(57)【要約】【課題】スクラブ動作を行う構成においてプランジャの強度低下リスクやチューブ加工の困難性を抑制することの可能なコンタクトプローブ及び検査用治具を提供する。【解決手段】検査用治具１Ａは、コンタクトプローブ３と、ソケット５と、を備える。コンタクトプローブ３は、導電性のチューブ３０と、チューブ３０の一端に設けられた、検査対象物８との接続用の導電性の第１プランジャ１０と、チューブ３０内に設けられて第１プランジャ１０を突出方向に付勢するスプリング４０と、を備える。チューブ３０の絞り部３３の内周面はチューブ３０の軸方向に対して傾斜した傾斜部となっている。第１プランジャ１０が後退する際に、第１プランジャ１０の基端側円柱部１３が前記傾斜部に乗り上げて第１プランジャ１０の傾きが減少する。【選択図】図１
2018194411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性のチューブと、
前記チューブの一端に設けられた、検査対象物との接続用の導電性のプランジャと、
前記チューブ内に設けられて前記プランジャを突出方向に付勢するスプリングと、を備え、
前記チューブの内周面に前記チューブの軸方向に対して傾斜した傾斜部が設けられ、
前記プランジャが後退する際に前記プランジャの基部が前記傾斜部に接して前記プランジャの傾きが変化する、コンタクトプローブ。
【請求項２】
前記プランジャの最大突出状態では、前記プランジャの前記基部が前記傾斜部に接しないで、前記プランジャの前記チューブの軸方向に対する傾斜量が大きく、
前記プランジャが後退して前記基部が前記傾斜部に接すると、前記プランジャの前記チューブの軸方向に対する傾斜量が小さくなる、請求項１に記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記プランジャは、先端側から順に、先端棒状部と、前記チューブからの抜け止め用の大径部と、を有し、
前記プランジャのストローク範囲の全体において、前記先端棒状部が前記チューブの前記一端と非接触である、請求項１又は２に記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記スプリングがコイルスプリングであり、
前記プランジャの前記基部は、自身の後端部において前記コイルスプリングの先端部内周と係合する、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記スプリングの先端部と前記プランジャの前記基部との間に中間駒が介在し、
前記中間駒を介して前記スプリングの弾性力が前記基部に加えられる、請求項１乃至３のいずれか一項に記載のコンタクトプローブ。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載のコンタクトプローブと、
前記コンタクトプローブを貫通状態で保持する絶縁性のソケットと、を備える、検査用治具。
【請求項７】
前記コンタクトプローブの前記プランジャは、先端側から順に、先端棒状部と、前記チューブからの抜け止め用の大径部と、を有し、
前記プランジャのストローク範囲の全体において、前記先端棒状部が前記ソケットと非接触である、請求項６に記載の検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路等の被測定デバイスの検査に使用するコンタクトプローブ及びそれを備えた検査用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、コンタクトプローブのプランジャは、チューブの軸方向に平行移動する構成であり、プランジャの先端を尖った形状とし、被測定デバイスの端子（電極パッド）に食い込ませて接触を安定化させている。