(57)【要約】【課題】表示パネルとフィルムの正確な接着を可能にする。【解決手段】表示パネル１０にフィルム２０を接着するフィルム貼り付け方法であって、前記表示パネル１０を第１のステージ６００にセットし、前記フィルム２０を第２のステージ７００にセットし、前記第２のステージ７００は、前記フィルム２０の表面をスライドすることが可能であり、前記フィルム２０が前記第２のステージ７００と重複していない部分において、前記表示パネル１０と前記フィルム２０をローラ８００によって圧着し、前記ローラ８００が前記表示パネル１０と前記フィルム２０を最初に圧着する部分を、前記表示パネル１０および前記フィルム２０の端部以外にセットし、その後前記表示パネル１０あるいは前記フィルム２０の端部に向かってローラ８００を圧着しながら移動し、その後、前記ローラ８００を反転して移動し、前記表示パネル１０と前記フィルム２０を接着することを特徴とするフィルム貼り付け方法。【選択図】図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示パネルにフィルムを接着するフィルム貼り付け方法であって、
前記表示パネルを第１のステージにセットし、
前記フィルムを第２のステージにセットし、
前記第２のステージは、前記フィルムの表面をスライドすることが可能であり、前記フィルムが前記第２のステージと重複していない部分において、前記表示パネルと前記フィルムをローラによって圧着し、
前記ローラが前記表示パネルと前記フィルムを最初に圧着する部分を、前記表示パネルおよび前記フィルムの端部以外の場所にセットし、
その後前記表示パネルあるいは前記フィルムの端部に向かってローラを圧着しながら移動し、
その後、前記ローラを反転して移動し、前記表示パネルと前記フィルムを圧着することを特徴とするフィルム貼り付け方法。
【請求項２】
前記ローラと前記フィルムが最初に接触する位置と前記フィルムの端部との距離を前記ローラの半径以上とすることを特徴とする請求項１に記載のフィルム貼り付け方法。
【請求項３】
前記ローラと前記フィルムが最初に接触する位置と前記フィルムの端部との距離を前記ローラの直径以下とすることを特徴とする請求項１に記載のフィルム貼り付け方法。
【請求項４】
前記ローラが最初に前記フィルムと前記表示パネルを接着する時の、前記表示パネルの前記端部と前記フィルムの前記端部の間隔は前記ローラの半径以下とすることを特徴とする請求項１に記載のフィルム貼り付け方法。
【請求項５】
前記第１のステージは、前記表示パネルの前記端部および前記フィルムの前記端部付近において凸部を有しており、前記凸部の高さは、前記表示パネルと前記フィルムの厚さの合計以上とすることを特徴とする請求項１に記載のフィルム貼り付け方法。
【請求項６】
前記第２のステージを前記ローラの動きに合わせて移動させることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のフィルム貼り付け方法。
【請求項７】
前記第１のステージにおいて、前記表示パネルを真空吸着によってセットすることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のフィルム貼り付け方法。
【請求項８】
表示パネルにフィルムを接着するフィルム貼り付け装置であって、
前記表示パネルをセットする第１のステージと、
前記フィルムをセットする第２のステージとを有し、
前記第２のステージは、前記フィルムの表面をスライドすることが可能であり、前記フィルムが前記第２のステージと重複していない部分において、前記表示パネルと前記フィルムをローラによって圧着する機構を有し、
前記ローラが前記表示パネルと前記フィルムを最初に圧着する部分を、前記表示パネルおよび前記フィルムの端部以外の場所にセットする機構を有し、
前記表示パネルあるいは前記フィルムを最初に圧着させた後、前記表示パネルおよび前記フィルムの端部に向かってローラを圧着しながら移動し、
前記ローラが前記表示パネルおよび前記フィルムの端部を圧着した後、
