断した場合、測定用電極９１１および９１２を清掃する制御を行うように構成されている。
【００４９】
具体的には、制御部８は、測定用電極９１１および９１２を清掃する場合に、実装ヘッド４２に清掃のための清掃用ノズル４１ｂを装着して、清掃用ノズル４１ｂにより、測定用電極９１１および９１２を清掃する制御を行うように構成されている。清掃用ノズル４１ｂは、図５に示すように、先端に汚れふき取り用の部材４１１ｂが設けられている。汚れふき取り用の部材４１１ｂは、たとえば、コットンやフェルトなどである。清掃用ノズル４１ｂは、ノズルステーション１１に準備されている。清掃用ノズル４１ｂの清掃面は、乾燥していてもよいし、アルコールや洗剤などがしみ込んでいてもよい。制御部８は、実装ヘッド４２に装着された清掃用ノズル４１ｂの清掃面を、測定用電極９１１および９１２に当接させて摺動することにより、測定用電極９１１および９１２を清掃するように構成されている。
【００５０】
また、制御部８は、電気特性測定部９による部品３１の電気特性を測定する回数が所定の回数に到達した場合に、基板認識カメラ４３により測定用電極９１１および９１２を撮像して測定用電極９１１および９１２の状態を確認する制御と、状態確認のための治具部品３１ａを測定用電極９１１および９１２に当接させて電気特性を測定することにより測定用電極９１１および９１２の状態を確認する制御と、のうち少なくとも一方を行うように構成されている。具体的には、制御部８は、電気特性測定部９による部品３１の電気特性を測定する回数が所定の回数に到達した場合に、測定用電極９１１および９１２の状態を確認するように構成されている。たとえば、制御部８は、電気特性測定部９による部品３１の電気特性の測定を５００〜１０００回程度行った場合に、測定用電極９１１および９１２の状態を確認するように構成されている。
【００５１】
また、制御部８は、基板認識カメラ４３により測定用電極９１１および９１２を撮像して測定用電極９１１および９１２の状態を確認する場合、撮像した測定用電極９１１および９１２を画像解析することにより、状態を確認する。たとえば、制御部８は、測定用電極９１１および９１２の画像の明度に基づいて状態を確認する。制御部８は、測定用電極９１１および９１２の画像の明度が所定の範囲内であれば、汚れがないと判断し、測定用電極９１１および９１２の画像の明度が所定の範囲外であり、測定用電極９１１および９１２とは異なる色（たとえば、黒い部分）がある場合に汚れがあると判断する。また、制御部８は、汚れのある面積（黒い部分の面積）が所定の値以上であれば、測定用電極９１１および９１２の清掃の必要あり、または、交換の必要ありと判断する。
【００５２】
また、制御部８は、状態確認のための治具部品３１ａを測定用電極９１１および９１２に当接させて電気特性を測定することにより測定用電極９１１および９１２の状態を確認する場合、図６に示すように、治具部品３１ａを絶縁性の測定用ノズル４１ａにより吸着した状態で、治具部品３１ａを測定用電極９１１および９１２に当接させて電気特性を測定する。治具部品３１ａの電気特性は、既知であり、制御部８の記憶部に記憶されている。また、治具部品３１ａは、たとえば、ノズルステーション１１に載置されている。制御部８は、治具部品３１ａの既知の電気特性と、測定した電気特性とを比較し、ずれが所定の範囲内であれば、測定用電極９１１および９１２が異常なしと判断し、ずれが所定の範囲よりも大きければ、測定用電極９１１および９１２が異常ありと判断する。制御部８は、測定用電極９１１および９１２が異常ありと判断した場合、測定用電極９１１および９１２の清掃の必要あり、または、交換の必要ありと判断する。
【００５３】
治具部品３１ａは、高電圧の静電気に耐えられる高耐圧性を有する部品であることが好ましい。たとえば、治具部品３１ａ中の配線を太くすることにより、細い配線よりも高耐圧性を有する部品となる。また、治具部品３１ａを大きくすることにより、耐圧性について有利となる。また、治具部品３１ａは、測定用電極９１１および９１２の汚れの有無などを確認するためのものであるため、部品の種類としては、たとえば、抵抗部品のみとしてもよい。
【００５４】
（部品の電気特性測定処理）
次に、図７を参照して、部品実装装置１００の制御部８による部品の電気特性測定処理についてフローチャートに基づいて説明する。
【００５５】
図７のステップＳ１において、部品３１の交換があったか否かが判断される。具体的には、ステップＳ１では、テープフィーダ３ａが新たに部品供給部３に配置された場合、テープフィーダ３ａの位置が変更された場合、テープフィーダ３ａに新しいリールがセットされた場合など、セットされた部品３１の種類が正しいか否かを判断する必要があるか否かを判断する。部品交換が無ければ、部品の電気特性測定処理が終了され、部品交換があれば、ステップＳ２に進む。
