(57)【要約】【課題】ヘッドの大型化を抑制しつつ安定した液体吐出を行うことができるようにする。【解決手段】供給側共通液室１０は、ノズル配列方向と直交する方向において、排出側共通液室５０と並ぶ部分である下流側共通液室部分１０Ａと、排出側共通液室５０と並ばない部分である上流側共通液室部分１０Ｂとを含み、供給側共通液室１０の排出側共通液室５０と並ばない部分である上流側共通液室部分１０Ｂには、排出側共通液室５０を供給側共通液室１０に投影したときに重複する重複部分１０ｂを含み、供給側共通液室１０の上流側共通液室部分１０Ｂには、重複部分１０ｂの壁面を含む壁面を形成しているダンパ８１とフィルタ８２とを構成する薄膜部材８０を配置している。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルに通じる複数の個別液室と、
前記個別液室に前記液体を供給する供給側共通液室と、
前記個別液室に通じる排出流路と、
前記排出流路から前記液体が排出される排出側共通液室と、を備え、
前記供給側共通液室は、ノズル配列方向と直交する方向において、前記排出側共通液室に並ぶ部分と、前記排出側共通液室と並ばない部分と、を有し、
前記供給側共通液室の前記排出側共通液室と並ばない部分には、少なくとも、前記排出側共通液室を前記供給側共通液室にノズル面に垂直な方向から投影したときに重複する重複部分を含み、
前記供給側共通液室の壁面は復元変形可能な部位を有している
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記復元変形可能な部位は、少なくとも前記重複部分の壁面を形成している
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記供給側共通液室内にはフィルタが配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記フィルタと前記復元変形可能な部位は同じ平面に配置されている
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
ノズル配列方向において、前記フィルタ、前記復元変形可能な部位、前記フィルタの順に並んでいる
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記フィルタと前記復元変形可能な部位は薄膜部材で一体形成されている
ことを特徴とする請求項３ないし５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記薄膜部材は、前記フィルタを構成する薄肉部と前記復元変形可能な部位を構成する薄肉部と、前記２つの薄肉部のそれぞれの周囲に設けられた厚肉部と、からなる
ことを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド、
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項９】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ユニット。
【請求項１０】
請求項１ないし７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項８若しくは９に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、供給側共通液室から個別液室に供給された液体の内、吐出されなかった液体を排出流路から排出側共通液室に戻し、液体を循環させることで、個別液室内に混入した気泡の排出性の向上及び液体の特性変化の抑制を図る循環型ヘッド（フロースルーヘッド）が知られている。
【０００３】
従来、複数の個別液室に液体を供給する供給側共通液室（共通供給流路）と複数の個別液室に通じて液体が戻される排出側共通液室（共通戻り流路）とを、ヘッドのフレーム部材に、ノズル配列方向と直交する方向において並べて配置したものが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−０７１２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に開示されているように、供給側共通液室と排出側共通液室とをノズル配列方向と直交する方向において並べて配置すると、ヘッドの幅が大きくなって大型化する。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッドの大型化を抑制しつつ、安定した液体吐出を行うことができるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するノズルに通じる複数の個別液室と、
前記個別液室に前記液体を供給する供給側共通液室と、
前記個別液室に通じる排出流路と、
前記排出流路から前記液体が排出される排出側共通液室と、を備え、
前記供給側共通液室は、ノズル配列方向と直交する方向において、前記排出側共通液室に並ぶ部分と、前記排出側共通液室と並ばない部分と、を有し、
前記供給側共通液室の前記排出側共通液室と並ばない部分には、少なくとも、前記排出側共通液室を前記供給側共通液室にノズル面から垂直方向に投影したときに重複する重複部分を含み、
前記供給側共通液室の壁面は復元変形可能な部位を有している
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ヘッドの大型化を抑制しつつ、安定した液体吐出を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。
【図２】同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図３】同ヘッドの共通液室部材の部分での平面説明図である、
【図４】図２のＡ−Ａ線におけるノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図５】図２のＢ−Ｂ線におけるノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【図８】本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの説明に供する共通液室部材の部分での平面説明図である。
【図９】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図１０】同装置の要部側面説明図である。
【図１１】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図１２】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【図１３】本発明に係る液体を吐出する装置の他の例の概略説明図である。
【図１４】同装置のヘッドユニットの平面説明図である。
【図１５】同装置における液体循環システムの一例の説明に供するブロック説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図１ないし図５を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図２は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。図３は同ヘッドの共通液室部材の部分での平面説明図、図４は図２のＡ−Ａ線におけるノズル配列方向に沿う断面説明図、図５は図２のＢ−Ｂ線におけるノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【００１１】
