(57)【要約】      （修正有）【課題】物体表面の帯電電荷を除電器で除電する際、除電過程の静電気除去性能を評価することができる除電効果チェッカーを提供する。【解決手段】測定電極ＥＲを有する静電位測定機器Ｍを用いた、除電器による除電効果の評価のための除電効チェッカー１０００は、除電器が発生するイオンに対して、測定電極を隔離する容器１１００を有し、容器には測定電極に対向する帯電膜１１２０が設けられる。帯電膜１１２０を帯電手段２０００によって帯電させ、その静電荷の電気力線ＥＬ１を、帯電膜を透過させ、容器内部の測定電極に到達させる。ここで、除電器によって帯電膜の静電荷を除電しつつ、電気力線の強度を測定すれば、除電効果を正確に、リアルタイムで評価することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定電極を有する静電位測定機器を用いた、除電器による除電効果の評価のための除電効果チェッカーであって、
前記除電器が発生するイオンに対して、前記測定電極を隔離する容器を設け、
前記測定電極に対向しつつ離れている帯電膜を設け、
前記帯電膜は、帯電され、
前記静電位測定機器は、前記帯電膜から出る電気力線を、前記帯電膜の裏面から読むことを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項２】
請求項１記載の除電効果チェッカーであって、
前記容器における前記帯電膜以外の部分（以下、隔離部という。）は、前記測定電極を密閉収納するように静電位測定機器に装着される筐体であることを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項３】
請求項１または２のいずれか１項に記載の除電効果チェッカーであって、
前記帯電膜は、絶縁体の薄膜または中央部のみが表裏、電気的に導通する絶縁体の板よりなることを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項４】
請求項２または３のいずれか1項に記載の除電効果チェッカーであって、
前記隔離部には、前記帯電膜の周囲に、沿面距離を確保し得る凹凸部が形成されている絶縁体を有することを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項５】
請求項２乃至４のいずれか1項に記載の除電効果チェッカーであって、
前記隔離部の側壁には接地電極が設けられていることを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の除電効果チェッカーであって、
前記容器の外部に配置され、前記帯電膜を＋または−に帯電させる帯電手段をさらに備えたことを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項７】
請求項６に記載の除電効果チェッカーであって、帯電手段は摩擦手段であることを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項８】
請求項６記載の除電効果チェッカーであって、帯電手段はイオンを照射するイオン発生器であることを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項９】
請求項８に記載の除電効果チェッカーであって、
前記容器の内部で前記帯電膜の背後（内側）に、配置、除去可能な対向電極をさらに備えたことを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項１０】
請求項９記載の除電効果チェッカーであって、
前記対向電極を、前記帯電膜に対向する位置で、配置、除去させるように駆動する駆動手段を、さらに備えたことを特徴とする除電効果チェッカー。
【請求項１１】
測定電極を有する静電位測定機器の、除電器による除電過程の除電効果を測定・評価する方法であって、
容器によって、前記除電器が発生するイオンに対して、前記測定電極を隔離し、
前記容器に設けた帯電膜を前記測定電極に対向させ、
前記帯電膜を帯電し、
除電器によって前記帯電膜を除電つつ、静電位測定機器によって前記帯電膜の静電荷を前記帯電膜の裏側から測定しつつ、
除電器による除電過程の除電効果を測定・評価する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除電器の性能、特に除電効果を評価するための除電効果チェッカーに関する。
【背景技術】
【０００２】
