(57)【要約】見込み顧客が、インターネットを介して提供するデータからプローブカードを設計するための方法およびシステムを提供する。設計仕様は、見込み顧客によりシステムに入力され、データベース内にコンパイルされる。設計仕様の各集合の全体的な実行可能性は、自動化コンピュータシステムにより決定され、見込み顧客に伝達される。実行可能な場合、追加のソフトウェアは、見込み顧客が、個々の設計仕様に応じて検証パッケージを生成することを可能にする。これらの検証パッケージは、さらに、最終的な設計を視覚的に記述する図面ファイルと、ウェハボンディングパッドデータを確認する検証ファイルとからなる。検証パッケージは検討されて、顧客の承認後にアプリケーションエンジニアに送信される。プローブカードの性能に関するインタラクティブなシミュレーションも提供する。プローブカードの性能に関するデータは、全体的なモデリングの演習に組み込まれ、この演習には、プローブカードだけではなく、被試験デバイス（ＤＵＴ）およびウェハに関するデータ、並びに自動化試験機器に関するデータも含まれる。
2005504368.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードを設計するための自動化システムであって、
ネットワークに結合され、ネットワークを介して見込み顧客からの設計要求を受信するように構成されたサーバと、
前記サーバで動作可能なアプリケーションであって、
ウェハ仕様およびプローブカード設計仕様を定義する情報の入力を可能にするため、見込み顧客が使用するグラフィカルインターフェースを提供する機能と、
前記情報を前記見込み顧客から受信する機能と、
提案されるプローブカード設計を記述する前記情報から検証パッケージを生成する機能と、
前記提案されたプローブカードの設計の承認可能性に関して、前記見込み顧客と通信する機能と、を提供するアプリケーションと、
を含むシステム。
【請求項２】
前記グラフィカルインターフェースが少なくとも１つのウェブページをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記アプリケーションが、前記見込み顧客から、前記提案されたプローブカードの設計を製造するために受注する機能をさらに提供する、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記アプリケーションが、前記提案されたプローブカードの設計のシグナルインテグリティを検証する機能をさらに提供する、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記生成機能が、前記提案されたプローブカードの設計図面の製作をさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記通信機能が、前記情報に対して提案される変更を前記見込み顧客に通知することをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記通信機能が、前記検証パッケージを前記見込み顧客に送信することをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記アプリケーションが、前記提案されたプローブカードの設計の承認可能性を決定する機能をさらに提供する、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記受注機能が、前記見込み顧客に前記注文の請求を行うことをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記検証機能が、前記提案されたプローブカードの設計の動作をシミュレートすることをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
前記検証機能が、前記提案されたプローブカードの設計の自動化シミュレーションを実行することをさらに含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記検証機能が、前記見込み顧客が指定する特定の仕様に基づくシミュレーションを実行することをさらに含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
プローブカードを設計するための自動化された方法であって、
見込み顧客が使用するグラフィカルインターフェースを提供して、ウェハ仕様およびプローブカード設計仕様を定義する情報を入力することを可能にするステップと、
前記情報を前記見込み顧客から受信するステップと、
提案されたプローブカードの設計を記述する前記情報から検証パッケージを生成するステップと、
