(57)【要約】【課題】振動波モータの小型化を図る。【解決手段】超音波モータ（振動波モータ）１は、摺動部材７に摩擦接触する振動子２と、振動子２が固定されている基台３と、連結手段を介して基台３とバネユニット４による付勢力の方向に相対的に移動可能に連結している振動子支持部材５とを有し、連結手段は、基台３と振動子支持部材５とにバネユニット４による付勢力の方向に相対的に移動可能なコロ１１１と、コロ１１１を振動子２の駆動方向に付勢する第２のバネ１１２とを有し、コロ１１１と第２のバネ１１２とは、振動子２の振動板２１と摺動部材７との間に配置されている。【選択図】図３
2018019518.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
摺動部材に接触する接触部を有し、振動により前記摺動部材に相対的に移動する振動子と、
前記振動子が固定されている基台と、
前記振動子を、前記接触部の突出方向に付勢する第１の付勢部と、
連結手段を介して、前記第１の付勢部による付勢力の方向に、前記基台と相対的に移動可能に連結している支持部材と、
を有し、
前記連結手段は、前記第１の付勢部による付勢力の方向に、前記基台と前記支持部材とに相対的に移動可能な転動部材と、前記転動部材を、前記振動子と前記摺動部材の相対的な移動方向に付勢する付勢部材とを有し、前記転動部材と前記付勢部材とは、前記振動子と前記摺動部材との間に配置されていることを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
前記支持部材は、前記第１の付勢部の付勢力に直角な方向視で前記基台よりも前記摺動部材の側に延出している延設部を有し、
前記転動部材と前記付勢部材とは、前記延設部と前記基台との間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項３】
前記基台には前記第１の付勢部による付勢力の方向に貫通する開口部が設けられており、
前記延設部は前記基台の前記開口部の内部に入り込んでおり、
前記転動部材と前記付勢部材とは、前記延設部と前記開口部の内周面との間に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の振動波モータ。
【請求項４】
前記延設部は、前記振動子と前記摺動部材の相対的な移動方向の両端部のそれぞれに設けられ、両端部に設けられる延設部どうしの間に前記振動子を振動させる電気−機械変換素子が配置されることを特徴とする請求項２または３に記載の振動波モータ。
【請求項５】
前記付勢部材は、前記振動子の駆動方向の両端部のそれぞれに設けられる延設部のうちの一方と前記基台の内周面との間に設けられ、前記転動部材を前記振動子と前記摺動部材の相対的な移動方向に付勢することを特徴とする請求項４に記載の振動波モータ。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の振動波モータと、
前記振動波モータにより駆動される被駆動部材と、
を備えることを特徴とする振動波モータを備えた光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動波モータおよび振動波モータを備えた光学機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波モータは、高周波交流電圧の印加により超音波振動する振動子を摺動部材に摩擦接触させることにより、振動子と摺動部材とを相対的に移動させる。特許文献１に開示される超音波モータは、交流電圧の印加により振動する振動子と、振動子と摩擦接触する摺動部材と、振動子を摺動部材に向けて付勢する加圧バネと、振動子が固定される基台と、振動子を基台を介して支持する支持部材とを有する。そして、支持部材と基台とは、ローラを介して加圧バネによる付勢力の方向に相対的に変位可能に連結される。
【０００３】
