(57)【要約】ＩＴＵ格子において選択波長に固定するための波長選択光学デバイスは、第１の導波路と、第２の導波路と、加熱素子と、制御ユニットとを具備している。第１の導波路は第１の導波路に形成される波長可変フィルタを具備し、第２の導波路は第２の導波路に形成される参照フィルタを具備する。加熱素子は波長可変フィルタおよび参照フィルタと熱的接触状態にあり、制御ユニットは加熱素子および参照フィルタに接続される。制御ユニットは、波長可変フィルタの選択されるチャネルを調整するために、参照フィルタによって供給される指示信号に応じて、加熱素子の温度を変化させる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＩＴＵ格子において選択波長に固定するための波長選択光学デバイスであって、
受信される波長分割多重化（ＷＤＭ）信号から選択されるチャネルを反射する第１の波長可変フィルタと、
前記第１の波長可変フィルタの近くに設けられ、参照信号を受信し、指示信号を供給する第２の波長可変参照フィルタと、
前記波長可変参照フィルタおよび前記参照フィルタと熱的接触状態にある加熱素子と、
前記加熱素子および前記参照フィルタに接続され、前記波長可変フィルタの前記選択されるチャネルを調整するために、前記参照フィルタに供給される前記指示信号に応じて、前記加熱素子の温度を変化させる制御ユニットと
を具備することを特徴とする波長選択光学デバイス。
【請求項２】
前記波長可変フィルタは、ブラッグ格子であることを特徴とする請求項１に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項３】
前記波長可変フィルタおよび前記参照フィルタは、ブラッグ格子であることを特徴とする請求項１に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項４】
前記波長可変フィルタは、第１の導波路内部に形成され、前記参照フィルタは、第２の導波路内部に形成されることを特徴とする請求項３に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項５】
前記参照信号は、前記受信されるＷＤＭ信号の一部であり、前記指示信号は、前記参照フィルタを通過する透過信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項６】
前記参照信号は、前記受信されるＷＤＭ信号とは無関係に、参照源によって供給されることを特徴とする請求項１に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項７】
前記参照フィルタは、異なる周期をそれぞれ有する複数の直列に接続される階段格子を具備し、前記指示信号は、前記参照フィルタを通過する透過信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項６に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項８】
前記参照フィルタは、異なる周期をそれぞれ有する複数の直列に接続される階段格子を具備し、前記指示信号は、前記参照フィルタによって反射される反射信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項６に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項９】
前記複数の直列に接続される階段格子のそれぞれが、異なるマッハ・ツェンダ干渉計のアームにわたって形成されることを特徴とする請求項８に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項１０】
前記参照源は、広帯域源であり、前記指示信号は、前記参照フィルタによって反射される反射信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項４に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項１１】
参照格子および異なる周期をそれぞれ有する複数の直列に接続される階段格子を具備し、前記指示信号が前記複数の直列に接続される階段格子の入力に供給されるモニタ導波路と、
別の参照信号を前記参照格子に供給する参照源と、
前記参照格子および前記複数の直列に接続される階段格子と熱的接触状態にあり、前記制御ユニットに接続される第２の加熱素子と、をさらに具備し、前記第２の加熱素子の温度が、前記参照格子によって反射される別の反射信号の少なくとも一部である第２の指示信号に応じて、前記制御ユニットによって制御され、前記直列に接続される階段格子のそれぞれが、前記制御ユニットを用いて前記第２の導波路に形成される前記参照フィルタから反射される信号の波長を決定するように、前記制御ユニットへ格子指示信号を供給することを特徴とする請求項１０に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項１２】
前記加熱素子が、前記波長可変フィルタの温度および特性を変化させるための第１の加熱素子と、前記参照フィルタの温度および特性を変化させるための第２の加熱素子と、を具備し、前記第１の加熱素子および前記第２の加熱素子が個別に制御可能であることを特徴とする請求項１に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項１３】
第１の導波路に設けられる波長可変フィルタであって、受信される波長分割多重化（ＷＤＭ）信号から選択されるチャネルを反射する波長可変フィルタを具備する第１の導波路と、
第２の導波路に設けられる参照フィルタであって、参照信号を受信し、指示信号を供給する参照フィルタを具備する第２の導波路と、
前記波長可変フィルタおよび前記参照フィルタと熱的接触状態にある加熱素子と、
前記加熱素子および前記参照フィルタに接続され、前記波長可変フィルタの前記選択されるチャネルを調整するために、前記参照フィルタによって供給される前記指示信号に応じて、前記加熱素子の温度を変化させる制御ユニットと、を具備する  ＩＴＵ格子において選択されるチャネルに固定するための波長選択光学デバイスと、
前記波長選択光学デバイスの入力に接続され、前記波長選択光学デバイスの入力に前記ＷＤＭ信号を供給する光データ源と、
前記光データ源によって送信される前記ＷＤＭ信号の少なくとも１つのチャネルを受信するための前記波長選択光学デバイスの出力に接続される光データ受信器と、
