(57)【要約】【課題】フォイル軸受の負荷容量を高める。【解決手段】フォイル軸受１０は、軸受面Ｘを有するトップフォイル１２と、トップフォイル１２を背後から弾性的に支持するバックフォイル１３とを備え、相対回転する軸２（スラストカラー３）と軸受面Ｘとの間の軸受隙間に生じる流体圧で、軸２を非接触支持する。バックフォイル１３の下流側端部１３ｅに、複数の切り欠き部１３ｅ１を設ける。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸受面を有するトップフォイルと、前記トップフォイルを背後から弾性的に支持するバックフォイルとを備え、相対回転する軸と前記軸受面との間の軸受隙間に生じる流体圧で、前記軸を非接触支持するフォイル軸受において、
前記バックフォイルの下流側端部に、複数の切り欠き部を設けたフォイル軸受。
【請求項２】
前記バックフォイルの下流側端部を、前記トップフォイルの下流側端部よりも下流側に配した請求項１に記載のフォイル軸受。
【請求項３】
前記バックフォイルのうち、前記切り欠き部を設けた領域を、前記バックフォイルの、前記軸受面と直交する方向の中央部よりも、前記トップフォイル側に配した請求項２に記載のフォイル軸受。
【請求項４】
前記トップフォイルの下流側端部に、複数の切り欠き部を設けた請求項１〜３の何れか１項に記載のフォイル軸受。
【請求項５】
前記バックフォイルが、平坦部と、前記平坦部から前記トップフォイル側に突出した複数の第一突出部と、前記平坦部から前記トップフォイルと反対側に突出した複数の第二突出部とを有する請求項１〜４の何れか１項に記載のフォイル軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォイル軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォイル軸受は、可撓性を有する金属薄板（フォイル）で軸受面を構成するものであり、フォイルが撓むことにより、軸の回転速度や荷重、周囲温度等の運転条件に応じて軸受隙間が適切な幅に自動調整されるという特徴を有する。
【０００３】
例えば下記の特許文献１には、ラジアル荷重を支持するラジアルフォイル軸受の一例として、バンプ型と呼ばれるフォイル軸受が開示されている。このフォイル軸受は、円筒状のトップフォイルと、トップフォイルを弾性的に支持するバックフォイル（バンプフォイル）と、トップフォイルおよびバックフォイルが取り付けられたベースプレートとを有する。このバンプ型フォイル軸受では、トップフォイルが荷重を受けた際にバックフォイルが弾性変形するため、トップフォイルの撓みが許容されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】実開昭６１−３６７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
フォイル軸受は、軸受隙間の流体圧を高めにくいため、十分な負荷容量を得ることが難しい。特に、スラスト荷重を支持するスラストフォイル軸受は、負荷容量の増大が強く求められている。
【０００６】
そこで、本発明は、フォイル軸受の負荷容量を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明は、軸受面を有するトップフォイルと、前記トップフォイルを背後から弾性的に支持するバックフォイルとを備え、相対回転する軸と前記軸受面との間の軸受隙間に生じる流体圧で、前記軸を非接触支持するフォイル軸受において、前記バックフォイルの下流側端部に、複数の切り欠き部を設けたことを特徴とする。
【０００８】
尚、「下流側」とは、軸の相対回転方向先行側（図２の矢印Ｒ方向参照）、すなわち、軸の相対回転時における、トップフォイルに対する流体の流れ方向下流側のことを言い、その反対側を「上流側」と言う。
【０００９】
このように、バックフォイルの下流側端部に複数の切り欠き部を設けることで、軸の相対回転に伴って流れる流体の一部が、切り欠き部を介してバックフォイルの裏側（トップフォイルと反対側）に抜ける。これにより、バックフォイルの下流側端部付近における流体の流れが乱されて流体がよりダイナミックに流動するため、軸受隙間に流入する流体量が増大して負荷容量が高められる。
【００１０】
