(57)【要約】  本発明は少なくとも一つの流体を搬送する装置に関し、この装置は、互いに接続されて前記流体を搬送する第１流体素子（１０）及び第２流体素子（３０）を少なくとも備え、さらに前記第１流体素子（１０）及び前記第２流体素子（３０）を搭載するベースプレート（２４）を備える。本発明によれば、前記ベースプレート（２４）は、リークテスト剤を第１流体素子（１０）及び前記第２流体素子（３０）の接続領域に送出する第１排出口（４６）を少なくとも備える。本発明はさらに、流体を搬送する互いに接続可能な少なくとも第１流体素子（１０）及び第２流体素子（３０）を搭載するベースプレート（２４）に関する。本発明によれば、前記ベースプレート（２４）は、リークテスト剤を前記第１流体素子（１０）及び前記第２流体素子（３０）の接続領域に送出する第１排出口（４６）を少なくとも備える。
2005514561.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに接続され、前記流体を搬送する少なくとも第１流体素子及び第２流体素子と、前記第１流体素子及び前記第２流体素子を搭載するベースプレートとを備える、少なくとも一つの流体を搬送するための装置において、
前記ベースプレートは、リークテスト剤を前記第１流体素子及び前記第２流体素子の接続領域に送出する第１排出口を少なくとも備えることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記リークテスト剤はヘリウムを含む請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記装置はガスパネルである請求項１記載の装置。
【請求項４】
前記排出口は前記ベースプレート内に設けられる導管の排出口である請求項１記載の装置。
【請求項５】
前記ベースプレートは少なくとも一部に積層構造を有する請求項１記載の装置。
【請求項６】
複数の流体素子を一直線に並ぶように複数のラインに渡って配置し、そして前記ラインは互いに隣接して配置される請求項１記載の装置。
【請求項７】
少なくとも一つの流体素子はバルブである請求項１記載の装置。
【請求項８】
少なくとも一つの流体素子はフィルタである請求項１記載の装置。
【請求項９】
少なくとも一つの流体素子は圧力調整器である請求項１記載の装置。
【請求項１０】
少なくとも一つの流体素子は圧力変換器である請求項１記載の装置。
【請求項１１】
少なくとも一つの質量流量制御装置である請求項１記載の装置。
【請求項１２】
前記ベースプレートは複数の導管を含み、これらの導管の各々は前記リークテスト剤を隣接する流体素子の間の接続領域に送出する排出口を有し、前記導管の各々は一の注入口を有し、そして複数の前記注入口が前記ベースプレートの境界に配置される請求項１記載の装置。
【請求項１３】
流体を搬送する互いに接続可能な少なくとも第１流体素子及び第２流体素子を搭載するベースプレートであって、
前記ベースプレートは、リークテスト剤を前記第１流体素子及び前記第２流体素子の接続領域に送出する第１排出口を少なくとも備えることを特徴とするベースプレート。
【請求項１４】
前記リークテスト剤はヘリウムを含む請求項１３記載のベースプレート。
【請求項１５】
前記排出口は前記ベースプレート内に設けられる導管の排出口である請求項１３記載のベースプレート。
【請求項１６】
前記ベースプレートは少なくとも一部に積層構造を有する請求項１３記載のベースプレート。
【請求項１７】
前記ベースプレートは複数の導管を含み、これらの導管の各々は前記リークテスト剤を隣接する流体素子の間の接続領域に送出する排出口を有し、前記導管の各々は一の注入口
を有し、そして複数の前記注入口は前記ベースプレートの境界に配置される請求項１３記載のベースプレート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は概して少なくとも一つの流体を搬送する装置に関し、特に少なくとも一つの流体を搬送する装置であって、互いに接続されて前記流体を搬送する少なくとも第１流体素子及び第２流体素子を備え、さらに前記第１流体素子及び前記第２流体素子を搭載するベースプレートを備える装置に関する。本発明はさらに、ベースプレートに関し、特に互いに接続可能であって流体を搬送する少なくとも第１流体素子及び第２流体素子を搭載するベースプレートに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体装置製造の分野においてはガスパネルが使用されるが、このガスパネルは、例えば化学気相成長プロセス、エッチングプロセス、または拡散プロセスに必要なガスを分配する複数の流体素子を備える。このようなガスパネルの場合、流体素子は、例えば手動バルブ、レギュレータ、フィルタ、変換器、空気作動バルブ、パージブロック、質量流量制御装置、及びベースブロックとすることができる。前記ベースブロックは通常、他の流体素子を接続するために使用する。例えば、不良流体素子を取り替えるには、安全上の予防措置としてガスパネルのリークをチェックすることが必要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この状況においては、ヘリウムをリークテスト剤として排気システムのリークしている可能性のある近傍に導入することが知られている。排気システムに導入するヘリウムの量はリーク量の指標となる。例えば集積ガスパネルを使用する場合には、全構成部品が相対的に近接しているので、ヘリウムをリークしている可能性のある近傍に導入すること、特にリークしている不良部品を特定することが困難であるという問題がある。
【０００４】
