(57)【要約】【課題】信号検出器および／またはビーム放射源から反射された反射放射が、強度センサに達することを防ぐための手段を提供すること。【解決手段】光記録キャリア(20)を走査し、また、放射源(2)と、放射源ビーム(b1)の第1の部分b2を記録キャリアの方向に通し、第2の部分(b5)を強度センサ(10)の方向に通すように配置されたビームスプリッタ(8)と、記録キャリアによって反射されたビームの光路中の信号検出器(24)と、を有する光学的走査デバイスにおいて、信号検出器によって反射される迷放射(b6)が、信号検出器をチルトさせることによって、強度センサに達することを防止される。放射源によって反射される迷放射および信号検出器によって反射される迷放射が、強度センサに達することを防止するために、偏光フィルタ(40)が、強度センサの前に配置されてもよい。【選択図】図４
2005501362.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光記録キャリアを走査するための光学的走査デバイスであって、入射放射ビームを放出するための放射源と、前記放射源から当該光記録キャリアの位置までの前記入射放射ビームの光路中に位置するビームスプリッタであって、前記ビームスプリッタに入射する前記入射ビーム強度の第1の部分を前記光記録キャリアの方に通し、また、前記入射ビーム強度の第2の部分を前記入射ビームの放射を検知するための強度センサの方に通すビームスプリッタと、当該光記録キャリアから反射して前記ビームスプリッタを含む光路に沿って通る放射ビームを電気的な検出器信号に変換するための放射に感応する信号検出器と、を有するデバイスであり、かつ、前記放射源の放出窓から前記ビームスプリッタを介して前記記録キャリアの位置の方に延び、そして、前記記録キャリアから前記放射に感応する検出器の方に戻る光軸を有するデバイスにおいて、前記信号検出器および／または前記放射源から反射される反射放射が、前記光軸と前記強度センサ面との交点に達することを防ぐための手段を有することを特徴とする光学的走査デバイス。
【請求項２】
当該手段が、前記信号検出器を、その信号検出器の位置する領域の局所的な前記光軸に対してチルトさせるために備えられていることを特徴とする請求項1に記載の光学的走査デバイス。
【請求項３】
当該手段が、前記ビームスプリッタを通り、前記信号検出器に至る光路中に配置されたウェッジ形状要素を有することを特徴とする請求項1または2に記載の光学的走査デバイス。
【請求項４】
前記ビームスプリッタと前記信号検出器との間に配置されたフォーカスサーボレンズを有する請求項3に記載の光学的走査デバイスであって、前記ウェッジ形状要素と前記フォーカスサーボレンズとが、1つの要素に統合されていることを特徴とする光学的走査デバイス。
【請求項５】
前記ウェッジ形状要素が、前記ビームスプリッタに統合されていることを特徴とする請求項3に記載の光学的走査デバイス。
【請求項６】
当該手段が、前記ビームスプリッタと前記強度センサとの間に配置された偏光フィルタを有し、また、1/4波長板が、前記ビームスプリッタと前記光記録キャリアの位置との間に配置されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項７】
前記強度センサを、その強度センサの位置する領域の局所的な前記光軸に関してオフアクシスに配置する方策を付加することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項８】
前記ビームスプリッタが、偏光ビームスプリッタであることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項９】
前記ビームスプリッタが、前記ビームスプリッタに入射する、第1の偏光方向を持つ前記入射ビーム強度の第1の割合を前記光記録キャリアの方に通し、また、前記ビームスプリッタに入射する、前記第1の偏光方向と直交する第2の偏光方向を持つ前記反射ビーム強度の第2の割合を前記信号検出器の方に通すように配置された半偏光ビームスプリッタ(partially polarizing beam splitter)であり、当該強度の第1の割合が、割合として、当該強度の第2の割合よりも大きいことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項１０】
当該ビームスプリッタが、前記入射ビームを反射し、そして、前記反射ビームを透過するように配置され、前記入射ビームの前記偏光方向に対する前記ビームスプリッタの反射率が、前記反射ビームの前記偏光方向に対する前記ビームスプリッタの透過率より大きいことを特徴とする請求項9に記載の光学的走査デバイス。
【請求項１１】
当該ビームスプリッタが、前記入射ビームを透過し、そして、前記反射ビームを反射するように配置され、前記入射ビームの前記偏光方向に対する前記ビームスプリッタの透過率が、前記反射ビームの前記偏光方向に対する前記ビームスプリッタの反射率より大きいことを特徴とする請求項9に記載の光学的走査デバイス。
【請求項１２】
当該第1の割合が、75%よりも大きいことを特徴とする請求項9から11のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項１３】
当該第1の割合が、97%よりも小さいことを特徴とする請求項9から12のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項１４】
当該第1の割合が、85%と95%との間であることを特徴とする請求項12または13に記載の光学的走査デバイス。
【請求項１５】
当該第2の割合が、15%と75%との範囲内にあることを特徴とする請求項9から14のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項１６】
当該第2の割合が、25%と62%との範囲内にあることを特徴とする請求項9から15のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項１７】
あらかじめ定められた、前記放射ビームの波長と異なる波長を持つ第2の放射ビームを放出するための第2の放射源と、当該第2の放射ビームを前記光記録キャリアの方に反射または透過するための第2のビームスプリッタと、を有することを特徴とする請求項9から16のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項１８】
前記第1のビームスプリッタが、当該第2の波長の放射に対して実質的に無偏光効果を持つように配置されていることを特徴とする請求項17に記載の光学的走査デバイス。
【請求項１９】
