(57)【要約】      （修正有）【課題】チップを複数収容したトレーを次の工程に効率よく搬送できる搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置２００は、加工装置から搬出されたトレー１４６を受け取り搬送する支流ベルトコンベアー２０２と、支流ベルトコンベアー２０２からトレー１４６を受け取り次の工程に搬送する本流ベルトコンベアー２０４とを備える。支流ベルトコンベアー２０２と本流ベルトコンベアー２０４はＴ字路２０６を形成し、Ｔ字路２０６には湾曲したガイド部材２３８が本流ベルトコンベアー２０４を跨いで位置づけられたガイド手段２３６が配設されている。ガイド手段２３６は、ガイド部材２３８を昇降させる駆動部２４０を備え、トレー１４６を支流ベルトコンベアー２０２から本流ベルトコンベアー２０４に導く際はガイド部材２３８を下降させ、本流ベルトコンベアー２０４のトレー１４６がＴ字路２０６を通過する際はガイド部材２３８を上昇させる。【選択図】図７
2018095411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレーを搬送する搬送装置であって、
加工装置から搬出されたトレーを受け取り搬送する支流ベルトコンベアーと、該支流ベルトコンベアーからトレーを受け取り次の工程に搬送する本流ベルトコンベアーとを備え、
該支流ベルトコンベアーの始点は加工装置側に位置づけられ終点は該本流ベルトコンベアーの側方側に位置づけられてＴ字路を形成し、
該Ｔ字路には、該支流ベルトコンベアーから該本流ベルトコンベアーにトレーを導く湾曲したガイド部材が該本流ベルトコンベアーを跨いで位置づけられたガイド手段が配設され、
該ガイド手段は、該ガイド部材を昇降させる駆動部を備え、トレーを該支流ベルトコンベアーから該本流ベルトコンベアーに導く際は該ガイド部材を下降させ、該本流ベルトコンベアーのトレーが該Ｔ字路を通過する際は、該ガイド部材を上昇させる搬送装置。
【請求項２】
該支流ベルトコンベアーにはトレーの該Ｔ字路への進入を阻止するストップ位置と該Ｔ字路への進入を許容する許容位置とに端子を位置づける支流ストッパーが配設され、
該本流ベルトコンベアーにはトレーの該Ｔ字路への進入を阻止するストップ位置と該Ｔ字路への進入を許容する許容位置とに端子を位置づける本流ストッパーが配設され、
トレーを該支流ベルトコンベアーから該本流ベルトコンベアーに導く際は、該本流ストッパーの端子がストップ位置に位置づけられると共に該支流ストッパーの端子が許容位置に位置づけられ、
該本流ベルトコンベアーのトレーが該Ｔ字路を通過する際は、該本流ストッパーの端子が許容位置に位置づけられると共に該支流ストッパーの端子がストップ位置に位置づけられる請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
該支流ベルトコンベアーの該Ｔ字路に隣接した位置にトレーを検出する支流センサーが配設され、
該本流ベルトコンベアーの該Ｔ字路に隣接した位置にトレーを検出する本流センサーが配設され、
該支流センサーがトレーを検出しない時に、該支流ストッパーの端子がストップ位置に位置づけられ、
該本流センサーがトレーを検出しない時に、該本流ストッパーの端子がストップ位置に位置づけられる請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
２以上の加工装置に対応して該支流ベルトコンベアーがそれぞれに配設される請求項１記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トレーを搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが分割予定ラインによって区画された領域に配設され樹脂で封止されたＣＳＰ（チップ・サイズ・パッケージ）基板は、分割装置によって個々のチップに分割され、分割された各チップは携帯電話やパソコン等の電気機器に利用されている。
【０００３】
ＣＳＰ基板を個々のチップに分割する分割装置は、ＣＳＰ基板を個々のチップに分割する切削手段と、分割された個々のチップをトレーに収容する収容手段と、から概ね構成されていて、ＣＳＰ基板を高精度に個々のチップに分割できると共に、所定のトレーに収容できる（特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２３９３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、チップを複数収容したトレーは装置内で積み重ねられ次の工程に作業者によって搬送されるため生産性が悪いという問題がある。
【０００６】
上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、チップを複数収容したトレーを次の工程に効率よく搬送できる搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明が提供するのは、以下の搬送装置である。すなわち、トレーを搬送する搬送装置であって、加工装置から搬出されたトレーを受け取り搬送する支流ベルトコンベアーと、該支流ベルトコンベアーからトレーを受け取り次の工程に搬送する本流ベルトコンベアーとを備え、該支流ベルトコンベアーの始点は加工装置側に位置づけられ終点は該本流ベルトコンベアーの側方側に位置づけられてＴ字路を形成し、該Ｔ字路には、該支流ベルトコンベアーから該本流ベルトコンベアーにトレーを導く湾曲したガイド部材が該本流ベルトコンベアーを跨いで位置づけられたガイド手段が配設され、該ガイド手段は、該ガイド部材を昇降させる駆動部を備え、トレーを該支流ベルトコンベアーから該本流ベルトコンベアーに導く際は該ガイド部材を下降させ、該本流ベルトコンベアーのトレーが該Ｔ字路を通過する際は、該ガイド部材を上昇させる搬送装置である。
【０００８】
好ましくは、該支流ベルトコンベアーにはトレーの該Ｔ字路への進入を阻止するストップ位置と該Ｔ字路への進入を許容する許容位置とに端子を位置づける支流ストッパーが配設され、該本流ベルトコンベアーにはトレーの該Ｔ字路への進入を阻止するストップ位置と該Ｔ字路への進入を許容する許容位置とに端子を位置づける本流ストッパーが配設され、トレーを該支流ベルトコンベアーから該本流ベルトコンベアーに導く際は、該本流ストッパーの端子がストップ位置に位置づけられると共に該支流ストッパーの端子が許容位置に位置づけられ、該本流ベルトコンベアーのトレーが該Ｔ字路を通過する際は、該本流ストッパーの端子が許容位置に位置づけられると共に該支流ストッパーの端子がストップ位置に位置づけられる。該支流ベルトコンベアーの該Ｔ字路に隣接した位置にトレーを検出する支流センサーが配設され、該本流ベルトコンベアーの該Ｔ字路に隣接した位置にトレーを検出する本流センサーが配設され、該支流センサーがトレーを検出しない時に、該支流ストッパーの端子がストップ位置に位置づけられ、該本流センサーがトレーを検出しない時に、該本流ストッパーの端子がストップ位置に位置づけられるのが好適である。２以上の加工装置に対応して該支流ベルトコンベアーがそれぞれに配設されるのが好都合である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明が提供する搬送装置は、加工装置から搬出されたトレーを受け取り搬送する支流ベルトコンベアーと、該支流ベルトコンベアーからトレーを受け取り次の工程に搬送する本流ベルトコンベアーとを備え、該支流ベルトコンベアーの始点は加工装置側に位置づけられ終点は該本流ベルトコンベアーの側方側に位置づけられてＴ字路を形成し、該Ｔ字路には、該支流ベルトコンベアーから該本流ベルトコンベアーにトレーを導く湾曲したガイド部材が該本流ベルトコンベアーを跨いで位置づけられたガイド手段が配設され、該ガイド手段は、該ガイド部材を昇降させる駆動部を備え、トレーを該支流ベルトコンベアーから該本流ベルトコンベアーに導く際は該ガイド部材を下降させ、該本流ベルトコンベアーのトレーが該Ｔ字路を通過する際は、該ガイド部材を上昇させるように構成されているので、チップを複数収容したトレーを次の工程に効率よく搬送でき、作業者によってトレーを次の工程に搬送する必要がなく生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】加工装置の斜視図。
【図２】図１に示す加工装置の一部斜視図。
【図３】（ａ）図１に示す仮置き手段のフォークが後退位置にある状態の仮置き手段及び第一の移動手段を示す斜視図、（ｂ）図１に示す仮置き手段のフォークが前進位置にある状態の仮置き手段及び第一の移動手段を示す斜視図。
