(57)【要約】  球面および波面の正確な測定で不確定性を低減する追加可能な較正を用いる方法である。透過球面は、干渉計に取り付けられ、この透過球面から現れる波面が案内面上に取り付けられた実質的に「完璧な」球面のように機能させるように所定の態様で移動およびサンプリングされる光学球面と透過球面とを比較することによって較正される。透過非球面は、干渉計に取り付けられ透過非球面から生じる波面が案内面に取り付けられた較正された球面アーティファクトとこの透過非球面とを比較することによって較正される。干渉計によって較正された非球面波面は、決定するために案内面に取り付けられた非球面アーティファクトを測定するために用いられる。透過非球面から生じる波面の較正は品質改善および保証の基礎として用いられる履歴データを提供するために周期的に更新される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非球面および波面の正確な測定における不確定性を低減する方法であって、該方法は、
干渉計に透過球面を取り付け、かつ、該透過球面を、案内面に取り付けられた実質的に完璧な球面のように光学球面を機能させるために、所定の態様で動かされ、かつサンプリングされた該光学球面と比較することによって、該干渉計から生じる波面を較正する、ステップと、
該干渉計からの該較正された波面を用いて、該案内面上に取り付けられた球面アーティファクトを測定し、かつ該球面アーティファクトの表面を較正するステップと、
該干渉計に透過非球面を取りつけ、かつ、該透過非球面を、該案内面に取り付けられた該較正された球面アーティファクトと比較することによって、該透過球面から生じる波面を較正するステップと、
該干渉計からの較正された該非球面波面を用いて、該案内面に取り付けられた非球面アーティファクトを測定し、かつ、該非球面アーティファクトの表面を較正するステップと
を包含する、方法。
【請求項２】
前記案内面における前記系統的および非反復的運動を決定することによって、前記不確定性を低減する前記ステップをさらに包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記系統誤差は、案内面の真直度におけるピッチ、ヨーの誤差、ならびに、水平方向垂直方向の誤差からの誤差を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記系統誤差を、実際の測定値から該誤差を減算することによって補償するステップをさらに包含する、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
測定値の品質および該測定値の品質の改善を保証する基礎として利用する履歴較正情報を生成するために、前記較正された球面アーティファクトに対して、前記透過非球面から生じる該非球面波面を周期的に較正するステップをさらに包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
必要に応じて、誤差評価におけるトレンドを評価し、かつ適切に更新するために、前記系統誤差および非反復的誤差を追跡するステップをさらに包含する、請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記干渉計は、フィエゾー干渉計の形態である、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記光学球面は光学球面アセンブリであり、該光学球面アセンブリは、
内部に配置された運動駆動素子を含む公称半径の光学球面を備え、前記方法は、
前記公称光学球面を支持および位置調整して、該公称光学球面の曲面の中心は、公称的に前記干渉計の前記光学軸に沿って静止する一方で、静止しない場合、自由に回転する、ステップと、
該公称光学球面を所定のように動かすように駆動して、これにより、該公称光学球面から反射された波面と、該干渉計から入来する波面との間の差を干渉法によって測定し、該公称光学素子が動いているときに該公称光学球面の表面にわたってサンプリングされた場合、該公称値から入来する波面におけるずれに収束する、ステップと
