(57)【要約】固形材料および外表面から内側にのびるスロット（３２）から形成される質量流量測定デバイスのための流量制限器（３０）が提供される。第一流経路と、該第一流経路の第一部分に存在する流量制限器とを備える装置であって、該流量制限器は、材料と、該材料の外表面から該材料内の中心点付近の位置へとのびる奥底を備える第一スロットとを備える、装置が提供される。第一流経路と、該第一流経路の第一部分に存在する流量制限器と第二流経路とを備える質量流量装置であって、該流量制限器は、ほぼ円状の断面領域を有する材料と、複数のスロットとを備え、該スロットの各々は、該断面領域の中心点に向けて該材料の外表面からのびる奥底を有し、該第二流経路は、該装置内の第一流経路の該第一部分に平行な流経路を提供する第二部分を備え、該第二流経路は、該第一流経路より小さく、そしてセンサに連結される、質量流量装置が提供される。
2005527755.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料と、該材料の外表面から該材料内の中心点付近の位置へとのびる奥底を備える第一スロットとを備える、流量制限器。
【請求項２】
前記材料は、ほぼ円状の断面領域を有し、前記流量制限器は複数のスロットを備え、該複数のスロットは、該第一スロットを含みかつ該第一スロットとほぼ同一であり、そして該スロットの各々は、前記外表面とほぼ法線上にある奥底を有する、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項３】
前記材料は、ほぼ円状の断面領域を有し、前記流量制限器は複数のスロットを備え、該複数のスロットは、該第一スロットを含みかつ該第一スロットとほぼ同一であり、そして該スロットの各々は、前記外表面と法線上にない奥底を有する、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項４】
前記第一スロットは、互いにほぼ並行である壁を有する、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項５】
前記第一スロットは、少なくとも約５：１のアスペクト比を有する、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項６】
前記第一スロットは、約１０：１〜約１００：１の範囲のアスペクト比を有する、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項７】
前記第一スロットは、約５０〜５，０００ミクロンの幅を有する、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項８】
前記第一スロットは、約１５０〜２５０００ミクロンの長さを有する、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項９】
前記材料は、第一端と第二端とを有し、該第一端は、該第二端よりも有意に広く、前記第一スロットは、該第一端から該第二端へとのび、そして該第一スロットは、該第一端と該第二端とにおいて実質的に同じ深さを有する、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項１０】
前記流量制限器は、中心線を有し、そして前記第一スロットは該中心線と実質的に垂直である、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項１１】
前記流量制限器は、中心線を有し、そして前記第一スロットは該中心線と実質的に垂直ではない、請求項１に記載の流量制限器。
【請求項１２】
第一流経路と、該第一流経路の第一部分に存在する流量制限器とを備える装置であって、該流量制限器は、材料と、該材料の外表面から該材料内の中心点付近の位置へとのびる奥底を備える第一スロットとを備える、装置。
【請求項１３】
