(57)【要約】圧電セラミックス製の多層アクチュエータにおける外側電極では、運転の間、強い引張り応力がベース金属化層の下方の絶縁領域に作用する。電圧が供給されるようになっている外側電極に対する伝導性の接続部の接続は問題を生ぜしめる。はんだ付けまたは溶接によって、外側電極が硬化させられ、したがって、はんだ付け点または溶接点で弾性を喪失する。その後、運転中に、このはんだ付け点または溶接点の下方に機械的な剪断応力が生ぜしめられる。なぜならば、上方に位置する電極領域がもはや一緒に伸長させられないからである。これによって、数百万回の運転サイクル後、ベース金属化層を含めた外側電極の剥離ひいては構成部材の故障が生ぜしめられ得る。したがって、本発明によれば、当該外側電極（２３，２４；２６，２７）が、交互に重なり合って配置された、伝導性の材料（１９）および非伝導性の材料（２２，２５）の層から成っており、伝導性の材料（１９）から成る、外側に位置する両層のうち、一方の層が、アクチュエータ（１）のベース金属化層（１１）に接続されており、他方の層が、電圧のための供給線路（６）に接続されており、伝導性の材料（１９）から成る層が、伝導性に互いに接続されていることが提案される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電セラミックス製の多層アクチュエータにおける外側電極において、当該外側電極（２３，２４；２６，２７）が、交互に重なり合って配置された、伝導性の材料（１９）および非伝導性の材料（２２，２５）の層から成っており、伝導性の材料（１９）から成る、外側に位置する両層のうち、一方の層が、アクチュエータ（１）のベース金属化層（１１）に接続されており、他方の層が、電圧のための供給線路（６）に接続されており、伝導性の材料（１９）から成る層が、伝導性に互いに接続されていることを特徴とする、圧電セラミックス製の多層アクチュエータにおける外側電極。
【請求項２】
当該外側電極が、伝導性の材料（１９）の少なくとも２つの層と、該層の間に配置された、非伝導性の材料（２２，２５）の少なくとも１つの層とから成っている、請求項１記載の外側電極。
【請求項３】
伝導性の材料（１９）の層が、それぞれ金属製のシートから成っている、請求項１または２記載の外側電極。
【請求項４】
シート（１９）が、約３０μｍ〜最大約２００μｍの厚さ、有利には５０μｍ〜１００μｍの間の厚さを有している、請求項３記載の外側電極。
【請求項５】
シート（１９）が、空間的な構造化部を有しており、これによって、層が、シートの最大三倍の厚さを達成するようになっている、請求項３または４記載の外側電極。
【請求項６】
伝導性の材料（１９）の層が、自体三次元的に構造化されている、請求項１または２記載の外側電極。
【請求項７】
伝導性の材料（１９）の層が、金属織物または金属編物、ネットまたは金属フォームから成っている、請求項６記載の外側電極。
【請求項８】
伝導性の材料（１９）の層の織物、編物またはネットが、約１００μｍ〜最大２００μｍの厚さを有している、請求項７記載の外側電極。
【請求項９】
伝導性の材料（１９）の層の編物またはネットのメッシュ幅が、約１００μｍ〜２００μｍの間に寸法設定されており、線材直径が、約５０μｍ〜１００μｍの間に寸法設定されている、請求項７または８記載の外側電極。
【請求項１０】
非伝導性の材料（２２，２５）が、弾性的なプラスチック、有利には熱可塑性のプラスチック、たとえばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）またはポリイミドである、請求項１から９までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項１１】
非伝導性の材料（２２，２５）が、約１０μｍ〜最大約１００μｍの厚さを備えたシートの形のプラスチックである、請求項１０記載の外側電極。
【請求項１２】
伝導性の材料（１９）が、非伝導性の材料（２２，２５）によってコーティングされている、請求項１から１１までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項１３】