前記ローラを反転して移動し、前記表示パネルと前記フィルムを接着する機構を有することを特徴とするフィルム貼り付け装置。
【請求項９】
前記ローラと前記フィルムが最初に接触する位置と前記フィルムの端部との距離を前記ローラの半径以上とするようにセットする機構を有する請求項８に記載のフィルム貼り付け装置。
【請求項１０】
前記ローラと前記フィルムが最初に接触する位置と前記フィルムの端部との距離を前記ローラの直径以下とする機構と有することを特徴とする請求項８に記載のフィルム貼り付け装置。
【請求項１１】
前記ローラが最初に前記フィルムと前記表示パネルを接着する時の、前記表示パネルの前記端部と前記フィルムの前記端部の間隔は前記ローラの半径以下とする機構を有することを特徴とする請求項８に記載のフィルム貼り付け装置。
【請求項１２】
前記第１のステージは、前記表示パネルの前記端部および前記フィルムの前記端部付近において凸部を有しており、前記凸部の高さは、前記表示パネルと前記フィルムの厚さの合計以上であることを特徴とする請求項８に記載のフィルム貼り付け装置。
【請求項１３】
前記第２のステージを前記ローラの動きに合わせて移動させる機構を有することを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか１項に記載のフィルム貼り付け装置。
【請求項１４】
前記第１のステージにおいて、前記表示パネルを真空吸着によってセットすることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか１項に記載のフィルム貼り付け装置。
【請求項１５】
前記ローラが前記フィルムまたは前記表示パネルの前記端部を接着したことを検出する機構を有することを特徴とする請求項８乃至１４のいずれか１項に記載のフィルム貼り付け装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は特に表示装置等にフィルムを貼り付ける方法およびその貼り付け装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ表示装置や液晶表示装置は、偏光板、支持基板、タッチパネル等のフィルムを表示パネルに貼り合わせて形成される。この場合、表示パネルと偏光板等の位置合わせが重要になる。特許文献１および２には、表示パネルと貼り合わせるフィルムとの位置合わせを正確に行う方法あるいは装置が記載されている。
【０００３】
一方、貼り合わせるときに気泡を巻き込むとその部分は画面欠陥となるために、貼り合わせ時に気泡を巻き込まないようにすることが重要である。同様に、貼り付け時にフィルムに皺が発生するとその表示領域は不良となる。特許文献３および４には、気泡や皺を対策したフィルムの貼り付け方法および貼り付け装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−２７６０９１号公報
【特許文献２】特開２０１３−１８６３１５号公報
【特許文献３】特開２００４−３５８８５６号公報
【特許文献４】特開２００５−３２１５８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
表示パネルにフィルムを貼り付ける場合、通常は、目合わせマークを用いて表示パネルとフィルムを位置合わせし、表示パネルあるいはフィルムの端部からローラを用いて貼り付ける。
【０００６】
ところが、表示パネルとフィルムの位置合わせを行っても、ローラを用いてフィルムを貼り付ける際、ローラの進行方向に貼り付けられるフィルムが表示パネルに対してずれてしまうという問題が生ずる。また、ローラの進行方向にフィルムがずれるにつれて、表示パネルもずれるという現象も生ずる。
【０００７】
表示パネルはフィルムを貼り付けられる際は、例えば、パネル吸着ステージに真空吸着されている。この場合、パネル吸着ステージに対して表示パネルがずれると、表示パネルがパネル吸着ステージから離れてしまうという問題を生ずる。
【０００８】
