(57)【要約】【解決手段】  電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリ（１００）は、アパーチャ（１２２）を有し、覆われた標本配置用の体積領域（１２５）を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部（１０２）と、該アパーチャ（１２２）でエンクロージャ外部の体積領域から該標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー（１１４）と、該覆われた標本配置用の体積領域（１２５）と連通し、該覆われた標本配置用の体積領域を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、を備え、該所定の圧力は標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きく、カバー（１１４）に亘る圧力差が該カバーの破裂が発生する閾値レベルを超えないようにする。
2005529340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリであって、
アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部と、
前記アパーチャのところでエンクロージャ外部の体積領域から前記標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、
前記覆われた標本配置用の体積領域と連通し、該覆われた標本配置用の体積領域を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、
を備え、
前記所定の圧力は、前記標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、前記エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きく、前記カバーに亘る圧力差が、該カバーの破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている、標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項２】
前記圧力コントローラは、前記覆われた標本配置用の体積領域と連通する通路を備える、請求項１に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項３】
前記通路は、管腔を有するチューブを備え、該管腔の断面は前記所定の圧力を維持するのに十分に小さく、該所定の圧力は、少なくとも１５分間に亘って、前記標本配置用体積領域内の液体サンプルの前記蒸気圧力を超え、前記エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きい、請求項２に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項４】
前記チューブは、流体リザーバーと連通している、請求項３に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項５】
前記覆われた標本配置用の体積領域から液体の供給及び除去を可能にする、液体流出入アッセンブリを更に備える、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項６】
前記液体流出入アッセンブリは、少なくとも２つのチューブを備える、請求項５に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項７】
電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリであって、
アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部と、
前記アパーチャのところでエンクロージャ外部の体積領域から前記標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、
前記覆われた標本配置用の体積領域から液体の供給及び除去を可能にする、液体流出入アッセンブリと、
を備える、標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項８】
前記液体流出入アッセンブリは、少なくとも２つのチューブを備える、請求項７に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項９】
走査型電子顕微鏡アッセンブリであって、
検査体積領域を画定する走査型電子顕微鏡と、
前記検査体積領域に配置された標本エンクロージャアッセンブリと、
アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部と、
前記アパーチャのところでエンクロージャ外部の体積領域から前記標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、
前記覆われた標本配置用の体積領域と連通し、該覆われた標本配置用の体積領域を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、
を備え、
前記所定の圧力は、前記標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、前記エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きく、前記カバーに亘る圧力差は、該カバーの破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている、走査型電子顕微鏡アッセンブリ。
【請求項１０】
