(57)【要約】【課題】安価かつ簡易な構成でスピンドル軸の回転方向を認識すること。【解決手段】スピンドルユニット（４２）が、研削ホイール（４６）が装着されたスピンドル軸（４４）と、スピンドル軸を回転可能に支持するケーシング（４３）と、スピンドル軸を回転させるモータ（７１）と、スピンドル軸の回転方向を検出する回転検出手段（８１）とを備えている。回転検出手段は、スピンドル軸の円周方向に間隔を空けて配置された幅が異なる複数の遮光プレート（８２）と、複数の遮光プレートを検出するセンサ部（８４）とを備え、遮光プレートの検出リズムの違いによってスピンドル軸の回転方向を検出する構成にした。【選択図】図２
2018012150.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工具を装着するマウントを接続するスピンドル軸と、該スピンドル軸を回転可能に支持するケーシングと、該スピンドル軸に連結し回転駆動源のモータと、該モータによる該スピンドル軸の回転を検出する回転検出手段とを備えるスピンドルユニットであって、
該回転検出手段は、該スピンドル軸に接続し該スピンドル軸の軸心を中心に円周方向に少なくとも２つの異なる幅の検出部と、回転する該少なくとも２つの検出部を検出するセンサ部とを備え、
該スピンドル軸を回転させ回転する該少なくとも２つの検出部を該センサ部が検出した検出リズムの違いによって回転方向を判断可能とするスピンドルユニット。
【請求項２】
請求項１記載のスピンドルユニットと、判断手段とを備える加工装置であって、
該判断手段は、予め記憶している第１の回転方向の第１のリズムと該第１の回転方向の反対方向となる第２の回転方向での第２のリズムと、該センサ部が検出した検出リズムと、を比較して該スピンドル軸の回転方向を判断する加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、先端に加工具が装着されたスピンドルユニット及び加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
研削装置のスピンドルユニットとして、スピンドル軸の先端側のマウントに加工具としての研削ホイールが装着され、スピンドル軸の後端側に駆動源となるモータが連結されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この種のスピンドルユニットでは、通常、スピンドル軸と一体回転する回転体にスリット等が形成され、スリット等をセンサ部で検出してスピンドル軸の回転の有無及び回転速度（回転数（ｒｐｍ））を認識している。すなわち、スリット等が１回転する時間から回転速度が認識され、一定時間の間にスリット等がセンサ部に検出された回数から回転数が認識される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１５８８７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、スピンドルユニットに使用するモータにはインダクションモータ等が使用されており、この種のモータは配線の接続方法によってスピンドル軸の回転方向を変更することが可能になっている。しかしながら、上記したように装置側では回転の有無や回転速度を認識することができるが、モータの配線の接続ミス等によってスピンドル軸の回転方向が間違っていても、装置側に回転方向を認識させることができない。スピンドル軸にエンコーダを装着することで回転方向を認識させることも考えられるが、エンコーダは高価であり、コストが増加するという問題があった。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、安価かつ簡易な構成でスピンドル軸の回転方向を認識することができるスピンドルユニット及び加工装置を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様のスピンドルユニットは、加工具を装着するマウントを接続するスピンドル軸と、該スピンドル軸を回転可能に支持するケーシングと、該スピンドル軸に連結し回転駆動源のモータと、該モータによる該スピンドル軸の回転を検出する回転検出手段とを備えるスピンドルユニットであって、該回転検出手段は、該スピンドル軸に接続し該スピンドル軸の軸心を中心に円周方向に少なくとも２つの異なる幅の検出部と、回転する該少なくとも２つの検出部を検出するセンサ部とを備え、該スピンドル軸を回転させ回転する該少なくとも２つの検出部を該センサ部が検出した検出リズムの違いによって回転方向を判断可能とする。
