(57)【要約】  本発明は、窒素およびヘリウムを含むシールドガス混合物を使用するレーザー溶接方法および設備に関する。本発明によれば、前記ガス混合物中の窒素および／またはヘリウムの比率は、レーザービームのパワーまたはパワー密度にしたがって選択または調節される。レーザーパワーは、０．５ｋＷないし３０ｋＷ、好ましくは５ｋＷないし２０ｋＷに含まれる。シールドガス混合物は窒素および／またはヘリウムを含み、好ましくは前記ガス混合物は、３０％ないし８０％のヘリウムの体積比率を含み、残りは窒素および存在し得る不可避不純物である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
窒素およびヘリウムを含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接方法であって、前記ガス混合物中の窒素および／またはヘリウムの比率を、前記レーザービームのパワーまたはパワー密度にしたがって選択または調節し、前記ガス混合物中のヘリウムの比率を、レーザーパワーまたはパワー密度が増加するとき増加させる方法。
【請求項２】
前記レーザーパワーが０．５ｋＷないし３０ｋＷ、好ましくは５ｋＷないし２０ｋＷであることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記シールドガス混合物が窒素とヘリウムからなることを特徴とする請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
前記ガス混合物が規定量の窒素とヘリウムを混合することにより現場で製造されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
前記ガス混合物が制御された量の窒素およびヘリウムを混合するように用いられるレーザーパワーまたはパワー密度に従動するガスミキサーシステムにより製造されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
前記ガス混合物が３０％から８０％までのヘリウム体積比率を含み、残りが窒素および存在し得る不可避不純物であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
ヘリウムおよび窒素を含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接方法であって、前記ガス混合物中の窒素の比率に対するヘリウムの比率を、溶接中の前記シールドガス中でのプラズマ生成を回避または最小化するように前記レーザービームのパワーまたはパワー密度にしたがって選択または調節する方法。
【請求項８】
ヘリウムおよび窒素を含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接方法であって、前記ガス混合物中のヘリウムの体積比率は、
０．５ｋＷないし４ｋＷのレーザービームパワーについて１ないし３０％であり；
４ｋＷないし８ｋＷのレーザービームパワーについて３０ないし５０％であり；および／または
８ｋＷないし１２ｋＷのレーザービームパワーについて５０ないし７０％である
方法。
【請求項９】
ヘリウムおよび窒素を含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接方法であって、前記ガス混合物中のヘリウムの体積比率が、
５００ｋＷ／ｃｍ2 ないし２０００ｋＷ／ｃｍ2 のレーザービームパワー密度について１ないし３０％であり；
２０００ｋＷ／ｃｍ2 ないし４０００ｋＷ／ｃｍ2 のレーザービームパワー密度について３０ないし５０％であり；および／または
４０００ｋＷ／ｃｍ2 ないし１００００ｋＷ／ｃｍ2 のレーザービームパワー密度について５０ないし７０％である
方法。
【請求項１０】
ヘリウムおよび窒素が、ヘリウムと窒素が所望の比率で予め混合されている単一のガス供給源から到来することを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項記載の方法。
【請求項１１】