前記材料は、ほぼ円状の断面領域を有し、前記流量制限器は複数のスロットを備え、該複数のスロットは、該第一スロットを含みかつ該第一スロットとほぼ同一であり、そして該スロットの各々は、前記外表面とほぼ法線上にある奥底を有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記材料は、ほぼ円状の断面領域を有し、前記流量制限器は複数のスロットを備え、該複数のスロットは、該第一スロットを含みかつ該第一スロットとほぼ同一であり、そして該スロットの各々は、前記外表面と法線上にない奥底を有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
前記第一スロットは、互いにほぼ並行である壁を有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１６】
前記第一スロットは、少なくとも約５：１のアスペクト比を有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１７】
前記第一スロットは、約１０：１〜約１００：１の範囲のアスペクト比を有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１８】
前記第一スロットは、約５０〜５０００ミクロンの幅を有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項１９】
前記第一スロットは、約１５０〜２５０００ミクロンの長さを有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項２０】
前記材料は、第一端と第二端とを有し、該第一端は、該第二端よりも有意に広く、前記第一スロットは、該第一端から該第二端へとのび、そして該第一スロットは、該第一端と該第二端とにおいて実質的に同じ深さを有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項２１】
前記第一流経路の内壁と前記流量制限器との間にワイヤが存在する、請求項１２に記載の装置。
【請求項２２】
前記第一流経路はテーパーを有し、そして前記流量制限器は、該テーパーに対応する外表面を有する、請求項１２に記載の装置。
【請求項２３】
さらに、第二部分を備える第二流経路を備え、該第二部分は、前記第一流経路の前記第一部分に対して平行な流経路を提供する、請求項１２に記載の装置。
【請求項２４】
前記流量制限器は、中心線を有し、そして前記第一スロットは該中心線と実質的に垂直である、請求項１２に記載の装置。
【請求項２５】
前記流量制限器は、中心線を有し、そして前記第一スロットは該中心線と実質的に垂直ではない、請求項１２に記載の装置。
【請求項２６】
第一流経路と、該第一流経路の第一部分に存在する流量制限器と第二流経路とを備える質量流量装置であって、該流量制限器は、ほぼ円状の断面領域を有する材料と、複数のスロットとを備え、該スロットの各々は、該断面領域の中心点に向けて該材料の外表面からのびる奥底を有し、該第二流経路は、該質量流量コントローラ内の第一流経路の該第一部分に平行な流経路を提供する第二部分を備え、該第二流経路は、該第一流経路より小さく、そしてセンサに連結される、質量流量装置。
【請求項２７】
前記第一流経路の内壁と前記流量制限器との間に複数本のワイヤが存在する、請求項２６に記載の質量流量装置。
【請求項２８】
前記第一流経路の前記第一部分は、テーパーを有し、該流量制限器は、該テーパーに対応する外表面を有する、請求項２６に記載の質量流量装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の分野）
本発明は、概して、流量制限器（ｆｌｏｗ  ｒｅｓｔｒｃｔｏｒ）および流量制限器を含む装置に関し、そしてより詳細には、スロットを有する流量制限器、およびこれらの流量制限器を有する装置、ならびにこれらの流量制限器および装置を形成および使用する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
（関連技術の説明）
熱転移原理に基づいて作動する質量流量コントローラが広く採用されている。質量流量コントローラは、代表的に、コントローラを通じた一次流経路を伴うこととならんで短い直径のチューブ（検出するため）を有する。代表的に、一次流経路に沿った部分的流体流れの閉塞を用いて、検出が起こり得る二次流経路に対してある程度の流体の流れを分岐させる。
【０００３】
