(57)【要約】本発明による装置及び方法は、好ましくは電気めっきプラント及びエッチング設備において、平坦で可撓性の被加工物（１）を流体で処理するのに役立つ。この装置及び方法によって、被加工物（１）が変形したり、又は処理容器（３）の側壁もしくは他の組み込み構成要素にぶつからないような仕方で、特に、ホイル型被加工物（１）を、流体、たとえば、湿式化学又は電気化学処理流体の中に配置することが可能となる。この目的のために、処理容器（３）には、被加工物（１）がその中に降ろされる保護キャリア（５）が割り当てられるが、前記キャリア（５）は、ほとんどは空の状態にある。処理のために、保護キャリア（５）が、たとえば、処理流体で満たされた容器（３）に降ろされ、前記処理流体が、保護キャリア（５）に流入する。処理流体が、保護キャリア（５）に制御されて流入するのを可能とする手段が、保護キャリア（５）に設けられている。
2005529243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を用いて、平坦で可撓性の被加工物（１）を処理する装置であって、
i．前記被加工物（１）を保持するための少なくとも１つの保護キャリア（５）であって、処理のために、前記流体を含む容器（３）によって収納されるように構成された保護キャリア（５）と；
ii．前記被加工物（１）が前記保護キャリア（５）に収納された後に、前記被加工物（１）が、大幅に変形したり、及び／又は位置を変えたりしないように、前記流体が前記保護キャリア（５）に流入することを可能とする少なくとも１つの手段と、
を含む装置。
【請求項２】
前記流体が湿式化学又は電気化学処理流体である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記処理流体を前記保護キャリア（５）に入れるための前記手段が、前記保護キャリア（５）における少なくとも１つの開口部（６）を含む、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記保護キャリア（５）が側壁及び底部壁を含み、前記開口部（６）が、前記側壁及び／又は底部壁に、均等に間隔をあけられて配分されている、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
各開口部（６）のサイズが、１〜５００平方ミリメートルの範囲にわたる、請求項３又は４に記載の装置。
【請求項６】
前記開口部（６）に、そのサイズを変更するために、変位可能なシャッタ及び／又はオリフィスプレートが設けられている、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
対向電極に対して電気シールドを実現する目的で、前記開口部（６）が、前記保護キャリア（５）における壁の端部領域には設けられていないか、又は前記開口部（６）が、中央領域におけるよりも端部領域において径が小さめで及び／又は端部領域において数少なく設けられている、請求項４〜６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記底部壁が、少なくとも１つの排出バッフル（２７）又は少なくとも１つの排出ゲートを有している、請求項４〜７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記保護キャリア（５）の内側と外側における前記処理流体のレベルの差異を生じるための少なくとも１つの手段が設けられ、その結果、前記処理流体が、前記保護キャリア（５）に流入することが可能となる、請求項２〜８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記保護キャリア（５）の内側と外側における前記処理流体のレベルの前記差異を生じるための前記手段が、少なくとも１つの貯蔵槽（７）と、前記処理流体を、前記貯蔵槽（７）から、前記容器（３）の内側及び前記保護キャリア（５）の外側に位置する容器空間へ循環可能とする少なくとも１つの送出システムとを含む、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記保護キャリア（５）の内側と外側における前記処理流体のレベルの前記差異を生じるための前記手段が、前記容器（３）と関連し、かつ保護キャリア（５）を前記容器（３）に搬送可能とする少なくとも１つの定置保護キャリアホイストを含む、請求項９又は１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記保護キャリア（５）の内側と外側における前記レベルの前記差異を生じるための前記手段が、前記被加工物（１）のための移動キャリッジに取り付けられ、かつ保護キャリア（５）を前記容器（３）に搬送可能とする少なくとも１つの保護キャリアホイストを含む、請求項９又は１０に記載の装置。
【請求項１３】
前記保護キャリア（５）は、当該保護キャリア（５）が前記容器（３）から引き上げられる前に、自動的に作動可能でかつ開くことができる、底部バッフル及び２つの対向する側部バッフルを含む少なくとも２つの部分で作られ、また前記被加工物（１）が前記容器（３）内に留まっている、請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
容器（３）中の流体を用いて、平坦で可撓性の被加工物（１）を処理する方法であって、
