(57)【要約】【課題】圧力の測定誤差の低減。【解決手段】ヒータ部の外表面の部位であって、軸線方向の位置として先端発熱部の後端よりも先端側に位置する特定部位の温度が１２００℃の場合における発熱部の電気抵抗値は、０．７３Ω以上である。抵抗比Ｒ１は、抵抗比Ｒ２よりも大きい。抵抗比Ｒ１とは、特定部位の温度が２０℃の場合における先端発熱部の電気抵抗値に対する、特定部位の温度が１２００℃の場合における先端発熱部の電気抵抗値の比である。抵抗比Ｒ２とは、特定部位の温度が２０℃の場合における後端発熱部の電気抵抗値に対する、特定部位の温度が１２００℃の場合における後端発熱部の電気抵抗値の比である。【選択図】図４
2018040741.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に延びる略筒状のハウジングと、
自身の一部が前記ハウジング内に配置され、先端部が前記ハウジングの先端から突出し、前記軸線方向に沿って移動可能な棒状のヒータ部と、
前記ハウジング内に設けられ、内燃機関の燃焼圧を測定するために、前記軸線方向に沿った前記ヒータ部の移動量に応じた信号を出力する出力部と、
前記ヒータ部に電気的に接続され、自身の一部が前記ハウジング内に配置された通電ラインと、を備え、
前記ヒータ部は、自身の内部に配置された発熱部への通電によって発熱し、
前記発熱部は、先端発熱部と、前記先端発熱部の後端に接続された後端発熱部と、を備える
圧力センサであって、
前記ヒータ部の外表面の部位であって、前記軸線方向の位置として前記先端発熱部の後端よりも先端側に位置する特定部位の温度が１２００℃の場合における前記発熱部の電気抵抗値は、０．７３Ω以上であり、
前記特定部位の温度が２０℃の場合における前記先端発熱部の電気抵抗値に対する、前記特定部位の温度が１２００℃の場合における前記先端発熱部の電気抵抗値の比である抵抗比Ｒ１は、前記特定部位の温度が２０℃の場合における前記後端発熱部の電気抵抗値に対する、前記特定部位の温度が１２００℃の場合における前記後端発熱部の電気抵抗値の比である抵抗比Ｒ２よりも大きい
ことを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記特定部位の温度が１２００℃の場合における前記発熱部の電気抵抗値は、０．９１Ω以下である
ことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記先端発熱部の組成は、タングステンとモリブデンとの少なくとも１つを含み、タングステンの質量％とモリブデンの質量％との合計値が５０％よりも大きい
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記出力部は、前記移動量に応じて変形する磁性体のダイアフラムを備え、前記ダイアフラムの変形に応じた信号を出力する
ことを特徴とする請求項１から請求項３までの何れか一項に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記出力部は、前記移動量に応じた信号を出力する２つの素子を備え、
前記通電ラインは、前記２つの素子を結ぶ仮想線を含む前記軸線方向に垂直な切断面において、前記仮想線の方向と異なる長手方向を有する
ことを特徴とする請求項１から請求項４までの何れか一項に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
内燃機関の燃焼圧を測定する圧力センサが知られている（特許文献１）。圧力センサは、発熱機能を兼ね備えることによって、内燃機関としてのディーゼルエンジンの始動を助ける補助熱源としても機能することができる。上記の発熱機能は、内蔵されたヒータへの通電によって実現される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−４８２３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のようにヒータに通電すると、磁場が発生する。一方で、圧力センサは、圧力の測定結果を電気信号として出力する。このため、磁場が発生すると、圧力センサの出力が影響を受け、圧力の測定結果に誤差が生じる虞がある。本開示は、上記を踏まえ、圧力の測定誤差の低減を解決課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示は、上記課題を解決するためのものであり、以下の形態として実現できる。
【０００６】
