(57)【要約】【課題】動作速度を制限可能な流体圧シリンダを提供する。【解決手段】油圧シリンダ１００は、アウターチューブ１０と、インナーチューブ２０と、ピストンロッド３０と、ピストン４０と、反ロッド側通路５４ａと、ロッド側通路５４ｂと、を備え、反ロッド側通路５４ａ及びロッド側通路５４ｂは、アウターチューブ１０とインナーチューブ２０とにより形成され、インナーチューブ２０は、作動油が反ロッド側通路５４ａを通じて反ロッド側室５１ａに供給されるときには、反ロッド側通路５４ａ内の圧力を受けてアウターチューブ１０に対して移動しロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れを絞る。【選択図】図１
2018151032.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体圧シリンダであって、
作動流体が充填されるアウターチューブと、
前記アウターチューブ内に収容されるインナーチューブと、
前記インナーチューブに移動自在に挿入され、前記インナーチューブ及び前記アウターチューブから延出するピストンロッドと、
前記ピストンロッドに設けられ、前記インナーチューブの内部を第１流体室と第２流体室とに区画するピストンと、
前記第１流体室に連通し、前記第１流体室を拡大する第１方向に前記ピストンを移動させる際にポンプからの作動流体を前記第１流体室に導く第１通路と、
前記第２流体室に連通し、前記第２流体室を拡大する第２方向に前記ピストンを移動させる際に前記ポンプからの作動流体を前記第２流体室に導くとともに前記ピストンが前記第１方向に移動する際に前記第２流体室内の作動流体を排出する第２通路と、を備え、
前記第１通路及び前記第２通路は、前記アウターチューブと前記インナーチューブとにより形成され、
前記インナーチューブは、前記アウターチューブに摺動自在に支持され、作動流体が前記第１通路を通じて前記第１流体室に供給されるときには、前記第１通路内の圧力を受けて前記アウターチューブに対して移動し前記第２通路を通じて前記第２流体室から排出される作動流体の流れを絞ることを特徴とする
流体圧シリンダ。
【請求項２】
請求項１に記載の流体圧シリンダであって、
前記アウターチューブは、前記第１通路内の圧力による前記インナーチューブの移動を前記インナーチューブに接触することにより制限する制限部を有し、
前記第２通路には、前記インナーチューブの移動が前記制限部により制限された状態で、作動流体の流れを絞る固定絞りが形成されることを特徴とする
流体圧シリンダ。
【請求項３】
請求項２に記載の流体圧シリンダであって、
前記固定絞りは、前記インナーチューブの外周と内周との間を貫通する孔であることを特徴とする
流体圧シリンダ。
【請求項４】
請求項２に記載の流体圧シリンダであって、
前記インナーチューブは、前記制限部に対向する端面と、前記端面に形成された切欠と、を有し、
前記固定絞りは、前記切欠と前記制限部とにより形成されることを特徴とする
流体圧シリンダ。
【請求項５】
請求項２に記載の流体圧シリンダであって、
前記制限部には溝が形成され、
前記固定絞りは、前記溝と前記インナーチューブとにより形成されることを特徴とする
流体圧シリンダ。
【請求項６】
流体圧駆動ユニットであって、
請求項１から５のいずれか１項に記載の流体圧シリンダと、
前記第１通路及び前記第２通路を通じて前記第１流体室及び前記第２流体室にそれぞれ連通する第３通路及び第４通路と、
前記第３通路及び前記第４通路に接続され、電動モータの駆動に応じて作動流体を前記第１流体室又は前記第２流体室に選択的に供給する前記ポンプと、
前記第４通路に設けられ、前記ポンプから前記第２流体室へ向かう作動流体の流れを許容する一方、前記第２流体室から前記ポンプへ向かう作動流体の流れを前記第３通路内の圧力の上昇に応じて許容する制御弁と、を備えることを特徴とする
流体圧駆動ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体圧シリンダ及び流体圧シリンダを備える流体圧駆動ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ボトム側油室とロッド側油室とを備える油圧シリンダが開示されている。例えばボトム側油室にポンプにより作動油が供給されると、油圧シリンダは伸び方向へ駆動される。このとき、ロッド側油室内の作動油はポンプの吸込側に流出する。ロッド側油室に接続される管路には、スローリターン弁が設けられる。スローリターン弁によって、ロッド側室から流出する作動油の流れが絞られ、油圧シリンダの伸び方向への動作速度が制限される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１０５２２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示される油圧シリンダでは、動作速度を制限するためには、油圧シリンダの外部にスローリターン弁といった絞り弁を設けなければならない。そのため、この油圧シリンダを用いて流体圧駆動ユニットを組み立てる場合には、絞り弁を流体圧駆動ユニットに組み込む必要があり、流体圧駆動ユニットの部品点数が増加するとともに、流体圧駆動ユニットの組立工数が増える。このような理由から、外部に絞り弁を設けることなく流体圧シリンダの動作速度を制限することが求められている。
【０００５】
本発明は、動作速度を制限可能な流体圧シリンダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明は、アウターチューブと、インナーチューブと、ピストンロッドと、ピストンと、第１流体室及び第２流体室にそれぞれ連通する第１通路及び第２通路と、を備え、第１通路及び第２通路は、アウターチューブとインナーチューブとにより形成され、インナーチューブは、アウターチューブに摺動自在に支持され、作動流体が第１通路を通じて第１流体室に供給されるときには、第１通路内の圧力を受けてアウターチューブに対して移動し第２通路を通じて第２流体室から排出される作動流体の流れを絞ることを特徴とする。
【０００７】
第１の発明では、ポンプからの作動流体が第１流体室に導かれるときには、インナーチューブが第１通路の圧力を受けてアウターチューブに対して移動し、第２通路を通じて第２流体室から排出される作動流体の流れが絞られる。そのため、第２流体室から排出される作動流体の流量は、第２通路により制限される。したがって、第１流体室への作動流体の供給により移動するピストンの速度を制限することができる。
【０００８】
第２の発明は、アウターチューブが、第１通路内の圧力によるインナーチューブの移動をインナーチューブに接触することにより制限する制限部を有し、第２通路には、インナーチューブの移動が制限部により制限された状態で、作動流体の流れを絞る固定絞りが形成されることを特徴とする。
【０００９】
第２の発明では、インナーチューブの移動が制限部により制限された状態で、作動流体の流れを絞る固定絞りが第２通路に形成される。そのため、第２通路における作動流体の流れは、固定絞りの流路面積に応じて最も絞られる。したがって、固定絞りの形状により第２通路の最大の絞り量を設定することができ、第２通路の絞り量の精度が向上する。
【００１０】
第３の発明は、固定絞りが、インナーチューブの外周と内周との間を貫通する孔であることを特徴とする。
【００１１】
第３の発明では、固定絞りは、インナーチューブの外周と内周とを貫通する孔である。インナーチューブへ孔を形成する際には、インナーチューブの外側から加工を施せばよく、インナーチューブへの孔の形成は容易である。したがって、固定絞りを容易に形成することができ、流体圧シリンダを容易に製造することができる。
【００１２】
第４の発明は、インナーチューブが、制限部に対向する端面と、端面に形成された切欠と、を有し、固定絞りは、切欠と制限部とにより形成されることを特徴とする。
【００１３】
第４の発明では、固定絞りは、切欠と制限部とにより形成される。そのため、インナーチューブの移動が制限部により制限されている状態においても、切欠内に作動流体が流入し、切欠の底面（インナーチューブの端面）は、制限部から離れる方向に作動流体の圧力を受ける。したがって、ポンプからの作動流体を固定絞りを通じて第２流体室に導くことにより、インナーチューブを制限部から容易に離すことができ、第２通路における絞りを容易に解除することができる。また、インナーチューブの端面への切欠の形成は容易である。したがって、固定絞りを容易に形成することができ、流体圧シリンダを容易に製造することができる。
【００１４】
第５の発明は、制限部には溝が形成され、固定絞りが溝とインナーチューブとにより形成されることを特徴とする。
【００１５】
第５の発明では、固定絞りが溝とインナーチューブとにより形成される。そのため、インナーチューブの移動が制限部により制限されている状態においても、溝内に作動流体が流入し、インナーチューブは、制限部から離れる方向に作動流体の圧力を受ける。したがって、ポンプからの作動流体を固定絞りを通じて第２流体室に導くことにより、インナーチューブを制限部から離す方向に容易に移動させることができ、第２通路における絞りを容易に解除することができる。
【００１６】
第６の発明は、前述の流体圧シリンダと、第１通路及び第２通路を通じて第１流体室及び第２流体室にそれぞれ連通する第３通路及び第４通路と、第３通路及び第４通路に接続されるポンプと、第４通路に設けられ、ポンプから第２流体室へ向かう作動流体の流れを許容する一方、第２流体室からポンプへ向かう作動流体の流れを第３通路内の圧力の上昇に応じて許容する制御弁と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