【０００７】
この構成によれば、スピンドル軸の回転に伴って少なくとも２つの異なる幅の検出部がセンサ部によって検出されることで、スピンドル軸の回転方向に応じた検出リズムが回転検出手段から出力される。このため、一定時間における検出リズムのリズムパターンの繰り返し回数からスピンドル軸の回転数が認識される。また、スピンドル軸の回転方向に応じて検出リズムが異なるため、検出リズムの違いからスピンドル軸の回転方向を判断することができる。このように、スピンドル軸の回転数を検出するための構成を用いて、安価かつ簡易な構成で回転方向を検出することができる。
【０００８】
本発明の一態様の加工装置は、上記のスピンドルユニットと、判断手段とを備える加工装置であって、該判断手段は、予め記憶している第１の回転方向の第１のリズムと該第１の回転方向の反対方向となる第２の回転方向での第２のリズムと、該センサ部が検出した検出リズムと、を比較して該スピンドル軸の回転方向を判断する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、スピンドル軸と共に回転する少なくとも２つの異なる幅の検出部をセンサ部で検出することで、安価かつ簡易な構成でスピンドル軸の回転方向を認識することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本実施の形態の研削装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態のスピンドルユニットの断面模式図である。
【図３】本実施の形態の回転検出手段の上面模式図である。
【図４】本実施の形態の回転検出手段による回転方向の検出動作の説明図である。
【図５】変形例の回転検出手段による回転方向の検出動作の説明図である。
【図６】変形例の回転検出手段の上面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態の研削装置について説明する。図１は、本実施の形態の研削装置の斜視図である。なお、加工装置として研削装置を例示して説明するが、本実施の形態のスピンドルユニットを備えた加工装置であればよい。また、研削装置は、図１に示すように研削加工専用の装置構成に限定されず、例えば、研削加工、研磨加工、洗浄加工等の一連の加工が全自動で実施されるフルオートタイプの加工装置に組み込まれてもよい。
【００１２】
図１に示すように、研削装置１は、多数の研削砥石４７を環状に並べた研削ホイール（加工具）４６を用いて、保持テーブル２０に保持されたウエーハＷを研削するように構成されている。ウエーハＷは保護テープＴが貼着された状態で研削装置１に搬入され、保護テープＴを介して保持テーブル２０に保持される。なお、ウエーハＷは、研削対象となる板状部材であればよく、シリコン、ガリウム砒素等の半導体ウエーハでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア等の光デバイスウエーハでもよいし、デバイスパターン形成前のアズスライスウエーハでもよい。
【００１３】
研削装置１の基台１０の上面には、Ｘ軸方向に延在する矩形状の開口が形成され、この開口は保持テーブル２０と共に移動可能な移動板１１及び蛇腹状の防水カバー１２に覆われている。防水カバー１２の下方には、保持テーブル２０をＸ軸方向に移動させるボールねじ式の進退手段（不図示）が設けられている。保持テーブル２０は回転手段（不図示）に連結されており、回転手段の駆動によって回転可能に構成されている。また、保持テーブル２０の上面には、多孔質のポーラス材によってウエーハＷを吸引保持する保持面２１が形成されている。
