(57)【要約】【課題】高地環境試験室のような設備を必要とせず、過渡試験等においても、従来の流体供給装置では供給できなかった精度で、所定の圧力の流体を供給することができる流体供給装置を提供する。【解決手段】流入口２から流入した流体を一時的に貯留して流出口３から流出する第１の圧力チェンバ１０と、第１の圧力チェンバと第１の開口部１５を介して接続され、内部に流体を貯留する第２の圧力チェンバ２０と、第２の圧力チェンバに第２の開口部２５を介して接続され、第２の圧力チェンバ内の流体の圧力を制御する圧力制御部と、第１の開口部に取り付けられ、第２の圧力チェンバから第１の圧力チェンバに流出する流体の量または第２の圧力チェンバから第１の圧力チェンバに流入する流体の量を制御することにより、第１の圧力チェンバ内の流体の圧力を調整する第１の圧力調整部３０とを具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の圧力で流体を供給できる流体供給装置であって、
流入口から流入した流体を一時的に貯留して流出口から流出する第１の圧力チェンバと、
前記第１の圧力チェンバと第１の開口部を介して接続され、内部に流体を貯留する第２の圧力チェンバと、
前記第２の圧力チェンバに第２の開口部を介して接続され、前記第２の圧力チェンバ内の流体の圧力を制御する圧力制御部と、
前記第１の開口部に取り付けられ、第２の圧力チェンバから第１の圧力チェンバに流出する流体の量または第２の圧力チェンバから第１の圧力チェンバに流入する流体の量を制御することにより、第１の圧力チェンバ内の流体の圧力を調整する第１の圧力調整部と
を具備することを特徴とする流体供給装置。
【請求項２】
前記第２の開口部の開口面積が、前記第１の開口部の開口面積よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の流体供給装置。
【請求項３】
前記第１の圧力調整部は、
前記第１の開口部の開口面積を変化させる第１の開口面積調整板と、
前記第１の開口部の開口面に対向する第１の圧力調整用可動弁と、
前記圧力調整用可動弁が前記開口面との平行状態をほぼ保ったまま移動する第１の圧力調整機構と
を有することを特徴とする請求項１または２に記載の流体供給装置。
【請求項４】
前記第１の圧力調整用可動弁が、エアシリンダ機構により弁を閉じる方向に付勢可動支持されていることを特徴とする請求項３に記載の流体供給装置。
【請求項５】
前記第１の圧力調整用可動弁が、重力利用加圧機構により弁を閉じる方向に付勢可動支持されていることを特徴とする請求項３に記載の流体供給装置。
【請求項６】
前記第１の圧力調整用可動弁が、パンタグラフ機構により可動支持されていることを特徴とする請求項３に記載の流体供給装置。
【請求項７】
前記第２の開口部に取り付けられ、前記圧力制御部から第２の圧力チェンバに流入する流体の量または第２の圧力チェンバから前記圧力制御部に流出する流体の量を制御することにより、第２の圧力チェンバ内の流体の圧力を調整する第２の圧力調整部をさらに具備することを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の流体供給装置。
【請求項８】
前記第２の圧力調整部は、
前記第２の開口部の開口面積を変化させる第２の開口面積調整板と、
前記第２の開口部の開口面に対向する第２の圧力調整用可動弁と、
前記圧力調整用可動弁が前記開口面との平行状態をほぼ保ったまま移動する第２の圧力調整機構と
を有することを特徴とする請求項７に記載の流体供給装置。
【請求項９】
前記第２の圧力調整用可動弁が、エアシリンダ機構により弁を閉じる方向に付勢可動支持されていることを特徴とする請求項７に記載の流体供給装置。
【請求項１０】
前記第２の圧力調整用可動弁が、重力利用加圧機構により弁を閉じる方向に付勢可動支持されていることを特徴とする請求項７に記載の流体供給装置。
【請求項１１】
