(57)【要約】【課題】スプリアス振動の周波数が可動体の検出振動の周波数に近づくことを抑制することができるジャイロセンサーを提供する。【解決手段】基板と、第１駆動部と、角速度を検出する第１検出部および第２検出部と、を含み、前記第１検出部は、前記第１駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第１可動電極を備えた第１可動体と、前記基板に固定され、前記第１可動電極と対向する第１固定電極と、を有し、前記第２検出部は、前記第１駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第２可動電極を備えた第２可動体と、前記基板に固定され、前記第２可動電極と対向する第２固定電極と、を有し、前記第１可動体と前記第２可動体とは、第１連結部によって連結されている、ジャイロセンサー。【選択図】図１
2018136132.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
第１駆動部と、
角速度を検出する第１検出部および第２検出部と、
を含み、
前記第１検出部は、
前記第１駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第１可動電極を備えた第１可動体と、
前記基板に固定され、前記第１可動電極と対向する第１固定電極と、
を有し、
前記第２検出部は、
前記第１駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第２可動電極を備えた第２可動体と、
前記基板に固定され、前記第２可動電極と対向する第２固定電極と、
を有し、
前記第１可動体と前記第２可動体とは、第１連結部によって連結されている、ジャイロセンサー。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１可動体および前記第２可動体は、同相で振動する、ジャイロセンサー。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記基板に固定された第１固定部、第２固定部、および第３固定部と、
前記第１固定部と前記第１可動体とを連結する第１バネ部と、
前記第２固定部と前記第１可動体とを連結する第２バネ部と、
前記第３固定部と前記第１可動体とを連結する第３バネ部と、
を含み、
前記第１バネ部は、平面視において、前記第２バネ部と前記第３バネ部との間に設けられている、ジャイロセンサー。
【請求項４】
請求項３において、
前記第１バネ部は、第１軸方向に往復しながら、前記第１軸と直交する第２軸方向に延出する形状を有し、
前記第１バネ部の前記第１軸方向に延出している複数の延出部のうち、最も前記第１固定部に近い延出部は、前記第２軸方向からみて前記第１固定部と少なくとも一部が重なっており、前記複数の延出部のうち、他の延出部よりも前記第２軸方向の幅が大きい、ジャイロセンサー。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項において、
前記第１可動体と前記第２可動体とは、同じ大きさであって、同じ形を有している、ジャイロセンサー。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項において、
第２駆動部と、
前記第２駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第３可動体および第４可動体と、
を含み、
前記第３可動体と前記第４可動体とは、第２連結部によって連結され、
前記第１可動体および前記第２可動体と、前記第３可動体および前記第４可動体とは、
逆相で振動する、ジャイロセンサー。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載のジャイロセンサーを含む、電子機器。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載のジャイロセンサーを含む、移動体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジャイロセンサー、電子機器、および移動体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、シリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いて角速度を検出するジャイロセンサーが開発されている。ジャイロセンサーは、例えば、デジタルスチルカメラ（ＤＳＣ）の手振れ補正機能、自動車のナビゲーションシステム、ゲーム機のモーションセンシング機能などの用途が急速に広がりつつある。
【０００３】
ジャイロセンサーは、駆動部の振動により可動体が振動している状態で角速度が加わると、コリオリ力によって可動体が変位することにより、角速度を検出することができる（例えば特許文献１参照）。このようなジャイロセンサーでは、可動体の面積を大きくすると、ＳＮ比（振動（ｓｉｇｎａｌ）と雑音（ｎｏｉｓｅ）との比）を向上させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】欧州特許出願公開第２９５７８６２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のようなジャイロセンサーにおいて、ＳＮ比を向上させるために可動体の面積を大きくすると、可動体が撓み易く、スプリアス振動の周波数が可動体の検出振動の周波数に近づく場合がある。スプリアス振動の周波数は環境温度によっても変動するので、スプリアス振動の周波数が可動体の検出振動の周波数に近づいた状態で、環境温度が変化すると、温度によるスプリアス振動の周波数変動の影響が大きくなる。そのため、ジャイロセンサーの温度安定性が低下する場合がある。
【０００６】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、スプリアス振動の周波数が可動体の検出振動の周波数に近づくことを抑制することができるジャイロセンサーを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記のジャイロセンサーを含む電子機器を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記のジャイロセンサーを含む移動体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。
