(57)【要約】【課題】半導体処理施設を効率良く監視して施設のダウンタイムを短縮する。【解決手段】施設モニタ（６７０）は、半導体処理施設などの施設（６１５）の測定されたパラメータデータ及び警報ステータスデータを監視及び収集するために使用される。グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）は、カレントステータス（６２５）を監視し、施設（６４５）のシステム履歴にアクセスするために使用される。ＧＵＩは、測定されたパラメータデータが論理的にユーザに提示され、警報ステータスがユーザに明確に示され、ユーザがデータを効率的にレビューし、応答できるようにグラフィックディスプレイが編成される容易に読み取り可能な画面を提供する。
2005502143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
施設を監視する施設監視システムであって、
前記施設に結合され、監視されたパラメータデータと警報ステータスデータを前記施設から受け取る施設モニタと、
前記施設モニタに結合されるユーザインタフェースと、
前記施設モニタに結合される外部インタフェースと、
を備える施設監視システム。
【請求項２】
前記施設モニタは、前記監視されたパラメータデータと前記警報ステータスデータを記憶するメモリをさらに備える、請求項１記載の施設監視システム。
【請求項３】
前記メモリは構造化照会言語（ＳＱＬ）サーバデータベースをさらに備える、請求項２記載の施設監視システム。
【請求項４】
前記外部インタフェースはダイヤルインサービスをさらに備える、請求項１記載の施設監視システム。
【請求項５】
前記ユーザインタフェースは、
施設モニタロガーステータス画面を備える第１のグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）と、
複数の施設モニタロガー履歴画面を備える第２のＧＵＩと、
を備える、請求項１記載の施設監視システム。
【請求項６】
前記ユーザインタフェースは施設モニタビューワをさらに備え、前記施設モニタビューワは複数の施設モニタビューワステータス画面及び複数の施設モニタビューワ履歴画面を備える、請求項５記載の施設監視システム。
【請求項７】
施設モニタロガー履歴画面が、
履歴値対時間軸を表示するための表示領域と、
前記時間軸を変更するための複数のデータボタンと、
前記施設モニタロガー履歴画面を閉じるためのデータボタンと、
を備える、請求項５記載の施設監視システム。
【請求項８】
前記施設モニタロガーステータス画面は、
前記監視されたパラメータデータの現在値を表示するための前記監視されたパラメータデータ表示領域と、
ページを送信し、前記施設モニタロガーステータス画面を閉じ、さらに施設モニタビューワステータス画面を選択するためのプログラム制御ボックスと、
前記警報ステータスデータの現在値を表示するための警報ステータス表示領域と、
を備える、請求項５記載の施設監視システム。
【請求項９】
前記施設モニタロガーステータス画面は、
前記施設モニタロガーステータス画面を識別するためのタイトルバーと、
企業ロゴ表示領域と、
時間表示と、
現在選択されているベイを表示し、第２のベイを選択できるようにするためのベイ選択表示領域と、
をさらに備える、請求項５記載の施設監視システム。
【請求項１０】
前記監視されたパラメータデータ表示領域は、
前記監視されたパラメータデータの現在値を表示する表示ボックスと、
それぞれが前記監視されたデータボタンと関連する施設モニタロガー履歴画面を起動するための複数の監視データボタンと、
をさらに備える、請求項８記載の施設監視システム。
【請求項１１】
前記警報ステータス表示領域は、前記警報ステータスデータの現在値を表示するための複数の警報ステータスデータボタンを備え、それぞれの警報ステータスデータボタンは前記警報ステータスデータボタンと関連する施設モニタロガー履歴画面を起動するために用いられる請求項８記載の施設監視システム。
【請求項１２】
前記ページを送信するための前記プログラム制御ボックスは、ページングされる人のドロップダウンリストを備える、請求項８記載の施設監視システム。
【請求項１３】
前記監視されたパラメータデータは、サーバルーム監視データ、クリーンルーム監視データ、ガス供給システム監視データ、及び処理ツール監視データを含む、請求項８記載の施設監視システム。
【請求項１４】
前記外部インタフェースはページングサービスをさらに備える、請求項１記載の施設監視システム。
【請求項１５】
前記外部インタフェースはローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）端末をさらに備え、前記施設モニタロガーステータス画面と前記複数の施設モニタロガー履歴画面とは、別のＬＡＮ端末に表示される、請求項１記載の施設監視システム。
【請求項１６】
前記外部インタフェースはさらにインターネットサービスを備え、前記外部インタフェースは、前記インターネットに接続される端末をさらに備え、前記施設モニタロガーステータス画面及び前記複数の施設モニタロガー履歴画面はインターネットを通して接続された別の端末に表示される、請求項１記載の施設監視システム。
【請求項１７】
施設モニタロガーを操作する方法であって、
施設が決定される、施設モニタロガーを初期化することと、
施設モニタロガー時間が、前記インターネットを介してアクセスされる世界時間標準を使用して同期される、タイマをセットすることと、
