(57)【要約】【課題】直動アクチュエータ３を、基台１１に装着固定した状態で直動軸４の押し引き動作によってテーブル部１３の移動が行え、テーブル部１３の外周域にモータへの電源供給用の配線ケーブルなの配設を回避し、ケーブルベア（登録商標）等のケーブル保護部材やロボットケーブルなどの高価な対屈曲ケーブルを不要なものとして、部品点数の削減を図りＸＹテーブル１を安価に製作できるようにする。【解決手段】テーブル部１３とテーブル側直動軸４１ｂ、４２ｂの先端部とを、テーブル部１３の周端面に設けられた案内レール２１に対して、テーブル側連結部材６２をＸ軸方向にスライド自在に案内支持させて連結し、案内レール２１のテーブル側連結部材６２に対する移動変位に応じて、テーブル部１３を、テーブル側直動軸４１ｂ、４２ｂの押し引き動作によってＹ軸方向に移動可能に構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台上に設けられたＸ軸方向に移動可能なベース部と、該ベース部上に設けられてＹ軸方向に移動可能なテーブル部とを備え、該テーブル部がベース部の移動を伴って直交する２方向に動作移動するＸＹテーブルであって、
前記ベース部とテーブル部とを夫々直線的に進退駆動する直動軸を備えた直動アクチュエータによって動作させるに、
該直動アクチュエータは、前記直動軸の先端部を、前記ベース部とテーブル部に対して、それぞれその動作方向に向けて押し引き動作可能に廻り止め連結させた状態で基台に装着固定せしめると共に、
前記テーブル部とテーブル側における直動軸の先端部とは、該直動軸の先端部に設けられた連結部材を、テーブル部に設けられた案内レールに対して、Ｘ軸方向にスライド自在に案内支持させて連結し、
前記テーブル部は、前記案内レールが、前記テーブル側の連結部材に対してＸ軸方向にスライド移動する位置変位に応じて、当該連結部材を介した直動軸の押し引き動作によってＹ軸方向に移動可能に構成せしめたことを特徴とするＸＹテーブル。
【請求項２】
請求項１において、前記案内レールは、両側にガイド溝を有する平帯状に形成されて前記テーブル部の先端側に設けられると共に、前記テーブル側連結部材は、前記テーブル側直動軸が取着される連結部と、該連結部に一体に設けられて前記案内レールに被嵌される凹状のスライダ部とを有し、該スライダ部に形成されたガイド片をガイド溝に係合させた挟持状態でスライド走行自在に案内支持せしめたことを特徴とするＸＹテーブル。
【請求項３】
請求項１または２において、前記直動アクチュエータは、前記基台の外周側面に側面視上向きＬ字状のブラケットを介して、基台から離間した状態で装着固定し、該ブラケットの平面域を、前記ベース部またはテーブル部の移動ストローク域に設定してあることを特徴とするＸＹテーブル。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れかにおいて、前記基台に装着固定される直動アクチュエータの直動軸は、直動モータのネジ軸であることを特徴とするＸＹテーブル。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れかにおいて、前記基台に装着固定される直動アクチュエータの直動軸は、シャフト型リニアモータのシャフト軸であることを特徴とするＸＹテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直動アクチュエータの直動軸によりベース部とテーブル部をそれぞれ押し引き動作することで、テーブル部を直交する２方向に動作移動するようにしたＸＹテーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＸＹテーブルの駆動源として、ネジ軸を有する直動モータ、直動型ステッピングモータや、シャフト軸を有するシャフト型リニアモータなどの直動アクチュエータを用い、当該直動アクチュエータが備える直動軸（ネジ軸や、シャフト軸など）を直接的にベース部やテーブル部に連結して、モータ駆動による直動軸の押し引き動作によって移動するようにしたＸＹテーブルが知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１に開示されたものでは、基台となるヘッド（１）に直動モータ（３）を固定し、移動テーブル（２）の外周域に直動モータ（４）を固定して、ねじ軸（３１と４１）の先端をそれぞれベース部となるクロスベアリング（７）に連結することで、Ｙ軸方向へは、クロスベアリング（７）に対するねじ軸（３１）の押し引き動作により、Ｘ軸方向へは、移動テーブル（２）に対する直動モータ（４）の押し引き動作によって、移動テーブル（２）を、Ｘ軸方向とＹ軸方向に移動できるようにしたものである。