(57)【要約】【課題】ワークの投入・取出しなどを、簡単な機構を用いて設置スペースを多く必要とすることなく簡単に行うことのできる１槽式真空洗浄乾燥機を提供すること。【解決手段】真空洗浄乾燥槽４内に投入したワークに対して、揮発性の非水系溶剤を洗浄用の溶剤として用いた真空洗浄、溶剤蒸気を用いた減圧蒸気洗浄、および、真空乾燥を行う１槽式真空洗浄乾燥機１において、真空洗浄乾燥槽４に、横方向から当該真空洗浄乾燥槽４に対してワークの出し入れを行う搬入搬出口２８が形成されており、搬入搬出口２８には、当該搬入搬出口２８を開閉する外扉２９が取り付けられている。【選択図】図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空洗浄乾燥槽内に投入したワークに対して、揮発性の非水系溶剤を洗浄液として用いた真空洗浄、前記非水系溶剤の蒸気を用いた減圧蒸気洗浄、および、真空乾燥を行う１槽式真空洗浄乾燥機において、
前記真空洗浄乾燥槽は、横方向から当該真空洗浄乾燥槽に対してワークの出し入れを行う搬入搬出口が形成されており、
前記搬入搬出口には、当該搬入搬出口を開閉する外扉が取り付けられている１槽式真空洗浄乾燥機。
【請求項２】
請求項１において、
前記真空洗浄乾燥槽の内部および外部には、前記搬入搬出口を介して、横方向にワークが搭載されたバケットをガイド可能、または、搬送可能なガイド機構が配置されている１槽式真空洗浄乾燥機。
【請求項３】
請求項２において、
前記ガイド機構として、前記真空洗浄乾燥槽の内部に配した槽内ガイド機構および前記真空洗浄乾燥槽の外部に配置した槽外ガイド機構を備えており、
前記槽内ガイド機構は、フリーローラベアリングまたはチェーンコンベアであり、
前記槽外ガイド機構は、フリーローラベアリングまたはチェーンコンベアである１槽式真空洗浄乾燥機。
【請求項４】
請求項１において、
前記真空洗浄乾燥槽の前面に、前記搬入搬出口が形成されており、
前記真空洗浄乾燥槽は、その背面から前記前面に向かって、高さ、あるいは、幅が、漸増している１槽式真空洗浄乾燥機。
【請求項５】
請求項１において、
前記真空洗浄乾燥槽の内部には、当該真空洗浄乾燥槽の天面に沿って、洗浄液配管が引き回されており、
前記洗浄液配管には、その配管長さ方向に沿って所定の間隔で下方に洗浄液を吹き出す洗浄液ノズルが配置されている１槽式真空洗浄乾燥機。
【請求項６】
請求項１において、
前記真空洗浄乾燥槽と前記外扉の間には、当該外扉を閉じ位置にロックするロック機構が配置されており、
前記ロック機構は、前記外扉をロックするための付勢力を常に発生する状態に保持されているばね部材を備えている１槽式真空洗浄乾燥機。
【請求項７】
請求項３において、
前記真空洗浄乾燥槽の前面に、前記搬入搬出口が形成されており、
前記真空洗浄乾燥槽は、その背面から前記前面に向かって、高さ、あるいは、幅が、漸増しており、
前記真空洗浄乾燥槽と前記外扉の間には、前記外扉を閉じ位置にロックするロック機構が配置されており、
前記ロック機構は、前記外扉をロックするための付勢力を常に発生する状態に保持されているばね部材を備えている１槽式真空洗浄乾燥機。
【請求項８】
請求項７において、
前記真空洗浄乾燥槽の内部には、当該真空洗浄乾燥槽の天面に沿って、洗浄液配管が引
き回されており、
前記洗浄液配管には、その配管長さ方向に沿って所定の間隔で下方に洗浄液を吹き出す洗浄液ノズルが配置されている１槽式真空洗浄乾燥機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炭化水素系溶剤などの非水系の揮発性溶剤を用いて、電子部品、金属部品などの各種のワークの洗浄に用いる１槽式真空洗浄乾燥機に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の１槽式真空洗浄乾燥機としては、特許文献１に記載されている洗浄装置が知られている。特許文献１に開示の洗浄装置は、真空洗浄乾燥槽、洗浄液の貯留槽、洗浄蒸気を発生する蒸気発生槽、洗浄蒸気を液中に導入して回収する回収槽および真空ポンプを備えており、単一の真空洗浄乾燥槽内において、ワークに対して、洗浄および乾燥処理が施される。
【０００３】