窒素およびヘリウムを含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接設備であって、
−  少なくとも１つの窒素供給源；
−  少なくとも１つのヘリウム供給源；
−  窒素供給源から到来する窒素をヘリウム供給源から到来するヘリウムと混合させるガス混合手段；
−  少なくとも０．５ｋＷのレーザーパワーを有するレーザービームを発射するレーザー発生装置；および
−  レーザー装置により発射されるレーザーパワーにしたがって窒素および／またはヘリウムの比率を調節するように前記ガス混合手段と協働する調節手段
を備える設備。
【請求項１２】
ヘリウムと窒素を含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接方法であって、出力密度の関数としての前記ガス混合物中のヘリウムの体積比率（％Ｈｅ）が、
２８×Ｉｎ（ΦP ）−２０７≦％Ｈｅ≦３２．３×Ｉｎ（ΦP ）−２０７
（式中、
−  Ｉｎ（ΦP ）はｋＷ／ｃｍ2 で表現されるパワー密度の自然対数を表し、
−  ％Ｈｅはガス混合物の窒素中のヘリウムの体積パーセンテージを表す）となるものである方法。
【請求項１３】
パワー密度の関数としての前記ガス混合物中のヘリウムの体積比率（％Ｈｅ）が、
２８．５×Ｉｎ（ΦP ）−２０７≦％Ｈｅ≦３１．５×Ｉｎ（ΦP ）−２０７
となるものであることを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
パワー密度の関数としての前記ガス混合物中のヘリウムの体積比率（％Ｈｅ）が、
２９×Ｉｎ（ΦP ）−２０７≦％Ｈｅ≦３１×Ｉｎ（ΦP ）−２０７
となるものであることを特徴とする請求項１２または１３記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の開示】
【０００１】
本発明は、用いられるレーザーデバイスのパワーまたはパワー密度にしたがって調節されるか適合される比率の窒素とヘリウムとからなるガス混合物を用いるレーザービーム溶接方法に関する。
【０００２】
産業において、１以上の金属被加工物を切断または溶接するためにレーザービームを用いることが知られている。この観点で、以下の文献が引用され得る：特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４、特許文献５、特許文献６、特許文献７、特許文献８、特許文献９、特許文献１０、特許文献１１、特許文献１２、特許文献１３、特許文献１４、特許文献１５、特許文献１６、特許文献１７、特許文献１８、特許文献１９、特許文献２０および特許文献２１。
【０００３】
レーザー溶接はきわめて高性能の溶接プロセスである。というのは、それは、プラズマ溶接、ＭＩＧ（金属不活性ガス）溶接またはＴＩＧ（タングステン不活性ガス）溶接のような他のより通常のプロセスと比較して高速で極めて大きな溶込み深さを獲得することを可能とするからである。
【０００４】
これは、溶接される被加工物の接合平面に１以上のミラーまたはレンズによりレーザービームを集光するとき現れる高いパワー密度、例えば、１０6 Ｗ／ｃｍ2 を超え得るパワー密度により説明される。
【０００５】
そういった高パワー密度は、外側に膨張して溶接プールの漸進的なクレータリングを誘発する被加工物の表面での顕著な気化を引き起こし、プレートの厚み内に、すなわち、接合平面の中に「キーホール」と呼ばれる狭くて深い蒸気毛管の形成をもたらす。
【０００６】
この毛管は、レーザービームのエネルギーが、エネルギー蓄積が表面上に局所化されるところのより通常の溶接プロセスとは反対にプレートの深み方向に直接蓄積することを可能とする。
【０００７】
この毛管は、その特別の特徴が、それがレーザービームを吸収し、それゆえ、実際の毛管の中にエネルギーを捕捉することであるところの金属蒸気／金属蒸気プラズマ混合物から形成される。
【０００８】
レーザー溶接にかかわる問題の１つは、シールドガスプラズマの形成である。
【０００９】
これは、自由電子をシールドガスに導入することによりこの金属蒸気プラズマが、溶接操作に対して不利となるシールドガスプラズマの出現を誘発し得るためである。
【００１０】
