(57)【要約】【課題】光の投受光を利用してガラス管の内周面に存在する異物を検知するガラス管の検査方法を提供する。【解決手段】キャピラリ１０に光を照射しながら回転させる照射工程と、前記キャピラリ１０の軸心に対して直交する方向に配置された撮像手段４により前記キャピラリ１０を所定の露光時間で撮像する撮像工程と、前記撮像工程で撮像された前記キャピラリ１０の撮像画像において前記キャピラリ１０の内周部１１に異物ｍ1が存在するかどうかを前記キャピラリ１０の回転による異物の光点軌跡Ｔの長さにより判別する判別工程と、を有する。【選択図】図１
2018151266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス管に光を照射しながら回転させる照射工程と、
前記ガラス管の軸心に対して直交する方向に配置された撮像手段により前記ガラス管を所定の露光時間で撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像された前記ガラス管の撮像画像において、前記ガラス管の内周部に異物が存在するかどうかを、前記ガラス管の回転による異物の光点軌跡の長さにより判別する判別工程とを有する、
ことを特徴とするガラス管の検査方法。
【請求項２】
ガラス管に光を照射しながら回転させる照射工程と、
前記ガラス管の軸心に対して直交する方向に配置された撮像手段により前記ガラス管を所定の露光時間で撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像された前記ガラス管の撮像画像において、前記ガラス管の内周部に異物が存在するかどうかを、前記ガラス管の回転による異物の光点軌跡の位置により判別する判別工程とを有する、
ことを特徴とするガラス管の検査方法。
【請求項３】
ガラス管に光を照射しながら回転させる照射工程と、
前記ガラス管の軸心に対して直交する方向に配置された撮像手段により前記ガラス管を所定の露光時間で撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像された前記ガラス管の撮像画像において、前記ガラス管の内周部に異物が存在するかどうかを、前記ガラス管の回転による異物の光点軌跡の輝度により判別する判別工程とを有する、
ことを特徴とするガラス管の検査方法。
【請求項４】
前記照射工程は、前記ガラス管を少なくとも１／４回転させる、
ことを特徴とする、請求項１〜請求項３の何れか一項に記載のガラス管の検査方法。
【請求項５】
前記照射工程において、
前記ガラス管の一端側から光を照射し、
前記撮像手段は、前記ガラス管の上方に配置される、
ことを特徴とする、請求項１〜請求項４の何れか一項に記載のガラス管の検査方法。
【請求項６】
前記ガラス管の内周部の少なくとも一端部にはテーパ部が形成され、
前記照射工程において、
前記テーパ部側より前記ガラス管に光を照射する、
ことを特徴とする、請求項１〜請求項５の何れか一項に記載のガラス管の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス管の検査方法の技術に関し、より詳しくは、光の投受光を利用してガラス管の内周部に存在する異物を検知するための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光通信技術の発展に伴い、光ファイバを用いた光デバイスは、幅広く普及するに至っている。
この種の光デバイスの分野においては、例えば光ファイバ同士を接続する場合に、両者の接続箇所を保護するための接続サポートとして、キャピラリと呼ばれるガラス製の細管（ガラス管）が用いられる。
ここで、前記キャピラリは、およそ１２５μｍ程度の外径からなる光ファイバを内周部（内周面によって囲まれた空間部）に挿入させて用いられる。当該内周部の直径は、光ファイバの直径と略同等に設定されており、両者の間には通常数μｍ程度の隙間しか生じないように、高精度な寸法公差のもと製作されている。
