(57)【要約】【課題】この発明は、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物を洗浄除去することができる層流超音波洗浄装置の提供を目的とする。【解決手段】本発明の層流超音波洗浄装置１は、第１洗浄槽２０Ａの貯留槽２２内に供給される洗浄液Ｓを層流噴射ノズル２２４から噴射させる際に、超音波振動子２２１Ａから発振される超音波振動を層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂに対して伝搬し、層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂの吹付け力と超音波振動との相乗作用によって、洗浄槽２１内の所定位置に搬入された被洗浄物Ａを洗浄処理する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液の層流を被洗浄物に吹き付けて洗浄処理する洗浄槽と、前記洗浄液の層流に対して超音波振動を伝搬する超音波振動子とを備えた層流超音波洗浄装置であって、
前記洗浄液を貯留する貯留槽が、
前記洗浄槽と前記貯留槽とに区分けする区分け板を介して前記洗浄槽に連設され、
前記洗浄液を前記貯留槽に供給する洗浄液供給手段が、前記貯留槽に接続され、
前記超音波振動子が、
前記区分け板と対向して前記貯留槽側に配置され、
前記洗浄液の層流を噴射する層流噴射ノズルが、
前記貯留槽と連通して前記区分け板に設けられるとともに、該区分け板における前記洗浄槽と対応する一方の面に対して所定間隔を隔てて多数配置された
層流超音波洗浄装置。
【請求項２】
前記層流噴射ノズルの前記層流を噴射する噴射方向が、
前記超音波振動子から発振される前記超音波振動の発振方向と一致する方向に設定された
請求項１に記載の層流超音波洗浄装置。
【請求項３】
前記層流噴射ノズルの内部に設けられた液供給路の内周面が、
前記層流の前記流動方向に向けて徐々に小径となる孔径に形成された
請求項１又は２に記載の層流超音波洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄液を前記洗浄槽内に供給する液供給路が、前記洗浄槽の一側部に接続され、
前記洗浄液を前記洗浄槽外に排出する液排出路が、前記洗浄槽の他側部に接続された
請求項１〜３のいずれか一つに記載の層流超音波洗浄装置。
【請求項５】
前記超音波振動子を備えた前記貯留槽が、
前記洗浄槽の下部及び側部のうち少なくとも一方に配置された
請求項１〜４のいずれか一つに記載の層流超音波洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば電子部品（ＣＭＯＳ、ＭＥＭＳ）、電子部品が組み付けられた基板、光学部品、精密部品、金属部品等の被洗浄物を洗浄処理する際に用いられる層流超音波洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上述のような被洗浄物を洗浄処理する洗浄装置としては、様々なものが多数提案されており、特許文献１に開示の洗浄装置も、このような洗浄装置の一つである。特許文献１の洗浄装置は、洗浄液の層流を洗浄槽内の上流側から下流側に向けて流動させる際に、洗浄槽の底部又は側部に配置した超音波振動子から発振される超音波振動を洗浄槽内の層流に伝搬し、洗浄槽内の洗浄液中に浸漬された被洗浄物を超音波洗浄する。
【０００３】
しかし、洗浄槽内を流動する洗浄液の層流に対して、超音波振動子から発振される超音波振動を層流の流動方向と直交する方向から伝搬するため、層流に伝搬される超音波振動に偏りが生じやすく、層流全体に対して均等に伝搬することが難しい。下流側の層流に伝搬される超音波振動に比べて、上流側の層流に伝搬される超音波振動が減衰しやすいため、被洗浄物における上流側の層流と接触する部分に付着した被除去物を洗浄除去することが困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−３３２４６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明は、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物を洗浄除去することができる層流超音波洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、洗浄液の層流を被洗浄物に吹き付けて洗浄処理する洗浄槽と、前記洗浄液の層流に対して超音波振動を伝搬する超音波振動子とを備えた層流超音波洗浄装置であって、前記洗浄液を貯留する貯留槽を、前記洗浄槽と前記貯留槽とに区分けする区分け板を介して前記洗浄槽に連設し、前記洗浄液を前記貯留槽に供給する洗浄液供給手段を、前記貯留槽に接続し、前記超音波振動子を、前記区分け板と対向して前記貯留槽側に配置し、前記洗浄液の層流を噴射する層流噴射ノズルを、前記貯留槽と連通して前記区分け板に設けられるとともに、該区分け板における前記洗浄槽と対応する一方の面に対して所定間隔を隔てて多数配置された層流超音波洗浄装置であることを特徴とする。
