(57)【要約】【課題】例えば、輝線の位置をより精度良く検出することが可能な外観検査装置を得る。【解決手段】実施形態の外観検査装置にあっては、光切断法に基づいて検査対象面の高さを算出する外観検査装置であって、輝線が照射された検査対象面が撮像された二次元画像中の輝線画像を補正する輝線画像補正部と、輝線画像が補正された二次元画像中で基準位置からの輝線画像のオフセット量に基づいて検査対象面の高さを算出する高さ算出部と、を備え、輝線画像補正部は、オフセット方向における輝線画像の中央位置を取得し、輝線画像中で中央位置の画素の輝度値よりも輝度値が大きい画素の当該輝度値を小さくする。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光切断法に基づいて検査対象面の高さを算出する外観検査装置であって、
輝線が照射された検査対象面が撮像された二次元画像中の輝線画像を補正する輝線画像補正部と、
前記輝線画像が補正された前記二次元画像中で基準位置からの前記輝線画像のオフセット量に基づいて前記検査対象面の高さを算出する高さ算出部と、
を備え、
前記輝線画像補正部は、オフセット方向における前記輝線画像の中央位置を取得し、前記輝線画像中で前記中央位置の輝度値よりも輝度値が大きい画素の当該輝度値を小さくする、外観検査装置。
【請求項２】
前記輝線画像補正部は、前記輝線画像中で前記中央位置の輝度値よりも輝度値が大きい画素の当該輝度値を、前記中央位置から前記オフセット方向に離れるほど小さくなるように補正する、請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記輝線画像補正部は、前記輝線画像中で前記中央位置の輝度値よりも輝度値が大きい画素の当該輝度値を、前記中央位置の輝度値よりも小さくなるように補正する、請求項１または２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記輝線画像補正部は、前記中央位置を、所定の閾値よりも輝度値が大きい前記オフセット方向に沿った画素列の中央位置として算出する、請求項１〜３のうちいずれか一つに記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記オフセット量は、前記輝線画像に含まれる画素の輝度値の加重平均によって算出した代表位置と前記基準位置との間のオフセット量である、請求項１〜４のうちいずれか一つに記載の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、所謂光切断法によって検査対象面の各位置での高さを算出する外観検査装置が知られている（例えば、特許文献１）。外観検査装置は、検査対象面に照射された輝線を含む二次元画像から、画像処理によって基準線からの輝線のオフセット量を取得し、このオフセット量に基づいて、輝線が照射された位置での検査対象面の高さを算出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−１４１２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この種の技術では、輝線の位置の検出精度が、オフセット量ひいては高さの精度に影響を与える。よって、より精度良く輝線の位置を検出することができる外観検査装置が得られれば、有益である。
【０００５】
そこで、実施形態の課題の一つは、例えば、輝線の位置をより精度良く検出することが可能な外観検査装置を得ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
実施形態の外観検査装置にあっては、光切断法に基づいて検査対象面の高さを算出する外観検査装置であって、輝線が照射された検査対象面が撮像された二次元画像中の輝線画像を補正する輝線画像補正部と、輝線画像が補正された二次元画像中で基準位置からの輝線画像のオフセット量に基づいて検査対象面の高さを算出する高さ算出部と、を備え、輝線画像補正部は、オフセット方向における輝線画像の中央位置を取得し、輝線画像中で中央位置の画素の輝度値よりも輝度値が大きい画素の当該輝度値を小さくする。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】図１は、実施形態の外観検査装置の例示的かつ模式的な平面図である。
