(57)【要約】      （修正有）【課題】被封止部材間を高気密に封止し、その高気密性を良好に保持することのできる封止材料を提供する。【解決手段】ガラス粉末とジルコニア粉末と有機物とを含む封止用グリーンシートであって、ジルコニア粉末は不定形状を有し、ガラス粉末とジルコニア粉末との合計を１００体積％としたときに、ガラス粉末の占める割合は２０体積％〜９０体積％以下であり、封止用グリーンシート全体を１００質量％としたときに、有機物の占める割合は１５質量％以下である封止用グリーンシート。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス粉末とジルコニア粉末と有機物とを含む封止用グリーンシートであって、
前記ジルコニア粉末は不定形状を有し、
前記ガラス粉末と前記ジルコニア粉末との合計を１００体積％としたときに、前記ガラス粉末の占める割合は２０体積％以上９０体積％以下であり、
前記封止用グリーンシート全体を１００質量％としたときに、前記有機物の占める割合は１５質量％以下である、封止用グリーンシート。
【請求項２】
前記ジルコニア粉末のアスペクト比が５以下である、請求項１に記載の封止用グリーンシート。
【請求項３】
前記ジルコニア粉末の円形度が０．５よりも大きい、請求項１または２に記載の封止用グリーンシート。
【請求項４】
前記ジルコニア粉末が電融ジルコニア粉末を含む、請求項１〜３のいずれか１つに記載の封止用グリーンシート。
【請求項５】
大気雰囲気において８５０℃の温度で２時間焼成したときの収縮率が１５％以下である、請求項１〜４のいずれか１つに記載の封止用グリーンシート。
【請求項６】
前記ガラス粉末の３０℃から５００℃までの熱膨張係数と、前記ジルコニア粉末の３０℃から５００℃までの熱膨張係数との差が、１×１０−６Ｋ−１以下である、請求項１〜５のいずれか１つに記載の封止用グリーンシート。
【請求項７】
前記ガラス粉末の３０℃から５００℃までの熱膨張係数が、９．５×１０−６Ｋ−１〜１１．５×１０−６Ｋ−１である、請求項１〜６のいずれか１つに記載の封止用グリーンシート。
【請求項８】
前記有機物がアクリル系樹脂を含む、請求項１〜７のいずれか１つに記載の封止用グリーンシート。
【請求項９】
金属部材間または金属部材とセラミック部材との間を封止するために用いられる、請求項１〜８のいずれか１つに記載の封止用グリーンシート。
【請求項１０】
燃料電池のセルまたは前記セルが複数個電気的に接続されてなる燃料電池のスタックを作製するために用いられる、請求項１〜９のいずれか１つに記載の封止用グリーンシート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、封止用グリーンシートに関する。
【背景技術】
【０００２】
固体酸化物形燃料電池（ＳＯＦＣ：Solid Oxide Fuel Cell）の単セルは、酸化物イオン伝導体を含んだ緻密な固体電解質を介して、多孔質な燃料極（アノード）と多孔質な空気極（カソード）とが対向された構造を有する。ＳＯＦＣの両電極にはガスを供給するためのガス管が接続され、かかるガス管を通じて、燃料極には燃料ガス（例えば水素ガス）が、空気極には酸素含有ガス（例えば空気）が供給される。ＳＯＦＣでは、それぞれの電極でガスが混合しないように、ガス管と単セルとの間が高気密に封止される必要がある。
【０００３】
ＳＯＦＣは、実用的には複数個の単セルを重ね合わせて複層化したスタックなどとして使用される。かかるスタックでは、単セル同士を接続するためにインターコネクタが用いられている。インターコネクタは、単セル間を電気的に接続すると共に、ガスを分離するセパレータとしての役割を担っている。ＳＯＦＣのスタックでは、インターコネクタと単セルとの間も高気密に封止される必要がある。
【０００４】
封止部の形成に関連する先行技術文献として、特許文献１〜３が挙げられる。例えば特許文献１には、ペースト状の封止材料を調製し、これを被封止部に付与して乾燥、焼成することにより、封止部を形成することが記載されている。例えば特許文献２には、封止材の製造方法として、ガラスマトリックスとセラミック繊維状粒子と有機物とを混合してペーストを調製し、これを顆粒化した後に加圧焼成する製造方法が開示されている。特許文献２にはまた、ガラスマトリックスとセラミック繊維状粒子とが２５：７５〜７５：２５の嵩比で混合され、セラミック繊維状粒子が配向性を有するように均一に分散されたＳＯＦＣ用の封止材が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１２０８２８号公報
【特許文献２】特開２００５−１９７２４２号公報
【特許文献３】特開平０７−１３０３８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ペースト状の封止材料を被封止部に直接付与する方法では、概して有機溶媒や有機バインダの使用量が多くなる。封止材料中の有機溶媒や有機バインダは、焼成時に燃え抜ける。このため、上記方法では封止部の緻密性が不足して、ガスリークを生じることがある。また、封止材料を付与した後の乾燥時間が長くなって作業効率が低下したり、乾燥時に溶媒の揮発に伴う環境衛生上の配慮が必要となったりすることがある。さらに、本発明者の検討によれば、特許文献１の封止材のようにセラミック繊維状粒子の配向性が高いと、温度変化に伴う封止部の体積変化（例えば厚みの変化）が大きくなる。このため、例えば焼成時に封止部の剥離や割れが生じたり、高温まで昇温して室温まで冷却するヒートサイクルを繰り返した際に封止部からのガスリークを生じたりすることがある。
