(57)【要約】      （修正有）【課題】電子基板に施されたコーティングの良否を判定するコーティング検査に際し、使い勝手のよい簡易な検査方法及び装置でコーティング検査を行えるようにする。【解決手段】ＵＶ照明器３を点灯すると、ＵＶカットフィルター５によりＵＶ照明器３からの可視光が遮断されてＵＶ光Ａのみが透過され、このＵＶ光Ａがコーティング部位２ａを含む電子基板２に照射される。すると、コーティング部位２ａからはＵＶ光Ａによる発光光ａが励起され、これがＵＶカットフィルター６を介して検査カメラ４に入射されて当該検査カメラ４によりコーティング部位２ａが撮像されモニター装置７に表示される。一方、入射光Ｂ，Ｃのそれぞれの反射光ｂ，ｃは、ＵＶカットフィルター６に遮断され検査カメラ４への入射が阻止され、検査カメラ４には、コーティング部位２ａからの発光光のみが入射されることになる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＣチップ等が実装された電子基板の一部に施される蛍光剤入りのコーティングに対する、その良否を判定するコーティング検査に際し、前記コーティング部位をＵＶ照明器でこの部位の上方から照射しつつ、前記コーティング部位を、前記ＵＶ照明器に近接配置された検査カメラで撮像する検査方法であって、前記ＵＶ照明器で前記コーティング部位を照射したときに、前記コーティング部位の発光光のみが前記検査カメラに入射されるようにして得られた画像により前記コーティング部位の前記検査が目視で行われることを特徴とするコーティングの検査方法。
【請求項２】
ＩＣチップ等が実装された電子基板の一部に施される蛍光剤入りのコーティングに対する、その良否を判定するコーティング検査に際し、前記コーティング部位をＵＶ照明器でこの部位の上方から照射しつつ、前記コーティング部位を、前記ＵＶ照明器に近接配置された検査カメラで撮像する検査装置であって、
前記ＵＶ照明器には、このＵＶ照明器からの可視光を遮断してＵＶ光を透過し、又は特定の偏光方向を有するＵＶ光のみを透過する第１フィルター手段を設け、前記検査カメラには、前記ＵＶ照明器からのＵＶ光による全ての反射光を遮断し、又は第１フィルター手段を通過した特定の偏光方向を有する前記ＵＶ光の反射光を遮断してなる第２フィルター手段を設け、
前記検査カメラで撮像された画像により前記コーティング部位の良否検査が目視で行えるようにしてなることを特徴とするコーティングの検査装置。
【請求項３】
前記第１フィルター手段が可視光カットフィルターであり、前記第２フィルター手段がＵＶカットフィルターであることを特徴とする請求項２に記載のコーティングの検査装置。
【請求項４】
前記第１フィルター手段が偏光フィルターであり、前記第２フィルター手段が偏光フィルターであることを特徴とする請求項２に記載のコーティングの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣチップ等が実装された電子基板の一部に施される蛍光剤入りのコーティングについて、その良否判定の検査方法及びその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣチップ等が実装された電子基板には、耐環境性、とりわけ基板の腐食を防止するべく防湿性が求められることがあり、そのため防湿性を有する、例えばトリオレフィン樹脂被膜コーティングなどが用いられ、この被膜の良否検査のために、紫外線（以下、ＵＶ光という）の照射により蛍光を発する蛍光剤入りのものが用いられている。
このような検査装置として図４に示すものが従来からある（特許文献１）。かかる検査装置１００においては、基板１０１のコーティング部位に対し照明ユニット１０２から紫外光を照射してその蛍光を受光することにより紫外光画像を生成してメモリ１０３に格納する一方、基板１０１に対し照明ユニット１０２から可視光を照射してその反射光を受光することにより可視光画像を生成してメモリ１０３に格納する。そして、この検査装置１００には、画像処理部や検査部が解析ユニット１０４に設けられており、ここで可視光画像に基づき基板１０１の位置を特定し、生成した画像のうち少なくとも紫外光画像とに基づいて基板１０１のコーティングを検査するようにしたものである。
【０００３】
しかしながら、この検査装置１００では、コーティングの検査が可能であるとは言え、かかる検査を画像処理、具体的には、画像位置補正処理に加え、シェーディング補正による画像の明るさ調整などの画像処理がなされ、更に、画像処理された被検査画像を基準画像に照らして比較判定がなされるようになっており、そのため検査装置に簡易さが欠け・コスト高となって使い勝手のよい簡易な検査装置とは言い難くなっている。
【特許文献１】特開２００９−１７５１５０（第１，２頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする問題点は、電子基板に施されたコーティングの良否を判定するコーティング検査に際し、使い勝手のよい簡易な検査方法及び装置でコーティング検査を行えるようにする点である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に係るコーティングの検査方法は、ＩＣチップ等が実装された電子基板の一部に施される蛍光剤入りのコーティングに対する、その良否を判定するコーティング検査に際し、前記コーティング部位をＵＶ照明器でこの部位の上方から照射しつつ、前記コーティング部位を、前記ＵＶ照明器に近接配置された検査カメラで撮像する検査方法であって、前記ＵＶ照明器で前記コーティング部位を照射したときに、前記コーティング部位の発光光のみが前記検査カメラに入射されるようにして得られた画像により前記コーティング部位の良否検査が目視で行われるようにしたもので、本方法によればコーティングの良否判定を使い勝手よく簡易な方法で行える。
