(57)【要約】【課題】簡略化したシステム構成のための方法および装置【解決手段】幾つかの処理ツール、幾つかの処理モジュール、幾つかのセンサ、幾つかの処理モデル、およびアラーム管理システムを含み、半導体プロセスシステムを構成し初期化するＧＵＩが提供される。グラフィカル表示は、全ての重要なパラメータが明確かつ論理的に表示され、ユーザが所望の構成、初期化およびトラブルシューティングタスクを可能な限り少ない入力で行えるよう組織化されている。ＧＵＩはウェブベースであり、ウェブブラウザを使用するユーザによって見られる。
2005524229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）スクリーンの１組を有し、半導体プロセスシステムを管理する高度プロセス制御（ＡＰＣ）システムであって、このＧＵＩスクリーンの１組は、
安全な入口点を提供するウェブベースのログオンスクリーンと、
前記半導体プロセスシステムにおいて幾つかの処理ツールを構成し、前記ログオンスクリーンからアクセス可能な少なくとも１つのシステム構成スクリーンと、
処理ツールに結合される処理モジュールを構成する少なくとも１つのモジュール構成ＧＵＩスクリーンと、
処理ツールに結合されるセンサを構成する少なくとも１つのセンサ構成ＧＵＩスクリーンと、
前記処理ツールに結合されるアラーム管理システムを構成する少なくとも１つのアラーム構成スクリーンとを具備するＡＰＣシステム。
【請求項２】
前記複数のシステム構成スクリーンは、ツール構成スクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項３】
前記ツール構成スクリーンは、ツール名フィールド、ＩＰアドレスフィールド、およびツール開始選択部分を有する請求項２に記載のＡＰＣシステム。
【請求項４】
前記複数のシステム構成スクリーンは、プローブ構成スクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項５】
前記プローブ構成スクリーンは、電圧／電流（Ｖ／Ｉ）プローブを構成する部分を有する請求項４に記載のＡＰＣシステム。
【請求項６】
前記プローブ構成スクリーンは、発光分光法（ＯＥＳ）プローブを構成する部分を有する請求項４に記載のＡＰＣシステム。
【請求項７】
前記少なくとも１つのモジュール構成スクリーンは、モジュール選択スクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項８】
前記モジュール選択スクリーンは、モジュール情報フィールド、ツール情報フィールド、モジュールＩＤ情報フィールド、およびモジュールステータス選択部分を有する請求項７に記載のＡＰＣシステム。
【請求項９】
前記少なくとも１つのモジュール構成スクリーンは、モジュール情報スクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１０】
前記モジュール情報スクリーンは、メンテナンスカウンタ選択部分を有する請求項９に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１１】
前記モジュール情報スクリーンは、ガスパラメータ選択部分を有する請求項９に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１２】
前記少なくとも１つのモジュール構成スクリーンは、モジュールポーズ構成スクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１３】
前記モジュールポーズ構成スクリーンは、モジュール情報フィールド、ツール情報フィールド、モジュールタイプ情報フィールド、およびポーズエラーメッセージフィールドを有する請求項１２に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１４】
前記少なくとも１つのセンサ構成スクリーンは、センサタイプ選択スクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１５】
前記センサタイプ選択スクリーンは、センサタイプ情報フィールド、センサ情報フィールド、およびヘルプ選択部分を有する請求項１４に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１６】
前記少なくとも１つのセンサ構成スクリーンは、センサ選択スクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１７】
前記センサ選択スクリーンは、センサタイプ情報フィールド、ツール情報フィールド、モジュールＩＤ情報フィールド、およびセンサステータス選択部分を有する請求項１６に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１８】
前記アラーム管理システムを構成する前記少なくとも１つのアラーム構成スクリーンは、アラーム構成スクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１９】
前記アラーム構成スクリーンは、ツール情報フィールド、ソース情報フィールド、アラーム情報フィールド、および通知情報フィールドを有する請求項１８に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２０】
前記ＡＰＣＧＵＩスクリーンの組は、英語スクリーン、日本語スクリーン、中国語スクリーン、韓国語スクリーン、ドイツ語スクリーン、およびフランス語スクリーンからなる群から選択される少なくとも１つのスクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２１】
前記ＡＰＣＧＵＩスクリーンの組は、左から右へのタブ、右から左へのタブ、上から下へのタブ、下から上へのタブからなる群から選択される選択タブを備える少なくとも１つのスクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２２】
前記ＡＰＣＧＵＩスクリーンの組は、バージョン情報を表示する企業ロゴブロック、現在のユーザのＩＤを表示するユーザＩＤブロック、アクティブアラームがあるときにメッセージを表示するアラームメッセージブロック、サーバの現在の日付および時間を表示する現在の日付および時間ブロック、現在のスクリーンの名前を表示する現在のスクリーン名ブロック、サーバとツールとの間の通信リンクに対する現在のステータスを表示する通信ステータスブロックと、モニタリングされているツールのＩＤを表示するツールＩＤブロックと、ユーザがログオフすることを可能にするログオフブロックと、を備えるタイトルパネルを有する少なくとも１つのスクリーンを有する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２３】
前記ＡＰＣＧＵＩスクリーンの組は、スクリーンの下部に沿って複数のボタンを有するコントロールパネルを有する少なくとも１つのスクリーンを備え、このボタンによりユーザは、ツールステータススクリーン、処理モジュールスクリーン、チャートスクリーン、アラームログスクリーン、ＳＰＣスクリーン、データセットアップスクリーンおよびヘルプスクリーンを表示することができる、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２４】
前記半導体プロセスシステムに結合されるＡＰＣサーバをさらに具備する請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２５】
前記ＡＰＣサーバに結合される複数のクライアントベースのターミナルをさらに具備し、少なくとも１つのクライアントベースのターミナルは、処理ツールを構成するＧＵＩおよびこの処理ツールに結合される処理モジュールを構成するＧＵＩを有する請求項２４に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２６】
前記ツール構成スクリーンは、エッチングツール、堆積ツール、拡散ツール、洗浄ツール、移送ツール、測定ツール、および積み用ツールからなる群から選択されるツール用の構成スクリーンを有する請求項２に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２７】
グラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）スクリーンの組を備える高度プロセス制御（ＡＰＣ）システムを用いて半導体プロセスシステムを構成する方法であって、
ウェブベースのログオンスクリーンを用いてシステム構成スクリーンにアクセスする工程と、
少なくとも１つのシステム構成ＧＵＩスクリーンを用いて少なくとも１つの処理ツールを構成する工程と、
少なくとも１つのモジュール構成ＧＵＩスクリーンを用いて前記少なくとも１つの処理ツールに結合される少なくとも１つの処理モジュールを構成する工程と、
少なくとも１つのセンサ構成ＧＵＩスクリーンを用いて前記少なくとも１つの処理ツールに結合される少なくとも１つのセンサを構成する工程と、
少なくとも１つのアラーム構成ＧＵＩスクリーンを用いて前記半導体プロセスシステムに結合される少なくとも１つのアラーム管理システムを構成する工程とを具備する方法。
【請求項２８】
ツール構成スクリーンを用いて前記少なくとも１つの処理ツールを構成することをさらに具備し、このツール構成スクリーンは、ツール名フィールド、ＩＰアドレスフィールド、およびツール開始選択部分を有する請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
プローブ構成スクリーンを用いて電圧／電流（Ｖ／Ｉ）プローブを構成することをさらに具備する請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
プローブ構成スクリーンを用いて発光分光法（ＯＥＳ）プローブを構成することをさらに具備する請求項２７に記載の方法。
【請求項３１】
モジュール選択スクリーンを用いて前記少なくとも１つの処理モジュールを構成することをさらに具備し、このモジュール選択スクリーンは、モジュール情報フィールド、ツール情報フィールド、モジュールＩＤ情報フィールド、およびモジュールステータス選択部分を有する請求項２７に記載の方法。
【請求項３２】
