(57)【要約】【課題】取付時用シール面が変形することを抑制する。【解決手段】一端部側の先端面１０ａから圧力導入孔１２が形成されると共に、他端部にダイヤフラム１４が構成されたステム１０と、ダイヤフラム１４上に搭載されたセンサチップ２０と、を有する圧力センサにおいて、ステム１０の先端面１０ａを含む部分に取付時用シール面１６を形成すると共に、圧力導入孔１２の内部に検査時用シール面１３を形成する。そして、検査時用シール面１３に圧力導入器具９０を密着させつつ、圧力導入器具９０から圧力導入孔１２内に圧力を導入して特性検査を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力導入孔（１２）が形成されたステム（１０）を有する圧力センサであって、
一端部側の先端面（１０ａ）に開口部（１１）が形成されると共に、当該開口部から前記一端部と反対側の他端部に向かって延びる前記圧力導入孔が形成された有底筒状であり、前記他端部に前記圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム（１４）が構成された前記ステムと、
前記ダイヤフラムのうちの前記圧力導入孔側と反対側に搭載され、前記ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ（２０）と、を有し、
前記ステムは、前記先端面を含む部分に被取付部材と密着されて当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面（１６）が形成され、前記圧力導入孔の内部に圧力導入器具（９０）と密着されて前記圧力導入器具との間を封止する検査時用シール面（１３）が形成されている圧力センサ。
【請求項２】
前記圧力導入孔は、前記開口部側の第１導入孔（１２ａ）と前記ダイヤフラム側の第２導入孔（１２ｂ）とが連通して構成され、
前記第１導入孔は、対向する壁面の間隔が前記第２導入孔における対向する壁面の間隔より広くされており、
前記検査時用シール面は、前記第１導入孔と前記第２導入孔とが連結される部分にて構成されている請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
一端部側の先端面（１０ａ）に開口部（１１）が形成されると共に、当該開口部から前記一端部と反対側の他端部に向かって延びる圧力導入孔（１２）が形成された有底筒状であり、前記他端部に前記圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム（１４）が構成されたステム（１０）と、
前記ダイヤフラムのうちの前記圧力導入孔側と反対側に搭載され、前記ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ（２０）と、を有し、
前記ステムは、前記先端面を含む部分に被取付部材と密着されて当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面（１６）が形成され、前記圧力導入孔の内部に圧力導入器具（９０）と密着されて前記圧力導入器具との間を封止する検査時用シール面（１３）が形成された圧力センサの製造方法であって、
前記開口部側の第１導入孔（１２ａ）と、前記ダイヤフラム側であって、対向する壁面の間隔が前記第１導入孔より狭くされた第２導入孔（１２ｂ）とが連通して前記圧力導入孔が構成され、前記第１導入孔と前記第２導入孔とが連結される部分にて前記検査時用シール面が形成された前記ステムを用意することと、
前記ダイヤフラムに前記センサチップを搭載することと、
前記圧力導入器具を前記検査時用シール面に密着させ、前記圧力導入器具から前記圧力導入孔に圧力を導入して特性検査を行うことと、を行う圧力センサの製造方法。
【請求項４】
前記ステムを用意することでは、先加工器具（８１）を用い、前記先端面から前記第１導入孔を形成することと、前記第１導入孔を形成することの後、後加工器具（８２）を用いて前記第１導入孔の底部から前記第２導入孔を形成することと、前記第１導入孔と前記第２導入孔との間に前記検査時用シール面を形成することと、を行って前記ステムを用意する請求項３に記載の圧力センサの製造方法。
【請求項５】
前記第２導入孔を形成することでは、前記後加工器具として、前記第２導入孔を形成する際に前記第１導入孔の壁面と当接するガイド部（８２ｂ）を有する棒状部材を用いる請求項４に記載の圧力センサの製造方法。
【請求項６】
