(57)【要約】【課題】処理能力（ＵＰＨ）を短縮できる電子部品搬送装置及び電子部品検査装置を提供する。【解決手段】電子部品搬送装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、電子部品を保持可能な第１保持部を有し、電子部品に対し、第１検査及び第１検査とは異なる第２検査を行う検査部を配置可能で、検査部は、電子部品に対して第１検査を行い、第１検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、第１検査を行った電子部品に対して第２検査を行い、第１検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合に、第１検査を行った電子部品に対して第２検査を行わず、第１検査を行っていない別の電子部品に対して第１検査を行う。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送可能な搬送部と、
前記電子部品を保持可能な第１保持部を有し、
前記電子部品に対し、第１検査及び前記第１検査とは異なる第２検査を行う検査部を配置可能で、
前記検査部は、前記電子部品に対して前記第１検査を行い、
前記第１検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、前記第１検査を行った前記電子部品に対して前記第２検査を行い、
前記第１検査の結果が前記予め決められた条件を満たさない場合に、前記第１検査を行った前記電子部品に対して前記第２検査を行わず、前記第１検査を行っていない別の前記電子部品に対して前記第１検査を行う、電子部品搬送装置。
【請求項２】
前記第１検査及び前記第２検査のうち少なくともいずれか一方は、複数回行われる、請求項１に記載の電子部品搬送装置。
【請求項３】
前記第１検査は、前記電子部品に対して物理的作用を加えない検査であり、
前記第２検査は、前記電子部品に対して前記物理的作用を加える検査である、請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項４】
前記物理的作用は、光及び電荷の少なくともいずれか１つである、請求項３に記載の電子部品搬送装置。
【請求項５】
前記第１検査は、前記電子部品に指（指紋）が接していない状態の検査であり、
前記第２検査は、前記電子部品に前記指（指紋）が接している状態の検査である、請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項６】
前記第１保持部とは異なる構造である第２保持部を有する、請求項１又は２に記載の電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記第１保持部は、指紋照合を行う際に指の指紋パターンの代わりに用いられる指紋代用部材を備え、
前記第２保持部は、前記指紋代用部材を備えない、請求項６に記載の電子部品搬送装置。
【請求項８】
電子部品を保持可能な第１保持部と、
前記電子部品を保持可能で、前記第１保持部とは異なる構造である第２保持部と、
を有し、
前記電子部品を載置する載置部を有し、前記電子部品に対して検査が可能な検査部を配置可能で、
前記第１保持部は、前記電子部品を前記載置部に搬送して前記載置部に載置し、
前記第２保持部は、前記第１保持部が前記電子部品を前記載置部に載置した後に、前記電子部品を押圧して所定の検査を行う、電子部品搬送装置。
【請求項９】
前記第１保持部は、吸着機構を有し、
前記第２保持部は、前記吸着機構を有しない、請求項８に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１０】
前記第２保持部は、電気検査を行う端子を有している、請求項８又は９に記載の電子部品搬送装置。
【請求項１１】
電子部品を搬送可能な搬送部と、
前記電子部品を保持可能な第１保持部と、
前記電子部品に対し、第１検査及び前記第１検査とは異なる第２検査を行う検査部と、
を有し、
前記検査部は、前記電子部品に対して前記第１検査を行い、
前記第１検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、前記第１検査を行った前記電子部品に対して前記第２検査を行い、
前記第１検査の結果が前記予め決められた条件を満たさない場合に、前記第１検査を行った前記電子部品に対して前記第２検査を行わず、前記第１検査を行っていない別の前記電子部品に対して前記第１検査を行う、電子部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品搬送装置及び電子部品検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、指紋識別装置は、建物の出入り管理、携帯装置、又はパソコンなど個人身分の識別と確認に広く用いられている。指紋識別装置においては、指紋識別電子部品を用いて利用者の指紋画像を検知すると同時に、指紋画像をデータバンク内のサンプル指紋画像とを比較して利用者の身分を識別している。指紋識別電子部品の底面には、複数の電気的コンタクトが設けられるとともに、頂面には指紋を検知可能な検知部が設けられている。指紋識別電子部品は、複数のステップを経て製作されるため、業者は、出荷品質を確保するために、指紋識別電子部品の製作終了後に、電子部品検査装置により指紋識別電子部品に指（指紋）が接していない状態及び指（指紋）が接している状態に対して検査を行い、不良品を排除するようにしている。
