(57)【要約】【課題】蓋の開け閉めを容易に行うことが可能な技術を提供する。【解決手段】蓋構造２０は、基部３０、Ｏリング４０、蓋部５０及び固定部６０を備える。基部３０は、外周面に第１ネジ溝３２０が設けられており、かつ、第１軸方向Ｄ１に延びる貫通孔３２Ｈを形成する筒状部３２を備える。Ｏリング４０は、基部３０における貫通孔３２Ｈの開口端の周囲に設置される。蓋部５０は、基部３０との間でＯリング４０を全周に渡って挟み、かつ、基部３０の開口を塞ぐ。固定部６０は、内周面に第１ネジ溝３２０に螺合する第２ネジ溝６２０が設けられた筒状部６２、及び、筒状部６２が基部３０に螺合した状態で蓋部５０を基部３０に向けて押圧する押圧部６４を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蓋構造であって、
外周面に第１ネジ溝が設けられており、かつ、第１軸方向に延びる孔を形成する筒状に形成された基部と、
前記基部における前記孔の開口端の周囲に設置されるＯリングと、
前記基部との間で前記Ｏリングを全周に渡って挟み、かつ、前記基部の開口を塞ぐ蓋部と、
内周面に前記第１ネジ溝に螺合する第２ネジ溝が設けられた筒状に形成された筒状部、及び、前記筒状部が前記基部に螺合した状態で前記蓋部を前記基部に向けて押圧する押圧部を有する固定部と、
を備える、蓋構造。
【請求項２】
請求項１に記載の蓋構造であって、
前記基部及び前記蓋部のうち、一方にはキー溝が設けられており、他方には前記キー溝に嵌合するキー部が設けられている、蓋構造。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の蓋構造であって、
前記固定部の前記押圧部が、前記第１軸方向に貫通する孔を形成する、蓋構造。
【請求項４】
請求項３の蓋構造であって、
前記蓋部は、
前記基部の開口よりも大きく広がる幅広部と、
前記幅広部の両側のうち、前記固定部の前記押圧部に押圧される側に形成されており、前記幅広部よりも径が小さい凸部と、
を備え、
前記凸部が前記押圧部の前記貫通孔に嵌め込まれる、蓋構造。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項の蓋構造であって、
前記蓋部及び前記固定部が、透明性を有する、蓋構造。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項の蓋構造であって、
前記固定部の第１軸方向の端部の外縁部において、前記固定部の中心を挟んで対向する２つ位置の各々に、凹部が形成されている、蓋構造。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項の蓋構造であって、
前記基部は、取付対象部位に着脱自在に取付けられる取付部を備える、蓋構造。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項の蓋構造と、
内部に流体が供給される流体被供給空間を形成しており、前記蓋構造の前記基部が取付けられる筐体と、
を備える、蓋構造付筐体。
【請求項９】
基板を処理する基板処理装置であって、
請求項８の蓋構造付筐体と、
前記蓋構造付筐体の内部に前記流体を供給する流体供給部と、
を備える、基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、筐体における開口を開閉するための蓋構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基板処理システムが開示されている。この基板処理システムは、ＬＣＤ用ガラス基板などの矩形の基板をローラコンベアによって処理室内に搬送しつつ、その処理室内に配置されたシャワーユニットから処理液を供給し、基板表面に各種処理を施す。また、この基板処理システムは、使用後の処理液を回収タンク（循環タンク）に回収し、再度、シャワーユニットに給送することによって、処理液を再利用するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２５８６４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記循環タンク、又は、処理室を形成するチャンバーなどの筐体には、メンテナンス用の開口が形成されており、その開口を塞ぐための蓋構造が設けられる場合がある。一般的には、その開口を封止するため、筐体の開口の周囲にＯリングが設置され、蓋部材と筐体との間でそのＯリングを挟持していた。また、蓋でＯリングを均一に押圧するため、Ｏリングの周方向に沿った複数の箇所で蓋をネジで固定していた。このため、メンテナンス時に蓋を開け閉めするためには、作業者が多数のネジを外したり締めたりする必要があり、作業が煩雑となっていた。