この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３の振動領域（振動板）３０を変位させる圧電アクチュエータ１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通液室部材２０と、カバー４９を備えている。
【００１２】
ノズル板１は、液体を吐出する複数のノズル４を有している。
【００１３】
流路板２は、ノズル４にノズル連通路５を介して通じる個別液室６、個別液室６に通じる供給流路を構成する供給側流体抵抗部７、供給側流体抵抗部７に通じる供給側導入部８を形成している。なお、供給側導入部８は、１又は複数の供給側流体抵抗部７に通じる構成とできる。
【００１４】
振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する変形可能な振動領域３０を有する。ここでは、振動板部材３は２層構造（限定されない）とし、流路板２側から薄肉部を形成する第１層と、厚肉部を形成する第２層で形成され、第１層で個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域３０を形成している。
【００１５】
そして、振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。圧電アクチュエータ１１は、共通液室部材２０の収容部２５（図３）に収容されている。
【００１６】
この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材上に接合した圧電部材にハーフカットダイシングによって溝加工して、ノズル配列方向において、所要数の柱状の圧電素子１２を所定の間隔で櫛歯状に形成している。圧電素子１２を振動板部材３の振動領域（振動板）３０に接合している。
【００１７】
この圧電素子１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極が設けられ、外部電極にフレキシブル配線部材１５が接続されている。
【００１８】
共通液室部材２０は、ステンレス等の金属材料からなり、供給側共通液室１０と排出側共通液室５０を形成する。供給側共通液室１０は供給ポート４１（４１ａ、４１ｂ）に通じ、排出側共通液室５０は排出ポート４２（４２ａ、４２ｂ）に通じている（図１）。
【００１９】
供給側共通液室１０は、供給側開口９を介して供給側導入部８に通じている。
【００２０】
また、流路板２は、各個別液室６にノズル連通路５を介して通じる排出流路５６を有し、排出流路５６のノズル連通路５側には排出側流体抵抗部５７が設けられている。また、排出流路５６は排出側導出部５８に通じている。
【００２１】
ここで、排出側導出部５８は、１又は複数の排出流路５６に通じている。そして、排出側導出部５８は排出側開口５９を通じて排出側共通液室５０に通じている。
【００２２】
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子１２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１２が収縮し、振動領域３０が引かれて個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。
【００２３】
その後、圧電素子１２に印加する電圧を上げて圧電素子１２を積層方向に伸長させ、振動領域３０をノズル４に向かう方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させることにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。
【００２４】
また、ノズル４から吐出されない液体はノズル４を通過して排出側流体抵抗部５７から排出流路５６及び排出側導出部５８を経て排出側共通液室５０に排出され、排出側共通液室５０から外部の循環経路を通じて供給側共通液室１０に再度供給される。また、液体吐出を行っていないときも、供給側共通液室１０から排出側共通液室５０に流れ、更に外部の循環経路を通じて供給側共通液室１０に再度供給される。
【００２５】
なお、ヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００２６】
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッドにおける共通液室の構造について説明する。
【００２７】
この液体吐出ヘッドにおいては、図３に示すように、１つの圧電アクチュエータ１１の収容部２５を挟んでノズル配列方向と直交する方向の両側に、供給側共通液室１０と排出側共通液室５０が配置されている。ここでは、圧電アクチュエータ１１を２列配置する構成であるので、４つの供給側共通液室１０と排出側共通液室５０が配置される。
【００２８】
そして、図２に示すように、供給側共通液室１０は、ノズル配列方向と直交する方向において、排出側共通液室５０と並ぶ部分である下流側共通液室部分１０Ａと、排出側共通液室５０と並ばない部分である上流側共通液室部分１０Ｂとを含んでいる。
【００２９】
このように、ノズル配列方向において、排出側共通液室５０と供給側共通液室１０の一部の部分である下流側共通液室部分１０Ａとが並べて配置されているので、排出側共通液室５０と供給側共通液室１０全体を並べて配置した場合よりもヘッド幅を小さくできる。
【００３０】
供給側共通液室１０の排出側共通液室５０と並ばない部分である上流側共通液室部分１０Ｂには、排出側共通液室５０を供給側共通液室１０にノズル面と垂直方向に投影したときに重複する重複部分１０ｂを含んでいる。
【００３１】
ここで、供給側共通液室１０の上流側共通液室部分１０Ｂには、重複部分１０ｂの壁面を含む壁面を構成している復元可能に変形可能な部材であるダンパ８１と、上流側共通液室部分１０Ｂに流入する液体から異物等を除去するフィルタ８２とを構成する薄膜部材８０を配置している。
【００３２】
ダンパ８１の供給側共通液室１０と反対側にはダンパ室８４が設けられ、ダンパ室８４は大気開放路８５を介して大気に通じている。
【００３３】
フィルタ８２の上流側には供給ポート４１の内部流路４４に通じるフィルタ上流側共通液室部分１０Ｃが設けられている。
【００３４】
排出側共通液室５０は、排出ポート４２の内部流路４５に通じている。
【００３５】
この場合、供給側共通液室１０に対する外部からの液体供給は両端供給としているので、ノズル配列方向においては、フィルタ８２、ダンパ８１、フィルタ８２の順に配置されることになる。なお、供給側共通液室１０に対する外部からの液体供給を片側供給する場合とすることもできる。
【００３６】
また、共通液室部材２０は薄膜部材８０を挟んで下流側の第１部材２０Ａと上流側の第２部材２０Ｂとに分割している。そして、第１部材２０Ａで供給側共通液室１０の下流側共通液室部分１０Ａ、上流側共通液室部分１０Ｂ、排出側共通液室５０を形成している。第２部材２０Ｂでダンパ室８４、大気開放路８５、フィルタ上流側共通液室部分１０Ｃ、内部流路４４、４５を形成している。
