(57)【要約】パッケージ化されたマイクロチップ（１０）は、マイクロチップ熱膨張係数を持つ応力に敏感なマイクロチップ（１６）と、パッケージ熱膨張係数を持つパッケージ（１２）と、アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータ（２４）とを具備する。アイソレータ（２４）は、応力に敏感なマイクロチップ（１６）とパッケージ（１２）との間に結合されている。具体的には、マイクロチップ熱膨張係数は、パッケージ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値となっている。
2005538551.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージ化されたマイクロチップであって、
マイクロチップ熱膨張係数を持つ応力に敏感なマイクロチップと、
パッケージ熱膨張係数を持つパッケージと、
アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータであって、応力に敏感なマイクロチップとパッケージとの間に結合されているアイソレータと、
を具備し、
前記マイクロチップ熱膨張係数は、パッケージ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値である、
パッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項２】
前記マイクロチップ熱膨張係数と前記アイソレータ熱膨張係数との差は、前記マイクロチップ熱膨張係数と前記パッケージ熱膨張係数との差よりも小さい、請求項１に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項３】
前記応力に敏感なマイクロチップはＭＥＭＳ装置である、請求項１に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項４】
前記応力に敏感なマイクロチップには基板上に自在に保持された可動構造が含まれる、請求項３に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項５】
前記基板は、基板熱膨張係数を持ち、前記マイクロチップ熱膨張係数は、前記基板熱膨張係数の関数である、請求項４に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項６】
前記応力に敏感なマイクロチップにはマイクロチップ面があり、前記アイソレータには前記マイクロチップ面と対向し結合するアイソレータ面があり、該アイソレータ面は、マイクロチップ面の一部分にのみ結合している、請求項６に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項７】
前記パッケージはパッケージ面を持ち、前記パッケージ面の一部は前記アイソレータに結合されていて、前記パッケージ面の面積は前記アイソレータ面の面積よりも大きい、請求項６に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項８】
前記パッケージはセラミック材でできている、請求項１に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項９】
前記アイソレータを前記パッケージに固定する応力吸収材を具備する、請求項１に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項１０】
基板熱膨張係数を持つ基板に自在に保持された可動構造物を具備するダイと、
アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータと、
前記ダイを収納する内部空洞を形成するパッケージパッケージであって、パッケージ熱膨張係数を持つパッケージと、
を具備するセンサーであって、
前記アイソレータは前記基板と前記パッケージとの間に結合され、
前記基板熱膨張係数は、マイクロチップ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値を持つ、センサー。
【請求項１１】
パッケージに固定された蓋であって、前記内部空洞を閉じる蓋を具備する、請求項１０に記載のセンサー。
【請求項１２】
前記ダイはジャイロスコープ又は加速度計である、請求項１０に記載のセンサー。
【請求項１３】
さらに、前記アイソレータを前記パッケージに固定する応力吸収材が含まれる、請求項１０に記載のセンサー。
【請求項１４】
前記パッケージの内部空洞は空洞面を持ち、前記基板は基板面を持ち、前記アイソレータは前記基板面の一部分と前記空洞面の一部分との間に隙間を形成させる、請求項１０に記載のセンサー。
【請求項１５】
