(57)【要約】本発明の目的は、少なくとも一つの内部空間を有する製作品の検査方法を提供することで、その検査方法は容易かつ迅速に実行できるものである。本発明において、検査方法は：製作品の内部空間にガス流れを発生する段階と；該ガス流れにより発生されたノイズを検出する段階と；該ノイズから得られた測定値を所定値と比較する段階と；を含んでいる。
2005506549.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの内部空間（１１８）を備えた製作品（１１４）の検査方法であって、
検査方法が：
製作品（１１４）の内部空間（１１８）にガス流れを発生する段階と；
該ガス流れにより発生されたノイズを検出する段階と；
該ノイズから得られた測定値を所定値と比較する段階と；
を含んでいる検査方法。
【請求項２】
該ガス流れが空気流れであることを特徴とする、請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
ガスが、少なくとも５０ｍｂａｒ好ましくは少なくとも１００ｍｂａｒの超過圧力で内部空間（１１８）へ供給されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の検査方法。
【請求項４】
該ガス流れがファン（１０８）により発生されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項５】
ガスが、供給ライン（１１０）を介して該内部空間の入口オリフィス（１２０）へ供給されていることを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項６】
供給ライン（１１０）が、入口オリフィス（１２０）へ向けての出口拡大部を備えていることを特徴とする、請求項５に記載の検査方法。
【請求項７】
供給ライン（１１０）が、弾性材料でできているブッシュ（１１２）を備えていることを特徴とする、請求項５又は６に記載の検査方法。
【請求項８】
該ノイズがマイクロホン（１０６）あるいは構造体保持式音響センサにより測定されることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項９】
該ノイズの周波数スペクトルが測定値として決定されることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１０】
該周波数スペクトルが０Ｈｚと約２２，０００Ｈｚとの間の周波数範囲で決定されることを特徴とする、請求項９に記載の検査方法。
【請求項１１】
周波数スペクトルが所定値として決定されることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１２】
該所定値が、複数の正常な製作品における測定値を平均化することにより決定されることを特徴とする、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１３】
所定周波数スペクトルが、所定値として決定され、かつ測定周波数スペクトルが測定値として決定されることを特徴とする、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１４】
少なくとも一つの周波数において該測定周波数スペクトルと該所定周波数スペクトルとの間におけるずれが、所定の許容値より大きい場合、製作品（１１４）は異常として不合格品となることを特徴とする、請求項１３に記載の検査方法。
【請求項１５】
該測定周波数スペクトルと、該所定周波数スペクトルとの間におけるずれが、所定の周波数範囲にわたって所定の許容値より大きい場合、製作品（１１４）は異常として不合格品となることを特徴とする、請求項１３又は１４に記載の検査方法。
【請求項１６】
該ガス流れにより発生された該ノイズが測定されている間製作品（１１４）における出口オリフィス（１２２ａ〜１２２ｄ）の少なくとも一つがカバーされていることを特徴とする、請求項１〜１５のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１７】