【００３７】
このように、供給側共通液室１０の壁面を構成するダンパ８１を備えていることにより、液体吐出に伴う圧力波が供給側共通液室１０に伝搬したとき、圧力波を減衰ないし吸収して、個別液室６側への再伝搬を防止できる。したがって、供給側共通液室１０から個別液室６側に圧力波が再伝搬することによる吐出特性のバラツキを低減して、安定した液体吐出を行うことができる。
【００３８】
また、供給側共通液室１０内に異物等を除去するフィルタ８２を備えていることにより、異物等が個別液室６内に侵入してノズル４の目詰まりを生じることを低減できる。
【００３９】
ここで、ダンパ８１とフィルタ８２とを同一の薄膜部材８０によって形成しているので、部品点数を削減することができ、構成が簡単になる。また、ダンパ８１とフィルタ８２とを同一平面に配置する構成とすることで、ダンパ８１とフィルタ８２とを同一部材で形成することができる。
【００４０】
次に、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図６を参照して説明する。図６は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【００４１】
薄膜部材８０は、薄肉部８０Ａと厚肉部８０Ｂとで構成され、薄肉部８０Ａでダンパ８１及びフィルタ８２を形成し、ダンパ８１及びフィルタ８２の周囲を厚肉部８０Ｂで形成している。ここでは、薄膜部材８０はＮｉ電鋳膜で形成している。
【００４２】
このような構造とすることにより、薄膜部材８０を共通液室部材２０と接合するときに高温硬化型の接着剤を用いても、金属で構成された共通液室部材２０と線膨張係数を揃えることができ、部品の反りを抑制することができる。
【００４３】
次に、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図７を参照して説明する。図７は同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図である。
【００４４】
本実施形態においても、薄肉部８０Ａと厚肉部８０Ｂとで構成され、薄肉部８０Ａでダンパ８１及びフィルタ８２を形成し、ダンパ８１及びフィルタ８２の周囲を厚肉部８０Ｂで形成している。ここでは、薄膜部材８０は、薄肉部８０Ａは樹脂膜で、厚肉部８０ＢはＳＵＳ（金属膜）で形成している。
【００４５】
そして、厚肉部８０Ｂの厚さは、第１部材２０Ａとの間で、供給側共通液室１０の上流側共通液室部分１０Ｂの重複部分１０ｂを形成できる厚みとしている。
【００４６】
このように構成することで、共通液室部材２０を構成する第１部材２０Ａの形状をシンプルにすることができる。
【００４７】
次に、本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドについて図８を参照して説明する。図８は同実施形態の説明に供する共通液室部材の部分での平面説明図である。
【００４８】
本実施形態は、ノズル配列方向の両端部において、フィルタ８２とノズル配列方向と直交する方向で並ぶダンパ８１の延長部８１ａを配置している。
【００４９】
これによって、ダンパ８１の変形可能な面積を広くすることができ、残留振動のより効率的な減衰を行うことができる。
【００５０】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図９及び図１０を参照して説明する。図９は同装置の要部平面説明図、図１０は同装置の要部側面説明図である。
【００５１】
この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００５２】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００５３】
液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【００５４】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【００５５】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００５６】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００５７】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００５８】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００５９】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００６０】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００６１】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００６２】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
【００６３】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００６４】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１１を参照して説明する。図１１は同ユニットの要部平面説明図である。
【００６５】
この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。
【００６６】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００６７】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１２を参照して説明する。図１２は同ユニットの正面説明図である。
【００６８】
この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【００６９】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【００７０】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の他の例について図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は同装置の概略説明図、図１４は同装置のヘッドユニットの平面説明図である。
【００７１】
この装置は、連続媒体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連続媒体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続媒体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続媒体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続媒体５１０を排出する排出手段５０９などを備えている。
【００７２】
