(57)【要約】【課題】分断された基板端面の強度を高く保つとともに、搬送の際に基板表面に傷が付くことを抑制することが可能な搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置１は、載置位置において基板４０の端部４０ａを吸着した状態の分断テーブル３１ｂを回動させて基板４０から端部４０ａを分断した後、分断テーブル３１ｂを載置位置に戻し、さらに、搬送体２１ｂを降下位置から上昇位置に上昇させて搬送体２２ｂの上面（支持面）に端部４０ａを支持させた後、搬送体２２ｂおよび昇降機構２３ｂを水平方向に移動させて、分断された端部４０ａを下流へと搬送する。【選択図】図９
2018012283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に形成されたスクライブラインに沿って分断された前記基板の断片を下流へと搬送する搬送装置であって、
前記スクライブラインより外側の前記基板の端部が載置されるとともに、載置された前記端部を吸着する分断テーブルと、
分断された前記端部の下面を支持可能な支持面を有する搬送体と、
前記搬送体の前記支持面を、前記載置位置にある前記分断テーブルの表面よりも上方の上昇位置と前記表面よりも下方の降下位置との間で移動させる昇降機構と、
前記搬送体および昇降機構を水平方向に移動させる移動機構と、
を備えたことを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の搬送装置において、
前記分断テーブルの下流側に配置された支持テーブルを備え、
前記搬送体および前記昇降機構を前記移動機構により水平方向に移動させた後、前記搬送体を前記昇降機構により前記上昇位置から前記降下位置に降下させて、分断された前記端部を前記支持テーブルに受け渡す、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の搬送装置において、
受け渡された前記端部の下面を支持可能な支持面を有する第２の搬送体と、
前記第２の搬送体の前記支持面を、前記支持テーブルの表面よりも上方の上昇位置と前記支持テーブルの表面よりも下方の降下位置との間で移動させる第２の昇降機構と、
前記第２の搬送体および前記第２の昇降機構を水平方向に移動させる構成と、を備え、
前記第２の搬送体を昇降させるとともに前記第２の搬送体および前記第２の昇降機構を水平方向に移動させて、前記支持テーブルに受け渡された前記端部を下流へと搬送する、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
請求項３に記載の搬送装置において、
前記移動機構は、前記搬送体および前記昇降機構と、前記第２の搬送体および前記第２の昇降機構とを一体的に移動可能に構成されている、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項５】
請求項４に記載の搬送装置において、
前記搬送体と前記第２の搬送体とを互いに同期させて昇降させる、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項６】
請求項１ないし５の何れか一項に記載の搬送装置おいて、
前記分断テーブルの上流側に配置され前記基板が載置される他の支持テーブルと、
前記基板の下面を支持可能な支持面を有する第３の搬送体と、
前記第３の搬送体の前記支持面を、前記他の支持テーブルの表面よりも上方の上昇位置と前記他の支持テーブルの表面よりも下方の降下位置との間で移動させる第３の昇降機構と、
前記第３の搬送体および前記第３の昇降機構を水平方向に移動させる構成と、を備え、
前記第３の搬送体を昇降させるとともに前記第３の搬送体および前記第３の昇降機構を水平方向に移動させて、前記他の支持テーブルに載置された前記基板の前記端部を前記分断テーブルに載置させる、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項７】
請求項６に記載の搬送装置において、
前記移動機構は、前記搬送体および前記昇降機構と、前記第３の搬送体および前記第３の昇降機構とを一体的に移動可能に構成されている、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項８】
請求項７に記載の搬送装置において、
前記搬送体と前記第３の搬送体とを互いに同期させて昇降させる、
ことを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を分断して搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板等の脆性材料基板の分断は、基板表面にスクライブラインを形成するスクライブ工程と、形成されたスクライブラインに沿って基板を分断するブレイク工程とによって行われる。スクライブ工程では、スクライビングホイールの刃先が、基板表面に押し付けられながら、所定のラインに沿って移動される。スクライブラインの形成には、スクライブヘッドを備えたスクライブ装置が用いられる。
【０００３】
以下の特許文献１には、スクライブラインに沿って基板を分断する装置が記載されている。この装置では、クランプバーで基板を上下から挟んだ状態で、ブレイクバーで基板の端部上面を押圧することにより、基板の端部がスクライブラインに沿って分断される。
【０００４】
