(57)【要約】【課題】  放電容器の内径が２０ｍｍ以下であるような細径のエキシマランプにおいて、被覆管によって放電容器の外部での絶縁破壊を防止したときでも、最大外径を小さくして、点灯始動性を改善した信頼性の高い細径のエキシマランプを提供する。【解決手段】  本発明のエキシマランプは、放電容器の外周面に被覆管を溶着により一体として形成され、一対の電極の少なくとも一方の電極が放電容器の外周面と被覆管の内周面との間に埋設されている放電ランプにおいて、放電容器の外側面の一部は外側被覆管に覆われずに露出していることを特徴とする放電ランプ。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電用ガスが封入された放電容器と、
前記放電容器の一部を溶着により覆う被覆管と、
前記放電容器の径方向で対向する一対の電極とを有し、
少なくとも一方の電極が前記放電容器の外周面と前記被覆管の内周面との間に埋設されている放電ランプにおいて、
前記放電容器の一部は、
前記被覆管に覆われずに径方向に対して露出している露出部を有することを特徴とする放電ランプ。
【請求項２】
請求項１に記載の放電ランプにおいて、
前記放電容器の少なくとも片側の端に前記露出部を設け、
前記露出部には、
前記放電容器に放電用ガスを封入する導入管を設けたことを特徴とする放電ランプ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の放電ランプにおいて、
前記放電容器は、外径が異なる大径部と小径部とを有し、
前記大径部の少なくとも一部は前記被覆管により溶着して覆われ、
前記小径部の少なくとも一部に前記露出部を設けたことを特徴とする放電ランプ。
【請求項４】
請求項１または２に記載の放電ランプにおいて、
前記放電容器は同軸状に配設された内側管と外側管とからなり、
前記内側管と前記外側管とを溶着した放電空間を設け、
前記外側管の少なくとも一部は前記被覆管により溶着して覆われ、
前記放電空間で生じた紫外線を前記内側管の内側にある内部空間に向けて照射することを特徴とする放電ランプ。
【請求項５】
放電用ガスが封入された放電容器を有する放電ランプと、
前記放電用ガスに紫外線を照射する始動補助光源とを備えた放電ランプ装置において、
前記放電用ガスが封入された放電容器には、
前記放電容器の一部と一体に溶着して電極を埋設する被覆管を有し、
前記放電容器の他の一部は、
前記被覆管に覆われずに前記始動補助光源に対して露出していることを特徴とする放電ランプ装置。
【請求項６】
前記始動補助光源と前記放電ランプとが空間的に連通した状態で対向しており、
前記放電ランプから放射される紫外線が前記始動補助光源には実質的に照射されず、
前記始動補助光源から放射される紫外線が前記放電ランプに照射されることを特徴とする請求項５に記載の放電ランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電、あるいは容量結合型高周波放電によって放電発光するエキシマランプ、外部電極型蛍光ランプなどの無電極型放電ランプに関し、特に、点灯始動性を改善した細径のエキシマランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
放電用ガスが封入された放電容器の対向する両側面に一対の電極を配置し、少なくとも片側の電極が放電容器の管壁内部に埋設した構造を有するエキシマランプがある（特許文献１）。
【０００３】
放電容器の中心軸と同軸状に内側管を有し、放電空間で生じた紫外線を内側管の内側に照射する二重管構造のエキシマランプであり、放電容器の対向する両側面に一対の電極を配置し、一方の電極を外側管の管壁内部に埋設し、他方の電極を外側管外表面に配設した構造を有するエキシマランプがある（特許文献２）。
【０００４】
このようなエキシマランプにおいては、低温状態や暗黒状態や長時間の休止状態後に、点灯始動するときには高い電圧が必要とされるので、点灯用電源が大型化して、エキシマランプ装置を小型にすることが困難であった。そこで、放電容器に封入された放電用ガスに始動補助光源により紫外光を照射した状態で、エキシマランプに電圧を印加することにより、エキシマランプの点灯始動性を改善する方法がある（特許文献３）。