この様な直動モータを用いることにより、送りネジ機構を別途必要とする特許文献２に開示された駆動方式のものに比して、部品点数の削減や動作構造が簡略化を図ることができると共に、安価に製作できるという利点を有している。
【０００４】
しかしながら、特許文献１の直動モータ（４）は移動テーブル（２）の外周域に固定され、特許文献２の回転モータ（４）もテーブル（１）の外周域に固定され、何れのものもテーブルと共にモータが移動する構造となっているため、モータに電源供給するための配線ケーブルが外観露出してしまい、これら配線ケーブルを収容し保護するためのケーブルベア（登録商標）等のケーブル保護部材やロボットケーブルなどが必要となるばかりか、専用の収容スペースを確保しなければならず、他のワーク機器との併合やセンサなどの位置決め機器の配設などの邪魔となり、或いは、モータと共に移動する露出する配線ケーブルの曲げ疲労による、破損や断線を生じる危惧がある。しかも、Ｘ軸方向へは直動モータ（４）の移動制御であり、Ｙ軸方向へはねじ軸（３１）の移動制御によって行わなければならず、モータ制御を統一化することができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０２−１１６４４２号公報
【特許文献２】特開平１１−０２８６３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記の如き問題点を一掃すべく創案されたものであって、ベース部とテーブル部の外周域にＸ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ押し引き動作するための直動アクチュエータを備えたＸＹテーブルでありながら、直動アクチュエータを、基台に装着固定した状態で直動軸の押し引き動作によってテーブル部の移動を行えるようにして、テーブル部に固定されたモータが、テーブル部と共に一体移動する取着構造を排除し、テーブル部の外周域にモータへの電源供給用の配線ケーブルの配設を回避することができ、これら配線ケーブルを収容し保護するためのケーブルベア（登録商標）等のケーブル保護部材やロボットケーブルなどの高価な対屈曲ケーブルを不要なものとして、部品点数の削減を図り安価に製作することができるＸＹテーブルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明のＸＹテーブルは、基台上に設けられたＸ軸方向に移動可能なベース部と、該ベース部上に設けられてＹ軸方向に移動可能なテーブル部とを備え、該テーブル部がベース部の移動を伴って直交する２方向に動作移動するＸＹテーブルであって、前記ベース部とテーブル部とを夫々直線的に進退駆動する直動軸を備えた直動アクチュエータによって動作させるに、該直動アクチュエータは、前記直動軸の先端部を、前記ベース部とテーブル部に対して、それぞれその動作方向に向けて押し引き動作可能に廻り止め連結させた状態で基台に装着固定せしめると共に、前記テーブル部とテーブル側における直動軸の先端部とは、該直動軸の先端部に設けられた連結部材を、テーブル部に設けられた案内レールに対して、Ｘ軸方向にスライド自在に案内支持させて連結し、前記テーブル部は、前記案内レールが、前記テーブル側の連結部材に対してＸ軸方向にスライド移動する位置変位に応じて、当該連結部材を介した直動軸の押し引き動作によってＹ軸方向に移動可能に構成せしめたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、上記のように構成したことにより、ベース部とテーブル部の外周域にＸ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ押し引き動作するための直動アクチュエータを備えたＸＹテーブルでありながら、直動アクチュエータを、テーブル