(57)【要約】【課題】  窒化物半導体構造及び素子、及びその製造方法を提供する。【解決手段】  窒化物半導体（３４、２３４）は、成長処理中に使用されるアンモニアからシリコン基板を保護するためのアルミニウムのいくつかの単層（１４、２１４）を堆積させ、次に、窒化アルミニウムからの核生成層（１６，２１６）と、異なる組成を有し、ＧａＮ又は他のＧａ豊富な窒化物半導体の中間層（２４、２２４）を有するＡｌRＧａ(1-R)Ｎ半導体の多重超格子（１８、２６、２１８）を含むバッファ構造（３２、２３２）とを形成することにより、シリコン基板上（１０、２１０）で成長する。得られる構造は、優れた結晶品質を有する。エピタキシャル成長に使用されるシリコン基板は、高電子移動度トランジスタのような素子に優れた電気特性を与えるために、素子の完成前に除去することができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）シリコン基板と、
（ｂ）前記基板の第１の表面の上に直接重なるアルミニウムの層と、
（ｃ）前記アルミニウム層の上に直接重なる窒化物半導体の多結晶核生成層と、
（ｄ）前記核生成層の上に重なる１つ又はそれ以上の超格子を含むバッファ構造と、
を含み、
前記超格子の各々は、異なる組成の複数の窒化物ベース半導体を含み、
（ｅ）前記バッファ構造の上に重なる１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体の作動構造、
を更に含むことを特徴とする半導体構造。
【請求項２】
前記バッファ構造は、第１の超格子、該第１の超格子の上に重なる窒化物ベース半導体の中間層、及び該中間層の上に重なる第２の超格子を含むことを特徴とする請求項１に記載の構造。
【請求項３】
前記第１及び第２の超格子の各々は、０≦ｒ≦１とした時の公式ＡｌrＧａ(1-r)Ｎによる半導体から基本的に構成されることを特徴とする請求項２に記載の構造。
【請求項４】
前記第１及び第２の超格子の各々は、異なるｒの値を有する２つの半導体のみで構成されることを特徴とする請求項３に記載の構造。
【請求項５】
前記第１の超格子に含まれる半導体は、前記第２の超格子に含まれる半導体と同じであることを特徴とする請求項４に記載の構造。
【請求項６】
前記第１の超格子は、前記核生成層の上に直接重なることを特徴とする請求項３に記載の構造。
【請求項７】
前記核生成層は、窒化アルミニウムから基本的に構成されることを特徴とする請求項６に記載の構造。
【請求項８】
前記バッファ構造は、前記核生成層の上に直接重なる第１の超格子を含むことを特徴とする請求項１に記載の構造。
【請求項９】
前記核生成層は、窒化アルミニウムから基本的に構成されることを特徴とする請求項６に記載の構造。
【請求項１０】
前記作動構造は、窒化物半導体の第１の層を含み、
前記窒化物半導体の第１の層の上に重なり、それとのショットキー接触を形成する少なくとも１つの第１の金属層、
を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の構造。
【請求項１１】
前記窒化物半導体の第１の層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項１０に記載の構造。
【請求項１２】
前記窒化物半導体の第１の層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項１０に記載の構造。
【請求項１３】
前記シリコン基板の第２の表面の上に重なり、それとのオーム接触を形成する少なくとも１つの更なる金属層を更に含むことを特徴とする請求項１０に記載の構造。
【請求項１４】
前記作動構造は、前記窒化物半導体の第１の層と前記バッファ構造との間に配置された窒化物半導体の更なる層を含み、
前記窒化物半導体の更なる層は、前記窒化物半導体の第１の層よりも高いドーピング濃度を有する、
ことを特徴とする請求項１０に記載の構造。
【請求項１５】
前記窒化物半導体の更なる層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項１４に記載の構造。
【請求項１６】
前記窒化物半導体の更なる層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項１４に記載の構造。
【請求項１７】
前記窒化物半導体の第１の層は、前記バッファ構造の幅全体を覆い、
前記第１の金属層は、前記窒化物半導体の第１の層の幅全体を覆う、
ことを特徴とする請求項１０に記載の構造。
【請求項１８】
前記窒化物半導体の第１の層は、前記バッファ構造の一部分を覆い、
前記第１の金属層は、前記窒化物半導体の第１の層の幅全体を覆う、
ことを特徴とする請求項１０に記載の構造。
【請求項１９】
（ａ）シリコン基板と、
（ｂ）前記基板の表面の上に重なる窒化物半導体の多結晶核生成層と、
（ｃ）前記核生成層の上に直接重なる第１の超格子を含むバッファ構造と、
を含み、
前記第１の超格子は、異なる組成の複数の窒化物ベース半導体を含み、
（ｅ）前記バッファ構造の上に重なる１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体の作動構造、
を更に含むことを特徴とする半導体構造。
【請求項２０】
前記核生成層は、窒化アルミニウムから基本的に構成され、
前記第１の超格子は、０≦ｒ≦１とした時の公式ＡｌrＧａ(1-r)Ｎによる半導体から基本的に構成される、
ことを特徴とする請求項１９に記載の構造。
【請求項２１】
前記バッファ構造は、前記第１の超格子の上に重なる窒化物ベース半導体の中間層を含み、
第２の超格子は、前記中間層の上に重なる複数の窒化物ベース半導体を含む、
ことを特徴とする請求項１９に記載の構造。
【請求項２２】
前記第１及び第２の超格子の各々は、０≦ｒ≦１とした時の公式ＡｌrＧａ(1-r)Ｎによる半導体から基本的に構成されることを特徴とする請求項２１に記載の構造。
【請求項２３】
前記第１及び第２の超格子の各々は、異なるｒの値を有する２つの半導体のみで構成されることを特徴とする請求項２２に記載の構造。
【請求項２４】
前記第１の超格子に含まれる半導体は、前記第２の超格子に含まれる半導体と同じであることを特徴とする請求項２３に記載の構造。
【請求項２５】
前記作動構造は、窒化物半導体の第１の層を含み、
前記窒化物半導体の第１の層の上に重なり、それとのショットキー接触を形成する少なくとも１つの第１の金属層、
を更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の構造。
【請求項２６】
前記窒化物半導体の第１の層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項２５に記載の構造。
【請求項２７】
前記窒化物半導体の第１の層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項２５に記載の構造。
【請求項２８】
前記シリコン基板の別の表面の上に重なり、それとのオーム接触を形成する少なくとも１つの更なる金属層を更に含むことを特徴とする請求項２５に記載の構造。
【請求項２９】
前記作動構造は、前記窒化物半導体の第１の層と前記バッファ構造との間に配置された窒化物半導体の更なる層を含み、
前記窒化物半導体の更なる層は、前記窒化物半導体の第１の層よりも高いドーピング濃度を有する、
ことを特徴とする請求項２５に記載の構造。
【請求項３０】
前記窒化物半導体の更なる層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項２９に記載の構造。
【請求項３１】
前記窒化物半導体の更なる層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項２９に記載の構造。
【請求項３２】
前記窒化物半導体の第１の層は、前記バッファ構造の幅全体を覆い、
前記第１の金属層は、前記窒化物半導体の第１の層の幅全体を覆う、
ことを特徴とする請求項２５に記載の構造。
【請求項３３】
前記窒化物半導体の第１の層は、前記バッファ構造の一部分を覆い、
前記第１の金属層は、前記窒化物半導体の第１の層の幅全体を覆う、
ことを特徴とする請求項２５に記載の構造。
【請求項３４】
（ａ）アルミニウム保護基板を形成するために、アルミニウムを直接シリコン基板の表面上に堆積させる段階と、