１槽式真空洗浄乾燥機では、その天面（上端）の開口を封鎖している蓋を開け、真空洗浄乾燥槽の上方から、ワークが搭載されているバスケットを真空洗浄乾燥槽内に投入する。ワーク投入後に蓋を閉じて、真空ポンプによって真空洗浄乾燥槽を減圧して、貯留槽の洗浄液を真空洗浄乾燥槽に導入する。ワークを洗浄液に浸漬させた状態で、真空洗浄乾燥槽内において、超音波洗浄（粗洗浄）を行う。次に、真空洗浄乾燥槽を大気圧状態に戻して内部の洗浄液を自重により貯留槽に戻した後に、真空洗浄乾燥槽を再び減圧状態にして、蒸気発生槽から洗浄蒸気を真空洗浄乾燥槽に導入し、ワークを蒸気洗浄（仕上げ洗浄）する。次に、真空洗浄乾燥槽から洗浄蒸気を排出した後に、真空ポンプにより、真空洗浄乾燥槽を減圧してワークに付着している洗浄液を気化させることで、ワークの真空乾燥を行う。真空洗浄乾燥槽から真空ポンプによって吸引される洗浄蒸気は回収槽に回収される。ワーク乾燥後に、真空洗浄乾燥槽の蓋を開け、真空洗浄乾燥槽内のバスケットを上方に引き上げることで、洗浄乾燥後のワークが搭載されているバスケットを真空洗浄乾燥槽から取り出す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３５９８２８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の１槽式真空洗浄乾燥機において、ワーク投入においては、真空洗浄乾燥槽の天面を開け、真空洗浄乾燥槽の上方からバケットを真空洗浄乾燥槽内に投入している。ワーク取出しにおいても、真空洗浄乾燥槽の天面を開け、真空洗浄乾燥槽の内部から天面開口を介して上方にバスケットを取り出している。手作業により、バスケットを真空洗浄乾燥槽の上方まで持ち上げて真空洗浄乾燥槽内に投入する作業を行うことは困難である。同様に、手作業により、バスケットを真空洗浄乾燥槽の底から天面開口の上方まで持ち合上げて真空洗浄乾燥槽から取り出す作業は困難である。
【０００６】
このために、１槽式真空洗浄乾燥機には、バスケットを真空洗浄乾燥槽に投入し、そこから取り出すために、一般的に、ピック・アンド・プレースユニットを付設しておく必要がある。１槽式真空洗浄乾燥機自体がコンパクトな構成であっても、バスケットの投入・取出用の機構を含めた場合には、必要とされる設置スペースが大きなってしまう。また、ピック・アンド・プレースユニットは、例えばフリーローラーコンベア等と比べて高価である。さらに、真空洗浄乾燥槽内などの保守点検作業なども、真空洗浄乾燥槽の天面開口を開けて行う必要があり、真空洗浄乾燥槽の天面が高い位置にある場合などにおいては作業性が悪いという問題もある。
【０００７】
１槽式真空洗浄乾燥機においては、洗浄形態として、浸漬洗浄の代わりに、洗浄剤使用量が少なくて済むシャワー洗浄またはジェット洗浄を採用することが考えられる。このための配管、ノズルは、真空洗浄乾燥槽内における真空洗浄乾燥槽天面側の部分において、ワークに対して適切に洗浄液が吹き付けられるように配置することが望ましい。しかしながら、真空洗浄乾燥槽の天面を開閉してバスケットの投入、取出しを行う必要があるので、真空洗浄乾燥槽内の天面側の部分はノズル配管に制約される。場合によっては、シャワー洗浄またはジェット洗浄を採用できない場合がある。従来の１槽式真空洗浄乾燥機は、洗浄方法の選択肢が制限され、汎用性に欠ける場合がる。
【０００８】
本発明の課題は、ワークの投入・取出しなどを、簡単な機構を用いて設置スペースを多く必要とすることなく簡単に行うことのできる１槽式真空洗浄乾燥機を提供することにある。
【０００９】
また、本発明の課題は、浸漬洗浄に代えてシャワー洗浄またはジェット洗浄を簡単に採用することのできる１槽式真空洗浄乾燥機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、真空洗浄乾燥槽内に投入したワークに対して、揮発性の非水系の溶剤を洗浄液として用いた真空洗浄、前記溶剤の蒸気を用いた減圧蒸気洗浄、および、真空乾燥を行う１槽式真空洗浄乾燥機において、前記真空洗浄乾燥槽に、横方向、通常は水平方向から当該真空洗浄乾燥槽に対してワークの出し入れを行う搬入搬出口が形成されており、前記搬入搬出口には、当該搬入搬出口を開閉する外扉が取り付けられていることを特徴としている。
【００１１】
