(57)【要約】【解決手段】レーザ加工装置は、パルス幅が０．１〜１００ｐｓのレーザ光を出力する超短パルスレーザと、レーザ光のエネルギーを調整するアッテネータとを備えている。加工エネルギーが３００ｍＪ／ｃｍ2以上の超短パルスレーザ光を用いて、金属からなるノズルプレートに微細なノズルを形成する。
2005526623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
超短パルスレーザ光を用いて金属からなる被加工物を加工するレーザ加工方法であって、
前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが３００ｍＪ／ｃｍ2以上であるレーザ加工方法。
【請求項２】
前記被加工物は、インクジェットヘッドのノズルプレートである請求項１記載のレーザ加工方法。
【請求項３】
超短パルスレーザ光のパルス幅が０．１ｐｓ〜１００ｐｓである請求項１記載のレーザ加工方法。
【請求項４】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが４００ｍＪ／ｃｍ2以上である請求項１記載のレーザ加工方法。
【請求項５】
加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付ける請求項１記載のレーザ加工方法。
【請求項６】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下である請求項１記載のレーザ加工方法。
【請求項７】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが４００ｍＪ／ｃｍ2以上であり、
加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付ける請求項１記載のレーザ加工方法。
【請求項８】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが３００ｍＪ／ｃｍ2以上であり、
前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下である請求項１記載のレーザ加工方法。
【請求項９】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であり、
加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付ける請求項１記載のレーザ加工方法。
【請求項１０】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが３００ｍＪ／ｃｍ2以上であり、
前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であり、
加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付ける請求項１記載のレーザ加工方法。
【請求項１１】
超短パルスレーザ光を用いて被加工物を加工するレーザ加工方法であって、
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが４００ｍＪ／ｃｍ2以上であるレーザ加工方法。
【請求項１２】
前記被加工物は、インクジェットヘッドのノズルプレートである請求項１１記載のレーザ加工方法。
【請求項１３】
超短パルスレーザ光のパルス幅が０．１ｐｓ〜１００ｐｓである請求項１１記載のレーザ加工方法。
【請求項１４】
加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付ける請求項１１記載のレーザ加工方法。
【請求項１５】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下である請求項１１記載のレーザ加工方法。
【請求項１６】
前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であり、
加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付ける請求項１１記載のレーザ加工方法。
【請求項１７】
超短パルスレーザ光を用いて金属からなる被加工物を加工するレーザ加工方法であって、
加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付けるレーザ加工方法。
【請求項１８】
前記被加工物は、インクジェットヘッドのノズルプレートである請求項１７記載のレーザ加工方法。
【請求項１９】
超短パルスレーザ光のパルス幅が０．１ｐｓ〜１００ｐｓである請求項１７記載のレーザ加工方法。
【請求項２０】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下である請求項１７記載のレーザ加工方法。
【請求項２１】
超短パルスレーザ光を用いて被加工物を加工するレーザ加工方法であって、
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、
