(57)【要約】物体の内部構造を決定するために、回転陽極線源（８）からのＸ線ビーム（４）が、モノクロメータ（９）及びスリット部材（１０）を介して物体（１）を通過する。結晶アナライザ（５）の許容角度の範囲内にある出射する放射線は、ＰＩＮダイオード検出器（６）へと回折され、ＰＩＮダイオード検出器（６）は、検出された放射線の強度プロファイルを結晶アナライザ（５）の角度位置の関数として記録する。Ｘ線ビーム（４）の幅全体にわたる物体（１）の複素屈折率プロファイルを得るために、得られたプロファイルが分析される。本分析方法及び装置は、吸収及び屈折の両方の情報を利用し、分析的な強度プロファイルを与えるスリット部材（１０）の寸法とともに、物体の構造の定性的情報及び定量的情報の両方を提供することができる。
2005529697.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の分析方法であって、
非平面透過性放射線を発生させるステップと、
単色透過性放射線のビームを得るために前記放射線をモノクロメータから回折させるステップと、
前記ビームを前記物体の一部に照射するステップと、
前記物体を通過する放射線をアナライザから検出器へ回折させるステップと、
前記アナライザを複数の角度位置を経て回転させるステップと、
前記検出器に入射する放射線の強度をアナライザの位置の関数として測定するステップとを含んでいることを特徴とする物体の分析方法。
【請求項２】
前記強度の測定値から分析対象となる前記物体の部分の複素散乱関数を決定するステップを含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ビームを前記物体へ入射させる前にスリットに前記放射線のビームを通過させるステップを含み、前記ビームの伝播方向に対して横方向におけるスリットの大きさＡが、
【数１】
2005529697.tif 000022
（ここで、λは入射放射線の波長であり、δθは当該方法の実施に用いられる装置の光学分解能である）となるように算出された請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記アナライザが、
【数２】
2005529697.tif 000023
（ここで、δθは当該方法の実施に用いられる装置の光学分解能である）であるαずつ徐々に増やしていく方法で回転される先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
前記アナライザから反射された前記放射線を検出するためにＰＩＮダイオード検出器を用いることを含む先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項６】
前記放射線が特有の線状線源を用いて生成される先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
前記特有の線状線源が回転陽極線源である請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記検出された強度から前記物体の被照射部分の複素散乱振幅を計算するステップを含み、前記複素散乱振幅の逆フーリエ変換をとることによって前記被照射部分の複素散乱関数を決定するステップを含む先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
前記検出された強度を正規化するステップと、
前記正規化された強度から前記複素散乱振幅の絶対値を計算するステップと、
前記複素散乱振幅の前記絶対値から前記複素散乱振幅についての位相情報を計算するステップと、
前記絶対値及び位相情報から前記複素散乱振幅を決定するステップとを含む請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記複素散乱関数から前記物体の被照射部分の複素屈折率プロファイルを決定するステップを含む請求項２、８又は９に記載の方法。
【請求項１１】
物体の分析装置であって、
非平面透過性放射線源と、
単色透過性放射線のビームを得るために前記非平面透過性放射線を回折させるためのモノクロメータと、
前記物体を通過する放射線を検出するための検出器と、
前記物体を通過する放射線を前記検出器へ回折させるためのアナライザと、
前記アナライザを複数の角度位置の間で回転させるための手段と、
前記検出器に入射する放射線の強度をアナライザの位置の関数として記録するための手段とを含んでいることを特徴とする物体の分析装置。
【請求項１２】
前記強度の測定値から分析対象となる前記物体の部分の複素散乱関数を決定するための手段を含む請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記ビームが前記物体へ入射する前に前記放射線のビームが通過するスリットを形成するスリット部材であって、前記ビームの伝播方向に対して横方向におけるスリットの大きさＡが、
【数３】
2005529697.tif 000024
（ここで、λは入射放射線の波長であり、δθは装置の光学分解能である）となるようなスリット部材を含む請求項１１又は１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記アナライザが、
【数４】
2005529697.tif 000025
（ここで、δθは装置の光学分解能である）であるαずつ徐々に増やしていく方法で回転される請求項１１、１２又は１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記検出器がＰＩＮダイオード検出器を備えた請求項１１〜１４のいずれかに記載の装置。
【請求項１６】
前記放射線源が特有の線状線源である請求項１１〜１５のいずれかに記載の装置。
【請求項１７】
前記放射線源が回転陽極線源である請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】
前記複素散乱関数を決定するための手段が、前記検出された強度から前記物体の被照射部分の複素散乱振幅を計算するための手段と、前記複素散乱振幅の逆フーリエ変換をとることによって前記被照射部分の複素散乱関数を決定するための手段とを含む請求項１２に記載の装置。
【請求項１９】
前記検出された強度を正規化するための手段と、
前記正規化された強度から前記複素散乱振幅の絶対値を計算するための手段と、
前記複素散乱振幅の前記絶対値から前記複素散乱振幅についての位相情報を計算するための手段と、
前記絶対値及び位相情報から前記複素散乱振幅を決定するための手段とを含む請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