【０００３】
例えば、電子部品（ＣＣＤセンサー）を複数の検査結果で分類する開示がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、電子部品（ＣＣＤセンサー）を検査するときに光の照射の有無で検査する開示がある（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、電子部品（ＣＣＤセンサー）を複数の検査項目で検査するという開示がある。（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−７８４０８号公報
【特許文献２】特開２００８−１３５２１１号公報
【特許文献３】特開２００６−３１７２８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１〜３では、複数の異なる検査を連続して行って、前の検査の結果の良否で次の検査の有無を判断する開示はない。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００９】
［適用例１］本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、前記電子部品を保持可能な第１保持部を有し、前記電子部品に対し、第１検査及び前記第１検査とは異なる第２検査を行う検査部を配置可能で、前記検査部は、前記電子部品に対して前記第１検査を行い、前記第１検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、前記第１検査を行った前記電子部品に対して前記第２検査を行い、前記第１検査の結果が前記予め決められた条件を満たさない場合に、前記第１検査を行った前記電子部品に対して前記第２検査を行わず、前記第１検査を行っていない別の前記電子部品に対して前記第１検査を行う、ことを特徴とする。
【００１０】
本適用例によれば、第１検査の結果が予め決められた条件を満たさないとなれば第２検査を実施せずに搬送を継続することが可能である。これにより、ひとつの電子部品について、異なる検査を同時、連続して行うことで処理能力（ＵＰＨ）を短縮できる。
予め決められた条件とは、例えば、電子部品に対して検査動作を行う検査プログラムを実行することにより、電子部品の欠陥（不具合）がないことである。
【００１１】
［適用例２］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第１検査及び前記第２検査のうち少なくともいずれか一方は、複数回行われる、ことが好ましい。
【００１２】
本適用例によれば、正確な検査を行うことができる。
【００１３】
［適用例３］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第１検査は、前記電子部品に対して物理的作用を加えない検査であり、前記第２検査は、前記電子部品に対して前記物理的作用を加える検査である、ことが好ましい。
【００１４】
本適用例によれば、電子部品に対して物理的作用を加える検査を行うことができる。
【００１５】
［適用例４］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記物理的作用は、光及び電荷の少なくともいずれか１つである、ことが好ましい。
【００１６】
本適用例によれば、物理的作用を行う検査を容易に行うことができる。
【００１７】
［適用例５］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第１検査は、前記電子部品に指（指紋）が接していない状態の検査であり、前記第２検査は、前記電子部品に前記指（指紋）が接している状態の検査である、ことが好ましい。
【００１８】
本適用例によれば、電子部品に指（指紋）が接していない状態及び指（指紋）が接している状態の検査を行うことができる。
【００１９】
［適用例６］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第１保持部とは異なる構造である第２保持部を有する、ことが好ましい。
【００２０】
本適用例によれば、検査環境に特化した保持部を備えることができる。
【００２１】
［適用例７］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第１保持部は、指紋照合を行う際に指の指紋パターンの代わりに用いられる指紋代用部材を備え、前記第２保持部は、前記指紋代用部材を備えない、ことが好ましい。
【００２２】
本適用例によれば、検査環境に特化した第２保持部を備えることができる。
【００２３】
［適用例８］本適用例に係る電子部品搬送装置は、電子部品を保持可能な第１保持部と、前記電子部品を保持可能で、前記第１保持部とは異なる構造である第２保持部と、を有し、前記電子部品を載置する載置部を有し、前記電子部品に対して検査が可能な検査部を配置可能で、前記第１保持部は、前記電子部品を前記載置部に搬送して前記載置部に載置し、前記第２保持部は、前記第１保持部が前記電子部品を前記載置部に載置した後に、前記電子部品を押圧して所定の検査を行う、ことを特徴とする。