本開示の一形態は、軸線方向に延びる略筒状のハウジングと；自身の一部が前記ハウジング内に配置され、先端部が前記ハウジングの先端から突出し、前記軸線方向に沿って移動可能な棒状のヒータ部と；前記ハウジング内に設けられ、内燃機関の燃焼圧を測定するために、前記軸線方向に沿った前記ヒータ部の移動量に応じた信号を出力する出力部と；前記ヒータ部に電気的に接続され、自身の一部が前記ハウジング内に配置された通電ラインと、を備え；前記ヒータ部は、自身の内部に配置された発熱部への通電によって発熱し；前記発熱部は、先端発熱部と、前記先端発熱部の後端に接続された後端発熱部と、を備える圧力センサであって；前記ヒータ部の外表面の部位であって、前記軸線方向の位置として前記先端発熱部の後端よりも先端側に位置する特定部位の温度が１２００℃の場合における前記発熱部の電気抵抗値は、０．７３Ω以上であり；前記特定部位の温度が２０℃の場合における前記先端発熱部の電気抵抗値に対する、前記特定部位の温度が１２００℃の場合における前記先端発熱部の電気抵抗値の比である抵抗比Ｒ１は、前記特定部位の温度が２０℃の場合における前記後端発熱部の電気抵抗値に対する、前記特定部位の温度が１２００℃の場合における前記後端発熱部の電気抵抗値の比である抵抗比Ｒ２よりも大きいことを特徴とする圧力センサである。
【０００７】
この形態によれば、圧力の測定誤差が低減される。特定部位の温度が１２００℃の場合における発熱部の電気抵抗値が０．７３Ω以上であることによって、特定部位の温度が１２００℃の場合に電流値が大きくなり過ぎるのが抑制される。このため、発生する磁場を弱めることができ、ひいては出力部によって出力される信号が示す圧力値（以下、出力値という）の誤差が低減される。さらに、抵抗比Ｒ１が抵抗比Ｒ２よりも大きいことによって、特定部位の温度が１２００℃の場合において、後端発熱部よりも、特定部位に近い先端発熱部の方が発熱量が多くなる。このため、小さい電流値で特定部位を急速に昇温させることができ、ひいては出力部による出力値の誤差が低減される。
【０００８】
上記形態において、前記特定部位の温度が１２００℃の場合における前記発熱部の電気抵抗値は、０．９１Ω以下であってもよい。この形態によれば、特定部位の温度を１２００℃に昇温させやすくなる。
【０００９】
上記形態において、前記先端発熱部の組成は、タングステンとモリブデンとの少なくとも１つを含み、タングステンの質量％とモリブデンの質量％との合計値が５０％よりも大きくてもよい。この形態によれば、先端発熱部の高温耐久性が向上する。
【００１０】
上記形態において、前記出力部は、前記移動量に応じて変形する磁性体のダイアフラムを備え、前記ダイアフラムの変形に応じた信号を出力してもよい。この形態の場合、ダイアフラムが磁性体であることによって、ダイアフラムが磁場から力を受ける。ダイアフラムが力を受けると、出力値に影響を及ぼすので、ダイアフラムが磁性体であることは、出力値の誤差の原因になり得る。この形態によれば、ダイアフラムの材質が磁性体である場合においても、上記形態によって磁場が弱められているので、測定誤差を低減できる。
【００１１】
上記形態において、前記出力部は、前記移動量に応じた信号を出力する２つの素子を備え；前記通電ラインは、前記２つの素子を結ぶ仮想線を含む前記軸線方向に垂直な切断面において、前記仮想線の方向と異なる長手方向を有してもよい。この形態によれば、通電ラインの長手方向が上記の仮想線の方向と一致する場合に比べ、通電ラインを流れる電流から、２つの素子それぞれまでの距離が長くなる。この結果、２つの素子それぞれの位置における磁場が弱くなる。ひいては、出力部による出力値の誤差を低減できる。
【００１２】
本開示は、上記以外の種々の形態で実現できる。例えば、圧力センサの部品としての発熱部の形態で実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】圧力センサの断面図。
【図２】出力部の近傍を拡大した断面図。
【図３】図２に示された３−３断面図。
【図４】出力オフセット値と電流値との関係を示すグラフ。
【図５】特定部位の温度と電流値との関係を示すグラフ。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
実施形態１を説明する。図１は、圧力センサ１００の断面図である。図１における圧力センサ１００の軸線Ｏの下方を圧力センサ１００の先端側と定義し、上方を後端側と定義する。圧力センサ１００の軸線Ｏに沿った方向を軸線方向ＯＤと定義する。
