(57)【要約】【課題】既知の形態のインクジェット装置と比べ、成膜される材料のプリントの精度および速度が高められた、改良された形態のインクジェット装置を提供する。【解決手段】インクジェット成膜装置は平行移動ステージ１１６内に位置エンコーダ１２８を含む。位置エンコーダはパターンメモリ１３６へのクロック信号として用いられるエンコーダ信号を供給する。従って、プリントされる材料の液滴の吐出は平行移動の移動速度と同期させることができ、成膜の精度および速度を向上させることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリントされる材料の一つ又は複数の液滴をインクジェットプリントヘッドのノズルから吐出させるように設定された駆動信号を、前記インクジェットプリントヘッドへ供給するための手段と、
前記材料がプリントされる基板と前記インクジェットプリントヘッドの間の相対的な移動を生じせしめるための平行移動ステージと、
前記平行移動ステージの位置をモニタするためのモニタ部と、
モニタされた前記平行移動ステージの位置に依存して前記駆動信号の供給を制御するための制御手段と、
を有することを特徴とするインクジェット装置。
【請求項２】
前記平行移動ステージは、前記基板を前記インクジェットプリントヘッドに対して相対的に移動させるように設定されている、請求項１記載のインクジェット装置。
【請求項３】
前記モニタ部は、前記平行移動ステージの移動速度に依存した周波数を有するエンコーダ信号を供給するための位置エンコーダを有する、請求項１又は２記載のインクジェット装置。
【請求項４】
前記位置エンコーダは光学式のエンコーダを含む、請求項３記載のインクジェット装置。
【請求項５】
前記エンコーダ信号は、前記インクジェットヘッドから配置される二つの連続する液滴の間の、約０．１ミクロン〜約１０ミクロンの範囲の位置分解能に対応する前記基板の前記ヘッドに対する相対的な平行移動の間に、前記インクジェットプリントヘッドへの前記駆動信号の供給のタイミングを制御するように設定されていることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項６】
前記駆動信号の供給のタイミングは、前記インクジェットヘッドから配置される二つの連続する液滴の間の、位置分解能を約０．２ミクロンとする、請求項５記載のインクジェット装置。
【請求項７】
前記平行移動ステージが移動していないとき、および前記インクジェットプリントヘッドが前記基板上のプリントされるべき領域の外に位置しているときに波形生成器からの前記駆動信号の供給を制御するためのクロック源を有する、請求項１乃至６のいずれか一項に記載のインクジェット装置。
【請求項８】
プリントされる基板とインクジェットプリントヘッド間の相対的な移動を生じせしめるように設定された平行移動ステージの位置をモニタし、
モニタされた前記平行移動ステージの位置に依存して、前記インクジェットプリントヘッドのノズルから一つ又は複数の材料の液滴を吐出させるように設定された駆動信号の供給を制御する、
ことを特徴とするインクジェットプリント方法。
【請求項９】
前記平行移動ステージは、前記基板の前記インクジェットプリントヘッドに対する相対的な移動を生じせしめるように設定されている、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記平行移動ステージの移動速度に依存した周波数を有するエンコーダ信号を生成し、
前記エンコーダ信号を、前記駆動信号の供給を制御するのに用いる、請求項８又は９記載の方法。
【請求項１１】
前記エンコーダ信号を生成するのに光学式のエンコーダを用いる、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記エンコーダ信号は、前記インクジェットヘッドから配置される連続する二つの液滴の間の、約０．１ミクロン〜約１０ミクロンの範囲の位置分解能に対応する前記基板の前記ヘッドに対する相対的な平行移動の間に、前記インクジェットプリントへの前記駆動信号の供給のタイミングを制御するように設定されている、請求項８又は９記載の方法。
【請求項１３】
前記駆動信号の供給のタイミングは、前記インクジェットヘッドから配置される二つの連続する液滴の間の、位置分解能を約０．２ミクロンとする、請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
前記平行移動ステージが移動していないとき、および前記インクジェットプリントヘッドが前記基板上のプリントされるべき領域の外に位置しているときに前記インクジェットプリントヘッドへの前記駆動信号の供給を制御するためのクロック源から、クロック信号を選択する、請求項８乃至１３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
前記基板が、あらかじめパターニングが施された基板からなるように選択される、請求項８乃至１４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１６】
前記基板が、あらかじめパターニングされた電極を有する基板からなるように選択される、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
前記基板が、前記材料に対して濡れにくい性質を有する材料に区画された、あらかじめパターニングされたウォール構造を有するように選択される、請求項１５記載の方法。
【請求項１８】
請求項８乃至１７のいずれか一項に記載の方法を含む、電子装置、電気光学装置、光学装置、又はセンサ装置の製造方法。
【請求項１９】
請求項１乃至７のいずれか一項に記載のインクジェット装置、又は請求項８乃至１８のいずれか一項に記載の方法を用いて製造された、電子装置、電気光学装置、光学装置、又はセンサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶解性の材料を成膜することに関し、特にインクジェット技術を用いて溶解性の材料を成膜することに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、製造プロセスの一部として、固体基板上にポリマ、染料、コロイド材料などの有機又は無機の、溶解性又は分散性の材料を成膜することが必要な製品の数が多くなってきている。それらの製品の例の一つに、有機ポリマのエレクトロルミネセント表示装置がある。有機ポリマエレクトロルミネセント表示装置では、表示装置の発光画素を設けるために、溶解性ポリマを固体基板上に所定のパターンで成膜する必要がある。また別の例では、基板上に有機ポリマ薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成するための材料、および流体内自己アセンブリ（ｆｌｕｉｄｉｃ  ｓｅｌｆ  ａｓｓｅｍｂｌｙ：ＦＳＡ）を用いてその基板上に集められたチップ間の配線を形成するための材料の成膜が必要とされている。その基板は、例えばガラス、プラスチック又はシリコンからなるものであってもよい。