（ｂ）次に、窒化物半導体の核生成層を前記アルミニウム保護基板上に堆積させる段階と、
（ｃ）次に、窒化物半導体の１つ又はそれ以上の超格子を含むバッファ構造を前記核生成層上にエピタキシャル成長させる段階と、
（ｄ）次に、１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体を含む作動構造を前記バッファ構造上にエピタキシャル成長させる段階と、
を含むことを特徴とする、半導体構造を製造する方法。
【請求項３５】
前記窒化物半導体の核生成層を堆積させる段階は、ＮＨ3を前記アルミニウム保護基板と接触する反応物質として使用する段階を含むことを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
前記核生成層を堆積させる段階は、有機金属化学蒸着を含むことを特徴とする請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記バッファ構造を成長させる段階は、窒化物半導体の第１の超格子を前記核生成層上に直接成長させる段階を含むことを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３８】
前記作動構造をエピタキシャル成長させる段階は、窒化物半導体の第１の層を成長させる段階を含み、
前記窒化物半導体の第１の層上に、それとのショットキー接触を形成するために少なくとも１つの第１の金属層を堆積させる段階、
を更に含むことを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３９】
前記窒化物半導体の第１の層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記窒化物半導体の第１の層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項３８に記載の方法。
【請求項４１】
前記シリコン基板の別の表面上に、それとのオーム接触を形成するために少なくとも１つの更なる金属層を堆積させる段階を更に含むことを特徴とする請求項３８に記載の方法。
【請求項４２】
前記作動構造をエピタキシャル成長させる段階は、窒化物半導体の更なる層を、前記窒化物半導体の第１の層を成長させる前に、該窒化物半導体の更なる層が該窒化物半導体の第１の層よりも高いドーピング濃度を有するように前記バッファ構造の上に成長させる段階を含むことを特徴とする請求項３８に記載の方法。
【請求項４３】
前記窒化物半導体の更なる層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項４２に記載の方法。
【請求項４４】
前記窒化物半導体の更なる層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項４２に記載の方法。
【請求項４５】
前記窒化物半導体の第１の層がメサ構造を形成するように、該窒化物半導体の第１の層の一部分を除去する段階を更に含むことを特徴とする請求項３８に記載の方法。
【請求項４６】
（ａ）窒化物半導体の核生成層をシリコン基板上に堆積させる段階と、
（ｂ）次に、窒化物半導体の１つ又はそれ以上の超格子を含むバッファ構造を前記核生成層上にエピタキシャル成長させる段階と、
を含み、
前記バッファ構造を成長させる段階は、窒化物半導体の第１の超格子を前記核生成層上に直接成長させる段階を含み、
（ｃ）次に、１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体を含む作動構造を前記バッファ構造上にエピタキシャル成長させる段階、
を更に含むことを特徴とする、半導体構造を製造する方法。
【請求項４７】
前記バッファ構造を成長させる段階は、窒化ガリウム半導体の中間層を前記第１の超格子の上に成長させる段階と、窒化物半導体の第２の超格子を該中間層の上に成長させる段階とを含むことを特徴とする請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
前記作動構造をエピタキシャル成長させる段階は、窒化物半導体の第１の層を成長させる段階を含み、
前記窒化物半導体の第１の層上に、それとのショットキー接触を形成するために少なくとも１つの第１の金属層を堆積させる段階、
を更に含むことを特徴とする請求項４６に記載の方法。
【請求項４９】
前記窒化物半導体の第１の層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項４８に記載の方法。
【請求項５０】
前記窒化物半導体の第１の層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項４８に記載の方法。
【請求項５１】
前記シリコン基板の別の表面上に、それとのオーム接触を形成するために少なくとも１つの更なる金属層を堆積させる段階を更に含むことを特徴とする請求項４８に記載の方法。
【請求項５２】
前記作動構造をエピタキシャル成長させる段階は、窒化物半導体の更なる層を、前記窒化物半導体の第１の層を成長させる前に、該窒化物半導体の更なる層が該窒化物半導体の第１の層よりも高いドーピング濃度を有するように前記バッファ構造の上に成長させる段階を含むことを特徴とする請求項４８に記載の方法。
【請求項５３】
前記窒化物半導体の更なる層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項５１に記載の方法。
【請求項５４】
前記窒化物半導体の更なる層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項５１に記載の方法。
【請求項５５】
前記窒化物半導体の第１の層がメサ構造を形成するように、該窒化物半導体の第１の層の一部分を除去する段階を更に含むことを特徴とする請求項４８に記載の方法。
【請求項５６】
（ａ）窒化物半導体構造をシリコン基板上にエピタキシャル成長させる段階と、
（ｂ）次に、前記窒化物半導体構造に担体を結合する段階と、
（ｃ）次に、前記シリコン基板を前記窒化物半導体構造から除去する段階と、
を含むことを特徴とする、半導体要素を製造する方法。
【請求項５７】
前記シリコン基板を除去した後に、シリコン以外のベース材料を前記窒化物半導体構造上に付加する段階を更に含むことを特徴とする請求項５６に記載の方法。
【請求項５８】
前記ベース材料を付加した後に前記担体を除去する段階を更に含むことを特徴とする請求項５７に記載の方法。
【請求項５９】
前記窒化物半導体構造に１つ又はそれ以上の素子を形成するために、前記担体を結合する段階の前に該窒化物半導体構造を処理する段階を更に含むことを特徴とする請求項５８に記載の方法。
【請求項６０】
前記担体を除去する段階の後に、前記窒化物半導体構造に１つ又はそれ以上の素子を形成するために該窒化物半導体構造を処理する段階を更に含むことを特徴とする請求項５８に記載の方法。
【請求項６１】
前記ベース材料を付加する段階は、前記担体から離れた前記窒化物半導体構造の底面上に該ベース材料のフィルムを形成するために、該ベース材料を該窒化物半導体構造上に堆積させる段階を含むことを特徴とする請求項５８に記載の方法。
【請求項６２】
前記ベース材料を堆積させる段階は、窒化アルミニウム及びダイヤモンドから成るグループから選択されたベース材料を堆積させる段階を含むことを特徴とする請求項６１に記載の方法。
【請求項６３】
窒化物半導体構造を含み、１つ又はそれ以上のエピタキシャル成長した層と該窒化物半導体構造を支持するベースとを有する半導体要素であって、
ベースは、窒化物半導体構造のエピタキシャル成長に使用された基板以外の構造であり、
前記窒化物半導体構造のエピタキシャル成長に使用された基板に含まれない、
ことを特徴とする要素。
【請求項６４】
前記ベースは、窒化物半導体及びダイヤモンドから成るグループから選択された材料で形成されることを特徴とする請求項６３に記載の半導体要素。
【請求項６５】
（ａ）アルミニウム保護基板を形成するために、厚さが約１０個の単原子層よりも小さいアルミニウムの層をシリコン基板の上面に堆積させる段階と、
（ｂ）次に、少なくとも１つの窒化物半導体を前記アルミニウム保護基板上に堆積させる段階と、
を含むことを特徴とする、シリコン基板上に半導体構造を製造する方法。
【請求項６６】
