(57)【要約】シリコーン樹脂が提供され、その樹脂は、5から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位および50から95モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位(ただし、Phはフェニル基であり、xは、0、1、または2の値を有する)を含み、その硬化したシリコーン樹脂が、30ダイン/cm以上の臨界表面自由エネルギーを有する。これらの樹脂は、40ダイン/cm以上の臨界表面自由エネルギーを有する有機誘電体材料のエッチストップ層として有用である。【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂のケイ素含有単位の全体量を基準として、5から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位および50から95モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位(ただし、Phはフェニル基であり、xは、0、1または2の値を有する)を含むシリコーン樹脂。
【請求項２】
前記シリコーン樹脂中に、25から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位、および50から75モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位が存在する請求項1に記載のシリコーン樹脂。
【請求項３】
前記シリコーン樹脂の40モル%未満の単位が、Si-OH基を含有する請求項1または2に記載のシリコーン樹脂。
【請求項４】
(I)樹脂のケイ素含有単位の全体量を基準として、5から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位および50から95モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位(ただし、Phはフェニル基であり、xは、0、1または2の値を有する)を含むシリコーン樹脂と、
(II)40から99.5重量%[(I)および(II)の重量を基準とする]の溶媒を含む溶液。
【請求項５】
前記溶媒を、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、γ-ブチロラクトン、メチルイソブチルケトン、メチルプロピルケトン、メシチレン、シリコーンから選択する請求項5に記載の溶液。
【請求項６】
少なくとも30ダイン/cmの臨界表面自由エネルギーを有するフェニル化酸化物誘電体。
【請求項７】
フェニル化酸化物誘電体を製造する方法であって
(I)樹脂のケイ素含有単位の全体量を基準として、5から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位および50から95モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位(ただし、Phはフェニル基であり、xは、0、1または2の値を有する)を含むシリコーン樹脂を基板に塗布する工程と、
(II)前記塗布済み基板を100℃から450℃の範囲の温度に加熱し、前記シリコーン樹脂を硬化させる工程を含む方法。
【請求項８】
前記シリコーン樹脂中に、25から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位、および50から75モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位が存在する請求項7に記載の方法。
【請求項９】
前記シリコーン樹脂の単位の40モル%未満が、Si-OH基を含有する請求項7に記載の方法。
【請求項１０】
誘電体材料を含む集積回路であって、前記誘電体材料が、
(A)少なくとも40ダイン/cmの臨界表面自由エネルギーを有する少なくとも1つの有機誘電体層と、
(B)少なくとも30ダイン/cmの臨界表面自由エネルギーを有する少なくとも1つのフェニル化酸化物誘電体層を含む集積回路。
【請求項１１】
前記フェニル化酸化物誘電体層が、前記有機誘電体層の上に塗布されている請求項20に記載の集積回路。
【請求項１２】