第６の発明では、流体圧駆動ユニットが前述の流体圧シリンダを備える。ポンプからの作動流体が第１流体室に導かれるときには、第２通路を通じて第２流体室から排出される作動流体の流れが絞られ、第２流体室から排出される作動流体の流量は、第２通路により制限される。したがって、絞り弁を第４通路に設けることなく、制御弁に起因する流体圧駆動ユニットのハンチング現象を防止することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、流体圧シリンダの動作速度を制限することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る流体圧シリンダの部分断面図である。
【図２】図２は、図１に示すＩＩ部の拡大断面図である。
【図３】図３は、インナーチューブの一方の端面がボトム部に接触している状態の拡大断面図であり、図２に対応して示す。
【図４】図４は、図１に示すＩＶ部の拡大断面図である。
【図５】図５は、図４に示すＶ−Ｖ線に沿う断面図である。
【図６】図６は、インナーチューブの他方の端面がヘッド部材に接触している状態の拡大断面図であり、図４に対応して示す。
【図７】図７は、本発明の実施形態の変形例に係る流体圧シリンダの拡大断面図であり、図３に対応して示す。
【図８】図８は、本発明の実施形態の別の変形例に係る流体圧シリンダの拡大断面図であり、図３に対応して示す。
【図９】図９は、本発明の実施形態に係る流体圧駆動ユニットの模式図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施形態の変形例に係る流体圧駆動ユニットの回路図である。
【図１１】図１１は、比較例に係る流体圧駆動ユニットの回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係る油圧シリンダ（流体圧シリンダ）１００，２００，３００及び油圧シリンダ１００を備える油圧駆動ユニット（流体圧駆動ユニット）１０００，２０００について説明する。
【００２１】
まず、油圧シリンダ１００について、図１から図６を参照して説明する。図１に示すように、油圧シリンダ１００は、アウターチューブ１０と、アウターチューブ１０内に収容されるインナーチューブ２０と、インナーチューブ２０に挿入されるピストンロッド３０と、ピストンロッド３０に設けられるピストン４０と、を備える。
【００２２】
アウターチューブ１０は、インナーチューブ２０の一部を収容する第１アウター部材１１と、インナーチューブ２０の他の部分を収容する第２アウター部材１２と、を有する。第１アウター部材１１は一方の端部が閉塞され他方の端部が開口する有底筒状に形成され、第１アウター部材１１の開口端から第２アウター部材１２が延出する。
【００２３】
第２アウター部材１２は、両端が開口する筒状に形成される。第２アウター部材１２の一方の開口端は第１アウター部材１１内に位置し、第２アウター部材１２の内部空間は第１アウター部材１１の内部空間と連続する。つまり、第１アウター部材１１と第２アウター部材１２とにより収容空間が画定される。第１アウター部材１１と第２アウター部材１２とは、螺合により固定される。
【００２４】
インナーチューブ２０は、両端が開口する筒状に形成される。インナーチューブ２０の一方の端部２１ａは第１アウター部材１１内に位置し、他方の端部２１ｂは、第２アウター部材１２内に位置する。
【００２５】
ピストンロッド３０は、インナーチューブ２０の中心軸に沿って延び、インナーチューブ２０の端部２１ｂから突出する。第２アウター部材１２の他方の開口端には、ピストンロッド３０を摺動自在に支持する環状のヘッド部材１３が設けられる。ピストンロッド３０は、ヘッド部材１３を挿通し、アウターチューブ１０から延出する。第２アウター部材１２の他方の開口端とピストンロッド３０との隙間は、ヘッド部材１３によって閉塞される。
【００２６】
ピストンロッド３０は、その先端部にアウターチューブ１０内に位置する小径部３１を有し、小径部３１にピストン４０がナット４１を用いて取り付けられる。ピストン４０はインナーチューブ２０内に摺動自在に収容され、インナーチューブ２０の内部を反ロッド側室（流体室）５１ａとロッド側室（流体室）５１ｂとに区画する。ピストンロッド３０は、ロッド側室５１ｂを通ってインナーチューブ２０及びアウターチューブ１０から延出する。
【００２７】
以下において、ピストンロッド３０に沿う方向を「軸方向」と称し、ピストンロッド３０を中心とする放射方向を「径方向」と称し、ピストンロッド３０の周りに沿う方向を「周方向」と称する。
【００２８】
第１アウター部材１１は、反ロッド側室５１ａに連通するポート１４ａと、ロッド側室５１ｂに連通するポート１４ｂと、を有する。ポート１４ａ又はポート１４ｂに作動油が導かれることにより、アウターチューブ１０内に作動油が充填される。
【００２９】
油圧シリンダ１００では、ポート１４ａ及びポート１４ｂは、切換弁３を通じてポンプ１又はタンク２に選択的に接続される。切換弁３によりポート１４ａがポンプ１の吐出ポート１ａに接続されると、ポート１４ｂはタンク２に接続される。切換弁３によりポート１４ｂがポンプ１の吐出ポート１ａに接続されると、ポート１４ａはタンク２に接続される。
【００３０】
ポンプ１からの作動油がポート１４ａを通じて反ロッド側室５１ａに供給されると、ピストン４０は、反ロッド側室５１ａを拡大する方向に移動する。ピストン４０の移動により、ピストンロッド３０はアウターチューブ１０から退出し、油圧シリンダ１００は伸長する。このとき、ロッド側室５１ｂは縮小し、ロッド側室５１ｂ内の作動油はポート１４ｂから排出されてタンク２に導かれる。
【００３１】
ポンプ１からの作動油がポート１４ｂを通じてロッド側室５１ｂに供給されると、ピストン４０は、ロッド側室５１ｂを拡大する方向に移動する。ピストン４０の移動により、ピストンロッド３０はアウターチューブ１０内に進入し、油圧シリンダ１００は収縮する。このとき、反ロッド側室５１ａは縮小し、反ロッド側室５１ａ内の作動油はポート１４ａから排出されてタンク２に導かれる。
【００３２】
このように、油圧シリンダ１００は、反ロッド側室５１ａ又はロッド側室５１ｂに選択的に作動油を供給することにより動作する。そして、油圧シリンダ１００は、動作時には、反ロッド側室５１ａ又はロッド側室５１ｂ内の作動油をアウターチューブ１０の外部に排出する。
【００３３】
反ロッド側室５１ａとポート１４ａとの連通、及びロッド側室５１ｂとポート１４ｂとの連通について、詳述する。
【００３４】
図１に示すように、第１アウター部材１１は、インナーチューブ２０の外周面を取り囲む第１筒部１１ａと、第１筒部１１ａの一方の端部を閉塞するボトム部１１ｂと、を有する。第１筒部１１ａの内周面はインナーチューブ２０の外周面と間隔を空けて対向し、第１筒部１１ａの内周面とインナーチューブ２０との外周面とによって環状通路５２ａが形成される。
【００３５】
また、第１アウター部材１１は、第１筒部１１ａの内周面から突出する環状突部１１ｃを有する。環状突部１１ｃはボトム部１１ｂから離れており、環状突部１１ｃとボトム部１１ｂとの間に環状通路５２ａが形成される。ポート１４ａは、環状突部１１ｃとボトム部１１ｂとの間における第１筒部１１ａの内周面に開口し、環状通路５２ａに連通する。
【００３６】
環状突部１１ｃの内径はインナーチューブ２０の外径と略等しく、インナーチューブ２０は環状突部１１ｃによって摺動自在に支持される。つまり、インナーチューブ２０は、第１アウター部材１１に軸方向に摺動自在に支持される。以下において、インナーチューブ２０が摺動する方向を「摺動方向」と称する。油圧シリンダ１００では、摺動方向は軸方向に略一致する。
【００３７】
図２に示すように、第１アウター部材１１のボトム部１１ｂは、インナーチューブ２０の一方の端面２２ａと摺動方向に対向する。そのため、インナーチューブ２０がボトム部１１ｂに近づくように移動したときには、ボトム部１１ｂは、インナーチューブ２０の端面２２ａに接触し、インナーチューブ２０の移動を制限する。このように、ボトム部１１ｂには、インナーチューブ２０の移動を制限する制限部１５ａが形成される。
【００３８】
インナーチューブ２０の端部２１ａが開口しているので、インナーチューブ２０の端面２２ａが制限部１５ａに接触していない状態では、反ロッド側室５１ａは、端面２２ａと制限部１５ａとの隙間を通じて環状通路５２ａと連通する。つまり、インナーチューブ２０の端面２２ａと第１アウター部材１１の制限部１５ａとにより放射状通路５３ａが形成され、反ロッド側室５１ａと環状通路５２ａとは、放射状通路５３ａを通じて互いに連通する。
【００３９】
ポート１４ａ（図１参照）が環状通路５２ａと連通するので、反ロッド側室５１ａとポート１４ａとは、環状通路５２ａ及び放射状通路５３ａを通じて互いに連通する。以下において、環状通路５２ａと放射状通路５３ａとを併せて「反ロッド側通路（通路）５４ａ」とも称する。
【００４０】
インナーチューブ２０が第１アウター部材１１に摺動自在に支持されるので、放射状通路５３ａの流路面積は、第１アウター部材１１に対するインナーチューブ２０の相対移動に応じて変化する。放射状通路５３ａの流路面積の変化に伴って、放射状通路５３ａにおける流路抵抗の大きさが変化する。ここで、「流路面積」とは、作動油の流れ方向に対して直交する切断面における通路の面積を意味する。
【００４１】
具体的には、インナーチューブ２０の端面２２ａが制限部１５ａから離れるほど、放射状通路５３ａの流路面積は大きくなり、放射状通路５３ａにおける流路抵抗は小さくなる。インナーチューブ２０の端面２２ａが制限部１５ａに近づくほど、放射状通路５３ａの流路面積は小さくなり、放射状通路５３ａにおける流路抵抗は大きくなる。
