(57)【要約】      （修正有）【課題】チャンバーを減圧する際に働く力で扉が動いても、この扉を開閉するためのアクチュエータに負荷をかけないチャンバーの扉開閉機構の提供。【解決手段】内部を減圧して用いるチャンバーの扉を開閉するために当該扉を移動させるアクチュエータ２０を備え、アクチュエータ２０が、モータ部３０と、前記扉を移動させるためのピニオン２６と、このピニオン２６と一体回転する回転軸２５と、モータ部３０の出力軸２８の回転トルクを回転軸２５に伝達可能とする動力伝達機構（クラッチ装置２４）とを備え、この動力伝達機構が、連結状態と連結解除状態との間を切り替え可能として構成され、前記連結状態で前記回転トルクを伝達可能であり、前記連結解除状態で出力軸２８と回転軸２５との間で空転させる扉開閉機構。前記動力伝達機構が、電磁クラッチ２４である扉開閉機構。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部を減圧して用いるチャンバーの扉を開閉するために当該扉を移動させるアクチュエータを備えた扉開閉機構であって、
前記アクチュエータは、モータ部と、前記扉を移動させるための駆動用歯車と、当該駆動用歯車と一体回転する回転軸と、当該モータ部の出力軸の回転トルクを前記回転軸に伝達可能とする動力伝達機構と、を備え、
前記動力伝達機構は、連結状態と連結解除状態との間を切り替え可能として構成され、前記連結状態で前記回転トルクを伝達可能であり、前記連結解除状態で前記出力軸と前記回転軸との間で空転させる、チャンバーの扉開閉機構。
【請求項２】
前記動力伝達機構は、電磁クラッチである、請求項１に記載のチャンバーの扉開閉機構。
【請求項３】
前記チャンバーの内部を減圧する前に、前記動力伝達機構は前記連結状態から前記連結解除状態に切り替えられ、
前記チャンバーの内部が減圧状態から常圧になると、前記動力伝達機構は前記連結解除状態から前記連結状態に切り替えられる、請求項１又は２に記載のチャンバーの扉開閉機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部を減圧して用いるチャンバーの扉を開閉するための機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種基材上に様々な機能膜を付与するための技術開発が盛んに行われている。例えば、前記基材として、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）フィルム等が挙げられ、前記機能膜として、透明導電膜、水蒸気バリア膜、反射防止膜等が挙げられる。前記のような基材に機能膜を付与するための方法として、例えば、スパッタリング、プラズマＣＶＤ、真空蒸着、電子ビーム蒸着等が用いられる。
【０００３】
特許文献１（図３）には、前記のような機能膜を基材に形成する成膜装置が開示されている。この装置では、チャンバー内の処理室が減圧され、この処理室を帯状の基材がロールトゥロール方式で搬送され、その搬送路の途中において成膜処理が行われる。このような成膜装置は、前方が開口している箱型のチャンバー本体と、前記開口を閉じる扉とを有しており、扉を開けてチャンバー内のメンテナンスが行われ、扉を閉じてチャンバー内を減圧し成膜処理が行われる。
【０００４】
チャンバーの扉は、鋼製であり、チャンバー内が減圧されても変形し難いように板厚が厚かったり補強桁が設けられたりしており、また、特にチャンバーが大型になると扉も大きくなり重量物である。そのため、モータ等を有するアクチュエータによって扉を開閉動作させる構成が採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−２７４５６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図５に示すように、チャンバーの扉を開閉するためのアクチュエータ９０は、モータ９１、モータ９１の回転を減速する減速機９２、減速機９２の出力軸９３とカップリング９４を介して連結されている回転軸９５、及び、回転軸９５と一体回転するピニオン９６を有している。アクチュエータ９０は、扉の一部９８と連結部材９７を介して連結されている。
【０００７】