【０００６】
本発明の請求項２に係るコーティングの検査装置は、ＩＣチップ等が実装された電子基板の一部に施される蛍光剤入りのコーティングに対する、その良否を判定するコーティング検査に際し、前記コーティング部位をＵＶ照明器でこの部位の上方から照射しつつ、前記コーティング部位を、前記ＵＶ照明器に近接配置された検査カメラで撮像する検査装置であって、前記ＵＶ照明器には、このＵＶ照明器からの可視光を遮断してＵＶ光を透過し、又は特定の偏光方向を有するＵＶ光のみを透過する第１フィルター手段を設け、前記検査カメラには、前記ＵＶ照明器からのＵＶ光による全ての反射光を遮断し、又は第１フィルター手段を通過した特定の偏光方向を有するＵＶ光の反射光を遮断してなる第２フィルター手段を設け、前記検査カメラで撮像された画像により前記コーティング部位の良否検査が目視で行えるようにしたもので、本装置によれば、前記コーティング部位の発光光のみが前記検査カメラに入射されるようにＵＶ照明器に第１フィルター手段及び検査カメラに第２フィルター手段をそれぞれ設け、それによって得られた画像でコーティングの良否判定を行うので、装置として使い勝手のよい簡易な検査装置となっている。
【０００７】
本発明の請求項３に係るコーティングの検査装置は、前記第１フィルター手段が可視光カットフィルターで、また、前記第２フィルター手段がＵＶカットフィルターで構成するもので、上記請求項２に係る検査装置の、より具体的な実施形態の一態様である。
【０００８】
本発明の請求項４に係るコーティングの検査装置は、前記第１フィルター手段が偏光フィルターで、また、前記第２フィルター手段が偏光フィルターで構成するもので、上記請求項２に係る検査装置の、より具体的な実施形態の一態様である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のコーティングの検査方法およびその装置は、コーティング部位の発光光のみが検査カメラに入射されるようにして得られた画像により当該コーティング部位の良否検査を目視で行えるようにしたので、コーティングの良否判定を使い勝手よく簡易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の第１の実施形態に係るコーティングの検査方法及び装置を図１，３を参照して説明する。
本コーティングの検査装置１は、図１に示すような構成をなし、被検査対象である電子基板２のコーティング部位２ａを撮像し、撮像して得られたコーティング部位２ａの画像をモニター画面などに拡大表示して当該コーティング部位２ａの良否を判定する目視検査に供されるものである。
本コーティングの検査装置１の構成を、図１を参照して説明する。
本コーティングの検査装置１は、コーティング部位２ａを当該部位２ａの上方から照射するためのＵＶ照明器３と、コーティング部位２ａを撮像すべくＵＶ照明器３に近接配置された検査カメラ４とに加え、ＵＶ照明器３に装着された可視光カットフィルター（第１フィルター手段）５と、検査カメラ４に装着されたＵＶカットフィルター（第２フィルター手段）６とを備えている。このうちＵＶカットフィルター５は、ＵＶ照明器３からの可視光を遮断してＵＶ光のみが透過されるようにするものである（ＵＶ光に多少の可視光が含まれている）。また、ＵＶカットフィルター６は、ＵＶ照明器３からのＵＶ光による全ての反射光を遮断するものである。尚、符号２ｂは、電子基板２に不可避的に生じる微小凸部を表わしている。
但し、本検査装置１には、検査カメラ４に接続されたモニター装置７が設けられており、検査カメラ４で撮像された画像を共有できるようにして良否判定の精度向上が図れるようにしている。
【００１１】
次に、本検査装置１によるコーティング部位２ａの画像の取込み動作について図１，３を参照して説明する。但し、図３（Ａ）は、本検査装置１で撮像されたときのコーティング部位２ａの模写図であり、同図（Ｂ）は、本検査装置１からフィルター５，６を取り外して撮像したときの模写図である。
本実施の形態では、本検査装置１のＵＶ照明器３を点灯すると、ＵＶカットフィルター５によりこのＵＶ照明器３からの可視光が遮断されてＵＶ光Ａのみが透過され、このＵＶ光Ａがコーティング部位２ａを含む電子基板２に照射される。すると、コーティング部位２ａからはＵＶ光Ａによる発光光（可視光）ａが励起され、これがＵＶカットフィルター６を介して検査カメラ４に入射されて当該検査カメラ４によりコーティング部位２ａが撮像される。撮像された画像はモニター装置７に表示される。一方、この例では、電子基板２に入射したＵＶ光の入射光Ｂ〜Ｄうち、入射光Ｂ，Ｃのそれぞれの反射光ｂ，ｃが検査カメラ４に入射されることになっているが、これら反射光ｂ，ｃは、ＵＶカットフィルター６に遮断され検査カメラ４への入射が阻止される。入射光Ｄは、その反射光ｄが検査カメラ４の撮像範囲に入って来ない光線として描かれている。
