(57)【要約】【課題】主磁束を発生させる位置が内径側および外径側のいずれであっても極異方性配向された焼結体を容易に作製でき加工歩留まりが良好となりかつ焼結体を得るまでの工程を少なくできる、焼結体の製造方法およびプレス装置、焼結体、ならびに樹脂モールドリングを提供する。【解決手段】プレス装置１０は、ダイ１２とともにキャビティ２８を形成する下パンチ１４と、上パンチ１６と、ダイ１２の両側面に設けられるヨーク１８ａ，１８ｂと、キャビティ２８を挟む一対のコイル２０とを備える。キャビティ２８の断面形状は、第１弧部３８ａ、第２弧部３８ｂ、第１側部３８ｃおよび第２側部３８ｄを含む円弧状であり、第２弧部３８ｂよりも第１弧部３８ａの方がダイ１２の側面に近く、キャビティ２８は、ダイ１２における第１方向の中央よりもいずれか一方のコイル２０側に設けられ、発生する配向磁界が相互に逆極性となるように一対のコイル２０に電流が流される。【選択図】図３
2018019081.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下方向に貫通しかつ断面円弧状の貫通孔を有するダイと、
前記ダイの前記貫通孔に挿入されかつ前記ダイとともに上面開口のキャビティを形成する下パンチと、
前記キャビティに上方から挿入可能に設けられる上パンチと、
前記キャビティを側方から挟むように前記ダイの両側面のそれぞれに設けられる一対のヨークと、
前記一対のヨークのそれぞれにおいて前記ダイと接触する側面側に設けられかつ前記キャビティを挟むように対向配置される一対のコイルとを備え、
前記キャビティの断面形状は、前記一対のコイルが対向する第１方向に相互に間隔をおいて位置しかつそれぞれ前記第１方向に直交する第２方向に延びる第１弧部および第２弧部と、前記第１弧部および前記第２弧部のそれぞれの一端部を接続する第１側部と、前記第１弧部および前記第２弧部のそれぞれの他端部を接続する第２側部とを含む円弧状であり、前記第２弧部よりも前記第１弧部の方が前記ダイの側面に近く、
前記キャビティは、前記ダイにおける前記第１方向の中央よりもいずれか一方のコイル側に設けられ、
配向磁界の印加時には、前記一対のコイルによって発生する配向磁界が相互に逆極性となるように前記一対のコイルに電流が流される、プレス装置。
【請求項２】
前記ダイには前記一対のコイルに挟まれる一対の前記キャビティが形成され、
前記一対のキャビティは、前記ダイにおける前記第１方向の中央を通りかつ前記第２方向に延びる中心線に対して対称位置に設けられる、請求項１に記載のプレス装置。
【請求項３】
前記ダイには複数の前記一対のキャビティが前記第２方向に並列的に形成され、
前記一対のヨークのそれぞれにおける前記ダイと接触する側面側には、前記キャビティの対毎に、前記一対のキャビティを挟むように前記一対のコイルが対向配置され、
配向磁界の印加時には、前記第２方向に隣り合う前記コイルによって発生する配向磁界が相互に同極性となるように前記コイルに電流が流される、請求項２に記載のプレス装置。
【請求項４】
前記キャビティの前記第１弧部と前記第２弧部との間隔は、前記キャビティの前記第２方向の両端部より中央部の方が大きい、請求項１から３のいずれかに記載のプレス装置。
【請求項５】
前記ダイは非磁性超硬合金からなる、請求項１から４のいずれかに記載のプレス装置。
【請求項６】
前記第１弧部が当該プレス装置によって得られる成形体の内径側に対応しかつ前記第２弧部が前記成形体の外径側に対応する、請求項２または３に記載のプレス装置。
【請求項７】
前記第１弧部が当該プレス装置によって得られる成形体の外径側に対応しかつ前記第２弧部が前記成形体の内径側に対応する、請求項２または３に記載のプレス装置。
【請求項８】
前記第２方向の最も端に位置する前記キャビティの前記第２方向中央から前記ヨークの当該キャビティ側の端部までの前記第２方向における距離は、前記第２方向に隣り合う前記キャビティの前記第２方向中央間の距離の１／２である、請求項３に記載のプレス装置。
【請求項９】
前記第２弧部は、前記第２方向中央部に前記キャビティ内に突出する凸部を有する、請求項１から７のいずれかに記載のプレス装置。
【請求項１０】
上下方向に貫通しかつ断面円弧状の貫通孔を有するダイと、前記ダイの前記貫通孔に挿入されかつ前記ダイとともに上面開口のキャビティを形成する下パンチと、前記キャビティに上方から挿入可能に設けられる上パンチと、前記キャビティを側方から挟むように前記ダイの両側面のそれぞれに設けられる一対のヨークと、前記一対のヨークのそれぞれにおいて前記ダイと接触する側面側に設けられかつ前記キャビティを挟むように対向配置される一対のコイルとを備え、前記キャビティの断面形状は、前記上下方向に直交する第１方向に相互に間隔をおいて位置しかつそれぞれ前記第１方向に直交する第２方向に延びる第１弧部および第２弧部と、前記第１弧部および前記第２弧部のそれぞれの一端部を接続する第１側部と、前記第１弧部および前記第２弧部のそれぞれの他端部を接続する第２側部とを含む円弧状であり、前記第２弧部よりも前記第１弧部の方が前記ダイの側面に近く、前記キャビティは、前記ダイにおける前記第１方向の中央よりもいずれか一方のコイル側に設けられる、プレス装置を用いた焼結体の製造方法であって、
磁石粉末を前記キャビティに充填する工程と、
前記上パンチを前記キャビティに向けて降下させ、前記一対のコイルによって発生する配向磁界が相互に逆極性となるように前記一対のコイルに電流を流すことによって、前記キャビティ内の前記磁石粉末に対して配向磁界を印加して、前記磁石粉末を配向させる工程と、
前記上パンチをさらに降下させて成形体を得る工程と、
前記成形体を焼結して極異方性配向された焼結体を得る工程とを備える、焼結体の製造方法。
【請求項１１】
断面円弧状であり、相互に間隔をおいた第１弧面および第２弧面と、前記第１弧面および前記第２弧面のそれぞれの一端部を接続する第１側面と、前記第１弧面および前記第２弧面のそれぞれの他端部を接続する第２側面とを含み、
磁化容易軸が前記第１側面および前記第２側面から前記第１弧面に向かって集束するように極異方性配向された、焼結体。
【請求項１２】
前記第１弧面が内径側になりかつ前記第２弧面が外径側になる、請求項１１に記載の焼結体。
【請求項１３】
前記第１弧面が外径側になりかつ前記第２弧面が内径側になる、請求項１１に記載の焼結体。
【請求項１４】
前記第２弧面は、その中央部に形成されたノッチを有する、請求項１１から１３のいずれかに記載の焼結体。
【請求項１５】
リング状に配置される請求項１１に記載の複数の焼結体と、
前記複数の焼結体を保持する樹脂モールド部材とを備え、
隣り合う前記焼結体は、一方の前記焼結体の前記第１側面と他方の前記焼結体の前記第２側面とが間隔をあけて隣り合うように配置される、樹脂モールドリング。
【請求項１６】
前記樹脂モールド部材は、前記第１弧面および前記第２弧面が露出するように前記複数の焼結体を保持する、請求項１５に記載の樹脂モールドリング。
【請求項１７】
前記各焼結体は、前記第１弧面と前記第１側面との接続部、前記第１弧面と前記第２側面との接続部、前記第２弧面と前記第１側面との接続部、および前記第２弧面と前記第２側面との接続部の少なくともいずれか１つに形成される面取り部を含み、
前記面取り部は前記樹脂モールド部材によって覆われている、請求項１５または１６に記載の樹脂モールドリング。
【請求項１８】
前記各焼結体は、前記第２弧面の中央部に形成されたノッチを有する、請求項１５から１７のいずれかに記載の樹脂モールドリング。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は焼結体、その製造方法、プレス装置および樹脂モールドリングに関し、より特定的には、回転機に用いられる極異方性配向された焼結体、その製造方法、プレス装置および樹脂モールドリングに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＳＰＭモータ等の回転機では、高トルク特性を実現するために磁束量の多い磁石ロータが求められる。また、低コギングトルク特性を実現するために表面磁束密度分布が正弦波状となる磁石ロータが求められる。これらの要求に対して、磁石ロータとして、極異方性焼結リング磁石や、極異方性焼結セグメント磁石が用いられることが多い。
【０００３】
ここで、極異方性焼結リング磁石の製造方法が、特許文献１において開示されている。特許文献１では、成形用金型の成形空間の外周に６以上の磁極を設けて磁界中成形を行った後、焼結して表面多極異方性リング磁石を製造する方法が開示され、この方法によって、インナーロータに用いられる外径側に主磁束を発生する極異方性リング磁石を得ることができる。
【０００４】
また、極異方性セグメント磁石の製造方法が、特許文献２において開示されている。特許文献２では、断面円弧状のキャビティに対して、その外弧面側に離間して配置された中央強磁性体と、キャビティを挟むように配置された一対の側部強磁性体とを有する金型を用いて、インナーロータに用いられる外径側に主磁束を発生する極異方性セグメント磁石を得ることができる。