【０００５】
本発明は、蓋の開け閉めを容易に行うことが可能な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、第１態様は、蓋構造であって、外周面に第１ネジ溝が設けられており、かつ、第１軸方向に延びる孔を形成する筒状に形成された基部と、前記基部における前記孔の開口端の周囲に設置されるＯリングと、前記基部との間で前記Ｏリングを全周に渡って挟み、かつ、前記基部の開口を塞ぐ蓋部と、内周面に前記第１ネジ溝に螺合する第２ネジ溝が設けられた筒状に形成された筒状部、及び、前記筒状部が前記基部に螺合した状態で前記蓋部を前記基部に向けて押圧する押圧部を有する固定部とを備える。
【０００７】
また、第２態様は、第１態様の蓋構造であって、前記基部及び前記蓋部のうち、一方にはキー溝が設けられており、他方には前記キー溝に嵌合するキー部が設けられている。
【０００８】
また、第３態様は、第１態様又は第２態様の蓋構造であって、前記固定部の前記押圧部が、前記第１軸方向に貫通する孔を形成する。
【０００９】
また、第４態様は、第３態様の蓋構造であって、前記蓋部は、前記基部の開口よりも大きく広がる幅広部と、前記幅広部の両側のうち、前記固定部の前記押圧部に押圧される側に形成されており、前記幅広部よりも径が小さい凸部とを備え、前記凸部が前記押圧部の前記貫通孔に嵌め込まれる。
【００１０】
また、第５態様は、第１態様から第４態様のいずれか１つの蓋構造であって、前記蓋部及び前記固定部が、透明性を有する。
【００１１】
また、第６態様は、第１態様から第５態様のいずれか１つの蓋構造であって、前記固定部の第１軸方向の端部の外縁部において、前記固定部の中心を挟んで対向する２つ位置の各々に、凹部が形成されている。
【００１２】
また、第７態様は、第１態様から第６態様のいずれか１つの蓋構造であって、前記基部は、取付対象部位に着脱自在に取付けられる取付部を備える。
【００１３】
また、第８態様は、蓋構造付筐体であって、第１態様から第７態様のいずれか１つの蓋構造と、内部に流体が供給される流体被供給空間を形成しており、前記蓋構造の前記基部が取付けられる筐体とを備える。
【００１４】
また、第９態様は、基板処理装置であって、第８態様の蓋構造付筐体と、前記蓋構造付筐体の内部に前記流体を供給する流体供給部とを備える。
【発明の効果】
【００１５】
第１態様の蓋構造によると、固定部を回転させて基部から取外すことによって、蓋部の固定を解除でき、かつ、基部の開口を開放できる。このため、基部が設けられた筐体等の開口を容易に開閉できる。
【００１６】
第２態様の蓋構造によると、キー溝にキー部が嵌合することによって、蓋部が基部に対して回転することを抑制できる。
【００１７】
第３態様の蓋構造によると、固定部の貫通孔を通じて蓋部を押さえることができるため、固定部に接した蓋部が固定部とともに回転することを抑制できる。蓋部の回転を抑制することによってＯリングが不均一に潰れることを抑制できるため、蓋構造の封止性を向上できる。
【００１８】
第４態様の蓋構造によると、固定部の押圧部の貫通孔に蓋部の凸部が進入した長さを目安にして、固定部を基部に取付けできる。
【００１９】
第５態様の蓋構造によると、蓋部によって押圧されるＯリングの押圧状態を視認できる。これによって、蓋構造の封止性を向上できる。
【００２０】
第６態様の蓋構造によると、一対の凹部に嵌め込み可能な一対のピン部が形成された棒状の治具を使用して、基部に対する固定部の取付け、又は、取外しを容易に行うことができる。
【００２１】
