(57)【要約】【課題】回転テーブルの停止ポジション数の変更に応じた保持部の数の変更を容易に行うことができる電子部品搬送装置、電子部品搬送装置の製造方法及び回転テーブルを提供する。【解決手段】吸着ノズル２４を有するアーム２３が着脱可能に取り付けられるアーム取付位置２１０が設けられ、円周方向に間欠回転する回転テーブル２１を有し、アーム取付位置２１０は、間欠回転の停止位置の設定数に対応して、円周等配位置に複数設けられ、前記設定数の約数のアーム２３が、アーム取付位置２１０に円周等配位置に取り付けられている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧によって電子部品を保持する複数の保持部と、
前記保持部が取り付けられたアームと、
前記アームが着脱可能に取り付けられるアーム取付位置が設けられ、円周方向に間欠回転する回転テーブルと、
を有し、
前記アーム取付位置は、前記間欠回転の停止位置の設定数に対応して、円周等配位置に複数設けられ、
前記設定数の約数の前記アームが、前記アーム取付位置に円周等配位置に取り付けられていることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記保持部は、負圧によって前記電子部品を保持する吸着ノズルであり、
前記回転テーブルよりも小径で同軸に配置され、前記回転テーブルとともに回転可能に設けられた回転体と、
前記回転体に前記設定数と同数設けられた開口を有し、前記吸着ノズルと負圧発生装置とを連通する空気圧回路の一部を形成する中継配管が、前記開口に接続される接続部と、
前記開口のうち、前記アームが取り付けられていないアーム取付位置に対応する開口を封止する封止部と、
を有することを特徴とする請求項１記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記回転テーブルの外周囲に、前記電子部品に処理を施す処理ユニットを設置するユニット設置位置が、前記設定数と同数設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記回転テーブルは、重量を減少させる複数の肉抜きが、円周等配位置に形成され、
前記肉抜きは、前記各アーム取付位置及び前記各アーム取付位置の円周方向の間の少なくとも一方に設けられていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記保持部を撮像するカメラと、
前記カメラにより撮像された保持部を、基準点とともに表示する表示装置と、
を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記表示装置は、前記カメラにより撮像された保持部の調整すべき方向を表示することを特徴とする請求項９記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
電子部品を保持する複数の保持部と、前記保持部が取り付けられるアームと、前記アームが着脱可能に取り付けられる複数のアーム取付位置が、円周等配位置に設けられ、円周方向に間欠回転する回転テーブルとを有し、前記アーム取付位置が、前記間欠回転の停止位置の設定数に対応して、円周等配位置に複数設けられた電子部品搬送装置の製造方法であって、
前記設定数の約数の前記アームが、前記アーム取付位置に円周等配位置に取り付けられた前記回転テーブルに対して、前記アームが円周等配位置となるように、前記アームが取り付けられていない前記アーム取付位置に前記アームを取り付け、又は前記アーム取付位置に取り付けられた前記アームを取り外すことを特徴とする電子部品搬送装置の製造方法。
【請求項８】
前記保持部は、負圧によって前記電子部品を保持する吸着ノズルであり、
前記回転テーブルには、前記設定数と同数の開口を有する接続部を有し、前記回転テーブルよりも小径の回転体が取り付けられ、
前記開口のうち、前記アームが取り付けられたアーム取付位置に対応する開口には、前記吸着ノズルと負圧発生装置とを連通する空気圧回路の一部を形成する中継配管が接続され、
前記開口のうち、前記アームが取り付けられていないアーム取付位置に対応する開口を、封止部により封止することを特徴とする請求項７記載の電子部品搬送装置の製造方法。
【請求項９】
電子部品搬送装置用の回転テーブルであって、
前記回転テーブルに、電子部品を保持する保持部を有するアームが着脱可能に取り付けられるアーム取付位置が、前記回転テーブルの間欠回転の停止位置の設定数に対応して、円周等配位置に複数設けられ、
前記設定数の約数の前記アームが、前記回転テーブルの円周等配位置に取り付けられていることを特徴とする回転テーブル。
【請求項１０】
前記保持部は、負圧によって前記電子部品を保持する吸着ノズルであり、
前記回転テーブルには、前記設定数と同数の開口を有する接続部を有し、前記回転テーブルよりも小径の回転体が取り付けられ、
前記開口のうち、前記アームが取り付けられていないアーム取付位置に対応する開口が、封止部により封止されていることを特徴とする請求項９記載の回転テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品を整列搬送しながら各種処理を施す電子部品搬送装置、電子部品搬送装置の製造方法及び回転テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品は、組み立てから出荷までの間、各種目的でハンドラとも呼ばれる電子部品搬送装置により搬送される。例えば、電子部品は、組み立て工程後、各種検査等の処理を経るために搬送される。電子部品搬送装置は、電子部品の搬送経路中に各種の処理ユニットを備え、電子部品を搬送しながら各種処理を行う。また、一方の収容体から他方の収容体に電子部品を移載するべく、一方の収容体から電子部品を搬送経路に乗せ、他方の収容体へ向けて移動させ、他方の収容体に入れ替える。
【０００３】
搬送経路に沿った電子部品の搬送方式として、電子部品を保持する複数の保持部が円周の軌道を移動する方式がある。保持部としては、例えば、負圧により電子部品を吸引保持する吸着ノズルを用いる。つまり、このような電子部品搬送装置は、吸着ノズルと、この吸着ノズルを移動させる回転テーブルを備え、吸着ノズルで電子部品を吸引保持させつつ、回転テーブルにより吸着ノズルを移動させる。回転テーブルは、例えば円盤や星型の形状を有し、ダイレクトドライブモータにより間欠回転する。吸着ノズルは回転テーブルの外周囲に配置されて電子部品を保持しながら、回転テーブルの縁に沿って周回移動する。
【０００４】
回転テーブルの間欠回転の停止位置（以下、停止ポジションとも言う）には、電気特性、外観検査等のための各種の処理ユニット、テーピングユニット等の収容体が配置され、各停止ポジションにおいて、各種の処理、収容体への収容等が行われる。
【０００５】