伝導性の材料（１９）の個々の層が、種々異なる金属材料から成っている、請求項１から１２までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項１４】
少なくともアクチュエータ材料にはんだ付けされた層の伝導性の材料（１９）が、アクチュエータ（１）のセラミックス材料に適合された熱膨張係数を有している、請求項１から１３までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項１５】
当該外側電極が、伝導性の材料（１９）および非伝導性の材料（２２，２５）から成る層の積層によって製作されている、請求項１から１４までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項１６】
伝導性の材料（１９）から成る層の間の伝導性の接続部が、貫通コンタクト形成または周面コンタクト形成によって製作されている、請求項１から１５までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項１７】
伝導性の材料（１９）から成る層が、それぞれ長手方向側方で互いに接続されている、請求項１６記載の外側電極。
【請求項１８】
伝導性の材料（１９）が、メアンダ状にまたは螺線状に折り畳まれており、非伝導性の材料（２２，２５）が、それぞれ伝導性の材料（１９）の、上下に位置する２つの層の間に配置されている、請求項１から１４までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項１９】
伝導性の材料（１９）がＣ字形に曲げられており、伝導性の材料（１９）が、非伝導性の材料（２２）の層を取り囲んでおり、曲げ返された側が、アクチュエータ（１）のベース金属化層（１１）に接続されている、請求項１から１４までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項２０】
伝導性の材料（１９）が、銅合金または銀合金から成っている、請求項１から１９までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項２１】
伝導性の材料（１９）が、鉄−ニッケル合金または鉄−ニッケル−コバルト合金から成っている、請求項１から１９までのいずれか１項記載の外側電極。
【請求項２２】
当該外側電極が、はんだ付けまたは伝導性の接着剤による接着によってアクチュエータ（１）のベース金属化層（１１）に接続されている、請求項１から２１までのいずれか１項記載の外側電極。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電セラミックス製の多層アクチュエータにおける外側電極に関する。
【０００２】
圧電セラミックス製の多層アクチュエータはモノリスとして製作される。すなわち、焼結前にスクリーン印刷法によって内側電極が被着される活性の材料が、いわゆる「グリーンシート」として積み重ねられ、１つのスタックが形成される。このスタックがプレスされ、圧粉体が形成される。この圧粉体のプレスは一般的に積層型内での圧力・温度作用下での積層によって実施される。
【０００３】
図１には、このような形式で製作された圧電セラミックス製の多層アクチュエータ１が、著しく拡大して概略的に示してある。このアクチュエータは、圧電的に活性の材料、たとえばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＴＺ）の、積層された薄い層２から成っている。これらの層２の間には伝導性の内側電極３が配置されている。これらの内側電極３は交互にアクチュエータ表面に案内される。外側電極４，５が内側電極３を接続する。これによって、内側電極３が電気的に並列に接続され、２つのグループにまとめられる。両外側電極４，５はアクチュエータ１の接続極である。両接続極は接続部６を介して電圧源（図示せず）に接続されている。接続部６を介して電圧が外側電極４，５に印加されると、電圧が全ての内側電極３に並列に伝達され、電界を活性の材料の全ての層２に生ぜしめる。これによって、活性の材料が機械的に歪む。この機械的な全ての歪みの合計が、多層アクチュエータ１のヘッド領域７の終端面ならびにベース領域８の終端面に、使用可能な伸長および／または力９として提供される。
