(57)【要約】周波数走査干渉法のシステムは、被検物体表面に関する微細構造情報の測定を含む、距離または較差を測定するためのプログラムにしたがって動作するコンピュータシステムを用いる。干渉データは単点検出器またはそのような検出器のアレイを用いて検出され、コンピュータシステムに記録（格納）されて、ある範囲の光周波数にわたり一連の測定値がとられる。干渉データは、特定の距離または較差の尺度に対応する干渉周波数において光周波数の変化にともなって正弦的態様で変化する。ピーク干渉周波数を捜し出すためのフーリエ変換は、処理時間を節約するため、第１に周波数空間に限定され、第２に複数の工程に分割される。第１近似のために粗いフーリエ周波数サンプル間隔が用いられ、第２のさらに正確な近似を行うために第１近似値の近傍においてさらに細かいフーリエ周波数サンプル間隔が用いられる。
2005531002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周波数走査型干渉計の干渉変動を判読するための多工程処理方法において、
あるビーム周波数範囲内のＮ個の異なるビーム周波数において対物ビームと基準ビームの間の一連のＮ個の干渉パターンを生成する工程、
前記Ｎ個の干渉パターンのそれぞれに現れる対応する領域に関する干渉データであって、前記ビーム周波数の変化にともなって増加的干渉条件及び減殺的干渉条件により周期変化する干渉データを記録する工程、
前記対応する領域に関する前記干渉データが前記ビーム周波数範囲全体にわたって受ける干渉サイクルの数に対応する干渉周波数の第１の近似を行う工程、
前記第１の近似の限界を求める工程、
前記干渉周波数の前記第１の近似の前記限界内で前記干渉周波数の第２の近似を行う工程、及び
前記干渉周波数の前記第２の近似またはより高次の近似で得られた値を、前記干渉パターンの前記対応する領域内で干渉する前記対物ビームの部分と前記基準ビームの部分の間の経路長差に対応する尺度に変換する工程、
を有してなることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第１の近似が干渉周波数のＮ個またはそれより少ない選択肢の中から前記干渉周波数を近似することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１の近似の範囲内における干渉周波数の前記選択肢が前記ビーム周波数範囲内での増加的干渉及び減殺的干渉の全サイクルにより弁別され、前記第２の近似の範囲内における干渉周波数の前記選択肢が前記ビーム周波数範囲内での増加的干渉及び減殺的干渉の全サイクルより少ないサイクルにより弁別されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の近似が第１の増分により区分される第１の干渉周波数範囲の中から前記干渉周波数を近似し、前記第２の近似が第２の増分により区分される第２の干渉周波数範囲の中から前記干渉周波数を近似し、前記第２の周波数範囲が前記第１の範囲内で干渉周波数を区分する前記第１の増分にほぼ等しいことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記干渉周波数の前記第２の近似の限界内で前記干渉周波数の第３の近似を行う工程をさらに含み、前記第２の近似またはより高次の近似で得られた値を変換する前記工程が前記干渉周波数の前記第３の近似またはより高次の近似で得られた値を前記干渉パターンの前記対応する領域内で干渉する前記対物ビームの部分と前記基準ビームの部分の間の経路長差に対応する尺度に変換する工程を含み、前記干渉周波数の前記第２のまたはより高次の近似を行う前記工程が前記干渉周波数の２つの近い近似値を同定する工程及び前記干渉周波数の前記２つの近い近似値から前記干渉周波数のさらに近い近似値を補間する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記Ｎ個の干渉パターンのそれぞれに現れる前記対応する領域に関する前記干渉データの平均強度を計算する工程及び前記第１の近似を行う前に前記計算された平均強度を前記干渉データから差し引く工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記対物ビーム及び前記基準ビームにより生成され、前記ビームの周波数により弁別される、複数の干渉パターンから前記干渉データを収集する工程、
前記対物ビームと前記基準ビームの間の前記経路長差に関係付けられる干渉周波数における増加的干渉条件と減殺的干渉条件の間で周期変化する一連のＮ個の干渉データ点を前記干渉パターンの対応する領域から抽出する工程、
前記干渉パターンから収集された前記Ｎ個のデータ点へのフーリエ周波数空間全体にわたって分布するＭ個のフーリエサンプルの周波数寄与を評価するために用いられるタイプのフーリエ変換を構築する工程、
前記フーリエ変換空間の限定された領域全体にわたって同様に分布するＭ個より少ないフーリエ周波数の前記評価に前記フーリエ変換を限定する工程、及び
前記対物ビームと前記基準ビームの間の前記経路長差の尺度として、前記Ｍ個より少ないフーリエ周波数サンプルの中から前記干渉周波数の近似値を同定する工程、
を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
異なる周波数を含む範囲にわたって収集される干渉データから長さ情報を導出するためのシステムにおいて、
前記異なる周波数を含む範囲にわたって対物ビームと基準ビームの間で一連の干渉パターンをつくるための周波数走査型干渉計、
ある干渉周波数に対応するレートで増加的干渉条件及び減殺的干渉条件により前記異なる周波数を含む範囲にわたって離散的に周期変化する前記干渉パターン内の共通の位置、
前記一連の干渉パターン内の前記共通の位置からデータサンプルを収集するためのデータ収集システム、及び
（ａ）前記データサンプルの前記周期変化レートに一致する前記干渉周波数の第１近似値を得るために前記データサンプルに対して前記干渉周波数の第１の組のサンプルを評価するため及び（ｂ）前記データサンプルの前記周期変化レートに一致する前記干渉周波数をさらによく近似するために前記データサンプルに対して前記干渉周波数の前記第１近似値の近傍において前記干渉周波数の第２の組のサンプルを評価するように準備されるプロセッサ、