【０００３】
通常、基板は硬質の基板であり、よって硬質で柔軟性の無い表示装置が作製される。しかしながら、丸めたり折ったりすることが可能なフレキシブルなディスプレイを含む製品が求められつつあり、特に、大型のディスプレイが必要である場合にその要求が大きい。そのようなフレキシブルなディスプレイは、大幅な軽量化およびハンドリング性の向上がなされ、表示装置の設置中又は使用中に受ける衝撃により故障することが少ない。さらに、広い表示領域を有しながらも比較的小型の表示装置を好適に作製することが可能となる。
【０００４】
従来、発光ダイオード（ＬＥＤ）ディスプレイを含めた半導体表示装置の製造ではフォトリソグラフィ技術が用いられてきた。しかし、フォトリソグラフィ技術は比較的複雑であり、実施するための時間の消費およびかかるコストが大きい。さらに、フォトリソグラフィ技術は、溶解性の有機ポリマ材料を含む表示装置の製造に使用するにはあまり適していない。有機ポリマ画素の製造についての懸念が、そのような発光画素素子として機能する材料を含むエレクトロルミネセント表示装置などの製品の開発を、いくらか阻害してしまっている。
【０００５】
従来の製造技術において、フォトリソグラフィ用のフォトマスク、あるいは蒸着によるパターニング用のメタルシャドウマスクなどのエッチマスクを使用することはよく知られている。よって、本発明においては、これらのプロセスについては詳細な説明を行わない。しかしながら、このような従来の製造技術では、多くの、大型の表示装置を含む実際のアプリケーションにおいて、プロセスにかかわる重大な懸念材料が存在する。実際、比較的長いが非常に細線のラインのエッチングおよび成膜では、長い期間にわたり深刻な製造上の問題点があった。それは、最終製品に要求される解像度を提供できる、機械的に強固なマスクを製造することが非常に困難であるためである。例えば、大型の表示装置のための蒸着用メタルシャドウマスクでは、マスクの中央の支持されない部分では、必ずいくつかのくぼみや曲がりが発生する。このため、基板の周辺および中央のそれぞれにおける、基板とマスク間の距離に不均一が生じ、それによって成膜されるラインの線幅および膜厚にも不均一が生じ、表示される画像の質に悪影響を及ぼし得る。
【０００６】
このため、例えばエレクトロルミネセント表示装置の製造において、インクジェット技術を用いて溶解性の有機ポリマを成膜することが提案されている。インクジェット技術は本質的に、かかる溶解性又は分散性の材料の成膜に非常に適した技術で、製造速度も速くかつ低コストな技術である。スピンコート又は気相成膜などの代替技術に比べて、インクジェット技術ではリソグラフィ技術と組み合わせたエッチ工程を行う必要なく、即座にパターニングが行える。しかし、インクジェット技術を用いた固体の表面への溶解性の有機材料の成膜は、紙の上にインクを吐出する従来の技術の使用とは異なるものであり、多くの問題点に直面する。具体的には、表示装置では、出力される光や電気的特性の均一性への要求が第一となる。また、装置製造において課される空間的制約もある。よって、インクジェットプリントヘッドから溶解性のポリマを非常に正確に基板上に配置するには、大きな課題がある。このことは、カラーディスプレイで特に当てはまる。それは、赤、緑、青の発光をする各ポリマのそれぞれをディスプレイの各画素に配置する必要があるためである。
【０００７】
溶解性材料の成膜を支援するため、基板に、濡れにくい材料で画定されたウォール構造のパターンを含む層を形成し、そのウォール構造で区切られた、成膜される材料を受けるためのウェルのアレイ又は細長の溝を形成することが提案されている。以下、そのようなパターンが施された基板を、バンク構造と呼ぶ。溶液中の有機ポリマがウェルの中に配置されると、有機ポリマ溶液とバンク構造材料間の濡れ性の違いにより、溶液は基板表面に設けられたウェルの中へ自己整合的に収まる。
【０００８】
しかしそれでもなお、有機ポリマ材料の液滴は、バンク構造のウェルに対して十分な位置合わせを行った上で配置する必要がある。かかるバンク構造が用いられていても、配置された有機ポリマ溶液のいくらかは、ウェルを画定している材料のウォールに付着する。このことにより、配置された各液滴の中央領域では、成膜される材料が薄くなってしまう。その部分の材料の量は、バンク構造のウォール上に成膜される材料と比べて、多くても恐らくその１０％程度である。ウェルの中央に成膜されたポリマ材料は、表示装置においてアクティブな発光材料として機能する。ポリマ材料がウェルに対して正確にアライメントされずに配置されれば、材料は不均一に分布し、従ってアクティブ発光材料の量および膜厚がさらに減少しうる。表示に用いられる材料を流れる電流が増加し、よってディスプレイの発光素子の寿命および効率が低下するため、このアクティブ発光材料の薄膜化は大きな問題となる。配置におけるアライメントが正確に制御されなければ、配置されるアクティブ発光材料の薄膜化は画素ごとに異なることにもなる。このことにより、画素ごとで有機ポリマ材料の発光性能が異なることになる。なぜならば、有機材料により構成されるＬＥＤは電流駆動の装置であり、上述したように、成膜されたポリマ材料を流れる電流は成膜された材料の膜厚の減少とともに増加するからである。
【０００９】
この画素ごとの性能の違いにより表示される画像内に不均一が生じ、その表示画像の質を低下させる。この画質の低下に加え、ディスプレイのＬＥＤの動作効率および動作時間寿命の低下を引き起こす。従って、良好な画質、および十分な効率と耐久性を有する表示装置を提供するには、バンク構造が形成されているかどうかに関わらず、ポリマ材料を正確に配置することが必須であることが分かる。
【００１０】
インクジェットヘッドには主に二つのタイプがある。一つはサーマルプリントヘッドを使うものでそれらはバブルジェット（Ｒ）ヘッドとして知られている。第二のタイプは、リザーバと連通した振動板の後ろに圧電素子が備えられた圧電プリントヘッドを使うものである。この第二のタイプのインクジェットヘッドでは、圧電素子に電圧を印加し、振動板を撓ませてリザーバに圧力を加える。それによってリザーバ内の液体、ここではディスプレイの発光画素を形成するための溶液中のポリマ材料であるが、をノズルから、ポリマ材料の微細な液滴として押し出す。いずれのタイプのプリントヘッドでも、ノズルは非常に小さな吐出開口部を有する。通常その直径は約３０ミクロンである。有機ポリマは通常、溶液として配置できるように比較的揮発性の有機溶媒に溶解されている。
【００１１】
