(57)【要約】【課題】ワークの跳躍を抑えること。【解決手段】リニアフィーダ３は、ワークＷが置かれる搬送面３１を有する振動部２１ｂと、振動部２１ｂを振動させることで、搬送面３１に進行波を発生させる進行波生成部２２と、ワークＷに前記搬送面３１側への力を作用させる吸引ポンプ５１と、を備える。これによって、ワークＷに搬送面３１側への力が作用するため、ワークＷが搬送面３１から浮き上がりにくくなる。したがって、ワークＷの跳躍を抑えることができる。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
進行波によってワークを搬送するワーク搬送装置であって、
ワークが置かれる搬送面を有する振動部と、
前記振動部を振動させることで、前記搬送面に進行波を発生させる進行波生成部と、
前記搬送面上のワークに前記搬送面側への力を作用させる加力部と、を備えることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記加力部は、流体の圧力差によって、前記搬送面上のワークに前記搬送面側への力を作用させることを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記振動部には、前記搬送面上に複数の開口を有する複数の連通孔が形成されており、
前記加力部は、前記複数の連通孔を通じて流体を吸引することで、前記複数の開口に吸引力を発生させる吸引部であることを特徴とする請求項２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記振動部は、多孔質材料からなる第１振動部分を有し、
前記第１振動部分に前記搬送面が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記振動部は、前記第１振動部分の表面のうち前記搬送面を除く部分の少なくとも一部を覆い、且つ、流体を通過させない材料で形成された第２振動部分を有し、
前記第２振動部分に、前記複数の連通孔の少なくとも一部と連通し、且つ、前記吸引部につながる流体通路が形成されていることを特徴とする請求項４に記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、進行波によってワークを搬送するワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、超音波領域の進行波を利用して電子部品等のワークを搬送するパーツフィーダが開示されている。詳細には、上記パーツフィーダは、振動体と、振動体の裏面に貼りつけられた複数の圧電体とを備える。その上で、圧電体に超音波領域の高周波電圧を印加することで、振動体表面の搬送面に一方向へ進行する進行波が生じ、搬送面上の各質点が楕円軌道を描くように運動し、進行波の進行方向と反対向きにワークが搬送される構成になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１２７６５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のパーツフィーダにおいては、超音波領域の進行波を利用してワークを搬送するため、ワークの加速度が大きく、ワークが跳躍して搬送が不安定になるおそれがある。特に、近年、ワークの小型化が進み、ワークの跳躍の問題は一層顕著になってきている。
【０００５】
本発明の目的は、ワークの跳躍を抑えることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明のワーク搬送装置は、進行波によってワークを搬送するワーク搬送装置であって、ワークが置かれる搬送面を有する振動部と、前記振動部を振動させることで、前記搬送面に進行波を発生させる進行波生成部と、前記搬送面上のワークに前記搬送面側への力を作用させる加力部と、を備えることを特徴とするものである。
【０００７】
本発明によれば、加力部によって、搬送面上のワークに搬送面側への力が作用するため、ワークが搬送面から浮き上がりにくくなる。したがって、ワークの跳躍を抑えることができる。
【０００８】
第２の発明のワーク搬送装置は、前記第１の発明において、前記加力部は、流体の圧力差によって、前記搬送面上のワークに前記搬送面側への力を作用させることを特徴とするものである。
【０００９】
流体の圧力差によって、搬送面上のワークに搬送面側への力が作用するため、磁力や静電力等による加力が難しいワークについても跳躍を抑えることができる。
【００１０】
