(57)【要約】【課題】振動発生部の横ズレを防止することができる加振器を提供する。【解決手段】振動センサ一体型加振器４は、筐体２１、加振部２２、磁石２３、ヨーク２４、振動センサ２５、固定プレート２６、移動プレート２７、コイルバネ２８ａ〜２８ｄ、保持プレート２９、十字プレート３０を備えている。固定プレート２６は、シャフト３１ａ〜３１ｄが固定されている。十字プレート３０には、加振部２２が固定されている。十字プレート３０には、固定された加振部２２の加振軸を中心にして同じ半径で９０°ピッチで４個の防振ゴム３２ａ〜３２ｄが取り付けられている。十字プレート３０は、防振ゴム３２ａ〜３２ｄを介して保持プレート２９に取り付けられている。振動センサ一体型加振器４の筐体２１に外部から加わった振動を防振ゴム３２ａ〜３２ｄにより吸収するので、振動によるヨーク２４の横方向のズレを防止することができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
前記筐体の内部に固定された磁石と、
ワークに接触して前記ワークを加振する加振部と、
前記加振部と一体化され、且つコイルが巻回され、前記コイルと前記磁石とで協働して振動を発生させる振動発生部と、
前記加振部の加振軸線上に取り付けられ、加振された前記ワークの共振振動を検出する振動センサと、
前記加振部を支持する支持部材と、
前記加振部の加振軸線から径方向に同じ距離で、且つ周方向に一定間隔である少なくとも３以上の箇所で前記支持部材を保持し、前記支持部材を保持した状態で前記筐体に対し機械的に固定される防振部材と、
を備えることを特徴とする加振器。
【請求項２】
請求項１に記載の加振器において、
前記加振部の前記ワークに接触する先端面は、前記先端面から前記振動センサまでの距離が同一となるような球面で形成されていることを特徴とする加振器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の加振器において、
前記加振部により加振した場合にも、前記加振部が前記ワークから離れないように前記加振部を前記ワークに押圧する押圧手段を備えることを特徴とする加振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動センサを有する加振器に関する。
【背景技術】
【０００２】
プレス成形等により形成された板金製のパネル（ワーク）が良品であるか否かを判定するパネル検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のパネル検査装置では、パネルの共振振動を検出する振動センサと、パネルを振動する加振部とを備える振動センサ一体型加振器を用いて、検査を行っている。
【０００３】
特許文献１に記載のパネル検査装置では、振動センサ一体型加振器は、内部に加振部が配置された筐体と、筐体の内部に固定された磁石と、加振部と一体に成形され、且つ柔軟な保持具によって筐体に保持され、巻回されたコイルによって磁石と協働して振動を発生させるヨーク（振動発生部）とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開公報ＷＯ２０１４／１０９３６５Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載のパネル検査装置では、磁石と振動発生部とは近接しており、外部から振動センサ一体型加振器に振動が加わった場合、振動発生部が横方向にズレて磁石に接触してしまうことがある。振動発生部が磁石に接触した場合には、正確に振動を検出することができない。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、振動発生部の横ズレを防止することができる加振器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の加振器は、筐体と、前記筐体の内部に固定された磁石と、ワークに接触して前記ワークを加振する加振部と、前記加振部と一体化され、且つコイルが巻回され、前記コイルと前記磁石とで協働して振動を発生させる振動発生部と、前記加振部の加振軸線上に取り付けられ、加振された前記ワークの共振振動を検出する振動センサと、前記加振部を支持する支持部材と、前記加振部の加振軸線から径方向に同じ距離で、且つ周方向に一定間隔である少なくとも３以上の箇所で前記支持部材を保持し、前記支持部材を保持した状態で前記筐体に対し機械的に固定される防振部材と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本発明の加振器によれば、加振部を支持する支持部材を、加振部の加振軸線から径方向に同じ距離で、且つ周方向に一定間隔である少なくとも３以上の箇所で保持し、支持部材を保持した状態で筐体に対し機械的に固定される防振部材を備えるので、筐体に外部から加わった振動を防振部材により吸収し、振動発生部に振動が伝わるのを防止することができる。これにより、振動により振動発生部が横方向にズレるのを防止することができる。