当該第2のビームスプリッタが、当該第1の波長および／または当該第2の波長の放射に対して実質的に無偏光効果を持つように配置されていることを特徴とする請求項17または18に記載の光学的走査デバイス。
【請求項２０】
当該第2のビームスプリッタが、当該第2の波長の放射に対してほぼ50%の透過を示すように配置されていることを特徴とする請求項17から19のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項２１】
当該第2のビームスプリッタが、当該第1の波長の放射に対して実質的に100%の透過または反射を示すように配置されていることを特徴とする請求項17から20のいずれかに記載の光学的走査デバイス。
【請求項２２】
前記第1および第2の放射ビームのいずれもが、書き込み能力を持ち、そして、両ビームの強度が、1つの強度センサによって測定されることを特徴とする請求項17から21のいずれかに記載の光学的走査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録キャリアを走査するための光学的走査デバイスであって、入射放射ビームを放出するための放射源と、前記放射源から当該光記録キャリアの位置までの前記入射放射ビームの光路中に位置するビームスプリッタであって、前記ビームスプリッタに入射する前記入射ビーム強度の第1の部分を前記光記録キャリアの方に通し、また、前記入射ビーム強度の第2の部分を前記入射ビームの放射を検知するための強度センサの方に通すビームスプリッタと、当該光記録キャリアから反射して前記ビームスプリッタを含む光路に沿って通る放射ビームを電気的な検出器信号に変換するための放射に感応する信号検出器と、を有するデバイスに関するものである。
【０００２】
特に、しかし、限定するわけではなく、本発明は、光記録キャリアの読み取りプロセス中よりも光記録キャリアの書き込みプロセス中において、より高いビームパワーが必要とされるデバイス、コンビプレーヤデバイス、2元ライタデバイスに関するものである。
【０００３】
ビームスプリッタおよび他の反射手段の存在によって、光軸は、デバイスを通して直線ではなく、種々の方向（種々の位置において）を持ち得る折れ曲がった軸である。光軸の局所的な方向は、言及されている要素の位置におけるこの軸の方向を意味していると理解されたい。
【背景技術】
【０００４】
モニタリング検出器あるいは前方検知(FWS)検出器とも呼ばれる強度センサを備えた光学的走査デバイスが、例えば、EP-A 1001414に開示されている。この公報に記述されているデバイスは、DVD（デジタル多用途ディスク）フォーマットから読み出すだけではなく、CD（コンパクトディスク）フォーマットに／から書き込む／読み出すことができる。そのデバイスは、異なる波長を持つ放射ビームを放出する2つの放射源を有している。単一の主光路が、異なる波長のビームの両方に使用され、また、それぞれのビームスプリッタが、放射ビームを主光路に結合するために用いられる。フォトダイオードで具体化され、第1および第2の放射源の放射出力を検出することができる強度センサが、主光路の外側で、ビームスプリッタの1つの背後に配置されている。一般に、強度出力が、放射源によって放出されるビームの強度を望みのレベルに保つために、放射源制御ユニットに供給される。
【０００５】
CD-R（compact disc- recordable：記録可能なコンパクトディスク）のような光記録キャリアフォーマットの場合には、ディスクが、比較的高い反射を示す。これらのフォーマットおよび他のフォーマットのディスクにデータを書き込むためには、書き込み光パワーレベルを上げなければならない。さらに、高速になり続ける書き込み速度の絶え間ない追求は、増加し続ける書き込みパワーレベルを必要とする。
【０００６】
高パワーレベルにおいて、強度検出器およびパワー制御回路を有するサーボループが、十分に機能しなくなること、および、この問題は、入射ビームおよび反射ビームの光路が高い放射効率を持つほど、大きくなることが見出されている。放射効率は、放射路が、供給される放射をターゲット位置に、即ち、入射ビームに対しては光ディスクに、反射ビームに対しては信号検出器に、透過することができる程度を意味すると理解されたい。
【０００７】
【特許文献１】
EP-A 1001414
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の1つの目的は、当該問題が軽減される、冒頭に定めた光学的走査デバイスを提供することである。このデバイスは、前記信号検出器および／または前記放射源から反射される反射放射が、前記光軸と前記強度センサ面との交点に達することを防ぐための手段によって、特徴付けられる。
【０００９】
本発明は、反射ビームの放射の一部が、望まれない放射、即ち、迷放射として、放射源および／または信号検出器に達し、そして、それらの要素が、この迷放射の一部を、強度センサの方向に反射するという洞察に基づいている。そうすると、このセンサの出力信号は、入射ビームのみの強度にもはや比例しなくなり、放射源の強度は、誤ったレベルに制御される。この効果は、入射ビームの強度を増加させるほど、また、放射路の放射効率を増加させるほど、大きくなる。迷放射が、オンアクシスの強度センサの位置に達するのを防止する手段を備えることによって、この検出器の出力信号は、そのような迷放射によって影響を受けなくなる。それらの手段は、種々の形態をとることができる。
【００１０】
光学的走査デバイスの第1の実施例は、当該手段が、前記信号検出器を、その信号検出器の位置する領域の局所的な前記光軸に対してチルトさせるために備えられていることを特徴とする。
【００１１】
信号検出器によって反射される放射、即ち、迷放射は、いまや、強度センサに向かう光路外の光路をたどる。
【００１２】
光学的走査デバイスの第2の実施例は、当該手段が、前記ビームスプリッタを通り、前記信号検出器に至る光路中に配置されたウェッジ形状要素を有することを特徴とする。
【００１３】
ウェッジ形状要素の使用は、信号検出器をチルトさせるのと同様の効果を持つ。
【００１４】
この実施例は、前記ビームスプリッタと前記信号検出器との間に配置されたフォーカスサーボレンズを有するとき、前記ウェッジ形状要素と前記フォーカスサーボレンズとが、1つの要素に統合されていることを特徴とするのがさらに好ましい。
【００１５】
その代わりに、この実施例は、前記ウェッジ形状要素が、前記ビームスプリッタに統合されていることを特徴としてもよい。この場合には、より少数の光学要素しか、必要でない。
【００１６】
光学的走査デバイスの第3の実施例は、当該手段が、前記ビームスプリッタと前記強度センサとの間に配置された偏光フィルタを有し、また、1/4波長板が、前記ビームスプリッタと前記光記録キャリアの位置との間に配置されていることを特徴とする。
【００１７】