【０００７】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、被封止部材間を高気密に封止し、その高気密性を良好に保持することのできる封止材料を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明により、ガラス粉末とジルコニア粉末と有機物とを含む封止用グリーンシートが提供される。上記ジルコニア粉末は不定形状を有する。上記ガラス粉末と上記ジルコニア粉末との合計を１００体積％としたときに、上記ガラス粉末の占める割合は２０体積％以上９０体積％以下である。上記封止用グリーンシート全体を１００質量％としたときに、上記有機物の占める割合は１５質量％以下である。
【０００９】
上記封止用グリーンシートでは、有機物の占める割合が１５質量％以下とペースト状の封止材料では達成することができないレベルにまで有機物の含有量が抑えられている。これにより、封止部の緻密性を高めて、ガスリークを抑制することができる。また、有機物の含有量が抑えられたシート状の封止材料を用いることで、作業効率を向上（典型的には乾燥時間を短縮）することができる。さらに、製造コストの削減や環境衛生の改善にも、つなげることができる。加えて、ガラス粉末と不定形状のジルコニア粉末とを上記割合で併用することにより、温度変化に伴う封止部の体積変化を抑えて、封止部の形状維持性を向上することができる。これにより、被封止部材間を高気密にシールして、例えばヒートサイクルを繰り返してもガスリークが生じ難い封止部を実現することができる。
【００１０】
なお、本明細書において「不定形状」とは、全体として形状が不揃いのものをいう。
また、本明細書において「グリーンシート」とは、完全な未焼成の状態のシート（生シート）の他に、例えば１００℃以下の温度で乾燥したシート（乾燥シート）や、１５０℃以下の温度で仮焼成したシート（仮焼成シート）をも包含し得る用語である。
【００１１】
ここに開示される好適な一態様では、上記ジルコニア粉末のアスペクト比が５以下である。これにより、封止部の収縮率をより良く抑えて、ガスリークなどの不具合をさらに高いレベルで抑制することができる。したがって、本発明の効果を更に高いレベルで奏することができる。
【００１２】
なお、本明細書において「アスペクト比」とは、粉末を構成する複数個の粒子の長径／短径比の平均をいう。例えば、電子顕微鏡を用いて少なくとも２個（例えば２〜５０個）の粒子を観察して、各々の粒子画像について外接する最小の長方形を描き、長方形の短辺の長さ（例えば厚さ）Ｂに対する長辺の長さＡの比（Ａ／Ｂ）を算出する。この値を算術平均することで、アスペクト比を求めることができる。
【００１３】
ここに開示される好適な一態様では、上記ジルコニア粉末の円形度が０．５よりも大きい。これにより、封止部の収縮率をより良く抑えて、ガスリークなどの不具合をさらに高いレベルで抑制することができる。したがって、本発明の効果を更に高いレベルで奏することができる。
【００１４】
なお、本明細書において「円形度」とは、粉末を構成する複数個の粒子の周囲長と面積とから、次の式：円形度＝Ｌ０／Ｌ１（ただし、Ｌ０は粒子画像から算出された粒子の面積と同一の面積を有する理想円（真円）の周囲長であり、Ｌ１は粒子画像から計測された実際の周囲長である。）；で算出された値の算術平均値をいい、円形度が１に近づくほど、粒子の形状が真円に近いことを表している。
【００１５】
ここに開示される好適な一態様では、上記ジルコニア粉末が電融ジルコニア粉末を含む。電融ジルコニアは融点が高く、耐熱性や耐熱衝撃性、機械的強度に優れる。電融ジルコニア粉末を含むことで、封止部の厚みの変化や封止部からのガスリークをより良く抑えることができる。
【００１６】
ここに開示される好適な一態様では、大気雰囲気において８５０℃の温度で２時間焼成したときの収縮率が１５％以下である。これにより、焼成後の封止部に剥離や割れなどが生じ難くなり、気密性の高い封止部を、より安定的に形成することができる。
【００１７】
ここに開示される好適な一態様では、上記ガラス粉末の３０℃から５００℃までの熱膨張係数と、上記ジルコニア粉末の３０℃から５００℃までの熱膨張係数との差が、１×１０−６Ｋ−１以下である。これにより、例えばヒートサイクルを長期間繰り返した場合にも、高気密な封止状態をより安定的に保持することができる。
【００１８】
なお、本明細書において「熱膨張係数」とは、熱機械分析装置を用いて測定した平均線膨張係数をいう。例えば、ＪＩＳ Ｒ ３１０２（１９９５）に準じて、１０℃／分の一定速度で試料を昇温したときの平均線膨張係数をいう。
【００１９】
ここに開示される好適な一態様では、上記ガラス粉末の３０℃から５００℃までの熱膨張係数が、９．５×１０−６Ｋ−１〜１１．５×１０−６Ｋ−１である。これにより、例えば金属部材などの比較的熱膨張係数の高い被封止部材と、熱膨張係数を好適に整合させることができる。
【００２０】
ここに開示される好適な一態様では、上記有機物がアクリル系樹脂を含む。これにより、封止用グリーンシートの保管時の品質安定性が高められ、例えば長期保管後にも封止用グリーンシートの形状を安定的に保持することができる。
【００２１】
ここに開示される好適な一態様では、上記封止用グリーンシートが、金属部材間または金属部材とセラミック部材との間を封止するために用いられる。