【００１５】
図１に示すように、圧力センサ１００は、主体金具１１０及びキャップ部１２０を有する筒状のハウジング１３０と、保護筒１４０と、端子バネ１４４と、端子金具１４６と、コネクタ部材１４８と、ヒータ部１５０と、出力部１６０と、を備える。
【００１６】
図２は、出力部１６０の近傍を拡大した断面図である。以下、図１及び図２を参照して説明する。
【００１７】
ハウジング１３０を構成する主体金具１１０は、炭素鋼やステンレス鋼によって形成された略円筒状の金属部材である。主体金具１１０の後端近傍には、圧力センサ１００をディーゼルエンジンのシリンダヘッドに固定するためのネジ部１１４が形成されている。ネジ部１１４には、ネジ溝（図示せず）が形成されており、このネジ溝がシリンダヘッド（図示せず）のプラグ取り付け穴に螺合することによって、圧力センサ１００がディーゼルエンジンに固定される。
【００１８】
保護筒１４０は、金属製であり、導電性を有する。本実施形態における保護筒１４０の材質は、ステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ４１０、ＳＵＳ６３０など）である。保護筒１４０は、軸線方向ＯＤに沿って延びる円筒形状をなす。保護筒１４０は、ハウジング１３０の後端部に接合されている。保護筒１４０の内側には、コネクタ部材１４８を介して端子金具１４６が保持されている。保護筒１４０の後端部には、ディーゼルエンジンに対する圧力センサ１００の固定および取り外しに用いられる工具（図示せず）が係合可能な工具係合部１４２が形成されている。
【００１９】
コネクタ部材１４８は、電気絶縁性を有する。本実施形態におけるコネクタ部材１４８の材質は、絶縁樹脂である。コネクタ部材１４８は、円筒形状をなす。コネクタ部材１４８の内側には、端子金具１４６が固定されている。
【００２０】
端子バネ１４４は、金属製であり、導電性を有する。本実施形態における端子バネ１４４の材質は、例えば、銅合金などである。端子バネ１４４は、中軸１７０と端子金具１４６との間を機械的および電気的に接続すると共に、ヒータ部１５０の変位に伴う中軸１７０の変位を吸収する。本実施形態における端子バネ１４４は、湾曲した板バネである。
【００２１】
端子金具１４６は、金属製であり、導電性を有する。本実施形態における端子金具１４６の材質は、例えば、銅合金などである。
【００２２】
主体金具１１０の先端には、キャップ部１２０が配置されている。キャップ部１２０は、炭素鋼やステンレス鋼によって形成された環状の金属部材である。キャップ部１２０の後端側には、厚さが主体金具１１０の先端側部位の厚さよりも薄く、外径が主体金具１１０とほぼ同径の円筒部１２２が形成される。キャップ部１２０の先端側には、外径が先端に向かって縮径するテーパ部１２４が形成される。
【００２３】
ヒータ部１５０は、その先端が突出した状態でハウジング１３０の内部に配置されており、シース管１５２と先端側コイル１５４と後端側コイル１５１と絶縁粉末１５５とを備えている。シース管１５２は、軸線方向ＯＤに沿って延びた筒状の部材であり、先端が半球状に閉塞し、後端が主体金具１１０内において開口している。シース管１５２は、耐熱・耐食性に優れたステンレス鋼等によって形成されている。
【００２４】
先端側コイル１５４及び後端側コイル１５１は何れも、通電によって抵抗発熱する巻線型抵抗であり、シース管１５２の先端側内部に保持されている。ヒータ部１５０には、金属製の棒状部材である中軸１７０が挿入されており、後端側コイル１５１の後端は、中軸１７０の先端に固定される。先端側コイル１５４の先端は、シース管１５２の先端に固定される。先端側コイル１５４及び後端側コイル１５１には、端子金具１４６、端子バネ１４４および中軸１７０を通じて、外部から電力が供給される。このように中軸１７０は、通電ラインとして機能する。シース管１５２内には、先端側コイル１５４や後端側コイル１５１との隙間に、耐熱性を有する酸化マグネシウム等の絶縁粉末１５５が充填されている。
【００２５】
先端側コイル１５４の主成分は、タングステンである。具体的には、先端側コイル１５４の組成の９９質量％以上をタングステンが占める。先端側コイル１５４の主成分がタングステンであることによって、先端側コイル１５４の高温耐久性が向上する。なお、後端側コイル１５１は、鉄−クロム−アルミニウム合金で形成される。
【００２６】