バックフォイルの下流側端部を、トップフォイルの下流側端部よりも下流側に配すれば、バックフォイルの切り欠き部の少なくとも一部がトップフォイルで覆われずに露出した状態となるため、切り欠き部による乱流効果が高められ、負荷容量がさらに高められる。この場合、バックフォイルの切り欠き部を、軸受面と直交する方向でトップフォイル側にオフセットさせて設けることが好ましい。具体的には、バックフォイルのうち、切り欠き部を設けた領域を、バックフォイルの、軸受面と直交する方向の中央部よりも、トップフォイル側に配することが好ましい。これにより、高圧の流体が流れる軸受隙間に近接して切り欠き部が配されるため、乱流効果がより一層高められる。
【００１１】
トップフォイルの下流側端部にも複数の切り欠き部を設ければ、この切り欠き部による乱流効果が加わるため、負荷容量がさらに高められる。
【００１２】
バックフォイルは、例えば、平坦部と、前記平坦部から前記トップフォイル側に突出した複数の第一突出部と、前記平坦部から前記トップフォイルと反対側に突出した複数の第二突出部とを有する。かかる構成では、平坦部が、バックフォイル部の中でも、軸受隙間の流体圧による圧縮力に対する剛性の低い部分となる。そのため、バックフォイル部に圧縮力が負荷された際には、平坦部が変形して圧縮力を吸収する。従って、このような平坦部を有さない既存のバンプ型フォイル軸受のバックフォイルに比べ、バックフォイル部全体の剛性が小さくなる。これにより、トップフォイル部の柔軟性を高めることが可能となる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように、本発明によれば、フォイル軸受の負荷容量を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るフォイル軸受（スラストフォイル軸受）の断面図である。
【図２】上記フォイル軸受の平面図である。
【図３】上記フォイル軸受を模式的に示す斜視図である。
【図４】バックフォイルの斜視図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ線における断面図である。
【図６】上記フォイル軸受の断面図である。
【図７】他の実施形態に係るフォイル軸受の断面図である。
【図８】他の実施形態に係るフォイル軸受を模式的に示す斜視図である。
【図９】図８のフォイル軸受の断面図である。
【図１０】他の実施形態に係るフォイル軸受を模式的に示す斜視図である。
【図１１】図１０のフォイル軸受の断面図である。
【図１２】上段は、他の実施形態に係るバックフォイルの平面図である。下段は、上段のＹ−Ｙ線における断面図である。
【図１３】他の実施形態に係るバックフォイルの平面図である。
【図１４】他の実施形態に係るフォイル軸受の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１６】
本発明の第一実施形態に係るフォイル軸受１０は、図１に示すように、軸２に設けられた円盤状のスラストカラー３との間に形成される空気膜で、軸２をスラスト方向に支持するスラストフォイル軸受である。フォイル軸受１０は、円盤状のフォイルホルダ１１と、フォイルホルダ１１の端面１１ａに取り付けられたトップフォイル１２及びバックフォイル１３とを有する。本実施形態では、図２に示すように、複数（図示例では各６枚）の扇形のトップフォイル１２及びバックフォイル１３が、軸２の回転方向（フォイルホルダ１１の周方向）で並べて配される。
【００１７】
フォイルホルダ１１は、金属や樹脂等で形成される。フォイルホルダ１１は、軸２が挿入される内孔１１ｂを有する中空円盤状を成している。フォイルホルダ１１の一方の端面１１ａには複数のトップフォイル１２及びバックフォイル１３が取り付けられる。フォイルホルダ１１の他方の端面１１ｃは、フォイル軸受１０が組み込まれる設備（例えばガスタービン等のターボ機械）のハウジングに固定される。
【００１８】
トップフォイル１２及びバックフォイル１３は、ばね性に富み、かつ加工性のよい金属で形成され、例えば鋼や銅合金で形成される。トップフォイル１２及びバックフォイル１３は、厚さ２０μｍ〜２００μｍ程度の金属薄板（フォイル）で形成される。本実施形態のように流体膜として空気を用いる空気動圧軸受では、雰囲気に潤滑油が存在しないため、ステンレス鋼もしくは青銅でトップフォイル１２及びバックフォイル１３を形成するのが好ましい。
