(57)【要約】配置（１００）は、フラットパネルディスプレイの第一及び第二基板（１、２）を薄片化するための気体の圧力の供給を可能にする。流体は、第二キャリアプレート（１０２）、配置（１００）のリング状の突出（１０３）及び第二基板（２）の外面（２２）によって定義される穴（１１０）に提供される。それらの間の表示要素（８）を備える基板（１、２）は、５０μｍ未満の所定距離で基板（１、２）の内面（１１、２１）を維持するために好んでスペーサを有する、密封物質（７）で薄片化される。
2005526366.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示要素が存在する間の第一及び第二基板を有し、該基板が内面及び外面を有し、該内面及び外面はそれらの内面で互いに面する、フラットパネルディスプレイの製造方法であって、該方法は、
少なくとも一つの前記基板の前記内面で密封物質を提供する段階と、
少なくとも一つの前記基板の前記外面で機械的な力を適用することによって前記基板を薄片化する段階と、
前記密封物質を硬化する段階と、
を有し、前記基板にわたって均一に機械的な力を適用するように、流体が前記第二基板の前記内面で提供されることを特徴とするフラットパネルディスプレイの製造方法。
【請求項２】
第一及び第二キャリアプレートを有する配置が設けられ、該第二キャリアプレートには、リング状の突出が取り付けられて、
前記第一基板は、前記第一キャリアプレート上に第一基板の外面で設けられて、
穴が前記第二基板と、前記第二キャリアプレートと、前記リング状の突出との間に存在するように、前記第二基板は前記第二キャリアプレートに前記第二基板の外面で取り付けられて、
前記流体が前記穴に提供される、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第二基板だけの制限された領域で機械的な力を提供するように、前記穴は、前記第二キャリアプレートに取り付けられた内部のリング状の突出によってさらに境界付けされることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
第二穴は前記第二基板と前記第二キャリアプレートとの間に存在し、該第二穴は前記第二キャリアプレートに取り付けられた第二のリング状の突出によって境界付けされていることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記第一及び第二基板はガラスから作製されて、
穴が前記第一基板に設けられ、前記表示要素が提供される、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第一及び第二基板を互いに長くとも１０μｍの所定距離にさせるように、前記密封物質がスペーサを有することを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
複数の表示要素が前記第一基板と前記第二基板との間に提供されて、
前記第一及び第二基板の薄片化並びに前記密封物質の硬化後、生じる基板のスタックは個別のフラットパネルディスプレイに分離される、
ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
第一基板のための第一キャリアプレートと、第二基板が取り付けできる第二キャリアプレートと、前記第一及び第二基板を薄片化するために互いに向かって前記キャリアプレートを移動するための手段とを設け、表示要素が存在する間の前記第一及び第二基板を薄片化するための配置であって、前記第二キャリアプレートは、
前記第二基板の取り付け後に穴が前記第二基板と前記第二キャリアプレートとの間に存在するような機械的な取り付け手段と、
前記穴の側壁として作用する、リング状の突出と、
前記穴に流体を提供するための供給手段と、
を設けることを特徴とする配置。
【請求項９】
第二のリング状の突出は、前記穴の内部の境界として作用するか、又は第二穴を定義するように、前記第二キャリアプレートに取り付けられることを特徴とする請求項８に記載の配置。
