(57)【要約】【課題】洗浄液の再生効率の向上を図ることができる洗浄液蒸留装置、および、該洗浄液蒸留装置を備えた洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄液を気化して洗浄蒸気を生成する蒸発器４１と、該蒸発器４１により気化された洗浄蒸気を凝縮して洗浄液を再生する凝縮器４２と、蒸発器４１の蒸気送出口４７と凝縮器４２の蒸気受入口５２とを連通し、洗浄蒸気を蒸発器４１から凝縮器４２へ供給する蒸気供給路４３と、を備え、凝縮器４２の蒸気受入口５２を蒸発器４１の蒸気送出口４７よりも上方に配置した。【選択図】図１３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を気化して洗浄蒸気を生成する蒸発器と、
該蒸発器により気化された洗浄蒸気を凝縮して洗浄液を再生する凝縮器と、
前記蒸発器の蒸気送出口と前記凝縮器の蒸気受入口とを連通し、洗浄蒸気を前記蒸発器から前記凝縮器へ供給する蒸気供給路と、を備え、
前記凝縮器の蒸気受入口を前記蒸発器の蒸気送出口よりも上方に配置したことを特徴とする洗浄液蒸留装置。
【請求項２】
前記請求項１に記載の洗浄液蒸留装置と、該洗浄液蒸留装置にて生成された洗浄液または洗浄蒸気の少なくともいずれかが供給される洗浄槽と、を備え、該洗浄槽内の被処理物を洗浄することを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、油脂系の汚れ成分等が付着した機械部品やメッキ部品等の被処理物を洗浄する洗浄液を蒸留する洗浄液蒸留装置、および、該洗浄液蒸留装置を備えた洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属製機械部品、メッキ部品、電子部品等の各種部品には、その製造工程や組立工程等において、切削油等の工作油脂、フラックス、塵埃等をはじめとして様々な汚れ成分が付着する。このような汚れ成分が付着した機械部品や電子部品等の被処理物を洗浄する洗浄装置としては、被処理物の洗浄に使用された洗浄液を再度使用できるように、汚れ成分を含む洗浄液を蒸留する洗浄液蒸留装置（洗浄液再生装置）を備えたものが開発されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−０５１５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、洗浄液蒸留装置においては、洗浄液の再生効率の向上を図ることが望まれている。
【０００５】
本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、洗浄液の再生効率の向上を図ることができる洗浄液蒸留装置、および、該洗浄液蒸留装置を備えた洗浄装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載のものは、洗浄液を気化して洗浄蒸気を生成する蒸発器と、
該蒸発器により気化された洗浄蒸気を凝縮して洗浄液を再生する凝縮器と、
前記蒸発器の蒸気送出口と前記凝縮器の蒸気受入口とを連通し、洗浄蒸気を前記蒸発器から前記凝縮器へ供給する蒸気供給路と、を備え、
前記凝縮器の蒸気受入口を前記蒸発器の蒸気送出口よりも上方に配置したことを特徴とする洗浄液蒸留装置である。
【０００７】
請求項２に記載のものは、前記請求項１に記載の洗浄液蒸留装置と、該洗浄液蒸留装置にて生成された洗浄液または洗浄蒸気の少なくともいずれかが供給される洗浄槽と、を備え、該洗浄槽内の被処理物を洗浄することを特徴とする洗浄装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、以下のような優れた効果を奏する。
