(57)【要約】【課題】フィールド機器等の機器の保護と状態を監視することを目的とする。【解決手段】上位制御系からフィールド機器へ入力される入力情報を監視する監視装置が、前記入力情報を検証するための基準を示す入力検証データを入力し、前記入力情報を入力し、前記入力検証データに基づいて、前記入力情報が異常な情報であるか否かを検証することで上記課題を解決する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上位制御系からフィールド機器へ入力される入力情報を監視する監視装置であって、
前記入力情報を検証するための基準を示す入力検証データを入力する入力検証データ入力部と、
前記入力情報を入力する入力情報入力部と、
前記入力検証データに基づいて、前記入力情報が異常な情報であるか否かを検証する入力検証部と
を含む監視装置。
【請求項２】
前記入力情報が前記異常な情報であると判断されると、前記異常な情報が発生したことのユーザへの通知、前記フィールド機器に対する前記入力情報の出力制限及び前記フィールド機器に対する正常な入力情報の設定のうち、少なくともいずれか一つを行う請求項１に記載の監視装置。
【請求項３】
前記入力検証データは、前記入力情報の許容範囲及び前記入力情報の傾向を示す判定条件のうち、少なくともいずれか一つを示すデータである請求項１又は２に記載の監視装置。
【請求項４】
フィールド機器から上位制御系に出力される出力情報を監視する監視装置であって、
前記出力情報を検証するための基準を示す出力検証データを入力する出力検証データ入力部と、
前記出力情報を入力する出力情報入力部と、
前記出力検証データに基づいて、前記出力情報が異常な情報であるか否かを検証する出力検証部と
を含む監視装置。
【請求項５】
前記出力情報が前記異常な情報であると判断されると、前記異常な情報が発生したことのユーザへの通知、前記フィールド機器が計測している機器若しくは前記フィールド機器の停止及び前記フィールド機器が計測している機器若しくは前記フィールド機器に対する正常な情報に基づく設定のうち、少なくともいずれか一つを行う請求項４に記載の監視装置。
【請求項６】
前記出力検証データは、前記出力情報の許容範囲及び前記出力情報の傾向を示す判定条件のうち、少なくともいずれか一つ示すデータである請求項４又は５に記載の監視装置。
【請求項７】
前記フィールド機器から前記上位制御系に出力される出力情報を検証するための基準を示す出力検証データを更に入力する出力検証データ入力部と、
前記出力情報を入力する出力情報入力部と、
前記出力検証データに基づいて、前記出力情報が異常な情報であるか否かを検証する出力検証部と
を更に含む請求項１から３のいずれか一項に記載の監視装置。
【請求項８】
ＨＭＩ端末、コントローラ及び入出力モジュールを含む上位制御系と、フィールド機器とで構成された制御システムであって、
前記入出力モジュールと、前記フィールド機器との間に監視装置が接続され、
前記監視装置は、
前記入出力モジュールから前記フィールド機器へ入力される入力情報を検証するための基準を示す入力検証データを入力する入力検証データ入力部と、
前記入力情報を入力する入力情報入力部と、
前記入力検証データに基づいて、前記入力情報が異常な情報であるか否かを検証する入力検証部と
を含み、
前記フィールド機器には、
前記監視装置で異常でないと判断された前記入力情報が入力される
制御システム。
【請求項９】
前記フィールド機器から前記上位制御系に出力される出力情報を検証するための基準を示す出力検証データを入力する出力検証データ入力部と、
前記出力情報を入力する出力情報入力部と、
前記出力検証データに基づいて、前記出力情報が異常な情報であるか否かを検証する出力検証部と
を更に含む請求項８に記載の制御システム。
【請求項１０】
前記監視装置と、前記フィールド機器とは、制御用ケーブルを介して接続されることを特徴とする請求項８又は９に記載の制御システム。
【請求項１１】
上位制御系からフィールド機器へ入力される入力情報を監視する監視装置が行う監視方法であって、
前記監視装置が、前記入力情報を検証するための基準を示す入力検証データを入力する入力検証データ入力手順と、
前記監視装置が、前記入力情報を入力する入力情報入力手順と、
前記監視装置が、前記入力検証データに基づいて、前記入力情報が異常な情報であるか否かを検証する入力検証手順と
を含む監視方法。
【請求項１２】
フィールド機器から上位制御系に出力される出力情報を監視する監視装置が行う監視方法であって、
前記監視装置が、前記出力情報を検証するための基準を示す出力検証データを入力する出力検証データ入力手順と、
前記監視装置が、前記出力情報を入力する出力情報入力手順と、
前記監視装置が、前記出力検証データに基づいて、前記出力情報が異常な情報であるか否かを検証する出力検証手順と
を含む監視方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、監視装置、監視システム及び監視方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、制御システム等を有するプラントにおいて、制御システム等の異常を検知する方法が知られている。
【０００３】
それは、制御システムを構成する制御用サーバ（ＨＭＩ（Ｈｕｍａｎ−Ｍａｃｈｉｎｅ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）等）と、制御機器（ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）、コントローラ等）との間に異常検知装置を設置して制御システム等の異常を検知する方法である。具体的には、まず、制御用サーバ、制御機器及び制御用サーバ等と、制御機器とをつなぐ回線上に設置されるネットワーク機器（ルータ又はゲートウェイ等である。）を設置する。そして、ネットワーク機器に、異常検知機能を具備したり、又は、同回線上に異常検知機器を直接つなぐ等したりして、サーバ若しくは機器の状態及びネットワーク上を送受信されるデータ等を解析することによって異常を検知する方法等である。
【０００４】