を備え、
前記プロセッサは前記さらによく近似された干渉周波数を前記対物ビームと前記基準ビームの間の長さの差に関係付けるようにも準備される、
ことを特徴とするシステム。
【請求項９】
前記干渉周波数の前記第１の組のサンプルがピーク干渉周波数成分を判断するために比較されるフーリエ変換の周波数成分であり、前記第１の組の干渉周波数サンプルの前記周波数成分が第１の増分により区分され、前記第２の組の干渉周波数サンプルの周波数成分の間隔が前記第１の増分より細かい第２の増分により区分され、前記第２の組の干渉周波数サンプルの前記周波数成分の範囲が、前記第１の組の干渉周波数サンプルが区分される前記第１の増分にほぼ等しいことを特徴とする請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
（ａ）前記共通の位置が前記干渉パターン内の複数の共通の位置の内の１つであり、（ｂ）前記データ収集システムが前記一連の干渉パターン内の前記複数の共通の位置から別々の群のデータサンプルを収集し、（ｃ）前記プロセッサが、（ａ）前記別々の群のデータサンプルの前記周期変化レートに一致する前記干渉周波数の第１近似値を得るために前記別々の群のデータサンプルに対して前記干渉周波数の前記第１の組のサンプルを個別に評価するため及び（ｂ）前記別々の群のデータサンプルの前記周期変化レートに一致する前記干渉周波数をさらに良く近似するために前記別々の群のデータサンプルに対して前記干渉周波数の前記第１近似値の近傍において前記干渉周波数の第２の組のサンプルを個別に評価するように準備されることを特徴とする請求項８に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の説明】
【０００１】
本出願は、２００２年６月２４日に出願された先行出願である米国仮特許出願第６０/３９１００４号の利益を請求する。上記仮特許出願の内容を参照によって本明細書に組込んだものとする。
【技術分野】
【０００２】
周波数走査型干渉計により収集されたデータの処理は、ビーム周波数の変化にともなう干渉変化のレートを表面微細構造または距離などの長さの尺度に変換する工程を含む。
【背景技術】
【０００３】
波長走査型干渉計または多波長干渉計とも称される周波数走査型干渉計は、一連の異なるビーム周波数（または波長）でとられた干渉の尺度から干渉している対物ビームと基準ビームの間の経路長差を導く。同じ干渉パターン内の点間の経路長差を比較し、パターン内比較の両意性を解決するために別の干渉パターンを用いる従来の干渉計とは対照的に、周波数走査型干渉計は、異なるビーム周波数において生成される異なる干渉パターン内の対応する点の干渉変動（例えば強度または位相の変動）に基づいて、干渉パターン内の点を個別に分解する。
【０００４】
したがって、周波数走査型干渉計によって、より広い範囲の表面粗さ及び距離を一意的に測定することができる。従来の干渉計は一般に、照射光方向における、照射光の波長に対応するそれぞれの干渉パターンの干渉縞間隔の範囲内の大きさの段差の測定に限定されている。周波数走査型干渉計によるそのような大きさの段差の測定は、照射光の公称波長に依存するのではなく、ビーム周波数間の平均間隔に依存する。間隔が細かくなるほど、一意的な測定の範囲が広くなる。すなわち、周波数走査型干渉計では、従来の干渉計では判読できない、スペックルが載った干渉パターンをつくるビーム周波数における粗表面または拡散表面の尺度を得ることができる。
【０００５】
周波数走査型干渉計は、被検物体の表面プロファイルを基準平面または基準表面に垂直にとられる表面変化の尺度として測定する場合に特に有用である。周波数走査型干渉計の最近の発展により、同調可能ダイオードレーザ及びＣＣＤ検出器アレイなどのコンポーネントが使用されたりするようになった。この結果、画像化及び非画像化用途のいずれに対しても測定を実行できる能力を有する、小型で正確な高速システムが開発された。
【０００６】
既知のタイプの周波数走査型干渉計システム１０が図１に示される。総合的形態のトワイマン−グリーン干渉計では、異なる周波数を含む範囲にわたり同調させることができる測定ビーム１６がコンピュータ１４の制御下にある同調可能レーザ１２によって作られる。ビーム状態調整光学系１８が測定ビーム１６を拡大し、コリメートする。折曲げミラー２０が、測定ビーム１６を対物ビーム２４及び基準ビーム２６に分割するビームスプリッタ２２に測定ビーム１６を方向付ける。対物ビーム２４は被検物体３０から再帰反射し、基準ビーム２６は基準ミラー３２から再帰反射する。ビームスプリッタ２２が対物ビーム２４及び基準ビーム２６を再結合させ、（１枚のレンズまたはレンズ群などの）像映光学系３４が被検物体３０及び基準ミラー３２の像を（ＣＣＤ素子アレイなどの）検出器アレイ３６上に集束して重ね合わせる。検出器アレイ３６は対物ビーム２４と基準ビーム２６の間の経路長変化により生じる干渉パターンの干渉値を記録する。検出器アレイ３６からの出力はコンピュータ１４に格納されて、処理される。
【０００７】
検出器アレイ３６のそれぞれの素子は、対物ビーム２４と基準ビーム２６の間の干渉に依存する局所干渉値を記録する。各干渉値は被検物体３０上の１つの点に跡づけることができる。しかし、対物ビーム２４と基準ビーム２６の間の位相差を表面変化の一義的尺度として干渉パターン全体にわたって判断するために、アレイ素子間で干渉値を比較する代わりに、一連の測定ビーム１６の異なるビーム周波数（または波長）に対して一組の別々の干渉パターンが記録される。同調可能レーザ１２は、ビーム周波数を増分させながら次々に変えることにより工程的に動作させられ、検出器アレイ３６が対応する干渉パターンを記録する。個々の干渉パターンを記録するデータフレームの数は一般に１６フレームまたは３２フレームである。
【０００８】
局所干渉値はビーム周波数の変化にともなって正弦的態様で変化し、増加的干渉条件と減殺的干渉条件の間で周期変化する。干渉変化レート、例えば強度変化の周波数は、対物ビーム２４の局所部分と基準ビーム２６の局所部分の間の経路長差の関数である。強度の緩やかな変化（小さな干渉周波数変化）は小さな経路長差でおこり、強度のさらに急速な変化（大きな干渉周波数変化）は大きな経路長差でおこる。
