(57)【要約】【課題】膜厚計を用いた膜厚の測定における作業効率を向上するとともに測定精度を確保する。【解決手段】棒状の磁心と磁心に巻回されたコイルとを有し、磁心の先端を測定対象物に接近させた際の磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計のプローブに装着して用いる測定治具を提供する。測定治具は、プローブが固定されるスライド部材とスライド部材に装着されるガイド部材とを備える。ガイド部材は、磁心の測定対象物に接近させる側に、磁心の軸に対して直角な平坦面を有するとともに、平坦面を測定対象物の少なくとも測定対象部位を含む部分を収容可能な内部空間を有する。また測定治具は、磁心の軸方向にスライド可能に内部空間に設けられ、夫々が測定対象物が有している複数の面の夫々に面接触するように配置された複数の側面を有する可動部材と、可動部材を平坦面の方向に押圧する押圧機構と、を備える。【選択図】図１３Ｃ
2018194400.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状の磁心と前記磁心に巻回されたコイルとを有し、前記磁心の端部を測定対象物に接近させた際に前記コイルを貫く磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計のプローブに装着して用いる測定治具であって、
前記プローブが固定されるスライド部材と、
前記プローブが固定された前記スライド部材に、前記スライド部材が前記磁心の軸方向にスライド可能な状態で装着されるガイド部材と、
を備え、
前記ガイド部材は、前記磁心の測定対象物に接近させる側に、前記磁心の軸に対して直角な平坦面を有し、
前記平坦面は前記プローブの先端を突出させることが可能な貫通孔を有し、
前記ガイド部材は、前記測定対象物の少なくとも測定対象部位を含む部分を収容可能な第１空間を有し、
前記磁心の軸方向にスライド可能に前記第１空間内に設けられ、夫々が前記測定対象物が有している複数の面の夫々に面接触するように配置された複数の側面を有する可動部材と、前記可動部材を前記平坦面の方向に押圧する押圧機構と、を備える、    
膜厚計の測定治具。
【請求項２】
請求項１に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記測定対象物はナット又はボルトの頭部であり、
前記測定対象部位は前記ナットの側面又は前記ボルトの頭部の側面であり、
前記可動部材の前記複数の側面は、夫々、前記ナットの異なる側面又は前記ボルトの異なる側面に面接触する、
膜厚計の測定治具。
【請求項３】
請求項２に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記測定対象物は六角ナット又は六角ボルトの頭部であり、
前記可動部材の前記複数の側面は互いに６０度の角度をなし、かつ、前記角度の二等分線が前記プローブの前記磁心の軸を含む平面に含まれるように設けられる、
膜厚計の測定治具。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記押圧機構は、螺子機構又は付勢機構を用いて構成される、
膜厚計の測定治具。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記スライド部材は、前記プローブを、前記プローブの前記磁心の軸方向が前記スライド部材がスライドする方向に一致するように固定する構造を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項６】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記ガイド部材は、前記スライド部材が装着される筒状の第２空間を有し、
前記平坦面は、前記第１空間と前記第２空間との境界を構成する、
膜厚計の測定治具。
【請求項７】
請求項６に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記スライド部材は、前記第２空間の内周に密着してスライド可能な外形を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項８】
請求項７に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記スライド部材は、前記測定対象物が存在する側の端部に対向する端部の近傍に形成された把持部を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項９】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記プローブは、前記先端部が前記測定対象物に接触又は押圧されることにより膜厚を測定するタイミングを示す信号を生成する機構を有する、
膜厚計の測定治具。
【請求項１０】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の膜厚計の測定治具であって、
前記膜厚計は、電磁誘導式膜厚計又は渦電流式膜厚計である、
膜厚計の測定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、膜厚計の測定治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、検査対象物の角部の塗装膜厚を計測する塗装膜厚計測治具について記載されている。塗装膜厚計測治具は、検査対象物の検査対象部位である角部を挟む二面とそれぞれ当接する二つの当接部を有する第１の部材と、検査対象物の検査対象部位である角部の中心を軸として回動可能であり、電磁膜厚計のプローブが挿嵌される二つの当接部の交差部に連通する孔を有する第２の部材と、を備える。
