(57)【要約】ＣＤ（臨界寸法）変化を減少するために半導体ウエハを処理する方法及び装置は、検査中に集められた情報を前に行った処理手段へフィードバックし、ウエハが受ける次の処理を調節するために情報をフィードホワードする。検査及び処理は、ウエハを大気の状態に曝すことなく単一の処理モジュールにおいて行なわれる。実施例は、ウエハをセットから取り出し、ウエハ表面上のフィーチャの寸法、例えば光学測定手段を用いてフィーチャのＣＤを測定する。その後、処理、例えばエッチング処理が、ＣＤ測定に基づいて選択された処理パラメータの値の組、例えばエッチングレシピを用いてウエハ上で行なわれ、ウエハはカセットへ戻される。また、ＣＤ測定は、ステッパーの焦点及び露光設定のようなホトリソグラフィの調整可能なパラメータにリンクされる。焦点及び露光に関するリンクされた情報は、ステッパーが次のロットのずれを修正するために自動的にあるいはユーザの判断で調整することができるように、前に行ったホトセルへフィードバックされる。ある実施例では、エッチング後の処理、例えばアッシュストリッピング、ウエットクリーニングおよび/または他のＣＤ測定は、きれいな環境内で行われ、これによりウエハを大気に曝すこと及びステップ間での汚染を避けることによって歩留まりを増大する。このフィードバック及びフィードホワードは、ウエハの測定のＣＤに基づいてウエハごとの処理パラメータを調整することによってＣＤ制御を改善する。
2005521235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハを処理する装置であって、
前記ウエハ上の構造の寸法を測定するための測定手段と、
第１の組の処理パラメータ値を用いて前記ウエハ上で第１の処理を行なうための第１の処理手段と、
前記測定手段と前記第１の処理手段との間で前記ウエハを移送するための移送メカニズムと、
前記移送機構を含み、きれいな環境にある前記移送機構、測定手段及び第１の処理手段の間に連通可能なチャンバと、
前記寸法の測定に基づいて第１の組の前記処理パラメータ値を選択するように構成されたプロセッサと、
を有することを特徴とする装置。
【請求項２】
前記プロセッサは、更に、前記ウエハの寸法の測定に基づいて第２の組の処理パラメータ値を選択し、且つ
前記第２の組の処理パラメータ値を前に行った処理手段へ与えるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記測定手段は、前記ウエハ上のターゲットフィーチャの臨界寸法（ＣＤ）を測定するためのものであることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記測定手段は、前記ターゲットフィーチャのＣＤを光学的に測定することを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記ターゲットフィーチャのＣＤは、スキャタロ測定法及び反射測定法を用いて測定されることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記チャンバは、第１の処理手段を含む複数の処理手段を取り付けるための本体と、前記測定手段を収容し、ウエハカセットを取り付けるためのファクトリーインタフェースと、前記本体とファクトリーインタフェース間に、及び前記本体とファクトリーインタフェースと連通する移送チャンバとを有し、
前記移送機構は、前記測定手段、移送チャンバ及びウエハカッセト間で前記ウエハを移送するための第１のロボット、及び前記移送チャンバ及び第１の処理手段との間で前記ウエハを移送するための第２のロボットを有することを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項７】
前記第１の処理手段はエッチャーを有し、前記第１の処理パラメータの値はエッチングレシピを有することを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項８】
前記測定手段は、前記ウエハを整列するためののものであることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項９】
前記プロセッサは、前記第１の処理がウエハ上で行なわれた後前記第１の処理手段から前記測定手段へ前記ウエハを移送するために、前記移送機構を制御し、且つ
前記ウエハの寸法を再測定するために前記測定手段を制御するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
前記チャンバは、前記エッチャーが取り付けられる本体、前記測定手段とウエハカセットが取り付けられるファクトリーインタフェース、及び前記本体とファクトリーインタフェス間に移送チャンバを有し、
前記移送機構は、前記測定手段、移送チャンバ及びウエハカセット間で前記ウエハを移送するためのロボットを有することを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項１１】
更に、前記本体に取り付けられ、前記第１の処理がウエハ上で行なわれた後に前記ウエハから残留物を除去するためのアッシングストリップ処理装置を有することを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
更に、前記ファクトリーインタフェースに取り付けられ、前記ウエハをクリーニングするためのクリーニングモジュールを有し、
前記プロセッサは、前記カセットから前記測定手段へ前記ウエハを移送し、前記ターゲットフィーチャのＣＤが測定された後に前記測定手段から前記第１の処理手段へ前記ウエハを移送し、前記第１の処理がウエハ上で行なわれた後に前記第１の処理手段から前記クリーニングモジュールへ前記ウエハを移送し、且つ、前記ウエハがクリーニングされた後に前記クリーニングモジュールから前記カセットへ前記ウエハを移送するように構成されていることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１３】
半導体ウエハを処理するための方法であって、
（ａ）ウエハかセットから前記ウエハを取り出すステップと、
（ｂ）測定手段において前記ウエハ上の構造の寸法を測定するステップと、
（ｃ）前記寸法の測定に基づいて処理パラメータの値の組を用いて処理手段において前記ウエハ上で処理を行なうステップと、
（ｄ）前記寸法を再測定するステップと、
（ｅ）前記ウエハを前記カセットへ戻すステップと、
を有し、
前記ステップ（ａ）-（ｅ）は、隣接するきれいな環境内で行なわれることを特徴とする方法。
【請求項１４】
前記寸法の再測定を用いて連続して処理されたウエハに対して前記処理パラメータの値の組を選択するステップを有することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記ウエハ上でエッチング処理を行なうステップを有することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記エッチング処理を行なった後、前記ウエハを前記カセットへ戻す前に前記ウエハをクリーニングするステップを有することを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記チャンバは複数の処理手段を取り付けるための本体を有し、前記第１の処理手段は前記本体に取り付けられ、且つ前記移送機構はロボットを有することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１８】
前記測定手段は前記本体に取り付けられることを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
更に、前記ファクトリーインタフェースに取り付けられ、且つ前記移送機構と連通している粒子モニターを有することを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項２０】
半導体ウエハを処理するための装置であって、
前記ウエハ上のターゲットフィーチャのＣＤを表わす波形を得るために、前記ウエハをイメージ化するための測定手段と、
複数の参照波形をストアする記憶装置、各々の参照波形は、参照ＣＤを表わし、第１の処理パラメータ値の異なる既知の組と関連され、且つ
前記ウエハ上で第１の処理を行うための第１の処理パラメータ値を得るために、ターゲットフィーチャの波形と殆ど一致する前記参照波形を識別するように構成されたプロセッサと、
を有することを特徴とする装置。
【請求項２１】
前記ウエハ上で前記第１の処理を行なうための第１の処理手段と、
前記測定手段と前記第１の処理手段との間で前記ウエハを移送するための移送機構と、
前期移送機構を含み、きれいな環境内の前記移送機構、測定手段、及び第１の処理手段間で連通可能なチャンバと、
を有し、
前記プロセッサは、更に、  前記第１の組の処理パラメータ値を用いて前記ウエハ上で前記第１の処理を行なうために前記第１の処理手段を制御するように構成されたプロセッサを有することを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