前記窒化物半導体を堆積させる段階は、１つ又はそれ以上の有機金属化合物とアンモニアとを含む雰囲気に前記アルミニウム保護基板を露出する段階を含むことを特徴とする請求項６５に記載の方法。
【請求項６７】
請求項６５に記載の方法によって製造された半導体構造。
【請求項６８】
シリコン基板と、
前記シリコン基板の表面の上に重なる窒化物半導体の少なくとも１つの層と、
前記窒化物半導体の層の上に重なり、それとのショットキー接触を形成する少なくとも１つの第１の金属層と、
前記シリコン基板の別の表面の上に重なり、それとのオーム接触を形成する少なくとも１つの更なる金属層と、
を含むことを特徴とする垂直導電ショットキーダイオード。
【請求項６９】
前記窒化物半導体の少なくとも１つの層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項６８に記載の構造。
【請求項７０】
前記窒化物半導体の少なくとも１つの層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項６８に記載のショットキーダイオード。
【請求項７１】
前記シリコン基板と前記窒化物半導体の層との間に配置されたバッファ構造を更に含むことを特徴とする請求項６８に記載のショットキーダイオード。
【請求項７２】
前記バッファ構造は、前記シリコン基板と前記窒化物半導体の層との間に配置されて異なる組成の複数の窒化物半導体を有する少なくとも１つの超格子を含むことを特徴とする請求項７１に記載のショットキーダイオード。
【請求項７３】
前記バッファ構造は、第１の超格子、該第１の超格子の上に重なる窒化物半導体の中間層、及び該中間層の上に重なる第２の超格子を含むことを特徴とする請求項７１に記載のショットキーダイオード。
【請求項７４】
前記シリコン基板を直接覆うアルミニウムの層を更に含むことを特徴とする請求項６８に記載のショットキーダイオード。
【請求項７５】
窒化物半導体を有して前記アルミニウム層を直接覆う多結晶核生成層を更に含むことを特徴とする請求項７４に記載のショットキーダイオード。
【請求項７６】
前記シリコン基板と前記窒化物半導体の第１の層との間に配置された窒化物半導体の更なる層を更に含み、
前記窒化物半導体の更なる層は、前記窒化物半導体の第１の層よりも高いドーピング濃度を有する、
ことを特徴とする請求項６８に記載のショットキーダイオード。
【請求項７７】
前記窒化物半導体の更なる層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項７６に記載のショットキーダイオード。
【請求項７８】
前記窒化物半導体の更なる層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項７６に記載のショットキーダイオード構造。
【請求項７９】
前記窒化物半導体の層は、前記シリコン基板の幅全体を覆い、
前記第１の金属層は、前記窒化物半導体の第１の層の幅全体を覆う、
ことを特徴とする請求項６８に記載のショットキーダイオード。
【請求項８０】
前記窒化物半導体の層は、前記シリコン基板の一部分を覆い、
前記第１の金属層は、前記窒化物半導体の層の幅全体を覆う、
ことを特徴とする請求項６８に記載のショットキーダイオード。
【請求項８１】
シリコン基板の表面上に窒化物半導体の少なくとも１つの層を形成する段階と、
前記窒化物半導体の層に、それとのショットキー接触を形成するために少なくとも１つの第１の金属層を堆積させる段階と、
前記シリコン基板の別の表面上に、それとのオーム接触を形成するために少なくとも１つの更なる金属層を堆積させる段階と、
を含むことを特徴とする、垂直導電ショットキーダイオードを製造する方法。
【請求項８２】
前記窒化物半導体の１つの層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項８１に記載の方法。
【請求項８３】
前記窒化物半導体の１つの層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項８１に記載の方法。
【請求項８４】
前記窒化物半導体の層を形成する前に、前記シリコン基板の前記表面上にバッファ構造を形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項８１に記載の方法。
【請求項８５】
前記バッファ構造を形成する段階は、異なる組成の複数の窒化物半導体を有する少なくとも１つの超格子を成長させる段階を含むことを特徴とする請求項８４に記載の方法。
【請求項８６】
前記バッファ構造を形成する段階は、第１の超格子を成長させる段階、該第１の超格子の上に重なる窒化物半導体の中間層を成長させる段階、及び該中間層の上に重なる第２の超格子を成長させる段階を含むことを特徴とする請求項８４に記載の方法。
【請求項８７】
前記シリコン基板上に直接アルミニウムの層を堆積させる段階を更に含むことを特徴とする請求項８１に記載の方法。
【請求項８８】
窒化物半導体を含む多結晶核生成層を前記アルミニウム層上に直接形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項８７に記載の方法。
【請求項８９】
前記窒化物半導体の第１の層を形成する前に、窒化物半導体の更なる層を形成する段階を更に含み、
前記窒化物半導体の更なる層は、前記窒化物半導体の第１の層よりも高いドーピング濃度を有する、
ことを特徴とする請求項８１に記載の方法。
【請求項９０】
前記窒化物半導体の更なる層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項８９に記載の方法。
【請求項９１】
前記窒化物半導体の更なる層は、ＧａＮを含むことを特徴とする請求項８９に記載の方法。
【請求項９２】
前記窒化ガリウムの層がメサ構造を形成するように、該窒化ガリウムの層の一部分を除去する段階を更に含むことを特徴とする請求項８１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、窒化物半導体構造及び素子、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
窒化ガリウムのような窒化物半導体及び関連半導体は、望ましい大きなバンドギャップ化合物半導体として広く考えられている。これらの材料は、発光ダイオード（ＬＥＤ）、レーザダイオード、及び光ダイオードのような光電子素子に採用されており、電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）及び電界エミッタのような非光学電子素子にも使用されてきた。光電子素子においては、材料の広いバンドギャップは、可視から紫外線範囲の光の放射又は吸収を考慮したものである。電子素子においては、窒化ガリウム及び関連材料は、高い電子移動度をもたらし、非常に高い信号周波数での作動を可能にする。
【０００３】
窒化物半導体は、一般的に基板上のエピタキシャル成長によって形成される。エピタキシャル成長工程においては、形成される半導体フィルムの成分は、結晶質基板上に堆積され、従って、堆積された半導体材料は、基板の結晶構造上にパターン化された結晶構造を有する。様々なエピタキシャル成長工程では、基板の表面に材料を供給する異なる技術が使用される。例えば、反応性スパッタリングでは、例えばガリウム、アルミニウム、又はインジウムのような半導体の金属性成分は、窒素を含む大気中で基板に近い金属スパッタリングターゲットから除去される。有機金属化学気相法（ＭＯＣＶＤ）として公知の処理では、基板は、金属の有機化合物、及び最も一般的にはアンモニアである反応性窒素含有気体を含む大気に露出されると同時に、基板は、典型的に７００〜１１００℃の昇温状態に置かれる。これらの条件の下で、化合物は分解し、金属窒化物半導体を基板上の結晶性材料の薄いフィルムとして残す。フィルムが成長した後に、基板及び成長したフィルムは、冷やされて更に処理され、完成した素子を形成する。
【０００４】
比較的少ない結晶の不具合を有する高品質の窒化物半導体フィルムを準備するためには、結晶の成長に使用される基板は、理想的には、成長する窒化物半導体と等しい格子間隔（その結晶格子内の隣接原子間の間隔）を有するべきである。基板の格子間隔が成長したフィルムのそれと実質的に異なる場合、成長したフィルムは、結晶格子内の転位のような欠陥を有することになる。また、基板は、成長する窒化物半導体と等しいか又はそれよりも大きい熱膨張係数を有するべきであり、それによって、基板及び窒化物半導体が成長後に室温まで冷やされた時、基板の収縮する程度がフィルムよりも大きく、フィルムを圧縮状態にする。基板の熱膨張係数が成長したフィルムのそれよりも実質的に小さい場合、フィルムは、基板よりも大きく収縮する傾向があることになり、フィルム及び基板が冷やされる時にフィルムを引張り状態にする。これは、フィルムの亀裂を引き起こす可能性がある。