を具備することを特徴とする光学システム。
【請求項１４】
前記波長可変フィルタは、ブラッグ格子であることを特徴とすることを特徴とする請求項１３に記載の光学システム。
【請求項１５】
前記波長可変フィルタおよび前記参照フィルタは、ブラッグ格子であることを特徴とする請求項１３に記載の光学システム。
【請求項１６】
前記参照信号は、前記受信されるＷＤＭ信号の一部であり、前記指示信号は、前記参照フィルタを通過する透過信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１３に記載の光学システム。
【請求項１７】
前記参照信号は、前記受信されるＷＤＭ信号とは無関係に、参照源によって供給されることを特徴とする請求項１３に記載の光学システム。
【請求項１８】
前記参照フィルタは、異なる周期をそれぞれ有する複数の直列に接続される階段格子を具備し、前記指示信号は、前記参照フィルタを通過する透過信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１７に記載の光学システム。
【請求項１９】
前記参照フィルタは、異なる周期をそれぞれ有する複数の直列に接続される階段格子を具備し、前記指示信号は、前記参照フィルタによって反射される反射信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１７に記載の光学システム。
【請求項２０】
前記複数の直列に接続される階段格子のそれぞれが、異なるマッハ・ツェンダ干渉計のアームにわたって形成されることを特徴とする請求項１９に記載の光学システム。
【請求項２１】
前記参照源は、広帯域源であり、前記指示信号は、前記参照フィルタによって反射される反射信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項１３に記載の光学システム。
【請求項２２】
前記波長選択光学デバイスが、
参照格子および異なる周期をそれぞれ有する複数の直列に接続される階段格子を具備し、前記指示信号が前記複数の直列に接続される階段格子の入力に供給されるモニタ導波路と、
別の参照信号を前記参照格子に供給する参照源と、
前記参照格子および前記複数の直列に接続される階段格子と熱的接触状態にあり、前記制御ユニットに接続される第２の加熱素子と、をさらに具備し、前記第２の加熱素子の温度が、前記参照格子によって反射される別の反射信号の少なくとも一部である第２の指示信号に応じて、前記制御ユニットによって制御され、前記直列に接続される階段格子のそれぞれが、前記制御ユニットを用いて前記第２の導波路に形成される前記参照フィルタから反射される信号の波長を決定するように、前記制御ユニットへ格子指示信号を供給することを特徴とする請求項２１に記載の光学システム。
【請求項２３】
前記加熱素子が、前記波長可変フィルタの温度および特性を変化させるための第１の加熱素子と、前記参照フィルタの温度および特性を変化させるための第２の加熱素子と、を具備し、前記第１の加熱素子および前記第２の加熱素子が個別に制御可能であることを特徴とする請求項１３に記載の光学システム。
【請求項２４】
ＩＴＵ格子において選択波長に固定するための波長選択光学デバイスであって、
第１の導波路に形成される波長可変フィルタであって、受信される波長分割多重化（ＷＤＭ）信号から選択されるチャネルを反射する波長可変フィルタを具備する第１の導波路と、
第２の導波路に形成される参照フィルタであって、参照信号を受信して指示信号を供給する参照フィルタを具備する第２の導波路と、
前記波長可変フィルタおよび前記参照フィルタと熱的接触状態にある加熱素子と、
前記加熱素子および前記参照フィルタに接続され、前記波長可変フィルタの前記選択されるチャネルを調整するために、前記参照フィルタによって供給される前記指示信号に応じて、前記加熱素子の温度を変化させる制御ユニットと
を具備し、前記波長可変フィルタおよび前記参照フィルタがブラッグ格子であることを特徴とする波長選択光学デバイス。
【請求項２５】
前記参照信号は、前記受信されるＷＤＭ信号の一部であり、前記指示信号は、前記参照フィルタを通過する透過信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項２４に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項２６】
前記参照信号は、前記受信されるＷＤＭ信号とは無関係に、参照源によって供給されることを特徴とする請求項２４に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項２７】
前記参照フィルタは、異なる周期をそれぞれ有する複数の直列に接続される階段格子を具備し、前記指示信号は、前記参照フィルタを通過する透過信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項２６に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項２８】
前記参照フィルタは、異なる周期をそれぞれ有する複数の直列に接続される階段格子を具備し、前記指示信号は、前記参照フィルタによって反射される反射信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項２６に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項２９】
前記複数の直列に接続される階段格子のそれぞれが、異なるマッハ・ツェンダ干渉計のアームにわたって形成されることを特徴とする請求項２８に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項３０】
前記参照源は、広帯域源であり、前記指示信号は、前記参照フィルタによって反射される反射信号の少なくとも一部であることを特徴とする請求項２４に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項３１】
参照格子および異なる周期をそれぞれ有する複数の直列に接続される階段格子を具備し、前記指示信号が前記複数の直列に接続される階段格子の入力に供給されるモニタ導波路と、
別の参照信号を前記参照格子に供給する参照源と、