ファイルを比較するために使用される日付情報を備えるファイル名を比較することと、
前記日付情報が正しいかどうかを判断することと、
前記日付情報が正しくないときに新しいファイルを作成し、前記施設モニタロガーが過去に記憶されているデータを上書できないことと、
監視されたパラメータデータと警報ステータスデータのカレントステータスを施設モニタロガーステータス画面に表示することと、
前記監視されたパラメータデータと前記警報ステータスデータに対するタイムスタンプが押されたデータを作成することと、
前記タイムスタンプが押されたデータをデータベースに送信することと、
を備える方法。
【請求項１８】
施設モニタロガー履歴画面がいつ選択されたのかを判断することと、
前記選択された施設モニタロガー履歴画面を表示することと、
をさらに備える、請求項１７記載の方法。
【請求項１９】
前記タイマがいつタイムアウトしたのかを決定することと、
前記タイマがタイムアウトしたときに前記施設モニタロガーを閉じることと、
をさらに備える、請求項１７記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
本出願は、全体的な内容が参照してここに組み込まれる２００１年８月２９日に提出された米国仮出願第６０／３１５，３４２号に対する優先権を主張する。
【技術分野】
【０００２】
本発明は概して（例えば半導体製造プロセスで使用される施設（ｆａｃｉｌｉｔｙ）のような）ローカル施設またはリモート施設を監視する方法及び装置に関する。さらに詳細には、本発明は施設監視用グラフィカルユーザインタフェースに関する。
【背景技術】
【０００３】
半導体処理施設を維持することは時間のかかる高価な手順である。施設を非効率に監視すると、総運転費を加算する施設のダウンタイムをもたらすことがある。
【０００４】
一般的には、施設制御は種々のコントローラを有する数多くの異なった制御システムにより実行される。タッチパネルディスプレイなどのマンマシンインタフェースを有する制御システムもあれば、温度などの示度だけを表示するものもある。さらに、施設監視は通常時間を要し、データの手作業による入力を必要とする。施設監視は問題の記録及び問題への対処も含む。多くの場合問題に対処するための応答時間は、データの不足またはある特定の問題に応えるように訓練された人員の不足のために長期化する。これはかなりの施設ダウンタイムと、以後の処理時間の損失につながる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
必要とされているのは施設のダウンタイムを短縮するために半導体処理施設を監視するための効率的な方法である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
施設のダウンタイムを短縮するために半導体処理施設を監視する方法と装置を提供することが本発明の目的である。本発明の１つの態様では、施設を監視するための施設監視システムが説明されており、該システムは（１）前記施設に結合され、前記施設から監視されたパラメータデータと警報ステータスデータを受信する施設モニタと、（２）前記施設モニタに結合されるユーザインタフェースと、（３）前記施設モニタに結合される外部インタフェースとを含む。
【０００７】
本発明の１つの態様では、施設モニタは該監視されたパラメータデータと警報ステータスデータを記憶するメモリをさらに含む。
【０００８】
本発明の別の態様では、ユーザインタフェースが施設モニタロガーステータス画面及び複数の施設モニタロガー履歴画面を提供する第１のグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を含む。
【０００９】
本発明の追加の態様では、外部インタフェースがダイヤルインサービス、ページングサービスおよび／またはインターネットサービスを含む。
【００１０】
本発明のさらなる目的及び利点は以下に続く説明で述べられ、部分的にはその説明から明白となるか、あるいは本発明の実施により明らかとなる。本発明の目的及び利点は、以下に開示される手段及び組み合わせによって、あるいは他の手段及び組み合わせによって実現かつ獲得される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施形態は、以下に添付図面を参照して説明される。以下の説明の中では、実質的に同じ機能及び装置を有する構成要素は同じ参照番号で示され、反復する説明は必要なときにだけ行われる。図１は、本発明の好ましい実施形態による施設監視システムを示す簡略化されたブロック図である。施設監視システム１００は、施設モニタ１２０、ユーザインタフェース１３０、及び外部インタフェース１４０を含む。施設監視システム１００は施設１１０に結合されている。施設モニタ１２０は施設１１０、ユーザインタフェース１３０、及び外部インタフェース１４０に結合されている。施設モニタ１２０は、施設１１０と通信する（１１５）ため、インタフェース１３０と通信する（１３５）ための、及び外部インタフェース１４０と通信する（１４５）ためのソフトウェアとハードウェアの手段を含む。
【００１２】
好ましい実施形態では、システム構成要素はＴＣＰ／ＩＰ互換ネットワークを使用して互いに通信する。ＴＣＰ／ＩＰ互換ネットワーク上で受け渡されるデータは暗号化され、一意に識別されている。例えば、ＴＣＰ／ＩＰ互換ネットワークはイントラネット、仮想私設通信網（ＶＰＮ）、及びインターネットを含むことがある。
【００１３】