モジュール情報スクリーンを用いて前記少なくとも１つの処理モジュールを構成することをさらに具備し、このモジュール情報スクリーンは、メンテナンスカウンタ選択部分を有する請求項２７に記載の方法。
【請求項３３】
モジュール情報スクリーンを用いて前記少なくとも１つの処理モジュールを構成することをさらに具備し、このモジュール情報スクリーンは、ガスパラメータ選択部分を有する請求項２７に記載の方法。
【請求項３４】
モジュールポーズ構成スクリーンを用いて前記少なくとも１つの処理モジュールを構成することをさらに具備し、このモジュールポーズ構成スクリーンは、モジュール情報フィールド、ツール情報フィールド、モジュールタイプ情報フィールド、およびポーズエラーメッセージフィールドを有する請求項２７に記載の方法。
【請求項３５】
センサタイプ選択スクリーンを用いて前記少なくとも１つのセンサを構成することをさらに具備し、このセンサタイプ選択スクリーンは、センサタイプ情報フィールド、センサ情報フィールド、およびヘルプ選択部分を有する請求項２７に記載の方法。
【請求項３６】
センサ選択スクリーンを用いて少なくとも１つのセンサを構成することをさらに具備し、このセンサ選択スクリーンは、センサタイプ情報フィールド、ツール情報フィールド、モジュールＩＤ情報フィールド、およびセンサステータス選択部分を有する請求項２７に記載の方法。
【請求項３７】
アラーム構成スクリーンを用いて前記少なくとも１つのアラーム管理システムを構成することをさらに具備し、このアラーム構成スクリーンは、ツール情報フィールド、ソース情報フィールド、アラーム情報フィールド、および通知情報フィールドを有する請求項２７に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本願は、２００２年４月２３日に出願された米国仮特許出願第６０／３７４，４８６号に基づき、その恩恵を受け、その内容が参照によりここに組み込まれる。
【０００２】
本願は、２００２年３月２９日に出願された「状態との相互作用のための方法および制御装置（Method For Interaction With Status and Control Apparatus）」なる名称の米国仮特許出願第６０／３６８，１６２号に関わり、その内容が参照によりここに組み込まれる。
【０００３】
本発明は、半導体プロセスシステムに係わり、特に、システム構成を簡略化するためにグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を用いる半導体プロセスシステムに関わる。
【背景技術】
【０００４】
新しい半導体装置を開発し、新しい製造プラントを建てるコストと速さは常に増加している。新しい半導体装置の製品化までの時間は、企業の収益と成功にとって重要である。消費者は、最新の製品およびサービスを世界中でいち早く望んでいる。新しい機械および処理を迅速にインストールする必要性は、半導体装置市場における迅速な移行および変更を満たすために重要である。半導体製造設備も何百もの複雑な製造処理および機械を管理し制御する課題に直面している。その一方で、半導体製造設備は、消費者の満足を満たすために比較的短期間で開発され実行されるべき装置および処理で大きな変更を可能にしなくてはならない。
【０００５】
製造処理を制御、モニタリング、および初期化するためにコンピュータが一般的に使用される。再入可能なウェハの流れ、重要な処理工程、および、処理のメンテナンスなど半導体製造工場における複雑性のため、コンピュータがこれらの動作に理想的である。様々な入出力（Ｉ／Ｏ）装置が処理の流れ、ウェハの状態、およびメンテナンスのスケジュールを制御しモニタリングするために用いられる。エッチングのような重要な動作からバッチ処理および検査までの複雑な工程を終えるために様々なツールが半導体製造プラントには存在する。多くのツールインストールは、インストールソフトウェアを含む制御コンピュータのグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）の一部である表示スクリーンを用いて実現される。半導体プロセスツールのインストールは、時間のかかる処理である。ツールの非効率的なセットアップは設備の不稼働時間を結果として生じさせ、全体的な運転費を増加させる。
【０００６】
半導体プロセス設備は、常にモニタリングされる必要がある。プロセス状況は重要なプロセスパラメータにおける僅かな変化で時間とともに変化し、望ましくない結果をもたらす。小さい変化が、エッチングガスの組成または圧力、処理モジュール、または、ウェハの温度において容易に生ずる。多くの場合、プロセス特性の劣化を反映するプロセスデータの変化は、表示されるプロセスデータを単に参照するだけでは検出され得ない。プロセスの初期工程の異常および特性の劣化を検出することは困難である。高度プロセス制御（ＡＰＣ）による予測およびパターン認識が多くの場合必要となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
設備の制御は、様々なコントローラを有する幾つかの異なる制御システムによってしばしば実施される。いくつかの制御システムがタッチスクリーン等のマンマシンインタフェースを備え、他の制御システムが温度のような１つの変数だけを収集し表示してもよい。ＡＰＣシステムは、プロセス制御システムのためにテーブルにされるデータを収集することができる。モニタリングシステムのデータ収集は、単変量のおよび多変量のデータ、ならびに、データの分析および表示を扱い、収集するためのプロセス変数を選択する能力を備えている。プロセスにおける様々な状況が各処理モジュールに設けられる異なるセンサによってモニタリングされ、モニタリングされた状況のデータが制御コンピュータに伝送され蓄積される。プロセスデータが自動的に表示され検出される場合、量産処理のプロセス状況は統計的プロセス制御（ＳＰＣ）チャートを通じて設定され制御される。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
したがって、本発明は、半導体プロセスシステムを構成し初期化するグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）であって、ウェブベースのログオンスクリーンと、少なくとも１つのシステム構成スクリーン、少なくとも１つのモジュール構成スクリーン、少なくとも１つのセンサ構成スクリーンおよび少なくとも１つのアラーム構成スクリーンを含む複数の構成スクリーンとを備えるＧＵＩを提供することを目的とする。
【０００９】
本発明は、半導体プロセスシステムを構成し初期化するグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）を用いる方法であって、安全なログオンスクリーンを提供する工程を有する方法を提供することを更なる目的とする。少なくとも１つの処理ツールは少なくとも１つのシステム構成スクリーンを用いて構成される。少なくとも１つの処理モジュールは少なくとも１つのモジュール構成スクリーンを用いて構成される。少なくとも１つのセンサは少なくとも１つのセンサ構成スクリーンを用いて構成される。少なくとも１つのアラーム管理システムは少なくとも１つのアラーム構成スクリーンを用いて構成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
明細書に組み込まれその一部を構成する添付の図面は、本発明の現在の好ましい実施形態を例示し、上述の一般的な説明および以下の好ましい実施形態の詳細な説明とともに本発明の原理を説明する。本発明のより完全な理解は、以下の詳細な説明を参照して、特に、添付の図面とともに説明することで容易に明らかとなるであろう。
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態による半導体製造環境におけるＡＰＣシステムの典型的なブロック図である。例示する実施形態では、半導体製造環境１００は、少なくとも１つの半導体プロセスツール１１０と、多数の処理モジュール１２０、ＰＭ１からＰＭ４と、ツール、モジュール、およびプロセスをモニタリングする多数のセンサ１３０と、センサインタフェース１４０と、ＡＰＣシステム１４５とを備える。ＡＰＣシステム１４５は、インタフェースサーバ（ＩＳ）１５０、ＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０、ＧＵＩコンポーネント１８０、およびデータベース１９０を備えてもよい。一実施形態では、ＩＳ１５０は「ハブ」とされるリアルタイムメモリデータベースを備えてもよい。
【００１２】
例示する実施形態では、単一のツール１１０が４つの処理モジュール１２０とともに示されているが、本発明においてこれは必須ではない。ＡＰＣシステム１４５は、１つ以上の処理モジュールを有するクラスタツールを含む幾つかの処理ツールとインタフェースすることができる。ＡＰＣシステムは、１つ以上の処理モジュールを含むクラスタツールを含む幾つかの処理ツールを構成するために使用され得る。ツールは、例えば、エッチング、堆積、拡散、洗浄、測定、研磨、成長、移送、保管、および積み降ろしプロセスを実施するために用いられる。
【００１３】
一実施形態では、処理ツール１１０は、ツール１１０で実行されるソフトウェアプロセスであり、イベント情報、コンテキスト情報、およびデータ捕捉をツールのプロセスと同期するために用いられる開始／終了タイミング指令を供給するツールエージェント（図示せず）を備えてもよい。さらに、ＡＰＣシステム１４５はツールエージェントと接続するために用いられるソフトウェアプロセスでもよいエージェントクライアント（図示せず）を備えてもよい。
【００１４】
一実施形態では、ＩＳ１５０はソケットを用いて通信される。例えば、インタフェースはＴＣＰ／ＩＰソケット通信を用いて実行され得る。どの通信前にもソケットが設けられる。次に、メッセージがストリングとして送られる。メッセージが送られた後、ソケットが取り消される。
【００１５】
あるいは、インタフェースは、分散型メッセージハブ（ＤＭＨ）クライアントクラスのような特別なクラスを用いるＣ／Ｃ＋＋コード、またはＣ／Ｃ＋＋プロセスで伸ばされるＴＣＬプロセスとして構成され得る。この場合、ソケット接続を介してプロセス／ツールイベントを収集する論理は、イベントおよびそのコンテキストデータがＩＳ１５０のテーブルに挿入されるよう改正されてもよい。
【００１６】