前記有機誘電体層が、前記フェニル化酸化物誘電体層の上に塗布されている請求項20に記載の集積回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、5から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位および50から95モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位(ただし、Phはフェニル基であり、xは、0、1、または2の値を有する)を含み、その硬化したシリコーン樹脂は、30ダイン/cm以上の臨界表面自由エネルギーを有するシリコーン樹脂に関する。これらの樹脂は、40ダイン/cm以上の臨界表面自由エネルギーを有する有機誘電体材料のエッチストップ層として有用である。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子は、多くの場合、集積回路(IC)を形成する個々の回路素子を電気的に結合する役割をする1つまたは複数のパターン化した相互接続レベルの配列を有する。その相互接続レベルは、一般的には、絶縁性すなわち誘電体コーティングによって分離されている。そのコーティングは、化学蒸着技法またはスピン技法によって形成することができる。例えば、米国特許第4,756,977号は、電子デバイスにコーティングを形成するために水素シルセスキオキサン樹脂を使用することを開示している。
【０００３】
集積回路を形成する1つの方法は、デュアルダマシンとして知られる。この方法は、誘電体の層を塗布する工程と、その誘電体に配線パターンをエッチングする工程と、配線金属を充填する工程と、必要とする数のレベルが形成されるまでその工程を繰り返す工程を含む。
【０００４】
誘電体層を生産するには異なるエッチング特性を有する少なくとも2つの異なる材料を使用するのが有利となってきている。要するに、1つの誘電体材料が、他の誘電体のエッチングにおけるエッチストップの役割を果たす。材料間のエッチング選択性を高めるためには、片方の誘電体層が有機材料であり他方が無機材料であることが望ましい。各誘電体層は他の層に対するエッチストップとして寄与し得る。酸素系プラズマにおいては、有機誘電体は、無機誘電体より早くエッチングされる傾向がある。フッ化炭素系プラズマでは、無機誘電体が、有機誘電体より早くエッチングされる傾向がある。無機、有機、無機または有機、無機、有機のサンドイッチ構造もまた、集積回路の誘電体層として有用である。
【０００５】
PCT特許出願WO 01/18861 A1(アライドシグナル社)は、基板およびその基板上に配置された第1の誘電体層材料を有するマイクロエレクトロニクスデバイスを開示する。第2の誘電体材料の層がその第1の誘電体層上に配置され、第1誘電体の追加の層がその第2誘電体層上に配置されている。その有機誘電体は、炭素を含有する材料であり、無機誘電体は炭素を含有しない材料である。
【０００６】
米国特許第6,218,317号は、メチル化-オキシドタイプのハードマスクを3未満、より好ましくは2.7以下の誘電率を有するポリマー層間誘電体材料上に形成することを開示している。
【０００７】
2つ以上の誘電体層を使用する場合は、上部の材料が下のレベルを適切にコートできる(すなわち、表面を濡らす)ことが望ましい。層間が十分な密着性を有していることも望ましい。
【特許文献１】
米国特許第4,756,977号
【特許文献２】
国際公開第01/18861号パンフレット
【特許文献３】
米国特許第6,218,317号
【特許文献４】
米国特許第5,762,697号
【特許文献５】
米国特許第6,281,285号
【特許文献６】
米国特許第5,010,159号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、5から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位および50から95モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位(ただし、Phはフェニル基であり、xは、0、1、または2の値を有する)を含み、その硬化したシリコーン樹脂は、30ダイン/cm以上の臨界表面自由エネルギーを有するシリコーン樹脂に関する。これらの樹脂は、40ダイン/cm以上の臨界表面自由エネルギーを有する有機誘電体のエッチストップ層として有用である。
【０００９】
本発明は、また、40ダイン/cm以上の臨界表面自由エネルギーを有する有機誘電体層、および、シリコーン樹脂から製造される30ダイン/cm以上の臨界表面自由エネルギーを有するフェニル化酸化物誘電体層を有する集積回路デバイスであって、その有機誘電体層の少なくとも1つの表面がフェニル化酸化物誘電体層の表面と接触しているデバイスにも関する。
【００１０】
本発明は、樹脂のケイ素含有単位の全体量を基準として、5から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位および50から95モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位を含み、Phがフェニル基であり、xが、0、1または2の値を有するシリコーン樹脂に関する。
