(57)【要約】【課題】  本発明はテンターオーブン内のフィルム近傍のエアー流れを安定させることにより、厚み変動や熱収縮分布のムラを軽減することができるフィルムの製造方法を提供することをその課題とする。【解決手段】  テンターオーブンを用いるフィルムの製造方法であって、  前記テンターオーブンが、内部を走行するフィルムの上側と下側から供給されたエアーを、フィルム上側の吸引ダクト（上側吸引ダクト）とフィルム下側の吸引ダクト（下側吸引ダクト）から排出する機構を有し、  前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクトに固定されたダンパーを備え、かつ、  前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の１０％以下であることを特徴とする、フィルムの製造方法。【選択図】図２
2018047690.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テンターオーブンを用いるフィルムの製造方法であって、
前記テンターオーブンが、内部を走行するフィルムの上側と下側から供給されたエアーを、フィルム上側の吸引ダクト（上側吸引ダクト）とフィルム下側の吸引ダクト（下側吸引ダクト）から排出する機構を有し、
前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクトに固定されたダンパーを備え、かつ、
前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の１０％以下であることを特徴とする、フィルムの製造方法。
【請求項２】
前記ダンパーが、バタフライ方式ダンパーであることを特徴とする、請求項１に記載のフィルムの製造方法。
【請求項３】
エアーをテンターオーブン内に供給する供給ダクトと前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクトが、循環ファンに連結されている機構を少なくとも一つ有することを特徴とする、請求項１又は２に記載のフィルムの製造方法。
【請求項４】
前記上側吸引ダクトから排出するエアーの風量（上側吸引風量  ｍ３／ｍｉｎ）と、前記下側吸引ダクトから排出するエアーの風量（下側吸引風量  ｍ３／ｍｉｎ）の差の絶対値が、上側吸引風量と下側吸引風量の和の１０％以下であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載のフィルムの製造方法。
【請求項５】
前記テンターオーブンが、フィルムの走行方向に連続して複数の部屋を有し、供給するエアーの温度が異なる部屋が少なくとも１つあることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のフィルムの製造方法。
【請求項６】
前記テンターオーブンにおいて、少なくとも１つの部屋の換気回数が１０回以上／時間であることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のフィルムの製造方法。
【請求項７】
前記テンターオーブンが、フィルムの走行方向に連続して複数の部屋を有し、供給するエアーの温度が最も高い部屋を含む工程の入口において、前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の５％以下であることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載のフィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年はＩＴ分野の伸びに伴い、ディスプレイ等の電子機器用の反射防止フィルム、タッチパネルなどの基材フィルム、光ディスプレイ及び液晶位相差板など光学用部材の工程紙など、光学用途のフィルムの開発が進んでいる。光学用途のフィルムには、優れた透明性を有し、かつ光学欠点が極力少ないことが望まれる。
【０００３】
電子機器製品の高性能化や高品質化に伴い、光学欠点の低減に対する要求も一段と高まっており、特に、フィルムのコーティング加工において光学的干渉ムラを発生する原因の一つとなる厚みムラを低減することが強く要求されている。さらに、ハードコート加工や蒸着加工において熱処理した際の寸法安定性などから、フィルムの熱収縮安定性と均一性も要求されている。
【０００４】
一般に、一軸または二軸延伸熱可塑性樹脂フィルムは、未延伸フィルムまたは長手方向に一軸延伸したフィルムの両端を連続走行する複数のクリップなどで把持しながら熱風などで加熱し、幅方向及び／または長手方向に延伸した後に高温で熱処理することにより製造される。この工程は大きく予熱工程、延伸工程、熱処理工程、及び冷却工程に分けられる。そして、連続する各工程においては熱風循環経路が設けられ、循環熱風の温度をコントロールする装置が用いられる。
【０００５】
この装置はテンターオーブンと呼ばれ、テンターオーブンは連続して水平に送り込まれるフィルムの上下から温度制御されたエアーを噴き付けて、フィルムを各工程で所望の温度に加熱または冷却することで、フィルムに対して予熱、延伸、熱処理、及び冷却などの工程処理を施すように構成されている。この各工程間に温度の異なるエアーの出入りがあると、工程内の温度ムラが生じ、フィルム幅方向及び／または長手方向の厚み変動や、熱収縮分布のムラなどが生じる。
【０００６】
そこで、特許文献１や２に示すように、フィルムの送り込み方向に並ぶ、噴き付けノズルと噴き付けノズルの間に回流させる方法が提案されている。そして、噴き付けノズルと噴き付けノズルの間に、フィルムに噴き付けられた熱風を回収するための吸引ダクトを設けている。
【０００７】
一方で、特許文献３に示すように、フィルムの幅方向に延在した噴き付けノズルを複数有し、かつ複数の噴き付けノズルのフィルム送り込み方向の中心位置を有する態様とすることにより、熱処理室のフィルム送り込み方向の中心位置よりもフィルム送り込み方向上流側寄りに配設させる方法も提案されている。この方法により、熱風がフィルム送り込み方向に流れることを軽減できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−３１３０６０号公報
