(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークにかかる張力を低減してワークの加工精度を向上したワーク保持装置を提供する。【解決手段】ワーク保持装置２は、基台１０と、基台上に配置された移動ステージ１１と、移動ステージ上に第１方向に並んで配置され、ワークを固定可能とする第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂと、移動ステージ上で第１固定部と第２固定部の間に配置され、ワークを支持する加工テーブル１３と、移動ステージを基台に対して第１方向に往復動させる第１駆動部１４Ａと、第２固定部を移動ステージに対して第１方向に往復動させる第２駆動部１４Ｂと、第１固定部および第２固定部でワークを固定した後で加工テーブル上のワークを加工する前に、第２固定部を加工テーブル側に移動させるように第２駆動部を制御する制御部１５とを有する。【選択図】図１
2018095423.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺のワークを加工するために前記ワークを保持する装置であって、
基台と、
前記基台上に配置された移動ステージと、
前記移動ステージ上に第１方向に並んで配置され、前記ワークを固定可能とする第１固定部および第２固定部と、
前記移動ステージ上で前記第１固定部と前記第２固定部の間に配置され、前記ワークを支持する加工テーブルと、
前記移動ステージを前記基台に対して前記第１方向に往復動させる第１駆動部と、
前記第２固定部を前記移動ステージに対して前記第１方向に往復動させる第２駆動部と、
前記第１固定部および前記第２固定部で前記ワークを固定した後で前記加工テーブル上の前記ワークを加工する前に、前記第２固定部を前記加工テーブル側に移動させるように前記第２駆動部を制御する制御部と
を備える、ワーク保持装置。
【請求項２】
前記加工テーブルに前記ワークを巻き出される巻き出し機構と、
前記加工テーブルから前記ワークを巻き取る巻き取り機構と
を有する、請求項１に記載のワーク保持装置。
【請求項３】
前記第１固定部に取り付けられ、前記第１固定部に固定された前記ワークの張力を測定する張力測定部を有する、請求項１または２に記載のワーク保持装置。
【請求項４】
前記加工テーブルは、前記ワークを固定可能とする、請求項１から３の何れか一つに記載のワーク保持装置。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一つに記載のワーク保持装置と、
前記加工テーブル上の前記ワークを加工する加工機構と
を有する、ワーク加工装置。
【請求項６】
巻き出し機構から巻き出され巻き取り機構に巻き取られる長尺のワークを加工する方法であって、
請求項２に記載のワーク保持装置に、前記ワークの走行方向が前記第１方向に一致するように、前記ワークを配置する工程と、
前記ワークを前記加工テーブルで支持しつつ前記第１固定部および前記第２固定部で固定する工程と、
前記第１固定部および前記第２固定部で前記ワークを固定したまま前記第２固定部を前記加工テーブル側に移動させ、その後、前記加工テーブル上の前記ワークを加工する工程と
を備える、ワーク加工方法。
【請求項７】
前記ワークを加工する工程において、前記加工テーブルにより前記ワークを固定してから、前記ワークを加工する、請求項６に記載のワーク加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク保持装置、ワーク加工装置およびワーク加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワーク保持装置としては、特開２０１３−２８４７０号公報（特許文献１）に記載されたものがある。このワーク保持装置は、長尺のワークを巻出しロールから巻取りロールに搬送させる。ワーク保持装置は、ワークを吸着した状態でのワークの移動に同期した移動及びワークを解放した状態での初期位置への復帰を繰り返す加工テーブルと、巻出しロールと加工テーブルとの間のワークを保持する第１クランプ部と、加工テーブルと巻取りロールとの間のワークを保持する第２クランプ部とを有する。巻出しロールと第１クランプ部の間に、ワークに張力を与える上流側ダンサーローラを設け、巻取りロールと第２クランプ部の間に、ワークに張力を与える下流側ダンサーローラを設けている。
【０００３】
