(57)【要約】【課題】粉末粒子の形や大きさを揃える手間を省くことができる非蒸発型ゲッター粉末材料を提供する。【解決手段】非蒸発型ゲッター合金からなる複数の粉末粒子で構成され、複数の粉末粒子はほぼ球形で大きさが揃っている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非蒸発型ゲッター合金からなる複数の粉末粒子で構成され、複数の前記粉末粒子はほぼ球形で大きさが揃った非蒸発型ゲッター粉末材料。
【請求項２】
個々の前記粉末粒子の表面が、前記表面に吸着した窒素分子で覆われたことを特徴とする請求項１に記載の非蒸発型ゲッター粉末材料。
【請求項３】
非蒸発型ゲッター合金を溶融する工程と、
溶融した前記合金にガスを吹き付けて、又は遠心力を印加して、前記合金からなる複数の粉末粒子を作製する工程と、
を有することを特徴とする非蒸発型ゲッター粉末材料の製造方法。
【請求項４】
前記複数の粉末粒子を作製する工程の後に、各前記粉末粒子の表面に窒素分子を吸着させて各前記粉末粒子の表面を前記窒素分子で覆う工程を有することを特徴とする請求項３に記載の非蒸発型ゲッター粉末材料の製造方法。
【請求項５】
相互に対向する開口を有する枠と、
前記相互に対向する開口を塞ぐように前記枠に張られた網状部材と、
前記枠と前記網状部材とで包囲され、粒径が前記網状部材の網目よりも大きな複数の粉末粒子で構成された非蒸発型ゲッター粉末材料とを有し、
前記粉末粒子は、ほぼ球形で大きさが揃った非蒸発型ゲッター合金からなることを特徴とする非蒸発型ゲッター。
【請求項６】
個々の前記粉末粒子の表面が、前記表面に吸着した窒素分子で覆われたことを特徴とする請求項５に記載の非蒸発型ゲッター。
【請求項７】
相互に対向する開口を有する枠と、前記相互に対向する開口を塞ぐように前記枠に張られた網状部材と、前記枠と前記網状部材とで包囲され、粒径が前記網状部材の網目よりも大きな複数の粉末粒子で構成された非蒸発型ゲッター粉末材料とを備え、前記粉末粒子がほぼ球形で大きさが揃った非蒸発型ゲッター合金からなる複数の非蒸発型ゲッターと、
複数の前記非蒸発型ゲッターの前記粉末材料を活性化するヒータと、
を有することを特徴とする非蒸発型ゲッターポンプ。
【請求項８】
個々の前記粉末粒子の表面が、前記表面に吸着した窒素分子で覆われたことを特徴とする請求項７に記載の非蒸発型ゲッターポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非蒸発型ゲッター粉末材料及びその製造方法、非蒸発型ゲッター粉末材料を用いた非蒸発型ゲッター及びこれを備えた非蒸発型ゲッターポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空チャンバに取り付けて排気を行うことによって真空チャンバ内で真空状態を実現する真空ポンプには、様々な種類がある。
【０００３】
その一つに、種々の気体分子を化学吸着する性質を有するゲッターを用いて、真空チャンバ内に残留している気体を取り除くゲッターポンプがある。ゲッターポンプに用いるゲッターには、金属のゲッター材料を蒸発（昇華）させて用いる蒸発型ゲッターと、蒸発させる必要のない非蒸発型ゲッター（ＮＥＧ：Non-Evaporable Getter）がある。
【０００４】
さらに、ゲッターのうち、ＮＥＧには、例えば気体分子、特に水素、窒素、一酸化炭素や水を吸着する合金を機械的に粉砕して一旦粉末状にし、このゲッター粉末材料を、長いリボン状の基材の表面に強い力で押しつけ、付着させて用いるものや、圧縮してピル状（錠剤状）に成形して用いるものや、真空中、高温で粉末を焼結し多孔質の集合体としたものなどがある。
【０００５】
これらはいずれも、粉末材料を用いることで吸着表面積を広げるとともに、粉末を固めることで粉末の飛散を防止している。
【０００６】
これに対して、本願出願人は、粉末材料を固めないでそのまま用いても、粉末材料の飛散を防ぐことができ、かつ取り扱い易い形態の非蒸発型ゲッターを発明した（特許文献３）。これにより、粉末を固める構造に比べて、粉末粒子の有効な吸着表面積をさらに広げることができ、排気性能の向上を図ることができた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特表２００９−５４１５８６号公報
【特許文献２】特開２００４−２０２３０９号公報
【特許文献３】特開２０１６−０３７９１０号公報
【特許文献４】特開２００４−１８３０４９号公報
【特許文献５】特開２００４−３１７０９６号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】愛媛県産業技術研究所研究報告No.48, p18020 2010
【非特許文献２】資源処理技術（浮選）特別講演Vol.33, No.4（‘86-冬）, p227-232 「アトマイズ法による金属微粉末の製造」河合伸泰ほか
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、粉砕粉をそのまま使用した場合、粉末粒子の大きさが広い範囲でばらつくため粉末を容器に収納するときに容器の網目から漏出しないように粒子の大きさを選別しており、手間がかかっていた。
【００１０】
さらに、粒子の大きさを選別したとしても、個々の粉末粒子の形状がランダムで突起が多く、そのまま使用すると容器内で相互接触して微粉化し、網目から漏出する恐れがある。このため、粉末粒子の角を取って使用しており、この点でも手間がかかっていた。
【００１１】
したがって、当初から形状や大きさが揃った粉末粒子が得られれば、手間をかけずに済む。
【００１２】
本発明は、粉末粒子の形状や大きさを揃える手間を省くことができる非蒸発型ゲッター粉末材料及びその製造方法、前記非蒸発型ゲッター粉末材料を用いた非蒸発型ゲッター及びこれを有する非蒸発型ゲッターポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
開示の技術の一観点によれば、非蒸発型ゲッター合金からなる複数の粉末粒子で構成され、複数の前記粉末粒子はほぼ球形で大きさが揃った非蒸発型ゲッター粉末材料が提供される。
【００１４】
別の観点によれば、非蒸発型ゲッター合金を溶融する工程と、溶融した前記合金にガスを吹き付けて、又は遠心力を引加して前記合金からなる複数の粉末粒子を作製する工程とを有することを特徴とする非蒸発型ゲッター粉末材料の製造方法が提供される。