前記パッケージはセラミック材からなる、請求項１０に記載のセンサー。
【請求項１６】
パッケージ化されたマイクロチップであって、
マイクロチップ熱膨張係数を持つ応力に敏感なマイクロチップと、
前記応力に敏感なマイクロチップをパッケージ化する手段であって、パッケージ熱膨張係数を持つパッケージ化手段と、
前記応力に敏感なマイクロチップを前記パッケージ化手段に固定する手段であって、固定手段熱膨張係数を持つ固定手段と、
前記マイクロチップ熱膨張係数は、前記パッケージ熱膨張係数よりも前記固定手段熱膨張係数に近い値を持つ、
パッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項１７】
前記パッケージ化手段にはセラミック材が含まれる、請求項１６に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項１８】
前記固定手段を前記パッケージ化手段に固定する応力吸収材をさらに含む、請求項１６に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項１９】
前記固定化手段は前記応力吸収材の一部分とパッケージ化手段の一部分との間に隙間を形成させる、請求項１６に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【請求項２０】
前記応力に敏感なマイクロチップには基板上に自在に置かれた可動構造が含まれる、請求項１６に記載のパッケージ化されたマイクロチップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般にマイクロチップに関し、特に、本発明はマイクロチップのパッケージ化技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロエレクトロメカニカルシステム（「ＭＥＭＳ」）は、より多くの応用分野で用いられている。 例えば、ＭＥＭＳは近年、飛行機のピッチ角を検出するジャイロスコープ、及び、自動車のエアバッグを適時に膨張させる加速時計として用いられている。簡単に言うと、ＭＥＳのような装置は、一般に、基板上に自在に保持された構造物と、この自在に保持された構造物の動作データを検出し検出した動作データを１以上の外部装置（例えば、外部コンピュータ）に送信する電子機器とからなっている。この外部装置は検出したデータを処理し計測された特性値（例えば、ピッチ角や加速度）を算出する。
【０００３】
関連する電子素子、基板、及び可動構造は一般に、パッケージ内に固定された１以上のダイ（ここでは単に「ダイ」と称す）上に形成される。例えば、パッケージは一般にダイを気密シールするものであり、セラミックまたはプラスチックで製造される。パッケージには、電子素子が動作データを外部の装置に伝送できるような相互間の接続が含まれる。パッケージにダイを固定させるために、ダイの底面は一般に、パッケージの内面（例えば、接着パッド）に（例えば、接着剤または半田により）接着されている。従って、ダイの底面はほぼ全域にわたってパッケージの内面に接着されている。問題は、しかしながら、二つの面の温度が変化したときに発生する可能性がある。特に、二つの面は一般に異なった熱膨張係数を持つので、パッケージからダイの基板に機械的応力を与えることがある。この応力（この技術分野では「線形応力」と称し、この場合熱により引き起こされる）は、基板を曲げたり収縮させたりして予期できない望ましくない湾曲を起こすことがある。このような曲げや収縮は、ダイ構造の動作と電子素子の機能に影響を与え、計測された特性値（例えば、加速度）を示す出力データとして誤った出力データを出力する原因となる。同様にして、パッケージに加えられる機械的に引き起こされた線形応力またはねじれ応力はダイに伝えられ、同じような望ましくない影響を与える。
【発明の開示】
【０００４】
本発明の一つの特徴によれば、パッケージ化されたマイクロチップは、マイクロチップ熱膨張係数を持つ応力に敏感なマイクロチップと、パッケージ熱膨張係数を持つパッケージと、アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータとを具備する。アイソレータは、応力に敏感なマイクロチップとパッケージとの間に結合されている。具体的な実施形態によれば、マイクロチップ熱膨張係数は、パッケージ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値となっている。
【０００５】
ある実施形態によれば、マイクロチップ熱膨張係数とアイソレータ熱膨張係数との差は、マイクロチップ熱膨張係数とパッケージ熱膨張係数との差よりも小さい。さらに、応力に敏感なマイクロチップはＭＥＭＳ装置であってもよく、この応力に敏感なマイクロチップには、基板熱膨張係数を持つ基板上に自在に保持された可動構造が含まれる。かかる場合、マイクロチップ熱膨張係数は、基板熱膨張係数の関数であってもよい。
