(57)【要約】対応するイメージの複素イメージ・データを受信する位置合わせエンジンを含むイメージ位置合わせシステムおよび方法に関してシステムと方法が説明されている。位置合わせエンジンでは、第１のイメージの周波数データと第２の対応するイメージの周波数領域との複素共役積の逆数を計算することで相対的並進運動に関する複素イメージのペアの間の相関マップが生成される。高速フーリエ変換ベースの手法を使用して、周波数領域データを取得することができる。
2005502962.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イメージ処理システムであって、
ターゲットの位置を決定する動作を行うことができる位置決めシステムと、
位置決めシステムの近くに配置されている光学系と、
光学系に動作可能なように結合され、
第１のイメージおよび第２の対応するイメージの周波数データを受信し、
第１のイメージおよび第２のイメージの相関データを計算する動作を行うことができる位置合わせシステムを備え、相関データは第１のイメージの周波数データと第２のイメージの周波数データの複素共役積の逆変換を含むイメージ処理システム。
【請求項２】
さらに、光学系に動作可能なように結合され、シグナル・プロセッサに動作可能なように結合されているＣＣＤカメラを備える請求項１に記載のイメージ処理システム。
【請求項３】
周波数データはさらに、イメージ・データのＦＦＴを含む請求項１に記載のイメージ処理システム。
【請求項４】
イメージ処理システムであって、
さらに第１のイメージは第１のダイスの一部のイメージを含み、
さらに第２のイメージは第２のダイスの対応する一部のイメージを含む請求項１に記載のイメージ処理システム。
【請求項５】
さらに、
第１のイメージのＦＦＴを受信し、
第２のイメージのＦＦＴを受信し、
第１のイメージのＦＦＴと第２のイメージのＦＦＴの共役積を求める動作を行うことが可能な位置合わせエンジンを備える請求項１に記載のイメージ処理システム。
【請求項６】
さらに、第１のイメージと第２のイメージとの間の相関並進運動を決定する動作を行うことが可能な位置合わせエンジンを備える請求項１に記載のイメージ処理システム。
【請求項７】
さらに、
複数の対応するイメージの複素周波数データを受信し、
複数の対応するイメージの相関データを出力する動作を行うことが可能な位置合わせエンジンを備える請求項１に記載のイメージ処理システム。
【請求項８】
さらに、第２のイメージと相関して第１のイメージ内の並進運動を決定する動作を行うことが可能な位置合わせエンジンを備える請求項１に記載のイメージ処理システム。
【請求項９】
さらに、
第１のイメージと第２のイメージとを比較し、
第１のイメージと第２のイメージとの位相差を識別する動作を行うことが可能な請求項１に記載のイメージ処理システム。
【請求項１０】
イメージ位置合わせシステムであって、
位置合わせエンジンとして、
第１のイメージと第２の対応するイメージを有するイメージのペアに対する完全な物体波データを受信し、
第１のイメージの高速フーリエ変換と第２のイメージの高速フーリエ変換の複素共役の逆変換を計算する動作を行うことが可能な位置合わせエンジンを備えるイメージ位置合わせシステム。
【請求項１１】
第１のイメージと第２のイメージの物体波データはさらに、ＣＣＤカメラによってキャプチャされた完全な物体波データを含む請求項１０に記載のイメージ位置合わせシステム。
【請求項１２】
さらに、完全な物体波データのフィルタ処理の動作を行うことが可能な位置合わせエンジンを備える請求項１０に記載のイメージ位置合わせシステム。
【請求項１３】
イメージ位置合わせシステムであって、
さらに第１のイメージは第１のダイスの一部のイメージを含み、
さらに第２のイメージは第２のダイスの対応する一部のイメージを含む請求項１０に記載のイメージ位置合わせシステム。
【請求項１４】
位置合わせエンジンはさらに、
第１のイメージのＦＦＴを受信し、
第２のイメージのＦＦＴを受信し、
第１のイメージのＦＦＴと第２のイメージのＦＦＴの共役積を求める動作を行うことが可能な請求項１０に記載のイメージ位置合わせシステム。
【請求項１５】
さらに、第１のイメージと第２のイメージとの間の相関マップを決定する動作を行うことが可能な請求項１０に記載のイメージ位置合わせシステム。
【請求項１６】