【０００５】
さらに、特許文献３において次のような製造方法が開示されている。まず、磁石原料が磁石粉末に粉砕され、粉砕された磁石粉末とバインダーとを混合することによりコンパウンドが生成される。そして、生成されたコンパウンドをシート状に成形し、磁界を印加することで配向されたグリーンシートが作製される。その後、配向されたグリーンシートを積層し、最終製品形状と最終製品で要求される磁化容易軸の方向とを考慮した形状に変形させて焼結することで焼結体を得る。その後、焼結体を加工することで最終製品形状の焼結体が作製される。また、他の方法として、生成されたコンパウンドをシート状に成形し配向を行った後、最終製品形状と最終製品で要求される磁化容易軸の方向とを考慮した形状に予め打ち抜き、打ち抜いたシート状の成形体を積層して焼結することで焼結体を作製し、仕上げ加工を行うことで最終製品形状の焼結体を作製することもできる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−３３０８４１号公報
【特許文献２】ＷＯ２０１２／９０８４１
【特許文献３】ＷＯ２０１５／１８６５５１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１では、アウターロータに用いられる内径側に主磁束を発生する極異方性リング磁石を作製しようとすれば、内径側に配向磁界を発生させるヨークおよびコイルを配置させる必要があり、この場合、コイル引出し線の取り回し方法や発熱対策等の問題が発生する。また、多極化するとヨークのティースが狭くなり金型強度の問題も発生する。このため、従来技術の延長で当該リング磁石を作製することは容易でない。
【０００８】
特許文献２の方法を用いて内径側に主磁束を発生させる極異方性セグメント磁石を作製する場合、強磁性体の配置だけでハルバッハ状の配向分布にすることは容易ではなく、アウターロータに用いられる内周側に主磁束を発生する極異方性セグメント磁石を作製することは困難である。
【０００９】
特許文献３の上記のいずれの方法によっても、外径側または内径側に主磁束を発生させる極異方性セグメント磁石を作製することは可能である。しかしながら、特許文献３の前者の方法では、材料に無駄が生じ、加工歩留りが悪いという課題があり、後者の方法では、最終製品形状の焼結体を得るまでの工程が多いという課題がある。
それゆえに、この発明の主たる目的は、内径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された焼結体および外径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された焼結体のいずれであっても容易に作製でき加工歩留まりが良好となりかつ焼結体を得るまでの工程を少なくできる、焼結体の製造方法およびプレス装置、好適に作製できる焼結体、ならびに容易に作製できる樹脂モールドリングを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的を達成するために、上下方向に貫通しかつ断面円弧状の貫通孔を有するダイと、ダイの貫通孔に挿入されかつダイとともに上面開口のキャビティを形成する下パンチと、キャビティに上方から挿入可能に設けられる上パンチと、キャビティを側方から挟むようにダイの両側面のそれぞれに設けられる一対のヨークと、一対のヨークのそれぞれにおいてダイと接触する側面側に設けられかつキャビティを挟むように対向配置される一対のコイルとを備え、キャビティの断面形状は、一対のコイルが対向する第１方向に相互に間隔をおいて位置しかつそれぞれ第１方向に直交する第２方向に延びる第１弧部および第２弧部と、第１弧部および第２弧部のそれぞれの一端部を接続する第１側部と、第１弧部および第２弧部のそれぞれの他端部を接続する第２側部とを含む円弧状であり、第２弧部よりも第１弧部の方が前記ダイの側面に近く、キャビティは、ダイにおける第１方向の中央よりもいずれか一方のコイル側に設けられ、配向磁界の印加時には、一対のコイルによって発生する配向磁界が相互に逆極性となるように一対のコイルに電流が流される、プレス装置が提供される。
【００１１】
また、上下方向に貫通しかつ断面円弧状の貫通孔を有するダイと、ダイの貫通孔に挿入されかつダイとともに上面開口のキャビティを形成する下パンチと、キャビティに上方から挿入可能に設けられる上パンチと、キャビティを側方から挟むようにダイの両側面のそれぞれに設けられる一対のヨークと、一対のヨークのそれぞれにおいてダイと接触する側面側に設けられかつキャビティを挟むように対向配置される一対のコイルとを備え、キャビティの断面形状は、上下方向に直交する第１方向に相互に間隔をおいて位置しかつそれぞれ第１方向に直交する第２方向に延びる第１弧部および第２弧部と、第１弧部および第２弧部のそれぞれの一端部を接続する第１側部と、第１弧部および第２弧部のそれぞれの他端部を接続する第２側部とを含む円弧状であり、第２弧部よりも第１弧部の方がダイの側面に近く、キャビティは、ダイにおける第１方向の中央よりもいずれか一方のコイル側に設けられる、プレス装置を用いた焼結体の製造方法であって、磁石粉末をキャビティに充填する工程と、上パンチをキャビティに向けて降下させ、一対のコイルによって発生する配向磁界が相互に逆極性となるように一対のコイルに電流を流すことによって、キャビティ内の磁石粉末に対して配向磁界を印加して、磁石粉末を配向させる工程と、上パンチをさらに降下させて成形体を得る工程と、成形体を焼結して極異方性配向された焼結体を得る工程とを備える、焼結体の製造方法が提供される。
【００１２】
この発明では、配向磁界の印加時に、一対のコイルによって発生する配向磁界が相互に逆極性となるように一対のコイルに電流が流されると、各コイルによって発生してダイを通る配向磁界は互いに反発し合う。その結果、一方のコイルによる配向磁界は主として、ダイにおける第１方向の中央よりも一方のコイル側を通り、他方のコイルによる配向磁界は主として、ダイにおける第１方向の中央よりも他方のコイル側を通る。ここで、キャビティは、ダイにおける第１方向の中央よりもいずれか一方のコイル側に設けられ、かつ第２弧部よりも第１弧部の方がダイの側面に近くなるように設けられる。したがって、キャビティに充填された磁石粉末には、一対のコイルに流される電流の方向に基づいて、キャビティに向かって第１弧部から入りかつ第１側部および第２側部から出るように、または第１側部および第２側部から入りかつ第１弧部から出てキャビティから遠ざかるように、配向磁界が印加される。すなわち、キャビティに充填された磁石粉末には、第１弧部と第１側部とを通る磁界および第１弧部と第２側部とを通る磁界が印加され、磁石粉末が配向される。そして、上パンチおよび下パンチによって磁石粉末をプレスすることによって成形体が得られ、成形体を焼結することによって磁化容易軸が第１側面および第２側面から第１弧面に向かって集束するように極異方性配向された焼結体が得られる。ここで、キャビティの第１弧部を当該プレス装置によって得られる成形体の内径側に対応させると、内径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された成形体ひいては焼結体を容易に作製でき、一方、キャビティの第１弧部を当該成形体の外径側に対応させると、外径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された成形体ひいては焼結体を容易に作製できる。また、成形体の形状は、焼結後に最終製品形状と加工代とを考慮した焼結体となるように予め設計されているため、焼結体から最終製品形状へ加工する際の加工歩留りが良好となる。また、特許文献３のように、コンパウンドをシート状に成形した後、最終製品形状と最終製品で要求される磁化容易軸の方向とを考慮した形状に予め打ち抜き、さらに打ち抜いたシート状の成形体を積層する、といった工程を要しないので、焼結体を得るための工程を少なくできる。
【００１３】
上述の焼結体の製造方法によれば、断面円弧状であり、相互に間隔をおいた第１弧面および第２弧面と、第１弧面および第２弧面のそれぞれの一端部を接続する第１側面と、第１弧面および第２弧面のそれぞれの他端部を接続する第２側面とを含み、磁化容易軸が第１側面および第２側面から第１弧面に向かって集束するように極異方性配向された、焼結体を好適に作製できる。
【００１４】
