(57)【要約】【課題】物品搬送車や走行レールの損傷を抑制しつつ確実性高く物品搬送車を停止させることが可能な非常停止システムを提供する。【解決手段】走行レール２を走行して物品を搬送する物品搬送車と、走行レール２に沿って設けられて物品搬送車に電源ＰＳからの電力を供給する給電部２４と、を備えた物品搬送設備における物品搬送車の非常停止システムであって、切断器３と、走行レール２における侵入禁止エリアに設置されると共に切断器３に連結される被動作部材４と、を備え、切断器３は、被動作部材４が動作したことに連動して切断状態となり、当該切断状態において電源ＰＳから給電部２４への電力の供給を遮断し、被動作部材４は、走行レール２を走行する物品搬送車と接触した場合に動作して、切断器３を切断状態にする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行レールを走行して物品を搬送する物品搬送車と、前記走行レールに沿って設けられて前記物品搬送車に電源からの電力を供給する給電部と、を備えた物品搬送設備における前記物品搬送車の非常停止システムであって、
切断器と、
前記物品搬送車の侵入を禁止する侵入禁止エリアを設定する場合に、前記走行レールにおける前記侵入禁止エリアに設置されると共に、前記切断器に連結される被動作部材と、を備え、
前記切断器は、前記被動作部材が動作したことに連動して切断状態となり、当該切断状態において前記電源から前記給電部への電力の供給を遮断し、
前記被動作部材は、前記走行レールを走行する前記物品搬送車と接触した場合に動作して、前記切断器を前記切断状態にする非常停止システム。
【請求項２】
前記切断器は、前記走行レールに固定された固定部材と、当該固定部材に対して着脱自在に設けられると共に前記被動作部材に連結される解除部材と、を有し、
前記解除部材は、前記被動作部材が動作したことに連動して前記固定部材から外れるように構成され、
前記切断器は、前記解除部材が前記固定部材から外れた場合に前記切断状態となる請求項１に記載の非常停止システム。
【請求項３】
前記走行レールは、天井に沿って配置され、
前記物品搬送車は、予め定められた被検出体を検出する検出部を備え、当該検出部により前記被検出体を検出した場合に走行を停止するように構成され、
前記被動作部材は、前記走行レールに取り付けられる取付部と、当該取付部に連結されていると共に前記被検出体を有する被検出部と、を備えている請求項１又は２に記載の非常停止システム。
【請求項４】
前記走行レールには、前記物品に対する処理を行う複数の処理装置が配置された工程内経路を構成する工程内レールと、複数の前記工程内経路を結ぶ工程間経路を構成する工程間レールと、が含まれ、
前記切断器は、前記工程内レールと前記工程間レールとの接続領域に設置されている請求項１から３のいずれか一項に記載の非常停止システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行レールを走行する物品搬送車の非常停止システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、下記の特許文献１には、走行レール６０に沿って走行する天井走行車５０（物品搬送車）を停止させる天井走行専用ストッパ１が開示されている。天井走行専用ストッパ１は、走行レール６０に取り付けられており、天井走行車５０によって検出される被検出部１１を有している。天井走行車５０は、走行レール６０を走行中に天井走行専用ストッパ１の被検出部１１を検出することで停止するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２０９１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１の天井走行専用ストッパ１は、例えばセンサの故障等により天井走行車５０が被検出部１１を検出できず停止しない場合に、天井走行車５０と接触して当該天井走行車５０を物理的に停止させるストッパ本体１０を有している。ストッパ本体１０は、ストッパ補強体２０と連結しており走行レール６０に対して強固に固定される。これにより特許文献１では、天井走行専用ストッパ１について、天井走行車５０の衝突に耐え得る強度の確保が図られている。しかしながら、このような構成では、ストッパ本体１０に天井走行車５０を衝突させることで当該天井走行車５０を確実に停止させることができるものの、衝突時に天井走行車５０や走行レール６０が損傷する虞があった。
【０００５】
そこで、物品搬送車や走行レールの損傷を抑制しつつ確実性高く物品搬送車を停止させることが可能な非常停止システムの実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る非常停止システムは、
走行レールを走行して物品を搬送する物品搬送車と、前記走行レールに沿って設けられて前記物品搬送車に電源からの電力を供給する給電部と、を備えた物品搬送設備における前記物品搬送車の非常停止システムであって、