i．保護キャリア（５）に前記被加工物（１）を収納する方法ステップと；
ii．前記保護キャリア（５）を前記容器（３）に搬送するか、又は前記保護キャリア（５）を前記容器（３）に配置する方法ステップと；そして
iii．前記被加工物（１）が大幅に変形したり、及び／又は位置を変えたりしないに、前記保護キャリア（５）を前記流体で満たす方法ステップと；次に、
iv．前記流体で前記被加工物（１）を処理する方法ステップと、
を含む方法。
【請求項１５】
前記流体が、湿式化学又は電気化学処理流体であり、前記保護キャリア（５）に、少なくとも１つの開口部（６）を通して供給される、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記保護キャリア（５）を前記処理流体で満たすために、前記処理流体のレベルの差異が、前記保護キャリア（５）の内側と外側で生じ、前記差異によって、前記処理流体が、前記保護キャリア（５）に流入するようにされる、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記保護キャリア（５）の内側と外側における前記処理流体のレベルの前記差異が、前記処理流体が前記容器（３）に供給されている間に、前記保護キャリア（５）を前記容器（３）に搬送するか、又は前記保護キャリア（５）を前記容器（３）内に配置することによって生じる、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記保護キャリア（５）の内側と外側における前記処理流体のレベルの前記差異が、前記保護キャリア（５）を、前記処理流体を保持する前記容器（３）に搬送することによって生じる、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記保護キャリア（５）が、前記容器（３）に関連した定置保護キャリアホイストを用いて、前記容器（３）に搬送される、請求項１７又は１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記保護キャリア（５）が、前記被加工物（１）のための移動キャリッジに取り付けられた保護キャリアホイストを用いて、前記容器（３）に搬送される、請求項１７又は１８に記載の方法。
【請求項２１】
前記処理流体が、貯蔵槽（７）から、前記容器（３）内でかつ前記保護キャリア（５）の外側に位置する容器空間に循環される、請求項１７〜２０のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２２】
前記処理流体が、前記保護キャリア（５）の前記開口部（６）を通して循環され、前記保護キャリア（５）が前記側壁及び底部壁を含み、前記開口部（６）が前記壁に均等に間隔を開けられ配分されている、請求項１５〜２１のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２３】
対向電極に対して電気シールドを実現する目的で、前記開口部（６）が、前記保護キャリア（５）における側壁の端部領域に設けられていないか、又は前記開口部（６）が、端部領域において直径が小さめに、及び／又は端部領域において数を減らして、設けられている、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記保護キャリア（５）を流体で満たすために、前記処理流体が、前記保護キャリア（５）の２つの側壁における前記開口部（６）のみを通して流れることが可能であり、前記側壁が、前記被加工物（１）に対し平行に向いている、請求項２２又は２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記保護キャリア（５）を流体で満たすために、前記少なくとも１つの開口部（６）のサイズが、前記被加工物（１）の機械的感度に応じて、変位可能なシャッタ及び／又はオリフィスプレートによって調節される、請求項１５〜２４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項２６】
処理後に前記保護キャリア（５）から前記流体を迅速に排出するために、前記保護キャリア（５）の前記底部壁に、開けられた少なくとも１つの排出バッフル（２７）又は少なくとも１つの排出ゲートが設けられ、そこを通って前記処理流体が排出可能とされる、請求項２２〜２５のいずれか一項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本装置及び方法は、好ましくは、電気めっきライン及びエッチング設備において、特に、ホイル型被加工物が、湿式化学又は電気化学プロセスの間に処理槽に垂直に浸漬されるときに、平坦で可撓性の被加工物を処理するのに役立つ。
【背景技術】
【０００２】
湿式化学処理ライン、電気めっきライン及びエッチング設備において、プリント回路ホイルなどの特に薄い被加工物を処理する方法には、限定するわけではないが、プリント回路ホイルの洗浄、活性化、電気めっき及び後処理の方法ステップが含まれる。内側が非導電材料で作製されている被加工物において、プリント回路パターン及び貫通穴が、いくつかの処理ステップで作成される。特別の用途に対しては、ホイルの厚さは、３０〜５０μｍ以下になり、これらのホイルは、機械的圧力に非常に敏感である。表面が柔らかいので、被加工物は、ローラの間を搬送できないことが多い。この場合には、たとえば電気めっきラインなど、垂直処理ラインが用いられる。これらのラインでは、プリント回路ホイルは、移動のために、クリップ、クランプ又はネジによって、その外側端部をキャリアバーに、固定される。一般に、複数のホイルが、横一列に並んで、ときには上下に、キャリアバーに配置される。
