(57)【要約】  ウェハを挿入し、取り出すための開口部（２５）を形成しているドア・フレーム（２５）を備えるハウジング（２２）と、ドア・フレーム（２３）内に挿入するためのドア（２４）とを備えるウェハ・コンテナ（２０）。ドア（２４）は、ハウジング（２２）のドア・フレーム（２３）によりドア（２４）を気密状態に密封するためのウェハ・エンクロージャ密封装置（５０）を含む。ウェハ・エンクロージャ密封装置（５０）は、ドア（２４）の内面の周辺の周りに配置されている第１の溝（５２）と、第１の溝に隣接して、ドア（２４）の周辺から側方に離間されて配置されている第２の溝（５２）とを含む。密封装置（５０）は、第１および第２の溝（５２，５４）の間に配置されている支持部材（５３）を含む。密封装置（５０）は、また、第２の溝（５４）内に摩擦で嵌挿することができ、ドア（２４）の周辺を延びる第１の部分（２６．１）と、ドア（２４）およびハウジング（２２）が接合した場合に、第２の溝（５４）内に下方にカンチレバー状に延びる第２の部分（２６．６）を有するエラストマ密封部材（２６）を含む。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハ・エンクロージャを密封した場合に、ドアの内面の一部がハウジングに接触するように適合されている前部開放ウェハ・エンクロージャのドア上で使用するためのウェハ・エンクロージャ密封装置であって、
前記ドアの内面の周辺の周りに配置される第１の溝と、
前記第１の溝に隣接し、かつ前記ドアの周辺から側方に離間されて配置される第２の溝と、前記第１および第２の溝が前記２つの溝の間に配置される支持部材により分離されるように適合されていることと、
前記第２の溝内に摩擦により嵌挿されるように適合されており、前記ドアの周囲に延びる第１の部分と、前記支持部材および前記第１の溝の上に配置されるように適合された第２の部分とを有するエラストマ密封部材とを備え、前記ウェハ・エンクロージャのハウジングを前記ドアで密封した場合に、前記密封部材の第２の部分が、前記第１の溝内に撓まされるように適合されているウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項２】
前記密封部材の側方への動きが規制されるように、前記支持部材が、前記密封部材内の複数の対応する開口と係合するように適合された複数の突出部材を備える、請求項１に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項３】
前記密封部材の前記第２の部分は、前記第１の部分から伸長して、カンチレバー状に突出するように適合されている、請求項１に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項４】
前記密封部材はＬ字形を有し、前記密封部材の前記第２の部分が、前記密封部材の前記第１の部分よりも長くなるように構成される、請求項３に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項５】
前記突出部材が、前記ドアの前記内面から突出するポストおよびフランジからなる群のうちの少なくとも１つを備える、請求項２に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項６】
前記密封部材の前記第２の部分は、前記密封部材の前記第１の部分から側方に離間されたヘッド部分を備え、前記ドアおよび前記ウェハ・エンクロージャ・ハウジングが係合した場合に、気密状態の密封を形成するように適合されている、請求項３に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項７】
前記密封部材は、前記ドアの周囲面から引っ込むように構成されている、請求項１に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項８】
前記密封部材が、前記ドアの前記内面とほぼ同一平面に位置する上面を含む、請求項７に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項９】
前記支持部材が、前記密封部材の前記第２の部分の長さの半分を越えて側方に延びるように適合されている、請求項１に記載のウェハ密封装置。
【請求項１０】