また、ここに開示される他の好適な一態様では、上記封止用グリーンシートが、燃料電池の単セルまたは上記単セルが複数個電気的に接続されてなる燃料電池のスタックを作製するために用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】一実施形態に係るＳＯＦＣシステムを模式的に示す分解斜視図である。
【図２】試験例における熱処理パターンである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な実施形態を説明する。なお、本明細書において特に言及している事項（例えば、封止用グリーンシートの構成など）以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄（例えば、ＳＯＦＣの一般的な製造プロセスやＳＯＦＣシステムの構成など）は、当該分野における従来技術に基づく当業者の設計事項として把握され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。なお、以下の説明において、「Ａ〜Ｂ（ただし、Ａ，Ｂが任意の値）」とは、Ａ，Ｂの値（上限値および下限値）を包含するものとする。
【００２４】
≪封止用グリーンシート≫
ここに開示される封止用グリーンシートは、２つ以上の被封止部材間に配置して焼成することにより、被封止部材間に封止部を形成するためのものである。この封止用グリーンシートは、必須の構成成分として、ガラス粉末と、ジルコニア粉末と、有機物とを含んでいる。その他の性状については特に限定されず、種々の基準に照らして任意に決定し得る。例えば種々の成分を配合したりその組成を変更したりすることができる。なお、本明細書において「粉末」とは、カレット状、パウダー状、フリット状などを包含する用語である。
【００２５】
ガラス粉末は、無機バインダとして機能する成分であり、被封止部材間の密着性や接合性を高める働きをする。ガラス粉末の熱膨張係数は特に限定されない。一例では、ガラス粉末の熱膨張係数と被封止部材の熱膨張係数とが同等であり、両者の差が、概ね２×１０−６Ｋ−１以下、例えば１×１０−６Ｋ−１以下であるとよい。また、被封止部材の熱膨張係数が、８×１０−６Ｋ−１〜１２×１０−６Ｋ−１程度である場合には、ガラス粉末の熱膨張係数が、概ね８×１０−６Ｋ−１〜１２×１０−６Ｋ−１、典型的には９．５×１０−６Ｋ−１〜１１．５×１０−６Ｋ−１、例えば１０×１０−６Ｋ−１〜１１×１０−６Ｋ−１であるとよい。
【００２６】
ガラス粉末は、封止部を形成する際の焼成温度（封止温度）環境下において、適度な流動性を有することが好ましい。一例では、当該温度における高温粘度（硝子平行板粘度測定装置を用いて測定した変形速度からＧｅｎｔ式に基づいて算出される粘度）が、概ね１〜１０Ｐａ・ｓであるとよい。これにより、封止温度を比較的低温（例えば７００℃〜９００℃）に設定して、当該温度で被封止部材間を安定的に封止することができる。
【００２７】
ガラス粉末としては特に限定されず、例えば、一般的な非晶質ガラスの他に、結晶を含んだ結晶化ガラスであってもよい。また、ガラス成分についても特に限定されず、適宜選択して使用することができる。例えば、ＳｉＯ２−ＲＯ（ＲＯは第２族元素の酸化物、例えばＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯを表す。以下同じ。）系ガラス、ＳｉＯ２−ＲＯ−Ａｌ２Ｏ３系ガラス、ＳｉＯ２−ＲＯ−Ｒ２Ｏ（Ｒ２Ｏはアルカリ金属元素の酸化物、例えばＬｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ、Ｒｂ２Ｏ、Ｃｓ２Ｏ、Ｆｒ２Ｏを表す。以下同じ。）系ガラス、ＳｉＯ２−ＲＯ−ＺｎＯ系ガラス、ＳｉＯ２−ＲＯ−ＺｒＯ２系ガラス、ＳｉＯ２−ＲＯ−Ｂｉ２Ｏ３系ガラス、ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３系ガラス、ＳｉＯ２−Ｒ２Ｏ系ガラス、ＳｉＯ２−ＺｎＯ系ガラス、ＳｉＯ２−ＺｒＯ２系ガラス、ＲＯ−Ｒ２Ｏ系ガラス、ＲＯ−ＺｎＯ系ガラスなどであってよい。また、鉛系ガラス、鉛リチウム系ガラス、ホウケイ酸系ガラスなどであってよい。なお、これらのガラスは、上記呼称に現れている主たる構成成分の他に１つまたは２つ以上の成分を含んでもよい。これらのガラスは１種を単独で用いても良く、２種以上を混合して用いても良い。
【００２８】
上述のような性状（熱膨張係数や高温粘度）を好適に有し得るガラスとしては、例えば、ケイ素成分（ＳｉＯ２）と少なくとも１種の第２族元素成分（ＲＯ）とを含むガラスが挙げられる。
ケイ素成分は、ガラスの骨格を構成する成分である。また、熱膨張係数や高温粘度を調整する成分でもある。ケイ素成分を含むことにより、ガラスの高温粘度を調整して、封止温度を低めに設定することができる。さらに、封止部の耐水性、耐薬品性、耐熱衝撃性のうちの少なくとも１つを向上することができる。一好適例では、酸化物換算の質量比で、ケイ素成分が第１成分（最も多い割合を占める成分、好ましくは５０質量％以上を占める主成分）である。
第２族元素成分は、ガラスの熱的安定性を向上させるための成分である。また、熱膨張係数や高温粘度を調整する成分でもある。一好適例では、酸化物換算の質量比で、カルシウム成分（ＣａＯ）が第１成分である。これにより、ガラスの硬度を高めて、封止部の耐摩耗性を向上することができる。一好適例では、酸化物換算の質量比で、バリウム成分（ＢａＯ）が第１成分である。これにより、封止部の耐熱性、耐久性のうちの少なくとも１つを向上することができる。
