(57)【要約】【課題】収納容器への給電が途切れた場合やファンフィルタユニットに一時的に異常が発生した場合に、収納容器内の清浄度の良否を判断した上で異常としての処理を行う基板収納用の収納容器を提供する。【解決手段】基板を収納する容器本体２１内に清浄化された気体を送風するファンフィルタユニット２３を備える収納容器２０であって、ファンフィルタユニット２３は、ファンフィルタユニット２３への給電が行われている間に容器本体２１内の清浄度に関する有効信号の出力を開始する異常監視部６１を備え、異常監視部６１はタイマー６２を備え、異常監視部６１への給電が行われている間は有効信号の出力状態を維持し、給電が途絶えタイマー６２が所定の設定時間を計時すると有効信号の出力状態の維持を解除するものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する容器本体内に清浄化された気体を送風するファンフィルタユニットを備える基板収納用の収納容器であって、
前記ファンフィルタユニットは、前記ファンフィルタユニットへの給電が行われている間に前記容器本体内の清浄度に関する有効信号の出力を開始する異常監視部を備え、
前記異常監視部は、
当該異常監視部への給電が途絶えると、その途絶えている時間を計時する計時部を備え、
前記計時部が所定の設定時間を計時した場合に前記有効信号の出力を停止すること
を特徴とする基板収納用の収納容器。
【請求項２】
前記異常監視部は、計時部としてオフディレータイマー機能を有するリレーを備えること
を特徴とする請求項１に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項３】
前記異常監視部は、
リセットスイッチと、
前記ファンフィルタユニットに異常が発生すると開く常閉接点と、
オフディレータイマー機能を有するリレーと、
前記リセットスイッチに並列接続される前記オフディレータイマー機能を有するリレーの常開接点を備えること
を特徴とする請求項１に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項４】
前記収納容器は、出力部を備え、
前記出力部は表示装置からなり、
前記有効信号の出力の有無により切り変わること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の基板収納用の収納容器。
【請求項５】
前記収納容器は、出力部を備え、
前記出力部は、前記容器本体を保管する保管設備又は前記容器本体を搬送する搬送手段に配置される通信装置と通信可能な光伝送装置により構成され、
前記光伝送装置は、前記通信装置に対して、前記有効信号の出力の有無により送信内容が切り変わること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の基板収納用の収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を収納する容器本体内に清浄化された気体を送風するファンフィルタユニットを備える基板収納用の収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、フラットパネルディスプレイの製造過程で使用されるガラス基板、或いは、半導体素子の製造過程で使用されるシリコンウエハー等の半導体基板は、多段収納が可能な収納容器に収納された状態でクリーンルーム内において搬送又は保管されている。
この種の基板収納用の収納容器には、収納容器内の清浄度を維持するためのファンフィルタユニットが容器本体の一方側の開口部に設けられている。ファンフィルタユニットはフィルタを通して清浄化された空気（気体）を容器本体内に送風し続けることで、収納容器内の清浄度を保持する。
ここで、ファンフィルタユニットが容器本体内への送風を継続して行うためには、ファンフィルタユニットに設けられるファンを駆動させるための電力をファンフィルタユニットに供給する必要がある。
そこで、特許文献１に示す基板収納用の収納容器には、ファンフィルタユニットへ非接触方式で給電を行うための非接触給電装置の受電部が備えられており、収納容器を収納するための収納棚に設けられている非接触給電装置の給電部から非接触方式で電力が供給されることによりファンフィルタユニットの駆動電力を確保している。