【００２４】
本適用例によれば、検査環境に特化した第２保持部を備えることができる。これにより、異なる形状の電子部品の検査に対応することができる。また、第２保持部が電子部品を吸着できない構造でも、載置部に電子部品を載置した第１保持部で電子部品を搬送することも可能である。
【００２５】
［適用例９］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第１保持部は、吸着機構を有し、前記第２保持部は、前記吸着機構を有しない、ことが好ましい。
【００２６】
本適用例によれば、検査環境に特化した第２保持部を備えることができる。
【００２７】
［適用例１０］上記適用例に記載の電子部品搬送装置において、前記第２保持部は、電気検査を行う端子を有している、ことが好ましい。
【００２８】
本適用例によれば、検査環境に特化した第２保持部を備えることができる。
【００２９】
［適用例１１］本適用例に係る電子部品検査装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、前記電子部品を保持可能な第１保持部と、前記電子部品に対し、第１検査及び前記第１検査とは異なる第２検査を行う検査部と、を有し、前記検査部は、前記電子部品に対して前記第１検査を行い、前記第１検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、前記第１検査を行った前記電子部品に対して前記第２検査を行い、前記第１検査の結果が前記予め決められた条件を満たさない場合に、前記第１検査を行った前記電子部品に対して前記第２検査を行わず、前記第１検査を行っていない別の電子部品に対して前記第１検査を行う、ことを特徴とする。
【００３０】
本適用例によれば、第１検査の結果が予め決められた条件を満たさないとなれば第２検査を実施せずに搬送を継続することが可能である。これにより、ひとつの電子部品について、異なる検査を同時、連続して行うことで処理能力（ＵＰＨ）を短縮できる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】第１実施形態に係るＩＣハンドラーの構造を示す模式平面図。
【図２】第１実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。
【図３】第１実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。
【図４】第１実施形態に係るＩＣハンドラーの検査工程を示すフローチャート。
【図５】第２実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。
【図６】第２実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。
【図７】第２実施形態に係るＩＣハンドラーの構造を示す模式平面図。
【図８】第３実施形態に係る測定ロボットの構造を示す模式正面図。
【図９】第３実施形態に係るＩＣハンドラーの構造を示す模式平面図。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大又は縮小して表示している。
【００３３】
（第１実施形態）
図１は、本実施形態に係るＩＣハンドラーの構造を示す模式平面図であり、本実施形態に係る電子部品としての指紋識別電子部品７４を搬送可能な搬送部を備える電子部品搬送装置を電子部品検査装置としてのＩＣハンドラーに用いた例を示す図である。
【００３４】
本実施形態のＩＣハンドラーは、ベース８０に、供給トレイ８２、回収トレイ８６、検査部１０、測定ロボット２０、供給ロボット９０、回収ロボット９２、及び制御装置（図示せず）を備えている。供給トレイ８２には、少なくとも１つの検査される指紋識別電子部品７４を載置するための少なくとも１つのポケット（図示せず）が設けられている。供給ロボット９０の供給側ロボットハンドユニット９４は、ポケットより指紋識別電子部品７４を取り出すとともに、シャトル６２，６８に移送する。指紋識別電子部品７４は、物理的作用を検知する検知部７８を備えている。物理的作用とは、例えば、光、電荷、圧力、音、温度、振動、電界変化、磁界変化の少なくともいずれか１つである。
【００３５】
検査部１０には、少なくとも１つの載置部としての検査用ソケット１４を有する検査用回路板１２（図２参照）が設けられている。検査部１０は、指紋識別電子部品７４を検査する。
【００３６】
シャトル６２，６８には、指紋識別電子部品７４を載置する少なくとも１つの載置部が設けられている。本実施形態において、検査部１０の供給ロボット９０側に検査前の指紋識別電子部品７４を載置する第１載置部６４及び第３載置部７０が設けられている。検査部１０の回収ロボット９２側に検査が終了した指紋識別電子部品７４を載置する第２載置部６６及び第４載置部７２が設けられている。第１載置部６４及び第３載置部７０は、供給ロボット９０の供給側ロボットハンドユニット９４により検査前の指紋識別電子部品７４を取り入れるとともに、検査前の指紋識別電子部品７４を検査部１０の側方に移送する。
【００３７】