前記提案されたプローブカードの設計の認証可能性に関して前記見込み顧客に伝達するステップとを含む方法。
【請求項１４】
前記グラフィカルインターフェースを提供するステップが、前記ユーザが操作可能なブラウザアプリケーションに、少なくとも１つのウェブページを配信することをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
前記提案されたプローブカードの設計を製作することを前記見込み顧客から受注するステップをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
前記提案されたプローブカードの設計のシグナルインテグリティを検証するステップをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
前記生成ステップが、前記提案されたプローブカードの設計の図面を生成することをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
前記通信ステップが、前記情報に対する変更の提案を前記見込み顧客に通知することをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１９】
前記検証パッケージを前記見込み顧客に送信することをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２０】
前記提案されたプローブカードの設計の承認可能性を決定するステップをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２１】
前記受注ステップが、前記見込み顧客に前記注文の請求を行うことをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２２】
前記検証ステップが、前記提案されたプローブカードの設計のシミュレーション動作をさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２３】
前記検証ステップが、前記提案されたプローブカードの設計の自動化シミュレーションを実行することをさらに含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記検証ステップが、前記見込み顧客が指定する特定の仕様に基づくシミュレーションを実行することをさらに含む、請求項２２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インタラクティブなプローブカード設計プロセスに関する。特に、本発明は、インターネットを介して利用可能な自動化手順を利用することにより、カスタマイズされたプローブカードの設計を可能にする。
【背景技術】
【０００２】
個々の集積回路デバイス（ダイ）は、一般に、数個の同じデバイスを半導体ウェハ上に形成することにより製造される。一般に、これらのプロセスは、半導体ウェハから個々のダイを分離する前に、複数の完全に機能的な集積回路デバイスを形成することを意図している。しかし、実際には、ウェハ自体の特定の物理的な欠点およびウェハの処理における特定の欠点は、必然的に、ダイのいくつかは「良好」（完全に機能的）であり、ダイのいくつかは「不良」（非機能的または部分的に機能的）であるという結果につながる。一般に、ウェハ上にある複数のダイのどれが良好であるかは、最終的なパッケージ化以前に、好ましくはダイをウェハから分離する以前に識別できることが望ましい。このため、ウェハの「テスタ」つまり「プローブ」は、ダイ上にある複数の別個の接続パッド（ボンディングパッド）に対する複数の別個の圧力接続部を構成するために有利に使用される。この方法では、半導体ダイは、ダイをウェハから分離する以前にテストして使用することができる。ウェハテスタの従来の構成部品は「プローブカード」である。プローブカードは、テストする半導体の個々のボンディングパッドに対する接続を行うための複数のプローブ素子を有する。
【０００３】
従来、プローブカードの製造設計段階は、顧客とプローブカードメーカーとの間の重要で、多くの場合は包括的かつ時間のかかる相当のコミュニケーションを必然的に必要とし、たとえば、プローブカードの設計を完成させるために必要な所望の設計仕様、インプリメンテーションおよび製造上の制約に到達するために必要なインタラクションが必要である。プローブカードメーカーの設計者は、特定の時間にいくつかの作業を受注するが、特定プローブカードの実際の設計は、特定量の顧客特有の設計情報を提供されなければ開始することはできない。好ましくは、実際の設計は、顧客と共に設計仕様を確認するまで開始しない。次に、エンジニアは、これらの仕様を満たす設計を開発して、再び設計の合否を顧客と共に確認しなければならない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