【０００９】
測定ビーム１６のビーム周波数における増分変化にともなう干渉変化（例えば強度変化）の干渉周波数を同定するため、離散フーリエ変換をコンピュータ１４内で用いることができる。コンピュータ１４は、基準ミラー３２の表面からのプロファイル変化の尺度として被検物体３０の３次元像を構成するために用いることができる、対物ビーム２４と基準ビーム２６の間の局所経路長差の尺度への干渉変化の干渉周波数の変換も行う。基準ミラー３２は平坦であるから、決定される光路差は平面からの物体３０の偏差に等価である。得られる３次元微細構造情報は、精密に生成された部品の品質管理に有用な、物体３０の重要な特性（例えば平坦性または平行性）を測定するために、さらに処理することができる。
【００１０】
干渉パターンからサンプリングされる多くの点のそれぞれについてフーリエ変換を計算するにはかなりの計算時間を要する。例えば、１０００×１０００の検出器素子行列を有する強度検出器アレイでは、１００万回ものフーリエ変換が実行される必要がある。それぞれのフーリエ変換に対する計算時間は、記録される異なる干渉パターンの数及び吟味に用いられるフーリエ周波数サンプルの数の両者にともなって長くなる。検出可能な干渉周波数の範囲は記録される干渉パターンの数に依存し、干渉周波数が同定され得る確度は吟味に用いられるフーリエ周波数サンプルの数に依存する。したがって、多数の要素の影響を受ける計算時間のせいで測定手順の進行速度が遅くなることがあり、“実時間”または“インライン”検査には測定手順が遅すぎることになり得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
周波数走査型干渉計により生成される干渉データの処理に対して計算時間が大幅に短縮される。改善により処理が簡素化され、能率的にもなる。より高速な測定及びより正確な測定が可能である。
【００１２】
本発明の目的の１つは、被検物体の表面プロファイルの３Ｄ像をつくるようなシステムを含む、距離または較差の値の計算が高速かつ正確に実行される、距離または較差の測定のための改善された周波数走査干渉システムを提供することである。本発明のより全般的な目的は、干渉データから距離または較差の測定値を導くための改善されたシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は周波数走査型干渉計の干渉変動を判読するための多工程プロセスとして実施することができる。あるビーム周波数範囲内のＮ個の異なるビーム周波数において、一連のＮ個の干渉パターンが対物ビームと基準ビームの間で生成される。Ｎ個の干渉パターンのそれぞれに現れる対応する領域に関する干渉データが記録される。対応する領域に対する干渉データは、ビーム周波数の変化にともない、増加的干渉条件と減殺的干渉条件により周期変化する。対応する領域に関する干渉データがビーム周波数範囲全体にわたって受ける干渉サイクルの数に対応する干渉周波数について第１近似がなされる。第１近似の限界が求められ、干渉周波数の第１近似の限界内で干渉周波数について第２近似がなされる。次いで、干渉周波数の第２のまたはさらに高次の近似値が、干渉パターンの対応する領域内で干渉する対物ビームの部分と干渉ビームの部分の間の経路長差に対応する尺度に変換される。
【００１４】
第１近似は、Ｎ個またはそれより少ない干渉周波数選択肢の中から干渉周波数を近似することが好ましい。特に、第１近似はほぼＮ/２個の干渉周波数選択肢の中から干渉周波数を選択することが好ましい。したがって、第１近似内の干渉周波数の選択肢はビーム周波数範囲内の増加的干渉及び減殺的干渉のほぼ全サイクルによって弁別される。第２近似内の干渉周波数の選択肢はビーム周波数範囲内の増加的干渉及び減殺的干渉の全サイクルよりかなり少ないサイクルによって弁別される。
【００１５】
第１近似は第１の増分により区分される干渉周波数の第１の範囲の中から干渉周波数を近似し、第２近似は第２の増分により区分される干渉周波数の第２の範囲の中から干渉周波数を近似することが好ましく、周波数の第２の範囲は第１の範囲内で干渉周波数を区分する第１の増分にほぼ等しいことが好ましい。
【００１６】
第１近似はＭ１個の干渉周波数選択肢の中から干渉周波数を近似し、第２近似はＭ２個の干渉周波数選択肢の中から干渉周波数を近似することも好ましい。第２近似は、Ｍ１×Ｍ２個の干渉周波数選択肢の中から干渉周波数を近似する単一の近似と実質的に確度が等価である。
【００１７】
第１近似及び第２近似の内の少なくとも１つについて、ビーム周波数の数Ｎは干渉周波数選択肢の数Ｍ３に等しいことが好ましい。ビーム周波数の範囲は対物ビームと基準ビームの間の実効的に測定可能な経路長差の下限を決定するために用いることができ、隣り合うビーム周波数間の平均増分は一意的な経路長差の範囲を決定するために用いることができる。一意的な範囲内の対物ビームと基準ビームの間の経路長差の下限はビーム周波数範囲内の増加的干渉と減殺的干渉の１サイクルまたは１未満のサイクルの干渉周波数に関係付けられる。一意的範囲内の経路長差の上限はビーム周波数範囲内の増加的干渉と減殺的干渉のＮ/２サイクルの干渉周波数と関係付けられる。
【００１８】
表面微細構造を測定するため、Ｎ個の干渉パターンのそれぞれに現れる複数の対応する領域に対して干渉データが記録される。対応する領域のそれぞれに対する干渉データはビーム周波数の変化にともない増加的干渉条件及び減殺的干渉条件によって周期変化する。対応する領域に対する干渉データがビーム周波数範囲全体にわたって受ける干渉サイクル数に対応して、干渉周波数の複数の第１近似がなされる。第１近似の個々の限界が決定される。干渉周波数の第１近似の個々の限界内で干渉周波数の複数の第２近似がなされる。次いで、干渉周波数の第２のまたはさらに高次の近似値が、干渉パターンの対応する領域内で干渉する対物ビームの異なる部分と基準ビームの異なる部分の間の経路長差に対応する尺度に変換される。経路長差を被検物体表面の対応する位置における表面高さの変化に関係付けるために、被検物体表面の像及び基準素子表面の像の重ね合わせとして、干渉パターンを記録することができる。
【００１９】
