(57)【要約】【課題】密着性に優れるとともに、外観に優れた感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本発明の感光性樹脂組成物は、特定の構造のトリアゾール化合物と、アルカリ可溶性樹脂と、感光剤と、溶剤と、を含む。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
トリアゾール環を有するトリアゾール化合物と、
アルカリ可溶性樹脂と、
感光剤と、
溶剤と、を含み、
前記トリアゾール環は、１位、２位及び４位に窒素原子を有し、３位及び５位に炭素原子を有し、
前記トリアゾール環において、２位の前記窒素原子及び３位の前記炭素原子が二重結合を介して結合し、１位の前記窒素原子及び５位の前記炭素原子が二重結合を介して結合する、感光性樹脂組成物。
【請求項２】
請求項１に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記トリアゾール化合物の含有量は、前記アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．０１質量部以上３０質量部以下である、感光性樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性樹脂がフェノール樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリイミド樹脂、環状オレフィン系樹脂からなる群より選択される１種または２種以上である、感光性樹脂組成物。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物であって、
層間膜、表面保護膜、または、ダム材として用いられる永久膜を形成するために用いられる感光性樹脂組成物。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させてなる樹脂膜。
【請求項６】
請求項５に記載の樹脂膜を備える電子装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、樹脂膜及び樹脂膜を備える電子装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
これまで、感光性樹脂組成物の分野では、低温で硬化すること、優れたレリーフパターン形状が得られること、硬化膜の引っ張り伸度に優れることなどを目的として、様々な技術が開発されている。この種の技術としては、特許文献１に記載の技術が挙げられる。同文献には、特定構造のトリアゾール化合物を含む感光性樹脂組成物が記載されている。
【０００３】
また、ポジ型レジスト組成物の分野では、レジスト膜と基板との密着性が良好に維持され、微細なレジストパターンを形成可能であると共に、レジスト膜の現像後においても、残渣の発生を少なく抑えることを目的として、様々な技術が開発されている。この種の技術としては、特許文献２に記載の技術が挙げられる。同文献には、特定構造のベンゾトリアゾール系化合物を含むポジ型レジスト組成物が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１７８４７１号公報
【特許文献２】特開２０１０−１７６０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者は、感光性樹脂組成物を電子装置の永久膜として用いる際、電子装置の回路に用いられる銅と、永久膜との密着性について検討した。
その結果、上記特許文献１及び特許文献２に記載の感光性樹脂組成物は、密着性の観点で改善の余地があることが判明した。
また、一部のトリアゾール化合物を用いた感光性樹脂組成物は、ワニスとしたときに、黒く変色してしまうという点で不都合があった。
そこで、本発明は、密着性を向上し、外観に優れた感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、銅との密着性に優れるとともに、外観に優れた感光性樹脂組成物を得るために、トリアゾール化合物の構造について検討した。その結果、感光性樹脂組成物が、特定の構造のトリアゾール化合物を含むことが有効であることを見出し、本発明が完成した。
【０００７】
本発明によれば、
トリアゾール環を有するトリアゾール化合物と、
アルカリ可溶性樹脂と、
感光剤と、
溶剤と、を含み、
前記トリアゾール環は、１位、２位及び４位に窒素原子を有し、３位及び５位に炭素原子を有し、
前記トリアゾール環において、２位の前記窒素原子及び３位の前記炭素原子が二重結合を介して結合し、１位の前記窒素原子及び５位の前記炭素原子が二重結合を介して結合する、感光性樹脂組成物が提供される。
【０００８】
また、本発明によれば、上記感光性樹脂組成物を硬化させて得られる樹脂膜が提供される。
【０００９】
また、本発明によれば、上記樹脂膜を備える電子装置が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、密着性に優れるとともに、外観に優れた感光性樹脂組成物を提供する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態に係る電子装置の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本実施形態について、適宜図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、その説明を省略する。
【００１３】
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、
密着助剤と、
アルカリ可溶性樹脂と、
感光剤と、
溶剤と、を含み、
前記密着助剤は、特定の構造のトリアゾール化合物を含む。
【００１４】
まず、本発明者は、銅との密着性及び外観に優れた感光性樹脂組成物を得るために、トリアゾール化合物の構造について検討した。その結果、トリアゾール化合物のトリアゾール環において、１位、２位及び４位に窒素原子が存在し、３位及び５位に炭素原子が存在し、さらに、２位の窒素原子及び３位の炭素原子が二重結合を介して結合し、１位の窒素原子及び５位の炭素原子が二重結合を介して結合する特定の構造のトリアゾール化合物が、密着性及び外観に優れた感光性樹脂組成物を得るのに有効であることを見出した。この理由について、詳細なメカニズムは明らかではないが、以下のように推測される。
【００１５】
まず、密着性が向上するメカニズムについて説明する。上記特定の構造のトリアゾール化合物は、トリアゾール環において、窒素原子が孤立電子対を有する。孤立電子対を有し、さらに、二重結合を上述した特定の位置に有する上記特定の構造のトリアゾール化合物は、銅原子と、安定性の高いキレート錯体を形成すると推測される。これにより、上記特定の構造のトリアゾール化合物は、従来のトリアゾール化合物と比べて、強く銅と相互作用すると考えられる。したがって、上記特定の構造のトリアゾール化合物を含む感光性樹脂組成物と、銅との密着性を向上することができると推測される。
【００１６】
また、外観に優れるメカニズムについて説明する。
本発明者による種々の実験結果より、一部のトリアゾール化合物を用いて、感光性樹脂組成物の原料成分を混合した際、感光性樹脂組成物が黒く変色することが明らかになった。そして、本発明者が検討した結果、上記特定の構造のトリアゾール化合物を用いた場合には、変色が起こらなかった。詳細なメカニズムは明らかではないが、この理由は以下のように推測される。
まず、一部のトリアゾール化合物を用いて変色が起こる理由は、トリアゾール化合物が、何らかの理由により開環し、イミンなどの発色する構造を形成するためと推測される。ここで、上記特定の構造のトリアゾール化合物は、１位と２位の原子間で電子共役が起こっており、トリアゾール環が安定化しているため反応性が低いと推測される。さらに、上記特定の構造のトリアゾール化合物は、トリアゾール環に２級アミンまたは３級アミンしか含まないため塩基性が低いと推測される。したがって、上記特定のトリアゾール化合物のトリアゾール環は開環しにくいと考えられる。これにより、上記特定のトリアゾール化合物は、発色する構造を形成しないと考えられる。したがって、上記特定の構造のトリアゾール化合物を含む感光性樹脂組成物は、外観に優れると考えられる。
以上より、本実施形態の感光性樹脂組成物は、銅との密着性を向上し、外観に優れると推測される。
【００１７】
本実施形態の感光性樹脂組成物は、トリアゾール化合物と、アルカリ可溶性樹脂と、感光剤と、溶剤とを含む。
以下、本実施形態の感光性樹脂組成物の各成分について説明する。
【００１８】
（トリアゾール化合物）
トリアゾール化合物は、トリアゾール環を有し、さらに、トリアゾール環が、１位、２位及び４位に窒素原子を有し、３位及び５位に炭素原子を有し、さらに、２位の前記窒素原子及び３位の前記炭素原子が二重結合を介して結合し、１位の前記窒素原子及び５位の前記炭素原子が二重結合を介して結合するものである。