【０００５】
窒化ガリウムベースの半導体は、最も一般的には結晶性サファイアウェーハ上で成長される。サファイア及び窒化ガリウム間の比較的大きな格子の不一致にもかかわらず、サファイア上で満足できる結果を達成することができる。炭化珪素は、格子の不一致がより小さいので、理論上は高品質窒化ガリウムの成長にはより望ましい材料である。更に、炭化珪素は、サファイアよりも熱伝導性が高く、完成素子からの熱の逸散を助ける。しかし、高品質の結晶性炭化珪素ウェーハは、現時点では非常に高価であり、直径で約１００ミリメートル（４インチ）を超える大きなサイズでは入手可能ではない。
【０００６】
高品質シリコン基板は、妥当なコストで広く利用可能である。しかし、シリコンの格子間隔は、窒化ガリウムのそれと十分に一致しない。更に、シリコンは、窒化ガリウムよりも低い熱膨張係数を有し、従って、シリコン上で成長した窒化ガリウムフィルムは、フィルム及び基板が室温まで冷やされた時に亀裂が入る傾向がある。更に、シリコン基板は、電気絶縁体として比較的劣っている。堆積された窒化物半導体が「ＦＥＴ」のようないくつかの電子素子で使用される場合、基板は、素子内の大きな電気的損失を生じて素子の性能を制限する。これらの全ての理由のために、シリコンは、窒化物半導体を成長させるための基板として広く採用されてはこなかった。
【０００７】
窒化物半導体及びシリコン間の格子の不一致及び熱膨張の不一致を補正する様々な提案が為されてきた。例えば、ニトロニクスは、国際特許公開番号ＷＯ０２／４８４３４において、シリコン基板上に形成された「段階的に組成が変わる遷移層」を使用し、窒化ガリウム材料を段階的に遷移する層の上に堆積させることを示唆している。この遷移層は、アルミニウム・インジウム・窒化ガリウム、インジウム・窒化ガリウム、又は、アルミニウム・窒化ガリウムを含有することができ、アルミニウム、インジウム、及びガリウムの比率を基板に隣接する裏面から半導体が成長する前面まで変化させる。段階的に組成が変わる層は、「超格子」、すなわち、例えば異なる量のアルミニウム、インジウム、及びガリウムとして組成が周期的に変化する結晶構造を含むことができる。
【０００８】
フェルチン他の「有機金属気相エピタキシーによりシリコン（１１１）上に成長したＧａＮの応力制御」、応用物理学レター、７９巻、２０号、３２３０〜３２３２ページ（２００１年１１月１２日）で教示された別の手法は、シリコン基板と直接接触したアルミニウムインジウムバッファ層を利用する。窒化ガリウムの層が、窒化アルミニウムバッファ層の上に堆積され、次に、窒化アルミニウム及び窒化ガリウムの交互する層を含む超格子が続き、次に、更なる窒化ガリウム層及び超格子が続き、最後に、成長する活性半導体層を構成する構造の最上部に窒化ガリウムの層が続く。フェルチン他の論文によれば、この手法は、高品質の活性層をもたらす。
【０００９】
【特許文献１】国際特許公開番号ＷＯ０２／４８４３４
【非特許文献１】フェルチン他「有機金属気相エピタキシーによりシリコン（１１１）上に成長したＧａＮの応力制御」、応用物理学レター、７９巻、２０号、３２３０〜３２３２ページ、２００１年１１月１２日
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、従来技術における上記及び他の努力にもかかわらず、シリコン基板上に高品質の窒化ガリウムベース半導体を成長させることは困難であった。更に、シリコン基板上の窒化ガリウムベース半導体から作製された「ＦＥＴ」のような素子は、シリコン基板自体によって生じる性能の問題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の１つの態様は、アルミニウムで保護された基板を準備するために少量のアルミニウムをシリコン基板上に直接堆積させる段階と、次にアルミニウムで保護された基板上に窒化物半導体の核生成層を堆積させる段階とを含む半導体構造を製造する方法を提供する。最も好ましくは、核生成層は、主にアルミニウムから成る金属含有物、最も好ましくは、実質的に純粋窒化アルミニウムを有する窒化物半導体から形成される。本発明のこの態様による方法は、好ましくは、窒化物半導体の１つ又はそれ以上の超格子を含むバッファ構造を核生成層上にエピタキシャル成長させ、次に、１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体を含む作動構造をバッファ構造上にエピタキシャル成長させる段階を更に含む。
【００１２】
本発明の更に別の態様は、窒化物半導体の核生成層をシリコン基板上に堆積させる段階と、窒化物半導体の１つ又はそれ以上の超格子を含むバッファ構造を、窒化物半導体の第１の超格子が核生成層上に介在層なしに直接成長するように、核生成層上にエピタキシャル成長させる段階とを含む半導体構造を製造する方法を提供する。ここでもまた、本方法は、１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体を含む作動構造をバッファ構造上にエピタキシャル成長させる段階を含む。最も望ましくは、バッファ構造を成長させる段階は、窒化ガリウムベース半導体の中間層をバッファ構造の第１の超格子の上に成長させる段階と、窒化物半導体の第２の超格子を中間層の上に成長させる段階とを含む。本発明による最も好ましい方法は、上述の態様の両方を組み合わせたものである。すなわち、核生成層は、ある量のアルミニウムを基板上に最初に堆積させ、次に核生成層を形成するために窒化物半導体を堆積させることによって形成され、バッファ構造は、核生成層と直接接触した第１の超格子を含む。
【００１３】
本発明の上述の態様による方法は、作動構造内に高品質の窒化ガリウムベース半導体を提供することができる。本発明は、いかなる作動理論によっても制限されるものではないが、超格子は、構造の窒化ガリウムベース半導体材料内に圧縮歪みを導入し、従って、窒化ガリウムベース半導体層の亀裂を防止すると考えられる。更に、超格子はまた、構造の下層から上方に最上部の作動構造内へ向かうスレッド転位とよばれるもののような結晶欠陥の伝播を制限する「フィルタ」の役目をすると考えられる。これらの要素は、作動構造内の窒化ガリウムベース半導体の高い結晶品質に寄与すると考えられる。更に、超格子は、窒化ガリウムベース半導体内へのシリコンの拡散を制限する傾向があると考えられる。以下で更に説明するように、これは、基板のシリコンによる作動構造内の半導体の偶然の望ましくないドーピングを防止する。また、核生成層及び第１の超格子間に窒化ガリウムの介在層を入れることなくバッファ構造の第１の超格子を核生成層上に置くことは、結晶欠陥の形成を更に抑制し、従って結晶性能を改善すると考えられる。更に、核生成層の堆積前に基板をアルミニウムで前処理することは、基板がアンモニアによってエッチングされるのを防止すると考えられる。しかし、作動機構に関係なく、本発明のこの態様による好ましい方法は、シリコン基板上に高品質の窒化物半導体フィルムを形成することができる。
本発明の関連態様は、シリコン基板と、基板の上に直接重なるアルミニウムの層と、アルミニウム層の上に直接重なる窒化物半導体の核生成層とを、核生成層の上に重なる１つ又はそれ以上の超格子を含むバッファ構造及びバッファ構造の上に重なる１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体を含む作動構造と共に組み込んだ半導体構造を提供する。
【００１４】
本発明の更に別の態様による半導体構造は、シリコン基板と、基板の上に重なる窒化物半導体の核生成層と、核生成層の上に直接重なる第１の超格子を組み込んだバッファ構造とを、バッファ構造の上に重なる１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体を含む作動構造と共に組み込むものである。ここでもまた、最も好ましい構造は、本発明の両方の態様を組み込み、従って、核生成層の上に直接重なる第１の超格子と核生成層及び基板間のアルミニウム層とを含む。最も好ましくは、バッファ構造は、第１の超格子と、窒化ガリウムベース半導体の中間層、最も好ましくは第１の超格子の上に重なる純粋窒化ガリウムと、中間層の上に重なる第２の超格子とを含む。超格子は、望ましくは、Ｒを包含的に０から１までとした公式ＡｌRＧａ(1-R)Ｎに従って半導体化合物の多重層で形成される。好ましくは、各超格子は、２つの異なるこのような化合物、すなわち、異なるＲの値を有する２つの化合物から形成される。