さらに、複数の複素イメージのペアの位置合わせの動作を行うことが可能な請求項１０に記載のイメージ位置合わせシステム。
【請求項１７】
相関関係のあるイメージのイメージ・データの位置合わせを行う方法であって、
第１のイメージの完全なイメージ・データを受信することと、
第１のイメージに対応する、第２のイメージの複素イメージ・データを受信することと、
第１のイメージの高速フーリエ変換と第２のイメージの高速フーリエ変換の複素共役積の逆数を計算することと、
逆複素共役積を使用して相関の大きさを計算することを含む方法。
【請求項１８】
さらに、相関の大きさのマップから並進運動を識別することを含む請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
さらに、複数の相関関係のあるイメージからのイメージ・データの位置合わせを含む請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
さらに、
逆複素共役積に基づいて複数の制御点を識別することと、
相関マップ上で識別されたピーク・パターンに基づいて位置合わせ違いの分析を実行することを含む請求項１７に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的にはイメージ処理および検査システム（ｉｍａｇｉｎｇ  ａｎｄ  ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ  ｓｙｓｔｅｍ）の分野に関するものであり、より具体的にはイメージ位置合わせのシステムおよび方法（ｉｍａｇｅ  ｒｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎ  ｓｙｓｔｅｍ  ａｎｄ  ｍｅｔｈｏｄ）に関するものである．
【背景技術】
【０００２】
多くの応用事例でイメージ処理システムを使用することが次第に多くなってきている。これらの応用事例には、半導体加工、歩留まり管理およびプロセス診断をはじめとする医薬品および製造業向けのリモート・センシングがある。イメージ処理システムの用途の１つに、対応するイメージの比較がある。例えば、半導体ウェハには、実質的に同一のダイスが多数含まれる。イメージ処理システムは、２つまたはそれ以上のダイスの対応するイメージをキャプチャし、イメージを比較して、欠陥、違い、または不規則性を識別することができる。イメージ処理システムは通常、３次元オブジェクトの選択された属性の２次元属性をキャプチャする。
【０００３】
イメージ内に表されるオブジェクトの空間的配置を比較するために、イメージ処理システムはまず、対応するイメージの位置合わせを行うか、または相関関係を求める。この位置合わせプロセスは、第１のイメージおよび第２の対応するイメージの識別および位置揃えとして記述することができ、それぞれのイメージ間のずれを説明するものとなっている。位置合わせステップは、対応するイメージの意味のある比較を行う場合に重要である。対応するイメージの位置が揃っていない場合、イメージ同士の比較は否定的な形で実行される。この位置揃えを実行する方法の１つは、特徴ベース位置合わせと呼ばれる。その名前からわかるように、特徴ベース位置合わせは、各イメージ上の幾何学的特徴を識別し、対応関係を確定し、それらの特徴の座標を使用して、対応するイメージ上の対応する点を識別する。
【０００４】
しかし、特徴ベース位置合わせ（ｆｅａｔｕｒｅ−ｂａｓｅｄ  ｒｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎ）には無視できない欠点がある。主な欠点は、特徴ベース位置合わせ手法は時間がかかることと、かなりの計算資源を必要とすることである。応用に際して、ノイズ存在下で共通の特徴を抽出するのが困難であり、信頼性の問題につながることが多いことが考えられる。さらに、いくつかの応用では、複素イメージの対応する複数のペアの位置合わせを高速に行うことが望ましい。したがって、特徴ベース位置合わせと関連するプロセスなどの長い時間を要する位置合わせプロセスだと、イメージ処理システムの全体的な動作速度およびスループットが制限される。さらに、半導体ダイス上に形成されるデバイスのサイズが縮小するとともに、イメージ処理システムで小さな構造を検査することがますます必要になる。そのため、対応するイメージの位置合わせで入り込む誤差が増幅される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そのため、計算効率のよいイメージ位置合わせのシステムおよび方法が必要になった。