好ましくは、ダイには一対のコイルに挟まれる一対のキャビティが形成され、一対のキャビティは、ダイにおける第１方向の中央を通りかつ第２方向に延びる中心線に対して対称位置に設けられる。この場合、一対のキャビティは、それぞれの第２弧部同士が対向するように形成され、一方のキャビティは、ダイにおける第１方向の中央よりも一方のコイル側に設けられ、他方のキャビティは、ダイにおける第１方向の中央よりも他方のコイル側に設けられ、各キャビティは、第２弧部よりも第１弧部の方がダイの側面に近くなるように設けられる。したがって、各キャビティに充填された磁石粉末には、同様の配向磁界、すなわち、キャビティに向かって第１弧部から入りかつ第１側部および第２側部から出るように、または第１側部および第２側部から入りかつ第１弧部から出てキャビティから遠ざかるように、配向磁界が印加される。その結果、各キャビティにおいて得られる成形体から、磁化容易軸が第１側面および第２側面から第１弧面に向かって集束するように極異方性配向された焼結体を容易に作製でき、生産性を向上できる。
【００１５】
また好ましくは、ダイには複数の一対のキャビティが第２方向に並列的に形成され、一対のヨークのそれぞれにおけるダイと接触する側面側には、キャビティの対毎に、一対のキャビティを挟むように一対のコイルが対向配置され、配向磁界の印加時には、第２方向に隣り合うコイルによって発生する配向磁界が相互に同極性となるようにコイルに電流が流される。この場合、複数のキャビティにおいて得られる成形体から、磁化容易軸が第１側面および第２側面から第１弧面に向かって集束するように極異方性配向された焼結体を容易に作製でき、生産性をさらに向上できる。
【００１６】
さらに好ましくは、キャビティの第１弧部と第２弧部との間隔は、キャビティの第２方向の両端部より中央部の方が大きい。極異方性配向された円弧状の成形体を焼結すると、成形体の弧方向端部より中央部の方が、収縮率が大きい。したがって、キャビティの第１弧部と第２弧部との間隔を、キャビティの第２方向の両端部より中央部の方が大きくなるように設定することによって、予め、キャビティで得られる成形体の厚みを、弧方向端部より中央部の方が大きくなるように設定できる。この成形体を焼結すると、収縮率の違いにより、焼結体の弧方向端部の厚みと中央部の厚みとを略等しくできる。このように、成形体を焼結して得られる焼結体が所望の形状（たとえば、等肉）となるように、キャビティの形状を予め設定しておくことによって、所望の形状の焼結体が得られる。
【００１７】
好ましくは、ダイは非磁性超硬合金からなる。この場合、一対のコイルによって発生させる配向磁界を、磁石粉末が充填されたキャビティに導き易くなり、磁石粉末を容易に配向できる。
【００１８】
また好ましくは、第１弧部がプレス装置によって得られる成形体の内径側に対応しかつ第２弧部が成形体の外径側に対応する。この場合、内径側に主磁束を発生させるように極異方性配向されたアウターロータ用の焼結体を容易に作製できる。
【００１９】
また好ましくは、第１弧部がプレス装置によって得られる成形体の外径側に対応しかつ第２弧部が成形体の内径側に対応する。この場合、外径側に主磁束を発生させるように極異方性配向されたインナーロータ用の焼結体を容易に作製できる。
【００２０】
好ましくは、第２方向の最も端に位置するキャビティの第２方向中央からヨークの当該キャビティ側の端部までの第２方向における距離は、第２方向に隣り合うキャビティの第２方向中央間の距離の１／２である。この場合、第２方向の端部に位置するキャビティに印加される配向磁界と、それ以外のキャビティに印加される配向磁界とは同様になるので、各キャビティにおいて同様の成形体を得ることができ、同様の極異方性配向された焼結体を容易に作製できる。
【００２１】
また好ましくは、第２弧部は、第２方向中央部にキャビティ内に突出する凸部を有する。この場合、キャビティで成形される成形体の第２弧面（キャビティの第２弧部に対応する面）の中央部にノッチ（窪み）が形成される。ここで、配向磁界印加時、キャビティに充填された磁石粉末には、キャビティに向かって第１弧部から入りかつ第１側部および第２側部から出るように、または第１側部および第２側部から入りかつ第１弧部から出てキャビティから遠ざかるように、配向磁界が印加され、第２弧部の中央部に配向磁界はほとんど印加されない。そのため、キャビティで成形される成形体の第２弧面の中央部は、主磁束の形成にさほど寄与せず、成形体の第２弧面の中央部を削ることができる。したがって、キャビティの第２弧部の第２方向中央部にキャビティ内に突出する凸部を形成することによって、第２弧面の中央部にノッチが形成された成形体を得ることができる。これによって、成形体から作製される焼結セグメント磁石の表面磁束密度をほとんど低下させることなく、磁石材料の使用量を減少させることができ、コストを低減できる。
【００２２】
好ましくは、焼結体において第１弧面が内径側になりかつ第２弧面が外径側になる。この場合、内径側に主磁束を発生させるように極異方性配向されたアウターロータ用の焼結体が得られる。
【００２３】
また好ましくは、焼結体において第１弧面が外径側になりかつ第２弧面が内径側になる。この場合、外径側に主磁束を発生させるように極異方性配向されたインナーロータ用の焼結体が得られる。
【００２４】
さらに好ましくは、焼結体において第２弧面は、その中央部に形成されたノッチを有する。このように、極異方性配向された焼結体において、第１弧面（磁極面）の反対側の第２弧面の弧方向中央部にノッチを形成することによって、表面磁束密度をほとんど低下させることなく、磁石材料の使用量を減少させることができる焼結セグメント磁石が得られる。また、ノッチを、ロータを構成するときの位置決めや回転止めに用いることができる。
【００２５】
また、リング状に配置される複数の上述した焼結体と、複数の焼結体を保持する樹脂モールド部材とを備え、隣り合う焼結体は、一方の焼結体の第１側面と他方の焼結体の第２側面とが間隔をあけて隣り合うように配置される、樹脂モールドリングが提供される。
【００２６】
この発明では、複数の焼結体が樹脂モールド部材で樹脂モールドされ保持されることによって、少ない製造工数で容易に樹脂モールドリングを作製することができる。
【００２７】
好ましくは、樹脂モールドリングにおいて樹脂モールド部材は、第１弧面および第２弧面が露出するように複数の焼結体を保持する。この場合、樹脂モールドリングを着磁することによって得られる焼結リング磁石をロータとして組み付けるとき、当該焼結リング磁石の第１弧面とステータとのギャップを小さくでき、モータ特性を向上させることができる。また、当該焼結リング磁石に、第２弧面を介して他の部材（たとえば補強リングや被駆動部材）を強固に取り付けることができる。
【００２８】
また好ましくは、樹脂モールドリングにおいて各焼結体は、第１弧面と第１側面との接続部、第１弧面と第２側面との接続部、第２弧面と第１側面との接続部、および第２弧面と第２側面との接続部の少なくともいずれか１つに形成される面取り部を含み、前記面取り部は前記樹脂モールド部材によって覆われている。この場合、各焼結体が樹脂モールド部材から脱落するのを防止できる。
【００２９】
さらに好ましくは、樹脂モールドリングにおいて各焼結体が、第２弧面の中央部に形成されたノッチを有する場合、ノッチを各焼結体の位置決めに用いることができる。また、ノッチを有する焼結体を含む樹脂モールドリングを着磁することによって得られる焼結リング磁石において、内外径の寸法精度が良好となりかつ表面磁束密度分布のばらつきが小さくなる。
【発明の効果】
【００３０】
この発明によれば、内径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された焼結体および外径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された焼結体のいずれであっても容易に作製できるとともに、加工歩留まりが良好となりかつ焼結体を得るまでの工程を少なくでき、さらに、樹脂モールドリングを容易に作製できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】この発明の一実施形態に係るプレス装置を示し、（ａ）はその斜視図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面斜視図である。
【図２】図１のプレス装置の要部および配向磁界の一例を示す断面図解図である。
【図３】図１のプレス装置のキャビティ近傍を拡大して示す断面図解図である。
【図４】（ａ）は図１のプレス装置を用いて得られる成形体、焼結体および加工後の焼結体ならびにその配向方向の一例を示す図解図であり、（ｂ）は加工後の焼結体を示す斜視図である。
【図５】極異方性配向された焼結体を用いて形成される極異方性リング磁石を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）はその側面図である。
【図６】図５に示す極異方性リング磁石の表面磁束密度分布を示すグラフである。
【図７】この発明の他の実施形態のプレス装置の要部および配向磁界の一例を示す断面図解図である。
【図８】図７のプレス装置のキャビティ近傍を拡大して示す断面図解図である。
【図９】（ａ）は図７のプレス装置を用いて得られる成形体、焼結体および加工後の焼結体ならびにその配向方向の一例を示す図解図であり、（ｂ）は加工後の焼結体を示す斜視図である。
