(57)【要約】【課題】板状のワークの反り量を精度良く測定するのに有効な技術を提供する。【解決手段】反り量測定装置１は、定盤１０と、定盤１０に向けて照明光を照射するための照明装置２０と、定盤１０の上面１１に置かれたワークＷを定盤１０の側面１２とともに側方視点３１，３３から撮影するためのカメラ３０と、を備え、定盤１０は、側面１２に上面１１に連接するように設けられ予め定められた上下方向の面幅Ｂを有する第１検出面１３と、側面１２に第１検出面１３の下方に連接するように設けられた第２検出面１４と、を有し、照明装置２０の照射時に第１検出面１３を側方視点３１，３３からみたときの輝度が、第２検出面１４を側方視点３１，３３からみたときの輝度を下回り且つワークＷを側方視点３１，３３からみたときの輝度を下回るように構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状のワークの反り量を測定する、ワークの反り量測定装置であって、
定盤と、
上記定盤に向けて照明光を照射するための照明装置と、
上記定盤の上面に置かれた上記ワークを上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するためのカメラと、
を備え、
上記定盤は、上記側面に上記上面に連接するように設けられ予め定められた上下方向の面幅を有する第１検出面と、上記側面に上記第１検出面の下方に連接するように設けられた第２検出面と、を有し、上記照明装置の照射時に上記第１検出面を上記側方視点からみたときの輝度が上記第２検出面を上記側方視点からみたときの輝度を下回り且つ上記ワークを上記側方視点からみたときの輝度を下回るように構成されている、ワークの反り量測定装置。
【請求項２】
上記定盤は、上記側方視点から上記側面に向かう視点方向に対して交差した交差面によって上記第１検出面が構成され、且つ上記交差面と同一の素材からなり上記視点方向に対して垂直な垂直面によって上記第２検出面が構成されている、請求項１に記載の、ワークの反り量測定装置。
【請求項３】
上記定盤の母材面によって上記側面の上記第１検出面及び上記第２検出面の双方が構成されている、請求項２に記載の、ワークの反り量測定装置。
【請求項４】
上記照明装置は、上記ワークの角部のＲ面の法線方向に照明光を照射するように構成されている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の、ワークの反り量測定装置。
【請求項５】
上記ワークの反り量に関する処理を行う処理装置を備え、
上記処理装置は、
上記カメラによって撮影された撮影画像の明暗差に基づいて、上記ワークの角部に相当する第１位置と、上記定盤の上記側面のうち上記第１検出面と上記第２検出面との境界に相当する第２位置と、をそれぞれ検出する画像処理部と、
上記画像処理部においてそれぞれ検出された上記第１位置と上記第２位置との上下方向の距離から上記第１検出面の上記上下方向の寸法を差し引いた値を上記反り量として演算する演算部と、
を備える、請求項１〜４のいずれか一項に記載の、ワークの反り量測定装置。
【請求項６】
上記定盤は、上記側面に上記上面に沿った水平方向に互いに離間し且つ上記カメラによる撮影で識別可能な２つの目印を有し、
上記処理装置の上記画像処理部は、上記照明装置の照射時に上記カメラによって撮影された撮影画像に基づいて、上記ワークの上記水平方向の２つの角部のそれぞれについて上記第１位置を検出し、且つ上記２つの目印のそれぞれについて当該目印に相当する第３位置を検出するように構成され、
上記処理装置の上記演算部は、上記画像処理部で検出された情報に基づいて、一方の上記第１位置と一方の上記第３位置との上記水平方向の距離と、他方の上記第１位置と他方の上記第３位置との上記水平方向の距離と、が加算された加算値を算出し、算出した上記加算値がその理論値の範囲内にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われたと判定する一方で、算出した上記加算値が上記理論値の範囲外にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われていないと判定するように構成されている、請求項５に記載の、ワークの反り量測定装置。
【請求項７】
板状のワークの反り量を測定する、ワークの反り量測定方法であって、
定盤に向けて照明光を照射するための照明装置と、上記定盤の上面に置かれた上記ワークを上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するためのカメラと、をそれぞれ準備するとともに、上記定盤として、上記側面に上記上面に連接するように設けられ予め定められた上下方向の面幅を有する第１検出面と、上記側面に上記第１検出面の下方に連接するように設けられた第２検出面と、を有し、上記照明装置の照射時に上記第１検出面を上記側方視点からみたときの輝度が上記第２検出面を上記側方視点からみたときの輝度を下回り且つ上記ワークを上記側方視点からみたときの輝度を下回るように構成された定盤を準備する準備ステップと、
上記照明装置によって上記定盤に向けて照明光を照射した状態で上記カメラによる撮影を行う撮影ステップと、
を有する、ワークの反り量測定方法。
【請求項８】
上記準備ステップにおいて、上記定盤として、上記側方視点から上記側面に向かう視点方向に対して交差した交差面によって上記第１検出面が構成され、且つ上記交差面と同一の素材からなり上記視点方向に対して垂直な垂直面によって上記第２検出面が構成された定盤を準備する、請求項７に記載の、ワークの反り量測定方法。
【請求項９】
上記準備ステップにおいて、上記定盤として、上記側面の上記第１検出面及び上記第２検出面の双方がその母材面によって構成された定盤を準備する、請求項７または８に記載の、ワークの反り量測定方法。
【請求項１０】
上記準備ステップにおいて、上記照明装置によって上記ワークの角部のＲ面の法線方向に照明光が照射されるように設定する、請求項７〜９のいずれか一項に記載の、ワークの反り量測定方法。
【請求項１１】
上記撮影ステップで上記カメラによって撮影された撮影画像の明暗差に基づいて、上記ワークの角部に相当する第１位置と、上記定盤の上記側面のうち上記第１検出面と上記第２検出面との境界に相当する第２位置と、をそれぞれ検出する画像処理ステップと、
上記画像処理ステップでそれぞれ検出された上記第１位置と上記第２位置との上下方向の距離から上記第１検出面の上記上下方向の寸法を差し引いた値を上記反り量として演算する演算ステップと、
を有する、請求項７〜１０のいずれか一項に記載の、ワークの反り量測定方法。
【請求項１２】
上記準備ステップにおいて、上記定盤として、上記側面に上記上面に沿った水平方向に互いに離間し且つ上記カメラによる撮影で識別可能な２つの目印を有する定盤を準備し、
上記画像処理ステップにおいて、上記撮影ステップで上記照明装置の照射時に上記カメラによって撮影された撮影画像に基づいて、上記ワークの上記水平方向の２つの角部のそれぞれについて上記第１位置を検出し、且つ上記２つの目印のそれぞれについて当該目印に相当する第３位置を検出し、