物体の分析方法であって、
透過性放射線を発生させるステップと、
単色透過性放射線のビームを得るために前記放射線をモノクロメータから回折させるステップと、
（前記ビームの伝播方向に対して横方向における）スリットの大きさＡが、
【数５】
2005529697.tif 000026
（ここで、λは入射放射線の波長であり、δθは当該方法の実施に用いられる装置の光学分解能である）となるように算出されたスリットに前記放射線のビームを通過させるステップと、
前記ビームを前記物体の一部に照射するステップと、
前記物体を通過する放射線をアナライザから検出器へ回折させるステップと、
前記アナライザを複数の角度位置を経て回転させるステップと、
前記検出器に入射する放射線の強度をアナライザの位置の関数として測定するステップとを含んでいることを特徴とする物体の分析方法。
【請求項２１】
前記強度の測定値から分析対象となる前記物体の部分の複素散乱関数を決定するステップを含む請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記透過性放射線が非平面透過性放射線である請求項２０又は２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記アナライザが、
【数６】
2005529697.tif 000027
（ここで、δθは当該方法の実施に用いられる装置の光学分解能である）であるαずつ徐々に増やしていく方法で回転される請求項２０〜２２のいずれかに記載の方法。
【請求項２４】
前記アナライザから反射された前記放射線を検出するためにＰＩＮダイオード検出器を用いることを含む請求項２０〜２３のいずれかに記載の方法。
【請求項２５】
前記放射線が特有の線状線源を用いて生成される請求項２０〜２４のいずれかに記載の方法。
【請求項２６】
前記特有の線状線源が回転陽極線源である請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記検出された強度から前記物体の被照射部分の複素散乱振幅を計算するステップを含み、前記複素散乱振幅の逆フーリエ変換をとることによって前記被照射部分の複素散乱関数を決定するステップを含む請求項２０〜２６のいずれかに記載の方法。
【請求項２８】
前記検出された強度を正規化するステップと、
前記正規化された強度から前記複素散乱振幅の絶対値を計算するステップと、
前記複素散乱振幅の前記絶対値から前記複素散乱振幅についての位相情報を計算するステップと、
前記絶対値及び位相情報から前記複素散乱振幅を決定するステップとを含む請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記複素散乱関数から前記物体の被照射部分の複素屈折率プロファイルを決定するステップを含む請求項２１、２７又は２８に記載の方法。
【請求項３０】
物体の分析装置であって、
透過性放射線源と、
単色透過性放射線のビームを得るために前記透過性放射線を回折させるためのモノクロメータと、
前記ビームが前記物体へ入射する前に前記ビームが通過するスリットを形成するスリット部材であって、前記ビームの伝播方向に対して横方向におけるスリットの大きさＡが、
【数７】
2005529697.tif 000028
（ここで、λは入射放射線の波長であり、δθは装置の光学分解能である）となるようなスリット部材と、
前記物体を通過する放射線を検出するための検出器と、
前記物体を通過する放射線を前記検出器へ回折させるためのアナライザと、
前記アナライザを複数の角度位置の間で回転させるための手段と、
前記検出器に入射する放射線の強度をアナライザの位置の関数として記録するための手段とを含んでいることを特徴とする物体の分析装置。
【請求項３１】
前記強度の測定値から分析対象となる前記物体の部分の複素散乱関数を決定するための手段を含む請求項３０に記載の装置。
【請求項３２】
前記ビームが前記物体へ入射する前に前記放射線のビームが通過するスリットを形成するスリット部材であって、前記ビームの伝播方向に対して横方向におけるスリットの大きさＡが、
【数８】
2005529697.tif 000029
（ここで、λは入射放射線の波長であり、δθは装置の光学分解能である）となるようなスリット部材を含む請求項３０又は３１に記載の装置。
【請求項３３】
前記アナライザが、
【数９】
2005529697.tif 000030
（ここで、δθは装置の光学分解能である）であるαずつ徐々に増やしていく方法で回転される請求項３０、３１又は３２に記載の方法。
【請求項３４】
前記検出器がＰＩＮダイオード検出器を備えた請求項３０〜３３のいずれかに記載の装置。
【請求項３５】
前記放射線源が特有の線状線源である請求項３０〜３４のいずれかに記載の装置。
【請求項３６】
前記放射線源が回転陽極線源である請求項３５に記載の装置。
【請求項３７】
前記複素散乱関数を決定するための手段が、前記検出された強度から前記物体の被照射部分の複素散乱振幅を計算するための手段と、前記複素散乱振幅の逆フーリエ変換をとることによって前記被照射部分の複素散乱関数を決定するための手段とを含む請求項３１に記載の装置。
【請求項３８】
前記検出された強度を正規化するための手段と、
前記正規化された強度から前記複素散乱振幅の絶対値を計算するための手段と、
前記複素散乱振幅の前記絶対値から前記複素散乱振幅についての位相情報を計算するための手段と、
前記絶対値及び位相情報から前記複素散乱振幅を決定するための手段とを含む請求項３７に記載の装置。
【請求項３９】
物体の分析方法であって、
単色Ｘ線のビームを前記物体の一部に照射するステップと、
前記被照射部分から出射するＸ線の角スペクトルの強度プロファイルを検出するステップと、
分析対象となる前記物体の被照射部分についての複素散乱関数を決定するステップとを含んでいることを特徴とする物体の分析方法。
【請求項４０】
物体の分析方法であって、
単色Ｘ線放射線のビームを前記物体の一部に照射するステップと、
分析試料から出射するＸ線を、アナライザ手段を用いてＸ線検出器へ回折させるステップと、
非ブラッグ回折されたＸ線の強度の角スペクトルを前記アナライザ手段の角度位置の関数として得るステップとを含んでいることを特徴とする物体の分析方法。
【請求項４１】
物体の分析方法であって、