出口オリフィス（１２２ａ〜１２２ｄ）が製作品（１１４）に対して可動なカバー要素（１３８ａ〜１３８ｄ）によりカバーされていることを特徴とする、請求項１６に記載の検査方法。
【請求項１８】
カバー要素（１３８ａ〜１３８ｄ）が、空気及び／又は油圧により製作品（１１４）に対して移動されることを特徴とする、請求項１７に記載の検査方法。
【請求項１９】
出口オリフィス（１２２ａ〜１２２ｄ）がカバーされている場合及びカバーされていない場合の両方の場合において、該ガス流れにより発生された該ノイズが、測定されることを特徴とする、請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項２０】
数個のカバー可能な出口オリフィス（１２２ａ〜１２２ｄ）があって、さらに数段階のノイズ測定が行なわれていて、各段階のノイズ測定の間カバー可能な出口オリフィス（１２２ａ〜１２２ｄ）の異なるセットが開となっていることを特徴とする、請求項１９に記載の検査方法。
【請求項２１】
各段階のノイズ測定の間、カバー可能な出口オリフィス（１２２ａ〜１２２ｄ）における厳密に一つが開となっていることを特徴とする、請求項２０に記載の検査方法。
【請求項２２】
数段階のノイズ測定が同一の製作品（１１４）に対して連続的に行なわれることを特徴とする、請求項１〜２１のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項２３】
少なくとも一つの内部空間（１１８）を備えた製作品（１１４）の検査装置であって、検査装置が：
製作品（１４４）の内部空間（１１８）においてガス流れを発生するためのガス流れ発生装置と；
該ガス流れにより発生されたノイズ測定用のノイズ測定装置と；
該ノイズから測定値を決定し、かつ該決定測定値を所定値と比較する処理装置と；
を具備する検査装置。
【請求項２４】
該ガス流れ発生装置がファン（１０８）を具備していることを特徴とする、請求項２３に記載の検査装置。
【請求項２５】
該ガス流れ発生装置が製作品（１１４）の内部空間（１１８）における入口オリフィス（１２０）へガスを供給するための供給ライン（１１０）を備えていることを特徴とする、請求項２３又は２４に記載の検査装置。
【請求項２６】
供給ライン（１１０）が、入口オリフィス（１２０）へ向けての出口拡大部を備えていることを特徴とする、請求項２５に記載の検査装置。
【請求項２７】
供給ライン（１１０）が、弾性材料でできているブッシュ（１１２）を備えていることを特徴とする、請求項２５又は２６に記載の検査装置。
【請求項２８】
該ノイズ検出装置が、マイクロホン（１０６）あるいは構造体保持式音響センサを備えていることを特徴とする請求項２３〜２７のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項２９】
検査装置（１００）が製作品（１１４）の出口オリフィス（１２２ａ〜１２２ｄ）の少なくとも一つをカバーするためのカバー要素（１３８ａ〜１３８ｄ）の少なくとも一つを備えていることを特徴とする請求項２３〜２８のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項３０】
カバー要素（１３８ａ〜１３８ｄ）が製作品（１１４）に対して可動であることを特徴とする請求項２９に記載の検査装置。
【請求項３１】
検査装置（１００）が、製作品（１１４）に対してカバー要素（１３８ａ〜１３８ｄ）を移動するための空気式及び／又は油圧式移動装置を備えていることを特徴とする請求項３０に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、少なくとも一つの内部空間を備えた製作品の検査方法及び検査装置に関する。
【０００２】
この種類の検査方法は、製作品の内部空間に存在している異物の有無を確認するようになっていて、その後これらの異物は製作品から除去することができる。
【０００３】
製作品の中にある異物の公知の検査方法において、フレキシブルなエンドスコープにより目視検査が行なわれており、そのエンドスコープは検査する製作品の内部空間へ手動で挿入しなければならない。
この種類の目視及び手動検査方法は、自動化ができなくてかつ時間を要するものであり、そのため一般に工業生産におけるサイクルタイムにおいて製作品内部のすべての空間を検査することは不可能であるので、検査は抜き取り検査に限定されていた。