ところで、特許文献１に記載の構成では、支持部材により支持される加圧バネによって振動子を付勢することから、加圧バネを支持する支持部材は振動子の上側(振動子から見て摺動部材とは反対側)に配置される。このため、ローラおよびローラを介して支持部材に連結する基台も、振動子の上側に配置される。このような構成であると、振動子の上側にローラなどを配置するスペースが必要になるため、超音波モータの小型化が困難である。すなわち、超音波モータの小型化のため、振動子よりも上側に配置される移動板やカバープレートを摺動部材に接近して配置しようとしても、これらの部材を基台と干渉しない位置までしか接近させることができない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−１２６６９２公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、振動波モータの小型化を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本発明は、摺動部材に接触する接触部を有し、振動により前記摺動部材に相対的に移動する振動子と、前記振動子が固定されている基台と、前記振動子を、前記接触部の突出方向に付勢する第１の付勢部と、連結手段を介して、前記第１の付勢部による付勢力の方向に、前記基台と相対的に移動可能に連結している支持部材と、を有し、前記連結手段は、前記第１の付勢部による付勢力の方向に、前記基台と前記支持部材とに相対的に移動可能な転動部材と、前記転動部材を、前記振動子と前記摺動部材の相対的な移動方向に付勢する付勢部材とを有し、前記転動部材と前記付勢部材とは、前記振動子と前記摺動部材との間に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、振動波モータの寸法（特に、第１の付勢部による付勢力の方向の寸法）を小さくして小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】振動波モータの構成例を模式的に示す分解斜視図である。
【図２】振動波モータの構成例を模式的に示す断面図である。
【図３】振動波モータの構成例を模式的に示す断面図である。
【図４】光学機器の要部の構成例を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本発明の実施形態では、振動波モータとして直動型の超音波モータを示す。なお、各図においては、超音波モータ（振動波モータ）の３軸の各方向を、Ｘ，Ｙ，Ｚの各矢印で示す。Ｘ軸方向は、超音波モータの駆動方向である。Ｙ軸方向は、駆動方向および第１の付勢部（後述）による付勢力に直角な方向である。Ｚ軸方向は、第１の付勢部による付勢力の方向である。また、説明の便宜上、超音波モータの各部材のＺ軸方向について、摺動部材（後述）の側を「摺動部材側」と称し、摺動部材とは反対側のカバー板（後述）の側を「カバー板側」と称する。
【００１０】
＜超音波モータの全体構成＞
まず、超音波モータ１の構成例について説明する。図１は、超音波モータ１の要部の構成例を模式的に示す分解斜視図である。図２と図３は、超音波モータ１の要部の構成例を模式的に示す断面図である。なお、図２は、駆動方向に直角な面（Ｙ−Ｚ平面）で切断した断面を示し、図３は、駆動方向および後述する第１の付勢部による付勢力の方向に平行な面（Ｘ−Ｚ平面）で切断した断面を示す。図１〜図３に示すように、超音波モータ１は、振動子２と、基台３と、振動子支持部材５と、第１の付勢部の例であるバネユニット４と、摺動部材７と、ユニット支持部材６とを有する。
【００１１】