前記参照格子および前記複数の直列に接続される階段格子と熱的接触状態にあり、前記制御ユニットに接続される第２の加熱素子と、をさらに具備し、前記第２の加熱素子の温度が、前記参照格子によって反射される別の反射信号の少なくとも一部である第２の指示信号に応じて、前記制御ユニットによって制御され、前記直列に接続される階段格子のそれぞれが、前記制御ユニットを用いて前記第２の導波路に形成される前記参照フィルタから反射される信号の波長を決定するように、前記制御ユニットへ格子指示信号を供給することを特徴とする請求項３０に記載の波長選択光学デバイス。
【請求項３２】
前記加熱素子が、前記波長可変フィルタの温度および特性を変化させるための第１の加熱素子と、前記参照フィルタの温度および特性を変化させるための第２の加熱素子と、を具備し、前記第１の加熱素子および前記第２の加熱素子が個別に制御可能であることを特徴とする請求項２４に記載の波長選択光学デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長可変フィルタに関し、さらに詳細には、波長可変フィルタの閉ループ制御に関する。
【背景技術】
【０００２】
波長可変フィルタ、たとえば、ファイバブラッグ格子（ＦＢＧ）は、波長分割多重化（ＷＤＭ）光学システムにおいて、適切な位置で波長（すなわちチャネル）を選択的にアドおよび／またはドロップするために、さまざまな光学システムで利用されてきた。当業者には公知であるように、波長可変ＦＢＧは、国際電気通信連合（ＩＴＵ）標準波長またはそれ以外の波長に同調することができる狭帯域反射素子であり、チャネルはＦＢＧによって反射または透過されてもよい。このような態様で、ＦＢＧは、選択可能なノッチバンドストップフィルタとして機能し、波長範囲内の受信信号を実質的に反射し、波長範囲外の信号を実質的に通過する。理想的なＦＢＧは、ＷＤＭ信号の１つのチャネルを反射し、残りのチャネルは実質的に減衰することなく通過する。
【０００３】
典型的な光学システムにおいて、チャネル（すなわち波長の特定の範囲）の加算または減算は、制御装置によって実現される。この制御装置は透過状態および反射状態の一方の中で所与のＦＢＧを制御する。このようなシステムにおいて、一般にＷＤＭ信号の各チャネルに関するＦＢＧを有し、ＦＢＧはさまざまな方法で透過状態および反射状態で作動されている。たとえば、圧電デバイスなどのアクチュエータを用いて、ファイバに物理的な応力を印加することによって、格子の周期を変化させてもよい。このような態様で、制御装置によって圧電デバイスに印加される電力を調整することにより、関連する格子によって反射される波長の範囲を変化させる。
【０００４】
あるいは、ファイバ導波路の有効屈折率は、温度を同調させて、格子によって反射される波長の範囲を温度に応じて変化させてもよい。このような態様で、格子の温度は、ヒータに適切な量の電力を印加することによって調整される。このヒータは一般に、格子と熱接触する電気抵抗コーティングから構成される。このようなシステムにおいて、各格子は一般に、所与の格子が所与の温度で所与のチャネルを反射するように較正されている。しかし、このようなシステムにおいて、１つの波長から別の波長に格子を切り替えることができる能力は制限されている。ガラスファイバの場合には、ファイバを延伸する能力と、温度に応じてその屈折率を変化させる能力の両方が制限される。また、切替（同調）速度も制限がある可能性がある。温度制御システムにおいて、切替速度制限は一般に、格子温度を感知するために格子の付近に位置し、格子に関連する熱電対に帰因している。熱電対に結合される制御装置は、熱電対によって記録される温度を監視し、それに応じて関連するヒータに供給される電力を調整する。しかし、熱電対によって記録される温度は一般に、少なくとも初期変化後には、ヒータの温度とは異なる。したがって、制御装置は、所望の温度に安定する前に、所望のヒータ温度の数倍超えるか、または達さない恐れがあるため、所望のチャネルに固定することは困難をきわめる。
【０００５】
【特許文献１】米国特許第６，３０６，５６３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、所望の波長に固定される波長可変フィルタを保持することができる実際的な閉ループ制御システムが必要である。また、信頼性が高く、比較的効率のよい態様で１つのチャネルから別のチャネルに波長可変フィルタに切替えることができ、広範囲の波長を網羅し、許容可能な短い期間で波長のシフトを行うようなシステムが望ましいと推測される。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、ＩＴＵ格子において選択されるチャネルに固定するための波長選択光学デバイスに関する。波長選択光学デバイスは、第１の格子と、第２の格子と、１つ以上の加熱素子と、制御ユニットとを具備する。
【０００８】
第１の格子は、受信した波長分割多重化（ＷＤＭ）信号から選択されるチャネルを反射する波長可変フィルタを具備する。第２の格子は、参照信号を受信し、指示信号を供給する参照フィルタを具備する。加熱素子は波長可変フィルタおよび参照フィルタと熱的接触状態にあり、制御ユニットは加熱素子および参照フィルタに接続される。制御ユニットは、波長可変フィルタの選択されるチャネルを調整するために、参照フィルタによって供給される指示信号に応じて、加熱素子の温度を変化させる。
【０００９】
第１の格子および第２の格子は、１次元または２次元のプレーナ型導波路またはファイバにおいて、バルク材料に形成される独立の格子であってもよい。構成材料は、シリカ、ドープガラスおよびポリマーをはじめとする任意の適切な光学的透過材料であってもよい。
【００１０】
本発明のさらなる特徴および利点は、以下の詳細な説明に記載され、説明から当業者には明白であると思われ、または特許請求の範囲および添付図面と共に以下の説明に記載されるように、本発明を実行することによって認識されるであろう。
【００１１】
前述の説明は、本発明の例示に過ぎず、特許請求の範囲によって定義されるように、本発明の性質および特性を理解するための概要を提供する目的であることを理解されたい。添付図面は、本発明のさらなる理解を提供するために含まれており、本願明細書の一部に組込まれ、本願明細書の一部を構成している。図面は、本発明の種々の特徴および実施形態を示しており、その説明と共に、本発明の原理および動作を説明するのに役立つ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明は、基板上の導波路またはファイバにおいて、バルク材料の層に形成されるブラッグ格子の形をとる国際電気通信連合（ＩＴＵ）格子において選択波長を固定するための波長選択光学デバイスに関する。一実施形態において、波長選択光学デバイスは、第１の格子と、第２の格子と、１つ以上の加熱素子と、制御ユニットとを具備する。第１の格子は、受信した波長分割多重化（ＷＤＭ）信号から選択されるチャネルを反射する波長可変フィルタを具備する。第２の格子は、参照信号を受信し、指示信号を供給する参照フィルタを具備する。加熱素子は波長可変フィルタおよび参照フィルタと熱的接触状態にあり、制御ユニットは加熱素子および参照フィルタに接続される。加熱素子は従来の態様で形成され、たとえば、電気抵抗コーティングが導波路の適切な部分の上に蒸着される。制御ユニットは、波長可変フィルタの選択されるチャネルを調整するために、参照フィルタによって供給される指示信号に応じて、加熱素子の温度を変化させる。これにより、システムは選択されるチャネルに固定することができ、チャネル選択可能な構成においてこれを利用することができる。