そのため、キャピラリの内周部においては、たとえ数μｍ程度の微細な異物の存在であっても光ファイバの挿入が妨げられることから、微細な異物を許容することができない。
従って、高度な品質を保証するべくキャピラリの品質検査では、このような微細な異物であっても、内周部に存在するのを確実に検知して、不良品として一旦除外することが非常に重要である。
そこで、このようなキャピラリの異物を検知するための技術が、例えば「特許文献１」によって開示されている。
即ち、前記「特許文献１」においては、キャピラリ（ガラス管）の表面上の欠陥、即ち異物や傷等を含めたものを検知するための技術ではあるが、透光体で形成された被検査体（ガラス管）を回転可能に保持する工程と、前記ガラス管の一側方に対してスリット光を照射する工程と、前記ガラス管を透過したスリット光を受光する工程と、受光したスリット光から前記ガラス管の欠陥を検出する工程とを有することを特徴とする透光体の検査方法に関する技術が開示されている。
具体的には、例えば、被検査体であるキャピラリを間に挟んで、当該キャピラリに対してスリット光を照射する照射手段、および前記キャピラリを撮像する撮像手段を互いに対向して配置し、前記撮像手段によって得られたキャピラリの画像データを画像処理することにより、異物等によって生じた散乱光を把握して、当該異物の存在を検知する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１５６３３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記「特許文献１」における透光体の検査方法によれば、被検査体であるキャピラリに存在する異物がたとえ微細なものであっても、スリット光がキャピラリを透過する際に当該異物によって生じる散乱光を的確に把握し、当該異物の存在を精度よく検知することができる。
しかしながら、このような透光体の検査方法では、キャピラリの内周部に存在する異物ばかりでなく、外周面に付着する塵等の異物であっても同様に検知されるため、異物の存在する場所がキャピラリの内周部あるいは外周面の何れであるのか判別することが難しく、内周部に存在する異物のみを正確に検知することが困難であった。
【０００５】
本発明は、以上に示した現状の問題点を鑑みてなされたものであり、光の投受光を利用してガラス管の内周部に存在する異物を検知するガラス管の検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００７】
即ち、本発明に係るガラス管の検査方法は、ガラス管に光を照射しながら回転させる照射工程と、前記ガラス管の軸心に対して直交する方向に配置された撮像手段により前記ガラス管を所定の露光時間で撮像する撮像工程と、前記撮像工程で撮像された前記ガラス管の撮像画像において、前記ガラス管の内周部に異物が存在するかどうかを、前記ガラス管の回転による異物の光点軌跡の長さにより判別する判別工程とを有することを特徴とする。
【０００８】
このような構成を有することにより、ガラス管の内周部の異物と外周面の異物とでは、ガラス管の回転時における光点軌跡の長さが異なるため、ガラス管の内周部に存在する異物と外周面に存在する異物とを区別することができ、内周部に存在する異物を判別することが可能となる。
【０００９】
また、本発明に係るガラス管の検査方法は、ガラス管に光を照射しながら回転させる照射工程と、前記ガラス管の軸心に対して直交する方向に配置された撮像手段により前記ガラス管を所定の露光時間で撮像する撮像工程と、前記撮像工程で撮像された前記ガラス管の撮像画像において、前記ガラス管の内周部に異物が存在するかどうかを、前記ガラス管の回転による異物の光点軌跡の位置により判別する判別工程とを有することを特徴とする。
【００１０】