【請求項１０】
前記第一キャリアプレートは紫外線の放射のために透明であり、
前記第一キャリアプレートは上面及び底面を有し、該上面に前記第一基板を設けることができ、該底面に紫外線の放射を提供するための放射源が存在する、
ことを特徴とする請求項８に記載の配置。
【請求項１１】
有機エレクトロルミネセンス層を備えるエレクトロルミネセンス表示要素が存在する間に第一及び第二ガラス基板を有し、該基板は内面及び外面を有し、該内面及び外面はそれらの内面で互いに面し、密封物質の層と共に薄片化されて、該表示要素は、前記第一及び第二基板、前記密封物質の層によって密閉して包まれている、フラットパネルディスプレイであって、前記密封物質は硬化可能であり、前記第一及び第二基板を長くとも５０μｍの距離で維持するスペーサを有することを特徴とするフラットパネルディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示要素が存在する間の第一及び第二基板を有し、該基板が内面及び外面を有し、内面及び外面はそれらの内面で互いに面する、フラットパネルディスプレイの製造方法に関し、この方法は、
少なくとも一つの基板の内面で密封物質を提供する段階と、
少なくとも一つの基板の外面で機械的な力を適用することによって基板を薄片化する段階と、
密封物質を硬化する段階と、
を有する。
【０００２】
本発明はまた、第一基板のための第一キャリアプレートと、第二基板が取り付けできる第二キャリアプレートと、第一及び第二基板を薄片化するために互いに向かってキャリアプレートを移動するための手段とを設けて、表示要素が存在する間の第一及び第二基板を薄片化するための配置に関する。
【０００３】
さらに本発明は、有機エレクトロルミネセンス層を伴うエレクトロルミネセンス表示要素が存在する間の第一及び第二ガラス基板を有し、該基板が内面及び外面を有し、それらの内面で互いに面し、密封物質の層と共に薄片化されて、表示素子は第一及び第二基板と密封物質の層によって密閉して包まれたフラットパネルディスプレイに関する。
【背景技術】
【０００４】
そのような方法は周知である（例えば、特許文献１参照）。周知の手法において、第二基板は、ステンレススチール物質から構成され、箱型形状を有する閉鎖プレートである。この閉鎖プレートは、表示要素−この場合、エレクトロルミネセンス−が設けられる、内面でガラスの第一基板に薄片化される。表示要素の劣化を防ぐために、薄片化は、真空又は非酸化条件及び湿度の低い周辺雰囲気で起こる。第二基板を保持する据付け設備の機械的な作用によって、第一及び第二基板は接触し薄片化される。密封物質は、紫外線放射の手段によって硬化される。
【０００５】
閉鎖プレートの箱型形状により、ディスプレイの厚みが厚いことが既知のディスプレイの問題点である。この問題を回避するために、ガラスプレートなどの実質的にフラットな閉鎖プレートが使用されてよい（例えば、特許文献２参照）。そのようなフラットな閉鎖プレートは、薄片化が、６インチ（１５ｃｍ）又はそれ以上の直径を有する基板などのプレートレベルで成すことができる、追加的な利点を有する。
【０００６】
しかしながら、ステンレススチール物質の閉鎖プレートが実質的にフラットな閉鎖プレートによって置き換えられるだけの場合、製造された装置の有効期限は短いことが本発明に結びつく実験で分かった。
【特許文献１】ＪＰ−Ａ２００１−１８９１９１
【特許文献２】ＪＰ−Ａ２００１−３１９７７５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明の第一の目的は、結果となる装置が実質的にフラットな第二基板を設け、許容できる有効寿命を有する、序章に言及した種類のフラットパネルディスプレイの製造方法を提供することである。
【０００８】
本発明の第二の目的は、本発明の方法で使用するための序章に言及した種類の配置を提供することである。
【０００９】