流れ分岐に取り組むための一つの試みは、一次流経路内の流量制限器を使用することである。流量制限器は、わずかなテーパーを有するほぼ円柱状であり得、このテーパーは、類似のテーパーを有するチューブ内に存在し得る。流量制限器は、バネ状の取り付け機構を通じて定位置に保持され得る。固形の制限器は、一次流経路を通じて流体を流すのに十分ではなくあり得るか、あるいは、流量制限器のすぐ上流またはすぐ下流あるいはその両方において渦流が生じすぎることがあり得る。これは、センサを有する二次流経路を通じて流体の流れを妨害し得る。
【０００４】
この課題に取り組むための別の試みは、以前に記載された、流量制限器の長さに沿ってドリルで開けられた穴を有する流量制限器を使用することである。図１は、貫通してのびる概して円状で円柱状の穴１２を有する流量制限器１０の断面図を含む。これらの円状で円柱状の穴１２は、渦流を生じ得る。
【０００５】
受容可能な流量制限器を達成するためのさらに別の試みは、図２における断面図内に例示される。流量制限器２０は、スロット２２を備え、このスロットは、この流量制限器２０の長手に沿ってのびる。これらのスロットのいずれも、図２に示されるように、制限器２０の外表面２４と接触しない。これら一連の内部スロット２２は、波線２６により例示されるように「中心チューブ」を有効に形成することに留意されたい。さらに、スロット２２の形状は、挿入操作の間の圧力の関数であり得、そして所望されなくあり得る。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（発明の要旨）
流量制限器は、測定可能な圧力の低下に相関する、物理的変位の範囲内の流体の伝導性に関するほぼ無限の調整能力を可能にし得る。制限器は、固形材料から構築され得、この制限器では、スロットは、材料の外表面から始まって内向きに進行する。この流量制限器は、装置の外側部分に対して有意な変更を必要とせずに、製造され得、そして装置へと一体化され得る。
【０００７】
１セットの実施形態において、流量制限器は、材料およびスロットを備え得る。このスロットは、固体材料内の中心線により近い位置にその材料の外表面からのびる奥底を備え得る。
【０００８】
別セットの実施形態において、装置は、流経路とその第一流経路内に存在する流量制限器を備え得る。流量制限器は、材料とスロットとを備え得る。このスロットは、材料内の中心線により近い位置にその材料の外表面からのびる奥底を備え得る。
【０００９】
なお別セットの実施形態において、質量流量装置は、第一流経路と第二流経路と第一流経路の第一部分内に存在する流量制限器とを備える。この流量制限器は、ほぼ円上の断面領域を有する固体材料を備え得る。この流量制限器はまた、複数のスロットを備え得る。このスロットの各々は、この断面領域の中心点に向けてその外表面からのびる奥底を有し得る。この第二流経路は、質量流量コントローラ内の第一流経路の第一部分に対して平行な流経路を提供する第二部分を備え得る。この第二流経路は、流れを測定するために用いられ得る。
【００１０】
上記の一般的な記載および以下の詳細な説明は、例示であり、そして説明のための身であり、そして本発明を限定せず、添付の特許請求の範囲に規定されるとおりである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（詳細な説明）
本発明の例示的な実施形態に対して詳細な説明をこれから行う。本発明の実施例は、添付の図面において例示される。同じまたは類似の部分（要素）に対して参照するために、可能である限り、同じ参照番号を、図面を通じて使用する。
【００１２】
流量制限器は、固体材料と、材料の外表面から始まりそして内向きに進行するスロットとを備え得る。スロットは、材料内の中心軸または他の点に向けて方向付けられた奥底を有し得る。流量制限器は、その装置の他の部分に対して顕著な変更を要せずに、製造され得、そして装置へと一体化され得る。
【００１３】
