(57)【要約】少なくとも一個のスリットを有する第一の誘電体と、複数の電極セグメントを含むセグメント化電極とを含む非熱大気圧プラズマ反応器。各電極セグメントは、組み合わされるスリットの近傍に且つこのスリットと流体連通関係にあるように設けられている。誘電体のスリットは何通りもの方法で形成でき、例えば、実質的に平面状の誘電体プレートに形成された複数のスリットとすることができる。他の構成としては、複数の誘電体セグメント（バー、スラブ、リング、環状部等）を用いるものが挙げられ、これらは、隣接する誘電体セグメント間にスリットが形成されるように組立てられている。動作時、第一の誘電体の近傍に設けられた受側電極とセグメント化電極との間に電圧差が与えられ、プラズマ放電が発生する。プラズマ放電は、第一の誘電体のスリットを通って放射される。本発明のプラズマ放電装置の構成は、比較的大きな体積に亘って比較的高密度の非熱プラズマ放電を生成し、然も比較的容易に且つ低コストで製造できる。
2005509255.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一個のスリットを有する第一の誘電体と、
複数の電極セグメントを含むセグメント化電極と
を含み、各電極セグメントは、組み合わされるスリットの近傍に且つこのスリットと流体連通関係にあるように設けられているプラズマ反応器。
【請求項２】
第一の誘電体が、実質的に平面状の誘電体プレートであり、該プレートを貫通して設けた前記少なくとも一個のスリットが、開放頂端部と、開放底端部と、全側面が閉じた壁とを形成している、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項３】
第一の誘電体が、Ｕ字状の通路を有する実質的にＵ字状の誘電体プレートであり、該通路が前記少なくとも一個のスリットを形成している、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項４】
第一の誘電体が、複数の誘電体セグメントであり、隣接する誘電体セグメントが所定距離だけ離間してその間に前記少なくとも一個のスリットが形成されるように組立てられ、隣接する誘電体セグメントにより、少なくとも一側面が開放している複数の壁が形成されている、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項５】
複数の誘電体セグメントが、ロッド、バー、プレート、環状リング及び環状ウェッジの内の一の形状である、請求項４に記載のプラズマ反応器。
【請求項６】
電極セグメントがブレード、ロッド及びワイヤの内の一つである、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項７】
電極セグメントが、第一の誘電体の各スリットに対して実質的に平行に設けられている、請求項６に記載のプラズマ反応器。
【請求項８】
電極セグメントが、第一の誘電体の各スリットに対して実質的に垂直に設けられている、請求項６に記載のプラズマ反応器。
【請求項９】
第一の誘電体の近傍に設けられた受側電極を更に含む、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項１０】
受側電極の少なくとも一部が第二の誘電体で覆われている、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項１１】
電極セグメントが、第一の誘電体の各スリットに少なくとも部分的に挿入されている、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項１２】
誘電体セグメントが、長手方向に沿って分割されて所定数の環状部分とされた誘電体環状管であり、隣接する部分が離間されてその間にスリットが形成されている、請求項４に記載のプラズマ反応器。
【請求項１３】
誘電体セグメントが、横方向に分割されて所定数のリング状部分とされた誘電体環状管であり、隣接するリング状部分が離間されてその間にスリットが形成されている、請求項４に記載のプラズマ反応器。
【請求項１４】
セグメント化電極が鋸歯状エッジを有する、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項１５】
電極セグメントが複数の電極ロッドであり、該ロッドが組立てられて隣接する電極ロッド間にスリットを形成している、請求項５に記載のプラズマ反応器。
【請求項１６】