これにより、検査カメラ４には、コーティング部位２ａからの発光光のみが入射されることになり、コーティング部位２ａが検査カメラ４によって撮像されその画像がモニター装置７に表示されるので、コーティング部位の良否検査を目視で行える。したがって、本検査装置１によりコーティングの良否判定を使い勝手よく簡易に行うことができる。
【００１２】
因みに、図３（Ａ）と図３（Ｂ）とを対比しても分かるように、同図（Ｂ）には、コーティング部位２ａのところに重なる態様で円形状のＰ部位（画像上では光って見え、コーティング部位２ａとの区別が困難なところ）が現れている。これは、電子基板２に入射したＵＶ光の反射光が検査カメラ４に入射した状態で撮像されたために生じたものであるが、本検査装置１によって撮像された画像、同図（Ａ）にはＰ部位は生じておらず、したがって、本検査装置１を用いればコーティングの良否判定が簡易に行える。
【００１３】
次に、本発明の第２の実施形態に係るコーティングの検査方法及び装置を図２を参照して説明する。
本コーティングの検査装置１０は、図２に示すような構成をなし、本検査装置１０が上記検査装置１と異なる点は、ＵＶカットフィルター５の代わりに偏光フィルター（第１フィルター手段）１１を、また、ＵＶカットフィルター６の代わりに偏光フィルター（第２フィルター手段）１２を設けた点である。尚、図２において図１の構成要素と同一の構成要素には同一番号を付し、その説明は割愛する。
偏光フィルター１１は、ＵＶ照明器３からの特定の偏光方向を有するＵＶ光のみが透過されるようにするものであり、また、偏光フィルター１２は、偏光フィルター１１を通過した特定の偏光方向を有するＵＶ光の反射光を遮断するものである。
【００１４】
次に、本検査装置１０によるコーティング部位２ａの画像の取込み動作について図２を参照して説明する。
本検査装置１０のＵＶ照明器３を点灯すると、偏光フィルター１１によりこのＵＶ照明器３からの特定の偏光方向を有するＵＶ光Ｋのみが透過され、このＵＶ光Ｋがコーティング部位２ａを含む電子基板２に照射される。すると、コーティング部位２ａからはＵＶ光Ｋによる発光光（可視光）ｋが励起され、これが偏光フィルター１２を介して検査カメラ４に入射されて当該検査カメラ４によりコーティング部位２ａが撮像される。撮像された画像はモニター装置７に表示される。一方、この例では、電子基板２に入射したＵＶ光の入射光Ｌ〜Ｎうち、入射光Ｌ，Ｍのそれぞれの反射光ｌ，ｍが検査カメラ４に入射されることになっているが、これら反射光ｌ，ｍは、偏光フィルター１２に遮断され検査カメラ４への入射が阻止される。入射光Ｎは、その反射光ｎが検査カメラ４の撮像範囲に入って来ない光線として描かれている。
これにより、検査カメラ４には、コーティング部位２ａからの発光光のみが入射されることになり、コーティング部位２ａが検査カメラ４によって撮像されその画像がモニター装置７に表示され、かかる画像が図３（Ａ）に示すような画像（図３（Ｂ）で示すようなＰ部位が現れない画像）であるので、コーティング部位２ａの良否検査を目視で行える。したがって、本検査装置１０によってもコーティングの良否判定を使い勝手よく簡易に行うことができる。
【００１５】
上述の検査装置１，１０は、コーティング部位の良否検査を目視で可能にするものであるが、検査カメラ４に画像処理装置を接続して検査カメラ４によって撮像された画像に対し画像処理を施して良否判定するようにしてもよいことはもちろんである。
【産業上の利用可能性】
【００１６】
本発明は、電子基板に施されたコーティングの良否を判定するコーティング検査に際し、その良否判定を、ソフトウェアなどで画像処理を施すことなく撮像されたままの画像に対して目視で行えるようにしたので、この種の検査に広く利用され得るものと言える。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るコーティングの検査装置の構成図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係るコーティングの検査装置の構成図である。
【図３】図１の検査装置で撮像したときの画像を説明するための模写図である。
【図４】従来の検査装置の構成図である。
【符号の説明】
【００１８】
１，１０            検査装置
２                  電子基板
２ａ                コーティング部位
３                  ＵＶ照明器
４                  検査カメラ
５                  可視光カットフィルター（第１フィルター手段）
６                  ＵＶカットフィルター（第２フィルター手段）
１１                偏光フィルター（第１フィルター手段）
１２                偏光フィルター（第２フィルター手段）
【図１】
2018105664.tif 000003
【図２】
2018105664.tif 000004
【図３】
2018105664.tif 000005
【図４】
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