(57)【要約】発明は光学素子プリフォームの特性決定のための方法に向けられる。これを達成するため、発明はブールまたは光学素子プリフォーム内の屈折率分布の３次元マップを提供する。屈折率分布の３次元マップにより、光学素子製造業者が光学素子の性能をさらに高い確度で予測することが可能になる。３次元マップにより、光学素子製造業者が光学素子抜出し時にプリフォームの最良の方位を決定することも可能になる。
2005507999.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材の特性を表すデータを含むデータ構造が格納されているコンピュータ読出可能な媒体において、前記データ構造が、
前記光学部材の３次元マップに対応する情報を収める少なくとも１つのフィールドであって、前記マップが前記光学部材の複数の内部領域でとられた複数の屈折率測定値を含むものであるフィールドを有してなる、
ことを特徴とする媒体。
【請求項２】
前記情報が前記光学部材から抜き出された試験片の複数の屈折率測定値を含み、前記複数の屈折率測定値が前記光学部材の半径軸及び前記半径軸に垂直な軸により形成される断面領域に垂直な複数の領域でとられていることを特徴とする請求項１に記載の媒体。
【請求項３】
前記少なくとも１つのフィールドが前記光学部材を識別するフィールドを含み、前記フィールドは前記光学部材の均一性マップを含むことを特徴とする請求項１に記載の媒体。
【請求項４】
光学部材の特性を決定する方法を実施するためのコンピュータ実行可能な命令を有するコンピュータ読出可能な媒体において、前記方法が、
前記光学部材の複数の内部領域でとられた複数の屈折率測定値に対応する情報を提供する工程、及び
前記情報を前記光学部材の３次元マップに変換する工程であって、前記３次元マップが前記光学部材の内部全体にわたって分布する複数の屈折率値を含むものである工程、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項５】
前記提供する工程が、
前記光学部材から半径方位試験片を抜き出す工程であって、前記試験片が前記光学部材の半径軸及び前記半径軸に垂直な軸により形成される平面に断面領域を有するものである工程、及び
前記断面領域内の複数の領域で前記試験片の複数の屈折率測定値をとる工程、
をさらに含むことを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
指定された屈折率値に対応する屈折率値を有する前記光学部材の領域の位置を特定するために前記マップを用いる工程、及び
指定された屈折率値に対応する屈折率値を有する光学素子ブランクを形成するために前記領域を抜き出す工程、
をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
光学素子ブランクを提供する工程、及び
前記光学素子ブランクの３次元屈折率マップに対応する情報を提供する工程、
をさらに含むことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項８】
指定された屈折率特性を有する光学素子を作成するための方法において、前記光学素子は半径軸及び前記半径軸に垂直な軸からなる次元上で特性決定されるブールから得られるものであり、前記方法が、
前記ブールから半径方位試験片を抜き出す工程であって、前記試験片が前記半径軸及び前記半径軸に垂直な前記軸で形成される平面に断面領域を有するものである工程、
前記断面領域内の複数の領域で前記試験片の複数の屈折率測定値をとる工程、及び
前記複数の屈折率測定値を前記ブールの３次元マップに変換する工程であって、前記３次元マップが前記ブールの内部全体にわたって分布する複数の計算された屈折率値を含むものである工程、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項９】
前記ブールの均一性マップを作成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記半径軸上の複数の点において前記計算された屈折率値を前記垂直な軸に沿って積分し、よって計算された２次元値の計算された２次元マップを作成する工程、