そして、上流側ダンサーローラ及び下流側ダンサーローラによりワークに張力を与えた状態で、ワークを吸着固定したまま、加工テーブルをワークの移動に同期して移動させる。その後、第２クランプ部においてワークを保持し、上流側ダンサーローラによりワークに付与される張力を緩めてから、ワークを解放した状態で加工テーブルを初期位置へ復帰させ、加工テーブルによりワークを吸着固定する。これにより、ワークを低い張力状態で加工テーブルに吸着固定でき、ワークの伸びがない状態で、ワークに対する加工を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−２８４７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来のワーク保持装置を用いてワークを加工しても、ワークの加工精度は十分に満足のいくものではなかった。
【０００６】
そこで、本発明の課題は、ワークにかかる張力を低減してワークの加工精度を向上したワーク保持装置、ワーク加工装置およびワーク加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明のワーク保持装置は、
長尺のワークを加工するために前記ワークを保持する装置であって、
基台と、
前記基台上に配置された移動ステージと、
前記移動ステージ上に第１方向に並んで配置され、前記ワークを固定可能とする第１固定部および第２固定部と、
前記移動ステージ上で前記第１固定部と前記第２固定部の間に配置され、前記ワークを支持する加工テーブルと、
前記移動ステージを前記基台に対して前記第１方向に往復動させる第１駆動部と、
前記第２固定部を前記移動ステージに対して前記第１方向に往復動させる第２駆動部と、
前記第１固定部および前記第２固定部で前記ワークを固定した後で前記加工テーブル上の前記ワークを加工する前に、前記第２固定部を前記加工テーブル側に移動させるように前記第２駆動部を制御する制御部と
を有する。
【０００８】
本発明のワーク保持装置によれば、第１固定部と第２固定部は、加工テーブルとともに、移動ステージ上に配置されているので、第１固定部と加工テーブルの間の距離、および、第２固定部と加工テーブルの間の距離を小さくできる。これにより、ワークを第１方向に沿って第１、第２固定部と加工テーブルに配置するとき、第１固定部と加工テーブルの間、および、第２固定部と加工テーブルの間でワークがたるんでも、ワークのたるみによる自重を小さくできて、ワークの自重による加工テーブル上のワークにかかる張力を低減できる。
【０００９】
また、制御部は、第１、第２固定部でワークを固定した後で加工テーブル上のワークを加工する前に、第２固定部を加工テーブル側に移動させるように第２駆動部を制御する。これにより、第１固定部と加工テーブルの間および第２固定部と加工テーブルの間の少なくとも一方でワークが引っ張られても、ワークの加工の前に、第２固定部を加工テーブル側に移動させて、加工テーブル上のワークにかかる張力を低減できる。
【００１０】
したがって、ワークにかかる張力を低減した状態で、ワークを加工することができて、ワークの加工精度を向上できる。
【００１１】
また、ワーク保持装置の一実施形態では、
前記加工テーブルに前記ワークを巻き出される巻き出し機構と、
前記加工テーブルから前記ワークを巻き取る巻き取り機構と
を有する。
【００１２】
前記実施形態によれば、ワークを巻き出し機構から巻き取り機構に搬送させることになり、ワークに張力がかかり易くなるが、ワークにかかる張力を効果的に低減できる。
【００１３】
また、ワーク保持装置の一実施形態では、前記第１固定部に取り付けられ、前記第１固定部に固定された前記ワークの張力を測定する張力測定部を有する。
【００１４】
前記実施形態によれば、張力測定部によりワークにかかる張力を測定しながら、ワークにかかる張力を低減するように制御できる。
【００１５】
また、ワーク保持装置の一実施形態では、前記加工テーブルは、前記ワークを固定可能とする。
【００１６】
前記実施形態によれば、加工テーブルによりワークを固定してから、ワークを加工することができ、エアブローを用いた加工やワークに直接接触して行う加工において、ワークの位置ずれを防止でき、ワークの加工精度が向上する。
【００１７】
また、ワーク加工装置の一実施形態では、
前記ワーク保持装置と、
前記加工テーブル上の前記ワークを加工する加工機構と
を有する。
【００１８】
前記実施形態によれば、前記ワーク保持装置を有するので、ワークにかかる張力を低減した状態で、ワークを加工することができて、ワークの加工精度を向上できる。
【００１９】
また、ワーク加工方法の一実施形態では、
巻き出し機構から巻き出され巻き取り機構に巻き取られる長尺のワークを加工する方法であって、
前記ワーク保持装置に、前記ワークの走行方向が前記第１方向に一致するように、前記ワークを配置する工程と、