前記プロセッサは、更に、前記ターゲットフィーチャのＤＣのイメージングに基づいて第２の組の処理パラメータ値を選択し、且つ、前記第２の組の処理パラメータ値を前に行った処理手段へ与えるように構成されていることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記測定手段は、前記ターゲットフィーチャのＣＤを光学的にイメージ化することとを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２４】
前記第１の処理手段はエッチャーを有し、前記第１の処理パラメータ値はエッチングレシピを有することを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２５】
前記プロセッサは、前記第１の処理がウエハ上で行なわれた後前記第１の処理手段から前記測定手段へ前記ウエハを移送するために、前記移送機構を制御し、且つ
前記ウエハの寸法を再測定するために前記測定手段を制御するように構成されていることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２６】
前記チャンバは、第１の処理手段を含む複数の処理手段を取り付けるための本体と、前記測定手段を収容し、ウエハカセットを取り付けるためのファクトリーインタフェースと、前記本体とファクトリーインタフェース間に、及び前記本体とファクトリーインタフェースと連通する移送チャンバとを有し、
前記移送機構は、前記測定手段、移送チャンバ及びウエハカッセト間で前記ウエハを移送するための第１のロボット、及び前記移送チャンバと第１の処理手段との間で前記ウエハを移送するための第２のロボットを有することを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２７】
前記チャンバは、前記エッチャーが取り付けられる本体、前記測定手段とウエハカセットが取り付けられるファクトリーインタフェース、及び前記本体とファクトリーインタフェス間の移送チャンバを有し、
前記移送機構は、前記測定手段、移送チャンバ及びウエハカセット間で前記ウエハを移送するためのロボットを有することを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２８】
前記参照波形の１つをゴールデン波形として選択するステップと、
前記ターゲットフィーチャの波形を前記ゴールデン波形と比較するステップと、
前記ターゲットフィーチャの波形が前記ゴールデン波形から所定のスレッショルド量より多くずれている場合、前記ターゲット波形に最も近く一致している参照波形を識別するために、前記ターゲットフィーチャの波形をライブラリーにある他の参照波形と比較するステップと、
を有することを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２９】
前記前に行った処理手段は、ホトリソグラフの処理手段であり、前記第２の組の処理パラメータ値は、ステッパーの焦点と露出設定を有することを特徴とする請求項２２に記載の装置。
【請求項３０】
前記ウエハ上の構造は、ホトレジスト層におけるパターンであり、前記第１の処理手段は第１のエッチャーであり、且つ、前記第１の処理パラメータ値は前記ホトレジスト層のパターンをトリミングするための第１のエッチングレシピを有し、
前記プロセッサは、更に、
前記第１の処理が前記ウエハ上で行なわれた後に前記第１のエッチャーから前記測定手段へ前記ウエハを移送するために前記移送機構を制御し、
前記ホトレジストパターンの寸法を再測定するために前記移送機構を制御し、
前記ホトレジストパターンの寸法が再測定された後に前記測定手段から第２のエッチャーへ前記ウエハを移送するために前記移送機構を制御し、
エッチングされたフィーチャを形成するために第２のエッチングレシピを用いて前記ホトレジストパターンの下にあるウエハの層上で第２の処理を行うために前記第２のエッチャーを制御し、且つ、
前記ホトレジストパターンの寸法の再測定を用いてその後処理されたウエハのために前記第１の組の処理パラメータ値を選択するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３１】
前記プロセッサは、更に、前記第２の処理が行なわれた後に前記第２のエッチャーから前記測定手段へ前記ウエハを移送するために前記移送機構を制御し、且つ、前記エッチングされたフィーチャの寸法を測定するために前記測定手段を制御するように構成されることを特徴とする請求項３０に記載の装置。
【請求項３２】
前記プロセッサは、更に、前記エッチングされたフィーチャの寸法の測定を用いてその後処理されるウエハに対して前記第２の組のプロセスパラメータ値を選択するように構成されることを特徴とする請求項３１に記載の装置。
【請求項３３】
前記プロセッサは、更に、前記エッチングされたフィーチャの寸法の測定を用いてその後処理されるウエハに対して前記第１の組のプロセスパラメータ値を選択するように構成されることを特徴とする請求項３２に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（技術分野）
本発明は、半導体基板上で実行される処理をモニターし、及び制御する方法及び装置に関し、特に、フィーチャのプロセス中における検査の間に集められた情報のフィードバック及びフィードホワードを通して半導体基板上に形成されるフィーチャの臨界寸法(critical dimensions: CDs)を制御する方法及び装置に関する。本発明は、サブミクロンのフィーチャを有する高密度半導体デバイスの製造中に半導体ウエハのインライン検査に特に応用できる。
【０００２】
（背景技術）
高密度化及び超大規模集積化に関連した性能に対する現在の要求は、サブミクロンのフィーチャ、増大したトランジスタ及び回路の速度、及び向上した信頼性を必要とする。これらの要求は、デバイスが依然として半導体ウエハの形であるにも拘わらず、高い精度及び均一性を有するデバイスフィーチャの形成を必要とし、そしてそれらはデバイスの頻繁で詳細な検査を含む注意深いプロセスの監視を必要とする。
【０００３】
注意深い検査を必要とする１つの重要なプロセスは、ホトリソグラフィ（光リソグラフィ：photolithography)であり、回路パターンを半導体ウエハへ転写するためにマスクが用いられる。一般に、これらの一連のマスクは、プリセットシーケンスにおいて用いられる。各々のホトリソグラフィのマスクは、ウエハ上に集積されるべき回路素子に相当する幾何学的な複雑な集合を有している。一連の各々のマスクは、シリコンウエハ上に形成された層、例えばポリシリコンまたは金属の層に前もってコーティングされた感光層（すなわち、ホトレジスト層）へマスクに相当するパターンを転写するために用いられる。ホトレジスト層へのマスクパターンの転写は、従来は、ホトレジストを感光するためにマスクを通して光または他の放射線を指向するスキャナーまたはステッパーのような光学的露光機器によって行なわれる。その後、ホトレジストは、ホトレジストのマスクを形成するために現像され、下層のポリシリコンまたは金属の層がそのマスクに従って選択的にエッチングされ、フィーチャ、例えばラインまたはゲートを形成する。
【０００４】
マスクの製造は、処理及び設計の制限によって設定された所定の設計規則に従う。デバイスまたはラインが望ましくない方法で互いにオーバラップしたり、相互作用したりしないことを確実にするために、これらの設計規則は、デバイスと相互接続ライン（配線）間のスペース許容誤差及びライン自体の幅を定義する。設計規則の制限は、臨界寸法(critical dimension: CD)と呼ばれ、デバイスの製造において許容される２つのライン間の最小間隔またはラインの最小幅として定義される。最大の超大規模集積化に適用されるＣＤは、ミクロンの数分の１のオーダである。
【０００５】
設計規則が縮まり、プロセスウインドウ（すなわち、処理における誤差に対するマージン）が小さくなるに従って、表面フィーチャのＣＤの検査及び測定ばかりでなく、それらの断面形状（プロファイル）がますます重要になっている。フィーチャのＣＤやプロファイルの、設計寸法からのずれは、最終半導体デバイスの性能に悪い影響を及ぼす。更に、フィーチャのＣＤやプロファイルの測定は、処理問題、例えば過剰露光によるホトレジストのロスまたはステッパーの焦点ずれを示す。
【０００６】
従って、ＣＤやプロファイルの値、及びフィーチャのＣＤの、設計寸法からの変化は、ホトレジストやエッチングプロセスの正確性及び安定性の重要なインジケータであり、且つこの変化を減少する“ＣＤ制御”は、半導体処理の重要な一部である。ＣＤの制御は、ウエハ内のフィールドからフィールドへ(from field to field: FTF)、ウエハからウエハへ(from wafer to wafer: WTW及びロットからロットへ(from lot to lot: LTL)のＣＤ変化を解決するために、ホトリソグラフィ及びエッチングプロセスをモニターし、調節するステップを含む。ＦＴＦ、ＷＴＷ及びＬＴＬ変化の間で、ＦＴＦ及びＬＴＬは、主な変化成分であり、一方ＷＴＷは、全ＣＤ変化の１０％より少ない程度の意味を有する。ＦＴＦ変化は、一般にプロセスツール、例えばホトレジストのコーティングおよびベーキングの均一性、ステッパーまたはスキャナーのステージレベリング、及びエッチングのマイクロローディングの均一性によって決められる。他方、ＬＴＬ変化は、一般に処理装置の安定性を含む、プロセスの安定性によって決められる