【図４】（ａ）図１に示す仮置き手段の裏面に装着された吸引パッドを下方からみた斜視図、（ｂ）吸引パッドの部分拡大図。
【図５】図１に示す被加工物離脱手段の斜視図。
【図６】図１に示す切削手段の斜視図。
【図７】本発明に従って構成された搬送装置を示す斜視図。
【図８】本流コンベアーによって被加工物が搬送されている状態を示す斜視図。
【図９】支流コンベアーから本流コンベアーに被加工物が搬送されている状態を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に従って構成された搬送装置の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１２】
図１に示す加工装置２は、カセットテーブル４と、カセットテーブル４に隣接して配置された第一の基台６と、カセットテーブル４の反対側において第一の基台６に隣接して配置された第二の基台７とを備える。カセットテーブル４には、板状の被加工物を上下方向に所定間隔をおいて複数収容するカセット８が載置されている。図２には、カセット８に収容される被加工物としてのＦＯＷＬＰと称される大型の矩形状の基板１０（たとえば６００ｍｍ×７００ｍｍ）が示されている。図２において一部を拡大して示す基板１０の表面１０ａは、格子状の分割予定ライン１２によって複数の矩形領域に区画され、複数の矩形領域のそれぞれにはデバイス１４が配設され樹脂によって封止されている。
【００１３】
図１、図３及び図４を参照して説明する。図１に示すとおり、基台６には、カセットテーブル４に載置されたカセット８から被加工物を引き出すと共に引き出した被加工物を仮置き可能な仮置き手段１６と、図１に矢印Ｒ１で示す第一の経路Ｒ１に沿って仮置き手段１６を移動させる第一の移動手段１８とが配置されている。図３に示すとおり、仮置き手段１６は、被加工物が仮置きされる仮置きテーブル２０と、仮置きテーブル２０の表面に進退自在に装着された一対のフォーク２２とを備える。フォーク２２の上面には複数の吸引孔２２ａが形成され、各吸引孔２２ａは流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。フォーク２２を進退させる駆動機構（図示していない。）は、たとえば、仮置きテーブル２０に内蔵されたローラーと、ローラーに巻き掛けられた無端ベルトと、ローラーを回転させるモータとから構成され得る。この駆動機構によってフォーク２２は、図３（ａ）に示す後退位置と、図３（ｂ）に示す前進位置との間を第一の経路Ｒ１の方向に進退される。そして、仮置き手段１６においては、カセット８の近傍でフォーク２２を前進位置に位置づけ、次いで吸引手段によってフォーク２２の上面に吸引力を生成することにより、カセット８に収容された被加工物の下面をフォーク２２の上面に吸着することができ、次いでフォーク２２を後退位置に位置づけることにより、カセット８から被加工物を第一の経路Ｒ１に引き出すと共に仮置きテーブル２０に仮置きすることができる。また、仮置き手段１６の仮置きテーブル２０の裏面には、図４に示すとおりの、個々のチップに分割された被加工物を保持する吸引パッド２４が配設されている。矩形状の吸引パッド２４の下面には複数の吸引孔２４ａが形成され、各吸引孔２４ａは流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。図示の実施形態では、複数の吸引孔２４ａの配置及び数量は、基板１０に形成されたデバイス１４の配置及び数量に対応している。このため吸引パッド２４は、吸引手段によって吸引パッド２４の下面に吸引力を生成することにより、基板１０がチップに分割された後に分割前の基板１０の形状を保ちつつ各チップを吸着して保持することができる。
【００１４】
図１及び図３を参照して説明する。図１に示すとおり、仮置き手段１６を第一の経路Ｒ１に沿って移動させる第一の移動手段１８は、第一の基台６及び第二の基台７を跨って配置された門型の支持フレーム２６を含む。図３を参照して説明すると、支持フレーム２６は、第一の経路Ｒ１の方向に間隔をおいて第一の基台６の上面及び第二の基台７の上面から上方に延びる一対の支柱２８と、支柱２８の上端間に架け渡された梁３０とを有する。梁３０には、第一の経路Ｒ１の方向に進退自在に可動片３２が装着されていると共に、第一の経路Ｒ１の方向に可動片３２を進退させる駆動機構３４が装着されている。可動片３２は、第一の経路Ｒ１の方向に進退自在に梁３０の上面に支持された矩形状の被支持部３６と、被支持部３６の片端部から垂下する矩形状の装着部３８とを有する。駆動機構３４は、梁３０の上面において第一の経路Ｒ１の方向に延びるボールねじ４０と、ボールねじ４０の片端部に連結されたモータ４２とを有する。駆動機構３４のボールねじ４０は可動片３２の被支持部３６に連結されている。そして、駆動機構３４のモータ４２が駆動することにより、梁３０の上面に付設された案内レール３０ａに沿って可動片３２が第一の経路Ｒ１の方向に進退される。可動片３２の装着部３８の片側の側面（図３において手前側の側面）には、所定間隔をおいて上下方向に延びる一対の案内レール３８ａが付設され、案内レール３８ａには仮置き手段１６の仮置きテーブル２０が昇降自在に装着されている。また、可動片３２の装着部３８には、仮置きテーブル２０を昇降させる昇降機構４４が装着されている。昇降機構４４は、装着部３８の案内レール３８ａ間において上下方向に延びるボールねじ４６と、ボールねじ４６の上端部に連結されたモータ４８とを有する。昇降機構４４のボールねじ４６は仮置きテーブル２０に連結されている。そして、昇降機構４４のモータ４８が駆動することにより、装着部３８の案内レール３８ａに沿って仮置きテーブル２０が昇降される。また、可動片３２の装着部３８に仮置き手段１６の仮置きテーブル２０が装着されているから、第一の経路Ｒ１の方向における可動片３２の進退に伴って第一の経路Ｒ１に沿って仮置き手段１６が進退される。
【００１５】
図１及び図５を参照して説明する。図１に示すとおり、第一の基台６の上方には、仮置き手段１６のフォーク２２によって引き出され仮置き手段１６の仮置きテーブル２０に仮置きされた被加工物を保持し上昇させ、仮置き手段１６の仮置きテーブル２０から被加工物を離脱させる被加工物離脱手段５０が配置されている。図５に示すとおり、被加工物離脱手段５０は、被加工物を保持する保持部５２と、保持部５２を昇降させるエアシリンダ５４とを含む。保持部５２は、エアシリンダ５４の下端に連結された矩形状の保持プレート５６と、保持プレート５６の下面の周縁に間隔をおいて付設された複数の中空の吸着片５８とを有する。下端に開口（図示していない。）が形成されている各吸着片５８は流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。そして、被加工物離脱手段５０においては、吸引手段によって吸着片５８に吸引力を生成することにより、仮置き手段１６のフォーク２２によって引き出され仮置き手段１６の仮置きテーブル２０に仮置きされた被加工物を吸着片５８によって保持することができると共に、エアシリンダ５４で保持部５２を上昇させることにより吸着片５８で保持した被加工物を上昇させて仮置き手段１６の仮置きテーブル２０から離脱させることができる。
【００１６】
図２を参照して説明する。第一の基台６の上面には、第一の経路Ｒ１と直交する第二の経路Ｒ２（図２に矢印Ｒ２で示す。）に沿って移動自在、かつ上下方向に延びる軸線を中心として回転自在に矩形状のチャックテーブル６０が配置されている。被加工物に切削加工に施す際に被加工物を保持するチャックテーブル６０の上面には、図２において一部を拡大して示すとおり、後述する切削手段７６の切削ブレード１００を逃がす逃がし溝６２が格子状に形成されていると共に、逃がし溝６２により区画された複数の矩形領域のそれぞれに吸引孔６４が形成されている。各吸引孔６４は、流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。図示の実施形態では、逃がし溝６２の配置及び数量は基板１０の分割予定ライン１２の配置及び数量に対応していると共に、吸引孔６４の配置及び数量は基板１０のデバイス１４の配置及び数量に対応している。このためチャックテーブル６０は、吸引手段によってチャックテーブル６０の上面に吸引力を生成して基板１０を吸着すると、分割予定ライン１２に沿って切削加工が施されて基板１０がチップに分割された後においても基板１０の形状を保ちつつ各チップを吸着して保持することができる。
【００１７】