【００１４】
基台１０上のコラム１５には、研削手段４０を保持テーブル２０に対して接近及び離反させる方向（Ｚ軸方向）に研削送りする研削送り手段３０が設けられている。研削送り手段３０は、コラム１５に配置されたＺ軸方向に平行な一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＺ軸テーブル３２とを有している。Ｚ軸テーブル３２の背面側には図示しないナット部が形成され、これらナット部にボールネジ３３が螺合されている。ボールネジ３３の一端部に連結された駆動モータ３４によりボールネジ３３が回転駆動されることで、研削手段４０がガイドレール３１に沿ってＺ軸方向に移動される。
【００１５】
研削手段４０は、ハウジング４１を介してＺ軸テーブル３２の前面に取り付けられており、スピンドルユニット４２で研削ホイール４６を中心軸回りに回転させるように構成されている。スピンドルユニット４２は、いわゆるエアスピンドルであり、ケーシング４３の内側でエアを介してスピンドル軸４４を浮動支持している。スピンドル軸４４の先端にはマウント４５が連結されており、マウント４５には多数の研削砥石４７が環状に配設された研削ホイール４６が装着されている。研削砥石４７は、ダイヤモンド砥粒をメタルボンドやレジンボンド等の結合剤で固めて形成されている。
【００１６】
また、研削手段４０の高さ位置は、リニアスケール５１によって測定されている。リニアスケール５１は、Ｚ軸テーブル３２に設けた読取部５２でガイドレール３１の表面に設けたスケール部５３の目盛りを読み取ることで、研削手段４０の高さ位置を測定している。基台１０の上面には、ウエーハＷの厚みを測定する厚み測定手段５５が設けられている。厚み測定手段５５は、保持テーブル２０の保持面２１及びウエーハＷの上面に一対の接触子５６、５７を接触させ、保持テーブル２０の保持面高さとウエーハＷの上面高さの差分からウエーハＷの厚みを測定している。
【００１７】
また、研削装置１には、装置各部を統括制御する制御手段６０、各種情報を表示する表示手段６５が設けられている。制御手段６０及び表示手段６５は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成される。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read  Only  Memory）、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。この研削装置１では、リニアスケール５１及び厚み測定手段５５の測定結果に基づいて制御手段６０によって研削送り量が制御されて、研削手段４０によって所定厚みまでウエーハＷが研削される。
【００１８】
ところで、一般的な研削装置には、スピンドル軸の回転数等を認識する構成が設けられている。例えば、スピンドル軸と一体に回転する回転体にスリットを形成し、フォトセンサやファイバセンサでスリットの一定時間の検出回数をカウントしてスピンドル軸の回転数を検出している。しかしながら、この構成では研削装置側にスピンドル軸の回転数を認識させることはできるが、スピンドル軸の回転方向を認識させることはできない。また、モータとしてインダクションモータを採用する場合には、配線の接続によって回転方向が変更されるが、配線の接続ミス等によってスピンドル軸が逆回転してしまう。
【００１９】
ポンプ等のように正常作動しているか否かによって回転方向を容易に判別可能なものであればよいが、研削装置のスピンドルユニットのように一見して回転方向を判別できないものの場合には逆回転のままウエーハＷを研削し続けてしまう恐れがある。この場合、スピンドル軸にエンコーダを設置して回転方向を検出することも可能である。しかしながら、エンコーダは、正逆回転させるモータに使用され、さらに回転変位量を電気信号として出力するものであり、研削装置のスピンドルユニットのように一方向にしか回転せず、回転変位量の検出も不要なものに使用するとコストが高くなる。
【００２０】
