(57)【要約】【課題】ノズルからの塗布液の安定した吐出に適う清掃をノズル清掃部材により実行可能としつつ、ノズル清掃部材の交換に伴うランニングコストを抑制可能とする。【解決手段】先端に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルに対して相対的に移動することで、ノズルに付着した塗布液を掻き取るノズル清掃部材であって、ノズルの両側面に対向する樹脂製の対向部と、ノズルの両側面のそれぞれの先端の間に設けられて吐出口が開口するノズルの先端面に当接するゴム製の当接部とを備える。【選択図】図７
2018043178.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルに対して相対的に移動することで、前記ノズルに付着した塗布液を掻き取るノズル清掃部材であって、
前記ノズルの両側面に対向する樹脂製の対向部と、
前記ノズルの前記両側面のそれぞれの先端の間に設けられて前記吐出口が開口する前記ノズルの先端面に当接するゴム製の当接部と
を備えるノズル清掃部材。
【請求項２】
前記対向部が側辺部に形成された溝を有する樹脂製の本体をさらに備え、
前記当接部は前記溝の底部に取り付けられている請求項１に記載のノズル清掃部材。
【請求項３】
前記当接部は前記溝の底部に着脱可能である請求項２に記載のノズル清掃部材。
【請求項４】
前記本体は前記塗布液に対して撥液性を有する請求項２または３に記載のノズル清掃部材。
【請求項５】
前記本体は、ポリテトラフルオロエチレンあるいは前記塗布液に対する接触角がポリテトラフルオロエチレンよりも大きい樹脂で形成されている請求項４に記載のノズル清掃部材。
【請求項６】
前記吐出口を部分的に塞ぐことで前記吐出口のうち前記塗布液が吐出される範囲を規制する規制部材を有する前記ノズルに付着した塗布液を掻き取る請求項１ないし５のいずれか一項に記載のノズル清掃部材であって、
前記当接部は前記規制部材に接触するノズル清掃部材。
【請求項７】
ポリイミド前駆体および溶媒を含む前記塗布液を吐出する前記ノズルに付着した前記塗布液を掻き取る請求項１ないし６のいずれか一項に記載のノズル清掃部材。
【請求項８】
先端に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルに付着した塗布液を除去するノズル清掃装置であって、
請求項１ないし７のいずれか一項に記載のノズル清掃部材と、
前記ノズル清掃部材を支持する支持部と、
前記支持部を駆動することで、前記ノズル清掃部材を前記ノズルに対して移動させる駆動部と
を備えるノズル清掃装置。
【請求項９】
先端に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルと、
請求項８に記載のノズル清掃装置と
を備える塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、液晶表示装置用ガラス基板、半導体ウェハ、ＰＤＰ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、ポリイミド前駆体薄膜の支持用のガラス基板、カラーフィルター用基板、記録ディスク用基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板などの精密電子装置用基板（以下、単に「基板」と称する）に対してノズルの吐出口から塗布液を吐出して塗布する塗布装置、上記ノズルの吐出口に付着する塗布液を除去するノズル清掃部材、ならびにノズル清掃部材によりノズルを清掃するノズル清掃装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、先端に設けられた吐出口から塗布液を吐出するスリットノズルを用いて、基板に塗布液を塗布する塗布装置が知られている。また、特許文献１の塗布装置では、スリットノズルに付着した塗布液を除去する拭取りユニットが設けられている。この拭取りユニットは、スリットノズルの先端部の形状に応じたＶ字状の溝を有する清掃部材を用いてスリットノズルを清掃する。より具体的には、スリットノズルの先端部を清掃部材のＶ字溝に当接させつつ清掃部材をスリットノズルに沿って移動させる。こうしてスリットノズルに清掃部材を摺動させることで、スリットノズルに付着した塗布液を掻き取ることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−２００６１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このようなスリットノズルからの塗布液の除去は、スリットノズルの吐出口から塗布液を安定して吐出するために実行される。特に、吐出口が開口するスリットノズルの先端面に塗布液が不要に付着していると、吐出口からの塗布液の吐出に影響が生じやすい。したがって、塗布液の安定した吐出のためには、スリットノズルの先端面に清掃部材をしっかりとフィットさせることが重要である。しかしながら、清掃部材をノズルにしっかりフィットさせると清掃部材の磨耗が激しくなり、清掃部材を頻繁に交換する必要が生じるおそれがある。つまり、塗布液の安定した吐出のために塗布液を確実に除去しようとすると、清掃部材の交換が頻繁に生じてランニングコストが増大するといった問題が生じる。