前記複数の屈折率値を用いて、測定された２次元マップを作成する工程、
前記計算された２次元値の前記複数の屈折率測定値の内の対応する測定値からの差をとって、差値を生成する工程、及び
前記差値を前記垂直な軸に沿って分布させて、前記ブールの全体にわたって分布する屈折率値の擬３次元マップを作成する工程、
をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
光学素子ブランクを提供する工程、及び
前記光学素子ブランクの３次元屈折率マップに対応する情報を提供する工程、
をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記ブールから光学素子ブランクを抜き出す工程であって、前記光学素子ブランクが前記指定された屈折率特性に実質的に一致する計算された屈折率値を有する前記ブールの領域からとられるものである工程をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１３】
あらかじめ定められた仕様に対応する前記ブールの領域を識別するために、前記３次元マップを利用する工程をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１４】
あらかじめ定められた屈折率特性を有する光学素子に対する受注を処理するための方法において、前記方法が、
ブールの複数の内部領域で複数の屈折率測定値をとる工程、
前記複数の屈折率測定値を前記ブールの３次元マップに変換する工程であって、前記３次元マップが前記ブールの内部全体にわたって分布する複数の屈折率値を含むものである工程、及び
前記３次元マップに対応する情報を提供する工程、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１５】
あらかじめ定められた屈折率特性を有する光学素子を作成するための方法において、前記光学素子は半径軸及び前記半径軸に垂直な軸からなる次元上で特性決定されるブールから得られるものであり、前記方法が、
前記ブールを測定治具に配置する工程、
前記ブールと前記測定治具の間に形成される界面空隙に屈折率整合液を配する工程であって、前記屈折率整合液が、前記測定治具の屈折率と実質的に等しい、あらかじめ定められた屈折率を有するものである工程、
前記測定治具を通して前記ブール内に光を向けることにより前記ブールの屈折率測定値を少なくとも１セットとる工程であって、前記光が前記半径軸及び前記半径軸に垂直な前記軸で形成される平面に垂直な方向に向けられるものである工程、及び
屈折率測定値の前記セットを前記ブールの３次元マップに変換する工程であって、前記３次元マップが前記ブールの内部全体にわたって分布する複数の計算された屈折率値を含むものである工程、
を含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は全般的には光学素子プリフォームの製造に関し、特に、指定された屈折率特性にしたがう光学素子プリフォームの製造に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの最小線幅とそのようなデバイスの製造に用いられるフォトリソグラフィシステムの解像度の間には正の相関がある。一般に、フォトリソグラフィシステムは、レンズを用いて回路の像を半導体基板上に投影する投影光学系を備える。そのようなレンズの枢要なパラメータの１つは、レンズ素子の屈折率均一性である。したがって、特定のレンズの作成に用いられるであろう光学素子プリフォームの屈折率均一性を顧客が指定することが多い。製造時に、光学素子プリフォームはブールとして知られるより大きな光学部材から抜き出される。
【０００３】
一手法においては、標準ブール検査（ＳＢＴ）が石英ガラスブールの屈折率特性を評価するために行われる。この方法において、検査下にあるブールは、ブールの屈折率変動の測定に用いられる干渉計レーザ光に対して透明につくられなければならない。オイルオンフラット（ＯＯＦ）法が透明性を与えるための一方法である。この方法では、ブールが２枚の研磨フラットの間に挟み込まれて、ブールフラット界面に屈折率整合液が配される。ＳＢＴを行う別の方法は、研磨均一性法すなわちシュワイダー（Schwider）法を用いることである。残念ながら、ＳＢＴには重大な欠点がある。