吸着ノズルは、空気圧回路で負圧発生装置と接続されることによって負圧が供給され、この負圧により電子部品を保持する。空気圧回路は、負圧発生装置から分岐して延びる分岐配管と、吸着ノズルに接続される中継配管とを備え、回転テーブルの回転に伴って分岐配管の端部と中継配管の端部とが一致したときに、負圧発生装置と吸着ノズルとを連通させ、吸着ノズルに負圧を供給する（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１６−１２８３５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上のような電子部品搬送装置において、処理ユニットや収容体の数の増減変更を行う場合がある。この場合、間欠回転の停止ポジションの数（以下、停止数とする）も増減変更する必要がある。ダイレクトドライブモータが停止する角度、つまり隣接する停止ポジションとの間隔、回転速度等は、制御装置の設定により変更できる。
【０００８】
しかし、停止数を増加させる場合、保持部の数が足りなくなるため、保持部の数が異なる回転テーブルに変更する必要がある。回転テーブルの変更のためには、周囲の部品を取り外して分解し、新たな回転テーブルに交換してから、組み立て直す必要があり、過大な手間と時間がかかる。また、回転テーブルを変更するためには、あらかじめ異なる数の保持部を備えた回転テーブルを複数用意しておく必要があり、保管スペースを必要とし、コストもかかる。
【０００９】
停止数を減少させる場合であっても、保持部の数はそのまま維持することも考えられる。しかし、使用する保持部の数に比べて、回転テーブルの重量が過大となり、ダイレクトドライブモータの負荷が大きくなることから、現実的ではない。
【００１０】
本発明は、回転テーブルの停止数の変更に応じた保持部の数の変更を容易に行うことができる電子部品搬送装置、電子部品搬送装置の製造方法及び回転テーブルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、負圧によって電子部品を保持する複数の保持部と、前記保持部が取り付けられたアームと、前記アームが着脱可能に取り付けられるアーム取付位置が設けられ、円周方向に間欠回転する回転テーブルと、を有し、前記アーム取付位置は、前記間欠回転の停止位置の設定数に対応して、円周等配位置に複数設けられ、前記設定数の約数の前記アームが、前記アーム取付位置に円周等配位置に取り付けられていることを特徴とする。
【００１２】
前記保持部は、負圧によって前記電子部品を保持する吸着ノズルであり、前記回転テーブルよりも小径で同軸に配置され、前記回転テーブルとともに回転可能に設けられた回転体と、前記回転体に前記設定数と同数設けられた開口を有し、前記吸着ノズルと負圧発生装置とを連通する空気圧回路の一部を形成する中継配管が、前記開口に接続される接続部と、前記開口のうち、前記アームが取り付けられていないアーム取付位置に対応する開口を封止する封止部と、を有していてもよい。
【００１３】
前記回転テーブルの間欠回転の停止位置の外周囲に、前記電子部品に処理を施す処理ユニットを設置するユニット設置位置が、前記設定数と同数設けられていてもよい。
【００１４】
前記回転テーブルは、重量を減少させる複数の肉抜きが、円周等配位置に形成され、前記肉抜きは、前記各アーム取付位置及び前記各アーム取付位置の円周方向の間の少なくとも一方に設けられていてもよい。
【００１５】
前記保持部を撮像するカメラと、前記カメラにより撮像された保持部を、基準点とともに表示する表示装置と、を有していてもよい。
【００１６】
前記表示装置は、前記カメラにより撮像された保持部を、調整すべき方向を表示してもよい。
【００１７】
本発明は、電子部品を保持する複数の保持部と、前記保持部が取り付けられるアームと、前記アームが着脱可能に取り付けられる複数のアーム取付位置が、円周等配位置に設けられ、円周方向に間欠回転する回転テーブルとを有し、前記複数のアーム取付位置が、前記間欠回転の停止位置の設定数に対応して、円周等配位置に複数設けられた電子部品搬送装置の製造方法であって、前記設定数の約数の前記アームが、前記アーム取付位置に円周等配位置に取り付けられた前記回転テーブルに対して、前記アームが円周等配位置となるように、前記アームが取り付けられていない前記アーム取付位置に前記アームを取り付け、又は前記アーム取付位置に取り付けられた前記アームを取り外すことを特徴とする。
【００１８】
前記保持部は、負圧によって前記電子部品を保持する吸着ノズルであり、前記回転テーブルには、前記設定数と同数の開口を有する接続部を有し、前記回転テーブルよりも小径の回転体が取り付けられ、前記開口のうち、前記アームが取り付けられたアーム取付位置に対応する開口には、前記吸着ノズルと負圧発生装置とを連通する空気圧回路の一部を形成する中継配管が接続され、前記開口のうち、前記アームが取り付けられていないアーム取付位置に対応する開口を、封止部により封止してもよい。
【００１９】
本発明は、電子部品搬送装置用の回転テーブルであって、前記回転テーブルに、電子部品を保持する保持部を有するアームが着脱可能に取り付けられるアーム取付位置が、前記回転テーブルの間欠回転の停止位置の設定数に対応して、円周等配位置に複数設けられ、前記設定数の約数の前記アームが、前記回転テーブルの円周等配位置に取り付けられていることを特徴とする。
【００２０】
前記保持部は、負圧によって前記電子部品を保持する吸着ノズルであり、前記回転テーブルには、前記設定数と同数の開口を有する接続部を有し、前記回転テーブルよりも小径の回転体が取り付けられ、前記開口のうち、前記アームが取り付けられていないアーム取付位置に対応する開口が、封止部により封止されていてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、回転テーブルの停止数の変更に応じた保持部の数の変更を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施形態に係る電子部品搬送装置の上面図である。
【図２】実施形態に係る電子部品搬送装置のＡ−Ａ断面図である。
【図３】実施形態に係る回転テーブルを示す斜視図である。
【図４】実施形態に係るアーム及び回転体を取り付けた回転テーブルを示す斜視図である。
【図５】実施形態に係るアームを示す斜視図である。
【図６】実施形態に係る回転体を示す斜視図である。
【図７】実施形態に係る接続部を示す断面図である。
【図８】実施形態に係る接続部を封止部により封止した状態を示す斜視図である。
【図９】実施形態に係るカメラを示す側面図である。
【図１０】実施形態に係る制御装置及び表示装置を示すブロック図である。
【図１１】図４の回転テーブルにアームを増設した例を示す斜視図である。
【図１２】図５の回転テーブルにアームを増設した例を示す斜視図である。
【図１３】アーム取付位置の最大数が３０の回転テーブルの例を示す平面図である。
【図１４】アーム取付位置の最大数が３２の回転テーブルの例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明に係る電子部品搬送装置の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００２４】
［電子部品搬送装置］