それゆえ、入射レーザービームは、大きく、または全体的に吸収され、それゆえ、溶込み深さの実質的減少またはビームと材料の間の結合の消失をもたらし、それゆえ、溶接プロセスの瞬時の遮断をもたらす。
【００１１】
プラズマが出現するパワー密度のしきい値は、用いられるシールドガスのイオン化ポテンシャルに依存し、レーザービームの波長の２乗に反比例する。
【００１２】
したがって、純粋なアルゴンの下では、ＣＯ2 タイプのレーザーを用いて溶接することはきわめて困難であり、一方、その操作は、ＹＡＧタイプのレーザーでははるかに問題なく実施され得る。
【００１３】
一般的に、ＣＯ2 レーザー溶接においては、ヘリウムはシールドガスとして用いられ、ヘリウムは高いイオン化ポテンシャルを有するガスであり、シールドガスプラズマの出現を防止することを可能とし、そして、用いられるレーザービームパワーに関係なくそのようにする。
【００１４】
しかしながら、ヘリウムは高価なガスであるという欠点を有し、多くのレーザーのユーザーは、ヘリウムより廉価であり、しかし、それにもかかわらずシールドガスプラズマの出現を制限し得るものであり、それゆえ低コストでヘリウムで得られるのと同様の溶接結果を得られる他のガスまたはガス混合物を用いることを求めている。
【００１５】
したがって、例えば、レール・リキード（登録商標）により名称ＬＡＳＡＬ（登録商標）２０４５の下で販売される３０体積％のヘリウムを含み、残りがアルゴンであるガス混合物のようなアルゴンとヘリウムを含むガス混合物が市販されており、それは、５ｋＷ未満のＣＯ2 レーザーパワーレベルについて、発生するパワー密度があまり高くない、すなわち、約２０００ｋＷ／ｃｍ2 を超えるくらいであれば、ヘリウムと実質的に同じ結果を達成することを可能とする。
【００１６】
しかしながら、このタイプのＡｒ／Ｈｅ混合物で生じる問題は、それが、高いレーザーパワー密度にとってはもはや適切でないと言うことである。と言うのは、シールドガスプラズマが作り出されるしきい値は、この場合は、超過されているからである。
【特許文献１】ＤＥ−Ａ−２７１３９０４
【特許文献２】ＤＥ−Ａ−４０３４７４５
【特許文献３】ＪＰ−Ａ−０１０４８６９２
【特許文献４】ＪＰ−Ａ−５６１２２６９０
【特許文献５】ＷＯ９７／３４７３０
【特許文献６】ＪＰ−Ａ−０１００５６９２
【特許文献７】ＤＥ−Ａ−４１２３７１６
【特許文献８】ＪＰ−Ａ−０２０３０３８９
【特許文献９】ＵＳ−Ａ−４８７１８９７
【特許文献１０】ＪＰ−Ａ−２３０３８９
【特許文献１１】ＪＰ−Ａ−６２１０４６９３
【特許文献１２】ＪＰ−Ａ−１５６９２
【特許文献１３】ＪＰ−Ａ−１５６９３
【特許文献１４】ＪＰ−Ａ−１５６９４
【特許文献１５】ＪＰ−Ａ−２２０６８１
【特許文献１６】ＪＰ−Ａ−２２０６８２
【特許文献１７】ＪＰ−Ａ−２２０６８３
【特許文献１８】ＷＯ−Ａ−８８／０１５５３
【特許文献１９】ＷＯ−Ａ−９８／１４３０２
【特許文献２０】ＤＥ−Ａ−３６１９５１３
【特許文献２１】ＤＥ−Ａ−３９３４９２０  それゆえ、本発明の目的は、１５〜２０ｋＷを超えるパワーを有するレーザーを用い得る改善されたレーザー溶接プロセスを提案することによりこの問題を解決し、選択されるパワーまたはパワー密度に関係なくシールドガスプラズマ生成がないか最小のシールドガスプラズマ生成で問題を解決することである。
【００１７】
それゆえ、本発明の解決策は、窒素およびヘリウムを含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接プロセスであって、前記ガス混合物中の窒素および／またはヘリウムの比率は、前記レーザービームのパワーまたはパワー密度にしたがって選択または調節するレーザービーム溶接プロセスである。
【００１８】
場合に応じて、本発明のプロセスは、１以上の以下の技術的特徴を含み得る。
【００１９】
−  レーザーパワーは、０．５ｋＷないし３０ｋＷ、好ましくは５ｋＷないし２０ｋＷである。
【００２０】
−  遮蔽ガス混合物は、窒素および／またはヘリウムからなる。好ましくは、ガス混合物は、３０％から８０％のヘリウム体積比率を含み、残りは、窒素および存在し得る不可避不純物である。
【００２１】