【００４２】
このように、インナーチューブ２０は、アウターチューブ１０に対して移動することにより、放射状通路５３ａにおける流路抵抗を増大させ、反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れを絞る。
【００４３】
制限部１５ａは平面状に形成される一方で、インナーチューブ２０の端面２２ａには切欠２３ａが形成される。切欠２３ａは、インナーチューブ２０の外周と内周との間を貫通する。そのため、図３に示すようにインナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されている状態では、反ロッド側室５１ａと環状通路５２ａとは、切欠２３ａを通じて互いに連通する。
【００４４】
換言すれば、放射状通路５３ａは、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されていない状態では、切欠２３ａを含む端面２２ａの全周と制限部１５ａとにより形成される（図２参照）。インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されている状態では、放射状通路５３ａは、切欠２３ａと制限部１５ａとにより形成される（図３参照）。
【００４５】
そして、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されている状態では、インナーチューブ２０はアウターチューブ１０に対して移動しない。そのため、放射状通路５３ａの流路面積は変化せず、流路面積が一定となる固定絞り５５ａとして機能する。その結果、反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れは、固定絞り５５ａによって絞られる。
【００４６】
このように、反ロッド側通路５４ａには、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限された状態で、作動油の流れを絞る固定絞り５５ａが切欠２３ａと制限部１５ａとによって形成される。固定絞り５５ａの流路面積は、放射状通路５３ａの最小の流路面積であり、切欠２３ａの大きさに相当する。
【００４７】
再び図１を参照する。第２アウター部材１２は、第１アウター部材１１の第１筒部１１ａよりもボトム部１１ｂとは反対側に設けられる第２筒部１１ｄに支持される。第２筒部１１ｄの内径は第１筒部１１ａの内径よりも大きく、第２筒部１１ｄ内に第２アウター部材１２が挿入される。
【００４８】
第２アウター部材１２の内径は第１アウター部材１１の第１筒部１１ａの内径と略等しく、第２アウター部材１２の内周面は、第１筒部１１ａの内周面から連続する。第１アウター部材１１の第１筒部１１ａと同様に、第２アウター部材１２の内周面はインナーチューブ２０の外周面と間隔を空けて対向し、第２アウター部材１２の内周面とインナーチューブ２０の外周面とによって環状通路５２ｂが形成される。
【００４９】
ポート１４ｂは、環状突部１１ｃと第２筒部１１ｄとの間における第１筒部１１ａの内周面に開口し、環状通路５２ｂに連通する。第１アウター部材１１の環状突部１１ｃの先端にはＯリング１１ｅが設けられる。Ｏリング１１ｅによって、環状通路５２ａと環状通路５２ｂとが互いに隔てられる。
【００５０】
図４に示すように、ヘッド部材１３は、インナーチューブ２０の端面２２ｂと摺動方向に対向する。そのため、インナーチューブ２０の端面２２ｂがヘッド部材１３に近づくように移動したときには、ヘッド部材１３は、インナーチューブ２０の端面２２ｂに接触し、インナーチューブ２０の移動を制限する。このように、ヘッド部材１３には、インナーチューブ２０の移動を制限する制限部１５ｂが形成される。
【００５１】
ヘッド部材１３は、第２アウター部材１２の内周に設けられる本体部１３ａと、本体部１３ａからインナーチューブ２０に向って突出する突部１３ｂと、を有する。突部１３ｂは、インナーチューブ２０の端部２１ｂからインナーチューブ２０内に挿入される。
【００５２】
図５に示すように、突部１３ｂの外形は、略三角形に形成される。具体的には、突部１３ｂの外周面は、周方向に互いに離れて形成される３つの曲面部１３ｃと、隣り合う曲面部１３ｃどうしを接続する３つの平面部１３ｄと、を有する。
【００５３】
曲面部１３ｃの曲率半径はインナーチューブ２０の内周面の半径と略等しく、曲面部１３ｃの曲率中心はインナーチューブ２０の中心と略一致する。そのため、インナーチューブ２０は、突部１３ｂにより摺動自在に支持される。つまり、インナーチューブ２０は、ヘッド部材１３に軸方向に摺動自在に支持される。
【００５４】
ヘッド部材１３の平面部１３ｄとインナーチューブ２０の内周面との間には隙間が形成される。そのため、ヘッド部材１３の突部１３ｂは、インナーチューブ２０の内周面とピストンロッド３０の外周面との間を閉塞することなくインナーチューブ２０を支持する。
【００５５】
図１に示すように、油圧シリンダ１００では、環状突部１１ｃが軸方向におけるインナーチューブ２０の略中央部２１ｃを支持し、突部１３ｂがインナーチューブ２０の端部２１ｂを支持する。そのため、径方向におけるインナーチューブ２０の中央部２１ｃ及び端部２１ｂの位置が定められる。したがって、インナーチューブ２０がアウターチューブ１０に対して傾斜するのを軽減することができる。
【００５６】
図４に示すように、ヘッド部材１３の突部１３ｂはインナーチューブ２０の端部２１ｂを閉塞しない。そのため、インナーチューブ２０の端面２２ｂが制限部１５ｂに接触していない状態では、ロッド側室５１ｂは、インナーチューブ２０の端面２２ｂと制限部１５ｂとの隙間を通じて、環状通路５２ｂと連通する。つまり、ロッド側室５１ｂと環状通路５２ｂとは、インナーチューブ２０の端面２２ｂとヘッド部材１３の制限部１５ｂとにより形成される放射状通路５３ｂを通じて互いに連通する。
【００５７】
ポート１４ｂ（図１参照）が環状通路５２ｂと連通するので、ロッド側室５１ｂとポート１４ｂは、環状通路５２ｂ及び放射状通路５３ｂを通じて互いに連通する。以下において、環状通路５２ｂと放射状通路５３ｂとを併せて「ロッド側通路（通路）５４ｂ」とも称する。
【００５８】
インナーチューブ２０がヘッド部材１３に摺動自在に支持されるので、放射状通路５３ｂの流路面積は、ヘッド部材１３に対するインナーチューブ２０の相対移動に応じて変化する。放射状通路５３ｂの流路面積の変化に伴って、放射状通路５３ｂにおける流路抵抗の大きさが変化する。
【００５９】
具体的には、インナーチューブ２０の端面２２ｂが制限部１５ｂに近づくほど、放射状通路５３ｂの流路面積は小さくなり、放射状通路５３ｂにおける流路抵抗は大きくなる。インナーチューブ２０の端面２２ｂが制限部１５ｂから離れるほど、放射状通路５３ｂは大きくなり、放射状通路５３ｂにおける流路抵抗が小さくなる。
【００６０】
このように、インナーチューブ２０は、アウターチューブ１０に対して移動することにより、放射状通路５３ｂにおける流路抵抗を増大させ、ロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れを絞る。
【００６１】
制限部１５ｂは平面状に形成される一方で、インナーチューブ２０の端面２２ｂには切欠２３ｂが形成される。切欠２３ｂは、インナーチューブ２０の外周と内周との間を貫通する。そのため、図６に示すように、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限されている状態では、ロッド側室５１ｂと環状通路５２ｂとは、切欠２３ｂを通じて互いに連通する。
【００６２】
換言すれば、放射状通路５３ｂは、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限されていない状態では、切欠２３ｂを含む端面２２ｂの全周と制限部１５ｂとにより形成される（図４参照）。インナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限されている状態では、放射状通路５３ｂは、切欠２３ｂと制限部１５ｂとにより形成される（図６参照）。
【００６３】
そして、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限されている状態では、インナーチューブ２０はアウターチューブ１０に対して移動しない。そのため、放射状通路５３ｂの流路面積は変化せず、流路面積が一定となる固定絞り５５ｂとして機能する。その結果、ロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れは、固定絞り５５ｂによって絞られる。
【００６４】
このように、ロッド側通路５４ｂには、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限された状態で、作動油の流れを絞る固定絞り５５ｂが切欠２３ｂと制限部１５ｂとによって形成される。固定絞り５５ｂの流路面積は、放射状通路５３ｂの最小の流路面積であり、切欠２３ｂの大きさに相当する。
【００６５】
図２及び図４に示すように、インナーチューブ２０の端面２２ａ及び端面２２ｂは、それぞれ、放射状通路５３ａ及び放射状通路５３ｂに臨み、摺動方向に制限部１５ａ及び制限部１５ｂに対向する。そのため、インナーチューブ２０は、放射状通路５３ａと放射状通路５３ｂとの圧力差に起因する力を摺動方向に受ける。
【００６６】