本発明の１槽式真空洗浄乾燥機では、その真空洗浄乾燥槽に対して、横方向、例えば水平方向からワークの搬入搬出を行うことのできる搬入搬出口が設けられている。例えば、真空洗浄乾燥槽の内部および外部に、搬入搬出口を介して、ほぼ同一の平面上、例えば水平面上を、ワークが搭載されたバケットをガイド可能、または、搬送可能な槽内ガイド機構および槽外ガイド機構が配置される。
【００１２】
真空洗浄乾燥槽の搬入搬出口を介して、同一平面に沿って、ワークの搬入搬出を行うことができる。ワークを昇降搬送および水平搬送を行うピック・アンド・プレースユニットのような三次元搬送機構を用いることなく、ローラーコンベアなどのガイド機構あるいはチェーンコンベアなどの搬送機構を用いて、ワークの搬入搬出を行うことが可能である。
【００１３】
例えば、フリーローラーコンベア上で、ワークの押し引きを行うことで、搬入搬出口を介してワークの搬入搬出作業を行うことができる。よって、真空洗浄乾燥槽の上方までワークを持ち上げて、真空洗浄乾燥槽の天面開口からワークを真空洗浄乾燥槽内に搬入し、真空洗浄乾燥槽内のワークを、天面開口を介して、上方に持ち上げて搬出する作業に比べて、ワークの搬入搬出作業の作業性を大幅に改善できる。
【００１４】
また、ピック・アンド・プレースユニットなどの三次元搬送機構に比べて、チェーンコンベアなどの水平搬送機構はコンパクトで廉価であるので、ワーク搬入搬出機構の設置スペースの増加、製造コストの増加を抑制できる。さらに、フリーローラーコンベアなどを用いた手作業によるワークの搬入搬出を、チェーンコンベアなどの水平搬送機構に変更する作業も簡単に行うことができるので便利である。
【００１５】
本発明において、通常は、真空洗浄乾燥槽の前面に搬入搬出口が設けられる。この場合には、真空洗浄乾燥槽は、その背面から前記前面に向かって、高さ、あるいは、幅が、漸
増していることが望ましい。例えば、真空洗浄乾燥槽の天面を、背面から前面に向かって上方に傾斜した傾斜面とすれば、真空洗浄乾燥槽が、搬入搬出口に向かって上下に広がる形状になる。開口面積の大きな搬入搬出口を設けることができ、バスケットの搬入搬出作業の作業性が向上する。
【００１６】
本発明の１槽式真空洗浄乾燥機の真空洗浄乾燥槽においては、その内部において天面の側に自由に配管を行うことができる。すなわち、真空洗浄乾燥槽の内部に、当該真空洗浄乾燥槽の天面に沿って、洗浄液配管を自由に引き回し、当該洗浄液配管に、その配管長さ方向に沿って所定の間隔で下方に洗浄液を吹き出す洗浄液ノズルを配置することができる。
【００１７】
真空洗浄乾燥槽の天面に、ワークあるいはバスケットの搬入搬出口が配置されている場合とは異なり、シャワー洗浄あるいはジェット洗浄のために最も適した状態で、配管・ノズルを配置することができる。よって、洗浄方法としてシャワー洗浄またはジェット洗浄を採用することができる。シャワー洗浄、ジェット洗浄は、浸漬洗浄、例えば超音波洗浄等に比べて廉価に実施でき、かつ、洗浄時における真空洗浄乾燥槽での洗浄剤（溶剤）保有量を低減できるという利点がある。
【００１８】
また、このようにシャワー洗浄・ジェット洗浄を確実に採用することができるので、洗浄方法の選択肢が広がり、各種洗浄方法の組み合わせからなる多様な洗浄乾燥システムを構築することが容易になる。よって、バスケットサイズ、ワークの汚れ状態、タクトタイム、要求される洗浄品質、予算等に合致する最適な洗浄システムを簡単に構築することができる。例えば、シャワー洗浄・減圧ベーパー洗浄・真空乾燥からなる廉価な洗浄システムを採用することも可能である。
【００１９】
本発明の１槽式真空洗浄乾燥機においては、真空洗浄乾燥槽の外周側面に、外扉によって開閉可能な搬入搬出口が配置される。浸漬洗浄動作中に外扉が開いてしまうと、真空洗浄乾燥槽の天面に搬入搬出口が配置されている場合よりも、洗浄液の漏出などの危険性が高い。例えば、停電、故障等によって、外扉のロック機構が動作不能になり、ロックが解除されてしまうと、搬入搬出口を介して圧力漏れが生じ、真空洗浄乾燥槽内の洗浄液が外部に漏出するおそれがある。また、減圧ベーパー洗浄中にロック機構が動作不能になると、真空洗浄乾燥槽の減圧状態が徐々に解除されてしまい、外部に洗浄蒸気が漏れ出るおそれがある。
【００２０】