第３の発明のワーク搬送装置は、前記第２の発明において、前記振動部には、前記搬送面上に複数の開口を有する複数の連通孔が形成されており、前記加力部は、前記複数の連通孔を通じて流体を吸引することで、前記複数の開口に吸引力を発生させる吸引部であることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明によれば、吸引部によって、複数の連通孔を通じて流体が吸引されることで、搬送面上の複数の開口に吸引力が発生する。このため、上方から流体を吹き付ける場合と比べて、ワークの飛散等を回避しつつ、ワークの跳躍を抑えることができる。
【００１２】
第４の発明のワーク搬送装置は、前記第３の発明において、前記振動部は、多孔質材料からなる第１振動部分を有し、前記第１振動部分に前記搬送面が形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
搬送面が、多数の微小な孔を有する多孔質材料からなる第１振動部分に形成されていると、ワークへの吸引力を、ワークが置かれる位置によらず均一化することができる。したがって、ワークを安定的に搬送することができる。
【００１４】
第５の発明のワーク搬送装置は、前記第4の発明において、前記振動部は、前記第１振動部分の表面のうち前記搬送面を除く部分の少なくとも一部を覆うように前記第１振動部分に接合された、流体を通過させない材料で形成された第２振動部分を有し、前記第２振動部分に、前記複数の連通孔の少なくとも一部と連通し、且つ、前記吸引部につながる流体通路が形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
多孔質材料からなる第１振動部分においては、搬送面以外の部分にも多数の開口が存在するため、吸引部による吸引力が、搬送面以外の部分にも分散し、搬送面上の開口に発生する吸引力が弱まるおそれがある。本発明によれば、第１振動部分の表面のうち、搬送面以外の少なくとも一部が流体を通さない第２振動部分で覆われているので、その部分に形成された開口は、第２振動部分によって塞がれる。その上で、連通孔及び流体通路を通じて流体が吸引されると、吸引部による流体の吸引力が搬送面以外の部分に分散することが抑制され、搬送面に形成された開口に発生する吸引力を強めることができる。したがって、搬送面上のワークへの吸引力を強くすることができ、ワークの跳躍を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態に係るパーツフィーダの斜視図である。
【図２】リニアフィーダの平面図である。
【図３】（ａ）は、リニアフィーダの断面斜視図であり、（ｂ）は、図２のIII（ａ）-III（ｂ）断面図である。
【図４】搬送部の前端部の斜視図である。
【図５】駆動手段を示す図である。
【図６】振動部と駆動手段との位置関係を示す模式図である。
【図７】搬送面に発生する進行波の説明図である。
【図８】空気の吸引経路を示す説明図である。
【図９】空気の流れを示す説明図である。
【図１０】変形例に係るリニアフィーダの断面図である。
【図１１】別の変形例に係るリニアフィーダの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
次に、本発明の実施の形態について、図１〜図９を参照しながら説明する。なお、説明の便宜上、図１に示す方向を前後左右上下方向とする。
【００１８】
（パーツフィーダの概略構成）
まず、本実施形態に係るパーツフィーダ１の概略構成について、図１を用いて説明する。図１は、パーツフィーダ１の斜視図である。パーツフィーダ１は、ワークＷを供給するためのボウルフィーダ２と、ボウルフィーダ２の前端部に接続されたリニアフィーダ３とを備える。ボウルフィーダ２及びリニアフィーダ３は、いずれもたわみ進行波を利用してワークＷを搬送する。本実施形態では、リニアフィーダ３に対して本発明を適用した場合について説明するが、ボウルフィーダ２に本発明を適用することも勿論可能である。
【００１９】
ボウルフィーダ２は、ワークＷが収容されるボウル本体１１等を有する。ボウル本体１１は、上部が開口した略逆円錐台状の部材である。ボウル本体１１の内周壁には、底部から螺旋状に上昇するらせんトラック１２が形成されている。ボウル本体１１は、ボウル駆動手段（不図示）によって振動させられる。ワークＷは、らせんトラック１２に沿ってリニアフィーダ３に向かって上昇する。
【００２０】
リニアフィーダ３は、ボウルフィーダ２から供給されたワークＷを前方に搬送するためのものである。リニアフィーダ３は、たわみ進行波が生成される部材である搬送部２１と、搬送部２１を超音波振動させるための進行波生成部２２等を備える。進行波生成部２２によって搬送部２１を振動させると、搬送部２１の上面に形成された搬送面３１にたわみ進行波が発生する。このたわみ進行波によって、ワークＷは搬送面３１に沿って前方に搬送され、次工程に供給される。リニアフィーダ３の詳細については、後述する。
