(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送対象物が載置場所に接触するタイミングのばらつきに対応した速度制御を行うことで搬送効率を向上させることができる搬送車を提供する。【解決手段】搬送対象物を支持する支持部と、搬送対象物を吊り下げ状態で昇降させる昇降部と、搬送対象物の重量を検出する重量検出部と、を備え、支持部により搬送対象物を支持した状態での昇降部による搬送対象物の下降中に重量検出部により検出する検出値Ｗが第一設定値Ｗ０α以下になった後に、搬送対象物の下降速度を増加させ（♯２０２）、その後、昇降部による搬送対象物の吊り下げ状態の解消（♯２０５）後に、支持部による搬送対象物の支持を解除（♯２０６）する。【選択図】図１１
2018073174.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下方に設けられた載置場所に搬送対象物を搬送する搬送車であって、
前記搬送対象物を支持する支持部と、
前記搬送対象物を吊り下げ状態で昇降させる昇降部と、
前記搬送対象物の重量を検出する重量検出部と、を備え、
前記支持部により前記搬送対象物を支持した状態での前記昇降部による前記搬送対象物の下降中に前記重量検出部により検出する検出値が第一設定値以下になった後に、前記搬送対象物の下降速度を増加させ、
その後、前記昇降部による前記搬送対象物の吊り下げ状態の解消後に、前記支持部による前記搬送対象物の支持を解除する搬送車。
【請求項２】
前記重量検出部により検出する検出値が前記第一設定値よりも小さい第二設定値以下になったこと、及び前記搬送対象物を前記搬送車から前記載置場所までの高さに対応する設定量下降させたこと、の少なくとも一方を条件に、前記昇降部による前記搬送対象物の吊り下げ状態が解消されたと判定する請求項１に記載の搬送車。
【請求項３】
前記昇降部は、前記搬送対象物を等速で下降させる等速下降が可能であり、
前記重量検出部により検出する検出値が前記第一設定値以下になったか否かの判定は、前記搬送対象物の等速下降中に行う請求項１又は２に記載の搬送車。
【請求項４】
前記第一設定値は、前記搬送対象物の基準重量に対して設定割合小さい値であり、
前記基準重量は、前記搬送対象物の静止状態で前記重量検出部により検出された検出値である請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送車。
【請求項５】
前記搬送対象物は、半導体基板と、前記半導体基板を収容する容器と、を含んでおり、
前記重量検出部により前記容器に収容された前記半導体基板の有無を少なくとも検出し、
前記重量検出部により前記半導体基板が検出された場合に、前記半導体基板が検出されない場合に比べて前記昇降部による前記搬送対象物の昇降速度を遅くする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送車。
【請求項６】
天井面に沿って設けられた搬送経路を走行する走行部を備え、
前記搬送対象物は、半導体基板と、前記半導体基板を収容する容器と、を含んでおり、
前記重量検出部により前記容器に収容された前記半導体基板の有無を少なくとも検出し、
前記重量検出部により前記半導体基板が検出された場合に、前記半導体基板が検出されない場合に比べて前記走行部による前記搬送対象物の走行速度を遅くする請求項１から５のいずれか一項に記載の搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送対象物を昇降させる昇降部を備えた搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、下記の特許文献１に開示された搬送車は、搬送対象物を吊り下げ状態で昇降させる昇降部を備えており、当該搬送車の下方に設けられた載置場所との間で搬送対象物の受け渡しを行う。このような技術では、搬送車から載置場所までの上下方向の距離に対応した昇降距離の設定値が定められている。搬送車は、この設定値に基づいて昇降部により搬送対象物を下降させ、下降の完了により搬送対象物と載置場所とが同じ高さになったときに当該搬送対象物を載置場所に渡す。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−４８１９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のような技術において搬送対象物が載置場所に渡される際には、下降する搬送対象物が上方から載置場所に接触したタイミングで搬送対象物の荷重の一部が載置場所に移り始め、更に下降を継続して所定時間経過後に当該荷重の全部が載置場所に移る。これにより、搬送対象物が、搬送車から載置場所に渡される。前述したように特許文献１のような技術では、設定値に基づいて搬送対象物を下降させるため、下降開始から下降完了までの一連の下降動作が、予め決められた定型的な速度制御により行われる。搬送対象物が載置場所に接触するタイミングは、その時々の搬送対象物の重量等の被搬送状態によって必ずしも同じとはならない。そのため、搬送対象物の下降の制御が設定値に従って行われる場合には、搬送対象物が載置場所に接触するタイミングに多少のばらつきがあっても一律に制御することになる。一律の制御では、搬送対象物と載置場所とが接触するタイミングのばらつきに対応するために、搬送対象物が載置場所に接触する前後のある程度の期間、下降速度が十分に低い状態に制御される。しかしながら、下降速度を低くすると、その分下降完了までの時間が長くなり、搬送効率の低下を招くことになる。この点において、特許文献１の技術には改善の余地があった。
【０００５】
そこで、搬送対象物が載置場所に接触するタイミングのばらつきに対応した速度制御を行うことで搬送効率を向上させることができる搬送車の実現が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記に鑑みた、下方に設けられた載置場所に搬送対象物を搬送する搬送車の特徴構成は、前記搬送対象物を支持する支持部と、前記搬送対象物を吊り下げ状態で昇降させる昇降部と、前記搬送対象物の重量を検出する重量検出部と、を備え、前記支持部により前記搬送対象物を支持した状態での前記昇降部による前記搬送対象物の下降中に前記重量検出部により検出する検出値が第一設定値以下になった後に、前記搬送対象物の下降速度を増加させ、その後、前記昇降部による前記搬送対象物の吊り下げ状態の解消後に、前記支持部による前記搬送対象物の支持を解除する点にある。
【０００７】
本構成によれば、下降中の搬送対象物の重量を、重量検出部によって検出できる。ここで、重量検出部は搬送車に備えられているため、実際には、重量検出部は、搬送車が支える搬送対象物の重量を検出する。すなわち、重量検出部は、下降速度の加減速時や搬送対象物が載置場所に接触したこと等による、搬送対象物の重量変化を検出可能である。本構成によれば、これを利用して、重量検出部による検出値が第一設定値以下になったことにより搬送対象物が載置場所と接触したと判定できる。搬送対象物が載置場所に接触した後は、搬送対象物の下降速度を速くしても、搬送対象物が載置場所に衝突する事態は生じない。そこで、本実施形態では、重量検出部による検出値が第一設定値以下になった後に搬送対象物の下降速度を増加させており、これにより、搬送対象物が載置場所に接触してから、搬送対象物が載置場所に完全に支えられて搬送対象物の吊り下げ状態が解消されるまでの時間を、短縮することができる。すなわち、本構成によれば、搬送対象物が載置場所に接触するタイミングのばらつきに対応した速度制御を行うことで搬送効率を向上させることができる。