また、以下の特許文献２には、基板を分断して搬送する装置が記載されている。この装置では、水平に並べられた多数の搬送ローラにより、基板がスクライブ位置とブレイク位置に搬送される。スクライブ位置において、切り線加工手段（カッター）によって基板にスクライブラインが形成され、ブレイク位置において、横折り機によって基板がスクライブラインに沿って分断される。分断された基板の断片は、搬送ローラで転がされて下流へと搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−１８９６２号公報
【特許文献２】特開２０１２−９６９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の方法によれば、基板を折り割ったときに、相対する分離端面が互いに接触して分離端面に傷が付くことが起こり得る。これにより、端面強度の低下につながるとの問題がある。
【０００７】
特許文献２の方法によれば、搬送ローラに載せられた状態で基板が搬送ローラ上を搬送されるため、搬送の際に、搬送ローラから基板に衝撃や振動が付与され易い。これにより、基板の表面に傷が付くことが起こり得る。
【０００８】
かかる課題に鑑み、本発明は、分断された基板端面の強度を高く保つとともに、搬送の際に基板表面に傷が付くことを抑制することが可能な搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の主たる態様は、基板に形成されたスクライブラインに沿って分断された前記基板の断片を下流へと搬送する搬送装置に関する。本態様に係る搬送装置は、前記スクライブラインより外側の前記基板の端部が載置されるとともに、載置された前記端部を吸着する分断テーブルと、分断された前記端部の下面を支持可能な支持面を有する搬送体と、前記搬送体の前記支持面を、前記載置位置にある前記分断テーブルの表面よりも上方の上昇位置と前記表面よりも下方の降下位置との間で移動させる昇降機構と、前記搬送体および昇降機構を水平方向に移動させる移動機構と、を備える。
【００１０】
本態様に係る搬送装置によれば、分断された端部は、下方から持ち上げられて下流へと搬送されるため、搬送の際に端部がローラ等の搬送部材に摺接することがない。よって、搬送の際に分断された基板端部の表面に傷が付くことを抑制できる。このように、本態様によれば、分断された基板端面の強度を高く保つとともに、搬送の際に基板表面に傷が付くことを抑制することができる。
【００１１】
本態様に係る搬送装置は、前記分断テーブルの下流側に配置された支持テーブルを備え、前記搬送体および前記昇降機構を前記移動機構により水平方向に移動させた後、前記搬送体を前記昇降機構により前記上昇位置から前記降下位置に降下させて、分断された前記端部を前記支持テーブルに受け渡すよう構成され得る。こうすると、分断された端部を、下流側の支持テーブルに円滑に受け渡すことができる。
【００１２】
この場合、搬送装置は、受け渡された前記端部の下面を支持可能な支持面を有する第２の搬送体と、前記第２の搬送体の前記支持面を、前記支持テーブルの表面よりも上方の上昇位置と前記支持テーブルの表面よりも下方の降下位置との間で移動させる第２の昇降機構と、前記第２の搬送体および前記第２の昇降機構を水平方向に移動させる構成と、を備え得る。ここで、前記第２の搬送体を昇降させるとともに前記第２の搬送体および前記第２の昇降機構を水平方向に移動させて、前記支持テーブルに受け渡された前記端部を下流へと搬送するよう構成され得る。こうすると、分断された端部は、下流側の支持テーブルにおいて、下方から持ち上げられて下流へと搬送されるため、搬送の際に端部の表面に傷が付くことを抑制することができる。
【００１３】
この場合、前記移動機構は、前記搬送体および前記昇降機構と、前記第２の搬送体および前記第２の昇降機構とを一体的に移動可能に構成され得る。こうすると、構成の簡素化と制御の簡易化を図ることができる。
【００１４】
また、この場合、前記搬送体と前記第２の搬送体とを互いに同期させて昇降させるよう構成され得る。こうすると、分断されたそれぞれの端部を、分断テーブルから支持テーブルへと搬送すると同時に、下流側の支持テーブル上において下流へと搬送することができる。よって、受け入れのための空きスペースを特別に作ることなく、それぞれの端部を、円滑に搬送することができる。
【００１５】
本態様に係る搬送装置は、前記分断テーブルの上流側に配置され前記基板が載置される他の支持テーブルと、前記基板の下面を支持可能な支持面を有する第３の搬送体と、前記第３の搬送体の前記支持面を、前記他の支持テーブルの表面よりも上方の上昇位置と前記他の支持テーブルの表面よりも下方の降下位置との間で移動させる第３の昇降機構と、前記第３の搬送体および前記第３の昇降機構を水平方向に移動させる構成と、を備える構成とされ得る。ここで、前記第３の搬送体を昇降させるとともに前記第３の搬送体および前記第３の昇降機構を水平方向に移動させて、前記他の支持テーブルに載置された前記基板の前記端部を前記分断テーブルに載置させるよう構成され得る。こうすると、分断される前の基板は、上流側の支持テーブルにおいて、下方から持ち上げられて下流へと搬送されるため、搬送の際に分断前の基板の表面に傷が付くことを抑制することができる。
【００１６】
この場合、前記移動機構は、前記搬送体および前記昇降機構と、前記第３の搬送体および前記第３の昇降機構とを一体的に移動可能に構成され得る。こうすると、構成の簡素化と制御の簡易化を図ることができる。
【００１７】