【０００５】
しかしながら、小型のエキシマランプ装置を提供するという目的からは、このような大掛かりな構造を採用することができない。更に、放電容器の外周面が被覆管に覆われている二重管構造を有するエキシマランプは、被覆管の透過率や、被覆管と外側管との境界面（溶着面）における反射(屈折率)による影響を受けて、始動補助光源から放射される紫外線が効率よく放電用ガスに照射することができず、始動補助光源による点灯始動性改善の効果が十分に得ることができないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】再表２００９／０７８２４９号公報
【特許文献２】特開２０１６−１４６２９５号公報
【特許文献３】特開２０１２−１５７４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記問題点に鑑みて、この発明が解決しようとする課題は、放電容器の外周面が被覆管に覆われている二重管構造を有するエキシマランプの点灯始動性を改善することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による放電ランプは、放電用ガスが封入された放電容器と、放電容器の一部を溶着により覆う被覆管と、放電容器の径方向で対向する一対の電極とを有し、少なくとも一方の電極が放電容器の外周面と被覆管の内周面との間に埋設されており、放電容器の一部は、被覆管に覆われずに径方向に対して露出している露出部を有することにより、始動補助手段により点灯始動性を改善することができる。
【０００９】
更に、放電容器の少なくとも片側の端に露出部を設け、この露出部には、放電容器に放電用ガスを封入する導入管を設けたことにより、最大外径が小さい放電ランプを提供することができる。
【００１０】
放電容器は、外径が異なる大径部と小径部とを有し、大径部の少なくとも一部は被覆管により溶着して覆われ、小径部の少なくとも一部に露出部を設けたことにより、放電ランプの最大外径が小さくなり、被覆管の厚さを薄くできる。その結果、紫外線の透過率を高め（減衰を低減し）、効率の良い放電ランプを提供できる。
【００１１】
放電容器は同軸状に配設された内側管と外側管とからなり、内側管と外側管とを溶着した放電空間を設け、外側管の少なくとも一部は被覆管により溶着して覆われ、放電空間で生じた紫外線を内側管の内側にある内部空間に向けて照射する放電ランプに適用することで、点灯始動性改善の効果が得られる。
【００１２】
放電用ガスが封入された放電容器を有する放電ランプと、放電用ガスに紫外線を照射する始動補助光源とを備えた放電ランプ装置において、放電用ガスが封入された放電容器には、放電容器の一部と一体に溶着して電極を埋設する被覆管を有し、放電容器の他の一部は、被覆管に覆われずに始動補助光源に対して露出していることにより、始動補助光源から放出される紫外線が効率よく放電用ガスに照射することができる。
【００１３】
また、始動補助光源と放電ランプとが空間的に連通した状態で対向しており、放電ランプから放射される紫外線が始動補助光源には実質的に照射されず、始動補助光源から放射される紫外線が放電ランプに照射されることにより、放電ランプから放射される紫外線による始動補助光源の劣化を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１４】
二重管構造を有するエキシマランプにおいて、被覆管による影響を排除することで点灯始動補助手段による効果を高めて、点灯始動性が改善されたエキシマランプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施形態であるエキシマランプの概略的外観図である。
【図２】第１の実施形態であるエキシマランプの軸方向の概略的断面図である。