【図１０】図２のプレス装置におけるキャビティの変形例を示す断面図解図である。
【図１１】（ａ）は図１０のキャビティを有するプレス装置を用いて得られる成形体、焼結体および加工後の焼結体ならびにその配向方向の一例を示す図解図であり、（ｂ）は加工後の焼結体を示す斜視図である。
【図１２】（ａ）は成形体における表面磁束密度変化率と体積変化率との関係を示すグラフであり、（ｂ）は加工後の焼結体における表面磁束密度変化率と体積変化率との関係を示すグラフである。
【図１３】図７のプレス装置におけるキャビティの変形例を示す断面図解図である。
【図１４】（ａ）は図１３のキャビティを有するプレス装置を用いて得られる成形体、焼結体および加工後の焼結体ならびにその配向方向の一例を示す図解図であり、（ｂ）は加工後の焼結体を示す斜視図である。
【図１５】樹脂モールドリングの一例を示す斜視図である。
【図１６】樹脂モールドリングの一例を示し、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）はその正面図である。
【図１７】（ａ）は樹脂モールドされる焼結体を示す図解図であり、（ｂ）は樹脂モールドリングの製造方法を説明するための図解図である。
【図１８】（ａ）は接着固定リング磁石の表面磁束密度波形を示すグラフであり、（ｂ）は樹脂モールドリング磁石の表面磁束密度波形を示すグラフである。
【図１９】（ａ）は接着固定リング磁石の内径側の表面磁束密度ピークの分布を示すグラフであり、（ｂ）は樹脂モールドリング磁石の内径側の表面磁束密度ピークの分布を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態について説明する。
【００３３】
図１および図２を参照して、この発明の一実施形態のプレス装置１０は、内径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された成形体Ｅ１および焼結体Ｅ２，Ｅ３（図４参照）を製造するために用いられる装置であり、ダイ１２、複数（この実施形態では、６個）の下パンチ１４、複数（この実施形態では、６個）の上パンチ１６、一対のヨーク１８ａ，１８ｂ、コイル２０（この実施形態では、６個の極を発生させる）を含む。
【００３４】
ダイ１２は、たとえば非磁性超硬合金からなりかつ略角板状に形成され、立設される。ダイ１２には、上下方向に貫通しかつ断面円弧状の複数（この実施形態では、６個）の貫通孔２２が設けられる。ダイ１２の短手方向である第１方向（矢印Ｘで示す）に２つの貫通孔２２が、ダイ１２の長手方向である第２方向（矢印Ｙで示す）に３つの貫通孔２２が、それぞれ形成され、ダイ１２には合計６個の貫通孔２２が形成される。第１方向と第２方向とは相互に直交する。
【００３５】
また、ダイ１２の側面２４ａの下部にはヨーク１８ａの位置決め用の突部２６ａが、ダイ１２の側面２４ｂの下部にはヨーク１８ｂの位置決め用の突部２６ｂが、それぞれ設けられる。
【００３６】
下パンチ１４はダイ１２の貫通孔２２に挿入され、ダイ１２と下パンチ１４とによって上面開口のキャビティ２８が形成される。したがって、キャビティ２８は、ダイ１２の貫通孔２２に形成され、ダイ１２の短手方向である第１方向（矢印Ｘで示す）に２つのキャビティ２８が、ダイ１２の長手方向である第２方向（矢印Ｙで示す）に３つのキャビティ２８が、それぞれ形成され、ダイ１２には合計６個のキャビティ２８が形成される。キャビティ２８の詳細は後述する。上パンチ１６は、キャビティ２８に上方から挿入可能に設けられる。下パンチ１４および上パンチ１６の断面形状は、キャビティ２８の断面形状と略等しい。
【００３７】
ダイ１２に形成された各キャビティ２８を側方（第１方向）から挟むように、第１方向におけるダイ１２の両側面２４ａ，２４ｂにそれぞれ、一対のヨーク１８ａ，１８ｂが設けられる。一対のヨーク１８ａ，１８ｂは、たとえばＳＳ４００、珪素鋼板などの磁性体からなる角板状に形成され、突部２６ａ，２６ｂの上端に係止されて位置決めされる。一対のヨーク１８ａ，１８ｂの第２方向の寸法は、ダイ１２の第２方向の寸法と等しく、第２方向におけるダイ１２の一端部２４ｃと一対のヨーク１８ａ，１８ｂの一端部３０ａ，３０ｂとは、第１方向に面一に形成され、同様に、第２方向におけるダイ１２の他端部２４ｄと一対のヨーク１８ａ，１８ｂの他端部３２ａ，３２ｂとは、第１方向に面一に形成される。ダイ１２および一対のヨーク１８ａ，１８ｂを囲むように、たとえばＳＵＳ３０４などの非磁性体からなる押え板（図示せず）が設けられ、金型が形成される。
【００３８】
また、一対のヨーク１８ａ，１８ｂのそれぞれにおけるダイ１２と接触する側面３４ａ，３４ｂには、キャビティ２８に対応する位置毎にコイル２０収容用の溝３６ａ，３６ｂが形成される。各溝３６ａ，３６ｂにはコイル２０が収容される。このようにして、複数のコイル２０は、一対のヨーク１８ａ，１８ｂの側面３４ａ，３４ｂ側に設けられ、キャビティ２８の第１方向に並ぶ対毎に、一対のキャビティ２８を挟むように一対のコイル２０が対向配置される。
【００３９】
ここで、キャビティ２８について説明する。
【００４０】
ダイ１２に形成されかつ一対のコイル２０に挟まれる一対のキャビティ２８は、ダイ１２における第１方向の中央を通りかつ第２方向に延びる中心線Ｐ１に対して対称位置に設けられる。ダイ１２には、このような一対のキャビティ２８が複数（この実施形態では、３対）、第２方向に並列的に形成される。各キャビティ２８は、ダイ１２における第１方向の中央（中心線Ｐ１）よりも、第１方向の一方のコイル２０側または他方のコイル２０側に設けられる。
【００４１】
図３をも参照して、キャビティ２８の断面形状は、極異方性の配向方向と、配向方向に平行な方向および配向方向に垂直な方向の収縮比とを予め考慮して、成形体を焼結した後に最終製品形状と加工代とを考慮した焼結体となるように設計される。キャビティ２８の断面形状は、キャビティ２８の両端部より中央部の方が中心線Ｐ１に近づくような円弧状であり、一対のコイル２０が対向する第１方向に相互に間隔をおいて位置しかつそれぞれ第２方向に延びる第１弧部３８ａおよび第２弧部３８ｂと、第１弧部３８ａおよび第２弧部３８ｂのそれぞれの一端部を接続する第１側部３８ｃと、第１弧部３８ａおよび第２弧部３８ｂのそれぞれの他端部を接続する第２側部３８ｄを含む。第２弧部３８ｂは、その両端部より中央部が中心線Ｐ１に近づく（中心線Ｐ１側に膨らむ）ように湾曲して形成される。第１弧部３８ａについては、第１弧部３８ａの両端部近傍は第２弧部３８ｂ両端部近傍と略平行に形成されるが、第１弧部３８ａの中央部は中心線Ｐ１から遠ざかる（中心線Ｐ１とは反対側に膨らむ）ように湾曲して形成される。したがって、キャビティ２８における第１弧部３８ａと第２弧部３８ｂとの間隔は、第２方向の両端部の間隔Ｄ１より中央部の間隔Ｄ２の方が大きい。
【００４２】
第１方向に並ぶ一対のキャビティ２８のうち、ヨーク１８ａ側に位置するキャビティ２８については、第２弧部３８ｂよりも第１弧部３８ａの方がダイ１２の側面２４ａに近く、ヨーク１８ｂ側に位置するキャビティ２８については、第２弧部３８ｂよりも第１弧部３８ａの方がダイ１２の側面２４ｂに近い。すなわち、一対のキャビティ２８は第２弧部３８ｂ同士が対向するように形成される。また、第２方向の最も端に位置するキャビティ２８の第２方向中央からダイ１２の当該キャビティ２８側の端部までの距離（図２において左端に位置するキャビティ２８についていえば、当該キャビティ２８の第２方向中央からヨーク１８ａ，１８ｂの一端部３０ａ，３０ｂまでの第２方向における距離）Ｄ３は、第２方向に隣り合うキャビティ２８の第２方向中央間の距離Ｄ４の１／２である。この実施形態では、第１弧部３８ａがキャビティ２８で得られる成形体Ｅ１の内径側に対応しかつ第２弧部３８ｂが成形体Ｅ１の外径側に対応する。
【００４３】
このようなプレス装置１０を用いて成形体Ｅ１（焼結体Ｅ２，Ｅ３）を製造する方法について説明する。
【００４４】
まず、プレス装置１０のキャビティ２８に上方から磁石粉末を充填する。磁石粉末としては、たとえばＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石用合金粉末が用いられる。
【００４５】
ついで、上パンチ１６をキャビティ２８に向けて降下させ、少なくともキャビティ２８の上面が上パンチ１６によって閉じられた後、キャビティ２８内の磁石粉末に対して、第１弧部３８ａから入り第１側部３８ｃおよび第２側部３８ｄから出る配向磁界を印加して、磁石粉末を配向させる。配向磁界の印加時には、第１方向に対向配置される一対のコイル２０によって発生する配向磁界が相互に逆極性となるように、かつ第２方向に隣り合うコイル２０によって発生する配向磁界が相互に同極性となるように、各コイル２０に電流が流される。これによって、中心線Ｐ１に対して対称的な配向磁界を印加でき、かつ各キャビティ２８において第２方向中央を通りかつ第１方向に平行な中心線Ｐ２に対して対称的な配向磁界を印加できる。好ましくは、コイル２０には、コンデンサ放電により生成されたパルス電流が流され、それによってパルス磁界が印加されて磁石粉末が配向される。なお、配向磁界の印加時に各コイル２０に流される電流の方向を上述の場合と逆にして、キャビティ２８に対して第１側部３８ｃおよび第２側部３８ｄから入り第１弧部３８ａから出る配向磁界を与えて、磁石粉末を配向させてもよい。
