(57)【要約】【解決手段】本発明は、電気負荷（４３）を確実にオフにする安全スイッチモジュールに関し、該モジュールは、互いに直列接続され、第１および第２のスイッチ素子（２４．１、２４．２）から成る直列接続へ並列に接続され、第２の電流路（２６．２）を形成する第３および第４のスイッチ素子（２４．３、２４．４）を備え、該第３のスイッチ素子（２４．３）が第１のスイッチ制御装置（２０Ａ）により制御され、また該第４のスイッチ素子（２４．４）が第２のスイッチ制御装置（２０Ｂ）により制御される。【効果】前記評価制御装置（１２）が交互に両電流路（２６．１、２６．２）の一方のスイッチ素子を検査し、他の電流路が負荷（４３）への供給を行なうことにより、負荷（４３）への供給を妨げることなくオフ能力の検査が実行可能となる。【選択図】図１Ａ
2005501200.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気負荷（４３）の安全なスイッチオフを行うための安全スイッチモジュールであって、
第１および第２のスイッチ制御装置（２０Ａ、２０Ｂ）と、
互いに直列接続され、負荷供給用の第１の電流路（２６．１）を形成する第１および第２のスイッチ素子（２４．１、２４．２）であり、該第１のスイッチ素子（２４．１）が前記第１のスイッチ制御装置（２０Ａ）により制御可能であり、また該第２のスイッチ素子（２４．２）が前記第２のスイッチ制御装置（２０Ｂ）により制御可能である第１および第２のスイッチ素子（２４．１、２４．２）と、
少なくとも一つのスイッチ素子のオフ能力を検査する評価制御装置（１２）とを備え、
互いに直列接続され、前記第１および第２のスイッチ素子（２４．１、２４．２）から成る直列接続へ並列に接続され、第２の電流路（２６．２）を形成する第３および第４のスイッチ素子（２４．３、２４．４）であり、該第３のスイッチ素子（２４．３）が前記第１のスイッチ制御装置（２０Ａ）により制御され、また該第４のスイッチ素子（２４．４）が前記第２のスイッチ制御装置（２０Ｂ）により制御される第３および第４のスイッチ素子（２４．３、２４．４）が設けられ、
前記評価制御装置（１２）が交互に両電流路（２６．１、２６．２）の一方のスイッチ素子を検査し、他の電流路が負荷（４３）への供給を行なうことを特徴とする安全スイッチモジュール。
【請求項２】
前記第１および第３のスイッチ素子（２４．１、２４．３）が半導体スイッチ素子として設けられることを特徴とする、請求項１に記載の安全スイッチモジュール。
【請求項３】
前記第２および第４のスイッチ素子（２４．２、２４．４）が、電気機械スイッチ素子、好ましくはリレーとして設けられることを特徴とする、請求項１または２に記載の安全スイッチモジュール。
【請求項４】
前記スイッチ制御装置（２０Ａ、２０Ｂ、６１、６２）がデュアルチャネル・スイッチ制御装置として設けられることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれかに記載の安全スイッチモジュール。
【請求項５】
前記電流路の一方側が供給電圧へ、他方側が負荷へ結合されることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれかに記載の安全スイッチモジュール。
【請求項６】
前記評価制御装置（１２、８３）が、前記第１および第２のスイッチ素子（２４．１、２４．２）の間および前記第３および第４のスイッチ素子（２４．３，２４．４）の間で、両電流路（２６．１、２６．２）の夫々と結合されることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれかに記載の安全スイッチモジュール。
【請求項７】
前記評価制御装置が短いオフパルスを生成し、該パルスを前記第１および第２のスイッチ素子（２４．１、２４．２）または前記第３および第４のスイッチ素子（２４．３、２４．４）のいずれかへ供給して、これらを迅速にオフにすることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれかに記載の安全スイッチモジュール。
【請求項８】
前記オフパルスが前記スイッチ制御装置の信号上で変調されることを特徴とする、請求項６に記載の安全スイッチモジュール。
【請求項９】