【０００７】
上述の被洗浄物は、例えば電子部品（ＣＭＯＳ、ＭＥＭＳ）、電子部品が組み付けられた基板、光学部品、精密部品、金属部品等で構成してもよい。洗浄液は、例えばハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）、ハイドロフルオロオレフィン（ＨＦＯ）、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）、ハイドロクロロフルオロオレフィン（ＨＣＦＯ）等のフッ素溶剤、あるいは、有機溶剤全般等で構成してもよい。洗浄液供給手段は、例えば液送路、液送ポンプ等で構成してもよい。
【０００８】
この発明によれば、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物を洗浄除去することができる。  
詳しくは、洗浄液供給手段により貯留槽内に供給される洗浄液を、区分け板に設けた多数の層流噴射ノズルから噴射させる際に、超音波振動子から発振される超音波振動を、層流噴射ノズルから噴射される層流に対して伝搬するとともに、層流噴射ノズルから噴射される超音波振動が伝搬された洗浄液の層流を、洗浄槽内の所定位置に搬入された被洗浄物に吹き付ける。
【０００９】
これにより、洗浄液の層流に伝搬される超音波振動が減衰しにくく、層流噴射ノズルから噴射される層流に対して略均等に伝搬することができるとともに、層流噴射ノズルから噴射される超音波振動が伝搬された洗浄液の層流を、洗浄槽内の所定位置に搬入された被洗浄物の洗浄箇所に対して集中して吹き付けることができる。
【００１０】
この結果、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物（例えば微細粒子や溶剤、油脂、その他の汚れ等）を、層流噴射ノズルから噴射される層流の吹付け力と超音波振動との相乗作用によって確実に洗浄除去することができる。
【００１１】
しかも、例えば洗浄液の層流を金属製の板に設けた噴射孔から噴射するよりも、洗浄液の層流を層流噴射ノズルから略真っ直ぐに噴射した方が、層流の指向性が高く、被洗浄物の洗浄箇所に対して正確に吹き付けることができる。
【００１２】
さらに、層流噴射ノズルから噴射される超音波振動が伝搬された洗浄液の層流を被洗浄物の洗浄箇所に集中して吹き付けるため、層流の超音波振動が洗浄箇所以外の部分に伝搬されにくく、洗浄箇所以外の部分に対して超音波振動が影響することを確実に防止できる。
【００１３】
この発明の態様として、前記層流噴射ノズルの前記層流を噴射する噴射方向を、前記超音波振動子から発振される前記超音波振動の発振方向と一致する方向に設定してもよい。  
この発明によれば、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物を確実に洗浄処理することができる。
【００１４】
詳しくは、超音波振動子から発振される超音波振動を、層流噴射ノズルから噴射される層流の流動方向に対して確実に伝搬することができるとともに、層流噴射ノズルから噴射される超音波振動が伝搬された洗浄液の層流を、洗浄槽内に搬入された被洗浄物の洗浄箇所に対して正確に吹き付けることができる。  
この結果、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物を、層流噴射ノズルから噴射される層流の吹付け力と超音波振動との相乗作用によって確実に洗浄除去することができる。
【００１５】
またこの発明の態様として、前記層流噴射ノズルの内部に設けられた液供給路の内周面を、該層流噴射ノズルから前記層流が噴射される方向に向けて徐々に小径となる孔径に形成してもよい。  
この発明によれば、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物をより確実に洗浄除去することができる。
【００１６】