本発明は、上述した装置及び上述したベースプレートを改良することによりこの問題を解決しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によれば、少なくとも一つの流体を搬送する装置が提供され、この装置は、互いに接続されて前記流体を搬送する少なくとも第１流体素子１０及び第２流体素子３０を備え、さらに前記第１流体素子１０及び前記第２流体素子３０を搭載するベースプレート２４を備え、この場合前記ベースプレート２４は、リークテスト剤を第１流体素子１０及び前記第２流体素子３０の接続領域に送出する第１排出口４６を少なくとも備える。
【０００６】
さらに本発明によれば、互いに接続可能であって流体を搬送する少なくとも第１流体素子１０及び第２流体素子３０を搭載するベースプレート２４が提供され、前記ベースプレート２４は、リークテスト剤を前記第１流体素子１０及び前記第２流体素子３０の接続領域に送出する第１排出口４６を少なくとも備える。
【０００７】
本発明の文脈において、「流体」という用語は液体及び／又は気体のすべてを表わす。「流体素子」という用語はいかなる流体をも搬送する、そして／または、いかなる流体にも作用するのに適するすべての素子を表わす。本発明の好適な実施形態においては、リークテスト剤はヘリウムである。
【０００８】
本発明はガスパネルを参照しながら記載されるが、本発明はこの用途に限定されず、例えば石英製品の分野にも使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は複数の流体素子により構成するガススティックの上面図を示し、そして図２は本発明による装置の実施形態を示し、この実施形態では装置（側面図として示す）は、図１のガススティックを本発明によるベースプレートに搭載することにより構成する。図１及び図２において、リークの可能性のある箇所は複数の矢印で示している。図１及び図２に示すガススティックは以下の流体素子を備える。すなわち、手動バルブ１０、フィルタ１２、レギュレータ１４、変換器１６、チェックバルブを有する空気作動バルブ１８、質量流量制御装置２０、チェックバルブを有する空気作動バルブ２２、排出口２８（注入口２６は手動バルブ１０と一体となって形成される）、及び複数のベースブロック３０〜４２、である。ベースブロック３０〜４２は、Ｖ字形状のチャネルまたは導管を備えることが好ましく、このチャネルまたは導管により、それぞれのベースブロックに搭載される一の流体素子から同じベースブロックに搭載される隣接流体素子へ流体が流れることができる。ベースブロック３０〜４２はベースプレート２４に取り付けられる。このベースプレート２４には複数の導管が設けられて適切なリークテスト剤がリークの可能性のある箇所に送出される。この複数の導管からは導管４８が一つだけ図２に示されている。この導管４８は排出口４６を備え、この排出口からリークテスト剤を手動バルブ１０、ベースブロック３０及びフィルタ１２の接続領域に向けて送出する。導管４８はさらに、ベースプレート２４の境界５４に位置する注入口４４を備える。一般的に、単一の導管に、リークテスト剤をリークの可能性のある複数の箇所に送出するための複数の排出口を設けることも可能である。しかしながら、リークの局在化を容易にするためにリークの可能性のある箇所の全てに対して排出口を一つだけ有する一の独立した導管を設けることが好ましい。後者に代わる方法として、単一導管に、例えばバルブにより個々に閉じることのできる複数の排出口を設ける方法がある。いずれにせよ、本発明の好適な実施形態によって、リークしている単一部品及び／又はそのような部品の接続領域を特定することが可能となる。これにより、例えばガスパネル全部を取り替えるのではなく、単一部品を取り替えることによりコスト制御を効率的に行うことができる。また、特に問題の領域を迅速に特定して、例えば製造備品を生産ラインで使用可能な状態に戻すことができるようにすることにより時間を節約することができる。
【００１０】
図３は本発明によるベースプレートの実施形態を示し、そして図４は図３の領域４の詳細図を示す。図３及び図４の実施形態によれば、ベースプレート２４上に複数の流体素子からなる２本のライン５０，５２が搭載される。各破線はベースプレート２４内に設けられた導管を示す。特に、ベースプレート２４が積層構造を有する場合、複数の導管をベースプレート２４と一体に形成することができる。勿論、複数の独立した導管をベースプレート２４内に、または上に設けることも可能である。各導管はベースプレート２４の境界５４に注入口４４を備える。図を明瞭にするために、導管４８にのみ数字が付されている。図４の詳細図からわかるように、導管４８は円形状の排出口４６を備える。排出口４６（及び他の導管の排出口も）は、リークの可能性のある箇所に近接して、特に２つの流体素子の接続領域に近接して配置する。本発明は特に、複数の流体素子からなる２本以上のライン５０，５２を互いに近接して配置する場合に有用である。何故なら、この場合にはリークテスト剤を最上部からリークの可能性のある箇所に送出するのが非常に難しいからである。
【００１１】
本発明を特定の構造及び装置に関して記載してきたが、この技術分野の当業者であれば本明細書の記載に基づいて、本発明がそのような例にのみ限定されるのではなく、また本発明の全技術範囲が以下の請求項によって正しく定義されるものであることを理解できるものと考える。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】複数の流体素子が構成するガススティックの上面図。
【図２】本発明による装置の実施形態を示し、この場合装置を本発明によるベースプレートの上に搭載される図１のガススティック（側面図で示す）により構成する立面図。
【図３】本発明によるベースプレートの実施形態を示す概念図。
【図４】図３の領域Ｉの詳細を示す拡大図。
【図１】
2005514561.tif 000003
【図２】
2005514561.tif 000004
【図３】
2005514561.tif 000005
【図４】
2005514561.tif 000006
【国際調査報告】
2005514561.tif 000007
2005514561.tif 000008
2005514561.tif 000009