を包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記公称光学球面は中空であり、かつ、前記干渉計の前記動作波長で光学的に透明である材料からなる、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記材料は、商品名Ｚｅｒｏｄｕｒ（登録商標）で市販されるセラミック材料である、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記公称光学球面を駆動する前記ステップは、前記公称光学球面をランダムに回転させるように構成および配置される、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記公称光学球面を駆動する前記ステップは、前記公称光学球面を選択的に回転させるように構成および配置され、これにより、該公称光学球面の表面の異なった事前選択領域が、事前選択された異なった事前選択された時間に、該入来する波面に提供される、請求項８に記載の方法。
【請求項１３】
前記光学球面を動的に平衡化するステップをさらに包含する、請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の背景）
本発明は、概して、干渉法に関し、より具体的には、非球面および波面が高速および正確に測定される装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
非球面は、高性能光学系の設計者に著しい利点を提供するが、これらの広範囲にわたる採用は、製造および測定が困難であるためにはばまれる。しかしながら、次世代のリソグラフィ系は、０．５メートルに近づく開口、高開口数、および１ｎｍ未満の表面形状の許容誤差を有する非球面で設計されている。それぞれ有利な点および不利な点を有する非球面および波面の測定に関する多数のアプローチが長年にわたって記載されている。
【０００３】
Ｋｕｅｃｈｅｌは、米国特許仮出願第６０／２９９、６１４号（２００１年６月２０日出願）（現在、米国特許第１０／１６０、６７２号（２００２年６月３日出願））において、走査干渉計における非球面光学素子に関する新しいアプローチを導入した。これは、米国特許仮出願第６０／３０３、８５６号（２００１年７月９日出願）（現在、米国特許第１０／１８０、２８６号（２００２年６月２６日）において、フィゾー干渉計を用いて（第６０／２９９、６１４号の出願において教示された態様で縮小されるべき）データの収集を明示的に可能にするように拡張された。Ｋｕｅｃｈｅｌら（例えば、Ｔｒｏｎｏｌｏｎｅによる米国特許第５、４１６、５８６号）によって記載されたこのような走査アプローチは、低速度の傾向があり、Ｚａｎｏｎｉによる米国特許仮出願第６０／２９９、５１２号（２００２年６月２０日出願）（現在、米国特許第１０／１５２、０７５号（２００２年５月２１日）における、例えば、Ｋｕｅｃｈｅｌの方法に従って較正される非球面基準面を有する干渉計の使用の提示につながる。別個の機器上の基準面を測定することによって、ある機器から別の機器への移送の際の安定性の問題、および、再較正の周波数に関する実際の問題が生じる。これらの問題は、米国特許仮出願第６０／３１７、０２８号（２００１年９月４日出願）（現在、米国特許第１０／２３３、７７２号（２００２年９月３日出願））においてＥｖａｎｓおよびＫｕｅｃｈｅｌによって取り組まれた。彼らは、フリーゾ干渉計の非球面基準面が、基準球面を用いて走査することによって習得されるというアプローチを提示した。測定されるべき非球面部分が、その後、機器内に挿入される（基準非球面を取り外すことなく）。第６０／３１７、０２８号出願のアプローチは、十分な、公知の質の基準球面が利用可能であり、歪むことなく機器内に挿入され得ると推定する。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
従って、本発明の目的は、非球面光学素子の追跡可能な較正を提供する測定プロセスを提供することである。
【０００５】
本発明のさらなる目的は、干渉機器を用いて行われた測定の不確定性を連続的に改善する手順を提供することである。
【０００６】
本発明の別の目的は、プロセスに固有品質の保証を提供して、測定プロセスの安定性のモニタリングを可能にすることである。
【０００７】
本発明の他の目的は、以下の詳細な記載が添付の図面とともに読まれたときに部分的に明らかになり、かつ、部分的に、後から明らかになる。
【０００８】
（発明の要旨）