本発明の第三の目的は、良好な有効寿命を有する、序章に言及した種類のフラットパネルディスプレイを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第一の目的は、基板上に機械的な力を均質的に適用するために、流体が第二基板の外面に提供されることで実現される。
【００１１】
第二基板の外面で機械的な力を適用するための流体の使用を通じて、適用された力は、全基板の全体にわたって均質である。その結果として、有効寿命が相当に高まることが分かった。有効寿命の単位として、エレクトロルミネセンス表示要素の代表的な単位サイズ−以後ピクセルと呼ぶ−が使用される。直接的な薄片化の後、ピクセルサイズは２６０乃至２７０μｍ間である。高温度及び湿度の２１日の極端な有効寿命試験の後、直接の機械的な力の適用により製造されたフラットパネルディスプレイのピクセルは、１０乃至３０％縮小した。しかしながら、本発明の方法で製造したフラットパネルディスプレイのピクセルは、２６０μｍよりも大きいピクセルサイズで維持された。
【００１２】
プレートレベルで適用できることが本発明の方法の利点である。これは、個別の閉鎖プレートのアセンブリがもはや必要でなく、仕入値段の本質的な縮小に結びつくという利点を有する。本発明の方法の別の利点は、結果となるフラットパネルディスプレイが非常にフラットになることができる。
【００１３】
本発明の方法の別の利点は、硬化後に白い領域が密封物質の層に存在しないことである。そのような白い領域は、直接の機械的な力を使用する場合に存在する。白い領域は泡として特徴である。本発明者は、局所的に、かなり高い圧力が印加されたので、これらが開発されたと信じている。
【００１４】
本発明の方法のさらなる利点は、第二基板と第二キャリアプレートとの間の接触により第二基板の損傷が回避されることである。その上、収率は直ちに高まる。フラットパネルディスプレイの有効寿命間にクラックへ発展し得る、好ましくはガラスである、基板の微小クラックが出現することは同様に回避される。ディスプレイを家電装置へ統合した後にそのようなクラックが発展する場合、装置は修理されるべきである。これは本質的なコストを与え、画質に対して悪影響となるであろう。
【００１５】
本発明の方法の有利な実施態様において、第一及び第二キャリアプレートを有する配置が設けられ、第二キャリアプレートには、リング状の突出が取り付けられる。第一基板は、第一キャリアプレート上に第一基板の外面で設けられ、穴が第二基板と、第二キャリアプレートと、リング状の突出との間に存在するように、第二基板は第二キャリアプレートに第二基板の外面で取り付けられる。流体が穴に提供される。この実施態様において、流体は、主要な境界として第二キャリアプレートと第二基板とを伴い、限定量で穴に提供される。
【００１６】
限定量が迅速に満たされ、薄片化は時間があまりかからないことがこの実施態様の利点である。どんな場合も存在する部分−第二基板及び第二キャリアプレート−に対して穴は必ず統合されることはこの実施態様の別の利点である。流体が第二基板だけの限定された領域、例えば、特に、密封物質が提供される領域、で提供できることはさらなる利点である。その上、第二基板の曲がりにより、第二基板及び／又は表示要素が損傷を受けることが回避される。形状及びサイズを変えるフラットディスプレイパネルが、同一の基板内で、且つ同一の配置で製造できることは別の利点である。従来の方法において、閉鎖プレートは一つのサイズだけで、サイズに特異的な装置で薄片化されなければならない。本発明の方法において、フラットパネルディスプレイのサイズ及び形状は設計と分離によって決定される。
【００１７】
流体は、第二キャリアプレートのアパーチャにより穴に提供される気体であることが好ましい。流体はアルコールなどの流体となることができるが、好ましくは、気体である。気体によって第二基板の圧力は非常に均一に提供でき、気体の追加又は温度の上昇を通じて圧力強化を提供することは比較的容易である。さらに、気体は第二基板の外面を濡らさないであろう。気体は、Ｎ２、Ａｒ、Ｎｅ等などの不活性ガスであることが好ましい。気体がＯ２又はＨ２Ｏであるか、Ｏ２又はＨ２Ｏを含むことが好ましくないことは明白である。原理的に、気体がリング状の突出の接合を介して供給されることが可能である。