このような弊害を回避するために、外扉を閉じ位置にロックするロック機構に、外扉をロックするための付勢力を常に発生する状態に保持されているばね部材を配置しておくことが望ましい。停電、故障等により、ロックするための付勢力を発生するエアシリンダ、プランジャなどが動作不能になり付勢力を発生できなくなった場合でも、圧縮状態で配置されている圧縮コイルばね等のばね部材のばね力によってロック状態を維持できる。これにより、真空洗浄乾燥槽からの気体、液体の洩れを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１Ａ】実施の形態１の１槽式真空洗浄乾燥機を示す正面図、上面図、左側面図および右側面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの１槽式真空洗浄乾燥機の正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。
【図１Ｃ】図１Ａの１槽式真空洗浄乾燥機の概略構成図および動作例を示す説明図である。
【図２Ａ】実施の形態２の１槽式真空洗浄乾燥機の正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。
【図２Ｂ】図２Ａの１槽式真空洗浄乾燥機の概略構成図および動作例を示す説明図である。
【図２Ｃ】実施の形態２の別の例である１槽式真空洗浄乾燥機の正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。
【図３】実施の形態３の１槽式真空洗浄乾燥機を示す正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。
【図４Ａ】外扉開閉機構を示す平面図、正面図および側面図である。
【図４Ｂ】外扉のロック機構を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した１槽式真空洗浄乾燥機の実施の形態を説明する。
【００２３】
［実施の形態１］
（全体構成）
図１Ａ（ａ）は１槽式真空洗浄乾燥機の正面図であり、図１Ａ（ｂ）はその上面図であり、図１Ａ（ｃ）はその左側面図であり、図１Ａ（ｄ）はその右側面図である。図２Ａ（ａ）は１槽式真空洗浄乾燥機の正面側から見た場合の概略内部構造図であり、図２Ａ（ｂ）はその上側から見た場合の概略内部構造図であり、図２Ａ（ｃ）はその左側から見た場合の概略内部構造図であり、図２Ａ（ｄ）はその右側から見た場合の概略内部構造図である。
【００２４】
１槽式真空洗浄乾燥機１は全体として直方体形状の装置ハウジング２を備えている。装置ハウジング２の前面２ａにおいて、その左側の端には、操作表示盤３が取り付けられている。操作表示盤３は、予め設定されている処理プログラムに従って、各部の駆動を制御して、ワークの洗浄乾燥動作を行わせる。
【００２５】
装置ハウジング２の内部には、図１Ｂに示すように、真空洗浄乾燥槽４、再生された洗浄剤が貯留される真空バッファタンク５、粗洗浄剤が貯留される粗洗浄剤タンク６および仕上げ洗浄剤が貯留される仕上げ洗浄剤タンク７を備えた真空バッファタンク８、真空蒸留機兼ベーパー発生器９、熱媒油タンク１０、気液分離槽１１、洗浄剤を貯留するリザーブタンク１２、液封式真空ポンプ１３およびメカニカルブースターポンプ１４が、それぞれ、配置されている。装置ハウジング２の天面上には超音波発振器１５が配置されている。本例では、洗浄用の溶剤として揮発性の非水系洗浄液が使用される。例えば、炭化水素系溶剤が用いられる。
【００２６】
真空洗浄乾燥槽４は、装置ハウジング２の内部の前面側における上下方向の中程の位置よりも僅か下側の位置に配置されている。真空洗浄乾燥槽４は、底面２１、前面２２、背面２３および左右の側面２４、２５および天面２６を備えており、前面２２には、ワーク（図示せず）が搭載されたバスケット２７の搬入搬出口２８が開口している。搬入搬出口２８は、装置ハウジング２に対して左右方向にスライド可能に取付けた外扉２９によって開閉可能となっている。外扉２９は、装置ハウジング２の前面２ａに形成されている矩形の開口部２ｂから前方に露出している。
【００２７】