図７に示すように、測定対象物体ＯＢの静電荷を測定する場合、その帯電面（表面）Ｓに、静電位測定機器Ｍの測定電極ＥＲを、一定距離Ｄを置いて対峙させ、帯電電荷Ｃから出てくる電気力線ＥＬ１を測定電極ＥＲで受けるが、除電器ＩＮによって測定対象物体ＯＢを除電する過程で静電位測定を行おうとすると、除電器ＩＮから測定対象物体ＯＢに放射されるイオンＩＯが測定電極ＥＲの周囲に入り込み、測定電極ＥＲはイオンＩＯが発生する電気力線ＥＬ２も検出する。
【０００３】
すなわち、静電位測定機器Ｍによって電気力線ＥＬ１のみを測定すべきところ、誤差ＥＬ２が含まれる。一般に電気力線の強さは帯電物からの距離の2乗に反比例する。この場合イオンＩＯは測定電極ＥＲの近傍にも存在し得るため、誤差としての電気力線ＥＬ２は無視できないレベルに達する。
このため、従来の静電位測定機器Ｍでは除電過程の静電位測定は不可能であるため、除電過程の静電気除去性能を評価することはできなかった。
【０００４】
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような従来の問題点を解消すべく創案されたもので、除電過程の静電気除去性能を評価することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る請求項１記載の除電効果チェッカーは、測定電極を有する静電位測定機器を用いた、除電器による除電過程の除電効果の評価のための除電効果チェッカーであって、
前記除電器が発生するイオンに対して、前記測定電極を隔離する容器であって、前記測定電極に対向しつつ離れている帯電膜が設けられた容器を備える。
これによって、測定電極に対する除電器のイオンの影響が排除され、除電過程の静電気除去性能を評価し得る。
【０００７】
本発明に係る請求項２記載の除電効果チェッカーは、請求項１記載の除電効果チェッカーにおいて、前記容器における前記帯電膜以外の部分（以下、隔離部という。）は、前記測定電極を密閉収納するように静電位測定機器に装着される筐体である。
これによって、測定電極を除電器のイオンから隔離し得る。
【０００８】
本発明に係る請求項３記載の除電効果チェッカーは、請求項１乃至2のいずれか１項に記載の除電効果チェッカーにおいて、前記帯電膜は、絶縁体の薄膜または中央部が表裏電気的に導通している絶縁体の板よりなる。
これによって、帯電膜の外側を帯電したときに、絶縁体膜の場合は静電気の電気力線が、帯電膜を透過して測定電極に到達する。また中央部が表裏電気的に導通している絶縁体の板の場合は、表面及び中央部裏面の静電気の電気力線が測定電極に到達する。
【０００９】
本発明に係る請求項4記載の除電効果チェッカーは、請求項２または３記載の除電効果チェッカーにおいて、前記隔離部には、前記帯電膜の周囲に、沿面距離を確保し得る凹凸部が形成される。
これによって、帯電膜の静電気の漏電が防止される。
【００１０】
本発明に係る請求項5記載の除電効果チェッカーは、請求項２乃至４のいずれか１項に記載の除電効果チェッカーにおいて、前記隔離部には、前記帯電膜から離間した部分に、接地電極が設けられている。
これによって、隔離部を通過して外部からの漏洩電気力線の影響を減少し得る。
【００１１】
本発明に係る請求項６記載の除電効果チェッカーは、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の除電効果チェッカーにおいて、前記容器の外部に配置され、前記帯電膜を帯電させる帯電手段をさらに備える。
これによって、帯電操作が容易である。
【００１２】
本発明に係る請求項７記載の除電効果チェッカーは、請求項６に記載の除電効果チェッカーにおいて、帯電手段は摩擦手段である。
【００１３】
本発明に係る請求項８記載の除電効果チェッカーは、請求項６に記載の除電効果チェッカーにおいて、帯電手段は、イオンを照射するイオン発生器である。
【００１４】
本発明に係る請求項９記載の除電効果チェッカーは、請求項８に記載の除電効果チェッカーにおいて、前記容器の内部で前記帯電膜に対向する位置で、配置、除去可能な対向電極をさらに備える。
これによって、帯電膜の帯電量を高めることができる。
【００１５】
本発明に係る請求項１０記載の除電効果チェッカーは、請求項９記載の除電効果チェッカーにおいて、前記対向電極を、前記帯電膜に対向する位置で、配置、除去させるように駆動する駆動手段をさらに備える。
これによって、帯電膜の帯電後には、円滑かつ迅速に対向電極を除去して、測定作業に移行し得る。
【００１６】
本発明に係る請求項１１記載の除電効果に対する測定性能の評価方法は、容器によって、前記除電器が周囲の雰囲気で発生するイオンに対して、前記測定電極を隔離し、前記容器に設けた帯電膜を前記測定電極に対向させ、前記帯電膜を帯電し、静電位測定機器によって前記帯電膜の静電荷を測定しつつ、除電器によって前記帯電膜を除電する。
