(57)【要約】【課題】支持軸の所定位置に長尺体を確実に支持させることができる長尺体支持装置および支持方法を提供すること。【解決手段】長尺体支持装置２０は、中央に孔ＣＨを有するように巻かれた長尺体ＲＳを支持する長尺体支持装置２０であって、孔ＣＨに挿入されることで長尺体ＲＳを支持する支持軸２１と、長尺体ＲＳが支持軸２１の所定位置に支持されたことを判別する判別手段２３とを備え、判別手段２３は、支持軸２１に挿入される長尺体ＲＳが直接的または間接的に当接する当接部材２３Ａと、当接部材２３Ａの位置を検出する検出手段２３Ｃとを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央に孔を有するように巻かれた長尺体を支持する長尺体支持装置であって、
前記孔に挿入されることで前記長尺体を支持する支持軸と、
前記長尺体が前記支持軸の所定位置に支持されたことを判別する判別手段とを備え、
前記判別手段は、前記支持軸に挿入される長尺体が直接的または間接的に当接する当接部材と、前記当接部材の位置を検出する検出手段とを備えていることを特徴とする長尺体支持装置。
【請求項２】
前記判別手段は、前記当接部材を前記長尺体の挿入方向の反対方向に付勢し、前記支持軸に挿入される前記長尺体によって前記挿入方向に加わる衝撃を緩和する緩衝手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載の長尺体支持装置。
【請求項３】
前記判別手段の判別結果を受けて所定の信号を出力する出力手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の長尺体支持装置。
【請求項４】
中央に孔を有するように巻かれた長尺体を支持する長尺体支持方法であって、
前記孔に挿入されることで前記長尺体を支持する支持工程と、
前記長尺体が所定位置に支持されたことを判別する判別工程とを備え、
前記判別工程は、前記支持工程で挿入される長尺体に直接的または間接的に当接部材を当接させる当接工程と、前記当接部材の位置を検出する検出工程とを有することを特徴とする長尺体支持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、長尺体支持装置および支持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、中央に孔を有するように巻かれた長尺体を支持軸で支持する長尺体支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１１５３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたような従来の長尺体支持装置では、支持軸に対して長尺体が所定の位置からずれた位置で支持されていたとしても、それに気付く術がなく、稀に供給位置がずれた状態で当該長尺体が供給されてしまうという不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、支持軸の所定位置に長尺体を確実に支持させることができる長尺体支持装置および支持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の長尺体支持装置は、中央に孔を有するように巻かれた長尺体を支持する長尺体支持装置であって、前記孔に挿入されることで前記長尺体を支持する支持軸と、前記長尺体が前記支持軸の所定位置に支持されたことを判別する判別手段とを備え、前記判別手段は、前記支持軸に挿入される長尺体が直接的または間接的に当接する当接部材と、前記当接部材の位置を検出する検出手段とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
本発明の長尺体支持装置において、前記判別手段は、前記当接部材を前記長尺体の挿入方向の反対方向に付勢し、前記支持軸に挿入される前記長尺体によって前記挿入方向に加わる衝撃を緩和する緩衝手段を備えていることが好ましい。
本発明の長尺体支持装置は、前記判別手段の判別結果を受けて所定の信号を出力する出力手段を備えていることが好ましい。
【０００８】
本発明の長尺体支持方法は、中央に孔を有するように巻かれた長尺体を支持する長尺体支持方法であって、前記孔に挿入されることで前記長尺体を支持する支持工程と、前記長尺体が所定位置に支持されたことを判別する判別工程とを備え、前記判別工程は、前記支持工程で挿入される長尺体に直接的または間接的に当接部材を当接させる当接工程と、前記当接部材の位置を検出する検出工程とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１または４に係る発明によれば、長尺体が支持軸の所定位置に支持されたことを判別する術を得たため、支持軸の所定位置に長尺体を確実に支持させることができる。
【００１０】
請求項２に係る発明によれば、長尺体を支持軸に支持させる際の衝撃から当該長尺体支持装置または当該長尺体支持装置が採用された処理装置を保護することができる。
請求項３に係る発明によれば、長尺体が支持軸の所定位置に支持されたことを当該長尺体支持装置の使用者に知らせることができるので、より確実に長尺体を支持軸の所定位置に支持させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る長尺体支持装置を示す側面図。
