(57)【要約】【課題】基板研磨を行なうことなく、研磨パッドとドレッシング部材との間の摩擦力の大きさが適正範囲であるかどうかを把握可能とする技術の提供。【解決手段】基板研磨を行なっていない状態にて、研磨パッド１１がターンテーブル１２に取り付けられた研磨テーブル１０を回転させて行なうドレッシング中に、研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達を停止して研磨テーブル１０を惰性回転させ、研磨テーブル１０の回転駆動力伝達停止から回転停止までの回転量を測定するドレッシング摩擦測定方法、ドレッシング摩擦測定方法にて測定した回転量を回転量適正範囲と比較する基板研磨装置の保守方法、ドレッシング摩擦測定方法を実現可能な基板研磨装置１を提供する。【選択図】図１
2018126825.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板研磨用の研磨パッドがターンテーブルに取り付けられた研磨テーブルと、前記研磨パッドにドレッシング部材を摺接させて前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング装置とを有する基板研磨装置について、基板研磨を行なっていない状態にて前記研磨テーブルを回転させて行なう前記研磨パッドのドレッシング中に前記研磨テーブルへの回転駆動力の伝達を停止して前記研磨テーブルを惰性回転させ、惰性回転させた前記研磨テーブルの前記回転駆動力の伝達停止から回転停止までの回転量を測定することを特徴とするドレッシング摩擦測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載のドレッシング摩擦測定方法にて測定された前記研磨テーブルの回転量と予め設定した回転量適正範囲とを比較し、前記研磨テーブルの回転量が前記回転量適正範囲外であるときに、前記研磨パッド及び前記ドレッシング部材の一方又は両方を交換することを特徴とする基板研磨装置の保守方法。
【請求項３】
基板研磨用の研磨パッドがターンテーブルに取り付けられた研磨テーブルと、
前記研磨パッドにドレッシング部材を摺接させて前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング装置と、
前記研磨テーブルの回転量を測定するためのテーブル回転量測定装置と、
基板研磨を行なっていない状態にて前記研磨テーブルを回転させて行なう前記研磨パッドのドレッシング中に前記研磨テーブルへの回転駆動力の伝達を停止して惰性回転させた前記研磨テーブルの前記回転駆動力の伝達停止から回転停止までの回転量を前記テーブル回転量測定装置が測定した測定結果と予め設定した回転量適正範囲とを比較し、前記研磨テーブルの回転量が前記回転量適正範囲内であるときに正常、前記研磨テーブルの回転量が前記回転量適正範囲外であるときに異常を判定する判定部と、
前記判定部が異常を判定したときに警報を出力する警報出力部
とを有することを特徴とする基板研磨装置。
【請求項４】
前記警報出力部は、前記判定部による判定結果を示す文字情報あるいは画像情報を表示する表示部であることを特徴とする請求項３に記載の基板研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ等の基板研磨用の研磨パッドをドレッシングするドレッシング装置を有する基板研磨装置、この基板研磨装置のドレッシング装置のドレッシング部材と研磨パッドとの間の摩擦力の大きさを測定するドレッシング摩擦測定方法、基板研磨装置の保守方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ等の基板の研磨に用いられるＣＭＰ装置（ＣＭＰ，Chemical  Mechanical  Polishing）は、ターンテーブル上面上に研磨パッドが貼付された研磨テーブルと、研磨テーブルとの間に基板を保持するトップリングとを一般に備えている。このＣＭＰ装置は、研磨テーブル及びトップリングをその軸心を中心としてそれぞれ回転させながら、トップリングにより基板を所定の圧力で研磨パッドの研磨面（上面）に押圧し、研磨液を研磨面上に供給しつつ基板の表面を平坦且つ鏡面に研磨する。研磨液には、通常、アルカリ溶液にシリカ等の微粒子からなる砥粒を懸濁したものが用いられる。基板は、アルカリによる化学的研磨作用と、砥粒による機械的研磨作用との複合作用によって研磨（化学的機械的研磨）される。
【０００３】
研磨パッドの研磨面は、基板研磨に伴い、砥粒や研磨屑の付着等により研磨性能が劣化していく。このため、ＣＭＰ装置では、劣化した研磨パッドの研磨面を再生するドレッシング装置を有する構成が広く採用されている（例えば特許文献１、２）。
ドレッシング装置は、一般に、揺動アームの先端に、回転駆動軸及びこの回転駆動軸先端に固定されたディスク状のドレッシング部材を支持している。揺動アームは、その先端とは反対の基端部を研磨テーブルから水平方向にずれた位置に設定された回転軸線を中心に回転させることで、その先端側のドレッシング部材とともに研磨テーブルの研磨面に沿った方向に揺動される。揺動アームの基端部は、研磨テーブルの軸線と平行な回転軸線を中心に回転される。回転駆動軸及びドレッシング部材は電動モータ等の駆動源の駆動力によって回転駆動される。ドレッシング装置は、回転駆動させたドレッシング部材を回転する研磨テーブル上の研磨面に押し付けながら揺動アームの揺動によって研磨面に沿って移動させることにより、研磨面に付着した砥粒や切削屑を除去するとともに、研磨面の平坦化及び目立て（ドレッシング）を行なう。ドレッシングにおいて、揺動アームは揺動方向を繰り返し反転させ、ドレッシング部材を研磨テーブルの研磨面に沿って往復動させることが多い。ドレッシング部材としては、一般に、研磨面に接触する面（ドレッシング面）にダイヤモンド粒子が電着されたもの等が使用される。
なお、ＣＭＰ装置における、ドレッシング装置による研磨テーブルの研磨面（研磨パッド研磨面）のドレッシングは、一般に、基板研磨を行なっていないときに実施される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５２３６５１５号公報
【特許文献２】特許第５７４４３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、研磨パッド及びドレッシング部材は繰り返し使用によって摩耗していく。研磨パッドは、摩耗がある程度まで進行すると、ドレッシングを行なっても研磨面の再生、研磨性能の回復が不充分になる。ドレッシング部材は、摩耗がある程度まで進行するとドレッシング性能が大きく低下する。このため、ＣＭＰ装置にあっては、摩耗進行によって性能が劣化した研磨パッドやドレッシング部材の交換を行なう。
研磨パッドやドレッシング部材の交換は一般に作業者が手作業で行なう。