【０００８】
［適用例１］
本適用例に係るジャイロセンサーは、
基板と、
第１駆動部と、
角速度を検出する第１検出部および第２検出部と、
を含み、
前記第１検出部は、
前記第１駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第１可動電極を備えた第
１可動体と、
前記基板に固定され、前記第１可動電極と対向する第１固定電極と、
を有し、
前記第２検出部は、
前記第１駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第２可動電極を備えた第２可動体と、
前記基板に固定され、前記第２可動電極と対向する第２固定電極と、
を有し、
前記第１可動体と前記第２可動体とは、第１連結部によって連結されている。
【０００９】
このようなジャイロセンサーでは、例えば平面視において第１可動体の面積と第２可動体の面積の合計の面積を有するような大きな可動体を備えたジャイロセンサーに比べて、第１可動体および第２可動体が撓むことを抑制することができ、スプリアス振動の周波数が第１可動体および第２可動体の検出振動の周波数に近づくことを抑制することができる。
【００１０】
［適用例２］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第１可動体および前記第２可動体は、同相で振動してもよい。
【００１１】
このようなジャイロセンサーでは、第１可動体と第２可動体とは第１連結部によって連結されているので、１つの駆動体によって、第１可動体および第２可動体を、同相で振動させることができる。
【００１２】
［適用例３］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記基板に固定された第１固定部、第２固定部、および第３固定部と、
前記第１固定部と前記第１可動体とを連結する第１バネ部と、
前記第２固定部と前記第１可動体とを連結する第２バネ部と、
前記第３固定部と前記第１可動体とを連結する第３バネ部と、
を含み、
前記第１バネ部は、平面視において、前記第２バネ部と前記第３バネ部との間に設けられていてもよい。
【００１３】
このようなジャイロセンサーでは、例えば第１バネ部が設けられていない場合に比べて、第１可動体が撓むことを抑制することができる。
【００１４】
［適用例４］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第１バネ部は、第１軸方向に往復しながら、前記第１軸と直交する第２軸方向に延出する形状を有し、
前記第１バネ部の前記第１軸方向に延出している複数の延出部のうち、最も前記第１固定部に近い延出部は、前記第２軸方向からみて前記第１固定部と少なくとも一部が重なっており、前記複数の延出部のうち、他の延出部よりも前記第２軸方向の幅が大きくてもよい。
【００１５】
このようなジャイロセンサーでは、第２軸方向からみて第１固定部と重なる延出部であって、最も第１固定部に近い延出部が第１固定部に衝突して第１バネ部が破壊することを抑制することができる。
【００１６】
［適用例５］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第１可動体と前記第２可動体とは、同じ大きさであって、同じ形を有していてもよい。
【００１７】
このようなジャイロセンサーでは、１つのスプリアス振動の周波数を避けるように設計すればよいので、設計の自由度を高くすることができる。
【００１８】
［適用例６］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
第２駆動部と、
前記第２駆動部の振動により振動し、角速度に応じて変位する第３可動体および第４可動体と、
を含み、
前記第３可動体と前記第４可動体とは、第２連結部によって連結され、
前記第１可動体および前記第２可動体と、前記第３可動体および前記第４可動体とは、逆相で振動してもよい。
【００１９】
このようなジャイロセンサーでは、例えば角速度以外の加速度等の物理量が印加されたとしても、差動検出により加速度成分を相殺することができ、角速度を正確に検出することができる。
【００２０】
［適用例７］
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
【００２１】
このような電子機器は、本適用例に係るジャイロセンサーを含むことができる。
【００２２】
［適用例８］
本適用例に係る移動体は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。
【００２３】
このような移動体は、本適用例に係るジャイロセンサーを含むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図２】本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。
【図３】検出部とＱＶアンプとの接続を説明するための図。
【図４】検出部とＱＶアンプとの接続を説明するための図。
【図５】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法を説明するためのフローチャート。
【図６】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図７】本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。
【図８】本実施形態の変形例に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。
【図９】本実施形態に係る電子機器の機能ブロック図。
【図１０】本実施形態に係る電子機器の一例であるスマートフォンの外観を模式的に示す図。
【図１１】本実施形態に係る電子機器の一例であるウェアラブル機器の外観を模式的に示す図。
【図１２】本実施形態に係る移動体を模式的に示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００２６】
１．  ジャイロセンサー