【０００４】
基準として直交座標系を用いていれば、それぞれのブールは３次元屈折率分布ｎ（ｘ,ｙ,ｚ）を有する。ＳＢＴではｘ-ｙ平面での屈折率変動しか得られず、したがってＳＢＴでは２次元屈折率分布ｎ（ｘ,ｙ）が得られる。２次元ＳＢＴマップで与えられる（ｘ,ｙ）点屈折率値はブールの厚さ（ｚ軸）全体の平均を表す。しかし、レンズ製造業者は一般に、ブールから切り出された光学素子プリフォームから光学素子を製造するので、ｚ軸に沿う平均値では不適当である。さらに、レンズの開口数は一般に高い。この結果、光学素子製造業者は製造される光学素子の性能を、ＳＢＴで与えられる情報を用いて、十分な確度で予測することはできない。さらに、製造業者は、最適な性能を得るためにプリフォームの切出し方位をいずれに定めるべきかを決定することができない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
必要とされているのは、光学素子プリフォームまたはブールの屈折率分布の明確な３次元マップを提供するための方法である。屈折率分布の３次元マップにより、光学素子製造業者が光学素子の性能をさらに高い確度で予測することが可能になるであろう。屈折率分布の３次元マップにより、光学素子製造業者が光学素子の切出し時にプリフォームの最良の方位を決定することも可能になるであろう。例えばレンズがメニスカス形、平凸形または平凹形に切り出されることになる場合に、３次元屈折率変動の知識により、不均一性が最も高いプリフォーム領域を切り除けるように、レンズメーカーがプリフォームの方位を定めることが可能になるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、光学素子プリフォームまたはブールの屈折率分布の３次元マップを提供する。本発明にしたがう屈折率分布の３次元マップにより、光学素子製造業者が光学素子の性能をさらに高い確度で予測することが可能になる。本発明にしたがう３次元マップにより、光学素子製造業者が光学素子の切出し時にプリフォームの最良の方位を決定することも可能になる。
【０００７】
本発明の一態様はデータ構造が格納されたコンピュータ読出可能な媒体である。データ構造は光学部材の特性を表すデータを含む。データ構造は、光学部材の３次元マップに対応する情報を収める、少なくとも１つのフィールドを含む。３次元マップは光学部材の複数の内部領域でとられた複数の屈折率測定値を含む。
【０００８】
別の態様において、本発明は光学部材の特性決定のための方法を実施するためのコンピュータ実行可能な命令を有するコンピュータ読出可能な媒体を含む。本方法は光学部材の複数の内部領域でとられた複数の屈折率測定値に対応する情報を提供する工程を有する。情報は光学部材の３次元マップに変換される。３次元マップは光学部材の内部全体にわたって分布する複数の屈折率値を含む。
【０００９】
別の態様において、本発明は指定された屈折率特性を有する光学素子を作成するための方法を含む。光学素子は半径軸及び半径軸に垂直な軸からなる次元上で特性決定されるブールから得られる。本方法はブールから半径方位試験片を抜き出す工程を含む。試験片の断面領域は半径軸及び半径軸に垂直な軸により形成される平面にある。断面領域内の複数の領域で試験片の複数の屈折率測定値がとられる。複数の屈折率測定値はブールの３次元マップに変換される。３次元マップはブールの内部全体にわたって分布する複数の計算された屈折率値を含む。光学素子ブランクがブールから抜き出される。光学素子ブランクは指定された屈折率特性に実質的に一致する計算された屈折率を有するブール領域からとられる。
【００１０】
別の態様において、本発明はあらかじめ定められた屈折率特性を有する光学素子に対する受注を処理するための方法を含む。本方法はブールの複数の内部領域で複数の屈折率測定値をとる工程を含む。複数の屈折率測定値はブールの３次元マップに変換される。３次元マップは光学部材の内部全体にわたって分布する複数の屈折率値を含む。３次元マップに対応する情報が提供される。
【００１１】