【特許文献２】特開２００３−２５４２０号公報
【特許文献３】特開２００８−１００４５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、特許文献１〜３記載の方法においては、フィルム上下の噴き付けノズルから出た熱風がフィルム上下の吸引ダクトから熱風循環経路に戻るが、フィルム片側の噴き付けノズルから出た熱風量と、同側の吸引ダクトから吸引されるエアーの量が異なる場合、フィルム上下で加圧または負圧が生じ、前後の工程からエアーの流れ込みや流出が起こる。そのため、工程内の温度ムラが生じ、フィルム幅方向及び／または長手方向の厚み変動や、熱収縮分布のムラといったフィルム物性が変化する問題がある。
【００１０】
本発明は、係る従来技術の欠点を改良し、テンターオーブン内のフィルム近傍のエアー流れを安定させることにより、厚み変動や熱収縮分布のムラを軽減することができるフィルムの製造方法を提供することをその課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成を有している。
（１）  テンターオーブンを用いるフィルムの製造方法であって、前記テンターオーブンが、内部を走行するフィルムの上側と下側から供給されたエアーを、フィルム上側の吸引ダクト（上側吸引ダクト）とフィルム下側の吸引ダクト（下側吸引ダクト）から排出する機構を有し、前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクトに固定されたダンパーを備え、かつ、前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の１０％以下であることを特徴とする、フィルムの製造方法。
（２）  前記ダンパーが、バタフライ方式ダンパーであることを特徴とする、（１）に記載のフィルムの製造方法。
（３）  エアーをテンターオーブン内に供給する供給ダクトと前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクトが、循環ファンに連結されている機構を少なくとも一つ有することを特徴とする、（１）又は（２）に記載のフィルムの製造方法。
（４）  前記上側吸引ダクトから排出するエアーの風量（上側吸引風量  ｍ３／ｍｉｎ）と、前記下側吸引ダクトから排出するエアーの風量（下側吸引風量  ｍ３／ｍｉｎ）の差の絶対値が、上側吸引風量と下側吸引風量の和の１０％以下であることを特徴とする、（１）〜（３）のいずれかに記載のフィルムの製造方法。
（５）  前記テンターオーブンが、フィルムの走行方向に連続して複数の部屋を有し、供給するエアーの温度が異なる部屋が少なくとも１つあることを特徴とする、（１）〜（４）のいずれかに記載のフィルムの製造方法。
（６）  前記テンターオーブンにおいて、少なくとも１つの部屋の換気回数が１０回以上／時間であることを特徴とする、（１）〜（５）のいずれかに記載のフィルムの製造方法。
（７）  前記テンターオーブンが、フィルムの走行方向に連続して複数の部屋を有し、供給するエアーの温度が最も高い部屋を含む工程の入口において、前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の５％以下であることを特徴とする、（１）〜（６）のいずれかに記載のフィルムの製造方法。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、テンターオーブン内のフィルム近傍のエアー流れを安定させることにより、厚み変動や熱収縮分布のムラを軽減することができるフィルムの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施態様に係るテンターオーブンの全体構成を示す概略平面図である。
【図２】図１における各工程を構成する部屋の概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明におけるフィルムを構成する熱可塑性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン樹脂、ナイロン６、ナイロン６６などのポリアミド樹脂、ポリエチレンテレフタレート（以下、ＰＥＴと略すことがある。以下の括弧内は同様。）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエチレン−２，６−ナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンナフタレート（ＰＢＮ）、ポリトリメチレンテレフタレート（ＰＰＴ）、ポリエチレン−ｐ−オキシベンゾエート、ポリ−１，４−シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート（ＰＣＴ）などのポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ＰＥＴに共重合成分として、例えば、ジエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ポリアルキレングリコールなどのジオール成分や、アジピン酸、セバチン酸、フタル酸、イソフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸などのジカルボン酸成分などを共重合したポリエステル樹脂、その他、ポリアセタール樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂などがある。本発明のフィルムの製造方法は、位相差や厚みムラの制御が厳密に要求される光学用途好適に用いることができ、ポリカーボネート樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状ポリオレフィン樹脂、ポリアクリル樹脂などの非晶性の樹脂を構成成分とするフィルムの製造にも効果がある。
【００１５】