【００１５】
本発明の更に別の態様は、窒化物半導体構造をシリコン基板上にエピタキシャル成長させる段階と、次にキャリアを窒化物半導体構造に結合させる段階と、次に窒化物半導体構造からシリコン基板を除去する段階とを含む半導体要素を製造する方法を提供する。最も好ましくは、本発明のこの態様による方法は、シリコン基板を除去した後にシリコン以外のベース材料を付加する段階と、次に窒化物半導体構造をベース材料上に残すためにキャリアを除去する段階とを更に含む。本発明のこの態様による方法は、エピタキシャル成長中に基板として使用するシリコンウェーハなしで完成構造を提供する。ベース材料は、窒化物半導体構造に都合よく加えることができる本質的に高品質の絶縁体とすることができる。単に一例として、ベース材料は、基板を除去した後の窒化物半導体構造の露出表面上に堆積される窒化アルミニウム又はダイヤモンドのような炭素を含むことができる。本発明の関連態様は、１つ又はそれ以上のエピタキシャル成長した層を有する窒化物半導体構造と、窒化物半導体構造のエピタキシャル成長に使用される基板以外の構造であって窒化物半導体構造を支持するベースとを含む半導体要素を提供する。最も好ましくは、本発明のこの態様による要素は、窒化物半導体構造のエピタキシャル成長に使用される基板を含まない。
本発明のこれらの態様は、シリコン基板に付随する電気的性能の限界は、成長後に基板を除去し、一般的にエピタキシャル成長には適さないと思われる異なるベース材料で置換することにより容易に解決することができるという認識を導入したものである。
【００１６】
本発明の別の態様によれば、垂直導電ショットキーダイオードは、シリコン基板を含む。窒化物半導体の少なくとも１つの層が、シリコン基板の表面の上に重なる。少なくとも１つの第１の金属層が、窒化物半導体の層の上に重なり、それとのショットキー接触を形成する。少なくとも１つの更に別の金属層は、シリコン基板の別の表面の上に重なり、それとのオーム接触を形成する。
窒化物半導体の層は、ＧａＮ又は別の窒化ガリウムベース半導体を含むことができる。シリコン基板と窒化物半導体の第１の層との間に、窒化物半導体の更なる層を配置することができ、窒化物半導体のこの更なる層は、窒化物半導体の第１の層よりも高いドーピング濃度を有することができる。この更なる層は、ＧａＮ又は別の窒化ガリウムベース半導体を含むこともできる。窒化物半導体の第１の層及び第１の金属層は、窒化物半導体の層の幅全体に亘って覆うことができる。代替的に、窒化物半導体の第１の層及び第１の金属層は、シリコン基板の一部分を覆う。
【００１７】
垂直導電ショットキーダイオードは、本発明の更に別の態様に従って製造される。窒化物半導体の少なくとも１つの層が、シリコン基板の表面上に形成される。少なくとも１つの第１の金属層が窒化物半導体の層に堆積され、それとのショットキー接触を形成する。少なくとも１つの更に別の層がシリコン基板の別の表面上に堆積され、それとのオーム接触を形成する。
窒化物半導体の層は、ＧａＮ又は別の窒化ガリウムベース半導体を含むことができる。窒化物半導体の更なる層は、窒化物半導体の第１の層の形成前に形成してもよく、窒化物半導体の第１の層よりも高いドーピング濃度を有する。この更なる層は、ＧａＮ又は別の窒化ガリウムベース半導体を含むこともできる。窒化物半導体の第１の層に一部分は、窒化物半導体の層がメサ構造を形成するように除去することができる。
本発明の上記及び他の目的、特徴、及び利点は、添付図面と共に以下に示す好ましい実施形態の詳細説明から容易に更に明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の開示で使用される場合、「ＩＩＩ−Ｖ族半導体」という用語は、化学量論的公式ＡｌaＩｎbＧａcＮdＡｓeＰfによる複合半導体材料を意味し、ここで、（ａ＋ｂ＋ｃ）は約１であり、（ｄ＋ｅ＋ｆ）も約１である。「窒化物半導体」又は「窒化物ベース半導体」という用語は、ｄを０．５又はそれ以上、最も一般的には約０．８又はそれ以上とした時のＩＩＩ−Ｖ族半導体を意味する。最も好ましくは、半導体材料は、純粋窒化物半導体、すなわち、ｄが約１．０の窒化物半導体である。本明細書で使用される時の「窒化ガリウムベース半導体」という用語は、ガリウムを含む、最も好ましくは、ガリウムを主要存在金属として、すなわち、ｃ≧０．５及び最も好ましくはｃ≧０．８を有して含む窒化物半導体を意味する。半導体は、ｐ型又はｎ型伝導性を有することができ、これは、従来のドーパントによって付与することができ、又は、特定の半導体材料に固有の伝導性の型からもたらされてもよい。例えば、欠陥を有する窒化ガリウムベース半導体は、一般的に、ドーピングされない場合でさえも本質的にｎ型である。Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓ、及びＯのような従来の電子供与体ドーパントを使用して、窒化物半導体にｎ型伝導性を付与することができ、一方、ｐ型窒化物半導体は、Ｍｇ及びＺｎのような従来の電子受容体ドーパントを含むことができる。
【００１９】
本発明の一実施形態による処理は、ドープされたシリコン基板１０から始まる。シリコン基板は、最も好ましくは、磨かれた平坦な上面１２を有する実質的に単結晶のシリコンウェーハである。上面は、望ましくは、シリコンの（１，１，１）結晶平面である。処理の第１の段階では、ウェーハは、従来の化学蒸着装置において約６００〜９００℃の温度にされ、有機アルミニウム化合物、最も好ましくは、蒸気形態のトリメチルアルミニウム（ＴＭＡ）のような低アルキル基アルミニウム化合物に数秒間露出される。アルミニウム化合物は、分解してウェーハの上面１２に薄いアルミニウム層１４を堆積する。図１は、縮尺通りではない。アルミニウム層１４の厚さは、説明を明確にするために非常に誇張されている。実際には、アルミニウム層は、アルミニウム原子の単層を約１〜１０個含むのみであり、約１００Å、より好ましくは、約５０Åよりも小さい厚さを有する。また、アルミニウム層は、説明を明確にするために個別の分離した層として描かれているが、基板１０からアルミニウム層１４内へ幾らかのシリコンの拡散、及び、以下に説明する上に重なる層からアルミニウム層内への幾らかの窒素の拡散もあると考えられる。すなわち、完成物品においては、アルミニウム層は、ウェーハ１０の上面での薄いアルミニウムの豊富な帯域の形態を取ることになると考えられる。アルミニウム層は、その後の処理段階においてアンモニアに露出される間、シリコン基板をエッチングから保護する役目をすると考えられ、従って、アルミニウム層を有する基板は、本明細書では「アルミニウム保護」シリコン基板と呼ぶ。
【００２０】
アルミニウム層の堆積に続いて、アルミニウム保護基板は、最も好ましくはＡｌＮである窒化物半導体の薄い層１６を堆積させるために、最も好ましくは有機アルミニウム化合物である有機金属化合物とアンモニアとの混合物及び同伴ガスに露出される。ＡｌＮは、６００〜９００℃程度の基板温度で堆積され、すなわち、基板上の多くの部位における窒化物半導体の核生成からもたらされる実質的に多結晶の形態でＡｌＮのような窒化物半導体の堆積を促進するのに十分なほど低い温度で堆積される。核生成層１６は、望ましくは、厚さ約２０〜５０ナノメートルであり、ここでもまた、その厚さは、説明を明確にするために図１では非常に誇張されている。
【００２１】
核生成層１６の堆積に続いて、第１の超格子１８が、核生成層の上部に直接堆積される。本発明の開示に使用される場合、成長する半導体構造の「上」面は、構造を形成するのに使用する基板から最も離れた表面、すなわち、図１で上方に向いている表面として理解すべきである。また、１つの構造が他の構造「上に直接」堆積されるという表現は、１つの構造が他の構造の上面に介在層なしで直接当接するという意味であるとして理解すべきである。反対に、１つの構造が他の構造の「上に」あるという表現は、１つの構造が他の構造よりも基板から離れているが、介在層の存在を除外しないという意味であるとして理解すべきである。