他にも、例えば、まず、制御システムの異常を検知する異常検知装置が、セキュリティ・ゲートウェイを有する。そして、セキュリティ・ゲートウェイは、制御ネットワーク内を伝送するセンサデータ、センサ信号、アクチュエータに対する操作コマンド及びアクチュエータに対する制御信号等のトラフィック（ｔｒａｆｆｉｃ）を監視する。次に、セキュリティ・ゲートウェイは、監視の結果、所定のフォーマット形式で、イベント情報を生成して、解析エンジンへイベント情報を渡す。続いて、解析エンジンは、イベント情報を解析して制御ネットワークで発生した異常を検知する（例えば、特許文献１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１２−１６８６８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の方法では、例えば、異常検知装置を具備する制御用サーバ、制御機器及びネットワーク機器等に対する保守メンテナンス作業の過程又はネットワークを経由して、制御機器等をコンピュータウィルスに感染させることが可能である。又は、制御機器又はネットワーク等が有する脆弱性等を突くことで、異常検知装置が有する機能を無効化させることが可能である。
【０００７】
このようにして、フィールド機器等の機器に対して異常な指令が設定されたり、又は、フィールド機器から異常な値が計測されても、機器又は指令等が異常であると検出できない場合がある。そのため、フィールド機器等の機器に、異常な値が設定されてしまう場合がある。
【０００８】
本発明の１つの側面は、このような問題に鑑みてなされたものであり、フィールド機器等の機器の保護と状態を監視することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、本発明の一実施形態における、
上述した制御用サーバと制御機器との間で異常を検知する方法とは異なり、
上位制御系からフィールド機器へ入力される入力情報を監視する監視装置は、
前記入力情報を検証するための基準を示す入力検証データを入力する入力検証データ入力部と、
前記入力情報を入力する入力情報入力部と、
前記入力検証データに基づいて、前記入力情報が異常な情報であるか否かを検証する入力検証部と
を含む。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フィールド機器等の機器に異常な入力情報を入力しないようにすることで機器を保護することが可能となる。さらに、フィールド機器等の機器からの出力情報を監視することで機器の異常を検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態における監視装置を用いる全体構成の一例を示すシステム図である。
【図２】本発明の第１実施形態における監視装置による全体処理の一例を示すフローチャートである。
【図３】本発明の一実施形態における検証データの一例を示す模式図である。
【図４】本発明の第１実施形態における監視装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。
【図５】本発明の第２実施形態における監視装置を用いる全体構成の一例を示すシステム図である。
【図６】本発明の第２実施形態における監視装置による全体処理の一例を示すフローチャートである。
【図７】本発明の第２実施形態における監視装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施形態を以下の順序で説明する。
１．第１実施形態の全体構成例
２．第１実施形態に係る監視装置による全体処理例
３．第１実施形態に係る監視装置の機能構成例
４．第２実施形態の全体構成例
５．第２実施形態に係る監視装置による全体処理例
６．第２実施形態に係る監視装置の機能構成例
（第１実施形態）
≪  １．第１実施形態の全体構成例  ≫
図１は、本発明の第１実施形態における監視装置を用いる全体構成の一例を示すシステム図である。例えば、図示するような工場等のプラントでは、制御情報等の入力情報がフィールド機器ＦＭに入力される。また、制御情報の例である指令に基づいて、プラント内に設置されるフィールド機器ＦＭを制御して、プラント内の様々な物理量又はフィールド機器を含む各種機器が制御される。具体的には、物理量は、例えば、温度、圧力、速度、モータの回転数、電力量又は寸法等である。
【００１３】
以下、プラント内において、モータがフィールド機器ＦＭによって制御される例で説明する。まず、ユーザＵＲは、ＨＭＩ端末ＨＭに対して、モータを制御するために、指令値又はコマンド等の情報を含む指令ＣＭを入力する。なお、ＨＭＩ端末ＨＭは、例えば、ＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）又はタブレット等の入力装置を有する情報処理装置である。なお、以下の説明は、指令ＣＭには、指令値が含まれ、指令値が主な監視対象である例で説明する。
【００１４】
以下、図示するように、ＨＭＩ端末ＨＭ、コントローラＣＲ、出力モジュールＯＭ及びフィールド機器ＦＭ等によって構成されるシステムを「制御システム１」という。なお、図示する制御システム１の例では、ＨＭＩ端末ＨＭ、コントローラＣＲ及び出力モジュールＯＭ等が上位制御系ＵＣとなる。また、上位制御系ＵＣは、他の種類の情報処理装置を含んでもよい。
【００１５】
制御システム１では、ＨＭＩ端末ＨＭには、各データをユーザＵＲに表示したり、又は、フィールド機器ＦＭ等の機器を操作したりするためのインタフェースとなるプログラムＤＰ等があらかじめインストールされてもよい。また、ＨＭＩ端末ＨＭには、プログラムＤＰ等によって表示されるデータが、ネットワーク等を介して送信され、データベースＤＢに保存される。
【００１６】
例えば、モータが速度制御である場合には、指令ＣＭに含まれる指令値は、モータの回転速度又はモータに入力される電圧等を示す値である。また、モータが位置制御である場合には、指令ＣＭに含まれる指令値は、モータを回転させる角度又は位置等を示す値である。なお、温度がフィールド機器によって制御される場合には、指令ＣＭに含まれる指令値は、温度又はヒータに入力される電圧等を示す値である。このように、指令ＣＭに含まれる指令値は、様々な種類の値である。
【００１７】
