(57)【要約】      （修正有）【課題】試験方法及び試験装置に関し、特に気密性試験のための方法及び装置を提供する。【解決手段】試験チャンバーと格納チャンバーを接続し、格納チャンバーに陰圧を供給し、格納チャンバー又は試験チャンバーにおける圧力を測定して第１圧力値を取得し、陰圧及び第１圧力値に応じて試験チャンバーの気密性を判定し、格納チャンバーへの陰圧の供給を停止し、格納チャンバーにおける圧力を測定して第２圧力値を取得し、格納チャンバーへの陰圧の供給を停止して所定時間後、格納チャンバーにおける圧力を測定して第３圧力値を取得し、第２圧力値及び第３圧力値に応じて試験チャンバーの気密性を判定する。気密性試験装置は、試験チャンバー、格納チャンバー、陰圧発生器、及び圧力計を含む。格納チャンバーは、試験チャンバーに接続されている。陰圧発生器は、格納チャンバーに接続されている。圧力計は、格納チャンバーに接続されている。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
格納チャンバーと試験チャンバーとを接続し、
前記格納チャンバーに陰圧を供給し、
前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーにおける圧力を測定して第１圧力値を取得し、
前記陰圧と前記第１圧力値に応じて前記試験チャンバーの気密性を判定し、
前記格納チャンバーへの前記陰圧の供給を停止し、
前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーにおける圧力を測定して第２圧力値を取得し、
前記格納チャンバーへの前記陰圧の供給を停止してから所定時間後に前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーにおける圧力を測定して第３圧力値を取得し、
前記第２圧力値と前記第３圧力値とに応じて前記試験チャンバーの気密性を判定すること、
を含む、気密性試験方法。
【請求項２】
前記陰圧と前記第１圧力値との差の絶対値が閾値よりも大きい場合、前記試験チャンバーが漏洩と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記陰圧と前記第１圧力値との差の絶対値が５ｋＰａ以下のとき、前記試験チャンバーの動的気密性が合格と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記陰圧と前記第１圧力値との差に絶対値が前記陰圧の５％以下の場合、試験チャンバーの動的気密性が合格と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第２圧力値と前記第３圧力値との差の絶対値が閾値よりも大きい場合、前記試験チャンバーが漏洩と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第２圧力値と前記第３圧力値との差の絶対値が５ｋＰａ以下の場合、前記試験チャンバーの静的気密性が合格と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第２圧力値と前記第３圧力値との差の絶対値が前記第２圧力値の５％以下の場合、試験チャンバーの静的気密性が合格と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記格納チャンバーへの前記陰圧の供給を停止することは、陰圧発生器と前記格納チャンバーとを接続するスイッチ弁をターンオフする、前記陰圧発生器を切る、又は、前記スイッチ弁をターンオフし、且つ前記陰圧発生器を切ることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記対象物を収容するための試験チャンバーと、
前記試験チャンバーの接続された格納チャンバーと、
前記格納チャンバーに接続されて、陰圧を供給する陰圧発生器と、
前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーに接続されて、前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーの圧力を測定する少なくとも１つの圧力計と、
を備える、対象物の気密性試験のための装置。
【請求項１０】
