(57)【要約】主としてミクロリソグラフィのための投影対物レンズ１における対物レンズハウジングなどの構造体に光学部品２１を配置するための装置において、光学部品２１は固定部品２２を介して構造体に接続される。光学部品２１の位置は調整固定具２３によって設定される。光学部品２１が３つの相互に独立した軸（ｘ、ｙ、ｚ軸）を中心として傾斜可能で、さらに１つの軸（ｚ軸）の方向に直進的に移動可能となるように固定部品２２は配置され、調整固定具２３は作動される。
2005530339.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主としてミクロリソグラフィのための投影対物レンズにおける対物レンズハウジングなどの構造体に光学部品（２１）を配置するための装置であって、
上記構造体には固定部品（２２）を介して光学部品（２１）が接続され、該光学部品（２１）は調整固定具（２３）を用いて位置設定されることが可能であり、
上記固定部品（２２）及び調整固定具（２３）は、上記光学部品（２１）が３つの相互に独立した軸（ｘ、ｙ、ｚ軸）を中心として傾斜可能で、さらに１つの軸方向（ｚ軸）に直進移動ができるようにそれぞれ配置・調整されることを特徴とする光学部品を配置するための装置。
【請求項２】
ａ）上記固定部品（２２）は、それぞれ１つの軸に沿って行われる直進運動を阻止し、上記固定部品（２２）によって阻止された全ての直進運動の軸は、上記光学部品（２１）を直進するように移動することが不可能な傾斜軸（ｘ、ｙ軸）によって定義される平面に位置し、
ｂ）上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、それにおいて上記光学部品（２１）を直進するように移動することが可能な軸方向（ｚ軸）に対して垂直に位置し、
ｃ）上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、上記光学部品（２１）を直進するように移動することが可能な軸上の点において相互に交差する
ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、上記光学部品（２１）を直進するように移動することが可能な軸上（ｚ軸上）の点において相互に交差し、また上記光学部品（２１）が直進するように移動することが不可能な２つの傾斜軸（ｘ、ｙ軸）が交差する点を通過することを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
上記光学部品（２１）は少なくとも２つの固定部品（２２）と、少なくとも２つの調整固定具（２３）とを備えることを特徴とする請求項２又は３に記載の装置。
【請求項５】
上記２つの調整固定具（２３）には、それぞれ２つの調整部品が備わってなることを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
上記固定部品（２２）及び調整固定具（２３）は、上記光学部品（２１）に弾性的に接続されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
上記固定部品（２２）は一体接続部品を介して上記光学部品（２１）に接続されることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
上記調整固定具（２３）は一体接続部品を介して上記光学部品（２１）に接続されることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項９】
上記固定部品（２２）及び調整固定具（２３）は、上記光学部品（２１）が取付けられた支持フレーム（４１）に弾性的に接続されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
上記固定部品（２２）は、上記光学部品（２１）が取付けられた支持フレーム（４１）に一体接続部品を介して接続されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
上記調整固定具（２３）は、上記光学部品（２１）が取付けられた支持フレーム（４１）に一体接続部品を介して接続されることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１２】