【図２】図２は、実施形態の外観検査装置の例示的かつ模式的な側面図である。
【図３】図３は、実施形態の外観検査装置において検査対象面の高さに応じて輝線が基準線からオフセットした状態を示す例示的かつ模式的な平面図である。
【図４】図４は、実施形態の外観検査装置の例示的かつ模式的なブロック図である。
【図５】図５は、実施形態の外観検査装置に含まれる制御部の例示的かつ模式的なブロック図である。
【図６】図６は、実施形態の外観検査装置の検査対象面に照射された輝線およびその代表位置を示す例示的かつ模式的な平面図である。
【図７】図７は、実施形態の外観検査装置による輝度値の補正の一例を示す模式的な説明図である。
【図８】図８は、実施形態の外観検査装置による輝度値の補正の別の一例を示す模式的な説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成や制御、ならびに当該構成や制御によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。本発明は、以下の実施形態に開示される構成や制御以外によっても実現可能である。また、本発明は、基本的な構成や制御によって得られる派生的な効果も含む種々の効果を得ることが可能である。
【０００９】
なお、図１〜３中のＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに直交している。Ｘ方向は、検査対象面１０１の移動方向であり、輝線Ｌが延びる方向と交差する（直交する）方向であり、輝線Ｌの幅方向である。Ｙ方向は、輝線Ｌが延びる方向である。Ｚ方向は、検査対象面１０１の法線方向であり、高さ方向と称されうる。
【００１０】
図１，２は、光切断法による外観検査装置１の一例を示す平面図および側面図である。図１，２に示されるように、外観検査装置１は、光源２を有する。光源２は、検査対象物１００の検査対象面１０１に向けて、当該検査対象面１０１の法線方向に対して傾いた方向から、ライトシートＬＳを出射する。ライトシートＬＳにより、検査対象面１０１上には輝線Ｌが形成される。撮像装置３は、検査対象面１０１の法線方向から輝線Ｌを含む検査対象面１０１を撮影し、輝線Ｌの画像が含まれる二次元画像を取得する。
【００１１】
図３は、外観検査装置１において検査対象面１０１の高さに応じて輝線Ｌが基準線Ｒからオフセットした状態を示す。仮に、輝線Ｌが当たる位置において、検査対象面１０１が平面であり、検査対象面１０１上に凹凸が無かった場合、検査対象面１０１上に構成される輝線Ｌは直線状である。この場合の輝線Ｌが、基準線Ｒ（直線、基準位置）である。これに対し、輝線Ｌが当たる位置において、検査対象面１０１に凸部が設けられていた場合、当該凸部に当たった輝線Ｌは、基準線Ｒから光源２に近い側（図３の例では左側、Ｘ方向）にオフセットする。逆に、輝線Ｌが当たる位置において、検査対象面１０１に凹部が設けられていた場合、当該凹部に当たった輝線Ｌは、基準線Ｒから光源２から遠い側（図３の例では右側、Ｘ方向の反対方向）にオフセットする。よって、外観検査装置１は、基準線ＲのＹ方向の各位置において、当該基準線Ｒに対する輝線ＬのＸ方向のオフセット方向およびオフセット量に基づいて、検査対象面１０１の凹凸ならびに当該凹凸の程度（凸部の高さ、凹部の深さ、法線方向における検査対象面１０１の高さ位置）を算出することができる。なお、ライトシートＬＳの照射方向および撮像装置３による撮像方向は、図１，２の例には限定されず、種々に設定されうる。照射方向および撮像方向の条件は、撮像装置３によって撮像した二次元画像中で、検査対象面１０１の高さ（凹凸）に応じて、輝線Ｌが延びる方向（長手方向）と交差した方向（短手方向）に輝線Ｌのオフセットが生じることである。よって、例えば、ライトシートＬＳの照射方向が検査対象面１０１の法線方向であり、撮像装置３による撮像方向が法線方向に対して傾斜した方向であってもよい。