このようなコンタクトプローブにおいて、被測定デバイスの端子にプランジャを押し当てる際に、プランジャの先端にスクラブ動作を行わせ、端子に酸化膜、汚れ等がある場合にもプランジャと端子間の接触を確実にすることが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平３−９９３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の接触子は、プランジャに相当する接触ピンの先端部と基部との間に、小径の中間部を、ストローク長以上の長さに渡って形成する必要がある。このため、コンタクトプローブの小径化に伴いプランジャを小径化する場合に、小径の中間部が強度不足となる可能性がある。また、プランジャが接触するチューブ先端部の肉厚を大きくする必要があり、チューブ先端部の加工等も困難になると認められる。
【０００５】
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、スクラブ動作を行う構成においてプランジャの強度低下リスクやチューブ加工の困難性を抑制することの可能なコンタクトプローブ及び検査用治具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のある態様は、コンタクトプローブである。このコンタクトプローブは、
導電性のチューブと、
前記チューブの一端に設けられた、検査対象物との接続用の導電性のプランジャと、
前記チューブ内に設けられて前記プランジャを突出方向に付勢するスプリングと、を備え、
前記チューブの内周面に前記チューブの軸方向に対して傾斜した傾斜部が設けられ、
前記プランジャが後退する際に前記プランジャの基部が前記傾斜部に接して前記プランジャの傾きが変化する。
【０００７】
前記プランジャの最大突出状態では、前記プランジャの前記基部が前記傾斜部に接しないで、前記プランジャの前記チューブの軸方向に対する傾斜量が大きく、
前記プランジャが後退して前記基部が前記傾斜部に接すると、前記プランジャの前記チューブの軸方向に対する傾斜量が小さくなってもよい。
【０００８】
前記プランジャは、先端側から順に、先端棒状部と、前記チューブからの抜け止め用の大径部と、を有し、
前記プランジャのストローク範囲の全体において、前記先端棒状部が前記チューブの前記一端と非接触であってもよい。
【０００９】
前記スプリングがコイルスプリングであり、
前記プランジャの前記基部は、自身の後端部において前記コイルスプリングの先端部内周と係合してもよい。
【００１０】
前記スプリングの先端部と前記プランジャの前記基部との間に中間駒が介在し、
前記中間駒を介して前記スプリングの弾性力が前記基部に加えられてもよい。
【００１１】
本発明のもう１つの態様は、前記コンタクトプローブと、前記コンタクトプローブを貫通状態で保持する絶縁性のソケットと、を備える、検査用治具である。
【００１２】
前記コンタクトプローブの前記プランジャは、先端側から順に、先端棒状部と、前記チューブからの抜け止め用の大径部と、を有し、
前記プランジャのストローク範囲の全体において、前記先端棒状部が前記ソケットと非接触であってもよい。
【００１３】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、スクラブ動作を行う構成においてプランジャの強度低下リスクやチューブ加工の困難性を抑制することの可能なコンタクトプローブ及び検査用治具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１（Ａ）は、本発明の実施の形態１に係る検査用治具１Ａの単体状態における断面図。図１（Ｂ）は、検査用治具１Ａによる検査時の断面図。
【図２】図１（Ｂ）のII-II断面図。
【図３】図３（Ａ）は、本発明の実施の形態２に係る検査用治具１Ｂの単体状態における断面図。図３（Ｂ）は、検査用治具１Ｂによる検査時の断面図。
【図４】図４（Ａ）は、本発明の実施の形態３に係る検査用治具１Ｃの単体状態における断面図。図４（Ｂ）は、検査用治具１Ｃによる検査時の断面図。