【００１１】
シリコーン樹脂は、(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位を、5から50モル%、あるいは25から50モル%、あるいは30から45モル%含有する。シリコーン樹脂中の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)の量が多いほど、その結果としてフェニル化誘電体層の炭素の量が多くなる。それによってフェニル化酸化物誘電体層と有機誘電体層の間のエッチ選択性が減少する。さらに、最終フィルム中の多量の炭素は、フェニル化酸化物誘電体層の有機誘電体層に対する密着性を低下させる原因となる。
【００１２】
そのシリコーン樹脂が有機誘電体層と組み合わせて誘電体層として有用であるためには、硬化シリコーン樹脂において30ダイン/cm以上の臨界表面自由エネルギーを有することが望ましい。シリコーン樹脂中の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)が1モル%増加する毎に、理論的には硬化樹脂の臨界表面自由エネルギーが0.31ダイン/cm増加することになる。したがって、シリコーン樹脂中の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位の量は多いほど望ましいが、(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位の量が増加するにしたがって硬化したシリコーン樹脂の有機誘電体層に対する密着性は低下することが分かっている。硬化シリコーン樹脂は、35から60ダイン/cmの範囲で臨界表面自由エネルギーを有するのが好ましく、より好ましくは35から45ダイン/cmである。
【００１３】
シリコーン樹脂の構造は特に制約されることはない。シリコーン樹脂は、本質的に完全に縮合していてもよく、または一部のみが縮合していてもよい。シリコーン樹脂が部分的に縮合している場合は、シリコーン樹脂中の単位の40モル%未満が、Si-OH基を含有すべきである。それより多い量のこれらの単位は、樹脂の不安定性およびゲルの形成をもたらす可能性がある。一般的には、シリコーン樹脂中の単位の6から38モル%がSi-OH基を含有する。
【００１４】
そのシリコーン樹脂は、500から400,000の範囲、好ましくは500から100,000、あるいは700から10,000の範囲の重量平均分子量(Mw)を有する。
本特許で有用なシリコーン樹脂は、限定はしないが、以下のものが例示できる。
(PhSiO3/2)a(HSiO3/2)d
(PhSiO3/2)a(PhSiO2/2(OH))b(HSiO3/2)d
(PhSiO3/2)a(PhSiO2/2(OH))b(HSiO3/2)d(HSiO2/2(OH))e
(PhSiO3/2)a(HSiO3/2)d(HSiO2/2(OH))e
(PhSiO3/2)a(PhSiO2/2(OH))b(PhSiO1/2(OH)2)c(HSiO3/2)d
(PhSiO3/2)a(PhSiO2/2(OH))b(PhSiO1/2(OH)2)c(HSiO3/2)d(HSiO2/2(OH))e
ただし、a>0、b≧0、c≧0、d>0、e≧0、0.05≦a+b+c≦0.5、0.5≦d+e≦0.95、b+c+e≦0.4である。
【００１５】
その樹脂は、当該技術分野で周知の方法によって製造することができる。例えば、その樹脂は、米国特許第5,762,697号(坂本、他)に示されているように、フェニルトリアルコキシおよび水素トリアルコキシシランの混合物の加水分解および縮合によって製造することができる。別法では、それらは、米国特許第6,281,285号(Becker、他)および米国特許第5,010,159号(Bank、他)に示されているように、フェニルトリクロロシランおよび水素トリクロロシランの加水分解および縮合によって製造することができる。
【００１６】
シリコーン樹脂は、一般的に、溶媒の存在下で製造する。反応に加わる可能性のある官能基を含有しない任意の適当な有機溶媒またはシリコーン溶媒をシリコーン樹脂の製造で使用することができる。その溶媒は、一般に溶媒とシラン反応物の全体重量を基準として40から98重量パーセント、あるいは70から90重量パーセントの量で使用する。その反応は、2相系または単相系で行うことができる。
【００１７】