前記圧力コントローラは、前記覆われた標本配置用の体積領域と連通する通路を備える、請求項９に記載の走査型電子顕微鏡アッセンブリ。
【請求項１１】
前記通路は、管腔を有するチューブを備え、該管腔の断面は前記所定の圧力を維持するのに十分に小さく、該所定の圧力は、少なくとも１５分間に亘って、前記標本配置用体積領域内の液体サンプルの前記蒸気圧力を超え、前記エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きい、請求項１０に記載の走査型電子顕微鏡アッセンブリ。
【請求項１２】
前記チューブは、流体リザーバーと連通している、請求項１１に記載の走査型電子顕微鏡アッセンブリ。
【請求項１３】
前記覆われた標本配置用の体積領域から液体の供給及び除去を可能にする、液体流出入アッセンブリを更に備える、請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の走査型電子顕微鏡アッセンブリ。
【請求項１４】
前記液体流出入アッセンブリは、少なくとも２つのチューブを備える、請求項１３に記載の走査型電子顕微鏡アッセンブリ。
【請求項１５】
電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリであって、
流体リザーバーと、
前記流体リザーバーと連通する複数の剛性の標本エンクロージャ皿部であって、各々の標本エンクロージャ皿部は、アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、前記複数の標本エンクロージャ皿部と、
前記アパーチャのところで各エンクロージャ外部の体積領域から前記標本配置用体積領域の各々を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、
前記流体リザーバーと連通し、前記覆われた標本配置用の体積領域の各々を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、
を備え、
前記所定の圧力は、前記標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、前記流体リザーバーの外部の体積領域の圧力よりも大きく、前記カバーの各々に亘る圧力差は、該カバーの各々の破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている、標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項１６】
前記圧力コントローラは、通路を備える、請求項１５に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項１７】
前記通路は、管腔を有するチューブを備え、該管腔の断面は前記所定の圧力を維持するのに十分に小さく、該所定の圧力は、少なくとも１５分間に亘って、前記標本配置用体積領域内の液体サンプルの前記蒸気圧力を超え、前記複数のエンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きい、請求項１６に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項１８】
前記チューブは、前記流体リザーバーと連通している、請求項１７に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項１９】
前記覆われた標本配置用の体積領域から液体の供給及び除去を可能にする、液体流出入アッセンブリを更に備える、請求項１５乃至１８のいずれか１項に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【請求項２０】
前記液体流出入アッセンブリは、少なくとも２つのチューブを備える、請求項１９に記載の標本エンクロージャアッセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
出願人は、「湿った環境中の走査型電子顕微鏡のための低圧チャンバー」という標題で、２００２年６月５日に出願された、イスラエル特許出願シリアル番号１５００５６号の優先権を主張する。
【０００２】
本発明は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の検査システムのための標本エンクロージャに係り、より詳しくは、流体標本エンクロージャに関する。
【背景技術】
【０００３】
次の特許文献が、当該技術分野の現在の状態を表すと考えられる。
【特許文献１】米国特許番号４，０７１，７６６
【特許文献２】米国特許番号４，７３０，６３３
【特許文献３】米国特許番号５，２５０，８０８
【特許文献４】米国特許番号５，３２６，９７１
【特許文献５】米国特許番号５，３６２，９６４
【特許文献６】米国特許番号５，４１２，２１１
【特許文献７】米国特許番号４，７０５，９４９
【特許文献８】米国特許番号５，９４５，６７２
【特許文献９】米国特許番号６，３６５，８９８
【特許文献１０】米国特許番号６，１３０，４３４
【特許文献１１】米国特許番号６，０２５，５９２
【特許文献１２】米国特許番号５，１０３，１０２
【特許文献１３】米国特許番号４，５９６，９２８
【特許文献１４】米国特許番号４，８８０，９７６
【特許文献１５】米国特許番号４，９９２，６６２
【特許文献１６】米国特許番号４，７０２，６２２
【特許文献１７】米国特許番号５，４０６，０８７
【特許文献１８】米国特許番号３，２１８，４５９
【特許文献１９】米国特許番号３，３７８，６８４
【特許文献２０】米国特許番号４，０３７，１０９
【特許文献２１】米国特許番号４，４４８，３１１
【特許文献２２】米国特許番号４，１１５，６８９
【特許文献２３】米国特許番号４，５８７，６６６
【特許文献２４】米国特許番号５，３２３，４４１
【特許文献２５】米国特許番号５，８１１，８０３
【特許文献２６】米国特許番号６，４５２，１７７
