(57)【要約】【課題】外層に結晶化促進剤添加石英ガラス層を有する３層構造の石英ガラスルツボにおいて、ルツボ上端開口の内側方向への倒れこみを抑制し、且つルツボ上端領域のクラック発生を防止する。【解決手段】結晶化促進剤添加石英ガラスからなる外層２と、天然石英ガラスからなる中間層３と、高純度合成石英ガラスからなる内層４とを有する３層構造の石英ガラスルツボ１であって、ルツボ上端開口６から下方に所定距離までのルツボ上端領域の前記外層の厚さは、前記ルツボ上端領域より下方のルツボ側部の外層の厚さの２０％〜５０％の範囲である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶化促進剤添加石英ガラスからなる外層と、天然石英ガラスからなる中間層と、高純度合成石英ガラスからなる内層とを有する３層構造の石英ガラスルツボであって、
ルツボ上端開口から下方に所定距離までのルツボ上端領域の前記外層の厚さは、
前記ルツボ上端領域より下方のルツボ側部の外層の厚さよりも薄いことを特徴とする石英ガラスルツボ。
【請求項２】
前記ルツボ上端開口から下方に所定距離までのルツボ上端領域の前記外層の厚さは、
前記ルツボ上端領域より下方のルツボ側部の外層の厚さの２０％〜５０％の範囲であることを特徴とする請求項１に記載された石英ガラスルツボ。
【請求項３】
前記中間層において、前記ルツボ上端領域の下端位置を中心とする所定高さの帯域には、該中間層の他の部位よりも粘度が高くなされていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載された石英ガラスルツボ。
【請求項４】
前記ルツボ上端領域の下端位置は、単結晶引き上げ前にシリコン原料が溶融された溶融液の液面高さを示す初期メルトラインの位置であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載された石英ガラスルツボ。
【請求項５】
結晶化促進剤添加石英ガラスからなる外層と、天然石英ガラスからなる中間層と、高純度合成石英ガラスからなる内層とを有する３層構造の石英ガラスルツボであって、
前記中間層において、ルツボ上端開口から下方に所定距離の位置を中心とする所定高さの帯域には、該中間層の他の部位よりも粘度が高くなされていることを特徴とする石英ガラスルツボ。
【請求項６】
前記ルツボ上端開口から下方に所定距離の位置は、単結晶引き上げ前にシリコン原料が溶融された溶融液の液面高さを示す初期メルトラインの位置であることを特徴とする請求項５に記載された石英ガラスルツボ。
【請求項７】
結晶化促進剤添加石英ガラスからなる外層と、天然石英ガラスからなる中間層と、高純度合成石英ガラスからなる内層とを有する３層構造の石英ガラスルツボの製造方法であって、
ルツボ上端開口から下方に所定距離までのルツボ上端領域の前記外層の厚さを、
該ルツボ上端領域より下方のルツボ側部の外層の厚さよりも薄く形成することを特徴とする石英ガラスルツボの製造方法。
【請求項８】
前記ルツボ上端開口から下方に所定距離までのルツボ上端領域の前記外層の厚さを、
該ルツボ上端領域より下方のルツボ側部の外層の厚さの２０％〜５０％の範囲とすることを特徴とする請求項７に記載された石英ガラスルツボの製造方法。
【請求項９】
前記中間層において、前記ルツボ上端領域の下端位置を中心とする所定高さの帯域に対し、該中間層の他の部位よりも粘度を高くすることを特徴とする請求項７または請求項８に記載された石英ガラスルツボの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、石英ガラスルツボ及びその製造方法に関し、特に原料シリコンの溶融開始からシリコン単結晶引き上げ初期段階において、ルツボ上端開口の倒れ込みを抑制し、且つルツボ上端領域におけるクラック発生を防止することのできる石英ガラスルツボ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコン単結晶の育成に関し、チョクラルスキー法（ＣＺ法）が広く用いられている。この方法は、石英ガラスルツボ内に形成されたシリコン溶融液の表面に種結晶を接触させ、ルツボを回転させるとともに、この種結晶を反対方向に回転させながら上方へ引き上げることによって、種結晶の下端に単結晶を形成していくものである。