【図５】図５（Ａ）は、本発明の実施の形態４に係る検査用治具１Ｄの単体状態における断面図。図５（Ｂ）は、検査用治具１Ｄによる検査時の断面図。
【図６】図６（Ａ）は、本発明の実施の形態５に係る検査用治具１Ｅの単体状態における断面図。図６（Ｂ）は、検査用治具１Ｅによる検査時の断面図。
【図７】図７（Ａ）は、本発明の実施の形態６に係る検査用治具１Ｆの単体状態における断面図。図７（Ｂ）は、検査用治具１Ｆによる検査時の断面図。
【図８】図８（Ａ）は、比較例に係る検査用治具１Ｚの単体状態における断面図。図８（Ｂ）は、検査用治具１Ｚによる検査時の断面図。
【図９】図８（Ｂ）のIX-IX断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。
【００１７】
（実施の形態１）
図１（Ａ）は、本発明の実施の形態１に係る検査用治具１Ａの単体状態における断面図である。図１（Ｂ）は、検査用治具１Ａによる検査時の断面図である。検査用治具１Ａは、コンタクトプローブ３と、コンタクトプローブ３を貫通状態で保持する絶縁性のソケット５と、を備える。ソケット５に支持されるコンタクトプローブ３の数は、図示の例では１つであるが、複数であってもよい。ソケット５は、第１ソケット６及び第２ソケット７を組み合わせてネジ止め等により相互に一体化したものである。第１ソケット６の小径孔部６ａ及び大径孔部６ｂと、第２ソケット７の小径孔部７ａ及び大径孔部７ｂとが、コンタクトプローブ３を保持する貫通孔を構成する。
【００１８】
コンタクトプローブ３は、第１プランジャ１０と、第２プランジャ２０と、チューブ３０と、スプリング４０と、を有する。第１プランジャ１０は、図１（Ｂ）に示す検査対象物８との接続部品である。第２プランジャ２０は、図１（Ｂ）に示す検査用基板９との接続部品である。チューブ３０は、第１プランジャ１０の基端側、第２プランジャ２０の基端側、及びスプリング４０を内部に収容する部品である。第１プランジャ１０、第２プランジャ２０、及びチューブ３０は、いずれも銅又は銅合金等の導電性金属体からなる。スプリング４０は、例えばピアノ線やステンレス線等の一般的な導体金属材質で形成されたコイルスプリングであり、第１プランジャ１０及び第２プランジャ２０を互いに離れる方向に付勢し、第１プランジャ１０及び第２プランジャ２０に対して検査対象物８及び検査用基板９との接触力を与える。検査対象物８は、例えば電極が所定間隔で配列された半導体集積回路であり、図示の場合、電極パッド８ａが所定間隔で配列されたものである。検査用基板９は、不図示の測定器側に接続される電極パッド９ａを所定間隔で有するものである。
【００１９】
第１プランジャ１０は、先端側から順に、先端側棒状部としての先端側円柱部１１、抜け止め用の大径部としてのフランジ部１２、及び基部としての基端側円柱部１３、を有する。先端側円柱部１１は、第１ソケット６の小径孔部６ａを貫通し、第１ソケット６の表面から突出する。先端側円柱部１１の先端は、テーパー状（円錐状）に先細りした形状とされた接触部１１ａとなっている。フランジ部１２は、先端側円柱部１１よりも大径であり、チューブ３０の内側に収容される。フランジ部１２の外径は、チューブ３０の絞り部３１の内径よりも大径である。このため、フランジ部１２が絞り部３１と係合することで、第１プランジャ１０のチューブ３０からの抜けが防止される。フランジ部１２は、第１プランジャ１０の長さ方向と垂直な断面が円形であり、フランジ部１２の外径はチューブ３０の内径よりも若干小さく形成される。フランジ部１２は、その外径及びプランジャ１０の長さ方向の幅が、後述するように第１プランジャ１０がチューブ３０の軸方向に対して傾斜することができるように設定されている。基端側円柱部１３は、チューブ３０の内側に位置し、フランジ部１２よりも小径であり、略一定の径に形成された円筒形状である。第１プランジャ１０がチューブ３０の軸方向に対して傾斜したとき、第１プランジャ１０はフランジ部１２を略支点として傾斜して基端側円柱部１３の外周面の下端がチューブ３０の内周面に接触するため、基端側円柱部１３の径及び長さは、第１プランジャ１０の傾斜量に合わせて設定される。基端側円柱部１３の基端面は、第１プランジャ１０の長さ方向と垂直な平面である。基端側円柱部１３の基端面には、凸部１３ａが設けられる。凸部１３ａは、スプリング４０の一方の端部の内周に入り込んで係合する。第１プランジャ１０は、チューブ３０の軸方向に対して傾斜しているが、これについては後述する。