このような構成を有することにより、ガラス管の内周部の異物と外周面の異物とでは、光点軌跡が現れる領域が異なるため、ガラス管の内周部に存在する異物と外周面に存在する異物とを区別することができ、内周部に存在する異物を判別することが可能となる。
【００１１】
また、本発明に係るガラス管の検査方法は、ガラス管に光を照射しながら回転させる照射工程と、前記ガラス管の軸心に対して直交する方向に配置された撮像手段により前記ガラス管を所定の露光時間で撮像する撮像工程と、前記撮像工程で撮像された前記ガラス管の撮像画像において、前記ガラス管の内周部に異物が存在するかどうかを、前記ガラス管の回転による異物の光点軌跡の輝度により判別する判別工程とを有することを特徴とする。
【００１２】
このような構成を有することにより、ガラス管を回転させた際に、ガラス管の外周面の周速が内周面の周速よりも大きくなるため、内周部の異物は外周面の異物よりも輝度が大きくなり、内周部に存在する異物を判別することが可能となる。
【００１３】
また、本発明に係るガラス管の検査方法において、前記照射工程は、前記ガラス管を少なくとも１／４回転させることが好ましい。
【００１４】
このような構成を有することにより、例えば、ガラス管の回転前に、ガラス管の内周部におけるガラス管の軸心に直交する方向の一端側の境界部に異物が存在した場合であっても、少なくとも１／４周回転させることで、判別工程での判別に用いられる光点軌跡を得ることができる。
【００１５】
また、本発明に係るガラス管の検査方法においては、前記照射工程において、前記ガラス管の一端側から光を照射し、前記撮像手段は、前記ガラス管の上方に配置されることが好ましい。
【００１６】
このような構成を有することにより、ガラス管を撮像するに際して適切な照射状体とすることができる。例えば、撮像手段に対向する位置に光源を配置した場合、照射光が撮像手段の受光部に直接入射し、撮像画像が必要以上に明るくなってしまうが、撮像手段と直交する方向からガラス管に光を照射するように構成したことで、異物からの散乱光のみが撮像手段へ届き、異物を判別し易い状態とすることができる。
【００１７】
また、本発明に係るガラス管の検査方法において、前記ガラス管の内周部の少なくとも一端部にはテーパ部が形成され、前記照射工程において、前記テーパ部側より前記ガラス管に光を照射するが好ましい。
【００１８】
このような構成を有することにより、ガラス管への照射光がテーパ部により拡散され、照射光がガラス管の全体に広がり易くなる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
即ち、本発明に係るガラス管の検査方法によれば、ガラス管に光を照射しながらガラス管を回転させ、所定の露光時間で撮像することで、異物を光点軌跡として取得し、この光点軌跡を用いてガラス管の内周面に存在する異物を検知することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係るガラス管の検査方法を具現化する検査装置の全体的な構成を示した図であって、（ａ）はその正面概略図、（ｂ）はその側面概略図。
【図２】検査装置によって画像処理されたキャピラリの撮像画像の一例を示した図であって、（ａ）はその端面方向から見た模式図、（ｂ）はその側面方向から見た模式図。
【図３】検査装置によって画像処理されたキャピラリの撮像画像において、内周面および外周面の各々に付着した異物の光点軌跡の表示範囲を示した図であって、（ａ）はその端面方向から見た模式図、（ｂ）はその側面方向から見た模式図。
【図４】検査装置によって画像処理されたキャピラリの撮像画像において、外周面に付着した異物が判別可能となる最小限の回転角度だけキャピラリを回転させた場合の状態を示した図であって、（ａ）はその端面方向から見た模式図、（ｂ）はその側面方向から見た模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に、本発明の実施形態について、図１乃至図４を用いて説明する。
