(57)【要約】複数個のマグネトロン装置へパワーを供給するシステム及び方法が提供される。本システムは、第一マグネトロン装置、第二マグネトロン装置、第三マグネトロン装置へパワーを供給するための１個の電源装置を包含することが可能である。制御装置が該第二及び第三マグネトロン装置の各々への電流の量を制御（又は割当て）を行うことが可能である。
2005531914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電流を供給する電源装置、
前記電源装置によりパワーが供給される少なくとも３個のマグネトロン装置、
前記３個のマグネトロン装置の各々への電流の量を割当てる制御回路、
を有しているシステム。
【請求項２】
請求項１において、前記制御回路が前記マグネトロン装置のうちの第一のものに到達する電流の量及び前記マグネトロン装置のうちの第二のものに到達する電流の量を制御するシステム。
【請求項３】
請求項１において、前記電源装置がほぼ一定の電流を供給するシステム。
【請求項４】
請求項１において、前記制御回路が、前記電源装置と前記マグネトロン装置のうちの第一のものとの間に結合されている第一ホール効果センサー、前記電源装置と前記マグネトロン装置のうちの第二のものとの間に結合されている第二ホール効果センサー、前記電源装置と前記マグネトロン装置のうちの第三のものとの間に結合されている第三ホール効果センサー、を有しているシステム。
【請求項５】
請求項４において、前記マグネトロン装置のうちの前記第一のものがマスターマグネトロン装置を有しており、前記マグネトロン装置のうちの前記第二のものがスレーブマグネトロン装置を有しており、且つ前記マグネトロン装置のうちの前記第三のものがスレーブマグネトロン装置を有しているシステム。
【請求項６】
請求項４において、前記第一ホール効果センサーが前記マグネトロン装置のうちの前記第一のものにおける電流を検知し、前記第二ホール効果センサーが前記マグネトロン装置のうちの前記第二のものにおける電流を検知し、且つ前記第三ホール効果センサーが前記マグネトロン装置のうちの前記第三のものにおける電流を検知するシステム。
【請求項７】
請求項６において、前記制御回路が、更に、前記第一ホール効果センサーの出力と前記第二ホール効果センサーの出力とを比較する第一比較装置を有しているシステム。
【請求項８】
請求項７において、前記制御回路が、更に、前記第一ホール効果センサーの出力と前記第三ホール効果センサーの出力とを比較する第二比較装置を有しているシステム。
【請求項９】
少なくとも３個のマグネトロン装置へパワーを供給する電源装置、
前記少なくとも３個のマグネトロン装置の各々への電流の量を割当てる制御手段、
を有しているシステム。
【請求項１０】
請求項９において、前記制御手段が、前記マグネトロン装置のうちの第一のものに到達する電流の量及び前記マグネトロン装置のうちの第二のものに到達する電流の量を制御するシステム。
【請求項１１】
請求項９において、前記電源装置がほぼ一定の電流を供給するシステム。
【請求項１２】
請求項９において、前記制御手段が、前記電源装置と前記マグネトロン装置のうちの第一のものとの間に結合されている第一ホール効果センサー、前記電源装置と前記マグネトロン装置のうちの第二のものとの間に結合されている第二ホール効果センサー、前記電源装置と前記マグネトロン装置のうちの第三のものとの間に結合されている第三ホール効果センサーを有しているシステム。
【請求項１３】
請求項１２において、前記マグネトロン装置のうちの前記第一のものがマスターマグネトロン装置を有しており、前記マグネトロン装置のうちの前記第二のものがスレーブマグネトロン装置を有しており、且つ前記マグネトロン装置のうちの前記第三のものがスレーブマグネトロン装置を有しているシステム。
【請求項１４】
請求項１２において、前記第一ホール効果センサーが前記マグネトロン装置のうちの前記第一のものにおける電流を検知し、前記第二ホール効果センサーが前記マグネトロン装置のうちの前記第二のものにおける電流を検知し、且つ前記第三ホール効果センサーが前記マグネトロン装置のうちの前記第三のものにおける電流を検知するシステム。