有用な有機溶媒としては、限定はしないが、n-ペンタン、ヘキサン、n-ヘプタン、イソオクタン等の飽和脂肪族;シクロペンタン、シクロヘキサン等の環式脂肪族;ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族;テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル;メチルイソブチルケトン(MIBK)、シクロヘキサノン等のケトン;トリクロロエタン等のハロゲン置換アルカン;ブロモベンゼン、クロロベンゼン等のハロゲン化芳香族;イソブチルイソ酪酸、プロピオン酸プロピル等のエステルを例示することができる。有用なシリコーン溶媒としては、限定はしないが、オクタメチルシクロテトラシロキサン、デカメチルシクロペンタシロキサン等の環式シロキサンを例示することができる。単一の溶媒または溶媒の混合物を使用することができる。
【００１８】
シリコーン樹脂を製造する反応は、それが著しいゲル化を引き起こす、すなわち、シリコーン樹脂の硬化を引き起こすことがない限り、任意の温度で行うことが可能である。一般的にその反応は、5℃から150℃の範囲で行うが、周辺温度が推奨される。
【００１９】
シリコーン樹脂を形成する時間は、多数の要因、例えば、温度、シラン反応物のタイプと量、存在する場合は触媒の量などに依存する。一般的に反応時間は、数分から数時間までである。当業者であれば、反応を完了するために必要な時間を容易に決定することができるであろう。
【００２０】
反応が完了した後、触媒を場合によっては除去してもよい。触媒を除去する方法は当該技術分野ではよく知られており、中和、ストリッピング、または水洗、またはそれらの組合せが挙げられよう。触媒は、シリコーン樹脂が特に溶液のときの貯蔵寿命にマイナスの影響を与えるのでそれを除去することが推奨される。
【００２１】
シリコーン樹脂を製造する工程において、反応が完了した後、揮発分をシリコーン樹脂溶液から減圧下で除去することができる。その揮発分としては、アルコール副生物、過剰の水、触媒、塩酸(クロロシランルート)、溶媒などが含まれる。揮発分を除去する方法は、当該技術分野では周知であり、例えば、蒸留が挙げられる。
【００２２】
シリコーン樹脂を生成する反応に続いて、場合によって多数の工程を実施し、所望される形態のシリコーン樹脂を得ることができる。例えば、シリコーン樹脂は、溶媒を除去することによって固体の形で回収することができる。溶媒の除去方法は重要ではなく、非常に多くの方法が技術的によく知られている(例えば、加熱および/または減圧下での蒸留)。シリコーン樹脂を一旦固体の形で回収したら、その樹脂は、場合によって、特定の用途のために同じ溶媒または別の溶媒に再溶解することができる。別法では、反応で使用した溶媒以外の異なる溶媒が最終製品のために必要な場合、第2溶媒を加え、第1溶媒を例えば蒸留によって除去することにより溶媒交換を行うことも可能である。さらに、溶媒中の樹脂濃度は、溶媒をいくらか除去することにより、または追加量の溶媒を加えることにより調節することができる。
【００２３】
本発明は、また、集積回路デバイス中の誘電体材料を形成することに関するものでもあって、その誘電体材料は、少なくとも40ダイン/cmの臨界表面自由エネルギーを有する少なくとも1つの有機誘電体の層、および、本発明のシリコーン樹脂から製造し、少なくとも30ダイン/cmの臨界表面自由エネルギーを有する第2のフェニル化酸化物誘電体層から構成される。
【００２４】
この「二重層」誘電体材料の利点は、片方の誘電体層が、他のエッチストップ層として寄与できることである。少なくとも30ダイン/cmの臨界表面自由エネルギーを有するフェニル化酸化物無機層を、少なくとも40ダイン/cmの臨界表面自由エネルギーを有する有機誘電体と共に使用することによって、良好な表面の濡れを達成することが可能である。良好な表面の濡れを有することによって、1つの材料の他の材料への本質的に均一なコーティングを成し遂げることが可能となる。
【００２５】
有機誘電体層は、当該技術分野で周知の材料を使用して技術的に周知の方法により製造することができる。1つの適切な有機誘電体材料は、ダウケミカル社(Dow Chemical Co.)製のSiLK(商標)である。この材料は、53ダイン/cmの臨界表面自由エネルギーを有する誘電体層を生み出す。SiLK(商標)は、従来のスピンコーティング技法および装置を使用して加工することができる。
【００２６】
そのシリコーン樹脂を使用して、
(I)5から50モル%の(PhSiO(3-x)/2(OH)x)単位および50から95モル%の(HSiO(3-x)/2(OH)x)単位(ただし、Phはフェニル基であり、xは、0、1または2の値を有する)を含むシリコーン樹脂で半導体基板にコーティングを施し、
(II)そのシリコーン樹脂を硬化し、フェニル化酸化物誘電体層を生成させるのに十分な温度でそのコートした基板を加熱することによってフェニル化酸化物誘電体層を調製することができる。
【００２７】
その半導体基板は、有機誘電体層を含み、その上にフェニル化酸化物誘電体層を形成することができる。別法では、フェニル化酸化物誘電体層を最初に形成し、有機誘電体層を次にそのフェニル化酸化物誘電体層の上に形成することもできる。