前記格納チャンバーと前記陰圧発生器との間に位置し、前記格納チャンバーと前記陰圧発生器との接続を制御するスイッチ弁を更に備える、請求項９に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、試験方法及び試験装置に関し、特に気密性試験のための方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、気密性が要求される装置は、製造プロセスの間、気密性試験を受けなければならない。例えば、電子装置は製造プロセスの間、さまざまな電気敵試験を受けなければならず、そしてもし、試験装置上に組み立てられたスプリングプローブモジュールが気密に組み立てられない場合、電気的試験の結果に影響を及ぼす。したがって、スプリングプローブモジュールの気密性は、試験装置上で組み立てられる前に、気密性試験を受けなければならない。
【０００３】
関連した技術では、気密性は連続的にスプリングプローブモジュールに陰圧を供給することによって検査されるが、この試験結果は不正確である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、上述の問題を解決することができる気密性試験のための方法及び装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一実施形態は、格納チャンバーと試験チャンバーを接続し、前記格納チャンバーに陰圧を供給し、前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーにおける圧力を測定して第１圧力値を取得し、前記陰圧及び前記第１圧力値に応じて前記試験チャンバーの気密性を判定し、前記格納チャンバーへの陰圧の供給を停止し、前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーにおける圧力を測定して第２圧力値を取得し、前記格納チャンバーへの陰圧の供給を停止して所定時間後、前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーにおける圧力を測定して第３圧力値を取得し、前記第２圧力値及び前記第３圧力値に応じて前記試験チャンバーの気密性を判定すること、を含む気密性試験のための方法を提供する。
【０００６】
本開示の一実施形態は、対象物の気密性試験のための装置を提供する。該装置は、試験チャンバー、格納チャンバー、陰圧発生器、及び少なくとも１つの圧力計を備える。試験チャンバーは、前記対象物を収容するためのものである。格納チャンバーは、前記試験チャンバーに接続している。陰圧発生器は、格納チャンバーに接続されて、陰圧を供給する。圧力計は、格納チャンバー又は試験チャンバーに接続されて、格納チャンバーにおける、又は、試験チャンバーにおける圧力を測定する。
【０００７】
上述された気密性試験のための方法及び装置によれば、陰圧が供給されている間、該陰圧の供給を停止した時、及び陰圧の供給停止から所定時間経過後の格納チャンバーの気密性が測定される、即ち、気密性試験は、静的及び動的な状況の下で行われる。したがって、対象物に対する気密性試験の結果を正確にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本開示の一実施形態による気密性試験装置のブロック図である。
【図２】図１における装置及び検査される対象物の側面図である。
【図３】本開示の一実施形態による気密性試験方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示は、以下に記載された詳細な説明及び例示のみのために与えられる添付の図面からより完全に理解され、したがって本開示を限定することを意図するものではない。
【００１０】
説明のための以下の詳細な説明では、開示された実施形態の完全な理解を提供するために、多くの具体的な詳細が述べられる。しかしながら、これらの具体的な詳細なしに一つ以上の実施形態が実施できることは、明らかである。他の例において、有名な構造と装置は、図面を簡単にするために、公知の構造及び装置は概略的に示される。
【００１１】
図１及び図２を参照する。図１は、本開示の一実施形態による気密性試験装置のブロック図である。図２は、図１における装置と試験される対象物の側面図である。この実施形態では、気密性試験のための装置１０が提供される。装置１０は、試験チャンバー１１、第１圧力計１２、格納チャンバー１３、第２圧力計１４、陰圧発生器１５、及びスイッチ弁１６を含む。
【００１２】
この実施形態では、試験対象の対象物２０が提供され、それは試験チャンバー１１に気密に配置されている。対象物２０は、例えば、スプリングプローブモジュールである。対象物２２０は、本体２１、複数のピン２２、及びと複数のスリーブ２３を含む。ピン２２は、例えば、スプリングプローブである。ピン２２は、本体２１を貫通する。スリーブ２３は、本体２１の側で配置されており、ピン２２の端部にそれぞれスリーブ状に設けられる。本体２１は、試験チャンバーの開口に配置される。ピン２２と本体２１との接続は、気密性が要求される。