好ましい実施形態では、施設１１０は施設１１０の至るところに複数のセンサ及び警報を含む。例示的なセンサは施設インジケータ（図示せず）、スクラバインジケータ（図示せず）、ガスシステムセンサ（図示せず）、処理ツールセンサ（図示せず）、及び警報インジケータ（図示せず）を含む。施設１１０は監視されたパラメータデータと警報ステータスデータを施設モニタ１２０に提供する。他の実施形態では、施設モニタは追加の測定されたデータを提供できる。
【００１４】
施設モニタ１２０は施設１１０からの監視されたパラメータデータと警報ステータスデータを監視し、記憶するためのハードウェアとソフトウェアの要素（図示せず）を含む。監視されたパラメータデータは、施設１１０に施設読み取り(reading)を、施設１１０内のシステム（図示せず）にシステムステータスを提供する。例えば、ハードウェアはコンピュータ、メモリ、ビデオディスプレイ、マウス及びキーボードを含み、ソフトウェアはオペレーティングシステムを含むことがある。
【００１５】
施設モニタ１２０は監視されたパラメータデータと警報ステータスデータを収集するためのデータベース（図示せず）も含む。好ましい実施形態では、データベースは構造化照会言語（ＳＱＬ）データベースであり、追加の記憶空間および／またはディスク記憶がＳＱＬデータベースに提供される。
【００１６】
好ましい実施形態では、施設モニタ１２０は施設モニタロガー１２２と施設モニタビューワ１２４を備える。施設モニタロガー１２２と施設モニタビューワ１２４は、計算リソース及び操作ソフトウェアを備えている。施設モニタロガー１２２はデータベースに結合され、データベースに読み書きするためにソフトウェアおよび／またはハードウェアを含んでいる。施設モニタビューワ１２４はデータベースに結合され、データベースから読み取る手段を備えている。
【００１７】
好ましい実施形態では、施設モニタロガー１２２は計算リソースのネットワーク内の１台のコンピュータにインストールされるソフトウェアを含む。望ましくは、コンピュータにソフトウェアをインストールすると、コンピュータのディスプレイにアイコンが表示される。例えば、アイコンをダブルクリックすると、ソフトウェアに実行を開始させることができる。望ましくは、施設モニタロガーコンピュータは１台または複数台のデータ収集コンピュータからデータを獲得できる。
【００１８】
好ましい実施形態では、施設モニタビューワ１２４は計算リソースのネットワーク内の複数台のコンピュータにインストールされるソフトウェアを含む。望ましくは、コンピュータにソフトウェアをインストールすると、コンピュータのディスプレイにアイコンが表示される。例えば、アイコンをダブルクリックすると、ソフトウェアに実行を開始させることができる。望ましくは、サーバとしての役割を果たしている施設モニタロガーコンピュータは、モニタとしての役割を果たしている他の施設モニタビューワコンピュータに更新を送出する。例えば、データは５秒毎に送信できる。
【００１９】
好ましい実施形態では、スプラッシュ画面が表示され、コンピュータのクロックが同期される。さらにコンピュータプログラムがデータベースに結合される。好ましい実施形態では、ユーザインタフェース１３０は、グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を提供する表示装置（例えば、モニタ、テレビまたはフラットパネルディスプレイ）（図１には図示せず）を備えている。さらに、ユーザインタフェース１３０は入力装置（図１には図示せず）（例えば、マウスおよび／またはキーボード）を備えている。
【００２０】
ユーザインタフェース１３０はコンピュータ上でグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を含む。好ましい実施形態では、ＧＵＩは施設１１０のカレントステータスを監視するための施設モニタロガーステータス画面、及び施設１１０のシステム履歴にアクセスするための複数の施設モニタロガー履歴画面を含む。
【００２１】
さらに、ＧＵＩは施設１１０のカレントステータスを監視するための施設モニタビューワステータス画面、及び施設１１０のシステム履歴にアクセスするための複数の施設モニタビューワ履歴画面を含む。施設モニタロガーステータス画面は、現在記憶されているデータのグラフィックビューも提供する。
【００２２】
好ましい実施形態では、ＧＵＩはコンピュータモニタなどのビデオディスプレイでユーザに提供され、ユーザはキーボードまたはマウスなどの入力装置を使用してＧＵＩと対話する。
【００２３】
好ましい実施形態では、（ＴＣＰ／ＩＰなどの）エラーチェック再送プロトコルを使用する任意の他のネットワークアダプタを使用することができるが、外部インタフェース手段１４０がダイヤルインサービスを含む。ダイヤルインサービスは、ユーザが電話回線を介してデータベース１３０にアクセスできるようにし、データベース１３０内のデータに対するアクセスの制限を実現する。望ましくは、ダイヤルインサービスは、ユーザがアクセスを獲得する前に（例えば、ＰＩＮ番号またはパスワードなどの）認可コードを入力することを必要とする。正しいＰＩＮ番号が入力されると、発呼者はガスシステムセンサ、施設インジケータ、スクラバインジケータ、及び警報ステータスのカレントステータスを聞くことができる。
【００２４】
他の実施形態では、ＰＩＮ番号は様々なユーザに様々なメニューを提供するために使用できる。例えば、多様なメニューは様々なフォーマットで警報ステータスを提供するために使用できる。
【００２５】