インターネットの出現は、プローブカードメーカーがより容易に顧客とコミュニケーションを取ることを可能にすることにより、設計プロセスを潜在的に促進させた。特に、現在のプローブカードメーカーが維持管理するウェブサイトは、顧客がインターネットを介して顧客の設計要件を送信および確認することを可能にした。こうしたコミュニケーションの進歩にも関わらず、エンジニアは、なお各々のプローブカードを物理的に設計し、各々の設計に対する顧客の承認を待って製造を開始しなければならない。こうした手順を改善するために、本発明は、顧客が顧客独自のプローブカードを設計することを可能にするためのオンラインツールを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、現在のプローブカード設計手順を効率的にする必要性を満たす。特に、顧客がプローブカード設計要件を入力して、設計のインプリメンテーションのための完全な設計仕様および検証のためのファイルを受信するインタラクティブプロセスを提供する。設計要件の集合の集合的な実行可能性は、自動化コンピュータシステムにより決定され、顧客に伝達される。実行可能であれば、追加のソフトウェアは、見込み顧客が顧客の個々の設計仕様に応じた検証パッケージを生成することを可能にする。こうした検証パッケージは、最終的な設計を視覚的に記述する図面ファイル、および検証ファイル、たとえばウェハボンディングパッドデータを確認するファイルを含む。検証パッケージは、必要に応じて顧客により検討されて変更される。次に、このプロセスは、顧客が最終的な設計に満足するまで繰り返され、顧客が満足した時点で、設計仕様および検証パッケージは、プローブカードメーカーの設計エンジニアに送信されて製作される。
【０００６】
もう１つの実施態様では、本発明は、見込み顧客が、提案された設計のシグナルインテグリティを検査して、計算された「最悪の状態」における信号応答または減結合挙動を決定するプローブカードシミュレーションを提供する。もう１つの実施態様では、信号応答および減結合挙動を検証するほかに、その他の設計要素およびパラメーターをシミュレートすることができ、たとえば、機能の正確性、遅延の正確性、グローバルおよびローカルな信号スキュー（指定された群内、またはすべての信号間）、クロストーク分析（遅延、導入など）、電源インテグリティ、ジッター効果などがシミュレートされる。
【０００７】
もう１つの実施態様では、プローブカードの性能に関するインタラクティブなシミュレーションが可能である。プローブカードの性能に関するデータは、全体的なモデリングのエクササイズに組み込まれ、このエクササイズには、プローブカードだけではなく、被試験デバイス（ＤＵＴ）および自動化試験機器に関するデータも含まれる。
【０００８】
プローブカードを設計するための方法およびシステムをより完全に理解することは、当業者にとっては、好ましい実施態様の以下の詳細な説明を考察することにより可能であり、こうした方法およびシステムのその他の利点および目的を理解することができるであろう。添付の図面を参照し、最初に簡潔に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明は、インターネットにアクセス可能なシステムであって、カスタマイズされたプローブカードの仕様および設計要件、並びに設計の正確性を確認し、製作用のファイルを完成させる検証パッケージを生成するためのシステムに対する必要性を満たす。特に、このシステムは、顧客がシミュレーションなどを介して行われるインタラクティブにプローブカードを設計および検証することを可能にするため、プローブカードの注文プロセスに関連する時間量を減少させることができる。以下の詳細な説明では、類似の参照符号は、１つ以上の図に示される要素を説明するために使用する。
【００１０】
図１Ａでは、ウェハを試験するためのウェハプローブ装置を示す略断面図が示されている。複数の半導体デバイスまたはダイ（個々に図示しない）を含むウェハ３２は、ウェハチャック３０上に固定される。たとえば数百列程度の多数のボンディングパッドは、各ダイの上面に形成される。それぞれ各ボンディングパッド３４に対応するプローブ２６は、ウェハ３２上に直接配置されたプローブ保持プレート２２上に配列されて保持される。このプローブ装置の略平面図を図１Ｂに示す。この図は、図１Ａの矢印１Ｂで示す方向に見たウェハプローブ装置の透視平面図を示す。プローブ保持プレート２２は、プレート保持部材２０上に固定して保持され、個々の各プローブ２６に電気的に接続された数個の導電パターン２４を備える。これらの導電パターン２４は、ウェハテストヘッド１０上に個々に位置するポゴピン１２のアレイにも電気的に接続される。