また、ピストン４０はインナーチューブ２０の内周面に対して摺動する。そのため、ピストン４０がインナーチューブ２０に対して移動するときには、ピストン４０の外周面とインナーチューブ２０の内周面との間に摩擦力が生じ、インナーチューブ２０は、ピストン４０の移動方向に力を受ける。
【００６７】
このように、インナーチューブ２０は、放射状通路５３ａ及び放射状通路５３ｂ内の圧力差に起因する力、並びにピストン４０の移動に起因する摩擦力を摺動方向に受ける。そして、インナーチューブ２０は、これらの力に応じて、アウターチューブ１０に対して移動する。
【００６８】
インナーチューブ２０の移動について、図１から図４及び図６を参照して具体的に説明する。
【００６９】
まず、伸長動作時におけるインナーチューブ２０の移動について説明する。
【００７０】
油圧シリンダ１００の伸長動作時には、反ロッド側室５１ａが反ロッド側通路５４ａ、ポート１４ａ及び切換弁３を通じてポンプ１の吐出ポート１ａに接続され、反ロッド側室５１ａに作動油が供給される。このとき、ロッド側室５１ｂは、ロッド側通路５４ｂ、ポート１４ｂ及び切換弁３を通じてタンク２に接続される。
【００７１】
反ロッド側通路５４ａがポンプ１の吐出ポート１ａに接続されロッド側通路５４ｂがタンク２に接続されるので、反ロッド側通路５４ａの放射状通路５３ａ内の圧力はロッド側通路５４ｂの放射状通路５３ｂ内の圧力よりも高くなる。したがって、放射状通路５３ａ及び放射状通路５３ｂ内の圧力差に起因する力は、ボトム部１１ｂからヘッド部材１３へ向う方向にインナーチューブ２０に作用する。
【００７２】
またこのとき、反ロッド側室５１ａに作動油が供給されるので、ピストン４０は反ロッド側室５１ａを拡大する方向に移動する。そのため、ピストン４０の外周面とインナーチューブ２０の内周面との間に生じる摩擦力は、ボトム部１１ｂからヘッド部材１３へ向う方向にインナーチューブ２０に作用する。
【００７３】
つまり、インナーチューブ２０は、放射状通路５３ａ及び放射状通路５３ｂ内の圧力差に応じた力と、ピストン４０の移動に起因する摩擦力と、の両方を、ボトム部１１ｂからヘッド部材１３へ向う方向に受ける。そのため、インナーチューブ２０は、端面２２ｂがヘッド部材１３の制限部１５ｂに近づくように移動し、ロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れを絞る（図６参照）。
【００７４】
このように、作動油が反ロッド側通路５４ａを通じて反ロッド側室５１ａに供給されるときには、インナーチューブ２０によって、ロッド側通路５４ｂを通じてロッド側室５１ｂから排出される作動油の流れが絞られる。そのため、ロッド側室５１ｂから排出される作動油の流量が制限される。
【００７５】
ピストン４０の移動速度はロッド側室５１ｂから排出される作動油の流量に依存する。そのため、ロッド側通路５４ｂを通じてロッド側室５１ｂから排出される作動油の流量の制限によって、ピストン４０の移動速度が制限される。したがって、油圧シリンダ１００のポート１４ｂと切換弁３とを接続する通路４ｂにスローリターン弁といった絞り弁を設けることなく、油圧シリンダ１００の伸長速度を制限することができる。
【００７６】
また、インナーチューブ２０がロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れを絞っている状態では、インナーチューブ２０の端面２２ａはボトム部１１ｂの制限部１５ａから離れている。そのため、反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れは絞られない。したがって、反ロッド側通路５４ａにおける圧力損失は小さく、ポンプ１の負荷を軽減することができる。
【００７７】
ロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れは、インナーチューブ２０の端面２２ｂが制限部１５ｂに接触しインナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限された状態で、最も絞られる。また、この状態では、ロッド側通路５４ｂに固定絞り５５ｂが形成される。そのため、ロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れは、固定絞り５５ｂの流路面積に応じて最も絞られる。したがって、固定絞り５５ｂの形状によりロッド側通路５４ｂの最大の絞り量を設定することができ、ロッド側通路５４ｂの絞り量の精度が向上する。
【００７８】
また、固定絞り５５ｂは、インナーチューブ２０の外周と内周との間を貫通する切欠２３ｂにより形成される。インナーチューブ２０の端面に切欠２３ｂを形成する際には、インナーチューブ２０の外側から加工を施せばよく、インナーチューブ２０への切欠２３ｂの形成は、ヘッド部材１３の加工と比較して容易である。したがって、固定絞り５５ｂを容易に形成することができ、油圧シリンダ１００を容易に製造することができる。
【００７９】
油圧シリンダ１００の動作が伸長動作から収縮動作に切り換えられると、ポンプ１からの作動油は、ロッド側通路５４ｂを通じてロッド側室５１ｂに供給される。このとき、ロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れがインナーチューブ２０によって絞られたままであると、油圧シリンダ１００の動作をスムーズに切り換えることができない。
【００８０】
油圧シリンダ１００では、固定絞り５５ｂは、インナーチューブ２０の端面２２ｂに設けられる切欠２３ｂと、制限部１５ｂと、により形成される。そのため、インナーチューブ２０の端面２２ｂが制限部１５ｂに接触している状態においても、切欠２３ｂ内に作動油が流入し、切欠２３ｂの底面は、制限部１５ｂから離れる方向に作動油の圧力を受ける。したがって、油圧シリンダ１００の動作が伸長動作から収縮動作に切り換えられた際に、ポンプ１からの作動油の圧力を切欠２３ｂの底面に作用させることができ、インナーチューブ２０を制限部１５ｂから容易に離すことができる。つまり、放射状通路５３ｂの流路面積を拡大することができ、ロッド側通路５４ｂにおける絞りを解除することができる。その結果、油圧シリンダ１００の動作を伸長動作から収縮動作へスムーズに切り換えることができる。
【００８１】
次に、収縮動作時におけるインナーチューブ２０の摺動について説明する。
【００８２】
油圧シリンダ１００の収縮動作時には、ロッド側室５１ｂがロッド側通路５４ｂ、ポート１４ｂ及び切換弁３を通じてポンプ１の吐出ポート１ａに接続され、ロッド側室５１ｂに作動油が供給される。このとき、反ロッド側室５１ａは、反ロッド側通路５４ａ、ポート１４ａ及び切換弁３を通じてタンク２に接続される。
【００８３】
ロッド側通路５４ｂがポンプ１の吐出ポート１ａに接続され反ロッド側通路５４ａがタンク２に接続されるので、ロッド側通路５４ｂの放射状通路５３ｂ内の圧力は反ロッド側通路５４ａの放射状通路５３ａ内の圧力よりも高くなる。したがって、放射状通路５３ａ及び放射状通路５３ｂ内の圧力差に起因する力は、ヘッド部材１３からボトム部１１ｂへ向う方向にインナーチューブ２０に作用する。
【００８４】
またこのとき、ロッド側室５１ｂに作動油が供給されるので、ピストン４０はロッド側室５１ｂを拡大する方向に移動する。そのため、ピストン４０の外周面とインナーチューブ２０の内周面との間に生じる摩擦力は、ヘッド部材１３からボトム部１１ｂへ向う方向にインナーチューブ２０に作用する。
【００８５】
つまり、インナーチューブ２０は、放射状通路５３ａ及び放射状通路５３ｂ内の圧力差に起因する力と、ピストン４０の移動に起因する摩擦力と、の両方を、ヘッド部材１３からボトム部１１ｂへ向う方向に受ける。そのため、インナーチューブ２０は、端面２２ａがボトム部１１ｂの制限部１５ａに近づくように移動し、反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れを絞る（図３参照）。
【００８６】
このように、作動油がロッド側通路５４ｂを通じてロッド側室５１ｂに供給されるときには、インナーチューブ２０によって、反ロッド側通路５４ａを通じて反ロッド側室５１ａから排出される作動油の流れが絞られる。そのため、反ロッド側室５１ａから排出される作動油の流量が制限される。したがって、油圧シリンダ１００のポート１４ａと切換弁３とを接続する通路４ａにスローリターン弁といった絞り弁を設けることなく、油圧シリンダ１００の収縮速度を制限することができる。
【００８７】
また、インナーチューブ２０が反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れを絞っている状態では、インナーチューブ２０の端面２２ｂはヘッド部材１３の制限部１５ｂから離れている。そのため、ロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れは絞られない。したがって、ロッド側通路５４ｂにおける圧力損失は小さく、ポンプ１の負荷を軽減することができる。
【００８８】
反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れは、インナーチューブ２０の端面２２ａが制限部１５ａに接触しインナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限された状態で、最も絞られる。また、この状態では、反ロッド側通路５４ａに固定絞り５５ａが形成される。そのため、ロッド側通路５４ｂと同様に、固定絞り５５ａの形状により反ロッド側通路５４ａの最大の絞り量を設定することができ、反ロッド側通路５４ａの絞り量の精度が向上する。
【００８９】
