(57)【要約】  複数のウェルを有するポリマーフィルムは、ポリマーフィルムを膨潤させ、ブリスターを形成させる溶媒とポリマーを接触させることによって製造され得る。フィルムを乾燥した時、ブリスターは壊れ、ウェルを形成する。ポリマーフィルムは、シリカもしくはガラス上に保持されており、ウェルはしばしばアレイに配置されている。用いられ得るポリマーの例は、ポリ(Ｄ,Ｌ−ラクチド)である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のウェルを有するポリマーフィルムを製造する方法であって、支持体上に保持されたポリマーとポリマーを膨潤させる溶媒を接触させ、それによってブリスターを形成し、そしてポリマーフィルムを乾燥させ、その結果ブリスターを壊してウェルを形成することを含む方法。
【請求項２】
ウェルがアレイを形成する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ポリマーフィルムを適用する前に支持体を磨き、生じるウェルの形態に指向性を持たせることを含む、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
ウェルが１０から１００nmの深さを有する、請求項１から３の何れか１項に記載の方法。
【請求項５】
ポリマーフィルムが、直径０.５から１０μｍ(特に０.５から５μｍ)の複数のウェルを有する、請求項１から４の何れか１項に記載の方法。
【請求項６】
ポリマーがポリ(Ｄ,Ｌ−ラクチド)である、請求項１から５の何れか１項に記載の方法。
【請求項７】
ポリマーフィルムが２２から３００nmの厚さである、請求項１から６の何れか１項に記載の方法。
【請求項８】
支持体がガラスまたはシリコンである、請求項１から７の何れか１項に記載の方法。
【請求項９】
溶媒が水である、請求項１から８の何れか１項に記載の方法。
【請求項１０】
ポリマーフィルムが変形してブリスターが生じるのに十分な時間であって、かつポリマーフィルムを乾燥しブリスターを壊した後に望ましい深さのウェルを形成するのに十分な時間、溶媒をポリマーフィルムと接触させる、請求項１から９の何れか１項に記載の方法。
【請求項１１】
溶媒の温度が望ましい直径と深さのウェルを与えるよう制御されている、請求項１から１０の何れか１項に記載の方法。
【請求項１２】
請求項１から１１の何れか１項に記載の方法によって得られたポリマーフィルム。
【請求項１３】
ポリマーフィルムが直径０.５から１０μｍ(特に０.５から５μｍ)の複数のウェルを有する、支持体上に保持されたポリマーフィルム。
【請求項１４】
ポリマーフィルムが、アレイの形態の複数のウェルを有し、ポリマーフィルムがポリ(Ｄ,Ｌ−ラクチド)を含む、支持体上に保持されたポリマーフィルム。
【請求項１５】
ポリマーフィルムがアレイの形態の複数のウェルを有し、該ポリマーフィルムがポリ(Ｄ,Ｌ−ラクチド)を含み、該ウェルが直径０.５から１０μｍ(特に０.５から５μｍ)および深さ１０から１００nmを有する、支持体上に保持されたポリマーフィルム。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、ウェルを有するポリマーフィルムを製造する方法および製造されたフィルムに関する。
【０００２】
ウェルを有する物体には、特にアレイの形態で存在するウェルを有する場合、多くの適用が見出されている。例としては、ウェル中に含まれる化学物質の性質を識別する 自動スクリーニングに用いられる化合物を含ませた、これらのウェルの使用を含む。この適用は、特に医薬産業において重要である。これらはまた、組織、例えば哺乳動物の組織を培養するために用いられる。
【０００３】
ウェルを有する物体を製造する１つの方法は、ポリマーフィルムを支持体に接着させ、フィルム中にウェルを形成することである。該方法は、多くの技術的問題点を提起する。
現在および将来の技術的問題点の多くは、ミクロン以下の長さスケールでの表面のパターン形成を含む。このことは、例えば、望ましい光学的効果を得るため、または組織培養の制御された支持体を提供するためである。このようなパターン形成を達成するための一群の方法は、固有の長さスケールでの物理的不安定性を利用するものである。この特徴的な長さスケ−ルは、実験条件を細かく変化させるだけで制御され、その結果、直接的表面パターン形成法、例えばリソグラフィーや接触プリンティングを使用しなくて済む。