【０００６】
具体的には、応力に敏感なマイクロチップにはマイクロチップ面があり、アイソレータにはまたアイソレータ面がある。アイソレータ面はマイクロチップ面と対向し結合している。アイソレータ面はマイクロチップ面の一部分にのみ結合している。他の実施の形態においては、パッケージはパッケージ面を持ち、パッケージ面の一部分はアイソレータに結合されている。パッケージ面の面積はアイソレータ面の面積よりも大きい。パッケージは、他の材料もあるがとりわけセラミック材でできている。パッケージ化されたマイクロチップにはまた、アイソレータをパッケージに固定する応力吸収材が含まれていてもよい。
【０００７】
本発明の他の特徴によれば、センサーは、基板熱膨張係数を持つ基板に自在に保持された可動構造物を具備するダイと、アイソレータ熱膨張係数を持つアイソレータと、前記ダイを保持する内部空洞を形成するパッケージを有する。パッケージはまたパッケージ熱膨張係数を持つ。アイソレータは基板とパッケージとの間に結合されている。基板熱膨張係数は、具体的には、マイクロチップ熱膨張係数よりアイソレータ熱膨張係数に近い値を持つ。
【０００８】
ある実施形態によれば、センサーはパッケージに固定された蓋を持つ。この蓋は内部空洞を閉じる。センサーにはまた、アイソレータをパッケージに固定する応力吸収材が含まれていてもよい。さらに、パッケージの内部空洞には空洞面を持ってもよく、基板は基板面を持ってもよい。このようにアイソレータは基板面の一部分と空洞面の一部分との間に隙間を形成させる。ダイは、例えば、ジャイロスコープ、加速度計、又は他のＭＥＭＳ装置の内のいずれか１つであってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の具体例では、パッケージ化されたマイクロチップ（例えば、マイクロエレクトロメカニカルシステム、ここでは「ＭＥＭＳ」とも称す）には、マイクロチップをパッケージの内部に固定するアイソレータが含まれる。アイソレータの材料と寸法とはパッケージからもたらされるマイクロチップの応力（例えば、線形応力及びねじれ応力）を最小にするように選定される。この実施の形態及び他の実施の形態を以下に説明する。
【００１０】
図１は、本発明の種々の実施形態に用いることができるパッケージ化されたマイクロチップ１０の概略部分断面を示す。具体的実施形態において、パッケージ化されたマイクロチップ１０は、ジャイロスコープとして用いられたＭＥＭＳ装置である。従って、この目的のために、種々の実施形態がＭＥＭＳジャイロスコープとしてここで説明される。従って、図１及び２に示したＭＥＭＳ装置はジャイロスコープ１０である。しかしながら、ＭＥＭＳジャイロスコープとしての種々の実施形態の説明は典型例を示すのみであり本発明のすべての実施形態を制限することを意図するものでないことに注意すべきである。従って、実施の形態によっては、集積回路のような他の形式のマイクロチップ装置に適用することができる。加えて、本発明の実施の形態を、ＭＥＭＳベースの光学スイッチング装置及びＭＥＭＳベースの加速度計のような他の形式のＭＥＭＳ装置にも適用することができる。さらに、本発明の実施の形態を、胴体をプラスチックにしたパッケージ等の気密シールされていないパッケージに組み込まれたマイクロチップ装置に適用することも可能である。
【００１１】
図１に示したジャイロスコープ１０には、通常のパッケージ１２と、パッケージを気密シールする蓋１４と、シールされた内部３２に固定された通常のジャイロスコープダイ１６とが含まれる。ジャイロスコープダイ１６には、与えられた座標に対する相対角位置を計測する周知の機械的構造と電子素子（以下に図２に関連して説明する）とが含まれる。パッケージ１２から突き出た複数のピン２２がジャイロスコープダイ１６と電気的に接続されているので、ジャイロスコープ電子素子と外部装置（例えばコンピュータ）との間の電気的通信が可能となっている。
【００１２】
ジャイロスコープダイ１６は、パッケージ１２の内部面に直接接続するのではなく、アイソレータ２４に接着され、アイソレータ２４がパッケージ１２の内部３２に接着されている。具体的には、図２に、図１に示したパッケージ化されたマイクロチップ１０を直線２−２に沿って切断した概略断面が示されている。この図は、パッケージ１２とその蓋１４と、ダイ１６と、アイソレータ２４とを明確に示している。
【００１３】