また、固定絞り５５ａは、インナーチューブ２０の外周と内周との間を貫通する切欠２３ａにより形成される。そのため、固定絞り５５ｂと同様に、固定絞り５５ａを容易に形成することができ、油圧シリンダ１００を容易に製造することができる。
【００９０】
油圧シリンダ１００の動作が収縮動作から伸長動作に切り換えられると、ポンプ１からの作動油は、反ロッド側通路５４ａを通じて反ロッド側室５１ａに供給される。油圧シリンダ１００では、固定絞り５５ａは、インナーチューブ２０の端面２２ａに設けられる切欠２３ａと、制限部１５ａと、により形成される。そのため、伸長動作から収縮動作への切り換えと同様に、反ロッド側通路５４ａにおける絞りを解除することができ、油圧シリンダ１００の動作を収縮動作から伸長動作へスムーズに切り換えることができる。
【００９１】
固定絞り５５ａ及び固定絞り５５ｂは、切欠２３ａ及び切欠２３ｂにより形成される形態に限られない。図７及び図８は、変形例に係る油圧シリンダ２００，３００の拡大断面図である。
【００９２】
図７に示すように、油圧シリンダ２００では、インナーチューブ２０の端面２２ａは平面状に形成される一方で、ボトム部１１ｂの制限部１５ａには溝２２３ａが形成される。そのため、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されている状態では、反ロッド側室５１ａと環状通路５２ａとは、溝２２３ａを通じて互いに連通する。
【００９３】
換言すれば、放射状通路５３ａは、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されていない状態では、端面２２ａの全周と、溝２２３ａを含む制限部１５ａとにより形成される。インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されている状態では、放射状通路５３ａは、溝２２３ａと端面２２ａとにより形成される。
【００９４】
そして、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されている状態では、インナーチューブ２０はアウターチューブ１０に対して移動しない。そのため、放射状通路５３ａの流路面積は変化せず、流路面積が一定となる固定絞り５５ａとして機能する。その結果、反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れは、固定絞り５５ａによって絞られる。
【００９５】
このように、反ロッド側通路５４ａには、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限された状態で、作動油の流れを絞る固定絞り５５ａが溝２２３ａとインナーチューブ２０の端面２２ａとによって形成される。固定絞り５５ａの流路面積は、放射状通路５３ａの最小の流路面積であり、溝２２３ａの断面積に相当する。
【００９６】
油圧シリンダ２００においても、反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れは、インナーチューブ２０の端面２２ａが制限部１５ａに接触しインナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限された状態で、最も絞られる。また、この状態では、反ロッド側通路５４ａに固定絞り５５ａが形成される。そのため、油圧シリンダ１００と同様に、固定絞り５５ａの形状により反ロッド側通路５４ａの最大の絞り量を設定することができ、反ロッド側通路５４ａの絞り量の精度が向上する。
【００９７】
固定絞り５５ａは、インナーチューブ２０の端面２２ａと、制限部１５ａに設けられる溝２２３ａと、により形成される。そのため、図７に示される状態の油圧シリンダ２００の反ロッド側室５１ａにポンプ１からの作動油が反ロッド側通路５４ａを通じて供給されると、ポンプ１からの作動油の圧力はインナーチューブ２０の端面２２ａに作用する。したがって、油圧シリンダ１００と同様に、反ロッド側通路５４ａにおける絞りを解除することができ、油圧シリンダ１００をスムーズに伸長させることができる。
【００９８】
図示を省略するが、インナーチューブ２０の端面２２ｂが平面状に形成されヘッド部材１３の制限部１５ｂに溝が形成されていてもよい。この場合、固定絞り５５ｂは、制限部１５ｂに設けられる溝とインナーチューブ２０の端面２２ｂとにより形成される。
【００９９】
図８に示すように、油圧シリンダ３００では、インナーチューブ２０の端面２２ａは平面状に形成され、ボトム部１１ｂの制限部１５ａは平面状に形成される。そのため、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限された状態では、放射状通路５３ａは塞がれる。
【０１００】
インナーチューブ２０の端部２１ａには、インナーチューブ２０の外周と内周との間を貫通する孔３２３ａが形成される。インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されていない状態では、反ロッド側室５１ａと環状通路５２ａとは、放射状通路５３ａに加えて、孔３２３ａを通じて互いに連通する。インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されている状態では、反ロッド側室５１ａと環状通路５２ａとは、孔３２３ａを通じて互いに連通する。
【０１０１】
換言すれば、反ロッド側通路５４ａは、環状通路５２ａと、放射状通路５３ａと、孔３２３ａと、を含む。そして、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限されている状態では、放射状通路５３ａは塞がれ、反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れは、流路面積が一定の孔３２３ａによって絞られる。
【０１０２】
このように、反ロッド側通路５４ａには、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限された状態で、作動油の流れを絞る固定絞り５５ａが孔３２３ａによって形成される。固定絞り５５ａの流路面積は、孔３２３ａの開口面積に相当する。
【０１０３】
油圧シリンダ３００においても、反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れは、インナーチューブ２０の端面２２ａが制限部１５ａに接触しインナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限された状態で、最も絞られる。また、この状態では、反ロッド側通路５４ａに固定絞り５５ａが形成される。そのため、油圧シリンダ１００と同様に、固定絞り５５ａの形状により反ロッド側通路５４ａの最大の絞り量を設定することができ、反ロッド側通路５４ａの絞り量の精度が向上する。
【０１０４】
また、固定絞り５５ａは、インナーチューブ２０の外周と内周との間を貫通する孔３２３ａにより形成される。インナーチューブ２０に孔３２３ａを形成する際には、インナーチューブ２０の外側から加工を施せばよく、インナーチューブ２０への孔３２３ａの形成は、第１アウター部材１１のボトム部１１ｂの加工と比較して容易である。したがって、固定絞り５５ｂを容易に形成することができ、油圧シリンダ１００を容易に製造することができる。
【０１０５】
インナーチューブ２０の移動が制限部１５ａにより制限された状態では、インナーチューブ２０の端面２２ａと制限部１５ａとの間は塞がれる。この状態では、作動油が端面２２ａと制限部１５ａとの間に流入せず、作動油の圧力はインナーチューブ２０の端面２２ａに作用しない。したがって、インナーチューブ２０の端面２２ａと制限部１５ａとの接触を容易に維持させることができ、放射状通路５３ａの絞りの変動を軽減することができる。
【０１０６】
インナーチューブ２０を制限部１５ａから離す際には、孔３２３ａを通じて反ロッド側室５１ａにポンプ１からの作動油を供給する。これにより、ピストン４０が移動し、インナーチューブ２０はピストン４０から摺動方向に力を受ける。その結果、インナーチューブ２０は、制限部１５ａから離れ、制限部１５ａと端面２２ａとの間に作動油が流入する。
【０１０７】
制限部１５ａと端面２２ａとの間への作動油の流入により、ポンプ１からの作動油の圧力が端面２２ａに作用する。したがって、インナーチューブ２０を制限部１５ａから容易に離すことができ、放射状通路５３ａの流路面積を拡大することができる。その結果、放射状通路５３ａにおける絞りが解除され、油圧シリンダ１００がスムーズに伸長する。
【０１０８】
図示を省略するが、インナーチューブ２０の端面２２ｂとヘッド部材１３の制限部１５ｂとの両方が平面状に形成されインナーチューブ２０の端部２１ｂに孔が形成されていてもよい。この場合、固定絞り５５ｂは、インナーチューブ２０の端部２１ｂに設けられる孔により形成される。
【０１０９】
次に、図９を参照して、油圧シリンダ１００を備える油圧駆動ユニット１０００について説明する。
【０１１０】
図９に示すように、油圧駆動ユニット１０００は、油圧シリンダ１００と、油圧シリンダ１００に作動油を供給するポンプ１００１と、ポンプ１００１を駆動する電動モータ１００５と、を備える。電動モータ１００５は、不図示の電源に電気的に接続され、この電源から供給される電力によって作動する。
【０１１１】
ポンプ１００１は、電動モータ１００５の出力軸１００６に連結され、電動モータ１００５の回転駆動力により駆動される。ポンプ１００１には第１ポート１００１ａ及び第２ポート１００１ｂが形成され、第１ポート１００１ａ及び第２ポート１００１ｂから選択的に作動油が吐出される。
【０１１２】