吐出の間、インクジェットプリントヘッドは基板にできるだけ近い位置に保たれている。通常、インクジェットプリントヘッドは基板上で、基板から約０．５〜１．０ｍｍの間隔をもって配置されている。一方、インクジェットプリントにおいて、液滴の飛行速度は通常２〜１０ｍ／ｓの範囲にある。基板とプリントヘッドの相対速度は通常０．１〜１ｍ／ｓの範囲にある。液滴の速度が約５ｍ／ｓ、インクジェットヘッドと基板間の間隔が１ｍｍであるとすると、吐出された液滴が基板に到達するまでに要する時間は約０．２ｍｓである。吐出される基板に対する、プリントヘッドの横方向の移動速度が０．１ｍ／ｓであれば、吐出位置と基板上に実際に配置される位置との間で２０ミクロンの誤差が生じることになる。この誤差は一定で、インクジェットプリントヘッドの全ノズルにおいて等しい。インクジェット技術の通常の使用方法である、基板として紙を用いる従来のプリントにおいては、この誤差は問題ではない。それは、印刷された像全体にわたって誤差が同じで、また紙の上に印刷された像の位置についてのそのような小さな誤差は、その像を見ている人間には判別できないためである。
【００１２】
しかしながら、基板上のカラーフィルタなど、電子デバイス、光電子デバイス、光学デバイスをプリントする時は、２０ミクロンのオーダの誤差が大きなものであることは理解できるであろう。例えば、基板に有機ポリマＴＦＴをプリントする時は、ソースとドレイン間のチャネル長をできるだけ短く、好ましくは２０ミクロン以下にすることが望ましい。同様に、カラーのエレクトロルミネセント装置では一つの画素領域内に、３つの異なる有機材料のそれぞれの液滴と、さらに各液滴に対する電極を配置する必要がある。よって、電子デバイスのプリントにおける配置の精度を高めるために、詳しく後述するが、「ステップ・アンド・ドロップ」技術が通常用いられる。
【００１３】
図１に、一対の直立支柱１０４を支持する架台１０２を有する、硬質基板用の従来のインクジェット成膜装置１００を示す。支柱１０４は、インクジェットプリントヘッド１１０を支持するキャリア１０８が備えられた水平梁１０６を支持する。架台１０２はまた、上に基板１１４を備えられる台１１２を支持する。基板は通常ガラスで、現行では最大のサイズは通常４０ｃｍ×５０ｃｍである。台１１２は、図１のＸ軸とＹ軸で示すようにインクジェットプリントヘッドに対して水平および垂直方向に台１１２を動かすためのコンピュータ制御の電動平行移動ステージを介して、架台１０２上に備えられている。台１１２が動くと、インクジェットヘッド１１０に対する相対的な基板１１４の位置がコンピュータで制御されて、インクジェットヘッド１１０から適当な材料を吐出することで基板上に任意のパターンをプリントすることができる。コンピュータ制御はさらに、ノズルの選択および駆動を制御するのに用いられる。プリント中に基板を観察するためにカメラを用いることもできる。
【００１４】
台１１２が移動すると、特に台が大型基板用のものであれば、かなりの運動量が生じる。よって、大きくかつ通常頑強な支持又は架台１０２の設置が必要となる。この台１１２の大きな運動量は、バックラッシュの問題を大きくしてしまう。バックラッシュは、従来の紙への印刷においても知られ、問題となっていることであるが、平行移動ステージ１１６の方向が反転することによって生じる。この方向の反転により、基板に対する相対的なプリントヘッドの位置の誤りが起こる。一般的に、方向の反転が速いほど、その誤差が大きくなる。従って、プリントヘッドに対する平行移動ステージの正確な相対位置を計算するために、プリント方向が反転した後でプリントが再開される前に、制御システムが平行移動機構のためのエンコードマークを読み取ることが必要となる。
【００１５】
ところが、プリントの方向が反転した後で平行移動機構のためのエンコードマークが読み取られたとしても、次の、平行移動ステージが反対方向に動いている時に配置される液滴の位置は、平行移動ステージが順方向に動いている時に配置された液滴の位置と整合しない。これは、制御システムが、順方向で使用された基準点と異なる基準点に関して平行移動機構の位置を計算するためである。
【００１６】
非対称に配置されるこの問題点を避けるために、制御システムが平行移動機構の位置を一つの基準点に関して計算するように、平行移動機構が一方の方向に移動している時のみに液滴を配置してもよい。しかし、一方向だけで液滴を配置すると成膜速度がかなり低下し、デバイスの製造に必要な時間が大きく増加する。
【００１７】
静止している基板１１４上に水平方向に配置された梁１０６に沿ってプリントヘッド１１０を平行移動させるための機構を設けることが提案されているが、物理的構造物である梁１０６は、重力の影響でわずかに曲がる。梁１０６の中央部は実質的にその水平方向位置が保たれるので、基板１１４の中央位置上に位置している時のプリントヘッド１１０より吐出される液滴は、基板１１４に対して垂直な飛行経路が保たれる。しかし、プリントヘッド１１０が梁１０６の中央部から横方向に離れるに従って、プリントヘッド１１０は基板１１４上において正確に水平に支持されなくなり、その位置からの飛行経路は基板１１４と垂直ではなくなる。よって、プリントヘッドが梁１０６に沿ってＸｃｍ移動すると、基板１１４への配置位置はＸ＋αの変動を生じうる。αは、梁１０６のわずかな曲がりにより生じる付加的な可変誤差である。当然、誤差αはＸが大きくなるにつれて増加する。
【００１８】
図２は、図１に示されたインクジェット装置の動作を説明する図である。
【００１９】
インクジェット装置１００はコンピュータ１１８により制御される。コンピュータ１１８では、基板１１４においてプリントされるデバイスのパターンおよびプリント座標が定められる。平行移動ステージ１１６を動かすための命令がコンピュータ１１８から移動制御部１２０に送られる。平行移動ステージが所定の位置に到達すると、移動制御部１２０はコンピュータ１１８に「Ｒｅａｄｙ」信号を送り、そしてコンピュータから波形生成器１２２にトリガパルスが送られる。この波形生成器は、電力増幅器１２４を介して、インクジェットプリントヘッド１１０を駆動するのに用いる駆動信号を供給する。装置１００によりデバイスをプリントする時、平行移動ステージは所望の位置に移動するように通常プログラムされており、その位置に到達すると平行移動ステージは停止し、インクジェットヘッド１１０は一つ又は複数の、パターンのプリントに用いられる材料の液滴を配置するようにプログラムされている。そして、平行移動ステージはプログラム制御の元で別の座標に移動し、プリントヘッドから再び、一つあるいは複数の液滴が吐出される。この「ステップ・アンド・ドロップ」技術を用いると、製造時間の大部分が平行移動ステージが停止するまで待つ時間として費やされるので、プリント時間が比較的長くなる。例えば、連続したラインをプリントできるようにするために、波形生成器１２２から出力される駆動信号の周波数を平行移動ステージ１１６の動きとは無関係に設定することができるが、全ての場合において、コンピュータは電動平行移動ステージの制御と独立してインクジェットヘッドの動作を制御することになる。