また、この場合、前記搬送体と前記第３の搬送体とを互いに同期させて昇降させるよう構成され得る。こうすると、分断されたそれぞれの端部を、分断テーブルから下流へと搬送すると同時に、上流側の支持テーブル上において、基板の端部を分断テーブルに載置することができる。よって、分断テーブルにおいて受け入れのための空きスペースを特別に作ることなく、基板の端部を、円滑に分断テーブルへと載置することができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のとおり、本発明によれば、分断された基板端面の強度を高く保つとともに、搬送の際に基板表面に傷が付くことを抑制することが可能な搬送装置を提供することができる。
【００１９】
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る搬送装置の搬送機構の構成を模式的に示す側面図および平面図である。
【図２】図２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る図１（ａ）、（ｂ）の構成に支持テーブルおよび分断テーブルを配置した構成を模式的に示す側面図および平面図である。
【図３】図３（ａ）は、実施形態に係る搬送装置を基板の搬送方向に見た構成を模式的に示す図である。図３（ｂ）は、実施形態に係る搬送装置の分断テーブルを水平方向にシフトさせるためのシフト機構の構成を模式的に示す側面図である。
【図４】図４は、実施形態に係る搬送装置の構成を示すブロック図である。
【図５】図５（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る搬送装置の動作を説明するための側面図および平面図である。
【図６】図６（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る搬送装置の動作を説明するための側面図である。
【図７】図７（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る搬送装置の動作を説明するための側面図である。
【図８】図８（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る搬送装置の動作を説明するための側面図である。
【図９】図９（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る搬送装置の動作を説明するための側面図である。
【図１０】図１０（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る搬送装置の動作を説明するための側面図である。
【図１１】図１１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、実施形態に係る基板分断の流れを説明するための模式図である。図１１（ｃ）、（ｄ）は、変更例に係る回動軸の設定方法を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸＹＺ軸が付記されている。Ｘ−Ｙ平面は水平面に平行で、Ｚ軸正方向は鉛直上方向である。
【００２２】
図１（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、搬送装置１の搬送機構の構成を模式的に示す側面図および平面図である。
図１（ａ）、（ｂ）に示すように、搬送機構は、支持板２１と、搬送体２２ａ〜２２ｃと、昇降機構２３ａ〜２３ｃと、スライダー２４と、モータ２５とを備えている。スライダー２４およびモータ２５は、搬送体２２ａ〜２３ｃおよび昇降機構２３ａ〜２３ｃをＸ軸方向に移動させる移動機構を構成する。
【００２３】
支持板２１は、長方形の輪郭の板状の部材である。支持板２１は、スライダー２４によってＸ軸方向に移動可能にベース１０に設置されている。モータ２５の駆動軸には、長手方向がＸ軸方向に平行となるように、ギア２５ａが装着されている。支持板２１の下面には、ギア２５ａと噛み合うギアが設置されている。モータ２５が駆動されることにより、スライダー２４に案内されて、支持板２１がＸ軸方向に移動する。さらに、支持板２１には、Ｘ軸方向に細長い２つの形状の長孔２１ａ、２１ｂが形成されている。これらの長孔２１ａ、２１ｂは、ベース１０に支持テーブル３１ａ、３１ｃ（図２（ａ）、（ｂ）参照）を設置するための抜き孔である。
【００２４】
支持板２１の上面には、長孔２１ａのＹ軸正側に２つの昇降機構２３ａがＸ軸に並ぶように配置されている。また、長孔２１ａのＹ軸負側にも２つの昇降機構２３ａがＸ軸に並ぶように配置されている。これら昇降機構２３ａは、たとえば、電動ジャッキにより構成される。４つの昇降機構２３ａは、互いに同様の構成となっている。
【００２５】
Ｙ軸正側の２つの昇降機構２３ａに跨がるようにして、１つの搬送体２２ａが昇降機構２３ａの駆動軸上面に設置されている。また、Ｙ軸負側の２つの昇降機構２３ａに跨がるようにして、１つの搬送体２２ａが昇降機構２３ａの駆動軸上面に設置されている。２つの搬送体２２ａは、同一の形状および大きさとなっている。昇降機構２３ａが最も縮んだ状態のとき、２つの搬送体２２ａの上面（支持面）は、互いに同じ高さに位置付けられる。
【００２６】
また、支持板２１の上面には、長孔２１ｂのＹ軸正側に２つの昇降機構２３ｃがＸ軸に並ぶように配置されている。また、長孔２１ｂのＹ軸負側にも２つの昇降機構２３ｃがＸ軸に並ぶように配置されている。これら昇降機構２３ｃは、たとえば、電動ジャッキにより構成される。４つの昇降機構２３ｃは、互いに同様の構成となっており、且つ、昇降機構２３ａとも同様の構成となっている。
【００２７】