従来は、研磨パッドやドレッシング部材の交換作業が適正に行なわれたかどうかを確認する好適な技術が存在しない。例えば、研磨パッドやドレッシング部材の交換作業の後、ＣＭＰ装置の運転を再開して基板の研磨状態を確認する方法があるが、この方法では、研磨不良が確認された場合、その原因が研磨パッドやドレッシング部材の交換作業であるかどうかの特定に手間が掛かる。
【０００６】
本発明は上述の課題に鑑みて、基板研磨を行なうことなく、研磨パッドとドレッシング部材との間の摩擦力の大きさが適正範囲であるかどうかを把握可能とするドレッシング摩擦測定方法、基板研磨装置の保守方法、基板研磨装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明の一態様に係るドレッシング摩擦測定方法は、基板研磨用の研磨パッドがターンテーブルに取り付けられた研磨テーブルと、前記研磨パッドにドレッシング部材を摺接させて前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング装置とを有する基板研磨装置について、基板研磨を行なっていない状態にて前記研磨テーブルを回転させて行なう前記研磨パッドのドレッシング中に前記研磨テーブルへの回転駆動力の伝達を停止して前記研磨テーブルを惰性回転させ、惰性回転させた前記研磨テーブルの前記回転駆動力の伝達停止から回転停止までの回転量を測定する。
【０００８】
（２）本発明の一態様に係る基板研磨装置の保守方法は、前記ドレッシング摩擦測定方法にて測定された前記研磨テーブルの回転量と予め設定した回転量適正範囲とを比較し、前記研磨テーブルの回転量が前記回転量適正範囲外であるときに、前記研磨パッド及び前記ドレッシング部材の一方又は両方を交換する。
【０００９】
（３）本発明の一態様に係る基板研磨装置は、基板研磨用の研磨パッドがターンテーブルに取り付けられた研磨テーブルと、前記研磨パッドにドレッシング部材を摺接させて前記研磨パッドをドレッシングするドレッシング装置と、前記研磨テーブルの回転量を測定するためのテーブル回転量測定装置と、基板研磨を行なっていない状態にて前記研磨テーブルを回転させて行なう前記研磨パッドのドレッシング中に前記研磨テーブルへの回転駆動力の伝達を停止して惰性回転させた前記研磨テーブルの前記回転駆動力の伝達停止から回転停止までの回転量を前記テーブル回転量測定装置が測定した測定結果と予め設定した回転量適正範囲とを比較し、前記研磨テーブルの回転量が前記回転量適正範囲内であるときに正常、前記研磨テーブルの回転量が前記回転量適正範囲外であるときに異常を判定する判定部と、前記判定部が異常を判定したときに警報を出力する警報出力部とを有する。
（４）上記（３）に記載の警報出力部は、前記判定部による判定結果を示す文字情報あるいは画像情報を表示する表示部であっても良い。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の実施形態によれば、研磨パッド、ドレッシング部材の交換の後、基板研磨を行なう前に、交換が正常に行なわれなかったことを把握可能となる。このため、研磨パッドあるいはドレッシング部材の交換が正常でないまま基板研磨を行なうことを防止でき、研磨が正常でない製品の発生を抑えることができる。
また、本発明に係る実施形態によれば、研磨パッドとドレッシング部材との間の摩擦測定結果を、研磨パッドやドレッシング部材の交換要否判断に利用することも可能である。これにより、摩耗によって性能が低下した研磨パッドやドレッシング部材の使用や、摩耗が少なく性能を充分に有する研磨パッドやドレッシング部材の交換、を回避できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明に係る１実施形態の基板研磨装置の研磨テーブル及びその近傍の構造を示す斜視図である。
【図２】図１の基板研磨装置の研磨テーブルを回転駆動する機構、研磨テーブルの惰性回転量を回転量適正範囲と比較する判定部、判定部の判定結果を表示する表示部、の関係を示すブロック図である。
【図３】ドレッサ揺動アームの揺動による研磨テーブル研磨面に沿う方向のドレッシング部材の往復動を説明する平面図である。
【図４】図１の基板研磨装置のドレッシング摩擦測定動作における、研磨テーブルへの回転駆動力の伝達を停止したときの研磨テーブルの惰性回転を説明する図であり、回転駆動力の伝達停止による惰性回転開始位置（回転力伝達停止位置）を示す。
【図５】図４にて惰性回転を開始した研磨テーブルの惰性回転停止位置を示す図である。
【図６】図１の基板研磨装置の表示部が表示する表示画面の一例を示す図であり、基板研磨装置の判定部が研磨テーブルの惰性回転量の測定結果について正常を判定した場合を示す。
【図７】図１の基板研磨装置の表示部が表示する表示画面の一例を示す図であり、基板研磨装置の判定部が研磨テーブルの惰性回転量の測定結果について異常を判定した場合を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の幾つかの実施形態の基板研磨装置、それを用いたドレッシング摩擦測定方法、基板研磨装置の保守方法について、図面を参照して説明する。
図１に基板研磨装置１の斜視図を示す。基板研磨装置１は半導体ウェハ等の基板を研磨する。
【００１３】
基板研磨装置１は、基板の研磨、洗浄、乾燥を行なうＣＭＰ装置の一部である。
但し、基板研磨装置１は、ＣＭＰ装置の一部であることに限定されず、例えば、ＣＭＰ装置とは別の装置の一部、独立構成の装置、であっても良い。
【００１４】
図１に示すように、基板研磨装置１は、基板研磨用の研磨パッド１１がターンテーブル１２に取り付けられた研磨テーブル１０と、トップリング装置２０と、研磨パッド１１を目立て（ドレッシング）するドレッシング装置３０とを有している。
【００１５】
図１に示すようにターンテーブル１２は円板状である。図２に示すように、ターンテーブル１２は回転軸１３の上端（図２上端）上に固定されて水平方向に延在するように回転軸１３に支持されている。
図１、図２に示すように、研磨パッド１１はターンテーブル１２の上面に貼付されている。
【００１６】
以下、回転軸１３を、研磨テーブル回転軸、とも言う。
図２において、研磨テーブル１０及び研磨テーブル回転軸１３は、モータ１４（具体的には電動モータ）の回転駆動力によって、上下（図２上下）方向の回転軸線を中心に回転駆動される。
図２において、モータ１４は具体的にはサーボモータである。
【００１７】
図２に示すように、電動モータ１４の出力軸１４ａは、ジョイント部品１５を介して研磨テーブル回転軸１３と同軸に連結固定されている。電動モータ１４の出力軸１４ａは、研磨テーブル回転軸１３及び研磨テーブル１０と一体回転する。
研磨テーブル１０は、電動モータ１４から研磨テーブル回転軸１３を介して伝達された回転駆動力によって研磨テーブル回転軸１３と一体に、図１矢印Ａ方向に回転駆動される。研磨テーブル１０の研磨パッド１１はターンテーブル１２と一体に回転する。
【００１８】