【００１８】
しかしながら、この突出は、第二基板と第二キャリアとの間に良好な閉鎖を提供するようにゴムからなり、好ましくは柔軟である。したがって、第二キャリアプレートがアパーチャ及び気体のための供給パイプを取り付ける手段を含むことは好ましい。取り付けのための手段は本来周知であり、好ましくは、供給パイプは同様に取り除くことができるようである。
【００１９】
さらなる実施態様において、さらに穴は、第二基板だけの制限された領域で機械的な力を提供するように、第二キャリアプレートに取り付けられた内部のリング状の突出によって境界とされる。この実施態様で、薄片化されない領域での第二基板の曲がりが回避される。これは、例えば、表示要素が１０インチ（２５ｃｍ）の大型サイズを有する場合に適切である。そのような大型サイズの表示要素は、モニター、テレビ等で使用するために適している。機械的な力−特に、ガス圧−の適用は、有機エレクトロルミネセンス層を備えたエレクトロルミネセンス表示要素において特に適切である。そのようなエレクトロルミネセンス表示要素は全色に提供できてシャープなコントラストを有し、したがって、液晶ディスプレイ要素に代わって高品質である。しかしながら、有機エレクトロルミネセンス層は酸素と湿度に対して非常に敏感であり、本発明の方法で提供されるように、望ましい有効寿命に到達するために密閉した囲いが必要である。明瞭にするために、用語“有機エレクトロルミネセンス層”は、ポリマー状のエレクトロルミネセンス層を含むことを意味することが記載される。
【００２０】
別の実施態様において、第二穴は第二基板と第二キャリアプレートとの間に存在し、第二穴は第二キャリアプレートに取り付けられた、第二のリング状の突出間で境界づけされる。第一及び第二基板が、例えば、１４インチ（３５ｃｍ）などの相当な大型サイズを有する場合、この実施態様は非常に適しており、基板の薄片化及び密封物質の硬化後に、複数の個別のフラットパネルディスプレイに分離される。
【００２１】
基板は、厚さと物質を変えてよい。例えば、適切な物質は、湿度と気体が拡散することができない、セラミック物質、ガラス、及び任意に満たされた有機層である。表示要素が第二基板の内面で存在する場合、この基板は透明である。第一及び第二基板がガラスから作製されることが好ましい。一般的に、基板の厚みは２０μｍ乃至２．０ｍｍ間であるが、これより薄くても厚くてもよい。基板は、等しい厚さを必要としない。第一基板が閉鎖プレートである場合、さらに、湿気のためのゲッターが提供できる、深い部分を有してよい。そのような深い部分は、例えば、パウダーブラスティング又はエッチングで提供される。次いで、表示要素は第二基板の内面に存在する。スペーサは、第一及び第二基板を薄片化する間に保護するために、表示要素の隣に存在できる。代替として、密封物質は表示要素よりも厚みがあり、スペーサ機能を満たす。しかしながら、これは逆でもよいし、又は、黒い層若しくは相互接続層などの幾つかの機能性は、第二基板の内面に存在してよい。第一及び第二基板は固くできるだけでなく、柔軟にできる。
【００２２】
互いに所定距離で第一及び第二基板の内面をもたらすように、密封物質がスペーサを有することはさらに好ましい。適切な距離は５０μｍ以下である。特に適切な距離は、２０μｍよりも短い。密封物質でのスペーサの使用は、基板全体にわたって実質的に同じ距離でガラスの第一及び第二基板を提供することは非常に効果的であることがわかる。好ましくは、密封物質は有機物質である。ＷＯ−Ａ−００／７６２７６に記載のように、密封物質の層は、好ましくは、少なくとも０．２ｍｍの幅を有する。縮小された厚さと組み合わせるこの広大な幅は、密封物質の層によって、湿気の拡散に対する強大に高まった抵抗に提供する。
【００２３】