また、これらの熱可塑性樹脂の中に、目的に応じて各種の添加剤を含有することもできる。例えば、易滑性付与のためにコロイダルシリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、有機シリコーン及びポリジビニルベンゼンスルホン酸などの不活性粒子を含有させることができる。また熱可塑性樹脂で構成されるフィルム中には、帯電防止剤や酸化防止剤などが含有されていてもよい。これらの添加剤は、本発明の効果を損なわない限り単独で用いても、複数種を組み合わせて用いてもよい。
【００１６】
本発明の製造方法において、延伸処理を施す前の未延伸フィルムは、公知の方法で得ることができるが、コストや生産性の観点から溶融製膜法が好適に適用され得る。溶融製膜法は、用いるダイの形状によりストレートダイ法、クロスヘッドダイ法、フラットダイ法、及び特殊ダイ法等に分類することができるが、本発明の延伸方法はフラットダイ法による製膜法に用いることが好ましい。原料となる熱可塑性樹脂（以下、単に樹脂原料ということがある。）を溶融押し出しする際には、樹脂原料をホッパードライヤー、パドルドライヤー等の乾燥機、または真空乾燥機を用いて乾燥することが好ましい。乾燥した樹脂原料は溶融押出装置等にて溶融され、ギヤポンプで計量されてダイに連続的に送られる。ダイはその内部での溶融樹脂の滞留が少ない設計であればよく、フラットダイ法では、一般的に用いられるマニホールドダイ、コートハンガーダイ、フィッシュテールダイの何れのタイプでもよい。ダイからシート状に押し出された溶融樹脂をドラムなどの冷却媒体上で冷却固化することで未延伸フィルムを得ることができる。フラットダイ法による溶融製膜では、押出温度、引き取り時の引き取り速度およびダイのリップ間隙を調整することで、フィルム厚みを調節することができる。
【００１７】
このようにして得られたシート状の未延伸フィルムは、本発明の製造方法を適用する前に、長手方向に一軸延伸してもよい。一軸延伸する方法としては、例えば、温度制御された数本のロールに接触させる方法や、赤外線ヒーターなどのヒーターの輻射熱により加熱させる方法などにより、熱可塑性樹脂のガラス転移温度以上の温度に加熱し、前後するロールの周速差などを用いて長手方向に一軸延伸される。この場合の一軸延伸倍率は、目的に応じて適宜選択されるが、一般に靱性や可撓性の向上の目的としては１．２倍以上、強度や位相差発現の目的には１．５倍〜５倍の範囲が選択される。一軸延伸は、１段階で行っても２段階以上で段階的に行ってもかまわないが、フィルムの表面のキズやロールへ粘着痕などの欠点が発生しにくい延伸方法を選択することが好ましい。
【００１８】
本発明のフィルムの製造方法において、本発明の製造方法を適用する前のフィルムの厚みは、本発明の効果を損なわない限り目的に応じて適宜選択することができるが、５〜１，５００μｍであることが好ましい。本発明の製造方法を適用する前のフィルムの厚みが５μｍ未満の場合には、延伸した際に破断が生じ易くなるなど歩留まりを悪化させることがあり、１，５００μｍを超える場合には透明性が低下することや、部材としての厚みが過度に大きくなることがある。
【００１９】
本発明の製造方法が適用される前のフィルムの任意の方向における厚みムラは、フィルム厚みの０％以上２．５％以下であることが好ましく、例えばフィルム厚みが１，０００μｍの場合は、厚みムラがフィルム長手方向および幅方向ともに０μｍ以上２５μｍ以下であることが望ましい。厚みムラが２．５％を超えると、厚みムラの形状や箇所によっては、延伸を行った際に厚みが薄い箇所が局所的に延伸されて幅方向や長手方向の物性にムラが生じることがある。
【００２０】
本発明のフィルムの製造方法を以下に説明する。本発明のフィルムの製造方法は、テンターオーブンを用いるフィルムの製造方法であって、前記テンターオーブンが、内部を走行するフィルムの上側と下側から供給されたエアーを、フィルム上側の吸引ダクト（上側吸引ダクト）とフィルム下側の吸引ダクト（下側吸引ダクト）から排出する機構を有し、前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクトに固定されたダンパーを備え、かつ、前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の１０％以下であることを特徴とする。
【００２１】
そして、この本発明のフィルムの製造方法を、図１〜２を用いて説明する。
【００２２】
図１は一般的なテンターオーブンの全体構成を示す概略平面図である。本発明のフィルムの製造方法におけるテンターオーブンは、フィルムの走行方向に連続して複数の部屋を有し、供給するエアーの温度が異なる部屋が少なくとも１つあることが好ましい。このような態様とすることにより、後述するフィルムの予熱、延伸、熱処理、及び冷却を連続して容易に行うことができる。延伸対象となるフィルム１（未延伸フィルムまたは長手方向に一軸延伸したフィルム）の両端を連続走行するクリップ等で把持し、該フィルムをそのガラス転移温度以上に加熱する予熱工程３、クリップが走行するレールの幅及び／または連続走行するクリップの速度を変化させることによってフィルムを少なくとも一軸方向に延伸する延伸工程４、延伸工程４と熱処理工程６の間の工程であって、給気量よりも排気量の方が多い中間工程１（５）、フィルムを延伸工程中の最高温度よりも高い温度で加熱しながら、フィルムを把持及び／または弛緩する熱処理工程６、熱処理工程６と冷却工程８の間の工程であって、給気量よりも排気量の方が多い中間工程２（７）、フィルムを熱処理工程中の最低温度よりも低い温度に冷却しながら、フィルムを把持及び／または弛緩する冷却工程８を順にフィルムが流れて、延伸フィルム２が得られる。
【００２３】
予熱工程とは、延伸工程より前の工程であって、フィルムをそのガラス転移温度以上で加熱する工程を意味する。フィルムがＰＥＴフィルムの場合、そのガラス転移温度は７０〜９０℃程度、結晶化温度は１４０〜１７０℃程度であり、そのため予熱工程の熱伝達効率や長手方向の長さにも依るが、予熱工程では８０℃以上１４０℃以下で加熱することが好ましい。予熱工程における加熱温度が１４０℃を超えるとＰＥＴの結晶化が一部進み、延伸工程でフィルムが破れることがある。
【００２４】