振動子２は、振動板２１と、電気−機械変換素子の例である圧電素子２２とを有する。振動板２１は、略四辺形の平板部２１１と、平板部２１１から摺動部材側に突出する突起部２１２と、平板部２１１の長手方向（駆動方向、移動方向とも呼ぶ）の両端縁のそれぞれから駆動方向外側でかつ互いに反対方向に延出する２つの接合腕部２１４とを有する。突起部２１２の先端の摺動部材側の面には、摺動部材７と接触する摩擦接触部２１３が設けられる。すなわち、摩擦接触部２１３は平板部２１１から摺動部材側に突出した位置にある。２つの接合腕部２１４のそれぞれの先端側には、基台３に接合される被接合部２１５が設けられ、被接合部２１５には接合孔２１６が設けられる。２つの接合腕部２１４のそれぞれの被接合部２１５よりも基端側には、被接合部２１５よりも幅（Ｙ軸方向寸法）が小さい幅細部２１７が設けられる。圧電素子２２には、公知の各種圧電素子が適用される。圧電素子２２は、振動子２の平板部２１１のカバー板側の面に、公知の各種接着剤などによって固定される。そして、振動子２は、圧電素子２２に所定の交流電圧が印加されると超音波振動を起こし、その長手方向（駆動方向）と短手方向（Ｙ軸方向）に共振を起こすように構成される。
【００１２】
基台３は、第１の付勢部の例であるバネユニット４による付勢力の方向に所定の厚さを有し、この付勢力の方向視で内側が開口する枠体状の構成を有する。すなわち、基台３には、バネユニット４による付勢力の方向に貫通する開口部３１が設けられる。基台３の短辺（長手方向（駆動方向）の両端部）のカバー板側の面には、振動板２１の接合腕部２１４の被接合部２１５を接合するための接合突部３２が設けられる。開口部３１の長手方向（駆動方向）の一方の端部には、後述するコロ１１１および付勢部材である第２のバネ１１２を収容可能な収容部３１１が設けられ、他方の端部には、後述するコロ１１１を収容可能な収容部３１１が設けられる。また、説明の便宜上、開口部３１の内周面のうち、駆動方向の両端部に位置する２つの面を「挟持面３１２」と称する。２つの挟持面３１２は、駆動方向に直角な平面である。
【００１３】
振動子２は、基台３のカバー板側の面に固定される。具体的には、振動子２の２つの接合腕部２１４のそれぞれの被接合部２１５に設けられる接合孔２１６に、基台３のカバー板側の面に設けられる２つの接合突部３２そのそれぞれが嵌め込まれ、その状態で接着剤によって接着される。
【００１４】
振動子支持部材５は、振動子２および基台３を支持する部材であり、後述する連結手段を介して基台３と連結する。振動子支持部材５は、基台３および振動子２とともに駆動方向に移動可能である。振動子支持部材５の駆動方向（振動子２と摺動部材７との相対的な移動方向）の両端部近傍のそれぞれには、摺動部材側に延出する２つの延設部５１が設けられる。すなわち、本実施形態では、振動子支持部材５に合計で４つの延設部５１が設けられる。なお、駆動方向の一方の端部近傍に設けられる２つの延設部５１と他方の端部近傍に設けられる２つの延設部５１とは、それらの間に振動板２１の平板部２１１を配置可能なように、駆動方向に所定の距離をおいて離れて設けられる。さらに、駆動方向の両端部のそれぞれに設けられる２つの延設部５１どうしは、それらの間に振動板２１の接合腕部２１４の幅細部２１７を配置可能なように、Ｙ軸方向に所定の距離をおいて離れて設けられる。また、４つの延設部５１の駆動方向外側を向く面は、駆動方向に直角な平面である。説明の便宜上、これらの面を「挟持面５１１」と称する。この他、振動子支持部材５のバネユニット４による付勢力の方向視（Ｚ軸方向視）における中央部には、第１の付勢部を支持するための支持部５２が設けられている。この支持部５２には、たとえは、Ｚ軸方向に貫通する開口部が適用される。
【００１５】
振動子支持部材５のカバー板側の面のＹ軸方向の両縁部のそれぞれには、後述するガイド部１２の一部となる移動板５３が、接着やネジ止めなどといった公知の方法で固定される。移動板５３は駆動方向に長い板状の部材であり、それらのカバー板側の面には、駆動方向に延伸するガイド溝５３１（例えばＶ溝）が設けられる。
【００１６】