−  ガス混合物は、規定された量の窒素とヘリウムを混合することにより、現場で製造される。
【００２２】
−  ガス混合物は、制御された量の窒素とヘリウムを混合するよう、用いられるレーザーパワーまたはパワー密度に従動するガス混合系により製造される。
【００２３】
−  ガス混合物中のヘリウムの比率を、レーザーパワーまたはパワー密度が増加するとき増加させる。
【００２４】
別の側面によれば、本発明はまた、ヘリウムおよび窒素を含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接プロセスであって、前記ガス混合物中の窒素の比率に対するヘリウムの比率を、溶接中のシールドガス中のプラズマ生成を回避または最小化するように前記レーザービームのパワーまたはパワー密度に従って選択または調節するレーザービーム溶接プロセスにも関する。
【００２５】
別の側面によれば、本発明はまた、ヘリウムおよび窒素を含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接プロセスであって、前記ガス混合物中のヘリウムの体積比率が、：
−  ０．５ｋＷないし４ｋＷのレーザービームパワーについて１ないし３０％；
−  ４ｋＷないし８ｋＷのレーザービームパワーについて３０ないし５０％；および／または
−  ８ｋＷないし１２ｋＷのレーザービームパワーについて５０ないし７０％であるレーザービーム溶接プロセスにも関する。
【００２６】
さらに、本発明はまた、ヘリウムおよび窒素を含む遮蔽ガス混合物を用いるレーザービーム溶接プロセスであって、前記ガス混合物中のヘリウムの体積比が：
−  ５００ｋＷ／ｃｍ2 ないし２０００ｋＷ／ｃｍ2 のレーザービームパワー密度について１ないし３０％；
−  ２０００ｋＷ／ｃｍ2 ないし４０００ｋＷ／ｃｍ2 のレーザービームパワー密度について３０ないし５０％；および／または
−４０００ｋＷ／ｃｍ2 ないし１００００ｋＷ／ｃｍ2 のレーザービームパワー密度について５０ないし７０％
であるレーザービーム溶接プロセスにも関する。
【００２７】
ヘリウムと窒素は、好ましくは、ヘリウムと窒素が、例えば、ガスミキサーにより所望の比で予め混合される単一のガス供給源から到来する。
【００２８】
本発明はまた、窒素およびヘリウムを含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接設備であって、
−  少なくとも１つの窒素供給源；
−  少なくとも１つのヘリウム供給源；
−  窒素供給源から到来する窒素をヘリウム供給源から到来するヘリウムと混合させるガス混合手段；
−  少なくとも０．５ｋＷのレーザーパワーを有するレーザービームを発射するレーザー発生装置；および
−  レーザー装置により発射されるレーザーパワーにしたがって窒素および／またはヘリウムの比率を調節するように前記ガス混合手段と協働する調節手段
を備えるレーザービーム溶接設備にも関する。
【００２９】
さらに、本発明はまた、ヘリウムおよび窒素を含むシールドガス混合物を用いるレーザービーム溶接プロセスであって、パワー密度の関数として前記ガス混合物中のヘリウムの体積比率（％Ｈｅ）が：
２８×Ｉｎ（ΦP ）−２０７≦％Ｈｅ≦３２．３×Ｉｎ（ΦP ）−２０７
（式中、：
−Ｉｎ（ΦP ）は、ｋＷ／ｃｍ2 で表されるパワー密度の自然対数を表し、
−％Ｈｅは、ガス混合物の窒素中のヘリウムの体積パーセンテージを表す）となるものであるレーザービーム溶接プロセスにも関する。
【００３０】
好ましくは、パワー密度の関数としての前記ガス混合物中のヘリウムの体積比率（％Ｈｅ）は、
２８．５×Ｉｎ（ΦP ）−２０７≦％Ｈｅ≦３１．５×Ｉｎ（ΦP ）−２０７
となるものである。
【００３１】
また好ましくは、パワー密度の関数としての前記ガス混合物中のヘリウムの体積比率（％Ｈｅ）は、
２９×Ｉｎ（ΦP ）−２０７≦％Ｈｅ≦３１×Ｉｎ（ΦP ）−２０７
となるものである。
【００３２】
本発明のさらに深い理解が、添付の図面を参照して、以下の説明から得られるであろう。
【００３３】
