(57)【要約】透明スペーサ層（２２）又は透明カバー層のうちの少なくとも１つを有する光記憶媒体を製造する方法が提供される。この層は、内径ｒｉ及び外径ｒｏ間に液体層（２２）をスピンコーティングし、例えば紫外線への暴露による実質的な凝固により設けられる。液体（２２）の凝固はt=tiとして規定される時点にriにおいて開始される。roにおける液体（２２）の凝固はt=toとして規定される時点に行われ、to=ti+δであり、δ>1sである。ri及びro間の液体（２２）の凝固はti及びtoの間の時点に行われる。凝固した液体（２２）の半径方向の厚さの一様性が大幅に改善され、±1μmよりも良好である利点を持つ。さらに、好ましくは放射線に対して透明であるスタンパを特別な装置を用いて液体層（２２）の未凝固の頂部に押圧し、凝固させる方法を用いて製造される光記憶媒体が提供される。このようにして、情報が、スペーサ層（２２）の厚さの一様性を乱すことなく該スペーサ層（２２）に設けられる。
2005526343.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板及び該基板上にたい積される複数の層を有する光記憶媒体を製造する方法であって、透明スペーサ層及び透明カバー層のうちの少なくとも１つを含み、この層は、回転する前記基板上に液体を施し、該液体を内径ｒｉ及び外径ｒｏ間で実質的に一様に層にのばすために該基板をさらに回転させ、放射線への暴露によりこの液体層を実質的に凝固させることにより設けられる方法において、
−  riにおける前記液体層の凝固がt=tiとして規定される時点に行われ、
−  roにおける前記液体層の凝固がt=toとして規定される時点に行われ、to=ti+δであり、δ>1sであって、
−  ri及びro間の前記液体層の凝固がti及びtoの間の時点に行われることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記放射線は紫外線であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
【請求項３】
前記暴露は、ro-riよりも実質的に小さな径を持つ領域において前記基板に放射線を投射する局部的放射源により実行され、前記放射源は、前記基板の回転中半径方向外方に徐々に移動することを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記局部的放射源は光ファイバであることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記暴露は、roにおけるよりも大きな放射強度をriにおいて投射する放射源により実行されることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。  
【請求項６】
前記暴露は、調整可能な開口径を持つ絞りと組み合わされた放射源により実行され、前記絞りは、前記基板の回転中第１の径d1から第２の径d2までδよりも大きなタイムフレームの間に開口し、d2> d1であり、前記絞りは、回転する前記基板の回転中心に対して心出しされ、前記放射源及び前記基板の間に存することを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項７】
d1はriの２倍に実質的に等しく、d2はroの２倍に実質的に等しいことを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記基板の数mm幅の外周部が、この部分における前記液体層の放射線への暴露を防止するためにマスクにより遮蔽されることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
暴露部分の前記液体層の暴露後、前記基板は十分に高い回転数で回転され、前記外周部の暴露されなかった液体を前記基板から実質的に除去することを特徴とする請求項６又は８に記載の方法。
【請求項１０】
前記暴露は、酸素を含有する雰囲気中で、且つ酸素阻害により凝固しない前記液体層の数μmの頂部を残す暴露強度で行われることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法を用いて製造される光記憶媒体において、
さらに、
−  スタンパが前記液体層の未凝固の頂部に押圧され、
−  次いで前記頂部を放射線への暴露により凝固させ、