ツールエージェントは、イベントおよびコンテキスト情報をＡＰＣシステムに供給するようメッセージを送ってもよい。例えば、ツールエージェントは、ロット開始／停止メッセージ、バッチ開始／停止メッセージ、ウェハ開始／停止メッセージ、レシピ開始／停止メッセージ、および、プロセス開始／停止メッセージを送ってもよい。更に、ツールエージェントは、セットポイントデータを送信および／または受信するため、かつ、メンテナンスカウンタデータを送信および／または受信するために使用されてもよい。
【００１７】
処理ツールが内部センサを有する場合、データはＩＳ１５０およびＡＰＣサーバ１６０に送信される。データを転送するためにデータファイルが用いられる。例えば、幾つかの処理ツールは、作成時にツールで圧縮されるトレースファイルを作成する。圧縮されたおよび／または伸長されたファイルが転送される。トレースファイルが処理ツールにおいて作成されるとき、トレースデータはエンドポイントディテクション（ＥＰＤ）データを含んでも含まなくてもよい。トレースデータは、プロセスに関する重要な情報を提供する。トレースデータは、ウェハのプロセスが完了された後に更新され転送される。トレースファイルは、プロセス毎に正しいディレクトリに転送されるべきである。一実施形態では、ツールのトレースデータ、メンテナンスデータ、およびＥＰＤデータは処理ツール１１０から得られる。
【００１８】
図１では、４つの処理モジュールが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。半導体プロセスシステムは、任意の数の関連する処理モジュールおよび独立した処理モジュールを有する任意の数の処理ツールを有することができる。ＡＰＣシステム１４５は、任意の数の関連する処理モジュールおよび独立した処理モジュールを有する任意の数の処理ツールを構成するために使用され得る。ＡＰＣシステム１４５は、処理ツール、処理モジュールおよびセンサに関わるプロセスからのデータを収集、供給、処理、記憶、および表示する。
【００１９】
処理モジュールは、ＩＤ、モジュールタイプ、ガスパラメータ、およびメンテナンスカウンタのようなデータを用いて識別され、同データはデータベースに保存される。新規の処理モジュールが構成されると、このタイプのデータはＧＵＩコンポーネント１８０のモジュール構成パネル／スクリーンを用いて提供される。例えば、ＡＰＣシステムは、東京エレクトロン株式会社によるＵｎｉｔｙ  ＳＣＣＭチャンバ、Ｕｎｉｔｙ  ＤＲＭ酸化チャンバ（ｏｘｉｄｅ  ｃｈａｍｂｅｒ）、Ｔｅｌｉｕｓ  ＤＲＭ酸化チャンバ、Ｔｅｌｉｕｓ  ＳＣＣＭ酸化チャンバ、およびＴｅｌｉｕｓ  ＳＣＣＭ  Ｐｏｌｙチャンバ等のモジュールタイプをサポートする。ＡＰＣシステムは他のチャンバをサポートしてもよい。
【００２０】
例示する実施形態では、単一のセンサ１３０が関連する処理モジュールとともに示されているが、本発明においてこれは必須でない。任意の数のセンサが処理モジュールに結合され得る。センサ１３０は、ＯＥＳセンサ、ＶＩＰセンサ、アナログセンサ、およびディジタルプローブを含む他の種類の半導体プロセスセンサを有してもよい。ＡＰＣデータ管理アプリケーションは、様々なセンサからのデータを収集、処理、記憶、表示および出力するために使用される。
【００２１】
ＡＰＣシステムでは、センサのデータは外部および内部ソースの両方から供給される。外部ソースは、外部データレコーダタイプを用いて定められ、データ記録対象物が各外部ソースに割り当てられ、状態変数表示が使用される。
【００２２】
センサ構成情報は、センサタイプとセンサインスタンスパラメータとを組合わせる。センサタイプはセンサの機能に対応する総称である。センサインスタンスはセンサタイプと特定の処理モジュールおよびツールの特定のセンサとを１組にする。少なくとも１つのセンサインスタンスがツールに取り付けられる各物理的センサに対して構成される。
【００２３】
例えばＯＥＳセンサが１つのタイプのセンサでもよく、ＶＩプローブが別のタイプのセンサでもよく、アナログセンサがさらに異なるタイプのセンサでもよい。さらに、追加的な一般的なタイプのセンサおよび追加的な特定的なタイプのセンサが存在してもよい。センサのタイプは、ランタイムで特定の種類のセンサをセットアップするために必要な全ての変数を含む。これら変数は、静的（このタイプの全てのセンサが同じ値を有する）でもよく、インスタンスによって設定可能（センサタイプの各インスタンスが固有値を有する）でもよく、またはデータ収集プランによって動的に設定可能（ランタイムでセンサが起動されるたびに異なる値が付与される）でもよい。
【００２４】
「インスタンスによって設定可能」な変数は、センサ／プローブＩＰアドレスでもよい。このアドレスは、（各プロセスチャンバについて）インスタンス毎に異なるが、ラン毎に異ならない。「データ収集プランによって設定可能」な変数は、高調波周波数のリストでもよい。これらは、コンテキスト情報に基づいてウェハ毎に異なるよう設定され得る。ウェハコンテキスト情報は、例えば、ツールＩＤ、モジュールＩＤ、スロットＩＤ、レシピＩＤ、カセットＩＤ、開始時間、および終了時間を含む。同じセンサタイプの多数のインスタンスが存在してもよい。センサインスタンスは、特定のハードウェアに対応し、センサタイプをツールおよび／または処理モジュール（チャンバ）に結び付ける。つまり、センサタイプは一般的であり、センサインスタンスは特定的である。
【００２５】
センサ１３０は、静的または動的センサでもよい。例えば、動的ＶＩセンサは、データ収集プランによって供給されるパラメータを用いてランタイムで設定される独自の周波数範囲、サンプリング期間、スケーリング、トリガリング、および、オフセット情報を有してもよい。センサ１３０は、静的および／または動的なアナログセンサでもよい。例えば、アナログセンサは、ＥＳＣ電圧、マッチャパラメータ、ガスパラメータ、流速、圧力、温度、ＲＦパラメータに対するデータ、および他のプロセスに関連するデータを供給するために使用され得る。センサ１３０は、ＶＩＰプローブ、ＯＥＳセンサ、アナログセンサ、ディジタルセンサ、および、半導体プロセスセンサの少なくとも１つを備える。
【００２６】
ＡＰＣシステム１４５は、センサ１３０からのデータを処理するデータ管理アプリケーションを備えてもよい。例えば、Ｃで表されるダイナミックロードライブラリ（ＤＬＬ）機能は、センサ１３０からのデータを解析し、出力ファイルに印刷するのに適切になるようフォーマット化する。ＤＬＬ機能は、センサからのストリングをパラメータとして、印刷可能な（タブで区切った）ストリングを第２の引数（ａｒｇｕｍｅｎｔ）として返してもよい。
【００２７】
図１に示すように、センサインタフェース１４０はセンサ１３０とＡＰＣシステム１４５との間でインタフェースを提供するために用いられ得る。ＡＰＣシステム１４５は、例えば、インターネットまたはイントラネット接続を介してセンサインタフェース１４０に接続され、センサインタフェース１４０はインターネットまたはイントラネット接続を介してセンサ１３０に接続される。さらに、センサインタフェース１４０は、プロトコルコンバータ、メディアコンバータ、および、データバッファとして機能してもよい。センサインタフェース１４０は、データ捕捉、ピアツーピア通信、およびＩ／Ｏ走査のようなリアルタイム機能を提供してもよい。センサインタフェース１４０が取り除かれ、センサ１３０がＡＰＣシステム１４５に直接的に接続されてもよい。
【００２８】
一実施形態では、センサインタフェースは、生データファイルにデータ点を書き込むことができる。ＩＳ１５０は、例えば、データ捕捉を開始するためにセンサインタフェースに開始指令を送り、ファイルを閉じるために停止指令を送る。ＩＳ１５０は、次に、センサデータファイルを読み出し、解析し、データを処理し、データ値をインメモリデータテーブルに書き込む。
【００２９】
あるいは、センサインタフェースは、ＩＳ１５０にリアルタイムでデータを流すことができる。センサインタフェースがファイルをディスクに書き込むことを可能にさせるようスイッチが設けられてもよい。センサインタフェースは、ファイルを読み出し、オフライン処理および分析のためにＩＳ１５０にデータ点を流す方法も提供する。
【００３０】
図１に示すように、ＡＰＣシステム１４５は、データベース１９０を備える。構成データは、データベース１９０に記憶され得る。さらに、ツールからの生データおよびトレースデータは、データベース１９０にファイルとして記憶される。データ量は、ユーザによって構成されるデータ収集プランおよびプロセスが実施され処理ツールが実行される頻度に依存する。処理ツール、処理チャンバ、センサ、およびＡＰＣシステムから得られるデータは、テーブルに記憶される。
【００３１】
一実施形態では、テーブルは、インメモリテーブルとしてＩＳ１５０において、また、固定記憶域としてデータベース１９０において実行される。ＩＳ１５０は、行列作成およびテーブルにデータを書き込むために構造化照会言語（ＳＱＬ）を用いてもよい。テーブルは、データベース１９０（即ち、ＤＢ２が使用される）において固定テーブルで複製され、同じＳＱＬ命令文を用いて投入され得る。
【００３２】
例示する実施形態では、ＩＳ１５０は、インメモリリアルタイムデータベースおよび加入者サーバの両方でもよい。例えば、クライアントプロセスは関係型データテーブルの馴染みのプログラミングモデルでＳＱＬを用いてデータベース機能を実施することができる。さらに、ＩＳ１５０は、クライアントソフトウェアがその選択基準を満たすデータが挿入、更新、または削除されるたびに非同期通知を受信するデータ加入者サービスを提供する。加入者は、関心のあるテーブルの列がどれか、また、将来的なデータ変更通知をフィルタ処理するためにどの行選択基準が使用されるかを特定するために、ＳＱＬ選択命令文の全パワーを利用する。
【００３３】
ＩＳ１５０がデータベースおよび加入者サーバの両方であるため、クライアントは、初期化されると既存のテーブルデータに「同期化された」加入者を設けることができる。ＩＳ１５０は、発行／加入機構、インメモリデータテーブル、および、システムを通じてイベントおよびアラームを整列する監督ロジックを通じてデータ同期化を提供する。ＩＳ１５０は、ソケット、ＵＤＰ、および、発行／加入を含むいくつかのメッセージングＴＣＰ／ＩＰベースの技術を提供する。
【００３４】