まず、本実施形態に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す平面図である。図２は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。なお、図１および図２では、互いに直交する３軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。
【００２７】
ジャイロセンサー１００は、図１および図２に示すように、基板１０と、蓋体２０と、機能素子１０２と、を含む。なお、便宜上、図１では、基板１０および蓋体２０を省略している。
【００２８】
基板１０の材質は、例えば、ガラス、シリコンである。基板１０には、凹部１２が設けられている。凹部１２は、キャビティー２を構成している。基板１０は、凹部１２の底面（凹部１２を規定する基板１０の面）１２ａに設けられたポスト部１４を有している。ポスト部１４は、機能素子１０２を支持するための部材である。
【００２９】
蓋体２０は、基板１０上に（基板１０の＋Ｚ軸方向側に）設けられている。蓋体２０の材質は、例えば、シリコンである。基板１０と蓋体２０とは、陽極接合によって接合されていてもよい。図示の例では、蓋体２０に凹部が形成されており、該凹部は、キャビティー２を構成している。
【００３０】
なお、基板１０と蓋体２０との接合方法は、特に限定されず、例えば、低融点ガラス（ガラスペースト）による接合でもよいし、半田による接合でもよい。または、基板１０および蓋体２０の各々の接合部分に金属薄膜（図示せず）を形成し、該金属薄膜同士を共晶接合させることにより、基板１０と蓋体２０とを接合させてもよい。
【００３１】
機能素子１０２は、例えば、陽極接合によって、基板１０に接合されている。機能素子１０２は、基板１０と蓋体２０とによって形成されるキャビティー２に収容されている。キャビティー２は、減圧状態であることが望ましい。これにより、機能素子１０２の振動が空気粘性によって減衰することを抑制することができる。
【００３２】
機能素子１０２は、例えば、固定部３０と、駆動バネ部４０と、駆動部５０と、検出バネ部６０と、連結バネ部７０と、検出部８０と、第１連結部９０と、第２連結部９２と、を有している。
【００３３】
固定部３０は、基板１０に固定されている。固定部３０は、例えば、陽極接合によって、基板１０のポスト部１４に接合されている。固定部３０は、駆動バネ部４０および検出バネ部６０の少なくとも一方と接続されている。固定部３０は、複数設けられている。図示の例では、固定部３０の平面形状（Ｚ軸方向からみた形状）は、四角形である。
【００３４】
駆動バネ部４０は、固定部３０と駆動部５０の可動駆動電極５２とを連結している。駆動バネ部４０は、基板１０と離間して設けられている。図示の例では、駆動バネ部４０は、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延出している。駆動バネ部４０は、駆動部５０の振
動方向（可動駆動電極５２の振動方向）であるＹ軸方向に円滑に伸縮することができる。
【００３５】
駆動部５０は、検出部８０の可動体８２をＹ軸方向に振動させる。駆動部５０は、複数設けられている。図示の例では、駆動部５０は、２個設けられている（第１駆動部５０ａ、第２駆動部５０ｂ）。例えば、第１駆動部５０ａと第２駆動部５０ｂとの間に、検出部８０が設けられている。図示の例では、第１駆動部５０ａは、第２駆動部５０ｂよりも−Ｙ軸方向側に設けられている。駆動部５０は、例えば、可動駆動電極５２と、固定駆動電極５４，５６と、を有している。
【００３６】
可動駆動電極５２は、基板１０と離間して設けられている。可動駆動電極５２は、例えば、Ｘ軸方向に延出している幹部と、該幹部からＹ軸方向に延出している複数の枝部と、を備えた櫛歯状の形状を有している。図示の例では、可動駆動電極５２は、６個の駆動バネ部４０によって支持されている。具体的には、可動駆動電極５２の四隅が駆動バネ部４０で接続され、さらに、可動駆動電極５２の中間部５３が２個の駆動バネ部４０で接続されている。そのため、可動駆動電極５２は、四隅のみが駆動バネ部４０で接続されている場合に比べて、撓み難く、例えばスプリアス振動が発生し難い。
【００３７】
固定駆動電極５４，５６は、基板１０に固定されている。固定駆動電極５４，５６は、例えば、陽極接合によって基板１０のポスト部（図示せず）に接合されている。固定駆動電極５４，５６は、可動駆動電極５２と対向して設けられている。すなわち、固定駆動電極５４と可動駆動電極５２とは、静電容量を形成し、固定駆動電極５６と可動駆動電極５２とは、静電容量を形成する。第１駆動部５０ａでは、固定駆動電極５４は、可動駆動電極５２の＋Ｙ軸方向側に設けられ、固定駆動電極５６は、可動駆動電極５２の−Ｙ軸方向側に設けられている。第２駆動部５０ｂでは、固定駆動電極５４は、可動駆動電極５２の−Ｙ軸方向側に設けられ、固定駆動電極５６は、可動駆動電極５２の＋Ｙ軸方向側に設けられている。固定駆動電極５４，５６は、例えば、可動駆動電極５２に対応した櫛歯状の形状を有している。
【００３８】
検出バネ部６０は、固定部３０と検出部８０の可動体８２とを連結している。検出バネ部６０は、基板１０と離間して設けられている。検出バネ部６０は、可動体８２のＺ軸方向の変位に応じて、Ｚ軸方向に変形可能に構成されている。
【００３９】
検出バネ部６０は、複数設けられている。複数の検出バネ部６０のうちの第１検出バネ部（第１バネ部）６０ａは、第１固定部（複数の固定部３０のうちの第１固定部）３０ａに接続されている。第１検出バネ部６０ａは、第１固定部３０ａと可動体８２とを連結している。複数の検出バネ部６０のうちの第２検出バネ部（第２バネ部）６０ｂは、第２固定部（複数の固定部３０のうちの第２固定部）３０ｂと可動体８２とを連結している。複数の検出バネ部６０のうちの第３検出バネ部（第３バネ部）６０ｃは、第３固定部（複数の固定部３０のうちの第３固定部）３０ｃと可動体８２とを連結している。
【００４０】
図示の例では、第１固定部３０ａは、２個設けられ、一方の第１固定部３０ａと第２固定部３０ｂとは、一体的に設けられ、他方の第１固定部３０ａと第３固定部３０ｃとは、一体的に設けられている。第１検出バネ部６０ａは、平面視において（Ｚ軸方向からみて）、第２検出バネ部６０ｂと第３検出バネ部６０ｃとの間に設けられている。なお、図示はしないが、固定部３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、それぞれ独立して設けられていてもよい。また、固定部３０ａ，３０ｂ，３０ｃの数は、特に限定されない。