前記第２の圧力調整用可動弁が、パンタグラフ機構により可動支持されていることを特徴とする請求項７に記載の流体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体を所定の圧力で供給することができる流体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エンジン等の内燃機関は、自動車をはじめ、建設・農業機械その他の様々な産業機械に搭載され、世界各国で利用されている。そのため、このような内燃機関は、低温環境・高地環境等の様々な環境下での使用状況における性能や動作を予め確認すると共に、各国ごとに規定されている排ガス規制等の各種基準を満たしていることを確認する必要がある。また、近年では、公道を走行しないオフロード特殊自動車等においても排ガス規制が行われるようになってきており、それらについても基準を満たしていることを確認する必要がある。そこで、内燃機関に関して様々な評価試験が行われている。
【０００３】
その評価試験の１つに、たとえば標高４０００ｍ程度の高地環境下におけるエンジン評価試験がある。高地環境下におけるエンジン特性として、エンジン吸気圧力の低下（空気密度の減少）により、エンジン出力が低下するだけでなく、排ガス浄化性能低下、部品の破損等が考えられることから、高地環境下での評価試験は必要不可欠となっている。
【０００４】
このような評価試験方法としては、実際にエンジンを高地に持ち込んで試験を行う方法や、研究所等の敷地内に高地環境（気圧等）を再現できる陰圧耐圧型の高地環境試験室を建設し、その中にエンジンを設置して評価試験を行う方法がある。
【０００５】
また、高地環境試験室のような設備を必要としない環境試験システムも提案されている（特許文献１参照）。この環境試験システムは、エンジンの上流側に接続される吸気系と、下流側に接続される排気系とを有し、その吸気系と排気系とをバイパス流路で繋ぎ、吸気系においてバイパス経路が接続される部位よりも上流側に設けられた圧力制御弁の開度を調整可能としたものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−２１０２４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、実際にエンジンを高地に持ち込んで試験を行う方法では、高地への試験機材の運搬費や人件費等の費用だけでなく、時間もかかるという問題点があった。一方、陰圧耐圧型の高地環境試験室を用いる方法では、内部を減圧状態にしても試験室が外気圧に耐えられるよう耐圧構造にする必要があり、試験室の建設費用が高額になるという問題点があった。また、高地環境試験室内でエンジン試験を行う作業者は、空気を薄くした高地相当気圧（減圧）に調整した室内でエンジン試験を行う必要があるので、高地環境試験室内を出入りする検査作業者の安全対策を講じる必要があるという問題点もあった。
【０００８】
さらに、現在はエンジン等の内燃機関の負荷を変動させて行う過渡試験の要求も多くなってきており、過渡試験において供給する空気等の流体の圧力を、より正確に制御することが求められている。このような要求に対し、上述したような従来の環境試験システムでは、急激な圧力変化に対応できないことから、過渡試験を行うことができないという問題点があった。さらに、平地環境で行う試験において、現実の大気圧下で行う際には、まず現実の大気圧下で試験を行い、得られたデータを標準気圧（１０１３．２ｈＰａ）における数値に換算（補正）する必要があるため、標準気圧下における正確な試験データが得られないという問題点もあった。
【０００９】
本発明は、上述した事情に鑑み、高地環境試験室のような設備を必要とせず、過渡試験をも行うことができ、かつ従来の流体供給装置では供給できなかった精度で、所定の圧力の流体を供給することができる流体供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の発明者は、上述した問題点に関して鋭意研究を続けた結果、以下のような画期的な流体供給装置を見出した。