上記調整固定具（２３）は２つの固定軸（３４ｃ、３４ｂ）方向には移動せず、この２つの軸方向（３４ｃ、３４ｂ）によって形成された平面において調整されることが可能であることを特徴とする請求項６又は９に記載の装置。
【請求項１３】
上記調整固定具（２３）には調整部品（４０ａ〜４０ｄ）が備わってなり、これを介して上記調整固定具（２３）はそれぞれ上記２つの固定軸（３４ｃ、３４ｂ）の方向に移動可能となることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
上記調整部品（４０ａ〜４０ｄ）は、上記２つの固定軸（３４ｃ、３４ｂ）において相互に独立して作動可能となることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
上記光学部品（２１）はビーム分割キューブであることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１６】
上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸が位置する平面は、上記ビーム分割キューブ（２１）のビーム分割面（２６）における平面であることを特徴とする請求項２又は１５に記載の装置。
【請求項１７】
上記固定部品（２２）は、上記ビーム分割キューブ（２１）の角の領域に配置されることを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
上記調節固定具（２３）は、上記固定部品（２２）の反対側に位置する角の領域に配置されることを特徴とする請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】
上記光学部品（２１）として鏡が備わってなることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項２０】
上記光学部品（２１）としてレンズが備わってなることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項２１】
上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸が位置する平面は、基準面又は光学的に利用された平面であることを特徴とする請求項１５、１９又は２０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２２】
ミクロリソグラフィに用いられる投影対物レンズであって、
対物レンズハウジングには複数の光学部品が備わり、該光学部品の少なくとも１つは固定部品を介して対物レンズハウジングに接続され、上記光学部品の位置は調整固定具を用いて変えることが可能であり、
上記固定部品（２２）及び調整固定具（２３）は上記光学部品（２１）に設けられ、該光学部品（２１）が３つの相互に独立した軸（ｘ、ｙ、ｚ軸）を中心として傾斜し、さらに１つの軸（ｚ軸）の方向に直進移動されるように作動できることを特徴とする投影対物レンズ。
【請求項２３】
ａ）上記固定部品（２２）はそれぞれ１つの軸に沿った直進運動を阻止し、上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の全ての軸は、光学部品（２１）を直進するように移動することが不可能な傾斜軸（ｘ、ｙ軸）によって定義された平面に位置し、
ｂ）上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、光学部品（２１）が直進するように移動されることが可能な軸（ｚ軸）の方向に垂直に位置し、
ｃ）上記固定部品（２２）によって阻止された直進運動の軸は、光学部品（２１）が直進するように移動されることが可能な軸上の点において相互に交差する
ことを特徴とする請求項２２に記載の投影対物レンズ。
【請求項２４】
上記固定装置（２２）によって阻止された直進運動の軸は、光学部品（２１）を直進するように移動することが可能な軸（ｚ軸）における点において相互に交差し、また光学部品（２１）を直進するように移動することが不可能な２つの傾斜軸（ｘ、ｙ軸）が交差する点を通過することを特徴とする請求項２２又は２３に記載の投影対物レンズ。
【請求項２５】