トリアゾール化合物のトリアゾール環以外の構造は限定されず、感光性樹脂組成物の他の成分に応じて選択することができる。すなわち、トリアゾール化合物は、１，２，４−トリアゾール誘導体であって、１，２，４−トリアゾール誘導体の特定の位置に二重結合を有するものである。
トリアゾール化合物としては、具体的には、下記一般式（１）によって表されるものが挙げられる。
【００１９】
【化１】
2018136462.tif 000002
（一般式（１）中、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子及びケイ素原子からなる群より選択される１種または２種以上の原子によって形成される基である。）
【００２０】
上記一般式（１）における、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の基は、それぞれ独立して、水素原子、炭素原子、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、リン原子及びケイ素原子から選択される１種または２種以上の原子によって形成される基である。
Ｒ１、Ｒ２及びＲ３を形成する原子は、上記具体例のうち、窒素原子、酸素原子及び硫黄原子を含むことが好ましい。これにより、トリアゾール化合物は、窒素原子、酸素原子及び硫黄原子に由来する孤立電子対をさらに備えることができる。トリアゾール化合物の孤立電子対は、上述したキレート錯体の形成に寄与し、さらに銅原子を攻撃する孤立電子対が増えると推測される。これにより、密着性を向上できる。
【００２１】
上記一般式（１）における、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３を構成する基のうち、炭化水素基としては、具体的には、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基などのアルキル基；アリル基、ペンテニル基、ビニル基などのアルケニル基；エチニル基などのアルキニル基；メチリデン基、エチリデン基などのアルキリデン基；トリル基、キシリル基、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基などのアリール基；ベンジル基、フェネチル基などのアラルキル基；アダマンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基などのシクロアルキル基；トリル基、キシリル基などのアルカリル基などが挙げられる。
【００２２】
上記一般式（１）における、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の基は、例えば、孤立電子対を有する官能基を含むことが好ましい。孤立電子対を有する官能基としては、具体的には、アミノ基、ニトロ基、メルカプト基、カルボニル基、アミド基、ウレア基、イミド基、スルホ基、スルホニル基、ヒドロキシ基、ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジニル基、ピリダジニル基、ピロリル基、ピロリジニル基、イミダゾリル基、ピラゾリル基、チアゾリル基、オキサゾリル基、フラザニル基などが挙げられる。孤立電子対を有する官能基としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を含んでもよい。トリアゾール化合物は、孤立電子対を介して、銅原子と相互作用する。これにより、トリアゾール化合物の孤立電子対の数が多いほど相互作用が強くなり、密着性を向上できる。
孤立電子対を有する官能基としては、上記具体例のうち、アミノ基、メルカプト基、ヒドロキシ基及びピリジル基からなる群より選択される１種または２種以上を含むことが好ましく、アミノ基、メルカプト基及びヒドロキシ基からなる群より選択される１種または２種以上を含むことがより好ましい。トリアゾール化合物は、より好適なキレート錯体を形成できると推測される。したがって、密着性をさらに向上できる。
なお、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３を構成する孤立電子対を有する官能基を含む基は、例えば、上述したＲ１、Ｒ２及びＲ３を構成する基のうち、上述した炭化水素基を置換したものでもよく、孤立電子対を有する官能基そのものとしてもよい。
【００２３】
上記一般式（１）における、Ｒ１、Ｒ２及びＲ３の基は、例えば、活性水素を有する官能基を含むことが好ましい。活性水素を有する有機基としては、アミノ基、メルカプト基、アミド基、スルホ基、カルボキシル基及びヒドロキシ基などが挙げられる。活性水素を有する官能基としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。上記具体例の中でも、活性水素を有する官能基としては、アミノ基、メルカプト基及びヒドロキシル基からなる群より選択される１種または２種以上を含むことが好ましい。これにより、トリアゾール化合物と、アルカリ可溶性樹脂とが水素結合を形成すると推測される。したがって、トリアゾール化合物を介して、アルカリ可溶性樹脂と、銅とが強固に結びつくことができ、密着性を向上できる。
なお、Ｒ１が水素原子である場合、トリアゾール環の４位の窒素原子が２級アミンとして作用する。したがって、Ｒ１の水素原子は活性水素として作用する。
【００２４】
上記一般式（１）におけるＲ１、Ｒ２及びＲ３の組み合わせとしては、例えば、Ｒ１が、水素である基、または、アミノ基を含む基であり、Ｒ２及びＲ３の少なくとも１つが孤立電子対を有する官能基を含むことが好ましく、Ｒ１が、水素である基、または、アミノ基であり、Ｒ２及びＲ３の少なくとも１つが孤立電子対を有する官能基を含むことがより好ましく、Ｒ１が、水素である基、または、アミノ基であり、Ｒ２及びＲ３が孤立電子対を有する官能基を含むことがさらに好ましい。これにより、キレート錯体を形成する確率を向上しつつ、さらに、トリアゾール化合物と、アルカリ可溶性樹脂との相互作用を強くできる。したがって、密着性を向上できる。
【００２５】
トリアゾール化合物としては、具体的には、４−アミノ−１，２，４−トリアゾール、４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−アミン、４−アミノ−３，５−ジ−２−ピリジル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール、３−（メチルチオ）−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール、４−アミノ−３−ヒドラジノ−５−メルカプト−１，２，４−トリアゾール、４−メチル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−チオール、５−メルカプト−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−オール、３−アミノ−５−メチル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール、４−メチル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−アミン、３，４−ジアミノ−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール、３，５−ジアミノ−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール、１，２，４−トリアゾール−３，４，５−トリアミン、３−ピリジル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール、４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−カルボキサミドなどが挙げられる。トリアゾール化合物としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００２６】
感光性樹脂組成物中のトリアゾール化合物の含有量は、限定されない。
トリアゾール化合物の含有量の下限値は、例えば、アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、０．０１質量部以上であることが好ましく、０．０８質量部以上であることがより好ましく、０．１質量部以上であることが更に好ましく、０．１５質量部以上であることが一層好ましく、０．２質量部以上であることが殊更好ましい。これにより、トリアゾール化合物と、銅と密着性を向上できる。