例えば、ＩＳ１５０アーキテクチャは、リアルタイムデータ管理および加入機能を提供することができる多数のデータハブ（即ち、ＳＱＬデータベース）を用いてもよい。アプリケーションモジュールおよびユーザインタフェースは、データハブ中の情報にアクセスし更新するためにＳＱＬメッセージを用いる。ランタイムデータを関係型データベースに送ることに関連する機能の限界により、ランタイムデータはＩＳ１５０によって管理されるインメモリデータテーブルに送られる。これらテーブルのコンテンツは、ウェハプロセスの最後に関係型データベースに送られる。
【００３５】
図１に示す例示する実施形態では、単一のクライアントワークステーション１７０が示されているが、本発明においてこれは必須ではない。ＡＰＣシステム１４５は、複数のクライアントワークステーション１７０をサポートしてもよい。一実施形態では、クライアントワークステーション１７０は、ユーザが構成手順を実施すること、ツール、チャンバ、およびセンサステータスを含むステータスを見ること、プロセスステータスを見ること、履歴データを見ること、および、モデリングおよびチャート作成機能を実施することを可能にする。
【００３６】
図１に例示する実施形態では、ＡＰＣシステム１４５は、ＩＳ１５０に結合されるＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０、ＧＵＩコンポーネント１８０、および、データベース１９０を有するが、本発明においてこれは必須ではない。ＡＰＣサーバ１６０は、少なくとも１つのツール関連アプリケーション、少なくとも１つのモジュール関連アプリケーション、少なくとも１つのセンサ関連アプリケーション、少なくとも１つのＩＳ関連アプリケーション、少なくとも１つのデータベースアプリケーション、および、少なくとも１つのＧＵＩ関連アプリケーションを含む幾つかのアプリケーションを備える。
【００３７】
ＡＰＣサーバ１６０は、少なくとも１つのコンピュータと、多数の処理ツールをサポートし、ツール、処理モジュール、センサおよびプローブからのデータを収集し同期し、データベースにデータを記憶して既存のチャートをユーザが見ることを可能にし、故障検出を供給するソフトウェアとを備える。ＡＰＣサーバは、オンライン構成、オンラインロット対ロット故障検出、オンラインウェハ対ウェハ故障検出、オンラインデータベース管理を可能にし、履歴データに基づくモデルを用いてサマリーデータの多変量分析を実施する。
【００３８】
例えば、ＡＰＣサーバ１６０はディスクスペース、ＣＰＵ、ＲＡＭ（物理的メモリ）、ハードドライブ、キャッシュ、インストールされているウィンドウズ２０００サーバソフトウェア、マイクロソフトインターネットエクスプローラ、ＴＣＰ／ＩＰネットワークプロトコル、および、ネットワークカードを有する。
【００３９】
ＡＰＣシステム１４５は、センサからの生データを含むファイルおよびツールからのトレースデータを含むファイルを記憶する記憶装置を少なくとも１つ備える。ＡＰＣシステム１４５は、ユーザが古いファイルを削除することを可能にするデータ管理アプリケーションを備える。ＡＰＣシステム１４５は、システムを動作させるために使用される複数のテーブルを備え、これらのテーブルはデータベース１９０に記憶される。さらに、１つのまたは多数のツールに対して、データ／チャートビューイング、ＳＰＣチャート作成、ＥＰＤ分析、ファイルアクセスのような機能を提供するようオンサイトまたはオフサイトコンピュータ／ワークステーションおよび／またはホストのような他のコンピュータ（図示せず）がネットワーク化される。
【００４０】
図１に示すように、ＡＰＣシステム１４５は、ＧＵＩコンポーネント１８０を有してもよい。ＧＵＩコンポーネントは例えば、ＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０、および、ツール１１０でアプリケーションとして実行され得る。
【００４１】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣシステムユーザが所望の構成、データ収集、モニタリング、モデリング、および、トラブルシューティングタスクを可能な限り少ない入力で実施することを可能にさせる。ＧＵＩ設計は、半導体製造機器に対するＳＥＭＩヒューマンインタフェース規格（ＳＥＭＩドラフト文書＃２７８３Ｂ）およびＳＥＭＡＴＥＣＨ戦略セルコントローラ（ＳＣＣ（Ｓｔｒａｔｅｇｉｃ  Ｃｅｌｌ  Ｃｏｎｔｏｒｌｌｅｒ））ユーザインタフェーススタイルガイド１．０（技術移転９２０６１１７９Ａ−ＥＮＧ）に従う。当業者は、ＧＵＩパネル／スクリーンが左から右への選択タブ構造および／または右から左への構造、下から上への構造、上から下への構造、またはその組み合わせの構造を備えてもよいことを理解するであろう。
【００４２】
さらに、例示するスクリーンは英語版であるが、本発明において必須ではなく、別の言語が使用されてもよい。例えば、日本語スクリーン、中国語スクリーン、台湾語スクリーン、韓国語スクリーン、ドイツ語スクリーンおよびフランス語スクリーンが使用されてもよい。
【００４３】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣシステム１４５とユーザとの間で相互作用の手段を提供する。ＧＵＩが開始されると、ユーザＩＤおよびパスワードを検証し、第１のレベルのセキュリティを提供するログオンスクリーンが表示される。ユーザは、ログオンする前にセキュリティアプリケーションを用いて登録されていることが望ましい。ユーザＩＤのデータベース確認は、利用可能なＧＵＩ機能を能率化させる承認レベルを示す。ユーザが承認されていない選択項目は別に表示され利用できない。セキュリティシステムにより、ユーザは既存のパスワードを変更することができる。ログオンパネル／スクリーンは、例えば、ネットスケープまたはインターネットエクスプローラのようなブラウザツールから開くことができる。ユーザは、ユーザＩＤおよびパスワードをログオンフィールドに入力する。
【００４４】
承認されたユーザおよびアドミニストレータは、システム構成およびセンサセットアップパラメータを変更するためにＧＵＩパネル／スクリーンを用いてもよい。ＧＵＩコンポーネント１８０は、処理ツール、処理モジュール、センサ、および、ＡＰＣシステムを構成することをユーザに可能にさせる構成コンポーネントを備える。例えば、ＧＵＩ構成パネル／スクリーンは、処理ツール、処理モジュール、センサ、センサインスタンス、モジュールポーズ、およびアラームの少なくとも１つに対して設けられる。構成データは、属性データベースに記憶され、インストール時にデフォルトでセットアップされる。
【００４５】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、処理ツール、処理モジュール、センサ、および、ＡＰＣシステムに対する現在のステータスを表示するステータスコンポーネントを備えてもよい。さらに、ステータスコンポーネントは、１つ以上の異なるタイプのチャートを利用して、システムに関連する、および、プロセスに関連するデータをユーザに提示するチャート作成コンポーネントを有してもよい。
【００４６】
ＧＵＩコンポーネントは、データを収集、記憶、および分析するために用いられる戦略およびプランを作成、編集、および見るためのデータ管理コンポーネントを有してもよい。
【００４７】
さらに、ＧＵＩコンポーネント１８０は、リアルタイム動作コンポーネントを有してもよい。例えば、ＧＵＩコンポーネントは、バックグラウンドタスクに結合され、共有システムロジックがバックグランドタスクおよびＧＵＩコンポーネントの両方によって使用される共通の機能を提供する。共有ロジックは、ＧＵＩコンポーネントに戻された値がバックグランドタスクに戻されたものと同じであることを補償するために使用される。さらに、ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣファイル管理ＧＵＩコンポーネントおよびセキュリティコンポーネントを有してもよい。ヘルプパネル／スクリーンも利用可能である。例えば、ヘルプファイルは、ＰＤＦ（ポータブル・ドキュメント・フォーマット）および／またはＨＴＭＬフォーマットで提供される。
【００４８】
図２は、本発明の一実施形態によるログオンスクリーンの典型的な図を示す。例えば、ユーザＩＤおよびパスワード用のフィールドが設けられている。ログオンパネル２００は、安全な入口点となる。ログオンパネル／スクリーンは、例えば、第１のレベルのユーザ、第２のレベルのユーザ、および第３のレベルの異なるユーザレベルを区別するために使用される。例えば、第１のレベルのユーザは、ステータススクリーンを見ることに制限され、第２のレベルのユーザはチャートを見ることおよび作成することに制限され、第３のレベルのユーザは戦略およびプランを作成し、パラメータを変更し、または、ツールおよびセンサを構成することが可能である。
【００４９】
ログオンパネル／スクリーンは、ネットスケープまたはインターネットエクスプローラのようなブラウザツールから開けることができる。ユーザは、ユーザＩＤおよびパスワードフィールドにユーザＩＤおよびパスワードを入力する。この情報は、機密事項とされ、小文字で入力される。
【００５０】
図３は、本発明の一実施形態によるメニューＧＵＩスクリーンの簡略化した図を示す。例示する実施形態では、メニューＧＵＩスクリーン３００は、タイトルパネル３１０および情報パネル３５０を含む。情報パネル３５０は、複数の選択項目を含む。例えば、選択項目はボタンとして表示され、ツールステータス選択項目、チャート選択項目、ＳＰＣ選択項目、データマネージャ選択項目、および他の選択項目のうち少なくとも１つを含む。別の実施形態では、選択項目は、タブ、ピクチャ、アイコン、グループ、メニューおよび／またはドロップダウンリストとして表示される。
【００５１】
例示する実施形態では、タイトルパネル３１０はスクリーンの上部分を備える。タイトルパネル３１０は、例えば、企業ロゴフィールド、製品情報フィールド、現ユーザのＩＤを表示するユーザＩＤフィールド、アクティブアラームがあるときメッセージを表示するアラームメッセージフィールド（あるいは空白フィールド）、サーバの現在の日付および時間を表示する現在の日付および時間フィールド、現在のスクリーンの名前を表示する現在のスクリーン名フィールド、サーバとツールとの間の通信リンクに対する現在のステータスを表示する通信ステータスフィールド、モニタリングされているツールのＩＤを表示するツールＩＤフィールド、ユーザがログオフすることを可能にするログオフフィールド、および、ＧＵＩスクリーンおよび／またはパネル間をナビゲートするために選択されるスクリーン選択フィールドを備えてもよい。あるいは、ＧＵＩスクリーンは選択項目を含む１つ以上のナビゲーションバーを備えてもよい。他の実施形態では、タイトルパネルは必要でない。