【０００８】
本開示に係る技術のさらなる特徴と利点は、図面を参照して記述する以下の例示的かつ非限定的な実施形態の説明によってより明確になるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】搬送車を備えた搬送設備の平面図。
【図２】搬送対象物を載置場所に受け渡す状況を示す搬送車の側面図。
【図３】搬送車の詳細な構成を示す側面図。
【図４】荷重移行開始状態を示す図。
【図５】荷重移行完了状態を示す図。
【図６】図５におけるＶＩ−ＶＩ断面図。
【図７】制御構成を示すブロック図。
【図８】昇降体の下降開始から下降完了までにおけるタイムチャート。
【図９】搬送対象物を載置場所に受け渡す際の手順を示すフローチャート。
【図１０】第一下降処理を実行する際の手順を示すフローチャート。
【図１１】第二下降処理を実行する際の手順を示すフローチャート。
【図１２】搬送車の走行速度を示すタイムチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
１．第一実施形態
１−１．搬送車の機械的構成
搬送車の第一実施形態について、図面を参照して説明する。
図１及び図２に示すように、搬送車１は、搬送対象物８を搬送対象場所９に搬送する。本実施形態では、搬送車１は、複数の搬送対象場所９を備える搬送設備内において、当該複数の搬送対象場所９のそれぞれに搬送対象物８を搬送する。搬送対象物８は、搬送の対象となるものであり、例えば、単一の物品であっても良いし、収容物と当該収容物を収容する容器等、複数の物品の組み合わせであっても良い。本実施形態では、搬送対象物８は、半導体基板８０Ｔと、半導体基板８０Ｔを収容する容器８０と、を含んでいる（図３参照）。
【００１１】
本実施形態では、搬送対象場所９は、半導体基板８０Ｔの処理を行うための処理装置９１と、容器８０を載置するための載置場所９２と、を含んで構成されている。例えば、処理装置９１は、載置場所９２に載置された容器８０の中から半導体基板８０Ｔを取り出して、当該半導体基板８０Ｔを処理する。また、処理装置９１は、処理を終えた半導体基板８０Ｔを、載置場所９２に載置された容器８０に収容する。図１に示すように、搬送対象場所９は、搬送設備内に複数備えられている。例えば、搬送設備には、複数の搬送対象場所９を経由するように搬送経路９９が設けられている。図２に示すように、本実施形態では、搬送経路９９は、天井に連結されたレール９９Ｒによって定められている。そして、載置場所９２は、レール９９Ｒの下方に設けられていると共に当該レール９９Ｒと平面視で重複するように設けられている（図１参照）。
【００１２】
本実施形態では、搬送車１は、レール９９Ｒを走行して搬送対象物８を複数の搬送対象場所９のそれぞれに搬送する天井搬送車である。本実施形態では、このような搬送車１が、搬送設備内に複数備えられている。そして、図２に示すように、搬送車１は、下方に設けられた載置場所９２に搬送対象物８を搬送する。言い換えれば、搬送車１は、当該搬送車１が配置される高さ（レール９９Ｒの高さ）から、それよりも下方に設けられた載置場所９２に向けて搬送対象物８を下降させて、当該搬送対象物８を載置場所９２に載置する。
【００１３】
図３に示すように、搬送車１は、搬送対象物８を吊り下げ状態で搬送する。本実施形態では、搬送対象物８を構成する容器８０は、複数の半導体基板８０Ｔを収容できる。例えば、容器８０は、複数の半導体基板８０Ｔを複数段に分けて収容できる。また、容器８０は、搬送車１に吊り下げ支持されるための被支持部８１を有している。例えば、被支持部８１は、容器８０の外面に設けられる。本実施形態では、被支持部８１は、容器８０の上面に設けられている。そして、被支持部８１は、容器８０の上面から起立する起立部８１Ｂと、起立部８１Ｂの上端において水平方向に拡径された拡径部８１Ａと、を有している。拡径部８１Ａは、平面視で起立部８１Ｂよりも大きく形成されている。ここでは、拡径部８１Ａの外縁近傍が起立部８１Ｂからはみ出すことにより、被支持部８１には、下向きの面を有する段差部が形成されている。例えば、拡径部８１Ａは、平面視で多角形状又は円形状等に形成されている。本例では、拡径部８１Ａは、平面視で四角形状に形成されている。本実施形態では、拡径部８１Ａは、搬送車１に支持されるための被支持面８１Ｆを有している。そして、被支持面８１Ｆは、拡径部８１Ａにおける起立部８１Ｂからはみ出した部分の下方を向く面に形成されている。また、拡径部８１Ａの上面には、後述する異常検出部７Ｓが嵌り込む凹部８２が形成されている。
【００１４】
図３に示すように、搬送車１は、天井面に沿って設けられた搬送経路９９を走行する走行部２と、搬送対象物８を収容する収容部３と、搬送対象物８を支持する支持部４と、搬送対象物８を吊り下げ状態で昇降させる昇降部５と、搬送対象物８の重量を検出する重量検出部６Ｓと、を備えている。
【００１５】
走行部２は、搬送経路９９に沿ってレール９９Ｒを走行する。本実施形態では、走行部２は、走行モータ２Ｍによって駆動されて水平軸周りに回転すると共にレール９９Ｒの上面を搬送経路９９の経路長手方向Ｘに沿って転動する走行輪２１を有している。例えば、搬送車１は、当該搬送車１の走行速度ＶＲを検出可能な走行速度検出部２Ｓを備えている（図７参照）。走行速度検出部２Ｓは、走行部２に設けられていても良い。例えば、走行速度検出部２Ｓは、所定時間内における走行輪２１の回転数やレール９９Ｒとの相対速度等に基づいて搬送車１の走行速度ＶＲを検出可能に構成されている。なお、以下では、経路長手方向Ｘの一方側を経路長手方向第一側Ｘ１とし、他方側を経路長手方向第二側Ｘ２として説明する。また、水平方向に沿い、かつ、経路長手方向Ｘに直交する方向を経路幅方向Ｙとし、経路幅方向Ｙの一方側を経路幅方向第一側Ｙ１とし、他方側を経路幅方向第二側Ｙ２として説明する。
【００１６】
収容部３は、搬送対象物８を収容可能であると共に、支持部４及び昇降部５も収容可能である。本実施形態では、収容部３は、経路幅方向Ｙの両側及び下方が開放された門状に形成されている。より具体的には、収容部３は、経路幅方向Ｙから見て角ばった逆Ｕ字状に形成されている（図３参照）。本実施形態では、収容部３は、搬送対象物８を上方及び経路長手方向Ｘの両側から覆う態様で、当該搬送対象物８を収容する。以下では、搬送対象物８について、収容部３に収容されている状態でのポジションを、搬送対象物８のホームポジションとして説明する。
【００１７】
支持部４は、搬送対象物８の搬送中、当該搬送対象物８を支持する。本実施形態では、支持部４は、搬送対象物８を構成する容器８０を支持する。より具体的には、支持部４は、容器８０の被支持部８１を支持することにより、搬送対象物８の全体を支持する。本実施形態では、支持部４は、支持モータ４Ｍにより駆動されて支持姿勢と解除姿勢との間で切り替わり自在な一対の支持爪４１を有している。図４〜図６に示すように、本実施形態では、一対の支持爪４１は、経路長手方向Ｘにおいて互いに離間して配置されている。そして、一対の支持爪４１は、互いに接近する方向に移動することで支持姿勢となり、互いに離間する方向に移動することで解除姿勢となる。
【００１８】