【００２９】
ガラス粉末の平均粒径（レーザー回折・光散乱法で測定した体積基準の粒度分布において、微粒子側から累積５０％に相当する粒子径をいう。以下同じ。）は特に限定されないが、典型的にはナノメートルサイズ〜ミクロンサイズである。平均粒径が０．１μｍ以上、例えば０．５μｍ以上であると、封止用グリーンシートの成形時の取扱性や作業性を向上することができる。また、平均粒径が概ね４０μｍ以下、例えば２０μｍ以下であると、封止温度を低めに設定することができ、焼成時の熱収縮（熱応力による歪み）をより良く抑えることができる。
【００３０】
ジルコニア（ＺｒＯ２）粉末は、高耐熱性のフィラーであり、封止部の形状維持性を向上する成分である。ジルコニア粉末の熱膨張係数は特に限定されない。例えば、被封止部材と同等であってもよいし、ガラス粉末と同等であってもよい。一好適例では、ジルコニア粉末の熱膨張係数と、ガラス粉末の熱膨張係数との差が、概ね２×１０−６Ｋ−１以下、例えば１×１０−６Ｋ−１以下である。また、ガラス粉末の熱膨張係数が８×１０−６Ｋ−１〜１２×１０−６Ｋ−１程度である場合には、ジルコニア粉末の熱膨張係数が、概ね８×１０−６Ｋ−１〜１２×１０−６Ｋ−１、典型的には９．５×１０−６Ｋ−１〜１１×１０−６Ｋ−１、例えば１０×１０−６Ｋ−１〜１１×１０−６Ｋ−１であるとよい。
【００３１】
ジルコニア粉末としては、ジルコニア質を含むものであればよく、特に限定されない。例えば、二酸化ジルコニウム、ジルコンサンド、ジルコンフラワー、脱珪ジルコニア、電融ジルコニアなどとして市販されているものを適宜選択して使用することができる。電融ジルコニアは、ジルコニア質原料を溶融、凝固させた後、粉砕することにより製造される。電融ジルコニアは融点が高く、耐熱性や耐熱衝撃性、機械的強度に優れる。電融ジルコニア粉末を含むことで、封止部の厚みの変化や封止部からのガスリークをより良く抑えることができる。また、ジルコニア粉末は、イットリア、カルシア、マグネシア、スカンジア、およびセリアのうちの少なくとも１つで安定化された安定化ジルコニア（例えば電融安定化ジルコニア）、すなわち、イットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ；Yttria stabilized zirconia）、カルシア安定化ジルコニア（ＣＳＺ；Calcia stabilized zirconia）、マグネシア安定化ジルコニア（ＭＳＺ；Magnesia stabilized zirconia）、スカンジア安定化ジルコニア（ＳｃＳＺ；Scandia stabilized zirconia）などであってもよい。
【００３２】
ジルコニア粉末は、不定形状である。つまり、全体として形状が不揃いであって様々な形状の粒子を含み得るという点で、例えば、形状が繊維状（長軸方向の長さＬと幅長Ｗとの比（Ｌ／Ｗ）が１０以上であるもの。）の粉末や、板状（長軸方向の長さＬと厚さＴとの比（Ｌ／Ｔ）が１０以上であるもの。）の粉末などとは区別されるものである。不定形状の一例として、破砕物が挙げられる。不定形状のジルコニア粉末は、繊維状や板状のものに比べて相対的に耐熱性が高く、温度変化に伴う封止部の体積変化（収縮）を抑えることができる。これにより、焼成時の割れを抑制して、安定的に封止部を形成することができる。また、ヒートサイクル時のヒートショックを軽減して、封止部を好適に維持することができる。
【００３３】
ジルコニア粉末のアスペクト比は、概ね７以下、典型的には５以下、例えば３以下であるとよい。アスペクト比を上記範囲とすることで、封止部の収縮率をより良く抑えて、ガスリークなどの不具合をさらに高いレベルで抑制することができる。ジルコニア粉末のアスペクト比は１以上、好ましくは１よりも大きく、例えば１．５以上であるとよい。アスペクト比が１に近くなると、粒子同士の摩擦が少なくなり、封止部での移動性が高くなる。アスペクト比を所定値以上とすることで、その形状が滑り止めとして機能し得、封止部の形状維持性をより良く高めることができる。
【００３４】
ジルコニア粉末の円形度は、概ね０．５よりも大きく、典型的には０．７以上、例えば０．９以上であるとよい。円形度を所定値以上とすることで、封止部の収縮率をより良く抑えて、ガスリークなどの不具合をさらに高いレベルで抑制することができる。また、封止部の充填性や均質性を向上することもできる。ジルコニア粉末の円形度は、概ね０．９９以下、典型的には０．９７以下、例えば０．９５以下であるとよい。円形度が１に近くなると、粒子同士の摩擦が少なくなり、封止部での移動性が高くなる。円形度を所定値以下とすることで、その形状が滑り止めとして機能し得、封止部の形状維持性をより良く高めることができる。また、真球状の粒子を使用する場合に比べて、製造コストを削減することもできる。
【００３５】
ジルコニア粉末の平均粒径は特に限定されないが、典型的にはガラス粉末の平均粒径と同等かそれ以下であることが好ましい。これにより、均質な封止部を好適に実現することができる。一例として、平均粒径が、概ね３０μｍ以下、典型的には２０μｍ以下、例えば２μｍ〜１５μｍ程度であるとよい。
【００３６】