【０００４】
図２には、公知先行技術による圧電セラミックス製の多層アクチュエータ１の一方の外側電極４および表面の断面図が示してある。圧電的に活性の材料の、１つのスタックにプレスされた薄い層２には、多層アクチュエータ１の表面１０に導出された内側電極３の領域に、たとえば電気めっき法または金属ペーストのスクリーン印刷によってベース金属化層１１が被着され、同極の内側電極３の接続部が形成される。ベース金属化層１１は、金属材料から成る別の層、たとえば構造化された金属薄板または、ヨーロッパ特許出願公開第０８４４６７８号明細書に基づき公知であるように、三次元的に構造化された電極１２としての線材ネットによって強化される。三次元的に構造化された電極１２と、ベース金属化層１１との接続は接続層１３、一般的にははんだ層によって行われる。三次元的に構造化された電極１２には、コンタクト箇所１８にはんだ付けビードによって電気的な接続線材６がはんだ付けされる。
【０００５】
アクチュエータ１の表面１０に設けられた、前述したように形成された外側電極では、運転の間、不活性の領域（ベース金属化層１１の下方に位置する絶縁領域１４）に強い引張り応力が作用する。この絶縁領域１４はベース金属化層１１および接続層１３と一緒に均質のユニットを形成しているので、このユニットは、最も弱い部分の引張り強さの超越時に故障し、亀裂が形成される。図示の亀裂経過は約１０６回の負荷サイクル後に生ぜしめられる。生ぜしめられた応力に基づき、亀裂１５は、一般的に脆弱性のかつ僅かな引張り強さのベース金属化層１１から絶縁領域１４に延び、そこで、高い引張り応力を備えた領域によって捕獲され、有利には、ベース金属化層１１に接触しない電極３の電極先端部１６で捕獲されるかまたは亀裂１５は電極先端部１６における最大の引張り応力の領域で始まり、ベース金属化層１１の方向に延びる。ベース金属化層１１に接触する内側電極３に沿った亀裂１７の拡幅は非臨界的と格付けすることができる。なぜならば、このような亀裂経過はアクチュエータの機能に損傷を与えないからである。ベース金属化層１１が亀裂によって切断されると、三次元的に構造化された弾性的な電極１２が電気的なブリッジとして作用するので、亀裂は、アクチュエータ１の特性または寿命に影響を与えないままである。これに対して、コントロールされずに絶縁領域１４を通って延びる亀裂１５は極めて臨界的である。なぜならば、この亀裂１５は絶縁間隔を減少させ、フラッシオーバによるアクチュエータ故障の確率を著しく高めるからである。
【０００６】
しかし、このような形式で形成された電極は、電圧が供給されるようになっている伝導性の接続部の接続時に問題を生ぜしめる。
【０００７】
公知先行技術によれば、図２に示したように、コンタクト点１８で線材６が、三次元的に構造化された電極１２にはんだ付けされるかまたは溶接される。しかし、このはんだ付けまたは溶接によって、三次元的に構造化された電極１２が硬化させられ、したがって、はんだ付け点または溶接点１８で弾性を喪失する。その後、運転中に、このはんだ付け点または溶接点１８の下方に機械的な剪断応力が生ぜしめられる。なぜならば、上方に位置する電極領域がもはや一緒に伸長させられないからである。これによって、数百万回の運転サイクル後、ベース金属化層を含めた金属電極の剥離ひいては構成部材の故障が生ぜしめられ得る。
【０００８】
ドイツ連邦共和国特許出願公開第１００２６００５号明細書に基づき、三次元的に構造化された電極がアクチュエータを越えて張り出しており、そこで、場合によって折り返されたかまたはカーリングされた電極に電気的なコンタクトがはんだ付けされることが公知である。張り出した端部は収縮チューブによって絶縁されている。この形式の接続には手間がかかり、複雑に形成された外側電極を生ぜしめる。電極の屈曲箇所には、切欠き効果が生ぜしめられ得る。