【０００３】
導電層の電解堆積のために、被加工物は、クランプ及びキャリアバーを介して、電流源の陰極に接続される。したがって、対向電極、この場合にはアノードは、陽極に導電的に接続される。電解エッチングの間には、極性は交換される。そのとき、被加工物は陽極の極性を与えられる。
【０００４】
被加工物が固定されるキャリアバーは、被加工物が１つの浸漬槽から別の浸漬槽に移動されるように、コンベヤキャリッジに保持されるが、この場合、キャリアバーは、それぞれ１つの浸漬槽に降ろされ、処理の後、再び引き上げられる。
【０００５】
異なるプロセスに使用する処理槽は、水性流体で作動される。組成によって、流体には、異なる表面張力がある。たとえばホイルなどの薄い被加工物を処理槽に降ろすために、被加工物は最低限の剛性を有し、表面はできる限り一様である必要がある。そうでない場合には、ホイルは、たとえば水平方向に降ろされているとき、流体の表面張力のために逸れて、容器の縁又はアノード、加熱機器、冷却装置、センサ等など、近くに位置する構成部品にぶつかる可能性がある。
【０００６】
逸れが強すぎると、これらの敏感なホイルが変形するか又は曲がる危険を、また逸れたホイルが電気的な対極に接触するようにされたときには、電解槽内で短絡を引き起こす危険を伴うおそれさえある。この理由は、したがって、クランプ又はラックによる被加工物の案内が劣っているか、又は材料の剛性が不足しているかである。循環ポンプが引き起こす槽流体の流れ及び空気注入等（対流）がまた、ホイルを逸れさせる可能性がある。被加工物の厚さを低減させる現行の要求とともに、被加工物は、従来の一層厚い被加工物のように浸漬することはもはやできない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的の１つは、周知の方法における欠点を避けることであり、特に、確保すべき費用がほとんどかからず、被加工物を損傷せずに処理流体に確実に降ろす、平坦で可撓性の被加工物を処理するための装置及び方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、請求項１に記載の装置及び請求項１４に記載の方法を提供する。本発明の好適な実施形態は、従属項に列挙される。
【０００９】
処理流体の中で平坦で可撓性の被加工物を損傷せずに処理する本発明を開示及び説明する前に、本発明は、本明細書に開示する特定の装置、処理ステップ及び材料に限定されないことを理解すべきである。なぜなら、これらの装置、処理ステップ及び材料は、いくらか変化してもよいからである。また、本明細書で使用する術語は、特定の実施形態を説明する目的のみで使用しており、限定を意図するものではないことも理解すべきである。なぜなら、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ限定されるからである。したがって、添付の特許請求の範囲で規定する本発明の範囲から逸脱することなく、技術的手段による様々な修正及び置き換えが、本発明の以下の例及び図面によって説明するものに適用可能であることを理解すべきである。
【００１０】
本発明による装置及び方法は、好ましくは電気めっきライン及びエッチング設備において、ほぼ垂直に配置された、特に、平坦で可撓性の被加工物を流体で処理するのに役立つ。この装置及び方法によって、特にホイル型被加工物を、以下のような仕方で、流体、たとえば処理流体（処理槽）に配置できる。すなわち、被加工物が、変形したり及び／又は著しく位置を変えたりせず、処理容器（容器）の側壁又は他の組み込みの構成要素にぶつかることが防止されるような仕方である。
【００１１】
本発明による装置には、流体を含む容器に収納可能な、被加工物を保持する少なくとも１つの保護キャリアと、少なくとも流体の流入及び充填プロセスの間は、保護キャリア内の被加工物が、変形したり及び／又は大幅に位置を変えたりしないような仕方で、流体が保護キャリアに流入することを可能にする少なくとも１つの手段と、が含まれる。流体は、湿式化学又は電気化学処理用の処理流体であることが好ましい。使用する流体はまた、ガス、たとえば乾燥用加熱空気であってもよい。簡略化のために、用語「処理流体」は、以下の説明において、任意の流体を示すために使用される。
【００１２】
本発明による方法を実行するために、被加工物は、たとえば、キャリアバーに固定され、キャリアバーは、移動システムによって、被加工物を様々な処理容器に搬送する。それによって、本発明により、被加工物は、流体の中に降ろされず、最初は、たとえば、処理流体がほとんど入っていない保護キャリアに収納される。保護キャリアは、それが配置される処理容器に移送される。次に、保護キャリアは、被加工物が大幅に変形したり及び／又は位置を変えたりしないような仕方で、処理流体で満たされる。そのときだけ、被加工物は処理流体と接触し、処理される。
【００１３】