前記ステムを用意することでは、先加工器具（８２）を用い、前記先端面から前記第２導入孔を形成することと、前記第２導入孔を形成することの後、後加工器具（８１）を用いて前記第１導入孔を形成することと、前記第１導入孔と前記第２導入孔との間に前記検査時用シール面を形成することと、を行って前記ステムを用意する請求項３に記載の圧力センサの製造方法。
【請求項７】
前記検査時用シール面を形成することでは、前記後加工器具にて形成される前記導入孔と前記検査時用シール面とを同時に形成する請求項４ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力導入孔が形成されたステムを有する圧力センサおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の圧力センサとして、例えば、次のような圧力センサが提案されている（例えば、特許文献１参照）。すなわち、この圧力センサでは、一端部側の先端面に開口部が形成されていると共に、当該開口部から他端部側に向かって延びる圧力導入孔が形成された有底筒状のステムを備えている。ステムには、他端部側に、圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラムが形成されている。そして、ダイヤフラム上には、ガラス等の接合部材を介してダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップが搭載されている。
【０００３】
また、ステムには、一端部側に、特性検査の際に圧力導入孔に圧力を導入する圧力印加プラグが密着されて当該圧力印加プラグとの間を封止する検査時用シール面が形成されている。また、ステムには、一端部側に、圧力センサを被取付部材に取り付ける際に被取付部材に密着して当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面が形成されている。具体的には、検査時用シール面は、ステムの開口部に形成され、取付時用シール面は、ステムの先端面を含んで構成されている。
【０００４】
上記圧力センサは、次のように製造される。すなわち、上記形状のステムを用意し、ダイヤフラム上にセンサチップ等を搭載する。その後、圧力印加プラグを検査時用シール面と密着させ、圧力印加プラグから圧力導入孔内に圧力を導入して特性検査を行うことにより、製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１５−２２４９１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記圧力センサでは、検査時用シール面がステムの開口部に形成され、取付時用シール面がステムの先端面を含んで構成されている。つまり、検査時用シール面と取付時用シール面とが近接して形成されている。このため、特性検査の際、圧力印加プラグを検査時用シール面に密着させることで当該検査時用シール面に発生する応力等により、取付時用シール面が変形してしまう可能性がある。したがって、このような圧力センサでは、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなる可能性がある。
【０００７】
本発明は上記点に鑑み、取付時用シール面が変形することを抑制できる圧力センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するための請求項１では、圧力導入孔（１２）が形成されたステム（１０）を有する圧力センサであって、一端部側の先端面（１０ａ）に開口部（１１）が形成されると共に、当該開口部から一端部と反対側の他端部に向かって延びる圧力導入孔が形成された有底筒状であり、他端部に圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム（１４）が構成されたステムと、ダイヤフラムのうちの圧力導入孔側と反対側に搭載され、ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ（２０）と、を有し、ステムは、先端面を含む部分に被取付部材と密着されて当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面（１６）が形成され、圧力導入孔の内部に圧力導入器具（９０）と密着されて圧力導入器具との間を封止する検査時用シール面（１３）が形成されている。
【０００９】