本発明は、部分測定への２つの平行したルートを通じて内部自己一貫性（ｓｅｌｆ−ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｃｙ）チェックを用いる非球面光学表面または波面の追跡可能な測定用の装置および方法を提供する。装置は、球面波面または故意に非球面の波面を生成する光学素子と、光学軸に沿う試験表面を走査する手段とで構成され得るフィゾー干渉計を備える。案内面の誤差運動から生じるバイアスの測定データを補償するために、複数の測定値を必要とするアルゴリズムおよび手順が提供される。機器の較正データを格納および頻繁に更新するために準備が行われる。最近の解析では、測定システム性能を示し、従って、管理するために、頻繁に再取得される較正データが用いられる。
【０００９】
本発明の構造、動作、および方法は、他の目的および利点と共に、図面と関連付けられた詳細な説明を読むことによって最良に理解され得る。図面において、各部分には、異なった図面に現れる場合でも、いつでも同部分を同定する参照符号が割り当てられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
トレーサビリティは、（ＩＳＯ：Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｖｏｃａｂｕｌａｒｙ  ｏｆ  Ｂａｓｉｃ  ａｎｄ  Ｇｅｎｅｒａｌ  Ｔｅｒｍｓ  ｉｎ  Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙによって）「測定結果の特性であって、．．．そのために、これは、規定された不確定性をそれぞれがともなう連続的な比較によって規定された規格（通常、国内または国際基準）と関連付けられ得る」と定義される。所望の形状からの光学表面または波面のずれを測定した場合、当該の国際基準は、電磁波が真空中で固定時間周期で伝播する距離の点で定義された長さである。その単位は、波長を（適切な不確定性をともなう）測定することによって干渉計にて認識される。長さの単位を仮定して、球面波面を生成する干渉計を用いる球面のいわゆる「絶対試験」の種々の技術が記載されてきた（例えば、Ｅｖａｎｓ  Ｃ．Ｊ、Ｈｏｃｋｅｎ  Ｒ．Ｊ．およびＥｓｔｌｅｒ  Ｗ．Ｔ．らによる「Ｓｅｌｆ−ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ：ｒｅｖｅｒｓａｌ、ｒｅｄｕｎｄａｎｃｙ、ｅｒｒｏｒ  ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ  ａｎｄ  『ａｂｓｏｌｕｔｅ  ｔｅｓｔｉｎｇ』」ＣＩＲＰ  Ａｎｎａｌｓ、Ｖｏｌ４５／２（１９９６年）、６１７〜６３４ページを参照）。当該分野における最近の改善は、米国特許仮出願第６０／３３３、２４５号（２００１年１１月１４日）（現在、米国特許出願第１０／２７７、５５３号（２００２年１０月２２日）に記載される。従って、公称的な球面のセグメントであるアーティファクトの数学的ベストフィット球面からのずれが上述の不確定性をともなって測定される。同時に、干渉計波面のずれも、上述の不確定性をともなって測定される。ここで、ＫｕｅｃｈｅｌらおよびＺａｎｏｎｉの教示には、目的の非球面または波面の追跡可能な測定を行うために、２つの異なった経路（（異なった）上述の不確定性の範囲で一致する）に沿って追従され得る。
【００１１】
１．非球面部分は、上述の米国特許仮出願第６０／２９９、６１４号（現在、米国特許出願第１０／１６０、６７２号）、および米国特許仮出願第６０／３０３、８５６号（米国特許出願第１０／１８０、２８６号）に示された予め較正された球面干渉計を用いて測定され得る（これらの両方の開示は、参考のため、その全体が本明細書中に援用される）か、または
２．上述の不確定性をともなう波面の測定をするために、球面アーティファクトは、上述の米国特許仮出願第６０／２９９、５１２号（現在、米国特許出願第１０／１５２、０７５号）、米国特許仮出願第６０／３０３、８５６号（現在、米国特許出願第１０／１８０、２８６号）、および米国特許仮出願第６０／３１７、０２８号（現在、米国特許出願第１０／２３３、７７２号）（これらの開示全体が、参考のため、本明細書中に援用される）に開示されたタイプの非球面フィゾーの前で走査され得る。ここで、再度、上述の不確定性をともなう非球面を測定するために非球面フィゾーが用いられ得る。