【図３】第１の実施形態であるエキシマランプの径方向の概略的断面図である。
【図４】第２の実施形態であるエキシマランプの軸方向の概略的断面図である。
【図５】第２の実施形態であるエキシマランプの径方向の概略的断面図である。
【図６】第３の実施形態であるエキシマランプの軸方向の概略的断面図である。
【図７】第３の実施形態であるエキシマランプの径方向の概略的断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図１〜図３を参照して第１の実施形態であるエキシマランプについて説明する。図１は、エキシマランプの概略的外観図である。図２は、エキシマランプの軸方向の概略的断面図であり、図３は、エキシマランプの径方向の概略的断面図である。
【００１７】
図１〜３において、放電ランプであるエキシマランプ１の放電容器１０は、石英ガラスなどの誘電材料からなる外側管１２の両端を溶融封止することにより、放電空間Ｓを形成する。放電容器１０には、放電容器１０の外部と放電空間Ｓとを空間的に接続する導入管１５を設けて、放電容器１０（放電空間Ｓ）内を真空引きして不純物を除去する。その後、放電容器１０の内部に放電用ガスを封入して、導入管１５を加熱溶融することで放電容器１０内を気密封止する。
【００１８】
放電空間Ｓには、Ｘｅなどの希ガス、もしくは希ガスとハロゲンガスとの混合ガスが放電用ガスとして封入される。放電用ガスの封入圧は、例えば５ｋＰａ〜１５０ｋＰａに定められる。本実施形態においては、放電用ガスとしてＸｅガスを封入した。
【００１９】
被覆管２０は、放電容器１０の外径に導入管１５の高さを加えた最大外径のよりも大きい内径の石英ガラスからなる管状部材を同軸状に加熱縮径させることで、放電容器１０の一部である外側管１２の外周面と一体として溶着している。ここで、放電容器１０の他の一部は被覆管２０に覆われず、径方向に対して露出した露出部１３を形成している。更に、導入管１５（の先端）に被覆管２０が覆い被さらないので、被覆管２０の厚さ分だけエキシマランプ１の最大外径を小さくすることができる。
【００２０】
内側電極３１は、モリブデン材からなる箔状の電極である。内側電極３１は、被覆管２０を加熱縮径させて外側管１２と溶着して一体となることで、外側管１２の外周面と被覆管２０の内周面との間の管壁内部に埋設される。内側電極３１の一方の端には内側給電線４１が電気的に接続され、被覆管２０の外部に取り出されている。他方の端は、完全に管壁内部に埋め込まれて終端している。
【００２１】
外側電極３２は、アルミニウム材からなる膜状の電極である。外側電極３２は、放電容器１０を介して内側電極３１と対向するように被覆管２０の外周面に配設されている。外側電極３２の一方の端には外側給電線４２が電気的に接続されている。
【００２２】
内側給電線４１と外側給電線４２は、交流高電圧電源（図示せず）に電気的に接続されており、エキシマランプ１に電力が供給される。内側電極３１が管壁内部に埋め込まれていることで、放電容器１０の外部で、内側電極３１と外側電極３２との間で絶縁破壊することを防ぐ。
【００２３】
始動補助手段としての始動補助光源５０はＵＶ−ＬＥＤであり、ＵＶ−ＬＥＤから放射された紫外線が露出部１３の外周面に垂直に入射するように、露出部１３の中心軸に向けて配設され、波長４００ｎｍ以下の紫外線を放射する。
【００２４】
内側電極３１と外側電極３２との間に高周波高電圧が印加されると、誘電体（外側管１２と被覆管２０）を介して、内側電極３１と外側電極３２とが対向しているランプ軸方向範囲（有効発光領域）の放電空間Ｓにて放電が発生する。放電によって生じた紫外線は、外側管１２と被覆管２０とを透過して、エキシマランプ１の外部に放出される。
【００２５】
放電が発生すると、所定スペクトルのエキシマ光が放射される。例えば、放電用ガスがＸｅガスでは１７２ｎｍ、Ａｒガスでは１２６ｎｍ、Ｋｒガスでは１４６ｎｍ、ＡｒＢｒガスでは１６５ｎｍ、ＡｒＦガスでは１９３ｎｍ、ＫｒＣｌガスでは２２２ｎｍ、ＸｅＩガスでは２５３ｎｍ、ＸｅＣｌガスでは３０８ｎｍ、ＸｅＢｒガスでは２８３ｎｍ、ＫｒＢｒガスでは２０７ｎｍの波長を含む紫外線が放射される。
