(57)【要約】【課題】ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程において、積層体の搬送時にクラックが生じ難い支持ガラス基板を創案する。【解決手段】本発明の支持ガラス基板は、加工基板を支持するための支持ガラス基板であって、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ５０〜７５％、Ａｌ２Ｏ３  １〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  １〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜２５％、Ｋ２Ｏ  ０〜１０％、ＭｇＯ  １〜１０％、ＺｎＯ  ０〜６％を含有し、且つクラック抵抗が５００ｇｆ以上であることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工基板を支持するための支持ガラス基板であって、
ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ５０〜７５％、Ａｌ２Ｏ３  １〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  １〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜２５％、Ｋ２Ｏ  ０〜１０％、ＭｇＯ  １〜１０％、ＺｎＯ  ０〜６％を含有し、且つクラック抵抗が５００ｇｆ以上であることを特徴とする支持ガラス基板。
【請求項２】
ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ６０〜７０％、Ａｌ２Ｏ３  ５〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  ５超〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜１８％、Ｋ２Ｏ  ０〜１．９％、ＭｇＯ  １〜５％、ＺｎＯ  ０．５〜３％を含有し、且つクラック抵抗が１０００ｇｆ以上であることを特徴とする請求項１に記載の支持ガラス基板。
【請求項３】
２０〜２２０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数が４０×１０−７／℃以上、且つ１２０×１０−７／℃以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の支持ガラス基板。
【請求項４】
２０〜２６０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数が４０×１０−７／℃以上、且つ１２０×１０−７／℃以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の支持ガラス基板。
【請求項５】
３０〜３８０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数が４２×１０−７／℃以上、且つ１２５×１０−７／℃以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の支持ガラス基板。
【請求項６】
直径１００〜５００ｍｍのウエハ形状又は略円板形状を有し、板厚が２．０ｍｍ未満であり、全体板厚偏差（ＴＴＶ）が５μｍ以下であり、且つ反り量が６０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の支持ガラス基板。
【請求項７】
少なくとも加工基板と加工基板を支持するための支持ガラス基板とを備える積層体であって、支持ガラス基板が請求項１〜６の何れかに記載の支持ガラス基板であることを特徴とする積層体。
【請求項８】
加工基板が、少なくとも封止材でモールドされた半導体チップを備えることを特徴とする請求項７に記載の積層体。
【請求項９】
少なくとも加工基板と加工基板を支持するための支持ガラス基板とを備える積層体を用意する工程と、
加工基板に対して、加工処理を行う工程と、を有すると共に、支持ガラス基板が請求項１〜６の何れかに記載の支持ガラス基板であることを特徴とする半導体パッケージの製造方法。
【請求項１０】
加工処理が、加工基板の一方の表面に配線する工程を含むことを特徴とする請求項９に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項１１】
加工処理が、加工基板の一方の表面に半田バンプを形成する工程を含むことを特徴とする請求項９又は１０に記載の半導体パッケージの製造方法。
【請求項１２】
請求項９〜１１の何れかに記載の半導体パッケージの製造方法により作製されたことを特徴とする半導体パッケージ。
【請求項１３】
半導体パッケージを備える電子機器であって、
半導体パッケージが、請求項１２に記載の半導体パッケージであることを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ５０〜７５％、Ａｌ２Ｏ３  １〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  １〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜２５％、Ｋ２Ｏ  ０〜１０％、ＭｇＯ  １〜１０％、ＺｎＯ  ０〜６％を含有し、且つクラック抵抗が５００ｇｆ以上であることを特徴とするガラス基板。
【請求項１５】
ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ６０〜７０％、Ａｌ２Ｏ３  ５〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  ５超〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜１８％、Ｋ２Ｏ  ０〜１．９％、ＭｇＯ  １〜５％、ＺｎＯ  ０．５〜３％を含有し、且つクラック抵抗が１０００ｇｆ以上であることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工基板を支持するための支持ガラス基板及びこれを用いた積層体に関し、具体的には、半導体パッケージ（半導体装置）の製造工程で加工基板の支持に用いる支持ガラス基板及びこれを用いた積層体に関する。
【背景技術】
【０００２】
携帯電話、ノート型パーソナルコンピュータ、ＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄａｔａ  Ａｓｓｉｓｔａｎｃｅ）等の携帯型電子機器には、小型化及び軽量化が要求されている。これに伴い、これらの電子機器に用いられる半導体チップの実装スペースも厳しく制限されており、半導体チップの高密度な実装が課題になっている。そこで、近年では、三次元実装技術、すなわち半導体チップ同士を積層し、各半導体チップ間を配線接続することにより、半導体パッケージの高密度実装を図っている。
