(57)【要約】例えば光ビームステアリング装置と共に使用し或いは当該装置の一部として使用するのに適するとともに、任意の適当な部材を支持し且つ当該部材に動きを伝えるようになっている湾曲装置であって、動きが加えられる第１の湾曲手段と、前記湾曲装置を任意の適当な支持構造体に対して取り付ける第２の湾曲手段と、前記第１の湾曲手段と前記第２の湾曲手段とを結合する手段と、任意の適当な部材を受けるための手段とを備え、前記第１および第２の湾曲手段は、前記第１の湾曲手段に対して加えられる任意の動きが前記湾曲装置によって増幅されるように適切に離間されている湾曲装置。
2005529357.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
例えば光ビームステアリング装置と共に使用し或いは当該装置の一部として使用するのに適するとともに、任意の適当な部材を支持し且つ当該部材に動きを伝えるようになっている湾曲装置であって、動きが加えられる第１の湾曲手段と、前記湾曲装置を任意の適当な支持構造体に対して取り付ける第２の湾曲手段と、前記第１の湾曲手段と前記第２の湾曲手段とを結合する手段と、任意の適当な部材を受けるための手段とを備え、前記第１および第２の湾曲手段は、前記第１の湾曲手段に対して加えられる任意の動きが前記湾曲装置によって増幅されるように適切に離間されている湾曲装置。
【請求項２】
前記湾曲手段が互いに略平行である請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記部材が光学要素である請求項１または請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記部材がコリメータである請求項１〜請求項３のいずれかに記載の装置。
【請求項５】
前記第１および第２の湾曲手段は、コリメータの長さの半分未満の距離だけ離間されている請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記部材が反射体である請求項１〜請求項３のいずれかに記載の装置。
【請求項７】
前記部材が回折格子である請求項１〜請求項３のいずれかに記載の装置。
【請求項８】
請求項４に記載の湾曲装置と、前記第１の湾曲手段に対して動きを加えるための作動手段とを備えることにより、任意の方向にアクチュエータが動くと、コリメータが反対方向に動き、アクチュエータとコリメータとの相対的な慣性モーメントが作用して、外部からもたらされた任意の動きが釣り合わされるビームステアリング装置。
【請求項９】
前記作動手段は、作動時に二次元的に変位する圧電アクチュエータである請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記第１の湾曲手段は、前記第２の湾曲手段よりも上流側に配置されている請求項１〜請求項９のいずれかに記載の装置。
【請求項１１】
前記装置の任意の構成要素は、当該構成要素の外周からその内部へと延びるスロットを有し、これにより、光ファイバの迅速な挿入及び／又は抜去を容易にする請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１２】
任意の前記湾曲手段は、光ファイバの挿通が可能で且つファイバと前記湾曲手段または前記各湾曲手段との接触を回避する十分な直径を有する穴を備えている請求項１〜請求項１１のいずれかに記載の装置。
【請求項１３】
前記支持構造体が作動手段である請求項１〜請求項１２のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
Ｚ方向に延びるとともに、少なくとも第１および第２の作動手段を備え、前記第１の湾曲手段の少なくとも一部は、作動時にＺ方向に延びる前記第１の作動手段の先端であり、前記第２の湾曲手段は、前記第２の作動手段の先端に配置された手段であり、これにより、第１のビームが作動すると、コリメータが回動する請求項１に記載の装置。
【請求項１５】
請求項１〜請求項１４のいずれか１項に記載の装置を備える光スイッチ。
【請求項１６】