別の態様において、本発明はあらかじめ定められた屈折率特性を有する光学素子を作成するための方法を含む。光学素子は半径軸及び半径軸に垂直な軸からなる次元上で特性決定されるブールから得られる。本方法は測定治具にブールを配置する工程を含む。屈折率整合液がブールと測定治具の間に形成される界面空隙に配される。屈折率整合液は、測定治具の屈折率に実質的に等しい、あらかじめ定められた屈折率を有する。測定治具を通して光をブール内に向けることにより、少なくとも１セットの、ブールの屈折率測定値がとられる。光は半径軸及び半径軸に垂直な軸で形成される平面に垂直な方向に向けられる。前記セットの屈折率測定値がブールの３次元マップに変換される。３次元マップはブールの内部全体にわたって分布する複数の計算された屈折率値を含む。光学素子ブランクがブールから抜き出される。光学素子ブランクはあらかじめ定められた屈折率特性に実質的に一致する計算された屈折率値を有するブール領域からとられる。
【００１２】
本発明のさらなる特徴及び利点は、以下の詳細な説明に述べられ、また当業者にはある程度は詳細な説明から容易に明らかであるかまたは以下の詳細な説明、特許請求の範囲、添付図面も含む、本明細書に説明されるように本発明を実施することにより認められるであろう。
【００１３】
上記の全般的な説明及び以下の詳細な説明が本発明の例示に過ぎず、特許請求される本発明の性質及び特徴を理解するための概観または枠組みの提供が目的とされていることは当然である。添付図面は本発明のさらなる理解を提供するために含められ、本明細書に組み入れられて、本明細書の一部をなす。図面は本発明の様々な実施形態を示し、記述とともに本発明の原理及び動作の説明に役立つ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
その例が添付図面に示される、本発明の現在の例示的な実施形態がここで詳細に参照される。可能であれば必ず、図面を通して、同じ参照数字が同じかまたは同様の要素を指すために用いられる。光学素子プリフォームの特性決定のための方法を実施するための装置の例示的実施形態が図２に示され、全体として参照数字１０で指定される。
【００１５】
本発明にしたがえば、光学素子プリフォームの特性決定のための方法に関する本発明はデータ構造が格納されたコンピュータ読出可能な媒体を含む。データ構造は光学部材の特性を表すデータを含む。データ構造は、光学部材の３次元マップに対応する情報を収める、少なくとも１つのフィールドを含む。３次元マップは光学部材の複数の内部領域でとられた複数の屈折率測定値を含む。すなわち、本発明はブール及び／または光学素子プリフォームの屈折率分布の３次元マップを提供する。本発明にしたがう屈折率分布の３次元マップにより、光学素子製造業者が光学素子の性能をさらに高い確度で予測することが可能になる。本発明にしたがう３次元マップにより、光学素子製造業者が光学素子抜き出し時にプリフォームの最良の方位を決定することも可能になる。３次元屈折率データは、ブール品質特性を評価するためにも、顧客の仕様に基づくブール領域を抜き出すための最良の領域を評価するためにも、用いられる。これにより、ブール領域の抜き出し前の先行品質認定が可能になる。これにより、時間、材料、したがって費用が節約される。
【００１６】
本明細書で具現化され、図１に示されるように、ブール１及び本発明の第１の実施形態にしたがう光学素子プリフォームの特性決定のための方法に用いられる半径方位試験片１００の透視図が開示される。本方法の第１工程には、ブール１からの半径方位試験片１００の抜出しが必要である。抜き出された半径方位試験片１００の厚さは５０〜６０ｍｍ程度である。半径方位試験片１００は、試験片１００の断面領域と共面の測定表面１０２を有する。断面領域は半径軸（ｒ軸）及び半径軸に垂直なｚ軸で定められる。測定表面１０２は、研削及び研磨のような方法を用いて表面１０２の光学仕上げを行うことにより、作成される。半径方位試験片１００は、図１に示されるように、干渉計法でｗ軸方向に測定される。ピクセル領域１０４のアレイが測定され、それぞれの測定により屈折率値が得られる。ピクセル領域の間隔は干渉計のＣＣＤカメラの密度に依存する（図２参照）。一実施形態において、間隔はほぼ０.６ｍｍ/ピクセルである。このデータはブールの屈折率変動の３次元マップの計算に用いられる。本発明の枢要な態様の１つは実質的に回転対称なブール１の実現である。回転対称であれば、表面１０２の２次元マップにおける屈折率値を角θｉで定められる様々な半径位置に複写することができ、よって表面１０２の２次元マップをブール全体の３次元マップに変換することができる。
