(57)【要約】【課題】  狭所においても迅速にかつ高信頼をもって電子部品を包装する方法。【解決手段】  本発明に係る電子部品包装方法においては、挟持体（２）によって電子部品（１）、特に半導体装置、をフォイル（４）の穴（３）内に配し、その電子部品（１）を、上記フォイル（４）に片面を貼付した別フォイル（５）によって支持または保持する。本発明においては、挟持体（２）によって電子部品（１）を先ず上記フォイル（４）の穴（３）内に配した後で、上記電子部品（１）近傍の上記別フォイル（５）を上記フォイル（４）に貼付する。このようにして、上記挟持体（２）を、上記フォイル（４）に通して移動させて電子部品（１）をピックアップし、これを保持し、それを穴（３）内へ移動させることができる。したがって、本発明の電子部品包装方法は、広い場所を要せず、しかも迅速かつ信頼性高く実施できる。好ましくは、電子部品（１）を上記穴（３）に配してから上記別フォイル（５）に貼付するまでは、上記電子部品（１）を支持手段（６）で一時的に支持し、また上記フォイル（４）を電子部品（１）とともにその長手方向（Ｌ）に移動させる。本発明はまた、上記電子部品包装方法を実施する装置及びそれよって包装した電子部品にも係る。
2005511426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品（１）を挟持体（２）によってフォイル（４）の穴（３）内に配し、この電子部品（１）を、上記フォイル（４）に片面を付着した別フォイル（５）によって支持または保持する電子部品包装方法において、上記挟持体（２）によって上記電子部品（１）を上記フォイル（４）の穴（３）内に配した後にのみ上記別フォイル（５）を上記フォイル（４）に付着することを特徴する電子部品包装方法。
【請求項２】
上記穴（３）に上記電子部品（１）を配してから上記別フォイル（５）を備えつけるまでは、上記フォイル（４）を上記穴（３）内に上記電子部品（１）を配した状態でそれ自体の長手方向（Ｌ）に移動させ、その移動の間、上記別フォイル（５）が付着される側において上記フォイル（４）に近接している、支持手段（６）で電子部品（１）を支持するようにした、請求項１に記載の電子部品包装方法。
【請求項３】
上記支持手段（６）はローラ・ベルト（6A）を備えている、請求項２に記載の電子部品包装方法。
【請求項４】
上記支持手段（６）は二また部材（６Ｂ）を含んでいる、請求項２または３に記載の電子部品包装方法。
【請求項５】
上記電子部品（１）を、上記別フォイル（５）が付着される側において、上記フォイル（４）の下方位置から上記穴（３）内へ移動させるようにした、上記請求項のいずれか１つに記載の電子部品包装方法。
【請求項６】
電子部品（１）を、弾性膜（７）の上に二次元アレー（１１）の形で並べ、上記挟持体（２）を往復移動させるだけで、上記弾性膜（７）上から上記フォイル（４）の上記穴（３）内へ移動させるようにした、上記請求項のいずれか１つに記載の電子部品包装方法。
【請求項７】
上記挟持体（２）を２本のニードル（2A、2B）で構成し、それらのニードル(2A、2B）を上記フォイル（４）の両側にそれぞれ配置して、上記電子部品（１）をそれらのニードル(2A、2B）どうしの間へ移動させるようにした、上記請求項のいずれか１つに記載の電子部品包装方法。
【請求項８】
上記２本のニードル（2A、２Ｂ）のうち片方（2A）が鈍角端を有し、他方のニードル（２Ｂ）が鋭角端を有している、請求項７に記載の電子部品包装方法。
【請求項９】
さらなる別フォイル（８）が、上記別フォイル（５）が設けられる、上記フォイル（４）の側とは反対の側に設けられている、上記請求項のいずれか１つに記載の電子部品包装方法。
【請求項１０】
上記別フォイル（５）と、もし上記さらなる別フォイルが存する場合にはそのさらなる別フォイル（８）とを、上記フォイル（４）に固着させ、この際においてもし上記さらなる別フォイル（８）が存する場合には、上記別フォイル（５）が存する位置とは異なる上記フォイル（４）の外側位置から、上記さらなる別フォイル（８）を上記フォイル（４）に固着させるようにした、上記請求項のいずれか１つに記載の電子部品包装方法。
【請求項１１】
