(57)【要約】複合画像間の差異を検出するためのシステムおよび方法が開示されている。本方法は、第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉するステップおよびそれら第１および第２の複合画像間に収差値の差が存在するか否かを決定するステップを含む。その収差値の差が、収差関数によって第１の複合画像を繰り返し修正し、かつ、高周波数範囲においてその修正された第１の複合画像を第２の複合画像と比較することによって、補正される。本方法は、更に、第２の複合画像を低周波数の比で修正して第２の複合画像の低周波数成分を第１の複合画像の低周波数成分で置き換えることによって、修正された第１の複合画像が第２の複合画像と整合しているか否かを決定する。その後、修正された第１の複合画像の高周波数成分と修正された第２の複合画像とを比較して、第１の複合画像が第２の複合画像と整合しているか否かを決定する。
2005539256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複合画像の間の差異を検出するための方法であって、次のステップ
第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉し、
上記第１および第２の複合画像の比にローパスフィルタを適用して、低周波数の比を得て、
上記第２の複合画像を上記低周波数の比により修正して、上記第２の複合画像の低周波数成分を上記第１の複合画像の低周波数成分で置き換え、そして、
上記修正された複合画像を上記第１の複合画像と比較して、上記第２の複合画像が上記第１の複合画像と整合しているか否かを決定する
を含む方法。
【請求項２】
請求項１の方法であって、更に、次のステップ
周波数領域においてローパスフィルタを適用するために、第１および第２の複合画像の比のフーリエ変換を計算する
を含む方法。
【請求項３】
請求項２の方法であって、更に、次のステップ
時間領域において第２の複合画像を修正するために、低周波数の比の逆フーリエ変換を計算する
を含む方法。
【請求項４】
請求項１の方法において、
修正された複合画像を第１の複合画像と比較するステップが第１および第２の複合画像の高周波数成分を比較することを含んでいる方法。
【請求項５】
請求項１の方法において、
第１および第２の複合画像がホログラフィ画像を含んでいる方法。
【請求項６】
請求項１の方法であって、更に、
第２の複合画像に関連する低周波数成分が画像捕捉システムにおけるシステム内変化を表わしていること
を含む方法。
【請求項７】
複合画像の間の差異を検出するための方法であって、次のステップ
第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉し、
上記第１および第２の複合画像の比のフーリエ変換を計算して、周波数領域の比を得て、
上記周波数領域の比にローパスフィルタを適用して、低周波数の比を得て、
上記低周波数の比の逆フーリエ変換を計算して、上記低周波数の比を時間領域中に変換し
上記第２の複合画像を上記変換された低周波数の比により修正して、上記第２の複合画像の低周波数成分を上記第１の複合画像の低周波数成分で置き換え、そして、
上記修正された複合画像を上記第１の複合画像と比較して、上記第２の複合画像が上記第１の複合画像と整合しているか否かを決定する
を含む方法。
【請求項８】
請求項７の方法において、
修正された複合画像を第１の複合画像と比較するステップが第１および第２の複合画像の高周波数成分を比較することを含んでいる方法。
【請求項９】
請求項７の方法において、
第１および第２の複合画像がホログラフィ画像を含んでいる方法。
【請求項１０】
請求項７の方法であって、更に、
変換された低周波数の比が、画像捕捉システムにより生成された第１および第２の複合画像中の人工的な変化を軽減するように、動作しうること
を含む方法。
【請求項１１】
複合画像の間の差異を検出するためのシステムであって、
第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉するように動作しうるディジタルレコーダと、
上記ディジタルレコーダに結合された処理用資源であって、その処理用資源が次のように動作しうるものである
上記第１および第２の複合画像の比にローパスフィルタを適用して、低周波数の比を得て、
上記第２の複合画像を上記低周波数の比により修正して、上記第２の複合画像の低周波数成分を上記第１の複合画像の低周波数成分で置き換え、そして、
上記修正された複合画像を上記第１の複合画像と比較して、上記第２の複合画像が上記第１の複合画像と整合しているか否かを決定する
を含むシステム。
【請求項１２】
請求項１１のシステムであって、更に、
処理用資源が、周波数領域においてローパスフィルタを適用するために、第１および第２の複合画像の比のフーリエ変換を計算するように、動作しうること
を含むシステム。
【請求項１３】
請求項１２のシステムであって、更に、
処理用資源が、時間領域において第２の複合画像を修正するために、低周波数の比の逆フーリエ変換を計算するように、動作しうること
を含むシステム。
【請求項１４】