請求項１および請求項２に記載の発明によれば、蒸気供給路内で凝縮した洗浄液を自重により蒸発器へ戻し、蒸発器内で気化し直して再び凝縮器へ送出することができる。したがって、洗浄液が蒸気供給路内に滞留することを抑制することができ、洗浄液の再生効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】洗浄装置の構成を説明する概略図である。
【図２】洗浄装置の制御系統を説明するブロック図である。
【図３】洗浄液蒸留装置の概略図である。
【図４】洗浄装置の動作のタイミングチャートである。
【図５】蒸留処理および洗浄処理の流れを示す説明図である。
【図６】蒸留処理を実行する洗浄装置の部分概略図である。
【図７】浸漬洗浄工程において洗浄液を洗浄槽へ供給する洗浄装置の概略図である。
【図８】浸漬洗浄工程において浸漬洗浄を実行する洗浄装置の概略図である。
【図９】排液工程を実行する洗浄装置の概略図である。
【図１０】蒸気洗浄工程を実行する洗浄装置の概略図である。
【図１１】減圧乾燥工程を実行する洗浄装置の概略図である。
【図１２】蒸気供給路を冷却する供給路冷却手段を備えた洗浄液蒸留装置の概略図である。
【図１３】凝縮器の蒸気受入口を蒸発器の蒸気送出口よりも上方に配置した洗浄液蒸留装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。
洗浄装置１は、洗浄液および洗浄蒸気（詳しくは、洗浄液を気化して生成された洗浄蒸気）を用いて、工作油脂等の汚れ成分が付着した機械部品や電子部品等の被処理物Ｗを洗浄する装置であり、図１および図２に示すように、被処理物Ｗを収納可能な洗浄槽２と、洗浄液を貯留する洗浄液タンク３と、洗浄液を蒸留する洗浄液蒸留装置４と、洗浄装置１内を減圧可能な真空ポンプ５と、当該洗浄装置１を制御する制御装置６と、当該洗浄装置１の運転を操作するための操作パネル７とを備えて構成されている。なお、洗浄液（洗浄溶剤）としては、炭化水素系溶剤（第４類第２石油類及び第４類第３石油類；パラフィン系、ナフテン系）、塩素系溶剤（トリクロロエチレン、テトラクロロエチレン）、臭素系溶剤（ノルマルプロピルブロマイド）、フッ素系溶剤（ＨＦＣ、ＨＦＥ、ＨＣＦＣ）等が挙げられるが、環境保護の観点から炭化水素系が好ましい。
【００１１】
洗浄槽２は、上部が開閉可能な中空箱体状の耐圧容器であり、当該洗浄槽２の上部開口を開閉蓋１１で開閉して被処理物Ｗ（詳しくは、被処理物Ｗを入れたバスケット１０）を当該洗浄槽２内に収納したり取出したりするように構成されている。また、洗浄槽２の上部には、開閉蓋１１の閉状態を検出可能な蓋開閉検出スイッチ１２（図２参照）を備え、洗浄槽２の側部には、当該洗浄槽２内に貯留された洗浄液の液面を検出可能な洗浄槽レベルセンサ１３と、洗浄液タンク３から供給される洗浄液を受け入れる洗浄液供給口１４とを備えている。そして、該洗浄液供給口１４と洗浄液タンク３とを洗浄液供給路１５により連通可能とし、洗浄液供給路１５の途中には洗浄液供給バルブ１６を備えている。
【００１２】
また、洗浄槽２の底部を一側から他側へ向けて下り傾斜させ、該底部には、洗浄槽２内の洗浄液や被処理物Ｗに超音波振動を与える超音波発生装置１８を備えている。さらに、底部の傾斜下端側には洗浄液排出口１９を開設し、該洗浄液排出口１９と洗浄液タンク３とを洗浄液排出路２０により連通可能とし、該洗浄液排出路２０の途中には洗浄液排出バルブ２１を備えている。
【００１３】
洗浄液タンク３は、洗浄処理に使用する洗浄液を貯留し、洗浄処理に使用した洗浄液を回収するタンクである。そして、洗浄液タンク３の側部には、当該洗浄液タンク３内に貯留された洗浄液の液面を検出可能な洗浄液タンクレベルセンサ２５を備え、洗浄液タンク３の下部には、当該洗浄液タンク３から洗浄液を洗浄液蒸留装置４へ送出する洗浄液送出口２６を開設し、該洗浄液送出口２６と洗浄液蒸留装置４とを蒸留導入路２７により連通している。