【特許文献２７】米国特許番号５，８９８，２６１
【特許文献２８】米国特許番号４，６１８，９３８
【特許文献２９】米国特許番号６，０７２，１７８
【特許文献３０】米国特許番号４，９２９，１７８
【特許文献３１】米国特許番号６，１１４，６９５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、標本を含む流体の走査型電子顕微鏡による検査を可能にするための装置及びシステムを提供するためになされた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かくして、本発明の好ましい実施形態によれば、電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリが提供され、該アッセンブリは、アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部と、該アパーチャのところでエンクロージャ外部の体積領域から該標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、該覆われた標本配置用の体積領域と連通し、該覆われた標本配置用の体積領域を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、を備え、該所定の圧力は、標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きく、カバーに亘る圧力差は、該カバーの破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている。
【０００６】
本発明の別の好ましい実施形態によれば、圧力コントローラは、覆われた標本配置用の体積領域と連通する通路を備える。好ましくは、通路は、管腔を有するチューブを備え、該管腔の断面は蒸気圧力を維持するのに十分に小さく、該圧力は、少なくとも１５分間に亘って、標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きい。更には、当該チューブは、流体リザーバーと連通している。
【０００７】
本発明の更に別の好ましい実施形態によれば、標本エンクロージャアッセンブリは、覆われた標本配置用の体積領域から液体の供給及び除去を可能にする、液体流出入アッセンブリを更に備える。好ましくは、該液体流出入アッセンブリは、少なくとも２つのチューブを備える。
【０００８】
本発明の別の好ましい実施形態によれば、電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリが更に提供され、該アッセンブリは、アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部と、該アパーチャのところでエンクロージャ外部の体積領域から標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、該覆われた標本配置用の体積領域から液体の供給及び除去を可能にする、液体流出入アッセンブリと、を備える。
【０００９】
好ましくは、液体流出入アッセンブリは、少なくとも２つのチューブを備える。
本発明の更に別の好ましい実施形態によれば、走査型電子顕微鏡アッセンブリが提供され、該アッセンブリは、検査体積領域を画定する走査型電子顕微鏡と、該検査体積領域に配置された標本エンクロージャアッセンブリと、アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、剛性の標本エンクロージャ皿部と、該アパーチャのところでエンクロージャ外部の体積領域から該標本配置用体積領域を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、該覆われた標本配置用の体積領域と連通し、該覆われた標本配置用の体積領域を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、を備え、該所定の圧力は、該標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きく、カバーに亘る圧力差は、該カバーの破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている。
【００１０】
本発明の別の好ましい実施形態によれば、上記圧力コントローラは、覆われた標本配置用の体積領域と連通する通路を備える。好ましくは、当該通路は、管腔を有するチューブを備え、該管腔の断面は上記所定の圧力を維持するのに十分に小さく、該所定の圧力は、少なくとも１５分間に亘って、標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、エンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きい。加えて、該チューブは、流体リザーバーと連通している。
【００１１】
本発明の更に別の好ましい実施形態によれば、上記走査型電子顕微鏡アッセンブリは、覆われた標本配置用の体積領域から液体の供給及び除去を可能にする、液体流出入アッセンブリを更に備える。好ましくは、該液体流出入アッセンブリは、少なくとも２つのチューブを備える。
【００１２】
本発明のなお別の好ましい実施形態によれば、電子顕微鏡で使用するための標本エンクロージャアッセンブリが提供され、該アッセンブリは、流体リザーバーと、該流体リザーバーと連通する複数の剛性の標本エンクロージャ皿部であって、各々の標本エンクロージャ皿部は、アパーチャを有し、覆われた標本配置用の体積領域を画定する、上記複数の標本エンクロージャ皿部と、該アパーチャのところで各エンクロージャ外部の体積領域から標本配置用体積領域の各々を密封する、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバーと、該流体リザーバーと連通し、覆われた標本配置用の体積領域の各々を所定の圧力に維持するように作動する、圧力コントローラと、を備え、該所定の圧力は、標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、前記流体リザーバーの外部の体積領域の圧力よりも大きく、上記カバーの各々に亘る圧力差が該カバーの各々の破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている。