請求項１１のシステムにおいて、
修正された複合画像を第１の複合画像と比較することが第１および第２の複合画像の高周波数成分を比較することを含んでいるシステム。
【請求項１５】
請求項１１のシステムにおいて、
第１および第２の複合画像がホログラフィ画像を含んでいるシステム。
【請求項１６】
請求項１１のシステムにおいて、
ディジタルレコーダがＣＣＤカメラを含んでいるシステム。
【請求項１７】
請求項１１のシステムであって、更に、
ディジタルレコーダに光学的に結合されたビームコンバイナーであって、そのビームコンバイナーが、参照用ビームおよび対象物用ビームを受け入れて第１および第２の複合画像を生成するように、動作しうるものである
を含むシステム。
【請求項１８】
複合画像の間の差異を検出するための方法であって、次のステップ
第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉し、それらの第１および第２の複合画像が同様な特徴点を有しており、
予想される収差範囲から上記第１の複合画像についての複数の収差値を選択し、
上記選択された収差値の各々について収差関数を演算し、
上記収差関数の各々によって上記第１の複合画像を繰り返し修正し、
上記修正された複合画像を上記第２の複合画像と比較し、そして、
上記修正された複合画像および上記第２の複合画像の間に最小の差異を生じる収差値を選択することにより、収差補正値を決定する
を含む方法。
【請求項１９】
請求項１８の方法であって、更に、次のステップ
周波数領域において第１の複合画像が修正されるように、第１の複合画像についてフーリエ変換を実行する
を含む方法。
【請求項２０】
請求項１９の方法であって、更に、次のステップ
修正された複合画像を第２の複合画像と比較する前に、修正された複合画像について逆フーリエ変換を実行する
を含む方法。
【請求項２１】
請求項１８の方法において、
修正された複合画像を第２の複合画像と比較するステップがそれらの修正された複合画像および第２の複合画像の比の絶対値の偏差を決定することを含んでいる方法。
【請求項２２】
請求項２１の方法において、
収差補正値を決定するステップが修正された複合画像および第２の複合画像の間の最小の偏差をもつ比を選択することを含んでいる方法。
【請求項２３】
請求項１８の方法において、
第１および第２の複合画像がホログラフィ画像を含んでいる方法。
【請求項２４】
請求項１８の方法において、
予想される収差範囲が最小の収差値および最大の収差値を有している方法。
【請求項２５】
請求項１８の方法において、
収差値がフォーカス値を含んでいる方法。
【請求項２６】
複合画像の間の差異を検出するための方法であって、次のステップ
第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉し、それらの第１および第２の複合画像が同様な特徴点を有しており、
予想される収差範囲から上記第１の複合画像についての複数の収差値を選択し、
上記選択された収差値の各々について収差関数を演算し、
上記第１の複合画像についてフーリエ変換を実行して、変換された複合画像を得て、
上記収差関数の各々によって上記変換された複合画像を繰り返し修正し、
上記修正された複合画像について逆フーリエ変換を実行して、低周波数の比を時間領域中に変換し、
上記変換された複合画像の高周波数成分を上記第２の複合画像の高周波数成分と比較し、そして、
上記変換された複合画像および上記第２の複合画像の間に最小の差異を生じる収差値を選択することにより、収差補正値を決定する
を含む方法。
【請求項２７】
請求項２６の方法において、
変換された複合画像を第２の複合画像と比較するステップがそれらの変換された複合画像および第２の複合画像の比の絶対値の偏差を決定することを含んでいる方法。
【請求項２８】
請求項２７の方法において、
収差補正値を決定するステップが変換された複合画像および第２の複合画像の間の最小の偏差をもつ比を選択することを含んでいる方法。
【請求項２９】
請求項２６の方法において、
第１および第２の複合画像がホログラフィ画像を含んでいる方法。
【請求項３０】
複合画像の間の差異を検出するためのシステムであって、
第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉するように動作しうるディジタルレコーダであって、それらの第１および第２の複合画像が同様な特徴点を有しているものと、
上記ディジタルレコーダに結合された処理用資源であって、その処理用資源が次のように動作しうるものである
予想される収差範囲から上記第１の複合画像についての複数の収差値を選択し
上記収差値の各々について収差関数を演算し、
上記収差関数の各々によって上記第１の複合画像を繰り返し修正し、
上記修正された複合画像を上記第２の複合画像と比較し、そして、
上記修正された複合画像および上記第２の複合画像の間に最小の差異を生じる収差値を選択することにより、収差補正値を決定する
を含むシステム。
【請求項３１】
請求項３０のシステムであって、更に、
処理用資源が、周波数領域において第１の複合画像が修正されるように、その第１の複合画像についてフーリエ変換を実行するように動作しうること