第７態様の蓋構造によると、取付部を介して基部を取付対象部位に着脱自在に取付けできる。
【００２２】
第８態様の蓋構造付筐体によると、筐体に形成された開口の開閉を蓋構造によって容易に実行できる。
【００２３】
第９態様の基板処理装置によると、筐体に形成された開口の開閉を蓋構造によって容易に実行できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態の基板処理システム１０を示す全体図である。
【図２】実施形態のタンク１４４を示す図である。
【図３】実施形態の蓋構造２０を示す斜視図である。
【図４】実施形態の蓋構造２０を示す断面図である。
【図５】実施形態の蓋構造２０を示す分解図である。
【図６】実施形態の蓋部５０を示す底面図である。
【図７】実施形態の蓋部５０を示す側面図である。
【図８】変形例の蓋部５０ａを示す側面図及び斜視図である。
【図９】変形例の蓋部５０ｂを示す断面図である。
【図１０】変形例の蓋構造２０ａを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。なお、この実施形態に記載されている構成要素はあくまでも例示であり、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。図面においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数が誇張又は簡略化して図示されている場合がある。
【００２６】
＜１．  第１実施形態＞
図１は、実施形態の基板処理システム１０を示す全体図である。基板処理システム１０は、矩形状の基板９０の表面を洗浄処理するためのシステムとして構成されているが、他の処理を行うように構成されていてもよい。また、処理対象物は、矩形状の基板９０ではなく、例えばロールｔｏロール方式で連続搬送されるシート状基材としてもよい。
【００２７】
基板処理システム１０は、基板導入部１２、洗浄部１４、水洗部１６及び基板導出部１８を直列に備える。また、基板処理システム１０は、基板導入部１２に導入された基板９０を、洗浄部１４、水洗部１６及び基板導出部１８に順次に搬送する複数の搬送用ローラ１９を備える。
【００２８】
基板導入部１２には、上工程から基板９０を受け取るロボットハンド（不図示）が付設されている。ロボットハンドは、受け取った基板９０を基板導入部１２に搬入する。基板導入部１２における基板９０の受け取りは、上下に昇降する複数のリフトピン（不図示）を利用できる。すなわち、ロボットハンドが複数の搬送用ローラ１９の間から突出した複数のリフトピンに基板９０を載置し、その後、その複数のリフトピンが下降することよって、基板９０を搬送用ローラ１９に載置するとよい。
【００２９】
洗浄部１４は、処理槽１４０、シャワーユニット１４２、及び、タンク１４４を備える。
【００３０】
処理槽１４０は、金属材料などで形成された筐体である。処理槽１４０の一端には、基板導入部１２から基板９０を進入させるための進入口が形成されており、処理槽１４０の他端には、水洗部１６の処理槽１６０へ基板９０を退出させる退出口が形成されている。処理槽１４０の内部には、複数の搬送用ローラ１９、及び、シャワーユニット１４２が配されている。
【００３１】
シャワーユニット１４２は、複数の搬送用ローラ１９の上方に配されており、基板９０に対向する側に、マトリクス状に配された複数のノズルを有する。複数のノズル各々は、基板９０の上面に向けて、霧状又は液滴状の洗浄液を供給する。
【００３２】
タンク１４４は、洗浄液を貯留する例えばＰＶＣ樹脂製の筐体である。タンク１４４は、供給管を介してシャワーユニット１４２に接続されているとともに、回収管を介して処理槽１４０に接続されている。供給管には、ポンプ１４６が設けられている。ポンプ１４６の作動によって、タンク１４４内の洗浄液が、供給管を通じてシャワーユニット１４２に送給される。これによって、シャワーユニット１４２のノズル各々から洗浄液が吐出される。吐出された洗浄液は、基板９０に供給された後、処理槽１４０の漏斗状に形成された内底部に沿って一箇所に集められ、回収管を通じてタンク１４４に戻される。このように、タンク１４４は、循環タンクとして構成されている。シャワーユニット１４２、タンク１４４及びポンプ１４６は、処理槽１４０に流体である洗浄液を供給する流体供給部となっている。また、タンク１４４から見ると、処理槽１４０及び回収管などは、タンク１４４に流体である洗浄液を供給する流体供給部となっている。