前記スイッチ素子（２４．１〜２４．４）が、電気機械スイッチ素子、好ましくはリレーとして設けられることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれかに記載の安全スイッチモジュール。
【請求項１０】
前記スイッチ素子（２４．１〜２４．４）が半導体スイッチ素子として設けられることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれかに記載の安全スイッチモジュール。
【請求項１１】
電気負荷を安全にオフにする安全スイッチモジュールにおけるスイッチ素子のオフ能力の検査方法であり、
安全にオフとなる少なくとも一つのスイッチ素子（２４．１、２４．２）から構成され、負荷を通電する第１の電流路（２６．１）を設けるステップと、
少なくとも一つのスイッチ素子（２４．３、２４．４）から構成され、負荷を通電する第２の電流路（２６．２）を前記第１の電流路と並列に設けるステップと、
両電流路（２６．１，２６．２）の一方のオフ能力を交互に検査し、検査期中に、他方の検査されていない電流路（２６．２、２６．１）のみで前記負荷を通電するステップとから構成される検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１および第２のスイッチ制御装置と、互いに直列接続され負荷供給用の第１の電流路を形成する第１および第２のスイッチ素子であり、該第１のスイッチ素子が第１のスイッチ制御装置により制御可能であり、また該第２のスイッチ素子が第２のスイッチ制御装置により制御可能である第１および第２のスイッチ素子と、少なくとも一つのスイッチ素子のオフ能力（switching-off ability）を検査する評価制御装置とを備える、電気負荷を安全にオフにする安全スイッチモジュールに関する。本発明はさらにこのような安全スイッチモジュールにおけるスイッチ素子のオフ能力の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
このような安全スイッチモジュールおよび安全スイッチ装置は夫々公知である。例えば、出願人は「ＰＮＯＺ」という商品名で種類の異なる安全スイッチ装置を提供している。出願人は、例えば独国特許出願、ＤＥ１００  １１  ２１１において、このような安全スイッチ装置を開示している。
一般に、このような安全スイッチ装置は、特に工業分野において、スタンピング・プレス、ミリング・フライス、空気または油圧制御システムのバルブブロック、ＳＰＳの出力モジュール等の電気駆動機械を起動しまた安全に停止させる目的で使用される。特に機械操作による緊急停止押ボタンについては、安全スイッチ装置は緊急時に迅速かつ安全に機械を停止させる。このため、停止させる機械のエネルギー供給は、直列接続された２つのスイッチ素子を介して結合される。両スイッチ素子を一つでも開状態へすると、直ちに該機械へのエネルギー供給が中断される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような安全スイッチ装置の作動中にスイッチ素子のスイッチ能力を検査するため、個々のスイッチ素子を短時間オフにして、スイッチ素子の出力信号（逆読み信号）を検出評価する評価制御ユニットが設けられる。該評価に基づき、評価制御ユニットは、各スイッチ素子が、一般的には電気負荷である機械への電気供給を緊急時に中断する能力を有しているか否かを決定できる。検査手順中に電気負荷を作用させないように、非常に短くて負荷には「見えない」期間だけスイッチ素子をオフにする。
【０００４】
電気機械スイッチ素子の機械慣性のため、該検査手順は半導体素子に基づく電子スイッチ素子に対してのみ実施可能である。スイッチ素子によりスイッチされる電流が所定値（通常、約８アンペア）を超え、電気負荷が純粋なオーム負荷（容量性および誘導性成分）でない場合、スイッチ素子を短期間オフにするという上記検査手順は、さらに多大な努力を払った場合にのみ実施可能となる。スイッチ素子の出力信号を評価するには、この場合、負荷を放電してオフパルス（switching-off pulse）を小さく保つ必要がある。大きなキャパシタを短期間で放電するには、非常に大きな放電電流が必要となる。例えば、１ｍＦのキャパシタを２５Ｖで２００μｓの時間で放電するには、１２５Ａの放電電流が必要である。