複数の電極ロッドが内側円筒管の周りに設けられ、該円筒管は中空の中心部と貫通アパチャを有する、請求項１５に記載のプラズマ反応器。
【請求項１７】
プラズマ反応器の使用方法であって、該反応器は、少なくとも一個のスリットを有する第一の誘電体と、複数の電極セグメントを含むセグメント化電極とを含み、各電極セグメントは、組み合わされるスリットの近傍に且つこのスリットと流体連通関係にあるように設けられており、該方法は、
第一の誘電体の近傍に設けられた受側電極とセグメント化電極との間に電圧差を与えてプラズマ放電を生成する工程と、
生成されたプラズマ放電をスリットを通して放射させる工程と
を含む、プラズマ反応器の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願の相互参照
本願は、２００１年１１月２日出願の米国特許仮出願第６０／３３６８６６号の利益の享受を請求するものであり、その全体を本明細書の一部を構成するものとしてここに援用する。
【０００２】
本発明は、誘電性材料に設けたスリットや貫通孔を通して非熱プラズマ放電を発生させる装置及び該装置の使用方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
「プラズマ」とは、イオン、電子、及び中性種からなる部分的にイオン化した気体である。この物質状態は、比較的高い温度や比較的強い電場、一定の（ＤＣ）或いは経時的に変化する（例えばＲＦやマイクロ波）電磁場によって生じるものである。放電プラズマは、中性原子／分子を背景として自由電子が電場によって励起されると生じる。この電子は電子と原子／分子との衝突を引き起こし、この衝突によってエネルギーが原子／分子へ移動し、フォトン、準安定状態、原子励起状態、フリーラジカル、分子断片、モノマー、電子、イオン等の様々な種が生成される。この中性ガスは部分的に或いは完全にイオン化され、電流を流すことができるようになる。プラズマ種は化学的に活性であり、及び／又は物質表面を物理的に改質することができるので、新規な化合物の生成及び／又は既存の化合物の改質に役立てることができる。また放電プラズマは、照明として利用可能な量の光放射も生成する。プラズマ放電は他の多くの用途に利用できる。
【０００４】
これまで、大気圧下での放電の安定化は、幾何形状的に不均一な電極構成、例えば点状電極と面状電極の組合せ（point-to-plane）や線状電極と円筒状電極の組合せ（wire-to-cylinder）を利用することにより行っていた。このような従来の構成では、電極が小さくなる程その付近では電場強度の高いゾーンが形成され、電極が大きくなる程その近傍の領域では電場強度の低い、比較的大きなゾーンが形成されてしまうものであった。
【０００５】
２０００年１２月１５日出願の米国特許出願第０９／７３８９２３号には、複数のキャピラリーとセグメント化電極とを有するように構成された非熱大気圧プラズマ放電装置が開示されており、該キャピラリーは第一の誘電体に設けられ、該電極は、組み合わされるキャピラリーの近傍に且つこれと流体連通関係にあるように設けられている。キャピラリーは、（頂部開口と底部開口を除き）側面全てが閉じているアパチャや孔、開口として定義され、側面の周縁は実質的に放射状に配置された壁により画定され、キャピラリー横断面は実質的に長さと幅が等しい。このプラズマ放電装置は複雑であるため、製造コストが比較的高い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電極単位面積あたりの電流密度が比較的高く、空間と電極領域とに亘って実質的に均質な電流分布が得られ、然も容易に且つより低コストで製造できる、改良された非熱大気圧プラズマ放電装置の開発が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の目的において、「スリット」という用語は、横方向に切断した断面において幅が長さより短い、貫通孔や開口、アパチャ、孔、溝、通路をいう。スリットは、全ての側面において閉じた壁を有する必要はなく、（頂部開口と底部開口に加えて）少なくとも一面の開放側面を有する任意の経路や通路を含む。
【０００８】
本発明は、誘電体がスリットや貫通孔を有するように構成された、改良された非熱大気圧プラズマ放電装置を開発することにより、従来のプラズマ発生装置に関連する上述の問題を解決するものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の非熱大気圧プラズマ放電装置は、電極単位面積あたりの電流密度がより高く、空間と電極領域とに亘ってより均質な電流分布が得られるものである。