【００２０】
第２プランジャ２０は、先端側から順に、先端側円柱部２１及び基端側円柱部２２を有する。先端側円柱部２１は、第２ソケット７の小径孔部７ａを貫通して小径孔部７ａにガイドされ、第２ソケット７の表面から突出する。先端側円柱部２１の先端は、テーパー状（円錐状）に先細り形状とされた接触部２１ａとなっている。基端側円柱部２２は、先端側円柱部２１よりも大径であり、チューブ３０の内側に収容される。基端側円柱部２２の外径は、チューブ３０の絞り部３２の内径よりも大径である。このため、基端側円柱部２２が絞り部３２と係合することで、第２プランジャ２０のチューブ３０からの抜けが防止される。基端側円柱部２２の基端面は、第２プランジャ２０の長さ方向と垂直な平面である。基端側円柱部２２の基端面には、凸部２２ａが設けられる。凸部２２ａは、スプリング４０の他方の端部の内周と係合する。
【００２１】
チューブ３０は、円筒形状の金属パイプに絞り部３１〜３３を周知の絞り加工により形成したものである。チューブ３０は、絞り部３１〜３３以外の部分は略一定の径に形成された円筒形状である。チューブ３０は、第１ソケット６の大径孔部６ｂ及び第２ソケット７の大径孔部７ｂの内側に保持される。チューブ３０の外径は、第１ソケット６の小径孔部６ａ及び第２ソケット７の小径孔部７ａの内径よりも大径であるため、チューブ３０のソケット５からの抜けが防止される。絞り部３１は、チューブ３０の第１プランジャ１０側の端部に形成され、その内径が第１プランジャ１０の先端側円柱部１１より大径に形成されると共にフランジ部１２よりも小径に形成されて、前述のように第１プランジャ１０のチューブ３０からの抜けを防止する。絞り部３２は、チューブ３０の第２プランジャ２０側の端部に形成され、その内径が第２プランジャ２０の先端側円柱部２１より大径に形成されると共に基端側円柱部２２よりも小径に形成されて、前述のように第２プランジャ２０のチューブ３０からの抜けを防止する。絞り部３３は、小径部の例示であり、チューブ３０の軸方向中間部に形成される。絞り部３３は、本実施の形態ではチューブ３０の径方向内側に凸となる湾曲面（Ｒ面）であり、チューブ３０の軸方向中間部を一周するように設けられる。絞り部３３の内周面には、チューブ３０の軸方向に対して第１プランジャ１０の基端側円柱部１３が挿入される方向において内周面が中心に向かうように傾斜した傾斜面（傾斜部）が形成されることなる。
【００２２】
スプリング４０は、チューブ３０の内側に設けられ、一端が第１プランジャ１０の基端側円柱部１３の基端面及び凸部１３ａと係合し、他端が第２プランジャ２０の基端側円柱部２２の基端面及び凸部２２ａと係合する。スプリング４０の少なくとも第１プランジャ１０側の端面（座面）は、開放状態において、スプリング４０の長さ方向と垂直な平面に対して傾斜している。このため、スプリング４０は、第１プランジャ１０の基端側円柱部１３の基端面及び凸部１３ａに、第１プランジャ１０がチューブ３０の軸方向に対して傾斜する方向の力を加えることになる。また、スプリング４０は、チューブ３０の内側において、螺旋状に伸びることになる。
【００２３】