【００１１】
図２には、プローブカードを設計するための従来の手順を記述するフローチャートが示されている。この手順は、プローブカード製造会社が一般的な設計仕様を特定のプローブカードの顧客から受信するステップ１００で開始する。これらの設計仕様は、エンジニアに送信されて、ステップ１１０で評価される。エンジニアが、ステップ１２０で、これらの仕様に関して疑問を持つ場合、顧客はステップ１２５で伝達され、仕様はステップ１１０で再評価されるか、さもなければエンジニアは、ステップ１３０でプローブカードの予備的な設計を製作する。この予備的な設計は、ステップ１４０で顧客に送信され、この時点でステップ１５０において承認されるか、またはステップ１５５でさらに伝達が行われる。顧客がステップ１５０で設計を承認した場合、ステップ１６０で設計の製作が行われるか、さもなければ顧客は、ステップ１５５で設計変更が必要な箇所を指定し、ステップ１１０で設計が再評価される。設計が完成するまでに、プローブカードメーカーのエンジニアと顧客との間には相当のインタクションが行われることを評価するべきである。
【００１２】
図３には、本発明の好ましい実施態様を示すブロック図が示されている。特に、見込み顧客２１０は、インターネット２００を介してプローブカード設計ウェブサイト２２０に接続するように示されている。顧客２１０は、インターネット上で通信するのに適するブラウザアプリケーションを有するある形態の計算装置、たとえばパーソナルコンピュータ、ラップトップコンピュータ、パーソナルデジタルアシスタント（ＰＤＡ）、携帯電話などを有する。図示のとおり、プローブカード設計ウェブサイト２２０は、ＨＴＭＬ（ハイパーテキストマークアップ言語）文書のデータベース２２４およびアプリケーションプロセッサ２２６に直接リンクするウェブサーバ２２２をさらに備える。また、ウェブサーバ２２２には、アプリケーションプロセッサ２２６を介して、顧客情報データベース２２８もリンクされ、このデータベースは、顧客２１０による従来の設計、並びに特定の顧客に固有の設計上の制約またはパラメーター、および設計制約データベース２３０も含む。設計制約データベース２３０は、設計規則２３２、従来の設計２３４（たとえば、カスタマイズされたプローブカードの買い手の機密情報を含まない範囲で）、製造／設計プラクティスおよびファシリテータ２３６（たとえば、より効率的な設計の製作、またはより容易かつ迅速なプローブカードの製造のための設計パラメーターまたは規則、電気部品の選択に影響する空間的な要求の問題およびその他の機械的制約）、並びに機器情報２３８（たとえば、特定のテスタ機械のパラメーターおよび制約）のライブラリを含む。さらに説明すると、プラクティスおよびファシリタータデータベース２３６は、設計を容易にする要素、たとえば変更ポゴの割当て、ＤＵＴスクランブル、ＬＧＡ割当て平面計画、ネットリストなどを使用する時に、顧客２１０にアドバイスするガイドを含む。プラクティスおよびファシリテータデータベース２３６は、提案する設計変更も提供し、その結果、設計が単純化されて設計が安価になり（たとえば、ＰＣＢ層の減少、手動による経路指定の減少、ＳＸＦ層の減少）、または設計サイクルが大幅に迅速化されるであろう（たとえば、ＰＣＢまたはブリックなど、設計の主要部品の再利用を図る）。ウェブサーバ２２２は、ウェブサイト２２０との間の通信を処理し、インターネット２００を介してＨＴＭＬ文書形式のデータを顧客２１に提供する。アプリケーションプロセッサ２２６は、特定のデータ処理アプリケーションを提供し、ウェブサーバ２２２と通信する。
【００１３】
顧客２１０は、プローブカード設計ウェブサイト２２０を介して、パスワードで保護されたアカウントを確立し、このアカウントは、アプリケーションプロセッサ２２６上で実行される自動化アプリケーションを評価して、プローブカードを設計して検証するために使用できる。次に、この設計を確認するファイルは、アプリケーションプロセッサ２２６により自動的に生成され、顧客情報データベース２２８に入力される。既存の設計自動化アプリケーションは、データベース２２４内のＨＴＭＬ文書に添付して、事実上、検証の目的で生成される実際の設計である検証データの生成を支援することができる。次に、エンジニアは、これらの設計ファイルを受信して、製作前に設計ファイルを承認する。一人の顧客２１０のみを図３に示すが、多くの個々の顧客が同様にプローブカード設計ウェブサイト２２０と通信できることが分かる。
【００１４】