【００１４】
また、洗浄液タンク３と洗浄槽２とを連通可能な洗浄液排出路２０のうち、洗浄液排出バルブ２１よりも上流側（洗浄槽２側）から分岐排出路３０を分岐して、該分岐排出路３０の下流端を洗浄液タンク３へ連通し、分岐排出路３０の途中には、洗浄液タンク３とは別個に洗浄液を貯留可能なバッファタンク３１を備え、当該バッファタンク３１内に貯留された洗浄液の液面をバッファタンクレベルセンサ３２により検出可能としている。そして、分岐排出路３０のうちバッファタンク３１よりも上流側にはバッファ導入バルブ３３を備え、バッファタンク３１よりも下流側（言い換えると、バッファタンク３１と洗浄液タンク３との間）にはバッファ排出バルブ３４を備えている。
【００１５】
洗浄液蒸留装置４は、洗浄液を気化して洗浄蒸気を生成する蒸発器（蒸留釜）４１と、該蒸発器４１により生成された洗浄蒸気を凝縮して洗浄液を再生する凝縮器４２と、洗浄蒸気を蒸発器４１から凝縮器４２へ供給する蒸気供給路４３とを備えて構成されている。蒸発器４１は、耐熱・耐圧性を有して内部に洗浄液を導入可能な蒸発器本体４５と、該蒸発器本体４５を加熱する加熱ユニット４６とを備えて構成されている。そして、蒸発器本体４５の下部に蒸留導入路２７の下流端を接続して洗浄液タンク３から洗浄液を導入可能とし、蒸発器本体４５の上部には蒸気送出口４７を開設し（図３参照）、洗浄液を加熱ユニット４６により加熱して生成された洗浄蒸気のうち、蒸発器本体４５内の上部に上昇してきた蒸気（言い換えると、汚れ成分等の不純物が含まれずに比重が蒸発器本体４５内において比較的軽い蒸気）を蒸気送出口４７から送出可能としている。また、加熱ユニット４６には、熱媒油（熱媒流体）が循環する循環路（図示せず）と、該循環路に接続された熱媒油循環ポンプ４９（図２参照）と、熱媒油を加熱する熱媒油ヒーター５０（図２参照）とを備え、加熱状態の熱媒油を熱媒油循環ポンプ４９の駆動により循環路内に循環させて蒸発器本体４５を加熱し、該蒸発器本体４５内の洗浄液を気化（蒸発）させるように構成されている。
【００１６】
凝縮器４２は、内部に冷却水を通す冷却管が挿通された熱交換器であり、蒸発器４１から当該凝縮器４２内に受け入れた洗浄蒸気を冷却管により冷却して凝縮することにより、洗浄液を再生するように構成されている。また、凝縮器４２の上部には蒸気受入口５２を開設し（図３参照）、該蒸気受入口５２と蒸発器４１の蒸気送出口４７とを蒸気供給路４３により連通し、蒸気送出口４７から送出された洗浄蒸気が蒸気受入口５２を通って凝縮器４２内に流入可能としている。そして、蒸気供給路４３には洗浄蒸気供給バルブ５３を備え、該洗浄蒸気供給バルブ５３を開閉操作することにより洗浄蒸気の凝縮器４２への供給を許容したり停止したりするように構成されている。さらに、図１に示すように、凝縮器４２の下部とバッファタンク３１との間を洗浄液回収路５４により連通し、凝縮器４２内で凝縮して再生された洗浄液を洗浄液回収路５４へ通してバッファタンク３１へ回収するように構成されている。
【００１７】
そして、洗浄液蒸留装置４は、蒸気供給路４３を熱伝導率が比較的良好な金属製配管で構成し、該蒸気供給路４３の外周を断熱材等で被覆せずに露出させて、洗浄装置１内の雰囲気との間で熱交換を行えるように構成されている。さらに、図３に示すように、蒸気供給路４３のうち蒸気受入口５２側となる下流部を縦向きに延在する姿勢（言い換えると、凝縮器４２側に向かって下る姿勢）に設定している。また、蒸気供給路４３を蒸気送出口４７よりも拡径することにより、蒸気供給路４３の開口断面積を蒸気送出口４７の開口断面積よりも広く設定して、洗浄蒸気の蒸気供給路４３内での流速が蒸気送出口４７の通過時の流速よりも遅くなるように構成されている。