【００２８】
シリコーン樹脂は、一般的には、溶媒分散体として基板に塗布する。使用できる溶媒としては、シリコーン樹脂を溶解または分散して本質的に均一な液体混合物を形成する物質または物質の混合物を含む。その溶媒は、一般的には、上記のシリコーン樹脂を製造する反応で使用する単一溶媒または溶媒の混合物である。推奨される溶媒は、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、γ-ブチロラクトン、メチルイソブチルケトン、メチルプロピルケトン、メシチレン、シリコーンなどである。
【００２９】
溶媒の量は、特に限定しないが、一般的には、シリコーン樹脂と溶媒の重量を基準として40から99.5重量%、または60から99.5%の量で存在させる。
【００３０】
シリコーン樹脂を基板に塗布する特定の方法としては、限定はしないが、スピンコーティング、ディップコーティング、スプレーコーティング、フローコーティング、スクリーン印刷その他が挙げられる。推奨される塗布の方法は、スピンコーティングである。
【００３１】
溶媒を使用する場合、その溶媒は、塗布後コートした基板から除去する。乾燥、真空および/または加熱(すなわち、例えば、コートしたウェハをホットプレートの上を通過させるなど)など、任意の適当な除去の手段を使用すればよい。スピンコーティングを使用する場合は、高速回転により溶媒のほとんどが追い払われるのでさらなる乾燥手段は最小限とする。
【００３２】
基板への塗布に続いて、そのコートした基板をシリコーン樹脂が硬化する温度で加熱する。硬化したシリコーン樹脂は、それを基板に塗布するために使用することができる溶媒には本質的に不溶性である。一般的には、コートした基板は、シリコーン樹脂を硬化するために100℃から600℃の範囲の温度に加熱するが、100℃から450℃が推奨される。
【００３３】
樹脂を硬化する間使用する雰囲気は、特に制約されない。有用な雰囲気としては、空気など酸素含有雰囲気および窒素、アルゴンなどの不活性雰囲気が含まれる。「不活性」とは、雰囲気中に含まれる酸素が、50ppm未満、好ましくは10ppm未満であることを意味する。硬化工程および除去工程が行われるときの圧力は、重要ではない。硬化は一般的に大気圧で行われるが、大気圧より低くてもそれを超えても進行する。
【００３４】
シリコーン樹脂を硬化するには、任意の加熱方法を使用することができる。例えば、石英管炉、対流式オーブン、高速熱処理に入れるか、またはホットプレートの上に置いてもよい。集積回路上に硬化樹脂フィルムを生成させる産業では通常は炉が使用される。
【００３５】
誘電体材料の層は、任意の順序で製造することができる。例えば、有機誘電体の層を半導体基板上に生成させ、その後無機誘電体の層をその上に形成することができる。別法では、無機誘電体の層を半導体基板上に生成させ、その後有機誘電体の層をその上に形成することができる。別法では、サンドイッチ構造または多重層を形成することができる。例えば、有機誘電体の層を基板上に生成させ、続いて無機誘電体の層、続いて有機誘電体の他の層を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
当業者が本発明をより容易に理解することができるように、以下の非限定の実施例を提供する。以下の実施例中、Phはフェニルを表し、Meはメチルを表し、Tは単位SiO3/2を表す(すなわち、TPh=PhSiO3/2)。
【００３７】
臨界表面自由エネルギー(表面エネルギー)は、ASTM D 724に従う方法に基づいて接触角を使用して測定した。
【００３８】
密着性は、スタッドプル法を使用して測定した。
【実施例】
【００３９】
(実施例1)
エチレングリコールジメチルエーテル(EGDME)に、表1に示す量の対応するアルコキシシランを加えた。EGDMEとアルコキシシランのその溶液を、数分間攪拌し、その後100ppmの硝酸触媒を含有する脱イオン水を加えた。その混合物を室温で4日間激しく攪拌した。攪拌後プロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)を加えた。最初の溶媒(エチレングリコールジメチルエーテル)、残留水、アルコール副生物、残留硝酸を、ロータリーエバポレーションにより溶液から除去し、樹脂生成物(10重量%)のプロピレングリコールメチルエーテルアセテート溶液を残した。
(実施例2)
【００４０】
