(57)【要約】【課題】取付部が損傷することを抑制する。【解決手段】一端部側から他端部に向かって延びる圧力導入孔１２が形成された有底筒状であり、他端部に圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム１４が構成され、一端部と他端部との間の外周側面１０ｂに取付部１５が形成されたステム１０と、ダイヤフラム１４のうちの圧力導入孔１２側と反対側に搭載され、ダイヤフラム１４の変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ３０と、を備える。そして、ステム１０における外周側面１０ｂのうちの取付部１５が形成された部分と異なる部分に、検査時用保持部１７、２１を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力導入孔（１２）が形成されたステム（１０）を有する圧力センサであって、
一端部側の先端面（１０ａ）に開口部（１１）が形成されると共に、当該開口部から前記一端部と反対側の他端部に向かって延びる前記圧力導入孔が形成された有底筒状であり、前記他端部に前記圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム（１４）が構成され、前記一端部と前記他端部との間の外周側面（１０ｂ）に取付部（１５）が形成された前記ステムと、
前記ダイヤフラムのうちの前記圧力導入孔側と反対側に搭載され、前記ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ（３０）と、を備え、
前記ステムは、前記外周側面のうちの前記取付部が形成された部分と異なる部分に、検査時用保持部（１７、２１）が形成されている圧力センサ。
【請求項２】
前記ステムは、前記検査時用保持部として、特性検査を行う際に保持用治具（９０）が挿入される溝部（１７）が形成されている請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記溝部は、前記外周側面の周方向に一周する枠状に形成されている請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記溝部は、前記外周側面において、周方向に離れた状態で複数形成されており、
複数の前記溝部は、前記周方向に隣接する前記溝部の間隔が等しくされている請求項２に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記ステムは、前記外周側面に、前記特性検査の際、前記溝部における前記開口部側の面（１７ｂ）と共に前記保持用治具に当接される面（２０ａ）を有する凸部（２０）が形成されている請求項２ないし４のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記溝部は、前記開口部側の面（１７ｂ）が前記圧力導入孔における中心軸に対して傾斜している請求項２ないし５のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記溝部は、前記圧力導入孔における中心軸に沿った方向に、複数形成されている請求項２ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項８】
前記ステムは、前記検査時用保持部として、特性検査を行う際に保持用治具（９０）が組み付けられる検査時用ネジ部（２１）が形成されている請求項１ないし７のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記ステムは、前記外周側面のうちの前記取付部が形成されている部分と異なる部分に取付時用保持部（１８）が形成され、
前記検査時用保持部は、前記外周側面のうちの前記取付部および前記取付時用保持部と異なる部分に形成されている請求項１ないし８のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項１０】
圧力導入孔（１２）が形成されたステム（１０）を有する圧力センサの製造方法であって、
一端部側の先端面（１０ａ）に開口部（１１）が形成されると共に、当該開口部から前記一端部と反対側の他端部に向かって延びる前記圧力導入孔が形成された有底筒状であり、前記他端部に前記圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム（１４）が構成され、前記一端部と前記他端部との間の外周側面（１０ｂ）に取付部（１５）が形成された前記ステムを用意することと、
前記ダイヤフラムのうちの前記圧力導入孔側と反対側に、前記ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ（３０）を搭載することと、を行い、