上述のように、レーザービーム溶接で生じる主たる問題は、溶込み深さの相当な減少、またはレーザービームと溶接される材料との間の結合の消失およびそれゆえ、溶接プロセスの遮断を作り出し、もたらす、レーザービームの強力で全体的な吸収により溶接操作に有害なシールドガスプラズマの発生と関連する。
【００３４】
さて、本発明の発明者は、所定のＣＯ2 タイプレーザーのパワー密度について、溶接操作中にシールドガスとして用いられるヘリウム／窒素ガス混合物中のヘリウムの体積比率（窒素の体積比率に対する）によりシールドガスプラズマの出現のしきい値が決定され、ヘリウムのこの比率が、レーザーのパワー密度に従って変化させなければならないことを立証した。
【００３５】
すなわち、図１は、出力密度（ｘ軸上にプロットされている）と窒素とヘリウムから形成される混合物におけるヘリウムの体積比率（ｙ軸上にプロットされている）の関数としてのプラズマの出現しきい値の変化（曲線Ａ）を示し、窒素含有量とヘリウム含有量の合計は混合物の１００体積％を構成する。
【００３６】
曲線Ａは、混合物中の様々のヘリウム含有量で作り出された溶接ビードの溶込み深さの分析により、および溶接プロセス中のシールドガスプラズマの出現または非出現の視覚検査により獲得された。
【００３７】
パワー密度は、予めレーザービーム分析装置により測定された当該レーザーについて得られたフォーカルスポットの直径により被加工物上のレーザーパワーを除算することにより獲得された。
【００３８】
曲線Ａより上に存在する領域は、当該出力密度について、窒素中のヘリウム含有量が溶接ビードをシールドガスプラズマの出現無しに作り出されるようにする領域を表す。
【００３９】
曲線Ａより下に存在する領域においては、シールドガスは破壊され、それゆえ、シールドガスプラズマが存在する。
【００４０】
フォーカルスポットの直径（ミクロンでの）を測定することに関連する不確定性、とともに窒素／ヘリウム混合物のヘリウム含有量の不確定性、およびフォーカルスポット内のエネルギー分布に関連する不確定性を示すために、曲線（Ｂ，Ｃ）、（Ｄ，Ｅ）および（Ｆ，Ｇ）の３つの束もまた図１に示される。
【００４１】
それらの曲線の式は、
％Ｈｅ＝μ×Ｉｎ（ΨP ）−２０７
（式中、
−  Ｉｎ（ΦP ）は、ｋＷ／ｃｍ2 で表現される出力密度の自然対数を表し、
−  ％Ｈｅは、窒素中のヘリウムパーセンテージであり、
−  μは、問題になっている曲線に依存する値である：曲線Ｂについてはμ＝３１；曲線Ｃについてはμ＝２９；曲線Ｄについてはμ＝３１．５；曲線Ｅについてはμ＝２８．５；曲線Ｆについてはμ＝３２．３；および曲線Ｇについてはμ＝２８）のタイプのものである。
【００４２】
したがって、曲線ＦとＧ（または代わりにＤとＥもしくはＢとＣ）の間に存在する図面の領域内では、当該パワー密度について、純粋なヘリウムかまたは曲線ＦとＧ（または代わりにＤとＥもしくはＢとＣ）の間に存在する領域より上に位置するＮ2 ／Ｈｅ混合物かのいずれかと同じ性能を獲得することを可能とするＮ2 ／Ｈｅ混合物を選択することが可能である。
【００４３】
逆に、この領域の下では、シールドガスは常に破壊され、それゆえシールドガスプラズマが出現する。それゆえ、これらの曲線から決定されるガス混合物は、最適混合物である。すなわち、最少量のヘリウムを含むがしかし、純粋なヘリウムまたはより高い比率のヘリウムを有する混合物と実質的に同じ結果をもたらすものである。
【００４４】
これら全ての曲線は、２５０ｍｍ、２００ｍｍまたは１５０ｍｍ焦点長の放物線鏡により鋼鉄およびステンレス鋼被加工物上に３ｍ／ｍｉｎの溶接速度でＱファクターが４であるＣＯ2 レーザーを用いて作成された。
【００４５】
図１に示されるように、５０体積％の窒素を含むヘリウム／窒素混合物は、５．３×１０6 Ｗ／ｃｍ2 のＣＯ2 レーザーパワー密度について純粋なヘリウムとほぼ同じである溶込み深さおよび溶接速度を与える。
【００４６】
本発明はまた、図２において模式的に示される窒素中のヘリウム含有量と用いられるレーザーパワーの関数として出現するシールドガスプラズマについてのしきい値の変化を示すことによっても立証され得る。
【００４７】
既出のものほど一般的ではないが、この別の表現は、図１の曲線から、そして以下の式：
（１）ΦP ＝Ｐ／Ｓ
