(57)【要約】低圧チャンバ用のマイクロ波窓構造体である。窓構造体は、チャンバの外にあるマイクロ波源からのマイクロ波エネルギーをチャンバまで導入することを可能にする。窓構造体は、チャンバの側壁部への装着に適応した、導電壁を有する固定装置を含む。壁の内部は、かかる固定装置内の開孔の周辺領域を提供する。固体のマイクロ波エネルギー透過型誘電窓が含まれている。窓は、固定装置に添着された周辺部と、固定装置の開孔内に設置された内部領域とを含む。
2005531170.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低圧チャンバの外部にあるマイクロ波源から該低圧チャンバにマイクロ波エネルギーが導入されることを可能にする、低圧チャンバ用窓構造体であって、
前記導電壁を有する固定装置であって、導電壁の内部が該固定装置の開孔の周辺領域を提供し、該固定装置は前記チャンバの側壁部に装着されるようになっている固定装置と、
前記固定装置に添着された周辺部、
前記固定装置の前記開孔内に設置された内部領域であって、該内部領域の第一の表面が前記チャンバ内に設置され、該内部領域窓の対向する第二の表面が前記チャンバの外部に設置された内部領域、および、
前記第一の表面で終端する第一の端および前記周辺部で終端する第二の端を有する側壁部であって、前記固定装置の前記壁から離れている側壁部
を有する固体マイクロ波エネルギー透過型誘電窓と、
を備えた窓構造体。
【請求項２】
前記窓の前記周辺部が、前記固定装置の前記壁の前記内部と、前記壁の前記内部の丸みのある領域に隣接して接触している、請求項１に記載の窓構造体。
【請求項３】
前記窓の前記側壁部が前記固定装置の前記内部の壁と平行である、請求項２に記載の窓構造体。
【請求項４】
前記窓の前記第二の表面が前記窓の誘電率よりも大きい誘電率を有する波形構造体を含む、請求項２に記載の窓構造体。
【請求項５】
前記窓の第一の表面が、山および壁を含み、前記山は、前記窓を介して前記チャンバに導入される前記マイクロ波エネルギーの公称動作波長よりも短い長さで他の山と分離されている、請求項４に記載の窓構造体。
【請求項６】
低圧チャンバの外部にあるマイクロ波源から該低圧チャンバにマイクロ波エネルギーが導入されることを可能にする、低圧チャンバ用窓構造体であって、
前記導電壁を有する固定装置であって、導電壁の内部が該固定装置の開孔の周辺領域を提供し、該固定装置は前記チャンバの側壁部に装着されるようになっている固定装置と、
前記固定装置に添着された周辺部、および、
前記固定装置の前記開孔内に設置された内部領域であって、該内部領域の第一の表面が前記チャンバ内に設置され、該内部領域窓の対向する第二の表面が前記チャンバの外部に設置された内部領域を有し
前記窓の前記周辺部が、前記固定装置の前記壁の前記内部と、前記壁の前記内部の丸みのある領域に隣接して接触している、
固体マイクロ波エネルギー透過型誘電窓と、
を備えた窓構造体。
【請求項７】
前記窓の前記側壁部が前記固定装置の前記内部の壁と平行である、請求項６に記載の窓構造体。
【請求項８】
前記窓の前記第二の表面に前記窓の誘電率よりも大きい誘電率を有する波形構造体が添着された、請求項７に記載の窓構造体。
【請求項９】
前記窓の第一の表面が、山および壁を含み、前記山は、前記窓を介して前記チャンバに導入される前記マイクロ波エネルギーの公称動作波長よりも短い長さで他の山と分離されている、請求項８に記載の窓構造体。
【請求項１０】
低圧チャンバの外部にあるマイクロ波源から該低圧チャンバにマイクロ波エネルギーが導入されることを可能にする、低圧チャンバ用窓構造体であって、
前記導電壁を有する固定装置であって、導電壁の内部が該固定装置の開孔の周辺領域を提供し、該固定装置は前記チャンバの側壁部に装着されるようになっている固定装置と、
前記固定装置に添着された周辺部、
前記固定装置の前記開孔内に設置された内部領域であって、該内部領域の第一の表面が前記チャンバ内に設置され、該内部領域窓の対向する第二の表面が前記チャンバの外部に設置された内部領域、および、