詳しくは、層流噴射ノズルの液供給路内に供給される洗浄液の流量を、層流噴射ノズルから層流が噴射される方向に向けて徐々に絞り込むため、洗浄液に加えられる圧力が徐々に高くなる。
【００１７】
これにより、層流噴射ノズルから噴射される層流の流速がより速くなり、層流噴射ノズルから噴射される超音波振動が伝搬された洗浄液の層流を、被洗浄物の洗浄箇所に対して勢いよく吹き付けることができる。
【００１８】
この結果、被洗浄物の洗浄箇所に被除去物が強固に付着していても、層流噴射ノズルから勢いよく噴射される層流の吹付け力と超音波振動との相乗作用によってより確実に洗浄除去することができる。
【００１９】
またこの発明の態様として、前記洗浄液を前記洗浄槽内に供給する液供給路を、前記洗浄槽の一側部に接続し、前記洗浄液を前記洗浄槽外に排出する液排出路を、前記洗浄槽の他側部に接続してもよい。  
この発明によれば、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物をより清浄な洗浄液にて洗浄除去することができる。
【００２０】
詳しくは、被洗浄物の洗浄処理中において、液供給路を介して洗浄槽の一側部から槽内に供給される洗浄液を、液排出路を介して洗浄槽の他側部から槽外へ排出して、洗浄槽内に供給される洗浄液を一側部から他側部に向けて流動させる。
【００２１】
これにより、被洗浄物から除去された被除去物や、被除去物を含む洗浄液が洗浄槽内に滞留又は残留することを防止できるとともに、被洗浄物から除去された被除去物が、洗浄処理された被洗浄物に再付着することを防止できる。  
この結果、洗浄槽内に供給される洗浄液を洗浄処理に適した清浄な状態に保つことができるとともに、被洗浄物を清浄な洗浄液にて良好な状態に洗浄処理することができる。
【００２２】
またこの発明の態様として、前記超音波振動子を備えた前記貯留槽を、前記洗浄槽の下部及び側部のうち少なくとも一方に配置してもよい。  
上述の少なくとも一方とは、例えば洗浄槽の下部、あるいは、洗浄槽の一側部、あるいは、洗浄槽の下部及び側部を含む概念である。
【００２３】
この発明によれば、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物をより確実に洗浄除去することができる。  
詳しくは、例えば貯留槽を洗浄槽の下部に配置した場合、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物を、下部の層流噴射ノズルから垂直に噴射される層流の吹付け力と、下部の超音波振動子から層流に伝搬された超音波振動との相乗作用によって洗浄除去することができる。
【００２４】
また、貯留槽を洗浄槽の下部及び側部に配置した場合、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物を、下部及び側部の層流噴射ノズルから垂直に噴射される層流の吹付け力と、下部及び側部の超音波振動子から層流に伝搬された超音波振動との相乗作用によって確実に洗浄除去することができる。
【００２５】
この結果、被洗浄物の洗浄箇所に応じて、洗浄液の層流を垂直及び水平のうちいずれか一方向から噴射するか、あるいは、垂直及び水平の２方向から噴射するか否かを選択することができる。
【発明の効果】
【００２６】
この発明によれば、被洗浄物の洗浄箇所に付着する被除去物を洗浄除去することができる層流超音波洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】実施例１の層流超音波洗浄装置の模式図。
【図２】洗浄液の層流を上方に向けて垂直に噴射する洗浄槽の拡大断面図。
【図３】多数の層流噴射ノズルが配置された区分け板を上方から見た平面図。
【図４】洗浄液の層流を噴射する層流噴射ノズルの説明図。
【図５】実施例２の層流超音波洗浄装置に備えられた洗浄槽の模式図。
【図６】実施例３の層流超音波洗浄装置の模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
この発明の一実施形態を以下図面に基づいて詳述する。  
（実施例１）  
図１は実施例１の層流超音波洗浄装置１の模式図、図２は洗浄液Ｓの層流Ｓｂを上方に向けて垂直に噴射する第１洗浄槽２０Ａの拡大断面図、図３は多数の層流噴射ノズル２２４が配置された区分け板２２３を上方から見た平面図である。
【００２９】
図４は洗浄液Ｓの層流Ｓｂを噴射する層流噴射ノズル２２４の説明図であり、詳しくは、図４（ａ）は図２に示すａ部の拡大断面図、図４（ｂ）は層流噴射ノズル２２４におけるノズル先端の拡大斜視図である。