切断器と、
前記物品搬送車の侵入を禁止する侵入禁止エリアを設定する場合に、前記走行レールにおける前記侵入禁止エリアに設置されると共に、前記切断器に連結される被動作部材と、を備え、
前記切断器は、前記被動作部材が動作したことに連動して切断状態となり、当該切断状態において前記電源から前記給電部への電力の供給を遮断し、
前記被動作部材は、前記走行レールを走行する前記物品搬送車と接触した場合に動作して、前記切断器を前記切断状態にする。
【０００７】
本構成によれば、物品搬送車が被動作部材に接触することによって切断器が切断状態となるため、物品搬送車が侵入禁止エリアに進入した場合に物品搬送車への電力の供給を遮断して当該物品搬送車を確実性高く停止させることができる。また、被動作部材は物品搬送車に衝突して物品搬送車を物理的に停止させるものではないため、物品搬送車を非常停止させても物品搬送車や走行レールの損傷を抑制することができる。
【０００８】
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】物品搬送設備の平面模式図。
【図２】物品搬送設備の要部を示す平面模式図。
【図３】切断器の利用方法を示す模式図。
【図４】走行レールに取り付けられた状態での切断器及び被動作部材の正面図。
【図５】走行レールに取り付けられた状態での切断器及び被動作部材の斜視図。
【図６】その他の実施形態に係る切断器及び被動作部材を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
１．第一実施形態
第一実施形態に係る非常システムについて、図面を参照して説明する。
図１に示すように、非常停止システムは、走行レール２を走行して物品を搬送する物品搬送車１と、走行レール２に沿って設けられて物品搬送車１に電源ＰＳからの電力を供給する給電部２４と、を備えた物品搬送設備Ｆにおいて、物品搬送車１を非常停止するために用いられる。
【００１１】
物品の搬送経路は、走行レール２により定められている。例えば、走行レール２は、床又は天井に沿って配置される。本実施形態では、走行レール２は、天井Ｃに沿って配置されている（図３参照）。
【００１２】
図１に示す例では、走行レール２には、物品に対する処理を行う複数の処理装置９０が配置された工程内経路を構成する工程内レールＢ１と、複数の工程内経路を結ぶ工程間経路を構成する工程間レールＢ２と、が含まれている。例えば、物品搬送設備Ｆは、半導体基板の製造や管理等を行う設備であり、処理装置９０によって物品としての半導体基板の処理が行われる。
【００１３】
図３及び４に示すように、走行レール２は、幅方向Ｙに分かれて配置された一対のレール体２１を含んでいる。走行レール２（レール体２１）は、天井Ｃから吊設された吊下部材２２によって吊下支持されている。
【００１４】
図１及び４に示すように、走行レール２は、給電部２４を有している。本実施形態では、給電部２４は、物品搬送車１と非接触の状態で、当該物品搬送車１に電力を供給する。図４に示す例では、給電部２４は、電源ＰＳに接続された一対の給電線である（図１も参照）。そして、給電部２４は、一対のレール体２１にそれぞれ固定された支持部材２３の先端に設けられている。支持部材２３は、一対のレール体２１から幅方向Ｙの内側に向かって互いに向かい合うように突出しており、給電部２４は、支持部材２３の幅方向Ｙの内側の先端に設けられている。
【００１５】
図３に示すように、物品搬送車１は、走行レール２の上を走行する走行部１１と、走行部１１に吊下支持された車体本体１２と、車体本体１２に吊下支持されて物品の移載作業を行う移載部１４とを備えている。また、物品搬送車１は、給電部２４に対向配置されて給電部２４から受電する受電部（不図示）を備えている。物品搬送車１は、給電部２４から受電して、当該受電した電力を用いて、走行部１１に設けられた駆動モータ（不図示）を駆動して走行するように構成されている。また、物品搬送車１は、受電した電力を用いて、移載部１４を昇降させ、移載部１４を幅方向Ｙにスライドさせ、移載部１４を上下方向に沿う軸心周りに回転させ、移載部１４に設けられた把持爪（不図示）を開閉させて、物品の移載作業を行う。
【００１６】
ここで、物品搬送設備Ｆにおいてメンテナンス等の作業が行われる場合、安全上の観点から、メンテナンス等を行う作業者と走行中の物品搬送車１とが接触する事故を防止する必要がある。そこで本実施形態では、図１に示すように、物品搬送車１の侵入を禁止する侵入禁止エリアＰＥが設定され、侵入禁止エリアＰＥには、被検出体４２が設置される。図１に示すように、工程内レールＢ１にてメンテナンス等の作業を行う場合には、被検出体４２は、工程内レールＢ１と工程間レールＢ２との接続領域ＣＥに設置される。そして、図１に示す例では、当該工程内レールＢ１を含む領域が侵入禁止エリアＰＥとして設定されている。