【００４１】
第１検出バネ部６０ａは、Ｘ軸方向に往復しながら、Ｘ軸と直交するＹ軸方向に延出する形状を有している。第１検出バネ部６０ａは、Ｘ軸方向に延出する複数の延出部６２を有している。複数の延出部６２のうち、Ｙ軸方向からみて第１固定部３０ａと重なる延出
部６２（第１固定部３０ａと重なる部分を有する延出部６２）であって、最も第１固定部３０ａに近い延出部６２（図示の例では延出部６２ａ）は、他の延出部６２（例えば延出部６２ｂ）よりも太い（Ｙ軸方向の大きさが大きい）。延出部６２ａは、第１固定部３０ａの面と対向する面を有している。第１検出バネ部６０ａのＸ軸方向に延出している複数の延出部６２のうち、第１固定部３０ａと離間している延出部であって、最も第１固定部３０ａに近い延出部６２ａは、Ｙ軸方向からみて第１固定部３０ａと少なくとも一部が重なっており、複数の延出部６２のうち、他の延出部６２（例えば延出部６２ｂ）よりもＹ軸方向の幅が大きい。
【００４２】
連結バネ部７０は、駆動部５０の可動駆動電極５２と、検出部８０の可動体８２と、を連結している。連結バネ部７０は、基板１０と離間して設けられている。連結バネ部７０は、可動体８２のＺ軸方向の変位に応じて、Ｚ軸方向に変形可能に構成されている。連結バネ部７０は、駆動部５０の可動駆動電極５２のＹ軸方向の振動を、検出部８０の可動体８２に伝える。これにより、可動体８２は、Ｙ軸方向に振動することができる。
【００４３】
検出部８０は、角速度を検出する。検出部８０は、例えば、可動体８２と、固定検出電極（固定電極）８６と、を有している。
【００４４】
可動体８２は、駆動部５０の振動によりＹ軸方向に振動し、角速度に応じてＺ軸方向に変位する。可動体８２は、基板１０と離間して設けられている。可動体８２は、四隅が検出バネ部６０によって支持されている部分である。すなわち、可動体８２の四隅は、検出バネ部６０が接続されている。可動体８２は、可動検出電極（可動電極）８４を有している。可動検出電極８４は、平面視において、可動体８２の固定検出電極８６と重なっている部分である。図示の例では、可動検出電極８４の平面形状は、長方形である。可動検出電極８４は、駆動部５０の振動によりＹ軸方向に振動し、角速度に応じてＺ軸方向に変位する。
【００４５】
固定検出電極８６は、基板１０に固定されている。固定検出電極８６は、可動検出電極８４と対向して設けられている。すなわち、固定検出電極８６と可動検出電極８４とは、静電容量を形成する。
【００４６】
検出部８０は、複数設けられている。図示の例では、検出部８０は、４個設けられている（第１検出部８０ａ、第２検出部８０ｂ、第３検出部８０ｃ、第４検出部８０ｄ）。第１検出部８０ａは、例えば、第２検出部８０ｂの−Ｘ軸方向側であって、第３検出部８０ｃの−Ｙ軸方向側に設けられている。第４検出部８０ｄは、例えば、第２検出部８０ｂの＋Ｙ軸方向側であって、第３検出部８０ｃの＋Ｘ軸方向側に設けられている。
【００４７】
第１検出部８０ａの可動体８２（第１可動体８２ａ）は、第１駆動部５０ａの駆動により振動する。第１検出部８０ａの固定検出電極（第１固定電極）８６は、第１検出部８０ａの可動検出電極（第１可動電極）８４と対向している。第２検出部８０ｂの可動体８２（第２可動体８２ｂ）は、第１駆動部５０ａの駆動により振動する。第１可動体８２ａを振動させるための駆動部と第２可動体８２ｂを振動させるための駆動部とは、共通している。第２検出部８０ｂの固定検出電極（第２固定電極）８６は、第２検出部８０ｂの可動検出電極（第２可動電極）８４と対向している。第３検出部８０ｃの可動体８２（第３可動体８２ｃ）は、第２駆動部５０ｂの駆動により振動する。第４検出部８０ｄの可動体８２（第４可動体８２ｄ）は、第２駆動部５０ｂの駆動により振動する。第３可動体８２ｃを振動させるための駆動部と第４可動体８２ｄを振動させるための駆動部とは、共通している。
【００４８】
第１連結部９０は、第１可動体８２ａと第２可動体８２ｂとを連結している。すなわち
、第１可動体８２ａと第２可動体８２ｂとは、第１連結部９０によって連結されている。第２連結部９２は、第３可動体８２ｃと第４可動体８２ｄとを連結している。すなわち、第３可動体８２ｃと第４可動体８２ｄとは、第２連結部９２によって連結されている。図示の例では、連結部９０，９２の平面形状は、長方形である。平面視において、連結部９０，９２のＹ軸方向の大きさは、可動検出電極８４のＹ軸方向の大きさよりも小さく、かつ可動体８２のＹ軸方向の大きさよりも小さい。
【００４９】
第１可動体８２ａと第３可動体８２ｃとは、例えば、検出バネ部６０によって連結されている。第２可動体８２ｂと第４可動体８２ｄとは、例えば、検出バネ部６０によって連結されている。
【００５０】
第１可動体８２ａと第２可動体８２ｂとは、同相（同位相）で振動する。すなわち、例えば、第１可動体８２ａが＋Ｘ軸方向側に変位した場合、第２可動体８２ｂも＋Ｘ軸側方向に変位する。第１連結部９０は、可動体８２ａ，８２ｂの振動にともない、振動する。第３可動体８２ｃと第４可動体８２ｄとは、同相で振動する。第２連結部９２は、可動体８２ｃ，８２ｄの振動にともない、振動する。
【００５１】
第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂと、第３可動体８２ｃおよび第４可動体８２ｄとは、逆相（逆位相）で振動する。すなわち、例えば、第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂが＋Ｘ軸方向側に変位した場合、第３可動体８２ｃおよび第４可動体８２ｄは−Ｘ軸方向側に変位する。
【００５２】
第１可動体８２ａ、第２可動体８２ｂ、第３可動体８２ｃ、および第４可動体８２ｄは、同じ大きさであって、同じ形を有している。機能素子１０２は、平面視において、機能素子１０２の中心Ｃを通りＸ軸に平行な仮想直線αに関して、対称となる形状を有していてもよい。機能素子１０２は、平面視において、機能素子１０２の中心Ｃを通りＹ軸に平行な仮想直線βに関して、対称となる形状を有していてもよい。
【００５３】
機能素子１０２の固定部３０、バネ部４０，６０，７０、可動駆動電極５２、可動体８２、および連結部９０，９２は、一体的に設けられている。固定部３０、バネ部４０，６０，７０、駆動部５０、可動体８２、および連結部９０，９２の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。固定検出電極８６の材質は、例えば、アルミニウム、金、白金、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ
Ｏｘｉｄｅ）である。固定検出電極８６としてＩＴＯ等の透明電極材料を用いることにより、固定検出電極８６上に存在する異物等を、基板１０の下面側から、容易に視認することができる。
【００５４】
次に、ジャイロセンサー１００の動作について説明する。
【００５５】
可動駆動電極５２と固定駆動電極５４，５６との間に、図示しない電源によって、電圧を印加すると、可動駆動電極５２と固定駆動電極５４，５６との間に静電力を発生させることができる。これにより、駆動部５０は、可動体８２をＹ軸方向に振動させることができる。
【００５６】
図１に示すように、第１駆動部５０ａでは、固定駆動電極５４は、可動駆動電極５２の＋Ｙ軸方向側に設けられ、固定駆動電極５６は、可動駆動電極５２の−Ｙ軸方向側に設けられている。第２駆動部５０ｂでは、固定駆動電極５４は、可動駆動電極５２の−Ｙ軸方向側に設けられ、固定駆動電極５６は、可動駆動電極５２の＋Ｙ軸方向側に設けられている。そのため、可動駆動電極５２と固定駆動電極５４との間に第１交番電圧を印加し、可動駆動電極５２と固定駆動電極５６との間に第１交番電圧と位相が１８０度ずれた第２交
番電圧を印加することにより、第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂと、第３可動体８２ｃおよび第４可動体８２ｄと、を互いに逆位相（逆相）でかつ所定の周波数で、Ｙ軸方向に振動させる（音叉型振動させる）ことができる。
【００５７】
可動体８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄが上記の振動を行っている状態で、ジャイロセンサー１００にＸ軸まわりの角速度ωｘが加わると、コリオリ力が働き、第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂと、第３可動体８２ｃおよび第４可動体８２ｄとは、Ｚ軸方向に互いに反対方向に変位する。可動体８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄは、コリオリ力を受けている間、この動作を繰り返す（検出振動する）。
【００５８】
可動体８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄがコリオリ力に応じてＺ軸方向に変位することにより、可動検出電極８４と固定検出電極８６との間の距離は、変化する。そのため、可動検出電極８４と固定検出電極８６との間の静電容量は、変化する。この可動検出電極８４と固定検出電極８６との間の静電容量の変化量を検出することにより、Ｘ軸まわりの角速度ωｘを求めることができる。
【００５９】
なお、上記では、静電力によって可動体８２を振動させる形態（静電駆動方式）について説明したが、可動体８２を駆動させる方法は、特に限定されず、圧電駆動方式や、磁場のローレンツ力を利用した電磁駆動方式等を適用することができる。
【００６０】
ジャイロセンサー１００は、例えば、以下の特徴を有する。
【００６１】
ジャイロセンサー１００では、第１検出部８０ａの第１可動体８２ａは、第１駆動部５０ａの振動により振動し、角速度に応じて変位する可動検出電極（第１可動検出電極）８４を備え、第２検出部８０ｂの第２可動体８２ｂは、第１駆動部５０ａの振動により振動し、角速度に応じて変位する可動検出電極（第２可動検出電極）８４を備え、第１可動体８２ａと第２可動体８２ｂとは、第１連結部９０によって連結されている。そのため、ジャイロセンサー１００では、例えば平面視において第１可動体８２ａの面積と第２可動体８２ｂの面積の合計の面積を有するような大きな可動体を備えたジャイロセンサーに比べて、第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂが撓むことを抑制することができ、スプリアス振動の周波数が可動体８２ａ，８２ｂの検出振動（コリオリ力による振動、図示の例ではＺ軸方向の振動）の周波数に近づくことを抑制することができる。したがって、ジャイロセンサー１００は、高い温度安定性を有することができる。
【００６２】
ここで、スプリアス振動とは、可動体の駆動振動（駆動部よる可動体の振動）および検出振動とは異なる周波数を有する不要振動のことである。スプリアス振動の周波数は、例えば、可動体の検出振動の周波数より十分高くなるよう設計されているが、可動体の撓み等によりスプリアス振動の周波数が低くなり、検出振動に近づくと、正確に角速度を検出することができない場合がある。ジャイロセンサー１００では、このような問題を回避することができ、正確に角速度を検出することができる。
【００６３】
さらに、ジャイロセンサー１００では、複数の検出部８０から出力される信号を、１つのＱＶアンプ（電荷電圧変換アンプ）で受けるため、ＳＮ比を向上させることができる。図３に示すように、ＱＶアンプ１個が発生するノイズをＮとし、単一の検出部（例えば、第１検出部）から発生する検出信号電荷をＳとすれば、複数であるｎ個の検出部（例えば、第１，第２，第３検出部）からの検出信号電荷を合わせればｎ×Ｓの検出信号電荷となるため、Ｓ／Ｎ比はｎ倍向上する。しかしながら、図４に示すように、検出部（例えば、第１，第２，第３検出部）のそれぞれにＱＶアンプを接続した場合には、それぞれの検出部からの信号のＳ／Ｎ比は変わらず、さらにそれぞれのＱＶアンプからの出力を足し合わせたとしても２乗平均した√ｎ倍にしかＳ／Ｎ比は向上しない。
【００６４】
ジャイロセンサー１００では、第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂは、同相で振動する。ジャイロセンサー１００では、第１可動体８２ａと第２可動体８２とは第１連結部９０によって連結されているので、１つの駆動部５０ａによって、第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂを、同相で振動させることができる。
【００６５】
ジャイロセンサー１００では、第１固定部３０ａと第１可動体８２ａとを連結する第１検出バネ部６０ａと、第２固定部３０ｂと第１可動体８２ａとを連結する第２検出バネ部６０ｂと、第３固定部３０ｃと第１可動体８２ａとを連結する第３検出バネ部６０ｃと、を含み、第１検出バネ部６０ａは、平面視において、第２検出バネ部６０ｂと第３検出バネ６０ｃ部との間に設けられている。そのため、ジャイロセンサー１００では、例えば第１検出バネ部６０ａが設けられていない場合に比べて、第１可動体８２ａが撓むことを抑制することができる。