次に、制御システム１では、ＨＭＩ端末ＨＭに指令ＣＭが入力されると、ＨＭＩ端末ＨＭは、指令ＣＭを示す信号をコントローラＣＲに対して出力する。なお、コントローラＣＲは、例えば、ＤＣＳ（分散形制御システム、Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）、ＰＬＣ又はこれらの組み合わせ等である。
【００１８】
続いて、コントローラＣＲは、入出力モジュールの例である出力モジュールＯＭに対して、指令ＣＭを示す信号を出力する。そして、出力モジュールＯＭは、フィールド機器ＦＭが指令ＣＭを処理することができる形式に変換する。例えば、コントローラＣＲからアナログ値が出力され、フィールド機器ＦＭがディジタル値を入力する場合には、出力モジュールＯＭは、Ａ／Ｄ（ａｎａｌｏｇ−ｄｉｇｉｔａｌ）変換等を行う。一方で、コントローラＣＲからディジタル値が出力され、フィールド機器ＦＭがアナログ値を入力する場合には、出力モジュールＯＭは、Ｄ／Ａ（ｄｉｇｉｔａｌ−ａｎａｌｏｇ）変換等を行う。なお、出力モジュールＯＭは、フィールド機器ＦＭが処理できる形式にする処理を行うのであって、コントローラＣＲが出力する形式が、そのままフィールド機器ＦＭに入力できる場合には、出力モジュールＯＭは、変換を行わなくともよい。
【００１９】
また、制御システム１では、コントローラＣＲ又は出力モジュールＯＭは、温度（単位系は、℃（度）等である。）又は電圧値（単位系は、Ｖ（ボルト）等である。）等の人間が意味の分かる形式の値（以下「工業値」という。）をフィールド機器ＦＭが入力できるディジタル値等にする変換を行ってもよい。以下の説明では、コントローラＣＲ又は出力モジュールＯＭによって変換された後も、単に指令ＣＭという。
【００２０】
制御システム１では、フィールド機器ＦＭは、指令ＣＭに基づいて、物理量又は機器を制御する。例えば、モータ制御の場合には、フィールド機器ＦＭは、指令ＣＭに含まれる指令値が示す電圧値等となるように、モータに入力される電圧等を制御する。なお、フィールド機器ＦＭによる制御結果は、ＨＭＩ端末ＨＭ等にフィードバックされてもよい。
【００２１】
図示するように、監視装置１０は、出力モジュールＯＭと、フィールド機器ＦＭとに接続される。そして、監視装置１０は、出力モジュールＯＭから出力される指令ＣＭを入力する。次に、監視装置１０は、指令ＣＭに含まれる指令値が異常な値であるか否かを監視する。
【００２２】
なお、制御システム１は、ＳＣＡＤＡ（Ｓｕｐｅｒｖｉｓｏｒｙ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ａｎｄ  Ｄａｔａ  Ａｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎ）等の監視制御コンピュータ、ＤＣＳ、ＰＬＣ又はこれらの組み合わせを更に有してもよい。
【００２３】
また、制御システム１が有する各機器には、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）又はＬｉｎｕｘ（登録商標）等の汎用ＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）が用いられたり、各機器をつなぐネットワークに、イーサネット（登録商標）等の汎用ネットワークが用いられる場合がある。そのため、各機器及び各機器をつなぐネットワークに対して、いわゆるサイバー攻撃がされる場合がある。
【００２４】
具体的には、図示するように、ＨＭＩ端末ＨＭ、コントローラＣＲ、出力モジュールＯＭ及びフィールド機器ＦＭ等の各機器への入力又は各機器からの出力、すなわち、各機器を接続させたネットワーク上において送受信される信号及びデータを狙ったサイバー攻撃（以下「第１サイバー攻撃ＡＴ１」という。）が、各機器及び各機器をつなぐ経路に対して行われる場合がある。図示する例では、第１サイバー攻撃ＡＴ１は、各機器の間を送受信する信号等がサイバー攻撃の標的となり、第１サイバー攻撃ＡＴ１によって、送受信されるデータが改ざんされたり、又は、データが不正に取得されたりする。
【００２５】
また、図示するように、各機器が保存するデータを狙ったサイバー攻撃（以下「第２サイバー攻撃ＡＴ２」という。）が各機器に対して行われる場合がある。図示する例では、第２サイバー攻撃ＡＴ２は、まず、ＨＭＩ端末ＨＭ等に不正に侵入し、データベースＤＢに保存されているデータを標的として、データを改ざんしたり、データを不正に取得したりするサイバー攻撃である。
【００２６】
他にも、各機器にインストールされたプログラムＤＰを狙ったサイバー攻撃（以下「第３サイバー攻撃ＡＴ３」という。）が各機器に対して行われる場合がある。図示する例では、例えば、ＨＭＩ端末ＨＭに、あらかじめインストールされるプログラムＤＰに対して、第３サイバー攻撃ＡＴ３が行われる。そして、第３サイバー攻撃ＡＴ３が行われると、プログラムＤＰによって表示される数値が変えられたり、「異常」を示すメッセージが変えられ、ユーザＵＲがプラントの異常を察知できなくなったりする。
【００２７】
このように、各機器等に対して、第１サイバー攻撃ＡＴ１、第２サイバー攻撃ＡＴ２及び第３サイバー攻撃ＡＴ３等のサイバー攻撃がされ、プラント又はプラントが有する機器に異常が発生する場合がある。このようなサイバー攻撃によって指令ＣＭが改ざんされたり、各機器が異常な状態に変更されたりすると、異常な指令ＣＭがフィールド機器ＦＭに対して送信される場合がある。
【００２８】
なお、異常な指令ＣＭは、例えば、フィールド機器ＦＭ若しくはフィールド機器ＦＭが制御する機器等を破損してしまう指令値、フィールド機器ＦＭ等が仕様上入力できない指令値、あらかじめ設定される許容範囲から外れた指令値又は急激な変化となる傾向の指令値等である。
【００２９】
監視装置１０は、このような異常な指令ＣＭがフィールド機器ＦＭに入力されないかを監視する。なお、監視装置１０は、例えば、電子回路等のハードウェアによって実現される。具体的には、監視装置１０は、例えば、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）又はＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ−Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ）等である。なお、監視装置１０は、処理の一部又は全部を情報処理装置等によって実行してもよい。このように、電子回路等によって監視装置１０を実現すると、指令ＣＭ等の入力情報を監視するための処理が高速に処理できるため、監視装置１０を介して、指令ＣＭを送信しても、遅れを少なくできる。