前記第一の表面で終端する第一の端および前記周辺部で終端する第二の端を有する側壁部であって、前記固定装置の前記壁から離れている側壁部を有し、
前記窓の前記側壁部が前記固定装置の前記内部の壁と平行である
固体マイクロ波エネルギー透過型誘電窓と、
を備えた窓構造体。
【請求項１１】
前記窓の前記第二の表面に前記窓の誘電率よりも大きい誘電率を有する波形構造体が添着された、請求項１０に記載の窓構造体。
【請求項１２】
前記窓の第一の表面が、山および壁を含み、前記山は、前記窓を介して前記チャンバに導入される前記マイクロ波エネルギーの公称動作波長よりも短い長さで他の山と分離されている、請求項１１に記載の窓構造体。
【請求項１３】
低圧チャンバの外部にあるマイクロ波源から該低圧チャンバにマイクロ波エネルギーが導入されることを可能にする、低圧チャンバ用窓構造体であって、
前記導電壁を有する固定装置であって、導電壁の内部が該固定装置の開孔の周辺領域を提供し、該固定装置は前記チャンバの側壁部に装着されるようになっている固定装置と、
前記固定装置に添着された周辺部、
前記固定装置の前記開孔内に設置された内部領域であって、該内部領域の第一の表面が前記チャンバ内に設置され、該内部領域窓の対向する第二の表面が前記チャンバの外部に設置された内部領域、および、
前記第一の表面で終端する第一の端および前記周辺部で終端する第二の端を有する側壁部であって、前記固定装置の前記壁から離れている側壁部
を有する固体マイクロ波エネルギー透過型誘電窓と、
を備えた窓構造体。
【請求項１４】
前記窓の前記第二の表面に前記窓の誘電率よりも大きい誘電率を有する波形構造体が添着された、請求項１３に記載の窓構造体。
【請求項１５】
前記窓の第一の表面が、山および壁を含み、前記山は、前記窓を介して前記チャンバに導入される前記マイクロ波エネルギーの公称動作波長よりも短い長さで他の山と分離されている、請求項１４に記載の窓構造体。
【請求項１６】
低圧チャンバの外部にあるマイクロ波源から該低圧チャンバにマイクロ波エネルギーが導入されることを可能にする、低圧チャンバ用窓構造体であって、
前記導電壁を有する固定装置であって、導電壁の内部が該固定装置の開孔の周辺領域を提供し、該固定装置は前記チャンバの側壁部に装着されるようになっている固定装置と、
前記固定装置に添着された周辺部、
前記固定装置の前記開孔内に設置された内部領域であって、該内部領域の第一の表面が前記チャンバ内に設置され、該内部領域窓の対向する第二の表面が前記チャンバの外部に設置された内部領域、および、
前記第一の表面で終端する第一の端および前記周辺部で終端する第二の端を有する側壁部であって、前記固定装置の前記壁から離れている側壁部を有し、
前記窓の第一の表面が、山および壁を含み、前記山は、前記窓を介して前記チャンバに導入される前記マイクロ波エネルギーの公称動作波長よりも短い長さで他の山と分離されている
固体マイクロ波エネルギー透過型誘電窓と、
を備えた窓構造体。
【請求項１７】
低圧チャンバの外部にあるマイクロ波源から該低圧チャンバにマイクロ波エネルギーが導入されることを可能にする、低圧チャンバ用窓構造体であって、
前記導電壁を有する固定装置であって、導電壁の内部が該固定装置の開孔の周辺領域を提供し、該固定装置は前記チャンバの側壁部に装着されるようになっている固定装置と、
前記固定装置に添着された周辺部、および、
前記固定装置の前記開孔内に設置された内部領域であって、該内部領域の第一の表面が前記チャンバ内に設置され、該内部領域窓の対向する第二の表面が前記チャンバの外部に設置された内部領域を有し、
前記窓の第一の表面が、山および壁を含み、前記山は、前記窓を介して前記チャンバに導入される前記マイクロ波エネルギーの公称動作波長よりも短い長さで他の山と分離されている
固体マイクロ波エネルギー透過型誘電窓と、
を備えた窓構造体。
【請求項１８】
前記窓の第一の表面が、山および壁を含み、前記山は、前記窓を介して前記チャンバに導入される前記マイクロ波エネルギーの公称動作波長よりも短い長さで他の山と分離されている、請求項１７に記載の窓構造体。
【請求項１９】
低圧チャンバの外部にあるマイクロ波源から該低圧チャンバにマイクロ波エネルギーが導入されることを可能にする、低圧チャンバ用窓構造体であって、