【００３３】
水洗部１６は、処理槽１６０、シャワーユニット１６２ａ，１６２ｂ及びタンク１６４を備える。
【００３４】
処理槽１６０は、例えばＰＶＣ樹脂製の筐体である。処理槽１６０の一端には、基板９０を処理槽１６０内に進入させるための進入口が形成れており、処理槽１６０の他端には、処理槽１６０内から基板９０を退出させるための退出口が形成されている。処理槽１６０の内部には、シャワーユニット１６２ａ，１６２ｂ、及び、複数の搬送用ローラ１９が配されている。
【００３５】
シャワーユニット１６２ａは、複数の搬送用ローラ１９の上方に配されており、シャワーユニット１６２ｂは、複数の搬送用ローラ１９の下方に配されている。シャワーユニット１６２ａ，１６２ｂ各々は、基板９０に対向する側に、マトリクス状に配された複数のノズルを有する。ノズル各々は、基板９０の上面及び下面各々に向けて、液滴状の純水を供給する。
【００３６】
シャワーユニット１６２ａ，１６２ｂには、ポンプ１６６の作動によって純水供給源１６６から純水が送給される。これによって、シャワーユニット１６２ａ，１６２ｂのノズル各々から純水が吐出される。
【００３７】
タンク１６４は、純水を貯留する金属材料などで形成された筐体である。タンク１６４は、回収管を介して処理槽１６０に接続されている。基板９０に供給された純水は、処理槽１６０の漏斗状に形成された内底部に沿って一ヶ所に集められ、回収管を通じてタンク１６４に回収される。タンク１６４内に回収された液は、一定量溜まると廃棄される。
【００３８】
基板導出部１８は、基板９０にエアを吹き付ける一対のエアナイフ１８０ａ，１８０ｂを備える。エアナイフ１８０ａ，１８０ｂは、複数の搬送用ローラ１９の上側及び下側各々に配されており、複数の搬送用ローラ１９に沿って搬送される基板９０の上面及び下面各々に対して、搬送方向の上流の側へ向けて斜めにエアを吹き付ける。
【００３９】
基板導出部１８には、下工程に基板９０を引き渡すロボットハンド（不図示）が付設されている。基板導出部１８における基板９０の引き渡しは、上下に昇降する複数のリフトピンを利用できる。すなわち、複数のリフトピンが複数の搬送用ローラ１９の間から突出することによって基板９０を突き上げ支持し、その基板９０をロボットハンドが受け取るとよい。
【００４０】
＜蓋構造２０＞
図２は、実施形態のタンク１４４を示す図である。図３は、実施形態の蓋構造２０を示す斜視図である。図４は、実施形態の蓋構造２０を示す断面図である。図５は、実施形態の蓋構造２０を示す分解図である。
【００４１】
タンク１４４には、複数（ここでは、２つ）の蓋構造２０が設けられている。なお、１つのタンク１４４に対して、蓋構造２０が１つだけ設けられていてもよいし、３つ以上設けられていてもよい。タンク１４４は、流体である処理液（洗浄液）が内部に供給される流体被供給空間を形成する「筐体」である。図３に示すように、タンク１４４には、開口１４４０が形成されている。この開口１４４０は、タンク１４４の内部をメンテナンス（洗浄など）する際に、内部に作業者が手を挿入したり、あるいは、ホースなどを挿入したりする際に利用される。蓋構造２０は、この開口１４４０を開け閉めするために設けられた構造である。
【００４２】
蓋構造２０が設けられる筐体（蓋構造付筐体）は、タンク１４４のように内部に液体を貯留するものに限定されない。例えば、蓋構造２０を、基板９０を処理する基板処理装置において、流体によって基板を処理する処理室を形成する筐体（チャンバー）に適用してもよい。具体的には、洗浄部１４の処理槽１４０又は水洗部１６の処理槽１６０を、蓋構造２０を設けた蓋構造付筐体としてもよい。また、蓋構造２０を、内部に気体が供給される筐体に適用してもよい。
【００４３】
蓋構造２０は、基部３０、Ｏリング４０、蓋部５０及び固定部６０を備える。
【００４４】