【００３０】
≪  ２．第１実施形態に係る監視装置による全体処理例  ≫
図２は、本発明の第１実施形態における監視装置による全体処理の一例を示すフローチャートである。例えば、監視装置は、以下のような処理を行う。
【００３１】
≪  検証データの入力例（ステップＳ１０１）≫
ステップＳ１０１では、監視装置は、検証データを入力する。第１実施形態では、入力される検証データは、入力検証データである。以下、単に「検証データ」という。検証データは、指令に含まれる指令値が異常な値であるか否かを検証するのに、検証の基準を示すデータである。具体的には、検証データは、許容範囲を示す許容範囲データ及び判定条件を示す判定条件データ等である。より具体的には、許容範囲データは、例えば、指令に含まれる指令値の上限値及び下限値等によって許容範囲を設定するためのデータである。また、判定条件は、例えば、フィールド機器に設定してもよい、指令に含まれる指令値の時間に対する傾向等の出力条件を示すデータである。例えば、検証データは、図示すると、以下のようなデータである。
【００３２】
図３は、本発明の一実施形態における検証データの一例を示す模式図である。例えば、許容範囲データは、図３（Ａ）に示すような許容範囲ＲＡを設定するためのデータである。この例は、図示するように、上限値ＵＬと、下限値ＤＬとの間の範囲を許容範囲ＲＡとする例である。すなわち、許容範囲データによって図示するような許容範囲ＲＡが設定され、かつ、図示するように、指令ＣＭに含まれる指令値が許容範囲ＲＡ内の値であると、監視装置は、後段の処理において、指令ＣＭに含まれる指令値が異常な値でなく、「正常」な値であると検証することができる。一方で、指令ＣＭに含まれる指令値が上限値ＵＬを上回る値であったり、又は、指令ＣＭに含まれる指令値が下限値ＤＬを下回る値であると、監視装置は、後段の処理において、指令ＣＭに含まれる指令値が異常な値であると検証することができる。
【００３３】
なお、許容範囲データは、指令に含まれる指令値の上限値及び下限値を示すデータに限られない。例えば、許容範囲データは、指令に含まれる指令値の上限値及び下限値のうち、いずれか一方のみを示すデータでもよい。
【００３４】
また、判定条件データは、フィールド機器に設定してもよい指令の出力条件を示すデータであり、例えば、図３（Ｂ）に示すような傾向ＴＥを示すデータである。具体的には、傾向ＴＥは、指令ＣＭに含まれる指令値が増加傾向であるか減少傾向であるか、又は、増加量、すなわち、単位時間あたりの変化量等を示す。図示するように、指令ＣＭに含まれる指令値が判定条件データが示す傾向と同一又は類似の傾向である、すなわち、指令ＣＭに含まれる指令値が出力条件と一致すると、監視装置は、後段の処理において、指令ＣＭに含まれる指令値が異常な値でなく、「正常」な値であると検証することができる。一方で、指令ＣＭに含まれる指令値が判定条件データが示す傾向と異なる傾向である、すなわち、指令ＣＭに含まれる指令値が出力条件と一致しないと、監視装置は、後段の処理において、指令ＣＭに含まれる指令値が異常な値であると検証することができる。すなわち、判定条件データは、例えば、指令ＣＭに含まれる指令値が、急激に値が変化する等の傾向がないかをチェックし、異常な指令値でないかを判定するための出力条件を示すデータである。
【００３５】
他にも、出力条件は、例えば、所定の値をフィールド機器に設定できる時間等である。すなわち、出力条件によって、所定の値が設定される時間以上、フィールド機器に設定されないように条件が設定されてもよい。
【００３６】
さらに、出力条件は、例えば、所定の値をフィールド機器に設定できる回数等である。すなわち、出力条件によって、所定の値が設定される回数以上、フィールド機器に設定されないように条件が設定されてもよい。なお、回数は、所定の時間内に設定される回数等でもよい。
【００３７】
さらにまた、出力条件は、例えば、フィールド機器による制御結果がフィードバックされ、制御結果に基づいて決定される条件でもよい。具体的には、出力条件は、制御結果が所定の値以下であれば、所定の範囲内の指令値をフィールド機器に設定してもよい等である。
【００３８】
また、出力条件は、上記の各出力条件のうち、複数の出力条件に基づいて、それぞれ検証し、各検証結果の論理積又は論理和であってもよい。
【００３９】
なお、検証データは、図示するような許容範囲データ及び判定条件データに限られない。例えば、検証データは、異常な値を示すデータでもよい。このような検証データが入力されると、監視装置は、検証データが示す範囲となる値又は傾向の指令ＣＭに含まれる指令値を後段の処理において、指令ＣＭに含まれる指令値が異常な値であると検証することができる。一方で、監視装置は、このような検証データが示す値等と一致しない指令ＣＭに含まれる指令値を「正常」な値であると検証してもよい。
【００４０】
≪  指令の入力例（ステップＳ１０２）≫
図２に戻り、ステップＳ１０２では、監視装置は、指令を出力モジュールから入力する。
【００４１】
≪  指令に含まれる指令値が許容範囲内か否かの判断例（ステップＳ１０３）≫
ステップＳ１０３では、監視装置は、指令に含まれる指令値が許容範囲内か否かを判断する。具体的には、監視装置は、ステップＳ１０２で入力される指令に含まれる指令値が、許容範囲データに基づいて設定される許容範囲内の値であるか否かを判断し、指令値が異常な値であるか否かを検証する。
【００４２】
次に、指令に含まれる指令値が許容範囲内、すなわち、指令に含まれる指令が異常な値でないと判断されると（ステップＳ１０３でＹＥＳ）、監視装置は、ステップＳ１０４に進む。一方で、指令に含まれる指令値が許容範囲外、すなわち、指令に含まれる指令値が異常な値であると判断されると（ステップＳ１０３でＮＯ）、監視装置は、ステップＳ１０５に進む。
【００４３】
≪  指令に含まれる指令値が出力条件と一致するか否かの判断例（ステップＳ１０４）≫