前記物体の一部から一般のＸ線回折データを集め、ビームの伝播に対して横方向における前記分析対象部分の複素屈折率を得るために前記データを分析するステップを含んでいることを特徴とする物体の分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の分析のための方法及び装置に関する。本発明は、特にＸ線分析に関し、医療分野及び非医療分野の双方において応用される。本発明は、有機物質及び無機物質、並びに結晶質及び非晶質の分析に用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査の形態でのＸ線分析は、医療分野において周知であり、画像診断のために広く用いられている技術である。
【０００３】
Ｘ線写真装置（radiographic device）は、最も簡単な形態では、患者の両側に互いに対向して配置される、Ｘ線源と、Ｘ線感光フィルムとを備えている。Ｘ線源からのＸ線は、患者の体へ向けられ、通過するものがＸ線感光フィルムに記録される。骨と軟組織が吸収する放射線の量は異なるため、より明るい領域とより暗い領域とからなる画像がＸ線感光フィルムに記録され、患者の内部構造を同定するために用いることができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この技術の問題は、有機物質のＸ線照射の吸収が一般に弱く、そのために、異なった種類の軟組織を見分けることが困難なことがあるということである。例えば、特に腫瘍の初期段階において、健康な軟組織と腫瘍とを見分けることが困難なことがある。
【０００５】
この問題を克服するために、位相結像（phase imaging）に基づくＸ線技術が最近推進されている。これらの方法は、Ｘ線吸収を用いるのではなく、異なる屈折率の試料の領域をＸ線が通過する際の当該Ｘ線の位相シフトを代わりに利用することによって、より良好な画像コントラストを提供することを企図している。位相結像技術は、Ｘ線写真技術を改善することができ、また、軟組織の鮮明度をより良好にすることができる。
【０００６】
Ｘ線写真技術及び位相結像技術の双方の問題は、露光時間を比較的短くするために、一般に入射放射線を比較的高い強度のものにしなければならないことである。従って、Ｘ線による検査対象の損傷が懸念される。このことは、画像診断において特に当てはまり、画像診断においては、放射線の吸収量などに関して厳格なプロトコルを遵守しなければならない。
【０００７】
さらなる注目すべき点は、どちらの技術においても、高い分解能（resolution）を達成することは困難で費用がかかることがあるということである。例えば、今日市販されている最も高価なＣＣＤカメラ（ＣＣＤとは電荷結合素子のことである）を用いたとしても、依然として、画像分解能とダイナミックレンジには望ましくない限界が与えられる。
【０００８】
本発明は、その種々の局面及び実施の形態において、医療分野及び非医療分野の双方で多くの利点を与えることのできる代替のＸ線分析技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の局面から見ると、本発明は、物体の分析方法であって、
非平面透過性放射線を発生させるステップと、
単色透過性放射線のビームを得るために前記放射線をモノクロメータから回折させるステップと、
前記ビームを前記物体の一部に照射するステップと、
前記物体を通過する放射線をアナライザから検出器へ回折させるステップと、
前記アナライザを複数の角度位置を経て回転させるステップと、
前記検出器に入射する放射線の強度をアナライザの位置の関数として測定するステップとを含んでいることを特徴とする物体の分析方法を提供する。
【００１０】
第２の局面から見ると、本発明は、物体の分析装置であって、
非平面透過性放射線源と、
単色透過性放射線のビームを得るために前記非平面透過性放射線を回折させるためのモノクロメータと、
前記物体を通過する放射線を検出するための検出器と、
前記物体を通過する放射線を前記検出器へ回折させるためのアナライザと、
前記アナライザを複数の角度位置の間で回転させるための手段と、
前記検出器に入射する放射線の強度をアナライザの位置の関数として記録するための手段とを含んでいることを特徴とする物体の分析装置を提供する。
【００１１】
本発明によって検出される各強度値（すなわち、アナライザの各角度位置についての強度値）は、分析試料物体を透過した放射線ビーム全体からアナライザによって検出器へ回折されるＸ線光子の強度に対応する。得られる強度プロファイルは、分析試料によるＸ線の吸収及び屈折の双方に関する情報を含み、分析された部分の形状及び構造などを単一の実験で決定することを容易にする。
【００１２】
好適には、本発明は、強度の測定値から、分析された部分の複素散乱関数を決定することを可能にする。これにより、分析対象となる物体の部分の複素屈折率を、ビームの伝播方向に対する横断面の関数として得ることができる。
【００１３】
本発明は、一般に分析対象となる物体を単に吸収に基づく方法又は単に位相に基づく方法で調べる先行技術のＸ線写真（radiographic）技術及び位相差顕微鏡（phase contrast）技術と対照をなしている。
【００１４】
本発明は、「実空間」においてではなく「逆格子空間」において情報を得て分析するものと考えることができる点で先行技術とはさらに異なる。
【００１５】
本発明は、費用のかからない方法で高い分解能で物体を分析することを容易にする。例えば、本技術において用いられる検出器は空間分解能を提供しなくてよい（空間分解能は、代わりにアナライザの回転によって提供され、最大開口の回転角（full aperture of angular rotation）によって決定され得る）ので、高価な高分解能ＣＣＤ検出器を用いる必要がない。
【００１６】
本技術は、先行技術よりも高い分解能を提供することができ、例えば、０．０５〜０．５ｎｍの範囲の分解能を提供し得る。
【００１７】
本発明はまた、分析される物体の部分から出射するＸ線光子を効率的に用いることもできる。それは、本発明が分析ビームの幅全体にわたって出射するＸ線を有効に積分し（integrate）、検出器は光の単一の光子から計数を開始し得るからである。このため、本発明は、低い強度の放射Ｘ線を用いることを容易にし、撮像技術よりも優れたデータ統計を提供し、従って、より高い分析の質を提供し得る。
【００１８】
尚、本発明は、分析試料物体から出射する非ブラッグ回折された（non-Bragg diffracted）Ｘ線を分析し、そのため、例えば、標準的な結晶学などとは異なる。
【００１９】
一般に、非ブラッグ回折された波動の分析は、このような分析からはいかなる有意義な情報をも得ることができないと考えられていたため、役に立たないと考えられていたものである。実際、非晶質などの非周期的な構造について回折効果を得るということは考えられなかった。
【００２０】