ガラス粉末とジルコニア粉末との合計を１００体積％としたときに、ガラス粉末の占める割合は２０体積％以上９０体積％以下であり、ジルコニア粉末の占める割合は１０体積％以上８０体積％以下である。言い換えれば、ガラス粉末とジルコニア粉末との質量比率は、ガラス粉末：ジルコニア粉末＝２０：８０〜９０：１０である。ガラス粉末の占める割合を所定値以上とすることで、被接合部材への良好な密着性を実現して、被封止部材間を高気密に封止することができる。また、ガラス粉末の占める割合を所定値以下とすることで、封止部の形状維持性を向上して、温度変化に伴う封止部の体積変化を抑えることができる。その結果、被封止部材間の高気密性を良好に保持することができる。
【００３７】
ヒートサイクル時のシール性をより良く向上する観点からは、ガラス粉末の占める割合が、体積基準で、３０体積％以上であることが好ましく、例えば４０体積％以上、更には５０体積％以上、特には７０体積％以上であることがより好ましい。言い換えれば、ジルコニア粉末の占める割合が、体積基準で、７０体積％以下であることが好ましく、例えば６０体積％以下、更には５０体積％以下、特には３０体積％以下であることがより好ましい。
【００３８】
一方、ヒートサイクル時の収縮率を小さく抑える観点からは、ガラス粉末の占める割合が、体積基準で、７８体積％以下であることが好ましく、例えば６０体積％以下、更には５０体積％以下、特には３０体積％以下であることがより好ましい。言い換えれば、ジルコニア粉末の占める割合は、体積基準で、２２体積％以上であることが好ましく、例えば４０体積％以上、更には５０体積％以上、特には７０体積％以上であることがより好ましい。
【００３９】
ガラス粉末とジルコニア粉末との合計を１００質量％としたときに、ガラス粉末が占める割合は、質量基準で、概ね２５〜９５質量％、典型的には２７〜９５質量％、例えば２７〜７０質量％であってもよいし、例えば７０〜９５質量％であってもよい。また、ジルコニア粉末が占める割合は、質量基準で、概ね５〜７５質量％、典型的には５〜７２質量％、例えば３０〜７２質量％であってもよいし、例えば５〜３０質量％であってもよい。これにより、被接合部材への良好な密着性をより良く実現して、被封止部材間を高気密に封止することができる。また、封止部の形状維持性をより良く向上して、体積変化を抑えることができる。その結果、被封止部材間の高気密性を良好に保持することができる。
【００４０】
有機物としては特に限定されず、一般的な封止材料に添加し得ることが知られている各種成分を１種または２種以上適宜選択して使用することができる。有機物の一例として、有機バインダ、分散剤、増粘剤、界面活性剤、可塑剤、消泡剤、酸化防止剤、防腐剤、帯電防止剤、ｐＨ調整剤、着色剤、有機溶媒などが挙げられる。なかでも、被封止部材に封止用グリーンシートを付与する際の取扱性や作業性を向上する観点からは、有機バインダを含むことが好ましい。また、作業効率を向上（典型的には乾燥時間を短縮）する観点からは、有機溶媒を含まないことが好ましい。
【００４１】
有機バインダは、封止用グリーンシートの形状一体性を高める成分である。有機バインダとしては、例えば、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノール系樹脂、アミン系樹脂、アルキド系樹脂、セルロース系高分子などが挙げられる。なかでも、アクリル系樹脂を含むことが好ましい。アクリル系樹脂を含むことにより、被封止部材に対する封止用グリーンシートの粘着性を高めて、封止部形成時の取扱性や作業性を向上することができる。また、保管時の品質安定性を高めて、例えば長期保管後にも封止用グリーンシートの形状を安定的に保持することができる。アクリル系樹脂としては、アルキル（メタ）アクリレートを主モノマー（単量体全体の５０質量％以上を占める成分）として含む重合体や、かかる主モノマーと当該主モノマーに共重合性を有する副モノマーとを含む共重合体が挙げられる。なお、本明細書中において「（メタ）アクリレート」とは、アクリレートおよびメタクリレートを意味する用語である。
【００４２】
封止用グリーンシート全体を１００質量％としたときに、有機物が占める割合は、質量基準で、１５質量％以下であり、典型的には５〜１５質量％、例えば１０〜１４質量％であるとよい。これにより、封止用グリーンシートの柔軟性や一体性が高まり、封止部を形成する際の封止用グリーンシートの取扱性や作業性を高めることができる。このため、封止部を安定的に形成することができる。
【００４３】
封止用グリーンシートは、上記３成分から構成されていてもよく、上記３成分に加えてその他の任意成分を含んでいてもよい。その他の任意成分としては、例えば、ジルコニア粉末以外の種々のフィラーや焼結助剤などの無機物が挙げられる。
【００４４】
封止用グリーンシートは、大気雰囲気において８５０℃の温度で２時間焼成したときの収縮率が、概ね１５％以下であるとよい。これにより、焼成後の封止部に剥離や割れなどが生じ難くなり、気密性の高い封止部をより安定的に形成することができる。上記収縮率は、１４％以下であることが好ましく、例えば１２．５％以下であることがより好ましい。
【００４５】
封止用グリーンシートの平均厚みは特に限定されないが、概ね５０μｍ〜２０００μｍ、典型的には１００μｍ〜１０００μｍ程度である。平均厚みが所定値以上であると、機械的強度を向上することができる。また、平均厚みが所定値以下であると、体積変化を小さく抑えることができ、耐久性を向上することができる。
【００４６】
≪封止用グリーンシートの作製方法≫
封止用グリーンシートは、例えば次のようにして作製することができる。