−  前記スタンパが完全に凝固した前記液体層の頂部から分離され、
−  更なる層が当該光記憶媒体を完成させるために設けられる、
ことにより製造されることを特徴とする光記憶媒体。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光記憶媒体において、前記スタンパは紫外線に対して透明であり、前記頂部をこの透明スタンパを介して投射される紫外線により凝固させることを特徴とする光記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板及び該基板上にたい積される複数の層を有する光記憶媒体を製造する方法であって、透明スペーサ層及び透明カバー層のうちの少なくとも１つを含み、この層は、回転する前記基板上に液体を施し、該液体を内径ri及び外径ro間で実質的に一様に層にのばすために該基板をさらに回転させ、放射線への暴露によりこの液体層を実質的に凝固させることにより設けられる方法に関する。
【０００２】
本発明はさらに、前記方法を用いて製造される光記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００３】
斯かる方法の実施例は、欧州特許出願公開第EP-A-1047055号から知られている。とりわけ、カバー層又は他の層を互いに、基板の表面に及び／又は１つ以上の情報記憶層に接着するために光透過接着層を適用することが述べられている。
【０００４】
８ギガバイト(GB)以上の記憶容量を持つ、記録及び再生に適した光記憶媒体を得るための不断の努力(constant drive)がある。この要求は、あるデジタルビデオディスク(Digital Video Disk)、また時にはデジタルバーサタイルディスク(Digital Versatile Disk)フォーマット(DVD)により満たされる。DVDフォーマットは、再生専用のDVD-ROM、書き換え可能なデータ記憶に利用可能なDVD-RAM、DVD-RW及びDVD+RW、並びに１度記録可能なDVD-Rに分けられる。現在、DVDフォーマットは、4.7GB、8.5GB、9.4GB及び17GBの容量を持つディスクを有する。
【０００５】
8.5GB並びにとりわけ9.4GB(DVD-9)及び17GB(DVD-18)フォーマットは、より複雑な構造を呈していて、大抵複数の情報記憶層を有する。4.7GBシングルレイヤー書き換え可能DVDフォーマットは、例えば従来のコンパクトディスク(CD)と同等に扱いが容易であるが、ビデオレコーディングの目的には不十分な記憶容量を提案している。
【０００６】
目下提案されている大記億容量フォーマットはデジタルビデオレコーダブルディスク(DVR)である。現在２つのフォーマットが開発されている。すなわち、DVR−レッドとDVR−ブルーであり、後者はブルーレイディスク(Blu-Ray Disk
(BD))とも呼ばれる。ここで、レッド及びブルーは、記録及び読み取りに用いられる放射ビームの波長を参照している。このディスクは、容量の問題を解消し、その最も単純な形態で、高密度デジタルビデオレコーディングに適した単一記憶層のフォーマットを持ち、DVR−ブルーフォーマットにおいては22GBまでの容量を持つ記憶容量を持つ。
【０００７】
DVRディスクは一般にディスク状の基板を有し、その片面又は両面において情報記憶層を呈している。DVRディスクはさらに、１つ以上の放射ビーム透過層を有する。これらの層は、ディスクから読み取る又はディスクに書き込むために用いられる放射ビームを透過させる。例えば、透過カバー層が情報記憶層上に適用される。一般に、高密度ディスクに対して、高い開口数(NA)、例えば0.60より高い開口数を持つレンズが、相対的に低い波長を持つ斯かる放射ビームを焦点合わせするために用いられる。0.60を越える開口数を持つシステムに対しては、例えば厚さの変動及びディスクの傾きに対する許容範囲が減少することに起因して0.6乃至1.2mmの範囲における基板の厚みを用いた基板入射記録(substrate
incident recording)を適用することが著しく困難になる。この理由のために、高い開口数を用いて記録される及び読み取られるディスクを用いる場合、第１記録スタックの記録層上への焦点合わせは、基板と反対の側から実行される。第１記録層は環境から保護されなければならないため、少なくとも１つの相対的に薄い放射ビーム透過カバー層、例えば0.5mmより薄い層が用いられ、該層を介して放射ビームは焦点合わせされる。明らかに、基板が放射ビームを透過させる必要性はもはや存在せず、他の基板材料、例えば、金属又は合金が用いられても良い。