本件発明者は、高価なエンコーダを使用せずに安価かつ簡易にスピンドル軸４４の回転方向を認識する構成を検討し、スピンドル軸４４の回転数等を認識する構成を改良して回転方向を認識可能なスピンドルユニット４２を完成させた。これにより、スピンドル軸４４の回転数等に加えて回転方向を研削装置１に認識させることができる。また、スピンドル軸４４の回転方向を表示手段６５で表示することで、モータ７１の配線の接続ミス等によるスピンドル軸４４の逆回転をオペレータに知らせることが可能になっている。
【００２１】
以下、図２及び図３を参照して、本実施の形態のスピンドルユニットについて説明する。図２は、本実施の形態のスピンドルユニットの断面模式図である。図３は、本実施の形態の回転検出手段の上面模式図である。
【００２２】
図２に示すように、スピンドルユニット４２は、直立姿勢のスピンドル軸４４をケーシング４３で囲繞して、スピンドル軸４４の側面に対してケーシング４３からエアを噴出させて、スピンドル軸４４を回転可能に支持するエアベアリングを形成している。スピンドル軸４４の先端には研削ホイール４６を装着したマウント４５が接続され、スピンドル軸４４の後端には回転駆動源のモータ７１が連結されている。モータ７１は、スピンドル軸４４の上端部分に設けられたロータ７２と、冷却ジャケット７４を介してケーシング４３の内周面に設けられたステータ７３とで構成されている。冷却ジャケット７４内には多数の冷却水路７５が形成されており、冷却水路７５によってモータ７１の発熱が抑えられている。
【００２３】
スピンドル軸４４の下端部分及び中間部分には大径の円板部７６、７７が形成され、ケーシング４３の下端部分には円板部７６、７７の間に入り込むように環状部７８が形成されている。この場合、スピンドル軸４４の円板部７６、７７とケーシング４３の環状部７８の間には、エアの通り路になる僅かな隙間が設けられている。環状部７８の外面には多数の噴射口７９が形成されており、各噴射口７９は環状部７８内の流路を通じてエア供給源８０に接続されている。環状部７８の多数の噴射口７９からスピンドル軸４４の外面にエアが噴射されることで、スピンドル軸４４がケーシング４３に対してエアを介して浮動支持される。
【００２４】
このとき、ケーシング４３の環状部７８によってエアを介して広い面積でスピンドル軸４４の円板部７６、７７が浮動支持されているため、スピンドル軸４４に対してスラスト方向に作用する加工負荷が分散されている。また、スピンドル軸４４とケーシング４３内のエアは、モータ７１を空冷しながらスピンドルユニット４２の上方から排気されると共に、ケーシング４３の下端に設けられたカバー６７の内側を通ってスピンドルユニット４２の下方から排気される。また、カバー６７の下部内面には、カバー６７内への研削水の進入を防止する帯状のスポンジ材６８が取り付けられている。
【００２５】
図２及び図３に示すように、ケーシング４３の上面には、モータ７１によるスピンドル軸４４の回転を検出する回転検出手段８１が取り付けられている。回転検出手段８１は、スピンドル軸４４の軸心を中心とした円周方向に交互に配置された幅の異なる（中心角の異なる）３つの扇状の遮光プレート（検出部）８２ａ−８２ｃと３つのスリット８３ａ−８３ｃをセンサ部８４で検出するように構成されている。３つの遮光プレート８２ａ−８２ｃは、スピンドル軸４４の軸心に直交する水平面内で、異なる幅のスリット８３ａ−８３ｃを形成するように周方向に間隔を空けてスピンドル軸４４に配置されている。
【００２６】
センサ部８４は、いわゆる透過型のファイバセンサであり、遮光プレート８２の外周側を挟んで投光部８５と受光部８６を上下に対向させている。投光部８５からの光が遮光プレート８２ａ−８２ｃによって遮光されることで、センサ部８４によって遮光プレート８２ａ−８２ｃが検出される。このため、スピンドル軸４４が回転して投光部８５と受光部８６の間を遮光プレート８２ａ−８２ｃとスリット８３ａ−８３ｃが通過することで、光の透過と遮光が繰り返された検出リズムがセンサ部８４から出力される。このセンサ部８４から出力される検出リズムの違いによってスピンドル軸４４の回転方向を判断することが可能になっている。