電子部品搬送装置１は、図１及び図２に示すように、円環状の搬送路２を架台６上に形成して、搬送路２に沿って電子部品Ｅを整列搬送する。円環状の搬送路２には、円周等配位置でユニット設置位置３が設定されている。ユニット設置位置３は、各種の処理ユニット３１が設置される位置である。電子部品搬送装置１は、架台６上のユニット設置位置３に各種の処理ユニット３１を備え、搬送路２の各所に電子部品Ｅを停止させて各種の処理を施す。この停止位置が停止ポジションである。
【００２５】
この電子部品搬送装置１は電子部品Ｅの搬送手段を備える。搬送手段は、円環状の搬送路２を形成し、電子部品Ｅを搬送路２に沿って移動させ、ユニット設置位置３直上に電子部品Ｅを停止させる。この搬送手段は、回転テーブル２１、ダイレクトドライブモータ２２、アーム２３、吸着ノズル２４、進退駆動装置２５を有する。回転テーブル２１は、回転系の基台となる部材である。ダイレクトドライブモータ２２は、回転テーブル２１の回転動力源となる部材である。アーム２３は、吸着ノズル２４が取り付けられた部材である。吸着ノズル２４は、負圧によって電子部品Ｅを保持する部材である。吸着ノズル２４は、分岐配管５３及び中継配管５４を介して、負圧発生装置４に接続されている。進退駆動装置２５は、処理ユニット３１と共にユニット設置位置３に取り付けられて吸着ノズル２４を処理ユニット３１側へ移動させる装置である。
【００２６】
回転テーブル２１は、図３（Ａ）に示すように、円盤形状である。回転テーブル２１の中心には、ダイレクトドライブモータ２２の回転軸を取り付けるための円形の貫通穴である中心穴２１ａが形成されている。回転テーブル２１には、アーム２３が着脱可能に取り付けられるアーム取付位置２１０が設けられている。アーム取付位置２１０は、アーム２３を取り付ける領域であり、回転テーブル２１の間欠回転の停止位置の設定数に対応して、円周等配位置に複数設けられている。この間欠回転の停止位置の設定数は、停止数として設定される数の最大値であり、基準数と呼んでもよい。例えば、１６、２０、２４、３２などを設定数とすることができる。また、例えば、設定数を、回転テーブル２１のサイズで取り付け可能なアーム２３の最大数とすることが考えられるが、これよりも少ない数であってもよい。この最大数を決める要因となるサイズは、例えば、回転テーブル２１の直径、天面の表面積等である。
【００２７】
アーム取付位置２１０は、回転テーブル２１の天面に設けられている。但し、図３（Ａ）では、アーム取付位置２１を点線で示しているが、実際には、図３（Ｂ）に示すように、アーム取付位置２１０を明示する表示が付されているわけではない。さらに、アーム取付位置２１０には、設定数の約数のアーム２３が、円周等配位置に取り付けられている。つまり、アーム２３が取り付けられていないアーム取付位置２１０を残存させつつ、複数のアーム２３がアーム取付位置２１０に等間隔で取り付けられている。
【００２８】
約数は、例えば、設定数を順次、２で割った数である。以下の例は、設定数を２で割った数、さらにこれを２で割った数である。設定数が１６の場合には、約数は８、４である。設定数が２０の場合には、約数は１０、５である。設定数が２４の場合には、約数は１２、６である。設定数が３２の場合には、１６、８である。一例として、図４に示すように、円周等配位置に、設定数である２４設けられたアーム取付位置２１０のうち、６つのアーム取付位置２１０に、それぞれアーム２１０が円周等配位置に取り付けられている。
【００２９】
アーム取付位置２１０は、回転テーブル２１の中心から放射状に設けられている。本実施形態の各アーム取付位置２１０は、固定穴２１１を有している。固定穴２１１は、回転テーブル２１の半径方向に並んで、回転テーブル２１の天面に形成された一対のタップ穴である。タップ穴は、内側面にねじ溝が切られた穴である。
【００３０】
回転テーブル２１には、重量を減少させる肉抜き２１２が、円周等配位置に形成されている。重量を減少させるとは、同径同厚同材料の円盤に比べて、重量が軽くなることをいう。肉抜き２１２は、例えば、穴、溝、切欠の少なくとも一種である。肉抜き２１２は、アーム取付位置２１０に設けられ、固定穴２１１よりも大きい肉抜き２１２Ａを含む。また、肉抜き２１２は、各アーム取付位置２１０の間に、固定穴２１１よりも大きく、各アーム取付位置２１０の間に収まる大きさの肉抜き２１２Ｂを含む。肉抜き２１２Ａは、円形の貫通穴である。肉抜き２１２Ｂは、回転テーブル２１の半径方向に長い貫通穴である。なお、肉抜き２１２は、アーム取付位置２１０と中心穴２１ａとの間にも、円周等配位置に複数形成されている。
【００３１】
ダイレクトドライブモータ２２は、図２に示すように、架台６の上面に設置される。回転テーブル２１は、円中心がダイレクトドライブモータ２２の回転軸に軸支され、架台６の上面よりも高い位置で水平に延び、ダイレクトドライブモータ２２によって円周方向に一定の角度ずつ間欠回転する。
【００３２】
アーム２３は、図５に示すように、略直方体形状のブロックである。アーム２３の長辺方向の両端のうちの一端には、軸方向を架台の天面と直交させた筒状のスリーブ２３аが設けられている。また、アーム２３の天面から底面を貫通する取付穴２３ｂが、回転テーブル２１のタップ穴２１１に対応する位置に形成されている。アーム２３は、図４に示すように、長辺方向が回転テーブル２１の半径方向に平行となり、スリーブ２３ａが回転テーブル２１の外周縁から外方に突出するように、アーム取付位置２１０に、円周等配位置に配置される。アーム２３は、その取付穴２３ｂをタップ穴２１１に合わせて、ボルト２３ｃを挿入して締め付け固定される。アーム２３の天面には、中継配管５４を支持及び中継する筒状の支持部材２３ｄが、アーム２３の天面に平行に取り付けられている。さらに、アーム２３には、長手方向の貫通穴である長穴２３ｅが形成され、軽量化されている。
【００３３】
吸着ノズル２４は、内部が中空で一端が開口しており、図２に示すように、開口端を下向きにして、スリーブ２３ａに摺動可能に挿嵌されている。このため、吸着ノズル２４は、ターンテーブル２１の円中心から等距離の外周縁に、円周等配位置で複数配設される。吸着ノズル２４の開口端であるノズル先端は、架台６の上面に向き、ノズル先端で電子部品Ｅを保持する。吸着ノズル２４のノズル先端と反対端には、中継配管５４が連結され、ノズル先端と連通させる接続ヘッド２４ａが設けられている。接続ヘッド２４ａと、スリーブ２３ａとの間には、弾性部材２４ｂが挿入され、吸着ノズル２４を上方に付勢している。
【００３４】
進退駆動装置２５は、電動機２５ａとロッド２５ｂを有し、ロッド２５ｂを電動機２５ａにより架台６の上面と直交する方向に進出させ、処理ユニット３１に到達した吸着ノズル２４のノズル後端にロッド２５ｂを接触させ、更にロッド２５ｂによって、弾性部材２４ｂに抗して、吸着ノズル２４を処理ユニット３１に向けて押し込む。ロッド２５ｂを電動機２５ａにより架台６の上面と直交する方向に後退させると、吸着ノズル２４は、弾性部材２４ｂの付勢力によって、吸着ノズル２４は上方に復帰する。
【００３５】