また、トリアゾール化合物の含有量の上限値は、例えば、アルカリ可溶性樹脂１００質量部に対して、３０質量部以下であることが好ましく、１５質量部以下であることがより好ましく、１０質量部以下であることが更に好ましく、７質量部以下であることが殊更好ましい。これにより、永久膜としての性質を損なうことなく、上記密着性を向上できる。
【００２７】
本実施形態にかかる樹脂組成物は、上記特定の構造のトリアゾール化合物に加えて、例えば、シリコーン化合物を更に含むことが好ましい。これにより、アルカリ可溶性樹脂と、トリアゾール化合物との相互作用が強くなると推測される。したがって、密着性をさらに向上できる。
シリコーン化合物としては、具体的には、γ−メタクロキシプロピルトリメトキシシラン、６−メタクリロキシヘキシルトリメトキシシラン、８−メタクリロキシオクチルトリメトキシシラン、１０−メタクリロキシデシルトリメトキシシラン、１１−メタクリロキシウンデシルトリメトキシシラン、８−アクリロキシオクチルトリメトキシシラン、１２−アクリロキシドデシルトリメトキシシラン、８−メタクリロキシオクチルトリエトキシシラン、１２−メタクリロキシドデシルトリエトキシシラン、１０−メタクリロキシデシルトリイソシアナトシラン、１０−メタクリロキシデシルモノメチルジメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、ｐ−スチリルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス（トリエトキシプロピル）テトラスルフィド、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシランなどが挙げられる。シリコーン化合物としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を含むことができる。
【００２８】
感光性樹脂組成物中のシリコーン化合物の含有量は限定されない。
トリアゾール化合物と、シリコーン化合物とがバランスよく存在することで、密着性を更に向上する観点から、シリコーン化合物の含有量の下限値は、例えば、トリアゾール化合物１００質量部に対して、１質量部以上であることが好ましく、４質量部以上であることがより好ましい。
また、上記下限値と同様の観点から、シリコーン化合物の含有量の上限値は、例えば、トリアゾール化合物１００質量部に対して、３０質量部以下であることが好ましく、２０質量部以下であることがより好ましい。
【００２９】
（アルカリ可溶性樹脂）
アルカリ可溶性樹脂としては、限定されず、具体的には、フェノール樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリイミド樹脂、環状オレフィン系樹脂などが挙げられる。これらの中でも、フェノール樹脂を含むことが好ましい。これにより、アルカリ可溶性樹脂と、トリアゾール化合物との相互作用が強くなると推測される。したがって、感光性樹脂組成物の密着性を向上できる。
なお、アルカリ可溶性樹脂としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を含むことができる。
【００３０】
上記フェノール樹脂としては、具体的には、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールノボラック樹脂、フェノール−ビフェニルノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂；ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、クレゾールノボラック樹脂などのフェノール化合物とアルデヒド化合物との反応物；フェノールアラルキル樹脂などのフェノール化合物とジメタノール化合物との反応物などが挙げられる。これらの中でも、フェノール樹脂としては、フェノール化合物とアルデヒド化合物との反応物及びフェノール化合物とジメタノール化合物との反応物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましく、フェノール化合物とジメタノール化合物との反応物を含むことがより好ましい。これにより、フェノール樹脂と、トリアゾール化合物との相互作用が強くなると推測される。したがって、感光性樹脂組成物の密着性を向上できる。
なお、フェノール樹脂としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を含むことができる。
【００３１】
上述した、フェノール化合物とアルデヒド化合物との反応物またはフェノール化合物とジメタノール化合物との反応物に用いられるフェノール化合物としては限定されない。
このようなフェノール化合物としては、具体的には、フェノール、ｏ−クレゾール、ｍ−クレゾール、ｐ−クレゾールなどのクレゾール類；２，３−キシレノール、２，４−キシレノール、２，５−キシレノール、２，６−キシレノール、３，４−キシレノール、３，５−キシレノールなどのキシレノール類；ｏ−エチルフェノール、ｍ−エチルフェノール、ｐ−エチルフェノールなどのエチルフェノール類；イソプロピルフェノール、ブチルフェノール、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノールなどのアルキルフェノール類；レゾルシノール、カテコール、ハイドロキノン、ピロガロール、フロログルシノールなどの多価フェノール類；４，４'−ビフェノールなどのビフェニル系フェノール類が挙げられる。フェノール化合物としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を用いることができる。
【００３２】
上述した、フェノール化合物とアルデヒド化合物との反応物に用いられるアルデヒド化合物としては、アルデヒド基を有する化合物であれば限定されない。
このようなアルデヒド化合物としては、具体的には、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド、サリチルアルデヒドなどが挙げられる。アルデヒド化合物としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を用いることができる。
【００３３】
上述した、フェノール化合物とジメタノール化合物との反応物に用いられるジメタノール化合物としては限定されない。
このようなジメタノール化合物としては、具体的には、１，４−ベンゼンジメタノール、１，３−ベンゼンジメタノール、４，４'−ビフェニルジメタノール、３，４'−ビフェニルジメタノール、３，３'−ビフェニルジメタノール、２，６−ナフタレンジメタノール、２，６−ビス（ヒドロキシメチル）−ｐ−クレゾールなどのジメタノール化合物；１，４−ビス（メトキシメチル）ベンゼン、１，３−ビス（メトキシメチル）ベンゼン、４，４'−ビス（メトキシメチル）ビフェニル、３，４'−ビス（メトキシメチル）ビフェニル、３，３'−ビス（メトキシメチル）ビフェニル、２，６−ナフタレンジカルボン酸メチル、等のビス（アルコキシメチル）化合物、または１，４−ビス（クロロメチル）ベンゼン、１，３−ビス（クロロメチル）ベンゼン，１，４−ビス（ブロモメチル）ベンゼン、１，３−ビス（ブロモメチル）ベンゼン、４，４'−ビス（クロロメチル）ビフェニル、３，４'−ビス（クロロメチル）ビフェニル、３，３'−ビス（クロロメチル）ビフェニル、４，４'−ビス（ブロモメチル）ビフェニル、３，４'−ビス（ブロモメチル）ビフェニルもしくは３，３'−ビス（ブロモメチル）ビフェニルなどのビス（ハルゲノアルキル）化合物、４，４'−ビス（メトキシメチル）ビフェニル、４，４'−ビス（メトキシメチル）ビフェニルなどのビフェニルアラルキル化合物などが挙げられる。ジメタノール化合物としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を用いることができる。
【００３４】
上記ヒドロキシスチレン樹脂としては限定されず、具体的には、ヒドロキシスチレン、ヒドロキシスチレン誘導体、スチレン及びスチレン誘導体からなる群より選択される１種または２種以上を重合または共重合させた重合反応物または共重合反応物を用いることができる。
【００３５】
上記ポリアミド樹脂としては限定されず、具体的には、下記一般式（ＰＡ１）または一般式（ＰＡ２）で表される構造単位を含むものが挙げられる。ポリアミド樹脂としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
ポリアミド樹脂としては、上記具体例のうち、下記一般式（ＰＡ１）または一般式（ＰＡ２）で表される構造単位を含むものが好ましく、下記一般式（ＰＡ１）または一般式（ＰＡ２）で表される繰り返し単位を含むものがより好ましい。
【００３６】
【化２】
2018136462.tif 000003
（一般式（ＰＡ１）中、ＲＡは炭素数１以上３０以下の有機基である。）
【００３７】
【化３】
2018136462.tif 000004