第１の付勢部の例であるバネユニット４は、振動子２を摺動部材側（摩擦接触部２１３の突出方向）に付勢する。バネユニット４は、第１のバネ４１と、バネ地板４２と、バネ支持部材４３とを有する。第１のバネ４１には、例えば、弾性圧縮変形可能な圧縮コイルバネが適用される。バネ地板４２は、振動子支持部材５の支持部５２に嵌合可能な構成を有する。バネ地板４２の外周縁部の複数の箇所には、外側に向かって突出するバヨネット突部４２１が設けられる。また、バネ地板４２には、バネ支持部材４３のスライド部４３２を挿入可能なスライド孔４２２が設けられる。バネ支持部材４３は、板状の押圧部４３１と、押圧部４３１からカバー板側に延出する柱状のスライド部４３２とを有する。バネ支持部材４３のスライド部４３２はバネ地板４２のスライド孔４２２に挿入されており、その状態で、バネ地板４２とバネ支持部材４３とは、バネユニット４による付勢力の方向に、相対的に移動可能である。そして、第１のバネ４１は、バネ支持部材４３の押圧部４３１とバネ地板４２との間に配置され、これらを互いに離れる方向に付勢する。なお、バネ支持部材４３のスライド部４３２の先端部（カバー板側の端部）には、スライド部４３２の他の部分よりも径が大きい大径部４３３が設けられている。この大径部４３３は、バネ地板４２のスライド孔４２２の内径よりも大径であり、バネ地板４２のカバー板側の面に係止可能である。例えば、バネユニット４は、バネ支持部材４３のスライド部４３２の大径部４３３が摺動部材側からスライド孔４２２に軽圧入されることにより組み立てられる。このため、バネユニット４の組み立て後は、第１のバネ４１の付勢力に抗して組み立てられた状態を維持する。
【００１７】
ユニット支持部材６は、振動子２と基台３と振動子支持部材５とが収容される部材である。ユニット支持部材６は、カバー板側が開口する箱状の本体６１と、本体６１の開口する側（カバー板側）に設けられるカバー板６２とを有する。カバー板６２の摺動部材側の面には、駆動方向に延伸するガイド溝６２１（たとえばＶ溝）が設けられる。そして、カバー板６２の摺動部材側の面は、バネユニット４による付勢力の方向に所定の距離をおいて移動板５３に対向する。摺動部材７は、振動子２の振動板２１の突起部２１２の摩擦接触部２１３が接触する相手方部材である。摺動部材７は、ネジなどの公知の締結手段によって、そのカバー板側の面がユニット支持部材６の本体６１の内部に現れるように固定される。
【００１８】
このほか、超音波モータ１は、バネ支持部材４３の押圧部４３１と振動子２との間に互いに重ねて配置される加圧板１０１および弾性部材１０２と、連結手段の一部となるコロ１１１および第２のバネ１１２とを有する。加圧板１０１および弾性部材１０２には、公知の構成が適用できる。コロ１１１は、転動部材の例であり、円柱状の部材である。第２のバネ１１２は付勢部材の例であり、本実施形態では板バネが適用される。
【００１９】
ここで、超音波モータ１の組み付け構造について説明する。基台３の開口部３１の一方の収容部３１１には、コロ１１１と第２のバネ１１２とが収容され、他方の収容部３１１にはコロ１１１が収容される。その状態で、基台３のカバー板側の面に振動子２が固定される。振動子２のカバー板側の面には、振動子２に近い側から順に弾性部材１０２と加圧板１０１とが重ねて配置され、それらの上側に、第１の付勢部の例であるバネユニット４が配置される。
【００２０】
それらのカバー板側に、振動子支持部材５が配置される。振動子支持部材５が配置されると、振動子支持部材５の延設部５１は基台３の開口部３１の内部に入り込んだ状態となる。基台３の開口部３１の一方の収容部３１１に収容されたコロ１１１および第２のバネ１１２は、振動子支持部材５の延設部５１の挟持面５１１と基台３の開口部３１の挟持面３１２とにより挟持される。同様に、基台３の開口部３１の他方の収容部３１１に収容されたコロ１１１も、振動子支持部材５の延設部５１の挟持面５１１と基台３の開口部３１の挟持面３１２とにより挟持される。これにより、基台３と振動子支持部材５とを連結する連結手段が構成される。そして、このような構成によれば、振動子支持部材５と基台３とは、コロ１１１を介してバネユニット４による付勢力の方向に相対的に変位可能に連結される。また、振動子支持部材５は、第２のバネ１１２の付勢力によって、基台３に対して駆動方向に片寄せされる。なお、連結手段の詳細については後述する。
【００２１】