連続媒体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、排出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、排出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。
【００７３】
この連続媒体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０及びヘッドユニット５５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が形成され、ヘッドユニット５５から吐出される処理液で後処理が行われる。
【００７４】
ここで、ヘッドユニット５５０には、例えば、媒体搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５５１Ｋ、５５１Ｃ、５５１Ｍ、５５１Ｙ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５５１」という。）が配置されている。
【００７５】
各ヘッドアレイ５５１は、液体吐出手段であり、それぞれ、搬送される連続媒体５１０に対してブラックＫ，シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。
【００７６】
ヘッドアレイ５５１は、例えば、本発明に係る複数の液体吐出ヘッド（これを、単に「ヘッド」ともいう。）１０００をベース部材５５２上に千鳥状に並べて配置したものであるが、これに限らない。
【００７７】
次に、この装置における液体循環システムの一例について図１５を参照して説明する。図１５は同システムの説明に供するブロック説明図である。
【００７８】
液体循環システム６３０は、メインタンク６０２、ヘッド１０００、供給タンク６３１、循環タンク６３２、コンプレッサ６３３、真空ポンプ６３４、第１送液ポンプ６３５、第２送液ポンプ６３６、供給側圧力センサ６３７、循環側圧力センサ６３８、レギュレータ（Ｒ）６３９ａ，６３９ｂなどで構成されている。
【００７９】
供給側圧力センサ６３７は、供給タンク６３１とヘッド１０００との間であって、ヘッド１０００の供給ポート４１（図１参照）に繋がった供給側流路に接続されている。循環側圧力センサ６３８は、ヘッド１０００と循環タンク６３２との間であって、ヘッド１０００の排出ポート４２（図１参照）に繋がった排出側流路に接続されている。
【００８０】
循環タンク６３２の一方は、第１送液ポンプ６３５を介して供給タンク６３１と接続されており、循環タンク６３２の他方は第２送液ポンプ６３６を介してメインタンク６０２と接続されている。
【００８１】
これにより、供給タンク６３１から供給ポート４１を通ってヘッド１０００内に液体が流入し、排出ポート４２から排出されて循環タンク６３２へ排出される。そして、さらに第１送液ポンプ６３５によって循環タンク６３２から供給タンク６３１へ液体が送られることによって液体が循環する。
【００８２】
また、供給タンク６３１にはコンプレッサ６３３がつなげられており、供給側圧力センサ６３７で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、循環タンク６３２には真空ポンプ６３４がつなげられており、循環側圧力センサ６３８で所定の負圧が検知されるよう制御される。
【００８３】
これにより、ヘッド１０００内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。
【００８４】
また、ヘッド１０００のノズル４から液体を吐出すると、供給タンク６３１及び循環タンク６３２内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第２送液ポンプ６３６を用いて、メインタンク６０２から循環タンク６３２に液体を補充する。メインタンク６０２から循環タンク６３２への液体補充のタイミングは、循環タンク６３２内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、循環タンク６３２内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。
【００８５】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００８６】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【００８７】
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００８８】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００８９】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【００９０】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【００９１】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【００９２】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【００９３】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【００９４】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【００９５】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００９６】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００９７】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【００９８】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００９９】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【０１００】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【０１０１】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【０１０２】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１０３】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０１０４】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
６  個別液室
１０  供給側共通液室
１１  圧電アクチュエータ
２０  共通液室部材
５０  排出側共通液室
８０  薄膜部材
８１  ダンパ
８２  フィルタ
４０３  キャリッジ
４０４  液体吐出ヘッド
４４０  液体吐出ユニット
６３０  液体循環システム
１０００  液体吐出ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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