【００２２】
［検査装置１］
先ず、本発明におけるガラス管の検査方法を具現化する検査装置１の全体構成について、図１を用いて説明する。
本実施形態における検査装置１は、可視光を透過するガラス管、例えばガラス管の一例であるキャピラリ１０の内周部（内周面によって囲まれた空間部）１１に存在する異物を検知するための装置である。
ここで、図１（ｂ）に示すように、本実施形態の被検査体としてのキャピラリ１０は、例えば光ファイバ同士を接続する場合に、両者の接続箇所を保護するための接続サポートとして用いられるものであって、中空円筒形状のガラス部材からなる細管によって形成される。
【００２３】
具体的には、キャピラリ１０の内周部１１は、光ファイバが挿通固定される保持孔部１１ａ、および光ファイバを挿通する際に該光ファイバの先端を保持孔部１１ａに案内するための案内孔部１１ｂにより構成される。
また、保持孔部１１ａは、光ファイバの直径と略同等の直径からなる一定の断面形状を有してキャピラリ１０と同軸上に形成されるとともに、案内孔部１１ｂは、保持孔部１１ａの一端部（本実施形態においては、図１（ｂ）中における右側端部）において当該保持孔部１１ａと同軸上、且つ端面に向かって断面形状が徐々に拡径するテーパ状に形成されている。
なお、案内孔部１１ｂは、キャピラリ１０の少なくとも一端部に設けられていればよく、本実施形態によって示されるようにキャピラリ１０の片側端部のみに設けられる場合に限らず、両端部に設けられていてもよい。
【００２４】
そして、本実施形態においては、キャピラリ１０の外形サイズとして、外径が１．０ｍｍ〜２．０ｍｍであり、且つ内径（即ち、保持孔部１１ａの内径）が１００μｍ〜１５０μｍであるものが、被検査体として用いられる。
より好ましくは、外径が０．９９ｍｍまたは１．８ｍｍであり、且つ内径（即ち、保持孔部１１ａの内径）が１２６μｍであるものが、被検査体として用いられる。
このような微細なガラス製の細管からなるキャピラリ１０であっても、本実施形態の検査装置１によって具現化されるガラス管の検査方法によれば、キャピラリ１０の内周部１１に存在する異物を確実に検知することができる。
【００２５】
なお、本実施形態における検査装置１の被検査体となるガラス管は、前述したキャピラリ１０に限定されるものではなく、例えば、液晶表示装置のバックライトとして用いられる照明用ガラス管などであってもよい。
【００２６】
検査装置１は、主に軸心Ｇを中心としてキャピラリ１０を回転駆動させる一対の回転ローラ２・２、キャピラリ１０の一端側より当該キャピラリ１０に向かって光を照射する照射手段３、光が照射されたキャピラリ１０の状態を撮像する撮像手段４、および撮像手段４によって撮像された撮像画像を処理する画像処理手段５などにより構成され、撮像手段４および画像処理手段５は、互いに電気的に接続されている。
【００２７】
前記一対の回転ローラ２・２は、図１（ａ）に示すように、互いに平行に配置されるとともに、各々軸心を中心にして回転可能に支持されている。
また、これら一対の回転ローラ２・２には、図示しない駆動モータが連結されており、当該駆動モータによって、双方の回転ローラ２・２が同一方向（例えば、図１（ａ）中における矢印Ａの方向）に向かって同期して回転するようになっている。
【００２８】
そして、これら一対の回転ローラ２・２の間において、キャピラリ１０は当該回転ローラ２・２と平行に載置される。
このような状態において、一対の回転ローラ２・２が回転することにより、キャピラリ１０は、軸心Ｇを中心としてこれら一対の回転ローラ２・２と同一方向（矢印Ａの方向）に回転されるようになっている。
【００２９】
なお、一対の回転ローラ２・２は、両方が駆動回転されるものに限らず、例えば、一方が駆動回転され、他方が従動回転されるように構成してもよい。
【００３０】