前記導電壁を有する固定装置であって、導電壁の内部が該固定装置の開孔の周辺領域を提供し、該固定装置は前記チャンバの側壁部に装着されるようになっている固定装置と、
前記固定装置に添着された周辺部、および、
前記固定装置の前記開孔内に設置された内部領域であって、該内部領域の第一の表面が前記チャンバ内に設置され、該内部領域窓の対向する第二の表面が前記チャンバの外部に設置された内部領域を有し、
前記窓の前記第二の表面に前記窓の誘電率よりも大きい誘電率を有する構造体が添着された
固体マイクロ波エネルギー透過型誘電窓と、
を備えた窓構造体。
【請求項２０】
前記窓の前記第二の表面に添着された前記表面が導入されたマイクロ波エネルギーを取り込むための表面を有し、前記表面が波形表面である、請求項１９に記載の窓構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波窓（ｍｉｃｒｏｗａｖｅ  ｗｉｎｄｏｗｓ）に関するものであり、より具体的には、チャンバの外にあるマイクロ波源からの大電力マイクロ波エネルギーを通過させてかかるチャンバまで導入することを可能にする、低圧（すなわち、真空）チャンバの中での使用に適応したマイクロ波窓に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
当技術分野で周知のように、多くの用途において、チャンバの外にあるマイクロ波源から大電力マイクロ波エネルギーを低圧チャンバへ導入することが必要とされる。かかる用途の１つに、プラズマ強化化学蒸着（ＰＥＣＶＤ）処理がある。そのような用途では、マイクロ波エネルギーが誘電窓を介してチャンバ（またはリアクタ）に導入される。したがって、窓はチャンバの壁の開孔部に設置される。導波管は、窓の外表面上で終端する。チャンバ（またはリアクタ）中のガス圧は低く、マイクロ波の電界（すなわち、Ｅ電界）は、りアクタのところで最大であるので、窓上でのパシェン絶縁破壊の問題がある。この絶縁破壊が発生すると、高密度のプラズマが窓のリアクタ側（すなわち、低圧もしくは真空側）に生成される。このプラズマは到来するマイクロ波エネルギーを強力に吸収し、窓の高温局部加熱を引き起こす。特定の条件下では、この加熱が熱衝撃による窓の故障を引き起こす。窓の故障は、リアクタの通気を引き起こしてチャンバ内の高い真空およびチャンバ内での所望の処理を台無しにする。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明にしたがって、低圧チャンバ用のマイクロ波窓構造体が提供される。窓構造体は、チャンバの外部にあるマイクロ波源から前記チャンバにマイクロ波エネルギーが導入されることを可能にする。窓構造体は、導電壁を有する固定装置を含む。壁の内部は、前記固定装置内の開孔の周辺領域を提供する。固定装置は、貫通する開孔を有するチャンバの側壁部に装着するようになっている。固体マイクロ波エネルギー透過型誘電窓が窓構造体に含まれている。窓は、固定装置に添着された周辺部と、固定装置の開孔に配置され、チャンバの側壁部を貫通して開孔に位置合わせされた内部領域とを含む。内部領域の第一の表面は、チャンバの開孔を貫通してチャンバの中に設置されている。内部領域の第二の、反対側の表面は、チャンバの外側に設置されている。窓は、窓の第一の表面で終端する第一の端および窓の周辺部で終端する第二の端を有する側壁部を含む。窓の側壁部は、導電固定装置の壁より離れている。
【０００４】
かかる構成で、固定装置の導電壁と、誘電窓と、チャンバ内の真空との間の接触点での接合（いわゆる「三重接合」）は、固定装置の導電壁より偏移している。より具体的に言うと、表面を横断するマイクロ波絶縁破壊を始める上での１つの重要な現象は、三重接合よりの誘電体表面への電子の注入である。ここで、電子とは、導電表面、特に壁の鋭い縁部もしくはバリから出射される電界である。放出された電子と誘電窓との衝突の都度電子の数が増える。それは、多くの誘電体の二次電子放出比は１より大きい（例えば、シリカの場合は最大乗数４）からである。電子が誘電窓を横断するとき、なだれ現象を発生させ、窓にイオン化および気体の絶縁破壊を引き起こす。