【０００５】
本発明の目的は、スイッチされる大きな電流または容量性もしくは誘導性負荷、あるいはその両方を伴いつつ簡単な方法でスイッチ素子のオフ能力の検査が可能な上述の安全スイッチモジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的は、互いに直列接続され、第１および第２のスイッチ素子から成る直列接続へ並列に接続され、第２の電流路を形成する第３および第４のスイッチ素子であり、該第３のスイッチ素子が第１のスイッチ制御装置により制御され、また該第４のスイッチ素子が第２のスイッチ制御装置により制御される第３および第４のスイッチ素子が設けられ、評価制御装置が交互に両電流路の一方のスイッチ素子を検査し、他の電流路が負荷への供給を行なう上述の安全スイッチモジュールにより達成される。
【０００７】
つまり、両スイッチ素子により電流が流れないようにスイッチされる現在の電流路に加えて、さらに２つのスイッチ素子を有するさらなる電流路を並列に設ける。通常の作動では、負荷は両電流路を介して通電される。検査サイクル中、両電流路の一方のオフ能力が検査され、他方の電流路が電気供給を単独で引き継ぐ。
従って、スイッチ素子を短期間オフにして、これらのスイッチ素子の出力信号を逆読みすることで、電気負荷の供給を妨げることなくオフ能力の検査が実行可能となる。その結果、大きな電流も同じく安全にオフする安全スイッチモジュールが、簡単な方法で構築される。
【０００８】
オフパルスは負荷へ到達しないので、より長いオフパルスが可能となる。つまり、本発明の構成では、負荷をオンにしたままで、半導体素子と同様、電気機械スイッチ素子の検査も可能となる。
この発明的構成には、エネルギー供給の安全性が向上するというさらなる効果がある。これは、短絡した半導体素子により一方の電流路が故障しても、各駆動信号に対し負荷への供給が安全に行なわれるからである。
【０００９】
本発明の好ましい実施態様では、第１および第２のスイッチ素子が、半導体スイッチ素子として設けられる。好ましくは、第２および第４のスイッチ素子が、電気機械スイッチ素子、好ましくはリレーとして設けられる。
これらの態様には、例えば、通常の作動中は、リレーコンタクトが電流をスイッチする必要がなくなるという効果がある。これは半導体スイッチ素子がより迅速にスイッチするので、すでに電流をオフにしているからである。これにより、リレーコンタクトが管理され、その寿命が大幅に延長される。多様冗長なスイッチ素子（半導体およびリレー）を用いることで、例えば高エネルギーの攪乱パルス等の同一原因による両スイッチ素子の故障が排除される。もちろん、４つのスイッチ素子全てを同じように半導体スイッチ素子、ＡＣ電流切替え用半導体スイッチ素子、好ましくは光ＭＯＳリレーもしくはリレーとして設けてもよい。
【００１０】
好ましい実施態様では、スイッチ制御装置をデュアルチャネル・スイッチ制御装置として設ける。
この態様には、安全スイッチモジュールの安全性がさらに向上するという効果がある。
好ましい実施態様では、評価制御装置を、両電流路の各々に接続して、両電流路が第１および第２のスイッチ素子の間、および第３および第４のスイッチ素子の間夫々から信号を読み出すようにする。
【００１１】
この態様には、評価制御装置により、各電流路の両スイッチ素子のオフ能力が検出可能になるという効果がある。
好ましい実施態様によると、評価制御装置が短いオフパルスを生成し、該パルスを第１および第３スイッチ素子の何れかに供給して該素子を迅速にオフにする。好ましくは、該オフパルスを、スイッチ制御装置により生成された制御信号上で変調する。
【００１２】
この態様には、オフ能力検査用の構成を非常に簡単にできるという効果がある。
また本発明の目的は、電気負荷を安全にオフにする安全スイッチモジュールにおけるスイッチ素子のオフ能力の検査方法により達成され、該方法は、安全にオフとなるスイッチ素子から構成され、負荷を通電する第１の電流路を設けるステップと、少なくとも一つのスイッチ素子から構成され、負荷を通電する第２の電流路を第１の電流路と並列に設けるステップと、両電流路の一方のオフ能力を交互に検査し、検査期中に、他方の検査されていない電流路のみで負荷を通電するステップとから構成される。
【００１３】
該オフ能力の検査方法は、上述の効果と同様の効果があり、その説明は省略する。
