(57)【要約】一方の面上に少なくとも１つの機能部材（２０）と、その反対側の面上に反射防止コーティング（１１）とを有する透明な、特にガラスの基材（１０）であって、該基材が、耐摩耗性の引掻き防止コーティングを含み、該コーティングが、高屈折率と低屈折率を交互に有する薄い誘電層のスタックから作製された該反射防止コーティング（１１）により形成されたことを特徴とする透明基材。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面上に少なくとも１つの機能部材（２０）と、その反対側の面上に高屈折率と低屈折率を交互に有する薄い誘電層のスタックから作製された反射防止コーティング（１１）とを有する透明な、特にガラスの基材（１０）であって、該反射防止コーティングが耐摩耗性の引掻き防止コーティングとして用いられることを特徴とする、透明基材。
【請求項２】
前記反射防止コーティング（１１）によって形成された前記耐摩耗性の引掻き防止コーティングが、少なくとも３Ｈの抵抗性と、生じる場合のある前記基材の曇り度を１．５％未満に維持する耐摩耗性とを有することを特徴とする、請求項１に記載の透明基材。
【請求項３】
前記多層の反射防止コーティングを前記基材上に堆積した後、前記機能部材を堆積することを特徴とする、請求項１に記載の基材。
【請求項４】
前記多層スタックが、Ｓｉ3Ｎ4又はＳｎＯ2とＳｉＯ2とに基づいていることを特徴とする、請求項１〜３の何れか１項に記載の基材。
【請求項５】
前記スタックが、
・１．８〜２．２の屈折率ｎ1と、５〜５０ｎｍの幾何学的厚さｅ1とを有する高屈折率の第１層（ｃ１）；
・１．３５〜１．６５の屈折率ｎ2と、５〜５０ｎｍの幾何学的厚さｅ2とを有する低屈折率の第２層（ｃ２）；
・１．８〜２．２の屈折率ｎ3と、７０〜１２０ｎｍの幾何学的厚さｅ3とを有する高屈折率の第３層（ｃ３）；及び
・１．３５〜１．６５の屈折率ｎ4と、少なくとも８０ｎｍの幾何学的厚さｅ4とを有する低屈折率の第４層（ｃ４）；
を連続して含んで成ることを特徴とする、請求項１〜４の何れか１項に記載の基材。
【請求項６】
前記スタックが、Ｓｉ3Ｎ4／ＳｉＯ2／Ｓｉ3Ｎ4／ＳｉＯ2であることを特徴とする、請求項５に記載の基材。
【請求項７】
前記機能部材（２０）が、金属の電磁シールド部材であることを特徴とする、請求項１に記載の基材。
【請求項８】
前記機能部材（２０）が、少なくとも１つの導電性金属層から成ることを特徴とする、請求項７に記載の基材。
【請求項９】
前記機能部材（２０）が、少なくとも２つの銀層を含む薄層スタックから成ることを特徴とする、請求項７に記載の基材。
【請求項１０】
前記多層スタックが、以下の順序、即ち、
Ｓｉ3Ｎ4／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／Ｓｉ3Ｎ4／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／ＺｎＯ／Ｓｉ3Ｎ4
を有することを特徴とする、請求項８に記載の基材。
【請求項１１】
前記機能部材（２０）が、グリッド形態のワイヤー網状構造から成ることを特徴とする、請求項７に記載の基材。
【請求項１２】
前記機能部材（２０）が、銀に基づいた薄層スタックとグリッド形態のワイヤー網状構造の組み合せから成ることを特徴とする、請求項７に記載の基材。
【請求項１３】
前記機能部材（２０）が、前記基材（１０）上に直接堆積されることを特徴とする、請求項７に記載の基材。
【請求項１４】
前記機能部材（２０）が、前記基材（１０）に結合したプラスチック膜上に堆積されることを特徴とする、請求項７に記載の基材。
【請求項１５】
前記機能部材（２０）が２つのプラスチック膜の間に積層され、該２つのプラスチック膜の一方が前記基材（１０）に結合しているのに対し、もう一方が別の基材（１０ａ）に結合していることを特徴とする、請求項７に記載の基材。
【請求項１６】
前記機能部材（２０）を、反射防止コーティングから作製された第２機能部材（２１）と組み合せたことを特徴とする、請求項７に記載の基材。
【請求項１７】
前記第２機能部材（２１）が、反射防止多層スタック（２１ｂ）であることを特徴とする、請求項１６に記載の基材。
【請求項１８】