【００１２】
図４は、外観検査装置１のブロック図である。図４に示されるように、外観検査装置１は、例えば、光源２、撮像装置３、移動装置４、および表示装置５を備えている。
【００１３】
光源２は、ライトシートＬＳ（例えばレーザライトシート）を出射する。光源２は、図１，２では簡略化して示されている。光源２は、ランプの他、レンズ等の光学部品を有してもよい。また、光源２は、スリットを介してライトシートＬＳを出射してもよい。この場合、ライトシートＬＳは、スリット光と称されうる。
【００１４】
撮像装置３は、二次元画像を撮影する。撮像装置３は、二次元に配列された光電変換素子（光電変換部）を有した固体撮像素子や、レンズ等の光学部品を、有する。固体撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（charge  coupled  device）イメージセンサや、ＣＭＯＳ（complementary  metal  oxide  semiconductor）イメージセンサ等である。撮像装置３は、エリアセンサや、デジタルカメラと称されうる。なお、図１には、撮像装置３による撮像範囲Ｉが示されているが、撮像範囲Ｉは、輝線Ｌおよびその周辺を含めばよく、図１に開示されるものには限定されない。
【００１５】
移動装置４は、検査対象面１０１における撮像装置３による撮像位置（検査位置）が経時的に変化するよう、検査対象物１００を移動する。移動装置４は、例えば、モータや、モータによって回転するローラ、ローラによって移動するベルト等を有することができる。図１，２の例では、移動装置４によって、検査対象面１０１は、Ｘ方向に移動する。検査対象面１０１の移動に伴い、検査対象面１０１における撮像位置、すなわち検査対象領域Ａ（検査対象位置、図３参照）が移動する。図３に示されるように、検査対象領域Ａは、基準線Ｒ上の位置である。なお、検査対象面１０１が固定され、光源２や撮像装置３等が検査対象面１０１に沿って移動する構成（移動装置４によって動かされる構成）であってもよい。
【００１６】
表示装置５は、検査結果等を示す画像を出力する。表示装置５は、例えば、ＬＣＤ（liquid  crystal  display）等である。
【００１７】
図４は、外観検査装置１のブロック図である。図４に示されるように、外観検査装置１は、制御部４０や、ＲＯＭ４１（read  only  memory）、ＲＡＭ４２（random  access  memory）、ＮＶＲＡＭ４３（non-volatile  ＲＡＭ）、光照射コントローラ４４、撮像コントローラ４５、移動コントローラ４６、表示コントローラ４７等を備える。光照射コントローラ４４は、制御部４０からの制御信号に基づいて、光源２の発光（オン、オフ等）を制御する。撮像コントローラ４５は、制御部４０からの制御信号に基づいて、撮像装置３による撮像を制御する。移動コントローラ４６は、制御部４０から受けた制御信号に基づいて、移動装置４を制御し、検査対象物１００の搬送（開始、停止、速度等）を制御する。表示コントローラ４７は、制御部４０からの制御信号に基づいて、表示装置５を制御する。また、制御部４０は、不揮発性の記憶部としてのＲＯＭ４１やＮＶＲＡＭ４３等にインストールされた（記憶された）プログラム（アプリケーション）を読み出して実行する。ＲＡＭ４２は、制御部４０がプログラムを実行して種々の演算処理を実行する際に用いられる各種データを一時的に記憶する。なお、図４に示されるハードウエアの構成はあくまで一例であって、例えばチップやパッケージにする等、種々に変形して実施することが可能である。また、各種演算処理は、並列処理することが可能であり、制御部４０等は、並列処理が可能なハードウエア構成とすることが可能である。
【００１８】
図５は、制御部４０のブロック図である。図５に示されるように、制御部４０は、光照射制御部４０ａや、撮像制御部４０ｂ、移動制御部４０ｃ、画像処理部４０ｄ（画像取得部４０ｄ１，輝線画像補正部４０ｄ２，高さ算出部４０ｄ３，異常検出部４０ｄ４）、表示制御部４０ｅ等を有する。