【請求項１５】
請求項１４において、前記制御手段が、更に、前記第一ホール効果センサーの出力と前記第二ホール効果センサーの出力とを比較する第一比較装置を有しているシステム。
【請求項１６】
請求項１５において、前記制御手段が、更に、前記第一ホール効果センサーの出力と前記第三ホール効果センサーの出力とを比較する第二比較装置を有しているシステム。
【請求項１７】
電源装置、
各々が前記電源装置によりパワーが供給される第一マグネトロン装置及び第二マグネトロン装置、
前記第一マグネトロン装置を介しての電流を検知する第一センサー装置、
前記第二マグネトロン装置を介しての電流を検知する第二センサー装置、
前記第一センサー装置の出力と前記第二センサー装置の出力とを比較する第一比較装置、
前記第一比較装置の比較に基づいて前記第二マグネトロン装置への電流を調節する第一メカニズム、
を有しているシステム。
【請求項１８】
請求項１７において、更に、
前記電源装置によりパワーが供給される第三マグネトロン装置、
前記第三マグネトロン装置を介しての電流を検知する第三センサー装置、
前記第三センサー装置の出力と前記第一センサー装置の出力とを比較する第二比較装置、
前記第二比較装置の比較に基づいて前記第三マグネトロン装置への電流を調節する第二メカニズム、
を有しているシステム。
【請求項１９】
少なくとも３個のマグネトロン装置へパワーを供給する方法において、
第一マグネトロン装置へ第一信号線に沿って第一電流を供給し、
第二マグネトロン装置へ第二信号線に沿って第二電流を供給し、
第三マグネトロン装置へ第三信号線に沿って第三電流を供給し、
前記第二及び第三マグネトロン装置の各々への電流の量を割当てる、
ことを包含している方法。
【請求項２０】
請求項１９において、前記割当てを行う場合に、前記第一電流を検知し、前記第二電流を検知し且つ前記第三電流を検知し、且つ前記第二マグネトロン装置への前記第二電流を調節し且つ前記第三マグネトロン装置への前記第三電流を調節する、ことを包含している方法。
【請求項２１】
請求項２０において、前記割当てを行う場合に、更に、前記検知した第一電流と前記検知した第二電流とを比較することを包含している方法。
【請求項２２】
請求項２１において、前記割当てを行う場合に、更に、前記検知した第一電流と前記検知した第三電流とを比較することを包含している方法。
【請求項２３】
第一マグネトロン装置へパワーを供給し、
第二マグネトロン装置へパワーを供給し、
前記第一マグネトロン装置を介しての電流を検知し、
前記第二マグネトロン装置を介しての電流を検知し、
前記第一マグネトロン装置を介しての前記検知した電流及び前記第二マグネトロン装置を介しての前記検知した電流を比較し、
前記第一マグネトロン装置を介しての前記検知した電流及び前記第二マグネトロン装置を介しての前記検知した電流の比較に基づいて前記第二マグネトロン装置への電流を調節する、
ことを包含している方法。
【請求項２４】
請求項２３において、更に、
第三マグネトロン装置へパワーを供給し、
前記第三マグネトロン装置を介しての電流を検知し、
前記第一マグネトロン装置を介しての前記検知した電流及び前記第三マグネトロン装置を介しての前記検知した電流を比較し、
前記第一マグネトロン装置を介しての前記検知した電流と前記第三マグネトロン装置を介しての前記検知した電流との比較に基づいて前記第三マグネトロン装置への電流を調節する、
ことを包含している方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は単一の電源によりパワーが供給される複数のマグネトロンを使用及び／又は制御することに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
マイクロ波加熱は、熱エネルギの供給を包含する多数のプロセスにおいて多くの利点を持って適用することが可能な技術である。１つの利点は、加熱パワーを惰性なしで制御することが可能であるということである。
【０００３】