本発明は以上のような問題を解決して、フィルムを精度よく表示パネルに貼り付ける貼り付け方法および貼り付け装置を実現することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記課題を克服するものであり、代表的な手段は次のとおりである。
【００１０】
（１）表示パネルにフィルムを接着するフィルム貼り付け方法であって、前記表示パネルを第１のステージにセットし、前記フィルムを第２のステージにセットし、前記第２のステージは、前記フィルムの表面をスライドすることが可能であり、前記フィルムが前記第２のステージと重複していない部分において、前記表示パネルと前記フィルムをローラによって圧着し、前記ローラが前記表示パネルと前記フィルムを最初に圧着する部分を、前記表示パネルおよび前記フィルムの端部以外の場所にセットし、その後前記表示パネルあるいは前記フィルムの端部に向かってローラを圧着しながら移動し、その後、前記ローラを反転して移動し、前記表示パネルと前記フィルムを圧着することを特徴とするフィルム貼り付け方法。
【００１１】
（２）前記ローラと前記フィルムが最初に接触する位置と前記フィルムの端部との距離を前記ローラの半径よりも大きくすることを特徴とする（１）に記載のフィルム貼り付け方法。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】有機ＥＬ表示装置の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】液晶表示装置の平面図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ断面図である。
【図５】マザー基板の例を示す平面図である。
【図６】マザー基板にフィルムを貼り付ける状態を示す断面図である。
【図７】貼り付け装置の従来例を示す断面図である。
【図８】貼り付け装置の従来例の詳細を示す断面図である。
【図９】本発明による貼り付け装置を示す断面図である。
【図１０】本発明による貼り付け装置の詳細を示す断面図である。
【図１１】本発明による貼り付け装置の他の詳細を示す断面図である。
【図１２】本発明による貼り付け装置のさらに他の詳細を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に実施例を用いて本発明の内容を詳細に説明する。
【実施例１】
【００１４】
図１は本発明が適用される有機ＥＬ表示装置の例を示す平面図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。図１および図２において、フレキシブル基板１００の上にＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）や配線を含むアレイ層１１０が形成され、その上に発光層を含む有機ＥＬ層１２０が形成され、有機ＥＬ層１２０を覆って保護層１３０が形成されている。
【００１５】
有機ＥＬ表示装置は有機ＥＬ層１２０からの光の利用効率を向上させるために反射膜が形成されている。この反射膜によって外光が反射されて画面が見づらくなることを防止するために、保護層１３０の上に反射防止用偏光板４００が貼り付けられる。ＴＦＴ基板１００において、偏光板４００が貼り付けられていない部分は端子部１５０となっており、有機ＥＬ表示装置に電源や信号を供給するフレキシブル配線基板１７０が接続している。
【００１６】
有機ＥＬ表示装置のＴＦＴ基板１００は薄いポリイミド基板等で形成されるので、表示装置の強度が十分でない場合がある。また、有機ＥＬ表示装置を曲げた場合、塑性変形を起こす可能性もある。これを防止するために、ＴＦＴ基板１００の下に支持基板５０が貼り付けられている。
【００１７】
図３は本発明が適用される液晶表示装置の例を示す平面図であり、図４は図３のＢ−Ｂ断面図である。図３および図４において、ＴＦＴや画素電極が形成されたＴＦＴ基板１００と対向基板２００が周辺に形成されたシール材１６０によって接着している。ＴＦＴ基板１００と対向基板２００の間に液晶が挟持されている。