【００１２】
これらの２つの手順は、当業者にただちに明らかになる、以下の４ステップアプローチ、または、アプローチの複数の変形の任意の１つを用いて、置換可能な光学系（それぞれ、「透過球面」または「透過非球面」と呼ばれる）を用いて単一の特殊目的用干渉計において実現され得る。
【００１３】
図１は、例えば、球面または非球面１６を保持する光学素子１５の高精度測定を実行するために用いられ得る干渉系を示す。図１において、波長λでビーム５を発するレーザ１が示される。ビーム５は、素子７を反射することによって下方に向け直され、かつ、レンズ６の支援によって小さいスポットにフォーカスされ、かつ、小さいピンホール４によって整えられる。ピンホール４は、動作波長で平面波面１０を生成するように構成された良好に補正されたコリメータレンズ９の焦点面に配置される。
【００１４】
平面波面１０は、「ボックス」として非常に模式的にのみ現れる光学系（「透過球面」）１３に入る（光学レイアウトの詳細は図示しない）。このレイアウトは、所与のタスクのためのレンズの正確な機能に依存し、かつ、場合に応じてかなり異なり得る。このために、レンズ系１３は、球面波に近い波面１４（公称的に球面であり、高精度の測定のために十分に小さいずれをともなう）を生成する。
【００１５】
表面１８によって反射された光は基準波面として利用され、システム１３によって透過され、表面１６によって反射され、さらに、システム１３によって透過された光は、測定波面として機能する。両方の波面は、コレイメータレンズ９およびビームスプリッタ８を通ってもどり、その後、開口１９を通過する。レンズ２０は、表面１８をＣＣＤ検出器２１上に映像化し、ここで、干渉図形が見え得る。当該技術において周知であり、かつ、従って、ここでは記載されない適切な位相測定技術を用いて、干渉する波面間の光路差が測定され、かつコンピュータ２２に転送される。コンピュータ２２は、さらに、他のコンピュータ計算の、論理的、動作的、およびハウスキーピングタスクを実行するためにプログラムされ得ることが理解される。
【００１６】
本発明の好ましい実施形態は、フィゾー干渉計であり、従って、レンズ系１３の最後の面は、球面波面１４の焦点と同心の基準面１８である。本明細書中に記載された発明は、同様に、例えば、Ｔｗｙｍａｎ−Ｇｒｅｅｎ等の他の干渉計構成で実現され得ることが当業者にただちに明らかになる。
【００１７】
上述の４ステップアプローチの第１のステップは、基準面１８（フィゾーの）または波面１４（Ｔｗｙｍａｎ−Ｇｒｅｅｎ）の理論的設計値からの実際のずれを決定することである。あるアプローチは、米国特許仮出願第６０／３３３、２４５号（２００１年１１月１４日出願）（図２）（現在、米国特許出願第１０／２７７、５５３号（２００２年１０月２２日出願）において記載された駆動可能なボール３０か、または、特に、Ｅｖａｎｓ  Ｃ．Ｊ、Ｈｏｃｋｅｎ  Ｒ．Ｊ．、およびＥｓｔｌｅｒ  Ｗ．Ｔ．らによる「Ｓｅｌｆ−ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ：ｒｅｖｅｒｓａｌ  ｒｅｄｕｎｄａｎｃｙ、ｅｒｒｏｒ  ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ  ａｎｄ  『ａｂｓｏｌｕｔｅ  ｔｅｓｔｉｎｇ』」ＣＩＲＰ  Ａｎｎａｌｓ、Ｖｏｌ  ４５／２（１９９６年）６１７〜６３４ページにおいて述べられた複数の自己較正方法の１つを用いることである。
【００１８】
上述の４ステップアプローチにおける第２のステップは、適切な球面アーティファクト３１（図３）を測定するために、透過球面１３を備える、ここで較正されている干渉計を用いることである。
【００１９】
第３のステップは、透過球面１３を非球面波面を生成する第２の光学系（ここで「透過非球面」と呼ばれる）４１と置換することである。本発明の好ましい実施形態は、フィゾー干渉計であり、従って、レンズ系４１の最後の面は、Ｚａｎｏｎｉによる第６０／２９９、５１２号（現在、米国特許出願第１０／１５２、０７５号）の教示に従って設計された非球面基準面４０である。球面アーティファクトは、ここで、光学軸（図４において水平の）に沿う案内面４２を用いて走査され、Ｋｕｅｃｈｅｌによる第６０／２９９、６１４号（現在、米国特許出願第１０／１６０、６７２号）および／または第６０／３０３、８５６号（現在、米国特許出願第１０／１８０、２８６号）の教示に従って、データが収集および縮小される。球面アーティファクトのずれは、前のステップにて確立されたので、このステップは、干渉計およびその透過非球面４１によって生成された非球面波面を較正する。