【００１３】
本願明細書で用いられるとき、「制御ユニット」なる語は、たとえば、マイクロコントローラ、関連するメモリおよび周辺装置を備えたマイクロプロセッサ、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、プログラマブル論理アレイ（ＰＬＡ）またはスイッチングアレイが含まれてもよい。また、本願明細書で用いられるとき、「波長可変フィルタ」なる語は、たとえば、波長可変ブラッグ格子など種々の形をとってもよい。本願明細書に開示されるシステムは、主導波路の出力とデータ受信器との間のアドサーキュレータの２つのポートを接続することによって、光データ受信器に供給される信号を加算するために容易に修正されることができることを留意されたい。アドサーキュレータの残りのポートがアドデータ源からアド信号を受信し、この形で、アド／ドロップマルチプレクサ（ＡＤＭ）として機能する。
【００１４】
第１の格子および第２の格子は、１次元または２次元のプレーナ型導波路またはファイバにおいて、バルク材料に形成される独立の格子であってもよい。構成材料は、シリカ、ドープガラスおよびポリマーをはじめとする任意の適切な光学的透過材料であってもよい。本願明細書で用いられるとき、「バルク材料」なる語は、導波手段を含まない材料構成を表し、代表的なシングルモード導波路（厚さ＞＞１０ミクロン）の寸法に比べて、一般に厚い。このようなバルク材料としては、たとえば、基板上の厚いポリマー層またはガラスの厚いスラブなどを挙げることができる。一般に、好ましい厚さは、約３００ミクロン〜１０００ミクロンの範囲にある。また、本願明細書で用いられるとき、２次元導波路（スラブ型導波路としても周知である）は一般に、基板上の多層構成を具備し、最下層（バッファまたは下部クラッディングと呼ばれることが多い）は上部の層に比べて屈折率が低く、２次元平面に光を導く中間層または最上層（コア層と呼ばれることが多い）は、下部バッファ層またはクラッディング層に比べて屈折率が高い。最上層は、コア層または空気より低い屈折率の第３の材料を含んでもよい。
【００１５】
また、本願明細書で用いられるとき、「１次元導波路」なる語は、１次元で伝搬するように光が閉じ込められる導波路を指す。そのような導波路は、上部、下部および側部によって画定される。そのような導波路の代表的な例としては、チャネル型導波路およびリブ型導波路である。この点から転じて、「スラブ型導波路」なる語は２次元導波路を指し、「プレーナ型導波路」なる語は１次元導波路を指す。プレーナ型導波の特に好ましい形は、埋め込みチャネル型導波路である。
【００１６】
埋め込みチャネル型導波路の好ましい形としては、基板上の作製されるシングルモード光導波路が挙げられ、基板の表面上に蒸着されるバッファ層によって表面を画定する。バッファ層は、表面を画定し、屈折率ｎｂを有する。薄いアンダークラッディング層は、バッファ層の表面上にあり、アンダークラッディング層表面を画定し、屈折率ｎｕを有する。光透過性シングルモードコアはアンダークラッディング層の表面上にあり、コアは上面および側壁を画定し、屈折率ｎｃを有する。オーバークラッディング層はコアの上面の上およびコアの側壁の上およびアンダークラッディング層の一部の上にあり、屈折率ｎｏを有する。コアの屈折率ｎｃは、オーバークラッディング層屈折率ｎｏより大きく、アンダークラッディング層の屈折率ｎｕよりも大きい。導波路において、Δｎ＝ｎｃ−ｎｏであり、一般に
【００１７】
【数１】
2005528650.tif 000003
【００１８】
であり、ｎｃとバッファの屈折率ｎｂとの差はΔｎの少なくとも約１．５倍であり、Δｎの値は、コアの寸法と組合わせて、光通信波長においてシングルモード導波路を作製するようになっている。
【００１９】
構成材料は、シリカ、ドープガラスおよびポリマーをはじめとする任意の適切な光学的透過材料であってもよい。ポリマーは、標準的な通信帯域の大部分を占めうるきわめて波長可変ブラッグ格子の主成分をなすことから、本発明の実行において特に有用である。好ましいポリマーとしては、米国特許公報（特許文献１）に記載されているような光反応性のポリマーである。尚、当該特許は、その全体を参照によって本願明細書に包含されるものとする。
【００２０】
図１は、従来の態様で導波路１０２ａに形成される格子１０４ａを具備するプレーナ型導波路１０２ａを備えた具体的な光学システム１００を示している。参照格子１０４ｂが格子１０４ａに隣接している。格子１０４ｂは、格子１０４ａと実質的に同一であってもよく、または異なっていてもよく、単独の格子からなってもよく、または直列になったより短い多くの格子からなっていてもよい。格子１０４ａ、１０４ｂは順に作製されてもよいが、最も好ましい方法では、たとえば、単独の位相マスクを用いて同時に作製される。好ましくは、２つの格子は、平行であり、直接対向するか、または互いに対して隣り合う位置にある。主格子１０４ａと参照格子１０４ｂとの間の距離または導波路１０２ａおよび１０２ｂ（または１０９ａおよび１０９ｂ）の間の距離は、１つの格子または導波路から隣接する格子または導波路への光の結合を妨げるほど十分に大きいが、ほぼ同一の温度環境を維持するほど十分に近接している必要がある。導波路または格子の間のクロストークは、−４０ｄＢ未満であることが好ましい。導波路間の距離または２つの格子の中心間の距離は、約２０〜約１０００ミクロンの範囲にあることが好ましく、約３０〜約３００ミクロンの範囲にあればさらに好ましく、約５０〜約１００ミクロンの範囲にあれば最も好ましい。
【００２１】