【００２０】
一方、プリントされるラインにおける各液滴間の間隔は、駆動波形のパルスの周波数および平行移動ステージの速度の両方によって決まる。従って、正確にプリントを行うにはこれら二つのパラメータが極めて正確に整合することが必要になるが、実際には非常に困難である。電子デバイスのプリントでは通常、平行移動機構はプリントヘッドに対して相対的に基板を動かすように設定されているが、平行移動ステージの実際の位置と、液滴吐出のタイミングの間に相関がないので、デバイス製造には好ましくないプリントエラーが頻出する。
【００２１】
文書の印刷に使われる標準のインクジェットプリンタと、電子デバイスをプリントするインクジェット装置の違いは、文書印刷の場合、液滴の絶対的な位置の誤差があっても各液滴間の間隔は相対的なものなので、印刷された像がそれを見る人間の目には正確であるように映るのに対して、電子デバイスでは、所望の性能と品質を持つデバイスを得るには、プリントの絶対的位置がデバイスのプリント領域全体にわたって正確に保たれなくてはならないということである。
【００２２】
上記に概説した現行のインクジェット装置では、平行移動ステージ１１６は、ステッピングモータ・ステージからなる。かかるステージは移動制御部から受ける命令パルスの周波数および数に従って回転する、送りネジを備える。通常、この送りネジにはいくらかのエラーがある。すなわち、例えばネジのピッチに周期的なばらつきがありうるということで、これにより平行移動の距離に周期的にエラーが起こり、よってデバイスのパターニングにもエラーが生じうる。ステージの位置は、ステージが移動しているとき連続的にモニタされているわけではなく、ステージ位置は移動制御部１２０がコンピュータ１１８から受ける座標により設定され、平行移動ステージ１１６が到達する実際の位置が、記憶された座標により指示された位置であると仮定される。また、インクジェットヘッド１１０から一つ又は複数の液滴が吐出されるときは、平行移動ステージはすでに所望の座標において静止状態にある、ということも仮定されている。ところが、平行移動ステージの位置のエラーのために、ステージがまだ移動中であるときにプリントされる場合もある。上述した状況のいずれかが起これば、波形生成器の出力信号が平行移動ステージの速度又は記憶された位置と、どれだけ正確に整合しても、プリントの位置にエラーが生じてしまう。エラーを補正できる唯一の方法は、平行移動ステージを正確な位置まで微小な移動量で移動させ、その正確な位置において静的な状態でプリントすることである。このプロセスでは、プリントされるデバイスをインクジェット装置に組み込んだ顕微鏡で見ることで正確な位置を決定する必要があるため、とりわけ煩雑なものとなる。このプロセスは非常に負荷が大きいとともに、デバイス製造のコストを大きく増加させることになる。
【００２３】
有機ＬＥＤディスプレイなどの所定の電子デバイスを製造するのに必要な時間は、ディスプレイ表示の最終的な表示品質にとって重大な要素となる。その理由の一つは、有機ポリマ材料は、製造の間に大気に曝される時間が長すぎると劣化するということである。よって、材料配置をより正確に行えるだけでなく、より短い製造時間でそのような正確な配置が行えるインクジェット装置は特に好適なものであり、強く求められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
従って本発明は、既知の形態のインクジェット装置と比べ、成膜される材料のプリントの精度および速度が高められた、改良された形態のインクジェット装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明の第一の特徴によると、プリントされる材料の一つ又は複数の液滴をインクジェットプリントヘッドのノズルから吐出させるように設定された駆動信号を、前記インクジェットプリントヘッドへ供給するための手段と、前記材料がプリントされる基板と前記インクジェットプリントヘッドの間の相対的な移動を生じせしめるための平行移動ステージと、前記平行移動ステージの位置をモニタするためのモニタ部と、モニタされた前記平行移動ステージの位置に依存して前記駆動信号の供給を制御するための制御手段と、を有することを特徴とするインクジェット装置が提供される。
【００２６】
前記平行移動ステージは、前記基板を前記インクジェットプリントヘッドに対して相対的に移動させるように設定されていることが好ましい。
【００２７】
好適な実施形態では、前記モニタ部は、前記平行移動ステージの移動速度に依存した周波数を有するエンコーダ信号を供給するための位置エンコーダを有する。前記位置エンコーダは光学式のエンコーダを含んでもよい。
【００２８】
前記エンコーダ信号は、前記インクジェットヘッドから配置される二つの連続する液滴の間の、約０．１ミクロン〜約１０ミクロンの範囲の位置分解能に対応する前記基板の前記ヘッドに対する相対的な平行移動の間に、前記インクジェットプリントヘッドへの前記駆動信号の供給のタイミングを制御するように設定されていてもよい。
【００２９】
前記駆動信号の供給のタイミングは、前記平行移動ステージの０．２ミクロンの移動に対応していればより有利となる。
【００３０】
インクジェット装置は、前記平行移動ステージが移動していないとき、および前記インクジェットプリントヘッドが前記基板上のプリントされるべき領域の外に位置しているときに波形生成器からの前記駆動信号の供給を制御するためのクロック源も備えていてもよい。
【００３１】
フィードバックシステムを備えた平行移動ステージを用いることにより、ステージの位置は連続的にモニタされ、波形生成器からの駆動信号のタイミングは、平行移動移動ステージの平行移動速度によって自動的に制御される。そのような位置合わせ機能を備えたシステムを用いると、プリントされる材料の吐出のタイミングは、現行のインクジェット装置のように想定した平行移動ステージの位置に基づいた時間基準の計算によって決められるのではなく、ステージの実際の位置によって決められることになる。また、システムは連続的に、平行移動ステージの移動速度のあらゆる予測できない変動を補正するので、平行移動ステージの送りネジのいかなる製作公差のエラーも補正することができる。
【００３２】
本発明の第二の特徴によると、プリントされる基板とインクジェットプリントヘッド間の相対的な移動を生じせしめるための平行移動ステージの位置をモニタし、モニタされた前記平行移動ステージの位置に依存して、前記インクジェットプリントヘッドのノズルから一つ又は複数の材料の液滴を吐出させるように設定された駆動信号の供給を制御する、ことを特徴とするインクジェットプリント方法が提供される。
