(57)【要約】      （修正有）【課題】より均一な拡散角度分布特性を実現させること。【解決手段】本発明に係る反射型拡散板１は、透明基材１０の表面に位置する単レンズ群２０からなるマイクロレンズアレイ型の拡散板であって、前記単レンズ群を構成するそれぞれの単レンズ２１が有する開口径及び曲率半径は、前記単レンズ群２０全体としてばらつきがあり、かつ、前記それぞれの単レンズ２１の頂点位置は、不規則に配置されており、前記単レンズ群２０に垂直入射する光の反射光の輝度分布が、所定の拡散角度範囲で略均一であり、前記透明基材１０の表面法線方向とのなす角が２０度又は４０度の方向から前記単レンズ群に入射する光の少なくとも何れか一方について、前記表面法線方向の反射輝度値をＡとし、反射拡散成分のピーク反射輝度値をＢとしたときに、０．３≦Ａ／Ｂ≦１の関係が成立する。【選択図】図１
2018109669.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基材の表面に位置する単レンズ群からなるマイクロレンズアレイ型の拡散板であって、
前記単レンズ群を構成するそれぞれの単レンズが有する開口径及び曲率半径は、前記単レンズ群全体としてばらつきがあり、かつ、前記それぞれの単レンズの頂点位置は、不規則に配置されており、
前記単レンズ群に垂直入射する光の反射光の輝度分布が、所定の拡散角度範囲で略均一であり、
前記透明基材の表面法線方向とのなす角が２０度又は４０度の方向から前記単レンズ群に入射する光の少なくとも何れか一方について、前記表面法線方向の反射輝度値をＡとし、反射拡散成分のピーク反射輝度値をＢとしたときに、０．３≦Ａ／Ｂ≦１の関係が成立する、反射型拡散板。
【請求項２】
前記開口径をＤ［μｍ］とし、前記曲率半径をＲ［μｍ］とし、前記開口径Ｄ及び前記曲率半径Ｒそれぞれのばらつき割合をδ［％］としたときに、以下の式（１）で表される関係が成立する、請求項１に記載の反射型拡散板。
【数１】
2018109669.tif 000009
【請求項３】
前記単レンズに隣接する他の前記単レンズとの境界は、互いに異なる曲線を含む、請求項１又は２に記載の反射型拡散板。
【請求項４】
前記単レンズ群の表面に反射層を更に備える、請求項１〜３の何れか１項に記載の反射型拡散板。
【請求項５】
前記反射層は、ＡｌもしくはＡｇの何れかを含む金属層、又は、ＴｉＯ２もしくはＺｎＳの何れかを含む無機反射層である、請求項４に記載の反射型拡散板。
【請求項６】
前記単レンズ群を構成するそれぞれの前記単レンズは、前記透明基材上に不規則に配置されており、
互いに隣接する２つの前記単レンズの重なり幅の最大値をＯｖ［μｍ］とし、当該互いに隣接する２つの単レンズの開口径を、それぞれＤ１［μｍ］、Ｄ２［μｍ］としたときに、以下の式（２）で表される関係が成立する、請求項１〜５の何れか１項に記載の反射型拡散板。
【数２】
2018109669.tif 000010
【請求項７】
前記透明基材は、樹脂基板、樹脂フィルム、又は、ガラス基板の何れかである、請求項１〜６の何れか１項に記載の反射型拡散板。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか１項に記載の反射型拡散板を備える、表示装置。
【請求項９】
請求項１〜７の何れか１項に記載の反射型拡散板を備える、投影装置。
【請求項１０】
請求項１〜７の何れか１項に記載の反射型拡散板を備える、照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射型拡散板、表示装置、投影装置及び照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
入射光を様々な方向へと散乱させる拡散板は、例えば、ディスプレイ等の表示装置や、プロジェクタ等の投影装置や、各種の照明装置等といった様々な装置に広く利用されている。かかる拡散板における入射光の拡散機構は、拡散板の表面形状に起因する光の屈折を利用するものと、バルク体の内部に存在する、周囲とは屈折率の異なる物質による散乱を利用するものと、に大別される。表面形状に起因する光の屈折を利用した拡散板のひとつに、数十μｍ程度の大きさのマイクロレンズをバルク体の表面に複数配置した、いわゆるマイクロレンズアレイ型の拡散板がある。
【０００３】
かかるマイクロレンズアレイ型の拡散板として、以下の特許文献１には、焦点板用の拡散板が開示されており、かかる拡散板は、マイクロレンズのピッチ及び高さにばらつきを持たせた設計となっている。具体的には、以下の特許文献１には、マイクロレンズのピッチＰを、８μｍ≦Ｐ≦３０μｍとし、マイクロレンズの高さＨを、０．０１×Ｐ≦Ｈ≦０．１×Ｐとする旨が開示されている。
【０００４】
また、マイクロレンズアレイ型の拡散板として、以下の特許文献２には、マイクロレンズアレイを構成するマイクロレンズの直径（Ｄ）を１００μｍ以上１０００μｍ以下とし、マイクロレンズの表面粗さ（Ｒａ）を０．１μｍ以上１０μｍ以下とすることで、レンズ表面に対して光拡散効果を付与する旨が開示されている。かかる特許文献２では、上記特許文献１と同様に、マイクロレンズの配設パターンはランダム配設パターンとなっているが、マイクロレンズの高さについては、一定とすることで応力集中が抑制可能であるとし、ランダム性の導入を否定したものとなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平３−１９２２３２号公報