【００１０】
更に、本発明の非熱大気圧プラズマ放電装置は、より容易に製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１ａは、本発明に係る、誘電体にスリットが形成された構成の非熱大気圧プラズマ放電装置の例示的実施形態を示す。第一の誘電体プレート１１には一以上のスリット１３が設けられており、その頂面図を図１ｂに示す。図１ｂに示したスリット１３は長方形状であるが、他の幾何形状も考えられ、それらも本発明の意図する範囲に入る。例として３個のスリットを示したが、一以上の任意の数のスリットを用いることができ、スリットの向きは所望により変更できる。複数のスリットを用いる場合、各スリットのサイズや幾何形状は同一のものとすることができるが、必ずしも同一にする必要はない。セグメント化電極１２は、組み合わされるスリット１３に対して実質的に平行に且つ近傍に、該スリットと流体連通関係にあるように設けられている。これに替えて、セグメント化電極１２は各スリットに対して実質的に垂直に設けてもよい。図１ａに示す例においては、セグメント化電極は複数の電極でそれぞれがブレードの形状であるが、他の形状、例えばワイヤやウェッジ等の形状も考えられる。好ましくは、ブレードはテーパ付きのエッジや鋸歯状のエッジを有し、これにより高電場を集中させてプラズマ放電を生成する。図１ａの実施形態では示していないが、セグメント化電極１２は、各スリット１３に部分的に或いは完全に挿入してもよい。セグメント化電極は高圧電源１０に接続されており、その間に電圧差が与えられている。
【００１２】
受側電極１６が第一の誘電体１１から離間して設けられており、その間に通路１９が形成されている。この通路１９を通して処理対象の反応流体を受け取る。受側電極１６も電源１０に接続されており、受側電極１６の第一の誘電体１１に近い側の表面は第二の誘電体１５で被覆してもよい。この場合には、ＡＣ電源やＲＦ電源１０を用いる。しかしながら、ＤＣ電源１０を用いる場合には、第二の誘電体１５を用いず、セグメント化電極１２と受側電極１６の間の導電経路を遮る物がないようにする。
【００１３】
動作時、処理対象の気体等の反応流体は、第一の誘電体１１と第二の誘電体１５との間に形成された通路１９に通される。セグメント化電極１２と受側電極１６との間に電位差を与えてプラズマ放電を発生させ、プラズマ放電はスリット１３により指向性が与えられて受側電極側１６に向かい通路１９に入る。
【００１４】
図２は、図１ａに示したプラズマ放電装置の別の実施形態である。この実施形態では、複数のスリットが設けられている単一の誘電体プレートの代わりに、複数の誘電体ロッド或いはバー１８が一緒に組み立てられ、隣接するロッド間にスリット１３を形成している。誘電体ロッドは、隣接するロッド間に設けられたスリットの両側が開放端になるようにワイヤ等の従来の手段により互いに固定されている。図１ａ、１ｂに関して上に示し説明した実施形態とは対照的に、例えば、図２に示す実施形態の電極ブレード１２は、スリット１３に対して実質的に垂直に配置されている。セグメント化電極は、各スリットに対して実質的に平行に配置することもできるし、実質的に垂直に配置することもできる。
【００１５】
本発明に係る非熱大気圧プラズマ放電装置が環状或いは円筒状である第三の例示的実施形態を図３ａに示す。この実施形態では、第一の誘電体環状管３１は、長手方向に沿って分割されて４個のラジアル部分を構成しており、隣接する部分が互いに所定の距離だけ離間してその間に長手軸方向のスリット３３が形成されている。セグメント化電極３２は４個のブレードを含み、これらブレードの各々が第一の誘電体環状管３１の長手方向に亘って延在する星状体を形成していると共に、対応するスリット３３の近傍に且つこれと流体連通関係にあるように設けられている。受側環状電極３５が第一の誘電体３１を取り囲んでおり、第一の誘電体と受側環状電極３５との間に第二の環状誘電体３４が設けられている。セグメント化電極３２及び受側環状電極３５は電源３８に接続されている。第一の誘電体３１と第二の誘電体３４との間には通路が形成されており、処理対象の反応流体はこの通路に入る。図３ａは、長手方向に分割されて４個のラジアル部を形成している第一の誘電体３１を示すが、誘電体を二以上の任意の数の部分に分割することも本発明の意図する範囲内のものとして考えられる。なお、分割された部分のサイズは同一とすることができるが、必ずしも同一である必要はない。従って、セグメント化電極３２は、好ましくは、誘電体のスリット３３と同数のブレードで構成される。ＡＣ電源やＲＦ電源を用いる場合、受側電極の内壁に水系液体１５を流して内壁を覆うことができ、また、ＤＣ電源の場合は非水系の溶液を用いることができる。このような実施形態は、特に、オフガスを処理するための湿式静電集塵器／スクラバ／非熱プラズマ放電装置や水等の液体の汚染除去／消毒のための装置としての用途に適したものである。