【０００３】
また、従来のウエハレベルパッケージ（ＷＬＰ）は、バンプをウエハの状態で形成した後、ダイシングで個片化することにより作製されている。しかし、従来のＷＬＰは、ピン数を増加させ難いことに加えて、半導体チップの裏面が露出した状態で実装されるため、半導体チップの欠け等が発生し易いという問題があった。
【０００４】
そこで、新たなＷＬＰとして、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰが提案されている。ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰは、ピン数を増加させることが可能であり、また半導体チップの端部を保護することにより、半導体チップの欠け等を防止することができる。
【０００５】
ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰでは、例えば、複数の半導体チップを支持ガラス基板上に配列した後、樹脂の封止材でモールドして、加工基板を形成した後に、加工基板の一方の表面に配線する工程、半田バンプを形成する工程等を有する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、加工基板と支持ガラス基板とを備える積層体は、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程において、支持ガラス基板側が搬送コンベアと接触した状態で水平方向に搬送される。またロボットアーム等により支持ガラス基板の端縁部を把持した状態で搬送が行われる。
【０００７】
しかし、支持ガラス基板は、積層体の搬送時に、搬送コンベアやロボットアームから機械的衝撃を受け易い。そして、支持ガラス基板が機械的衝撃を受けると、支持ガラス基板にクラックが生じ、そのクラックを起点にして、支持ガラス基板が破損する場合があった。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その技術的課題は、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程において、積層体の搬送時にクラックが生じ難い支持ガラス基板を創案することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、種々の実験を繰り返した結果、支持ガラス基板としてアルカリアルミノシリケートガラスを採択すると共に、そのアルカリアルミノシリケートガラスのガラス組成範囲を厳密に規制してクラック抵抗を高めることにより、上記技術的課題を解決し得ることを見出し、本発明として、提案するものである。すなわち、本発明の支持ガラス基板は、加工基板を支持するための支持ガラス基板であって、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ５０〜７５％、Ａｌ２Ｏ３  １〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  １〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜２５％、Ｋ２Ｏ  ０〜１０％、ＭｇＯ  １〜１０％、ＺｎＯ  ０〜６％を含有し、且つクラック抵抗が５００ｇｆ以上であることを特徴とする。ここで、「クラック抵抗」とは、クラック発生率が５０％となる荷重のことを指す。「クラック発生率」は、次のようにして測定した値を指す。まず湿度３０％、温度２５℃に保持された恒温恒湿槽内において、所定荷重に設定したビッカース圧子をガラス表面（光学研磨面）に１５秒間打ち込み、その１５秒後に圧痕の４隅から発生するクラックの数をカウント（１つの圧痕につき最大４とする）する。このようにして圧子を２０回打ち込み、総クラック発生数を求めた後、（総クラック発生数／８０）×１００の式により求める。クラック抵抗の測定装置には、例えば、フューチュアテック社製のマルチビッカース硬度計ＦＬＣ−５０ＶＸが使用可能である。
【００１０】
第二に、本発明の支持ガラス基板は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ６０〜７０％、Ａｌ２Ｏ３  ５〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  ５超〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜１８％、Ｋ２Ｏ  ０〜１．９％、ＭｇＯ  １〜５％、ＺｎＯ  ０．５〜３％を含有し、且つクラック抵抗が１０００ｇｆ以上であることが好ましい。
【００１１】
第三に、本発明の支持ガラス基板は、２０〜２２０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数が４０×１０−７／℃以上、且つ１２０×１０−７／℃以下であることが好ましい。このようにすれば、加工基板内で半導体チップと封止材の割合を変更した場合に、加工基板と支持ガラス基板の熱膨張係数を厳密に整合させ易くなる。そして、両者の熱膨張係数が整合すると、加工処理時に加工基板の寸法変化（特に、反り変形）を抑制し易くなる。結果として、加工基板の一方の表面に対して、高密度に配線することが可能になり、また半田バンプを正確に形成することも可能になる。ここで、「２０〜２２０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数」は、ディラトメーターで測定可能である。
【００１２】
第四に、本発明の支持ガラス基板は、２０〜２６０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数が４０×１０−７／℃以上、且つ１２０×１０−７／℃以下であることが好ましい。ここで、「２０〜２６０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数」は、ディラトメーターで測定可能である。
【００１３】
第五に、本発明の支持ガラス基板は、３０〜３８０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数が４２×１０−７／℃以上、且つ１２５×１０−７／℃以下であることが好ましい。ここで、「３０〜３８０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数」は、ディラトメーターで測定可能である。
【００１４】
第六に、本発明の支持ガラス基板は、直径１００〜５００ｍｍのウエハ形状又は略円板形状を有し、板厚が２．０ｍｍ未満であり、全体板厚偏差（ＴＴＶ）が５μｍ以下であり、且つ反り量が６０μｍ以下であることが好ましい。ここで、「反り量」は、支持ガラス基板全体における最高位点と最小二乗焦点面との間の最大距離の絶対値と、最低位点と最小二乗焦点面との絶対値との合計を指し、例えばコベルコ科研社製のＢｏｗ／Ｗａｒｐ測定装置ＳＢＷ−３３１Ｍ／Ｌｄにより測定可能である。
【００１５】