外扉２９は、図１Ａ（ａ）に示す閉じ位置２９Ａから図１Ｂ（ａ）に示す開き位置２９Ｂまでの間を横方向にスライド可能である。真空洗浄乾燥槽４と外扉２９との間には、外扉２９をロックするためのロック機構が配置されている。閉じ位置２９Ａにおいて、ロック機構によってロックされた外扉２９は、真空洗浄乾燥槽４の前面２２の側にＯリングなどのシール部材を挟み押圧されて、搬入搬出口２８を気密状態で封鎖した状態になる。ロック機構の構造については後述する（図４Ａ、４Ｂ参照）。
【００２８】
真空洗浄乾燥槽４の内部において、その底面２１の上には超音波振動子３５が配置されている。この上には、槽内ガイド機構であるフリーローラーコンベア３６が配置されている。フリーローラーコンベア３６の上面によってほぼ水平なバスケットガイド面が規定されている。装置ハウジング２の前面２ａの前側には、バスケット２７を前方から後方に向けて水平にガイド可能な槽外ガイド機構であるフリーローラーコンベア３７が配置されている。フリーローラーコンベア３７の架台３８は、装置ハウジング２の前面２ａにおける開口部２ｂの下側の取付ブラケット２ｃに対して、取り外し可能な状態で、取り付けられる。
【００２９】
外側のフリーローラーコンベア３７の上面である水平ガイド面と、内側のフリーローラーコンベア３６の上面である水平ガイド面とはほぼ同一の高さにある。また、内側のフリーローラーコンベア３６の前端によって、搬入搬出口２８の下端縁が規定されている。
【００３０】
本例の真空洗浄乾燥槽４は、その幅が一定であり、左右の側面２４、２５が相互に平行な垂直面となっている。真空洗浄乾燥槽４の高さは、前方に向けて上方に広がっている。すなわち、天面２６は、背面２３から前面２２に向けて、水平面に対して上方に鋭角で傾斜した傾斜面となっている。これにより、上方に開口した矩形の箱形状をしているバスケット２７の出し入れが容易となっている。
【００３１】
（洗浄乾燥動作の例）
図１Ｃ（ａ）は１槽式真空洗浄乾燥機１の概略構成図であり、図１Ｃ（ｂ）は洗浄乾燥動作の一例を示す説明図である。これらの図を参照して、洗浄乾燥動作の一例を説明する。
【００３２】
＜ワーク投入＞
まず、外扉２９を開き、洗浄対象のワークを搭載したバスケット２７を、前方から、搬入搬出口２８を介して、真空洗浄乾燥槽４内に搬入する（図１Ｃ（ｂ）：バスケット給材）。本例では、ワークを搭載したバスケット２７を、槽外ガイド機構であるフリーローラーコンベア３７に載せて前方から押して、搬入搬出口２８を介して、真空洗浄乾燥槽４内の槽内ガイド機構であるフリーローラーコンベア３６に載せる。前方からバスケット２７を水平に押すだけ良いのでバスケット給材作業を簡単に行うことができる。
【００３３】
バスケット２７を真空洗浄乾燥槽４に搬入した後は、外扉２９を閉じてロックする（図１Ｃ（ｂ）：扉閉・ロック）。次に、液封式真空ポンプ１３およびメカニカルブースターポンプ１４を駆動して、真空洗浄乾燥槽４の真空引きを行う（図１Ｃ（ｂ）：真空引き）。
【００３４】
＜粗真空超音波洗浄＞
次に、真空バッファタンク８の粗洗浄剤タンク６に貯留されている粗洗浄剤である炭化水素系溶剤を、粗洗浄剤供給ライン４１を介して真空洗浄乾燥槽４に供給し（図１Ｃ（ｂ）：粗溶剤給液）、真空洗浄乾燥槽４のバスケット２７が粗洗浄剤に浸漬した状態を形成する。次に、超音波振動子１６を駆動して、ワークに所定時間に亘って粗真空超音波洗浄を施す（図１Ｃ（ｂ）：粗真空超音波洗浄）。粗真空超音波洗浄後に、真空洗浄乾燥槽４から、粗洗浄剤排出ライン４２、粗洗浄剤フィルタ４３を介して、粗洗浄剤を粗洗浄剤タンク６に戻す（図１Ｃ（ｂ）：粗溶剤排液）。
【００３５】
＜仕上げ超音波洗浄＞
この後は、真空バッファタンク８の仕上げ洗浄剤タンク７に貯留されている仕上げ洗浄剤である炭化水素系溶剤を、仕上げ洗浄剤供給ライン４４を介して真空洗浄乾燥槽４に供
給し（図１Ｃ（ｂ）：仕上げ溶剤給液）、真空洗浄乾燥槽４のバスケット２７が仕上げ洗浄剤に浸漬した状態を形成して、ワークに所定時間に亘って仕上げ真空超音波洗浄を施す（図１Ｃ（ｂ）：仕上げ真空超音波洗浄）。仕上真空超音波洗浄後に、真空洗浄乾燥槽４の仕上洗浄剤を、仕上げ洗浄液排出ライン４５、仕上げ洗浄剤フィルタ４６を介して、仕上げ洗浄剤タンク７に戻す（図１Ｃ（ｂ）：仕上げ溶剤排液）。
【００３６】
＜ベーパー洗浄＞