然しながら、１つの欠点は、マイクロ波装置は、しばしば、従来の代替物よりも一層高価であるということである。このような加熱装置のマグネトロンは、装置の主要なコストを構成する関連する制御システムを具備するパワーユニットにより駆動させることが可能である。マグネトロンの出力パワーは制限されているので、加熱装置は、所要の加熱条件を達成するために、顕著な数のマグネトロン及び関連するパワーユニット及び制御システムが存在することを必要とする場合がある。
【０００４】
マグネトロンは、無線周波数（ＲＦ）エネルギを発生するために使用することが可能である。このＲＦエネルギは品目を加熱すること（即ち、マイクロ波加熱）等の異なる目的のために使用することが可能であり、又は、それはプラズマを発生するために使用することが可能である。プラズマは、薄膜付着、ダイヤモンド付着及び半導体製造プロセス等の多くの異なるプロセスにおいて使用することが可能である。このＲＦエネルギは、又、ＵＶ（又は可視）光を発生するクォーツ包囲体内にプラズマを発生するために使用することも可能である。この観点において決定的な特性は、ＤＣパワーをＲＦエネルギへ変換する場合に達成される高い効率及びマグネトロンの幾何学的形状である。１つの欠点は、所要のパワー出力を発生するのに必要とされる電圧がマグネトロン毎に異なるということである。この電圧は、主として、マグネトロンの内部の幾何学的形状及びキャビティ内の磁界強度により決定することが可能である。
【０００５】
幾つかの適用例は、所要のＲＦエネルギを供給するために２個又はそれ以上のマグネトロンを必要とする場合がある。これらの場合において、個々の電源が各マグネトロンに対して必要とされていた。２個又はそれ以上のマグネトロンを１個の電源へ並列的に結合させることが可能である。然しながら、同一の設計の２個のマグネトロンは同一の電圧対電流特性を有するものでない場合がある。２個の同一のマグネトロンの間の通常の製造トリランス及び温度差が異なる電圧対電流特性を生じる場合がある。そうであるから、各マグネトロンは僅かに異なる電圧を有する場合がある。例えば、これらのマグネトロンは、１個のマグネトロンが他方のマグネトロンよりもより高いパワー出力を発生するような相互に異なる動作曲線を有する場合がある。より高い出力パワーを有するマグネトロンは他方のものよりも一層熱くなる場合があり、その場合に、動作曲線が降下し且つ電源がより低い出力電圧へクランプされるか又は制限される。このことは他方のマグネトロンのニー（ｋｎｅｅ）電圧に到達することがないために一方のマグネトロンのみが全てのパワーを発生することとなるまでより高い出力を発生するマグネトロンのパワー出力を降下させる場合がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
これらの問題なしで複数個のマグネトロンを使用することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の実施例は、電流を供給する電源装置、前記電源によりパワーが供給される少なくとも３個のマグネトロン装置、及び該複数個のマグネトロン装置の各々への電流の量を割当てる制御回路を包含するシステムを提供することが可能である。
【０００８】
該制御回路は、該電源装置と該マグネトロン装置のうちの第一のものとの間に結合されている第一ホール効果センサーと、該電源装置と該マグネトロン装置のうちの第二のものとの間に結合されている第二ホール効果センサーと、該電源装置と該マグネトロン装置のうちの第三のものとの間に結合されている第三ホール効果センサーとを包含することが可能である。
【０００９】
該第三マグネトロン装置はマスターマグネトロン装置とすることが可能であり、該第二マグネトロン装置はスレーブマグネトロン装置とすることが可能であり、且つ該第三マグネトロン装置はスレーブマグネトロン装置とすることが可能である。
【００１０】