【００５２】
メインメニュースクリーンにおいて、ツールステータスボタンはツールステータススクリーンにアクセスするために使用され、ＳＰＣボタンはＳＰＣチャートスクリーンにアクセスするために使用され、チャートボタンはチャート作成スクリーンにアクセスするために使用され、データセットアップボタンはデータマネージャスクリーンにアクセスするために使用され、他のボタンはスクリーン選択スクリーンにアクセスするために使用される。ボタンは、アクセスを制御するために使用され、正しいセキュリティレベルのユーザだけをボタンと関連するスクリーンにアクセスすることを許可する。例えば、ボタンはユーザがアクセス権を有するとき隠されているか別に表示される。幾つかのボタンは、第３のレベルのユーザによって使用されるスクリーン上にだけ現れる。
【００５３】
図４は、本発明の一実施形態によるスクリーン選択ＧＵＩスクリーンの簡略化した図を示す。例えば、スクリーン選択ＧＵＩスクリーンは、スクリーン選択項目を用いてまたは図３の「他の」ボタンを用いてアクセスされる。例示する実施形態では、スクリーン選択ＧＵＩスクリーン４００は、タイトルパネル４１０、情報パネル４５０およびコントロールパネル４７０を備える。情報パネル４５０は、ステータス、チャート作成、ログ、構成、メインメニュー、およびランタイムセットアップといった６個のボタンを含むグループメニューのような選択手段を備える。さらに、情報パネル４５０は、構成ボタンが選択されるときに現れる項目メニューを備える。典型的な構成項目メニューは、システム、センサタイプ、モジュール、センサインスタンス、モジュールポーズ、アラーム、属性、受信者、およびＭｓｇコンテンツの９個の構成項目ボタンを含む。例えば、ユーザが項目メニューボタンの１つを選択（クリック）すると、特定の組のＧＵＩがユーザに提示される。利用可能な項目メニューボタンは、利用可能でない項目メニューボタンよりも明るく表示される。セキュリティ手順およびユーザクラスは、資格を与えられていない職員が許可されていない変更を行うことを防止する。
【００５４】
ユーザがセンサを最新モデルに切り換える、または、１つの処理ツールから別の処理ツールに切り換えると判断すると、ユーザは構成変更ルーチンを開始することができる。例えば、構成変更は、クライアントのワークステーションにおいて構成スクリーンを用いて最初に行われてよい。必要な変更を行った後、ユーザはサインオフして構成をダウンロードし、システムを遠隔的にリセットまたは場合によってはオンラインで変更を受けてもよい。構成変更が行われた後、受動データ収集、モデリング、およびテストの新しいサイクルが実施される。
【００５５】
例示する実施形態に示すように、コントロールパネル４７０は選択項目を備え、スクリーンの下部に沿って位置される。例えば、これら選択項目はステータススクリーン、チャートスクリーン、アラームスクリーン、ＳＰＣスクリーン、データマネージャスクリーン、メニュースクリーン、およびヘルプスクリーンの少なくとも１つをユーザが表示することを可能にする。別の実施形態では、コントロールパネルは必要でない。
【００５６】
ＧＵＩスクリーンは、１つ以上のパネルを備えてもよい。例えば、ＧＵＩスクリーンは少なくとも１つの情報パネルを有することが望ましい。別の実施形態では、スクリーン、パネル、および選択項目は異なる言語および異なる構成で表示され、異なるサイズに処理され位置付けられてもよい。
【００５７】
図５は、本発明の一実施形態によるシステム構成スクリーンの典型的な図を示す。例示する実施形態では、処理ツール構成パネルおよびエージェント構成パネルが示される。例えば、システム構成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。あるいは、処理システム構成スクリーン／パネルが示されてもよい。
【００５８】
ユーザは、図５に示すような構成パネル／スクリーンを用いて１つ以上の処理ツールおよび／またはシミュレータを構成する。ユーザは、例えば、ツール名、ツールのタイプ、データルートディレクトリ、ツールのＩＰアドレス、エージェントバージョン、エージェントコマンド、ツールバージョン、およびインストールされている処理モジュールのような情報を入力および／または編集することができる。例としてエッチング関連の処理ツールが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のおよび／または追加的な処理ツールが示されてもよい。例えば、堆積ツール、拡散ツール、洗浄ツール、移送ツール、測定ツール、研磨ツール、および他の種類の半導体プロセスツールが使用されてもよい。さらには、ＧＵＩによりユーザはオフライン分析のためにツールシミュレータを構成し使用することができる。
【００５９】
ツール名フィールドは処理ツールの名前を含み、ＩＰアドレスフィールドは処理ツールに対するＩＰアドレスを含み、データルートディレクトリフィールドはデータディレクトリへの経路を確立するために使用され、アップロードロケーションフィールドはシステムアドミニストレータによって変更され、デバッグ目的のために読み出される。
【００６０】
構成パネル／スクリーンは、エージェント情報を備えてもよい。例えば、エージェント情報は、エージェントバージョンフィールド、ツールバージョンフィールド、およびエージェントコマンド選択項目を備えてもよい。ツールバージョンフィールドは、構成中に変更されデバッグ目的のために読み出され、エージェントバージョンフィールドはインストールされているエージェントの現在のバージョンを表示し、エージェントコマンド選択項目はエージェントの状態を決定する。
【００６１】
さらに、構成パネル／スクリーンは、保存ボタン、取り消しボタン、スタートエージェントボタン、およびストップエージェントボタンを備えてもよい。ユーザは、保存ボタンをクリックしてシステムが次回初期化されるときに使用するためにデータベースに設定を保存する。ユーザは、取り消しボタンをクリックして、前に記憶された設定を新しい設定と置き換える。
【００６２】
承認されたおよび資格が与えられたユーザだけがシステム構成パネル／スクリーンをアクセスおよび／または編集することができる。これは、データの紛失またはシステムクラッシュ等の問題が生じることを防止する。例えば、アドミニストレータまたは資格が与えられたユーザだけがシステムおよびセンサ構成を編集することができる。一般的に、これらのパラメータはＡＰＣシステムがインストールされるか再構成されるときに構成される。あるいは、リスト、選択タブ、および、エントリーフィールドが使用されてもよい。
【００６３】
各処理ツールは、単独でセットアップされリセットされ、例えば、ある処理ツールが動作されている間、別の処理ツールがシステムの性能を劣化させることなく再構成および／または修理される。
【００６４】
図６Ａから６Ｃおよび図７Ａから７Ｃは、本発明の一実施形態による追加的なシステム構成スクリーンの簡略化した図を示す。例えば、構成スクリーンは、センサ構成パネルを含む。センサ構成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。ユーザは、新規のセンサインタフェースが展開されるとき、または、新しい処理ツールまたは処理モジュールが構成を必要とするとき、新しいセンサタイプを作成するためにセンサ構成パネルを用いる。ＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアによってサポートされる予め定められたセンサタイプのリストを備える。例えば、インストール後に、プロセス機器の実行を開始する前に、または、工場から設定される再構成された例として顧客サイトで変更が成される。センサ構成プロセスは、センサインスタンスを作成するとき、または、データ収集プランにおいてランタイムでセンサのインスタンスを構成するときに後で使用されるよう全ての入力および出力パラメータの完全な定義を含む。構成手順で作成されるパラメータは、他のセンサ情報パネル／スクリーンおよびデータ収集プランパネル／スクリーンにおいて後で表示される。
【００６５】
例えば、ＯＥＳセンサがセンサのタイプでもよく、ＶＩプローブがセンサの別のタイプでもよい。これらはセンサのタイプに対する総称的な定義である。センサタイプは、ランタイムで特定の種類のセンサをセットアップするために必要な全ての変数を含む。これら変数は、静的（このタイプの全てのセンサが同じ値を有する）でもよく、インスタンスによって設定可能（センサタイプのインスタンスが固有値を有する）でもよく、またはデータ収集プランによって設定可能（ランタイムでセンサがアクティブにされる度に異なる値が付与される）でもよい。例えば、「インスタンスによって設定可能」な変数は、センサＩＰアドレスである。このアドレスは、インスタンス毎（プロセスチャンバ毎）に異なるがラン毎に異ならない。「データ収集プランによって設定可能」な変数は、高調波周波数のリストである。これらは、コンテキスト情報に基づいてウェハによって構成される。ウェハコンテキスト情報は、ツールＩＤ、モジュールＩＤ、スロットＩＤ、レシピＩＤ、カセットＩＤ、開始時間および終了時間を含む。
【００６６】
図６Ａでは、ＶＩプローブが強調されてセンサタイプリストパネルが示される。図６Ｂでは、センサ情報パネルがＶＩプローブに対して示される。図６Ｃでは、センサセットアップパネルがＶＩプローブに対して示される。図７Ａでは、ＯＥＳセンサが強調されてセンサタイプリストパネルが示される。図７Ｂでは、センサ情報パネルがＯＥＳセンサに対して示される。図７Ｃでは、センサセットアップパネルがＯＥＳセンサに対して示される。例えば、ユーザがボタンおよび／またはタブを用いてパネル間をナビゲートし、入力フィールド、ボタン、タブ、メニュー、およびリストを用いて項目を入力および／または変更することができる。ユーザは、編集項目を用いて既存のセンサを選択して、そのセンサに対する関連パラメータを変更することができる。ユーザは、保存項目を用いて既存のセンサタイプに基づいて新しいタイプのセンサを作成することができる。
【００６７】