Ｙ軸正側の２つの昇降機構２３ｃに跨がるようにして、１つの搬送体２２ｃが昇降機構２３ｃの駆動軸上面に設置されている。また、Ｙ軸負側の２つの昇降機構２３ｃに跨がるようにして、１つの搬送体２２ｃが昇降機構２３ｃの駆動軸上面に設置されている。２つの搬送体２２ｃは、同一の形状および大きさとなっている。昇降機構２３ｃが最も縮んだ状態のとき、２つの搬送体２２ｃの上面（支持面）は、互いに同じ高さに位置付けられる。
【００２８】
Ｘ軸正側の２つの昇降機構２３ａとＸ軸負側の２つの昇降機構２３ｃとの間に、２つの昇降機構２３ｂが配置されている。これら昇降機構２３ｂは、たとえば、電動ジャッキにより構成される。２つの昇降機構２３ｂは、互いに同様の構成となっている。２つの昇降機構２３ａの駆動軸上面に、それぞれ、搬送体２２ｂが設置されている。２つの搬送体２２ｂは、同一の形状および大きさとなっている。昇降機構２３ｂが最も縮んだ状態のとき、２つの搬送体２２ｂの上面（支持面）は、互いに同じ高さに位置付けられる。
【００２９】
昇降機構２３ａ〜２３ｃがそれぞれ最も伸びたときの搬送体２２ａ〜２２ｃの上面（支持面）の高さは互いに同じであり、また、昇降機構２３ａ〜２３ｃがそれぞれ最も縮んだときの搬送体２２ａ〜２２ｃの上面（支持面）の高さは互いに同じである。
【００３０】
図２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、図１（ａ）、（ｂ）の構成に支持テーブル３１ａ、３１ｃおよび分断テーブル３１ｂを配置した構成を模式的に示す側面図および平面図である。便宜上、図２（ａ）では、図２（ｂ）のガイド枠１１の図示が省略されている。
【００３１】
１つの搬送体２２ａをＹ軸方向に挟むようにして３つの支持テーブル３１ａがベース１０の上面に設置される。Ｙ軸方向中央の支持テーブル３１ａは、脚部３２ａが支持板２１に形成された長孔２１ａ（図１（ｂ）参照）に通されてベース１０上面に設置される。Ｙ軸正側の支持テーブル３１ａの脚部３２ａとＹ軸負側の支持テーブル３１ａの脚部３２ａは、それぞれ、支持板２１のＹ軸正側およびＹ軸負側を通ってベース１０上面に設置される。
【００３２】
３つの支持テーブル３１ａの上面の高さは、互いに同じである。搬送体２２ａは、昇降機構２３ａによって、上面（支持面）の高さが３つの支持テーブル３１ａの上面よりも低い降下位置と、上面（支持面）の高さが３つの支持テーブル３１ａの上面よりも高い上昇位置との間で上下に移動する。たとえば、昇降機構２３ａが最も伸びたときの搬送体２２ａの位置が上昇位置とされ、昇降機構２３ａが最も縮んだときの搬送体２２ａの位置が降下位置とされる。
【００３３】
同様に、１つの搬送体２２ｃをＹ軸方向に挟むようにして３つの支持テーブル３１ｃがベース１０の上面に設置される。Ｙ軸方向中央の支持テーブル３１ｃは、脚部３２ｃが支持板２１に形成された長孔２１ｂ（図１（ｂ）参照）に通されてベース１０上面に設置される。Ｙ軸正側の支持テーブル３１ｃの脚部３２ｃとＹ軸負側の支持テーブル３１ｃの脚部３２ｃは、それぞれ、支持板２１のＹ軸正側およびＹ軸負側を通ってベース１０上面に設置される。
【００３４】
３つの支持テーブル３１ｃの上面の高さは、互いに同じであり、且つ、支持テーブル３１ａの上面の高さと同じである。搬送体２２ｃは、昇降機構２３ｃによって、上面（支持面）の高さが３つの支持テーブル３１ｃの上面よりも低い降下位置と、上面（支持面）の高さが３つの支持テーブル３１ｃの上面よりも高い上昇位置との間で上下に移動する。たとえば、昇降機構２３ｃが最も伸びたときの搬送体２２ｃの位置が上昇位置とされ、昇降機構２３ｃが最も縮んだときの搬送体２２ｃの位置が降下位置とされる。
【００３５】
Ｘ軸方向に隣り合う支持テーブル３１ａと支持テーブル３１ｃとの間に、分断テーブル３１ｂが配置されている。Ｙ軸方向に並ぶ３つの分断テーブル３１ｂは、Ｙ軸方向に平行な１つの回動軸３２ｂによって、ＸＺ平面に平行に回転可能に支持されている。Ｙ軸正方向から見たとき、３つの分断テーブル３１ｂは、上面が支持テーブル３１ａの上面と面一となる載置位置から回動軸３２ｂを中心に時計方向に回動可能である。分断テーブル３１ｂが載置位置にあるときの分断テーブル３１ｂと支持テーブル３１ａとの境界の真下の位置に、回動軸３２ｂの中心軸が位置付けられている。
【００３６】
なお、回動軸３２ｂの一端には、モータ１４（図３（ａ）、（ｂ）参照）の駆動軸が装着される。また、回動軸３２ｂの両端は、ガイド枠１１に形成されたＸ軸方向に平行なガイド孔１１ａに嵌まり込んでいる。ガイド枠１１は、ベース１０の上面に設置されている。こうして、回動軸３２ｂがガイド孔１１ａに嵌まることにより、回動軸３２ｂは、ガイド枠１１によってＸ軸方向に移動可能に支持されている。したがって、３つの分断テーブル３１ｂは、回動軸３２ｂを介して、ガイド枠１１にＸ軸方向に移動可能となっている。
【００３７】
３つの支持テーブル３１ａと、３つの支持テーブル３１ｃと、３つの分断テーブル３１ｂの上面には、基板を吸着するための無数の孔が形成されている。３つの支持テーブル３１ａと、３つの支持テーブル３１ｃと、３つの分断テーブル３１ｂには、それぞれ、これらの孔に繋がる流路が形成され、この流路が図示しない空圧源に繋がっている。空圧源により流路が負圧に設定されることにより、支持テーブル３１ａと、３つの支持テーブル３１ｃと、３つの分断テーブル３１ｂの上面に設置された基板が吸着される。
【００３８】
図３（ａ）は、搬送装置１を基板の搬送方向に見た構成を模式的に示す図である。図３（ｂ）は、搬送装置１の分断テーブル３１ｂを水平方向にシフトさせるためのシフト機構の構成を模式的に示す側面図である。