図４では、フローチャートは、本発明の一実施態様によりプローブカードを設計するためのこの自動化手順を示す。見込み顧客２１０は、ステップ３００でプローブカード設計ウェブサイト２２０にアクセスすることにより、このプロセスを開始する。見込み顧客２１０が、ステップ３０２で既存のオンラインアカウント（好ましい実施態様では、顧客情報データベース２２８の一部）を有する場合、このアカウントがステップ３０８でログオンされるか、さもなければ、見込み顧客２１０は、先ずステップ３０４でアカウントを登録して、ステップ３０６でアカウントの確認を受信してから、ステップ３０８でアカウントにアクセスしなければならない。登録手順の一部は、顧客のアカウントに請求するために後に使用される請求書および発送情報の記入などを含むことに注目するべきである。
【００１５】
顧客２１０は、アカウントにアクセスすると、ステップ３１０で、設計ごとに再使用される仕様を含む予め定義されたプローブカードテンプレートの集合から選択するように要求される。これらのテンプレートの仕様は、テスタのモデル、テスタの物理的な構成、電子部品の設置に関する標準規則、標準製造仕様、プローブカードに配置される標準グラフィカルスなどを含む。ステップ３１２で所望のテンプレートがない場合、顧客２１０は、ステップ３１４で、プローブカード設計ウェブサイト２２０を通してインタラクティブにこの情報を完成するように要求される。次に、顧客が提案するテンプレートの仕様変更に関する実行可能性は、ステップ３１６において、アプリケーションによる自動化された方法で検証される。この最初の検証は、提案されたテンプレート仕様変更を場合により既知の承認可能な設計のデータベースまたはテーブルと比較して行われるか、あるいは提案されたテンプレートは、自動化またはシミュレートされたテストシーケンスの対象になる。ステップ３１６で、テンプレートを承認できないと決定された場合、手順はステップ３１０に戻り、顧客２１０は、テンプレートの変更または設計変更をさらに生成するように要求される。仕様の完成を促進するため、設計規則ライブラリ２３２または設計プラクティスライブラリ２３６も使用される。あるいは、テンプレートが承認可能であると決定された場合、次に、顧客２１０は、ステップ３１８で、顧客の特定のウェハ３２を説明するさらに詳細な仕様、たとえばボンディングパッド３４の向き、ウェハ３２の寸法および信号特性などをオンライン顧客情報フォームに入力するように要求される。テンプレートは顧客に特有であると考えられる。特定の顧客に対するテンプレートの承認されたか、提案された変更は、顧客情報データベース２２８内に記憶される。
【００１６】
次に、ステップ３２０で、顧客２１０は、プローブカードの寸法、ポゴピン１２の向きおよびプローブ２６の数を含む一連のプルダウンメニューを使用して、所望のプローブカード仕様を選択する。ポゴピンの向きは、好ましくはテンプレートに固定化され、唯一の例外では、ポゴパッドは、テンプレートに最適に割り当てた後に回転させる必要がある。ステップ３２２では、顧客２１０は、プローブカードを通したテスタとチップとの接続を定義する「テスタチャネルの割当て」を確認する。１個のダイの接続を示す略図が返され、この略図は、プローブカードテンプレートに既に定義されている標準構成要素を含む。１個のダイの定義が承認されると、顧客２１０は、手動でこの概略図を編集して、構成要素の標準ライブラリから必要に応じて追加の構成要素を含むか、またはアプリケーションにより自動的に概略図を生成する。特別な構成要素が必要な場合、顧客は、これらの新しい構成要素をベンダー、部品番号および明細で指定することができる。プルダウンメニューの数は、上記の３つに限らず、任意の数の設計要素で良いことを評価するべきである。テンプレートは、設計プロセス（または設計要素）の各々の部分、およびプローブカードの機械的要素、たとえば剛性、インターポーザ、ブラケット、領域割当て、電気部品に関して存在し、これらの各々は個々に、次に完全な設計として集合的に承認される。
【００１７】
顧客２１０は、記載されたプロセスの各ステップにおいて、インタラクティブに検証情報を受信することを評価するべきである。上記のとおり、この情報は、検証データの生成に役立つ設計自動化アプリケーションも含む。特定ダイ上のボンディングパッド３４の略図は、たとえば、パッドの配置、パッドの命名および向きを確認するために、自動的に生成される。このプロセスは、予め定義されたレイアウト規則に基づくレイアウトを自動的に生成する。レイアウトは、予め定義された規則で生成できる場合、顧客２１０に対して表示され、プローブ要素の接触チップの位置と、相対的なパッドの位置との一致、および信号の種類が検証される。さもなければ、顧客２１０は、プローブカードの仕様をさらに変更するように知らされて、変更の機会が与えられ、レイアウトの生成を反復する。この時点で、顧客は、次のステップに進むように指示される。類似の手順は、その他の向きの情報、たとえばアレイのレイアウト、ウェハのノッチに対するアレイの向き、テスタに対するウェハのノッチの向きに使用される。分かりやすくするために、こうした個々の検証ステップは図４に示さないが、ステップ３１８、３２０および３２２の個々の部分であると考えられる。また、プローブカードの設計は、必ずしもウェハ上の同一ダイのプローブに限定されないことにも注目するべきである。むしろ、プローブカードの設計は、１個のウェハ上にある多くの不特定ダイをプローブするように行われる。