前記ワークを前記加工テーブルで支持しつつ前記第１固定部および前記第２固定部で固定する工程と、
前記第１固定部および前記第２固定部で前記ワークを固定したまま前記第２固定部を前記加工テーブル側に移動させ、その後、前記加工テーブル上の前記ワークを加工する工程と
を有する。
【００２０】
前記実施形態によれば、前記ワーク保持装置を用いているので、第１固定部と加工テーブルの間の距離、および、第２固定部と加工テーブルの間の距離を小さくできる。これにより、第１固定部と加工テーブルの間、および、第２固定部と加工テーブルの間でワークがたるんでも、ワークのたるみによる自重を小さくできて、ワークの自重による加工テーブル上のワークにかかる張力を低減できる。
【００２１】
また、第１固定部および第２固定部でワークを固定したまま第２固定部を加工テーブル側に移動させ、その後、加工テーブル上のワークを加工する。これにより、第１固定部と加工テーブルの間および第２固定部と加工テーブルの間の少なくとも一方でワークが引っ張られても、ワークの加工の前に、第２固定部を加工テーブル側に移動させて、加工テーブル上のワークにかかる張力を低減できる。
【００２２】
したがって、ワークにかかる張力を低減した状態で、ワークを加工することができて、ワークの加工精度を向上できる。
【００２３】
また、ワーク加工方法の一実施形態では、前記ワークを加工する工程において、前記加工テーブルにより前記ワークを固定してから、前記ワークを加工する。
【００２４】
前記実施形態によれば、加工テーブルによりワークを固定してから、ワークを加工することができ、エアブローを用いた加工やワークに直接接触して行う加工において、ワークの位置ずれを防止でき、ワークの加工精度が向上する。
【発明の効果】
【００２５】
本発明のワーク保持装置、ワーク加工装置およびワーク加工方法によれば、ワークにかかる張力を低減してワークの加工精度を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明のワーク加工装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明のワーク加工装置を示す模式図である。
【図３Ａ】本発明のワーク加工方法を説明する説明図である。
【図３Ｂ】本発明のワーク加工方法を説明する説明図である。
【図３Ｃ】本発明のワーク加工方法を説明する説明図である。
【図３Ｄ】本発明のワーク加工方法を説明する説明図である。
【図４Ａ】本発明のワーク加工方法を説明する説明図である。
【図４Ｂ】本発明のワーク加工方法を説明する説明図である。
【図４Ｃ】本発明のワーク加工方法を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
上述したように、従来のワーク保持装置では、ワークの加工精度は十分でなかった。鋭意検討の結果、第１、第２クランプ部でワークを保持し、加工テーブルでワークを吸着し、加工テープル上のワークを加工するとき、ワークに張力がかかっていることがわかった。この張力によりワークは変形しており、この状態でワークを加工するため、加工精度が低下していた。さらに、本願発明者は、この現象の原因を以下に見出した。
つまり、従来のワーク保持装置では、第１クランプ部と加工テーブルとの間の距離、および、第２クランプ部と加工テーブルとの間の距離が大きいため、第１、第２クランプ部と加工テーブルとの間でワークがたるんで、ワークの自重により張力が発生する。この結果、加工テーブル上のワークに張力がかかり、ワークが変形した状態でワークを加工することになる。
【００２８】
本願発明者は、第１クランプ部と加工テーブルとの間の距離、および、第２クランプ部と加工テーブルとの間の距離を小さくして、ワークのたるみによる自重を小さくすることに着目した。しかしながら、従来のワーク保持装置では、加工テーブルはワークの移動に伴って移動するため、第１、第２クランプ部を加工テーブルの可動範囲内に設置することはできない。このため、第１、第２クランプ部と加工テーブルとの間の距離を小さくすることができず、ワークに張力が発生してしまう。
そこで、本願発明者は、第１、第２クランプ部を加工テーブルとともに移動可能となるように一体に構成して、第１クランプ部と加工テーブルとの間の距離、および、第２クランプ部と加工テーブルとの間の距離を小さくして、ワークのたるみによる自重を小さくした。
【００２９】
さらに、本願発明者は、第１、第２クランプ部と加工テーブルとの間の距離を小さくすることにより、第１、第２クランプ部と加工テーブルとの間のワークのたるみを小さくできるが、第１、第２クランプ部と加工テーブルとの間でワークが引っ張られて緊張状態となりやすいことに着目した。