【００１７】
図３に示すように、本実施形態では、物品搬送車１は、予め定められた被検出体４２を検出する検出部１３を備え、当該検出部１３により被検出体４２を検出した場合に走行を停止するように構成されている。図３に示す例では、検出部１３は、車体本体１２の前面（走行方向Ｘの前方側の側面）に設けられている。検出部１３としては反射式の光センサを用いることができ、検出部１３は、被検出体４２に投光すると共に当該被検出体４２から反射される反射光を検出する。検出部１３は、被検出体４２から反射される反射光を検出することにより、走行方向Ｘの前方に存在する被検出体４２を検出可能となっている。そして、物品搬送車１は、検出部１３よって走行方向Ｘの前方の予め定められた基準距離以内に被検出体４２を検出した場合に、自動停止するように構成されている。
【００１８】
このような構成により、例えば、メンテナンス等の作業が行われている工程内レールＢ１に向かって、工程間レールＢ２から物品搬送車１が走行している場合に、侵入禁止エリアＰＥの直前で物品搬送車１を停止させることができる。しかし、例えば故障等により検出部１３が被検出体４２を検出できず、物品搬送車１が停止しないで侵入禁止エリアＰＥに侵入してくる場合がある。このような場合であっても、侵入禁止エリアＰＥでメンテナンス等の作業を行っている作業者が、走行中の物品搬送車１と接触しないようにする必要がある。
【００１９】
そこで、図１に示すように、本実施形態に係る非常停止システムは、切断器３と、走行レール２における侵入禁止エリアＰＥに設置されると共に切断器３に連結される被動作部材４と、を備えている。そして、この非常停止システムは、被動作部材４の動作に連動して切断器３が切断状態となることで物品搬送車１への電力の供給を遮断し、当該物品搬送車１を停止させる。
【００２０】
図２に示すように、被動作部材４は、走行レール２に取り付けられ、少なくとも、走行レール２を走行する物品搬送車１の走行領域に重複するように配置される。そして、被動作部材４は、走行レール２を走行する物品搬送車１と接触した場合に動作して、切断器３を切断状態にする。
【００２１】
被動作部材４は、前述の被検出体４２を有している。図４及び５に示す例では、被動作部材４は、走行レール２に取り付けられる取付部材４３と、当該取付部材４３に連結されていると共に被検出体４２を有する被検出部４１と、を備えている。
【００２２】
走行レール２に取り付けられた状態での取付部材４３の幅方向Ｙの長さは、一対の支持部材２３が配置される幅方向Ｙの間隔よりも長く形成されている。取付部材４３は、走行レール２に取り付けられた状態で、一対の支持部材２３に支持される。取付部材４３は、全体として板状に形成されており、主面が走行方向Ｘに対して直交するように配置されている（幅方向Ｙに沿って配置されている）。
【００２３】
被検出部４１は、走行レール２を走行する物品搬送車１の走行領域と重複するように配置されている。本実施形態では、被検出部４１は、走行レール２の下方に配置されている。被検出部４１は、取付部材４３から下方に延びる連結部材４４を介して、一対の支持部材２３の幅方向Ｙの間において当該取付部材４３に連結されている。被検出部４１は、全体として板状に形成されており、主面が走行方向Ｘに対して直交するように配置されている（幅方向Ｙに沿って配置されている）。
【００２４】
被検出部４１における物品搬送車１と対向する主面には、被検出体４２が設けられている。被検出体４２は、物品搬送車１の検出部１３が投光する光を当該物品搬送車１に反射する。被検出体４２は、例えば、反射板であっても良いし、反射テープであっても良い。また、被検出体４２は、被検出部４１の両面に形成されていても良い。この構成によれば、物品搬送車１に対向する面を意識することなく被動作部材４を走行レール２に取り付けることができ、施工性を向上させることができる。
【００２５】
切断器３は、被動作部材４が動作したことに連動して切断状態となり、当該切断状態において電源ＰＳから給電部２４への電力の供給を遮断する。電源ＰＳから給電部２４への電力の供給が遮断されることで、物品搬送車１は給電部２４から受電できなくなる。これにより、受電手段をなくした物品搬送車１は停止する。ここで、切断器３に関して切断状態とは、電源ＰＳから給電部２４への電力の供給を遮断した状態をいう。切断状態としては、例えば、電源ＰＳと給電部２４とを繋ぐ配線を物理的に切断した状態であっても良いし、電源ＰＳ内に設けられた非常停止回路を作動させる信号を当該非常停止回路に送信する状態であっても良い。
【００２６】
図１に示す例では、切断器３は、工程内レールＢ１と工程間レールＢ２との接続領域ＣＥに設置されている。本実施形態では、図４及び５に示すように、切断器３は、走行レール２に固定された固定部材３１と、当該固定部材３１に対して着脱自在に設けられると共に被動作部材４に連結される解除部材３２と、を有している。また、固定部材３１は、走行レール２を構成する一対のレール体２１のうちのいずれかに固定されている。