参照格子は、導波路１０２ｂによって参照源１５０に接続される。参照源は、任意に広帯域源または狭帯域源であってもよい。反射光は、結合手段１０８を用いて参照ユニットに送信される。結合手段は、Ｙ分岐、方向性結合器またはサーキュレータなどの種々のタイプであってもよい。参照ユニットＡ１６０および参照ユニットＢ１３４はそれぞれ、光検出器と、波長を弁別するか、または背景雑音を抑制することができる任意にフィルタまたは他の素子と、を具備してもよい。制御ユニット１１２は、適切なチャネルがドロップされているかどうかを決定するために、格子１０４ｂによって反射または透過される信号を監視する。導波路１０２ａ、１０２ｂ、１０９ａ、１０９ｂは、たとえばポリマーから構成されてもよく、格子１０４ａ、１０４ｂは、たとえば波長可変ブラッグ格子であってもよい。導波路が用いられない場合には、ブラッグ格子１０４ａ、１０４ｂは、感光性ポリマーまたはガラスなどのバルク材料に形成されてもよい。導波路１０２ａ、１０２ｂは、ファイバ端面に取付けられるＧＲＩＮレンズまたはエジソンレンズなどのコリメーティング光学素子によって置換されてもよい。この場合には、格子間の中心と中心との距離は、約３００ミクロン〜１０００ミクロンの間であることが好ましい。結合器１０８は必要ではなく、わずかに異なる角度（角度差は約０．１°〜約３°）に向けられる２つのレンズ付きファイバによって置換されうる。
【００２２】
加熱素子１０６は、格子１０４と熱的接触状態にあり、制御ユニット１１２によって温度制御され、加熱素子１０６に供給される電力を変化させることによって、加熱素子１０６の温度を変化させる。任意に、加熱素子１０６は、２つの個別の素子１０６ａ、１０６ｂから構成されてもよく、個別に制御ユニット１１２によって制御されることができる。光データ源１３０は、導波路１０７によって波長分割多重化（ＷＤＭ）信号を３ポートサーキュレータ１２０の第１のポートに送信する。サーキュレータ１２０の第２のポートは、導波路１０２ａの入力に接続され、導波路１０２ａの出力は導波路１０９ａによって光データ受信器１４０に接続される。格子１０４ａを通過するこの経路は、デバイスの主スルーチャネルを表し、波長多重化データストリームを搬送する。格子１０４ａから特定の波長を反射することにより、データストリームから１つの波長搬送波（またはチャネル）をドロップして、受信器１２２に供給することができる。格子１０４ａによって反射されるこのチャネルは、サーキュレータ１２０の第２のポートに供給され、サーキュレータ１２０によって経路指定され、導波路１１１によって光データ受信器１２２に接続されるサーキュレータ１２０の第３のポート（ドロップポート）に供給される。
【００２３】
デバイスの適切な機能は、ドロップされるチャネルの波長に格子１０４ａを正確に同調する必要がある。多数のＩＴＵ波長の任意の１つの波長にそのような波長の帯域の中で格子を同調させることがさらに望ましい。加えて、主経路におけるデータトラヒックの任意の摂動を制限することがきわめて望ましいため、本発明は第２の格子を用いて、デバイスがどの波長を固定するかを決定し、長期にわたってこの固定を維持するための必要な情報を提供する。ブラッグ格子からの特性反射の中心波長は、格子の周期Λ、格子および導波路（存在する場合）の媒体有効屈折率ｎｅｆｆの関数である。この関係は、式λＢ＝２ｎｅｆｆΛによって与えられる。ｎｅｆｆおよびΛの両方の値は、温度、機械的歪みの関数であり、これらの一方または両方の影響を用いて、波長の範囲にわたって格子を同調させることができる。本発明の概念は、両方の格子１０４ａ、１０４ｂに関するほぼ理想的な温度および歪みの分布または正確に周知の差を有する２つの温度および歪みの分布のいずれかを維持することに基づいている。
【００２４】
代表的な一実施例において、導波路および格子は、固いＣＴＥ（熱膨張係数）の低い基板に接合されるポリマー材料に形成されてもよい。この場合には、歪みは比較的一定に維持され、デバイスは、格子の領域におけるポリマー導波路の有効屈折率に温度変化が与える影響によって同調される。ヒータ１０６ａ、１０６ｂの温度を制御することによって、制御ユニット１１２は、２つの格子１０４ａ、１０４ｂの領域における有効屈折率を制御することができるため、２つの格子の反射波長における差を制御することができる。参照源１５０、参照検出器１３４、１６０、参照格子１０４ｂおよび制御ユニット１１２は共に検知ユニットを形成する。検知ユニットは、主格子１０４ａが同調される波長を間接的に測定し、制御することができる。一般に、参照検出器ユニット１６０、１３４は、同時に存在することはない。一般に、検出器ユニット１３４は参照信号の最小値を求め、検出器ユニット１６０は反射された参照信号の最大値を求める。参照源１５０が広帯域の波長を放射するとき、検出器ユニット１３４、１６０は波長を弁別するために必要とされる。一部の実施形態において、参照源はデータストリーム自体の一部であってもよく、導波路１０２ａにタップを配置することによってアクセスしてもよい。データストリームが予測不可能な方法で変化する可能性があり、タップがデータストリームの望ましくない摂動に相当するため、この方式はあまり好ましくない。検出器ユニット１３４、１６０の出力は、両方の格子１０４ａ、１０４ｂの温度を調整するために、制御ユニット１１２によって用いられるフィードバックループの一部である。制御ユニット１１２は、検出器１３４、１６０の一方の出力に応じて、加熱素子１０６（または１０６ａ、１０６ｂ）に適切な信号を用いる。すなわち、検出器１６０または１３４の出力に基づいて、制御ユニット１１２は、加熱素子１０６（または１０６ａ、１０６ｂ）の温度を維持するか、または温度を修正するために加熱素子１０６への電力を増大または減少させ、その結果、格子１０４ａによって反射されるチャネルを維持または変更する。制御ユニット１１２は、当業界は周知であるように、検出信号のピーク、急降下またはエッジを制御することができる。本発明の具体的な利点は、制御ユニットが一般に、フィードバックループ内の固定を維持するために、その出力を回転させる必要があることである。この回転は、小さな温度振動を生じる。２つのヒータ１０６ａ、１０６ｂが本発明において用いられるとき、この温度振動は参照格子１０４ｂに制限されることができ、積算して平坦な制御信号をヒータ１０６ａに供給することができる。
【００２５】
図２は、１組のプレーナ型導波路、すなわち、本発明の実施形態によれば、主導波路４０２ａおよび参照導波路４０２ｂを具備し、格子４０４が導波路４０２ａ、４０２ｂの中に横切るように同時に形成される具体的な光学システム４００を示している。加熱素子４０６ｂは参照導波路４０２ｂを横切る格子４０４の部分の温度を制御し、加熱素子４０６ｂは主導波路４０２ａを横切る格子４０４の部分の温度を制御する。あるいは、この実施例ではあまり好ましくないが、単独の加熱素子４０６を用いて、導波路４０２ａ、４０２ｂの両方を横切る格子４０４を加熱してもよい。