蓋構造２０は、固定部６０の第２ネジ溝６２０を基部３０の第１ネジ溝３２０に螺合させることによって、基部３０と固定部６０との間にてＯリング４０及び蓋部５０を締め付ける構造である（図４参照）。以下、基部３０と固定部６０を取付けた状態を、「締結状態」と称する。また、図５に示すように、固定部６０を基部３０から取り外した状態を、「非締結状態」と称する。
【００４５】
＜基部３０＞
基部３０は、樹脂材料または金属材料などで形成された部材である。基部３０は、環状（ここでは、円環状）に形成された筒状部３２と、板状（ここでは、円板状）に形成された取付部３４とを備える。
【００４６】
筒状部３２は、その中心部において、開口１４４０に連通する断面円形の貫通孔３２Ｈを形成している。貫通孔３２Ｈの延びる第１軸方向Ｄ１は、基部３０、Ｏリング４０、蓋部５０及び固定部６０の重なり方向に一致している。以下の説明では、基部３０から見て蓋部５０側を「第１軸方向Ｄ１一方側」とし、蓋部５０側から見て基部３０の側を「第１軸方向Ｄ１他方側」とする。
【００４７】
筒状部３２の外周面には、第１ネジ溝３２０が形成されている。第１ネジ溝３２０は、筒状部３２の第１軸方向Ｄ１一方側の端部寄りに形成されている。第１ネジ溝３２０は、固定部６０の第２ネジ溝６２０に螺合する。
【００４８】
取付部３４は、筒状部３２の第１軸方向Ｄ１の他方側端部に形成されている。取付部３４は、タンク１４４の取付対象部位に着脱自在に取付けられる部分である。取付部３４は、第１軸方向Ｄ１の周りに沿って等間隔に並ぶ複数（ここでは、８個）のネジ孔３４０が形成されている。
【００４９】
ネジ孔３４０各々は、タンク１４４の開口１４４０の周りを囲むように配された複数（ここでは８個）のネジ孔１４４２に対応する位置に設けられている。ネジ孔３４０各々が対応する位置のネジ孔１４４２に重ねられた状態で、ネジ孔３４０各々にボルト３４２が挿通されることによって、基部３０がタンク１４４に固定される。
【００５０】
タンク１４４の開口１４４０の周囲にＯリング（不図示）を配し、そのＯリングを、基部３０の基端部とタンク１４４の外壁面との間で挟持してもよい。これによって、タンク１４４と基部３０の間の隙間を封止できる。
【００５１】
なお、基部３０は、タンク１４４の外壁面に一体化されていてもよい。例えば、基部３０をタンク１４４に溶接してもよいし、あるいは、基部３０をタンク１４４とともに一体成形してもよい。基部３０とタンク１４４を一体化することによって、基部３０とタンク１４４の間を封止できる。
【００５２】
＜Ｏリング４０＞
Ｏリング４０は、ゴムなどで形成された柔軟性を有する環状（ここでは、円環状）の部材である。Ｏリング４０は、基部３０の筒状部３２の先端面（第１軸方向Ｄ１一方側の端面）、すなわち、貫通孔３２Ｈの開口端の周囲に配置される。Ｏリング４０は、蓋部５０（詳細には、幅広部５２）と筒状部３２の先端部の間にて挟持される。なお、Ｏリング４０を位置決めするために、筒状部３２の先端面には、Ｏリング４０の外形状に一致する環状（ここでは、円環状）の溝３２２が形成されている。
【００５３】
＜蓋部５０＞
図６は、実施形態の蓋部５０を示す底面図である。図７は、実施形態の蓋部５０を示す側面図である。
【００５４】
蓋部５０は、樹脂材料または金属材料などで形成される板状の部材である。蓋部５０は、幅広部５２、第１凸部５４及び第２凸部５６を備える。第１凸部５４は、幅広部５２の第１軸方向Ｄ１他方側（基部３０に向かう側）に設けられており、第２凸部５６は、幅広部５２の第１軸方向Ｄ１一方側に設けられている。
【００５５】
幅広部５２は、板状（ここでは、円板状）に形成された部分である。幅広部５２は、貫通孔３２Ｈの開口よりも大きく広がっている。本例では、幅広部５２の外径（第１軸方向に直交する方向（径方向）の長さ）は、貫通孔３２Ｈの内径よりも大きい。このため、締結状態では、幅広部５２が筒状部３２の第１軸方向Ｄ１一方側の端面に載置される。
【００５６】
また、幅広部５２の外径は、基部３０の筒状部３２の外径よりも小さくなっており、かつ、固定部６０の筒状部６２の内径よりも小さくなっている。締結状態においては、蓋部５０の幅広部５２と、固定部６０の筒状部６２との間に隙間が形成される。このため、固定部６０を基部３０に取付ける際に、固定部６０を回転させたときに、固定部６０の回転に追従して蓋部５０が回転することを抑制できる。