また、本実施形態では、振動板２１の駆動方向の前後に、２カ所の収容部３１１が設けられ、それぞれの収容部３１１にコロ１１１が収容される。すなわち、振動板２１を挟んで駆動方向の前後の２カ所にコロ１１１が配置される。
【００２２】
振動子支持部材５が配置されると、バネユニット４のバネ地板４２の一部が振動子支持部材５の支持部５２に嵌まり込んだ状態となるとともに、バネ地板４２の外周縁部に設けられるバヨネット突部４２１が支持部５２の縁部に係止する。これにより、バネユニット４の付勢力の方向の位置が規定される。そして、バネ支持部材４３の押圧部４３１は、第１のバネ４１の付勢力によって、加圧板１０１および弾性部材１０２を介して、振動子２を摺動部材側に付勢する。このため、振動子２の突起部２１２の先端部に設けられる摩擦接触部２１３は、それらの突出方向に付勢された状態で摺動部材７に接触する。このように、本実施形態では、第１のバネ４１とバネ地板４２とバネ支持部材４３とが、振動子２を摺動部材７に向けて付勢する第１の付勢部の例であるバネユニット４を構成する。そして、バネユニット４は、加圧板１０１および弾性部材１０２を介して、圧電素子２２を含む振動子２を摺動部材側（摩擦接触部２１３の突出方向）に付勢して支持する。
【００２３】
ユニット支持部材６の本体６１のカバー板側には、カバー板６２が公知のネジ等により固定される。カバー板６２が固定されると、カバー板６２と移動板５３に設けられるガイド溝５３１，６２１が対向し、これらのガイド溝５３１，６２１にボール１０３が嵌まり込んだ状態となる。振動子支持部材５は連結手段を介して基台３と連結しているから、振動子支持部材５と基台３と振動子２とは、駆動方向であるガイド溝５３１，６２１の延伸方向に直線移動可能となる。このように、本実施形態では、ガイド溝５３１，６２１が設けられた移動板５３およびカバー板６２と、これらのガイド溝５３１，６２１に嵌まり込んでいるボール１０３とが、振動子支持部材５と基台３と振動子２の駆動方向の移動をガイドするガイド部１２を構成する。
【００２４】
このような構成によれば、圧電素子２２に交流電圧が印加されると、振動子２の突起部２１２の先端に設けられる摩擦接触部２１３が楕円運動する（図２参照）。この際、圧電素子２２に印加する交流電圧の周波数や位相を変更することによって、摩擦接触部２１３の回転方向や楕円運動の長径と短径の比率を適宜変更し、所望の運動を発生させることができる。そして、振動子２の摩擦接触部２１３が相手方部材である摺動部材７と接触することにより、相対的に移動する駆動力を発生させ、振動子２を駆動方向に移動させることができる。
【００２５】
＜連結手段＞
次に、振動子支持部材５と基台３とを連結する連結手段について説明する。本実施形態では、連結手段は、基台３の開口部３１の挟持面３１２と、コロ１１１と、第２のバネ１１２と、振動子支持部材５の延設部５１の挟持面５１１とにより構成される。振動子支持部材５に設けられる延設部５１は、振動子２の振動板２１よりも摺動部材側に突出しており、基台３の開口部３１の内部に入り込んでいる。換言すると、駆動方向視や横方向視において、延設部５１の少なくとも摺動部材側の一部は基台３と重畳する。そして、振動子支持部材５の延設部５１の挟持面５１１と基台３の開口部３１の挟持面３１２とは、駆動方向に所定の距離をおいて離れた状態で対向する。なお、振動子支持部材５の延設部５１の挟持面５１１と基台３の開口部３１の挟持面３１２とは、互いに平行であり、かつＹ−Ｚ平面に平行である。
【００２６】
また、図１に示すように、振動子支持部材５の駆動方向の両端部のそれぞれに設けられる２本の延設部５１は、Ｙ軸方向に所定の距離をおいて離れている。そして、２本の延設部５１は、幅細部２１７のＹ軸両方の両側の領域Ａ（図１参照）に配置される。このような構成により、振動子支持部材５の延設部５１と振動子２との干渉を防止しつつ、延設部５１を振動子２の振動板２１よりも摺動部材側に突出させている。
【００２７】