この搬送手段によれば、電子部品Ｅを保持した吸着ノズル２４は、共通の軌跡を辿って移動し、各処理ユニット３１に対応する停止ポジションで一時停止する。即ち、電子部品Ｅを保持した吸着ノズル２４が移動する共通の軌跡が円環状の搬送路２となり、処理ユニット３１は、この搬送路２の直下に回転テーブル２１を囲んで配置される。また、この搬送手段によれば、電子部品Ｅを保持した吸着ノズル２４は、処理ユニット３１が配置されたユニット設置位置３上で押し下げられて、電子部品Ｅを処理ユニット３１に受け渡す。電子部品Ｅの搬送中、吸着ノズル２４には搬送路２の各所で負圧が供給され、吸着ノズル２４は負圧によって電子部品Ｅを保持する。この負圧が解除されることで、吸着ノズル２４は、処理ユニット３１に電子部品Ｅを渡し、負圧が再供給されることで、吸着ノズル２４は、電子部品Ｅを再度保持する。
【００３６】
図２に示すように、負圧の供給源は負圧発生装置４であり、空気圧回路５で負圧発生装置４と吸着ノズル２４とを接続する。また、負圧の解除手段は空気圧回路５内に設けられた電磁弁５８である。電子部品搬送装置１は、これら負圧発生装置４、空気圧回路５及び電磁弁５８を更に備える。典型的には、負圧発生装置４は真空ポンプであり、架台６の内部に収容されている。空気圧回路５は、シャフト５２と分岐配管５３と中継配管５４とを備える。電磁弁５８は、各分岐配管５３に設けられている。
【００３７】
シャフト５２は、負圧発生装置４を基端として架台６の外部へ突出し、ダイレクトドライブモータ２２及び回転テーブル２３の中心を貫いて延長されている。分岐配管５３は、シャフト５２の先端から分岐する。中継配管５４は、各吸着ノズル２４から１本ずつ延びている。分岐配管５３と中継配管５４とが接続されたとき、負圧発生装置４と吸着ノズル２４とが連通し、負圧が吸着ノズル２４へ供給される。
【００３８】
分岐配管５３と中継配管５４との間には、固定体５５と回転体５６が介在する。固定体５５は、分岐配管５３と中継配管５４とを繋ぐ分岐配管５３側のコネクタである。即ち、固定体５５は、全分岐配管５３を束ねて位置関係を固定し、全分岐配管５３の接続端部を担う。回転体５６は、分岐配管５３と中継配管５４とを繋ぐ中継配管５４側のコネクタである。即ち、回転体５６は、全中継配管５４を束ねて相対的な位置関係を固定し、全中継配管５４の接続端部を担う。
【００３９】
回転体５６は、図４に示すように、回転テーブル２１よりも小径で、同軸に配置され、回転テーブル２１とともに回転可能に設けられたドーナツ形状の部材である。つまり、回転体５６は、回転テーブル２１の天面の中心に固定されている。このため、回転体５６は、回転テーブル２１と共に一定角度ずつ間欠的に軸回転する。
【００４０】
回転体５６には、接続部５６０が設けられている。接続部５６０は、設定数と同数、つまりアーム取付位置２１０と同数設けられ、それぞれ開口５６１を有する筒状体である。開口５６１には、吸着ノズル２４と負圧発生装置４とを連通する空気圧回路５の一部を形成する中継配管５４が接続される。接続部５６０は、図６に示すように、回転テーブル２１の平面に対して、斜め上方に向かう筒状体であり、その端部が開口５６１となっている。接続部５６０は、回転体５６の外周の円周等配位置に設けられ、それぞれが各アーム取付位置２１０に対応している。
【００４１】
接続部５６０は、図７（Ａ）に示すように、開口５６１側の端部に継手５６２を有している。継手５６２は、筒状体であり、一端にフランジ５６２ａが形成されて外部に露出し、他端は開口５６１から接続部５６０内に挿入される胴部５６２ｂとなっている。接続部５６０の内周には、内径が窄まる隆起部５６０ａが形成されている。継手５６２の胴部５６２ｂを接続部５６０に挿入すると、隆起部５６０ａに押圧されて胴部５６２ｂの径が縮小する。
【００４２】
さらに、接続部５６０には、図８に示すように、中継配管５４又は封止部５６３が取り付けられる。アーム２３が取り付けられたアーム取付位置２１０に対応する接続部５６０には、中継配管５４の一端が接続されている。中継配管５４の他端は、支持部材２３ｄを介して、吸着ノズル２４の接続ヘッド２４ａに接続されている（図４参照）。
【００４３】
アーム２３が取り付けられていないアーム取付位置２１０に対応する接続部５６０には、封止部５６３が取り付けられている。つまり、封止部５６３は、接続部５６０の開口５６１のうち、アーム２３が取り付けられていないアーム取付位置２１０に対応する開口５６１を封止する部材である。封止部５６３は、図７（Ｂ）に示すように、継手５６２の内径とほぼ同径の外径を有する円筒又は円柱形状の挿入部５６３ａと、挿入部５６３ａを拡径した頭部５６３ｂを有する。封止部５６３は、例えば、樹脂、ゴム、金属等により形成することができる。継手５６２に、挿入部５６３ａが挿入された状態で、図７（Ｃ）に示すように、接続部５６０内に押し込むと、径が縮小する胴部５６２ｂによって挿入部５６３ａが押されて密着して、開口５６１を密閉する。アーム取付位置２１０に対応する接続部５６０の開口５６１には、中継配管５４が接続される。なお、中継配管５４の挿入と継手５６２による密閉構造は、図７（Ｂ）、（Ｃ）に示した封止部５６３と同様である。
【００４４】
固定体５５は、図２に示すように、回転体５６上に積層され、回転不能に固定されたドーナツ形状の部材である。この固定体５５は、コイルスプリングやエアシリンダ等の押圧部５７によって回転体５６に押し付けられている。尚、シャフト５２は、回転テーブル２１の天面よりも高い位置まで延び、ダイレクトドライブモータ２２及び回転テーブル２２のみならず、回転体５６と固定体５５の中心を貫いて延び、分岐配管５３は、アーム取付位置２１０と同数が、回転テーブル２１に向けて垂れ下がって固定体５５に接続されている。
【００４５】
回転体５６と固定体５５は、両端に平坦面を有し、互いの一平坦面を当接させて積層されている。シャフト５２は、回転体５６と固定体５５のドーナツ形状の中心に挿通されている。
【００４６】
固定体５５には、回転体５６との摺り合い面と、該摺り合い面とは反対の開放面とを有する。固定体５５には、分岐配管５３と同数個の貫通孔５５３が貫設されている。各貫通孔５５３は、摺り合い面と開放面とを連通する。このため、貫通孔５５３は、摺り合い面と開放面に開口を有する。摺り合い面側の開口は、固定体５５と同心円上に円周等配位置で並ぶ。この固定体５５の貫通孔に対して、開放面から分岐配管５３が１対１で接続される。
【００４７】
回転体５６は、回転テーブル２１に固定された面とは反対面が固定体５５との摺り合い面となっている。この回転体５６には、接続部５６０と同数個、つまりアーム取付位置２１０と同数個の貫通孔５６４が貫設されている。各貫通孔５６４は、接続部５６０の開口６６１から、回転体５６の内部で９０度屈曲して、摺り合い面５６２の開口５６５に達している（図８参照）。摺り合い面５６２側の開口５６５は、回転体５６と同心円上に円周等配位置で並ぶ。
【００４８】
固定体５５の擦り合い面において貫通孔５５３が並ぶ円周５５５と回転体５６の摺り合い面５６２において貫通孔５６４が並ぶ円周５６５とは、位置及び大きさが合致する（図４参照）。即ち、固定体５５の貫通孔５５３は、回転体５６との摺り合い面５６２に至る分岐配管５３の接続端部を担い、分岐配管５３の分岐端部が固定体５５と同心円上に円周等配位置で並んでいる。また、回転体５６の貫通孔５６４は、接続部５６０から固定体５５との摺り合い面に至る空気経路を担う。