【００１３】
第１圧力計１２は、試験チャンバー１１における圧力を測定するために、試験チャンバー１１に接続している。格納チャンバー１３は、試験チャンバー１１に接続している。第２圧力計１４は、格納チャンバー１３における圧力を測定するために、格納チャンバー１３に接続している。陰圧発生器１５は、格納チャンバー１３に陰圧を供給するために、格納チャンバー１３に接続している。
【００１４】
スイッチ弁１６は、格納チャンバー１３と陰圧発生器１５間の接続を制御するために、格納チャンバー１３と陰圧発生器１５の間に位置する。換言すれば、スイッチ弁１６がターンオンされると、格納チャンバー１３と陰圧発生器１５とが互いに接続され、格納チャンバー１３における圧力と試験チャンバー１１における圧力は、陰圧発生器１５の圧力に直接的に影響を受ける。一方、スイッチ弁１６がターンオフされると、格納チャンバー１３は閉じられて、格納チャンバー１３における圧力と試験チャンバー１１における圧力は、比較的変化がない。
【００１５】
更に、本開示の一実施形態による気密性試験方法のフローチャートである図３を参照する。この実施形態は、対象物２０の気密性試験方法を提供する。
【００１６】
方法は、以下のステップを含む。
【００１７】
ステップＳ１１で、格納チャンバー１３は試験チャンバー１１に接続され、対象物２０は試験チャンバー１１に配置されている。
【００１８】
ステップＳ１２で、陰圧発生器１５とスイッチ弁１６とは両方ともターンオンされて、格納チャンバー１３に陰圧が供給される。試験チャンバー１１が、格納チャンバー１３に接続しているため、陰圧発生器１５は試験チャンバー１１にも陰圧を供給する。
【００１９】
ステップＳ１３で、試験チャンバー１１における圧力が第１圧力計１２によって測定され、第１圧力値が取得される。第１圧力値は対象物２０における圧力に近似するが、本開示はこれに限定されない。第１圧力値は、第２圧力計１４を介して格納チャンバー１３における圧力を測定することによって取得することもできる。
【００２０】
ステップＳ１４で、試験チャンバー１１の気密性は、陰圧と第１圧力値とに応じて判定される。詳細には、陰圧と第１圧力値との間の差の絶対値が閾値よりも大きい場合、試験チャンバー１１は漏洩と判定される。対象物２０は試験チャンバー１１に気密に配置されており、したがって、試験チャンバー１１が漏洩と判定される場合、対象物２０の動的気密性は不合格と見なされ、対象物２０は漏洩していることを意味する。対照的に、絶対値の差が閾値より小さい場合、対象物２０の動的気密性は合格であると見なされる。例えば、陰圧と第１圧力値との差の絶対値が５ｋＰａ以下の場合、対象物２０の動的気密性は合格と判定される。別の例では、陰圧と第１圧力値との差の絶対値が陰圧の５％以下の場合、対象物２０の動的気密性は合格と判定される。しかしながら、気密性を判定する基準は、これに限定されない。
【００２１】
ステップＳ１５で、例えば、スイッチ弁１６をターンオフするか、陰圧発生器１５を切るか、スイッチ弁１６をターンオフし、且つ陰圧発生器１５を切ることによって、格納チャンバー１３及び試験チャンバー１１への陰圧の供給を停止する。
【００２２】
ステップＳ１６で、格納チャンバー１３における圧力を第２圧力計１４によって測定して、第２圧力値を得る。格納チャンバー１３における圧力は、試験チャンバー１１における圧力よりも比較的静的であり得るが、本開示はこれに限定されない。第２圧力値は、第１圧力計１２による試験チャンバー１１における圧力を測定することによって、取得されてもよい。
【００２３】
ステップＳ１７で、陰圧発生器１５が格納チャンバー１３への陰圧の供給を停止して所定時間後、格納チャンバー１３における圧力が測定されて、第３圧力値を得る。所定時間は、約６０秒である。格納チャンバー１３における圧力は、試験チャンバー１１における圧力よりも比較的静的であるが、本開示はこれに限定されない。第３圧力値は、第１圧力計１２を介した試験チャンバー１１における圧力を測定することによって取得することもできる。
【００２４】
ステップＳ１８で、試験チャンバー１１の気密性は、第２圧力値と第３圧力値とに応じて判定される。詳細には、第２圧力値と第３圧力値との差の絶対値が閾値より大きい場合、試験チャンバー１１は、漏洩と判定される。対象物２０は試験チャンバー１１に気密に配置されており、したがって、試験チャンバー１１が漏洩と判定される場合、対象物２０の気密性は不合格と判定される。例えば、第２圧力値と第３圧力値との差の絶対値が５ｋＰａ以下の場合、対象物２０の静的気密性は合格と判定される。別の例では、第２圧力値と第３圧力値との差の絶対値が陰圧の５％以下の場合、対象物２０の静的気密性は合格と判定される。しかしながら、気密性を判定する基準は、これに限定されない。