【００３０】
実施例１の層流超音波洗浄装置１は、超音波振動が伝搬された洗浄液Ｓの層流Ｓｂを被洗浄物Ａに吹き付けて超音波洗浄する第１洗浄槽２０Ａと、被洗浄物Ａを洗浄液Ｓにて仕上げ洗浄（シャワー洗浄）する第２洗浄槽２０Ｂと、被洗浄物Ａを洗浄液Ｓの蒸気Ｓａで蒸気洗浄する蒸気槽３０と、洗浄液Ｓの蒸気Ｓａを蒸気槽３０に供給する蒸留槽４０Ａと、洗浄液Ｓの蒸気Ｓａを凝縮し液化する凝縮槽４０Ｂとを備えている（図１、図２参照）。
【００３１】
第１洗浄槽２０Ａは、後述する層流噴射ノズル２２４から噴射される洗浄液Ｓの層流Ｓｂを被洗浄物Ａに吹き付けて洗浄する洗浄槽２１と、後述する洗浄液貯留槽５０Ａから供給される清浄な洗浄液Ｓを貯留する貯留槽２２とを備えている（図１、図２参照）。
【００３２】
洗浄槽２１における図１中の左側下方壁部には、液排出路２４Ａの一端を区分け板２２３より高く層流噴射ノズル２２４より低い部分に接続している。液排出路２４Ａの他端は、後述する洗浄液貯留槽５０Ａにおける図１中の左側下方壁部に接続している。液排出路２４Ａは、洗浄槽２１内の区分け板２２３上に貯留された被除去物を含む洗浄液Ｓを、後述する洗浄液貯留槽５０Ａへ液送する（図１、図２参照）。
【００３３】
貯留槽２２は、洗浄槽２１と貯留槽２２との間に配置された後述する区分け板２２３を介して洗浄槽２１の下部（又は底部）に連設している。貯留槽２２における図１中の左側底部及び右側壁部には、液供給路２５の一端を２本に分岐して接続している。液供給路２５の他端は、液送ポンプ２６と、熱交換器２７と、フィルター２８とを介して、後述する洗浄液貯留槽５０Ａにおける図１中の右側下方壁部に接続している（図１、図２参照）。
【００３４】
貯留槽２２の底部中央外壁には、貯留槽２２内に貯留された洗浄液Ｓに対して超音波振動を伝搬する超音波振動子２２１Ａを配置している。超音波振動子２２１Ａは、後述する区分け板２２３と対向して、超音波振動を発振する振動発振部２２２Ａが上向きとなるように配置している（図１、図２参照）。
【００３５】
区分け板２２３は、第１洗浄槽２０Ａにおける洗浄槽２１と貯留槽２２との間に配置されており、第１洗浄槽２０Ａを洗浄槽２１と貯留槽２２とに区分けしている。区分け板２２３の板厚を、振動発振部２２２Ａから発振される超音波振動が洗浄槽２１内の洗浄液Ｓに対して伝搬されやすい厚みに形成してもよい（図１、図２参照）。
【００３６】
区分け板２２３の材質は、約１．５ｍｍの板厚を有するステンレス板で構成されており、超音波振動子２２１Ａの振動発振部２２２Ａと対向して水平に配置するとともに、振動発振部２２２Ａに対して所定間隔を隔てて配置している（図１、図２参照）。
【００３７】
区分け板２２３における超音波振動子２２１Ａの振動発振部２２２Ａと対向する平面には、図３中の二点鎖線で示す噴射領域２２５を設定している。区分け板２２３における噴射領域２２５内の平面には、貯留槽２２と連通して層流Ｓｂを噴射する層流噴射ノズル２２４を垂直に設けている（図２、図３参照）。
【００３８】
層流噴射ノズル２２４は、区分け板２２３における噴射領域２２５内の平面に対して所定間隔を隔てて多数配置している。層流噴射ノズル２２４の噴射方向は、洗浄槽２１内における図１中の下部領域から上部領域に向けて層流Ｓｂが垂直に噴射される方向に設定している（図２のａ部拡大図、図３参照）。
【００３９】
層流噴射ノズル２２４のノズル先端部には層流Ｓｂを噴射する略丸形状の噴射孔２２４ａが設けられている。ノズル内部の中心部には洗浄液Ｓを供給する液供給路２２４ｂが設けられている。液供給路２２４ｂの一端は噴射孔２２４ａに連通され、他端は貯留槽２２と連通して開口している（図４（ａ）（ｂ）参照）。
【００４０】
液供給路２２４ｂにおける貯留槽２２側の内周面は、層流Ｓｂの流動方向に向けて徐々に小径となるテーパー面に形成している。液供給路２２４ｂにおける洗浄槽２１側の内周面は、超音波振動子２２１Ａの振動発振部２２２Ａから発振される超音波振動の発振方向と一致する方向に向けて略真っ直ぐとなる孔径に形成している。  
層流噴射ノズル２２４におけるノズル先端部の外径ｄ１は約６．０ｍｍに形成している。噴射孔２２４ａの孔径ｄ２は約３．０ｍｍに形成している（図４（ａ）（ｂ）参照）。
【００４１】
第２洗浄槽２０Ｂは、第１洗浄槽２０Ａにおける図１中の右側部に対して所定間隔を隔てて配置されており、第１洗浄槽２０Ａと第２洗浄槽２０Ｂは被洗浄物Ａを洗浄処理する順に配置している。
【００４２】