上記フォイル（４）は帯状のものであって、１個もしくは数個の電子部品（１）に各々が対応する穴（３）のアレイ（３３）と、フォイル（４）をその長手方向（Ｌ）に移送させるための送り孔（９）のアレイ（９９）とが設けられている、上記請求項のいずれか１つに記載の電子部品包装方法。
【請求項１２】
個別の半導体装置を包装対象の前記電子部品（１）とする、上記請求項のいずれか１つに記載の電子部品包装方法。
【請求項１３】
上記請求項のいずれか１つに記載の方法にしたがって包装（１２）を施された電子部品（１）。
【請求項１４】
包装対象の電子部品（１）のホルダー（２０）と、穴（３）を設けたフォイル（４）のフォイル・ホルダーと、上記電子部品（１）を支持または保持する別フォイル（５）を上記フォイル（４）の片面に供給する別フォイル・ホルダー（１５）と、上記電子部品（１）を上記ホルダー（２０）から外してそれを上記フォイル（４）の穴（３）内に配することができる挟持体（２）とを備えた電子部品包装装置（１０）であって、上記挟持体（２）によって上記電子部品（１）が上記フォイル（４）の上記穴（３）内に配された後にのみ上記別フォイル（５）を上記フォイル（４）に固着することができるように上記挟持体（２）と上記別フォイル・ホルダー（１５）とが配置、構成されていることを特徴とする電子部品包装装置（１０）。
【請求項１５】
上記フォイル（４）に対する移送手段（6A、９９）と、上記別フォイル（５）が設けられるまで上記電子部品（１）を上記フォイル（４）の穴（３）内に支持する支持手段（６）とをさらに備える、請求項１４に記載の電子部品包装装置。
【請求項１６】
上記支持手段（６）がローラ・ベルト（6A）を備えている、請求項１５に記載の電子部品包装装置（１０）。
【請求項１７】
好ましくは上記フォイル（４）と平行に移動可能な、二また部材（６Ｂ）を、上記支持手段（６）が備えている、請求項１５または１６に記載の電子部品包装装置（１０）。
【請求項１８】
上記電子部品（１）のホルダー（２０）が、上記電子部品（１）のアレイ（１１）を戴置する弾性膜（７）を備えている、上記請求項１４乃至１７の１つに記載の電子部品包装装置（１０）。
【請求項１９】
上記挟持体（２）が、動作中上記フォイル（４）の各側に配される２本のニードル（２A、２Ｂ）を備えている、上記請求項１４乃至１８の１つに記載の電子部品包装装置（１０）。
【請求項２０】
上記ニードルのうち片方（２A）が鈍角端を有し、他方のニードル（２Ｂ）が鋭角端を有しており、これらのニードルが上記フォイル（４）と実質的に直交した方向にのみ移動可能である、請求項１９に記載の電子部品包装装置（１０）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、挟持体によって電子部品をフォイルの穴内に配し、その片面を上記フォイルに付着した別フォイルによって支持または保持する電子部品包装方法に係る。また、本発明は上記包装方法で包装した電子部品及び同方法を実施する装置にも係る。
【０００２】
かかる装置によれば多数の電子部品、特に半導体部品、を容易に、迅速にかつ低コストで包装することができる。
【背景技術】
【０００３】
こうした方法は米国特許第５，５２４，７６５号（１９９６年６月１１日発行）明細書に開示されている。同米国特許明細書に開示する方法は、電子部品、特に半導体部品、を包装する方法であり、電子部品はフォイルの穴に配され、このフォイルの下面には前記穴の一側において接着剤層を備えた別フォイルを備え、この層に前記電子部品が付着する（一時的に）。上記米国特許明細書には真空ピペットと、包装から部品を取り出すための排除ニードル（これについては明示されてはいないが）とについても触れられている。また、かかる方法は米国特許５，２０３，１４３号（１９９３年４月２０日発行）明細書にも開示されている。この米国特許明細書では、電子部品を別フォイルのほうに戴置するあるいは別フォイルで支持する、と記載されている。この後、包装内に電子部品を封じる必要がある場合は、さらなる別フォイルを、上記別フォイルに向き合った側で上記フォイルに固着させる。また、例えば米国特許５，５８９，０２９号（１９９６年１２月３１日発行）明細書にはかかる包装方法を実施する装置が開示されている。この装置においては、多数の部品をその上に置いた弾性膜から１つの電子部品を真空ピックアップによってフォイルへ移動させる。このフォイルは例えば、上記の引例米国特許明細書に記載するフォイルでよい。