【００１６】
図３ａに示した実施形態の変形例として、第一の誘電体を分割して長手方向のスリットを形成する代わりに、第一の誘電体を複数の部分に横方向に分割して、内部円筒管を一連のリング３１群に分けたものとすることもできる。図３ｂは、横方向に分割されて４個の部分或いはリングを構成している例示的な第一の誘電体の構成の斜視図であり、隣接する部分間にはスリットが形成されている。この別形態の第一の誘電体構成を、図３ａにおける長手方向のスリットを有する第一の誘電体電極と置き換えることができるであろう。更に別の実施形態においては、スリットを円筒状の誘電体に螺旋状に設け、螺旋状スリットに対してワイヤ電極を実質的に整列させて或いは横断させて設けることもできる。
【００１７】
非熱大気圧プラズマ放電装置の更に別の実施形態を図４ａに示す。この構成では、第一の誘電体４０５の一部を除去することにより実質的にＵ字状の横方向断面を有する通路４１５が形成されている。第一の電極４１０は、その少なくとも一部が通路４１５内に置かれるように設けられている。好ましい実施形態においては、第一の電極４１０はギザギザ状或いは鋸歯状のエッジ４２０を有するロッド或いはバーであり、エッジは通路４１５の開口側に向けられている。反応ガスは通路４１５に注入されるか或いは通路４１５を通り、通路内で、第一の電極４１０と受側電極４２５との間に電圧差が与えられた時に発生する非熱プラズマにさらされる。図４ａに示す例では受側電極４２５は環状円筒管であるが、所望により、他の構成、例えば実質的に平面状の接地電極プレート等に置き換えることができる。ＡＣ電源やＲＦ電源を用いる場合には、第二の誘電体層４３０を使用し、受側電極４２５を取り囲む。これに替えて、受側電極４２５を非導電性の液体に浸漬したものとしてもよい。ＤＣ電源の場合には、第二の誘電体層を使用しないか、或いは受側電極４２５を導電性の液体に浸したものとすることができる。図４ｂ及び図４ｃは、それぞれ図４ａのプラズマ放電装置の横方向断面図及び長手方向断面図である。第一の電極４１０の鋸歯状エッジの歯が高電場を集中させ、図４ｄに示すようにプラズマ放電を発生させる。
【００１８】
図４ａに示した複数のＵ字形状の非熱大気圧プラズマ放電装置５０５を、図５ａに示すように、中央回転ホイール５００の周りに半径方向に配置することができる。例として、４個のプラズマ放電装置５０５を、互いに約９０°離しＵ字状通路の開口を半径方向外側に向けて配置したものを示す。このシステムは一以上の任意の数のプラズマ放電装置５０５を含むように変更することができ、該装置は所望により中央回転ホイールの周りに配置することができるが、互いに等間隔に分散配置されている必要はない。各プラズマ放電装置５０５は、第一の電極を有するＵ字状の第一の誘電体を含み、該電極は、図４ａと同様に第一の誘電体のＵ字状通路に配置されている。
【００１９】
一以上の受側電極５１５が中央回転ホイール５００の近傍に設けられており、プラズマ放電装置５０５が受側電極の一個に対して実質的に整列したときに非熱プラズマ放電が該装置５０５から放射される。これにより得られる最終的な効果は、パルス状プラズマ放電が得られるということである。第一の電極及び受側電極は電圧源に接続されており、その間に電圧差が提供される。ＲＦ電源やＡＣ電源の場合、受側電極５１５は、誘電性材料５２０に取り囲まれているか或いは非導電性の液体に浸漬されている。前述した実施形態と同様、ＤＣ電源を用いる場合には、受側電極５１５に対して誘電性材料５２０が使用されないものとする。或いは、受側電極５１５は導電性の液体中に沈めておくことができる。
【００２０】
図５ｂは別の配置を示し、この図では、２個のＵ字状誘電体スリット構成のプラズマ放電装置が互いに実質的に垂直に取り付けられている。２個の受側電極は、所定距離だけ離間し、２個のプラズマ放電装置により画定される面に対して実質的に平行に設けられている。プラズマ放電装置は、Ｕ字状スリットの開口が受側電極側に向けられた状態で配置されている。固定された受側電極に対してプラズマ放電装置が相対的に回転すると、プラズマ放電ゾーンは、プラズマ放電装置が各受側電極を横断する領域に沿って移動する。
【００２１】