延伸工程とは、フィルムを少なくとも一軸方向に延伸する工程を意味する。この延伸工程では、少なくとも幅方向に延伸することが一般的であるが、幅方向および長手方向を同時に延伸してもよい。幅方向及び／または長手方向の延伸倍率は、目的に応じて適宜選択されるが、一般に靱性や可撓性の向上の目的としては１．２倍以上、強度や位相差発現の目的には１．５倍〜５倍の範囲が選択される。また、フィルムがＰＥＴフィルムの場合、延伸工程では、予熱工程と同様に、８０℃以上１４０℃以下で加熱することが好ましい。加熱温度が１４０℃以上になるとＰＥＴの結晶化が一部進み、フィルムが延伸できずに破れることがある。
【００２５】
中間工程１とは任意で設けられる工程である。そして中間工程１とは、延伸工程と熱処理工程の間の全区間に相当する工程であって、給気量よりも排気量の方が多い工程を意味する。また、中間工程２も任意で設けられる工程である。そして中間工程２とは、熱処理工程と冷却工程の間の全区間に相当する工程であって、給気量よりも排気量の方が多い工程を意味する。中間工程１や２が複数の部屋で構成されている場合において、給気量よりも排気量の方が多い工程とは、該工程を構成する全ての部屋の合計の給気量が、該工程を構成する全ての部屋の合計の排気量よりも多いことを意味する。つまり、中間工程１や２が１つの部屋で構成されている場合であれば、その１つの部屋に設置された全ての排気口につながるダクト内の排気量と全ての給気口につながるダクト内の給気量とを測定することで、給気量よりも排気量の方が多いか否かを確認することができる。そして、中間工程１や２が複数の部屋で構成されている場合であれば、その複数の部屋に設置された全ての排気口につながるダクト内の排気量を合計した排気量と、その複数の部屋に設置された全ての給気口につながるダクト内の給気量を合計した給気量とを測定することで、給気量よりも排気量の方が多いか否かを確認することができる。
【００２６】
なお、予熱工程、延伸工程、中間工程１、熱処理工程、中間工程２、及び冷却工程は、テンターオーブン内の部屋にて行われることになるが、隣り合う部屋は、フィルムを隣の部屋へ搬送する部分において連結している。そのため、該フィルムを搬送する部分からもエアーの出入りがされるが、中間工程１において給気量や排気量を求める際には、中間工程１内のフィルムを搬送する部分からのエアーの出入りは考慮しないこととする。つまり、中間工程１において、給気量よりも排気量の方が多いことを確認する際には、該中間工程１内の給気口からの給気量と排気口からの排気量とを考慮するのであって、中間工程１内のフィルムを搬送する部分からのエアーの出入り（給気量や排気量）は考慮しないこととする。中間工程２についても同様である。
【００２７】
中間工程１における給気温度は、フィルムに急激な変化を与えないよう、隣接する延伸工程の出口の循環温度と同等であることが好ましい。同様に中間工程２における給気温度は、フィルムに急激な変化を与えないよう、隣接する冷却工程の入口の循環温度と同等であることが好ましい。
【００２８】
なお、中間工程１や２と同様に、給気量よりも排気量の方が多い工程は、必要に応じて適宜設置可能である。例えば、冷却工程の中に給気量よりも排気量を多くした工程を設ける、つまり、冷却工程の一部において、給気量よりも排気量を多くした部分が存在しても構わない。
【００２９】
熱処理工程とは、フィルムを延伸工程中の最高温度よりも高い温度で加熱しながら、フィルムを把持及び／または弛緩する工程を意味する。この熱処理工程の温度は、フィルムがＰＥＴフィルムの場合、１８０℃以上２５０℃以下であることが好ましい。熱処理工程を設けることにより、その後の加工工程や最終製品として使用する際に高温下に晒された時の寸法安定性が向上する。また、熱処理工程において、フィルム幅方向や長手方向のクリップ間隙を狭めることが可能であり、これにより、フィルムが弛緩され熱収縮し、更に寸法安定性や厚み均一性を向上させることができる。
【００３０】
冷却工程とは、フィルムを熱処理工程中の最低温度よりも低い温度で冷却しながら、フィルムを把持及び／または弛緩する工程を意味する。そして熱処理工程と同様に、冷却工程においても、フィルム幅方向や長手方向のクリップ間隙を狭めることが可能であり、これにより、フィルムが弛緩され熱収縮し、更に寸法安定性や厚み均一性を向上させることができる。冷却工程の温度は、フィルムがＰＥＴフィルムの場合、５０℃以上１８０℃未満の温度で行うことが好ましい。
【００３１】
図１に示す各工程は、中間工程１や２を除いて、それぞれ少なくとも一つの部屋からなり、図２は一般的な部屋の構成を示す概略断面図である。なお、中間工程１や２は、一つの部屋からなることが一般的である。加熱蒸気を通した熱交換器９で一定の温度に保たれた熱風を循環させる循環ファン１０により供給ダクト１１を経て上側ノズル１２及び下側ノズル１３に送られた熱風が、クリップ１４に把持されたフィルム１５の上下方向から吹きつけられる。ノズル１２および１３の吹き出し口の形状は、スリット状でも角状でも円状であってもよく、フィルム幅方向に対して、風速ムラや温度ムラができないよう内部構造で工夫される。フィルム１５を加熱または冷却した熱風はフィルム上側及び下側にあるリターン口１６、１７から上側吸引ダクト１８および下側吸引ダクト１９に入り、上側吸引ダクトに固定されたダンパー２０と下側吸引ダクトに固定されたダンパー２１を経て、ダクト内で合流し、再び熱交換器９で一定の温度に保たれて、循環ファン１０により系内を循環する。循環ファン１０は１つの部屋に対して複数台あってもよく、その場合、１つのノズルに対して複数台の循環ファンで熱風を供給し、複数の吸引ダクトから各循環ファンに熱風が戻ってもよい。循環ファン１０の設置場所は、建設コストの観点から、テンターオーブンの上部または側面に設置し、下部を避けることが望ましい。テンターオーブンの中に入る作業性の観点からは、循環ファンをテンターオーブンの上部に設置することが望ましい。循環ファンをテンターオーブンの上部に設置した場合、エアーをテンターオーブン内に供給する供給ダクト１１と上側吸引ダクト１８及び下側吸引ダクト１９は、循環ファンに連結される。吸引ダクトに固定されたダンパー２０、２１は、バタフライ方式、絞り弁方式、１枚板のスライド方式、複数枚の合わせ板のスライド方式、のいずれの方式であってもよいが、調整の容易性と制御性の観点からバタフライ方式ダンパーであることが好ましい。フィルム１５を加熱または冷却した熱風には、フィルム中の低重合体や揮発性有機化合物などのいわゆるオリゴマや、コーティング剤等に含まれる揮発性有機化合物が昇華あるいは揮発した成分などが含まれる。