(57)【要約】【課題】            誤差のない被検対象測定を可能にする、デジタルカメラの異なる複数の再生モードのための信頼性の高い値を、短時間で、供給する寸法較正方法及びシステムの提供。【解決手段】        異なる複数の再生モードで作動可能な下流のデジタルカメラによって生成される、被検対象の電子的生成画像の寸法較正方法において、まず、前記デジタルカメラ（３）の指定された再生モードに対し、被検対象寸法の画像寸法に対する比を示す基準較正値（２１ｃ、２１ｄ）が求められかつ該指定された再生モード（２１ｂ）と共に記憶され、次いで、寸法較正に対し、再生モードに関する補正ファクタが、前記記憶された再生モード（２１ｂ）と前記デジタルカメラ（３）の実際に使用されている再生モード（１６）との比較によって導出され、そして、該補正ファクタと、前記記憶された基準較正値（２１ｃ、２１ｄ）とから、実際の較正値が計算されることを特徴とする。
2005538368.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる複数の再生モードで作動可能な下流のデジタルカメラによって生成される、被検対象の電子的生成画像の寸法較正方法において、
まず、前記デジタルカメラ（３）の指定された再生モードに対し、被検対象寸法の画像寸法に対する比を示す参照較正値（２１ｃ、２１ｄ）が求められかつ該指定された再生モード（２１ｂ）と共に記憶され、次いで
寸法較正のため、再生モードに関する補正ファクタが、前記記憶された再生モード（２１ｂ）を前記デジタルカメラ（３）の実際に使用されている再生モード（１６）と比較して導出され、そして、該補正ファクタと、前記記憶された参照較正値（２１ｃ、２１ｄ）とから、実際の較正値が計算されること、
を特徴とする寸法較正方法。
【請求項２】
異なる複数の倍率ファクタで作動可能な光学装置（１）を使用するとともに、
該光学装置の各倍率ファクタに対し、対応する参照較正値が求められかつ記憶されること
を特徴とする請求項１に記載の寸法較正方法。
【請求項３】
異なる複数の倍率ファクタで作動可能な光学装置（１）を使用するとともに、
該光学装置の指定された倍率ファクタに対し、参照較正値（２１ｃ、２１ｄ）が求められかつ該指定された倍率ファクタ（２１ａ）と共に記憶され、次いで
実際に使用されている倍率ファクタ（１７）と前記記憶された倍率ファクタ（２１ａ）とを比較することにより、倍率ファクタに関する前記参照較正値（２１ｃ、２１ｄ）に対し、補正ファクタが導出されること
を特徴とする請求項１に記載の寸法較正方法。
【請求項４】
とりわけ水平又は垂直方向等の一の方向における前記デジタルカメラ（３）のピクセルの数が、前記画像寸法として用いられること
を特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の寸法較正方法。
【請求項５】
予め設定された画像領域内における、前記指定され記憶された再生モード（２１ｂ）におけるピクセルの数と実際に使用されている前記再生モード（１６）におけるピクセルの数との比は、再生モードに関する参照較正値に対する補正ファクタとして使用されること
を特徴とする請求項４に記載の寸法較正方法。
【請求項６】
前記光学装置（１）として、顕微鏡又はマクロスコープが使用されること
を特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の寸法較正方法。
【請求項７】
寸法較正のため、実際に使用されているカメラモード（１６）は、手動で入力されるか、又は自動的に決定されること
を特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の寸法較正方法。
【請求項８】
実際に使用されている倍率ファクタ（１７）は、手動で入力されるか、又は自動的に決定されること
を特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の寸法較正方法。
【請求項９】
被検対象の電子的生成画像の寸法較正システムであって、
前記被検対象を結像するための光学装置と、
前記光学装置の下流に配されるとともに異なる複数の再生モードを有するよう構成された、前記画像を生成するデジタルカメラと、
被検対象寸法と選択された画像寸法とを関連付けるための較正手段と
を有するよう構成されたシステムにおいて、