前記扉は、開閉動作のためにリニアガイドによって移動可能として支持されており、また、このリニアガイドと平行なラック部材９９が設けられており、このラック部材９９に前記ピニオン９６が噛み合う。このため、モータ９１が回転することでピニオン９６が回転しながらラック部材９９に沿って移動することができ、これにより扉を図外のチャンバー本体に接近させ、扉を閉じる動作が可能となる。モータ９１が逆回転すると、扉を開ける動作が可能となる。
【０００８】
図６は、チャンバー本体８０の開口側及び開口を閉じる扉８１の一部を示す断面図である。図６（Ａ）に示すように、チャンバー本体８０の開口側には扉８１との間に介在させるゴム製のＯリング８２（シール部材）が設けられている。アクチュエータ９０（図５参照）によって扉８１を閉じるために、モータ９１を動作させ、図６（Ｂ）に示すように、Ｏリング８２が所定寸法だけ潰れた状態になるとモータ９１を停止させる。これによりチャンバー内の気密性が確保され、ポンプによって減圧が可能となる。ポンプによる減圧が開始され、チャンバー内の真空度が高くなるにしたがって外部の大気との差圧が大きくなると、扉８１はこの差圧に起因する力によって移動して（図６（Ｃ）参照）チャンバー本体８０に押し付けられる。この際、モータ９１は停止しているにもかかわらず、扉８１の移動によりピニオン９６（図５参照）が回転しながらラック部材９９に沿って移動する。すると、回転軸９５及びカップリング９４を通じて減速機９２及びモータ９１を強制的に回転させてしまう。例えばモータ９１がブレーキ付きの構成である場合、ブレーキによって停止状態にあるモータ９１を強制的に回転させると、アクチュエータの各部に想定外の負荷がかかり損傷させてしまうおそれがある。以上のように、チャンバー内の減圧（真空引き）によってピニオン９６が強制的に回転させられるとアクチュエータに無理な負荷がかかって故障の原因となる。
【０００９】
なお、前記のようなチャンバー内の減圧によってアクチュエータへ負荷がかかり故障の原因となるという課題は、成膜装置に限らず、モータ直結の動力伝達経路を有するアクチュエータによって扉を開閉するチャンバーを備え、このチャンバー内が減圧されることで扉が少しでも動くような装置において発生する。
【００１０】
そこで、本発明は、チャンバーを減圧する際に働く力で扉が動いても、この扉を開閉するためのアクチュエータに負荷をかけないようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、内部を減圧して用いるチャンバーの扉を開閉するために当該扉を移動させるアクチュエータを備えた扉開閉機構であって、前記アクチュエータは、モータ部と、前記扉を移動させるための駆動用歯車と、当該駆動用歯車と一体回転する回転軸と、当該モータ部の出力軸の回転トルクを前記回転軸に伝達可能とする動力伝達機構と、を備え、前記動力伝達機構は、連結状態と連結解除状態との間を切り替え可能として構成され、前記連結状態で前記回転トルクを伝達可能であり、前記連結解除状態で前記出力軸と前記回転軸との間で空転させる。
【００１２】
この扉開閉機構によれば、動力伝達機構を連結状態としモータ部を駆動させることで駆動用歯車が回転し、これにより扉を閉じる動作が可能となる。そして、扉によって閉ざされたチャンバーの内部が減圧され、その減圧による力で扉が動き、これにより駆動用歯車及び回転軸が回転しても、その際に動力伝達機構を連結解除状態としていることで、出力軸に対して駆動用歯車及び回転軸は空転しアクチュエータに負荷をかけないで済む。
【００１３】
また、前記動力伝達機構は、電磁クラッチであるのが好ましく、これにより前記連結状態と前記連結解除状態との間の切り替え操作が容易となる。
【００１４】
また、前記チャンバーの内部を減圧する前に、前記動力伝達機構は前記連結状態から前記連結解除状態に切り替えられ、前記チャンバーの内部が減圧状態から常圧になると、前記動力伝達機構は前記連結解除状態から前記連結状態に切り替えられるのが好ましい。これにより、チャンバーの扉を閉じる動作から、チャンバー内が減圧され、その後、チャンバーを常圧に復帰させて扉を開けるまでの動作において、アクチュエータに負荷をかけないで済む。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、チャンバーを減圧する際に働く力で扉が動いても、この扉を開閉するためのアクチュエータに負荷をかけないで済み、アクチュエータの故障を防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明のチャンバーの扉開閉機構を備えている装置の側面図である。