【００１９】
光照射制御部４０ａは、光照射コントローラ４４を制御する。撮像制御部４０ｂは、撮像コントローラ４５を制御する。移動制御部４０ｃは、移動コントローラ４６を制御する。画像処理部４０ｄは、画像処理を実行する。表示制御部４０ｅは、表示装置５を制御する。また、画像取得部４０ｄ１は、撮像装置３で撮像された二次元画像を取得する。輝線画像補正部４０ｄ２は、二次元画像中に含まれる輝線画像を補正する。高さ算出部４０ｄ３は、基準線Ｒからの輝線ＬのＸ方向のオフセット量に基づいて、基準線Ｒ上のＹ方向の各位置における検査対象面１０１の高さを算出する。異常検出部４０ｄ４は、複数の基準線Ｒ上のＹ方向の各位置における検査対象面１０１の高さに基づいて、検査対象面１０１の二次元領域における高さを取得する。二次元領域における高さデータは、高さ画像あるいは疑似画像と称されうる。異常検出部４０ｄ４は、高さ画像（疑似画像）に対して画像処理を実行することにより、異常を検出することができる。
【００２０】
制御部４０は、例えばＣＰＵ（central  processing  unit）である。制御部４０は、ＲＯＭ４１やＮＶＲＡＭ４３等に記憶され（インストールされ）動作時に読み出されたプログラムにしたがって動作する。プログラムにしたがって動作することにより、制御部４０は、光照射制御部４０ａ、撮像制御部４０ｂ、移動制御部４０ｃ、画像処理部４０ｄ、画像取得部４０ｄ１、輝線画像補正部４０ｄ２、高さ算出部４０ｄ３、異常検出部４０ｄ４、および表示制御部４０ｅとして機能する。プログラムには、光照射制御部４０ａ、撮像制御部４０ｂ、移動制御部４０ｃ、画像処理部４０ｄ、画像取得部４０ｄ１、輝線画像補正部４０ｄ２、高さ算出部４０ｄ３、異常検出部４０ｄ４、および表示制御部４０ｅに対応したモジュールが含まれている。なお、制御部４０の少なくとも一部は、ハードウエアによって構成されてもよい。その場合、制御部４０には、ＡＳＩＣ（application  specific  integrated  circuit）や、ＦＰＧＡ（field  programmable  gate  array）、ＣＰＬＤ（complex  programmable  logic  device）等が含まれうる。
【００２１】
図６は、検査対象面１０１に照射された輝線Ｌの拡大図である。図６に示されるように、検査対象面１０１で輝線Ｌは幅Ｗを有する。よって、高さ算出部４０ｄ３は、輝線ＬのＹ方向の各位置における輝線ＬのＸ方向のオフセット量を、輝線Ｌの代表位置Ｒｐの基準線ＲからのＸ方向のオフセット量として算出する。
【００２２】
また、高さ算出部４０ｄ３は、輝線ＬのＹ方向の各位置における代表位置Ｒｐを、例えば、幅Ｗを構成する画素における輝度値の重み付け平均値（加重平均値）によって算出することができる。高さ算出部４０ｄ３は、オフセット量に所定係数を乗算した値として、検査対象面１０１の高さを得ることができる。
【００２３】
図７，８は、外観検査装置１による輝度値の補正の一例を示す模式的な説明図である。図７，８は、いずれも、基準線ＲのＹ方向の所定位置において輝線Ｌに対応する領域の近傍の画素におけるＸ方向の輝度値の分布を示す図である。図７，８において、ｎ−２〜ｎ＋３はＸ方向に隣接した複数の画素を識別する符号であり、Ｄｎ−２〜Ｄｎ＋３は、二次元画像中のＹ方向の所定位置におけるＸ方向の各画素の輝度値の分布である。図７，８の例では、画像処理部４０ｄは、輝度値Ｄｎ−２〜Ｄｎ＋３が第二の閾値Ｔｈ２を超えている領域を、輝線Ｌとする。
【００２４】
ここで、発明者らの鋭意研究により、輝線Ｌ中にスペックルノイズが含まれる場合にあっては、輝線ＬのＸ方向（幅方向）の中心Ｃ（輝線画像の中央位置）よりも当該Ｘ方向の一方側に、当該中心Ｃにおける輝度値よりも輝度値の大きい領域が検出されることが、判明した。スペックルノイズは、検査対象面１０１における微少な凹凸により散乱光が干渉しあうことに基づく輝度値のノイズである。
【００２５】
図７，８の破線は、いずれも、スペックルノイズが含まれる場合を示している。図７，８は、スペックルノイズが第二の閾値Ｔｈ２に影響を及ぼしていない場合を例示している。実線は、本実施形態のロジックによる輝度値の補正値である。