【００３９】
回動軸３２ｂの両端は、ガイド枠１１のガイド孔１１ａに嵌め込まれ、さらに、枠部材１２に回転可能に支持されている。また、回動軸３２ｂのＹ軸正側の端部は、枠部材１２に装着されたモータ１３の駆動軸に装着されている。モータ１３が駆動されることにより、回動軸３２ｂが回動し、分断テーブル３１ｂが回動する。
【００４０】
枠部材１２の上面にネジ孔を備えた軸受け１２ａが設置され、この軸受け１２ａにモータ１４の駆動軸１５が螺合している。モータ１４は、ベース１０に設置された支持フレーム１６に装着されている。モータ１４が駆動されると、枠部材１２がＸ軸方向にシフトし、これに伴い回動軸３２ｂがシフトする。これにより、分断テーブル３１ｂがＸ軸方向にシフトする。
【００４１】
なお、本実施形態では、３つの分断テーブル３１ｂと、回動軸３２ｂと、ガイド枠１１（ガイド孔１１ａ）と、枠部材１２と、モータ１３、１４と、駆動軸１５と、支持フレーム１６とによって、スクライブラインに沿って基板を分断する分断装置が構成されている。
【００４２】
図４は、搬送装置１の構成を示すブロック図である。
搬送装置１は、制御部１０１と、機構部１０２と、吸引部１０３と、センサ部１０４と、入出力部１０５とを備えている。制御部１０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の演算処理回路と、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等のメモリとを備え、メモリに記憶されたプログラムに従って各部を制御する。機構部１０２は、図１（ａ）〜図３（ｂ）に示した機構を備える。吸引部１０３は、上述の空圧源および空圧源の圧力を支持テーブル３１ａ、３１ｃおよび分断テーブル３１ｂの各上面に形成された孔に付与するパイプや流路などを含んでいる。センサ部１０４は、搬送経路上における基板の位置や、搬送体２２ａ〜２２ｃの位置および分断テーブル３１ｂの回動位置等を検出するための各種センサを含んでいる。入出力部１０５は、モニタやキーボード、タッチパネル等を含み、基板のサイズや分断位置に指定入力や、分断の進捗状況の表示等のために用いられる。
【００４３】
次に、図５（ａ）〜図１０（ｂ）を参照して、搬送装置１の動作を説明する。
図５（ａ）、（ｂ）は、それぞれ、搬送装置１の動作を説明するための側面図および平面図である。便宜上、図５（ａ）、（ｂ）には、基板４０の分断および搬送に必要な構成のみを模式的に示している。
【００４４】
支持テーブル３１ａの上面に基板４０が載置されている。基板４０は、液晶パネル等の脆弱性基板である。基板４０の上面（Ｚ軸正側の面）には、上流側のスクライブ装置によって、Ｙ軸方向に平行に複数のスクライブライン４１がＸ軸方向に一定間隔で形成されている。基板４０は、たとえば基板４０上面を吸着して基板４０を搬送する搬送装置によって、図５（ａ）、（ｂ）のように支持テーブル３１ａの上面に載置される。この状態において、回動軸３２ｂは、スクライブライン４１に平行となっている。図５（ａ）、（ｂ）の状態では、搬送体２２ａ、２２ｃは降下位置に位置付けられており、分断テーブル３１ｂは、上面が支持テーブル３１ａの上面と面一となる載置位置に位置付けられている。
【００４５】
搬送動作が開始されると、制御部１０１は、昇降機構２３ａ〜２３ｃを駆動して、図６（ａ）に示すように搬送体２２ａ〜２２ｃを、互いに同期させて、上昇位置に上昇させる。これにより、基板４０が搬送体２２ａによって持ち上げられ、基板４０の下面が支持テーブル３１ａの上面から離れる。次に、制御部１０１は、モータ２５を駆動して、支持板２１を図６（ｂ）の位置に移動させる。これにより、搬送体２２ａがＸ軸正方向に移動し、基板４０がＸ軸正方向に搬送される。この状態において、基板４０に形成された最もＸ軸正側のスクライブライン４１が、支持テーブル３１ａと分断テーブル３１ｂとの境界の位置の略真上に位置付けられる。
【００４６】
その後、制御部１０１は、昇降機構２３ａ〜２３ｃを駆動して、図７（ａ）に示すように搬送体２２ａ〜２２ｃを、互いに同期させて、降下位置に降下させる。これにより、基板４０の下面が支持テーブル３１ａの上面に接触し、基板４０が支持テーブル３１ａの上面に載置される。また、同時に、基板４０のＸ軸正側の端部が、分断テーブル３１ｂの上面に載置される。さらに、制御部１０１は、モータ２５を駆動して、支持板２１を図７（ｂ）の位置に復帰させる。
【００４７】
この状態において、制御部１０１は、図４の吸引部１０３を制御して、基板４０を支持テーブル３１ａと分断テーブル３１ｂに吸着させる。そして、制御部１０１は、図３（ａ）、（ｂ）に示すモータ１３を駆動して、図８（ａ）のように分断テーブル３１ｂを時計方向に回動させる。
【００４８】
上記のように、本実施形態では、分断テーブル３１ｂが載置位置にあるときの分断テーブル３１ｂと支持テーブル３１ａとの境界の真下の位置に、回動軸３２ｂの中心軸が位置付けられている。したがって、分断テーブル３１ｂが回動軸３２ｂを中心に時計方向に回動すると、基板４０の端部４０ａが、最もＸ軸正側のスクライブライン４１の位置で折り曲げられながら、斜め下方向に基板４０の本体から離れるように引っ張られる。これにより、図８（ａ）に示すように、基板４０の端部４０ａが基板４０本体から分断される。
【００４９】
