(57)【要約】【課題】装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる搬送システム及び搬送方法を提供する。【解決手段】搬送システムは、第１軌道１１及び第２軌道１２と、第１軌道１１及び第２軌道１２のそれぞれに沿って走行し、ＦＯＵＰ９０を搬送する複数の天井搬送車２０と、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載可能な第１保管部３０ａ、第２軌道１２において停止した天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載可能な第２保管部３０ｂ、及び第２軌道１２において停止した天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載可能な装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載可能な保管装置３０と、を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１軌道及び第２軌道と、
前記第１軌道及び前記第２軌道のそれぞれに沿って走行し、被搬送物を搬送する複数の天井搬送車と、
前記第１軌道において停止した前記天井搬送車が前記被搬送物を移載可能な第１保管部、前記第２軌道において停止した前記天井搬送車が前記被搬送物を移載可能な第２保管部、及び前記第２軌道において停止した前記天井搬送車が前記被搬送物を移載可能な装置ポートのそれぞれに対して、前記被搬送物を移載可能な保管装置と、を備える、搬送システム。
【請求項２】
前記保管装置は、
前記第１保管部と前記第２保管部との間において移動可能であり、前記被搬送物を支持する移動支持台と、
前記移動支持台及び前記装置ポートのそれぞれに対して、前記被搬送物を移載可能な移載機構と、を有する、請求項１記載の搬送システム。
【請求項３】
前記保管装置は、
前記第１保管部において前記被搬送物を支持する第１固定支持台と、
前記第２保管部において前記被搬送物を支持する第２固定支持台と、
前記第１固定支持台、前記第２固定支持台及び前記装置ポートのそれぞれに対して、前記被搬送物を移載可能な移載機構と、を有する、請求項１記載の搬送システム。
【請求項４】
前記第１軌道は、鉛直方向から見た場合にループ状の内側軌道及び外側軌道の一方の一部であり、
前記第２軌道は、前記内側軌道及び前記外側軌道の他方の一部である、請求項１〜３のいずれか一項記載の搬送システム。
【請求項５】
前記第１軌道及び前記第２軌道は、鉛直方向において互いに同じ高さで且つ互いに平行に延在している、請求項１〜４のいずれか一項記載の搬送システム。
【請求項６】
前記天井搬送車は、
前記被搬送物を把持可能な把持機構と、
前記把持機構を昇降可能な昇降機構と、
前記第１軌道及び前記第２軌道が並ぶ方向に沿って前記昇降機構を移動可能な移動機構と、有し、
前記第１軌道及び前記第２軌道が延在する方向に関して前記第１保管部及び前記第２保管部の位置と同じであり、且つ前記第１軌道及び前記第２軌道が並ぶ方向に関して前記第１保管部及び前記第２保管部の位置と異なる位置に、第３保管部が設けられている、請求項５記載の搬送システム。
【請求項７】
前記天井搬送車及び前記保管装置の動作を制御するコントローラを更に備え、
前記コントローラは、
前記第１軌道において停止して前記第１保管部に前記被搬送物を移載するように、前記天井搬送車の動作を制御し、
前記第１保管部から前記第２保管部に前記被搬送物を移載するように、前記保管装置の動作を制御し、
前記第２保管部から前記装置ポートに前記被搬送物を移載するように、前記保管装置の動作を制御する、請求項１〜６のいずれか一項記載の搬送システム。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項記載の搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、
前記天井搬送車が前記第１軌道において停止して前記第１保管部に前記被搬送物を移載する第１ステップと、
前記保管装置が前記第１保管部から前記第２保管部に前記被搬送物を移載する第２ステップと、
前記保管装置が前記第２保管部から前記装置ポートに前記被搬送物を移載する第３ステップと、を含む、搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送システム及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場に適用される搬送システムとして、第１軌道及び第２軌道と、第１軌道及び第２軌道のそれぞれに沿って走行する天井搬送車と、第１軌道及び第２軌道のそれぞれにおいて停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な棚装置と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４４７０５７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような搬送システムには、半導体処理装置の稼働率を向上させる観点から、半導体処理装置の装置ポートに対して被搬送物を効率良く搬送することが求められている。
【０００５】