【００１３】
本発明の別の好ましい実施形態によれば、上記圧力コントローラは、通路を備える。好ましくは、害通路は、管腔を有するチューブを備え、該管腔の断面は上記圧力を維持するのに十分に小さく、該圧力は、少なくとも１５分間に亘って、標本配置用体積領域内の液体サンプルの蒸気圧力を超え、複数のエンクロージャの外部の体積領域の圧力よりも大きい。更に加えて、上記チューブは、上記流体リザーバーと連通している。更に加えて、又は、代替例として、標本エンクロージャアッセンブリは、覆われた標本配置用の体積領域から液体の供給及び除去を可能にする、液体流出入アッセンブリを更に備える。好ましくは、該液体流出入アッセンブリは、少なくとも２つのチューブを備える。
【００１４】
本発明は、添付図面と関連付けて、次の詳細な説明からより完全に理解され、認められるであろう。
【実施例】
【００１５】
ここで、図１を参照する。図１は、本発明の好ましい実施例に従って構成され、作動する標本エンクロージャアッセンブリ１００の略断面図である。図１に示されるように、標本エンクロージャアッセンブリ１００は、コンテナ１０４内に着座した標本エンクロージャ皿部１０２を備える。
【００１６】
標本エンクロージャ皿部１０２は、略中央アパーチャ１０８を有するリング１０６から形成されている。リング１０６は、スペインのバルセロナ市のイルペンＳ．Ａ．から市販されている、例えばカタログ番号６９２１０６００１０００号等、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）から形成されるのが好ましく、また約２０マイクロリットルの体積と、約２ｍｍの高さとを備えた標本配置エンクロージャを形成するのが好ましい。標本エンクロージャ皿部１０２は、容器１０４の頂部に形成された凹部１０９内に着座されている。
【００１７】
Ｏリング１１０は、リング１０６と、容器１０４の内側表面１１２との間に配置されるのが好ましい。
電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー１１４が、中央アパーチャ１０８を覆った状態で、標本エンクロージャ皿部１０２に配置されている。
【００１８】
電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー１１４は、アメリカ合衆国、ＵＴ、オレムのモックステック社から市販されている、カタログ番号ＬＷＮ０００２０等のポリイミド膜を含むのが好ましい。カバー１１４は、例えば、接着剤により、機械式支持格子１１６に接着される。該格子は、図面で縮尺比通りには図示されておらず、該格子としては、アメリカ合衆国、ＰＡ、ウエストチェスターのイーストゲイストリート５６９番のストラクチャープローブ社から市販されている、カタログ番号２００７Ｎ又はカタログ番号２００５Ｎ等が用いられる。好ましい接着剤は、アメリカ合衆国、ＮＪのグランベリーのノーランドプロダクツ社から市販されており、カタログ番号ＮＯＡ６１により同定される。電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー１１４は、好ましくは、アメリカ合衆国、ＮＪのグランベリーのノーランドプロダクツ社から市販されている、例えばカタログ番号ＮＯＡ６１の接着剤によりリング１０６に接着される。
【００１９】
頂部要素１１８は、容器１０４内の標本エンクロージャ皿部１０２を保持するように提供される。頂部要素１１８は、略中央アパーチャ１２２を有するリングとして形成され、例えば、ねじ（図示せず）等の任意の従来手段により容器１０４に取り付けられるのが好ましい。
【００２０】
典型的に液体媒体１２５中に細胞１２４を含む標本１２３は、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー１１４に接触した状態で、標本エンクロージャ皿部１０２内部に配置されている。液体を含む標本の例には、細胞培養菌、血液及びバクテリアが含まれている。なお、標本１２３中の液体１２５は、表面張力に起因して、標本エンクロージャ皿部１０２から流れ出さない。
【００２１】
容器１０４は、少なくとも１種類の流体を含む流体レザーバー１２６を形成する。流体は、例えば水又は標本液体等の液体１２８を含むのが好ましい。流体リザーバー１２６内の液体１２８は、例えば水蒸気等の蒸気を標本エンクロージャ皿部１０２に供給するため提供されており、該蒸気がアパーチャ１０８を介して標本エンクロージャ皿部１０２に流れ込むことを可能にすることにより、標本液体１２５の蒸発を防止するようにしている。
【００２２】
圧力コントローラアッセンブリ１３０は、顕微鏡検査の間、一般に、数分から数時間の範囲の継続時間、典型的には、少なくとも１５分間に亘って、標本エンクロージャ皿部１０２を所定の圧力に維持するように作動する。該所定の圧力は、標本１２３の蒸気圧を超え、標本エンクロージャアッセンブリ１００の外部の体積領域の圧力よりも大きく、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー１１４に亘る圧力差が、カバー１１４の破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている。
【００２３】
圧力コントローラアッセンブリ１３０は、例えば、フロリダ州、サラソタ、サラソタセンターブールバード１７５のワールドプロフィールリシジョンインストルメントから市販されている、カタログ番号ＭＦ３４Ｇ−５又はカタログ番号ＭＦ２８Ｇ−５等のチューブ１３２と、チューブハウジング１３４と、を備えるのが好ましい。