（一般式（ＰＡ２）中、ＲＢ及びＲＣは、それぞれ独立して炭素数１以上３０以下の有機基である。）
【００３８】
上記式（ＰＡ１）で表される構造単位を含むポリアミド樹脂は、ポリベンゾオキサゾール樹脂の前駆体である。上記式（ＰＡ１）で表される構造単位を含むポリアミド樹脂は、例えば、１５０℃以上３８０℃以下の温度で、３０分間以上５０時間以下の条件で熱処理されることによって、脱水閉環し、ポリベンゾオキサゾール樹脂とすることができる。ここで、上記式（ＰＡ１）の構造単位は、脱水閉環によって、下記式（ＰＢＯ１）で示される構造単位となる。
本実施形態に係るアルカリ可溶性樹脂が上記式（ＰＡ１）で表される構造単位を含むポリアミド樹脂である場合、感光性樹脂組成物を上記熱処理することで、脱水閉環し、ポリベンゾオキサゾール樹脂としてもよい。すなわち、上記熱処理をした感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂であるポリベンゾオキサゾール樹脂を含む。
また、アルカリ可溶性樹脂が上記式（ＰＡ１）で表される構造単位を含むポリアミド樹脂である場合、後述する樹脂膜、電子装置を作製した後、上記熱処理をすることで、脱水閉環し、ポリベンゾオキサゾール樹脂としてもよい。
【００３９】
【化４】
2018136462.tif 000005
（一般式（ＰＢＯ１）中、ＲＡは、上記一般式（ＰＡ１）と同様である。）
【００４０】
上記式（ＰＡ２）で表される構造単位を含むポリアミド樹脂は、ポリイミド樹脂の前駆体である。上記式（ＰＡ２）で表される構造単位を含むポリアミド樹脂は、例えば、１５０℃以上３８０℃以下の温度で、３０分間以上５０時間以下の条件で熱処理されることによって、脱水閉環し、ポリイミド樹脂とすることができる。ここで、上記式（ＰＡ２）の構造単位は、脱水閉環によって、下記式（ＰＩ１）で示される構造単位となる。
本実施形態に係るアルカリ可溶性樹脂が上記式（ＰＡ２）で表される構造単位を含むポリアミド樹脂である場合、感光性樹脂組成物を上記熱処理することで、脱水閉環し、ポリイミド樹脂としてもよい。すなわち、上記熱処理をした感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂であるポリイミド樹脂を含む。
また、アルカリ可溶性樹脂が上記式（ＰＡ２）で表される構造単位を含むポリアミド樹脂である場合、後述する樹脂膜、電子装置を作製した後、上記熱処理をすることで、脱水閉環し、ポリイミド樹脂としてもよい。
【００４１】
【化５】
2018136462.tif 000006
（一般式（ＰＩ１）中、ＲＢ及びＲＣは、上記一般式（ＰＡ２）と同様である。）
【００４２】
上記環状オレフィン系樹脂としては限定されず、具体的には、ノルボルネン及びノルボルネン誘導体からなる群より選択される１種または２種以上を重合または共重合させた重合反応物または共重合反応物を用いることができる。
【００４３】
上記一般式（ＰＡ１）、一般式（ＰＡ２）、一般式（ＰＢＯ１）、一般式（ＰＩ１）におけるＲＡ、ＲＢ及びＲＣとしては、具体的には、芳香族環を有する有機基であることが好ましい。
芳香族環を有する有機基としては、具体的には、ベンゼン環、ナフタレン環またはアントラセン環を含むものが好ましく、ベンゼン環を含むものがより好ましい。これにより、アルカリ可溶性樹脂が剛直な骨格を含み、トリアゾール化合物と相互作用するアルカリ可溶性樹脂の分子鎖と、他のアルカリ可溶性樹脂の分子鎖が強く結びつく構造を形成できると推測される。したがって、アルカリ可溶性樹脂の分子鎖同士の相互作用が強まり、結果として、アルカリ可溶性樹脂と、トリアゾール化合物との相互作用を強くできる。
【００４４】
感光性樹脂組成物中のアルカリ可溶性樹脂の含有量は限定されない。
密着性を向上する観点から、アルカリ可溶性樹脂の含有量の下限値は、感光性樹脂組成物の全固形分を１００質量部としたとき、例えば、３０質量部以上であることが好ましく、４５質量部以上であることがより好ましく、５０質量部以上であることが更に好ましく、５５質量部以上であることが一層好ましく、６０質量部以上であることが殊更好ましい。
また、上記下限値と同様の観点から、アルカリ可溶性樹脂の含有量の上限値は、感光性樹脂組成物の全固形分を１００質量部としたとき、例えば、９０質量部以下であることが好ましく、８５質量部以下であることがより好ましく、８０質量部以下であることが更に好ましい。
【００４５】
（感光剤）
感光性樹脂組成物がポジ型である場合には、感光剤として、光エネルギーを吸収することにより酸を発生する光酸発生剤を用いることができる。
光酸発生剤としては、具体的には、ジアゾキノン化合物；ジアリールヨードニウム塩；２−ニトロベンジルエステル化合物；Ｎ−イミノスルホネート化合物；イミドスルホネート化合物；２，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン化合物；ジヒドロピリジン化合物などが挙げられる。これらの中でも、感光性ジアゾキノン化合物を用いることが好ましい。これにより、感光性樹脂組成物の感度を向上することができる。したがって、パターンの精度を向上でき、外観を向上させることができる。なお、光酸発生剤としては、上記具体例のうち、１種または２種以上を含むことができる。
また、感光性樹脂組成物がポジ型である場合には、感光剤として、上記具体例に加えて、トリアリールスルホニウム塩；スルホニウム・ボレート塩などのオニウム塩などを併せて用いてもよい。これにより、感光性樹脂組成物の感度をさらに向上できる。
【００４６】
上記ジアゾキノン化合物としては、例えば、以下に示すもののうち、１種または２種以上の化合物を使用することができる。
【００４７】
【化６】
2018136462.tif 000007
【００４８】
【化７】
2018136462.tif 000008
2018136462.tif 000009
（ｎは、１以上、５以下の整数である。）
2018136462.tif 000010
2018136462.tif 000011
2018136462.tif 000012
【００４９】
以上の各ジアゾキノン化合物において、Ｑは、下式（ａ）、下式（ｂ）及び下式（ｃ）に表される構造または、水素原子である。ただし、各ジアゾキノン化合物のＱのうち少なくとも１つは、下式（ａ）、下式（ｂ）及び下式（ｃ）によって表される構造である。
ジアゾキノン化合物のＱとしては、下式（ａ）または下式（ｂ）を含むことが好ましい。これにより、感光性樹脂組成物の透明性を向上することができる。したがって、感光性樹脂組成物の外観を向上することができる。
【００５０】
【化８】
2018136462.tif 000013
【００５１】
感光性樹脂組成物中の感光剤の含有量は限定されない。
感光剤の含有量の下限値は、感光性樹脂組成物の全固形分を１００質量部としたとき、例えば、１質量部以上であることが好ましく、２質量部以上であることがより好ましく、３質量部以上であることが更に好ましい。これにより、感光性樹脂組成物は適切な感度を発揮することができる。
また、感光剤の含有量の上限値は、感光性樹脂組成物の全固形分を１００質量部としたとき、例えば、３０質量部以下であることが好ましく、２０質量部以下であることがより好ましい。これにより、感光性樹脂組成物は適切に硬化し、密着性を発現できる。
【００５２】
また、感光性樹脂組成物がネガ型の場合には、感光剤として、光酸発生剤を用い、さらに架橋剤として、酸の作用によりポリマーを架橋させるものを含む。
感光性樹脂組成物がネガ型の場合に用いられる光酸発生剤としては、光のエネルギーを吸収してブレンステッド酸あるいはルイス酸を生成するものであればよく、例えば、トリアリールスルホニウム塩、トリフェニルスルホニウムトリフルオロメタンスルホネート、トリス（４−ｔ−ブチルフェニル）スルホニウム−トリフルオロメタンスルホネートなどのスルホニウム塩類；ｐ−ニトロフェニルジアゾニウムヘキサフルオロホスフェートなどのジアゾニウム塩類；アンモニウム塩類；ホスホニウム塩類；ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート、（トリクミル）ヨードニウム−テトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレートなどのヨードニウム塩類；キノンジアジド類、ビス（フェニルスルホニル）ジアゾメタンなどのジアゾメタン類；１−フェニル−１−（４−メチルフェニル）スルホニルオキシ−１−ベンゾイルメタン、Ｎ−ヒドロキシナフタルイミド−トリフルオロメタンスルホネートなどのスルホン酸エステル類；ジフェニルジスルホンなどのジスルホン類；トリス（２，４，６−トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３，４−メチレンジオキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどのトリアジン類などの化合物を挙げることができる。これらの光酸発生剤は、単独、または複数を組み合わせて使用することができる。