ステップＳ１０４では、監視装置は、指令に含まれる指令値が出力条件と一致するか否かを判断する。具体的には、監視装置は、指令に含まれる指令値が、判定条件データに基づいて設定される出力条件に一致する値であるか否かを判断し、指令に含まれる指令値が異常な値であるか否かを検証する。
【００４４】
次に、指令に含まれる指令値が出力条件と一致する、すなわち、指令に含まれる指令値が異常な値でないと判断されると（ステップＳ１０４でＹＥＳ）、監視装置は、ステップＳ１０６に進む。一方で、指令に含まれる指令値が出力条件と一致しない、すなわち、指令に含まれる指令値が異常な値であると判断されると（ステップＳ１０４でＮＯ）、監視装置は、ステップＳ１０５に進む。
【００４５】
なお、ステップＳ１０３及びステップＳ１０４は、指令に含まれる指令値が異常な値であるか否かを検証する検証手順の一例である。また、検証手順は、図示するような手順に限られない。例えば、検証手順は、ステップＳ１０３及びステップＳ１０４が図示する順序とは逆であったり、並列であったり、どちらか一方であってもよい。
【００４６】
≪  通知等の例（ステップＳ１０５）≫
ステップＳ１０５では、監視装置は、ユーザに対して通知等を行うのが望ましい。例えば、監視装置は、異常な指令が発生したことをユーザに通知する。具体的には、例えば、監視装置は、パトライト（登録商標）又はブザー等によってユーザに警告等を通知する。他にも、監視装置は、警告メッセージを表示したり、又は、電子メールを送信したりしてユーザに通知してもよい。このように、通知が行われると、ユーザは、異常な指令が発生したことをより確実に把握することができる。
【００４７】
また、ステップＳ１０５では、監視装置は、フィールド機器に対して指令値が設定されるのを制限するのが望ましい。例えば、監視装置は、異常な指令に基づく指令値がフィールド機器に設定されるのを停止させたり、又は、フィールド機器の稼働を停止させたりする。このように、フィールド機器に対して異常な指令に基づく指令値が設定されるのが制限されると、フィールド機器又はプラント等が異常な指令に基づいて稼働するのを防ぐことができる。したがって、監視装置は、制限によって、異常な指令に基づく稼働等によって、フィールド機器又はプラント等が故障するのを少なくすることができる。
【００４８】
他にも、ステップＳ１０５では、監視装置は、異常な指令に代えて、フィールド機器に対して正常な値をフィールド機器に設定してもよい。異常な指令に基づく設定がフィールド機器に対して行われてしまうと、フィールド機器又はプラント等が故障してしまう場合がある。そこで、監視装置は、異常な指令に基づく指令値ではなく、例えば、許容範囲データが示す許容範囲内の値、正常な状態における過去の値又はフィールド機器を停止させることができる値等の正常な値をフィールド機器に設定する。このように、正常な値をフィールド機器に設定すると、監視装置は、異常な指令が発生しても、フィールド機器又はプラントの稼働を維持したり、又は、停止させたりすることができる。なお、異常な指令に代えて、フィールド機器に設定される正常な値は、ユーザ設定等によって、あらかじめ設定される値等である。
【００４９】
≪  フィールド機器に対する指令値の設定例（ステップＳ１０６）≫
ステップＳ１０６では、監視装置は、フィールド機器に対して、指令に基づいて指令値を設定する。ステップＳ１０６は、指令に含まれる指令値が異常な値でなく、正常な値と判断された場合に行われる。したがって、ステップＳ１０６では、監視装置は、指令が正常であるため、指令に含まれる指令値をフィールド機器に設定する。
【００５０】
≪  ３．第１実施形態に係る監視装置の機能構成例  ≫
図４は、本発明の第１実施形態における監視装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。例えば、監視装置１０は、入力検証データ入力部ＦＮ１１と、入力情報入力部ＦＮ１２と、入力検証部ＦＮ１３と、設定部ＦＮ１４とを含む機能構成である。
【００５１】
入力検証データ入力部ＦＮ１１は、指令ＣＭに含まれる指令値の許容範囲、指令ＣＭに含まれる指令値の判定条件又はこれらの組み合わせを示す検証データＤＣを入力する。例えば、検証データＤＣは、図３に示すような許容範囲データＤＲＡ及び判定条件データＤＪＧ等である。また、入力検証データ入力部ＦＮ１１は、例えば、監視装置１０が有する入力Ｉ／Ｆ（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）等のハードウェアによって実現される。
【００５２】
入力情報入力部ＦＮ１２は、上位制御系ＵＣからフィールド機器ＦＭに入力される指令ＣＭ等の入力情報を入力する。例えば、入力情報入力部ＦＮ１２は、監視装置１０が有する入力Ｉ／Ｆ等のハードウェアによって実現される。なお、入力情報入力部ＦＮ１２は、ネットワーク等でなく、制御用ケーブル等を介して指令ＣＭを入力すると、よりサイバー攻撃によって改ざんされずに、指令ＣＭを入力することができる。
【００５３】
入力検証部ＦＮ１３は、入力検証データ入力部ＦＮ１１によって入力される検証データＤＣに基づいて、指令ＣＭに含まれる指令値が異常な値であるか否かを検証する等によって、入力情報が異常な情報であるか否かを検証する。例えば、入力検証部ＦＮ１３は、監視装置１０が有する演算装置等のハードウェアによって実現される。
【００５４】
設定部ＦＮ１４は、フィールド機器ＦＭに対して指令ＣＭに基づいて指令値を設定する。例えば、設定部ＦＮ１４は、監視装置１０が有する出力Ｉ／Ｆ等のハードウェアによって実現される。
【００５５】
図示するように、監視装置１０は、入力情報入力部ＦＮ１２によって、指令ＣＭに基づく指令値が設定される前に、フィールド機器ＦＭに入力される予定の指令ＣＭ等といった入力情報を入力する。そして、監視装置１０は、入力検証部ＦＮ１３によって、フィールド機器ＦＭ又はプラント等が故障してしまうような異常な指令値を含んでないかを検証データＤＣに基づいて検証する。
【００５６】
このように、検証によって、指令ＣＭに含まれる指令値が設定される前に、指令ＣＭに含まれる指令値が検証されると、監視装置１０は、異常な指令値を含む指令ＣＭを検出することができる。そのため、監視装置１０は、フィールド機器ＦＭ等の機器に、異常な入力情報が出力されるのを出力制限して、異常な値が設定されてしまうのを少なくし、フィールド機器ＦＭ等を保護することができる。