【０００４】
このような方法の例は、分散力から生じるストレスまたは残渣の機械的ストレスによって生じる、乾き(dewetting) および変形(buckling)を含む。これらの不安定性によって生じる典型的な形態は、表面の襞または皺からなる。
【０００５】
我々は、浸透によって起こるポリマーフィルムの膨潤後に生じる 別の変形不安定性が、ポリマーフィルムにウェルを形成するのに用いられ得ることを見出した。
本発明によって、複数のウェルを有するポリマーフィルムを製造する方法であって、支持体上に保持されたポリマーを溶媒と接触させ、ポリマーフィルムを膨潤させることによってブリスターを形成し、ポリマーフィルムを乾燥させ、その結果ブリスターを壊してウェルを形成することを含む方法が提供される。
【０００６】
ウェルは、好ましくはアレイを形成する。形態は、ポリマーフィルムを適用する前に支持体を磨くことによって指向性を持たせ得る。これを達成する方法の１つは、支持体を、ＤＣモーターを用いて回転させ得る 円筒形のベルベットでコートされたローラーで磨くことである。
【０００７】
一般的に、ウェルは１０から１００nmの深さを有することが望ましい。一般的に、ウェルは数ミクロンの直径、例えば０.５から１０μｍ(特に０.５から５μｍ)の直径を有することが望ましい。
【０００８】
特に興味深いポリマーフィルムは、生分解性ポリマーから形成されるフィルムを含む。特に興味深いポリマーの例は、脂肪族ポリエステル、例えばポリ(Ｄ,Ｌ−ラクチド)である。特定の例は、低分子量(例えば約１２kDa)のポリ(Ｄ,Ｌ−ラクチド)である。
【０００９】
ポリマーフィルムは、一般的に超薄膜である。例は、２２から３００nmの厚さのポリマーフィルムを含む。ポリマーフィルムは、慣用の方法によって、例えば支持体上に溶液からポリマーをスピン・コーティングした後アニーリングによって、支持体上に適用され得る。適切な支持体の例は、不活性な物質、例えばガラスまたはシリコンを含む。一般的に、我々は、より厚いポリマーフィルムが、より深いウェルを形成することを見出している。従って、ポリマーフィルムの厚さは、望ましい深さのウェルの形成を可能とするよう選択され得る。このことは、フィルムの厚さが増大すると、その曲げに対する抵抗性も増大するという事実によって説明され得る。一定の形態のために、より厚いフィルムは、その中により多くの蓄えられたエネルギーを有する。従って、一定の単位体積当たりのストレイン・エネルギーを示すために、我々は、より厚いフィルムが、より大きい曲率半径を有し、従ってより大きい値の長さスケールを有する構造に変形することによって放出される、より多くのエネルギーを蓄えられ得ることを見出した。
【００１０】
溶媒をポリマーフィルムと接触させると、溶媒はポリマーを膨潤させる。一般的に、溶媒は、ポリマーを溶解させるよりむしろ膨潤させる溶媒が選択される。一般的に、非有機溶媒が望ましく、例えば水である。
【００１１】
溶媒は、ポリマーフィルムが変形してブリスターを生じるのに十分な時間であって、ポリマーフィルムを乾燥しブリスターを壊した後望ましい深さのウェルを形成するのに十分な時間接触させる。
【００１２】
溶媒の温度は、望ましい直径と深さのウェルを生じるよう選択される。一般的に、温度の上昇は、ウェルの直径をより小さくする。温度の増大はまた、ウェルをより深くする。従って、望ましい具体的態様において、溶媒の温度は、望ましい直径および深さのウェルを与えるよう制御される。
【００１３】
本発明はまた、上記のポリマーフィルム、特に上記の方法によって得られるポリマーフィルムを含む。
従って、特定の具体的態様は、下記：
・ポリマーフィルムが ０.５から１０μｍ(特に０.５から５μｍ)の直径の 複数のウェルを有する、支持体上に保持されたポリマーフィルム；
・ポリマーフィルムがアレイの形態の複数のウェルを有し、かつポリマーフィルムがポリ(Ｄ,Ｌ−ラクチド)を含む、支持体上に保持されたポリマーフィルム；
・ポリマーフィルムがアレイの形態の複数のウェルを有し、かつポリマーフィルムがポリ(Ｄ,Ｌ−ラクチド)を含み、かつウェルが直径０.５から１０μｍ(特に０.５から５μｍ)、深さ１０から１００nmである、支持体上に保持されたポリマーフィルム；