添付の本文と図面との任意の適当な組み合わせに関してここで説明した及び／又は前記組み合わせに示された装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば光ビームステアリング装置と共に使用し或いは当該装置の一部として使用するのに適するとともに、任意の適当な部材を支持し且つ当該部材に動きを伝えるようになっている湾曲装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人が認識している最も近い従来技術は、出願人自身の特許出願のうちの１つであるＰＣＴ／ＧＢ０１／０００６２に開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的のうちの１つは、ビームステアリング装置を更に改良して、多数の入出力ポートを有する光スイッチを最小サイズで形成するようにビームステアリング装置を組み立てることができるようにすることである。すなわち、本発明は、ビームステアリング装置のコンパクトさを更に高めることを目的としている。
【０００４】
本発明の他の目的は、装置の製造および組立を簡略化することである。これを達成するためには、光スイッチの複雑さを軽減することが重要な検討材料となる。
【０００５】
本発明に係る装置の更なる目的は、質の高いスイッチングを達成するために、更に正確なステアリング機能を備えることである。
【０００６】
本発明の特定の目的は、装置によって移動されるようになっている任意の部材を、装置に加えられる動きよりもかなり大きく揺動させることである。動きの増幅度合いを高めることは、前述したコンパクトさの目的を達成する上で、重要な要素である。
【０００７】
これらの装置の設計においては、寿命やコスト等の他の検討材料も考慮される。
【０００８】
本発明の目的のうちの１つは、従来のシステムと比較してビームアクチュエータの長さを短くすることである。
【０００９】
本発明の更なる目的は、必要な高いレベルの精度および長期間にわたる信頼性を実現しつつ、コリメータ等の光学要素を方向付けて支持する新規な手法を提供することである。
【００１０】
本発明の更なる目的は、任意の個々の構成要素を装置へと組み立てる組立を改良することにより、装置全体を更に実用的なものにすることである。
【００１１】
本発明の更なる目的は、二次元（２Ｄ）圧電アクチュエータの改良版を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
その最も広い独立的態様において、本発明は、例えば光ビームステアリング装置と共に使用し或いは当該装置の一部として使用するのに適するとともに、任意の適当な部材を支持し且つ当該部材に動きを伝えるようになっている湾曲装置であって、動きが加えられる第１の湾曲手段と、前記湾曲装置を任意の適当な支持構造体に対して取り付ける第２の湾曲手段と、前記第１の湾曲手段と前記第２の湾曲手段とを結合する手段と、任意の適当な部材を受けるための手段とを備え、前記第１および第２の湾曲手段が、前記第１の湾曲手段に対して加えられる任意の動きが前記湾曲装置によって増幅されるように適切に離間されている湾曲装置を提供する。
【００１３】
この装置は、部材を受けるための前記手段によって部材が受けられた際に部材の動きを増幅するという点で、特に有利である。また、この装置は、有利な振動およびバランス特性を有している。
【００１４】
本発明の最も広い独立的態様における従属的態様においては、前記湾曲手段が互いに略平行である。
【００１５】
この特定の特徴は、装置の機械的特性を向上させるため、有利である。
【００１６】
更なる従属的態様においては、前記部材が光学要素である。
【００１７】
正確さが光通信システムの必須の要件であることは周知である。この点に留意すると、装置の利点は、この特定の用途において明らかになる。なぜなら、その実施により、精度が高められるからである。
【００１８】
この構造は、装置の抗振動特性を高め且つ装置と共に作動する部材の慣性モーメントを有利に釣り合わすことができるという特定の利点を有している。
【００１９】
更なる従属的態様においては、前記部材がコリメータである。