【００１５】
また、更に別の観点によれば、相互に対向する開口を有する枠と、前記相互に対向する開口を塞ぐように前記枠に張られた網状部材と、前記枠と前記網状部材とで包囲され、粒径が前記網状部材の網目よりも大きな複数の粉末粒子で構成された非蒸発型ゲッター粉末材料とを有し、前記粉末粒子は、ほぼ球形で大きさが揃った非蒸発型ゲッター合金からなることを特徴とする非蒸発型ゲッターが提供される。
【００１６】
さらに、他の観点によれば、相互に対向する開口を有する枠と、前記相互に対向する開口を塞ぐように前記枠に張られた網状部材と、前記枠と前記網状部材とで包囲され、粒径が前記網状部材の網目よりも大きな複数の粉末粒子で構成された非蒸発型ゲッター粉末材料とを備え、前記粉末粒子がほぼ球形で大きさが揃った非蒸発型ゲッター合金からなる複数の非蒸発型ゲッターと、複数の前記非蒸発型ゲッターの前記粉末材料を活性化するヒータとを有することを特徴とする非蒸発型ゲッターポンプが提供される。
【発明の効果】
【００１７】
上記の一観点によれば、非蒸発型ゲッター粉末材料を構成する複数の粉末粒子は、例えばアトマイズ法で作製すると、当初から大きさが揃うため、粒子の大きさを選別する手間を省くことができる。
【００１８】
また、当初から形状がほぼ球形となるので、角を取って形を揃える手間も省くことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、第１実施形態の非蒸発型ゲッター粉体を作製する工程を示すフローチャートである。
【図２】図２は、第１実施形態の非蒸発型ゲッター粉体を作製する製造装置の全体を示す模式図である。
【図３】図３は、図２の製造装置のうち、浮上式溶融炉を示す斜視図である。
【図４】図４（ａ）、（ｂ）は、排気速度の比較調査に用いた非蒸発型ゲッター粉体を示す写真を描き写した図である。（ａ）は、図３の製造装置で作製した非蒸発型ゲッター粉体を示し、（ｂ）は、ゲッター合金を機械的に粉砕して作製した非蒸発型ゲッター粉体を示す。
【図５】図５（ａ）〜（ｃ）は、排気速度の調査に供した本発明（第１例）と、第１比較例の非蒸発型ゲッターポンプを示す図である。（ａ）は、全体の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は一つの非蒸発型ゲッターを示す上面図であり、（ｃ）は、（ａ）の非蒸発型ゲッターポンプの支持軸に沿って切断した部分断面図である。なお、第１比較例の非蒸発型ゲッターポンプは、機械的に粉砕した粉末材料を用いたことを除き、図５と同じ構成である。
【図６】図６（ａ）、（ｂ）は、排気速度の調査に供した第２比較例の非蒸発型ゲッターポンプを示す図である。（ａ）は、全体の構成を示す断面図であり、（ｂ）は、粉末材料をピル状に固めた一つの非蒸発型ゲッターを示す斜視図である。
【図７】図７は、調査に用いた排気速度の測定システムを示す模式図である。
【図８】図８（ａ）〜（ｃ）は、本発明と比較例に係る非蒸発型ゲッターポンプの排気速度の測定結果を示すグラフである。（ａ）は本発明に係る測定結果であり、（ｂ）は第１比較例に係る測定結果であり、（ｃ）は第２比較例に係る測定結果である。
【図９】図９は、第２実施形態の非蒸発型ゲッター粉体を作製する工程を示すフローチャートである。
【図１０】図１０は、第２実施形態の非蒸発型ゲッター粉体を作製した後に活性化する工程を示すフローチャートである。
【図１１】図１１は、第２実施形態の非蒸発型ゲッター粉体を作製する製造装置の一部を示す模式図である。
【図１２】図１２は、図１１の製造装置で作製した非蒸発型ゲッター粉体の一粉末粒子を示す断面図である。
【図１３】図１３は、図１２の非蒸発型ゲッター粉体を活性化した後の一粉末粒子を示す断面図である。
【図１４】図１４（ａ）、（ｂ）は、第２例の非蒸発型ゲッターを示す斜視図である。
【図１５】図１５は、第３例の非蒸発型ゲッターを示す斜視図である。
【図１６】図１６は、第２例の非蒸発型ゲッターポンプを示す断面図である。
【図１７】図１７は、第３例の非蒸発型ゲッターポンプに用いる、第４例の非蒸発型ゲッターを示す斜視図である。
【図１８】図１８は、第５例の非蒸発型ゲッターを示す斜視図である。
【図１９】図１９は、第６例の非蒸発型ゲッターと、第４例の非蒸発型ゲッターポンプとする、第６例の非蒸発型ゲッターを連結する方法を示す斜視図である。
【図２０】図２０は、第４例の非蒸発型ゲッターポンプを示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下では、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。
【００２１】
以下の説明では、非蒸発型ゲッター（Non-Evaporable Getter）をＮＥＧと表記し、非蒸発型ゲッター粉体をＮＥＧ粉体と表記し、非蒸発型ゲッターポンプをＮＥＧポンプと表記する。
【００２２】
（予備的事項）
本発明の実施の形態を説明する前に、本発明に関連する予備的事項について説明する。
【００２３】
本願出願人は、ＮＥＧ粉体（ＮＥＧ粉末材料）を固めないでそのまま用いても、ＮＥＧ粉体の飛散を防ぐことができ、かつ取り扱い易い形態のＮＥＧやＮＥＧポンプを発明した（特許文献３）。
【００２４】
特許文献３の実施形態に記載したＮＥＧ粉末材料は、大きさが揃い、角の無い粉末粒子からなるＮＥＧ粉体を使用することを想定している。しかし、以下の理由で、当初からそのようなＮＥＧ粉体を入手できなかったため、ＮＥＧ合金を機械的に粉砕して作製した粉体に手を加え、粉末粒子の大きさを選別したり角を丸くしたりして使用していた。
【００２５】
当時、ＮＥＧ粉体を用いたＮＥＧ製品としてＮＥＧ粉体をピル状やリボン状に固めたものが知られているのみであり、ＮＥＧ粉体をそのまま用いたＮＥＧ製品は皆無であった。そのＮＥＧ粉体としては、粉体粒子表面に突起物が多く、かつ粒子の大きさの不揃いのものが好適に使用されていた。大きさが揃い、角の無い球形の粉末粒子からなる粉体は、バインダ無しで固めることが難しいため使用できなかった。
【００２６】
なお、ＮＥＧ粉体をそのまま用いたＮＥＧは、特許文献的（特許文献１と特許文献２）に知られているだけで、しかもＮＥＧ粉体としてインゴットを粉末に粉砕したものが用いられている（特許文献１の段落００２０、特許文献２の段落００１９）。