【図２】図１に示す装置の平面図である。
【図３】チャンバー本体の開口側及び開口を閉じる扉の一部を示す断面図である。
【図４】アクチュエータ及びその周囲の側面図である。
【図５】従来の扉開閉機構の側面図である。
【図６】チャンバー本体の開口側及び開口を閉じる扉の一部を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１は、本発明のチャンバーの扉開閉機構を備えている装置の側面図である。図２は、この装置の平面図である。本実施形態の前記装置は、スパッタリング、プラズマＣＶＤ、真空蒸着、電子ビーム蒸着等の手段を用いて基材に成膜を行う成膜装置５であり、成膜のために内部が減圧状態（真空状態）とされるチャンバー１０を備えている。前記基材は、チャンバー１０内を例えばロールトゥロールで搬送される帯状の部材（フィルム）であり、成膜された基材は、例えば、太陽電池や有機ＥＬ等のディスプレイの一部品に用いられる。
【００１８】
チャンバー１０は、前方が開口する箱型のチャンバー本体１１と、このチャンバー本体１１の開口１２を閉じる扉１３とを有している。チャンバー本体１１は、装置フレーム１９（図１参照）に設置されて固定状態となっているのに対して、扉１３は、扉開閉機構１７が有するアクチュエータ２０によって前後方向に移動可能である。成膜装置５において、チャンバー本体１１が開口している側を「前」とし、その反対側を「後」としており、図１及び図２では左右方向が前後方向となる。成膜装置５は、扉１３を開閉するための扉開閉機構１７を備えている。
【００１９】
チャンバー本体１１が開口する箇所には扉１３と接触するフランジ部１４が設けられており、図３（Ａ）に示すように、フランジ部１４と扉１３との間にはシール部材としてゴム製のＯリング１５が介在する。図３（Ｂ）（Ｃ）に示すように、開口１２を扉１３が閉じた状態で、チャンバー１０内には密閉空間１６が構成され、この密閉空間１６が成膜を行うための処理室となる。なお、図３（Ａ）は、扉１３が開いた状態であり、図３（Ｂ）は、密閉空間１６は形成されるが扉１３は（全閉ではない）中間閉状態であり、図３（Ｃ）が、全閉された完全閉状態である。成膜装置５は密閉空間１６を減圧するためのポンプを含む減圧機構１８（図２参照）を更に備えている。
【００２０】
図１及び図２において、扉開閉機構１７はアクチュエータ２０を備えており、アクチュエータ２０は、チャンバー１０の扉１３を開閉するために、この扉１３を前後方向に移動させる。扉開閉機構１７は、更に、直線ガイド部材６と、支持台７と、ラック部材８とを有している。
【００２１】
直線ガイド部材６は、扉１３を前後方向に移動可能として支持する構成を備えている。本実施形態では、複数（三つ）の直線ガイド部材６が前後方向に沿って設けられている。支持台７は扉１３と固定されており、支持台７が直線ガイド部材６に沿って移動する。アクチュエータ２０は支持台７に搭載されている。ラック部材８は、直線ガイド部材６と平行に設けられており、アクチュエータ２０はこのラック部材８に噛み合うピニオン２６（図４参照）を有している。後にも説明するが、アクチュエータ２０が有するモータ２１がピニオン２６を回転させることで、支持台７と一体である扉１３が前後方向に移動可能となる。つまり、アクチュエータ２０が動作することによって扉１３をチャンバー本体１１に接近させたり離したりすることができる。成膜の処理を行う際、扉１３を閉じた状態とし、チャンバー１０をメンテナンスする際、扉１３を開く。
【００２２】
図４は、アクチュエータ２０及びその周囲の側面図である。アクチュエータ２０は、モータ２１、減速機２２、カップリング２３、動力伝達機構としてのクラッチ装置２４、取り付け部２７、回転軸２５、及びピニオン２６を備えている。モータ２１の駆動及び停止、並びに、クラッチ装置２４の後に説明する状態の切り替えは、成膜装置５が備えているコンピュータを含む制御装置９（図２参照）によって行われる。