【００２０】
コリメータの固有の形状（通常は、長尺ロッド）により、そのような装置を使用する利点が特に関連する。
【００２１】
更なる従属的態様において、前記第１および第２の湾曲手段は、コリメータの長さの半分未満の距離だけ離間されている。これにより、部材がコリメータである場合に、有利な増幅を行なうことができる。
【００２２】
更なる従属的態様においては、前記部材が反射体である。
【００２３】
一般に光学要素に関して挙げた利点のうちの幾つかが、この構成に特に当てはまる。
【００２４】
更なる従属的態様においては、前記部材が回折格子である。
【００２５】
先の構成と同様に、回折格子を有する湾曲装置を使用すると、一般に光学要素に関して挙げた利点のうちの幾つかが得られる。
【００２６】
更なる従属的態様において、本発明は、最も広い独立的態様に係る湾曲装置と、動作部材であるコリメータと、前記第１の湾曲手段に対して動きを加えるための作動手段とを備えることにより、任意の方向にアクチュエータが動くと、コリメータが反対方向に動き、アクチュエータとコリメータとの相対的な慣性モーメントが作用して、外部からもたらされた任意の動きが釣り合わされるビームステアリング装置を提供する。
【００２７】
更なる従属的態様において、前記作動手段は、作動時に二次元的に変位する圧電アクチュエータである。この特徴は、アクチュエータを側方に動かすことができ、その動きを増幅された回動動作として部材に伝えることができるため、特に有利である。
【００２８】
更なる従属的態様において、前記第１の湾曲手段は、前記第２の湾曲手段よりも上流側に配置されている。これにより、有利な機械的特性を有する装置が提供される。
【００２９】
更なる従属的態様において、前記装置の任意の構成要素は、当該構成要素の外周からその内部へと延びるスロットを有し、これにより、光ファイバの迅速な挿入及び／又は抜去を容易にする。
【００３０】
本発明のこの最後の態様は、光ファイバを一連の開口内にＺ軸に沿って挿通させなくて済むため、特に有益であると思われる。また、これにより、ステアリング装置の様々な構成要素内にファイバを迅速に挿入することができる。従って、この態様により、ステアリング装置の組立が大幅に簡略化される。
【００３１】
更なる従属的態様において、任意の前記湾曲手段は、光ファイバの挿通が可能で且つファイバと前記湾曲手段または前記各湾曲手段との接触を回避する十分な直径を有する穴を備えている。
【００３２】
これは、応力集中によって早期に破損を招く虞がある湾曲点においてファイバ自体に沿って望ましくない応力集中が生じるのを避けることができるため、特に有利である。
【００３３】
更なる従属的態様においては、前記支持構造体が作動手段である。これにより、装置全体を更にコンパクトにできるため、特に有利である。
【００３４】
最も広い独立的態様における従属において、装置は、Ｚ方向に延びるとともに、少なくとも第１および第２の作動手段を備え、前記第１の湾曲手段の少なくとも一部は、作動時にＺ方向に延びる前記第１の作動手段の先端であり、前記第２の湾曲手段は、前記第２の作動手段の先端に配置された手段であり、これにより、第１のビームが作動すると、コリメータが回動する。
【００３５】
以上の態様の装置の利点は、装置が光スイッチに組み込まれる際に生かされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
図１に示される装置は、１本の光ファイバを受け入れるように形成されているとともに、入力アレーまたは出力アレーのいずれかとの関連で入力ポートまたは出力ポートのいずれかとして交換可能に使用することができる。
【００３７】
図１に示されるビームステアリング装置を構成する主要な構成要素は、支持構造体１、アクチュエータ２、湾曲装置３、コリメータ４および光ファイバ（図１には図示せず）である。参照符号５で一般的に示されるビームステアリング装置全体は、光スイッチングシステム（この特許出願の後段において詳細に説明する）内へと特に良好に挿入されるようになっている。
【００３８】