上記演算ステップにおいて、上記画像処理ステップで検出した情報に基づいて、一方の上記第１位置と一方の上記第３位置との上記水平方向の距離と、他方の上記第１位置と他方の上記第３位置との上記水平方向の距離と、が加算された加算値を算出し、算出した上記加算値がその理論値の範囲内にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われたと判定する一方で、算出した上記加算値が上記理論値の範囲外にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われていないと判定する、請求項１１に記載の、ワークの反り量測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの反り量を測定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車やその他の工業製品の製造過程において、板状の部材（以下、「ワーク」という。）の品質管理のために、ワークの板厚方向の反り量が測定される。下記の特許文献１には、この種のワークの反り量を測定するための具体例な測定方法が開示されている。この測定方法（以下、「第１の測定方法」という。）は、モアレ干渉法やレーザフォーカス法を用いてワーク表面の三次元形状を検出し、検出した三次元形状に基づいてワークの板厚方向の反り量を演算するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−１２９７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の第１の測定方法は、以下のような問題を抱えている。
即ち、この第１の測定方法は、ワーク上面の三次元形状を上方から検出するものであって、反り量に直接的に関与するワーク下面の位置を検出するものではないため、ワークの反り量を精度良く測定することができない。また、ワーク上面に別の要素が積層された構造において、下側に位置するワークの反り量を測定したい場合には、別の要素が邪魔になってワーク上面の三次元形状を計測すること自体が難しい。更に、レーザフォーカス法において使用するレーザ測定器は高価である。
【０００５】
そこで、この第１の測定方法に代えて、定盤の上面に置かれたワークの側面に照明光を当てた状態で、このワークを側方からカメラによって撮影する測定方法（以下、「第２の測定方法」という。）を用いることができる。この第２の測定方法の場合、定盤の上面からワーク端部までの垂直距離を測定することによって反り量が求められる。この第２の測定方法は、ワークの反り量の測定のためにレーザ測定器のような高価な機器を使用することなく、ワーク端部の位置を直接的に検出することができるという利点がある。
【０００６】
ところが、上記の第２の測定方法において、ワーク端面全体やワーク下面が照明光によって白く光って認識されると、撮影画像においてワーク端部を他の部位と区別することができず、ワーク端部の位置を誤認識することが想定され得る。また、定盤の側面が照明光によって白く光って認識されると、ワークの実際の反り量が微小或いはゼロのときには、撮影画像において定盤とワークとの明暗差が無くなって境界が判りづらく、ワーク端部の位置を正しく検出するのが難しい。そして、ワーク端部の位置を正しく検出できないと、ワークの反り量を精度良く測定することができない。
【０００７】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、板状のワークの反り量を精度良く測定するのに有効な技術を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様は、
板状のワークの反り量を測定する、ワークの反り量測定装置であって、
定盤と、
上記定盤に向けて照明光を照射するための照明装置と、
上記定盤の上面に置かれた上記ワークを上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するためのカメラと、
を備え、
上記定盤は、上記側面に上記上面に連接するように設けられ予め定められた上下方向の面幅を有する第１検出面と、上記側面に上記第１検出面の下方に連接するように設けられた第２検出面と、を有し、上記照明装置の照射時に上記第１検出面を上記側方視点からみたときの輝度が上記第２検出面を上記側方視点からみたときの輝度を下回り且つ上記ワークを上記側方視点からみたときの輝度を下回るように構成されている、ワークの反り量測定装置、にある。
【０００９】
また、本発明の他の態様は、
板状のワークの反り量を測定する、ワークの反り量測定方法であって、
定盤に向けて照明光を照射するための照明装置と、上記定盤の上面に置かれた上記ワークを上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するためのカメラと、をそれぞれ準備するとともに、上記定盤として、上記側面に上記上面に連接するように設けられ予め定められた上下方向の面幅を有する第１検出面と、上記側面に上記第１検出面の下方に連接するように設けられた第２検出面と、を有し、上記照明装置の照射時に上記第１検出面を上記側方視点からみたときの輝度が上記第２検出面を上記側方視点からみたときの輝度を下回り且つ上記ワークを上記側方視点からみたときの輝度を下回るように構成された定盤を準備する準備ステップと、
上記照明装置によって上記定盤に向けて照明光を照射した状態で上記カメラによる撮影を行う撮影ステップと、
を有する、ワークの反り量測定方法、にある。
【発明の効果】
【００１０】
上記の、ワークの反り量測定装置及び反り量測定方法によれば、定盤の上面に置かれた板状のワークは、照明装置によって照明光が当てられた状態でカメラによって側方視点から撮影される。このとき、定盤の第１検出面は、定盤の第２検出面とワークとの間に配置され、定盤の第２検出面及びワークのそれぞれに対して相対的に輝度が低い状態で撮影される。
このため、カメラによって撮影された撮影画像において、定盤の第１検出面と第２検出面との輝度の違い（明暗差）によって第１検出面と第２検出面との境界の位置を容易に検出できる。また、定盤の第１検出面とワークとの輝度の違い（明暗差）によってワークの位置を容易に検出できる。
【００１１】
そして、定盤の第１検出面と第２検出面との境界とワークとの上下方向の距離から、定盤の第１検出面の上下方向の面幅を差し引くことによって、このワークの反り量を精度良く求めることができる。このとき、定盤の第１検出面と第２検出面との境界の位置と、ワークの位置と、を検出すれば足りるため、ワークの反り量を簡単に求めることができる。この反り量が微小或いはゼロであるときに、ワークの実際の反り量が微小或いはゼロであると判定することができる。
また、ワークの反り量の測定に、レーザ測定器のような高価な機器を使用する必要がない。
【００１２】
以上のごとく、上記の各態様によれば、板状のワークの反り量を精度良く測定することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１の反り量測定装置を示す斜視図。