【００２６】
このようなスペックルノイズが含まれる場合に、例えば、輝度値の加重平均によって輝線Ｌの代表位置Ｒｐ（図６参照）を算出すると、スペックルノイズによって輝度値が増大している側に輝線Ｌの代表位置Ｒｐがずれるため、オフセット量の検出精度、ひいては各位置における検査対象面１０１の高さの検出精度が、低下してしまう。図７の例では、中心Ｃよりも右側、すなわちＸ方向に、中心Ｃの輝度値よりも輝度値の大きい画素ｎ＋１が存在し、図８の例では、中心Ｃの輝度値よりも右側、すなわちＸ方向に、中心Ｃの輝度値よりも輝度値の大きい画素ｎ＋１，ｎ＋２が存在している。この場合に、輝線Ｌの代表位置Ｒｐが輝度値の重み付け平均値（加重平均値）として算出されると、代表位置Ｒｐは、図７，８において中心Ｃよりも右側、すなわちＸ方向にずれてしまう。なお、図８の例では、画像処理部４０ｄは、中心Ｃの輝度値を、輝線Ｌに含まれる複数の画素ｎ−１〜ｎ＋２のうち、最も中心Ｃに近い二つの画素ｎ，ｎ＋１の輝度値の平均値として算出している。
【００２７】
そこで、本実施形態では、輝線画像補正部４０ｄ２は、輝線Ｌの中心Ｃよりも幅方向の一方側に中心Ｃにおける輝度値よりも輝度値の大きい領域（画素、画素群）が検出された場合には、当該領域の輝度値を小さくする。図７の例では、中心Ｃの輝度値よりも輝度値の大きい画素ｎ＋１の輝度値Ｄｎ＋１を、当該輝度値Ｄｎ＋１よりも小さい輝度値Ｂｎ＋１に補正し、図８の例では、中心Ｃの輝度値よりも輝度値の大きい画素ｎ＋１，ｎ＋２の輝度値Ｄｎ＋１，Ｄｎ＋２を、当該輝度値Ｄｎ＋１，Ｄｎ＋２よりも小さい輝度値Ｂｎ＋１，Ｂｎ＋２に補正する。図７，８の例では、中心Ｃの輝度値が第一の閾値Ｔｈ１に設定され、輝線画像補正部４０ｄ２は、第一の閾値Ｔｈ１よりも輝度値の大きい画素の輝度値を、低く補正している。これにより、スペックルノイズによる輝度値の増大（偏り）が軽減され、当該輝度値の増大に起因した代表位置Ｒｐのずれが小さくなる。したがって、本実施形態によれば、スペックルノイズによるオフセット量の検出精度の低下、ひいては各位置における検査対象面１０１の高さの検出精度の低下が、抑制されうる。
【００２８】
また、図７，８から明らかとなるように、本実施形態では、輝線画像補正部４０ｄ２は、中心Ｃにおける輝度値よりも輝度値の大きい領域の輝度値を、中心Ｃから遠いほど輝度値が小さくなるよう、補正している。具体的には、例えば、輝線画像補正部４０ｄ２は、輝度値に補正係数を乗算することにより補正を実行し、画素が中心ＣからＸ方向に離れるほど、当該補正係数を小さくしている。例えば、中心ＣからＸ方向に一つ離れた画素（隣接した画素）については、輝度値に補正係数０．８を乗算し、中心ＣからＸ方向に二つ離れた画素については、輝度値に、中心ＣからＸ方向に一つ離れた画素の補正係数０．８よりも小さい補正係数０．５を、乗算ている。これにより、補正された輝度値は、中心Ｃに近いほど大きくなり、補正された輝度値を含む輝線Ｌ内の輝度値の分布を、スペックルノイズによる影響が無い場合に想定される輝度値の分布に近付けることができる。
【００２９】
また、図７，８から明らかとなるように、本実施形態では、輝線画像補正部４０ｄ２は、中心Ｃにおける輝度値（第一の閾値Ｔｈ１）よりも輝度値の大きい領域の輝度値を、中心Ｃの輝度値（第一の閾値Ｔｈ１）以下となるように補正している。これにより、補正された輝度値は、中心Ｃで最も大きくなり、補正された輝度値を含む輝線Ｌ内の輝度値の分布を、スペックルノイズによる影響が無い場合に想定される輝度値の分布に近付けることができる。なお、輝線画像補正部４０ｄ２は、二次元画像中の輝度値に補正係数を乗算した輝度値が、中心Ｃにおける輝度値よりも大きい値であった場合には、当該二次元画像中の輝度値を、中心Ｃにおける輝度値と同じ値となるように補正すればよい。
【００３０】