前記第２機能部材（２１）が、接着反射防止膜（２１ａ）であることを特徴とする、請求項１６に記載の基材。
【請求項１９】
前記基材が、非強化ガラスから作製されたことを特徴とする、請求項１〜１８の何れか１項に記載の基材。
【請求項２０】
請求項１〜１９の何れか１項に記載の基材の、ディスプレイスクリーン用グレージング又はフィルター製造への適用。
【請求項２１】
プラズマスクリーンへの請求項２０に記載の適用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、耐摩耗性を有する反射防止コーティングを備えた透明な、最も特にはガラスの基材に関する。本発明はまた、ディスプレイスクリーン、例えば、プラズマスクリーンのためのグレージング又はフィルターとしてのそれらの使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
透明基材上に堆積された反射防止コーティングの役割は、基材の光反射を低減すること、それゆえその光の透過を増大させることである。したがって、このように被覆された基材は、その透過光／反射光の比が増加し、それによりその後方に位置する物体の可視度が改善される。最大の反射防止効果を達成することが望ましい場合、その時には、基材の両面にこのタイプのコーティングを提供することが好ましい。
【０００３】
さらに、このタイプのコーティングは、多くの用途、例えば、観測者の後ろに配置した光によって照らされる絵画を保護するために、又は店の窓の一部を構成若しくは形成して、屋内照明が屋外照明と比べて低い場合でさえ、窓の中にあるものをよりはっきりと見分けられるようにするために利用することができる。
【０００４】
反射防止コーティングの性能は、様々な基準に従って測定又は評価することができる。第一には、当然ながら、光学的な基準である。反射防止コーティングが「良好」とみなされるためには、標準的な透明ガラス基材の光反射を所与の値、例えば、２％又は１％以下でさえある値まで低減できなければならない。
【０００５】
多層コーティングは、ビルディング及び自動車のグレージングにしばしば使用される。それは、基材上に堆積された薄い干渉層、一般には高屈折率層と低屈折率層の交互配列を含んで成る。
【０００６】
国際特許出願ＷＯ０１／３７００６は、優れた光学品質の基準を満たし、さらに、鉛直に対して傾いた入射角が、場合によって５０〜７０°の傾きである幅広い範囲にこの品質を維持するという利点も有する多層反射防止コーティングを説明している。このタイプのコーティングは、フロントガラスタイプのグレージング及びショップカウンターに関して特に評価される。
【０００７】
しかしながら、任意のタイプのディスプレイスクリーン、例えば、プラズマスクリーンに使用されるプラスチックの反射防止膜から成る別の反射防止コーティングが公知である。このような膜は一般に透明な窓と組み合せて、ディスプレイスクリーン用のフィルターとして利用できる。
【０００８】
プラズマスクリーンは、２枚のガラスシート間に閉じ込められたプラズマガスと、スクリーンの裏面シートの内面に配置された蛍光体とを含んで成る。スクリーンが作動しているときには、プラズマガス粒子と蛍光体との間の相互作用によって、８００〜１０００ｎｍの近赤外にある電磁波の放射が起こり、主としてスクリーンの前面を通るこれら電磁波の伝播は、特に、機械類がすぐ近くに配置され、例えば、遠隔の制御手段を用いて赤外線によって制御されている場合には、非常に厄介な混信の原因となる場合がある。
【０００９】
さらには、すべての電子機器と同様に、プラズマスクリーンは、妨害してはならないマイクロコンピュータ、携帯電話などのような他のデバイスに関して寄生的な放射線を発生させる場合があるアドレス指定方式（ドライバー）を有する。
【００１０】
このような放射線の伝播を排除するか又は少なくとも低減するため、１つの解決策は、スクリーンの前面に接して透明でかつ電磁シールドを提供するよう金属被覆された窓を配置することにある。したがって、このシールドは、１つ若しくは複数の金属層、特には銀層を含んで成ることができるか、及び／又は１つ若しくは複数の金属グリッドを含んで成ることができる。このシールドは、有利には、窓を構成しかつスクリーンに対面するガラス基材上に直接堆積されるか、又はスクリーンに対面する基材に結合された接着膜上に堆積される銀から作製された少なくとも２つの金属層のスタックによって提供することができる。一般には、この接着膜は、光の反射を低減することによりスクリーンの明るさを改善するよう（スクリーンに由来する光の放射に関して）反射防止機能を有する。それはまた、化学腐食から導電性の銀層を保護する役目を果たす。