そこで、本発明は、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる搬送システム及び搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の搬送システムは、第１軌道及び第２軌道と、第１軌道及び第２軌道のそれぞれに沿って走行し、被搬送物を搬送する複数の天井搬送車と、第１軌道において停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な第１保管部、第２軌道において停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な第２保管部、及び第２軌道において停止した天井搬送車が被搬送物を移載可能な装置ポートのそれぞれに対して、被搬送物を移載可能な保管装置と、を備える。
【０００７】
この搬送システムでは、第１軌道において停止した天井搬送車が第１保管部に対して被搬送物を移載することができ、第２軌道において停止した天井搬送車が第２保管部に対して被搬送物を移載することができる。これにより、第１保管部、第２保管部及び装置ポートのそれぞれに対して被搬送物を移載可能な保管装置において、装置ポートに対する被搬送物の搬送数を増加させることができ、その結果、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることが可能となる。
【０００８】
本発明の搬送システムでは、保管装置は、第１保管部と第２保管部との間において移動可能であり、被搬送物を支持する移動支持台と、移動支持台及び装置ポートのそれぞれに対して、被搬送物を移載可能な移載機構と、を有してもよい。これにより、移載機構の構成を単純化することができる。
【０００９】
本発明の搬送システムでは、保管装置は、第１保管部において被搬送物を支持する第１固定支持台と、第２保管部において被搬送物を支持する第２固定支持台と、第１固定支持台、第２固定支持台及び装置ポートのそれぞれに対して、被搬送物を移載可能な移載機構と、を有してもよい。これにより、支持台の構成を単純化することができる。
【００１０】
本発明の搬送システムでは、第１軌道は、鉛直方向から見た場合にループ状の内側軌道及び外側軌道の一方の一部であり、第２軌道は、内側軌道及び外側軌道の他方の一部であってもよい。これにより、実用的な軌道レイアウトを有する搬送システムにおいて、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる。
【００１１】
本発明の搬送システムでは、第１軌道及び第２軌道は、鉛直方向において互いに同じ高さで且つ互いに平行に延在していてもよい。これにより、天井高さが制限された搬送システムにおいて、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる。
【００１２】
本発明の搬送システムでは、天井搬送車は、被搬送物を把持可能な把持機構と、把持機構を昇降可能な昇降機構と、第１軌道及び第２軌道が並ぶ方向に沿って昇降機構を移動可能な移動機構と、有し、第１軌道及び第２軌道が延在する方向に関して第１保管部及び第２保管部の位置と同じであり、且つ第１軌道及び第２軌道が並ぶ方向に関して第１保管部及び第２保管部の位置と異なる位置に、第３保管部が設けられていてもよい。これにより、第１軌道及び第２軌道のそれぞれにおける同じ停止位置で、第１保管部、第２保管部及び第３保管部のそれぞれに対して天井搬送車が被搬送物を移載することができるので、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率をより一層向上させることが可能となる。
【００１３】
本発明の搬送システムは、天井搬送車及び保管装置の動作を制御するコントローラを更に備え、コントローラは、第１軌道において停止して第１保管部に被搬送物を移載するように、天井搬送車の動作を制御し、第１保管部から第２保管部に被搬送物を移載するように、保管装置の動作を制御し、第２保管部から装置ポートに被搬送物を移載するように、保管装置の動作を制御してもよい。これにより、第２軌道において停止した天井搬送車からだけでなく、第１軌道において停止した天井搬送車からも、装置ポートに被搬送物を移載することができる。
【００１４】
本発明の搬送方法は、上記搬送システムにおいて実施される搬送方法であって、天井搬送車が第１軌道において停止して第１保管部に被搬送物を移載する第１ステップと、保管装置が第１保管部から第２保管部に被搬送物を移載する第２ステップと、保管装置が第２保管部から装置ポートに被搬送物を移載する第３ステップと、を含む。
【００１５】
この搬送方法では、第２軌道において停止した天井搬送車からだけでなく、第１軌道において停止した天井搬送車からも、装置ポートに被搬送物を移載することができるので、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、装置ポートに対する被搬送物の搬送効率を向上させることができる搬送システム及び搬送方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態の搬送システムの平面図である。
【図２】図１の搬送システムの一部の正面図である。
【図３】図１の搬送システムの一部の側面図である。