部とは一体移動することがなく、基台に装着固定させた状態で、ベース部と共にテーブル部がＸ軸方向に一体移動した際に、テーブル側連結部材と廻り止め連結された案内レールが、テーブル側連結部材に対してＸ軸方向にスライド移動し、当該案内レールの位置変位に応じて、テーブル側直動軸による押し引き動作によってテーブル部をＹ軸方向へ移動することが可能となり、テーブル部に固定されたモータが、テーブル部と共に一体移動する従来の取着構造を排除して、テーブル部の外周域にモータへの電源供給用の配線ケーブルの配設を回避することができると共に、これら配線ケーブルを収容し保護するためのケーブルベア（登録商標）等のケーブル保護部材やロボットケーブルなどの高価な対屈曲ケーブルを不要なものとして、部品点数の削減を図ることができるばかりか、モータと共に移動する露出する配線ケーブルが曲げ疲労などによる破損や断線を生じる危惧を一掃することができ、しかも、テーブル部の外周域に対する専用の収容スペースを確保する必要を無くし得て、他のワーク機器との併合やセンサなどの位置決め機器の配設などのアッセンブリを容易なものとし、或いは、Ｘ軸方向とＹ軸方向に対するテーブル部の移動制御を、それぞれ何れの方向も直動軸４の押し引き移動量により管理することができ、モータ制御を統一化し簡略化することが可能となるなど装置全体を安価に製作することができ、直動アクチュエータの種類もワークの用途に応じて適宜選択して採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態にかかる直動型ステッピングモータを備えたＸＹテーブルの全体斜視図である。
【図２】本発明の実施形態にかかるシャフト型リニアモータを備えたＸＹテーブルの全体斜視図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を好適な実施の形態として例示するＸＹテーブルを図面に基づいて詳細に説明する。図１は、直動アクチュエータ３として直動型ステッピングモータ３１が採用されたＸＹテーブル１の動作状態を示す全体斜視図である。この図に示すように、ＸＹテーブル１は、基台１１、ベース部１２、およびテーブル部１３とがそれぞれ中央域が中抜きされた同一形状の矩形のテーブル状に形成され、これらを載置状態で構成される。つまり、基台１１上にガイド部材２を介して設けられたＸ軸方向に移動可能なベース部１２と、このベース部１２上にガイド部材２を介して設けられてＹ軸方向に移動可能なテーブル部１３とを備え、ベース部１２とテーブル部１３にそれぞれ直動型ステッピングモータ３１（３１ａ、３１ｂ）のネジ軸４１（４１ａ、４１ｂ）の先端部が移動方向に向けて連結され、ベース側ネジ軸４１ａと、テーブル側ネジ軸４１ｂのそれぞれの押し引き駆動により、テーブル部１３とベース部１２とが互いに相対的な移動変位を伴いつつ直交するＸ軸方向とＹ軸方向の２方向に動作移動する構成となっている。
【００１１】
ガイド部材２は、両側にガイド溝２１１、２１１を有する長尺平板状の案内レール２１と、案内レール２１に被嵌される凹状のスライダ部２２とを有し、このスライダ部２２の内面に対向形成されたガイド片２２１、２２１をガイド溝２１１、２１１に係合させた挟持状態でスライド走行自在に案内支持される公知のリニアガイド機構により構成されている。このガイド部材２を組としてそれぞれ基台１１上とベース部１２上の両側端縁に案内レール２１、２１を配設し、ベース部１２下とテーブル部１３下にスライダ部２２を配設した状態で移動可能に連動連結されている。なお、ガイド部材２はこれに限定されることなく、ＸＹテーブル１のワークの種類や使用される直動アクチュエータ３の種類などにより、その構成の異なるものを取捨選択して置換できることは勿論である。
【００１２】
本実施形態における直動アクチュエータ３としては、直動軸４としてネジ軸４１を備える直動型ステッピングモータ３１が採用される。直動型ステッピングモータ３１（以下単に「直動モータ」という）は、モーターケースの内部に備えるロータ（めねじ）にネジ軸４１（おねじ）を螺合させ、ロータの回動により、ネジ軸４１の先端部を、ベース部１２とテーブル部１３に対して、それぞれその動作方向に向けて押し引き動作可能に廻り止め連結させた状態で、非回転の直進運動に変換して進退移動させる構成となっている。