図５ａ及び図５ｂに示した前述の実施形態には、受側電極に対して相対的に回転するプラズマ放電装置を示した。図５ｃに示す実施形態においては、Ｕ字状スリット誘電体を有する複数のプラズマ放電装置を、互いにずらした横ずれ配置をとるように構成することができる。その内の一つのプラズマ放電装置におけるセグメント化電極は、隣接するプラズマ放電装置の受側電極として機能するため、別体の受側電極を設ける必要性がない。プラズマ放電を矢印で示す。
【００２２】
図６ａは本発明に係る非熱大気圧プラズマ放電の更に別の構成を示し、この構成では、複数の誘電体ロッド６０５が、内側円筒管６１０の外周の周りに半径方向に設けられている。好ましくは、該円筒管は中空の中心部を有する。１２本のロッドが内側円筒管６１０の外周の周りに設けられているが、ロッドの数は所望により変更できる。内側円筒管６１０は、導電性材料で作成してもよいし、誘電性材料で作成してもよい。誘電体ロッド６０５はロッド間にスリットが形成されるように配置されており、このスリットから反応流体が半径方向外方に向かって通過できる。好ましい実施形態においては、グローからアークへの遷移を完全になくすことはできないにしても実質的に低減させるような所望のチョーキング効果を得るために、隣接する誘電体ロッド間に形成されたスリットの幅は、約１ｍｍ以下とされている。内側円筒管６１０が誘電性材料で作成されている場合、導電性ワイヤ或いはロッド６２５をスリットに挿入して第一の電極として作用させることができる。受側環状円筒電極６１５が誘電体ロッド６０５の近傍に設けられており、内側円筒電極管６１０と受側電極６１５に電圧差が与えられる。既に述べた実施形態と同様、ＡＣ電源やＲＦ電源を用いる場合には、受側電極６１５は、第二の誘電体層６２０で取り囲まれているか或いは非導電性の液体に浸漬されている。一方、ＤＣ電源を用いる場合には、第二の誘電体は使用されず、受側電極６１５は導電性の液体に浸漬されたものとすることができる。アパチャ６２５が第一の電極６１０に設けられており、内側中空通路に入ってきた反応ガスを通過させることができるようになっている。任意の形状のアパチャを用いることや二種類以上の形状を用いることができる。例えば、図６ａに示したアパチャ６２５は、孔及び／又はスリットである。
【００２３】
図６ａの誘電体ロッドプラズマ放電構成を若干変更した実施形態を図６ｂに示す。この実施形態では、それぞれ誘電体ロッド構成とした複数のプラズマ放電装置が使用されており、隣り合う即ち隣接するプラズマ放電装置は、（図６ａに示したような）環状円筒形の受側電極ではなく受側電極プレートにより分離されている。
【００２４】
プラズマ放電装置の実施形態としては、この他にも無数の実施形態が考えられ、それらも本発明の範囲内であるが、その根本にあるのは、誘電体を複数の（側面が全て閉じられている）スリットを設けた単一の一体ユニットとして形成する、或いは複数の誘電体セグメントを組立てて隣接するセグメント間に（開放端面を有する）スリットを形成するという思想である。複数の誘電体スリットプラズマ放電装置を何通りもの方法で一システムに配置でき、本明細書で説明し図示したものはその内の数例に過ぎない。
【００２５】
本発明に係る非熱大気圧プラズマ放電装置には、固体、液体、気体の状態に関わらず任意の媒体に対して数多くの用途がある。例えば、本プラズマ放電装置は、導電性或いは非導電性の表面を処理するために使用することができる。水系の溶液や非水系の溶液、その他の任意の液体を処理して、好ましくない不純物を低減させる或いは除去することもできる。更に、本発明のプラズマ放電装置は、例えば、自動車排気や燃焼オフガス、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）及び／又はその他の汚染物質を含む空気等のオフガスの処理にも用いることができる。
【００２６】
このように、本発明の新規な基本的特徴を、好ましい実施態様に即して図示し、説明し、指摘してきたが、当業者には、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、図示した装置の形状や詳細部及びその動作について、様々な省略、置換及び変更を行なうことができることが理解されよう。例えば、実質的に同一の方法で実質的に同一の機能を果たして同一の結果を達成する要素及び／又は工程の組合せは全て、本発明の範囲に含まれることが特に意図されている。記載した一実施形態における要素を別の実施形態に置換することも全て意図され考えられている。図面は必ずしも一定の縮尺で描かれているものではなく、元来、単に概念的なものであることも理解されるべきである。従って、本明細書に添付した特許請求の範囲によって示されるようにのみ限定されることを意図するものである。