【００１９】
トップフォイル１２は、図２及び図３に示すように、凹凸の無い滑らかな軸受面Ｘを有する。尚、図３では、図の簡略化のため、各フォイル１２、１３を矩形状に表している。トップフォイル１２の上流側の端部１２ａは、フォイルホルダ１１の端面１１ａに固定される。図示例では、トップフォイル１２の上流側の端部１２ａが、フォイルホルダ１１の端面１１ａに、スペーサ１４を介して溶接等により固定される。尚、トップフォイル１２の上流側の端部１２ａを、スペーサ１４を介さずにフォイルホルダ１１の端面１１ａに直接固定してもよい。トップフォイル１２の下流側端部１２ｂは自由端であり、半径方向と平行な直線状の縁を有する。トップフォイル１２は、フォイルにプレス加工（打ち抜き加工）や放電加工を施すにより、略扇形の平板状に形成される。
【００２０】
バックフォイル１３は、トップフォイル１２とフォイルホルダ１１との間に配され、トップフォイル１２を背後から弾性的に支持する。本実施形態のバックフォイル１３は、平面視でトップフォイル１２と略同形状の扇形をなし、トップフォイル１２の真下に重ねて配されている。バックフォイル１３の上流側の端部１３ａは、フォイルホルダ１１の端面１１ａに固定される。本実施形態では、バックフォイル１３の上流側の端部１３ａが、フォイルホルダ１１の端面１１ａに、スペーサ１４を介して溶接等により固定される。尚、バックフォイル１３の上流側の端部１３ａを、スペーサ１４を介さずにフォイルホルダ１１の端面１１ａに直接固定してもよい。
【００２１】
バックフォイル１３の下流側端部１３ｅには、複数の切り欠き部１３ｅ１が設けられる。複数の切り欠き部１３ｅ１は、バックフォイル１３の下流側端部１３ｅの縁に沿って、回転直交方向（本実施形態では半径方向）に並んでいる。図示例では、各切り欠き部１３ｅ１が三角形を成し、バックフォイル１３の下流側の端部１３ｅの縁がジグザグ状に形成される。各切り欠き部１３ｅ１の形状は上記に限らず、円弧、楕円弧、台形、矩形、波形等としてもよい。また、図示例では、複数の切り欠き部１３ｅ１が半径方向で連続的に並んでいるが、これに限らず、複数の切り欠き部１３ｅ１を半径方向で離間させて間欠的に設け、切り欠き部１３ｅ１の半径方向間に半径方向に延びる縁を残してもよい。
【００２２】
バックフォイル１３は、弾性変形することにより軸方向に圧縮可能な形状を有する。本実施形態のバックフォイル１３は、図４に示すように、フォイルホルダ１１の端面１１ａと略平行な平坦部１３ｂと、平坦部１３ｂから表側（トップフォイル１２側）に突出した複数の第一突出部（上凸部１３ｃ）と、平坦部１３ｂから裏側（フォイルホルダ１１側）に突出した複数の第二突出部（下凸部１３ｄ）とを有する。尚、上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄは、これらの相対的な位置関係を理解しやすいように「上」「下」を付した名称としているが、これはフォイル軸受１０の使用態様を限定する趣旨ではない。
【００２３】
バックフォイル１３の平坦部１３ｂ、上凸部１３ｃ、および下凸部１３ｄは、均一な肉厚を有する。上凸部１３ｃおよび下凸部１３ｄは、何れも概略半球状に形成される。上凸部１３ｃおよび下凸部１３ｄの内側は中空状になっているため、例えばバックフォイル１３を表側（トップフォイル１２側）から見た場合、下凸部１３ｄが存在する領域は凹部となる。上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄの全周に、平坦部１３ｂが設けられる。上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄは、それぞれ回転方向及び回転直交方向に離隔した複数箇所に設けられる。図示例の上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄは、それぞれバックフォイル１３の上流側端部１３ａ付近を除く全域に分散して配置される。また、図示例では、バックフォイル１３の下流側端部１３ｅの直近に、複数の上凸部１３ｃが半径方向に離隔して配されている。尚、図４に示す上凸部１３ｃおよび下凸部１３ｄの配置パターンは例示にすぎず、必要に応じて図４とは異なる任意の配置パターンを採用してもよい。
【００２４】