【００１８】
ＴＦＴ基板１００の下には下偏光板１０１が貼り付けられ、対向基板２００の上には上偏光板２０１が貼り付けられている。ＴＦＴ基板１００が１枚になっている部分は端子部１５０であり、液晶表示装置に電源や信号を供給するフレキシブル配線基板１７０が接続している。液晶表示パネルは、自らは発光しないので、液晶表示パネルの背面にバックライト５００を配置している。
【００１９】
このように、有機ＥＬ表示装置にしろ、液晶表示装置にしろ、偏光板をはじめとして種々のフィルムが貼り付けられる。有機ＥＬ表示装置も液晶表示装置も１個ずつ製造するのは効率が悪いので、マザー基板に多数の有機ＥＬセルあるいは液晶セルを形成し、マザー基板が完成後に個々の有機ＥＬセルあるいは液晶セルに分離する。
【００２０】
以後有機ＥＬ表示装置を例にとって説明する。図５はマザー基板１０の例を示す平面図である。マザー基板１０の大きさは例えば、６８０ｍｍ×８８０ｍｍである。図５において、マザー基板１０には７×５＝３５個の有機ＥＬセル１１が形成されている。マザー基板１０が完成した後、分離線１２に沿ってレーザーカッティング等によって個々の有機ＥＬセル１１に分離される。
【００２１】
有機ＥＬ表示装置は、フレキシブル表示装置として使用される場合が多いので、ＴＦＴ基板１００はポリイミド基板等で形成され、厚さは１０μｍ乃至２０μｍ程度である。この程度の基板厚では、剛性が足りないので、製造工程を通す場合は、マザー基板１０の下にフィルム２０を貼り付ける。
【００２２】
図６はこの様子を示す断面図である。図６において、ポリイミド基板で形成されたマザー基板１０に有機ＥＬセル１１が形成され、マザー基板１００が完成した後、点線で示す分離線１２でカットされ、個々の有機ＥＬセル１１に分離される。このようなマザー基板１０は薄いので剛性が低く、製造工程を通ることが出来ないので、一般には樹脂で形成されたフィルム２０を貼り付ける。
【００２３】
図６に示すように、フィルム２０はマザー基板１０に貼り付けられるので、大判サイズである。したがって、気泡を巻き込みやすく、また、ローラを用いて貼り付けるさいのローラの圧力も大きくなる。
【００２４】
図７は従来の貼り付け装置を示す断面図である。図７（ａ）において、パネル吸着ステージ６００にマザー基板１０が真空吸着によってセットされている。なお、パネル吸着ステージ６００にマザー基板１０をセットする場合、作業性を良くするために、パネル吸着ステージ６００を下側にしてマザー基板１０をセットする。そして、真空吸着によってマザー基板１０をパネル吸着ステージ６００に固定した後、パネル吸着ステージ６００を反転してマザー基板１０を下側にする。
【００２５】
図７（ａ）において、フィルム２０はスライドステージ７００にセットされる。スライドステージ７００には吸引孔が形成され、セットされたフィルム２０を真空吸着によってスライドステージ７００に固定する。スライドステージ７００に固定されたフィルム２０は所定位置に移動し、目合わせマークおよびカメラを用いて、パネル吸着ステージ６００にセットされたマザー基板１０と位置合わせを行う。
【００２６】
図７（ｂ）に示すように、マザー基板１０とフィルム２０を位置合わせした後、ローラ８００を用いてフィルム２０をマザー基板１０に押し付けながら貼り付けを行う。ローラ８００は回転しながら白矢印の方向に進み、フィルム２０とマザー基板１０を接着していく。ローラ８００の進行に合わせてスライドステージ７００も移動して、フィルム２０がマザー基板１０に接着できるようにしていく。
【００２７】
なお、スライドステージ７００は、所定の位置に移動するまでは真空吸着によってフィルム２０を吸着固定しているが、ローラ８００でフィルム２０を接着する時点では真空吸着を解除し、スライドステージ７００がフィルム２０の上をスライドできるようになっている。したがって、ローラ８００によってフィルム２０をマザー基板１０に接着している間は、マザー基板１０もフィルム２０もパネル吸着ステージ６００の真空吸着によって支えられている。
【００２８】