【００５７】
例えば、フィールド機器ＦＭがモータを制御する場合では、サイバー攻撃によって、モータを故障させるような異常な指令に、指令ＣＭが改ざんされる場合がある。そのような異常な値を含む指令ＣＭがフィールド機器ＦＭに入力されると、フィールド機器ＦＭは、異常な指令ＣＭに基づいて、モータが故障するような高い電圧値又は電流値をモータに対して出力したり、又は、モータの回転速度又は回転方向を急激に変更させたりする制御等を行ってしまう場合がある。
【００５８】
そこで、図示するように、監視装置１０は、検証データＤＣに基づいて、フィールド機器ＦＭ等の機器に、異常な値が機器に設定されてしまうのを監視する。そして、異常な値が発生した場合には、監視装置１０は、異常な値が発生したのを通知したり、又は、異常な値が機器に設定されてしまうのを制限したりする。このようにして、監視装置１０は、サイバー攻撃によって設定される異常な指令ＣＭに基づく制御から、モータ等の機器又はプラント等を保護することができる。
（第２実施形態）
≪  ４．第２実施形態の全体構成例  ≫
図５は、本発明の第２実施形態における監視装置を用いる全体構成の一例を示すシステム図である。例えば、図示するような工場等のプラントでは、プラント内に設置されるフィールド機器ＦＭは、プラント内の様々な物理量又はフィールド機器ＦＭを含む各種機器の状態を示す制御情報等の出力情報を出力する。なお、制御情報は、第２実施形態では、例えば、計測値である。また、物理量は、センサ等であるフィールド機器ＦＭによって計測される機械的又は電気的な値である。さらに、機器の状態は、例えば、対象となる機器が稼働中であるか否か、機器が故障中であるか否か又は機器の電源がオンであるかオフであるか等の様々な状態を示すパラメータである。
【００５９】
また、計測値は、フィールド機器ＦＭ等が何らかの制御を行った制御結果をフィードバックする値である。
【００６０】
以下、図示するように、ＨＭＩ端末ＨＭ、コントローラＣＲ、入力モジュールＩＭ及びフィールド機器ＦＭ等によって構成されるシステムを「制御システム１」という。なお、図示する制御システム１の例では、ＨＭＩ端末ＨＭ、コントローラＣＲ及び入力モジュールＩＭ等が上位制御系ＵＣとなる。
【００６１】
次に、制御システム１では、フィールド機器ＦＭによって計測される計測値ＭＥが信号（以下「入力信号」という。）となって入力モジュールＩＭに入力される。そして、入力モジュールＩＭは、入力信号に対してＡ／Ｄ変換等を行う。続いて、入力モジュールＩＭは、Ａ／Ｄ変換によって、コントローラＣＲが処理可能なデータ形式の値、いわゆるディジタル値を生成する。すなわち、入力モジュールＩＭは、コントローラＣＲ等が入力信号を処理することができる形式に変換する。なお、フィールド機器ＦＭからは、ディジタル値が送信されてもよい。また、フィールド機器ＦＭからは、値以外に、機器の状態を示す文字コードが出力情報に含まれて出力されてもよい。
【００６２】
続いて、制御システム１では、コントローラＣＲは、ディジタル値に基づいて、処理を行う。コントローラＣＲが、どのような処理を行うかは、あらかじめ設定される設定条件、コントローラＣＲの種類及び入力信号の種類等によって様々である。
【００６３】
例えば、フィールド機器ＦＭが温度を計測する機器であるとする。そして、フィールド機器ＦＭは、入力信号によって、電圧値（単位系は、Ｖ（ボルト）等である。）等の計測値を入出力モジュールの例である入力モジュールＩＭに出力する。次に、入力モジュールＩＭは、Ａ／Ｄ変換によって、ディジタル値（単位系は、次元なしである。）を生成する。続いて、コントローラＣＲは、ディジタル値を温度（単位系は、℃（度）等である。）等の工業値に変換する処理等を行う。また、工業値は、温度に限られず、他の種類でもよい。
【００６４】
なお、制御システム１では、コントローラＣＲは、入力信号に基づいて、他の機器等を制御する等の処理を行ってもよい。
【００６５】
そして、制御システム１による処理結果を示すデータは、ＨＭＩ端末ＨＭに送信される。また、ＨＭ端末１ＨＭに処理結果を示すデータが送信されると、例えば、送信されたデータは、ＨＭＩ端末ＨＭにおいてデータベース等に保存される。続いて、ＨＭＩ端末ＨＭは、ユーザＵＲに、管理用のパラメータ、すなわち、送信されたデータの内容等を表示する。
【００６６】
図示するように、監視装置１０は、フィールド機器ＦＭから出力される計測値ＭＥを入力するように接続される。なお、入力モジュールＩＭに出力される計測値ＭＥと、監視装置１０に出力される計測値ＭＥとは、同一の値である。
【００６７】
また、制御システム１は、ＳＣＡＤＡ等の監視制御コンピュータ、ＤＣＳ、ＰＬＣ又はこれらの組み合わせを更に有してもよい。
【００６８】
制御システム１が有する各機器には、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）又はＬｉｎｕｘ（登録商標）等の汎用ＯＳが用いられたり、ネットワークにイーサネット（登録商標）等の汎用ネットワークが用いられる場合がある。そのため、各機器及び各機器をつなぐネットワークに対して、いわゆるサイバー攻撃がされる場合がある。
【００６９】
これに対して、フィールド機器ＦＭが計測値ＭＥを計測し、監視装置１０が、計測値ＭＥが異常な値でないかを判断する。
【００７０】
なお、異常な計測値ＭＥは、例えば、フィールド機器ＦＭ若しくはフィールド機器ＦＭが計測する物理量を扱う機器等を破損してしまう値、フィールド機器ＦＭ等が仕様上、入力できない値、あらかじめ設定される許容範囲から外れた値又は急激な変化となる傾向の値等である。
【００７１】
監視装置１０は、異常な計測値ＭＥがプラント内で発生していないかを監視する。なお、監視装置１０は、例えば、電子回路等のハードウェアによって実現される。具体的には、監視装置１０は、例えば、ＡＳＩＣ又はＦＰＧＡ等である。なお、監視装置１０は、処理の一部又は全部を情報処理装置等によって実行してもよい。このように、電子回路等によって監視装置１０を実現すると、計測値ＭＥを監視するための処理が高速に処理できる。
【００７２】
≪  ５．第２実施形態に係る監視装置による全体処理例  ≫
図６は、本発明の第２実施形態における監視装置による全体処理の一例を示すフローチャートである。例えば、監視装置は、以下のような処理を行う。