【００２７】
解除部材３２は、固定部材３１の走行方向Ｘにおける前方側の面（物品搬送車１の進行方向側の面）に取り付けられている。これにより、解除部材３２に対して物品搬送車１の走行方向Ｘ（進行方向）の力が作用すると、解除部材３２が固定部材３１から外れるようになっている。本実施形態では、解除部材３２は、被動作部材４が動作したことに連動して固定部材３１から外れるように構成されている。図５に示す例では、解除部材３２は、ワイヤ等の連結具３３を介して被動作部材４の被検出部４１に連結されている。しかし、これは一例に過ぎず、解除部材３２は、取付部材４３に連結されていても良い。また、解除部材３２は、連結具３３を介さずに被検出部４１又は取付部材４３に直接連結されていても良い。解除部材３２と被動作部材４とは、多少の振動では外れないように強固に連結されている。これにより、走行レール２を走行する物品搬送車１が被動作部材４に接触することで当該被動作部材４が走行方向Ｘ（進行方向）に動作し、連結具３３を介して解除部材３２に走行方向Ｘ（進行方向）の力が作用する。そして、解除部材３２が固定部材３１から外れる。本実施形態では、切断器３は、解除部材３２が固定部材３１から外れた場合に切断状態となる。前述したように、切断器３が切断状態になることで電源ＰＳから給電部２４への電力の供給が遮断され、物品搬送車１が停止する。
【００２８】
このように本実施形態では、物品搬送車１を電気的に停止させるため、物品搬送車１を確実に停止させることができると共に、物品搬送車１を何かに衝突させて停止させる物理的な停止手段と比べて物品搬送車１や走行レール２の損傷を抑制することができる。
【００２９】
２．その他の実施形態
次に、非常停止システムのその他の実施形態について説明する。
【００３０】
（１）上記の実施形態では、固定部材３１に対する解除部材３２の着脱状態により、切断器３の切断状態が変化するように構成されている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。図６に示すように、切断器３は、スイッチ部３４と当該スイッチ部３４を押下する押下部３５とを有するように構成されていても良い。図６に示す例では、スイッチ部３４が押下部３５により押下されている状態で切断器３が非切断状態となり、スイッチ部３４が押下部３５により押下されていない状態で切断器３が切断状態となる。また、この場合には、被動作部材４は、周方向の一部に凹部４６を有する固定部４５と、動作していない状態で固定部４５から幅方向Ｙに延びるアーム部４７と、アーム部４７の先端に設けられたローラ４８と、を有しており、固定部４５とアーム部４７とが回転軸ＡＸ周りに回転可能に構成されていると好適である。
【００３１】
図６に示す例では、被動作部材４が動作していない状態で、押下部３５が凹部４６に嵌まり込むと共にスイッチ部３４を押下している状態である。走行レール２を走行する物品搬送車１がアーム部４７に接触することで当該アーム部４７及び固定部４５が回転軸ＡＸ周りに旋回し、被動作部材４が動作する。被動作部材４が動作することにより押下部３５が凹部４６から外れて固定部４５によって押し込まれる。これによりスイッチ部３４が押下部３５によって押下されていない状態になると共に切断器３が切断状態となり、電源ＰＳからの電力の供給が遮断される。なお、上記では、スイッチ部３４が押下されている状態で切断器３が非切断状態となり、押下されていない状態で切断状態となる例について説明したが、スイッチ部３４が押下されていない状態で非切断状態となり、押下されている状態で切断状態となるように構成されていても良い。
【００３２】
（２）上記の実施形態では、切断器３を構成する固定部材３１は、走行レール２に固定されている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。固定部材３１は、走行レール２とは別の部材に固定されていても良い。この場合であっても、解除部材３２を介して固定部材３１と連結する被動作部材４は、少なくとも、物品搬送車１の走行領域と重複するように配置される。
【００３３】
（３）上記の実施形態では、切断器３は、工程内レールＢ１と工程間レールＢ２との接続領域ＣＥに設置されている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。すなわち、被動作部材４が、物品搬送車１の走行領域に重複し、且つ、侵入禁止エリアＰＥに応じた位置に配置されていれば、切断器３の設置場所はどこでも良い。
【００３４】
（４）上記の実施形態では、被動作部材４の取付部材４３及び被検出部４１が、全体として板状に形成されている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。取付部材４３は、走行レール２に取り付けられた状態で、一対の支持部材２３の幅方向Ｙにおける間隔よりも大きく形成されていれば、どのような形状であっても良い。被検出部４１は、走行レール２を走行する物品搬送車１が接触し得る大きさに形成されていれば、どのような形状であっても良い。