【０００３】
ところで、石英ガラスルツボは、年々大型化しているが、石英ガラスルツボの大型化は、多結晶シリコンの装填量を増大させることができ、生産性が向上するというメリットがある。
しかしながら、その反面、溶融の長時間化、加熱用カーボンヒータの大出力化といった難しい環境下で使用しなければならず、石英ガラスルツボへの悪影響も大きい。例えば、従来の石英ガラスルツボは、高温域での粘性値が低く、１４００℃以上の熱環境下では、長時間その形状を維持し難かった。そのため、石英ガラスルツボの変形による溶融シリコンの溶融面の変動、及び単結晶化率低下など、単結晶引き上げ工程で問題が生じていた。
【０００４】
この問題を解決するため、特許文献１には、図５に示すように外層６１が結晶化促進剤としてのＡｌを添加した石英層、中間層６２が天然石英層、内層６３が高純度合成石英層からなる３層構造の石英ガラスルツボ６０について開示されている。
このルツボによれば、シリコン単結晶引き上げ工程の加熱昇温過程において、外層は１２００℃以上で一定加熱すると、クリストバライトへと結晶化する。
クリストバライトの成長過程においては、粘性が向上し、また、結晶化することで高い耐久性を得ることができるため、前記のようにルツボの変形や破損といった課題を解決することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２４７７７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示された石英ガラスルツボのように３層構造のルツボにあっては、最外層のＡｌ添加石英ガラス層の粘性が低い場合、あるいはＡｌ添加石英ガラス層の厚さが殆ど無い場合に、ルツボ上部に内側方向への力が加わり、口元（ルツボ上端開口）の倒れ込み量が大きくなる虞があった。
また、最外層のＡｌ層を厚く形成すると、熱膨張率が大きくなり、ルツボ上端領域の急激な温度変化によって外層からクラックが発生するという課題があった。
【０００７】
本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、外層に結晶化促進剤添加石英ガラス層を有する３層構造の石英ガラスルツボにおいて、ルツボ上端開口の内側方向への倒れこみを抑制し、且つルツボ上端領域のクラック発生を防止することのできる石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するためになされた本発明に係る石英ガラスルツボは、結晶化促進剤添加石英ガラスからなる外層と、天然石英ガラスからなる中間層と、高純度合成石英ガラスからなる内層とを有する３層構造の石英ガラスルツボであって、ルツボ上端開口から下方に所定距離までのルツボ上端領域の前記外層の厚さは、前記ルツボ上端領域より下方のルツボ側部の外層の厚さよりも薄いことに特徴を有する。
尚、前記ルツボ上端開口から下方に所定距離までのルツボ上端領域の前記外層の厚さは、前記ルツボ上端領域より下方のルツボ側部の外層の厚さの２０％〜５０％の範囲であることが望ましい。
また、前記中間層において、前記ルツボ上端領域の下端位置を中心とする所定高さの帯域には、該中間層の他の部位よりも粘度が高くなされていることが望ましい。
【０００９】
あるいは、前記課題を解決するためになされた本発明に係る石英ガラスルツボは、結晶化促進剤添加石英ガラスからなる外層と、天然石英ガラスからなる中間層と、高純度合成石英ガラスからなる内層とを有する３層構造の石英ガラスルツボであって、前記中間層において、ルツボ上端開口から下方に所定距離の位置を中心とする所定高さの帯域には、該中間層の他の部位よりも粘度が高くなされていることに特徴を有する。