前記ステムを用意することでは、前記外周側面のうちの前記取付部が形成された部分と異なる部分に、検査時用保持部（１７、２１）が形成された前記ステムを用意し、
前記センサチップを搭載することの後、前記検査時用保持部を保持用治具（９０）にて保持しつつ、前記圧力導入孔内に圧力を導入して特性検査を行う圧力センサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力導入孔が形成されたステムを有する圧力センサおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の圧力センサとして、例えば、次のような圧力センサが提案されている（例えば、特許文献１参照）。すなわち、この圧力センサでは、一端部側の先端面に開口部が形成されていると共に、当該開口部から他端部側に向かって延びる圧力導入孔が形成された有底筒状のステムを備えている。ステムは、他端部側に、圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラムが形成され、一端部側の外周側面に、被取付部材に取り付けられる取付部が形成されている。なお、取付部は、例えば、被取付部材に形成されたネジ穴と対応する取付時用ネジ部で構成される。そして、ダイヤフラム上には、ガラス等の接合部材を介してダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップが搭載されている。
【０００３】
上記圧力センサは、次のように製造される。すなわち、上記形状のステムを用意し、ダイヤフラム上にセンサチップを搭載する。その後、取付部を保持用治具にて保持し、圧力印加プラグから圧力導入孔内に圧力を導入して特性検査を行うことにより製造される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１５−２２４９１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記圧力センサの製造方法では、特性検査を行う際、取付部を保持用治具にて保持するため、取付部が損傷してしまう可能性がある。そして、取付部が損傷すると、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなったり、圧力センサを被取付部材に取り付けることができなくなる可能性がある。つまり、圧力センサの取付性が低下する可能性がある。
【０００６】
本発明は上記点に鑑み、取付部が損傷することを抑制できる圧力センサおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための請求項１では、圧力導入孔（１２）が形成されたステム（１０）を有する圧力センサであって、一端部側の先端面（１０ａ）に開口部（１１）が形成されると共に、当該開口部から一端部と反対側の他端部に向かって延びる圧力導入孔が形成された有底筒状であり、他端部に圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム（１４）が構成され、一端部と他端部との間の外周側面（１０ｂ）に取付部（１５）が形成されたステムと、ダイヤフラムのうちの圧力導入孔側と反対側に搭載され、ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ（３０）と、を備え、ステムは、外周側面のうちの取付部が形成された部分と異なる部分に、検査時用保持部（１７、２１）が形成されている。
【０００８】
これによれば、検査時用保持部を保持用治具にて保持し、この状態で特性検査を行うことにより、特性検査を行う際、取付部が損傷することを抑制できる。このため、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなることを抑制できる。
【０００９】
また、請求項１０では、圧力導入孔（１２）が形成されたステム（１０）を有する圧力センサの製造方法であって、一端部側の先端面（１０ａ）に開口部（１１）が形成されると共に、当該開口部から一端部と反対側の他端部に向かって延びる圧力導入孔が形成された有底筒状であり、他端部に圧力導入孔に導入された圧力によって変形可能なダイヤフラム（１４）が構成され、一端部と他端部との間の外周側面（１０ｂ）に取付部（１５）が形成されたステムを用意することと、ダイヤフラムのうちの圧力導入孔側と反対側に、ダイヤフラムの変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ（３０）を搭載することと、を行い、ステムを用意することでは、外周側面のうちの取付部が形成された部分と異なる部分に、検査時用保持部（１７、２１）が形成されたステムを用意し、センサチップを搭載することの後、検査時用保持部を保持用治具（９０）にて保持しつつ、圧力導入孔内に圧力を導入して特性検査を行うこと、を行うようにしている。