【００１１】
窓の基材は、強化ガラス又は非強化ガラスから作製することができる。
【００１２】
強化ガラスが破損したり砕けたりした場合に、ガラス断片を保持でき、さらには、観測者の快適さのために反射防止機能を果たす接着膜が、基材の外面、即ち、スクリーンと反対側でかつ観測者に対面した側に提供される。この膜は、金属層スタックなどの機能部材を堆積させるために基材が受ける場合がある様々な処理に耐えることができないので、基材上に最後に配置される。しかしながら、あらゆる予防措置を講じたにも関わらず、この膜を受け入れなければならない面を、処理工程中の様々な基材のハンドリング操作によって、又はその処理自体によってさえ傷つける場合があり、このことは、表面の品質及び基材自体の強度にとって不利である。その場合、基材は使用することができず、廃棄されることになる。
【００１３】
さらには、この膜は、ディスプレイスクリーンと組み合せることを意図した保護窓の外面上に配置されるので、保護窓の洗浄という繰り返し行われる行為によって、この反射防止膜がダメージを受けることになる。これにより反射防止特性が損なわれ、曇りが生じて視覚を損ね、そうして膜を取り替えなければならなくなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
したがって、本発明の目的は、一方の面上に少なくとも１つの機能部材と、その反対側の面上に反射防止コーティングとを有する、特にディスプレイスクリーンフィルターのための基材であって、一方で、該基材がその製造プロセスを出た際にスクラッチタイプの欠陥を有さないこと、並びに該反射防止コーティングが耐久性及び耐摩耗性を有することを確実にされた基材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明によれば、一方の面上に金属部材タイプの少なくとも１つの機能部材と、その反対側の面上に反射防止コーティングとを有する基材、特にガラス基材は、該基材が、耐摩耗性の引掻き防止コーティングを含み、該コーティングが、高屈折率と低屈折率を交互に有する薄い誘電層のスタックから作製された反射防止コーティングにより形成されることを特徴としている。
【００１６】
さらに本発明は、少なくとも一方の面上に反射防止コーティングを有する透明な、特にガラスの基材であって、該基材が、少なくとも３Ｈの抵抗性を有し、かつ生じる場合のある基材の曇り度を１．５％未満に維持する耐摩耗性を具備した引掻き防止コーティングを含み、該コーティングが、高屈折率と低屈折率を交互に有する薄い誘電層のスタックから作製された反射防止コーティングにより形成されることを特徴とする基材に関する。
【００１７】
１つの特徴によれば、多層の反射防止コーティングを基材上に堆積した後、機能部材を堆積する。
【００１８】
このように、最初に反射防止層のスタックで被覆された基材は、所望とされる反射防止機能を満足させ、これによって、基材は、反対側の面が、反射防止層のスタックで形成された反射防止コーティングで既に被覆されているので、何ら反対側の面を傷つける恐れなく面の一方に機能部材を堆積するよう処理することが可能となる。
【００１９】
別の特徴によれば、スタックは、Ｓｉ3Ｎ4又はＳｎＯ2層とＳｉＯ2層とに基づいている。実際、このタイプの層の組み合せは特に耐摩耗性があり、比較的大きな面積、即ち、１０ｃｍ2よりも十分大きな面積に関して耐摩耗性があることが見出された。
【００２０】
好ましくは、スタックは、
・１．８〜２．２の屈折率ｎ1と、５〜５０ｎｍの幾何学的厚さｅ1とを有する高屈折率の第１層（ｃ１）；
・１．３５〜１．６５の屈折率ｎ2と、５〜５０ｎｍの幾何学的厚さｅ2とを有する低屈折率の第２層（ｃ２）；
・１．８〜２．２の屈折率ｎ3と、７０〜１２０ｎｍの幾何学的厚さｅ3とを有する高屈折率の第３層（ｃ３）；及び