上記光学部品（２１）としてビーム分割キューブが備わってなることを特徴とする請求項２２、２３又は２４のいずれか１項に記載の投影対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は構造体において光学部品を配置するための装置に関し、光学部品は固定部品を用いて構造体に接続され、調整部品を用いてその位置を設定することが可能である。本発明は、特にビーム分割キューブが光学部品として備わったミクロリソグラフィに用いられる投影対物レンズに関する。
【０００２】
対物レンズの収差につながる製造及び組立に伴う公差は、例えばミクロリソグラフィに用いられる投影対物レンズなどの光学撮像装置の組立の際に必然的に生じる。このような公差を補正するために、１つ又は複数の光学部品を対物レンズ内において適切に再配置する方法が知られている。この方法は、ビーム経路に非常に正確に調整されなければならない光学部品においても同様に適用される。
【背景技術】
【０００３】
例を挙げるとＤＥ１９９  ０１  ２９５  Ａ１から、製造及び組立に伴う公差を補正し、収差を修正するために１つ又は複数の光学部品を光軸に対して相対的に移動させる方法が知られている。
【０００４】
ＷＯ９９／６６３６１にはレンズのための位置設定装置が開示されており、これはレンズを配置するために３自由度を有する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
構造体において光学部品の位置を設定するための装置、とりわけビーム経路において非常に正確な配置及び調整が可能な投影対物レンズにおける対物レンズハウジングの光学部品を提供することが本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この目的は、固定部品及び調整固定具を光学部品が３つの相互に独立した軸（ｘ、ｙ、ｚ軸）を中心として傾斜可能で、さらに１つの軸方向（ｚ軸）に直進移動されるようにそれぞれを配置・調整することによって達成できる。
【０００７】
従って本発明による位置設定装置は合計で４自由度を有し、この結果として配置及び／又は調整される光学部品は多種多様な方法で非常に正確に配置されることが可能となる。
【０００８】
これは、例えば投影対物レンズにおけるビーム分割キューブなどにも適用可能である。ところが、光源から放射される例えばレーザーなどの光線は、対象物を表した焦点板を通過した後に対物レンズハウジングの片持梁へビーム分割キューブによって偏向され、後に片持梁から反射された光線はビーム分割キューブによって撮像面、すなわち基板の方向に送られる。
【０００９】
現在では、ビーム分割キューブにおけるビーム分割面のビーム分割層は、焦点板から送られる光線のための偏向ミラーとして機能するため、焦点板からビーム分割キューブまでのビーム経路における光軸と、片持梁のビーム経路における光軸との間の角度誤差の補正を行うためには、ビーム分割層の平面を定義する２つの傾斜軸によって調整されることが可能でなければならない。
【００１０】
ビーム分割キューブの例えば平面、正面、背面などの外側表面に及ぶ光線が強力に偏向されすぎることのないように、外側表面はビーム経路の光軸に対してできる限り垂直でなければならない。そして外側表面を光軸に対して調整可能にするために、ビーム分割層の平面及び／又はビーム分割面に対して垂直な回転軸及び／又は傾斜軸に沿った微調整が必要とされる。
【００１１】
焦点板からビーム分割キューブへ送られる光線が、片持梁におけるビーム経路の光軸に正確に偏向されるように、ビーム分割層の平面は焦点板のビーム経路と片持梁のビーム経路のそれぞれの光軸が相互に交差する正確な位置に配置されなければならず、さらにビーム分割層の平面に対して垂直に直進するようにビーム分割キューブを微調整することが可能でなければならない。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、上記に説明された配置及び調整は、固定部品及び調整固定具の発明的な配置及び構成によって達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本件の好ましい改良案において、
ａ）固定部品はそれぞれ１つの軸に沿った直進運動を阻止し、固定部品によって阻止された直進運動の全ての軸は、光学部品を直進するように配置することが不可能な傾斜軸によって定義された平面に位置し、
ｂ）固定部品によって阻止された直進運動の軸は、光学部品を直進するように移動することが可能な軸の方向に対して垂直に位置し、
ｃ）固定部品によって阻止された直進運動の軸は、光学部品を直進するように移動することが可能な軸上の点において相互に交差する