【００１０】
これによれば、取付部と異なる部分に検査時保持部が形成されたステムを用意し、検査時用保持部を保持用治具にて保持した状態で特性検査を行っている。このため、取付部が損傷することを抑制でき、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなることを抑制できる。
【００１１】
なお、上記および特許請求の範囲における括弧内の符号は、特許請求の範囲に記載された用語と後述の実施形態に記載される当該用語を例示する具体物等との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態における圧力センサの断面図である。
【図２】図１中の領域Ａの拡大図である。
【図３】図１に示す圧力センサの製造工程を示す断面図である。
【図４】ステムの先端面側から視た平面図を示し、（ａ）は図３（ａ）の平面図に相当し、（ｂ）は図３（ｂ）の平面図に相当している。
【図５】第２実施形態における溝部の拡大図である。
【図６Ａ】中心軸に対して直交している下面から保持用治具に印加される推力を示す模式図である。
【図６Ｂ】中心軸に対して傾斜している下面から保持用治具に印加される推力を示す模式図である。
【図７】第３実施形態における溝部の拡大図である。
【図８】第４実施形態におけるステムの先端面側から視た平面図である。
【図９】図８に示すステムの溝部に保持用治具を挿入する状態を示す平面図である。
【図１０】第５実施形態におけるステムの正面図である。
【図１１】第５実施形態における保持用治具を示す平面図である。
【図１２】第６実施形態における溝部の拡大図である。
【図１３】他の実施形態における溝部の拡大図である。
【図１４】他の実施形態における溝部の拡大図である。
【図１５】他の実施形態におけるステムの先端面側から視た平面図である。
【図１６】他の実施形態における保持用治具を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。
【００１４】
（第１実施形態）
第１実施形態について図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態の圧力センサは、例えば、車両の燃料噴射系における燃料パイプ等に取り付けられ、燃料パイプ内における測定媒体の圧力の検出に用いられると好適である。
【００１５】
図１に示されるように、本実施形態の圧力センサは、ステム１０にコネクタケース５０が一体化されて構成されている。
【００１６】
まず、本実施形態のステム１０の構成について説明する。ステム１０は、一端部側の先端面１０ａに開口部１１が形成されていると共に、当該開口部１１から他端部側に向かって延びる圧力導入孔１２が形成された有底円筒状とされている。
【００１７】
なお、ステム１０の一端部側とは、ステム１０における図１中の紙面下側のことであり、ステム１０の他端部側とは、ステム１０における図１中の紙面上側のことである。また、本実施形態では、ステム１０は、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ４３０、ＳＵＳ６３０のようなステンレス鋼等で構成されている。そして、圧力導入孔１２は、中心軸とステム１０の中心軸とが一致するように形成され、壁面が円環状とされている。
【００１８】
ステム１０の開口部１１には、特性検査の際、後述する圧力印加プラグ１００と密着して当該圧力印加プラグ１００との間を封止する検査時用シール面１３が形成されている。なお、検査時用シール面１３は、圧力導入孔１２の中心軸（以下では、単に中心軸という）に対して傾斜したテーパ状とされている。
【００１９】
また、ステム１０は、他端部側に、圧力に応じて変形可能な薄肉のダイヤフラム１４が構成されている。つまり、ステム１０には、他端部側にダイヤフラム１４が構成されるように、圧力導入孔１２が形成されている。
【００２０】
さらに、ステム１０は、開口部１１側の外周側面１０ｂに、燃料パイプ等の被取付部材にネジ結合可能な取付時用ネジ部（以下では、単にネジ部ともいう）１５が形成されている。本実施形態では、ネジ部１５が取付部に相当している。
【００２１】
また、ステム１０は、ネジ部１５よりも一端部側の部分に、圧力センサが被取付部材に取り付けられた際、被取付部材と密着して当該取付部材との間を封止する取付時用シール面１６が形成されている。本実施形態では、取付時用シール面１６は、先端面１０ａのうちの開口部１１となる部分を除く第１シール面１６ａと、先端面１０ａと外周側面１０ｂとを連結し、中心軸に対してテーパ状とされた第２シール面１６ｂとを有している。そして、圧力センサが被取付部材に取り付けられた際、第１シール面１６ａおよび第２シール面１６ｂがそれぞれ被取付部材と密着して当該被取付部材との間を封止する。