【００５３】
（架橋剤）
感光性樹脂組成物がネガ型の場合には、架橋剤としては、上記光酸発生剤より発生した酸を触媒としてアルカリ可溶性樹脂を架橋するものを用いることができる。
上記架橋剤としては、具体的には、メラミン系架橋剤、尿素系架橋剤、グリコールウリル系架橋剤などが挙げられる。これらの中でも、グリコールウリル系架橋剤を用いることが好ましい。
上記メラミン系架橋剤としては、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサエトキシメチルメラミン、ヘキサプロポキシメチルメラミン、ヘキサブトキシブチルメラミンなどが挙げられる。
上記尿素系架橋剤としては、メチル化尿素樹脂、ビスメトキシメチル尿素、ビスエトキシメチル尿素、ビスプロポキシメチル尿素、ビスブトキシメチル尿素などが挙げられる。
上記グリコールウリル系架橋剤としては、Ｎ，Ｎ，Ｎ，Ｎ−テトラ（メトキシメチル）グリコールウリル、Ｎ，Ｎ，Ｎ，Ｎ−テトラ（エトキシメチル）グリコールウリル、Ｎ，Ｎ，Ｎ，Ｎ−テトラ（プロポキシメチル）グリコールウリル、Ｎ，Ｎ，Ｎ，Ｎ−テトラ（イソプロポキシメチル）グリコールウリル、Ｎ，Ｎ，Ｎ，Ｎ−テトラ（ブトキシメチル）グリコールウリルなどのアルコキシメチル化グリコールウリルが挙げられる。
なお、感光性樹脂組成物がポジ型の場合、感光性樹脂組成物は、上述した架橋剤を含んでもよい。これにより、樹脂膜の機械的強度を向上することができる。
【００５４】
（溶剤）
溶剤としては、限定されず、具体的には、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、γ−ブチロラクトン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、メチル−１，３−ブチレングリコールアセテート、１，３−ブチレングリコール−３−モノメチルエーテル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル及びメチル−３−メトキシプロピオネートなどが挙げられる。溶剤としては、上記具体例のうち、１種又は２種以上を含むことができる。
【００５５】
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、さらに、界面活性剤、酸化防止剤、溶解促進剤、フィラー、増感剤等の添加剤を添加してもよい。
以下に、代表成分について、詳細を説明する。
【００５６】
（界面活性剤）
本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、界面活性剤をさらに含んでいてもよい。
界面活性剤としては、限定されず、具体的にはポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテルなどのポリオキシエチレンアルキルエーテル類；ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどのポリオキシエチレンアリールエーテル類；ポリオキシエチレンジラウレート、ポリオキシエチレンジステアレートなどのポリオキシエチレンジアルキルエステル類などのノニオン系界面活性剤；エフトップＥＦ３０１、エフトップＥＦ３０３、エフトップＥＦ３５２（新秋田化成社製）、メガファックＦ１７１、メガファックＦ１７２、メガファックＦ１７３、メガファックＦ１７７、メガファックＦ４４４、メガファックＦ４７０、メガファックＦ４７１、メガファックＦ４７５、メガファックＦ４８２、メガファックＦ４７７（ＤＩＣ社製）、フロラードＦＣ−４３０、フロラードＦＣ−４３１、ノベックＦＣ４４３０、ノベックＦＣ４４３２（スリーエムジャパン社製）、サーフロンＳ−３８１、サーフロンＳ−３８２、サーフロンＳ−３８３、サーフロンＳ−３９３、サーフロンＳＣ−１０１、サーフロンＳＣ−１０２、サーフロンＳＣ−１０３、サーフロンＳＣ−１０４、サーフロンＳＣ−１０５、サーフロンＳＣ−１０６、（ＡＧＣセイミケミカル社製）などの名称で市販されているフッ素系界面活性剤；オルガノシロキサン共重合体ＫＰ３４１（信越化学工業社製）；（メタ）アクリル酸系共重合体ポリフローＮｏ．５７、９５（共栄社化学社製）などが挙げられる。
これらのなかでも、パーフルオロアルキル基を有するフッ素系界面活性剤を用いることが好ましい。パーフルオロアルキル基を有するフッ素系界面活性剤としては、上記具体例のうち、メガファックＦ１７１、メガファックＦ１７３、メガファックＦ４４４、メガファックＦ４７０、メガファックＦ４７１、メガファックＦ４７５、メガファックＦ４８２、メガファックＦ４７７（ＤＩＣ社製）、サーフロンＳ−３８１、サーフロンＳ−３８３、サーフロンＳ−３９３（ＡＧＣセイミケミカル社製）、ノベックＦＣ４４３０及びノベックＦＣ４４３２（スリーエムジャパン社製）から選択される１種または２種以上を用いることが好ましい。
【００５７】
（酸化防止剤）
酸化防止剤としては、フェノ−ル系酸化防止剤、リン系酸化防止剤およびチオエ−テル系酸化防止剤から選択される１種以上を使用できる。酸化防止剤は、感光性樹脂組成物により形成される樹脂膜の酸化を抑制できる。
フェノ−ル系酸化防止剤としては、ペンタエリスリチル−テトラキス〔３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート〕、３，９−ビス｛２−〔３−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニルオキシ〕−１，１−ジメチルエチル｝２，４，８，１０−テトラオキサスピロ〔５，５〕ウンデカン、
オクタデシル−３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート、１，６−ヘキサンジオール−ビス〔３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート〕、１，３，５−トリメチル−２，４，６−トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ベンゼン、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノール、２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−エチルフェノール、２，６−ジフェニル−４−オクタデシロキシフェノール、ステアリル（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート、ジステアリル（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）ホスホネート、チオジエチレングリコールビス〔（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート〕、４，４'−チオビス（６−ｔ−ブチル−ｍ−クレゾール）、２−オクチルチオ−４，６−ジ（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェノキシ）−ｓ−トリアジン、２，２'−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチル−６−ブチルフェノール）、２，−２'−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、ビス〔３，３−ビス（４−ヒドロキシ−３−ｔ−ブチルフェニル）ブチリックアシッド〕グリコールエステル、４，４'−ブチリデンビス（６−ｔ−ブチル−ｍ−クレゾール）、２，２'−エチリデンビス（４，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール）、２，２'−エチリデンビス（４−ｓ−ブチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、１，１，３−トリス（２−メチル−４−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル）ブタン、ビス〔２−ｔ−ブチル−４−メチル−６−（２−ヒドロキシ−３−ｔ−ブチル−５−メチルベンジル）フェニル〕テレフタレート、１，３，５−トリス（２，６−ジメチル−３−ヒドロキシ−４−ｔ−ブチルベンジル）イソシアヌレート、１，３，５−トリス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）−２，４，６−トリメチルベンゼン、１，３，５−トリス〔（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオニルオキシエチル〕イソシアヌレート、テトラキス〔メチレン−３−