【００１３】
ベース側直動モータ３１ａと、テーブル側直動モータ３１ｂは、それぞれ基台１１の外周となる側面にブラケット５、５を介して、基台１１から離間した状態で装着固定されている。つまり、ブラケット５は、側面視上向きＬ字状に形成され、ブラケット５の平面域が、ベース部１２またはテーブル部１３の移動ストローク域Ｓとして設定されており、この直動モータ３１ａ、３１ｂの固定位置を起点として、ベース側ネジ軸４１ａとテーブル側ネジ軸４１ｂのそれぞれの押し引き移動量を管理した統一化されたモータ制御を行うことができる。なお、直動モータ３１の基台１１からの離間幅を移動ストローク域Ｓとして設定するには、ブラケット５の平面域によらず、基台１１自体を延出して平面域を形成しても良く、要は、直動アクチュエータ３を基台１１から所定の離間幅をもって装着固定できる構成のものであれば良い。
【００１４】
この様に構成すると、基台１１とベース部１２、およびベース部１２とテーブル部１３を特許文献２の如く、互いに離間した空間を存した状態で配設させ、ベース部１２がベース側直動モータ３１ａの上面を通過し、テーブル部１３がテーブル側直動モータ３１ｂの上面を通過するような配置構成とする必要が無く、基台１１、ベース部１２、テーブル部１３を密接載置した状態でＸＹテーブル１を薄型に形成することができる。
【００１５】
図中６はネジ軸４１の先端部を太鼓状の２平面に形成し、当該先端部を廻り止め連結するための連結部材であって、該連結部材６のうち、ベース側連結部材６１は、ベース部１２の外周面の中央位置に取着され、ベース側ネジ軸４１ａの先端部を、その平面を上下方向にして挿入し、ピン６１ａを縦方向に挿通することで廻り止め連結される。
一方、テーブル側連結部材６２は、テーブル部１３の外周面の長手方向に取着したガイド部材２を介してスライド走行自在に案内支持される。即ち、テーブル部１３の外周面に案内レール２１が設けられ、テーブル側連結部材６２は、テーブル側ネジ軸４１ｂの先端部を、その平面を左右方向にして挿入し、ピン６２ａを横方向に挿通することで廻り止め連結する連結部６２１と、この連結部６２１に、Ｌ字状の継ぎ手片６２２を介してスライダ部２２を装着し、スライダ部２２のガイド片２２１、２２１をガイド溝２１１、２１１に係合させた挟持状態でスライド走行自在に案内支持せしめて廻り止め連結されている。
【００１６】
つまり、テーブル部１３とテーブル側ネジ軸４１ｂの先端部とは、テーブル側ネジ軸４１ｂの先端部に設けられたテーブル側連結部材６２を、テーブル部１３に設けられた案内レール２１に対して、スライダ部２２を介してＸ軸方向にスライド自在に案内支持させて廻り止め連結させることで、テーブル部１３がベース部１２の進退移動に伴ってＸ軸方向へ移動すると、これに追随して案内レール２１も、テーブル側連結部材６２に対してＸ軸方向にスライド移動することになり、このテーブル部１３の移動に伴って、テーブル側連結部材６２のテーブル部１３の外周面（案内レール２１）に対する押し引き位置が変位し、このスライド移動する位置変位に応じて、テーブル側連結部材６２を介したテーブル側ネジ軸４１ｂの押し引き動作によってＹ軸方向に移動可能な構成となっている。従って、図示する如く、テーブル部１３がベース部１２と共にＸ軸方向へ移動した状態で、テーブル側連結部材６２によるテーブル部１３への押し引き動作位置が、その移動量だけ変位し、このように移動変位する何れの位置からもテーブル部１３をＹ軸方向に進退移動することができるようになっている。
【００１７】
なお、テーブル部１３の外周面に案内レール２１を設けることで、テーブル側連結部材６２をスライダ部２２を介してスライド走行自在に案内支持させたが、これに限定されることなく、テーブル部１３の外周端部を段差状に面落ち形成して、案内レール２１を上面に向けて配設し、Ｌ字状の継ぎ手片６２２にスライダ部２２を下向きに装着して、ガイド片２２１、２２１をガイド溝２１１、２１１に挟持状態で被嵌係合させるようにしても良い。また、ガイド片２２１を別体のものとしたが、継ぎ手片６２２自体にガイド片を成形しても良く、要は、テーブル側連結部材６２に対して案内レール２１がスライド自在に案内支持された構成のものであれば良い。
【００１８】