図２に示すとおり、第二の経路Ｒ２においてチャックテーブル６０の片側及び他側は伸縮自在な蛇腹状カバー６６で覆われている。この蛇腹状カバー６６の内部には、チャックテーブル６０を第二の経路Ｒ２に沿って移動させる第二の移動手段（図示していない。）が配置されている。第二の移動手段は、たとえば、蛇腹状カバー６６の内部において第二の経路Ｒ２に沿って延びるボールねじと、このボールねじの片端部に連結されたモータとを含む構成でよい。そして、第二の移動手段のボールねじがチャックテーブル６０の下部に連結され、第二の移動手段のモータが駆動することにより、蛇腹状カバー６６の内部に付設された案内レール（図示していない。）に沿ってチャックテーブル６０が第二の経路Ｒ２を進退する構成とすることができる。また、上下方向に延びる軸線を中心としてチャックテーブル６０を回転させる回転手段は、チャックテーブル６０の下方に配置されたモータ（図示していない。）から構成することができる。
【００１８】
図１、図２及び図６を参照して説明する。図１に示すとおり、第一の基台６には被加工物離脱手段５０から第二の経路Ｒ２の方向に離間して、チャックテーブル６０に保持された被加工物に切削加工を施すための切削機構６８が配設されている。図２に示すとおり、切削機構６８は、第二の経路Ｒ２を跨って配置された門型の支持フレーム７０を含む。支持フレーム７０は、第一の経路Ｒ１の方向に間隔をおいて第一の基台６の上面から上方に延びる一対の支柱７２と、支柱７２の上端間に架け渡された梁７４とを有する。梁７４の片側の側面（図２において背面側の側面）には一対の切削手段７６が配設されている。図６に示すとおり、切削手段７６は、第一の経路Ｒ１の方向に進退自在に梁７４の片側の側面に支持される矩形状の割り出し送り片７８と、割り出し送り片７８を第一の経路Ｒ１の方向に進退させる割り出し送り機構８０と、割り出し送り片７８に昇降自在に支持された断面Ｌ字状の切り込み送り片８２と、切り込み送り片８２を昇降させる切り込み送り機構８４と、切り込み送り片８２の下端に固定されたスピンドルユニット８６とを含む。
【００１９】
図６を参照して説明を続けると、割り出し送り片７８の片側の側面（図６において手前側の側面）には、上下方向に間隔をおいて第一の経路Ｒ１の方向に延びる一対の被案内溝７８ａが形成され、この被案内溝７８ａは、梁７４の片側の側面において上下方向に間隔をおいて第一の経路Ｒ１の方向に延びる一対の案内レール（図示していない。）に摺動自在に連結される。割り出し送り機構８０は、梁７４の片側の側面において第一の経路Ｒ１の方向に延びるボールねじ８８と、ボールねじ８８の片端部に連結されたモータ９０とを有する。割り出し送り機構８０のボールねじ８８は割り出し送り片７８に連結されている。そして、割り出し送り機構８０のモータ９０が駆動することにより、梁７４の片側の側面に付設された案内レールに沿って割り出し送り片７８が第一の経路Ｒ１の方向に進退される。
【００２０】
切削手段７６の切り込み送り片８２は、割り出し送り片７８の他側の側面（図６において背面側の側面）に昇降自在に支持された矩形状の被支持部９２と、被支持部９２の下端から第二の経路Ｒ２の方向に突出する矩形状の装着部９４とを有する。切り込み送り機構８４は、割り出し送り片７８の他側の側面において上下方向に延びるボールねじ（図示していない。）と、このボールねじの片端部に連結されたモータ９６とを有する。切り込み送り機構８４のボールねじは切り込み送り片８２の被支持部９２に連結されている。そして、切り込み送り機構８４のモータ９６が駆動することにより、割り出し送り片７８他側の側面に付設された案内レール（図示していない。）に沿って切り込み送り片８２が昇降される。
【００２１】
切削手段７６のスピンドルユニット８６は、切り込み送り片８２の装着部９４の下面に装着されたスピンドルハウジング９８と、第一の経路Ｒ１の方向に延びる軸線を中心として回転可能にスピンドルハウジング９８に装着されたスピンドル（図示していない。）と、第一の経路Ｒ１の方向に延びる軸線を中心としてスピンドルを回転させるモータ（図示していない。）と、スピンドルの片端部に固定された切削ブレード１００と、切削ブレード１００を挟んで両側に配設された切削水供給ノズル１０１とを有する。被加工物を分割するための切削ブレード１００は、スピンドルと共に回転可能にスピンドルユニット８６に装着されている。切削ブレード１００で被加工物を分割（切削）する際に切削水を供給するための供給ノズル１０１は、流路によって切削水供給手段（図示していない。）に接続されている。なお、図示の実施形態では図６に示すとおり、一対の切削手段７６は、切削ブレード１００が互いに対面して配置されている。
【００２２】
図２を参照して説明する。切削機構６８の支持フレーム７０の梁７４の他側の側面（図２において手前側）には、チャックテーブル６０に保持された被加工物を撮像する撮像手段１０２が第一の経路Ｒ１の方向に進退自在に装着されていると共に、第一の経路Ｒ１の方向に撮像手段１０２を進退させる駆動機構１０４が装着されている。駆動機構１０４は、梁７４の他側の側面において第一の経路Ｒ１の方向に延びるボールねじ１０６と、ボールねじ１０６の片端部に連結されたモータ１０８とを有する。駆動機構１０４のボールねじ１０６は撮像手段１０２に連結されている。そして、駆動機構１０４のモータ１０８が駆動することにより、梁７４の他側の側面に付設された案内レール７４ａに沿って撮像手段１０２が第一の経路Ｒ１の方向に進退される。
【００２３】
図２に示すとおり、切削機構６８の支持フレーム７０には、チャックテーブル６０に保持された被加工物を切削することで発生する切削屑を被加工物の上面から除去し洗浄する上面洗浄手段１１０が配設されている。上面洗浄手段１１０は、一方の支柱７２の上下方向中間部から他方の支柱７２の上下方向中間部まで延びており、第二の経路Ｒ２に跨って配設されている。中空部材から形成され得る上面洗浄手段１１０は、第一の経路Ｒ１の方向に間隔をおいて下面に複数の噴射孔（図示していない。）が形成され、各噴射孔は流路によって洗浄液供給手段（図示していない。）に接続されている。そして、上面洗浄手段１１０においては、洗浄液供給手段から供給された洗浄液を各噴射孔から噴射するので、チャックテーブル６０に保持された被加工物を切削することで発生する切削屑を被加工物の上面から除去し洗浄することができる。
【００２４】
図１及び図２に示すとおり、第一の基台６の上面における第一の経路Ｒ１には、個々のチップに分割された被加工物の上面を仮置き手段１６の吸引パッド２４が保持しつつ第一の経路Ｒ１を移動している際に、被加工物の下面に付着した切削屑を除去し洗浄する下面洗浄手段１１２が配設されている。図２に示すとおり、下面洗浄手段１１２は、第一の経路Ｒ１に沿って順に配置されたブラシ１１４、噴射手段１１６及びローラー１１８を有する。ブラシ１１４は第二の経路Ｒ２の方向に沿って整列している。第二の経路Ｒ２の方向に延びる中空部材から形成され得る噴射手段１１６は、第二の経路Ｒ２の方向に間隔をおいて上面に複数の噴射孔１１６ａが形成され、各噴射孔１１６ａは流路によって洗浄液供給手段（図示していない。）に接続されている。また、第二の経路Ｒ２の方向に延びる軸線を中心として回転自在に構成されているローラー１１８は、少なくとも外周面がウレタン等の適宜の合成樹脂材料から形成されている。そして、下面洗浄手段１１２においては、個々のチップに分割された被加工物の上面を仮置き手段１６の吸引パッド２４が保持しつつ第一の経路Ｒ１を移動している際に、ブラシ１１４が被加工物の下面に接触すると共に、洗浄液供給手段から供給された洗浄液を噴射手段１１６の各噴射孔１１６ａから被加工物の下面に向かって噴射するので、被加工物の下面に付着した切削屑を除去し洗浄することができ、また、ローラー１１８が被加工物の下面に接触して被加工物の下面から洗浄液を除去することができる。なお、加工装置２では、上述のとおり、被加工物を切削することで発生する切削屑を被加工物の上面から上面洗浄手段１１０によって除去し洗浄することができるところ、切削加工の際にはチャックテーブル６０の上面に吸引力を生成して被加工物を保持しているため、切削加工の際に発生した切削屑がチャックテーブル６０の上面に生成した吸引力によって被加工物の下面側に移動して被加工物の下面に切削屑が付着してしまう場合がある。しかし加工装置２では、上面洗浄手段１１０で上面を洗浄した被加工物の下面に切削屑が残留した場合でも、下面洗浄手段１１２によって被加工物の下面に残留した切削屑を除去することができる。
【００２５】
加工装置２は、個々のチップに分割された被加工物を外部に搬出する搬出機構１２０を備える。被加工物離脱手段５０から第一の経路Ｒ１の方向に離間して配設された搬出機構１２０は、図１に示すとおり、個々のチップに分割された被加工物を吸引パッド２４から受け取る受け取りテーブル１２２と、受け取りテーブル１２２を第二の経路Ｒ２に平行な第三の経路Ｒ３（図１に矢印Ｒ３で示す。）に沿って移動させる第三の移動手段１２４と、分割済みの被加工物を区分けして受け取りテーブル１２２から区分けされたチップをトレー１４６に移し替えるトレー移し替え手段１２６と、チップを搭載したトレー１４６を搬出するトレー搬出手段１２８と、空のトレー１４６を供給するトレー供給手段１３０とを含む。
【００２６】
受け取りテーブル１２２は、第二の基台７の上面に配置され、第三の経路Ｒ３に沿って移動自在に構成されている。図２において一部を拡大して示すとおり、矩形状の受け取りテーブル１２２の上面には複数の吸引孔１２２ａが形成され、各吸引孔１２２ａは流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。図示の実施形態では、複数の吸引孔１２２ａの配置及び数量は、基板１０に形成されたデバイス１４の配置及び数量に対応している。このため受け取りテーブル１２２は、吸引手段によって受け取りテーブル１２２の上面に吸引力を生成することにより、基板１０がチップに分割された後に分割前の基板１０の形状を保ちつつ各チップを吸着して保持することができる。また、受け取りテーブル１２２を第三の経路Ｒ３に沿って移動させる第三の移動手段１２４は、図２に示すとおり、第二の基台７の上面において第三の経路Ｒ３に沿って形成された収容溝７ａに収容されている。第三の移動手段１２４は、収容溝７ａに沿って延びるボールねじ１３２と、ボールねじ１３２の片端部に連結されたモータ（図示していない。）とを有する。第三の移動手段１２４のボールねじ１３２は、受け取りテーブル１２２の下部に連結されている。そして、第三の移動手段１２４のモータが駆動することにより、収容溝７ａに付設された案内レール（図示していない。）に沿って受け取りテーブル１２２が第三の経路Ｒ３に沿って進退される。
【００２７】
図２に示すとおり、トレー移し替え手段１２６は、第二の基台７を跨って配置されたＬ字状の支持フレーム１３４を含む。支持フレーム１３４は、第二の基台７の上面の片端部（第一の基台６側の端部）から上方に延びる支柱１３６と、支柱１３６の上端から第一の基台６と離間する方向に延びる梁１３８と、梁１３８に沿って移動自在に梁１３８の下面に装着された吸着部材１４０と、吸着部材１４０を梁１３８に沿って移動させる移動機構（図示していない。）とを有する。吸着部材１４０を梁１３８に沿って移動させる移動機構は、たとえば、梁１３８の下面において第一の経路Ｒ１の方向に延びるボールねじと、このボールねじの片端部に連結されたモータとを含む構成でよい。そして、移動機構のボールねじが吸着部材１４０の上部に連結され、移動機構のモータが駆動することにより、梁１３８の下面に付設された案内レール（図示していない。）に沿って吸着部材１４０が進退する構成とすることができる。吸着部材１４０は、梁１３８に沿って移動自在に梁１３８の下面に装着されたエアシリンダ１４２と、エアシリンダ１４２の下端に固定された矩形状の吸着プレート１４４とを備える。図示の実施形態では、吸着プレート１４４は、基板１０のサイズよりも小さく、かつ図１及び図２に示す搬送用のトレー１４６の幅に対応するサイズに形成されている。吸着プレート１４４の下面には複数の吸引孔（図示していない。）が形成され、吸着プレート１４４の各吸引孔は流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。図示の実施形態では、吸着プレート１４４の複数の吸引孔の配置は、基板１０に形成されたデバイス１４の配置に対応している。このため吸着プレート１４４は、吸引手段によって吸着プレート１４４の下面に吸引力を生成することにより、受け取りテーブル１２２に保持された分割済みの被加工物のうち、トレー１４６の幅に対応する分の数量を区分けしつつ吸着して保持することができる。また、トレー移し替え手段１２６は、被加工物を吸着した吸着プレート１４４をエアシリンダ１４２によって上昇させ、次いで移動機構によって吸着部材１４０を移動させ、次いでトレー１４６の上方において吸引力を解除することによりトレー１４６に被加工物を移し替えることができる。なお、トレー１４６の没入した収容部にはタック力（弱粘着力）を有するシートが装着されている。タック力を有するシートとしては、新タック化成株式会社が製造販売する商品名「セパレス」または「ハンデコタック」を用いることができる。そして、トレー１４６の収容部にタック力を有するシートが装着されていることにより、トレー１４６の収容部に移し替えられた被加工物はタック力によってトレー１４６内での位置ズレが防止される。
【００２８】
図２に示すとおり、トレー供給手段１３０は、第二の基台７に近接して配置され上面が開放された直方体状の枠体１４８と、枠体１４８上部に回転自在に支持された少なくとも一対のローラー１５０と、一対のローラー１５０に巻き掛けられた一対の無端ベルト１５２と、ローラー１５０を回転させる回転機構（図示していない。）とを有するベルトコンベアーから構成することができる。枠体１４８の長手方向片端部には、無端ベルト１５２に搭載されたトレー１４６をトレー搬出手段１２８に供給するための供給位置で停止させるためのストッパー１５４が付設されている。そして、トレー供給手段１３０においては、ローラー１５０と共に無端ベルト１５２を回転機構によって回転させることにより、作業者によって無端ベルト１５２に搭載された空のトレー１４６を供給位置に向かって移動させストッパー１５４によって供給位置で停止させることができる。
【００２９】
図１に示すとおり、トレー搬出手段１２８は、トレー供給手段１３０から空のトレー１４６を搬出する第一の搬出手段１５６と、第一の搬出手段１５６から搬出された空のトレー１４６を受け取ると共に空のトレー１４６を搬出する第二の搬出手段１５８と、第二の搬出手段１５８から搬出された空のトレー１４６を、被加工物を受け取る被加工物受け取り位置で停止させると共に被加工物を収容したトレー１４６を搬出する第三の搬出手段１６０とを有する。
【００３０】
図２に示すとおり、第一の搬出手段１５６は、トレー供給手段１３０の供給位置に近接して配置され上方に延びる枠体１６２と、枠体１６２に昇降自在に支持されたアーム１６４と、アーム１６４を昇降させる昇降機構（図示していない。）と、アーム１６４の先端下面に間隔をおいて付設された複数の中空の吸着片１６６とを備える。下端に開口（図示していない。）が形成されている各吸着片１６６は流路によって吸引手段（図示していない。）に接続されている。そして、第一の搬出手段１５６においては、アーム１６４を下降させ、トレー供給手段１３０の供給位置に位置づけられたトレー１４６の上面に吸着片１６６を密着させ、次いで吸引手段によって吸着片１６６に吸引力を生成することにより吸着片１６６にトレー１４６を吸着させ、次いで吸着片１６６でトレー１４６を吸着したアーム１６４を昇降機構によって上昇させることにより、トレー供給手段１３０から空のトレー１４６を搬出することができる。
【００３１】
第二の搬出手段１５８は、第一の搬出手段１５６の枠体１６２の上下方向中間部において互いに間隔をおいて配置され、かつ互いに接近した閉位置と互いに離間した開位置との間で開閉自在に構成された片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０と、閉位置と開位置との間で片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０を開閉させるエアシリンダ１７２とを備える。片側受け取り部材１６８は、第一の搬出手段１５６のアーム１６４が上昇する際に通過可能な間隔をおいて配置された上流側部分１６８ａ及び下流側部分１６８ｂを有する。片側受け取り部材１６８の上流側部分１６８ａの下端及び下流側部分１６８ｂの下端は他側受け取り部材１７０に向かって突出し、他側受け取り部材１７０の下端は片側受け取り部材１６８に向かって突出しており、片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０が閉位置に位置づけられた際に、片側受け取り部材１６８の突出部分及び他側受け取り部材１７０の突出部分によって、第一の搬出手段１５６のアーム１６４からトレー１４６を受け取ることができるようになっている。また、片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０のそれぞれは、内面側に回転自在に配置された複数の搬出ローラー１７４と、搬出ローラー１７４を回転させる回転機構（図示していない。）とが装着されている。搬出ローラー１７４の少なくとも外周面は、トレー１４６の外面との間で所定以上の摩擦力を生じさせる材料（たとえば合成ゴム）から形成されている。そして第二の搬出手段１５８においては、回転機構によって搬出ローラー１７４を回転させることにより、片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０に搭載されたトレー１４６を搬出することができる。また、片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０の双方に装着されたエアシリンダ１７２は、片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０を互いに接近させて第一の搬出手段１５６のアーム１６４からトレー１４６を受け取り可能な閉位置と、片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０を互いに離間させて、トレー１４６を吸着した第一の搬出手段１５６のアーム１６４が上昇する際にトレー１４６の通過が可能な開位置との間で片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０を開閉させる。