【００２７】
本明細書に記載されている、特許、特許出願、刊行物、雑誌記事、書籍、その他の文献は全て、その全体を本明細書の一部を構成するものとしてここに援用する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１ａ】図１aは、本発明に係る非熱大気圧プラズマ放電装置の第一の例示的実施形態の斜視図であり、誘電体プレートに複数のスリットが設けられており、電極ブレードが各スリットに対して実質的に平行に設けられている状態を示す。
【図１ｂ】図１ｂは、図１ａのスリットを有する第一の誘電体プレートの頂面図である。
【図２】図２は、本発明に係る非熱大気圧プラズマ放電装置の第二の例示的実施形態の斜視図であり、複数の誘電体ロッドが一緒に組み立てられ、隣接するロッド間にスリットが形成され、電極ブレードが各スリットに対して実質的に垂直に設けられている状態を示す。
【図３ａ】図３ａは、本発明に係る非熱大気圧プラズマ放電装置の第三の例示的実施形態の底面図である。
【図３ｂ】図３ｂは、図３ａのプラズマ放電装置の側面図である。
【図４ａ】図４ａは、本発明に係る非熱大気圧プラズマ放電装置の第四の例示的実施形態の斜視図であり、第一の電極が見えるように第一の誘電体の一部が切り取られている。
【図４ｂ】図４ｂは、図４ａのプラズマ放電装置の横方向断面図である。
【図４ｃ】図４ｃは、図４ａのプラズマ放電装置の長手方向断面図である。
【図４ｄ】図４ｄは、図４ａの第一の電極の鋸歯状エッジの周囲に集中したプラズマ放電の強度を示す拡大図である。
【図５ａ】図５ａは、図４ａのＵ字状誘電体スリット構成とした非熱大気圧プラズマ放電装置の例示的配置の側面図であり、複数の該装置が回転中央ホイールに配置されている状態を示す。
【図５ｂ】図５ｂは、図４ａのＵ字状誘電体スリット構成とした非熱大気圧プラズマ放電装置の例示的配置の頂面図であり、２個の該装置が互いに実質的に垂直に取付けられ、その組立体が、固定された受側電極に対して相対的に回転可能である状態を示す。
【図５ｃ】図５ｃは、図４ａのＵ字状誘電体スリット構成とした非熱大気圧プラズマ放電装置が並べられている例示的配置の断面図である。
【図６ａ】図６ａは、非熱大気圧プラズマ放電装置の第五の例示的実施形態の斜視図であり、該装置は複数の誘電体ロッドを有し、該ロッドは間にスリットが形成されるように配置されている状態を示す。誘電体ロッドの一部は、内側円筒管の構成を示すために切り取られている。
【図６ｂ】図６ｂは、複数の非熱大気圧プラズマ放電装置の例示的配置の側面図であり、各装置は複数の誘電体ロッドを有して構成され、ロッド間にスリットが形成され、隣接するプラズマ放電装置間に受側電極プレートが設けられている状態を示す。
【図１ａ】
2005509255.tif 000003
【図１ｂ】
2005509255.tif 000004
【図２】
2005509255.tif 000005
【図３ａ】
2005509255.tif 000006
【図３ｂ】
2005509255.tif 000007
【図４ａ】
2005509255.tif 000008
【図４ｂ】
2005509255.tif 000009
【図４ｃ】
2005509255.tif 000010
【図４ｄ】
2005509255.tif 000011
【図５ａ】
2005509255.tif 000012
【図５ｂ】
2005509255.tif 000013
【図５ｃ】
2005509255.tif 000014
【図６ａ】
2005509255.tif 000015
【図６ｂ】
2005509255.tif 000016
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月9日(2004.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一個のスリットを有する第一の誘電体であって、頂部表面と、対向する底部表面と、端面を形成する二つの側面とを有し、前記スリットが誘電体の頂部表面と少なくとも一方の側面まで延びている第一の誘電体と、
複数の電極セグメントを含むセグメント化電極と
を含み、各電極セグメントは、組み合わされるスリットの近傍に且つこのスリットと流体連通関係にあるように、第一の誘電体の頂部表面に設けられているプラズマ反応器。
【請求項２】
