(57)【要約】      （修正有）【課題】回転した際にコアの内面と巻取軸とが擦れることによる、コアカスの発生を抑制し、現像不良となる感光性樹脂積層体の発生を抑制する、感光性樹脂積層体のスリット装置を提供する。【解決手段】感光性樹脂積層体のロールを所定幅でスリットするスリット装置であって、スリットされた感光性樹脂積層体が巻き取られる円筒状の巻芯１０が取り付けられる巻取軸１において、前記巻取軸の外周面内に埋設された、複数の小径コロ５を有し、小径コロは、それぞれ、外周面の一部が巻取軸の外周よりも外側に突出しており、巻取軸の外側に突出した外周面部分が、少なくとも巻取軸の軸方向（矢印Ａ方向）および周方向（矢印Ｂ方向）の両方向に回転することを特徴とする、感光性樹脂積層体のスリット装置。【選択図】図１
2018177424.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光性樹脂積層体のロールを所定幅でスリットするスリット装置であって、
スリットされた前記感光性樹脂積層体が巻き取られる円筒状の巻芯が取り付けられる巻取軸において、
前記巻取軸の外周面内に複数の小径コロを有し、
前記小径コロは、それぞれ、外周面の一部が前記巻取軸の外周よりも外側に突出しており、該巻取軸の外側に突出した外周面部分が、少なくとも前記巻取軸の軸方向および周方向の両方向に回転することを特徴とする、感光性樹脂積層体のスリット装置。
【請求項２】
前記巻芯は、内周面にリブを有する、請求項１に記載の感光性樹脂積層体のスリット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂積層体のスリット装置に関する。具体的には、軸上に巻芯（コアと称する）が嵌められ、その上に感光性樹脂積層体のウェブを巻き取る巻取軸を備えたスリット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント配線板等の用途においてフォトリソグラフィー法は広く用いられている。フォトリソグラフィー法とは、感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、パターン露光して、該感光性樹脂組成物の露光部を重合硬化させて未露光部を現像液で除去することによって、又は該露光部を可溶化して現像液で除去することによって、基板上にレジストパターンを形成する。そして、エッチング又はめっき処理を施して導体パターンを形成した後、該レジストパターンを該基板上から剥離除去することによって、基板上に導体パターンを形成する。
【０００３】
上記のフォトリソグラフィー法においては、通常、感光性樹脂組成物を基板上に塗布するにあたって、感光性樹脂組成物の溶液を基板に塗布して乾燥させる方法、又は、支持体、感光性樹脂組成物からなる層（以下、「感光性樹脂層」ともいう。）、及び必要によっては保護層を順次積層した感光性樹脂積層体（以下、「ドライフィルムレジスト」ともいう。）を基板に積層する方法のいずれかが使用される。プリント配線板の製造においては、後者の方法が使用されることが多い。
このようなドライフィルムレジストは、通常、感光性樹脂積層体が巻き芯に巻かれてなるドライフィルムレジストロールとして販売、取引される。
【０００４】
ドライフィルムレジストロールは、例えば以下の工程で製造される。
（１）ベースフィルム上に感光性樹脂組成物を塗布、乾燥させて、カバーフィルムを被せることにより、マスターロールと呼ばれる大きい感光性樹脂積層体（ドライフィルムレジスト）を作製する。このようなフィルムは、通常、円管状の巻芯（コア）に巻回された巻回体（マザーロール）として構成されている。
（２）マスターロールを、顧客が使用する幅に裁断（スリット）し、裁断されたフィルムをコアに巻回してスリットロールを作製する（スリット工程）。
（３）スリットロールを梱包して出荷する。
【０００５】
上記の（２）スリット工程においては、スリット装置を用いて、以下のようにしてマスターロールの切断（スリット）を行っている。
（ａ）スリット装置の巻出軸にマスターロールのコア（巻芯）を挿入する。
（ｂ）スリット装置の巻取軸に巻き取り用のコア（巻芯）を挿入する。
（ｃ）マスターロールから感光性樹脂積層体を巻出して、所定の幅に裁断（スリット）する。裁断した感光性樹脂積層体をコアに巻きつけることで、スリットロールを作製する。
巻き取り終了後に、巻取ったロール製品（スリットロール）を取り出すには、ロールを軸と共に取り出し、台の上に置いて軸だけを引き抜くか、または軸を片持状態に保持し、ロールのみを軸から引き抜く等の方法が採られている。
【０００６】
図７に示すように、スリット装置に巻取用のコア１０を挿入するときには、矢印Ａで示す軸方向に挿入する。このような巻取軸２０には、コア１０の挿入をしやすいように、巻取軸の表面に矢印Ａ方向に回転するコロ２１が設けられている（例えば特許文献１）。
そして、スリットされた後の感光性樹脂積層体をコアに巻きつけるときには、矢印Ｂで示す周方向にコア１０と巻取軸２０が回転する。