図２は、本実施形態に係る測定ロボット２０の構造を示す模式正面図である。
測定ロボット２０には、少なくとも一方向に変位する押圧保持部３４が設けられている。押圧保持部３４は、指紋識別電子部品７４を検査用ソケット１４に入れ、又は検査用ソケット１４から取り出し、かつ指紋識別電子部品７４を検査用ソケット１４に当接させる。また、押圧保持部３４には、変位作動可能な押圧測定部材４８が設けられて指紋識別電子部品７４の検知部７８に当接する。
【００３８】
本実施形態に係る搬送部は、指紋識別電子部品７４を保持可能な第１保持部としての押圧保持部３４を備えている。電子部品搬送装置は、指紋識別電子部品７４に対し、第１検査及び第１検査とは異なる第２検査を行う検査部１０を配置可能である。検査部１０は、指紋識別電子部品７４に対して第１検査を行い、第１検査の結果が予め決められた条件を満たす場合に、第１検査を行った指紋識別電子部品７４に対して第２検査を行う。検査部１０は、第１検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合に、第１検査を行った指紋識別電子部品７４に対して第２検査を行わず、第１検査を行っていない別の指紋識別電子部品７４に対して第１検査を行う。
本実施形態における予め決められた条件とは、指紋識別電子部品７４に対して検査動作を行う検査プログラムを実行することにより、指紋識別電子部品７４の欠陥（不具合）がないことである。
【００３９】
本実施形態に係るＩＣハンドラーは、指紋識別電子部品７４を保持可能な押圧保持部３４と、指紋識別電子部品７４に対して、第１検査及び第１検査とは異なる第２検査を行う検査部１０と、を備えている。
【００４０】
第１検査及び第２検査のうち少なくともいずれか一方は、複数回行われてもよい。これによれば、正確な検査を行うことができる。例えば、検査を複数回行われた場合は、総合して合否判断してもよい。
【００４１】
第１検査は、指紋識別電子部品７４に対して物理的作用を加えない検査である。第２検査は、指紋識別電子部品７４に対して物理的作用を加える検査である。これによれば、指紋識別電子部品７４に対して物理的作用を加える検査を行うことができる。
【００４２】
物理的作用は、光及び電荷の少なくともいずれか１つであってもよい。これによれば、物理的作用を加える検査を容易に行うことができる。
【００４３】
第１検査は、指紋識別電子部品７４の検知部７８に指（指紋）が接していない状態の検査である。第２検査は、指紋識別電子部品７４の検知部７８に指（指紋）が接している状態の検査である。これによれば、指紋識別電子部品７４の検知部７８に指（指紋）が接していない状態及び指（指紋）が接している状態の検査を行うことができる。
【００４４】
検査部１０には、少なくとも１つの検査用ソケット１４を有する検査用回路板１２が設けられ指紋識別電子部品７４を検査する。本実施形態において、検査用ソケット１４には、検査用回路板１２に電気的に接続された複数のプローブ１８が配置されて指紋識別電子部品７４の電気的コンタクト７６に電気的に接続される。電気的コンタクト７６は、スズボールや接続ピンなどであってよい。
【００４５】
測定ロボット２０には、少なくとも一方向に変位する押圧保持部３４が設けられている。押圧保持部３４は、指紋識別電子部品７４を検査用ソケット１４への出し入れを行うとともに、検査用ソケット１４内の指紋識別電子部品７４の非検知部位に当接する。
【００４６】
本実施形態において、測定ロボット２０には、第１方向、第２方向（例えばＺ方向、Ｙ方向）に変位する移送装置３２が設けられている。移送装置３２には、押圧保持部３４が取り付けられている。押圧保持部３４の一端が移送装置３２の底部に取り付けられている。他端には、押圧移転部材３６が設けられて指紋識別電子部品７４の非検知部位に当接している。押圧移転部材３６の底面には、複数の吸着部３８が設けられて指紋識別電子部品７４の出し入れを行う。吸着部３８は、吸引管６１を介して図示しない吸引ポンプに接続されている。
【００４７】
また、押圧保持部３４の内部に収容空間４０が設けられている。収容空間４０の底面に押圧移転部材３６まで貫通する貫通孔４２が開設されている。測定ロボット２０は、押圧保持部３４の内部に変位作動可能な押圧測定部材４８が設けられている。押圧測定部材４８の下方に押当て部５２が設けられている。押当て部５２の下方に指紋代用部材としての導電部材５６が設けられている。導電部材５６は指紋識別電子部品７４の検知部７８に当接する。導電部材５６は、指紋照合を行う際に指の指紋パターンの代わりに用いられる部材である。
【００４８】
本実施形態において、押圧保持部３４の収容空間４０内に弾性部材が設けられた押圧測定部材４８が配置されている。さらに、押圧測定部材４８の一端にフランジ５０が設けられている。押圧測定部材４８と空気室４４内の上面との間に引張ばね５４である弾性部材が設けられている。ばね５４は押圧測定部材４８をＺ方向の上方に弾性復帰させる。
【００４９】
押当て部５２の底面に取り付けられた導電部材５６は（本実施形態において、導電部材５６は、導電性プラスチックシートであってもよい）、静電気放電を行う。また、押圧測定部材４８の他端に貫通孔４２に挿通された押当て部５２が設けられている。押当て部５２の底面に取り付けられた導電部材５６が指紋識別電子部品７４の検知部７８に押し当てられる。また、押圧保持部３４には、押圧測定部材４８を駆動してＺ方向に変位させる少なくとも１つの駆動構造が設けられている。