【特許文献２】特開２００４−１４５３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記特許文献１では、各マイクロレンズの曲率半径については言及されておらず、より均一（平坦）な拡散角度分布特性を実現させることが困難であるという問題があった。また、上記特許文献２に開示されている技術を用いたとしても、より均一（平坦）な拡散角度分布特性を実現させることは困難であった。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、より均一な拡散角度分布特性を実現させることが可能な、反射型拡散板、表示装置、投影装置及び照明装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、透明基材の表面に位置する単レンズ群からなるマイクロレンズアレイ型の拡散板であって、前記単レンズ群を構成するそれぞれの単レンズが有する開口径及び曲率半径は、前記単レンズ群全体としてばらつきがあり、かつ、前記それぞれの単レンズの頂点位置は、不規則に配置されており、前記単レンズ群に垂直入射する光の反射光の輝度分布が、所定の拡散角度範囲で略均一であり、前記透明基材の表面法線方向とのなす角が２０度又は４０度の方向から前記単レンズ群に入射する光の少なくとも何れか一方について、前記表面法線方向の反射輝度値をＡとし、反射拡散成分のピーク反射輝度値をＢとしたときに、０．３≦Ａ／Ｂ≦１の関係が成立する反射型拡散板が提供される。
【０００９】
前記開口径をＤ［μｍ］とし、前記曲率半径をＲ［μｍ］とし、前記開口径Ｄ及び前記曲率半径Ｒそれぞれのばらつき割合をδ［％］としたときに、以下の式（１）で表される関係が成立することが好ましい。
【００１０】
【数１】
2018109669.tif 000003
【００１１】
前記単レンズに隣接する他の前記単レンズとの境界は、互いに異なる曲線を含むことが好ましい。
【００１２】
前記単レンズ群の表面に反射層を更に備えることが好ましい。
【００１３】
前記反射層は、ＡｌもしくはＡｇの何れかを含む金属層、又は、ＴｉＯ２もしくはＺｎＳの何れかを含む無機反射層であってもよい。
【００１４】
前記単レンズ群を構成するそれぞれの前記単レンズは、前記透明基材上に不規則に配置されており、互いに隣接する２つの前記単レンズの重なり幅の最大値をＯｖ［μｍ］とし、当該互いに隣接する２つの単レンズの開口径を、それぞれＤ１［μｍ］、Ｄ２［μｍ］としたときに、以下の式（２）で表される関係が成立することが好ましい。
【００１５】
【数２】
2018109669.tif 000004
【００１６】
前記透明基材は、樹脂基板、樹脂フィルム、又は、ガラス基板の何れかであってもよい。
【００１７】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、上記の拡散板を備える表示装置が提供される。
【００１８】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、上記の拡散板を備える投影装置が提供される。
【００１９】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、上記の拡散板を備える照明装置が提供される。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように本発明によれば、より均一な拡散角度分布特性を実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係る反射型拡散板の構成を模式的に示した説明図である。
【図２】同実施形態に係る反射型拡散板が有する単レンズについて説明するための説明図である。
【図３】同実施形態に係る反射型拡散板が有する単レンズについて説明するための説明図である。
【図４】同実施形態に係る反射型拡散板が備える単レンズ群の一例を上方から見た電子顕微鏡写真である。
【図５】同実施形態に係る反射型拡散板の構成を模式的に示した説明図である。
【図６Ａ】同実施形態に係る反射型拡散板が備える単レンズ群の配置方法について説明するための説明図である。
【図６Ｂ】同実施形態に係る反射型拡散板が備える単レンズ群の配置方法について説明するための説明図である。
【図７Ａ】同実施形態に係る反射型拡散板が備える単レンズ群の配置方法について説明するための説明図である。
【図７Ｂ】同実施形態に係る反射型拡散板が備える単レンズ群の配置方法について説明するための説明図である。
【図８】同実施形態に係る反射型拡散板からの反射光の輝度分布を模式的に示した説明図である。
【図９】反射拡散光の分布特性の判定方法について説明するための説明図である。
【図１０Ａ】同実施形態に係る反射型拡散板の反射拡散特性について説明するための説明図である。
【図１０Ｂ】同実施形態に係る反射型拡散板の反射拡散特性について説明するための説明図である。
【図１１Ａ】同実施形態に係る反射型拡散板の反射拡散特性について説明するための説明図である。
【図１１Ｂ】同実施形態に係る反射型拡散板の反射拡散特性について説明するための説明図である。
【図１２Ａ】開口径、曲率半径及び摂動量と反射拡散光の分布特性との関係を説明するためのグラフ図である。
【図１２Ｂ】開口径、曲率半径及び摂動量と反射拡散光の分布特性との関係を説明するためのグラフ図である。
【図１２Ｃ】開口径、曲率半径及び摂動量と反射拡散光の分布特性との関係を説明するためのグラフ図である。
【図１３】同実施形態に係る反射型拡散板の製造方法の流れの一例を示した流れ図である。
【図１４Ａ】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１４Ｂ】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１４Ｃ】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１５Ａ】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１５Ｂ】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１５Ｃ】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１６Ａ】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１６Ｂ】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１６Ｃ】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１７】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１８】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図１９】反射型拡散板に関する試験例１の試験結果を示したグラフ図である。