そこで、本願発明者は、第１、第２クランプ部と加工テーブルとの間でワークが引っ張られても、ワークの加工の前に、第１、第２クランプ部の何れか一方を加工テーブル側に移動させて、加工テーブル上のワークにかかる張力を低減するようにした。
【００３０】
本発明は、本願発明者が独自に得た上記知見に基づいてなされたものである。
【００３１】
以下、本発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００３２】
（実施形態）
図１は、本発明のワーク加工装置の一実施形態を示す斜視図である。図２は、本発明のワーク加工装置を示す模式図である。図１と図２に示すように、ワーク加工装置１は、ワーク保持装置２と、ワーク保持装置２に保持されたワーク５を加工する加工機構３とを有する。ワーク５は、長尺に形成されている。ワーク５は、例えば、樹脂シートやセラミックグリーンシートである。ワーク５は、さらに、ＰＥＴフィルムのようなキャリアフィルムに裏打ちされている場合もある。
【００３３】
加工機構３は、例えば、レーザ装置であり、レーザ光によりワーク５に貫通孔などを設ける。なお、加工機構３として、レーザ装置を用いた例を示すが、例えば、露光装置、プレス装置、層間接続用の導電ペースト等のペーストの充填を行う装置、導体ペースト等の各種印刷や塗布を行う装置などを用いてもよい。
【００３４】
ワーク保持装置２は、長尺のワーク５を加工するためにワーク５を保持する装置である。ワーク保持装置２は、基台１０と、基台１０上に配置された移動ステージ１１と、移動ステージ１１上に配置された第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂと、移動ステージ１１上に配置された加工テーブル１３と、移動ステージ１１を駆動する第１駆動部１４Ａと、第２固定部１２Ｂを駆動する第２駆動部１４Ｂと、ワーク保持装置２を制御する制御部１５とを有する。
【００３５】
第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂは、移動ステージ１１上に第１方向Ｄに並んで配置され、ワーク５を固定することとワーク５を解放することを切り替え可能とする。第１方向Ｄは、ワーク５の走行方向に一致している。第１固定部１２Ａは、ワーク５の走行方向の上流側に配置され、第２固定部１２Ｂは、ワーク５の走行方向の下流側に配置されている。
【００３６】
第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂは、例えば、ワーク５を吸着して固定する。具体的に述べると、第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂは、ワーク５を真空圧により吸引して固定するためのステージを含み、このステージとしては、例えば、多孔質吸引板や、金属板に吸引穴が加工されているものを用いる。なお、第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂは、ワーク５をクランプして固定するようにしてもよい。
【００３７】
第１固定部１２Ａには、張力測定部１６が取り付けられている。張力測定部１６は、第固定部１２Ａに固定されたワーク５の張力を測定する。張力測定部１６は、移動ステージ１１と第１固定部１２Ａの間に取り付けられている。張力測定部１６は、例えば、張力計である。
【００３８】
加工テーブル１３は、移動ステージ１１上で第１固定部１２Ａと第２固定部１２Ｂの間に配置され、ワーク５を支持する。加工テーブル１３は、ワーク５を固定することとワーク５を解放することを切り替え可能とする。加工テーブル１３は、例えば、ワーク５を吸着して固定する。具体的に述べると、加工テーブル１３は、第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂと同様の構成を有する。加工機構３により加工テーブル１３上に位置するワーク５が加工される。
【００３９】
第１駆動部１４Ａは、移動ステージ１１を基台１０に対して第１方向Ｄに往復動させる。第１駆動部１４Ａは、例えば、リニアガイドおよびモータ等から構成される。なお、第１駆動部１４Ａは、シリンダおよびモータ等から構成されるようにしてもよい。
【００４０】
第２駆動部１４Ｂは、第２固定部１２Ｂを移動ステージ１１に対して第１方向Ｄに往復動させる。つまり、第２駆動部１４Ｂは、第２固定部１２Ｂを加工テーブル１３に接近または離隔させる。第２駆動部１４Ｂは、例えば、シリンダおよびモータ等から構成される。なお、第２駆動部１４Ｂは、リニアガイドおよびモータ等から構成されるようにしてもよい。