以下、第１プランジャ１０のスクラブ動作（ワイピング動作）を説明する。図１（Ａ）では、第１プランジャ１０は最大突出状態であり、第１プランジャ１０の基端側円柱部１３の外周面は、チューブ３０の絞り部３３の内周面に接触（係合）しない。図１（Ａ）の状態において、チューブ３０の軸方向に対する第１プランジャ１０の傾きは、基端側円柱部１３の外周面の下端部がチューブ３０の円筒部内周面と接触し、フランジ部１２の外周面の上端部がチューブ３０の円筒部内周面と接触することにより定まる。
【００２４】
検査用治具１Ａを用いた検査の際には、まず、図１（Ａ）の状態から検査用治具１Ａを検査用基板９にセットする。これにより、図１（Ｂ）に示すように、第２プランジャ２０の先端側円柱部２１の接触部２１ａを検査用基板９の電極パッド９ａに接触し、第２プランジャ２０は、スプリング４０の付勢力に抗して第２ソケット７の小径孔部７ａの開口部と同じ位置まで後退する（引っ込み方向に移動する）。その後、検査対象物８を検査用治具１Ａに対して押しつけていき、電極パッド８ａに第１プランジャ１０の先端側円柱部１１の接触部１１ａを接触させながら、スプリング４０の付勢力に抗して図１（Ｂ）に示すように第１プランジャ１０を後退させる（引っ込み方向に移動させる）。
【００２５】
第１プランジャ１０が後退する過程で、基端側円柱部１３の外周面の下端部が、チューブ３０の絞り部３３の内周面（チューブ３０の軸方向に対して傾斜した傾斜面）に乗り上げる。これにより、チューブ３０の軸方向に対する第１プランジャ１０の傾斜量が減少する（第１プランジャ１０がチューブ３０の軸方向と平行な状態に近づく）。基端側円柱部１３の外径がチューブ３０の絞り部３３の最少内径よりも若干小さいため、最終的には、第１プランジャ１０はチューブ３０の軸方向と略平行になる。第１プランジャ１０の傾斜量が小さくなるのに伴い、先端側円柱部１１の接触部１１ａと検査対象物８の電極パッド８ａとの接触位置がずれる。これがスクラブ動作であり、電極パッド８ａ表面の酸化膜や汚れ等を剥がして接触の確実性を高めることができる。図１（Ｂ）では、第１プランジャ１０が後退する直前の検査対象物８及び電極パッド８ａ、並びに第１プランジャ１０の先端側円柱部１１の接触部１１ａを仮想線で示すと共に、スクラブ量Ｓを示している。
【００２６】
図１（Ａ）の状態、第１プランジャ１０が後退する過程、及び図１（Ｂ）の状態、のいずれにおいても、第１プランジャ１０の先端側円柱部１１の外周面は、第１ソケット６と非接触（小径孔部６ａの開口部と非接触）かつチューブ３０の絞り部３１の内周縁と非接触である。このため、先端側円柱部１１と第１ソケット６との間、及び先端側円柱部１１とチューブ３０の絞り部３１の内周縁との間、のいずれにおいても摩耗は発生しない。ここで、基端側円柱部１３の外周面と、チューブ３０の円筒部内周面及び絞り部３３の内周面と、の間では、互いに接触状態で摺動することによる摩耗が発生するものの、基端側円柱部１３の外径とチューブ３０の円筒部の内径との差、及び基端側円柱部１３の外径と絞り部３３の内径との差はいずれも、先端側円柱部１１の外径と第１ソケット６の小径孔部６ａの内径との差、及び先端側円柱部１１の外径と絞り部３１の内径との差よりも小さいため、摩耗は抑制される。フランジ部１２の外周面とチューブ３０の円筒部内周面との間の摩耗も、同様に抑制される。図２は、図１（Ｂ）のII-II断面図であり、第１プランジャ１０の基端側円柱部１３の外径と、係合する絞り部３３の内径との差が小さく、摩耗が抑制されることを示している。
【００２７】
本実施の形態によれば、下記の効果を奏することができる。
【００２８】
(1) 検査対象物８の電極パッド８ａに接して第１プランジャ１０が後退する過程で、基端側円柱部１３がチューブ３０の内周面の傾斜面（絞り部３３の内周面）に接して（乗り上げて）、チューブ３０の軸方向に対する第１プランジャ１０の傾きが変化する（減少する）構成のため、第１プランジャ１０の傾きを変化させるために、先端側円柱部１１の外周面と第１ソケット６の小径孔部６ａの開口部とを互いに接触状態で摺動させる必要がなく、同様に、先端側円柱部１１の外周面とチューブ３０の絞り部３１の内周縁とを互いに接触状態で摺動させる必要もない。したがって、スクラブ動作に伴う、先端側円柱部１１と第１ソケット６との間、及び先端側円柱部１１とチューブ３０の絞り部３１の内周縁との間、の摩耗を抑制することできる。具体的には、先端側円柱部１１が接触して摺動することによる第１ソケット６の小径孔部６ａの開口部へのダメージが抑制され、かつ、エッジとなっている絞り部３１の内周縁に接触して摺動することによる先端側円柱部１１の外周面へのダメージが抑制される。