図１に示すように、トップリング装置２０は、基板を保持し研磨パッド１１の上面に押圧するトップリングヘッド２１と、トップリングヘッド２１に連結されるトップリング駆動軸２２と、トップリング駆動軸２２を回転自在に保持するトップリング揺動アーム２３とを有する。トップリング揺動アーム２３は、トップリング揺動軸２４によって支持されている。トップリング揺動アーム２３の内部には、トップリング駆動軸２２に連結された図示しないモータが設置されている。このモータの回転はトップリング駆動軸２２を介してトップリングヘッド２１に伝達され、これによりトップリングヘッド２１は、矢印Ｂ方向にトップリング駆動軸２２を中心として回転する。
【００１９】
トップリング駆動軸２２は、トップリング揺動アーム２３に設けられた図示しない上下動アクチュエータ（例えばエアシリンダ）に連結されている。トップリングヘッド２１は、上下動アクチュエータによりトップリング駆動軸２２とともに上下動する。
【００２０】
トップリング揺動軸２４は、その中心軸線が上下方向に延在する向きで、研磨パッド１１の径方向外側に設けられている。
トップリング揺動軸２４は図示略のモータによってトップリング揺動軸２４の中心軸線回りに軸回り回転される。トップリング装置２０は、トップリング揺動軸２４の軸回り回転によってトップリング揺動アーム２３を揺動させ、トップリングヘッド２１の位置を研磨パッド１１上の研磨位置と研磨パッド１１の外側の待機位置とに切り換える。
【００２１】
図１に示すように、基板研磨装置１は、トップリング装置２０に隣接して配置され、研磨液及びドレッシング液を研磨パッド１１の研磨面に供給する液体供給機構４０も有している。液体供給機構４０は、複数の供給ノズルを備えており、この供給ノズルから研磨液及びドレッシング液が研磨パッド１１の研磨面に供給される。この液体供給機構４０は、研磨液を研磨パッド１１に供給する研磨液供給機構と、ドレッシング液（例えば純水）を研磨パッド１１に供給するドレッシング液供給機構とを兼用している。
なお、基板研磨装置１は、互いに別体の研磨液供給機構及びドレッシング液供給機構が設けられた構成も採用可能である。
【００２２】
基板研磨装置１による基板の研磨は、トップリングヘッド２１（図１参照）の下面に基板を保持して、トップリングヘッド２１および研磨テーブル１０を回転させる。この状態で、研磨パッド１１の研磨面には研磨液を供給し、トップリングヘッド２１により基板を研磨パッド１１の研磨面に押圧する。基板の表面（下面）は、研磨液に含まれる砥粒による機械的研磨作用及び研磨液の化学的研磨作用の複合作用により研磨（化学的機械的研磨）される。
【００２３】
図１に示すように、ドレッシング装置３０は、研磨パッド１１の研磨面に摺接されるドレッシング部材３１と、このドレッシング部材３１に連結されたドレッサ駆動軸３２と、ドレッサ駆動軸３２を回転自在に保持するドレッサ揺動アーム３３とを有している。
ドレッシング部材３１は、ドレッサ揺動アーム３３から下方へ突出されたドレッサ駆動軸３２の下端部に取り付けられている。
【００２４】
ドレッシング部材３１の下面は、研磨パッド１１の研磨面に摺接されるドレッシング面を構成している。このドレッシング面には、ダイヤモンド粒子などの砥粒が固定されている。
【００２５】
図１に示すように、ドレッサ揺動アーム３３は、ドレッサ揺動軸３４に支持されている。ドレッサ揺動アーム３３の内部には、ドレッサ駆動軸３２に連結された図示しないモータが設置されている。このモータの回転はドレッサ駆動軸３２を介してドレッシング部材３１に伝達され、ドレッシング部材３１を矢印Ｃ方向にドレッサ駆動軸３２を中心として回転させる。
【００２６】
図１に示すように、ドレッサ揺動軸３４は、その中心軸線が上下方向に延在する向きで、研磨パッド１１の径方向外側に設けられている。
ドレッサ揺動軸３４は図示略のモータによってドレッサ揺動軸３４の中心軸線回りに軸回り回転される。図３に示すように、ドレッシング装置３０は、ドレッサ揺動軸３４の軸回り回転によってドレッサ揺動アーム３３を揺動（旋回）させることでドレッシング部材３１の位置をドレッサ揺動軸３４を中心とする回転方向に移動させる。ドレッシング部材３１は、ドレッサ揺動軸３４の軸回り回転によって、研磨パッド１１上のドレッシング位置と、研磨パッド１１の外側の待機位置とに、位置を切り換え可能である。
【００２７】
図１に示すドレッサ揺動軸３４は図示略の昇降装置（ドレッサ昇降装置）によって昇降（図１上下方向の移動）される。
ドレッサ揺動軸３４を昇降すると、ドレッサ揺動軸３４とともに、ドレッサ揺動アーム３３、ドレッシング部材３１、ドレッサ揺動軸３４も昇降される。
【００２８】
研磨パッド１１の研磨面をドレッシングするときは、モータにより回転させたドレッシング部材３１のドレッシング面を回転させた研磨パッド１１の研磨面に摺接させる。その状態で、ドレッサ揺動軸３４の軸回り回転によってドレッサ揺動アーム３３を揺動（旋回）させることで、ドレッシング部材３１を研磨パッド１１の略径方向に往復移動させる。その結果、回転するドレッシング部材３１の移動（揺動）により、研磨パッド１１の研磨面に付着した研磨屑などが除去され、かつ研磨面が再生される。
ドレッシング中は、液体供給機構４０により、ドレッシング液（例えば純水）が研磨パッド１１の研磨面上に供給される。
【００２９】
研磨パッド１１の研磨面をドレッシングする基板研磨装置１の動作を、以下、ドレッシング動作、とも言う。
基板研磨装置１は、ドレッシング動作において研磨パッド１１と研磨パッド１１研磨面に摺接させたドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさを測定する動作（ドレッシング摩擦測定方法。以下、ドレッシング摩擦測定動作、とも言う）を、操作盤（図示略）からの指令（摩擦測定動作指令）の入力によって実行する。
【００３０】
ここで例示する基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作は、ドレッシング動作中にモータ１４から研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達を停止して研磨テーブル１０を惰性回転させ、惰性回転する研磨テーブル１０のモータ１４からの回転駆動力の伝達停止から回転停止までの回転量（以下、惰性回転量、とも言う）を測定するものである。
また、基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作は、測定された惰性回転量が予め設定された回転量適正範囲内であるかどうかを判定し（具体的には後述の判定部１６（図２参照）にて判定する）、判定結果を表示部１８（図２参照。後述）に表示させることも含む。
【００３１】
但し、ドレッシング摩擦測定動作は、基板研磨装置１にて基板研磨を行なっていない状態で実行する。
複数の基板を連続して研磨する場合には、ドレッシング摩擦測定動作は、研磨処理と研磨処理との合間に行ってもよい。
【００３２】
基板研磨装置１は、惰性回転する研磨テーブル１０の上述の惰性回転量を測定するためのセンサ（テーブル回転量測定装置）を有している。