・１．３５〜１．６５の屈折率ｎ4と、少なくとも８０ｎｍの幾何学的厚さｅ4とを有する低屈折率の第４層（ｃ４）；
を含んで成る。
【００２１】
このように、本発明者らは、グレージング又はディスプレイスクリーンフィルターなど、サイズが十分大きい基材のための耐摩耗性引掻き防止コーティングとして、反射防止多層スタックを使用するという自明でないアイデアを思いついた。これらの基材は、これまで、反射防止コーティングとしてプラスチック膜を使用し、引掻き防止特性を有していなかった。
【００２２】
結果として、本発明はまた、面の一方に反射防止層のスタックと、もう一方の面上に電磁シールドを目的として金属部材から形成された機能部材とを備える単一基材から構成されたことを特徴とするグレージング又はフィルターに関する。本出願は、特にプラズマスクリーンなどのディスプレイスクリーンのためのフィルターの製造に向けられる。
【００２３】
金属部材は、例えば、少なくとも１つの導電性金属層、又はむしろ少なくとも２つの銀層を含む薄層スタックから成る。有利には、導電性金属層は銀に基づいており、以下の順序、即ち、
Ｓｉ3Ｎ4／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／Ｓｉ3Ｎ4／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／ＺｎＯ／Ｓｉ3Ｎ4
を有する多層スタックの一部を形成する。
【００２４】
変形態様として、機能部材は、グリッド形態のワイヤー網状構造、あるいは銀に基づいた薄層スタックとグリッド形態のワイヤー網状構造の組み合せから成ることができる。
【００２５】
機能部材は、基材上に直接堆積させることができるか、又は基材に結合したプラスチック膜上に堆積させることができるか、あるいは一方が基材に結合しているのに対し、もう一方が別の基材に結合している２つのプラスチック膜の間に積層することができる。
【００２６】
ディスプレイスクリーンの場合、機能部材は、反射防止コーティングと組み合せることが好ましく、この反射防止コーティングは、反射防止多層スタック又は接着反射防止膜であることができる。
【００２７】
最後に、こうして、１つ又は複数の機能部材と、反射防止層のスタックとを備えた基材は、大きな面積で以って製造することができ、また何ら完全に装備された基材が破損する恐れなくディスプレイスクリーンフィルターの寸法に容易に切断することができるので、ディスプレイスクリーンの用途に関して非強化ガラスから作製された基材を使用することが好ましい。
【００２８】
本発明の他の利点及び特徴は、添付図面とともに以下の説明を読むことで明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
第一に、図面における本発明の部材の様々な寸法、特に厚さは、それらの検討を容易にするため縮尺に従っていないということに注意すべきである。
【００３０】
図１は、プラズマスクリーンＥの前面に接合することを意図した透明な窓１を示している。この窓は、電磁シールドの保護及び反射防止の保護を提供するフィルターを構成している。
【００３１】
透明な窓１は、ガラスシート１０などの単一基材から形成される。ガラス基材１０の上には、一方で、スクリーンに対面する内面に接して、電磁シールド特性を有する金属層のスタックにより形成される第１機能部材２０と、多層スタック２０を覆う内部反射防止コーティングにより形成される第２機能部材２１とが堆積され、もう一方で、スクリーンと反対側の、場合により観測者に対面する外面に接して、反射防止コーティングだけでなく、耐摩耗性引掻き防止コーティングも構成する多層スタック１１が堆積される。
【００３２】
基材１０は、３〜６ｍｍ、例えば４ｍｍの厚さを有するＰＬＡＮＩＬＵＸタイプの透明なソーダ−ライムケイ酸塩ガラスから作製される。この製品は、サンゴバン・グラスによって販売されている。
【００３３】
例を挙げると、金属層のスタック２０は、Ａｇタイプの少なくとも２つの電気伝導性機能層によって形成される。これらの金属層は、薄い保護層のスタックに挿入され、その好ましい順序は以下の通りである。
ガラス／Ｓｉ3Ｎ4／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／Ｓｉ3Ｎ4／ＺｎＯ／Ａｇ／Ｔｉ／ＺｎＯ／Ｓｉ3Ｎ4