該第一ホール効果センサーは、該第一マグネトロン装置における電流を検知することが可能であり、該第二ホール効果センサーは該第二マグネトロン装置における電流を検知することが可能であり、且つ該第三ホール効果センサーは該第三マグネトロン装置における電流を検知することが可能である。該制御回路は、更に、該第一ホール効果センサーの出力と該第二ホール効果センサーの出力とを比較する第一比較装置を包含することが可能である。該制御回路は、更に、該第一ホール効果センサーの出力と該第三ホール効果センサーの出力とを比較する第二比較装置を包含することが可能である。
【００１１】
本発明の実施例は、更に、電源装置と、各々が該電源装置によりパワーが供給される第一マグネトロン装置及び第二マグネトロン装置を包含するシステムを包含することが可能である。第一センサー装置は該第一マグネトロン装置を介しての電流を検知することが可能であり且つ第二センサー装置は該第二マグネトロン装置を介しての電流を検知することが可能である。第一比較装置は、該第一センサー装置の出力と該第二センサー装置の出力とを比較することが可能である。第一メカニズムは、該第一比較装置の比較に基づいて該第二マグネトロン装置への電流を調節することが可能である。本システムは、更に、該電源装置によりパワーが供給される第三マグネトロン装置と、該第三マグネトロン装置を介しての電流を検知する第三センサー装置とを包含することが可能である。第二比較装置は、該第一センサー装置の出力と該第三センサー装置の出力とを比較することが可能である。第二メカニズムは、該第二比較装置の比較に基づいて該第三マグネトロン装置への電流を調節することが可能である。
【００１２】
本発明の実施例は、更に、少なくとも３個のマグネトロンへパワーを供給する方法を提供することが可能である。本方法は、第一マグネトロン装置へ第一信号線に沿って第一電流を供給し、第二マグネトロン装置へ第二信号線に沿って第二電流を供給し、且つ第三マグネトロン装置へ第三信号線に沿って第三電流を供給することを包含することが可能である。該第一、第二、第三マグネトロン装置の各々への電流を割当てることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の構成及び実施例は、２個又はそれ以上のマグネトロンを動作させるためのソリッドステート電源及び制御装置を組込んだシステムを提供することが可能である。特に、本発明の実施例は、２個又はそれ以上のマグネトロンを単一の（即ち、共通の）電源によりパワーを供給することを可能とさせる。単一の電源により複数のマグネトロンにパワーを供給するための構成は、２００１年５月１０日付で出願された米国特許出願第０９／８５２，０１５号に記載されており、その要旨を引用により本明細書に取込む。
【００１４】
図１は例示的な構成に従って単一の電源から２個のマグネトロン（又は２個のマグネトロン装置）ヘパワーを供給するための回路図である。その他の構成及び形態とすることも可能である。特に、図１は高電圧低リップルＤＣ電源等の電源１０を示している。より詳細には、電源１０は４．６ＫＶにおいて１．６８Ａｍｐ出力を与えることが可能なソリッドステート高電圧電源を包含することが可能である。電源１０は、一定の電流出力（又はほぼ一定の電流）を提供すべく設計することが可能である。その他の量の電流及びパワーとすることも可能である。第一信号線１２が第一方向（即ち、時計方向）においてホール効果電流変圧器２０を巻着し且つ第二信号線１４が該第一方向と反対の第二方向（即ち、反時計方向）にホール効果電流変圧器２０を巻着するように、電源１０をホール効果電流変圧器２０へ結合させることが可能である。以下に説明するように、ホール効果電流変圧器２０は、信号線１２及び１４を介しての電流を検知し且つ両方のマグネトロンが等しい電流（又は実質的に等しい電流）を有するように該マグネトロンのうちの１つへの電流を調節すべく作用する。ホール効果電流変圧器２０は、その際に、両方のマグネトロンへの電流の量を割当てる。別の言い方をすれば、電源１０は、ホール効果電流変圧器２０により検知される一定の電流出力を供給する。当該技術において公知の如く、ホール効果電流センサー（例えばホール効果電流変圧器２０）は、磁界を検知し且つ比例的な電圧を出力するためにホール効果を利用する。ホール効果電流変圧器２０の出力は、信号線１２と１４との間の電流における差異に比例する。