【００２４】
チューブ１３２は、流体リザーバー１２６内の液体１２８の表面の上方に容器１０４の壁に形成されたアパーチャ１３６内に挿入される。チューブ１３２は、流体がチューブ１３２を通ってのみ容器１０４から流れるように、容器壁に密封式に取り付けられている。標本エンクロージャアッセンブリ１００からの圧力の比較的ゆっくりとした散逸を提供するため、チューブ１３２が、好ましくは５０乃至１５０マイクロメートルの範囲の直径の十分小さい断面を備えた管腔を有するということが本発明の特別の特徴である。
【００２５】
ここで、本発明の別の好ましい実施例に従って構成され、作用する標本エンクロージャアッセンブリ２００の簡単な図である、図２を参照する。図２に示されるように、標本エンクロージャアッセンブリ２００は、容器２０４に着座した標本エンクロージャ皿部２０２を備える。
【００２６】
標本エンクロージャ皿部２０２は、略中央アパーチャ２０８を有するリング２０６から形成されるのが好ましい。リング２０６は、スペイン、バルセロナ市のイルペンＳ．Ａ．から市販されている、例えばカタログ番号６９２１０６００１０００等のＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）から形成されるのが好ましく、約２０マイクロリットルの体積で約２ｍｍの高さを備えた標本配置エンクロージャを画定するのが好ましい。標本エンクロージャ皿部２０２は、容器２０４の頂部に形成された凹部２０９に着座されている。
【００２７】
Oリング２１０が、リング２０６と、容器２０４の内側表面２１２との間に配置されるのが好ましい。
電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー２１４が、中央アパーチャ２０８を覆った状態で標本エンクロージャ皿部２０２に配置されている。
【００２８】
電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー２１４は、例えば、アメリカ合衆国、UT、オレムのモックステック社から市販されている、カタログ番号LWN０００２０等のポリイミド膜を備えるのが好ましい。カバー２１４は、接着剤により、縮尺比通りには図示されていない機械的支持格子２１６に接着されている。機械的支持格子２１６として、例えば、アメリカ合衆国、PA、ウェストチェスター、５６９イーストゲイストリートのストラクチャープローブから市販されている、カタログ番号２００７N又は２００５N等がある。好ましい接着剤は、アメリカ合衆国NJ、クランブリーのノーランドプロダクツ社から市販されており、カタログ番号NOA６１により同定される。電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー２１４は、好ましくは、アメリカ合衆国NJ、クランブリーのノーランドプロダクツ社から市販されている、カタログ番号NOA６１等の接着剤により、リング２０６に接着されている。頂部要素２１８は、容器２０４内の標本エンクロージャ皿部２０２を保持するため設けられている。頂部要素２１８は、略中央アパーチャ２２２を有するリングとして形成されるのが好ましく、ねじ（図示せず）等の任意の従来手段により、容器２０４に取り付けられている。
【００２９】
典型的に液体媒体２２５中に細胞２２４を含む標本２２３は、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー２１４に接触した状態で、標本エンクロージャ皿部２０２内部に配置されている。液体を含む標本の例は、細胞培養菌、血液及びバクテリアを含んでいてもよい。
【００３０】
容器２０４は、少なくとも１種類の流体を含んでいる。該流体は、例えば、水又は標本液体等の液体２２８を含むのが好ましい。液体２２８は、典型的には、図２に示されるように、容器２０４及び標本エンクロージャ皿部２０２を充填し、又は、図１に示されるリザーバー１２６に類似して、容器２０４の一部分を充填する。容器２０４内の液体２２８は、標本液体２２５の蒸発を防止するように、標本エンクロージャ皿部２０２を、例えば水蒸気等の蒸気で供給するため提供される。
【００３１】
流体リザーバー２３０は、標本エンクロージャアッセンブリ２００内に含まれる流体に加えて少なくとも１種類の流体を含んでいる。該流体は、水又は標本液体等の液体２３２を含むのが好ましい。好ましくは、流体リザーバー２３０は、標本エンクロージャアッセンブリ２００よりも大きい内部体積を有する。蓋部２３４は、流体リザーバー２３０を覆い、ねじ（図示せず）等の任意の従来手段により流体リザーバー２３０に取り付けられている。流体リザーバー２３０内の液体２３２は、容器液体２２８に加えて、水蒸気等の追加の蒸気を標本エンクロージャアッセンブリ２００に供給するため提供されており、該蒸気が流体通路を通して標本エンクロージャ皿部２０２内に流れ込むことを可能にすることにより、標本液体２２５の蒸発を更に防止するようにしている。
【００３２】
流体通路２４０は、参照番号２４４及び２４６により各々指し示される第１の端部及び第２の端部を有する導管２４２を備える。第１の端部２４４は、容器２０４の壁に形成されたアパーチャ２４８内に挿入され、第２の端部２４６は、流体リザーバー２３０の壁に形成されたアパーチャ２５０内に挿入される。
【００３３】
圧力コントローラアッセンブリ２６０は、顕微鏡検査の間に、一般的に数分から数時間の範囲の期間、典型的には少なくとも１５分間の期間に亘って、標本エンクロージャ皿部２０２を所定の圧力に維持するように作動する。該所定の圧力は、標本２２３の蒸気圧力を超え、標本エンクロージャアッセンブリ２００の外部の体積領域の圧力よりも大きく、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー２１４に亘る圧力差が、カバー２１４の破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている。加えて、流体リザーバー２３０内の流体は、顕微鏡検査の間、上述されたように、標本エンクロージャアッセンブリ２００内で圧力を更に維持するため提供される。