図２は、アクチュエータ２２のみを伴う支持構造体２１を示している。表面２４を見れば分かるように、支持構造体は、断面がＬ字状を成している。Ｌの外側の辺は、長さが等しいことが好ましく、約４ｍｍである。アクチュエータ２２はビームの形態を成しており、その断面は約１．８×１．８ｍｍである。アクチュエータは、一端が約１０ｍｍの長さにわたって支持構造体にクランプされている。ビームの支持されていない長さは３１ｍｍであり、これにより、圧電アクチェータの全長は４１ｍｍとなる。また、ビーム２２と支持構造体２１との間には、ビームを必要に応じて横方向および上下に任意に変位させることができるクリアランスが存在している。圧電アクチェータ２２は、長手方向に延びる圧電材料と電極とから成る層によって形成されており、できる限りコンパクトにするべくその全長にわたって中空部分が存在しないように配置されている。電極および対応する圧電層は、互いに略平行にアクチュエータに沿って配置されているが、Ｘ方向およびＹ方向で湾曲できるように４つの別個の動作部分に分割されている。
【００３９】
図３の参照符号３１は、支持構造体側から立体的に見た湾曲装置を示している。コリメータ受け手段３２には、コリメータ（図示せず）の先端を受けることができる十分な直径を有する穴３３が設けられている。穴３３の直径は、コリメータを固定するように選択できるが、コリメータをマウント３２に対して更に固定するために、エポキシ樹脂等の付加的な取り付け手段が使用されても良い。マウント３２の内面は、湾曲体３４および３５の先端を受ける。これらの湾曲体は、互いに垂直に且つＸ軸およびＹ軸にそれぞれ沿って配置されている。
【００４０】
湾曲体３４は、その一方の先端がマウント３２の内面３６に対して取り付けられており、これに対し、湾曲体３５の一方の先端は、湾曲体３４と湾曲体３５との間に隙間を形成するリンク手段の一部としての機能を果たす段部３７に対して取り付けられている。湾曲体をマウント３２に対して固定するための手段は、当業者により、周知の選択肢の中から選択される。
【００４１】
これらの湾曲体は、長さが２．４ｍｍ、幅が１．２ｍｍ、厚さが０．０２５ｍｍであることが好ましい。これらの湾曲体に使用される材料は、ベリリウム銅であることが好ましい。ベリリウム銅は、この材料の延性に起因して、これらの湾曲体の材料としては理想的な選択である。他の好ましい材料は、電気鋳造されたニッケルである。湾曲体同士の間の離間距離は、約０．７５ｍｍである。
【００４２】
湾曲体は、湾曲形態および捻れ形態の両方で撓む（従う）ように、また、全長に沿う収縮／伸張の両方の撓み及び長手方向を横切る剪断に耐えるように形成されている。これらの特性により、湾曲体を互いに近接して配置して、効率的な高利得２Ｄ位置・角度変換器を構成することができる。
【００４３】
構造体の位置・角度利得は、湾曲体間の隙間によって設定される。すなわち、１ｍｍの隙間は、入力移動の１０００ラジアン出力角度／ｍの利得を与える。効率的な変換器は、湾曲体が湾曲し及び／又は捻れる際に僅かな量の力学的エネルギーだけが湾曲体中に蓄えられ、従って、入力アクチュエータの限られた剛性に起因する移動における望ましくない減少を回避する変換器であって、入力アクチュエータの移動と比較して、湾曲体の伸張／収縮変位および剪断変位が非常に少ない変換器である。
【００４４】
これらの２番目の効果は特に重要である。なぜなら、湾曲体は、利用可能な変位を直接に減退させるだけでなく、望ましくない二次共振が構造体（主に、入力アクチェータの剛性および移動部品の質量によって規定される）の一次共振に対してどの程度近似しているかを決定するからである。
【００４５】
うまく設計されたシステムは、一次共振よりも６〜１０倍高い二次共振を有しており、この数が大きくなればなるほど、アクチュエータの開ループ応答が明確になるとともに、アクチェータをフィードバックループにより更に厳格に制御することができる。
【００４６】