第七に、本発明の積層体は、少なくとも加工基板と加工基板を支持するための支持ガラス基板とを備える積層体であって、支持ガラス基板が上記の支持ガラス基板であることが好ましい。
【００１６】
第八に、本発明の積層体は、加工基板が、少なくとも封止材でモールドされた半導体チップを備えることが好ましい。
【００１７】
第九に、本発明の半導体パッケージの製造方法は、少なくとも加工基板と加工基板を支持するための支持ガラス基板とを備える積層体を用意する工程と、加工基板に対して、加工処理を行う工程と、を有すると共に、支持ガラス基板が上記の支持ガラス基板であることが好ましい。
【００１８】
第十に、本発明の半導体パッケージの製造方法は、加工処理が、加工基板の一方の表面に配線する工程を含むことが好ましい。
【００１９】
第十一に、本発明の半導体パッケージの製造方法は、加工処理が、加工基板の一方の表面に半田バンプを形成する工程を含むことが好ましい。
【００２０】
第十二に、本発明の半導体パッケージは、上記の半導体パッケージの製造方法により作製されたことが好ましい。
【００２１】
第十三に、本発明の電子機器は、半導体パッケージを備える電子機器であって、半導体パッケージが、上記の半導体パッケージであることが好ましい。
【００２２】
第十四に、本発明のガラス基板は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ５０〜７５％、Ａｌ２Ｏ３  １〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  １〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜２５％、Ｋ２Ｏ  ０〜１０％、ＭｇＯ  １〜１０％、ＺｎＯ  ０〜６％を含有し、且つクラック抵抗が５００ｇｆ以上であることを特徴とする。
【００２３】
第十五に、本発明のガラス基板は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ６０〜７０％、Ａｌ２Ｏ３  ５〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  ５超〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜１８％、Ｋ２Ｏ  ０〜１．９％、ＭｇＯ  １〜５％、ＺｎＯ  ０．５〜３％を含有し、且つクラック抵抗が１０００ｇｆ以上であることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の積層体の一例を示す概念斜視図である。
【図２】ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程を示す概念断面図である。
【図３】本発明の支持ガラス基板の一例を示す上方概念図である。
【図４】図３（ａ）のＡ−Ａ’方向の断面概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の支持ガラス基板は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ５０〜７５％、Ａｌ２Ｏ３  １〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  １〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜２５％、Ｋ２Ｏ  ０〜１０％、ＭｇＯ  １〜１０％、ＺｎＯ  ０〜６％を含有することを特徴とする。上記のように各成分の含有量を限定した理由を以下に示す。なお、各成分の含有量の説明において、％表示は、質量％を表す。
【００２６】
ＳｉＯ２は、ガラスの骨格を形成する主成分である。ＳｉＯ２の含有量が少な過ぎると、ヤング率、耐酸性が低下し易くなる。しかし、ＳｉＯ２の含有量が多過ぎると、高温粘度が高くなり、溶融性や成形性が低下し易くなることに加えて、クリストバライト等の失透結晶が析出し易くなって、液相温度が上昇し易くなる。よって、ＳｉＯ２の下限範囲は５０％以上であり、好ましくは５２％以上、特に５５％以上であり、上限範囲は７５％以下であり、好ましくは７３％以下、７２％以下、特に７０％以下であり、溶融性を優先する場合、６９％以下、６８％以下、特に６７％以下である。
【００２７】
Ａｌ２Ｏ３は、耐候性を高める成分である。また分相、失透を抑制する成分である。しかし、Ａｌ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、高温粘度が高くなり、溶融性と成形性が低下し易くなる。よって、Ａｌ２Ｏ３の下限範囲は１％以上であり、好ましくは３％以上、５％以上、特に６％以上、上限範囲は１０．５％未満であり、好ましくは１０％以下、溶融性や成形性を優先する場合、９．５％以下、特に９％以下である。
【００２８】
Ｂ２Ｏ３は、溶融性や耐失透性を高める成分であり、また傷の付き易さを改善する成分である。しかし、Ｂ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ヤング率や耐酸性が低下し易くなる。よって、Ｂ２Ｏ３の下限範囲は１％以上であり、好ましくは３％以上、５％超、６％以上、７％以上、特に８％以上であり、上限範囲は１５％以下であり、好ましくは１４％以下、１３％以下、１２％以下、特に１１％以下である。
【００２９】
Ｎａ２Ｏは、熱膨張係数を調整するために重要な成分であり、またガラス原料の初期の溶融に寄与する成分である。しかし、Ｎａ２Ｏの含有量が多過ぎると、熱膨張係数が不当に高くなる虞がある。よって、Ｎａ２Ｏ下限範囲は５％以上であり、好ましくは６％以上、７％以上、８％以上、特に９％以上であり、上限範囲は２５％以下であり、好ましくは２３％以下、２０％以下、特に１８％以下である。
【００３０】
Ｋ２Ｏは、熱膨張係数を調整するための成分であり、またガラス原料の初期の溶融に寄与する成分である。しかし、Ｋ２Ｏの含有量が多過ぎると、熱膨張係数が不当に高くなる虞がある。よって、Ｋ２Ｏの含有量は０〜１０％であり、好ましくは０〜６％、０〜３％、０．１〜１．９％、特に０．１〜１％未満である。
【００３１】
ＭｇＯは、クラック抵抗を高める成分である。また高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であり、アルカリ土類金属酸化物の中では、ヤング率を顕著に高める成分である。しかし、ＭｇＯの含有量が多くなると、耐失透性が低下し易くなる。よって、ＭｇＯの含有量は１〜１０％であり、好ましくは１〜６％、１〜５％、２〜４％、特に３〜４％未満である。
【００３２】
質量比（Ｂ２Ｏ３＋ＭｇＯ）／（Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）は、好ましくは０．７以上、０．８以上、特に０．９以上である。質量比（Ｂ２Ｏ３＋ＭｇＯ）／（Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）が小さ過ぎると、クラック抵抗が低下したり、傷が付き易くなって、支持ガラス基板がクラックで破損し易くなる。なお、「（Ｂ２Ｏ３＋ＭｇＯ）／（Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）」は、Ｂ２Ｏ３とＭｇＯの合量をＮａ２ＯとＫ２Ｏの合量で割った値である。