【図４】図１の搬送システムの一部の平面図である。
【図５】第１変形例の搬送システムの一部の正面図である。
【図６】第２変形例の搬送システムの平面図である。
【図７】第３変形例の搬送システムの一部の正面図である。
【図８】第４変形例の搬送システムの一部の正面図である。
【図９】第４変形例の搬送システムの平面図である。
【図１０】第５変形例の搬送システムの一部の正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１９】
図１に示されるように、搬送システム１は、軌道１０と、複数の天井搬送車２０と、複数の保管装置３０と、複数の保管棚４０と、コントローラ５０と、を備えている。軌道１０は、複数の半導体処理装置１００を備える半導体製造工場の天井付近に敷設されている。天井搬送車２０は、ＯＨＴ（Overhead  Hoist  Transfer）であり、軌道１０に吊り下げられた状態で軌道１０に沿って一方向に走行する。ただし、天井搬送車２０は、軌道１０の一部において、その軌道１０を往復移動（軌道１０が延在する方向に関して双方向に移動）する場合もある。天井搬送車２０は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰ（Front  Opening  Unified  Pod）を各半導体処理装置１００の装置ポートに対して搬送する。保管装置３０及び保管棚４０は、各半導体処理装置１００に対応するように設置されている。コントローラ５０は、各天井搬送車２０及び各保管装置３０の動作を制御する。なお、コントローラ５０に代えて、各天井搬送車２０の動作を制御するコントローラ、及び各保管装置３０の動作を制御するコントローラが別々に設けられていてもよい。その場合、それらのコントローラが相互に通信を行うことにより、後述する搬送方法等、搬送システム１での制御が実現される。
【００２０】
軌道１０は、工程間軌道１３、工程内軌道１４及び分岐軌道１５を構成している。天井搬送車２０は、分岐軌道１５を介して、工程間軌道１３と工程内軌道１４との間を行き来することができる。工程内軌道１４は、内側軌道１４ａと、外側軌道１４ｂと、分岐軌道１４ｃ，１４ｄと、を含んでいる。内側軌道１４ａ及び外側軌道１４ｂは、鉛直方向から見た場合にループ状であり、外側軌道１４ｂは、鉛直方向から見た場合に複数の内側軌道１４ａを囲んでいる。天井搬送車２０は、分岐軌道１４ｃを介して、内側軌道１４ａと外側軌道１４ｂとの間を行き来することができ、分岐軌道１４ｄを介して、隣り合う内側軌道１４ａ間を行き来することができる。
【００２１】
搬送システム１では、内側軌道１４ａ及び外側軌道１４ｂの一部によって、複数組の第１軌道１１及び第２軌道１２が構成されている。第１軌道１１は、内側軌道１４ａの直線部の一部であり、第２軌道１２は、外側軌道１４ｂの直線部の一部である。各組の第１軌道１１及び第２軌道１２は、鉛直方向において互いに同じ高さで且つ互いに平行に延在している。なお、各半導体処理装置１００は、鉛直方向から見た場合に第２軌道１２の外側に設置されている。
【００２２】
図２、図３及び図４に示されるように、保管装置３０は、フレーム３１と、複数の移動支持台３２と、複数の固定支持台３３と、移載機構３４と、を有している。フレーム３１は、半導体処理装置１００が備える複数の装置ポート１０１の上方且つ第２軌道１２の下方に設置されている。各移動支持台３２及び各固定支持台３３には、天井搬送車２０の被搬送物であるＦＯＵＰ９０が載置される。つまり、各移動支持台３２及び各固定支持台３３は、ＦＯＵＰ９０を支持する。なお、複数の装置ポート１０１は、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに沿って、第２軌道１２の下方に配置されている。
【００２３】
フレーム３１には、開口領域３１ａ，３１ｂ，３１ｃが設けられている（図３参照）。複数の開口領域３１ａのそれぞれは、鉛直方向に貫通しており、各装置ポート１０１と鉛直方向において対向している。各移動支持台３２は、各開口領域３１ａの下端部を覆う位置と第１軌道１１の下方の位置との間でスライド移動可能となるように、フレーム３１に設置されている。複数の開口領域３１ｂのそれぞれは、鉛直方向に貫通しており、方向Ａにおいて複数の開口領域３１ａの両側に位置している。各固定支持台３３は、各開口領域３１ｂの下端部を覆うように、フレーム３１に固定されている。開口領域３１ｃは、鉛直方向及び方向Ａのそれぞれの方向に貫通しており、複数の開口領域３１ａ，３１ｂの上側に位置している。移載機構３４は、開口領域３１ｃを方向Ａに沿って移動可能となるように、フレーム３１に設置されている。
【００２４】
保管装置３０においては、第１軌道１１の下方の位置に位置している各移動支持台３２上の領域が第１保管部３０ａとして機能し、各開口領域３１ａの下端部を覆う位置に位置している各移動支持台３２上の領域が第２保管部３０ｂとして機能する（図４参照）。第１保管部３０ａは、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載可能な一時保管領域である。第２保管部３０ｂは、第２軌道１２において停止した天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載可能な一時保管領域である。保管装置３０は、複数の第１保管部３０ａ、複数の第２保管部３０ｂ及び複数の装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載可能である。