【００１１】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、所定の圧力で流体を供給できる流体供給装置であって、流入口から流入した流体を一時的に貯留して流出口から流出する第１の圧力チェンバと、前記第１の圧力チェンバと第１の開口部を介して接続され、内部に流体を貯留する第２の圧力チェンバと、第２の圧力チェンバに第２の開口部を介して接続され、第２の圧力チェンバ内の流体の圧力を制御する圧力制御部と、第１の開口部に取り付けられ、第２の圧力チェンバから第１の圧力チェンバに流出する流体の量または第２の圧力チェンバから第１の圧力チェンバに流入する流体の量を制御することにより、第１の圧力チェンバ内の流体の圧力を調整する第１の圧力調整部とを具備することを特徴とする流体供給装置にある。
【００１２】
かかる第１の態様では、第２の圧力チェンバ内の流体の圧力を制御しつつ、第２の圧力チェンバから第１の圧力チェンバに流出する流体の量または第２の圧力チェンバから第１の圧力チェンバに流入する流体の量を制御することができるので、流体の圧力脈動の発生を防止し、かつ圧力変動幅を小さくなるように第１の圧力チェンバ内の流体の圧力を制御することができる。その結果、過渡試験を行うことができ、かつ従来の流体供給装置では制御することができなかった精度（たとえば±０．５％の誤差の範囲）で、流体の圧力を制御することができるので、従来の流体供給装置では供給できなかった条件および精度で、所定の圧力の流体を供給することができる。
【００１３】
本発明の第２の態様は、第２の開口部の開口面積が、第１の開口部の開口面積よりも小さいことを特徴とする第１の態様に記載の流体供給装置にある。
【００１４】
かかる第２の態様では、大気圧よりも低い圧力の流体を供給する場合には、第１の圧力チェンバよりも低い圧力となる第２の圧力チェンバから流出する流体の量を正確に制御することができ、かつ大気圧よりも高い圧力の流体を供給する場合には、第１の圧力チェンバよりも高い圧力となる第２の圧力チェンバに流入する流体の量を正確に制御することができるので、結果として供給する流体の圧力をより正確に制御することができる。
【００１５】
本発明の第３の態様は、第１の圧力調整部は、第１の開口部の開口面積を変化させる第１の開口面積調整板と、第１の開口部の開口面に対向する第１の圧力調整用可動弁と、圧力調整用可動弁が開口面との平行状態をほぼ保ったまま移動する第１の圧力調整機構とを有することを特徴とする第１または第２の態様に記載の流体供給装置にある。
【００１６】
かかる第３の態様では、流入口から流入する流体の量や圧力の急変化に対して、第１の圧力調整部が瞬時に反応し、流体の圧力脈動が生じず、しかも圧力変動幅を小さくすることができるので、より正確に供給する流体の圧力を制御することができる。
【００１７】
本発明の第４の態様は、第１の圧力調整用可動弁が、エアシリンダ機構により弁を閉じる方向に付勢可動支持されていることを特徴とする第３の態様に記載の流体供給装置にある。
【００１８】
かかる第４の態様では、圧力の脈動をより防止することができるので、より正確に供給する流体の圧力を制御することができる。
【００１９】
本発明の第５の態様は、第１の圧力調整用可動弁が、重力利用加圧機構により弁を閉じる方向に付勢可動支持されていることを特徴とする第３の態様に記載の流体供給装置にある。
【００２０】
かかる第５の態様では、第１の圧力調整用可動弁の構造を簡略化することができるので、容易に流体供給装置を製造することができる。
【００２１】
本発明の第６の態様は、第１の圧力調整用可動弁が、パンタグラフ機構により可動支持されていることを特徴とする第３の態様に記載の流体供給装置にある。
【００２２】
かかる第６の態様では、第１の圧力調整用可動弁の構造を簡略化することができるので、容易に流体供給装置を製造することができる。
