(57)【要約】【課題】ポータブル或いはウェアラブルな機器や設備に適用する小型流体制御装置を提供することにある。【解決手段】本発明に係る小型流体制御装置は、積層して設置する気体導入板、共振片及び圧電アクチュエータを包括し、そのうち、気体導入板は、少なくとも一つの気体導入孔と、少なくとも一つの集約アレイと、集約チャンバを構成する円形凹部とを有しており、共振片は、中空孔を有しており、圧電アクチュエータは、懸吊板及び圧電板を有しており、そのうち、懸吊板は、円形凹部に対応する円形凸部を有し、円形凹部と円形凸部との間にある対応関係によって形成する伝送空気圧の作業特性の関係比率を変化させることで、その伝送する空気圧流量を向上し、小型流体制御装置の性能を改善している。【選択図】図４Ａ
2018109407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体導入表面及び前記気体導入表面に相対する接合表面を有し、前記気体導入表面が少なくとも一つの気体導入孔を設け、前記接合表面が円形凹部及び少なくとも一つの集約アレイをそれぞれ凹設し、前記円形凹部が第一直径を有し、前記集約アレイの一端が前記円形凹部と連通し合い、前記集約アレイのもう一端が前記少なくとも一つの気体導入孔と連通し合い、気体を前記少なくとも一つの気体導入孔から入り込ませ、前記少なくとも一つの集約アレイによって気体を前記円凹部が構成する集約チャンバに集約する気体導入板と、
前記気体導入板の前記円形凹部に対応する中空孔を有する共振片と、
懸吊板、外枠、少なくとも一つのフレーム及び圧電板を有し、前記懸吊板は、相対し合う第一表面及び第二表面を有し、前記第二表面が円形凸部を有し、前記円形凸部が前記気体導入板の前記接合表面の前記円形凹部と垂直になるように設置し、前記円形凸部が第二直径を有し、前記円形凸部の前記第二直径が前記円形凹の前記第一直径と対応し合うように形成し、且つ気体伝送空気圧の作業特性の関係比率を有し、前記外枠は、前記懸吊板の周辺に囲繞するように設置し、前記少なくとも一つのフレームは、前記懸吊板及び前記外枠の間に接続し、前記圧電板は、前記懸吊板の前記第一表面に貼着する圧電アクチュエータと、を包括し、
そのうち、上述した前記圧電アクチュエータ、前記共振片及び前記気体導入板は、順次対応して積層するように設置して定位し、且つ前記共振片及び前記圧電アクチュエータの間に有する間隙は、第一チャンバを有することで、前記圧電アクチュエータが駆動を受けると、気体は、前記気体導入板の前記少なくとも一つの気体導入孔から入り込み、前記少なくとも一つの集約アレイを介して前記円形凹部に集約され、前記共振片の前記中空孔に流れ込むことで、前記第一チャンバ内に入り込み、さらに、前記圧電アクチュエータの前記少なくとも一つのフレームの間にある空隙から下に向かって伝送されることで、気体を持続的に押出することを特徴とする、小型流体制御装置。
【請求項２】
前記作業特性の関係比率は、前記円形凸部の前記第二直径と前記円形凹部の前記第一直径との割合が０．９５〜１．１５の間にあることを特徴とする、請求項１に記載の小型流体制御装置。
【請求項３】
前記作業特性の関係比率が０．９５〜１．１５の間の場合、気体伝送空気圧値は、３８０ｍｍＨｇ以上を超えることを特徴とする、請求項２に記載の小型流体制御装置。
【請求項４】
前記作業特性の関係比率は、前記円形凸部の前記第二直径と前記円形凹部の前記第一直径との割合が１〜１．１の間にあることを特徴とする、請求項１に記載の小型流体制御装置。
【請求項５】
前記作業特性の関係比率が１〜１．１の間の場合、気体伝送空気圧値は、４１０ｍｍＨｇ以上を超えることを特徴とする、請求項４に記載の小型流体制御装置。
【請求項６】
前記懸吊板及び前記圧電板は、いずれも正方形構成であることを特徴とする、請求項２或いは４に記載の小型流体制御装置。
【請求項７】
前記懸吊板の辺の長さは、８ｍｍ〜９ｍｍの間であることを特徴とする、請求項６に記載の小型流体制御装置。
【請求項８】
前記懸吊板の辺の長さは、７．５ｍｍであることを特徴とする、請求項６に記載の小型流体制御装置。
【請求項９】
前記集約チャンバの深さは、前記少なくとも一つの集約アレイの深さと同じであることを特徴とする、請求項１に記載の小型流体制御装置。
【請求項１０】
少なくとも一つの絶縁片と、導電片とをさらに包括し、前記少なくとも一つの絶縁片及び前記導電片は、圧電アクチュエータ１３の下に順次設置することを特徴とする、請求項１に記載の小型流体制御装置。
【請求項１１】
気体導入表面及び前記気体導入表面に相対する接合表面を有し、前記気体導入表面が少なくとも一つの気体導入孔を設け、前記接合表面が円形凹部及び少なくとも一つの集約アレイをそれぞれ凹設し、前記円形凹部が第一直径を有する気体導入板と、
前記気体導入板の前記円形凹部に対応する中空孔を有する共振片と、
懸吊板及び圧電板を少なくとも有し、前記懸吊板は、相対し合う第一表面及び第二表面を有し、前記第二表面が円形凸部を有し、前記円形凸部が前記気体導入板の前記接合表面の前記円形凹部と垂直になるように設置し、前記円形凸部が第二直径を有し、前記円形凸部の前記第二直径が前記円形凹の前記第一直径と対応し合うように形成し、且つ気体伝送空気圧の作業特性の関係比率を有し、前記圧電板は、前記懸吊板の前記第一表面に貼着する圧電アクチュエータと、を包括し、
そのうち、上述した前記圧電アクチュエータ、前記共振片及び前記気体導入板は、順次対応して積層するように設置して定位することを特徴とする、小型流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型流体制御装置、特に、小型で非常に薄く、静かな小型空気圧動力装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、医薬、コンピューターテクノロジー、印刷、エネルギー等の工業など分野を問わず、製品が精密化及び小型化の方向に発展しており、そのうち、小型ポンプ、噴霧器、インクジェットヘッド、工業印刷装置等の製品に含まれる流体輸送構造は、中でも重要な技術であるが、いかに革新的な構造で技術のボトルネックを打破するかが発展させるための重要な内容となっている。
【０００３】