【０００５】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、ノズルからの塗布液の安定した吐出に適う清掃をノズル清掃部材により実行可能としつつ、ノズル清掃部材の交換に伴うランニングコストを抑制可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るノズル清掃部材は、先端に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルに対して相対的に移動することで、ノズルに付着した塗布液を掻き取るノズル清掃部材であって、ノズルの両側面に対向する樹脂製の対向部と、ノズルの両側面のそれぞれの先端の間に設けられて吐出口が開口するノズルの先端面に当接するゴム製の当接部とを備える。
【０００７】
本発明に係るノズル清掃装置は、先端に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルに付着した塗布液を除去するノズル清掃装置であって、上記のノズル清掃部材と、ノズル清掃部材を支持する支持部と、支持部を駆動することで、ノズル清掃部材をノズルに対して移動させる駆動部とを備える。
【０００８】
本発明にかかる塗布装置は、先端に設けられた吐出口から塗布液を吐出するノズルと、上記のノズル清掃装置とを備える。
【０００９】
このように構成された本発明（ノズル清掃部材、ノズル清掃装置、塗布装置）の清掃対象であるノズルは、両側面と、これら両側面それぞれの先端の間に設けられて吐出口が開口する先端面とを有する。これに対して、ノズル清掃部材は、ノズルの両側面に対向する対向部と、ノズルの先端面に当接する当接部とを備える。したがって、ノズルに対してノズル清掃部材を摺動させることで、ノズルの両側面に付着した塗布液をノズル清掃部材の対向部で掻き取るとともに、ノズルの先端面に付着した塗布液をノズル清掃部材の当接部で掻き取ることができる。
【００１０】
また、ノズル清掃部材の対向部は樹脂製であるため、ノズルの清掃に伴う磨耗をほぼ生じない。なお、このような樹脂製の対向部は、弾性変形しないため、ノズルの両側面にぴったりとフィットするものではない。ただし、ノズルの両側面の塗布液は、そもそも付着量が少ないのに加え、これがノズルの先端面にまで垂れ落ちない程度に除去できれば良い。そのため、ノズルの両側面に付着した塗布液については、樹脂性の対向部で除去しておけば、ノズルからの塗布液の吐出への影響を抑えられる。これに対して、ノズル清掃部材の当接部はゴム製である。そのため、ノズルの先端面にぴったりとフィットして、ノズルの先端面に付着する塗布液を確実に除去し、ノズルからの塗布液の安定した吐出を実現可能とする。なお、このようなゴム製の当接部は、ノズルの清掃に伴って磨耗しうる。ただし、当接部が当接するノズルの先端面には、塗布液が多量に付着する傾向にあり、この塗布液が潤滑剤として機能するため、当接部の摩耗は緩やかに進行する。また、当接部が使用に耐えないほど磨耗した場合には、この当接部のみを交換すれば良く、ノズル清掃部材そのものを交換する必要は無い。こうして、ノズルからの塗布液の安定した吐出に適う清掃をノズル清掃部材により実行可能としつつ、ノズル清掃部材の交換に伴うランニングコストを抑制可能となっている。
【００１１】
また、対向部が側辺部に形成された溝を有する樹脂製の本体をさらに備え、当接部は溝の底部に取り付けられているように、ノズル清掃部材を構成しても良い。かかる構成では、当接部が磨耗した場合には、本体に対して当接部を交換すれば足り、本体そのものは継続して利用できる。そのため、ランニングコストを効果的に抑制できる。
【００１２】
この際、当接部は溝の底部に着脱可能であるように、ノズル清掃部材を構成しても良い。これによって、本体に対する当接部の交換作業を簡単に実行可能となる。
【００１３】
また、本体は塗布液に対して撥液性を有するように、ノズル清掃部材を構成しても良い。これによって、本体に付着する塗布液の量を抑えられるため、ノズル清掃部材の清掃頻度を抑えられる。
【００１４】
具体的には、本体は、ポリテトラフルオロエチレンあるいは塗布液に対する接触角がポリテトラフルオロエチレンよりも大きい樹脂で形成されているように、ノズル清掃部材を構成しても良い。これによって、塗布液に対して撥液性を有するようにノズル清掃部材の本体を形成できる。
【００１５】