【００１５】
信号線１２は、マグネトロン４０のカソードへ結合させることが可能であり、且つ信号線１４は、更に、図１に示したように、マグネトロン３０のカソードへ結合させることが可能である。この構成において、フィラメントはフィラメント加熱のために必要な電流を供給する変圧器へ結合される。フィラメント変圧器２２及び２４の一次側は信号線１６及び１８を横断してＡＣ供給源（例えば１００乃至２００ボルト）からパワーを供給することが可能である。カソード端子は、又、フィラメント端子のうちの１つと共用することが可能である。このことは、この構成にとって特定のものである場合があり、一方その他の構成は同様の又は異なる接続を有する場合がある。
【００１６】
図１の構成において、マグネトロン４０における電流を調節するため（又は電流を割当てるため）フィードバックループを使用することが可能である。より詳細には、ホール効果電流変圧器２０は、信号線２６によって、抵抗２８及びエラー増幅器５０へ結合させることが可能であり、エラー増幅器５０はその入力と出力との間に結合した抵抗３４を包含することが可能である。エラー増幅器５０の出力は、信号線３６に沿って、抵抗３８へ結合させることが可能であり、抵抗３８はコイルドライバ６０の入力へ結合させることが可能であり、コイルドライバ６０はその入力と出力との間に結合した抵抗６２を包含することが可能である。エラー増幅器５０、コイルドライバ６０、抵抗２８，３４，３８の形態及び動作は、これらの夫々の機能を提供する１つの例に過ぎない。抵抗及び増幅器のその他の組み合わせ及び形態とすることも可能である。コイルドライバ６０の出力は、信号線６４に沿って、マグネトロン４０と関連する電磁石４２の開始端子へ印加することが可能である。電磁石４２の終了端子は、図１に示した如く、接地へ結合することが可能である。
【００１７】
変調入力７０を、信号線７２に沿って且つ抵抗３５を介して、エラー増幅器５０の入力へ印加することが可能である。変調入力７０は、マグネトロン間の電流（パワー）分布を時間的に変化する関数とすることを可能とする。このことは、マグネトロンが従来の整流され且つフィルタされていない電源から動作されることをシミュレーションする。幾つかのタイプの紫外線（ＵＶ）バルブはこのタイプの動作から利点を得ることが可能である。
【００１８】
図２は、単一の電源１０と２個のマグネトロン３０及び４０を使用する別の例示的な構成の回路図である。その他の構成及び形態とすることも可能である。この構成は図１の構成に類似しており且つ、付加的に、電磁石４２の終了端子をマグネトロン３０と関連する電磁石３２の終了端子へ結合させる信号線６６を包含している。電磁石３２の開始端子は、図２に示したように、接地ヘ結合させることが可能である。このタイプの接続は、与えられた電流方向に対して、マグネトロン４０において増加する磁界を与え且つマグネトロン３０において減少する磁界を与える。この構成において、マグネトロン３０及び４０における電流を調節するためにフィードバックを利用することが可能である。
【００１９】
電源１０は、定電流を供給する設計とすることが可能であり、その出力電流は２個のマグネトロン３０及び４０により共用される。電流の共用は、ホール効果電流変圧器２０を使用することにより可能とさせることが可能である。ホール効果電流変圧器２０は、信号線１２及び１４における電流を検知し且つマグネトロン３０及び４０の各々へのアノード電流をモニタし且つマグネトロン３０及び４０の両方が等しい電流を有するように電磁石電流を調節すべく動作することが可能である。このことは、エラー増幅器５０とコイルドライバ６０とを包含する上述したフィードバックループを使用することによってホール効果電流変圧器２０の出力を強制的にゼロとさせることにより達成することが可能である。本回路は、マグネトロン３０及び４０に対してカレントミラー動作を与えることが可能である。更に、図２の構成における電磁石４２及び電磁石３２の使用は、該マグネトロンのうちの一方において磁束を増加させ、一方他方のマグネトロンにおいて磁束を減少させることを可能とする。
【００２０】