例えば、医藥産業において、空気圧動力を採用して駆動される機器や設備が多いが、通常は、従来のモータや空気圧バルブで気体輸送という目的を達している。しかしながら、これら従来のモータ及び気圧バルブの体積の制限を受けるため、これらの機器・設備は、装置全体の体積を縮小することが難しく、装置全体の体積を縮小することができないことから、薄型化という目標を実現することが困難で、モバイルデバイス上に設置したり、モバイルデバイスと組み合わせて使用したりすることもできず、利便性に欠けている。また、これら従来のモーター及び気体バルブは、作動時に騒音も発生し、使用者のストレスとなるため、使用上の不便及び不快を引き起こしている。
【０００４】
このため、上述の従来技術の欠点を改善し、従来の小型流体制御装置を採用した機器や設備の体積を小さくして小型化すると同時に静音性を確保し、便利且つ快適で携帯可能な小型流体制御装置を達成し、さらに、気体伝送空気圧を安定させるという作業特性を達成させるかが、現在、解決を要する切迫した問題となっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の主な目的は、ポータブル或いはウェアラブルな機器や設備に適用する小型流体制御装置を提供することであって、気体導入板にある円形凹部の直径と、圧電アクチュエータの懸吊板にある円形凸部との間で対応し合って形成する気体伝送空気圧の作業特性の関係比率によって、形成した集約チャンバに流体逆流防止作用を備えさせることを構成し、小型流体制御装置の作業特性の効率を大幅に向上且つ改善することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的を達するため、本発明に係る比較的広義の実施態様は、小型空気圧動力装置に適用する小型流体制御装置を提供し、小型流体制御装置は、気体導入表面及び前記気体導入表面に相対する接合表面を有し、前記気体導入表面が少なくとも一つの気体導入孔を設け、前記接合表面が円形凹部及び少なくとも一つの集約アレイをそれぞれ凹設し、前記円形凹部が第一直径を有し、前記集約アレイの一端が前記円形凹部と連通し合い、前記集約アレイのもう一端が前記少なくとも一つの気体導入孔と連通し合い、気体を前記少なくとも一つの気体導入孔から入り込ませ、前記少なくとも一つの集約アレイによって気体を前記円凹部が構成する集約チャンバに集約する気体導入板と、前記気体導入板の前記円形凹部に対応する中空孔を有する共振片と、懸吊板、外枠、少なくとも一つのフレーム及び圧電板を有し、前記懸吊板は、相対し合う第一表面及び第二表面を有し、前記第二表面が円形凸部を有し、前記円形凸部が前記円形凹部と垂直になるように設置し、前記円形凸部が第二直径を有し、前記第二直径が前記第一直径と対応し合い、前記外枠は、前記懸吊板の周辺に囲繞するように設置し、前記少なくとも一つのフレームは、前記懸吊板及び前記外枠の間に接続し、前記圧電板は、前記懸吊板の前記第一表面に貼着する圧電アクチュエータと、を包括し、そのうち、上述した前記圧電アクチュエータ、前記共振片及び前記気体導入板は、順次対応して積層するように設置して定位し、且つ前記共振片及び前記圧電アクチュエータの間に有する間隙は、第一チャンバを有することで、前記圧電アクチュエータが駆動を受けると、気体は、前記気体導入板の前記少なくとも一つの気体導入孔から入り込み、前記少なくとも一つの集約アレイを介して前記円形凹部に集約され、前記共振片の前記中空孔に流れ込むことで、前記第一チャンバ内に入り込み、さらに、前記圧電アクチュエータの前記少なくとも一つのフレームの間にある空隙から下に向かって伝送されることで、気体を持続的に押出している。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１Ａ】本発明に係る好ましい実施例の小型空気圧動力装置を示す正面分解図である。
【図１Ｂ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の正面組立図である。
【図２Ａ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の背面分解図である。
【図２Ｂ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の背面組立図である。
【図３Ａ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の圧電アクチュエータの正面組立図である。
【図３Ｂ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の圧電アクチュエータの背面組立図である。
【図３Ｃ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の圧電アクチュエータの断面図である。
【図４Ａ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の小型流体制御装置の局部動作を示す模式図である。
【図４Ｂ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の小型流体制御装置の局部動作を示す模式図である。
【図４Ｃ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の小型流体制御装置の局部動作を示す模式図である。
【図４Ｄ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の小型流体制御装置の局部動作を示す模式図である。
【図４Ｅ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の小型流体制御装置の局部動作を示す模式図である。
【図５Ａ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の集気板及び小型バルブ装置の加圧動作を示す模式図である。
【図５Ｂ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の集気板及び小型バルブ装置の減圧動作を示す模式図である。
【図６Ａ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の加圧動作を示す模式図である。
【図６Ｂ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の加圧動作を示す模式図である。
【図６Ｃ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の加圧動作を示す模式図である。
【図６Ｄ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の加圧動作を示す模式図である。