表2に示した量のエチレングリコールジメチルエーテル(EGDME)、フェニルトリクロロシラン、トリクロロシランをフラスコ反応器に仕込んだ。その溶液を10〜12℃に冷却し、その間その溶液は窒素雰囲気下に維持した。別のフラスコに表2に示す量のEGDMEおよび水を混ぜ合わせた。その水/EGDMEの溶液を、クロロシラン/EGDMEに表2に示す時間をかけて添加した。添加後、溶液を20℃に温め、表2に示されている時間撹拌して、形成された樹脂を安定・平衡化させた。200グラムのプロピレングリコールメチルエーテルアセテート(PGMEA)をその溶液に加えた。40℃でロータリーエバポレータを使用してEGDME溶媒を除去し、その溶液を約21重量%の樹脂含量まで濃縮した。その樹脂溶液に次に30gのエタノールをその溶液に追加し、フラスコの内容物をロータリーエバポレータにかけてそのエタノールと残留水と塩酸を除去した。その溶液を、次にPGMEAを加えて10重量%の樹脂に希釈した。実施例2-2は、EGDMEの代わりにPGMEA中で実施した。
【００４１】
【表１】
2005507015.tif 000002
【００４２】
【表２】
2005507015.tif 000003
(比較例1)
【００４３】
表3に示す量の濃塩酸(37パーセント水溶液)、オクチル硫酸ナトリウム、トルエン(1)を混ぜ合わせた。その溶液を、20℃、1200rpmで攪拌して2相を混合した。別のフラスコに表3に示す量のトルエン(2)、トリクロロシラン、メチルトリクロロシランを加えた。クロロシランとトルエンのその混合物を激しい攪拌を維持して4時間にわたって混ぜ合わせた。その結果得られた樹脂を20℃で最低4時間撹拌して安定・平衡化させた。攪拌器をそこで止め、相が分離するままにした。濃塩酸相を除去し、廃棄した。有機相を脱イオン水の1リットル分で8回洗浄した。これは、4のpHが得られるまで継続した。有機相をフラスコに移し、ロータリーエバポレータを用いて樹脂分30重量パーセントまで濃縮した。その樹脂溶液にトルエンを加えて樹脂濃度を20重量パーセントまで低下させた。次いでその溶液にエタノールを溶液重量全体の10重量パーセントの割合で加えた。そのエタノール、残留する水および塩酸を除去するために、その樹脂をロータリーエバポレータにより再度30重量パーセントまで濃縮した。その溶液をトルエンで希釈して20重量パーセントの樹脂とした。
【００４４】
樹脂を、トルエン/樹脂溶液にアセトニトリルを加えることによって分画して、精製した。典型的な場合、溶液/アセトニトリルが、高分子量画分を沈澱させる比の0.65と、中間画分(材料の40〜45パーセント)を沈澱させる比の0.13を達成するようにアセトニトリルを加えることにより、低分子量材料を含有する最後の溶液と共に3つの樹脂の画分に分離することができた。中間の画分は、評価のために使用し、3D光散乱GPCによる測定で、40,000の平均分子量を有していた。
【００４５】
これらの材料を、薄膜について検討するために、固形分濃度が7.5から10重量%となるようにシクロヘキサノンに溶解した。
(比較例2)
【００４６】
PhSi(OMe)3の代わりにMeSi(OMe)3を使用した以外は実施例1と同じ手順を使用して樹脂を調製した。量または反応物および生成した樹脂は、表4に示す。
【００４７】
【表３】
2005507015.tif 000004
【００４８】
【表４】
2005507015.tif 000005
(実施例4)
【００４９】
実施例1および2からの試料をPGMEAに希釈して1から3重量%の濃度とし、濾過してシリコンウェハにスピンコートした。スピン速度は、スピンしたときの厚さが250オングストロームの範囲に達するように2000から5000RPMの範囲の中で選択した。コートしたウェハは、高速熱処理装置の250℃の窒素雰囲気中で2分間加熱してフェニル化酸化物コーティングを生成させた。結果を表4に示す。
【００５０】
上と同じ手順を用いて、その最初の層の上に第2のフェニル化酸化物層を生成させた。膜品質(フィルムオンフィルム)の結果を表1に示す。
【００５１】
【表５】
2005507015.tif 000006
(比較例3)
【００５２】
比較例1および2からの試料をPGMEAに希釈して1から3重量%の濃度とし、濾過してシリコンウェハにスピンコートした。スピン速度は、スピンしたときの厚さが250オングストロームの範囲に達するように2000から5000RPMの範囲の中で選択した。コートしたウェハは、高速熱処理装置の250℃の窒素雰囲気中で2分間加熱してメチル化酸化物コーティングを生成させた。結果を表6に示す。
【００５３】
【表６】
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【国際公開パンフレット】
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2005507015.tif 000009
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【国際調査報告】
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