【０００６】
さらに、複素イメージ・データ（ｃｏｍｐｌｅｘ  ｉｍａｇｅ  ｄａｔａ）を効率よく計算するイメージ位置合わせのシステムおよび方法が必要になった。
【０００７】
さらに、システム・スループットを容易に高められるイメージ位置合わせの方法およびシステムが必要になった。
【０００８】
さらに、正確でかつ堅牢なイメージ位置合わせシステムが必要になった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示の教示により、以前使用されていたイメージ位置合わせシステムにかかわる欠点を軽減するイメージ位置合わせシステムおよび方法のためのシステムおよび方法について説明する。本発明のイメージ位置合わせシステムは、対応するイメージの、周波数領域データなどの複素イメージ・データを受信する位置合わせエンジンを備える。位置合わせエンジンは、第１のイメージの複素イメージ・データの高速フーリエ変換（ＦＦＴ）と第２の対応するイメージのＦＦＴの複素共役積の逆数を計算する。
【００１０】
本発明の一態様では、位置決めシステム、および光学系および位置合わせシステムを備えるイメージ処理システムが開示されている。位置決めシステムは、半導体ウェハなどのターゲットを固定し、選択的に位置決めすることができる。光学系は、位置決めシステムの近くに配置され、ターゲットの複素イメージをキャプチャする。位置合わせシステムは、イメージ処理システムに接続し、対応するイメージのペアに対する複素物体波データを受信する。次に、位置合わせシステムはイメージの各ペアの対応するマップを計算する。相関データの計算では、第１のイメージのＦＦＴと第２のイメージのＦＦＴの複素共役積の逆数を計算する。
【００１１】
より具体的には、イメージ処理システムは電荷結合素子（ＣＣＤ）カメラを備え、位置決めシステムによって保持されるターゲットのホログラフィック・イメージをキャプチャする。さらに、位置合わせエンジンにより受信された複素物体波データは、ターゲットの各点の高さおよび反射率データから一般的に得られる位相データおよび大きさデータ、複素スペクトル・データ、または周波数データを含むことがある。さらに、イメージ処理システムは第１のイメージと第２の対応するイメージを比較する比較エンジンを備え、第１のイメージと第２のイメージとの大きさおよび位相の差を識別することができる。
【００１２】
本発明の他の態様では、対応するイメージのイメージ・データを位置合わせする方法が開示されている。この方法は、第１のイメージおよび第２のイメージの複素イメージ・データを受信することも含む。イメージは、周波数データの形式をとり、後でバンドパス・フィルタによりフィルタ処理することができる。この方法では、さらに、第１のイメージのＦＦＴと第２のイメージのＦＦＴの複素共役積の逆数を計算することによりイメージ位置合わせデータを生成する。この方法では、さらに、複素相関（ｃｏｍｐｌｅｘ  ｃｏｒｒｅｌａｔｉｏｎ）の大きさを計算し、相関の大きさのマップ上の最大値を探索することにより相関ピークを求める。ピークとイメージ中心との間の距離は、イメージのペア間の並進運動またはずれであることがわかっている。
【００１３】
本発明には、重要な技術的な利点が多数ある。技術的利点の１つは、位置合わせデータを生成するため周波数領域手法を組み込むことである。周波数領域データを使用すると、周波数領域内で相関計算を行うことにより計算に対する要求条件が低減され、反復手法に比べて、イメージ間の相関ピークの探索に関する計算コストが最小限に抑えられる。さらに、周波数領域データを使用すると、複素イメージ・データの処理を効率よく行い、イメージ処理システムのスループットを高めることができる。さらに、ターゲット上の各点ＸおよびＹに対する、高さおよび反射率データを含む、複素イメージ・データを使用することにより、システムをより正確なものとすることができる。また、位置合わせに複素イメージ・データを使用したシステムは、他の位置合わせシステムと比べて堅牢なものにできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