【０００４】
従来の方法（および装置）は、包装速度が比較的遅く、このために生産能力が限定されてコスト高となるという不都合がある。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の目的は、電子部品を迅速に包装することができるとともに本質的に単純かつ低コストである電子部品包装方法を提供することにある。
【０００６】
本発明に係る電子部品包装方法は、先に述べた種類の方法であって、挟持体によって電子部品をフォイルの穴（キャビティ）内に配した後にのみ別フォイルを上記フォイルに付着することを特徴とする。この包装方法においては、電子部品を把持した挟持体をフォイルの穴を通過させることができる。本発明は様々な驚くべき利点をもたらすことが認識されている。それら利点のうち主たるものは、例えば、弾性キャリヤーに接着させた二次元アレーの電子部品をフォイルの極く近くに位置させるとともに挟持体をフォイルの反対側に位置させ、その挟持体をフォイルを通過させ、電子部品を把持することができる。挟持体の移動経路は最短であって、これによって包装速度が増進され、また挟持体は直線的に１往復するだけであるので包装速度はさらに増進される。本発明はさらに、いったんフォイル穴内に配した電子部品をそのフォイル穴内に留めることができ、このことを簡単に確保できることが認識されている。これは、例えば、電子部品に対する一時的支持を、その電子部品に重力が作用するフォイル側で挟持体に隣接してあるいはその周りにおいて行うことによって実現できる。あるいは、電子部品を挟持体自体で一時的に支持する、あるいは同挟持体において少なくとも保持するようにしてもよい。
【０００７】
本発明に係る電子部品包装方法の１つの好適実施例においては、上記穴内に電子部品を配してから上記別フォイルを設ける（providing）までは、上記フォイルをその穴内に電子部品を置いたままそれ自体の長手方向に移動させるが、その移動の間、電子部品は、上記別フォイルを付着することになる側をフォイルに近接している支持手段で支持する。上記支持手段は例えば、ローラ・ベルトを備える。この支持手段に加えてあるいはそれに代えて、二また部材を使用するのも好ましい。挟持体、あるいはその少なくとも一部、を上記二また部材に貫通させてもよい。あるいは、挟持体を電子部品の方向に上記穴を通過させた後に上記二また部材を挟持体またはその一部の周りに配置してもよい。あるいは、上記のように、挟持体自体で電子部品を一時的に支持してもよい。
【０００８】
また、本発明に係る電子部品包装方法の別の好適実施例においては、電子部品を、上記別フォイルを付着することになる、上記フォイルの側の下方位置から上記穴内へ移動させる。この例では、挟持体またはその少なくとも主要部分を上記フォイルの、別フォイル付着側とは反対の側に位置させる。挟持体を取り外した後、上記フォイルには必要に応じて上記反対側にさらなる別フォイル（被覆用）を設けて電子部品が上記フォイル穴内に封じられるようにしてもよい。上記さらなる別フォイルに接着剤層を施せば、そのさらなる別フォイルだけを使用して電子部品を上記フォイル穴内に保持することができる。
【０００９】
また、本発明に係る電子部品包装方法のまた別の好適実施例においては、弾性膜の上に複数電子部品を二次元アレーに並べて、同弾性膜上から挟持体を往復移動させるだけで上記フォイル穴内へ移動させる。この例では挟持体は片方の端部が開放されている管状部材を備えてよく、その開端を真空装置に接続する。この場合、電子部品を、真空ピペットとして作用する挟持体によって吸着引き上げして上記弾性膜から引き離す。また、この際には、必要であれば、上記管状部材と向き合わせてニードルを使用して電子部品を弾性膜から押し離すようにしてもよい。この場合、弾性膜は上記ニードルで局部的に刺通しても、またそうでなくてもよい。
【００１０】