【００２３】
本発明の第７の態様は、第２の開口部に取り付けられ、圧力制御部から第２の圧力チェンバに流入する流体の量または第２の圧力チェンバから圧力制御部に流出する流体の量を制御することにより、第２の圧力チェンバ内の流体の圧力を調整する第２の圧力調整部をさらに具備することを特徴とする第１〜６の態様の何れかに記載の流体供給装置にある。
【００２４】
かかる第７の態様では、第２の圧力チャンパ内の流体の圧力を容易に制御することができるので、第１の圧力チェンバ内の流体の圧力を容易に制御することができる。その結果、より正確に供給する流体の圧力を制御することができる。
【００２５】
本発明の第８の態様は、第２の圧力調整部は、第２の開口部の開口面積を変化させる第２の開口面積調整板と、第２の開口部の開口面に対向する第２の圧力調整用可動弁と、圧力調整用可動弁が開口面との平行状態をほぼ保ったまま移動する第２の圧力調整機構とを有することを特徴とする第７の態様に記載の流体供給装置にある。
【００２６】
かかる第８の態様では、流入口から流入する流体の量や圧力の急変化に対して、第２の圧力調整部が瞬時に反応し、流体の圧力脈動が生じず、しかも圧力変動幅を小さくすることができるので、より正確に供給する流体の圧力を制御することができる。
【００２７】
本発明の第９の態様は、第２の圧力調整用可動弁が、エアシリンダ機構により弁を閉じる方向に付勢可動支持されていることを特徴とする第７の態様に記載の流体供給装置にある。
【００２８】
かかる第９の態様では、圧力の脈動をより防止することができるので、より正確に供給する流体の圧力を制御することができる。
【００２９】
本発明の第１０の態様は、第２の圧力調整用可動弁が、重力利用加圧機構により弁を閉じる方向に付勢可動支持されていることを特徴とする第７の態様に記載の流体供給装置にある。
【００３０】
かかる第１０の態様では、第２の圧力調整用可動弁の構造を簡略化することができるので、容易に流体供給装置を製造することができる。
【００３１】
本発明の第１１の態様は、第２の圧力調整用可動弁が、パンタグラフ機構により可動支持されていることを特徴とする第７の態様に記載の流体供給装置にある。
【００３２】
かかる第１１の態様では、第２の圧力調整用可動弁の構造を簡略化することができるので、容易に流体供給装置を製造することができる。
【００３３】
なお、本発明は、流入口に流入する流体の圧力よりも流出口から流出される流体の圧力が高い場合であっても、低い場合であっても両方とも適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】図１は実施形態１に係る流体供給装置の概略図である。
【図２】図２は実施形態１に係る第1の圧力調整部の拡大概略図である。
【図３】図３は第２の圧力チェンバ側から見た際の開口面積調整板の概略正面図である。
【図４】図４は実施形態１に係る流体供給装置の動作フローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下に添付図面を参照して、本発明に係る流体供給装置の実施形態を説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
（実施形態１）
【００３６】
図１に、本実施形態に係る流体供給装置の概略図を示す。本実施形態では、大気圧よりも低い圧力の流体を供給する場合の流体供給装置となっている。図１に示すように、流体供給装置１は、箱状の第１の圧力チェンバ１０と、それに隣接する箱状の第２の圧力チェンバ２０と、第２の圧力チェンバに接続されている圧力制御部（図示しない）と、コントロール部６０とで構成されている。
【００３７】