【００３３】
ＺｎＯは、高温粘性を下げて、溶融性や成形性を顕著に高める成分であり、また耐候性を高める成分である。しかし、ＺｎＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。よって、ＺｎＯの含有量は０〜５％であり、好ましくは０〜４％、０．１〜３％、特に０．３〜２％である。
【００３４】
質量比ＺｎＯ／（Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）は、好ましくは０．０５以上、０．０７以上、特に０．０９以上である。質量比ＺｎＯ／（Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）が小さ過ぎると、耐候性が低下し易くなる。なお、「ＺｎＯ／（Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ）」は、ＺｎＯの含有量をＮａ２ＯとＫ２Ｏの合量で割った値である。
【００３５】
上記成分以外にも、任意成分として、他の成分を導入してもよい。なお、上記成分以外の他の成分の含有量は、本発明の効果を的確に享受する観点から、合量で２５％以下、２０％以下、１５％以下、１０％以下、特に５％以下が好ましい。
【００３６】
Ｌｉ２Ｏは、高温粘性を下げて、溶融性の成形性を顕著に高める成分である。またヤング率を高める成分である。しかし、Ｌｉ２Ｏの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。よって、Ｌｉ２Ｏの含有量は、好ましくは０〜７％、０〜３％、０〜１％、０〜０．１％、特に０〜０．０１％である。
【００３７】
ＣａＯは、高温粘性を下げて、溶融性の成形性を高める成分である。またアルカリ土類金属酸化物の中では、導入原料が比較的安価であるため、原料コストを低廉化する成分である。しかし、ＣａＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。よって、ＣａＯの含有量は、好ましくは０〜１０％、１〜８％、３〜８％、２〜６％、特に２〜５％である。
【００３８】
ＳｒＯは、分相を抑制する成分であり、また耐失透性を高める成分である。しかし、ＳｒＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。よって、ＳｒＯの含有量は、好ましくは０〜２０％、０〜１５％、０〜９％、０〜５％、０〜４％、０〜３％、０〜２％、特に０〜１％未満である。
【００３９】
ＢａＯは、耐失透性を高める成分である。しかし、ＢａＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。よって、ＢａＯの含有量は、好ましくは０〜２０％、０〜１４％、０〜９％、０〜５％、０〜４％、０〜３％、０〜２％、特に０〜１％未満である。
【００４０】
Ｆｅ２Ｏ３は、不純物成分、或いは清澄剤成分として導入し得る成分である。しかし、Ｆｅ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、紫外線透過率が低下する虞がある。すなわち、Ｆｅ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、樹脂層、剥離層を介して、加工基板と支持ガラス基板の接着と脱着を適正に行うことが困難になる場合がある。よって、Ｆｅ２Ｏ３の含有量は、好ましくは０．０５％以下、０．０３％以下、０．００１〜０．０２％、特に０．００５〜０．０１％である。なお、本発明でいう「Ｆｅ２Ｏ３」は、２価の酸化鉄と３価の酸化鉄を含み、２価の酸化鉄は、Ｆｅ２Ｏ３に換算して、取り扱うものとする。他の酸化物についても、同様にして、表記の酸化物を基準にして取り扱うものとする。
【００４１】
清澄剤として、Ａｓ２Ｏ３が有効に作用するが、環境的観点で言えば、これら成分を極力低減することが好ましい。Ａｓ２Ｏ３の含有量は、好ましくは１％以下、０．５％以下、特に０．１％以下であり、実質的に含有させないことが望ましい。ここで、「実質的にＡｓ２Ｏ３を含有しない」とは、ガラス組成中のＡｓ２Ｏ３の含有量が０．０５％未満の場合を指す。
【００４２】
Ｓｂ２Ｏ３は、低温域で良好な清澄作用を有する成分である。Ｓｂ２Ｏ３の含有量は、好ましくは０〜１％、０．００１〜１％、０．０１〜０．９％、特に０．０５〜０．７％である。Ｓｂ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ガラスが着色し易くなる。
【００４３】
ＳｎＯ２は、高温域で良好な清澄作用を有する成分であり、また高温粘性を低下させる成分である。ＳｎＯ２の含有量は、好ましくは０〜１％、０．００１〜１％、０．０１〜０．９％、特に０．０５〜０．７％である。ＳｎＯ２の含有量が多過ぎると、ＳｎＯ２の失透結晶が析出し易くなる。なお、ＳｎＯ２の含有量が少な過ぎると、上記効果を享受し難くなる。
【００４４】
ＳＯ３は、清澄作用を有する成分である。ＳＯ３の含有量は、好ましくは０〜１％、０．００１〜１％、０．０１〜０．５％、特に０．０５〜０．３％である。ＳＯ３の含有量が多過ぎると、ＳＯ２リボイルが発生し易くなる。
【００４５】
更に、ガラス特性が損なわれない限り、清澄剤として、Ｆ、Ｃ、或いはＡｌ、Ｓｉ等の金属粉末を各々１％程度まで導入してもよい。また、ＣｅＯ２等も１％程度まで導入し得るが、紫外線透過率の低下に留意する必要がある。
【００４６】
Ｃｌは、ガラスの溶融を促進する成分である。ガラス組成中にＣｌを導入すれば、溶融温度の低温化、清澄作用の促進を図ることができ、結果として、溶融コストの低廉化、ガラス製造窯の長寿命化を達成し易くなる。しかし、Ｃｌの含有量が多過ぎると、ガラス製造窯周囲の金属部品を腐食させる虞がある。よって、Ｃｌの含有量は、好ましくは３％以下、１％以下、０．５％以下、特に０．１％以下である。
【００４７】
Ｐ２Ｏ５は、失透結晶の析出を抑制し得る成分である。但し、Ｐ２Ｏ５を多量に導入すると、ガラスが分相し易くなる。よって、Ｐ２Ｏ５の含有量は、好ましくは０〜２．５％、０〜１．５％、０〜０．５％、特に０〜０．３％である。
【００４８】
ＴｉＯ２は、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であると共に、ソラリゼーションを抑制する成分である。しかし、ＴｉＯ２を多量に導入すると、ガラスが着色して、透過率が低下し易くなる。よって、ＴｉＯ２の含有量は、好ましくは０〜５％、０〜３％、０〜１％、特に０〜０．０２％である。
【００４９】
ＺｒＯ２は、耐薬品性やヤング率を改善する成分である。しかし、ＺｒＯ２を多量に導入すると、ガラスが失透し易くなり、また導入原料が難熔解性であるため、未熔解の結晶性異物が製品基板に混入する虞がある。よって、ＺｒＯ２の含有量は、好ましくは０〜１０％、０〜７％、０〜５％、０．００１〜３％、０．０１〜１％、特に０．１〜０．５％である。