本実施形態では、一対の支持爪４１のそれぞれは、後述する昇降体５１から下方に突出するように当該昇降体５１に設けられている。そして、一対の支持爪４１のそれぞれは、昇降体５１に連結する連結部４１Ｂと、連結部４１Ｂの下端に形成される支持板部４１Ａと、を有している。図６に示すように、本実施形態では、支持板部４１Ａは、経路幅方向Ｙに沿う長方形の板状に形成されている。そして、支持板部４１Ａは、当該支持板部４１Ａが有する２つの主面のそれぞれが上方又は下方を向くように、配置されている。本実施形態では、支持板部４１Ａにおける上方を向く主面に、搬送対象物８の被支持面８１Ｆを下方から支持する支持面４１Ｆが形成されている。なお、支持面４１Ｆが被支持面８１Ｆを支持するとは、支持面４１Ｆが被支持面８１Ｆを直接支持することの他、他の部材を介して支持する場合も含むものとする。本実施形態では、支持面４１Ｆは、後述する重量検出部６Ｓを介して被支持面８１Ｆを支持する。また、図６に示すように、連結部４１Ｂは、支持板部４１Ａにおける経路長手方向Ｘの端部に起立するように形成されている。より具体的には、一対の支持爪４１のうち経路長手方向第一側Ｘ１に配置される支持爪４１の連結部４１Ｂは、支持板部４１Ａにおける経路長手方向第一側Ｘ１の端部に起立するように形成されている。一対の支持爪４１のうち経路長手方向第二側Ｘ２に配置される支持爪４１の連結部４１Ｂは、支持板部４１Ａにおける経路長手方向第二側Ｘ２の端部に起立するように形成されている。
【００１９】
本実施形態では、支持部４は、一対の支持爪４１の支持姿勢と解除姿勢とを検出する支持検出部４Ｓを備えている（図７参照）。例えば、支持検出部４Ｓは、一対の支持爪４１による光軸の遮断の有無等に基づいて一対の支持爪４１が支持姿勢であるか解除姿勢であるかを検出可能に構成されている。なお、前述した支持爪４１の支持姿勢は、支持面４１Ｆの少なくとも一部が被支持面８１Ｆの下方に配置された状態の姿勢をいう。言い換えれば、支持姿勢は、平面視で支持面４１Ｆと被支持面８１Ｆとが重複した状態での姿勢である。また、支持爪４１の解除姿勢は、平面視で支持面４１Ｆと被支持面８１Ｆとが重複していない状態での姿勢である。
【００２０】
重量検出部６Ｓは、搬送対象物８の重量を検出する。本実施形態では、重量検出部６Ｓは、搬送車１が支える搬送対象物８の重量を検出する。より具体的には、重量検出部６Ｓは、走行部２による走行中及び昇降部５による昇降中における、搬送対象物８の重量変化を検出する。本実施形態では、重量検出部６Ｓは、支持部４に支持された状態での搬送対象物８の重量を検出する。図４〜図６に示すように、本例では、重量検出部６Ｓは、支持部４に設けられている。より具体的には、重量検出部６Ｓは、一対の支持板部４１Ａのそれぞれにおける支持面４１Ｆに設けられている。図６に示すように、本実施形態では、一対の支持爪４１のうち経路長手方向第一側Ｘ１に配置される支持爪４１の支持面４１Ｆに対して設けられる重量検出部６Ｓは、当該支持面４１Ｆにおける経路幅方向第二側Ｙ２の端部近傍に配置されている。そして、経路長手方向第二側Ｘ２に配置される支持爪４１の支持面４１Ｆに対して設けられる重量検出部６Ｓは、当該支持面４１Ｆにおける経路幅方向第一側Ｙ１の端部近傍に配置されている。言い換えれば、これら一対の重量検出部６Ｓは、支持部４が搬送対象物８を支持している状態で、平面視で四角形状となる被支持部８１の拡径部８１Ａに対して、互いに対角位置となるように配置される（図６参照）。これにより、搬送対象物８の荷重が一対の重量検出部６Ｓのそれぞれに対しておおよそ均等に作用するため、搬送対象物８の重量を精度良く検出できる。
【００２１】
重量検出部６Ｓは、搬送対象物８が支持部４に支持されている状態で、支持面４１Ｆと被支持面８１Ｆとによって上下方向から挟まれる状態となる。そして、重量検出部６Ｓは、支持面４１Ｆと被支持面８１Ｆとが互いに上下方向に圧迫する荷重を検出することにより、搬送対象物８の重量を検出可能に構成されている。重量検出部６Ｓとしては、種々の検出装置を用いることができる。例えば、重量検出部６Ｓとして、加えられた力を電気信号に変換するロードセルを用いると好適である。ロードセルとしては、静電容量式、ひずみゲージ式及びその他の方式を含む様々な方式のロードセルを用いることができる。
【００２２】
図２及び図３に示すように、昇降部５は、搬送対象物８を吊り下げ状態で昇降させる。本実施形態では、昇降部５は、昇降体５１と、昇降ベルト５２が巻回された昇降プーリ５３と、昇降プーリ５３を駆動させる昇降モータ５Ｍ（図７参照）と、を有している。そして、昇降部５は、昇降モータ５Ｍによって昇降プーリ５３を駆動させることで昇降ベルト５２の繰り出しや巻き取りを行い、昇降ベルト５２に連結された昇降体５１を昇降させることができる。本例では、昇降体５１は、支持部４と連結している。これにより、昇降部５は、支持部４に支持された搬送対象物８を昇降させることができる。昇降体５１は、搬送対象物８が収容部３に収容された状態のホームポジションから搬送対象物８が載置場所９２に載置された状態まで昇降可能となっている。すなわち、昇降部５は、少なくとも、搬送車１が配置される高さと載置場所９２が配置される高さとの間で搬送対象物８を昇降させることができる。本実施形態では、昇降部５は、昇降体５１の昇降速度ＶＨを検出する昇降速度検出部５ＶＳを備えている（図７参照）。例えば、昇降速度検出部５ＶＳは、昇降プーリ５３の回転数と回転時間とに基づいて昇降体５１の昇降速度ＶＨを検出可能に構成されている。また、昇降部５は、昇降体５１の昇降量ＤＡを検出する昇降量検出部５ＤＳを備えている（図７参照）。例えば、昇降量検出部５ＤＳは、昇降体５１の昇降時における昇降プーリ５３の回転数や昇降プーリ５３が回転する時間等に基づいて昇降体５１の昇降量ＤＡを検出可能に構成されている。なお、本実施形態では、昇降ベルト５２を最後まで巻き取ることで、昇降体５１及びこれに連結する支持部４が、収容部３に収容される。この状態で、支持部４に支持された搬送対象物８がホームポジションに配置される。
【００２３】
本実施形態では、搬送対象物８は、支持部４に支持された状態で昇降体５１の昇降に伴って上下方向に移動し、走行部２の走行に伴って搬送経路９９に沿って移動する。以下の説明では、昇降体５１の昇降により搬送対象物８が昇降することを、単に、搬送対象物８が昇降する、という場合がある。また、走行部２の走行により搬送対象物８が搬送経路９９に沿って移動することを、単に、搬送対象物８が搬送経路９９に沿って移動する、という場合がある。すなわち、搬送対象物８は、昇降速度ＶＨで昇降可能であり、走行速度ＶＲで搬送経路９９に沿って移動可能である。
【００２４】
１−２．搬送車の制御構成
次に、搬送車１の制御構成について、図７を参照して説明する。
搬送車１は、当該搬送車１の作動を制御する個別制御装置ＨＭを備えている。例えば、搬送車１が備えられる搬送設備には、個別制御装置ＨＭを含めた設備全体の制御を行う統括制御装置ＨＴが設けられている。統括制御装置ＨＴは、これら複数の個別制御装置ＨＭを含む搬送設備全体の制御を行う。例えば、統括制御装置ＨＴ及び個別制御装置ＨＭは、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、統括制御装置ＨＴ及び個別制御装置ＨＭの各機能が実現される。
【００２５】
本実施形態では、統括制御装置ＨＴと個別制御装置ＨＭとは、相互に通信可能である。例えば、搬送対象場所９等に搬送車１を移動させるために、統括制御装置ＨＴが、当該搬送車１に対応する個別制御装置ＨＭに移動先の場所を含む移動指令を出力する。そして、指令を受けた個別制御装置ＨＭが当該搬送車１の作動を制御することで、当該搬送車１を搬送対象場所９等に移動させることができる。