前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であるレーザ加工方法。
【請求項２２】
前記被加工物は、インクジェットヘッドのノズルプレートである請求項２１記載のレーザ加工方法。
【請求項２３】
超短パルスレーザ光のパルス幅が０．１ｐｓ〜１００ｐｓである請求項２１記載のレーザ加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超短パルスレーザ光を用いたレーザ加工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、レーザ業界では、微細かつ高精度な加工の可能なレーザ加工技術が求められており、中でも短パルスレーザ光の微細加工特性に注目が集まっている。
【０００３】
また、このような微細加工が必要とされる用途も益々増加してきており、そのような用途の一つとして、例えばインクジェットヘッドのノズルプレートが挙げられる。近年のインクジェット式プリンタの高速化や高画質化の進展に伴い、ノズルプレートのノズルの微細化が進んでおり、このような微細なノズルを高精度に加工する技術として、高性能なレーザ加工技術が求められている。
【０００４】
ところで、微細加工においては、加工精度のわずかな低下が歩留まりの悪化を招くことから、加工精度の向上が特に切望されている。しかし、いわゆる熱加工である従来のレーザ加工では、加工時に被加工物の加工部分が溶融するために、所望の精度や形状が得られにくいといった問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで本発明者らは、パルス幅が非常に短くかつ強度の大きなレーザパルスを、比較的低い周波数で作用させることを検討した。そして、高精度のレーザ加工技術として、発振パルス幅が０．１ｐｓ〜１００ｐｓ程度の超短パルスレーザ光を用いる加工技術に思い至った。この超短パルスレーザ光による加工は冷間加工であり、上述の熱加工の問題を克服できるからである。
【０００６】
しかし、実際に超短パルスレーザ光による加工を試みたところ、単に発振パルス幅を短くしただけでは、被加工物であるワークの表面に、荒れや数ミクロンレベルのこぶのような凹凸が発生することが分かった。ところが、このような凹凸や荒れは被加工物の品質を低下させる要因となるため、好ましくない。
【０００７】
特に、インクジェットヘッドのノズルプレートのノズルに上記凹凸又は荒れが生じると、ノズル出口に向かうインクの流れが阻害される。そのため、インクの流れに不要な乱れが発生して、インクの吐出方向が偏ったり、インクの吐出速度が設計値からずれる場合があった。その結果、ノズルから吐出されるインク滴の着弾位置にずれが生じ、インクジェットヘッドの印字位置等のずれが起こって印字不良等を招くおそれがあった。このように、単に超短パルスレーザ光を利用しただけでは、印字品質の低下等を招くおそれがあった。
【０００８】
本発明は、超短パルスレーザ光によるレーザ加工において、被加工物の凹凸や荒れの発生を抑制し、高品位の加工を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るレーザ加工方法は、超短パルスレーザ光を用いて金属からなる被加工物を加工するレーザ加工方法であって、前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが３００ｍＪ／ｃｍ2以上であるものである。
【００１０】
このことにより、加工部分の溶融が極めて少なく、加工部分は瞬時に蒸発することから、被加工物の加工面における荒れや凹凸の発生が抑制される。
【００１１】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが４００ｍＪ／ｃｍ2以上であることが好ましい。
【００１２】
加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付けることが好ましい。
【００１３】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であることが好ましい。
【００１４】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが４００ｍＪ／ｃｍ2以上であり、加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付けることが好ましい。
【００１５】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが３００ｍＪ／ｃｍ2以上であり、前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であることが好ましい。
【００１６】
前記被加工物は、Ａ１酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であり、加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付けることが好ましい。