要するに、この構成は、少なくとも２個のマグネトロンに対してパワーを供給する単一の電源装置を具備するシステムを提供することが可能である。このことは、図面に示したようにホール効果電流変圧器２０を使用して各マグネトロン３０及び４０のアノードへ印加される電流を検知することによって達成することが可能である。この手法は、１個を超えるマグネトロンを具備するシステム又はプロセスに対して適用することが可能である。
【００２１】
上述したように、この構成は、２個のマグネトロンのうちの１つと関連する電磁石コイルを包含することが可能である。図２の構成において、電磁石コイルは各マグネトロン上にあり且つ該コイルは直列に駆動される。図１の構成において、コイルを具備するマグネトロンを介しての電流を所望の量へ調節することが可能であり、且つ使用可能な電流の残部はコイル無しのマグネトロンを介して流れることが可能である。別の言い方をすれば、電源からの電流は２個のマグネトロンの間で割当てることが可能である。例えば、第二マグネトロンを介しての電流はコイル無しのマグネトロンを介しての電流と同じであるように調節することが可能である。
【００２２】
本発明の実施例を２個を超えるマグネトロンへ適用することが可能である。例えば、１個のマグネトロンがコイル無しであり、一方他の２個のマグネトロン（又は２個を超えるマグネトロン）の各々は電磁石コイルを有することが可能である。コイル無しマグネトロンはマスターマグネトロンと呼称され、且つコイル付きマグネトロンはスレーブマグネトロンと呼称することが可能である。スレーブマグネトロンにおいて、その電流はマスターマグネトロンと相対的に調節することが可能である。
【００２３】
図３は、本発明の例示的実施例に基づく回路図である。本回路は、マスターマグネトロンと相対的にスレーブマグネトロンにおいて電流を調節（又は電流を割当てる）べく動作する。その他の実施例及び形態も本発明の範囲内のものである。例えば、図３は３個のマグネトロンを示すに過ぎないが、その他の数のマグネトロンも本発明の範囲内のものである。
【００２４】
図３はマスターマグネトロン１００及び２個のスレーブマグネトロン２００及び３００を示している。図示したように、ホール効果センサー１０５（ホール効果電流変圧器とも呼称される）を電源１０とマスターマグネトロン１００との間に結合することが可能である。更に、ホール効果センサー２０５を電源１０とスレーブマグネトロン２００との間に結合することが可能であり、且つホール効果センサー３０５を電源１０とスレーブマグネトロン３００との間に結合することが可能である。電流検知装置（例えば、ホール効果センサー）は、マグネトロン電流が等しい場合に、ホール効果センサー出力がほぼゼロであるように、反対の極性でマグネトロンの各々における電流を検知することが可能である。
【００２５】
本発明の実施例は、個別的な電流センサー（例えば、ホール効果センサー１０５，２０５，３０５）を使用し且つ比較装置を使用することによりそれらの出力を比較することが可能である。例えば、図３はホール効果センサー１０５（マスターマグネトロン１００へ結合されている）及びホール効果センサー２０５（スレーブマグネトロン２００へ結合されている）の出力を比較するための比較装置２１０を示している。図３は、又、ホール効果センサー１０５（マスターマグネトロン１００へ結合されている）及びホール効果センサー３０５（スレーブマグネトロン３００へ結合されている）の出力を比較するために比較装置３１０を示している。２個のホール効果センサーと１個の比較装置を使用することは、又、単一の電源によりパワーが供給される２個のマグネトロンへ適用することが可能である。即ち、前述した構成を、２個のホール効果センサーと１個の比較装置とを包含するために図３と同様の態様で修正することが可能である。
【００２６】
比較装置２１０は、スレーブマグネトロン２００の第一フィードバックループへ信号を出力することが可能であり、それはスレーブマグネトロン２００への電流を調節する。同様に、比較装置３１０はスレーブマグネトロン３００の第二フィードバックループへ信号を出力することが可能であり、それはスレーブマグネトロン３００への電流を調節する。