【図２】長尺体支持装置の動作説明図。
【図３】本発明の変形例に係る長尺体支持装置を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１３】
図１、２において、処理装置としてのシート貼付装置１０は、貫通孔の空いた筒部材ＡＭに巻かれることで、中央に孔ＣＨを有するように巻かれた長尺体としての原反ＲＳを支持する長尺体支持装置２０と、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する貼付手段３０とを備え、ウエハＷＦを支持して搬送するウエハ搬送手段４０の上方に配置されている。本実施形態の場合、原反ＲＳは、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが所定の間隔を空けて仮着されたものが採用されている。
【００１４】
長尺体支持装置２０は、孔ＣＨに挿入されることで原反ＲＳを支持する支持軸としての支持ローラ２１と、支持ローラ２１に対する原反ＲＳの前後方向への移動を規制する移動規制手段２２と、原反ＲＳが支持ローラ２１の所定位置に支持されたことを判別する判別手段２３と、判別手段２３の判別結果を受けて所定の信号を出力する出力手段２４とを備えている。
【００１５】
支持ローラ２１は、円環状のフランジ部２１Ａと、フランジ部２１Ａに支持されたストッパ２１Ｂとを備えている。
移動規制手段２２は、その中心部に支持ローラ２１が挿通される開口部が形成された筒状部材２２Ａに支持された円環状のガイド板２２Ｂと、ガイド板２２Ｂを支持ローラ２１に固定するねじ部材やクランパ等の固定手段２２Ｃとを備えている。
判別手段２３は、支持ローラ２１に挿入される原反ＲＳが直接的に当接する当接部材２３Ａと、当接部材２３Ａを原反ＲＳの挿入方向ＩＤの反対方向に付勢し、支持ローラ２１に挿入される原反ＲＳによって挿入方向ＩＤに加わる衝撃を緩和する緩衝手段としてのコイルばね２３Ｂと、当接部材２３Ａの位置を検出する検出手段２３Ｃとを備えている。
当接部材２３Ａは、その中心部に支持ローラ２１が挿通される開口部が形成された円板形状とされ、支持ローラ２１の軸心方向（前後方向）に移動可能に構成されている。
コイルばね２３Ｂは、一端側（後側）がフランジ部２１Ａに支持され、他端側（前側）で当接部材２３Ａを支持している。
検出手段２３Ｃは、カメラや顕微鏡等の撮像手段や、当接部材２３Ａまでの距離を測定する光学センサや近接センサ等の距離測定手段で構成される。
出力手段２４は、判別手段２３の判別結果を受けて所定の信号としての光を出力する表示灯２４Ａを備えている。
【００１６】
貼付手段３０は、支持ローラ２１で支持された原反ＲＳを案内するガイドローラ３１と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３２と、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３３と、ピンチローラ３４とで剥離シートＲＬを挟み込み、駆動機器としての回動モータ３５によって駆動される駆動ローラ３６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３７とを備え、その全体および支持ローラ２１がフレーム３８に支持されている。
【００１７】
ウエハ搬送手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、リニアモータ４１のスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面４２Ａを有するテーブル４２とを備えている。
【００１８】
以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順について説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す状態のシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が図２（Ａ）に示すように、原反ＲＳを挿入方向ＩＤに移動させて支持ローラ２１にセットする。この際、原反ＲＳが当接部材２３Ａに当接した後、コイルばね２３Ｂの付勢力に抗して当接部材２３Ａが後側に押され、図２（Ｂ）に示すように、当接部材２３Ａがストッパ２１Ｂに当接する。そして、当接部材２３Ａがストッパ２１Ｂに当接すると、検出手段２３Ｃが当接部材２３Ａを検出し、原反ＲＳが支持ローラ２１に所定距離挿入され、支持ローラ２１の軸心方向の所定位置に支持されたと判別する。すると、出力手段２４が電気や電波等の所定の外部出力信号を出力し、表示灯２４Ａがその外部出力信号を受けて光を点灯させる。これにより、使用者は、原反ＲＳが支持ローラ２１の所定位置にセットされたことを認識することができる。
【００１９】