【０００４】
本発明の目的は、少なくとも一つの内部空間を有する製作品の検査方法を提供することで、その検査方法は容易かつ迅速に実行できるものである。
【０００５】
本目的は、本発明による少なくとも一つの内部空間を備えた製作品の検査方法により達成されていて、
検査方法が：
製作品の内部空間にガス流れを発生する段階と；
該ガス流れにより発生されたノイズを検出する段階と；
該ノイズから得られた測定値を所定値と比較する段階と；
を含んでいる。
【０００６】
本発明による解決方法の概念は、従って製作品の音響検査を行なうことであって、
ガス流れが検査する製作品における内部空間と外周とへ流され、流れにさらされた各製作品と各位置に関する特殊なノイズパターンが発生されるようになっている。
【０００７】
従って発生したノイズパターンは、同一のガス供給及び同一のコンポネントを用いたもの（とくに異物の入っていない正常なコンポネントを用いたもの）とほぼ一致している。
【０００８】
所定ノイズパターンからのずれは、流れにさらされている製作品それぞれの場所において、正常製作品における周囲条件との違いがあることを示している。
【０００９】
ずれたノイズパターンの製作品は異常として除去され、再作業用の別の作業エリアへ運ばれる。
【００１０】
この別の作業エリアにおいて製作品に入っている異物が例えば公知の目視及び手動方法により取り除かれる。
【００１１】
異物の位置決めは、目視及び手動方法により、又は後述するように本発明による音響的方法により行なってもよい。
【００１２】
本発明による検査方法は完全自動化で行なうことができる。
【００１３】
さらに、検査する製作品を検査が行なわれる検査装置へ導入することと、及び製作品を取り出すことと、及び異常が発見された製作品を次のプロセスラインから取りはずすこととを、自動化することができる。
【００１４】
本発明による検査方法は、製作品のメタル切削加工プロセス及びそれに続く洗浄後の、製作品における残存チップの検出にとくに適したものである。
【００１５】
ガスが入口オリフィスを介して製作品の内部空間へ流入され、入口オリフィスとは異なる出口オリフィスを介して製作品から流出していて、そのガス流れにより特定ノイズが発生される。
【００１６】
しかしながら、入口オリフィスと出口オリフィスとがお互いに同一で提供されてもよい。このようにすることにより、本発明による検査方法は、盲穴の検査又は一つのアクセス用オリフィスだけを有している製作品の内部空間の検査に使用することもできる。
【００１７】
基本的には、ガス流れを発生するためにいずれのガスあるいはガス混合体が考慮されてもよい。
【００１８】
しかしながら本検査方法は、発生されるガス流れが空気流れである場合、実行することが容易なものとなる。
【００１９】
本検査方法の好適な実施例において、ガスは、ガス流れを発生するために、周囲圧力に対して少なくとも５０ｍｂａｒ好ましくは１００ｍｂａｒの超過圧力で、内部空間へ供給されるようになっている。
【００２０】
ガス流れは利点的にファンとくにサイドチャンネルコンプレッサ（ｓｉｄｅ  ｃｈａｎｎｅｌ  ｃｏｍｐｒｅｓｓｏｒ）により発生される。
【００２１】
代りに、ガスが圧縮空気リザーバ例えば圧縮空気シリンダから、又は圧縮空気供給装置から製作品の内部空間へ供給されるようになっていてもよい。
【００２２】
本発明好適な実施例において、ガスは、ガス流れを発生するために、供給ラインを介して内部空間の入口オリフィスへ供給されるようになっていてもよい。
【００２３】
供給ラインは、とくに入口オリフィスに向けての出口拡大部を備えている。
【００２４】
ガスを供給ラインから製作品の内部空間へ送り込む際に生じるガス損失を可能なかぎり少なくするために、供給ラインが弾性材料でできたブッシュを備えるようになっている。このことは、ブッシュが製作品の外面に入口オリフィスを囲んで供給でき、かつブッシュがこの方法により製作品の入口オリフィスをほぼガス・タイトに閉止することができることを保証している。
【００２５】
ガス流れにより発生されたノイズは音響センサ好ましくはマイクロホンあるいは構造保持式音響センサにより測定される。