【００２６】
ＷＤＭ信号を供給するデータ源４３０は導波路４０７によってサーキュレータ４２０の第１のポートに結合され、サーキュレータ４２０の第２のポートは主導波路４０２ａの入力に接続される。主導波路４０２ａの出力は、導波路４０９によってデータ受信器４４０の入力に接続される。参照源４４５の出力は、導波路４０２ｂによって格子４０４の下部分を通ってオプションの干渉フィルタ４３２に接続され、その出力は、光検出器４３４の入力に光学結合される。参照源４４５がＬＥＤと同様に広帯域である場合には、フィルタ４３２が必要であるが、用いられる参照源は、温度補償ファイバブラッグ格子からの反射と同様に、鋭い波長分布によって特徴付けられる場合には、フィルタ４３２は必要ではない。場合によっては、透過ではなく反射において参照源４４５を追跡することが好ましいこともある。光検出器４３４の出力は、制御ユニット４１２の入力に接続される。制御ユニット４１２は、加熱素子４０６ａ、４０６ｂに接続される出力を具備し、光検出器４３４から受信された信号に応じて、加熱素子４０６ａ、４０６ｂの温度を個別に制御する。上述したように、加熱素子４０６ａ、４０６ｂは単独のヒータ４０６に組込まれてもよく、その温度は制御ユニット４１２の１つの出力によって制御される。
【００２７】
作動中、制御ユニット４１２は、加熱素子４０６ｂに供給される電力を維持するか、増加させるかまたは減少させるかを決定するために、光検出器４３４の出力を監視し、格子４０４の参照格子部分がフィルタ４３２の参照波長または狭帯域参照源によって供給される参照波長に同調したままであるようにする。システム４００は参照波長からドリフトし始める場合には、光検出器４３４の出力が変化する。この場合には、制御ユニット４１２は加熱素子４０６ｂに供給される電力を変化させ、光検出器４３４の出力が最小で維持されるようにする。制御ユニット４１２はまた、参照波長とサーキュレータ４２０の第３のポートによってデータ受信器４２２にドロップされることになっている所望のＩＴＵ波長との間に較正された電圧（または電力）差に対応する主導波路４０２ａの加熱素子４０６ａに電圧（または電力）を供給するようにプログラムされる。この実施形態において、参照チャネルは、主加熱素子４０６ａに供給される電圧（または電力）に関する安定した基準線を供給するために機能する。この基準線は、周囲温度の変動、デバイスと取り付けられることができる任意の温度のヒートシンクとの間の熱的接触における変化に対して、ほぼ一定に保持される。
【００２８】
図３Ａは、格子（たとえば、波長可変ブラッグ格子）５０４ａを具備する主導波路５０２ａと、異なる周期Λ１、Λ２、Λ３をそれぞれ有する一連の短い格子（すなわち、格子Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３）５０４ｂを具備する参照導波路５０２ｂを備えた光学システム５００を示している。参照信号は、参照信号源５５０によって導波路５０２ｂの入力に供給される。参照信号源５５０は、広帯域信号源５５４（たとえば発光ダイオード（ＬＥＤ））と、サーキュレータ５５２と、温度補償ファイバブラッグ格子５５６と、を具備してもよい。源５５４の出力はサーキュレータ５５２の第１のポートに接続され、サーキュレータ５５２の第２のポートは理想的にはサーキュレータ５５２の第２のポートに１つの参照波長を戻すように反射する温度補償ファイバブラッグ格子５５６に接続される。サーキュレータ５５２はその第３のポートで参照波長を供給し、サーキュレータ５５８の第１のポートおよび第２のポートによって参照導波路５０２ｂの入力に接続される。
【００２９】
図３Ａに示されるように、制御ユニット５１２は、加熱素子５０６ａ、５０６ｂに接続される。あるいは、加熱素子５０６ａ、５０６ｂは、単独の加熱素子５０６を形成するように一体化されてもよい。サーキュレータ５２０の第３のポートに接続される光データ受信器５２２に所望のチャネルを反射するために、制御ユニット５１２は、加熱素子５０６ａ、５０６ｂまたは５０６に電力を供給し、所望のＩＴＵ波長が反射されるように導波路５０２ａの有効屈折率（ｎｅｆｆ）を適切な値に変化させる。格子５０４ｂに関して、電力が加熱素子５０６ｂに対して増加されるとき、格子Ｇ１が源５５０によって供給される参照信号を反射するまで、導波路５０２ｂの有効屈折率が変化する。格子Ｇ１の周期および参照信号の波長が公知であるため、導波路５０２ａ、５０２ｂの屈折率が同一であると仮定すると、導波路５０２ａの有効屈折率を決定することができる。温度のさらなる上昇と共に、格子Ｇ１がもはや参照信号を反射しないように、導波路５０２ｂの有効屈折率が変化する。その結果、参照信号を反射するように機能する第２の格子Ｇ２に参照信号を進めることができる。参照信号の進行距離が増大するために、反射光の量が減少する。同様に、導波路５０２ｂの温度が上昇し続けるとき、格子Ｇ２はもはや参照信号を反射しなくなり、格子Ｇ３に供給され、格子Ｇ３によって反射される。３つのみの格子が示されているが、用途に応じて、より多くの格子またはより少ない格子を用いてもよいことを留意すべきである。
【００３０】
このような態様で、反射信号強度における階段状の損失は、参照導波路５０２ｂの有効屈折率が１つのＩＴＵ波長を反射するように適応された値から別のＩＴＵ波長を反射するように適応された値に移行するときの指示を提供する。図３Ｂは、上昇する加熱素子の温度の関数として、導波路５０２ｂから反射されるときの参照信号に関連する反射強度をグラフに表している。導波路５０２ｂを通過するときの参照信号の透過強度が、上昇する加熱素子の温度の関数として、図３Ｃに示されている。２つのヒータが用いられるとき、制御ユニットは、ヒータ５０４ｂに関して用いられるものと実質的に同一の電圧（または電力）レベルで、ヒータ５０４ａを駆動するが、小さな較正差は許容可能である。したがって、主格子および一連の参照格子による有効屈折率は、実質的に同一である。この条件の場合には、反射される参照信号が最大であるとき、またはｍ番目の参照格子からの反射のために透過される参照信号が最小であるときには、主格子から反射される波長は、主格子の周期（Λ）およびｍ番目の参照格子の周期（Λｍ）の関数に過ぎない。ｍ番目のＩＴＵ波長の値がλＩＴＵ（ｍ）＝λ０Λ／Λｍによって与えられるようにｍ番目の参照格子の周期の値は選択される。尚、λ０は、フィルタ通過帯域または狭帯域参照源の中心波長である。
【００３１】