【００２６】
本実施形態では、個別制御装置ＨＭは、記憶部ＭＥと、演算部ＯＰと、を備えている。個別制御装置ＨＭは、走行速度検出部２Ｓ、昇降速度検出部５ＶＳ、昇降量検出部５ＤＳ、支持検出部４Ｓ、重量検出部６Ｓ及び異常検出部７Ｓによって検出される各種の情報を取得して、これらの情報を記憶部ＭＥに記憶する。そして、個別制御装置ＨＭは、これらの情報に基づいて、又は、演算部ＯＰによるこれらの情報の演算結果に基づいて、走行モータ２Ｍ、支持モータ４Ｍ、及び昇降モータ５Ｍの作動を制御する。
【００２７】
１−３．搬送車の動作
次に、搬送車１の動作について説明する。
例えば、搬送車１は、統括制御装置ＨＴからの指令を受けて、目的の搬送対象場所９に走行し、目的の搬送対象場所９に対応する載置場所９２の上方で停止する。そして、搬送車１は、昇降部５によって搬送対象物８をホームポジション（収容部３の内部）から下降させて、当該搬送対象物８を載置場所９２に載置する。本実施形態では、搬送対象物８を載置場所９２に載置する過程で、第一下降処理と第二下降処理とを実行する。第一下降処理は、昇降体５１の下降量ＤＡに基づいて昇降体５１の速度制御を行う処理である。図８に示すように、第一下降処理は、第一フェーズＦ１において実行される。本例では、第一下降処理は、時刻Ｔ３において終了する。そして、第一下降処理を終了すると同時に第二下降処理が実行される。第二下降処理は、搬送対象物８の重量変化に基づいて昇降体５１の速度制御を行う処理である。第二下降処理は、第二フェーズＦ２において実行される。本例では、第二下降処理は、時刻Ｔ３において開始され、時刻Ｔ５において終了する。
【００２８】
ここで、本実施形態では、昇降部５は、搬送対象物８を等速で下降させる等速下降が可能である。また、昇降部５は、搬送対象物８を加速させながら下降させる加速下降と、減速させながら下降させる減速下降と、が可能である。本実施形態では、加速下降と等速下降と減速下降とのそれぞれを、種々の状況に応じて実行することで、昇降体５１（搬送対象物８）の速度制御を行う。
【００２９】
搬送対象物８をホームポジションから載置場所９２に搬送（載置）する際の制御の手順を、図９に基づいて説明する。搬送車１が目的の搬送対象場所９に対応する載置場所９２の上方で停止後、搬送対象物８を載置場所９２に搬送（載置）すべく、個別制御装置ＨＭは、まず、第一下降処理を実行する（＃１００）。搬送対象物８と載置場所９２とが接触するタイミングのばらつきに対応するために、第一下降処理の実行により、搬送対象物８が載置場所９２に接触する前の期間において昇降体５１の下降速度ＶＨを低い状態に制御する。ここで、搬送対象物８と載置場所９２とが接触するタイミングのばらつきは、昇降ベルト５２の伸びや設備内を流れる気流等を起因として生じる。例えば、搬送対象物８の重量によって昇降ベルト５２が下方に引っ張られる力が異なると、昇降ベルト５２の伸びも異なってくる。また、一般的に、半導体基板８０Ｔの処理は、内部が清潔に保たれたいわゆるクリーンルームで行われる。クリーンルームでは、ダウンフローを起こすことにより埃等が舞うのを抑制している。例えば、クリーンルーム内では、このダウンフローに起因した気流が発生することがある。搬送対象物８等が気流によって揺れると、搬送対象物８と載置場所９２とが接触するタイミングにばらつきが生じてくる。本実施形態では、このようなタイミングのばらつきに対応した速度制御を行う。
【００３０】
前述したように、個別制御装置ＨＭは、第一フェーズＦ１において第一下降処理を実行する（図８参照）。より具体的には、個別制御装置ＨＭは、下降開始と同時に加速下降を実行し、昇降体５１が第一下降量ＤＡ１下降した後、等速下降（第一等速下降；例えば、制限速度内での最高速度で下降）を実行する。そして、個別制御装置ＨＭは、等速下降を実行開始して昇降体５１が第二下降量ＤＡ２下降した後、減速下降を実行する。更に、個別制御装置ＨＭは、減速下降を実行開始して昇降体５１が更に第三下降量ＤＡ３下降した後、再び等速下降（第二等速下降）を実行する。図８における時刻Ｔ３において第一フェーズＦ１が終了すると共に第一下降処理が終了する。そして、第一下降処理が終了するのと同時に第二下降処理が実行される。
【００３１】
図９に示すように、個別制御装置ＨＭは、第一下降処理の実行後（＃１００）、第二下降処理を実行する（＃２００）。第二下降処理によって昇降体５１の下降中における搬送対象物８の重量変化を検出することにより、搬送対象物８が載置場所９２に接触するタイミングのばらつきに対応した速度制御を行う。例えば、昇降体５１の下降開始時には、搬送車１が、搬送対象物８の荷重の全部を支持している状態である。そして、図４に示すように、下降する搬送対象物８が上方から載置場所９２に接触するタイミングで、搬送対象物８の荷重の一部が載置場所９２に移り始める（以下、荷重移行開始状態という）。そして、この状態から搬送対象物８が更に下降すると、搬送対象物８の荷重の全部が載置場所９２に移り（以下、荷重移行完了状態という）、搬送対象物８の吊り下げ状態が解消する。荷重移行完了状態から昇降体５１を更に下降させることで、図５に示すように、支持面４１Ｆ（重量検出部６Ｓ）と被支持面８１Ｆとが離間する。これにより、支持部４による搬送対象物８の支持が解除される。なお、搬送対象物８を吊り下げた状態での昇降ベルト５２の伸びに応じて、荷重移行開始状態から荷重移行完了状態までの下降量（昇降プーリ５３の回転量）及び下降時間も異なってくる。すなわち、搬送対象物８の重量が大きいことにより昇降ベルト５２の伸びが大きくなっている場合には、荷重移行開始状態から昇降ベルト５２の伸びが自然長になるまで一定の下降量及び下降時間を要する。そして、昇降ベルト５２が自然長になった状態から載置場所９２への荷重の移行が進み始め、やがて荷重移行完了状態となる。一方で、この場合に比べて搬送対象物８の重量が小さい場合には、昇降ベルト５２の伸びも小さくなるため、荷重移行開始状態から昇降ベルト５２が自然長になるまでの下降量及び下降時間が短くなる。そのため、この場合には、昇降ベルト５２の伸びが大きな場合に比べて、荷重移行開始状態から荷重移行完了状態となるまでの下降量及び下降時間が短くなる。
【００３２】
ここで、第一下降処理では、搬送対象物８と載置場所９２とが接触するタイミングのばらつきに対応するために、搬送対象物８が載置場所９２に接触する前後のある程度の期間、昇降体５１の下降速度ＶＨを低い状態に制御していた。しかし、荷重移行開始状態となった後は、搬送対象物８と載置場所９２とが既に接触している状態である。そのため、本実施形態では、個別制御装置ＨＭは、荷重移行開始状態となった後に昇降体５１の加速下降を実行することで、搬送効率の向上を図っている。更に、本実施形態では、搬送車１は、異常検出部７Ｓを備えている。図４及び図５等に示すように、本実施形態では、異常検出部７Ｓは、昇降体５１から下方に向かって突出するように設けられている。そして、異常検出部７Ｓの下端部が、被支持部８１に形成された凹部８２に嵌り込むように配置されている。荷重移行完了状態となった後、昇降体５１が更に下降すると、昇降体５１と搬送対象物８とが上下方向において相対移動する。この相対移動の大きさを検出することにより、昇降体５１と搬送対象物８との上下方向の距離を検出できる。本例では、昇降体５１が下降限度を超えて下降したことを異常検出部７Ｓが検出すると、昇降体５１の下降を停止させる。また、例えば、異常を検出した異常検出部７Ｓは、異常音を発生させ、或いは、個別制御装置ＨＭ（又は統括制御装置ＨＴ）に対してエラーを報知する。