干渉周波数の第２近似の限界内で干渉周波数の第３近似を行うことにより、さらに細かいかまたは追加の測定工程の測定を行うことができる。干渉周波数の第３のまたはさらに高次の近似値は、干渉パターンの対応する領域内で干渉する対物ビームの部分と基準ビームの部分の間の経路長差に対応する尺度に変換される。
【００２０】
干渉周波数の第２のまたはさらに高次の近似は、干渉周波数の２つの近い近似値を同定する工程及び干渉周波数の２つの近似値から干渉周波数のさらに近い近似値を補間する工程を含むことができる。例えば、さらに近い近似値を、暗に含まれる正弦関数の一次微分がゼロ値をとる位置に同定できる。
【００２１】
本発明は、異なる周波数を含む範囲にわたって収集された干渉データから長さ情報を導き出すためのシステムとして実施することもできる。異なる周波数を含む範囲にわたり周波数走査型干渉計が対物ビームと基準ビームの間の一連の干渉パターンをつくる。干渉パターン内の共通の位置が、干渉周波数に対応するレートで増加的干渉条件及び減殺的干渉条件により異なる周波数を含む範囲にわたり離散的に周期変化する。データ収集システムが一連の干渉パターン内の共通の位置からデータサンプルを収集する。プロセッサが、データサンプルの周期変化レートに一致する干渉周波数の第１近似値を得るためにデータサンプルに対する第１の組の干渉周波数サンプルを評価し、データサンプルの周期変化レートに一致する干渉周波数をより良く近似するためにデータサンプルに対する干渉周波数の第１近似値の近傍において第２の組の干渉周波数サンプルを評価する。さらに、プロセッサは、よりよく近似された干渉周波数を対物ビームと基準ビームの間の経路長差に関係付ける。
【００２２】
第１の組の干渉周波数サンプルは、ピーク干渉周波数を求めるために比較されるフーリエ変換の周波数成分であることが好ましい。第１の組の干渉周波数サンプルのフーリエ周波数成分は第１の増分で区分され、第２の組の干渉周波数サンプルのフーリエ周波数成分は第１の増分より細かい第２の増分で区分される。第２の組の干渉周波数サンプルのフーリエ周波数成分は、第１の組の干渉周波数サンプルのフーリエ周波数成分が区分される第１の増分にほぼ等しい周波数範囲を包含する。
【００２３】
第１の増分は単位干渉周波数より大きくはないことが好ましい。例えば、第１の増分は単位干渉周波数の１/２に等しくすることができる。プロセッサは、干渉周波数サンプルの組の内の少なくとも１つの組を、データサンプルの周期変化レートに最もよく一致する干渉周波数サンプルの組を識別するフーリエ変換により、データサンプルと相関をとることが好ましい。いずれの組の干渉周波数サンプルも、データサンプルの周期変化レートに最もよく一致するそれぞれの組の干渉周波数サンプルを識別するフーリエ変換により、データサンプルとの相関がとられる。
【００２４】
表面微細構造またはその他の多点測定値を測定するために、干渉パターン内の複数の共通の位置を評価することができる。データ収集システムが複数の一連の干渉パターン内の複数の共通の位置から個別のデータサンプル群を収集する。個別のデータサンプル群の周期変化レートに一致する干渉周波数の第１近似値を得るために、個別のデータサンプル群に対する干渉周波数の複数の第１の組のサンプルをプロセッサが別々に評価する。次いで、個別のデータサンプル群の周期変化レートに一致する干渉周波数をより良く近似するために、個別のデータサンプル群に対する干渉周波数の第１近似値の近傍において干渉周波数の複数の第２の組のサンプルをプロセッサが別々に評価する。
【００２５】
干渉周波数の同じ第１の組のサンプルを複数のデータサンプル群に対して評価することができる。しかし、干渉周波数の相異なる第２の組のサンプルは、相異なるデータサンプル群に関係付けられる干渉周波数の複数の第１の近似値の間の差にしたがって複数のデータサンプル群について評価される。プロセッサは、被検表面に関する微細構造情報またはその他の多点情報を導き出すために、より良く近似された干渉周波数を対物ビームと基準ビームの間の較差情報に関係付ける。
【００２６】
データサンプルの周期変化レートに一致する干渉周波数をさらになお良く近似するために、データサンプルに対する干渉周波数の第２近似値の近傍において干渉周波数の第３の組のサンプルを評価することができる。データサンプル及び複数の組の内のいずれか１つの組の干渉周波数サンプルは高速フーリエ変換を最適化するように準備されることが好ましい。
【００２７】
本発明は干渉データを対物ビームと基準ビームの間の経路長差に変換するための周波数変換の計算を軽減する方法として実施することもできる。対物ビーム及び基準ビームにより生成され、ビームの周波数により弁別される、複数の干渉パターンから干渉データが収集される。干渉パターンの対応する領域から、一連のＮ個の干渉データ点が抽出される。この一連のデータ点は、対物ビームと基準ビームの間の経路長差に関係付けられる干渉周波数における増加的干渉条件及び減殺的干渉条件により周期変化する。フーリエ周波数空間全体にわたって分布するＭ個のフーリエサンプルの干渉パターンから収集されるＮ個のデータ点への周波数寄与を評価するために用いられるタイプの、フーリエ変換が構築される。フーリエ変換は、フーリエ周波数空間の限定された領域全体にわたって同様に分布するＭ個より少ないフーリエ周波数サンプルの評価に限定される。干渉周波数の近似値は、対物ビームと基準ビームの間の経路長差の尺度として、Ｍ個より少ないフーリエ周波数サンプルの中から同定される。
【００２８】
フーリエ変換は、フーリエ周波数空間の１/２以下にわたって同様に分布するＭ/２個以下のフーリエ周波数サンプルの評価に限定され、干渉周波数の近似値はＭ/２個以下のフーリエ周波数サンプルの中から同定される。フーリエ変換を実施する前に、データ点の平均強度が計算され、計算された平均強度がデータ点から差し引かれる。この操作により強度バイアスが除去され、バイアスがかけられていない正弦曲線へのより良いフィッティングとしてのデータ強度値が残る。
【００２９】
多工程測定を実施するため、Ｎ個以下のフーリエ周波数サンプル、さらに好ましくはＮ/２個のサンプルに限定されるフーリエ周波数サンプルの中から、干渉周波数の第１近似値が同定される。干渉周波数の第１近似値の近傍においてフーリエ周波数空間をさらに分割する新しいフーリエサンプルの中から、干渉周波数の第２近似値が同定される。第２近似値に対して考察されるフーリエ周波数空間は、第１近似値のフーリエ周波数サンプルの間のフーリエ周波数空間に等しいことが好ましい。そのような周波数サンプルの数は２Ｍ/Ｎサンプルに等しいことが好ましい。