図２に示すように、研磨テーブル１０の回転駆動用のモータ１４（以下、テーブル回転用モータ、とも言う）はエンコーダ１４ｂ付きの電動モータである。エンコーダ１４ｂはテーブル回転量測定装置の一例である。エンコーダ１４ｂは、テーブル回転用モータ１４の出力軸１４ａ（以下、モータ出力軸、とも言う）のその軸線回り方向の角度（出力軸１４ａのその軸線回りの向き。以下、軸線回り角度、とも言う）を測定し、測定した軸線回り角度に応じた電気信号を出力する。
【００３３】
既述のように、電動モータ１４の出力軸１４ａは、研磨テーブル回転軸１３及び研磨テーブル１０と一体回転する。研磨テーブル１０が軸回り回転したとき、電動モータ１４の出力軸１４ａの軸線回り角度の変化量は、研磨テーブル１０及び研磨テーブル回転軸１３のその回転軸線回り方向の向き（角度。以下、軸線回り角度、とも言う）の変化量と一致する。
【００３４】
図１、図２に示す基板研磨装置１は、エンコーダ１４ｂによって測定される電動モータ１４の出力軸１４ａの軸線回り角度の変化から、研磨テーブル１０の惰性回転によるその回転軸線回りの角度変化量を算出する。この基板研磨装置１における研磨テーブル１０の惰性回転量は、具体的には、研磨テーブル１０の惰性回転によるその回転軸線（研磨テーブル回転軸１３の中心軸線と一致）回りの角度変化量である。研磨テーブル１０の惰性回転によるその回転軸線回りの角度変化量を、以下、惰性回転角度、とも言う。
なお、惰性回転角度の算出は、具体的には後述の判定部１６（図２参照）が行なう。
【００３５】
図２に示すように、基板研磨装置１は、研磨テーブル１０の惰性回転量と回転量適正範囲とを比較し、研磨テーブル１０の惰性回転量が回転量適正範囲内であるかどうかを判定する判定部１６も有している。
また、基板研磨装置１は、判定部１６に接続されたデータベース部１７、及び判定部１６での判定結果を表示する表示部１８も有している。
【００３６】
判定部１６には、エンコーダ１４ｂからテーブル回転用モータ１４の出力軸１４ａの軸回り角度に応じて出力された出力信号（電気信号）が入力される。
判定部１６は、エンコーダ１４ｂからの出力信号（電気信号）に基づいて研磨テーブル１０惰性回転量を割り出し、割り出した研磨テーブル１０惰性回転量と予め設定した回転量適正範囲とを比較し、研磨テーブル１０の惰性回転量が回転量適正範囲内であるかどうかを判定する。判定部１６は、研磨テーブル１０惰性回転量が回転量適正範囲内であるときに「正常」、研磨テーブル１０惰性回転量が回転量適正範囲外であるときに「異常」を判定する。
【００３７】
また、判定部１６は、研磨テーブル１０惰性回転量と回転量適正範囲との比較による判定結果を示す文字情報あるいは画像情報を表示部１８に表示させる。
判定部１６は、表示部１８の動作を制御する表示部動作制御部としても機能する。
なお、以下、判定部１６による「正常」の判定結果を示す表示部１８が表示する文字情報あるいは画像情報を正常判定情報、判定部１６による「異常」の判定結果を示す表示部１８が表示する文字情報あるいは画像情報を異常判定情報、とも言う。
【００３８】
図６、図７は、判定部１６の判定結果を表示する表示部１８の表示画面Ｓ１、Ｓ２の一例を示す。
図６、図７に示す表示画面Ｓ１、Ｓ２は、判定部１６の判定結果、回転量適正範囲、惰性回転量測定値のそれぞれを示す文字情報を表示する。すなわち、図６、図７に示す表示画面Ｓ１、Ｓ２は、判定部１６の判定結果を示す文字情報である判定結果情報５１、回転量適正範囲を示す文字情報である回転量適正範囲情報５２（図６、図７の「適正範囲」右側の数字表示）、惰性回転量測定値を示す文字情報である惰性回転量測定値情報５３（図６、図７の「測定値」右側の数字表示）を表示するものである。
【００３９】
図６は判定部１６での判定結果が「正常」である場合の画面表示例、図７は判定部１６での判定結果が「異常」である場合の画面表示例である。
図６の表示画面Ｓ１の判定結果情報５１は漢字の「正常」を形成する文字情報（正常判定情報）である。
図７の表示画面Ｓ２の判定結果情報５１は漢字の「異常」を形成する文字情報（異常判定情報）である。
【００４０】
表示部１８が表示する異常判定情報は、判定部１６が異常を判定したことを示す警報として機能する。
異常判定情報を表示する表示部１８は、判定部１６が異常を判定したときに警報を出力する警報出力部として機能する。
【００４１】
データベース部１７には、研磨テーブル１０に対するドレッシング部材３１の押圧力、研磨テーブル１０の回転速度（回転数）、ドレッシング部材３１の回転速度（回転数）、研磨パッド１１研磨面へのドレッシング液供給量、を含むドレッシング条件が複数格納されている。また、データベース部１７には、ドレッシング条件毎に設定された回転量適正範囲も格納されている。回転量適正範囲は、対応するドレッシング条件に紐付けられた状態でデータベース部１７に格納されている。回転量適正範囲は、ドレッシング条件に基づくドレッシング動作中に、研磨テーブルへの回転駆動力の伝達を停止したときの研磨テーブルの惰性回転量の適正範囲である。
なお、図１、図２の基板研磨装置１では、回転量適正範囲は、判定部１６に入力される惰性回転量が研磨テーブル１０の惰性回転角度であることに対応して、ドレッシング条件に応じて設定された惰性回転角度の適正範囲が採用される。
【００４２】
基板研磨装置１は、例えば基板研磨装置１のメンテナンスを行なう作業者（以下、保守作業者、とも言う）が図示略の操作盤を操作することで、ドレッシング摩擦測定動作におけるドレッシング動作のドレッシング条件に対応する回転量適正範囲をデータベース部１７から呼び出して判定部１６に入力可能に構成されている。判定部１６には、保守作業者が操作盤を操作して、ドレッシング摩擦測定動作におけるドレッシング動作のドレッシング条件に対応する回転量適正範囲をデータベース部１７から呼び出して入力する。判定部１６は、ドレッシング摩擦測定動作におけるドレッシング動作のドレッシング条件に対応する回転量適正範囲を研磨テーブル１０の惰性回転量との比較に使用する。
【００４３】
なお、基板研磨装置は、データベース部１７を有していない構成も採用可能である。
データベース部１７を有していない基板研磨装置は、例えば、保守作業者が操作盤を操作することで、ドレッシング摩擦測定動作におけるドレッシング動作のドレッシング条件に対応する回転量適正範囲を判定部１６に入力可能な構成を採用する。
【００４４】
基板研磨装置１は、ドレッシング摩擦測定動作においてその開始（ドレッシング動作の開始）から予め設定した長さの時間（以下、ドレッシング所要時間、とも言う）の終了まで、テーブル回転用モータ１４から研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達を継続する。また、基板研磨装置１は、ドレッシング動作の開始からドレッシング所要時間が経過した後に研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達を自動で停止する。
ドレッシング所要時間は、ドレッシング条件に応じて、研磨パッド１１研磨面の平坦化及び目立て（ドレッシング）を充分に行える長さに設定される。
【００４５】