第１の圧力チェンバ１０には、流体が流れ込む流入口２と、流れ込んだ流体が流出する流出口３と、第２の圧力チェンバ２０に連通する第１の開口部１５とが設けられている。第１の圧力チェンバ１０の流入口２前方にはバルブ１２が取り付けられる共に、流出口３後方にはバルブ１３が取り付けられており、第１の圧力チェンバ１０内に流入する流体の量および第１の圧力チェンバ１０から流出する流体の量を制御できるようになっている。また、流出口３近傍の内壁には第１の圧力チェンバ１０内の流体の圧力を測定できる第１の圧力センサ７が取り付けられ、コントロール部６０に配線６５を介して接続されている。
【００３８】
一方、第２の圧力チェンバ２０には、第１の開口部１５以外に、第２の開口部２５が設けられており、圧力制御部から流体の供給を受けることができるようになっている。第２の圧力チェンバ２０の第２の開口部２５近傍の内壁には、第２の圧力チェンバ２０内の流体の圧力を測定できる第２の圧力センサ１７が取り付けられ、コントロール部６０に配線６５を介して接続されている。
【００３９】
ここで、第１の開口部１５の開口面積と第２の開口部２５の開口面積とは、十分な量の流体を通すことができるのであれば特に限定されないが、第２の開口部２５の開口面積が第１の開口部１５の開口面積よりも小さい方が好ましい。このように構成することにより、圧力制御部から第２の圧力チェンバ２０に流入する流体の量をより正確に制御することができる。その結果、第１の圧力チェンバ１０から第２の圧力チェンバ２０に流れ込む流体の量をより正確に調整できるので、最終的に流出口３から大気圧よりも低い所定の圧力の流体を高精度で供給することができる。
【００４０】
なお、第２の圧力チェンバ２０は、真空ブロワ５０に接続されており、第２の圧力チェンバ２０内の流体を排出することにより、第２の圧力チェンバ２０内の流体の圧力を減圧することができるようになっている。
【００４１】
また、第２の圧力チェンバ２０内には、第１の開口部１５の開口面に対向する位置に第１の圧力調整部３０が設置されると共に、第２の開口部２５の開口面に対向する位置に第２の圧力調整部４０が設置されており、各圧力調整部３０、４０は配線６５を介してコントロール部６０にそれぞれ接続されている。
【００４２】
第１の圧力調整部３０は、コントロール部６０によって制御され、第１の圧力センサ７により計測された第１の圧力チェンバ１０内の流体の圧力と、第２の圧力センサ１７により計測された第２の圧力チェンバ２０内の流体の圧力とに応じて、第１の開口部１５を通って、第１の圧力チェンバ１０から第２の圧力チェンバ２０に流入する流体の量を調整することができるようになっている。
【００４３】
また、第２の圧力調整部４０も、コントロール部６０によって制御され、第２の圧力センサ１７により計測された第２の圧力チェンバ２０内の流体の圧力に応じて、第２の開口部２５を通って、圧力制御部から第２の圧力チェンバ２０に流入する流体の量を調整することができるようになっている。
【００４４】
すなわち、コントロール部６０は、第１の圧力センサ７および第２の圧力センサ１７に計測された各圧力チェンバ１０、２０内の流体の圧力に基づき、第２の圧力チェンバ２０内の流体の圧力を制御しつつ、第１の圧力チェンバ１０から第２の圧力チェンバ２０に流入する流体の量を制御することができる。その結果、流体の圧力脈動の発生を防止し、かつ圧力変動幅を小さくするように第１の圧力チェンバ１０内の流体の圧力を高い精度で制御することができるようになっている。
【００４５】
第１の圧力調整部３０および第２の圧力調整部４０は、第１の圧力センサ７および第２の圧力センサ１７に計測された各圧力チェンバ１０、２０内の流体の圧力に基づき、予め定められた理論式や経験式に基づいてコントロール部６０に制御されてもよいし、所定のアルゴリズム等によって制御されていてもよく、制御方式は特に限定されない。
【００４６】
ここで、第１の圧力チェンバ１０および第２の圧力チェンバ２０は、流体の圧力（減圧）に耐えることができるものであれば、その材質・大きさ等は特に限定されない。また、バルブ１２、１３も流体の流量を制御することができるものであれば特に限定されず、市販されているバルブを用いることができる。さらに、圧力制御部も、第２の圧力チェンバ内に流体を供給することができるものであれば特に限定されず、たとえばポンプ、ターボブロワ、ヴォルテックスブロワおよびルーツブロワなどを用いることができる。