保護キャリアは、たとえば、プラスチック材料又は金属など、使用する化学薬品及び意図する槽温度に適する材料からなる。重力を用いて処理流体を保護キャリアに入れるために設けられる手段は、保護キャリアの少なくとも１つの開口部である。保護キャリアは、側壁及び底部壁を含むのが好ましく、開口部は、これらの壁に均等に間隔をあけて配分される。開口部の寸法は、処理流体が、敏感な被加工物を曲げたり又は押しやったりせずに、制御されてゆっくりとキャリアに流入するような大きさにされる。各開口部のサイズ（流れの通過部分）は、１〜５００平方ミリメートルの範囲にわたるのが好ましい。処理流体の組成により変化する可能性がある、使用処理流体の異なる表面張力などの特定の要件又は被加工物の感度を考慮するために、保護キャリアの開口部は、別の仕方で製造するか又は調節可能とすることができる。開口部における流れの通過部分は、変位可能なシャッタ又はオリフィスプレートによって、たとえば、変化させ、調節してもよい。シャッタ又はオリフィスプレートは、保護キャリアの壁に取り付けることができる。開口部に対して、シャッタ又はオリフィスプレートを変位させることによって、保護キャリアの壁における開口部の位置に対する、オリフィスプレートにおける開口部の位置を変化させることができ、保護キャリアにおける開口は、部分的に覆われるか又は閉じられる。その結果、保護キャリアに入る流体及びこの流体の体積流量速度を変化させることができる。シャッタ及びオリフィスプレートを変位させて、保護キャリアの開口部を部分的に閉じることによって、単位時間当たりの流入は低減される。
【００１４】
たとえば流速に応じて、乱流が、処理流体がキャリアに流入する間に、保護キャリアにおける開口部の背後における処理流体で発生する。さらに、開口から逸れて保護キャリアの内側に向かい、出会ったときに乱流を生じる別個の流れが形成される。これらの乱流によって、敏感な被加工物は、変形させられる可能性がある。乱流によって生じる被加工物への影響の程度は、たとえば、発生する乱流又は流れの方向に対する被加工物の方向及びそれらからの距離に依存する。保護キャリアの特定の一実施形態において、処理流体は、被加工物に対して平行した向きの、保護キャリアの側壁における開口部だけを通過し、一方で、場合により他の側壁に存在している開口部は、閉じられる。この措置は、特に変形をこうむりやすい被加工物が曲がるのを防ぐことを意図するものである。なぜなら、この場合、被加工物にほとんど正面から突き当たる流れが互いに打ち消しあい、被加工物が、その位置から大幅にはずれないからである。
【００１５】
処理後、たとえばキャリアの引き上げ中に、保護キャリアから処理流体を迅速に排出するために、保護キャリアの底部には、たとえばレバーロッドによる引き上げ動作か又はフロートを介して、保護キャリアが引き上げられているときに自動的に開き、保護キャリアが容器に降ろされるときに再び自動的に閉じる、排出バッフル又は大きな表面の排出ゲートを設けることができるのが好ましい。
【００１６】
被加工物の電気化学処理（電気めっき又は電気化学エッチングプロセスによる）の間に、電解槽を形成するために電気めっきに必要なアノード、又はエッチングに必要なカソードは、特に、アノードが、たとえば不溶性のときには、保護キャリアの壁に固定することができる。保護キャリア材料の化学的抵抗性及び電気化学プロセスが適切な場合には、壁自体が、アノード又はカソードの機能を実行することができる。
【００１７】
アノード（対向電極）が、容器の縁に近接して、被加工物のどちらかの側に、当該技術分野において周知の仕方で固定される場合には、保護キャリアは、保護キャリアにおいて対流的な流れに対し被加工物を保護する機能に加えて、電気力線に対して対向電極をシールドする機能を実行することができる。この目的のために、処理流体を入れるための、保護キャリアにおける開口部、たとえば穿孔は、たとえば、好ましくは、保護キャリア壁の周辺領域に設けられなくてもよいか、又は直径をより小さくしてもよいし、及び／又は壁の中央領域におけるよりも、これらの領域で、数を低減してもよい。これによって、被加工物の周辺領域において、望ましくなく、強い電気力線の集中を避けることが可能となる。この場合には、キャリアの材料は、少なくともキャリアの表面において、導電的な特徴を有することは許されない。なぜなら、そうでなければ、電気力線が、キャリアを貫通して被加工物に達することができないからである。
【００１８】
被加工物が、保護キャリアの中に収納された後か又は被加工物が保護キャリアの中に入れられているときに、保護キャリアを満たすために、処理流体が、保護キャリアの内側及び外側の異なる槽レベルによって生じる静水力学的な勾配によって、保護キャリアに送られる。保護キャリアの内側と外側における流体レベルの差異の結果としてこの勾配を生じる様々な可能性がある。処理容器における流体は、たとえば、保護キャリアが容器に降ろされているときに、変位してもよい。
【００１９】
処理容器には、たとえば、静止した、すなわち、しっかりと取り付けられた保護キャリアを含んでもよい。この場合、キャリアバーに保持される被加工物は、移動システムを用いて、空の容器に位置する空の保護キャリアに移送される。この場合、処理流体は、キャリアバーを空の容器に降ろす前は、たとえば、別個の貯蔵槽に入れられていて、キャリアバーが作業容器に完全に降ろされ、被加工物が保護キャリアに配置された後で、送出システム（ポンプシステム又は重力）及び管を用いて、保護キャリアの外側に位置する容器空間に送られる。湿式化学又は電気化学処理が完了すると、被加工物は、移動システムを用いて、容器から引き上げられ、次の処理容器に移動される。処理流体は、貯蔵槽に再循環される。そのとき、保護キャリアは、次の被加工物を収納する用意ができている。