巻取軸の駆動形式としては、巻取軸にコアを嵌め、その一端からナット等で締め付けることによりコアを巻取軸と一体とし、巻取軸を積極的に駆動してコア上にウェブを巻き取るものや、一本の巻取軸上に多数のコアを嵌め、各々を独立したトルク・回転数で駆動して巻き取る、いわゆる各個フリクション巻き取りと称する巻取軸等、種々の構造のものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実開平６−７３０１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
巻き取り時に、巻取軸とコアとが隙間なく密着していれば、回転しても問題はないが、実際には、巻取軸とコアとの間に隙間が有り、回転するときにコアの内面と巻取軸とが擦れる。この擦れた時にコアの削りかす（コアカス）が発生する。
特に、感光性樹脂積層体のコア１０には、強度を持たせるために、コアの内表面にリブ１１が設けられている（図８（ａ）参照）。このリブ１１が巻取軸２０と接触してコアカスを発生させやすい（図８（ｂ）参照）。コアカスが感光性樹脂積層体に付着すると、その部分で光の遮光が発生する。これが原因で、露光により硬化させたい部分が硬化しなくなったり、所期の形状に再現されなかったりする。結果、現像不良になってしまう。
【０００９】
本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり。回転した際にコアの内面と巻取軸とが擦れることによる、コアカスの発生を抑制し、感光性樹脂積層体の現像不良の発生を抑制する、感光性樹脂積層体のスリット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは鋭意検討を続けた結果、巻取軸の外周に複数設けられる小径コロを、少なくとも巻取軸の軸方向と周方向との両方向に回転させることにより、上記問題点を解決できることに想到し、本発明を完成させるに至った。すなわち、本発明は以下のとおりである。
［１］
感光性樹脂積層体のロールを所定幅でスリットするスリット装置であって、
スリットされた前記感光性樹脂積層体が巻き取られる円筒状の巻芯が取り付けられる巻取軸において、
前記巻取軸の外周面内に複数の小径コロを有し、
前記小径コロは、それぞれ、外周面の一部が前記巻取軸の外周よりも外側に突出しており、該巻取軸の外側に突出した外周面部分が、少なくとも前記巻取軸の軸方向および周方向の両方向に回転することを特徴とする、感光性樹脂積層体のスリット装置。
［２］
前記巻芯は、内周面にリブを有する、［１］に記載の感光性樹脂積層体のスリット装置。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、巻取軸の外周に複数設けられる小径コロが、少なくとも巻取軸の軸方向と周方向との両方向に回転することにより、軸が回転した際にコアの内面と巻取軸とが擦れた場合の衝撃を緩和することができ、これによりコアカスの発生が抑制されたスリット装置を提供することができる。その結果、コアカスが付着することによる感光性樹脂積層体の現像不良を抑制することができ、製品歩留まりも向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の巻取軸の一実施形態を示す図。
【図２】本発明の巻取軸の一実施形態を示す図。
【図３】コロの一構成例を示す図。
【図４】コロがコロ支持板に取り付けられた状態を示す図。
【図５】コロの他の構成例を示す図。
【図６】ドライフィルムレジストロールの一構成例を示す図。
【図７】従来の巻取軸の一構成例を示す図。
【図８】コアおよびコアが巻取軸に取り付けられた状態を示す断面図。
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
図１および図２は、本発明のスリット装置に搭載される巻取軸の一構成例を示す図である。図２は巻取軸の上半部を断面で示す正面図である。
巻取軸１は、中心軸２上にコロ支持板３と間隔カラー４とが交互に多数嵌めこまれ、一端よりナット等で締め付けるとともに、中心軸２に固定してある。コロ支持板３には外周に円周を数等分（４〜８等分）した切込み７および同心円の溝８が設けられ、各切込み７の中にコロ５（小径コロ）が自由回転し得るようピン６で支え、ピン６は両端部をかしめ等の方法で溝８内に固着してある。コロの一構成例を図３に示す。そして図４に示すように、各コロ５の外周面の一部はコロ支持板３および間隔カラー４の外径より僅かに外側に突出している。
【００１４】
そして本発明のスリット装置では、巻取軸１において、コロ支持板３の外側に突出している、各コロ５の外周面部分が、少なくとも中心軸２の軸方向（図中矢印Ａ方向）と周方向（図中矢印Ｂ方向）の両方向に回転するようにコロ５が配されている。
各コロ５の外周面部分が、少なくとも中心軸２の軸方向と周方向の両方向に回転することで、巻取軸が回転した際にコア１０の内面と巻取軸とが擦れた場合の衝撃を緩和することができ、これによりコアカスの発生を抑制することができる。その結果、コアカスが付着することによる感光性樹脂積層体の現像不良を抑制することができ、製品歩留まりも向上することができる。