【０００７】
現在のＤＣの極端に小さなスケールのために、ホトレジスト処理によって生成された表面フィーチャの測定及び検査のために選ばれた機器は、測長走査型電子顕微鏡(critical dimension scanning electron microscope: CD-SEM)として知られた走査型電子顕微鏡(SEM)である。従来のＳＥＭはＣＤを測定するのに有用であるけれども、それらは、一般にＬＴＬを減少するためにホトリソグラフ・プロセスへ即時のフィードバックを与えない。ＳＥＭ測定は、それが比較的ゆっくりしており、離れたレビューする場所で行われる必要があるので、“オフライン”で行なわれる。その結果、従来のＳＥＭ検査の結果は、一般にその後のエッチングプロセスを調整するために用いることができない；すなわち、特定のウエハのＣＤ測定は、どんなエッチングレシピがそのウエハを処理するために利用されるべきかを決定するために用いられない。従って、ＣＤ−ＳＥＭ測定から集められた、歩留まりを向上するのに役立つであろう情報は、最大限利用することができない。物理的に離れた機器で必ず行なわれる検査の結果として、ウエハは、行なわれる検査のたびに機器へ及び機器から移送されなければならない。このため、ウエハは大気に曝され、ウエハ表面の望ましくない酸化や表面上への異物の堆積を生じ、それにより歩留まりを低下する。
【０００８】
ＣＤが臨界的である関連プロセスは“レジストトリム(resist trim)”として知れている。この分野の当業者が理解するように、ホトレジスト上のサブミクロンのフィーチャを露光するために光を用いるホトリソグラフィは、非常にコストがかかり、また複雑である。従って、必要以上に大きなフィーチャを露光し、その後露光されたフィーチャをそれらの最終サイズに“縮める”ためにレジストトリムと呼ばれるプロセスでこの露光を行うホトリソグラフィ機器を用いる技術が開発された。特に、大きなサイズのフィーチャが露光され、ホトレジストが現像された後に、ウエハはエッチングチャンバに運ばれ、特別に設計された“レジストエッチングステップ”、一般に、現像されたレジストフィーチャのサイズを縮める等方性のエッチングステップが行なわれる。その後、実際のフィーチャ（例えば、ポリシリコンゲートまたは金属ライン）が同じか、異なるエッチングチャンバにおいていろいろなエッチングレシピを用いて、エッチングされる。
【０００９】
レジストトリムプロセスに関連したＣＤの変化をモニターし、修正する１つの方法がToprac他に付与された米国特許5,926,690に開示されている。この特許は、ホトレジストが必要以上に大きなフィーチャを形成するために露光され、現像されたウエハのロットから1つ以上のテストウエハを選択し、ＣＤ−ＳＥＭによってテストウエハから代表的なホトレジストフィーチャのＣＤを測定する方法を教示している。その後、ウエハは、ホトレジスト・エッチング・ステップ及びゲート・エッチング・ステップを通して処理され、エッチングされたフィーチャのＣＤが測定される。初期の、及び最終のＣＤ測定の結果は、それらのＣＤを目標値にもっていくためにロットに残っているウエハのエッチングレシピを調整するために用いられる。従来の他のＣＤモニター技術と同様に、Topracは、ＳＥＭにおいてオフラインでサンプルウエハのＣＤを測定し（すなわち、最初に、ウエハ上に形成されたホトレジストのフィーチャを測定し、その後ゲートを測定する）、ウエハ上の特定のフィーチャのＣＤがそのウエハを処理するためにどんなエッチングレシピを用いるかを決定するために用いられないことを教示している。
【００１０】
製造のスループット或いは歩留まりを著しく減少することなくＣＤ変化の速く、意味のある確認及び修正のための簡単で、経費効果のある方法に対する必要性がある。また、レジストトリム動作を正確に行うための、効果的な装置及び方法に対する必要性がある。
【００１１】
（発明の概要）
本発明の利点は、ウエハの処理中における検査の間に集められた情報を利用することによって、製造のスループット或いは歩留まりを減少することなく半導体ウエハにおけるＣＤ変化を減少する能力である。
【００１２】
本発明によれば、前述の、及び他の利点は、ウエハ上のターゲットフィーチャのＣＤを代表するデータセットを得るために、ウエハをイメージングするための測定機器；複数の参照（レファレンス）データセットをストアする記憶媒体、各々の参照データセットは、参照フィーチャのＣＤを示し、且つ第１のプロセスパラメータ値のいろいろな既知のセットと関連している；ウエハ上で第１のプロセスを行うための第１のプロセスパラメータ値を得るためにターゲットフィーチャのデータセット値に最も近く一致する参照データセットを識別するように構成されたプロセッサ；プロセスパラメータ値の第１のセットを用いて、ウエハ上で第１のプロセスを行うための第１の処理手段；測定手段と第１の処理手段との間でウエハを移送するための移送メカニズム；及びクリーンで、制御された環境中に、移送メカニズムを囲み、且つ移送メカニズム、測定手段および第１の処理手段の間で連通可能なチャンバを有する半導体ウエハの処理装置によって部分的に達成される。
【００１３】
本発明の他の特徴は、プロセッサが、更にターゲットフィーチャのＣＤのイメージングに基づいてプロセスパラメータ値の第２のセットを選択し、このプロセスパラメータ値の第２のセットを前の処理手段へ与えるように構成されている。
【００１４】
本発明の他の利点は、以下の詳細な説明から当業者に容易に明らかになるであろう。ここでは、本発明の代表的な例のみが、本発明を実行するために意図されたいろいろなモードを示すために単に示され、説明されている。理解されるように、本発明は、本発明から逸脱することなく、他の、及びいろいろな実施例が可能であり、その幾つかの説明がいろいろな点で変更可能である。従って、図面及び説明は、もとより例示として考えるべきであり、限定として考えるべきでない。
【００１５】
（実施例）
半導体ウエハの表面上に形成されたフィーチャのプロセス中の従来の検査方法は、欠陥の原因を初期の段階で、積極的に確認できる情報を得るために、ＣＤ及び／又はプロファイルの設計規則からのずれを充分詳細に解析したり、又は寸法変化を減少するためにプロセス制御を行なうことができない。本発明は、ウエハの検査（例えば、ホトレジストの現像）中に集められた情報を、ホトリソグラフィプロセスを通して行う次のロットへフィードバックすることによって、及び検査されたウエハが受けるであろう次のプロセス（例えば、エッチングプロセス）を調節するために情報をフィードホワードすることによって、ＣＤ変化を減少することによりＣＤ制御の問題を解決する。本発明のある実施例においては、ＣＤの測定、エッチング処理及びエッチング後のクリーニングが制御された環境内の単一モジュールにおいて行なわれ、それによりスループットを増大し、歩留まりを向上する。
【００１６】
本発明の方法によれば、集積回路パターンのようなフィーチャがホトリソグラフィプロセス（例えば、ステッパーにおける露光に続くホトレジストの現像）によって“ホトセル”における半導体ウエハのロット又はバッチで形成された後、そのロットの１つ以上のウエハが検査のために選ばれ、一般にＣＤ−ＳＥＭ又は光学的検査手段によって検査されるべき各ウエハ上の幾つかの場所でフィーチャがイメージ化され、そのＤＣ及び他の感度パラメータ、例えばエッジの幅やプロファイルのグレードを測定し、検査波形を得る。測定されたパラメータは、例えば、ステッパーの焦点及び露光設定のようなホトリソグラフィの調節可能なパラメータとリンクされる。従って、測定されたパラメータが設計寸法からずれているならば、焦点及び露光に関してリンクされた情報がホトセルへフィードバックされて、自動的に又はユーザの判断の何れかで、次のロットにおけるずれを修正するようにステッパーが調節される。
【００１７】
更に、測定されたパラメータは、例えば、異なるオーバエッチング及び／又はエッチング化学のためのエッチングレシピのようなプロセスの調整可能なパラメータにもリンクされる。従って、測定されたパラメータが所望の値からずれているならば、誤差を修正するようにリンクされたエッチングレシピがそのエッチャーにフィードホワードされ、検査されたロットにおけるウエハを処理するように、レシピが自動的に又はユーザの判断で実現される。従って、本発明のフィードバック及びフィードホワードは、検査の次のホトレジストの現像及び最終検査において、ロットからロットへのＣＤ制御を改善する。
【００１８】
測定されたフィーチャパラメータ、ホトリソグラフィの調整可能なパラメータ及びエッチングの調整可能なパラメータ間のリンクは“ライブラリービルディング(library building)”を通して達成される。特に、本発明の１つの実施例において、参照波形の“ライブラリー”、例えば従来のＳＥＭ波形は、検査されるべきフィーチャの生成において用いられるレチクルを用いて、ホトセルにおけるテストウエハ上で形成された複数の参照フィーチャをイメージ化することによって作られる。参照フィーチャの各々は、ステッパー設定及び選択的に既知のプロファイルと関連される。