【００２５】
より具体的には、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０は、第１軌道１１の下方の位置に位置している移動支持台３２に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。第２軌道１２において停止した天井搬送車２０は、開口領域３１ａの下端部を覆う位置に位置している移動支持台３２に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。第２軌道１２において停止した天井搬送車２０は、移動支持台３２が第１軌道１１の下方の位置に位置している際に、開口領域３１ａ（当該移動支持台３２の移動によって下端部が覆われていない開口領域３１ａ）の下方に配置された装置ポート１０１に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。第２軌道１２において停止した天井搬送車２０は、固定支持台３３に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、天井搬送車２０は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持可能な把持機構２１と、把持機構２１が接続されたベルト２２の繰出し入れによって把持機構２１を昇降可能な昇降機構２３と、を有しており、把持機構２１を昇降機構２３で昇降させることで、移動支持台３２、固定支持台３３及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載する。
【００２６】
また、移載機構３４は、開口領域３１ａの下端部を覆う位置に位置している移動支持台３２、及び固定支持台３３のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。移載機構３４は、移動支持台３２が第１軌道１１の下方の位置に位置している際に、開口領域３１ａ（当該移動支持台３２の移動によって下端部が覆われていない開口領域３１ａ）の下方に配置された装置ポート１０１に対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、移載機構３４は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持可能な把持機構３４ａを昇降させることで、移動支持台３２、固定支持台３３及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載する。
【００２７】
保管棚４０は、複数の固定支持台４１を有している。各固定支持台４１には、ＦＯＵＰ９０が載置される。つまり、各固定支持台４１は、ＦＯＵＰ９０を支持する。保管棚４０においては、各固定支持台４１上の領域が第３保管部４０ａとして機能する（図４参照）。第３保管部４０ａは、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載可能な一時保管領域である。なお、天井搬送車２０は、水平方向に平行且つ方向Ａに垂直な方向（第１軌道１１及び第２軌道１２が並ぶ方向）Ｂに沿って昇降機構２３を移動可能な移動機構２４を更に有しており、昇降機構２３を移動機構２４で内側に移動させて把持機構２１を昇降機構２３で昇降させることで、各固定支持台４１に対して、ＦＯＵＰ９０を移載する。
【００２８】
各第３保管部４０ａは、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに関して保管装置３０の各第１保管部３０ａ及び各第２保管部３０ｂの位置と同じであり、且つ第１軌道１１及び第２軌道１２が並ぶ方向Ｂに関して保管装置３０の各第１保管部３０ａ及び各第２保管部３０ｂの位置と異なる位置に、配置されている。つまり、第３保管部４０ａは、方向Ｂから見た場合に、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂを通る鉛直方向に平行なライン上に位置しており（図３及び図４参照）、方向Ａから見た場合に、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂのそれぞれを通る鉛直方向に平行なライン上に位置していない（図２及び図４参照）。なお、第３保管部４０ａは、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂに対して上側に位置しており、方向Ａから見た場合に、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂに対して内側に位置している（図２参照）。ただし、第３保管部４０ａは、当該第３保管部４０ａに対応する第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂに対して同じ高さ或いは下側に位置していてもよい。
【００２９】