第２洗浄槽２０Ｂ内の底部には、第２洗浄槽２０Ｂ内に貯液された洗浄液Ｓを超音波振動させるための超音波振動子２２１Ｂを配置している。超音波振動子２２１Ｂは、超音波振動を発振する振動発振部２２２Ｂが上向きとなるように水平に配置している（図１参照）。
【００４３】
第２洗浄槽２０Ｂにおける図１中の左側下方壁部には、液排出路２４Ｂの一端を接続している。液排出路２４Ｂの他端は、後述する洗浄液貯留槽５０Ｂにおける図１中の左側下方壁部に接続している（図１参照）。
【００４４】
第２洗浄槽２０Ｂの上部外壁には、第２洗浄槽２０Ｂからオーバーフローされる洗浄液Ｓを貯留するための貯留部２３を設けている。貯留部２３にオーバーフローされた洗浄液Ｓは、図示しない液送路を介して後述する蒸留槽４０Ａ、あるいは、洗浄液貯留槽５０Ｂへ供給される（図１参照）。
【００４５】
蒸気槽３０は、第１洗浄槽２０Ａ及び第２洗浄槽２０Ｂの内部と連通して洗浄槽２０Ａ，２０Ｂの上部に連設している。蒸気槽３０及び凝縮槽４０Ｂの上部内壁には、蒸気槽３０内に放出された洗浄液Ｓの蒸気Ｓａを凝縮し液化するための冷却ジャケット３１Ｂを配置している。蒸気槽３０における図１中の左側壁部には蒸気路３２の一端を接続している。蒸気路３２の他端は後述する蒸留槽４０Ａの上部に接続している（図１参照）。
【００４６】
蒸留槽４０Ａは、蒸気槽３０における図１中の左側部に配置している。蒸留槽４０Ａ内の底部には、蒸留槽４０Ａ内に貯留された洗浄液Ｓを蒸発気化する温度に加熱する加熱ヒータ４１Ａを配置している（図１参照）。
【００４７】
蒸留槽４０Ａにおける図１中の右側下方壁部には、液送ポンプ４２Ａ及びフィルター式の濾過システム４３Ａを介して、液送路４４Ａの一端を接続している。液送路４４Ａの他端は、蒸留槽４０Ａにおける図１中の左側下方壁部に接続している。濾過システム４３Ａは、液送される洗浄液Ｓから有機物等の異物を除去する濾過機能を備えている（図１参照）。
【００４８】
凝縮槽４０Ｂは、蒸気槽３０の内部と連通して蒸気槽３０における図１中の右側壁部に連設している。凝縮槽４０Ｂ内の中央部には、凝縮槽４０Ｂ内に流入した洗浄液Ｓの蒸気Ｓａを凝縮し液化するための凝縮コイル４１Ｂを配置している（図１参照）。  
なお、上述の冷却ジャケット３１Ｂ及び凝縮コイル４１Ｂは、図示しないチラー、ブラインチラーなどの冷凍機に接続している。
【００４９】
凝縮槽４０Ｂの底部には、液送路４２Ｂの一端を接続している。液送路４２Ｂの他端は、後述する水分離槽６０における図１中の右側壁部に接続している。凝縮コイル４１により凝縮し液化された洗浄液Ｓは、凝縮槽４０Ｂ内の底部に一旦貯留された後、液送路４２Ｂを介して水分離槽６０へ供給される（図１参照）。
【００５０】
洗浄液貯留槽５０Ａは、第１洗浄槽２０Ａの下部、あるいは、第１洗浄槽２０Ａより低い位置に配置している。洗浄液貯留槽５０Ａ内の底部には、洗浄液貯留槽５０Ａ内に貯留された洗浄液Ｓを所望の温度に加温するための加温ヒータ５１を配置している（図１参照）。
【００５１】
洗浄液貯留槽５０Ａの底部中央には、液送ポンプ５２、熱交換器５３及びフィルター５４を介して循環用の液供給路５５の一端を接続している。液供給路５５の他端は洗浄液貯留槽５０Ａにおける図１中の右側上方壁部に接続している（図１、図２参照）。
【００５２】
洗浄液貯留槽５０Ｂは、第２洗浄槽２０Ｂの下部、あるいは、第２洗浄槽２０Ｂより低い位置に配置している。洗浄液貯留槽５０Ｂ内の底部には、洗浄液貯留槽５０Ｂ内に貯留された洗浄液Ｓを所望の温度に加温するための加温ヒータ５１を配置している（図１参照）。
【００５３】
洗浄液貯留槽５０Ｂの底部中央には、液送ポンプ５２、熱交換器５３及びフィルター５４を介して液供給路５５の一端を接続している。液供給路５５の他端は第２洗浄槽２０Ｂにおける図１中の右側下方壁部に接続している（図１参照）。
【００５４】
水分離槽６０は、凝縮槽４０Ｂの下部、あるいは、凝縮槽４０Ｂより低い位置に配置している。水分離槽６０における図１中の右側下方壁部には、液送ポンプ６１及びフィルター式の濾過システム６２を介して液送路６３の一端を接続している（図１参照）。
【００５５】
液送路６３の他端は、２本に分岐した分岐路６３１，６３２のうち一方の分岐路６３１を水分離槽６０における図１中の左側下方壁部に接続している。他方の分岐路６３２は洗浄液貯留槽５０Ｂにおける図１中の右側下方壁部（又は後述する図６中の左側下方壁部）に接続している（図１参照）。
【００５６】