【００５０】
本実施形態において、駆動構造には、押圧測定部材４８の一端の上方に少なくとも１つの通気口４６に連通する空気室４４が設けられている。空気室４４の空気を加圧させて押圧測定部材４８をＺ方向に押圧して下方に変位させる。空気室４４は、シール部材５９を使用することにより、空気室４４の加圧された空気の漏れを防止することができるように構成されている。
【００５１】
本実施形態において、検査部１０の一方側に第３方向（例えばＸ方向）に変位する第１シャトル６２が設けられている。第１シャトル６２の供給ロボット９０側には、検査前の指紋識別電子部品７４を載置する少なくとも１つの第１載置部６４が設けられている。また、第１シャトル６２の回収ロボット９２側には、検査が終了した指紋識別電子部品７４を載置する少なくとも１つの第２載置部６６が設けられている。
【００５２】
検査部１０の他方側には、第３方向に変位する第２シャトル６８が設けられている。第２シャトル６８の供給ロボット９０側には、検査前の指紋識別電子部品７４を載置する少なくとも１つの第３載置部７０が設けられている。また、第２シャトル６８の回収ロボット９２側には、検査が終了した指紋識別電子部品７４を載置する少なくとも１つの第４載置部７２が設けられている。
【００５３】
使用時に、第１シャトル６２の第１載置部６４は、検査前の指紋識別電子部品７４を載置するとともに、Ｘ方向に変位し、検査前の指紋識別電子部品７４を検査部１０の一方側に移送する。測定ロボット２０の移送装置３２は、押圧保持部３４及び押圧測定部材４８を駆動してＹ方向に変位させる。移送装置３２は、押圧保持部３４を第１載置部６４の上方に位置させる。移送装置３２によりさらに押圧保持部３４を駆動してＺ方向に変位させる。押圧保持部３４の吸着部３８により指紋識別電子部品７４の非検知部位に接触して吸着する。さらに第１シャトル６２の第１載置部６４から検査前の指紋識別電子部品７４を取り出す。
【００５４】
測定ロボット２０の押圧保持部３４が検査前の指紋識別電子部品７４を取り出した後に、測定ロボット２０の移送装置３２により押圧保持部３４及び検査前の指紋識別電子部品７４を駆動してＹ方向に変位させる。移送装置３２により検査前の指紋識別電子部品７４を検査部１０の検査用ソケット１４の上方に位置させる。移送装置３２は、さらに押圧保持部３４をＺ方向に駆動して下方に変位させる。
【００５５】
押圧保持部３４は、図２に示すように、検査前の指紋識別電子部品７４を検査用ソケット１４に配置させる。押圧保持部３４は、押圧移転部材３６を指紋識別電子部品７４に当接させる。押圧保持部３４は、指紋識別電子部品７４の電気的コンタクト７６を確実に検査用ソケット１４のプローブ１８に接触させる。
【００５６】
押圧保持部３４の押圧移転部材３６は、指紋識別電子部品７４の非検知部位に当接させる。押圧移転部材３６は、指紋識別電子部品７４の検知部７８に影響を与えないので、検査用ソケット１４内で指紋識別電子部品７４の検知部７８に対して第１検査としての指（指紋）が接していない状態（検知部７８に導電部材５６が接していない状態）の検査を実行することができる。検査用ソケット１４は、検査用回路板１２を介して検査データをコントローラー（図示せず）に送信する。
【００５７】
図３は、本実施形態に係る測定ロボット２０の構造を示す模式正面図である。
測定ロボット２０は、図３に示すように、指紋識別電子部品７４の検知部７８に対して指（指紋）が接していない状態の検査を実行した後に、通気口４６を介して空気を空気室４４に注入する。そして、空気室４４の空気を加圧させ、空気室４４の加圧された空気の圧力により押圧測定部材４８をＺ方向に押圧して下方に変位させる。押圧測定部材４８は、フランジ５０が押圧保持部３４に当接するか、導電部材５６が指紋識別電子部品７４の検知部７８に接触するかまで、押当て部５２及び導電部材５６を押圧保持部３４の貫通孔４２内で下方に変位する。導電部材５６により指紋識別電子部品７４の検知部７８に接触して押しつけ、導電部材５６により静電気放電を行う。検査部１０の検査用ソケット１４内で指紋識別電子部品７４の検知部７８に対して第２検査としての指（指紋）が接している状態（検知部７８に導電部材５６が接している状態）の検査を実行する。
【００５８】
検査終了後に、測定ロボット２０は、先ず通気口４６を介して空気室４４内の空気を排出させる。押圧測定部材４８は、空気室４４内の空気からの外部力を受けないため、引張ばね５４の復帰弾力によりＺ方向に沿って上方に変位し、導電部材５６を駆動して指紋識別電子部品７４の検知部７８から離間させることができる。指紋識別電子部品７４が依然として押圧保持部３４の吸着部３８により保持吸着されているため、移送装置３２により押圧保持部３４をＺ方向に駆動して上方に変位させるときに、押圧保持部３４の吸着部３８により検査が終了した指紋識別電子部品７４を吸着して検査部１０の検査用ソケット１４から取り出すことができる。
【００５９】