これらの効果の大きさは、位置・角度利得によって大きく高められる。すなわち、利得が増大するにつれて（湾曲体を互いに近接するように移動させることにより）、所定の出力トルクを発生させるための力（静的な力、または、出力デバイスまたはコリメータの回転方向の慣性に打ち勝つための力）が増大する。しかしながら、利得が増大すると、これらの力に応じた湾曲体の任意の収縮／伸張または剪断による出力角度の変化も増大する。そのため、利得が増大する際に、同じ程度の出力損失を維持し或いは望ましくない共振が生じないようにし続けるためには、望ましくない歪みに対する湾曲体の耐性を、所望の利得の二乗に匹敵する大きさまで高める必要がある。
【００４７】
図３の具体的な説明に戻ると、両方の湾曲体には、直径が約０．６ｍｍの中心穴が設けられている。この中心穴は、特にファイバが２５０μｍアクリルジャケットを有するＳＭＦ２８（単一モードファイバ２８）である場合に、前記中心穴３８の端部にファイバを接触させることなく、ファイバを容易に受け入れることができる。
【００４８】
ファイバは、構造体中において機械的な目的を果たすとともに、光を伝送する機能を果たす。ファイバは、コリメータに対してｚ軸に制約を与える。さもなければ、Ｓ字状に撓む湾曲体を介してコリメータが自由に動いてしまう。このような制約を与えると、この変位モードにおける低周波共振形態を回避できる。
【００４９】
湾曲体の中心に貫通させてファイバを配置すると、出力デバイス／コリメータ上の静的及び／又は動的な力による望ましくない変形に耐える際に、湾曲体の剛性が３倍以上高くなる。これは、出力負荷の中心が中心線に沿っていない場合に、湾曲体が捻じれようとする傾向があるためである。特定の状況においては、これを行なうことが実用的でない場合があり、ファイバは、湾曲体の近傍（できる限り近接して）に配置されなければならない。
【００５０】
湾曲体３４は、フレームまたは図１および図２を参照して詳細に説明したタイプの支持構造体に対して湾曲体を取り付けるための手段をその一端に組み込んでいる。これらの特定の取り付け手段は、延出部材３９を備えている。
【００５１】
湾曲体３５に関しては、湾曲体をアクチュエータ（図示せず）に対して取り付けるための手段をその一端に備えている。
【００５２】
図４は、アクチュエータ４１の自由端に対して図３で説明した湾曲装置を取り付ける方法を詳細に示している。また、この図は、光ファイバ４２がアクチュエータ４１と平行に延び且つ両方の湾曲体を貫通してコリメータ内で終端している状態を示している。なお、この図において、コリメータは部分的にしか見ることができない。光ファイバ４２をアクチュエータ４１に対して固定するために使用される手段が設けられ、また、この手段は参照符号４３で示されている。これらの取り付け手段は、ビームステアリング装置の寿命中に多数の湾曲サイクルにわたってファイバとアクチュエータとを確実に固定できるタイプのエポキシ樹脂であることが好ましい。光ファイバは、最も近い湾曲体の手前３ｍｍの部位がアクチュエータに対して接着されていることが好ましく、また、アクチュエータから最も遠く離れた湾曲体を１ｍｍ通り過ぎたコリメータ内の位置で終端していることが好ましい。
【００５３】
図１〜図４に関して前述した構成は、コリメータのためのその効果的なピボットとして、フレームに固定された湾曲体を有しているため、特に有利である。これにより、Ｚ軸と直交するＸ軸およびＹ軸を中心としたコリメータの動きが可能になる。なお、Ｚ軸は、コリメータのビーム形成軸である。このコリメータが特定の点を中心に回動するため、コリメータの並進動作を規制しつつ、動作中に有利なビームスイングを得ることができる。
【００５４】
他の有利な機械的特性は、１または複数の駆動信号の印加に基づいてアクチュエータが動かされる間、アクチュエータが１方向に曲がり、それにより、コリメータが反対方向に傾くという点である。これにより、慣性バランスが生じ、同じ構造体に装着される複数の装置同士の機械的なクロスカップリングを排除でき、外部振動に対する影響を取り除くことができる。この種の対称性は、高周波で動作する密集された機械的構成要素においてはしばしば厄介となる振動や調波を排除する際に特に有益である。また、この構成は、この特定のビームステアリング装置の品質および信頼性を更に高める有用なダンピング特性を有している。
【００５５】