以上のように構成された搬送システム１では、一例として、次のような搬送方法が実施される。まず、コントローラ５０が、第１軌道１１において停止して第１保管部３０ａ（すなわち、第１軌道１１の下方の位置に位置している移動支持台３２上）にＦＯＵＰ９０を移載するように、天井搬送車２０の動作を制御する。これにより、天井搬送車２０が、第１軌道１１において停止して第１保管部３０ａにＦＯＵＰ９０を移載する（第１ステップ）。続いて、コントローラ５０が、第１保管部３０ａから第２保管部３０ｂ（すなわち、開口領域３１ａの下端部を覆う位置に位置している移動支持台３２上）にＦＯＵＰ９０を移載するように、移動支持台３２を、第１保管部３０ａに対応する位置から第２保管部３０ｂに対応する位置へ移動させる（第２ステップ）。続いて、コントローラ５０が、第２保管部３０ｂから装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０を移載するように、保管装置３０の動作を制御する。すなわち、保管装置３０が、移載機構３４を動作させて、第２保管部３０ｂに載置されたＦＯＵＰ９０を、移載機構３４に移載させる。続いて、保管装置３０が、移動支持台３２を、第２保管部３０ｂから第１保管部３０ａに移動させる。続いて、保管装置３０が、移載機構３４を動作させて、装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０を移載する（第３ステップ）。
【００３０】
以上説明したように、搬送システム１では、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０が第１保管部３０ａに対してＦＯＵＰ９０を移載することができ、第２軌道１２において停止した天井搬送車２０が第２保管部３０ｂに対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。これにより、第１保管部３０ａ、第２保管部３０ｂ及び装置ポート１０１のそれぞれに対してＦＯＵＰ９０を移載可能な保管装置３０において、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送数を増加させることができ、その結果、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率を向上させることが可能となる。
【００３１】
搬送システム１では、保管装置３０が、移動支持台３２と、移載機構３４と、を有している。そして、移動支持台３２が、第１保管部３０ａと第２保管部３０ｂとの間において移動可能であり、移載機構３４が、移動支持台３２、及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載可能である。このように、第１保管部３０ａと第２保管部３０ｂとの間において移動可能な構成を移動支持台３２に採用することで、移載機構３４の構成を単純化することができる。
【００３２】
搬送システム１では、第１軌道１１が、鉛直方向から見た場合にループ状の内側軌道１４ａの一部であり、第２軌道１２が、鉛直方向から見た場合にループ状の外側軌道１４ｂの一部である。これにより、実用的な軌道レイアウトを有する搬送システム１において、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率を向上させることができる。
【００３３】
搬送システム１では、第１軌道１１及び第２軌道１２が、鉛直方向において互いに同じ高さで且つ互いに平行に延在している。これにより、天井高さが制限された搬送システム１において、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率を向上させることができる。
【００３４】
搬送システム１では、天井搬送車２０が、把持機構２１と、昇降機構２３と、移動機構２４と、を有している。そして、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに関して第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂの位置と同じであり、且つ第１軌道１１及び第２軌道１２が並ぶ方向Ｂに関して第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂの位置と異なる位置に、第３保管部４０ａが設けられている。これにより、第１軌道１１及び第２軌道１２のそれぞれにおける同じ停止位置で、第１保管部３０ａ、第２保管部３０ｂ及び第３保管部４０ａのそれぞれに対して天井搬送車２０がＦＯＵＰ９０を移載することができるので、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率をより一層向上させることが可能となる。
【００３５】
搬送システム１では、コントローラ５０が、第１軌道１１において停止して第１保管部３０ａにＦＯＵＰ９０を移載するように、天井搬送車２０の動作を制御し、第１保管部３０ａから第２保管部３０ｂにＦＯＵＰ９０を移載するように、保管装置３０の動作を制御し、第２保管部３０ｂから装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０を移載するように、保管装置３０の動作を制御する。これにより、第２軌道１２において停止した天井搬送車２０からだけでなく、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０からも、装置ポート１０１にＦＯＵＰ９０を移載することができるので、装置ポート１０１に対するＦＯＵＰ９０の搬送効率を向上させることが可能となる。