【００５６】
ステップＳ２において、ノズル４１が絶縁性の測定用ノズル４１ａに交換される。具体的には、実装ヘッド４２に装着されているノズル４１がノズルステーション１１に配置されている測定用ノズル４１ａに交換される。この際、測定する部品３１の大きさや形状に対応した測定用ノズル４１ａに交換される。ステップＳ３において、電気特性を測定する部品３１が測定用ノズル４１ａに吸着される。
【００５７】
ステップＳ４において、部品３１の電気特性が測定される。具体的には、絶縁性の測定用ノズル４１ａにより吸着された部品３１を搬送し、部品３１を測定用電極９１１および９１２に当接させて電気特性が測定される。ステップＳ５において、測定値が基準値以内であるか否かが判断される。具体的には、記憶部に記憶された部品３１の種類毎の電気特性と、測定値とが比較されて、測定値が基準値に対して所定の誤差以内であるか否かが判断される。基準値の範囲外であれば、ステップＳ６に進み、基準値内であればステップＳ７に進む。
【００５８】
ステップＳ６において、部品３１の取付間違いを通知する。具体的には、正しい種類の部品３１がセットされていないことが通知部１３により通知される。この場合、部品供給部３に正しい部品３１がセットされるまで、基板Ｐに対する部品３１の実装動作が停止される。なお、基板Ｐに対する部品３１の実装に影響がない場合、部品供給部３に正しい部品３１がセットされるのを待たずに、実装を開始または再開してもよい。
【００５９】
ステップＳ７において、電気特性を測定した部品３１が廃棄される。具体的には、電気特性を測定した部品３１が測定用電極９１１および９１２から廃棄部１２に搬送されて廃棄される。ステップＳ８において、生産用のノズル４１に交換される。具体的には、実装ヘッド４２に装着されている測定用ノズル４１ａがノズルステーション１１に配置されているノズル４１に交換される。そして、部品の電気特性測定処理が終了される。なお、測定が必要な部品３１が複数ある場合、複数の実装ヘッド４２を用いて、並行して複数の部品３１の電気特性が測定される。
【００６０】
（測定用電極確認処理）
次に、図８を参照して、部品実装装置１００の制御部８による測定用電極確認処理についてフローチャートに基づいて説明する。
【００６１】
図８のステップＳ１１において、測定回数がカウントされる。つまり、測定用電極９１１および９１２を交換または清掃してからの部品３１の電気特性の測定回数がカウントされる。ステップＳ１２において、測定回数が所定の回数に到達したか否かが判断される。所定の回数に到達していなければ、測定用電極確認処理が終了され、所定の回数に到達していれば、ステップＳ１３に進む。
【００６２】
ステップＳ１３において、測定用の基板９１の状態が確認される。具体的には、基板認識カメラ４３または治具部品３１ａを用いて、基板９１の測定用電極９１１および９１２の状態が確認される。ステップＳ１４において、測定用基板の状態がＯＫ（問題なし）か、ＮＧ（問題あり）かが判断される。ＯＫであれば、測定用電極確認処理が終了され、ＮＧであれば、ステップＳ１５に進む。
【００６３】
ステップＳ１５において、測定用の基板９１が清掃される。具体的には、清掃用ノズル４１ｂを用いて、基板９１の測定用電極９１１および９１２が清掃される。ステップＳ１６において、測定用の基板９１の状態が再確認される。具体的には、基板認識カメラ４３または治具部品３１ａを用いて、基板９１の測定用電極９１１および９１２の状態が再確認される。つまり、清掃により測定用電極９１１および９１２の状態が良くなったかが確認される。
【００６４】
ステップＳ１７において、測定用基板の状態がＯＫ（問題なし）か、ＮＧ（問題あり）かが判断される。ＯＫであれば、測定用電極確認処理が終了され、ＮＧであれば、ステップＳ１８に進む。ステップＳ１８において、測定用の基板９１の交換メッセージが表示される。具体的には、測定用の基板９１の交換が必要である旨のメッセージが通知部１３により通知される。その後、測定用電極確認処理が終了される。
【００６５】
（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
【００６６】
本実施形態では、上記のように、実装ヘッド４２に絶縁性の測定用ノズル４１ａを装着させた状態で、絶縁性の測定用ノズル４１ａにより部品３１を吸着して搬送させ、部品３１を測定用電極９１１および９１２に当接させて電気特性を測定する制御を行う制御部８を設ける。これにより、部品３１の電気特性測定時に測定用ノズル４１ａに電流が流れるのを抑制することができるので、部品３１の電気特性を精度よく測定することができる。また、制御部８を、電気特性を測定した部品３１を廃棄する制御を行うように構成することによって、電気特性測定時に部品３１に静電気が帯電した場合でも、電気特性を測定した部品３１を廃棄するので、実装時に部品３１に帯電した静電気が放電して部品３１や基板Ｐが損傷するのを抑制することができる。これらの結果、部品３１の電気特性を精度よく測定することができるとともに、製品としての部品３１が実装された基板Ｐの信頼性を確保することができる。