この実施例では、他の目的のために既に存在している1/4波長板が、強度センサに入射する望みの放射と望まれない放射とを、それらの偏光状態によって区別し、それによって、偏光フィルタが、望まれない放射を止めることができるという事実が、好都合に活用される。
【００１８】
1つの走査デバイスにおいて、迷放射が強度センサに入射するのを防止するための前述の相異なる手段の2つ以上が、組み合わされてもよく、それは、必要とされる迷放射抑制機能を、それらの手段の相異なる1つによって各々実行されるサブ機能に分割することを可能にする。
【００１９】
さらなる1つの組み合わせが、前記強度センサを、その強度センサの位置する局所的な領域の前記光軸に関してオフアクシスに配置する方策を付加することを特徴とする光学的走査デバイスで実現される。
【００２０】
強度センサをオフアクシスに配置することは、それ自身、公知であるが、それが、徹底的な迷放射縮小を供給しなければならない場合には、いくつかの不都合を持っている。本発明による手段の1つ以上を、そのオフアクシスポジショニングに組み合わせることによって、オフアクシスポジショニングが、より魅力的なものになる。
【００２１】
本発明の利点は、前記ビームスプリッタが、偏光ビームスプリッタであることを特徴とする光学的走査デバイスにおいて、特に明らかである。
【００２２】
1/4波長板と組み合わせた偏光ビームスプリッタによって、入射ビーム放射の実質的に100%が、光記録キャリアの方向に通り、また、反射放射ビームの実質的に100%が、信号検出器の方向に通るように配置することができる。実際には、当該100%は、例えば、偏光ビームスプリッタのコーティング層の公差によって、完全には達成されないことがあり得る。偏光ビームスプリッタによって得られる高い放射効率を持つ放射路の結果、強度センサに入射する迷放射の量が高くなることがあり、したがって、本発明は、偏光光学を用いたデバイスに非常に有用である。
【００２３】
偏光光学を採用し、特に強度検出器の使用に適合する、本発明が非常に有用である走査デバイスの特定の一実施例は、前記ビームスプリッタが、前記ビームスプリッタに入射する、第1の偏光方向を持つ前記入射ビーム強度の第1の割合を前記光記録キャリアの方に通し、また、前記ビームスプリッタに入射する、前記第1の偏光方向と直交する第2の偏光方向を持つ前記反射ビーム強度の第2の割合を前記信号検出器の方に通すように配置された半偏光ビームスプリッタ(partially polarizing beam splitter)であり、当該強度の第1の割合が、割合として、当該強度の第2の割合よりも大きいことを特徴とする。
【００２４】
そのような半偏光ビームスプリッタを用いることによって、ビームスプリッタを比較的効率的なやり方で製造することを可能にする一方、光記録キャリアにおいて、比較的高い光パワーを書き込みのために得ることができる。明確のために、用語「割合」は、分数として理解されたい。すなわち、「通った強度の割合」は、ビームスプリッタを通り過ぎるビームの強度を、ビームスプリッタに入射するビームの強度で割ったものである。ここで、各強度は、ビームの中心で取られる。反射ビームの信号検出器への比較的高レベルの透過も達成でき、それによって、望みの読み出し性能が達成される。半偏光ビームスプリッタに、特定の角度公差を与えることもできる。さらに、いくつかの配置においては信号レベルを減少させることのある光記録キャリアの複屈折に対する感度を、低下させることもできる。
【００２５】
半偏光ビームスプリッタを備えた走査デバイスは、さらに、当該ビームスプリッタが、前記入射ビームを反射し、そして、前記反射ビームを透過するように配置され、前記入射ビームの前記偏光方向に対する前記ビームスプリッタの反射率が、前記反射ビームの前記偏光方向に対する前記ビームスプリッタの透過率より大きいことを特徴としてもよい。
【００２６】
その代わりとして、そのようなデバイスは、当該ビームスプリッタが、前記入射ビームを透過し、そして、前記反射ビームを反射するように配置され、前記入射ビームの前記偏光方向に対する前記ビームスプリッタの透過率が、前記反射ビームの前記偏光方向に対する前記ビームスプリッタの反射率より大きいことを特徴としてもよい。
【００２７】
半偏光ビームスプリッタを備えた走査デバイスは、さらに、当該第1の割合が、75%よりも大きく、97%よりも小さいことを特徴としてもよい。
【００２８】
前記第1の割合が、85%と95%との間であることが好ましい。
【００２９】
他方、走査デバイスは、当該第2の割合が、15%と75%との範囲内にあることを特徴としてもよい。
【００３０】
前記第2の割合が、25%と62%との範囲内にあることが好ましい。
【００３１】
相異なるフォーマットの記録キャリアに用いるのに適した半偏光ビームスプリッタを備えた走査デバイスの特定の一実施例は、あらかじめ定められた、前記放射ビームの波長と異なる波長を持つ第2の放射ビームを放出するための第2の放射源と、当該第2の放射ビームを前記光記録キャリアの方に反射または透過するための第2のビームスプリッタと、を有することを特徴とする。
【００３２】
この実施例は、いわゆるコンビプレーヤ、即ち、CDタイプディスクへの書き込み、DVDタイプディスクからの読み出しの両方のための装置で使用することができる。
【００３３】
この実施例は、さらに、前記第1のビームスプリッタが、当該第2の波長の放射に対して実質的に無偏光効果を持つように配置されていることを特徴としてもよい。
【００３４】
その上さらに、この実施例は、さらに、当該第2のビームスプリッタが、当該第1の波長および／または当該第2の波長の放射に対して実質的に無偏光効果を持つように配置されていることを特徴としてもよい。
【００３５】
前記第2のビームスプリッタが、前記第2の波長の放射に対してほぼ50%の透過を示してもよく、また、前記第1の波長の放射に対して実質的に100%の透過または反射を示してもよい。
【００３６】
本発明のこれらの、そして、他の観点が、以下に記述され、また、添付の図面に例証される実施例に関する限定的ではない例から明白になり、また、それを手段として解明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
光学的走査デバイスの本発明による実施例は、CD-R（compact disc-recordable：記録可能なコンパクトディスク）、CD-RW（compact disc-rewritable：書き換え可能なコンパクトディスク）、あるいは、DVD-R（digital versatile disc-recordable：記録可能なデジタル多用途ディスク）のような、記録可能な光ディスクにデータを書き込み、読み出すために用いられる。ディスクには、少なくとも1つの情報層をカバーしている外側透明層が、含まれている。多層光ディスクの場合には、2つ以上の情報層が、カバー層の下の、ディスクの内部の異なる深さに配置されている。情報層の側、あるいは、多層ディスクの場合には、カバー層に面していないカバー層から最も遠い層の側が、保護層によって環境的な影響から保護されている。走査デバイスに面しているカバー層の側は、ディスクの光入射面である。