【００２７】
また、制御手段６０には、スピンドル軸４４の回転数を認識する認識手段６１及びスピンドル軸４４の回転方向を判断する判断手段６２が設けられている。認識手段６１は、回転検出手段８１に接続されており、回転検出手段８１から出力された検出リズムに基づいてスピンドル軸４４の回転数（ｒｐｍ）を認識している。例えば、認識手段６１は、一定時間内の検出リズムに表れるリズムパターンの繰り返し回数からスピンドル軸４４の回転数を認識する。この場合、一定時間内の遮光プレート８２ａ−８２ｃ、スリット８３ａ−８３ｃのいずれかの検出回数からスピンドル軸４４の回転数が認識されてもよい。
【００２８】
判断手段６２は、回転検出手段８１に接続されており、回転検出手段８１から出力された検出リズムからスピンドル軸４４の回転方向を判断している。判断手段６２は、第１の回転方向を示す第１のリズム、第１の回転方向の反対方向となる第２の回転方向を示す第２のリズムを予め記憶しており、回転検出手段８１のセンサ部８４で検出した検出リズムと比較してスピンドル軸４４の回転方向を判断している。また、判断手段６２には、スピンドル軸４４の回転数や回転速度と共に回転方向を表示する表示手段６５が接続されている。なお、表示手段６５は、スピンドル軸４４の逆回転のみを表示するようにしてもよい。
【００２９】
なお、回転検出手段８１のセンサ部８４で検出した検出リズムは、例えば遮光状態をＯＮ、透過状態をＯＦＦとしたパルス信号として出力される。また、判断手段６２に予め記憶された第１、第２のリズムは、実際にスピンドル軸４４を正逆回転させたときの回転検出手段８１の出力を記憶している。なお、第１、第２のリズムは実験的に求められた値に限らず、経験的又は理論的に求められた値でもよい。また、表示手段６５でスピンドル軸４４の逆回転を表示する構成に代えて、警告音、ビープ音等のように音や、ランプの点滅や点灯等ように発光でスピンドル軸４４の逆回転を報知してもよい。
【００３０】
このように、センサ部８４で検出した検出リズムに応じてスピンドル軸４４の回転方向が研削装置１側で認識される。このため、スピンドル軸４４の逆回転をオペレータに知らせて、正常な回転方向になるようにモータ７１の配線を接続し直すことができる。よって、スピンドル軸４４が逆回転のままウエーハＷが研削され続けることを防止することができる。また、回転数等の検出に使用する回転検出手段８１で回転方向を検出することで、エンコーダを使用する構成と比較して、安価かつ簡易な構成でスピンドル軸４４の回転方向を検出することが可能になっている。
【００３１】
図４を参照して、回転検出手段による回転方向の検出動作について説明する。図４は、本実施の形態の回転検出手段による回転方向の検出動作の説明図である。なお、図４Ａはスピンドル軸が正回転した状態、図４Ｂはスピンドル軸が逆回転した状態をそれぞれ示している。また、回転検出手段には、第１のリズムとして図示反時計回りの検出リズムが記憶され、第２のリズムとして図示時計回りの検出リズムが記憶されているものとする。
【００３２】
図４Ａに示すように、矢印Ａ方向にスピンドル軸４４が回転すると、電圧のＯＮ区間Ｔ１ａ、ＯＦＦ区間Ｔ２ｂ、ＯＮ区間Ｔ１ｂ、ＯＦＦ区間Ｔ２ｃ、ＯＮ区間Ｔ１ｃ、ＯＦＦ区間Ｔ２ａが繰り返された検出リズムが回転検出手段８１から出力される。検出リズムのＯＮ区間Ｔ１ａ−Ｔ１ｃでは、センサ部８４の光が遮光プレート８２ａ−８２ｃで遮光されることで、各遮光プレート８２ａ−８２ｃのプレート幅に応じた期間だけ電圧がＯＮになる。検出リズムのＯＦＦ区間Ｔ２ａ−Ｔ２ｃでは、センサ部８４の光をスリット８３ａ−８３ｃを透過することで、各スリット８３ａ−８３ｃのスリット幅に応じた期間だけ電圧がＯＦＦになる。
【００３３】
すなわち、検出リズムのＯＮ区間Ｔ１ａ−Ｔ１ｃはそれぞれ遮光プレート８２ａ−８２ｃに対応し、検出リズムのＯＦＦ区間Ｔ２ａ−Ｔ２ｃはそれぞれスリット８３ａ−８３ｃに対応している。回転検出手段８１で検出された検出リズムと第１、第２のリズムが比較され、検出リズムが第１のリズムと一致しているとして、スピンドル軸４４が反時計回りに回転していると判断される。このように、検出リズムから遮光プレート８２ａ、スリット８３ｂ、遮光プレート８２ｂ、スリット８３ｃ、遮光プレート８２ｃ、スリット８３ａの順にセンサ部８４を通過していると認識される。