【０００３】
特許文献２には、膜厚計測装置により、撚り線を構成している強磁性体からなる複数の素線のそれぞれを被覆している非磁性膜の厚さを電磁膜厚計を利用して計測する際に用いられる治具について記載されている。上記治具は、撚り線を挟持する挟持部と、電磁膜厚計のプローブが挿入される挿入口を有し、この挿入口から挿入されたプローブの検出部を素線の表面に正対させた状態を保持したまま表面に向けて案内し、検出部を表面あるいは非磁性膜に垂直に当接させる案内部とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１９７６０号公報
【特許文献２】特開２００８−５１７３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
膜厚計（電磁式（電磁誘導式）膜厚計、渦電流式膜厚計）による膜厚の測定に際しては、十分な測定精度を得るため、図１５に示すように測定時にプローブ５２を測定対象物２の表面に垂直に（プローブ５２の中心軸が測定対象物２の表面に対して垂直になるように）押し当てる必要があるとともに、プローブ５２の先端を測定対象物２の測定対象部位に正確に当てる必要がある。また例えば、毎回の測定に際しプローブ５２の先端を同一の測定対象部位に正確に当てる必要がある。
【０００６】
ここで例えば、電力会社においては電力設備の点検に際し膜厚計を用いて電力設備の表面に施されているめっき膜厚の測定を行っているが、鉄塔の塔上や狭隘な場所等においては難しい姿勢を強いられたり手ぶれが生じる等してプローブを測定対象物の表面に垂直に押し当てることが必ずしも容易ではない。また現場には様々な形態の測定対象物が存在するが、測定対象物の形態によってはプローブの先端を測定対象部位に正確に当てることが難しいことがある。
【０００７】
本発明はこうした課題を解決すべくなされたものであり、膜厚計を用いた膜厚の測定における作業効率を向上するとともに測定精度を確保することが可能な、膜厚計の測定治具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための本発明のうちの一つは、棒状の磁心と前記磁心に巻回されたコイルとを有し、前記磁心の端部を測定対象物に接近させた際に前記コイルを貫く磁束の変化に基づき膜厚を測定する膜厚計のプローブに装着して用いる測定治具であって、前記プローブが固定されるスライド部材と、前記プローブが固定された前記スライド部材に、前記スライド部材が前記磁心の軸方向にスライド可能な状態で装着されるガイド部材と、を備え、前記ガイド部材は、前記磁心の測定対象物に接近させる側に、前記磁心の軸に対して直角な平坦面を有し、前記平坦面は前記プローブの先端を突出させることが可能な貫通孔を有し、前記ガイド部材は、前記測定対象物の少なくとも測定対象部位を含む部分を収容可能な第１空間を有し、前記磁心の軸方向にスライド可能に前記第１空間内に設けられ、夫々が前記測定対象物が有している複数の面の夫々に面接触するように配置された複数の側面を有する可動部材と、前記可動部材を前記平坦面の方向に押圧する押圧機構と、を備える。
【０００９】
本発明の測定治具によれば、可動部材を押圧機構により押圧することにより、可動部材の複数の側面の夫々が、第１空間に収容された測定対象物が有している複数の面の夫々に面接触するので、可動部材の複数の側面とガイド部材の平坦面との間に測定対象物を確実に挟持することができる。そしてこの状態でスライド部材を磁心の軸方向にスライドさせることで、プローブの磁心の軸を測定対象物の表面に対して直角に維持しつつプローブの先端を測定対象部位に正確に当接させることができる。そのため、ユーザは簡単な操作で精度よく膜厚を測定することができる。
【００１０】
本発明のうちの他の一つは、上記測定治具であって、前記測定対象物はナット又はボルトの頭部であり、前記測定対象部位は前記ナットの側面又は前記ボルトの頭部の側面であり、前記可動部材の前記複数の側面は、夫々、前記ナットの異なる側面又は前記ボルトの異なる側面に面接触する。
【００１１】
このように測定対象部位がナットの側面又はボルトの頭部の側面である場合、押圧機構により可動部材を平坦面の方向に押圧した際、可動部材の複数の側面は、夫々、ナットの異なる側面又はボルトの異なる側面に面接触するので、可動部材とガイド部材の平坦面との間にナット又はボルトの頭部を確実に挟持することができる。
【００１２】
本発明のうちの他の一つは、上記測定治具であって、前記測定対象物は六角ナット又は六角ボルトの頭部であり、前記可動部材の前記複数の側面は互いに６０度の角度をなし、かつ、前記角度の二等分線が前記プローブの前記磁心の軸を含む平面に含まれるように設けられる。
【００１３】
測定対象物が六角ナット又は六角ボルトの頭部である場合、このように複数の側面を、互いに６０度の角度をなし、かつ、当該角度の二等分線がプローブの磁心の軸を含む平面に含まれるように設けることで、押圧機構により可動部材を平坦面の方向に押圧した際、可動部材の複数の側面の一つについては六角ナット又は六角ボルトの頭部の第１側面に、可動部材の複数の側面の他の一つについては六角ナット又は六角ボルトの頭部の第１側面に対して一つ飛びの第２側面に、夫々、確実に面接触させることができる。
【００１４】
本発明のうちの他の一つは、上記測定治具であって、前記押圧機構は、螺子機構又は付勢機構を用いて構成される。
【００１５】
このように押圧機構は、例えば、螺子機構や付勢機構を用いて簡素に実現することができる。
【００１６】
本発明のうちの他の一つは、上記測定治具であって、前記スライド部材は、前記プローブを、前記プローブの前記磁心の軸方向が前記スライド部材がスライドする方向に一致するように固定する構造を有する。