【００２１】
（リニアフィーダの詳細構成）
次に、リニアフィーダ３の詳細構成について、図１〜図７を用いて説明する。前述したように、リニアフィーダ３は、搬送部２１と、進行波生成部２２等を有する。
【００２２】
搬送部２１について、図２〜図４を用いて説明する。図２は、リニアフィーダ３の平面図である。図３（ａ）は、リニアフィーダ３の断面斜視図である。図３（ｂ）は、リニアフィーダ３の前後方向に直交する断面図である。図４は、搬送部２１の前端部の斜視図である。
【００２３】
図２に示すように、搬送部２１は、全体として、平面視略矩形状の部材である。搬送部２１は、平面視略矩形状の第１部材２５と、第１部材２５に接合された第２部材２６とを有する二層構造になっている。また、後述するように、搬送部２１は、第１部材２５と第２部材２６とで構成される、固定部２１ａと振動部２１ｂとを有する。
【００２４】
第１部材２５は、例えば多孔質セラミックス等の多孔質材料で形成された、長手方向に直交する断面において略凹状の部材である（図３参照）。図２及び図３に示すように、第１部材２５の平面視中央部には、平面視周辺部よりも厚みが小さい略長円形状の第１固定部分２５ａが形成されている。また、第１固定部分２５ａよりも平面視外側に、第１固定部分２５ａよりも厚みが大きい第１振動部分２５ｂが形成されている。
【００２５】
第１振動部分２５ｂの上面には、ワークＷが搬送される溝である搬送トラック２７が形成されている。図２において、ハッチングされた部分が搬送トラック２７に該当する。搬送トラック２７は、メイントラック２８とリターントラック２９とに分かれている。メイントラック２８は、ワークＷを次工程の装置へ供給するためのものであり、第１部材２５の後端部から前端部に亘って延びた経路である。リターントラック２９は、一部のワークＷをボウルフィーダ２に戻すためのものであり、平面視略Ｕ字状の経路である。すなわち、リターントラック２９は、第１部材２５の後端部から、メイントラック２８と並んで前方に延び、第１固定部分２５ａの前端部に沿って回り、後方に延びて第１部材２５の後端部に戻る経路になっている。メイントラック２８は、ワークＷが置かれる搬送面３１を有する。同様に、リターントラック２９は、搬送面３２を有する。搬送面３１、３２の両方が、本発明の「搬送面」に相当する。
【００２６】
なお、リニアフィーダ３には、選別部４９が設けられている（図１参照）。選別部４９は、並設されたメイントラック２８及びリターントラック２９の上方に配置されたセンサ４９ａと、図示しないエア噴出部と、を有する。センサ４９ａは、メイントラック２８上を搬送されるワークＷの姿勢を検出するためのものである。エア噴出部は、メイントラック２８上のワークＷに横からエアを吹き付けて、ワークＷをリターントラック２９へ飛ばすためのものである。センサ４９ａによって、メイントラック２８上のワークＷの姿勢が正常と異なると検知された場合、エア噴出部がそのワークＷをリターントラック２９へ吹き飛ばす。これにより、そのワークＷはリターントラック２９上を搬送され、ボウルフィーダ２へ戻される。また、メイントラック２８を搬送されるワークＷの姿勢が正常である場合は、エア噴出部は作動しない。つまり、正常な姿勢でメイントラック２８を搬送されてくるワークＷのみが、そのまま次工程の装置へ供給される。
【００２７】
図３（ｂ）に示すように、第１部材２５は多孔質材料製の部材であるため、内部に複数の孔を有する。孔の径は、例えばφ０．１〜φ１０μｍであり、ワークＷに対して十分に小さい。なお、孔のピッチは、例えば１〜１０μｍである。上記複数の孔によって、搬送面３１、３２を含む第１部材２５の表面には、複数の開口３３が形成されている。また、搬送面３１、３２から、第１振動部分２５ｂの搬送面３１、３２以外の表面に通じる複数の連通孔３４が形成されている。また、複数の連通孔３４の一部は、後述する第２部材２６の溝３５に通じている。なお、開口３３及び連通孔３４は、説明の便宜のため可視化したものであり、実際には空気の経路が無数に、且つ、均一的に存在する。開口３３及び連通孔３４の詳細については、後述する。
【００２８】