【００２６】
始動補助光源５０からは、波長４００ｎｍ以下の紫外線が放電容器１０の露出部１３を介して、放電用ガスに向けて放射されるので、エキシマランプ１の始動に要する印加電圧を低減することができる。始動補助光源５０は、エキシマランプ１に電圧を印加する前から照射を開始して、電圧印加開始後１分程度の時間は照射を継続させる。
【００２７】
始動補助光源５０から放射された紫外線が露出部１３に照射されることにより、被覆管２０の透過率や、被覆管２０と外側管１２との境界面における反射(屈折率)による影響を受けずに、始動補助光源５０から放射される紫外線を効率よく放電用ガスに照射することができる。特に、内径が２０ｍｍ以下となるような曲率が大きい放電容器を用いたときには、始動補助光源から放射される紫外線の一部の入射角が大きくなっても、被覆管と外側管との境界面における反射(屈折率)による影響を受けることがないので、効率よく放電用ガスに照射することができる。その結果、内径が２０ｍｍ以下となるような細径のエキシマランプに対しても、始動補助光源による点灯始動性改善の効果を十分に得ることができる。
【００２８】
始動補助光源５０は、エキシマランプ１から放射される紫外線が実質的に照射されない距離Ｌに配設されることにより、紫外線により急速に劣化することを防ぐ。
【００２９】
本発明による「紫外線が実質的に照射されない」とは、エキシマランプ１から放射される紫外線に感度を有する照度計を用いて、エキシマランプ１の放電容器の外表面（紫外線放射面）付近の照度を１００％としたとき、放電容器の外表面（紫外線放射面）から空気中で一定距離以上離れたときの照度が１０％未満となる状態をいう。具体的には、波長１７２ｎｍ付近にピーク感度を有する照度計を用いて、放電容器にＸｅガスが封入されたエキシマランプ１の放電容器の外表面付近の照度が１０〜１７［ｍＷ／ｃｍ２］であったとき、エキシマランプ１の放電容器の外表面から空気中で３０ｍｍ離れると、空気を透過することにより減衰して１［ｍＷ／ｃｍ２］程度と成る。このように、エキシマランプ１から始動補助光源５０に照射される紫外線の照度が微小である状態をいう。
【００３０】
このような状態が「紫外線が実質的に照射されない」という状態であり、このような状態となる始動補助光源の紫外線放射面とエキシマランプの露出部（外周面であり、始動補助光源からの紫外線が入射する部分）との間の距離Ｌを「エキシマランプから放射される紫外線が始動補助光源には実質的に照射されない距離」という。このような距離Ｌとなる位置に始動補助光源５０を配設することにより、エキシマランプ１から放射される紫外線が実質的に照射されないので、エキシマランプ１の標準使用期間中（数百〜数千時間）においては、始動補助光源５０が急速に劣化することを防ぐことができる。本実施形態においては、大気中にエキシマランプ１と始動補助光源５０を配設したときには、上記距離Ｌは２０ｍｍ以上とすると良い。更に好ましくは、３０ｍｍ以上とすると良い。
【００３１】
本実施形態で用いた細径のエキシマランプ１の放電容器１０は、内径が５ｍｍ〜２０ｍｍ、肉厚が０．８ｍｍ〜１．５ｍｍであるので、内径が小さく、内径に対する肉厚の割合が大きい。そのため、始動補助光源５０からエキシマランプ１へ照射される紫外線が、放電容器の曲率が大きいことや、（内径の小ささに比べて）肉厚が厚いことによる影響を受けやすく、点灯始動性を改善する効果が得られ難い。そこで、始動補助光源５０から放射された紫外線がエキシマランプ１の放電容器の露出部１３の外周面へ垂直に入射するように、始動補助光源５０を配設すると良い。好ましくは、エキシマランプ１の露出部１３の中心軸に向けて、始動補助光源５０の紫外線放射面が対向するように配設すると良い。
【００３２】
なお、本発明による点灯始動性とは、エキシマランプに電圧を印加して、放電容器内の放電から所望な放射スペクトルが得られる安定点灯状態に至る確実さ（確率［％］）により把握することができる。エキシマランプは、低温状態や暗黒状態や長時間の休止状態後であっても、点灯始動性の確実さは１００％である信頼性が必要である。本実施形態においては、大型の点灯用電源を用いることなく、確実に（ほぼ１００％の確率で）安定点灯状態に至らせることができた。