測定ロボット２０の押圧保持部３４により検査が終了した指紋識別電子部品７４を取り出した後に、第２シャトル６８の第４載置部７２がＸ方向に沿って検査部１０の他方側に変位する。測定ロボット２０は、移送装置３２により押圧保持部３４及び検査が終了した指紋識別電子部品７４を駆動してＹ方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品７４を第４載置部７２の上方に移送する。移送装置３２によりさらに押圧保持部３４をＺ方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品７４を第２シャトル６８の第４載置部７２に配置し、第４載置部７２により検査が終了した指紋識別電子部品７４を取り出す。
【００６０】
図４は、本実施形態に係るＩＣハンドラーの検査工程を示すフローチャートである。
先ず、ステップＳ１０において、制御装置は、検査用ソケット１４に指紋識別電子部品７４を載置する。
【００６１】
次に、ステップＳ２０において、制御装置は、指（指紋）が接していない状態（検知部７８に導電部材５６が接していない状態）の指紋識別電子部品７４に対して検査を実行する。
【００６２】
次に、ステップＳ３０において、制御装置は、指（指紋）が接していない状態の指紋識別電子部品７４に対して検査が正常に終了したか判断する。検査の結果が予め決められた条件を満たす場合は、ＹＥＳでステップＳ４０に進む。検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合は、ＮＯでステップＳ３２に進む。
【００６３】
次に、ステップＳ３２において、制御装置は、指（指紋）が接していない状態の指紋識別電子部品７４に対して検査が２回未満か判断する。１回目の場合は、ＹＥＳでステップＳ３４に進む。２回目の場合は、ＮＯでステップＳ７０に進む。
【００６４】
次に、ステップＳ３４において、制御装置は、検査用ソケット１４に載置されている指紋識別電子部品７４を載置し直す間、検査部１０を待機状態にさせる。制御装置は、測定ロボット２０に検査用ソケット１４に載置されている指紋識別電子部品７４を載置し直させる（ステップＳ３６）。そして、検査終了を確認してステップＳ２０に戻る。
【００６５】
次に、ステップＳ４０において、制御装置は、検査環境を変更する間、検査部１０を待機状態にさせる。制御装置は、測定ロボット２０に検査環境を変更させる（ステップＳ４２）。具体的には、測定ロボット２０は、押当て部５２の底面に取り付けられた導電部材５６が指紋識別電子部品７４の検知部７８に押し当てる。
【００６６】
次に、ステップＳ５０において、制御装置は、指（指紋）が接している状態（検知部７８に導電部材５６が接している状態）の指紋識別電子部品７４に対して検査を実行する。
【００６７】
次に、ステップＳ６０において、制御装置は、指（指紋）が接している状態の指紋識別電子部品７４に対して検査が正常に終了したか判断する。検査の結果が予め決められた条件を満たす場合は、ＹＥＳでステップＳ７０に進む。検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合は、ＮＯでステップＳ６２に進む。
【００６８】
次に、ステップＳ６２において、制御装置は、指（指紋）が接している状態の指紋識別電子部品７４に対して検査が２回未満か判断する。１回目の場合は、ＹＥＳでステップＳ６４に進む。２回目の場合は、ＮＯでステップＳ７０に進む。
【００６９】
次に、ステップＳ６４において、制御装置は、導電部材５６を指紋識別電子部品７４の検知部７８に押し当て直す間、検査部１０を待機状態にさせる。制御装置は、測定ロボット２０に導電部材５６を指紋識別電子部品７４の検知部７８に押し当て直させる（ステップＳ６６）。そして、検査終了を確認してステップＳ５０に戻る。
【００７０】
次に、ステップＳ７０において、制御装置は、次にテストする指紋識別電子部品７４があるか判断する。次の指紋識別電子部品７４がある場合は、ＹＥＳでステップＳ１０に戻り、検査を繰り返す。次の指紋識別電子部品７４がない場合は、ＮＯで検査を終了する。
【００７１】
上記ステップを実行することにより制御装置は、検査対象の指紋識別電子部品７４が正常かどうか判断することができる。なお、上記ステップでは、検査の結果が予め決められた条件を満たさない場合、再検査を２回未満としたが、再検査は２回未満に限定されず、例えば、２回以上の再検査を行ってもよい。
【００７２】
本実施形態において、図１に示すように、検査部１０の上方に測定ロボット２０と同じ第１測定ロボット２２及び第２測定ロボット２４が設けられている。第１測定ロボット２２及び第２測定ロボット２４は、それぞれ第１載置部６４及び第３載置部７０の検査前の指紋識別電子部品７４を検査部１０の検査用ソケット１４に当接するように取り入れて検査を行う。
【００７３】
また、検査用ソケット１４内の検査が終了した指紋識別電子部品７４を取り出すとともにそれぞれ第２載置部６６及び第４載置部７２に移送する。第２載置部６６及び第４載置部７２は、回収ロボット９２の回収側ロボットハンドユニット９６により、検査が終了した指紋識別電子部品７４を取り出すとともに、回収側ロボットハンドユニット９６により検査が終了した指紋識別電子部品７４を回収トレイ８６に移送する。
【００７４】
回収トレイ８６には、少なくとも１つの検査が終了した指紋識別電子部品７４を載置するための少なくとも１つの載置部が設けられている。回収ロボット９２の回収側ロボットハンドユニット９６により検査の結果に基づいて検査が終了した指紋識別電子部品７４を載置部に移送し分類してストックする。制御装置は、各装置の動作を制御調整して自動化検査を実行し、生産効率を高めるという実用的効果を達成する。