上述の特徴および以下に記載の特徴は、例示の各組み合わせにおいてのみ用いられるものではなく、発明の範囲を逸脱することなく他の組み合わせあるいは単独ででも使用可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施例を添付の図面に示し、その詳細を以下で説明する。
図１Ａは部材番号１０で示す安全スイッチ装置の概略図である。該安全スイッチ装置１０は、概略的に示す安全評価制御ユニット１２から構成される。該評価制御ユニット１２は、公知の構成要素、つまり上述の申請人が「ＰＮＯＺ」の商品名で提供している安全スイッチ装置ですでに用いられている構成要素から構成される。評価制御ユニットの目的は、例えば緊急停止押ボタン１４から供給されるスイッチ信号を安全に評価して、各出力信号を生成することである。
【００１５】
本実施では、評価制御ユニット１２は部材番号１６ａと１６ｂとで示す２つのチャネルを伴って構成される。もちろん他の構成の評価制御ユニット１２を用いることも可能である。このような評価制御ユニット１２の詳細に関しては、Winfried Graf著、「Maschinensicherheit」、Huthig-Verlag社を参照されたい。
安全スイッチ装置１０は、さらに各チャネル用に、複数のライン２２を介して各評価制御ユニット１６ａ、１６ｂからの制御信号が供給される駆動装置（スイッチ制御装置）２０Ａ、２０Ｂを備える。図１Ａでは一本のライン２２しか示されていないが、ライン２２は多芯バスラインであってもよい。
【００１６】
駆動装置２０は評価制御ユニット１２から供給された制御信号に対し、駆動信号を生成する。該駆動信号はスイッチ素子２４．１〜２４．４へ供給される。図１Ａでは、駆動装置２０Ａが、スイッチ素子２４．１と２４．３とへ供給される２つの駆動信号を生成する。駆動装置２０Ｂも同じく２つの制御信号を生成するが、これらはスイッチ素子２４．２と２４．４とへ供給される。駆動装置２０Ａおよび２０Ｂ夫々で生成される駆動信号は何れも同等であるので、安全スイッチ装置の通常の作動においては、スイッチ素子２４．１と２４．３の組と、スイッチ素子２４．２と２４．４の組は、夫々同じスイッチ状態にある。
【００１７】
本発明によると、４つのスイッチ素子２４．１〜２４．４は全て、２つの同一の電流路２６．１、２６．２を形成するように構成されている。特に、スイッチ素子２４．１と２４．２とを直列接続して第１の電流路２６．１を形成し、他の２つのスイッチ素子２４．３と２４．４とを直列接続して第２の電流路２６．２を形成する。図１Ａから、電流路２６．１と２６．２とが並列であることが判る。電流路２６．１と２６．２とは共に、安全スイッチ素子１０の入力端子３０と出力端子３３とを結合している。スイッチ素子２４がオンされると、オーム接続が入力端子３０と出力端子３３との間に設けられ、各電流が両電流路２６を介して流れる。
【００１８】
該出力端子３３の他に、安全スイッチ装置１０はさらなる出力端子３５とさらなる入力端子３７とを備える。図１Ａから、入力端子３７と出力端子３５との間に電機接続が形成されているのが判る。
作動中は、ＤＣ電圧源４１は入力端子３０、３７の両方に結合され、両端子３０、３７間には、例えば２４Ｖの電圧が付与される。ここで入力端子３０は陽電位を有し、入力端子３７は基準電位、例えば０Ｖを有する。
【００１９】
図１Ａに部材番号４３で示す安全スイッチ装置１０によりスイッチされる負荷を概略的に示す。本実施例では、８アンペアより大きな電流が必要な、例えば空気または油圧制御システムのバルブブロックやＳＰＳ制御システムの出力モジュール等の高パワー負荷とする。負荷４３は出力端子３３と３５との間に結合される。その結果、スイッチ素子２４をオンにすると、電流がＤＣ電圧源４１から入力端子３０、両電流路２６．１、２６．２、出力端子３３、負荷４３、出力端子３５、入力端子３７を介して再度ＤＣ電圧源４１へと流れる。例えば緊急停止押ボタン１４を起動させた場合、評価制御ユニット１２は制御信号を生成し、該信号が各駆動装置２０Ａ、２０Ｂにより各駆動信号へ変換される。これらの駆動信号によりスイッチ素子２４をオフにして、両電流路２６．１、２６．２に電流が流れないようにする。その結果、負荷４３がＤＣ電圧源４１から分離される。
【００２０】