好ましい実施形態では、外部インタフェース手段１４０が一方向ページングサービスを含む。ページングサービスにより、ユーザは受信機能を有する無線装置を介して通知を受けることができる。例えば、無線装置は一方向ページャ、携帯電話、または無線受信機及びディスプレイを備える他の計算装置である場合がある。一方向ページングサービスは、無線接続を介してユーザにデータベース１３０からの限られた量のデータを提供する。
【００２６】
望ましくは、施設管理者のページャは第１組のメッセージが送信され、施設エンジニアのページャは第２組のメッセージが送信され、施設技術者のページャは第３組のメッセージが送信される。
【００２７】
他の実施形態では、外部インタフェース手段１４０は双方向ページングサービスを含む。双方向ページングサービスにより、ユーザは受信機能と送信機能を備える無線装置を介して通知を受けることができる。例えば、無線装置は双方向ページャ、携帯電話、または無線受信機、送信機、ユーザインタフェース及びディスプレイを備える他の計算装置である場合がある。双方向ページングサービスは、無線接続を介してユーザにデータベース１３０からの限られた量のデータを提供でき、データベース１３０内のデータに対するアクセスを制限することができる。望ましくは、双方向ページングサービスは、ユーザがアクセスを獲得する前にＰＩＮ番号を入力することを必要とするだろう。例えば、正しいＰＩＮ番号が入力されると、ユーザはガスシステムセンサ、施設インジケータ、スクラバインジケータ、及び警報ステータスのカレントステータスを受信できるだろう。許可されたユーザは施設を「再開」、「停止」及びＥＭＯしてよい。
【００２８】
他の実施形態では、ＰＩＮ番号は様々なユーザに様々なメニューを提供するために使用できる。例えば、多様なメニューは、様々な無線装置に様々なフォーマットで警報ステータスを提供するために使用できる。
【００２９】
図２は、施設モニタロガーステータス画面の例示的な図を示し、ユーザによって選択される情報を表示している。施設モニタロガーステータス画面２００は、タイトルバー２０５、監視されたパラメータデータ表示領域２１０、企業ロゴ２１５、制御ボックス（２２０、２３０、２３５、２４０、２４５及び２５０）、タイムスタンプ２２５及び警報ステータス表示領域２６０を含む。
【００３０】
図２に図示されるように、制御ボックスは、プログラム制御ボックス２２０、第１ベイ選択ボタン２３０、第２ベイ選択ボタン２３５、ベイ選択ディスプレイ２４０、クローズボタン２４５及びページボタン２５０を含んでいる。
【００３１】
プログラム制御ボックス２２０によってユーザはデータビューワソフトウェアまたはデータロガーソフトウェアを選択できるようにする。選択されているソフトウェアの名前はプログラム制御ボックス２２０に表示される。
【００３２】
第１ベイ選択ボタン２３０及び第２ベイ選択ボタン２３５により、ユーザは表示のために第１ベイまたは第２ベイを選択できる。選択されたベイはベイ選択ディスプレイ２４０に表示される。代わりに、ベイ選択のためにコンビネーションボックスまたはドロップダウンリストを使用することができる。
【００３３】
クローズボタン２４５は、ユーザに現在表示されているＧＵＩ画面を閉じる手段を与える。
【００３４】
ページボタン２５０は、ユーザにページを送信する手段を与える。好ましい実施形態では、ページャのドロップダウンリストが提供され、ユーザはリストから１つまたは複数のページャを選択する。選択されたページャにページが送信される。
【００３５】
図３は施設モニタロガーステータス画面の監視されたステータス表示領域に例示的な図を示し、ユーザによって選択される情報を表示している。
【００３６】
監視されたステータス表示領域３００は、第１ステータスデータボタン３０４と第２ステータスデータボタン３０６を含む第１表示領域３０２を含んでいる。第１ステータスデータボタン３０４または第２ステータスデータボタン３０６により、施設モニタロガー履歴画面が表示される。施設モニタロガー履歴画面の例示的な図は図５に示されている。どのような監視されているモニタパラメータ対時間であれ、クリーンルームの温度は例にすぎない。
【００３７】
図３に図示されるように、第１表示領域３０２は「Ｌａｂｓ」とラベルを付けられ、第１ステータスデータボタン３０４は「Ａｒ」とラベルを付けられ、第２ステータスデータボタンは「０２」とラベルを付けられている。施設モニタロガー履歴画面は、「Ａｒ」ボタンがダブルクリックされると「Ａｒ」ステータスの、あるいは「Ｏ２」ボタンがダブルクリックされると「Ｏ２」ステータスの施設モニタロガーグラフディスプレイを含む。
【００３８】
監視されているステータス表示領域３００は、第１施設センサデータボタン３１０と表示ボックス３１２、第２施設センサデータボタン３１４と表示ボックス３１６、第３施設センサデータボタン３１８と表示ボックス３２０、第４施設センサデータボタンと表示ボックス３２４をさらに含む。
【００３９】
好ましい実施形態では、第１施設センサデータボタン３１０は「サーバルーム温度」とラベルを付けられ、表示ボックス３１２はサーバルーム温度の現在値を示している。第２施設センサデータボタン３１４は「サーバルームＲＨ％」とラベルを付けられ、表示ボックス３１６はサーバルームの相対湿度の現在値をパーセント単位で示す。加えて、第３施設センサデータボタン３１８は「クリーンルーム温度」とラベルを付けられ、表示ボックス３２０はクリーンルーム温度の現在値を示し、第４施設センサデータボタン３２２は「クリーンルームＲＨ％」とラベルを付けられ、表示ボックス３２４はクリーンルーム相対湿度の現在値をパーセント単位で示す。