【０００９】
ドイツ連邦共和国特許第１９９０９４５２号明細書に基づき、アクチュエータの一方の側、たとえばベースに圧電的に能動的でない領域を設け、この領域に電気的なコンタクトを取り付けることが公知である。受動的なベースは、著しく減少させられた剛性および伸長を構成部材の同じ構造長さで生ぜしめる。なぜならば、受動的なベースが剛性的なばねのように作用し、能動的な領域を短縮するからである。
【００１０】
本発明の課題は、電極の構造によって、外側電極に対する給電部の接続を改善することである。
【００１１】
この課題の解決は、当該外側電極が、交互に重なり合って配置された、伝導性の材料および非伝導性の材料の層から成っており、伝導性の材料から成る、外側に位置する両層のうち、一方の層が、アクチュエータのベース金属化層に接続されており、他方の層が、電圧のための供給線路に接続されており、伝導性の材料から成る層が、伝導性にもしくは導電的に互いに接続されていることによって行われる。
【００１２】
交互に重なり合って配置された、伝導性の材料および非伝導性の材料の層によって、伝導性の材料の層が機械的に互いに分離される。電気的な相互の接続部は別個に製作されるかまたは伝導性の材料としての一貫して延びるシートの折畳みを介して得られる。したがって、ベース金属化層にはんだ付けまたは接着によって接続された下側の伝導性の層は、規定された範囲の内部で上側の層と無関係に運動することができ、これによって、生ぜしめられた応力を補償することができる。
【００１３】
はんだ付けされるかまたは溶接される電気的なコンタクト形成部は一番上側の伝導性の層にしか接続されていない。これによって、層の一貫したはんだ付けが阻止される。外側電極の外側の伝導性の層に対する接続線材のコンタクト形成部は、もはや硬化させられずに電極に影響を与える。ベース金属化層を介して外側電極に作用する力は層構造に基づき、有利には、接続箇所に影響を与えないように減衰される。
【００１４】
本発明による外側電極を備えたアクチュエータでは、電気的なコンタクト形成部を外側電極のあらゆる箇所に設けることができる。この場合、このことが、アクチュエータの寿命またはその他の特性に影響を与えることはない。これによって、コンパクトなアクチュエータモジュールを、公知先行技術に基づき公知であるような手間のかかるまたは煩わしい防護手段なしに製作することが可能となる。
【００１５】
本発明により形成された外側電極は、伝導性の材料の少なくとも２つの層と、これらの層の間に配置された、非伝導性の材料の少なくとも１つの層とから成っている。
【００１６】
伝導性の材料は金属シートから成っていてよい。この金属シートはその僅かな厚さに基づき容易に処理することができる。シートの厚さは、約３０μｍ〜２００μｍ、有利には５０μｍ〜１００μｍの間に寸法設定されている。シートは、たとえば型押し加工によって自体構造化されていてもよい。これによって、シートの全厚さをシート厚さの三倍の厚さにまで増加させることができる。
【００１７】
伝導性の材料の層は自体三次元的に構造化されていてもよい。この場合、中実の層はなく、伝導性の材料の層は、金属織物または金属編物、ネットまたは金属フォームから成っている。
【００１８】
金属線材から成る織物、編物またはネットは、約１００μｍ〜最大２００μｍの厚さを有している。編物またはネットのメッシュ幅は、約１００μｍ〜２００μｍの間に寸法設定されており、線材直径は、約５０μｍ〜１００μｍの間に寸法設定されている。
【００１９】
非伝導性の材料から成る層は、弾性的なプラスチック、有利には熱可塑性のプラスチック、たとえばポリテトラフルオロエチレン（テフロン：登録商標）またはポリイミドから成っている。層は、約１０μｍ〜最大約１００μｍの厚さを備えたシートである。
【００２０】
１つの層の伝導性の材料が、１つの層の非伝導性の材料によってコーティングされていてもよい。これは、たとえば片側でプラスチックによってコーティングされたシートであってよい。このシートは、たとえば折畳みによって本発明による外側電極に形成することができる。さらに、伝導性の材料および非伝導性の材料の交互の層が積層されていてもよい。