この種の安全スイッチ装置１０では、スイッチ素子２４のオフ能力を定期的に検査する必要がある。このため、スイッチ素子２４．１と２４．２との間の第１の電流路２６．１、およびスイッチ素子２４．３と２４．４との間の第２の電流路２６．２から信号を取り出し、評価制御ユニット１２へ供給する。これを図１Ａでは、部材番号４５で示す２つの矢印で示す。
【００２１】
スイッチ素子のオフ能力の検査は、一方の電流路の両スイッチ素子を短時間オフにし、他方の電流路のスイッチ素子のスイッチ状態を維持しながら行なわれる。一方の電流路のスイッチ素子を短期間オフにすると、スイッチ素子に異常がなければ、検査対象の両スイッチ素子間の電位が変化する。電位変化は評価制御ユニット１２により検出され、個別に評価される。例えば、第１の電流路２６．１のスイッチ素子２４．１が開状態とならない場合、電位は短い検査期（test phase）では変化せず、評価制御ユニット１２はこの状態を異常として検出する。その結果、安全スイッチ装置全体そして負荷４３が直ちにオフにされる。
【００２２】
２つの電流路２６．１、２６．２を設定することで、その何れか一方が検査され、検査期中でも負荷４３に一定のエネルギー供給が保証される。従って、安全スイッチ装置１０では、非常に大きな電流が流れていてもスイッチ素子のオフ能力の検査が可能となる。また、負荷４３が純粋なオーム負荷、または例えば容量性負荷であるかは重要ではない。
図１Ａにさらに、両評価制御ユニット１６Ａ、１６Ｂから駆動装置２０Ａ、２０Ｂ、また逆読みラインから評価制御ユニット１６Ａ、１６Ｂへの接続を破線で示す。これらの接続により、安全スイッチ装置の２チャンル構造が回復する。これらの接続により、各評価制御ユニット１６Ａ、１６Ｂが４つのスイッチ素子２４．１〜２４．４全てを駆動して検査できるようになる。
【００２３】
図１Ｂに安全スイッチ装置１０'を示す。該装置の機能は図１Ａを参照した上述の安全スイッチ装置１０と同等であるので、その詳細な説明は省略する。また、安全スイッチ装置１０'の構築上の構成は上述の安全スイッチ素子１０と相違がない。唯一の相違は、安全スイッチ装置１０'が２つのモジュール５０、５１に分割されている点である。以下安全スイッチモジュールと称するモジュール５０は、駆動装置２０Ａ、２０Ｂと、両電流路２６．１、２６．２に設けられるスイッチ素子２４とを備える。以下評価制御モジュールと称するモジュール５１は、評価制御ユニット１２を備え、該ユニットの制御信号を安全スイッチモジュール５０の入力端子５３へ供給してもよい。安全スイッチ装置１０'を２つの信号モジュール５０、５１に分割することで、自由度が増す。特に、安全スイッチモジュール５０を大電流をスイッチする追加モジュールとしての既存の安全スイッチ装置へ結合することができる。
【００２４】
図２を参照し、安全スイッチモジュール５０の特に好ましい実施例を説明する。しかしながら、ここで示す回路構成は単に例示である。図１Ａを参照して説明した機能を達成するのに、異なる回路構成も考えられる。
図２においては、類似の構成要素には同一の部材番号を付し、その説明は省略する。
単機能ブロック、つまり両駆動装置２０Ａ、２０Ｂおよびスイッチ素子２４．１〜２４．４は破線にて示す。
【００２５】
本実施例では、駆動装置２０Ａは、夫々が各入力信号に対し出力信号を生成する２つの駆動ユニット６１、６２を備え、該出力信号は各オプトカプラ（opto-coupler）６３、６４へ供給される。両オプトカプラ６３、６４の出力は直列接続され、スイッチ素子２４．１を駆動する。このため、スイッチ素子２４．１の制御入力はオプトカプラ６３、６４の出力を介して陽電位に結合される。両オプトカプラ６３、６４の入力へ各制御信号が供給される場合、両オプト・カプラの出力同志が接続され、スイッチ素子２４．１が陽電位を有する駆動信号を受信して、該駆動信号に反応して閉状態となる。これが安全スイッチモジュール５０により負荷４３を通電させる際の通常の作動モードである。
【００２６】
本実施例では、スイッチ素子２４．１は半導体スイッチ素子であり、好ましくは電界効果トランジスタ７１である。
これに対し、同じ電流路２６．１の第２のスイッチ素子２４．２は、電気機械スイッチ素子、好ましくはリレー７３として設けられる。該リレー７３は各駆動ユニット６１、６２により駆動される。リレー７３は駆動装置２０Ｂ自身に対し、ガルバノ電流絶縁（galvanic isolation）を付与するので、オプトカプラ６３、６４を使用しなくてもよい。