基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作は、ドレッシング動作の開始からドレッシング所要時間が経過し、かつ研磨テーブル１０がその回転方向において予め設定した軸回り角度（軸回り方向の所定角度。図４、図５の回転力伝達停止位置１１Ａを参照）となったときに、研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達を自動で停止し、研磨テーブル１０を惰性回転させる。テーブル回転用モータ１４から研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達は、必ずしもドレッシング所要時間が経過した時点で停止せず、ドレッシング所要時間が経過しかつ研磨テーブル１０がその回転方向において予め設定した軸回り角度となったときに停止する。
ドレッシング条件のうち、研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達を停止すること以外の、ドレッシング部材３１の回転、研磨パッド１１研磨面へのドレッシング液供給等は、ドレッシング所要時間が経過した後も継続される。
【００４６】
図１、図２に示す基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作は、具体的には、ドレッシング動作の開始からドレッシング所要時間が経過し、かつ研磨テーブル１０がその回転方向において予め設定した軸回り角度となったときに、回転駆動中のテーブル回転用モータ１４の駆動力を自動でオンからオフに切り換えて研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達を停止し、研磨テーブル１０を惰性回転させる。
研磨テーブル１０が惰性回転するとき、研磨テーブル回転軸１３、ジョイント部品１５、モータ出力軸１４ａ、及びモータ出力軸１４ａに一体的に組み立てられた回転子（モータ１４の回転子）も、研磨テーブル１０と一体的に回転する。
【００４７】
惰性回転する研磨テーブル１０は、研磨パッド１１とドレッシング部材３１との間の摩擦力等に起因する回転抵抗によって回転速度が次第に低下して回転停止に至る。
ドレッシング摩擦測定動作において惰性回転する研磨テーブル１０には、研磨パッド１１とドレッシング部材３１との間の摩擦力以外に、モータ１４の回転子及び出力軸１４ａの回転抵抗、モータ１４の回転駆動力を研磨テーブル１０に伝達する回転駆動力伝達部材（図２では研磨テーブル回転軸１３、ジョイント部品１５）の回転抵抗、研磨テーブル自体の回転抵抗、に起因する回転抵抗（以下、固有回転抵抗、とも言う）も作用する。
【００４８】
固有回転抵抗は、研磨パッド１１とドレッシング部材３１との間の摩擦の影響を受けない。
ドレッシング摩擦測定動作において、研磨テーブル１０の惰性回転量は、研磨パッド１１とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさに左右される。
【００４９】
モータ１４から研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達を停止したときの研磨テーブル１０のその回転方向における位置を、以下、回転力伝達停止位置１１Ａ（図４、図５参照）とも言う。
また、惰性回転する研磨テーブル１０の回転が停止したときの位置（回転方向の位置）を、以下、惰性回転停止位置、とも言う（例えば図５に示す惰性回転停止位置１１Ｂ）。
【００５０】
図１、図２の基板研磨装置１における研磨テーブル１０惰性回転量は、具体的には、惰性回転する研磨テーブル１０の回転力伝達停止位置１１Ａから惰性回転停止位置１１Ｂに至るまでの回転角度Δθ（図５参照。惰性回転角度）である。
研磨テーブル１０の惰性回転は、回転力伝達停止位置１１Ａから１回又は複数回回転（惰性回転）して惰性回転停止位置１１Ｂに至るケース、及び惰性回転角度Δθが３６０度未満であるケース、の両方とも採り得る。
【００５１】
図６、図７に示す表示画面Ｓ１、Ｓ２の惰性回転量測定値情報５３は、回転角度Δθに対応する角度（ｒａｄ。ｒａｄ：ラジアン）を示す数字表示（文字表示）である。
図６、図７に示す表示画面Ｓ１、Ｓ２の回転量適正範囲情報５２は、回転量適正範囲の下限及び上限の角度（ｒａｄ。ｒａｄ：ラジアン）を示す数字表示（文字表示）である。図６、図７に示す表示画面Ｓ１、Ｓ２の回転量適正範囲情報５２の「−」の左側の数字表示は回転量適正範囲の下限値（図６、図７では下限角度）、「−」の右側の数字表示は回転量適正範囲の上限値（図６、図７では上限角度）を示す。
【００５２】
研磨パッド１１またはドレッシング部材３１の交換、あるいはドレッシング装置３０の分解、再組み立て、を含むメンテナンスを行なったときには、メンテナンス完了後に、基板研磨装置１に、操作盤の操作によって摩擦測定動作指令を入力し、ドレッシング摩擦測定動作を実行させる。基板研磨装置１は、ドレッシング摩擦測定動作にて、判定部１６での判定結果を示す文字情報あるいは画像情報を表示部１８に表示させる。
【００５３】
ドレッシング摩擦測定動作では、研磨テーブル１０の惰性回転量を、研磨テーブル１０とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさとして測定する。
ドレッシング摩擦測定動作による研磨テーブル１０惰性回転量が回転量適正範囲内であれば、研磨テーブル１０とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさは適正範囲（正常なドレッシングにおける研磨テーブル１０とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさの範囲。以下同）にある。
基板研磨装置１の保守作業者は、表示部１８が正常判定情報を表示したことを目視把握したとき、例えば、基板研磨装置１の操作盤を操作して研磨動作開始指令を入力し、基板研磨装置１に基板研磨動作を開始させる。
【００５４】
ドレッシング摩擦測定動作による研磨テーブル１０惰性回転量が回転量適正範囲外であるとき、研磨テーブル１０とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさは適正範囲を逸脱している。ドレッシング摩擦測定動作の結果、表示部１８が異常判定情報を表示したときには、ドレッシング摩擦測定動作での研磨テーブル１０の惰性回転量が回転量適正範囲よりも大きいかあるいは小さい状態にある。このとき、研磨テーブル１０惰性回転量が回転量適正範囲外である原因がメンテナンス作業ミス（研磨パッド１１またはドレッシング部材３１の交換、あるいはドレッシング装置３０の分解、再組み立て、を含むメンテナンスの作業ミス）である可能性が高い。
【００５５】
保守作業者は、表示部１８が異常判定情報を表示したことを目視把握したときその原因を調べる。保守作業者は、表示部１８が異常判定情報を表示した原因がメンテナンス作業ミスであるものと把握したとき、メンテナンス作業ミスによる不適正箇所の適正化を図るべく、メンテナンス作業のやり直し等の調整作業を行なう。