さらに、蒸気供給路４３の上流側（蒸発器４１側）のうち、蒸気送出口４７と洗浄蒸気供給バルブ５３との間から蒸気導入路５６を分岐して下方へ延設し、該蒸気導入路５６の下流端を洗浄槽２へ連通して、蒸発器４１内の洗浄蒸気を蒸気導入路５６へ通して洗浄槽２内に導入可能としている。また、蒸気導入路５６には洗浄蒸気導入バルブ５７を備え、該洗浄蒸気導入バルブ５７を開閉操作することにより洗浄蒸気の洗浄槽２への導入を許容したり停止したりするように構成されている。そして、洗浄蒸気導入バルブ５７を閉じた状態においては、洗浄蒸気が蒸気供給路４３の分岐箇所から蒸気導入路５６へ流入すると、当該蒸気導入路５６内で洗浄蒸気が冷却・凝縮されて洗浄液となり、この洗浄液が蒸気導入路５６内を流下して洗浄蒸気導入バルブ５７よりも上流側の部分に貯留されるように構成されている。なお、このような構成を備えた洗浄液蒸留装置４の作用については、後で詳細に説明する。
【００１８】
真空ポンプ５は、洗浄槽２、洗浄液タンク３、バッファタンク３１の内部を減圧（脱気）可能なポンプであり、図１に示すように、当該真空ポンプ５の吸気口には吸気路６０を接続し、該吸気路６０の下流端を分岐して洗浄槽減圧路６１、洗浄液タンク減圧路６２、バッファタンク減圧路６３を備えている。また、洗浄槽減圧路６１を洗浄槽２に連通し、洗浄槽減圧路６１には洗浄槽減圧バルブ６６を備え、該洗浄槽減圧バルブ６６を開閉操作することにより洗浄槽２内の減圧を許容したり停止したりするように構成されている。さらに、洗浄液タンク減圧路６２を洗浄液タンク３に連通し、洗浄液タンク減圧路６２には洗浄液タンク減圧バルブ６７を備え、該洗浄液タンク減圧バルブ６７を開閉操作することにより洗浄液タンク３内の減圧を許容したり停止したりするように構成されている。そして、バッファタンク減圧路６３をバッファタンク３１に連通し、バッファタンク減圧路６３にはバッファタンク減圧バルブ６８を備え、該バッファタンク減圧バルブ６８を開閉操作することによりバッファタンク３１内の減圧を許容したり停止したりするように構成されている。
【００１９】
また、吸気路６０には、洗浄槽２、洗浄液タンク３、バッファタンク３１から吸引された気体内から洗浄液または洗浄蒸気を回収するための洗浄液回収トラップ７０を備え、該洗浄液回収トラップ７０と洗浄液タンク３とを回収液送出路７１により連通し、洗浄液回収トラップ７０で回収された洗浄液（または洗浄蒸気が凝縮した洗浄液）を洗浄液タンク３へ回収液送出路７１を介して送出可能としている。さらに、回収液送出路７１には回収液送出バルブ７２を備え、該回収液送出バルブ７２を開閉操作することにより洗浄液の洗浄液回収トラップ７０からの送出を許容したり停止したりするように構成されている。
【００２０】
制御装置６は、図２に示すように、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ，タイマ等から構成される装置であり、各種センサ（洗浄槽２内の温度を検出する洗浄槽温度計７５、洗浄槽２内の負圧を検出する洗浄槽真空計７６、バッファタンク３１内の負圧を検出するバッファタンク真空計７７、洗浄液タンク３内の負圧を検出する洗浄液タンク真空計７８、洗浄槽レベルセンサ１３、洗浄液タンクレベルセンサ２５、バッファタンクレベルセンサ３２等）や操作パネル７からの信号を受けて、洗浄装置１の稼働処理等を行う。さらに、各バルブ１６，２１，３３，３４，５３，５７，６６，６７，６８，７２、真空ポンプ５、操作パネル７、熱媒油循環ポンプ４９、熱媒油ヒーター５０、超音波発生装置１８等への動作信号の送信または停止を行って、洗浄装置１を統括的に制御する。
【００２１】
次に、洗浄装置１の作用について説明する。