濾過システム６２は、水分離槽６０内において水分を分離された洗浄液Ｓから有機物等の異物を除去する濾過機能を備えている。濾過システム６２により異物が除去された洗浄液Ｓは分岐路６３１を介して水分離槽６０へ返還されるとともに、分岐路６３２を介して後述する洗浄液貯留槽５０Ｂへ供給される（図１参照）。
【００５７】
上述の層流超音波洗浄装置１を用いて、被洗浄物Ａを洗浄処理する際の洗浄方法について説明する。  
先ず、被洗浄物Ａを、第１洗浄槽２０Ａにおける洗浄槽２１内の所定位置に搬入した際に、液送ポンプ２６，５２を駆動して、洗浄液貯留槽５０Ａに貯留された洗浄液Ｓを洗浄槽２１及び貯留槽２２に連続して供給する（図１、図２参照）。
【００５８】
貯留槽２２内に供給される洗浄液Ｓを、区分け板２２３の層流噴射ノズル２２４から上方に向けて垂直に噴射するとともに、層流噴射ノズル２２４から噴射される洗浄液Ｓの層流Ｓｂを、洗浄槽２１内における図１中の下部領域から上部領域に向けて垂直に噴射する。
【００５９】
超音波振動子２２１Ａの振動発振部２２２Ａから発振される超音波振動を、貯留槽２２内に貯留された洗浄液Ｓを介して、層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂに対して伝搬するとともに、超音波振動が伝搬された層流Ｓｂを上方に向けて垂直に噴射する（図２参照）。
【００６０】
これにより、洗浄液Ｓの層流Ｓｂに伝搬される超音波振動が減衰しにくく、層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂに対して略均等に伝搬することができるとともに、超音波振動が伝搬された層流Ｓｂを、第１洗浄槽２０Ａの洗浄槽２１内に搬入された被洗浄物Ａの洗浄箇所（具体的には基板おける電子部品が組み付けられた面）に対して集中して吹き付けることができる。
【００６１】
この結果、被洗浄物Ａにおける図示しない微細な隙間、あるいは、図示しない微小な孔部などの洗浄箇所に付着する微細粒子やナノ粒子程の小さい被除去物であっても、層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂの吹付け力と超音波振動との相乗作用によって確実に洗浄除去することができる。
【００６２】
しかも、洗浄液Ｓの層流Ｓｂを、図示しない金属製の板に設けた噴射孔から噴射するよりも、層流噴射ノズル２２４から略真っ直ぐに噴射した方が、層流Ｓｂの指向性が高く、被洗浄物Ａの洗浄箇所に対して正確に吹き付けることができる。
【００６３】
さらに、層流噴射ノズル２２４から噴射される超音波振動が伝搬された洗浄液Ｓの層流Ｓｂを被洗浄物Ａの洗浄箇所に集中して吹き付けるため、層流Ｓｂの超音波振動が洗浄箇所以外の部分に伝搬されにくく、洗浄箇所以外の部分に対して超音波振動が影響することを確実に防止できる。
【００６４】
さらにまた、層流噴射ノズル２２４から噴射される洗浄液Ｓの層流Ｓｂにて被洗浄物Ａの洗浄処理中において、被洗浄物Ａから除去された被除去物を含む洗浄液Ｓは洗浄槽２１内の区分け板２２３上に貯留されるとともに、液排出路２４Ａを介して洗浄槽２１における図１中の左側下方壁部から槽外へ排出し、洗浄液貯留槽５０Ａへ回収される。
【００６５】
これにより、被洗浄物Ａから除去された被除去物や、被除去物を含む洗浄液Ｓが洗浄槽２１内に滞留又は残留することを防止できるとともに、被洗浄物Ａから除去された被除去物が、洗浄処理された被洗浄物Ａに再付着することを防止できる。
【００６６】
さらにまた、洗浄液貯留槽５０Ａに回収された洗浄液Ｓをフィルター２８で濾過して貯留槽２２へ供給するため、層流噴射ノズル２２４から噴射される洗浄液Ｓの層流Ｓｂを洗浄処理に適した清浄な状態に保つことができるとともに、被洗浄物Ａを清浄な洗浄液Ｓにて良好な状態に洗浄処理することができる。
【００６７】
さらにまた、層流噴射ノズル２２４から噴射される洗浄液Ｓの層流Ｓｂを、被洗浄物Ａの洗浄箇所に向けて略真っ直ぐに噴射するため、層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂの指向性が高く、層流Ｓｂの流動方向と平行する被洗浄物Ａの洗浄箇所に対してより積極的に浸入させることができるとともに、被洗浄物Ａの洗浄箇所に付着する被除去物をより確実に洗浄除去することができる。
【００６８】
さらにまた、層流噴射ノズル２２４の液供給路内に供給される洗浄液Ｓの流量を、層流Ｓｂが噴射される方向に向けて徐々に絞り込むため、層流Ｓｂの流量を絞り込むことなく噴射する際の流速に比べて、層流Ｓｂの流量を絞り込んだ方が、洗浄液Ｓに加えられる圧力が高められる。