【０００８】
第２またはさらなる記録スタックが存在する場合、放射ビーム透過スペーサ層がこれら記録スタック間に要求される。第２及びさらなる記録スタックは、第１記録スタックの記録層に書き込む及び該記録層から読み取ることを可能にするために放射ビームの波長に対して少なくとも部分的に透明でなければならない。斯かるスペーサ層の厚さは典型的には数十ミクロン程度からである。放射ビーム源と基板から最も離れた記録スタックとの間に存在する放射ビーム透過層は通例カバー層と呼ばれる。既成のシートが透過層として用いられる場合、追加の透過接着層がカバー層を互いに接着するために要求される。
【０００９】
DVRディスクにおいては、ディスクの半径方向延長線上にわたる放射ビーム透過層の厚さの変動またはむら(unevenness)が、衝突してくる放射線に対する光学距離の変動を最小にするために非常に注意深く制御されなければならない。特に、実質的に405nmに等しい波長及び実質的に0.85に等しい開口数を持つ放射ビームを用いるDVD−ブルーバージョンにおいて焦点における放射ビームの光学的品質は透過層の厚さの変動に相対的に敏感である。全体的な層の厚さは、例えば第１情報記録層上に焦点合わせされる放射ビームの最小の光学球面収差を得るために最適値を持つ。この最適な厚さから例えば±5μmのずれですでにかなりの量のこの種の収差を導入する。この小さな範囲のために、透過層の平均の厚さは、システムの許容範囲を最大限活用するために及び媒体を製造する際の歩留まりを高くするためにその最適な厚さに等しいか近いことが重要である。厚さ誤差が厚さの公称設定を中心としてガウス分布されると仮定すると、上述の規格に準拠せずに製造されるディスクの数は、製造の際の公称厚さの目標設定がDVRディスクの規格におけるようなカバー層の最適な厚さに実質的に等しい場合に最小であることは明らかである。DVRディスクのシングルレイヤーカバーの公称厚さは、該カバー層の屈折率がn=1.6の場合100μmである。カバー層の公称厚さは異なる屈折率を用いる場合調整されなければならない。最適な厚さの変化は2μｍを超えうるので、歩留まりの観点から、この小さな変化さえも考慮されなければならないことは明らかである。
【００１０】
先に述べたように、マルチスタックディスク、例えば、デュアルスタックのディスクがディスクの記憶容量を増加させるために用いられる。これらのディスクは記録スタック間に透過スペーサ層を必要とする。デュアル記録層のDVRディスクの場合、スペーサ層とカバー層との厚さの合計は、100μm、例えば、20μmのスペーサ層及び80μmのカバー層と選択される。欧州特許出願公開第EP-A-1047055号から、光透過カバー又はスペーサ層として例えばポリカーボネート(PC)シート等のポリマー層を使用し、斯かる層をUV硬化可能な液状樹脂又は感圧接着剤(PSA)の薄いスピンコートされた層により情報記憶層に接着することが知られている。ディスクはここでは２つ以上の放射ビーム透過層から構築されるので、上述の指定範囲内で変動するディスクを製造することはより一層困難になる。ゆえに、斯かるディスクに関して、ディスクのカバー及びスペーサ層の最適な公称厚さに実質的に等しい公称厚さを設定することがより一層重要である。
【００１１】
例えばBDディスクを再生する又は記録する際最適なドライブにおける球面収差を補償するための対策に依存しないために、単一記録スタックディスクのカバー層の厚さの変動は±2μmより小さくなるべきである。例えばデュアル記録スタックBDディスクに関しては、斯かる変動はスペーサ層及びカバー層の厚さに関連し、各層別個に±1μmより小さくなるべきである。先に述べたように、これは、別個の層各々の許容誤差により一層厳しい条件を課す。
【００１２】