【図６Ｅ】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の加圧動作を示す模式図である。
【図７】図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の降圧或いは減圧動作を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本発明の特徴と利点を体現するいくつかの典型的実施例を以下において詳細に説明する。本発明は異なる態様において各種の変化が可能であり、そのいずれも本発明の範囲を逸脱せず、かつ本発明の説明及び図面は本質的に説明のために用いられ、本発明を制限するものではないことが理解されるべきである。
【０００９】
本発明に係る小型空気圧動力装置１は、気体を伝送するためのものとして、医薬・バイオテクノロジー、エネルギー、コンピューターテクノロジー、或いは印刷等の工業に応用することができるが、これに限らない。図１Ａ、図１Ｂ、図２Ａ及び図２Ｂを参照すると、本発明に係る小型空気圧動力装置１は、小型流体制御装置１Ａと小型バルブ装置１Ｂとが組合さって成り、そのうち、小型流体制御装置１Ａは、気体導入板１１、共振片１２、圧電アクチュエータ１３、絶縁片１４１、１４２及び導電片１５等の構成を有するが、これらに限らない。圧電アクチュエータ１３は、共振片１２に対応して設置され、気体導入板１１、共振片１２、圧電アクチュエータ１３、絶縁片１４１、導電片１５、もう一つの絶縁片１４２及び集気板１６等が順次積層するように設置され、且つ圧電アクチュエータ１３は、懸吊板１３０、外枠１３１、少なくとも一つのフレーム１３２及び圧電板１３３がともに組立てられて成っており、また、小型バルブ装置１Ｂは、バルブ片１７及び出口板１８を包含するが、これらに限らない。また、本実施例において、図１Ａのように、集気板１６は、単一の板体構成に限らず、周縁に側壁１６８を有する枠体構成とすることもでき、周縁に構成した側壁１６８は、その底部の板体とともに、圧電アクチュエータ１３を設置するための収容空間１６ａを定義するため、本発明に係る小型空気圧動力装置１が組立てを完了すると、その正面図が図１Ｂのように成り、また、図６Ａから図６Ｅから分かるように、小型流体制御装置１Ａは、小型バルブ装置１Ｂと対応し合うように組立てられて成り、つまり、小型バルブ装置１Ｂにあるバルブ片１７及び出口板１８は、小型流体制御装置１Ａの集気板１６上に順次積層するように設置して定位されて成っている。その組立てが完了した背面図から、出口板１８上に減圧通孔１８１及び出口１９があることが分かり、出口１９は、装置(図示されていない）と連接するために用いられ、減圧通孔１８１は、小型バルブ装置１Ｂ内の気体を排出することで、減圧の効果を達成させるために用いられている。この小型流体制御装置１Ａ及び小型バルブ装置１Ｂの組立て設置により、気体が小型流体制御装置１Ａの気体導入板１１上にある少なくとも一つの気体導入孔１１０から入り込み、圧電アクチュエータ１３の作動を介し、複数の圧力チャンバ（図示されていない）に流れ込んで継続的に伝送され、気体を小型バルブ装置１Ｂ内で単方向に流動させ、圧力を小型バルブ装置１Ｂの出口側と連通し合う装置（図示されていない）中に蓄積させ、減圧を行う必要がある場合、小型流体制御装置１Ａの出力量を制御し、気体を小型バルブ装置１Ｂの出口板１８上にある減圧通孔１８１を介して排出し、減圧を行っている。
【００１０】
図１Ａ及び図２Ａを続けて参照すると、図１Ａのように、小型流体制御装置１Ａの気体導入板１１は、少なくとも一つの気体導入孔１１０を設ける気体導入表面１１ａと、接合表面１１ｂとを有し、本実施例において、気体導入孔１１０は、その数量が四つであるが、これに限らず、気体導入板１１の気体導入表面１１ａ及び接合表面１１ｂを貫通しており、主に、気体を装置外から大気圧の作用に順応させ、少なくとも一つの気体導入孔１１０から小型流体制御装置１Ａ内に流入させるために用いられている。また、図２Ａのように、気体導入板１１の接合表面１１ｂから分かるとおり、その上には、円形凹部１１１及び少なくとも一つの集約アレイ１１２が設けられ、少なくとも一つの集約アレイ１１２の一端は、円形凹部１１１と連通し合い、少なくとも一つの集約アレイ１１２のもう一端は、気体導入板１１の気体導入表面１１ａにある少なくとも一つの気体導入孔１１０と連通し合っている。本実施例において、集約アレイ１１２の数量は、気体導入孔１１０に対応し、その数量は四つであるが、これに限らず、これにより、気体導入孔１１０から集約アレイ１１２に入り込んだ気体をガイドし、円形凹部１１１に集約して伝送することができる。本実施例において、気体導入板１１は、一体成型された気体導入孔１１０、集約アレイ１１２及び円形凹部１１１を有し、円形凹部１１１箇所において、気体を集約する集約チャンバを対応するように形成することで、気体を一時的に保存している。一部の実施例において、気体導入板１１の材質は、これに限らないがステンレス材質で構成することができる。別の一部の実施例において、円形凹部１１１箇所において構成する集約チャンバの深さは、集約アレイ１１２の深さと同じであり、且つ集約チャンバ及び集約アレイ１１２の好ましい深さは、０.２ｍｍ〜０.４ｍｍの間であるが、これに限らない。共振片１２は、可撓性材質によって構成されるが、これに限らず、且つ共振片１２は、その上に、気体導入板１１の接合表面１１ｂにある円形凹部１１１に対応するように設置することで気体を流通させる中空孔１２０を有している。また、別の一部の実施例において、共振片１２は、銅材質によって構成することができるが、これに限らない。
【００１１】