図１（ｂ）に示すように、照明手段３は、キャピラリ１０の一端側に向かって照明光（本実施形態では、可視光）を照射するものである。また、照明手段３は、図示せぬ光源を備えている。
光源としては、例えば、発光ダイオード（Ｌｉｇｈｔ  ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ：ＬＥＤ）等の半導体発光素子、ハロゲンランプ、キセノンランプ等を用いることができる。
【００３１】
照明手段３は、光源の光軸Ｌがキャピラリ１０の軸心Ｇと略同一となる位置に配置されている。
また、照明手段３から照射された光は、キャピラリ１０の端部、保持孔部１１ａおよび案内孔部１１ｂを通過しなから透過、反射しながら拡散して、キャピラリ１０の全体に亘って広がる。
【００３２】
撮像手段４は、キャピラリ１０を上方から撮像する位置に配置され、キャピラリ１０の全体を撮像可能に構成されている。
撮像手段４は、例えば、ＣＣＤカメラ等で構成することができる。
【００３３】
そして、撮像手段４は、その受光部４ａをキャピラリ１０に向けた状態で配置されており、あらかじめキャピラリ１０の全体が収まるように撮像範囲が設定され、任意の露光時間を設定して撮像することが可能となっている。
【００３４】
画像処理手段５は、撮像手段４により撮像した撮像画像に対して所定の画像処理を施すことにより、キャピラリ１０の内周部１１に存在する異物を認識可能とするものである。
画像処理手段５は、画像処理部５ａおよび判別部５ｂ等を備えている。
【００３５】
画像処理部５ａは、撮像手段４により撮像した撮像画像を二値化処理して白黒の撮像画像に変換するものでもよく、他の画像処理機能を有するものでもよい。
また、判別部５ｂは、画像処理部５ａで処理された撮像画像に基づいて、後述する各判別方法が実行される部分である。
【００３６】
このように、検査装置１は、キャピラリ１０の一端側に照明手段３を配置し、キャピラリ１０の上方に撮像手段４を配置した構成により、キャピラリ１０の一端側から照明光を照射しながら回転させた状態でキャピラリ１０の全体を撮像可能としており、撮像手段４により撮像された撮像画像を画像処理手段５により所定の画像処理をすることにより、キャピラリ１０に存在する異物を検知するように構成している。
【００３７】
［検査方法］
次に、検査装置１によるキャピラリ１０の検査方法について、図１を用いて説明する。
図１において、本実施形態に係るキャピラリ１０の検査方法では、キャピラリ１０を回転ローラ２・２に載置し、回転ローラ２・２を駆動回転することでキャピラリ１０を回転させながら照明手段３によりキャピラリ１０の一端側に照明光を照射する（照射工程）。
次に、撮像手段４により照射工程が実行されるキャピラリ１０を所定の露光時間で撮像する（撮像工程）。
そして、撮像工程により得られるキャピラリ１０の撮像画像に基づいてキャピラリ１０の内周部１１に異物が存在するかどうかを判別する（判別工程）。
このとき、キャピラリ１０の内周部１１や外周面に異物が存在する場合、照明手段３により照射された光が異物に当たって散乱し、白く発光する。
【００３８】
なお、前記照射工程においては、照明手段３によりキャピラリ１０の一端側から光を照射し、キャピラリ１０の上方に配置される撮像手段４によりキャピラリ１０が撮像される。
これにより、キャピラリ１０を撮像するに際して適切な照射状体とすることができる。
例えば、撮像手段４に対向する位置に光源を配置した場合、照射光が撮像手段の受光部に直接入射し、撮像画像が必要以上に明るくなってしまうが、本実施形態では、撮像手段４と直交する方向から照明手段３によりキャピラリ１０に光を照射するため、異物からの散乱光のみが撮像手段へ届き、異物を判別し易い状態とすることができる。
【００３９】
以下に、判別工程における具体的な判別方法について、図２乃至図４を用いて具体的に説明する。
【００４０】
［判別方法（実施例１）］
図２に示すように、実施例１に係る判別工程では、撮像工程で撮像されたキャピラリ１０の撮像画像においてキャピラリ１０の内周部１１に異物が存在するかどうかをキャピラリ１０の回転による異物の光点軌跡Ｔの長さにより判別する。