スペーサ層を生成するためにいくつかの製造業者により現在用いられている技術はDVDボンディングである。先ず、スピンコーティングにより、補助基板又は“スタンパ”、例えば案内溝を持つPC基板に、スタンパに接着しない薄い層が設けられ、次いで、紫外線(UV)放射を用いて硬化又は凝固させる。次いで、この補助層又は“スタンパ”が既知のDVDボンディング技術を用いてDVD基板に接着される。この技術では、液状接着剤が、２つの基板間に存在しつつスピンコートされ、ついで、紫外線への暴露により硬化される。上記硬化された非接着性層及び接着剤の合計の厚さの周方向の変動は良好に制御され得ず、必要な許容範囲、例えば、±1μmを満たさない。さらに、非接着性層のスピンコーティングの適用は、ディスクのエッジにおいていわゆるエッジビード作用をもたらす。これは、ディスクのエッジにおける表面張力作用のために相対的に大幅に増加された層厚を持つ例えば数mmの辺縁部である。5μmより大きな層厚の増加がこの部分に生じるかもしれない。次いで、スタンパが、第２基板に接着されたままの非接着性層と分離される。更なる処理工程、例えば、更なる記録スタック及びカバー層の適用が、ＤＶＤ媒体を完成させるために続いていく。
【００１３】
他の方法は、真空状態で第１DVD基板と接触させた後にUV硬化される“PSAライクな”材料の適用を有する。この材料は通例一枚の箔として提供される。この材料を用いて達成される厚さの変動は±2μmを下回るかもしれない。しかしながら、材料費が高い故、斯かるプロセスは、スピンコーティングプロセスと比較して相対的に高価である。
【００１４】
既知のスピンコーティングプロセスを用いる場合、以下の問題に直面する。基板は通例中央開口を含むので、凝固させるべき液体が該中央開口の周りに環状ビードの形態で投与される。これは通例、基板の回転後液体層の内径から外径に20〜30%半径方向に増加する層厚を示す液体層を生じるような液体層になる。基板の辺縁部におけるエッジビードは、120mm径の円形基板を用いる場合例えば半径55mmから58mmのところにかけて5μmを越える余分な層厚の増加を招くかもしれない。通例これらエッジの現象は周の周りで一様に存在せず、結果として、基板の外周部における付加的な周方向の変動を招く。例えばDVDボンディング技術でスピンコーティングを用いる場合、DVD基板及びスタンパ間から放出される接着剤が周囲にたい積し、これらDVD基板及びスタンパを分離させた後該スタンパに残留物又は該DVD基板にバリを残すかもしれない。これはスタンパの再利用に問題を課し、DVD基板のエッジにおけるバリは光記憶媒体の製造におけるその後の処理工程、例えば、透明カバー層の適用に問題をもたらすかもしれない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明の目的は、情報記憶領域にわたって測定して±1μmよりも小さな厚さの変動(variation)を持つスペーサ層又はカバー層を持つ光記憶媒体を製造するための冒頭段落に述べられる種類の方法を提供することにある。
【００１６】
本発明の他の目的は、エンボス情報(embossed information)を含む本発明の方法により作られたスペーサ層を持つ光記憶媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
第１の目的は、
−  riにおける前記液体層の凝固がt=tiとして規定される時点に行われ、
−  roにおける前記液体層の凝固がt=toとして規定される時点に行われ、to=ti+δであり、δ>1sであって、
−  ri及びro間の前記液体層の凝固がti及びtoの間の時点に行われることを特徴とする冒頭段落による方法を用いて達成される。
【００１８】
この方法を用いた場合、未凝固の領域、即ち、凝固が既に行われている半径のところよりも大きな半径のところにおける領域の厚さが依然変動し得る一方、既に暴露された領域の厚さは実質的に一定である。変動は例えば基板の回転数を変化させることにより又は回転周期を変化させることにより達成されてもよい。しかしながら、これらの変化は必ずしも必要とされるものではない。半径方向外方の液体の流れが既に暴露された領域から生じないと言う事実は、それ自体、完全な実質的凝固の後の液体層の半径方向の厚さ分布が±1μmを越える変動を持たないという所望の作用を達成するために十分な条件であろう。
【００１９】
一実施例においては、前記暴露が、ro-riよりも実質的に小さな径を持つ領域において前記基板に放射線を投射する局部的放射源により実行され、前記放射源は、前記基板の回転中半径方向外方に徐々に移動する。局部的UV源が、先端から紫外線を放つ光ファイバであってもよい。ファイバを用いる利点は、容易に移動させ得る、相対的に強力で局部的な放射源が達成されることである。
【００２０】