図３Ａ、図３Ｂ及び図３Ｃを同時に参照すると、圧電アクチュエータ１３は、懸吊板１３０、外枠１３１、少なくとも一つのフレーム１３２及び圧電板１３３がともに組立てられて成り、そのうち、圧電板１３３は、懸吊板１３０の第一表面１３０ｂに貼着し、印加電圧を供給することで形状変化を発生させ、懸吊板１３０の湾曲振動を駆動しており、懸吊板１３０は、中心部１３０ｄと外周部１３０ｅとを有し、圧電板１３１が電圧を受けて駆動すると、懸吊板１３０は、中心部１３０ｄから外周部１３０ｅまで湾曲振動することができ、また、少なくとも一つのフレーム１３２は、懸吊板１３０と外枠１３１との間に接続しており、本実施例において、フレーム１３２は、懸吊板１３０と外枠１３１との間を接続するように設置し、その両端点は、外枠１３１、懸吊板１３０にそれぞれ接続することで、弾性的な支持を提供しており、フレーム１３２、懸吊板１３０及び外枠１３１の間には、気体を流通させるための少なくとも一つの空隙１３５をさらに有し、且つ懸吊板１３０、外枠１３１及びフレーム１３２の形態及びその数量は、さまざまな変化が可能である。また、外枠１３１は、懸吊板１３０の外側を囲繞するように設置し、電気的接続に用いるための導電ピン１３４を外側に向かって凸設しているが、これに限らない。本実施例において、懸吊板１３０は、階段状の構成であり、つまり、懸吊板１３０の第二表面１３０ａは、円形凸部１３０ｃをさらに有し、円形凸部１３０ｃは、円形凹部と垂直に設置して円形凹部に対応し、且つ円形凸部１３０ｃの高さは、０.０２ｍｍ〜０.０８ｍｍの間で、好ましくは０.０３ｍｍである。図３Ａと図３Ｃとを同時に参照すると分かるように、懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃの表面は、外枠１３１の第二表面１３１ａと同一平面にあり、懸吊板１３０の第二表面１３０ａは、フレーム１３２の第二表面１３２ａとも同一平面にあり、且つ懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃ及び外枠１３１の第二表面１３１ａは、懸吊板１３０の第二表面１３０ａ及びフレーム１３２の第二表面１３２ａとの間に特定の深さを有している。懸吊板１３０の第一表面１３０ｂについては、図３Ｂ及び図３Ｃのように、外枠１３１の第一表面１３１ｂ及びフレーム１３２の第一表面１３２ｂと平坦な同一平面の構成にあり、圧電板１３３は、この平坦な懸吊板１３０の第１表面１３０ｂに貼着している。別の一部の実施例において、懸吊板１３０の形態は、両面が平坦な板状の正方形構成としてもよいが、これに限らず、実際の実施状況に応じて任意に変化させることができる。一部の実施例において、懸吊板１３０、フレーム１３２及び外枠１３１は、一体成型の構成とし、且つ金属板によって構成することができ、例えば、ステンレス材質によって構成することができるが、これに限らない。また、一部の実施例において、懸吊板１３０の辺の長さは、８ｍｍ〜９ｍｍの間である。
【００１２】
また、別の一部の実施例において、圧電板１３３の辺の長さは、懸吊板１３０の辺の長さよりやや短く、７.５ｍｍ〜８.５ｍｍの間の長さを有しているが、これに限らない。
【００１３】
また、別の一部の実施例において、懸吊板１３０の辺の好ましい長さは、７．５ｍｍであって、圧電板１３３の辺の好ましい長さは、懸吊板１３０の辺の長さよりやや短く、その長さは、７ｍｍである。
【００１４】
本発明に係る小型空気圧動力装置１に関する実施例について、図４Ａを続けて参照すると、懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃは、気体導入板１１の円形凹部１１１と垂直に設置し且つ互いを対応し合い、そのうち、円形凹部１１１は、第一直径Ｄ１を有し、円形凸部１３０ｃは、第二直径Ｄ２を有し、第一直径Ｄ１を固定して第二直径Ｄ２を調整すると、両者間の対応によって得られた作業特性の関係は、以下の表１に示すとおりである。
【００１５】
【表１】
2018109407.tif 000003
【００１６】
従って、実験による上記表から分かるとおり、気体導入板１１の円形凹部１１１の第一直径Ｄ１と懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃの第二直径Ｄ２との間にある割合Ｄ２／Ｄ１は、小型流体制御装置１Ａの気体流量に対しての影響が大きく、第二直径Ｄ２と第一直径Ｄ１との割合Ｄ２／Ｄ１が０．９５〜１．１５の間の場合、その気体伝送の作業特性効率は向上し、より高い気体伝送空気圧値が得られ、最低でも気体伝送空気圧値は３８０ｍｍＨｇを超え、特に、割合Ｄ２／Ｄ１が１〜１．１の間の場合、その最低気体伝送空気圧値は、４１０ｍｍＨｇ以上あり、このことから分かるとおり、第二直径Ｄ２と第一直径Ｄ１との割合Ｄ２／Ｄ１は、小型流体制御装置１Ａの作業特性（空気圧値）に影響を与え、本発明が第二直径Ｄ２と第一直径Ｄ１との割合Ｄ２／Ｄ１を０．９５〜１．１５の間に定義すると、より大きな空気圧値が得られて小型流体制御装置１Ａの効率が大幅に向上し、その作業特性の性能を改善しており、このように、本発明が採用する円形凹部１１１の第一直径Ｄ１と懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃの第二直径Ｄ２との間で互いに対応して気体伝送空気圧の作業特性の関係比率を形成しており、つまり、第二直径Ｄ２と第一直径Ｄ１との割合関係には、ここで形成した集約チャンバに流体逆流防止作用があるからであって、小型流体制御装置１Ａの効率を大幅向上且つ改善するだけでなく、非常に重要な設計ポイントとなっており、何より、円形凹部１１１の第一直径Ｄ１と懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃの第二直径Ｄ２との間で互いに対応して気体伝送空気圧の作業特性の関係比率は、理論的な公式によって直接導き出されたものではなく、実験の中から得られたものであり、円形凹部１１１の第一直径Ｄ１と懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃの第二直径Ｄ２との間で互いに対応して気体伝送空気圧の作業特性の関係比率の推測は、実験の合理的な参考説明とするのみである。
【００１７】
また、本発明に係る圧電アクチュエータ１３が正方形の懸吊板１３０を採用する理由としては、円形の懸吊板の設計と比較すると、正方形の懸吊板１３０の構成が明らかに省電力であるという利点を有するためで、その消費電力は、以下の表２に示すとおりである。
【００１８】
【表２】
2018109407.tif 000004
【００１９】
実験による上記表から分かるとおり、辺の長さの寸法が８ｍｍ〜１０ｍｍである正方形の懸吊板１３０を有する圧電アクチュエータ１３は、直径が８ｍｍ〜１０ｍｍである円形の懸吊板を有する圧電アクチュエータより省電力である。上述した実験によって得られた消費電力の比較データから、省電力である理由は、共振周波数下で作用する容量性負荷により、その消費電力は、周波数の上昇に伴って増加し、また、辺の長さの寸法が正方形の設計の懸吊板１３０は、共振周波数が同様の円形の懸吊板より明らかに低いため、これに相対する消費電力も明らかに低いと推測することができ、つまり、本発明が採用する正方形の設計である懸吊板１３０は、円形の懸吊板の設計よりも省電力であるという利点を有し、特に、ウェアラブルデバイスでの応用において、省電力であることは、非常に重要な設計ポイントとなっている。何より、上述した正方形の設計である懸吊板による省電力の効果は、理論的な公式によって直接導き出されたものではなく、実験の中から得られたものであり、その省電力である理由の推測は、実験の合理的な参考説明とするのみである。