本分析装置及び方法の発明者は、結晶質の試料及び非晶質の試料の両方からの非ブラッグ回折された波動の検討から有意義な情報が得られることを見出しただけでなく、定量的な情報が得られることも見出した。
【００２１】
さらに、本発明者は、上記のことを見出しただけでなく、予想されたことに反して、（例えば、シンクロトロンの最も高価なものにおいてのみ見られる超高強度及び超低発散の放射線ビームを用いる場合とは対照的に）標準的な実験室の線源を用いる場合であってもこのような情報が得られることも見出した。
【００２２】
これにより、本発明者は、先行技術の撮像法に代わる、実施可能で高分解能の分析技術を提供することができた。
【００２３】
（最上位の、例えば、１キロメートルの長さのシンクロトロン放射線源とは対照的に）実験室の線源を用いることの特徴は、モノクロメータによって後で平行化される（その結果、ビームの強度は損なわれる）非平面透過性放射線を発生させることであり得る。本件出願における非平面透過性放射線は、モノクロメータに入射する際の発散角（angular divergence）が１０秒（seconds of arc）よりも大きい放射線であると考えられ得る。
【００２４】
好適な実施の形態において、Ｘ線源は、Ｘ線管などの特有の線状線源である。このような線源は、材料に電子を衝突させてＸ線を発生させる。材料は、銅、モリブデン、銀又はタングステンなどであり得る。
【００２５】
特に好適な実施の形態において、線源は、回転陽極線源である。このような線源は、標準的なＸ線管線源と同様であるが、衝突される材料が回転する。回転陽極線源は、強度データにおいてより高い分解能及びより良好なＳ／Ｎ比が得られるように、比較的高い強度のビームを提供することができる。
【００２６】
因みに、Ｘ線管は、典型的に、約５〜１５０ｋｅＶのエネルギー範囲で約１０6 光子／秒の強度のＸ線を発生させ、回転陽極線源は、典型的に、約５〜６０ｋｅＶのエネルギー範囲で約１０8 光子／秒の強度のＸ線を発生させる。シンクロトロン放射線は、典型的に、約１〜１００ｋｅＶのエネルギー範囲及び約１０12〜18 光子／秒の強度を有する。
【００２７】
他の実験室のＸ線源を用いることもできる。これらは、例えば、建物の室内に収めることは可能であるが、ビーム長が小さいことから発散角の小さいビームを提供するにはモノクロメータなどの光学素子をさらに必要とすることのある小型シンクロトロンなどを含み得る。
【００２８】
アナライザは、いかなる適切な形態であってもよく、例えば、一定の入射角度又は角度範囲及び所望の波長のＸ線だけが検出器の方へ回折されるように配向された結晶を備え得る。アナライザは、例えば、シリコン又はゲルマニウムからなる単結晶又は二結晶（double crystal）を備え得る。シリコンが好適であり、安定した有効なアナライザが得られる。
【００２９】
結晶アナライザが一般的に好まれるアナライザであるが、別のものも可能である。例えば、アナライザは、Ｘ線ミラーの形態であってもよい。
【００３０】
モノクロメータも、いかなる適切な形態であってもよく、結晶アナライザと同様の形態、例えば、シリコン又はゲルマニウムの単結晶又は二結晶あるいはＸ線ミラーであり得る。
【００３１】
対になったモノクロメータとアナライザは、例えば、モノクロメータから出射するビームの発散角やアナライザの許容角（angular acceptance）などから決定される一定の光学分解能をシステムに与える。光学分解能は、一般に、モノクロメータを通過した後のビームの発散角又はアナライザの許容角のいずれか大きい方となる。
【００３２】
モノクロメータとアナライザは、同じ種類であって、発散角と許容角の値が等しいのが好ましい。しかし、このことは、本発明の動作にとって必須というわけではない。
【００３３】
装置の実際の光学分解能は、装置のロッキング・カーブ、すなわち、分析試料が配置されていない場合の装置についてのアナライザの位置に対する検出された強度の強度プロファイルから得ることができる。光学分解能は、ロッキング・カーブの半値全幅（ＦＷＨＭ）によって規定され得る。
【００３４】
対になったモノクロメータとアナライザは、アナライザがＸ線を検出器へブラッグ角で回折する際に当該アナライザがそのゼロ角度位置にあるように配置され得る。
【００３５】
好ましくは、Ｘ線は、物体に入射する前にスリットを通過し、（ビームの伝播方向に対して横方向でかつ屈折率が測定される方向における）スリットの大きさＡは、以下のようになる：
【００３６】
【数１０】
2005529697.tif 000003
【００３７】
ここで、λは入射放射線の波長であり、δθは用いられる装置の光学分解能（例えば、ロッキング・カーブのＦＷＨＭなどから決定される対になったモノクロメータ／アナライザの分解能）である。
【００３８】
ここで注目すべき点は、光学分解能δθが、（最上位のシンクロトロンビームが用いられたとすればそうであるように）ビーム自体の質なのではなく、装置によって決定されることである。
【００３９】
このように上記の制約の範囲内のスリット幅を用いると、確実に、検出された強度プロファイルによって物体の屈折率を決定するための解析関数が得られ、従って、断面屈折率（cross-sectional refractive index）の定量分析が可能となる。
【００４０】
典型的なスリット幅は、例えば、５０〜約５００ミクロンの範囲であり得る。例えば、銅Ｘ線管であれば約５０〜約３００ミクロン間のスリット幅、モリブデン線源であれば約５０〜約５００ミクロン間のスリット幅、銀線源であれば約５０〜約３００ミクロン間のスリット幅を利用し得る。好ましくは、スリット幅は、５０ミクロンよりも大きく、より好ましくは、１００ミクロンよりも大きい。スリット幅は、好ましくは５００ミクロン未満であり、例えば、約２５０〜約３００ミクロンの範囲内であり得る。
【００４１】
スリットを形成するスリット部材は、タンタルからなるのが好ましく、スリットの縁部は、平らで、ビームの伝播方向に平行であるのが好ましい。これにより、Ｘ線がスリットの縁部のまわりのスリット部材を透過して、測定された強度プロファイルに望ましくない回折効果を生じさせる可能性が回避される。
【００４２】
定量的な情報を与えるだけではなく、強度プロファイルは、例えば、アナライザの角度位置に対するＬｏｇ（強度）としてプロットするだけでもよく、得られるプロットは、例えば、参照試料（reference sample）についての同様のプロットと対照して、定性的に検討され得る。
【００４３】