【図２】図１のII-II線断面矢視図。
【図３】第１の設定位置にあるカメラによってワーク及び定盤の側面を撮影する様子を示す平面図。
【図４】第２の設定位置にあるカメラによってワーク及び定盤の側面を撮影する様子を示す平面図。
【図５】図１の反り量測定装置を使用したワーク反り量測定のフローチャート。
【図６】第１の設定位置にあるカメラによるワークの撮影画像を模式的に示す図。
【図７】反り量がゼロのワークについて第１の設定位置にあるカメラによる撮影画像を模式的に示す図。
【図８】第２の設定位置にあるカメラによるワークの撮影画像を模式的に示す図。
【図９】反り量がゼロのワークについて第２の設定位置にあるカメラによる撮影画像を模式的に示す図。
【図１０】ワークの反り量の測定が正しく行われたか否かを判定するロジックを説明するための図。
【図１１】実施形態２の反り量測定装置の定盤の断面構造を示す図。
【図１２】実施形態３の反り量測定装置の定盤の断面構造を示す図。
【図１３】実施形態４の反り量測定装置の定盤の一部の斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
上記の反り量測定装置において、上記定盤は、上記側方視点から上記側面に向かう視点方向に対して交差した交差面によって上記第１検出面が構成され、且つ上記交差面と同一の素材からなり上記視点方向に対して垂直な垂直面によって上記第２検出面が構成されているのが好ましい。
この反り量測定装置によれば、交差面と垂直面とによる単純な形状の組み合わせによって第１検出面及び第２検出面を構成することで、装置の構造を簡素化することができる。
【００１５】
上記の反り量測定装置において、上記定盤の母材面によって上記側面の上記第１検出面及び上記第２検出面の双方が構成されているのが好ましい。
この反り量測定装置によれば、定盤自体を利用して第１検出面及び第２検出面の双方を構成することで、装置の部品点数を少なく抑えることができる。
【００１６】
上記の反り量測定装置において、上記照明装置は、上記ワークの角部のＲ面の法線方向に照明光を照射するように構成されているのが好ましい。
この反り量測定装置によれば、照明装置の向きを調整するのみでワーク自体に手を加えることなく、ワークの輝度の設定を簡単に行うことができる。
【００１７】
上記の反り量測定装置は、上記ワークの反り量に関する処理を行う処理装置を備え、上記処理装置は、上記カメラによって撮影された撮影画像の明暗差に基づいて、上記ワークの角部に相当する第１位置と、上記定盤の上記側面のうち上記第１検出面と上記第２検出面との境界に相当する第２位置と、をそれぞれ検出する画像処理部と、上記画像処理部においてそれぞれ検出された上記第１位置と上記第２位置との上下方向の距離から上記第１検出面の上記上下方向の寸法を差し引いた値を上記反り量として演算する演算部と、を備えるのが好ましい。
この反り量測定装置によれば、カメラで撮影された撮影画像から処理装置によってワークの反り量を自動で簡単に演算することができる。
【００１８】
上記の反り量測定装置において、上記定盤は、上記側面に上記上面に沿った水平方向に互いに離間し且つ上記カメラによる撮影で識別可能な２つの目印を有し、上記処理装置の上記画像処理部は、上記照明装置の照射時に上記カメラによって撮影された撮影画像に基づいて、上記ワークの上記水平方向の２つの角部のそれぞれについて上記第１位置を検出し、且つ上記２つの目印のそれぞれについて当該目印に相当する第３位置を検出するように構成され、上記処理装置の上記演算部は、上記画像処理部で検出された情報に基づいて、一方の上記第１位置と一方の上記第３位置との上記水平方向の距離と、他方の上記第１位置と他方の上記第３位置との上記水平方向の距離と、が加算された加算値を算出し、算出した上記加算値がその理論値の範囲内にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われたと判定する一方で、算出した上記加算値が上記理論値の範囲外にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われていないと判定するように構成されているのが好ましい。
この反り量測定装置によれば、ワークの反り量を測定した後でこの測定が正しく行われたか否かを処理装置によって自動で簡単に判定することができる。特に、ワークの２つの角部をカメラによって一度に撮影できないような場合であっても、一方の第１位置と一方の第３位置との水平方向の距離と、他方の第１位置と他方の第３位置との水平方向の距離と、のそれぞれを、カメラで別々に撮影した撮影画像から求めることによって、上述の判定を精度良く行うことができる。
【００１９】
上記の反り量測定方法の上記準備ステップにおいて、上記定盤として、上記側方視点から上記側面に向かう視点方向に対して交差した交差面によって上記第１検出面が構成され、且つ上記交差面と同一の素材からなり上記視点方向に対して垂直な垂直面によって上記第２検出面が構成された定盤を準備するのが好ましい。
この反り量測定方法によれば、定盤の側面のうち交差面を利用して第１検出面を構成し且つ垂直面を利用して第２検出面を構成することで、構造が簡素化された装置を使用して反り量測定を行うことができる。
【００２０】
上記の反り量測定方法の上記準備ステップにおいて、上記定盤として、上記側面の上記第１検出面及び上記第２検出面の双方がその母材面によって構成された定盤を準備するのが好ましい。
この反り量測定方法によれば、定盤自体を利用して第１検出面及び第２検出面の双方を構成することで、部品点数が少なく抑えられた装置を使用して反り量測定を行うことができる。
【００２１】
上記の反り量測定方法の上記準備ステップにおいて、上記照明装置によって上記ワークの角部のＲ面の法線方向に照明光が照射されるように設定するのが好ましい。
この反り量測定方法によれば、照明装置の向きを調整するのみでワーク自体に手を加えることなく、ワークの輝度の設定を簡単に行うことができる。
【００２２】
上記の反り量測定方法は、上記撮影ステップで上記カメラによって撮影された撮影画像の明暗差に基づいて、上記ワークの角部に相当する第１位置と、上記定盤の上記側面のうち上記第１検出面と上記第２検出面との境界に相当する第２位置と、をそれぞれ検出する画像処理ステップと、上記画像処理ステップでそれぞれ検出された上記第１位置と上記第２位置との上下方向の距離から上記第１検出面の上記上下方向の寸法を差し引いた値を上記反り量として演算する演算ステップと、を有するのが好ましい。
この反り量測定装置によれば、カメラによって撮影された撮影画像からワークの反り量を簡単に演算することができる。
【００２３】