付属の図面と合わせて、以下の説明を参照すると、本発明の実施形態およびその利点をより完全に理解できる。また類似の参照番号は類似の特徴を示している。
【００１５】
好ましい実施形態およびその利点は、図１から４を参照すると最もよく理解でき、また類似の部分および対応する部分を示す場合は類似の番号を使用する。
【００１６】
そこで、図１を参照すると、本発明により１０に一般的に示されているイメージ処理システムが示されている。イメージ処理システム１０は、ターゲット１４を保持し、位置決めする動作が可能な機械システム１２を備える。ターゲット１４は、半導体ウェハまたは検査に好適な他のターゲットを含むことができる。機械システム１２は、ターゲット１４を選択的に保持する動作を行うことが可能であるのが好ましく、またターゲット１４の選択的位置決めを実行するか、または「１ステップずつ」実行する動作も可能である。好ましい実施形態では、機械システム１２は、光学系１８の視野（ＦＯＶ）によりサイズが設定されている逐次ステップでターゲット１４を選択的に１ステップずつ実行する動作を行うことが可能である。光学系１８が実際にターゲット１４のイメージをキャプチャできるように、光学系１８を機械システム１２およびターゲット１４に近くに配置する。光学系１８によりキャプチャされたイメージは、空間領域データ１９として光学系１８から出る。好ましい実施形態では、光学系によりキャプチャされたイメージ・データは、ターゲット１４の各位置（ｘ，ｙ）に対する高さ（ｚ）および反射率（ａ）の測定結果を含む。したがって、この好ましい実施形態では、光学系１８により４次元空間領域データがキャプチャされる。
【００１７】
機械システム１２は、制御システム１４により操作するのが好ましい。さらに制御システム１４は、ＣＣＤカメラ２０および信号処理システム２２にリンクするのが好ましく、イメージ配置データをそれに送る動作を行うことが可能である。このようなイメージ配置データは、キャプチャされたイメージ・データと一緒に取り込み、どのイメージと互いに相関するかを見分けることができる。
【００１８】
本実施形態では、電荷結合素子（ＣＣＤ）カメラ２０はさらに、光学系１８に接続され動作することが可能である。他の実施形態では、適当な任意のデバイスを使用して、光学系１８との間で空間領域データ１９の受信および格納を行うことができる。光学系１８およびＣＣＤカメラ２０は、Ｃｌａｒｅｎｃｅ  Ｅ．Ｔｈｏｍａｓらに発行され、参照により本明細書に組み込まれている米国特許第６０７８３９２号に示されているようなダイレクト・デジタル・ホログラフィ（ＤＤＨ）［ｄｉｒｅｃｔ  ｔｏ  ｄｉｇｉｔａｌ  ｈｏｌｏｇｒａｐｈｙ］手法を使用するのが好ましい。それとは別に、光学系１８およびカメラ２０では、適当な手法を用いて、ターゲット１４上の位置Ｘ、Ｙの高さ（Ｚ）および反射率（Ａ）データをキャプチャすることができる。本開示では、複素イメージ・データへの参照は、与えられたターゲットの一部に関して得られるＸ、Ｙ、Ｚ、およびＡから誘導されるイメージ・データを含むのが好ましい。複素データは、空間領域から周波数領域に変換されたＸ、Ｙ、Ｚ、およびＡイメージ・データを含むのが好ましい。特定の一実施形態では、この変換には、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）手法を使用することができる。周波数領域データに変換されたＸ、Ｙ、Ｚ、およびＡイメージ・データは、本明細書では、周波数データまたは複素周波数データと呼ばれる。
【００１９】
光学系１８から出る光は、ＣＣＤカメラ２０に向けられるのが好ましい。ＣＣＤカメラは、写真乾板またはフィルムを使わずにホログラフィック・イメージ・データを記録する動作を行うことが可能である。さらに、ＣＣＤカメラ２０は、イメージ処理システム１０によりキャプチャされたホログラフィック・イメージ・データをデジタル方式で記録する動作を行うことが可能であることが好ましい。
【００２０】