また、特許文献１の基板収納用の収納容器には、保管装置を走行するスタッカークレーンにより搬送されている間も電力の供給を継続できるようにバッテリが搭載され、バッテリからの電力でファンフィルタユニットが駆動される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−９４４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の基板収納用の収納容器においては、収納棚に設けられた給電部からの電力が断たれた状態、或いはバッテリからの電力が絶たれた状態となった場合に、一律に、異常が発生したとして、収納容器内の清浄度が維持された状態であるにも関わらず、異常として処理されるという問題があった。また、ファンフィルタユニットに一時的な障害が発生した場合にも、同様に異常と処理されるという問題があった。すなわち、収納容器への給電が途切れた場合、或いはファンフィルタユニットに一時的な障害が発生した場合に、収納容器内の清浄度が被搬送物に影響を与える程度に悪化しているか否かを切り分けて判断することができなかった。
【０００５】
そこで、本発明は、収納容器への給電が途切れた場合やファンフィルタユニットに一時的に異常が発生した場合に、収納容器内の清浄度の良否を判断した上で異常としての処理を行う基板収納用の収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上であり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００７】
即ち、本発明の基板収納用の収納容器は、基板を収納する容器本体内に清浄化された気体を送風するファンフィルタユニットを備える基板収納用の収納容器であって、前記ファンフィルタユニットは、前記ファンフィルタユニットへの給電が行われている間に前記容器本体内の清浄度に関する有効信号の出力を開始する異常監視部を備え、前記異常監視部は、当該異常監視部への給電が途絶えると、その途絶えている時間を計時する計時部を備え、前記計時部が所定の設定時間を計時した場合に前記有効信号の出力を停止するものである。
上記構成では、計時部が所定の設定時間を計時するまでは、容器本体内の清浄度に関する有効信号の出力が継続する。
【０００８】
本発明の基板収納用の収納容器は、上記構成において、前記異常監視部は、計時部としてオフディレータイマー機能を有するリレーを備えるものである。
上記構成では、オフディレータイマーが所定の設定時間を計時するまでは、リレーの励磁状態がそのまま継続され、オフディレータイマーが所定の設定時間を計時すると、リレーの励磁状態が解除される。
【０００９】
本発明の基板収納用の収納容器は、上記構成において、前記異常監視部は、リセットスイッチと、前記ファンフィルタユニットに異常が発生すると開く常閉接点と、オフディレータイマー機能を有するリレーと、前記リセットスイッチに並列接続される前記オフディレータイマー機能を有するリレーの常開接点を備えるものである。
上記構成では、ファンフィルタユニットへの給電が途絶える、或いはファンフィルタユニットに異常が発生すると、異常監視部への給電が途絶えオフディレータイマーが計時を開始し、オフディレータイマーが所定の設定時間を計時するまでは、リレーの励磁状態がそのまま継続される。
【００１０】
本発明の基板収納用の収納容器は、上記の構成において、前記収納容器は、出力部を備え、前記出力部は表示装置からなり、前記有効信号の出力の有無により切り変わるものである。
上記構成では、出力部における表示の切り替わりにより容器本体内の清浄度の良否を判別できる。
【００１１】
本発明の基板収納用の収納容器は、上記の構成において、出力部を備え、前記出力部は、前記容器本体を保管する保管設備又は前記容器本体を搬送する搬送手段に配置される通信装置と通信可能な光伝送装置により構成され、前記光伝送装置は、前記通信装置に対して、前記有効信号の有無により送信内容が切り替わるものである。
上記構成では、収納容器に設けられる光伝送装置から保管設備又は搬送手段に設けられる通信装置に対して送信される送信内容により容器本体内の清浄度の良否を判別できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の基板収納用の収納容器によれば、計時部が所定の設定時間を計時することを待って、有効信号の出力状態の維持を解除することから、収納容器への給電が行われない状態を、一律に、容器本体内の清浄度が不良な状態であるとして判断しない。そのため、収納容器への給電が途切れた場合に、容器本体内の清浄度の良否を判断した上で適切に対処することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明に係る基板収納用の収納容器を保管する保管設備の平面図である。
【図２】本発明に係る基板収納用の収納容器を保管する保管設備の側面図である。
【図３】本発明に係る基板収納用の収納容器の斜視図である。
【図４】本発明に係る収納容器の容器本体内における清浄度の判断機構を示すブロック図である。