【００４６】
そして、所定の成形体密度となるように上パンチ１６をさらに降下させる。これによって、成形体Ｅ１（図４（ａ）参照）が得られる。成形体Ｅ１を焼結すると焼結体Ｅ２（図４（ａ）参照）が得られ、焼結体Ｅ２を加工し表面処理することによって加工後の焼結体Ｅ３（図４（ａ）参照）が得られる。すなわち、断面円弧状であり、相互に間隔をおいた第１弧面４０ａおよび第２弧面４０ｂと、第１弧面４０ａおよび第２弧面４０ｂのそれぞれの一端部を接続する第１側面４０ｃと、第１弧面４０ａおよび第２弧面４０ｂのそれぞれの他端部を接続する第２側面４０ｄとを含み、磁化容易軸が第１側面４０ｃおよび第２側面４０ｄから第１弧面４０ａに向かって集束するように極異方性配向され、第１弧面４０ａが内径側になりかつ第２弧面４０ｂが外径側になる、焼結体Ｅ３（図４（ｂ）参照）を好適に作製できる。図４（ａ）には、成形体Ｅ１および焼結体Ｅ２，Ｅ３の配向方向も示されている。
【００４７】
この実施形態では、焼結体Ｅ３を周方向に並べてリング状に接続し、その後ＮＳ交互に着磁することによって、図５に示すような内径側に極を有し内径側に主磁束を発生させる極異方性を有する焼結リング磁石１００となり、アウターロータに用いられる。このとき着磁された焼結体Ｅ３が、極異方性焼結セグメント磁石に相当する。図中、前記磁石の磁束の向きを矢印で示している。
【００４８】
図６に、このようにして構成された焼結リング磁石１００の内外径の表面磁束密度分布を示す。測定にはガウスメータを用いた。ここでは、外径（直径）８０ｍｍ、内径（直径）７４ｍｍ、高さ１２ｍｍの焼結リング磁石１００について、軸方向中央かつ内表面から０．５ｍｍの位置で内径側の表面磁束密度が測定され、軸方向中央かつ外表面から１．５ｍｍの位置で外径側の表面磁束密度が測定された。内径側の表面磁束密度分布は実線で示すように略正弦波状を呈する一方、外径側の表面磁束密度分布は破線で示すように略０となる。このように焼結リング磁石１００は、概ねハルバッハ配向されており、バックヨークなしでモータを設計することが可能となる。
【００４９】
プレス装置１０によれば、配向磁界の印加時に、一対のコイル２０によって発生する配向磁界が相互に逆極性となるように一対のコイル２０に電流が流されると、一対のコイル２０のそれぞれによって発生してダイ１２を通る配向磁界は互いに反発し合う。その結果、一方のコイル２０による配向磁界は主として、ダイ１２における第１方向の中央（中心線Ｐ１）よりも一方のコイル２０側を通り、他方のコイル２０による配向磁界は主として、ダイ１２における第１方向の中央よりも他方のコイル２０側を通る。ここで、キャビティ２８は、ダイ１２における第１方向の中央よりもいずれか一方のコイル２０側に設けられ、かつ第２弧部３８ｂよりも第１弧部３８ａの方がダイ１２の最寄りの側面に近くなるように設けられる。したがって、キャビティ２８に充填された磁石粉末には、一対のコイル２０に流される電流の方向に基づいて、キャビティ２８に向かって第１弧部３８ａから入りかつ第１側部３８ｃおよび第２側部３８ｄから出るように、または第１側部３８ｃおよび第２側部３８ｄから入りかつ第１弧部３８ａから出てキャビティ２８から遠ざかるように、配向磁界が印加される。すなわち、キャビティ２８に充填された磁石粉末には、第１弧部３８ａと第１側部３８ｃとを通る磁界および第１弧部３８ａと第２側部３８ｄとを通る磁界が印加され、磁石粉末が配向される。そして、上パンチ１６および下パンチ１４によって磁石粉末をプレスすることによって成形体Ｅ１が得られ、成形体Ｅ１を焼結しさらに加工することによって磁化容易軸が第１側面４０ｃおよび第２側面４０ｄから第１弧面４０ａに向かって集束するように極異方性配向された焼結体Ｅ３が得られる。ここで、キャビティ２８の第１弧部３８ａをプレス装置１０によって得られる成形体Ｅ１の内径側に対応させかつ第２弧部３８ｂを成形体Ｅ１の外径側に対応させると、内径側に主磁束を発生させるように極異方性配向されたアウターロータ用の成形体Ｅ１ひいては焼結体Ｅ２，Ｅ３を容易に作製できる。成形体Ｅ１は、焼結後に最終製品形状と加工代とを考慮した焼結体Ｅ２となるように予め設計されているため、焼結体Ｅ２から最終製品形状Ｅ３へ加工する際の加工歩留りが良好となる。また、コンパウンドをシート状に成形した後、最終製品形状と最終製品で要求される磁化容易軸の方向とを考慮した形状に予め打ち抜き、さらに打ち抜いたシート状の成形体を積層する、といった工程を要しないので、焼結体Ｅ３を得るための工程を少なくできる。
【００５０】
一対のキャビティ２８は、それぞれの第２弧部３８ｂ同士が対向するように形成され、一方のキャビティ２８は、ダイ１２における第１方向の中央よりも一方のコイル２０側に設けられ、他方のキャビティ２８は、ダイ１２における第１方向の中央よりも他方のコイル２０側に設けられ、各キャビティ２８は、第２弧部３８ｂよりも第１弧部３８ａの方がダイ１２の最寄りの側面に近くなるように設けられる。したがって、各キャビティ２８に充填された磁石粉末には、同様の配向磁界、すなわち、キャビティ２８に向かって第１弧部３８ａから入りかつ第１側部３８ｃおよび第２側部３８ｄから出るように、または第１側部３８ｃおよび第２側部３８ｄから入りかつ第１弧部３８ａから出てキャビティ２８から遠ざかるように、配向磁界が印加される。その結果、各キャビティ２８において得られる成形体Ｅ１から、磁化容易軸が第１側面４０ｃおよび第２側面４０ｄから第１弧面４０ａに向かって集束するように極異方性配向された焼結体Ｅ３を容易に作製でき、生産性を向上できる。
【００５１】
ダイ１２には複数の一対のキャビティ２８が第２方向に並列的に形成され、各キャビティ２８において得られる成形体Ｅ１から、磁化容易軸が第１側面４０ｃおよび第２側面４０ｄから第１弧面４０ａに向かって集束するように極異方性配向された焼結体Ｅ３を容易に作製でき、生産性をさらに向上できる。
【００５２】
ヨーク１８ａおよび１８ｂにおいて、Ｄ３＝Ｄ４／２であるため、第２方向の端部に位置するキャビティ２８に印加される配向磁界と、それ以外のキャビティ２８に印加される配向磁界とは同様になるので、各キャビティ２８において同様の成形体Ｅ１を得ることができ、同様の極異方性配向された焼結体Ｅ２，Ｅ３を容易に作製できる。
【００５３】
キャビティ２８の第１弧部３８ａと第２弧部３８ｂとの間隔を、キャビティ２８の第２方向の両端部より中央部の方が大きくなるように設定することによって、予め、キャビティ２８で得られる成形体Ｅ１の厚みを、弧方向端部より中央部の方が大きくなるように設定できる。この成形体Ｅ１を焼結すると、収縮率の違いにより、焼結体Ｅ２の弧方向端部の厚みと中央部の厚みとを略等しくできる。このように、成形体Ｅ１を焼結して得られる焼結体Ｅ２が所望の形状（たとえば、等肉）となるように、キャビティ２８の形状を予め設定しておくことによって、所望の形状の焼結体Ｅ２が得られる。
【００５４】
ダイ１２が非磁性超硬合金からなることによって、一対のコイル２０によって発生させる配向磁界を、磁石粉末が充填されたキャビティ２８に導き易くなり、磁石粉末を容易に配向できる。
【００５５】
コイル２０には、コンデンサ放電により生成されたパルス電流が流され、パルス磁界を印加して磁石粉末を配向させることによって、磁石粉末を良好に配向できる。
【００５６】
セグメント状の成形体Ｅ１を焼結するので、リング状の成形体を焼結する場合とは異なり、焼結時の応力が少なく割れやクラックが発生し難く、容易に焼結体Ｅ２を得ることができる。
【００５７】
また、極異方性配向されたセグメント状の焼結体Ｅ３を用いて構成されたロータでは、隣り合う焼結体（焼結セグメント磁石）の接続面（極間位置）での配向方向が、接続面に対して垂直な方向となり、ハルバッハ配列に近い配向角度分布を構成できる。したがって、ロータにおいて、磁束発生面では正弦波状でピークの高い表面磁束密度分布が得られ、良好な低コギングトルク特性と高トルク特性とを得ることができる。また、磁束発生面とは反対側の面では漏れ磁束が少なくなるため、磁路を構成するための磁性体バックヨークが不要となるため、ロータのイナーシャを小さくでき、応答性の高いロータが得られる。
【００５８】
また、図７を参照して、この発明の他の実施形態のプレス装置１０ａについて説明する。プレス装置１０ａは、外径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された成形体Ｆ１および焼結体Ｆ２，Ｆ３（図９参照）を製造するために用いられる装置であり、図１および図２に示すプレス装置１０と異なるのは、ダイ１２に代えてダイ１２ａを用いる点、下パンチ１４および上パンチ１６に代えてダイ１２ａ用の下パンチおよび上パンチ（ともに図示せず）を用いる点、ならびに成形体の形状に合わせてコイル位置を変更している点である。ダイ１２ａとダイ１２と異なるのは、貫通孔２２ではなく貫通孔２２ａが形成されている点である。すなわち、プレス装置１０ａがプレス装置１０と異なるのは、キャビティ２８ではなくキャビティ２８ａが形成される点、ならびに下パンチ１４および上パンチ１６ではなくキャビティ２８ａ用の下パンチおよび上パンチを含む点である。