本実施形態においては、先端側コイル１５４及び後端側コイル１５１の電気抵抗値について、特定部位の温度を基準にし、後述するように設計されている。この特定部位とは、シース管１５２の外表面の部位であって、ヒータ部１５０の先端から後端側に２ｍｍ離れた部位である。この２ｍｍとは、軸線方向ＯＤに沿った距離である。先端側コイル１５４の或る部位は、軸線方向ＯＤについて特定部位と同じ位置にある。このため、特定部位の温度は、先端側コイル１５４の温度に強い影響を受ける。以下、温度について述べる場合は、特定部位の温度について述べている。
【００２７】
本実施形態では、抵抗比Ｒ１が抵抗比Ｒ２よりも大きくなるように、先端側コイル１５４及び後端側コイル１５１が形成されている。抵抗比Ｒ１，Ｒ２は、次のように定義される。
Ｒ１＝Ｒ1200(先)／Ｒ20(先)
Ｒ２＝Ｒ1200(後)／Ｒ20(後)
【００２８】
抵抗値Ｒ1200(先)は、１２００℃の場合における先端側コイル１５４の電気抵抗値である。抵抗値Ｒ20(先)は、２０℃の場合における先端側コイル１５４の電気抵抗値である。抵抗値Ｒ1200(後)は、１２００℃の場合における後端側コイル１５１の電気抵抗値である。抵抗値Ｒ20(後)は、２０℃の場合における後端側コイル１５１の電気抵抗値である。
【００２９】
抵抗比Ｒ１＞抵抗比Ｒ２であることによって、１２００℃の場合は２０℃の場合に比べて、先端側コイル１５４に発熱が集中する。このため、小さな電流値で昇温が可能になる。
【００３０】
シース管１５２の開口された後端と中軸１７０との間には、絶縁粉末１５５をシース管１５２内に密封するためのシール部材１５６が挿入されている。シース管１５２には、スウェージング加工が施されている。スウェージング加工によって、内部に充填された絶縁粉末１５５が緻密になり、熱伝導効率が向上する。ヒータ部１５０の後端側は、主体金具１１０内に配置される。ヒータ部１５０の先端側は、キャップ部１２０の開口部１２５から軸線方向ＯＤの先端側に向かって突出するように配置される。
【００３１】
ハウジング１３０内には、ヒータ部１５０よりも後端側に配置された環状の出力部１６０と、出力部１６０をハウジング１３０内に固定するためのセンサ固定部材１３２と、ヒータ部１５０の軸線方向ＯＤに沿った変位を出力部１６０に伝達するための伝達スリーブ１３４と、ヒータ部１５０の外周をハウジング１３０の内部に連結するための可変部材１８０とが設けられている。
【００３２】
センサ固定部材１３２は、ステンレス鋼等によって形成された略円筒形状の部材である。センサ固定部材１３２は、主体金具１１０の内周に沿って配置されており、その先端部には、鍔状のフランジ部１３３が形成されている。フランジ部１３３は、主体金具１１０の先端面に溶接されている。センサ固定部材１３２の後端には、出力部１６０の外周部が溶接されている。センサ固定部材１３２は、出力部１６０をハウジング１３０内の中央部付近に固定する。
【００３３】
伝達スリーブ１３４は、ステンレス鋼等によって形成された略円筒状の部材である。伝達スリーブ１３４は、センサ固定部材１３２とヒータ部１５０との間に配置されている。伝達スリーブ１３４の先端は、センサ固定部材１３２のフランジ部１３３が形成されている位置付近において、ヒータ部１５０の外周に溶接されている。一方、伝達スリーブ１３４の後端は、環状の出力部１６０の内周部に溶接されている。ヒータ部１５０の軸線方向ＯＤに沿った変位は、伝達スリーブ１３４によって出力部１６０の内周部に伝達される。
【００３４】
可変部材１８０は、弾性を有する略筒状の部材である。可変部材１８０は、ステンレス鋼やニッケル合金等を素材とした深絞り加工によって形成されている。可変部材１８０の素材は、インコネル７１８（INCONELは登録商標）である。可変部材１８０は、全体がハウジング１３０内に配置され、その後端部が、センサ固定部材１３２の先端部に溶接され、その先端部が、ヒータ部１５０（シース管１５２）の外周に溶接されている。ヒータ部１５０は、可変部材１８０によってハウジング１３０に連結されるとともに、可変部材１８０の弾性変形によって、軸線方向ＯＤに沿った変位が許容されている。可変部材１８０は、ヒータ部１５０とハウジング１３０とを連結することで、主体金具１１０内の気密性を確保する役割も果たす。可変部材１８０の構造の詳細については後述する。
【００３５】
出力部１６０は、ハウジング１３０の内部のうち、ヒータ部１５０および可変部材１８０よりも後端側に配置されており、中軸１７０が通る開口部１６１が中央に設けられた環状のダイアフラム１６２と、ダイアフラム１６２の上面（後端側の面）に接合されたピエゾ抵抗素子１６４とを備えている。ピエゾ抵抗素子１６４は、第１素子１６４ａと、第２素子１６４ｂとから構成される。