このスロットは、スロットと穴とが同じ容量を有する場合に、ほぼ円上の穴に比較して比較的大きな表面積を有する。スロットを通じた流れに起因する圧力低下は、スロットを通じた流体流れとしての入り口および出口効果（ｅｎｔｒａｎｃｅ  ａｎｄ  ｅｘｉｔ  ｅｆｆｅｃｓ）に基金する圧力低下よりも高くあり得る。さらに、流量制限器と、装置の内壁（ここで、装置内には両方が存在し得る）との間の管状容量は、ほぼスロットと同じであり得る。従って、スロットと円状の穴との組み合わせを有するより複合したモデルの代わりに、一連のスロットを用いたモデリングを行うことができる。なおさらに、設計上の選択および製造方法の組み合わせにより、一定の物理的変位を伴うほぼ無限の調整能が可能になり得る。
【００１４】
図３は、流量制限器３０の斜視図を含む。流量制限器３０は、固形材料から構築され得る。この固形材料では、スロット３２が切削され、そして外表面３４から、および中心軸に沿って存在する一連の中心点３６の付近の位置までのびる（その一つが図３に示される）。流量制限器３０は、そのまわりの流体の流れに実質的に不活性である材料から製造され得る。例えば、その材料は、３１６ステンレス綱であり得る。他の材料が使用され得る。必要ではないが、流量制限器３０は、質量流量コントローラまたは他の装置へと材料プレスするために使用される圧力として形状をスロット３２が変化させる可能性を減少させる剛体材料であり得る。
【００１５】
図４は、流量制限器３０の一部の断面図の例示を含む。図４においてより明確に説明されるように、スロット３２は、外表面３４から中心点３６に向けてのびる。スロット３２は、中心線に対してほぼ垂直である。図５は、スロット３２が流量制限器３０の全長に沿ってのびることを例示する流量制限器３０の部分的な切断図を含む。
【００１６】
図６は、スロット３２の詳細のいくつかを示すための、流量制限器３０の一部の拡大断面図の例示を含む。スロット３２は、側表面または壁３２２およびほぼ丸底の表面３２４を備える。スロット３２は、波線６２に沿って形成され得る。波線６２は、中心点３６から始まり、そして外表面３４を越えてのびる。波線６４は、スロット３２の中点に対応する位置において流量制限器３０に対して実質的に接する（ｔａｎｇｅｎｔ）線を表す。波線６２および６４は、互いに実質的に垂直である。この特定の実施形態において、壁３２２は、互いに実質的に平行であり、そして波線６２に対して平行である。αおよびβの各々は、実質的に９０°であり、従って、スロット３２の奥底３２８は、それからのびる点において外表面１０４に対して実質的に法線上にある。スロット３２は、少なくとも約５：１のアスペクト比（深さ３２８：幅３２６）を有し得、そして通常、約１０：１〜１００：１の範囲にある。
【００１７】
１つの非限定的な実施例において、スロット３２は、約５０〜５０００ミクロンの範囲の幅、および約１５０〜２５，０００ミクロンの範囲内の深さ３２８を有し得る。本明細書を読んだ後、当業者は、幅３２６および深さ３２８が、所定の範囲の外側の値を有し得ることを理解する。幅３２６および深さ３２８について使用される実際の寸法にかかわらず、アスペクト比は、少なくとも約５：１であるべきである。
【００１８】
流量制限器３０は、その長手に沿ってテーパーが備えられ得る。図６を参照すると、その長手は、波線６２および６４に対して実質的に垂直である（すなわち、図６に示される例示に対し、そして出てくる方向）である。スロット３２の深さは、流量制限器３０の長手に沿って実質的に同じであり得る。別の実施形態において、スロット３２の底表面は、流量制限器３０の中心軸からほぼ一定の距離で維持され得る。この実施形態において、テーパー付の外表面３４において、スロット３２の深さは、流量制限器３０のより広い末端付近において、流量制限器３０のより狭い末端に比較して、より深くあり得る。さらに他の実施形態において、スロットの深さまたは幅は、他の様式で変動し得る。さらに、スロット３２は、壁３２２を有し得、この壁は、互いに平行ではなく、わずかなテーパーを伴いスロットを形成する。この特定の実施形態において、α、βまたは両方は、９０°より大きくあり得る。さらに、外表面３４付近のスロットの上部コーナーは、丸くなり得る。
【００１９】
このスロット３２は、放電加工機（「ＥＤＭ」）を用いて形成され得る。ＥＤＭを用いると、スロットの奥底は、流量制限器３０の長手に沿ってほぼ均一であり得る。別の実施形態において、ダイヤモンドソーまたは他のブレードを用いてスロットを切断し得る。この実施形態において、スロットの底表面は、ほぼ平坦であり得る。機械的手段は、中心軸からほぼ一定距離に配置される底表面を有するスロットを形成するために良好であり得る。本明細書を読んだ後、当業者は、（１）ＥＤＭを用いてスロットの長手に沿ってほぼ均一の奥底を有するスロットを形成することができ；（２）機械的手段を用いて中心軸からほぼ一定距離を有するスロットを形成することができ；そして（３）エッチング手段または他の手段を用いてスロットを形成することができることを理解する。