【００３２】
第二の搬出手段１５８の片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０に連結されている第三の搬出手段１６０は、底面壁１７６と、底面壁１７６の両端部から上方に突出する一対の側壁１７８と、側壁１７８の内面側に回転自在に配置された複数の搬出ローラー１８０と、搬出ローラー１８０を回転させる回転機構（図示していない。）と、底面壁１７６に長手方向に間隔をおいて配置されトレー１４６を検出する複数のトレーセンサー１８２とを備える。搬出ローラー１８０の少なくとも外周面は、トレー１４６の外面との間で所定以上の摩擦力を生じさせる材料（たとえば合成ゴム）から形成されている。そして、第三の搬出手段１６０においては、空のトレー１４６が第二の搬出手段１５８から搬出されるとトレーセンサー１８２が空のトレー１４６を検出し、これによって搬出ローラー１８０の回転を停止させ、第二の搬出手段１５８から搬出された空のトレー１４６を搬送方向に沿って複数の被加工物受け取り位置で停止させることができる。また、第三の搬出手段１６０においては、回転機構が搬出ローラー１８０を回転させることにより、被加工物を収容したトレー１４６を搬出することができる。
【００３３】
図示の実施形態では図１に示すとおり、トレー搬出手段１２８の第三の搬出手段１６０の下流側には、被加工物を収容したトレー１４６を次の工程に搬送する搬送装置２００が連結されている。図１と共に図７を参照して説明すると、搬送装置２００は、加工装置２から搬出されたトレー１４６を受け取り搬送する支流ベルトコンベアー２０２と、支流ベルトコンベアー２０２からトレー１４６を受け取り次の工程に搬送する本流ベルトコンベアー２０４とを備える。支流ベルトコンベアー２０２の始点はトレー搬出手段１２８の第三の搬出手段１６０の下流側に位置づけられている。また、支流ベルトコンベアー２０２の終点は本流ベルトコンベアー２０４の側方側に位置づけられており、支流ベルトコンベアー２０２と本流ベルトコンベアー２０４とでＴ字路２０６を形成している。
【００３４】
支流ベルトコンベアー２０２は、トレー１４６の幅に対応する間隔をおいて配置された一対の側壁２０８と、側壁２０８に回転自在に支持された少なくとも一対のローラー２１０と、一対のローラー２１０に巻き掛けられた一対の無端ベルト２１２と、ローラー２１０を回転させる回転機構（図示していない。）とを有する。なお、一対のローラー２１０、一対の無端ベルト２１２及び回転機構を一組のコンベアユニットとし、複数組のコンベアユニット及び適宜の長さの側壁２０８を用いることにより、適宜の長さの支流ベルトコンベアー２０２とすることができる。図７のＡ−Ａ断面に示すとおり、側壁２０８の上面は無端ベルト２１２の上面よりも上方に位置しており、搬送中のトレー１４６の支流ベルトコンベアー２０２からの脱落が側壁２０８によって防止されている。ただし、図７のＢ−Ｂ断面に示すとおり、Ｔ字路２０６の近傍（後述の内ガイド部材２４２が配設された部分）においては、本流ベルトコンベアー２０４の下流側に位置する側壁２０８の上面が無端ベルト２１２の上面と面一又は無端ベルト２１２の上面よりも下方に位置しており、これによって支流ベルトコンベアー２０２から本流ベルトコンベアー２０４にトレー１４６が搬送される際に、本流ベルトコンベアー２０４の下流側に位置する側壁２０８がトレー１４６の搬送を妨げることがないようになっている。
【００３５】
図１及び図７に示すとおり、支流ベルトコンベアー２０２のＴ字路２０６に隣接した位置には、支流ストッパー２１４と、トレー１４６を検出する支流センサー２１６とが配設されている。支流ストッパー２１４は、支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６のＴ字路２０６への進入を阻止するストップ位置（図７に示す位置）と支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６のＴ字路２０６への進入を許容する許容位置との間を移動自在に構成された端子２１８と、ストップ位置と許容位置との間で端子２１８を移動させるエアシリンダ２２０とを有する。そして、支流センサー２１６がトレー１４６を検出しない時は、支流ストッパー２１４のエアシリンダ２２０は端子２１８をストップ位置に位置づける。また、支流センサー２１６がトレー１４６を検出した時であって、支流ベルトコンベアー２０２から本流ベルトコンベアー２０４にトレー１４６を導く際は、支流ストッパー２１４のエアシリンダ２２０は端子２１８を許容位置に位置づける。
【００３６】
本流ベルトコンベアー２０４は、トレー１４６の幅に対応する間隔をおいて配置された一対の側壁２２２と、側壁２２２に回転自在に支持された少なくとも一対のローラー２２４と、一対のローラー２２４に巻き掛けられた一対の無端ベルト２２６と、ローラー２２４を回転させる回転機構（図示していない。）とを有する。なお、一対のローラー２２４、一対の無端ベルト２２６及び回転機構を一組のコンベアユニットとし、複数組のコンベアユニット及び適宜の長さの側壁２２２を用いることにより、適宜の長さの本流ベルトコンベアー２０４とすることができる。支流ベルトコンベアー２０２の側壁２０８と同様に、本流コンベアー２０４の側壁２２２の上面も無端ベルト２２６の上面よりも上方に位置しており、搬送中のトレー１４６の本流ベルトコンベアー２０４からの脱落が側壁２２２によって防止されている。ただし、Ｔ字路２０６の近傍（後述の内ガイド部材２４２が配設された部分）においては、支流ベルトコンベアー２０２の側壁２０８と同様に、本流ベルトコンベアー２０４の側壁２２２の上面も無端ベルト２２６の上面と面一又は無端ベルト２２６の上面よりも下方に位置しており、これによって支流ベルトコンベアー２０２から本流ベルトコンベアー２０４にトレー１４６が搬送される際に、本流ベルトコンベアー２０４の側壁２２２がトレー１４６の搬送を妨げることがないようになっている。
【００３７】
図１及び図７に示すとおり、本流ベルトコンベアー２０４のＴ字路２０６に隣接した位置であってＴ字路２０６よりも上流側部分には、本流ストッパー２２８と、トレー１４６を検出する本流センサー２３０とが配設されている。本流ストッパー２２８は、本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６のＴ字路２０６への進入を阻止するストップ位置（図７に示す位置）と本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６のＴ字路２０６への進入を許容する許容位置との間を移動自在に構成された端子２３２と、ストップ位置と許容位置との間で端子２３２を移動させるエアシリンダ２３４とを有する。そして、本流センサー２３０がトレー１４６を検出しない時は、本流ストッパー２２８のエアシリンダ２３４は端子２３２をストップ位置に位置づける。また、本流センサー２３０がトレー１４６を検出した時であって、本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６がＴ字路２０６を通過する際は、本流ストッパー２２８のエアシリンダ２３４は端子２３２を許容位置に位置づける。
【００３８】