【図２０Ａ】反射型拡散板に関する試験例２の試験結果を示したグラフ図である。
【図２０Ｂ】反射型拡散板に関する試験例２の試験結果を示したグラフ図である。
【図２０Ｃ】反射型拡散板に関する試験例２の試験結果を示したグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２３】
（本発明の実施形態に係る反射型拡散板の概要）
本発明の実施形態に係る反射型拡散板について詳細に説明するに先立ち、本発明の実施形態に係る反射型拡散板の概要について、以下で簡単に言及しておく。
【００２４】
以下で詳述する本発明の実施形態に係る反射型拡散板は、光の均質拡散及び光学開口の均質拡大機能を備えた、マイクロレンズアレイ型の反射型拡散板である。かかる反射型拡散板の有する光学体（すなわち、マイクロレンズ）は、光拡散機能を有する凸面が、互いに異なる形状であり、かつ、各レンズの境界輪郭部が異なる曲線により隣接するレンズと接することを特徴とする構造体である。
【００２５】
上記特許文献１及び特許文献２に開示されているような、従来のマイクロレンズアレイ構造による光学体の場合、一般的なガウシアン状の光拡散機能及び画像機器におけるモアレ抑制機能を付加し得るのみであり、均質なエネルギー分布の拡散特性を満足することが難しいという問題があった。つまり、可視光領域のコリメート光や、コリメート性のある主光線を有して一定の開口を持つテレセントリック光に対して、一定領域における角度成分内でエネルギー分布の均質性が非常に高く、この角度成分の一定領域を超過するとエネルギーが急激に減少し得る光学機能（以下、「トップハット型拡散」ともいう。）に関する課題を解決できていないという問題があった。
【００２６】
以下で詳述する本発明の実施形態に係る反射型拡散板は、可視光領域のコリメート光や、コリメート性のある主光線を有して一定の開口を持つテレセントリック光に対して、垂直入射光の一定領域における角度成分内で反射成分の均質性が非常に高く、斜め入射光の正面反射輝度と拡散輝度の比率を制御することを特徴とする光学体である。
【００２７】
より詳細には、本発明の実施形態に係る反射型拡散板は、マイクロレンズアレイを構成する各単位セル（すなわち、単レンズであるマイクロレンズ）の配置、曲率半径、円形開口径に摂動（換言すれば、ばらつき）を持たせることで、相互に異なる湾曲及び曲面の領域を複数持ち、かかる領域境界が相互に異なる曲面であり、接線方位が相互に異なる俯瞰投影軌跡が異なる曲線を以って区切られる多数の湾曲及び曲面からなる光学体を有する。これにより、上記のような課題を解決し、従来のガウス型光拡散には有していない、高均質拡散機能と光学開口制御機能とを併せ持った光学体を実現することが可能となる。
【００２８】
以下で詳述する反射型拡散板の特徴は、以下の通りである。
１）マイクロレンズアレイを構成する単レンズ（マイクロレンズ）の曲面部は、球面体、又は、非球面体である。
２）マイクロレンズアレイを構成する単レンズの配置は、ランダム配置である。
３）マイクロレンズアレイを構成する単レンズの基準開口径Ｄ、基準曲率半径Ｒ、摂動量δを最適に選択することで、拡散反射光の均質性を実現することができる。
４）湾曲及び曲面を持たない領域（換言すれば、マイクロレンズアレイが配置された光学体の平坦部の広さ）は、５％未満である。
５）マイクロレンズアレイにおける各湾曲領域の境界は、相互に異なる曲面である。
６）マイクロレンズアレイの表面に反射層を有していても良い。
７）マイクロレンズアレイに対する０度入射光（垂直入射光）の反射分布は、所望の拡散角範囲内でトップハット特性を示す。
８）マイクロレンズアレイに対する０度入射光のピーク反射輝度値をＡとし、２０度入射光又は４０度入射光のピーク反射輝度値をＢとすると、０．３≦Ａ／Ｂ≦１．０である。
【００２９】
以下では、以上のような特徴を有する本発明の実施形態に係る反射型拡散板について、詳細に説明する。
【００３０】
（反射型拡散板について）
以下では、図１〜図１２Ｃを参照しながら、本発明の第１の実施形態に係る反射型拡散板１について詳細に説明する。
図１は、本実施形態に係る反射型拡散板の構成を模式的に示した説明図である。図２及び図３は、本実施形態に係る反射型拡散板が有する単レンズについて説明するための説明図である。図４は、本実施形態に係る反射型拡散板が備える単レンズ群の一例を上方から見た電子顕微鏡写真である。図５は、本実施形態に係る反射型拡散板の構成を模式的に示した説明図である。図６Ａ〜図７Ｂは、本実施形態に係る反射型拡散板が備える単レンズ群の配置方法について説明するための説明図である。図８は、本実施形態に係る反射型拡散板からの反射光の輝度分布を模式的に示した説明図である。図９は、反射拡散光の分布特性の判定方法について説明するための説明図である。図１０Ａ及び図１０Ｂは、本実施形態に係る反射型拡散板の反射拡散特性について説明するための説明図である。図１１Ａ及び図１１Ｂは、本実施形態に係る反射型拡散板の反射拡散特性について説明するための説明図である。図１２Ａ〜図１２Ｃは、開口径、曲率半径及び摂動量と反射拡散光の分布特性との関係を説明するためのグラフ図である。
【００３１】
本実施形態に係る反射型拡散板１は、基材上に複数のマイクロレンズ（以下、「単レンズ」とも称する。）が配置された、マイクロレンズアレイ型の反射型拡散板である。かかる反射型拡散板１は、図１に模式的に示したように、透明基材１０と、透明基材１０の表面に形成された単レンズ群２０と、を有している。
【００３２】
＜透明基材１０について＞