【図５】本発明に係る基板収納用の収納容器に設けられる有効信号維持装置の制御回路を示す図である。
【図６】本発明に係る基板収納用の収納容器に設けられる有効信号維持装置の制御方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
まず、本発明に係る基板収納用の収納容器２０を保管する保管設備１０について説明する。
図１及び図２に示すように、保管設備１０は、スタッカークレーン等の搬送台車５０（「搬送手段」の一例）によって搬送される収納容器２０を保管するための設備である。保管設備１０は、その中央に搬送台車５０が走行するレール１９が設けられ、レール１９に沿って一対の保管棚１１が設けられる。
保管棚１１は、収納容器２０を保管する棚であり、レール１９を挟むように互いに向かい合わせて設けられる。
保管棚１１は、レール１９（搬送台車５０の走行方向）に沿って並ぶように複数の保管部１３が設けられ、保管部１３のそれぞれに収納容器２０が保管される。
保管部１３は、鉛直方向に延びる複数の柱１６と、レール１９（搬送台車５０の走行方向）と直交する方向に並ぶ一対の柱１６の間を掛け渡すように設けられる棚板１７と、により区切られる。
保管部１３のそれぞれには、収納容器２０が載置される棚板１７の片側端部に非接触給電用の保管棚パッド１８が設けられている。保管棚パッド１８は、保管部１３側の給電部であり、外部電源からの電流が流れることにより磁束を発生させるコイルが埋め込まれた板により形成される。
【００１５】
次に、本発明に係る基板収納用の収納容器２０について説明する。
【００１６】
図３に示すように、収納容器２０は、基板を多段収納するための基板収納用の容器である。基板は、例えば、フラットパネルディスプレイの製造過程で使用されるガラス基板である。
収納容器２０は、収納容器２０の本体を構成する容器本体２１と、容器本体２１の一端側の開口部を開閉する蓋体２２と、容器本体２１の他端側の開口部から一端側の開口部に向けて通風するファンフィルタユニット２３と、から構成される。
【００１７】
容器本体２１は、略直方体の形状のうち向かい合う２面が開口した横倒れ姿勢の四角筒状に形成される。容器本体２１は、その一端側の開口部に、基板を出し入れするための出入り口２１ａを備える。容器本体２１は、出入り口２１ａから基板が収納され、その内部において基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚保持する。容器本体２１は、その他端側の開口部に、ファンフィルタユニット２３を取り付けるためのファンフィルタユニット取付口２１ｂを備える。
蓋体２２は、板状部材により構成される。蓋体２２は、その上端部及び左右端部が略垂直に折り曲げられ、容器本体２１の出入り口２１ａに対して嵌め合わせ可能に構成される。
ファンフィルタユニット２３は送風装置であり、ファンフィルタユニット用枠体２３ａに固定され、ファンフィルタユニット取付口２１ｂから出入り口２１ａに向けて通風する。
ファンフィルタユニット用枠体２３ａは、ファンフィルタユニット２３を容器本体２１のファンフィルタユニット取付口２１ｂに取り付けるための枠体である。ファンフィルタユニット用枠体２３ａは、板状部材であり、容器本体２１のファンフィルタユニット取付口２１ｂを覆うように構成される。ファンフィルタユニット用枠体２３ａは、その左右端部が垂直に折り曲げられ、容器本体２１のファンフィルタユニット取付口２１ｂに対して嵌め合わせ可能に構成される。
ファンフィルタユニット用枠体２３ａには、その下方片側端部に非接触給電用の容器パッド２４が設けられている。容器パッド２４は、収納容器２０側の受電部であり、外部の磁束変動に応じて電流を発生させるコイルが埋め込まれた板により形成される。容器パッド２４は、ファンフィルタユニット２３の駆動電力を非接触給電方式により外部から受電する。
蓋体２２及びファンフィルタユニット用枠体２３ａは、それぞれ複数の係合部２２ａ、２３ｂを備える。蓋体２２及びファンフィルタユニット用枠体２３ａは、下方に降りながら、係合部２２ａ、２３ｂを、容器本体２１の側面に設けられた係止部２１ｃ、２１ｄに引っ掛けることで、出入り口２１ａ及びファンフィルタユニット取付口２１ｂを閉鎖する。
【００１８】
次に、収納容器２０を搬送する搬送台車５０について説明する。
図１及び図２に示すように、搬送台車５０は、保管設備１０内に設けられるレール１９上を走行方向Ｗに沿って走行可能なスタッカークレーン等の走行装置である。搬送台車５０は、一対のマスト５２と、マストに沿って昇降する昇降台５４と、昇降台５４に搭載される旋回台５３と、旋回台５３に屈伸式アーム５５を介して取り付けられるフォーク５１とを備える。搬送台車５０は、フォーク５１上に収納容器２０を載置支持した状態でレール１９上を走行することにより、保管設備１０内で収納容器２０の搬送を行う。昇降台５４は、マスト５２に沿って鉛直方向Ｈに昇降可能に構成され、収納容器２０を載置支持した状態のフォーク５１を鉛直方向Ｈに昇降させ、上下複数段の保管部１３のそれぞれに対して収納容器２０の上下方向の位置を合わせる。