【００２０】
別の実施形態において、容器における流体レベルの差異は、被加工物を保持する保護キャリアを容器に降ろし、処理流体を、キャリアが降りている間又は降りた後にのみ容器に送ることによって、得ることができる。この場合、処理流体は、たとえば、別個の貯蔵槽に入れられていて、被加工物を備えたキャリアバーが容器に完全に降ろされた後か又はそれが降ろされている間に、送出システム（ポンプシステム又は重力）及び管を用いて、保護キャリアの外側に位置する容器空間に送られる。貯蔵槽は、別個のユニットとして作業容器の隣に配置するか、又は処理容器の内側もしくは処理容器に接して、別個の側部コンパートメントとして形成することができる。たとえば、攪拌装置、加熱装置、冷却装置等など、処理流体を処理するための機器は、貯蔵槽内に取り付けることができる。化学又は電気化学処理が完了すると、被加工物を備えたキャリアバーは、容器から引き上げ、処理流体は、同時に、貯蔵槽に再循環することができる。
【００２１】
別の実施形態において、すでに処理流体で満たされた容器における流体レベル差異は、すでに被加工物を保持している保護キャリアを、処理容器に降ろすことによって得られる。
【００２２】
処理流体で満たされているか又は満たされていない容器に保護キャリアを移送するための代替に関する上述の方法及び装置の変形は、本明細書で以下に説明する実施形態と自由に組み合わせることができるが、これらの実施形態は、保護キャリアを処理容器に移送し、そこから保護キャリアを取り外す方法に関する。
【００２３】
保護キャリアは、様々な手段を用いて、たとえば、満たされた処理容器に降ろすことができる。これらの手段には、容器と関連し、保護キャリアを容器に搬送する静止保護キャリアホイストを含むことができるのが好ましい。別の好適で例示的な実施形態においては、被加工物搬送用移動システムの移動キャリッジに取り付けられた保護キャリアホイストが、保護キャリアを容器に移送することができる。
【００２４】
静止保護キャリアホイストの場合、ホイストは、キャリアバーが処理容器に降ろされる前に、保護キャリアを上側位置に引き上げる。この位置で、保護キャリアは、ある程度まで処理容器から取り出されており、それによって処理流体は、被加工物が保護キャリアに降ろされているときに、被加工物が処理流体に浸漬しない程度まで、流出する。処理後、処理流体を迅速に流出させる目的で、保護キャリアの底部に設けられた排出バッフル又は大きな表面の排出ゲートは、たとえば、保護キャリアが引き上げられるときに開くことができるが、これらの排出バッフル又は排出ゲートは、レバーロッドによる引き上げ動作か又はフロートを介して自動的に開き、引き下げ動作を介して再び自動的に閉じる。もちろん、排出バッフル及び排出ゲートはまた、手動など、モータ又は任意の他の作動によって、開いたり閉じたりしてもよい。
【００２５】
処理のために、保護キャリア及び被加工物は、同調して処理容器に降ろすのが好ましい。それによって、処理容器に保持されている流体は、容器内の流体レベルが上昇し、結果として、保護キャリア内と外側の流体レベルの差異を生じる程度に変位する。その結果として、処理流体が、流入によって被加工物を損傷することなく、設けられた開口部を通して、保護キャリアに均一に流入することが可能となる。そのために開口部における流れの通過部分は、たとえば、被加工物の特性に従って、流入する処理流体が制御されながら流入するように、保護キャリアの側壁におけるシャッタを用いて、開口部における流れの通過部分を変化させることによって、たとえば、ホイストが被加工物を降ろす速度に合わせて、適合させることができる。処理後、このような設備では通常のことだが、被加工物は、移動システムの移動キャリッジホイストを用いて、直接に取り外すことができる。次に、被加工物は、移動キャリッジの移動運動を通して、次の処理容器に搬送される。保護キャリアは、移動キャリッジの移動運動を妨げないように、次の被加工物が用意され、処理容器の上で待機するまで、処理容器の下側位置に留まる。
【００２６】
本発明のこの変形における特定の一実施形態において、通常は移動キャリッジに取り付けられている被加工物ホイストは、省いてもよく、この場合、保護キャリア用及び被加工物用のホイストは、各処理容器に取り付けられる。ホイストが、ステーションから被加工物を引き上げ、それらを上側位置に運んだ後、到着した移動キャリッジが、キャリアバーに置かれた被加工物を受け取る。同様に引き上げられた保護キャリアは、このホイストともに再び降ろされ、今や自由に掛かっているキャリアバーは、たとえば、次の処理容器に移動することができる。そこで、その容器に属する保護キャリアが引き上げられ、キャリアバーを受け取り、それを処理槽に降ろす。次に、移動キャリッジは、次の作業ステーションに移動することができる。
【００２７】