上記の反り量測定方法の上記準備ステップにおいて、上記定盤として、上記側面に上記上面に沿った水平方向に互いに離間し且つ上記カメラによる撮影で識別可能な２つの目印を有する定盤を準備し、上記画像処理ステップにおいて、上記撮影ステップで上記照明装置の照射時に上記カメラによって撮影された撮影画像に基づいて、上記ワークの上記水平方向の２つの角部のそれぞれについて上記第１位置を検出し、且つ上記２つの目印のそれぞれについて当該目印に相当する第３位置を検出し、上記演算ステップにおいて、上記画像処理ステップで検出した情報に基づいて、一方の上記第１位置と一方の上記第３位置との上記水平方向の距離と、他方の上記第１位置と他方の上記第３位置との上記水平方向の距離と、が加算された加算値を算出し、算出した上記加算値がその理論値の範囲内にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われたと判定する一方で、算出した上記加算値が上記理論値の範囲外にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われていないと判定するのが好ましい。
この反り量測定方法によれば、ワークの反り量を測定した後でこの測定が正しく行われたか否かを簡単に判定することができる。
【００２４】
以下、板状のワークの反り量を測定する技術の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２５】
この図面において、定盤の上面の幅方向（以下、「水平方向」ともいう。）である第１方向を矢印Ｘで示し、定盤の上面の奥行き方向である第２方向を矢印Ｙで示し、定盤の高さ方向（以下、「上下方向」ともいう。）である第３方向を矢印Ｚで示している。
【００２６】
（実施形態１）
図１に示されるように、実施形態１の反り量測定装置１は、板状のワークＷの板厚方向（第３方向Ｚ）の反り量を測定する装置である。この反り量測定装置１は、定盤１０と、照明装置２０と、カメラ３０と、処理装置４０と、を備えている。
【００２７】
定盤１０は、ワークＷを置くための水平な上面１１と、カメラ３０に対向する側面１２と、を有する。この定盤１０は、ステンレス等の金属材料によって構成されるのが好ましい。上面１１は、第１方向Ｘと第２方向Ｙの双方によって規定される平面（基準面）である。側面１２は、更に第１検出面１３及び第２検出面１４を有する。
【００２８】
第１検出面１３は、側面１２に上面１１に連接するように設けられ、予め定められた上下方向（第３方向Ｚ）の面幅（図２中の面幅Ｂを参照）を有する。即ち、第１検出面１３の面幅Ｂが水平方向（第１方向Ｘ）について一定になっている。第２検出面１４は、側面１２に第１検出面１３の下方に連接するように、即ち側面１２において上面１１とは反対側に設けられている。照明装置２０及びカメラ３０はいずれも、この側面１２（第１検出面１３及び第２検出面１４）に向けて配置される。
【００２９】
側面１２の第２検出面１４は、上面１１に沿った水平方向（第１方向Ｘ）に互いに離間し且つカメラ３０による撮影で識別可能なマーキングとしての２つの目印１６，１７を備えている。これら２つの目印１６，１７は、第２検出面１４の一部を黒色等の暗い色に塗色することによって形成されている。目印１６，１７は、その上方に位置するワークＷの角部Ｗａ，Ｗｂとの相対位置の検出精度を高めるために、上下方向（第３方向Ｚ）を長手方向として延びる形状であるのが好ましい。
【００３０】
ワークＷは、その平面形状が矩形であり、４つの角部Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ，Ｗｄを有する。このワークＷは、ステンレス等の金属材料によって構成されている。このワークＷは、その反り量の測定の際に、一方の長辺が側面１２に沿うように上面１１に置かれる。このとき、ワークＷは、２つの角部Ｗａ，Ｗｂの方が他の２つの角部Ｗｃ，Ｗｄよりもカメラ３０に近くなるように配置される。このワークＷにおいて少なくとも２つの角部Ｗａ，Ｗｂには、Ｒ面加工が施されている。
【００３１】
定盤１０の上面１１に置かれたワークＷについて、このワークＷの反り量は、基準面である上面１１に対するワーク端部の第３方向Ｚの浮き量（図１では、例えば２つの角部Ｗａ，Ｗｂのそれぞれについて上面１１からの垂直距離）として定義される。
【００３２】
照明装置２０は、定盤１０に向けて照明光を照射するための装置である。本実施形態では、この照明装置２０の光源としてＬＥＤが使用されている。この照明装置２０は、カメラ３０の撮像面に対して斜め方向から、対象物であるワークＷ及び定盤１０の双方に照明光を当てるように配置された斜光照明である。即ち、ワークＷに照明光を当てるための第１の照明装置と、定盤１０に照明光を当てるための第２の照明装置と、が１つの照明装置２０によって兼務されている。これにより、照明装置の数を少なく抑えることができる。
【００３３】
なお、ワークＷに照明光を当てる照明装置と、定盤１０に照明光を当てる照明装置と、が別個に設けられてもよい。また、照明装置２０の光源として、ＬＥＤ以外に、ハロゲンランプ、蛍光灯、タングステンランプ、メタルハライド、キセノンランプなどを使用することもできる。
【００３４】
カメラ３０は、定盤１０の側方の第１の設定位置Ｐ１に配置された状態で、定盤１０の上面１１に置かれたワークＷを定盤１０の側面１２とともに側方視点３１から撮影するための撮影手段である。このカメラ３０による側方視点３１での撮影によって、第１の視野３２に含まれる対象物の画像がＣＣＤ素子（図示省略）によって検出される。
【００３５】
カメラ３０の第１の視野３２には、ワークＷについては角部Ｗａが含まれ、定盤１０については側面１２の２つの検出面１３，１４の境界１５と左側の目印１６とが含まれている。これにより、ワークＷの角部Ｗａと、境界１５と、目印１６のそれぞれの撮影画像を、カメラ３０による１回の撮影で同時に得ることができる。
【００３６】
これに対して、カメラ３０が第２の設定位置Ｐ２に配置された場合には、このカメラ３０による側方視点３３での撮影によって、第２の視野３４に含まれる対象物の画像が検出される。
【００３７】
カメラ３０の第２の視野３４には、ワークＷについては角部Ｗｂが含まれ、定盤１０については側面１２の２つの検出面１３，１４の境界１５と右側の目印１７とが含まれている。これにより、ワークＷの角部Ｗｂと、境界１５と、目印１７のそれぞれの撮影画像を、カメラ３０による１回の撮影で同時に得ることができる。
【００３８】
尚、ワークＷの第１方向Ｘの寸法が小さい場合には、一箇所に固定されたカメラ３０によって、ワークＷの２つの角部Ｗａ，Ｗｂと、検出面１３，１４の境界１５と、２つの目印１６，１７のそれぞれの撮影画像を、１回の撮影で同時に得ることもできる。また、２つのカメラ３０，３０を準備し、一方のカメラ３０を第１の視野３２のための使用し、他方のカメラ３０を第２の視野３４のために使用することもできる。
【００３９】
処理装置４０は、ワークＷの反り量に関する処理を行うためのものであり、画像処理部４１、演算部４２、出力部４４及びメモリ４５を備えている。この処理装置４０として、カメラ３０に常時に或いは一時的に接続されるパーソナルコンピュータ（ＰＣ）が使用されるのが好ましい。
【００４０】
画像処理部４１は、カメラ３０で撮影された撮影画像の明暗差に基づいて、ワークＷの角部Ｗａ，Ｗｂに相当する角部位置としての第１位置Ｑ１と、定盤１０の側面１２のうち第１検出面１３と第２検出面１４との境界１５に相当する境界位置としての第２位置Ｑ２と、をそれぞれ検出する機能を有する。
【００４１】