他の実施例においては、前記暴露が、roにおけるよりも大きな放射強度をriにおいて投射する放射源により実行される。このようにして、内径における液体層の凝固が外径におけるよりも素早く達成される。実際には、放射強度が内径から外径に徐々に減少するように放射源は選択されるであろう。所望の厚さ分布に到達した後、強度は完全に一様な凝固を得るためのレベルに増加されてもよい。放射強度の差を達成する他の方法は、回転中基板に対する放射源の距離を変える又は回転中放射ビームの発散性(divergence)を変えることが考えられる。
【００２１】
更に他の実施例においては、前記暴露が、調整可能な開口径を持つ絞りと組み合わされた放射源により実行され、前記絞りが、前記基板の回転中第１の径d1から第２の径d2までδよりも大きなタイムフレームの間に開口し、d2> d1であり、前記絞りが、回転する前記基板の回転中心に対して心出しされ、前記放射源及び前記基板の間に存する。これは、相対的に安価であり実施が容易である、通常の実質的に一様な放射源が用いられ得る利点を持つ。絞りは、光記憶媒体の関連する径範囲全てをカバーする開口径範囲、例えば、デュアルレイヤーブルーレイディスクの場合40乃至120mmを持たなければならない。一般的に、d1はriの２倍に実質的に等しく、d2はroの２倍に実質的に等しい。絞りは、放射源からの十分な遮蔽を保証するために基板に近い、例えば、ro-riの約1/3よりも近いことが好ましい。
【００２２】
光記憶媒体の前記基板の数mm幅の外周部が、この部分における液体の放射線への暴露を防止するためにマスクにより遮蔽されることが有利である。これは、局部的に移動する放射源、例えば、ファイバ、または液体が存在する最内径において、該内径よりも大きな半径のところよりも大きな放射強度を投射する放射源を用いる場合のみ有用である。これらの場合、外周部が放射線に暴露されることを防止することはできない。可変絞りを用いる実施例は既にそれ自体遮蔽機能を持ち、この場合、外側数mmが、所要のタイムフレームの間roの２倍よりも正に数mm小さな位置において絞りを開ける動作を休止することにより遮蔽されてもよい。暴露部分の液体の暴露後、前記基板は十分に高い回転数で回転され、前記外周部の暴露されなかった液体を前記基板から実質的に除去する。これは、外周部の在り得るエッジビードが除去され、液体の残留物が基板又はスタンパの何れの外周にも残らないと言う利点を持つ。スタンパは、例えば先に述べたDVDボンディング技術で用いられ、この場合、DVD基板とスタンパとの間から排出され、周囲にたい積し、DVD基板とスタンパとを分離させた後スタンパに残留物又はDVD基板にバリを残すUV硬化可能接着剤がこの処理工程により除去される。このようにして、スタンパはより簡単に再利用され得る。両面デュアルレイヤーDVD読み取り専用ディスクを生産するために用いられるいわゆるDVD-18技術と比較すると、情報がスタンパ基板を介してエンボスすることにより転送されているものの、この技術は、スタンパ基板とDVD基板との良好な分離を可能にするために過剰な接着剤の除去を要する。
【００２３】
前記暴露が、酸素を含有する雰囲気中で、且つ酸素阻害(oxygen inhibition)により凝固しない前記液体層の数μmの頂部を残す暴露強度で行われる場合特に有利である。このようにして、液体層の頂部は実施的に凝固しないままとなる。これは、液体層の頂部への情報、例えば、プリグルーブ若しくはピット又はその逆のエンボシング(embossing)を可能にする。頂部の厚さの小さな相対的変動、例えば、0.2μmが依然生じるかもしれないが、凝固後の液体層の全体的な厚さと比較して無視できるものである。
【００２４】
第２の目的は、スタンパが、本発明による方法を用いて製造されたスペーサ層の液体層の未凝固の頂部に押圧されることを特徴とする第２段落に記載の光記憶媒体を用いて達成される。次いで、前記頂部を放射線への暴露により凝固させる。前記スタンパが完全に凝固した前記液体層の頂部から分離される。更なる層、例えば、記録スタック及びカバー層が当該光記憶媒体を完成させるために設けられてもよい。液体層の頂部を実質的に未凝固のままにすることにより、情報が、スペーサの全体的な厚さを著しく乱すことなくエンボスされ得る。
【００２５】
好ましい実施例においては、前記スタンパが紫外線に対して透明であり、前記頂部をこの透明スタンパを介して投射される紫外線により凝固させる。透明スタンパは、液体層の頂部のより直接的な暴露を可能にし、紫外線に対して透明でない基板を用い得る利点を持つ。