【００１７】
このようにスライド部材は、プローブを、プローブの磁心の軸方向とスライド部材がスライドする方向に一致するように固定する構造を有するので、ユーザは、プローブをスライド部材に取り付けるだけで、プローブの磁心の軸方向とスライド部材がスライドする方向とを容易に一致させることができる。
【００１８】
本発明のうちの他の一つは、上記測定治具であって、前記ガイド部材は、前記スライド部材が装着される筒状の第２空間を有し、前記平坦面は、前記第１空間と前記第２空間との境界を構成する。
【００１９】
本発明のうちの他の一つは、上記測定治具であって、前記スライド部材は、前記第２空間の内周に密着してスライド可能な外形を有する。
【００２０】
本発明のうちの他の一つは、上記測定治具であって、前記スライド部材は、前記測定対象物が存在する側の端部に対向する端部の近傍に形成された把持部を有する。
【００２１】
本発明によれば、膜厚の測定に際し、ユーザは把持部を利用して容易にスライド部材をガイド部材に対してスライドさせることができる。
【００２２】
本発明のうちの他の一つは、上記測定治具であって、前記プローブは、前記先端部が前記測定対象物に接触又は押圧されることにより膜厚を測定するタイミングを示す信号を生成する機構を有する。
【００２３】
本発明のうちの他の一つは、上記測定治具であって、前記膜厚計は、電磁誘導式膜厚計又は渦電流式膜厚計である。
【００２４】
その他、本願が開示する課題、及びその解決方法は、発明を実施するための形態の欄、及び図面により明らかにされる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、膜厚計を用いた膜厚の測定における作業効率を向上するとともに測定精度を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】膜厚計の測定原理を説明する図である。
【図２】膜厚計の外観を示す図である。
【図３】膜厚計の本体装置の構成を示す図（ブロック図）である。
【図４】本体装置が備える機能及び本体装置が記憶するデータを示す図である。
【図５】校正データ（本例では校正曲線）の一例である。
【図６Ａ】プローブの側面図である。
【図６Ｂ】プローブの断面図である。
【図７】プローブの先端を測定対象物に押し当てている様子を示す図である。
【図８】プローブの他の構成を示す図（側面図）である。
【図９】図８に示したプローブの先端を測定対象物の表面に押し当てている様子を示す図である。
【図１０】スライド部材の構成を示す図である。
【図１１Ａ】ガイド部材の構成を示す図である。
【図１１Ｂ】ガイド部材の構成を示す図である。
【図１２Ａ】スライド部材にプローブを取り付ける際の手順を説明する図である。
【図１２Ｂ】スライド部材にプローブを取り付ける際の手順を説明する図である。
【図１２Ｃ】スライド部材にプローブを取り付ける際の手順を説明する図である。
【図１３Ａ】測定治具を用いた膜厚の測定方法を説明する図である。
【図１３Ｂ】測定治具を用いた膜厚の測定方法を説明する図である。
【図１３Ｃ】測定治具を用いた膜厚の測定方法を説明する図である。
【図１４Ａ】測定治具の他の構成を示す図である。
【図１４Ｂ】測定治具を用いた膜厚の測定方法を説明する図である。
【図１４Ｃ】測定治具を用いた膜厚の測定方法を説明する図である。
【図１５】測定対象物の表面にプローブの先端を押し当てている様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、発明を実施するための形態について詳細に説明する。尚、以下の説明において、同一の又は類似する構成について同一の符号を付して重複した説明を省略することがある。
【００２８】
まず本発明の測定治具が適用される膜厚計の原理並びに構成について説明する。以下では電磁誘導式の膜厚計を例として説明するが、本発明の測定治具は、測定対象物（素地、被膜）との間の電磁的な相互作用を利用して膜厚を測定するタイプの膜厚計、例えば、渦電流式膜厚計（渦電流振幅感応式膜厚計）、渦電流位相式膜厚計（渦電流位相変位感応式膜厚計）等に広く適用することができる。
【００２９】
［測定原理］
まず図１とともに電磁誘導式膜厚計の測定原理について説明する。膜厚計は、例えば、素地２１の表面に被膜２２が施された測定対象物２の膜厚の測定に用いられる。ここで素地２１は、例えば、鉄、鋼、フェライト系ステンレス等の磁性体であり、被膜２２は、例えば、メッキ（亜鉛メッキ等）、ペイント、樹脂膜等の非磁性被膜である。
【００３０】
同図に示すように、膜厚計のプローブ５２は、鉄等の強磁性体からなる棒状の磁心５２０に一次コイル３１及び二次コイル３２を同軸に巻回した構造を呈する。一次コイル３１に交流電流を流しつつプローブ５２（磁心５２０）の端部（磁心５２０の二次コイル３２側の端部）を測定対象物２の表面に接近させると、プローブ５２（磁心５２０）の端部と測定対象物２との間の距離に応じて二次コイル３２を貫く磁束４の数が変化し、二次コイル３２に誘起される電圧Ｖが変化する。この電圧変化ΔＶを、例えば、電流変化ΔＩとして取得し、取得した電流変化ΔＩを予め作成しておいた校正データ（測定値と膜厚値との換算データ）と対照することで、被膜２２の厚さ、即ち膜厚を求めることができる。
【００３１】
［膜厚計］
図２に電磁誘導式膜厚計（以下、膜厚計５と称する。）の外観を示している。膜厚計５は携帯型であり、ユーザが現場に持ち込んで使用することができる。同図に示すように、膜厚計５は、本体装置５１、プローブ５２、及びケーブル５３（コード）を備える。プローブ５２は、ケーブル５３（コード）を介して本体装置５１と電気的に接続される。
【００３２】