【００２７】
ピル状やリボン状のＮＥＧのためのＮＥＧ粉体は、次のようにＮＥＧ合金を機械的に粉砕して得られる。例えば、ジルコニウム70％と、バナジウム24.6％と、鉄5.4％の３元合金の場合、真空中、又はアルゴン雰囲気中で、まず高周波炉を用いて合金のインゴットを作製する。次いで、インゴットをアルゴン雰囲気中で金属粉砕機にかけて数μｍ〜数百μｍの粉末に粉砕する。これにより、ピル状やリボン状に圧縮で固めるのに適した形状のＮＥＧ粉末が得られる。
【００２８】
ところで、当初から大きさが揃い、角の無いほぼ球形の粉末粒子が得られる技術としてアトマイズ法が以前から知られている（特許文献４、特許文献５、非特許文献１、非特許文献２）が、上述の理由から、大きさが揃い、角の無いほぼ球形のＮＥＧ粉末粒子は必要とされず、そのためＮＥＧ粉体を作製するのに適用した例は知られていない。
【００２９】
以上の観点から、本願発明者は、ＮＥＧ粉体をそのまま用いたＮＥＧとＮＥＧポンプを提供するため、アトマイズ法によりＮＥＧ粉末材料を作製し、それを使用することを考えた。
【００３０】
以下に、ＮＥＧ粉末材料をアトマイズ法により作製し、ＮＥＧとＮＥＧポンプに使用した本願発明の実施形態について説明する。
【００３１】
（第１実施形態）
最初に、図２と図３を参照して、ＮＥＧ粉末材料の製造装置１０１を説明し、その後、図１〜図３を参照して、ＮＥＧ粉末材料の製造方法を説明する。
【００３２】
（第１実施形態に係るＮＥＧ粉末材料の製造装置）
図２は、図１の浮上式アトマイズ法に用いる製造装置１０１の全体の構成を示す模式図であり、図３は、図２の製造装置１０１のうち、浮上式溶融炉を示す斜視図である。
【００３３】
浮上式アトマイズ法を用いたのは、合金が溶融炉に接触しないため、溶融した合金に溶融炉からの不純物が混入するのを抑制できるという理由からである。
【００３４】
図２において、符号１は、ＮＥＧ合金を磁気浮上させながら溶融し、ＮＥＧ合金の溶湯を噴霧する浮上式溶融炉である。
【００３５】
浮上式溶融炉１の底部には、アトマイズチャンバ２が接続され、浮上式溶融炉１の底部のアトマイズノズル１５からＮＥＧ合金の溶湯がアトマイズチャンバ２内に噴霧されて、ＮＥＧ合金の粉末粒子７が生成される。
【００３６】
さらに、アトマイズチャンバ２の下流には導管３が接続され、アトマイズチャンバ２内で生成された粉末粒子７が導管３によって下流に導かれ、さらに、下流で導管３に接続された粉末回収容器５に回収される。
【００３７】
また、粉末回収容器５には導管４が接続されており、粉末回収容器５内に溜まった、噴霧に用いたＡｒガスを下流の排気管６に導く。このようにして、Ａｒガスは排気される。
【００３８】
次に、図３を参照して浮上式溶融炉１について詳しく説明する。
【００３９】
浮上式溶融炉１は、円筒状の上部構造体１１ａと、上部構造体１１ａの下部に接続された漏斗形の筒状の上側中間構造体１１ｂと、上側中間構造体１１ｂの下部に接続された円筒状の下側中間構造体１１ｃと、下側中間構造体１１ｃに接続されたドーナツ状の下部構造体１１ｄとを有する。
【００４０】
下側中間構造体１１ｃの中心部には、上側中間構造体１１ｂの漏斗形の流路１２ａと繋がる溶湯の流路１２ｂと、流路１２ｂの幅より狭くなった出湯口１２ｃとが設けられている。流路１２ｂと出湯口１２ｃとは溶湯のノズルとなる。
【００４１】
さらに、出湯口１２ｃの下には、出湯口１２ｃからでた溶湯が最初にアトマイズチャンバ２内に噴出するための、出湯口１２ｃより大きい直径のアトマイズノズルとなる空洞１５が設けられている。
【００４２】
その空洞１５は、ドーナツ状の下部構造体１１ｄの中央部の貫通穴につながっている。
【００４３】
また、出湯口１２ｃの周りには、空洞１５に向かって開く４つのガス噴射口１３ａ，１３ｂ，１３ｃが設けられている。なお、手前のガス噴出口１３ｂの向こう側にも一つのガス噴出口があるが、図４では省略されている。以下の説明でも、当該ガス噴出口は省略している。
【００４４】
４つのガス噴射口１３ａ，１３ｂ，１３ｃは、それぞれ、空洞１５の周囲の下側中間構造体１１ｃの内部に形成された４つのガス流路１４ａ，１４ｂ，１４ｃと、下部構造体１１ｄの内部に放射状に形成されたガス流路１４ａ，１４ｂ，１４ｃとを通り、下部構造体１１ｄの外側側面に設けられたガス導入口に繋がっている。なお、手前のガス流路１４ｂの向こう側にも一つのガス流路があるが、図４では省略されている。以下の説明でも、当該ガス流路は省略している。
【００４５】
４つのガス噴射口１３ａ，１３ｂ，１３ｃとそれぞれ繋がるガス流路１４ａ，１４ｂ，１４ｃの部分は、ガス噴射口１３ａ，１３ｂ，１３ｃから噴出されるガスが空洞１５の中心軸に向かうように斜め方向にガス噴射口１３ａ，１３ｂ，１３ｃに接続されている。
【００４６】
また、上部構造体１１ａの外側周囲には、コイル１６が設けられている。コイル１６に高周波電流を流すことにより、ＮＥＧ合金１８を誘導加熱して、ＮＥＧ合金１８の先端を誘導加熱により溶融させる。
【００４７】
また、中間構造体１１ｂ、１１ｃの外側周囲には、別のコイル１７が設けられており、ＮＥＧ合金１８をローレンツ斥力により浮揚させる。
【００４８】
（第１実施形態のＮＥＧ粉体の製造方法）
図２及び図３の製造装置１０１を用いた第１実施形態のＮＥＧ粉体の製造方法について、図１のフローチャートを参照して説明する。
【００４９】
最初に、図１に示すように、ＮＥＧ粉体の原料であるＮＥＧ合金のインゴット１８を作製する（Ｓ１）。
【００５０】
詳しくは、ジルコニウム（Ｚｒ）、バナジウム（Ｖ）、鉄（Ｆｅ）とを混合して溶融し、整形しながら固めて、先のとがった円柱状のＮＥＧ合金のインゴット１８を作製する。ＮＥＧ合金の組成がＺｒ７０％、Ｖ２４．６％、Ｆｅ５．４％の割合になるように、ＺｒとＶとＦｅの量を調整する。例えば、Ｚｒを５ｋg、Ｖを１．７６ｋg、Ｆｅを０．３９ｋgとする。
【００５１】
次いで、図３の浮上式溶融炉１のコイル１６、１７に電流を流し、さらに、４つのガス噴射口１３ａ，１３ｂ，１３ｃからアルゴンガス（アトマイズガス）を噴射させておく。所望の粒子の大きさを得るため、アルゴンガスは、圧力を５ｋｇｆ／ｃｍ２（０．５ＭＰａ／ｃｍ２）に、流量を２〜５Ｎｍ３／ｍｉｎに設定する。
【００５２】
次に、ＮＥＧ合金のインゴット１８を浮上式溶融炉１に収容し、浮上させる。これにより、インゴット１８を融点以上に加熱し、溶融する（Ｓ２）。