【００６７】
また、本実施形態では、上記のように、制御部８を、部品３１の電気特性を測定した測定結果に基づいて、部品供給部３から供給される部品３１が正しい種類か否かを判定するとともに、部品３１の電気特性の測定結果に関わらず、電気特性を測定した部品３１を廃棄する制御を行うように構成する。これにより、部品供給部３に正しい種類の部品３１がセットされているのか否かを部品３１の電気特性を測定することにより容易に判定することができる。たとえば、同一の種類の複数の部品３１がテープに保持されて供給されたり、同一の種類の複数の部品３１がトレイに載置されて供給される場合に、１つの部品３１の電気特性を測定することにより、部品供給部３に正しい種類の部品３１のテープまたはトレイがセットされているのか否かを容易に判定することができる。また、電気特性を測定した１つの部品３１は必ず廃棄され、その廃棄された部品３１以外の電気特性が測定されない部品３１が実装されるので、部品実装の信頼性を確実に確保することができる。
【００６８】
また、本実施形態では、上記のように、測定用ノズル４１ａを、部品３１と当接する部分の抵抗値が１０14Ω以上の絶縁性を有するように構成する。これにより、部品３１の電気特性測定時に測定用ノズル４１ａに電流が流れるのを効果的に抑制することができるので、部品３１の電気特性をより精度よく測定することができる。
【００６９】
また、本実施形態では、上記のように、制御部８を、部品３１の電気特性を測定する際に、測定用電極９１１および９１２における部品３１の当接位置を順番に変更するように構成する。これにより、測定用電極９１１および９１２の同じ位置に部品３１を当接させる場合と比べて、測定用電極９１１および９１２が汚れたり削れたりするのを抑制することができるので、測定用電極９１１および９１２の表面の状態が悪化するのを遅らせることができる。これにより、測定用電極９１１および９１２のメンテナンスを行わずに部品３１の電気特性を精度よく測定することが可能な期間を長くすることができる。
【００７０】
また、本実施形態では、上記のように、制御部８を、測定用電極９１１および９１２の状態を確認し、確認結果に基づいて、測定用電極９１１および９１２の交換を促す通知を行う制御、または、測定用電極９１１および９１２を清掃する制御を行うように構成する。これにより、測定用電極９１１および９１２の状態が悪化した場合に、通知により測定用電極９１１および９１２が交換されるか、または、測定用電極９１１および９１２が清掃されるので、部品３１の電気特性の測定精度が低下するのを抑制することができる。
【００７１】
また、本実施形態では、上記のように、制御部８を、測定用電極９１１および９１２を清掃する場合に、実装ヘッド４２に清掃のための清掃用ノズル４１ｂを装着して、清掃用ノズル４１ｂにより、測定用電極９１１および９１２を清掃する制御を行うように構成する。これにより、清掃用ノズル４１ｂが装着された実装ヘッド４２により、測定用電極９１１および９１２を自動で清掃することができるので、ユーザが測定用電極９１１および９１２を清掃する場合に比べて、ユーザの作業負担を軽減することができる。
【００７２】
また、本実施形態では、上記のように、制御部８を、電気特性測定部９による部品３１の電気特性を測定する回数が所定の回数に到達した場合に、基板認識カメラ４３により測定用電極９１１および９１２を撮像して測定用電極９１１および９１２の状態を確認する制御と、状態確認のための治具部品３１ａを測定用電極９１１および９１２に当接させて電気特性を測定することにより測定用電極９１１および９１２の状態を確認する制御と、のうち少なくとも一方を行うように構成する。これにより、部品３１の電気特性を測定する回数が所定の回数に到達したことに基づいて、電気特性測定部９の測定用電極９１１および９１２の状態を定期的に確認することができる。また、基板認識カメラ４３により測定用電極９１１および９１２を撮像して測定用電極９１１および９１２の状態を確認する場合、撮像した画像を解析することにより、測定用電極９１１および９１２の汚れや削れなどの有無を容易に確認することができる。また、状態確認のための治具部品３１ａを測定用電極９１１および９１２に当接させて電気特性を測定して測定用電極９１１および９１２の状態を確認する場合、電気特性が既知の治具部品３１ａに通電して測定し、測定結果と既知の電気特性とを比較することにより、測定の精度を確認することができるので、測定精度の悪化を容易に検出することができる。
【００７３】