【００２６】
本発明による記憶媒体を製造する方法及び記憶媒体を添付の図面を参照してより詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１には、光記憶媒体を製造する方法の一実施例を実行するためのセットアップが示されている。媒体は、複数の層、例えば、図示しない記録スタックを持つ基板１１を有する。透明スペーサ層１２が、回転する基板１１上に液体を適用し、該液体を内径ri=20mm及び外径ro=60mmの間で実質的に一様に層１２にのばすために基板１１をさらに回転させることにより設けられる。液体層１２は、350mPasの粘度を持つDICにより製造されたSD694タイプのUV硬化可能ラッカーである。凝固中の基板１１の回転数は11Hzである。基板１１はチャック１３により支持される。液体層１２の凝固は、放射線に曝すことにより実行される。液体層１２の凝固はt=tiとして規定される時点にriにおいて開始される。roにおける液体層の凝固はt=toとして規定される時点に行われ、to=ti+δであり、δ=40sである。δの最適値は本質的に紫外線強度、ラッカーの放射線硬化感度等のプロセス条件に依存し、相応に調整されてもよい。より大きな強度及び感度においては、δの最適値は一般に短くなるであろう。δの値は、1s及び数分又はそれ以上の間の範囲、例えば、1, 2, 4, 5, 10, 15, 20, 25, 30, 40, 60, 90, 120sであってもよい。
【００２８】
ri及びro間の液体層１２の凝固はti及びto間の時点に行われる。暴露は、ro-riよりも実質的に小さな領域において基板１１に放射線を投射する局部的放射源(localized radiation source)、本例の場合は光ファイバ１５により実行される。光ファイバ源１５はLumatechにより作成されたSuperlite-UVユニットである。基板１１の回転中、光ファイバ源１５はt=tiから1mm/sの速度で半径方向外方に徐々に移動する。基板１１におけるUVスポットの径は約10mmであり、UVファイバは基板１１上約20mmの高さに位置付けられる。UV強度は0.08W/cm2である。前記基板の数mmの外周部が、この部分における液体１２ｂの放射線への暴露を防止するためにマスク１４により遮蔽される。暴露部分の液体１２の暴露後、基板１１は十分に高い回転数、即ち、30Hzで回転され、前記外周部の暴露されなかった液体１２ｂを基板１１から実質的に除去する。暴露は酸素を含有する雰囲気中、即ち、空気中で、且つ酸素阻害により凝固しない液体層１２の数μmの頂部を残す暴露強度で行われる。本図において液体層１２の層厚は本発明による暴露方法を開始する前の状況を示すものが描かれていることに留意されたい。
【００２９】
図２には、光記憶媒体を製造する方法の一実施例を実行するためのセットアップが示されている。媒体は、複数の層、例えば、図示しない記録スタックを持つ基板２１を有する。透明スペーサ層２２が、回転する基板２１上に液体２２を施し、該液体２２を内径ri=20mm及び外径ro=60mmの間で実質的に一様にのばすために基板２１をさらに回転させることにより設けられる。上記液体は、350mPasの粘度を持つDICにより製造されたSD694タイプのUV硬化可能ラッカーである。凝固中の基板の回転数は11Hzである。液体２２の凝固は、放射線に曝すことにより実行される。上記液体の凝固はt=tiとして規定される時点にriにおいて開始される。roにおける液体の凝固はt=toとして規定される時点に行われ、to=ti+δであり、δ=20sである。ri及びro間の液体２２の凝固はti及びto間の時点に行われる。暴露は、液体２２表面上18cmの高さにおける特別の反射器を持つ紫外線(UV)源２５、本例の場合は高出力UV源(Philips HP-A 400W)により実行される。UV源２５は実質的に一様な放射出力を与える。基板の液体層２２の位置におけるUV強度は0.16W/cm2である。調整可能な開口径を持つ絞り２４が基板２１の回転中40mmの第１の径から120mmの第２の径まで開いていく。開き速度は2.0mm/sである。絞り２４は回転する基板２１の回転中心に対して芯出しされる。絞り２４は基板２１上約5mmの高さでUV源２５及び該基板２１の間に存する。暴露区間(exposure interval)の終端において、基板２１の数mmの外周部が絞り２４により遮蔽されたままにされ、絞り２４はこの部分における液体２２ｂの放射線への暴露を防止するために休止される。暴露部分の液体２２の暴露後、基板２１は十分に高い回転数、即ち、30Hzで回転され、前記外周部のエッジビードの形状の暴露されなかった液体２２ｂを基板２１から実質的に除去する。暴露は酸素を含有する雰囲気中、即ち、空気中で、且つ酸素阻害により凝固しない液体層２２の数μmの頂部を残す暴露強度で行われる。本図において液体層２２の層厚は本発明による暴露方法を開始する前の状況を示すものが描かれていることに留意されたい。