【００５３】
溶融した合金は、出湯口１２ｃから流れ出るとともに、アルゴンガスの噴射により、少量ずつ粉粒化される（Ｓ３）。
【００５４】
このとき、分離した個々の粉粒は表面張力の作用により、ほぼ球形の粉末粒子７となる。また、一定の流量、圧力でアルゴンガスが噴射されているため、分離した個々の粉粒の分量は相互に大きく変動しない。したがって、形と大きさが揃った粉末粒子７を作製することができる。図４（ａ）は、ガスアトマイズ法により作製された粉末粒子７の写真を描き写した図である。
【００５５】
このようにしてアトマイズ（粉粒化）され、生成された粉末粒子７は、図２の製造装置１０１の粉末回収容器５に導かれ、回収される。
【００５６】
（第１実施形態のＮＥＧポンプの排気性能の調査）
図５（ａ）〜（ｃ）に示す第１実施形態に係るＮＥＧ２１及びこれを備えたＮＥＧポンプ２６を製作し、排気性能を調査した。
【００５７】
ＮＥＧ２１は、メッシュ（網状部材）２３を張ったドーナツ状の容器（収納部）に図４（ａ）に示すＮＥＧ粉末材料を収納したものである。
【００５８】
円筒状のステンレス製の外枠２２ａと内枠２２ｂの相互の中心軸を一致させて外枠２２ａの内側に内枠２２ｂを置き、外枠２２ａと内枠２２ｂとをつなぐ支持部材２２ｃにより外枠２２ａと内枠２２ｂとを相互に支持する。支持部材２２ｃは、外枠２２ａと内枠２２ｂとの間の幅を有し、収納部を上下に仕切るドーナツ状の板でもよいし、車輪のスポークのように外枠２２ａと内枠２２ｂの間を繋ぎ４か所に十字の形で配置された棒状の部材でもよい。
【００５９】
そして、外枠２２ａと内枠２２ｂの間の相互に対向する開口を塞ぐようにメッシュ２３を張り、容器を作製した。外枠２２ａの外径は３２ｍｍ、内径は３０ｍｍとし、内枠２２ｂの外径は８ｍｍ、内径は６ｍｍ、軸方向の長さは４ｍｍとした。ステンレス製のメッシュ２３は平織りで、目開き寸法は４１μｍとした。
【００６０】
ＮＥＧ粉末材料は、図２の製造装置で作製したＮＥＧ粉末材料を篩にかけ、粒径１００μｍ以上２００μｍ以下の粉末粒子７を選別して取得した。
【００６１】
そして、ＮＥＧ２１は、容器に選別したＮＥＧ粉末材料７又は７ａを一容器あたり約５．５ｇ入れて構成した。
【００６２】
ＮＥＧポンプ２６は、このＮＥＧ２１の内枠２２ｂの穴にヒータ（シースヒータ）２５を備えた円筒状の支持軸２４を挿入して５個のＮＥＧ２１を支持軸２４で保持し、構成した。
【００６３】
比較のために、図５（ａ）〜（ｃ）と同じようにして第１比較例のＮＥＧ３１及びこれを備えたＮＥＧポンプ３６を作製した。
【００６４】
ＮＥＧ３１は、メッシュ（網状部材）３３を張ったドーナツ状の容器に図４（ｂ）に示すＮＥＧ粉末材料を収納したものである。
【００６５】
ＮＥＧ３１の容器はＮＥＧ２１の容器と同じものを用い、外枠３２ａと内枠３２ｂと支持部材３２ｃとメッシュ３３とで構成される。ＮＥＧ粉末材料は、機械的粉砕により作製した粉末材料を篩にかけて、粒径が５０μｍ〜１８０μｍに分布する粉末粒子３８を選別したものを用いた。
【００６６】
ＮＥＧ３１は、本発明のＮＥＧ２１に合わせて一容器あたり約５．５ｇのＮＥＧ粉末材料３８を入れて構成した。ＮＥＧポンプ３６は、ＮＥＧ３１の内枠３２ｂの穴にヒータ（シースヒータ）３５を備えた円筒状の支持軸３４を挿入して１０個のＮＥＧ３１を支持軸３４で保持し、構成した。
【００６７】
さらに、第２比較例として、図６（ｂ）のＮＥＧ４１及び図６（ａ）のＮＥＧポンプ４４を作製した。
【００６８】
そのＮＥＧ４１は、図６（ｂ）に示すように、機械的粉砕により作製した粒径が数μｍ〜３００μｍに分布する粉末材料を全て混ぜ合わせ、圧縮して直径１０ｍｍ、厚さ３ｍｍのピル状に成形し、作製した。
【００６９】
そして、真空フランジ４５内に、図６（ａ）に示すように、ヒータ４３と複数のＮＥＧ４１とを配置し、ＮＥＧポンプ４４とした。
【００７０】
真空フランジ４５は外径１１４ｍｍのコンフラットフランジの規格品ＣＦ１１４を使用した。
【００７１】
複数のＮＥＧ４１は、籠４２の中に収納し、配置する。すなわち、１０メッシュで目開き寸法が２．５ｍｍの扁平な籠４２を、真空フランジ４５の内壁に沿うように円筒形に整形して配置し、その籠４２の中にＮＥＧ４１を一層当たり１５個並べ、かつそれを７層に積層した。すなわち、使用したゲッター材料は、ＮＥＧ４１が総計１０５個で約９７．７ｇである。
【００７２】
また、ＮＥＧ４１の収納部が円筒形に配置された籠４２の中心軸に沿ってヒータ４３を配置した。なお、図６（ａ）中、符号４３ａは、らせん状に成形した電熱線で、４３ｂ、４３ｃは、電熱線４３ａに電力を印加する一対の端子である。真空フランジ４５の底部の仕切り壁に端子４３ｂ、４３ｃが固定され、外部に引き出されている。
【００７３】
図７は、ＮＥＧポンプの排気性能を調査するための測定システムの構成を表す模式図である。
【００７４】
このシステムでは、第１チャンバ５１と第２チャンバ５２とが、オリフィス板５３を介して接続されている。
【００７５】
第１チャンバ５１には、排気性能を調査するＮＥＧポンプ５５が接続される。また、第２チャンバ５２には、メインバルブ５９ａを介してターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）５８ａとダイアフラムポンプ５８ｂが直列に接続されている。さらに、第２チャンバ５２には四重極型質量分析計５６が接続されている。
【００７６】
測定を始めるため、メインバルブ５９ａを開き、ターボ分子ポンプ５８ａとダイアフラムポンプ５８ｂとを作動させて第１チャンバ５１と第２チャンバ５２の排気を開始する。
次いで、真空装置の脱ガスのためのベーキングを行う。
【００７７】
次いで、ＮＥＧを４５０℃で３０分間熱処理してＮＥＧの活性化を行い、その後室温の環境に放置する。
【００７８】
第１チャンバ５１と第２チャンバ５２の圧力Ｐ１、Ｐ２が約１０−９Ｐａに達したら、メインバルブ５９ａを閉じる。
【００７９】
その状態から、第２チャンバ５２に接続されたリークバルブ５９ｂを緩めてガスボンベ５４から試料ガス（Ｈ２、ＣＯ、Ｎ２のいずれか）を導入した。
【００８０】
第２チャンバ５２に接続された第２真空計５７ｂで第２チャンバ５２内の圧力Ｐ２を測定し、第１チャンバ５１に接続された第１真空計５７ａで第１チャンバ５１内の圧力Ｐ１を測定した。圧力Ｐ１、Ｐ２の測定は、適当な時間間隔で、順次、複数回行う。
【００８１】