【００３４】
圧力コントローラアッセンブリ２６０は、例えば、フロリダ州、サラソタ、サラソタセンターブールバード１７５のワールドプロフィールリシジョンインストルメントから市販されている、カタログ番号ＭＦ３４Ｇ−５又はカタログ番号ＭＦ２８Ｇ−５等のチューブ２６２と、チューブハウジング２６４と、を備えるのが好ましい。
【００３５】
チューブ２６２は、流体リザーバー２３０内の液体２３２の表面の上方に該流体リザーバーの壁に形成されたアパーチャ２６６内に挿入される。チューブ２６２は、流体がチューブ２６２及び流体通路２４０を通ってのみ流体リザーバー２３０から流れるように、流体リザーバーの壁に密封式に取り付けられている。流体リザーバー２３０からの圧力の比較的ゆっくりとした散逸を提供するため、チューブ２６２が、好ましくは５０乃至１５０マイクロメートルの範囲の直径の十分小さい断面を備えた管腔を有するということが本発明の特別の特徴である。
【００３６】
ここで、本発明の更に別の好ましい実施例に従って構成され、作用する標本エンクロージャアッセンブリ３００の簡単な図である、図３を参照する。図３に示されるように、標本エンクロージャアッセンブリ３００は、容器３０４に着座した標本エンクロージャ皿部３０２を備える。
【００３７】
標本エンクロージャ皿部３０２は、略中央アパーチャ３０８を有するリング３０６から形成されるのが好ましい。リング３０６は、スペイン、バルセロナ市のイルペンＳ．Ａ．から市販されている、例えばカタログ番号６９２１０６００１０００等のＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）から形成されるのが好ましく、約２０マイクロリットルの体積で約２ｍｍの高さを備えた標本配置エンクロージャを画定するのが好ましい。標本エンクロージャ皿部３０２は、容器３０４の頂部に形成された凹部３０９に着座されている。
【００３８】
Oリング３１０が、リング３０６と、容器３０４の内側表面３１２との間に配置されるのが好ましい。
電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー３１４が、中央アパーチャ３０８を覆った状態で標本エンクロージャ皿部３０２に配置されている。
【００３９】
電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー３１４は、例えば、アメリカ合衆国、UT、オレムのモックステック社から市販されている、カタログ番号LWN０００２０等のポリイミド膜を備えるのが好ましい。カバー３１４は、接着剤により、縮尺比通りには図示されていない機械的支持格子３１６に接着されている。機械的支持格子３１６として、例えば、アメリカ合衆国、PA、ウェストチェスター、５６９イーストゲイストリートのストラクチャープローブから市販されている、カタログ番号２００７N又は２００５N等がある。好ましい接着剤は、アメリカ合衆国NJ、クランブリーのノーランドプロダクツ社から市販されており、カタログ番号NOA６１により同定される。電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー３１４は、好ましくは、アメリカ合衆国NJ、クランブリーのノーランドプロダクツ社から市販されている、カタログ番号NOA６１等の接着剤により、リング３０６に接着されている。頂部要素３１８は、容器３０４内の標本エンクロージャ皿部３０２を保持するため設けられている。頂部要素３１８は、略中央アパーチャ３２２を有するリングとして形成されるのが好ましく、ねじ（図示せず）等の任意の従来手段により、容器３０４に取り付けられている。
【００４０】
典型的に液体媒体３２５中に細胞３２４を含む標本３２３は、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー３１４に接触した状態で、標本エンクロージャ皿部３０２内部に配置されている。液体を含む標本の例は、細胞培養菌、血液及びバクテリアを含んでいてもよい。
【００４１】
容器３０４は、容器３０４及び標本エンクロージャ皿部３０２を充填する、例えば水又は標本液体等の液体３２８を含んでいる。
流体リザーバー３３０は、標本エンクロージャアッセンブリ３００内に含まれる流体に加えて少なくとも１種類の流体を含んでいる。該流体は、水又は標本液体等の液体３３２を含むのが好ましい。好ましくは、流体リザーバー３３０は、標本エンクロージャアッセンブリ３００よりも大きい内部体積を有する。蓋部３３４は、流体リザーバー３３０を覆い、ねじ（図示せず）等の任意の従来手段により流体リザーバー３３０に取り付けられている。流体リザーバー３３０内の液体３３２は、容器液体３２８に加えて、水蒸気等の追加の蒸気を標本エンクロージャアッセンブリ３００に供給するため提供されており、該蒸気が流体通路３４０を通して標本エンクロージャ皿部３０２内に蒸気が流れ込むことを可能にすることにより、標本液体３２５の蒸発を更に防止するようにしている。
【００４２】
流体通路３４０は、参照番号３４４及び３４６により各々指し示される第１の端部及び第２の端部を有する導管３４２を備える。第１の端部３４４は、容器３０４の壁に形成されたアパーチャ３４８内に挿入され、第２の端部３４６は、流体リザーバー３３０の壁に形成されたアパーチャ３５０内に挿入される。
【００４３】