【００２２】
また、ステム１０は、図１および図２に示されるように、外周側面１０ｂのうち、ネジ部１５が形成される部分と異なる部分に、検査時用保持部としての溝部１７が形成されている。より詳しくは、ステム１０は、ネジ部１５よりも他端部側に、外形が六角形状とされ、被取付部材に取り付けられる際にスパナ等の取付時用治具で保持される取付時用保持部１８を有している。そして、溝部１７は、ステム１０の外周側面１０ｂのうち、ネジ部１５および取付時用保持部１８が形成される部分と異なる部分に形成されている。本実施形態では、溝部１７は、ネジ部１５と取付時用保持部１８との間に、ステム１０の外周側面１０ｂを周方向に一周するように形成されている。つまり、溝部１７は、円環状に形成されている。
【００２３】
本実施形態では、図２に示されるように、溝部１７は、断面が、ダイヤフラム１４側の上面１７ａ、開口部１１側の下面１７ｂ、および上面１７ａと下面１７ｂとを繋ぐ側面１７ｃを有する形状とされている。そして、溝部１７は、上面１７ａと側面１７ｃとの成す角度、および下面１７ｂと側面１７ｃとの成す角度が略９０°とされている。また、溝部１７は、上面１７ａおよび下面１７ｂが中心軸に対して直交する形状とされている。つまり、溝部１７の断面形状は、略Ｕ字状とされている。
【００２４】
以上が本実施形態におけるステム１０の構成である。そして、ステム１０には、図１に示されるように、ダイヤフラム１４のうちの圧力導入孔１２側と反対側に、ダイヤフラム１４の変形に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ３０が図示しない接合部材を介して配置されている。
【００２５】
センサチップ３０は、矩形板状のシリコン基板を用いて構成され、シリコン基板の表面にブリッジ回路を構成するようにゲージ抵抗が形成されたものが用いられる。すなわち、本実施形態のセンサチップ３０は、圧力導入孔１２に導入された圧力によってダイヤフラム１４が変形すると、当該ダイヤフラム１４の変形に伴ってゲージ抵抗の抵抗値が変化し、ゲージ抵抗の抵抗値の変化に基づいた電圧をセンサ信号として出力する。
【００２６】
また、ステム１０には、他端部側に、ＩＣチップ４１を搭載すると共に各種の回路素子が形成された回路基板４０も配置されている。この回路基板４０は、センサチップ３０とボンディングワイヤ４２を介して接続されており、センサチップ３０から出力されたセンサ信号が入力されると当該センサ信号に対して所定の処理を行う。
【００２７】
コネクタケース５０は、ＰＰＳ（すなわち、ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（すなわち、ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では円柱状とされている。具体的には、このコネクタケース５０は、一端部側（すなわち、図１中の紙面下側の端部）に、フランジ部５１が形成されていると共に、ステム１０に組み付けられた際に当該ステム１０との間に空間を構成する凹部５２が形成されている。また、他端部側（すなわち、図１中の紙面上側の端部）に開口部５３が形成されている。
【００２８】
そして、コネクタケース５０は、ステム１０における他端部側の開口端１９がフランジ部５１にＯリング６０を介してかしめ固定されることにより、ステム１０と一体化されている。これにより、センサチップ３０や回路基板４０等が外部雰囲気から保護されるようになっている。
【００２９】
また、コネクタケース５０には、センサチップ３０と外部回路とを電気的に接続するための複数のターミナルピン７０が備えられている。なお、ターミナルピン７０は、図１中では１本のみ図示されている。各ターミナルピン７０は、インサートモールド等によってコネクタケース５０と一体に成形されることによってコネクタケース５０内に保持されている。具体的には、ターミナルピン７０は、略Ｌ字状の棒状部材とされており、一端部側が凹部５２内にて露出すると共に、他端部側が開口部５３から突出するようにコネクタケース５０内に保持されている。
【００３０】
また、回路基板４０とターミナルピン７０との間には、これら回路基板４０およびターミナルピン７０と電気的に接続されるバネターミナル８０が配置されている。このバネターミナル８０は、矩形板状の金属板の長手方向に位置する両端部が折り曲げられることによってバネ状とされたものである。
【００３１】
そして、バネターミナル８０は、金属板の中間部が図示しない導電性接着剤を介して回路基板４０に接続されることにより、当該回路基板４０と電気的に接続されている。また、バネターミナル８０は、金属板の両端部がターミナルピン７０と当接することにより、ターミナルピン７０と電気的に接続されている。これにより、センサチップ３０が回路基板４０およびバネターミナル８０を介してターミナルピン７０と電気的に接続される。