【００５７】
第１凸部５４は、板状（ここでは、円板状）に形成された部分である。第１凸部５４の外径は、筒状部３２の内径（貫通孔３２Ｈの口径）よりも若干小さくなっている。締結状態においては、幅広部５２のうち第１凸部５４よりも外側に広がる環状部分が筒状部３２の先端部に配置され、かつ、第１凸部５４が筒状部３２の貫通孔３２Ｈ内に収容される。
【００５８】
図４に示すように、締結状態においては、幅広部５２の環状部分５２０の第１軸方向Ｄ１他方側の面は、筒状部３２の先端面との間でＯリング４０を全周に渡って挟持する。また、締結状態においては、幅広部５２は、基部３０の開口（貫通孔３２Ｈ）を塞ぐ。
【００５９】
Ｏリング４０の位置決め用の溝３２２は、筒状部３２の先端面に形成されているが（図５など参照）、当該位置決め用の溝を幅広部５２の第１軸方向Ｄ１他方側の面に設けてもよい。この場合、筒状部３２の先端面を平滑面にしてもよい。
【００６０】
第１凸部５４が筒状部３２の貫通孔３２Ｈに収容された状態では、第１凸部５４の外周面が、筒状部３２の内周面に対して、接触あるいはわずかに隙間をあけた状態で対向する。これによって、基部３０に対する蓋部５０の位置決めされる。
【００６１】
図６に示すように、第１凸部５４の外周面には、キー部５４０が形成されている。キー部５４０の表面（外面）は、筒状部３２の貫通孔３２Ｈに形成されたキー溝３２４の表面（内面）に対応する形状を有する。なお、「第１面が第２面に対応している」とは、第１面の凹部（または凸部）に対向する第２面の位置に凸部（または凹部）が形成されている状態をいう。本例では、キー部５４０は、円板状の第１凸部５４の端部から径方向に突出する直方体状の凸部であり、キー溝３２４は、その直方体状の凸部に対応する凹部によって形成されている。
【００６２】
蓋部５０の第１凸部５４を基部３０の筒状部３２に挿入する際、第１凸部５４のキー部５４０がキー溝３２４に挿通される。すると、キー部５４０の外面がキー溝３２４の内面に接することによって、蓋部５０が基部３０に対して回転不能となる。これによって、固定部６０を回転させて基部３０に固定する際、蓋部５０が固定部６０に接することによって一緒に回転することを抑制できる。蓋部５０の回転を抑制することによって、幅広部５２がＯリング４０を不均一に押圧することを抑制できる。これによって、Ｏリング４０が不均一に潰れることを抑制できるため、蓋構造２０の封止性を向上できる。
【００６３】
なお、本実施形態では、第１凸部５４にキー部５４０を設け筒状部３２にキー溝３２４を形成しているが、第１凸部５４にキー溝を設けるとともに筒状部３２にキー部を設けてもよい。
【００６４】
第２凸部５６は、板状（ここでは、円板状）に形成された部分である。第２凸部５６の外径は、固定部６０に設けられた円環状の押圧部６４の内径よりも若干小さくなっている。図３に示すように、固定部６０が基部３０に固定する際、固定部６０の押圧部６４の内側に第２凸部５６が進入する。
【００６５】
＜固定部６０＞
固定部６０は、筒状部６２及び押圧部６４を有する。
【００６６】
筒状部６２は、第１軸方向Ｄ１に延びる貫通孔６２Ｈを形成している。その貫通孔６２Ｈを形成する筒状部６２の内周面には、第２ネジ溝６２０が形成されている。第２ネジ溝６２０は、基部３０の第１ネジ溝３２０に螺合する形状とされている。筒状部６２における、第２ネジ溝６２０が形成されている部分の内径は、基部３０の筒状部３２における第１ネジ溝が形成されている部分の外径と一致している。
【００６７】
押圧部６４は、筒状部６２における貫通孔６２Ｈを狭めるように内側に張り出す円環の板状に形成された板状の部分である。
【００６８】
押圧部６４は、筒状部６２のうち、第２ネジ溝６２０が形成された部分よりも、第１軸方向Ｄ１一方側の位置に形成されている。本例では、筒状部６２の第１軸方向Ｄ１一方側の端部に設けられている。
【００６９】