【００２０】
図７は、それぞれスポット溶接機７２２および７４２を用いてワイヤ７２および７４を付け加えた後の流量制限器３０の側面図を含む。流量制限器３０は、図７に示されるように、制限器３０の他方の一端における直径（幅）７６４より大きな、一端における直径（幅）７６２を有し得る。テーパーの幅は、約０．１〜１０°の範囲内にあり得る。
【００２１】
ワイヤ７２および７４は、流量制限器３０の長手に沿ってのび、流量制限器３０のより施米末端において互いに交差し、そして流量制限器３０の反対側に沿ってのびる（示さず）。例示していないが、ワイヤ７２および７４の他方の末端はまた、流量制限器３０のより広い末端を越えてのびる。ワイヤ７２および７４は、約５０〜１３００ミクロンの範囲内の直径を有し得、そして通常約１５０〜４００ミクロンの範囲にあり得る。ワイヤは、チューブ内の制限器３０の整列を支援し得、そして制限器３０を、チューブの内壁からオフセットを取り得、このチューブにおいて、ワイヤが存在することになる。挿入操作の間のワイヤのより詳細な考察は、本明細書において以下に存在する。
【００２２】
図８は、質量流量コントローラ８０の模式図を含み、これは、入り口８２２、主要本体８２４および出口８２６を備える。主要本体８２４は、一次流経路８４４および二次流経路８４６を備え得る。流量制限器３０は、一次流経路８４４のテーパー付部分８４５内に存在する。部分８４５の内壁は、テーパーを規定し、そして流量制限器３０の外表面３４は、部分８４５のテーパー二対応する形状を有する（すなわち、互いに有効に平行である）。二次流経路８４６は、代表的に、一次流経路８４４に対して比較してより短い直径を有する。二次流経路８４６は、一次流経路に対して平行な流経路を提供し、そしてこれを用いて、質量流量コントローラ８０に通じたガスの流れを測定することができる。コントローラ８６は、弁８４２およびセンサ８４８と接続される。
【００２３】
質量流量コントローラ８０を通る流速に依存して、制限器３０とテーパー付部分８４５との間の環状領域は、その流速を調整し得る。図９を参照すると、部分８４５は、外壁９２および内壁９４を有する。制限器３０の外表面３４とテーパー付部分８４５の内壁９４との間の環状領域における流れ特性は、距離９６の関数である。最初は、距離９６は、ワイヤ７２および７４の直径とほぼ同じである。挿入操作の間、テーパー付部分４３５に制限器３０を挿入するために使用される圧力が増大させるとき、ワイヤ７２および７４は、距離９６を平坦化し、そして減少させ始めることができる。従って、ワイヤ７２および７４は、制限器３０およびテーパー付部分４３５について使用される材料より柔らかい材料を含み得る。例示的な材料は、プラスチック、可鍛性金属（例えば、ニッケル、ステンレス綱など）などを含み得る。いくつかの場合において、挿入の間に使用される力は、約５００ニュートンまたは数百ポンドであり得る。このようにして、質量流量コントローラ８０は、質量流速を変調し得る。この質量流速は、挿入操作の間使用される圧力を変動させることによって設計される。
【００２４】
制限器による流体の流れはまた、制限器３０の設計を変更することおよびワイヤ７２および７４の幅を変更することによって影響を受け得る。ワイヤ７２および７４は、流量制限器３０と部分８４５のテーパー内側壁との間に環状部を提供し得る。一次流経路８４４を通じた流速の比率は、流経路８４６を通じた流速に比較して増大される必要がある場合、ワイヤ７２および７４は、より大きな直径を有し得、制限器３０内のスロット３２は、より広いかまたは深く、あるいは流量制限器３０内のスロット３２の数が増加され得る。一次流経路８４４を通じた流れの比率が二次流経路８４６に比較して減少されるべきである場合、より小さな直径のワイヤ７２および７４が使用され得、スロット３２は、より狭いかより浅くあり得、あるいは流量制限器３０内のスロット３２の数が減少され得る。