【００３４】
一方、図４Ｂに示すように、矢印Ｂ方向にスピンドル軸４４が回転すると、電圧のＯＮ区間Ｔ１ｃ、ＯＦＦ区間Ｔ２ｃ、ＯＮ区間Ｔ１ｂ、ＯＦＦ区間Ｔ２ｂ、ＯＮ区間Ｔ１ａ、ＯＦＦ区間Ｔ２ａが繰り返された検出リズムが回転検出手段８１から出力される。回転検出手段８１で検出された検出リズムと第１、第２のリズムが比較され、検出リズムが第２のリズムと一致しているとして、スピンドル軸４４が時計回りに回転していると判断される。このように、検出リズムから遮光プレート８２ｃ、スリット８３ｃ、遮光プレート８２ｂ、スリット８３ｂ、遮光プレート８２ａ、スリット８３ａの順にセンサ部８４を通過していると認識される。
【００３５】
ところで、回転検出手段８１の遮光プレート８２ａ−８２ｃ、スリット８３ａ−８３ｃの大きさが異なるため、重量バランスにバラツキが生じてスピンドル軸４４が偏心して振動が生じるおそれがある。このため、スピンドル軸４４に対する重量バランスが均一になるように、遮光プレート８２ａ−８２ｃの重量が調整される。例えば、遮光プレート８２ａ−８２ｃの厚み変更、材料変更、重りの追加、穴あけ加工等が、センサ部８４による検出に影響を及ぼさないように実施される。これにより、遮光プレート８２の大きさが異なっていても、スピンドル軸４４が偏心することがなく、ウエーハＷの加工精度が悪化することがない。
【００３６】
以上のように、本実施の形態のスピンドルユニット４２によれば、スピンドル軸４４の回転に伴って異なる幅の３つの遮光プレート８２がセンサ部８４に検出されることで、スピンドル軸４４の回転方向に応じた検出リズムが回転検出手段８１から出力される。このため、一定時間における検出リズムのリズムパターンの繰り返し回数からスピンドル軸４４の回転数が認識される。また、スピンドル軸４４の回転方向に応じて検出リズムが異なるため、検出リズムの違いからスピンドル軸４４の回転方向を判断することができる。このように、スピンドル軸４４の回転数を検出するための構成を用いて、安価かつ簡易な構成で回転方向を検出することができる。
【００３７】
なお、本実施の形態では、回転検出手段８１は、検出部として３つの遮光プレート８２ａ−８２ｃを備える構成にしたが、この構成に限定されない。回転検出手段は、少なくとも２つの異なる幅の検出部を備えていればよく、例えば、２つの遮光プレートを用いてスピンドル軸の回転方向を検出するようにしてもよい。以下、図５を参照して、変形例の回転検出手段による回転方向の検出動作について説明する。図５は、変形例の回転検出手段による回転方向の検出動作の説明図である。
【００３８】
図５Ａに示すように、変形例の回転検出手段９１は、スピンドル軸４４の軸心を中心とした円周方向に幅の異なる（中心角の異なる）２つの扇状の遮光プレート９２ａ、９２ｂを配置し、遮光プレート９２ａ、９２ｂの間に同一幅のスリット９３ａ、９３ｂを形成している。この回転検出手段９１は、２つの遮光プレート９２ａ、９２ｂをセンサ部９４で交互に検出するため、回転方向が異なっていてもＯＮ区間Ｔ１ａ、ＯＦＦ区間Ｔ２、ＯＮ区間Ｔ１ｂ、ＯＦＦ区間Ｔ２、ＯＮ区間Ｔ１ａ…のように同じ検出リズムが繰り返される。この場合、検出リズムの先頭のＯＮ区間に着目することでスピンドル軸４４の回転方向と判断することが可能である。
【００３９】
例えば、センサ部９４の初期位置がスリット９３ａに合わせられた場合には、先頭のＯＮ区間としてＯＮ区間Ｔ１ａ、Ｔ１ｂのいずれが検出されるかに応じてスピンドル軸４４の回転方向が判断される。先頭のＯＮ区間としてＯＮ区間Ｔ１ｂが検出されると、スピンドル軸４４の回転方向が反時計回りであると判断される。一方、図５Ｂに示すように、先頭のＯＮ区間としてＯＮ区間Ｔ１ａが検出されると、スピンドル軸４４の回転方向が時計回りであると判断される。ただし、センサ部９４の初期位置をスリット９３ｂに合わせた場合には判断結果が逆になるため、センサ部９４の初期位置を把握しておく必要がある。