【００３３】
このように、始動補助光源５０から放射された紫外線の一部のみが放電用ガスに照射することができるので、距離Ｌは、５０ｍｍ以下とすると良い。更に好適には、４０ｍｍ以下とすると良い。このような距離となる位置に始動補助光源５０を配設することにより、始動補助光源５０から放射された紫外線を有効活用することができるので、始動補助光源５０は最小限の電力で点灯させることができ、始動補助光源５０の寿命を延ばし、小さい電源を用いた小型のエキシマランプ装置を提供することができる。
【００３４】
更に、エキシマランプ１から放射される紫外線の波長よりも、長い波長の紫外線を放射する始動補助光源を用いることで、空気中の紫外線透過率の波長による違いを利用して、放電用ガスに効率よく照射しても良い。例えば、エキシマランプ１から放射される紫外線の波長２４０ｎｍ以下としたときには、およそ波長２４０ｎｍ以下の紫外線は空気に吸収されるので、始動補助光源５０から放射される紫外線の波長２４０ｎｍ以上とするとよい。更に、露出部１３は、エキシマランプ１から放射される紫外線の波長よりも、始動補助光源５０から放射される紫外線の波長に対して高い透過性（紫外線の波長に対する透過率）を有すると良い。また、エキシマランプよりも指向性が高い配光特性（照射面積が小さい）の始動補助光源を用いることにより、小電力の始動補助光源であっても、放電空間（露出部内）の放電用ガスに向けて効率よく照射することができるため、大型の電源を用いる必要が無く、小型のエキシマランプ装置を提供することができる。
【００３５】
以上より、始動補助光源５０の紫外線放射面とエキシマランプ１の紫外線放射面との間の距離は、エキシマランプ１から放射される紫外線（波長１７２ｎｍ）が実質的に届かない（紫外線が照射されない）距離であって、始動補助光源５０から放射される紫外線が届く（紫外線が照射される）距離に配置する。本実施形態においては、始動補助光源５０の紫外線放射面とエキシマランプ１の紫外線放射面との距離Ｌ［ｍｍ］は、２０≦Ｌ≦５０  を満たすと良い。更に、好ましくは、３０≦Ｌ≦４０  を満たすと良い。
【００３６】
このような距離となる範囲に始動補助光源５０を配設することにより、始動補助光源５０はエキシマランプ１が放射する紫外線に曝されて遮るものが無い状態であっても、始動補助光源の急速な劣化を防ぐことができる。そのため、波長が２００ｎｍ以下の紫外光が紫外光透過窓から外部へ透過することを阻止するために、高価な紫外光透過窓を設置する必要が無いので、装置の構成が簡素と成り、小型のエキシマランプ装置を提供することができる。更に、始動補助光源と対向する部分の放電容器の形状を変更する必要が無いので、細径のエキシマランプに対しても適用することができる。
【００３７】
本実施形態においては、始動補助手段として始動補助光源（ＵＶ−ＬＥＤ）を用いたが、装置外から紫外線を含む光を露出部に照らすことで始動補助してもよい。また、露出部に始動補助電極を近接させて、露出部内で微小な放電を生じさせて始動補助してもよい。
【００３８】
以下、図４と図５を参照して第２の実施形態であるエキシマランプについて説明する。図４は、エキシマランプの軸方向の概略的断面図であり、図５は、エキシマランプの径方向の概略的断面図である。
【００３９】
図４と図５において、放電ランプであるエキシマランプ１０１の放電容器１１０は、石英ガラスなどの誘電材料からなる外側管１１２の両端を溶融封止することにより、放電空間Ｓを形成する。放電容器１１０の一部である外側管１１２には大径部１１３Ａと小径部１１３Ｂを設ける。小径部１１３Ｂには、放電容器の外部と放電空間Ｓとを空間的に接続する導入管１１５を設けて、放電容器１１０（放電空間Ｓ）内を真空引きして不純物を除去する。その後、放電容器１１０の内部に放電用ガスを封入して、導入管１１５を加熱溶融することで放電容器１１０内を気密封止する。