【００３３】
次に、第一下降処理について、図８のタイムチャート及び図１０のフローチャートを参照して説明する。なお、図８は、横軸を時間、縦軸を昇降体５１（搬送対象物８）の速度としたタイムチャートである。図８では、本実施形態での昇降体５１の速度変化を実線の折れ線で示しており、比較例での昇降体５１の速度変化を破線の折れ線で示している。また、図８において、速度変化を示す折れ線と横軸とによって囲まれた範囲は、昇降体５１の下降量ＤＡを示している。個別制御装置ＨＭは、第一フェーズＦ１において第一下降処理を実行する。第一下降処理は、搬送対象物８がホームポジションに位置している状態から実行される。
【００３４】
図１０に示すように、個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の下降を開始すると同時に、昇降体５１の加速下降を開始する（＃１０１）。次に、個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の下降量ＤＡが第一下降量ＤＡ１以上になったか否かを判定する（＃１０２）。個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の下降量ＤＡが第一下降量ＤＡ１以上になっていないと判定した場合には（＃１０２：Ｎｏ）、再びステップ１０２を実行する（＃１０２）。個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の下降量ＤＡが第一下降量ＤＡ１以上になったと判定した場合には（＃１０２：Ｙｅｓ）、昇降体５１の等速下降（第一等速下降）を開始する（＃１０３）。本例では、図８に示すように、時刻Ｔ１において昇降体５１の等速下降が開始される。次に、個別制御装置ＨＭは、下降開始後の昇降体５１の下降量ＤＡが、第一下降量ＤＡ１と第二下降量ＤＡ２との和以上になったか否かを判定する（＃１０４）。個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の下降量ＤＡが第一下降量ＤＡ１と第二下降量ＤＡ２との和以上になっていないと判定した場合には（＃１０４：Ｎｏ）、再びステップ１０４を実行する（＃１０４）。個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の下降量ＤＡが第一下降量ＤＡ１と第二下降量ＤＡ２との和以上になったと判定した場合には（＃１０４：Ｙｅｓ）、昇降体５１の減速下降を開始する（＃１０５）。図８に示すように、時刻Ｔ２において昇降体５１の減速下降が開始される。次に、個別制御装置ＨＭは、減速下降開始後の昇降体５１の下降量ＤＡが、第一下降量ＤＡ１と第二下降量ＤＡ２と第三下降量ＤＡ３との和以上になったか否かを判定する（＃１０６）。個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の下降量ＤＡが第一下降量ＤＡ１と第二下降量ＤＡ２と第三下降量ＤＡ３との和以上になっていないと判定した場合には（＃１０６：Ｎｏ）、再びステップ１０６を実行する（＃１０６）。個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の下降量ＤＡが第一下降量ＤＡ１と第二下降量ＤＡ２と第三下降量ＤＡ３との和以上になったと判定した場合には（＃１０６：Ｙｅｓ）、昇降体５１の等速下降を開始すると共に第二下降処理に移行する（＃１０７）。本例では、図８に示すように、時刻Ｔ３において昇降体５１の減速下降を終了して等速下降が開始される。以上のようにして、第一下降処理が実行される。
【００３５】
次に、第二下降処理について、図８のタイムチャート及び図１１のフローチャートを参照して説明する。第二下降処理は、第一下降処理の実行後に実行される。すなわち、第二下降処理は、第一下降処理によって昇降体５１が等速下降をしている状態から実行される。図８に示すように、個別制御装置ＨＭは、第二フェーズＦ２において第二下降処理を実行する。
【００３６】
本実施形態では、搬送車１は、支持部４により搬送対象物８を支持した状態での昇降部５による搬送対象物８の下降中に重量検出部６Ｓにより検出する検出値が第一設定値Ｗ０α以下になった後に、搬送対象物８の下降速度ＶＨを増加させる。また、搬送車１は、重量検出部６Ｓにより検出する検出値が第一設定値Ｗ０α以下になったか否かの判定を、搬送対象物８の等速下降（第二等速下降）中に行う。本実施形態では、図１１に示すように、個別制御装置ＨＭは、重量検出部６Ｓにより検出される検出値である搬送対象物８の現在の検出重量Ｗが、搬送対象物８の基準重量Ｗ０に定数αを乗算して得られる第一設定値Ｗ０α以下であるか否かを昇降体５１の等速下降中に判定し（＃２０１）、検出重量Ｗが第一設定値Ｗ０α以下であると判定した場合には（＃２０１：Ｙｅｓ）、昇降体５１の加速下降を開始する（＃２０２）。本例では、図８に示すように、時刻Ｔ４において昇降体５１の加速下降が開始される。前述したように、搬送対象物８と載置場所９２とが接触するタイミングは状況によってばらつくため、搬送対象物８と載置場所９２とが接触する以前からこれらが接触するタイミングを予想することは困難である。しかし、このように、低い速度で等速下降（第二等速下降）することで、搬送対象物８と載置場所９２とが接触するタイミングがばらついたとしても接触時の衝撃を緩和できる。また、昇降体５１が下降中に加速又は減速する場合には、加速時又は減速時に生じる慣性により搬送対象物８の重量が変化することになる。しかし、昇降体５１が等速下降中の場合には、そのような重量変化は生じないため、搬送対象物８の検出重量Ｗを精度良く検出することができ、当該検出重量Ｗが第一設定値Ｗ０α以下になったか否かを精度良く判定できる。
【００３７】
本実施形態では、第一設定値Ｗ０αは、搬送対象物８の基準重量Ｗ０に対して設定割合小さい値である。また、基準重量Ｗ０は、搬送対象物８の静止状態で重量検出部６Ｓにより検出された検出値である。搬送対象物８の静止状態に重量検出部６Ｓにより基準重量Ｗ０を検出することで、搬送対象物８に作用する慣性の影響を除外した搬送対象物８そのものの重量を検出できる。定数αは、０よりも大きく１よりも小さい数とされる。例えば、定数αは、０．７〜０．９５に設定される。この第一設定値Ｗ０αは、荷重移行開始状態となった直後を検出可能な値に設定されると好適である。例えば、第一設定値Ｗ０αは、搬送対象物８の昇降時の慣性による検出誤差や、重量検出部６Ｓの精度に伴う検出誤差等を考慮した値に極力近い値に設定されると良い。ここで、昇降体５１が等速下降中の場合には、搬送対象物８の重量変化はほとんどないから、検出重量Ｗと基準重量Ｗ０とは略同じとなる。そのため、検出重量Ｗが第一設定値Ｗ０α以下となった場合には、搬送対象物８が通常の状態よりも軽くなったと判定でき、言い換えれば、現在の状態が荷重移行開始状態であると判定できる。図１１に示すように、個別制御装置ＨＭは、搬送対象物８の検出重量Ｗが第一設定値Ｗ０α以下でないと判定した場合には（＃２０１：Ｎｏ）、再びステップ２０１を実行する（＃２０１）。
【００３８】