【００３０】
簡潔に述べれば、本発明の好ましい実施形態は、干渉データの複数のサンプルを導出するための手段を有し、較差値の高速かつ正確な計算のためのプログラム（ソフトウエアまたはプロセス）にしたがって動作するコンピュータシステムにより干渉データについての較差値の計算が実行される波長走査干渉システムを、例えば図１に示されるタイプのシステムによって提供する。本プログラムは多数のフーリエサンプルを用いることにより確度を提供し、またピーク値の系統的探索を実施してフーリエドメイン内の必要な点においてのみフーリエ変換を計算することにより高速を達成する。ピークフーリエ値の探索は初め、推定されるピークフーリエ値の位置を得るため、フーリエ空間にわたり等しく分布する低減されたフーリエサンプル数にわたって低（粗）分解能で行われ、次いで、推定されたピークフーリエ値の近傍のフーリエ空間内の領域に限定された全フーリエサンプル数を用い、ピークフーリエ値についての高分解能探索が行われる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１に示される周波数走査型干渉計１０は、本発明にしたがって構成することができ、動作させることができる、周波数走査型干渉計の例である。干渉計１０は、一連の干渉パターンの強度データのみを記録することにより、対物ビーム２４または基準ビーム２６に位相シフトをかけることなく、動作させることができる。これにより、そうでなければ対物ビーム及び基準ビームの相対経路長を系統的に調節するため並びに干渉パターン全体にわたる効果を判読するための手段が必要となるであろう、干渉計１０のハードウエア要件及びソフトウエア要件のいずれもが簡素化される。
【００３２】
同調可能レーザ１２が光源を提供するが、コヒーレント光源であることが好ましい。異なる光周波数により生成される一連の干渉パターンを収集するため、光源は異なる周波数を含む範囲にわたり同調可能であることが好ましい。公称波長（例えば７８０ｎｍ）の選択は可視スペクトル及び不可視スペクトル内で行うことができ、費用、分解能及び被検物体５２の反射率のような基準で選ぶことができる。本発明の実施に好ましい周波数同調可能レーザの例は、２００３年５月２７日に出願された、名称を「調節可能な外部キャビティを有する同調可能レーザシステム（TUNABLE LASER SYSTEM HAVING AN ADJUSTABLE EXTERNAL CAVITY）」とする同時係属米国特許出願第１０/４４６０１２号の明細書に開示されており、この明細書は参照によって本明細書に含まれる。
【００３３】
検出器アレイ３６が、異なる周波数において生成される干渉パターンの詳細を記録するための、データ収集システム内の手段を提供する。検出器アレイ３６は干渉パターン内の異なる点における強度を別々に測定するための個別にアドレス可能な素子のアレイからなることが好ましい。コンピュータ１４が検出器アレイ３６により収集された強度データ点を格納し、処理する。
【００３４】
検出器アレイ３６のそれぞれの素子により記録される強度値“Ｉ”は、１つは対物ビーム２４“Ｕ対物”により、１つは基準ビーム２６“Ｕ基準”による、２つのコヒーレント成分の和として式（１）
【数１】
2005531002.tif 000003
【００３５】
と書くことができる。
【００３６】
記録される強度“Ｉ”は、例えば対物ビーム２４及び基準ビーム３６によって生成される像内の画素で測定される強度に対応する。対物ビーム２４“Ｕ対物”は式（２）
【数２】
2005531002.tif 000004
【００３７】
と書くことができ、基準ビーム２６“Ｕ基準”は式（３）
【数３】
2005531002.tif 000005
【００３８】
と書くことができる。ここで、“Ａ１”及び“Ａ２”は振幅であり、“λ”は波長であって、“Ｒ１”及び“Ｒ２”は２つのビーム２４及び２６に対する光路である。
【００３９】
経路長差を“Ｒ＝Ｒ１−Ｒ２”として、個々のデータ点の強度“Ｉ”は式（４）
【数４】
2005531002.tif 000006
【００４０】
と書くことができ、あるいは周波数表記を用いて式（５）
【数５】
2005531002.tif 000007
【００４１】
と書くことができる。ここで“ｃ”は光の速度であり、“ν”はビーム周波数である。
【００４２】
式（５）の余弦項で表される強度“Ｉ”は経路長差“Ｒ”とビーム周波数“ν”の両者に依存する。例えば強度“Ｉ”の余弦項は増加的干渉条件及び減殺的干渉条件による対物ビーム２４及び基準ビーム２６の周期変化をビーム周波数“ν”の関数として表す。（干渉周波数と称されることが多い）強度変化の周期数は経路長差“Ｒ”に比例して変化する。一連の“Ｎ”個の異なる周波数“ν”において収集される強度データ“Ｉ”からの干渉周波数の決定により、経路長差“Ｒ”を求めることができる。
【００４３】
式（５）は、強度“Ｉ”が、“|Ａ１|＋|Ａ２|”に等しいバイアス項及び余弦項の、２つの基本項を有することも示す。注目する正弦的強度変化は余弦項から生じる。バイアス項は、強度データの平均値
【数６】
2005531002.tif 000008
【００４４】
を計算し、この平均値を式（５）から差し引くことにより、容易に除去することができるオフセットである。強度データの平均値
【数７】
2005531002.tif 000009
【００４５】
は式（６）
【数８】
2005531002.tif 000010
【００４６】
として計算することができ、ここで“Ｉ（ｎ）”は、総計される“Ｎ”個の異なる干渉パターンの、個々の干渉パターンの対応するデータ点の強度を表す。それぞれの“ｎ”は異なるビーム周波数“ν”における干渉パターン内で収集されるデータを表す。
【００４７】
バイアス項を除去した、ある干渉パターン内のそれぞれのデータ点の検出される強度“Ｉ'（ｎ）”は式（７Ａ）
【数９】
2005531002.tif 000011
【００４８】
すなわち、式（７Ｂ）
【数１０】
2005531002.tif 000012
【００４９】
となる。
【００５０】