【０００９】
また、前記加振部の前記ワークに接触する先端面は、前記先端面から前記振動センサまでの距離が同一となるような球面で形成されていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、ワークが傾いた場合でも、振動センサから加振部の先端面とワークとの接触点までの距離は同じ距離に保たれる。これにより、ワークが傾いた場合における加振部とワークとの接触位置の変化を、ワークに接触する面が直線状の加振部に比べて小さくすることができる。さらに、加振部とワークとの接触部分の摩擦力も、ワークに接触する面が直線状の加振部に比べて小さくすることができる。
【００１１】
さらに、前記加振部により加振した場合にも、前記加振部が前記ワークから離れないように前記加振部を前記ワークに押圧する押圧手段を備えることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、加振時に加振部がワークから離れるのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、振動により振動発生部が横方向にズレるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明のパネル検査装置の構成を示す概略図である。
【図２】振動センサ一体型加振器を示す斜視図である。
【図３】振動センサ一体型加振器を分解して示す斜視図である。
【図４】振動センサ一体型加振器を示す側面図である。
【図５】振動センサ一体型加振器を示す断面図である。
【図６】パネルを検査する際の処理の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１に示すように、パネル検査装置２は、検査対象であり、例えばプレス成形により形成された板金製のパネル３（ワーク）を加振し、加振によるパネル３の共振振動を検出する振動センサ一体型加振器４と、この振動センサ一体型加振器４を制御する制御装置５とを備える。パネル３は、例えば、車両のボンネットである。
【００１７】
パネル３は、搬送ロボット１０により搬送される。パネル検査装置２は、パネル３を搬送ロボット１０により搬送している際に振動センサ一体型加振器４をパネル３の一部である加振点３ａに接触させて、パネル３を加振して、パネル３を共振させ、振動センサ一体型加振器４によってパネル３の振動を取得するように構成されている。
【００１８】
具体的には、制御装置５が電圧波形を振動センサ一体型加振器４に出力することにより、加振器アンプ（図示せず）が電圧を電圧に比例した電流に変換して、振動センサ一体型加振器４に変換した電流を出力し、振動センサ一体型加振器４がパネル３の一端部である加振点３ａを加振し、パネル３を共振させる。そして、振動センサ一体型加振器４は、加振点３ａにおける共振を含む合成振動を検出して制御装置５に入力する。さらに、詳しくは後述するように、検出された共振振動を含む振動を制御装置５で処理することにより、パネル３の共振周波数を抽出して、パネル３の共振周波数と予め測定された良品パネルの共振周波数とを比較してパネル３の品質の良否を判定するようになっている。
【００１９】
搬送ロボット１０は、パネル３を吸着する複数の吸着部（図１では３個の吸着部１１〜１３を表示）と、振動センサ一体型加振器４を保持する保持具１４と、吸着部１１〜１３及び保持具１４が固定されるアーム１５と、アーム１５を移動させるモータ等を有する移動部１６と、ロボット制御装置１７とを備える。アーム１５は、レール（図示せず）に移動可能に取り付けられており、移動部１６の駆動により、アーム１５がレールに沿って移動することで、吸着部１１〜１３で吸着したパネル３が搬送される。移動部１６は、ロボット制御装置１７により駆動が制御される。