【００２６】
本説明及び前述の特許請求の範囲において、測定値は、スカラ量としてだけではなく、一次元若しくは多次元の測定値の場（ｆｉｅｌｄ）として、又は一次元若しくは多次元の連続函数として理解されるべきである。
【００２７】
とくに、ノイズの周波数スペクトルは測定値として決定されるようになっていてもよい。
【００２８】
周波数スペクトルは可聴周波数範囲及び／又は不可聴周波数範囲（不可聴音又は超可聴音）であってもよい。
【００２９】
０Ｈｚと約２２，０００Ｈｚとの間の周波数範囲をおいて周波数スペクトルを決定することが、とくに好適なものであることが判明した。
【００３０】
本説明及び前述の特許請求の範囲において、測定値は、スカラ量としてだけではなく、一次元若しくは多次元の測定値の場（ｆｉｅｌｄ）として、又は一次元若しくは多次元の連続函数として理解されるべきである。
【００３１】
とくに、周波数スペクトルが測定値として決定されるようになっていてもよい。
【００３２】
定常ノイズの影響を低減するために、所定値が、複数の正常な製作品における測定値を平均化することにより決定されるようになっていることは好ましい。
【００３３】
代りに、所定値は製作品の測定を行なうことにより実験的に決定される（“教示される（ｔａｕｇｈｔ）”）ものではなくて、理論的に計算されるものである。
【００３４】
本発明による検査方法の好適な実施例において、所定周波数スペクトルが、所定値として決定され、かつ測定周波数スペクトルが測定値として決定される。
【００３５】
とくに少なくとも一つの周波数において測定周波数スペクトルと所定周波数スペクトルとの間におけるずれが、所定の許容値より大きい場合、製作品は異常として不合格品となるようになっていてもよい。
【００３６】
定常ノイズの影響を低減するために、測定周波数スペクトルと、所定周波数スペクトルとの間におけるずれが、所定の周波数範囲にわたって所定の許容値より大きい場合、製作品は異常として不合格品となるようになっていてもよい。
【００３７】
さらに測定周波数スペクトルと所定周波数スペクトルとの間における平均的なずれが、所定周波数範囲にわたって所定の許容値より大きい場合、製作品は異常として不合格品となるようになっていてもよい。
【００３８】
製作品の内部空間におけるガス流れが、とくに製作品の交差領域を測定し、一方他の領域には流れないか又はできるだけ少なくするために、ガス流れにより発生された該ノイズが測定されている間製作品における出口オリフィスの少なくとも一つがカバーされるようになっていてもよい。
このことは、ガスが、関連する出口オリフィスから流出することを防止していて、そのためガス流れにより発生されるノイズはほぼ製作品における異なる出口オリフィスにおいて終点となっている内部空間により発生される。
【００３９】
とくに、出口オリフィスが製作品に対して可動なカバー要素によりカバーされてるようになっていてもよい。
【００４０】
本発明による検査方法を自動化する場合、カバー要素が、空気及び／又は油圧により製作品に対して移動されてもよい。
【００４１】
検査する製作品の正常状態からのずれを特定することを可能とするために、本発明による検査方法の好適な実施例において出口オリフィスがカバーされている場合及びカバーされていない場合の両方の場合において、ガス流れにより発生されたノイズが、測定されるようになっている（前者の場合において、ガスは製作品の異なる出口オリフィスから流出するようになっている）。出口オリフィスの滲出量を変化することにより、製作品の内部空間において発生されるガス流れの構成が変化し、種々の構成において、製作品の内部空間における異なる領域各々がガス流れにより発生されるノイズパターンへ影響する。ガス流れの構成を変化することにより、製作品の内部空間における種々のエリアを、異常とくに異物に関して連続的に検査することができ、従ってどのような異物の位置決めをもすることができる。
【００４２】
数個のカバー可能な出口オリフィスがあって、さらに数段階のノイズ測定が行なわれていて、各段階のノイズ測定の間カバー可能な出口オリフィスの異なるセットが開となるようになっていてもよい。
【００４３】