図６Ｂまたは図７Ｂに示すようなセンサ情報パネルは、特定のセンサタイプに関連するパラメータのリストを提供するために使用される。例えば、これらのパラメータは、名前フィールド、詳細フィールド、および値フィールドを用いて説明され得る。図６Ｃまたは図７Ｃに示すようなセンサセットアップパネルは、特定のセンサタイプと関連付けられる特定のパラメータに対するより詳細な情報を提供するために使用される。例えば、このより詳細なパラメータ情報は、名前フィールド、詳細フィールド、および値フィールドを用いて提供される。
【００６８】
エッチング関連のセンサが例として示されているが、本発明においてこれは必須ではない。他のおよび／または追加的なセンサタイプおよび処理モジュールタイプが示されてもよい。例えば、堆積モジュール、拡散モジュール、洗浄モジュール、移送モジュール、測定モジュール、および他の種類の半導体プロセスモジュールがそれぞれの関連するセンサとともに使用されてもよい。例えば、ラングミュアプローブが使用されてもよい。
【００６９】
図８は、本発明の一実施形態による別の構成スクリーンの簡略化した図を示す。センサは、処理ツール固有のセンサを含んでもよく、構成手順はツール関連センサに対する構成パネルを用いることを含んでもよい。ツール関連センサに対する構成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。ユーザは、新しいセンサインタフェースが展開されるとき、または新しい処理ツールまたは処理モジュールが構成を必要とするとき新しいツール関連センサタイプを作成するためにツール関連センサに対する構成パネルを使用する。ＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアによってサポートされるツール関連センサの予め定められたリストを備えてもよい。例えば、インストール後に、プロセス機器の実行を開始する前に、または、工場から設定される再構成された例として顧客サイトで変更が成される。ツール関連センサ構成プロセスは、センサインスタンスを作成するとき、または、データ収集プランにおいてランタイムでセンサのインスタンスを構成するときに後で使用されるよう全ての入力および出力パラメータの完全な定義を含む。このセットアップ工程で作成されるパラメータは、他のセンサ情報パネル／スクリーンおよびデータ収集プラン／スクリーンにおいて後で表示される。
【００７０】
図９は、本発明の一実施形態による別の構成スクリーンの簡略化した図を示す。センサは、処理モジュール固有のセンサを含んでもよく、構成手順は処理モジュール関連センサに対する構成パネルを用いることを含んでもよい。処理モジュール関連センサに対する構成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。ユーザは、新しいセンサインタフェースが展開されるとき、または新しい処理ツールまたは処理モジュールが構成を必要とするとき新しい処理モジュール関連センサタイプを作成するために処理モジュール関連センサに対する構成パネルを使用する。ＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアによってサポートされるモジュール関連センサの予め定められたリストを備えてもよい。例えば、インストール後に、プロセス機器の実行を開始する前に、または、工場から設定される再構成された例として顧客サイトで変更が成される。モジュール関連センサ構成プロセスは、センサインスタンスを作成するとき、または、データ収集プランにおいてランタイムでセンサのインスタンスを構成するときに後で使用されるよう全ての入力および出力パラメータの完全な定義を含む。このセットアップ工程で作成されるパラメータは、他のセンサ情報パネル／スクリーンおよびデータ収集プランパネル／スクリーンにおいて後で表示される。
【００７１】
図１０は、本発明の一実施形態によるモジュール構成スクリーンの簡略化した図を示す。例示する実施形態では、モジュール選択スクリーンの情報パネルが示される。例として、４つのエッチング関連処理モジュールタイプが示されるが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のおよび／または追加的な処理モジュールタイプが示されてもよい。例えば、堆積モジュール、拡散モジュール、洗浄モジュール、移送モジュール、測定モジュール、および他のタイプの半導体プロセスモジュールが使用されてもよい。
【００７２】
モジュール構成パネル／スクリーンは、幾つかのボタンを備えてもよい。例えば、ボタンは、新規ボタン、編集ボタン、ビューボタン、保存ボタン、削除ボタン、インポートボタン、およびエクスポートボタンを含んでよい。ユーザは、新規ボタンを用いてモジュールタイプの新しいインスタンスを作成することができる。ユーザは、編集ボタンを用いてテーブルの選択された行を編集することができる。ユーザは、保存ボタンを用いて選択されたモジュールタイプに対してインスタンスＩＤを付与することができる。該モジュールインスタンスに関連する情報は、データベースにコピーされ得る。ユーザは、削除ボタンを用いてテーブルおよびデータベースから選択された行を削除することができる。ユーザは、インポートボタンを用いてデータベースからデータをインポートすることができる。ユーザは、エクスポートボタンを用いてデータベースにデータをエクスポートすることができる。
【００７３】
さらに、パネル／スクリーンは、モジュールタイプのリストを備えてもよい。例えば、モジュール情報はテーブルに記載される。使用可能な列は、テーブルに記載されているモジュールに対する現在のステータスを提供する。モジュールタイプの列は、モジュールに対する名前を提供する。ツール名の列は、モジュールに関連するツール名を提供し、モジュールＩＤの列は１モジュールＩＤに対して１モジュールタイプであるため整数である。
【００７４】
図１１Ａおよび図１１Ｂは、本発明の一実施形態による追加的なモジュール構成スクリーンの簡略化した図を示す。例として、情報パネルがエッチング関連モジュールに対して示されているが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のおよび／または追加的な処理モジュールタイプが示されてもよい。例えば、堆積モジュール、拡散モジュール、洗浄モジュール、移送モジュール、測定モジュール、および他のタイプの半導体プロセスモジュールが使用されてもよい。
【００７５】
モジュール情報パネル／スクリーンは、幾つかのボタンを有する。例えば、ボタンは、新規ボタン、保存ボタンおよび削除ボタンを含んでもよい。ユーザは、新規ボタンを用いてモジュールタイプの新しいインスタンスを作成することができる。ユーザは、保存ボタンを用いて選択されたモジュールタイプに対してインスタンスＩＤを付与することができる。このモジュールインスタンスに関連する情報は、データベースにコピーされ得る。ユーザは、削除ボタンを用いてテーブルおよびデータベースから選択された行を削除することができる。
【００７６】
さらに、パネル／スクリーンは、モジュールタイプを表示するのに使用されるモジュールタイプフィールド、処理ツール名を表示するのに使用されるツール名フィールド、モジュールＩＤを表示するのに使用されるモジュールＩＤフィールド、メンテナンスカウンタの整数値を表示するメンテナンスカウンタフィールドの番号を備えてもよい。例えば、ツールＩＤは、ツール名からドロップダウンボックスで選択され、モジュールＩＤはモジュールタイプからドロップダウンボックスで選択され得る。
【００７７】
図１１Ａに示す実施形態では、メンテナンスカウンタ情報スクリーンが示される。例として、ＲＦ時間カウンタが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。他のおよび／または追加的なメンテナンスカウンタタイプが示されてもよい。メンテナンスカウンタの数はツールに依存する。メンテナンスカウンタは、ＲＦオンアワー、ツールオンアワー、および様々な問題のインスタンスの数のような機械状態情報を合計するのに使用される。
【００７８】
メンテナンスカウンタ情報パネル／スクリーンは、幾つかのボタンを有する。例えば、ボタンは、新規ボタン、保存ボタン、および削除ボタンを含む。メンテナンスカウンタ情報パネル／スクリーンは、メンテナンスカウンタフィールドのインデックス、メンテナンスカウンタ名フィールド、メンテナンスカウンタに対する単位フィールド、および、メンテナンスカウンタに対する値を含んでもよい。さらに、パネル／スクリーンは、編集パネルからの変更を保存するための保存ＭＣボタン、および、保存されたデータに戻るための取り消しボタンを含んでもよい。
【００７９】
メンテナンスカウンタ情報は、モジュールに依存する。ユーザは、特定のメンテナンスカウンタに新しい名前を割り当て、特別なスケール率を割り当て、このメンテナンスカウンタにツールポーズ機能を割り当てることができる。さらに、一般的なカウンタがメンテナンスカウンタに含まれてもよく、ユーザによって構成されてもよい。
【００８０】
図１１Ｂに示す例示する実施形態では、追加的なメンテナンスカウンタ情報スクリーンが示される。図１１Ｂは、ガスパラメータスクリーンの簡略化した図を示す。例として、ガスのリストが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。他のおよび／または追加的なガスが示されてもよい。ガスの数は、ツール、モジュール、およびプロセスに依存する。
【００８１】
ガスパラメータは、モジュールインスタンスセットアップの一部である。例えば、ユーザは、各モジュールに対してガスパラメータの名前を構成し得る。テーブルは、システムガス名（ガス１流れ、ガス２流れ）と作成される。ユーザは、テーブルの新規ガスパラメータ名の列を直接編集することができる。さらに、ユーザは、ドロップダウンリストから可能なガスパラメータ名のリストからパラメータを選択することもできる。各システムガスパラメータ名は、固有のガスパラメータ名を有し、ＡＰＣソフトウェアは、異なるシステムガスパラメータに対して二重のガスパラメータが使用されていないことを確認する。
【００８２】
ガスパラメータ情報パネル／スクリーンは、インストールされたフィールド、新規ガスパラメータ名フィールド、およびシステムガス名フィールドを備えてもよい。さらに、パネル／スクリーンは編集パネルからの変更を保存するための保存ガスパラメータボタン、および保存されたデータに戻るための取り消しボタンを含んでもよい。