【００２０】
最後のステップは、Ｚａｎｏｎｉによる第６０／２９９、５１２号（現在、米国特許出願第１０／１５２、０７５号）の教示に従って、非球面４３、または目的の波面を測定するために（図５）上述のように較正された干渉系を用いる。球面アーティファクト３１は、システムから除去されていることに留意されたい。
【００２１】
上述の不確定性をともなう、レーザ１によって生成された波長λの測定は、連続的比較値に長さの単位を導入し（上述のステップ１〜４）、これらの各々について、比較の不確定性を示すことが可能である。従って、このプロセスは、非球面または波面の追跡可能な測定を提供する。
【００２２】
測定結果における不確定性の１つのソースは、図４によって示されるステップ３の走査運動の間、案内面４２におけるピッチ、ヨー、ならびに垂直方向および水平方向の真直度誤差から生じる。３つの異なったアプローチは、スライドの誤差運動から最終結果における不確定性を低減する。
【００２３】
第１のアプローチにおいて、球面アーティファクト３１は、駆動されたサブステージ上に取り付けられ得、これの位置が固定測定基準面に対して測定される。サーボ制御システムは、その後、球面アーティファクト３１が単独で光学軸に沿って動くようにサブステージ５２（図７）を駆動する。サブステージは、ボイスコイル、圧電性、磁気歪み、または他のデバイスによって運動が駆動され、かつ、レーザ干渉計、容量ゲージ、または光学スケール等のトランスデューサによって感知することを可能にするために、撓み、磁気浮揚、あるいは、空気、液体または固体潤滑を用い得る。例えば、リソグラフィシステム分野の当業者には種々の実装例が明らかである（例えば、ＧａｌｂｕｒｔおよびＯ’Ｃｏｎｎｏｒによる米国特許第５、２８５、１４２号（１９９４年）を参照）。あるいは、誤差運動が測定された場合、測定結果へのこれらの影響は、コンピュータ計算されて、データが適切に補償され得る。
【００２４】
第２のおよび第３のアプローチを実現するために、キャリッジ４２は、球面アーティファクト３１（図７参照）および／または目的の素子４３の表面を含む試験片を回転させる手段５１を備えなければならない。さらに、第２および第３のアプローチを理解するために、不確定性への２つの成分での寄与が考えられることを認識することが重要である。２つの成分は、系統（反復性）誤差運動から生じた成分、および案内面システムの非反復性運動から生じる成分である。
【００２５】
案内面誤差を補償する第２の方法において、データは、４回取得され、球面アーティファクト３１は、各データサイクル（ここで、Ｍ０、Ｍ９０、Ｍ１８０およびＭ２７０と呼ばれ、但し、Ｍ０は、「第１」の位置にある部分に関して取得され、Ｍ９０は、その部分が９０度回転させられた後である等である）間で９０度回転させられる。ここで、データファイルＭ０と、１８０度回転させられたデータファイルＭ１８０との差の半分は、（原点が任意である、重畳原理からの）真直度誤差運動の一方の方向から生じた測定データおよび同じ方向のチルトへの寄与を表す。同様に、１８０度回転させられたＭ９０とＭ２７０との間の差の半分は、垂直方向の誤差の結果である測定データへの寄与を表す。従って、案内面の系統誤差運動から生じた測定結果への寄与が各測定値からコンピュータ計算および減算され得る。これらの誤差は、ここで、測定値の各々から減算され得、これらの測定値は、データセットが適切に配向されることを保証するように適切に操作された後で、乱数発生源から生じる滑り誤差運動の影響を測定値の数の平方根（すなわち、√４＝２）だけ低減するように平均化され得る。
【００２６】
第３のアプローチは、光学軸５０を中心とする回転が一定であるシステムに関して、適正な振幅誤差運動が、逆の符号を有する反射対称を有する不確定性を生成するという考え方に基づく。これは、図６に模式的に示され、ここで、球面３１の表面が軸上の公称位置に対して垂直に（点線）動くことが示される。この場合、２つの対称的に配置された点ａ、ｂに対する球面波面によって参照される３１への角距離の増減が、ほとんど同じ量であり、実際、これらは、目的の光学面または波面からなる測定値において必要とされる不確定性によって決定された範囲にわたって同じであるようにされ得る。この運動の効果は、２つの方法によってデータで処理され得る。