【００１７】
火炎加水分解プロセスを用いて作成された石英ガラスブールが例として示されているが、当業者であればブール１を適するいかなるタイプの回転対称材料とすることも可能であることを認めるであろう。したがって、ドープト石英ガラスまたはフッ化カルシウムも用いることができる。一般に、石英ガラスブール１の直径は約１.５ｍであり、厚さは１２〜２０ｃｍの範囲にある。工業的実施形態によれば、複数の光学素子ブランクがそのようなブールから切り出される。光学素子ブランクはレンズ及びプリズムのような光学素子の作成に用いられる。一応用例において、レンズはフォトリソグラフィシステムの投影光学系及び照明光学系に用いられる。その他の材料をブール１の作成に用い得ることも当業者には明らかであろう。
【００１８】
本明細書で具現化され、図２に示されるように、本発明の第１の実施形態にしたがう光学素子プリフォームの特性決定のための装置１０のブロック図が開示される。装置１０はコンピュータ３０に接続された位相測定干渉計２０を備える。コンピュータ３０はネットワーク４０に接続される。したがって、３次元マップ作成情報をネットワーク４０を介していかなる遠隔サイト５０または顧客所在地６０にも送信することができ、あるいはデータベース７０のようなデータ格納所に送信することができる。
【００１９】
ペンティアムプロセッサを備えるパーソナルコンピュータが例として示されるが、コンピュータ３０は適当な任意のタイプとすることができる。別の実施形態において、コンピュータ３０はＬＡＮを介してサーバとネットワーク化される。コンピュータ３０は電子メモリ、ハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスクドライブ３００及びコンパクトディスク装置３０２を備える。コンピュータ３０は３次元マップ作成情報を電子メモリ内、ハードディスク上または「フロッピー」ディスク上に格納するようにプログラムされる。３次元マップ作成情報は装置３０２にあるコンパクトディスクに書き込むこともできる。マップ作成情報が格納された「フロッピー」ディスクまたはコンパクトディスクを急送業者、宅配サービスまたはその他の何らかの手段により顧客に配達できることは明らかである。
【００２０】
インターネットが例として示されているが、当業者であればネットワーク４０を任意の適当なタイプとし得ることを認めるであろう。当業者であればモデムにより公衆電話交換ネットワーク（ＰＳＴＮ）を通じて３次元マップ作成情報を送信できることも認めるであろう。ネットワーク４０はローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、パーソナルエリアネットワーク（ＰＡＮ）、無線ネットワークまたはパケット交換ネットワークを用いて実施することもできる。
【００２１】
例として、干渉計２０はビームスプリッタ２０４に光結合されているレーザ光源２００を備えるが、当業者であれば現在市販されている多種多様な干渉計構成を本発明に用い得ることを認めるであろう。ビームスプリッタ２０４は半径方位試験片１００に光結合され、半径方位試験片１００は架台ミラー２０８に結合される。上で論じたように、半径方位試験片１００はレーザ２００に対して透明につくられていなければならない。これはそれぞれの表面の界面に屈折率整合液を与えながら半径方位試験片１００を２枚の研磨フラット（２１０，２１２）の間に挟み込むことで達成される。半径方位試験片１００を研磨することで透明性が保証されれば、研磨均一性（ＰＨＯＭ）法すなわちシュワイダー法も同様に用いることができる。ビームスプリッタ２０４は基準ミラー２０６及び検出器２０２にも結合される。検出器２０２は上で説明したようにＣＣＤカメラを備える。
【００２２】