【００４９】
回転体５６が固定体５５と摺り合いながら回転すると、固定体５５の貫通孔５５３と回転体５６の貫通孔５６４との一致ポイントが生じる。アーム２３が取り付けられたアーム取付位置２１０に対応する一致ポイントでは、負圧発生装置４から吸着ノズル２４までが空気圧回路５で連通し、吸着ノズル２４に負圧が供給される。尚、固定体５５は回転体５６に押圧部５７によって押し付けられているので、固定体５５と回転体５６との間からの空気漏れが抑制され、負圧発生装置４が発生させた負圧は効率良く吸着ノズル２４側に伝達する。
【００５０】
また、回転体５６が固定体５５と摺り合いながら回転すると、固定体５５の貫通孔５５３と回転体５６の貫通孔５６４との不一致区間が生じる。この区間では、負圧発生装置４と吸着ノズル２４との間の経路が断絶し、吸着ノズル２４への負圧の供給が途絶する。
【００５１】
さらに、アーム２３が取り付けられてないアーム取付位置２１０に対応する一致ポイントでは、接続部５６０の開口５６１が封止部５６３により封止されているため、負圧の供給が途絶する。
【００５２】
図１に示すように、電子部品搬送装置１は、処理ユニット３１を、吸着ノズル２４と同数備えている。処理ユニット３１と吸着ノズル２４の角度間隔は同一である。ダイレクトドライブモータ２２は、処理ユニット３１の角度間隔と等間隔の角度ずつ、回転テーブル２１を間欠回転させる。そのため、この電子部品搬送装置１では、吸着ノズル２４は、各処理ユニット３１の位置で停止し、隣り合う処理ユニット３１の間の区間では停止せずに移動する。
【００５３】
但し、電子部品搬送装置１は、回転テーブル２１の外周囲に、設定数と同数のユニット設置位置３が設けられている。つまり、アーム取付位置２１０に取り付けられたアーム２３の数よりも多いユニット設置位置３があらかじめ設けられている。
【００５４】
ここで、ユニット設置位置３は、処理ユニット３１を設置する領域である。図１では、各ユニット設置位置３を便宜的に同じ大きさの点線で示しているが、この領域の大きさは、処理ユニット３１に応じて異なる。ユニット設置位置３には、上記のように処理ユニット３１が設置されている箇所と、処理ユニット３１が設置されていない箇所がある。処理ユニット３１が設置されていないユニット設置位置３には、架台６の上面に対して、処理ユニット３１の取り付け用の加工が施されている。例えば、テーピングユニット等の処理ユニット３１のレールの取り付け穴が、架台６に形成されている。あらかじめレールを取り付けておいてもよい。処理ユニット３１が設置された場合には、当該処理ユニット３１が設置されたユニット設置位置３は、吸着ノズル２４の停止位置となる。
【００５５】
処理ユニット３１に吸着ノズル２４が達したとき、吸着ノズル２４は停止し、空気圧回路５は吸着ノズル２４に対して負圧を供給する。電磁弁５８は、吸着ノズル２４が処理ユニット３１に達したときに連通する分岐配管５３内に設置されている。
【００５６】
電磁弁５８が経路を遮断すると、吸着ノズル２４への負圧の供給は途絶え、吸着ノズル２４は電子部品Ｅを解放して処理ユニット３１に渡す。また、処理ユニット３１が電子部品Ｅに処理を施した後、電磁弁５８は経路を開け、吸着ノズル２４への負圧供給は再開され、吸着ノズル２４は電子部品Ｅを処理ユニット３１からピックアップする。
【００５７】
電子部品搬送装置１は、架台６上のユニット設置位置３の一部又は全部に各種の処理ユニット３１を備えるようにし、全てのユニット設置位置３を処理ユニット３１で満たす必要はない。配置される処理ユニット３１は、電子部品に対して施す処理内容によって、ユニット設置位置３の選択、配置数、配置順番及び種類が可変である。
【００５８】
電子部品に対して施す処理内容としては、検査、加工、姿勢補正、分類又はこれらのうちの複数種類である。検査内容は、外観検査、電気特性検査又は光量検査等である。加工内容は、リード端子の折り曲げ、レーザーマーキング及び半田の塗布等である。姿勢補正は、電子部品の位置、向き又はこれらの両方の補正である。分類は、良品と良品以外、又は良品のランクごとの分類である。
【００５９】
例えば、処理ユニット３１としては、電子部品を吸着ノズルに供給する供給ユニット、電子部品の姿勢ズレを検出するカメラユニット、電子部品の姿勢を補正するＸＹθ移動ユニット、電子部品の電気特性を検査する電気テストユニット、電子部品の外観を検査するカメラユニット、検査の結果が良品の電子部品にマーキングするレーザーマーキングユニット、良品以外の電子部品を収納する第１の収納ユニット、良品の電子部品を収納する第２の収納ユニットを含む。外観を検査するカメラユニットは、電子部品の天面、底面、４側面のいずれを見たいかによって、数も変わる。
【００６０】
なお、本実施形態の処理ユニット３１には、電子部品を収容する収容体に対して、電子部品を収容又は取り出す装置も含まれる。収容体としては、ウェハシート、キャリアテープ、トレイ等を含む。例えば、電子部品を貼付されたウェハシートを支持するステージ装置、キャリアテープのポケットに電子部品を収容するテーピングユニット等も、処理ユニット３１に含まれる。収容体と吸着ノズル２４との間で電子部品を受け渡す装置が介在してもよい。
【００６１】
さらに、処理ユニット３１としては、図９示すように、吸着ノズル２４を撮像するカメラ９を有してもよい。このカメラ９は、吸着ノズル２４のノズル先端を正面から撮像し、画像データを出力する装置である。正面は、ノズル先端に向かい合う方向であり、本実施形態では、下方から上方に向かう方向である。この場合、カメラ９を、吸着ノズル５７の先端を直接撮像するように配置してもよいし、吸着ノズル２４の先端の像をカメラ９に導くように、光軸の方向を変換するプリズム９１を有してもよい。このカメラ９は、電子部品の外観を検査するカメラユニットのカメラと共通化することもできる。
【００６２】
電子部品は、電気製品に使用される部品であれば何れでも適用可能である。例えば、電子部品は、トランジスタやダイオードやコンデンサや抵抗等のディスクリート半導体や集積回路等のパッケージングされた半導体素子等である。
【００６３】
（制御装置）
電子部品搬送装置１は、図１０に示すように、制御装置７によって制御される。制御装置７は、電子部品搬送装置１を統合制御するコンピュータである。制御装置７は、ダイレクトドライブモータ２２、進退駆動装置２５の電動機２５ａ、負圧発生装置４の真空ポンプ、電磁弁５８、処理ユニット３１の駆動源等に電気信号を送出することで、これらの動作量、動作速度、動作タイミングを制御する。
【００６４】
間欠回転の停止位置の設定数及び停止数は、制御装置７が有する記憶部等にあらかじめ設定される。停止数は、設定数の約数であり、アーム２３の取り付け数に対応する。なお、制御装置７の制御基板の入出力点は、電磁弁５８の設置数、つまり、設定数に対応して用意されている。
【００６５】