また、吐出口を部分的に塞ぐことで吐出口のうち塗布液が吐出される範囲を規制する規制部材を有するノズルに付着した塗布液を掻き取るにあたっては、当接部は規制部材に接触するように、ノズル清掃部材を構成しても良い。これによって、規制部材に付着した塗布液を確実に除去することができる。
【００１６】
また、ポリイミド前駆体および溶媒を含む塗布液を吐出するノズルに付着した塗布液を掻き取るように、ノズル清掃部材を構成しても良い。このようなポリイミド前駆体を含む塗布液は、例えばフォトレジスト用の塗布液等と比較して高い粘度を有するため、ノズルの先端面から確実に除去することが特に求められる。これに対して、本発明によれば、ノズルの先端面にフィットするゴム製の当接部により、ノズルの先端面から塗布液を確実に除去することが可能となる。一方、塗布液が高い粘度を有するが故に、ノズルの両側面から先端面への塗布液の垂れ落ちは生じにくい。したがって、ノズルの両側面からの塗布液の除去は、樹脂製の対向部で実行すれば十分足りる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、本発明によれば、ノズルからの塗布液の安定した吐出に適う清掃がノズル清掃部材により実行可能となるとともに、ノズル清掃部材の交換に伴うランニングコストが抑制可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係る塗布装置を模式的に示す斜視図。
【図２】図１に示す塗布装置を模式的に示す側面図。
【図３】図１に示す塗布装置の各部の配置を概略的に示す上面図。
【図４】スリットノズルを模式的に示す斜視図。
【図５】図４のスリットノズルの分解構造を模式的に示す斜視図。
【図６】ノズル清掃装置の一例を模式的に示す斜視図。
【図７】ノズル清掃装置がノズル清掃部材として用いるスクレーパの一例を模式的に示す図。
【図８】図７のスクレーパとスリットノズルとの関係を模式的に示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
図１は本発明に係る塗布装置を模式的に示す斜視図である。また、図２は図１に示す塗布装置を模式的に示す側面図である。さらに、図３は図１に示す塗布装置の各部の配置を概略的に示す上面図である。なお、図１、図２、図３および以降の各図にはそれらの方向関係を明確にするためＺ方向を鉛直方向とし、ＸＹ平面を水平面とするＸＹＺ直交座標系を適宜付するとともに、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。また、図２および図３では、ノズル支持体等の一部の構成を省略している。
【００２０】
塗布装置１は、スリットノズル２を用いて基板３の表面３１に塗布液を塗布するスリットコータと呼ばれる塗布装置である。塗布液は、ポリイミド前駆体であるポリアミド酸（ポリアミック酸）を溶質として、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン：N-Methyl-2-Pyrrolidone）を溶媒としてそれぞれ含む。また、基板３は平面視で矩形状を有するガラス基板である。なお、本明細書中で、「基板３の表面３１」とは基板３の両主面のうち塗布液が塗布される側の主面を意味する。
【００２１】
塗布装置１は、基板３を水平姿勢で吸着保持可能なステージ４と、ステージ４に保持される基板３にスリットノズル２を用いて塗布処理を施す塗布処理部５と、スリットノズル２に対してクリーニング処理を施すノズル清掃装置６と、これら各部を制御する制御部１００とを備える。
【００２２】
ステージ４は略直方体の形状を有する花崗岩等の石材で構成されており、その上面（＋Ｚ側）のうち−Ｙ側には、略水平な平坦面に加工されて基板３を保持する保持面４１を有する。保持面４１には図示しない多数の真空吸着口が分散して形成されている。これらの真空吸着口により基板３が吸着されることで、塗布処理の際に基板３が所定の位置に水平に保持される。なお、基板３の保持態様はこれに限定されるものではなく、例えば機械的に基板３を保持するように構成してもよい。また、ステージ４において保持面４１が占有する領域より＋Ｙ側にはノズル調整領域ＲＡが設けられており、このノズル調整領域ＲＡに後に詳述するノズル清掃装置６が配置されている。
【００２３】
塗布処理部５は、スリットノズル２を支持するノズル支持体５１を有する。このノズル支持体５１は、ステージ４の上方でＸ方向に平行に延設された支持部材５１ａと、支持部材５１ａをＸ方向の両側から支持して支持部材５１ａを昇降させる２つの昇降機構５１ｂとを有する。支持部材５１ａは、カーボンファイバ補強樹脂等で構成され、矩形の断面を有する棒部材である。この支持部材５１ａの下面はスリットノズル２の装着箇所５１０となっており、支持部材５１ａは装着箇所５１０にスリットノズル２を着脱可能に支持する。なお、スリットノズル２を支持部材５１ａの装着箇所５１０に着脱するための機構としては、ラッチあるいはネジ等の種々の締結機構を適宜用いることができる。