好ましくは、密封物質は、紫外線の放射で硬化される、ＵＶ硬化可能な密封物質である。そのような紫外線の硬化は、熱硬化以上の利点を有し、如何なるクラック又はポアを形成する危険性を伴い、表示要素が損傷され得る、第一及び第二基板との間に存在する物質−特に、気体−の膨張が発生しない。そのような望まれない副作用を防ぐために措置を取ることができるが、それらは気密の密封に対して本質的に反する。代替として、例えば、レーザー光での局所的な加熱による硬化がオプションである。
【００２４】
本発明の方法は、液晶及びＬＣＯＳなどの如何なる種類のフラットな表示要素において使用できる。しかしながら、湿気に対する敏感さにより、有機エレクトロルミネセンス表示要素において、特に適する。結果となるフラットパネルディスプレイは、湿気の影響を制限することに対して効果的であることが分かる。これもまたエレクトロルミネセンス表示要素における場合であり、個々のピクセルが、例えば、抵抗性物質の突出構造によって分離される。そのような構造は、表示要素でピクセルを分離するように提供される。それらは、陰極分離のための内部のシャドーマスクとして、且つピクセルのインクジェット印刷中のバリアとして作用してよい。しかしながら、そのような構造の側面において、有機エレクトロルミネセンス層が表面に存在する。これは、湿気の浸透が単一で大型のピクセルを備える表示要素と比べて、比較的容易であるという効果を有する。本発明の方法の機械的な力の均一な適用と、第一及び第二基板の内面間のわずかな距離により、それにもかかわらず、結果となるフラットパネルディスプレイは、湿気に対する良好な抵抗と優れた有効寿命を有する。
【００２５】
第二の目的は、第二キャリアプレートが、
第二基板の取り付け後に穴が第二基板と第二キャリアプレートとの間に存在するような機械的な取り付け手段と、
穴の側壁として作用する、リング状の突出と、
穴に流体を提供するための供給手段と、
を設けて実現される。
【００２６】
本発明の配置で、機械的な力は基板上に均質に適用できる。その上、流体のための穴が如何なる場合の配置に存在する２つの部分によって形成されることが有利である。第三部分のリング状の突出は、優れた閉鎖を提供することを支援する。ゴムなどの柔軟な物質が好ましい。この第三部分は、接着などの化学的手段か、又は、溝などの機械的な手段で第二キャリアプレートに取り付けられる。
【００２７】
適切な実施態様において、第二のリング状の突出は、穴の内部の境界として作用するか、又は第二穴を定義するように、第二キャリアプレートに取り付けられる。この実施態様は、基板だけの限定された領域で機械的な力の適用を可能にする。
【００２８】
さらに、第二キャリアプレートが交換できることが好ましい。交換において、単一の突出を設けるキャリアプレートは、４つ以上の突出を設けるキャリアプレートにおいて交換でき得る。これは、機械的な力が基板の異なる領域で導くことができることを可能にする。基板の制限された領域に対する機械的な力の適用は、相当に大型の表示要素を備えるディスプレイなどのあるタイプのフラットパネルディスプレイの製造に適している。したがって、交換可能な第二キャリアプレートを設ける本発明の配置は、フラットパネルディスプレイの製造又はフラットパネルディスプレイの幅広い範囲に適する。
【００２９】
さらなる実施態様において、第一キャリアは紫外線の放射において透明であり、底面及び上面を有する。この上面において、第一基板が提供できる。底面において、紫外線の放射を提供するための放射源が存在する。ここで、密封物質を硬化するための装置は、第一及び第二基板を薄片化するための配置に統合される。さらに、エレクトロルミネセンスディスプレイにおいて、真空又は酸化しない大気下で薄片化及び硬化の両者がなされるという事実を考慮して、これは非常に実用的である。
【００３０】
配置はまた、第二基板と第二キャリアプレートとの間だけでなく、第一基板と第一キャリアプレートとの間に流体のための穴があるように精巧に作製される。
【００３１】
序章に言及した種類のフラットパネルディスプレイは、ＪＰ−Ａ２００１−３１９７７５から既知である。既知のフラットパネルディスプレイは、ガラスの第一及び第二基板を有する。第一及び第二基板は、密封物質として、ハンダガラス又は他の低融解ガラスで互いに密封される。この密封物質は、レーザービームで局所的に放射することによって加熱される。結果として、密封物質は、第一及び第二ガラスプレートと溶けて融合する。