【００３２】
以上が本実施形態における圧力センサの構成である。次に、上記圧力センサの製造方法について、特性検査を中心に説明する。
【００３３】
まず、特に図示しないが、冷間鍛造や切削等を行い、上記溝部１７が形成されたステム１０を用意する。そして、ダイヤフラム１４上にセンサチップ３０を搭載する共に、ステム１０の他端部側に回路基板４０を搭載し、センサチップ３０と回路基板４０とをボンディングワイヤ４２を介して電気的に接続する。
【００３４】
その後、コネクタケース５０のフランジ部５１をステム１０における他端部側の開口端１９側から挿入し、Ｏリング６０を介してステム１０の開口端１９をフランジ部５１にかしめる。
【００３５】
続いて、図３（ａ）および図４（ａ）に示されるように、溝部１７に挿入可能な保持用治具９０用意する。本実施形態では、保持用治具９０として、一対の第１治具９０ａおよび第２治具９０ｂを有し、第１治具９０ａおよび第２治具９０ｂに対して溝部１７の形状に対応する凹部９１ａ、９１ｂが形成されたものを用意する。
【００３６】
なお、保持用治具９０の厚さは、溝部１７に挿入可能なように、溝部１７の上面１７ａと下面１７ｂとの間の間隔に対応させて調整されている。また、図４は、ステム１０の先端面１０ａ側から視た平面図であるが、取付時用保持部１８等を省略して示してある。
【００３７】
そして、図３（ｂ）および図４（ｂ）に示されるように、第１治具９０ａおよび第２治具９０ｂを溝部１７に挿入することにより、ステム１０を保持する。なお、本実施形態では、第１治具９０ａおよび第２治具９０ｂは、溝部１７の全周に挿入されるように、凹部９１ａ、９１ｂの形状が設定されている。つまり、本実施形態では、溝部１７は、全周に渡って保持用治具９０と当接した状態となる。
【００３８】
その後、図３（ｃ）に示されるように、圧力導入器具としての圧力印加プラグ１００を検査時用シール面１３に密着させ、圧力印加プラグ１００と検査時用シール面１３との間を封止する。そして、保持用治具９０にてステム１０を圧力印加プラグ１００側に押圧しつつ、圧力印加プラグ１００から圧力導入孔１２内に圧力を導入する。これにより、圧力に応じてダイヤフラム１４が変形するため、センサチップ３０から出力されるセンサ信号に基づいて特性検査を行う。
【００３９】
以上説明したように、本実施形態では、ステム１０の外周側面１０ｂのうち、ネジ部１５が形成される部分と異なる部分に溝部１７を形成している。そして、当該溝部１７に保持用治具９０を挿入することでステム１０を保持し、この状態で特性検査を行っている。このため、特性検査を行う際、ネジ部１５が損傷してしまうことを抑制でき、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなることを抑制できる。なお、溝部１７が損傷したとしても、当該溝部１７は圧力センサを被取付部材に取り付ける際に使用される部分ではないため、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなるという問題は発生しない。
【００４０】
ところで、ネジ部１５に保持用治具をネジ結合させてステム１０を保持する場合には、ネジ部１５と保持用治具とをネジ結合させるため、ステム１０または保持用治具を回転させる必要がある。このため、ネジ部１５に保持用治具をネジ結合させてステム１０を保持する場合には、ステム１０を保持するまでの時間も長くなり易く、製造時間が長くなり易いという問題もある。これに対し、本実施形態では、溝部１７に保持用治具９０を挿入することによってステム１０を保持するため、製造時間の短縮を図ることもできる。
【００４１】
また、取付時用保持部１８を保持用治具にて保持し、この状態で特性検査を行うことも考えられる。しかしながら、取付時用保持部１８が保持用治具にて損傷すると、圧力センサを被取付部材に取り付ける際、取付時用保持部１８を保持し難くなる可能性がある。つまり、取付時用保持部１８を保持用治具にて保持して特性検査を行った場合には、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなる可能性がある。これに対し、本実施形態では、溝部１７は、ステム１０の外周側面１０ｂのうちの取付時用保持部１８と異なる部分に形成されている。このため、取付時用保持部１８が損傷することを抑制でき、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなることを抑制できる。
【００４２】
（第２実施形態）