その後、制御部１０１は、図３（ｂ）のモータ１４を駆動して、図８（ｂ）に示しように、回動軸３２ｂをＸ軸正方向にシフトさせる。そして、制御部１０１は、図３（ａ）、（ｂ）のモータ１３を駆動して、図９（ａ）に示すように、分断テーブル３１ｂを回動軸３２ｂの周りに反時計方向に回動させて、分断テーブル３１ｂを載置位置に復帰させる。この場合、回動軸３２ｂがＸ軸正側にシフトされているため、基板４０のＸ軸正側の端面（分離端面）と端部４０ａのＸ軸負側の端面（分離端面）との間に、シフト量に応じた隙間が生じる。このため、図９（ａ）のように分断テーブル３１ｂを載置位置に復帰させても、基板４０側の分離端面と端部４０ａ側の分離端面とが接触することがない。
【００５０】
その後、制御部１０１は、昇降機構２３ａ〜２３ｃを駆動して、図９（ｂ）に示すように搬送体２２ａ〜２２ｃを、互いに同期させて、上昇位置に上昇させる。これにより、基板４０が搬送体２２ａによって持ち上げられ、基板４０の下面が支持テーブル３１ａの上面から離れる。また、端部４０ａが搬送体２２ｂに持ち上げられ、端部４０ａの下面が分断テーブル３１ｂの上面から離れる。
【００５１】
次に、制御部１０１は、モータ２５を駆動して、支持板２１を図１０（ａ）の位置に移動させる。これにより、搬送体２２ａがＸ軸正方向に移動し、基板４０がＸ軸正方向に搬送される。このとき同時に、制御部１０１は、図３（ａ）、（ｂ）に示すモータ１４を駆動して、分断テーブル３１ｂをＸ軸負方向にシフトさせる。この状態において、基板４０に形成された次のスクライブライン４１が、支持テーブル３１ａと分断テーブル３１ｂとの境界の位置の略真上に位置付けられる。
【００５２】
その後、制御部１０１は、昇降機構２３ａ〜２３ｃを駆動して、図１０（ｂ）に示すように搬送体２２ａ〜２２ｃを、互いに同期させて、降下位置に降下させる。これにより、基板４０の下面が支持テーブル３１ａの上面に接触し、基板４０が支持テーブル３１ａの上面に載置される。また、同時に、基板４０のＸ軸正側の端部が、分断テーブル３１ｂの上面に載置される。さらに、分断された端部４０ａが支持テーブル３１ｃの上面に載置され、端部４０ａが支持テーブル３１ｃに受け渡される。
【００５３】
こうして端部４０ａが支持テーブル３１ｃに受け渡された後、制御部１０１は、モータ２５を駆動して、支持板２１を図７（ｂ）の位置に復帰させる。その後、制御部１０１は、上記と同様に、図８（ａ）〜図１０（ｂ）の制御を行う。これにより、次の端部４０ａが基板４０から分断されて、支持テーブル３１ｃに受け渡される。支持テーブル３１ｃに受け渡された端部４０ａは、次の図８（ａ）〜図１０（ｂ）の制御において、図９（ｂ）〜図１０（ａ）の動作が行われることにより、搬送体２２ｃによって下流側（Ｘ軸正側）に搬送され、同時に、次に分断された端部４０ａが、支持テーブル３１ｃのＸ軸負側の端の領域に載置される。以降、図７（ｂ）〜図１０（ｂ）の制御が繰り返されて、端部４０ａの分断と、支持テーブル３１ｃへの端部４０ａの受け渡し、および支持テーブル３１ｃ上における端部４０ａの搬送が行われる。
【００５４】
＜実施形態の効果＞
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。
端部４０ａが基板４０本体から回転方向に遠ざかるようにして基板４０から端部４０ａが分断されるため、分断の際に、相対する分離端面が互いに接触することが回避される。このため、接触により分離端面に傷が付くことが防止され、端面強度を高く保つことができる。また、分断された端部４０ａは、搬送体２２ｂによって下方から持ち上げられて下流へと搬送されるため、搬送の際に端部４０ａがローラ等の搬送部材に摺接することがない。よって、搬送の際に分断された端部４０ａの表面に傷が付くことを抑制できる。このように、本実施形態によれば、基板４０から分断された端部４０ａの端面の強度を高く保つとともに、搬送の際に端部４０ａの表面に傷が付くことを抑制することができる。
【００５５】
また、制御部１０１は、搬送体２２ｂおよび昇降機構２３ｂを水平方向に移動させた後、搬送体２２ｂを上昇位置から降下位置に降下させて、分断された端部４０ａを支持テーブル３１ｃに受け渡すよう構成されている。この構成により、分断された端部４０ａを、下流側の支持テーブル３１ｃに円滑に受け渡すことができる。
【００５６】
また、支持テーブル３１ｃに受け渡された端部４０ａは、搬送体２２ｃを昇降させるとともに搬送体２２ｃおよび昇降機構２３ｃを水平方向に移動させることによって下流へと搬送される。このため、分断された端部４０ａは、下流側の支持テーブル３１ｃにおいて、下方から持ち上げられて下流へと搬送されるため、搬送の際に端部４０ａの表面に傷が付くことを抑制することができる。
【００５７】
また、下流側の搬送体２２ｃおよび昇降機構２３ｃは、搬送方向中間位置の搬送体２２ｂおよび昇降機構２３ｂとともに支持板２１に設置され、スライダー２４およびモータ２５からなる移動機構によってＸ軸方向に一体的に移動されるため、これらが個別に独立して駆動される構成に比べて、構成を簡素にでき、且つ、制御を簡易にすることができる。
【００５８】
また、搬送体２２ｂと搬送体２２ｃは、互いに同期して昇降するように制御されるため、分断されたそれぞれの端部４０ａを、分断テーブル３１ｂから支持テーブル３１ｃへと搬送すると同時に、下流側の支持テーブル３１ｃ上において下流へと搬送することができる。よって、受け入れのための空きスペースを特別に作ることなく、それぞれの端部４０ａを、円滑に搬送することができる。
【００５９】
また、支持テーブル３１ａに載置された基板４０は、搬送体２２ａを昇降させるとともに搬送体２２ａおよび昇降機構２３ａを水平方向に移動させることによって、前記他の支持テーブル３１ａに載置された基板４０のスクライブライン４１から外側の端部を分断テーブル３１ｂに載置させるよう構成さている。この構成により、分断される前の基板４０は、上流側の支持テーブル３１ａにおいて、下方から持ち上げられて下流へと搬送されるため、搬送の際に分断前の基板４０の表面に傷が付くことを抑制することができる。