バックフォイル１３の下流側端部１３ｅは、トップフォイル１２の下流側端部１２ｂよりも下流側に設けられる。すなわち、バックフォイル１３の切り欠き部１３ｅ１の少なくとも一部領域（図示例では全域）が、トップフォイル１２の下流側端部１２ｂよりも下流側に配される。これにより、バックフォイル１３の切り欠き部１３ｅ１の少なくとも一部領域が、トップフォイル１２で覆われることなく、スラストカラー３と対向する面に露出する。
【００２５】
バックフォイル１３は、フォイルにプレス加工（打ち抜き加工）や放電加工を施すことにより、切り欠き部１３ｅ１を有する所定形状の平板状のフォイル素材を形成した後、このフォイル素材にプレス加工を施して上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄを成形することで形成される。尚、フォイル素材の打ち抜き（切り欠き部１３ｅ１の形成）と、上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄの成形とを、プレス加工で同時に行うこともできる。上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄを含めたバックフォイル１３全体の軸方向寸法は、０．５〜２ｍｍ程度である。
【００２６】
軸２及びスラストカラー３が周方向一方（矢印Ｒ方向）に回転すると、図５に示すように、フォイル軸受１０の各トップフォイル１２の軸受面Ｘとスラストカラー３の端面３ａとの間に軸受隙間Ｃが形成される。このとき、トップフォイル１２が湾曲することで、軸受隙間Ｃは、下流側へ行くにつれて狭くなった断面楔状を成す。そして、スラストカラー３と流体との間のせん断力により、軸受隙間Ｃの空気が下流側に流動することで（図５の矢印Ａ参照）、軸受隙間Ｃの小隙間部Ｃ２に空気が押し込まれる。これにより、軸受隙間Ｃの空気膜の圧力が高められ、この圧力により軸２及びスラストカラー３がスラスト方向に非接触支持される。
【００２７】
このとき、図６に示すように、軸受隙間Ｃで生じる空気圧によりトップフォイル１２が圧力Ｐを受けるため、バックフォイル１３には、トップフォイル１２を介して圧力Ｐ方向の圧縮力が作用する。平坦部１３ｂは圧力Ｐ方向と直交する方向に延びる薄板状であるため、バックフォイル１３の中でも前記圧縮力に対する剛性の低い部分となる。そのため、バックフォイル１３に圧縮力が負荷されると、図６の二点鎖線で示すように先ず平坦部１３ｂが変形して圧縮力を吸収する。従って、このような平坦部を有さない既存の波形のバックフォイル部に比べ、バックフォイル１３の剛性を局所的に小さくすることができる。これにより、軸受面Ｘの柔軟性が高まるため、トップフォイル１２の軸受面Ｘが、荷重や軸２の回転速度、周囲温度等の運転条件に応じて弾性変形し、軸受隙間Ｃが運転条件に応じた適切幅に自動調整される。そのため、高温・高速回転といった過酷な条件下でも、軸受隙間Ｃを最適幅に管理することができ、軸２を安定して支持することが可能となる。
【００２８】
また、本実施形態では、バックフォイル１３の下流側端部１３ｅに切り欠き部１３ｅ１を設けることで、軸受隙間Ｃを流れる空気の一部が、切り欠き部１３ｅ１を介してバックフォイル１３の裏側に抜ける（図５の矢印Ａ１参照）。これにより、トップフォイル１２の下流側に隣接する空間（大隙間部Ｃ１）における空気の流れが乱され、大隙間部Ｃ１の空気がダイナミックに流動するため、次のトップフォイル１２で形成される軸受隙間Ｃの小隙間部Ｃ２に流入する空気量が増大し、フォイル軸受１０の負荷容量が高められる。
【００２９】
このとき、バックフォイル１３とトップフォイル１２とが、半径方向に離隔した複数箇所で接触しているため、バックフォイル１３とトップフォイル１２との間の隙間（フォイル間隙間Ｄ）に、空気が下流側に流通可能な流路が形成される。この流路の下流側端部は、大隙間部Ｃ１に連通している。本実施形態では、バックフォイル１３に分散配置された上凸部１３ｃがトップフォイル１２の裏面に接触することで、フォイル間隙間Ｄの隙間の空気が、両フォイル１２、１３の非接触部（上凸部１３ｃの半径方向間）を通って下流側に流動可能とされる。バックフォイル１３の切り欠き部１３ｅ１に起因して大隙間部Ｃ１に乱流が生じると、フォイル間隙間Ｄの空気が引っ張られて下流側に流動し、大隙間部Ｃ１に流入する。これにより、次のトップフォイル１２で形成される軸受隙間Ｃの小隙間部Ｃ２に流入する空気量がさらに増大し、フォイル軸受１０の負荷容量がさらに高められる。