【００２１】
伝導性の材料の個々の層は種々異なる金属材料から成っていてよい。したがって、たとえば、少なくともアクチュエータ材料にはんだ付けされたかまたは接着された層の金属材料を、この金属材料が、アクチュエータのセラミックス材料に適合された熱膨張係数を有しているように選択することが可能となる。
【００２２】
層の間の伝導性の接続部を金属材料から製作するためには、これらの層が貫通コンタクト形成されているかまたは周面コンタクト形成されている。このためには、層がその長手方向側方の両側で、たとえば張り出した側のはんだ付けによって伝導性にもしくは導電的に互いに接続されている。
【００２３】
さらに、伝導性の材料を、有利にはシートまたは織物の形でメアンダ状にまたは螺線状に折り畳むことが可能であり、これによって、非伝導性の材料がそれぞれ層として折り目の間にもしくは巻成体の内部に位置している。これによって、以下の効果が得られる：プラスチック層によるシートまたは織物の層の中断によって、はんだ付けされるかまたは溶接される電気的なコンタクト形成部が上側の伝導性の層にしか接続されていないことが確保される。これによって、層の一貫したはんだ付けおよび硬化が阻止される。
【００２４】
以下に、本発明によるアクチュエータの製作を説明する。ドイツ連邦共和国特許出願公開第１９８４０４８８号明細書による低温度で焼結した圧電セラミックスが、有機的なバインダ系によって１２５μｍの厚さのシートとして準備される。このシートには、重量比７０／３０の銀／パラジウム粉末と、適切なバインダ系とから成る内側電極ペーストがスクリーン印刷によって塗布される。このような形式の多数のシートが積層され、プレスされ、積層体が形成される。この積層体が切断され、棒状の個々のアクチュエータが形成される。これらのアクチュエータは約４００℃で熱分解され、約１１００℃で焼結される。次いで、アクチュエータベースボディが全ての側で機械的に加工される。
【００２５】
たとえば適切な銀／パラジウム成端ペーストから成るベース金属化層がスクリーン印刷／焼付けプロセスによって被着される。
【００２６】
本発明による、構造化された折り畳まれた外側電極がこのベース金属化層にはんだ付けされる。
【００２７】
次いで、電気的な接続部を、たとえばはんだ付けまたは溶接によって取り付けることができる。この作業工程は、たとえば折り畳まれた電極に、アクチュエータへのはんだ付け前に、コンタクトピンが取り付けられることによって優遇されてもよい。次いで、アクチュエータがラッカ層によって防護される。コンタクト形成部をラッカ塗布後に初めて取り付けることも可能である。この場合、はんだ付け領域または溶接領域が一般的にラッカなしに保持されなければならない。最後に、アクチュエータが極性付与され、電気的に測定される。
【００２８】
実施例につき本発明を詳しく説明する。
【００２９】
４つの実施例につき本発明による外側電極の製作を説明する。
【００３０】
上述したように、１０ｍｍ×１０ｍｍ（底面）の寸法および３０ｍｍの長さのアクチュエータベースボディ１が準備される。１つのセラミックス個別層２の厚さは焼結後１００μｍに寸法設定されており、内側金属化層の厚さは２μｍに寸法設定されている。ベース金属化層３は市販の成端ペーストでスクリーン印刷によって形成され、空気中で７５０℃で３０分間焼き付けられる。この焼付け後の層厚さは１０μｍ〜１２μｍに寸法設定されている。アクチュエータベースボディは以下のように後続処理される。
【００３１】
例１：図３によれば、伝導性の材料として、０．１ｍｍの線材直径を備えた青銅線材（ＣｕＳｎ６）と、０．２ｍｍのメッシュ幅とから成る線材織物１９が、電気めっきにより２０μｍの厚さではんだ（ＳｎＰｂ１０）によってコーティングされる。織物から、経糸の方向に対して４５゜の角度で８ｍｍの幅および２９ｍｍの長さのストリップが切り離される。このストリップは、両縁部が中間に来るように長手方向に沿って折り畳まれる。
【００３２】