【００２２】
第１の超格子は、異なる組成を有する窒化物半導体の複数の層２０及び２２を含む。超格子においては、層の厚さは、１０ナノメートル又はそれ以下、典型的には、５ナノメートル又はそれ以下、及び最も一般的には、３ナノメートル又はそれ以下の程度であり、従って、全体的な構造は、一組の離散的な個々の層というよりもむしろ複合結晶格子の性質を有する。好ましくは、層２０及び２２の各々は、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、及び窒化アルミニウムガリウムから成るグループ、すなわち、各層がＲの等しくない値を有する化学量論的公式ＡｌRＧａ(1-R)Ｎによって形成された半導体のグループから選択された純粋窒化物半導体から形成される。すなわち、層２０は、公式ＡｌXＧａ(1-X)Ｎを有し、一方、層２２は、公式ＡｌYＧａ(1-Y)Ｎを有し、ここで、Ｘ≠Ｙである。超格子１８は、全体として、望ましくは、層２０及び２２の約５〜１５個の繰返し、最も好ましくは、約１０個の繰返しを含む。例えば、層２０は、純粋ＡｌＮとすることができ、一方、層２２は、Ａｌ0.5Ｇａ0.5Ｎとすることができる。純粋ＡｌＮ層は、基板を上述の有機アルミニウム化合物アンモニア及び同伴ガスに露出することによって堆積され、一方、ＡｌＧａＮ層は、有機ガリウム化合物、望ましくはトリメチルガリウムのような低アルキル基有機ガリウム化合物もまた組み込んだ類似のガス混合物に基板を露出することにより堆積される。窒化アルミニウムガリウム層２２及び窒化アルミニウム層２０の厚さは、望ましくは、超格子１８の厚さに亘って実質的に一定である。しかし、これは、絶対必要なことではない。層の組成及び厚さは、超格子内の段階的組成を形成するために超格子内で変化させることができ、すなわち、それによって超格子内のガリウム及びアルミニウムの全体的割合は、基板１０から離れる上向き方向に変化する。また、超格子の個々の層は、その金属成分中に幾らかのインジウムを含むことができる。
第１の超格子１８の堆積に続いて、有機ガリウム化合物、アンモニア、及び同伴ガスの混合物に基板を約９５０から約１１００℃の温度で露出することにより、窒化ガリウムベース半導体、最も好ましくはＧａＮの薄い中間層２４が堆積される。層２４の厚さは、最も好ましくは、約２００から約４００ナノメートルである。
【００２３】
第２の超格子２６は、中間層２４の上に、望ましくは、中間層上に直接形成される。第２の超格子は、第１の超格子１８とほぼ類似であり、ＡｌＮ２８のようなアルミニウムの豊富な窒化物半導体とＡｌ0.5Ｇａ0.5Ｎのようなガリウムの豊富な窒化物半導体との交互する層を組み込んでいる。更に一般的には、層２８は、化学量論的公式ＡｌPＧａ(1-P)Ｎを有し、層３０は、化学量論的公式ＡｌQＧａ(1-Q)Ｎを有し、ここで、Ｐ≠Ｑである。第２の超格子の厚さ及び層の組成は、第１の超格子の厚さ及び層の組成と同じでも異なってもよい。第２の超格子２６の周期は、第１の超格子のそれよりも小さいとすることができる。第２の超格子は、層２８及び３０の５〜１０個の繰返しから成る超格子とすることができる。
【００２４】
第１の超格子１８、中間層２４、及び第２の超格子２６は、協働してバッファ構造３２を構成する。バッファ構造の堆積の後に、バッファ構造の上に、最も好ましくは、バッファ構造内の第２の超格子の上面に直接、作動構造３４が堆積される。作動構造３４は、１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体を含み、他の半導体も同様に含んでもよい。その最も簡単な形態において、作動構造３４は、純粋ＧａＮのような窒化ガリウムベース半導体の単一の比較的厚い層を含むことができる。より複雑な形態においては、作動構造は、例えば、発光ダイオード及びレーザダイオードなどのような光電子素子、又は、電界効果トランジスタ及びショットキーダイオードのような電子素子などの従来の素子を製造するのに使用されるような異なる組成及び／又はドーピングを有する複数の層を含むことができる。作動構造内の窒化ガリウムベース半導体は、「ＭＯＣＶＤ」技術を使用して従来の成長温度で堆積させることができる。得られる半導体構造は、核生成層１６と、バッファ構造３２と、作動構造３４とを組み込んだ窒化物構造３６を組み込むものである。この窒化物構造は、基板１０から離れた上面３８、及び基板１０に隣接する底面４０を有する。
【００２５】
作動構造内の窒化ガリウムベース半導体は、優れた結晶品質を有する。堆積後に、この構造は、作動構造内の窒化ガリウムベース半導体の目立つ亀裂なしに室温まで冷却し、その後、反応器から取り除くことができる。本発明はいかなる作動理論にも制限されるものではないが、作動構造内及び中間層２４内の超格子によって生じた圧縮応力の結合は、欠陥の形成の抑制に役立ち、更に、第１の超格子を構造内の最も低い窒化ガリウム層の下（中間層２４の下）に配置することは、結晶欠陥の形成を更に制限する働きをすると考えられる。また、アルミニウム層１４は、窒化物半導体を堆積させるのに使用されるアンモニアによってシリコン基板がエッチングされるのを防ぐように働き、従って、結晶内の欠陥の形成を更に制限する役目をすると考えられる。また、超格子により、従って、作動構造３４に対する全体的なバッファ構造により加えられる圧縮応力は、基板及び窒化物構造が室温に冷やされる時に亀裂を防ぐ役目をすると考えられる。
高品質化学蒸着に使用される従来の技術が次に行われるべきである。任意選択的に、例えば、アルミニウム層１４とバッファ層１６の堆積の間のような異なる組成を有する各層の堆積の間、及び、各超格子の堆積の前及び後の両方に、チャンバは、先行する層からの金属を水素又は窒素の同伴ガスとアンモニアとの混合物で長期間洗浄することにより取り除くことができる。
【００２６】
図１に示す構造の品質は、図２のノマルスキー画像によって証明される。（ａ）で印された画像は、窒化ガリウムを窒化アルミニウム核生成層上に直接形成した、本発明によらない構造のノマルスキー画像であり、一方、図２の（ｂ）で印された構造は、核生成層と窒化ガリウム層との間に図１に関して説明したバッファ構造を有する類似の構造を示す。構造（ａ）は、表面の亀裂による結晶欠陥を表す多くの線を示し、一方、構造（ｂ）は、実質的にそのような欠陥がない。
【００２７】
図１に関して上述の処理から得られる構造は、従来技術を用いて更に処理し、例えば、窒化物構造３６及びシリコン基板１０を再分割して、各々が窒化物構造の一部分と基板１０の対応する部分とを組み込んだ個々のユニットを形成し、得られたユニットに接点を付加してそれをパッケージ化するなどによって個々の素子を形成することができる。
しかし、より好ましくは、基板１０は除去される。本発明の更に別の実施形態（図３）による処理では、シリコン基板１０と図１及び２に関して上述の窒化物構造と同じか又は異なっていてもよい窒化物構造３６とを組み込んだ半導体構造は、一時的な担体４２と係合し、それによって窒化物構造の上面３８は、担体を支持し、窒化物構造の上面はまた、好ましくは上部窒化物層及び担体間の接着を促進する誘電性「接着剤」を用いることにより担体に結合される。この誘電体は、例えば、ベンゾシクロブタン（ＢＣＢ）、メチルシルセスキオキサン（ＭＳＳＱ）、又は、「Ｆｌａｒｅ（登録商標）」、「ＳｉＬＫ（登録商標）」、「Ｐａｒｙｌｅｎｅ−Ｎ」、及び「ＰＥＴＩ  ５」という商品名の下で販売されているもののような材料とすることができる。窒化物構造、担体、又はその両方の表面は、接着剤でコーティングされ、次に、それらの表面は、４００℃よりも低い比較的低い温度の下で接触した状態にされる。その後の処理段階が１００℃を超えて行われる必要がない場合、「ＨＭＤＳ」又はフォトレジストのような他のポリマーを使用することができる。更に、アセトンのような溶剤がその後の処理段階にない場合、ワックス又は「Ｃｒｙｓｔａｌｂｏｎｄ（登録商標）」のような可溶性接着剤を使用することもできる。
【００２８】
担体４２は、サファイア要素として図３に示すが、担体は、その後の処理に使用される他の試薬に対して不活性であって、かつその処理に使用される温度に耐えることができる他の材料から形成することができる。最も好ましくは、担体はまた、窒化物構造に近い熱膨張係数を有し、窒化物構造を汚染することもない。すなわち、担体には、窒化物構造内に拡散する傾向がある材料が実質的にないことが望ましい。
【００２９】