【００５６】
研磨パッド１１またはドレッシング部材３１の交換、あるいは、ドレッサ駆動軸３２に対するドレッシング部材３１の脱着を伴うドレッシング装置３０のメンテナンス、といったメンテナンスの作業ミスは、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力に影響を与えるものが多い。
【００５７】
例えば、研磨パッド１１の交換は、具体的には、ターンテーブル１２上に貼付されている研磨パッド１１をターンテーブル１２から除去し、別の研磨パッド１１をターンテーブル１２上に貼付する貼り替え作業によって実現される。この貼り替え作業によってターンテーブル１２上に貼付した研磨パッド１１とターンテーブル１２上面との間に空気が残留し、研磨パッド１１の一部にターンテーブル１２上面からの浮き上がり箇所が存在していると、基板研磨の精度、平坦化に影響する。研磨パッド１１はターンテーブル１２に浮き上がり箇所が存在しないように貼付する必要がある。研磨パッド１１の貼り替えによる浮き上がり箇所の存在は、メンテナンス作業ミスの一例である。
研磨パッド１１の浮き上がり箇所の存在は、ドレッシング動作における研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力を増大させる。
【００５８】
ドレッシング部材３１の交換は、例えば、作業者の手作業によって、ドレッサ駆動軸３２から既設のドレッシング部材３１（例えば摩耗進行によってドレッシング性能が劣化したドレッシング部材）を取り外し、ドレッサ駆動軸３２に新品のドレッシング部材３１を取り付ける作業である。この交換作業にて生じ得るメンテナンス作業ミスは、ドレッシング部材３１をドレッサ駆動軸３２にその中心軸線に対して傾斜させて取り付けてしまったり（以下、ドレッサ斜め取り付け、とも言う）、ドレッシング面の性状が使用予定のものと異なるドレッシング部材３１を取り付けてしまう（ドレッサ取り違え）等を挙げることができる。
【００５９】
ドレッサ斜め取り付け及びドレッサ取り違えは、ドレッシング部材３１の交換作業に限定されず、例えば、ドレッシング装置３０のそのメンテナンスのための分解、再組み立て等の際に、ドレッサ駆動軸３２に対するドレッシング部材３１の脱着を行なう場合にも生じ得る。
ドレッサ斜め取り付け、ドレッサ取り違え、といったメンテナンス作業ミスは、ドレッシング動作における研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさを適正範囲から逸脱させる（適正範囲よりも大きくあるいは小さくする）原因となる。
【００６０】
基板研磨装置１の保守作業者は、基板研磨装置１のメンテナンス後に、操作盤（図示略）から摩擦測定動作指令を入力して基板研磨装置１にレッシング摩擦測定動作を実行させること（ドレッシング摩擦測定方法）で、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさが適正範囲から逸脱している場合を検出できる。
図６、図７に示すように、表示部１８が表示する表示画面Ｓ１、Ｓ２は回転量適正範囲情報５２及び惰性回転量測定値情報５３を表示する。このため、保守作業者は、表示部１８の表示画面Ｓ１、Ｓ２の回転量適正範囲情報５２及び惰性回転量測定値情報５３から、惰性回転量（惰性回転量測定値）の回転量適正範囲に対する大小を把握できる。惰性回転量（惰性回転量測定値）の回転量適正範囲に対する大小の把握は、メンテナンス作業ミスによる不適正箇所（以下、メンテナンス不適正箇所、とも言う）の存在位置の目安となる。このため、惰性回転量の回転量適正範囲に対する大小の把握は、メンテナンス不適正箇所の発見、確認の所要時間の短縮に有効に寄与する。
【００６１】
図７は、ドレッシング摩擦測定動作にて測定した惰性回転量が回転量適正範囲の下限値よりも小さい場合の例を示す。ドレッシング摩擦測定動作にて測定した惰性回転量が回転量適正範囲の下限値よりも小さい場合は、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力が必要以上に大きくなっている。この場合は、例えば、研磨パッド１１の浮き上がり箇所の存在等、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力を大きくするメンテナンス不適正箇所が存在する可能性が高い。
逆に、表示部１８の表示画面から、ドレッシング摩擦測定動作にて測定した惰性回転量が回転量適正範囲の上限値よりも大きいことが把握される場合は、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさが適正範囲よりも小さくなっている。この場合は、例えば、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力を小さくするメンテナンス不適正箇所が存在する可能性が高い。
【００６２】
既述のように、保守作業者は、表示部１８が異常判定情報を表示した原因がメンテナンス作業ミスであるものと把握したとき、メンテナンス作業ミスによる不適正箇所の適正化を図るべく、メンテナンス作業のやり直し等の調整作業を行なう。
【００６３】
保守作業者は、メンテナンスのやり直し等の調整作業を行なった後、基板研磨装置１の操作盤から摩擦測定動作指令を入力して基板研磨装置１にドレッシング摩擦測定動作を実行させる。このドレッシング摩擦測定動作の結果、表示部１８に正常判定情報が表示されれば、メンテナンスが正常に完了している。
【００６４】
一方、ドレッシング摩擦測定動作の結果、表示部１８に異常判定情報が表示された場合は、メンテナンス作業ミスによる不適正箇所が存在する。この場合、保守作業者は、再び、メンテナンスのやり直し等の調整作業を行なった後、基板研磨装置１の操作盤から摩擦測定動作指令を入力して基板研磨装置１にドレッシング摩擦測定動作を実行させる。
ドレッシング摩擦測定動作にて表示部１８に正常判定情報が表示されるまで、メンテナンスのやり直し等の調整作業、及び基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作、を繰り返し実行することで不適正箇所を解消して適正なメンテナンス状態を確保できる。
【００６５】
基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作においては、ドレッサ揺動軸３４の軸回り回転によるドレッサ揺動アーム３３の揺動（旋回）、それによるドレッシング部材３１の研磨パッド１１の略径方向への往復移動を継続する。
ドレッシング摩擦測定動作において、ドレッシング部材３１が研磨パッド１１研磨面の外周部に位置するときは、ドレッシング部材３１が研磨パッド１１研磨面の中央部に位置するときに比べて、ドレッシング部材３１と研磨パッド１１との摺接による研磨テーブル１０の回転エネルギーの減少が大きい。
【００６６】