第２部材２６は、例えば金属製の、上部が開口した略凹状の部材である。第２部材２６は、第１部材２５の底面部及び側面部を覆うように第１部材２５に接合されている。第２部材２６は、例えば接着剤によって第１部材２５に接着されている。第２部材２６のうち、第１部材２５の第１固定部分２５ａと接する部分及びその下方の部分を、第２固定部分２６ａとする。それ以外の部分を、第２振動部分２６ｂとする。第２振動部分２６ｂのうち、第１振動部分２５ｂの底部と接する部分において、溝３５が形成されている。また、図４に示すように、第２振動部分２６ｂの前方の側壁部には、貫通孔３６が形成されている。また、上記側壁部には、貫通孔３６と連通しており、且つ、後述するチューブ５２と接続される接続部３７が設けられている。貫通孔３６及び接続部３７は、第２振動部分２６ｂの後方の側壁部にも同様に設けられている。溝３５、貫通孔３６及び接続部３７の詳細については、後述する。
【００２９】
搬送部２１のうち、第１部材２５の第１固定部分２５ａと第２部材２６の第２固定部分２６ａとを合わせた部分が、前述した固定部２１ａである。また、第１部材２５の第１振動部分２５ｂと第２部材２６の第２振動部分２６ｂとを合わせた部分が、前述した振動部２１ｂである。図３（ｂ）において、一点鎖線で囲まれた部分が固定部２１ａであり、二点鎖線で囲まれた部分が振動部２１ｂである。固定部２１ａは、押さえ板３８と押さえ板３９とによって上下から挟まれ、複数の止着具４０によって固定されている。
【００３０】
進行波生成部２２について、図５及び図６を用いて説明する。図５は、後述する駆動手段２３を示す図である。図５（ａ）は駆動手段２３の平面図であり、図５（ｂ）は同じく側面図であり、図５（ｃ）は同じく裏面図である。図６は、搬送部２１の振動部２１ｂと後述する駆動手段２３との位置関係を示す模式図である。進行波生成部２２は、駆動手段２３と、信号発信器４１と、アンプ４２、４３等を有する。
【００３１】
駆動手段２３は、振動部２１ｂに沿って伸縮することで振動部２１ｂを振動させるためのものである。駆動手段２３は、振動部２１ｂのうち、搬送トラック２７の直線部分の裏面に貼り付けられている（図３参照）。駆動手段２３は、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、４つの圧電素子１６を有する。４つの圧電素子１６は、矩形の薄板状のセラミックス部１７と、セラミックス部１７を平面視したときの上面（便宜上、表面とする）に貼り付けられた４つの電極１８と、セラミックス部１７の下面（同じく、裏面とする）に貼り付けられた電極１９と、を有する。
【００３２】
セラミックス部１７は、電圧を印加されることによりたわむ圧電体セラミックス製の部材である。セラミックス部１７は、４つの圧電素子１６において共通に用いられる。セラミックス部１７には、予め定められた波長（詳細は後述する）をλとして、λ／２の間隔で、極性（＋、−）が交互に反転するように分極処理が施されている。４つの電極１８は、セラミックス部１７の分極した部分の表面に、λ／２の間隔で貼り付けられている。電極１９は、セラミックス部１７の裏面の電位をコモン電位にするためのものであり、セラミックス部の裏面と同程度の面積を有する。電極１９も、４つの圧電素子１６において共通に用いられる。これらの構成によって、４つの圧電素子１６が、λ／２の間隔で、極性を交互に反転させつつ並べられている。
【００３３】
なお、電極１９の代わりに、電極１８と同程度の面積を有する４つの電極が、セラミックス部１７を挟んで電極１８と対向するように裏面に貼り付けられているような構成でも良い。その場合、裏面に貼り付けられた４つの電極の電位は、例えばジャンパ線等で共通化される。また、上記では、１つの駆動手段２３が４つの圧電素子１６を有するものとして説明したが、圧電素子１６の数は、これに限られるものではない。
【００３４】
図６に示すように、搬送トラック２７の一方の直線部分の裏面に駆動手段２３ａが、固定部２１ａを挟んで反対側に駆動手段２３ｂが、それぞれ配置されている。駆動手段２３ａの圧電素子１６ａ及び駆動手段２３ｂの圧電素子１６ｂは、前述したように、λ／２の間隔で、極性を交互に反転させつつ並べられている。また、最も前方の圧電素子１６ａの中央部と、最も前方の圧電素子１６ｂの中央部との間には、振動部２１ｂに沿って（ｎ＋１／４）λ（ｎは０以上の整数）の隔たりがある。
【００３５】
信号発信器４１は、２０ｋＨｚ以上の超音波領域の周波数の信号を生成して駆動手段２３へ出力することで、振動部２１ｂを加振するためのものである。信号発信器４１は、所定の振幅及び周波数を有する第１の信号を駆動手段２３ａへ出力可能な構成になっている。また、信号発信器４１は、第１の信号と位相が９０°異なる第２の信号を駆動手段２３ｂへ出力可能な構成になっている。
【００３６】