ことがこの場合には前提となる。
【００１４】
さらに、この場合においては固定部品によって阻止された直進運動の軸が、光学部品を直進するように移動することが可能な軸上の点において、さらに光学部品を直進するように移動することが不可能な２つの傾斜軸が交差する点を通過して、相互に交差することも可能である。
【００１５】
光学部品としてビーム分割キューブが用いられる場合、ビーム分割キューブにおけるビーム分割面は固定部品によって阻止された直進運動の軸が好適に位置する平面に配置される。直進的な移動が行われる光軸は、この場合ビーム分割面に対して垂直な軸である。この座標系の原点は、この場合においても同様に、ビーム分割面において焦点板のビーム経路の光軸と片持梁のビーム経路の光軸とが交差する点に配置される。この場合、３つの傾斜軸は座標系の原点において相互に好適に交差する。
【００１６】
光学部品として鏡又はレンズが用いられる場合、固定部品によって阻止された直進運動の軸が位置する上記で説明されたような平面は、好適には鏡又はレンズの表面の頂点を含む。本発明による解決法を用いる１つの可能性としては、例を挙げると楕円形又はインゲンマメ形の鏡などがある。また補正非球面が備わった鏡又はレンズに対しても同様に適用可能である。
【００１７】
本発明の好適な発展案及び改良案は、残りの従属請求項及び図面を補助として原則的に以下に記載された例示的な具体案によって創案される。
【００１８】
図１は、半導体部品の製造に用いられるミクロリソグラフィの投影対物レンズ１を備えた投影露光機の原理を示した図である。投影露光機には光源としてレーザー（図示なし）を有する照射システム２が備えられる。投影露光機の対物面には焦点板３が配置され、その構造は対応して縮尺された寸法で、投影対物レンズ１の下方の像平面に配置される基板４に投影される。
【００１９】
投影対物レンズ１には第１垂直対物レンズ部品１ａと、第２水平対物レンズ部品１ｂとが備わってなる。対物レンズ部品１ｂに配置されるのは複数のレンズ５と凹面鏡６で、それらは対物レンズ１ｂにおける対物レンズハウジング７に設けられる。ビーム分割キューブ２１は、投射ビーム（矢印を参照）を垂直の光軸８を有する垂直対物レンズ部品１ａから水平な光軸９を有する水平対物レンズ部品１ｂへ偏向するために備えられる。
【００２０】
ビームが凹面鏡６において反射され、ビーム分割キューブを通過して順ずる経路を通ると、偏向ミラー１０に行き当たる。偏向ミラー１０では、水平なビーム経路９は反射されて垂直な光軸１１となる。さらなるレンズ群１２を備えた第３垂直対物レンズ部品１ｃは、偏向ミラー１０の下に配置される。３つのλ／４板１３、１４及び１５は、さらに付加的にビーム経路に配置される。λ／４板１３は、投影対物レンズ１の焦点板３とビーム分割キューブ２１との間の、レンズ又はレンズ群１６の後ろに配置される。一方でλ／４板１４は水平対物レンズ部品１ｂのビーム経路に配置され、λ／４板１５は第３対物レンズ部品１ｃに配置される。３つのλ／４板は偏光を１度完全に回転させるための機能を持ち、すなわちこの結果としてビームの損失は最小限に抑えられる。
【００２１】
投影対物レンズ１における各々の光軸は、相互に対して十分な精度を持って平行又は垂直に位置するように、組み立てる際に相互に対して非常に的確に必ず調整されるが、公差の不正確さ又は操作の際に生じる欠陥などによって、想定される用途に必要な精度を有するような光学部品の配置が必ずしも可能になるわけではなく、これが原因となり対応した画質の劣化につながる。
【００２２】
この結果として、画像の質を向上させるために、投影対物レンズ１において適した光学部品を正確に配置、調節するのに適切な方法でもって処置が取られなければならない。この目的に適した光学部品とは、すなわち下記でさらに詳細に説明されるような調整及び位置設定装置１７が備えられたビーム分割キューブ２１である。
【００２３】
図１における調整及び位置設定装置１７が備えられたビーム分割キューブ２１は、図２から図９において固定部品２２及び調整固定具２３と共に拡大図として示されている。ビーム分割キューブ２１の１つの側面に接続された固定部品２２及び調整固定具２３は、ビーム分割キューブ２１と投影対物レンズ１における対物レンズハウジングに（詳細には図示されていない形で）接続された固定式保持フレーム２４との接続を形成する。
【００２４】