【０００５】
１つの実施の形態において、窓の周辺部は、固定装置の壁の内部と、壁の内部の丸みのある領域に隣接して接触している。かかる配置で、丸みのある領域が三重接合点における電界強度を減少させるので、電界放出される電子数も相応して減少する。
【０００６】
１つの実施の形態において、窓の側壁部は、固定装置の内部の壁と平行である。かかる構成で、導電壁の相対する部分を横断して生ずる電界の方向は、隣接する窓部分の表面に対する法線（すなわち、偏移した窓の側壁に対する法線）である。
【０００７】
１つの実施の形態において、窓の第二の表面は、自らに添着された波形の構造体を含む。かかる配置で、窓を横断する電界強度はより均一となり、窓全面に渡って最大電界強度を減少させる。
【０００８】
１つの実施の形態において、窓の第一の表面が、山および谷を含み、山は窓を介してチャンバに導入されるマイクロ波エネルギーの公称動作（ｎｏｒｍａｌ−ｏｐｅｒａｔｉｎｇ）波長よりも短い長さで他の山と分離されている。かかる配置で、電界ベクトルに平行な、窓の内側表面部は、副波長構造（すなわち、山および谷）で分割されており、表面放電の形成の確率を減少させる。また、同じ副波長構造が、窓と真空との間の大きな誘電率差に起因するマイクロ波の反射を排除するようになっている。
【０００９】
本発明の１つまたは複数の実施の形態が添付図面および記述の中に詳細に説明されている。本発明の他の特徴、目的、および利点は、記述および図面から、また請求の範囲から明白である。
【００１０】
いろいろな図面中の同一記号は、同一構成要素を示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１を参照して、化学蒸着チャンバ９が示されている。チャンバ９は、マイクロ波エネルギーをチャンバ９に導入するための１対のマイクロ波窓１０を有する。
図２、２Ａ、および２Ｂを参照して、低圧チャンバ１２（図２Ａおよび２Ｂ）用のマイクロ波窓構造体１０が示されている。窓構造体１０は、無線周波数（Ｒ．Ｆ．）のマイクロ波エネルギーがチャンバ１２に導入されることを可能にする。ここで、マイクロ波エネルギー源１４は、図２Ａおよび２Ｂに示すように、チャンバ１２の外にある。
【００１２】
図２、２Ａ、および２Ｂに示すように、窓構造体１０は固定装置２０（図４、４Ａ、および４Ｂ）を含む。図４、４Ａ、および４Ｂに示すように、固定装置２０は上部２０Ｕおよび下部２０Ｌを有する。固定装置２０は、導電性の壁を有し、上部２０Ｕの導電壁を２２Ｕで、また下部２０Ｌの導電壁を２２Ｌで示す。導電壁２２Ｕ、２２Ｌの内部２４Ｕ、２４Ｌは、固定装置２０内の開孔２６の周辺領域を提供し、固定装置２０はチャンバ１２の側壁部を介して開孔２８（図３Ａ、３Ｂ）に装着するようになっている。
【００１３】
図２、２Ａ、および２Ｂに示すように、固体のマイクロ波エネルギー透過型誘電窓３０（図５、５Ａ、および５Ｂに詳細に示されている）が窓構造体１０（図２、２Ａ、および２Ｂ）の中に含まれている。図５、５Ａ、および５Ｂにより詳細に示されている窓３０は、固定装置２０の導電壁２２に添着された周辺部４０（図２、２Ａ、および２Ｂ）と、固定装置２０の開孔２６に配置された内部領域４２とを含む。
【００１４】
より具体的には、固定装置２０の上部および下部２０Ｕ、２０Ｌは、それらの間に周辺部４０を挟持している。周辺部４４を挟持する上部および下部２０Ｕ、２０Ｌは、窓３０をその開孔２６内に内部領域４２を有する固定装置２０に固着するために、ネジ２３（図４、４Ａ、および４Ｂ）で一緒に装着される。
【００１５】
内部領域４２の第一の表面３０Ｕ（図３Ａ）は、チャンバ１２の中の開孔２８を貫通してチャンバ１２の中に設置され、内部領域４２の第二の、反対側の表面３０Ｌは、チャンバ１２の外側に設置されていることに留意されたい。第二の領域３０Ｌには、図３および３Ｂに示すように、マイクロ波源１４からマイクロ波エネルギーが入射する。
【００１６】
図５、５Ａ、５Ｂ、および６を参照して、窓３０は第一の表面３０Ｕで終端する第一の端４６および周辺部４０で終端する第二の端４８を有する側壁部４４を持っていることに留意されたい。窓３０の側壁部４４は、図６に示すように、固定装置２０の上部２０Ｕの壁２２Ｕから離れている。