これによれば、検査時用シール面は、圧力導入孔の内部に形成されている。このため、検査時用シール面が開口部に形成されている場合と比較して、検査時用シール面と取付時用シール面との間隔が長くなり、特性検査の際に検査時用シール面に発生する応力が取付時用シール面に伝搬されるまでに減衰され易くなる。したがって、当該応力によって取付時用シール面が変形することを抑制でき、圧力センサが被取付部材に取り付け難くなることを抑制できる。
【００１０】
また、請求項３は、開口部（１１）側の第１導入孔（１２ａ）と、ダイヤフラム（１４）側であって、対向する壁面の間隔が第１導入孔より狭くされた第２導入孔（１２ｂ）とが連通して圧力導入孔（１２）が構成され、第１導入孔と第２導入孔とが連結される部分にて検査時用シール面（１３）が形成されたステム（１０）を用意することと、ダイヤフラムにセンサチップ（２０）を搭載することと、圧力導入器具を検査時用シール面（１３）に密着させ、圧力導入器具から圧力導入孔に圧力を導入して特性検査を行うことと、を行うようにしている。
【００１１】
これによれば、検査時用シール面が開口部に形成されている場合と比較して、検査時用シール面と取付時用シール面との間隔が長くなり、特性検査の際に検査時用シール面に発生する応力が取付時用シール面に伝搬されるまでに減衰され易くなる。このため、当該応力によって取付時用シール面が変形することを抑制できる。したがって、被取付部材に取り付け難くなることを抑制した圧力センサを製造できる。
【００１２】
なお、上記および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載される当該用語を例示する具体物等との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態における圧力センサの断面図である。
【図２】図１に示す圧力センサの製造工程を示す断面図である。
【図３】図２に続く圧力センサの製造工程を示す断面図である。
【図４】第２実施形態におけるステムの製造工程を示す断面図である。
【図５】第３実施形態におけるステムの製造工程を示す断面図である。
【図６】第４実施形態におけるステムの製造工程を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
【００１５】
（第１実施形態）
第１実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、車両の燃料噴射系における燃料パイプ等に取り付けられ、燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
【００１６】
図１に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ステム１０にコネクタケース４０が一体化されて構成されている。
【００１７】
まず、本実施形態のステム１０の構成について説明する。ステム１０は、一端部側の先端面１０ａに開口部１１が形成されていると共に、当該開口部１１から他端部側に向かって延びる圧力導入孔１２が形成された有底円筒状とされている。
【００１８】
なお、ステム１０の一端部側とは、ステム１０における図１中の紙面下側のことであり、ステム１０の他端部側とは、ステム１０における図１中の紙面上側のことである。また、本実施形態では、ステム１０は、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ６３０のようなステンレス鋼等で構成されている。そして、圧力導入孔１２は、中心軸とステム１０の中心軸とが一致するように形成され、壁面が円環状とされている。
【００１９】
圧力導入孔１２の内部には、特性検査の際、後述する圧力印加プラグ９０と密着して当該圧力印加プラグ９０との間を封止する検査時用シール面１３が形成されている。具体的には、圧力導入孔１２は、開口部１１側の第１導入孔１２ａと、ダイヤフラム１４側の第２導入孔１２ｂとが連通して構成されている。なお、本実施形態では、第１導入孔１２ａおよび第２導入孔１２ｂは、それぞれ中心軸がステム１０の中心軸と一致するように形成されている。
【００２０】
第１導入孔１２ａは、対向する壁面の間隔が第２導入孔１２ｂにおける対向する壁面の間隔よりも広くされている。つまり、第１導入孔１２ａおよび第２導入孔１２ｂは壁面が円環状とされているため、第１導入孔１２ａは、第２導入孔１２ｂよりも径が大きくされている。そして、検査時用シール面１３は、第１導入孔１２ａの壁面と第２導入孔１２ｂの壁面とを連結する部分にて構成されている。言い換えると、検査時用シール面１３は、第１導入孔１２ａの壁面と第２導入孔１２ｂの壁面とを連結する段差部分にて構成されている。なお、第１導入孔１２ａおよび第２導入孔１２ｂは、それぞれ中心軸がステム１０の中心軸と一致するように形成されているため、検査時用シール面１３は、壁面の周方向に沿って一周するように形成される。