を含む。
【００１４】
我々は、ウェルが浸透によるブリスター形成プロセスの結果として生じ、該プロセスは、ポリマーの超薄膜を溶媒に浸漬する際に起こると考えている。ポリマーを貧溶媒に浸漬した際、小さい溶媒分子とポリマー・セグメントの会合によって起こる浸透圧のために、ポリマーは溶解する代わりに膨潤する。フィルムが、例えば支持体上にで拘束される(confined)ことによって膨潤を妨げられれば、それはストレイン状態に置かれることになる。このストレイン・エネルギーを完全に放出するためには、フィルムはその体積を増大しなければならない。フィルムが側面方向で閉じこめられているならば、エネルギーの放出はフィルムは曲がることによってしかできない。そして、フィルムへのストレスがある臨界値を越えたときには、フィルムが変形してブリスターを形成することによって、そのストレイン・エネルギーを放出することが可能となる。側面方向からの閉じこめ領域の大きさが一定であれば、何れかの他のプロセスが存在しなければ、フィルム中のストレイン・エネルギーを完全に放出するために必要な短波長が発生する結果となる。しかし、フィルムの曲げもまたストレスを引き起こし、曲げの程度が大きければ大きい程、より大きいベンディング・エネルギーを必要とする。ベンディング・エネルギーの減少は、従って、長波長を発生させ、ストレイン・エネルギーの放出に望ましい波長が、構造を変形させるのに利用可能なエネルギーよりも大きいベンディング・エネルギーの増大を引き起こすならば、単純なエネルギー保存によっては起こり得ない。この制限を回避するためには、系が、変形していないフィルム中のストレイン・エネルギーと、変形によってもたらされるベンディング・エネルギーの間のバランスに対応する波長で、変形しなければならない。
【００１５】
本発明は、添付の実施例および図を引用することでさらに説明される。
図１：ポリマーフィルムを一定温度で膨潤させるために用いられる水浴は、Linkam Hotstage の上部に合うよう加工されたアルミニウムからなり、これは水で満たしてガラス・カバー・スリップで覆い得る。Ｔタイプ熱電対を水の温度を測定するために用いる。
図２：４０℃で水に浸漬したサンプルが、支持体から変形し、ブリスターを形成する。これらのブリスターは、最大の大きさに達するまで大きくなり、融合する。ＡＦＭ画像は、５分間浸漬した １５０nmの厚さのフィルム(大きさ１０×１０ミクロン；高さ５００nm)における画像を示している。
【００１６】
図３：異なる時間水に浸漬したサンプルを取り、乾燥し、ブリスターがどの程度大きくなっているかを示す。光学顕微鏡写真は、ａ)１０分間、ｂ)２０分間、およびｃ)３０分間、４０℃で水に浸漬したフィルムを示している。
図４：水からフィルムを除去し、ブリスターを壊し、クレーターを形成する。ポリマーが支持体に向かって壊れ、しわとなって、この図中の画像に示されているリングを生じさせる。
図５：クレーターの直径および深さの測定は光学顕微鏡と原子間力顕微鏡を用いて行う。
【００１７】
図６：クレーター成長曲線。 データを、４０℃で水に浸漬したフィルムについて示す。示されたフィルムの厚さは、(△)５０nm、(○)１００nm、(□)１５０nm、(◇)１９０nm、(■)２００nmである。
図７：４０℃で５分間水に浸漬したフィルムにおける、フィルムの厚さによるクレーターの深さの変化。データは、クレーターの底から頂点までの距離ｈｔｂ(■)、およびフィルムから底までの距離ｈｆｂ(○)について示す。
【００１８】
図８：クレーターの直径の温度依存性。温度が上昇するにつれて、クレーターの直径の減少が見られる。データは、水に５分間浸漬した９０nmのフィルムのクレーターの底から頂点までの距離ｈｔｂ(■)、およびフィルムから底の距離ｈｆｂ(○) について示す。
図９：フィルムの変形した部分における 膨潤によるストレスは、ポリマーを浮かして薄くする。温度を上げると、ポリマーの粘度は下がり、その結果与えられたストレスのために、より薄くなる。この結果、ブリスターを壊した際により深いクレーターとなる。５分間水に浸漬した９０nmのフィルムについてのデータを示す。
【００１９】
図１０：形態の指向性は可能である。これは、ポリマーフィルムをスピン・コートする前に、支持体を磨くことによって達成される。データは、ａ)線、ｂ)四角形、ｃ)六角形のアレイについて示す。