圧力コントローラアッセンブリ３６０は、顕微鏡検査の間に、一般的に数分から数時間の範囲の期間、典型的には少なくとも１５分間の期間に亘って、標本エンクロージャ皿部３０２を、所定の圧力に維持するように作動する。該所定の圧力は、標本３２３の蒸気圧力を超え、標本エンクロージャアッセンブリ３００の外部の体積領域の圧力よりも大きく、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー３１４に亘る圧力差が、カバー３１４の破裂が発生する閾値レベルを超えないようにしている。加えて、流体リザーバー３３０内の流体は、顕微鏡検査の間、上述されたように、標本エンクロージャアッセンブリ３００内で圧力を更に維持するため提供される。
【００４４】
圧力コントローラアッセンブリ３６０は、例えば、フロリダ州、サラソタ、サラソタセンターブールバード１７５のワールドプロフィールリシジョンインストルメントから市販されている、カタログ番号ＭＦ３４Ｇ−５又はカタログ番号ＭＦ２８Ｇ−５等のチューブ３６２と、チューブハウジング３６４と、を備えるのが好ましい。
【００４５】
チューブ３６２は、流体リザーバー３３０内の液体３３２の表面の上方に該流体リザーバーの壁に形成されたアパーチャ３６６内に挿入される。チューブ３６２は、流体がチューブ３６２及び流体通路３４０を通ってのみ流体リザーバー３３０から流れるように、流体リザーバーの壁に密封式に取り付けられている。流体リザーバー３３０からの圧力の比較的ゆっくりとした散逸を提供するため、チューブ３６２が、好ましくは５０乃至１５０マイクロメートルの範囲の直径の十分小さい断面を備えた管腔を有するということが本発明の特別の特徴である。
【００４６】
標本エンクロージャアッセンブリ３００は、標本エンクロージャアッセンブリ３００から参照番号３７２により指し示されたＳＥＭエンクロージャ壁外部の環境にかけて液体の供給及び除去を可能にするように、液体流出入アッセンブリ３７０が、設けられているのが好ましい。液体流出入アッセンブリ３７０は、入口導管３７６と、標本エンクロージャアッセンブリ３００に取り付けられた出口導管３７６と、を備えるのが好ましい。
【００４７】
ここで、本発明の好ましい実施例に従って構成され、作用する多標本エンクロージャアッセンブリ４００の簡単な図である、図４を参照する。図４に示されるように、多標本エンクロージャアッセンブリは、個々の標本エンクロージャアッセンブリ４００が複数集まって構成されている。
【００４８】
各々の標本エンクロージャアッセンブリ４００は、容器１０４に着座した標本エンクロージャ皿部４０２を備えている。
標本エンクロージャ皿部４０２は、略中央アパーチャ４０８を有するリング４０６から形成されるのが好ましい。リング４０６は、スペイン、バルセロナ市のイルペンＳ．Ａ．から市販されている、例えばカタログ番号６９２１０６００１０００等のＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）から形成されるのが好ましく、約２０マイクロリットルの体積で約２ｍｍの高さを備えた標本配置エンクロージャを画定するのが好ましい。標本エンクロージャ皿部４０２は、容器４０４の頂部に形成された凹部４０９に着座されている。
【００４９】
Oリング４１０が、リング４０６と、容器４０４の内側表面４１２との間に配置されるのが好ましい。
電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー４１４が、中央アパーチャ４０８を覆った状態で標本エンクロージャ皿部４０２に配置されている。
【００５０】
電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー４１４は、例えば、アメリカ合衆国、UT、オレムのモックステック社から市販されている、カタログ番号LWN０００２０等のポリイミド膜を備えるのが好ましい。カバー４１４は、接着剤により、縮尺比通りには図示されていない機械的支持格子４１６に接着されている。機械的支持格子４１６として、例えば、アメリカ合衆国、PA、ウェストチェスター、５６９イーストゲイストリートのストラクチャープローブから市販されている、カタログ番号２００７N又は２００５N等がある。好ましい接着剤は、アメリカ合衆国NJ、クランブリーのノーランドプロダクツ社から市販されており、カタログ番号NOA６１により同定される。電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー４１４は、好ましくは、アメリカ合衆国NJ、クランブリーのノーランドプロダクツ社から市販されている、カタログ番号NOA６１等の接着剤により、リング４０６に接着されている。
【００５１】
頂部要素４１８は、容器４０４内の標本エンクロージャ皿部４０２を保持するため設けられている。頂部要素４１８は、略中央アパーチャ４２２を有するリングとして形成されるのが好ましく、ねじ（図示せず）等の任意の従来手段により、容器４０４に取り付けられている。
【００５２】
典型的に液体媒体４２５中に細胞４２４を含む標本４２３は、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー４１４に接触した状態で、標本エンクロージャ皿部４０２内部に配置されている。液体を含む標本の例は、細胞培養菌、血液及びバクテリアを含んでいてもよい。なお、標本４２３内の液体４２５は、表面張力に起因して、標本エンクロージャ皿部４０２からは流れ出ない。
【００５３】
図４に示されるように、多標本エンクロージャアッセンブリは、少なくとも１種類の流体を含む流体リザーバー４３０も備えている。流体リザーバー４３０内の液体４３２は、水蒸気等の蒸気を、各々の標本エンクロージャアッセンブリ４００に供給するため提供されており、該蒸気が容器４０４の底部表面に形成されたアパーチャ４３４を通って個々の標本エンクロージャへと流れ込むことを可能にすることにより、標本液体４２５の蒸発を防止するようにしている。
【００５４】
蓋部４４０は、標本エンクロージャアッセンブリの支持位置４４２の列を画定させる。各々の標本エンクロージャ支持位置４４２は、標本エンクロージャアッセンブリ４００を収容するように配列された凹部４４４により画定されるのが好ましい。標本エンクロージャアッセンブリ４００は、蓋部４４０からの流体の散逸を防止するように、例えば、ねじ（図示せず）等の任意の従来手段により、蓋部４４０に密封式に取り付けられる。