【００６６】
ジャイロセンサー１００では、第１検出バネ部６０ａは、第１軸方向（Ｘ軸方向）に往復しながら、Ｘ軸と直交する第２軸方向（Ｙ軸方向）に延出する形状を有し、第１検出バネ部６０ａのＸ軸方向に延出している複数の延出部６２のうち、第１固定部３０ａと離間し、最も第１固定部３０ａに近い延出部６２ａは、Ｙ軸方向からみて第１固定部３０ａと少なくとも一部が重なっており、複数の延出部６２のうち、他の延出部６２よりもＹ軸方向の幅が大きい。そのため、ジャイロセンサー１００では、延出部６２ａをＹ軸方向に変位し難くすることができ、例えば延出部６２ａが第１固定部３０ａに衝突して第１検出バネ部６０ａが破壊することを抑制することができる。
【００６７】
ジャイロセンサー１００では、第１可動体８２ａと第２可動体８２ｂとは、同じ大きさであって、同じ形を有している。そのため、ジャイロセンサー１００では、仮に第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂにスプリアス振動が発生したとしも、第１可動体８２ａに発生するスプリアス振動の周波数と、第２可動体８２ｂに発生するスプリアス振動の周波数と、を同じすることができる。したがって、ジャイロセンサー１００では、１つのスプリアス振動の周波数を避けるように設計すればよいので、設計の自由度を高くすることができる。例えば、第１可動体８２ａに発生するスプリアス振動の周波数と、第２可動体８２ｂに発生するスプリアス振動の周波数とが異なると、２つのスプリアス振動の周波数を避けるように設計しなければならず、その分設計の自由度が低くなる。
【００６８】
ジャイロセンサー１００では、第３可動体８２ｃと第４可動体８２ｄとは、第２連結部９２によって連結され、第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂと、第３可動体８２ｃおよび第４可動体８２ｄとは、逆相で振動する。そのため、ジャイロセンサー１００では、例えば角速度以外の加速度等の物理量が印加されたとしても、差動検出により加速度成分を相殺することができ、角速度をより正確に検出することができる。
【００６９】
なお、上記では、４個の検出部８０を含む例について説明したが、検出部８０の数は、複数であれば特に限定されない。例えば、本発明に係るジャイロセンサーは、Ｘ軸方向に１６個の検出部８０が並んで列を構成し、該列がＹ軸方向に２個並んだ合計３２個の検出部８０を含んでいてもよい。
【００７０】
２．  ジャイロセンサーの製造方法
次に、本実施形態に係るジャイロセンサー１００の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図５は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００の製造方法を説明するためのフローチャートである。図６および図７は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００７１】
まず、図６に示すように、凹部１２およびポスト部１４が設けられた基板１０を準備する（ステップＳ１）。具体的には、例えばガラス基板を準備し、当該ガラス基板をパターニングして凹部１２およびポスト部１４を形成する。パターニングは、例えば、フォトリソグラフィーおよびエッチングにより行われる。これにより、凹部１２およびポスト部１４が設けられた基板１０を得ることができる。
【００７２】
次に、基板１０上に機能素子１０２を形成する（ステップＳ２）。具体的には、まず、凹部１２の底面１２ａに固定検出電極８６を形成する。固定検出電極８６は、例えば、導電層（図示せず）をスパッタ法やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により成膜し、該導電層をフォトリソグラフィーおよびエッチングによりパターニングすることにより形成される。
【００７３】
図７に示すように、基板１０に、シリコン基板４を接合する。基板１０とシリコン基板４との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０とシリコン基板４とを強固に接合することができる。
【００７４】
次に、シリコン基板４を、例えば研削機によって研削して薄膜化した後、所定の形状にパターニングして、機能素子１０２を形成する。パターニングは、フォトリソグラフィーおよびエッチング（ドライエッチング）によって行われ、具体的なエッチングとして、ボッシュ（Ｂｏｓｃｈ）法を用いることができる。以上の工程により、機能素子１０２を形成することができる。
【００７５】
図２に示すように、基板１０と蓋体２０とを接合して、基板１０と蓋体２０とによって形成されるキャビティー２に、機能素子１０２を収容する（ステップＳ３）。基板１０と蓋体２０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。これにより、基板１０と蓋体２０とを強固に接合することができる。
【００７６】
以上の工程により、ジャイロセンサー１００を製造することができる。
【００７７】
３．  変形例
次に、本実施形態の変形例に係るジャイロセンサー２００について、図面を参照しながら説明する。図８は、本実施形態の変形例に係るジャイロセンサー２００を模式的に示す平面図である。なお、便宜上、図８では、基板１０および蓋体２０を省略している。また、図８では、互いに直交する３軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸を図示している。
【００７８】
以下、本実施形態の変形例に係るジャイロセンサー２００において、上述した本実施形態に係るジャイロセンサー１００の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００７９】
上述したジャイロセンサー１００では、図１に示すように、可動体８２は、駆動部５０の振動によりＹ軸方向に振動し、角速度に応じてＺ軸方向に変位して、Ｘ軸まわりの角速度を検出することができた。これに対し、ジャイロセンサー２００では、図８に示すように、可動体８２は、駆動部５０の振動によりＹ軸方向に振動し、角速度に応じてＸ軸方向に変位して、Ｚ軸まわりの角速度を検出することができる。