本体装置５１は、膜厚の測定に際してユーザが操作入力や測定結果の確認等を行うためのユーザインタフェースを備える。ケーブル５３は、例えば、本体装置５１からプローブ５２の一次コイル３１に交流電流を供給するための配線、二次コイル３２を流れる電流（又は二次コイル３２に誘起される電圧）の計測値を含んだ信号（以下、計測信号と称する。）を本体装置５１に伝えるための配線、上記計測値を取得するタイミングを示す信号（以下、トリガ信号と称する。）を伝えるための配線等を含む。
【００３３】
図３に本体装置５１の構成を示している。同図に示すように、本体装置５１は、プロセッサ５１１、記憶装置５１２、電源回路５１３、入力装置５１４、出力装置５１５、及びＡ／Ｄコンバータ５１６を備える。
【００３４】
プロセッサ５１１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）を用いて構成されている。記憶装置５１２は、ＲＡＭ(Random Access Memory)、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＮＶＲＡＭ（Non-Volatile RAM）等を用いて構成されている。
【００３５】
電源回路５１３は、バッテリ（一次電池、二次電池）、ＤＣ／ＤＣコンバータ、ＤＣ／ＡＣインバータ等を含み、本体装置５１やプローブ５２を動作させるのに必要な電力（一次コイル３１に供給する交流電力を含む。）を生成する。
【００３６】
入力装置５１４は、ユーザから情報の入力を受け付けるユーザインタフェースであり、キーパッド、タッチパネル等である。出力装置５１５は、ユーザに情報を提供するユーザインタフェースであり、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、印字装置、音声出力装置等である。
【００３７】
Ａ／Ｄコンバータ５１６は、プローブ５２からアナログ値として入力される信号をデジタル値に変換する。
【００３８】
図４に本体装置５１が備える機能及び本体装置５１が記憶するデータを示している。同図に示すように、本体装置５１は、校正処理部５２１、測定処理部５２２、膜厚算出部５２３、及び結果出力部５２４の各機能を備える。これらの機能は、本体装置５１のプロセッサ５１１が、記憶装置５１２に格納されているプログラムを読み出して実行することにより、もしくは、本体装置５１が備えるハードウェアにより実現される。同図に示すように、本体装置５１は、校正データ５３１や測定値５３２を記憶する。
【００３９】
上記機能のうち、校正処理部５２１は、例えば、同質の素地２１に異なる厚さ（≧０）で被膜２２を施したいくつかの標準板について膜厚を測定することにより得られる、二次コイル３２の電流変化ΔＩ（又は電圧変化ΔＶ）と膜厚との関係に基づき、校正データ５３１（校正曲線）を生成する。
【００４０】
測定処理部５２２は、プローブ５２から入力される計測信号に基づき二次コイル３２の電流変化ΔＩ（又は電圧変化ΔＶ）を求め、求めた値を測定値５３２として記憶する。
【００４１】
図５に校正データ５３１（校正曲線）の一例を示す。同図において、縦軸は測定値５３２（電流変化ΔＩ）であり、横軸は膜厚である。尚、校正データ５３１は、測定対象物２の材質（素地２１や被膜２２の材質）に応じて異なるので、校正データ５３１は測定対象物２の異なる材質ごとに用意される。
【００４２】
図４に戻り、膜厚算出部５２３は、測定値５３２を校正データ５３１と対照することにより測定対象物２の膜厚を求める。尚、膜厚算出部５２３は、例えば、複数回の測定を実施することにより取得される複数の測定値５３２の平均値を求め、求めた平均値に対応する膜厚を校正データ５３１から取得する。結果出力部５２４は、膜厚算出部５２３によって求められた膜厚を出力装置５１５に出力する。
【００４３】
校正処理部５２１、測定処理部５２２、膜厚算出部５２３、及び結果出力部５２４は、以上の機能に加えて、入力装置５１４を介して本体装置５１に対する設定や指示をユーザから随時受け付ける機能、出力装置５１５を介してユーザに情報を随時提供する機能を有する。
【００４４】
図６Ａはプローブ５２の側面図であり、図６Ｂはプローブ５２の断面図（図６ＡのＸ−Ｘ’線における断面図）である。これらの図に示すように、プローブ５２の外観は略円筒状である。プローブ５２は、その表面の少なくとも一部にローレット加工が施されており、プローブ５２の先端から長手方向に沿って所定長さの部分を構成するプローブ本体６１と、プローブ本体６１のケーブル５３側に設けられるキャップ６２（図６Ｂを参照）及びキャップ６２及びケーブル５３の端部を保護する、樹脂等の素材からなるキャップカバー６３と、を有する。プローブ本体６１の外周には、プローブ本体６１と同心円環状（フランジ状）の凸部６１７が形成されている。
【００４５】
図６Ｂに示すように、プローブ本体６１は、略円筒状の外筒体６１１と、外筒体６１１の内部に外筒体６１１と同軸（プローブ５２の中心軸Ｃと同軸）に収容される略円筒状の内筒体６１２とを有する。プローブ本体６１（内筒体６１２）の先端付近には、内筒体６１２と同軸に配置された筒状のコイルボビン６１３が収容されている。コイルボビン６１３の、プローブ本体６１の先端寄りの位置には、二次コイル３２が巻回される第２ボビン６１３２が設けられている。またコイルボビン６１３の、第２ボビン６１３２よりもケーブル５３寄りの位置には、一次コイル３１が巻回される第１ボビン６１３１が設けられている。同図では一次コイル３１及び二次コイル３２は省略してある。
【００４６】
コイルボビン６１３の中心部分には、コイルボビン６１３の中心軸（プローブ５２の中心軸Ｃと同軸）に沿って、所定径を有する通し孔６１３５が形成されている。この通し孔６１３５には、鉄等の強磁性体からなる棒状（円柱状等）の磁心５２０が、その中心軸がプローブ５２の中心軸Ｃと同軸に挿入されている。