次いで、ストッパ２１Ｂに当接した当接部材２３Ａとで原反ＲＳを挟み込むように、使用者が図２（Ｂ）に示すようにガイド板２２Ｂを支持ローラ２１に差し込み、固定手段２２Ｃでガイド板２２Ｂを支持ローラ２１に固定した後、図１に示すように原反ＲＳを掛け回す。その後、使用者が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力すると、貼付手段３０が回動モータ３５を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、先頭の接着シートＡＳが剥離板３２で所定長さ剥離されたことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３５の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
【００２０】
次に、使用者または多関節ロボット等の図示しない搬送手段により、テーブル４２上にウエハＷＦを載置すると、ウエハ搬送手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウエハＷＦを支持面４２Ａで吸着保持した後、リニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を左方に移動させる。そして、ウエハＷＦが所定の位置に到達したことがカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３５を駆動し、テーブル４２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板３２で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ３３によって図１中二点鎖線で示すようにウエハＷＦに押圧されて貼付され、次の接着シートＡＳが剥離板３２で所定長さ剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３５の駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。
【００２１】
ウエハＷＦへの接着シートＡＳの貼付が完了すると、ウエハ搬送手段４０がリニアモータ４１および図示しない減圧手段の駆動を停止する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付されたウエハＷＦを次工程に搬送すると、ウエハ搬送手段４０がリニアモータ４１を駆動し、テーブル４２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
【００２２】
以上のような実施形態によれば、原反ＲＳが支持ローラ２１の所定位置に支持されたことを判別する術を得たため、支持ローラ２１の所定位置に原反ＲＳを確実に支持させることができる。
【００２３】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【００２４】
例えば、長尺体支持装置２０は、支持ローラ２１および当接部材２３Ａに代えて、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、支持ローラ２１Ｃおよび当接部材２３Ｅを備えてもよい。支持ローラ２１Ｃは、その外周面に螺旋状に形成された案内溝２１Ｄを備えている。当接部材２３Ｅは、長円形状を有する板状に形成され、支持ローラ２１Ｃが挿通される開口部２３Ｆと、開口部２３Ｆの内縁から当該開口部２３Ｆの中心側に突出し、案内溝２１Ｄに係止される突出部２３Ｇとを備えている。
長尺体支持装置２０は、支持ローラ２１、２１Ｃをそれらの軸心を中心に回動させる駆動機器を備えてもよく、図３（Ａ）、（Ｂ）に示す構成を採用する場合、当該駆動機器で支持ローラ２１Ｃを回動させ、当接部材２３Ｅを図３（Ａ）に示す初期位置に移動させてから支持ローラ２１Ｃに原反ＲＳを支持させるとよい。そして、支持ローラ２１Ｃに原反ＲＳを支持させる際に当接部材２３Ｅが案内溝２１Ｄに沿って移動し、原反ＲＳが支持ローラ２１の所定位置に到達したときに、図３（Ｂ）に示すように、検出手段２３Ｃが当接部材２３Ａを検出することになる。なお、支持ローラ２１Ｃが駆動機器で駆動しない場合、使用者が支持ローラ２１Ｃを回動させ、当接部材２３Ｅを初期位置に移動さればよい。
長尺体支持装置２０は、巻かれた長尺体として、筒部材ＡＭに巻かれることなく、原反ＲＳだけで中央に孔ＣＨを有するように巻かれたものや、孔ＣＨが貫通孔であるものや、孔ＣＨが貫通孔でないものが採用されてもよいし、筒部材ＡＭの幅方向（前後方向）の長さが原反ＲＳの幅方向（前後方向）の長さよりも短いものや、筒部材ＡＭの幅方向の長さが原反ＲＳの幅方向の長さよりも長いものが採用されてもよく、筒部材ＡＭの幅方向の長さが原反ＲＳの幅方向の長さよりも長いものが採用された場合、当接部材２３Ａ、２３Ｅやガイド板２２Ｂは、支持ローラ２１、２１Ｃに挿入された原反ＲＳが筒部材ＡＭを介して間接的に当接するように構成してもよいし、筒部材ＡＭを交わすことができる穴を設けて原反ＲＳが直接的に当接するように構成してもよい。
支持軸は、円柱形状に限らず、円筒形状や多角形状でもよいし、フレーム３８に対して回転不能に設けられ、原反ＲＳが支持軸に対して回転してもよいし、フレーム３８とは別の支持体に支持されていてもよい。