【００４１】
具体的には、撮像手段４は、露光時間を所定の時間（例えば、０．０１〜５秒）に設定しているため、キャピラリ１０をθ１度回転（図２（ａ）参照）しながら撮像することで、異物は軸心Ｇに直交する方向に線状に連続して延びる光点軌跡Ｔ（図２（ｂ）では、光点軌跡Ｔ１、Ｔ２）として撮像される。
【００４２】
例えば、キャピラリ１０の保持孔部１１ａの内周面に異物ｍ１が存在している場合、キャピラリ１０をθ１度回転させると保持孔部１１ａの内周面の位置ｐ１から位置ｐ２へと移動することになり、これに対応した長さ寸法ｄ１１の光点軌跡Ｔ１が撮像画像に現れる。
また、キャピラリ１０の外周面に異物ｍ２が存在している場合、キャピラリ１０をθ１度回転させるとキャピラリ１０の外周面の位置ｐ３から位置ｐ４へと移動することになり、これに対応した長さ寸法ｄ１２の光点軌跡Ｔ２が撮像画像に現れる。
【００４３】
ここで、光点軌跡Ｔ１および光点軌跡Ｔ２は、保持孔部１１ａおよび外周面の各直径寸法および回転角度θ１に基づいて求めることができる。
即ち、キャピラリ１０をθ１度回転させると、外周面の異物ｍ２に帰属する光点軌跡Ｔ２は、内周面の異物ｍ１に帰属する光点軌跡Ｔ１に比べて長いものとなる。
つまり、キャピラリ１０の内周部１１の異物ｍ１と外周面の異物ｍ２とでは、θ１度回転時における光点軌跡Ｔの長さが異なる。
これにより、キャピラリ１０の内周部１１に存在する異物ｍ１と外周面に存在する異物ｍ２とを区別することができ、内周部１１に存在する異物ｍ１を判別することが可能となる。
【００４４】
なお、キャピラリ１０の回転数としては、少なくとも１／４回転が好ましい。より好ましくは、１／２回転である。
例えば、キャピラリ１０の回転前に、キャピラリ１０の内周部１１におけるキャピラリ１０の軸心に直交する方向の一端側の境界部に異物が存在した場合であっても、キャピラリ１０を少なくとも１／４回転させることで、判別工程での判別に用いられる光点軌跡Ｔを得ることができる。
【００４５】
［判別方法（実施例２）］
図３に示すように、実施例２に係る判別工程では、撮像工程で撮像されたキャピラリ１０の撮像画像においてキャピラリ１０の内周部１１に異物が存在するかどうかをキャピラリ１０の回転による異物の光点軌跡Ｔの位置により判別する。
【００４６】
具体的には、撮像手段４は、露光時間を所定の時間（例えば、０．０１〜５秒）に設定しているため、キャピラリ１０をθ２度回転（図３（ａ）参照）しながら撮像することで、異物は軸心Ｇに直交する方向に線状に連続して延びる光点軌跡Ｔ（図３（ｂ）では、光点軌跡Ｔ３、Ｔ４）として撮像される。
【００４７】
例えば、キャピラリ１０の保持孔部１１ａの内周面に異物ｍ３が存在している場合は、キャピラリ１０をθ２度回転させると保持孔部１１ａの内周面の位置ｐ５から位置ｐ６へと移動することになり、これに対応した光点軌跡Ｔ３が撮像画像に現れる。
また、キャピラリ１０の外周面に異物ｍ４が存在している場合は、キャピラリ１０をθ２度回転させるとキャピラリ１０の外周面の位置ｐ７から位置ｐ８へと移動することになり、これに対応した光点軌跡Ｔ４が撮像画像に現れる。
【００４８】
ここで、図３（ｂ）に示すように、キャピラリ１０の撮像画像においては、キャピラリ１０の外周が囲む領域Ｓａ、キャピラリ１０の内周部１１に対応する領域Ｓｂ、およびキャピラリ１０の外周と保持孔部１１ａの内周が囲む領域（領域Ｓａから領域Ｓｂを除いた領域）Ｓｚに区画される。
【００４９】
例えば、キャピラリ１０の外周面に異物ｍ４が存在している場合は、領域Ｓｂだけでなく、領域Ｓｚにも光点軌跡Ｔ４が撮像画像に現れることになる。
一方、キャピラリ１０の内周面に異物ｍ３が存在している場合は、領域Ｓｂにだけ光点軌跡Ｔ３が現れるが、領域Ｓｚに現れることがない。
つまり、キャピラリ１０の内周部１１の異物ｍ３と外周面の異物ｍ４とでは、光点軌跡Ｔが現れる領域が異なる。