【００２０】
また、図１Ａ及び図２Ａのように、小型流体制御装置１Ａは、圧電アクチュエータ１３の下に順次対応するように設置する絶縁片１４１、導電片１５及びもう一つの絶縁片１４２をさらに有し、その形態は、圧電アクチュエータ１３の外枠の形態にほぼ対応している。一部の実施例において、絶縁片１４１、１４２は、これに限らないが例えばプラスチックといった絶縁可能な材質によって構成することができ、絶縁を行うために用いている。別の一部の実施例において、導電片１５は、これに限らないが例えば金属といった導電可能な材質によって構成することができ、電気の導通のために用いている。また、本実施例において、導電片１５は、その上に、電気の導通のために用いる導電ピン１５１を設置することもできる。 
【００２１】
図１Ａと、図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の小型流体制御装置の局部動作を示す模式図である図４Ａから図４Ｅとを同時に参照すると、まず、図４Ａから分かるとおり、小型流体制御装置１Ａは、気体導入板１１、共振片１２、圧電アクチュエータ１３、絶縁片１４１、導電片１５及びもう一つの絶縁片１４２等が順次積層して成り、且つ本実施例において、共振片１２は、圧電アクチュエータ１３の外枠１３１周縁との間にある間隙ｇ０内に、これに限らないが例えば導電ペーストといった材料を充填することで、共振片１２と圧電アクチュエータ１３の懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃとの間に間隙ｇ０の深さを維持し、気流をガイドしてより迅速に流動させるとともに、懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃが共振片１２と適切な距離を保持して相互接触による干渉が減少するため、騒音の発生を抑制することができる。
【００２２】
図４Ａから図４Ｅを続けて参照すると、図示されているように、気体導入板１１、共振片１２及び圧電アクチュエータ１３が順次対応するように組立てられると、共振片１２の中空孔１２０箇所は、その上にある気体導入板１１とともに気体を集約するチャンバを形成し、且つ共振片１２と圧電アクチュエータ１３との間に、気体を一時的に保存するための第一チャンバ１２１をさらに形成し、また、第一チャンバ１２１は、共振片１２の中空孔１２０を介して気体導入板１１の接合表面１１ｂの円形凹部１１１箇所にあるチャンバと連通し合い、且つ第一チャンバ１２１の両側は、圧電アクチュエータ１３のフレーム１３２の間にある空隙１３５を介してその下に設置する小型バルブ装置１Ｂと連通し合っている。
【００２３】
小型空気圧動力装置１の小型流体制御装置１Ａが作動すると、主に、圧電アクチュエータ１３は、電圧を受けて作動し、フレーム１３２を支点として垂直方向の往復振動を行っている。図４Ｂのように、圧電アクチュエータ１３が電圧を受けて作動し、下に向かって振動すると、共振片１２が軽薄な片状構成であるため、圧電アクチュエータ１３が振動した場合、共振片１２もこれに伴って共振し、垂直の往復振動を行っており、即ち、気体導入板１１の円形凹部１１１に対応する部分の共振片１２もまた、これに伴って湾曲振動して形状変化している。つまり、気体導入板１１の円形凹部１１１に対応する部分の共振片１２は、共振片１２の可動部１２ａであり、圧電アクチュエータ１３が下に向かって湾曲振動する場合、共振片１２の可動部１２ａは、流体の流入及びその押圧と、圧電アクチュエータ１３の振動による連動により、圧電アクチュエータ１３が下に向かって湾曲振動して形状変化することに伴い、気体は、気体導入板１１上にある少なくとも一つの気体導入孔１１０から入り込み、その接合表面１１ｂにある少なくとも一つの気体ガイド溝１１２を介してその中央にある円形凹部１１１箇所に集約し、さらに、円形凹部１１１に対応するように設置された共振片１２上にある中央孔１２０を介して下に向かって第一チャンバ１２１内へと流入した後、圧電アクチュエータ１３の振動による連動により、共振片１２もこれに伴って共振して垂直の往復振動を行っており、図４Ｃのように、このとき、共振片１２の可動部１２ａも下に振動するとともに、圧電アクチュエータ１３の懸吊板１３０の円形凸部１３０ｃ上に当接するように貼着することで、凸部１３０ｃ以外の懸吊板１３０にある区域と共振片１２両側にある固定部１２ｂとの間の集約チャンバの間隔が小さくならないとともに、この共振片１２の形状変化により、第一チャンバ１２１の体積が圧縮され、且つ第一チャンバ１２１内の流通空間を閉鎖することで、その内部にある気体を両側へと流動させるように押圧し、圧電アクチュエータ１３のフレーム１３２の間にある空隙１３５を介して下へと流動されている。図４Ｄについては、共振片１２の可動部１２ａが湾曲振動して形状変化すると、初期位置に戻り、その後の圧電アクチュエータ１３は、電圧を受けて上に向かって振動するように駆動し、同じように、第一チャンバ１２１の体積を圧迫し、またこのとき、圧電アクチュエータ１３は、上に向かって持ち上げられ、この持ち上げの移動をｄとすることができ、これにより、第一チャンバ１２１内の気体は、両側に向かって流動し、気体が気体導入板１１上にある少なくとも一つの気体導入孔１１０から入り込み、円形凹部１１１によって形成するチャンバ内に流入するように連動しており、図４Ｅのように、共振片１２は、圧電アクチュエータ１３を上に向かって持ち上げた振動を受け、共振して上に向かい、共振片１２の可動部１２ａも上の位置に向かい、円形凹部１１１内にある気体を共振片１２の中央孔１２０から第一チャンバ１２１内に流入させ、圧電アクチュエータ１３のフレーム１３２の間にある空隙１３５を介し、下に向かって小型流体制御装置１Ａへと流出させている。この実施態様から分かるとおり、共振片１２が垂直の往復振動を行うと、圧電アクチュエータ１３との間にある間隙ｇ０によってその垂直移動の最大距離を増加させることができる。つまり、これら二つの構成の間に設けられた間隙ｇ０は、共振の際、共振片１２により大きな幅の上下移動を発生させることができる。これにより、この小型流体制御装置１Ａの流路設計中において発生する圧力勾配により、気体が高速で流動し、流路の出入方向の抵抗差異を介し、気体を吸入側から排出側に伝送し、また、排出側に気圧がある状態下でも、気体を持続的に押出する能力があり、静音の効果を達することができる。