電動モータ１００５の出力軸１００６が正方向Ｒ１に回転する場合には、ポンプ１００１は、第２ポート１００１ｂから作動油を吸込み、第１ポート１００１ａから作動油を吐出する。電動モータ１００５の出力軸１００６が逆方向Ｒ２に回転する場合には、ポンプ１００１は、第１ポート１００１ａから作動油を吸込み、第２ポート１００１ｂから作動油を吐出する。
【０１１３】
このように、ポンプ１００１の吐出方向は、電動モータ１００５の回転方向に応じて切り換えられる。ポンプ１００１としては、例えば、ギアポンプを用いることができる。
【０１１４】
ポンプ１００１の第１ポート１００１ａには、メイン通路５６ａが接続され、ポンプ１００１の第２ポート１００１ｂには、メイン通路５６ｂが接続される。メイン通路５６ａ及びメイン通路５６ｂには、ポンプ１００１からの作動油が選択的に導かれる。
【０１１５】
メイン通路５６ａ及びメイン通路５６ｂは、それぞれ、油圧シリンダ１００のポート１４ａ及びポート１４ｂに接続される。メイン通路５６ａ及びメイン通路５６ｂには、それぞれ、作動油の流れを制御するオペレートチェック弁（制御弁）６０ａ及びオペレートチェック弁（制御弁）６０ｂが設けられる。
【０１１６】
以下において、メイン通路５６ａにおけるポンプ１００１の第１ポート１００１ａとオペレートチェック弁６０ａとの間の部分を「通路部５７ａ」と称する。メイン通路５６ｂにおけるポンプ１００１の第２ポート１００１ｂとオペレートチェック弁６０ｂとの間の部分を「通路部５７ｂ」と称する。メイン通路５６ａにおけるオペレートチェック弁６０ａとポート１４ａとの間の部分を「通路部５８ａ」と称し、メイン通路５６ｂにおけるオペレートチェック弁６０ｂとポート１４ｂとの間の部分を「通路部５８ｂ」と称する。
【０１１７】
オペレートチェック弁６０ａは、ポンプ１００１の第１ポート１００１ａから吐出されメイン通路５６ａを通じて油圧シリンダ１００のポート１４ａへ向かう作動油の流れを許容する。また、オペレートチェック弁６０ａは、背圧室（図示省略）を有する。この背圧室内の圧力が開弁圧に達したときには、オペレートチェック弁６０ａは開弁し、メイン通路５６ａにおける作動油の流れを許容する。
【０１１８】
オペレートチェック弁６０ａの背圧室は、パイロット通路５９ｂを通じて、メイン通路５６ｂの通路部５７ｂに接続される。通路部５７ｂ内の圧力が上昇すると、オペレートチェック弁６０ａの背圧室内の圧力が上昇し、オペレートチェック弁６０ａは開弁する。つまり、オペレートチェック弁６０ａは、通路部５７ｂ内の圧力の上昇に応じて、油圧シリンダ１００のポート１４ａからメイン通路５６ａを通じてポンプ１００１の第１ポート１００１ａへ向かう作動油の流れを許容する。
【０１１９】
同様に、オペレートチェック弁６０ｂは、ポンプ１００１の第２ポート１００１ｂから吐出されメイン通路５６ｂを通じて油圧シリンダ１００のポート１４ｂへ向かう作動油の流れを許容する。オペレートチェック弁６０ｂの背圧室（図示省略）は、パイロット通路５９ａを通じて、メイン通路５６ａの通路部５７ａに接続される。通路部５７ａ内の圧力の上昇に応じて、オペレートチェック弁６０ａは、油圧シリンダ１００のポート１４ｂからメイン通路５６ｂを通じてポンプ１００１の第２ポート１００１ｂへ向かう作動油の流れを許容する。
【０１２０】
ポンプ１００１が第１ポート１００１ａから作動油を吐出すると、第１ポート１００１ａからの作動油はオペレートチェック弁６０ａを押し開く。このとき、メイン通路５６ａの通路部５７ａ内の圧力が上昇し、オペレートチェック弁６０ｂが開弁する。
【０１２１】
第１ポート１００１ａからの作動油は、メイン通路５６ａ、ポート１４ａ及び反ロッド側通路５４ａを通じて油圧シリンダ１００の反ロッド側室５１ａに供給される。ロッド側室５１ｂ内の作動油は、ロッド側通路５４ｂ及びポート１４ｂを通じてメイン通路５６ｂに排出されポンプ１００１の第２ポート１００１ｂに導かれる。反ロッド側室５１ａへの作動油の供給及びロッド側室５１ｂ内の作動油の排出によって、油圧シリンダ１００は伸長する。
【０１２２】
ポンプ１００１が第２ポート１００１ｂから作動油を吐出すると、第２ポート１００１ｂからの作動油はオペレートチェック弁６０ｂを押し開く。このとき、メイン通路５６ｂの通路部５７ｂ内の圧力が上昇し、オペレートチェック弁６０ａが開弁する。
【０１２３】
第２ポート１００１ｂからの作動油は、メイン通路５６ｂ、ポート１４ｂ及びロッド側通路５４ｂを通じて油圧シリンダ１００のロッド側室５１ｂに供給される。反ロッド側室５１ａ内の作動油は、反ロッド側通路５４ａ及びポート１４ａを通じてメイン通路５６ａに排出されポンプ１００１の第１ポート１００１ａに導かれる。ロッド側室５１ｂへの作動油の供給及び反ロッド側室５１ａ内の作動油の排出によって、油圧シリンダ１００は収縮する。
【０１２４】
ポンプ１００１が停止しているときには、メイン通路５６ａの通路部５７ａ内の圧力、及びメイン通路５６ｂの通路部５７ｂ内の圧力は上昇しない。オペレートチェック弁６０ａ及びオペレートチェック弁６０ｂは閉弁し、メイン通路５６ａ及びメイン通路５６ｂにおける作動油の流れを遮断する。油圧シリンダ１００の反ロッド側室５１ａ及びロッド側室５１ｂ内の作動油がメイン通路５６ａ及びメイン通路５６ｂに排出されず、油圧シリンダ１００は作動しない。つまり、ポンプ１００１が停止しているときには、油圧シリンダ１００は、オペレートチェック弁６０ａ及びオペレートチェック弁６０ｂによって、静止した状態で維持される。
【０１２５】
油圧シリンダ１００では、ピストンロッド３０は、ロッド側室５１ｂを挿通する一方で、反ロッド側室５１ａを挿通しない。そのため、油圧シリンダ１００の作動に伴ってピストン４０が移動するとき、ロッド側室５１ｂとメイン通路５６ｂとの間を行き来する作動油の流量は、反ロッド側室５１ａとメイン通路５６ａとの間を行き来する作動油の流量に比べ、少ない。ピストンロッド３０がアウターチューブ１０に対して移動することにより生じる容積変化は、ポンプ１００１に接続されるタンク１００２によって補償される。容積変化の補償について、具体的に説明する。
【０１２６】
油圧駆動ユニット１０００は、ポンプ１００１とタンク１００２との間の作動油の流れを制御する制御弁７０を備える。タンク１００２は、閉鎖空間内に作動油を貯留する。
【０１２７】
制御弁７０は、３ポート３位置切換弁である。制御弁７０の第１ポートは、メイン通路５６ａの通路部５７ａから分岐する分岐通路７１ａに接続される。制御弁７０の第２ポートは、メイン通路５６ｂの通路部５７ｂから分岐する分岐通路７１ｂに接続される。制御弁７０の第３ポートは、タンク１００２に接続されるタンク通路７１ｃに接続される。
【０１２８】
制御弁７０は、第１位置７０ａにあるときには、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ａとの連通を遮断し、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ｂとを連通する。制御弁７０は、第２位置７０ｂにあるときには、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ａとを連通し、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ｂとの連通を遮断する。制御弁７０は、第３位置７０ｃにあるときには、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ａとの連通を遮断するとともに、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ｂとの連通を遮断する。
【０１２９】
制御弁７０の位置は、分岐通路７１ａ及び分岐通路７１ｂ内の圧力により切り換えられる。ポンプ１００１が停止しており分岐通路７１ａ及び分岐通路７１ｂ内の圧力が上昇していない場合には、制御弁７０は、第３位置７０ｃにあり、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ａとの連通を遮断するとともに、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ｂとの連通を遮断する。
【０１３０】
ポンプ１００１が第１ポート１００１ａから作動油を吐出する場合には、前述のように、油圧シリンダ１００は伸長する。このとき、分岐通路７１ａ内の圧力が上昇し、制御弁７０は、第１位置７０ａに切り換えられる。その結果、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ｂとが連通し、作動油は、タンク１００２とメイン通路５６ｂの通路部５７ｂとを行き来可能になる。タンク通路７１ｃと分岐通路７１ａとの連通は遮断されるので、第１ポート１００１ａからの作動油は、タンク１００２に流入することなく油圧シリンダ１００の反ロッド側室５１ａに供給される。
【０１３１】
油圧シリンダ１００の伸長動作時には、ロッド側室５１ｂからメイン通路５６ｂに排出される作動油の流量は、メイン通路５６ａから反ロッド側室５１ａに供給される作動油の流量に比べ、アウターチューブ１０から退出するピストンロッド３０の体積分、少ない。アウターチューブ１０から退出するピストンロッド３０の体積分の作動油は、タンク１００２からタンク通路７１ｃ及び分岐通路７１ｂを通じてメイン通路５６ｂの通路部５７ｂに供給される。したがって、ポンプ１００１は、第１ポート１００１ａから吐出される作動油の流量と同じ流量の作動油を第２ポート１００１ｂから吸込むことができる。
【０１３２】