固定部６０の筒状部６２が、蓋部５０が設置された基部３０に被せられた状態で、固定部６０を第１軸方向Ｄ１周りに回転させると、固定部６０の第２ネジ溝６２０が基部３０の第１ネジ溝３２０に螺合する。これによって、固定部６０が基部３０に固定される。この状態（すなわち、固定部６０が基部３０に螺合した状態）において、押圧部６４は、蓋部５０を基部３０の筒状部３２に向けて押圧する。これによって、蓋部５０が筒状部３２の先端に設置されたＯリング４０に押圧されることによって、蓋部５０がと基部３０の間の隙間が封止される。
【００７０】
押圧部６４の中央部は、第１軸方向Ｄ１に貫通する孔６４０を形成している。この孔６４０は、第２凸部５６よりも大きくなっており、固定部６０が基部３０に固定された状態においては、第２凸部５６が孔６４０に嵌込可能となっている。本例では、孔６４０は、第２凸部５６の外形に対応する円形状の開口を形成している。孔６４０の内径は、第２凸部５６の外径よりもわずかに大きくなっている。
【００７１】
押圧部６４の孔６４０に、第２凸部５６が進入することによって、固定部６０を基部３０に回転させて固定する際に、その進入量を目視で確認することによって、Ｏリング４０及び蓋部５０の締め付けの適否を容易に判断できる。また、孔６４０に第２凸部５６が進入することによって、押圧部６４が基部３０に完全に螺合する前に、第１軸方向Ｄ１と直交する方向に蓋部５０が位置ずれすることを抑制できる。
【００７２】
本例では、押圧部６４の厚さ（第１軸方向Ｄ１の長さ）は、第２凸部５６の厚さ（第１軸方向Ｄ１の長さ）とほぼ一致している。締結状態においては、図４に示すように、固定部６０の押圧部６４の上面と、第２凸部５６の上面とが、ほぼ面一、すなわち、第１軸方向Ｄ１においてほぼ同じ高さとなる。したがって、締結状態において、押圧部６４の上面と第２凸部５６の上面とが面一となっているか否かによって、Ｏリング４０及び蓋部５０の締め付けの適否を容易に判定できる。
【００７３】
押圧部６４に孔６４０が形成されているため、固定部６０を基部３０に固定する際、オペレータが孔６４０に手を挿入して、蓋部５０を基部３０に押さえつけることができる。これによって、固定部６０を回転させた際に、蓋部５０が固定部６０とともに回転することを抑制できる。
【００７４】
なお、押圧部６４に孔６４０が形成されていることは必須ではない。すなわち、固定部６０が、全体として、有底の筒形状に形成されていてもよい。
【００７５】
蓋部５０及び固定部６０を、透明性部材で構成してもよい。特に、蓋部５０のうちＯリング４０を押圧する環状部分５２０を透明性部材で構成することによって、Ｏリング４０の押圧状態を視認できる。これによって、蓋構造２０の封止性を向上できる。
【００７６】
図３に示すように、基部３０に対する固定部６０の取付け又は取外しは、締結解除治具７０を使用するとよい。締結解除治具７０は、棒状に形成された棒状部７２と、その棒状部７２に、その長手方向に沿って所定の間隔をあけて設けられた一対のピン部７４，７４とを備える。一対のピン部７４，７４は、棒状部７２から同一の方向に突出する円柱状に形成されている。
【００７７】
図３などに示すように、固定部６０の筒状部６２における第１軸方向Ｄ１他方側の端部の外縁部には、固定部６０の複数の凹部６２２が形成されている。本例では、筒状部６２の周方向に沿って等間隔で８つの凹部６２２が形成されている。凹部６２２各々は、略半円柱状に切り欠いた形状を有する。
【００７８】
凹部６２２の内面は、円柱状であるピン部７４，７４の外面に対応する湾曲形状を有する。そして、一対のピン部７４，７４の間隔は、固定部６０の中心軸Ｑを挟む一対の凹部６２２，６２２間の距離に略一致する。
【００７９】
一対のピン部７４，７４は、複数の凹部６２２のうち、固定部６０の中心軸Ｑを挟んで対向する一対の凹部６２２，６２２各々に嵌め込まれる。この状態で、オペレータが棒状部７２を把持しつつ、中心軸Ｑ周りに回転させる。これによって、固定部６０の基部３０に対する取付け又は取外しを容易に実行できる。
【００８０】
なお、凹部６２２の形状は、図３に示すものに限定されない。例えば、凹部６２２が角柱状に切り欠いた形状を有していてもよい。また、ピン部７４の外面が凹部６２２の内面に対応していることは必須ではない。すなわち、ピン部７４の形状は、棒状部７２を回転させた際に、ピン部７４の外面が凹部６２２の内面に引っかかることによって、固定部６０に回転力を付与する形状であればよい。
【００８１】