【００５０】
Ｙ２Ｏ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｌａ２Ｏ３には、歪点、ヤング率等を高める働きがある。しかし、これらの成分の含有量が各々５％、特に１％より多いと、原料コスト、製品コストが高騰する虞がある。
【００５１】
本発明の支持ガラス基板は、以下の特性を有することが好ましい。
【００５２】
クラック抵抗は５００ｇｆ以上であり、好ましくは６００ｇｆ以上、７００ｇｆ以上、８００ｇｆ以上、９００ｇｆ以上、特に１０００ｇｆ以上である。クラック抵抗が低いと、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程において、搬送コンベアやロボットアームからの機械的衝撃により、支持ガラス基板にクラックが生じ、そのクラックを起点にして、支持ガラス基板が破損し易くなる。
【００５３】
２０〜２２０℃の温度範囲における平均熱膨張係数は、好ましくは４０×１０−７／℃以上、且つ１２０×１０−７／℃以下、より好ましくは５０×１０−７／℃超、且つ１１０×１０−７／℃以下、更に好ましくは６０×１０−７／℃以上、且つ１００×１０−７／℃以下、特に好ましくは７０×１０−７／℃以上、且つ９５×１０−７／℃以下である。２０〜２２０℃の温度範囲における平均熱膨張係数が上記範囲外になると、加工基板と支持ガラス基板の熱膨張係数が整合し難くなる。そして、両者の熱膨張係数が不整合になると、加工処理時に加工基板の寸法変化（特に反り変形）が生じ易くなる。
【００５４】
２０〜２６０℃の温度範囲における平均熱膨張係数は、好ましくは４０×１０−７／℃以上、且つ１２０×１０−７／℃以下、より好ましくは５０×１０−７／℃超、且つ１１０×１０−７／℃以下、更に好ましくは６０×１０−７／℃以上、且つ１００×１０−７／℃以下、特に好ましくは７０×１０−７／℃以上、且つ９５×１０−７／℃以下である。２０〜２６０℃の温度範囲における平均熱膨張係数が上記範囲外になると、加工基板と支持ガラス基板の熱膨張係数が整合し難くなる。そして、両者の熱膨張係数が不整合になると、加工処理時に加工基板の寸法変化（特に反り変形）が生じ易くなる。
【００５５】
３０〜３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数は、好ましくは４２×１０−７／℃以上、且つ１２５×１０−７／℃以下、より好ましくは５０×１０−７／℃超、且つ１１０×１０−７／℃以下、更に好ましくは６０×１０−７／℃以上、且つ１００×１０−７／℃以下、特に好ましくは７０×１０−７／℃以上、且つ９５×１０−７／℃以下である。３０〜３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数が上記範囲外になると、加工基板と支持ガラス基板の熱膨張係数が整合し難くなる。そして、両者の熱膨張係数が不整合になると、加工処理時に加工基板の寸法変化（特に反り変形）が生じ易くなる。
【００５６】
１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度は、好ましくは１６８０℃以下、１６２０℃以下、１５８０℃以下、１５５０℃以下、１５２０℃以下、特に１５００℃以下である。１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度が高くなると、溶融性が低下して、ガラス基板の製造コストが高騰する。ここで、「１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度」は、白金球引き上げ法で測定可能である。なお、１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度は、溶融温度に相当し、この温度が低い程、溶融性が向上する。
【００５７】
液相温度は、好ましくは１２００℃未満、１１５０℃以下、１１００℃以下、１０５０℃以下、１０００℃以下、９５０℃以下、９３０℃以下、特に９００℃以下である。液相温度における粘度は、好ましくは１００００ｄＰａ・ｓ以上、３００００ｄＰａ・ｓ以上、６００００ｄＰａ・ｓ以上、１０００００ｄＰａ・ｓ以上、２０００００ｄＰａ・ｓ以上、３０００００ｄＰａ・ｓ以上、５０００００ｄＰａ・ｓ以上、８０００００ｄＰａ・ｓ以上、特に１００００００ｄＰａ・ｓ以上である。このようにすれば、成形時に失透結晶が析出し難くなるため、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法でガラス基板を成形し易くなる。ここで、「液相温度」は、標準篩３０メッシュ（５００μｍ）を通過し、５０メッシュ（３００μｍ）に残るガラス粉末を白金ボートに入れた後、温度勾配炉中に２４時間保持して、結晶が析出する温度を測定することにより算出可能である。「液相温度における粘度」は、白金球引き上げ法で測定可能である。なお、液相温度における粘度は、成形性の指標であり、液相温度における粘度が高い程、成形性が向上する。
【００５８】
本発明の支持ガラス基板において、ヤング率は、好ましくは６５ＧＰａ以上、６８ＧＰａ以上、７０ＧＰａ以上、７２ＧＰａ以上、７３ＧＰａ以上、特に７４ＧＰａ以上である。ヤング率が低過ぎると、積層体の剛性を維持し難くなり、加工基板の変形、反り、破損等が発生し易くなる。ここで、「ヤング率」は、曲げ共振法により測定した値を指す。
【００５９】
本発明の支持ガラス基板は、以下の形状を有することが好ましい。
【００６０】
本発明の支持ガラス基板は、略円板状又はウエハ状が好ましく、その直径は１００ｍｍ以上５００ｍｍ以下、特に１５０ｍｍ以上４５０ｍｍ以下が好ましい。このようにすれば、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程に適用し易くなる。必要に応じて、それ以外の形状、例えば矩形等の形状に加工してもよい。
【００６１】
本発明の支持ガラス基板において、真円度は、１ｍｍ以下、０．１ｍｍ以下、０．０５ｍｍ以下、特に０．０３ｍｍ以下が好ましい。真円度が小さい程、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程に適用し易くなる。なお、「真円度」は、ノッチ部を除き、ウエハの外形の最大値から最小値を減じた値である。
【００６２】
本発明の支持ガラス基板において、板厚は、好ましくは２．０ｍｍ未満、１．５ｍｍ以下、１．２ｍｍ以下、１．１ｍｍ以下、１．０ｍｍ以下、特に０．９ｍｍ以下である。板厚が薄くなる程、積層体の質量が軽くなるため、ハンドリング性が向上する。一方、板厚が薄過ぎると、支持ガラス基板自体の強度が低下して、支持基板としての機能を果たし難くなる。よって、板厚は、好ましくは０．１ｍｍ以上、０．２ｍｍ以上、０．３ｍｍ以上、０．４ｍｍ以上、０．５ｍｍ以上、０．６ｍｍ以上、特に０．７ｍｍ超である。
【００６３】