第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、溝部１７の形状を変更したものであり、その他に関しては上記第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００４３】
本実施形態では、図５に示されるように、溝部１７は、下面１７ｂが中心軸に対して傾斜した傾斜面とされている。本実施形態では、溝部１７は、上面１７ａも中心軸に対して傾斜した傾斜面とされている。具体的には、下面１７ｂは、開口部１１側に向かって径が長くなるテーパ状とされており、上面１７ａは、ダイヤフラム１４側に向かって径が長くなるテーパ状とされている。つまり、本実施形態の溝部１７は、断面形状が略Ｖ字状、または断面形状が楔型状とされている。なお、図５は、図１中の領域Ａの拡大図に相当している。
【００４４】
これによれば、特性検査の際、保持用治具９０が変形等することが抑制される。すなわち、特性検査の際、保持用治具９０には、下面１７ｂから、圧力印加プラグ１００から圧力が導入されることによる押圧力、および保持用治具９０がステム１０を圧力印加プラグ１００側に押圧することで下面１７ｂに発生する反発力が印加される。なお、ここでの保持用治具９０が変形等するとは、保持用治具９０が曲がることで変形する場合に加えて、保持用治具９０が破壊されることも含む意味である。
【００４５】
この場合、下面１７ｂから保持用治具９０に印加される合力を推力Ｆ０とすると、図６Ａに示されるように、中心軸に対して直交した下面１７ｂの場合、推力Ｆ０が全て保持用治具９０を変形等させる力となる。
【００４６】
一方、図６Ｂに示されるように、中心軸に対して傾斜した下面１７ｂの場合（すなわち、本実施形態の下面１７ｂの場合）、推力Ｆ０は、下面１７ｂに対して直交する方向に沿った第１推力Ｆ１と、下面１７ｂの面方向に沿った第２推力Ｆ２とに分解される。この場合、第１推力Ｆ１は、保持用治具９０を変形等させる力となり、第２推力Ｆ２は、保持用治具９０を下面１７ｂに沿って移動させる力となる。
【００４７】
つまり、溝部１７の下面１７ｂが中心軸に対して傾斜した面とされている場合、保持用治具９０には、推力Ｆ０の一部である第１推力Ｆ１が当該保持用治具９０を変形等させる力として印加される。したがって、保持用治具９０が変形等することを抑制できる。言い換えると、保持用治具９０が変形等するまでに、圧力印加プラグ１００から導入できる圧力を大きくでき、特性検査の精度を向上できる。
【００４８】
（第３実施形態）
第３実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、溝部１７の形状を変更したものであり、その他に関しては上記第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００４９】
本実施形態では、図７に示されるように、ステム１０は、外周側面１０ｂに、中心軸に対して径方向に突出する凸部２０が形成されている。具体的には、凸部２０は、ダイヤフラム１４側の上面２０ａが溝部１７の下面１７ｂと連続した面となるように形成されている。言い換えると、凸部２０は、溝部１７に保持用治具９０が挿入された際、溝部１７の下面１７ｂと共に上面２０ａが保持用治具９０と当接するように形成されている。
【００５０】
なお、本実施形態では、凸部２０は、外周側面１０ｂを周方向に一周するように形成されている。また、このような凸部２０を有するステム１０は、例えば、外周側面１０ｂの径が長くされたものを用意し、当該ステム１０の外周側面１０ｂのうちの凸部２０と異なる部分を切削等することで形成される。そして、図７は、図１中の領域Ａの拡大図に相当している。
【００５１】
これによれば、特性検査を行う際、保持用治具９０を溝部１７の下面１７ｂおよび凸部２０の上面２０ａに当接させて行うことができる。このため、保持用治具９０には図６Ａに示される推力Ｆ０が印加されるが、当該推力Ｆ０は、下面１７ｂおよび上面２０ａから印加される。つまり、凸部２０がない場合と比較すると、保持用治具９０に対して推力Ｆ０を印加する面が増加するため、単位面積当たりの推力Ｆ０を低減できる。したがって、保持用治具９０が変形等することを抑制できる。
【００５２】
（第４実施形態）
第４実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、溝部１７の形状を変更したものであり、その他に関しては上記第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００５３】
本実施形態では、図８に示されるように、溝部１７は、ステム１０の外周側面１０ｂにおいて、周方向に離れて２つ形成されている。本実施形態では、２つの溝部１７は、周方向における間隔が等しくなるように形成されている。つまり、２つの溝部１７は、中心軸に対して点対称となるように形成されている。
【００５４】