また、本発明に係る電子部品包装方法のさらに別の好適実施例においては、上記挟持体を２本のニードルで構成し、それらニードルを上記フォイルの各側に配置して、電子部品をそれらニードルどうしの間へ移動させる。この構成では、電子部品は丁寧にかつ汚染されることなく把持、移動させることができる。好ましくは、上記ニードルのうち片方を鈍角端を有するものとし、他方のニードルを鋭角端を有するものとする。この場合、鋭角端を有するほうのニードルは電子部品を、単数個、複数個を問わず、その上に置く上記弾性膜の背後に配し、他方の鈍角端を有するニードルのほうは電子部品の上方に配するのが好ましい。こうすれば電子部品への包装時損傷は極めて少なくなる。電子部品に対するニードル移動は同期、非同期のいずれも可である。電子部品を上記フォイル穴に向かって移動させている間、２本のニードルは明らかに同期移動する。前記のように、これら２本のニードルの移動を１回の直線往復動とするのが好ましい。
【００１１】
好ましくは、上記さらなる別フォイルに加えて、反対側に上記フォイルに対してまたさらなる別フォイルを設けて電子部品を上記フォイル穴内に封じる。これによって電子部品は特に安全かつ無汚染で包装される。上記別フォイルおよびまたさらなる別フォイルは、これらを設ける場合には、上記フォイルに接着により付着してもよい。好ましくは、上記のフォイルはいずれも紙製である。あるいは、それらフォイルは合成樹脂製でもよく、また積層品であっても、またそうでなくてもよい。上記のフォイルの材料はESD（＝  Electro Static Discharge  静電気放電）保護のために導電性のものでもよい。
【００１２】
本発明に係る上記電子部品包装方法の好適変形例において、上記別フォイルと、もし上記さらなる別フォイルが存する場合にはそのさらなる別フォイル（８）とを、ローラで上記フォイルに固着させる。この場合において、上記またさらなる別フォイルが存する場合には、上記別フォイルが存する位置とは異なる上記フォイルの外側位置から、上記さらなる別フォイルを上記フォイルに固着するのが好ましい。したがって、本発明にかかる電子部品包装方法は容易に自動化できるとともに、この方法を実施する装置も小形で、しかも小形ながら利用しやすくかつ高信頼性のものにできる。
【００１３】
好ましくは、使用するフォイルは帯状のものであって、各々が１個もしくは数個の電子部品に対応する穴のアレーと、フォイルをその長手方向に移送させるための送り孔のアレーとを有する。本発明に係る電子部品包装方法は、個別のまたは集積した半導体装置を包装するのに特に適する。上記穴の各々において１個のまたは数個の半導体装置を包装できる。本発明はまた、本発明に係る電子部品包装方法によって包装した電子部品にも係る。
【００１４】
本発明のまた別の目的は、上記電子部品包装方法を実施する電子部品包装装置を提供することにある。この電子部品包装装置は電子部品のホルダーと、穴を有するフォイルのフォイル・ホルダーと、上記電子部品を支持または保持する別フォイルを上記フォイルの片面に対して供給する別フォイル・ホルダーと、電子部品を上記ホイル・ホルダーから外して上記フォイルの穴内に置くことのできる挟持体とを備え、上記挟持体によって電子部品を上記フォイル穴内に配した後でのみ上記別フォイルを上記フォイルに固着することができるように上記挟持体と上記別フォイル・ホルダーとを配置、構成したことを特徴とする。本発明に係るこの電子部品包装装置によれば本発明に係る電子部品包装方法を簡単に実施できる。
【００１５】
本発明に係る上記電子部品包装装置の好適実施例において、上記フォイルに対する移送手段と、上記別フォイルが設けられるまで上記電子部品を上記フォイル穴内に支持する支持手段とをさらに設ける。また、この実施例の主要変形例において、上記支持手段はローラ・ベルトおよび／または好ましくは上記フォイルと平行に移動可能な二また部材とを備える。
【００１６】
また本発明に係る上記電子部品包装装置の別の好適実施例において、上記電子部品のホルダーは、電子部品のアレーを戴置する弾性膜を備え、この弾性膜を接着剤層を介して上記ホルダーに接着させる。
【００１７】
また本発明に係る上記電子部品包装装置の別の好適実施例において、上記挟持体は、動作中上記フォイルの各側に配される２つのニードルを備える。好ましくは、上記ニードルのうち片方を鈍角端を有するものとし、他方のニードルを鋭角端を有するものとして、それらニードルを上記フォイルに実質的に直交する方向にのみ移動可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、添付図面を参照して本発明をさらに詳細に説明する。