前記ドアの前記内面の周辺の周りに配置される第１の溝を備えるウェハ・エンクロージャ・ドア内で使用するためのウェハ・エンクロージャ密封部材であって、
前記第１の溝に隣接し、かつ前記ドアの周辺から離間されて配置される第２の溝内に摩擦により嵌挿されるように適合された第１の部分と、
前記第１の溝の上、並びに前記第１および第２の溝を分離する支持部材の上に配置されるように適合された第２の部分とを備え、ウェハ・エンクロージャ・ハウジングが前記ドアによって密封された場合に、前記密封部材の第２の部分が、前記第１の溝内に撓まされ
るように適合されているウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１１】
前記密封部材の前記ドアからの側方の動きが規制されるように、前記支持部材から突出している複数の対応する突出部材と係合するように適合された複数の開口をさらに備える、請求項１０に記載のウェハ密封部材。
【請求項１２】
前記突出部材が、ポストおよびフランジからなる群のうちの少なくとも一方を含む、請求項１１に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１３】
前記密封部材の第２の部分は、前記第１の部分から伸長して、カンチレバー状に突出するように適合されている、請求項１０に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１４】
前記密封部材の第２の部分が、前記第１の部分から側方に離間されて位置するヘッド部分を備える、請求項１３に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１５】
前記開口が細長い形状を有し、前記第２の溝と同一線上に位置する、請求項１１に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１６】
前記密封部材の前記第１の部分の頂面が、前記密封部材の前記第２の部分の頂面と同一線上にない、請求項１０に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１７】
ウェハ・エンクロージャであって、
複数のウェハを搬送するように適合されたハウジングと、
前記ハウジングと密封状態に係合するように適合されており、ウェハ・エンクロージャ密封装置を有するドアとを備え、
前記ウェハ・エンクロージャ密封装置が、
前記ドアの内面の周辺の周りに配置される第１の溝と、
前記第１の溝に隣接して、かつ前記ドアの周辺から側方に離間されて配置される第２の溝と、前記第１および第２の溝が前記２つの溝の間に配置される支持部材により分離されることと、
前記第２の溝内に摩擦により嵌挿されるように適合されており、かつ前記ドアの周囲に延びる第１の部分と、前記支持部材の上および前記第１の溝の上に配置されるように適合された第２の部分とを有するエラストマ密封部材とを備え、前記ウェハ・エンクロージャを前記ドアで密封した場合に、前記密封部材の第２の部分が、前記第１の溝内に撓まされるように適合されているウェハ・エンクロージャ。
【請求項１８】
前記密封部材の側方への動きが規制されるように、前記支持部材が、前記密封部材内の複数の対応する開口と係合するように適合された複数のポストを備える、請求項１７に記載のウェハ・エンクロージャ。
【請求項１９】
前記密封部材がＬ字形を有し、前記密封部材の前記第２の部分が、前記密封部材の前記第１の部分よりも長いカンチレバー状に構成される、請求項１８に記載のウェハ・エンクロージャ。
【請求項２０】
前記密封部材が、さらに、前記第２の部分上に配置され、前記第１の部分から側方に離間されて配置されるヘッド部分を備える、請求項１７に記載のウェハ・エンクロージャ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して、エンクロージャに関する。より詳細には、本発明は、半導体処理施設で処理中のウェハを保持するための密封可能なエンクロージャに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハは、処理中に多数の工程により処理される。ウェハ処理の場合には、通常、特殊な装置による処理のために、複数のウェハをあるワーク・ステーションから他のワーク・ステーションに搬送しなければならない。