【００３４】
Ｔｉ層は、特に銀の酸化を防ぐことによって銀を保護するための金属層を構成する。
【００３５】
反射における基材の色を「洗い落とす」ために、ガラスに近いＳｉ3Ｎ4層とＺｎＯ層の間にＴｉＯ2層を挿入することができる。
【００３６】
スタックのすべての層は、公知のスパッタリング技術により、スクリーンに対面することを意図した基材の内面に堆積される。すべての場合において、層は、先行技術でしばしば実施されるようにプラスチック膜ではなく、ガラス基材上に直接堆積される。というのも、後の例３の結果により示されるように、これらの金属層を支持する膜は、より多くの曇りを発生させるためである。
【００３７】
基材の最も近くに位置するＡｇの第１金属層は、Ａｇの第２金属層の厚さｅ2とおよそ同等の厚さｅ1を有するので、ｅ1／ｅ2の厚さの比は０．８〜１．１、好ましくは０．９〜１である。したがって、光透過率は６７％を超え、非常に好適である。金属層の合計厚さｅ1＋ｅ2は２７〜３０ｎｍである。スクリーンへの赤外線の良好な反射を得るには、即ち、放射線が可能な限り少なく基材を通過するようにするには、金属層の合計厚さを２８〜２９．５ｎｍに選択することが好ましく、したがって、放射線の透過率は、８００ｎｍの波長に関して１３％以下である。
【００３８】
下表は、合計厚さｅ1＋ｅ2が１４ｎｍに等しい様々な薄層スタックに関する厚さ値の例を与える。
【００３９】
【表１】
2005527452.tif 000003
【００４０】
当然ながら、電磁シールドに関する金属部材の他の変形態様、例えば、金属グリッド又はグリッドと層の組み合せも考えられる。例えば、国際特許出願ＷＯ０１／８１２６２を参照することができる。さらには、電磁シールドを提供する機能部材２０は、ガラス上に直接堆積されるが、変形態様として、窓の内面に結合された接着プラスチック膜上に堆積させることができるか、あるいは基材１０とスクリーンに対面するガラス基材１０ａなどの２つの基材に接着結合された２つのプラスチックインサートＩの間に積層することができ、基材１０は内面コーティング２１を備えている（図４）。
【００４１】
第１実施態様によれば、多層スタック２０を覆う内面反射防止コーティング２１は、標準的なプラスチック反射防止膜２１ａ、又はスタック１１のタイプの多層スタック２１ｂであることができる。
【００４２】
脆い場合のある膜と比べて、１１のタイプの多層スタック２１ｂにより、スタック２０の銀層は、それらがシリカ又は窒化ケイ素で覆われているので、腐食から非常に適切に保護することができる。
【００４３】
しかしながら、仮に窓が破損した場合に、すべてのガラス破片が膜により保持されることのほか、機能部材２１のための膜の利点は、スクリーンのコントラストに関して効果を有することができるということである。様々なタイプの膜があり、これらは、その光透過率に依存している。したがって、Ｃａｌｓａｋにより販売されている光透過率８０％の膜、あるいはより低い透過率の膜を使用して、Ｓｏｕｔｈｗａｌｌにより販売されている光透過率７０％の膜（製品名称ＡＲＡ２−７０）のようなスクリーンのコントラストを改善することができる。
【００４４】
最後に、本発明による反射防止多層スタック１１は、Ｓｉ3Ｎ4又はＳｎＯ2とＳｉＯ2とに基づいた少なくとも２層のスタックであり、これらの層はその硬度特性により特に好適である。これらの層はすべて、ＳｉＯ2又は金属酸化物層を作製するため酸化雰囲気中でＳｉターゲット又は金属ターゲットを用い、窒化物を作製するため窒化雰囲気中で及び酸窒化物を作製するため混合した酸化／窒化雰囲気中でＳｉ又は金属ターゲットを用いて、磁気促進反応性スパッタリングにより従来通り堆積された。Ｓｉターゲットは、とりわけターゲットをより導電性にするために、別の金属、特にはＺｒ又はＡｌを少量含有することができる。
【００４５】
好ましい反射防止スタックは以下の通りである。
ガラス／ＳｎＯ2（又はＳｉ3Ｎ4）／ＳｉＯ2／ＳｎＯ2（又はＳｉ3Ｎ4）／ＳｉＯ2
【００４６】
下表は、各層の屈折率ｎiとｎｍでの幾何学的厚さｅiを与え、層ｃ1はガラスに接している層である。
【００４７】
【表２】
2005527452.tif 000004
【００４８】