制御装置７は、入力装置、出力装置を有している。入力装置は、作業者が本実施形態の処理に必要な情報や指示を入力するためのスイッチ、タッチパネル、キーボード、マウス等の装置である。回転テーブル２１の間欠回転における停止数の変更は、入力装置から入力される停止数、停止ポジション数、アーム２３数、吸着ノズル２４数、処理ユニット３１数等の指示入力に応じて、制御装置７が停止数の値を変更することにより実現できる。また、設定数についても、入力装置から入力して設定することができる。つまり、設定数及び停止数は、ユーザが所望の値に変更することができる。出力装置は、作業者が本実施形態の状態を確認するための表示装置８、ランプ、メータ等の装置である。設定数、停止数についての入力画面、設定された設定数、停止数を表示装置８に表示してもよい。
【００６６】
さらに、表示装置８は、カメラ９の撮像データが入力され、表示画面８１に、吸着ノズル２４の先端を表示する装置である。制御装置７の表示制御部７１は、表示画面８１に吸着ノズル２４の先端を表示させるとともに、基準表示ＳＤを表示させる。基準表示ＳＤは、吸着ノズル２４の先端が位置決めされるべき基準点ＳＯを示す表示である。例えば、原点を基準点ＳＯとする直交するＸＹの座標軸を基準表示ＳＤとする。基準点ＳＯは、あらかじめカメラ９の光軸、視野範囲等を調整することにより、吸着ノズル２４が来るべき位置に合致されている。この表示装置８は、制御装置７に、有線又は無線により接続された表示パネル、タブレット端末等とすることができる。
【００６７】
なお、制御装置７は、撮像データの解析により、吸着ノズル２４の先端と基準点ＳＯとのずれ量を解析する解析部７２を有してもよい。この解析部７２が解析したずれ量を、ＸＹ座標の値で、表示画面８１に表示させてもよい。また、吸着ノズル２４の先端を調整すべき方向を表示させてもよい。例えば、図１０に示すように、吸着ノズル２４の先端を基準点ＳＯに一致させるための方向を矢印で表示してもよい。
【００６８】
（比較例としての増減作業）
以上のような本実施形態の停止数の変更に応じた吸着ノズル２４の増減作業の比較例として、吸着ノズルの取り付け数が異なる回転テーブル、開口数の異なる回転体等に交換する場合の作業を説明する。
【００６９】
（１）回転テーブルの交換作業
回転テーブルを交換するためには、以下のような手順を要する。
(a) 回転テーブルから上部フレームを取り外す。
(b) 回転テーブルを上部から下向きに押さえている、押し付け部を切り離す。押し付け部は、例えば、コイルバネ、エアシリンダー、スライドブッシュ等の複数の部材で構成される。
【００７０】
(c) 回転テーブルをダイレクトドライブモータから取り外す。
(d) 新しい回転テーブルを、ダイレクトドライブモータに取り付ける。
(e) 回転テーブルの中心位置出し、平行出しを行う。
(f) 押し付け部を再度取り付ける。
(g) 上部フレームを再度取り付ける。
【００７１】
以上のように、回転テーブルの交換作業は、工数が非常に多く手間がかかり、長時間を要する。また、再組み付け時の部材の位置だし精度が不良の場合、搬送機構全体に問題を生じるため、調整に時間がかかるだけでなく、難易度も高い。
【００７２】
また、回転テーブルを交換した場合、取り付けられた吸着ノズルの高さ校正、昇降機構のロッド部との当たりチェック等が必要となる。このような吸着ノズルの位置の調整については、位置決め治具を用いて行うことが考えられるが、既に設置されている処理ユニットがある場合、処理ユニットが邪魔になり、位置決め治具を用いることができない。
【００７３】
（２）配管類の取り外し、取り付け作業
保持部が吸着ノズルの場合、保持部の数が変更されると、空気圧回路の変更も必要となる。空気圧回路は、負圧発生装置から分岐した分岐配管と、吸着ノズルに接続される中継配管とを備えるが、これらの配管数を増減変更する必要がある。この場合も、回転体、固定体などの配管接続用のマニホールド等を交換する必要が生じるため、回転テーブルの交換と合わせて、非常に手間がかかる。
【００７４】
つまり、上記の回転テーブルの交換作業においては、さらに、配管類の取り外し、取り付け作業を行う必要がある。そして、停止ポジション数を増減させる場合、開口の数が異なる回転体及び固定体に交換する必要がある。この交換のためには、まず、中継配管、分岐配管等を取り外す。そして、回転テーブル及びダイレクトドライブモータから回転体、固定体を取り外して、開口の数の異なる回転体、固定体に入れ替える。さらに、中継配管、分岐配管等を再度取り付ける。
【００７５】
（３）設置電磁弁数変更
吸着ノズルの数を変更する場合、これに対応する電磁弁の数も変更する必要がある。このため、電磁弁に対する配線の繋ぎ替えや、配管類の繋ぎ替えが必要となる。
【００７６】
さらに、電磁弁の数を増加させる場合、制御基板の仕様によっては、入出力点の数が不足する場合がある。その場合には、制御基板の入れ替えが必要になる。
【００７７】
（４）架台上のユニット設置位置の追加工
処理ユニットを追加する場合、装置全体を分解して、架台上のベース板に、手作業で、下穴加工、タップ立てによるねじ切り等を行う必要がある。このため、新規で製作する場合と比較して、２倍以上の作業時間を要することになる。
【００７８】
以上の通り、吸着ノズルの増減を行う場合には、架台、電装品、ダイレクトドライブモータを残してほぼ全てを取り外した状態まで分解する必要があり、労力、時間が非常にかかる作業となる。例えば、最も難易度が低いケースであっても、３日程度作業日数を見込む必要があった。
【００７９】
従って、回転テーブル２１、回転体５６等の部品の交換による処理ユニットの増減変更、吸着ノズルの増減変更は、時間的、費用的にも過大となる改造を行う必要があり、現実的ではなかった。
【００８０】
（増設作業）
一方、本実施形態において、停止数を増やすために、アーム２３を増設することによる吸着ノズル２４の増設作業を説明する。図１１に示すように、回転テーブル２１には、アーム２３が取り付けられていないアーム取付位置２１０が残存している。このアーム取付位置２１０に、図１１の点線で示すように、アーム２３を円周等配位置に載せる。
【００８１】
この際、肉抜き２１２Ａを目印にして、アーム取付位置２１０に載せることができる。また、肉抜き２１２Ｂの間に、アーム２３を載せることにより、アーム取付位置２１０にアーム２３の円周方向の位置を合わせることができる。そして、固定穴２１１に対して取付穴２３ｂを合わせて、ボルト２３ｃの胴部を挿入して、固定穴２１１にねじ込むことにより、アーム２３を固定する。
【００８２】
また、新たに固定したアーム２３に対応する回転体５６の接続部５６０から、継手５６２を引いて胴部５６２ｂを緩め、封止部５６３を抜き出す。そして、図２に示すように、アーム２３の端部に設けられた吸着ノズル２４の接続ヘッド２４ａと、接続部５６０とを中継配管５４を介して接続する。つまり、図７（Ｂ）、（Ｃ）に示した封止部５６３を挿入する場合と同様に、中継配管５４を挿入した状態で、継手５６２を押し込むと、径が縮小する胴部５６２ｂによって中継配管５４が押されて密着して固定される。
【００８３】
新たに固定したアーム２３の吸着ノズル２４の先端は、図９に示すように、カメラ９によって撮像され、図１０に示すように、基準点ＳＯとともに、表示装置８の表示画面８１に表示される。作業者は、表示画面８１を参照して、吸着ノズル２４の先端が基準点ＳＯに一致するように、アーム２３の位置を調整する。
【００８４】