【００８０】
ジャイロセンサー２００では、可動体８２は、例えば、第１バネ接続部２８０と、第２バネ接続部２８２と、中間部２８３と、可動検出電極２８４と、を有している。
【００８１】
第１バネ接続部２８０および第２バネ接続部２８２の各々は、２個の検出バネ部６０に接続されている。可動体８２の四隅は、検出バネ部６０が接続されている。第１バネ接続
部２８０は、第２バネ接続部２８２よりも−Ｘ軸方向側に位置している。図示の例では、第１バネ接続部２８０のＹ軸方向の大きさと、第２バネ接続部２８２のＹ軸方向の大きさとは、同じである。第１可動体８２ａの第２バネ接続部２８２と、第２可動体８２ｂの第１バネ接続部２８０とは、第１連結部９０によって連結されている。第１連結部９０のＹ軸方向の大きさは、バネ接続部２８０，２８２のＹ軸方向の大きさよりも小さい。第３可動体８２ｃの第２バネ接続部２８２と、第４可動体８２ｄの第１バネ接続部２８０とは、第２連結部９２によって連結されている。第２連結部９２のＹ軸方向の大きさは、バネ接続部２８０，２８２のＹ軸方向の大きさよりも小さい。図示の例では、連結部９０，９２の平面形状は、長方形である。
【００８２】
中間部２８３は、第１バネ接続部２８０と第２バネ接続部２８２との間に位置している。中間部２８３は、検出部６０および連結バネ部７０に接続されている。中間部２８３の平面形状は、例えば、長方形である。図示の例では、中間部２８３のＹ軸方向の大きさは、バネ接続部２８０，２８２のＹ軸方向の大きさと同じである。
【００８３】
可動検出電極２８４は、１つの可動体８２において、２個設けられている。一方の可動検出電極２８４は、第１バネ接続部２８０と中間部２８３とを連結している。他方の可動検出電極２８４は、第２バネ接続部２８２と中間部２８３とを連結している。可動検出電極２８４は、Ｘ軸方向に延出している幹部と、該幹部からＹ軸方向に延出している複数の枝部と、を備えた櫛歯状の形状を有している。該枝部は、Ｘ軸方向からみて、固定検出電極２８６と重なる部分を有している。すなわち、該枝部は、固定検出電極２８６と対向している部分を有している。可動検出電極２８４は、駆動部５０の振動によりＹ軸方向に振動し、角速度に応じてＸ軸方向に変位する。
【００８４】
固定検出電極２８６は、基板１０に固定されている。固定検出電極２８６は、例えば、陽極接合によって基板１０のポスト部（図示せず）に接合されている。固定検出電極２８６は、例えば、可動検出電極２８４に対応した櫛歯状の形状を有している。図示の例では、固定検出電極２８６は、１つの可動体８２において、４個設けられている。固定検出電極２８６の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。
【００８５】
ジャイロセンサー２００では、駆動部５０は、第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂと、第３可動体８２ｃおよび第４可動体８２ｄと、を互いに逆位相（逆相）でかつ所定の周波数で、Ｙ軸方向に振動させることができる。
【００８６】
可動体８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄが上記の振動を行っている状態で、ジャイロセンサー２００にＺ軸まわりの角速度ωｚが加わると、コリオリ力が働き、第１可動体８２ａおよび第２可動体８２ｂと、第３可動体８２ｃおよび第４可動体８２ｄとは、Ｘ軸方向に互いに反対方向に変位する。可動体８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄは、コリオリ力を受けている間、この動作を繰り返す（検出振動する）。
【００８７】
可動体８２ａ，８２ｂ，８２ｃ，８２ｄがＸ軸方向に変位することにより、可動検出電極２８４と固定検出電極２８６との間の距離は、コリオリ力に応じて変化する。そのため、可動検出電極２８４と固定検出電極２８６との間の静電容量は、コリオリ力に応じて変化する。この可動検出電極２８４と固定検出電極２８６との間の静電容量の変化量を検出することにより、Ｚ軸まわりの角速度ωｚを求めることができる。
【００８８】
ジャイロセンサー２００では、ジャイロセンサー１００と同様の効果を得ることができる。さらに、ジャイロセンサー２００では、Ｚ軸まわりの角速度を検出することができる。
【００８９】
なお、ジャイロセンサー２００では、検出バネ部６０は、可動体８２の振動方向であるＸ軸方向に円滑に伸縮することができる。また、検出バネ部６０は、Ｚ軸方向に変形可能に構成されていなくてもよい。また、連結バネ部７０は、Ｚ軸方向に変形可能に構成されていなくてもよい。
【００９０】
４．  電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について図面を参照しながら説明する。図９は、本実施形態に係る電子機器１０００の機能ブロック図である。
【００９１】
電子機器１０００は、本発明に係るジャイロセンサーを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサーとして、ジャイロセンサー１００を含む場合について説明する。
【００９２】
電子機器１０００は、さらに、演算処理装置（ＣＰＵ）１０２０、操作部１０３０、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）１０４０、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）１０５０、通信部１０６０、表示部１０７０を含んで構成されている。なお、本実施形態の電子機器は、図９の構成要素（各部）の一部を省略又は変更し、あるいは、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【００９３】
演算処理装置１０２０は、ＲＯＭ１０４０等に記憶されているプログラムに従い、各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、演算処理装置１０２０は、ジャイロセンサー１００の出力信号や、操作部１０３０からの操作信号に応じた各種の処理、外部装置とデータ通信を行うために通信部１０６０を制御する処理、表示部１０７０に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理等を行う。