個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の加速下降を開始した後は（＃２０２）、設定時間経過したか否かを判定する（＃２０３）。個別制御装置ＨＭは、設定時間経過したと判定した場合には（＃２０３：Ｙｅｓ）、昇降体５１の等速下降（第三等速下降）を開始し（＃２０４）、設定時間経過していないと判定した場合には（＃２０３：Ｎｏ）、再びステップ２０３を実行する（＃２０３）。このように、設定時間経過した後に昇降体５１の下降を加速下降から等速下降（第三等速下降）に切り換えることで、荷重移行完了状態となった後に停止する際に、加速下降の状態から停止するよりも速やかに停止することができる。
【００３９】
搬送車１は、重量検出部６Ｓにより検出する検出値が第一設定値Ｗ０αよりも小さい第二設定値以下になったことを条件に、昇降部５による搬送対象物８の吊り下げ状態が解消されたと判定する。本実施形態では、第二設定値は０に設定されている。図１１に示すように、個別制御装置ＨＭは、昇降体５１の等速下降の開始後は（＃２０４）、搬送対象物８の検出重量Ｗが０（第二設定値）になったか否かを判定する（＃２０５）。前述したように、昇降部５による搬送対象物８の吊り下げ状態が解消された状態、すなわち、荷重移行完了状態は、搬送対象物８の荷重の全部が載置場所９２に移った状態である。そのため、このとき重量検出部６Ｓが検出する搬送対象物８の重量は０となる。本実施形態では、第二設定値が０に設定されており、搬送対象物８の検出重量Ｗが０となったときに、個別制御装置ＨＭは荷重移行完了状態であると判定する。本実施形態では、搬送車１は、下降速度ＶＨを増加させた後、昇降部５による搬送対象物８の吊り下げ状態の解消後に、支持部４による搬送対象物８の支持を解除する。図１１に示すように、個別制御装置ＨＭは、搬送対象物８の検出重量Ｗが０になったと判定した場合には（＃２０５：Ｙｅｓ）、昇降体５１を更に下降させることで、支持面４１Ｆと被支持面８１Ｆとを離間させる（図５も参照）。これにより、支持部４による搬送対象物８の支持を解除する（＃２０６）。個別制御装置ＨＭは、搬送対象物８の検出重量Ｗが０になっていないと判定した場合には（＃２０５：Ｎｏ）、再びステップ２０５を実行する（＃２０５）。そして、個別制御装置ＨＭは、搬送対象物８の支持を解除した後は（＃２０６）、昇降体５１を停止させる（＃２０７）。
【００４０】
本実施形態では、第二下降処理を実行することにより、比較例に比べて搬送効率を向上させることができる。図８に示すように、本実施形態と比較例とは、時刻Ｔ４までは、同じ速度制御が実行され、また、昇降体５１の下降量ＤＡも同じである。しかしながら、時刻Ｔ４において、本実施形態では昇降体５１の加速下降が開始され、比較例では等速下降の状態が維持されている。そして、比較例では、荷重移行完了状態となるまでに時刻Ｔ６までの時間を要しているが、本実施形態では、時刻Ｔ６までの時間よりも短い時刻Ｔ５までの時間で荷重移行完了状態となっている。そのため、本実施形態は、比較例に比べて、搬送対象物８を載置場所９２に載置するまでに要する時間が短く、搬送効率を向上させることができる。
【００４１】
また、本実施形態では、搬送車１は、重量検出部６Ｓにより容器８０に収容された半導体基板８０Ｔの有無を少なくとも検出する。例えば、搬送車１は、重量検出部６Ｓにより容器８０に収容された半導体基板８０Ｔの数量を検出する。搬送車１は、搬送対象物８として、半導体基板８０Ｔを収容している容器８０を搬送する場合と、半導体基板８０Ｔを収容していない容器８０を搬送する場合と、がある。更には、容器８０が半導体基板８０Ｔを収容している場合であっても、収容している半導体基板８０Ｔの数量が異なる場合もある。
【００４２】
例えば、容器８０が、搬送車１によって載置場所９２に載置された後に処理装置９１によって処理される場合には、半導体基板８０Ｔの収容されていない空の容器８０が、半導体基板８０Ｔの処理が終わるまで載置場所９２で待機することになる。このとき、例えば、半導体基板８０Ｔの処理時間が長くなる場合には、載置場所９２で待機中の空の容器８０を他の場所に移動させるか、空の容器８０に他の半導体基板８０Ｔを搬送させることがある。このような場合には、搬送車１は、半導体基板８０Ｔを収容していない容器８０を搬送することになる。
【００４３】
例えば、本実施形態では、個別制御装置ＨＭの記憶部ＭＥに、容器８０の重量情報が記憶されている。個別制御装置ＨＭは、重量検出部６Ｓにより検出された搬送対象物８の検出重量Ｗと記憶部ＭＥに記憶された容器８０の重量情報とを照らし合わせて容器８０に収容された半導体基板８０Ｔの有無を検出する。より具体的には、検出重量Ｗが記憶部ＭＥに記憶された容器８０の重量よりも重い場合には、容器８０に少なくとも１つ以上の半導体基板８０Ｔが収容されていることが分かる。また、個別制御装置ＨＭの記憶部ＭＥには、半導体基板８０Ｔの数量に応じた複数の重量情報が記憶されている。これらの重量情報と重量検出部６Ｓにより検出した検出重量Ｗとを照らし合わせることで、容器８０に収容されている半導体基板８０Ｔの数量を検出できる。
【００４４】
本実施形態では、重量検出部６Ｓにより半導体基板８０Ｔが検出された場合に、半導体基板８０Ｔが検出されない場合に比べて走行部２による搬送対象物８の走行速度ＶＲを遅くする。例えば、搬送対象物８が搬送経路９９に沿って移動中に容器８０が振動すると、容器８０に収容された半導体基板８０Ｔが容器８０の内壁等に打ち付けられて損傷する可能性がある。そして、搬送対象物８が搬送経路９９に沿って移動中に発生する振動は、走行部２の走行速度ＶＲが速いほど大きくなり易く、走行速度ＶＲが遅いほど小さくなり易い。本実施形態では、半導体基板８０Ｔが収容されている容器８０を搬送する場合に、走行部２の走行速度ＶＲを遅くする。これにより、半導体基板８０Ｔが収容されている容器８０が搬送経路９９に沿って移動中に発生する振動を小さくできる。そして、当該振動を小さくすることで、半導体基板８０Ｔが容器８０の内壁等に打ち付けられる事態を抑制し、その結果、容器８０に収容された半導体基板８０Ｔの損傷を抑制できる。一方で、容器８０に半導体基板８０Ｔが収容されていない場合には、損傷が懸念される半導体基板８０Ｔ自体が存在していない状態である。そのため、本実施形態では、半導体基板８０Ｔが収容されていない容器８０を搬送する場合に、走行部２の走行速度ＶＲを速くする。これにより、搬送効率を向上させることができる。
【００４５】
図１２に示すタイムチャートでは、横軸を時間とし、縦軸を走行速度としている。そして、実線の折れ線を容器８０に半導体基板８０Ｔが収容されていない場合における走行部２の走行速度ＶＲ１とし、破線の折れ線を容器８０に半導体基板８０Ｔが収容されている場合における走行部２の走行速度ＶＲ２としている。図１２の実線の折れ線で示すように、容器８０に半導体基板８０Ｔが収容されていない状態での走行部２の走行速度ＶＲ１は、容器８０に半導体基板８０Ｔが収容されている状態での走行部２の走行速度ＶＲ２よりも速く設定されている。これにより、同じ距離を走行する場合には、走行部２を走行速度ＶＲ１で走行させる方が走行部２を走行速度ＶＲ２で走行させるよりも、走行時間を短縮できる。例えば、同じ距離を走行するのに、走行部２が走行速度ＶＲ１で走行する場合には、時刻Ｔ７までの時間を要する。一方で、走行部２が走行速度ＶＲ２で走行する場合には、時刻Ｔ７までの時間よりも長い時刻Ｔ８までの時間を要する。このように、容器８０に半導体基板８０Ｔが収容されていない場合には、走行部２の走行速度ＶＲを速くすることで、設備全体としての搬送効率の向上が図れる。
【００４６】