この形式の外側電極２０，２１は、反対の側に位置する接続面でアクチュエータベースボディのベース金属化層１１に、たとえばリフロはんだ付け法によってはんだ付けされる。互いに反対の側に位置する外側電極２０，２１には、一方のアクチュエータ端面の近くに接続線材６のためのそれぞれ１つのはんだ付け点１８が形成される。この手段は公知先行技術を成している。はんだ付け時間は２４０℃で１０分に設定されている。
【００３３】
例２：図４によれば、０．１ｍｍの線材直径を備えた青銅線材（ＣｕＳｎ６）と、０．２ｍｍのメッシュ幅とから成る線材織物１９が、電気めっきにより２０μｍの厚さではんだ（ＳｎＰｂ１０）によってコーティングされる。織物から、経糸の方向に対して４５゜の角度で８ｍｍの幅および２９ｍｍの長さのストリップが切り離される。このストリップには中心に、３．５ｍｍ×２９ｍｍの寸法を備えた、ＰＴＦＥポリマから成るストリップ２２が設置される。このストリップ２２を取り囲んで織物ストリップ１９は、両縁部が中間に来るように長手方向に沿って折り畳まれる。
【００３４】
この形式の外側電極は、アクチュエータベースボディのベース金属化層に、たとえばリフロはんだ付け法によってはんだ付けされる。互いに反対の側に位置する外側電極２３，２４には、一方のアクチュエータ端面の近くに接続線材６のためのそれぞれ１つのはんだ付け点１８が形成される。はんだ付け時間は２４０℃で１０分に設定されている。
【００３５】
例３：図５によれば、０．１ｍｍの線材直径を備えた青銅線材（ＣｕＳｎ６）と、０．２ｍｍのメッシュ幅とから成る線材織物１９が、電気めっきにより２０μｍの厚さではんだ（ＳｎＰｂ１０）によってコーティングされる。織物から、経糸の方向に対して４５゜の角度で１６ｍｍの幅および２９ｍｍの長さのストリップが切り離される。このストリップには外側中心に、３．５ｍｍ×２９ｍｍの寸法を備えた、ＰＴＦＥポリマから成るストリップ２２が設置される。このストリップ２２を取り囲んで織物ストリップ１９が長手方向に沿って折り畳まれる。再度、ＰＴＦＥストリップ２５が載着され、織物ストリップが螺線状に折り返される。
【００３６】
この形式の外側電極は、アクチュエータベースボディのベース金属化層１１に、たとえばリフロはんだ付け法によってはんだ付けされ、これによって、二重に位置する金属ネット層がアクチュエータから離れる方向に向けられる。互いに反対の側に位置する外側電極２６，２７には、一方のアクチュエータ端面の近くに接続線材６のためのそれぞれ１つのはんだ付け点１８が形成される。はんだ付け時間は２４０℃で１０分に設定されている。
【００３７】
例４：図４に示した実施例２に相当する図６によれば、０．０８ｍｍの線材直径を備えた鉄−ニッケル合金（ＦｅＮｉ４２）と、０．１８ｍｍのメッシュ幅とから成る線材織物１９が、電気めっきにより６μｍの厚さで銅によってコーティングされ、２０μｍの厚さではんだ（ＳｎＰｂ１０）によってコーティングされる。織物から、経糸の方向に対して４５゜の角度で８ｍｍの幅および２９ｍｍの長さのストリップが切り離される。このストリップには中心に、３．５ｍｍ×２９ｍｍの寸法を備えた、ポリイミドポリマから成るストリップ２２が設置される。このストリップ２２を取り囲んで織物ストリップは、両縁部が中間に来るように長手方向に沿って折り畳まれる。このように製作された外側電極２３，２４には、０．８ｍｍの直径を備えた金属ピン２８が約５ｍｍオーバラップして抵抗溶接によって溶接され、これによって、ピン２８が片側で線材ネット１９を越えて張り出す。
【００３８】
この構成では、ネット材料の適切な熱膨張係数と、すでに予備成形された接続ピンとが有利である。
【００３９】
前述した形式の外側電極は、アクチュエータベースボディのベース金属化層に、たとえばリフロはんだ付け法によってはんだ付けされる。はんだ付け時間は２４０℃で１０分に設定されている。
【００４０】
４つの構成は、適切な方法、たとえば浸漬または吹付けによってシリコーンラッカで被覆される。
【００４１】
このラッカの乾燥および硬化後、構成１〜３のはんだ付け点からラッカが再び除去され、接続線材がはんだ付けされる。
【００４２】