【００３６】
ダイアフラム１６２は、例えば、ステンレス鋼によって形成されている。このため、ダイアフラム１６２は磁性体であり、強磁性体である。
【００３７】
ピエゾ抵抗素子１６４には、ハウジング１３０内の所定の部位に設けられた集積回路（図示せず）が電気的に接続されている。先述したように、ダイアフラム１６２の内周には、ヒータ部１５０に接続された伝達スリーブ１３４の後端が接合されている。そのため、燃焼室内の圧力（燃焼圧）を受けてヒータ部１５０が軸線方向ＯＤに沿って変位すると、伝達スリーブ１３４によって、その変位がダイアフラム１６２に伝達され、ダイアフラム１６２が変形する。このため、ダイアフラム１６２は、ヒータ部１５０の移動量に応じて変形する。
【００３８】
集積回路は、ダイアフラム１６２の変形量に応じた電気信号を出力する。つまり、出力部１６０は、ヒータ部１５０の移動量に応じた電気信号を出力する。このため、この電気信号から、燃焼圧の値を検出することができる。以下、電気信号から検出される燃焼圧の値を検出値という。出力された電気信号は、主体金具１１０の後端に挿入された配線を通じて外部のＥＣＵ等に入力される。
【００３９】
図３は、図２に示された３−３断面図である。図３は、軸線方向ＯＤに垂直な切断面を示す。中軸１７０の断面形状には、図３に示すように、長手方向Ｎが定義される。本実施形態における長手方向Ｎは、短手方向と直交する方向として定義される。短手方向は、断面形状における重心を通り、且つ、最も短い距離で断面を二分する線分の方向として定義される。短手方向は、後述する仮想線Ｋに一致するので、図３には明示されていない。図３に示す中軸１７０の断面形状の重心は、長手方向Ｎと仮想線Ｋとの交点である。
【００４０】
仮想線Ｋは、第１素子１６４ａと第２素子１６４ｂとを結ぶ線として定義される。より具体的には、仮想線Ｋは、第１素子１６４ａの外表面と、第２素子１６４ｂの外表面とを最短距離で結ぶ線の方向として定義される。
【００４１】
図３に示すように、長手方向Ｎは、仮想線Ｋと異なる方向である。より具体的には、長手方向Ｎは、仮想線Ｋと直交する。このように、長手方向Ｎと仮想線Ｋとが異なる方向であることによって、長手方向Ｎと仮想線Ｋとが同じ方向である場合に比べ、第１素子１６４ａ及び第２素子１６４ｂの位置における磁場の強度を弱くすることができる。そして、長手方向Ｎが仮想線Ｋとが直交することによって、長手方向Ｎと仮想線Ｋとが直交しない場合に比べ、上記の強度を更に弱くすることができる。
【００４２】
上記のように、第１素子１６４ａ及び第２素子１６４ｂの位置における磁場の強度が弱くなると、第１素子１６４ａ及び第２素子１６４ｂ内の集積回路が磁場に影響されにくくなり、より正確な検出値を示す電気信号が出力される。
【００４３】
図４は、出力オフセット値（バール）と電流値（Ａ）との関係を示すグラフである。グラフ中にプロットされた四角は、実測値である。
【００４４】
この実験においては、４００℃から１２００℃へ２秒で昇温させるように圧力センサ１００への通電を制御した。この通電の制御は、通電時間のデューティ比を制御することによって実現した。通電がＯＮの際における印加電圧は、１１Ｖであった。実験において測定された電流値は、デューティ制御におけるＯＮの時間において流れる電流値である。
【００４５】
出力オフセット値とは、通電がＯＦＦからＯＮに切り替わるタイミング、及びＯＮからＯＦＦに切り替わるタイミングにおいて、出力値がどれだけ変動したかを示す値である。
【００４６】
先述したように、ピエゾ抵抗素子１６４による出力信号によって示される燃焼圧の値は、磁場の強度に影響される。磁場の強度は、中軸１７０を流れる電流値と正の相関がある。このため、図４に示すように、出力オフセット値と電流値とには強い正の相関がある。
【００４７】
出力オフセット値は、０．３バール以下が好ましい。実測値を直線で近似することによって、出力オフセット値が０．３バール以下になる電流値を予測できる。その電流値は、１４．７Ａ以下であり、小数点以下を四捨五入すると１５Ａ以下である。
【００４８】
印加電圧である１１Ｖを１５Ａで除算すると０．７３Ωになる。従って、圧力センサ１００の電気抵抗値は、０．７３Ω以上が好ましい。圧力センサ１００の電気抵抗値は、後端側コイル１５１の電気抵抗値と先端側コイル１５４の電気抵抗値との和（以下、この値を「発熱部の電気抵抗値」という）とほぼ等しい。このため、発熱部の電気抵抗値は、０．７３Ω以上が好ましい。