動作において、レーザ２００は光信号Ｌｓをビームスプリッタ２０４に向ける。光信号Ｌｓは、基準ミラー２０６及び架台ミラー２０８に載せられた半径方位試験片１００に向けられる、２本のビームに分けられる。最終的に、両ビームは再結合され、検出器２０２に向けられる。再結合した光ビームは検出器２０２のＣＣＤカメラで捕えられる縞模様をつくる。光路長及び半径方位試験片１００の厚さはいずれも、特定の干渉パターンの間の基準縞の数及び位置を評価することによる、基準面２０６の位相シフトを含む多数の測定値を評価することによって決定することができる。干渉計及び表面誤差の補正後、与えられた測定値に対して屈折率変動が公式Δｎ＝（ＯＰＬ/Ｔｈ）を用いて計算される。ここで、ＯＰＬ及びＴｈはそれぞれ、与えられた測定位置における、光路長差及び半径方位試験片１００の厚さである。
【００２３】
コンピュータ３０は、基準縞を評価し、上述の計算を行うようにプログラムされる。コンピュータ３０は、それぞれの測定値に対する計算結果を格納し、表面１０２（図１参照）の２次元マップをつくる。上述したように、本発明の枢要な態様の１つは実質的に回転対称な石英ガラスブールの実現である。回転対称であることを前提として、コンピュータ３０は、擬３次元マップをつくるために、表面１０２の２次元マップに属する屈折率値を複写するようにプログラムされる。したがって、生成された３次元マップを用いれば、ブール１から抜き出される可能性をもつ領域の性能をさらに高い確度で予測することができる。擬３次元マップの生成は以下でより十分に説明される。
【００２４】
本明細書で具現化され、図３に示されるように、図１に示される半径方位試験片１００の測定されたｚ軸プロファイル対計算されたｚ軸プロファイルを示すグラフが開示される。図３に示されるように、測定されたｚ軸屈折率変動は、擬３次元マップ作成データを用いて計算されたｚ軸変動と（測定誤差の範囲内で）ほとんど同じである。図４のグラフの横軸は、最大ブール半径で原点からの半径方向距離を割ることにより得られた、正規化半径である。ブールの三次元屈折率変動は以下の式を用いて計算される。初めに、測定されたｗ軸データを用いて、下式（１）：
【数１】
2005507999.tif 000003
【００２５】
により半径方向屈折率値が計算される。ここでｒはブールの径座標、ｘ及びｙはｗ軸屈折率データの位置（図１参照）、ｎ１は計算されたｚ軸屈折率値、ｎｗは測定されたｗ軸屈折率値である。次いでｚ軸対称ブールの長方形屈折率マップが式（２）：
【数２】
2005507999.tif 000004
【００２６】
を用いて計算される。ここでｘ＝ｒｃｏｓθ，ｙ＝ｒｓｉｎθである。ｘ及びｙはブールｚ軸データの直交座標であり、ｒ及びθはブールｚ軸データの極座標である。ブール屈折率マップはｗ軸屈折率データ行列を用いて生成される。領域選択及び抜出しのためのブールの部分開口を評価するため、ｗ軸データの領域が選択され、上式（１）の二重積分に適切な上限及び下限を与えることによりｚ軸プロファイルが生成される。
【００２７】
本発明の別の顕著な特徴において、上述したプロセスは面（ｒ,θ）でブール１の屈折率を測定することによりさらに精密になる。２次元均一性マップがつくられて、擬３次元マップから得られた計算値と比較される。続いて、面（ｒ,θ）における擬３次元マップ値と２次元均一性マップからの測定値の間の差が計算される。この差値が完全な回転対称からの逸脱を表す不均一性分布を形成する。この差値はブールの厚さ全体にわたって一様に分布して、ブールの、新しい、改善された３次元マップをつくる。上記の付加工程は、ブールが完全には回転対称でないために行われる。上述した精密化工程は、抜き出された後の光学素子プリフォームについて行うこともできる。
【００２８】
本明細書に具現化され、図４に示されるように、ブール１からの光学素子プリフォーム４００の抜き出しを示すブロック図が開示される。上述したように、本発明はブール１及び光学素子プリフォーム４００の屈折率分布の３次元マップを提供する。ブール１及び光学素子プリフォーム４００の屈折率変動が既知であるから、光学素子製造業者は光学素子の性能を高められた確度で予測できる。さらに、３次元マップにより、素子抜出し時にプリフォーム（４０２，４０４）の最良の方位を光学素子製造業者が決定することが可能になる。レンズが、メニスカス形、平凸形または平凹形に削り出されることになる場合に、３次元屈折率変動の知識により、最も不均一性の高いプリフォーム領域が切り除かれるようにレンズメーカーがプリフォームの方位を定めることが可能になる。
【００２９】