駆動方向の一方の振動子支持部材５の延設部５１の挟持面５１１と基台３の開口部３１の挟持面３１２との間に、コロ１１１と第２のバネ１１２とが配置される。具体的には、円柱状のコロ１１１は、その軸線がＹ軸方向に平行な向きで配置される。また、コロ１１１と第２のバネ１１２とは、駆動方向に並べて配置される。各図においては、コロ１１１が延設部５１の挟持面５１１に近い側に配置され、第２のバネ１１２が開口部３１の挟持面３１２に近い側に配置される例を示す。そして、第２のバネ１１２は、コロ１１１を延設部５１の挟持面５１１に向けて付勢する。このように、第２のバネ１１２の付勢力は、駆動方向と同じ方向（Ｘ軸方向、振動子２と摺動部材７との相対的な移動方向）であり、バネユニット４による付勢力の方向（Ｚ軸方向）に直角である。これにより、振動子支持部材５は、基台３に対して駆動方向に付勢されて片寄せされる。また、他方の振動子支持部材５の延設部５１の挟持面５１１と基台３の開口部３１の挟持面３１２との間には、コロ１１１が配置される。このコロ１１１は、第２のバネ１１２の付勢力によって、他方の振動子支持部材５の延設部５１の挟持面５１１と基台３の開口部３１の挟持面３１２とに挟持される。
【００２８】
このように、基台３と振動子支持部材５とは、連結手段によって、第１の付勢部の付勢力に直角な方向に相対的に変位可能に連結される。特に、延設部５１の挟持面５１１と開口部３１の挟持面３１２との間には転動可能なコロ１１１が介在する構成であるから、相対的な変位の際の抵抗を小さくすることができる。また、第２のバネ１１２の付勢力によって、駆動方向にガタが無いように連結される。なお、第２のバネ１１２の付勢力は、振動子支持部材５とこれに連結される被駆動部材の駆動開始時や駆動停止時の加減速による慣性力よりも大きくなるように設定される。このような構成によれば、基台３と振動子支持部材５とは、駆動開始時や駆動停止時の慣性力に起因する相対的な変位をしない。したがって、安定した駆動制御が実現可能となる。
【００２９】
以上説明したように、振動子２が固定された基台３と振動子支持部材５とは、連結手段であるコロ１１１および第２のバネ１１２を介して連結される構成である。そして、連結手段は、振動子２と摺動部材７との間に配置される。
【００３０】
このような構成の連結手段によれば、振動子２が固定された基台３は、バネユニット４による付勢力の方向については、コロ１１１の転動により付勢力の損失を防止または抑制した状態で支持される。さらに、連結手段が振動子２の平板部２１１と摺動部材７との間に配置される構成であるから、移動板５３と、カバー板６２と、移動板５３とカバー板６２の間のボール１０３とを、摺動部材７に接近させて配置できる。このため、バネユニット４による付勢力の方向について、超音波モータ１の小型化が可能となる。すなわち、従来のような、連結手段が振動子よりもカバー板側に設けられる構成であると、振動子とカバー板との間に連結手段を配置するためのスペースが必要である。このため、このスペースの分、超音波モータのバネユニット４による付勢力の方向の寸法を大きくしなければなれなかった。これに対して、本実施形態によれば、このようなスペースは不要であり、振動子支持部材５と振動子２とは、干渉しない程度の距離（図３中の寸法「ｂ」）を確保すればよい。このため、超音波モータ１のバネユニット４による付勢力の方向の寸法を小さくして小型化を図ることができる。
【００３１】
なお、上記の超音波モータ１は、摺動部材７を含む構成であるが、超音波モータ１が摺動部材７を含まず、超音波モータ１とは異なる部材に摺動部材７を設けた構成であってもよい。また、上記の超音波モータ１は、振動子２が摺動部材７に対して移動する構成であるが、摺動部材７が振動子２に対して移動する構成であってもよい。すなわち、振動子２と摺動部材７とが相対的に移動する構成であればよい。
【００３２】
＜光学機器＞
次に、前述の超音波モータ１が適用された光学機器９の構成例について、図４を参照して説明する。図４は、超音波モータ１が適用された光学機器９の要部の構成例を模式的に示す断面図である。ここでは、撮影装置などといった、鏡筒を有する光学機器９を例に示す。
【００３３】