次に、真空洗浄乾燥槽４などを真空ポンプによって真空引きして所定の真空度の状態を形成して、真空蒸留機兼ベーパー発生器９からベーパー供給ライン４７を介して真空洗浄乾燥槽４に溶剤蒸気を供給して、ワークに対して所定時間に亘って減圧ベーパー洗浄を施す（図１Ｃ（ｂ）：減圧ベーパー洗浄）。この後は、真空洗浄乾燥槽４からの液抜きを行い、真空洗浄乾燥槽４内で凝結した仕上げ溶剤を真空バッファタンク５に回収する（図１Ｃ（ｂ）：液抜き）。
【００３７】
＜真空乾燥＞
この後は、真空ポンプ１３、１４を駆動して、真空洗浄乾燥槽４を真空引きして、ワークの真空乾燥を所定時間に亘って行う（図１Ｃ（ｂ）：真空乾燥）。
【００３８】
＜ワーク取出し＞
しかる後に、真空洗浄乾燥槽４などの真空を解除し（図１Ｃ（ｂ）：真空解除）、外扉２９のロックを解除して外扉２９を開ける（図１Ｃ（ｂ）：扉ロック解除・扉開）。そして、真空洗浄乾燥槽４内から、洗浄乾燥後のワークが搭載されているバスケット２７を、搬入搬出口２８を介して、引き出して、外側のフリーローラーコンベア３７に搬出する（図１Ｃ（ｂ）：バスケット除材）。
【００３９】
［実施の形態２：シャワー洗浄・ジェット洗浄を行う場合の例］
本発明では、真空洗浄乾燥槽は、その前面に搬入搬出口が設けられており、その天面にはシャワー洗浄・ジェット洗浄用の配管・ノズルを自由に配置することが可能である。図２Ａ、２Ｂには、シャワー洗浄・ジェット洗浄を行う１槽式真空乾燥洗浄機の一例を示してある。図２Ａ（ａ）〜（ｄ）は、実施の形態２の１槽式真空洗浄乾燥機の正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。図２Ｂ（ａ）、（ｂ）は、１槽式真空洗浄乾燥機の概略構成図および動作例を示す説明図である。
【００４０】
実施の形態２の１槽式真空洗浄乾燥機１Ａの基本構成は実施の形態の場合と同一であるので、図２Ａ、２Ｂにおいては対応する部位には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。本例では、図２Ａ（ａ）、（ｂ）に示すように、真空洗浄乾燥槽４の内部には、その天面２６の下側近傍の位置に、例えば水平に溶剤供給用のシャワー配管５１が配置されている。シャワー配管５１には、その長さ方向に沿って所定の間隔で、下方に溶剤を噴射するノズル５２が取り付けられている。
【００４１】
１槽式真空洗浄乾燥機１Ａの真空洗浄乾燥槽４に、このようなシャワー洗浄・ジェット洗浄用の配管・ノズルを配置した場合には、例えば、図２Ｂ（ｂ）に示すように、ワークの洗浄乾燥動作を行うことができる。この場合には、真空バッファタンク８は単一のタンクを備え、シャワー洗浄用の溶剤が貯留される。
【００４２】
この場合には、シャワー洗浄（ジェット洗浄）、減圧ベーパー洗浄、真空乾燥の順にワークに対して処理が施される。シャワー洗浄前の手順およびシャワー洗浄後の手順は、上記の浸漬洗浄の場合（図１Ｃ）と同様である。なお、ジェット洗浄の場合には、シャワー洗浄に比べて高い圧力で洗浄剤をノズル５２から噴射してワークが洗浄される。
【００４３】
シャワー洗浄においては、シャワー洗浄剤を真空バッファタンク８から所定量だけ真空洗浄乾燥槽４に供給し（図２Ｂ（ｂ）：シャワー洗浄・給液）、真空洗浄乾燥槽４に溜まったシャワー洗浄剤を、循環ポンプ５３を駆動して、循環ライン５４を介して循環させることにより、ワークに対してシャワー洗浄が施される（図２Ｂ（ｂ）：シャワー洗浄（循環））。
【００４４】
この後は、真空ポンプ１３、１４を駆動して真空引きを行い（図２Ｂ（ｂ）：真空引き）、シャワー配管５１にエアー源５５からのエアーを流してシャワー溶剤を除去する（図２Ｂ（ｂ）：シャワー配管エアーブロー）。また、真空洗浄乾燥槽４からシャワー溶剤を排出して真空バッファタンク５に回収する（図２Ｂ（ｂ）：シャワー溶剤排液）。
【００４５】
シャワー洗浄・ジェット洗浄は、超音波洗浄等の浸漬洗浄に比べて、真空洗浄乾燥槽４に貯める溶剤容量が少なくて済む。このため、真空洗浄乾燥槽４に対して洗浄剤を供給するために必要な時間、真空洗浄乾燥槽４から洗浄剤を排出するために必要な時間を、それぞれ短縮できる。本発明によれば、タクトタイムの短い廉価なシャワー洗浄・ジェット洗浄を採用することが容易である。
【００４６】
（実施の形態２の別の例）
ここで、槽内ガイド機構および槽外ガイド機構として用いているフリーローラーコンベアの代わりに、バスケット搬送用の搬送機構を配置することも可能である。