詳細については後述するが、演算部４２は、画像処理部４１による検出情報に基づいて、ワークＷの反り量を演算する機能を有する。この演算部４２は、更にワークＷの反り量の測定が正しく行われたか否かを判定する判定部４３を備えている。この演算部４２による演算結果（判定部４３による判定結果を含む）は、出力部４４によって画面に表示出力される。
【００４２】
メモリ４５は、反り量の演算に使用するデータや、画像処理部４１、演算４２及び判定部４３のそれぞれにおいて得られた結果等を記憶し、記憶した情報を必要に応じて読み出すように構成されている。このメモリ４５には、例えば定盤１０については、側面１２の第１検出面１３の面幅Ｂと、２つの目印１６，１７の間隔が予め記憶され、ワークＷについては、第１方向Ｘの寸法（２つの角部Ｗａ，Ｗｂの間の距離）が予め記憶される。
【００４３】
図１及び図２に示されるように、定盤１０の側面１２の一部である第１検出面１３は、側方視点３１，３３から側面１２に向かう視点方向Ａに対して交差した交差面として構成されている。この交差面は平坦な傾斜面であり、この交差面を、上面１１と側面１２との境界となる角部が面取り加工された面取り部ということもできる。
【００４４】
これに対して、定盤１０の側面１２の一部である第２検出面１４は、側方視点３１，３３から側面１２に向かう視点方向Ａに対して垂直な垂直面として構成されている。この場合、２つの検出面１３，１４の双方が定盤１０の母材面によって構成されており、互いに同一の素材からなる。
【００４５】
このとき、第１検出面１３が傾斜面であるため、この第１検出面１３で反射した反射光（図２中の破線で示される光）は、第２検出面１４で反射した反射光に比べてカメラ３０の方向（視点方向Ａの逆方向）に戻りにくい、或いは反射光の光量（光束の時間積分量）が少ない。このため、照明装置２０の照射時に定盤１０の第１検出面１３を側方視点３１，３３からみたときの輝度は、第２検出面１４を側方視点３１，３３からみたときの輝度を下回る。第２検出面１４は第１検出面１３よりも輝度が高い高輝度領域となり、第１検出面１３は第２検出面１４よりも輝度が低い低輝度領域となる。従って、カメラ３０で撮影された撮影画像において、第２検出面１４に比べて第１検出面１３の方が暗く写る。
【００４６】
ここでいう「輝度」は、照明装置２０から照明が当てられた状態の対象物を側方視点３１，３３からみたときの相対的な明るさをいう。従って、側方視点３１，３３からみた対象物が周囲よりも明るい場合にこの対象物の輝度が高い（高輝度である）といい、側方視点３１からみた対象物が周囲よりも暗い場合にこの対象物の輝度が低い（低輝度である）ということができる。
【００４７】
図３に示されるように、照明装置２０は、カメラ３０が第１の設定位置Ｐ１（図１参照）に配置された状態では、ワークＷの角部Ｗａに向かう照射方向Ｄに照明光を照射するように構成されている。この照射方向Ｄは、ワークＷに対しては、角部ＷａのＲ面の法線方向（Ｒ面に接する接平面に対して垂直な方向）に一致する。このとき、照明光は、ワークＷの角部Ｗａで反射した後にカメラ３０に入射し易い。従って、ワークＷの角部Ｗａは、ワークＷのその周辺部位よりも輝度が高い状態でカメラ３０によって撮影される。従って、カメラ３０で撮影された撮影画像において、ワークＷの角部Ｗａが相対的に明るい部分（白い部分）として強調されて認識されることになる。
【００４８】
これと同様に、図４に示されるように、照明装置２０は、カメラ３０が第２の設定位置Ｐ２（図１参照）に配置された状態では、ワークＷの角部ＷａのＲ面の法線方向である照射方向Ｄに照明光を照射するように構成されている。従って、ワークＷの角部Ｗｂは、ワークＷのその周辺部位よりも輝度が高い状態でカメラ３０によって撮影される。従って、カメラ３０で撮影された撮影画像において、ワークＷの角部Ｗｂが相対的に明るい部分（白い部分）として強調されて認識されることになる。
【００４９】
この場合、ワークＷの角部Ｗａ及び角部Ｗｂはいずれも、定盤１０の第１検出面１３よりも輝度が高い高輝度領域となる。従って、照明装置２０の照射時に定盤１０の第１検出面１３を側方視点３１，３３からみたときの輝度は、ワークＷを側方視点３１，３３からみたときの輝度を下回る。
【００５０】
上記構成の反り量測定装置１において、定盤１０の側面１２をワークＷとともにカメラ３０で撮影したとき、第２検出面１４の方が第１検出面１３よりも白く写り、且つワークＷの角部Ｗａ，Ｗｂの方が第１検出面１３よりも白く写る。このため、定盤１０の第１検出面１３と第２検出面１４との境界１５の位置、及びワークＷの角部Ｗａ，Ｗｂの位置のそれぞれを容易に識別することが可能である。
【００５１】
次に、上記の反り量測定装置１を用いた反り量測定方法について具体的に説明する。
【００５２】
この反り量測定方法は、板状のワークＷの板厚方向（第３方向Ｚ）の反り量を測定する方法であり、図５に示されるフローチャートのステップＳ１０１からステップＳ１０５までの処理を順次実行することによって達成される。
【００５３】
なお、必要に応じてこのフローチャートに別のステップが追加されてもよいし、或いは１つのステップが複数のステップに分割されてもよい。
【００５４】
ステップＳ１０１は、前記の反り量測定装置１を構成する定盤１０と、照明装置２０と、カメラ３０と、をそれぞれ準備する準備ステップである。また、この準備ステップでは、定盤１０の上面１１にワークＷがセットされ、照明装置２０によってワークＷの一方の角部ＷａのＲ面の法線方向に照明光が照射されるように設定された状態で、カメラ３０が第１の位置Ｐ１（図１参照）に配置される。このステップＳ１０１は、作業者によって実行される。
【００５５】
ステップＳ１０１の実行後にステップＳ１０２が実行される。このステップＳ１０２は、照明装置２０によって定盤１０に向けて照明光を照射した状態でカメラ３０による撮影を行う撮影ステップである。このステップＳ１０２は、作業者が主体となって実行される。
【００５６】
このステップＳ１０２によれば、ワークＷは角部Ｗａを含む半分がこのカメラ３０によって定盤１０の側面１２とともに側方視点３１から撮影される。次に、このカメラ３０を第１の位置Ｐ１から第２の位置Ｐ２（図１参照）へと移動させ、且つ照明装置２０をワークＷの角部Ｗｂに向けて移動させた後、ワークＷは角部Ｗｂを含む半分がこのカメラ３０によって定盤１０の側面１２とともに側方視点３３から撮影される。これにより、カメラ３０による側方視点３１でのワークＷの撮影画像と、カメラ３０による側方視点３３でのワークＷの撮影画像と、がそれぞれ得られる。
【００５７】
ステップＳ１０２の実行後にステップＳ１０３が実行される。このステップＳ１０３は、ステップＳ１０２においてカメラ３０で撮影された撮影画像を処理する画像処理ステップである。このステップＳ１０３は、処理装置４０の画像処理部４１によって実行される。
【００５８】
このステップＳ１０３では、カメラ３０で撮影された撮影画像の明暗差に基づいて、ワークＷの角部Ｗａ，Ｗｂに相当する第１位置Ｑ１と、定盤１０の側面１２のうち第１検出面１３と第２検出面１４との境界１５に相当する第２位置Ｑ２と、がそれぞれ検出される。そして、検出した第１位置Ｑ１及び第２位置Ｑ２についての情報は、メモリ４５に記憶される。