【００１９】
さらに、所望のＣＤを有する仕上げのフィーチャを生じるエッチングレシピは、参照フィーチャと共に用いられると、各々の参照波形とリンクされる。すなわち、参照フィーチャにおけるずれを補償するエッチングフィーチャは、各参照フィーチャにリンクされる。続いて、最適なＣＤ、プロファイル及び／又は他の特性を有する特定の断面ＳＥＭ波形と関連した参照波形は、“ゴールデン波形(golden waveform)”として選択され、識別される。
【００２０】
未知のＣＤのフィーチャは、従来ＳＥＭでイメージ化され、それにより生じた波形がゴールデン波形と比較される。フィーチャの波形がゴールデン波形と実質的にマッチング（一致）しないならば、それは最も近くマッチングした参照波形を見つけるために参照フィーチャ波形と比較される。マッチングした参照波形のプロファイル及びステッパー設定（検査中のフィーチャのプロファイル及びステッパー設定に相当する）は、ゴールデン波形と関連されたものと比較され、自動的又はマニュアルのプロセス調整のためホトセルへフィードバックされる。
【００２１】
更に、マッチングした参照波形のエッチングレシピは、エッチングプロセスから生じる検査中のロットにおけるウエハのフィーチャＣＤを調節するために、エッチャーへフィードホワードされる。従って、検査中のロットからのサンプルフィーチャのステッパーの焦点及び露光設定がピンポイントで行なわれ、ロットのための最適なエッチングレシピは、各フィーチャのＳＥＭ波形を得ることによって、及びこの波形を参照フィーチャ波形のライブラリーと比較することによって決められ、それにより、ホトセルへのフィードバック及びエッチャーへのフィードホワードを可能にし、ロットからロットへのＣＤ変化を減少するようにプロセスパラメータを調節する。
【００２２】
本発明の１つの実施例において、参照波形のライブラリーは、テストウエハ上の焦点・露光マトリックス(focus exposure matrix: FEM)として形成される。ＦＥＭは、新しいマスクが作られるとき、又は製造レシピの変更後に最良の露光／焦点の組み合わせを得る従来の技術、すなわち、要求されるＣＤを保って、ウエハ上に最良の解像度を生じるステッパーの焦点及び露光の組み合わせを見つけることによってプロセスを最適化することである。ＦＥＭ手続は、一般にテストウエハの一連の領域をマスクのパターンで連続して露光するステップを含み、一方露光および焦点の値は１つの露光位置から次の位置へ増加して変更される。特に、テストウエハは、ステッパーにおいて露光されるが、焦点は、一方の軸に沿って変えられ、露光は他方の軸に沿って変えられる。従って、露光されるウエハ上でフィーチャのマトリックスが得られ、各々の露光場所すなわちダイは異なる焦点−露光設定を有する。
【００２３】
図１は、焦点−露光マトリックスの一部である。マトリックス１０１は、マスクを通過する光または他の放射を用いてウエハ表面をパターン化することによって形成される。単一ウエハは、ダイのサイズに依存して数千又は数百のダイを含み、それらの各々は露光領域の１つ、すなわち図１に示された“セル”に相当する。便利なために、少数のダイのみが示されている。このマトリックの各々のセルは、増大して、異なる露光Ｅを有し及び／又は図面における名称ｆnＥmによって参照される周りのセルのいずれよりも増加して異なる焦点ｆと共に形成された。焦点は、一方の軸に沿って変えられるが、露光は、マトリックスの形成において他の軸に沿って変えられる。
【００２４】
ウエハの露光後、個々の露光場所は現像され、その後、フィーチャのＣＤを測定するために従来のＤＣ−ＳＥＭ走査によって検査され、そして得られた検査波形は、各々の場所に対する参照波形を得るために記憶される。代わりに、検査波形は、光検査手段によって得ることもできる。このような手段の例は、Conradに付与された米国特許5,963,329に記載されている。光検査手段は、スキャタロ測定法(scatterometry)又は反射測定法の技術を利用することもできる。検査手段のためのスキャタロ測定法は、Raymond により"Angle-resolved scaterometry for semiconductor manufacturing", Microlithography World, Winter 2000に開示されている。検査用の反射測定法の使用は、Leeにより"Analysis of Reflectometry and Ellipsometry Data from Patterned Structure", Characterization and Metrology for ULSI Technology: 1998 International Conference, The American Institute of Physics 1998に教示されている。
【００２５】
必要に応じて、露光場所は、それらのそれぞれのプロファイルを決めるために、原子間力顕微鏡(Atomic force microscope: AMF)によって、イメージ化され、あるいは断面ＦＩＢ−ＳＥＭによって断面化及びイメージ化される。ＣＤ、断面プロファイルのイメージ及び他の測定されるパラメータの評価は、最良のフィーチャ特性を生成する焦点と露光設定の組み合わせを決めるために行なわれる。その後、最良の特性を生成したステッパーの焦点及び露光設定の組み合わせに相当する参照波形（すなわち、ＳＥＭ波形または光学波形）は、ゴールデン波形として指定される。各々の参照波形は、更に、最適なレシピと実験的に決められたエッチングレシピに関連され、参照フィーチャの測定されたＣＤ及び他の特性を与える設計寸法にできる限り近いＣＤを有する最終のフィーチャ（エッチング後）を生成する。
【００２６】
本発明の参照ライブラリーの概念は、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）示されている。図１のＦＥＭに基づいた図２（Ａ）において、最適化されたプロセス条件は“Ｘ”が付されたセルによって示されている。他の全てのセルは、プロセス変化の合理的な範囲、すなわち“プロセスウインドウ”をカバーするのが好ましい。ここで、Δｆｎ及びΔＥｍは、それぞれセルＸとの違いとして測定される；すなわち、Δｆ及びΔＥは、セルＸでは両方がゼロであり、他のセルのΔｆとΔＥは、最適な露光及び焦点に対して露光量及び焦点設定である。各々の露光の欄Ａ−Ｅは異なるエッチングレシピを表わす。エッチングレシピの調整は、この模範的な実施例ではＣＤに適用するので、エッチングレシピの割当ては、露光欄に並べられる。図２（Ｂ）は、図２（Ａ）の各セルの拡大を表わす。測定されたＣＤ値（例えば、ボックスＩ）及び検査波形（例えば、ボックスII）は、セル内で、ΔｆnΔＥm（例えば、ボックスIII）、エッチングレシピ（例えば、ボックスIV）及び検査されたフィーチャのプロフィールの断面又はイメージ（例えば、ボックスV）にリンクされる。
【００２７】
本発明の模範的な実施例は、イメージャー３１０、例えばカルフォルニア州、サンタクララのアプライドマテリアルズから利用可能なVeraＳＥＭTMのようなＣＤ−ＳＥＭ又は米国特許5,963,329に記載された光学イメージャーを有する図３に示された処理ライン３００におけるレビュー手段を用いて実現される。処理ライン３００は、更に、ここで電子的に開示された分析を行なうのが好ましいプロセッサ３２０、及びプロセッサ３２０の分析結果を表示するモニター３３０を有する。プロセッサ３２０は、メモリ装置、例えば半導体メモリ、及び従来プロセス情報の記憶のために用いられた“製造実行システム”(manufacturing execution system: MES)として知られているコンピュータソフトウエア実行データベースシステム３５０と通信を行なう。また、プロセッサ３２０は、前述のホトセル３６０及びエッチャー３７０とも通信を行なう。
【００２８】
図４（Ａ）は、ホトセル３６０における半導体ウエハＷ上に形成されたトランジスタのようなフィーチャ（以下、「ターゲットフィーチャ」と呼ぶ）の検査と共に実現される、本発明の実施例によるプロセス制御の主なステップを示すフローチャートである。ステップ４１０において、参照ライブラリーは、参照ＣＤ及びＳＥＭまたは光学波形の形式の波形を含んで形成され、プロセッサ３２０またはＭＥＳ３５０に局部的にストアされる。各々の参照波形及び正しいエッチングレシピと関連するステッパーの設定は、波形と共にストアされる。必要なら、プロファイルイメージもユーザによってストアされる。例えば、ホトセル３６０のような一連のプロセスステップは、ユーザが決める検査されなければならない臨界層を形成する場合、参照ライブラリーは、検査されるべき各層に対して、一度だけ形成される。ゴールデン波形、すなわち光学ＣＤ及び／または他の特性を示す参照フィーチャと関連する波形がステップ４２０で選択される。
【００２９】