まず、ガラス粉末と、不定形状のジルコニア粉末と、有機物（例えば、有機バインダ、分散剤、消泡剤、離型剤など）と、その他の任意成分とを用意し、これらの材料を混合して、組成物を調製する。組成物の調製は、例えばボールミルなどの混合機に上記材料を投入し、均質に撹拌することによって行うことができる。
【００４７】
次に、得られた組成物を所定の大きさに造粒（成形）して、所謂、そぼろ状の造粒粒子を得る。造粒の方法については特に限定されず、例えば、噴霧造粒法（スプレードライ法）、転動造粒法、流動層造粒法、撹拌造粒法、圧縮造粒法、押出造粒法、破砕造粒法などを採用することができる。一好適例では、噴霧造粒法を採用する。具体的には、上記組成物を液状に調製して、乾燥雰囲気中に噴霧し、乾燥させることで造粒（成形）する。この手法では、噴霧される液滴に含まれる粒子が概ね１つの塊になって造粒される。このため、液滴の大きさによって造粒粒子の大きさや質量などを容易に調整することができる。
【００４８】
次に、上記得られた造粒粒子をシート状に成形する。成形方法としては、ロール成形法を好適に採用することができる。
なお、一般的なシート成形法であるドクターブレード法では、上述したような組成物に有機溶媒を添加してスラリーを調製し、これをドクターブレードと呼ばれる板状の刃を用いて成形した後、有機溶媒を乾燥させる。このため、スラリーにはある程度の粘性を持たせる必要があり、必然的に有機物（典型的には、有機溶媒、有機バインダ、増粘剤）の含有量が多くなる。これによって、焼成前の乾燥に要する時間が長くなったり、乾燥時に環境衛生上の問題を生じたりすることがあり得る。
【００４９】
これに対して、ロール成形法では、回転するロールで原料の粉体を圧縮し、シート状に成形する。このため、粉末状やそぼろ状の原料を直接ロール成形機に投入することができる。すなわち、原料をスラリー状に調製する必要がない。ロール成形法では、例えば、反対方向に回転する一対のロールの間に造粒粒子を供給し、この一対のロール間で造粒粒子を圧縮することにより、シート状に成形する。したがって、ロール成形法によれば、有機物の含有量を抑えて、作業効率を向上することができる。また、製造コストの削減や環境衛生の改善にもつなげることができる。さらに、均質性に優れた封止用グリーンシートを安定的に成形することができる。
【００５０】
≪封止用グリーンシートの用途≫
封止用グリーンシートは、被封止部材に貼り付けた後、焼成することによって、封止部の形成に使用することができる。このため、被封止部材にペーストを付与する方法に比べて、作業者の利便性を向上することができる。封止用グリーンシートは、同種部材間または異種部材間の電気的・物理的な封止接合、例えば、複数の金属部材間の封止接合、複数のセラミック部材間の封止接合、セラミック部材と金属部材との封止接合などに好適に用いることができる。一例では、金属部材とセラミック部材との間（封止部分）に封止用グリーンシートを配置して、封止用グリーンシートに含まれるガラス粉末の軟化点以上の温度域、典型的には６００℃以上、例えば７００℃〜９００℃で焼成する。これにより、金属部材とセラミック部材との間に封止部を形成することができる。
【００５１】
金属部材の具体例としては、ＳＯＦＣの単セルにガスを供給するためのガス管や、ＳＯＦＣの単セル間に配置され、該単セル同士を電気的に接続するインターコネクタなどが挙げられる。金属部材の材質としては、ステンレス鋼、アルミニウム、クロム、鉄、ニッケル、銅、銀、マンガン、およびこれらの合金などが挙げられる。それら金属部材の熱膨張係数は、１０×１０−６Ｋ−１〜１５×１０−６Ｋ−１程度であり得る。
セラミック部材の具体例としては、ＳＯＦＣのアノードやカソード、インターコネクタなどが挙げられる。セラミック部材の材質としては、アルミナ、フォルステライト、チタニア、イットリア、ジルコニア、安定化ジルコニアなどが挙げられる。セラミック部材は、いずれか１種のセラミックの単体であっても良いし、２種以上のセラミックが複合化された複合材料（例えば、ムライト、ステアタイト、アルミナジルコニアなど）であっても良い。それらセラミック部材の熱膨張係数は、６×１０−６Ｋ−１〜８×１０−６Ｋ−１程度であり得る。
【００５２】
ここに開示される封止用グリーンシートによれば、各種部材間を高気密に封止することができ、長期にわたって安定して高い気密性を維持することができる。例えば高温域で使用したり、常温域〜高温域でヒートサイクルを繰り返したりする場合であっても、高い長期耐久性や耐ヒートサイクル性を実現することができる。したがって、ここに開示される封止用グリーンシートは、例えば高温域に曝され得る部品や、高温作動型の装置、具体的には、ＳＯＦＣや蓄電素子などの各種発電システム、およびそれらを製造するための製造装置、ゴミ焼却装置、排ガス除去装置などの環境装置、車両用の排ガス処理装置、エンジン燃焼試験装置、真空系乾燥装置、半導体装置などの構築に好適に用いることができる。例えば、ＳＯＦＣの単セルまたは上記単セルが複数個電気的に接続されてなるＳＯＦＣのスタックの構築に好ましく用いることができる。言い換えれば、ここに開示される技術により、封止用グリーンシートの焼成体で構成されている封止部を備えたＳＯＦＣの単セルまたはスタックが提供される。
【００５３】