【００２７】
しかしながら、いずれの場合も電界効果トランジスタ７１およびリレー７３夫々の起動や駆動は、２つのチャネルを用いて行なわれる。両駆動ユニット６１、６２が各駆動信号を生成するだけの場合、スイッチ素子２４．１、２４．２は閉状態にされる。
評価制御ユニット１２は、電流路のスイッチ素子を短時間オフにしてスイッチ素子２４のオフ能力を検査する。
【００２８】
ＦＥＴ７１とコンタクト７３のオフ能力を検査するには、スイッチ素子２４．１と２４．２との間から信号を取り出し、ライン４５を介してオプトカプラ８３へ供給する。該オプトカプラ８３は逆読み信号を生成し、該信号は評価制御ユニット１２へ供給される。逆読み信号は、ＦＥＴ７１およびコンタクト７３が検査期中にオフとなるか否かを通知するものである。両スイッチ素子７１、７３がオフとなる場合、安全が保証され、オフにならない場合は、ＦＥＴ７１またはコンタクト７３に異常があるので、安全スイッチモジュール５０全体をオフにし負荷４３を安全な状態へ移行させなくてはならない。
【００２９】
第２の電流路２６．２の構成は電流路２６．１の構成に正確に一致しているので、その説明は省略する。よりよい理解のために、例えば両駆動ユニット６１、６２やクロック発生器８１等のように、幾つかの素子は一つの機能ブロックとして一体化されている。また、第２の電流路２６．２では、ＦＥＴ７１とコンタクト２４．２のオフ能力が、駆動信号上の短いオフパルスの変調により発揮される。オプトカプラ８３により各逆読み信号が生成される。
【００３０】
スイッチ素子の検査実施で重要なのは、常に一つの電流路のみを検査して、検査期中でも他の電流路により負荷４３へのエネルギー供給を決して中断しないということである。
図２に示す実施例では、電流路のスイッチ素子は、多様冗長的に形成される。そうすることで、一つの電流路での同一原因による故障が排除される。もちろん、好ましい実施例の他に、電流路に同等のスイッチ素子、特に半導体スイッチ素子や電気機械スイッチ素子等を用いることも可能である。
【００３１】
図３に部材番号５０'で示す安全スイッチモジュールのさらなる実施例を示す。図２に示す安全スイッチモジュール５０との相違は、安全スイッチモジュールの２極での実施例であるということである。つまり、図３に示す様に、負荷４３が２つの安全スイッチモジュール５０間に配される。従って、端子３５と端子３７との接続は、直接形成されるのではなく、両電流路２６．１、２６．２と比較すると逆構成の構造である２つの電流路２６．３、２６．４を介して形成される。しかしながら、その機能は図２を参照にした同図に示す安全スイッチモジュール５０の機能と対応しており、その説明は省略する。
【００３２】
ここでは、２４Ｖで短絡が生じた場合でも、負荷が安全にオフされるという効果がある。
つまり、交互に検査される２つの電流路の発明的設置により、スイッチ素子のオフ能力検査を控えたり、各負荷に適応させなくてはならない複雑な検査回路を設置したりする必要もなく大きな電流のスイッチも可能となる。
【００３３】
発明的回路構成により、負荷のオフ応答時間よりも長い時間でスイッチ素子の中断が可能となる。その結果、作動中にリレーの検査が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１Ａ】第１実施例による安全スイッチ装置の概略図である。
【図１Ｂ】第２実施例による安全スイッチ装置の概略図である。
【図２】単極で実施される本発明の安全スイッチモジュールの概略接続図である。
【図３】２極で実施される本発明の安全スイッチモジュールの概略接続図である。
【図１Ａ】
2005501200.tif 000003
【図１Ｂ】
2005501200.tif 000004
【図２】
2005501200.tif 000005
【図３】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2005501200.tif 000032
2005501200.tif 000033
【国際調査報告】
2005501200.tif 000034
2005501200.tif 000035
2005501200.tif 000036
2005501200.tif 000037