先に説明したとおり、ダイ１６には、回転角を機械的に検出する一般的なシリコンＭＥＭＳ構造１８が含まれ、それに電子素子２０が付随する。このような構造１８と電子素子２０（両方とも図２に概略的に示されている）は、例えば絶縁性ウエハー上のシリコンに形成され、１対のシリコン層の間に酸化膜がある。一例として、ＭＥＭＳ構造１８には、例えば、シリコン基板２６上に複数の湾曲材により可動自在に保持された１以上の振動可能な質量体２６が含まれる。この構造１８には、振動可能な質量体体を動かしその動きを検出するコムドライブ（comb drive）と検出装置が含まれる。従って電子素子２０には、例えば、コムドライブと検出機構とに接続された駆動及び検出電子装置と信号送信回路とが含まれる。電線２３は付属電子素子２０とピン２２とを電気的に接続する。典型的なＭＥＭＳジャイロスコープは、両方ともマサチューセッツ州ノースウッドのアナログ・デバイス・インクにより出願された出願番号60/354,610及び60/354,610である同時係属の米国仮特許出願にもっと詳細に説明されている。これらの仮特許出願に開示された事項はそのすべてを参考として本出願に組み込むものとする。
【００１４】
他の実施の形態においては、ＭＥＭＳ構造１８と付随の電子素子２０とは異なったダイの上に置かれる。例えば、ＭＥＭＳ構造１８を有するダイ１６を、第１のアイソレータ２４を介してパッケージ１２に装着するとともに、付随の電子素子２０を有するダイ１６を第２のアイソレータ２４を介してパッケージ１２に装着してもよい。あるいは、両方のダイ１６を同じアイソレータ２４に装着してもよい。場合によっては、一方のダイ１６（すなわち応力に敏感なダイ１６）をアイソレータ２４上に装着し、他方のダイ１６（すなわち応力に敏感でないダイ１６）をパッケージ１２に直接装着してもよい。しかし図示の実施例の原理はこれらの実施形態にも適用されることに注意すべきである。
【００１５】
マイクロチップ、及び／又は、集積回路であるダイ１６は、線形応力及びねじれ応力の両方に敏感である。この文脈で、「敏感」とは一般に、ダイ１６上の構造、及び／又は、ダイ１６上の電子素子２０が応力を受けたとき害を受ける可能性があることを言う。例えば、上述のように、ダイ１６に加わる応力により質量を支えるたわみが曲がったりちぢんだりする。それにより、質量が所定の割合及び角度で振動しない可能性があり、求積問題（quadrature problem）を引き起こす可能性がある。さらなる例として、コムドライブの位置がずれることもあり、あるいは、電子素子が破損することもある。例示したこれらの望ましくない問題により、ＭＥＭＳダイ１６から得られたデータに誤りを多く発生させる可能性がある。従って、これらの理由により、ダイ１６又は他のマイクロチップは「応力に敏感」であると見なすことができる。
【００１６】
これらの応力に関する問題を解決するために、アイソレータ２４は、パッケージ１２よりもダイ１６に近い熱膨張係数を持つ材料により形成される。言い換えれば、アイソレータ２４の熱膨張係数はパッケージ１２の熱膨張係数よりもダイ基板２６の熱膨張係数に近い値にすべきである。具体的実施の形態において、パッケージ１２は、一般に熱膨張係数が１℃当たり約７ｐｐｍである酸化アルミニウムのようなセラミック材により形成されている。さらには、具体的実施の形態において、基板２６は、一般に熱膨張係数が１℃当たり約４ｐｐｍのシリコンである。従って、具体的実施の形態において、アイソレータ２４の熱膨張係数は７よりも４に近くなっている。アイソレータ２４は具体的には、基板２６に適合するシリコンにより形成されている。このようにアイソレータ２４の熱膨張係数は約４である。従って、アイソレータ２４と基板２６の両方は、温度変化に応じて実質的に同じ割合で伸縮する。他の実施の形態においては、アイソレータ２４はシリコン以外の材料により形成される。しかしながらこのような材料は、具体的にはパッケージ１２より基板２６の熱膨張係数に近い熱膨張係数を持つ。
【００１７】
このような好ましい結果をもたらすにもかかわらず、それでもやはりアイソレータ２４は、酸化アルミニウムのパッケージ１２に接触しているので、前述の線形応力を受ける。しかし、アイソレータ２４はダイの性能に最小限の影響しか与えないレベルにまでこのような応力を減衰させる。
【００１８】
ダイ１６の材料とアイソレータ２４の材料とを適合させることに加えて、具体的実施の形態において、アイソレータ２４はまた、ねじれ応力の影響を最小限にするような寸法とする。この目的のために、アイソレータ２４とダイ１６との接着面は接触面が最小限になるような大きさにする。より具体的には、アイソレータ２４は上面２８でダイ１６の底面３０と接着している。アイソレータの上面２８は、ダイ１６の底面３０より小さい面積を持ち、このようにして、ダイ底面３０とパッケージ１２との間に隙間が形成される。従って、ダイ底面３０の比較的広い部分はパッケージからもたらされる直接的なねじれ応力を受けることがない。熱膨張係数に基づいて材料を適合させる過程と同様に、アイソレータ２４とダイ１６の相対的な大きさを選定する過程を「適合」させると称する。
【００１９】
パッケージに組み込まれたダイ１６の種々の要素の典型的な寸法は以下の通りである。図２において、Ｘ方向は長さを示し、Ｙ方向は高さ（厚さ）を示し、Ｚ方向（図示していないがＸ方向とＹ方向とに垂直な方向）は幅を示す。