Ｔ字路２０６にはガイド手段２３６が配設され、ガイド手段２３６は、支流ベルトコンベアー２０２から本流ベルトコンベアー２０４にトレー１４６を導く湾曲した外ガイド部材２３８を備える。本流ベルトコンベアー２０４を跨いで位置づけられた外ガイド部材２３８は昇降自在に構成され、ガイド手段２３６は外ガイド部材２３８を昇降させる駆動部２４０を更に備える。エアシリンダ等の適宜のアクチュエータから構成され得る駆動部２４０は、支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６を本流ベルトコンベアー２０４に導く際は外ガイド部材２３８を下降させてガイド位置に位置づける。外ガイド部材２３８はＰＴＦＥ等の適宜の低摩擦材料から形成されているのが好ましく、これによって支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６は外ガイド部材２３８に引っ掛かることなく滑らかに本流ベルトコンベアー２０４へとガイドされる。また、本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６がＴ字路２０６を通過する際は、駆動部２４０は外ガイド部材２３８を上昇させ、本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６のＴ字路２０６への進入を許容する許容位置に位置づける。なお、図示の実施形態では、ガイド手段２３６は、外ガイド部材２３８の下降位置に対向する位置に固定された、湾曲した内ガイド部材２４２を含む。そして、支流ベルトコンベアー２０２から本流ベルトコンベアー２０４へトレー１４６が移動する際に内ガイド部材２４２によってトレー１４６の落下が防止される。
【００３９】
加工装置２で被加工物としての基板１０を加工する際は、まず、複数の基板１０が収容されたカセット８をカセットテーブル４に載置する。次いで、仮置き手段１６がカセット８に隣接するまで、可動片３２と共に仮置き手段１６を第一の移動手段１８の駆動機構３４によって第一の経路Ｒ１に沿って移動させる。次いで、第一の移動手段１８の昇降機構４４によって仮置き手段１６を昇降させ、カセット８から搬出すべき基板１０の近傍に仮置き手段１６を位置づける。次いで、仮置き手段１６の駆動機構によってフォーク２２を前進位置まで前進させ、カセット８から搬出すべき基板１０の裏面にフォーク２２の上面を位置づける。次いで、フォーク２２の吸引孔２２ａに接続された吸引手段を作動させてフォーク２２の上面に吸引力を生成し、カセット８から搬出すべき基板１０の裏面をフォーク２２の上面に吸着させる。次いで、基板１０を吸着したフォーク２２を仮置き手段１６の駆動機構によって後退位置まで後退させ、基板１０を第一の経路Ｒ１に引き出すと共に仮置き手段１６の仮置きテーブル２０に基板１０を仮置きする。
【００４０】
仮置きテーブル２０に基板１０を仮置きした後、被加工物離脱手段５０のエアシリンダ５４によって被加工物離脱手段５０の保持部５２を下降させ、保持部５２の吸着片５８を仮置きテーブル２０に仮置きした基板１０の表面１０ａに密着させる。次いで、保持部５２の吸着片５８に接続された吸引手段を作動させて吸着片５８に吸引力を生成し、基板１０の表面１０ａを吸着片５８に吸着させる。次いで、被加工物離脱手段５０のエアシリンダ５４によって保持部５２を上昇させることにより、保持部５２の吸着片５８で保持した基板１０を上昇させて仮置き手段１６の仮置きテーブル２０から離脱させる。次いで、第一の移動手段１８の駆動機構３４によって仮置き手段１６を第一の経路Ｒ１に沿って移動させることにより、仮置き手段１６を被加工物離脱手段５０の直下から離間させ、基板１０の下方にチャックテーブル６０を露出させる。次いで、第二の移動手段（図示していない。）によってチャックテーブル６０を第二の経路Ｒ２に沿って移動させ、被加工物離脱手段５０の吸着片５８で保持した基板１０の直下にチャックテーブル６０を位置づける。次いで、被加工物離脱手段５０のエアシリンダ５４によって保持部５２を下降させ、吸着片５８で保持した基板１０をチャックテーブル６０の上面に載置する。基板１０をチャックテーブル６０の上面に載置する際は、被加工物離脱手段５０の吸着片５８の吸引力を解除すると共に、チャックテーブル６０の吸引孔６４に接続された吸引手段を作動させてチャックテーブル６０の上面に吸引力を生成し、チャックテーブル６０の上面に基板１０を吸着させる。
【００４１】
チャックテーブル６０の上面に基板１０を吸着させた後、第二の移動手段によってチャックテーブル６０を第二の経路Ｒ２に沿って移動させ、チャックテーブル６０を撮像手段１０２の下方に位置づける。次いで、駆動機構１０４によって撮像手段１０２を第一の経路Ｒ１の方向に沿って移動させると共に、第二の移動手段によってチャックテーブル６０を第二の経路Ｒ２に沿って移動させながら、撮像手段１０２によって基板１０を撮像する。次いで、撮像手段１０２によって撮像された画像に基づいて、切削すべき基板１０の領域である分割予定ライン１２を検出する。次いで、第二の移動手段によってチャックテーブル６０を第二の経路Ｒ２に沿って移動させ、第二の経路Ｒ２の方向における分割予定ライン１２の先端部を切削手段７６の切削ブレード１００の下方に位置づける。
【００４２】
なお、基板１０の分割予定ライン１２を検出した際に、分割予定ライン１２とチャックテーブル６０の逃がし溝６２とが一致していない場合には、分割予定ライン１２と逃がし溝６２とを一致させるための位置ズレ補正を行う。位置ズレ補正では、まず、チャックテーブル６０を切削手段７６の下方に位置づける前に、チャックテーブル６０を被加工物離脱手段５０の下方に第二の移動手段によって移動させる。そして、第二の経路Ｒ２の方向において分割予定ライン１２と逃がし溝６２とが一致していない場合や、上方からみて分割予定ライン１２と逃がし溝６２との相対角度が許容角度以上であり角度ズレが生じている場合には、被加工物離脱手段５０の吸着片５８で基板１０を保持して上昇させる。次いで、第二の移動手段及び回転手段（図示していない。）によってチャックテーブル６０を移動及び回転させて逃がし溝６２の位置を調整する。これによって、逃がし溝６２を分割予定ライン１２に一致させ、第二の経路Ｒ２の方向における位置ズレ及び角度ズレを補正することができる。他方、第一の経路のＲ１の方向において分割予定ライン１２と逃がし溝６２とが一致していない場合には、チャックテーブル６０を被加工物離脱手段５０の下方に第二の移動手段によって移動させた後、第一の移動手段１８の駆動機構３４によって仮置き手段１６を第一の経路Ｒ１に沿って移動させ、チャックテーブル６０の上方に仮置き手段１６を位置づける。次いで、第一の移動手段１８の昇降機構４４によって仮置き手段１６を下降させ、仮置き手段１６の吸引パッド２４の下面を基板１０の表面１０ａに密着させる。次いで、チャックテーブル６０の上面の吸引力を解除すると共に、吸引パッド２４の吸引孔２４ａに接続された吸引手段を作動させて吸引パッド２４の下面に吸引力を生成し、吸引パッド２４の下面に基板１０の表面１０ａを吸着させる。次いで、第一の移動手段１８の昇降機構４４によって仮置き手段１６を上昇させることにより、吸引パッド２４で保持した基板１０を上昇させる。次いで、第一の移動手段１８の駆動機構３４によって仮置き手段１６を第一の経路Ｒ１に沿って移動させて基板１０の分割予定ライン１２の位置を調整する。これによって、分割予定ライン１２を逃がし溝６２に一致させ、第一の経路Ｒ１の方向における位置ズレを補正することができる。位置ズレを補正した後は、再度チャックテーブル６０の上面に基板１０を吸着させる。
【００４３】
第二の経路Ｒ２の方向における分割予定ライン１２の先端部を切削手段７６の切削ブレード１００の下方に位置づけた後は、基板１０を個々のチップに分割する切削工程を実施する。切削工程では、まず、一対の切削手段７６の各割り出し送り機構８０を作動させ、第一の経路Ｒ１の方向において基板１０の片端部に位置する分割予定ライン１２の上方に一方の切削ブレード１００を位置づけると共に、第一の経路Ｒ１の方向において基板１０の中間部に位置する分割予定ライン１２の上方に他方の切削ブレード１００を位置づける。次いで、各スピンドルユニット８６のモータによって各切削ブレード１００を回転させる。次いで、チャックテーブル６０の逃がし溝６２に各切削ブレード１００の外周縁が達するまで、各切り込み送り機構８４によって各スピンドルハウジング９８を下降させ、基板１０の分割予定ライン１２に各切削ブレード１００の刃先を切り込ませると共に、チャックテーブル６０を所定の加工送り速度で第二の移動手段によって第二の経路Ｒ２に沿って移動させ、第二の経路Ｒ２の方向における分割予定ライン１２の終端部に切削ブレード１００が達したら各切り込み送り機構８４によって各スピンドルハウジング９８を上昇させる切削加工を行う。この切削加工の際は、切削水供給ノズル１０１に接続された切削水供給手段を作動させ、切削水供給手段から供給された切削水を切削水供給ノズル１０１から供給することに加えて、上面洗浄手段１１０の各噴射孔に接続された洗浄液供給手段を作動させ、洗浄液供給手段から供給された洗浄液を上面洗浄手段１１０の各噴射孔から噴射して、基板１０を切削することで発生する切削屑を基板１０の表面１０ａ（上面）から除去し洗浄する。