図８は図７に示す接着方法における問題点を示す断面図である。図８において、マザー基板１０は真空吸着によってパネル吸着ステージ６００に固定されている。すなわち、マザー基板１０はパネル吸着ステージ６００の吸引孔６０１から矢印ａｂで示すように真空吸引されてパネル吸着ステージ６００固定されている。
【００２９】
図８において、ローラ８００はマザー基板１０とフィルム２０の端部に接触し、その後白矢印の方向に移動しながらフィルム２０をマザー基板１０に接着させる。ところで、ローラ８００がフィルム２０に最初に接触するときが、圧力が最も大きい。そして、フィルム２０の端部から白矢印の方向に移動するので、フィルム２０はマザー基板１０に対して矢印ｆ１で示すようなずれ応力を生ずる。このために、マザー基板１０とフィルム２０の間にずれが生じてしまう。したがって、マザー基板とフィルムの正確な貼り合わせが困難になる。
【００３０】
従来の接着方法の他の問題点は、ローラ８００をフィルム２０の端部に接触して、白矢印の方向に移動する際、マザー基板１０にも矢印ｆ２のようなずれ応力が加わり、これによってマザー基板が矢印ｆ２の方向に移動する場合がある。つまり、ローラ８００がフィルム２０に最初に接触する際に、フィルム２０とマザー基板１０に平面方向に最も大きいずれ応力が加わるからである。そうすると、マザー基板が吸引孔からずれて、マザー基板１０がパネル吸着ステージ６００に固定できなくなり、マザー基板１０が湾曲したり、場合によっては、パネル吸着ステージ６００からマザー基板１０が落下する場合もある。
【００３１】
本発明の貼り付け装置はこのような問題点を対策するものである。図９は本発明における貼り付け装置およびプロセスを示す図である。図９（ａ）において、パネル吸着ステージ６００にマザー基板１０が真空吸着によってセットされている。パネル吸着ステージ６００にマザー基板１００をセットする場合、作業性を良くするために、パネル吸着ステージ６００を下側にしてマザー基板１０をセットする。そして、真空吸着によってマザー基板１０をパネル吸着ステージ６００に固定した後、パネル吸着ステージ６００を反転してマザー基板を下側にすることは従来と同じである。図９（ａ）においてパネル吸着ステージ６００には先端に突起状のストッパ６１０が形成されている。
【００３２】
図９（ａ）において、フィルム２０はスライドステージ７００にセットされる。スライドステージ７００には吸引孔が形成され、セットされたフィルム２０を真空吸引によってスライドステージ７００に固定する。スライドステージ７００に固定されたフィルム２０は所定位置に移動し、目合わせマークおよびカメラを用いて、パネル吸着ステージ６００にセットされたマザー基板１０と位置合わせを行う。
【００３３】
本発明が従来例と大きく異なる点は、ローラ８００が最初にフィルム２０に接触する点がフィルム２０の端部ではなく、端部よりも内側の場所となっている点である。この詳細を図１０に示す。図１０において、ローラ８００が矢印の方向に移動して、フィルム２０をマザー基板１０に押し付ける。ローラ８００が最初にフィルム２０と接触する場所はフィルム２０の端部ではない。
【００３４】
このために、図１０に示すように、ローラ８００がフィルムに接触するときは、スライドステージ７００がすでに後退しており、フィルム２０がスライドステージに覆われていない部分は領域ｂ２となっている。これに対して従来例を示す図８においては、フィルム２０がスライドステージ７００に覆われていない部分は領域ｂ１となっており、ｂ２＞ｂ１である。図８におけるｂ１はローラ８００がスライドステージ７００に接触しないだけの距離があればよいのに対し、図１０におけるｂ２は、ローラ８００がフィルム２０の端部よりも内側において接触し、かつ、ローラ８００がフィルム２０の端部に向かって移動可能な距離をとる必要があるからである。
【００３５】