【００５９】
図８をも参照して、キャビティ２８ａがキャビティ２８と異なるのは、その断面形状である。各キャビティ２８ａの断面形状は、キャビティ２８ａの両端部より中央部の方が中心線Ｐ１から遠ざかるような円弧状であり、一対のコイル２０が対向する第１方向（矢印Ｘで示す）に相互に間隔をおいて位置しかつそれぞれ第２方向（矢印Ｙで示す）に延びる第１弧部４２ａおよび第２弧部４２ｂと、第１弧部４２ａおよび第２弧部４２ｂのそれぞれの一端部を接続する第１側部４２ｃと、第１弧部４２ａおよび第２弧部４２ｂのそれぞれの他端部を接続する第２側部４２ｄとを含む。第１弧部４２ａおよび第２弧部４２ｂはそれぞれ、両端部より中央部が中心線Ｐ１から遠ざかる（中心線Ｐ１とは反対側に膨らむ）ように湾曲して形成される。キャビティ２８ａにおける第１弧部４２ａと第２弧部４２ｂとの間隔は、第２方向の両端部の間隔Ｄ５より中央部の間隔Ｄ６の方が大きい。プレス装置１０ａの下パンチおよび上パンチがプレス装置１０の下パンチ１４および上パンチ１６と異なるのは、その断面形状であり、プレス装置１０ａの下パンチおよび上パンチの断面形状は、キャビティ２８ａの断面形状と略等しい。この実施形態では、第１弧部４２ａがキャビティ２８ａから得られる成形体Ｆ１の外径側に対応しかつ第２弧部４２ｂが成形体Ｆ１の内径側に対応する。プレス装置１０ａのその他の構成はプレス装置１０と同様であるので、その重複する説明は省略する。
【００６０】
このようなプレス装置１０ａを用いて成形体Ｆ１を製造する方法は、プレス装置１０を用いて成形体Ｅ１を製造する方法と同様であるので、その重複する説明は省略する。
【００６１】
プレス装置１０ａによって得られた成形体Ｆ１を焼結すると焼結体Ｆ２（図９（ａ）参照）が得られ、焼結体Ｆ２を加工し表面処理することによって焼結体Ｆ３（図９（ａ）参照）が得られる。すなわち、断面円弧状であり、相互に間隔をおいた第１弧面４４ａおよび第２弧面４４ｂと、第１弧面４４ａおよび第２弧面４４ｂのそれぞれの一端部を接続する第１側面４４ｃと、第１弧面４４ａおよび第２弧面４４ｂのそれぞれの他端部を接続する第２側面４４ｄとを含み、磁化容易軸が第１側面４４ｃおよび第２側面４４ｄから第１弧面４４ａに向かって集束するように極異方性配向され、第１弧面４４ａが外径側になりかつ第２弧面４４ｂが内径側になる、焼結体Ｆ３（図９（ｂ）参照）を好適に作製できる。図９（ａ）には、成形体Ｆ１および焼結体Ｆ２，Ｆ３の配向方向も示されている。
【００６２】
この実施形態では、焼結体Ｆ３を周方向に並べてリング状に接続し、その後ＮＳ交互に着磁することによって、外径側に極を有し外径側に主磁束を発生させる極異方性を有する焼結リング磁石となり、インナーロータに用いられる。このとき着磁された焼結体Ｆ３が、極異方性焼結セグメント磁石に相当する。
【００６３】
プレス装置１０ａによれば、プレス装置１０と同様の効果を得ることができる。
【００６４】
また、キャビティ２８ａの第１弧部４２ａをプレス装置１０ａによって得られる成形体Ｆ１の外径側に対応させかつ第２弧部４２ｂを成形体Ｆ１の内径側に対応させると、外径側に主磁束を発生させるように極異方性配向されたインナーロータ用の成形体Ｆ１ひいては焼結体Ｆ２，Ｆ３を容易に作製できる。
【００６５】
図１および図２に示すプレス装置１０において、キャビティ２８が図１０に示すキャビティ２８ｂに変更されてもよい。キャビティ２８ｂがキャビティ２８と異なるのは、その断面形状であり、第２弧部３８ｂではなく、第２弧部４６を含む。第２弧部４６は、その円弧方向中央部にキャビティ２８ｂ内に突出する半円状の凸部４６ａを有する。すなわち、キャビティ２８ｂには、断面形状が凸部４６ａとなる突出部が上下方向に延びるように形成されている。下パンチおよび上パンチは、その断面形状がキャビティ２８ｂの断面形状と略等しくなるように適宜変更される。その他の構成はプレス装置１０と同様である。
【００６６】
このようなプレス装置を用いて成形体Ｇ１（図１１（ａ）参照）を製造する方法は、プレス装置１０を用いて成形体Ｅ１を製造する方法と同様であるので、その重複する説明は省略する。
【００６７】
このようなプレス装置によって、外径側の中央部にノッチＭ１を有する成形体Ｇ１が得られる。成形体Ｇ１を焼結すると外径側の中央部にノッチＭ２を有する焼結体Ｇ２（図１１（ａ）参照）が得られ、焼結体Ｇ２を加工し表面処理することによって外径側の中央部にノッチＭ３を有する焼結体Ｇ３（図１１（ａ）参照）が得られる。すなわち、断面円弧状であり、相互に間隔をおいた第１弧面４８ａおよび第２弧面４８ｂと、第１弧面４８ａおよび第２弧面４８ｂのそれぞれの一端部を接続する第１側面４８ｃと、第１弧面４８ａおよび第２弧面４８ｂのそれぞれの他端部を接続する第２側面４８ｄとを含み、磁化容易軸が第１側面４８ｃおよび第２側面４８ｄから第１弧面４８ａに向かって集束するように極異方性配向され、第１弧面４８ａが内径側になりかつ第２弧面４８ｂが外径側になり、第２弧面４８ｂはその中央部に形成されたノッチＭ３を有する、焼結体Ｇ３（図１１（ｂ）参照）を好適に作製できる。なお、図１１を参照して、加工後の焼結体Ｇ３においてノッチＭ３を形成するためには、焼結体Ｇ２を焼結体Ｇ３に加工するときに加工取り代（片面）をＳ１、成形体Ｇ１のノッチＭ１の深さをＳ２とすると、Ｓ２がＳ１／０．８以上であればよい。加工後の焼結体Ｇ３のノッチ深さは０．１ｍｍ以上（磁石厚み／２）ｍｍ以下であることが望ましい。後述する成形体Ｈ１および焼結体Ｈ２，Ｈ３についても同様である。図１１（ａ）には、成形体Ｇ１および焼結体Ｇ２，Ｇ３の配向方向も示されている。
【００６８】
この実施形態では、焼結体Ｇ３を周方向に並べてリング状に接続し、その後ＮＳ交互に着磁することによって、内径側に極を有し内径側に主磁束を発生させる極異方性を有する焼結リング磁石となり、アウターロータに用いられる。このとき着磁された焼結体Ｇ３が、極異方性焼結セグメント磁石に相当する。
【００６９】
このような成形体Ｇ１から極異方性を有する焼結リング磁石を構成した場合における検討結果を示す。なお、焼結リング磁石の寸法は、外径（直径）８０ｍｍ、内径（直径）７４ｍｍ、高さ１０ｍｍであり、焼結リング磁石は２８極に構成されている。焼結リング磁石の材質は、日立金属株式会社製ＮＭＸ−４８ＢＨに相当する材質である。
【００７０】
図１２（ａ）に、成形体Ｇ１の体積変化率と表面磁束密度変化率との関係を示し、図１２（ｂ）に、加工後焼結体Ｇ３の体積変化率と表面磁束密度変化率との関係を示す。表面磁束密度（基本波ｐｅａｋ）は、焼結リング磁石を構成した後に測定された。表面磁束密度の測定は、ガウスメータにより、軸方向中央かつ内表面から０．５ｍｍの位置で行った。変化率は、ノッチが形成されていない成形体Ｅ１、加工後焼結体Ｅ３に対する変化率である。ここでは、ノッチＲを０．７５ｍｍから１．７５ｍｍまで０．２５ｍｍ刻みで変化させた場合について検討した。図１２（ａ），（ｂ）からわかるように、表面磁束密度（基本波ｐｅａｋ）の変化率より、成形体Ｇ１および加工後焼結体Ｇ３の体積変化率の方が大きい。ノッチＲ１．００ｍｍの場合、表面磁束密度変化率が−０．６％であるのに対して、成形体Ｇ１の体積変化率は−２．９％であり、加工後焼結体Ｇ３の体積変化率は−１．８％である。ノッチＲ１．２５ｍｍの場合、表面磁束密度変化率が−１．２％であるのに対して、成形体Ｇ１の体積変化率は−４．５％であり、加工後焼結体Ｇ３の体積変化率は−３．４％である。ノッチＲ１．５０ｍｍの場合、表面磁束密度変化率が−２．４％であるのに対して、成形体Ｇ１の体積変化率は−６．４％であり、加工後焼結体Ｇ３の体積変化率は−５．４％である。ノッチＲ１．７５ｍｍの場合、表面磁束密度変化率が−３．３％であるのに対して、成形体Ｇ１の体積変化率は−８．８％であり、加工後焼結体Ｇ３の体積変化率は−７．８％である。表面磁束密度（基本波ｐｅａｋ）の変化の許容範囲を３％以下とすると、ノッチＲを０．７５ｍｍ以上１．５０ｍｍ以下にするのが好ましい。このように、表面磁束密度変化率をさほど減少させることなく、成形体Ｇ１および加工後焼結体Ｇ３ひいては焼結リング磁石の体積を削減することが可能である。これにより、原料歩留まりを向上でき、原料の使用重量を削減できる。また、加工後焼結体Ｇ３の重量を削減できる。
【００７１】
このようなプレス装置によれば、プレス装置１０と同様の効果を得ることができる。
【００７２】