循環熱風の清浄性を保つため、熱交換器９や循環ファン１０の出口に粗塵フィルタなどを設置して一定サイズの塵埃を除去することは可能であるが、飽和濃度以下の析出していない成分の除去はできず、また析出した場合は短期間でフィルタ閉塞による循環風量の低下や清浄度の悪化を招く。そこで、循環熱風の清浄性を維持するため、給気ライン２２からＨＥＰＡフィルタ等を通して塵埃をカットした清浄なエアーを循環ラインに給気することで、熱風に含まれる昇華物濃度を低減させ、排気ライン２３から給気量に応じた排気を行うことで部屋内の換気を行う。このとき、給気ライン２２から給気されるエアーは、可能な限り熱風循環温度と同等であることが好ましい。給気されるエアーの温度が低いと、熱風中に含まれるオリゴマなどの昇華物が析出してしまうためである。また、給気ラインからエアーが供給される給気口や排気ライン２３から排気される排気口は、１つの部屋に対し複数箇所あってもよく、特に排気口は部屋内における気流の流れに配慮して、設置することが望ましい。
【００３２】
本発明のフィルムの製造方法においては、フィルムの厚みムラや熱収縮分布のムラを軽減する観点から、上側吸引ダクト及び下側吸引ダクトに固定されたダンパーを備え、かつ、上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の１０％以下であることが重要である。ここで、テンターオーブンが複数の部屋を有する場合、「上側吸引ダクト及び下側吸引ダクトに固定されたダンパーを備え、かつ、上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の１０％以下である」とは、少なくとも供給するエアーの温度が最も高い部屋を含む工程（通常は熱処理工程）の部屋について該要件を満たすことを意味し、他の工程においても該要件を満たす部屋の数は多い方が好ましい。
【００３３】
上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力はダクト外側に対して負圧であり、その圧力は循環風量、循環ファンの回転数、熱交換器の構造、吸引ダクトに固定されたダンパーの開度、及びダクト断面積などによって変動する。この圧力変動に伴い上側吸引風量及び下側吸引風量が変化するため、フィルム上下で熱風の過不足、すなわち加圧または負圧状態が生じる。この圧力状態の不均一を補うべく前後の工程からエアーの流れ込みや流出が起こると、工程内の温度ムラが生じ、フィルム幅方向及び／または長手方向の厚み変動や、熱収縮分布のムラなどが生じる。特に熱処理工程の入口は、一般的にエアーの温度が隣接する延伸工程または中間工程１に比べ高いため、エアーの流れ込みや流出が起こると、エアーの熱膨張や熱収縮が急激に生じるため、圧力変動がより顕著となる。
【００３４】
上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の１０％以下であることにより、上記メカニズムで生じるフィルム幅方向及び／または長手方向の厚み変動や、熱収縮分布のムラを軽減することができる。フィルムの厚みムラや熱収縮分布のムラを軽減する観点から、上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動は５％以下であることが好ましい。上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動の下限値は、小さければ小さいほど好ましいため特に制限はなく、それぞれの平均圧力の０％とすることが理想的であるが、圧力変動に影響を与える循環ファンの振動や部屋間のエアーの出入りを完全に消失させることはできないため、２％が現実的である。なお、ダクトの断面形状は角ダクト、丸ダクトのいずれの形状であってもよい。
【００３５】
上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動をそれぞれの平均圧力の１０％以下又は上記の好ましい範囲とするための方法は、本発明の効果を損なわない限り特に制限されないが、テンターオーブンを構成する部屋内の循環ライン内で変動を抑える方法と、部屋間のエアーの流込や流出を抑える方法がある。
【００３６】
テンターオーブンを構成する部屋内の循環ライン内で変動を抑えるには、循環ファンの回転を一定に保つとともに、循環ライン内で最も圧力が高い箇所、すなわちエアーが通るダクト内断面積が最も小さくなるダンパーが変動しないよう、ダクトに固定することが望ましい。例えばダンパーがバラフライ方式ダンパーの場合、ダクト外側のハンドル等によってダクト内に直結したダンパー板の角度（あるいは、開度ともいう。）の調整を行なうが、ハンドルの駆動をダンパー板の回転軸に伝えるギアのバックラッシュにより、ハンドルを固定していてもダクト内のダンパー板は数度の動き代、いわゆる遊びがある。この動き代が、圧力の変動を生じさせる。特に、エアーをテンターオーブン内に供給する供給ダクトと上側吸引ダクトと下側吸引ダクトが循環ファンに連結されている場合、上側ダンパーの動きによる圧力の変動はエアーを介して下側ダンパーに伝わり、その逆も同様である。また、バックラッシュは磨耗により増大するため、長期使用によりダンパーの動き代はさらに大きくなり、エアー変動は増大する。そのため、ハンドルではなく、ダンパーの回転軸を直接ダクトに固定することで動き代をなくし、圧力の変動を抑えることができる。また、循環風量に対してリターン口やダクトの面積が広すぎる場合、エアーは不特定箇所から自由にリターン口に入ることができるため圧力変動する原因となる。これに対しては、リターン口やダクト入り口の開口面積を制限して均圧化することで、圧力変動を抑えることができる。
【００３７】
テンターオーブンを構成する部屋間のエアーの流込や流出を抑えるには、フィルム上側と下側それぞれのエアー量のバランスを一定に保つことが有効である。上側ノズル及び下側ノズルからフィルムを加熱または冷却した熱風はフィルム上下位置にあるリターン口から上側吸引ダクトおよび下側吸引ダクトに入るが、従来技術ではこの吸引ダクトに入る熱風量の割合については着目されてこなかった。
【００３８】