図４は、導波路６０２ａ、６０２ｂの中に横切るように形成される周期Λを有する格子６０４を具備する主導波路６０２ａおよび参照導波路６０２ｂを備える具体的な光学システム６００を示している。格子６０４と熱的接触状態にある加熱素子６０６は、複数の光検出器６７２、６７４、６７６、６７８、６８０からの出力に応じて、制御ユニット６１２によって制御される。光データ源６３０はＷＤＭ信号を送信し、導波路６０７によってサーキュレータ６２０の第１のポートに接続され、サーキュレータ６２０の第２のポートが導波路６０２ａの入力に接続される。サーキュレータ６２０の第３のポート（すなわち、ドロップポート）は、ドロップされるチャネルを受信する光データ受信器６２２に接続される。光データ受信器６４０は、導波路６０９によって導波路６０２ａの力に光学結合される。広帯域データ源６５４は、参照導波路６０２ｂの入力に広帯域信号を供給し、導波路６０２ｂに関連する格子６０４の部分は、加熱素子６０６の温度に応じて、広帯域信号の一部を反射してもよい。
【００３２】
第２の導波路６５６ａは、方向性結合器６６９によって参照源６６２から信号を受信する。導波路６５６ａの周期Λ０の格子Ｇ０から反射される信号は、光検出器６７０の入力に供給され、光検出器６７０の出力は制御ユニット６１２の入力に接続される。光検出器６７０の出力に応じて、制御ユニット６１２は、格子Ｇ０から反射される信号を最大に維持するために、加熱素子６５８の温度を制御する。あるいは、光検出器６７０からの出力を用いて、加熱素子６５８の温度を直接的に制御してもよい。
【００３３】
方向性結合器６０８は、参照導波路６０２ｂに関連する格子６０４の部分から反射される信号を方向性結合器６７１によって、導波路６５６ａに関して共通の温度環境を共有するそれぞれ周期Λ１、Λ２、Λ３、Λ４、Λ５の複数の格子Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４、Ｇ５を具備する導波路６５６ｂに供給する。結合器６７１は、格子Ｇ１から反射される信号を光検出器６７２の入力に供給し、その出力は制御ユニット６１２の第２の入力に供給される。方向性結合器６７３は、格子Ｇ１によって透過される信号を受信し、格子Ｇ２から反射される信号を光検出器６７４の入力に供給し、その出力は制御ユニット６１２の第３の入力に供給される。方向性結合器６７５の入力は格子Ｇ２によって透過される入力信号を受信し、格子Ｇ３の入力に透過信号を供給する。
【００３４】
方向性結合器６７５は、格子Ｇ３からの反射信号を受信し、反射信号を光検出器６７６の入力に供給し、その出力は制御ユニット６１２の第４の入力に供給される。方向性結合器６７７の入力は、格子Ｇ３によって透過される入力信号を受信し、格子Ｇ４の入力に透過信号を供給する。方向性結合器６７７は、格子Ｇ４からの反射信号を受信し、反射信号を光検出器６７８の入力に供給し、その出力は制御ユニット６１２の第５の入力に供給される。格子Ｇ４と格子Ｇ５との間に接続される方向性結合器６７９は、格子Ｇ４によって透過される信号を格子Ｇ５に供給し、格子Ｇ５からの反射信号を光検出器６８０の入力にに供給し、その出力は制御ユニット６１２の第６の入力に供給される。光検出器６７２〜６８０からの出力に基づいて、制御ユニット６１２は、加熱素子６０６を制御し、主導波路６０２ａにおいて格子６０４の部分が選択されるＩＴＵ波長を反射し、ＩＴＵ選択波長に固定するようにする。
【００３５】
導波路６５６ａ、６５６ｂは、格子Ｇ０および格子Ｇ１〜Ｇ５と共に、デマルチプレクサを形成し、光検出器６７０の出力を加熱素子６５８に直接供給することによって、または光検出器６７０の出力を制御ユニット６１２の入力に供給し、今度は、加熱素子６５８に供給される電力を制御することによって較正される。図４のデバイス６００は、図１に示される方式の特定の実施例を提供し、ひとまとめにして考えるデマルチプレクサの構成要素は、波長選択検出手段の実施例を提供し、参照検出器ユニット１６０に関する性能特性の範囲に含められる。導波路６５６ａ、６５６ｂと、結合器６６９〜６７９と、格子Ｇ０〜Ｇ５と、から構成されるこの検出器ユニットの部分は、格子６０４と同一の基板に集積されてもよく、または個別の基板（またはチップ）であってもよい。デバイスの２つの部分、すなわち主格子６０４およびデマルチプレクサが同一の基板に集積される場合には、導波路および格子の上にヒータを設けることによって、異なる温度を維持することができる。デバイスの２つの部分が個別の基板上にある場合には、基板に接続されるヒータ（またはクーラ）または格子の上にあるヒータのいずれかを用いることができる。
【００３６】
加熱素子６５８と熱的接触状態にある導波路６５６ａの有効屈折率は、格子Ｇ０からの波長λ０の反射を最大にすることによって、
ｎ０＝λ０／２Λ０
によって与えられる値で維持される。以下に記載される公式、
ΔλＩＴＵ＝２ｎ０（Λｎ＋１−Λｎ）
によれば、連続するＩＴＵ波長における反射を形成するために、他の格子Ｇ１〜Ｇ５を選択してもよい。式中、ｎ番目のＩＴＵ波長は、λＩＴＵ（ｎ）＝２ｎ０Λｎ＝λ０Λｎ／Λ０である。したがって、光検出器６７２〜６８０の出力が所望の条件を満たすまで、制御ユニット６１２は、加熱素子６０６の温度を変化させるように構成される。光検出器６７２〜６８０の出力で符号化されるディジタル語を表示される波長または周波数に復号化することができ、たとえば、加熱素子６０６に関する制御信号を提供するために特定の出力を選択するための電子スイッチをプログラムするために用いることもできることを十分に理解すべきである。デバイス６００は簡素な方向性結合器を用いるため、反射光の一部は、導波路６５６ｂに沿ってその格子に前置されるすべての光検出器に現れる。したがって、たとえば、格子Ｇ２から反射される２番目のＩＴＵ波長に対応するディジタル語は、１１０００、または３番目のＩＴＵ波長に対応するのは１１１００などであると考えられる。また、導波路６５６ｂ内部に任意の数の格子を実装することができることを十分に理解すべきである。
【００３７】