そして、導管のコンダクタンスをＣとし、試料ガスを導入する直前の第２チャンバ５２と第１チャンバ５１の圧力をそれぞれＰ２ｂ、Ｐ１ｂとしたときの計算式Ｓ１＝Ｃ［（Ｐ２−Ｐ２ｂ）／（Ｐ１−Ｐ１ｂ）−１］から、Ｐ１に対するＮＥＧポンプ５５の排気速度Ｓ１を求めてグラフにした。
【００８２】
また、到達真空度Ｐ２ｂ、Ｐ１ｂを差し引かないＮＥＧポンプ５５の実効排気速度Ｓ２を計算式Ｓ２＝Ｃ（Ｐ２／Ｐ１−１）から求め、Ｐ１に対してグラフにした。
【００８３】
図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、図７の測定システムを用い、ＮＥＧポンプ５５として、本実施形態のＮＥＧポンプ２６、第１比較例のＮＥＧポンプ３６、及び第２比較例のＮＥＧポンプ４４をそれぞれ装着して、それぞれのポンプの排気性能を調査した結果を表すグラフである。
【００８４】
グラフは、それぞれ、縦軸がリニアスケールで表した排気速度（Ｌ／ｓ）を示し、横軸が対数スケールで表した圧力Ｐ１（Ｐａ）を示す。
【００８５】
ＮＥＧポンプ２６、３６において、それぞれ、３種の試料ガスＨ２，Ｎ２，ＣＯについて排気性能を調査し、また、ＮＥＧポンプ４４において、２種の試料ガスＨ２，Ｎ２について排気性能を調査した。
【００８６】
図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）において、○印は水素に対する排気速度Ｓ１（Ｈ２）であり、●印は水素に対する排気速度Ｓ２（Ｈ２）である。△印は窒素に対する排気速度Ｓ１（Ｎ２）であり、▲印は窒素に対する排気速度Ｓ２（Ｎ２）である。□印は一酸化炭素に対する排気速度Ｓ１（ＣＯ）であり、■印は一酸化炭素に対する排気速度Ｓ２（ＣＯ）である。なお、図８（ａ）、（ｂ）において、圧力の高い方で白抜きの印と黒で塗り潰した同じ形状の印が重なっている部分があり、その部分は黒で塗り潰した印で代表して示している。
【００８７】
ガスアトマイズ法で作製した粉末材料を用いた場合（図８（ａ））と、機械的に粉砕した粉砕粉を用いた場合（図８（ｂ））とを比較すると、Ｈ２に対する排気速度の大きさとＣＯに対する排気速度の大きさとが逆転している。すなわち、ガスアトマイズ法で作製した粉末材料を用いた場合に、ＣＯに対する排気速度がＨ２に対する排気速度よりも大きくなった。
【００８８】
さらに、調査結果を分かり易くするため、３種のＮＥＧポンプごとに、それぞれ、各試料ガス（Ｎ２，Ｈ２，ＣＯ）についてＮＥＧの１グラムあたりの排気速度Ｓ２（L/s・gr）の最大値を比較した。その結果を表１に示す。なお、ピル形状のＮＥＧポンプでは、ＣＯについては調査していない。
【００８９】
【表１】
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【００９０】
表１の結果から、アトマイズ粉末をそのまま用いたＮＥＧでは、粉砕粉を固めてピル状にしたＮＥＧと比較すると、Ｈ２、Ｎ２に対する排気速度がおよそ２倍になっている。
【００９１】
また、アトマイズ粉末では粉砕粉と比べてＮ２に対する排気速度が１．４４倍も向上し、ＣＯに対する排気速度が１．３３倍も向上している。
【００９２】
（第２実施形態）
ところで、第１実施形態で作製したＮＥＧ粉末粒子の表面に水素分子や水分子が吸着すると、解離して粉末内部に拡散し、発熱するため、粉末が発火する恐れがある。
【００９３】
したがって、解離を抑制することで発熱が抑制され、実用性がさらに高まるので、その方法について説明する。
【００９４】
その方法は、ＮＥＧ粉末粒子の表面に水素分子や水分子が吸着しないようにするため、アトマイズ法により作製した粉末粒子の表面を、当該表面に吸着させた窒素分子で覆う方法である。
【００９５】
最初に、図１１を参照して、窒素分子で覆われたＮＥＧ粉末粒子の製造装置について説明し、その後、図９〜図１３を参照して、窒素分子で覆われたＮＥＧ粉末粒子の製造方法とその活性化方法について説明する。
【００９６】
（第２実施形態に係るＮＥＧ粉体の製造装置）
図１１は、第２実施形態に係る窒素分子で覆われたＮＥＧ粉末粒子で構成されたＮＥＧ粉体（ＮＥＧ粉末材料）の製造方法に用いられる製造装置である。
【００９７】
図１１の製造装置では、図２の製造装置に対して、粉末回収容器５に粉末材料７を回収した後に、アルゴンガス（アトマイズガス）を窒素ガスで置換する構造が付け加えられている。
【００９８】
すなわち、アトマイズチャンバ２と粉末回収容器５とをつなぐ導管３に第１開閉バルブ８ａが設けられており、導管３を開閉できるようになっている。
【００９９】
また、粉末回収容器５には窒素ガスを供給するガスボンベ１０が、第２開閉バルブ８ｂを介して接続されており、第２開閉バルブ８ｂにより、粉末回収容器５とガスボンベ１０をつなぐ導管９を開閉できるようになっている。
【０１００】
また、粉末回収容器５と排気管６とをつなぐ導管４にも第３開閉バルブ８ｃが設けられており、導管４を開閉できるようになっている。
【０１０１】
（第２実施形態に係るＮＥＧ粉体の製造方法）
図９は、第２実施形態の窒素分子で覆われた複数のＮＥＧ粉末粒子を作製する工程を示すフローチャートであり、図１２は、図１１の製造装置で作製され、窒素分子で覆われたＮＥＧ粉末粒子７ａを示す断面図である。
【０１０２】
第２実施形態のＮＥＧ粉体の製造方法では、図１に示す工程（Ｓ１〜Ｓ３）と同じ工程を経てＮＥＧ粉体７を作製する（Ｓ３）。Ｓ１〜Ｓ３の工程は、第１開閉バルブ８ａと第３開閉バルブ８ｃとを開き、第２開閉バルブ８ｂを閉じて行われる。  
【０１０３】
このようにしてアトマイズされ、生成された粉末粒子７は、図３の製造装置１０１の粉末回収容器５に導かれ、回収される。このとき、粉末回収容器５内はアルゴンガスで満たされ、また、粉末回収容器５内のＮＥＧ粉末の温度はＮＥＧ合金の溶融時の残留熱により１００〜２００℃になっている。
【０１０４】
次いで、第１開閉バルブ８ａによりアトマイズチャンバ５２と粉末回収容器５とをつなぐ導管３を閉じる。  
【０１０５】
次いで、第２開閉バルブ８ｂにより粉末回収容器５とガスボンベ１０をつなぐ導管９を開くとともに、第３開閉バルブ８ｃにより粉末回収容器５と排気管６とをつなぐ導管４も開く。
【０１０６】
これによって、窒素ガスが粉末回収容器５内に供給されて、粉末回収容器５内のアルゴンガスを窒素ガスに置換する（Ｓ４）。余った窒素ガスは導管４を経由して排気管６に導かれ、排気される。