この場合、ノイズ測定の一つの段階において、関連する所定値から著しくずれた測定値が測定される場合、ノイズ測定段階に提供された出口オリフィスの構成から、とくに異物に係わる正常状態からのずれが現れている関連エリアを決定することができる。
【００４４】
どのエリアが関連しているかに関する情報は、制御ユニットへ送られ、データキャリアに記憶され、表示ユニットへ出力され、及び／又は関連するエリアの適切なマーキングにより製作品自身に表示される。
【００４５】
異常な製作品に対する次の作業の際に、この情報は異常な製作品の部分的なエリアだけを詳細に、検査及び／又は洗浄するために使用することができる。
【００４６】
各ノイズ測定段階において、厳密に一つのカバー可能なオリフィスが開かれた場合、特定された異常の正確な位置決めが可能となる。この場合、発生されたノイズは、開かれた出口オリフィスに接続している製作品における内部空間のエリア近くで測定される。
【００４７】
製作品のお互いに独立した内部空間を検査することを可能にするために、数段階のノイズ測定が同一の製作品に対して連続的に行なわれるようになっていてもよい。
【００４８】
この場合、ガス流れを発生するためのガスは、好ましくは種々の入口オリフィスを介して連続的に製作品へ供給される。
【００４９】
本発明は、さらに少なくとも一つの内部空間を備えた製作品の検査装置を提供することを目的としていて、その検査装置は容易で迅速な製作品の検査を可能にするものである。
【００５０】
この目的は。本発明による少なくとも一つの内部空間を備えた製作品の検査装置により構成されていて、検査装置が：
製作品の内部空間においてガス流れを発生するためのガス流れ発生装置と；
該ガス流れにより発生されたノイズ測定用のノイズ測定装置と；
該ノイズから測定値を得て、かつ得られた該測定値を所定値と比較する処理装置と；
を具備している。
【００５１】
とくに本発明による検査装置は制御ユニットを備えていて、その制御ユニットは、検査装置の種々のコンポネントを駆動し、さらに検査装置を用いた自動的な検査方法の実施を可能にしている。
【００５２】
とくに本発明による検査装置の構成が従属請求項２４〜３１に記載されていて、それらの利点は本発明による検査方法における特定の実施例との関連ですでに前述されている。
【００５３】
本発明のさらなる特徴と利点とが以下の実施例にかかわる説明と説明図とにおける主題である。
【００５４】
全図面をとうして同一部品または相当部品は同一符号で付番されている。
【００５５】
図１及び３に示す全体として１００で付番された検出装置は、信号ライン１０４を介してマイクロホン１０６へ接続された制御ユニット１０２と、供給ライン１１０を介してブッシュ１１２へ接続されたファン１０８とを備えている。
【００５６】
検査装置１００により検査する製作品１１４は、入口オリフィス１２０と出口オリフィス１２２とを備えたチャンネル１１６、として形成された内部空間１１８を有しており、適切な運搬装置及び／又はハンドリング装置（図示されていない）により、図１に示す検査位置へ運ばれていて、その検査位置において、検査装置１００のマイクロホン１０６が、製作品１１４の出口オリフィス１２２のある側面に配置されていて、好ましくは出口オリフィス１２２へ向けて配向されている。
【００５７】
供給ライン１１０を閉止しているブッシュ１１２が適切なハンドリング装置（図示されていない）により製作品１１４に対して可動であって、そのハンドリング装置は、好ましくは制御ユニット１０２によりブッシュ１１２が製作品１１４の入口オリフィス１２０のある側面に対して押しつけられるように制御されており、内部空間１１８がブッシュ１１２の内部空間を介して供給ライン１１０へ接続されるようになっている。
【００５８】
この目的のために、供給ライン１１０はフレキシブルに作られていることが好ましい。
【００５９】
ブッシュ１１２は、さらに好ましくは弾性材料例えばゴムでできている。
【００６０】
流体が流れるブッシュ１１２の断面は、流体が流れる供給ライン１１０の断面より大きい。
【００６１】
ブッシュ１１２が製作品１１４まで移動された後、空気流れが、例えばサイドチャンネルコンプレッサとして作られたファン１０８により、供給ライン１１０とそれに接続された製作品１１４のチャンネル１１６にブッシュとを介して発生される。