【００４７】
内筒体６１２のコイルボビン６１３よりもケーブル５３寄りの位置には、ケーブル５３の配線６３１の端部が接続されるコネクタ６１５が設けられている。一次コイル３１及び二次コイル３２とケーブル５３の配線６３１とは、コネクタ６１５を介して電気的に接続されている。
【００４８】
内筒体６１２と外筒体６１１との間にはスプリング機構６４が設けられている。内筒体６１２は、このスプリング機構６４によってプローブ５２の先端方向に付勢されている。これにより、内筒体６１２の端面及び磁心５２０の先端は、外筒体６１１の端面６１１１から中心軸Ｃに沿って若干（例えば数ｍｍ程度）突出した状態に保持される。
【００４９】
内筒体６１２のキャップ６２側には、スイッチ６５（電気接点）が設けられている。スイッチ６５は、スプリング機構６４の付勢力に逆らって内筒体６１２が外筒体６１１に押し込まれることによりその接点状態（オン又はオフ）が反転するように構成されている。スイッチ６５は前述したトリガ信号を生成する。スイッチ６５は、ケーブル５３の配線６３１を介して本体装置５１と電気的に接続されている。尚、スイッチ６５と同等の機能を、例えば、圧電素子等の他の種類の素子を用いて実現することもできる。
【００５０】
図７にプローブ５２の先端（プローブ５２から突出する磁心５２０の先端）を測定対象物２の表面に押し当てている様子を示す。同図に示す如く、プローブ５２の先端（内筒体６１２の端面）をスプリング機構６４の付勢力に抗して測定対象物２の表面に押し当てるとスイッチ６５の接点状態が反転し、トリガ信号が生成されて本体装置５１に入力される。本体装置５１はトリガ信号が入力されたタイミングでプローブ５２から二次コイル３２の電流値を取り込む。
【００５１】
［プローブの他の構成］
図８にプローブ５２の他の構成を示している。同図に示すように、プローブ５２は、その外筒体６１１に複数の同心円環状の凸部６１７を有している。これら複数の凸部６１７のうち、最下部の凸部６１７ａは他の凸部６１７ｂに比べてその外径がやや大きくなっている。
【００５２】
同図において、符号Ａで示すラインは外筒体６１１の端面（即ち外筒体６１１と内筒体６１２の境界）になっており、当該ラインよりも上（＋ｚ側）の部分では内筒体６１２の表面が露出している。また同図において、外筒体６１１の下端面から長さｄで突出する部分は外筒体６１１の内側において内筒体６１２に連続している。
【００５３】
図９は、図８に示したプローブ５２の先端を測定対象物２の表面に押し当てている様子を示す図である。同図に示すように、プローブ５２の先端（磁心５２０の先端）を測定対象物２の表面に押し当てることにより、プローブ５２の先端（内筒体６１２の先端）が外筒体６１１の内部に引っ込み、同図においてＡ−Ａ’で示す間隙（長さはｄ）が形成される。プローブ５２の内部の構造は前述したプローブ５２と同様である。尚、以下では図８及び図９に示す構成からなるプローブ５２を一例として説明する。
【００５４】
［測定治具の構成］
以下、図１０乃至図１４Ｃに示す各図とともに、膜厚計５のプローブ５２に装着して用いる測定治具１について説明する。測定治具１は、複数の部材（スライド部材１１、ガイド部材１２、スライド部材１１に装着されるロック部材１３、及びガイド部材１２に装着される可動部材１４）を含む。プローブ５２は、ロック部材１３を用いてスライド部材１１に固定される。スライド部材１１にはガイド部材１２が装着される。ガイド部材１２は、プローブ５２が固定されたスライド部材１１が、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）の方向にスライド（摺動）可能となるように支持する。測定治具１を構成する各部材は、例えば、硬質の樹脂や金属等を素材として構成される。
【００５５】
図１０にスライド部材１１の構成（斜視図）を示している。同図に示すように、スライド部材１１の全体は略直方体状を呈する。上記直方体の４つの側面１１１ａ〜１１１ｄのうち、その法線が＋ｚ方向を向く側面１１１ｄは平坦な開口面になっている。上記直方体の２つの端面１１２ａ，１１２ｂには、夫々、略長方形状の開口部（以下、夫々、切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂと称する。）が形成されている。切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂは、いずれもプローブ５２の外径が丁度収容される程度の形態（形状、大きさ）に設定されている。尚、同図では、切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂをいずれも矩形状としているが、切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂの態様はこれに限られず、例えば、半円（奥側）と矩形（手前側）とを組み合わせた形状等としてもよい。
【００５６】
切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂの形状や大きさは、ユーザがプローブ５２の長手方向の所定位置をこれらに嵌め込むことにより、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）がスライド部材１１の長手方向と平行になるように、即ち、中心軸Ｃが端面１１２ｂの平坦な外表面（−ｚ側の表面）と垂直（直角）になるように設定されている。そのため、ユーザは、プローブ５２を２つの切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂに嵌め込むことで、自然にプローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）が端面１１２ｂの外表面（−ｚ側の表面）と垂直（直角）になるようにすることができる。またユーザがプローブ５２を切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂにしっかりと嵌め込むことにより、プローブ５２の中心軸Ｃ（磁心５２０の中心軸）は自動的に開口面（側面１１１ｄ）と平行になる。