【００２３】
アクチュエータ２０の各部の構成について説明する。モータ２１は減速機付モータであってもよく、モータ２１と減速機２２とによってモータ部３０が構成されている。減速機２２は、モータ２１の回転を所定の回転数に減速するためのギヤ機構を備えており、減速機２２のハウジングから出力軸２８が突出している。
【００２４】
ピニオン２６は、回転軸２５の先端部に回り止めされて取り付けられており、ピニオン２６と回転軸２５とは一体回転する。前記のとおり、このピニオン２６が回転しながらラック部材８に沿って移動することで、扉１３を前後方向に直線移動させる。つまり、ピニオン２６は扉１３を移動させるための駆動用歯車となる。
【００２５】
クラッチ装置２４は、円板状である第一クラッチ部材３１及び第二クラッチ部材３２を有している。第一クラッチ部材３１は、回転軸２５の途中部において回り止めされて取り付けられており、第一クラッチ部材３１と回転軸２５とは一体回転する。第二クラッチ部材３２は、第一クラッチ部材３１と接触可能である円環部３３と、この円環部３３と一体となっている円筒部３４を有している。円筒部３４に回転軸２５が挿し入れられており、これら円筒部３４と回転軸２５との間には軸受（転がり軸受３５）が介在している。
【００２６】
本実施形態のクラッチ装置２４は電磁クラッチにより構成されており、制御装置９からのオン／オフ信号により、第一クラッチ部材３１と第二クラッチ部材３２との連結と切り離しが行われる。第一クラッチ部材３１と第二クラッチ部材３２とが連結した状態（以下、この状態を連結状態という。）となることで、これらクラッチ部材３１，３２間でトルク伝達が可能となる。これに対して、第一クラッチ部材３１と第二クラッチ部材３２とが切り離された状態（以下、この状態を連結解除状態という。）となることで、これらクラッチ部材３１，３２間で空転しトルク伝達が不能となる。クラッチ装置２４が連結解除状態となると、第二クラッチ部材３２に対して第一クラッチ部材３１、回転軸２５、及びピニオン２６は回転可能となる。
【００２７】
カップリング２３は、出力軸２８と第二クラッチ部材３２の円筒部３４とを連結している。これにより、出力軸２８と第二クラッチ部材３２とは一体回転可能であり常にこれらの間でトルク伝達が可能となっている。
【００２８】
以上のように、クラッチ装置２４は、連結状態で、モータ２１及び減速機２２により構成されているモータ部３０の出力軸２８の回転トルクを回転軸２５に伝達可能とする。また、クラッチ装置２４は、連結解除状態で、出力軸２８と回転軸２５との間で空転させることができる。
【００２９】
取り付け部２７は、アクチュエータ２０を支持台７（図１参照）に連結固定するためのものである。取り付け部２７は、回転軸２５を軸受（転がり軸受３６）を介して支持している円筒部材３７と、この円筒部材３７を固定している支持部材３８とを有している。支持部材３８が支持台７（図１参照）に連結されていることで、アクチュエータ２０は支持台７に搭載された構成となる。円筒部材３７は、ピニオン２６とクラッチ装置２４との間に設けられており、回転軸２５を回転可能として支持している。
【００３０】
以上のように構成されたアクチュエータ２０を備えている扉開閉機構１７によって、チャンバー１０に対して扉１３を開閉する動作について説明する。チャンバー１０及びその内部の各機器等のメンテナンスを行うためには、扉１３を開いた状態としている。開状態の扉１３を閉じてチャンバー１０内において成膜の処理が開始される前までの動作は、次のように行われる。なお、この動作は、制御装置９において設定されているコンピュータプログラムにしたがって実行される。
【００３１】
アクチュエータ２０のクラッチ装置２４が連結状態でモータ２１を回転（正回転）させ、ピニオン２６をラック部材８に沿って進めて扉１３をチャンバー本体１１に接近させる（図３（Ａ）参照）。モータ２１の駆動を継続し、扉１３をＯリング１５に押し付け、これによりチャンバー１０内に密閉空間１６が形成される。図３（Ｂ）に示すように、Ｏリング１５が所定寸法だけ潰れた状態になるとモータ２１の駆動は停止される。モータ２１の駆動が停止すると、クラッチ装置２４は連結状態から連結解除状態に切り替えられる。図３（Ｂ）に示す状態で、チャンバー１０内の気密性が確保され、図２に示すポンプを含む減圧機構１８を作動させて密閉空間１６を減圧する。以上のように、扉１３の移動の停止後であってチャンバー１０内の減圧開始の前に、クラッチ装置２４は連結状態から連結解除状態に切り替えられる。