【００２５】
１つの特定の実施形態において、制限器の周りの流れを調整する方法の組み合わせが使用され得る。例えば、スロットの数は、粗い調整として使用され得、そして挿入圧力は、精密な調整として使用され得る。
【実施例】
【００２６】
特定の非限定的な実施例は、いくつかの外形および設計上の考慮点を例示するために与えられる。質量流量コントローラは、窒素（Ｎ２）ガスについて１分あたり３０標準リットルの公称流速を有する。流量制限器は、約１９ミリメートルの全長、および約９．８ミリメートルのより広い幅を有し得る。テーパーは、全体で約２°である。
【００２７】
流量制限器は、２４スロットを有し、各スロットは、約３２００ミクロンの奥底、および約２５０ミクロンの幅を有する。このスロットのアスペクト比（縦横比）は、約１３：１である。ワイヤは、流量制限器に接続され得、そして各ワイヤは、約２００ミクロンの直径を有し得る。制限器およびワイヤを準備した後、その組み合わせを、質量流量コントローラへと挿入することができる。質量流量コントローラの残りの製造および較正は、従来方法を用いて行うことができる。
【００２８】
流量制限器３０は、質量流量コントローラ、質量流量メータ、または気体であれ液体であれ流体の流れを制御、測定または調節する他の任意のデバイスを含むほぼ任意の流量装置において用いることができる。
【００２９】
流量制限器３０は、図１および２に例示される従来の流量制限器に対して利点を有する。流量制限器３０は、図１に示される円状で円柱状の穴１２も、図２における中心チューブ２６を有しない。流量制限器３０は、一次流経路における粘性の損失に起因した圧力の損失を増加させ、およびスロット３２を通じた入り口および出口効果に起因した圧力喪失を減少させるように設計され得る。この設計は、制限器の流体湿潤表面積および境界層の厚さを増加させる。円状の開口部１２とも、中心チューブ１０とも異なり、その外側スロットを有する流量制限器３０は、局所レイノルズ数（スロット３２内の）を渦流が生じる値より低く維持することによって、層流を達成するように設計され得る。
【００３０】
さらに、外表面３４にのびるスロット３２は、圧力変化に伴い顕著にスロットが変化し得る図２における流量制限器とは異なり圧力の変化により変化する形状を有しないようである。スロット３２は、流量制限器３０が切削されたパイプ入り口へとプレスされるとき、外表面３４に対して法線方向に向けられた奥底３２８を有することから、スロット３２は、変形しないままであるべきであり、そして制限器の伝導性は、挿入圧力およびワイヤ形状を変更させることによってのみ調整される。図１における内部穴の使用によって、流量制限器を横切る所定の圧力差分について流量が増大するとき、内部穴は、外側環状部に対する内側穴への流れの分岐の量に比例して、制限器の調整能を減少させ得る。この設計は、調整能を同じ比率に維持する。
【００３１】
流量制限器３０を用いて、一次流経路８４４と二次流経路８４５との間の流速を変更させ得る。以前に記載されるような異なる変数を用いて、設計された流量条件について所望の流れ比率を達成し得る（例えば、ガス、圧力、総合流速など）。
【００３２】
図１０は、スロット１０２が外表面１０４から、中心点１０６の付近の位置ではあるが直接その位置ではない位置にのびる別の実施形態を含む。換言すれば、スロット１０２の奥底は、それからのびる外表面１０４に対して法線上にない。また、スロット１０２は、中心線に対して実質的に垂直ではない。スロットの底表面は、中心軸から実質的に同じ距離であり得る。流量制限器３０と同様に、流量制限器１００は、内側穴１２または中心チューブ２６を有しない。
【００３３】
流量制限器１００は、切削されたパイプ入り口へとプレスされるとき、スロット１０２は、より多くの力が外表面１０４付近のスロット１０２の幅に適用され、減少されるときに変形し得る。寸法におけるこの変化は、流量制限器１００は、接続されるワイヤの変形を通じて、およびスロット１０２の変形を通じて、流量制限器１００の外側において調整可能であるように、流量制限器の流体伝導性を変化させる。
【００３４】
さらに別の実施形態において、流量制限器は、他の流体流量適用において使用され得る。例えば、流量制限器は、一次流経路から二次流経路までの液体蒸気のいくつかを分岐させるために使用され得る。本明細書において記載される概念を用いて、流量制限器の外表面からのびるスロットを有する流量制限器を、適切に設計することができる。