【００５７】
側面１１１ａ，１１１ｂの夫々の端面１１２ａの近傍には、ユーザの持ち手となる把持部１１５が設けられている。膜厚の測定に際し、ユーザは把持部１１５を利用して容易にスライド部材１１をガイド部材１２に対してスライドさせることができる。
【００５８】
上記直方体の２つの側面１１１ａ，１１１ｂの内周には、夫々、開口面（側面１１１ｄ）と平行に延出する凸条１１７ａ，１１７ｂが形成されている。凸条１１７ａ，１１７ｂは、夫々、ロック部材１３の後述する嵌合溝１３３ａ，１３３ｂにスライド式に嵌合される。
【００５９】
同図に示すように、ロック部材１３の全体は略直方体状を呈する。ロック部材１３の４つの側面１３１ａ〜１３１ｄのうち、法線が−ｚ方向を向く側面１３１ｃは開口面になっている。また法線が＋ｚ方向を向く側面１３１ｄは、プローブ５２が装着されたスライド部材１１にロック部材１３を取り付けた際、プローブ５２に当接してプローブ５２を固定する押さえ板として機能する。ロック部材の２つの端面１３２ａ，１３２ｂ（夫々法線は＋ｙ，−ｙ方向を向く）はいずれも開口している。ロック部材１３の法線が夫々−ｘ方向及び＋ｘ方向を向く２つの側面１３１ａ，１３１ｂには、夫々、ｙ軸方向に延出する嵌合溝１３３ａ，１３３ｂが形成されている。
【００６０】
ロック部材１３のｘ軸方向の長さは、スライド部材１１の内部空間の幅方向（ｘ軸方向）の長さに丁度一致する程度に設定されている。またロック部材１３のｚ軸方向の長さ（高さ）は、スライド部材１１の内部空間のｚ軸方向の長さに丁度一致する程度に設定されている。またロック部材１３のｙ軸方向の長さは、スライド部材１１の開口面（側面１１１ｄ）からロック部材１３をスライド部材１１の内部空間に設けられている凸条１１７ａ，１１７ｂに容易に嵌合させることができるように、スライド部材１１の凸条１１７ａ，１１７ｂが設けられていない部分の長さ（凸条１１７ａ，１１７ｂの端面１１２ａ側の端部から端面１１２ａの内表面までのｙ軸方向に沿った長さ）よりも短く設定されている。
【００６１】
図１１Ａ及び図１１Ｂにガイド部材１２の構成（斜視図）を示している。図１１Ａでは、ガイド部材１２と可動部材１４を夫々別体として描いている。一方、図１１Ｂでは、ガイド部材１２に可動部材１４を取り付けた状態を描いている。ガイド部材１２の全体は略直方体状を呈する。ガイド部材１２は、４つの側面１２１ａ〜１２１ｄ、及び２つの端面１２２ａ，１２２ｃを有する。
【００６２】
ガイド部材１２の一方の端面１２２ａは開口しており、ガイド部材１２の内部には、この開口に連続して略直方体状の内部空間Ｓａ（第２空間）が形成されている。内部空間Ｓａは、スライド部材１１の略直方体状の外形が丁度収まる形態（形状、大きさ）（スライド部材１１の外表面が内部空間Ｓａの内表面に密着してスライド可能な形態）になっている。スライド部材１１は、当該スライド部材１１の端面１１２ｂの側を、ガイド部材１２の内部空間Ｓａの奥側（−ｙ側）に向けて＋ｙ側からスライド式に押し込むことによりガイド部材１２に装着される。
【００６３】
内部空間Ｓａの−ｙ側の最奥端には、端面１２２ａと平行に端面１２２ｂが形成されている。スライド部材１１を内部空間Ｓａに完全に押し込んだ状態では、スライド部材１１の端面１１２ｂがガイド部材１２の端面１２２ｂの内面（＋ｙ側の面）に当接する。端面１２２ｂには、プローブ５２の外径が通過可能な形態（形状、大きさ）を有する貫通孔１２２１ｂが形成されている。端面１２２ｂの−ｙ側の表面は平坦面になっており、この平坦面は上記直方体の長手方向に対して垂直（直角）に、即ち、スライド部材１１がスライドする方向に対して垂直（直角）になっている。
【００６４】
ガイド部材１２は、端面１２２ｂと端面１２２ｃとの間に内部空間Ｓｂ（第１空間）を有する。端面１２２ｂは、内部空間Ｓｂ（第１空間）と内部空間Ｓａ（第２空間）との境界を構成している。内部空間Ｓｂの上下面（側面１２１ｃ及び側面１２１ｄの内部空間Ｓｂが存在する部分）はいずれも長方形状に開口している。可動部材１４は、上記開口を通じて内部空間Ｓｂに装着される。膜厚の測定に際し、内部空間Ｓｂに装着された可動部材１４と端面１２２ｂとの間には、測定対象物２（例えば、ナット、ボルトの頭部等）の少なくとも一部が収容される。
【００６５】
図１１Ａに示すように、可動部材１４の全体は略直方体状を呈する。可動部材１４は、側面１４１ｃ’，１４１ｃ，１４１ｄ，１４１ｄ’，１４１ｂ，１４１ｅ，１４１ａを有する。このうち＋ｙ側に位置する２つの側面１４１ｃ及び側面１４１ｄはＶ字状に凹んでいる。また可動部材１４は、端面１４２ｂ，１４２ｄを有する。端面１４２ｄの＋ｘ側及び−ｘ側の周縁には、可動部材１４をガイド部材１２の内部空間Ｓｂの縁に係止させるための鍔状部１４２１ｄが形成されている。
【００６６】
可動部材１４を端面１４２ｄの側（＋ｚ側）から眺めた場合、Ｖ字状に凹む上記２つの側面１４１ｃ，１４１ｄは互いに６０度の角度をなす。また２つの側面１４１ｃ，１４１ｄは、上記角度の二等分線がスライド部材１１に取り付けられたプローブ５２の磁心５２０の軸を含む平面に含まれように設けられている。可動部材１４を端面１４２ｄの側（＋ｚ側）から眺めた場合、Ｖ字状に凹む部分は略正三角形状となる。
【００６７】