【００６９】
これにより、層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂの流速がより速くなり、層流噴射ノズル２２４から噴射される超音波振動が伝搬された層流Ｓｂを、被洗浄物Ａの洗浄箇所に対して勢いよく吹き付けることができるとともに、被洗浄物Ａの洗浄箇所に被除去物が強固に付着していても、層流噴射ノズル２２４から勢いよく噴射される層流Ｓｂの吹付け力と、層流Ｓｂの超音波振動との相乗作用によってより確実に洗浄除去することができる。
【００７０】
さらにまた、洗浄液貯留槽５０Ａに回収された洗浄液Ｓを貯留槽２２へ供給する際に、熱交換器２７で熱交換し、フィルター２８で濾過するため、洗浄液Ｓに含まれるバリなどの被除去物を除去することができるとともに、洗浄液Ｓに含まれる微細な気泡も取り除くことができるため、超音波振動子２２１Ａから発振される超音波振動を、貯留槽２２に貯留された洗浄液Ｓに対して効率よく伝搬することができる。
【００７１】
以下、上述の層流超音波洗浄装置１におけるその他の例について説明する。この説明において、前記構成と同一または同等の部位については同一の符号を記してその詳しい説明を省略する。
【００７２】
（実施例２）  
上述の実施例１では、垂直に噴射される洗浄液Ｓの層流Ｓｂで洗浄処理する層流超音波洗浄装置１について説明したが、実施例２では、図５に示すように、垂直及び水平の２方向から噴射される洗浄液Ｓの層流Ｓｂで洗浄処理する層流超音波洗浄装置１の第１洗浄槽２０Ａについて説明する。  
図５は実施例２の層流超音波洗浄装置１に備えられた第１洗浄槽２０Ａの模式図である。
【００７３】
実施例２の第１洗浄槽２０Ａは、洗浄液貯留槽５０Ａから供給される清浄な洗浄液Ｓを貯留する貯留槽２１１を、洗浄槽２１と貯留槽２１１との間に配置された区分け板２１３を介して、洗浄槽２１における図５中の右側部に連設している。区分け板２１３における洗浄槽２１の内部と対応する面には、洗浄液Ｓの層流Ｓｂを噴射する層流噴射ノズル２１４を水平に設けている（図５参照）。
【００７４】
層流噴射ノズル２１４は、区分け板２１３における洗浄槽２１の内部と対応する面に対して所定間隔を隔てて多数配置している。層流噴射ノズル２１４の噴射方向は、洗浄槽２１における図１中の右側壁部から左側壁部に向けて層流Ｓｂが水平に噴射される方向に設定している（図５参照）。
【００７５】
貯留槽２１１における図５中の右側外壁には、貯留槽２１１内に貯留された洗浄液Ｓを超音波振動させるための超音波振動子２２１Ｃを配置している。超音波振動子２２１Ｃは、超音波振動を発振する振動発振部２２２Ｃが左向きとなるように配置している（図５参照）。
【００７６】
詳しくは、垂直及び水平の２方向から噴射される超音波振動が伝搬された洗浄液Ｓの層流Ｓｂで洗浄処理する場合、貯留槽２２内に供給される洗浄液Ｓを、区分け板２２３の層流噴射ノズル２２４から上方に向けて垂直に噴射する際に、超音波振動子２２１Ａの振動発振部２２２Ａから発振される超音波振動で振動させる（図５参照）。
【００７７】
貯留槽２１１内に供給される洗浄液Ｓを、区分け板２１３の層流噴射ノズル２１４から水平に噴射する際に、貯留槽２１１内に配置した超音波振動子２２１Ｃの振動発振部２２２Ｃから発振される超音波振動で振動させる（図５参照）。
【００７８】
層流噴射ノズル２１４，２２４の２方向から噴射される超音波振動が伝搬された層流Ｓｂを、洗浄槽２１内の所定位置に搬入された被洗浄物Ａの洗浄箇所に対して集中して吹き付けるため、洗浄箇所以外の部分に対して超音波振動が影響することを確実に防止できる。
【００７９】
この結果、被洗浄物Ａの洗浄箇所に付着する被除去物を、層流噴射ノズル２１４，２２４から噴射される層流Ｓｂの吹付け力と超音波振動との相乗作用によってより確実に洗浄除去することができるため、実施例１に加えた作用及び効果を奏することができる。
【００８０】
しかも、被洗浄物Ａの洗浄箇所に応じて、洗浄液Ｓの層流Ｓｂを垂直及び水平のうちいずれか一方向から噴射するか、あるいは、垂直及び水平の２方向から噴射するか否かを選択してもよい。
【００８１】
（実施例３）  
上述の実施例１では、第１洗浄槽２０Ａの層流噴射ノズル２２４から噴射される洗浄液Ｓの層流Ｓｂで洗浄処理する層流超音波洗浄装置１について説明したが、実施例３では、図６に示すように、第１洗浄槽２０Ａ及び第２洗浄槽２０Ｂの層流噴射ノズル２２４から噴射される洗浄液Ｓの層流Ｓｂで洗浄処理する層流超音波洗浄装置１について説明する。  