【００２４】
２つの昇降機構５１ｂは支持部材５１ａの長手方向の両端部に連結されており、それぞれＡＣサーボモータおよび及びボールネジ等を有する。これらの昇降機構５１ｂにより、支持部材５１ａおよびそれに固定されたスリットノズル２が鉛直方向（Ｚ方向）に昇降され、スリットノズル２の下端で開口する吐出口２１と基板３との間隔、すなわち、基板３に対する吐出口２１の相対的な高さが調整される。なお、支持部材５１ａの鉛直方向の位置は、例えば、図示を省略しているが、昇降機構５１ｂの側面に設けられたスケール部と、当該スケール部に対向してスリットノズル２の側面等に設けられた検出センサとで構成されるリニアエンコーダにより検出できる。
【００２５】
このように構成されたノズル支持体５１は、図１に示すように、ステージ４の左右両端部をＸ方向に沿って掛け渡された、保持面４１を跨ぐ架橋構造を有している。塗布処理部５は、このノズル支持体５１をＹ方向に移動させるスリットノズル移動部５３を有する。スリットノズル移動部５３は、架橋構造体としてのノズル支持体５１とこれに支持されたスリットノズル２とを、ステージ４上に保持される基板３に対してＹ方向に沿って相対移動させる相対移動手段として機能する。具体的には、スリットノズル移動部５３は、±Ｘ側のそれぞれにおいて、スリットノズル２の移動をＹ方向に案内するガイドレール５２と、駆動源であるリニアモータ５４と、スリットノズル２の吐出口２１の位置を検出するためのリニアエンコーダ５５とを有する。
【００２６】
２つのガイドレール５２はそれぞれ、ステージ４のＸ方向の両端部に設けられ、ノズル調整領域ＲＡおよび保持面４１が設けられた区間を含むようにＹ方向に延設されている。そして、２つのガイドレール５２がそれぞれ、２個の昇降機構５１ｂの移動をＹ方向に案内する。また、２つのリニアモータ５４はそれぞれ、ステージ４の両側に設けられ、固定子５４ａと移動子５４ｂとを有するＡＣコアレスリニアモータである。固定子５４ａは、ステージ４のＸ方向の側面にＹ方向に沿って設けられている。一方、移動子５４ｂは、昇降機構５１ｂの外側に固設されている。２個のリニアモータ５４はそれぞれ、これら固定子５４ａと移動子５４ｂとの間に生じる磁力によって、２個の昇降機構５１ｂをＹ方向に駆動する。
【００２７】
また、各リニアエンコーダ５５はそれぞれ、スケール部５５ａと検出部５５ｂとを有している。スケール部５５ａはステージ４に固設されたリニアモータ５４の固定子５４ａの下部にＹ方向に沿って設けられている。一方、検出部５５ｂは、昇降機構５１ｂに固設されたリニアモータ５４の移動子５４ｂのさらに外側に固設され、スケール部５５ａに対向配置される。リニアエンコーダ５５は、スケール部５５ａと検出部５５ｂとの相対的な位置関係に基づいて、Ｙ方向におけるスリットノズル２の吐出口２１の位置を検出する。
【００２８】
このように構成されたスリットノズル移動部５３は、ノズル支持体５１をＹ方向に駆動することで、ノズル調整領域ＲＡの上方とステージ４上に保持される基板３の上方との間でスリットノズル２を移動させることができる。そして、塗布装置１は、スリットノズル２の吐出口２１から塗布液を吐出しながらスリットノズル２を基板３に対して相対移動させることで、基板３の表面３１に塗布層を形成する。なお、塗布液の塗布は基板３の全面に対して実行されるのではなく、図３に示すように、基板３のうち、所定の塗布領域ＲＴに対して選択的に塗布液が塗布される。そのため、スリットノズル２の移動区間のうち基板３の塗布領域ＲＴの上方区間を移動する吐出口２１から塗布液が吐出される。また、基板３に対しては、互いに分割された２個の塗布領域ＲＴが設定されている。そのため、後述するように、スリットノズル２の吐出口２１のうち、塗布液を吐出する範囲は、各塗布領域ＲＴに対応する範囲に制限されている。
【００２９】
また、塗布装置１と外部搬送機構との基板３の受渡し期間（基板３の搬入・搬出期間）等のステージ４上で塗布処理が行われない期間には、スリットノズル２は、基板３の保持面４１から＋Ｙ側に外れたノズル調整領域ＲＡに待避する（図１に示す状態）。そして、ノズル調整領域ＲＡに位置するスリットノズル２に対して、ノズル清掃装置６がクリーニング処理を実行する。このノズル清掃装置６の詳細は、スリットノズル２の説明に続いて後述する。
【００３０】
図４はスリットノズルを模式的に示す斜視図であり、図５は図４のスリットノズルの分解構造を模式的に示す斜視図である。スリットノズル２は、２つのノズルボディ２３、２５と、これらノズルボディ２３、２５にＹ方向から挟まれるノズルシム２７とを有する。ノズルボディ２３、２５はそれぞれＸ方向に同一の幅で延設され、ＹＺ断面において台形状の下端部２３ａ、２５ａと矩形状の上端部２３ｂ、２５ｂとを有する。ノズルボディ２３、２５の内側（ノズルシム２７側）の面はそれぞれＺＸ平面に平行な平面である。一方、ノズルボディ２３、２５の下端部２３ａ、２５ａの外側（ノズルシム２７の逆側）の側面２３ｃ、２５ｃはそれぞれ下方に向かうに連れてノズルシム２７に近づくように傾斜する傾斜面である。したがって、ノズルボディ２３、２５の下端部２３ａ、２５ａで構成されるスリットノズル２の先端部２ａ（ノズルリップ部）は下方へ先細りの形状を有する。