コロ５の形状、数、配置およびその巻取軸への取り付け方法は特に限定されるものではなく、コロ５が少なくとも中心軸２の軸方向と周方向の両方向に回転可能であれは、種々の形状および取り付け方法を採用することができる。例えば図５に示すように、コロ５を球体状とすることもできる。また、ボールベアリング等を介してコロ５を巻取軸１に取り付けることもできる。
また、本発明のスリット装置は、巻取軸以外の構成は従来のスリット装置と同様の構成を有するため、その説明は省略する。
【００１５】
上述のような構成の巻取軸を有するスリット装置を用いて、感光性樹脂積層体のマスターロールを所定の幅でスリット後、コア上に巻き取るためには、まず、巻取軸１上にコア１０を嵌める。コア１０には、強度を持たせるために、コアの内表面にリブ１１が設けられている（図８参照）。巻取軸１の外周面からツメ９が飛び出すことにより、コア１０が巻取軸１に固定（把持）される。その上へ、所定幅に切断（スリット）された感光性樹脂積層体ウェブが巻き取られる。このツメ９は、フィルム巻取中はコア１０の内径を把持し固定する。フィルムの巻き取り時には、中心軸２も巻取軸１もコ１０アも周方向（図中矢印Ｂ方向）に回転する。フィルム巻き取り終了後、コア１０を巻取軸１から取り出すときにはツメ９を凹ませて固定を解除し、巻取軸から抜き出す。巻取軸１とフィルムが巻取られたコア１０を相対的に軸方向に押せば、コロ４が軸方向に回転することにより、コア１０を極めて軽くスムースに巻取軸１より取り出すことができる。
【００１６】
つぎに、本発明のスリット装置によって裁断される感光性樹脂積層体（ドライフィルムレジストロール）の一例について説明する。
＜ドライフィルムレジストロール＞
図６は、ドライフィルムレジストロールの一構成例を示す図である。
感光性樹脂積層体３０が巻き芯３４に巻かれてなるドライフィルムレジストロールであって、該感光性樹脂積層体が、（Ａ）支持体３１、（Ｂ）感光性樹脂層３２及び（Ｃ）保護層３３を、この順で位置するように有し、（Ｂ）感光性樹脂層が、（ａ）カルボキシル基を含有する熱可塑性重合体（以下、「（ａ）熱可塑性重合体」ということもある）２０〜９０質量％、（ｂ）分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する付加重合性モノマー（以下、「（ｂ）付加重合性モノマー」ということもある）５〜７５質量％、及び（ｃ）光重合開始剤０．０１〜３０質量％を含み、（Ｃ）保護層がプロピレン系共重合体フィルムである。
【００１７】
［（Ａ）支持体］
（Ａ）支持体としては、露光光源から放射される光を透過する透明なものが望ましい。このような支持体としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合フィルム、ポリメタクリル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重合体フィルム、ポリアミドフィルム、及びセルロース誘導体フィルム等が挙げられる。これらのフィルムとしては、必要に応じ延伸されたものも使用可能である。
【００１８】
［（Ｂ）感光性樹脂層］
（Ｂ）感光性樹脂層は、（ａ）熱可塑性重合体２０〜９０質量％、（ｂ）付加重合性モノマー５〜７５質量％、及び（ｃ）光重合開始剤０．０１〜３０質量％を含み、例えば上記（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）の成分を含むように調製された感光性樹脂組成物を任意の下地上に塗布することによって形成できる層である。
【００１９】
（ａ）熱可塑性重合体
本発明において用いる（ａ）熱可塑性重合体はカルボキシル基を有し、典型的にはα，β−不飽和カルボキシル基含有単量体を重合成分とする重合体である。（ａ）熱可塑性重合体中のカルボキシル基は、（Ｂ）感光性樹脂層がアルカリ水溶液からなる現像液及び剥離液に対して現像性及び剥離性を有するために必要である。
【００２０】
（ｂ）付加重合性モノマー
（ｂ）付加重合性モノマーは、分子内に少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する。該エチレン性不飽和結合は、典型的には末端エチレン性不飽和基である。
【００２１】
（ｃ）光重合開始剤
（ｃ）光重合開始剤としては、感光性樹脂の光重合開始剤として通常使用されるものを適宜使用できるが、感度及び解像度の観点から特にヘキサアリールビスイミダゾール（以下、トリアリールイミダゾリル二量体ともいう。）が好ましく用いられる。特に、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体は、解像性及び硬化レジスト膜の強度に対して高い効果を有する光重合開始剤であり、好ましく用いられる。これらは単独で用いてもよいし２種類以上組み合わせて用いてもよい。
【００２２】
（Ｂ）感光性樹脂層中の（ｃ）光重合開始剤の含有量は、０．０１〜３０質量％の範囲であり、好ましくは、０．０５〜１０質量％の範囲である。
【００２３】
その他の成分