【００１８】
さらに説明すると、テンプレートの選択プロセスは、多数のサブテンプレートをより詳細に含むことができ、たとえば（１）プローブのレイアウトの可能性、１個の被試験デバイス（ＤＵＴ）、複数のＤＵＴを実証するプローブレイアウトアプリケーション、（２）ブリックを選択して最終的なリストをインプリメントする空間変換器、（３）たとえば層の計算、ＤＵＴの配置および経路制御可能性を含むＰＣＢアプリケーションが挙げられる。顧客に固有のテンプレートは、どの顧客でもウェブサイト２２０上の汎用テンプレートデータベースからアクセスできる汎用テンプレートの処理と違って、ユーザプロファイル２２８内に記憶される。実行可能性／顧客検証ステップ３１８〜３２４は、顧客が正確な設計仕様を提供して、メーカーが、設計プロセスに多大な時間と金銭を投資する以前に、設計の承認可能性を確認することを可能にするため、必要な設計の補正およびメーカーの設計誤差を最低限にすることができる。
【００１９】
顧客情報フォームは、完成すると、ステップ３２４で設計検証パッケージを生成するために使用される。この検証パッケージは、図面ファイル、検証ファイル、および顧客２１０がステップ３２６で検討するチェックリスト文書を含む。顧客２１０がステップ３２８で設計を承認する場合、設計は、ステップ３３０でエンジニアにより検討される。この検討ステップ３３０は省略されるか、および／または承認を得るための自動化システム比較と置き換えられるため、設計および承認プロセスにおけるエンジニアの時間および要件をさらに減少させることも評価するべきである。顧客２１０が設計を承認しない場合、顧客２１０はステップ３１８に戻され、そこで、顧客情報フォームの予め記入されたバージョンが提供されて、変更および承認が行われる。ステップ３３２で、プローブカードメーカーのエンジニア（またはシステム）により承認されると、ステップ３３６で契約情報の検証が行われる。検証されない場合、顧客２１０は、ステップ３３４で通知されてステップ３１８に戻されて、そこで、顧客情報フォームの予め記入されたバージョンが、仕様の変更が必要であることを強調して表示される。契約情報（価格、時間および引渡しの制約、発送要件など）がステップ３３６で検証されると、次に、設計は、ステップ３４２で製作のための処理が行われる。実際には、製作は、さらに追加の設計ステップ、たとえばブリックおよびＰＣＢのレイアウトおよびネットリストを含む。図４のフローは、カスタムプローブカードの設計、並びに設計のための製品契約に関する実行可能性の分析および確認を生成する。逆に、ステップ３３６で契約情報が検証されない場合、顧客２１０は、ステップ３３８で通知され、ステップ３４０で情報を再訪するように要求される。この新しい情報をステップ３４０で受信した後、契約情報は再びステップ３３６の検証プロセスに進む。
【００２０】
顧客２１０は、プローブカード設計セッションを停止して、いつでも再び設計セッションに入ることが可能であることに注目するべきである。顧客２１０がプロセスを完了するまで、設計は「処理中」と考えられ、変更に対する訂正の制御は行われない。設計は、顧客２１０により「完成された」後は訂正を制御され、その後、設計変更は顧客情報データベース２２８にログインされて記憶される。顧客は、プローブカードメーカーのアプリケーションエンジニアと通信またはインタクションを行わずに、全体のプローブカード設計プロセスを終了できることを評価するべきである。顧客２１０がアプリケーションエンジニアとコミュニケーションを取ることを希望する場合、顧客は、アプリケーションエンジニアとオンラインインタラクティブミーティングを行うオプションを有し、このミーティングでは、顧客２１０とエンジニアとは電話を介して対話し、同時にウェブサイト２２０を介して設計を検討する。次に、アプリケーションエンジニアは、プローブカード設計プロセスの状況を検討し、プロセスのどのステップが完了したかを確認することができる。
【００２１】