担体結合段階に続いて、基板１０は、好ましくは、例えば、シリコン基板を攻撃するが窒化物構造を目立っては攻撃しない７０℃の２０重量％ＫＯＨ水溶液である水酸化カリウム溶液のようなエッチング液を使用して窒化物構造３４からエッチングで取り除くなどによって除去される。この処理では、窒化物構造は、「エッチストップ」として作用し、エッチングは、この窒化物構造に達するまで続く。追加のエッチストップを窒化物構造又はそれに隣接して設けてもよい。例えば、ＳｉＯ2の層は、ＫＯＨによるエッチングを止めるのに有効である。基板の除去に続いて、窒化物構造の底面４０が露出される。ベース４４は、底面上へのベース材料の化学蒸着又はスパッタリングなどによって底面４０上に付加される。ベース材料は、望ましくは、窒化アルミニウム又はダイヤモンド状炭素材料のような良好な電気絶縁性を有する材料である。ベース材料４４はまた、望ましくは、比較的高い熱伝導性を有する。ベース材料４４は、窒化物構造及びベース材料間に実質的に結晶格子の不一致が存在しても、窒化物構造の露出した底面上に成長させることができる。ベース材料は、多結晶又は欠陥を有するベース材料が望ましい絶縁性を保持するという条件で、単結晶で欠陥のない構造として形成される必要はない。単に一例として、窒化アルミニウム又は炭素は、化学蒸着によって堆積させることができる。
【００３０】
ベース４４の堆積に続いて、テープ又は他の一時的ハンドリング要素がベース４４の露出表面上に付加され、担体４２が除去されて、ベース４４上にベースにより、又は、テープ又は他の一時的ハンドリング要素４６により物理的に支持された窒化物構造３６を残し、窒化物構造をその底面４０がベース４４と向き合った状態に残す。得られる構造は、窒化物構造のエピタキシャル成長中に使用したシリコン基板がない。得られる構造には、１つ又はそれ以上の使用可能な素子を形成するために、再分割、接点の付加、及びパッケージへの取り付けのような従来の半導体処理技術を使用することができる。更に別の変形においては、ベース材料堆積段階を省略することができる。
【００３１】
本発明の更に別の実施形態（図４）による処理では、シリコン成長基板１１０上の窒化物構造は、シリコン成長基板１１０上に各々が窒化ガリウム構造を組み込む複数の半完成窒化ガリウム素子１３６を形成するために、例えば、接点の付加、再分割、及びエッチングのような成長後の処理が行われる。半完成素子は、窒化ガリウム構造の上面の上に重なる一時的担体１４２の付加、及びこれらの構造の底面１４０を露出させるための基板の除去を含む、図３に関して上述したものに類似の処理段階を受ける。基板の除去に続いて、各窒化ガリウム構造１４０上にベース１４４を形成するために、再度、ベース材料が付加される。ベースの付加に続いて、テープ１４６のような一時的ハンドリング要素を付加することができ、素子には、鉛結合及びパッケージ要素１４８上への取り付けのような手順を行うことができる。
図３及び４に関して上述した方法により作製された完成素子は、窒化物構造のエピタキシャル成長に使用されたシリコン基板が完成素子に存在しないので、優れた電気特性をもたらすことができる。例えばサファイアウェーハのような比較的高価な材料が一時的担体として使用されるが、これらは、リサイクルして再使用することができ、完成素子のどの部分も形成しない。
【００３２】
特許請求の範囲によって規定される本発明から逸脱することなく、上述の特徴の多くの変形及び組合せを利用することができる。例えば、上述のアルミニウム層及びアルミニウム保護シリコン基板は、他の窒化物半導体構造及び他のＩＩＩ−Ｖ族半導体構造の成長に利用することができる。また、好ましい実施形態に使用されたＩＩＩ−Ｖ族半導体は、例えば、Ａｓ及びＰのような他のＶ族元素の追加によって変化させることができる。窒化物構造に組み込まれたバッファ構造は、２つを超える超格子を含むことができる。逆に、中間層又は第２の超格子は、省略することができる。図５に示す１つのこのような変形では、第２の超格子が省略され、例えば、低い温度で堆積されたＡｌＮの層のような更なる多結晶核生成層で置換される。この構造は、図１に関して上述した対応する構造と同一の基板２１０及びアルミニウム層２１４を含む。核生成層２１４は、厚さ３０ナノメートルのＡｌＮから成る。バッファ構造２３２は、各ユニットが厚さ２ナノメートルのＡｌＮの層２２０と、同じく厚さ２ナノメートルのＡｌ0.3Ｇａ0.7Ｎとを含む基本ユニットの１０個の繰返しを有する第１の超格子２１８を含む。バッファ構造２３２は、厚さ０．４ミクロンのＧａＮの中間層２２４と、厚さ１３ナノメートルの多結晶ＡｌＮの核生成層２２６とを更に含む。作動構造２３５は、厚さ０．６ミクロンのＧａＮの層２３５と、厚さ２３ナノメートルのＡｌ0.3Ｇａ0.7Ｎの上部層２３７とを含む。層２３７及び２３５は、協働して２次元電子ガスを供給し、高電子移動度トランジスタとしての素子の作動に寄与する。
【００３３】
図６は、本発明の更に別の実施形態によって形成された窒化物半導体ショットキーダイオード３００の断面図を示す。ショットキーダイオード３００は、図１に示すバッファ構造３２又は図５に示すバッファ構造２３２とすることができるバッファ構造３０４が上に形成されたドープされたシリコン基板３０２を含む。バッファ構造の厚さは、典型的に、０．１から１０ミクロンの間である。ＧａＮ又は他の窒化ガリウムベース半導体の層のような高度にドープされたｎ型窒化物半導体層３０６は、バッファ構造３０２の上に形成され、１０18から１０19／立方センチメートルの間のドーピング濃度を有し、厚さは、０．１から１０ミクロンの間である。より低くドープされたｎ型窒化物半導体層３０８は、高度にドープされた窒化物半導体層の上に形成され、これもまた、ＧａＮ又は別の窒化ガリウムベース半導体から構成することができる。より低くドープされた層のドーパント濃度は，１０15から１０16／立方センチメートルの間であり、層の厚さは、０．１から１０ミクロンの間である。代替的に、より高度にドープされた層３０６が省略され、より低くドープされた層３０８は、バッファ構造３０４の上に直接形成される。
【００３４】
ショットキー接触層３１０は、より低くドープされた層３０８の上に堆積され、好ましくは、より低くドープされた層の全幅を覆う。厚い金属層３１２は、ショットキー接触層３１０の上に堆積される。
素子の底部には、薄いオーム金属接触層３１６がシリコン基板３０２の背面に形成され、別の金属スタック３１８が、オーム金属層３１６の上に堆積される。任意選択の保護層３１４は、ショットキー接触金属層３１０及び厚い金属層３１２の全て又は一部の上に形成することができる。
【００３５】
ショットキーダイオード３００の構造は、ショットキー接触金属から、より低くドープされた層３０８、高度にドープされた層３０６、バッファ構造３０４、及びシリコン基板３０２を通って、オーム金属層３１６及び金属スタック３１８に至る順方向垂直導電経路を形成する。更に、ショットキー接触金属層３１０及び金属スタック３１２の幅は，ショットキーダイオード構造の全長を利用する垂直伝導経路を形成する。
【００３６】
有利な態様においては、垂直伝導経路は、順バイアスの下で素子の抵抗を最小にするが、逆バイアスの下では高ブレークダウン電圧を維持する。素子のターンオン電圧は、一般的に０．５ボルトから１．５ボルトの間であり、一方、ブレークダウン電圧は、−１００ボルトよりも大きい。更に、素子のオン抵抗は、１０〜２０ミリオーム・平方センチメートルよりも小さく、一方、業界で公知の素子は、典型的にこの値よりも大きな抵抗を有する。
【００３７】
ショットキーダイオードの垂直伝導経路は、使用されるＧａＮ及び他の窒化物ベース半導体が一般的に比較的高い抵抗を有するにもかかわらず、窒化ガリウムベースダイオードの低いオン抵抗を達成するのに特に有用である。サファイアのような絶縁基板上で成長する公知のＧａＮベース半導体素子は、一般的に順電流を運ぶのに窒化物ベース層の横方向伝導を使用する。順電流は、電流の流れの方向に対して横断する方向に小さな断面積を有する抵抗性の高い材料の比較的長い経路に亘って、及び、比較的薄い層に沿って移動する必要がある。そのような横方向伝導構造では、経路長は、ダイの水平寸法（例えば、１ミリメートル又はそれ以上）によって判断され、断面積は，ＧａＮ層の厚さ（例えば、数ミクロン）によって判断される。対照的に、図６の垂直伝導構造では、シリコン基板及びショットキー接触間の経路長は、ＧａＮ層の厚さに等しい微小長さと、ダイ構造の表面積に相当するかなりの断面積とを有し、それによって素子の抵抗を実質的に減少させる。