【００３０】
さらに、本実施形態では、バックフォイル１３とフォイルホルダ１１とが、半径方向に離隔した複数箇所で接触する。これにより、バックフォイル１３とフォイルホルダ１１との間の隙間（フォイル下隙間Ｅ）に、空気が下流側に流通可能な流路が形成される。この流路の下流側端部は、大隙間部Ｃ１に連通している。本実施形態では、バックフォイル１３に分散配置された下凸部１３ｄがフォイルホルダ１１の端面１１ａに接触することで、フォイル下隙間Ｅの隙間の空気が、バックフォイル１３とフォイルホルダ１１との非接触部（下凸部１３ｄの半径方向間）を通って下流側に流動可能とされる。トップフォイル１２の切り欠き部１２ｂ１に起因して大隙間部Ｃ１に乱流が生じると、フォイル間隙間Ｄの空気だけでなく、フォイル下隙間Ｅの空気も引っ張られて下流側に流動し、大隙間部Ｃ１に流入するため、次のトップフォイル１２で形成される軸受隙間Ｃの小隙間部Ｃ２に流入する空気量がさらに増大し、フォイル軸受１０の負荷容量がさらに高められる。
【００３１】
尚、軸２の停止直前や起動直後の低速回転時には、各トップフォイル１２の軸受面Ｘとスラストカラー３の端面３ａとが接触摺動するため、これらの何れか一方または双方に、ＤＬＣ膜、チタンアルミナイトライド膜、二硫化タングステン膜、あるいは二硫化モリブデン膜等の低摩擦化被膜を形成してもよい。
【００３２】
また、軸２の回転中は、トップフォイル１２とバックフォイル１３、あるいは、バックフォイル１３とフォイルホルダ１１の端面１１ａとの間に微小摺動が生じる。この微小摺動による摩擦エネルギーにより、軸２の振動を減衰させることができる。このような微小摺動による摩擦力を調整するために、互いに摺動する面の何れか一方または双方に、上記のような低摩擦化被膜を形成してもよい。
【００３３】
本発明は、上記の実施形態に限られない。以下、本発明の他の実施形態を説明するが、上記の実施形態と重複する点については説明を省略する。
【００３４】
図７に示す実施形態では、バックフォイル１３の下流側端部１３ｅに切り欠き部１３ｅ１を設けると共に、トップフォイル１２の下流側端部１２ｂに切り欠き部１２ｂ１を設けている。トップフォイル１２の切り欠き部１２ｂ１は、バックフォイル１３の切り欠き部１３ｅ１と同様の構成を成し、例えば三角形状を成す。トップフォイル１２の切り欠き部１２ｂ１を介して、軸受隙間Ｃの空気がトップフォイル１２の裏側に抜けることで（矢印Ａ２参照）、大隙間部Ｃ１における乱流効果が高められる。
【００３５】
図８及び図９に示す実施形態では、バックフォイル１３のうち、切り欠き部１３ｅ１を含む領域を、バックフォイル１３の軸方向中央部よりもスラストカラー３側に配している。これにより、バックフォイル１３の切り欠き部１３ｅ１が、高圧の流体が流れる軸受隙間Ｃに近接して配されるため、軸受隙間Ｃの流体の流れが切り欠き部１３ｅ１により乱されやすくなり、負荷容量のさらなる増大が図られる。
【００３６】
図１０及び図１１に示す実施形態では、バックフォイル１３が、所定方向に延びる複数の山部１３ｆ１及び谷部１３ｆ２を交互に有する波形を成している。この場合でも、バックフォイル１３の切り欠き部１３ｅ１による乱流効果により、負荷容量が高められる。ただし、図１０のように、山部１３ｆ１をトップフォイル１２の下流側端部１２ｂの縁と平行に配すると、山部１３ｆ１とトップフォイル１２とが半径方向全域で接触するため、フォイル間隙間Ｄの空気の流れが山部１３ｆ１で遮断され、フォイル間隙間Ｄの流体が大隙間部Ｃ１にほとんど流入しない。従って、例えば図１２に示すように、山部１３ｆ１及び谷部１３ｆ２を、下流側端部１３ｅの縁と交差する方向（例えばバックフォイル１３の上流側端部１３ａの縁と平行な方向）に延ばすことが好ましい。この場合、バックフォイル１３の山部１３ｆ１が、トップフォイル１２の下流側端部付近の領域に、半径方向に離隔した複数箇所で接触する。従って、軸２の回転時には、フォイル間隙間Ｄの空気が、バックフォイル１３の谷部１３ｆ２を通って下流側に流動し、大隙間部Ｃ１に流入する。
【００３７】