【０１０７】
窒素ガスは、純度４Ｎ〜５Ｎのものを用い、圧力０．１〜０．２ＭＰａで粉末回収容器５内に導入する。
【０１０８】
アルゴン原子は粉末粒子７の表面に化学吸着しないので、粉末粒子７の周囲のアルゴンガスを容易に吹き払うことができる。代わりに、粉末粒子７の周囲には、窒素分子が充満する。
【０１０９】
そして、図１２に示すように、窒素分子が個々のＮＥＧ粉末粒子７の表面に化学吸着し、表面を隈なく覆うまで、かつ、粉末粒子７ａの周囲の温度が室温になるまで、窒素ガスの置換を続ける。
【０１１０】
このようにして、個々の粉末粒子７ａの表面は窒素分子で隈なく覆われる（Ｓ５）。したがって、大気中に出しても粉末粒子７の表面に水素や水分子が付着するのを防止することができる。
【０１１１】
一方で、上記のようにして作製された粉末材料は、個々の粉末粒子７ａの表面が窒素ガスで覆われているため、ゲッター作用は十分でない。したがって、熱処理により粉末粒子７ａの表面から窒素分子が取り除かれ粉末粒子７が活性化してから、ＮＥＧとして使用に供されることになる。
【０１１２】
次に、図１０、図１３を参照して、作製されたＮＥＧ粉体を活性化する方法について説明する。
【０１１３】
図１０は、第１実施形態のＮＥＧ粉体を活性化する工程を示すフローチャートであり、図１３は、ＮＥＧ粉体を活性化した後の一粉末粒子を示す断面図である。
【０１１４】
まず、図９のようにして作製され、個々の粉末粒子７ａの表面が窒素分子で覆われたＮＥＧ粉体を準備する（Ｓ１１）。
【０１１５】
次いで、そのＮＥＧ粉体を、例えば、図５（ｂ）に示すような、メッシュ２３を張ったドーナツ状の容器に収容し、ＮＥＧ２１を作製する。
【０１１６】
さらに、図５（ａ）のように、シースヒータ２５を容れた金属製の管（支持軸）２４をＮＥＧ２１の中央部の穴２２ｂに挿入して複数のＮＥＧ２１を支持する。このようにしてＮＥＧポンプ２６を作製する。
【０１１７】
次いで、例えば、内部からの放出ガスが少ないベリリウム銅など金属材料で図６（ａ）で示されるようなケーシング容器を準備し、ケーシング容器にＮＥＧポンプ２６を収容し、ケーシング容器の内部を外気から遮断できるようにする。
【０１１８】
なお、図５（ａ）において、符号２７は、ケーシング容器の一部を構成する真空フランジで、外径７０ｍｍのコンフラットフランジの規格品ＣＦ７０である。この真空フランジにＮＥＧポンプ２６を支持する。
【０１１９】
そして、ＮＥＧポンプ２６を収容したケーシング容器を、排気しようとする装置に装着する。その後、ターボ分子ポンプなどで、排気しようとする装置内を減圧する。
【０１２０】
このようにして、さらに高真空に減圧する環境が整った後に、ＮＥＧ２１の支持軸２４に容れたヒータ２５に電力を加えて、例えば４５０℃〜５００℃に昇温させ、所定の時間、保持する（Ｓ１２）。これにより、ヒータ２５の周囲のＮＥＧ粉末材料が加熱されて、図１３に示すように粉末粒子７の表面から窒素分子が取り除かれ、十分なゲッター作用が回復する（Ｓ１３）。
【０１２１】
（第３実施形態に係る非蒸発型ゲッターと非蒸発型ゲッターポンプ）
次に、第３実施形態に係る非蒸発型ゲッター（ＮＥＧ）と非蒸発型ゲッターポンプ（ＮＥＧポンプ）について、種々の形態を説明する。
【０１２２】
（第１例のＮＥＧとＮＥＧポンプ）
上記した図５（ｂ）は第１例のＮＥＧ２１を示す。詳しい説明はすでに行ったので、省略する。
【０１２３】
また、上記した図５（ａ）は第１例のＮＥＧポンプ２６を示す。これについても詳しい説明はすでに行ったので、省略する。
【０１２４】
（第２例及び第３例のＮＥＧと第２例のＮＥＧポンプ）
図１４（ａ）、（ｂ）は第２例のＮＥＧ６１を示す。
【０１２５】
第２例のＮＥＧ６１は、円筒状の容器６４の筒内にＮＥＧ粉末材料７又は７ａが収納されたものである。容器６４は、相互に対向する開口を有する円筒状の枠６２と、相互に対向する開口を塞ぐように張られた金網（網状部材）６３とで構成される。
【０１２６】
なお、図１４（ａ）、（ｂ）中、符号６５は容器内に粉末材料を入れるための雌ネジを兼ねた穴で、６６は穴６５を塞ぐ雄ネジである。
【０１２７】
図１５は、作製途中の第３例のＮＥＧ６９を示す。図１６に作製されたＮＥＧ６９を示す。
【０１２８】
第３例のＮＥＧ６９は、中心軸の周りに円筒形にＮＥＧの収納部が配置された籠（粉末材料の収納部又は容器）６８に第２例のＮＥＧ６１が複数収納されたものである。
【０１２９】
籠６８は、直径の異なる２つの円筒形の金網６８ａ、６８ｂを、中心軸を一致させて置き、さらに２つの円筒形の金網６８ａ、６８ｂで挟まれた空間の底部に別の金網６８ｃを張ったものである。その空間が第２例のＮＥＧ６１の収納部となる。なお、２つの円筒形の金網６８ａ、６８ｂで挟まれた空間の最上部にさらに別の金網を張って、収納したＮＥＧ６１が籠６８から飛び出さないようにしてもよい。
【０１３０】
図１６は第２例のＮＥＧポンプ７０を示す。
【０１３１】
第２例のＮＥＧポンプ７０は、第３例のＮＥＧ６９の円筒の中心軸に一致させてヒータ７１の電熱線７１ａが配置されたものである。
【０１３２】
すなわち、ヒータ７１の電熱線７１ａがフランジ７２の中央部に固定され、電熱線７１ａを発熱させる電力を供給する端子７１ｂ、７１ｃがフランジ７２の外に引き出される。そして、電熱線７１ａの周囲のフランジ７２上に第３例のＮＥＧ６９が置かれる。
【０１３３】
（第４例のＮＥＧと第３例のＮＥＧポンプ）
図１７は第４例のＮＥＧ８０を示す。
【０１３４】
第４例のＮＥＧ８０では、枠８２は、同じ大きさの輪状の上枠８２ａと輪状の下枠８２ｂとが間隔を空けて配置され、その上枠８２ａと下枠８２ｂとを支柱８２ｃと８２ｄとで支えた構成を有する。
【０１３５】
その枠８２は、上枠８２ａと下枠８２ｂの間に、相互に対向する内側の開口と外側の開口とを有する。そして、相互に対向する開口を塞ぐように枠８２の内側と外側から金網（網状部材）８３が張られて、枠８２と金網８３とで囲まれた粉末材料の収納部（容器）８１が構成される。粉末材料の収納部８１は円筒状に配置される。
【０１３６】
なお、図１７中、符号８４ａ、８４ｂは収納部８１に粉末材料を入れる雌ネジを兼ねた穴であり、８５ａ、８５ｂは穴８４ａ、８４ｂを塞ぐ雄ネジである。
【０１３７】
第３例のＮＥＧポンプについては図示していないが、図１７のＮＥＧ８０の円筒の中心軸の位置にヒータが配置されたものである。
【０１３８】