【００１９】
なお、添付図面は実寸描示したものではなく、図示の簡明を期して特にいくつかの寸法を誇張してある。対応する部位または構成部分はできるだけ同一参照番号で示す。
【００２０】
図１は本発明の上記電子部品包装方法を実施する本発明の電子部品包装装置の概略斜視図であって、同装置が電子部品包装を行っている様子を示している。また、図２は図１に示す電子部品包装装置の、図１の参照符号IIで示す部分の概略斜視図であって、同様に同装置が電子部品包装を行っている様子を示している。この実施例において、電子部品包装装置１０は電子部品１を戴置するホルダー２０を有する。このホルダー２０はリング状のものであって膜７がその上に設けられており、この膜７には電子部品１のアレー、すなわち、ダイオードまたはトランジスター等の個別の半導体素子が戴置される。このホルダー上方にはフォイル・ホルダー（個別的には図示せず）が配置されている。このフォイル・ホルダーは、上記半導体素子を包装する場合に、穴（キャビティ）３を設けた、この実施例では帯状のフォイル４を少なくとも装置動作中において保持するものである。フォイル４の片面には、別フォイル５の別フォイル・ホルダー１５が設けられ、この別フォイル・ホルダー１５はこの実施例ではリール状であり、上記別フォイル５がそれに巻き付けられている。この実施例においては、上記フォイル４の他面にも、さらなる別フォイル８が巻き付けた、やはりリール状のさらなる別フォイル・ホルダー１８が設けられている。上記別フォイル５およびさらなる別フォイル８はローラ２５、２８経由で上記フォイル４へ導かれる。上記半導体素子１がフォイル４の穴３内へ入れられると、少なくとも別フォイル５がこの実施例では接着剤でフォイル４へ付加され、半導体素子１は少なくとも一時的に上記別フォイル５上に戴置されることになる。この実施例においては、さらに上記さらなる別フォイル８がフォイル４に接着付加されるので、最終的に半導体素子１はフォイル４内に封じられることになる。装置１０はさらに挟持体（ツイザーズ）２を備えており、この挟持体２は電子部品１をホルダー２０からピックアップし、それを上記フォイル４の穴３内に配することができるものである。
【００２１】
本発明によれば、上記挟持体２と別フォイル・ホルダー１５は、電子部品１が同挟持体２でフォイル４の穴３内に配されない限り上記別フォイル５がフォイル４に付加され得ないように配置、構成されている。電子部品１が穴３内に配されても上記別フォイル５が上記フォイル４にまだ付着されていないので、上記挟持体２はその間フォイル４を自由に通過できる。これによって、フォイル４に上記電子部品ホルダー２０を近づけて挟持体２を短く直線的に往復させるだけで電子部品１を把持することができる。このため、前記装置１０は小形、作業迅速かつ高信頼の装置となる。
【００２２】
本発明に係る電子部品包装装置１０は、上記別フォイル５を付加するまで上記フォイル４の穴３内に電子部品１を支持するための支持手段６をさらに備える。この実施例において、上記支持手段６はローラ・ベルト６Aを備え、このローラ・ベルト６Aは装置１０の中において上記フォイル４を移送する移送手段としても働くものであって、この実施例においてはフォイル４の、上記別フォイル５，さらなる別フォイル８によって被覆される部位の外側に、上記移送の目的でフォイル４に設けた孔９に係合する突起（図示せず）がやはり上記移送目的で形成されている。
【００２３】
この実施例においては、上記挟持体２は２本のニードル2A、2B（この実施例では非中空ニードルである）を有し、それら２本のニードルの自由端どうしの間で電子部品１を把持してフォイル４の方向に移動させるものである。上記ニードル2Aは電子部品１の上方にかつ上記フォイル４の、上記さらなる別フォイル８が付着される側に配置されるが、このニードル2Aは鈍角端を有するので電子部品１に与える圧力が小さく、また損傷の危険も小さい。上記挟持体２の非中空のニードル2Bのほうは鋭角端を有し、電子部品ホルダー２０の膜７の裏側に配置され、これにより、一方でこのニードル2Bは電子部品１を、膜７を刺通すると否とにかかわらず、その膜７から押し離し、他方では、上記ニードル2Aと協働してその電子部品１を把持して上記フォイル４の穴３へ移送する。こうして、電子部品１の上記のような把持、移動は、同電子部品をその把持、移動によって汚染することなく容易、迅速に行うことができる。