本明細書に具現化され、図５に示されるように、本発明の第２の実施形態にしたがう光学素子プリフォームの特性決定のための装置のブロック図が開示される。本実施形態は最終光学素子プリフォームと実質的に同じ寸法の親プリフォームの３次元マップをつくるために用いられる。また、フォトリソグラフィシステムの特定のレンズに用いられる光学素子プリフォームの多くは、軸に合せて抜き出される。したがって、そのような状況では半径方位試験片を抜き出すことができない。測定装置６００は、測定治具６０４に配されたブール１または親プリフォームを備える。治具６０４とブール１の間の界面空隙は治具６０４の屈折率に一致する屈折率整合液で満たされる。上述したように、治具及び屈折率整合液の機能はブール１を干渉計レーザ光に対して透明にすることである。本発明の一実施形態において、治具６０４はプレートに親プリフォームとほぼ同じ寸法をもつ中央内腔をつくることにより作成される。少なくとも１セットの測定値をプリフォーム直径とｚ軸で形成される断面平面でとることにより、ｚ軸に沿って測定値がとられる。多数の断面平面が測定されるようにプリフォームを回転させることにより、多数の測定値が得られることが好ましい。次いで、さらに高い確度を得るために多数のセットのデータが平均される。多数の測定値セットが得られていれば、３次元マップ値の計算において回転対称を仮定する必要はほとんどない。
【００３０】
本明細書に具現化され、図６に示されるように、本発明の第２の実施形態にしたがう光学素子プリフォームの特性決定のための別の装置のブロック図が開示される。装置７００はタンク７０２に浸漬されたプリフォーム１を備える。干渉計のレーザ光ビームが窓７０４を通して向けられる。タンク７０２は屈折率整合液７０６で満たされる。上述した光学透明性を与えるため、屈折率整合液７０６の屈折率を窓７０４の屈折率に一致させる。
【００３１】
当業者であれば、石英ガラスプリフォーム及びほたる石結晶の製造、及びその他の材料を用いるインゴットプロセスに、上述のプロセスを用い得ることを認めるであろう。
【００３２】
本発明の精神及び範囲を逸脱することなく本発明に様々な改変及び変形がなされ得ることが当業者には明らかであろう。したがって、本発明の改変及び変形が添付される特許請求項及びそれらの等価物の範囲内に入れば、本発明はそれらの改変及び変形を包含するとされる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】ブール及び本発明の第１の実施形態にしたがう光学素子プリフォームの特性決定のための方法に用いられる半径方位試験片の斜視図である
【図２】本発明の第１の実施形態にしたがう光学素子プリフォームの特性決定のための装置のブロック図である
【図３】図１に示される半径方位試験片の、測定されたｚ軸プロファイル対計算されたｚ軸プロファイルを示すグラフである
【図４】図１に示されるブールからの光学素子プリフォームの抜き出しを示すブロック図である
【図５】本発明の第２の実施形態にしたがう光学素子プリフォームの特性決定のための装置のブロック図である
【図６】本発明の第２の実施形態にしたがう光学素子プリフォームの特性決定のための別の装置のブロック図である
【符号の説明】
【００３４】
１    ブール
１０    特性決定法実施装置
１００    半径方位試験片
１０２    測定表面
１０４    ピクセル領域
４００，４０２，４０４    プリフォーム
６０４    測定治具
【図１】
2005507999.tif 000005
【図２】
2005507999.tif 000006
【図３】
2005507999.tif 000007
【図４】
2005507999.tif 000008
【図５】
2005507999.tif 000009
【国際公開パンフレット】
2005507999.tif 000010
2005507999.tif 000011
2005507999.tif 000012
2005507999.tif 000013
2005507999.tif 000014
2005507999.tif 000015
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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