【００５９】
このとき、撮影画像であるカラー画像を白黒２値化（「２階調化」ともいう。）する画像処理を実行するのが好ましい。この画像処理は、予め設定された閾値よりも明るいピクセルが全て白色に変換され、当該閾値よりも暗いピクセルが全て黒色に変換された白黒画像を得ることができる処理である。
【００６０】
このため、いずれも高輝度領域である第２検出面１４及びワークＷの角部Ｗａ，Ｗｂは白色に変換され、且つ低輝度領域である第１検出面１３が黒色に変換された白黒画像が得られる。この白黒画像によれば、ワークＷの角部Ｗａ，Ｗｂが明確になり、且つ第１検出面１３と第２検出面１４との境界１５が明確になるため、第１位置Ｑ１及び第２位置Ｑ２を容易に検出することができる。
【００６１】
なお、上述の白黒２値化は公知の処理であり、この処理についての更なる詳細な説明は省略する。
【００６２】
このステップＳ１０３では、ステップＳ１０２において照明装置２０の照射時にカメラ３０で撮影された撮影画像に基づいて、２つの目印１６，１７のそれぞれについて当該目印に相当する目印位置としての第３位置Ｑ３が検出される。このとき、２つの目印１６，１７はいずれも、暗い色で塗色されることによって形成されているため、白黒画像において黒色の部位として識別される。そして、検出した第３位置Ｑ３についての情報は、メモリ４５に記憶される。
【００６３】
ステップＳ１０３の実行後にステップＳ１０４が実行される。このステップＳ１０４は、ワークＷの反り量を演算する演算ステップである。このステップＳ１０４は、処理装置４０の演算部４２によって実行される。
【００６４】
このステップＳ１０４では、ステップＳ１０３でそれぞれ検出された第１位置Ｑ１と第２位置Ｑ２との上下方向の距離から第１検出面１３の上下方向の寸法、即ち第１検出面１３の面幅Ｂを差し引いた値を、ワークＷの反り量として演算する。この演算結果は、出力部４４によって画面に表示出力され、必要に応じてメモリ４５に記憶される。
【００６５】
図６に示されるように、ワークＷの角部Ｗａについては、この角部Ｗａの第１位置Ｑ１と境界１５の第２位置Ｑ２とをメモリ４５から読み出して、第１位置Ｑ１と第２位置Ｑ２との上下方向（第３方向Ｚ）の距離Ｈ１を求める。更に、メモリ４５に予め記憶されている第１検出面１３の面幅Ｂを読み出して、この面幅Ｂを距離Ｈ１から差し引いた算出値を求める。この算出値がワークＷの角部Ｗａにおける反り量Ｃ１になる。
【００６６】
図７に示されるように、定盤１０の上面１１とワークＷの角部Ｗａとの間の隙間がない場合には、このワークＷの反り量Ｃ１がゼロになる。この場合、反り量Ｃ１がゼロであってもワークＷの角部Ｗａの位置を正しく検出することができる。
【００６７】
一方で、図８に示されるように、ワークＷの角部Ｗｂについては、この角部Ｗｂの第１位置Ｑ１と境界１５の第２位置Ｑ２とをメモリ４５から読み出して、第１位置Ｑ１と第２位置Ｑ２との上下方向（第３方向Ｚ）の距離Ｈ２を求める。更に、メモリ４５に予め記憶されている第１検出面１３の面幅Ｂを読み出して、この面幅Ｂを距離Ｈ２から差し引いた算出値を求める。この算出値がワークＷの角部Ｗｂにおける反り量Ｃ２になる。
【００６８】
図９に示されるように、定盤１０の上面１１とワークＷの角部Ｗｂとの間の隙間がない場合には、このワークＷの反り量Ｃ２がゼロになる。この場合、反り量Ｃ２がゼロであってもワークＷの角部Ｗｂの位置を正しく検出することができる。
【００６９】
上述の一連の処理によれば、カメラ３０で撮影された撮影画像からワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２を自動で簡単に演算することができる。なお、この処理は、ワークＷの品質管理のためには、２つの角部Ｗａ，Ｗｂについてのみならず４つの角部Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ，Ｗｄの全てについて実施されるのが好ましい。
【００７０】
ステップＳ１０４の実行後にステップＳ１０５が実行される。このステップＳ１０５は、反り量の測定が正しく行われたか否かを判定するステップである。このステップＳ１０５は、処理装置４０の演算部４２のうち、特に判定部４３が主体となって実行される。
【００７１】
図１０に示されるように、このステップＳ１０５では、ワークＷの角部Ｗａについての一方の第１位置Ｑ１と、定盤１０の目印１６についての一方の第３位置Ｑ３を、それぞれメモリ４５から読み出して、これら第１位置Ｑ１と第３位置Ｑ３との水平方向（第１方向Ｘ）の距離Ｌ１を求める。同様に、ワークＷの角部Ｗｂについての他方の第１位置Ｑ１と、定盤１０の目印１７についての他方の第３位置Ｑ３を、それぞれメモリ４５から読み出して、これら第１位置Ｑ１と第３位置Ｑ３との水平方向（第１方向Ｘ）の距離Ｌ２を求める。
【００７２】
また、距離Ｌ１と距離Ｌ２とを加算した加算値Ｖｃ（＝Ｌ１＋Ｌ２）を求める。この加算値Ｖｃは、ステップＳ１０５で用いる判定用の加算値である。そして、この加算値ＶｃＶｃを、判定用の理論値Ｖｔに誤差等を見込んで設定された判定範囲と比較する。
ここで、理論値Ｖｔは、ワークＷの第１方向Ｘの寸法Ｍ１と、２つの目印１６，１７の間隔Ｍ２（２つの第３位置Ｑ３，Ｑ３の第１方向Ｘの間隔）との差の絶対値（＝｜Ｍ１−Ｍ２｜）として求められる。これにより、図１０に示されるように間隔Ｍ２が寸法Ｍ１を下回る場合と異なり、間隔Ｍ２が寸法Ｍ１を上回る場合でも、この理論値Ｖｔを加算値Ｖｃとの比較に問題なく使用することができる。
【００７３】
算出した加算値Ｖｃが判定範囲内にあるときに、この加算値Ｖｃが理論値Ｖｔの範囲内にあるとされる。この場合、判定部４３は、ワークＷの２つの角部Ｗａ，Ｗｂを正しく検出できており、このワークＷの反り量の測定が正しく行われたと判定する。
【００７４】
これに対して、算出した加算値Ｖｃが判定範囲外にあるときに、この算出値Ｖｃが理論値Ｖｔの範囲外にあるとされる。この場合、判定部４３は、ワークＷの２つの角部Ｗａ，Ｗｂを正しく検出できておらず、このワークＷの反り量の測定が正しく行われていないと判定する。
【００７５】
例えば、ワークＷの角部Ｗａよりも内側の部位が誤って当該角部Ｗａとして検出されたときに、このような判定結果が生じ得る。このとき、ワークＷの角部Ｗａの実際の反り量が、演算結果から得られた反り量Ｃ１を上回っている可能性があるが、判定部４３による判定結果を用いれば、反り量の測定が正しく行われていないワークＷが誤って後工程へ流出するのを防ぐことができる。
【００７６】
これらの判定結果は、品質管理上の閾値との比較結果とともに、出力部４４によって画面に表示出力され、必要に応じてメモリ４５に記憶される。
【００７７】
ステップＳ１０５でワークＷの反り量の測定が正常であったと判定された場合、更にこのときの測定結果である反り量Ｃ１，Ｃ２が品質管理上の閾値以下である場合に、このワークＷが合格と判定される。一方で、ワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２がこの閾値を上回る場合に、このワークＷが不合格と判定される。
【００７８】
上述の実施形態１によれば、以下のような作用効果が得られる。