【００３８】
オーディオ番組、ビデオ番組、あるいは、データのような情報が、実質的に平行なトラック、同心円状のトラック、あるいは、らせん状のトラックに配置された、光学的に検出可能なマークの形態で、光ディスクの情報層（単数または複数の）に記憶できる。マークは、任意の光学的に読み出し可能な形態で、例えば、周囲と異なる反射係数を持つピットあるいは領域の形態をしていてもよい。情報層（単数または複数の）は、光学的に記録可能な材料、例えば、ディスクへの書き込みにおいて、データ読み出しにおいて必要なパワーに比して相対的に高い放射パワーを必要とする、CD-Rフォーマットで用いられているような、放射に感応するダイから形成される。
【００３９】
光学的走査デバイスは、あらかじめ定められた波長（例えば、CD波長λ=790nm）で動作する放射源2（例えば、半導体レーザ）を具備している。そのレーザは、直線偏光を放出することができる。放射源2は、発散放射ビームb1を放出する。このビームは、このビームを、1本の中央主ビームと2本のサイドビーム（図示せず）とに分割する回析格子6を通る。サイドビームは、よく知られているように、トラッキングの目的のために用いられる。ビームb1は、光ディスク20と信号検出器24との間の光路上にあるビームスプリッタ（または反射板）8に入射する。図1に示されるように、ビームスプリッタは、ビーム分割プレートであってもよいし、キュービックビームスプリッタであってもよい。ビームスプリッタに入射するビームb1が、発散ビームであるから、ビームスプリッタは、その軸からの角度の変化に対して良好な許容誤差を持つことが好ましい。ビームスプリッタは、入射ビームb1の大部分（例えば、80〜90%）を反射し、残りを、前方検知(FWS)検出器 10（例えば、フォトダイオード）とも呼ばれる強度センサにビームb5として透過させる。このセンサは、ビームb5の中心部の相対的に高強度の領域からの放射ビームを検出するように配置される。センサー10は、放射源が比較的高いパワーレベルにセットされている場合には、ディスク20からのデータ読み出しの間、および、ディスク20へのデータ書き込みプロセスの間のいずれにおいても、放射源2のパワーをモニタし、また、制御するために用いられる。放射源2のパワーを制御するために、モニタダイオードの出力が、出力ポートを放射源2に接続された制御回路11の入力ポートに供給され、そして、その制御回路が、レーザ2に供給される電流を制御する。
【００４０】
入射ビームb1に対するビームスプリッタ8の反射率は、以下の理由によって、一般に、75%とほぼ100%との間で選択される。反射率が75%以上であることを確実にすることによって、ディスクに向かって反射される入射放射ビームb1の書き込みパワーが、ハイレベルに維持される。しかしながら、97%以上の反射率では、前方検知信号が、非常に低くなり、コーティング製造公差を含めて、信号レベル同士の開きが、大きくなりすぎる。反射率は、85%と95%との間の範囲で選択されるのがより好ましく、それによって、前方検知検出器10として用いられる比較的安価なダイオードが、書き込み処理の間、正確で高帯域幅のパワー訂正信号を供給することを可能にする。
【００４１】
ビームスプリッタ8によって反射されたビームb1の部分は、発散ビームb1を平行ビームb2に変換するコリメータレンズに入射する。このビームは、光路折り曲げ用ミラー12によって、ディスク20の方向に反射されて、対物レンズ18を通る。このレンズは、平行ビームb2を収束ビームb3に変換して、このビームを、ディスク20の情報層上のスポットに集光させる。情報層は、ビームを反射し、そして、走査デバイスが読み出しモードにあるとき、絶えず走査されるトラックにエンコード化されている情報にしたがってビームを変調する。反射ビームは、同じ光路にしたがって、対物レンズ18およびコリメータレンズ14を通って戻り、放射に感応する検出器24の方向に、ビームb4として部分的に透過する。この検出器は、信号検出器もと呼ばれ、当業技術において公知のように、変調されたビームb4を、データ読み出し用の電気信号、および、フォーカス制御およびトラッキング制御用の信号に変換する。さらなるレンズ22が、配置されてもよい（ビームスプリッタ8と信号検出器24との間に）。このレンズは、当業技術において公知のように、ビームb4に、非点収差焦点誤差検出の目的を与えるシリンダレンズであってもよい。このレンズは、サーボフォ−カシングレンズとも呼ばれる。コリメータレンズ14は、光路折り曲げ用ミラー12と対物レンズ18との間に配置されてもよい。
【００４２】
代わりの一実施例において、ビームスプリッタは、ビームb1の放射の大部分をディスクの方向に透過し、残りを強度センサの方向に反射する。
【００４３】
図2に例証されているように、信号検出器24に入射するビームb4の放射の一部は、ビームb6として、この検出器の前面によって反射される。ビームb6の一部は、強度センサ10の方向に、反射する、あるいは、図1の代わりの実施例の場合には透過する。図2では、ビームを反射する要素しか示されておらず、また、異なるタイプの矢印が、異なるビームを指示している。モニタダイオードへのビームb6の入射によって、このダイオードに入射する放射強度は、もはや、放射源から放出されるビームb1だけの強度に、したがって、ディスクに入射するビームb3だけの強度に比例しなくなる。信号検出器の前面が、空気−シリコン界面であれば、この前面の側は、ビームb4の放射の30%までを反射することができる。検出器24が、プラスチックカバーを備えていれば、プラスチック−シリコン界面における反射は、それよりも多少低くなる。どの場合においても、強度センサへの、この種の誤った放射、例えば、ビームb6の入射は、無視できず、レーザパワー制御システムに影響を及ぼす。
【００４４】
図3に例証されているように、ディスクによって反射されたビームの一部も、ビームスプリッタ8によって、ビームb7として放射源2の方向に反射される。この放射源の前面は、ビームb7の一部を、ビームb8としてビームスプリッタ8の方向に反射する。このスプリッタは、ビームb8の一部を、ビームb9として強度センサ10の方向に透過する。モニタダイオードへのこの種の誤った放射、例えば、ビームb9の入射は、図2におけるビームb6の入射と同様の、レーザパワー制御システムへの効果を持つ。
【００４５】