洗浄装置１は、運転を開始すると、図４および図５に示すように、洗浄液蒸留装置４における洗浄液の蒸留処理、および、洗浄槽２内における被処理物Ｗの洗浄処理を実行する。まず、蒸留処理について説明すると、作業員が洗浄装置１の電源を投入し、操作パネル７から運転準備の開始を操作すると、この操作の信号に基づいて制御装置６が蒸留処理の制御を実行し、熱媒油ヒーター５０に通電して熱媒油の加熱を開始するとともに、熱媒油循環ポンプ４９を駆動して熱媒油の循環を開始する。そして、熱媒油の温度が予め設定された温度（洗浄液を蒸発させるまで加熱可能となる温度）に到達して、制御装置６により蒸留の準備が完了したと判定されると、制御装置６が蒸留実行の制御を開始して、真空ポンプ５を駆動するとともにバッファタンク減圧バルブ６８を開いてバッファタンク３１内を減圧する。なお、真空ポンプ５は、洗浄装置１の運転が終了するまで常時駆動する（図４参照）。さらに、洗浄蒸気供給バルブ５３を開いて、バッファタンク３１、洗浄液回収路５４、凝縮器４２、蒸気供給路４３、蒸発器４１、蒸留導入路２７、洗浄液タンク３を連通する。すると、図６に示すように、減圧状態のバッファタンク３１内と洗浄液タンク３内との圧力差に基づいて洗浄液タンク３内の洗浄液が蒸留導入路２７を通って蒸発器本体４５内に導入される。
【００２２】
蒸発器本体４５内に導入された洗浄液は、熱媒油によって昇温状態となった加熱ユニット４６により加熱され、気化して洗浄蒸気となる。なお、洗浄液に汚れ成分等の不純物が含まれている場合には、この不純物が洗浄蒸気から分離されて蒸発器本体４５内に残り、適宜蒸発器本体４５の下部から取り除かれる。そして、蒸発器本体４５内で生成された洗浄蒸気は、減圧状態のバッファタンク３１内と蒸発器４１内との圧力差に基づいて蒸気送出口４７から蒸気供給路４３を介して凝縮器４２へ送出され、凝縮器４２内で冷却されることにより凝縮し、汚れ成分が取り除かれた洗浄液（言い換えると、洗浄液タンク３内の貯留時よりも純度を高めた洗浄液）として再生される。このとき、図３に示すように、蒸気供給路４３の開口断面積を蒸気送出口４７の開口断面積よりも広く設定しているので、洗浄蒸気の蒸気供給路４３内での流速を蒸気送出口４７の通過時の流速よりも遅くすること、および蒸気供給路４３の内周面積（すなわち洗浄蒸気との接触面積）を広げることができる。これにより、蒸気供給路４３内の通過時における洗浄蒸気の冷却を促進すること、ひいては、洗浄液の再生効率の向上を図ることができる。また、凝縮器４２の蒸気受入口５２を蒸発器４１の蒸気送出口４７よりも下方に配置しているので、凝縮器４２に到達する前に洗浄蒸気が蒸気供給路４３内で凝縮した洗浄液を凝縮器４２の蒸気受入口５２へ滞りなく流下させることができる。
【００２３】
さらに、凝縮器４２内で液化（凝縮）されて生成された洗浄液は、減圧状態のバッファタンク３１内と凝縮器４２内との圧力差に基づいて凝縮器４２から排出されて洗浄液回収路５４を通り、バッファタンク３１内に貯留される。その後、適宜バッファ排出バルブ３４を開いてバッファタンク３１から洗浄液タンク３へ供給される。
【００２４】
そして、蒸留処理の実行中においては、蒸発器４１内の洗浄蒸気の一部が蒸気供給路４３の分岐箇所から蒸気導入路５６に進入する。さらに、蒸気導入路５６内で温度が低下することにより凝縮して洗浄液となり、閉状態の洗浄蒸気導入バルブ５７よりも上流側に貯留される。また、バッファタンク３１内の洗浄液の液面が予め設定された上限位置に到達したり、予め設定された蒸留実行時間が経過したりする等の規定条件（一時停止条件）が成立した場合、あるいは、洗浄処理において洗浄槽２に洗浄蒸気を導入するタイミングが到来した場合には、制御装置６が蒸留処理を一時停止する制御を行い、開状態の洗浄蒸気供給バルブ５３およびバッファタンク減圧バルブ６８を閉じて洗浄蒸気の凝縮器４２への送出を一時停止する。そして、バッファタンク３１内の洗浄液の液面が上限位置よりも低くなったり、予め設定された蒸留一時停止時間が経過したりする等の規定条件（再開条件）が成立した場合、あるいは、洗浄処理において洗浄槽２への洗浄蒸気の導入を終了するタイミングが到来した場合には、制御装置６が蒸留処理を再開する制御を行い、閉状態の洗浄蒸気供給バルブ５３およびバッファタンク減圧バルブ６８を開いて洗浄蒸気の凝縮器４２への送出を再開する。