未知のＣＤ及び他の特性を有するフィーチャを有するウエハＷは、ホトセル３６０からイメージャー３１０へ運ばれ、ステップ４３０でターゲットフィーチャは、イメージャー３１０によってイメージ化され、そしてその波形がターゲット波形としてストアされる。ステップ４４０でターゲット波形はストアされたゴールデン波形と比較される。もし、ターゲット波形とゴールデン波形が所定の制限内で一致するならば、ターゲットフィーチャのＣＤは、ゴールデン波形（ステップ４４１参照）からの、ターゲット波形のずれの量を示す“マッチングスコア(matching score)”と共にユーザに報告される。その後、検査結果（すなわち、データ）はＭＥＳ３５０に送られ、且つウエハＷは、さらに処理するためにエッチャー３７０へ送られる。
【００３０】
ターゲット波形がゴールデン波形と一致しないならば、ターゲット波形は、ライブラリーにおける参照波形の各々と比較され、ターゲット波形に最も近く一致する参照波形を識別する（ステップ４５０参照）。報告されたステッパー設定はステップ４６０でゴールデン波形と関連するステッパー設定と比較され、ゴールデン波形を生成した設定とターゲット波形を生成した設定との間の相違dＥdＦを決定する；例えば、ゴールデン波形と関連した焦点設定とターゲット波形と関連した焦点設定間の相違を決定し、且つゴールデン波形と関連した露光設定とターゲット波形と関連した露光設定間の相違を決定する。その後、この情報は、ホトセル３６０へ送られ、そこで、情報は、ステッパーの設定を修正し、必要とされるステッパーへの調整量を示すことによって続いて処理されるウエハにおけるＣＤ変化を生じるばかりでなく、特定の調整（すなわち、焦点、露光、又はその両方）が行なわれるステッパーにおける“ドリフト”を最小にするために用いられる。
【００３１】
次に、ステップ４７０でdＥ及びdＦが所定のスレッショルド値と比較される。もし、dＥ及びdＦが所定のスレッショルド値より大きくないならば、ステップ４７１でターゲットフィーチャのＣＤ及びマッチングスコアが報告され、その後、検査データがＭＥＳに送られ、且つウエハＷがエッチャー３７０へ送られる。一方、もし、dＥ及びdＦが所定のスレッショルド値より大きいならば、ステップ４８０でターゲットフィーチャのＣＤ及びマッチングスコアがdＥとdＦ、及び関連したエッチングレシピと共に報告される。この関連したエッチングレシピは、エッチングレシピを調整して（すなわち、アップデートして）ウエハＷ上の最終フィーチャのＣＤのずれを修正するために、エッチャー３７０へ送られる。エッチングレシピは、一般に約１０％またはそれより小さな範囲内でＣＤを調整することができる。
【００３２】
ステップ４６０のフィードバック及びステップ４８０のフィードホワードは、マニュアルによるか、または自動的に行なわれる。“マニュアルモード”では、ユーザは、報告されたプロセス修正情報を得て、それをホトセル３６０および／またはエッチャー３７０においてマニュアルで行う。これによって、プロセス調整のための必要性を決定するために、ユーザからの熟練した入力を可能にする。“自動モード”では、プロセス修正情報は、レシピのアップデートによって修正を行うように、ホトセル３６０におけるステップへ、又はエッチャー３７０へ自動的に送られる。このモードは、プロセッサ３２０とエッチャー３７０間の、及びプロセッサ３２０とホトセル３６０間の通信を可能にするソフトウェアインタフェースによって実現される。ステップ４７０の所定のスレッショルドテストは、アップデートが必要であるかどうかを判断するために感度フィルタとして用いることができる。自動モードは、それが素早いフィードバック及び一致性を可能にするので利点がある。
【００３３】
本発明の上記の実施例は、“ゴールデン波形”技術に関して説明された。しかし、ＣＤ測定のような方法をエッチングレシピに対して、及びフィーチャプロファイル及び／又は断面に対して修正することができるあらゆるＣＤ測定が本発明を実行するために用いることができることを理解すべきである。このような技術の例は、"An Inverse Scattering Approach to SEM Line Width Measurements"（ＳＥＭライン幅の測定のための逆スキャッタリング法）, Mark P. Davidson and Andras E. Vladar, Proceedings of SPIE, Vol. 3677(1999)に記載されており、その全開示は、レファレンスによってここに含まれる。この特定の技術において、ＳＥＭ波形は、フィーチャの側壁の形状及び寸法（すなわち、フィーチャのプロファイル）を予測するために、モンテカルロシミュレーションのライブラリーと一致される。
【００３４】
一般に、多くのウエハ、例えば約２５枚のウエハがホトセル３６０によって処理された後に、模範的な方法が実行される。ユーザの好みにより、ロットから多くのウエハＷが検査されるために選ばれる。たとえば、マイクロプロセッサを製造する場合、一般に１〜３枚のウエハが検査のために選択されるが、しかし、ＤＲＡＭのようなメモリデバイスを製造する場合、一般にロット当たり１枚のウエハのみが検査される。各々の選ばれたウエハＷの多くの場所、ウエハＷ当たり約９〜１７の場所が、通常本方法によって検査される（すなわち、ステップ４３０におけるターゲットフィーチャである）。
【００３５】
ロットにおける１つ以上のウエハＷから多くのターゲットフィーチャが検査される場合、ステップ４８０で実行されるエッチングレシピを決定するために、そのロットの全てのターゲットフィーチャのＣＤが平均化され、その平均したＣＤと関連したエッチングレシピがロットのエッチング処理を調整するために用いられる。ロットにおける多くのターゲットフィーチャが検査される場合、続くロットのホトリソグラフ処理を調整するために、ステップ４６０においてホトセル３６０へフィードバックされるステッパーの焦点及び露光情報（dＥdＦ）を決定するために、ユーザは、選ばれたウエハＷ上のどの位置を検査するべきかを決定するために、前に集められたプロセス情報を用いることができ、その後ホトセル３６０を調整するために、検査されたフィーチャのどの情報を用いるかを決定することができる。
【００３６】
これは、本発明の実施例のフローチャートである図４（Ｂ）に示されている。ステップ４９０において、ユーザは、本方法を用いて、検査前に多くのウエハを横切ってフィールドからフィールドへのＣＤ変化をマップ化する。これは、実際に全てのウエハ製造者によって行われる標準のプロセス制御技術である。それは、ウエハのどの領域が設計値から小さなＣＤ変化を有し、ウエハのどの領域が大きなＣＤ変化を有しているかを示す。例えば、あるウエハ処理装置（例えば、ホトセル３６０）は、ウエハの中央において小さな変化を有し、周辺において大きなＣＤ変化を有するウエハを生成する。他の装置は、ウエハの中央近くで大きなＣＤ変化を有し、中央の周りのバンドにおいて小さな変化を有するウエハを生成する。ＣＤ変化をマップ化した後、ユーザは、ステップ４９１において、最も悪いＣＤ変化を示すウエハの領域を確認する。
【００３７】
次に、ユーザは、ユーザが修正したい最も小さなＣＤのずれを示すスレッショルドＣＤ変化を選ぶ（ステップ４９２参照）。その後、ターゲットフィーチャは、ステップ４９３において本方法を用いて検査される（例えば、上述されたステップ４３０及びそれに続くもの）。ターゲットフィーチャは、ステップ４９１で確認された最も悪い部分におけるフィールドが表わされるように選ばれる。もし、検査されたフィーチャのフィールドからフィールドへの変化が所定のスレッショルドより小さいならば（ステップ４９４参照）、ターゲットフィーチャのいずれか１つと関連するdＥdＦが続くロットの処理の調整のために用いられるホトセル３６０へフィードバックすることができる（ステップ４９５）。なぜならば、それらは互いに比較的近いからである。一方、もし、検査されたフィーチャのフィールドからフィールドへの変化がステップ４９２において選ばれたスレッショルドより大きいならば、ステップ４９１から所定の最悪の場所から検査されたフィーチャと関連するdＥdＦは、ホトセル３６０へフィードバックされる（ステップ４９６参照）。従って、最悪のＣＤ変化はその後のロットにおいて修正される。
【００３８】
ステップ４９７において、検査されたフィーチャのＣＤｓは平均化され、ステップ４９８において、平均ＣＤと関連したエッチングレシピはエッチャー３７０へフィードホワードされて、検査されたロットのウエハ上のフィーチャのＣＤずれを修正するためにエッチングレシピを調整（すなわち、アップデート）する。従って、本発明のこの実施例は、ユーザが情報、例えばフィールドからフィールドへのＣＤ変化のマップ（それらは、本発明の実施とは関係なく当然のこととして集める）を用い、最小のコストと検査時間でロットからロットへの変化を減少することを可能にする。
【００３９】
本発明の他の実施例において、ターゲット波形をゴールデン波形と比較するステップ（図４（Ａ）、ステップ４４０参照）及びターゲット波形を参照波形（ステップ４５０）の１つにマッチングするステップは、検査中のプロファイルの重要なフィーチャを表わす、ターゲット波形と参照／ゴールデン波形の選ばれた一部のみを比較するステップを含む。最も適切な情報を含む波形の一部のみを解析することによって、処理時間は減少される。図６（Ａ）は代表的なフィーチャのプロファイルを示し、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のフィーチャに対応する検査波形を示し、図６（Ｃ）は図６（Ｂ）の波形からの第１の導関数（デリバティブ）のグラフ表示である。部分６０１ａと６０３ａは、検査されるべきフィーチャプロファイルの最も重要な領域であり、図６（Ｂ）における波形の区分（セグメント）６０１ｂと６０３ｂ、及び図６（Ｃ）に示された第１の導関数の区分６０１ｃと６０３ｃに相当するので、ターゲット及び参照波形の第１の導関数の区分６０１ｃ又は６０３ｃに一致することは利点である。