上側ノズル及び下側ノズルからフィルムに吹き付ける熱風量（ｍ３／ｍｉｎ）は等量であることが好ましいが、片面塗布の乾燥や、テンターオーブン出口で１０μｍ以下の薄いフィルムの吹き上がりを防ぐためなどの場合には適宜調整することができる。上側ノズル及び下側ノズルからの熱風量が異なる場合でも、フィルムの加熱ムラや冷却ムラを軽減するべく、上下ノズルの熱風量差は、上下ノズルの熱風量の和の１０％内であることが望ましい。
【００３９】
熱処理工程の入口は、一般的にノズルからフィルムに吹き付ける熱風の温度が隣接する延伸工程または中間工程１に比べ高いため、上側ノズル及び下側ノズルからの熱風量をそれぞれ熱処理工程の中央〜出口の４０％以上８０％以下に抑えることで、熱処理工程の入口の上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動を抑えることができる。熱処理工程の入口における上側ノズル及び下側ノズルからの熱風量が、中央〜出口における上側ノズル及び下側ノズルからの熱風量の８０％よりも高い場合、その圧力変動抑制効果は弱い。一方、熱処理工程の入口における上側ノズル及び下側ノズルからの熱風量が、中央〜出口における上側ノズル及び下側ノズルからの熱風量の４０％よりも低い場合、エアーはリターン口や吸引ダクト内で均圧化できないため、吸引ダクト内で圧力変動する原因となることがある。
【００４０】
本発明のフィルムの製造方法においては、エアーをテンターオーブン内に供給する供給ダクトと上側吸引ダクト及び下側吸引ダクトが、循環ファンに連結されている機構を少なくとも一つ有することが好ましい。上側吸引風量と下側吸引風量は、ファンの回転数や上側吸引ダクトに固定されたダンパーおよび下側吸引ダクトに固定されたダンパーの開度によって調整することができる。また、このように上側吸引ダクトおよび下側吸引ダクトが循環ファンに連結されている機構が存在すると、上側吸引ダクトに固定されたダンパーと下側吸引ダクトに固定されたダンパーの両方の開度を絞ることで上側吸引風量と下側吸引風量を足し合わせた風量や、これらの比を調整することができる。
【００４１】
上側吸引風量と下側吸引風量が大きく異なる場合、フィルム上下でエアーの過不足、すなわち加圧または負圧状態が生じ、これを補完すべく前後の工程からエアーの流れ込みや流出が起こることで、工程内の温度ムラが生じ、フィルム幅方向及び／または長手方向の厚み変動や、熱収縮分布のムラといったフィルム物性が変化する。そのため、本発明のフィルムの製造方法は、上側吸引ダクトから排出するエアーの風量（上側吸引風量  ｍ３／ｍｉｎ）と、下側吸引ダクトから排出するエアーの風量（下側吸引風量  ｍ３／ｍｉｎ）の差の絶対値が、上側吸引風量と下側吸引風量の和の１０％以下であることが好ましく、さらに好ましくは５％以下である。このような態様とすることにより、テンターオーブンを構成する部屋間のエアーの流込や流出を軽減することができる。上側吸引風量と下側吸引風量の差の絶対値の下限は、小さければ小さいほど好ましいため特に制限はなく、上側吸引風量と下側吸引風量の和の０％とするのが理想的である。但し、構造的な調整が困難である場合は、常に０％に保つことができず２％がより現実的となることがある。なお、テンターオーブンが複数の部屋を有する場合、「上側吸引風量と下側吸引風量の和の１０％以下である」とは、少なくとも供給するエアーの温度が最も高い部屋を含む工程（通常は熱処理工程）の部屋について該要件を満たすことを意味し、他の工程においても該要件を満たす部屋の数は多い方が好ましい。
【００４２】
本発明のフィルムの製造方法は、得られるフィルムの厚みムラを軽減する観点から、テンターオーブンが、フィルムの走行方向に連続して複数の部屋を有し、供給するエアーの温度が最も高い部屋を含む工程の入口において、前記上側吸引ダクト及び前記下側吸引ダクト内の圧力変動が、それぞれの平均圧力の５％以下であることが好ましい。「供給するエアーの温度が最も高い部屋を含む工程」とは、通常、熱処理工程を意味する。前述のとおり、熱処理工程の入口は、一般的にエアーの温度が隣接する延伸工程または中間工程１に比べ高いため、エアーの流れ込みや流出が起こると、エアーの熱膨張や熱収縮が急激に生じるため、圧力変動がより顕著となり易い。そして、このような圧力変動は厚みムラの原因となることがあるため、上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動をそれぞれの平均圧力の５％以下とすることにより、得られるフィルムの厚みムラを軽減することができる。上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動は小さければ小さいほど好ましく、その下限に特に制限はないが、圧力変動に影響を与える循環ファンの振動や部屋間のエアーの出入りを完全に消失させることはできないため、２％が現実的である。
【００４３】
上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動をそれぞれの平均圧力の５％以下とする手段は、本発明の効果を損なわない限り特に制限されないが、例えば、前述のとおり、熱処理工程の入口の上側ノズル及び下側ノズルからの熱風量をそれぞれ熱処理工程の中央〜出口の４０％以上８０％以下に抑えることで、熱処理工程の入口の上側吸引ダクト及び下側吸引ダクト内の圧力変動を抑えることができる。
【００４４】
本発明のフィルムの製造方法によって、フィルムを製造することができるが、フィルムの接着性や絶縁性または導電性等の機能性付与を目的として、予熱工程の前に、延伸対象フィルムの片面または両面にコーティング剤を塗布する工程（塗布工程）を有することができる。延伸対象フィルムの表面に塗布するコーティング剤としては特に限定されないが、例えば延伸対象フィルムがＰＥＴフィルムの場合、コーティング剤としてはポリエステル、アクリルポリマー、ポリアミドおよびポリウレタンなどの水溶液または水分散液が好適に用いられる。コーティング剤の塗布方法としては、ロールコーター、グラビアコーターおよびバーコーターなどの方法を用いることができる。
【００４５】