前記デジタルカメラ（３）のため予め指定された再生モード（２１ｂ）における被検対象寸法と画像寸法との比を示す参照較正値（２１ｃ、２１ｄ）を予め記憶するための、及び前記関連付けられた再生モード（２１ｂ）を記憶するための記憶ユニット、及び
再生モード（１６）に関する補正ファクタによって、前記記憶された較正値から実際の較正値（２１ｃ、２１ｄ）を計算するための計算ユニットを有すること、
実際に使用されている再生モード（１６）と前記記憶された再生モード（２１ｂ）との比較から前記補正ファクタが導出されるよう構成されること
を特徴とする寸法較正システム。
【請求項１０】
前記光学装置（１）は、異なる複数の倍率ファクタで作動可能に構成され、
前記記憶ユニットは、前記光学装置の可能な倍率ファクタの各々に対する参照較正値（複数）を予め記憶するよう構成されること
を特徴とする請求項９に記載の寸法較正システム。
【請求項１１】
前記光学装置（１）は、異なる複数の倍率ファクタで作動可能に構成され、
前記記憶ユニットは、前記光学装置（１）の指定された倍率ファクタ（２１ａ）に対する参照較正値（２１ｃ、２１ｄ）を予め記憶し、かつ該倍率ファクタ（２１ａ）を記憶するよう構成されること、及び
前記計算ユニットは、倍率ファクタに関する補正ファクタを計算するよう構成されること、
前記補正ファクタは、実際の倍率ファクタ（１７）と前記記憶された倍率ファクタ（２１ａ）とを比較することにより求められ、かつ前記実際の較正値の計算の際に更なる補正ファクタとして考慮されること
を特徴とする請求項９に記載の寸法較正システム。
【請求項１２】
前記光学装置（１）は、顕微鏡又はマクロスコープであること
を特徴とする請求項９〜１１の何れか一項に記載の寸法較正システム。
【請求項１３】
前記デジタルカメラ（３）の実際に使用されている再生モード（１６）を前記計算ユニットへ伝送するか、又は前記実際に使用されている再生モード（１６）に関する前記計算ユニットによる照会を可能にする手段を有すること
を特徴とする請求項９〜１２の何れか一項に記載の寸法較正システム。
【請求項１４】
前記光学装置（１）の実際に使用されている倍率ファクタ（１７）を前記計算ユニットへ伝送するか、又は前記実際に使用されている倍率ファクタ（１７）に関する前記計算ユニットによる照会を可能にする手段を有すること
を特徴とする請求項９〜１３の何れか一項に記載の寸法較正システム。
【請求項１５】
プログラムコード手段を有するコンピュータプログラムであって、
コンピュータ又は相応の計算ユニット、とりわけ請求項９のシステムの計算ユニットにおいて該コンピュータプログラムが実行されると、請求項１〜８の少なくとも１つに規定された方法が実行されるよう構成されたコンピュータプログラム。
【請求項１６】
コンピュータで読み取り可能なデータ記録媒体に記憶された、プログラムコード手段を有するコンピュータプログラム製品であって、
コンピュータ又は相応の計算ユニット、とりわけ請求項９のシステムの計算ユニットにおいて該コンピュータプログラム製品が実行されると、請求項１〜８の少なくとも１つに規定された方法が実行されるよう構成されたコンピュータプログラム製品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異なる複数の再生モードで作動可能な下流の（後置の）デジタルカメラを有する光学装置によって生成された、被検対象の電子的生成画像の寸法較正方法に関する。更に、本発明は、被検対象の電子的生成画像の寸法較正システムであって、被検対象を結像するための光学装置と、該光学装置の下流に配される（後置される）とともに異なる複数の再生モードを有するよう構成された前記画像を生成するためのデジタルカメラと、被検対象寸法と選択された画像寸法とを関連付けるための較正手段とを有するよう構成された寸法較正システムに関する。更に、本発明は、計算ユニットにおいて本発明の方法を実行するためのコンピュータプログラム及びコンピュータプログラム製品に関する。
【背景技術】
【０００２】