【００２４】
また、一部の実施例において、共振片１２の垂直往復振動の周波数は、圧電アクチュエータ１３の振動周波数と同じとすることができ、即ち、両者は、同時に上に或いは同時に下に向かうことができ、実際の実施状況に応じて任意に変化させることができ、本実施例で例示する作動方式に限らない。
【００２５】
図１Ａ、図２Ａ及び図５Ａ、図５Ｂを同時に参照すると、本発明に係る小型空気圧動力装置１の小型バルブ装置１Ｂは、バルブ片１７及び出口板１８が順次積層して成り、小型流体制御装置１Ａの集気板１６を組み合わせて運用されている。
【００２６】
本実施例において、集気板１６は、表面１６０及び基準表面１６１を有し、表面１６０は、その上に凹設することで、圧電アクチュエータ１３を設置するための集気チャンバ１６２を形成し、小型流体制御装置１Ａにより下に向かって伝送された気体は、この集気チャンバ１６２内に一時的に保存され、且つ集気板１６は、第一貫通孔１６３及び第二貫通孔１６４を包含する複数の貫通孔を有し、第一貫通孔１６３の一端と第二貫通孔１６４の一端とは、集気チャンバ１６２と連通し合い、これらのもう一端は、集気板１６の基準表面１６１上にある第一減圧チャンバ１６５及び第一出口チャンバ１６６とそれぞれ連通し合っている。また、第一出口チャンバ１６６箇所に凸部構成１６７がさらに増設され、これに限らないが例えば円柱構成とすることができ、凸部構成１６７の高さは、集気板１６の基準表面１６１より高い。
【００２７】
出口板１８は、減圧通孔１８１、出口通孔１８２、基準表面１８０及び第二表面１８７を包含し、そのうち、第一減圧通孔１８１及び出口通孔１８２は、出口板１８の基準表面１８０及び第２表面１８７をそれぞれ貫通し、基準表面１８０は、その上に第二減圧チャンバ１８３及び第二出口チャンバ１８４を凹設し、減圧通孔１８１は、第二減圧チャンバ１８３の中心部分に設けられ、且つ第二減圧チャンバ１８３と第二出口チャンバ１８４との間には、気体の流通に用いるための連通流路１８５をさらに有し、出口通孔１８２の一端は、第二出口チャンバ１８４と連通し合い、もう一端は、出口１９と連通し合っており、本実施例において、出口１９は、これに限らないが例えば圧力装置といった装置（図示されていない）に連接することができる。
【００２８】
バルブ片１７は、その上に、弁孔１７０及び複数の定位孔１７１を有しており、バルブ片１７が集気板１６及び出口板１８の間に定位するように組立てられると、前記出口板１８の減圧通孔１８１は、集気板１６の第一貫通孔１６３に対応し、第二減圧チャンバ１８３は、集気板１６の第一減圧チャンバ１６５に対応し、第二出口チャンバ１８４は、集気板１６の第一出口チャンバ１６６に対応しており、バルブ片１７は、集気板１６及び出口板１８の間に設置することで、第一減圧チャンバ１６５及び第二減圧チャンバ１８３の連通を阻隔しており、バルブ片１７の弁孔１７０は、第二貫通孔１６４及び前記出口通孔１８２の間に設置しており、弁孔１７０は、集気板１６の第一出口チャンバ１６６の凸部構成１６７に位置して対応するように設置し、この単一の弁孔１７０の設計により、気体は、その圧力差によって単方向に流動させるという目的を達している。
【００２９】
また、出口板１８の減圧通孔１８１の一端は、凸出して形成する凸部構成１８１ａをさらに増設することができ、これに限らないが例えば円柱構成とすることができ、この凸部構成１８１ａは、改良によってその高さを追加しており、凸部構成１８１ａの高さは、出口板１８の基準表面１８０より高くすることで、バルブ片１７が減圧通孔１８１をより迅速に当接し且つ閉鎖するように強化し、プレストレスの当接作用による完全な密閉効果を達している。また、出口板１８は、少なくとも一つの位置規制構成１８８をさらに有し、本実施例を例とすると、位置規制構成１８８は、第二減圧チャンバ１８３内に設置し、且つこれに限らないが環状ブロック体構成であって、主に、小型バルブ装置１Ｂが加圧作業を行う際、バルブ片１７が凹まずにより迅速に開閉することができるように、バルブ片１７を補助的に支持するために用いている。
【００３０】
小型バルブ装置１Ｂが加圧するように作動すると、主に、図５Ａのように、小型流体制御装置１Ａから下に向かって伝送された気体が提供する圧力に対応するか、或いは、外部の大気圧が出口１９に連接された装置（図示されていない）の内部圧力より大きい場合、気体は、小型流体制御装置１Ａの集気板１６にある集気チャンバ１６２からそれぞれ第一貫通孔１６３及び第二貫通孔１６４を介し、下に向かって第一減圧チャンバ１６５及び第一出口チャンバ１６６内に流入し、このとき、下に向かう気体圧力は、可撓性のバルブ片１７を下に向かって湾曲させて形状変化させ、第一減圧チャンバ１６５の体積を増大させるとともに、第一貫通孔１６３に対応する箇所において、下に向かって平らに貼着させて減圧通孔１８１の端部に当接させ、出口板１８の減圧通孔１８１を閉鎖することができるため、第二減圧チャンバ１８３内にある気体が減圧通孔１８１箇所から流出することはない。また、本実施例は、減圧通孔１８１端部に増設した凸部構成１８１ａの設計を利用し、バルブ片１７が減圧通孔１８１をより迅速に当接し且つ閉鎖するように強化し、プレストレスの当接作用による完全な密閉効果を達すると同時に、減圧通孔１８１周辺を周設する位置規制構成１８８を介し、バルブ片１７が凹まないように補助的に支持している。一方で、気体は、第二貫通孔１６４から下に向かって第一出口チャンバ１６６内に流入し、且つ第一出口チャンバ１６６箇所に対応するバルブ片１７も下に向かって下に向かって湾曲して形状変化するため、これに対応する弁孔１７０は下に向かって開放し、気体は、第一出口チャンバ１６６から弁孔１７０を介して第二出口チャンバ１８４内に流入し、出口通孔１８２から出口１９及び出口１９に連接された装置（図示されていない）内に流入することで、装置に対して加圧動作を行っている。
【００３１】