切削工程では、上記切削加工と、隣接する分割予定ライン１２の間隔の分だけ割り出し送り機構８０によって切削ブレード１００を割り出し送りする割り出し送りとを交互に行う。上記のとおり、第一の経路Ｒ１の方向において基板１０の片端部に位置する分割予定ライン１２の上方に一方の切削ブレード１００を位置づけると共に、第一の経路Ｒ１の方向において基板１０の中間部に位置する分割予定ライン１２の上方に他方の切削ブレード１００を位置づけた場合には、割り出し送りにおいては第一の経路Ｒ１の方向において基板１０の他端部に向かって各切削ブレード１００を移動させる。なお、切削加工の開始する際にあたって、第一の経路Ｒ１の方向において基板１０の片端部に位置する分割予定ライン１２の上方に一方の切削ブレード１００を位置づけると共に、第一の経路Ｒ１の方向において基板１０の他端部に位置する分割予定ライン１２の上方に他方の切削ブレード１００を位置づけ、そして、割り出し送りにおいて第一の経路Ｒ１の方向において基板１０の中間部に向かって各切削ブレード１００を移動させてもよい。そして、切削加工と割り出し送りとを交互に繰り返すことにより、第二の経路Ｒ２に沿って位置づけられた全ての分割予定ライン１２に切削加工を施した後は、回転手段によってチャックテーブル６０を９０度回転させた上で、切削加工を施した分割予定ライン１２に直交する全ての分割予定ライン１２についても切削加工と割り出し送りとを交互に繰り返すことにより切削加工を施す。これによって、基板１０を個々のチップに分割することができる。なお、上述のとおり、チャックテーブル６０の吸引孔６４の配置及び数量は基板１０のデバイス１４の配置及び数量に対応しているから、チャックテーブル６０においては基板１０がチップに分割された後においても基板１０の形状を保ちつつ各チップを吸着して保持することができる。また、チャックテーブル６０は、板状の被加工物のサイズ、デバイスのサイズに対応して適宜取り替えられるようになっている。
【００４４】
基板１０を個々のチップに分割する切削工程を実施した後、第二の移動手段によってチャックテーブル６０を第二の経路Ｒ２に沿って移動させ、被加工物離脱手段５０の下方にチャックテーブル６０を位置づけると共に、第一の移動手段１８の駆動機構３４によって仮置き手段１６を第一の経路Ｒ１に沿って移動させ、チャックテーブル６０の上方に仮置き手段１６を位置づける。この際は、上下方向にみて、仮置き手段１６の吸引パッド２４の各吸引孔２４ａの位置と各チップの位置とを整合させる。次いで、第一の移動手段１８の昇降機構４４によって仮置き手段１６を下降させ、吸引パッド２４の下面をチップの上面に密着させる。次いで、チャックテーブル６０の上面の吸引力を解除すると共に吸引パッド２４の下面に吸引力を生成し、吸引パッド２４の下面に各チップを吸着させる。なお、上述のとおり、吸引パッド２４の吸引孔２４ａの配置及び数量は基板１０のデバイス１４の配置及び数量に対応しているから、チャックテーブル６０と同様に、吸引パッド２４においても基板１０の形状を保ちつつ各チップを吸着して保持することができる。また、吸引パッド２４は、チャックテーブル６０と同様に、板状の被加工物のサイズ、デバイスのサイズに対応して適宜取り替えられるようになっている。
【００４５】
吸引パッド２４の下面に各チップを吸着させた後、第一の移動手段１８の昇降機構４４によって仮置き手段１６を上昇させることにより、各チップの下面が下面洗浄手段１１２のブラシ１１４及びローラー１１８に接触する高さまで、吸引パッド２４で保持した各チップを上昇させる。次いで、第一の移動手段１８の駆動機構３４によって仮置き手段１６を第一の経路Ｒ１に沿って搬出機構１２０に向かって移動させ、各チップを下面洗浄手段１１２の上方を通過させる。各チップが下面洗浄手段１１２の上方を通過する際は、ブラシ１１４が各チップの下面に接触すると共に、洗浄液供給手段から供給された洗浄液を噴射手段１１６の各噴射孔１１６ａから各チップの下面に向かって噴射するので、各チップの下面に付着した切削屑を除去し洗浄することができ、また、ローラー１１８が各チップの下面に接触して各チップの下面から洗浄液を除去することができる。
【００４６】
下面洗浄手段１１２の上方を仮置き手段１６が通過して吸引パッド２４が搬出機構１２０の受け取りテーブル１２２の上方に到達したら、第一の移動手段１８の駆動機構３４を停止させる。この際は、上下方向にみて、受け取りテーブル１２２の各吸引孔１２２ａの位置と各チップの位置とを整合させる。次いで、第一の移動手段１８の昇降機構４４によって仮置き手段１６を下降させ、各チップの下面を受け取りテーブル１２２の上面に密着させる。次いで、吸引パッド２４の吸引力を解除すると共に、受け取りテーブル１２２の吸引孔１２２ａに接続された吸引手段を作動させて受け取りテーブル１２２の上面に吸引力を生成し、受け取りテーブル１２２の上面に各チップの下面を吸着させる。なお、上述のとおり、受け取りテーブル１２２の吸引孔１２２ａの配置及び数量は基板１０のデバイス１４の配置及び数量に対応しているから、チャックテーブル６０及び吸引パッド２４と同様に、受け取りテーブル１２２においても基板１０の形状を保ちつつ各チップを吸着して保持することができる。また、受け取りテーブル１２２は、チャックテーブル６０及び吸引パッド２４と同様に、板状の被加工物のサイズ、デバイスのサイズに対応して適宜取り替えられるようになっている。
【００４７】
続いて、加工装置２の搬出機構１２０によって加工装置２の外部にチップを搬出する搬出工程について説明する。受け取りテーブル１２２の上面に各チップを吸着させた後、第三の移動手段１２４によって受け取りテーブル１２２を第三の経路Ｒ３に沿って移動させ、トレー移し替え手段１２６の下方に受け取りテーブル１２２を位置づける。次いで、トレー移し替え手段１２６のエアシリンダ１４２によって吸着部材１４０を下降させ、吸着プレート１４４の下面をチップの上面に密着させる。次いで、受け取りテーブル１２２の上面の吸引力を解除すると共に、吸着プレート１４４の吸引孔に接続された吸引手段を作動させて吸着プレート１４４の下面に吸引力を生成し、トレー１４６の幅に対応する分の数量のチップを吸着プレート１４４の下面に吸着させる。なお、上述のとおり、吸着プレート１４４のサイズはトレー１４６の幅に対応し、かつ吸着プレート１４４の吸引孔の配置は基板１０のデバイス１４の配置に対応しているから、受け取りテーブル１２２に保持されたチップのうち、トレー１４６の幅に対応する分の数量のチップを区分けしつつ吸着して保持することができる。また、吸着プレート１４４は、デバイスのサイズに対応して適宜取り替えられるようになっている。次いで、トレー移し替え手段１２６のエアシリンダ１４２によって吸着プレート１４４を上昇させることにより、吸着プレート１４４で保持した各チップを上昇させる。次いで、トレー移し替え手段１２６の移動機構によって吸着プレート１４４を第三の経路Ｒ３の方向と直交する方向に移動させ、トレー搬出手段１２８の第三の搬出手段１６０に置かれた空のトレー１４６の上方に吸着プレート１４４を位置づける。次いで、トレー移し替え手段１２６のエアシリンダ１４２によって吸着プレート１４４を下降させ、各チップの下面をトレー１４６の没入した収容部の上面に密着させると共に、吸着プレート１４４の吸引力を解除する。これによって受け取りテーブル１２２からトレー１４６に区分けしたチップを移し替えることができる。そして、トレー搬出手段１２８の第三の搬出手段１６０において各被加工物受け取り位置でトレー１４６を停止させながら、トレー移し替え手段１２６によって受け取りテーブル１２２からトレー１４６へのチップの移し替えを所定回数（たとえば３回）行った後、第三の搬出手段１６０の回転機構によって搬出ローラー１７４を回転させ、これによって搬送装置２００にトレー１４６を搬出することができる。
【００４８】