【００４１】
制御部１５は、第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂでワーク５を固定した後で加工テーブル１３上のワーク５を加工する前に、第２固定部１２Ｂを加工テーブル１３側に移動させるように第２駆動部１４Ｂを制御する。制御部１５は、例えば、マイコン等から構成される。
【００４２】
ワーク保持装置２は、さらに、加工テーブル１３にワーク５を巻き出される巻き出し機構２０と、加工テーブル１３からワーク５を巻き取る巻き取り機構３０とを有する。巻き出し機構２０は、基台１０（第１固定部１２Ａ）の上流側に配置され、巻き取り機構３０は、基台１０（第２固定部１２Ｂ）の下流側に配置される。
【００４３】
巻き出し機構２０は、巻き出しローラ２１と、ガイドローラ２２と、サクションローラ２３と、ダンサーローラ２４とを有する。巻き出しローラ２１は、巻き回されたワーク５を巻き出す。ガイドローラ２２およびサクションローラ２３は、巻き出しローラ２１と第１固定部１２Ａの間に配置され、巻き出しローラ２１と第１固定部１２Ａの間のワーク５を下方から支持する。サクションローラ２３は、ガイドローラ２２の下流側に配置されている。サクションローラ２３は、その表面にワーク５を吸引する機構を有し、かつ、回転機構を有する。ダンサーローラ２４は、ガイドローラ２２とサクションローラ２３の間のワーク５に吊り下げられている。
【００４４】
巻き取り機構３０は、巻き取りローラ３１と、サクションローラ３２と、ガイドローラ３３と、ダンサーローラ３４とを有する。巻き取りローラ３１は、巻き出しローラ２１から巻き出されたワーク５を巻き取る。サクションローラ３２およびガイドローラ３３は、巻き取りローラ３１と第２固定部１２Ｂの間に配置され、巻き取りローラ３１と第２固定部１２Ｂの間のワーク５を下方から支持する。サクションローラ３２は、ガイドローラ３３の上流側に配置されている。サクションローラ３２は、その表面にワーク５を吸引する機構を有し、かつ、回転機構を有する。サクションローラ３２は、ワーク５を吸引して回転することで、巻き出しローラ２１から加工テーブル１３にワーク５を送り出す。ダンサーローラ３４は、サクションローラ３２とガイドローラ３３の間のワーク５に吊り下げられている。
【００４５】
巻き取り機構３０のサクションローラ３２は、制御部１５により制御される。例えば、ワーク５が、第１、第２固定部１２Ａ，１２Ｂおよび加工テーブル１３に固定されて、移動ステージ１１とともに移動するとき、制御部１５は、移動ステージ１１の移動に同期して、巻き取り機構３０のサクションローラ３２を回転する。巻き出しローラ２１および巻き取りローラ３１は、サクションローラ３２と移動ステージ１１が同期して動けるように、ダンサーローラ２４，３４の位置を移動させてワーク５の量（長さ）を管理する。
【００４６】
前記ワーク保持装置２によれば、第１固定部１２Ａと第２固定部１２Ｂは、加工テーブル１３とともに、移動ステージ１１上に配置されているので、第１固定部１２Ａと加工テーブル１３の間の距離、および、第２固定部１２Ｂと加工テーブル１３の間の距離を小さくできる。これにより、ワーク５を第１方向Ｄに沿って第１、第２固定部１２Ａ，１２Ｂと加工テーブル１３に配置するとき、第１固定部１２Ａと加工テーブル１３の間、および、第２固定部１２Ｂと加工テーブル１３の間でワーク５がたるんでも、ワーク５のたるみによる自重を小さくできて、ワーク５の自重による加工テーブル１３上のワーク５にかかる張力を低減できる。
【００４７】
また、制御部１５は、第１、第２固定部１２Ａ，１２Ｂでワーク５を固定した後で加工テーブル１３上のワーク５を加工する前に、第２固定部１２Ｂを加工テーブル１３側に移動させるように第２駆動部１４Ｂを制御する。これにより、第１固定部１２Ａと加工テーブル１３の間、および、第２固定部１２Ｂと加工テーブル１３の間の少なくとも一方で、ワーク５が引っ張られて緊張状態となっても、ワーク５の加工の前に、第２固定部１２Ｂを加工テーブル１３側に移動させて、加工テーブル１３上のワーク５にかかる張力を低減できる。
【００４８】
したがって、ワーク５にかかる張力を低減した状態で、ワーク５を加工することができて、ワーク５の加工精度を向上できる。
【００４９】
前記ワーク保持装置２によれば、巻き出し機構２０および巻き取り機構３０を有するので、ワーク５を巻き出し機構２０から巻き取り機構３０に搬送させることになり、ワーク５に張力がかかり易くなるが、ワーク５にかかる張力を効果的に低減できる。