図５Ｂを続けて参照すると、小型バルブ装置１Ｂが減圧を行うと、小型流体制御装置１Ａの気体伝送量を調整することで、気体が集気チャンバ１６２内に入り込まないようにするか、或いは、出口１９に連接された装置（図示されていない）の内部圧力が外部の大気圧より大きい場合、小型バルブ装置１Ｂは、減圧を行うことができる。このとき、気体は、出口１９に連接された出口通孔１８２から第二出口チャンバ１８４内に入り込むことで、第二出口チャンバ１８４の体積が膨張し、可撓性のバルブ片１７を上に向かって湾曲させて形状変化させ、上に向かって平らに貼着させて集気板１６に当接させるため、バルブ片１７の弁孔１７０は、集気板１６が当接することにより閉鎖している。また、本実施例は、第一出口チャンバ１６６に増設した凸部構成１６７の設計を利用することができることから、可撓性のバルブ片１７を上に向かって湾曲させて形状変化させ、より迅速に当接させることで、弁孔１７０がプレストレスの当接作用による完全な密閉効果を達し、このため、初期状態にあると、バルブ片１７の弁孔１７０は、前記凸部構成１６７に緊密に当接することにより閉鎖され、第二出口チャンバ１８４内にある気体は、第一出口チャンバ１６６内に逆流することなく、気体を外部に漏らさないという、より好ましい効果を得ている。また、第二出口チャンバ１８４内にある気体は、連通流路１８５を介して第二減圧チャンバ１８３内に流入し、第二減圧チャンバ１８３の体積を拡張させ、第二減圧チャンバ１８３に対応するバルブ片１７も同様に上に向かって湾曲させて形状変化させ、このとき、バルブ片１７は減圧通孔１８１の端部を閉鎖するように当接してないため、減圧通孔１８１は開放状態にあり、即ち、第二減圧チャンバ１８３内にある気体は、減圧通孔１８１から外部に流出させて減圧作業を行うことができる。また、本実施例は、減圧通孔１８１端部に増設した凸部構成１８１ａ、或いは第二減圧チャンバ１８３内に設置した位置規制構成１８８によって、可撓性のバルブ片１７をより迅速に上に向かって湾曲させて形状変化させ、減圧通孔１８１が閉鎖した状態からより有利に離脱することができる。これにより、この単方向の減圧作業によって出口１９に連接された装置（図示されていない）内にある気体を排出して降圧したり、完全に排出したりして減圧作業を完了することができる。
【００３２】
図１Ａ、図２Ａ及び図１Ａに図示された小型空気圧動力装置の加圧動作を示す模式図である図６Ａから図６Ｅを同時に参照すると、図６Ａのように、小型空気圧動力装置１は、小型流体制御装置１Ａ及び小型バルブ装置１Ｂが組合わさることでなっており、そのうち、小型流体制御装置１Ａは、上述したとおり、気体導入板１１、共振片１２、圧電アクチュエータ１３、絶縁片１４１、導電片１５、もう一つの絶縁片１４２、集気板１６などの構成が順次積層するように組立てられて定位されて成っており、共振片１２と圧電アクチュエータ１３との間には、間隙ｇ０を有し、共振片１２と圧電アクチュエータ１３との間には、第一チャンバ１２１を有しており、また、小型バルブ装置１Ｂは、同様にバルブ片１７及び出口板１８などが順次積層するように組立てられて小型流体制御装置１Ａの集気板１６上に定位されて成っており、且つ小型流体制御装置１Ａにある集気板１６と圧電アクチュエータ１３との間には、集気チャンバ１６２を有し、集気板１６の基準表面１６１には、第一減圧チャンバ１６５と第一出口チャンバ１６６とがさらに凹設され、出口板１８の基準表面１８０には、第二減圧チャンバ１８３と第二出口チャンバ１８４とがさらに凹設されており、本実施例において、小型空気圧動力装置の操作周波数が２７Ｋ〜２９.５Ｋの間で、操作電圧が±１０Ｖ〜±１６Ｖであることと、これら異なる複数の圧力チャンバに圧電アクチュエータ１３の駆動及び共振片１２、バルブ片１７の振動を組み合わせることとにより、気体を下に向かって加圧伝送している。
【００３３】
図６Ｂのように、小型流体制御装置１Ａの圧電アクチュエータ１３が電圧を受けて作動し、下に向かって振動すると、気体は、気体導入板１１上にある気体導入孔１１０から小型流体制御装置１Ａ内に入り込むとともに、少なくとも一つの集約アレイ１１２を介してその円形凹部１１１箇所に集約され、さらに、共振片１２上にある中空孔１２０を介して下に向かって第一チャンバ１２１内に流入している。その後、図６Ｃのように、圧電アクチュエータ１３の振動の共振作用を受けたため、共振片１２もこれに伴って往復振動を行い、即ち、下に向かって振動するとともに、圧電アクチュエータ１３の懸吊板１３０にある円形凸部１３０ｃに接近し、この共振片１２の形状変化によって、気体導入板１１の円形凹部１１１箇所にあるチャンバの体積が増大し、これと同時に、第一チャンバ１２１の体積が圧縮され、第一チャンバ１２１内にある気体を両側へと流動させるように押圧し、圧電アクチュエータ１３のフレーム１３２の間にある空隙１３５を介して下へと流動され、小型流体制御装置１Ａと小型バルブ装置１Ｂの間にある集気チャンバ１６２内へと流れ、さらに、集気チャンバ１６２と連通し合う第一貫通孔１６３及び第二貫通孔１６４から第一減圧チャンバ１６５及び第一出口チャンバ１６６内に対応するように下に向かって流れ込んでおり、この実施態様から分かるとおり、共振片１２が垂直の往復振動を行うと、圧電アクチュエータ１３との間にある間隙ｇ０によってその垂直移動の最大距離を増加させ、つまり、これら二つの構成の間に設けられた間隙ｇ０は、共振の際、共振片１２により大きな幅の上下移動を発生させることができる。
【００３４】
続いて、図６Ｄのように、小型流体制御装置１Ａの共振片１２が初期位置に戻り、圧電アクチュエータ１３が電圧を受けて上に向かって振動するように駆動されるため、同じように、第一チャンバ１２１の体積が圧迫されることから、第一チャンバ１２１内にある気体は、両側へと流動され、圧電アクチュエータ１３のフレーム１３２の間にある空隙１３５により、集気チャンバ１６２、第一減圧チャンバ１６５及び第一出口チャンバ１６６内に継続的に流入され、これにより、第一減圧チャンバ１６５及び第一出口チャンバ１６６内の空気圧が大きくなり、可撓性のバルブ片１７を下に向かって湾曲変形を発生させ、第二減圧チャンバ１８３内において、バルブ片１７が下に向かって平らに貼着させて減圧通孔１８１の端部の凸部構成１８１ａに当接し、減圧通孔１８１を閉鎖するとともに、第二出口チャンバ１８４内において、出口通孔１８２に対応するバルブ片１７上にある弁孔１７０が下に向かって開放することで、第二出口チャンバ１８４内にある気体が出口通孔１８２から下に向かって出口１９及び出口１９に連接された任意の装置（図示されていない）に伝送され、加圧作業の目的を達している。また、図６Ｅのように、小型流体制御装置１Ａの共振片１２が共振して上に向かって移動すると、気体導入板１１の接合表面１１ｂの円形凹部１１１内にある気体は、共振片１２の中空孔１２０から第一チャンバ１２１内に流入し、さらに、圧電アクチュエータ１３のフレーム１３２の間にある空隙１３５を介して下にむかって集気板１６内へと継続的に伝送され、気体圧力が下に向かって継続的に増加するため、気体は、集気チャンバ１６２、第二貫通孔１６４、第一出口チャンバ１６６、第二出口チャンバ１８４及び出口通孔１８２を介して出口１９及び出口１９に連接された任意の装置内へと継続的に流れ込んでおり、この加圧作業は、外部の大気圧と装置内の圧力との圧力差により駆動できるが、これに限らない。