【００２０】
吸着部１１は、例えばゴム製で蛇腹状に形成された本体部１１ａと、本体部１１ａの内部を吸引する吸引部１１ｂとを備える。本体部１１ａの先端面をパネル３に当接した状態で吸引部１１ｂを駆動して、本体部１１ａの内部の空気を吸引すると、パネル３が吸着される。また、吸引部１１ｂの駆動を停止すると、パネル３の吸着は解除される。吸着部１２，１３は、吸着部１１と同様に、本体部１２ａ，１３ａと、吸引部１２ｂ，１３ｂとを備えている。各吸引部１１ｂ〜１３ｂは、ロボット制御装置１７により駆動が制御される。
【００２１】
［振動センサ一体型加振器４の構成］
図２〜図５に示すように、振動センサ一体型加振器４は、鉄製の磁気回路から構成される筐体２１と、パネル３を加振する加振部２２と、筐体２１の上面内壁に固定された磁石２３と、加振部２２と一体に形成され、且つ巻回されたコイル（図示せず）によって磁石２３と協働して振動を発生させるヨーク２４（振動発生部）とを備えている。
【００２２】
加振部２２は、先端面（図１〜図５における下端面）が球面状に形成されており、球面の先端面がパネル３に接触する。加振部２２の先端面は、後述する振動センサ２５から加振部２２の先端面までの距離が同一となるような球面で形成されている。従って、パネル３が揺れて傾いた場合（図５に２点鎖線で示す）でも、振動センサ２５から加振部２２とパネル３との接触点までの距離は同じ距離に保たれる。これにより、パネル３が揺れて傾いた場合における加振部２２とパネル３との接触位置の変化を、パネル３に接触する面が直線状の加振部に比べて小さくすることができる。さらに、加振部２２とパネル３との接触部分の摩擦力も、パネル３に接触する面が直線状の加振部に比べて小さくすることができる。なお、加振部２２の先端面の形状は適宜変更可能である。なお、同一とは、僅かに異なる場合も含む。
【００２３】
振動センサ一体型加振器４は、ヨーク２４の内部であって加振部２２の加振軸線上に加振部２２と一体に取り付けられ、加振されたパネル３から発生される共振振動を検出するための振動センサ２５を備えている。
【００２４】
また、振動センサ一体型加振器４は、筐体２１の上端部の外周に固定された略コ字状の固定プレート２６と、略コ字状の移動プレート２７と、コイルバネ２８ａ〜２８ｄ（押圧手段）と、保持プレート２９と、加振部２２が固定された十字形状の十字プレート３０（支持部材）とを備えている。なお、コイルバネの数は適宜変更可能である。また、コイルバネに代えて板バネ等を用いてもよく、さらには、エアー押圧機構等により押圧するようにしてもよい。
【００２５】
固定プレート２６は、筐体２１の上端部の外周に固定され、四隅には、下方に延びて移動プレート２７を移動可能に支持するシャフト３１ａ〜３１ｄが固定されている。
【００２６】
移動プレート２７は、シャフト３１ａ〜３１ｄに対応する四隅に、シャフト３１ａ〜３１ｄが挿通される挿通孔２７ａ〜２７ｄが形成されている。移動プレート２７には、取付プレート３５（図１参照）が取り付けられ、この取付プレート３５は、搬送ロボット１０の保持具１４（図１参照）に保持されている。
【００２７】
移動プレート２７の挿通孔２７ａ〜２７ｄを挿通されたシャフト３１ａ〜３１ｄは、コイルバネ２８ａ〜２８ｄに挿入され、コイルバネ２８ａ〜２８ｄの上面は、移動プレート２７の下面に当接している。
【００２８】
保持プレート２９には、コイルバネ２８ａ〜２８ｄに挿入されたシャフト３１ａ〜３１ｄが挿入され固定される挿入孔２９ａ〜２９ｄと、ヨーク２４が挿通される挿通孔２９ｅとが形成されている。コイルバネ２８ａ〜２８ｄの下面は、保持プレート２９の上面に当接している。保持プレート２９がシャフト３１ａ〜３１ｄに固定された状態では、コイルバネ２８ａ〜２８ｄは圧縮されてバネチャージされた状態となっている。このコイルバネ２８ａ〜２８ｄのバネ力により、移動プレート２７は上方に付勢され、移動プレート２７の上面が固定プレート２６の下面に当接した状態となっている。
【００２９】
十字プレート３０には、加振部２２の先端部（図１〜図５における下端部）が挿通された状態で、加振部２２が固定されている。十字プレート３０には、固定された加振部２２の加振軸線から径方向に同じ距離で、且つ周方向において９０°ピッチで４個の防振ゴム３２ａ〜３２ｄが取り付けられている。防振ゴム３２ａ〜３２ｄは、保持プレート２９の下面に当接している。なお、図５において、加振部２２及び磁石２３は断面で示していない。