【００３２】
チャンバー１０内が減圧され圧力が低下するにしたがって、つまり、チャンバー１０内の真空度が高くなるにしたがって、外部の大気との差圧により扉１３は移動して図３（Ｃ）に示すようにチャンバー本体１１（フランジ部１４）に押し付けられる。この際、扉１３は支持台７と連結されており、この支持台７にアクチュエータ２０が搭載されているため、アクチュエータ２０のモータ２１は停止しているにもかかわらず、扉１３の移動と共にピニオン２６（図４参照）は回転しながらラック部材８に沿って移動する。この移動の際、クラッチ装置２４は既に連結解除状態となっていることから、ピニオン２６、回転軸２５及び第一クラッチ部材３１は、第二クラッチ部材３２及び出力軸２８に対して空転する。なお、前記差圧によって扉１３が移動を開始するタイミングで遅くともクラッチ装置２４は連結状態から連結解除状態に切り替えられていればよいが、本実施形態では減圧を開始する前に連結解除状態に切り替えられる。このように、チャンバー１０の内部を減圧する前に、クラッチ装置２４は連結状態から連結解除状態に切り替えられる。チャンバー１０内を減圧している間、アクチュエータ２０（モータ２１）は駆動停止しており、また、クラッチ装置２４は連結解除状態にある。
【００３３】
チャンバー１０内が真空状態となり基材の成膜を終えた後、扉１３を開く動作を開始する前にチャンバー１０内を常圧に戻す。チャンバー１０内を常圧に戻す間、アクチュエータ２０（モータ２１）は駆動停止しており、また、クラッチ装置２４は連結解除状態にある。常圧に戻る際、図３（Ｃ）に示すように弾性変形して大きく潰れていたＯリング１５は、その復元力により扉１３を開方向に押して移動させる（図３（Ｂ）に示す状態となる）。このように扉１３が押されて移動する場合においても、クラッチ装置２４は連結解除状態が維持されており、扉１３が開方向に移動しても、この扉１３と一体であるアクチュエータ２０のピニオン２６、回転軸２５、及び第一クラッチ部材３１は、第二クラッチ部材３２及び出力軸２８に対して空転する。
【００３４】
そして、チャンバー１０内が常圧に戻ると、扉１３はそれ以上移動せず、図３（Ｂ）に示す状態が維持される。チャンバー１０の大気開放完了後、扉１３を開くために、クラッチ装置２４は連結解除状態から連結状態へと切り替えられ、モータ２１を回転（逆回転）させる。これにより、扉１３をチャンバー本体１１から離し、チャンバー１０を開状態とすることができる。なお、Ｏリング１５の弾性復元力による扉１３の移動が完了し（つまり、扉１３が静止し）、更に扉１３をアクチュエータ２０によって移動開始するタイミングで遅くともクラッチ装置２４は連結解除状態から連結状態に切り替えられていればよく、本実施形態では常圧に復帰したことが検出されると、つまり、チャンバー１０の大気開放が完了すると、連結状態に切り替えられる。このように、チャンバー１０の内部が減圧状態から常圧になると、クラッチ装置２４は連結解除状態から連結状態に切り替えられる。
以上のように、モータ２１による扉１３の移動を止めた直後にクラッチ装置２４は連結解除状態となり、モータ２１による扉１３の移動を開始する直前にクラッチ装置２４は、連結状態となる。
【００３５】
以上のように、本実施形態の扉開閉機構１７は、チャンバー１０の扉１３を移動させるアクチュエータ２０を備えており、このアクチュエータ２０が有するモータ部３０の駆動以外の外力（チャンバー１０内外の差圧に起因する力）によって扉１３が動く可能性のある成膜装置５に用いられている。そこで、このアクチュエータ２０が有しているクラッチ装置２４は、連結状態と連結解除状態との間を切り替え可能として構成されており、連結状態で出力軸２８と回転軸２５との間において回転トルクを伝達可能であり、連結解除状態で出力軸２８と回転軸２５との間で空転させる構成である。この構成によれば、クラッチ装置２４を連結状態としモータ２１及び減速機２２を駆動させることでピニオン２６が回転し、これにより扉１３を閉じる動作及び開ける動作が可能となる。そして、扉１３によって閉ざされたチャンバー１０の内部が減圧され、その減圧による力で扉１３が動き、これによりピニオン２６及び回転軸２５が回転しても、その際にクラッチ装置２４を連結解除状態としていることで、出力軸２８に対してピニオン２６及び回転軸２５は空転するため、アクチュエータ２０に負荷をかけないで済む。このため、アクチュエータ２０の故障及びラック部材８の損傷を防ぐことが可能となる。