【００２７】
スレーブマグネトロン２００の第一フィードバックループは、図１に関して上述したフィードバックループと同様のものとすることが可能である。例えば、比較装置２１０は、信号線２２６によって、抵抗２２８及びエラー増幅器２５０へ結合させることが可能であり、エラー増幅器２５０はその入力と出力との間に結合されている抵抗２３４を包含することが可能である。エラー増幅器２５０の出力は、信号線２３６に沿って、抵抗２３８へ結合することが可能であり、抵抗２３８はコイルドライバ２６０の入力へ結合させることが可能であり、コイルドライバ２６０はその入力と出力との間に結合されている抵抗２６２を包含することが可能である。エラー増幅器２５０、コイルドライバ２６０、抵抗２２８，２３４，２３８の形態及び動作は、これらの夫々の機能を提供する１つの例に過ぎない。抵抗及び増幅器のその他の組み合わせ及び形態とすることも可能である。コイルドライバ２６０の出力は、信号線２６４に沿って、マグネトロン２００と関連する電磁石２４２の開始端子へ印加することが可能である。電磁石２４２の終了端子は図３に示したように接地へ結合することが可能である。変調入力２７０を信号線２７２に沿って及び抵抗２３５を介してエラー増幅器２５０の入力へ印加することが可能である。変調入力２７０は、該マグネトロンの間での電流（パワー）分布を時間的に変化する関数とすることを可能とする。
【００２８】
スレーブマグネトロン３００の第二フィードバックループは、又、図１に関して上述したフィードバックループと同様のものとすることが可能である。例えば、比較装置３１０は、信号線３２６によって、抵抗３２８及びエラー増幅器３５０へ結合させることが可能であり、エラー増幅器３５０は、その入力と出力との間に結合した抵抗３３４を包含することが可能である。エラー増幅器３５０の出力は、信号線３３６に沿って、抵抗３３８へ結合することが可能であり、抵抗３３８はコイルドライバ３６０の入力へ結合することが可能であり、コイルドライバ３６０は、その入力と出力との間に結合した抵抗３６２を包含することが可能である。エラー増幅器３５０、コイルドライバ３６０、抵抗３２８，３３４，３３８の形態及び動作はこれらの夫々の機能を提供する１例に過ぎない。抵抗及び増幅器のその他の組み合わせ及び形態とすることも可能である。コイルドライバ３６０の出力は、信号線３６４に沿って、マグネトロン３００と関連する電磁石３４２の開始端子へ印加することが可能である。電磁石３４２の終了端子は図３に示したように接地へ結合することが可能である。変調入力３７０は、信号線３７２に沿って且つ抵抗３３５を介してエラー増幅器３５０の入力へ印加することが可能である。変調入力３７０は、該マグネトロンの間での電流（パワー）分布を時間的に変化する関数とすることを可能とする。
【００２９】
図３は第一フィードバックループと第二フィードバックループとを示しているが、その他のタイプのフィードバックループも本発明の範囲内のものである。更に、比較装置２１０は、第一フィードバックループの一部と考えることが可能であり且つ比較装置３１０は第二フィードバックループの一部と考えることが可能である。更に、２個を超えるマグネトロンが与えられる場合には、スレーブマグネトロン２００及び３００のものに対応する態様で付加的な比較装置及びフィードバックループを設けることも可能である。
【００３０】
本発明を特定の実施例を参照して説明したが、その特定の実施例の説明は例示的なものに過ぎず且つ本発明の範囲を制限するものとして考えるべきではない。即ち、種々のその他の修正及び変更は本発明の精神及び範囲から逸脱することなしに当業者にとって自明なものである。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】例示的構成の回路図。
【図２】別の例示的構成の回路図。
【図３】本発明の例示的実施例の回路図。
【図１】
2005531914.tif 000003
【図２】
2005531914.tif 000004
【図３】
2005531914.tif 000005
【国際調査報告】
2005531914.tif 000006