【００３０】
十字プレート３０は、防振ゴム３２ａ〜３２ｄを介して取付ネジ（図示せず）により保持プレート２９に取り付けられている。加振部２２は、コイルバネ２８ａ〜２８ｄのバネ力により、保持プレート２９、防振ゴム３２ａ〜３２ｄ及び十字プレート３０を介して、下方に付勢された状態となっている。なお、防振ゴム３２ａ〜３２ｄは、加振軸線方向において違った位置に配置されていてもよい。
【００３１】
本実施形態では、例えば、振動センサ一体型加振器４により加振する際の加振部２２による加振力は７．５Ｎ、パネル３の搬送時の加速度により振動センサ一体型加振器４に発生する力は６．３７Ｎ、パネル３の揺れ幅を±２ｍｍとした場合に、加振部２２の押付力として１６．１７Ｎの力が必要となる。本実施形態では、例えば、コイルバネ２８ａ〜２８ｄのバネ定数を０．２９Ｎ／ｍｍ、振動センサ一体型加振器４に取り付けた際のコイルバネ２８ａ〜２８ｄの初期圧縮量を１０ｍｍ、パネル３の吸着時（検査開始時）のコイルバネ２８ａ〜２８ｄの圧縮量（初期圧縮量にプラスして圧縮される量）を６ｍｍとし、加振部２２の押付力を１９．７Ｎとしている。なお、防振ゴム３２ａ〜３２ｄのバネ定数は、４９Ｎ／ｍｍであり、加振部２２に力が加わった場合でも、コイルバネ２８ａ〜２８ｄが圧縮される。
【００３２】
比較例として、例えば、コイルバネ２８ａ〜２８ｄのバネ定数を０．４９Ｎ／ｍｍ、振動センサ一体型加振器４に取り付けた際のコイルバネ２８ａ〜２８ｄの初期圧縮量を４ｍｍ、検査開始時のコイルバネ２８ａ〜２８ｄの圧縮量を６ｍｍとした場合でも、加振部２２の押付力は１９．６Ｎとなる。しかし、この比較例の場合には、バネ定数が本実施形態（０．２９Ｎ／ｍｍ）に比べて大きい（０．４９Ｎ／ｍｍ）ため、加振部２２に力が加わりコイルバネ２８ａ〜２８ｄが圧縮された場合の加振部２２の押付力の変化量が、本実施形態よりも大きくなる。本実施形態では、加振部２２に力が加わりコイルバネ２８ａ〜２８ｄが圧縮された場合の加振部２２の押付力の変化量を、比較例に比べて小さくすることができる。
【００３３】
搬送ロボット１０によるパネル３の搬送中等に、振動センサ一体型加振器４の筐体２１に外部から振動が加わった場合でも、その振動は防振ゴム３２ａ〜３２ｄにより吸収され、ヨーク２４に伝わることがなく、ヨーク２４の内部に取り付けられた振動センサ２５に伝わることもない。さらに、振動を防振ゴム３２ａ〜３２ｄにより吸収するので、振動によりヨーク２４が横方向にズレることがない。これにより、ヨーク２４が筐体２１や磁石２３に接触するのを防止することができる。
【００３４】
また、十字プレート３０は、保持プレート２９を介してコイルバネ２８ａ〜２８ｄのバネ力により下方に付勢され、十字プレート３０に固定された加振部２２と一体に形成されたヨーク２４も下方に付勢されているので、振動センサ一体型加振器４の筐体２１に外部から振動が加わった場合でも、ヨーク２４が上方向にズレることがない。これにより、ヨーク２４と磁石２３とは上下方向において同じ位置に保たれ、ヨーク２４が筐体２１の上面内壁に接触するのを防止することができる。
【００３５】
振動センサ一体型加振器４は、加振部２２が振動方向(図１〜図５における上下方向)に振動することによりパネル３の加振点３ａを加振し、振動センサ２５が加振によってパネル３に発生する共振振動を検出するように構成されている。ここで、加振部２２の「加振軸線上」とは、振動方向の振動を測定できる位置及び向きをいう。本実施形態においては、加振部２２の加振軸線と振動センサ２５の軸線とが同軸線上になるように、振動センサ２５が取り付けられており、振動センサ２５は加振部２２の加振軸線上に取り付けられている。
【００３６】
ここで、振動センサ２５が加振部２２の加振軸線上に取り付けられている必要性について説明する。振動センサで取得する共振振動波形は、振動センサを設置する場所が検査対象物のどの位置に設置されるかによって変化し、最悪の場合、振動センサが共振振動の節の位置に対応すると振動を検出することができない。振動を測定できない振動センサの設置位置は、振動周波数及びパネルの状態に応じて変化するため、その具体的位置を特定することは困難であり、そのような位置に振動センサが取り付けられると欠陥がなくても欠陥がある、又は欠陥があっても欠陥がないと誤判定するおそれがある。共振波形の場合、加振点と開放端であるワーク端では必ず最大振幅となることがわかっているため、開放端であるワーク端に振動センサ２５を配置すれば振幅最大幅の位置で検出することができるが、複雑な形状をしているパネルの場合は、どの場所がワーク端となっているか判別し難く、判別できたとしてもワーク端は複数存在するため、その分センサを配置する必要がある。したがって、加振点３ａに接触する加振部２２の加振軸線上に振動センサ２５を取り付けることが好ましい。