（Ｂ）感光性樹脂層には、上記（ａ）〜（ｃ）成分の他の成分として各種の添加剤を含有させることができる。具体的には、例えば染料、顔料等の着色物質を採用することができる。
また、露光により可視像を与えることができるように、（Ｂ）感光性樹脂層中に発色剤を含有させてもよい。
【００２４】
（Ｂ）感光性樹脂層の膜厚は、好ましくは、５〜１００μｍ、より好ましくは７〜６０μｍである。膜厚は用途に応じて適宜選択することができる。
【００２５】
（感光性樹脂組成物調合液）
（Ｂ）感光性樹脂層は、前述した成分を含むように調製された感光性樹脂組成物の塗布によって形成できる。（Ｂ）感光性樹脂層の形成に際し、感光性樹脂組成物に溶媒を添加してなる感光性樹脂組成物調合液を各種用途において採用できる。好適な溶媒としては、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）に代表されるケトン類、並びにメタノール、エタノール、及びイソプロピルアルコール等のアルコール類が挙げられる。
【００２６】
［（Ｃ）保護層］
（Ｃ）保護層は（Ｂ）感光性樹脂層を保護する目的で形成される。ドライフィルムレジストにおいて用いられる保護層の重要な特性のひとつは、感光性樹脂層との密着力について、支持体よりも保護層の方が充分小さく容易に剥離できることである。
【００２７】
（Ｃ）保護層は、例えばプロピレン系共重合体フィルムである。
【００２８】
保護層（Ｃ）の膜厚は、１０〜１００μｍであることが好ましく、１５〜７０μｍであることがより好ましい。
【００２９】
このドライフィルムレジストロールは、従来知られている方法で、（Ａ）支持体、（Ｂ）感光性樹脂層、及び（Ｃ）保護層を順次積層することによって製造できる。例えば、（Ｂ）感光性樹脂層を形成するための感光性樹脂組成物を、これを溶解する溶媒と混ぜ合わせ、感光性樹脂組成物調合液としての均一な溶液を調製する。これを、まず（Ａ）支持体上にバーコーター又はロールコーターを用いて塗布して乾燥し、（Ａ）支持体上に感光性樹脂組成物からなる（Ｂ）感光性樹脂層を積層する。次に、（Ｂ）感光性樹脂層上に（Ｃ）保護層をラミネートすることによりドライフィルムレジストを作製することができる。
【００３０】
上記のようにして得たドライフィルムレジストは、（Ｂ）感光性樹脂層の塗工、及び乾燥後、巻き芯に一旦所定の長さに巻き取られ、その後使用用途に合わせた幅及び巻き長にスリットされる。
特に本実施形態のスリット装置を用いてスリットされることによって、コアカスの発生が抑制され、カスの付着に起因する現像不良の発生が抑制された、優れた感光性樹脂積層体とすることができる。
【００３１】
本発明のスリット装置によって裁断される感光性樹脂積層体は、例えば、プリント配線板の製造、フレキシブルプリント配線板の製造、ＩＣチップ搭載用リードフレーム（以下、リードフレームともいう）の製造、メタルマスク製造等の金属箔精密加工、ＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）、ＣＳＰ（チップサイズパッケージ）等の半導体パッケージ製造、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ：半導体ＩＣをフィルム状の微細配線板上に搭載したもの）に代表されるテープ基板の製造、半導体バンプの製造、フラットパネルディスプレイ分野におけるＩＴＯ電極、アドレス電極又は電磁波シールド等の部材の製造、等に好適なレジストパターンを与える感光性樹脂積層体である。
【００３２】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、本発明は、感光性樹脂積層体のスリット装置の巻取軸に限らず、ロールを巻き出す巻出軸や、巻取軸から巻取ロール製品を移し替える受取軸（アンローダー軸）等にも適用できることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明によるスリット装置を用いることで、スリット時のコアカスの発生が抑えられたものとなり、感光性樹脂積層体のスリット装置として広く利用することができる。
また、本発明は、感光性樹脂積層体のコア（巻芯）として、内周面にリブがついたコアを用いるような場合に、コアカスの発生を効果的に抑えることができるため、特に好適に適用可能である。
【符号の説明】
【００３４】
１    巻取軸
２    中心軸
３    コロ支持板
４    間隔カラー
５    コロ（小径コロ）
６    ピン
７    切込み
８    溝
９    ツメ
１０    コア
１１    リブ
【図１】
2018177424.tif 000003
【図２】
2018177424.tif 000004
【図３】
2018177424.tif 000005
【図４】
2018177424.tif 000006
【図５】
2018177424.tif 000007
【図６】
2018177424.tif 000008
【図７】
2018177424.tif 000009
【図８】
2018177424.tif 000010