これによって、測定電極に対する除電器のイオンの影響が排除され、除電過程の除電効果を測定・評価し得る。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、除電器の性能、特に除電効果を、イオンによる誤差を排除して評価し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る除電効果チェッカーの第１実施例を示す縦断面図である。
【図２】図１の斜視図である。
【図１−１】図１の帯電膜が薄い帯電膜である場合の帯電膜の断面図である。
【図１−２】図１の帯電膜が厚い帯電膜である場合の帯電膜の断面図である。
【図１−３】図１の帯電膜が厚い帯電膜である場合の帯電膜の断面図である。
【図３】本発明に係る除電効果チェッカーの第３実施例を示す斜視図である。
【図４】本発明に係る除電効果チェッカーの第４実施例を示す縦断面図である。
【図５】第４実施例において対向電極を除去した状態を示す縦断面図である。
【図６】本発明に係る、除電効果に対する測定性能の評価方法を示すフローチャートである。
【図７】従来の除電効果測定状況を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
次に、本発明に係る除電効果チェッカーの好適な実施例を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１、図２に示すように、除電効果チェッカー１０００は、除電器ＩＮが発生するイオンＩＯに対して、静電位測定機器Ｍの測定電極ＥＲを隔離する容器１１００を有する。
容器１１００は、測定電極ＥＲを包被する角筒状筐体であり、その底面、側面、上面周縁よりなる隔離部１１１０と、隔離部１１１０の中央で、測定電極ＥＲに対向しつつ離れている帯電膜１１２０とを有する。
【００２１】
帯電膜１１２０は、測定電極ＥＲに対向しつつ離れており、容器１１００の外部から＋または−に帯電させる帯電手段（図示省略）によって帯電する。帯電手段としては、帯電膜１１２０の外側表面を摩擦する摩擦手段（図示省略）や、イオン発生器２０００（第４実施例に関連して説明する図４に図示する。）等を適用し得る。
【００２２】
帯電した帯電膜１１２０における静電荷の電気力線ＥＬ１は、大部分が帯電膜１１２０を透過し、容器１１００内部の測定電極ＥＲに到達する。ここで、除電器ＩＮによって帯電膜１１２０の静電荷を除電しつつ、電気力線ＥＬ１の強度を測定すると、除電効果を測定できる。
【００２３】
容器１１００の隔離部１１１０は除電器ＩＮが発生したイオンＩＯ自体の測定電極ＥＲ近傍への侵入を防止するので、イオンＩＯの電気力線ＥＬ２の影響を完全に排除できる。従って、除電効果を高精度で測定できる。
【００２４】
隔離部１１１０は絶縁体よりなり、帯電膜１１２０の周囲には、沿面距離を確保するために蛇腹状に形成された曲面部１１３０が形成されている。これによって、帯電膜１１２０の静電荷が隔離部１１１０へ漏洩することが防止され、除電器ＩＮのみによる安定した除電効果を測定対象とすることができる。
隔離部１１１０の側壁内面には接地電極１１４０が接続され、隔離部１１１０および隔離部１１１０の外側から内側に電気力線が侵入するのを防止できる。そして、イオンＩＯの電気力線ＥＬ２は若干帯電膜１１２０を透過するが、イオンＩＯの静電荷は帯電膜１１２０の静電荷に比較して極めて微小であり、しかも測定電極ＥＲから離れているので、静電位測定機器Ｍの測定値にほとんど影響を与えない。
【実施例２】
【００２５】
次に、本発明に係る除電効果チェッカーの実施例２を図１−１、図１−２、図１−３を用いて説明する。
【００２６】
実施例２は、図１−３に示すよう帯電膜１１２０に、その表裏で電流リークが可能な導電路ＣＰ（図１−３）を設けたものである。実施例１の帯電膜１１２０は、このような導電路は存在しないため、帯電膜１１２０を透過した電気力線ＥＬ１から除電効果を精密に測定するために、帯電膜１１２０を極めて薄く形成する必要がある。厚い場合は図１−２に示すように電気力線は減衰して測定できない。一方、図１−３に示す導電路ＣＰを設けた実施例２では、帯電膜１１２０の厚さを増大しても、高精度の除電効果測定が可能であり、帯電膜１１２０の機械的強度を高めることができる。
そして、導電路ＣＰは、測定電極ＥＲに対向する位置に設けることが好ましい。
【００２７】
帯電膜１１２０に導電路を形成する方法としては、例えば、以下が実施可能である