【００３１】
また、各ノズルボディ２３、２５では、側面２３ｃおよび側面２５ｃそれぞれの先端（下端）から内側（ノズルシム２７側）に向けて水平に底面２３ｄ、２５ｄが延設されている。これらノズルボディ２３、２５の底面２３ｄ、２５ｄは面一に並んで、スリットノズル２の先端面２ｄを構成する。また、ノズルボディ２３、２５の底面２３ｄ、２５ｄとの間に、Ｘ方向に平行なスリット状の吐出口２１が開口する。このように、側面２３ｃおよび側面２５ｃがそれぞれ本発明の「ノズルの側面」に相当し、側面２３ｃの先端と側面２５ｃの先端との間で水平に延設されて吐出口２１が開口する先端面２ｄが本発明の「ノズルの先端面」に相当する。
【００３２】
ノズルボディ２５の内側の面には、塗布液の流路Ｆが形成されている。この流路Ｆは、Ｘ方向に平行に延設された横孔部Ｆａと、横孔部Ｆａの中央からＺ方向に平行に延設された縦孔部Ｆｂとを有する。そして、横孔部ＦａのＸ方向の両端が、ノズルボディ２５の両側面で開いてそれぞれ側面開口Ａ１、Ａ２を構成し、縦孔部Ｆｂの上端が、ノズルボディ２５の上面で開いて上面開口Ａ３を構成する。
【００３３】
ノズルシム２７は、ノズルボディ２３、２５と同一の幅でＸ方向に延設された平板形状の上辺部２７１を有する。さらに、ノズルシム２７は、上辺部２７１の両端からＺ方向下方に延設された平板形状の側辺部２７２と、両側辺部２７２の間で上辺部２７１からＺ方向下方に延設された平板形状の仕切り部２７３とを有する。各側辺部２７２、仕切り部２７３およびノズルボディ２３、２５はＺ方向に同じ高さを有し、各側辺部２７２の底面２７２ｄと、仕切り部２７３の底面２７３ｄと、スリットノズル２の先端面２ｄとは面一に並ぶ。
【００３４】
上辺部２７１の下方であって各側辺部２７２と仕切り部２７３との間の領域がスリットノズル２のキャビティＣＶとして機能する。各キャビティＣＶの上端を規定する上辺部２７１は流路Ｆの横孔部Ｆａよりも上方に位置し、各キャビティＣＶは流路Ｆの横孔部Ｆａに連通する。したがって、側面開口Ａ１、Ａ２の一方あるいは両方から供給された塗布液が各キャビティＣＶ内で広がる。そして、外側に開いた各キャビティＣＶの下端から塗布液が吐出される。これら２個のキャビティＣＶは２個の塗布領域ＲＴに対応して設けられ、各キャビティＣＶは、対応する塗布領域ＲＴ（図３）とＸ方向に同一の幅を有する。このように、ノズルシム２７は、吐出口２１を部分的に塞ぐことで、吐出口２１のうち塗布液が吐出される範囲を規制する規制部材として機能する。
【００３５】
そして、かかる構成を具備するスリットノズル２から不要な塗布液を除去するために、ノズル清掃装置６がスリットノズル２にクリーニング処理を実行する。続いては、このノズル清掃装置６の構成および動作について図６、図７および図８を併用しつつ詳述する。
【００３６】
図６はノズル清掃装置の一例を模式的に示す斜視図である。また、図７はノズル清掃装置がノズル清掃部材として用いるスクレーパの一例を模式的に示す図である。さらに、図８は図７のスクレーパとスリットノズルとの関係を模式的に示す図である。ノズル清掃装置６は、スリットノズル２の先端部２ａに沿った清掃方向Ｄｃへスクレーパ６１を伴って移動することで先端部２ａに付着する塗布液を除去する除去ユニット６Ａと、除去ユニット６Ａを清掃方向Ｄｃに駆動する駆動ユニット６Ｂとを有する。ここで、清掃方向ＤｃはＸ方向の矢印と逆向きの一方を向いたＸ方向に平行な方向であり、駆動ユニット６Ｂは除去ユニット６ＡをＸ方向へ往復移動させることが可能である。
【００３７】
また、ノズル清掃装置６は、スクレーパ６１を密閉することで形成した密閉空間の内部でスクレーパ６１を洗浄する洗浄ユニット６Ｃ（図３）を備える。この洗浄ユニット６Ｃは、スリットノズル２の先端部２ａに付着する塗布液を拭き取って除去したスクレーパ６１に対して、上記密閉空間内で洗浄液を供給することでスクレーパ６１に付着する塗布液を洗い流すユニットである。洗浄液としては、塗布液の溶媒（ここの例ではＮＭＰ）が用いられる。かかる洗浄ユニット６Ｃとしては、例えば特開２０１４−１７６８１２号公報に記載されたものを用いることができる。
【００３８】
除去ユニット６Ａは主として、スリットノズル２の先端部２ａに摺動されるスクレーパ６１と、スクレーパ６１を支持する支持部６２とを有する。なお、図６では、スリットノズル２の清掃方向Ｄｃの上流側端部よりさらに清掃方向Ｄｃの上流側の位置に除去ユニット６Ａが位置するときの、スリットノズル２および除去ユニット６Ａの構成が示されている。
【００３９】