保護キャリアホイストが移動キャリッジに取り付けられている場合には、保護キャリアは、このホイストを用いて、処理容器内外に降ろしたり引き上げたりすることができる。この目的のために、移動キャリッジは、処理すべき被加工物を処理容器に搬送する。湿式化学槽を充填する前に、保護キャリアが、処理容器のそれぞれ１つに格納される。このようなタイプの浸漬プラント（ｄｉｐ  ｐｌａｎｔ）では通常のことだが、移動キャリッジは、処理すべき被加工物を引き上げた状態にして、処理槽に到着する。キャリアバーがすぐに処理容器に降ろされる、先行技術の方法とは異なり、本発明は、最初に、保護キャリアホイストで保護キャリアを処理容器から引き上げ、被加工物が、かくして、ほとんど空の保護キャリアに収納されるようにすることを提案する。次に、キャリアバー及び保護キャリアは、ほぼ同じ速度で、処理ステーションの処理流体にゆっくりと降ろされる。それによって、処理流体は、被加工物を逸らせたり又は変形させたりせずに、保護キャリアが容器内へと降ろされている間に、敏感な被加工物を保持する保護キャリアに均一に送られる。それらを取り外すために、被加工物ホイストを備えたキャリアバーだけを引き上げる。移動キャリッジの保護キャリアホイスト及び容器内の保護キャリアは、下側位置に留まり、移動キャリッジは、次の処理ステーションへ移動する。本実施形態によって、処理ステーションにおける保護キャリア用の静止ホイストなしでやっていくことができ、必要な全体の高さは、先行技術の浸漬プラントで必要なものとほぼ一致する。
【００２８】
本発明のこの変形における特定の一実施形態において、保護キャリアは、垂直に動かせるように移動キャリッジに固定され、処理ステーションのそれぞれの１つへ、被加工物とともに移動する。保護キャリアは、少なくとも２つの部分で構成され、必要が生じたときに、底部及び側部で保護キャリアを開くことができる自動作動可能バッフルを、底部及び２つの対向する側壁に備えている。ひとたびバッフルが開くと、保護キャリアは、２つの半部に分離されるが、これらの半部は、互いに平行に掛かり、移動キャリッジに固定され、被加工物を付けたキャリアバーを、もはや完全に囲んでいるわけではない。被加工物及び２つの半部は、互いにほぼ平行した向きにあるのが好ましい。被加工物を受け取るために、移動キャリッジに追加的に設けられた被加工物ホイスト又はキャリアバーホイストは、キャリアバーが引き上げられているときに、被加工物を保持するキャリアバーを、開いた保護キャリアの中に引っ張る。ひとたび被加工物を保持するキャリアバーが、上側位置に達すると、底部及び側部バッフルは閉じられ、２つのキャリア半部は組み合わされて、閉じたキャリアを形成する。この状態で、移動キャリッジは、次の処理ステーションへ移動し、そこで、キャリアバー及び被加工物とともに、閉じた保護キャリアを処理ステーションの中に降ろす。ひとたび処理流体が、完全に保護キャリアに入ると、すなわち、ひとたび槽レベルが、保護キャリアの内側と外側でほとんど同じになると、という意味だが、底部及び側部バッフルが開かれ、保護キャリアは、上側位置、すなわち、保護キャリアの移動位置に達するまで、保護キャリアホイストによって再び引き上げられる。被加工物は処理され、移動キャリッジは、保護キャリアとともに、次の移動任務を遂行するために、移動を再開する。槽流体におけるより大きな乱流によって、保護キャリアの引き上げプロセス中に、敏感な被加工物が、激しく逸らされることのないように、側壁及びバッフルは、たとえば、丸めた端部及び滑らかな表面を備え、突き出た部分がないように、手ごろな流れを考慮し、それに応じて構成しなければならない。本実施形態に関しては、各処理ステーションに保護キャリアを備え付ける必要はないが、この特徴にはまた、保護キャリアに付着した処理流体が、それぞれ次のステーションに運ばれるという不利な点がある。この欠点は、たとえば、移動キャリッジに設けられた機器を拭うこと又は風を吹きつけることによって、軽減することができるが、これらの機器は、取り外すことができるか、又は少なくとも、引き上げプロセス中に付着する流体の量をかなり低減することができる。本実施形態が特によく適しているのは、たとえば、１つのすすぎ槽から次のすすぎ槽への移動に対して、もしくは被加工物を、たとえば多段すすぎ槽など、非常に似た組成物の処理槽に搬送することに対して、一緒に運ばれる流体が大きな不利を伴わない場合であり、又はたとえば、槽組成物を活性化するために、処理流体のすくい出しが引き続くことが望ましくさえある場合である。保護キャリアの底部における閉じたバッフルは、同時に、移動キャリッジの移動中に、滴受けとして働くことができる。移動運動によって、好ましくは振り落とされる処理流体が、閉じたバッフルによって集められる。バッフルは、次の処理ステーションで開くので、残留流体は、排出することができる。この目的のために、残留流体が、たとえば、直接に排水処理システムに導かれる代わりに、少しでも処理ステーションに流入するのを防ぐ回収ホッパーを設けてもよい。
【００２９】
本発明のさらなる実施形態において、保護キャリアは、処理後、処理槽に留まらない。保護キャリアは、たとえば、被加工物もまた保持するキャリアバーに取り付けることができる。被加工物の装荷及び取り外しのために、保護キャリアには、その、装荷及び取り外しステーションに面する側部に、ドアを設けてもよい。本実施形態において、キャリアバーは、保護キャリアとともに、処理ステーションのそれぞれの１つに運ばれ、そこで、槽にゆっくりと降ろされる。降下プロセスの間に、処理流体は、被加工物を変形させることなく、保護キャリアに均一に流入する。本実施形態に関し、設備費用は非常に少ないが、一方で、保護キャリアの壁及び開口部に付着している残留流体に由来し、１つの槽から他の槽へ運ばれる被運搬処理流体の量は、ずつと多い。
【００３０】