【００８３】
モジュール構成パネル／スクリーンは、ユーザが構成するためのモジュール関連情報を提供する。各モジュールについて、モジュールタイプ、ガスパラメータ、およびメンテナンスカウンタのような関連情報がデータベースに保存される。モジュール構成は、ツールが構成された後でセンサが構成される前に実施される。
【００８４】
図１２は、本発明の一実施形態によるセンサインスタンススクリーンの簡略化した図を示す。例示する実施形態では、センサインスタンスリストパネルが示される。例えば、センサインスタンスパネル／スクリーンは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。ユーザは、新しいセンサインスタンスが必要なとき、または、新しいセンサインスタンスが処理ツールあるいは処理モジュールに必要なときに新しいセンサインスタンスを作成するためにセンサインスタンスパネル／スクリーンを用いる。同じセンサタイプの多数のインスタンスが存在してもよい。例えば、センサインスタンスは、特定のハードウェアに対応しセンサタイプをツールまたは処理モジュールと結び付けてもよい。
【００８５】
ＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアによってサポートされるセンサインスタンスの予め定められたリストを有する。例えば、インストール後に、プロセス機器の実行を開始する前に、または、工場から設定された再構成された例として顧客サイトで変更が成される。センサ構成プロセスは、センサインスタンスを作成するとき、または、データ収集プランにおいてランタイムでセンサのインスタンスを構成するときに後で使用されるよう全ての入力および出力パラメータの完全な定義を含む。このセットアップ工程で作成されるパラメータは、他のセンサ情報パネル／スクリーンおよびデータ収集プランパネル／スクリーンにおいて後で表示される。
【００８６】
例として、エッチング関連センサタイプが示されるが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のおよび／または追加的なセンサタイプが示される。例えば、堆積関連センサ、拡散関連センサ、洗浄関連センサ、移送関連センサ、測定関連センサ、および他のタイプの半導体プロセスセンサタイプが使用されてもよい。
【００８７】
センサインスタンスパネル／スクリーンは、幾つかのボタンを備えてもよい。例えば、ボタンは、新規ボタン、編集ボタン、保存ボタン、および削除ボタンを含む。さらに、センサインスタンスパネル／スクリーンは、センサタイプおよびそのステータスのリストを有してもよい。ユーザは、センサインスタンスパネル／スクリーンを用いて処理ツールおよび処理モジュールでセンサを構成する。センサインスタンスパネル／スクリーンは、ＡＰＣシステムのインストール時、または、センサが追加されるとき、処理モジュールが変更されるとき、処理ツールが変更されるとき、あるいは、ツールソフトウェアが新しいトレースまたはＥＰＤパラメータでアップグレードされるときに使用され得る。
【００８８】
センサ情報は、テーブルとして表される。例えば、使用可能な列は、テーブルに記載されているセンサインスタンスに対する現在のステータスを提供し、センサタイプの列はセンサインスタンスに対する名前を提供し、ツールＩＤの列はセンサインスタンスと関連付けられるツール名を提供し、モジュールＩＤの列は１つのモジュールＩＤに対して１のモジュールタイプであるため整数を提供することができる。
【００８９】
ユーザは、新規ボタンを用いてセンサタイプの新しいインスタンスを作成することができる。ユーザは、編集ボタンを用いてテーブルの選択された行を編集することができる。ユーザは、保存ボタンを用いて選択されたセンサインスタンスタイプに対してインスタンスＩＤを付与することができ、このセンサインスタンスに関連する情報は、データベースにコピーされ得る。ユーザは、削除ボタンを用いてテーブルおよびデータベースから選択された行を削除することができる。
【００９０】
図１３は、本発明の一実施形態による別のセンサインスタンススクリーンの簡略化した図を示す。例示する実施形態では、センサインスタンス情報パネルが示される。
【００９１】
例として、ＶＩプローブセンサインスタンスが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のおよび／または追加的なセンサインスタンスが示される。例えば、堆積関連センサ、拡散関連センサ、洗浄関連センサ、移送関連センサ、測定関連センサ、および他のタイプの半導体プロセスセンサタイプが使用されてもよい。
【００９２】
ユーザは、編集ボタンを用いてテーブルの選択された行を編集することができる。保存インスタンスボタンを用いてセンサインスタンスに関連する情報がデータベースにコピーされ得る。ユーザは、取り消しボタンを用いて前に記憶された設定と新しい設定を置き換えることができる。ユーザは、センサ構成ヘルプボタンを用いてセンサ構成に対するヘルプ情報を見ることができる。
【００９３】
図１４は、本発明の一実施形態による別のセンサインスタンススクリーンの簡略化した図を示す。例示する実施形態では、センサインスタンス項目パネルが示されている。センサインスタンス項目パネルを用いて、特定のパラメータあるいはパラメータの組が構成される。
【００９４】
図１５は、本発明の一実施形態によるモジュールポーズ構成スクリーンの簡略化した図を示す。例示する実施形態では、モジュールポーズ構成項目を含む情報パネルが示される。例として、４つの処理モジュールが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のおよび／または追加的な処理モジュールタイプが示されてもよい。例えば、堆積モジュール、拡散モジュール、洗浄モジュール、移送モジュール、測定モジュール、および他のタイプの半導体プロセスモジュールが使用されてもよい。
【００９５】
モジュールポーズ構成パネル／スクリーンは、情報選択域、モジュールポーズ試験域、モジュールポーズメッセージ域、およびモジュールポーズリスト域を備えてもよい。ドロップダウンリストは、ユーザがモジュールポーズを構成することを補助する。
【００９６】
モジュールポーズ構成パネル／スクリーンは、処理技師のような特定のレベルの権限を有するユーザによって使用され得る。ユーザは、分析プランおよび戦略を用いてポーズアクションを構成する。例えば、ユーザは、アラームが発生されるときにどのメンテナンスカウンタがモジュールポーズに使用されるかを決定することができる。一般的には、各モジュールに対して１つのモジュールポーズだけが構成される。ユーザは、モジュールポーズを行うために一般的なメンテナンスカウンタの１つを選択することができる。つまり、メンテナンスカウンタは、全ての測定可能なパラメータに基づいてモジュールポーズ機能を実施するために構成され得る。ユーザは、例えば、ドロップダウンリストを用いてツールＩＤフィールド、モジュールＩＤフィールド、モジュールインスタンスフィールド（モジュール名を示す）、および、モジュールカウンタフィールドを構成することができる。モジュールインスタンスフィールドが使用可能な場合にだけモジュールインスタンスリストがドロップダウンボックスに表示される。さらに、各メンテナンスカウンタの名前およびインデックスを組合わせる一般的なカウンタ情報のリストがドロップダウンボックスに記載される。ユーザは、追加ボタンを用いて選択された情報をテーブルに追加することができる。ユーザは、削除ボタンを用いて、テーブルから選択された情報を削除することができる。ポーズエラーメッセージ表示は、ユーザにエラーメッセージフィードバックを提供する。
【００９７】
モジュールポーズは、現在のウェハの終わりまたは現在のロットの終わりで有効になる。幾つかのアラーム、例えば、ツールアラーム、故障検出アラームまたはソフトウェア内部エラーがツールポーズをトリガするために使用される。
【００９８】
図１６Ａから図１６Ｄは、本発明の一実施形態によるアラーム構成パネルの典型的な図を示す。例えば、アラーム構成パネル／スクリーンは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。ユーザは、新しいアラームが必要なとき、または、新しいアラームが処理ツールあるいは処理モジュールに必要なときに新しいアラームを作成するためにアラーム構成パネルを用いる。さらに、アラーム構成パネル／スクリーンは、図４の「アラーム」ボタンを用いてアクセスされ得る。図示するようにアラーム構成パネル／スクリーンは、アラーム管理システムを構成するために使用される。
【００９９】
図１６Ａでは、アラームリストパネルが示される。例として、単一のツール関連アラームが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のおよび／または追加的なアラームが示されてもよい。例えば、他のツール関連アラーム、処理関連アラーム、およびソフトウェアアラームが示されてもよい。
【０１００】
ＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアによってサポートされるアラームの予め定められたリストを有する。例えば、インストール後に、プロセス機器の実行を開始する前に、または、工場から設定された再構成された例として顧客サイトで変更が成される。アラーム構成プロセスは、アラームインスタンスを作成するときに後で使用されるよう全ての入力および出力パラメータの完全な定義を含んでもよい。このセットアップ工程で作成されるパラメータは、他のアラーム情報パネル／スクリーンおよびデータ収集プランパネル／スクリーンにおいて後で表示される。
【０１０１】
図示するように、アラームリストパネルは幾つかのボタンを備える。例えば、ボタンは、新規ボタン、編集ボタン、削除ボタン、リフレッシュボタン、エクスポートボタン、およびインポートボタンを含んでもよい。ユーザは、新規ボタンを用いて新しいアラーム情報を作成することができる。ユーザは、編集ボタンを用いて既存のアラームを編集することができる。ユーザは、削除ボタンを用いて既存のアラームを削除することができる。ユーザは、リフレッシュボタンを用いて表示をリフレッシュすることができる。ユーザは、エクスポートボタンを用いてデータベースにデータをエクスポートすることができる。ユーザは、インポートボタンを用いてデータベースからデータをインポートすることができる。