そして、特性検査を行う際には、図９に示されるように、保持用治具９０として、溝部１７の形状に対応した棒状の第１治具９２ａおよび第２治具９２ｂを用意する。そして、第１治具９２ａおよび第２治具９２ｂをそれぞれ溝部１７に挿入し、各治具９２ａ、９２ｂにてステム１０を保持した状態で特性検査を行う。なお、図８および図９は、ステム１０の先端面１０ａ側から視た平面図であるが、取付時用保持部１８等を省略して示してある。
【００５５】
これによれば、溝部１７が周方向に離れて形成されているため、棒状の保持用治具９０を用いることができる。つまり、溝部１７が周方向に一周するように形成されている場合と比較して、保持用治具９０の小型化を図ることができる。このため、圧力センサを製造する製造ラインにおいて、保持用治具９０が搬送器具、固定器具、または他の製造器具等と接触する可能性を低減できる。つまり、空間を有効に利用でき、製造ラインにおける設計の自由度の向上を図ることができる。
【００５６】
また、溝部１７は、周方向の間隔が等しくなるように形成されている。このため、溝部１７に保持用治具９０を挿入してステム１０を保持した際、隣接する溝部１７における周方向の間隔が等しくされていない場合と比較して、ステム１０の保持性を向上できる。
【００５７】
（第５実施形態）
第５実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、検査時用保持部の構成を変更したものであり、その他に関しては上記第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００５８】
本実施形態では、図１０に示されるように、ステム１０には、検査時用保持部としての検査時用ネジ部２１が形成されている。具体的には、検査時用ネジ部２１は、取付時用ネジ部１５および取付時用保持部１８と異なる部分に形成されている。より詳しくは、検査時用ネジ部２１は、取付時用ネジ部１５と取付時用保持部１８との間に形成されている。
【００５９】
このように、検査時用保持部としての検査時用ネジ部２１が形成されていてもよい。なお、検査時用ネジ部２１が形成されている場合、保持用治具９０は、図１１に示されるものが用いられる。すなわち、この保持用治具９０は、ステム１０を先端面１０ａ側から挿入可能な貫通孔９３が形成されていると共に、当該貫通孔９３の壁面に検査時用ネジ部２１に対応するネジ溝９４が形成されている。そして、保持用治具９０は、検査時用ネジ部２１とネジ結合することでステム１０を保持する。
【００６０】
なお、特性検査の際に検査時用ネジ部２１が損傷したとしても、当該検査時用ネジ部２１は圧力センサを被取付部材に取り付ける際に使用される部分ではないため、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなるという問題は発生しない。
【００６１】
（第６実施形態）
第６実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に対して、溝部１７を複数形成したものであり、その他に関しては上記第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【００６２】
本実施形態では、図１２に示されるように、溝部１７は、中心軸に沿った方向に複数形成されている。本実施形態では、溝部１７は、２つ形成され、それぞれ外周側面１０ｂを周方向に一周するように形成されている。なお、図１２は、図１中の領域Ａの拡大図に相当している。
【００６３】
これによれば、特性検査を行う際、各溝部１７に保持用治具９０を挿入してステム１０を保持できる。このため、ステム１０の保持性を向上させることができる。また、保持用治具９０には図６Ａに示される推力Ｆ０が印加されるが、圧力印加プラグ１００から圧力が導入されることによる押圧力は、各保持用治具９０に分散して印加される。このため、各保持用治具９０が変形等することも抑制される。
【００６４】
（他の実施形態）
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
【００６５】
例えば、上記第１実施形態において、図１３に示されるように、上面１７ａと側面１７ｃとの境界部分、および下面１７ｂと側面１７ｃとの境界部分は、略垂直ではなく、Ｒ形状とされていてもよい。なお、図１３は、図１中の領域Ａの拡大図に相当している。
【００６６】
また、上記第２実施形態において、中心軸に対して傾斜した下面１７ｂを有する溝部１７であれば、溝部１７の全体の形状は適宜変更可能である。例えば、図１４に示されるように、上面１７ａは、中心軸に対して直交する面とされていてもよい。また、特に図示しないが、上面１７ａと下面１７ｂとは、中心軸に沿って延びる側面１７ｃを介して連結されていてもよい。なお、図１４は、図１中の領域Ａの拡大図に相当している。