また、前記ルツボ上端領域の下端位置は、単結晶引き上げ前にシリコン原料が溶融された溶融液の液面高さを示す初期メルトラインの位置であることが望ましい。
【００１０】
このような構成によれば、ルツボ上端領域の外層において熱膨張率が過大にならず、急激な温度変化下でもクラックの発生が防止される。また、ルツボ上端領域において薄くても外層が結晶化することにより、ルツボ上端開口の内側への倒れこみを抑制することができる。
【００１１】
また、前記課題を解決するためになされた、本発明に係る石英ガラスルツボの製造方法は、結晶化促進剤添加石英ガラスからなる外層と、天然石英ガラスからなる中間層と、高純度合成石英ガラスからなる内層とを有する３層構造の石英ガラスルツボの製造方法であって、ルツボ上端開口から下方に所定距離までのルツボ上端領域の前記外層の厚さを、該ルツボ上端領域より下方のルツボ側部の外層の厚さよりも薄く形成することに特徴を有する。
尚、前記ルツボ上端開口から下方に所定距離までのルツボ上端領域の前記外層の厚さを、該ルツボ上端領域より下方のルツボ側部の外層の厚さの２０％〜５０％の範囲とすることが望ましい。
また、前記中間層において、前記ルツボ上端領域の下端位置を中心とする所定高さの帯域に対し、該中間層の他の部位よりも粘度を高くすることが望ましい。
【００１２】
このような方法によれば、ルツボ上端領域の外層において熱膨張率が過大にならず、急激な温度変化下でもクラックの発生が防止される。また、ルツボ上端領域において薄くても外層が結晶化することにより、ルツボ上端開口の内側への倒れこみを抑制することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、外層にＡｌ添加石英ガラス層を有する３層構造の石英ガラスルツボにおいて、ルツボ上端開口の内側方向への倒れこみを抑制し、且つルツボ上端領域のクラック発生を防止することのできる石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、本発明に係る石英ガラスルツボの断面図である。
【図２】図２は、図１の石英ガラスルツボの上端開口部を一部拡大した断面図である。
【図３】図３は、本発明に係る石英ガラスルツボの製造方法が実施される製造装置を模式的に示す断面図である。
【図４】図４は、本発明に係る石英ガラスルツボの変形例を示す一部拡大断面図である。
【図５】図５は、従来の石英ガラスルツボの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る石英ガラスルツボ及びその製造方法の実施形態について図面に基づき説明する。図１は、本発明に係る石英ガラスルツボ１の断面図である。図２は、図１の石英ガラスルツボ１の上端開口部を一部拡大した断面図である。
この石英ガラスルツボ１は、単結晶引上装置（図示せず）において用いられ、装置内でカーボンサセプタ（図示せず）によって抱持された状態で使用される。前記単結晶引上装置では、石英ガラスルツボ１内に原料シリコンが溶融され、溶融液からシリコン単結晶が引き上げられる。
【００１６】
図示するように石英ガラスルツボ１は、３層構造のルツボであって、外層２が結晶化促進剤としてのＡｌ（アルミニウム）を添加したＡｌ添加石英ガラス層により形成され、中間層３が天然原料石英ガラス層により形成され、内層４が高純度合成原料石英ガラス層により形成されている。
【００１７】
また、単結晶引き上げ時において、ルツボ内部にシリコン原料を溶融した際の溶融液面の高さの帯域を初期メルトラインＭＬとすると、この初期メルトラインＭＬは、図２に示すようにルツボ上端６から下方に高さｈ１（例えば６０ｍｍ）の位置とされる。また、このルツボ上端６から初期メルトラインＭＬまでの領域を、本実施形態ではルツボ上端領域１０と呼ぶ。
【００１８】
前記ルツボ上端領域１０にあっては、外層２の厚さは、それより下方のルツボ側部７の外層２の厚さ（例えば２ｍｍ〜３ｍｍ）よりも薄く（好ましくは側部７の外層２の厚さの２０％以上５０％以下）、例えば０．４ｍｍ〜１．５ｍｍに形成されている。