【００４７】
また、コントロール部６０は、第１の圧力センサ７および第２の圧力センサ１７に計測された各圧力チェンバ１０、２０内の流体の圧力に基づき、第１の圧力調整部３０および第２の圧力調整部４０を制御することができるものであれば特に限定されない。コントロール部６０としては、たとえばそれらの機能が組み込まれたパーソナルコンピュータなどを用いることができる。
【００４８】
また、第１の圧力センサ７および第２の圧力センサ１７は、各圧力チェンバ１０、２０内の流体の圧力を測定することができるのであれば特に限定されず、たとえば市販されているゲージ式圧力センサ等を用いることができる。さらに、真空ブロワ５０も第２の圧力チェンバ２０内の流体を排出して、第２の圧力チェンバ２０内の流体の圧力を減圧することができるものであれば特に限定されず、市販のものを用いることができる。
【００４９】
次に、第１の圧力調整部３０について説明する。図２は、本実施形態に係る第１の圧力調整部３０の拡大概略図であり、図３は第２の圧力チェンバ２０側から見た際の開口面積調整板の概略正面図（図３（ａ）は開口面積を広げた場合、図３（ｂ）は開口面積を狭めた場合）である。なお、第２の圧力調整部４０も第1の圧力調整部３０と同様の構成となっている。
【００５０】
図２に示すように、本実施形態に係る第１の圧力調整部３０は、第１の開口部１５に取り付けられた開口面積調整板３１ａ、３１ｂと、第１の開口部１５の開口面に対向するように第２の圧力チェンバ２０内に配置された圧力調整可動弁３２と、ピストン３３を介して圧力調整可動弁３２に接続されるシリンダ３５とで構成されている。
【００５１】
開口面積調整板３１ａ、３１ｂは、図３（ａ）および（ｂ）に示すように、正方形の一辺が、くの字状に形成された切り込み部３６ａ、３６ｂをそれぞれ有する２枚の板状部材を有する。そして、開口面積調整板３１ａ、３１ｂが互いに対向するように配置されることで、切り込み部３６ａ、３６ｂにより、第１の開口部１５の開口面が形成される。そして、モーター等（図示しない）を用いて、開口面積調整板３１ａをＸ方向に移動させると共に開口面積調整板３１ｂをＹ方向に移動させることにより、第１の開口部１５の開口面の空間（面積）３７を変化させることができるようになっている。
【００５２】
圧力調整可動弁３２は、第１の開口部１５の開口面積が最大の時のものよりも大きな面積を有しており、開口面積調整板３１ａ、３１ｂと接した際に、第１の開口部１５を完全に塞ぐことができるようになっている。
【００５３】
シリンダ３５は、ピストン３３を介して、平行状態を保ったまま圧力調整可動弁３２を移動させることができ、第１の開口部１５を閉じる方向に圧力調整可動弁３２を付勢可動支持することができるようになっている。
【００５４】
このように、第１の圧力調整部３０および第２の圧力調整部４０を構成することにより、後述するように第１の圧力チェンバ１０から第２の圧力チェンバ２０に流入する流体の量をより正確に制御できるので、流体の圧力脈動の発生を防止し、かつ圧力変動幅を小さくなるように第１の圧力チェンバ１０内の流体の圧力を制御することができる。その結果、過渡試験等を行うことができ、かつ従来の流体供給装置では制御することができなかった精度（たとえば±０．５％の誤差の範囲）で、供給する流体の圧力を制御することができる。
【００５５】
ここで、開口面積調整板３１ａ、３１ｂおよび圧力調整可動弁３２は、上記したように機能させることができるのであれば、材質や大きさ等は特に限定されない。また、ピストン３３およびシリンダ３５も上述するような機能を有するものであれば特に限定されず、たとえばエアシリンダ機構で構成されているものを用いることができる。
【００５６】