【００４０】
第１施設センサデータボタン３１０、第２施設センサデータボタン３１４、第３施設センサデータボタン３１８または第４施設センサデータボタン３２２を起動すると、施設モニタ履歴画面が表示される。
【００４１】
好ましい実施形態では、施設モニタロガー履歴画面は、「サーバルーム温度」ボタンがダブルクリックされると「サーバルーム温度」ステータスの、「サーバルーム相対湿度」ボタンがダブルクリックされると「サーバルーム相対湿度」ステータスの、「クリーンルーム温度」ボタンがダブルクリックされると「クリーンルーム温度」ステータスの、または「クリーンルーム相対湿度」ボタンがダブルクリックされると、「クリーンルーム相対湿度」ステータスの施設モニタロガーグラフディスプレイを含む。
【００４２】
また、監視されているステータス表示領域３００は、データボタンと表示ボックスの第２のグループ３３０をさらに含む。第２グループ３３０は、データボタン３２６、データボタン３３２と対応する表示ボックス３３４、データボタン３３６と対応する表示ボックス３３８、データボタン３４０、データボタン３４２、データボタン３４４、データボタン３４６、及びデータボタン３４８を備える。
【００４３】
図３に図示されているように、第２グループ３３０は「スクラバ」とラベルを付けられている。データボタン３２６は「ファン」とラベルを付けられ、スクラバファンの現在の稼動状況を示している。現在の操作ステータスは色を使って示される。データボタン３３２は「ＰＨ」とラベルを付けられ、対応する表示ボックス３３４はスクラバＰＨの現在値を示し、データボタン３３６は「温度」とラベルを付けられ、対応する表示ボックス３３８はスクラバ温度の現在値を示している。データボタン３４０は「Ｈ２０ポンプ」とラベルを付けられ、データボタン３４２は「ドレイン閉鎖」とラベルを付けられ、データボタン３４４は「酸ポンプ」とラベルを付けられ、データボタン３４６は「フレッシュＨ２Ｏ」とラベルを付けられ、データボタン３４８は「Ｈ２Ｏ混合」とラベルを付けられている。
【００４４】
データボタン３３６、データボタン３４０、データボタン３４２、データボタン３４４、データボタン３４６またはデータボタン３４８を起動すると、施設モニタロガー履歴画面が表示される。
【００４５】
好ましい実施形態では、施設モニタロガー履歴画面は、「ＰＨ」ボタンがダブルクリックされたときの「スクラバＰＨ」ステータスの、「温度」ボタンがダブルクリックされたときの「スクラバ温度」ステータスの、「Ｈ２０ポンプ」ボタンがダブルクリックされたときの「Ｈ２０ポンプ」ステータス、「ドレン閉鎖」ボタンがダブルクリックされたときの「ドレン」ステータス、「酸ポンプ」ボタンがダブルクリックされたときの「酸ポンプ」ステータス、「フレッシュＨ２０」ボタンがダブルクリックされたときの「真水」ステータス、あるいは「Ｈ２Ｏ混合」ボタンがダブルクリックされたときの「真水混合」ステータスの施設モニタロガーグラフディスプレイを含む。
【００４６】
さらに、監視されたステータス表示領域３００は、さらにデータボタン３５０とデータボタン３５２を含む。図３に図示されているように、データボタン３５０は「ＡＨファン」とラベルを付けられ、データボタン３５２は「プロセスループＨ２０」とラベルを付けられる。データボタン３５０またはデータボタン３５２を起動すると、施設モニタロガー履歴画面が表示される。好ましい実施形態では、施設モニタロガー履歴画面は、「ＡＨファン」ボタンがダブルクリックされたときの「ＡＨファン」の、あるいは「プロセスループＨ２Ｏ」ボタンがダブルクリックされたときの「プロセスループＨ２０」ステータスの施設モニタロガーグラフディスプレイを含む。
【００４７】
加えて、監視されたステータス表示領域３００は、データボタンと表示ボックスの第３のグループをさらに含む。第３グループ３６０はデータボタン３６４と関連する表示ボックス（３６２、３６６）、データボタン３７０と関連する表示ボックス（３６８、３７２）、データボタン３７６と関連する表示ボックス（３７４、３７８）、データボタン３８２と関連する表示ボックス（３８０、３８４）、及びデータボタン３８８と関連する表示ボックス（３８６、３９０）を含む。代わりに、表示ボックス３６６、３７２、３７８、３８２及び３９０を排除することができる。
【００４８】
図３に図示されているように、第３グループ３６０は「ＭＳＴ［ｐｐｍ］」とラベルを付けられている。表示ボックス３６２は「アセンブリ」とラベルを付けられ、関連する表示ボックス３６４はアセンブリ内のガス流量の現在値を示している。表示ボックス３６８は「ガスキャビネット」とラベルを付けられ、関連する表示ボックス３７０はガスキャビネット内のガス流量の現在値を示している。表示ボックス３７４は「通路」とラベルを付けられ、関連する表示ボックス３７６は「通路」内のガス流量の現在値を示している。表示ボックス３８０は「ポンプ加工ライン」とラベルを付けられ、関連する表示ボックス３８２はポンプ加工ライン内のガス流量の現在値を示している。表示ボックス３８６は「ツール」とラベルを付けられ、関連する表示ボックス３８８はツール内のガス流量の現在値を示している。
【００４９】
データボタン３６４、データボタン３７０、データボタン３７６、データボタン３８２またはデータボタン３８８を起動すると、施設モニタロガー履歴画面が表示される。代わりに、表示ボックスは施設モニタロガー履歴画面を表示させるために使用できる。
【００５０】