ストッパ２１Ｂは、単体でもよいし、複数設けてもよいし、原反ＲＳの幅方向の長さや挿入距離に応じて前後方向に移動させ、支持ローラ２１、２１Ｃに対する原反ＲＳの所定位置を調整できる構成としてもよいし、採用されなくてもよいし、形状、材質、配置位置等は何ら限定されるものではない。
移動規制手段２２は、三角形や四角形以上の多角形や、楕円形等、円以外の外形形状のガイド板２２Ｂが採用されてもよいし、なくてもよい。
移動規制手段２２は、前記実施形態で示したものに代えてまたは併用して、支持軸の外周面が拡収縮したり、支持軸の外周面から突起物が出没したりして支持ローラ２１に対する原反ＲＳの前後方向への移動を規制するものでもよく、このような突起物が出没するものは、支持軸に単数または複数設けてもよい。
判別手段２３は、当接部材２３Ａ、２３Ｅが支持ローラ２１、２１Ｃに対して前後方向に傾くことを規制する傾き規制手段を備えていてもよく、当該規制手段により当接部材２３Ａ、２３Ｅが傾いた状態で検出手段２３Ｃに検出されることが防止され、支持ローラ２１の所定位置に原反ＲＳを精度よく支持させることができる。
当接部材２３Ａは、三角形や四角形以上の多角形や、楕円形等どのような形状でもよく、支持ローラ２１に挿入される原反ＲＳが直接的または間接的に当接し、かつ、検出手段２３Ｃでその位置が検出できるものであればどんなものでもよい。
緩衝手段は、板ばね、皿ばね、ゴム、樹脂、スポンジ等の弾性部材やショックアブソーバや駆動機器等で構成してもよいし、支持ローラ２１、２１Ｃの外周面に支持されてもよいし、採用されなくてもよく、緩衝手段が採用されない場合、当接部材２３Ａ、２３Ｅは、支持ローラ２１、２１Ｃから抜けてもよいし、当接部材２３Ａ、２３Ｅが支持ローラ２１、２１Ｃから抜けることを嫌う場合は、支持ローラ２１、２１Ｃの軸心方向に移動でき、当該支持ローラ２１、２１Ｃから抜けないように紐や糸等で当接部材２３Ａ、２３Ｅを支持ローラ２１、２１Ｃに繋いでおいたり、支持ローラ２１、２１Ｃに一段径の細い部分を形成し、当該径の細い部分を当接部材２３Ａ、２３Ｅが支持ローラ２１、２１Ｃの軸心方向に移動できるようにしておいたりすればよい。
出力手段２４は、判別手段２３の判別結果を受けて所定の信号としての文字や記号または音を出力するものでもよいし、判別手段２３の判別結果を受けてシート貼付装置１０の動作抑制（インターロック）を解除するものでもよい。
【００２５】
貼付手段３０は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハＷＦの下面や側面等に接着シートＡＳを貼付するように構成してもよいし、帯状の接着シートが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反や、剥離シートＲＬに仮着されていない帯状の接着シートからなる原反が採用された場合、切断手段で帯状の接着シートを所定形状に切断して接着シートＡＳを形成し、当該接着シートＡＳを貼付してもよい。
貼付手段３０の構成物は、フレーム３８とは別の支持体に支持されていてもよい。
【００２６】
ウエハ搬送手段４０は、テーブル４２の位置を固定しておきまたは、テーブル４２を移動させつつ貼付手段３０を移動させて接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付してもよいし、シート貼付装置１０に対して他の装置でウエハＷＦを移動させる場合、なくてもよい。
【００２７】
長尺体は、帯状の剥離シートＲＬに所定の間隔で複数の接着シートＡＳが仮着された接着シート原反、基材と接着剤層とからなる帯状の接着シート、単層または複層の紙の他、電線、針金、糸、布、ロープ、ホース、鋼板、樹脂板等であってもよく、何ら限定されるものではない。
処理装置は、例えば、原反ＲＳを巻き取る巻取装置、原反ＲＳを検査する検査装置、原反ＲＳを所定の長さに切断する切断装置、原反ＲＳを使用して接着シートＡＳとしての保護シートをウエハＷＦから剥離する剥離装置等、何ら限定されるものではなく、本願発明の長尺体支持装置２０は、それら装置における原反ＲＳを繰り出す側の支持軸や、原反ＲＳを巻き取る側の支持軸として採用することができる。
【００２８】
また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
【００２９】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持軸は、孔に挿入されることで長尺体を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッター、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３０】
２０    長尺体支持装置
２１    支持ローラ（支持軸）
２３    判別手段
２３Ａ  当接部材
２３Ｂ  コイルばね（緩衝手段）
２３Ｃ  検出手段
２４    出力手段
ＣＨ    孔
ＲＳ    原反（長尺体）
【図１】
2018058694.tif 000003
【図２】
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【図３】
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