本発明のフィルムの製造方法は、テンターオーブンでの各工程における清浄度を維持するために、テンターオーブンにおいて、少なくとも１つの部屋の換気回数が１０回以上／時間であることが好ましく、２０回以上／時間であることがより好ましい。換気を行なうことで、上側ノズル及び下側ノズルからフィルムに吹き付ける熱風の清浄度を維持し、フィルムに付着する異物を低減することができる。換気回数とは、１時間当たりに部屋の容積に対してエアーが何回入れ替わったかを示す指数のことである。例えば、部屋の形状が直方体である場合、部屋の容積は「床面積×天井高さ」で表すことができる。一般的にエアーの流入量は排気量で計算される。しかし、テンターオーブンにおいては、中間工程においても積極的に排気を行うため、各工程におけるエアーの流入量は給気量で計算するものとする。つまり、本発明における換気回数とは、予熱工程、延伸工程、中間工程１、熱処理工程、中間工程２、及び冷却工程が、テンターオーブンの中で行われた場合において、それぞれの工程の容積（例えば、各工程を構成する全ての部屋の形状が直方体である場合においては、各工程を構成する全ての部屋の床面積×天井高さ）における１時間当たりの給気量を意味する。
【００４６】
本発明における換気回数は、フィルムを構成する熱可塑性樹脂の組成や、予熱工程の前に塗布するコーティング剤の成分、単位時間あたりの樹脂通過量等により適宜設定することができ、その上限は特に限定されないが、給気エアーを循環温度にまで加熱するエネルギーロスを考慮すると、８０回以下／時間であることが好ましく、４０回以下／時間であることがさらに好ましい。但し、冷却工程においては、循環熱風の温度コンロールを目的として、換気回数８０回／時間よりも多い量の給気を行う場合がある。
【実施例】
【００４７】
以下、本発明を実施例に基づき説明する。もっとも、本発明は下記実施例に限定されるものではない。各実施例の記述に先立ち、実施例で採用した各種物性等の測定方法を記載する。
【００４８】
（１）ガラス転移温度（Ｔｇ）
試料（フィルム）を約５ｍｇとり、示差走査熱量計（セイコー電子工業社製ＲＤＣ２２０型）を用いて、窒素雰囲気下、２５℃から２００℃の範囲にて、２０℃／分の昇温速度で測定し、１ｓｔＲｕｎの測定結果に基づき決定した。ガラス転移温度の求め方は、ＪＩＳ−Ｋ−７１２１（１９８７）の中間点ガラス転移温度の求め方に従い、測定チャートの各ベースラインの延長した直線から縦軸方向に等距離にある直線とガラス転移の階段状変化部分の曲線とが交わる点の温度とした。なお、複数の階段状変化部分がある場合は、測定範囲の内で低い方の値を採用した。
【００４９】
（２）テンターオーブン各工程における吸引ダクト内の圧力変動
それぞれの部屋において、図２に示されるような上側吸引ダクト１８と下側吸引ダクト１９に、エアーの流れの影響を直接受けないようダクトに対して垂直方向に圧力測定点２４を設置し、配管２５（内径φ２ｍｍの銅管）をテンターオーブンの外壁まで延ばしてテンターオーブン外側に出し、マノスターゲージ２６（山本電機製作所製ＷＯ８１型）につなげ、圧力測定点２４とテンターオーブン外側との差圧をそれぞれ測定した。測定は１秒毎に５分間行い、[上側吸引ダクトの平均圧力]と［下側吸引ダクトの平均圧力］、［上側吸引ダクトの圧力変動（最大圧力と最小圧力の差）］と［下側吸引ダクトの圧力変動（最大圧力と最小圧力の差）］をそれぞれ求めた。圧力変動上側Ｒ（％）は、［上側吸引ダクトの圧力変動］を[上側吸引ダクトの平均圧力]で割ることで求め、同様に、圧力変動下側Ｒ（％）は、［下側吸引ダクトの圧力変動］を[下側吸引ダクトの平均圧力]で割ることで求めた。
【００５０】
（３）テンターオーブン各工程における風量差割合
テンターオーブン降温状態（室温２０〜４０℃）におけるそれぞれの部屋において、図２に示されるような配管２５（内径φ２ｍｍの銅管）をとり外し、圧力測定点２４の孔に風速計（Ｔｅｓｔｏ４１６φ１０ｍｍベーン式風速計）を挿入してダクト内３点の風速を測定し、その平均値に測定ダクトの断面積を乗じることで、上側吸引ダクトから排出するエアーの風量（［上側吸引風量]）と下側吸引ダクトから排出するエアーの風量（［下側吸引風量］）をそれぞれ求めた。さらに、［上側吸引風量］と［下側吸引風量］の差の絶対値を、［上側吸引風量］と［下側吸引風量］の和で割ることで風量差割合（％）を求めた。計算式は以下の通り。
風量差割合（％）＝｜［上側吸引風量］−［下側吸引風量］｜／（［上側吸引風量］＋［下側吸引風量］）×１００
（４）フィルムの平均厚み
デジタルマイクロメータ（Ｍｉｔｓｕｔｏｙｏ製ＭＤＣ−２５ＭＪ型）を用い、フィルムエッジ部の影響を排除するためフィルム幅方向の両端２００ｍｍずつを除く幅方向の範囲において、テンターオーブンによる延伸前あるいはテンターオーブンによる延伸後のフィルムの幅方向１０点の厚みを測定し、その平均値をフィルムの平均厚みとした。
【００５１】
（５）フィルムの厚みムラＲ
テンターオーブンによる延伸前またはテンターオーブンによる延伸後のフィルムを、長手方向および幅方向についてそれぞれ５０ｍｍの幅で切り出し、フィルムシネックス（アンリツ株式会社製）にて測定圧０．１５ｇの荷重にて１．５ｍ／ｍｉｎの速度にて走行させながら、厚みを連続的に測定した。そして、長手方向はフィルム中央部の長さ１ｍの範囲において、幅方向は両端２００ｍｍを除く幅方向の範囲において、その厚みチャートの[最大値と最小値の差]を求め、［最大値と最小値の差］を上記［フィルムの平均厚み]で割ることで、厚みムラＲ（％）を長手方向（ＭＤ）と幅方向（ＴＤ）で求めた。延伸後の厚みムラが長手方向および幅方向ともに２．０％以下の場合に、厚みムラが良好と判断した。
【００５２】
（６）フィルムの熱収縮ムラＲ
一般的にテンターオーブンで延伸したフィルムは、ボーイング等の影響を受け、幅方向において中心位置を対称に物性分布が異なる。そのため、フィルム幅方向の中心位置および端部から２００ｍｍの位置の３点について熱収縮率を求めるため、これらの点をそれぞれ含むように、フィルムを長手方向に対して平行にそれぞれ３枚切り出し、ＡＳＴＭ  Ｄ１２０４（１９８４）に従い、１５０℃３０分の熱収縮率を小数点以下２桁まで測定し、長手方向および幅方向の熱収縮率をそれぞれ求めた。得られたフィルム幅方向３点の長手方向の熱収縮率の[最大値と最小値の差]を長手方向の熱収縮ムラＲ（％）とした。同様にして、３点の幅方向の熱収縮率の[最大値と最小値の差]から幅方向の熱収縮ムラＲ（％）を求めた。延伸後の熱収縮ムラＲが長手方向および幅方向ともに０．１５％以下の場合に、熱収縮ムラが良好と判断した。