次に、本実施形態に係る流体供給装置１の動作の一例について説明する。図４は、所定の圧力ＰＴ１の流体を供給している時に、第１の圧力チェンバ１０内の流体に圧力変化が生じた際の本実施形態に係る流体供給装置の動作フローチャートである。ここで、流入口２前方に設けられたバルブ１２により絞られて陰圧となった流体が第１の圧力チェンバ１０内に供給され、流出口３から所定の圧力ＰＴ１の流体が流出しているものとする。なお、この際に、供給された流体の一部は、第１の開口部１５を通って第２の圧力チェンバ２０内に流れ込み、第２の開口部２５を通って圧力制御部から供給された流体と共に真空ブロワ５０により排出されている。したがって、第１の圧力チェンバ１０内の流体の圧力Ｐ１は、第２の圧力チェンバ２０内の流体の圧力Ｐ２よりも常に高くなっている。
【００５７】
図４に示すように、所定の圧力ＰＴ１の流体を供給している状態において、流出口３から流出する流体の量が増加すると、第１の圧力センサ７により検出（Ｓ１）される第１の圧力チェンバ１０内の流体の圧力Ｐ１は所定の圧力ＰＴ１よりも低くなる（Ｓ２）。すると、流体の圧力Ｐ１が所定の圧力ＰＴ１になるように、第１の圧力調整部３０を制御する（Ｓ３）。すなわち、第１の圧力センサ７により検出される流体の圧力Ｐ１が所定の圧力ＰＴ１になるように、第１の開口部１５の開口面積を狭めて、第１の圧力チェンバ１０から第２圧力チェンバ２０に流れ込む流体の量を減少させる。その結果、第１の圧力チェンバ１０内の流体の圧力Ｐ１が瞬時に上昇し、最終的に所定の圧力ＰＴ１に保持されることになる（Ｐ６）。
【００５８】
一方、流出口３から流出する流体の量が減少すると、第１の圧力センサ７により検出（Ｓ１）される第１の圧力チェンバ１０内の流体の圧力Ｐ１は所定の圧力ＰＴ１よりも高くなると共に、第２の圧力センサ１７により検出（Ｓ１）される第２の圧力チェンバ２０内の流体の圧力Ｐ２も所定の圧力ＰＴ２よりも高くなる（Ｓ４）。すると、第２の圧力センサ１７により検出される流体の圧力Ｐ２が所定の圧力ＰＴ２になるように、第２の圧力調整部４０を制御する（Ｓ５）。すなわち、第２の圧力センサ１７により検出される流体の圧力Ｐ２が所定の圧力ＰＴ２になるように、第２の開口部２５の開口面積を狭めて、圧力制御部から第２の圧力チェンバ２０内に流れ込む流体の量を減少させる。その結果、第２の圧力チェンバ２０内の流体の圧力Ｐ２が瞬時に低下して所定の圧力ＰＴ２になると共に第１の圧力チェンバ１０内の流体の圧力Ｐ１も瞬時に低下し、最終的に所定の圧力ＰＴ１に保持されることになる（Ｓ６）。
【００５９】
なお、所定の圧力ＰＴ２は、所定の圧力ＰＴ１と同じでもよいし、異なってもよく、大気圧と所定の圧力ＰＴ１との圧力差により任意に設定することができる。
【００６０】
以上説明したように、本実施形態に係る流体供給装置１を用いることにより、供給する流体の圧力が変化するような過渡試験を行うことができ、かつ従来の流体供給装置では制御することができなかった精度（たとえば±０．５％の誤差の範囲）で、流体の圧力を制御することができる。その結果、従来の流体供給装置では供給できなかった条件および精度で、所定の圧力の流体を供給することができる。
【００６１】
なお、流体の温度制御装置や湿度制御装置と共に、本実施形態に係る流体供給装置１をエンジン等の内燃機関の上流側（空気を供給する側）に接続して使用する場合には、内燃機関の下流側（排気側）にも同様の流体供給装置を接続する必要がある。このように流体供給装置を内燃機関に接続することにより、高地環境試験（大気圧よりも圧力が低い環境を再現した試験）を正確に行うことができる。
（実施形態２）
実施形態１では、大気圧よりも低い圧力の流体を供給する場合の流体供給装置を説明したが、本発明はこれに限定されない。
【００６２】
実施形態１の流体供給装置と同様の構成および動作により、大気圧よりも高い圧力の流体を供給することができるので、大気圧が変動する気象環境においても常時標準気圧に制御した流体を供給することができる。なお、この場合には、流入口２および流出口３の流体の流れを除き、実施形態１の場合とは流体の流れが逆になり、そのように流体を流すことができるような構成となっていることは言うまでもない。なお、内燃機関に大気圧よりも高い圧力の流体を供給する場合には、実施形態１の場合とは異なり、真空ブロワを稼働させる必要はなく、排気系に同様の流体供給装置を接続する必要はない。