処理手順の一部として、ウェハをコンテナ内に一時的に保管するか、コンテナに入れて他のプラントまたはエンド・ユーザに出荷することになる。種々の環境を通してウェハを移動すると、ウェハはウェハを潜在的に破損する汚染物に曝されることになる。ウェハが有害な汚染物に曝されるのを防止するために、ウェハは、ウェハを外部の汚染物から隔離するばかりでなく、汚染物の発生を最低限度に低減する特殊なコンテナ内に収容される。これらのコンテナの共通の特徴は、閉鎖された場合に、密封するか、または例えばテープなどにより密封される取り外し可能なドアまたはクロージャを含むことである。
【０００３】
半導体ウェハ内の単位面積当たりの回路の数が増大するにつれて、それに対応して各回路の大きさが小さくなり、粒子の形をしている汚染物がますます問題になってきている。回路を破壊する粒子の大きさは小さくなってきていて、分子レベルに近づいてきている。粒子の制御は、半導体ウェハの製造、処理、搬送および保管のすべての段階で必要である。この業界においては、さらに大きなウェハを半導体内で処理する方向に向かっている。現在では３００ミリメートル（３００ｍｍ）のウェハが通常使用されている。
【０００４】
ウェハ・キャリヤは、ほとんどすべての場合、熱可塑性プラスチックを含む種々の材料から形成することができる。エンクロージャおよびクロージャを含む初期のコンテナは、ポリエチレンのような非常に成形し易いプラスチックから形成されていた。特許文献１を参照されたい。他のコンテナは、特許文献２に開示されているような硬質のｈバー・キャリヤ（ｈ−ｂａｒ  ｃａｒｒｉｅｒ）を保持していた。一方、他のコンテナは、スロット内で成形されたポリカーボネート・エンクロージャ部分およびより柔軟で、より弾性を有するカバーを備えていた。例えば、特許文献３を参照されたい。
【０００５】
半導体製造施設内で使用する大部分のウェハ・コンテナは、ウェハ・コンテナのドアとハウジングとの間に位置する密封部を含む。さらに、ウェハ・コンテナは、処理装置と密封状態で係合することができる。コンテナまたはハウジングの開放底部をドアが閉鎖するため、これらのウェハ・コンテナは、一般的に、「ＳＭＩＦ」ポッド（ｓｅａｌｅｄ  ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  ｉｎｔｅｒｆａｃｅ：密封された機械的インターフェース）または搬送モジュールと呼ばれる。これらのコンテナは、厳しい動作状態に常に曝されるので、厳しい構造上また性能上の要件に適合しなければならない。さらに、これらのコンテナは、ロボットによりまたは手動で機械的に把持できるものでなければならないし、またドアを閉じるだけで、気密状態に密封できるような非常に高度な隔離を行うことができるものでなければならない。
【０００６】
３００ｍｍのウェハ用の半導体処理施設で使用するコンテナは、通常、前部開放モジュールを使用する。ＳＭＩＦポッドおよび搬送モジュール用の従来の密封は、密封を行うために、軸線方向にドアとハウジングとの間に単に圧入される比較的簡単なエラストマによる密封であった。このアプローチを使用した場合には、エラストマ密封部と接触するハウジング部分のポリカーボネートが、場合によっては密封部に付着して、偶然に密封を損ね
る場合がある。ドアを頻繁に開閉すると、密封部が正しい位置からずれて、密封部が突出したり垂れ下がったりして、偶然に処理装置に引っ掛かって、ウェハに壊滅的な損傷を与えたり、コンテナを密封できなくする恐れがある。
【特許文献１】米国特許第４，２４８，３４６号
【特許文献２】米国特許第５，２７３，１５９号
【特許文献３】米国特許第５，５８６，６５８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従って、ウェハ・エンクロージャの気密状態の密封を強化し、エラストマ密封部が移動するのを防止するウェハ・エンクロージャ用の密封装置が必要とされている。よって、上記問題およびその他の関連する問題を解決するウェハ・エンクロージャ密封装置の開発が待望されている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