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート〕メタン、２−ｔ−ブチル−４−メチル−６−（２−アクリロイルオキシ−３−ｔ−ブチル−５−メチルベンジル）フェノール、３，９−ビス（１，１−ジメチル−２−ヒドロキシエチル）−２，４−８，１０−テトラオキサスピロ［５，５］ウンデカン−ビス〔β−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオネート〕、トリエチレングリコ−ルビス〔β−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオネート〕、１，１'−ビス（４−ヒドロキシフェニル）シクロヘキサン、２，２'−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２'−メチレンビス（４−エチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２'−メチレンビス（６−（１−メチルシクロヘキシル）−４−メチルフェノール）、４，４'−ブチリデンビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、３，９−ビス（２−（３−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニルプロピオニロキシ）１，１−ジメチルエチル）−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ（５，５）ウンデカン、４，４'−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、４，４'−ビス（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）サルファイド、４，４'−チオビス（６−ｔ−ブチル−２−メチルフェノール）、２，５−ジ−ｔ−ブチルヒドロキノン、２，５−ジ−ｔ−アミルヒドロキノン、２−ｔ−ブチル−６−（３−ｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルベンジル）−４−メチルフェニルアクリレート、２，４−ジメチル−６−（１−メチルシクロヘキシル、スチレネイティッドフェノール、２，４−ビス（（オクチルチオ）メチル）−５−メチルフェノール、などが挙げられる。
リン系酸化防止剤としては、ビス（２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェニル）ペンタエリスリトールジホスファイト、トリス（２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニルホスファイト）、テトラキス（２，４−ジ−ｔ−ブチル−５−メチルフェニル）−４，４'−ビフェニレンジホスホナイト、３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジルホスホネート−ジエチルエステル、ビス−（２，６−ジクミルフェニル）ペンタエリスリトールジホスファイト、２，２−メチレンビス（４，６−ジ−ｔ−ブチルフェニル）オクチルホスファイト、トリス（ミックスドモノａｎｄジ−ノニルフェニルホスファイト）、ビス（２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル）ペンタエリスリトールジホスファイト、ビス（２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メトキシカルボニルエチル−フェニル）ペンタエリスリトールジホスファイト、ビス（２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−オクタデシルオキシカルボニルエチルフェニル）ペンタエリスリトールジホスファイトなどが挙げられる。
チオエ−テル系酸化防止剤としては、ジラウリル−３，３'−チオジプロピオネート、ビス（２−メチル−４−（３−ｎ−ドデシル）チオプロピオニルオキシ）−５−ｔ−ブチルフェニル）スルフィド、ジステアリル−３，３'−チオジプロピオネート、ペンタエリスリトール−テトラキス（３−ラウリル）チオプロピオネートなどが挙げられる。
【００５８】
（フィラー）
フィラーとしては、感光性樹脂組成物によってなる樹脂膜の用途に応じて適切な充填材を選択できる。
フィラーとしては、具体的には、無機フィラーまたは有機フィラーなどが挙げられる。
上記無機フィラーとしては、具体的には、溶融破砕シリカ、溶融球状シリカ、結晶性シリカ、２次凝集シリカ、微粉シリカなどのシリカ；アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、酸化チタン、炭化ケイ素、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、チタンホワイトなどの金属化合物；タルク；クレー；マイカ；ガラス繊維などが挙げられる。無機フィラーとしては、上記具体例のうち、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
上記有機フィラーとしては、具体的には、オルガノシリコーンパウダー、ポリエチレンパウダーなどが挙げられる。有機フィラーとしては、上記具体例のうち、１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５９】
（感光性樹脂組成物の調製）
本実施形態における感光性樹脂組成物を調製する方法は限定されず、感光性樹脂組成物に含まれる成分に応じて、公知の方法を用いることができる。
例えば、上記各成分を、溶媒に混合して溶解することにより調製することができる。これにより、ワニスとした感光性樹脂組成物を得ることができる。
【００６０】
（用途）
本実施形態の感光性樹脂組成物は、永久膜、レジストなどの電子装置用の樹脂膜を形成するために用いられる。これらの中でも、銅を含む回路との密着性を向上し、かつ、外観を向上する観点から、永久膜を用いる用途に用いられることが好ましい。なお、本実施形態において、樹脂膜とは、感光性樹脂組成物の乾燥膜または硬化膜である。すなわち、本実施形態にかかる樹脂膜は、感光性樹脂組成物を硬化させてなる。
上記永久膜は、上記の樹脂膜に対して露光および現像を行い、所望の形状にパターニングした後、熱処理等によって硬化させることにより得られた硬化膜で構成される。永久膜は、電子装置の保護膜、層間膜、または、ダム材などに用いることができる。
上記レジストは、例えば、感光性樹脂組成物をスピンコート、ロールコート、フローコート、ディップコート、スプレーコート、ドクターコート等の方法で塗布し、溶媒を除去することにより得られた樹脂膜で構成される。
【００６１】
本実施形態に係る電子装置を図１に示す。本実施形態に係る電子装置１００は、上記樹脂膜を備える電子装置とすることができる。具体的には、電子装置１００のうち、パッシベーション膜３２、絶縁層４２および絶縁層４４からなる群の１つ以上を、樹脂膜とすることができる。ここで、樹脂膜は、感光性樹脂材料により形成される塗布膜に対し紫外線を露光し、現像を行うことによりパターニングした後、これを加熱硬化することにより形成されることが好ましい。
【００６２】
電子装置１００は、たとえば半導体チップである。この場合、たとえば電子装置１００を、バンプ５２を介して配線基板上に搭載することにより半導体パッケージが得られる。電子装置１００は、トランジスタ等の半導体素子が設けられた半導体基板と、半導体基板上に設けられた多層配線層（図示せず。）と、を備えている。多層配線層のうち最上層には、層間絶縁膜３０と、層間絶縁膜３０上に設けられた最上層配線３４が設けられている。最上層配線３４は、たとえば、アルミニウムＡｌにより構成される。また、層間絶縁膜３０上および最上層配線３４上には、パッシベーション膜３２が設けられている。パッシベーション膜３２の一部には、最上層配線３４が露出する開口が設けられている。
【００６３】
パッシベーション膜３２上には、再配線層４０が設けられている。再配線層４０は、パッシベーション膜３２上に設けられた絶縁層４２と、絶縁層４２上に設けられた再配線４６と、絶縁層４２上および再配線４６上に設けられた絶縁層４４と、を有する。絶縁層４２には、最上層配線３４に接続する開口が形成されている。再配線４６は、絶縁層４２上および絶縁層４２に設けられた開口内に形成され、最上層配線３４に接続されている。絶縁層４４には、再配線４６に接続する開口が設けられている。
【００６４】
絶縁層４４に設けられた開口内には、たとえばＵＢＭ（Ｕｎｄｅｒ  Ｂｕｍｐ  Ｍｅｔａｌｌｕｒｇｙ）層５０を介してバンプ５２が形成される。電子装置１００は、たとえばバンプ５２を介して配線基板等に接続される。
【００６５】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【実施例】
【００６６】