【００３７】
加振部２２は、一体に成形されたヨーク２４に巻回された図示しないコイルに所望の電流波形を供給することにより磁石２３と協働し供給された所望の電圧波形に応じた波形で振動するように構成されている。具体的には、ヨーク２４のコイルに所望の電流波形が供給されることによりヨーク２４は磁力を帯び、ヨーク２４が可動範囲内で磁石２３と引き合ったり反発したりしてヨーク２４と一体に成形された加振部２２を振動させる。加振部２２が振動することにより、加振部２２に接触したパネル３の加振点３ａを加振して、加振点３ａに与えた振動が反射してパネル３が共振するようになっている。
【００３８】
振動センサ２５は、加振部２２による加振の応答としてのパネル３の共振振動を含む合成振動を検出するように構成されている。即ち、振動センサ２５は加振部２２の加振軸線上に取り付けられているため、共振振動の他、加振部２２の振動そのものである加振振動を含む合成振動を検出する。振動センサ２５には、小型かつ高精度で振動を計測できる加速度センサを使用することが好ましい。また、振動センサ２５は、加速度センサ内部にFETアンプを内蔵したセンサを使用し、加振部２２の可動軸とは絶縁体で電気的に絶縁することが好ましい。加振部２２が磁力を使って振動を発生させているため、振動センサ２５が電荷型であると磁力と振動によりノイズの影響を受けるがFETアンプを内蔵したセンサはノイズの影響を最小限に抑えることができる。
【００３９】
［制御装置５の構成］
図1に戻り、制御装置５は、各種演算処理を行う制御部や各種情報を記憶する記憶部に加え、作業者が各種データや指令を入力するためにキーボード等により実現される入力部及び各種演算処理の結果を画像として表示するディスプレイ等による表示部を備えて構成される。このような制御装置５は、各種プログラムがインストールされており、制御部がこれらプログラムに従い動作することで、本発明に特有のパネル検査機能を発揮する。なお、パネル検査機能とは、共振振動を測定・解析してパネル３の品質の良否を検査する機能であり、制御部において振動センサ一体型加振器４に出力する電圧波形を作成したり、振動センサ一体型加振器４から入力された振動の検出信号から共振振動を抽出したり、抽出した共振振動を解析してパネル３の品質の良否を検査するようになっている。
【００４０】
制御装置５は、加振指示部４１と、振動取得部４２と、周波数解析部４３と、パネル良否判定部４４と、良品パネルの共振周波数を記憶した良品パネルＤＢ４５とを備えている。
【００４１】
加振指示部４１は、所望の電圧波形を生成して、当該電圧波形を加振部２２に出力して加振部２２を振動させるようになっている。
【００４２】
加振指示部４１が出力する電圧波形は、スェプトサイン波であることが好ましい。このスェプトサイン波に関し、さらに、生成する波形がマルチサイン波ではなくスェプトサイン波が好ましい理由に関しては、国際公開公報ＷＯ２０１４／１０９３６５Ａ１に詳しく記載されている。
【００４３】
振動取得部４２は、振動センサ２５から加振振動と共振振動とが重ねあわされた合成振動を取得する。
【００４４】
周波数解析部４３は、振動取得部４２が取得した合成振動を周波数波形へと変換し、周波数波形より共振周波数のみを抽出する。具体的には、振動取得部４２によって変換された周波数波形において、所定の闇値を超える振動強度を示す周波数をパネル３の共振周波数であると判定して抽出する。また、周波数変換は、高速フーリエ変換又は最大エントロピー法を適用することができるが、最大エントロピー法を適用することが望ましい。この最大エントロピー法に関し、さらに、最大エントロピー法によって周波数変換を行うことが望ましい理由に関しては、国際公開公報ＷＯ２０１４／１０９３６５Ａ１に詳しく記載されている。
【００４５】
パネル良否判定部４４は、周波数解析部４３が抽出した共振周波数を、良品パネルＤＢ４５に記憶されている良品パネルの共振周波数の範囲と比較して、パネル３が良品か否かを判定する。
【００４６】