を含むシステム。
【請求項３２】
請求項３１のシステムであって、更に、
処理用資源が、修正された複合画像を第２の複合画像と比較する前に、その修正された複合画像について逆フーリエ変換を実行するように動作しうること
を含むシステム。
【請求項３３】
請求項３０のシステムにおいて、
修正された複合画像を第２の複合画像と比較することがそれらの修正された複合画像および第２の複合画像の比の絶対値の偏差を決定することを含んでいるシステム。
【請求項３４】
請求項３３のシステムにおいて、
収差補正値を決定することがそれらの修正された複合画像および第２の複合画像の間の最小の偏差をもつ比を選択することを含んでいるシステム。
【請求項３５】
請求項３０のシステムにおいて、
第１および第２の複合画像がホログラフィ画像を含んでいるシステム。
【請求項３６】
請求項３０のシステムにおいて、
ディジタルレコーダがＣＣＤカメラを含んでいるシステム。
【請求項３７】
請求項３０のシステムであって、更に、
ディジタルレコーダに光学的に結合されたビームコンバイナーであって、そのビームコンバイナーが、参照用ビームおよび対象物用ビームを受け入れて第１および第２の複合画像を生成するように、動作しうるものである
を含むシステム。
【請求項３８】
複合画像の間の差異を検出するための方法であって、次のステップ
第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉し、それらの第１および第２の複合画像が同様な特徴点を有しており、
上記第１および第２の複合画像間に収差値の差異が存在するか否かを決定し、
収差関数によって上記第１の複合画像を繰り返し修正し、かつ、高周波数範囲においてその修正された複合画像を上記第２の複合画像と比較することによって、上記収差値の差異を補正し、
上記第２の複合画像を低周波数の比により修正して、上記第２の複合画像の低周波数成分を上記第１の複合画像の低周波数成分で置き換え、そして、
上記修正された第１の複合画像の高周波数成分と上記修正された第２の複合画像とを比較して、上記第１の複合画像が上記第２の複合画像と整合しているか否かを決定する
を含む方法。
【請求項３９】
請求項３８の方法であって、更に、次のステップ
予想される収差範囲から上記第１の複合画像についての複数の収差値を選択し、そして、
上記収差値の各々について収差関数を演算する
を含む方法。
【請求項４０】
請求項３８の方法であって、更に、次のステップ
周波数領域において第１の複合画像が修正されるように、その第１の複合画像についてフーリエ変換を実行する
を含む方法。
【請求項４１】
請求項４０の方法であって、更に、次のステップ
修正された第１の複合画像を第２の複合画像と比較する前に、その修正された第１の複合画像について逆フーリエ変換を実行する
を含む方法。
【請求項４２】
請求項３８の方法において、
修正された第１の複合画像を第２の複合画像と比較するステップがそれらの修正された第１の複合画像および第２の複合画像の比の絶対値の偏差を決定することを含んでいる方法。
【請求項４３】
請求項４２の方法であって、更に、次のステップ
修正された第１の複合画像および第２の複合画像の間の最小の偏差をもつ比を選択することによって収差補正値を決定する
を含む方法。
【請求項４４】
請求項３８の方法であって、更に、次のステップ
修正された第１の複合画像および第２の複合画像の比にローパスフィルタを適用して、低周波数の比を得る
を含む方法。
【請求項４５】
請求項４４の方法であって、更に、次のステップ
周波数領域においてローパスフィルタを適用するために、修正された第１の複合画像および第２の複合画像の比のフーリエ変換を計算する
を含む方法。
【請求項４６】
請求項４５の方法であって、更に、次のステップ
時間領域において第２の複合画像を修正するために、低周波数の比の逆フーリエ変換を計算する
を含む方法。
【請求項４７】
請求項３８の方法において、
第１および第２の複合画像がホログラフィ画像を含んでいる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の技術分野
本発明は、一般的には、画像処理の分野に関し、より具体的には、複合画像間の差異を検出するためのシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
発明の背景
ダイレクト‐トゥ‐ディジタル式ホログラフィシステム（ｄｉｒｅｃｔ−ｔｏ−ｄｉｇｉｔａｌ  ｈｏｌｏｇｒａｐｈｙ  ｓｙｓｔｅｍ）においては、高度に近似した対象物からのホログラムを得ることができる。それらのホログラムを連続処理すれば、それら対象物の実際の画像の波動を比較することができる。ホログラムは従来の画像には無い画像位相情報を保持しているので、これらの画像の波動は対象物の大小両規模の詳細について従来の非ホログラフィ画像よりもずっと多くの情報を含んでいる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