図５では、フローチャートは、本発明の一実施態様による設計検証パッケージを生成するためのステップを示す。顧客２１０は、ステップ４００で、プローブカード設計システムデータベース２２４からテンプレートファイルを検索して、このプロセスを開始する。この時点では、テンプレートファイルは、好ましくは承認された設計である。顧客２１０は、ステップ４０５で、プリント回路基板（ＰＣＢ）図面ファイルを開き、ステップ４１０で正確なポゴピン１２の向きを指定して続行する。ステップ４１５では、ＰＣＢは、顧客の設計名およびウェハの表示記号など、特定のＰＣＢ設計に関連する情報を標識される。ＰＣＢが標識されると、プローブレイアウトファイルがステップ４２０で生成される。次に、プローブカード設計システム２２０内の埋め込み関数は、ステップ４２５で、この特定の設計に対するプローブアレイ２６の正確な回転を決定する。ステップ４２０および４２５は、ステップ４０５、４１０および４１５と同時に行うこともできる点を評価するべきである。ステップ４３０では、手順は、ＰＣＢ図面ファイル上にコピーされるプローブレイアウトに進む。ステップ４３５では、設計の機械的情報、たとえばＰＣＢの直径、ボンディングパッド３４の寸法、プローブアレイ２６の向きなどを標識する。次に、この図面ファイルは、ステップ４４０で、プローブカード設計システムのデータベース２２４内に直接配置される検証パッケージに保存される。
【００２２】
ステップ４４５では、システムは、一般的な検査を実行して、図面ファイルが、顧客が提供する情報と一致することを確認する。次に、ステップ４５０で、ボンディングパッド３４の情報がプローブカード設計システムのデータベース２２４からインポートされて、ステップ４５５で、この特定の設計に対する検証ファイルを生成するために使用される。個々のボンディングパッド３４の特性に関する情報はこの検証ファイルに含まれる点に注目するべきである。特に、この検証ファイルは、ウェハ３２に関する個々のボンディングパッド３４の位置（たとえば、ｘｙ座標で表現される）およびプローブされる信号の種類を含む。ステップ４６０では、顧客が提供する情報に関連するボンディングパッド３４のデータの一貫性が確認される。検証ファイルは、正確さが確認された後、ステップ４６５で、対応する図面ファイルと共にプローブカード設計システムのデータベース２２４の検証パッケージディレクトリに保存される。ステップ４７０では、チェックリスト文書が検証パッケージディレクトリに添付され、既に生成された図面および検証ファイルと共にステップ４７５で圧縮される。これらのファイルが圧縮された後、ステップ４８０で、検証パッケージが完成して顧客に提供される。顧客２１０は、このプロセスの中間点で、検証ファイルを検索および検討して、オフラインで分析することもできる。検証ファイルは、従来の技術を使用して暗号化して、顧客の設計の機密を保護することもできる。
【００２３】
上記の手順は、高度にインタラクティブなプロセスであると思われることを一般化した点を評価するべきである。この手順は、おそらく設計段階で行われ、顧客２１０が、現在のプローブカード製作方法の設計能力に応じて、異なるボンディングパッド３４のレイアウトで実験することを可能にする点をさらに評価するべきである。したがって、プローブカード設計ウェブサイト２２０では、顧客２１０は、こうした方法と一致する設計を実行するだけで良い。
【００２４】
好ましい一実施態様では、プローブカード設計ウェブサイト２２０は、高度に最適化された試験相互接続システムを製造する物理的／電気的設計をインタラクティブに設計する時にも使用される。特に、本発明は、顧客２１０が、提案された設計のシグナルインテグリティを検証して、計算された「最悪の状態」における信号応答（つまり、個々の信号の極値に対するシステムの応答）、または減結合挙動（つまり、ＷＣ−ＢＣ、環境、材料および製造プロセス条件などで同時に動作する様々な信号に対するシステムの応答）を決定することを可能にする。図６では、フローチャートは、全体のシステムモデルが提供されるプローブカードシミュレーションの各ステップを示す。顧客２１０は、ステップ５００でプローブカード設計ウェブサイト２２０にアクセスし、ステップ５０５でシステムにログインしてこのプロセスを開始する。次に、ステップ５１０で、顧客２１０は、所望のプローブカード設計ファイルを顧客情報データベース２２８から開いて続行する。全体のシステムシミュレーションを行うため、顧客２１０がプローブカードを試験するために使用する所望の試験機器に関する仕様をステップ５１５で入力する。