【００１７】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが３００ｍＪ／ｃｍ2以上であり、前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であり、加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付けることが好ましい。
【００１８】
本発明に係るレーザ加工方法は、超短パルスレーザ光を用いて被加工物を加工するレーザ加工方法であって、前記被加工物は、Ａ１酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の加工面に加えるエネルギーが４００ｍＪ／ｃｍ2以上であるものである。
【００１９】
このことにより、被加工物の加工面における荒れや凹凸の発生が抑制される。
【００２０】
加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付けることが好ましい。
【００２１】
前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であることが好ましい。
【００２２】
前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であり、加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付けることが好ましい。
【００２３】
本発明に係るレーザ加工方法は、超短パルスレーザ光を用いて金属からなる被加工物を加工するレーザ加工方法であって、加工時に前記被加工物に対してブロー圧力が１５ｐｓｉ以上の気体を吹き付けるものである。
【００２４】
このことにより、被加工物の加工面における荒れや凹凸の発生が抑制される。
【００２５】
前記被加工物は、Ａ１酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であることが好ましい。
【００２６】
本発明に係るレーザ加工方法は、超短パルスレーザ光を用いて被加工物を加工するレーザ加工方法であって、前記被加工物は、Ａｌ酸化物及びＭｇ酸化物のいずれか一方、又は両方を含んだ酸化物を含み、前記被加工物の任意断面１０００ｍｍ2当たりにおける前記酸化物の露出箇所が２０個以下であるものである。
【００２７】
このことにより、被加工物の加工面における荒れや凹凸の発生が抑制される。
【００２８】
前記被加工物は、インクジェットヘッドのノズルプレートであってもよい。
【００２９】
このことにより、ノズルプレートのノズル表面における荒れや凹凸の発生が抑制され、高品質のノズルプレートが得られる。
【００３０】
超短パルスレーザ光のパルス幅は、０．１ｐｓ〜１００ｐｓであることが好ましい。
【００３１】
このことにより、被加工物の加工部分の溶融が抑制され、効果的な冷間加工が行われる。
【００３２】
また、パルス幅が４ｐｓ以上であると、レーザ加工装置に用いられるホログラムの制約が少なくなる。そのため、超短パルスレーザ光のパルス幅は、４ｐｓ以上であることが更に好ましく、１０〜２０ｐｓがより一層好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３４】
本実施形態は、本発明に係るレーザ加工方法をインクジェットヘッドのノズルプレートにおけるノズルの加工に利用したものである。
【００３５】
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、ノズルプレート８と、複数のステンレスプレートを積層してなるヘッド本体部４と、感光性ガラスからなる圧力室形成プレート３と、圧電アクチュエータ２とが積層されて構成されている。ノズルプレート８には、ノズル９が設けられている。図示は省略するが、ノズルプレート８には、図１の紙面の表裏方向に複数のノズル９が配列されている。インクジェットヘッド１の内部には、インク流路７を通じてそれぞれ各ノズル９と連通する複数の圧力室６と、各圧力室６と連通する共通インク室５とが設けられている。
【００３６】
図２に示すように、ノズル９の上側部分は上向きに広がったテーパ状に形成され、下側部分は内径が一定の貫通穴となっている。ノズルプレート８及びノズル９の形状は特に限定されるものではないが、例えば、ノズルプレート８の厚みＬ１が５０μｍ、一定内径の貫通穴の長さＬ２が１０μｍ、貫通穴の内径ｄ１が２０μｍ、テーパ部の最大内径ｄ２が８５μｍ、テーパ角φが８０度のノズルプレート８及びノズル９を好適に用いることができる。
【００３７】
図３は、超短パルスレーザ光を用いるレーザ加工装置１０の構成を示している。レーザ加工装置１０は、少なくともパルス幅が０．１〜１００ｐｓ（pico-second）の超短パルスレーザ光を出力する超短パルスレーザ１１、シャッター１２、アッテネータ１３、第１ミラー１４、ビームエクスパンダ１５、ＰＺＴスキャンミラー１６、回折格子であるＤＯＥ１７、及びテレセントリックレンズ１８を順に備えている。アッテネータ１３は、位相板２１と偏光板２２とを備えており、超短パルスレーザ１１から出力されるレーザ光２０の強度を調整するために用いられる。このように、レーザ加工装置１０は、加工エネルギーの調整が自在に構成されている。