【００３５】
出口１９に連接された装置（図示されていない）内部の圧力が外部の圧力より大きくなると、小型空気圧動力装置１は、図７のように、降圧或いは減圧作業を行うことができ、降圧或いは減圧の方法は、上述したとおり、小型流体制御装置１Ａの気体伝送量を調整することで、気体が集気チャンバ１６２内に入り込まないようにし、このとき、気体は、出口１９に連接された出口通孔１８２から第二出口チャンバ１８４内に入り込むことで、第二出口チャンバ１８４の体積が膨張し、可撓性のバルブ片１７を上に向かって湾曲させて形状変化させ、上に向かって平らに貼着させて第一出口チャンバ１６６の凸部構成１６７上に当接させ、バルブ片１７の弁孔１７０を閉鎖、即ち第二出口チャンバ１８４内にある気体が第一出口チャンバ１６６内に逆流することはない。また、第二出口チャンバ１８４内にある気体は、連通流路１８５を介して第二減圧チャンバ１８３内に流入し、さらに、減圧通孔１８１によって減圧作業を行っており、この小型バルブ装置１Ｂの単方向の気体伝送作業によって出口１９に連接された装置内にある気体を排出して降圧したり、完全に排出したりして減圧作業を完了することができる。
【００３６】
以上のことから、本発明が提供する小型空気圧動力装置は、主に、小型流体制御装置にある気体導入板の円形凹部と懸吊板の円形凸部との両者直径の割合を調整することにより、小型流体制御装置の空気圧値を向上させることで、全体の排気効果を向上し、小型流体制御装置及び小型バルブ装置が組合わさると、気体は、小型流体制御装置上にある気体導入孔から入り込み、圧電アクチュエータの作動を利用することで、気体は、設計後の流路及び圧力チャンバにおいて圧力勾配を発生させ、気体を高速で流動させて小型バルブ装置に伝送し、さらに、小型バルブ装置の単方向バルブ設計により、気体を単方向に流動させ、圧力を出口に連接された任意の装置内に累積させることができる。降圧或いは減圧を行いたい場合は、小型流体制御装置の伝送量を調整し、気体を出口に連接された装置中から小型バルブ装置の第二出口チャンバに伝送させるとともに、連通流路により第二減圧チャンバへと伝送してから、減圧通孔より流出させ、気体を迅速に伝送することができ、これと同時に、静音の効果を達成し、小型空気圧動力装置の全体体積をさらに減少して薄型化することができ、小型空気圧動力装置に簡便で快適な携帯性を具備させるという目的を達し、医療器材や関連設備において幅広く応用することができる。
【００３７】
本発明について上述のように実施例に基づいて詳細に説明したが、発明の属する技術分野において通常の知識を有する者であればさまざまな工夫と修飾が可能であり、それらはいずれも本発明の特許請求の範囲が求める保護を逸脱しない。
【符号の説明】
【００３８】
１        小型空気圧動力装置
１Ａ      小型流体制御装置
１Ｂ      小型バルブ装置
１ａ      殼体
１０      座体
１１      気体導入板
１１ａ    気体導入板の気体導入表面
１１ｂ    気体導入板の接合表面
１１０    気体導入孔
１１１    円形凹部
１１２    集約アレイ
１２      共振片
１２ａ    可動部
１２ｂ    固定部
１２０    中空孔
１２１    第一チャンバ
１３      圧電アクチュエータ
１３０    懸吊板
１３０ａ  懸吊板の第二表面
１３０ｂ  懸吊板の第一表面
１３０ｃ  円形凸部
１３０ｄ  中心部
１３０ｅ  外周部
１３１    外枠
１３１ａ  外枠の第二表面
１３１ｂ  外枠の第一表面
１３２    フレーム
１３２ａ  フレームの第二表面
１３２ｂ  フレームの第一表面
１３３    圧電板
１３４、１５１  導電ピン
１３５    空隙
１４１、１４２  絶縁片
１５      導電片
１６      集気板
１６ａ    収容空間
１６０    表面
１６１    基準表面
１６２    集気チャンバ
１６３    第一貫通孔
１６４    第二貫通孔
１６５    第一減圧チャンバ
１６６    第一出口チャンバ
１６７、１８１ａ  凸部構成
１６８    側壁
１７      バルブ片
１７０    弁孔
１７１    定位孔
１８      出口板
１８０    基準表面
１８１    減圧通孔
１８２    出口通孔
１８３    第二減圧チャンバ
１８４    第二出口チャンバ
１８５    連通流路
１８７    第二表面
１８８    位置規制構成
１９      出口
ｇ０      間隙
Ｄ１      第一直径
Ｄ２      第二直径
【図１Ａ】
2018109407.tif 000005
【図１Ｂ】
2018109407.tif 000006
【図２Ａ】
2018109407.tif 000007
【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
2018109407.tif 000009
【図３Ｂ】
2018109407.tif 000010
【図３Ｃ】
2018109407.tif 000011
【図４Ａ】
2018109407.tif 000012
【図４Ｂ】
2018109407.tif 000013
【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
2018109407.tif 000015
【図４Ｅ】
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【図５Ａ】
2018109407.tif 000017
【図５Ｂ】
2018109407.tif 000018
【図６Ａ】
2018109407.tif 000019
【図６Ｂ】
2018109407.tif 000020
【図６Ｃ】
2018109407.tif 000021
【図６Ｄ】
2018109407.tif 000022
【図６Ｅ】
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【図７】
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