【００３５】
（５）なお、前述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【００３６】
３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した非常停止システムの概要について説明する。
【００３７】
非常停止システムは、
走行レールを走行して物品を搬送する物品搬送車と、前記走行レールに沿って設けられて前記物品搬送車に電源からの電力を供給する給電部と、を備えた物品搬送設備における前記物品搬送車の非常停止システムであって、
切断器と、
前記物品搬送車の侵入を禁止する侵入禁止エリアを設定する場合に、前記走行レールにおける前記侵入禁止エリアに設置されると共に、前記切断器に連結される被動作部材と、を備え、
前記切断器は、前記被動作部材が動作したことに連動して切断状態となり、当該切断状態において前記電源から前記給電部への電力の供給を遮断し、
前記被動作部材は、前記走行レールを走行する前記物品搬送車と接触した場合に動作して、前記切断器を前記切断状態にする。
【００３８】
本構成によれば、物品搬送車が被動作部材に接触することによって切断器が切断状態となるため、物品搬送車が侵入禁止エリアに進入した場合に物品搬送車への電力の供給を遮断して当該物品搬送車を確実性高く停止させることができる。また、被動作部材は物品搬送車に衝突して物品搬送車を物理的に停止させるものではないため、物品搬送車を非常停止させても物品搬送車や走行レールの損傷を抑制することができる。
【００３９】
また、
前記切断器は、前記走行レールに固定された固定部材と、当該固定部材に対して着脱自在に設けられると共に前記被動作部材に連結される解除部材と、を有し、
前記解除部材は、前記被動作部材が動作したことに連動して前記固定部材から外れるように構成され、
前記切断器は、前記解除部材が前記固定部材から外れた場合に前記切断状態となると好適である。
【００４０】
本構成によれば、被動作部材に連結された解除部材が、当該被動作部材の動作に連動して固定部材から外れるだけで切断器が切断状態となるため、物品搬送車と接触した場合の被動作部材の動作によって切断器を確実性高く切断状態にすることができる。また、このような解除部材が固定部材に対して着脱自在に構成されているため、固定部材から外れた解除部材を再び固定部材に装着することが容易であり、切断状態となった切断器を容易に元の非切断状態に復帰させることができる。
【００４１】
また、上記構成において、
前記走行レールは、天井に沿って配置され、
前記物品搬送車は、予め定められた被検出体を検出する検出部を備え、当該検出部により前記被検出体を検出した場合に走行を停止するように構成され、
前記被動作部材は、前記走行レールに取り付けられる取付部と、当該取付部に連結されていると共に前記被検出体を有する被検出部と、を備えていると好適である。
【００４２】
本構成によれば、物品搬送車の検出部が被検出体を検出した場合には、物品搬送車が被動作部材に接触する前に、物品搬送車を停止させることができる。従って、本構成によれば、より安全に物品搬送車を停止させることができる。
【００４３】
また、
前記走行レールには、前記物品に対する処理を行う複数の処理装置が配置された工程内経路を構成する工程内レールと、複数の前記工程内経路を結ぶ工程間経路を構成する工程間レールと、が含まれ、
前記切断器は、前記工程内レールと前記工程間レールとの接続領域に設置されていると好適である。
【００４４】
本構成によれば、工程内レールと工程間レールとの接続領域に被動作部材を配置し易い。そして、このような構成は、工程内経路毎に侵入禁止エリアを設定する場合等に適している。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本開示に係る技術は、走行レールを走行する物品搬送車の非常停止システムに利用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１    ：物品搬送車
２    ：走行レール
３    ：切断器
４    ：被動作部材
１３  ：検出部
２４  ：給電部
３１  ：固定部材
３２  ：解除部材
４１  ：被検出部
４２  ：被検出体
Ｂ１  ：工程内レール
Ｂ２  ：工程間レール
Ｃ    ：天井
ＣＥ  ：接続領域
Ｆ    ：物品搬送設備
ＰＥ  ：侵入禁止エリア
ＰＳ  ：電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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