図７に示すように、スクレーパ６１は支持部６２により支持可能な本体６１１を有する。スクレーパ６１の本体６１１は、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）といった樹脂で一体的に形成された硬質体である。かかる樹脂製の本体６１１は、塗布液に対して撥液性を有する。そして、本体６１１の中央部が支持部６２に支持される被支持部６１２となっている。本体６１１は、被支持部６１２から延設された延設部６１３を有し、この延設部６１３の上端に、Ｖ字型の溝であるＶ字溝６１４が形成されている。Ｖ字溝６１４は、スリットノズル２の先端部２ａに対応した形状をしており、側面２３ｃに沿って傾斜する対向部６１５と、側面２５ｃに沿って傾斜する対向部６１６とが、Ｖ字溝６１４の各側辺部に形成されている。さらに、スクレーパ６１は、本体６１１のＶ字溝６１４の底部に取り付けられた当接部６１８を有する。この当接部６１８はゴムで形成された弾性体であり、スリットノズル２の先端面２ｄに沿った平坦形状に仕上げられている。なお、本体６１１への当接部６１８の取り付けは、接着剤によって当接部６１８を本体６１１に接着することで実現されている。
【００４０】
このように構成されたスクレーパ６１は図６に示すように２本の締結金具、例えばボルト６４によって支持部６２に着脱自在に固定される。この支持部６２は、Ｚ方向に昇降可能な昇降部６２１と、昇降部６２１の上面にＺ方向へ立設された柱部６２２とを有する。そして、柱部６２２の上端に対してスクレーパ６１が締結される。より具体的には、スクレーパ６１の被支持部６１２は、柱部６２２の上端部に係合可能な形状に仕上げられている。そして、スクレーパ６１は、そのＶ字溝６１４をスリットノズル２側に向けつつ、Ｘ方向に延設されるスリットノズル２に対して所定の傾斜角度θ（例えば、５０度）で傾いた状態で、柱部６２２の上端部に締結される。
【００４１】
また、支持部６２は、このようにスクレーパ６１が固定された昇降部６２１の下方にベース部６２３を有する。そして、昇降部６２１はベース部６２３によって昇降可能に支持されている。つまり、支持部６２では、ベース部６２３の上面からＺ方向に立設されたガイドレール６２４と、ベース部６２３と昇降部６２１との間に設けられた付勢部材６２５（例えば、圧縮バネ）とが設けられている。そして、ガイドレール６２４が昇降部６２１の移動をＺ方向に案内しつつ、付勢部材６２５がベース部６２３に対して昇降部６２１を上方へ付勢する。そのため、昇降部６２１に固定されたスクレーパ６１は、付勢部材６２５の付勢力により上方へ付勢される。
【００４２】
また、支持部６２のベース部６２３は、駆動ユニット６Ｂに取り付けられている。この駆動ユニット６Ｂは、Ｘ方向においてスリットノズル２の両外側に配置された一対のローラ６５１、６５１と、ローラ６５１、６５１に掛け渡された無端ベルト６５２とを有し、無端ベルト６５２の上面に支持部６２のベース部６２３が取り付けられている。この駆動ユニット６Ｂは、ローラ６５１、６５１を回転させて無端ベルト６５２の上面をＸ方向へ駆動し、支持部６２に伴ってスクレーパ６１をＸ方向へ移動させる。
【００４３】
このように構成されたノズル清掃装置６は、スリットノズル２の先端部２ａに対してスクレーパ６１を清掃方向Ｄｃに摺動させることで、スリットノズル２の先端部２ａから塗布液を掻き取る（クリーニング処理）。このクリーニング処理は、例えば単純にスリットノズル２に付着した不要な塗布液を除去する目的や、塗布処理の開始前にスリットノズル２の吐出口２１における塗布液の状態を整える目的で実行される。後者の目的でクリーニング処理を実行する場合は、スリットノズル２の吐出口２１から塗布液を若干吐出してからクリーニング処理を実行する。
【００４４】
クリーニング処理において、スクレーパ６１の当接部６１８は、スリットノズル２の先端面２ｄおよびノズルシム２７（の底面）に対して付勢部材６２５の付勢力によって押圧される。この際、スリットノズル２の組立精度等に起因して、スリットノズル２の先端面２ｄとノズルシム２７との間に若干の段差があったとしても、スクレーパ６１の当接部６１８は弾性変形することで、スリットノズル２の先端面２ｄおよびノズルシム２７に密着する。これによって、これらに付着した塗布液を当接部６１８によって確実に掻き取ることができる。また、スクレーパ６１の対向部６１５、６１６はそれぞれスリットノズル２の側面２３ｃ、２５ｃに対して接触あるいは若干のクリアランスを空けて対向する。したがって、スリットノズル２の側面２３ｃ、２５ｃに付着した塗布液を対向部６１５、６１６によって掻き取ることができる。
【００４５】
以上に説明したように本実施形態では、清掃対象であるスリットノズル２ノズルは、両側面２３ｃ、２５ｃと、これら両側面２３ｃ、２５ｃそれぞれの先端の間に設けられて吐出口２１が開口する先端面２ｄとを有する。これに対して、スクレーパ６１は、ノズルの両側面２３ｃ、２５ｃに対向する対向部６１５、６１６と、スリットノズル２の先端面２ｄに当接する当接部６１８とを備える。したがって、スリットノズル２に対してスクレーパ６１を摺動させることで、スリットノズル２の両側面２３ｃ、２５ｃに付着した塗布液をスクレーパ６１の対向部６１５、６１６で掻き取るとともに、スリットノズル２の先端面２ｄに付着した塗布液をスクレーパ６１の当接部６１８で掻き取ることができる。