【００５５】
蓋部４４０は、流体リザーバー４３０を覆い、ねじ（図示せず）等の任意の従来手段により、流体リザーバー４３０に取り付けられる。
圧力コントローラアッセンブリ４６０は、顕微鏡検査の間に、一般的に数分から数時間の範囲の期間、典型的には少なくとも１５分間の期間に亘って、標本エンクロージャ皿部４０２の各々を、所定の圧力に維持するように作動する。該所定の圧力は、液体標本４２３の蒸気圧力を超え、標本エンクロージャアッセンブリ４００の外部の体積領域の圧力よりも大きく、電子ビーム透過性で流体不透過性のカバー４１４に亘る圧力差が、カバー４１４の破裂が発生する閾値レベルを超えないようになる。
【００５６】
圧力コントローラアッセンブリ４６０は、例えば、フロリダ州、サラソタ、サラソタセンターブールバード１７５のワールドプロフィールリシジョンインストルメントから市販されている、カタログ番号ＭＦ３４Ｇ−５又はカタログ番号ＭＦ２８Ｇ−５等のチューブ４６２と、チューブハウジング４６４と、を備えるのが好ましい。
【００５７】
チューブ４６２は、液体４３２の表面の上方に流体リザーバーの壁に形成されたアパーチャ４６６内に挿入される。チューブ４６２は、流体がチューブ４６２を通ってのみ流体リザーバー４３０から流れるように、流体リザーバーの壁に密封式に取り付けられている。標本エンクロージャアッセンブリ４００からの圧力の比較的ゆっくりとした散逸を提供するため、チューブ４６２が、好ましくは５０乃至１５０マイクロメートルの範囲の直径の十分小さい断面を備えた管腔を有するということが本発明の特別の特徴である。
【００５８】
ここで、図１の標本エンクロージャアッセンブリを備えるＳＥＭの簡略図及び断面図である、図５を参照する。図５に示されるように、参照番号５００により指し示された標本エンクロージャアッセンブリは、参照番号５０２により指し示された圧力コントローラアッセンブリと係合されている。標本エンクロージャアッセンブリ５００及び圧力コントローラアッセンブリ５０２は、ＳＥＭ５０６のステージ５０４に配置された状態で示されている。
【００５９】
ここで、図２の標本エンクロージャアッセンブリを備えるＳＥＭの簡略図及び断面図である、図６を参照する。図６に示されるように、参照番号６００により指し示された標本エンクロージャアッセンブリは、参照番号６０２により指し示された圧力コントローラアッセンブリと係合されている。参照番号６０８により指し示された圧力コントローラアッセンブリは、流体リザーバー６０２と係合されている。標本エンクロージャアッセンブリ６００及び圧力コントローラアッセンブリ６０２は、ＳＥＭ６１２のステージ６１０に配置された状態で示されている。
【００６０】
ここで、図３の標本エンクロージャアッセンブリを備えるＳＥＭの簡略図及び断面図である、図７を参照する。図７に示されるように、参照番号７００により指し示された標本エンクロージャアッセンブリは、流体通路７０４を介して、参照番号７０２により指し示された流体リザーバーと係合されている。参照番号７０８により指し示された圧力コントローラアッセンブリは、流体リザーバー７０２と係合されている。標本エンクロージャアッセンブリ７００及び流体リザーバー７０２は、ＳＥＭ７１２のステージ７１０に配置された状態で示されている。入口導管７２０及び出口導管７２２は、標本エンクロージャアッセンブリ７００に取り付けられている。
【００６１】
ここで、図４の多標本エンクロージャアッセンブリを備えるＳＥＭの簡略図及び断面図である、図８を参照する。図８に示されるように、参照番号８００により指し示された多標本エンクロージャアッセンブリは、ＳＥＭ８０４のステージ８０２上に配置された状態で示されている。参照番号８０８により指し示された圧力コントローラアッセンブリは、多標本エンクロージャアッセンブリ８００と係合されている。
【００６２】
本発明は、特定に示され、上述されたものに限定されないことは当業者により認められよう。本発明の範囲は、前記した明細書を読むとき当業者に想到され、従来技術には存在しないような、上述された様々な特徴の組み合わせ及びサブコンビネーションの両方、並びに、それらの変形及び変更を網羅している。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施例に従って構成され、作動する標本エンクロージャアッセンブリの簡略断面図である。
【図２】図２は、本発明の別の好ましい実施例に従って構成され、作動する、標本エンクロージャアッセンブリの簡略断面図である。
【図３】図３は、本発明の更に別の好ましい実施例に従って構成され、作動する、標本エンクロージャアッセンブリの簡略面図である。
【図４】図４は、本発明の好ましい実施例に従って構成され、作動する、多標本エンクロージャアッセンブリの簡略断面図である。
【図５】図５は、図１の標本エンクロージャアッセンブリを含む走査型電子顕微鏡の簡略化された立面図及び断面図である。
【図６】図６は、図２の標本エンクロージャアッセンブリを含む走査型電子顕微鏡の簡略化された立面図及び断面図である。
【図７】図７は、図３の標本エンクロージャアッセンブリを含む走査型電子顕微鏡の簡略化された立面図及び断面図である。
【図８】図８は、図４の標本エンクロージャアッセンブリを含む走査型電子顕微鏡の簡略化された立面図及び断面図である。
【図１】
2005529340.tif 000003
【図２】
2005529340.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005529340.tif 000009
【図８】
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【国際調査報告】
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