実際には、本発明の様々な実施形態を、電気めっきプラント内で、一緒に組み合わせることができる。
【００３１】
本発明による装置及び方法を、図に関連してさらに説明する。図における別個の処理ステーション（容器）は、切断側面図で示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
図１に、それぞれ容器３、３’又は２４を含む様々な処理ステーション１０を示す。容器３’は、管９及びポンプ８を介して、貯蔵槽７に接続されている。静止した、すなわち、しっかりと取り付けられた、開口部６を備えた保護キャリア５は、容器３’と関連している。対照的に、引き上げ及び降下可能な、開口部６を備えた保護キャリア５は、容器３と関連している。実質的には搬送アーム２３、キャリアバー２及び保持装置４からなる、被加工物１を移動するための移動システムは、各処理ステーションに割り当てられている。この場合には、薄いプリント回路ホイルである被加工物１は、図面のレベルに対して垂直に延伸している。たとえば矩形の銅棒であるキャリアバー２は、搬送アーム２３と同じように示されているが、移動キャリッジ（図示せず）がキャリアバー２を受け取って、それを電気めっきプラントの別個の処理ステーション１０に搬送する。被加工物１は、保持装置４によって、キャリアバー２に固定される。この設備では、容器２４と関連する保護キャリア５はない。ここでの実行を意図する処理は、たとえば、ガス状の環境で実施することができ、保護キャリア５は通常必要とされない。この処理の間に、たとえば、強力なファンによる空気循環など、処理中に強い流れが発生する場合には、保護キャリア５をまた用いることができ、その開口部６がそれ相応に調節される。
【００３３】
保護キャリア５の側壁にある開口部６を通して、処理流体は、制御された速度で、保護キャリア５へ循環する。処理状態において、容器３及び３’は、槽レベル２１まで処理流体で満たされる。
【００３４】
容器３’には、処理すべき被加工物１が処理のために装荷され、処理流体は、最初は貯蔵槽７に保持される。装荷のために、被加工物１は、移動キャリッジによって容器３’に搬送され、この瞬間には両方とも空の保護キャリア５及び容器３’に降ろされる。次に、処理流体が、貯蔵槽７から管９を通って容器３’に、ポンプ８によってくみ上げられる。容器３’は、処理流体で満たされる。これが同時に、保護キャリア５の内側と外側において流体レベルの差異につながり、その結果、処理流体が、開口部６を通して、保護キャリア５の内部に、制御されて流れ込むことになる。流体が保護キャリア５に流入する速度は、ポンプ８の出力容量として、及び開口部６のサイズによって決定される。実際には、速度は、０．０１〜最大１ｍ／秒の範囲にわたる。処理中に、保護キャリア５はまた、より強い流れを保つ機能を実行する必要がある。なぜなら、より強い流れが、たとえば、均一な温度配分又は補給溶液の配分のために使用されるフィルタ回路又は攪拌装置によって、被加工物１から離れたところで発生されるからである。
【００３５】
処理後、被加工物１を保持しているキャリアバー２は、ホイスト（図示せず）を用いて、処理流体から引き上げられ、またキャリアバー２は、たとえば後処理のために、移動キャリッジに取り付けられて、すすぎステーション運ばれる。同時に、処理溶液は、バルブ（図示せず）を切り替えることによってポンプ８で、又は容器３’と貯蔵槽７との間の高さの差異を利用することのどちらかで、貯蔵槽７に再循環される。
【００３６】
被加工物１を容器３で処理するために、保護キャリア５は、最初に、保護キャリアホイストによって、容器３から引き上げられなければならないが、この保護キャリアホイストは、本明細書においてこれまで図示されず、静止しているか又は移動キャリッジに取り付けられているかのどちらかであり、また処理流体は、容器３に留まっている。引き上げられ、ほとんど空にされた保護キャリア５が被加工物１を収納した後、保護キャリア５は、被加工物１とともに容器３に降ろされる。保護キャリア５が降ろされる速度に依存して、処理流体が、降下プロセス中に、又はより速い降下速度で、保護キャリア５の内側と外側との、流体レベルの結果としての差異によって制御されながら保護キャリア５の中に循環する。
【００３７】
図２は、図１に示したもの（容器３’）と類似の仕方で、静止保護キャリア５付の容器を備えた処理ステーション１０を示すが、処理ステーション１０は、容器に直接に取り付けられた貯蔵槽２５を備えている。貯蔵槽２５が保持する流体の最少量は、それが実際に保持できるよりも少なくすることができる。なぜなら、くみ上げによって、容器の中身全部を移す必要はないからである。被加工物１を本発明による容器に降ろすためには、保護キャリア５に入れられた被加工物１の下側端部のちょうど下に達するレベルに、残りの槽レベルが留まるまで、処理流体を、ポンプでくみ出すだけである。
【００３８】
図３に、空の容器２４と、処理流体を満たされ、保護キャリア５を割り当てられた容器３を含む処理ステーション１０とを示す。処理ステーション１０には、容器３に割り当てられ、かつ保護キャリア５を、矢印２６の方向に上下垂直に動かすことのできる保護キャリアホイスト（図示せず）が備え付けられている。この上下の経路は、被加工物１を保持するキャリアバー２の上下の動きとほぼ一致する。キャリアバー２は、移動キャリッジによって、その上側位置のところに運ばれる。次に、保護キャリア５が上側位置に引き上げられ、それによって、その内側に被加工物１を収納する。この瞬間、保護キャリア５には、処理流体がほとんど少しもない。次に、保護キャリア５及び被加工物１が、意図した位置に達するまで、ゆっくりとほとんど同時に、容器３に降ろされる。処理後に被加工物１を取り外すために、保護キャリア５がその下側位置に留まり、被加工物１を保持するキャリアバー２だけが、移動キャリッジのホイストによって、ステーションから出る。