同図に示すように、ガイド部材１２の他方の端面１２２ｃの中央付近には貫通孔１２２１ｃが形成されている。貫通孔１２２１ｃの内周面にはネジ山が形成されている。貫通孔１２２１ｃには端面１２２ｃの表面から蝶ネジ１２５の軸が螺合挿入される。ユーザが蝶ネジ１２５を回動させてネジ込むことにより蝶ネジ１２５の先端が可動部材１４の側面１４１ｅに当接し、蝶ネジ１２５の先端から側面１４１ｅに押圧力が作用して可動部材１４が＋ｙ方向に移動する。尚、本例では、このように蝶ネジ１２５を用いて可動部材１４を押圧する機構（以下、押圧機構と称する。）を構成しているが、押圧機構は他の方法で実現してもよい。例えば、バネ等の弾性体を端面１２２ｃと可動部材１４の側面１４１ｅとの間に介在させ、上記弾性体の付勢力を利用して押圧機構を構成してもよい。
【００６８】
ガイド部材１２の側面１２１ｃは、膜厚の測定に際してプローブ５２と上記平坦面との間を確実に電気的に切り離し（絶縁）、膜厚の測定精度を向上する役割を果たす。
【００６９】
［プローブの取り付け］
続いて、図１２Ａ乃至図１２Ｃを参照しつつ、スライド部材１１にプローブ５２を取り付ける際の手順について説明する。まず図１２Ａに示すように、ユーザは、プローブ５２を、スライド部材１１の２つの端面１１２ａ，１１２ｂの夫々に設けられている切り欠き１１２１ａ，１１２１ｂに嵌め込んでスライド部材１１に装着する。ここでプローブ５２は、切り欠き１１２１ｂの周辺においてプローブ５２の表面から環状に突出する凸部６１７がスライド部材１１の端面１１２ｂの外表面と接触するようにスライド部材１１に取り付けられる。このため、ユーザが、プローブ５２を測定対象物２の方向に近づけようとしてスライド部材１１を測定対象物２の方向にスライドさせた際、端面１１２ｂの外表面からプローブ５２に対して測定対象物２の方向に向かう力が作用し、ユーザはプローブ５２を容易かつ確実に測定対象物２に接近させることができる。
【００７０】
尚、前述したように、ガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面（−ｚ側の表面）は平坦面になっており、当該平坦面は、ガイド部材１２の上記直方体の長手方向に対して垂直（直角）な関係になっている。そのため、プローブ５２をスライド部材１１に固定した状態ではプローブ５２の中心軸Ｃとガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面とは垂直（直角）の関係になる。
【００７１】
続いて、図１２Ｂ及び図１２Ｃに示すように、ユーザは、スライド部材１１の開口面（側面１１１ｄ）の側から、ロック部材１３を、その開口面（側面１３１ｃ）をスライド部材１１に取り付けられているプローブ５２の方向に向けつつ、プローブ５２に被せるようにしてスライド部材１１に装着する。より詳細には、ロック部材１３をまずプローブ５２に被せた後、ロック部材１３の嵌合溝１３３ａ，１３３ｂが、夫々、スライド部材１１の凸条１１７ａ，１１７ｂに嵌合するようにロック部材１３をプローブ５２の長手方向（凸条１１７ａ，１１７ｂ）に沿ってスライドさせ、ロック部材１３をスライド部材１１に装着する。ここでロック部材１３の内部空間の形状や大きさは、ロック部材１３をスライド部材１１に装着した状態でプローブ５２がロック部材１３とスライド部材１１との間に丁度収まるように設定されている。そのため、ロック部材１３をスライド部材１１に装着することでロック部材１３の側面１３１ｄの内表面がプローブ５２に当接してプローブ５２が押圧され、プローブ５２を確実にスライド部材１１に装着することができる。尚、ロック部材１３は、例えば、膜厚の測定に際しスライド部材１１の開口面（側面１１１ｄ）を下方に向けた際にプローブ５２がガタついたりプローブ５２がスライド部材１１から脱落したりするのを防ぐ役割も果たす。
【００７２】
［膜厚の測定方法］
続いて、以上の構成からなる測定治具１を用いて膜厚計５により測定対象物２の膜厚を測定する手順について説明する。尚、以下では、測定対象物２が六角ナットの側面である場合を例として説明する。
【００７３】
図１３Ａは、可動部材１４が装着された状態のガイド部材１２を測定対象物２である六角ナットに取り付けた状態を示す図（平面図）である。ユーザは、まず蝶ネジ１２５を緩めて可動部材１４と端面１２２ｂの間隔を広げる。そして可動部材１４と端面１２２ｂとの間に六角ナットを挟み込み、蝶ネジ１２５を締めてガイド部材１２を六角ナットに固定する。
【００７４】
同図に示すように、ガイド部材１２が六角ナットに取り付けられた状態において、可動部材１４のＶ字状に凹む２つの側面１４１ｃ及び１４１ｄは、夫々、六角ナットの側面２１ａの両側に連続する２つの側面２１ｃ，２１ｄに面接触する。また六角ナットの上記一側面２１ａに対向する側面２１ｅは、ガイド部材１２の端面１２２ｂの外表面に面接触する。このように、可動部材１４及び端面１２２ｂが、六角ナットの一つ飛びの３つの側面２１ｃ、側面２１ｄ、及び２１ｅに面接触することにより、ガイド部材１２は六角ナットに確実に固定される。
【００７５】
尚、前述したように、可動部材１４を端面１４２ｄの側から眺めた場合、側面１４１ｃ及び側面１４１ｄは互いに６０度の角度をなし、かつ、当該角度の二等分線がスライド部材１１に取り付けられたプローブ５２の磁心５２０の軸を含む平面に含まれるように可動部材１４に形成されている。そのため、六角ナットのサイズに拘わらず、可動部材１４の２つの側面１４１ｃ及び１４１ｄの夫々は、必ず六角ナットの一側面２１ａの両側に連続する２つの側面２１ｃ及び側面２１ｄの夫々に面接触する。このように本実施形態の測定治具１は、異なるサイズの六角ナットに広く適用することができる。そのため、例えば、電力会社等が行う電力設備の点検に際して膜厚の測定対象となる様々なサイズのナットに広く適用することができ、サイズ毎に測定治具１を用意する必要がなく、利便性に優れる。