【００６２】
製作品の内部空間１１８へ供給された空気は、例えば周囲圧力に対して約２００ｍｂａｒ超過圧力となっている。
【００６３】
空気流れの流量は例えば８００ｍ３  ／ｈである。
【００６４】
供給ライン１１０における流速は例えば２３０ｍ／ｓである。
【００６５】
チャンネル１１６を通過する空気流れがノイズを発生し、そのノイズは、出口オリフィス１２２から球面波状（図１に線１２４で示すような）に伝播し、マイクロホン１０６へ達する。
【００６６】
マイクロホン１０６において伝播してきた音波が電気パルスに変換され、その電気パルスは信号ライン１０４により制御ユニット１０２へ送信され、そしてそこでＡ／Ｃコンバータによりデジタルデータへ変換される。
【００６７】
したがって発生された時間依存信号は、プログラム可能なマイクロコンピュータとして作られていてもよい制御ユニット１０２へ送信され、フーリエ変換好ましくは一次フーリエ変換（ＦＦＴ）により図２に示す種類の周波数スペクトルに変換される。
【００６８】
図２に示すように、周波数は好ましくは０〜２２，０００Ｈｚの範囲、すなわち人間の耳で可聴な範囲で測定されている。
【００６９】
図２のグラフは両対数表示であって、周波数（Ｈｚ）に対する相対的な音の強さ（ｄＢ）で表示されている。
【００７０】
もし、検査する製作品１１４が正常であれば、すなわちチャンネル１１６に何の異物も入っていなければ、測定及びそれに続くフーリエ変換により得られた周波数スペクトル（定常的ノイズ（ｓｔａｔｉｃ  ｎｏｉｓｅ）は除かれている）は図２に示す所定の周波数スペクトル１２６に一致する。
【００７１】
この所定の周波数スペクトル１２６は以下の方法で得られるものであって；検査装置１００により、各々の場合複数の周波数スペクトルが複数の正常な製作品１１４に対して決定され、さらにこのようにして得られたすべての周波数スペクトルが定常ノイズを低減するために平均化される。
【００７２】
図２に示す所定の周波数スペクトル１２６は従って以下の方法で決定されたものであって；各々の場合十個の周波数スペクトルが六個の異なる正常な製作品を測定することにより決定されたもので、さらに得られた六十個の周波数スペクトルが平均化されたものである。
【００７３】
検査する製作品１１４に対し決定された測定周波数スペクトル所定の周波数スペクトル１２６と比較される。
【００７４】
検査する製作品１１４が図１に示すように正常なものである場合、測定周波数スペクトルと所定の周波数スペクトル１２６との間の平均的なずれは測定された全周波数領域にわたってほぼゼロである。
【００７５】
検査された製作品１１４は、この場合制御ユニット１０２により正常なものとして次のプロセスへ送られさらに検査装置１００から送り出され次のプロセスへ供給される。
【００７６】
しかしながら、検査された製作品１１４が、チャンネル１１６にチップのような異物１２８の存在する異常な製作品の場合（図３に示すような）、製作品１１４に対し決定された測定周波数１３０は、測定された周波数の少なくとも一部において所定の周波数スペクトル１２６から顕著なずれが見られる。
【００７７】
図５において、異常な製作品の測定周波数スペクトル１３０及び製作品の所定周波数スペクトル１２６がお互いに比較されていて、両周波数スペクトルは、お互いに０Ｈｚ〜約１６，０００Ｈｚの範囲においてほぼ一致しているけれど、約１６，０００Ｈｚ〜約２１，０００Ｈｚの範囲において異常な製作品の測定周波数スペクトル１３０は所定周波数スペクトル１２６を著しく上廻っていることが理解できる。
【００７８】
検査する製作品１１４の測定周波数スペクトル１３０におけるずれが、１，０００Ｈｚの周波数範囲にわたって所定周波数スペクトル１２６から現在のしきい値、例えば３ｄＢ上方にある場合、関連する製作品１１４は異常として不合格品となる。
【００７９】
この場合検査された製作品１１４は検査装置１００から送り出されるけれど、次のプロセスへは供給されず、かわりに区分けされ別の作業場所に運ばれ、そこで手動により再検査が行なわれ、必要に応じ製作品１１４の内部空間１１８から異物１２８の除去が行なわれる。
【００８０】