また、ルツボ上端領域１０において、中間層３の厚さは例えば４ｍｍ〜２０ｍｍと厚く形成され、内層４は例えば１ｍｍ〜３ｍｍに形成されている。
【００１９】
また、ルツボ上端領域１０の下方に位置するルツボ側部７にあっては、外層２の厚さはルツボ上端領域１０よりも厚く、例えば２ｍｍ〜３ｍｍに形成されている。
また、ルツボ側部７における中間層３の厚さは、外層２の厚さがルツボ上端領域１０よりも厚いため、ルツボ上端領域１０の中間層３よりも薄く、例えば１．４ｍｍ〜１９．５ｍｍに形成されている。
また、ルツボ側部７の内層４は、ルツボ上端領域１０と同様に例えば１ｍｍ〜３ｍｍに形成されている。
【００２０】
また、ルツボ側部７の下方における底部コーナー８、及び底部９における外層２、中間層３、内層４の厚さは、それぞれ側部７と同じ厚さに形成されている。
【００２１】
前記のように、ルツボ上端領域１０において、Ａｌ添加石英層からなる外層２は、それより下方のルツボ側部７よりも薄い厚さに形成されている。より具体的には、ルツボ側部７の厚さ（例えば２ｍｍ〜３ｍｍ）の２０％〜５０％の間の厚さ（例えば０．４ｍｍ〜１．５ｍｍ）に形成されている。これにより、熱膨張率が過大にならず、急激な温度変化下でもクラックの発生が抑制される。
また、薄くても外層２としてルツボ上端領域１０で結晶化することで、ルツボ上端開口６の内側への倒れこみを抑制することができる。
【００２２】
更に、中間層３では、図２にクロスハッチで示すように、初期メルトラインＭＬを中心として所定高さｈ２の帯域（例えば初期メルトラインＭＬを境に±３０ｍｍの範囲）は、高粘性の原料により形成されている。具体的には高粘性の原料として、例えば通常の天然石英ガラス原料にＡｌ添加（ルツボ側部７の中間層３におけるＡｌ濃度に対し＋１〜＋２ｐｐｍ程度添加）したものが用いられる。
このように初期メルトラインＭＬの帯域において、ルツボの粘性が高く形成されることにより、ルツボ口元の内側への倒れこみ、及びクラック発生をより効果的に抑制することができる。
【００２３】
続いて、前記の石英ガラスルツボ１の製造方法について、図３を用いて説明する。図３は本発明に係る石英ガラスルツボの製造方法が実施される製造装置を模式的に示す断面図である。
石英ガラスルツボ製造装置３０のルツボ成形用型１１は、例えば複数の貫通孔が穿設された金型、もしくは高純化処理した多孔質カーボン型などのガス透過性部材で構成された内側部材１２と、その外周に通気部１３を設けて、前記内側部材１２を保持する保持体１４とから構成されている。
【００２４】
また、保持体１４の下部には、図示しない回転手段と連結されている回転軸１５が固着されていて、ルツボ成形用型１１を回転可能に支持している。通気部１３は、保持体１４の下部に設けられた開口部１６を介して、回転軸１５の中央に設けられた排気路１７と連結されており、この排気路１７は、減圧機構１８と連結されている。
内側部材１２に対向する上部にはアーク放電用のアーク電極１９と、結晶化促進剤としてのＡｌが添加された石英ガラス原料を供給するＡｌ添加石英ガラス供給ノズル２０と、天然原料シリカガラス供給ノズル２１と、合成原料シリカガラス供給ノズル２２とが設けられている。
【００２５】
外層２に用いられるＡｌ添加石英ガラス粉は、次のようにして得られる。例えば、Ａｌ硝酸塩（Ａｌ（ＮＯ3）3）を石英ガラス粉のＡｌ濃度が３５〜１００ｐｐｍとなるようにＡｌ（ＮＯ3）3水溶液を、天然原料石英ガラス粉に添加、攪拌する。Ａｌ（ＮＯ3）3水溶液に浸された石英ガラス粉は、脱水、酸分除去を目的として８００〜１１００℃で加熱処理される。
【００２６】
こうして得られたＡｌ添加石英ガラス粉を上述したルツボ製造装置３０を用いて石英ガラスルツボ１の製造を行う場合、図示しない回転駆動源を稼働させて回転軸１８を矢印の方向に回転させ、これによりルツボ成形用型１１を高速で回転させる。
次いで、ルツボ成形用型１１内にＡｌ添加石英ガラス供給ノズル２０から上述のようにして得られたＡｌ添加石英ガラス粉を供給する。供給されたＡｌ添加石英ガラス粉は、遠心力によって内側部材１２の内面１２ａ側に押圧され、所定厚さ、例えば２ｍｍ〜３ｍｍの外層２として形成される。