【００７３】
≪  検証データの入力例（ステップＳ２０１）≫
ステップＳ２０１では、監視装置は、検証データを入力する。第２実施形態では、入力される検証データは、出力検証データである。以下、単に「検証データ」という。検証データは、計測値が異常な値であるか否かを検証するのに用いられるデータである。具体的には、検証データは、許容範囲を示す許容範囲データ及び判定条件を示す判定条件データ等である。より具体的には、許容範囲データは、例えば、計測値の上限値及び下限値等によって許容範囲を設定するためのデータである。また、判定条件は、例えば、計測値の時間に対する傾向等を示すデータである。例えば、検証データは、第１実施形態と同様のデータである。
【００７４】
≪  計測値の入力例（ステップＳ２０２）≫
ステップＳ２０２では、監視装置は、計測値をフィールド機器から入力する。
【００７５】
≪  計測値が許容範囲外であるか否かの判断例（ステップＳ２０３）≫
ステップＳ２０３では、監視装置は、計測値が許容範囲外であるか否かを判断する。まず、ステップＳ２０１によって、監視装置には、計測値が正常である場合を示す値が検証データによって入力される。具体的には、図３（Ａ）に示すような許容範囲ＲＡが、監視装置には、検証データによって入力される。そして、計測値が許容範囲ＲＡを上回る値であったり、又は、下回る値であると、監視装置は、計測値が許容範囲外であると判断する。
【００７６】
次に、計測値が許容範囲外である、すなわち、計測値が異常な値であると監視装置が判断すると（ステップＳ２０３でＹＥＳ）、監視装置は、ステップＳ２０５に進む。一方で、計測値が許容範囲外でない、すなわち、計測値が異常な値でないと監視装置が判断すると（ステップＳ２０３でＮＯ）、監視装置は、ステップＳ２０４に進む。
【００７７】
≪  計測値が異常な傾向であるか否かの判断例（ステップＳ２０４）≫
ステップＳ２０４では、監視装置は、計測値が異常な傾向であるか否かを判断する。まず、ステップＳ２０１によって、監視装置には、計測値が正常である場合における判定条件が検証データによって入力される。具体的には、図３（Ｂ）に示すような傾向ＴＥ等が、監視装置には、検証データによって入力される。そして、計測値が判定条件の傾向ＴＥと一致しない傾向であると、監視装置は、計測値が異常な傾向であると判断する。
【００７８】
次に、計測値が異常な傾向である、すなわち、計測値が異常な値であると監視装置が判断すると（ステップＳ２０４でＹＥＳ）、監視装置は、ステップＳ２０５に進む。一方で、計測値が異常な傾向でない、すなわち、計測値が異常な値でないと監視装置が判断すると（ステップＳ２０４でＮＯ）、監視装置は、処理を終了する。
【００７９】
≪  通知等の例（ステップＳ２０５）≫
ステップＳ２０５では、監視装置は、ユーザに対して通知等を行うのが望ましい。例えば、監視装置は、異常な計測値が発生したことをユーザに通知する。具体的には、例えば、監視装置は、図２に示すステップＳ１０５と同様の方法で通知等を行う。このように、通知が行われると、ユーザは、異常な計測値が発生したことをより確実に把握することができる。
【００８０】
また、フィールド機器がセンサ等の計測機器である場合には、異常な状態となっている機器は、フィールド機器以外のフィールド機器が計測している機器又はフィールド機器である。このような場合には、ステップＳ２０５では、監視装置は、異常な状態となっているフィールド機器が計測している機器を停止させたり、フィールド機器が計測している機器又はフィールド機器が正常な状態になるような値を設定したりして、異常な状態となっている機器を正常な状態するような制御を行ってもよい。
【００８１】
≪  ６．第２実施形態に係る監視装置の機能構成例  ≫
図７は、本発明の第２実施形態における監視装置の機能構成例を示す機能ブロック図である。例えば、監視装置１０は、出力検証データ入力部ＦＮ２１と、出力情報入力部ＦＮ２２と、出力検証部ＦＮ２３とを含む機能構成である。
【００８２】
出力検証データ入力部ＦＮ２１は、計測値ＭＥの許容範囲、計測値ＭＥの判定条件又はこれらの組み合わせを示す検証データＤＣを入力する。例えば、検証データＤＣは、図３に示すような許容範囲データＤＲＡ及び判定条件データＤＪＧ等である。また、出力検証データ入力部ＦＮ２１は、例えば、監視装置１０が有する入力Ｉ／Ｆ等のハードウェアによって実現される。
【００８３】
出力情報入力部ＦＮ２２は、フィールド機器ＦＭから出力される計測値ＭＥを入力する。例えば、出力情報入力部ＦＮ２２は、監視装置１０が有する入力Ｉ／Ｆ等のハードウェアによって実現される。なお、出力情報入力部ＦＮ２２は、ネットワーク等でなく、制御用ケーブル等を介して計測値ＭＥを入力すると、よりサイバー攻撃によって改ざんされずに、計測値ＭＥを入力することができる。
【００８４】
出力検証部ＦＮ２３は、出力検証データ入力部ＦＮ２１によって入力される検証データＤＣに基づいて、計測値ＭＥが異常な値であるか否かを判断して、出力情報が異常な情報であるか否かを検証する。例えば、出力検証部ＦＮ２３は、監視装置１０が有する演算装置等のハードウェアによって実現される。
【００８５】
図示するように、監視装置１０は、出力情報入力部ＦＮ２２によって、フィールド機器ＦＭから出力される計測値ＭＥを入力する。そして、監視装置１０は、出力検証部ＦＮ２３によって、計測値ＭＥが、フィールド機器ＦＭ又はプラント内の機器が故障してしまうような異常な値でないかを検証データＤＣに基づいて検証する。
【００８６】
このように、検証によって、プラント内の物理量又は機器の状態を示す計測値ＭＥが検証されると、監視装置１０は、プラント内において、いずれかの機器等に異常な値が設定され、プラント内において異常な値が発生していることを計測値ＭＥに基づいて検出することができる。そのため、監視装置１０は、プラント内において、いずれかの機器等に異常な値が設定されてしまうのを少なくすることができる。
【００８７】
例えば、プラント内において、モータを制御する場合では、サイバー攻撃によって、モータを故障させるため、制御用の値が異常な値に改ざんされ、モータが異常な回転数又は電圧値等で制御されてしまう場合がある。そこで、フィールド機器ＦＭは、例えば、モータの回転数又は電圧値等を計測し、計測結果を示す計測値ＭＥをフィードバックする。そして、監視装置１０は、検証データＤＣに基づいて計測値ＭＥを検証する。