（第５例及び第６例のＮＥＧと第４例のＮＥＧポンプ）
図１８は第５例のＮＥＧ９０を示し、図１９は第６例のＮＥＧ９０ａを示す。
【０１３９】
第５例のＮＥＧ９０は、図１８に示すように、四角い筒状の枠９１の相互に対向する開口部を塞ぐように金網（網状部材）９２が張られて、枠９１と金網９２とで囲まれた粉末材料の収納部（容器）９３を構成する。なお、図１８中、符号９４は収納部９３に粉末材料を入れる雌ネジを兼ねた穴であり、９５は穴９４を塞ぐ雄ネジである。
【０１４０】
第６例のＮＥＧ９０ａは、図１９に示すように、枠９１の両側部に２つずつ円筒状の連結部材９６ａ〜９６ｄが取り付けられ、複数のＮＥＧ９０ａを相互に連結できるようにしている。
【０１４１】
図２０は第４例のＮＥＧポンプ１００を示す上面図である。図１９は、複数のＮＥＧ９０ａを相互に連結する方法を具体的に示す斜視図である。
【０１４２】
図１９に示すように、２つのＮＥＧ９０ａを連結部材９６ａと９６ｂが連結部材９６ｃと９６ｄに重なるように隣接させ、ヒータ９９を備えた連結軸９７を連結部材９６ａ〜９６ｄの円筒内に挿入することで、相互に連結する。これにより、２つのＮＥＧ９０ａが連結部材９６ａ〜９６ｄを介して連結軸９７の周りに回動自在に連結される。なお、図１９中、符号９８は、セラミックからなる連結軸９７の軸部材である。
【０１４３】
以上のように、第３実施形態に係るＮＥＧとＮＥＧポンプによれば、アトマイズ法で作製されたＮＥＧ粉末材料を固めないでそのまま使用している。
【０１４４】
アトマイズ法により、当初からほぼ球形で、大きさが揃った粉末粒子を作製することができる。
【０１４５】
したがって、金網を張ったＮＥＧの容器に収納するために粒子の大きさを選別することが容易になる。
【０１４６】
また、当初から形状がほぼ球形となるので、角を取って形を揃える手間を省くことができる。さらに、ＮＥＧ粉末粒子の相互接触による更なる微粉化を抑制できるためＮＥＧ粉末材料がＮＥＧの容器から漏出するのをより一層抑制できる。
【０１４７】
また、上述の排気性能の調査によれば、水素に対してのみならず、窒素や一酸化炭素に対してもさらに排気性能の向上を図ることができる。
【０１４８】
以上、実施の形態によりこの発明を詳細に説明したが、この発明の範囲は上記実施の形態に具体的に示した例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の上記実施の形態の変更はこの発明の範囲に含まれる。
【０１４９】
例えば、上述の実施形態では、アトマイズ法により作製された粉末粒子の表面を窒素分子で覆うようにしているが、機械的な粉砕により作製された粉末粒子の表面を窒素分子で覆うようにしてもよい。
【０１５０】
このようであるが、アトマイズ法により作製された粉末粒子の場合、アトマイズ時の温度が高温であり、粉末回収容器５に回収された後も高温が継続するので、窒素分子による粉末粒子の表面保護は、特に、有効である。さらに、アトマイズの工程に引き続き、連続して窒素分子による粉末粒子の表面保護を行うことができるため、余計な気体分子も付着せず、簡便に工程を行うことができる。
【０１５１】
また、上記の実施形態では、対向する開口を塞ぐようにメッシュを張ったドーナツ状の容器に粉末材料を収納したＮＥＧ２１、３１と、ヒータ２５、３５を備えた支持軸２４、３４で複数のＮＥＧ２１、３１を支持したＮＥＧポンプ２６、３６とを開示しているが、これに限られない。
【０１５２】
枠と、外部気体が流通できるメッシュ（網状部材）とを備え、粉末材料を収納することができる容器を有するＮＥＧや、そのＮＥＧとＮＥＧを活性化するヒータとを備えたＮＥＧポンプであれば、形態を問わない。用途に応じた様々な形態が本発明の範囲に含まれる。
【０１５３】
また、浮上式ガスアトマイズ法を用いているが、他のアトマイズ法も適用可能である。例えば、インゴットを浮上させずに溶融しアトマイズガスを用いてアトマイズする方法や、遠心アトマイズ法や、レーザー熱源を用いた反応性ガスアトマイズ法など種々のアトマイズ法を適用できる。
【０１５４】
遠心アトマイズ法には、例えば、プラズマ回転電極法（PREP: Plasma Rotating Electrode Process）があり、それは不活性ガス雰囲気中(ＡｒまたはＨｅ)でプラズマ電極を陰極に、円柱状の試料を陽極にそれぞれ接続して、高速モータにより試料を高速で回転させ、両極間のプラズマアーク熱で試料を溶触しながら、回転により遠心力を印加して粉粒化させる方法である。
【０１５５】
遠心アトマイズ法を用いた場合、粉体を作製した後、回収した粉体を窒素ガスに曝して、各粉末粒子の表面を該表面に吸着した窒素分子で覆ってもよい。或いは、必要であれば、粉体を回収した後に加熱して粉末粒子の表面から余計なガス分子を除き、その後に、粉体を窒素ガスに曝して各粉末粒子の表面を該表面に吸着した窒素分子で覆ってもよい。
【０１５６】
また、実施形態では、ＮＥＧ合金の材料としてＺｒとＶとＦｅとを混合したものを用いたが、これに限られない。ＺｒとＶとＦｅとにほかの金属を添加したものを用いてもよい。さらに、他のＮＥＧ合金の材料にも適用できる。
【０１５７】
以上の実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【０１５８】
（付記１）非蒸発型ゲッター合金からなる複数の粉末粒子で構成され、複数の前記粉末粒子はほぼ球形で大きさが揃った非蒸発型ゲッター粉末材料。
【０１５９】
（付記２）非蒸発型ゲッター合金はジルコニウム（Ｚｒ）とバナジウム（Ｖ）と鉄（Ｆｅ）とを含む合金であることを特徴とする付記１に記載の非蒸発型ゲッター粉末材料。
【０１６０】
（付記３）個々の前記粉末粒子の表面が、前記表面に吸着した窒素分子で覆われたことを特徴とする付記１又は２に記載の非蒸発型ゲッター粉末材料。
【０１６１】
（付記４）非蒸発型ゲッター合金を溶融する工程と、
溶融した前記合金にガスを吹き付けて、又は遠心力を印加して、前記合金からなる複数の粉末粒子を作製する工程と、
を有することを特徴とする非蒸発型ゲッター粉末材料の製造方法。
【０１６２】
（付記５）前記複数の粉末粒子を作製する工程の後に、各前記粉末粒子の表面に窒素分子を吸着させて各前記粉末粒子の表面を前記窒素分子で覆う工程を有することを特徴とする付記４に記載の非蒸発型ゲッター粉末材料の製造方法。
【０１６３】