【００３３】
好適な方法では、前記平行移動ステージは、前記基板の前記インクジェットプリントヘッドに対する相対的な移動を生じせしめるように設定されている。
【００３４】
この方法は、前記平行移動ステージの移動速度に依存した周波数を有するエンコーダ信号を生成し、前記エンコーダ信号を、前記駆動信号の供給を制御するのに用いることを含んでもよい。
【００３５】
好適には、光学式のエンコーダを用いて前記エンコーダ信号を生成してもよい。
【００３６】
方法の好適な形態では、前記エンコーダ信号は、前記インクジェットヘッドからの二つの連続する液滴の吐出の間に、前記平行移動ステージが前記基板と前記インクジェットプリントヘッドの間の相対的な、約０．１〜約１０ミクロンの移動を生じせしめるように、前記インクジェットプリントヘッドへの前記駆動信号の供給のタイミングを制御するように設定されている。
【００３７】
前記駆動信号の供給のタイミングは、前記インクジェットヘッドから配置される二つの連続する液滴の間の、位置分解能を約０．２ミクロンとすることが好ましい。
【００３８】
本発明の方法は、前記平行移動ステージが移動していないとき、および前記インクジェットプリントヘッドが前記基板上のプリントされるべき領域の外に位置しているときに前記インクジェットプリントヘッドへの前記駆動信号の供給を制御するためのクロック源から、クロック信号を選択することも含んでもよい。
【００３９】
本発明の第３の特徴によると、第１の特徴に係るインクジェット装置、又は第２の特徴にかかる方法を用いて製造された、電子装置、電気光学装置、光学装置、又はセンサ装置が提供される。
【００４０】
本発明の実施形態を、添付図面を参照してさらなる例示として説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
既知の形態のインクジェット成膜装置が示されている図２では、コンピュータ１１８は、インクジェットヘッド１１０によって基板１１４上にプリントされるデバイスのパターンおよびプリント座標を決定する。インクジェットヘッド１１０は、（図示しない）ノズルのマトリクス列を有し、それぞれのノズルがプリントされる材料の液滴を吐出する。コンピュータ１１８に記憶されたパターン情報は、インクジェットヘッド１１０に送られるノズル選択信号を生成するのに用いられる。これらのノズル選択信号は、プリントされるデバイスのパターンのいずれかの部分をプリントするための材料を吐出するのに、ノズル列のうちどのノズルを使用するかを決定する。コンピュータ１１８は、パターンおよびプリント座標より、電動平行移動ステージをインクジェットプリントヘッドの下の所望の位置に移動させるための移動命令信号を出力する移動制御部１２０を制御する。
【００４２】
しかしながら、図２を見ると明らかなように、システムのどの部分にも平行移動ステージからのフィードバックはなく、従ってシステムの動作は、電動平行移動ステージが所定の速度かつ所定の位置精度で移動でき、よってインクジェットヘッドが波形生成器１２２からの駆動パルスを受け取った時に、ノズル選択信号により選択されたノズルから吐出された液滴が確実に基板１４上の所望の座標に配置される、という仮定の元で行われている。
【００４３】
図３に、本発明のインクジェット成膜装置の制御システムを示す。図３において、図２に示したシステムと同じ部分には、図２と同じ参照符号を用いている。図２と同じく、コンピュータ１１８はシステムの主制御を行い、ノズル選択信号がインクジェットヘッドに供給され、プリントする材料を吐出するインクジェットヘッドを選択する。インクジェット成膜装置は、インクジェットヘッドに駆動パルスを供給するための波形生成器（図３には図示せず）も含む。従って上記の点からは、このインクジェット成膜装置は図２に示す装置に類似している。
【００４４】
本発明のインクジェット装置との主な違いは、波形生成器がコンピュータ１１８により直接駆動されるのでなく、データ生成器１２６によって駆動されることである。データ生成器１２６は、電動平行移動ステージ１１６に組み込まれた位置エンコーダ１２８からのエンコーダ信号を受信するように構成されている。位置エンコーダ１２８からのエンコーダ信号は、データ生成器１２６のパターンメモリ１３０への外部クロック信号として用いられる。よって、このインクジェット装置では平行移動ステージ１１６の移動とパターンメモリに格納されているパターンデータとの同期がとられている。従って、インクジェットヘッドが波形生成器からの駆動パルスによって駆動されるタイミングは、平行移動ステージ１１６の速度および実際に感知される位置によって決定される。
【００４５】
図２に示すインクジェット装置と同じく、コンピュータ１１８にはプリントされるデバイスのパターンデータがプログラムされている。装置の動作において、パターンデータはコンピュータ１１８によってデータ生成器１２６へ送られ、そこでパターンメモリ１３０に格納される。そして、コンピュータ１１８がノズル選択信号をインクジェットヘッドに供給することによって、パターンのプリントに用いられるノズルが選択される。コンピュータ１１８はまた、ステージ制御回路１３４を介して移動命令又は駆動信号を平行移動ステージ１１６のアクチュエータ１３２に供給する。ステージ制御回路１３４は、パターンデータの要求の通りに、平行移動ステージをインクジェットヘッドのノズルに対する所望の座標まで移動させる。アクチュエータ３２はＤＣサーボモータを有することが好ましい。ＤＣサーボモータは、リニア型モータでもよく、ロータリ型モータでもよい。
【００４６】
一方、平行移動ステージは位置エンコーダ１２８を含んでいる。位置エンコーダ１２８は、例えば光学式又は磁気式のエンコーダでよく、ステージ制御回路１３４およびデータ生成器１２６に送られるエンコーダ信号を供給する。ステージ制御回路に対するフィードバックシステムにおいてエンコーダ信号を用いることにより、平行移動ステージに送られる駆動信号は、平行移動ステージ１１６がプリントヘッドに対して相対的に、所望の速度で所望の座標まで移動するように制御される。ステージ制御回路に対するフィードバックシステムにおいてエンコーダ信号を用いることで、平行移動ステージに送られる駆動信号を制御し、平行移動ステージをプリントヘッドに対して所望の速度で、所望の座標まで確実に移動させることができる。従って、システムは、平行移動ステージ１１６を移動させるのに用いられる、送りネジ又はアクチュエータの他の部分のあらゆる周期的なばらつきを補正することができる。
【００４７】
エンコーダ信号は、スイッチ１３６を介してデータ生成器１２６へも送られ、パターンメモリ１３０へのクロック信号として作用する。このようにして、波形生成器へのトリガ信号として作用するデータ生成器１２６からの出力信号は、平行移動ステージ１１６の実際の動きと同期がとられている。従って、プリントされる材料の液滴をインクジェットヘッドのノズルから吐出させる波形生成器からの駆動信号の供給は、平行移動ステージ１１６の位置に依存して制御される。