【００２１】
検査時用シール面１３は、本実施形態では、圧力導入孔１２の中心軸（以下では、単に中心軸ともいう）に対して傾斜したテーパ状とされている。より詳しくは、第１導入孔１２ａから第２導入孔１２ｂ側に向かって先細り形状となるテーパ状とされている。特に限定されるものではないが、例えば、第１導入孔１２ａの径が第２導入孔１２ｂの径より１ｍｍ程度長くされ、検査時用シール面１３における中心軸に沿った方向の長さが０．５ｍｍ程度とされ、検査時用シール面１３のテーパ角度が４５°程度とされる。なお、テーパ角度とは、言い換えると、中心軸を法線方向とする仮想面と、検査時用シール面１３との成す角度のことである。
【００２２】
また、ステム１０は、他端部側に、圧力に応じて変形可能な薄肉のダイヤフラム１４が構成されている。つまり、ステム１０には、他端部側にダイヤフラム１４が構成されるように圧力導入孔１２が形成されている。
【００２３】
さらに、ステム１０は、開口部１１側の外周側面１０ｂに、燃料パイプ等の被取付部材にネジ結合可能なネジ部１５が形成されている。また、ステム１０は、ネジ部１５よりも一端部側の部分に、圧力センサが被取付部材に取り付けられた際、被取付部材と密着して当該被取付部材との間を封止する取付時用シール面１６が形成されている。本実施形態では、取付時用シール面１６は、先端面１０ａのうちの開口部１１となる部分を除く第１シール面１６ａと、先端面１０ａと外周側面１０ｂとを連結し、中心軸に対してテーパ状とされた第２シール面１６ｂとを有している。そして、圧力センサが被取付部材に取り付けられた際、第１シール面１６ａおよび第２シール面１６ｂがそれぞれ被取付部材と密着して当該被取付部材との間を封止する。
【００２４】
以上が本実施形態におけるステム１０の構成である。そして、ステム１０には、ダイヤフラム１４のうちの圧力導入孔１２側と反対側に、ダイヤフラム１４の変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ２０が図示しない接合部材を介して配置されている。
【００２５】
センサチップ２０は、矩形板状のシリコン基板を用いて構成され、シリコン基板の表面にブリッジ回路を構成するようにゲージ抵抗が形成されたものが用いられる。すなわち、本実施形態のセンサチップ２０は、圧力導入孔１２に導入された圧力によってダイヤフラム１４が変形すると、当該ダイヤフラム１４の変形に伴ってゲージ抵抗の抵抗値が変化し、ゲージ抵抗の抵抗値の変化に基づいた電圧をセンサ信号として出力する。
【００２６】
また、ステム１０には、他端部側に、ＩＣチップ３１を搭載すると共に各種の回路素子が形成された回路基板３０も配置されている。この回路基板３０は、センサチップ２０とボンディングワイヤ３２を介して接続されており、センサチップ２０から出力されたセンサ信号が入力されると当該センサ信号に対して所定の処理を行う。
【００２７】
コネクタケース４０は、ＰＰＳ（すなわち、ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（すなわち、ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状とされている。具体的には、このコネクタケース４０は、一端部側（すなわち、図１中の紙面下側の端部）に、フランジ部４１が形成されていると共に、ステム１０に組み付けられた際に当該ステム１０との間に空間を構成する凹部４２が形成されている。また、他端部側（すなわち、図１中の紙面上側の端部）に開口部４３が形成されている。
【００２８】
そして、コネクタケース４０は、ステム１０における他端部側の開口端１７がフランジ部４１にＯリング５０を介してかしめ固定されることにより、ステム１０と一体化されている。これにより、センサチップ２０や回路基板３０等が外部雰囲気から保護されるようになっている。
【００２９】
また、コネクタケース４０には、センサチップ２０と外部回路とを電気的に接続するための複数のターミナルピン６０が備えられている。なお、ターミナルピン６０は、図１中では１本のみ図示されている。各ターミナルピン６０は、インサートモールド等によってコネクタケース４０と一体に成形されることによってコネクタケース４０内に保持されている。具体的には、ターミナルピン６０は、略Ｌ字状の棒状部材とされており、一端部側が凹部４２内にて露出すると共に、他端部側が開口部４３から突出するようにコネクタケース４０内に保持されている。