（実施形態３）
【００６３】
実施形態１では、第２の圧力調整部を設けて、圧力制御部から第２の圧力チェンバに流れ込む流体の量や第２の圧力チェンバから圧力制御部に流出する流体の量を調整するようにしたが、本発明はこれに限定されない。たとえば、第２の圧力調整部を設けずに、流体供給装置を構成してもよい。このように構成すると、実施形態１に係る流体供給装置と比較して、精度は低下する可能性があるが、従来の流体供給装置では制御することができなかった精度で、所定の圧力の流体を供給することができる。
（実施形態３）
【００６４】
実施形態１では、第１の圧力調整部と第２の圧力調整部とを第２の圧力チェンバ内に配置するようにしたが、本発明はこれに限定されない。たとえば、第１の圧力調整部を第１の圧力チェンバ内に配置してもよい。このように構成しても実施形態１の流体供給装置と同様の効果が得られる。
（その他の実施形態）
【００６５】
上述した実施形態では、第１の圧力調整部および第２の圧力調整部として、エアシリンダ機構を用いたが、本発明はこれに限定されない。たとえば、エアシリンダ機構に代えて、特開２０００−３１４４８１号公報に記載されている重力利用加圧機構や、パンタグラフ機構を用いて、第１の圧力調整部および第２の圧力調整部を構成してもよい。このように構成しても、上述した実施形態の流体供給装置と同様の効果が得られる。なお、供給する流体の圧力の精度は落ちる可能性はあるが、第１の圧力調整部および第２の圧力調整部として、一般的な制御弁を用いてもよい。
【００６６】
また、上述した実施形態では、第１の圧力センサ、第２の圧力センサやコントロール部などを設けて第１の圧力調整部や第２の圧力調整部を制御するようにしたが、本発明はこれに限定されない。コントロール部を設けず、第１の圧力調整部や第２の圧力調整部が独自のアルゴリズム等に基づいて動作するようにしてもよい。このように構成しても、上述した実施形態の流体供給装置と同様の効果が得られる。
【００６７】
さらに、上述した実施形態では、１つの開口部に対し、第１の圧力調整部および第２の圧力調整部を、１組の開口面積調整板、１つの圧力調整可動弁、１つのピストンおよび１つのシリンダで構成したが、本発明はこれに限定されない。たとえば、開口部を複数設け、それらに対して、上述したような圧力調整部をそれぞれ配置するようにしてもよい。このようにすることにより、より大量の流体を供給する場合であっても、従来の流体供給装置では制御することができなかった精度で、所定の圧力の流体を供給することができる。
【００６８】
また、実施形態１では、第２の圧力チェンバに真空ブロワを接続して、第２の圧力チェンバ内の流体を排出するようにしたが、本発明はこれに限定されない。たとえば、真空ブロワに接続せず、圧力制御部から第２の圧力チェンバ内の流体を排出できるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６９】
１    流体供給装置
２    流入口
３    流出口
７    第１の圧力センサ
１０  第１の圧力チェンバ
１５  第１の開口部
１７  第２の圧力センサ
２０  第２の圧力チェンバ
２５  第２の開口部
３０  第１の圧力調整部
３１ａ、３１ｂ  開口面積調整板
３２  圧力調整弁
３３  ピストン
３５  シリンダ
３６ａ、３６ｂ  切り込み部
３７  第１の開口部の開口面の空間
４０  第２の圧力調整部
５０  真空ブロワ
６０  コントロール部
６５  配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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