【００３２】
ハンダガラスの溶解を制御することがそれほど容易でないことが問題点である。幾つかの場所で、ディスプレイが効果的に密封されない影響でハンダガラスが適切に溶解しない危険性がある。レーザービームでの局所的な放射が、ハンダガラスが基板全体にわたって、ある瞬間で溶解しないことを意味するので、この危険性が増大する。ハンダガラスが溶解後に低い高さを有するので、これは、溶解処理中の様々な高さを導く。これは、密封が要求されるほどどこでもきついとは限らず、ディスプレイの有効寿命が短いようにテンションがディスプレイに導入される危険性を有する。その上、フラットディスプレイが、日差しを浴びる車内に置くことができるような、安定な必要条件をすべて満たすために、溶解温度をあまりにも低くできないことが観察される。直ちにレーザービームのパターンのように提供することが可能であるが、基板間の距離は、特に、８インチ（２０ｃｍ）以上などの大型サイズの基板の制御が容易でない。
【００３３】
第三の目的は、密封物質が硬化でき、最大５０μｍの距離で第一及び第二基板の内面を維持する巣ペーサを有することで実現される。
【００３４】
本発明のフラットパネルディスプレイは、湿気の影響を制限することが効果的であることが分かった。スペーサが最大２０μｍの距離で基板の内面を維持することが好ましい。さらに、第一基板と第二基板との間に吸湿剤が存在することが好ましい。この実施態様で、湿気の影響の制限はまた、表示要素において実現され、個別のピクセルが、例えば抵抗物質の突出構造によって分離される。そのような構造は、それらの側面では、有機エレクトロルミネセンス層が表面で位置するという結果として有する。これは、湿気の浸透が、単一の大型ピクセルを設ける表示要素と比べて、比較的容易であるという効果を有する。本発明の方法の機械的な力の均一な適用と、第一及び第二基板の内面間のわずかな距離により、それにもかかわらず、結果となるフラットパネルディスプレイは、湿気に対する良好な抵抗と優れた有効寿命を有する。
【００３５】
フラットパネルディスプレイは、分離目的のための穴で製造されてよい。そのような穴はソーイングで分離を可能にする。そのような分離は、この穴の一つの面が取り去られ、その上でディスプレイの表面に対して外界との接触として使用される相互接続をもたらすような手法で生じる。しかしながら、そのような接触は、同様に代替として提供されてよい。
【００３６】
本発明の方法、配置、フラットパネルディスプレイの前述及び他の態様は、添付図を参照してさらに明確となる。
【００３７】
添付図は、比例して描写されておらず、添付図における同じ参照番号は、同様の部分を意味する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
図１は、第一及び第二ガラス基板１、２が存在する、本発明を導く実施態様で使用されるような配置２００の相対的な実施例を示す。第一基板１と第二基板２は、それぞれ内面１１、２１及び外面１２、２２を設けられる。それら基板１、２との間に、表示要素８と密封物質７のラインが存在する。表示要素８は約２μｍの厚さを有し、密封物質７は実質的により厚い厚みを有する。この密封物質７は、当業者に周知である、例えば、プロッティング、スクリーン印刷又はスプレーなどの手法で所望のパターンにしたがって設けられる。第一基板は、湿気の溝９が存在する、深い部分を有する。そのような深い部分はまた、密封物質の如何なる余分量を含むように使用できる。この場合、表示要素８は、エレクトロルミネセンス表示要素である。要素８は、穴を注入する電極と電子を注入する電極との間に位置するエレクトロルミネセンスの有機層を有する。それらの層のための適切な物質は、エレクトロルミネセンスディスプレイの当業者にとって本来周知である。
【００３９】