【００４７】
図２Ｃ（ａ）〜（ｄ）は、搬送機構を備えた１槽式真空洗浄乾燥機を示す正面側内部構造図、上面側内部構造図、左側内部構造図および右側内部構造図である。図示の１槽式真空洗浄乾燥機１Ｂでは、槽内ガイド機構であるフリーローラーコンベア３６の代わりに、槽内搬送機構であるチェーンコンベア３６Ａが配置されている。また、槽外ガイド機構であるフリーローラーコンベア３７の代わりに、槽外搬送機構であるチェーンコンベア３７Ａが配置されている。搬送機構を配置することにより、ワークの搬入搬出作業が一層容易になる。
【００４８】
［実施の形態３］
図３（ａ）〜（ｄ）は、実施の形態３の１槽式真空洗浄乾燥機を示す正面図、上面図、左側面図および右側面図である。図示の１槽式真空洗浄乾燥機１Ｃでは、２台のバスケット２７を同時に搬入可能な大きさの真空洗浄乾燥槽を備えている。基本構成は、図１Ａ〜１Ｃに示す１槽式真空洗浄乾燥機１の場合と同様であるので、対応する部位には同一の符号を付し、それらの説明は省略する。
【００４９】
１槽式真空洗浄乾燥機１Ｃでは、真空洗浄乾燥槽の広幅の搬入搬出口に対応する広幅の外扉２９Ｃが配置されている。外扉２９Ｃの前側には、一対の給材用フリーローラーコンベア１０１、１０２が並列配置されている。これらは、それぞれバスケットを前後方向にガイドする。また、これらの左右には、ストック用フリーローラーコンベア１０３、１０４がそれぞれ複数台配列されており、これらは、バスケット２７を左右方向にガイドする。真空洗浄乾燥槽の内部にも、一対の給材用フリーローラーコンベア１０１、１０２との間でバスケット２７の引き渡しを行うために、一対の搬送ガイド機構、例えば、一対のフリーローラーコンベア（図示せず）が配置されている。
【００５０】
搬送ガイド機構である給材用フリーローラーコンベア１０１、１０２、ストック用フリーローラーコンベア１０３、１０４の代わりに、駆動式のチェーンコンベアなどの搬送機構を配置することも可能である。
【００５１】
［外扉開閉機構・ロック機構の例］
図４Ａ（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、搬入搬出口２８を開閉する外扉２９の開閉機構の一例を示す平面図、正面図および側面図である。開閉機構６０は、パワーシリンダ６１によって矩形輪郭の外扉２９を、装置ハウジング２に固定したガイドレール６２に沿って装置幅方向にスライドさせる。
【００５２】
本例では、図に示す搬入搬出口２８を開いた開き位置２９Ｂから搬入搬出口２８を閉じた閉じ位置２９Ａまでの間をスライドさせる。外扉２９の両側には、それぞれ上下一対の幅方向に延びる係合板６３、６４が取り付けられている。真空洗浄乾燥槽４の両側の外側面には、上下一対のロック用プランジャ６５、６６（ロック用シリンダ）が取り付けられており、それらの伸縮ロッドが前方に水平に突出している。係合板６３、６４およびロック用プランジャ６５、６６によって、外扉２９のロック機構が構成されている。
【００５３】
外扉２９の側の左右の係合板６３、６４の先端には係合溝６３ａ、６４ａが形成されており、外扉２９が開き位置２９Ｂから閉じ位置２９Ａに移動すると、各係合溝６３ａ、６４ａにロック用プランジャ６５、６６の伸縮ロッドの先端部６５ａ、６６ａが側方からはまり込む。外扉２９を閉じ位置２９Ａまでスライドさせた後に、ロック用プランジャ６５、６６の伸縮ロッドを引くことにより、外扉２９の四周部分が、搬入搬出口２８の四周に取り付けたシール用の弾性部材６７に押し付けられる。これにより、搬入搬出口２８が気密状態で封鎖される。外扉２９を開く操作は、逆にロック用プランジャ６５、６６を押し出してロックを解除し、しかる後に、パワーシリンダ６１によって外扉２９をガイドレール６２に沿って開き位置２９Ｂまで戻せばよい。
【００５４】
（外扉のロック機構の別の例）
図４Ｂには、上記の外扉２９をロックするために左右に一対ずつ配置されているロック用プランジャ６５、６６の代わりに使用することのできる複動式のエアシリンダの一例を示す説明図である。
【００５５】