信号処理システム２２は、ＣＣＤカメラ２０に結合して動作させることができる。信号処理システム２２は、ＣＣＤカメラ２０からデジタル・イメージを受信して処理する動作を行うことが可能である。信号処理システム２２による処理には、カメラ２０により記録されたデータを周波数領域データに変換することを含むのが好ましい。この処理には、ホログラフィック・データのフーリエ変換、ホログラフィック・データの信号キャリア周波数の特定、およびホログラフィック・データの複素物体波の周波数の抽出が含まれるのが好ましい。信号処理システム２２により抽出された情報は、一般に、周波数データと呼ばれ、受信された空間領域データを周波数領域データに変換することにより得られた任意の周波数データを含むことができる。特定の一実施形態では、信号処理システム２２は、１つの視野のＦＦＴを表すすべてのインスタンスとともに高速フーリエ変換（ＦＦＴ）データをストリーミング方式で出力する動作を行うことが可能である。信号処理システム２２により処理されたデータは、短期メモリ２４に送信され、その後、その対応する視野が利用可能になると位置合わせエンジン２６に送信される。短期メモリ２４は、信号処理システム２２から受信した複素周波数データを格納するのに好適な任意の短期メモリを含むことができる。短期メモリ２４はさらに、動作可能なように位置合わせエンジン２６に接続される。新しいＦＯＶが信号処理２２から出てきたら、短期メモリ２４を探索し、すでにキャプチャされている対応するＦＯＶの周波数イメージを見つける。その後、イメージ・ペアの周波数データを位置合わせエンジン２６に送る。そこで新しいＦＯＶデータが、短期メモリ２４に格納され、次のダイスからの対応するＦＯＶまたは対応するターゲット部分を待つ。短期メモリ２４から「古い」ＦＯＶデータが削除される。
【００２１】
位置合わせエンジン２６は、動作可能なように信号処理システム２２だけでなく短期メモリ２４にも接続される。位置合わせエンジン２６は、信号処理システム２２から複素イメージ・データを、短期メモリ２４から対応する複素イメージ・データを受信する動作が可能であることが好ましい。制御システム１６は、機械システム１２に結合され、機械システム１２を制御する動作を行うことが可能である。制御システム１６はさらに、ＣＣＤカメラ２０および信号処理システム２２を制御する動作を行うことが可能である。位置合わせエンジン２６は、対応するイメージ間の並進運動または「ずれ」を識別する動作を行うことが可能である。位置合わせエンジン２６により識別された並進運動は、対応するイメージとの位置揃えのため１つのイメージのＸおよびＹの両方向で必要なずれであってよい。
【００２２】
補間エンジン２７は、逆変換を介して位置合わせエンジン２６および短期メモリ２４に動作可能なように接続される。補間エンジン２７は、さらに、逆高速フーリエ変換（ＩＦＦＴ）などの逆変換を介して短期メモリ２４から受信した複素イメージを再サンプリングする動作を行うことが可能である。この変換では、周波数領域から空間領域へデータを変換するのが好ましい。
【００２３】
補間エンジン２７は、比較エンジン２８に結合するのが好ましい。比較エンジン２８は、逆ＦＦＴを介して信号処理システム２２から対応する一方のイメージを、補間エンジン２７から他方のイメージを受信する動作が可能であることが好ましい。比較エンジン２８はさらに、対応するイメージ同士を比較する動作を行うことが可能である。比較エンジン２８により行われる比較は、複素イメージ正規化、変更ベクトル計算、および閾値設定を含む。
【００２４】
比較エンジン２８は、欠陥マッピング・エンジン３０に動作可能なように結合する。欠陥マッピング・エンジン３０は、比較エンジン２８および位置合わせエンジン２６から受け取った比較結果に基づいて、第１のイメージと第２の対応するイメージとの間の欠陥、違い、または不規則性を識別することが好ましい。
【００２５】
そこで、図２を参照すると、本発明によるイメージ位置合わせシステムの流れ図が示されている。イメージ位置合わせでは、フーリエ変換の積の逆フーリエ変換または類似の変換手法を使用して空間領域内の２つの複素信号の相関を周波数領域内で実行する周波数領域ベースの相関器を用意する。空間領域で定義済み相関尺度の代わりにＦＦＴを使用して、イメージ位置合わせシステムを実装することができる。完全物体波の周波数領域表現に含まれる情報として、大きさ反射率イメージ（ｍａｇｎｉｔｕｄｅ  ｒｅｆｌｅｃｔａｎｃｅ  ｉｍａｇｅ）の従来の周波数領域表現内に存在していないターゲットの高さ情報を表す位相データがある。その後、結果として得られる相関マップ内で相関ピークの探索を実行することができる。
【００２６】