式（７Ｂ）から明らかなように、余弦項の周波数は測定ビーム１６の周波数（または波長）及び“Ｒ”−光路差（ＯＰＤ）−に依存する。同調可能レーザ１２により提供されるビーム周波数“ν”における増分変化に基づき、フーリエ変換法を用いて“Ｒ”の値を関数にフィッティングすることができる。この手順には、一連の“Ｎ”個のビーム周波数について干渉パターンを記録する工程が含まれる。次いで、それぞれの検出器素子からのデータが既知の（または推定された）ビーム周波数を用いてフーリエ変換され、変化のピーク干渉周波数の位置からそれぞれの検出器素子に対する“Ｒ”の値がわかる。
【００５１】
関数“Ｉ'（ｎ）”の周波数成分を評価するための離散フーリエ変換は式（８）
【数１１】
2005531002.tif 000013
【００５２】
と書くことができ、ここで、“Ｍ”はフーリエ周波数空間全体にわたって均等に分布する周波数成分サンプルの総数であり、“ｍ”はフーリエ周波数空間全体にわたって１から“Ｍ”まで順序付けられる順序付周波数成分の内の１つを表し、“Ｋ'（ｍ）”は、“ｍ”番目の個別周波数成分サンプル（ビンとも称される）のそれぞれが“ｎ”番目の干渉パターンの対応する領域において記録されるデータ点強度“Ｉ'（ｎ）”の干渉周波数にどれだけよく一致するかの尺度を表す。
【００５３】
図２は干渉パターンのそれぞれにおける共通の領域に対応する、（ｎ＝１からｎ＝Ｎまで順序付けられた）３２（Ｎ＝３２）のビーム周波数の、代表的なデータセットの強度“Ｉ（ｎ）”を示す。このグラフ化された例は式（９）
【数１２】
2005531002.tif 000014
【００５４】
として与えられる強度値に基づき、ここで式（５）の振幅項は任意値で置き換えられている。値が１０のバイアス項“|Ａ１|＋|Ａ２|”はデータの縦座標オフセットに見られる。
【００５５】
図３は光強度の平均値
【数１３】
2005531002.tif 000015
【００５６】
が差し引かれている式（７Ｂ）にフィッティングされたこの強度データ“Ｉ（ｎ）”の離散フーリエ変換の代表的な結果を示す。（ｍ＝１からｍ＝Ｎまで順序付けられた）２５６（Ｍ＝２５６）の等しい細分画に細分されたフーリエ周波数空間内でサンプリングされた周波数成分の、式（１０）
【数１４】
2005531002.tif 000016
【００５７】
と表される、相対振幅“|Ｋ'|２”がプロットされている。
【００５８】
２つの干渉周波数ピーク４０及び４２は余弦関数から生じ、対物ビーム２４と基準ビーム２６の間の経路長差“Ｒ”の、互いに逆の符号に対応する。経路長差“Ｒ”が大きくなるにつれて、干渉周波数ピーク４０または４２の一方が他方のピーク４２または４０と入れ代わり、この交換によりデータが経路長変化に一意的に変換される範囲“ΔＲ両意”が決定される。
【００５９】
両意性範囲幅の値“ΔＲ両意”は式（１１）
【数１５】
2005531002.tif 000017
【００６０】
として与えられ、ここで“Δν増分”は強度データ点サンプル間のレーザ周波数増分の大きさである。
【００６１】
ビーム周波数の全範囲（または帯域幅）“Δν総合”内での増加的干渉及び減殺的干渉の完全な１サイクルに対応する分解能幅の値“ΔＲ分解”は式（１２）
【数１６】
2005531002.tif 000018
【００６２】
として与えられる。
【００６３】
図４は式（１３）
【数１７】
2005531002.tif 000019
【００６４】
の値にしたがう強度データ“Ｉ（ｎ）”の離散フーリエ変換の別の結果を示す。
【００６５】
新しいピーク４４及び４６はデータセット間で経路長差“Ｒ”が異なるためにシフトしている。経路長差“Ｒ”が大きくなるにつれて、一方のピークは右に、他方のピークは左に移動して、ある点で入れ代わる。図４からピーク４４または４６のいずれが対物ビーム２４と基準ビーム２６の間の実経路長差“Ｒ”に対応するかの決定は、対物ビーム２４と基準ビーム２６の間の光路長差“Ｒ”が系統的態様で意図的に変えられる位相シフトにより行うことができる。“２ピーク”両意性を分解し、測定幅を広げるための位相シフト法の例は、先に参照したジェイ・シー・マーロン（J. C. Marron）及びクルト・ダブリュー・グライヒマン（Kurt W. Gleichman）の論文に開示され、米国特許第４８３２４８９号明細書、米国特許第５７７７７４２号明細書、米国特許第５８８０８４１号明細書、米国特許第５９０７４０４号明細書及び米国特許第５９２６２７７号明細書にも開示されている。これらの明細書は参照によって本明細書に含まれる。
【００６６】
位相シフトは干渉両意性を解決するために日常的に用いられているが、実施には追加の測定が必要であり、測定装置が複雑になり、処理時間がかかる。しかし、ピーク４４または４６の一方だけが見られるフーリエ周波数空間の１/２（例えばフーリエ空間の左半分）にフーリエ変換を限定することにより、両意性を処理することができる。本発明により提供される改善された計算（ソフトウエアまたはプログラム）の例にしたがえば、フーリエ空間全体が２５６（Ｍ＝２５６）のフーリエ周波数サンプルに分割されるが、ピークはフーリエ周波数サンプルの初めの１２８（すなわち、ｍ＝１からｍ＝１２９まで）の中だけで探索される。
【００６７】
フーリエ周波数空間の１/２は排除されるが、異なる周波数データ点“Ｉ（ｎ）”の数“Ｎ”を大きくすることにより同等の両意性範囲幅“ΔＲ両意”を維持することができるから、測定範囲が犠牲になる必要はない。それでも、データ収集時間は位相シフト操作の実施に必要な時間より短いと考えられる。計算はより一層簡単で高速である。
【００６８】
干渉周波数ピーク４０または４４の位置の第１近似値を得るために初めに粗フーリエ変換を実施し、次いで第１近似値の近傍においてより細かく区分されたフーリエ周波数サンプルに限定される精細フーリエ変換を実施することにより、かなりの長さの計算時間を節約できる。粗フーリエ変換では、フーリエ周波数空間内での周波数サンプルがより広い間隔で（例えばｍ＝1から１２９まで８ずつ増分して）区分される。しかし、干渉周波数ピーク４０または４４のいくらかの領域が識別されることを確実にするために、間隔は、干渉周波数ピーク４０または４４の幅にも対応する分解能幅“ΔＲ分解”内にあることが好ましい。粗フーリエ周波数サンプルの総数ＭｃはＮ/２サンプルに等しいことが好ましい。
【００６９】