ビームb6およびb9の強度、したがって、それによってレーザパワー制御システムが乱される量は、ディスク20の反射係数に依存する。低反射ディスクの場合には、当該強度を低くすることができるが、ディスクが高い反射率を示すと、当該強度によって引き起こされる結果は、容易に許容できないものになる。その効果は、情報が高速に（高データレートで）書き込まれなければならず、また、高パワーの入射ビームb3が用いられなければならない場合には、全く許容できない。ディスクの情報層がダイ物質を有すると、情報マークの書き込みは、入射書き込みビームの吸収に変化を引き起こす。したがって、ビームb6およびb9の強度は、マークの書き込みの間中、変化する。高速制御回路11が用いられると、高速強度変化が、ディスクに送られる書き込みレーザパルスを変化させてしまう。入射ビームの80%を反射し、20%を透過するニュートラルすなわち無偏光ビームスプリッタを備えた図1に示されるような走査デバイスでは、ビームb6とビームb9との強度の合計は、ビームb5の強度の20%に達し得る。偏光光学が、放射効率を改善するために、ディスクに向かう光路（高速書き込みのために）、および、信号検出器に向かう光路（低反射ディスクの高速読み出しのために）のいずれにおいても用いられている走査デバイスでは、ビームb6とb9との強度の合計は、ビームb5の強度と等しくさえなり得る。
【００４６】
本明細書において検討される光学的走査装置の最も一般的な放射源は、半導体レーザである。そのようなレーザは、b6およびb9の放射が、モニタダイオード10においてビームb5の放射と干渉を起こすのを可能にするのに十分なコヘレンス長を持つコヘレントな放射を放出する。これは、ビームb1にもう1つの問題、即ち、雑音を生み出す。総体として、モニタダイオードへの迷光ビームb6およびb9の入射は、レーザパワーの制御を十分に正確で、信頼できるものではなくしてしまうので、デバイスの書き込み性能の悪化を引き起こす。
【００４７】
人は、強度センサ即ち前方検知ダイオード10を、オフアクシスに、即ち、ビームb6およびb9がこのダイオードをすれすれに通るように、入射ビームb1の縁の領域に、位置させることによって、この問題を回避しようとするかもしれない。しかしながら、そのときには、ダイオード10は、光軸から比較的大きくはずれて位置しなければならない。その距離は、信号検出器とダイオード10との間の距離、および、レーザ2とダイオード10との間の距離に反比例し、一方、それらの距離は、走査デバイスのコンパクトさを考慮すると、できるだけ小さくあるべきである。光軸から大きくはずれて強度センサ10を位置させることは、走査デバイス同士の間でセンサ信号に望ましくない開きを引き起こす。この開きは、ダイオードレーザのファーフィールドの外側部分にセンサを位置させることと、ダイオードレーザ同士の間のファーフィールド幅の開きによる。さらに、半導体レーザの製造中に、レーザチップが、そのエンキャプシュレーションに関して数度のチルトを示すことは避けられず、そして、そのチルトは、レーザが異なれば異なる。走査デバイスにおいて、レーザビームは、光軸に関してアラインされるから、ビームb7を反射する（図3）半導体レーザ表面は、光軸に対してチルトする。これは、ビームb8の軸が、デバイスの光軸に対して数度の角度範囲に広がり、依然として、オフアクシスしたモニタダイオードにも入射することがあり得ることを意味する。これは、モニタダイオードが、さらに一層オフアクシスに位置することを必要とする。
【００４８】
本発明によれば、強度センサへのビームb6の入射は、図4に示されるように、信号検出器24を、検出器24の位置におけるデバイス光軸に垂直な軸のまわりにチルトさせることによって防止される。ビームb4は、今や、検出器表面の法線に関して入射角α（チルト角）で信号検出器に入射し、また、この表面によって反射されたビームb6も、この法線に関して角度αに広がる。したがって、ビームb6は、検出器表面によって、光軸に関して2αの角度に反射される。チルト角は、ビームb6が、強度センサ10に出会わないように選ばれる。信号検出器24における反射角は、チルト角の2倍であるから、反射角は、わずかにとどまり、例えば、10°程度であり、検出器24による信号検出は、影響を受けない。信号検出器をチルトさせることによって、ビームスプリッタへのビームb6の入射角、したがって、反射角も増加する、即ち、図2の場合がそうであるような45°よりも大きくなる。本実施例においては、したがって、ビームスプリッタは、ビームb6の方向を変化させて、それが強度センサ10の右側を通るようにするのにも役立っている。
【００４９】
信号検出器は、逆方向にチルトしてもよい。その場合には、反射ビームb6は、検出器によって下方に、また、ビームスプリッタによって左方に曲げられ、したがって、ビームb6は、強度センサ10の左側を通る。
【００５０】
ビームb6がモニタダイオードに入射することを防ぐための本発明の方策は、同じ目的のためにモニタダイオードをオフアクシスに位置させる既知の方策と組み合わせてもよい。これは、チルトした信号検出器24およびオフアクシスした強度センサ10の両方を示している図5に例証されている。センサ10が、ビームb6がチルトした信号検出器によって偏向する方向の反対の方向に移動しているので、チルティングとオフアクシスポジショニングとの両方の方策が、ビームb6が強度センサに達するのを防ぐことに寄与する。結果として、信号検出器のチルト角は、図4の実施例におけるよりも小さくなり、また、デバイス軸からの強度センサの距離（ずれ）は、強度センサのオフアクシスポジショニングの方策しか実施されない場合よりも小さくなる。後者は、図5の実施例が、強度センサのオフアクシスポジショニングに関して、本明細書において上に検討した欠点を示さないということを意味する。
【００５１】
図6は、ウェッジ形状要素30が、ビームスプリッタ8と信号検出器24との間に配置されている光学的走査デバイスの一実施例を示している。この要素に入射するビームb4は、このビームが、信号検出器24の表面への法線に関して数度の角度で信号検出器24に入射するように、その斜面において光軸から離れるように屈折する。結果として、この表面によって反射されたビームb6は、光軸から遠ざかる方向に向けられ、それによって、ウェッジ形状要素の2度目の通過およびビームスプリッにおける反射の後で、ビームb6は、強度センサ10の右側をすれすれに進む。図6に示されている傾斜と反対の傾斜を持つ要素、あるいは、傾斜背面ではなく傾斜前面を持つ要素を用いることによって、ビームb6が、強度センサの左側をすれすれに進むように配置することができる。
【００５２】
ビームスプリッタと信号検出器との間に、何らかの光学要素を有している光学的走査デバイスでは、ウェッジ形状要素は、この光学要素の表面のうちの1つを傾斜面にすることにより、この光学要素に統合することができる。例えば、図1の光学的走査デバイスのフォーカスサーボレンズ22の表面を傾斜させる。これが、図7に例証されており、レンズ22の背面23が、図面の平面内において傾斜しているということしか、図1と異ならない。この図面平面に垂直な方向に、このレンズの背面は、その独自の曲率を保持している。