【００４０】
また、図５Ｃに示すように、センサ部９４の初期位置が遮光プレート９２ａの途中に合わせられた場合には、先頭のＯＮ区間の長さに応じてスピンドル軸４４の回転方向が判断される。先頭のＯＮ区間としてＯＮ区間Ｔ１ａの半分以下の区間が検出されると、スピンドル軸４４の回転方向が反時計回りであると判断される。一方、図５Ｄに示すように、先頭のＯＮ区間としてＯＮ区間Ｔ１ａの半分以上の区間が検出されると、スピンドル軸４４の回転方向が時計回りであると判断される。なお、センサ部９４の初期位置を遮光プレート９２ｂの途中に合わせた場合でも、同様にしてスピンドル軸４４の回転方向を判断することが可能である。
【００４１】
また、本実施の形態では、回転検出手段８１が、検出部として扇状の遮光プレート８２ａ−８２ｃを備える構成にしたが、この構成に限定されない。例えば、図６に示すように、回転検出手段９６は、検出部として異なる幅の長方形状の遮光プレート９７ａ−９７ｃを備えてもよい。遮光プレート９７ａ−９７ｃの間にスリットが存在しなくなるが、このような構成であってもスピンドル軸４４の回転方向を検出することが可能である。
【００４２】
また、本実施の形態では、検出部として遮光プレート、センサ部としてフィアバセンサを例示して説明したが、この構成に限定されない。回転検出手段は、検出部を検出可能な構成であればよく、例えば、検出部として金属プレート、センサ部として磁気センサ等の近接センサを備えてもよいし、検出部として反射プレート、センサ部として反射型のフォトセンサを備えてもよい。
【００４３】
また、本実施の形態では、判断手段６２が検出リズムと第１、第２のリズムを比較してスピンドル軸４４の回転方向を判断する構成について説明したが、この構成に限定されない。判断手段６２は、検出リズムのリズムパターンだけでスピンドル軸４４の回転方向を判断してもよい。
【００４４】
また、本実施の形態では、研削装置１のスピンドルユニット４２について説明したが、この構成に限定されない。スピンドルユニットはスピンドル軸の回転方向を判断可能な構成であればよく、例えば研磨装置や切削装置のスピンドルユニットでもよい。この場合、研磨装置のスピンドルユニットには加工具として研磨パッドが装着され、切削装置のスピンドルユニットには加工具として切削ブレードが装着される。
【００４５】
また、本実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。
【００４６】
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。
【００４７】
また、本実施の形態では、本発明を研削装置のスピンドルユニットに適用した構成について説明したが、安価かつ簡易な構成でスピンドル軸の回転方向を認識できる加工装置のスピンドルユニットに適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上説明したように、本発明は、安価かつ簡易な構成でスピンドル軸の回転方向を認識することができるという効果を有し、特に、インダクションモータを用いたスピンドルユニット及び加工装置に有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１  研削装置（加工装置）
４２  スピンドルユニット
４３  ケーシング
４４  スピンドル軸
４５  マウント
４６  研削ホイール（加工具）
６１  認識手段
６２  判断手段
７１  モータ
８１、９１、９６  回転検出手段
８２、９２、９７  遮光プレート（検出部）
８３、９３  スリット
８４、９４、９８  センサ部
【図１】
2018012150.tif 000003
【図２】
2018012150.tif 000004
【図３】
2018012150.tif 000005
【図４】
2018012150.tif 000006
【図５】
2018012150.tif 000007
【図６】
2018012150.tif 000008