【００４０】
図６（Ｄ）のフローチャートに示されている本発明の他の実施例において、もし、ターゲット波形が図４（Ａ）のフローチャートのステップ４４０におけるゴールデン波形に一致しないならば、ターゲット及び参照波形の第１の導関数がとられ（ステップ６１０）、ステップ６２０における区分、例えば、図６（Ｃ）におけるセグメント６０１ｃ、６０３ｃに分けられる。その後、ターゲット波形の導関数の各区分６０１ｃ、６０２ｃおよび６０３ｃは、既知のプロファイルの一部（例えば、図６（Ａ）の部分６０１ａ、６０２ａ、６０３ａ）と関連する参照波形（ステップ６３０、６４０、６５０参照）の導関数の対応する区分に別々に一致される。従って、ターゲットフィーチャのプロファイルはセグメントにマッチングする“ビルディングブロック”をアッセンブルすることによって予測される。予測されたプロファイルの検査は、プロファイルのどの部分が設計基準からずれているかを示し、この情報は、ホトリソグラフの処理問題、例えば焦点及び露光問題を調べるためにこの分野の当業者によって用いることができる。
【００４１】
本発明の他の実施例において、ターゲット波形をゴールデン波形と比較するステップ（ステップ４４０）及びターゲット波形を参照波形の１つとマッチングするステップは、図６に示されたターゲット及び参照波形に“カーブ”を合わせる、すなわち、各波形の形状を示す数学的関数、すなわち“公式”を得るアルゴリズムを用いる。その後、ターゲット及び参照波形を表わす数学関数の対応する重要なエレメントが、どの参照イメージがターゲットイメージに最も近く一致するかを決めるために比較される。例えば、もし、ターゲット及び参照波形が関数ｙ＝Ｆ（ｘ,ａ,ｂ）によって表わされるならば、ｘ、ａ及びｂの値がターゲット波形のｘ、ａ及びｂの値に最も近く一致する参照波形は、ターゲット波形に最も近く一致する参照波形である。（ここで、ａ及び／又はｂは、ｘの定数又は指数である）
【００４２】
本発明の更に他の実施例において、ターゲット波形をゴールデン波形と比較するステップ（ステップ４４０）及びターゲット波形を参照波形の１つとマッチングするステップは、ターゲットフィーチャ及び参照フィーチャのイメージを生成するために、ターゲット及び参照波形を用いるステップ、及びその後生成されたイメージを比較するステップを含む。換言すれば、図６（Ｂ）に示された波形は、図６（Ａ）に示されたイメージを生成するために、従来のコンピュータグラフィックスの技術を用いて扱われる。その後、生成されたイメージは、境界解析及びグレースケール解析のようなよく知られたパターン認識技術によって一致される。
【００４３】
本発明の他の実施例において、ウエハがウエハかセットから移され、ウエハの表面上のフィーチャの寸法、例えばフィーチャのＣＤが光学測定手段を用いて測定される、半導体ウエハを処理する装置が提供される。その後、プロセス、例えばエッチングプロセスがプロセスパラメータ値のセット、例えばＣＤの測定に基づいて選ばれたエッチングレシピを用いてウエハ上で行なわれ、そしてウエハはカセットに戻される。ある実施例では、エッチング後の処理、例えばアッシング、ウエットクリーニング及び／又は更なるＣＤ測定が、ウエハがカセットに戻される前に装置によって行なわれる。この装置によって行なわれた移送及び処理ステップの全ては、きれいな環境において行なわれ、それによりステップ間にウエハを大気に曝したりすること、及び可能な汚染を避けることによって歩留まりを向上する。
【００４４】
更に、本発明のこれらの実施例は、ウエハごとのエッチング前のＣＤ測定及びそのＣＤ測定によるウエハごとのエッチングレシピの調整を行い、前に行なった手段、例えばホトセルにおける露光と焦点の変化におけるプロセス変化に対して修正する。これは、一般にエッチング処理の前及び／又は後にサンプルウエハのＣＤを測定し、ウエハの次のバッチを処理するためにこの情報を用いる従来の方法とは逆である。本発明は、ウエハごとのリアルタイム測定を行い、そしてウエハごとにエッチングレシピを調整することによって歩留まりを増加する。
【００４５】
本発明による半導体ウエハを処理する装置を、図９（Ａ）を参照して説明する。この装置は、複数の処理チャンバ、例えば従来のエッチングプロセッサ９０２、及びロードロックと呼ばれる１つ以上の移送チャンバ９０３を取り付けるための、チャンバ、すなわち“本体（メインフレーム）”９０１、例えばカルフォルニア州、サンタクララのアプライドマテリアルズ社から利用できるCenturaTM処理システムを有する。本体９０１は、その内部の真空環境を維持することができる。ロボット９０４は、処理チャンバ９０２と移送チャンバ９０３との間でウエハを移送するために設けられる。
【００４６】
移送チャンバ９０３は、制御された環境を維持する“小型の環境”として知られるファクトリーインタフェース(factory interface)９０５に接続されている。ＣＤの測定手段９０６、例えばスキャタロ測定法(scatterometry)又は反射測定法(reflectometry)の技術を利用する光学測定手段がファクトリーインタフェース９０５の内部に取り付けられている。測定手段９０６として用いることができるツールの例は、米国特許5,963,329に記載されているＣＤ測定を含むことができる上述のイメージャー３１０（図３及び図４（Ａ）参照）である。エッチャー９０２にウエハのＣＤ測定に基づくエッチングレシピを与えるプロセッサ（すなわち、プロセッサ３２０に相当するプロセッサ）はエッチャー９０２又は本体９０１の一部である。
【００４７】
１つ以上のロボット９０７、又はトラックロボットが移送チャンバ９０３、測定手段９０６、及びファクトリーインタフェースに取外し可能に取り付けられた標準のウエハかセット９０８間でウエハを移送するためにファクトリーインタフェースの内部に取り付けられる。本体９０１、移送チャンバ９０３、ファクトリーインタフェース９０５、及びロボット９０４、９０７は、全て上述したアプライドマテリアルズ社のCenturaTMのような従来の処理システムの一部であり、きれいな、制御された環境を維持しつつ互いに連通している。このような従来の処理システムは、更にプロセッサ、例えばシステムの一方のパーツから他方へウエハの移送を含むシステムの動作を電子的に制御するコンピュータ（図示せず）を有する。
【００４８】
本発明のこの実施例による装置の動作を図１０のフローチャートを参照して説明する。複数のウエハが処理手段、例えば上述したホトセル３６０において処理された後、それらはカセット９０８にロードされる。そしてこのカセットは、ステップ１０１０においてファクトリーインタフェースに移送される。その後、ウエハは、カセット９０８からアンロードされ、ロボット９０７（ステップ１０２０）によって測定手段９０６へ移送され、ウエハの表面上に形成されるフィーチャがステップ１０３０で測定される。本発明のある実施例において、ウエハは、測定手段９０6に光学的に整列される；すなわち、ウエハのノッチが所定の位置に向けられる。例えば、測定手段９０６は、ウエハを整列し、そのＣＤ測定を行い、その後、必要に応じて再整列し、ウエハのノッチがロボット９０７によって次の扱いに対して正しい位置にすることを確かにする。
【００４９】
ステップ１０４０で、ウエハに対するエッチングレシピがウエハのＣＤ測定に基づいて選択される。たとえば、上述した図３及び図４（Ａ）、４図（Ｂ）の本発明の実施例によるウエハのＣＤ測定データに対して、“署名解析（シグネチャーアナリシス）”が実行される。ＣＤ測定からのデータは、変化を調べるためにライブラリーからの参照データと比較され、その後変化はパラメータ化される（すなわち、エッチングプロセスのパラメータへ変換される）。代わりに、ルート結合された波形解析(root coupled wave analysis: RCWA)が行なわれる。ここで、与えられた波形に相当するＣＤは、計算によって、例えば、光学検査手段におけるプロセッサによって得られる。ＲＣＷＡは、Chateau, "Algorithm for the rigorous couple-wave analysis of grating diffraction" Journal of the Optical Society of America, Vol. 11, No. 4 (April 1994) 及びMoharam, "Stable implementation of the rigorous coupled-wave analysis for surface-relief grating: enhanced transmittance matrix approach", Journal of the Optical Society of America, Vol. 12, No. 3 (May 1995)で議論されている。また、図３、図４（Ａ）及び４図（Ｂ）の実施例において説明されているように、この解析の結果は、改定されたステッパーの設定を選択するために、ホトセル３６０にフィードホワードすることもできる。