【００３０】
また、回路基板３０とターミナルピン６０との間には、これら回路基板３０およびターミナルピン６０と電気的に接続されるバネターミナル７０が配置されている。このバネターミナル７０は、矩形板状の金属板の長手方向に位置する両端部が折り曲げられることによってバネ状とされたものである。
【００３１】
そして、バネターミナル７０は、金属板の中間部が図示しない導電性接着剤を介して回路基板３０に接続されることにより、当該回路基板３０と電気的に接続されている。また、バネターミナル７０は、金属板の両端部がターミナルピン６０と当接することにより、ターミナルピン６０と電気的に接続されている。これにより、センサチップ２０が回路基板３０およびバネターミナル７０を介してターミナルピン６０と電気的に接続される。
【００３２】
以上が本実施形態における圧力センサの構成である。次に、上記圧力センサの製造方法について図２および図３を参照しつつ説明する。なお、本実施形態では、以下のステム１０を形成する工程を冷間鍛造にて行う。
【００３３】
まず、図２（ａ）に示されるように、ネジ部１５および第２シール面１６ｂ等が形成されたステム１０を用意する。そして、図２（ｂ）に示されるように、先加工器具としての第１ピン８１を用意する。本実施形態では、第１ピン８１として、第１導入孔１２ａと同じ径とされた棒状部材であり、先端が略尖った形状とされていると共に先端部にテーパ面８１ａが形成されたものを用意する。なお、テーパ面８１ａは、検査時用シール面１３と同じテーパ角度とされている。
【００３４】
そして、ステム１０の先端面１０ａから第１ピン８１の先端を押し当てることにより、第１導入孔１２ａおよび検査時用シール面１３を形成する。つまり、第１導入孔１２ａおよび検査時用シール面１３を同時に形成する。この際、第１ピン８１は、先端が略尖った形状とされているため、第２導入孔１２ｂにおける第１導入孔１２ａ側の中央部も形成される。つまり、第１導入孔１２ａの底部は、第１ピン８１の先端の形状に対応した略尖った形状となる。
【００３５】
続いて、図３（ａ）に示されるように、後加工器具としての第２ピン８２を用意する。本実施形態では、第２ピン８２として、第２導入孔１２ｂと同じ径とされた棒状部材を用意する。なお、第２ピン８２の先端部は、第２導入孔１２ｂの底部にてダイヤフラム１４が構成されるように平坦な面とされている。そして、第１導入孔１２ａの底部に第２ピン８２を押し当てることにより、第２導入孔１２ｂを形成する。これにより、第１導入孔１２ａと第２導入孔１２ｂとが連通されると共に、内部に検査時用シール面１３が形成された圧力導入孔１２が形成される。
【００３６】
以上のようにして、本実施形態のステム１０が形成される。次に、特に図示しないが、ダイヤフラム１４上にセンサチップ２０を搭載する共に、ステム１０の他端部側に回路基板３０を搭載し、センサチップ２０と回路基板３０とをボンディングワイヤ３２を介して電気的に接続する。そして、コネクタケース４０のフランジ部４１をステム１０における他端部側の開口端１７側から挿入し、Ｏリング５０を介してステム１０の開口端１７をフランジ部４１にかしめる。
【００３７】
その後、図３（ｂ）に示されるように、ステム１０を図示しない保持用治具にて保持し、圧力導入孔１２内に圧力印加プラグ９０を挿入する。具体的には、圧力印加プラグ９０と検査時用シール面１３との間が封止されるように、圧力印加プラグ９０を検査時用シール面１３と密着させる。そして、圧力印加プラグ９０から圧力導入孔１２内に圧力を導入する。これにより、圧力に応じてダイヤフラム１４が変形するため、センサチップ２０から出力されるセンサ信号に基づいて特性検査を行う。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態では、検査時用シール面１３は、圧力導入孔１２の内部に形成されている。このため、検査時用シール面１３が開口部１１に形成されている場合と比較して、検査時用シール面１３と取付時用シール面１６との間隔が長くなり、特性検査の際に検査時用シール面１３に発生する応力が取付時用シール面１６に伝搬されるまでに減衰され易くなる。したがって、当該応力によって取付時用シール面１６が変形することを抑制でき、圧力センサが被取付部材に取り付け難くなることを抑制できる。
【００３９】