【００３８】
更に、垂直伝導構造によるオン抵抗の低減は、比較的廉価で伝導性の高いシリコン基板を用いて達成される。上述の好ましい界面構造を用いると、この低いオン抵抗は、窒化物ベース半導体の高い結晶品質を維持しながら達成することができる。それに加えて、窒化物ベース半導体のドーピングレベルを比較的低くすることができ、これは、過剰のオン抵抗を招くことなく高ブレークダウン電圧を維持することを助ける。
【００３９】
図７は、本発明によって形成されるが、メサ構造を有する垂直伝導ショットキーダイオード４００の別の実施形態を示す図である。バッファ構造４０４は、上述の構造の１つに対応する構造を有して、上述の方法の１つに従ってシリコン基板４０２の上面に形成される。高度にドープされたｎ型窒化物半導体層４０６は、バッファ構造４０４の上に配置され、図６に示す素子の対応する領域と類似の組成、ドーピング濃度、及び厚さを有する。より低くドープされたｎ型窒化物半導体層４０８は、高度にドープされた層４０６の上に形成され、同様に、図６に示す対応する領域と類似の組成、ドーピング濃度、及び厚さを有する。しかし、より低くドープされた層４０８の幅は、より高度にドープされた層の幅よりも小さい。更に、ショットキー接触金属層４１０及び厚い上部金属スタック４１２は、図６に示す対応する層と構造及び厚さが類似であるが、より低くドープされた層４０８と類似の幅を有する。ショットキー接触金属から生じるいかなるエッジ効果にも対抗するために、エッジ終端構造（（図示しない）を形成することもできる。また、保護層を含むこともできる。オーム接触金属層４１６及び金属スタック４１８は、シリコン基板の背面上に形成される。
上記及び他の変形及び組合せを使用することができるので、好ましい実施形態の以上の説明は、特許請求の範囲で規定された本発明を制限するのではなく、例証的なものとして考えるべきである。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、電子素子製造業界、及び半導体材料製造業界に応用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態による半導体構造の縮尺を拡大した断片的概略断面図である。
【図２】本発明の一実施形態による半導体構造と、比較のために本発明によらない別の構造との一部分を表す比較ノマルスキー画像の図である。
【図３】本発明の更なる実施形態による処理を表す処理流れ図である。
【図４】本発明の更に別の実施形態による処理を表す別の処理流れ図である。
【図５】本発明の更なる実施形態による半導体構造を表す、図１と類似の図である。
【図６】本発明の更に別の実施形態によるショットキーダイオードの縮尺を拡大した断片的概略断面図である。
【図７】本発明の追加の実施形態によるショットキーダイオードを表す、図６と類似の図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０  シリコン基板
１４  アルミニウムの単層
１６  核生成層
１８、２６  多重超格子
２４  中間層
３２  バッファ構造
３４  窒化物半導体
【図１】
2005527988.tif 000003
2005527988.tif 000004
【図３】
2005527988.tif 000005
【図４】
2005527988.tif 000006
【図５】
2005527988.tif 000007
【図６】
2005527988.tif 000008
【図７】
2005527988.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月3日(2004.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）シリコン基板と、
（ｂ）前記基板の第１の表面の上に直接重なるアルミニウムの層と、
（ｃ）前記アルミニウム層の上に直接重なる窒化物半導体の多結晶核生成層と、
（ｄ）前記核生成層の上に重なる１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体の作動構造と、
を含むことを特徴とする半導体構造。
【請求項２】
第１の超格子、該第１の超格子の上に重なる窒化物ベース半導体の中間層、及び該中間層の上に重なる第２の超格子を有し、前記核生成層の上に重なるバッファ構造を更に含むことを特徴とする請求項１に記載の構造。
【請求項３】
前記第１及び第２の超格子の各々は、０≦ｒ≦１とした時の公式ＡｌrＧａ(1-r)Ｎによる半導体から基本的に構成されることを特徴とする請求項２に記載の構造。
【請求項４】
（ａ）アルミニウム保護基板を形成するために、アルミニウムを直接シリコン基板の表面上に堆積させる段階と、
（ｂ）次に、窒化物半導体の核生成層を前記アルミニウム保護基板上に堆積させる段階と、
（ｃ）次に、１つ又はそれ以上の窒化ガリウムベース半導体を含む作動構造を前記核生成層の上にエピタキシャル成長させる段階と、
を含むことを特徴とする、半導体構造を製造する方法。
【請求項５】
窒化物半導体の第１の超格子を前記核生成層上に直接成長させることによってバッファ構造を成長させる段階を更に含むことを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
（ａ）窒化物半導体構造をシリコン基板上にエピタキシャル成長させる段階と、
（ｂ）次に、前記窒化物半導体構造に担体を結合する段階と、
（ｃ）次に、前記シリコン基板を前記窒化物半導体構造から除去する段階と、
を含むことを特徴とする、半導体要素を製造する方法。
【請求項７】
前記シリコン基板を除去した後に、シリコン以外のベース材料を前記窒化物半導体構造上に付加する段階を更に含むことを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記ベース材料を付加した後に前記担体を除去する段階を更に含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記窒化物半導体構造に１つ又はそれ以上の素子を形成するために、前記担体を結合する段階の前に該窒化物半導体構造を処理する段階を更に含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
窒化物半導体構造を含み、１つ又はそれ以上のエピタキシャル成長した層と該窒化物半導体構造を支持するベースとを有する半導体要素であって、
ベースは、窒化物半導体構造のエピタキシャル成長に使用された基板以外の構造であり、
前記窒化物半導体構造のエピタキシャル成長に使用された基板に含まれない、
ことを特徴とする要素。
【請求項１１】
（ａ）アルミニウム保護基板を形成するために、厚さが約１０個の単原子層よりも小さいアルミニウムの層をシリコン基板の上面に堆積させる段階と、
（ｂ）次に、少なくとも１つの窒化物半導体を前記アルミニウム保護基板上に堆積させる段階と、
を含むことを特徴とする、シリコン基板上に半導体構造を製造する方法。
【請求項１２】
基板と、
前記基板の表面の上に重なる窒化物半導体の少なくとも１つの層と、
前記窒化物半導体の層の上に重なり、それとのショットキー接合を形成する少なくとも１つの第１の金属層と、
前記基板の上に重なり、前記窒化物半導体とのオーム接触を形成する少なくとも１つの更なる金属層と、
を含むことを特徴とするショットキーダイオード。
【請求項１３】
前記窒化物半導体の少なくとも１つの層は、窒化ガリウムベース半導体を含むことを特徴とする請求項１２に記載の構造。
【請求項１４】
前記基板と前記窒化物半導体の層との間に配置されて異なる組成の複数の窒化物半導体を有する少なくとも１つの超格子を有する、該基板と該窒化物半導体の層との間に配置されたバッファ構造を更に含むことを特徴とする請求項１３に記載のショットキーダイオード。
【請求項１５】
基板の表面上に窒化物半導体の少なくとも１つの層を形成する段階と、
前記窒化物半導体の層に、それとのショットキー接合を形成するために少なくとも１つの第１の金属層を堆積させる段階と、
前記窒化物半導体上に、それとのオーム接触を形成するために第２の金属層を堆積させる段階と、
を含むことを特徴とする、ショットキーダイオードを製造する方法。
【国際調査報告】
2005527988.tif 000010
2005527988.tif 000011
2005527988.tif 000012