旋回台５３は、屈伸式アーム５５とフォーク５１とを水平面内で旋回させることにより、レール１９の左右両側に設けられている保管棚１１のいずれに対しても移載を行うことができる。
フォーク５１は略長方形状の板で構成されており、その短手方向寸法が保管棚１１の２枚の棚板１７同士の間の間隔よりも小さくなるように形成される。フォーク５１は屈伸式アーム５５を屈伸させることによって水平方向に移動可能である。フォーク５１は、屈伸式アーム５５の屈伸によって、旋回台５３上（搬送手段側）の搬送位置と保管棚１１内（保管部側）の保管位置との間で移動する。
【００１９】
次に、収納容器２０を保管棚１１へと移載する際の移載動作について説明する。まず、収納容器２０を支持した状態のフォーク５１を鉛直方向Ｈにおいて棚板１７よりもやや上方側まで昇降させるとともに、フォーク５１の長手方向が移載方向Ｙと一致する姿勢へと旋回させて、収納容器２０が保管棚１１の入り口に臨む状態とする。その後、屈伸式アーム５５を伸ばしてフォーク５１を上記搬送位置から上記保管位置へと移動させる。さらに、フォーク５１を棚板１７よりも下方側へと下降させると、フォーク５１は棚板１７同士の間を通り抜ける一方で、収納容器２０は棚板１７上に載置される。
移載開始前には、非接触給電の給電側となる搬送台車パッド５６と、受電側となる容器パッド２４とが接近した状態に保たれているため、ファンフィルタユニット２３には非接触給電により駆動電力が継続して供給されている。よって、ファンフィルタユニット２３が清浄化された空気を容器本体２１内へと送り込み続ける。この状態においては、ファンフィルタユニット２３により容器本体２１内へと空気が送り込まれることにより収納容器２０の内圧が周囲環境よりも高まっており、塵埃等の外部物質は周囲環境から容器本体２１内に入り込むことができない。このため、容器本体２１内の清浄性は高く保たれており、収納容器２０に収納されている基板へ塵埃等が付着してしまうことがない。
一方、移載のためにフォーク５１を上記搬送位置から上記保管位置へと移動させている間は、フォーク５１上の収納容器２０に取り付けられている容器パッド２４が搬送台車パッド５６から離れるため、ファンフィルタユニット２３は駆動電力の供給を受けられなくなり、送風が停止する。
しかしながら、収納容器２０は、出入り口２１ａ及びファンフィルタユニット取付口２１ｂがそれぞれ蓋体２２及びファンフィルタユニット用枠体２３ａにより閉鎖されて密封される構造となっているため、ファンフィルタユニット２３による送風が停止してから所定時間内であれば、容器本体２１内の空気が直ちに外部へ逃げることはない。そのため、移載開始前までに上記搬送位置のフォーク５１上においてファンフィルタユニット２３が送風を行うことによって高められた容器本体２１内の内圧は、周囲環境よりも高い状態で維持される。
容器本体２１の内圧が周囲環境よりも高い状態であるため、移載中にファンフィルタユニット２３の送風が停止しても、停止してから所定時間内であれば、外部物質は周囲環境から容器本体２１内へ入り込むことはできず、容器本体２１内の清浄性は高く保たれる。
移載が完了して収納容器２０が保管棚１１の棚板１７に支持されている状態では、非接触給電の給電側となる保管棚パッド１８が容器パッド２４に接近しているため、ファンフィルタユニット２３に再び駆動電力が供給される。よって、移載完了後はファンフィルタユニット２３が容器本体２１内への送風を再開するため、容器本体２１の内圧は高い状態で維持され続け、容器本体２１内の清浄性が保たれる。
【００２０】
次に、収納容器２０の容器本体２１内における清浄度の判断機構について説明する。
収納容器２０は、容器本体２１内における清浄度が良好な場合には、当該清浄度に関する有効信号を出力するように構成されている。すなわち、収納容器２０においては、当該清浄度に関する有効信号の出力の有無により容器本体２１内における清浄度を判断する。当該清浄度に関する有効信号は、ファンフィルタユニット２３への給電が行われている間に出力が開始される異常監視部６１により出力状態が維持される。すなわち、ファンフィルタユニット２３への給電が行われている間は、ファンフィルタユニット２３が容器本体２１内への送風を行うことで、容器本体２１内における清浄度が良好に維持されるため、ファンフィルタユニット２３への給電が行われていることを異常監視部６１にて監視できている間は、当該清浄度に関する有効信号の出力状態が維持される。