図６は実施例３の層流超音波洗浄装置１の模式図である。
【００８２】
実施例３の層流超音波洗浄装置１は、第２洗浄槽２０Ｂを第１洗浄槽２０Ａと同一に構成しており、第１洗浄槽２０Ａと同一の層流噴射ノズル２２４を、第２洗浄槽２０Ｂを構成する洗浄槽２１と貯留槽２２との間に配置された区分け板２２３に対して所定間隔を隔てて多数配置している（図６参照）。
【００８３】
詳しくは、第１洗浄槽２０Ａにおいて洗浄処理された被洗浄物Ａを、第２洗浄槽２０Ｂにおける洗浄槽２１内の所定位置に搬入した際に、層流噴射ノズル２２４から噴射される超音波振動が伝搬された洗浄液Ｓの層流Ｓｂを、被洗浄物Ａの洗浄箇所に吹き付けて仕上げ洗浄する（図６参照）。
【００８４】
この結果、被洗浄物Ａの洗浄箇所に付着する被除去物を、第１洗浄槽２０Ａ及び第２洗浄槽２０Ｂの層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂの吹付け力と超音波振動との相乗作用によってより確実に洗浄除去及び仕上げ洗浄することができるため、実施例１，２に加えた作用及び効果を奏することができる。
【００８５】
この発明の構成と、前記実施形態との対応において、  
この発明の洗浄槽は、実施形態の洗浄槽２１に対応し、  
以下同様に、  
超音波振動子は、超音波振動子２２１Ａ，２２１Ｃに対応し、  
洗浄液供給手段は、液排出路２４Ａ、液供給路２５，５５、液送ポンプ２６，５２に対応するも、  
この発明は、上述の実施形態の構成のみに限定されるものではなく、請求項に示される技術思想に基づいて応用することができ、多くの実施の形態を得ることができる。
【００８６】
上述の実施例１では、被洗浄物Ａを第１洗浄槽２０Ａにて洗浄処理した後、第２洗浄槽２０Ｂにて仕上げ洗浄する層流超音波洗浄装置１について説明したが、例えば第１洗浄槽２０Ａにおいて層流Ｓｂを吹き付けて洗浄処理する洗浄工程と、第２洗浄槽２０Ｂにおいて洗浄液Ｓ中に浸漬して洗浄する仕上げ工程とを逆に行ってもよい。つまり、被洗浄物Ａを第２洗浄槽２０Ｂにて洗浄処理した後、第１洗浄槽２０Ａにて仕上げ洗浄してもよい。
【００８７】
また、実施例１，２では、第１洗浄槽２０Ａ及び第２洗浄槽２０Ｂを１槽ずつ配置した洗浄装置について説明したが、洗浄槽２０Ａ，２０Ｂ同士のうち少なくとも一方の洗浄槽の槽数を、例えば２槽、３槽等に増やしてもよい。また、貯留槽２２，２１１の槽外部に配置した超音波振動子２２１Ａ，２２１Ｃを、例えば貯留槽２２，２１１の槽内部に配置してもよい。
【００８８】
さらに、区分け板２２３の中央部に配置した層流噴射ノズル２２４に比べて、区分け板２２３の中央部より外側に配置した層流噴射ノズル２２４の口径を大きくするか、あるいは、配置数を多くしてもよい。
【００８９】
これにより、区分け板２２３の中央部に配置した層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂの流量よりも、区分け板２２３の中央部より外側に配置した層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂの流量が多くなるため、被洗浄物Ａから除去された被除去物や、被除去物を含む洗浄液Ｓが洗浄槽２１内に滞留又は残留することを防止できる。
【００９０】
さらにまた、第１洗浄槽２０Ａにおける洗浄槽２１内に貯留された洗浄液Ｓ中において、層流噴射ノズル２２４から噴射される層流Ｓｂを、洗浄液Ｓ中に浸漬された被洗浄物Ａに吹き付けて洗浄処理してもよい。
【００９１】
さらにまた、洗浄液貯留槽５０Ｂに貯留された洗浄液Ｓを蒸留槽４０Ａで蒸留してもよく、被除去物（例えば微細粒子や溶剤、油脂等）が除去された清浄な洗浄液Ｓを洗浄処理に繰り返し使用することができる。
【符号の説明】
【００９２】
Ａ…被洗浄物
Ｓ…洗浄液
Ｓａ…蒸気
Ｓｂ…層流
１…層流超音波洗浄装置
２０Ａ…第１洗浄槽
２０Ｂ…第２洗浄槽
３０…蒸気槽
４０Ａ…蒸留槽
４０Ｂ…凝縮槽
５０Ａ，５０Ｂ…洗浄液貯留槽
６０…水分離槽
２１…洗浄槽
２１１…貯留槽
２１３…区分け板
２１４…層流噴射ノズル
２２…貯留槽
２２１Ａ，２２１Ｂ，２２１Ｃ…超音波振動子
２２２Ａ，２２２Ｂ，２２２Ｃ…振動発振部
２２３…区分け板
２２４…層流噴射ノズル
２２４ａ…噴射孔
２２４ｂ…液供給路
２２５…噴射領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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