配置２００は、酸化物でなく、乾燥した大気に存在する。大気圧は変化してよく、気体の圧力で機械的な力を提供する一方で、多大な圧力差を防ぐように、大気圧が高められることが好ましい。密封物質７と同様に、第一及び第二基板１、２は、同様に酸化物でなく、乾燥した大気に存在する。
【００４０】
第一基板１は第一キャリアプレート１０１上に位置づけされて固定され、すなわち、クオーツで作製される場合、密封物質を硬化するために、紫外線の放射は第一キャリアプレートにより提供できる。第二基板２は、金属で作製される第二キャリアプレート１０２に取り付けられる。第一及び第二キャリアプレート１０１、１０２のアライメントは非常に重大ではないので、第一基板１は、示されていないが、ピンを使用することによって第一キャリアプレート１０１に位置づけされる。その後、手段１２０で機械的な力を直接使用する一方で、第二キャリアプレート１０２は、第一キャリアプレート１０１に向かって移動される。機械的な力が制御できず再生できないことが分かった。局所的にあまりにも高い圧力を導く、第二キャリアプレート１０２の不均一がある。適用した圧力が高すぎる場合、密封物質７に白い領域が現われる。それらの領域は、それほどきつくない密封を導く、泡として特徴づけされる。
【００４１】
図２は、本発明の配置１００の断面図を示す。さらに、この場合、第一及び第二基板１、２は、第一キャリアプレート１０１と第二キャリアプレート１０２との間に存在する。この配置１００において、リング状の突出１０３は、第二キャリアプレート１０２に取り付けられる。第二基板２が配置１００に存在する場合、第二基板２、リング状の突出１０３及び第二キャリアプレートは穴１１０を定義する。流体は、第二キャリアプレート２のアパーチャ１０４により穴に提供できる。好ましくは、この流体は窒素又はアルゴンなどの不活性ガスである。穴１１０に流体を供給した後、密封物質７は紫外線の放射に曝される。好ましくは、この放射は第一キャリアプレート１０１の下に存在する供給源から発生する。その後、気体の圧力は取り除かれ、生じるスタックは配置１００から取り出される。次いで、個々のフラットパネルディスプレイに分離される。
【００４２】
行われた実験において、窒素が気体として使用された。気体の圧力は、０．２乃至０．４ｂａｒ間の値に設定されたが、使用される特定の配置で変化できる。その上に、機械的な力は第二基板２にわたって均一に適用された。機械的な力の均一は、密封物質７に白い領域が現われないことで証明された。
【００４３】
本実施例において、密封物質は、エポキシベースの接着剤又は高分子で、ハロゲン化されたか若しくはハロゲン化されない炭化水素などの有機接着剤であった。密封物質は、偏差が０．２μｍの平均直径１０μｍを有するスペーサを含む。これはそこに生じ、第一及び第二基板１、２の内面１１、２１間の距離は、約１２μｍであった。本発明の方法で、密封物質のパターンの幅内に、非常に制限された広がりがあることが分かった。これは圧力が均一に適用されたというサインであると考えられる。さらに、密封物質の量が非常に良好に制御できる利点を有する。したがって、密封物質の余分量が表示要素と接触するかもしれない特許文献１に言及された問題は、実質上存在しない。
【００４４】
図３は、図１及び２に示されるような配置２００及び１００の使用で得られたフラットパネルディスプレイの測定結果のヒストグラムを示す。この図において、点線の棒は相対的な配置２００の使用で得られたディスプレイにおける結果を示す。黒棒は、本発明の方法と配置１００で得られたディスプレイにおける結果を示す。固有値として、ピクセルサイズＰが使用された。ヒストグラムの左側は、製造直後のディスプレイの３つのピクセルのサイズが示される。３つの選択されたピクセルは、ディスプレイの左の領域、中心及び右の領域に存在する。ヒストグラムの右側は、極端な有効寿命試験後の同一ピクセルのサイズが示される。この試験において、ディスプレイは２１日間、８５℃の温度と８５％の湿度まで高められた。
【００４５】