【００３８】
上記レーザ加工装置１０では、被加工物たるワークピース１９を以下のように加工する。すなわち、超短パルスレーザ１１から出力されたレーザ光２０は、シャッター１２を通った後に、アッテネータ１３を通過する。アッテネータ１３を通過したレーザ光２０は、第１ミラー１４により反射され、ビームエクスパンダ１５によって適当な倍率で拡大されて、コリメータ光となる。そして、コリメータ光となったレーザ光２０は、ＰＺＴスキャンミラー１６に反射され、ＤＯＥ１７を通過する。この際、レーザ光２０は、ＤＯＥ１７によって複数のビームに分散される。
【００３９】
分散した各ビームは、テレセントリックレンズ１８によって集光され、ワークピース１９の被加工面に対して垂直に到達する。そして、この各ビームによってワークピース１９の加工が行われる。ここで、スキャンミラー１６を動かしながら加工を行うと、ワークピース１９に対するビームの位置が変化する。そのため、スキャンミラー１６を適宜動かすことによって加工位置を調整することができ、ワークピース１９を任意の形状に加工することができる。
【００４０】
前述したように、本レーザ加工装置１０では、アッテネータ１３によってレーザ光２０の強度を調整することが可能である。本実施形態では、ワークピース１９の加工に先立って、ワークピース１９の代わりにパワーメータを設置し、このパワーメータによる測定結果に基づいてエネルギーレベルの調整を行うこととした。
【００４１】
次に、ワークピース１９として前述のノズルプレート８を用い、このノズルプレート８にノズル９を加工する方法について説明する。
【００４２】
本加工方法では、ノズルプレート８上でレーザ光２０を走査し、ノズルプレート８の一一部を上面側から剥ぎ取るようにしてミリング加工を行う。レーザ光２０の走査は、スキャンミラー１６を揺動させることによって行われる。
【００４３】
具体的には、図４に示すように、レーザ光２０の照射位置２３を、ノズル９の中心周りに周回させる。このとき、レーザ光２０の周回走査は、ノズル９の中心側から外側に向けて、又は外側から中心に向けて順次行っていく。また、加工が進んで穴の深さが深くなるにつれて、レーザ光２０の周回半径を短くしていく。これは、加工の初期にはスキャンミラー１６の揺動角を大きくとり、加工が進むにつれて揺動角を小さくしていくことによって行われる。このことにより、すり鉢状のテーパ部を有するノズル９が形成される。
【００４４】
ノズル９のテーパ部を形成した後は、ノズル９の中心部分を集中的にトリミングすることにより、一定内径の貫通穴を形成する。
【００４５】
以上のようにして、ノズルプレート８にノズル９が形成される。なお、ノズルプレート８には、ＤＯＥ１７によって分散された複数のレーザ光２０が照射されるので、一枚のノズルプレート８に対して複数のノズル９が同時に形成される。
【００４６】
次に、上記加工方法の種々の実施例について説明する。
【００４７】
＜実施例１＞
実施例１は、ステンレスやＮｉ等の金属からなるノズルプレートをワークピースとして、レーザ加工を行ったものである。加工エネルギーと加工面の表面粗さとの関係を調べるために、数段階の加工エネルギーで加工を行ってみた。図５に実施例１の試験結果を示す。
【００４８】
従来の加工方法では、加工エネルギーは８０ｍＪ／ｃｍ2程度であった。しかし、このような条件では、加工後の加工面の粗さが大きく、加工品質が低かった。そこで、本実施例では、加工エネルギーを従来よりも大きくした。その結果、加工エネルギーを従来の２倍以上にする等、加工エネルギーを大きくすることによって加工面の粗さを小さくできることが分かった。また、加工エネルギーを３００ｍＪ／ｃｍ2以上にすることにより、加工面の粗さの最大値が大幅に低下することが分かった。また、３００ｍＪ／ｃｍ2以上の加工エネルギーでは、加工面の表面粗さはほぼ一定となることが分かった。
【００４９】
したがって、金属製のノズルプレートにノズルを加工する際の加工エネルギーを３００ｍＪ／ｃｍ2以上にすることにより、表面粗さが抑制された高品位のノズルを得ることができる。このように表面粗さを抑制することにより、ノズル内におけるインクの流れが滑らかになり、インクに不要な乱れが発生しにくくなる。また、ノズル内の表面粗さに起因するインクの圧力損失も低下する。したがって、高性能のノズルを得ることができる。
【００５０】
ノズルプレートのノズルを高性能化することにより、インクの吐出方向や吐出速度は、設計値通りの安定した値となる。したがって、高性能なインクジェットヘッドを得ることができ、印字位置等の正確な高画質の印字を実現することができる。
【００５１】
＜実施例２＞
実施例２は、アルミ酸化物及びマグネシウム酸化物の一方、又は両方を含んだノズルプレートをワークピースとして、加工を行ったものである。加工エネルギーとこぶの発生頻度との関係を調べるために、数段階の加工エネルギーで加工を行ってみた。図６に、実施例２の試験結果を示す。
【００５２】