次に、図６に示すフローチャートを参照して、パネル検査装置1によりパネル３を検査する手順について説明する。パネル検査処理は、搬送中に行われる。パネル検査処理を搬送中に行うことで、新たな設備を設けることなく、搬送ロボット１０に振動センサ一体型加振器４を配置するだけで、パネル３の良否を判定できるようにすることができる。
【００４７】
ＳＴＥＰ１では、搬送ロボット１０によりパネル３を吸着する。詳しくは、ロボット制御装置１７により移動部１６を駆動し、搬送ロボット１０を、パネル３を吸着する位置に搬送する。そして、ロボット制御装置１７により各吸着部１１〜１３の各吸引部１１ｂ〜１３ｂを駆動する。各吸引部１１ｂ〜１３ｂの駆動により、パネル３は各吸着部１１〜１３に吸着される。この状態では、コイルバネ２８ａ〜２８ｄは、初期状態（パネル３を吸着する前）から６ｍｍ圧縮している。
【００４８】
ＳＴＥＰ２において、加振指示部４１は、パネルに加振するスェプトサイン波の波形を生成する。
【００４９】
ＳＴＥＰ３−１において、加振指示部４１は、ＳＴＥＰ２で生成したスェプトサイン波に基づく振動を発生するように加振部２２に電圧波形を出力する。
【００５０】
ＳＴＥＰ３−２において、振動取得部４２は、加振振動及び共振振動の合成振動を取得する。
【００５１】
ＳＴＥＰ４において、周波数解析部４３は、ＳＴＥＰ３−２で取得した合成振動を周波数波形に変換する。
【００５２】
ＳＴＥＰ５において、周波数解析部４３は、ＳＴＥＰ４で得られた周波数波形から共振周波数を抽出する。
【００５３】
ＳＴＥＰ６において、パネル良否判定部４４は、ＳＴＥＰ５で抽出した共振周波数を、良品パネルＤＢ４５に記憶されている良品パネルの共振周波数の範囲と比較して、パネル３が良品か否かを判定する。
【００５４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上述した一連の処理は、ハードウェアにより実行させることもできるし、ソフトウェアにより実行させることもできる。換言すると、図１の機能的構成は例示に過ぎず、特に限定されない。即ち、上述した一連の処理を全体として実行できる機能がコンピュータに備えられていれば足り、この機能を実現するためにどのような機能ブロックを用いるのかは特に図１の例に限定されない。また、1つの機能ブロックは、ハードウェア単体で構成してもよいし、ソフトウェア単体で構成してもよいし、それらの組み合わせで構成してもよい。
【００５５】
一連の処理をソフトウェアにより実行させる場合には、そのソフトウェアを構成するプログラムが、コンピュータ等にネットワークや記録媒体からインストールされる。コンピュータは、専用のハードウェアに組み込まれているコンピュータであってもよい。また、コンピュータは、各種のプログラムをインストールすることで、各種の機能を実行することが可能なコンピュータ、例えば汎用のパーソナルコンピュータであってもよい。
【００５６】
なお、上記実施形態では、４個の防振ゴムを用いているが、加振部２２の軸線から径方向に同じ距離で、且つ周方向に一定間隔である少なくとも３箇所以上で十字プレート３０を保持し、保持した３以上の箇所で筐体２１に対し機械的に固定すればよく、防振ゴムを１２０°ピッチで３個設ける、又は、リング状の防振ゴムの少なくとも３箇所以上で十字プレート３０を保持するようにしてもよい。
【００５７】
また、固定プレート２６、移動プレート２７、コイルバネ２８ａ〜２８ｄ及び保持プレート２９を削除してもよく、この場合には、防振ゴム３２ａ〜３２ｄは筐体２１に直接取り付けられる。
【符号の説明】
【００５８】
２…パネル検査装置、３…パネル（ワーク）、４…振動センサ一体型加振器、５…制御装置、１０…搬送ロボット、１１〜１３…吸着部、１４…保持具、１５…アーム、１６…移動部、１７…ロボット制御装置、２１…筐体、２２…加振部、２３…磁石２３、２４…ヨーク（振動発生部）、２５…振動センサ、２６…固定プレート、２７…移動プレート、２８ａ〜２８ｄ…コイルバネ（押圧手段）、２９…保持プレート、３０…十字プレート（支持部材）、３１ａ〜３１ｄ…シャフト、３２ａ〜３２ｄ…防振ゴム、４１…加振指示部、４２…振動取得部、４３…周波数解析部、４４…パネル良否判定部、４５…良品パネルＤＢ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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