【００４８】
平行移動ステージは、コンピュータ１１８によってパターンの位置座標、所望の移動の加速度および速度がプログラムされ、平行移動ステージが移動すると、位置エンコーダ１２８からのエンコーダ信号が与えられることによって、データ生成器１２６に実際にクロックが与えられる。このように、平行移動ステージ１１６の加速中、減速中又は等速移動中を含め、いつでも基板上の電子デバイスのプリントを行うことができるので、基板上に電子デバイスを製造するのに要する時間が大幅に短縮される。
【００４９】
更に、パターンメモリ１３０は平行移動ステージ１１６の移動と同期しているので、所望のパターンを極めて正確にプリントできる。なぜならば、プリントされる材料のインクジェットヘッドからの吐出は、位置エンコーダ１２８により感知される平行移動ステージ１１６の実際の位置によって制御されるのであって、図２に示す従来技術のシステムにおける独立波形トリガのような、時間基準のシステムによって制御されるのではないからである。位置エンコーダ１２８は、平行移動ステージ１１６の約０．１〜約１０ミクロンの移動に対応するサイクルでパターンメモリ１３０にクロックが与えられるような周波数を有するエンコーダ信号を供給することが好ましい。ほとんどのデバイスのプリントでは、平行移動ステージの０．２ミクロンの移動に相当するサイクルが特に有効であった。
【００５０】
図４より、インクジェット装置の動作の信号タイミングが理解できる。
【００５１】
平行移動ステージ１１６の移動は、コンピュータ１１８がステージ制御１３４に移動開始トリガパルス２００を供給することによって開始する。パルス２００を受信すると、ステージ制御１３４は、平行移動ステージ１１６のアクチュエータ１３２に電流ベースの駆動信号２０２を供給する。駆動信号２０２はゼロからレベルＬ１まで急激に立ち上がるように設計されている。このレベルＬ１が短期間保持され、平行移動ステージ１１６が急速に加速される。そして駆動信号２０２はレベルＬ１から図４にレベルＬ２として示す下位レベルへ低下し、平行移動ステージの速度が一定になる。駆動信号のレベルＬ２は、図４にレベルＬ３として示す負電流がアクチュエータに供給され平行移動ステージが急激に減速されるまで維持される。従って、平行移動のサイクルにわたって、平行移動ステージ１１６は、ＡからＢの期間は加速され、ＢからＣの期間は一定の速度に維持され、そしてＣからＤの期間は減速される。よって、平行移動ステージの速度は図４の曲線２０４に示すとおりになる。
【００５２】
位置エンコーダの出力信号は、図４においてエンコーダ信号２０６として示すが、矩形波パルス列の形態である。信号２０６より、パルス列の周波数は平行移動ステージの速度に比例していることがわかる。従って、平行移動ステージがＡからＢの期間に加速されると、エンコーダ信号２０６は周波数が増加しパルス繰り返し周期が安定した状態に到達する。その状態は平行移動ステージが一定速度の安定状態で移動しているＢからＣの期間で維持され、平行移動ステージ１１６が減速するＣからＤの期間に周波数が低下する。従って、エンコーダ信号のそれぞれのパルスは、平行移動ステージの一定の移動量を表しており、記載の実施形態においては０．２ミクロンである。
【００５３】
インクジェットヘッドから要求されるプリントのパターンは、データ生成器１２６のメモリエリア内にデータ列として保存される。パターンデータは、図４においてデータ成分Ｄ１〜Ｄｎとして表している。それぞれの成分は、エンコーダ信号の１ピリオドに対応するが、図に示すようにハイ又はローの出力を与えるようにプログラムされていてもよい。データ生成器からの出力が平行移動ステージの速度プロファイルのいずれかの期間においてパルスを与えるようにデータ成分をプログラムできる。デバイスをプリントする間、データ生成器のスイッチ１３６は、位置エンコーダ１２８からのエンコーダ信号がパターンメモリ１３０に入力されクロック信号として機能するように設定されている。平行移動ステージ１１６が０．２ミクロン移動する毎に、位置エンコーダ１２８は、図４に示すパルス列２０６のパルスの一つという形態でエンコーダ信号を供給する。成分Ｄ３は位置エンコーダ１２８からのパルス列２０６の３番目のパルス、つまり、平行移動ステージが初期停止位置から０．６ミクロン移動した時点に対応している。この位置エンコーダからの３番目のパルスは、出力回路１３８を介してデータ生成器１２６からの出力信号を供給するパターンメモリ１３０へのクロックパルスとして機能する。データ生成器１２６から供給されるそのような出力信号が、波形生成器へのトリガとして機能する。従って、データ生成器１２６からの出力信号はパルス列２０８の形態であり、パルス列中のパルス２１０の間隔は、パターンメモリに保存されたパターンデータと、データ生成器をトリガしてパルス２１０を出力させる位置エンコーダ１２８から出力されたエンコーダ信号２０６のパルスとによって決定される。
【００５４】
データ生成器からのパルス２１０は、パルス２１０を受ける度にインクジェットプリントヘッドに駆動パルス２１２を供給する波形生成器へ送られ、クロック又はトリガパルスとして機能する。従って、図４に示す波形およびタイミング図より、ヘッドからプリントする材料の液滴を吐出させる、駆動パルス２１２のインクジェットヘッドへの供給は、平行移動ステージ１１６の速度と同期しているということがわかる。従って、平行移動ステージが加速中か、減速中か、又は等速移動中かにかかわらず、プリントされる材料の液滴は基板上の正しい座標に吐出される。それは、例えば、平行移動ステージ１１６を物理的に駆動する送りネジのピッチの周期的なばらつきなどによって、平行移動ステージの速度に変動が生じる場合にもあてはまる。
【００５５】
図３に示すインクジェット装置によりデバイスをプリントしている間、又はプリントと次のプリントとの間に、インクジェットヘッドがデバイスのプリントに使われず、そして基板上のデバイス領域外のアイドリング位置に置かれる期間が存在しうるが、これらのアイドリング期間におけるインクジェットヘッドのノズルの詰まりを防止するため、インクジェットヘッドのノズルから材料を定期的に吐出することが必要である。そのようなアイドリング期間には平行移動ステージは静止しており、従って、位置エンコーダ１２８は、パターンメモリ１３０へのクロックパルスとして用いられるエンコーダ信号を供給しない。よって、データ生成器からの出力信号はなく、従って波形生成器はインクジェットプリントヘッドへ駆動パルスを供給しない。
【００５６】