【００２５】
次に、洗浄処理について説明する。作業員が操作パネル７から運転準備の開始を操作すると、制御装置６が各種センサ（温度計７５や真空計７６，７７，７８等）から信号を受信し、各温度や圧力等の数値が運転開始可能な条件を満たしているか否かを判定する。また、作業員が開閉蓋１１を開いて洗浄槽２内に被処理物Ｗをバスケット１０に入れた状態で収納し、開閉蓋１１を閉じる。そして、制御装置６が蓋開閉検出スイッチ１２の信号により開閉蓋１１が閉状態であることを認識し、さらに、各種センサからの信号により各部の温度や圧力が運転開始条件を満たしていることを認識すると、開閉蓋１１を閉状態でロックし、浸漬洗浄工程を実行する。
【００２６】
浸漬洗浄工程では、まず、洗浄槽２に洗浄液を導入（給液）する。具体的に説明すると、図７に示すように、制御装置６が洗浄液供給バルブ１６を開いて洗浄槽２、洗浄液供給路１５、洗浄液タンク３を連通し、さらに、洗浄槽減圧バルブ６６を開く。すると、洗浄槽２内が駆動継続状態の真空ポンプ５により減圧され、減圧された洗浄槽２内と洗浄液タンク３内との圧力差に基づいて洗浄液タンク３内の洗浄液が洗浄液供給路１５を通って洗浄槽２内に供給される。そして、洗浄液の貯留量が予め設定された洗浄貯留量に到達したことを洗浄槽レベルセンサ１３により検出すると、制御装置６がこの検出信号に基づいて洗浄液供給バルブ１６および洗浄槽減圧バルブ６６を閉じて、洗浄液の洗浄槽２への導入を停止する（図８参照）。さらに、超音波発生装置１８を駆動し、減圧状態の洗浄槽２内の洗浄液および被処理物Ｗに超音波振動を与えて浸漬洗浄（超音波洗浄）を実行する。この浸漬洗浄により、洗浄槽２内の被処理物Ｗの表面から汚れ成分が洗浄液中へ脱離する。なお、浸漬洗浄中に洗浄槽２の大気開放バルブ（図示せず）と洗浄槽減圧バルブ６６との開閉を調整して洗浄槽２内の圧力を変動させ、減圧洗浄と復圧洗浄とを繰り返し実行してもよい。
【００２７】
浸漬洗浄工程を開始してから予め設定された実行時間（浸漬洗浄実行時間）が経過すると、制御装置６が浸漬洗浄工程から排液工程に移行する制御を実行して、洗浄槽２内の洗浄液を排出する。具体的には、図９に示すように、制御装置６が洗浄液排出バルブ２１を開いて洗浄槽２、洗浄液排出路２０、洗浄液タンク３を連通し、さらに、洗浄液タンク減圧バルブ６７を開く。すると、洗浄液タンク３内が駆動継続状態の真空ポンプ５により減圧され、減圧された洗浄液タンク３内と洗浄槽２内との圧力差に基づいて洗浄槽２内の洗浄液が汚れ成分（詳しくは、被処理物Ｗから脱離された汚れ成分）を含んだ状態で洗浄液排出路２０を通って洗浄液タンク３内に排出される。
【００２８】
このようにして排液工程を実行し、排液工程の終了条件（例えば、予め設定された排液実行時間の経過や、洗浄槽レベルセンサ１３からの信号により洗浄液の排出完了が判定されたこと）が成立すると、制御装置６が排液工程から蒸気洗浄工程に移行する制御を実行する。蒸気洗浄工程では、図１０に示すように、制御装置６が排液工程時に開いていた洗浄液排出バルブ２１および洗浄液タンク減圧バルブ６７を閉じる。また、洗浄液蒸留装置４において蒸留処理が実行中である場合には、蒸留処理を一時停止して洗浄蒸気供給バルブ５３を閉じるとともに、バッファタンク減圧バルブ６８の開状態を維持する。一方、洗浄液蒸留装置４において蒸留処理が一時停止中である場合には、洗浄蒸気供給バルブ５３の閉状態を維持するとともにバッファタンク減圧バルブ６８を開く。そして、洗浄蒸気導入バルブ５７を開いて蒸発器４１、蒸気導入路５６、洗浄槽２、分岐排出路３０、バッファタンク３１を連通する。すると、駆動継続状態の真空ポンプ５により減圧されたバッファタンク３１内と蒸発器４１内との圧力差に基づいて蒸発器４１内の洗浄蒸気が蒸気導入路５６を通って洗浄槽２内に導入される。