透明基材１０は、本実施形態に係る反射型拡散板１に入射する光の波長帯域において、透明とみなすことが可能な材質からなる基材である。かかる透明基材１０は、フィルム状のものであっても良いし、板状のものであっても良い。かかる基材の材質については、特に限定するものではないが、例えば、ポリメチルメタクリレート（ｐｏｌｙｍｅｎｔｈｙｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ：ＰＭＭＡ）、ポリエチレンテレフタレート（Ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ：ＰＥＴ）、ポリカーボネート（ｐｏｌｙｃａｒｂｏｎａｔｅ：ＰＣ）、環状オレフィン・コポリマー（Ｃｙｃｌｏ  Ｏｌｅｆｉｎ  Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ：ＣＯＣ）、環状オレフィンポリマー（Ｃｙｃｌｏ  Ｏｌｅｆｉｎ  Ｐｏｌｙｍｅｒ：ＣＯＰ）、トリアセチルセルロース（Ｔｒｉａｃｅｔｙｌｃｅｌｌｕｌｏｓｅ：ＴＡＣ）等といった公知の樹脂を透明基材１０として用いることも可能であるし、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、白板ガラス等といった公知の光学ガラスを用いることも可能である。図１では、透明基材１０が矩形である場合を例に挙げて図示を行っているが、透明基材１０の形状は矩形に限定されるものではなく、例えば反射型拡散板１が実装される表示装置、投影装置、照明装置等の形状に応じて、任意の形状を有していても良い。
【００３３】
＜単レンズ群２０について＞
透明基材１０の表面には、複数の単レンズ２１からなる単レンズ群２０が形成されている。本実施形態に係る反射型拡散板１において、単レンズ群２０は、図１に模式的に示したように、複数の単レンズ２１が互いに隣接するように（換言すれば、単レンズ２１間に隙間（平坦部）が存在しないように）形成されることが好ましい。透明基材１０上に単レンズ２１を隙間なく配置させる（換言すれば、単レンズの充填率が１００％となるように配置させる）ことで、入射光のうち拡散板表面で散乱せずにそのまま透過してしまう成分（以下、「０次透過光成分」ともいう。）を抑制することが可能となる。その結果、複数の単レンズ２１が互いに隣接するように配置された単レンズ群２０では、拡散性能を更に向上させることが可能となる。
【００３４】
また、本実施形態に係る単レンズ群２０では、図１に模式的に示したように、各単レンズ２１は、規則的に配置されているのではなく、不規則に（ランダムに）配置されている。ここで、「不規則」とは、反射型拡散板１における単レンズ群２０の任意の領域において、単レンズ２１の配置に関する規則性が実質的に存在しないことを意味する。従って、任意の領域での微小領域において単レンズ２１の配置にある種の規則性が存在したとしても、任意の領域全体として単レンズ２１の配置に規則性が存在しないものは、「不規則」に含まれるものとする。なお、本実施形態に係る単レンズ群２０における単レンズ２１の不規則な配置方法については、以下で改めて詳述する。
【００３５】
本実施形態において、単レンズ群２０を構成する単レンズ２１は、凸レンズとなっている。また、本実施形態に係る単レンズ群２０では、各単レンズ２１の表面形状は、特に限定されるものではなく、球面成分のみを含むものであっても良いし、非球面成分が含まれていてもよい。
【００３６】
また、本実施形態に係る単レンズ群２０では、上記のような各単レンズ２１の配置のみならず、各単レンズ２１の開口径及び曲率半径についても、単レンズ群２０全体でばらつきを有している。
【００３７】
複数の単レンズ２１が互いに隣接するように設けられ、単レンズ２１が透明基材１０上に不規則に形成され、かつ、各単レンズ２１の開口径及び曲率半径にばらつき（ランダム性）を持たせることで、それぞれの単レンズ２１の外形は、互いに同一の形状とはならず、図１に模式的に示したように様々な形状を有するようになり、対称性を有しなくなるものが多くなる。
【００３８】
このような場合、図２に模式的に示したように、単レンズＡでは曲率半径がｒＡであるのに対し、単レンズＢでは曲率半径がｒＢ（≠ｒＡ）となるという状況も多く生じるようになる。隣接する単レンズの曲率半径が異なる場合、隣接する単レンズ間の境界は直線のみで構成されるのではなく、その少なくとも一部に曲線を含むようになり、図３に模式的に示したように、単レンズ２１の外形（単レンズ２１を俯瞰した場合の外形の投影軌跡）は、互いに異なる複数の湾曲及び曲面の境界で構成されるようになる。単レンズ間の境界の少なくとも一部に曲線が含まれることで、単レンズ間の境界での配置の規則性が更に崩れることとなり、回折成分を更に低減することが可能となる。
【００３９】
図４は、本実施形態に係る反射型拡散板における単レンズ群２０の一部を、走査型電子顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＳＥＭ）により上方から観察した場合のＳＥＭ写真である。図４から明らかなように、単レンズ群２０を構成する単レンズ２１の外形（俯瞰投影軌跡）は、様々な形状を有しており、単レンズ２１の開口径も互いに相違していることがわかる。
【００４０】
＜反射層３０について＞
また、本実施形態に係る反射型拡散板１では、図５に模式的に示したように、単レンズ群２０を構成する各単レンズ２１の表面に、反射層３０が更に設けられていることが好ましい。かかる反射層３０を単レンズ群２０の表面に設けることで、本実施形態に係る反射型拡散板１の反射性能（すなわち、入射光の反射率）を更に向上させることが可能となる。
【００４１】
かかる反射層３０は、所望の反射率を実現することが可能なものであれば、任意の材質を用いて形成することが可能である。このような反射層３０として、例えば、ＡｌもしくはＡｇの何れかを含む金属層、又は、ＴｉＯ２もしくはＺｎＳの何れかを含む無機反射層を挙げることができる。Ａｌ又はＡｇの何れかを含む金属層としては、例えば、Ａｌ単体、Ａｇ単体、又は、ＡｇＰＣｕ合金等のようにＡｌ又はＡｇを含有する合金等の金属層を挙げることができる。また、ＴｉＯ２もしくはＺｎＳの何れかを含む無機反射層としては、例えば、ＴｉＯ２及びＳｉＯ２を含有する無機反射層や、ＺｎＳ及びＳｉＯ２を含有する反射層等を挙げることができる。
【００４２】