【００２９】
(2) 第１プランジャ１０にスクラブ動作をさせるためにチューブ３０には絞り部３３の加工が必要であるが、当該加工は周知の絞り加工により可能なため、特許文献１のようにチューブ先端の肉厚を大きくする場合と比較して加工の困難性が抑制される。
【００３０】
(3) チューブ３０の絞り部３３の形状を変えることで、第１プランジャ１０のストローク長によらずスクラブ量を設定することができ、設計の自由度が高い。
【００３１】
(4) 特許文献１と異なり、スクラブ動作のために第１プランジャ１０の中間部に小径部を設ける必要がないため、中間部に小径部を設けることによる強度不足の問題が無い。
【００３２】
（実施の形態２）
図３（Ａ）は、本発明の実施の形態２に係る検査用治具１Ｂの単体状態における断面図である。図３（Ｂ）は、検査用治具１Ｂによる検査時の断面図である。本実施の形態の検査用治具１Ｂは、実施の形態１のものと比較して、第１プランジャ１０の基端側円柱部１３が基端側円錐台部１５に替わった点で相違し、その他の点で一致する。基端側円錐台部１５の外周面は、円錐側面形状であり、フランジ部１２側からスプリング４０側に向かって外径が細くなる。基端側円錐台部１５のフランジ部１２側の端部は、フランジ部１２と同外径である。本実施の形態も、実施の形態１と同様の効果を奏することができる。
【００３３】
（実施の形態３）
図４（Ａ）は、本発明の実施の形態３に係る検査用治具１Ｃの単体状態における断面図である。図４（Ｂ）は、検査用治具１Ｃによる検査時の断面図である。本実施の形態の検査用治具１Ｃは、実施の形態１のものと比較して、第１プランジャ１０の基端側円柱部１３の基端面の凸部１３ａが無くなり、前記基端面が自身の長さ方向に対して傾斜した傾斜面１３ｂになった点と、スプリング４０の両端面が開放状態においてスプリング４０の長さ方向と垂直な平面と平行になった点で相違し、その他の点で一致する。本実施の形態も、実施の形態１と同様の効果を奏することができる。
【００３４】
（実施の形態４）
図５（Ａ）は、本発明の実施の形態４に係る検査用治具１Ｄの単体状態における断面図である。図５（Ｂ）は、検査用治具１Ｄによる検査時の断面図である。本実施の形態の検査用治具１Ｃは、実施の形態３のものと比較して、第１プランジャ１０の基端側円柱部１３の基端面（傾斜面１３ｂ）とスプリング４０の第１プランジャ１０側の端部との間に中間駒５０が介在する点で相違し、その他の点で一致する。本実施の形態では、スプリング４０の端面が傾斜しているか否かは問わない。中間駒５０は、例えば金属球である。スプリング４０の付勢力（弾性力）は、中間駒５０を介して第１プランジャ１０の基端側円柱部１３の基端面に加えられる。本実施の形態も、実施の形態３と同様の効果を奏することができる。
【００３５】
（実施の形態５）
図６（Ａ）は、本発明の実施の形態５に係る検査用治具１Ｅの単体状態における断面図である。図６（Ｂ）は、検査用治具１Ｅによる検査時の断面図である。本実施の形態の検査用治具１Ｅは、実施の形態１のものと比較して、チューブ３０の軸方向に対する絞り部３３の内周面の傾斜が直線的である点で相違し、その他の点で一致する。実施の形態１のようにチューブ３０の軸方向に対する絞り部３３の傾斜が湾曲している場合、スクラブ動作を伴う第１プランジャ１０のストローク範囲において、第１プランジャ１０が後退するほど単位ストローク長あたりのスクラブ量が小さくなる。これと比較して本実施の形態のようにチューブ３０の軸方向に対する絞り部３３の傾斜が直線的である場合、スクラブ動作を伴う第１プランジャ１０のストローク範囲において、単位ストローク長あたりのスクラブ量の変化は小さくなる。スクラブ動作の始めの変化を緩やかにしたい場合には、本実施の形態が適する。本実施の形態も、実施の形態１と同様の効果を奏することができる。