第２の横方向におけるスリットの大きさは、いかなる適切な値であってもよく、例えば、約０．１ｍｍから約１０ｍｍの間の値であり得る。特定の大きさは、分析対象となる試料及び（例えば、強度プロファイルがこの方向においても求められるのであれば）第２の横方向における任意の所望の空間分解能によって決めてよい。
【００４４】
好ましくは、結晶アナライザは複数の漸増段階で回転され、各段階の回転の量は以下のような範囲の角度αである：
【００４５】
【数１１】
2005529697.tif 000004
【００４６】
ここでも、δθは装置の光学分解能である。
【００４７】
この制約により、複素散乱関数の完全な決定が可能になる。これは、（実数成分と虚数成分の両方を有する）複素関数のＮ個の点を求めるためには実関数（すなわち、強度）の２Ｎ個の点を測定する必要があることを考慮に入れたものである。
【００４８】
典型的な間隔は、例えば、０．０５秒（arc.secs）又は０．０１秒であるが、他の間隔の大きさも等しく可能である。
【００４９】
検出器は、いかなる適切な形態であってもよく、上記のように、いかなる空間分解能をも提供する必要はない。好ましくは、検出器は、ＰＩＮ（P-intrinsic-N）ダイオード検出器を備える。ＰＩＮダイオード検出器は、広いダイナミックレンジにわたって線形応答を提供することができる。このことは、記録される散乱強度プロファイルが典型的に強度の大きなばらつきを有し、有用な情報が強度の高い領域と低い領域の双方に含まれるために、本技術において有利になり得る。アナライザの角度に対する強度の対数の典型的なプロファイルは、大きな中心ピークとそのピークの尾部における小さいが有意な強度のばらつきとを含む。あるいは、シンチレーション計数器などを用いてもよい。
【００５０】
好ましくは、（逆格子空間における）物体の被照射部分の複素散乱振幅が、検出された強度から計算され、複素散乱振幅の逆フーリエ変換をとることによって被照射部分の複素散乱関数が決定される。
【００５１】
本方法は、前記検出された強度を正規化するステップと、前記正規化された強度から前記複素散乱振幅の絶対値を計算するステップと、前記複素散乱振幅の前記絶対値から前記複素散乱振幅の位相情報（例えば、最小の位相）を計算するステップと、前記絶対値及び位相情報から前記複素散乱振幅を決定するステップとを含むのが好ましい。
【００５２】
検出された強度プロファイルの分析は、いかなる適切な手段によって行なってもよく、当業者に十分に理解されるように、パーソナルコンピュータなどの任意の適切な演算装置上で実行されるソフトウェアで実施してもよい。演算装置であれば、全ての分析操作を制御することができ、アナライザと検出器の制御を調整することができる。例えば、アナライザの回転と、アナライザの角度位置に対する検出された強度の記録（recordal）とを制御することができる。
【００５３】
分析試料は、当該分析試料の屈折率の有意なばらつきが対になったモノクロメータ／アナライザの回折面においてのみ期待されるように、スリットに対して配置され得る。
【００５４】
１つの好適な実施の形態においては、多くのビーム幅について物体の分析が得られるように、各プロファイルを得る間に物体がビームに対して例えば直線的に平行移動される。その後、広い断面領域にわたって物体の複素屈折率プロファイルが得られるように、物体の様々な部分の別々の分析結果が組み合わされ得る。従って、広い領域にわたって高い分解能で物体をマッピングすることができる。
【００５５】
本発明は、ビームの伝播方向に対して横方向における物体の分析対象部分についての屈折率プロファイルを提供し、得られたプロファイルも、分析試料を通ってビームが伝播する距離全体について積分された屈折率である。３次元の情報を得るためには、断層撮影技術が用いられ得る。
【００５６】
尚、上述の制約によるスリット幅の制限は、それ自体が本発明の重要な特徴であり、分析的で、それ故に分析試料の屈折率の定量分析を可能にする強度プロファイルを提供する。
【００５７】
従って、さらなる局面から見ると、本発明は、物体の分析方法であって、
透過性放射線を発生させるステップと、
単色透過性放射線のビームを得るために前記放射線をモノクロメータから回折させるステップと、
（前記ビームの伝播方向に対して横方向における）スリットの大きさＡが、
【００５８】
【数１２】
2005529697.tif 000005
【００５９】
（ここで、λは入射放射線の波長であり、δθは当該方法において用いられる装置の光学分解能である）となるように算出されたスリットに前記放射線のビームを通過させるステップと、前記ビームを前記物体の一部に照射するステップと、
前記物体を通過する放射線をアナライザから検出器へ回折させるステップと、
前記アナライザを複数の角度位置を経て回転させるステップと、
前記検出器に入射する放射線の強度をアナライザの位置の関数として測定するステップとを含んでいることを特徴とする物体の分析方法を提供する。
【００６０】
本発明は、物体の分析装置であって、
透過性放射線源と、
単色透過性放射線のビームを得るために前記透過性放射線を回折させるためのモノクロメータと、
前記ビームが前記物体へ入射する前に前記ビームが通過するスリットを形成するスリット部材であって、（前記ビームの伝播方向に対して横方向における）スリットの大きさＡが、
【００６１】
【数１３】
2005529697.tif 000006
【００６２】
（ここで、λは入射放射線の波長であり、δθは装置の光学分解能である）となるように算出されるスリット部材と、
前記物体を通過する放射線を検出するための検出器と、
前記物体を通過する放射線を前記検出器へ回折させるためのアナライザと、
前記アナライザを複数の角度位置の間で回転させるための手段と、
前記検出器に入射する放射線の強度をアナライザの位置の関数として記録するための手段とを含んでいることを特徴とする物体の分析装置を提供するものとも考えられ得る。
【００６３】
さらなる局面から見ると、本発明は、物体の分析方法であって、
単色Ｘ線のビームを前記物体の一部に照射するステップと、
前記被照射部分から出射するＸ線の角スペクトルの強度プロファイルを検出するステップと、
分析対象となる前記物体の被照射部分についての複素散乱関数を決定するステップとを含んでいることを特徴とする物体の分析方法を提供する。
【００６４】
別の局面から見ると、本発明は、物体の分析方法であって、
単色Ｘ線放射線のビームを前記物体の一部に照射するステップと、
分析試料から出射するＸ線を、アナライザ手段を用いてＸ線検出器へ回折させるステップと、
非ブラッグ回折されたＸ線の強度の角スペクトルを前記アナライザ手段の角度位置の関数として得るステップとを含んでいることを特徴とする物体の分析方法を提供する。
【００６５】
さらなる局面から見ると、本発明は、物体の分析方法であって、