ポンプ１００１が第２ポート１００１ｂから作動油を吐出する場合には、前述のように、油圧シリンダ１００は収縮する。このとき、分岐通路７１ｂ内の圧力が上昇し、制御弁７０は、第２位置７０ｂに切り換えられる。その結果、タンク通路７１ｃと分岐通路７１ａとが連通し、作動油は、タンク１００２とメイン通路５６ａの通路部５７ａとを行き来可能になる。タンク通路７１ｃと分岐通路７１ｂとの連通が遮断されるので、第２ポート１００１ｂからの作動油は、タンク１００２に流入することなく油圧シリンダ１００のロッド側室５１ｂに供給される。
【０１３３】
油圧シリンダ１００の収縮動作時には、反ロッド側室５１ａからメイン通路５６ａに排出される作動油の流量は、メイン通路５６ｂからロッド側室５１ｂに供給される作動油の流量に比べ、アウターチューブ１０内に進入するピストンロッド３０の体積分、多い。アウターチューブ１０内に進入するピストンロッド３０の体積分の作動油は、メイン通路５６ａの通路部５７ａから分岐通路７１ａ及びタンク通路７１ｃを通じてタンク１００２に排出される。したがって、ポンプ１００１は、第２ポート１００１ｂから吐出される作動油の流量と同じ流量の作動油を第１ポート１００１ａから吸込むことができる。
【０１３４】
このように、ピストンロッド３０がアウターチューブ１０に対して進退することにより生じる容積変化は、ポンプ１００１に接続されるタンク１００２によって補償される。
【０１３５】
油圧シリンダ１００では、伸長動作時には、インナーチューブ２０によって放射状通路５３ｂにおける作動油の流れが絞られる。そのため、ロッド側室５１ｂからメイン通路５６ｂに排出される作動油の流量が制限され、油圧シリンダ１００の伸長動作時におけるハンチング現象を防止することができる。
【０１３６】
ここで、ハンチング現象とは、ポンプ１００１が作動しているにも関わらず、油圧シリンダ１００が作動と停止を繰り返す現象である。ハンチング現象について、図１１を用いて詳細に説明する。
【０１３７】
図１１は、比較例に係る油圧駆動ユニット３０００の回路図である。油圧駆動ユニット１０００の構成と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。油圧駆動ユニット３０００は、油圧シリンダ１００に代えて関連する油圧シリンダ４００を備える点において、油圧駆動ユニット１０００と相違する。油圧シリンダ４００は、アウターチューブ１０に摺動自在に支持されるインナーチューブ２０を備えない点において、油圧シリンダ１００と相違する。
【０１３８】
まず、ハンチング現象が生じない条件下での油圧駆動ユニット３０００の動作を説明する。具体的には、ピストンロッド３０が負荷による外力を収縮方向に受けている状態で油圧シリンダ４００を伸長させる場合の油圧駆動ユニット３０００の動作を説明する。
【０１３９】
負荷による外力は、ピストンロッド３０を通じてピストン４０に収縮方向に作用するので、ピストン４０は、この外力によっては伸長方向に移動しない。反ロッド側室５１ａに供給される作動油は、この外力に抗して、ピストン４０を伸長方向に移動させる。
【０１４０】
メイン通路５６ａ内の圧力は、ポンプ１００１の第１ポート１００１ａから吐出される作動油によって高い状態で維持され、オペレートチェック弁６０ｂは開弁状態を維持する。したがって、ロッド側室５１ｂ内の作動油は、メイン通路５６ｂに排出され続け、油圧シリンダ４００は、停止することなく伸長し続ける。
【０１４１】
このように、ピストンロッド３０が負荷による外力を収縮方向に受けている状態で油圧シリンダ４００を伸長させる場合には、油圧シリンダ４００は伸長し続ける。
【０１４２】
同様に、ピストンロッド３０が負荷による外力を伸長方向に受けている状態で油圧シリンダ４００を収縮させる場合においても、油圧シリンダ４００は、停止することなく収縮し続ける。つまり、負荷による外力がピストンロッド３０に作用する方向と、油圧シリンダ４００の作動方向と、が一致しない場合には、ハンチング現象は生じない。
【０１４３】
次に、ハンチング現象が生じる条件下での油圧駆動ユニット３０００の動作を説明する。具体的には、ピストンロッド３０が負荷による外力を伸長方向に受けている状態で油圧シリンダ４００を伸長させる場合の油圧駆動ユニット３０００の動作を説明する。
【０１４４】
ポンプ１００１が第１ポート１００１ａから作動油を吐出した直後には、第１ポート１００１ａからの作動油は、オペレートチェック弁６０ａを押し開き、油圧シリンダ４００の反ロッド側室５１ａに供給される。このとき、メイン通路５６ａの通路部５７ａ内の圧力が上昇し、オペレートチェック弁６０ｂが開弁する。ロッド側室５１ｂ内の作動油がメイン通路５６ｂに排出され、油圧シリンダ４００は伸長し始める。
【０１４５】
負荷による外力は、ピストンロッド３０を通じてピストン４０に伸長方向に作用するので、ピストン４０は、反ロッド側室５１ａに供給される作動油の圧力に加え、この外力を受けて伸長方向に移動する。負荷による外力が大きいほど、ピストン４０は高速で移動し、ロッド側室５１ｂ内からメイン通路５６ｂへ排出される作動油の流量が増加する。
【０１４６】
ピストン４０が油圧シリンダ４００を伸長させる方向へ高速で移動すると、メイン通路５６ａ内の作動油は、ピストン４０によって反ロッド側室５１ａに吸い込まれる。つまり、油圧シリンダ４００は、負荷による外力によって、ポンプのように機能し、メイン通路５６ａ内の作動油を吸い込む。
【０１４７】
油圧シリンダ４００によりメイン通路５６ａから吸い込まれる作動油の流量が、ポンプ１００１の最大吐出流量を超えると、ポンプ１００１は、メイン通路５６ａ内の圧力を上昇させることができず、メイン通路５６ａの通路部５７ａ内の圧力が低下する。これにより、オペレートチェック弁６０ｂは閉弁し、ロッド側室５１ｂからメイン通路５６ｂへの作動油の排出が停止する。その結果、ピストン４０は停止し、油圧シリンダ４００は停止する。
【０１４８】
ピストン４０が停止すると、ピストン４０によるメイン通路５６ａから反ロッド側室５１ａへの作動油の吸い込みが停止する。メイン通路５６ａ内の圧力は、ポンプ１００１によって上昇し、オペレートチェック弁６０ｂが開弁する。その結果、ロッド側室５１ｂ内の作動油がメイン通路５６ｂに排出され、油圧シリンダ４００は、再び伸長し始める。
【０１４９】
ピストン４０は、反ロッド側室５１ａに供給される作動油の圧力に加え、負荷による外力を受けて伸長方向に移動する。メイン通路５６ａ内の作動油は、ピストン４０によって反ロッド側室５１ａに吸い込まれ、メイン通路５６ａの通路部５７ａ内の圧力が低下する。その結果、オペレートチェック弁６０ｂは閉弁し、ロッド側室５１ｂからメイン通路５６ｂへの作動油の排出が停止する。ピストン４０は停止し、油圧シリンダ４００は再び停止する。
【０１５０】
このように、油圧駆動ユニット３０００では、ピストンロッド３０が負荷による大きい外力を伸縮方向に受けている状態で油圧シリンダ４００を伸長させる場合に、オペレートチェック弁６０ｂが開弁と閉弁とを繰り返す。その結果、油圧シリンダ４００は伸長と停止とを繰り返す。
【０１５１】
同様に、ピストンロッド３０が負荷による大きい外力を収縮方向に受けている状態で油圧シリンダ４００を収縮させる場合においても、油圧シリンダ４００は、伸長と停止とを繰り返す。つまり、油圧駆動ユニット３０００では、負荷による外力がピストンロッド３０に作用する方向と、油圧シリンダ４００の作動方向と、が一致する場合に、ハンチング現象が生じる。
【０１５２】
図９を参照する。油圧駆動ユニット１０００では、伸長動作時には、ロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れがインナーチューブ２０によって絞られる。そのため、負荷による外力がピストンロッド３０に伸長方向に作用する状態で油圧シリンダ１００を伸長させても、油圧シリンダ１００のロッド側室５１ｂからメイン通路５６ｂに排出される作動油の流量は制限される。したがって、ピストン４０によるメイン通路５６ａから反ロッド側室５１ａへの作動油の吸い込みを防止することができ、メイン通路５６ａ内の圧力の低下を防止することができる。オペレートチェック弁６０ｂが開弁と閉弁とを繰り返すのを防止することができ、油圧シリンダ１００の伸長動作時におけるハンチング現象を防止することができる。
【０１５３】
同様に、収縮動作時には、反ロッド側通路５４ａにおける作動油の流れがインナーチューブ２０によって絞られる。そのため、油圧シリンダ１００の反ロッド側室５１ａからメイン通路５６ａに排出される作動油の流量は制限される。したがって、メイン通路５６ａ内の圧力の低下を防止することができ、油圧シリンダ１００の収縮動作時におけるハンチング現象を防止することができる。
【０１５４】
図１０は、変形例に係る油圧駆動ユニット２０００の回路図である。油圧駆動ユニット２０００は、オペレートチェック弁６０ａを備えていない点において、油圧駆動ユニット１０００と主に異なる。油圧駆動ユニット２０００においても、伸長動作時におけるハンチング現象を防止することができる。
【０１５５】
図示を省略するが、油圧駆動ユニットは、オペレートチェック弁６０ａを備え、オペレートチェック弁６０ｂを備えていなくてもよい。この場合には、収縮動作時におけるハンチング現象を防止することができる。
【０１５６】
以下、本発明の実施形態の構成、作用、及び効果をまとめて説明する。
【０１５７】