ウェハ・コンテナは、ウェハを挿入し、取り出すための開口部を形成しているドア・フレームを備えるハウジングと、ドア・フレーム内に挿入するためのドアとを備える。ドアは、ハウジングのドア・フレームと一緒にドアを気密状態に密封するためのウェハ・エンクロージャ密封装置を備える。
【０００９】
一態様によれば、本発明は、ウェハ・エンクロージャを密封した場合に、ドアの内面の一部がハウジングに接触するハウジングを有するウェハ・エンクロージャのドア内に組み込まれているウェハ・エンクロージャ密封装置である。ウェハ・エンクロージャ密封装置は、ドアの内面の周辺の周りに配置された第１の溝と、第１の溝に隣接して、ドアの周辺から側方に離間されて配置された第２の溝とを含む。ウェハ密封装置は、第１および第２の溝の間に位置する支持部材を含む。ウェハ密封装置は、また、第２の溝内に摩擦により嵌挿され、ドアの周囲に延びる第１の部分を有するエラストマ密封部材を含む。エラストマ密封部材も、支持部材および第１の溝上に配置される第２の部分を含む。ウェハ・エンクロージャ・ハウジングをドアにより密封した場合、密封部材の第２の部分は、第１の溝内に撓まされる。
【００１０】
好ましい実施形態の場合には、ウェハ・エンクロージャ密封装置の支持部材は、密封部材の側方の動きを規制するために、密封部材内の対応する複数の開口と係合する複数のポスト（柱）を含む。この例示としての実施形態の場合には、密封部材は、該密封部材の第２の部分が密封部材の第１の部分より長くなるように（例えば、伸長されて）構成され、かつカンチレバーのように運動するように構成されているＬ字状部材である。
【００１１】
好ましい実施形態の場合には、密封部材の第２のカンチレバー状の部分は、非可撓性の「垂直な」部分を有し、ドアは周辺のまわりに延びる周辺フランジを有する。周辺フランジは、第２のカンチレバー状の部材のほぼ先端に位置しており、それにより上記第２のカンチレバー状の部材を保護し分離する。周辺フランジはまた、ドアとハウジングとの間に係合面を提供し得る。
【００１２】
本発明の目的および利点は、密封部材（またはガスケット）が、ドアの周辺上に堅固に捕捉され、偶発的なドアの移動を効果的に防止することである。
本発明の好ましい実施形態の目的および利点は、ウェハ・エンクロージャ密封装置が、エラストマ密封部材がドアの周辺を越えて側方に移動するのを防止することである。
【００１３】
本発明の特定の実施形態の他の目的および利点は、ウェハ・エンクロージャ密封装置が、ドアを取り外した場合に、密封部材とウェハ・エンクロージャ・ハウジングのドア・フ
レームの間の偶発的な固着を防止することである。
【００１４】
本発明の好ましい実施形態のもう１つの目的および利点は、密封部が損傷した場合またはその使用期限が終了した場合に、密封部を容易に交換することができることである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は、本発明の一部と一緒に、または一部として使用するのに適している従来技術の前部開放搬送モジュール２０である。「搬送モジュール」は、ウェハおよびレチクルを搬送し、保管しおよび／または出荷するために使用する半導体ウェハまたはレチクル・エンクロージャ（またはコンテナ）の一般的な用語である。この例の場合には、ウェハ・エンクロージャ２０は、概して、ハウジングからウェハを取り出しまた挿入するための前部開口部２５を画定するドア・フレーム２３を有するハウジング２２から構成される。ハウジング２２は、搬送または保管中にウェハ３４を収容するために、ウェハ３４を配置するための複数のスロット３２を含む。ドア・フレーム２３は、ドア２４を受容するために、フランジ構造を有する形状に構成されており、密封面４０、壁部４２およびラッチ受４６を含む。本願において使用する場合、ドア・フレームは、エンクロージャ部分から独立している構造を含むもの、エンクロージャ上の付加的な構造を含むもの、またはエンクロージャと一体的な構造を含むものに限定されるべきではない。むしろ、本願において、ドア・フレームは、ドア２４を受容するハウジング２２の一部であると定義される。ｘ−ｙ−ｚ座標軸は、説明の便宜のためのものである。ドアおよびウェハは、ｚ軸に沿ってドアに挿入され、ドアから取り出される。ｙ軸は、垂直方向に延び、ｘ軸は側方に延びる。
【００１６】