【００６０】
また、上流側の搬送体２２ａおよび昇降機構２３ａは、他の搬送体２２ｂ、２２ｃおよび昇降機構２３ｂ、２３ｃとともに支持板２１に設置され、スライダー２４およびモータ２５からなる移動機構によってＸ軸方向に一体的に移動されるため、これらが個別に独立して駆動される構成に比べて、構成を簡素にでき、且つ、制御を簡易にすることができる。
【００６１】
また、搬送体２２ａと搬送体２２ｂは、互いに同期して昇降するように制御されるため、分断されたそれぞれの端部４０ａを、分断テーブル３１ｂから支持テーブル３１ｃへと搬送すると同時に、上流側の支持テーブル３１ａ上において、基板４０のスクライブライン４１より外側の端部を分断テーブル３１ｂに載置することができる。よって、分断テーブル３１ｂにおいて受け入れのための空きスペースを特別に作ることなく、基板４０の端部を、円滑に分断テーブル３１ｂに載置することができる。
【００６２】
また、図８（ａ）、（ｂ）を参照して説明したように、制御部１０１は、載置位置において基板４０の端部を吸着した状態の分断テーブル３１ｂを回動させて基板４０から端部４０ａを分断した後、回動軸３２ｂを下流側にシフトさせ、この状態で、分断テーブル３１ｂを載置位置に戻すように制御を行う。このため、端部４０ａを分断した後に分断テーブル３１ｂを載置位置に戻しても、基板４０側の分離端面と端部４０ａ側の分離端面との間に隙間が確保される。よって、これらの分離端面が互いに接触することがなく、接触によりこれらの分離端面に傷が付くことがない。よって、端面強度をより高く保つことができる。
【００６３】
なお、本実施形態では、分断テーブル３１ｂの端部４０ａが載置される面を負圧にして端部４０ａを分断テーブル３１ｂに吸着させる構成であるため、分断テーブル３１ｂの回動に伴い、端部４０ａを分断テーブル３１ｂに吸着させつつ円滑に、端部４０ａを折り割りの傾斜角に到達させることができる。
【００６４】
すなわち、図１１（ａ）に示すように、分断テーブル３１ｂが載置位置から回動し始めた段階において、基板４０の端部４０ａは、負圧による吸引により、分断テーブル３１ｂの回動に伴い徐々に下方に傾いていく。このとき、端部４０ａは、吸着による摩擦力に抗して分断テーブル３１ｂの上面を滑りながら徐々に傾くことになる。また、端部４０ａは、吸着による摩擦力によって、基板４０本体から離れる方向に力を受ける。こうして、端部４０ａがスクライブライン４１に沿って折り割られる角度に到達すると、端部４０ａが折り割られて基板４０本体から分離する。これにより、図１１（ｂ）の状態となる。
【００６５】
このように、本実施形態では、端部４０ａが分断テーブル３１ｂの上面を滑ることが可能な状態で、負圧により端部４０ａを分断テーブル３１ｂに吸着させているので、分断テーブル３１ｂの回動に伴い、円滑に、端部４０ａを折り割りの傾斜角に到達させることができる。なお、このように、分断テーブル３１ｂの回動に伴い、端部４０ａが分断テーブル３１ｂの上面を滑るため、分断テーブル３１ｂの上面は、このように端部４０ａが滑っても端部４０ａの表面に傷を付けにくい素材で構成されることが好ましい。
【００６６】
＜変更例＞
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施形態も上記以外に種々の変更が可能である。
たとえば、上記実施形態では、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、分断テーブル３１ｂが載置位置にあるときの分断テーブル３１ｂと支持テーブル３１ａとの境界の真下の位置、すなわち、分断対象のスクライブライン４１を含み基板４０に垂直な平面上に、回動軸３２ｂの中心軸が位置付けられたが、回動軸３２ｂの位置はこれに限られるものではない。載置位置から分断テーブル３１ｂを回動させることにより、端部４０ａがスクライブライン４１の位置で下方に折り曲げられながら、斜め下方向に基板４０本体から離れるように引っ張られる作用が生じる位置であれば、他の位置に回動軸３２ｂを配置してもよい。
【００６７】
たとえば、図１１（ｃ）に示すように、分断テーブル３１ｂと支持テーブル３１ａとの境界よりも下方で、且つ、この境界よりも搬送方向上流側（Ｘ軸負側）、すなわち、分断対象のスクライブライン４１を含み基板４０に垂直な平面に対して端部４０ａから基板４１の中央に向かう内側方向（Ｘ軸負方向）にシフトした位置に、回動軸３２ｂを配置してもよい。
【００６８】
なお、図１１（ｄ）のように、回動軸３２ｂを、分断テーブル３１ｂと支持テーブル３１ａとの境界よりも下方で、且つ、この境界よりも搬送方向下流側（Ｘ軸正側）に配置することも可能である。しかし、この場合は、分断テーブル３１ｂの回動開始時に、分断テーブル３１ｂ上面のＸ軸負側の端が上方向（図１１（ｄ）の矢印方向）に変位するため、端部４０ａが上方に傾き、その後、分断テーブル３１ｂの回動が進むに伴い、端部４０ａが下方に傾くようになる。このため、端部４０ａが折り割りの角度に到達するまでの分断テーブル３１ｂの回動ストロークが大きくなってしまう。
【００６９】