図１１：形態の指向性は、ブリスターの長さλを変化させない。データは、非指向性のサンプル(●)、および線の形態を示すサンプル(□)として示す。
【００２０】
この試験で用いられたポリマーは、ポリ(Ｄ,Ｌ−ラクチド)(ＰＬＡ)と呼ばれる、低分子量(１２kDa)ポリエステルであった。保持されたフィルムは、単結晶シリコンの１cm2の支持体上にクロロホルム溶液のポリマーをスピン・コートし、そして４０℃で１時間アニールすることによって形成した。用いられたシリコンは、Compart technology から購入し、[１００]軸に平行に切断した。支持体はそれぞれ、典型的に厚さ１.８nmの天然の酸化物のコーティングを有した。ポリマーは、AstraZeneca (UK) Ltd から購入した。ポリマーフィルムの厚さは、偏光解析法を用いて測定した。調べた厚さの範囲は、２２〜３００nmであった。粗さの測定もまた、ＡＦＭを用いて行い、ｒ.ｍ.ｓ.の粗さは典型的に０.５nmであることが見出された。
【００２１】
アニーリング後、保持されたポリマーフィルムを、それぞれ特別に構築された水浴に置いた。浴はアルミニウムからなり、Linkam hotstage 上にマウントされ得るよう加工され(図／｛水浴｝の記載を参照のこと)、水を満たし、ガラス・カバー・スリップで覆い得る。フィルムを一定の温度範囲で、異なる時間浸漬し、その結果、力学および温度依存性データが得られた。熱電対を浴の横の穴を介して入れ、その結果、温度を独立に測定し得た。温度安定性は、４０℃で±１℃であることが見出された。浸漬後、フィルムを取り、窒素ガスで穏やかに乾燥した。
【００２２】
サンプルを Nikon Eclipse ME600 光学顕微鏡、および Nanoscope IIa controller を付けた Digital Instruments Multi Mode 原子間力顕微鏡で画像化した。共に画像分析ソフトウェアが備えられていた。これで、何れの表面の外観(feature)も側面の面積と深さの両方の測定が可能となる。それぞれのサンプルについて、１００から２００の対象が画像化された。
【００２３】
そのまま、４０℃で水中に置いたサンプルのＡＦＭは、フィルムが支持体から離れてブリスターを形成したことを示した(図２)。時間が経過するにつれて、これらのブリスターは大きくなり、それらが最大の直径になるまで融合する。ＡＦＭチップは、ブリスターの一つに穴を開け、フィルムがポリマー・シリコン界面で剥離するかどうかを試験するために用いた。得られたＡＦＭ画像は、破裂したブリスターの底とブリスターを形成していないフィルム部分の頂点との間の高さの違いがフィルムの厚さと同程度であったことを示した。このことは、ポリマー・シリコン界面の不具合がブリスター形成の際に起こること、およびポリマーフィルムの内部の不具合は起こらないことを示している。
【００２４】
水中に浸漬し、取り出したサンプルは、クレーターの単分散分布で覆われていることが観測された。Image-Pro plus software (Media Cybernetics)を備えた光学顕微鏡は、フィーチャー(feature)の大きさを測定するために用いられ(図３)、サンプルの幾つかはまた、ＡＦＭを用いて画像化された(図４)。行われた測定は図５に示している。これらは、ブリスターの長さλ、クレーターの頂点からその底までの長さｈｔｂ、およびフィルム表面の頂点とクレーターの底までの距離ｈｆｂを含む。全ての場合において、フィルム上のブリスターは、表面上の至る所に存在し、壊され、しわを作り、クレーターを形成することが観測された。ＡＦＭで画像化した場合、クレーターは、完全にポリマーで内張されていることが見出され、水から取り出さない場合はブリスターの破裂が起こらないことを示している。
【００２５】
成長曲線は、同じ厚さのサンプルを、水中に異なる時間４０℃で浸漬し、そしてそれらを光学顕微鏡で画像化することによって、クレーターについて構築する(図６参照)。これを２２nm、３２nm、５０nm、１００nm、１５０nm、１９０nm、および２００nmの厚さのフィルムで行った。
【００２６】