さらに、図１０が図８と異なる大きな点は、ローラ８００の中心が、平面で視て、マザー基板１０あるいはフィルム２０の端部よりも内側に存在している点である。つまり、マザー基板１０の端部からローラ８００の中心までは、マザー基板１０の内側方向にｄ２である。一方、図８においては、ローラ８００の中心は、マザー基板１０の端部上かマザー基板１０の端部よりも距離ｄ１外側に位置している。図８では、フィルム２０の端部とマザー基板１０の端部から貼り付けを始めるためである。
【００３６】
図９（ａ）に戻り、図９（ａ）はローラ８００がフィルム１０をマザー基板１０の側に押し付けている状態を示している。フィルム２０は薄いので、ローラ８００の側に撓んでいる。図９の特徴は、ローラ８００が最初にフィルム２０と接触する時は、図９（ａ）の点線矢印で示すように、マザー基板１０の平面と垂直な方向にフィルム２０を押し付けている点である。つまり、フィルム２０がマザー基板１０と接触するときは、フィルム２０あるいはマザー基板１０に対して、平面方向の力は働かず、マザー基板１０あるいはフィルム２０の平面と垂直方法の力のみが働いていることになる。
【００３７】
したがって、マザー基板１０に対して、フィルム２０を平面方向にずらす力は存在しないために、貼り付けによるマザー基板１０とフィルム２０のずれは回避することが出来る。さらに、マザー基板１０に対して平面方向にずらそうとする力が存在しないために、パネル吸着ステージ６００に対してマザー基板１０がずれる方向の力も存在しないので、マザー基板１０がパネル吸着ステージ６００の吸引孔６０１からずれてしまうこともない。
【００３８】
図９（ａ）に示すように、ローラ８００は、フィルム２０をマザー基板１０に対して垂直方向に押し付けた後、白矢印で示すように、いったんマザー基板１０の端部に向かって移動する。マザー基板１０の端部とフィルム２０の端部を接着させるためである。接着は、ローラ８００が回転しながら、フィルム２０をマザー基板１０に押し付けていくことによって行うが、この時は、すでに、マザー基板１０とフィルム２０は接着しているので、マザー基板１０とフィルム２０がずれることは無い。
【００３９】
また、ローラ８００はフィルム２０をマザー基板１０に押し付けながら、貼り付けを行うので、マザー基板１０をパネル吸着ステージ６００から平面方向にずらすこともない。従来例では、ローラ８００をフィルム２０の端部あるはマザー基板１０の端部に最初に接触させるときに、マザー基板１０に平面方向にも大きな力が加わるために、マザー基板１０をパネル吸着ステージ６００からずらす確率が大きくなる。これに対し、本発明では、ローラ８００が最初にフィルム２０あるいはマザー基板１０と接触する時は平面方向の力は無いので、マザー基板１０がパネル吸着ステージ６００から平面方向にずれることは無い。
【００４０】
その後、図９（ｂ）に示すように、ローラ８００がフィルム２０およびマザー基板１０の端部にまで移動して、フィルム２０の端部とマザー基板１０の端部を接着した後、逆側に回転して移動する。その後、は図９（ｃ）に示すように、スライドステージ７００を移動させながら、フィルム２０をマザー基板１０に接着していく。このプロセスは従来と同様である。この時、パネル吸着ステージ６００とスライドステージ７００の角度θは５度乃至１０である。ローラ８００によってフィルム２０を押し付けて接着する際、気泡を排除するためである。
【００４１】
図１１は、ローラ８００をフィルム２０あるいはマザー基板１０に最初に接触するときの状態を示す断面図である。図１１において、ｄ２はローラ８００が最初にマザー基板１０と接触する点からマザー基板１０の端部までの距離である。本発明においては、ローラ８００はマザー基板１０と最初に接触した後、一旦、マザー基板１０の端部まで移動する必要があるので、このための距離が必要であり、これがｄ２である。ｄ２はローラ８００の半径以上であることが望ましい。ｄ２が大きすぎると、後で説明するように、フィルム２０の撓みが大きくなるので、ｄ２はローラ８００の直径以下であることが望ましい。
【００４２】
本発明では、最初にローラ８００によって、フィルム２０をマザー基板１０に接触させる際、フィルム２０がスライドステージ７００によって支えられていない領域が大きいことが必要である。フィルム２０は一般には薄いのでスライドステージ７００が存在しないと撓む。この撓みが大きくなると、フィルム２０の端部をマザー基板１０の端部との合わせ精度が悪くなる。