本発明の支持ガラス基板において、全体板厚偏差（ＴＴＶ）は、好ましくは５μｍ以下、４μｍ以下、３μｍ以下、２μｍ以下、１μｍ以下、特に０．１〜１μｍ未満である。また算術平均粗さＲａは、好ましくは２０ｎｍ以下、１０ｎｍ以下、５ｎｍ以下、２ｎｍ以下、１ｎｍ以下、特に０．５ｎｍ以下である。表面精度が高い程、加工処理の精度を高め易くなる。特に配線精度を高めることができるため、高密度の配線が可能になる。また支持ガラス基板の強度が向上して、支持ガラス基板及び積層体が破損し難くなる。更に支持ガラス基板の再利用回数を増やすことができる。なお、「算術平均粗さＲａ」は、触針式表面粗さ計又は原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）により測定可能である。
【００６４】
本発明の支持ガラス基板は、オーバーフローダウンドロー法で成形した後に、表面を研磨されてなることが好ましい。このようにすれば、全体板厚偏差（ＴＴＶ）を２．０μｍ未満、１．５μｍ以下、１．０μｍ以下、特に０．１〜１．０μｍ未満に規制し易くなる。
【００６５】
本発明の支持ガラス基板において、反り量は、好ましくは６０μｍ以下、５５μｍ以下、５０μｍ以下、１〜４５μｍ、特に５〜４０μｍである。反り量が小さい程、加工処理の精度を高め易くなる。特に配線精度を高めることができるため、高密度の配線が可能になる。
【００６６】
本発明の支持ガラス基板は、ノッチ部（ノッチ形状の位置合わせ部）を有することが好ましく、ノッチ部の深部は平面視で略円形状又は略Ｖ溝形状であることがより好ましい。これにより、支持ガラス基板のノッチ部に位置決めピン等の位置決め部材を当接させて、支持ガラス基板を位置固定し易くなる。結果として、支持ガラス基板と加工基板の位置合わせが容易になる。特に、加工基板にもノッチ部を形成して、位置決め部材を当接させると、積層体全体の位置合わせが容易になる。なお、ノッチ部は、位置決め部材が当接されるため、クラックが発生し易いが、本発明の支持ガラス基板は、クラック抵抗が高いため、ノッチ部を有する場合に特に有効である。
【００６７】
支持ガラス基板のノッチ部に位置決め部材を当接すると、ノッチ部に応力が集中し易くなり、ノッチ部を起点にして、支持ガラス基板が破損し易くなる。特に、支持ガラス基板が外力により湾曲した時に、その傾向が顕著になる。よって、本発明の支持ガラス基板は、ノッチ部の表面と端面とが交差する端縁領域の全部又は一部が面取りされていることが好ましい。これにより、ノッチ部を起点にした破損を有効に回避することができる。
【００６８】
本発明の支持ガラス基板は、ノッチ部の表面と端面とが交差する端縁領域の全部又は一部が面取りされており、ノッチ部の表面と端面とが交差する端縁領域の５０％以上が面取りされていることが好ましく、ノッチ部の表面と端面とが交差する端縁領域の９０％以上が面取りされていることがより好ましく、ノッチ部の表面と端面とが交差する端縁領域の全部が面取りされていることが更に好ましい。ノッチ部において面取りされている領域が大きい程、ノッチ部を起点にした破損の確率を低減することができる。
【００６９】
ノッチ部の表面方向の面取り幅は、好ましくは５０〜９００μｍ、２００〜８００μｍ、３００〜７００μｍ、４００〜６５０μｍ、特に５００〜６００μｍである。ノッチ部の表面方向の面取り幅が小さ過ぎると、ノッチ部を起点にして、支持ガラス基板が破損し易くなる。一方、ノッチ部の表面方向の面取り幅が大き過ぎると、面取り効率が低下して、支持ガラス基板の製造コストが高騰し易くなる。
【００７０】
ノッチ部の板厚方向の面取り幅は、好ましくは板厚の５〜８０％、２０〜７５％、３０〜７０％、３５〜６５％、特に４０〜６０％である。ノッチ部の板厚方向の面取り幅が小さ過ぎると、ノッチ部を起点にして、支持ガラス基板が破損し易くなる。一方、ノッチ部の板厚方向の面取り幅が大き過ぎると、外力がノッチ部の端面に集中し易くなり、ノッチ部の端面を起点にして、支持ガラス基板が破損し易くなる。
【００７１】
本発明の支持ガラス基板は、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。オーバーフローダウンドロー法は、耐熱性の樋状構造物の両側から溶融ガラスを溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下頂端で合流させながら、下方に延伸成形してガラス基板を製造する方法である。オーバーフローダウンドロー法では、ガラス基板の表面となるべき面は樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形される。このため、少量の研磨によって、全体板厚偏差（ＴＴＶ）を２．０μｍ未満、特に１．０μｍ未満まで低減することができる。結果として、ガラス基板の製造コストを低廉化することができる。
【００７２】
本発明の支持ガラス基板は、イオン交換処理が行われていないことが好ましく、表面に圧縮応力層を有しないことが好ましい。イオン交換処理を行うと、支持ガラス基板の製造コストが高騰するが、イオン交換処理を行わなければ、支持ガラス基板の製造コストを低下させることが可能になる。更にイオン交換処理を行うと、支持ガラス基板の全体板厚偏差（ＴＴＶ）を低減し難くなるが、イオン交換処理を行わなければ、そのような不具合を解消し易くなる。なお、本発明の支持ガラス基板は、イオン交換処理を行い、表面に圧縮応力層を形成する態様を排除するものではない。機械的強度を高める観点だけに着目すると、イオン交換処理を行い、表面に圧縮応力層を形成することが好ましい。
【００７３】
本発明の積層体は、少なくとも加工基板と加工基板を支持するための支持ガラス基板とを備える積層体であって、支持ガラス基板が上記の支持ガラス基板であることを特徴とする。本発明の積層体は、加工基板と支持ガラス基板の間に、接着層を有することが好ましい。接着層は、樹脂であることが好ましく、例えば、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂（特に紫外線硬化樹脂）等が好ましい。またｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程における熱処理に耐える耐熱性を有するものが好ましい。これにより、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程で接着層が融解し難くなり、加工処理の精度を高めることができる。なお、加工基板と支持ガラス基板を容易に固定するため、紫外線硬化型テープを接着層として使用することもできる。
【００７４】
本発明の積層体は、更に加工基板と支持ガラス基板の間に、より具体的には加工基板と接着層の間に、剥離層を有すること、或いは支持ガラス基板と接着層の間に、剥離層を有することが好ましい。このようにすれば、加工基板に対して、所定の加工処理を行った後に、加工基板を支持ガラス基板から剥離し易くなる。加工基板の剥離は、生産性の観点から、レーザー光等の照射光により行うことが好ましい。レーザー光源として、ＹＡＧレーザー（波長１０６４ｎｍ）、半導体レーザー（波長７８０〜１３００ｎｍ）等の赤外光レーザー光源を用いることができる。また、剥離層には赤外線レーザーを照射することで分解する樹脂を使用することができる。また、赤外線を効率良く吸収し、熱に変換する物質を樹脂に添加することもできる。例えば、カーボンブラック、グラファイト粉、微粒子金属粉末、染料、顔料等を樹脂に添加することもできる。