【０１０２】
図１６Ｂでは、アラーム固有キー表示領域、設定適用表示領域、アクション表示領域、詳細＆ヘルプＵＲＬ表示領域、通知表示領域、保存ボタンおよびキャンセルボタンを備えるアラーム構成スクリーンが示される。
【０１０３】
例えば、ユーザは、ツールＩＤ、ソースＩＤ、およびアラームＩＤを構成するためにアラーム固有キー表示領域を使用することができる。これらのフィールドは、ユーザが新規のアラームを構成していない限り、編集可能でない。ユーザが多数のアラームを編集する場合、これらフィールドに対して表示される値はドロップダウンリストでもよい。ユーザは、アラームを設定および／またはクリアするために設定適用表示領域を使用することができる。ユーザは、アラームをログする電子メールを送る、および／またはページを送る等のアラームが生ずると、実施されるべきアクションを構成するためにアクション表示領域を使用することができる。ユーザは、ヘルプウェブページへのリンクとともにアラームの詳細を入力、編集または見るために詳細＆ヘルプＵＲＬ表示領域を使用することができる。ユーザは、電子メールおよびページャ受信者を入力、編集または見るために通知表示領域を使用することができる。選択されたボタンは、選択が行われるポップアップウィンドウを表示することができる。さらに、ユーザは、保存ボタンを用いて変更を保存し、キャンセルボタンを用いてパネル／スクリーンを閉じることができる。
【０１０４】
図１６Ｃでは、受信者セットアップパネルが示される。例えば、受信者の名前、電子メールアドレス、およびページャアドレスが提供される。
【０１０５】
図１６Ｄでは、メッセージセットアップパネルが示される。例えば、アラームタイプフィールドが提供され、通知タイプフィールドが提供される。ユーザは、追加項目を用いてアラームメッセージに追加する項目を選択することができる。ユーザは、除去項目を用いてアラームメッセージから除去する項目を選択することができる。ユーザは、保存項目を用いて新しいアラームを作成することができる。
【０１０６】
別の実施形態では、１つ以上の構成ＧＵＩパネル／スクリーンはナビゲーションツリーメニューを備えてもよい。ナビゲーションツリーは、ファイルを用いてツリー構造における論理的メニューおよびその関連を見るために使用される。ナビゲーションツリーは、パラメータが使用可能か否かについて可視性を容易にする。例えば、ナビゲーションツリーは、多数の処理モジュールに対する構成を表示するために使用され得る。
【０１０７】
図１７は、本発明の一実施形態による半導体プロセスシステムに対する構成プロセスのフロー図の簡略化した図を示す。ソフトウェアおよび関連するＧＵＩパネル／スクリーンは、システムを構成するための簡単で使い勝手の良い手順を提供する。手順１７００は１７１０から始まる。
【０１０８】
１７２０において、システムコンポーネントは、処理ツール、処理モジュール、および関連するセンサ（プローブ）を含んで構成される。ユーザは、図２から１６に示されるようなＧＵＩパネル／スクリーンを用いてシステムに対する構成プロセスを案内される。あるいは、異なるタイプの処理ツール、処理モジュールおよびセンサを構成するために追加的なパネル／スクリーンが提供されてもよい。
【０１０９】
１７３０において、ユーザは、新しいセンサインスタンスが展開されるとき、または、新しいツールチャンバタイプがトレースあるいはＥＰＤファイルに異なる組のデータを含むとき、新しいセンサタイプを作成するためにセンサ構成ＧＵＩパネル／スクリーンを使用する。ＡＰＣシステムは、ベースソフトウェアによってサポートされるセンサタイプの予め定められたリストを備えてもよい。例えば、インストール後に、処理機器の実行を開始する前に、または、工場から設定される再構成された例として顧客サイトで変更が成される。
【０１１０】
センサタイプ構成は、インストール時または新しいセンサタイプを追加するときに実施され得る。上級ユーザだけがこの動作を実施することができ、センサインスタンスを作成するときまたはデータ収集プランにおいてランタイムでセンサのインスタンスを構成するときに後で使用されるよう全ての入力および出力パラメータの完全な定義を必要とする。このセットアップ工程において作成されるパラメータは、インスタンス構成（インスタンスセットアップ項目テーブルにおいて）およびデータ収集プラン（ユーザが選択することを可能にするために保存およびセットアップ項目のパラメータとして）において後で表示される。
【０１１１】
１７４０において、ユーザは、処理モジュールを構成するために要求されるモジュール関連情報を提供するためにモジュール構成パネル／スクリーンを使用することができる。各モジュールに対して、モジュールタイプ、ガスパラメータ、およびメンテナンスカウンタのような多くの関連情報は、データベースに保存され得る。モジュール構成は、ツールが構成された後でセンサが構成される前に実施される。
【０１１２】
１７５０において、ユーザは、少なくとも１つのセンサ構成ＧＵＩパネル／スクリーンを用いて処理モジュールでセンサを構成することができる。例えば、センサインスタンスＧＵＩパネル／スクリーンは、ＡＰＣシステムのインストール中、または、センサが追加されるとき、処理モジュールが変更されるとき、あるいは新しいトレースまたはＥＰＤパラメータでツールソフトウェアがアップグレードされるときに使用され得る。
【０１１３】
１７６０において、ユーザは少なくとも１つの構成ＧＵＩパネル／スクリーンを用いてツールに対するモジュールポーズデータを構成することができる。例えば、ユーザはアラームが生じたときにモジュールポーズに使用されるメンテナンスカウンタをモジュールポーズ構成パネル／スクリーンを用いて構成することができる。ユーザは、モジュールポーズを行うために一般的なカウンタの１つを選択することができる。ユーザは、分析プランおよび戦略の下で全てのポーズアクションを構成することができる。
【０１１４】
１７７０において、ユーザは、１つ以上のアラームを構成するためにアラーム構成パネル／スクリーンを使用する。例えば、ユーザは、ツールＩＤ、ソースＩＤ、およびアラームＩＤを用いてアラームを構成することができる。ユーザは、アラームを設定および／またはクリアすることもできる。ユーザは、アラームをログする、電子メールを送る、および／またはページを送る等のアラームが起こるときに実施されるべきアクションを構成する。ユーザは、ヘルプウェブページへのリンクとともにアラームの詳細を入力、編集または見ることができる。ユーザは、電子メールおよびページャ受信者を入力、編集、または見ることができる。手順１７００は１７８０で終了する。
【０１１５】
機能ボタンは、ＧＵＩスクリーンの下部および／または上部に沿って位置されてもよい。同じ機能ボタンが多くのスクリーンに表示されるため、ユーザは一連のメニューを横切ることなくどのスクリーンからも全ての機能にナビゲートすることができる。ログオフボタンは、タイトルパネルに表示され、システムをログオフするために使用される。注意メッセージは、データが変更されたが保存されていないときに提供される。さらに、ヘルプボタンが表示され、ユーザに提示されるデータおよび／またはユーザから要求されるデータをユーザが理解することを補助するためにコンテンツが明確なまたは一般的な文書を見るために使用される。
【０１１６】
本発明の多数の変更および変形が上述の教示により可能である。したがって、本発明は添付の特許請求の範囲内において本明細書で特定的に説明した以外の方法で実施され得ることは理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】本発明の一実施形態による高度プロセス制御（ＡＰＣ）半導体製造システムの簡略化したブロック図を示す。
【図２】本発明の一実施形態によるログオンスクリーンの典型的な図を示す。
【図３】本発明の一実施形態によるメインメニューＧＵＩスクリーンの略図を示す。
【図４】本発明の一実施形態によるスクリーン選択ＧＵＩスクリーンの略図を示す。
【図５】本発明の一実施形態によるシステム構成スクリーンの略図を示す。
【図６Ａ】本発明の一実施形態による追加的な構成スクリーンの略図を示す。
【図６Ｂ】本発明の一実施形態による追加的な構成スクリーンの略図を示す。
【図６Ｃ】本発明の一実施形態による追加的な構成スクリーンの略図を示す。
【図７Ａ】本発明の一実施形態による追加的な構成スクリーンの略図を示す。
【図７Ｂ】本発明の一実施形態による追加的な構成スクリーンの略図を示す。
【図７Ｃ】本発明の一実施形態による追加的な構成スクリーンの略図を示す。
【図８】本発明の一実施形態による別の構成スクリーンの略図を示す。
【図９】本発明の一実施形態による別の構成スクリーンの略図を示す。
【図１０】本発明の一実施形態によるモジュール構成スクリーンの略図を示す。
【図１１Ａ】本発明の一実施形態による追加的なモジュール構成スクリーンの略図を示す。
【図１１Ｂ】本発明の一実施形態による追加的なモジュール構成スクリーンの略図を示す。
【図１２】本発明の一実施形態によるセンサインスタンススクリーンの略図を示す。
【図１３】本発明の一実施形態による別のセンサインスタンススクリーンの略図を示す。
【図１４】本発明の一実施形態による別のセンサインスタンススクリーンの略図を示す。
【図１５】本発明の一実施形態によるモジュールポーズスクリーンの略図を示す。
【図１６Ａ】本発明の一実施形態によるアラーム構成スクリーンの典型的な図を示す。
【図１６Ｂ】本発明の一実施形態によるアラーム構成スクリーンの典型的な図を示す。
【図１６Ｃ】本発明の一実施形態によるアラーム構成スクリーンの典型的な図を示す。
【図１６Ｄ】本発明の一実施形態によるアラーム構成スクリーンの典型的な図を示す。
【図１７】本発明の一実施形態による半導体プロセスシステム用の構成プロセスのフロー図の略図を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１６Ｃ】
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【図１６Ｄ】
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【図１７】
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【国際調査報告】
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