また、キャビティ２８ｂで成形される成形体Ｇ１の第２弧面（キャビティ２８ｂの第２弧部４６に対応する面）の中央部にノッチＭ１が形成される。ここで、図１に示すプレス装置１０では、配向磁界印加時、キャビティ２８に充填された磁石粉末には、キャビティ２８に向かって第１弧部３８ａから入りかつ第１側部３８ｃおよび第２側部３８ｄから出るように、または第１側部３８ｃおよび第２側部３８ｄから入りかつ第１弧部３８ａから出てキャビティ２８から遠ざかるように、配向磁界が印加され、第２弧部３８ｂの中央部に配向磁界はほとんど印加されない。そのため、キャビティ２８で成形される成形体Ｅ１の第２弧面の中央部は、主磁束の形成にさほど寄与せず、成形体Ｅ１の第２弧面の中央部を削ることができる。したがって、図１０に示すようにキャビティ２８ｂの第２弧部４６の第２方向中央部にキャビティ２８ｂ内に突出する凸部４６ａを形成することによって、第２弧面の中央部にノッチＭ１が形成された成形体Ｇ１を得ることができる。これによって、成形体Ｇ１から作製される焼結セグメント磁石の表面磁束密度をほとんど低下させることなく、磁石材料の使用量を減少させることができ、コストを低減できる。すなわち、極異方性配向された焼結体Ｇ３において、第１弧面４８ａ（磁極面）の反対側の第２弧面４８ｂの弧方向中央部にノッチＭ３を形成することによって、表面磁束密度をほとんど低下させることなく、磁石材料の使用量を減少させることができる焼結セグメント磁石が得られる。また、ノッチＭ３を、ロータを構成するときの位置決めや回転止めに用いることができる。
【００７３】
さらに、図７に示すプレス装置１０ａにおいて、キャビティ２８ａが図１３に示すキャビティ２８ｃに変更されてもよい。キャビティ２８ｃがキャビティ２８ａと異なるのは、その断面形状であり、キャビティ２８ｃは、第２弧部４２ｂではなく、第２弧部５０を含む。第２弧部５０は、その円弧方向中央部にキャビティ２８ｃ内に突出する半円状の凸部５０ａを有する。すなわち、キャビティ２８ｃには、断面形状が凸部５０ａとなる突出部が上下方向に延びるように形成されている。下パンチおよび上パンチは、その断面形状がキャビティ２８ｃの断面形状と略等しくなるように適宜変更される。その他の構成はプレス装置１０ａと同様である。
【００７４】
このようなプレス装置を用いて成形体Ｈ１（図１４（ａ）参照）を製造する方法は、プレス装置１０ａを用いて成形体Ｆ１を製造する方法と同様である。
【００７５】
このようなプレス装置によって、内径側の中央部にノッチＮ１を有する成形体Ｈ１が得られる。成形体Ｈ１を焼結すると内径側の中央部にノッチＮ２を有する焼結体Ｈ２（図１４（ａ）参照）が得られ、焼結体Ｈ２を加工し表面処理することによって内径側の中央部にノッチＮ３を有する焼結体Ｈ３（図１４（ａ）参照）が得られる。すなわち、断面円弧状であり、相互に間隔をおいた第１弧面５２ａおよび第２弧面５２ｂと、第１弧面５２ａおよび第２弧面５２ｂのそれぞれの一端部を接続する第１側面５２ｃと、第１弧面５２ａおよび第２弧面５２ｂのそれぞれの他端部を接続する第２側面５２ｄとを含み、磁化容易軸が第１側面５２ｃおよび第２側面５２ｄから第１弧面５２ａに向かって集束するように極異方性配向され、第１弧面５２ａが外径側になりかつ第２弧面５２ｂが内径側になり、第２弧面５２ｂはその中央部に形成されたノッチＮ３を有する、焼結体Ｈ３（図１４（ｂ）参照）を好適に作製できる。図１４（ａ）には、成形体Ｈ１および焼結体Ｈ２，Ｈ３の配向方向も示されている。
【００７６】
この実施形態では、焼結体Ｈ３を周方向に並べてリング状に接続し、その後ＮＳ交互に着磁することによって、外径側に極を有し外径側に主磁束を発生させる極異方性を有する焼結リング磁石となり、インナーロータに用いられる。このとき着磁された焼結体Ｈ３が、極異方性焼結セグメント磁石に相当する。
【００７７】
このようなプレス装置によれば、プレス装置１０ａと同様の効果を得ることができる。
【００７８】
また、キャビティ２８ｃの第２弧部５０の第２方向中央部にキャビティ２８ｃ内に突出する凸部５０ａを形成することによって、第２弧面（キャビティ２８ｃの第２弧部５０に対応する面）の中央部にノッチＮ１が形成された成形体Ｈ１、ひいては第１弧面５２ａ（磁極面）の反対側の第２弧面５２ｂの弧方向中央部にノッチＮ３が形成された焼結体Ｈ３を得ることができ、上述のキャビティ２８ｂを有するプレス装置と同様の効果が得られる。
【００７９】
この発明によれば、内径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された焼結体および外径側に主磁束を発生させるように極異方性配向された焼結体のいずれであっても容易に作製できるので、アウターロータ型かインナーロータ型かに拘わらず、高トルク、低コギングトルクおよび低イナーシャ特性を有するモータを得ることができる。
【００８０】
また、複数の焼結体Ｇ３（図１１参照）を用いて、図１５および図１６に示す樹脂モールドリング５４を得ることができる。
【００８１】
樹脂モールドリング５４は、たとえば以下のように製造される。
【００８２】
図１７（ａ）を参照して、まず、焼結体Ｇ３の四隅、すなわち、第１弧面４８ａと第１側面４８ｃとの接続部、第１弧面４８ａと第２側面４８ｄとの接続部、第２弧面４８ｂと第１側面４８ｃとの接続部、および第２弧面４８ｂと第２側面４８ｄとの接続部が面取りされ、面取り部Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３およびＣ４が形成される。さらに、ノッチＭ３がさらに深く削られ、ノッチＭ４が形成される。このようにして、四隅に面取り部Ｃ１〜Ｃ４を有しかつ第２弧面４８ｂの中央部にノッチＭ４を有する焼結体Ｇ４が得られる。
【００８３】
そして、図１７（ｂ）を参照して、環状の溝５６を有するモールド金型５８が準備される。溝５６は、作製すべき樹脂モールドリング５４の外形に対応するリング形状を有し、溝５６の内側面には、焼結体Ｇ４の位置決め用の複数（この実施形態では、２８個）の凸部６０が等間隔をあけて形成される。
【００８４】
このようなモールド金型５８の溝５６に、複数（この実施形態では、２８個）の焼結体Ｇ４が嵌め込まれる。このとき、各焼結体Ｇ４は、ノッチＭ４が凸部６０に嵌合することによって、隣り合う焼結体Ｇ４間に隙間が形成されるように位置決めされる。また、溝５６内において焼結体Ｇ４の両端面をそれぞれ２本のピン（図示せず）で支持することによって、溝５６内での焼結体Ｇ４の深さ方向（軸方向）の位置決めが行われる。
【００８５】
その状態で、隣り合う焼結体Ｇ４間の隙間から樹脂を注入して、樹脂モールド部材６２が形成される。
【００８６】
このようにして、複数（この実施形態では、２８個）の焼結体Ｇ４と樹脂モールド部材６２とが一体化された樹脂モールドリング５４が得られる。樹脂モールドリング５４では、複数の焼結体Ｇ４はリング状に配置され、隣り合う焼結体Ｇ４は、一方の焼結体Ｇ４の第１側面４８ｃと他方の焼結体Ｇ４の第２側面４８ｄとが間隔をあけて隣り合うように配置される。樹脂モールド部材６２は、第１弧面４８ａおよび第２弧面４８ｂが露出するように複数の焼結体Ｇ４を保持する。すなわち、樹脂モールド部材６２は、すべての隣り合う焼結体Ｇ４間の隙間を埋め、かつリング状に配置されたときの各焼結体Ｇ４の軸方向両端面を覆うように、各焼結体Ｇ４を樹脂モールドし保持する。樹脂モールド部材６２の内周面と第１弧面４８ａとは面一に形成され、樹脂モールド部材６２の外周面と第２弧面４８ｂとは面一に形成される。また、樹脂モールド部材６２は、面取り部Ｃ１〜Ｃ４を覆うように各焼結体Ｇ４を樹脂モールドする。樹脂モールド部材６２の外周面には、ノッチＭ４の両端部に繋がる凹部６４ａ，６４ｂが形成される。また、樹脂モールドリング５４の製造時に、各焼結体Ｇ４の両端面をそれぞれ２本のピンで支持した結果、樹脂モールド部材６２の軸方向両端部には、複数の穴６６が形成される。
【００８７】
このような樹脂モールドリング５４によれば、複数の焼結体Ｇ４が樹脂モールド部材６２で樹脂モールドされ保持されることによって、少ない製造工数で容易に樹脂モールドリング５４を作製することができる。
【００８８】
樹脂モールド部材６２は、面取り部Ｃ１〜Ｃ４を覆うように各焼結体Ｇ４を樹脂モールドするので、各焼結体Ｇ４が樹脂モールド部材６２から脱落するのを防止できる。
【００８９】
各焼結体Ｇ４は、第２弧面４８ｂの中央部に形成されたノッチＭ４を有するので、ノッチＭ４を各焼結体Ｇ４の位置決めに用いることができる。
【００９０】
また、樹脂モールドリング５４を着磁、すなわちリング状に配置された複数の焼結体Ｇ４をＮＳ交互に着磁することによって、内径側に極を有し内径側に主磁束を発生させる極異方性を有する焼結リング磁石（以下、「樹脂モールドリング磁石」という）が得られる。得られた樹脂モールドリング磁石は、アウターロータに用いられる。
【００９１】
ここで、比較例として、焼結体Ｇ４を周方向に並べて接着によってリング状に接続し、その後ＮＳ交互に着磁することによって、図５に示す焼結リング磁石１００と同様に、内径側に極を有し内径側に主磁束を発生させる極異方性を有する焼結リング磁石（以下、「接着固定リング磁石」という）を得る。そして、樹脂モールドリング磁石と接着固定リング磁石との検討結果を示す。なお、樹脂モールドリング磁石と接着固定リング磁石の寸法は、外径（直径）８０ｍｍ、内径（直径）７４ｍｍ、高さ１６ｍｍで同一であり、２８極に構成されている。着磁された焼結体Ｇ４の高さは１２ｍｍである。