示されるように、相対的な配置２００で得られたディスプレイのピクセルサイズは、有効寿命試験中に縮小する。左右の領域のピクセルは、約２０％縮小した。中間のピクセルは、５乃至１０％縮小した。反対に、本発明の方法で得られたディスプレイのピクセルは縮小しないか、又は有効寿命の試験中にほとんど縮小しない。これは、本発明の方法が従来の方法にわたって多大な利点を提供することを示す。相対的な配置２００で得られたディスプレイの左右領域のピクセルは、有効寿命試験を開始する以前にすでに縮小することがさらに観察された。
【００４６】
図４は、本発明の配置１００の全景の斜視図を示す。ここで、第一キャリアプレート１０１は、紫外線の放射のための供給源を有する箱１１５上に存在する。第一キャリアプレート１０１の表面１１２は、クオーツから作製され、透明である。第一キャリアプレート１０１上に、位置づけ手段１１１が存在する。例えば、位置づけ手段はピンである。示されない第一基板１は、表面１１２で基板の外面１２を設けることができる。
【００４７】
第二キャリアプレート１０２は、手動で開閉できるように、接続を有する第一キャリアプレート１０１に取り付けられる。しかしながら、第二キャリアプレート１０２が機械的に移動されることによる実施態様が同様に可能であることは当業者にとって明白である。リング状の突出１０３が第二キャリアプレート１０２に取り付けられる。その取り付けは、それが機械的にアンカーされる際に実現される。アパーチャ１０４は、突出１０３間に形成できる穴に流体を入れさせるように第二キャリアプレート１０２に存在する。代替として、流体の供給は、突出１０３のアパーチャとして、又は第二キャリアプレート１０２と突出１０３との間に設けられてよい。第二キャリプレート１０２の背面において、パイプがアパーチャ１０４に取り付けられて、第一及び第二キャリアプレート１０１、１０２が共に押される機械的な手段が提供される。
【００４８】
第二キャリアプレート１０２の示されている側において、取り付け手段１０８は、外面２２で示されていない第二基板２を取り付けるように存在する。取り付け手段１０８は、好ましくは、第一基板１と第二基板２とのアライニングを同時に修正させる。例えば、それらは外側の高い部分を含む。取り付け手段１０８は、突出１０３と比較して、実質的に同じ高さか、又はいくらか減少した高さを有する。これは第二基板と突出との間にスペースがないことを保証することである。第二基板と取り付け手段１０８との間の取り付けは、減圧して実現できる。例えば、減圧を提供するために第二キャリアプレート１０２にさらなるアパーチャが存在して実現できる。代替として、取り付け手段１０８は、引力の影響で、非常にフラットに作製することができる。さらに、第二基板２がクランプされる間に上部と下部を設けることができる。
【００４９】
図５は、本発明の配置１００の第二実施態様を示す。この配置１００は、多大な直径を備える表示要素が存在する間の基板１、２の薄片化のために特に適する。この実施態様において、第二キャリアプレート１０２に対して内部のリング状の突出１０５が取り付けられる。そこで、穴１００は、第二基板２、第二キャリアプレート１０２及び突出１０３、１０５との間で制限される。この手法において、気体の圧力は、基板１、２の薄片化が発生する領域、例えば、密封物質７が提供される領域で提供されるだけである。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】パネルディスプレイの製造における相対的な配置を概略する断面図である。
【図２】本発明の方法における本発明の配置の第一実施態様を概略する断面図である。
【図３】図１及び２に示されるような方法から得られるディスプレイの有効寿命を示すグラフである。
【図４】本発明の配置の全景の斜視図である。
【図５】本発明の配置の第二実施態様を概略する斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図４】
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【国際調査報告】
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