【００４３】
すなわち、マザー基板１０とフィルム２０の端部を、カメラを用いて検出するさい、マザー基板１０の端部とフィルム２０の端部が離れていると、カメラを用いた検出が困難になるからである。つまり、本発明においても、ローラによる貼り付け作業の前に、マザー基板１０の端部とフィルム２０の端部の位置合わせをしておく必要があるからである。また、例えば、ローラ８００がマザー基板１０あるいはフィルム２０の端部まで移動したか否かを検出する必要があるが、これをカメラ等で検出する際に、マザー基板１０の端部とフィルム２０の端部が離れているとカメラによる検出が困難になる。
【００４４】
図１１に示すように、フィルム２０が撓んだとしても、フィルム２０の先端がローラ８００の中心より上側、すなわち、マザー基板１０側に存在すれば、マザー基板１０の端部とフィルム２０の端部のカメラによる検出に大きな問題は生じない。ところで、ローラの半径をｒとした場合、円周の１／４はπｒ／２である。つまり、フィルム２０が非常に撓みやすく、ローラ８００の外周に沿ったとした場合でも、ローラ８００の中心からフィルム２０の端部までの距離はπｒ／２あればよい。しかし、実際に、これほどフィルム２０が撓むことはありえないので、最悪でもローラ８００の中心からフィルムの端部までの距離はローラ８００の直径程度までであれば問題はない。
【００４５】
図１２はローラ８００がマザー基板１０あるいはフィルム２０の端部に来たときの状態を示す断面図である。図１２において、平面で視て、ローラ８００の中心がマザー基板１０あるはフィルム２０の端部と一致している。マザー基板１０あるいはフィルム２０の端部付近では、マザー基板１０とフィルム２０はすでに接着している。図１２におけるパネル吸着ステージ６００の先端にはストッパ６１０が形成されている。場合によっては、このストッパ６１０をマザー基板１０とフィルム２０の合わせガイドとして使用することが出来る。この場合、ストッパ６１０の高さｔ１はマザー基板１０とフィルム２０の厚さを合わせた厚さｔ２以上であることが望ましい。
【００４６】
ただし、図１２では、ストッパ６１０をマザー基板１０とフィルム２０の位置合わせのガイドとして使用していない。図１２においては、マザー基板１０とフィルム２０を貼り合わせる前に、カメラ等を用いてマザー基板１０とフィルム２０の端部を位置合わせしている。このような場合、ストッパ６１０とマザー基板１０あるいはフィルム２０との端部はΔｘだけ隙間をとるようにする。マザー基板１０とフィルム２０の位置合わせを行うときに、ストッパ６１０と、マザー基板１０あるいはフィルム２０との間での移動裕度を確保するためである。
【００４７】
以上のように、本発明によれば、フィルム２０とマザー基板１０との貼り合わせを精度よく、また、歩留まりよく行うことが出来る。
【００４８】
以上の説明では、主に、マザー基板とフィルムとの接着について説明したが、本発明はこれに限らず、他の接着、例えば、偏光板と表示装置との接着、支持基板と表示装置との接着等についても適用することが出来る。
【符号の説明】
【００４９】
１０…マザー基板、  １１…有機ＥＬセル、  １２…分離線、  ２０…フィルム、  ５０…支持基板、  ６０…表示領域、  １００…ＴＦＴ基板、  １０１…下偏光板、  １１０…アレイ層、  １２０…有機ＥＬ層、  １３０…保護層、  １５０…端子部、  １６０…シール材、  １７０…フレキシブル配線基板、  ２００…対向基板、  ２０１…上偏光板、  ３００…液晶、  ４００…反射防止用偏光板、  ５００…バックライト、  ６００…パネル吸着ステージ、  ６０１…吸引孔、  ６１０…ストッパ、  ７００…スライドステージ、  ８００…ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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