【００１７】
窓３０の周辺部４０は、固定装置２０の壁の内部２４Ｕと、かかる壁の内部の丸みのある領域５０に隣接して接触している。窓３０の側壁部４４は、図５および２Ｂに示すように、固定部２０Ｕの上壁、内壁と平行である。（マイクロ波源１４からのマイクロ波エネルギーは、矩形の導波管を介して窓３０に供給されることに留意されたい。導波管５２は、薄い壁５２Ｎ（図３Ｂ）を有し、それにより電界Ｅを担持する。したがって、側壁４４は、図３Ｂに示すように電界Ｅに垂直であることに留意されたい。）
図４、４Ａ、および４Ｂを参照して、窓３０の第二の表面３０Ｌには、窓３０の上部３０Ｕの誘電率よりも大きい誘電率を有する波形構造体が添着されている。また、窓に接する導波管の体積を，交互に一つ置きに長さが異なる多層の誘電板が充填している。導波管そのものは、変更されていない。多層誘電体は、電気的に（無線周波）窓構造体の一部であり、窓の真空側におけるピーク電界強度を減少させる。多層板の主構成要素の材料は、高誘電率、低損失正接（ｌｏｗ−ｌｏｓｓ−ｔａｎｇｅｎｔ）であればどんなものでも良いが、ここでは、テフロン材料を用いる。多層板の他の板はどれも、導波管のＨ方向では隣接するフルサイズの板よりも小さい。多層誘電体の目的は、単一モード入射を多モードに変換し、それにより電界をより均一にすることである。したがって、導波管は可能なたった１つのモードで動作するようになっているが、ここでは、導波管はより広い寸法の導波管を横断し、中央で最大になる半コサイン分布の電界強度Ｅを有する。多モードにすることで、多数コサインパターンを有するマイクロ波が可能になる。マイクロ波エネルギーをより小さい山（ｐｅａｋ）を持った多くのモードに分配することにより、Ｅ電界はより均一になる。より均一な電界はより低い最大値を持ち、アーク破壊を引き起こしにくくなる。多層誘電体の構成はまた、マイクロ波をより誘電率の高い材料に整合させ、反射電力を最小化することに貢献している。
【００１８】
窓３０の第一の表面３０Ｕは、山５２Ｐおよび谷５２Ｖを含み、かかる山５２Ｐは、窓３０を介してチャンバ１２に導入されるマイクロ波エネルギーの公称動作波長よりも短い長さで他の山と分離される。したがって、副波長構造体が設けられ、ベクトルＥ（すなわち、電界ベクトル）と平行な窓の表面での誘電率の急変により引き起こされるマイクロ波の反射を排除することに貢献する。このように、Ｄ．Ｈ．Ｒａｇｕｉｎ、Ｇ．Ｍ．Ｍｏｒｉｓ、「Ａｎｔｉｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ  Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄ  Ｓｕｒｆａｃｅｓ  ｆｏｒ  ｔｈｅ  Ｉｎｆｒａｒｅｄ  Ｓｐｅｃｔｒａｌ  Ｒｅｇｉｏｎ」、Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｏｐｔｉｃｓ  ３月  １９９３、１１５４〜１１６７頁に開示されているような副波長構造体が、屈折率分布コーティングと類似の方法で作用し、電磁反射を減少させるか、もしくは排除するが、多くの反射波の位相をずらして加算して相殺するように反射素子の厚みを調整することで、反射を排除することも可能である。しかしながら、この方法は、構造体間に潜在的に高い電界を有し相殺反射波を発生させる定在波を創出させるという不利な点を持っている。この状況において、副波長構造体の有利な点は、これら構造体の一部である羽板が電界ベクトルに対して平行に延在することが可能で、それにより、その方向での表面に沿った経路長をより長くして表面をかなり小さい電位差の領域群に分割する。
【００１９】
本発明のいくつかの実施の形態を開示した。しかしながら、本発明の精神および範囲より乖離することなく、いろいろな変更ができることを理解されたい。したがって、他の実施の形態は、添付の請求項の範囲に入っている。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明による１対のマイクロ波窓を有する真空蒸着装置の概略図である。