【００７９】
反り量測定装置１を使用した場合、定盤１０の上面１１に置かれた板状のワークＷは、照明装置２０によって照明光が当てられた状態でカメラ３０によって側方視点３１，３３から撮影される。このとき、定盤１０の第１検出面１３は、定盤１０の第２検出面１４とワークＷとの間に配置され、定盤１０の第２検出面１４及びワークＷのそれぞれに対して相対的に輝度が低い状態で撮影される。
このため、カメラ３０によって撮影された撮影画像において、定盤１０の第１検出面１３と第２検出面１４との輝度の違い（明暗差）によって第１検出面１３と第２検出面１４との境界１５の位置を容易に検出できる。また、定盤１０の第１検出面１３とワークＷとの輝度の違い（明暗差）によってワークＷの位置を容易に検出できる。
【００８０】
そして、定盤１０の第１検出面１３と第２検出面１４との境界１５とワークＷとの上下方向の距離から、定盤１０の第１検出面１３の上下方向の面幅Ｂを差し引くことによって、このワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２を求めることができる。
このとき、定盤１０の第１検出面１３と第２検出面１４との境界１５の位置と、ワークＷの位置と、を検出すれば足りるため、ワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２を簡単に求めることができる。この反り量Ｃ１，Ｃ２が微小或いはゼロであるときに、ワークＷの実際の反り量が微小或いはゼロであると判定することができる。
また、ワークＷの反り量の測定に、レーザ測定器のような高価な機器を使用する必要がない。
【００８１】
その結果、板状のワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２を精度良く測定することが可能になる。
【００８２】
また、実施形態１によれば、交差面（傾斜面）と垂直面とによる単純な形状の組み合わせによって第１検出面１３及び第２検出面１４を構成することで、反り量測定装置１の構造を簡素化することができる。
【００８３】
また、実施形態１によれば、定盤１０自体を利用して第１検出面１３及び第２検出面１４の双方を構成することで、反り量測定装置１の部品点数を少なく抑えることができる。
【００８４】
また、実施形態１によれば、照明装置２０の向きを調整するのみでワークＷ自体に手を加えることなく、ワークＷの輝度の設定を簡単に行うことができる。
【００８５】
また、実施形態１によれば、カメラ３０で撮影された撮影画像から処理装置４０によってワークの反り量を自動で簡単に演算することができる。
【００８６】
また、実施形態１によれば、ワークＷの反り量を測定した後でこの測定が正しく行われたか否かを処理装置４０によって自動で簡単に判定することができる。特に、ワークＷの２つの角部Ｗａ，Ｗｂをカメラ３０によって一度に撮影できないような場合であっても、距離Ｌ１及び距離Ｌ２のそれぞれを、カメラ３０で別々に撮影した撮影画像から求めることによって、上述の判定を精度良く行うことができる。
【００８７】
以下、上記の実施形態１に関連する他の実施形態について図面を参照しつつ説明する。他の実施形態において、実施形態１の要素と同一の要素には同一の符号を付しており、当該同一の要素についての説明は省略する。
【００８８】
（実施形態２）
図１１に示されるように、実施形態２の反り量測定装置１０１は、定盤１１０の構造が実施形態１と相違している。即ち、定盤１１０の側面１２を構成する第１検出面１３は、カメラ３０からの視点方向Ａに対して交差した交差面であり、且つカメラ３０とは反対側に凹んだ湾曲面である。
その他の構成は、実施形態１と同様である。
【００８９】
実施形態２によれば、定盤１１０の第１検出面１３が湾曲面であるため、この第１検出面１３が傾斜面である場合と同様に、この湾曲面で反射した反射光は、第２検出面１４で反射した反射光に比べてカメラ３０の方向（視点方向Ａの逆方向）に戻りにくい、或いは反射光の光量（光束の時間積分量）が少ない。このため、カメラ３０で撮影された撮影画像において、第２検出面１４に比べて第１検出面１３の方が暗く写り、ワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２を測定するときに、定盤１０の第１検出面１３と第２検出面１４との境界１５の位置を容易に識別することができる。
その他、実施形態１と同様の作用効果を奏する。
【００９０】
なお、この実施形態２において、定盤１０の第１検出面１３を、視点方向Ａに対して交差した交差面であって且つカメラ３０とは反対側に凹んだ湾曲面以外の交差面に変更することもできる。例えば、定盤１０の第１検出面１３として、カメラ３０側に突出した凸状の湾曲面を採用することもできる。
【００９１】
（実施形態３）
図１２に示されるように、実施形態３の反り量測定装置２０１は、定盤２１０の構造が実施形態１と相違している。即ち、定盤２１０の側面１２を構成する第１検出面１３は、側面１２に接合された接合部材１８のカメラ側対向面１８ａによって構成されている。この接合部材１８は、定盤１０の母材面からなる第２傾斜面１４に比べて低輝度である低輝度材料からなる一方で、そのカメラ側対向面１８ａは、第２傾斜面１４と同様に視点方向Ａに対して垂直な垂直面である。例えば、この接合部材１８は、カメラ３０で撮影したときに、定盤１０の第２傾斜面１４に比べて暗く写る部材として構成される。
その他の構成は、実施形態１と同様である。
【００９２】
実施形態３によれば、接合部材１８が低輝度材料からなるため、第１検出面１３（カメラ側対向面１８ａ）で反射した反射光は、第２検出面１４で反射した反射光に比べて光量（光束の時間積分量）が少ない。このため、カメラ３０で撮影された撮影画像において、第２検出面１４に比べて第１検出面１３の方が暗く写り、ワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２を測定するときに、定盤１０の第１検出面１３と第２検出面１４との境界１５の位置を容易に識別することができる。
その他、実施形態１と同様の作用効果を奏する。
【００９３】
なお、この実施形態３において、第２検出面１４に比べて第１検出面１３の方が暗く写るということを条件に、第１検出面１３及び第２検出面１４の双方を定盤２１０とは別の部材によって構成することもできる。
【００９４】
（実施形態４）
図１３に示されるように、実施形態４の反り量測定装置３０１は、定盤３１０の構造が実施形態１と相違している。即ち、定盤３１０の第２検出面１４に設けられる目印１６は、塗色によって形成されるものではなく、貫通孔１１６ｂを有し第２検出面１４に接合される白色の接合部材１１６ａと、この接合部材１１６ａの裏面に貫通孔１１６ｂを塞ぐように接着されるシート部材１１６ｃと、によって構成されている。シート部材１１６ｃは、黒色等の暗い色の部材である。また、特に図示しないものの、目印１７も本構成と同様になっている。
【００９５】