図６〜９に示す検査装置１００の第二実施例は、以下の点で前述の第一実施例と異なっていて、検査する製作品１１４の数個のチャンネルは、異物の有無が連続して検査され、従って製作品１１４に存在するどのような異物１２８も位置決めすることが可能である。
【００８１】
検査装置１００の第二実施例は、第一実施例と同じく、信号ライン１０４を介してマイクロホン１０６へ接続された制御ユニット１０２と、供給ライン１１０を介してブッシュ１１２へ接続されたファン１０８とを備えている。
【００８２】
検査装置１００は、さらに制御ライン１３２を介して制御ユニット１０２へ接続された数個例えば四つの空気式シリンダ１３４ａ〜１３４ｄを備えていて、その空気シリンダ１３４ａ〜１３４ｄにはピストン（図示されていない）が移動可能に含まれており、そのピストンはそれぞれロッド１３６を介してカバープレート１３８ａ〜１３８ｄへ接続されている。
【００８３】
各ピストンは、各々の場合に対応する空気式シリンダ１３４ａ〜１３４ｄにより、第一位置と第二位置との間で移動可能であって、その第一位置において、それぞれに対応するカバープレート１３８ａ〜１３８ｄが製作品１１４における出口オリフィス１２２ａ〜１２２ｄの一つをエア・タイトになるようにカバーしており、その第二位置において、それぞれ対応するカバープレート１３８ａ〜１３８ｄは関連する出口オリフィス１２２ａ〜１２２ｄを開としている。
【００８４】
検査する製作品１１４がこの場合主チャンネル１４０と数個の補助チャンネル１４２ａ〜１４２ｄを有していて；その主チャンネル１４０は、図６〜９に示す製作品１１４の検査位置において、入口オリフィス１２０とブッシュ１１２とを介して供給ライン１１０へ接続されており；その補助チャンネル１４２ａ〜１４２ｄは主チャンネル１４０から分岐し、かつ出口オリフィス１２２ａ〜１２２ｄそれぞれ一つで終点となっている。
【００８５】
検査される製作品における検査プロセスの間すべての空気式シリンダ１３４ａ〜１３４ｄにおけるピストンが制御ユニット１０２の適切な指令により第一端部位置へ位置決めされていて、その第一端部位置において関連するカバープレート１３８ａ〜１３８ｄがシールを用いてそれぞれ対応する出口オリフィスへ重なる。
【００８６】
ファン１０８は、超過圧力約２００ｍｂａ  の空気を検査する製作品へ供給するべく作動される。
【００８７】
続いてノイズ検出第一段階において、空気シリンダ１３４ａは、空気式シリンダ１３４ａのピストンが第二端部位置へ移動されるように制御ユニット１０２により作動されていて、その第二端部位置において、対応するカバープレート１３８ａが補助チャンネル１４２ａの出口オリフィス１２２ａを開とする。このような方法で供給ライン１１０により供給された空気が、主チャンネル１４０と補助チャンネル１４２ａとを通過し、さらに出口オリフィス１２２ａから流出することができる。
【００８８】
この流れがノイズを発生し、そのノイズは、出口オリフィス１２２ａから球面波状に伝播し、さらに前述した方法でマイクロホン１０６により測定される。
【００８９】
補助チャンネル１４２ａに対応する測定周波数スペクトルを得るために、測定されかつ補助チャンネル１４２ａに対応可能なノイズは、制御ユニット１０２でデジタル化されフーリエ変換され、その測定周波数スペクトルは補助チャンネル１４２ａに対応する所定周波数スペクトルと比較される。
【００９０】
図６に示す場合において、補助チャンネル１４２ａには異物がなくて、ノイズ検出第一段階により得られた測定周波数スペクトルは補助チャンネル１４２ａの所定周波数スペクトルにほぼ一致する。
【００９１】
補助チャンネル１４２ａを通過する空気流れにより発生されたノイズ検出の後に、カバープレート１３８ａが、空気式シリンダ１３４ａを作動することにより検査する製作品へ向けて再移動され、補助チャンネル１４２ａの出口オリフィス１２２ａを閉とする。
【００９２】
続いてノイズ検出第二段階がノイズ検出第一段階と同様に行なわれる。異なる点は、第一カバープレート１３８ａではなくて、第二カバープレート１３８ｂが、空気式シリンダ１３４ｂを作動することにより補助チャンネル１４２ｂの出口オリフィス１２２ｂから離間してゆく。
【００９３】
このことが、主チャンネル１４０と補助チャンネル１４２ｂとを通過する空気流れを発生し、その空気流れによりノイズが発生され、そのノイズは、出口オリフィス１２２ｂからマイクロホン１０６へ伝播し、かつ検出され、さらに前述の方法で処理される。