【００５３】
（７）フィルムの付着異物数
ステンターによる延伸後のフィルムを暗室の中で、強力な光源であるビデオライト（ＬＰＬ社製“ＶＬ−Ｇ３０１”）を用いて長手方向に１０ｍ目視観察して付着異物を検出し、エアーを吹き付けて取れない付着異物を顕微鏡（Ｎｉｋｏｎ製ＥＣＬＩＰＳＥ−ＬＶ１００Ｄ型）で観察し、フィルム内部ではなく表面に付着している異物の個数を数えた。これは、樹脂原料起因の内部異物とフィルムにした際に付着した付着異物の切り分けを行うためである。付着異物数が０．５個以下／ｍ２の場合に良好と判断した。
【００５４】
各実施例の記述に先立ち、実施例で採用したフィルムの製造方法について記載する。
【００５５】
（長手方向に一軸延伸したフィルムの製造方法）
熱可塑性樹脂として、極限粘度０．６５ｄｌ／ｇ、Ｔｇ８０℃のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）ペレットを用いた。このペレットを１８０℃の温度で５時間、３ｔｏｒｒの減圧下で十分に真空乾燥した後、一軸押出機を使用して２８５℃で溶融押出して、ギヤポンプにより吐出量を一定とし、濾過精度５μｍのフィルタで濾過後、幅１，２００ｍｍのフラットダイよりシート状に吐出させて、平均厚み１，１２５μｍ、密度１．３４ｇ／ｃｍ３、長手方向および幅方向の厚みムラ：２．４〜２．５％のフィルムを得た。続いて、本フィルムを搬送速度１０ｍ／ｍｉｎで、金属製ロール群においてロール温度７０℃で予備加熱した後に、波長１．１μｍの赤外線ヒーター（６００Ｖ、２４ｋＷ／ｍ）を間に備えた一対のロール間の速度差で３．０倍に延伸した後、搬送速度３０ｍ／ｍｉｎで、金属製ロール群においてロール温度２５℃で冷却することで、平均厚み３７５μｍ、長手方向および幅方向の厚みムラ：１．９〜２．１％の長手方向に一軸延伸したフィルムを得た。
【００５６】
（実施例１）
図１および図２に記載されるようなテンターオーブンの各工程を構成する部屋として、予熱工程が２部屋、延伸工程が３部屋、熱処理工程が３部屋（それぞれ上流側から熱処理工程の入口、中央、出口と呼ぶ。）、冷却工程が３部屋からなり、中間工程１および中間工程２を１部屋ずつ設置し、各工程における換気回数が２０〜４０回／時間となるようにした。また、それぞれの部屋において、風量差割合が１０%以下となるよう、特に熱処理工程においては０〜２％内となるよう、バタフライ方式の風量調整ダンパーを調整し、ダンパー軸を固定した。
【００５７】
続いて、上記のＴｇ８０℃のＰＥＴからなるフィルムを長手方向に一軸延伸したフィルムの両端を連続走行するクリップで把持し、予熱工程において１２０℃のエアーをノズルから吹き付けることで予備加熱し、予熱工程出口に設置した非接触赤外線温度センサ（センテック製ＣＴ−ＳＦ２２）でフィルム温度が９０〜９５℃であることを確認し、延伸工程において１２０〜１３０℃のエアーを吹き付けながら幅方向に３．０倍に延伸した後、中間工程１を通り、続いて、熱処理工程において２１０〜２３０℃のエアーを吹き付けることで熱処理し、熱処理工程の中央〜冷却工程の入口で延伸後のフィルム幅に対して４％のフィルム幅方向の弛緩（あるいは、リラックスとも言う。）をかけながら中間工程２を通り、続いて、冷却工程において６０℃〜１６０℃のエアーでフィルムを冷却した後、テンターオーブンを出たフィルムはクリップから離間され、クリップが把持していた部分を含むフィルム両端部１５０ｍｍをカットすることで、平均厚み１２５μｍ、密度１．４０ｇ／ｃｍ３の延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを得た。この際、テンターオーブンの各工程の吸引ダクト内の圧力を測定し、圧力変動が１０％以下であることを確認した。
【００５８】
各種条件と、得られたフィルムの厚みムラ、熱収縮ムラ、付着異物数をそれぞれ測定した結果を表１に示す。厚みムラは長手方向および幅方向ともに２．０％以下、熱収縮ムラは長手方向および幅方向ともに０．１５％以下の物性分布に優れ、付着異物数が０．５個以下／ｍ２と少ないフィルムを得ることができた。
【００５９】
（実施例２〜９、比較例１〜３）
熱処理工程のそれぞれの部屋における風量差割合や吸引ダクト内の圧力変動を表１に示すように調整し、各工程における換気回数を表１に示すように調整したこと以外は、実施例１と同様にして延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムを得た。各種条件と測定結果を表１に示す。
【００６０】
【表１】
2018047690.tif 000003
【００６１】
表中のＭＤは長手方向、ＴＤは幅方向を意味する。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明のフィルムの製造方法により、長手方向および幅方向の厚みムラや熱収縮分布を軽減することができる。本発明のフィルムの製造方法によって得られるフィルムは、特に光学用途に好適に用いることができる。また、その表面に易接着層等を設けたりすることにより、該フィルムは、プリズムシート、反射防止フィルムやハードコートフィルム、光拡散板等のベースフィルム、プラズマディスプレイの前面板に使用する近赤外線吸収フィルムや電磁波吸収フィルムのベースフィルム、タッチパネル、及び透明導電性フィルムのベースフィルム等に好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００６３】
１：延伸対象となるフィルム（未延伸フィルムまたは未延伸フィルムを長手方向に一軸延伸したフィルム）
２：延伸フィルム
３：予熱工程
４：延伸工程
５：中間工程１
６：熱処理工程
７：中間工程２
８：冷却工程
９：熱交換器
１０：循環ファン
１１：供給ダクト
１２：上側ノズル
１３：下側ノズル
１４：クリップ
１５：フィルム
１６：フィルム上側リターン口
１７：フィルム下側リターン口
１８：上側吸引ダクト
１９：下側吸引ダクト
２０：上側吸引ダクトに固定されたダンパー
２１：下側吸引ダクトに固定されたダンパー
２２：給気ライン
２３：排気ライン
２４：圧力測定点
２５：配管
２６：マノスターゲージ
【図１】
2018047690.tif 000004
【図２】
2018047690.tif 000005