次の目的となるのは、ビーム分割キューブ２１を固定式保持フレーム２４に対して３つの相互に独立した軸に沿って傾斜することを可能にし、直進又は直線運動を行うように１つの方向に対して移動することである。この目的のために、座標系ｘ、ｙ、ｚにおける原点２５はビーム分割面又はビーム分割平面２６に配置される。本件の場合には、ｘ軸２７はビーム分割平面２６においてビーム分割キューブ２１の縦軸に対して平行に配置され、ｙ軸２８は同様にビーム分割平面２６においてｘ軸２７に対して垂直に配置され、ｚ軸２９はビーム分割平面２６に対して垂直に配置される。
【００２５】
ビーム分割キューブ２１を調節可能にするには、それをｘ軸２７、ｙ軸２８、ｚ軸２９を中心として傾斜し、ｚ軸２９に沿って配置することが可能でなければならない。
【００２６】
図において示されるように、ビーム分割キューブ２１はビーム分割キューブ２１の縦方向の端部における角の領域に配置された２つの固定部品２２を有する。２つの調整固定具２３は、ビーム分割キューブ２１の縦方向の端部における、２つの固定部品２２が配置された縦方向の端部の反対側の角の領域に配置される。固定部品２２及び調整固定具２３のこのような配置は、もちろんほんの一例として考慮されたい。特に調整固定具２３は別の位置に備えられることもまた可能である。
【００２７】
図４における拡大図において示されるように、それぞれの固定部品２２は３つの直進可動性３０ａ、３０ｂ、３０ｃと、３つの回転的可動性３１ａ、３１ｂ、３１ｃを有する。長ロッド３２と、該ロッドの端部にそれぞれ取り付けられた球状接続部品３３ａ及び３３ｂとを備えた固定部品３２は、長ロッド３２の縦軸方向に沿った移動又は直進における第３の直線可能性３０ｃを固定する。２つの球状接続部品３３ａ及び３３ｂは、結果としてビーム分割キューブ２１の連接部又は懸架部となる。球状連結部品３３ａ及び３３ｂを用いて固定を行うことは、もちろんほんの一例として考慮されたい。必要であればこの目的のために、例えば適切な弾性を有する板バネ式の装置などの一体接続部品が備えられてもよい。
【００２８】
ビーム分割キューブ２１は、焦点板３とビーム分割キューブ２１との間の光軸を表すｚ軸２９に沿って移動されなければならないので、固定部品２２は固定直進可能性３０ｃの方向がｚ軸２９に対して垂直に配向されるように配置される（図２参照）。
【００２９】
ビーム分割平面２６においてｘ軸２７を中心とした傾斜を可能にするため、全ての固定部品２２の固定直進可能性３０ｃはｘ傾斜軸２７及びｙ傾斜軸によって定義される平面に位置しなければならない。本件の例示具体案の場合において、ｘ軸２７及びｙ軸２８によって定義される平面はビーム分割平面２６と同一となるので、固定部品２２の固定直進可能性３０ｃは同様にビーム分割平面２６上に位置することになる。
【００３０】
ｚ軸２９を中心とした傾斜を可能にするために、固定部品２２の全ての固定直進可能性３０ｃはｚ軸２９と交差しなければならない。図２において見られるように、固定部品２２における長ロッド３２の縦軸の延長線は、ビーム分割面２６における平面に配置された座標系２５の交差点において相互に接触又は交差する。
【００３１】
説明されたような例示的具体案のように、ビーム分割キューブ２１が２つの調整固定具２３によって移動及び／又は操作される場合、調整固定具２３において直進可能性３４ｂ及び３４ｃが後に説明されるように（図５において示されるように、例えば調整ネジ４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄなどによって）調整部品を介して静止した状態で保持される一方で、調整固定具２３は１つの直進可動性３４ａと３つの回転的可動性３５ａ、３５ｂ、３５ｃとを有する。調整部品を作動させることで、調整固定具２３は直進方向３４ｂ、３４ｃに調整することができ、これによってビーム分割キューブ２１を望ましく移動及び傾斜することが可能となる。
【００３２】
このような調整固定具２３の例は、さらに図５において示されている。それにはビーム分割キューブ２１と三角形状板部品３７とを接続する球状接続部品３６が備えられる。三角形状板部品３７の底辺部に配置されるのは、保持フレーム２４に向って１つの方向に移動するスライド式部品３９が付されたヒンジ３８である。調整ネジ４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄの形態をした調整部品を用いて、スライド式部品３９は相互に垂直な直進的可動性３４ｃ及び３４ｂにおいて、保持フレーム２４に対して相対的に直線的又は直進的に移動されてもよい。