【００４９】
なお、電流値が小さければ小さいほど、出力オフセット値が小さくなるのは、電流に伴って発生する磁場が弱くなるからである。磁場が弱くなると出力オフセット値が小さくなるのは、先述したように集積回路が受ける影響が小さくなるのに加え、ダイアフラム１６２が受ける影響が小さくなるからである。ダイアフラム１６２は磁性体であるため、磁場から力を受けて変形する。ダイアフラム１６２が燃焼圧以外の要因で変形すると、検出値にノイズが含まれることになる。
【００５０】
また、１５Ａという小さな電流値で１２００℃に到達するのは、先述したように、抵抗比Ｒ１＞抵抗比Ｒ２であることが寄与している。
【００５１】
図５は、温度（℃）と電流値（Ａ）との関係を示すグラフである。実験サンプルとして７つの圧力センサ１００を用意した。各実験サンプルについて、直流電流を流し、約１０５０℃、約１１５０℃及び約１２５０℃で安定した状態における温度と電流値とを計測した。この実験における温度の制御は、電圧値の調整によって実現した。
【００５２】
図５に示すように、温度（℃）と電流値（Ａ）とには強い正の相関がある。実測値を直線で近似することによって、１２００℃における電流値を予測できる。その電流値は、約６．４０４Ａである。一方で、この実験において印加した電圧の平均値は、５．８５７Ｖであった。このため、１２００℃における圧力センサ１００の電気抵抗値は、０．９１４６Ωであり、０．９１Ωである。つまり、１２００℃における発熱部の電気抵抗値は、０．９１Ωである。この電気抵抗値よりも大きくなると、１２００℃に到達しづらくなると考えられる。よって、１２００℃の場合における発熱部の電気抵抗値は、０．９１Ω以下が好ましい。
【００５３】
以上に説明した実施形態によれば、１２００℃に昇温させるような使われ方をしても、圧力の測定誤差が抑制されると共に、高温耐久性を向上させることができる。
【００５４】
本開示は、本明細書の実施形態や実施例、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現できる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施例、変形例中の技術的特徴は、先述の課題の一部又は全部を解決するために、或いは、先述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせができる。その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除できる。例えば、以下のものが例示される。
【００５５】
ヒータ部の形状は、コイルでなくてもよく、通電によって１２００℃に昇温するような電気抵抗値を有していればよい。
【００５６】
１２００℃の場合における発熱部の電気抵抗値は、０．９１Ωより大きくてもよい。
【００５７】
先端側コイル１５４の組成は、タングステンとモリブデンとの少なくとも１つを含んでもよいし、何れも含まなくてもよい。タングステンとモリブデンとの少なくとも１つを含む場合、先端側コイル１５４の高温耐久性のため、タングステンの質量％とモリブデンの質量％との合計値が５０％よりも大きいことが好ましい。
【００５８】
ダイアフラムの材質は、常磁性体でもよい。例えば、ＳＵＳ３０４などのオーステナイト系の金属組織の材料でもよい。
【００５９】
長手方向Ｎは、仮想線Ｋの方向と直交していなくてもよいし、一致していてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
１００…圧力センサ
１１０…主体金具
１１４…ネジ部
１２０…キャップ部
１２２…円筒部
１２４…テーパ部
１２５…開口部
１３０…ハウジング
１３２…センサ固定部材
１３３…フランジ部
１３４…伝達スリーブ
１４０…保護筒
１４２…工具係合部
１４４…端子バネ
１４６…端子金具
１４８…コネクタ部材
１５０…ヒータ部
１５１…後端側コイル
１５２…シース管
１５４…先端側コイル
１５５…絶縁粉末
１５６…シール部材
１６０…出力部
１６１…開口部
１６２…ダイアフラム
１６４…ピエゾ抵抗素子
１６４ａ…第１素子
１６４ｂ…第２素子
１７０…中軸
１８０…可変部材
Ｋ…仮想線
Ｎ…長手方向
Ｏ…軸線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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