好ましい実施形態では、施設モニタロガー履歴画面は、ボタン３６４がダブルクリックされたときの「アセンブリガス流量」ステータスの、ボタン３７０がダブルクリックされたときの「ガスキャビネットガス流量」ステータスの、ボタン３７６がダブルクリックされたときの「通路ガス流量」ステータスの、ボタン３８２がダブルクリックされたときの「ポンプ加工ラインガス流量」ステータスの、あるいはボタン３８８がダブルクリックされたときの「ツールガス流量」ステータスの施設モニタロガーグラフディスプレイを含む。
【００５１】
加えて、監視されているステータス表示領域３００は、企業ロゴ表示領域３９４をさらに含む。他の実施形態では、企業ロゴ表示領域がダブルクリックするとヘルプ画面が表示できる。
【００５２】
図４は施設モニタロガーステータス画面の警報ステータス表示領域の例示的な図を示し、ユーザによって選択される情報を表示する。警報ステータス表示領域４００は第１の表示領域４０２、第２の表示領域４０４、第３の表示領域４０６及び第４の表示領域４０８を含んでいる。
【００５３】
第１の表示領域４０２はデータボタン４１０〜４２５を含む。データボタン４１０〜４２５のいずれか１つを選択すると対応する施設モニタロガー履歴画面が表示される。好ましい実施形態では、施設モニタロガー履歴画面は第１表示領域４０２に監視されているプロセスの内の少なくとも１つの施設モニタロガーグラフディスプレイを含む。
【００５４】
図４に図示されているように、データボタン４１０は「ＤｉｓｔラックＥＭＯ」とラベルを付けられ、データボタン４１１は「冷却装置ＥＭＯ」とラベルを付けられ、データボタン４１２は「ガスボックスＥＭＯ」とラベルを付けられ、データボタン４１３は「ガスキャビネットＥＭＯ」とラベルを付けられ、データボタン４１４は「Ｋ８ラックＥＭＯ」とラベルを付けられ、データボタン４１５は「施設スクラバＥＭＯ」とラベルを付けられ、データボタン４１６は「不活性換気扇ＥＭＯ」とラベルを付けられ、データボタン４１７は「Ｐｒｏｃ  Ｅｘｈ  ＥＭＯ」とラベルを付けられ、データボタン４１８は「Ｐｒｏｃ１過流出」とラベルを付けられ、データボタン４１９は「Ｐｒｏｃ２過流出」とラベルを付けられ、データボタン４２０は「Ｈｅ過流出」とラベルを付けられ、データボタン４２１は「０２過流出」とラベルを付けられ、データボタン４１２は「Ａｒ過流出」とラベルを付けられ、データボタン４２３は「過流出６」とラベルを付けられ、データボタン４２４は「過流出７」とラベルを付けられ、データボタン４２５は「ＡＮ２超過圧力」とラベルを付けられている。明らかに、他のボタンも考えられる。
【００５５】
好ましい実施形態では、ボタン４１０〜４２５のそれぞれのボタンが押されると、ボタンに対応するセンサまたは装置の履歴ステータスが表示される。
【００５６】
同様に、第２表示領域４０４はデータボタン４３０〜４３５を含む。第３表示領域はデータボタン４５０〜４６５を含み、第４表示領域はデータボタン４７０〜４８５を含む。それらのボタンのいずれか１つを選択すると、施設モニタロガー履歴画面が対応するセンサまたは装置について表示される。
【００５７】
図５は、施設で取り付けられているプロセスについて施設モニタロガーグラフディスプレイを表示する施設モニタロガー履歴画面の例示的な図を示している。施設モニタロガー履歴画面５００はタイトルバー５０５、表示領域５１０、監視値名５１５、ｘ軸５２０、ｙ軸５２５、日付ウィンドウ５３０、時刻ウィンドウ５３５、時刻選択ボタン５４０、第１動作ボタン５４５、第２動作ボタン５５０、及び企業ロゴ表示領域５５５を含んでいる。
【００５８】
好ましい実施形態では、一度に１つの画面５００が表示される。他の実施形態では、一度に複数の画面を表示できる。例えば、複数の画面はオーバレイ表示（重複表示）または区画表示することができる。
【００５９】
表示領域５１０は指定期間中に監視されている値の１つのグラフィック表現を提供する。例えば、監視されている温度は図５に図示されるように図式で表示できる。
【００６０】
監視値名５１５は、現在図式で表示されている監視されている値の説明を提供する。例えば、監視値名５１５は、図５に図示されるようなコンピュータルーム温度である場合がある。
【００６１】
Ｘ軸５２０は様々な方法で時間を表示する。時刻選択ボタン５４０は、表示のためのタイムスケールを決定するために使用される。好ましい実施形態では、時間選択ボタンは４時間、８時間、及び２４時間について設けられている。選択されたボタンは画面上で強調表示される。他の実施形態では、他の時間選択ボタンを設けることができる。
【００６２】
Ｙ軸５２５は、表示される監視されている値に基づいた範囲を表示する。例えば、温度が表示されているとき、Ｙ軸５２５の単位は度である。
【００６３】
日付ウィンドウ５３０は、現在図式で表示されている監視されている値の年月日を表示する。好ましい実施形態では、日付ウィンドウ５３０によって、日付を日単位で前方、後方にスクロールできる。
【００６４】
時刻ウィンドウ５３５は、現在図式で表示されている監視されている値の開始時刻、使用時間数、分、及び秒を表示する。好ましい実施形態では、日付ウィンドウ５３５によって、時間選択ボタン５４０の１つによって選択される時間増分により時間を前方に及び後方にスクロールできる。
【００６５】
第１動作ボタン５４５は、新しい時刻または新しい日付が選択されると新しいグラフを表示するために使用される。第２動作ボタン５５０は施設モニタロガーステータス画面に戻るために使用される。
【００６６】