ところで、検査時用シール面１３が開口部１１に形成されている従来の圧力センサでは、圧力導入孔１２の径は一定とされている。つまり、従来の圧力センサでは、本実施形態の第２導入孔１２ｂに相当する圧力導入孔が開口部近傍からダイヤフラム１４側まで延設されている。言い換えると、従来の圧力センサでは、本実施形態の第２導入孔１２ｂに相当する圧力導入孔の中心軸に沿った方向の長さは、本実施形態の第２導入孔１２ｂにおける中心軸に沿った方向の長さより長くされている。このため、従来の圧力センサでは、開口部１１に検査時用シール面１３を形成した後、本実施形態の第２ピン８２に相当するピンのみで圧力導入孔の全体を形成することになる。この場合、第２ピン８２は、径が短い棒状部材であり、破壊強度が低いため、押し当てる長さが長くなると製造途中で変形したり破壊等されてしまうことがある。
【００４０】
これに対し、本実施形態では、圧力導入孔１２は、第１導入孔１２ａと第２導入孔１２ｂとが連通して構成されており、第１導入孔１２ａは第２導入孔１２ｂよりも径が長くされている。つまり、第１導入孔１２ａを形成する際には、第２ピン８２よりも径が長い棒状部材であり、破壊強度が高い第１ピン８１を用いることができる。そして、第２導入孔１２ｂを形成する際には、従来の圧力センサと比較して、第２ピン８２で押し当てる長さを短くできる。このため、第２ピン８２が製造途中で変形したり破壊等されることも抑制できる。
【００４１】
さらに、従来の圧力センサにおいて、開口部１１の径を長くすることで圧力導入孔１２の径も長くし、圧力導入孔１２を形成する際にピンが破壊等されることを抑制することも考えられる。しかしながら、この構造では、開口部１１の形状が変化することによって第１シール面１６ａの形状も変わってしまう。このため、第１シール面１６ａと密着する被取付部材側の形状も変更しなければならないという新たな問題が発生してしまう。
【００４２】
一方、本実施形態の圧力センサでは、開口部１１の径は従来の圧力センサと同様とできるため、第１シール面１６ａの形状が変わることはない。このため、従来の被取付部材に対してそのまま取り付けることができる。つまり、本実施形態では、圧力センサを被取付部材に取り付ける際の取付性が低下することもない。
【００４３】
また、第１ピン８１として先端が尖った形状のものを用いているため、第１導入孔１２ａの底部も第１ピン８１の先端の形状に対応した尖った形状となる。このため、第１導入孔１２ａの底部が検査時用シール面１３と平坦な底面で構成されている場合と比較して、第２導入孔１２ｂを形成する際に検査時用シール面１３に印加される引張応力が小さくなる。したがって、検査時用シール面１３の形状が変化してしまうことを抑制できる。
【００４４】
（第２実施形態）
第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、第２ピン８２の形状を変更したものであり、その他に関しては上記第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００４５】
本実施形態では、図４に示されるように、第２ピン８２は、第２導入孔１２ｂの径と等しくされた主部８２ａと、主部８２ａよりも径が長くされ、第１導入孔１２ａの径と等しくされたガイド部８２ｂとを有する構成とされている。具体的には、ガイド部８２ｂは、第２ピン８２にて第２導入孔１２ｂを形成する際、第１導入孔１２ａの壁面と当接するように主部８２ａ備えられている。なお、本実施形態では、ガイド部８２ｂは、主部８２ａの周方向に沿って一周するように備えられている。そして、第２導入孔１２ｂを形成する際には、ガイド部８２ｂを第１導入孔１２ａの壁面に当接させつつ第２導入孔１２ｂを形成する。
【００４６】
これによれば、第２導入孔１２ｂを形成する際、ガイド部８２ｂを第１導入孔１２ａの壁面に当接させるため、第２ピン８２がぐらつくことを抑制できる。このため、さらに第２ピン８２が破壊されることを抑制できると共に、第２導入孔１２ｂの形状がばらつくことを抑制でき、ひいてはダイヤフラム１４の形状がばらつくことを抑制できる。
【００４７】
なお、ガイド部８２ｂは、主部８２ａの周方向に一周するように備えられておらず、周方向に離れて複数備えられていてもよい。但し、ガイド部８２ｂを主部８２ａの周方向に沿って複数備える場合には、第２ピン８２がぐらつき難くなるように、隣接するガイド部８２ｂの周方向に沿った間隔を等しくすることが好ましい。
【００４８】
（第３実施形態）