【００４０】
被覆管１２０は、放電容器１１０の外径よりも大きい内径の石英ガラスからなる管状部材を、外側管１１２と同軸状に加熱縮径させることで、大径部１１３Ａの外周面の少なくとも一部に一体として溶着している。小径部１１３Ｂの少なくとも一部は被覆管１２０に覆われず、径方向に対して露出した露出部１１３を形成している。更に、導入管１１５を小径部１１３Ｂに設けることで、加熱縮径させる前の内径が小さくて厚さが薄い管状部材を被覆管１２０の材料として用いることができるので、加熱縮径後の被覆管１２０の径方向厚さを薄くできる。その結果、紫外線の透過率を高める（減衰を低減する）ことができる。
【００４１】
第１電極１３１と第２電極１３２は、モリブデン材からなる箔状の電極であり、被覆管１２０を加熱縮径させて外側管１１２と一体となることで、外側管１１２の外周面と被覆管１２０の内周面との間の管壁内部に埋設される。第１電極１３１と第２電極１３２の一方の端には、それぞれ第１給電線１４１と第２給電線１４２が電気的に接続され、被覆管１２０の外部に取り出されている。それぞれ他方の端は、完全に管壁内部に埋め込まれて終端している。
【００４２】
第１給電線１４１と第２給電線１４２は、交流高電圧電源（図示せず）に電気的に接続されており、エキシマランプ１０１に電力が供給される。第１電極１３１と第２電極１３２が被覆管１２０により管壁内部に埋め込まれていることで、放電容器１１０の外部であって、第１電極１３１と第２電極１３２との間で絶縁破壊することを防ぐ。
【００４３】
始動補助手段としての始動補助光源５０はＵＶ−ＬＥＤであり、ＵＶ−ＬＥＤから放射された紫外線が露出部１１３（小径部１１３Ｂ）の外周面に垂直に入射するように、露出部１１３の中心軸に向けて配設され、波長４００ｎｍ以下の紫外線を放射する。
【００４４】
始動補助光源５０から放射された紫外線が露出部１１３に照射されることにより、被覆管１２０の透過率や、被覆管１２０と外側管１１２との境界面における反射(屈折率)による影響を受けずに、始動補助光源５０から放射される紫外線が効率よく放電用ガスに照射することができる。実施形態１と同様に、特に内径が２０ｍｍ以下となるような放電容器を用いた細径のエキシマランプにおいて、始動補助光源による点灯始動性改善の効果を十分に得ることができる。
【００４５】
始動補助光源５０は、実施形態１と同様に、エキシマランプ１０１から放射される紫外線が実質的に照射されない距離に配設されることにより、紫外線により急速に劣化することを防ぐ。
【００４６】
第１電極１３１と第２電極１３２との間に高周波高電圧が印加されると、誘電体（外側管１１２と被覆管１２０）を介して、第１電極１３１と第２電極１３２とが対向しているランプ軸方向範囲（有効発光領域）の放電空間Ｓにて放電が発生する。放電によって生じた紫外線は、外側管１１２と被覆管１２０を透過して、エキシマランプの外部に放出される。
【００４７】
以下、図６と図７を参照して第３の実施形態であるエキシマランプについて説明する。図６は、エキシマランプの軸方向の概略的断面図であり、図７は、エキシマランプの径方向の概略的断面図である。
【００４８】
図６と図７において、放電ランプであるエキシマランプ２０１の放電容器２１０は、石英ガラスなどの誘電材料からなる外側管２１２の両端を縮径して、石英ガラスなどの誘電材料からなる内側管２１１に対して封止部２１４において溶融封止することにより、放電空間Ｓを形成する。内側管２１１の内側（中空部分）には、被照射体である内側流体（図示せず）が配設される。放電容器２１０の一部である外側管２１２には、大径部２１３Ａと小径部２１３Ｂを設ける。小径部２１３Ｂには、放電容器の外部と放電空間Ｓとを空間的に接続する導入管２１５を設けて、放電容器２１０（放電空間Ｓ）内を真空引きして不純物を除去する。その後、放電容器２１０の内部に放電用ガスを封入して、導入管２１５を加熱溶融することで放電容器２１０内を気密封止する。
【００４９】