（式中、ΦP はパワー密度であり、Ｐは用いられるレーザーパワーであり、Ｓはフォーカルスポットの面積である）
（２）Ｓ＝πＷ0 2 
（式中、Ｗ0 はフォーカルスポットの半径である）および
（３）Ｗ0 ＷF ＝Ｍ2 （λｆ／π）
（式中、ＷF は、当該パワーについてミラーでのまたは集光レンズでのレーザービームの半径であり、Ｍ2 は一般的には製造者のデータであるレーザー光線のＱファクターであり（ガウスビームについてはＭ2 ＝１）、λはレーザービームの波長であり（ＣＯ2 レーザーの場合には１０．６μｍ）、ｆはミラーまたは集光レンズの焦点長である）を用いて得ることができる。
【００４８】
したがって、用いられるパワーまたはパワー密度に基づいて、対応する窒素／ヘリウム混合物を決定するために上記式を用いて、パワー密度表示（図１）からパワー表示（図２）に及びその逆に切り替えることが可能である。
【００４９】
図２は、この場合には、４のＱファクター、２００ｍｍの焦点長および２８ｍｍの集束ミラーでのビーム直径について図１の曲線から得られた。
【００５０】
したがって、６ｋＷで、２００ｍｍの焦点長で、４のＱファクターで２００ｍｍの集束ミラーのビーム直径のレーザーについては、窒素とヘリウムの成分のそれぞれについて５０体積％を含む窒素／ヘリウム混合物を用いることが可能である。
【００５１】
それゆえ、本発明は、Ｎ2 ／Ｈｅガス混合物が、シールドガスプラズマ発生無しに、または可能な限り少ないプラズマ発生で、高品質の溶接を得るために、そしてコストを削減するために、用いられるレーザーパワーまたはパワー密度にしたがって適合されるかまたは調節されると言う事実に基づく。
【００５２】
本発明によれば、ガス混合物中の成分の比率は、体積、モルまたは質量比に基づいて調節され得る。しかしながら、体積での調節が好ましい。と言うのは、実施するのが単純だからである。
【００５３】
この基準から出発して、本発明は、レーザーパワーまたはパワー密度にしたがって適合される窒素中の可変的なヘリウム含有量を有するボトル内、すなわちパッケージされた形態の、ある範囲のガス混合物を製造することにより実施され得る。
【００５４】
例えば、下記表１は、本発明を実施するために推奨される３つのそれぞれの範囲のレーザーパワー密度に適合する３つの異なるＮ2 ／Ｈｅ混合物を示す。
【表１】
2005514208.tif 000003
【００５５】
場合に応じて、本発明はまた、溶接の開始の前に、例えばヘリウムと窒素の供給源に基づいて、すなわち用いられるレーザーのパワー密度またはパワーに最も適したＮ2 ／Ｈｅガス混合物に基づいて、そして本明細書に添付される図面の仕様に従って、オペレーターにより現場で直接に用いられ得る。
【００５６】
代わりに、所望されるＮ2 ／Ｈｅ混合物はまた、用いられるレーザーのパワーまたはパワー密度に従ったガスミキサーの自動的従動によりおよび検量線としての本明細書に添付された図面の曲線を用いることにより獲得され得る。
【００５７】
本発明のレーザー溶接プロセスは、アルミニウムまたはアルミニウム合金、ステンレス鋼または軟鋼で作られた被加工物を溶接するのに特に適している。
【００５８】
本発明のレーザー溶接プロセスは、０．１ないし３００ｍｍの同一または異なる厚さ範囲の被加工物を溶接するために用いられ得る。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】窒素とヘリウムから形成される混合物についてのプラズマ出現しきい値の変化を示すグラフである。
【図２】窒素中のヘリウム含有量と用いられるレーザーパワーの関数としてのシールドガスプラズマ出現のしきい値の変化を示すグラフである。
【図１】
2005514208.tif 000004
【図２】
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【国際調査報告】
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2005514208.tif 000009
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