これに対し、図１１（ｃ）の位置に回動軸３２ｂを配置すれば、分断テーブル３１ｂの回動開始時から、分断テーブル３１ｂ上面の全ての領域が、下方向に変位するため、速やかに、端部４０ａを折り割りの角度に到達させることができる。よって、回動軸３２ｂは、図１１（ｃ）のように、分断対象のスクライブライン４１を含み基板４０に垂直な平面に対して端部４０ａから基板４１の中央に向かう内側方向（Ｘ軸負方向）にシフトした位置に配置し、あるいは、上記実施形態のように、分断対象のスクライブライン４１を含み基板４０に垂直な平面上の位置に配置することが好ましい。
【００７０】
また、上記実施形態では、搬送体２２ａ〜２２ｃに対して個別に昇降機構２３ａ〜２３ｃが配置されたが、一対の搬送体２２ａに対して共通の昇降機構が配置されてもよく、任意の組み合わせの搬送体に共通の昇降機構が配置されてもよい。搬送体２２ａ〜２２ｃの全てに対して共通の昇降機構が配置されてもよい。
【００７１】
また、上記実施形態では、１つの支持板２１に全ての昇降機構２３ａ〜２３ｃが設置されたが、上流側、中間、下流側の昇降機構をそれぞれ個別に支持板２１に設置して、個別に移動させる構成であってもよい。あるいは、上流側と中間の昇降機構を共通の支持板に設置して一体的に移動させ、下流側の昇降機構は別の支持板に設置して独立して移動させてもよい。この他、任意の組み合わせの昇降機構を一体的に移動させる構成であってもよい。
【００７２】
また、上記実施形態では、下流側の支持テーブル３１ｃも、上流側の支持テーブル３１ａや分断テーブル３１ｂと同様に、基板４０の端部４０ａを吸着する構成であったが、下流側の支持テーブル３１ｃは、必ずしも、基板４０の端部４０ａを吸着する構成を備えてなくともよい。なお、吸着の方法は、多数の孔に負圧を付与する方法の他、１つまたは数個の孔に負圧を付与する方法等、他の方法であってもよい。
【００７３】
また、上記実施形態では、たとえば図５（ａ）、（ｂ）に示すように、支持テーブル３１ｃのＸ軸正側の端と分断テーブル３１ｂのＸ軸負側の端が略接する構成であったが、支持テーブル３１ｃのＸ軸正側の端と分断テーブル３１ｂのＸ軸負側の端との間に隙間があってもよい。すなわち、分断テーブル３１ｂの回動によりスクライブライン４１に折り割りのための応力が付与されればよい。
【００７４】
また、上記実施形態では、たとえば図５（ａ）、（ｂ）に示すように、平面視における支持テーブル３１ａ、３１ｃおよび分断テーブル３１ｂの輪郭が方形形状であったが、これに限るものではなく、平面視における支持テーブル３１ａ、３１ｃおよび分断テーブル３１ｂの輪郭が方形形状の角を丸めた形状等、他の形状であってもよい。同様に、平面視における搬送体２２ａ〜２２ｃの形状も、上記実施形態で示した形状以外の形状であってもよい。また、支持テーブル３１ａ、３１ｃおよび分断テーブル３１ｂの数や搬送体２２ａ〜２２ｃの数も、上記実施形態で示した以外の数であってもよい。
【００７５】
また、上記実施形態では、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、回動軸３２ｂをＸ軸方向に移動させるためのシフト機構が、枠部材１２をモータ１４で移動させる機構により構成されたが、シフト機構の構成はこれに限られるものではない。たとえば、回動軸３２ｂの両端をプランジャやエアシリンダ等の他の動力源によって、個別に且つ互いに同期させて、Ｘ軸方向に移動させてもよい。
【００７６】
また、必ずしも下流側の支持テーブル３１ｃ上において端部４０ａがＸ軸正方向に搬送されなくともよく、分断された端部４０ａが、搬送体２２ｂによって、分断テーブル３１ｂから下流側の受け入れユニットに受け渡す構成であってもよい。
【００７７】
また、上記実施形態では、基板４０の上面（Ｚ軸負側の面）のみにスクライブライン４１が形成されていたが、Ｘ軸方向の同一の位置において上面と下面の両方にスクライブライン４１が形成されていてもよい。この場合、特許請求の範囲に記載されたスクライブラインは、分断テーブル３１ｂに載置される面と反対側の面に形成されたスクライブラインとして理解され得る。
【００７８】
なお、上記実施形態で示した支持テーブル３１ａ、３１ｃ、分断テーブル３１ｂ、搬送体２２ａ〜２２ｃおよび昇降機構２３ａ〜２３ｃのレイアウトは、あくまでも搬送装置１の構成および動作を説明するための模式図であると理解されるべきである。搬送装置１の各部の構成およびレイアウトは、本発明の技術思想に従って、スクライブライン４１に沿って端部４０ａを適正に分断でき、且つ、基板４０および端部４０ａを適正に搬送できるように、適宜、設計され、構成およびレイアウトが調整され得る。
【００７９】
この他、本発明の実施形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００８０】
１  搬送装置
１３  モータ（回動機構）
２１  支持板（移動機構）
２２ａ〜２２ｃ  搬送体
２３ａ〜２３ｃ  昇降機構
２４  スライダー（移動機構）
２５  モータ（移動機構）
３１ａ、３１ｃ  支持テーブル
３１ｂ  分断テーブル
３２ａ  回動軸（回動機構）
１０１  制御部
【図１】
2018012283.tif 000003
【図２】
2018012283.tif 000004
【図３】
2018012283.tif 000005
【図４】
2018012283.tif 000006
【図５】
2018012283.tif 000007
【図６】
2018012283.tif 000008
【図７】
2018012283.tif 000009
【図８】
2018012283.tif 000010
【図９】
2018012283.tif 000011
【図１０】
2018012283.tif 000012
【図１１】
2018012283.tif 000013