前記物体の一部から一般の（generic）（非ブラッグ回折された）Ｘ線回折データを集め、ビームの伝播に対して横方向における前記分析対象部分の複素屈折率を得るために前記データを分析するステップを含んでいることを特徴とする物体の分析方法を提供する。
【００６６】
これらのさらなる局面は、本方法を応用するための装置に適用することができ、本発明の前述の局面の特徴のいずれをも含み得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６７】
次に、添付の図面を参照しながら、本発明の実施の形態を単なる例示として説明する。図面の特殊性は本発明の上記説明の一般性に取って代わるものではない。
【００６８】
図１は、本発明の第１の実施の形態によるＸ線分析装置の模式図である。
【００６９】
図２は、３つの分析された試料の散乱強度プロファイルを検出角度に対するＬｏｇ（強度）として示したものである。
【００７０】
図３は、ビームスリットに対して２つの異なる位置に置かれた場合の試料の散乱強度プロファイルを示している。
【００７１】
図４は、図３の２つのプロファイルの複素屈折率の実数成分のプロファイルを表わしている。
【００７２】
図１を参照すると、分析対象となる物体１、例えば、血管は、異なる屈折率を持つ領域、例えば、血管壁からなる外側領域２及び血液自体からなる内側領域３を有している。
【００７３】
全体的に、物体１の内部構造を分析するために、放射Ｘ線のビーム（一般に４とする）が物体１を通過し、結晶アナライザ５の許容角度の範囲内にある出射する放射線がＸ線検出器６へと回折される。Ｘ線検出器６は、この放射線の強度プロファイルを結晶アナライザ５の角度位置の関数として記録し、コンピュータで実行される適切なソフトウェアなどの適切な制御手段７が、得られた強度プロファイルを分析して（Ｘ線ビーム４の伝播方向に対して横の）ｘ軸方向におけるＸ線ビーム４の幅全体にわたる物体１の複素屈折率プロファイルを提供する。
【００７４】
さらに詳細には、図示した装置において、Ｋa ＝０．７０９ｎｍのＭｏＸ線管などのＸ線源８が、Ｘ線ビーム４ａを発生させ、それが結晶モノクロメータ９から回折されてスリット部材１０を通過し、低発散の単色Ｘ線の狭い平行化されたＸ線ビーム４ｂとなって、分析試料としての物体１に入射する。
【００７５】
結晶モノクロメータ９は、（３３３）非対称反射を与えるＳｉ結晶であり、当該Ｓｉ結晶は、（１１１）原子面が表面に対して１８．５°となるように切断されている。
【００７６】
スリット部材１０は、例えば、タンタルからなり、スリットの側部は、Ｘ線がスリット開口部のまわりのスリット部材１０の縁部を通過して望ましくない回折効果を生じさせることを防止するように、平らでかつＸ線ビーム４ｂの伝播方向に平行になっている。
【００７７】
スリットの大きさＡは、以下の関係を満たすように選択される：
【００７８】
【数１４】
2005529697.tif 000007
【００７９】
ここで、λは入射放射線の波長であり、δθは、例えば、結晶モノクロメータ９の後のＸ線ビームの発散角又は結晶アナライザ５の許容角によって決定される装置の光学分解能である。この場合、光学分解能は、分析対象となる試料が存在しないときに装置によって得られる強度プロファイルであるスリット部材１０のロッキング・カーブの半値全幅（ＦＷＨＭ）によって決定され得る。
【００８０】
Ｘ線ビーム４ｂは、分析試料としての物体１を通過する際に吸収及び散乱され、結晶アナライザ５の許容角度の範囲内にある出射するＸ線ビーム４ｃは、Ｘ線検出器６の方へと回折される。
【００８１】
結晶アナライザ５は、結晶モノクロメータ９と同じ構成であってよく、（１１１）原子面が表面に対して１８．５°となるように切断された（３３３）非対称屈折を与えるＳｉ結晶を備えていてもよい。
【００８２】
結晶アナライザ５は、物体１へのＸ線の入射点と対向するように配置され、Ｘ線ビーム４に対して複数の異なった角度で存在するように、一定の角度位置の範囲にわたって軸５ａのまわりを徐々に増やしていく方法で回転するように取り付けられる。
【００８３】
結晶アナライザ５を回転させるための手段１１は、例えば、ゴニオメータを備えていてもよく、制御手段７によって制御され得る。制御手段７はまた、Ｘ線検出器６に入射したＸ線の強度を、結晶アナライザ５のゼロ位置からの角度の関数として記録する。Ｘ線ビーム４に対する結晶アナライザ５の「ゼロ」位置は、結晶アナライザ５の結晶のブラッグ反射角に対応し、この位置において、本実施の形態の結晶アナライザ５は結晶モノクロメータ９と実質的に平行である。
【００８４】
使用時には、結晶アナライザ５は、例えば、ブラッグ反射角の−３０秒から＋３０秒の間を、例えば、０．０５秒刻みで回転する。この刻み幅は、例えば、対になった結晶モノクロメータ９と結晶アナライザ５とによって規定されるような、装置の光学分解能の半分未満とする（これは、Ｎ個の複素数値を計算するために２Ｎ個の実数値を求める必要があることを考慮したものである）。
【００８５】
各段階において、強度の測定値が記録される。これを、例えば、約１〜約１０秒間の一定の期間とし得る。あるいは、各段階における放射線の強度を、一定の光子数、例えば、光子数が１０００個になるまで測定してもよい。このような場合、最大角度位置における強度値を測定するためには、例えば、約１０〜２０秒、プロファイルのピーク近くの点における強度値を測定するためには、例えば、約０．１〜０．５秒かかり得る。得られた各強度値は、各強度値を求めるのにかかった時間を考慮するために、例えば、強度値を測定時間で割ることによって修正され得る。
【００８６】
Ｘ線検出器６は、広いダイナミックレンジにわたって線形応答を提供することができるＰＩＮダイオード検出器であり得る。このことは、Ｘ線検出器６が、実質的に吸収及び屈折されなかった放射線の大きな中心ピークと、異なる屈折率を持つ物体１の領域を通過する際のＸ線の位相シフトによって生じたプロファイルの尾部における有意な小さい摂動との両方を記録しなければならないため、本技術にとって有用である。例えば、シンチレーション計数器などの別のＸ線検出器を用いてもよい。
【００８７】
図２に、図１の装置を用いて得られる強度プロファイルの例を示す。図２は、結晶アナライザの角度に対するＬｏｇ（強度）をプロットしたものである。
【００８８】
プロファイルＡ〜Ｃは、血管の構成を大まかに模するためにそれぞれ空気、水及びバターで満たされたポリエチレン管（直径約６ｍｍ、両端で封止）のものである。空気は、空の血管を模倣するために用いられ、水及びバターは、それぞれ、きれいな血液及び有機脂肪で満ちた血管を模倣するために用いられている。
【００８９】