図６は、本発明の好ましい実施形態による施設モニタロガーＧＵＩを操作する方法の簡略化されたフロー図を示している。手順６００はステップ６０５で開始する。
【００６７】
ステップ６１０では、施設が決定され、施設モニタロガーが初期化される。好ましい実施形態では、監視される施設はユーザからの入力データを使用して決定される。例えば、ユーザは監視される施設が監視されるシステムの特定の集合を有する研究所であると判断する。監視されるシステムの特の集合は、施設モニタロガーステータス画面を構成するために使用される。
【００６８】
ステップ６１５ではタイマがセットされる。好ましい実施形態では、時間はインターネットを介してアクセスされる世界時間標準を使用して同期される。ファイルはタイムスタンプとともに保存される。
【００６９】
ステップ６２０ではファイル名が比較される。好ましい実施形態では、ファイル名はファイルを比較するために使用される日付情報を含む。該比較は、アクセスされているファイルに適切な日付が付いているかどうかを判断する。カレントファイルが必要とされているファイルではない場合には、適切な名前が指定される新規のファイルが作成される。
【００７０】
ステップ６２５では、日付がいつ最新であるのかを判断するために照会が実行される。日付が最新であるときには、手順６００はステップ６３５に分岐する。日付が最新ではないとき、手順６００はステップ６３０に分岐する。
【００７１】
ステップ６３０では、ファイル名が変更される。好ましい実施形態では、データロガーは過去に記憶されていたデータを上書きすることを許されていない。日々新規ファイルが作成される。
【００７２】
ステップ６３５では、インタロックチェックが行われる。好ましい実施形態では、監視されているインタロックのすべてのカレントステータスについてデータが獲得され、カレントステータスはＧＵＩ画面に表示される。
【００７３】
ステップ６４０では、データファイルにタイムスタンプが押される。ステップ６４５では、データファイルがＳＱＬサーバデータベースに送信される。ステップ６５５では、いつグラフを開くのかを決定するために照会が実行される。グラフが開かれると、手順６００はステップ６６０に分岐する。グラフが開かれないとき、手順６００はステップ６５５に進む。好ましい実施形態では、ユーザは表示されているデータボタンの１つを選択することによってグラフを表示することを選ぶことができる。
【００７４】
ステップ６６０では、グラフィック表示が選択されたデータボタンに基づいて提示される。好ましい実施形態では、グラフィックディスプレイは「閉じる」ボタン（例えば、図５のボタン５５０）を選択して閉じることができる。
【００７５】
ステップ６６５では、いつタイマを停止するのかを決定するために照会が実行される。タイマが停止されるとき、手順６００はステップ６７０に分岐する。タイマが停止されないときには、手順６００はステップ６２０に分岐する。好ましい実施形態では、ユーザは表示されているデータボタンの１つを選択してデータ監視プロセスを停止することを選ぶことができる。例えば、ユーザは「クローズ」ボタンを選択できる。
【００７６】
ステップ６７０では、手順６００が終了し、施設モニタロガーＧＵＩが閉じられる。
【００７７】
図７は、本発明の好ましい実施形態に従って施設モニタロガーＧＵＩを操作する方法の簡略化されたフロー図を示す。手順７００はステップ７０５で開始する。
【００７８】
ステップ７１０では、少なくとも１つの監視されている値が求められる。好ましい実施形態では、監視されている値は、施設モニタロガーステータス画面からの入力データを使用して求められる。例えば、施設モニタロガーステータス画面では「コンピュータルーム温度」データボタンが選択されている。望ましくは、サーバはＪＰＥＧファイルとしてグラフを構築し、ファイルをビューワに送信する。
【００７９】
ステップ７１５では、グラフについて日付と時刻が決定される。好ましい実施形態では、日付と時刻はシステムクロックを使用して初期に決定でき、選択された時間選択ボタンに基づいて変更できる。
【００８０】
ステップ７２０では、日付はＳＱＬサーバデータベース７２５に送信され、ＳＱＬサーバデータベース７２５から検索される。グラフタイプ、日付及び時刻がデータベースに送信される。データベース７２５はグラフのデータを戻す。
【００８１】
ステップ７３０では、グラフをいつ表示するのかを決定するために照会が実行される。少なくとも１つのグラフが表示されるとき、手順７００はステップ７３５に分岐する。少なくとも１つのグラフが表示されないとき、手順７００はステップ７５５に分岐する。好ましい実施形態では、ある特定の時刻に１つまたは複数のグラフを表示することができる。
【００８２】
ステップ７３５では、グラフを表示するためにいつ第１の期間を使用するのかを決定するために照会が実行される。第１期間が使用されるとき、手順７００はステップ７５０に分岐する。第１期間が使用されないとき、手順７００はステップ７４０に分岐する。好ましい実施形態では、第１期間は２４時間間隔である。
【００８３】
ステップ７４５では、第３期間が選択され、手順７００はステップ７５０に分岐する。好ましい実施形態では、第３期間は４時間間隔である。
【００８４】
ステップ７５０では、グラフが施設モニタロガーステータス画面に表示される。
【００８５】
ステップ７５５では、グラフをいつ閉じるのかを決定するために照会が実行される。グラフが閉じられるときには、手順７００はステップ７６０に分岐する。グラフが閉じられないときには、手順７００はステップ７１５に分岐して戻る。好ましい実施形態では、ユーザは新しい日付および／または時刻の値を選択できる。