ここで、外層２は、図１、図２に示したルツボ上端領域１０のみが該外層２の他の部位よりも薄い所定厚さ、例えば厚さ１．４ｍｍ〜１９．５ｍｍとなるように図示しない治具を用いて内側から厚さ方向に削られる。
【００２７】
次いで、Ａｌ添加石英ガラス層からなる外層２の内面側において、図１、図２に示した初期メルトラインＭＬの上下３０ｍｍの所定範囲に対し、例えば天然原料石英ガラス供給ノズル２１とは別に設けられたノズル（図示せず）から、高粘性材料としてのＡｌを所定濃度（ルツボ側部７の中間層３におけるＡｌ濃度に対し＋１〜＋２ｐｐｍとなる濃度）含有する天然原料石英ガラス粉をルツボ周方向に供給し、帯状の中間層３（図２のクロスハッチ部分）を形成する。このとき、ルツボ上端領域１０では４ｍｍ〜２０ｍｍ以上、その他の部位では厚さが１．４ｍｍ〜１９．５ｍｍ以上となるように供給する。
【００２８】
そして、前記形成した帯状の中間層３を除く部位（前記初期メルトラインＭＬの上下３０ｍｍの範囲を除く他の部位）に対し、ルツボ上端領域１０では４ｍｍ〜２０ｍｍ以上、その他の部位では厚さが１．４ｍｍ〜１９．５ｍｍ以上の中間層３が形成されるように、天然原料石英ガラス粉を天然原料石英ガラス供給ノズル２１から供給する。
供給された天然原料石英ガラス粉は、遠心力によって外層２の内面側に押圧されて、不透明層である中間層３の成形体として成形される。
【００２９】
次に、中間層３の内面側に１ｍｍ〜３ｍｍ以上の厚さを有する透明層が形成されるように、Ｎａ、Ｋ、Ａｌの金属不純物含有量が各々１ｐｐｍ以下の合成原料石英ガラス粉（または天然原料石英ガラス粉）を合成原料石英ガラス供給ノズル２２から供給する。
供給された合成原料石英ガラス粉は、遠心力によって中間層３の内面側に押圧されて、透明層である内層４の成形体として成形される。
【００３０】
このようにしてＡｌ添加石英ガラス層からなる外層２と、不透明層からなる中間層３と、透明層からなる内層４のルツボ成形体が得られる。
さらに、減圧機構１８の作動により内側部材１２内を減圧し、アーク電極１９に通電してルツボ成形体の内側から加熱し、ルツボ成形体の内層４、中間層３、および外層２を溶融して、石英ガラスルツボ１を製造する。
【００３１】
以上のように、本実施の形態によれば、外層２が結晶化促進剤としてのＡｌを添加した石英ガラス層、中間層３が天然石英ガラス層、内層４が高純度合成石英ガラス層により形成された３層構造の石英ガラスルツボ１において、ルツボ上端領域１０の外層２の厚さが、それよりの下方のルツボ側部の厚さ（例えば２ｍｍ〜３ｍｍ）の２０％〜５０％の厚さ（例えば０．４ｍｍ〜１．５ｍｍ）に形成される。
この構成により、ルツボ上端領域１０の外層２において熱膨張率が過大にならず、急激な温度変化下でもクラックの発生が防止される。また、ルツボ上端領域１０において薄くても外層２が結晶化することにより、ルツボ上端開口の内側への倒れこみを抑制することができる。
さらには、中間層３において、ルツボ上端領域１０の下端（初期メルトラインＭＬ）を中心として、上下３０ｍｍの範囲は、高粘性材料としてＡｌを所定濃度（ルツボ側部７の中間層のＡｌ濃度に対し＋１〜＋２ｐｐｍ）含むものとされる。これにより、ルツボ上端開口における倒れこみ、及びクラック発生をより効果的に抑制することができる。
【００３２】
尚、前記実施の形態にあっては、ルツボ上端領域１０において、Ａｌ添加石英ガラス層である外層２の厚さはすべて均一なものとしたが、本発明にあっては、その形態に限定されるものではない。
例えば、図４に示すように、初期メルトラインＭＬからルツボ上端開口に向かって、その厚さが漸減する形状でもよい。
【実施例】
【００３３】
本発明に係る石英ガラスルツボ及びその製造方法について、実施例に基づきさらに説明する。本実施例では、前記実施の形態に示した石英ガラスルツボ製造装置を用いて石英ガラスルツボの製造を行い、得られた石英ガラスルツボに基づき検証した。