プロファイルＲＣは、分析試料無しの場合に対応する結晶アナライザ５のロッキング・カーブを与える。ロッキング・カーブは、ＦＷＨＭを決定することによって装置の光学分解能を計算するために用いられ得る。
【００９０】
尚、明確化のために、走査（scan）は約１ディケードずつずれている。また、分析試料としての物体１を水中に浸漬して、そうしない場合に物体１の空気との界面で生じるであろう屈折率の変化を低減してもよい。
【００９１】
このようなプロットを調べることによって分析試料としての物体１に関する定性的な情報を得ることができる。例えば、このようなプロットから血管が異常かどうかを知ることができる。
【００９２】
但し、本発明は、強度プロファイルの適切な分析から分析試料としての物体１の構造に関する定量的な情報を提供することもできる。
【００９３】
全体的に、本発明の概念は、Ｘ線ビーム４によって分析された物体１の部分の複素回折振幅を（逆格子空間において）得ることであり、これから、Ｘ線ビーム４の幅全体にわたる分析された部分の複素屈折率プロファイルを得ることである。この複素屈折率は、分析試料としての物体１の吸収及び屈折の両方の特徴についての情報を有し、そのため、物体１の分析された部分の構造についての情報を提供する。
【００９４】
分析は、上記の制約の範囲内のスリット幅（スリットの大きさＡ）を用いることによって得られる複素回折振幅の分析特性に依存する。
【００９５】
得られる屈折率プロファイルは、分析される物体１の部分のｘ軸に沿ったもの（Ｘ線ビーム４が通過する物体１の長さ全体について積分したもの）であり、物体１がｙ軸方向（図１において、この方向は用紙平面に垂直である）において均質であるか又はその屈折率の変化が緩やかであると想定している。
【００９６】
具体例として、まず、測定された強度Ｉ（θ）を以下の複素散乱ベクトルの絶対値の二乗によって正規化することにより、プロファイルを分析し得る：
【００９７】
【数１５】
2005529697.tif 000008
【００９８】
ここで、ｑ＝θ／λであり、μは物質の線減衰係数である。
正規化された強度は、
【００９９】
【数１６】
2005529697.tif 000009
となる。
【０１００】
次に、複素回折振幅Ｒ（Ｑ）の絶対値｜Ｒ（Ｑ）｜を、正規化された強度の平方根として計算する：
【０１０１】
【数１７】
2005529697.tif 000010
【０１０２】
その後、対数ヒルベルト変換を用いて、測定された強度の平方根から最小の位相を計算する。これは、ヒルベルト変換とフーリエ変換との間の関係式を用いて実行することができる（例えば、R.N.ブレイスウェル（Bracewell）、「フーリエ変換とその応用（The Fourier transform and its applications）」（マグローヒル（McGraw-Hill）、ニューヨーク、１９８６年）参照）：
【０１０３】
【数１８】
2005529697.tif 000011
ここで、Ｐは積分のコーシーの主値である。
その後、複素回折振幅の解を
【０１０４】
【数１９】
2005529697.tif 000012
として合成することができる。
次に、Ｒ（Ｑ）の逆フーリエ変換をとる：
【０１０５】
【数２０】
2005529697.tif 000013
【０１０６】
その後、積分をとることにより、ビームの幅全体にわたる分析試料の複素屈折率プロファイルを得ることができる：
【０１０７】
【数２１】
2005529697.tif 000014
【０１０８】
複素屈折率プロファイルの明確な解は、２つの異なるＸ線エネルギーについて集められた（collected）強度プロファイルを用いることによって、又は、予め得られた同様の試料についての基準プロファイルと比較される１つの強度プロファイルを用いることによって得られる。２つのプロファイルについて得られた結果は、その後、実根と演算の結果を物理的に区別するために比較することができる。
【０１０９】
１つの実験において、図１の装置を用いて直径８０ミクロンのナイロン（Ｃ6 Ｈ13ＮＯ2 、密度―０．４３３６ｇ／ｃｍ3 ）の試料を分析した。
【０１１０】
分析試料は、分析試料全体が僅かな空間とともにスリットを通して「見える」ように、スリット部材１０のスリットを塞ぐように配置した。
【０１１１】
装置の光学分解能は、δθ＝０．１２秒＝５．８７×１０-7ｒａｄであり、スリット口径は、当該スリット口径が以下の値よりも小さくなければならないという条件を満たす１１０ミクロンとなるように選択した：
【０１１２】
【数２２】
2005529697.tif 000015
【０１１３】
回折パターンにおける刻み角（angular step）、すなわち、結晶アナライザ５の刻み角は、０．０５秒、つまり、少なくとも光学分解能の２分の１未満となるように選択した。
【０１１４】
強度プロファイル（一般の光学回折パターン）Ｉ（θ）を、−１０秒から＋１０秒の結晶アナライザ５の走査角（angular scanning）（４０１の実験箇所（401 experimental points）を与える）によって分析試料から決定した。これにより、以下の総走査開口角（total angular scan aperture）が得られる：
【０１１５】
【数２３】
2005529697.tif 000016
【０１１６】
これは、以下のビーム幅全体にわたる分析試料の屈折率の再構成されたプロファイルの分解能に対応する：
【０１１７】
【数２４】
2005529697.tif 000017
【０１１８】
図３に、図１の装置を用いて得られた強度プロファイルのさらなる例を示す。それらは、部分的にＸ線ビーム４内に位置する直径１ｍｍのガラス製のストロー状シリンダからなる血管模型についてのものである（ストローの一方の縁のみがビームの範囲内にあり、他方の縁はスリット部材１０によって遮られていた）。
【０１１９】
試料を水中に浸漬し、これにより、２×５０ミクロンのカプトン（Kapton）（登録商標）窓を試料セルに設けた状態で試料セルの総厚を約１．５ｍｍとした。
【０１２０】
放射Ｘ線は、Ｍｏ  Ｋα1＝１７．５ｋｅＶであった。
【０１２１】
対になった結晶モノクロメータ／結晶アナライザとしては、非対称因子ｂ＝０．０３８である非対称切断を有する無転位シリコン単結晶を用いた。ブラッグ反射はＳｉ３３３、ダーウィン幅は０．１２秒（arc.sec）であった。
【０１２２】
スリットの大きさは、０．１ｍｍ（ｘ軸、Ａ寸法）×５ｍｍ（ｙ軸）とした。
【０１２３】
図３に示す２つのプロファイルＡ’及びＢ’は、幅１００μｍのスリットに対する分析試料の２つの位置についてのものである。プロファイルＲＣ’は、分析試料無し、すなわち、スリットが塞がれていない場合に対応する装置のロッキング・カーブである。