図２について説明すると、ドア２４は、一般的に、外面６２およびウェハ・コンテナ２０を密封した場合、ドア・フレーム２３と接触する外周面２８を有する内壁部５１を備える。ドア２４は、また、ドア２４の周辺の周りに延び、ドア２４の外周面に隣接する密封部材２６を含む。密封部材２６は、コンテナ２０を閉じた場合、ハウジング２２と密封状態に係合するように動作する。
【００１７】
ドア２４は、軸線Ａ１を有し、クロージャ部分は、軸線Ａ２を含む。ドアをドア・フレーム内に正しく挿入するためには、軸線Ａ１およびＡ２を整合させなければならない。ドアがドア・フレーム内に挿入されると、ドアは軸線方向に移動する。本明細書においては、「半径方向」という用語は、軸線Ａ１またはＡ２に垂直な方向または向きを意味し、同様に、密封部材２６から見て、ドアの軸線から外側に向かう純粋なベクトルに対向する密封部材のその特定の部分に垂直な任意の方向を意味する。密封部材２６は、また密封ガスケットとも呼ばれる。
【００１８】
図２〜図４について説明すると、ドア２４は、ドアの内面５１上に位置するウェハ・エンクロージャ密封装置５０を含む。ドア２４は、さらに、ドアが正しい位置に位置した場合に、ウェハをやや付勢して拘束する一組のウェハ・クッション５６を含む。このクッションは、プラスチックのスナップイン・コネクタで接続点５８に正しく取り付けることができる。ドア・エンクロージャ部分は、上記構成部材間の接触のみが、ドア・フレームの係合に対する密封およびドア・フレームの接触に対するドア・ガイドになるように構成することができる。別の方法としては、密封部が正しく湾曲された場合に、ドアが底部に達するように、補足的な止め部をエンクロージャ部分内に設けることができる。図１において、ドアの内部空間６４およびラッチ機構６６の一部を開示するために、外部ドア・パネル６２の一部が切除されている。上記ラッチ機構は、Ｄａｖｉｄ  Ｌ．Ｎｙｓｅｔｈに付与され、本発明の所有者が有している米国特許第５，７１１，４２７号に開示されているように動作することができる。すべて開示する目的で、上記米国特許を本明細書に援用するものとする。
【００１９】
さらに、図２、図３および図４について説明すると、エンクロージャ密封装置５０は、周辺フランジ５２．５および中間フランジ５３により形成されている第１の溝５２を備える。第１の溝は、ドア２４の内面５１の周辺の周りに配置される。第２の溝５４は、第１の溝５２に隣接して配置され、ドアの周辺からさらに半径方向に内側に離間されて配置されている。この実施形態の場合には、フランジ５３として構成されている支持部材は、溝５２および溝５４の間に位置する。密封装置５０は、さらに、ドアの周囲に延びる第２の溝５４内に摩擦により嵌挿される、第１の部分２６．１を有するエラストマ密封部材２６を備える。密封部材２６はまた、支持部材５３および第１の溝の上に位置する第２のカンチレバー状部分２６．６を備える。ハウジング２２がドア２４によって密封される際に、密封部材２６の第２のカンチレバー状部分２６．６は、第１の溝５２内に下に向かって撓む。このアプローチでは、密封部材２６は、ドア２４の周辺を越えて移動することが規制され、コンテナ２０がある位置から他の位置に移動する際に、密封部材２６が他の処理装置に引っ掛かることが防止される。この例示としての実施形態の場合には、第２のカンチレバー状部分２６．６は、ドア２４の内面５１とほぼ同一平面上に位置する面２７を含む。密封部材２６の幅は、約１．３５ｃｍ（０．５３０インチ）である。
【００２０】
さらに特に図２、図３および図４について説明すると、これらの図は、本発明のウェハ・エンクロージャ密封装置の例示としての実施形態である。この例示としての実施形態の場合には、支持部材５３は、溝５２と溝５４との間に配置され、内面５１から垂直方向に突出するポスト５３．１として構成されている複数の突出部材から構成される。ポスト５３．１は、密封部材２６の長手方向または側方の動きが効果的に規制されるように、密封部材２６内の複数の対応する開口２６．９と係合し、開口２６．９を介して突出する。ポスト５３．１および開口２６．９は、ドア２４の周辺に沿って位置する（図３参照）。この例示としての実施形態の場合には、密封部材２６は、Ｌ字形を有し、第１の脚の部分２６．１よりも長くなるように構成された密封部材の第２の脚の部分２６．６を備える。他の例示としての実施形態の場合には、ポスト５３．１は、対応するスロット開口と係合し得るフランジ５３．１である。
【００２１】