以下、実施例を用いて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例の記載に何ら限定されるものではない。
【００６７】
まず、各実施例及び各比較例に用いた原料について詳細を説明する。
【００６８】
（トリアゾール化合物）
・トリアゾール化合物１：下記式（Ａ１）で表される４−アミノ−１，２，４−トリアゾール（東京化成工業社製、Ａ１１３７）
・トリアゾール化合物２：下記式（Ａ２）で表される４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−アミン（Ｓｉｇｍａ−Ａｌｄｒｉｃｈ社製、ＣＤＳ０１９９８２）
・トリアゾール化合物３：下記式（Ａ３）で表される４−アミノ−３，５−ジ−２−ピリジル−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール（Ｓｉｇｍａ−Ａｌｄｒｉｃｈ社製、３４１５２５）
・トリアゾール化合物４：下記式（Ａ４）で表される３−（メチルチオ）−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール（和光純薬工業社製）
・トリアゾール化合物５：下記式（Ａ５）で表される４−アミノ−３−ヒドラジノ−５−メルカプト−１，２，４−トリアゾール（和光純薬工業社製）
・トリアゾール化合物６：下記式（Ａ６）で表される５−メルカプト−４Ｈ−１，２，４−トリアゾール−３−オール（Ｓｉｇｍａ−Ａｌｄｒｉｃｈ社製、ＣＤＳ０１２６２３）
・トリアゾール化合物７：下記式（Ａ７）で表される３−メルカプト−１，２，４−トリアゾール（東京化成工業社製、Ｍ０８１４）
・トリアゾール化合物８：下記式（Ａ８）で表される２−アミノベンズイミダゾール（東京化成工業社製、Ａ０８５０）
【００６９】
【化９】
2018136462.tif 000014
【００７０】
【化１０】
2018136462.tif 000015
【００７１】
【化１１】
2018136462.tif 000016
【００７２】
【化１２】
2018136462.tif 000017
【００７３】
【化１３】
2018136462.tif 000018
【００７４】
【化１４】
2018136462.tif 000019
【００７５】
【化１５】
2018136462.tif 000020
【００７６】
【化１６】
2018136462.tif 000021
【００７７】
（アルカリ可溶性樹脂）
以下に、アルカリ可溶性樹脂１−８の詳細について説明する。
【００７８】
＜アルカリ可溶性樹脂１＞
・アルカリ可溶性樹脂１：下記式（Ｂ１）で表される繰り返し単位を含むフェノールノボラック樹脂（住友ベークライト（株）製、ＰＲ−５０７３１、ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）＝１１０００）
【００７９】
【化１７】
2018136462.tif 000022
（上記式（Ｂ１）においてｎは整数である。）
【００８０】
＜アルカリ可溶性樹脂２＞
アルカリ可溶性樹脂２として、フェノール化合物とジメタノール化合物との反応物であるフェノール樹脂を合成した。詳細な合成方法を以下に説明する。
温度計、攪拌機、原料投入口および乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のガラス製丸底フラスコ内に、１００．１ｇ（０．５０ｍｏｌ）の４，４−ジヒドロキシジフェニルメタンと、６３．１ｇ（０．５０ｍｏｌ）のフロログルシノールと、１６９．６ｇ（０．７ｍｏｌ）の４，４'−ビス（メトキシメチル）ビフェニルと、７．７ｇ（０．０５ｍｏｌ）のジエチル硫酸と、３４０ｇのγ−ブチロラクトンとを仕込んだ後、かかる丸底フラスコを油浴し、反応液を還流させながら１００℃で６時間の重縮合反応を行った。次に、得られた反応液を室温まで冷却した後、８００ｇのγ−ブチロラクトンを丸底フラスコ内に添加し均一になるまで撹拌混合した。その後、丸底フラスコ内にある反応液を水１０Ｌに滴下混合することにより、樹脂成分を析出させた。次に、析出した樹脂成分を濾別して回収した後、６０℃での真空乾燥を行いうことにより、下記式（Ｂ２）で表される繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂２を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂２のポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は９８００であった。
【００８１】
【化１８】
2018136462.tif 000023
（上記式（Ｂ２）においてｎ及びｍは整数である。）
【００８２】
＜アルカリ可溶性樹脂３＞
アルカリ可溶性樹脂３として、フェノール化合物とジメタノール化合物の反応物であるフェノール樹脂を合成した。詳細な合成方法を以下に説明する。
温度計、攪拌機、原料投入口および乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のガラス製丸底フラスコ内に、４，４'−ビフェノール１８６．２ｇ（１．００ｍｏｌ）と、２，６−ビス（ヒドロキシメチル）−ｐ−クレゾール１３４．６ｇ（０．８ｍｏｌ）とシュウ酸・二水和物６．３ｇ（０．０５ｍｏｌ）と、３２７ｇのγ−ブチロラクトンとを仕込んだ後、窒素を流しながらかかる丸底フラスコを、油浴中で反応液を還流させながら１００℃で６時間の重縮合反応を行った。次に、得られた反応液を室温まで冷却した後、４３６ｇのアセトンを添加し均一になるまで撹拌混合した。その後、丸底フラスコ内にある反応液を水１０Ｌに滴下混合することにより、樹脂成分を析出させた。次に、析出した樹脂成分を濾別して回収した後、６０℃での真空乾燥を行い、下記式（Ｂ３）で表される繰り返し単位を含むフェノール樹脂を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂３のポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は９８００であった。
【００８３】
【化１９】
2018136462.tif 000024
（上記式（Ｂ３）において、ｎは整数であり、ビフェノール構造に結合する結合手は、２つのベンゼン環のうちいずれか一方に結合している。）
【００８４】
＜アルカリ可溶性樹脂４＞
アルカリ可溶性樹脂４として、フェノール化合物とジメタノール化合物との反応物であるフェノール樹脂を合成した。詳細な合成方法を以下に説明する。
温度計、攪拌機、原料投入口および乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のガラス製丸底フラスコ内に、４，４'−ビフェノール１８６．２ｇ（１．００ｍｏｌ）と、４，４'−ビス（メトキシメチル）ビフェニル１９３．９ｇ（０．８ｍｏｌ）と、硫酸ジエチル７．７ｇ（０．０５ｍｏｌ）と、５８２ｇのγ−ブチロラクトンとを仕込んだ後、窒素を流しながらかかる丸底フラスコを、油浴中で反応液を還流させながら１００℃で６時間の重縮合反応を行った。次に、得られた反応液を室温まで冷却した後、３２３ｇのアセトンを添加し均一になるまで撹拌混合した。その後、丸底フラスコ内にある反応液を水１０Ｌに滴下混合することにより、樹脂成分を析出させた。次に、析出した樹脂成分を濾別して回収した後、６０℃での真空乾燥を行うことにより、下記式（Ｂ４）で表される繰り返し単位を含むフェノール樹脂を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂４のポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は７０００であった。
【００８５】
【化２０】
2018136462.tif 000025
（上記式（Ｂ４）において、ｎは整数であり、ビフェノール構造に結合する結合手は、２つのベンゼン環のうちいずれか一方に結合している。）
【００８６】
＜アルカリ可溶性樹脂５＞
アルカリ可溶性樹脂５として、フェノール化合物とアルデヒド化合物との反応物であるフェノール樹脂を合成した。詳細な合成方法を以下に説明する。
温度計、攪拌機、原料投入口および乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに、乾燥窒素気流下、ｍ−クレゾール６４．９ｇ（０．６０モル）、ｐ−クレゾール４３．３ｇ（０．４０モル）、３０重量％ホルムアルデヒド水溶液６５．１ｇ（ホルムアルデヒド０．６５モル）、及びシュウ酸二水和物０．６３ｇ（０．００５モル）を仕込んだ後、油浴中に浸し、反応液を還流させながら１００℃で８時間重縮合反応を行った。その後、油浴の温度を２００℃まで３時間かけて昇温し反応液を得た。次に、析出した樹脂成分を濾別して回収した後、６０℃での真空乾燥を行うことにより、下記式（Ｂ５）で表される繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂５を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂５のポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は１００００であった。