図４に示すように、異常監視部６１は、ファンフィルタユニット２３を制御する制御装置６０に接続され、制御装置６０により制御される。異常監視部６１は、ファンフィルタユニット２３への給電が行われている間、上記清浄度に関する有効信号の出力状態を維持するものであり、例えば、図５に示すような回路４０により構成される。回路４０には、リセットスイッチとして機能する接点４１（常開接点）と、オフディレータイマーリレー４２と、オフディレータイマーリレー４２の接点４３（常開接点）と、ファン停止等ファンフィルタユニット２３に異常が発生すると動作する接点４４（常閉接点）と、が設けられている。
回路４０は、接点４１と、オフディレータイマーリレー４２が励磁されることにより閉じる接点４３と、により自己保持回路が構成されている。すなわち、回路４０において、一旦リセットのため接点４１が閉じると、オフディレータイマーリレー４２が励磁されると同時に接点４３が閉じるため、接点４１が開いてもオフディレータイマーリレー４２の励磁状態が保持される。そして、オフディレータイマーリレー４２の励磁状態が保持される間は、上記清浄度に関する有効信号が出力される。
一方で、ファンフィルタユニット２３への給電が停止されることにより、或いはファンフィルタユニット２３に異常が発生すると接点４４が開くことにより、タイマーにより所定時間を計時するとオフディレータイマーリレー４２の励磁状態が解除されるとともに、接点４３が開くため、オフディレータイマーリレー４２の自己保持は解除される。すなわち、上記清浄度に関する有効信号の出力がオフされる。一度、オフディレータイマーリレー４２の自己保持が解除され、上記清浄度に関する有効信号の出力がオフされると、接点４１が閉じるまで、当該出力はオフ状態のままとなる。
【００２１】
ここで、オフディレータイマーリレー４２は、タイマー機能を有するリレーであり、ファンフィルタユニット２３への給電が途切れた場合やファンフィルタユニット２３に異常が発生した場合に、制御装置６０の制御基板に搭載されるコンデンサ４５から通電されることでタイマー６２（「計時部」の一例）が作動する。オフディレータイマーリレー４２は、タイマー６２が作動している間は励磁状態を維持し、タイマー６２が所定時間（例えば、３０秒）を計時すると、その励磁状態を解除し、接点４３を開く。
上述のように、収納容器２０においては、ファンフィルタユニット２３への給電が停止されることで送風が停止されるが、ファンフィルタユニット２３による送風が停止してから所定時間内にファンフィルタユニット２３による送風が回復すれば、容器本体２１内における清浄度は良好に維持される。そこで、収納容器２０においては、ファンフィルタユニット２３への給電が停止されることで、オフディレータイマーリレー４２のタイマー６２が時間の計時を開始し、タイマー６２が所定時間を計時しない間は、オフディレータイマーリレー４２の励磁状態を維持し、上記清浄度に関する有効信号を出力し続ける。タイマー６２が所定時間を計時した場合には、オフディレータイマーリレー４２は励磁状態が解除してされ、上記清浄度に関する有効信号の出力をオフする。ここで、所定時間とは、容器本体２１内における清浄度が良好な場合においてファンフィルタユニット２３による送風が停止した際に、送風無しで容器本体２１内における清浄度を良好に維持可能な時間をいい、例えば３０秒である。以下に、具体的な制御方法を説明する。
【００２２】
図６に示すように、リセットのため接点４１が閉じると（Ｓ１）、オフディレータイマーリレー４２が励磁され（Ｓ２）、接点４３が閉じる（Ｓ３）。ここで、接点４１が開いても、接点４３は閉状態を維持し、オフディレータイマーリレー４２の励磁状態が保持される。すなわち、上記清浄度に関する有効信号の出力が維持される。
ファンフィルタユニット２３の異常又は停止により常閉接点である接点４４が開く、或いは停電等により回路４０への一切の通電が遮断（電源断）すると（ＳＥ）、オフディレータイマーリレー４２のタイマー６２が時間の計時を開始する（Ｓ４）。すなわち、ファンフィルタユニット２３の異常又は停止、或いは回路４０の電源断により、オフディレータイマーリレー４２への通電は停止するが、オフディレータイマーリレー４２は、自己のタイマー機能により、直ちに非励磁状態とはならず、上記所定時間、自己保持を継続する。
タイマー６２が所定時間を計時すると（Ｓ４―Ｙｅｓ）、オフディレータイマーリレー４２の励磁状態が解除され（Ｓ５）、接点４３が開く。すなわち、オフディレータイマーリレー４２の自己保持が解除され、上記清浄度に関する有効信号の出力がオフされる（Ｓ６）。