図６は、加工エネルギーと加工面１０μｍ2当たりにおけるこぶの発生個数との関係を示している。図６より、加工エネルギーを従来の８０ｍＪ／ｃｍ2程度よりも大きくすることにより、ノズルプレートの加工面におけるこぶの発生個数は大幅に減少することが分かった。また、加工エネルギーを４００ｍＪ／ｃｍ2以上にすることにより、こぶの発生個数は低いレベルで安定することが分かった。
【００５３】
したがって、アルミ酸化物及びマグネシウム酸化物の一方、又は両方を含んだノズルプレートにノズルを加工する際に、加工エネルギーを４００ｍＪ／ｃｍ2以上とすることにより、こぶや表面粗さの抑制された高品位のノズルを得ることができることが分かった。そのため、本実施例によれば、従来発生していたノズル表面の数ミクロンレベルのこぶのような凹凸を抑制することができる。したがって、ノズル内のインク流れの乱れを防止することができ、インクの流れを円滑化することができる。インクの吐出方向及び吐出速度が安定し、印字位置等の正確な高品質の印字を得ることが可能となる。
【００５４】
＜実施例３＞
実施例３は、図７に示すように、ワークピース１９にブロー用エアーを供給しながら加工を行ったものである。加工エネルギーは４００ｍＪ／ｃｍ2程度とした。ブローガス圧と加工面の表面粗さとの関係を調べるために、数段階のブローガス圧で加工を行ってみた。図８に実施例３の試験結果を示す。
【００５５】
図８は、ブローガス圧と加工面の表面粗さの最大値との関係を示している。図８より、ブローガス圧が１５ｐｓｉ以上のエアーを供給することにより、ノズルプレートの表面粗さの最大値が大幅に低減することが分かった。また、ブローガス圧が１５ｐｓｉ以上では、表面粗さの最大値はほぼ一定の値となることが分かった。その理由は、加工時に発生した排出物等がエアーによって強制排出されることから、その排出性が向上したためと考えられる。つまり、加工時に加工面に対して１５ｐｓｉ以上のエアーを供給することにより、加工面上のこぶの発生や表面粗さを低減できることが分かった。
【００５６】
したがって、本実施例においても実施例１及び２と同様に、高性能なインクジェットヘッドを得ることができ、高品質の印字を得ることが可能となる。
【００５７】
＜実施例４＞
実施例４は、ワークピースとしてのノズルプレートの材料特性に変更を加えたものである。実施例４では、ノズルプレートは、酸化物としてアルミ酸化物及びマグネシウム酸化物の一方、又は両方を含んでいる。そして、本実施例では、酸化物の混入割合を調整することとした。実施例４の試験では、酸化物の混入割合がこぶの発生個数に与える影響を調べた。ここでは、酸化物の混入割合を示すパラメータとして、図９に示すように、ノズルプレート８の任意断面１０００ｍｍ2当たりの酸化物２４の露出箇所の個数を用いることとした。なお、露出箇所の算出にあたっては、周知の画像処理技術を利用した。試験結果を図１０に示す。
【００５８】
図１０より、ノズルプレートの任意断面１０００ｍｍ2当たりの上記酸化物の露出箇所の個数が２０個以下となるように酸化物の混入割合を設定すれば、ノズル内のこぶの発生を大幅に低減できることが分かった。
【００５９】
したがって、ノズルプレートの任意断面１０００ｍｍ2当たりの上記酸化物の露出箇所の個数を２０個以下とすることにより、実施例１〜３と同様に、高性能なインクジェットヘッドを得ることができ、高品質の印字を得ることが可能となる。
【００６０】
本発明は、前記実施形態又は前記第１〜第４実施例に限定されず、その精神または主要な特徴から逸脱することなく他のいろいろな形で実施することができる。第１〜第４実施例のうちの２、３又は４つの実施例を互いに組み合わせてもよく、その場合には更に良好な加工性能を得ることができる。
【００６１】
このように、上述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。さらに、請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、すべて本発明の範囲内のものである。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】インクジェットヘッドの部分断面図である。
【図２】ノズルプレートの部分断面図である。
【図３】レーザ加工装置の構成図である。
【図４】ノズルプレートの加工部分の拡大斜視図である。
【図５】加工エネルギーと表面粗さの最大値との関係を示すグラフである。
【図６】加工エネルギーとこぶの発生個数との関係を示すグラフである。
【図７】ブローガスを供給しながらレーザ加工を行う場合の加工状態を示す模式図である。
【図８】ブローガス圧と表面粗さの最大値との関係を示すグラフである。
【図９】ノズルプレートにおける酸化物の露出状態を表す図である。
【図１０】酸化物の露出個数とこぶの発生個数との関係を示すグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2005526623.tif 000012
【国際調査報告】
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2005526623.tif 000014
2005526623.tif 000015
2005526623.tif 000016
2005526623.tif 000017