【００３６】
また、本実施形態では、クラッチ装置２４として、制御装置９から送信されるオン／オフ信号により状態の切り替えが行われる電磁クラッチが用いられているので、連結状態と連結解除状態との間の切り替え操作が容易であり、かつ迅速に行われる。特に、前記の各タイミングでクラッチ装置２４は、連結状態から連結解除状態に切り替えられ、また、連結解除状態から連結状態に切り替えられる。このため、チャンバー１０の扉１３を閉じる動作から、チャンバー１０内が減圧され、減圧状態となったチャンバー１０において成膜処理が行われ、この成膜処理の後、チャンバー１０を常圧に復帰させて扉１３を開けるまでの動作において、アクチュエータ２０に負荷をかけないで済む。
【００３７】
また、前記差圧に起因する力によって扉１３が動く際に、クラッチ装置２４を連結解除状態としていることから、扉１３側にも過剰な力が負荷されず、扉１３が変形しない。このため、チャンバー本体１１と扉１３との間の気密性が確保され、基材に対して成膜を行う処理が迅速に開始され、生産性が向上する。
【００３８】
以上のとおり開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。つまり、本発明の扉開閉機構は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。例えば、前記実施形態では、アクチュエータ２０のピニオン２６とラック部材８とを含むラックピニオン機構によって扉１３を移動させる場合について説明したが、扉１３を移動させる機構はそれ以外であってもよく、駆動用歯車が回転することで移動体が移動する構成であり、この移動体と扉とが一体となって移動する機構に、本発明が有する各機構（例えば、クラッチ装置２４）を適用することができる。
【００３９】
また、前記実施形態では、モータ部３０の出力軸２８の回転トルクを回転軸２５に伝達可能とする動力伝達機構をクラッチ装置２４（特に電磁クラッチ）として説明したが、他の手段によって動作するクラッチ装置であってもよい。また、動力伝達機構はクラッチ装置以外であってもよく、作業員の操作によって前記連結状態と前記連結解除状態とが切り替えられる構成であってもよい。
更に、本発明の扉開閉機構は、内部を減圧して用いるチャンバーの扉を開閉するために、この扉を移動させるアクチュエータを備えた構成であればよく、前記実施形態では、扉開閉機構１７が設けられている装置を成膜装置５としたが、扉開閉機構はその他の装置にも適用可能である。
また、クラッチ装置２４の切り替えの制御に関して、チャンバー１０の内部を減圧するタイミングに併せて、クラッチ装置２４は連結状態から連結解除状態に切り替えられてもよく、また、チャンバー１０の内部が減圧状態から常圧となるタイミングに併せて、クラッチ装置２４は連結解除状態から連結状態に切り替えられるように制御してもよい。
【符号の説明】
【００４０】
１０：チャンバー            １３：扉            １７：扉開閉機構
２０：アクチュエータ        ２４：クラッチ装置（動力伝達機構）
２５：回転軸                ２６：ピニオン（駆動用歯車）
２８：出力軸                ３０：モータ部
【図１】
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【図２】
2018154906.tif 000004
【図３】
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【図４】
2018154906.tif 000006
【図５】
2018154906.tif 000007
【図６】
2018154906.tif 000008