【００２７】
ここで、ステップ３は、その部分の平均半径方向のプロファイルを計算するためだけに周知の方法により用いられ得る。方位角によって変動する誤差は、ステップ４の間に回転可能な手段５１を用いて部分４３を回転させることによって、および、データを平均化することによって計算され得る（ＫｅｓｔｎｅｒおよびＥｖａｎｓ（Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｏｐｔｉｃｓ）１９９６年）。この平均化プロセスは、機器内のこの部分の較正および回転によって変動する誤差の差引きを可能にする。
【００２８】
この部分がキャリッジ４２に取り付けられた場合（ステップ４）、球面アーティファクト３１は、左側にインサイチュで取り付けられることに留意されたい。従って、取り付け応力等が変動することによって変更されない球面アーティファクト３１は、ステップ３の走査を周期的に繰返すために用いられ得る。同様に、複数の回転位置を用いて部分４３が測定された後、結果としての機器の誤差の推定が格納され、かつ、他の部分を用いてなされた将来の推定と比較され得る。従って、これは、単純な測定品質改善および品質保証システムの基本である。球面アーティファクトの各走査は、非球面波面に関する新しいデータを生成し、前の結果の平均化が、乱数発生源から生じる不確定性の効果を低減することによって波面の推定の改善を継続する。同様に、推定の数学的特性（例えば、パワースペクトル、Ｚｅｒｎｉｋｅフィット等）は追跡され得、かつ、プロセスの最初の２つのステップがシステム、ドリフト等の寸法変化のために、繰返されることを必要とするのはいつかを決定するために、ある期間にわたってデータが用いられる傾向があり得る。さらに、測定データは、部分の測定の直前および直後に行われた較正走査によって識別された機器の明らかな変化の手段を用いて補償され得る。図８のフローチャートは、上述の一般的アプローチをまとめる。
【００２９】
機器が必要な動作を適切に実行する場合、機器の動作およびプロセスの複数のモードを用いて、ならびに本明細書中で識別されたデータ縮小の複数の方法を用いて取得されたデータは自己一貫性を有することが明らかである。制御コンピュータおよび関連したデータ処理は、内部一貫性チェックを提供し、かつ、比較値を表示し得るか、または、許容可能な変動値の事前にプログラムされた限界に基づいて、ＧＯ／ＮＯ  ＧＯの推奨を提供し得る。
【００３０】
上述の開示および教示に基づく、本発明の範囲に含まれる他の変形が当業者に明らかであり、かつ、請求項の範囲に含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は、球面または非球面を保持する光学素子の高精度測定を実行するために用いられ得る干渉系の図式的立面図である。
【図２】図２は、干渉計によってもたらされた基準、公称球面、波面、または表面の理論的設計からの実際のずれを決定する際に用いられる駆動可能な光学球面で構成された、示された図１の干渉系の図式的立面図である。
【図３】図３は、適切な球面アーティファクトを測定するためにここで較正された図２の干渉系の図式的立面図である。
【図４】図４は、図３の透過非球面および測定された球面アーティファクトが提供され、透過非球面によってもたらされた非球面波面を較正する際に支援する干渉系の図式的立面図である。
【図５】図５は、適切な非球面アーティファクトを測定するためにここで較正された図４の干渉系の図式的立面図である。
【図６】図６は、公称軸上位置に対する球面の垂直運動を示す図であり、本発明のある局面の説明を支援するために含まれる。
【図７】図７は、本発明の特定の局面を実行するために球面アーティファクトが回転され得る取り付け配置の図式的立面図である。
【図８】図８は、本発明の方法を示す高レベルフローチャートである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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