（付記６）非蒸発型ゲッター合金はジルコニウム（Ｚｒ）とバナジウム（Ｖ）と鉄（Ｆｅ）とを含む合金であることを特徴とする付記４又は５に記載の非蒸発型ゲッター粉末材料。
【０１６４】
（付記７）相互に対向する開口を有する枠と、
前記相互に対向する開口を塞ぐように前記枠に張られた網状部材と、
前記枠と前記網状部材とで包囲され、粒径が前記網状部材の網目よりも大きな複数の粉末粒子で構成された非蒸発型ゲッター粉末材料とを有し、
前記粉末粒子は、ほぼ球形で大きさが揃った非蒸発型ゲッター合金からなることを特徴とする非蒸発型ゲッター。
【０１６５】
（付記８）個々の前記粉末粒子の表面が、前記表面に吸着した窒素分子で覆われたことを特徴とする付記７に記載の非蒸発型ゲッター。
【０１６６】
（付記９）前記枠は、相互に対向する開口を有する円筒形の枠であり、前記網状部材は、前記相互に対向する開口を塞ぐように前記枠に張られたことを特徴とする付記７又は８に記載の非蒸発型ゲッター。
【０１６７】
（付記１０）さらに、中心軸の周りに配置された前記非蒸発型ゲッターの収納部となる籠を有し、前記籠に複数の前記非蒸発型ゲッターが収納されたことを特徴とする付記９に記載の非蒸発型ゲッター。
【０１６８】
（付記１１）前記枠が、中心軸を一致させて配置された円筒形の内枠と円筒形の外枠と、前記内枠と前記外枠とをつなぐ支持部材とで構成され、かつ、前記内枠と前記外枠の間に前記相互に対向する開口を有することを特徴とする付記７又は８に記載の非蒸発型ゲッター。
【０１６９】
（付記１２）前記枠が、間隔を空けて配置された輪状の上枠と輪状の下枠と、前記上枠と前記下枠を支える支柱とで構成され、前記上枠と前記下枠の間に相互に対向する内側の開口と外側の開口を有し、前記網状部材は、前記相互に対向する前記開口を塞ぐように前記枠の内側と外側から張られたことを特徴とする付記７又は８に記載の非蒸発型ゲッター。
【０１７０】
（付記１３）相互に対向する開口を有する枠と、前記相互に対向する開口を塞ぐように前記枠に張られた網状部材と、前記枠と前記網状部材とで包囲され、粒径が前記網状部材の網目よりも大きな複数の粉末粒子で構成された非蒸発型ゲッター粉末材料とを備え、前記粉末粒子がほぼ球形で大きさが揃った非蒸発型ゲッター合金からなる複数の非蒸発型ゲッターと、
複数の前記非蒸発型ゲッターの前記粉末材料を活性化するヒータと、
を有することを特徴とする非蒸発型ゲッターポンプ。
【０１７１】
（付記１４）個々の前記粉末粒子の表面が、前記表面に吸着した窒素分子で覆われたことを特徴とする付記１３に記載の非蒸発型ゲッターポンプ。
【０１７２】
（付記１５）前記ヒータの周りに配置された複数の前記非蒸発型ゲッターの収納部となる籠を有し、
複数の前記非蒸発型ゲッターが前記籠に収納されたことを特徴とする付記１３又は１４に記載の非蒸発型ゲッターポンプ。
【０１７３】
（付記１６）前記枠が、中心軸を一致させて配置された円筒形の内枠と円筒形の外枠と、前記内枠と前記外枠とをつなぐ支持部材とで構成され、かつ、前記内枠と前記外枠の間に前記相互に対向する開口を有する複数の非蒸発型ゲッターと、
前記ヒータが複数の前記非蒸発型ゲッターの前記内枠の穴に挿入されたことを特徴とする付記１３又は１４に記載の非蒸発型ゲッターポンプ。
【０１７４】
（付記１７）前記枠が、間隔を空けて配置された輪状の上枠と輪状の下枠と、前記上枠と前記下枠とを支える支柱とを有し、かつ前記上枠と下枠の間に前記相互に対向する内側の開口と外側の開口とを有し、前記網状部材が前記枠の内側と外側からそれぞれ張られた前記非蒸発型ゲッターと、
前記ヒータが、前記枠の内側に設置されたことを特徴とする付記１６に記載の非蒸発型ゲッターポンプ。
【０１７５】
（付記１８）各前記非蒸発型ゲッターは、四角い前記枠に取り付けられ、他の前記非蒸発型ゲッターを連結する筒形の連結部材を有し、
異なる前記非蒸発型ゲッターの前記連結部材の筒を重ね、相互の前記筒に前記ヒータを備えた連結軸を挿入して、異なる前記非蒸発型ゲッター同士が前記連結軸によって回動可能に支持されたことを特徴とする付記１３又は１４に記載の非蒸発型ゲッターポンプ。
【符号の説明】
【０１７６】
１…浮上式溶融炉、２…アトマイズチャンバ、３、９…導管、４…サイクロン、５…粉末回収容器、６…排気管、７…ＮＥＧ粉末粒子、７ａ…窒素分子で覆われたＮＥＧ粉末粒子、８ａ…第１開閉バルブ、８ｂ…第２開閉バルブ、８ｃ…第３開閉バルブ、１０…Ｎ2供給用ガスボンベ、１１ａ…上部構造体、１１ｂ…上側中間構造体、１１ｃ…下側中間構造体、１１ｄ…下部構造体、１２ａ…穴、１２ｂ…流路、１２ｃ…出湯口、１３ａ、１３ｂ、１３ｃ…ガス噴射口、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ…ガス流路、１５…空洞（アトマイズノズル）、１６、１７…コイル、１８…インゴット、２１…第１例のＮＥＧ、２２ａ、３２ａ…外枠、２２ｂ、３２ｂ…内枠、２３、３３…メッシュ（網状部材）、２４、３４…支持軸、２５、３５…シースヒータ、２６…第１例のＮＥＧポンプ、２７、３７、７２…フランジ、３１…ＮＥＧ、３６…第１比較例のＮＥＧポンプ、３８…ＮＥＧ粉末粒子、４１…ピル状のＮＥＧ、４２、６８…籠、４３、７１…ヒータ、４３ａ…電熱線、４３ｂ、４３ｃ…端子、４４…第２比較例のＮＥＧポンプ、４５…フランジ、５１…第１チャンバ、５２…第２チャンバ、５３…オリフィス、５４…（Ｈ2, Ｎ2又はＣＯ供給用）ガスボンベ、５５…調査用ＮＥＧポンプ、５６…四重極型質量分析計、５７ａ…第１真空計、５７ｂ…第２真空計、５８ａ…ターボ分子ポンプ、５８ｂ…ダイアフラムポンプ、５９ａ…メインバルブ、５９ｂ…リークバルブ、６１…第２例のＮＥＧ、６２、９１…枠、６３、８３、９２…金網（網状部材）、６４…容器、６５、８４ａ、８４ｂ、９４…雌ネジを兼ねた穴、６６、８５ａ、８５ｂ…雄ネジ、６８ａ、６８ｂ、６８ｃ…金網、６９…第３例のＮＥＧ、７０…第２例のＮＥＧポンプ、７１ａ…電熱線、７１ｂ、７１ｃ…端子、８０…第４例のＮＥＧ、８１、９３…収納部（容器）、８２ａ、８２ｂ…枠部材、９０…第５例のＮＥＧ、９０ａ…第６例のＮＥＧ、９６ａ〜９６ｄ…連結部材、９７…連結軸、９８…軸部材、１００…第４例のＮＥＧポンプ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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