従って、アイドリング期間が開始すると、スイッチ１３６はクロック生成器１４０をパターンメモリに接続するように動作する。クロック生成器は、平行移動ステージ１１６の平行移動中に供給されるエンコーダ信号の代替となる、連続したクロックパルスを発生する。よって、クロック生成器１４０からのクロックパルスに同期して、パターン生成器は連続したトリガパルスを波形生成器に出力する。従って、アイドリング期間におけるインクジェットヘッドのノズル詰まりが防止される。かかる工程は周期的なノズルのクリーニングに用いられてもよい。
【００５７】
平行移動ステージ１１６は基板をインクジェットヘッドに対して相対的にＸ軸およびＹ軸の両方向に移動させることができ、従って、Ｘ軸およびＹ軸用のそれぞれの送りネジを備えた、各ステージを有している。
【００５８】
本発明のシステムは、ＸおよびＹステージの移動の誤差を修正するのに用いることもできる。例えば、いずれかのステージの平行移動量の過多又は過少は、プリントされるデバイスの座標を修正するようにコンピュータ１１８をプログラムすることで修正することができる。この誤差はＸおよびＹの両軸で発生し得るので、新しい座標系の適用は、両軸においてそのデバイスの全領域を網羅するように行う。種々のアライメントマークをデバイス上で観察できるので、これらの座標に移動するようにステージをプログラムすることにより、デバイスの比較的広い範囲に渡るステージの位置誤差を観測することができる。例えば、Ｘ軸に沿う等して、一つのマークから他のマークまで移動するようにステージをプログラムすることができ、また、デバイスを回転させることにより、ステージ上のデバイスの位置誤差を補正することが可能である。しかし、この軸に沿った移動距離が、大きすぎる値、又は小さすぎる値に設定される場合もある。この誤差はこの一方の軸の移動距離コマンドに補正因子をプログラムすることにより補正できる。
【００５９】
理想的には、平行移動ステージのＸ軸およびＹ軸の構成角は正確に９０度でなければならない。しかし、実際には、製造上の許容誤差により通常はこの理想的な構成角は得られない。従って、ステージが所定の座標まで移動するようにプログラムされた場合、誤差が生じてしまう。システムは、二つの軸の構成角におけるそのようなエラーも補正するようにプログラムされてもよい。
【００６０】
図５は、電気光学装置の好適な例としての、有機エレクトロルミネセント素子などの電気光学素子を含んだアクティブマトリクス型表示装置（又は製品）、および本発明の方法および装置を用いて製造されるアドレス方式を示すブロック図である。この図に示す表示装置２００では、複数の走査線「ｇａｔｅ」、走査線「ｇａｔｅ」が延びる方向と交差する方向に延びる複数のデータ線「ｓｉｇ」、データ線「ｓｉｇ」と実質的に平行に延びる複数の共通電源供給線「ｃｏｍ」、およびデータ線「ｓｉｇ」と走査線「ｇａｔｅ」との交差部に配置された複数の画素２０１が、基板上に形成されている。
【００６１】
それぞれの画素２０１は、走査線「ｇａｔｅ」を介して走査信号がゲート電極に供給される第一のＴＦＴ２０２、データ線「ｓｉｇ」から第一のＴＦＴ２０２を介して供給される画像信号を保持する保持キャパシタ「ｃａｐ」、保持キャパシタ「ｃａｐ」に保持された画像信号がゲート電極（第二のゲート電極）に供給される第二のＴＦＴ２０３、およびエレクトロルミネセント素子などの電気光学素子２０４（抵抗として図示されている）を有している。電気光学素子２０４には、素子２０４が第二のＴＦＴ２０３を介して共通電源供給線「ｃｏｍ」に電気的に接続されたときに共通電源供給線「ｃｏｍ」から駆動電流が流入する。走査線「ｇａｔｅ」は第一の駆動回路２０５に接続され、データ線「ｓｉｇ」は第二の駆動回路２０６に接続されている。第一の回路２０５および第二の回路２０５の少なくとも一方は、第一のＴＦＴ２０２および第二のＴＦＴ２０３が形成された基板上に形成できることが好ましい。本発明による方法で製造されたＴＦＴアレイは、第一のＴＦＴ２０２のアレイ、第二のＴＦＴ２０３のアレイ、第一の駆動回路２０５、および第二の駆動回路２０６の少なくとも一つに適用できることが好ましい。
【００６２】
本発明は、従って、携帯電話、ノート型パーソナルコンピュータ、ＤＶＤプレーヤ、カメラ、現場機器等の携帯型ディスプレイ、および、デスクトップコンピュータ、ＣＣＴＶ又はフォトアルバム等の可搬型ディスプレイ、自動車用又は飛行機用計器板などの計器板、又は制御室機器ディスプレイなどの産業用ディスプレイなど、多種の製品に組み込まれるディスプレイおよび他の装置の製造にも用いることができる。すなわち、本発明の装置により製造されたＴＦＴアレイが上記のように適用された電気光学装置又はディスプレイを、以上に例示したように多種の製品に組み込むことが可能である。
【００６３】
本発明の装置によって製造された電気光学表示装置を用いた種々の電子製品を以下に説明する。
【００６４】
＜１．携帯型コンピュータ＞
上記の実施形態の一つにより製造された表示装置を携帯型パーソナルコンピュータに適用した例を説明する。
【００６５】
図６はこのパーソナルコンピュータの構成を示す等角図である。図中、パーソナルコンピュータ１１００はキーボード１１０２と表示部１１０６とを含む本体１１０４を備えている。表示部１１０６は、上記のように、本発明のパターニング法によって製造されたディスプレイパネルを用いて提供されている。
【００６６】
＜２．携帯電話機＞
次に、表示装置を携帯電話機の表示部に適用した例を説明する。図７は携帯電話の構成を示す等角図である。図において、携帯電話１２００は複数の操作キー１２０２、受話口１２０４、送話口１２０６、およびディスプレイパネル１００を備えている。このディスプレイパネル１００は、上記のように、本発明の方法によって製造された表示装置を用いて提供されている。
【００６７】
＜３．ディジタル静止画カメラ＞
次に、ＯＥＬ表示装置をファインダとして用いたディジタル静止画カメラを説明する。図８はディジタル静止画カメラの構成および外部機器との接続を簡易に示す等角図である。
【００６８】
一般的なカメラは感光性のコーティングが施された感光フィルムを使用し、感光性コーティングに化学変化を起こさせて、被写体の光学像を記録する。一方、ディジタル静止画カメラ１３００は、例えば電荷結合素子（ＣＣＤ）を用いて、光電変換によって被写体の光学像から画像信号を発生させる。ディジタル静止画カメラ１３００はＯＥＬ素子１００をケース１３０２の裏面に備え、ＣＣＤからの画像信号に基づいて表示を行う。このように、ディスプレイパネル１００は被写体を表示するためのファインダとして機能する。光学レンズとＣＣＤを含む受光部１３０４が、ケース１３０２の前側（図では裏側）に設けられている。
【００６９】
カメラの使用者がＯＥＬ素子パネル１００に表示された被写体の像を決定してシャッタを開放すると、ＣＣＤからの画像信号は回路基板１３０８のメモリに転送され、保存される。ディジタル静止画カメラ１３００では、映像信号出力端子１３１２およびデータ通信用の入出力端子１３１４がケース１３０２の側面に設けられている。図示したように、必要に応じてテレビモニタ１４３０およびパーソナルコンピュータ１４４０が映像信号端子１３１２および入出力端子１３１４にそれぞれ接続される。回路基板１３０８のメモリに保存されている画像信号は、所定の操作によって、テレビモニタ１４３０およびパーソナルコンピュータ１４４０に出力される。