結像された被検対象の構造を測定するために、当該被検対象の問題領域の寸法は、選択された画像領域と関連付けられ、及び指示ないし表示される。従来の寸法較正処理では、例えばデジタル画像の場合、（１つの）ピクセルの長さ（幅ないし横寸法）及び高さ（縦寸法）は、対応する被検対象領域の長さ及び高さと関連付けられる。被検対象構造の測定のために、後者（被検対象領域）が選定され（領域ないし位置指定され）、関連付けられたピクセルの数が特定され、そして被検対象面の寸法が較正値に基づいて求められる。この方法は、とりわけ微視的構造の測定に対して使用される。これに関し、例えば顕微鏡の場合は、光学倍率の各々に対し、１つのピクセルに対応する被検対象寸法が、例えば参照テーブルの形態で記憶される。例えば、（例えば水平方向における）ピクセル寸法は、被検対象空間において光学倍率１０×では１μｍ、倍率２０×では０．５μｍ、倍率４０×では０．２５μｍ等である。水平方向のピクセル寸法が垂直方向のピクセル寸法と異なる場合、テーブル項目は、それに応じて増加される必要がある。次いで、（１つの）画像の較正に対し、対応するリスト項目が、関連するピクセルサイズ即ち実際の較正値を取得するために、選択された画像取得条件（通常は特定の光学倍率）に応じて選択される。
【０００３】
異なる複数の選択可能な倍率を有する光学装置において適切な較正値を取得するための既知の方法は幾つか存在する。
【０００４】
そのような方法の１つ（以下「リスト法」という。）では、マイクロメートルレベルの被検対象、例えば特定の格子間隔を有する格子は、光学装置に組み込まれるが、この光学装置の光学倍率は既知である。このようなマイクロメートルレベルの被検対象は、結像され、対応する画像が、例えばコンピュータモニタに表示される。次いで、（例えば水平方向の）距離が当該マイクロメートルレベルの被検対象の画像上で選定され、当該距離内のピクセルの数が求められる。次いで、（当該マイクロメートルレベルの被検対象に対して既知の）距離の実際の長さとピクセル数との比から、較正値が、光学装置の選択された又は指定された光学倍率に対して取得される。
【０００５】
後述する数学的方法の場合とは異なり、リスト方法においては、次に、関連付けられた較正値は、光学装置の可能な（取り得る）設定（値）の各々に対して（典型的には可能な光学倍率の各々に対して）計算され、リストないし参照テーブルに記憶される。これに対し、数学的方法では、倍率間の比（記憶された参照倍率と実際に使用されている倍率との比）に基づき記憶された較正値を修正することにより、特定の光学倍率に対して記憶された較正値は、異なる光学倍率を用いて取得された画像に対しても使用される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
光学装置の下流には、しばしば、光学装置からの画像を更に処理し、記録し、及び／又は（そのモニタにおいて当該画像が利用者に表示される）コンピュータへ伝送するデジタルカメラが配される。例えば、本出願人のデジタルカメラ“ＤＣ １００”は、標準再生（normal reproduction）モード（７６５×５８１ピクセル）と補間再生（interpolated reproduction）モード（１１４６×８７１ピクセル）を有し、またデジタルカメラ“ＤＣ ３５０ Ｆ”は、１３００×１０３０ピクセルの標準再生モードと６５０×５１５ピクセルのビニング（binning）モードを有する。上記寸法較正方法は、較正が行われるまさにその再生モードにおいてデジタルカメラが作動される場合にしか、誤差のない態様で使用することができない。処理が他のモードに切換えられると、画像領域（面積）毎のピクセル数は変化するため、従前の較正値は測定のために不正確な結果を引き起こし得るので、再び寸法較正を行わなければならない。
【０００７】
従って、通常は、可能な全てのカメラ再生モードに対する較正値を有するリストが生成・保存される。再生モードは多数存在し得る（例えば標準、ビニング、補間、マルチショット等）ので、とりわけ光学装置の（実現）可能な倍率の各々が付加的に考慮される必要がある場合、この方法では長いリスト（複数）が使用されることとなる。そのようなリスト（参照テーブル）の生成−更には被検対象の測定の際のテーブル項目へのアクセス時間−は、多大な時間を要し、更には不適切なカメラモードがリストから選択されてしまう危険さえ伴う。
【０００８】