光学機器９は、第１のレンズ９１１を支持する第１のレンズ支持部材９１と、第２のレンズ９２１を支持する第２のレンズ支持部材９２と、第３のレンズ９３１を支持する第３のレンズ支持部材９３と、本実施形態に係る超音波モータ１とを有する。第２のレンズ９２１は合焦レンズである。第３のレンズ支持部材９３の外周部には、略円筒状の筒状部９３２が設けられており、この筒状部９３２の軸線方向（すなわち光軸Ｌの方向）の一方の端部と第１のレンズ支持部材９１とは、ネジなどによって締結されている。また、第３のレンズ支持部材９３の外周の一部にはユニット受部９３４が設けられており、超音波モータ１はこのユニット受部９３４にネジなどによって着脱自在に固定されている。さらに、第３のレンズ支持部材９３の筒状部９３２の内部には、第２のレンズ支持部材９２および第２のレンズ支持部材９２に支持されている第２のレンズ９２１が、筒状部９３２の軸線方向に往復移動可能に収容されている。例えば、第３のレンズ支持部材９３の筒状部９３２の内部には、棒状のガイドバー９３３が筒状部９３２の軸線方向に平行に配置されており、第２のレンズ支持部材９２に設けられている軸受部９２２が、ガイドバー９３３に往復動可能に係合している。このため、軸受部９２２がガイドバー９３３に沿って移動することにより、第２のレンズ支持部材９２は第３のレンズ支持部材９３の筒状部９３２の軸線方向に直線往復移動可能である。
【００３４】
超音波モータ１のユニット支持部材６が第３のレンズ支持部材９３の筒状部９３２のユニット受部９３４に固定されており、振動子支持部材５と第２のレンズ支持部材９２とが連結されている。そして、振動子２の駆動方向と第３のレンズ支持部材９３の筒状部９３２の軸線方向（ガイドバー９３３の長手方向）とは同じ方向である。このため、超音波モータ１の圧電素子２２に交流電圧が印加されると、第２のレンズ支持部材９２は、振動子２とともに、第３のレンズ支持部材９３の筒状部９３２の軸線方向に直線移動する。なお、振動子支持部材５と第２のレンズ支持部材９２の連結構造としては、例えば、振動子支持部材５に設けられているピン９０１が、第２のレンズ支持部材９２に設けられている被係合部９２３に係合する構造が適用できる。ただし、振動子支持部材５と第２のレンズ支持部材９２の連結構造は特に限定されるものではなく、公知の各種連結構造が適用できる。例えば、公知のラックと係合ピンによって連結される構造であってもよい。
【００３５】
本実施形態に係る超音波モータ１が適用された光学機器９によれば、被駆動部材の例である第２のレンズ支持部材９２は、駆動方向にガタなく支持されるから、合焦レンズを鏡筒の軸線方向（すなわち光軸Ｌの方向）に精度よく駆動制御される。また、光学機器９の小型化、特に図４のように配置される構成であれば鏡筒の半径方向寸法の小型化を図ることができる。
【００３６】
以上、本発明の実施形態および実施例を、図面を参照して詳細に説明したが、前記実施形態および実施例は、本発明の実施にあたっての具体例を示したに過ぎない。本発明の技術的範囲は、前述した実施形態および実施例に限定されるものではない。本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に含まれる。例えば、前記実施形態では、振動波モータとして直動型の超音波モータを示したが、本発明が適用できる振動波モータは直動型の超音波モータに限定されない。例えば、回転型やその他のタイプへの適用も可能である。また、振動波モータを備える光学機器の例として鏡筒を有する機器を示したが、本発明が適用できる光学機器も、鏡筒を有する機器に限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、振動波モータおよびこの振動波モータを備える光学機器に有効な技術である。そして、本発明によれば、振動波モータの小型化を図ることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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