この例の目的は、入射角６０°での（観測者側の）ガラスの光反射ＲL値を可能な限り最小にすることである。
【００４９】
下表は、本発明の例（例１）によるフィルタースクリーン製品と、２つの比較構成例（例２及び３）によるフィルタースクリーン製品とに関する観測者側の光反射及び光ヘイズの結果を与える。比較例に関して、両方のフィルターは、機能部材２１及び反射防止コーティング１１として基材の両側に反射防止膜を有するが、Ａｇ層のスタック２０は、それらのうち一方の場合は、ガラス上に直接堆積され（例２）、もう一方の場合は、プラスチック膜の上に堆積された（例３）。
【００５０】
例１：接着反射防止膜２１ａ／Ａｇ層スタック／ガラス／多層スタック１１；
例２：接着反射防止膜／Ａｇ層スタック／ガラス／接着反射防止膜；
例３：接着反射防止膜／プラスチック膜上のＡｇ層スタック／ガラス／接着反射防止膜
【００５１】
【表３】
2005527452.tif 000005
【００５２】
本発明の例１は、多層反射防止コーティング１１が、観測者側の窓の外面に関する光反射を低下させるという利点を有し、一方で、製造後に曇りのより少ない製品を製造するので明らかに採用すべきものである。曇り度（散乱光）の低減によって、画像の品質及び観測者の視覚品質が改善され、特には、色がより強くなる。
【００５３】
本発明によれば、反射防止多層スタックはまた、耐摩耗性の引掻き防止コーティングを構成する。以下に比較の表と、図２に関して比較のグラフを与え、耐久性試験又は促進老化試験、及び摩耗試験のそれぞれに関して、本発明の例（例１）と例２を比較する。
【００５４】
耐久性試験に関して、光透過率ＴLと曇り度における変化を、窓を乾熱中に５００時間と湿熱中に１２０時間置いた後に測定した。
【００５５】
【表４】
2005527452.tif 000006
【００５６】
２つの製品は、促進老化試験において同様に作用する。
【００５７】
摩耗試験に関して、摩耗後の曇り度における変化は、例１の窓と例２の窓に関して、Ｔａｂｅｒ Ａｂｒａｓｅｒ（登録商標）ＣＳ １０ Ｆタイプの研削砥石を用いた周知の方法において２５０ｇの負荷で測定した。
【００５８】
図２のグラフにより、本発明の窓が、先行技術の窓よりもＴａｂｅｒ試験においてはるかに優れた摩耗挙動を示すことがわかる。５００回転後、多層スタックを有するコーティングがほとんど掻き取られていないのに対し、プラスチック膜を有するコーティングは完全に引き離され、反射防止特性が完全に損なわれて相当な曇りを生じている。倍率８０倍の図３の顕微鏡写真は、試験後の２つの製品の外観を示す。多層スタックを有する窓のほうがはるかにきれいである。
【００５９】
さらに、引掻き抵抗性に関してなされた測定は、多層スタックに関する抵抗性が膜に関するものよりもはるかに優れていることを示す。膜の場合に２〜３Ｈしかないのに対し、多層スタックの場合には３Ｈよりも高い。Ｈとは、表面コーティング及び有機基材の分野で用いられる分類であり、それは、２Ｈ又は３Ｈの鉛筆の芯を用いた引掻き試験を意味することが思い起こされるであろう。
【００６０】
プラズマスクリーンと組み合せた窓を例として採用したが、本発明は、当然ながら、場合により一方の面上に少なくとも１つの機能部材と、その反対側の面上に耐摩耗性の引掻き防止コーティングとを有さなければならない任意のタイプの基材に適用され、このコーティングは、任意選択で反射を防止するという利点を有することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】プラズマスクリーンと組み合せた本発明によるフィルターの概略断面図である。
【図２】様々な反射防止コーティングを比較したグラフを示す。
【図３】膜タイプと多層スタックタイプそれぞれのコーティングに関する２つの画像を示す。
【図４】プラズマスクリーンと組み合せた本発明による他のフィルターの断面図を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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2005527452.tif 000012
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