また、かかる反射層３０の厚みについては、特に限定するものではないが、例えば１０ｎｍ未満の厚みを有する反射層３０を形成することは困難が伴うことから、反射層３０の厚みは、１０ｎｍ以上であることが好ましい。一方、上記のような材質を用いて反射層３０を形成した場合、厚みが２００ｎｍ以上となることで、１００％の反射率を示すようになる。そのため、コスト性等の観点から、反射層３０の厚みは、２００ｎｍ以下であることが好ましい。かかる反射層３０の厚みは、より好ましくは、１００ｎｍ以上２００ｎｍ以下である。
【００４３】
＜単レンズ２１の配置方法について＞
以下では、以上説明したような単レンズ２１の配置方法について、具体的に説明する。
本実施形態に係る反射型拡散板１において、上記のような特徴を有する複数の単レンズ２１が配置された単レンズ群２０は、主に以下の２つの配置方法により実現することが可能である。
【００４４】
一つの配置方法は、基準となる形状を有する単レンズ２１を、初めからランダムに配置していく配置方法である。以下、この配置方法を、「ランダム配置方法」ともいう。この配置方法では、基準となる形状を有する単レンズ２１をランダムに配置した上で、単レンズ２１の形状（すなわち、開口径及び曲率半径）をばらつかせる（摂動させる）。そのため、図４に示した、実際の単レンズ群２０の配置の様子を示したＳＥＭ写真から明らかなように、ある程度マクロ的に単レンズ群２０を俯瞰した場合であっても、単レンズ２１の配置に規則性を見出すことはできない。
【００４５】
もう一つの配列方法は、基準となる形状を有する単レンズ２１を規則的に配列させた基準となる状態（以下、「初期配列状態」ともいう。）をひとまず設定した上で、かかる初期配列状態から、単レンズ２１の形状（すなわち、開口径及び曲率半径）と、配置位置（より詳細には、単レンズ２１の頂点位置）と、をばらつかせる（摂動させる）方式である。以下、この配置方法を、「基準配置方法」ともいう。この配置方法では、規則的な単レンズ２１の配列を経たうえで、単レンズ２１の形状及び配置にランダム性を持たせるため、ある程度マクロ的に単レンズ群２０を俯瞰すると、初期配列状態をある程度推定できるような配置となっている。
【００４６】
［ランダム配置方法について］
まず、図６Ａ及び図６Ｂを参照しながら、ランダム配置方法の流れについて、簡単に説明する。
ランダム配置方法では、図６Ａに示したように、レンズ配置位置をｘｙ座標系で考えた場合に、レンズ配置位置のｘ座標及びｙ座標を、乱数で決定していく。この際、着目している単レンズ２１について、既に配置されている各単レンズ２１との距離を計算し、既に配置されている単レンズ２１との重なり幅が、予め設定されている許容範囲内であれば、着目している単レンズ２１を配置していくようにする。逆に、計算した重なり幅が許容範囲を超える場合には、着目している単レンズ２１は配置しないようにする。このようにして、ランダム配置方法における初期配列が決定される。
【００４７】
上記のような配置方法における許容範囲が、図６Ｂに示した最大重ね合わせ量Ｏｖである。この最大重ね合わせ量Ｏｖは、互いに隣接する単レンズ２１との重なり幅の最大値として捉えることが可能である。
【００４８】
以上がランダム配置方法の概略であるが、より具体的なランダム配置方法のアルゴリズムは特に限定されるものではなく、例えば、特開２０１２−１８１８１６号公報に開示されているような公知の方法を利用することが可能である。
【００４９】
以上のようにして初期配列を決定した後、図６Ｂに示したような単レンズ２１の開口径φや曲率半径Ｒをパラメータとして更に摂動させることにより、ランダムな形状を有する単レンズ２１を、ランダムに配置させることが可能となり、平坦部の発生を抑制することが可能となる。
【００５０】
以上のようなランダム配置方法において、単レンズ群２０における、互いに隣接する２つの単レンズ２１の重なり幅の最大値をＯｖ［μｍ］とし、互いに隣接する２つの単レンズ２１の開口径を、それぞれＤ１［μｍ］、Ｄ２［μｍ］としたときに、以下の式（１０１）で表される関係が成立することが好ましい。下記式（１０１）で表される関係が成立しない場合には、ランダム配置を実現するためのパラメータのばらつき度合いが不十分となり、十分なランダム性を実現することが困難となる可能性がある。
【００５１】
【数３】
2018109669.tif 000005
【００５２】
［基準配置方法について］
続いて、図７Ａ及び図７Ｂを参照しながら、基準配置方法の流れについて、簡単に説明する。
図７Ａに示したように、基準配置方法では、まず、基準となる初期配列状態をまず設定する。単レンズ２１の規則的な配列状態は、特に限定するものではなく、単レンズ２１の頂点位置が正方形状に配置される四角配置や、正六角形の頂点及び正六角形の中心に対応する位置に単レンズ２１の頂点位置が配置される六角配置等を適宜利用すればよい。この際、基準配置方法を実施した後の単レンズ群２０に、なるべく平坦部を生じさせないようにするために、規則的な配列状態は、六方最密格子等のような最密配列状態にすることが好ましい。
【００５３】
かかる基準配置方法では、図７Ａ左側中段の図に示したように、格子間隔（図７Ｂにおける基準格子ピッチＧ）をパラメータとする。その上で、図７Ａ左側下段の図に示したように、パラメータである格子間隔を、最密パターンに対応する値から小さくしていく。これにより、図７Ａ右側上段の図に示したように、各単レンズが重なりあうようになり、平坦部が無くなる。
【００５４】
その後、図７Ａ右側中段の図に示したように、各単レンズ２１のレンズ中心（頂点位置）を、格子点からランダムに動かしていく。具体的には、格子点からの最大移動距離をパラメータとし（図７Ｂにおける最大摂動量Ｍ）、０〜１の乱数と最大移動距離との積を移動距離として、個々に決定していく。また、移動角度についても、乱数を用いて決定していく。これにより、図７Ａ右側下段の図に示したように、最終的な単レンズ２１の配置パターンが決定することとなる。
【００５５】
その後、図７Ｂに示したような単レンズ２１の開口径φや曲率半径Ｒをパラメータとして更に摂動させることにより、ランダムな形状を有する単レンズ２１を、ランダムに配置させることが可能となる。
【００５６】
以上、図６Ａ〜図７Ｂを参照しながら、本実施形態に係る単レンズ２１の配置方法について、具体的に説明した。