【００５３】
ウェッジ形状要素は、図8に線図的に例証されているように、ビームスプリッタに統合させることもできる。この図は、通常のビーム分割を行う部分36と、信号検出器24（図8に示されていない）の側にウェッジ部分37を有するウェッジ形状のビームスプリッタ35のみを示している。
【００５４】
ウェッジ形状要素の使用は、信号検出器のチルティングおよび／または強度センサオフアクシスのポジショニングと組み合わせることができる。そのような組み合わせの利点は、必要とされる、迷放射を抑制する機能が、2つ以上の要素に分配されるので、各要素は、総機能のうちの単に一部にしか寄与しなくてもよく、それらの機能のためにそれらの要素によって導入される代償を、最小かつ受容可能なレベルに維持することができるということである。
【００５５】
図1に示されるように、光学的走査デバイスは、l/4波長(λ/4)板16を有してもよい。このプレートは、レーザ放射源の方に戻る反射放射が、レーザ放射源によって放出される放射に影響を及ぼすことを防ぐために用いられる。このレーザは、ある与えられた方向に直線偏光を放出する。ビームb3が、λ/4板16を通過するとき、その直線偏光方向は、与えられた偏光方向の回転を持つ円偏光方向、即ち、左回り又は右回りの円偏光放射に変換される。光ディスクによる反射の際に、その偏光方向の回転が逆回りになり、また、λ/4波長板16を通過する際に、ビームb3の偏光方向は、そのビームの元々の直線偏光方向に直交する直線偏光方向に変えられる。ビームスプリッタ8によってレーザ放射源2の方向に反射された反射ビームの部分、即ち、図3のビームb7は、したがって、レーザによって生成されるビームb1の偏光方向に直交する偏光方向を持っており、ビームb1と干渉することができず、したがって、レーザによって放出されるビームを乱すことはない。
【００５６】
光学的走査デバイス内のλ/4板の存在は、モニタダイオードへの迷放射入射の問題を解決するために、本発明による他の解を用いることを可能にする。この解は、図9に例証されているように、モニタダイオードの前に偏光フィルタ40を配置している。このフィルタは、強度センサの方向に向かってビームスプリッタ8を透過したレーザ放射の部分を透過し、当該部分の偏光方向に直交する偏光方向を持つ放射をブロックする。ビームb6は、直交偏光した反射ビームb4から分岐したものであるから、フィルタ40は、ビームb6をブロックする。
【００５７】
そのような偏光フィルタを用いる利点は、それが、さらに、放射源2によって反射されて（図3のビームb8）、モニタ検出器の方向に向かって透過する（図3のビームb9）反射ビームの部分もブロックするということであり、それゆえ、このフィルタは、非常に効果的である。さらに、この偏光フィルタは、信号検出器のチルティング、および、その検出器の前面へのウェッジ形状要素の配置のような、あるいは、強度センサをオフアクシスにするといった、本明細書において前述した本発明の解の1つ以上を備えた走査デバイスと組み合わせてもよい。そのような組み合わせは、本明細書において前述したような利点を供給する。
【００５８】
前述において、ビームスプリッタ8は、ニュートラルスプリッタである、即ち、その機能遂行は、入射ビームの偏光方向に依存しないと仮定されていた。走査装置の放射路は、ディスクの方に向かう際にも、信号検出器の方に向かう際にも、λ/4板16と組み合わせて、偏光ビームスプリッタとも呼ばれる偏光方向に感応するビームスプリッタを用いることによって、はるかに放射効率を高くできる。このビームスプリッタも、プレート形状あるいは立方体形状を取ることができる。この通常の偏光ビームスプリッタが、強度センサを持たない光学的走査デバイスにおいて用いられている。このビームスプリッタは、ビームスプリッタの特別に選り抜いた偏光特性およびλ/4板による90°偏光方向回転により、ディスクに向かう放射源放射の実質的に100%を通し、また、ディスクによって信号検出器の方に反射された放射の実質的に100%を通す。本明細書において検討される走査デバイスにおいては、入射放射のいくらかの部分を強度センサに導かなければならないから、従来の偏光方向に感応するビームスプリッタを用いることはできない。半偏光ビームスプリッタと呼ぶこともできる、特別の種類の偏光ビームスプリッタを用いることが必要になる。
【００５９】
半偏光ビームスプリッタを備えた走査デバイスは、例えば、図7の構成と同じ構成を持っており、ビームスプリッタの偏光面9のコーティング即ち薄層のスタックが、異なる構造を持っているだけである。用語「反射率(R)」および「透過率(T)」は、それぞれ、ビームスプリッタによって反射される放射強度、透過する放射強度のパーセンテージを記述するのに用いられる。用語“半偏光”は、1つの直線偏光方向に対するビームスプリッタの反射率が、それに直交する偏光方向に対するビームスプリッタの反射率とかなり等しくなく、例えば、少なくとも10%程度異なるということを意味している。1つの偏光方向は、例えば、“s”偏光であり、本例においては、放射源と1/4波長板との間の入射放射ビームの偏光方向である。そうすると、それに直交する偏光方向は、“p”偏光であり、本例においては、1/4波長板と検出器との間の反射ビームの偏光方向である。完全偏光の事例（一方の偏光方向に対しては100%あるいは実質的に100%の反射率で、他方の偏光方向に対しては100%あるいは実質的に100%の透過率)は、達成されない。
【００６０】
走査デバイスの一実施例において、入射放射(Rs)に対するビームスプリッタの反射率は、75%〜100%の間で選択される。反射率が75%以上であることを確保することによって、入射放射ビームの書き込みパワーは、ハイレベルに維持される。しかしながら、97%以上の反射率では、前方検知信号が非常に低くなり、そのため、コーティング製造公差を含めて、信号レベル同士の開きが、大きくなりすぎる。85%〜95%の間の範囲で選択するのが、より好ましく、その場合には、前方検知ダイオード即ち強度センサ10として用いられる比較的安価なダイオードが、書き込み処理の間を通じて、正確で高帯域のパワー訂正信号を提供することを可能にする。それと対照的に、ビームエッジ検出が用いられた場合には、即ち、強度センサが、オフアクシスに置かれた場合には、（より高いRsが可能となり、例えば、Rs>95%）、前方検知信号の公差は、非常に大きくなる。他方、本実施例においては、反射放射ビームに対するビームスプリッタの透過率(Tp)は、上述の反射率よりもかなり小さく、即ち、15%〜75%の間で選択され、25%〜62%の間で選択されるのがより好ましい。この比較的低い透過率は、より高いTpを示すビームスプリッタに比して、信号検出器におけるパワーを減少させるが、信号検出器におけるパワーは、データ読み出し中ではそれほどクリティカルではなく、一方、ビームスプリッタの生産性は、それによって、かなり改善できる。さらに、Tpに対してそのような値を選択することによって、ビームスプリッタの角度公差は、より容易に良好なレベルに維持できる。書き込み中に信号検出器24が正しい動作範囲内にあるための、書き込みプロセス中のパワーの制限も、避けることができる。