【００２０】
パッケージ１２：高さ：０．１２インチ。
【００２１】
ダイ１６：長さ：０．１７インチ、幅：０．１４０インチ、高さ：０．０２７インチ。
【００２２】
アイソレータ２４：長さ：０．０８４インチ、幅：０．０８４インチ、高さ：０．０２６インチ。
【００２３】
このような相対的寸法を持つパッケージ化されたマイクロチップはここに記載した目的を十分満足する。もちろん、これらの寸法はほんの参考として記載したものである。他の実施の形態は、このような具体的寸法に制限されるものではない。従って、上記制限内で、異なった寸法のアイソレータ２４、パッケージ１２、及びダイ１６を持つパッケージ化されたマイクロチップ１０には、相応の応力の減衰がもたらされる。ある実施の形態においては、アイソレータ２４／ダイ１６の相対的な大きさが上述に適合しているが、材料は適合していない。他の実施の形態においては、アイソレータ２４／ダイ１６の相対的な大きさは適合していないが、材料は上述に適合している。
【００２４】
具体的実施の形態において、アイソレータ２４はシリコンウエハーであり、ダイ底面３０とパッケージの内面の両方に接着剤で接着されている。この接着剤も応力吸収特性を持つことが好ましく、それにより前記応力がさらに減衰する。例示した実施の形態において、接着剤は、カリフォルニア州、サンディエゴのデクスター・エレクトロニクス・マテリアルズから出荷されているデクスター・プロダクトの品番ＱＭＩ３５５５のような銀含有ガラス接着剤（silver filled glass adhesive material）である。デクスター・エレクトロニクス・マテリアルズは、ドイツのロックタイト社の１部門である。
【００２５】
アイソレータ２４をダイ１６とパッケージ１２に接着するために他のタイプの材料を用いても良い。そのような材料として、他の銀含有ガラス材、エポキシ、シネートエステル、及びシリコーンが含まれる。種々の実施の形態ではこれらの接着剤が応力吸収特性を持つことが好ましくはあるが、必ずしも必要ではない。加えて、他の一般的な手段をアイソレータ２４をダイ１６とパッケージ１２に接着するために用いてもよい。つまり、接着剤３４についての議論は例示であり、本発明の種々の実施形態を限定するものではない。
【００２６】
代わりの実施の形態において、アイソレータ２４は、ダイ１６と一体化されており、従って同じ材料となっている。他の実施の形態において、アイソレータ２４はパッケージ１２と一体化されている（すなわち、アイソレータ２４はパッケージ１２に組み込まれている）。このような実施の形態においては、アイソレータ２４とパッケージ１２は、熱膨張係数がダイ１６の熱膨張係数と比較的近い材料から作られる。例えば、パッケージ１２は窒化アルミニウム（ＡＩＮ）で作ってもよい。
【００２７】
図３は、図１及び２に示したパッケージ化されたマイクロチップ１０の組立工程を例示したものである。工程はステップ３００から始まり、ここで接着剤３４によりアイソレータ２４をパッケージ１２の内面に接着する。本技術分野における通常の知識を有する者にとっては既知であるが、この内面は一般に「ダイ接着パッド」と呼ばれている。工程はステップ３２０に進み、ここで基板２６の底面３０がアイソレータ２４の上面２８に接着される。ダイ１６は次いで、パッケージ１２と電気的に接続される（ステップ３０４）。続いて、ステップ３０６にて、蓋１４がパッケージ１２の上部に固定され、内部がシールされる。必要に応じて、蓋１４をパッケージ１２に固定する前に、パッケージ内部３２にガスを注入してもよい。
【００２８】
代替的な実施の形態において、ステップ３００と３０２は逆にする。言い換えれば、このような実施の形態において、アイソレータ２４を最初に基板２６に接着し、次にアイソレータ２４を（基板２６が付着した状態で）パッケージ１２の内部３２に接着する。
【００２９】
本発明の種々の実施形態を例示したが、本技術分野における通常の知識を有する者にとって、本発明の技術範囲を逸脱することなくより有利な種々の変更と改造を加えることができることは明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
前述の発明及び発明の利点は、添付図及び詳細な説明によりさらによく理解されよう。
【図１】本発明の具体例により作られたパッケージ化されたマイクロチップの概略部分断面を示す。
【図２】図１に示したパッケージ化されたマイクロチップを直線２−２に沿って切断した概略断面を示す。
【図３】図１及び２に示したパッケージ化されたマイクロチップの製造工程を示す。
【図１】
2005538551.tif 000003
【図２】
2005538551.tif 000004
【図３】
2005538551.tif 000005
【国際調査報告】
2005538551.tif 000006
2005538551.tif 000007