研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力は、研磨パッド１１の研磨性能及びドレッシング部材３１のドレッシング性能の両方が適正に確保されている場合であっても、研磨パッド１１研磨面及びドレッシング部材３１ドレッシング面の摩耗程度に応じて変動する。その結果、研磨テーブル１０の惰性回転量も変動する。
研磨テーブル１０の回転量適正範囲は、研磨パッド１１の研磨性能及びドレッシング部材３１のドレッシング性能の両方が適正に確保され研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさが適切範囲である場合における研磨テーブル１０の惰性回転量（適正惰性回転量）の範囲である。但し、研磨テーブル１０の回転量適正範囲は、研磨パッド１１の研磨性能及びドレッシング部材３１のドレッシング性能の両方が適正に確保されている場合における研磨パッド１１研磨面及びドレッシング部材３１ドレッシング面の摩耗程度を考慮して設定される。
【００６７】
また、研磨テーブル１０の回転量適正範囲は、所定時間（例えば１分間）におけるドレッサ揺動アーム３３の揺動（旋回）によるドレッシング部材３１の往復回数を含むドレッシング条件も考慮して設定される。この回転量適正範囲の最小値は、研磨テーブル１０の惰性回転の開始時（研磨テーブル１０への回転駆動力の伝達停止時。以下同）、及び惰性回転する研磨テーブル１０の回転停止時に、ドレッシング部材３１が研磨パッド１１研磨面の外周部に位置する場合の研磨テーブル１０の適正惰性回転量である。一方、回転量適正範囲の最大値は、研磨テーブル１０の惰性回転の開始時及び惰性回転する研磨テーブル１０の回転停止時に、ドレッシング部材３１が研磨パッド１１研磨面の中央部に位置する場合の研磨テーブル１０の適正惰性回転量である。
【００６８】
基板研磨装置１は、操作盤からの指令入力によって、判定部１６に入力する回転量適正範囲の最小値、最大値を調整可能である。
判定部１６に入力する回転量適正範囲は、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさが適切範囲外にある場合の検出精度の担保のため、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさが適切範囲である場合の研磨テーブル１０の回転量適正範囲に比べて若干狭くなるように、操作盤からの指令入力によって最小値及び最大値の一方または両方を調整しても良い。以下、この調整のための操作盤の操作を「回転量適正値調整操作」、回転量適正値調整操作を行なって判定部１６に設定した回転量適正範囲を「調整設定回転量適正範囲」、とも言う。
調整設定回転量適正範囲は、例えばドレッシング摩擦測定動作による研磨テーブル１０の惰性回転量の気温に応じた変動等の諸要因による測定誤差に鑑みて、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさが適切範囲外にある場合を確実に検出するべく、回転量適正範囲に所定の安全率を確保して設定する。
【００６９】
判定部１６に調整設定回転量適正範囲を設定してドレッシング摩擦測定動作を実行させた基板研磨装置１は、ドレッシング摩擦測定動作にて測定した研磨テーブル１０の惰性回転量が調整設定回転量適正範囲内であるときに表示部１８に正常判定情報、測定した研磨テーブル１０の惰性回転量が調整設定回転量適正範囲外であるときに表示部１８に異常判定情報を表示する。
既述のように、調整設定回転量適正範囲は、ドレッシング摩擦測定動作時の気温等の誤差要因に鑑みて、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさが適切範囲外にある場合を確実に検出するべく安全率を確保して設定されるため、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさが適切範囲である場合に対応する研磨テーブル１０の回転量適正範囲に比べて若干狭い。判定部１６に調整設定回転量適正範囲を設定した基板研磨装置１は、ドレッシング摩擦測定動作にて測定した研磨テーブル１０の惰性回転量が、調整前の回転量適正範囲内かつ調整設定回転量適正範囲外にある場合をも確実に検出（表示部１８に異常判定情報を表示する）できる。
【００７０】
なお、基板研磨装置１のデータベース部１７は、研磨パッド１１研磨面とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさが適切範囲である場合に対応する回転量適正範囲に代えて、例えば、回転量適正範囲に基板研磨装置１の使用環境の適正気温範囲等の誤差要因をカバーする安全率を考慮して定めた惰性回転量の適正範囲（以下、調整済み回転量適正範囲、とも言う）をドレッシング条件に紐付けて格納した構成も採用可能である。
調整済み回転量適正範囲をドレッシング条件に紐付けて格納したデータベース部１７を有する基板研磨装置は、回転量適正値調整操作を省略できるため、回転量適正値調整操作を可能にするための機能を有していなくも良い。但し、調整済み回転量適正範囲をドレッシング条件に紐付けて格納したデータベース部１７を有する基板研磨装置についても、ドレッシング摩擦測定動作前に回転量適正値調整操作を行えるように、回転量適正値調整操作を可能とするための機能を有する構成を採用できる。
【００７１】
基板研磨装置１のドレッシング部材３１と研磨パッド１１との間の摩擦力の大きさを測定するドレッシング摩擦測定方法は、ドレッシング摩擦測定動作における研磨テーブル１０の惰性回転量の測定を利用するものである。
【００７２】
基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作によって実現されるドレッシング摩擦測定方法は、基板研磨装置１に設けられたテーブル回転量測定装置（図２ではエンコーダ１４ｂ）によって測定した研磨テーブル１０の惰性回転量を利用するものである。
ドレッシング摩擦測定方法を実現するための基板研磨装置１は、２部品構造のドレッサ駆動軸を必要とせず、単純構造で強度確保が容易なドレッサ駆動軸３２を採用できる。
研磨テーブル１０惰性回転量の測定のためのテーブル回転量測定装置は、既述のエンコーダ１４ｂのように、モータ１４（図２参照）から研磨テーブル１０への回転駆動力伝達のための部材にその強度に影響を与える加工等を行なうことなく、研磨テーブル１０の惰性回転量を測定可能なものを採用できる。
研磨パッド１１とドレッシング部材３１との間の摩擦力を研磨テーブル１０惰性回転量によって測定する基板研磨装置１は、モータ１４（図２参照）から研磨テーブル１０への回転駆動力伝達のための構造、及びモータからドレッシング部材３１への回転駆動力伝達のための構造、に実質的に影響を与えることなく研磨パッド１１とドレッシング部材３１との間の摩擦力の大きさを測定できる。
【００７３】
基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作は、メンテナンス後の研磨パッド１１とドレッシング部材３１との間の摩擦力測定のみならず、メンテナンス前の研磨パッド１１とドレッシング部材３１との間の摩擦力測定にも利用できる。