【００５０】
前記ワーク保持装置２によれば、張力測定部１６を有するので、張力測定部１６によりワーク５にかかる張力を測定しながら、ワーク５にかかる張力を低減するように制御できる。
【００５１】
前記ワーク保持装置２によれば、加工テーブル１３は、ワーク５を固定することとワーク５を解放することを切り替え可能とする。加工テーブル１３によりワーク５を固定してから、ワーク５を加工することができ、エアブローを用いた加工や、ワーク５に直接接触して行う加工において、ワーク５の位置ずれを防止でき、ワーク５の加工精度が向上する。ワーク５に直接接触して行う加工としては、例えば、ペースト充填やプレスなどの機械的な加工がある。
【００５２】
前記ワーク加工装置１によれば、前記ワーク保持装置２を有するので、ワーク５にかかる張力を低減した状態で、ワーク５を加工することができて、ワーク５の加工精度を向上できる。
【００５３】
次に、巻き出し機構２０から巻き出され巻き取り機構３０に巻き取られる長尺のワーク５を加工する方法について説明する。
【００５４】
図３Ａに示すように、ワーク保持装置２に、ワーク５の走行方向が第１方向Ｄに一致するように、ワーク５を配置する。そして、ワーク５を加工テーブル１３で支持しつつ第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂで固定する。このとき、加工テーブル１３ではワーク５を解放している。
【００５５】
その後、図３Ｂに示すように、巻き出し機構２０と第１固定部１２Ａとの間のワーク５をたるませると共に、巻き取り機構３０と第２固定部１２Ｂとの間のワーク５をたるませる。具体的に述べると、サクションローラ２３，３２（図１参照）でワーク５を吸引し保持して、サクションローラ２３とダンサーロール２４との間、および、サクションローラ３２とダンサーロール３４との間で発生するワーク５にかかる張力を低減させる。その後、サクションローラ２３，３２を少し回転させることで、ワーク５をたるませる。加工テーブル１３では、ワーク５を解放したままである。このように、ワーク５にたるみを持たせることで、以降の工程において、ワーク５に予測しない張力がかかることを防止できる。つまり、ワーク５にバッファとしてのたるみをもたせる。
【００５６】
その後、図３Ｃに示すように、第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂでワーク５を固定したまま第２固定部１２Ｂを矢印Ａ方向に示す加工テーブル１３側に移動させ、第２固定部１２Ｂと加工テーブル１３との間のワーク５にかかる張力を低減する。例えば、第２固定部１２Ｂと加工テーブル１３との間のワーク５をたるませる。加工テーブル１３では、ワーク５を解放したままである。
【００５７】
その後、図３Ｄに示すように、加工テーブル１３によりワーク５を固定してから、加工テーブル１３上のワーク５を加工機構３により加工する。ワーク５の加工は、本実施形態ではレーザ加工であるが、露光、ペースト充填、プレス加工、各種印刷や塗布などの加工であってもよい。
【００５８】
ここで、加工テーブル１３上のワーク５を、第１方向Ｄに３つの領域（左領域、中央領域、右領域）に分けて加工する場合を説明する。図４Ａにおいて、巻き出し機構２０側を左側とし、巻き取り機構３０側を右側とする。
【００５９】
図４Ａに示すように、ワーク５の中央領域を加工する場合、移動ステージ１１を第１方向Ｄの中央位置に設置する。このとき、ワーク５は、第１、第２固定部１２Ａ，１２Ｂと加工テーブル１３により固定されている。そして、図３Ａから図３Ｄで説明したように、ワーク５を加工する。
【００６０】
図４Ｂに示すように、ワーク５の左領域を加工する場合、移動ステージ１１を矢印Ｂ方向に示すように右側に移動する。このとき、ワーク５は、第１、第２固定部１２Ａ，１２Ｂと加工テーブル１３により固定されているため、ワーク５は、移動ステージ１１とともに右側に移動する。ワーク５は、サクションローラ３２が回転することにより移動される。巻き出し機構２０のダンサーローラ２４は、ワーク５の張力が設定した値になる位置（上側）に移動される。巻き取り機構３０のダンサーローラ３４は、ワーク５の張力が設定した値になる位置（下側）に移動される。そして、図３Ａから図３Ｄで説明したように、ワーク５を加工する。
【００６１】