【００７０】
電子機器の例としては、図６に示すパーソナルコンピュータ、図７に示す携帯電話、および図８に示すディジタル静止画カメラの他にも、ＯＥＬ素子テレビセット、ビューファインダ型およびモニタ直視型のビデオテープレコーダ、自動車用のナビゲーションおよび計器システム、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、ＴＶ電話、販売管理（ＰＯＳ）システム端末、およびタッチパネル付きの装置が含まれる。もちろん、本発明の装置を用いて製造されたＯＥＬ装置は、これらの電子機器の表示部のみに適用されるのではなく、表示部を組み込んだ他のいかなる形態の機器にも適用されうる。
【００７１】
さらに、本発明によって製造される表示装置は、非常に薄く、可撓性があり、かつ軽量なスクリーン型の大画面ＴＶにも適している。そのような大画面ＴＶは壁に貼り付けるか、又は掛けることができる。また、可撓性があるので、必要であれば未使用時には巻き上げておくことができる。
【００７２】
本発明の装置を用いてプリント回路基板を製造してもよい。従来のプリント回路基板は、フォトリソグラフィおよびエッチング技術により製造されている。プリント回路基板はＩＣチップやパッシブのデバイスのような、他の微細電子デバイスよりもコスト重視のデバイスであるが、これらの方法では製造コストが増加してしまう。高密度実装を行うには、高解像のパターニングも必要である。本発明を用いることにより、基板上の高密度の配線を容易にかつ信頼性良く作製できる。
【００７３】
本発明を用いてカラー表示用のカラーフィルタを提供してもよい。染料又は顔料を含む液体の液滴が基板の選択された領域に正確に配置される。液滴を互いに非常に近接させてマトリクス状に配置したものを用いることが多い。従って、その場観察が非常に有効であることになる。乾燥後、液滴中の染料又は顔料はフィルタ層として機能する。
【００７４】
本発明を用いてＤＮＡセンサアレイチップを提供してもよい。互いに異なる複数のＤＮＡを含む溶液が、微細なギャップにより隔てられた受容サイトのアレイに配置され、チップが提供される。
【００７５】
以上の記載は単なる例示として行われたものであり、当業者であれば、本発明の範囲を逸脱することなく変形が可能であることが理解できるであろう。
【００７６】
例えば、モニタされた平行移動ステージの位置に基づいて送られる駆動信号の供給を制御するために、エンコーダからのエンコード信号に対して反応する別の制御部が含まれていてもよい。また、本発明は概ね、インクジェットプリント装置に関して説明し、特定の基板のタイプ又は形については説明しなかった。しかし、上記の説明から明らかであるが、本発明は上記に例示したように特にデバイスの作製において利点を提供することができ、よって、例えばあらかじめパターニングされた（以下、プリパターンと言う）電極の形態、又はプリントされる材料に対して濡れにくい性質を持つ材料で画定された一つ又は複数のプリパターン・ウォール構造の形態でプリパターンを有しうる、プリパターン基板へのプリントに特に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】図１は従来技術のインクジェット成膜装置の概略図である。
【図２】図２は図１に示すインクジェット成膜装置の、インクジェットヘッドの動作および平行移動ステージの移動を制御するための制御システムの概略ブロック図である。
【図３】図３は本発明に係るインクジェット成膜装置の制御システムの概略ブロック図である。
【図４】図４は図３に示す制御システムに関する波形図である。
【図５】図５は電気光学装置のブロック図である。
【図６】図６は本発明に係る装置によって製造された表示装置を含む携帯型パーソナルコンピュータの概略図である。
【図７】図７は本発明に係る装置によって製造された表示装置を含む携帯電話の概略図である。
【図８】図８は本発明に係る装置によって製造された表示装置を含むディジタルカメラの概略図である。
【符号の説明】
【００７８】
１００  インクジェット成膜装置
１０２  架台
１０４  支柱
１０６  梁
１０８  キャリア
１１０  インクジェットプリントヘッド
１１２  台
１１４  基板
１１６  平行移動ステージ
１１８  コンピュータ
１２０  移動制御部
１２２  波形発生器
１２４  電力増幅器
１２６  データ生成器
１２８  位置エンコーダ
１３０  パターンメモリ
１３２  アクチュエータ
１３４  ステージ制御回路
１３６  スイッチ
１３８  出力回路
１４０  クロック生成器
２００  移動開始トリガパルス
２０２  駆動信号
２０４  曲線
２０６  エンコーダ信号
２０８  パルス列
２１０  パルス
２１２  駆動パルス
【図１】
2005502453.tif 000003
【図２】
2005502453.tif 000004
【図３】
2005502453.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005502453.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005502453.tif 000009
【図８】
2005502453.tif 000010
【国際公開パンフレット】
2005502453.tif 000011
2005502453.tif 000012
2005502453.tif 000013
2005502453.tif 000014
2005502453.tif 000015
2005502453.tif 000016
2005502453.tif 000017
2005502453.tif 000018
2005502453.tif 000019
2005502453.tif 000020
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2005502453.tif 000022
2005502453.tif 000023
2005502453.tif 000024
2005502453.tif 000025
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2005502453.tif 000039
2005502453.tif 000040
【国際調査報告】
2005502453.tif 000041
2005502453.tif 000042
2005502453.tif 000043