それゆえ、本発明の課題は、光学装置と異なる複数の再生モードを使用する（該光学装置の）下流の（後置の）デジタルカメラとによって画像表示ユニットに画像生成される被検対象領域（複数）の寸法測定を可能にする寸法較正方法を提供することであり、この寸法較正方法は、誤差のない被検対象測定を可能にする、デジタルカメラの異なる複数の再生モードのための信頼性の高い値を、短時間で、供給することを目的とする。本発明の更なる課題（目的）は、寸法較正のための相応のシステム及び寸法較正のためのコンピュータプログラム（製品）を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するために、本発明の方法は、まず、指定された再生モードに対し、（既知の）被検対象寸法の対応画像寸法に対する比を示す参照較正値が求められかつ該指定された再生モードと共に記憶されること、及びこの較正処理後、寸法較正のため、再生モードに関する補正ファクタが、前記記憶された再生モードと実際に使用されている再生モードとの比較によって導出され、該補正ファクタと、前記記憶された参照較正値とから、実際の較正値が計算されること、を特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明によれば、（任意の）（１つの）指定された再生モードに対してカメラシステムを較正することで十分である。使用されるこの再生モードはリストに記憶される必要がある。寸法測定が処理（ないし作動）中に実行されると、実際（現在）の較正値は記憶された値から計算される。実際の再生モードを記憶された再生モードに対し比較することにより、補正ファクタが導出され、該補正ファクタと記憶された参照較正値とから、実際（現在）の較正値が得られる。
【００１１】
（デジタル）カメラの実際の再生モードは、手動で入力することも自動的に決定することも可能である。自動決定の場合、寸法較正に関わるソフトウエアが実際に使用されているカメラ再生モードの照会（問い合わせ）をすることが可能であるか、またはデジタルカメラが実際の再生モードを関連するソフトウエアに伝送する。
【００１２】
本発明は、光学装置のただ１つの倍率設定に対して使用することができるが、更には異なる複数の選択可能な光学倍率設定に対する使用にも適する。なお、用語：光学装置の「倍率設定」ないし「倍率ファクタ（複数）」とは、光学装置の異なる複数の設定を表す。尤も、これら異なる複数の設定は、通常、光学装置の倍率に影響を及ぼすので、以下この場合に限定して説明を行う。
【００１３】
本発明の一実施形態では、光学装置の倍率ファクタの各々に対し（１つの）対応する参照較正値が求められかつ記憶されることにより、（本発明は）上記リスト方法と組み合わされる。光学装置の倍率設定が変化すると、関連付けられた倍率ファクタに属する参照較正値が記憶されたリストにおいて特定され、カメラの記憶された再生モードの照会（問い合わせ）も実行される。次いで、上述のとおり、記憶された再生モードを実際に使用されている再生モードと比較することにより、再生モードに関する補正ファクタが導出され、該補正ファクタと記憶された参照較正値とから、実際の較正値が計算される。
【００１４】
本発明の更に有利な一実施形態では、光学装置の（任意の）（１つの）指定された倍率ファクタに対し（１つの）参照較正値が求められかつ該指定された倍率ファクタと共に記憶されることによって、本発明は上述の数学的方法と組み合わされる。従って、本発明によれば、リスト項目は、３つの変数、即ち指定された再生モード、指定された倍率ファクタ、及び対応する参照較正値を有することとなる。次いで、実際に使用されている倍率ファクタと記憶された倍率ファクタとを比較し、倍率ファクタに関する記憶された参照較正値に対し（１つの）補正ファクタを導出することにより、実際の寸法較正が実行される。次いで、実際に使用されているカメラ再生モードを記憶された再生モードと比較することにより、再生モードに関する補正ファクタが導出される。導出された２つの補正ファクタと記憶された参照較正値とから、実際の較正値が計算される。
【００１５】
参照較正値は、既知の被検対象寸法を画像表示ユニット上の画像寸法と関連させる。画像寸法をピクセル（複数）で表すと都合がよい。水平方向のピクセル寸法が垂直方向のピクセル寸法と異なる場合は、これら２つの方向の間で区別を行う必要がある。この場合、水平方向と垂直方向とに対し異なる参照較正値が求められかつ記憶されること、または、一方の方向に対する記憶された参照較正値から、他方の方向に対する対応する参照較正値を計算で求めることが可能である。
【００１６】
再生モードに関する参照較正値に対して使用される補正ファクタは、予め定められた画像領域内における、指定され記憶された再生モードにおいてデジタルカメラによって供給されるピクセルの数と実際に使用されている再生モードにおけるピクセルの数との比であると都合がよい。この場合、実際の較正値は、参照較正値と当該補正ファクタとを単に乗算することによって計算することができる。同様に、光学装置の倍率ファクタに関する補正ファクタは、記憶された倍率ファクタと実際に使用されている倍率ファクタとの比として表すことができる。この場合、実際の較正値は、記憶された参照較正値と再生モードに関する補正ファクタ及び倍率ファクタに関する補正ファクタとの乗算によって容易に計算することができる。