【００８７】
【化２１】
2018136462.tif 000026
（上記式（Ｂ５）において、ｎは整数である。）
【００８８】
＜アルカリ可溶性樹脂６＞
アルカリ可溶性樹脂６として、ポリベンゾオキサゾールの前駆体であるポリアミドを合成した。詳細な合成方法を以下に説明する。
温度計、攪拌機、原料投入口および乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）プロパン３．１０ｇ（０．０１２ｍｏｌ）、塩化リチウム１．１２ｇ（０．０２６ｍｏｌ）をＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）２８ｍＬに溶解させ、氷冷した。これに、イソフタル酸クロライド２．４４ｇ（０．０１２ｍｏｌ）を加え、氷浴で１時間、室温で２４時間攪拌したのち、フラスコ内にある反応液を水１０Ｌに滴下混合することにより、樹脂成分を析出させた。次に、析出した樹脂成分を濾別して回収した後、６０℃での真空乾燥を行うことにより、下記式（Ｂ６）で表される繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂６を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂６のポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は１２０００であった。
【００８９】
【化２２】
2018136462.tif 000027
（上記式（Ｂ６）において、ｎは整数である。）
【００９０】
＜アルカリ可溶性樹脂７＞
アルカリ可溶性樹脂７として、ポリイミドの前駆体であるポリアミドを合成した。詳細な合成方法を以下に説明する。
温度計、攪拌機、原料投入口および乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに４，４'−ジアミノジフェニルエーテル１０ｇ（０．０５モル）をＮ−メチル−２−ピロリドンとＮ，Ｎ−ジメチルアセトアミドの１：１混合液１１９ｇに溶解し、アミン溶液を調合した。次に、この溶液を氷冷によって約１５℃の温度に保ちながら、撹拌しつつピロメリット酸二無水物１０．９ｇ（０．０５モル）を加えた。加え終えてから、更に１５℃で５時間反応させ反応液を得た。次に、析出した樹脂成分を濾別して回収した後、６０℃での真空乾燥を行うことにより、下記式（Ｂ７）で表される繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂７を得た。得られたアルカリ可溶性樹脂７のポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）は２００００であった。
【００９１】
【化２３】
2018136462.tif 000028
（上記式（Ｂ７）において、ｎは整数である。）
【００９２】
＜アルカリ可溶性樹脂８＞
・アルカリ可溶性樹脂８：下記式（Ｂ８）で表される繰り返し単位を含むヒドロキシスチレン樹脂（丸善石油化学（株）製マルカリンカーＣＳＴ−６０、ヒドロキシスチレン：スチレン＝６０：４０、ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）＝３３６０。）
【００９３】
【化２４】
2018136462.tif 000029
（上記式（Ｂ８）において、ｎ及びｍは整数である。）
【００９４】
（感光剤）
・感光剤１：感光剤１として、フェノール化合物と、１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−スルホン酸とのエステルを合成した。以下、合成の方法について説明する。
まず、温度計、攪拌機、原料投入口及び乾燥窒素ガス導入管を備えた４つ口のセパラブルフラスコに、下記式（Ｃ−１）で表されるフェノール化合物１１．０４ｇ（０．０２６ｍｏｌ）と、１，２−ナフトキノン−２−ジアジド−４−スルホニルクロライド１８．８１ｇ（０．０７０ｍｏｌ）と、アセトン１７０ｇと、を入れて撹拌し、溶解させた。次いで、反応溶液の温度が３５℃以上にならないようにウォーターバスでフラスコを冷やしながら、トリエチルアミン７．７８ｇ（０．０７７ｍｏｌ）とアセトン５．５ｇの混合溶液をゆっくり滴下した。滴下後、２５℃で３時間反応させ、次いで、酢酸１．０５ｇ（０．０１７モル）を添加し、さらに３０分反応させた。次いで、反応混合物をろ過した後、ろ液を水９９０ｍｌ及び酢酸１０ｍｌの混合溶液に投入した。次いで、沈殿物を濾集して水で充分洗浄した後、真空下で乾燥し、下記一般式（Ｑ−１）で示す感光剤１を得た。
・感光剤２：トリアリールスルホニウム塩である光酸発生剤（サンアプロ社製、ＣＰＩ−２１０Ｓ）
【００９５】
【化２５】
2018136462.tif 000030
【００９６】
（架橋剤）
・架橋剤１：Ｎ，Ｎ，Ｎ，Ｎ−テトラ（メトキシメチル）グリコールウリル（三和化学株式会社製、ＭＸ−２７０）
【００９７】
（界面活性剤）
・界面活性剤１：フッ素系界面活性剤（スリーエムジャパン社製、ＦＣ４４３０）
【００９８】
（シリコーン化合物）
・シリコーン化合物１：γ−メタクロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業製、ＫＢＭ５０３）
【００９９】
（各実施例、各比較例の感光性樹脂組成物の調製）
各実施例、各比較例の感光性樹脂組成物を以下のようにして調製した。
まず、γ−ブチロラクトン（ＧＢＬ）を準備し、次いで、下記表１に示す配合割合にしたがって、各原料をＧＢＬに添加し、撹拌し、次いで、孔径０．２μｍのＰＴＦＥ製メンブレンフィルターで濾過することで、各実施例、各比較例の感光性樹脂組成物のワニスを得た。
また、下記表１に示す各原料の配合割合は、全て質量部で記載する。
【０１００】
（密着性）
各実施例、各比較例の感光性樹脂組成物のワニスを用いて、以下のようにして密着性を評価した。
まず、銅をスパッタリングしたシリコンウエハを準備した。次いで、スピンコーターを用いて、感光性樹脂組成物のワニスを銅の上に塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、温度１２０℃で３分間乾燥した後、さらに、オーブンを用いて、窒素雰囲気下、温度２００℃で１時間熱処理し、厚さ１０μｍの硬化フィルムを得た。ここで、硬化フィルムは、銅と密着している。すなわち、シリコンウエハ、銅、硬化フィルムがこの順で積層してなる積層構造を得た。この積層構造を用いて、ＪＩＳ  Ｄ  ０２０２に基づいて密着性を評価した。具体的な方法を以下に示す。
まず、積層構造における硬化フィルムが存在する面から硬化フィルム及び銅に、１ｍｍ角の正方形が１００個できるように傷をつけた。次いで、セロハン粘着テープを、硬化フィルムに付着させた。付着させて１分後、セロハン粘着テープを、硬化フィルムから剥離した。剥離後、１００個の正方形のうち、硬化フィルムと銅が剥離せず残っている正方形の個数を密着性として評価した。すなわち、値が少ないほど硬化フィルムと銅の密着性は高いことを示す。この密着性を、処理なしの密着性として、評価結果を下記表１に示す。
また、密着力の継時による低下を加速して評価するために、温度１２５℃、２.３気圧で１００時間処理または３００時間処理した後、それぞれ、セロハン粘着テープを、硬化フィルムに付着させ、上記と同様の密着性を評価した。これらの結果を、それぞれ１００時間処理、３００時間処理の密着性として、評価結果を下記表１に示す。
【０１０１】
（ワニス外観）
各実施例、各比較例の感光性樹脂組成物のワニスを用いて、以下のようにして外観を評価した。
調製した感光性樹脂組成物のワニスについて、黒色の部分の有無を観察した。各実施例、各比較例について、それぞれ目視による観察を５回ずつ行い、以下の評価基準に基づいて外観を評価した。評価結果を下記表１に示す。
○：全ての感光性樹脂組成物のワニスが、黒色化しなかった。
×：１以上の感光性樹脂組成物のワニスが、黒色化した。
【０１０２】
【表１】
2018136462.tif 000031
【０１０３】
上記表１に示すように各実施例の感光性樹脂組成物は、各比較例の感光性樹脂組成物と比べて、密着性に優れるとともに、外観に優れることが確認された。
【符号の説明】
【０１０４】
３０  層間絶縁膜
３２  パッシベーション膜
３４  最上層配線
４０  再配線層
４２、４４  絶縁層
４６  再配線
５０  ＵＢＭ層
５２  バンプ
１００  電子装置
【図１】
2018136462.tif 000032