【００４６】
また、スクレーパ６１の対向部６１５、６１６は樹脂製であるため、スリットノズル２の清掃に伴う磨耗をほぼ生じない。なお、このような樹脂製の対向部６１５、６１６は、弾性変形しないため、スリットノズル２の両側面２３ｃ、２５ｃにぴったりとフィットするものではない。ただし、スリットノズル２の両側面２３ｃ、２５ｃの塗布液は、そもそも付着量が少ないのに加え、これがスリットノズル２の先端面２ｄにまで垂れ落ちない程度に除去できれば良い。そのため、スリットノズル２の両側面２３ｃ、２５ｃに付着した塗布液については、樹脂性の対向部６１５、６１６で除去しておけば、スリットノズル２からの塗布液の吐出への影響を抑えられる。これに対して、スクレーパ６１の当接部６１８はゴム製である。そのため、スリットノズル２の先端面２ｄにぴったりとフィットして、スリットノズル２の先端面２ｄに付着する塗布液を確実に除去し、スリットノズル２からの塗布液の安定した吐出を実現可能とする。なお、このようなゴム製の当接部６１８は、スリットノズル２の清掃に伴って磨耗する。ただし、当接部６１８が当接するスリットノズル２の先端面２ｄには、塗布液が多量に付着する傾向にあり、この塗布液が潤滑剤として機能するため、当接部６１８の摩耗は緩やかに進行する。また、当接部６１８が使用に耐えないほど磨耗した場合には、この当接部６１８のみを交換すれば良く、スクレーパ６１そのものを交換する必要は無い。こうして、スリットノズル２からの塗布液の安定した吐出に適う清掃をスクレーパ６１により実行可能としつつ、スクレーパ６１の交換に伴うランニングコストを抑制可能となっている。
【００４７】
なお、当接部６１８の交換は、摩耗した当接部６１８を本体６１１から除去して、新たな当接部６１８を本体６１１に接着剤で接着すれば良い。また、この交換作業は、塗布装置１のユーザが行っても良いし、塗布装置１のメーカのサービスで行っても良い。
【００４８】
ちなみに、スクレーパ６１の磨耗という問題に対しては、スリットノズル２とスクレーパ６１との間にリンス液等を潤滑剤として供給することで、スクレーパ６１の磨耗を抑制する対応も考えられる。ただし、スリットノズル２の吐出口２１から吐出される塗布液にリンス液が混ざることで、塗布液の粘度が変わり、基板３での塗布液の塗布状態が不安定になったり、リンス液の消費量が増大したりするおそれがある。一方、本実施形態によれば、かかる問題を生じることが無いという点においても利点が有る。
【００４９】
また、対向部６１５、６１６が側辺部に形成されたＶ字溝６１４を有する樹脂製の対向部６１６が設けられ、当接部６１８はＶ字溝６１４の底部に取り付けられるようにスクレーパ６１が構成されている。かかる構成では、当接部６１８が磨耗した場合には、本体６１１に対して当接部６１８を交換すれば足り、本体６１１そのものは継続して利用できる。そのため、ランニングコストを効果的に抑制できる。
【００５０】
また、本体６１１は塗布液に対して撥液性を有している。そのため、本体６１１に付着する塗布液の量を抑えられるため、洗浄ユニット６Ｃでのスクレーパ６１の清掃頻度を抑えられる。
【００５１】
また、スリットノズル２は、吐出口２１を部分的に塞ぐことで、吐出口２１のうち塗布液が吐出される範囲を規制するノズルシム２７を有する。これに対して、クリーニング処理において、スクレーパ６１の当接部６１８がスリットノズル２のノズルシム２７に接触する。これによって、ノズルシム２７に付着した塗布液も確実に除去することが可能となっている。
【００５２】
ところで、スリットノズル２の塗布液は、ポリイミド前駆体および溶媒を含む。このようなポリイミド前駆体を含む塗布液は、例えばフォトレジスト用の塗布液等と比較して高い粘度を有するため、スリットノズル２の先端面２ｄから確実に除去することが特に求められる。これに対して、本実施形態によれば、スリットノズル２の先端面２ｄにフィットするゴム製の当接部６１８により、スリットノズル２の先端面２ｄから塗布液を確実に除去することが可能となる。一方、塗布液が高い粘度を有するが故に、スリットノズル２の両側面２３ｃ、２５ｃから先端面２ｄへの塗布液の垂れ落ちは生じにくい。したがって、スリットノズル２の両側面２３ｃ、２５ｃからの塗布液の除去は、樹脂製の対向部６１５、６１６で実行すれば十分足りる。
【００５３】