【００５０】
ステップ１０５０で、ウエハは、ウエハを移送チャンバ９０３へ運ぶロボット９０７を用いて、及びウエハをエッチャー９０２へ運ぶロボット９０４を用いて測定手段９０６からエッチャー９０２へ移送される。その後、ウエハは、エッチングされる（ステップ１０６０）。このエッチングステップは、レジストのトリミング（不要な部分を剥ぎ取る）ステップ、フィーチャ形成ステップ（例えば、ポリシリコンゲートのエッチング）、又はこれらの双方である。次に、本発明の１つの実施例においては、ウエハは、ロボット９０４、９０７によってカセット９０８及び移送チャンバ（９０３）ステップ１０９０へ戻される。
【００５１】
代わりに、ウエハは、先ず、カセット９０８へロードされる前にエッチング後のＣＤ測定（ステップ１０７０及び１０８０）のために測定手段９０６へ移送される。測定手段９０６によって得られたデータは、前に処理されたウエハからのエッチング後のデータと比較される。通常のエッチング語のデータからかなりの変化が観察されるならば、ウエハはカセット９０８へ戻され、その後、クリーニングされ、レビュー手段、例えばＣＤ−ＳＥＭにおいてレビューされる。従って、測定手段９０６は、レビューが必要な場合を示すためにプロセスモニターとして用いられる。
【００５２】
図９（Ｂ）に示された本発明の他の実施例において、従来のアッシング・ストリップ・プロセッサ９０９（“ＡＳＰｓ”と呼ばれる）がエッチャー９０２と共に本体９０１に取付けられる。ＡＳＰｓ９０９は、エッチング後のホトレジストポリマー及び他の残留物を除去するためのものである。ファクトリーインタフェース９０５ａはそこに取付けられたＣＤ測定手段（図９（Ａ）の実施例におけるように、その内部に代えて）ばかりでなく一体化された粒子モニター９１０（“ＩＰＭ”と呼ばれる）、例えば、カルフォルニア州、サンタクララのアプライドマテリアルズ社から利用可能なExciteTMを有する。ＩＰＭ９１０は、ウエハの表面上の異物及び他の欠陥を検出するためのものである。
【００５３】
図９（Ｂ）の装置は、ウエハがステップ１０６０でエッチングされた後、エッチング後のＣＤ測定（ステップ１０８０）のためにステップ１０７０で測定手段９０６ａへ移送される前に、ウエハがＡＳＰ９０９においてクリーニングされる点を除いて、上述のように図１０のフローチャートに従って動作する。その後、ウエハは、ステップ１０９０でカセット９０８へ戻される前にＩＰＭ９１０へ行く。
【００５４】
図９（Ｃ）に示された本発明の更に他の実施例において、例えば、米国特許出願番号09/603,792で説明されているように、ウエット・クリーニング・モジュール９１１が測定手段９０6ａ及びＩＰＭ９１０と共にファクトリーインタフェース９０５ｂに取り付けられる。図９（Ｃ）の装置は、ウエハがステップ１０６０でエッチングされた後、エッチング後のＣＤ測定（ステップ１０８０）のためにステップ１０７０で測定手段９０６ａへ移送される前に、ウエハがＡＳＰ９０９及びウエット・クリーニング・モジュール９１１においてクリーニングされる点を除いて、上述のように図１０のフローチャートに従って動作する。ウエハは、その後、ステップ１０９０でカセット９０８へ戻される前に、ＩＰＭ９１０へ行く。
【００５５】
図９（Ａ）〜図９（Ｃ）に示された本発明の実施例は、制御された環境条件下でエッチング前のＣＤ測定、エッチング、クリーニング、及びエッチング後のＣＤ測定を全体的に行なう。本体及び／又はファクトリーインタフェース上でエッチング、クリーニング及びＣＤ測定を行なうことによって、ウエハはエッチングされ、クリーニングされ、及びカセットへ戻される前に検査され、それによって処理時間及びコストを減少する。更に、図９（Ａ）〜図９（Ｃ）の実施例は、ウエハごとにリアルタイムでＣＤ測定データのフィードバック及びフィードホワードを行い、それによって、ウエハごとにカスタマイズされるべきエッチング処理が歩留まりの増大を可能にする。従って、本発明は、必要に応じて、ＤＣ測定からのフィードバックは、ウエハごとよりもロットごとに基づいており、ウエハは、測定、エッチング及びクリーニングステップ間で大気に曝される従来のシステムと比べて、歩留まりを増加し、製造コストを減少する。
【００５６】
更に、図９（ａ）〜図９（Ｃ）の装置を用いて実施される本発明の模範的な実施例を、図７及び図８のフローチャートを参照して説明する。本発明のこれらの実施例において、レジストのトリム、及びフィーチャのエッチングプロセス（例えば、ゲートエッチング、トレンチ分離（ＳＴＩ）のトレンチエッチング、ビアエッチング、コンタクトホールのエッチング、金属のエッチングなど）におけるＣＤは、制御された環境条件で、リアルタイムにＣＤ測定のフィードバック及びフィードホワードを用いて、確実に制御される。
【００５７】
図７及び図９（Ａ）を参照すると、複数のウエハが処理手段、例えば、上述したホトセル３６０において従来の方法で処理され、ホトレジストのパターンを形成するためにホトレジスト層を露光し、現像する。前述した実施例におけるように、ウエハは、カセット９０８にロードされ、カセットはファクトリーインタフェース９０５に移送され、その後、ウエハかセット９０８からアンロードされ、ロボット９０７によって測定手段９０６に移送され、ウエハは整列され、そして、ホトレジストパターン（“ＰＲＣＤ In”）のＣＤがステップ７２０で測定される。
【００５８】
ステップ７３０で、ホトレジストのためのトリムレシピがホトレジストパターンのＣＤ測定に基づいて選択される。例えば、署名解析又はＲＣＷＡがパターンのＣＤ測定データのために実施され、プロセスモデルＭ１をアップデートするために、フィードホワードされるこの解析結果は、ウエハに対するトリム（トリミング）レシピを調節するために用いられる。
【００５９】
ウエハを移送チャンバ９０３へ移動するためにロボット９０７を用いて、及びウエハをエッチャー９０２へ移動するためにロボット９０４を用いて、ウエハは測定手段９０６からエッチャー９０２へ移送される。その後、ホトレジストパターンは、ホトレジストパターンをターゲットサイズまでトリミングし、または縮めるためにエッチング（ステップ７４０）される。レジストトリムは一般に等方性エッチングステップである。次に、ウエハは、ステップ７５０でトリム後のＣＤ測定（“ＰＲＣＤ Out”）のため測定手段９０６へ移送される。“ＰＲＣＤ Out”は、プロセスモデルＭ１をアップデートするためにフィードバックされ、続いて処理されるウエハのためにトリムレシピを調整する。
【００６０】
その後、ウエハは、同じチャンバか、または他のエッチングチャンバへロボットによって移送される。ホトレジストの下にある層が、マスクとしてのトリムされたホトレジストパターンを用いて、ステップ７６０でエッチングされ、フィーチャ、たとえば、所望のサイズのトランジスタゲート、トレンチ、ビアなどを形成する。本発明の１つの実施例では、ウエハは、カセット９０８へ戻される前にステップ７７０でエッチング後のＣＤ測定（“フィーチャＣＤ”）のための測定手段へ移送される。測定手段９０６によって得られたデータは、ステップ７８０で前に処理されたウエハからのエッチング後のデータと比較される。通常のエッチング語のデータからの著しい変化が観測されるなら、ウエハは、カセット９０８へ戻され、その後、クリーニングされ、ＣＤ-ＳＥＭのようなレビュー手段でレビューされる。従って、測定手段９０６は、レビューが必要な場合を示すためにプロセスモニターとして用いられる。
【００６１】
図８に示された本発明の他の実施例において、図７に関して上述されたものと同一のプロセスが、エッチングされたフィーチャのＣＤがステップ７７０で測定された後、データがプロセスモデルＭ２をアップデートするためにフィードバックされ、ステップ８８０で続いて処理されるウエハのためのエッチングレシピを選択する点を除いて、実行される。本発明の更に他の実施例において、ステップ７７０で得られたフィーチャＣＤのデータもプロセスモデルＭ１をアップデートするためにフィードバックされ、ステップ７３０で続いて処理されるウエハのためのトリムレシピを調節する。
【００６２】
図７及び図８の実施例は、便宜上図９（Ａ）の装置を参照して説明されたが、これらの実施例は図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）の装置で実施されることを理解すべきである。勿論、図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）の装置で利用可能な叙述したクリーニング及び／又は他の検査ステップは、適切に及び／又は必要に応じて行うことができる。
【００６３】