【００７５】
本実施形態によれば、第１検査の結果が予め決められた条件を満たさないとなれば第２検査を実施せずに搬送を継続することが可能である。これにより、ひとつの指紋識別電子部品７４について、異なる検査を同時、連続して行うことで処理能力（ＵＰＨ）を短縮できる。
【００７６】
なお、測定ロボット２０は、押圧保持部３４とは異なる構造である第２保持部を備えてもよい。これによれば、検査環境に特化した保持部を備えることができる。例えば、押圧保持部３４を搬送専用とし、第２保持部を押圧・検査用としてもよい。
【００７７】
また、押圧保持部３４は、指紋照合を行う際に指の指紋パターンの代わりに用いられる導電部材５６を備えていてもよい。第２保持部は、導電部材５６を備えていなくてもよい。これによれば、検査環境に特化した第２保持部を備えることができる。
【００７８】
（第２実施形態）
図５は、本実施形態に係る測定ロボット２６の構造を示す模式正面図である。図６は、本実施形態に係る測定ロボット２８の構造を示す模式正面図である。図７は、本実施形態に係るＩＣハンドラーの構造を示す模式平面図である。
【００７９】
本実施形態のＩＣハンドラーは、第１保持部としての第１押圧保持部３５と、第１押圧保持部３５とは異なる構造である第２保持部としての第２押圧保持部３７と、を備える点が、第１実施形態とは異なっている。以下、第１実施形態と同じ構成部材には同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
【００８０】
本実施形態に係るＩＣハンドラーは、指紋識別電子部品７４を保持可能な第１押圧保持部３５と、指紋識別電子部品７４を保持可能で、第１押圧保持部３５とは異なる構造である第２押圧保持部３７と、を備えている。第１押圧保持部３５は、指紋識別電子部品７４を検査用ソケット１４に搬送して検査用ソケット１４に載置する。第２押圧保持部３７は、第１押圧保持部３５が指紋識別電子部品７４を検査用ソケット１４に載置した後に、指紋識別電子部品７４を押圧して所定の検査を行う。
【００８１】
本実施形態において、検査部１０の上方に第１測定ロボット２６及び第２測定ロボット２８が設けられている。
【００８２】
測定ロボット２６，２８には、少なくとも一方向に変位する押圧保持部３５，３７が設けられている。押圧保持部３５，３７は、指紋識別電子部品７４を検査用ソケット１４への出し入れを行うとともに、検査用ソケット１４内の指紋識別電子部品７４の非検知部位に当接する。本実施形態において、測定ロボット２６，２８には、第１方向、第２方向（例えばＺ方向、Ｙ方向）に変位する移送装置３２が設けられている。移送装置３２には、押圧保持部３５，３７が取り付けられている。押圧保持部３５，３７の一端が移送装置３２の底部に取り付けられ、他端には、押圧移転部材３６が設けられて指紋識別電子部品７４の非検知部位に当接する。押圧移転部材３６の底面には、複数の吸着部３８が設けられて指紋識別電子部品７４の出し入れを行う。
【００８３】
第２測定ロボット２８には、第２押圧保持部３７の他端に押当て部５２が設けられている。押当て部５２の底面に取り付けられた導電部材５６が指紋識別電子部品７４の検知部７８に押し当てられる。
【００８４】
第１測定ロボット２６には、第１押圧保持部３５の他端に押当て部５２の底面に導電部材が設けられていない。第１測定ロボット２６の第１押圧保持部３５は、指紋識別電子部品７４の検知部７８に当接しない。
【００８５】
本実施形態の指紋識別電子部品７４は、図７に示すように、矢印Ａ、矢印Ｂ、及び矢印Ｃの順路で搬送される。具体的には、指紋識別電子部品７４の検知部７８に対して指（指紋）が接していない状態の検査を実行した後に、第１測定ロボット２６は、検査用ソケット１４に指紋識別電子部品７４を残したまま、指紋識別電子部品７４から離間する。第２測定ロボット２８は、押圧移転部材３６を指紋識別電子部品７４に当接させる。第２測定ロボット２８は、押当て部５２及び導電部材５６を下方に変位させ、導電部材５６により指紋識別電子部品７４の検知部７８に接触して押しつけ、導電部材５６により静電気放電を行い、検査部１０の検査用ソケット１４内で指紋識別電子部品７４の検知部７８に対して指（指紋）が接している状態の検査を実行する。
【００８６】
第２測定ロボット２８の第２押圧保持部３７により検査が終了した指紋識別電子部品７４を取り出した後に、第２シャトル６８の第４載置部７２がＸ方向に沿って検査部１０の他方側に変位する。第２測定ロボット２８は、移送装置３２により第２押圧保持部３７及び検査が終了した指紋識別電子部品７４を駆動してＹ方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品７４を第４載置部７２の上方に移送する。移送装置３２によりさらに第２押圧保持部３７をＺ方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品７４を第２シャトル６８の第４載置部７２に配置し、第４載置部７２により検査が終了した指紋識別電子部品７４を取り出す。
【００８７】