図５は図３の左側のピーク４０の拡大図を示す。干渉周波数ピーク４０は２５６のビンの内のビン４０に最も近い位置にあるが、干渉周波数ピーク４０は２５６のビンの内のビン４１内でも検出可能であろう。したがって、精細フーリエ変換を、（例えばｍ＝３７から４５まで１ずつ増分する）粗い近似のフーリエ周波数サンプルの間隔に等しい、ビン４１を囲むフーリエ周波数範囲に限定することができよう。精細フーリエ周波数サンプルの総数ＭＦは２Ｍ/Ｎに等しいことが好ましい。
【００７０】
次いで、ビン４０（すなわち２５６のビンの内のｍ＝４０）のデジタル値を実較差または実距離値に変換するために、実レーザ周波数“ν”などのシステムパラメータを用いることができる。較差決定のために提供されるタイプの計算プロセスが図６に示される。
【００７１】
本発明は、フーリエ周波数ビン内のピーク干渉周波数の位置をさらに細かく決定することによる、さらに高められた測定確度も提供する。これまでに提案された周波数走査型干渉計システムにおける較差測定の確度は、一義的に、フーリエサンプル数Ｍによって制限されていた。しかし、用い得る曲線フィッティングアルゴリズムの適用または増加させ得るサンプル数により高められた確度を達成することができる。さらに、全ての検出器位置に対しては冗長なフーリエ係数をあらかじめ計算することにより、高められた速度を達成することができる。
【００７２】
図１のコンピュータ５０上で動作するような、本発明により提供されるソフトウエアまたはプログラムにおいて具現化される計算プロセスを、図７を参照して説明する。プログラムは、ＲＯＭ，ＲＡＭ，ディスク，ＣＤＲＯＭまたはその他の一般的なメモリ格納媒体などのコンピュータ５０のメモリに格納される。本明細書における“コンピュータ”という用語は、本発明にしたがうプログラムにより動作する、ディスプレイ、プリンタ、マウス、キーボード等といった周辺装置を有するコンピュータシステム、またはその他の干渉システムの制御コンピュータを指す。
【００７３】
プログラムには、図７とともに、以下の数学が組み込まれることが好ましい。式（８）から、干渉信号のフーリエ係数が式（１４）
【数１８】
2005531002.tif 000020
【００７４】
の形をもつ指数関数で与えられることが分かる。ここで、ｎ＝１,...Ｎであって、“Ｎ”は干渉パターン内の共通点に対する強度サンプル（またはビーム周波数）の総数であり、また、ｍ＝１,...Ｍ/２であって、“Ｍ”はあらかじめ定められたフーリエサンプル数である。ｍの範囲は、冗長性のためフーリエドメイン（周波数空間）の１/２だけが調べられるから、Ｍ/２に制限されることが好ましい。選ばれる“Ｍ”の値は、確度を規定するから、大きくするべきである。しかし、“Ｍ”が大きくなるにつれて、干渉周波数ピーク４０または４４の探索に必要な計算時間も長くなる。Ｎ×Ｍ/２の大きさの係数行列を図７のステップ７０においてプログラムにより決定して、プログラムの実行時毎に再計算する必要がないように、コンピュータ５０のメモリ内のファイルに格納することができる。次いで、検出器アレイ３６のそれぞれの検出器点で得られる強度値から平均強度値
【数１９】
2005531002.tif 000021
【００７５】
を差し引く（ステップ７２）。
【００７６】
次にステップ７４において、干渉周波数ピーク４０または４４の粗い位置（すなわち第１近似値）がフーリエデータにおいて粗いサンプリングにより決定される。式（１１）及び（１２）は、フーリエピーク幅の一意的範囲幅に対する比がＮによって与えられることを示す。ここでＮはビーム周波数の数である。したがって、フーリエピークの粗い位置を決定するため、少なくともＮ個の等間隔の周波数でフーリエデータがサンプリングされる。さらに、フーリエ空間の１/２だけが考察されているから、粗いサンプルの第１の１/２だけを用いればよい。Ｎ/２は所望の分解能の範囲内の粗いサンプルの最小数である。この数は所望の性能レベルに依存して大きくすることができるが、それでも、ピーク位置の粗い近似値を見いだすためにはＮ以下であることが好ましい。ステップ７４において、式（８）により規定されるような、あらかじめ計算されたフーリエ係数を用いることにより、粗いサンプルの位置においてフーリエ変換値が計算される。全ての周波数サンプルのフーリエ等級（または強度値）が計算されると、ステップ７４において、最大のフーリエ値に対して粗い位置（すなわちデータ点の干渉周波数の第１近似値）を与える最大値が見いだされる。
【００７７】
ピーク位置の初期推定値すなわち第１近似値に基づいて、プログラムはステップ７６を続けて行い、Ｍ/２個のフーリエ等級値の内の最大値が見いだされるまで、初期推定値（粗いピークサンプルの位置）近くでフーリエ位置を考えるために探索を細かくする。例えば、フーリエ変換は干渉周波数ピーク位置の初期推定値を与える粗い周波数を中心とする隣り合う粗い周波数の間隔に等しいフーリエ周波数空間の区間内で全てのサンプル周波数について計算されることが好ましい。粗い推定値の近傍におけるさらに限定された区間内の最大フーリエ値が干渉周波数ピーク４０または４４の位置の細かい推定値（すなわち第２近似値）を与える。第２近似値のために考察されるフーリエサンプルの数“ＭＦ”は、さらに細かい工程の近似がなされない限り、２Ｍ/Ｎに等しいことが好ましい。
【００７８】
ステップ７８において、較差（または距離）値が決定され、ステップ７６でサンプリングされた区間内で遭遇する最大（ピーク）フーリエ等級値（すなわち、干渉周波数ピーク位置の第２近似値）に対応する。Ｎ個のビーム周波数及びＭ個のフーリエ周波数サンプルの密度の場合、計算は従来実行されていた計算より高速となる。図６に示されるように、新しい計算ではＮ/２＋２Ｍ/Ｎ個のフーリエサンプルの計算が必要である。本来のＭ/２サンプルの軽減要求に比較すると、大きなＭについては、４/Ｎ倍の計算だけしか必要ないことが分かる。例えば、３２個のビーム周波数では、１/８の計算しか必要ではない。これはかなりの軽減を表す。
【００７９】
干渉周波数ピーク４０または４２の位置の第３近似値を定めるために、ピーク位置の第２近似値及び第２の群のサンプル間の間隔を用いることにより、総数Ｍの周波数サンプルに対し、時間をさらに節約して、より高い確度を得ることが可能である。第３の群のフーリエ周波数サンプルはピーク周波数の第２近似値を中心とすることが好ましく、第２の群の隣り合うサンプル間の範囲をさらに分割するさらに細かい間隔のサンプルを考察することが好ましい。この別手順は、より正確な測定を行うための条件としてより大きなＭの値を含み、一貫性のため、最も確度が高い近似では単位値によるＭの分割が考察される。