図４Ｃに示すように、ワーク５の右領域を加工する場合、移動ステージ１１を矢印Ｃ方向に示すように左側に移動する。このとき、ワーク５は、第１、第２固定部１２Ａ，１２Ｂと加工テーブル１３により固定されているため、ワーク５は、移動ステージ１１とともに左側に移動する。ワーク５は、サクションローラ３２が回転することにより移動される。巻き出し機構２０のダンサーローラ２４は、ワーク５の張力が設定した値になる位置（下側）に移動される。巻き取り機構３０のダンサーローラ３４は、ワーク５の張力が設定した値になる位置（上側）に移動される。そして、図３Ａから図３Ｄで説明したように、ワーク５を加工する。なお、ワーク５は、サクションローラ２３が回転することにより移動されることとしてもよい。
【００６２】
前記ワーク加工方法によれば、前記ワーク保持装置２を用いているので、第１、第２固定部１２Ａ，１２Ｂと加工テーブル１３との間の距離を小さくできる。これにより、第１、第２固定部１２Ａ，１２Ｂと加工テーブル１３との間でワーク５がたるんでも、ワーク５のたるみによる自重を小さくできて、ワーク５の自重による加工テーブル１３上のワーク５にかかる張力を低減できる。
【００６３】
また、第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂでワーク５を固定したまま第２固定部１２Ｂを加工テーブル１３側に移動させ、その後、加工テーブル１３上のワーク５を加工する。これにより、第１固定部１２Ａと加工テーブル１３の間、および、第２固定部１２Ｂと加工テーブル１３の間の少なくとも一方で、ワーク５が引っ張られても、ワーク５の加工の前に、第２固定部１２Ｂを加工テーブル１３側に移動させて、加工テーブル１３上のワーク５にかかる張力を低減できる。
【００６４】
したがって、ワーク５にかかる張力を低減した状態で、ワーク５を加工することができて、ワーク５の加工精度を向上できる。
【００６５】
前記ワーク加工方法によれば、加工テーブル１３によりワーク５を固定してから、ワーク５を加工することができ、エアブローを用いた加工やワーク５に直接接触して行う加工において、ワーク５の位置ずれを防止でき、ワーク５の加工精度が向上する。
【００６６】
前記ワーク加工方法によれば、図３Ｂに示すように、巻き出しローラ２１と巻き取りローラ３１でワーク５をたるませる前に、ワーク５を第１固定部１２Ａおよび第２固定部１２Ｂで固定している。これにより、加工テーブル１３上のワーク５の吸着位置のバラつきが小さくなり、ワーク５にアライメントマークなどがある場合、アライメントマーク撮影用のカメラの視野内にアライメントマークが確実に入るようになる。
【００６７】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。
【００６８】
前記実施形態では、ワークの走行方向の上流側に第１固定部を配置し、ワークの走行方向の下流側に第２固定部を配置しているが、上流側に第２固定部を配置し、下流側に第１固定部を配置するようにしてもよい。また、第２固定部に加えて、第１固定部を第１方向に往復動可能となるように構成してもよい。このとき、第１固定部を移動ステージに対して第１方向に往復動させる駆動部を設け、制御部によってワークの加工前に第１固定部を加工テーブル側に移動させるように構成してもよい。
【００６９】
前記実施形態では、ワーク保持装置は、巻き出し機構と巻き取り機構を含むが、これらを省略してもよい。このとき、ワークは、ロール状に巻かれたものでなく、例えば、板状に形成される。
【００７０】
前記実施形態では、加工テーブルによりワークを固定したまま、ワークを加工しているが、加工テーブルによりワークを解放したまま、ワークを加工するようにしてもよい。すなわち、加工テーブルには、ワークを吸着するための機構を設けなくてもよい。
【００７１】
前記実施形態では、張力測定部を設けているが、張力測定部を省略するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１  ワークの加工装置
２  ワーク保持装置
３  加工機構
５  ワーク
１０  基台
１１  移動ステージ
１２Ａ  第１固定部
１２Ｂ  第２固定部
１３  加工テーブル
１４Ａ  第１駆動部
１４Ｂ  第２駆動部
１５  制御部
１６  張力測定部
２０  巻き出し機構
３０  巻き取り機構
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
2018095423.tif 000007
【図３Ｄ】
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【図４Ａ】
2018095423.tif 000009
【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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