ところで、図１０〜１２に示すような波形のバックフォイルをプレス加工により形成する場合、平板状のフォイル素材が波形に曲げられるため、その分だけ平面視における寸法（山部１３ｆ１及び谷部１３ｆ２の延在方向と直交する方向の寸法）が縮小する。従って、プレス加工を施す前の平板状のフォイル素材は、プレス加工による寸法の縮小を考慮して形状及び寸法を設定する必要があるため、設計が非常に複雑となる。これに対し、図４に示すように、多数の上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄが分散配置されたバックフォイル１３は、平板状のフォイル素材にプレス加工を施し、局部的に材料を引き延ばして上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄを成形することができる。この場合、プレス加工により、平面視における全体寸法はほとんど変化しないため、上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄを自由に設計することが可能となり、バックフォイル１３の設計が容易化される。
【００３８】
また、上記のフォイル軸受１０において、バックフォイル１３に設けられる上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄの分布密度を場所によって変えることで、軸受面Ｘの剛性を部分的にコントロールすることができる。例えば、図１３に示す実施形態では、上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄの密度が、下流側に行くにつれて高くなっている。この場合、バックフォイル１３の圧縮方向（軸方向）の剛性が下流側に行くにつれて高くなる。これにより、トップフォイル１２の軸受面Ｘが、下流側に行くにつれて、スラストカラー３から離反する方向（軸受隙間Ｃを広げる方向）に変形しにくくなるため、楔状の軸受隙間Ｃが形成されやすくなる。
【００３９】
また、上記のフォイル軸受１０において、バックフォイル１３に設けられる上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄの高さを場所によって変えることで、所定形状の軸受面を得ることができる。例えば、図１４に示す実施形態では、上凸部１３ｃ及び下凸部１３ｄを含むバックフォイル１３の高さ（軸方向寸法）が、下流側に行くにつれて大きくなっている。これにより、トップフォイル１２の軸受面Ｘが、下流側に行くにつれてスラストカラー３側に変位した形状となりやすくなり、楔状の軸受隙間Ｃが形成されやすくなる。
【００４０】
以上の実施形態では、本発明をスラストフォイル軸受に適用した場合を示したが、本発明は、軸をラジアル方向に支持するラジアルフォイル軸受に適用することもできる。
【００４１】
以上の実施形態では、フォイル軸受を固定し、軸２を回転させた場合を示したが、これに限らず、軸２を固定し、フォイル軸受を回転させてもよい。ただし、フォイル軸受を回転させると、遠心力でフォイルが破損する恐れがあるため、上記の実施形態のようにフォイル軸受を固定することが好ましい。
【００４２】
また、以上に示したフォイル軸受は、例えばガスタービンやターボチャージャ（過給機）等のターボ機械の主軸用軸受、自動車等の車両用軸受、あるいは産業機器用の軸受等として使用することが可能である。
【００４３】
また、以上に述べたフォイル軸受は、圧力発生流体として空気を使用した空気動圧軸受のみならず、圧力発生流体として潤滑油を使用した油動圧軸受としても使用することができる。
【符号の説明】
【００４４】
２     軸
３     スラストカラー
１０   フォイル軸受
１１   フォイルホルダ
１２   トップフォイル
１３   バックフォイル
１３ｂ 平坦部
１３ｃ 上凸部（第一突出部）
１３ｄ 下凸部（第二突出部）
１３ｅ１      切り欠き部
Ｃ     軸受隙間
Ｃ１   大隙間部
Ｃ２   小隙間部
Ｄ     フォイル間隙間
Ｅ     フォイル下隙間
Ｘ     軸受面
【図１】
2018040414.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2018040414.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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