（１）絶縁体よりなる帯電膜１１２０の両面に高電圧を印加し、帯電膜１１２０に絶縁破壊を生じさせて微細貫通孔を形成し、導電路とする。
（２）絶縁体よりなる膜に、細径ドリルで微細貫通孔をあけて孔の内壁に導電性をもたせ、帯電膜１１２０を形成し、微細貫通孔を導電路とする。
（３）絶縁体よりなる膜に、レーザー加工で微細貫通孔をあけて孔の内壁に導電性をもたせ、帯電膜１１２０を形成し、微細貫通孔を導電路とする。 
【実施例３】
【００２８】
次に、本発明に係る除電効果チェッカーの実施例３を図３に基づいて説明する。なお、図中、実施例１〜２と同一若しくは同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。
【００２９】
図３に示すように、除電効果チェッカー１０００の容器１１００は、実施例１の角筒状に代えて円筒状の形状を採用している。このように、容器１１００は、測定電極ＥＲを包被する筐体であれば、多様な形状を採用し得る。
【００３０】
なお、隔離部１１１０は導電性材料とすることも可能であり、これによって、接地電極を省略し得る。
【実施例４】
【００３１】
次に、本発明に係る除電効果チェッカーの帯電膜１１２０の帯電方法について図４、５、６を用いて実施例４として説明する。なお、図中、実施例１〜３と同一若しくは同一部分には同一符号を付し、説明を省略する。帯電膜１１２０は、摩擦手段によって帯電させてもよいし、イオン発生器によって帯電させてもよい。
【００３２】
ここでは、イオン発生器を用いてより効果的に帯電させる方法について説明する。
図４において、帯電手段としてイオン発生器２０００が採用され、帯電荷が高められる。
除電効果チェッカー１０００の容器１１００内には、帯電膜１１２０の背後（内側）で、帯電膜１１２０に対向する対向電極１２００が近接配置されている。帯電膜１１２０にイオンを照射すると、対向電極１２００の効果によりイオンの照射が収斂され、その結果、帯電膜１１２０はより強く帯電する。
【００３３】
帯電膜１１２０が充分帯電された後には、図５のように対向電極１２００は除去され（図中、除去前の対向電極１２００を想像線で示す。）、帯電膜１１２０からの電気力線ＥＬ１を静電位測定機器Ｍで測定し得るようになる。対向電極１２００は接地されていることが好ましい。
なお、対向電極１２００を帯電膜１１２０に対する対向位置と、除去位置との間で移動させる駆動手段を設けることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
以上の説明は除電効果チェッカーに関するものであったが、除電効果チェッカーの構成は実施例１〜３に限定されるものではなく、以下の本発明に係る除電効果評価方法に適用し得る任意の構成を採用し得る。
【００３５】
図６に示すように、以下の各ステップを順次実行する。
ステップＳ１００１：まず、容器によって、前記除電器が周囲の雰囲気で発生するイオンに対して、前記測定電極を隔離する。
ステップＳ１００２：容器に設けた帯電膜を前記測定電極に対向させる。
ステップＳ１００３：容器の帯電膜を帯電手段によって帯電する。
ステップＳ１００４：静電位測定機器によって前記帯電膜の静電荷を測定する。
ステップＳ１００５：除電器により、帯電膜を除電する。
ステップＳ１００６：所定の測定終了条件、例えば、所定測定時間経過、静電位レベルの所定値までの低下等が、満足されたか否かを判断し、満足されなかったときはステップＳ１００４に戻り、満足されたときは処理を終了する。
なお、ステップＳ１００４〜Ｓ１００５は、除電器による除電を行いつつ、静電位を測定することと等価である。
【符号の説明】
【００３６】
ＣＰ  導電路
ＥＲ  測定電極
Ｄ  一定距離
ＥＬ１、ＥＬ２  電気力線
ＩＮ  除電器
ＩＯ  イオン
Ｍ  静電位測定機器
ＯＢ  測定対象物体
Ｓ  帯電面（表面）
１０００  除電効果チェッカー
１１００  容器
１１１０  隔離部
１１２０  帯電膜
１１３０ 曲面部
１１４０  接地電極
１２００  対向電極
２０００  イオン発生器
【図１】
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【図１−１】
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【図１−２】
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【図１−３】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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