ステップ５２０で、  顧客２１０は、自動化シミュレーションを実行させるか、または特定の仕様に基づくシミュレーションを実行させるかを決定する。自動化シミュレーションでは、様々な信号特性およびプローブカードレイアウトに対する応答は、プローブカード設計ウェブサイト２２０により自動的に決定される。顧客２１０が、ステップ５２０で自動化シミュレーションを選択した場合、ステップ５３０で自動化シミュレーションが実行される。あるいは、顧客２１０は、ステップ５２５で所望のシミュレーション仕様を入力して、このカスタマイズされたシミュレーションをステップ５３０で実行させる。好ましい実施態様では、顧客２１０は、プローブカード設計ウェブサイト２２０内に埋め込まれた多様な自動化シミュレーションから選択することができる。たとえば、顧客２１０は、新たに設計されたプローブカードへの単なる電力の供給に対するシステムの応答をエミュレートするシミュレーションを実行させることを選択するか、または複数の論理信号がすべて特定のタイプ（つまり、高または低）であるより高レベルのシミュレーションを実行させることを選択することができる。顧客２１０が特定の信号に対するシステムの応答を確認することを希望する場合、カスタマイズされたシミュレーションも好ましい実施態様で利用可能である。これらのシミュレーション結果のどれかを反映するデータは、ステップ５３５で顧客２１０が受信し、ステップ５４０で分析される。プローブカードの所望の仕様に応じて、顧客２１０はこのプロセスを繰り返してステップ５４５で別のシミュレーションを実行させるか、またはステップ５５０で単純にシミュレーションを終了することができる。複数のシミュレーションを実行させることが可能だが、例示的な電気的シミュレーションを使用して、機能の正確さ、遅延の正確さ、グローバルおよびローカルな信号スキュー（たとえば、指定の群内、またはすべての信号間）、クロストーク分析（たとえば、遅延、導入など）、電源インテグリティ並びにジッター効果を決定することができる。
【００２５】
上記のデバイスシミュレーションは、様々な方法で実行させることができる。たとえば、スパイスモデル（つまり、電気的性能を表すモデル）、またはプローブカードの性能に関するその他の関連データは、顧客２１０にエクスポートされ、デバイス、およびデバイスの試験に使用される自動化試験機器システムのモデルを含む全体的なモデリングの実行にインクルードすることができる。あるいは、データは、顧客２１０からプローブカード設計ウェブサイト２２０に直接エクスポートすることができる。その他の例を挙げると、プローブカードシミュレーションモデルは、顧客２１０に送信できるシミュレーションエンジン内に埋め込むことができる。その結果、顧客２１０は、このモデルにベクトルを「供給し」、分析可能なモードから応答フォームを生成することができる。満了日またはハードウェアドングルをモデルに組み込むと、シミュレーションまたはアプリケーションを制限することができる。こうしたデータが、付加的なセキュリティを要する占有情報を含む場合、設計のシミュレーションは、顧客２１０とプローブカードメーカーとの間を別個に接続して実行することができる。こうして、プローブカード相互接続システムの効果を含む試験プロセスの完全なシミュレーションは、全体の設計を検証し、特定試験システムに組み込まれたプローブカードの影響を予測し、設計規則の特定の集合に準拠するようにセットアップすることができる。
【００２６】
もう１つの実施態様では、シミュレーションは、インターネット上においてライブで行うことができる。プローブカードモデルは、プローブカードメーカーのサーバ（プローブカード設計ウェブサイト）２２０上およびシミュレーションファイル、並びに顧客２１０がサーバ２２０に送信する予想される応答に存在する。シミュレーションセッションが完了すると、結果は顧客２１０に返される。これらの通信は、暗号化コードなど使用して安全なチャネルを介して行われる。
【００２７】
上記のとおり、プローブカードを設計するための方法およびシステムの好ましい実施態様について説明したが、当業者には、説明したシステムの特定の利点が得られることは明白であろう。また、好ましい実施態様の様々な変更および適応、並びに代案の実施態様は、本発明の範囲および精神の範囲内で可能であることも評価するべきである。本発明について、以下の請求の範囲でさらに定義する。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１Ａ】ウェハを試験するためのウェハプローブ装置を示す略断面図である。
【図１Ｂ】図１Ａに矢印１Ｂで示した方向に見たウェハプローブ装置の透視平面図である。
【図２】プローブカードを設計するための従来の手順を記述するフローチャートである。
【図３】本発明の好ましい実施態様を実証するブロック図である。
【図４】本発明の一実施態様によるプローブカードを設計するための手順を記述するフローチャートである。
【図５】本発明の一実施態様による設計検証パッケージを生成するためのステップを示すフローチャートである。
【図６】本発明の実施態様によるプローブカードのシミュレーションを生成するためのステップを示すフローチャートである。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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