図５は、前述したタイプの湾曲装置またはマウントを組み込み且つ放射状のアレーとして配置されたビームステアリング装置のアレーを示している。各スライス５０内のアクチュエータの長軸は、対向するアレー（図５には図示せず）における対向するスライスの中心アクチュエータにほぼ向かって方向付けられている。そのような構成によれば、光学系からの更なる偏向を全体的に参照符号５１で示される偏向領域で行なう必要性が最小限に抑えられる。この構成の更に別の利点は、コリメータにおける僅かな回動範囲で、任意の想定される入力から任意の想定される出力へとビームを十分に方向付けることができるという点である。
【００５６】
全体的に参照符号５３で示されるアレーは、共通の支持構造体中に３６個のビームステアリング装置を備えている。各コリメータ５２は、１．２５ｍｍの直径を有し、直径が１．６５ｍｍの金属ハウジングを有するとともに、１０ｍｍの長さを有している。コリメータの金属ハウジングは、容量検出手段と共に動作を容易にする。これらの容量検出手段は、図５に示されるように、その内部でコリメータが移動するハウジング５５と、コリメータの自由端に配置されるセンサプレート５４とを組み込むことができる。これらのプレートは、Ｘ方向およびＹ方向の両方向でコリメータの端部の動きを検出するべく配置することができる。
【００５７】
これらの容量センサによって得られる位置測定値は、その後、スイッチシステム制御手段にフィードバックすることができる。
【００５８】
これらの容量検出手段の変形例が図６に示されている。図６は、スイッチシステム６０のための入力・出力アレーを示している。ビームステアリング装置の各スライスは、センサボード６１を用いて動作する。このセンサボードは約３．４ｍｍ平方の複数の穴を有しており、これらの穴は、その側面上に検出電極を支持している。これらのセンサボードの厚さは約１ｍｍである。各電極から（中心位置にある）コリメータまでのキャパシタンスは０．０２５ｐｆである。中心点での変位に対する北／南コンデンサ（または、東／西コンデンサ）の感度は約０．０５ｆｆ／μｍである。センサボードの各中心は、前述したようにフレームに対して固定される湾曲体であるコリメータの効果的なピボットから、約６．５ｍｍの位置に配置されている。
【００５９】
図７は、本出願の湾曲装置の更なる実施形態を示している。湾曲装置７０は、中心孔の形態を成すコリメータ受け手段７１を備えている。前記中心孔は、外周から前記受け手段の内部へと延びるスロット７２を有している。スロット７２は、光ファイバを挿通させることができる十分な幅を有している。
【００６０】
また、湾曲体７３および７４は、その外周から内部へと延びるスロットを有している。これらのスロットは、装置７０に対する光ファイバおよびコリメータの組立を更に容易にするため、スロット７２と一直線上に位置合わせされていることが好ましい。これを達成するため、湾曲プレート７３および７４が互いに平行に配置されるとともに、湾曲プレートの取り付け手段は、スロットを全く備えていない図３に示される湾曲装置と同様の特性を実現し得るようになっている。
【００６１】
図８は、第１の湾曲体７６と第２の湾曲体７７とを備える更なる湾曲装置７５を示している。両方の湾曲体には、一端にコリメータ７８が取り付いており、また、その対応するアクチュエータ７９および８０が取り付いている。明確にするため、アクチュエータおよび光ファイバの取り付け手段は、図面から省かれている。両方のアクチュエータが一次元圧電アクチュエータであっても良く、それにより、例えばアクチュエータ８０がＸ方向に変位される際に、アクチュエータ７９が先の実施形態の支持構造体としての機能を果たし、その結果、コリメータが回動してアクチュエータ８０の移動方向と反対の方向に揺動するようになっていても良い。
【００６２】
両方のアクチュエータ７９および８０が同時に作動され、あるいは、アクチュエータ７７だけが作動される場合には、湾曲体およびコリメータが同じ方向に移動し、従って、この動作モードにおいて、装置は、先の実施形態で得られた種類の釣り合いを与えない。
【００６３】