【００２９】
このとき、蒸留処理中に蒸気導入路５６内で凝縮して貯留されていた洗浄液が洗浄蒸気により押し出されて洗浄槽２内に噴出する。この洗浄液の噴出により、排液工程において洗浄液とともに排出されずに洗浄槽２内や被処理物Ｗ上に残留していた汚れ成分が大まかに洗い流されて洗浄槽２から排出される。したがって、浸漬洗浄工程後に汚れ成分が洗浄槽２内や被処理物Ｗ上に残っていたとしても、この汚れ成分を蒸気導入路５６内に貯留した洗浄液を用いて洗い流して取り除くことができる。
【００３０】
蒸気導入路５６内の洗浄液を押し出した後に洗浄蒸気が洗浄槽２内に導入されると、被処理物Ｗが洗浄蒸気（蒸発器４１から導入された洗浄蒸気）に晒されて蒸気洗浄が行われる。したがって、洗浄液を蒸留する過程（蒸留処理）で生成された洗浄蒸気を用いて蒸気洗浄工程を行うことができ、洗浄液の蒸留と被処理物Ｗの蒸気洗浄とを効率よく実行することができる。そして、蒸気洗浄工程を開始してから予め設定された実行時間（蒸気洗浄実行時間）が経過すると、制御装置６が蒸気洗浄工程から減圧乾燥工程に移行する制御を実行する。具体的には、図１１に示すように、制御装置６が洗浄蒸気導入バルブ５７およびバッファ導入バルブ３３を閉じ、洗浄槽減圧バルブ６６を開く。すると、洗浄槽２内が駆動継続状態の真空ポンプ５により減圧され、洗浄液が被処理物Ｗ上の洗浄液が蒸発して被処理物Ｗの表面が乾燥する。なお、蒸発した洗浄液（洗浄蒸気）は、洗浄槽減圧路６１内に吸引されて洗浄液回収トラップ７０に回収される。
【００３１】
減圧乾燥工程を開始してから予め設定された実行時間（減圧乾燥実行時間）が経過すると、制御装置６が洗浄処理および蒸留処理を終了する制御を実行する。具体的には、真空ポンプ５、熱媒油循環ポンプ４９、熱媒油ヒーター５０の駆動を停止し、全てのバルブ１６，２１，３３，３４，５３，５７，６６，６７，６８，７２を閉じる。また、洗浄槽２の大気開放バルブを開いて洗浄槽２内を大気開放し、開閉蓋１１の閉状態のロックを解除し、操作パネル７に運転終了の報知信号を送信して、作業員に運転終了を報知する。そして、作業員が洗浄槽２の開閉蓋１１を開放し、洗浄乾燥された被処理物Ｗをバスケット１０とともに取り出す。
【００３２】
ところで、上記実施形態の洗浄液蒸留装置４においては、洗浄蒸気の蒸気供給路４３内での凝縮を促進する構成を備えていないが、本発明はこれに限定されない。例えば、図１２に示すように、蒸気供給路４３の側方に供給路冷却手段として機能する送風装置８０を備えてもよい。そして、送風装置８０から風を送出して蒸気供給路４３を冷却すれば、蒸気供給路４３内の通過時における洗浄蒸気の冷却を一層促進することができ、洗浄液の再生効率をさらに向上させることができる。なお、供給路冷却手段は送風装置８０に限らず、蒸気供給路４３を冷却可能であればどのような構成であってもよい。例えば、蒸気供給路４３の外周に巻設され、冷却水が内部に流れる供給路冷却管でもよい。あるいは、加熱ユニット４６の熱媒油循環ポンプ４９を冷却するための冷却ファンを供給路冷却手段としても機能させ、該冷却ファンからの送風を熱媒油循環ポンプ４９だけではなく蒸気供給路４３にも当てて、蒸気供給路４３を冷却してもよい。
【００３３】