【０１２４】
走査Ａ’においては、分析試料はスリットを５８±２μｍだけ塞ぎ、走査Ｂ’においては、分析試料はスリットを４０±２μｍだけ塞ぐ。
【０１２５】
図４は、（入射Ｘ線の方向における厚み／密度プロファイルに比例する）分析試料の複素屈折率の実数成分の再構成されたプロファイルを示している。
【０１２６】
プロファイルの右側の降下はスリット縁部に対応し、左側の降下は分析試料の縁部に対応する。左側の降下は、２つのプロファイル間で約１５ミクロンずれており、各プロファイルの測定間における分析試料の移動に対応している。
【０１２７】
再構成（reconstruction）の空間分解能は１．５μｍであった。
【０１２８】
Ｘ線分析への本アプローチの根拠は以下の通りである。非晶質試料の場合、分析試料の複素散乱関数は以下のように表わすことができる：
【０１２９】
【数２５】
2005529697.tif 000018
【０１３０】
ここで、波長λの理想的な単色線源について、ｎは複素屈折率の関数（map）であり、ｎ（ｘ，ｙ，ｚ）＝１−∂（ｘ，ｙ，ｚ）−ｉβ（ｘ，ｙ，ｚ）、ｚは入射波の伝播方向である。
【０１３１】
実験によって測定された散乱強度（すなわち、Ｘ線検出器６において得られたもの）は、複素散乱振幅の絶対値の二乗、Ｉ＝｜Ｔ（Ｑ）｜2 であり、ここで、Ｔ（Ｑ）は複素散乱関数ｔ（ｘ）のフーリエ変換として与えられる：
【０１３２】
【数２６】
2005529697.tif 000019
【０１３３】
ここで、Ｔ（Ｑ）＝ｕ（ｑr ，ｑi ）＋ｉｖ（ｑr ，ｑi ）であり、ｑr 及びｑi は、それぞれ、複素散乱ベクトルＱ＝ｑr ＋ｉｑi の実数部及び虚数部である。
【０１３４】
実験によって観察された散乱強度プロファイルＩ（Ｑ）から複素散乱関数ｔ（ｘ）を決定するという逆問題は、変調関数と観察された強度関数との間の関係に対する理論上のアプローチに依存する。
【０１３５】
実験によって観察されたＸ線散乱プロファイルの位相φ（Ｑ）は、対数分散関係（logarithmic dispersion relation）、つまり、Ｘ線散乱の運動学的理論の下で有効であるアプローチを介して引き出すことができる：
【０１３６】
【数２７】
2005529697.tif 000020
【０１３７】
ここで、Ｑm （ｍ＝０，１，２，．．．Ｍ−１）は複素平面の上半分における｜Ｔ（Ｑ）｜のゼロ点（zeros）であり、Ｐは積分のコーシーの主値である。散乱振幅のゼロ点Ｑm の数は、未知数Ｍであり、原理的には無限の数であり得る。しかし、ＣＤＡの分析性によって、それを複素多項式関数として一意的に表現することが可能になる：
【０１３８】
【数２８】
2005529697.tif 000021
【０１３９】
このとき、ゼロ点の数は、実験によって集められたデータセットにおける点の離散的な数Ｋに限定される。
【０１４０】
Ｘ線の位相φ（Ｑ）、例えば、最小の位相変化の項、が決定されると、計算された複素散乱振幅Ｔ（Ｑ）の逆フーリエ変換を用いて、複素散乱関数ｔ（ｘ）を求め、厚み／組成（composition）プロファイルについての情報を得ることができる。
【０１４１】
全体的には、本発明は、多くの費用をかけずに高い分解能及び良好なコントラストを得ることができる試料のＸ線分析のための方法及び装置を提供することができ、分析試料の吸収及び屈折の両方の特徴に関する情報を単一の実験で提供することができる。本発明は、標準的な実験室のＸ線源から得られる非ブラッグ回折されたＸ線の角スペクトルを利用し、例えば、費用のかかる最上位のシンクロトロン線源などに限定されない。本発明は、分析装置によって与えられる光学分解能に関して決定されるスリットの制約により、得られるプロファイルの分析性を確保することができる。
【０１４２】
本発明は、有機物質及び無機物質、無生物又は生物、並びに結晶質及び非晶質に関して、健康な組織を冒さない分析技術が必要とされる状況において用いることができ、医療分野及び非医療分野において用いることができる。
【０１４３】
医療分野においては、本発明は、例えば、心臓血管、腫瘍学、泌尿器科の分野において閉塞を測定する際に用いることができる。
【０１４４】
非医療分野においては、本発明は、例えば、宇宙航空産業において用いられるような軽金属合金の特性把握などに用いることができる。本発明は、例えば、結晶質における応力及び歪みを測定するために用いることができる（本発明は、個々の原子自体を検出するのではなく、原子群（groups of atoms）の動きを分析する）。
【０１４５】
本発明は、例えば、ｙ軸及びｚ軸における分析試料についてのさらなる情報を提供することに適用され得る。例えば、さらにｙ軸方向において走査するように装置を構成することができ、また、分析物体を通る他のビーム経路を設け、断層撮影法におけるような方法で得られる情報を相関させるために、物体又は装置を回転させることができる。
【０１４６】
本明細書中に概説した本発明の趣旨から逸脱することなく、上記について種々の変更及び／又は改変をなし得る。
【０１４７】
例えば、Ｘ線管によって発生されるＸ線に関して説明したが、例えば、シンクロトン放射を含む他のいかなる適切なＸ線源をも用いることができる。また、モノクロメータとアナライザは、他のいかなる適切な形態であってもよく、例えば、二結晶からなるものでもよく、ゲルマニウム製であってもよい。Ｘ線ミラーなどの別の回折アナライザを用いることもできる。検出器も、他のいかなる適切な形態であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４８】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態によるＸ線分析装置の模式図である。
【図２】図２は、３つの分析された試料の散乱強度プロファイルを検出角度に対するＬｏｇ（強度）として示したものである。
【図３】図３は、ビームスリットに対して２つの異なる位置に置かれた場合の試料の散乱強度プロファイルを示している。
【図４】図４は、図３の２つのプロファイルの複素屈折率の実数成分のプロファイルを表わしている。
【図１】
2005529697.tif 000031
【図２】
2005529697.tif 000032
【図３】
2005529697.tif 000033
【図４】
2005529697.tif 000034
【国際調査報告】
2005529697.tif 000035
2005529697.tif 000036
2005529697.tif 000037
2005529697.tif 000038
2005529697.tif 000039