【００１７】
上述したとおり、カメラモードは、実際に実行されている寸法較正に対し、手動で入力されることも自動的に決定されることも可能である。光学装置の実際に使用されている倍率ファクタについても同様である。
【００１８】
被検対象の電子的生成画像の寸法較正システムは、被検対象を結像するための光学装置と、該光学装置の下流に配され（後置され）かつ異なる複数の再生モードを有する、画像を生成するためのデジタルカメラと、これに関連して場合によっては更に表示（ディスプレイ）システム（例えば、上記画像の更なる記憶・処理のための、表示モニタを有するコンピュータ）と、被検対象測定と選択された画像寸法とを関連付けるための較正手段とを有する。従来の較正手段は、既知の被検対象寸法によって較正され、次いで対応する被検対象寸法と選択された画像寸法とを関連付けている。本発明によれば、上記寸法較正システムは、カメラの指定された再生モードにおける被検対象寸法と画像寸法との比を示す参照較正値を予め（先行して）記憶するとともに、更に関連付けられた再生モードをも記憶するための記憶ユニットを有する。該システムは、更に、再生モードに関する補正ファクタによって記憶された較正値から実際の較正値を計算するための計算ユニットを有する。なお、この補正ファクタは、実際に使用されている再生モードと記憶された再生モードとの比較から導出される。従って、これら記憶ユニット及び計算ユニットは、寸法較正のための本発明の方法の実行を可能とする。
【００１９】
本発明のシステムの光学装置が異なる複数の倍率ファクタで作動可能である場合、記憶ユニットは、該光学装置の可能な（とりうる）倍率ファクタの各々に対し（複数の）参照較正値を予め（先行して）記憶するよう構成されると都合がよい。
【００２０】
また、この場合、記憶ユニットは、光学装置の指定された倍率ファクタに対する第１の参照較正値を予め（先行して）記憶し、かつ当該倍率ファクタを記憶するよう構成されることが可能であり、及び計算ユニットは、倍率ファクタに関する補正ファクタを計算するよう構成されることが可能であり、当該補正ファクタは、実際の倍率ファクタと記憶された倍率ファクタとを比較することにより求められ、かつ実際の較正値の計算の際に、再生モードに関する補正ファクタに加えて、更なる補正ファクタとして考慮される。
【００２１】
光学装置は、とりわけ調節可能な光学倍率を有する（例えばズーム光学系のような倍率変換器を有する）、顕微鏡又はマクロスコープとして構成することができる。
【００２２】
本発明のシステムは、再生モード及び／又は実際に使用されている倍率ファクタを計算ユニットへ伝送するか、または再生モード及び／又は実際に使用されている倍率ファクタに関し計算ユニットによる照会（問い合わせ）を可能とする手段を有すると都合がよい。
【００２３】
本発明の方法は、通常、適切な計算ユニットにおいて実行されるコンピュータプログラムによって実行可能である。最も単純な場合、必要な計算は、除算・乗算の計算処理に限定することができる。コンピュータプログラムは、本発明のシステムの上記計算ユニットで実行されると都合がよい。コンピュータプログラムは、ＥＥＰＲＯＭ又はフラッシュメモリのような適切なデータ記録媒体の他、ＣＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク、ハードディスクドライブ等に記憶することができる。コンピュータプログラムは、記憶されたデータ、即ち記憶された再生モード及び対応して記憶された参照較正値にアクセスし、カメラの実際の再生モードを求め（確認し）、次いで、それ（ら）から実際の較正値を計算する。上述したようにして、コンピュータプログラムは、付加的に、光学装置の異なる複数の倍率ファクタを考慮に入れることができる。
【００２４】
以下に、本発明の実施例を、図面を参照して詳細に説明する。
【実施例】
【００２５】