信号発信器４１は、生成する信号の波形を選択する波形選択部４４と、信号の周波数（すなわち、振動部２１ｂを加振する加振周波数）を調整する加振周波数調整部４５と、信号の位相を調整する電気的位相調整部４６と、信号の振幅を調整する振幅調整部４７、４８と、を有する。波形選択部４４は、加振周波数調整部４５と電気的に接続されている。加振周波数調整部４５は、電気的位相調整部４６及び振幅調整部４７と電気的に並列に接続されている。電気的位相調整部４６は、振幅調整部４８と電気的に接続されている。
【００３７】
第１の信号は、波形選択部４４によって選択された波形と、加振周波数調整部４５によって調整された加振周波数と、振幅調整部４７によって調整された振幅とを有し、アンプ４２へ出力される。第２の信号は、波形選択部４４によって選択された波形と、加振周波数調整部４５によって調整された加振周波数と、電気的位相調整部４６によって調整された位相と、振幅調整部４８によって調整された振幅とを有し、アンプ４３へ出力される。第１の信号と第２の信号とは、位相が互いに９０°異なる。なお、第１の信号及び第２の信号は、例えば正弦波信号であるが、矩形波信号や三角波信号等でも良い。
【００３８】
アンプ４２は、第１の信号を増幅するためのものであり、信号発信器４１と駆動手段２３ａとの間に配置されている。アンプ４３は、第２の信号を増幅するためのものであり、信号発信器４１と駆動手段２３ｂとの間に配置されている。第１の信号は、アンプ４２によって増幅されて駆動手段２３ａに印加され、第２の信号は、アンプ４３によって増幅されて駆動手段２３ｂに印加される。これにより、駆動手段２３ａと駆動手段２３ｂが伸縮することで、節の位置が互いにλ／４ずれており、且つ、位相が互いに９０°異なる２つの定在波が、振動部２１ｂ全体に発生する。これらの定在波は、上下方向にのみ振動する波であり、その波長はλである。上記２つの定在波が重なり合うと、搬送面３１、３２において一方向へ進行する、波長λを有するたわみ進行波が生じ、搬送面３１、３２の各点が上下方向及び水平方向に振動する。
【００３９】
例として、搬送面３１に発生するたわみ進行波について、図７を用いて説明する。図７は、搬送面３１に発生するたわみ進行波を側面から見た図である。たわみ進行波は、図７（ａ）において実線の矢印で示す方向（後方）へ、周期Ｔで進行する。なお、本実施形態では、振動の中立軸Ｎの位置は、振動部２１ｂの上下方向の中心位置にあるものとする。
【００４０】
時刻ｔ＝０において、搬送面３１上のある質点Ｚが、最も上昇した状態であるとする（図７（ａ）参照）。その後、質点Ｚは下降するとともに前方に移動し、時刻ｔ＝Ｔ／４において最も前方に位置する（図７（ｂ）参照）。また、質点Ｚは、時刻ｔ＝２Ｔ／４においては最も下方に位置し（図７（ｃ）参照）、時刻３Ｔ／４においては最も後方にある（図７（ｄ）参照）。このように、質点Ｚは、楕円軌道１０１を描くように上下方向及び前後方向に振動する。この楕円軌道１０１において、質点Ｚが最も上方にあるとき、搬送面３１とワークＷとの間の摩擦力による水平方向の推進力が発生し、たわみ進行波の進行方向とは逆方向へワークＷが搬送される。
【００４１】
本実施形態では、ワークＷは、メイントラック２８においては前方へ搬送され、リターントラック２９においては反時計回りに搬送される（図２の二点鎖線の矢印参照）。すなわち、振動部２１ｂにおいては、平面視で時計回りにたわみ進行波が発生し、反時計回りにワークＷの推進力が発生する。
【００４２】
また、リニアフィーダ３は、吸引ポンプ５１（図８参照）を備える。吸引ポンプ５１としては、例えば一般的なダイヤフラムポンプ等を用いることができる。詳細については後述する。
【００４３】
以上のようなリニアフィーダ３においては、超音波領域のたわみ進行波を利用してワークＷを搬送するため、高速でワークＷを搬送できる。一方、ワークＷの加速度が大きく、ワークＷが跳躍して搬送が不安定になるおそれがある。そこで、本実施形態のリニアフィーダ３は、ワークＷの跳躍を抑えるため、以下のような構成を備えている。
【００４４】
（ワークの跳躍を抑制するための構成）
搬送面３１、３２上のワークＷの跳躍を抑制するための構成について説明する。リニアフィーダ３には、複数の連通孔３４を通じて空気を吸引するための、後述する吸引経路５０が形成されており、吸引ポンプ５１によって開口３３に吸引力を発生させ、ワークＷを搬送面３１、３２側に引き付けるようになっている。空気の吸引経路５０について、図３及び図８を用いて具体的に説明する。図８は、吸引経路５０を示す説明図である。図８では、搬送部２１については平面図を表し、他の構成については模式的に表している。
【００４５】