図３および図４は、頂部から見た密封部材２６の一部、および第１の部分２６．１、およびカンチレバー状部分２６．６および密封部材開口２６．９を含む断面図である。図４Ａについて説明すると、この図は、溝５２および溝５２の内部に配置された第２の溝５４を有するドア２４の一部を、密封部材２６がない状態で示している。さらに、細長いポスト５３．１は、ドア２４の内部に沿ってドアの周辺に隣接して位置する。
【００２２】
ハウジングおよびドア２４が一緒に接合した場合に、ハウジング２２を収容するために、本発明の密封部材２６は、図４に点線で示すように曲げられたカンチレバー状部分２６．６を提供する。この例示としての実施形態の場合には、エンクロージャ密封装置５０は、ハウジング２２とドア２４との間に気密状態の密封を提供するために協働して作用する、第１の溝５２および第２の溝５４、支持部材５３および密封部材２６を備える。エンクロージャ密封装置５０により、密封部材をその位置からずらさないで、ハウジング２２からドアを繰り返し取り外すことができる。他の従来技術の設計とは異なり、密封部材２６は、材料の疲労により密封部材が滑って外れたり、損傷したりする恐れがある周辺方向の張力によりドアの周辺に保持されていない。密封部材２６は、また、密封部材がドアからずれたり、脱落したりするのを防止するために、ドア２４内に引っ込んでいる。関連する実施形態の場合には、密封部材２６を固定または係合させ、密封部材の脱落または滑りを防止するために、類似の溝５２および溝５４並びに支持部材５３がドア・フレーム上に備えられている場合には、密封部材２６をフレーム２３に沿ってハウジング２２上に配置することができる。
【００２３】
図５、図６および図７について説明すると、これらの図は、ほぼＬ字形の構成を有する
密封部材２６を含む、エンクロージャ密封装置５０の他の実施形態を示す。この例示としての実施形態の場合には、第１の部分２６．１は、ドア・フレーム２４内に形成されている溝５４内に係合している。更なる構造的支持のために、部分２６．１は、内面５１の方向に突出している部分、並びに付加的な構造上の強度を提供するばかりでなく、カンチレバー状部分２６．６の柔軟性を強化する２つの部分からなる上面２７．１，２７．２を含む。上面２７．１は上面２７．２と平行ではあるが、同一平面上には位置していない。この実施形態の場合には、カンチレバー状部分２６．６は、また、ハウジングがドア２４と係合した場合に、第１の溝５２内に延びるか、またはこの溝と係合するヘッド部分２６．８を含む。図６Ｂについて説明すると、図に示すように、この実施形態の部材５３．１は、密封部材２６の表面２７．１と同一平面上に位置する高さを有する。この例示としての支持部材５３．１は、密封部材２６を側方に支持する。
【００２４】
図７は、ドア２４がハウジング２２のドア・フレーム２３内に密封された場合における、密封部材２６．９の第２の部分２６．６の湾曲の例である。ドアおよびドア・フレームが、界面６０などにおいて停止される前には、密封部材の先端すなわち、ヘッド部分２６．８は、溝５２の底部５２．１に接触し得ないことに留意されたい。
【００２５】
例示としての実施形態の場合には、ウェハ・コンテナ２０の主要な構造部材、特にドア・フレームをポリカーボネートのような硬質プラスチックから成形することができる。同様に、溝５２および溝５４を含むドアの主要な構造部分、支持部材５３およびフランジ５３．１を、ポリカーボネートから成形することができる。ウェハ・クッションは、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）およびポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）のような耐磨耗性合成プラスチックから適当に形成することができる。エラストマ密封部材２６は、デュポン  コーポレーション（Ｄｕｐｏｎｔ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）が販売しているＶｉｔｏｎ（登録商標）または一般的なエチレンプロピレンジエン・モノマーまたは類似のエラストマ材料のようなエラストマから形成することができる。
【００２６】