第一の誘電体が、Ｕ字状の通路を有する実質的にＵ字状の誘電体プレートであり、該通路が前記少なくとも一個のスリットを形成している、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項３】
第一の誘電体が、複数の誘電体セグメントであり、隣接する誘電体セグメントが所定距離だけ離間してその間に前記少なくとも一個のスリットが形成されるように組立てられ、隣接する誘電体セグメントが少なくとも一つの開放側面を形成する、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項４】
複数の誘電体セグメントが、ロッド、バー、プレート、環状リング及び環状ウェッジの内の一の形状である、請求項３に記載のプラズマ反応器。
【請求項５】
電極セグメントがブレード、ロッド及びワイヤの内の一つである、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項６】
電極セグメントが、第一の誘電体の各スリットに対して実質的に平行に設けられている、請求項５に記載のプラズマ反応器。
【請求項７】
電極セグメントが、第一の誘電体の各スリットに対して実質的に垂直に設けられている、請求項５に記載のプラズマ反応器。
【請求項８】
第一の誘電体の近傍に設けられた受側電極を更に含む、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項９】
受側電極の少なくとも一部が第二の誘電体で覆われている、請求項８に記載のプラズマ反応器。
【請求項１０】
電極セグメントが、第一の誘電体の各スリットに少なくとも部分的に挿入されている、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項１１】
誘電体セグメントが、長手方向に沿って分割されて所定数の環状部分とされた誘電体環状管であり、隣接する部分が離間されてその間にスリットが形成されている、請求項３に記載のプラズマ反応器。
【請求項１２】
誘電体セグメントが、横方向に分割されて所定数のリング状部分とされた誘電体環状管であり、隣接するリング状部分が離間されてその間にスリットが形成されている、請求項３に記載のプラズマ反応器。
【請求項１３】
セグメント化電極が鋸歯状エッジを有する、請求項１に記載のプラズマ反応器。
【請求項１４】
電極セグメントが複数の電極ロッドであり、該ロッドが組立てられて隣接する電極ロッド間にスリットを形成している、請求項４に記載のプラズマ反応器。
【請求項１５】
複数の電極ロッドが内側円筒管の周りに設けられ、該円筒管は中空の中心部と貫通アパチャを有する、請求項１４に記載のプラズマ反応器。
【請求項１６】
プラズマ反応器の使用方法であって、該反応器は、少なくとも一個のスリットを有する第一の誘電体であって、頂部表面と、対向する底部表面と、端面を形成する二つの側面とを有し、前記スリットが誘電体の頂部表面と少なくとも一方の側面まで延びている第一の誘電体と、複数の電極セグメントを含むセグメント化電極とを含み、各電極セグメントは、組み合わされるスリットの近傍に且つこのスリットと流体連通関係にあるように、第一の誘電体の頂部表面に設けられており、該方法は、
第一の誘電体の近傍に設けられた受側電極とセグメント化電極との間に電圧差を与えてプラズマ放電を生成する工程と、
生成されたプラズマ放電をスリットを通して放射させる工程と
を含む、プラズマ反応器の使用方法。
【手続補正書】
【提出日】平成16年10月8日(2004.10.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
2005509255.tif 000021
【図４ａ】
2005509255.tif 000022
【図４ｂ】
2005509255.tif 000023
【図４ｃ】
2005509255.tif 000024
【図４ｄ】
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【図５ａ】
2005509255.tif 000026
【図５ｂ】
2005509255.tif 000027
【図５ｃ】
2005509255.tif 000028
【図６ａ】
2005509255.tif 000029
【図６ｂ】
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【国際調査報告】
2005509255.tif 000031
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