【００３９】
図４の処理ステーションは、先行の図と比較すると、９０度回転して水平に示してあり、処理ステーションを、電気めっきプラントの装荷側から見ることができる。保護キャリアホイストは、断片的に示してある移動キャリッジと関連している。本実施形態において、保護キャリア５が、案内支持体１１の任意の側に備え付けられ、案内支持体１１が、下がった位置で、容器３の縁の軸受け表面１２に載り、このようにして、保護キャリア５を搬送する。搬送アーム１７が保護キャリア５にさらに取り付けられ、それにより、断片的にのみ示してある移動キャリッジが、受け取りアーム１８及び牽引システム２０を使って、保護キャリア５を引き上げることができる。本実施形態において、移動キャリッジには２つのホイスト、すなわち、被加工物ホイスト及び保護キャリアホイストがある。巻き揚げスピンドル、引き上げギアモータ、保護キャリア案内等など、本発明が機能する方法をより詳細に説明する役を果たさない、ホイストの一般的な部分は、本明細書に示していない。被加工物１は、保持装置４によって、キャリアバー２に固定される。キャリアバー２は、搬送アーム２３を備えており、この搬送アームにより、被加工物ホイスト又はキャリアバーホイストは、受け取りアーム２２を使って、キャリアバー２をつかみ、それを上げたり降ろしたりすることができる。キャリアバー２は、キャリアバーに設けられた案内支持体１３及び保護キャリア用搬送装置に設けられた軸受け表面１４に配置される。移動キャリッジは、引き上げた位置にある被加工物１を、容器３を備えた処理ステーションに搬送する。次に、保護キャリアホイストは、その受け取りアーム１８は搬送アーム１７の下に配置されているが、被加工物１が完全にその中に位置するまで、牽引システム２０によって、保護キャリア５を引き上げる。被加工物ホイストには、引き上げビーム１５があり、保護キャリアホイストには、引き上げビーム１６がある。矢印２６は、被加工物の引っ張り方向を示す。
【００４０】
保護キャリア５が引き上げられるとき、その中に含まれている処理流体が、開口部６を通して保護キャリア５から出て、容器３に還流する。保護キャリア５から流体を迅速に排出するために、排出バッフル２７が、保護キャリアの底部に設けられており、これが、たとえば、レバーロッド（図示せず）の引き上げ動作を介してか又はフロートを介して、引き上げ処理中に自動的に開き、引き降ろし動作を介して再び自動的に閉じる。排出バッフルの動き方は、図には示していない。
【００４１】
保護キャリア５が空にされ、上側位置に達した後、移動キャリッジは、被加工物ホイスト及び保護キャリアホイストを用いて、保護キャリア及びキャリアバーを、ゆっくりと同調して、同時に、すなわち、ほとんど同じ速度で容器３に降ろす。容器３に保持される処理流体が変位されると、槽レベル２１は、保護キャリア５の外側で高くなり、流体が、開口部６の構成に従って、制御された速度で、保護キャリア５に流入する。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】電気めっきプラントにおいて、貯蔵槽を備え、保護キャリアを備えた容器と備えていない容器の列の側面図である。
【図２】静止保護キャリアを備え、貯蔵槽を自らに直接取り付けた容器の拡大側面図である。
【図３】静止保護キャリアホイストを備えた、電気めっきプラントにおける容器アレイの概略図である。
【図４】容器を備え、保護キャリアホイストを移動キャリッジに配置した、電気めっきプラントにおける処理ステーションの概略図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  被加工物
２  キャリアバー
３  流体中で処理するための容器（作業容器）
４  被加工物をキャリアバーに保持するための保持装置
５  保護キャリア
６  処理流体の出入りのための開口部
７  貯蔵槽
８  ポンプ
９  管
１０  処理ステーション
１１  保護キャリアにおける案内支持体
１２  処理ステーションにおける軸受け表面
１３  キャリアバーにおける案内支持体
１４  保護キャリアの搬送装置における軸受け表面
１５  移動キャリッジの被加工物ホイストにおける引き上げビーム
１６  移動キャリッジの保護キャリアホイストにおける引き上げビーム
１７  保護キャリアの搬送装置における搬送アーム
１８  保護キャリアにおける引き上げビームの受け取りアーム
１９  被加工物ホイストの牽引システム
２０  保護キャリアホイストの牽引システム
２１  槽レベル
２２  被加工物引き上げビームの受け取りアーム
２３  キャリアバーにおける搬送アーム
２４  乾燥処理用の容器
２５  貯蔵槽
２６  保護キャリア及びキャリアバーの移動方向
２７  排出バッフル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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