例えば、図１１に示すように、６つのアーム２３が取り付けられていた場合に、さらに６つのアーム２３を、全アーム２３が円周等配位置となるように固定することにより、１２のアーム２３を有する回転テーブル２１とすることができる。さらに、図１２に示すように、１２のアーム２３を、全アーム２３が円周等配位置となるように固定することにより、２４のアーム２３を有する回転テーブル２１とすることができる。
【００８５】
なお、図１に示すように、処理ユニット３１が設置されていないユニット設置位置３に、処理ユニット３１を増設する場合、処理ユニット３１の取り付け用の加工が施されている箇所に、処理ユニット３１を取り付ける。例えば、取り付け穴を用いて、処理ユニット３１を固定する。
【００８６】
（減設作業）
また、本実施形態において、アーム２３を減設する作業を説明する。上記のように、増設した回転テーブル２１に対応する接続部５６０から、継手５６２を引いて胴部５６２ｂを緩め、中継配管５４を引き抜く。接続部５６０の継手５６２には、封止部５６３を押し込んで封止する。
【００８７】
このように中継配管５４を外したアーム２３が取り付けられたアーム取付位置２１０から、アーム２３を取り外す。つまり、取付穴２３ｂのボルト２３ｃを緩めて取り外すことにより、アーム２３を取り外すことができる。
【００８８】
例えば、１２のアーム２３が取り付けられていた場合に、６つのアーム２３を、全アーム２３が円周等配位置となるように取り外すことにより、６つのアーム２３を有する回転テーブル２１とすることができる。さらに、２４のアーム２３が取り付けられていた場合に、１２のアームを、全アーム２３が円周等配位置となるように取り外すことにより、１２のアーム２３を有する回転テーブル２１とすることができる。
【００８９】
（作用効果）
本実施形態は、負圧によって電子部品を保持する複数の保持部である吸着ノズル２４と、吸着ノズル２４が取り付けられたアーム２３と、アーム２３が着脱可能に取り付けられるアーム取付位置２１０が設けられ、円周方向に間欠回転する回転テーブル２１と、を有し、アーム取付位置２１０は、間欠回転の停止位置の設定数に対応して、円周等配位置に複数設けられ、設定数の約数のアーム２３が、アーム取付位置２１０に対して円周等配位置に取り付けられている。
【００９０】
このため、吸着ノズル２４の増減変更の際には、アーム２３が円周等配位置となるように、アーム２３が取り付けられていないアーム取付位置２１０にアーム２３を取り付け、又はアーム取付位置２１０に取り付けられたアーム２３を取り外せばよい。つまり、回転テーブル２１を交換等することなく、停止数の変更に応じた吸着ノズル２４の数の増減変更を容易に行うことができる。これは、上記のような作業手順で済むため、労力の大幅な軽減と、作業時間の大幅な短縮となる。例えば、半日以下の作業で変更できる。
【００９１】
回転テーブル２１を交換する場合、電子部品搬送装置１の製造業者が、自社に引き取って改造する必要があったが、本実施形態では、既に設置済みの工場内で、アーム２３を追加するだけで変更することができる。これは、特に、設置された場所が外国である場合等に、電子部品搬送装置１の輸出入を行って引き取る必要がなくなる。
【００９２】
また、回転テーブル２１に比べて比較的小型のアーム２３を、余分に用意しておくだけでよいため、保管スペースが少なくて済み、コストも大幅に削減できる。
【００９３】
各アーム２３は共通の部材であり、回転テーブル２１も共用化することができるので、一括して多数の生産が可能となり、製造原価の低減に寄与する。また、同様の組み立て、調整基準で製造することができるので、工数の削減や制度の向上につながる。
【００９４】
停止数を減少させた場合には、単位時間当たりの処理数を低下させないために、停止ポジション間を高速で移動させる必要がある。本実施形態では、停止数に合わせて、アーム２３の取り付け数を少なくすることができるので、アーム２３の数をそのままにして停止数を減少させる場合に比べて、軽量化でき、ダイレクトドライブモータ２２の負荷を軽減できる。
【００９５】
さらに、アーム２３の数に比べて、回転テーブル２１の径が大きくなることになるが、電子部品搬送装置１の下側には、各種の電装部品、ウェハを収容するカセット等、種々の装置が収容されるため、全体の装置としてのサイズは小さくすることは難しい。このため、回転テーブル２１が大きくても、装置としての外見寸法が大きくなることはなく、設置スペースが増大することは抑えられる。
【００９６】
本実施形態は、回転テーブル２１よりも小径で同軸に配置され、回転テーブル２１とともに回転可能に設けられた回転体５６と、回転体５６に設定数と同数設けられた開口５６１を有し、吸着ノズル２４と負圧発生装置４とを連通する空気圧回路５の一部を形成する中継配管５４が、開口５６１に接続される接続部５６０と、開口５６１のうち、アーム２３が取り付けられていないアーム取付位置２１０に対応する開口５６１を封止する封止部５６３と、を有する。
【００９７】
このため、吸着ノズル２４を増設する場合には、封止部５６３を外して、新たに取り付けた吸着ノズル２４との間に中継配管５４を接続すればよい。また、吸着ノズル２４を減設する場合には、取り外す吸着ノズル２４に対応する開口５６１から中継配管５４を取り外し、封止部５６３によって封止すればよい。このため、空気圧回路５の変更のために、回転体５６を交換する必要がない。
【００９８】
配管類の取り外し、取り付け作業も、中継配管５４のみの作業で済むため、非常に簡単である。分岐配管５３も接続部５６０と同数として、電磁弁についても分岐配管５３と同数用意しておくため、中継配管５４以外の空気圧回路５の変更が不要となる。
【００９９】
回転テーブル２１の外周囲に、電子部品に処理を施す処理ユニット３１を設置するユニット設置位置３が、設定数と同数設けられ、ユニット設置位置３は、アーム取付位置２１０の数以下で、アーム取付位置２１０に取り付けられたアーム２３の数より多く設けられている。
【０１００】
このため、処理ユニット３１を増設する際に、新たにユニット設置位置３を加工する必要がない。従って、処理ユニット３１の増設も短時間で容易に行うことができる。つまり、対象となる電子部品を変更する場合に、処理ユニットの種類や数を変更する必要する必要があるが、その場合にも、容易に対応できる。
【０１０１】
回転テーブル２１は、重量を減少させる複数の肉抜き２１２が、円周等配位置に形成されている。
【０１０２】
上記のように、停止ポジション数の減少に合わせて、アーム２３の取り付け数を減少させても、アーム２３の取り付け数に比べて、回転テーブル２１は大きいままである。本実施形態では、回転テーブル２１に重量を減少させる肉抜き２１２が形成されているので、過大な重量となることが防止され、ダイレクトドライブモータ２２の負荷を、より一層軽減できる。特に、肉抜き２１２は、円周等配位置に形成されているので、バランスのよいスムーズな回転が可能となる。また、アーム２３の取り付け数が多い場合でも、肉抜き２１２により総重量を軽減できるので、ダイレクトドライブモータ２２の負荷の軽減になる。
【０１０３】
肉抜き２１２Ａは、各アーム取付位置２１０に設けられている。このため、作業者は、肉抜き２１２Ａを目印にして、アーム取付位置２１０にアーム２３を取り付けることができる。