＜２．  変形例＞
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。なお、以降の説明において、既に説明した要素と同様の機能を有する要素については、同じ符号又はアルファベット文字を追加した符号を付して、詳細な説明を省略する場合がある。
【００８２】
例えば、上記実施形態の蓋部５０は、幅広部５２の両側に第１凸部５４及び第２凸部５６を備えているが、これらは必須ではない。蓋部５０は、第１凸部５４及び第２凸部５６のいずれか一方のみを備えていてもよいし、幅広部５２のみで構成されていてもよい。
【００８３】
＜凹状の蓋部＞
図８は、変形例の蓋部５０ａを示す側面図及び斜視図である。蓋部５０ａは、幅広部５２ａと、幅広部５２ａの一方に形成された第１凸部５４ａとを備える。幅広部５２ａのうち、第１凸部５４ａとは反対側には、凹部５８が形成されている。蓋部５０ａに凹部５８を形成することによって、蓋部５０ａの軽量化、及び、材料コストの低減を図ることができる。
【００８４】
図９は、変形例の蓋部５０ｂを示す断面図である。この蓋部５０ｂは、固定部６０に一体化可能に構成されている。詳細には、蓋部５０ｂは、幅広部５２及び第１凸部５４を備えるとともに、係止板部５９ａ及び連結部５９ｂを備える。連結部５９ｂは、幅広部５２及び係止板部５９ａの間を連結する部分である。連結部５９ｂの一端は、幅広部５２の一端は幅広部５２の第１軸方向Ｄ１一方側に連結されている。そして、連結部５９ｂの他端は、係止板部５９ａの第１軸方向Ｄ１他方側に連結されている。
【００８５】
蓋部５０ｂと固定部６０とを一体化するため、例えば、蓋部５０ｂを分解可能に構成することが考えられる。具体的には、蓋部５０ｂのうち、係止板部５９ａと、その他の部材（連結部５９ｂ、幅広部５２及び第１凸部５４）とを別体としておき、その他の部材を固定部６０の筒状部６２の内側に挿入して、固定部６０の押圧部６４の内側から連結部５９ｂを外部に突出させ、係止板部５９ａに連結させるとよい。係止板部５９ａと連結部５９ｂの連結手段として、例えば、連結部５９ｂの先端にネジ溝を形成し、係止板部５９ａにそのネジ溝が螺合するネジ穴を形成するとよい。また、蓋部５０ｂのうち、係止板部５９ａのみを別体とする代わりに、係止板部５９ａ及び連結部５９ｂをその他の部材とは別体としてもよい。また、固定部６０を複数の部材に分解可能に構成してもよい。
【００８６】
図１０は、変形例の蓋構造２０ａを示す断面図である。蓋部５０ｂの幅広部５２が、基部３０の筒状部３２の先端部に載置された状態で、固定部６０を基部３０に締結すると、係止板部５９ａが、固定部６０の押圧部６４から離間した位置に配される。
【００８７】
本変形例のように、蓋部５０ｂに係止板部５９ａ及び連結部５９ｂを設けることによって、蓋部５０ｂと固定部６０を一体化できる。これによって、蓋構造２０の部品点数を減らすことができるため、部品管理が容易となる。
【００８８】
この発明は詳細に説明されたが、上記の説明は、すべての局面において、例示であって、この発明がそれに限定されるものではない。例示されていない無数の変形例が、この発明の範囲から外れることなく想定され得るものと解される。上記各実施形態及び各変形例で説明した各構成は、相互に矛盾しない限り適宜組み合わせたり、省略したりすることができる。
【符号の説明】
【００８９】
１４４  タンク（筐体）
１４４０  開口
２０  蓋構造
２０ａ  蓋構造
３０  基部
３２  筒状部
３２０  第１ネジ溝
３２２  溝
３２４  キー溝
３２Ｈ  貫通孔
３４  取付部
４０  Ｏリング
５０，５０ａ，５０ｂ  蓋部
５２，５２ａ  幅広部
５２０  環状部分
５４，５４ａ  第１凸部
５４０  キー部
５６  第２凸部
６０  固定部
６２  筒状部
６２Ｈ  貫通孔
６２０  第２ネジ溝
６２２  凹部
６４  押圧部
６４０  孔
７０  締結解除治具
７２  棒状部
７４  ピン部
Ｄ１  第１軸方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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