この図には、一例として、一対のロック用プランジャ６６の代わりに用いる一対の複動式のエアシリンダ１３０を示してある。複動式のエアシリンダ１３０は、シリンダ本体１３１と、シリンダ本体１３１を貫通して延びるロッド１３２を備えている。シリンダ本体１３１には、ロッド１３２を前進させる方向１３３の圧縮エアを供給するためのエア配管１３５およびロッド１３２を後退させる方向１３４の圧縮エアを供給するためのエア配管１３６が接続されている。
【００５６】
シリンダ本体１３１から前方に突出しているロッド１３２の先端部には、外扉２９の一方の係合板６４の先端の係合溝６４ａに対して横方から係合可能な係合部１３７が設けられている。シリンダ本体１３１から後方に突出しているロッド１３２の後端部には、ロッドナット１３８によってばね受け１３９が取り付けられている。シリンダ本体１３１の後の側の端面にもばね受け１１４０が取り付けられている。これらのばね受け１３９、１４０の間には、ロッド１３２を同軸に取り囲む状態で、圧縮コイルばね１４２が圧縮状態で装着されている。したがって、エアシリンダ１３０のロッド１３２は、常に、圧縮コイルばね１４２によって、後退方向に付勢されている。
【００５７】
エアシリンダ１３０は、例えば、次のように動作する。外扉２９が開き位置２９Ａにある状態では、圧縮コイルばね１４２によってロッド１３２は最も後退した状態にある。外扉２９を閉じる場合には、エアシリンダ１３０のロッド１３２を前進位置まで圧縮コイルばね１４２にばね力に逆らって押し出す。外扉２９がスライドして閉まると、その係合板６４の係合溝６４ａに、突出した位置にあるロッド１３２の先端の係合部１３７が横方向から係合してはまり込む。
【００５８】
外扉２９が閉じ位置２９Ｂまでスライドした後は、エアシリンダ１３０を駆動して、ロッド１３２を後方に引き込める。この結果、外扉２９の四周部分が、搬入搬出口２８の四周に取り付けたシール用の弾性部材６７に押し付けられ、搬入搬出口２８が気密状態で封鎖される。外扉２９を開く操作は、逆に、ロッド１３２を前方に押し出し、しかる後に、パワーシリンダ６１によって外扉２９をガイドレール６２に沿って開き位置２９Ａまで戻せばよい。
【００５９】
エアシリンダ１３０を用いたロック機構は、停電、故障などの非常事態が発生してエアシリンダ１３０が動作不能になった場合に、圧縮コイルばね１４２のばね力によって、外扉２９をロック状態に保持できる。すなわち、外扉２９を閉じてロックした状態において、停電、故障などが発生してエアシリンダ１３０が動作不能になり、ロッド１３２を引き込み方向に付勢するための圧縮エアの供給が停止することがある。ロック状態では、圧縮エアによる付勢力に加えて圧縮コイルばね１４２のばね力が外扉２９のロック用の付勢力としてロッド１３２に作用している。したがって、非常時には、ばね力による付勢力によって外扉２９のロック状態（密閉状態）を維持でき、外部への溶剤漏れなどを防止できる。
【符号の説明】
【００６０】
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ  １槽式真空洗浄乾燥機
２    装置ハウジング
２ａ  前面
３    操作表示盤
４    真空洗浄乾燥槽
５    真空バッファタンク
６    粗洗浄剤タンク
７    仕上げ洗浄剤タンク
８    真空バッファタンク
９    真空蒸留機兼ベーパー発生器
１０  熱媒油タンク
１１  気液分離槽
１２  リザーブタンク
１３  液封式真空ポンプ
１４  メカニカルブースターポンプ
１５  超音波発振器
２２  前面
２６  天面
２７  バスケット
２８  搬入搬出口
２９、２９Ｃ  外扉
２９Ａ  閉じ位置
２９Ｂ  開き位置
３５  超音波振動子
３６  フリーローラーコンベア
３６Ａ  チェーンコンベア
３７  フリーローラーコンベア
３７Ａ  チェーンコンベア
５１  シャワー配管
５２  ノズル
６０  開閉機構
６１  パワーシリンダ
６２  ガイドレール
６３、６４  係合板
６５、６６  ロック用プランジャ
１０１、１０２  給材用フリーローラーコンベア
１０３、１０４  ストック用フリーローラーコンベア
１３０  エアシリンダ
１３１  シリンダ本体
１３２  ロッド
１４２  圧縮コイルばね
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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