油圧シリンダ１００，２００，３００は、作動油が充填されるアウターチューブ１０と、アウターチューブ１０内に収容されるインナーチューブ２０と、インナーチューブ２０に移動自在に挿入され、インナーチューブ２０及びアウターチューブ１０から延出するピストンロッド３０と、ピストンロッド３０に設けられ、インナーチューブ２０の内部を反ロッド側室５１ａとロッド側室５１ｂとに区画するピストン４０と、反ロッド側室５１ａに連通し、反ロッド側室５１ａを拡大する第１方向にピストン４０を移動させる際にポンプ１，１００１からの作動油を反ロッド側室５１ａに導く反ロッド側通路５４ａと、ロッド側室５１ｂに連通し、ロッド側室５１ｂを拡大する第２方向にピストン４０を移動させる際にポンプ１，１００１からの作動油をロッド側室５１ｂに導くとともにピストン４０が第１方向に移動する際にロッド側室５１ｂ内の作動油を排出するロッド側通路５４ｂと、を備え、反ロッド側通路５４ａ及びロッド側通路５４ｂは、アウターチューブ１０とインナーチューブ２０とにより形成され、インナーチューブ２０は、アウターチューブ１０に摺動自在に支持され、作動油が反ロッド側通路５４ａを通じて反ロッド側室５１ａに供給されるときには、反ロッド側通路５４ａ内の圧力を受けてアウターチューブ１０に対して移動しロッド側通路５４ｂを通じてロッド側室５１ｂから排出される作動油の流れを絞る。
【０１５８】
この構成では、ポンプ１，１００１からの作動油が反ロッド側室５１ａに導かれるときには、インナーチューブ２０が反ロッド側通路５４ａの圧力を受けてアウターチューブ１０に対して移動し、ロッド側通路５４ｂを通じてロッド側室５１ｂから排出される作動油の流れが絞られる。そのため、ロッド側室５１ｂから排出される作動油の流量は、ロッド側通路５４ｂにより制限される。したがって、反ロッド側室５１ａへの作動油の供給により移動するピストン４０の速度を制限することができ、油圧シリンダ１００，２００，３００の動作速度を制限することができる。
【０１５９】
また、油圧シリンダ１００，２００，３００では、アウターチューブ１０は、反ロッド側通路５４ａ内の圧力によるインナーチューブ２０の移動をインナーチューブ２０に接触することにより制限する制限部１５ｂを有し、ロッド側通路５４ｂには、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限された状態で、作動油の流れを絞る固定絞り５５ｂが形成される。
【０１６０】
この構成では、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限された状態で、作動油の流れを絞る固定絞り５５ｂがロッド側通路５４ｂに形成される。そのため、ロッド側通路５４ｂにおける作動油の流れは、固定絞り５５ｂの流路面積に応じて最も絞られる。したがって、固定絞り５５ｂの形状によりロッド側通路５４ｂの最大の絞り量を設定することができ、ロッド側通路５４ｂの絞り量の精度が向上する。
【０１６１】
また、油圧シリンダ３００では、固定絞り５５ｂは、インナーチューブ２０の外周と内周との間を貫通する孔であることを特徴とする。
【０１６２】
第３の構成では、固定絞り５５ｂは、インナーチューブ２０の外周と内周とを貫通する孔である。インナーチューブ２０へ孔を形成する際には、インナーチューブ２０の外側から加工を施せばよく、インナーチューブ２０への孔の形成は容易である。したがって、固定絞り５５ｂを容易に形成することができ、油圧シリンダ３００を容易に製造することができる。
【０１６３】
また、油圧シリンダ１００では、インナーチューブ２０は、制限部１５ｂに対向する端面２２ｂと、端面２２ｂに形成された切欠２３ｂと、を有し、固定絞り５５ｂは、切欠２３ｂと制限部１５ｂとにより形成される。
【０１６４】
この構成では、固定絞り５５ｂは、切欠２３ｂと制限部１５ｂとにより形成される。そのため、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限されている状態においても、切欠２３ｂ内に作動油が流入し、切欠２３ｂの底面は、制限部１５ｂから離れる方向に作動油の圧力を受ける。したがって、ポンプ１，１００１からの作動油を固定絞り５５ｂを通じてロッド側室５１ｂに導くことにより、インナーチューブ２０を制限部１５ｂから容易に離すことができ、ロッド側通路５４ｂにおける絞りを容易に解除することができる。また、インナーチューブ２０の端面２２ｂへの切欠２３ｂの形成は容易である。したがって、固定絞り５５ｂを容易に形成することができ、油圧シリンダ１００を容易に製造することができる。
【０１６５】
また、油圧シリンダ２００では、制限部１５ｂには溝が形成され、固定絞り５５ｂは、溝とインナーチューブ２０とにより形成される。
【０１６６】
この構成では、固定絞り５５ｂが溝とインナーチューブ２０とにより形成される。そのため、インナーチューブ２０の移動が制限部１５ｂにより制限されている状態においても、溝内に作動油が流入し、インナーチューブ２０は、制限部１５ｂから離れる方向に作動油の圧力を受ける。したがって、ポンプ１，１００１からの作動油を固定絞り５５ｂを通じてロッド側室５１ｂに導くことにより、インナーチューブ２０を制限部１５ｂから離す方向に容易に移動させることができ、ロッド側通路５４ｂにおける絞りを容易に解除することができる。
【０１６７】
また、油圧駆動ユニット１０００，２０００は、油圧シリンダ１００，２００，３００と、反ロッド側通路５４ａ及びロッド側通路５４ｂを通じて反ロッド側室５１ａ及びロッド側室５１ｂにそれぞれ連通するメイン通路５６ａ及びメイン通路５６ｂと、メイン通路５６ａ及びメイン通路５６ｂに接続され、電動モータ１００５の駆動に応じて作動油を反ロッド側室５１ａ又はロッド側室５１ｂに選択的に供給する１００１と、メイン通路５６ｂに設けられ、ポンプ１００１からロッド側室５１ｂへ向かう作動油の流れを許容する一方、ロッド側室５１ｂからポンプ１００１へ向かう作動油の流れをメイン通路５６ａ内の圧力の上昇に応じて許容するオペレートチェック弁６０ｂと、を備える。
【０１６８】
この構成では、油圧駆動ユニット１０００，２０００が前述の油圧シリンダ１００，２００，３００を備える。ポンプ１００１からの作動油が反ロッド側室５１ａに導かれるときには、ロッド側通路５４ｂを通じてロッド側室５１ｂから排出される作動油の流れが絞られ、ロッド側室５１ｂから排出される作動油の流量は、ロッド側通路５４ｂにより制限される。したがって、絞り弁をメイン通路５６ｂに設けることなく、オペレートチェック弁６０ｂに起因する油圧駆動ユニット１０００，２０００のハンチング現象を防止することができる。
【０１６９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態は本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上記実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
【０１７０】
（１）上記実施形態による油圧シリンダ１００，２００，３００及び油圧駆動ユニット１０００，２０００は、作動流体として、作動油を使用しているが、作動油の代わりに水や水溶液等の非圧縮性流体を使用してもよい。
【０１７１】
（２）上記実施形態による油圧駆動ユニット２０００では、オペレートチェック弁６０ｂとして、メイン通路５６ｂにおける作動油の流れの許容及び遮断をパイロット圧により切り換える切換弁を用いてもよい。この場合、切換弁は、メイン通路５６ｂの通路部５７ｂ又はメイン通路５６ａの圧力の上昇に応じてメイン通路５６ｂにおける作動油の流れを許容し、これらの圧力の両方の低下に応じてメイン通路５６ｂにおける作動油の流れを遮断する。油圧駆動ユニット１０００では、オペレートチェック弁６０ｂと同様に、オペレートチェック弁６０ａとして、メイン通路５６ａにおける作動油の流れの許容及び遮断をパイロット圧により切り換える切換弁を用いてもよい。
【０１７２】
（３）上記実施形態による油圧シリンダ１００，２００，３００では、反ロッド側通路５４ａが環状通路５２ａを含む。反ロッド側通路５４ａは環状通路５２ａを含まなくてもよい。具体的には、ポート１４ａがボトム部１１ｂの近傍に形成され、放射状通路５３ａが直接ポート１４ａに連通していてもよい。同様に、ロッド側通路５４ｂは環状通路５２ｂを含まなくてもよい。具体的には、ポート１４ｂがヘッド部材１３の近傍に形成され、放射状通路５３ｂが直接ポート１４ｂに連通していてもよい。
【０１７３】
（４）上記実施形態による油圧シリンダ１００，２００，３００では、第１アウター部材１１と第２アウター部材１２とが別体として形成され螺合により互いに固定されている。第１アウター部材１１と第２アウター部材１２とは、１部品として一体的に形成されていてもよい。
【符号の説明】
【０１７４】
１，１００１・・・ポンプ、１０・・・アウターチューブ、１５ａ，１５ｂ・・・制限部、２０・・・インナーチューブ、２２ａ，２２ｂ・・・端面、２３ａ，２３ｂ・・・切欠、３０・・・ピストンロッド、４０・・・ピストン、５１ａ・・・反ロッド側室（流体室）、５１ｂ・・・ロッド側室（流体室）、５４ａ・・・反ロッド側通路（通路）、５４ｂ・・・ロッド側通路（通路）、５６ａ，５６ｂ・・・メイン通路（通路）、６０ａ，６０ｂ・・・オペレートチェック弁（制御弁）、１００，２００，３００・・・油圧シリンダ、２２３ａ・・・溝、３２３ａ・・・孔、１０００，２０００・・・流体圧駆動ユニット
【図１】
2018151032.tif 000003
【図２】
2018151032.tif 000004
【図３】
2018151032.tif 000005
【図４】
2018151032.tif 000006
【図５】
2018151032.tif 000007
【図６】
2018151032.tif 000008
【図７】
2018151032.tif 000009
【図８】
2018151032.tif 000010
【図９】
2018151032.tif 000011
【図１０】
2018151032.tif 000012
【図１１】
2018151032.tif 000013