【００３６】
（実施の形態６）
図７（Ａ）は、本発明の実施の形態６に係る検査用治具１Ｆの単体状態における断面図である。図７（Ｂ）は、検査用治具１Ｆによる検査時の断面図である。本実施の形態の検査用治具１Ｆは、実施の形態５のものと比較して、チューブ３０の軸方向に対する絞り部３３の内周面の傾斜が急かつ短くなると共に、絞り部３３が傾斜部３３ａに加えて非傾斜部３３ｂを有する点で相違し、その他の点で一致する。非傾斜部３３ｂの内周面は、チューブ３０の軸方向と平行である。本実施の形態では、第１プランジャ１０のストローク範囲のうち傾斜部３３ａの内周面に乗り上げる部分ではスクラブ動作が起こるが、非傾斜部３３ｂの内周面と係合する部分ではスクラブ動作は起こらない。第１プランジャ１０のストローク範囲の後半では基端側円柱部１３の外周面と非傾斜部３３ｂの内周面とが平行に近い状態で接触するため、局部摩耗となるリスクが抑制される。本実施の形態も、実施の形態５と同様の効果を奏することができる。
【００３７】
（比較例）
図８（Ａ）は、比較例に係る検査用治具１Ｚの単体状態における断面図である。図８（Ｂ）は、検査用治具１Ｚによる検査時の断面図である。本比較例の検査用治具１Ｚは、上述した各実施の形態のものと異なり、チューブ３０が絞り部３３を有さない。このため、第１プランジャ１０のストローク範囲の前半において、先端側円柱部１１の外周面と第１ソケット６の小径孔部６ａの開口部との間で接触状態での摺動が発生し、小径孔部６ａの開口部が局部摩耗を起こす。また、第１プランジャ１０のストローク範囲の後半において、先端側円柱部１１の外周面とチューブ３０の絞り部３１の内周縁（エッジ）との間で接触状態での摺動が発生し、先端側円柱部１１の外周面が局部摩耗を起こす。図９は、図８（Ｂ）のIX-IX断面図であり、第１プランジャ１０の基端側円柱部１３の外径と、チューブ３０の絞り部３１の内径との差が大きく、局部摩耗となりやすいことを示している。上述した各実施の形態では、本比較例のような局部摩耗を好適に抑制できる。
【００３８】
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。
【００３９】
チューブ３０の内周面の傾斜部は、絞り加工等によりチューブ３０の中間部の一周に渡って設けられる場合に限定されず、外周面に対する溝加工等によりチューブ３０の中間部内周面の一部、例えば、周方向に均等に少なくとも３つ以上形成した凸部であってもよい。第２プランジャ２０を省略し、スプリング４０の他端が検査用基板９の電極パッド９ａと接触する構成であってもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１Ａ〜１Ｆ  検査用治具、３  コンタクトプローブ、５  ソケット、６  第１ソケット、６ａ  小径孔部、６ｂ  大径孔部、７  第２ソケット、７ａ  小径孔部、７ｂ  大径孔部、８  検査対象物、８ａ  電極パッド、９  検査用基板、９ａ  電極パッド、１０  第１プランジャ、１１  先端側円柱部、１１ａ  接触部、１２  フランジ部、１３  基端側円柱部、１３ａ  凸部、１３ｂ  傾斜面、２０  第２プランジャ、１５  基端側円錐台部、２１  先端側円柱部、２１ａ  接触部、２２  基端側円柱部、３０  チューブ、３１〜３３  絞り部、４０  スプリング、５０  中間駒
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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