【００３３】
それぞれに２つの調整部品が備わった２つの調整固定具２３の代わりに、代案としてそれぞれに１つの調整部品が備わった４つの調整固定具が用いられてもよく、本件の場合にはそれぞれの調整固定具には２つの直進可動性と３つの回転的可動性とが必要となり、第３直進可動性が１つの調整部品（図示なし）によって調整されることが可能となる。
【００３４】
ビーム分割キューブ２１、固定式保持フレーム２４、調整固定具２３及び固定部品２２から構成されるシステムにおいて固定部品２２が備わっていないと想定すると、ビーム分割キューブ２１は調整固定具２３における調整部品を作動させることなく、保持フレーム２４に対して２自由度で移動することができる。
【００３５】
以下に記載の運動方向に生じる力及びトルクが支持されるように、調整固定具２３はこれらの２自由度がｘ軸２７、ｙ軸２８及びｚ軸２９を中心とした傾斜や、ｚ軸２９に沿った直進的な移動、又はこれらの運動の組み合わされたものと一致しないように配置されなければならない。
【００３６】
調整固定具２３が調整部品、具体的には調整ネジ４０ａ及び４０ｃを介して同じように３４ｂの方向に移動された場合、ビーム分割キューブ２１がどのようにｚ軸２９に沿って移動することができるかは図６において見ることができる。調整ネジ４０ａ及び４０ｃは、この用途に対応するようにそれぞれ調整されなければならない。
【００３７】
２つの調整固定具２３が逆に３４ｂの方向（矢印参照）に移動された場合、図７において見られるように結果としてビーム分割キューブ２１はｙ軸２８を中心として傾斜することとなる。
【００３８】
両方の調整固定具２３が同じように３４ｃの方向に移動された場合、ビーム分割キューブ２１はｘ軸２７を中心に傾斜することが図８から見ることができる。具体的には調整ネジ４０ｂ及び４０ｄの調整部品は、このために適切に作動される。
【００３９】
ビーム分割キューブ２１をｚ軸２９に沿って傾斜するためには、図９で矢印によって示されるように、２つの調整固定具２３は逆に３４ｃの方向に移動されなければならない。
【００４０】
調整固定具２３又は調整部品は手動式、電動式、空気圧式、油／水圧式、電磁式、電圧式又は磁歪式に調整することが可能である。
【００４１】
図１０には、接続部分が一体接続部品又はバネ接続部品として形成された場合における、支持フレーム４１と固定部品２２と調整固定具２３とが備わった装置の例示的具体案が開示されている。
【００４２】
ビーム分割キューブ２１は、固定部品２２及び調整固定具２３を用いて保持フレーム２４に支持された支持フレーム４１に取り付けられる。ビーム分割層２６は、ビーム分割キューブ２１において線で表されている。
【００４３】
図１０に対応する固定部品２２は、図１１における拡大図で見ることができる。これは、ビーム分割キューブ２１が取り付けられた支持フレーム４１を保持フレーム２４に接続する。
【００４４】
板バネ接続部品４２を折り曲げることによって、固定部品２２と支持フレーム４１との接触は３０ａの軸に沿って直進的可動性を有し、３１ｂの軸を中心とした回転的可動性を有する。
【００４５】
板バネ接続部品４３のねじれによって、固定部品２２が支持フレーム４１と接触するための、３１ｃ軸を中心とした回転的可動性が生まれ、この結果として板バネ接続部品４２及び４３は長ロッド３２及び２つの球状接続部品３３ａ、３３ｂに接続された固定部品（図４参照）と同様の可動性を有することとなる。固定部品２２は、３０ｃの軸方向に沿ってのみ直進的に移動するのが困難である。
【００４６】
図１０による調整固定具２３は、一体接続部品と共に図１２において拡大図として開示されている。板バネ４４を折り曲げることにより、調整固定具２３の支持フレーム４１との接触に、３４a軸に沿った直進的可動性及び３５ｃ軸を中心とした回転的可動性が生まれる。調整固定具２３と支持フレーム４１との接触には、板バネ４４のねじれによって３５ｂ軸を中心とした回転的可動性が与えられる。
【００４７】
球状接続部３６から形成された調整固定具（図５参照）と同様に、３５ａ軸を中心とした回転的可動性を得るためには、三角形状板部品３７とヒンジ３８、及び板バネ４４を接続するブロック４５（すでに説明された例示的具体案におけるスライド式部品３９と類似した部品）は、制御レバー４７ａ及び４７ｂを固定したままで、板バネ４６ａと４６ｂのそれぞれの延長線が交差する点において、３５ａを回転軸とした瞬間的な回転中心が結果として生まれるように、板バネ４６ａ及び４６ｂを介して制御レバー４７ａ及び４７ｂに取り付けられる。