図１は、ＳＯＦＣシステム３０を模式的に示す分解斜視図である。以下、図１を参照しながら説明する。以下の図面において、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明し、重複する説明は省略または簡略化することがある。また、各図における寸法関係（長さ、幅、厚さなど）は必ずしも実際の寸法関係を反映するものではない。ＳＯＦＣシステム３０は、従来公知の製造方法に準じて製造することができる。
【００５４】
ＳＯＦＣシステム３０は、複数のＳＯＦＣの単セル１０Ａ、１０Ｂと、複数のインターコネクタ２０、２０Ａとを備えている。ＳＯＦＣシステム３０は、単セル１０Ａ、１０Ｂが金属製のインターコネクタ２０Ａを介して積み重ねられたスタック構造を有する。単セル１０Ａ、１０Ｂは、層状の固体電解質１４の両面が、層状の燃料極（アノード）１２と層状の空気極（カソード）１６とで挟まれたサンドイッチ構造を備えている。固体電解質１４は、例えば、イットリア安定化ジルコニア（ＹＳＺ）やガドリニアドープセリア（ＧＤＣ：Gadolinia doped ceria）などの酸化物イオン伝導体である。燃料極１２は、例えば、ニッケル（Ｎｉ）や、ニッケルとＹＳＺとのサーメットである。空気極１６は、例えば、ランタンコバルトネート（ＬａＣｏＯ３）系やランタンマンガネート（ＬａＭｎＯ３）系のペロブスカイト型酸化物である。単セル１０Ａ、１０Ｂでは、燃料極１２が固体電解質１４や空気極１６に比べて厚めに形成されている。単セル１０Ａ、１０Ｂは、燃料極１２が支持体としての機能を有する、所謂、燃料極支持型（ＡＳＣ：Anode-Supported Cell）である。
【００５５】
図面中央に配されるインターコネクタ２０Ａは、その両面を単セル１０Ａ、１０Ｂで挟まれており、一方の対向面２２が単セル１０Ａの空気極１６と対向し、他方の対向面２６が単セル１０Ｂの燃料極１２と対向している。インターコネクタ２０Ａの対向面２２、２６と、それぞれ対応する単セル１０Ａ，１０Ｂの燃料極１２あるいは空気極１６の対向面との間には、ここに開示される封止用グリーンシートの焼成体（図示せず）が配置され、封止部が形成されている。対向面２２には複数の溝が形成されており、供給された酸素含有ガス（典型的には空気）が流れる酸素含有ガス流路２４を構成している。また、対向面２６にも複数の溝が形成されており、供給された燃料ガス（典型的にはＨ２ガス）が流れるための燃料ガス流路２８を構成している。インターコネクタ２０Ａでは、酸素含有ガス流路２４と燃料ガス流路２８とが直交している。
【００５６】
ＳＯＦＣシステム３０の作動時には、燃料ガス流路２８に燃料ガス（ここでは水素（Ｈ２）ガス）が、酸素含有ガス流路２４に酸素（Ｏ２）含有ガス（ここでは空気（Ａｉｒ））が、それぞれ供給される。ＳＯＦＣシステム３０では、空気極１６において酸素が還元され、酸化物イオンとなる。該酸化物イオンが固体電解質１４を介して燃料極１２に到達して、燃料ガスを酸化し、電子を放出する。これにより電気エネルギーが発生する。
【００５７】
なお、図１に示すＳＯＦＣの単セル１０Ａ、１０Ｂは平型（Planar）であるが、これには限定されず、他にも種々の形状とすることができる。例えば、従来公知の多角形型、円筒型（Tubular）、あるいは円筒の周側面を垂直に押し潰した扁平円筒型（Flat Tubular）などを採用することができる。また、平型のＳＯＦＣとしては、ここで開示される燃料極支持型（ＡＳＣ）の他にも、例えば固体電解質を厚くした電解質支持型（ＥＳＣ：Electrolyte-Supported Cell）や、空気極を厚くした空気極支持型（ＣＳＣ：Cathode-Supported Cell）などを採用することができる。その他、燃料極の下側（固体電解質から離れる側）に多孔質な金属シートを入れた、メタルサポートセル（ＭＳＣ：Metal-Supported Cell）とすることもできる。また、ＳＯＦＣのサイズも特に限定されない。
【００５８】
以下、本発明に関する幾つかの試験例を説明するが、本発明をかかる試験例に示すものに限定することを意図したものではない。
【００５９】
＜検討例Ｉ＞
まず、ガラス粉末（ＲＯ−ＳｉＯ２−Ａｌ２Ｏ３−Ｂ２Ｏ３系ガラス、平均粒径：２０μｍ、熱膨張係数：１０．８×１０−６Ｋ−１）と、不定形状のジルコニア粉末（電融ジルコニア（昭和電工株式会社製）、アスペクト比：３、円形度：０．９３、平均粒径：１０μｍ、熱膨張係数：１０．８×１０−６Ｋ−１）と、繊維状のジルコニア粉末（アスペクト比：１０、円形度：０．５、平均粒径：２０μｍ、熱膨張係数：１０．９×１０−６Ｋ−１、Zircar Ziroconia Inc. 製）とを用意し、各例につき、下表１に示す「ガラス粉末：ジルコニア粉末」の体積割合で混合粉末を調製した。
次に、参考例１，２では、上記混合粉末と有機物（アクリル系バインダと分散剤と消泡剤と離型剤）とを有機溶媒中に分散させて、ペースト状に調製した。また、参考例３，４および例１では、上記混合粉末に上記有機物を添加して、噴霧造粒によって造粒粒子を作成し、得られた造粒粒子をロール成形によってシート状に成形した。なお、表１中の「有機物含有量」の欄には、封止材料全体を１００質量％としたときの有機物の含有量（質量％、参考例１，２では、有機溶媒の含有量を含む値。）を表している。
【００６０】
【表１】
2018020947.tif 000003
【００６１】