図１（ａ）は、被検対象の電子的生成画像（この例では、コンピュータ４のモニタ２に表示される。）の画像領域（複数）の寸法較正システムの模式図である。このシステムは、更に、被検対象を結像するための光学装置、この例では顕微鏡１と、下流の（該光学装置の下流に配された即ち後置された）デジタルカメラ３とを有する。カメラ３は、個別画像（複数）又は画像シーケンス（複数）をコンピュータ４へ伝送する。コンピュータ４は、該個別画像又は画像シーケンスをモニタ２に表示するためにそれらを一時的に記憶する。コンピュータ４は、画像の記憶及び／又は処理のために通常の態様で使用することができる。図示のシステムは、顕微鏡を用いてのみ検出可能な被検対象の構造を表示・測定することができる。
【００２６】
図１（ｂ）は、寸法測定による画像分析の例を示す。この目的のため、この例では、画像１１及び１２には、被検対象空間即ち被検対象自身に関する寸法関係を示すスケール（目盛）１３が、差込入射（superimposition）によって重畳されている。リアルタイムでの寸法測定のために、測定されるべき被検対象構造は、しばしば、ポインティングデバイス（マウス）によって選定（位置ないし領域指定マーキング）が行われ、次いで、寸法測定の結果が表示される。画像１１及び１２は、それぞれ、オリジナル画像８及び９と関連付けられるが、オリジナル画像８及び９は、カメラ３の相異なる再生モードでそれぞれ取得されたものである。例えば、画像８は７６４×５８１ピクセル再生モードで取得され、画像９は１１４６×８７１ピクセル再生モードで取得されたものである。測定を誤差なしで実行可能とするために、較正値は（デジタル）カメラ３の再生モードに応じて適合化される必要がある。このことは、この例では、スケール１３の寸法の変化から明らかに見出すことができる。
【００２７】
図１の例では、（デジタル）カメラ３は２つの異なる再生モードを有し、顕微鏡は異なる複数の光学倍率設定（１０×、２０×、４０×、５０×、１００×等）を有する。従来は、倍率ファクタの各々に対しかつ（デジタル）カメラ３の再生モードの各々に対し、対応する（１つの）較正値（ないしスケーリングファクタ）がテーブル１０から取得されなければならなかった。較正値（複数）は、通常、既知の寸法（複数）を有するマイクロメートルレベルの被検対象を撮像し（画像化し）、次いで（１つの）既知の物体（被検対象）寸法と対応する画像寸法とを関連付けることにより得られる。従って、この較正手順は、再生モードの各々に対しかつ光学倍率の各々に対し実行されなければならないが、これには時間・労力がかかる。更に、画像分析に対し、正確な較正値／スケーリングファクタを得るために、大きなテーブル１０が検索されなければならない。この方法は、時間がかかり、不適切なテーブル項目にアクセスしてしまう可能性もある。
【００２８】
図２は、寸法較正及び画像分析のための本発明のシステムの一例を示すが、同じ図面参照符号は同じシステム要素を意味する。本発明のシステムのコンピュータ４は、カメラ３の指定された再生モード（カメラモード）２１ｂにおける被検対象寸法と画像寸法との比を表す参照較正値２１ｃ及びその単位２１ｄ（図２（ｂ）参照。）を予め（先立って）記憶するための、及び関連付けられた再生モード２１ｂを記憶するための記憶ユニットを有する。この記憶は、図２（ｂ）に示したテーブル２１の形態で達成することができる。本発明のシステムは、更に、記憶された参照較正値２１ｃ、２１ｄから実際の較正値を計算するための計算ユニットを有する。
【００２９】
図２に示した実施例で使用されるカメラ３は、テーブル２１において「標準」、「補間」及び「ビニング」と命名された、異なる複数の再生モード（カメラモード）２１ｂを有する。使用される顕微鏡１は、テーブル２１の欄２１ａに記載されたような異なる複数の光学倍率設定（値）で作動可能に構成されている。本発明のシステムの記憶ユニットは、指定された再生モード２１ｂ及び指定された倍率ファクタ２１ａに対し、対応する参照較正値２１ｃ、２１ｄがテーブル２１の形態で（テーブル２１の要素として）記憶されるように構成される。本発明の較正方法の第１ステップ（較正：calibration）は、例えば、（１つの）既知の寸法を有するマイクロメートルレベルの被検対象によって従来の態様で実行することができる。しかしながら、本発明によれば、次に、（デジタル）カメラ３の再生モード（カメラモード）２１ｂもまた取得・記憶される。この目的のため、（デジタル）カメラ３はデジタル画像１５と対応する再生モード（カメラモード）１６を供給し、他方、顕微鏡１は倍率ファクタ１７を情報として供給する。方形の（即ち高さと幅が等しい）ピクセル（複数）の場合、既知の寸法を有する被検対象のセクタは、次に、デジタル画像１５上で選定（位置ないし領域指定マーク）され、デジタルカメラの関連付けられたピクセルの数が読み取られ（検出され）、そして対応する参照較正値が計算される。ステップ１８で計算されたこの値は、例えば、１つのピクセルの幅／高さに対応する被検対象空間における寸法を示す。ステップ１８の結果は、図示のテーブル２１である。この実施例では、（１つの）参照較正値は、数値２１ｃと関連する単位２１ｄとに更に区分け（分類）されているが、個々の倍率ファクタ２１ａと１つの指定カメラ再生モード２１ｂに対して列挙されている。