【００３６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記一実施形態に限定されるものではない。例えば、図５に示されるように、保管棚４０は、設けられていなくてもよい。この場合、互いに対向する半導体処理装置１００間の距離を小さくすることができる。また、図６に示されるように、第１軌道１１及び第２軌道１２は、互いに隣り合う軌道１０（ここでは、分岐及び合流するように並設された工程内軌道１４）の直線部の一部であってもよい。また、図７に示されるように、搬送システム１は、第１軌道１１及び第１保管部３０ａが半導体処理装置１００の上方に位置するように、構成されていてもよい。この場合、半導体処理装置１００の上方の領域を有効利用することができる。
【００３７】
また、図８に示されるように、第１軌道１１は、第１保管部３０ａの上方の位置から方向Ｂに沿ってずれた位置に設けられていてもよい。この場合にも、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０は、移動機構２４を用いることで、第１保管部３０ａに対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。そして、この場合、図９に示されるように、例えば、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに関して各保管装置３０の両側に、共通の保管棚６０を設置することができる。各保管棚６０に対しては、第１軌道１１において停止した天井搬送車２０、及び第２軌道１２において停止した天井搬送車２０の両方がＦＯＵＰ９０を移載することができる。
【００３８】
また、図１０に示されるように、保管装置３０は、第１保管部３０ａにおいてＦＯＵＰ９０を支持する第１固定支持台３６と、第２保管部３０ｂにおいてＦＯＵＰ９０を支持する第２固定支持台３７と、第１固定支持台３６、第２固定支持台３７及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載可能な移載機構３５と、を有していてもよい。この例では、第２保管部３０ｂ（第２固定支持台３７）及び装置ポート１０１は、第２軌道１２の直下に設けられているものの、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに関して互いにずれた位置に設けられている。つまり、第２保管部３０ｂ（第２固定支持台３７）は、装置ポート１０１の直上からはずれた位置に設けられている。移載機構３５は、第１軌道１１及び第２軌道１２が延在する方向Ａに沿って、第２保管部３０ｂ（第２固定支持台３７）の直上及び装置ポート１０１の直上に移動可能である。また、移載機構３５は、ＦＯＵＰ９０のフランジ部９１を把持可能な把持機構３５ａを方向Ｂに沿って移動させると共に昇降させることができる。これにより、移載機構３５は、第１固定支持台３６、第２固定支持台３７及び装置ポート１０１のそれぞれに対して、ＦＯＵＰ９０を移載することができる。なお、第２軌道１２を走行する天井搬送車２０は、装置ポート１０１の直上に停止し、移載機構３５の走行レールの間の領域を介して、装置ポート１０１に対してＦＯＵＰ９０を移載することができる。この例によれば、第１固定支持台３６及び第２固定支持台３７が固定となるので、それらの構成を単純化することができる。
【００３９】
また、次のような搬送方法が実施されてもよい。すなわち、保管装置３０において、第１軌道１１及び第２軌道１２における上流側の第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂ（例えば、図４における上流側の２つの移動支持台３２）を、天井搬送車２０からの荷受け専用（入庫専用）とする。そして、第１軌道１１及び第２軌道１２における下流側の第１保管部３０ａ及び第２保管部３０ｂ（例えば、図４における下流側の２つの移動支持台３２）を、天井搬送車２０への荷渡し専用（出庫専用）とする。これにより、上流側の移動支持台３２にＦＯＵＰ９０を載置した天井搬送車２０が、下流側の移動支持台３２からＦＯＵＰ９０を受け取って搬送に移行する動作が効率的に行われる。
【００４０】
また、本発明の搬送システムが搬送する被搬送物は、複数の半導体ウェハが収容されたＦＯＵＰに限定されず、ガラスウェハ、レチクル等が収容されたその他の容器であってもよい。また、本発明の搬送システムは、半導体製造工場に限定されず、その他の施設にも適用可能である。
【符号の説明】
【００４１】
１…搬送システム、１１…第１軌道、１２…第２軌道、１４ａ…内側軌道、１４ｂ…外側軌道、２０…天井搬送車、２１…把持機構、２３…昇降機構、２４…移動機構、３０…保管装置、３０ａ…第１保管部、３０ｂ…第２保管部、３２…移動支持台、３４，３５…移載機構、３６…第１固定支持台、３７…第２固定支持台、４０ａ…第３保管部、５０…コントローラ、９０…ＦＯＵＰ（被搬送物）、１０１…装置ポート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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