【００５７】
＜反射型拡散板１の反射拡散特性について＞
本実施形態に係る反射型拡散板１は、単レンズ群２０に光が垂直入射する場合（換言すれば、透明基材１０の表面法線方向と平行な方向から光が入射する場合）に、かかる入射光の反射光の輝度分布が、所定の拡散角度範囲内で略均一となる。換言すれば、本実施形態に係る反射型拡散板１は、所定の拡散角度範囲内でトップハット型の反射特性を示す。
【００５８】
ここで、本実施形態において反射特性がトップハット型であるとは、図８に模式的に示したように、垂直入射した光の反射光の輝度分布について、所望の拡散角度範囲θｄｉｆｆ内において、反射光輝度値が、反射光輝度のピーク値Ｎｉｔｔｏｐを中心として、±１０％の範囲内に収まっている状態が実現されていることをいう。
【００５９】
図８に示したような状態が実現されることで、反射型拡散板からの反射拡散光の分布は、均質性を有するようになり、周期的な回折光等も発生しなくなる。一方、図８に示したようなトップハット型の反射特性が実現されていない場合には、反射型拡散板からの反射拡散光の分布は、均質ではなくなり、周期的な回折光等が発生する可能性が高くなる。
【００６０】
本実施形態において、例えば図９左側の図に示したように、反射拡散光の分布が均一である場合、着目する反射型拡散板は、垂直入射光に対して、所定の拡散角度範囲内で略均一な反射拡散性を有している（すなわち、合格ラインに達している）と判断する。一方、図９右側の図に示したように、反射拡散光の分布にムラが見られて均一ではなく、場合によっては周期的な回折パターンが観察される場合、着目する反射型拡散板は、垂直入射光に対して、所定の拡散角度範囲内で略均一な反射拡散性を有していない（すなわち、合格ラインに達していない）と判断する。
【００６１】
なお、図９左側に示した反射拡散特性は、基準開口径Ｄ＝８０μｍ、基準曲率半径Ｒ＝１００μｍ、摂動量δ＝５％、単レンズの重なり幅の最大値（すなわち、最大重ね合せ量）ＯＶ＝４０μｍである反射型拡散板の反射拡散特性である。また、図９右側に示した反射拡散特性は、基準開口径Ｄ＝８０μｍ、基準曲率半径Ｒ＝５００μｍ、摂動量δ＝０％、最大重ね合せ量ＯＶ＝３６μｍである反射型拡散板の反射拡散特性である。
【００６２】
また、本実施形態に係る反射型拡散板１は、透明基材１０の表面法線方向とのなす角が所定の値となる斜め方向から単レンズ群２０に入射する光について、特定の関係が成立する。
【００６３】
具体的には、図１０Ａに模式的に示したように、反射型拡散板１に対して、透明基材１０の表面法線方向とのなす角θｉｎが２０度又は４０度の方向から斜めに入射してくる光について、反射型拡散板１によって生じる反射拡散光の輝度分布に着目する。ここで、図１０Ｂに模式的に示したように、反射拡散光の輝度分布のうち、入射光の進行方向と表面法線方向とで規定される平面における反射拡散光の輝度分布を、以下では便宜的に「経度方向の輝度分布」と称することとし、反射拡散光の輝度分布のうち、入射光の進行方向と表面法線方向とで規定される平面に対して直交する平面における反射光の輝度分布を、以下では便宜的に「緯度方向の輝度分布」と称することとする。
【００６４】
本実施形態に係る反射拡散板１に対して、入射角度θｉｎ＝０度で入射してくる光（すなわち、表面法線方向と平行な方向から反射拡散板１に対して垂直入射する光）については、図１１Ａに一例を示したように、反射拡散光の経度方向の輝度分布と緯度方向の輝度分布とは、ほぼ同一の分布形状となり、拡散角度＝０度を中心として、ほぼ左右対称となるような輝度分布となる。
【００６５】
一方、本実施形態に係る反射拡散板１に対して、入射角度θｉｎ＝２０度又は４０度で入射してくる光について、反射拡散光の緯度方向の輝度分布については、入射角度θｉｎ＝０度の場合と同様に、拡散角度＝０度を中心として、ほぼ左右対称となるような輝度分布となる一方で、反射拡散光の経度方向の輝度分布については、拡散角度＝０度を中心として、左右非対称となる輝度分布となる。図１１Ｂは、入射角度θｉｎ＝２０度で入射してくる光の反射拡散光の輝度分布の一例を示したものであるが、緯度方向の輝度分布はほぼ左右対称な輝度分布となる一方で、経度方向の輝度分布は、左右非対称な輝度分布となっていることがわかる。
【００６６】
本実施形態では、図１１Ｂに示したような斜め入射時の反射拡散光の輝度分布（より詳細には、入射角度θｉｎ＝２０度又は４０度における反射拡散光の輝度分布）の少なくとも何れか一方に関して、面法線方向の反射輝度値をＡとし、反射拡散成分のピーク反射輝度値をＢとしたときに、０．３≦Ａ／Ｂ≦１の関係が成立する。
【００６７】
図１１Ｂに示した例の場合、拡散角度＝０度における反射輝度値が、上記の輝度値Ａとなり、拡散角度５０度近傍における経度方向の輝度分布のピーク値が、上記の輝度値Ｂとなる。なお、入射角度θｉｎ＝２０度であるにも関わらず、ピーク輝度値Ｂを与える拡散角度が５０度近傍となるのは、本実施形態で着目する反射拡散板１の単レンズ群において、開口径及び曲率半径が所定のばらつき（すなわち、摂動量）を有しているからである。
【００６８】
上記の（Ａ／Ｂ）で与えられる輝度比は、１超過の値を取ることはない。従って、輝度比（Ａ／Ｂ）の上限値は、１となる。一方、輝度比（Ａ／Ｂ）の値が０．３未満となる場合には、反射拡散光の輝度分布のムラが大きくなりすぎて、より均一な拡散角度分布特性を実現させることが困難となる。従って、輝度比（Ａ／Ｂ）の下限値は、０．３となる。輝度比（Ａ／Ｂ）の値の範囲は、より好ましくは、０．５以上１．０以下である。
【００６９】
本発明者らは、基準開口径Ｄ、基準曲率半径Ｒ、摂動量δを変えながら公知の光線追跡シミュレーションを実施して、反射型拡散板の反射拡散特性（より詳細には、上記のような垂直入射光の反射拡散特性、及び、斜め入射光の反射拡散特性）について、上記のような基準で検証を行った。具体的には、本発明者らは、基準開口径Ｄ＝３０μｍ、５０μｍ、又は、８０μｍとし、基準曲率半径Ｒ＝３０μｍ、１００μｍ、又は、５００μｍとした場合に、摂動量δ＝０％、５％、１０％、２０％、又は、３０％として、反射型拡散板の反射拡散特性についてシミュレーションを行った。