最初の変形の後、ブリスター成長の駆動力は、支持体に接着したままのフィルム部分とストレイン状態にあるフィルム部分があるために生じる。ブリスターの成長は、幾らかのストレイン・エネルギーを放出する一方で、またより広い表面を形成する。これは、フィルムと支持体の間の接着力に打ち勝つよう行われる必要がある。ブリスター形成したフィルム部分における 部分的なベンディング・ストレスは、フィルムがまだ支持体に接着している部分である亀裂先端以外は、小さいと考えられ得る。ここで、ストレスが非常に高く、亀裂先端が広がれば、より大きなフリーの表面が生じる。大部分において、フィルムの変形した部分からの寄与は、亀裂先端がこれらのストレスの集中のために広がることを可能にすることを言う以外は、無視することができる。
【００２７】
温度依存試験もまた行った。これらは、９０nmの厚さのフィルムを水中に様々な温度で５分間浸漬することを含む。それぞれのサンプルを、次に、顕微鏡上で測定した(図８)。データは、水とサンプルの温度が増大すればブリスターの大きさが減少することを示す。
【００２８】
このことは、以下のように説明され得る。この物質の温度の増大は、水の平衡容積フラクションの増大、および面内膨張ストレインの対応する増大を引き起こす。このことは、フィルムに 曲率の増大を伴う変形を起こし得、そしてブリスターの長さをより小さくする。
【００２９】
クレーターの直径を測定すると共に、ＡＦＭは、サンプルのトポロジーを画像化するために用いられ得る。これは、クレーターが典型的に１０−１００nmの深さであり、クレーターの深さがフィルムの厚さを変えることによって制御され得ることを示した。４０℃で５分間浸漬したサンプルにおけるフィルムの厚さの関数として、クレーターの深さを図７に示す。このグラフにおいてプロットされた２個の値は、クレーターの頂点から底の距離ｈｔｂと、フィルムの離れた部分の頂点の表面からクレーターの底の距離ｈｆｂを表す。この二番目の値がゼロではないことは、フィルムの離れた部分が幾らかの粘性の流れを起こし、フィルムが薄くなることを示す。その結果、フィルムを水から取り出した際に、ブリスター形成した部分が壊れて、フィルムの頂点の上面より下に広がったクレーターが生じる。
【００３０】
水の温度が増大するにつれて、水和したフィルムの粘度は減少すると予測される。このことは、膨潤ストレスの適用が、変形した物体において、より大きな流れを引き起こし、圧力が消費されるにつれて、フィルムの変形した部分の薄化が大量に起こる。得られたフィルムの厚さにおける最終結果は、より深いクレーターである(図９)。
【００３１】
フィルムのスピン・キャスティングの前に支持体を磨くことによって、形態に指向性を持たせ得る。本明細書で記載した磨くことは、ＤＣモーターと接続した円筒状のベルベットでコートされたローラーを用いて行った。
【００３２】
得られた指向性を図１０に示す。線の形態は単に支持体を１方向に磨くことによって、四角形は２つの直交する方向に磨くことによって、そして六角形は支持体を磨く二方向間で６０℃となるよう２回磨くことによって得られた。３つのタイプの形態のうち、最も技術的に興味深いのは、線のアレイと四角形のアレイである。これらの構造は、はっきりと、長い範囲の配列を示している。一方、六角形は、非常に短い距離で消失している。
【００３３】
支持体を磨くことの効果によって、クレーターの大きさに変化はない(図１１を参照のこと)。むしろ、磨くことは、支持体の接着性に単に幾らかの異方性を導入するのみであると信じられている。
【００３４】
支持体によって拘束されたポリマーフィルムの膨潤は、浸透圧駆動ブリスター形成過程を引き起こしうる。これらのブリスターは、ある特徴的なブリスターの長さλで形成される。λは、フィルム中の膜のストレス、ブリスター形成したフィルム中のベンディング・ストレス、およびフィルムと支持体の間の接着の間のバランスによって制御される。この系における膜のストレスは、拘束されたフィルムの膨潤によって引き起こされ、得られたストレインは、ポリマーにおける溶媒の平衡容積フラクションという用語で記載され得る。この試験において、膨潤ストレインは、ミクロンの長さスケールでのブリスター形成を引き起こす。ブリスターを水から取り出すと、それらの破裂が起こり、直径がミクロンであって深さが１０から１００nmの間である 単分散分布のクレーターを生じる。
【００３５】