第３実施形態について説明する。本実施形態は、第２実施形態に対して第１ピン８１および第２ピン８２の形状を変更したものであり、その他に関しては上記第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００４９】
本実施形態では、図５（ａ）に示されるように、第１ピン８１として先端が平坦な面とされたものを用いる。そして、ステム１０の先端面１０ａから第１ピン８１の先端を押し当てることにより、第１導入孔１２ａを形成する。なお、第１ピン８１は、先端が平坦な面とされているため、第１導入孔１２ａの底部は、平坦な面となる。
【００５０】
次に、図５（ｂ）に示されるように、第２ピン８２として、ガイド部８２ｂが先端側から反対側に向かって径が広くなるテーパ面を有する形状とされたものを用意する。なお、ガイド部８２ｂのテーパ面は、検査時用シール面１３と同じテーパ角度とされている。また、ガイド部８２ｂは、第２導入孔１２ｂを形成する際に検査時用シール面１３と一致する部分に備えられている。そして、第１導入孔１２ａの底部に第２ピン８２を押し当てることにより、第２導入孔１２ｂを形成すると共に、ガイド部８２ｂにて検査時用シール面１３を形成する。
【００５１】
これによれば、検査時用シール面１３は、第２導入孔１２ｂと同時に形成される。このため、検査時用シール面１３が形成されている状態で第２導入孔１２ｂを形成する場合と比較して、第２導入孔１２ｂを形成する際に検査時用シール面１３の形状がばらつくことを抑制できる。
【００５２】
（第４実施形態）
第４実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、第１導入孔１２ａと第２導入孔１２ｂとを形成する順番を変更したものであり、その他に関しては上記第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００５３】
本実施形態では、図２（ａ）の工程を行ってステム１０を用意した後、図６（ａ）に示されるように、ステム１０の先端面１０ａに第２ピン８２を押し当てることにより、第２導入孔１２ｂを形成する。なお、この際、開口部１１は、第２導入孔１２ｂの径と等しくされている。つまり、第２導入孔１２ｂが先端面１０ａまで延設された状態となっている。
【００５４】
その後、図６（ｂ）に示されるように、第１ピン８１を押し当て、第２導入孔１２ｂと連通する第１導入孔１２ａを形成すると共に、検査時用シール面１３を形成する。
【００５５】
このように、第２導入孔１２ｂを形成した後に第１導入孔１２ａを形成するようにしても、検査時用シール面１３が圧力導入孔１２の内部に形成される。このため、特性検査の際、取付時用シール面１６が変形してしまうことが抑制される。なお、本実施形態では、第２ピン８２が先加工器具に相当し、第１ピン８１が後加工器具に相当する。
【００５６】
（他の実施形態）
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
【００５７】
上記各実施形態では、冷間鍛造によって圧力導入孔１２を形成する例について説明したが、例えば、切削によって圧力導入孔１２を形成するようにしてもよい。また、第１導入孔１２ａおよび第２導入孔１２ｂのうちの一方を冷間鍛造によって形成し、第１導入孔１２ａおよび第２導入孔１２ｂのうちの他方を切削によって形成してもよい。
【００５８】
また、上記第１実施形態において、加工器具として圧力導入孔１２の形状と一致するものを用意し、当該加工器具を押し当てることにより、第１導入孔１２ａおよび第２導入孔１２ｂで形成される圧力導入孔１２を同時に形成するようにしてもよい。
【００５９】
さらに、上記各実施形態において、検査時用シール面１３は、テーパ状とされておらず、中心軸に対して略直交する面とされていてもよい。また、検査時用シール面１３と第１導入孔１２ａの壁面との境界部分がＲ形状とされていてもよいし、検査時用シール面１３と第２導入孔１２ｂの壁面との境界部分がＲ形状とされていてもよい。これによれば、境界部分がＲ形状とされていない場合と比較して、検査時用シール面１３に発生する応力自体の低減を図ることができる。
【符号の説明】
【００６０】
１０  ステム
１１  開口部
１２  圧力導入孔
１３  検査時用シール面
１６  取付時用シール面
２０  センサチップ
９０  圧力導入器具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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