【００７０】
得られた結果を、以下の表１及び図１２Ａ〜図１２Ｃに模式的に示した。ここで、図１２Ａ〜図１２Ｃにおいて、白抜きのバーで示した領域が、垂直入射光及び斜め入射光の双方についての反射拡散特性が、合格となった領域を示している。
【００７１】
【表１】
2018109669.tif 000006
【００７２】
得られた上記のような評価結果に基づき、本発明者らは、垂直入射光に関する反射拡散特性、及び、斜め入射光に関する反射拡散特性の双方が合格となる領域と、垂直入射光に関する反射拡散特性、又は、斜め入射光に関する反射拡散特性の少なくとも何れか一方が不合格となる領域と、の境界を与える関係式について、更なる検討を行った。その結果、単レンズ群２０の基準開口径をＤ［μｍ］とし、基準曲率半径をＲ［μｍ］とし、基準開口径Ｄ及び基準曲率半径Ｒそれぞれのばらつき割合（摂動量）をδ［％］としたときに、以下の式（１０３）で表される関係が成立する場合に、垂直入射光に関する反射拡散特性、及び、斜め入射光に関する反射拡散特性の双方が合格となる可能性が極めて高くなることを知見した。
【００７３】
【数４】
2018109669.tif 000007
【００７４】
従って、本実施形態に係る反射拡散板１では、単レンズ群２０の基準開口径Ｄ、基準曲率半径Ｒ、及び、摂動量δについて、上記式（１０３）の関係が成立することが好ましい。
【００７５】
以上、図１〜図１２Ｃを参照しながら、本実施形態に係る反射型拡散板１について、詳細に説明した。
【００７６】
以上説明したような本実施形態に係る反射型拡散板１は、単レンズ２１の配置と、単レンズ２１の形状（開口径及び曲率半径）と、にランダム性を持たせることにより、より均一な拡散角度分布特性を実現することが可能となる。また、本実施形態に係る反射型拡散板１では、単レンズ２１の開口径や曲率半径を制御することで、拡散板１を透過した光の拡散角を自由に設計することが可能となる。
【００７７】
（反射型拡散板の製造方法の一例について）
以下では、図１３を参照しながら、本発明の実施形態に係る反射型拡散板１の製造方法の一例について、簡単に説明する。図１３は、本実施形態に係る反射型拡散板の製造方法の流れの一例を示した流れ図である。
【００７８】
本実施形態に係る反射型拡散板の製造方法では、まず、基盤の洗浄が実施される（ステップＳ１０１）。かかる基盤は、例えば、ガラスロールのようなロール状のものであってもよく、ガラスウェハのような平板状のものであってもよい。
【００７９】
次に、洗浄後の基盤に対して、レジスト（例えば、金属酸化物を用いたレジストや、有機物を用いたレジスト等）が形成される（ステップＳ１０３）。かかるレジストの形成処理は、ロール状の基盤に対しては、塗布処理又はディッピングにより実現され、平板状の基盤に対しては、各種のコーティング処理により実現される。
【００８０】
その後、レジストの形成された基盤に対して、露光処理が実施される（ステップＳ１０５）。かかる露光処理は、グレースケールマスク等を利用した露光（複数のグレースケールマスクの重ね合わせによる多重露光を含む。）、平板又はロール板に対するグレースケール露光、ピコ秒パルスレーザやフェムト秒パルスレーザ等を用いたレーザ露光など、公知の様々な露光方法を適宜適用することが可能である。
【００８１】
その後、露光後の基盤をアルカリ現像し（ステップＳ１０７）、Ｎｉスパッタ等の公知のスパッタ処理（ステップＳ１０９）を施すことにより、本実施形態に係る反射型拡散板１を製造する際のマスター原盤（例えば、ガラスマスターやメタルマスター等）が完成する（ステップＳ１１１）。その後、完成したマスター原盤を用いて、ソフトモールド等といったモールドが作成される（ステップＳ１１３）。
【００８２】
次に、製造されたモールドを利用して、基板ガラスや基板フィルム等に転写処理を実施し（ステップＳ１１５）、必要に応じて反射膜や保護膜等を成膜する（ステップＳ１１７）ことで、本実施形態に係る反射型拡散板１が製造される。
【００８３】
一方、ガラス基板に対して直接加工を施す場合には、ステップＳ１０７におけるアルカリ現像処理に引き続き、ＣＦ４等の公知の化合物を用いたドライエッチング処理を実施し（ステップＳ１１９）、その後、必要に応じて反射膜や保護膜等を成膜する（ステップＳ１２１）ことで、本実施形態に係る反射型拡散板１が製造される。
【００８４】
なお、図１３に示した製造方法の流れは、あくまでも一例であって、本実施形態に係る反射型拡散板の製造方法が図１３に示した例に限定されるものではない。
【００８５】
（反射型拡散板の適用例）
次に、本実施形態に係る反射型拡散板１の適用例について、簡単に説明する。
【００８６】
以上説明したような本実施形態に係る反射型拡散板１は、その機能を実現するために光を拡散させる必要がある装置に対して、適宜実装することが可能である。機能を実現するために光を拡散させる必要がある装置としては、例えば、各種のディスプレイ等の表示装置や、プロジェクタ等の投影装置を挙げることができる。
【００８７】
また、本実施形態に係る反射型拡散板１は、液晶表示装置のバックライトに対して適用することも可能であり、光整形の用途にも用いることが可能である。更に、本実施形態に係る反射型拡散板１は、各種の照明装置に対しても適用することが可能となる。
【００８８】
なお、機能を実現するために光を拡散させる必要がある装置は、上記の例に限定されるものではなく、光の拡散を利用する装置であればその他の公知の装置に対しても、本実施形態に係る反射型拡散板１を適用することが可能である。
【実施例】
【００８９】
続いて、実施例及び比較例を示しながら、本発明に係る反射型拡散板について、具体的に説明する。なお、以下に示す実施例は、あくまでも本発明に係る反射型拡散板の一例にすぎず、本発明に係る反射型拡散板が下記の例に限定されるものではない。
【００９０】
（試験例１）
以下では、市販の光線追跡シミュレーション用アプリケーションを利用して、以下の表２に示したような基準開口径Ｄ［μｍ］、基準曲率半径Ｒ［μｍ］、及び、摂動量δ［％］に基づき単レンズ２１をランダム配置方法により配置した場合の諸特性を、シミュレートした。なお、以下のシミュレーションでは、単レンズ２１を形成するレンズ材料を、透明樹脂又はガラスとした。また、反射層３０としては、単レンズ群２０の表面に対し、ＡｇＰＣｕ合金を用いた反射層を１００ｎｍ成膜した条件とした。