以上のように上記実施形態では、塗布装置１が本発明の「塗布装置」の一例に相当し、ノズル清掃装置６が本発明の「ノズル清掃装置」の一例に相当し、スクレーパ６１が本発明の「ノズル清掃部材」の一例に相当し、支持部６２が本発明の「支持部」の一例に相当し、駆動ユニット６Ｂが本発明の「駆動部」の一例に相当し、対向部６１５、６１６が本発明の「対向部」の一例に相当し、当接部６１８が本発明の「当接部」の一例に相当し、本体６１１が本発明の「本体」の一例に相当し、スリットノズル２が本発明の「ノズル」の一例に相当し、吐出口２１が本発明の「吐出口」の一例に相当し、側面２３ｃ、２５ｃが本発明の「両側面」の一例に相当し、先端面２ｄが本発明の「先端面」の一例に相当し、ノズルシム２７が本発明の「規制部材」の一例に相当する。
【００５４】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、上記実施形態では、スクレーパ６１の本体６１１に当接部６１８が接着剤で接着されている。しかしながら、スクレーパ６１の本体６１１、具体的にはＶ字溝６１４の底部に対して当接部６１８を着脱可能に構成しても良い。これによって、本体６１１に対する当接部６１８の交換作業を簡単に実行可能となる。なお、当接部６１８を本体６１１に着脱可能とする具体的機構は種々考えられる。例えば、本体６１１に係合突起を設ける一方、当接部６１８に係合孔を設けて、これら係合突起と係合孔とを互いに係合させることで、本体６１１に対して当接部６１８を着脱可能とすれば良い。あるいは、ネジなどの締結機構によっても良い。
【００５５】
また、本体６１１を構成する樹脂の種類は、ポリテトラフルオロエチレンに限られない。そこで、例えば塗布液に対する接触角がポリテトラフルオロエチレンよりも大きい他の種類の樹脂で本体６１１を構成しても良い。この場合、本体６１１が塗布液に対する撥液性を有するため、洗浄ユニット６Ｃにおけるスクレーパ６１の本体６１１の清掃頻度を抑えられる。
【００５６】
また、本体６１１が塗布液に対する撥液性を有することも必須ではない。したがって、塗布液に対して撥液性を有さない他の種類の樹脂で本体６１１を構成しても良い。
【００５７】
また、スリットノズル２の先端面２ｄは、平面である必要はなく、微小な段差を有していても良い。特に上記実施形態では、スリットノズル２の先端面２ｄに当接するスクレーパ６１の当接部６１８はゴム製であるため、スリットノズル２の先端面２ｄに段差があったとしても、この当接部６１８が弾性変形することで、先端面２ｄに密着できる。したがって、スリットノズル２の先端面２ｄから確実に塗布液を除去できる。
【００５８】
また、上記の実施形態では、分割された２個の塗布領域ＲＴに対して塗布液を塗布する場合が例示されていた。しかしながら、単一の塗布領域ＲＴに塗布液を塗布するスリットノズル２に対しても、上記のスクレーパ６１は有効にクリーニング処理を実行できる。
【００５９】
また、対向部６１５、６１６は樹脂製の本体６１１に一体的に形成されていた。しかしながら、樹脂とは異なる物質で構成された本体に、樹脂製の対向部６１５、６１６とゴム製の当接部６１８とを取り付けるようにスクレーパ６１を構成しても良い。
【００６０】
また、当接部６１８の形状は平坦形状に限られない。例えば、当接部６１８の両端がＶ字溝６１４の側辺部にまで及ぶように、当接部６１８をＹ方向に延設しても良い。この場合、スリットノズル２の側面２３ｃ、２５ｃのうちの先端部分、すなわち先端面２ｄに隣接する部分に当接部６１８を密着させて、この先端部分から塗布液を確実に除去することができる。
【００６１】
また、塗布液として利用できる液体は、ポリイミド前駆体とＮＭＰとを含むものに限られない。したがって、耐エッチング被膜なるフォトレジスト液、カラーフィルター用フォトレジスト液、シリコン、ナノメタルインクまたは導電性材料を含むスラリー（ペースト）等、種々の塗布液を用いることが可能である。
【００６２】
さらに、塗布対象となる基板３についても、液晶表示装置用ガラス基板、半導体基板、ＰＤＰ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、カラーフィルター用基板、記録ディスク用基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板等の精密電子装置用基板、矩形ガラス基板、フィルＩム液晶用フレキシブル基板、有機ＥＬ用基板等の種々の基板を用いることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
この発明は、吐出口から塗布液を吐出するノズルを清掃するノズル清掃技術全般に適用することができる。
【符号の説明】
【００６４】
１…塗布装置、２…スリットノズル２（ノズル）、２ｄ…先端面、２１…吐出口、２３ｃ、２５ｃ…側面（両側面）、２７…ノズルシム（規制部材）、６…ノズル清掃装置、６Ｂ…駆動ユニット（駆動部）、６１…スクレーパ（ノズル清掃部材）、６１１…本体、６１５、６１６…対向部、６１８…当接部、６２…支持部、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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