【００３４】
［実施例１〜６］
実施例１〜６では、ルツボ上端領域の外層の厚さ、及び中間層における初期メルトラインを中心とした±３０ｍｍの帯域における粘性比率（中間層の他部位を１とする）を条件として、ルツボ上端開口の倒れ込み量、及びクラック発生の有無を観察した。
また、比較例１として、ルツボ上端領域の外層厚さが他の外層の部位と同じ、且つ中間層における初期メルトラインを中心とした±３０ｍｍの帯域における粘性比率が中間層の他部位と同じものを用いた。
また、比較例２として、ルツボ上端領域の外層厚さが他の外層の部位よりも厚く、且つ中間層における初期メルトラインを中心とした±３０ｍｍの帯域における粘性比率が中間層の他部位と同じものを用いた。
表１に、条件及び結果を示す。
【００３５】
【表１】
2018043897.tif 000003
【００３６】
表１に示すように、実施例１では、ルツボ上端領域の外層厚さを、その他の外層の部位の厚さよりも薄い１ｍｍとし、中間層における初期メルトライン帯域の粘性比は１．０とした。その結果、ルツボ上端領域のクラックは発生せず、倒れ込み量は８ｍｍ程度に留まった。
また、実施例２、３では、ルツボ上端領域の厚さを１ｍｍとした上に、中間層における初期メルトライン帯域の粘性比をそれぞれ１．２，１．１とし、より粘性を高くした。その結果、ルツボ上端領域のクラックは発生せず、また、倒れ込み量はそれぞれ３ｍｍ、５ｍｍとなり、より効果的に倒れ込みを抑制することができた。
【００３７】
また、実施例４では、ルツボ上端領域の外層厚さを、その他の外層の部位の厚さと同じ２ｍｍとし、中間層における初期メルトライン帯域の粘性比を１．２とし、より粘性を高くした。その結果、ルツボ上端領域のクラックは発生せず、倒れ込み量は７ｍｍ程度に留まった。
また、実施例５では、ルツボ上端領域の外層厚さを、その他の外層の部位の厚さよりも薄い０．３ｍｍとし、中間層における初期メルトライン帯域の粘性比は１．０とした。その結果、ルツボ上端領域のクラックは発生しなかったが、倒れ込み量は１１ｍｍと大きくなった。
また、実施例６では、ルツボ上端領域の外層厚さを、その他の外層の部位の厚さよりも薄い０．４ｍｍとし、中間層における初期メルトライン帯域の粘性比は１．０とした。その結果、ルツボ上端領域のクラックは発生せず、倒れ込み量は８ｍｍ程度に留まった。
【００３８】
また、比較例１では、ルツボ上端領域の外層厚さを、その他の外層の部位の厚さと同じ２ｍｍとし、中間層における初期メルトライン帯域の粘性比は１．０とした。その結果、ルツボ上端領域のクラックは発生しなかったが、倒れ込み量は１０ｍｍと大きくなった。
また、比較例２では、ルツボ上端領域の外層厚さを、その他の外層の部位の厚さよりも厚い３ｍｍとし、中間層における初期メルトライン帯域の粘性比は１．０とした。その結果、ルツボ上端領域のクラックが発生し、倒れ込み量も１２ｍｍと大きくなった。
【００３９】
以上の結果より、ルツボ上端領域の外層厚さを、外層におけるその他の部位の厚さの２０％〜５０％の範囲内とすることにより、ルツボ上端領域のクラック発生を防止し、ルツボ上端開口の倒れ込みを抑制できることを確認した。
更に、中間層における初期メルトライン帯域の粘性比を高くすることにより、より効果的にルツボ上端領域のクラック発生、及び、ルツボ上端開口の倒れ込みを抑制できることを確認した。
【符号の説明】
【００４０】
１      石英ガラスルツボ
２      外層
３      中間層
４      内層
６      上端開口
７      ルツボ側部
８      底部コーナー
９      底部
１０    ルツボ上端領域
ＭＬ    初期メルトライン
【図１】
2018043897.tif 000004
【図２】
2018043897.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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