メンテナンス前の基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作は、例えば、研磨パッド１１及びドレッシング部材３１の一方または両方の交換要否判断等に利用できる。
【００７４】
メンテナンス前の基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作を、以下、メンテナンス前摩擦測定動作、とも言う。
基板研磨装置１は、例えば、操作盤（図示略）からの摩擦測定動作指令の入力によってメンテナンス前摩擦測定動作を実行する構成を採用できる。
【００７５】
メンテナンス前摩擦測定動作は、メンテナンス後のドレッシング摩擦測定動作（以下、メンテナンス後摩擦測定動作、とも言う）と同様の動作である。また、メンテナンス前摩擦測定動作は、基板研磨装置１のドレッシング摩擦測定動作は、測定された惰性回転量が予め設定された回転量適正範囲内であるかどうかを判定部１６（図２参照）にて判定し、判定結果を表示部１８（図２参照）に表示させることもメンテナンス後摩擦測定動作と同様である。
なお、メンテナンス前摩擦測定動作は、基板研磨装置１にて基板研磨を行なっていない状態で実行する。
【００７６】
メンテナンス前摩擦測定動作の結果、表示部１８が表示する表示画面は、例えば、判定結果、回転量適正範囲、惰性回転量測定値のそれぞれを示す文字情報を表示できるものである。
ここで示す実施形態の基板研磨装置１のメンテナンス前摩擦測定動作の判定結果を表示する表示部１８の表示画面は、メンテナンス後摩擦測定動作の場合と同様の表示画面（例えば図６、図７）である。この表示画面は、判定結果情報、回転量適正範囲情報（図６、図７では「適正範囲」右側の数値表示）、惰性回転量測定値情報（図６、図７では「測定値」右側の数値表示）を表示できるものである。
【００７７】
研磨パッド１１の研磨面及びドレッシング部材３１のドレッシング面の一方または両方の摩耗進行により、メンテナンス前摩擦測定動作における研磨パッド１１とドレッシング部材３１との間の摩擦力が小さく、惰性回転量（惰性回転量測定値）が回転量適正範囲に比べて大きくなったときには、判定部１６の表示画面に「異常」を示す判定結果情報５１が表示される。メンテナンス前摩擦測定動作の結果、判定部１６の表示画面に「異常」を示す判定結果情報５１が表示された場合は、保守作業者が研磨パッド１１研磨面及びドレッシング部材３１ドレッシング面の状態を調べた上、研磨パッド１１及びドレッシング部材３１のうち交換が必要と判断されるものを交換する（メンテナンス作業を行なう）。
【００７８】
メンテナンス前摩擦測定動作の結果、判定部１６の表示画面に「正常」を示す判定結果情報５１が表示された場合（図６参照）は、研磨パッド１１及びドレッシング部材３１の交換を行なわない。
但し、この場合、例えば、惰性回転量（惰性回転量測定値）が回転量適正範囲の上限値に非常に近いときに、保守作業者の判断により、研磨パッド１１及びドレッシング部材３１のうち交換が必要と判断されるものを交換する（メンテナンス作業を行なう）ことも可能である。
【００７９】
従来、研磨パッドは、研磨回数（研磨した基板の枚数）及びドレッシング回数のそれぞれについて交換目安回数を設定し、研磨回数及びドレッシング回数の一方が交換目安回数に達したときを交換の目安とすることが行なわれていた。ドレッシング部材は、交換目安のドレッシング回数を設定して使用することが行なわれていた。
しかしながら、実際の基板研磨装置での繰り返し使用による研磨パッドやドレッシング部材の摩耗は、目安回数の設定の前提となる想定よりも進行が遅い場合がある。この場合、充分に使用可能な状態の研磨パッドやドレッシング部材を交換するケースも生じる。
これに対して、基板研磨装置のメンテナンス前摩擦測定動作は、惰性回転量（惰性回転量測定値）と回転量適正範囲との比較によって、研磨パッド１１研磨面及びドレッシング部材３１ドレッシング面の実際の摩耗進行程度に応じた交換要否の判断が可能になる。このため、メンテナンス前摩擦測定動作を行なった場合は、充分に使用可能な状態の研磨パッドやドレッシング部材を交換してしまうケースを抑制できる。
【００８０】
基板研磨装置１は、操作盤（図示略）からの摩擦測定動作指令の入力によってメンテナンス前摩擦測定動作を実行する構成に限定されず、例えば、研磨、ドレッシングを含む運転スケジュールに基づいてメンテナンス前摩擦測定動作を自動で開始、実行する構成も採用可能である。
操作盤から摩擦測定動作指令を入力して基板研磨装置１にメンテナンス前摩擦測定動作を実行させること、及び基板研磨装置１がその運転スケジュールに基づいてメンテナンス前摩擦測定動作を自動で実行することは、研磨パッド及びドレッシング部材のその摩耗進行に応じた交換タイミングの最適化に有効に寄与する保守方法（基板研磨装置の保守方法）として機能する。
なお、メンテナンス前摩擦測定動作は、基板研磨装置１の運転スケジュールに基づく自動実行の場合も、基板研磨装置１にて基板研磨を行なっていない状態で実行する。
【００８１】
基板研磨装置１は、例えば、メンテナンス前摩擦測定動作を実行し、その結果、表示部１８に異常判定情報が表示された場合に保守作業者によるメンテナンスを行なった後、操作盤からの摩擦測定動作指令の入力によってメンテナンス後摩擦測定動作を実行させる、という保守方法を採用可能である。
メンテナンス前摩擦測定動作は、操作盤からの摩擦測定動作指令の入力による実行、運転スケジュールに基づく自動実行のいずれであっても良い。
【００８２】
以上、本発明を最良の形態に基づいて説明してきたが、本発明は上述の最良の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
基板研磨装置の保守方法は、メンテナンス前摩擦測定動作及びメンテナンス後摩擦測定動作のうちメンテナンス前摩擦測定動作のみを行なう構成、メンテナンス前摩擦測定動作及びメンテナンス後摩擦測定動作の両方を行なう構成のいずれも採用可能である。
判定部１６が異常を判定したことを保守作業者へ報知するための警報は表示部１８での異常判定情報の表示に限定されず、例えば、スピーカ（警報出力部）からの音声出力、回転灯（警報出力部）の回転点灯等であっても良い。
【符号の説明】
【００８３】
１…基板研磨装置、１０…研磨テーブル、１１…研磨パッド、１２…ターンテーブル、１３…回転軸、１４…モータ（テーブル回転用モータ）、１４ａ…（モータの）出力軸、１４ｂ…テーブル回転量測定装置（エンコーダ）、１５…ジョイント部、１６…判定部、１７…表示部、３０…ドレッシング装置、３１…ドレッシング部材、３２…ドレッサ駆動軸、３３…ドレッサ揺動アーム、３４…ドレッサ駆動軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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