この方法は、第１のイメージおよび第２の対応するイメージから２つの対応するイメージ・データ２００および２０２を識別することから始まる。本実施形態では、イメージ・データ２００および２０２は、ダイス部分Ａ１およびＢ１の周波数データを含むことができる（図４に示されているように）。好ましい実施形態では、イメージ・データ２００および２０２はイメージ・データのＦＦＴである。位置合わせには、第１のデータ２０４のＦＦＴの初期フィルタ処理および第２のイメージ・データ２０６のＦＦＴのフィルタ処理が含まれる。好ましい実施形態では、これらのフィルタ処理ステップ２０４および２０６はバンドパス・フィルタを使用するが、ただし低周波数および高周波数ノイズを除去するために適したフィルタであればどのようなものでも使用することができる。特定の一実施形態では、フィルタ処理ステップ２０４および２０６は、ナイキストの約１５％から２０％よりも下およびナイキストの約６０％よりも上の周波数の部分をフィルタ処理するのが好ましい。
【００２７】
次に、ＦＦＴ  Ａ１およびＦＦＴ  Ｂ１の複素共役の積を求める（２０８）。次に、複素共役の積の逆ＦＦＴを計算する（２１０）。このステップの後に、逆ＦＦＴ  ２１６の大きさを計算することにより相関の大きさを求める。最後に、相関の大きさデータ内で１つのピークが識別される（２１２）。ピークを見つける作業には、サブピクセル精度でピークを識別する放物線補間手法を含めるのが好ましい。例えば、離散ピーク値を中心とする相互相関の結果の３×３ブロックについて、これに、放物線などの３次元曲面にそれらの結果を当てはめる操作を含めることができる。当てはめられた曲面のピークは、相関のピークとして定義される。
【００２８】
識別されたピークを使用して、対応するイメージ・ペア２１４の間の並進運動を計算する。並進運動は、ピークとイメージの中心との距離として定義される。位置合わせ処理は、複数の対応するイメージについて繰り返すのが好ましい。
【００２９】
位置合わせの後、位置合わせ違いの分析および品質保証の検査を実行し、正確な位置合わせが実行されたかどうか、目的の位置合わせ精度を保証するためにさらに処理が必要かどうかを調べることができる。一実施形態では、この処理には、相関マップのピーク・パターンを識別することと、第１のピークと第２のピークの間の減少を使用して並進運動（ｔｒａｎｓｌａｔｉｏｎ）の質をゲージ測定することを含めることができる。
【００３０】
さらに、並進運動が決定された後、イメージの再サンプリングおよび補間を実行することができる。並進運動により、ターゲット・イメージの新しいグリッドが定義される。双線形またはＳｉｎｃ補間などの補間器を使用して、複素ターゲット・イメージ上で再サンプリングを実行できる。補間エンジン２７によりターゲット・イメージを再サンプリングした後、イメージ比較エンジン２８は複素イメージ・ペアを比較し、第１のイメージと第２のイメージとの差を識別することができる。
【００３１】
次に、図３を参照すると、本発明のイメージ位置合わせシステムの動作を説明するために、一般的に１００に示されている半導体ウェハが例として表示されている。ウェハ１００上に、複数の実質的に同一のダイス１１０が形成されている。説明のため、さらにダイス１１０に１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃなどのラベルが付けられている。本発明では、１つまたは複数のウェハ上の配置に関係なく、対応するダイスから対応するイメージ・データの位置合わせを想定していると理解すべきである。
【００３２】
次に図４を参照すると、これは、複数のセクションに分割された対応するダイスの例を示している。第１のダイス１５２、つまりダイスＡは、Ａ１、Ａ２、Ａ３などのラベルが付けられた複数のセクションを含む。第２のダイス１５４も、同様に、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３などのラベルが付けられた対応する複数のセクションを含む。本実施形態では、ダイスのセクションＡ１はダイスのセクションＢ１に対応する。後は、ダイスのセクションＡ２はダイスのセクションＢ２に対応し、というように続く。各ダイスのセクションサイズは、図１に示されているように、光学系１８の視野（ＦＯＶ）に実質的に等しいことが好ましい。ダイスのセクションのサイズ・イメージ、つまりブロックは、図１に示されているように、光学系１８のＦＯＶとＣＣＤカメラ２０の空間分解能によって決まる。