なお、指紋識別電子部品７４の搬送経路は、第２シャトル６８側から搬送してもよい。
【００８８】
また、第２押圧保持部３７は、電気検査を行う端子を備えてもよい。これによれば、検査環境に特化した第２押圧保持部３７を備えることができる。
【００８９】
（第３実施形態）
図８は、本実施形態に係る測定ロボット３０の構造を示す模式正面図である。図９は、本実施形態に係るＩＣハンドラーの構造を示す模式平面図である。
【００９０】
本実施形態のＩＣハンドラーは、第２保持部としての第２押圧保持部３９が吸着機構を備えていない点が、第２実施形態とは異なっている。以下、第２実施形態と同じ構成部材には同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
【００９１】
本実施形態のＩＣハンドラーの第１押圧保持部３５は、吸着機構を備え、第２押圧保持部３９は、吸着機構を備えていない。これによれば、検査環境に特化した第２押圧保持部３９を備えることができる。
【００９２】
本実施形態において、検査部１０の上方に第１測定ロボット２６及び第２測定ロボット３０が設けられている。
【００９３】
第２測定ロボット３０には、第２押圧保持部３９の他端に押当て部５２が設けられている。押当て部５２の底面に取り付けられた導電部材５６が指紋識別電子部品７４の検知部７８に押し当てられる。
【００９４】
本実施形態の指紋識別電子部品７４は、図９に示すように、矢印Ｄ、矢印Ｅ、矢印Ｆ、及び矢印Ｇの順路で搬送される。具体的には、指紋識別電子部品７４の検知部７８に対して指（指紋）が接していない状態の検査を実行した後に、第１測定ロボット２６は、検査用ソケット１４に指紋識別電子部品７４を残したまま、指紋識別電子部品７４から離間する。第２測定ロボット３０は、押当て部５２及び導電部材５６を下方に変位させ、導電部材５６により指紋識別電子部品７４の検知部７８に接触して押しつけ、導電部材５６により静電気放電を行い、検査部１０の検査用ソケット１４内で指紋識別電子部品７４の検知部７８に対して指（指紋）が接している状態の検査を実行する。
【００９５】
そして、指紋識別電子部品７４の検知部７８に対して指（指紋）が接している状態の検査を実行した後に、第２測定ロボット３０は、検査用ソケット１４に指紋識別電子部品７４を残したまま、指紋識別電子部品７４から離間する。第１測定ロボット２６は、押圧移転部材３６を指紋識別電子部品７４に当接させる。第１測定ロボット２６は、検査が終了した指紋識別電子部品７４を取り出した後に、第１シャトル６２の第２載置部６６がＸ方向に沿って検査部１０の他方側に変位する。第１測定ロボット２６は、移送装置３２により第１押圧保持部３５及び検査が終了した指紋識別電子部品７４を駆動してＹ方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品７４を第２載置部６６の上方に移送する。
【００９６】
移送装置３２によりさらに第１押圧保持部３５をＺ方向に変位させ、検査が終了した指紋識別電子部品７４を第１シャトル６２の第２載置部６６に配置し、第２載置部６６により検査が終了した指紋識別電子部品７４を取り出す。
【００９７】
なお、指紋識別電子部品７４の搬送経路は、第２シャトル６８側から搬送してもよい。
【００９８】
また、第２押圧保持部３９は、電気検査を行う端子を備えてもよい。これによれば、検査環境に特化した第２押圧保持部３９を備えることができる。
【００９９】
本実施形態によれば、検査環境に特化した第２押圧保持部３９を備えることができる。これにより、異なる形状の指紋識別電子部品７４の検査に対応することができる。また、第２押圧保持部３９が指紋識別電子部品７４を吸着できない構造でも、検査用ソケット１４に指紋識別電子部品７４を載置した第１押圧保持部３５で指紋識別電子部品７４を搬送することも可能である。
【符号の説明】
【０１００】
１０…検査部  １２…検査用回路板  １４…検査用ソケット  １８…プローブ  ２０…測定ロボット  ２２，２６…第１測定ロボット  ２４，２８，３０…第２測定ロボット  ３２…移送装置  ３４…押圧保持部  ３５…第１押圧保持部  ３６…押圧移転部材  ３７，３９…第２押圧保持部  ３８…吸着部  ４０…収容空間  ４２…貫通孔  ４４…空気室  ４６…通気口  ４８…押圧測定部材  ５０…フランジ  ５２…押当て部  ５４…ばね  ５６…導電部材  ５９…シール部材  ６１…吸引管  ６２…第１シャトル  ６４…第１載置部  ６６…第２載置部  ６８…第２シャトル  ７０…第３載置部  ７２…第４載置部  ７４…指紋識別電子部品  ７６…電気的コンタクト  ７８…検知部  ８０…ベース  ８２…供給トレイ  ８６…回収トレイ  ９０…供給ロボット  ９２…回収ロボット  ９４…供給側ロボットハンドユニット  ９６…回収側ロボットハンドユニット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2018136239.tif 000008
【図７】
2018136239.tif 000009
【図８】
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【図９】
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