吸引経路５０は、複数の開口３３が吸引ポンプ５１までつながることで形成される。まず、図３に示すように、搬送面３１、３２の上面に形成された複数の開口３３から、複数の連通孔３４が延びている。複数の連通孔３４の一部は、前述した第２振動部分２６ｂの溝３５につながっている。溝３５は、図７に示すように、搬送面３１、３２に第２振動部分２６ｂの前後方向の側壁部まで延び、前方においては貫通孔３６ｆと、後方においては貫通孔３６ｒとそれぞれつながっている。溝３５の一部は、搬送面３１、３２が延びる方向に沿って形成されている。本実施形態では、溝３５と貫通孔３６とを合わせたものが本発明の「流体通路」に相当する。第２部材２６は、例えば金属製の部材であるため、溝３５及び貫通孔３６以外は空気を通さない。
【００４６】
また、貫通孔３６は接続部３７につながっており、接続部３７にはチューブ５２が取り付けられている。図８に示すように、前方の貫通孔３６ｆは接続部３７ｆにつながっており、接続部３７ｆにチューブ５２ｆが取り付けられている。後方の貫通孔３６ｒ、接続部３７ｒ、チューブ５２ｒについても同様の構成になっている。さらに、チューブ５２ｆと５２ｒは途中で合流し、吸引ポンプ５１と接続されている。以上のようにして、吸引経路５０が形成される。上述した連通孔３４、溝３５、貫通孔３６、チューブ５２及び吸引ポンプ５１を合わせたものが、本発明の「加力部」及び「吸引部」に相当する。
【００４７】
（ワークへの力の作用）
次に、空気の流れによるワークＷへの力の作用について、図９を用いて説明する。図９は、吸引経路５０における空気の流れを示す図である。図９では、搬送部２１については、左右方向に直交する断面図を表し、他の構成については模式的に表している。なお、開口３３及び連通孔３４については図示を省略している。
【００４８】
吸引ポンプ５１が動作すると、搬送面３１、３２の上方の空気が、開口３３、連通孔３４、溝３５、貫通孔３６、チューブ５２の順に通って吸引される。これにより、開口３３に負圧が発生することで、開口３３に搬送面３１、３２側への吸引力が発生し、ワークＷが搬送面３１、３２側へ引き付けられる。
【００４９】
以上のように、ワークＷに搬送面３１、３２側への力が作用するため、ワークＷが搬送面３１、３２から浮き上がりにくくなる。したがって、ワークＷの跳躍を抑えることができる。
【００５０】
なお、ワークＷに搬送面３１、３２側への力が作用すると、搬送面３１、３２とワークＷとの間の摩擦力が大きくなるため、ワークＷの推進力を大きくすることができ、ワークＷの搬送速度を上げることができる。
【００５１】
また、気圧差によって、ワークＷに搬送面３１、３２側への力が作用するため、磁力や静電力等による加力が難しいワークＷについても跳躍を抑えることができる。
【００５２】
また、吸引ポンプ５１によって、複数の連通孔３４を通じて空気が吸引されることで、搬送面３１、３２上の複数の開口３３に吸引力が発生する。このため、上方から空気を吹き付ける場合と比べて、ワークＷの飛散等を回避しつつ、ワークＷの跳躍を抑えることができる。
【００５３】
また、搬送面３１、３２が、多数の微小な孔を有する多孔質材料からなる第１振動部分２５ｂに形成されていると、ワークＷへの吸引力を、ワークＷが置かれる位置によらず均一化することができる。したがって、ワークＷを安定的に搬送することができる。
【００５４】
また、第１振動部分２５ｂの表面のうち、搬送面３１、３２以外の少なくとも一部が空気を通さない第２振動部分２６ｂで覆われているので、その部分に形成された開口は、第２振動部分２６ｂによって塞がれる。その上で、連通孔３４、溝３５、貫通孔３６を通じて空気が吸引されると、吸引ポンプ５１による吸引力が搬送面３１、３２以外の部分に分散することが抑制され、搬送面３１、３２に形成された開口３３に発生する吸引力を強めることができる。したがって、搬送面３１、３２上のワークＷへの吸引力を強くすることができ、ワークＷの跳躍を抑えることができる。
【００５５】
また、溝３５の少なくとも一部が、搬送面３１、３２が延びる方向に沿って形成されているため、吸引ポンプ５１からの距離が遠い位置に形成された開口３３においても、吸引力が弱まりにくい。したがって、ワークＷへの吸引力を、ワークＷが置かれる位置によらず、さらに均一化することができる。
【００５６】
次に、前記実施形態に変更を加えた変形例について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００５７】
（１）第１部材２５は、多孔質セラミックス製のものに限らず、例えば金属粉を焼結した焼結金属等の多孔質金属製のものでも良く、多数の孔が均一的に存在する材質で形成されていれば良い。
【００５８】
（２）上記実施形態では、溝３５は第２部材２６に形成されているものとしたが、第１部材２５に溝が形成されていても良い。また、溝が第１部材と第２部材にまたがっていても良い。