【００４８】
一方の制御レバー４７ａは、保持フレーム２４に永久的に接続された調整固定具２３に板バネ４８ａを介して取り付けられる。制御レバー４７ａは調整ネジ４０ａ及び４０ｂを用いて調整することが可能であり、板バネ４６ａが調整をブロック４５に伝達し、これによって支持フレーム４１とビーム分割キューブ２１の運動を誘発する。
【００４９】
もう一方の制御レバー４７ｂも同様に、保持フレーム２４に永久的に接続された調整固定具２３に板バネ４８ｂを介して取り付けられる。制御レバー４７ｂは調整ネジ４０ｃ及び４０ｄを用いて調整することが可能であり（調整ネジ４０ｄは被覆されているため図では示されていない。調整ネジ４０ｄは調整ネジ４０ｃを制御レバー４７ｂに加圧する。）、板バネ４６ｂが調整をブロック４５に伝達し、これによって支持フレーム４１とビーム分割キューブ２１の運動が誘発される。
【００５０】
説明された例示的具体案において、制御レバー４７ａ及び４７ｂは、板バネ接続部品４６ａ、４６ｂ、４８ａ、４８ｂと共に移動方向３４ｂ及び３４ｃに対して４５°回転されるため、３４ｂ又は３４ｃの方向への純然たる移動を行うには、２つの制御レバーはその都度２つ同時に作動される必要がある。
【００５１】
制御レバー４７ａ及び４７ｂは、ブロック４５を移動するために同時に内向き又は外向きに移動されなければならない。ブロック４５の３４ｃ軸に沿った純然たる移動を行うためには、一方の制御レバーは内向きに、もう一方の制御レバーは外向きに動かされなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】ミクロリソグラフィに用いられる投影対物レンズにおける操作モードの原理を示した図である。
【図２】調整装置及び設定装置が具備され、側面に支持フレームを有するビーム分割キューブを示した拡大斜視図である。
【図３】図２によるビーム分割キューブを示した上方からの斜視図である。
【図４】固定部品を示した拡大斜視図である。
【図５】調整固定具を示した拡大斜視図である。
【図６】直進的に移動する状態を示した斜視図である。
【図７−９】様々な傾斜可能性を示した図である。
【図１０】支持フレームが備えられた具体案を示した図である。
【図１１】図１０による固定部品を示した拡大図である。
【図１２】図１０による調整固定具を示した拡大図である。
【符号の説明】
【００５３】
１      投影対物レンズ
１ａ    垂直対物レンズ部品
１ｂ    水平対物レンズ部品
１ｃ    垂直対物レンズ部品
２      照射システム
３      焦点板
４      基板
５      レンズ
６      凹面鏡
７      対物レンズハウジング
８      垂直光軸
９      水平光軸
１０    偏向ミラー
１１    垂直光軸
１２    レンズ群
１３    λ／４板
１４    λ／４板
１５    λ／４板
１６    レンズ／レンズ群  
１７    位置設定装置
２１    ビーム分割キューブ
２２    固定部品
２３    調整固定具
２４    保持フレーム
２５    原点
２６    ビーム分割面
２７    ｘ軸
２８    ｙ軸
２９    ｚ軸
３０ａ  直進的可動性
３０ｂ  直進的可動性
３０ｃ  直進的可動性／直線可能性
３１ａ  回転的可動性
３１ｂ  回転的可動性
３１ｃ  回転的可動性
３２    固定部品／ロッド
３３ａ  球状接続部品
３３ｂ  球状接続部品
３４ａ  直進的可動性
３４ｂ  直進的可能性
３４ｃ  直進的可能性
３５ａ  回転的可動性
３５ｂ  回転的可動性
３５ｃ  回転的可動性
３６    球状接続部品
３７    三角形状板部品
３８    ヒンジ
３９    スライド式部品
４０ａ  調整ネジ
４０ｂ  調整ネジ
４０ｃ  調整ネジ
４０ｄ  調整ネジ
４１    支持フレーム
４２    板バネ接続部品
４３    板バネ接続部品
４４    板バネ
４５    ブロック
４６ａ  板バネ
４６ｂ  板バネ
４７ａ  制御レバー
４７ｂ  制御レバー
４８ａ  板バネ
４８ｂ  板バネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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