次に、上記作製したペースト状の封止材料（参考例１，２）およびシート状の封止材料（例１、参考例３，４）を、それぞれ２枚の金属板（ＳＯＦＣインターコネクタ用フェライト系合金Ｃｒｏｆｅｒ（商標） ２２ ＡＰＵ（マグネクス株式会社製、熱膨張係数：１１×１０−６Ｋ−１）の間に挟んで、一方の金属板の側から圧力を加え、金属板と封止材料とを密着させた。この積層体を図２に示す熱処理パターンで焼成し、封止部の形成（１）と２回のヒートサイクル（２），（３）とを行った。そして、以下の項目について評価した。
〔ガスリーク評価〕
（１）〜（３）の各パターンの終了後に、それぞれ２枚の金属板の隙間から漏れ出すガス量を測定した。結果を表１の「ガスリーク」の欄に示す。この欄において、「有り」は１回でもガスリークが認められたことを、「無」はガスリークが認められなかったことを表している。
〔封止部の厚みの評価〕
（１）〜（３）の各パターンの終了後に、封止部の厚み（一方の金属板から他方の金属板に向かう方向の長さ）を測定し、その変化を評価した。結果を表１の「厚み変化」の欄に示す。この欄において、「大きい」は厚みの変化が１０％以上であることを、「有り」は厚みの変化が５％以上１０％未満であることを、「無」は厚みの変化が５％未満であることを表している。
〔収縮率の評価〕
参考例４と例１に係るシート状の封止材料をφ２５ｍｍの円板状に打ち抜き、測定用の試験片とした。この試験片を、図２の（１）のパターンで焼成したときの収縮率を測定した。具体的には、焼成前の試験片の直径から焼成後の試験片の直径を差し引き、その差分を焼成前の試験片の直径で除して、１００を掛けることにより、収縮率を算出した。結果を表１の「収縮率」の欄に示す。この収縮率は円板状の試験片の直径方向の収縮率である。
【００６２】
表１に示すように、参考例１は、ジルコニア粉末を含まず、かつ、有機物含有量が３０質量％を占めているペースト状の封止材料を使用して、封止部を形成した例である。参考例１では、（１）〜（３）のパターン終了後の厚み変化がいずれも大きかった。これは、熱処理時に金属部材が膨張収縮することによって封止部に圧力がかかり、徐々に封止部が変形したためと考えられる。その結果、参考例１では、金属部材間の気密性が低くなり、（１）〜（３）のパターン終了後にガスリークが生じたものと考えられる。
参考例２は、有機物含有量が３０質量％を占めているペースト状の封止材料を使用して、封止部を形成した例である。参考例２では、（１）〜（３）のパターン終了後に封止部が徐々に薄くなった。これは、封止材料の有機物含有量が多かったために、封止部の緻密性が低くなったためと考えられる。
参考例３は、ジルコニア粉末を含まないシート状の封止材料を使用して、封止部を形成した例である。参考例３も、参考例１，２と同様に、（１）〜（３）のパターン終了後に封止部が徐々に薄くなった。
【００６３】
一方、ガラス粉末とジルコニア粉末とを含み、有機物含有量の低いシート状の封止材料を使用して、封止部を形成した参考例４および例１では、（１）〜（３）のパターン終了後の厚み変化やヒートサイクルでのガスリークは認められなかった。さらに、例１では、不定形状のジルコニア粉末を使用したことで、繊維状のジルコニア粉末を使用した参考例４に比べて、封止部の収縮率を２割以上小さく抑えることができた。
【００６４】
＜検討例ＩＩ＞
ここでは、ガラス粉末とジルコニア粉末との混合割合を検討した。すなわち、「ガラス粉末：ジルコニア粉末」の体積割合を下表２に示すように変更したこと以外は上記した例１と同様にして、例２〜５、参考例４，５のシート状の封止材料を作製し、検討例Ｉと同様の評価を行った。結果を表２に示す。なお、表２には、体積基準の割合とあわせて質量基準の割合を記載している。
【００６５】
【表２】
2018020947.tif 000004
【００６６】
表２に示すように、ガラス粉末：ジルコニア粉末が、体積基準で、９５：５である参考例４は、（１）〜（３）のパターン終了後に封止部の厚みの変化が認められ、収縮率も大きかった。また、ガラス粉末：ジルコニア粉末が、体積基準で、１５：８５である参考例５は、（１）〜（３）のパターン終了後にガスリークが認められた。これは、ガラス粉末の割合が少ないことで、金属部材と封止部との間の密着性や接合性が低下したためと考えられる。
一方、ガラス粉末：ジルコニア粉末が、体積基準で、２０：８０〜９０：１０である、言い換えれば、ガラス粉末とジルコニア粉末との合計を１００体積％としたときに、体積基準で、ガラス粉末の割合が２０〜９０体積％、ジルコニア粉末の割合が１０〜８０体積％である例１〜５では、（１）〜（３）のパターン終了後に、封止部の厚みの変化や封止部からのガスリークは認められず、収縮率も小さく抑えられていた。
【００６７】
以上の結果から、ここに開示される封止用グリーンシートによれば、温度変化に伴う封止部の体積変化を抑えて、封止部の形状を好適に維持することができる。これにより、被封止部材間を高気密にシールして、例えばヒートサイクルを繰り返してもガスリークの生じ難い封止部を実現することができる。
【００６８】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、請求の範囲を限定するものではない。請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【符号の説明】
【００６９】
１０Ａ、１０Ｂ    ＳＯＦＣの単セル
１２    燃料極（アノード）
１４    固体電解質層
１６    空気極（カソード）
２０、２０Ａ    インターコネクタ
３０    ＳＯＦＣシステム
【図１】
2018020947.tif 000005
【図２】
2018020947.tif 000006