【００６１】
ビームスプリッタの本実施例による多層薄膜コーティングの半偏光特性の1つの例が、CD波長(λ=790nm)で動作するデバイスの場合、以下の通りである。
【表１】
2005501362.tif 000003
当業者であれば、適切な薄層配列を選択することによって、それらに一致する、または、近い特性を持つビームスプリッタ反射境界を容易にインプリメントすることができる。信号検出器およびレーザ放射源によって反射されるかなり大きな量の放射が、モニタダイオードに達することを防止するために、本発明を、そのようなビームスプリッタ、したがって、高効率の放射路を含む光学的走査デバイスに用いることは、大きな利点がある。
【００６２】
図10は、本発明をインプリメントすることができる2波長光学的走査デバイスを示している。そのようなデバイスは、CDタイプディスクとDVDタイプディスクとの両方を走査することができるので、“コンビプレーヤ”としても知られている。図10において反復を避けるために、図7およびそれに先行する図の配置要素に関して記述されたのと同じ機能を持つ配置要素は、100だけインクリメントした同じ参照数字によって指示されている。要素104は、プレコリメータレンズであり、第1の放射源102からの発散ビームの発散を、より少なくする。図10の走査デバイスは、さらに、第2の偏光放射源126（例えば、半導体レーザ）を具備している。この放射源は、あらかじめ定められた波長、例えば、DVD波長(λ2=655nm)で、また、第1の放射源102の直線偏光方向に直交する直線偏光方向（本例においては、“p”偏光と仮定する）で動作する。プレート形状の第2のビームスプリッタ128が、第2の放射源126からの入射放射を、光ディスク120の位置と信号検出器124との間で主光路に結合させるために用いられる。本例において、相異なる波長で動作する光ディスクフォーマットを、選択的に走査することができる。例えば、光ディスクは、CDフォーマット（CR-RおよびCD-RWを含む）のいずれかとDVDフォーマットとであってもよい。CD読み出しとDVD読み出しとの特性が異なるため、主光路中の光学要素は、DVD読み出しのために調整される。
【００６３】
本実施例において、比較的高いパワーの書き込み性能が、CD-RおよびCD-RWディスクへの書き込みのために、第1の放射源102によって作り出されるビームで達成される。他方、放射源126は、データ読み出しのためにしか用いられない。
【００６４】
本実施例において、1/4波長板116は、第1の波長(λ1)、即ち、放射源102の波長でしか動作しない。第2の波長における1/4波長板の影響は、この波長において、TsとTpとがディスクと信号検出器との間の光路においてほぼ等しくなるように、走査デバイスが配置されるときには（そして、通例、そのように選ばれる）、クリティカルでない。製造を容易にするために、1/4波長板に、第2の波長において1/4波長機能性を持たせないことが可能である。さらに、第1の放射ビームは、その反射状態でしか第2のビームスプリッタを通過しないので、第2のビームスプリッタ128は、偏光性である必要はなく、したがって、製造を容易にするために、無偏光性であるのが好ましい。
【００６５】
第2の放射ビームに対して、第2のビームスプリッタは、一方では、入射ビームをできるだけ多く反射して、そのビームを主光路に結合させるように最適化される。他方では、第2のビームスプリッタは、反射されてきたビームを、できるだけ多く透過させなければならない。Tp+Rp= 100%（吸収性がないと仮定して）であるから、信号検出器における最適パワーは、TpとRpとが、第2の波長に対して、50%の領域にあるように選択されたときに達成される。さらに、ビームスプリッタの反射率特性は、波長に依存して変えることができるから、第2の波長に対する第1のビームスプリッタ108の透過率の理想的なセッティングは、100%である。したがって、100%に近い実際的な値（例えば、90%以上）が、第2の波長における動作の際の第1のビームスプリッタに対して定められる。
【００６６】
第1の放射ビームに対しては、第1のビームスプリッタに関して図7の実施例に対して上述した特性が、以下に記述する利点を加えて、ここでも当てはまる。それらの利点には、製造の容易さが含まれる。その製造の容易さは、ほかの場合であれば、ビームスプリッタが、2つの異なる波長で選択された特性で動作しなければならないから低下する。第1の放射ビームに対して、第2のビームスプリッタ128の透過率の理想的なセッティングは、100%である。したがって、100%に近い実際的な値（例えば、90%以上）が、第1の波長における動作の際の第2のビームスプリッタに対して定められる。
【００６７】
本実施例においては、どちらの反射放射ビームも、同じ放射路に沿って、同じ信号検出器124によって検出され、それは、光学的走査デバイスの光学的的な検出配置においても、電子信号処理回路においても、複雑さを縮小させる。さらに、2つのビームスプリッタの反射特性は、異なる波長の2つのビームのどちらで走査する場合においても、信号検出器における光学パワーが、似かよった範囲内、少なくとも検出器のダイナミックレンジ内になるように選択することができる。この光学パワーは、一般的には、その最低値から最高値まで、ダイナミックレンジの3倍の範囲に、あるいは、特別の検出器タイプの場合には、それ以上に及ぶものである。反射特性は、ディスクと検出器との間の光学システムの透過率が、両方の場合において実質的に等しくなるように選ぶのが好ましい。
【００６８】
走査デバイスのこの第2の実施例における第1のビームスプリッタ108および第2のビームスプリッタ128の各々の多層薄膜コーティングの（理想的な）半偏光特性の1つの例が、それぞれ、下の表2aおよび2bに与えられている。
【表２Ａ】
2005501362.tif 000004
【表２Ｂ】
2005501362.tif 000005
この実施例において、前方検知ダイオードセンサ110を使用できるようにするために、第1の波長におけるビームスプリッタ108に対して、Rs=90%としている。
【００６９】