【００５９】
（３）上記実施形態では、貫通孔３６は、第２部材２６の前後方向の側壁部に形成されているものとしたが、例えば第２部材２６の底部などに形成されていても良い。また、貫通孔の数は２つに限られない。
【００６０】
（４）前述までの実施形態では、多孔質材料の多数の孔同士がつながることで複数の連通孔３４が形成されるものとしたが、例えば金属製部材が複数の連通孔３４を有するように加工されていても良い。このとき、第１部材２５は必ずしも第２部材２６によって覆われていなくても良く、例えば連通孔３４の吸引ポンプ側の開口が一箇所或いは数箇所に集約されており、第１部材２５と吸引ポンプ５１とが直接的に接続されているなどの構成であっても良い。
【００６１】
（５）流体の圧力差を利用する加力部として、空気の吸引以外の方法によって圧力差を生じさせるような構成であっても良い。例えば、図１０において、リニアフィーダ６１は、搬送面３１、３２の上方を覆うカバー６２と、高圧の気体を供給する気体供給部６３と、気体供給部６３と搬送面の上方の空間とをつなぐ配管６４等を備える。この場合、気体供給部６３と配管６４とを合わせたものが、本発明の加力部に相当する。上記構成により、カバー６２に覆われた空間の気圧を上げることで、ワークＷを搬送面３１、３２側へ押し付けても良い。この変形例において、搬送面部材６５は、二層構造になっていなくても良い。
【００６２】
（６）ワークＷに搬送面３１、３２側への力を作用させる加力部として、磁力又は静電力を利用する構成であっても良い。例えば、図１１において、リニアフィーダ７１は、磁気を発生させる磁気生成部７２を有する。これにより、磁性を有するワークＷを搬送面３１、３２側へ引き寄せても良い。或いは、リニアフィーダ７１が、磁気生成部７２の代わりに、電荷を集中させる電荷集中部７３を有しており、静電気によってワークＷを搬送面３１、３２側へ引き寄せても良い。これにより、磁気又は静電気によって搬送面側への力が強く作用するワークに対しては、磁力又は静電力を利用することで、ワークの跳躍を効果的に抑えることができる。この変形例においても、搬送面部材７４は、二層構造になっていなくても良い。
【００６３】
（７）前述までの実施形態では、空気、電気、磁気等の非接触方式の加力部によってワークＷに搬送面３１、３２側への力を作用させるものとしたが、これには限られない。例えば、搬送面３１、３２の上方に、ワークＷの通常搬送を妨げないように天井部を設ける等して、ワークＷが何等かの理由で浮き上がった際に天井部に接触することで、ワークＷの跳躍が抑えられるような構成にしても良い。
【００６４】
（８）搬送部２１の形状は、平面視略矩形状に限らず、例えば平面視略長円状などでも良い。
【符号の説明】
【００６５】
１                                      パーツフィーダ
２                                      ボウルフィーダ
３                                      リニアフィーダ
２１ｂ                                  振動部
２２                                    進行波生成部
２５                                    第１部材
２５ｂ                                  第１振動部分
２６                                    第２部材
２６ｂ                                  第２振動部分
３１、３２                              搬送面
３３                                    開口
３４                                    連通孔
３５                                    溝
３６                                    貫通孔
５１                                    吸引ポンプ
５２                                    チューブ
６３                                    気体供給部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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