【００７５】
剥離層は、レーザー光等の照射光により「層内剥離」又は「界面剥離」が生じる材料で構成される。つまり一定の強度の光を照射すると、原子又は分子における原子間又は分子間の結合力が消失又は減少して、アブレーション（ａｂｌａｔｉｏｎ）等を生じ、剥離を生じさせる材料で構成される。なお、照射光の照射により、剥離層に含まれる成分が気体となって放出されて分離に至る場合と、剥離層が光を吸収して気体になり、その蒸気が放出されて分離に至る場合とがある。
【００７６】
本発明の積層体において、支持ガラス基板は、加工基板よりも大きいことが好ましい。これにより、加工基板と支持ガラス基板を支持する際に、両者の中心位置が僅かに離間した場合でも、支持ガラス基板から加工基板の縁部が食み出し難くなる。
【００７７】
本発明の半導体パッケージの製造方法は、少なくとも加工基板と加工基板を支持するための支持ガラス基板とを備える積層体を用意する工程と、加工基板に対して、加工処理を行う工程と、を有すると共に、支持ガラス基板が上記の支持ガラス基板であることを特徴とする。
【００７８】
本発明の半導体パッケージの製造方法は、更に積層体を搬送する工程を有することが好ましい。これにより、加工処理の処理効率を高めることができる。なお、「積層体を搬送する工程」と「加工基板に対して、加工処理を行う工程」とは、別途に行う必要はなく、同時であってもよい。
【００７９】
本発明の半導体パッケージの製造方法において、加工処理は、加工基板の一方の表面に配線する処理、或いは加工基板の一方の表面に半田バンプを形成する処理が好ましい。本発明の半導体パッケージの製造方法では、これらの処理時に加工基板が寸法変化し難いため、これらの工程を適正に行うことができる。
【００８０】
加工処理として、上記以外にも、加工基板の一方の表面（通常、支持ガラス基板とは反対側の表面）を機械的に研磨する処理、加工基板の一方の表面（通常、支持ガラス基板とは反対側の表面）をドライエッチングする処理、加工基板の一方の表面（通常、支持ガラス基板とは反対側の表面）をウェットエッチングする処理の何れかであってもよい。なお、本発明の半導体パッケージの製造方法では、加工基板に反りが発生し難いと共に、積層体の剛性を維持することができる。結果として、上記加工処理を適正に行うことができる。
【００８１】
図面を参酌しながら、本発明を更に説明する。
【００８２】
図１は、本発明の積層体１の一例を示す概念斜視図である。図１では、積層体１は、支持ガラス基板１０と加工基板１１とを備えている。支持ガラス基板１０は、加工基板１１の寸法変化を防止するために、加工基板１１に貼着されている。支持ガラス基板１０と加工基板１１との間には、剥離層１２と接着層１３が配置されている。剥離層１２は、支持ガラス基板１０と接触しており、接着層１３は、加工基板１１と接触している。
【００８３】
つまり、積層体１は、支持ガラス基板１０、剥離層１２、接着層１３、加工基板１１の順に積層配置されている。支持ガラス基板１０の形状は、加工基板１１に応じて決定されるが、図１では、支持ガラス基板１０及び加工基板１１の形状は、何れも略円板形状である。剥離層１２は、例えばレーザーを照射することで分解する樹脂を使用することができる。また、レーザー光を効率よく吸収し、熱に変換する物質を樹脂に添加することもできる。例えば、カーボンブラック、グラファイト粉、微粒子金属粉末、染料、顔料等である。剥離層１２は、プラズマＣＶＤや、ゾル−ゲル法によるスピンコート等により形成される。接着層１３は、樹脂で構成されており、例えば、各種印刷法、インクジェット法、スピンコート法、ロールコート法等により塗布形成される。また、紫外線硬化型テープも使用可能である。接着層１３は、剥離層１２により加工基板１１から支持ガラス基板１０が剥離された後、溶剤等により溶解除去される。紫外線硬化型テープは、紫外線を照射した後、剥離用テープにより除去可能である。
【００８４】
図２は、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程を示す概念断面図である。図２（ａ）は、支持部材２０の一方の表面上に接着層２１を形成した状態を示している。必要に応じて、支持部材２０と接着層２１の間に剥離層を形成してもよい。次に、図２（ｂ）に示すように、接着層２１の上に複数の半導体チップ２２を貼付する。その際、半導体チップ２２のアクティブ側の面を接着層２１に接触させる。次に、図２（ｃ）に示すように、半導体チップ２２を樹脂の封止材２３でモールドする。封止材２３は、圧縮成形後の寸法変化、配線を成形する際の寸法変化が少ない材料が使用される。続いて、図２（ｄ）、（ｅ）に示すように、支持部材２０から半導体チップ２２がモールドされた加工基板２４を分離した後、接着層２５を介して、支持ガラス基板２６と接着固定させる。その際、加工基板２４の表面の内、半導体チップ２２が埋め込まれた側の表面とは反対側の表面が支持ガラス基板２６側に配置される。このようにして、積層体２７を得ることができる。なお、必要に応じて、接着層２５と支持ガラス基板２６の間に剥離層を形成してもよい。更に、得られた積層体２７を搬送した後に、図２（ｆ）に示すように、加工基板２４の半導体チップ２２が埋め込まれた側の表面に配線２８を形成した後、複数の半田バンプ２９を形成する。最後に、支持ガラス基板２６から加工基板２４を分離した後に、加工基板２４を半導体チップ２２毎に切断し、後のパッケージング工程に供される（図２（ｇ））。
【００８５】
図３は、本発明の支持ガラス基板の一例を示す上方概念図である。図３（ａ）に示すように、支持ガラス基板３１の外形は、略真円のウエハ状である。また、支持ガラス基板３１の外形は、ノッチ部３２とノッチ部３２以外の外形領域を占める外形部３３とで構成されている。ノッチ部３２は、ノッチ形状、つまり窪みを有する形状を有している。ノッチ形状の深部３４は、平面視で丸みを帯びた略円形状になっており、ノッチ部３２と外形部３３の境界も丸みを帯びた略円形状になっている。図３（ｂ）に示すように、支持ガラス基板３５の外形は、略真円のウエハ状である。また、支持ガラス基板３５の外形は、ノッチ部３６とノッチ部３６以外の外形領域を占める外形部３７とで構成されている。支持ガラス基板３５のノッチ部３６は、ノッチ形状を有しており、ノッチ形状の深部３８は略Ｖ溝形状になっている。
【００８６】
図４は、図３（ａ）のＡ−Ａ’方向の断面概念図である。図４に示すように、支持ガラス基板３１の表面３９、４０と端面４１が交差する端縁領域に面取り面４２、４３を有している。支持ガラス基板３１の表面３９、４０方向の面取り幅Ｘは例えば５０〜９００μｍになっており、支持ガラス基板３１の板厚方向の面取り幅Ｙ＋Ｙ’は例えば板厚ｔの２０〜８０％になっている。そして、端面４１と面取り面４１、４２は、それぞれ連続的に丸みを帯びた状態で連結しており、表面３９、４０と面取り面４２、４３は、それぞれ連続的に丸みを帯びた状態で連結している。