実施形態４によれば、２つの目印１６，１７は、実施形態１の場合と同様にカメラ３０による撮影画像において黒色の部位として識別されるため、ワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２の測定が正しく行われたか否かを判定する際にこれら２つの目印１６，１７を利用できる。また、例えば目印１６について、接合部材１１６ａの表面とシート部材１１６ｃとの間に接合部材１１６ａの厚み分の段差が形成されるため、作業者が接合部材１１６ａに手指で触れた場合でもシート部材１１６ｃまでは届きにくい。従って、目印１６としての機能が無くなる等の問題が生じにくい。
その他、実施形態１と同様の作用効果を奏する。
【００９６】
なお、この実施形態４において、接合部材１１６ａ及びシート部材１１６ｃを用いる代わりに、定盤１０の第２検出面１４にレーザ加工等によって凹状の溝を設け、この溝を目印１６，１７として使用することもできる。
【００９７】
本発明は、上記の本実施形態のみに限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の応用や変形が考えられる。例えば、本実施形態を応用した次の各形
態を実施することもできる。
【００９８】
上記の実施形態では、反り量測定装置１，１０１，２０１，３０１が処理装置４０を備える場合について例示したが、必要に応じて処理装置４０を省略し、処理装置４０が実行する処理を作業者自らが行うようにしてもよい。
【００９９】
上記の実施形態では、照明装置２０の向きを調整することによってワークＷの角部Ｗａ，Ｗｂの輝度の設定を行う場合について例示したが、これに代えて、ワークＷの角部Ｗａ，Ｗｂに輝度を高めるための部材を接着してもよい。
【０１００】
上記の実施形態では、測定対象であるワークＷが４つの角部Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ，Ｗｃを有する場合について例示したが、少なくとも１つの角部を有する板状のワークを測定対象とすることができる。
【０１０１】
上記の実施形態では、ワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２を測定する第１の処理（図５中のステップＳ１０４の相当する処理）と、ワークＷの反り量Ｃ１，Ｃ２の測定が正しく行うことができたか否かを判定する第２の処理（図５中のステップＳ１０５に相当する処理）と、の双方を処理装置４０が行う場合について例示したが、必要に応じて、処理装置４０がこれら２つの処理のうちの一方の処理のみを行うようにしてもよい。例えば、処理装置４０が第２の処理のみを行う場合、以下のような態様１，２を採用することができる。
【０１０２】
（態様１）
「板状のワークを測定する、ワークの測定装置であって、
定盤と、上記定盤に向けて照明光を照射するための照明装置と、上記定盤の上面に置かれた上記ワークを上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するためのカメラと、処理装置と、を備え、
上記定盤は、上記側面に上記上面に沿った水平方向に互いに離間し且つ上記カメラによる撮影で識別可能な２つの目印を有し、
上記処理装置は、上記照明装置の照射時に上記カメラによって撮影された撮影画像に基づいて、上記ワークの上記水平方向の２つの角部のそれぞれについて当該角部に相当する角部位置と、上記２つの目印のそれぞれについて当該目印に相当する目印位置と、を検出し、一方の上記角部位置と一方の上記目印位置との上記水平方向の距離と、他方の上記角部位置と他方の上記目印位置との上記水平方向の距離と、が加算された加算値を算出し、算出した上記加算値がその理論値の範囲内にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われたと判定する一方で、算出した上記加算値が上記理論値の範囲外にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われていないと判定するように構成されている、ワークの測定装置。」
という態様を採り得る。
【０１０３】
（態様２）
「板状のワークを測定する、ワークの測定方法であって、
定盤に向けて照明光を照射するための照明装置と、上記定盤の上面に置かれた上記ワークを上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するためのカメラと、をそれぞれ準備するとともに、上記定盤として、上記側面に上記上面に沿った水平方向に互いに離間し且つ上記カメラによる撮影で識別可能な２つの目印を有する定盤を準備する準備ステップと、
上記照明装置によって上記定盤に向けて照明光を照射した状態で上記カメラによる撮影を行う撮影ステップと、
上記撮影ステップで上記照明装置の照射時に上記カメラによって撮影された撮影画像に基づいて、上記ワークの上記水平方向の２つの角部のそれぞれについて当該角部に相当する角部位置と、上記２つの目印のそれぞれについて当該目印に相当する目印位置と、を検出する画像処理ステップと、
上記画像処理ステップで検出した情報に基づいて、一方の上記角部位置と一方の上記目印位置との上記水平方向の距離と、他方の上記角部位置と他方の上記目印位置との上記水平方向の距離と、が加算された加算値を算出し、算出した上記加算値がその理論値の範囲内にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われたと判定する一方で、算出した上記加算値が上記理論値の範囲外にある場合に上記ワークの反り量の測定が正しく行われていないと判定する演算ステップと、
を有する、ワークの測定方法。」
という態様を採り得る。
【０１０４】
上記の態様１，２によれば、反り量が測定された後のワークに対して更なる測定を行うことによって、反り量の測定が正しく行われていないワークが誤って後工程へ流出するのを防ぐことができる。この場合、ワークの反り量の測定結果を担保することで、ワークの反り量を精度良く測定する助けになる。
【符号の説明】
【０１０５】
１，１０１，２０１，３０１  反り量測定装置
１０，１１０，２１０，３１０  定盤
１１  上面
１２  側面
１３  第１検出面（交差面）
１４  第２検出面（垂直面）
１５  境界
１６，１７  目印
２０  照明装置
３０  カメラ
３１，３３  側方視点
４０  処理装置
４１  画像処理部
４２  演算部
Ａ  視点方向
Ｂ  面幅
Ｃ１，Ｃ２  反り量
Ｑ１  第１位置
Ｑ２  第２位置
Ｑ３  第３位置
Ｖｃ  算出値
Ｖｔ  理論値
Ｗ  ワーク
Ｗａ，Ｗｂ，Ｗｃ，Ｗｄ  角部
Ｓ１０１  準備ステップ
Ｓ１０２  撮影ステップ
Ｓ１０３  画像処理ステップ
Ｓ１０４，Ｓ１０５  演算ステップ
【図１】
2018105687.tif 000003
【図２】
2018105687.tif 000004
【図３】
2018105687.tif 000005
【図４】
2018105687.tif 000006
【図５】
2018105687.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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