【００３０】
図３においては、例えばスペーサ層により分離された２つ以上の記録スタックを含む光記憶媒体を製造するための装置３０が示されている。紫外線に対して透明であるスタンパ３３が、本発明による方法によって製造された事前硬化液体層３２の未凝固の頂部に押圧される。次いで、上記頂部が透明スタンパ３３を介して投射される紫外線への暴露により凝固される。透明スタンパ３３は完全に凝固した液体層３２の頂部から分離される。更なる層が光記憶媒体を完成させるために別個に設けられる。不透明なスタンパ、例えば、Niが、スタンパが存する側と反対の側から液体層３２の暴露が実行される場合に用いられてもよいことに留意されたい。
【００３１】
ここで、媒体を製造するための装置３０の機能をより詳細に説明する。本発明の方法により液体層３２が設けられた基板３１が、当該装置の底部３０ａにおけるホルダ３９の頂部に位置付けられると同時に事前芯出しされる。ホルダ３９はゴム膜３８により当該装置の底部３０ａの残りの部分に接続されている。プロセスの初めに、底部３０ａのホルダ３９の下方で真空が生じる。装置３０の頂部３０ｂが透明スタンパ３３を保持し、透明スタンパ３３は真空アウトレット３５により該頂部３２に対して適所に保持される。それを中心にスタンパ３３が芯出しされる芯出しピン４０はテーパーが付けられていて、部分３０ａ及び３０ｂが引き合わされる場合に事前硬化液体層３２を持つ基板３１を芯出しする。基板３１及びスタンパ３３間の空気が所望の加圧レベル(under-pressure level)が達成されるまで開口３６を介して排出される。次いで、空気が開口３７を介して底部３０ａに導入され、この作用がスタンパ３３に対して層３２を持つ基板３１を押圧する。紫外線が所望の線量で透明プレート３４及び透明スタンパ３３を介して送り出され、層３２の頂部を硬化させる。空気が開口３６を介して再び解放され、装置３０を開いた後スタンパは硬化層３２を持つ基板３１から分離されてもよい。ここで、硬化層３２の頂面は、スタンパ３３のレリーフ構造のネガコピー(negative copy)を含有する。
【００３２】
本発明によれば、例えばDVR−ブルー等の記録用の光記憶媒体を生産する方法及び該方法を用いて製造された媒体が提供される。基板及び該基板上にたい積される複数の層を有する光記憶媒体が透明スペーサ層及び透明カバー層のうちの少なくとも１つを含む。この層は、回転する前記基板上に液体を施し、該液体を内径ｒｉ及び外径ｒｏ間で実質的に一様にのばすために該基板をさらに回転させることにより設けられる。上記液体は放射線への暴露により凝固し、該液体の凝固はt=tiとして規定される時点にriにおいて開始される。roにおける液体の凝固はt=toとして規定される時点に行われ、to=ti+δであり、δ>1sである。このようにして、スペーサ又はカバー層の厚さの一様性が±1μmよりも小さな変動をもって達成される。さらに、光記憶媒体に、スタンパからのエンボス情報を含有する本発明の方法を用いて製造されたスペーサ層が設けられる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】可動光ファイバの形態の局部的UV源を用いる本発明による方法の実施例を実行するためのセットアップの概略断面図を示す（寸法は縮尺どおりではない）。
【図２】可変絞り及びUV源を用いる本発明による方法の実施例を実行するためのセットアップの概略断面図を示す(寸法は縮尺どおりではない)。
【図３】本発明による方法を用いて製造された光記憶媒体が与えられ、透明スタンパを用いてエンボスする装置を示す。
【図１】
2005526343.tif 000003
【図２】
2005526343.tif 000004
【図３】
2005526343.tif 000005
【国際調査報告】
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