これにより、キャピラリ１０の内周部１１に存在する異物ｍ３と外周面に存在する異物ｍ４とを区別することができ、内周部１１に存在する異物ｍ３を判別することが可能となる。
なお、キャピラリ１０の回転数としては、少なくとも１／４回転が好ましい。より好ましくは、１／２回転である。
例えば、キャピラリ１０の回転前に、キャピラリ１０の内周部１１におけるキャピラリ１０の軸心に直交する方向の一端側の境界部に異物が存在した場合であっても、キャピラリ１０を少なくとも１／４回転させることで、判別工程での判別に用いられる光点軌跡Ｔを得ることができる。
【００５０】
［判別方法（実施例３）］
図４に示すように、実施例３に係る判別工程では、撮像工程で撮像されたキャピラリ１０の撮像画像においてキャピラリ１０の内周部１１に異物が存在するかどうかをキャピラリ１０の回転による異物の光点軌跡Ｔの輝度により判別する。
【００５１】
具体的には、撮像手段４は、露光時間を所定の時間（例えば、０．０１〜５秒）に設定しているため、キャピラリ１０をθ３度回転（図４（ａ）参照）しながら撮像することで、異物は軸心Ｇに直交する方向に線状に連続して延びる光点軌跡Ｔ（図４（ｂ）では、光点軌跡Ｔ５、Ｔ６）として撮像される。
【００５２】
例えば、キャピラリ１０の保持孔部１１ａの内周面に異物ｍ５が存在している場合は、キャピラリ１０をθ３度回転させると内周面の位置ｐ９から位置ｐ１０へと移動することになり、これに対応した光点軌跡Ｔ５が撮像画像に現れる。
また、キャピラリ１０の外周面に異物ｍ６が存在している場合は、キャピラリ１０をθ３度回転させると外周面の位置ｐ１１から位置ｐ１２へと移動することになり、これに対応した光点軌跡Ｔ６が撮像画像に現れる。
【００５３】
キャピラリ１０は、θ３度回転するに際し、キャピラリ１０の外周面と内周面に周速差が生じる。
これにより、キャピラリ１０の保持孔部１１ａの内周面に存在する異物ｍ５は、キャピラリ１０の外周面に存在する異物ｍ６に比べ、移動速度が小さいため強く光ることになり、撮像手段４で検出される光点軌跡Ｔ５の輝度が光点軌跡Ｔ６の輝度よりも高くなる。
つまり、キャピラリ１０をθ３度回転させた際に、キャピラリ１０の外周面の周速が内周面の周速よりも大きくなるため、キャピラリ１０の内周部１１の異物ｍ５と外周面の異物ｍ６とでは、光点軌跡Ｔの輝度が異なる。
これにより、キャピラリ１０の内周部１１に存在する異物ｍ５と外周面に存在する異物ｍ６とを区別することができ、内周部１１に存在する異物ｍ５を判別することが可能となる。
【００５４】
なお、あらかじめ内周部１１に存在する異物を想定した光点輝度Ｔの輝度の閾値を設定しておいて、当該輝度の閾値を超える光点軌跡Ｔが内周部１１に存在する場合に、内周部１１に異物が存在すると判別できるように構成してもよい。
【００５５】
また、上述した実施例１から実施例３の判別工程の後工程として、画像処理手段５が撮像画像から外周面に存在する異物による光点軌跡Ｔを取り除く画像処理を行う工程を設けることもできる。
これにより、内周部１１に存在する異物がより判別し易くなる。
また、キャピラリ１０の回転数としては、少なくとも１／４回転が好ましい。より好ましくは、１／２回転である。
例えば、キャピラリ１０の回転前に、キャピラリ１０の内周部１１におけるキャピラリ１０の軸心に直交する方向の一端側の境界部に異物が存在した場合であっても、キャピラリ１０を少なくとも１／４回転させることで、判別工程での判別に用いられる光点軌跡Ｔを得ることができる。
【符号の説明】
【００５６】
４    撮像手段
１０  キャピラリ（ガラス管）
１１  内周部
ｍ    異物
Ｔ    光点軌跡
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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