【００７６】
続いて、図１３Ｂに示すように、ユーザは、プローブ５２が装着されたスライド部材１１をガイド部材１２の開口する端面１２２ａからガイド部材１２に挿入する。前述したように、ガイド部材１２の貫通孔１２２１ｂの径はプローブ５２の径よりも大きく、ユーザは、スライド部材１１をガイド部材１２の端面１２２ｂの方向にスライドさせることで、プローブ５２の先端を端面１２２ｂの外表面（平坦面）から突出させることができる。
【００７７】
続いて、図１３Ｃに示すように、ユーザは、ガイド部材１２を手で押さえつつ、スライド部材１１を測定対象物２の方向にスライドさせ、プローブ５２の先端を測定対象物２の方向に押し込む。これによりプローブ５２の内筒体６１２は、スプリング機構６４の付勢力に抗して外筒体６１１に押し込まれ、その結果、スイッチ６５の接点状態が反転してトリガ信号が本体装置５１に入力される。
【００７８】
以上に説明したように、本実施形態の測定治具１によれば、可動部材１４を押圧機構により押圧することにより、可動部材１４の複数の側面１４１ｃ，１４１ｄの夫々が、内部空間Ｓｂに収容されている測定対象物２が有している複数の面２１ｃ，２１ｄの夫々に面接触するので、可動部材１４の複数の側面１４１ｃ，１４１ｄとガイド部材１２の平坦面（端面１２２ｂ）との間に測定対象物２を確実に挟持することができる。そしてこの状態でスライド部材１１を磁心の軸方向にスライドさせることで、プローブ５２の磁心５２０の軸を測定対象物２の表面に対して直角に維持しつつ、プローブ５２の先端を測定対象部位２に正確に当接させることができる。そのため、ユーザは簡単な操作で精度よく膜厚を測定することができる。
【００７９】
ところで、例えば、可動部材１４の側面１４１ａ，１４１ｂの夫々に図１１Ａのｙ軸方向に延出する嵌合溝を設け、一方、ガイド部材１２の内部空間Ｓｂの２つの内側面１２３ａ，１２３ｂには図１１Ａのｙ軸方向に延出する凸条を設け、上記嵌合溝と上記凸条とを嵌合させることにより可動部材１４をガイド部材１２に取り付ける構造としてもよい。そのようにすれば可動部材１４をガイド部材１２にスライド可能に設けることができ、可動部材１４の脱落を防ぐこともできる。
【００８０】
また測定治具１は、例えば、図１４Ａに示すような構成としてもよい。同図に示すように、この測定治具１は、ガイド部材１２の内部空間Ｓｂとなる部分の両側に、ガイド部材１２の端面１２２ｂ及び端面１２２ｃとを接続するレール構造（円柱状の棒材１２８ａ，１２８ｂ）を有している。可動部材１４はその＋ｘ側及び−ｘ側の夫々に貫通孔１４６ａ，１４６ｂを有しており、夫々に棒材１２８ａ，１２８ｂを通すことにより可動部材１４はｙ軸方向にスライド可能に支持される。同図に示すように、ガイド部材１２の端面１２２ｃの端面１２２ｂが存在する側には可動部材１４が移動する方向に沿って延出するガイド構造１２７ａ，１２７ｂを設けている。このガイド構造１２７ａ，１２７ｂは可動部材１４の軸ブレを防止する役割を果たす。
【００８１】
図１４Ｂに、図１４Ａに示したガイド部材１２及び可動部材１４を測定対象物２(ナット）に取り付けた状態を、また図１４Ｃに、図１４Ａに示したガイド部材１２にスライド部材１１を挿入している状態を夫々示す。尚、本例では、蝶ネジ１２５を用いて可動部材１４を押圧するようにしているが、バネ等の弾性体を端面１２２ｃと可動部材１４の間に介在させ、当該弾性体の付勢力を利用して可動部材１４を＋ｙ方向に押圧するようにしてもよい。
【００８２】
以上、発明を実施するための形態について説明したが、以上の説明は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明はその趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に本発明にはその等価物が含まれることは勿論である。
【００８３】
例えば、以上のように測定対象物２が六角ナットの場合には側面１４１ｃ及び１４１ｄが互いに６０度の角度をなすように可動部材１４を構成したが、側面１４１ｃ及び１４１ｄがなす角は測定対象物２の態様に合わせて設定してよい。
【００８４】
また例えば、外部から測定治具１の内部の様子が視認し易くなるように、スライド部材１１、ガイド部材１２、ロック部材１３、及び可動部材１４のうちの少なくともいずれかを、例えば、透明の素材を用いて構成してもよい。
【符号の説明】
【００８５】
１  測定治具、２  測定対象物、５  膜厚計、５２０  磁心、５２  プローブ、１１  スライド部材、１１１ａ〜１１１ｄ  側面、１１２ａ，１１２ｂ  端面、１１２１ａ，１１２１ｂ  切り欠き、１１７ａ，１１７ｂ  凸条、１２  ガイド部材、１２１ａ〜１２１ｄ  側面、１２２ａ，１２２ｃ  端面、１２２１ｂ  貫通孔、１２２１ｃ  貫通孔、１２５  蝶ネジ、１３  ロック部材、１３１ａ〜１３１ｄ  側面、１３２ａ，１３２ｂ  端面、１３３ａ，１３３ｂ  嵌合溝、１４  可動部材、１４１ｂ，１４１ｃ，１４１ｅ  側面、１４１ｃ，１４１ｃ’  側面、１４１ｄ，１４１ｄ’  側面、１４２ｂ，１４２ｄ  端面、
Ｓａ  内部空間（第２空間）、Ｓｂ  内部空間（第１空間）、２１ａ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ  側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１４Ｃ】
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【図１５】
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