【００３０】
次に、画像分析処理を行う場合の寸法測定手順を図３を参照して説明する。
【００３１】
この処理を行うために、デジタルカメラ３は、デジタル画像１５に加えて、実際の再生モード（カメラモード）１６に関する情報も供給する。顕微鏡１は、実際の（光学）倍率ファクタ１７に関する情報を供給する。これら情報要素は、システムの計算ユニットへアクティブに（能動的に）伝送可能であるか、又は計算ユニットによって照会される。ステップ２２では、光学倍率に関する情報に基づいて、関連する倍率ファクタ２１ａを含むテーブル２１中の相応の行（ないしライン）が選択される。ステップ２３では、カメラ３の記憶された再生モード２１ｂが照会され（問い合わされ）カメラ３の実際に使用されている再生モードと比較される。同時に、記憶された参照較正値２１ｃ（寸法情報）、２１ｄ（単位）がテーブル２１の関連する行から読み出される。記憶された再生モード（カメラモード）２１ｂと実際に使用されている再生モード（カメラモード）１６とを比較することにより、補正ファクタが計算され、該補正ファクタから、正しい実際の較正値が得られる。
【００３２】
計算ファクタは、指定された画像領域に関し、記憶された再生モード（カメラモード）２１ｂにおけるピクセルの数と実際に使用されている再生モード１６におけるピクセルの数との比を求めることにより容易に計算される。次いで、記憶された参照較正値２１ｃ、２１ｄとこの補正ファクタとの乗算を行って、実際の較正値を生成する。
【００３３】
次に、被検対象構造の寸法測定のために、特定の領域がスクリーン２上で選定（位置ないし領域指定マーキング）され、既に求められている較正値を用いて、選定された領域の寸法が計算され、必要に応じ、表示される（ステップ２４）。図１（ｂ）に示したように、並列的に（alongside）又は付加的に、スケール１３を重ね合わせる（差込入射する）ことも可能である。
【００３４】
本発明は、異なる複数の再生モードを有するデジタルカメラを用いて画像取得（生成）を行う場合におけるエラーのない寸法測定を可能にする。記憶の必要性は最小限に抑えることができるので、記憶されるべきデータの処理も、記憶されたデータに対するアクセスも、必要な時間は僅かである。同時に、画像分析の信頼性も向上する。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】（ａ）画像取得のための及び寸法較正及び画像分析のためのシステムの一例の模式図。（ｂ）従来技術による被検対象構造測定手順。
【図２】（ａ）本発明の画像取得のための及び寸法較正及び画像分析のためのシステムの一例の模式図。（ｂ）寸法較正のための本発明の方法の一例の第１ステップ。
【図３】画像分析及び寸法測定のための本発明の方法（寸法較正手順）の一例の第２ステップ。
【符号の説明】
【００３６】
１      光学装置／顕微鏡
２      モニタ
３      デジタルカメラ
４      コンピュータ
８      第１のカメラ再生モードで生成された画像
９      第２のカメラ再生モードで生成された画像
１０    較正値（複数）を有するテーブル
１１    寸法較正後の画像８
１２    寸法較正後の画像９
１３    スケール（目盛）
１５    デジタル画像
１６    実際に使用されている再生モード（カメラモード）
１７    顕微鏡の倍率ファクタ（光学倍率）
１８    参照変数（複数）決定ステップ
２１    テーブル
２１ａ  顕微鏡の記憶された倍率ファクタ（光学倍率）
２１ｂ  カメラの記憶された再生モード（カメラモード）
２１ｃ  参照較正値（数値変数）
２１ｄ  参照較正値の単位
２２    参照リストから選択するステップ
２３    実際の較正値を計算するステップ
２４    画像寸法較正ステップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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