【００２５】
上述された気密性試験方法及び装置によれば、陰圧が供給されている間、陰圧の供給停止時、陰圧の供給停止から所定時間後に格納チャンバーの圧力が測定される、即ち、静的及び動的な条件下で気密性試が行われる。したがって、対象物の気密性試験の結果を正確にすることができる。
【００２６】
本開示の原理、及びその実用化を最もよく説明するために、実施形態を選択して説明し、当業者が意図される特定の用途に適した様々な変更を伴って、本開示及び様々な実施形態を最も良く利用することができるようにした。本開示の範囲は、添付の特許請求の範囲、及びそれらの等価物によって定義されることが意図される。
【図１】
2018136308.tif 000002
【図２】
2018136308.tif 000003
【図３】
2018136308.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成30年4月13日(2018.4.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
格納チャンバーと試験チャンバーとを接続し、
前記格納チャンバーに陰圧を供給し、
前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーにおける圧力を測定して第１圧力値を取得し、
前記陰圧と前記第１圧力値に応じて前記試験チャンバーの気密性を判定し、
前記格納チャンバーへの前記陰圧の供給を停止し、
前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーにおける圧力を測定して第２圧力値を取得し、
前記格納チャンバーへの前記陰圧の供給を停止してから所定時間後に前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーにおける圧力を測定して第３圧力値を取得し、
前記第２圧力値と前記第３圧力値とに応じて前記試験チャンバーの気密性を判定すること、
を含む、気密性試験方法。
【請求項２】
前記陰圧と前記第１圧力値との差の絶対値が閾値よりも大きい場合、前記試験チャンバーが漏洩と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記陰圧と前記第１圧力値との差の絶対値が５ｋＰａ以下のとき、前記試験チャンバーの動的気密性が合格と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記陰圧と前記第１圧力値との差に絶対値が前記陰圧の５％以下の場合、試験チャンバーの動的気密性が合格と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第２圧力値と前記第３圧力値との差の絶対値が閾値よりも大きい場合、前記試験チャンバーが漏洩と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第２圧力値と前記第３圧力値との差の絶対値が５ｋＰａ以下の場合、前記試験チャンバーの静的気密性が合格と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第２圧力値と前記第３圧力値との差の絶対値が前記陰圧の５％以下の場合、試験チャンバーの静的気密性が合格と判定される、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記格納チャンバーへの前記陰圧の供給を停止することは、陰圧発生器と前記格納チャンバーとを接続するスイッチ弁をターンオフする、前記陰圧発生器を切る、又は、前記スイッチ弁をターンオフし、且つ前記陰圧発生器を切ることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記対象物を収容するための試験チャンバーと、
前記試験チャンバーの接続された格納チャンバーと、
前記格納チャンバーに接続されて、陰圧を供給する陰圧発生器と、
前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーに接続されて、前記格納チャンバー又は前記試験チャンバーの圧力を測定する少なくとも１つの圧力計と、
を備える、対象物の気密性試験のための装置。
【請求項１０】
前記格納チャンバーと前記陰圧発生器との間に位置し、前記格納チャンバーと前記陰圧発生器との接続を制御するスイッチ弁を更に備える、請求項９に記載の装置。
【外国語明細書】
2018136308000001.pdf