【００９１】
シミュレーションにより得られた反射拡散光の輝度分布について、トップハット型の拡散特性を有しているか、トップ部の輝度分布が均質性を有しているか、斜め入射光に関する反射輝度特性を満足しているか、の３点に関して、評価を行った。なお、各評価基準は、以下の通りである。
【００９２】
［トップハット型の拡散特性］
○：反射拡散光の輝度分布がトップハット形状である。
×：反射拡散光の輝度分布がトップハット形状ではない。
【００９３】
［均質性］
○：垂直入射光に対する反射拡散光の輝度分布においてトップ部の輝度変化が１０％以下
×：垂直入射光に対する反射拡散光の輝度分布においてトップ部の輝度変化が１０％超過
【００９４】
［斜め入射光に関する反射輝度特性］
○：２０度入射光及び４０度入射光の少なくとも何れか一方の輝度比（Ａ／Ｂ）が０．３≦Ａ／Ｂ≦１の範囲内
×：２０度入射光及び４０度入射光の双方の輝度比（Ａ／Ｂ）が０．３≦Ａ／Ｂ≦１の範囲外
【００９５】
得られた評価結果を、以下の表２にまとめて示した。
【００９６】
【表２】
2018109669.tif 000008
【００９７】
また、上記実施例１、実施例２及び比較例１については、図１４Ａ〜図１６Ｃとして、得られた反射拡散光の輝度分布を示している。図１４Ａ〜図１４Ｃは、実施例１の反射型拡散板における反射拡散光の輝度分布であり、図１５Ａ〜図１５Ｃは、実施例２の反射型拡散板における反射拡散光の輝度分布であり、図１６Ａ〜図１６Ｃは、比較例１の反射型拡散板における反射拡散光の輝度分布である。
【００９８】
更に、上記実施例３、実施例４及び比較例２については、図１７〜図１９として、反射型拡散板における単レンズ群の表面形状（俯瞰投影軌跡）と反射拡散光の分布の様子とを併せて示している。図１７は、実施例３の反射型拡散板に関するものであり、図１８は、実施例４の反射型拡散板に関するものであり、図１９は、比較例２の反射型拡散板に関するものである。
【００９９】
上記表２、及び、図１４Ａ〜図１９からも明らかなように、本発明の実施例に対応する反射型拡散板では、優れた反射拡散特性を示しているのに対し、本発明の比較例に対応する反射型拡散板では、均質な反射拡散特性を実現できていないことがわかる。
【０１００】
（試験例２）
続いて、試験例１と同様にして、基準開口径Ｄ＝８０μｍ、基準曲率半径Ｒ＝２００μｍ、及び、摂動量δ＝１０％として、単レンズ２１をランダム配置方法により配置した場合の反射拡散特性を、シミュレートした。なお、かかるシミュレーションでは、単レンズ２１を形成するレンズ材料を、透明樹脂又はガラスとした。また、反射層３０としては、単レンズ群２０の表面に対し、ＡｇＰＣｕ合金を用いた反射層を１００ｎｍ成膜した条件とした。
【０１０１】
得られた結果を、図２０Ａ〜図２０Ｃに示した。
図２０Ａは、入射角度θｉｎ＝０度における反射拡散特性を示したグラフ図であり、図２０Ｂは、入射角度θｉｎ＝２０度における反射拡散特性を示したグラフ図であり、図２０Ｃは、入射角度θｉｎ＝４０度における反射拡散特性を示したグラフ図である。
【０１０２】
ここで、本試験例において、入射角度θｉｎ＝２０度における輝度比（Ａ／Ｂ）の値は、０．６５となり、入射角度θｉｎ＝４０度における輝度比（Ａ／Ｂ）の値は、０となった。
【０１０３】
図２０Ａ〜図２０Ｃから明らかなように、本発明の実施例に対応する本試験例での反射型拡散板は、優れた反射拡散特性を示していることがわかる。
【０１０４】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【０１０５】
１    反射型拡散板
１０    透明基材
２０    単レンズ群
２１    単レンズ
３０    反射層
【図１】
2018109669.tif 000011
【図２】
2018109669.tif 000012
【図３】
2018109669.tif 000013
【図４】
2018109669.tif 000014
【図５】
2018109669.tif 000015
【図６Ａ】
2018109669.tif 000016
【図６Ｂ】
2018109669.tif 000017
【図７Ａ】
2018109669.tif 000018
【図７Ｂ】
2018109669.tif 000019
【図８】
2018109669.tif 000020
【図９】
2018109669.tif 000021
【図１０Ａ】
2018109669.tif 000022
【図１０Ｂ】
2018109669.tif 000023
【図１１Ａ】
2018109669.tif 000024
【図１１Ｂ】
2018109669.tif 000025
【図１２Ａ】
2018109669.tif 000026
【図１２Ｂ】
2018109669.tif 000027
【図１２Ｃ】
2018109669.tif 000028
【図１３】
2018109669.tif 000029
【図１４Ａ】
2018109669.tif 000030
【図１４Ｂ】
2018109669.tif 000031
【図１４Ｃ】
2018109669.tif 000032
【図１５Ａ】
2018109669.tif 000033
【図１５Ｂ】
2018109669.tif 000034
【図１５Ｃ】
2018109669.tif 000035
【図１６Ａ】
2018109669.tif 000036
【図１６Ｂ】
2018109669.tif 000037
【図１６Ｃ】
2018109669.tif 000038
【図１７】
2018109669.tif 000039
【図１８】
2018109669.tif 000040
【図１９】
2018109669.tif 000041
【図２０Ａ】
2018109669.tif 000042
【図２０Ｂ】
2018109669.tif 000043
【図２０Ｃ】
2018109669.tif 000044