さらに、上記実施形態では、蒸気供給路４３を蒸気送出口４７よりも拡径することにより、蒸気供給路４３の開口断面積を蒸気送出口４７の開口断面積よりも広く設定したが、本発明はこれに限定されない。要は、蒸気供給路４３の開口断面積を蒸気送出口４７の開口断面積よりも広く設定することができれば、どのような構成を採用してもよい。例えば、蒸気供給路４３を複数の並列路で構成して開口断面積を広くしてもよい。また、蒸気供給路４３の長さを調整したり、蒸気供給路４３内に熱交換フィンを設けたりする等して蒸気供給路４３と洗浄蒸気との接触面積（言い換えると、熱交換面積）を増やして洗浄蒸気の凝縮を促進するようにしてもよい。さらに、蒸気供給路４３の外側に放熱フィンを突設して蒸気供給路４３の放熱を促進させることで、洗浄蒸気の凝縮を促進するようにしてもよい。
【００３４】
ところで、上記実施形態の洗浄液蒸留装置４では、凝縮器４２の蒸気受入口５２を蒸発器４１の蒸気送出口４７よりも下方に配置したが、本発明はこれに限定されない。例えば、図１３に示すように、凝縮器４２の蒸気受入口５２を蒸発器４１の蒸気送出口４７よりも上方に配置すれば、蒸気供給路４３が凝縮器４２側から蒸発器４１側へ下る姿勢に設定される。これにより、蒸気供給路４３内で凝縮した洗浄液を自重により蒸発器４１へ戻し、蒸発器４１内で気化し直して再び凝縮器４２へ送出することができる。したがって、洗浄液が蒸気供給路４３内に滞留することを抑制することができ、洗浄液の再生効率の向上を図ることができる。
【００３５】
そして、上記実施形態では、洗浄液蒸留装置４を洗浄装置１の一部として備えたが、本発明はこれに限定されない。例えば、洗浄液蒸留装置を洗浄装置とは別個の装置として構成してもよい。また、上記実施形態における洗浄装置１では、洗浄液および洗浄蒸気を洗浄槽２に供給して被処理物Ｗを洗浄（浸漬洗浄および蒸気洗浄）したが、本発明はこれに限定されない。要は、洗浄槽内の被処理物を洗浄することができれば、洗浄液または洗浄蒸気のいずれか一方を洗浄槽内に供給して被処理物を洗浄してもよい。
【００３６】
なお、前記した実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明は、上記した説明に限らず特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれるものである。
【符号の説明】
【００３７】
１  洗浄装置
２  洗浄槽
３  洗浄液タンク
４  洗浄液蒸留装置
５  真空ポンプ
６  制御装置
７  操作パネル
１０  バスケット
１１  開閉蓋
１２  蓋開閉検出スイッチ
１３  洗浄槽レベルセンサ
１４  洗浄液供給口
１５  洗浄液供給路
１６  洗浄液供給バルブ
１８  超音波発生装置
１９  洗浄液排出口
２０  洗浄液排出路
２１  洗浄液排出バルブ
２５  洗浄液タンクレベルセンサ
２６  洗浄液送出口
２７  蒸留導入路
３０  分岐排出路
３１  バッファタンク
３２  バッファタンクレベルセンサ
３３  バッファ導入バルブ
３４  バッファ排出バルブ
４１  蒸発器
４２  凝縮器
４３  蒸気供給路
４５  蒸発器本体
４６  加熱ユニット
４７  蒸気送出口
４９  熱媒油循環ポンプ
５０  熱媒油ヒーター
５２  蒸気受入口
５３  洗浄蒸気供給バルブ
５４  洗浄液回収路
５６  蒸気導入路
５７  洗浄蒸気導入バルブ
６０  吸気路
６１  洗浄槽減圧路
６２  洗浄タンク減圧路
６３  バッファタンク減圧路
６６  洗浄槽減圧バルブ
６７  洗浄液タンク減圧バルブ
６８  バッファタンク減圧バルブ
７０  洗浄液回収トラップ
７１  回収液送出路
７２  回収液送出バルブ
７５  洗浄槽温度計
７６  洗浄槽真空計
７７  バッファタンク真空計
７８  洗浄液タンク真空計
８０  送風装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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