一方、タイマー６２が所定時間を計時しない（Ｓ４―Ｎｏ）、すなわち、タイマー６２の計時中に、ファンフィルタユニット２３の異常又は停止が回復する、或いは回路４０への電源供給が再開されると、接点４３、接点４４、オフディレータイマーリレー４２の順に通電され、オフディレータイマーリレー４２の励磁状態が維持され（Ｓ７）、上記清浄度に関する有効信号の出力が維持される（Ｓ８）。同時に、タイマー６２のカウントがリセットされる（Ｓ９）。
【００２３】
次に、収納容器２０における上記清浄度の良否の判断について説明する。
収納容器２０は、上記清浄度に関する有効信号の出力の有無を外部に知らせる出力部６３を備える。出力部６３における当該有効信号の出力の有無により、容器本体２１内の清浄度の良否を判断することができる。
出力部６３は、ＬＥＤ等の視認可能な表示装置にて形成され、上記有効信号の有無に応じて表示が切り変わる。または、出力部６３は、音声報知部にて形成され、上記有効信号の出力状態が解除されると音声により容器本体２１内の清浄度が不良となったことを報知する。
あるいは、出力部６３を光伝送装置６４により構成し、光伝送装置６４を容器本体２１或いはファンフィルタユニット２３に取り付ける。この場合、光伝送装置６４と通信可能な通信装置６５を、収納容器２０を保管する保管設備１０又は収納容器２０を搬送する搬送台車５０に設け、通信装置６５にて光伝送装置６４からの発信内容を受信して上記有効信号の出力の有無、すなわち、容器本体２１内の清浄度が良好であるか否かを監視する。
ここで、光伝送装置６４からの光伝送が途絶えた場合（光伝送装置６４と通信装置６５との間で通信不能となった場合）、その原因が通信装置６５の故障に起因する場合であれば、ファンフィルタユニット２３の異常又は停止、或いは回路４０の電源断が発生しておらず、容器本体２１内の清浄度が良好であるため、通信装置６５の故障を解消して、光伝送装置６４から上記有効信号が出力されていることを確認することで、容器本体２１内の清浄度が良好であることが認識できる。
一方、上記原因が収納容器２０への通電が途絶えたことに起因する場合には、当該通電が上記所定時間（例えば３０秒）以上途絶えると、容器本体２１内の清浄度は不良となるため、収納容器２０への通電が再開して光伝送装置６４からの光伝送が回復し、光伝送装置６４からの発信内容にて上記有効信号が出力されていないことを確認することで、容器本体２１内の清浄度が不良であることが認識できる。また、当該通電が上記所定時間（例えば３０秒）以内で回復すると、容器本体２１内の清浄度は良好であるため、収納容器２０への通電が再開して光伝送装置６４からの光伝送が回復し、光伝送装置６４からの発信内容にて上記有効信号が出力されていることを確認することで、容器本体２１内の清浄度が良好であることが認識できる。
【００２４】
このように、収納容器２０においては、タイマー６２が所定の設定時間を計時することを待って、上記有効信号の出力状態の維持を解除することから、収納容器２０への給電が行われない状態を、一律に、容器本体２１内の清浄度が不良な状態であるとして判断しない。そのため、収納容器２０への給電が途切れた場合に、容器本体２１内の清浄度の良否を判断した上で適切に対処することができる。
収納容器２０においては、上記清浄度に関する有効信号の出力の有無により、容器本体２１の清浄度の良否を判断することができることから、ファンフィルタユニット２３への給電が行われない状態にあった場合でも、容器本体２１の清浄度の良否を適切に判断することができる。
【００２５】
なお、本実施の形態においては、異常監視部６１の回路４０にオフディレータイマーリレー４２を設けているが、これに限定されるものではなく、ファンフィルタユニット２３への給電が行われていない時間を計時する機能を有していれば、例えば、トランジスタを設けても構わない。
【符号の説明】
【００２６】
１０                    保管設備
２０                    収納容器
２１                    容器本体
２３                    ファンフィルタユニット
４２                    オフディレータイマーリレー
６１                    異常監視部
６２                    タイマー（計時部）
６３                    出力部
６４                    光伝送装置
６５                    通信装置
【図１】
2018140783.tif 000003
【図２】
2018140783.tif 000004
【図３】
2018140783.tif 000005
【図４】
2018140783.tif 000006
【図５】
2018140783.tif 000007
【図６】
2018140783.tif 000008