【図２】本発明によるマイクロ波窓構造体の上平面図である。
【図２Ａ】図２の線２Ａ−２Ａに沿って切断した、図１のマイクロ波窓構造体の断面図である。
【図２Ｂ】図２の線２Ｂ−２Ｂに沿って切断した、図２のマイクロ波窓構造体の断面図である。
【図３Ａ】低圧チャンバに添着されチャンバ外のマイクロ波源からマイクロ波エネルギーを供給される、図２のマイクロ波窓構造体の断面図である。マイクロ波源からのかかるエネルギーは、図２のような構造のマイクロ波窓を通過する。
【図３Ｂ】低圧チャンバに添着されチャンバ外のマイクロ波源からマイクロ波エネルギーを供給される、図２のマイクロ波窓構造体の別の断面図である。マイクロ波源からのそのようなエネルギーは、図２のような構造のマイクロ波窓を通過してチャンバに至る。かかる断面図は、図３Ａの断面図と直交している。
【図４】図２のマイクロ波窓構造体の中で使用される固定装置の上面図である。
【図４Ａ】図４の線４Ａ−４Ａに沿って切断した、図４の固定装置の分解側面断面図である。
【図４Ｂ】図４の線４Ｂ−４Ｂに沿って切断した、図４の固定装置の分解側面断面図である。
【図５】図２のマイクロ波窓構造体の中で使用されるマイクロ波窓の上面図である。
【図５Ａ】図５の線５Ａ−５Ａに沿って切断した、図５のマイクロ波窓の断面図である。
【図５Ｂ】図５の線５Ｂ−５Ｂに沿って切断した、図５のマイクロ波窓の断面図である。
【図６】図３Ａのマイクロ波窓構造体の断面図で、図３Ａの矢６により示されている部分を拡大したものである。
【図１】
2005531170.tif 000003
【図２】
2005531170.tif 000004
2005531170.tif 000005
【図３Ａ】
2005531170.tif 000006
【図３Ｂ】
2005531170.tif 000007
【図４】
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2005531170.tif 000009
【図５】
2005531170.tif 000010
2005531170.tif 000011
【図６】
2005531170.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月27日(2004.8.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低圧チェンバの外部にあるマイクロ波源から該低圧チェンバにマイクロ波エネルギーが導入されることを可能にする、低圧チェンバ用窓構造体であって、
前記導電壁を有する固定装置であって、導電壁の内部が該固定装置の開孔の周辺領域を提供し、該固定装置は前記チェンバの側壁部に装着されるようになっている固定装置と、
前記固定装置に添着された周辺部、
前記固定装置の前記開孔内に設置された内部領域であって、該内部領域の第一の表面が前記チェンバ内に設置され、該内部領域の対向する第二の表面が前記チェンバの外部に設置された内部領域、および、
前記第一の表面で終端する第一の端および前記周辺部で終端する第二の端を有する側壁部であって、前記固定装置の前記壁から離れている側壁部、
を有する固体マイクロ波エネルギー透過型誘電窓と、
を備えた窓構造体。
【請求項２】
前記窓の前記周辺部が、前記固定装置の前記壁の前記内部と、前記壁の前記内部の丸みのある領域に隣接して接触している、請求項１に記載の窓構造体。
【請求項３】
前記窓の前記側壁部が前記固定装置の前記内部の壁と平行である、請求項２に記載の窓構造体。
【請求項４】
前記窓の前記第二の表面が前記窓の誘電率よりも大きい誘電率を有する波形構造体を含む、請求項２に記載の窓構造体。
【請求項５】
前記窓の第一の表面が、山および壁を含み、前記山は、前記窓を介して前記チェンバに導入される前記マイクロ波エネルギーの公称動作波長よりも短い長さで他の山と分離されている、請求項４に記載の窓構造体。
【国際調査報告】
2005531170.tif 000013
2005531170.tif 000014
2005531170.tif 000015