図９は、光ビームステアリング装置８３内に一体化され且つコリメータ８２内で終端する湾曲装置８１を示している。ビームステアリング装置８３には、参照符号８５で示される湾曲体で終端する多数のアクチェータ８４が設けられている。アクチュエータ８４は、作動時にＺ方向に収縮する圧電アクチュエータであっても良い。任意のアクチュエータの１つが収縮されるが、他のアクチュエータのうちの少なくとも１つが作動されず或いは同じ程度まで作動されない場合には、コリメータが回動する。この実施形態において、湾曲体のうちの少なくとも１つの支持構造体は、アクチュエータのうちの少なくとも１つである。
【００６４】
図１０は、全体的に参照符合８６で示され且つ図８に関して前述したタイプの一次元アクチュエータ８７および８８を備える更なる湾曲装置を示している。更に別の湾曲体８９および９１が設けられ、これらの湾曲体は、一端がスペーサ９０によって互いに接合されるとともに、他端がその対応するアクチュエータに固定されている。スペーサ９０は、図１〜図７に関して前述した種類の湾曲体９２と係合している。この装置は、一次元アクチュエータを使用しながら、両方の軸において振動バランスが得られるという点で、特に有利である。
【００６５】
以上の実施形態の湾曲装置は、コリメータを用いた動作として説明されている。本発明の湾曲装置は、例えば偏向部材子や回折格子等の他の光学要素を用いて動作しても良く、また、任意の適当な部材を支持し且つ任意の適当な部材に対して動きを伝えるために湾曲装置が必要とされる任意の用途で使用できるようになっている。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】ビームステアリング装置の斜視図を示す。
【図２】内部にそのアクチュエータが装着された支持構造体の斜視図を示す。
【図３】マウントの背面斜視図を示す。
【図４】圧電アクチュエータ、光ファイバ、マウントの背面斜視図およびコリメータの部分図を示す。
【図５】スイッチングシステムの入力または出力アレーの斜視図を示す。
【図６】本発明の更なる実施形態の光スイッチシステムを示す。
【図７】本発明の更なる実施形態に係るマウントの斜視図を示す。
【図８】本発明の装置の更なる実施形態の概略斜視図を示す。
【図９】本発明の装置の更なる実施形態の概略斜視図を示す。
【図１０】本発明の装置の更なる実施形態の概略斜視図を示す。
【符号の説明】
【００６７】
１    支持構造体
２    アクチュエータ
３    湾曲装置
４    コリメータ
５    ビームステアリング装置
２１    支持構造体
２２    アクチュエータ
２４    表面
３１    湾曲装置
３２    コリメータ受け手段
３３    穴
３４、３５    湾曲体
３６    内面
４１    アクチュエータ
４２    光ファイバ
５０    スライス
５２    コリメータ
５３    アレー
５４    センサプレート
５５    ハウジング
６０    スイッチシステム
６１    センサボード
７０    湾曲装置
７１    コリメータ受け手段
７２    スロット
７３、７４    湾曲体
７５    湾曲装置
７６、７７    湾曲体
７８    コリメータ
７９、８０    アクチュエータ
８１    湾曲装置
８２    コリメータ
８３    ビームステアリング装置
８４    アクチェータ
８５    湾曲体
８７、８８    アクチュエータ
８９，９１    湾曲体
９０    スペーサ
９２    湾曲体
【図１】
2005529357.tif 000003
【図２】
2005529357.tif 000004
【図３】
2005529357.tif 000005
【図４】
2005529357.tif 000006
【図５】
2005529357.tif 000007
【図６】
2005529357.tif 000008
【図７】
2005529357.tif 000009
【図８】
2005529357.tif 000010
【図９】
2005529357.tif 000011
【図１０】
2005529357.tif 000012
【国際調査報告】
2005529357.tif 000013
2005529357.tif 000014
2005529357.tif 000015