図５は、本発明の実施例を示すブロック図である。この実施例によると、図５に示されたプロセッサ３２０は、情報通信のためのバス５０２または他の通信機構、及び情報を処理するための、バス５０２に結合されたＣＰＵ５０４を含む。又、プロセッサ３２０は、主メモリ５０６、例えば情報、及びＣＰＵ５０４によって実行されるべき命令をストアするための、バス５０２に結合されたランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）または他のダイナミック記憶装置を含む。また、主メモリ５０６は、ＣＰＵ５０４によって実行されるべき命令の実行中に、一時的な変数または他の中間情報をストアするために用いることもできる。更に、プロセッサ３２０は、ＣＰＵ５０４のためのスタティック情報及び命令をストアするための、バス５０２に結合されたリードオンリーメモリ（ＲＯＭ）５０８または他のスタティック記憶装置を有する。記憶装置５１０、例えば、磁気ディスクまたは光学ディスクは、情報及び命令をストアするために設けられ、バス５０２に結合される。また、記憶装置５１０は、図３のメモリ３４０としても働く。
【００６４】
プロセッサ３２０は、バス５０２を介して、コンピュータユーザに情報を表示するためのモニター３３０、例えば陰極線管（ＣＲＴ）に結合される。英数字及び他のキーを含む入力装置５１４は、情報及びコマンド選択をＣＰＵ５０４と通信するためバス５０２に結合される。他の形式のユーザ入力装置は、指示情報及び命令選択をＣＰＵ５０４へ送るための、及びモニター３３０上のカーソルの動きを制御するためのカーソル制御装置５１６、例えばマウス、トラックボール、またはカーソル指示キーである。
【００６５】
イメージャー３１０（図３）は、上述されたように、検査中に半導体ウエハのフィーチャを表わすデータをバス５０２へ入力する。このデータは、主メモリ５０６及び/または記憶装置５１０にストアされ、ＣＰＵが命令を実行するに従ってＣＰＵ５０４によって用いられる。また、イメージャー３１０は、ＣＰＵ５０４からバス５０２を介して命令を受け取ることもできる。
【００６６】
本発明は、半導体ウエハの表面上に形成されたフィーチャを検査し、ウエハの処理を制御するためのプロセッサ３２０の使用に関する。本発明の１つの実施例によると、主メモリ５０６に含まれる１つ以上の命令の１つ以上のシーケンスを実行するＣＰＵ５０４に応答して、ウエハの表面の検査およびウエハのプロセス制御がプロセッサによって行なわれる。これらの命令は、他のコンピュータ読み取り可能な媒体、例えば記憶装置５１０から主メモリ５０６へ読み込まれる。主メモリ５０６に含まれる命令のシーケンスの実行によって、ＣＰＵ５０４は上述したプロセスステップを行う。また、マルチ処理装置における１つ以上のプロセッサは、主メモリ５０６に含まれる命令のシーケンスを実行するために用いることもできる。
【００６７】
他の実施例において、ハードワイヤード(hard-wired)回路が、本発明を実行するソフトウエア命令に代えて、またはそれらと組み合わせて用いられることができる。従って、本発明の実施例は、ハードウエア回路とソフトウエアのある特定の組み合わせに限定されない。本装置のプログラミングは、図４のフローチャートが提供されたこの分野の当業者によって容易に達成される。
【００６８】
ここで用いられた用語“コンピュータ読み取り可能な媒体”は、実行のために命令をＣＰＵ５０４に提供することができるあらゆる媒体を言う。このような媒体は、不揮発性媒体、揮発性媒体、及び伝送媒体を含むがこれらに限定されない多くの形態をとることができる。揮発性媒体は、例えば主メモリ５０６のようなダイナミックメモリを含む。伝送媒体は、バス５０２を有する線路を含む、同軸ケーブル、銅線及び光ファイバーを有する。
【００６９】
また、伝送媒体は、音響または光波の形態、例えば無線周波数（ＲＦ）及び赤外線（ＩＲ）データ通信中に発生されるものを取ることができる。コンピュータ読み取り可能な媒体の共通の形態は、例えばフロッピーディスク（登録商標）、フレキシブルディスク、ハードディスク、磁気テープ、他のあらゆる磁気媒体、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、他のあらゆる光学媒体、パンチカード、紙テープ、孔のパターンを有する他のあらゆる物理的媒体、ＲＡＭ、ＰＲＡＭ、ＥＰＲＯＭ、フラッシュＥＲＯＭ、他のあらゆるメモリチップまたはカートリッジ、またはコンピュータが読み取ることができる他のあらゆる媒体を含む。
【００７０】
コンピュータ読み取り可能な媒体のいろいろな形態は、実行のため１つ以上の命令の１つ以上のシーケンスをＣＰＵへ運ぶ場合に含まれる。例えば、命令は、最初に遠隔コンピュータの磁気ディスク上に運ばれる。遠隔コンピュータは、そのダイナミックメモリに命令をロードし、モデムを使用して電話線に命令を送る。プロセッサを結ぶモデムは、電話線上のデータを受信し、赤外線送信機を使用して、そのデータを赤外線信号に変換する。バス５０２に結合された赤外線検出器は、赤外線信号で運ばれたデータを受信し、データをバス５０２上に置く。バス５０２はデータを主メモリ５０６へ運び、そこからＣＰＵ５０４が命令を取り出して、実行する。主メモリ５０６によって受け取られた命令は、ＣＰＵ５０４による実行前か、あるいは実行後のいずれかに記憶装置５１０に任意にストアされる。
【００７１】
本発明のプロセス制御技術は、ホトリソグラフィー及びエッチングプロセスパラメータを調整するために、検査プロセス中に集められたデータを用いることによって、製造のスループットを著しく減少することなく、ロット・ツー・ロット（ロットからロットへ）のＣＤ変化が減少されることを可能にする。本発明の方法は、ＳＥＭ波形を、事前製造ＦＥＭを形成することによって得られる参照フィーチャのライブラリーの波形と比較することによって、検査されたフィーチャのステッパーの設定及び最適なエッチングレシピを決定する。従って、本発明は、生産ラインの操業開始およびランプアップ(ramp-up)中に特に有用である。
【００７２】
本発明は、いろいろな形式の半導体デバイス、例えば約０.１８マイクロ以下の設計基準を有する特に高密度半導体の製造に応用可能である。
【００７３】
本発明は、従来の材料、方法、及び装置を用いることによって実施することができる。従って、このような材料、方法及び装置の詳細はここでは述べない。前の説明では、本発明の完全な理解を得るために、いろいろな特定の詳細、例えば特定の材料、構造、化学作用、プロセス等が説明されている。一方、本発明を不必要に不明りょうにしないために既知の処理構造を詳細に説明しなかった。
【００７４】
本発明の好適な実施例のみが、その用途の広い幾つかの例を除いて、示され、説明された。本発明はいろいろな他の組み合わせ及び環境において使用可能であり、ここで説明された発明概念の範囲内での変更及び変化が可能であることを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の実施例を実施するために用いられる焦点と露光のマトリックスの一部を示す。
【図２（Ａ）】本発明の実施例を実施する場合に使用される参照ライブラリーの概念図である。
【図２（Ｂ）】本発明の実施例を実施する場合に使用される参照ライブラリーの概念図である。
【図３】本発明の実施例によるレビュー手段のブロック図である。
【図４（Ａ）】本発明の実施例による方法のシーケンシャルステップを示すフローチャートである。
【図４（Ｂ）】本発明の実施例による方法のシーケンシャルステップを示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施例を示すブロック図である。
【図６（Ａ）】本発明の方法を用いて検査されるフィーチャのプロファイルである。
【図６（Ｂ）】本発明の実施例を実施する場合に用いられる波形表示である。
【図６（Ｃ）】本発明の実施例を実施する場合に用いられる波形表示である。
【図６（Ｄ）】本発明の実施例による方法のシーケンシャルステップを示すフローチャートである。
【図７】本発明の実施例による測定手段のブロック図である。
【図８】本発明の実施例による方法のシーケンシャルステップを示すフローチャートである。
【図９（Ａ）】本発明の実施例による処理モジュールを概念的に示す。
【図９（Ｂ）】本発明の実施例による処理モジュールを概念的に示す。
【図９（Ｃ）】本発明の実施例による処理モジュールを概念的に示す。
【図１０】本発明の実施例による方法のシーケンシャルステップを示すフローチャとである。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２（Ｂ）】
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【図３】
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【図４（Ａ）】
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【図４（Ｂ）】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６（Ｄ）】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９（Ｃ）】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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