ここで、搬出機構１２０において、トレー供給手段１３０からトレー搬出手段１２８の第三の搬出手段１６０に空のトレー１４６を供給する動作について説明する。まず、作業者によってトレー供給手段１３０の無端ベルト１５２に空のトレー１４６を搭載し、トレー供給手段１３０の回転機構によって無端ベルト１５２を作動させる。そうすると、空のトレー１４６は、トレー搬出手段１２８に供給するための供給位置においてストッパー１５４によって停止される。また、第二の搬出手段１５８においては、エアシリンダ１７２によって片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０をトレー１４６の通過が可能な開位置に移動させておく。次いで、第一の搬出手段１５６の昇降機構によってアーム１６４を下降させ、トレー供給手段１３０の供給位置に位置づけられた空のトレー１４６の上面に第一の搬出手段１５６の吸着片１６６の下面を密着させる。次いで、吸着片１６６に接続された吸引手段を作動させて吸着片１６６の下面に吸引力を生成し、吸着片１６６の下面にトレー１４６の上面を吸着させる。次いで、第一の搬出手段１５６の昇降機構によってアーム１６４を上昇させ、吸着片１６６で吸着した空のトレー１４６を第二の搬出手段１５８の上方に位置づける。次いで、第二の搬出手段１５８のエアシリンダ１７２によって片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０をトレー１４６の受け取りが可能な閉位置に移動させる。次いで、第一の搬出手段１５６の昇降機構によってアーム１６４を下降させ、第二の搬出手段１５８の片側受け取り部材１６８及び他側受け取り部材１７０に空のトレー１４６を載せると共に、第一の搬出手段１５６の吸着片１６６の吸引力を解除する。これによって第二の搬出手段１５８は、第一の搬出手段１５６から空のトレー１４６を受け取ることができる。なお、第二の搬出手段１５８が空のトレー１４６を受け取った状態においては、第二の搬出手段１５８の搬出ローラー１７４の外周面と空のトレー１４６の外面とが接触している。次いで、第二の搬出手段１５８の回転機構によって搬出ローラー１７４を回転させ、これによって空のトレー１４６を第三の搬出手段１６０に搬出する。そして、第三の搬出手段１６０においては、空のトレー１４６が第二の搬出手段１５８から搬出されトレーセンサー１８２が空のトレー１４６を検出すると、搬出ローラー１７４の回転が停止する。これによって第三の搬出手段１６０は、第二の搬出手段１５８から搬出された空のトレー１４６を、トレー移し替え手段１２６からチップを受け取る受け取り位置で停止させることができる。以上のとおり加工装置２においては、ＦＯＷＬＰと称される大型の基板１０でも個々のチップに効率よく分割でき、分割したチップを区分けして搬送用のトレー１４６に収容することができる。
【００４９】
次に、トレー搬出手段１２８の第三の搬出手段１６０から搬出されたトレー１４６を搬送装置２００で搬送する動作について説明する。第三の搬出手段１６０の回転機構によって搬出ローラー１８０を回転させることによって、トレー搬出手段１２８の第三の搬出手段１６０から搬出されたトレー１４６は、第三の搬出手段１６０に連結された支流ベルトコンベアー２０２のベルト２１２に搭載され、本流ベルトコンベアー２０４に向かって搬送される。搬送装置２００では、支流ベルトコンベアー２０２と本流ベルトコンベアー２０４とのＴ字路２０６において、（１）支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６よりも本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６を優先してＴ字路２０６を通過させる場合と、（２）本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６よりも支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６を優先してＴ字路２０６を通過させる場合とがある。まず上記（１）の場合について図８を参照して説明すると、本流ストッパー２２８のエアシリンダ２３４によって本流ストッパー２２８の端子２３２が許容位置に位置づけられ、かつガイド手段２３６の駆動部２４０によって外ガイド部材２３８が許容位置に位置づけられると共に、支流ストッパー２１４のエアシリンダ２２０によって支流ストッパー２１４の端子２１８がストップ位置に位置づけられる。これによって、支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６を支流ストッパー２１４の端子２１８で停止させることができ、支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６よりも本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６を優先してＴ字路２０６を通過させることができる。次に上記（２）の場合について図９を参照して説明すると、支流ストッパー２１４のエアシリンダ２２０によって支流ストッパー２１４の端子２１８が許容位置に位置づけられ、かつガイド手段２３６の駆動部２４０によって外ガイド部材２３８がガイド位置に位置づけられると共に、本流ストッパー２２８のエアシリンダ２３４によって本流ストッパー２２８の端子２３２がストップ位置に位置づけられる。これによって、本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６を本流ストッパー２２８の端子２３２で停止させることができると共に、支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６は外ガイド部材２３８によってガイドされて本流ベルトコンベアー２０４に移動するので、本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６よりも支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６を優先してＴ字路２０６を通過させることができる。
【００５０】
本流センサー２３０がトレー１４６を検出しない時は本流ストッパー２２８がストップ位置に位置づけられ、支流センサー２１６がトレー１４６を検出しない時は支流ストッパー２１４がストップ位置に位置づけられているところ、本流センサー２３０がトレー１４６を検出し、かつ支流センサー２１６がトレー１４６を検出しない場合（すなわち、本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６がＴ字路２０６に差し掛かっている一方、支流ベルトコンベアー２０２ではトレー１４６を搬送していないか又は搬送中のトレー１４６がＴ字路２０６に差し掛かっていない場合）は、本流ストッパー２２８の端子２３２が許容位置に移動されると共に、外ガイド部材２３８が許容位置に移動される一方、支流ストッパー２１４の端子２１８はストップ位置のまま移動されない。このため、本流ベルトコンベアー２０４で搬送中のトレー１４６はＴ字路２０６で停止することなく搬送される。他方、支流センサー２１６がトレー１４６を検出し、かつ本流センサー２３０がトレー１４６を検出しない場合（すなわち、支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６がＴ字路２０６に差し掛かっている一方、本流ベルトコンベアー２０４ではトレー１４６を搬送していないか又は搬送中のトレー１４６がＴ字路２０６に差し掛かっていない場合）は、支流ストッパー２１４の端子２１８が許容位置に移動されると共に、外ガイド部材２３８がガイド位置に移動される一方、本流ストッパー２２８の端子２３２はストップ位置のまま移動されない。このため、支流ベルトコンベアー２０２で搬送中のトレー１４６は、Ｔ字路２０６で停止することなく、外ガイド部材２３８によってガイドされて本流ベルトコンベアー２０４に移動する。以上のとおり搬送装置２００においては、加工装置２から搬出されたトレー１４６を次の工程に搬送することができるので、作業者がトレー１４６を次の工程に搬送する必要がなく生産性の向上が図られる。なお、図示の実施形態では、加工装置２と本流ベルトコンベアー２０４とを連結する単一の支流ベルトコンベアー２０２について説明したが、２以上の加工装置２に対応して、２以上の加工装置２のそれぞれに支流ベルトコンベアー２０２が配設されていてもよい。
【符号の説明】
【００５１】
２：加工装置
４：カセットテーブル
８：カセット
１０：基板（被加工物）
１６：仮置き手段
１８：第一の移動手段
２２：フォーク
２４：吸引パッド
５０：被加工物離脱手段
６０：チャックテーブル
７６：切削手段
１００：切削ブレード
１１０：上面洗浄手段
１１２：下面洗浄手段
１２０：搬出機構
１２２：受け取りテーブル
１２４：第三の移動手段
１２６：トレー移し替え手段
１２８：トレー搬出手段
１３０：トレー供給手段
１４６：トレー
２００：搬送装置
２０２：支流ベルトコンベアー
２０４：本流ベルトコンベアー
２０６：Ｔ字路
２１４：支流ストッパー
２１６：支流センサー
２１８：支流ストッパーの端子
２２８：本流ストッパー
２３０：本流センサー
２３２：本流ストッパーの端子
２３６：ガイド手段
２３８：外ガイド部材
２４０：駆動部
２４４：トレー積層手段
Ｒ１：第一の経路
Ｒ２：第二の経路
Ｒ３：第三の経路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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