【００９４】
操作部１０３０は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号を演算処理装置１０２０に出力する。
【００９５】
ＲＯＭ１０４０は、演算処理装置１０２０が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。
【００９６】
ＲＡＭ１０５０は、演算処理装置１０２０の作業領域として用いられ、ＲＯＭ１０４０から読み出されたプログラムやデータ、ジャイロセンサー１００から入力されたデータ、操作部１０３０から入力されたデータ、演算処理装置１０２０が各種プログラムに従って実行した演算結果等を一時的に記憶する。
【００９７】
通信部１０６０は、演算処理装置１０２０と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
【００９８】
表示部１０７０は、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等により構成される表示装置であり、演算処理装置１０２０から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。表示部１０７０には操作部１０３０として機能するタッチパネルが設けられていてもよい。
【００９９】
このような電子機器１０００としては種々の電子機器が考えられ、例えば、パーソナルコンピューター（例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター）、スマートフォンや携帯電話機などの移動体端末、ディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置（例えば、インクジェットプリンター）、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオ
カメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、リアルタイムクロック装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等が挙げられる。
【０１００】
図１０は、電子機器１０００の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図である。電子機器１０００であるスマートフォンは、操作部１０３０としてボタンを、表示部１０７０としてＬＣＤを備えている。
【０１０１】
図１１は、電子機器１０００の一例である腕装着型の携帯機器（ウェアラブル機器）の外観の一例を示す図である。電子機器１０００であるウェアラブル機器は、表示部１０７０としてＬＣＤを備えている。表示部１０７０には操作部１０３０として機能するタッチパネルが設けられていてもよい。
【０１０２】
また、電子機器１０００である携帯機器は、例えば、ＧＰＳ受信機（ＧＰＳ：Ｇｌｏｂａｌ  Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）等の位置センサーを備え、ユーザーの移動距離や移動軌跡を計測することができる。
【０１０３】
５．  移動体
次に、本実施形態に係る移動体について、図面を参照しながら説明する。図１２は、本実施形態に係る移動体１１００として、自動車を模式的に示す斜視図である。
【０１０４】
本実施形態に係る移動体は、本発明に係るジャイロセンサーを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサーとして、ジャイロセンサー１００を含む移動体について説明する。
【０１０５】
本実施形態に係る移動体１１００は、さらに、エンジンシステム、ブレーキシステム、キーレスエントリーシステム等の各種の制御を行うコントローラー１１２０、コントローラー１１３０、コントローラー１１４０、バッテリー１１５０およびバックアップ用バッテリー１１６０を含んで構成されている。なお、本実施形態に係る移動体１１００は、図１２に示される構成要素（各部）の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
【０１０６】
このような移動体１１００としては種々の移動体が考えられ、例えば、自動車（電気自動車も含む）、ジェット機やヘリコプター等の航空機、船舶、ロケット、人工衛星等が挙げられる。
【０１０７】
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
【０１０８】
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【符号の説明】
【０１０９】
２…キャビティー、４…シリコン基板、１０…基板、１２…凹部、１２ａ…底面、１４…ポスト部、２０…蓋体、３０…固定部、３０ａ…第１固定部、３０ｂ…第２固定部、３０ｃ…第３固定部、４０…駆動バネ部、５０…駆動部、５０ａ…第１駆動部、５０ｂ…第２駆動部、５２…可動駆動電極、５３…中間部、５４，５６…固定駆動電極、６０…検出バネ部、６０ａ…第１検出バネ部、６０ｂ…第２検出バネ部、６０ｃ…第３検出バネ部、６２，６２ａ，６２ｂ…延出部、７０…連結バネ部、８０…検出部、８０ａ…第１検出部、８０ｂ…第２検出部、８０ｃ…第３検出部、８０ｄ…第４検出部、８２…可動体、８２ａ…第１可動体、８２ｂ…第２可動体、８２ｃ…第３可動体、８２ｄ…第４可動体、８４…可動検出電極、８６…固定検出電極、９０…第１連結部、９２…第２連結部、１００…ジャイロセンサー、１０２…機能素子、２００…ジャイロセンサー、２８０…第１バネ接続部、２８２…第２バネ接続部、２８３…中間部、２８４…可動検出電極、２８６…固定検出電極、１０００…電子機器、１０２０…演算処理装置、１０３０…操作部、１０４０…ＲＯＭ、１０５０…ＲＡＭ、１０６０…通信部、１０７０…表示部、１１００…移動体、１１２０，１１３０，１１４０…コントローラー、１１５０…バッテリー、１１６０…バックアップ用バッテリー
【図１】
2018136132.tif 000003
【図２】
2018136132.tif 000004
【図３】
2018136132.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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