アクチュエータには、検査フレーム内で２０００Ｎの予荷重もしくはプレロードがかけられ、アクチュエータは台形信号によって制御される。この場合、制御電圧は１００μｓで０Ｖから２００Ｖに増加させられ、１ｍｓで２００Ｖに保持され、その後、１００μｓで０Ｖに減少させられる。繰返し周波数は２００Ｈｚである。この場合、アクチュエータは１５０℃〜１６０℃の運転温度に到達する。
【００４３】
例１は、すでに１０７回のサイクルで、はんだ付け点の領域におけるセラミックスからのネット電極の著しい剥離を示している。２・１０７回のサイクル後には、アクチュエータがアーク形成によってはんだ付け点で破壊されている。
【００４４】
例２〜４は、同一の特性を示している。この特性は例１と著しく異なっている。１０９回のサイクルでさえ、いずれの例でもネット剥離またはアーク形成は生ぜしめられない。
【００４５】
本発明による外側電極の製作時には、当業者は種々異なる方法を選択することができる。したがって、外側電極は、たとえばプラスチックでコーティングされた薄い金属薄板から折り畳まれていてよいかまたは、前述したように、金属ネットとしてプラスチックストリップを取り囲んで折り畳まれていてよい。プラスチック・金属層が積層され、電気的に貫通コンタクト形成されることによって、プリント配線板に類似の製作も可能となる。このプリント配線板は、たとえば予備成形されたフレキシブルボードとしてもアクチュエータ全体を被覆しかつ防護することができる。外側電極をアクチュエータにはんだ付けする代わりに、伝導性の接着剤が使用されてもよい。使用したい材料は、主として、所望の使用条件に関連している。高い温度および迅速な温度変化に対して、特にＰＴＦＥ・ポリイミド材料および膨張合金、たとえばＦｅＮｉ４２が適している。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】公知先行技術によるモノリシックな多層アクチュエータの構造を概略的に示す図である。
【００４７】
【図２】約１０６回の負荷サイクル後に生ぜしめられる典型的な亀裂を備えた、図１に示したアクチュエータの一部を示す図である。
【００４８】
【図３】公知先行技術による折り畳まれた金属ネット電極を備えたアクチュエータを示す図である。
【００４９】
【図４】１回折り畳まれた本発明による金属ネット電極と、１つのプラスチックインサートとを備えたアクチュエータを示す図である。
【００５０】
【図５】螺線状に折り畳まれた金属ネット電極と、２つのプラスチックインサートとを備えたアクチュエータを示す図である。
【００５１】
【図６】１回折り畳まれた本発明による金属ネット電極と、１つのプラスチックインサートと、溶接された接続ピンとを備えたアクチュエータを示す図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  多層アクチュエータ、  ２  層、  ３  内側電極、  ４，５  外側電極、  ６  接続線材、  ７  ヘッド領域、  ８  ベース領域、  ９  力、  １０  表面、  １１  ベース金属化層、  １２  電極、  １３  接続層、  １４  絶縁領域、  １５  亀裂、  １６  電極先端部、  １７  亀裂、  １８  はんだ付け点、  １９  線材織物、  ２０，２１  外側電極、  ２２  ストリップ、  ２３，２４  外側電極、  ２５  ストリップ、  ２６，２７  外側電極、  ２８  ピン
【図１】
2005533386.tif 000003
【図２】
2005533386.tif 000004
【図３】
2005533386.tif 000005
【図４】
2005533386.tif 000006
【図５】
2005533386.tif 000007
【図６】
2005533386.tif 000008
【国際調査報告】
2005533386.tif 000009
2005533386.tif 000010
2005533386.tif 000011
2005533386.tif 000012
2005533386.tif 000013
2005533386.tif 000014