本発明は、本発明の精神または本質的な属性から逸脱することなく、他の特定の形で実施することができる。それ故、本発明の実施形態は、すべての点で説明のためのものであって本発明を制限するものではないと見なされたい。本発明の範囲を示しているのは、上記説明ではなく添付の特許請求の範囲である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のウェハ・キャリヤまたはエンクロージャの斜視図。
【図２】本発明のウェハ・エンクロージャ密封装置の例示としての実施形態の一部を概略示すウェハ・エンクロージャ・ドアの内部の立面図。
【図３】本発明のウェハ・エンクロージャ密封装置の例示としての実施形態を示すウェハ・エンクロージャ・ドアの一部の立面図。
【図４】本発明の例示としての実施形態による密封部材と係合するウェハ・エンクロージャ・ドアの一部の断面図。
【図４Ａ】適所に密封を有さないウェハ・エンクロージャ・ドアの他の実施形態の断面図。
【図５】本発明のウェハ・エンクロージャ・ドアおよび密封部材の別の実施形態の断面図。
【図６】ポストを横切って切断した、図５のウェハ・エンクロージャ・ドアの実施形態の断面図。
【図７】ドアと係合している、図５のウェハ・エンクロージャ・ドアの実施形態の断面図。
【図１】
2005508809.tif 000003
【図２】
2005508809.tif 000004
【図３】
2005508809.tif 000005
【図４】
2005508809.tif 000006
【図４Ａ】
2005508809.tif 000007
【図５】
2005508809.tif 000008
【図６】
2005508809.tif 000009
【図７】
2005508809.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月31日(2003.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハ・エンクロージャを密封した場合に、ドアの内面の一部がハウジングに接触するように適合されている前部開放ウェハ・エンクロージャのドア上で使用するためのウェハ・エンクロージャ密封装置であって、
前記ドアの内面の周辺の周りに配置される第１の溝と、
前記第１の溝に隣接し、かつ前記ドアの周辺から側方に離間されて配置される第２の溝と、前記第１および第２の溝が前記２つの溝の間に配置される支持部材により分離されるように適合されていることと、
前記第２の溝内に摩擦により嵌挿されるように適合されており、前記ドアの周囲に延びる第１の部分と、前記支持部材および前記第１の溝の上に配置されるように適合された第２の部分とを有するエラストマ密封部材とを備え、前記ウェハ・エンクロージャのハウジングを前記ドアで密封した場合に、前記密封部材の第２の部分が、前記第１の溝内に撓まされるように適合されているウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項２】
前記密封部材の側方への動きが規制されるように、前記支持部材が、前記密封部材内の複数の対応する開口と係合するように適合された複数の突出部材を備える、請求項１に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項３】
前記密封部材の前記第２の部分は、前記第１の部分から伸長して、カンチレバー状に突出するように適合されている、請求項１に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項４】
前記密封部材はＬ字形を有し、前記密封部材の前記第２の部分が、前記密封部材の前記第１の部分よりも長くなるように構成される、請求項３に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項５】
前記突出部材が、前記ドアの前記内面から突出するポストおよびフランジからなる群のうちの少なくとも１つを備える、請求項２に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項６】
前記密封部材の前記第２の部分は、前記密封部材の前記第１の部分から側方に離間され
たヘッド部分を備え、前記ドアおよび前記ウェハ・エンクロージャ・ハウジングが係合した場合に、気密状態の密封を形成するように適合されている、請求項３に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項７】