【０１０４】
肉抜き２１２Ｂは、各アーム取付位置２１０の円周方向の間に設けられている。このため、作業者は、肉抜き２１２Ｂの間を目安にして、アーム２３をアーム取付位置２１０に載置することができるので、回転テーブル２１の円周方向のアーム２３の位置決めが容易となる。
【０１０５】
アーム取付位置２１０には、アーム２３を取り付ける固定穴２１１が形成され、肉抜き２１２Ｂは、固定穴２１１よりも大きく、各アーム取付位置２１０の間に収まる大きさである。
【０１０６】
アーム取付位置２１０の固定穴２１１は比較的小さく目立たないが、これよりも大きな肉抜き２１２Ｂの間にアーム２３を合わせることにより、アーム取付位置２１０への位置合わせが容易となる。
【０１０７】
アーム取付位置２１０は、回転テーブル２１の天面に設けられている。このため、比較的スペースが空いている回転テーブル２１の天面上で、アーム２３の取り付け、取り外し作業ができるので、作業がし易い。
【０１０８】
吸着ノズル２４を撮像するカメラ９と、カメラ９により撮像された吸着ノズル２４を、基準点ＳＯとともに表示する表示装置８とを有する。
【０１０９】
このため、処理ユニット３１が設置されて位置決め治具を用いることができない場合であっても、吸着ノズル２４の位置決めを行うことができる。
【０１１０】
表示装置８は、カメラ９により撮像された吸着ノズル２４の調整すべき方向を表示する。このため、作業者は、表示された方向を目安にして、吸着ノズル２４の位置を調整できる。
【０１１１】
（他の実施形態）
以上のように本発明の各実施形態を説明したが、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
【０１１２】
回転テーブル２１は、円盤形状には限定されない。例えば、星形であってもよい。つまり、アーム取付位置２１０に対応する細長の部分が、回転中心から放射状に伸びた形状であってもよい。この場合、各アーム取付位置２１０の間を、回転テーブル２１を切欠いた肉抜き２１２Ｂとして捉えることができる。つまり、星形とすることにより、回転テーブル２１のより一層の軽量化が図れる。
【０１１３】
設定数に対応するアーム取付位置２１０の数は、上記の実施形態で例示した数には限定されない。例えば、図１３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、設定数が２０の回転テーブル２１に対して、５、１０のアーム２３を取り付けた態様がある。図１４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、設定数が３２の回転テーブル２１に対して、８、１６のアーム２３を取り付けた態様がある。また、設定数が１６の回転テーブル２１に対して、４、８のアーム２３を取り付けた態様もある。
【０１１４】
回転体５６の接続部５６０も、このような設定数に対応した数を備えたものとする。接続部５６０の構成は、中継配管５４及び封止部５６３を接続可能な構成であればよく、上記の態様には限定されない。リング状のねじにより締め付けることにより、中継配管５４又は封止部５６３が固定される継手を備えてもよい。
【０１１５】
アーム取付位置２１０は、アーム２３が取り付けられる領域であればよく、アーム２３と大きさが一致している必要はない。アーム取付位置２１０に、アーム２３が嵌る溝を形成したり、目印となる枠を表示してもよい。
【０１１６】
アーム２３の形状も、上記の態様には限定されない。例えば、略Ｌ次形、略Ｕ字形、略Ｃ字形部分を有することにより、回転テーブル２１の縁の角に沿う形状や回転テーブル２１の縁を挟む形状としてもよい。
【０１１７】
回転テーブル２１に形成する肉抜き２１２の大きさ、数、形状等も上記の態様には限定されない。肉抜き２１２Ａ、２１２Ｂは少なくとも一方があればよい。
【０１１８】
吸着ノズル２４の方向も、上記の態様には限定されない。例えば、吸着ノズル２４の軸が回転テーブル２１の平面に平行となり、先端が外方を向くように配置されていてもよい。この場合、吸着ノズル２４を進退させる進退駆動装置２５が、回転テーブル２１上に配置されていてもよい。
【０１１９】
ユニット設置位置３の数は、設定数と同数とすることにより、新たな加工を要せずに処理ユニット３１を設置できる位置を最大限確保して、将来の増設の可能性に柔軟に対応することができる。但し、ユニット設置位置３の数は、必ずしも設定数と同数でなくてもよい。処理ユニット３１を増設すると予想される数だけ設けておいてもよい。つまり、取り付けられているアーム２３の数よりも多く、設定数以下のいずれかの数を設けておけばよい。
【０１２０】
カメラ９による撮像の方向は、上記の態様には限定されない。吸着ノズル２４の側面方向から撮像し、表示装置８が基準点ＳОとともに表示することにより、吸着ノズル２４の先端の高さ方向の調整に利用してもよい。
【０１２１】
保持部２１に関しては、真空の発生及び破壊又は正圧の発生により電子部品Ｗを吸着及び離脱させる吸着ノズルの他、静電吸着方式、ベルヌーイチャック方式、又は電子部品Ｗを機械的に挟持するチャック機構を配してもよい。
【０１２２】
負圧発生装置４は、架台６内部に設置され、シャフト５２と直接接続される他、架台６の外側に設置されてもよく、負圧発生装置４とシャフト５２とを接続用の配管で繋ぐようにしてもよい。また、負圧発生装置４は、電子部品搬送装置１が備える他、電子部品搬送装置１とは別機器として、電子部品搬送装置１が設置される工場に備えられてもよい。この場合、電子部品搬送装置１は、工場の負圧発生装置４と工場配管を介して接続されるものの、負圧発生装置４を備えている必要はない。
【０１２３】
電磁弁５８は、必ずしもアーム取付位置２１０及び接続部５６０と同数設けておく必要はない。アーム２３を増設する際に、電磁弁５８を増設してもよい。この場合も、配管類を全て増設する場合に比べて、作業は容易である。
【符号の説明】
【０１２４】
１  電子部品搬送装置
２  搬送路
２１  回転テーブル
２１ａ  中心穴
２１０  アーム取付位置
２１１  固定穴
２１２、２１２Ａ、２１２Ｂ  肉抜き
２２  ダイレクトドライブモータ
２３  アーム
２３ａ  スリーブ
２３ｂ  取付穴
２３ｃ  ボルト
２３ｄ  支持部材
２３ｅ  長穴
２４  吸着ノズル
２５  進退駆動装置
３  ユニット設置位置
３１  処理ユニット
４  負圧発生装置
５  空気圧回路
５２  シャフト
５３  分岐配管
５４  中継配管
５５  固定体
５５３  貫通孔
５５４  開口
５６  回転体
５６０  接続部
５６１  開口
５６２  継手
５６２ａ  フランジ
５６２ｂ  胴部
５６３  封止部
５６３ａ  挿入部
５６３ｂ  頭部
５６４  貫通孔
５６５  開口
５７  押圧部
５８  電磁弁
６  架台
７  制御装置
７１  表示制御部
７２  解析部
９  カメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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