【００９２】
樹脂モールドリング磁石と接着固定リング磁石とについて、内外径の表面磁束密度がガウスメータを用いて測定された。ここでは、それぞれの焼結リング磁石について、軸方向中央かつ内表面から１ｍｍの位置で内径側の表面磁束密度（図１８（ａ）および（ｂ）において「内径側Ｒ３６」で表示）が測定され、軸方向中央かつ外表面から２ｍｍの位置で外径側の表面磁束密度（図１８（ａ）および（ｂ）において「外径側Ｒ４２」で表示）が測定された。
【００９３】
その結果、接着固定リング磁石について、図１８（ａ）に示す表面磁束密度波形が得られ、図１９（ａ）に示す内径側の表面磁束密度ピークの分布が得られた。一方、樹脂モールドリング磁石について、図１８（ｂ）に示す表面磁束密度波形が得られ、図１９（ｂ）に示す内径側の表面磁束密度ピークの分布が得られた。なお、図１９（ａ）および（ｂ）の横軸のピークＮｏは、焼結リング磁石に含まれる２８個の着磁された焼結体Ｇ４に対応する。
【００９４】
図１８（ａ）および（ｂ）を参照して、いずれの焼結リング磁石とも、内径側の表面磁束密度分布は実線で示すように略正弦波状を呈する一方、外径側の表面磁束密度分布は破線で示すように小さくなり、概ねハルバッハ配向されていることがわかる。したがって、いずれの焼結リング磁石とも、一体化された各焼結体Ｇ４の径方向外側には、殆ど磁束漏れがないので、焼結リング磁石の外周に、たとえばアルミニウムなどの非磁性体からなる補強リングを嵌めることができ、また、たとえば被駆動部材などの他の部材を直接取り付けることができる。
【００９５】
樹脂モールド部材６２は、第２弧面４８ｂが露出するように複数の焼結体Ｇ４を保持するので、樹脂モールドリング磁石に、第２弧面４８ｂを介して他の部材（たとえば補強リングや被駆動部材）を強固に取り付けることができる。また、樹脂モールドリング磁石に他の部材を取り付けるとき、ノッチＭ４を樹脂モールドリング磁石の位置決めや回転防止に用いることができる。
【００９６】
樹脂モールド部材６２は、第１弧面４８ａが露出するように複数の焼結体Ｇ４を保持するので、樹脂モールドリング磁石をロータとして組み付けるとき、樹脂モールドリング磁石の第１弧面４８ａとステータとのギャップを小さくでき、モータ特性を向上させることができる。
【００９７】
また、図１９（ａ）および（ｂ）を比較して分かるように、接着固定リング磁石よりも樹脂モールドリング磁石の方が、内径側の表面磁束密度ピークのうねりが低減され、内径側の表面磁束密度のピークばらつきが改善される。
【００９８】
さらに、樹脂モールドリング磁石の径寸法を３Ｄ測定器で測定した結果、軸方向の上側、中央、下側の内径（直径）が、７３．９９６ｍｍ〜７４．００５ｍｍに収まり、軸方向中央の外径（直径）が、８０．０１９ｍｍとなり、樹脂モールドリング磁石の内外径の寸法精度が良好となり真円度が向上する。
【００９９】
このように、樹脂モールドリング磁石によれば、内外径の寸法精度が良好となりかつ表面磁束密度分布のばらつきが小さくなる。
【０１００】
なお、上述の実施形態では、樹脂モールドリング５４において、樹脂モールド部材６２は、第１弧面４８ａおよび第２弧面４８ｂが露出するように各焼結体Ｇ４を保持する場合について説明したが、これに限定されない。樹脂モールド部材は、第１弧面４８ａおよび第２弧面４８ｂのいずれか一方が露出するように各焼結体Ｇ４を保持してもよいし、全面を覆うように各焼結体Ｇ４を保持してもよい。
【０１０１】
上述の実施形態では、焼結体Ｇ４は、面取り部Ｃ１〜Ｃ４を有する場合について説明したが、これに限定されず、面取り部Ｃ１〜Ｃ４のうちいずれか１つを有すればよい。また、焼結体Ｇ４に含まれるノッチは、ノッチＭ４ではなくノッチＭ３であってもよく、任意の寸法でよい。
【０１０２】
上述の実施形態では、樹脂モールドリング５４が焼結体Ｇ４を含む場合について説明したが、これに限定されない。樹脂モールドリングは、焼結体Ｅ３，Ｆ３，Ｇ３，Ｈ３またはこれらのいずれかに面取りを施したものを含んでもよい。
【０１０３】
上述の実施形態では、ダイに６つ（３対）のキャビティが形成される場合について説明したが、これに限定されない。ダイには、１つのキャビティだけが中心線Ｐ１よりもいずれか一方のコイル２０側に設けられてもよい。また、ダイには、一対のキャビティだけが中心線Ｐ１に対して対称位置に設けられてもよい。さらに、ダイには、２対キャビティ、または４対以上のキャビティが設けられてもよい。
【０１０４】
ダイは、非磁性材料からなる場合に限定されず、磁性材料によって構成されてもよい。
【０１０５】
上述の実施形態では、ダイの端部とヨークの端部とが第１方向に面一に形成される場合について説明したが、これに限定されず、ダイの端部とヨークの端部とが第１方向に面一でなくてもよい。
【０１０６】
また、上述の実施形態では、ヨーク側面に形成された溝にコイルが収容される場合について説明したが、これに限定されない。ヨークにおけるダイと接触する側面側である限りにおいて、コイルはヨークに埋め込まれる等の他の態様で設けられてもよい。
【０１０７】
また、使用する磁石粉末として、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石用合金粉末を例に挙げたが、それ以外にもＳｒ系フェライト磁石、Ｂａ系フェライト磁石、Ｓｒ−Ｌａ−Ｃｏ系フェライト磁石、Ｃａ−Ｌａ−Ｃｏ系フェライト磁石に用いられる合金粉末でも適用可能である。
【０１０８】
また、本発明にて製造した焼結体は、インナーロータ、アウターロータに用いられる断面円弧状以外にも断面平角形状にしてもよい。断面平角形状にすることでリニアモータはじめ他の磁界発生装置の磁気回路にも適用可能である。
【符号の説明】
【０１０９】
１０，１０ａ      プレス装置
１２，１２ａ      ダイ
１４      下パンチ
１６      上パンチ
１８ａ，１８ｂ      ヨーク
２０      コイル
２２，２２ａ      貫通孔
２４ａ，２４ｂ      ダイの側面
２４ｃ，２４ｄ      ダイの端部
２８，２８ａ，２８ｂ，２８ｃ      キャビティ
３０ａ，３０ｂ，３２ａ，３２ｂ      ヨークの端部
３８ａ，４２ａ      第１弧部
３８ｂ，４２ｂ，４６，５０      第２弧部
３８ｃ，４２ｃ      第１側部
３８ｄ，４２ｄ      第２側部
４０ａ，４４ａ，４８ａ，５２ａ      第１弧面
４０ｂ，４４ｂ，４８ｂ，５２ｂ      第２弧面
４０ｃ，４４ｃ，４８ｃ，５２ｃ      第１側面
４０ｄ，４４ｄ，４８ｄ，５２ｄ      第２側面
４６ａ，５０ａ      凸部
５４      樹脂モールドリング
６２      樹脂モールド部材
１００      焼結リング磁石
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４      面取り部
Ｄ１，Ｄ５      第１弧部と第２弧部との端部の間隔
Ｄ２，Ｄ６      第１弧部と第２弧部との中央部の間隔
Ｄ３      最端に位置するキャビティの第２方向中央からダイの端部までの距離
Ｄ４      第２方向に隣り合うキャビティの第２方向中央間の距離
Ｅ１，Ｆ１，Ｇ１，Ｈ１      成形体
Ｅ２，Ｆ２，Ｇ２，Ｈ２      焼結体
Ｅ３，Ｆ３，Ｇ３，Ｇ４，Ｈ３      加工後の焼結体
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４，Ｎ１，Ｎ２，Ｎ３      ノッチ
Ｐ１，Ｐ２      中心線
Ｘ      第１方向
Ｙ      第２方向
【図１】
2018019081.tif 000003
【図２】
2018019081.tif 000004
【図３】
2018019081.tif 000005
【図４】
2018019081.tif 000006
【図５】
2018019081.tif 000007
【図６】
2018019081.tif 000008
【図７】
2018019081.tif 000009
【図８】
2018019081.tif 000010
【図９】
2018019081.tif 000011
【図１０】
2018019081.tif 000012
【図１１】
2018019081.tif 000013
【図１２】
2018019081.tif 000014
【図１３】
2018019081.tif 000015
【図１４】
2018019081.tif 000016
【図１５】
2018019081.tif 000017
【図１６】
2018019081.tif 000018
【図１７】
2018019081.tif 000019
【図１８】
2018019081.tif 000020
【図１９】
2018019081.tif 000021