【００３３】
運転中、機械システム１２は、ダイスのセクションＡ１などのターゲットの好ましい部分が光学系１８の視野内に入るようにターゲット１４の位置を決めることが好ましい。その後、光学系１８はホログラフィック・イメージ・データの完全な物体波などのイメージ・データを取得することができる。
【００３４】
光学系１８によりキャプチャされたイメージ・データは、その後、図１で説明されているように、ＣＣＤカメラ２０に送ることができるのが好ましい。光学系１８によりダイスのセクションＡ１のイメージをキャプチャした後、ダイスのセクションＡ２などの、別のダイスのセクションが光学系１８の視野内に入るように、機械システム１２によりウェハを移動または「１ステップずつ移動」することができる。したがって、光学系１８の視野に応じて機械システム１２の各「ステップ」のサイズを決定するのが好ましい。好ましい実施形態では、機械システム１２の移動は予め選択されているパターンに従い、ターゲット１２上の注目するすべての領域のイメージ処理が適切に実行される。他の実施形態では、機械システムは光学系の位置を固定されたターゲットに関して決定することができる。さらに他の実施形態では、機械システム１２は、ターゲット１４が光学系１８の視野内を連続的に通るようにし、光学系１２は選択された時間間隔でイメージをキャプチャし、ターゲット１２の注目する領域を適切にイメージ処理する。
【００３５】
イメージ・データは、光学系１８からＣＣＤカメラ２０に送られ、その後、信号処理システム２２に送られる。位置合わせするため送られた処理されたイメージ・データは、キャリア周波数の抽出後の未処理周波数領域信号、複素空間領域データ、大きさイメージ・データ、および位相データなど、適当な形式のものとすることができる。このようにさまざまな形式でイメージ・データを処理することができるため、データ処理または前処理の要求条件が緩和される。それとは別に、位置合わせに好適なデータを好適な複素イメージ・データが得られるデータ・ストリーム上の任意の点から取得することができる。
【００３６】
その後、処理済みのイメージ・データを、短期メモリ２４に保持し、かつ位置合わせエンジン２６に直接送信することができる。位置合わせエンジン２６は、ウェハ座標系内のイメージの位置を識別することにより対応するダイス部分に関連付けられているイメージを識別する。図１に示されているように、好ましい実施形態では、制御システム１６で決定される各イメージについてダイス内のダイス番号およびフレーム座標を識別することによりこの操作を行うことができる。
【００３７】
開示されている実施形態について詳細に説明したが、その実施形態の精神と範囲から逸脱することなくさまざまな変更、置き換え、改変を実施形態に加えることができることは理解されるだろう。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明によるイメージ処理システムを示す図である。
【図２】本発明によるイメージ位置合わせ方法を示す流れ図である。
【図３】複数のダイスが形成されている半導体ウェハの図である。
【図４】複数の対応する視野に分割された２つの対応する半導体ダイスを示す図である。
【図１】
2005502962.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際公開パンフレット】
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2005502962.tif 000008
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2005502962.tif 000010
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2005502962.tif 000021
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2005502962.tif 000026
2005502962.tif 000027
2005502962.tif 000028
2005502962.tif 000029
【国際調査報告】
2005502962.tif 000030
2005502962.tif 000031
2005502962.tif 000032