また、本実施形態では、重量検出部６Ｓにより半導体基板８０Ｔが検出された場合に、半導体基板８０Ｔが検出されない場合に比べて昇降部５による搬送対象物８の昇降速度ＶＨを遅くする。前述したように、本実施形態では、昇降部５の昇降体５１を昇降させることにより、昇降体５１と連結した支持部４が支持する搬送対象物８を昇降させる。また、前述した走行部２を走行させる場合と同様に、昇降体５１を昇降させる場合であっても、振動によって半導体基板８０Ｔが破損するという問題がある。本実施形態では、半導体基板８０Ｔが収容されている容器８０を昇降させる場合に、昇降体５１の昇降速度ＶＨを遅くする。これにより、半導体基板８０Ｔが収容されている容器８０が昇降中に発生する振動を小さくできる。そして、当該振動を小さくすることで、半導体基板８０Ｔが容器８０の内壁等に打ち付けられる事態を抑制し、その結果、容器８０に収容された半導体基板８０Ｔの損傷を抑制できる。一方で、容器８０に半導体基板８０Ｔが収容されていない場合には、損傷が懸念される半導体基板８０Ｔ自体が存在していない状態である。そのため、本実施形態では、半導体基板８０Ｔが収容されていない容器８０を昇降させる場合に、昇降体５１の昇降速度ＶＨを速くする。これにより、搬送効率を向上させることができる。なお、半導体基板８０Ｔの有無に基づいて行う昇降体５１の速度制御は、前述の走行部２の速度制御と略同じであるので、タイムチャートを用いた説明は省略する。
【００４７】
２．その他の実施形態
次に、搬送車のその他の実施形態について説明する。
【００４８】
（１）上記の実施形態では、搬送車１は、重量検出部６Ｓにより検出する検出値が第一設定値Ｗ０αよりも小さい第二設定値以下になったことを条件に、昇降部５による搬送対象物８の吊り下げ状態が解消されたと判定する例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。すなわち、重量検出部６Ｓにより検出する検出値が第一設定値Ｗ０αよりも小さい第二設定値以下になったこと、及び搬送対象物８を搬送車１から載置場所９２までの高さに対応する設定量下降させたこと、の少なくとも一方を条件に、昇降部５による搬送対象物８の吊り下げ状態が解消されたと判定しても良い。例えば、設定量は、ホームポジションに位置した状態での搬送対象物８の底面から載置場所９２の載置面までの距離に、昇降ベルト５２の伸び等の誤差を足した値である。例えば、搬送対象物８を搬送車１から載置場所９２までの高さに対応する設定量下降させたことのみを、搬送対象物８の吊り下げ状態が解消されたと判定する条件にしても良い。この場合には、重量検出部６Ｓに不具合が生じた場合でも判定できる。または、上記の双方が満たされることを、搬送対象物８の吊り下げ状態が解消されたと判定する条件にしても良い。この場合には、上記のうちいずれかを条件とする場合に比べて、より確実性の高い判定ができる。
【００４９】
（２）上記の実施形態では、一対の支持爪４１が、互いに接近する方向に移動することで支持姿勢となり、互いに離間する方向に移動することで解除姿勢となる、いわゆるスライド式に構成されている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。すなわち、一対の支持爪４１は、互いに離間する方向に移動することで支持姿勢となり、互いに接近する方向に移動することで解除姿勢となるように構成されていても良い。この場合には、被支持部８１が一対の支持爪４１の移動方向に沿って離間して一対設けられており、一対の支持爪４１の双方が当該一対の被支持部８１の間に配置されるように構成される。また、一対の支持爪４１は、スライド式に限らず、軸周りに揺動する揺動式であっても良い。また、水平軸周りに揺動する方式であっても良いし、鉛直軸周りに揺動する方式であっても良いし、その他水平方向や鉛直方向に対して傾く軸周りに揺動する方式であっても良い。
【００５０】
（３）上記の実施形態では、基準重量Ｗ０は、搬送対象物８の静止状態で重量検出部６Ｓにより検出された検出値である例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。すなわち、基準重量Ｗ０の検出は、昇降体５１の等速下降中に行っても良い。昇降体５１が等速下降している間は、上下方向の慣性による搬送対象物８の重量変化は生じないから、搬送対象物８に作用する慣性の影響を除外した搬送対象物８そのものの重量を検出できる。また、昇降体５１が昇降していない状態であれば、走行部２の走行中に検出するようにしても良い。
【００５１】
（４）上記の実施形態では、重量検出部６Ｓにより半導体基板８０Ｔが検出された場合に、半導体基板８０Ｔが検出されない場合に比べて走行部２による搬送対象物８の走行速度ＶＲを遅くする例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。すなわち、重量検出部６Ｓにより検出された半導体基板８０Ｔの数量に基づいて、走行部２による搬送対象物８の走行速度ＶＲを調整しても良い。例えば、容器８０に収容された半導体基板８０Ｔの数量が多いほど、走行部２による搬送対象物８の走行速度ＶＲを遅くしても良い。
【００５２】
（５）上記の実施形態では、重量検出部６Ｓにより半導体基板８０Ｔが検出された場合に、半導体基板８０Ｔが検出されない場合に比べて昇降部５による搬送対象物８の昇降速度ＶＨを遅くする例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。すなわち、重量検出部６Ｓにより検出された半導体基板８０Ｔの数量に基づいて、昇降部５による搬送対象物８の昇降速度ＶＨを調整しても良い。例えば、容器８０に収容された半導体基板８０Ｔの数量が多いほど、昇降部５による搬送対象物８の昇降速度ＶＨを遅くしても良い。
【００５３】
（６）上記の実施形態では、被支持部８１は、容器８０の上面に設けられている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。被支持部８１は、容器８０の側面に設けられていても良い。また、被支持部８１は、容器８０に設けられていなくても良い。この場合には、支持部４が、容器８０を側方から把持するように構成されると良い。
【００５４】
（７）上記の実施形態では、重量検出部６Ｓが支持部４に設けられている例について説明した。しかし、本発明はこのような例に限定されない。すなわち、重量検出部６Ｓは、搬送車１における、支持部４よりも上方に設けられていても良い。例えば、重量検出部６Ｓは、昇降体５１と昇降ベルト５２との間に設けられていても良い。このとき、重量検出部６Ｓは、昇降体５１や支持部４など、重量検出部６Ｓよりも下方に配置される部材の重量も検出することになる。この場合には、検出重量Ｗから、昇降体５１や支持部４などの重量検出部６Ｓよりも下方に配置される部材を除いた重量が、搬送対象物８の重量となる。例えば、当該部材の重量の情報は、個別制御装置ＨＭの記憶部ＭＥに記憶されていると良い。
【００５５】
（８）なお、前述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。
【００５６】
３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した搬送車の概要について説明する。
【００５７】