被覆管２２０は、放電容器２１０の外径よりも大きい内径の石英ガラスからなる管状部材を、外側管２１２と同軸状に加熱縮径させることで、大径部２１３Ａの外周面の少なくとも一部に一体として溶着している。小径部２１３Ｂの少なくとも一部は被覆管２２０に覆われず、径方向に対して露出した露出部２１３を形成している。
【００５０】
内側電極２３１は、モリブデン材からなる箔状の電極である。内側電極２３１は、被覆管２２０を加熱縮径させて外側管２１２と一体となることで、外側管２１２の外周面と被覆管２２０の内周面との間（管壁内部）に埋設される。内側電極２３１の一方の端には内側給電線２４１が電気的に接続され、被覆管２２０の外部に取り出されている。他方の端は、完全に被覆管２２０の管壁内部に埋め込まれて終端している。
【００５１】
外側電極２３２は、アルミニウム材からなる膜状の電極である。放電容器の小径部２１３Ｂにおいては、外側電極２３２を設けない。放電容器の大径部２１３Ａにおいては、外側電極２３２が被覆管２２０の全周にわたって設けられているが、内側給電線２４１が取り出されている部分からは隔離して外側電極２３２を設けることで、外側電極２３２と内側給電線２４１（内側電極２３１）との絶縁破壊を防ぐ。外側電極２３２の一方の端には外側給電線２４２が電気的に接続されている。
【００５２】
内側給電線２４１と外側給電線２４２は、交流高電圧電源（図示せず）に電気的に接続されており、エキシマランプ２０１に電力が供給される。内側電極２３１が被覆管２２０により管壁内部に埋め込まれていることで、放電容器２１０の外部であって、内側電極２３１と外側電極２３２との間で絶縁破壊することを防ぐ。
【００５３】
始動補助手段としての始動補助光源５０はＵＶ−ＬＥＤであり、ＵＶ−ＬＥＤから放射された紫外線が露出部２１３の外周面に垂直に入射するように、露出部２１３の中心軸に向けて配設され、波長４００ｎｍ以下の紫外線を放射する。
【００５４】
始動補助光源５０から放射された紫外線が露出部２１３に照射されることにより、被覆管２２０の透過率や、被覆管２２０と外側管２１２との境界面における反射(屈折率)による影響を受けずに、始動補助光源５０から放射される紫外線が効率よく放電用ガスに照射することができる。実施形態１，２と同様に、特に内径が２０ｍｍ以下となるような放電容器を用いた細径のエキシマランプにおいて、始動補助光源による点灯始動性改善の効果を十分に得ることができる。
【００５５】
内側電極２３１と外側電極２３２との間に高周波高電圧が印加されると、誘電体（外側管２１２と被覆管２２０）を介して、内側電極２３１と外側電極２３２とが対向しているランプ軸方向範囲（有効発光領域）の放電空間Ｓにて放電が発生する。放電によって生じた紫外線は、内側管２１１の内側（中空部分）に配設した、内側流体（第１の被照射体）に照射される。
【００５６】
ここで、エキシマランプ２０１の外側電極２３２の周方向の一部にスリット状の開口部を設けたり、網目状の開口部を有する外側電極を用いたりすることで、放電によって生じた紫外線は、外側管２１２と外側電極２３２の開口部と被覆管２２０を透過して、エキシマランプの径方向外側に配設した外側流体（第２の被照射体）に照射してもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１、１０１、２０１  エキシマランプ
１０、１１０、２１０  放電容器
２１１  内側管
１２、１１２、２１２  外側管
１３、１１３、２１３  露出部
１１３Ａ、２１３Ａ  大径部
１１３Ｂ、２１３Ｂ  小径部
２１４  封止部
１５、１１５、２１５  導入管
２０、１２０、２２０  被覆管
３１、１３１、２３１  電極（内側電極、第１電極）
３２、１３２、２３２  電極（外側電極、第２電極）
４１、１４１、２４１  給電線（内側給電線、第１給電線）
４２、１４２、２４２  給電線（外側給電線、第２給電線）
５０  始動補助光源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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