ポリマーフィルムを堆積する前に支持体を単に磨くことによって、これらのクレーターを一直線に並べることが可能である。この過程のために、クレーターの面積の明らかな変化はなく、磨く工程による支持体の修飾によって引き起こされる異方性接着が起こるのみであると信じられている。ミクロンから数１０nmの範囲での次元で自己集積する、単分散対象を整列させ得ることは、多くの適用において非常に興味が持てる。
【００３６】
ブリスター形成と成長を記載するために用いた理論は、この減少が別の系で観測され得るべきであることを示している。このことは、正しいポリマー／溶媒／支持体の系を見出すことを含む。この試験において、ポリマーにおける平衡溶媒容積フラクションは、フィルムにおける始めの膨張ストレインとポリマーの粘度に影響を与えることを示した。これらは、それぞれのブリスターの初期ブリスター長さおよび成長時間を制御に関係する物理的性質である。溶媒容積フラクションは、適切な溶媒が、求められるストレインを生じるために必要な量で、得られたポリマーにおいてポリマーを膨潤させることを通常見出し得るので、制御され得る。より注意を要するパラメーターは、膨潤したポリマーと支持体の間の表面相互作用エネルギーである。これは、ポリマーが支持体から離れたかどうか、および得られたブリスターが成長するかどうかから決定される。表面相互作用を変え得るよう系を選択することによって、これらの構造は、より“工程中扱いやすい”物質を用いて製造され得る。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】ポリマーフィルムを一定温度で膨潤させるために用いられる水浴は、Linkam Hotstageの上部に合うよう加工されたアルミニウムからなり、これは水で満たしてガラス・カバー・スリップで覆い得る。Ｔタイプ熱電対を水の温度を測定するために用いる。
【図２】４０℃で水に浸漬したサンプルが、支持体から変形し、ブリスターを形成する。これらのブリスターは、最大の大きさに達するまで大きくなり、融合する。ＡＦＭ画像は、５分間浸漬した １５０nmの厚さのフィルム(大きさ１０×１０ミクロン；高さ５００nm)における画像を示している。
【図３】異なる時間水に浸漬したサンプルを取り、乾燥し、ブリスターがどの程度大きくなっているかを示す。光学顕微鏡写真は、ａ)１０分間、ｂ)２０分間、およびｃ)３０分間、４０℃で水に浸漬したフィルムを示している。
【図４】水からフィルムを除去し、ブリスターを壊し、クレーターを形成する。ポリマーが支持体に向かって壊れ、しわとなって、この図中の画像に示されているリングを生じさせる。
【図５】クレーターの直径および深さの測定は光学顕微鏡と原子間力顕微鏡を用いて行う。
【図６】クレーター成長曲線。 データを、４０℃で水に浸漬したフィルムについて示す。示されたフィルムの厚さは、(△)５０nm、(○)１００nm、(□)１５０nm、(◇)１９０nm、(■)２００nmである。
【図７】４０℃で５分間水に浸漬したフィルムにおける、フィルムの厚さによるクレーターの深さの変化。データは、クレーターの底から頂点までの距離ｈｔｂ(■)、およびフィルムから底までの距離ｈｆｂ(○)について示す。
【図８】クレーターの直径の温度依存性。温度が上昇するにつれて、クレーターの直径の減少が見られる。データは、水に５分間浸漬した９０nmのフィルムのクレーターの底から頂点までの距離ｈｔｂ(■)、およびフィルムから底の距離ｈｆｂ(○) について示す。
【図９】フィルムの変形した部分における 膨潤によるストレスは、ポリマーを浮かして薄くする。温度を上げると、ポリマーの粘度は下がり、その結果与えられたストレスのために、より薄くなる。この結果、ブリスターを壊した際により深いクレーターとなる。５分間水に浸漬した９０nmのフィルムについてのデータを示す。
【図１０】形態の指向性は可能である。これは、ポリマーフィルムをスピン・コートする前に、支持体を磨くことによって達成される。データは、ａ)線、ｂ)四角形、ｃ)六角形のアレイについて示す。
【図１１】形態の指向性は、ブリスターの長さλを変化させない。データは、非指向性のサンプル(●)、および線の形態を示すサンプル(□)として示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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2005511840.tif 000015