（変形例）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。
【００７４】
たとえば、上記実施形態では、絶縁性の測定用ノズルを樹脂により形成する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、絶縁性の測定用ノズルを樹脂以外により形成してもよい。たとえば、絶縁性の測定用ノズルをゴムやセラミックや木材などにより形成してもよい。
【００７５】
また、上記実施形態では、部品実装用のノズルをセラミックにより形成する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部品実装用のノズルをセラミック以外により形成してもよい。たとえば、部品実装用のノズルを金属や樹脂などにより形成してもよい。
【００７６】
また、上記実施形態では、部品供給部にテープを保持したテープフィーダが配置される構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部品供給部に部品が載置されたトレイを配置してもよい。
【００７７】
また、上記実施形態では、実装ヘッドが円周状に複数設けられたいわゆるロータリー式のヘッドユニットを備える構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、複数の実装ヘッドが直線状に１列または複数列設けられたいわゆるインライン式のヘッドユニットを設けてもよい。
【００７８】
また、上記実施形態では、ヘッドユニットが１つ設けられている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ヘッドユニットを複数設けてもよい。また、１つのヘッドユニットに複数のロータリを設けてもよい。
【００７９】
また、上記実施形態では、基板を搬送するコンベアが一対設けられている構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、基板を搬送するコンベアが複数対設けられていてもよい。たとえば、並行して基板を搬送可能であり、並行して基板に部品を実装可能な部品実装装置に本発明を適用してもよい。
【００８０】
また、上記実施形態では、測定用電極を金（Ａｕ）により形成する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、測定用電極を金（Ａｕ）以外により形成してもよい。たとえば、測定用電極を白金（Ｐｔ）や銅（Ｃｕ）などにより形成してもよい。また、測定用電極を合金により形成してもよい。
【００８１】
また、上記実施形態では、測定用電極の状態を確認するための治具部品をノズルステーションから供給する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、治具部品を部品供給部から供給してもよい。たとえば、部品供給部のテープフィーダやトレイから治具部品を供給してもよい。
【００８２】
また、上記実施形態では、測定用電極を清掃用ノズルによりふき取ることにより清掃する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ノズルから空気を噴射したり、空気を吸引したりすることにより測定用電極を清掃してもよい。また、実装ヘッドに清掃用ノズルとしてのブラシを装着し、ブラシにより掃くことにより測定用電極を清掃してもよい。
【００８３】
また、上記実施形態では、部品の電気特性を測定する毎に、測定用電極における部品の当接位置を前回の位置と重ならないように変更する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部品の電気特性を測定する毎に、測定用電極における部品の当接位置を前回の位置と一部が重なるように変更するようにしてもよい。
【００８４】
また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部の制御処理を、処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部の制御処理を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。
【符号の説明】
【００８５】
３  部品供給部
８  制御部
９  電気特性測定部
３１  部品
３１ａ  治具部品
４１ａ  測定用ノズル
４１ｂ  清掃用ノズル
４２  実装ヘッド
４３  基板認識カメラ（撮像部）
１００  部品実装装置
９１１、９１２  測定用電極
Ｐ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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