【００８６】
ステップ７６０では、手順７００が終了し、施設モニタビューワＧＵＩが施設モニタロガーＧＵＩを戻す。
【００８７】
図８は、リモート施設モニタを実現するコンピュータシステムの概略図である。コンピュータ８００は本発明の方法を実現し、コンピュータハウジング８０２がＣＰＵ８０６、メモリ８０８（例えば、ＤＲＡＭ、ＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、ＳＲＡＭ、ＳＤＲＡＭ及びフラッシュＲＡＭ）、及び他のオプションとしての特定用途向け論理回路（例えばＡＳＩＣ）または構成可能な論理回路（例えば、ＧＡＬ及びプログラマブルＦＰＧＡ）を含むマザーボード８０４を収容している。コンピュータ８００は（例えばキーボード８２２とマウス８２４などの）複数の入力装置、及びモニタ８２０を制御するためのディスプレイカード８１０も含む。加えて、コンピュータシステム８００はフロッピー（登録商標）ディスクドライブ８１４、（例えばコンパクトディスク８１９、テープ及び取り外し可能光磁気媒体（図示せず）などの）他の取り外し可能媒体装置、及びハードディスク８１２、または（例えばＳＣＳＩバス、エンハンスドＩＤＥバス、またはウルトラＤＭＡバスなどの）適切なデバイスバスを使用して接続される他の固定された高密度媒体ドライブをさらに含む。やはり同じデバイスバスまたは別のデバイスバスに接続され、コンピュータ８００は、さらにコンパクトディスク読取装置８１８，コンパクトディスク読取装置／書込装置（図示せず）、またはコンパクトディスクジュークボックス（図示せず）を含んでよい。コンパクトディスク８１９はＣＤ容器内に入って示されているが、コンパクトディスク８１９は、容器を必要としないＣＤ−ＲＯＭドライブの中に直接的に挿入することができる。加えて、プリンタ（図示せず）もプロセス特性（リアルタイムまたはログされているかのどちらか）の印刷されたリスティングを提供する。
【００８８】
前述されたように、システムは少なくとも１つのコンピュータ読み取り可能媒体を含んでいる。コンピュータ読み取り可能媒体の例は、コンパクトディスク８１９、ハードディスク８１２、フロッピー（登録商標）ディスク、テープ、光磁気ディスク、ＰＲＯＭ（ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュＥＰＲＯＭ）、ＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ、ＳＤＲＡＭ等である。コンピュータ読み取り可能媒体の任意の１つまたは組み合わせで記憶され、本発明は、コンピュータ８００のハードウェアを制御するため、及びコンピュータ８００が人間のユーザと対話できるようにするため両方のソフトウェアを含んでいる。このようなソフトウェアは、デバイスドライバ、オペレーティングシステム及び開発ツールなどのユーザアプリケーションを含んでよいが、これらに制限されない。このようなコンピュータ読み取り可能媒体は、リモート施設モニタを実現するための本発明のコンピュータプログラム製品をさらに含む。本発明のコンピュータコードデバイスは、スクリプト、インタプリタ、ダイナミックリンクライブラリ、Ｊａｖａ（登録商標）クラス、及び複雑な実行可能なプログラムを含む任意の解釈されたまたは実行可能なコード機構である場合があるが、これらに制限されない。
【００８９】
本発明は、プラズマ処理施設以外の施設に適用できる。当業者ならば、さらなる利点及び変形例を容易に思い浮かべるだろう。したがって、本発明はそのさらに広い態様において、ここに図面を参照して説明された特定の詳細及び代表的な実施形態に限定されない。したがって、添付請求項及びその同等物により規定される一般的な発明概念の精神または範囲から逸脱することなしに種々の変形例が起こり得る。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
明細書に組み込まれ、明細書の一部を構成する添付図面は、本発明の現時点での好ましい実施形態を示し、前述された一般的な説明及び後述される好ましい実施形態の詳細な説明とともに、本発明の原理を説明するのに役立つ。
【図１】本発明の好ましい実施形態による施設監視システムを示す簡略化されたブロック図である。
【図２】施設モニタロガーステータス画面の例示的なビューを示し、ユーザによって選択される情報を表示する図である。
【図３】施設モニタロガーステータス画面の監視されたステータス表示領域の例示的な図を示し、ユーザによって選択される情報を表示する図である。
【図４】施設モニタロガーステータス画面の警報ステータス表示領域の例示的な図を示し、ユーザによって選択される情報を表示する図である。
【図５】施設で監視されているプロセスの施設モニタロガーグラフディスプレイを表示する施設モニタロガー履歴画面の例示的な図を示す図である。
【図６】本発明の好ましい実施形態による施設モニタロガーＧＵＩを操作する方法の簡略化されたフロー図である。
【図７】本発明の好ましい実施形態による施設モニタロガーＧＵＩを操作する方法の簡略化されたフロー図である。
【図８】リモート施設モニタ及びデータ収集コンピュータのどちらか１つを実現するためのコンピュータを示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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