【００８７】
本発明のガラス基板は、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２  ５０〜７５％、Ａｌ２Ｏ３  １〜１０．５％未満、Ｂ２Ｏ３  １〜１５％、Ｎａ２Ｏ  ５〜２５％、Ｋ２Ｏ  ０〜１０％、ＭｇＯ  １〜１０％、ＺｎＯ  ０〜６％を含有し、且つクラック抵抗が５００ｇｆ以上であることを特徴とする。本発明のガラス基板は、本発明の支持ガラス基板と同様の技術的特徴（好適なガラス組成、ガラス特性及び形状）を有するため、本明細書では、その詳細な説明を省略する。
【００８８】
本発明のガラス基板は、クラック抵抗が高いため、加工基板を支持するための支持ガラス基板以外の用途にも好適であり、クラックの発生が許容されない用途に特に好適である。例えば、レーザーダイオードを収容する半導体パッケージのカバーガラス、固体撮像素子を収容する半導体パッケージのカバーガラス、太陽電池のカバーガラス、厚み２００μｍ未満のガラスフィルムを載置して搬送させるためのキャリアガラスに好適である。
【実施例１】
【００８９】
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。なお、以下の実施例は、単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。
【００９０】
表１は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．１〜２２）を示している。また表２は、本発明の比較例（試料Ｎｏ．２３〜３７）を示している。
【００９１】
【表１】
2018095514.tif 000003
【００９２】
【表２】
2018095514.tif 000004
【００９３】
まず表中のガラス組成になるように、ガラス原料を調合したガラスバッチを白金坩堝に入れ、１４００℃で４時間溶融した。ガラスバッチの溶解に際しては、白金スターラーを用いて攪拌し、均質化を行った。次いで、溶融ガラスをカーボン板上に流し出し、板状に成形した後、徐冷点より２０℃程度高い温度から、３℃／分で常温まで徐冷した。得られた各試料について、クラック抵抗、２０〜２００℃の温度範囲における平均熱膨張係数α２０〜２００、２０〜２２０℃の温度範囲における平均熱膨張係数α２０〜２２０、２０〜２６０℃の温度範囲における平均熱膨張係数α２０〜２６０、３０〜３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数α３０〜３８０、密度、歪点Ｐｓ、徐冷点Ｔａ、軟化点Ｔｓ、高温粘度１０４．０ｄＰａ・ｓにおける温度、高温粘度１０３．０ｄＰａ・ｓにおける温度、高温粘度１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度、液相温度ＴＬ、液相温度ＴＬにおける粘度η、ヤング率、剛性率及びポアソン比を評価した。
【００９４】
クラック抵抗は、クラック発生率が５０％となる荷重のことを指し、クラック発生率は、次のようにして測定した。まず湿度３０％、温度２５℃に保持された恒温恒湿槽内において、所定荷重に設定したビッカース圧子をガラス表面（光学研磨面）に１５秒間打ち込み、その１５秒後に圧痕の４隅から発生するクラックの数をカウント（１つの圧痕につき最大４とする）する。このようにして圧子を２０回打ち込み、総クラック発生数を求めた後、（総クラック発生数／８０）×１００の式により求めた。
【００９５】
上記温度範囲における平均熱膨張係数は、ディラトメーターで測定した値である。
【００９６】
密度は、周知のアルキメデス法によって測定した値である。
【００９７】
歪点Ｐｓ、徐冷点Ｔａ、軟化点Ｔｓは、ＡＳＴＭ  Ｃ３３６の方法に基づいて測定した値である。
【００９８】
高温粘度１０４．０ｄＰａ・ｓ、１０３．０ｄＰａ・ｓ及び１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。
【００９９】
液相温度ＴＬは、標準篩３０メッシュ（５００μｍ）を通過し、５０メッシュ（３００μｍ）に残るガラス粉末を白金ボートに入れて、温度勾配炉中に２４時間保持した後、結晶が析出する温度を顕微鏡観察にて測定した値である。液相温度ＴＬにおける粘度ηは、液相温度ＴＬにおけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値である。
【０１００】
ヤング率、剛性率、ポアソン比は、共振法により測定した値を指す。
【０１０１】
表１から明らかなように、試料Ｎｏ．１〜２２は、クラック抵抗が９００〜１７０４ｇｆであるため、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程において、積層体の搬送時にクラックが生じ難いものと考えられる。一方、試料Ｎｏ．２３〜３７は、クラック抵抗が４９４ｇｆ以下であるため、ｆａｎ  ｏｕｔ型のＷＬＰの製造工程において、積層体の搬送時にクラックが生じ易いものと考えられる。
【実施例２】
【０１０２】
まず、表１に記載の試料Ｎｏ．１〜２２に記載のガラス組成になるように、ガラス原料を調合した後、ガラス溶融炉に供給して１４００〜１５００℃で溶融し、次いで溶融ガラスをオーバーフローダウンドロー成形装置に供給し、板厚が０．８ｍｍになるようにそれぞれ成形した。得られたガラス基板について、両表面を機械研磨して、全体板厚偏差（ＴＴＶ）を１μｍ未満に低減した。得られたガラス基板をφ３００ｍｍ×０．８ｍｍ厚に加工した後、その両表面を研磨装置により研磨処理した。具体的には、ガラス基板の両表面を外径が相違する一対の研磨パットで挟み込み、ガラス基板と一対の研磨パッドを共に回転させながらガラス基板の両表面を研磨処理した。研磨処理の際、時折、ガラス基板の一部が研磨パッドから食み出すように制御した。なお、研磨パッドはウレタン製、研磨処理の際に使用した研磨スラリーの平均粒径は２．５μｍ、研磨速度は１５ｍ／分であった。得られた各研磨処理済みガラス基板について、コベルコ科研社製のＢｏｗ／Ｗａｒｐ測定装置ＳＢＷ−３３１ＭＬ／ｄにより全体板厚偏差（ＴＴＶ）と反り量を測定した。その結果、全体板厚偏差（ＴＴＶ）がそれぞれ０．８５μｍ以下であり、反り量がそれぞれ３５μｍ以下であった。
【符号の説明】
【０１０３】
１、２７  積層体
１０、２６、３１、３５  支持ガラス基板
１１、２４  加工基板
１２  剥離層
１３、２１、２５  接着層
２０  支持部材
２２  半導体チップ
２３  封止材
２８  配線
２９  半田バンプ
３２、３６  ノッチ部
３３、３７  外形部
３４、３８  ノッチ部の深部
３９、４０  支持ガラス基板の表面
４１  支持ガラス基板の端面
４２、４３  支持ガラス基板の面取り面
【図１】
2018095514.tif 000005
【図２】
2018095514.tif 000006
【図３】
2018095514.tif 000007
【図４】
2018095514.tif 000008