【００８８】
検証データＤＣには、正常な値又は異常な値が入力されるため、監視装置１０は、検証データＤＣに基づいて、計測値ＭＥからモータの制御が異常な状態であることを監視することができる。そして、異常な値が発生した場合には、監視装置１０は、異常な値が発生したのを通知したり、又は、異常な値が設定されてしまったフィールド機器ＦＭが計測している機器を停止させたりする。このようにして、監視装置１０は、サイバー攻撃によって設定される異常な値に基づく制御から、モータ等の機器又はプラント等の異常な状態を検出し、モータ等の機器又はプラント等を保護することができる。
【００８９】
（比較例）
比較例として、サイバー攻撃の対策は、例えば、ファイヤウォール（Ｆｉｒｅｗａｌｌ）の設置又はアンチウィルスソフトの導入等がある。このようにして、各システムの外部から不正にアクセスしたり、コンピュータウィルスを入れたり、不正侵入用に、いわゆるバックドアを生成したり、又は、システムの管理者権限が奪われたりするのを防ぐ方法がある。特に、汎用ＯＳ又は汎用ネットワークが用いられると、セキュリティ上の脆弱性を利用して、サイバー攻撃がされる場合がある。このように、サイバー攻撃がされると、データが改ざんされたり、又は、インストールされたプログラムが変えられたりする。
【００９０】
例えば、データが改ざんされた場合であっても、ユーザが監視していると、値の異常な変動等をユーザが察知して、サイバー攻撃を受けたこと等を発見できる場合がある。一方で、ユーザが監視に用いるビュワーソフトのプログラムまで改ざんされてしまうと、改ざんされた状態であることを示すプログラムが改ざんされてしまうため、改ざんを示すデータ等をユーザに表示できない場合がある。そのため、ユーザが監視していても、悪意を持った者によるサイバー攻撃を受けたこと等を発見できない場合もある。
【００９１】
一方で、本実施形態のように、フィールド機器に係る入力又は出力が監視されると、監視に用いるビュワーソフトのプログラム等が改ざんされても、監視装置は、異常を検知することができる。
【００９２】
（変形例）
第１実施形態に示す構成と、第２実施形態に示す構成とは、組み合わせられてもよい。以下、第１実施形態に示す構成に、第２実施形態に示す構成を加える構成を例に説明する。
【００９３】
すなわち、監視装置は、物理量又は機器を制御するフィールド機器への入力と、物理量又は機器の状態を計測するフィールド機器からの出力とを両方とも監視してもよい。
【００９４】
具体的には、監視装置は、図４に示す入力検証データ入力部ＦＮ１１と、入力情報入力部ＦＮ１２と、入力検証部ＦＮ１３と、設定部ＦＮ１４とに加えて、図７に示す出力検証データ入力部ＦＮ２１と、出力情報入力部ＦＮ２２と、出力検証部ＦＮ２３とを更に含む機能構成である。
【００９５】
第１実施形態に示すように、監視装置は、入力検証データ入力部ＦＮ１１、入力情報入力部ＦＮ１２、入力検証部ＦＮ１３及び設定部ＦＮ１４を含む機能構成なので、入力検証データに基づく検証によって、監視装置は、指令に含まれる指令値が設定される前に、異常な入力情報を検出することができる。そのため、監視装置１０は、フィールド機器等の機器に、異常な値が設定されてしまうのを少なくすることができる。
【００９６】
さらに、第２実施形態に示すように、監視装置は、出力検証データ入力部ＦＮ２１、出力情報入力部ＦＮ２２及び出力検証部ＦＮ２３を含む機能構成なので、出力検証データに基づく検証によって、監視装置は、異常な値の計測値を検出することができる。そのため、監視装置１０は、フィールド機器又はフィールド機器が計測する機器に、異常な値が設定されてしまっているのが検出できる。
【００９７】
以上のようにして、監視装置は、入力と出力の両方を監視する構成でもよい。
【００９８】
また、検証される情報は、値に限られず、コマンド等でもよい。
【００９９】
なお、本発明の一実施形態に係る各処理の全部又は一部は、低水準言語、高水準言語又はこれらを組み合わせて記述されるコンピュータに、監視方法を実行させるためのプログラムによって実現されてもよい。すなわち、プログラムは、情報処理装置等のコンピュータに各処理の全部又は一部を実行させるためのコンピュータプログラムである。
【０１００】
また、プログラムは、コンピュータが読み取り可能な記録媒体に格納して頒布することができる。なお、記録媒体は、フラッシュメモリ、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ若しくはブルーレイディスク等の光ディスク、ＳＤ（登録商標）カード、補助記憶装置又はＭＯ等でもよい。さらにまた、プログラムは、電気通信回線を通じて頒布することができる。
【０１０１】
さらに、本発明の一実施形態に係る各処理の全部又は一部は、１以上の情報処理装置を有する情報処理システムによって、処理の全部又は一部が並行、分散、冗長又はこれらの組み合わせで処理されてもよい。
【０１０２】
また、本発明の一実施形態に係る各処理は、図示した順序に限られない。例えば、各処理の一部又は全部は、異なる順序、並行、分散又は省略されて処理されてもよい。
【０１０３】
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は、上述の実施形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形又は変更が可能である。
【符号の説明】
【０１０４】
１０  監視装置
ＦＮ１１  入力検証データ入力部
ＦＮ１２  入力情報入力部
ＦＮ１３  入力検証部
ＦＮ１４  設定部
ＦＮ２１  出力検証データ入力部
ＦＮ２２  出力情報入力部
ＦＮ２３  出力検証部
ＣＭ  指令
ＭＥ  計測値
ＤＣ  検証データ
ＦＭ  フィールド機器
ＵＣ  上位制御系
【図１】
2018055271.tif 000003
【図２】
2018055271.tif 000004
【図３】
2018055271.tif 000005
【図４】
2018055271.tif 000006
【図５】
2018055271.tif 000007
【図６】
2018055271.tif 000008
【図７】
2018055271.tif 000009