以上、説明したように、本実施形態では、輝線画像補正部４０ｄ２は、例えば、輝線画像中で第一の閾値Ｔｈ１より輝度値が大きい画素の当該輝度値を、中心Ｃ（輝線画像の中央位置）からＸ方向（オフセット方向）に離れるほど小さくなるように補正する。よって、本実施形態によれば、スペックルノイズの影響を受けた輝度値の分布を、スペックルノイズによる影響が無い場合に想定される輝度値の分布に近付けることができる。よって、スペックルノイズによるオフセット量の検出精度の低下、ひいては各位置における検査対象面１０１の高さの検出精度の低下が、抑制されうる。
【００３１】
また、本実施形態では、第一の閾値Ｔｈ１は、中心Ｃ（輝線画像の中央位置）における輝度値である。スペックルノイズの影響が無い場合、中心Ｃにおける輝度値が最も高くなりやすい。よって、このような設定により、スペックルノイズの影響を受けた輝度値の分布を、スペックルノイズによる影響が無い場合に想定される輝度値の分布に近付けることができる。よって、スペックルノイズによるオフセット量の検出精度の低下、ひいては各位置における検査対象面１０１の高さの検出精度の低下が、抑制されうる。また、第一の閾値Ｔｈ１を、比較的容易に設定することができる。
【００３２】
また、本実施形態では、輝線画像補正部４０ｄ２は、例えば、第一の閾値Ｔｈ１より輝度値が大きい画素の当該輝度値を、第一の閾値Ｔｈ１よりも小さくなるように補正する。よって、本実施形態によれば、スペックルノイズの影響を受けた輝度値の分布を、スペックルノイズによる影響が無い場合に想定される輝度値の分布に近付けることができる。よって、スペックルノイズによるオフセット量の検出精度の低下、ひいては各位置における検査対象面１０１の高さの検出精度の低下が、抑制されうる。
【００３３】
また、本実施形態では、輝線画像補正部４０ｄ２は、例えば、中心Ｃ（輝線画像の中央位置）を、第二の閾値Ｔｈ２（所定の閾値）よりも輝度値が大きいＸ方向（オフセット方向）に沿った画素列の中央位置として算出する。よって、本実施形態によれば、中心Ｃを、比較的容易に設定することができる。また、例えば、輝度値が第二の閾値Ｔｈ２以下である画素の輝度値を０とすることにより、フィルタリングの閾値としても用いることができ、画像処理部４０ｄにおける演算負荷をより軽減することができる。
【００３４】
また、本実施形態では、オフセット量は、輝線画像に含まれる画素の輝度値の加重平均によって算出した代表位置Ｒｐと基準線Ｒ（基準位置）との間のオフセット量である。本実施形態は、輝線画像補正部４０ｄ２による輝線画像中の画素の輝度値が補正されるため、輝線Ｌの代表位置Ｒｐが、輝線画像に含まれる画素の輝度値の加重平均によって算出される場合、すなわち輝度値に基づいて算出される場合にあっては、より多くの画素の輝度値に基づいて輝線Ｌの代表位置Ｒｐが算出され、外れ画素を吸収することができるため、より効果的であると言える。
【００３５】
以上、本発明の実施形態を例示したが、上記実施形態はあくまで一例である。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、実施形態の構成や形状は、部分的に他の構成や形状と入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、角度、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。
【００３６】
例えば、上記実施形態では、検査対象面が光源および撮像装置に対して移動する構成が例示されたが、検査対象面に対して光源および撮像装置が移動する構成であっても、本発明は適用可能である。また、検査対象面の相対的な移動方向は、例えば、円周方向など、直線方向でなくてもよい。また、輝線の代表位置は、加重平均以外の方法で算出されてもよい。
【符号の説明】
【００３７】
１…外観検査装置、４０ｄ２…輝線画像補正部、４０ｄ３…高さ算出部、１０１…検査対象面、Ｃ…中心（中央位置）、Ｌ…輝線、Ｒ…基準線（基準位置）、Ｒｐ…代表位置、Ｔｈ１…第一の閾値（中央位置の輝度値）、Ｔｈ２…第二の閾値（所定の閾値）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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