【００２４】
この実施例における上記支持手段６はさらに二また部材６Ｂも備え、この二また部材６Ｂはこの場合、上記フォイル４と平行であることが好ましい。この二また部材６Ｂは上記ニードル２Ｂを包囲し、ニードル２Ｂが引き離される際にの電子部材１を一時的に支持してその脱落を防止するものでよい。図２はこれをさらに明確に、また縮尺拡大して示している。図２はニードル2A、2Bで挟んだ電子部品１が膜７から上記フォイル４の穴３に向かう途中である様子を示している。装置１０の各構成部分の寸法は下記のとおりである。すなわち、フォイル４は幅8mm、厚み0.6mmである。穴３の寸法は約1×1mm2であり、この実施例では電子部品１の寸法は例えば1×1mm2より若干小さい。またニードル２Ｂの直径は数ミリから数十分の１ミリまで減じられている。ニードル2Aの寸法は約1×1mm2である。別フォイル５およびさらなる別フォイル８の幅はこの実施例では5mmであり、またすべてのフォイル４、５、８はこの実施例では紙製である。
【００２５】
装置１０は本発明の電子部品包装方法にしたがって下記のように動作する。すなわち、電子部品１のアレー１１を、複数穴３を有するフォイル４を備えたフォイル・ホルダーの近傍の装置１０に投入すると、図２に示すように、上記部品ホルダー２０から１個の電子部品１が挟持体２によって上記フォイル４の穴３内へ移動させられる。上方から接近するニードル2Aは上記穴３を２回通過する。すなわち、その１回目は、電子部品１に向かって移動する場合、２回目はその電子部品１を穴３内へ挿入する場合、である。その通過時に、支持手段６の二また部材６Ｂが上記電子部品１の下方へ直進した後にその電子部品１を支持することができるので、上記ニードル２Ｂを電子部品１から取り外すことができる。上記フォイル４はこの時点でローラ・ベルト6A（図１参照）で移動させることができ、その間、電子部品１はそのローラ・ベルト6A上に戴置される。別フォイル・ホルダー１５からの別フォイル５は、ローラ・ベルト6Aの端部を通過直後にローラ２５によってフォイル４の、この場合その下面に、接着され、こうして継続して電子部品１を支持する。
【００２６】
同様にして、さらなる別フォイル８がフォイル４の、この場合はその上面に接着されるので、電子部品１はフォイル４の穴３内に封じられる。別フォイル５とさらなる別フォイル８とは装置１０におけるそれらの相異なった位置取りに対応して、相異なった時点でフォイル４へ接着され、このことは例えば装置使用場所や利用性に関して有利である。この実施例においては、さらなる別フォイル８が最初に、また別フォイル５がその後で、フォイル４へそれぞれ付加される。なお、これは逆に行うようにしてもよい。図１はフォイル４で一連の包装１２を形成する様子を示しており、各包装は１個または数個の電子部品１を含み、リール（図示せず）に巻き取って顧客へ頒布することができる。
【００２７】
なお、本発明は以上に図示、説明した実施例のみに限定されるものではなく、本発明の方法および装置の両方とも本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更、改変が可能である。
【００２８】
したがって、上記挟持体は単一のニードル、例えば真空ピペットを有してもよい。また、包装対象の電子部品は必ずしもフォイルの下方に配する必要もない。また、図示の場合と対比して、天地逆にした電子部品をフォイルの上方に配してもよく、この場合は、単一のニードルからなる挟持体であるいは前記実施例におけるように２本のニードルでホルダーからピックアップして、フォイル穴に入れることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明に係る電子部品包装方法を実施する装置の、電子部品包装を行う様子を示す概略斜視図である。
【図２】図１の電子部品包装装置の、同図１の参照符号IIで示す部分の概略斜視図ある。
【図１】
2005511426.tif 000003
【図２】
2005511426.tif 000004
【国際調査報告】
2005511426.tif 000005
2005511426.tif 000006