図５は、格子７０４を有する導波路７０２ａと、複数のマッハ・ツェンダ干渉計Ｍ−Ｚ１、Ｍ−Ｚ２、Ｍ−Ｚ３を有する参照導波路７０２ｂと、を具備する光学システム７００を示している。図５に示されているように、マッハ・ツェンダフィルタＭ−Ｚ１は周期Λ１を有する両方のアームにわたって格子Ｇ１を具備し、マッハ・ツェンダフィルタＭ−Ｚ２は周期Λ２を有する両方のアームにわたって格子Ｇ２を具備し、マッハ・ツェンダフィルタＭ−Ｚ３は周期Λ３を有する両方のアームにわたって格子Ｇ３を具備している。必要に応じて、より多いマッハ・ツェンダフィルタまたはより少ないマッハ・ツェンダフィルタを実装してもよいことを十分に理解すべきである。サーキュレータ７２０は、光データ源７３０の出力と導波路７０２ａの入力との間で接続される。データ源７３０によって、導波路７０７を介してサーキュレータ７２０の第１のポートに供給されるＷＤＭ信号は、サーキュレータ７２０の第２のポートによって、導波路７０２ａの入力に供給される。導波路７０２ａに形成される格子７０４から反射される信号は、サーキュレータ７２０の第２のポートで反射され、サーキュレータ７２０の第３のポート（すなわち、ドロップポート）に接続される光データ受信器７２２に供給される。共通の加熱素子７０６は、格子７０４およびマッハ・ツェンダフィルタＭ−Ｚ１、Ｍ−Ｚ２、Ｍ−Ｚ３の格子Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３と熱的接触状態にある。光データ受信器７４０は、導波路７０９によって、導波路７０２ａの出力に接続され、格子７０４によって透過される信号を受信する。既に述べたように、格子７０４から反射される信号は、サーキュレータ７２０によってデータ受信器７２２に供給される。
【００３８】
図５に示されるように、参照源７６２は、参照信号を参照導波路７０２ｂに供給する。方向性結合器７７１は、源７６２と第１のマッハ・ツェンダフィルタＭ−Ｚ１との間に接続される。フィルタＭ−Ｚ１から反射される信号は、結合器７７１によって光検出器７７２の入力に供給され、その出力は制御ユニット７１２の第１の入力に供給される。フィルタＭ−Ｚ１の出力は、方向性結合器７７２の入力に光学結合され、その出力はフィルタＭ−Ｚ２の入力に接続される。フィルタＭ−Ｚ２の格子から反射される信号は、方向性結合器７７２によって光検出器７７４の入力に供給され、光検出器７７４の出力は制御ユニット７１２の第２の入力に接続される。フィルタＭ−Ｚ２の出力は、方向性結合器７７３の入力に接続され、その出力はフィルタＭ−Ｚ３の入力に接続される。フィルタＭ−Ｚ３から反射される信号は、方向性結合器７７３によって受信され、光検出器７７６の入力に供給され、その出力は制御ユニット７１２の第３の入力に接続される。方向性結合器７７１、７７２、７７３は、３−ｄＢ結合器であり、反射光を隣接するドロップポートで完全にドロップすることができることが好ましい。たとえば、Ｍ−Ｚ２の格子Ｇ２から反射される光のすべてまたは大部分は、検出器７７４などに送信される。
【００３９】
光検出器７７２、７７４、７７６から受信される出力信号に基づいて、制御ユニット７１２は、所望のＩＴＵ波長に固定するために加熱素子７０６の温度を制御する。このような態様で、制御ユニット７１２は、フィルタＭ−Ｚ１、Ｍ−Ｚ２、Ｍ−Ｚ３によって反射される波長を追跡して、どの波長が格子７０４によって反射されているかを選択的に決定し、所望の波長が固定され、格子７０４から反射されるように、加熱素子７０６の温度を制御することができる。
【００４０】
加熱素子７０６は、上部クラッディングの格子７０４およびＧ１、Ｇ２、Ｇ３の上に使用される薄膜ヒータであってもよく、または基板と直接接しているヒータまたは熱電子クーラ（ＴＥＣ）であってもよい。いずれの場合も、共通の温度がすべての格子に関して維持されるため、デバイスは、主データ経路および参照経路の両方に関して、均一および同一の有効屈折率を形成する。デバイスは、温度によって、この有効屈折率を変化させることによって同調される。一例として、制御ユニット７１２が固定され、Ｍ−Ｚ２からの反射信号として見られる検出器７７４からの出力を最大にするとき、有効屈折率は、
ｎ（２）＝λ０／２Λ２
となる。７２２で受信されるドロップ波長は、
λ２＝２ｎ（２）Λ２＝λ０Λ／Λ２
である。このドロップ波長は、λ０、Λ、Λ２を適切に選択することによって、所望のＩＴＵ波長λＩＴＵ（２）に等しく構成される。
【００４１】
したがって、ＩＴＵ格子において選択波長に固定される多数の波長選択光学デバイスについて述べてきた。波長選択光学デバイスは一般に、第１の導波路、第２の導波路、加熱素子および制御ユニットを具備している。上述したように、第１の導波路は、受信された波長分割多重化（ＷＤＭ）信号から選択されるチャネルを反射する第１の導波路に形成される波長可変フィルタを具備し、第２の導波路は、参照信号を受信し、指示信号を供給する第２の導波路に形成される参照フィルタを具備している。１つまたは複数の加熱素子は波長可変フィルタおよび参照フィルタと熱的接触状態にあり、制御ユニットが加熱素子および参照フィルタに接続される。波長可変フィルタの選択されるチャネルを調整するために、制御ユニットは、参照フィルタによって供給される指示信号に応じて加熱素子の温度を変化させる。
【００４２】
本願明細書に述べるように、添付の特許請求の範囲に定義されるような本発明の精神または範囲を逸脱することなく、本発明の好ましい実施形態に対する種々の修正を行うことができることは、当業者には明白となるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】温度同調格子を有するプレーナ型導波路および波長可変参照格子を有する関連する導波路を具備する光学システムの具体的な図である。
【図２】本発明の実施形態による温度同調格子を有する１組のプレーナ型導波路を具備する光学システムの具体的な図である。
【図３】本発明の一実施形態による温度同調格子を具備する主導波路と、それぞれ異なる周期を有する複数の直列に接続される階段格子を有する参照導波路と、を有する１組のプレーナ型導波路を具備する光学システムの具体的な図である。
【図４】本発明の別の実施形態による温度同調格子と、それぞれ異なる周期を有する複数の直列に接続される階段格子を有する参照格子を備えたモニタ導波路を有する１組のプレーナ型導波路を具備する光学システムの具体的な図である。
【図５Ａ】本発明のさらに別の実施形態による温度同調格子を具備する主導波路と、マッハ・ツェンダ干渉計のアームに形成されるそれぞれ異なる周期を有する複数の直列に接続される階段格子を有する参照導波路と、を有する１組のプレーナ型導波路を具備する光学システムの具体的な図である。
【図５Ｂ】図５Ａの参照導波路に関連する参照信号の温度の関数として反射強度のグラフである。
【図５Ｃ】図５Ａの参照導波路に関連する参照信号の温度の関数として透過強度のグラフである。
【図６】なし
【図７】なし
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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