【００６７】
そして、上記第３実施形態において、凸部２０は外周側面１０ｂに沿って一周するように形成されていなくてもよく、周方向に離れて形成されていてもよい。このような圧力センサとしても、凸部２０が形成されていることにより、上記第３実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、凸部２０を周方向に離れて形成する場合には、上記第４実施形態と同様に、各凸部２０の周方向における間隔が等しくなるようにすることにより、ステム１０の保持性を向上させることができる。
【００６８】
さらに、上記第４実施形態において、溝部１７は、図１５に示されるように、周方向に４個形成されていてもよい。また、特に図示しないが、溝部１７は、３個形成されていてもよいし、５個以上形成されていてもよい。但し、溝部１７は、各溝部１７の周方向における間隔が等しくなるように形成されることにより、ステム１０を保持する際の安定性が向上するために好ましい。なお、図１５は、ステム１０の先端面１０ａ側から視た平面図であるが、取付時用保持部１８等を省略して示してある。
【００６９】
そして、上記第１実施形態第１、第２、第３、第６実施形態において、図１６に示されるように、溝部１７の形状に対応する凹部９５が形成された１つの保持用治具９０のみでステム１０を保持するようにしてもよい。なお、このような保持用治具９０を用いる場合には、溝部１７は、外周側面１０ｂの周方向に一周する形状ではなく、保持用治具９０で保持される部分のみに形成されていてもよい。つまり、特性検査の際にステム１０が保持されるのであれば、ステム１０を保持する保持用治具９０を構成する治具の数は限定されない。また、特に図示しないが、保持用治具９０は、３個以上の治具が組み合わされて構成されていてもよい。
【００７０】
さらに、上記第１〜第４、第６実施形態において、溝部１７は、取付時用保持部１８に形成されていてもよい。同様に、上記第５実施形態において、検査時用ネジ部２１は、取付時用保持部１８に形成されていてもよい。このような構成としても、特性検査の際に取付時用ネジ部１５が損傷することがないため、圧力センサを被取付部材に取り付け難くなることを抑制できる。
【００７１】
また、上記各実施形態を組み合わせることもできる。例えば、第１実施形態を上記第５実施形態に組み合わせ、溝部１７および検査時用ネジ部２１が共に形成されていてもよい。そして、溝部１７および検査時用ネジ部２１をそれぞれ保持用治具９０にて保持した状態で特性検査を行うようにしてもよい。また、第２実施形態を第３、第４、第６実施形態に組み合わせ、溝部１７は、下面１７ｂが中心軸に対して傾斜面とされていてもよい。なお、第２実施形態を第３実施形態に組み合わせる際には、凸部２０の上面２０ａは、第２実施形態における溝部１７の下面１７ｂに沿った面とされていてもよいし、中心軸に対して直交する面とされていてもよい。つまり、特性検査を行う際、溝部１７の下面１７ｂおよび凸部２０の上面２０ａに保持用治具９０が当接するのであれば、凸部２０の上面２０ａの形状は特に限定されない。さらに、特性検査を行う際、溝部１７の下面１７ｂおよび凸部２０の上面２０ａに保持用治具９０が当接するのであれば、溝部１７の下面１７ｂと凸部２０の上面２０ａとが連続した面とされていなくてもよい。すなわち、溝部１７の下面１７ｂと凸部２０の上面２０ａとが外周側面１０ｂを介して連結されていてもよい。また、第３実施形態を第４、第６実施形態に組み合わせ、ステム１０に凸部２０を形成するようにしてもよい。さらに、第４実施形態を第６実施形態に組み合わせ、複数の溝部１７が周方向に離れて形成されていてもよい。この場合、例えば、中心軸に沿った方向における一方の溝部１７が周方向に離れて形成されるようにし、他方の溝部１７が外周側面１０ｂを一周するように形成されていてもよい。また、中心軸に沿った方向における両方の溝部１７がそれぞれ周方向に離れて形成されるようにしてもよい。また、第５実施形態を第６実施形態に組み合わせ、ステム１０に検査時用ネジ部２１が形成されていてもよい。さらに、上記各実施形態を組み合わせたもの同士をさらに組み合わせた圧力センサとしてもよい。
【符号の説明】
【００７２】
１０  ステム
１１  開口部
１２  圧力導入孔
１５  取付時用ネジ部（取付部）
１７  溝部（検査時用保持部）
２１  検査時用ネジ部（検査時用保持部）
３０  センサチップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
2018151191.tif 000009
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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