【００３５】
さらに別の実施形態において、異なる数のワイヤ（ワイヤ７２および７４に類似する）が使用され得る。例えば、流量制限器に沿って４つのワイヤの本数に代えて、３本のワイヤを使用することができる。また、より多くの本数のワイヤを使用することができるが、それらが占める領域の量は、所望より多くなり得る。さらに別の代替の実施形態において、ワイヤが必要とされない。
【００３６】
上記明細書において、本発明は、特定の実施形態を参照して記載されてきた。しかし、当業者は、種々の改変および変更が以下の特許請求の範囲おいて示される本発明の範囲から逸脱することなくなされ得ることを理解する。従って、本明細書および図面は、限定的な意味ではなく、例示的な意味と見なされるべきであり、そしてすべてのそのような改変は、本発明の範囲内に含まれるべきことが意図される。
【００３７】
利益、他の利点および課題の解決手段は、特定の実施形態に関して上記に記載される。しかし、利益、利点、課題の解決手段、および他の利益、利点または手段を生じ得るかまたはより顕著になり得る任意の要素は、特許請求の範囲のいずれかまたはすべての、重要な、必要なまたは必須の特徴または要素であると解釈されるべきでない。
【００３８】
本明細書において使用される場合、用語「含む、包含する、含有する、有する、持つ」（ｃｏｍｐｒｉｓｅ、ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ、ｉｎｃｌｕｄｅ、ｉｎｃｌｕｄｉｎｇ、ｈａｓ、ｈａｖｉｎｇ）、またはその他の変化形は、非限定的な含有を網羅することが意図される。例えば、要素のリストを含む、プロセス、方法、物品または装置は、必ずしも、それらの要素のみに限定されるのではなく、そのようなプロセス、方法、物品または装置に明示的にリストされていないまたはそれらに固有の他の要素を含み得る。さらに、そうではないと明示的に言及しない限り、「または、もしくは」（ｏｒ）とは、包含的に使用され、排他的に使用されない。例えば、条件Ａまたは条件Ｂとは、以下のいずれか１を満足させる：Ａが真（または存在する）およびＢが偽（または存在しない）、Ａが偽（または存在しない）およびＢが真（または存在する）、ならびにＡおよびＢの両方が真（または存在する）。
【００３９】
本発明は、添付の図面において、例示の目的でかつ制限することを目的とせず、例示される。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】図１は、概して円状で円柱状の穴を有する流量制限器の断面図の例示を含む。
【図２】図２は、内部スロットと、流量制限器の中心軸に沿った中心チューブとを有する流量制限器の断面図の例示を含む。
【図３】図３は、流量制限器の中心軸に向けた外表面から延びるスロットを有する流量制限器の斜視図の例示を含む。
【図４】図４は、図３の流量制限器の断面図の例示を含む。
【図５】図５は、図３の流量制限器の部分切断図の例示を含む。
【図６】図６は、図３の流量制限器への外表面から延びるスロットの拡大断面図の例示を含む。
【図７】図７は、流量制限器の外表面に対して曲げられたワイヤを有する図３の流量制限器の側面図の例示を含む。
【図８】図８は、１つの実施形態にしたがって、流量制限器を含む質量流量コントローラの模式図の例示を含む。
【図９】図９は、質量流量コントローラのテーパー部分内の、図８の質量流量コントローラの断面図の例示を含む。
【図１０】図１０は、流量制限器の外側からのび、そしてそれに対してほぼ法線上にあるスロットを有する別の流量制限器の断面図の例示を含む。
【００４１】
当業者は、図面内の要素は、単純さおよび明確さのために例示され、そして必ずしも一定の縮尺である必要はない。例えば、図面内の要素のいくつかの外形は、本発明の実施形態の理解をよりよくすることを助けるために、他の要素に比較して誇張され得る。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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