下方に設けられた載置場所に搬送対象物を搬送する搬送車であって、前記搬送対象物を支持する支持部と、前記搬送対象物を吊り下げ状態で昇降させる昇降部と、前記搬送対象物の重量を検出する重量検出部と、を備え、前記支持部により前記搬送対象物を支持した状態での前記昇降部による前記搬送対象物の下降中に前記重量検出部により検出する検出値が第一設定値以下になった後に、前記搬送対象物の下降速度を増加させ、その後、前記昇降部による前記搬送対象物の吊り下げ状態の解消後に、前記支持部による前記搬送対象物の支持を解除する。
【００５８】
本構成によれば、下降中の搬送対象物の重量を、重量検出部によって検出できる。ここで、重量検出部は搬送車に備えられているため、実際には、重量検出部は、搬送車が支える搬送対象物の重量を検出する。すなわち、重量検出部は、下降速度の加減速時や搬送対象物が載置場所に接触したこと等による、搬送対象物の重量変化を検出可能である。本構成によれば、これを利用して、重量検出部による検出値が第一設定値以下になったことにより搬送対象物が載置場所と接触したと判定できる。搬送対象物が載置場所に接触した後は、搬送対象物の下降速度を速くしても、搬送対象物が載置場所に衝突する事態は生じない。そこで、本実施形態では、重量検出部による検出値が第一設定値以下になった後に搬送対象物の下降速度を増加させており、これにより、搬送対象物が載置場所に接触してから、搬送対象物が載置場所に完全に支えられて搬送対象物の吊り下げ状態が解消されるまでの時間を、短縮することができる。すなわち、本構成によれば、搬送対象物が載置場所に接触するタイミングのばらつきに対応した速度制御を行うことで搬送効率を向上させることができる。
【００５９】
また、前記重量検出部により検出する検出値が前記第一設定値よりも小さい第二設定値以下になったこと、及び前記搬送対象物を前記搬送車から前記載置場所までの高さに対応する設定量下降させたこと、の少なくとも一方を条件に、前記昇降部による前記搬送対象物の吊り下げ状態が解消されたと判定すると好適である。
【００６０】
本構成によれば、昇降部による搬送対象物の吊り下げ状態が解消されたこと、すなわち、搬送対象物の荷重の全部が載置場所に移った状態であることを、予め設定された条件を満たすことにより判定できる。ここで、重量検出部により検出する検出値が第一設定値よりも小さい第二設定値以下になったことを条件とする場合には、重量検出部によって検出される実際の重量に基づいて確実性の高い判定ができる。
また、搬送対象物を設定量下降させたことを条件とする場合には、重量検出部のみに頼ることなく判定できる。
また、上記の双方を条件とする場合には、上記の条件のうちいずれかを条件とする場合に比べて、より確実性の高い判定ができる。
【００６１】
また、前記昇降部は、前記搬送対象物を等速で下降させる等速下降が可能であり、前記重量検出部により検出する検出値が前記第一設定値以下になったか否かの判定は、前記搬送対象物の等速下降中に行うと好適である。
【００６２】
搬送対象物が下降中に加速又は減速する場合には、加速時又は減速時に生じる慣性により搬送対象物の重量の検出値が変化することになる。この点、本構成によれば、搬送対象物の重量の検出値の変化が生じない等速下降中に、重量検出部により検出する検出値が第一設定値以下になったか否かの判定を行うため、当該判定の精度を確保することができる。
【００６３】
前記第一設定値は、前記搬送対象物の基準重量に対して設定割合小さい値であり、前記基準重量は、前記搬送対象物の静止状態で前記重量検出部により検出された検出値であると好適である。
【００６４】
本構成によれば、搬送対象物の静止状態において重量検出部により基準重量を検出するため、搬送対象物に作用する慣性の影響を除外した搬送対象物そのものの重量を検出できる。そして、第一設定値はこの基準重量に対して設定割合小さい値であるから、重量検出部により検出される検出値が第一設定値以下になったときに、搬送対象物が基準重量よりも軽くなったと判定できる。これにより、荷重移行開始状態になったことを判定できる。
【００６５】
前記搬送対象物は、半導体基板と、前記半導体基板を収容する容器と、を含んでおり、前記重量検出部により前記容器に収容された前記半導体基板の有無を少なくとも検出し、前記重量検出部により前記半導体基板が検出された場合に、前記半導体基板が検出されない場合に比べて前記昇降部による前記搬送対象物の昇降速度を遅くすると好適である。
【００６６】
搬送対象物の昇降速度が速いほど昇降中の振動が大きくなり易く、遅いほど昇降中の振動は小さくなり易い。本実施形態では、搬送対象物が半導体基板とこの半導体基板を収容する容器である場合には、重量検出部を利用して、少なくとも、容器内の半導体基板の有無を検出できる。そして、容器内に半導体基板があることが検出された場合には、検出されなかった場合に比べて搬送対象物の昇降速度を遅くするため、搬送対象物の昇降時に生じる振動を小さく抑えることが可能となる。従って、本構成によれば、搬送対象物の昇降時に発生する振動に起因した半導体基板の損傷を抑制できる。
【００６７】
また、天井面に沿って設けられた搬送経路を走行する走行部を更に備え、前記搬送対象物は、半導体基板と、前記半導体基板を収容する容器と、を含んでおり、前記重量検出部により前記容器に収容された前記半導体基板の有無を少なくとも検出し、前記重量検出部により前記半導体基板が検出された場合に、前記半導体基板が検出されない場合に比べて前記走行部による走行速度を遅くすると好適である。
【００６８】
走行部による走行速度が速いほど走行中の振動が大きくなり易く、遅いほど走行中の振動は小さくなり易い。本実施形態では、搬送対象物が半導体基板とこの半導体基板を収容する容器である場合には、重量検出部を利用して、少なくとも、容器内の半導体基板の有無を検出できる。そして、容器内に半導体基板があることが検出された場合には、検出されなかった場合に比べて走行部による走行速度を遅くするため、走行部による走行時に生じる振動を小さく抑えることが可能となる。従って、本構成によれば、走行部による走行時に発生する振動に起因した半導体基板の損傷を抑制できる。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本開示に係る技術は、搬送対象物を昇降させる昇降部を備えた搬送車に利用することができる。
【符号の説明】
【００７０】
１      ：搬送車
２      ：走行部
３      ：収容部
４      ：支持部
５      ：昇降部
６Ｓ    ：重量検出部
７Ｓ    ：異常検出部
８      ：搬送対象物 
５１    ：昇降体
８０    ：容器
８０Ｔ  ：半導体基板
９２    ：載置場所
９９    ：搬送経路
ＶＨ    ：昇降速度（下降速度）
ＶＲ    ：走行速度
Ｗ０    ：基準重量
Ｗ０α  ：第一設定値
【図１】
2018073174.tif 000003
【図２】
2018073174.tif 000004
【図３】
2018073174.tif 000005
【図４】
2018073174.tif 000006
【図５】
2018073174.tif 000007
【図６】
2018073174.tif 000008
【図７】
2018073174.tif 000009
【図８】
2018073174.tif 000010
【図９】
2018073174.tif 000011
【図１０】
2018073174.tif 000012
【図１１】
2018073174.tif 000013
【図１２】
2018073174.tif 000014