次に、ＸＹテーブル１の他の実施例を図２に基づいて説明する。なお、ＸＹテーブル１及びガイド部材２を介した移動の構成及び動作は、前記実施形態とほぼ同じであり、その余の前記実施形態と共通する構成および機能については、図示及び詳細な説明を省略する。
図２は、直動アクチュエータ３としてシャフト型リニアモータ３２が採用されたＸＹテーブル１の動作前の状態を示す全体斜視図であって、この図に示すように、本実施形態におけるシャフト型リニアモータ３２（以下単に「リニアモータ」という）は、ドーナツ状に巻線形成されて並設された複数のコイルを内周部に備える長尺な筒状のモーターケース３２１と、モーターケース３２１にスライド自在に外嵌される直動軸４としてのシャフト軸４２を備え、シャフト軸４２内には、非磁性体ステンレス管内に複数の棒状磁石が互いの磁極が対向するように直列状に配列され、コイルの励磁によりシャフト軸４２を直線的に進退（ピストン）駆動させる構成となっている。コイルは、３相コイルを組とするコイルブロック毎を組として、順次に切換え励磁制御されて、シャフト軸４２は、棒状磁石がコイルの励磁を受けない区間があってもリニア駆動することができるようになっている。
【００１９】
ベース側リニアモータ３２ａと、テーブル側リニアモータ３２ｂは、それぞれ基台１１の外周となる側面にブラケット５、５を介して、基台１１から離間した移動ストローク域Ｓを存して装着固定され、それぞれのシャフト軸４２の先端部に設けられたキャップ部材を、ベース部１２とテーブル部１３に対して、その動作方向に向けて押し引き動作可能に連結部材６に廻り止め連結させた構成となっている。連結部材６のうち、ベース側連結部材６１は、ベース部１２と一体化されて外周面の中央位置に成形され、ベース側シャフト軸４２ａの先端部を、そのキャップ部材に形成された太鼓状の２平面を左右方向にして挿入し、図示しないピン６２ａを横方向に挿通することで廻り止め連結される、所謂、テーブル側連結部材６２と同様の構成をもって連結される。
【００２０】
ブラケット５によって形成される移動ストローク域Ｓは、前述の直動モータ３１の移動ストローク域Ｓよりも短めに設定されており、図示された基台１１、ベース部１２、テーブル部１３の外周面が一致した状態となる。
【００２１】
叙述の如く構成された本発明の実施の形態において、いま、ＸＹテーブル１を、その駆動源として直動アクチュエータ３を用いて、直動軸４を直接的にベース部１２やテーブル部１３に連結して、その押し引き動作でテーブル部１３を、ベース部１２と共にＸ軸方向に一体移動し、Ｙ軸方向には独立移動することで、テーブル部１３とベース部１２とが互いに相対的な移動変位を伴いつつＸ軸方向とＹ軸方向の２方向に動作移動するのであるが、本発明におけるＸＹテーブル１は、ベース部１２とテーブル部１３とを夫々直線的に進退駆動する直動軸４（４１、４２）を備えた直動アクチュエータ３（３１、３２）によって動作させるに、該直動アクチュエータ３は、直動軸４の先端部を、ベース部１２とテーブル部１３に対して、それぞれその動作方向に向けて押し引き動作可能に廻り止め連結させた状態で基台１１に装着固定せしめると共に、テーブル部１３とテーブル側における直動軸４（４１ｂ、４２ｂ）の先端部とは、該直動軸４（４１ｂ、４２ｂ）の先端部に設けられたテーブル側連結部材６２を、テーブル部１３に設けられた案内レール２１に対して、Ｘ軸方向にスライド自在に案内支持させて連結し、テーブル部１３は、案内レール２１が、テーブル側連結部材６２に対してＸ軸方向にスライド移動する位置変位に応じて、当該テーブル側連結部材６２を介した直動軸４（４１ｂ、４２ｂ）の押し引き動作によってＹ軸方向に移動可能に構成されている。
【００２２】
この様に構成すると、テーブル部１３の外周域にＸ軸方向とＹ軸方向にそれぞれ押し引き動作するための直動アクチュエータ３を備えたＸＹテーブル１でありながら、直動アクチュエータ３を、テーブル部１３とは一体移動することがなく、基台１１に装着固定させた状態で、ベース部１２と共にテーブル部１３がＸ軸方向に一体移動した際に、テーブル側連結部材６２と廻り止め連結された案内レール２１が、テーブル側連結部材６２に対してＸ軸方向にスライド移動し、当該案内レール２１の位置変位に応じて、テーブル側直動軸４１ｂ、４２ｂによる押し引き動作によってテーブル部１３をＹ軸方向へ移動することが可能となり、テーブル部１３に固定されたモータが、テーブル部１３と共に一体移動する従来の取着構造を排除して、テーブル部１３の外周域にモータへの電源供給用の配線ケーブルの配設を回避することができると共に、これら配線ケーブルを収容し保護するためのケーブルベア（登録商標）等のケーブル保護部材やロボットケーブルなどの高価な対屈曲ケーブルを不要なものとして、部品点数の削減を図ることができるばかりか、モータと共に移動する露出する配線ケーブルが曲げ疲労による破損や断線を生じる危惧を一掃することができ、しかも、テーブル部１３の外周域に対する専用の収容スペースを確保する必要を無くし得て、他のワーク機器との併合やセンサなどの位置決め機器の配設などのアッセンブリを容易なものとし、或いは、Ｘ軸方向とＹ軸方向に対するテーブル部１３の移動制御を、それぞれ何れの方向も直動軸４の押し引き移動量により管理することができ、モータ制御を統一化し簡略化することが可能となるなど装置全体を安価に製作することができ、直動アクチュエータ３の種類もワークの用途に応じて適宜選択して採用することができる。
【００２３】
また、案内レール２１は、両側にガイド溝２１１、２１１を有する平帯状に形成されてテーブル部１３の先端側に設けられると共に、テーブル側連結部材６２は、テーブル側直動軸４１ｂ、４２ｂが取着される連結部６２１と、該連結部６２１に一体に設けられて案内レール２１に被嵌される凹状のスライダ部２２とを有し、該スライダ部２２に形成されたガイド片２２１、２２１をガイド溝２１１、２１１に係合させた挟持状態でスライド走行自在に案内支持されている。
したがって、テーブル部１３がベース部１２と共にＸ軸方向に一体移動した際に、テーブル側連結部材６２のスライダ部２２と案内レール２１とが、そのガイド片２２１、２２１とガイド溝２１１、２１１とによる係合させた挟持状態で、確りと廻り止め連結することができ、案内レール２１が、テーブル側連結部材６２に対してＸ軸方向にスライド移動し、当該案内レール２１の位置変位に応じて、テーブル側直動軸４１ｂ、４２ｂによってテーブル部１３をＹ軸方向へ押し引き動作させることができる。
【００２４】
また、ベース部１２はテーブル状に形成され、基台１１とベース部１２、および、ベース部１２とテーブル部１３とは、両側にガイド溝２１１、２１１を有する平帯状の案内レール２１を組としてそれぞれ基台１１上とベース部１２上の両側端縁に配設し、ガイド溝２１１、２１１に係合されるガイド片２２１、２２１を有して案内レール２１に被嵌される凹状のスライダ部２２を、ベース部１２下とテーブル部１３下に配設したガイド部材２を介して移動可能に連動連結されている。つまり、本ＸＹテーブル１に採用されるガイド部材２は、市販のリニアガイド機構により構成されるものであり、案内レール２１を基台１１上とベース部１２上に形成した凹溝内に抜け止め固定し、スライダ部２２をベース部１２下とテーブル部１３下に形成した凹溝内に抜け止め固定した状態で、案内レール２１とスライダ部２２とを組付けすれば、基台１１、ベース部１２、テーブル部１３を載置状態で簡易な構成をもって組付けセットでき、安価に製作することができる。
【符号の説明】
【００２５】
１      ＸＹテーブル
１１    基台
１２    ベース部
１３    テーブル部
２      ガイド部材
２１    案内レール
２１１  ガイド溝
２２    スライダ部
２２１  ガイド片
３      直動アクチュエータ
３１    直動型ステッピングモータ（直動モータ）
３１ａ  ベース側直動モータ
３１ｂ  テーブル側直動モータ
３２    シャフト型リニアモータ（リニアモータ）
３２ａ  ベース側リニアモータ
３２ｂ  テーブル側リニアモータ
３２１  モーターケース
４      直動軸
４１    ネジ軸（直動軸）
４１ａ  ベース側直動軸（ネジ軸）
４１ｂ  テーブル側直動軸（ネジ軸）
４２    シャフト軸（直動軸）
４２ａ  ベース側直動軸（シャフト軸）
５      ブラケット
６      連結部材
６１    ベース側連結部材
６１ａ  ピン
６２    テーブル側連結部材
６２ａ  ピン
６２１  連結部
６２２  継ぎ手片
Ｓ      移動ストローク域
【図１】
2018024034.tif 000003
【図２】
2018024034.tif 000004