【００９４】
この場合、異物１２８例えばチップが補助チャンネル１４２ｂに有り、補助チャンネル１４２ｂに対応する測定周波数スペクトルは、この補助チャンネルに対応する所定周波数スペクトルから著しくずれている。
【００９５】
ノイズ検出第二段階は、空気式シリンダ１３４ｂを作動することによりカバープレート１３８ｂを移動することで出口オリフィス１２２ｂを閉とし終了する。
【００９６】
ノイズ検出第三段階及び第四段階が前述の第一段階及び第二段階と同様な方法で連続して行なわれていて、そのノイズ検出第三段階において、出口オリフィス１２２ｃが開かれ、そして補助チャンネル１４２ｃに対応する測定周波数スペクトルが決定され、さらにそのノイズ検出第四段階において、出口オリフィス１２２ｄが開かれ、そして補助チャンネル１４２ｄに対応する測定周波数スペクトルが決定される。
【００９７】
第二補助チャンネル１４２ｂの測定周波数スペクトルと所定周波数スペクトルとの比較において著しいずれとの結果であったので、検査された製作品１１４は異常として区分され、検査装置１００から次の作業場所に運ばれる。
【００９８】
制御ユニット１０２は、第二補助チャンネル１４２ｂが異常であるとのメッセージを表示ユニット（図示されていない）へ伝送する。
詳細に異物を見つけ出し除去する手動操作を、製作品１１４のこのチャンネルに絞ることが可能となる。
【００９９】
異物が製作品１１４の主チャンネル１４０、例えば第二補助チャンネル１４２ｂと第三補助チャンネル１４２ｃとの分岐点へ接続する区画にある場合、いくつかの補助チャンネル、例えば第一補助チャンネル１４２ａと第二補助チャンネル１４２ｂとの測定周波数スペクトルが、それぞれの所定周波数スペクトルからずれるであろう。この場合、制御ユニット１０２は、いくつかのチャンネル例えば補助チャンネル１４２ａと１４２ｂとが異常であるとのメッセージを表示ユニットへ伝送する。
【０１００】
次の作業を行なう作業員はこの種類のメッセージから以下の事を推定することができる。すなわち、異物が両方の補助チャンネル１４２ａと１４２ｂとに存在しているか、あるいは少なくとも一つの異物が、流れ方向における二つの補助チャンネル１４２ａ、１４２ｂの前方に位置する主チャンネル１４０の区画に存在しているか、のどちらかである。
【０１０１】
検査装置１００の第二実施例が構造的機能時に第一実施例と異なる場合には、前述の説明が参照される。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１は、検査装置と正常な製作品との概略図である。
【図２】
図２は、複数の正常な製作品に対する測定により平均した周波数スペクトルを示すグラフである。
【図３】
図３は、図１における検査装置と異常な製作品との概略図である。
【図４】
図４は、異常な製作品から測定された周波数スペクトルを示すグラフである。
【図５】
図５は、正常な製作品から測定された周波数スペクトルと、異常な製作品から測定された周波数スペクトルを示すグラフである。
【図６】
図６は、製作品における数個のチャンネルを検査することの出来る検査装置を示していて、製作品における第一チャンネルを検査している第一検査段階のものである。
【図７】
図７は、図６に対応するものであって、製作品における第二チャンネルを検査している第二検査段階のものである。
【図８】
図８は、図６に対応するものであって、製作品における第三チャンネルを検査している第三検査段階のものである。
【図９】
図９は、図６に対応するものであって、製作品における第四チャンネルを検査している第四検査段階のものである。
【図２】
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【図４】
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【図５】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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