前記密封部材は、前記ドアの周囲面から引っ込むように構成されている、請求項１に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項８】
前記密封部材が、前記ドアの前記内面とほぼ同一平面に位置する上面を含む、請求項７に記載のウェハ・エンクロージャ密封装置。
【請求項９】
前記支持部材が、前記密封部材の前記第２の部分の長さの半分を越えて側方に延びるように適合されている、請求項１に記載のウェハ密封装置。
【請求項１０】
前記ドアの前記内面の周辺の周りに配置される第１の溝を備えるウェハ・エンクロージャ・ドア内で使用するためのウェハ・エンクロージャ密封部材であって、
前記第１の溝に隣接し、かつ前記ドアの周辺から離間されて配置される第２の溝内に摩擦により嵌挿されるように適合された第１の部分と、
前記第１の溝の上、並びに前記第１および第２の溝を分離する支持部材の上に配置されるように適合された第２の部分とを備え、ウェハ・エンクロージャ・ハウジングが前記ドアによって密封された場合に、前記密封部材の第２の部分が、前記第１の溝内に撓まされるように適合されており、
前記密封部材の前記ドアからの側方の動きが規制されるように、前記支持部材から突出している複数の対応する突出部材と係合するように適合された複数の開口をさらに備えるウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１１】
前記突出部材が、ポストおよびフランジからなる群のうちの少なくとも一方を含む、請求項１０に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１２】
前記密封部材の第２の部分は、前記第１の部分から伸長して、カンチレバー状に突出するように適合されている、請求項１０に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１３】
前記密封部材の第２の部分が、前記第１の部分から側方に離間されて位置するヘッド部分を備える、請求項１２に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１４】
前記開口が細長い形状を有し、前記第２の溝と同一線上に位置する、請求項１０に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１５】
前記密封部材の前記第１の部分の頂面が、前記密封部材の前記第２の部分の頂面と同一線上にない、請求項１０に記載のウェハ・エンクロージャ密封部材。
【請求項１６】
ウェハ・エンクロージャであって、
複数のウェハを搬送するように適合されたハウジングと、
前記ハウジングと密封状態に係合するように適合されており、ウェハ・エンクロージャ密封装置を有するドアとを備え、
前記ウェハ・エンクロージャ密封装置が、
前記ドアの内面の周辺の周りに配置される第１の溝と、
前記第１の溝に隣接して、かつ前記ドアの周辺から側方に離間されて配置される第２の溝と、前記第１および第２の溝が前記２つの溝の間に配置される支持部材により分離されることと、
前記第２の溝内に摩擦により嵌挿されるように適合されており、かつ前記ドアの周囲に
延びる第１の部分と、前記支持部材の上および前記第１の溝の上に配置されるように適合された第２の部分とを有するエラストマ密封部材とを備え、前記ウェハ・エンクロージャを前記ドアで密封した場合に、前記密封部材の第２の部分が、前記第１の溝内に撓まされるように適合されているウェハ・エンクロージャ。
【請求項１７】
前記密封部材の側方への動きが規制されるように、前記支持部材が、前記密封部材内の複数の対応する開口と係合するように適合された複数のポストを備える、請求項１６に記載のウェハ・エンクロージャ。
【請求項１８】
前記密封部材がＬ字形を有し、前記密封部材の前記第２の部分が、前記密封部材の前記第１の部分よりも長いカンチレバー状に構成される、請求項１７に記載のウェハ・エンクロージャ。
【請求項１９】
前記密封部材が、さらに、前記第２の部分上に配置され、前記第１の部分から側方に離間されて配置されるヘッド部分を備える、請求項１６に記載のウェハ・エンクロージャ。
【国際調査報告】
2005508809.tif 000011