【００８０】
近似のいずれか１つの工程におけるフーリエ周波数サンプルの数は、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）の適用を最適化するために設定することができる。例えば、そのような工程のそれぞれにおけるフーリエサンプル数（例えば、ＭＣまたはＭＦ）をデータサンプル数“Ｎ”にほぼ等しく設定することができる。
【００８１】
ステップ７６におけるピークの探索のための別のプロセスでは、計算を最小限に抑えつつ、推定されるピークフーリエ値の近傍において変換曲線の形状がほぼ放物線であることを考慮する。したがって、微分、すなわち隣り合うフーリエ値の間の差、はほぼリニアであることになる。さらに、干渉周波数ピーク４０または４４は微分がゼロ値をとる位置に対応する。すなわち、微分のゼロ値位置、したがってピーク４０または４４のさらに正確な位置を見いだすために補間法を用いることができる。
【００８２】
コンピュータ上で実行されるコンピュータソフトウエアプログラムに基づき、対物ビームと基準ビームの間の経路長差の計算に基づく較差または距離の尺度を用いて、被検物体の表面プロファイル（すなわち微細構造情報）を生成できる。ソフトウエアは、フーリエ周波数サンプルに対する比較により較差測定値を高速かつ正確に導き出すために、一連の異なるビーム周波数において収集される干渉強度データに作用することができる。フーリエ変換のピーク値に対する系統的探索は、推定ピーク値の近傍にある、フーリエドメイン内の必要な点でしか計算されない。隣り合うフーリエ周波数サンプル値の間で周波数変換の微分がゼロ値をとるピークの位置を求めることにより、さらに高い確度を得ることができる。
【００８３】
以上、特定の周波数走査型干渉計に関して本発明を論じたが、本発明は広範囲にわたる他の周波数走査型干渉計構成に適用することができる。例えば、本発明の特定の利点は、２００３年６月１９日に出願された、名称を「共通経路周波数走査型干渉計（COMMON-PATH FREQUENCY-SCANNING INTERFEROMETER）」とする、本発明の発明者の同時係属米国特許出願の明細書に開示されているような共通経路（フィゾー）タイプの干渉計の場合に明らかである。上記明細書は参照によって本明細書に含まれる。本発明の精神及び範囲内で、干渉計システムにおける、並びに本明細書に説明されるコンピュータプログラム及びプロセスにおける、その他の変形及び改変が当業者には疑いなく思い浮かぶであろう。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明にしたがって提供されるコンピュータプログラムにしたがって動作させることができる周波数走査型干渉計のブロック図である
【図２】ｎ＝１からｎ＝Ｎまで順序付けられた一連の異なる周波数において生成された一連の干渉パターンから収集された強度データ点のグラフである
【図３】強度データセットに対するｍ＝１からｍ＝Ｍまでのフーリエ周波数空間の全範囲にわたる変換|Ｋ'|２の値のグラフである
【図４】図３とは異なる強度データセットに対するｍ＝１からｍ＝Ｍまでのフーリエ周波数空間の全範囲にわたる変換|Ｋ'|２の値のグラフである
【図５】ピーク周波数の内の１つをさらに高い確度で示す図３の拡大図である
【図６】フーリエ周波数空間の限定された領域から経路長差情報を導出することにより計算時間を節約するためのコンピュータプログラムによって実施されるプロセスを示すフローチャートである
【図７】複数の工程でフーリエ変換を実施することにより計算時間を節約するためのコンピュータプログラムによって実施されるプロセスを示すフローチャートである
【符号の説明】
【００８５】
１０    周波数走査型干渉計
１２    同調可能レーザ
１４    コンピュータ
１６    測定ビーム
１８    ビーム状態調節器
２０    折曲げミラー
２２    ビームスプリッタ
２４    対物ビーム
２６    基準ビーム
３０    被検物体
３２    基準ミラー
３４    像映光学系
３６    検出器
４０，４２，４４，４６    干渉周波数ピーク
【図１】
2005531002.tif 000022
【図２】
2005531002.tif 000023
【図３】
2005531002.tif 000024
【図４】
2005531002.tif 000025
【図５】
2005531002.tif 000026
【図６】
2005531002.tif 000027
【図７】
2005531002.tif 000028
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月20日(2005.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
干渉データを対物ビームと基準ビームの間の経路長差に変換するための周波数変換の計算を軽減する方法であって、
前記対物ビーム及び前記基準ビームにより生成され、前記ビームの周波数により弁別される、複数の干渉パターンから前記干渉データを収集する工程、
前記対物ビームと前記基準ビームの間の前記経路長差に関係付けられる干渉周波数における増加的干渉条件と減殺的干渉条件の間で周期変化する一連のＮ個の干渉データ点を前記干渉パターンの対応する領域から抽出する工程、
前記干渉パターンから収集された前記Ｎ個のデータ点へのフーリエ周波数空間全体にわたって分布するＭ個のフーリエサンプルの周波数寄与を評価するために用いられるタイプのフーリエ変換を構築する工程、
前記フーリエ変換空間の限定された領域全体にわたって同様に分布するＭ個より少ないフーリエ周波数の前記評価に前記フーリエ変換を限定する工程、及び
前記対物ビームと前記基準ビームの間の前記経路長差の尺度として、前記Ｍ個より少ないフーリエ周波数サンプルの中から前記干渉周波数の近似値を同定する工程、
を含むことを特徴とする方法。
【国際調査報告】
2005531002.tif 000029
2005531002.tif 000030