図11は、本発明をインプリメントできる走査デバイスの別の一実施例を例証している。ここでも、不要な反復を避けるために、図10の実施例に関して記述された要素に対応する本実施例の要素が、100だけインクリメントした同じ参照数字によって指示されている。この代替実施例では、第1の波長の放射源202からの放射を主放射路に結合するために用いられるビームスプリッタ228が、第2の波長の放射源226からの放射を主放射路に結合するために用いられるビームスプリッタ208よりも、光記録キャリアから遠くに置かれている。図11のコンビプレーヤは、CD放射路とDVD放射路とが入れ替わっている、図10のコンビプレーヤの代替である。
【００７０】
図10および11の実施例において、プレートタイプのビームスプリッタは、キュービックビームスプリッタに置き換えてもよい。これの代替において、第2の波長のビームは、ビームスプリッタの前にさらなるコリメータレンズを置くことによって、ビームスプリッタにはいる前に平行になる。そのときには、第1の波長の放射に対するコリメータレンズが、それぞれのビームスプリッタの前に置かれる。
【００７１】
上記の実施例では、入射ビームは、第1のビームスプリッタで反射して進み、反射ビームは、第1のビームスプリッタを透過して進むが、代替実施例におけるビームは、第1のビームスプリッタを透過してディスクの方向に進み、反射して信号検出器の方向に進む。2波長を用いた図10および11の実施例の場合には、第2の波長の入射ビームも、第1のビームスプリッタによって反射して進む。
【００７２】
さらなる代替実施例において、図10および11の実施例と同様の配置が、二元ライタ走査デバイスに用いられる。すなわち、第1の波長の放射が、ある光ディスク（例えば、CD-RあるいはCD-RW）に書き込みを行うために用いられ、一方、第2の波長の放射が、他の光ディスク（例えば、DVD+RあるいはDVD+RW）およびDVD-RあるいはDVD-RWあるいはDVD-RAMのような他の記録可能なディスクフォーマットに書き込みを行うために用いられる。二元ライタ走査デバイスでは、第2の強度センサ即ち前方検知ダイオードを、第2の波長の放射を放出する放射源に対向して配置してもよい。さらに、この実施例における1/4波長板は、第1の波長および第2の波長の両方で1/4波長機能を備えるように設計するのが好ましい。
【００７３】
本発明をインプリメントできる、2つの放射源（放射源1および放射源2）を備えたコンビプレーヤデバイスおよび二元ライタ走査デバイスの種々の実施例は、以下のように要約し、特徴づけることができる。
【００７４】
放射源1が、DVD波長の高パワーのビームを供給し、一方、放射源2が、高パワーあるいは低パワーのいずれかのCD波長のビームを供給する。または、
放射源1が、CD波長の高パワーのビームを供給し、一方、放射源2が、高パワーあるいは低パワーのいずれかのDVD波長のビームを供給する。
【００７５】
高パワーは書き込みパワー、低パワーは読み出しパワーを表わしているが、書き込みパワー源は、読み出しパワー源に切り替えることができ、したがって、そのような書き込みパワー源を、読み出しのためにも用いることができるということに注意されたい。
【００７６】
ディスクに向かう光路においても信号検出器に向かう光路においても高い放射効率を示す、図10および11に示されている実施例、および、これらの図に関連して言及されている実施例の全てにおいて、本発明は、反射ビームの、信号検出器および放射源によって反射される放射部分が、強度センサダイオード即ち前方検知ダイオードに入射するのを回避するという大きな利点を備えて用いることができる。例として、この使用が、図10の偏光フィルタ40によって、また、図11のチルトした信号検出器224によって指示されている。
【００７７】
上述の実施例は、本発明を例証する例として理解されるべきである。本発明のさらなる実施例は、描出できることである。1つの実施例に関して記述されているどの観点も、他の実施例に用いることができるということが、理解されなければならない。さらに、上述されていない等価例および変形例も、請求項において定義される本発明の範囲を逸脱することなく採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明をインプリメントできる光学的走査デバイスの第1の実施例を示す。
【図２】信号検出器によって反射される放射がどのようにして強度センサに達するかを例証する。
【図３】放射源によって反射される放射がどのようにして強度センサに達するかを例証する。
【図４】チルトした信号検出器を備えた走査デバイスの一部を示す。
【図５】チルトした信号検出器とオフアクシスした強度センサとを備えた走査デバイスの一部を示す。
【図６】ビームスプリッタと信号検出器との間にウェッジ形状要素を備えた走査デバイスの一部を示す。
【図７】ウェッジ形状要素がフォーカスサーボレンズに統合されている走査デバイスを示す。
【図８】ビームスプリッタに統合されたウェッジ形状要素を示す。
【図９】ビームスプリッタと強度センサとの間に配置された偏光フィルタを備えた走査デバイスの一部を示す。
【図１０】異なる波長を持つ2つの放射ビームを用いる走査デバイスの一実施例を示す。
【図１１】図10に示す実施例の代替の一実施例を示す。
【符号の説明】
【００７９】
2  放射源
6, 106, 206  回析格子
8, 108, 208, 128, 228  ビームスプリッタ
10, 110, 210  強度センサ
11  制御回路
12, 112, 212  光路折り曲げ用ミラー
14, 114, 214  コリメータレンズ
16, 116, 216  l/4波長板
18, 118, 218  対物レンズ
20, 120, 220  光記録キャリア
22, 122, 222  フォーカスサーボレンズ
24, 124, 224  信号検出器
30  ウェッジ形状要素
35  ウェッジ形状のビームスプリッタ
102, 202  第1の放射源
126, 226  第2の放射源
【図１】
2005501362.tif 000006
【図２】
2005501362.tif 000007
【図３】
2005501362.tif 000008
【図４】
2005501362.tif 000009
【図５】
2005501362.tif 000010
【図６】
2005501362.tif 000011
【図７】
2005501362.tif 000012
【図８】
2005501362.tif 000013
【図９】
2005501362.tif 000014
【図１０】
2005501362.tif 000015
【図１１】
2005501362.tif 000016
【国際公開パンフレット】
2005501362.tif 000017
2005501362.tif 000018
2005501362.tif 000019
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【国際調査報告】
2005501362.tif 000046
2005501362.tif 000047