高度に近似した対象物における小規模の差異を見つけるためには、ホログラフィシステムが安定な状態に維持されることが重要である。しかしながら、それらの高度に近似した対象物に関連するホログラムを捕捉する合間で、システム内に小さな変化が生じるかもしれない。対象物が異なる配置において全く同じように位置決めされていない場合、例えば、対象物が異なる配置において異なるフォーカス状態にある場合、もあるので、他の変化が生じるかもしれない。これらの対象物間に差異があるかどうかを決める際に、システムに特有な変化および配置に依存する変化が、共に、人工物（例えば、人工的あるいは仮想的な差異）を生じさせる要因となりうる。システムに特有な変化および／または配置に依存する変化がなければ、測定された差異により対象物間の実際の差異が明白に決定されることとなる。
【０００４】
半導体ウェハのための欠陥検査のようないくつかの応用において、同一であると目された対象物に関して異なる配置から多重の画像を捕捉するために、ホログラフィシステムを用いることもできる。異なる配置における対象物が高度に近似しているにしても、それぞれの配置における収差値、例えば、フォーカス、が異なり、そこで、その異なる配置からの画像が異なるように現われる場合もある。従来の画像捕捉システムでは、対象物に関して一つの配置から一つの画像を得ている。その後、システムは同じ対象物に関するもう一つの配置に移動するが、それはほぼ同じ特徴点をもつ画像を含んでいる。その第２の配置において、システムは、一つの画像を得て、第１および第２の画像の間のフォーカスの値における差異を決定する。二つの画像間でフォーカスの値が異なれば、システムは、第１の画像に関連するフォーカスの値にほぼ整合するように第２の画像に関連するフォーカスの値を調整し、その調節されたフォーカスの値をもつ第２の画像を再捕捉する。このプロセスは、第２の配置から画像を得るために必要な時間を二倍以上のものとし、一つの対象物から多重の画像を得ることに関連するコストを増大させることとなる。
【０００５】
ホログラフィ画像は強度および位相の情報を含んでいるが、実像画像は強度の情報を含むのみであるので、ホログラフィ画像は実像画像と異なる。ホログラフィ画像処理における追加された位相情報により、標準的な画像処理ツールおよび性能を超えた新しい可能性とともに、新しい次元の複雑さが加えられる。例えば、波面整合の性能は、強度画像（例えば、実像画像）にとっては殆どメリットがないが、画像の波動（例えば、複合画像）にとっては、それが強度画像にはない位相を画像の波動中に導入することとなるので、重要である。
【０００６】
実像画像のような複合画像は、高周波数部分および低周波数部分を含んでいる。一般的には、画像における実際の違いは、それらの画像の高周波数成分において生じることとなる。しかしながら、配置に依存する変化あるいはシステムに特有な変化のいずれも、画像の高周波数および低周波数成分の両方において人工的、あるいは、仮想的な違いをもたらすことにもなる。いくつかの複合画像においては、小さな空気の乱流のようなシステムに特有な小さな変化のために、二つの異なる画像の低周波数部分が異なったものとなることがある。その低周波数における差異が画像間に人工的な違いを創り出し、システムが画像間の高周波数における実際の差異を精確に決定することができなくなる場合がある。
【０００７】
標準的な画像処理においては、フーリエフィルタを両画像に適用してもよく、また、両画像の低周波数部分を得るためにローパスフィルタ（ｌｏｗ  ｐａｓｓ  ｆｉｌｔｅｒ）を用いてもよい。その後、二つの画像を比較しうるようにそれらの画像を変換して時間領域に戻すために、逆フーリエフィルタを用いてもよい。しかしながら、この解法は、画像の波動に含まれる追加された位相情報を除去するものではない。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
発明の概要
本発明の教示によれば、画像間の差異の検出に関連する不利益および問題は実質的に軽減あるいは解消されるものとなった。特定の実施態様において、複合画像間の差異を検出するための方法は、収差関数によって第１の複合画像を修正することによって収差値の差を補正し、その修正された画像を第２の複合画像と比較し、そうして、高周波数範囲における複合画像間の差異を最小化することを含んでいる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の一つの実施態様によれば、複合画像間の差異を検出するための方法は、第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉し、それら第１および第２の複合画像の比にローパスフィルタを適用して低周波数の比を得ることを含んでいる。その低周波数の比によって第２の複合画像を修正して、第２の複合画像の低周波数成分を第１の複合画像の低周波数成分で置き換える。その後、その修正された複合画像を第１の複合画像と比較して、第２の複合画像が第１の複合画像に整合しているか否かを決定する。
【００１０】
本発明の他の実施態様によれば、複合画像間の差異を検出するためのシステムは、第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉するためのディジタルレコーダと、そのディジタルレコーダに結合された処理用資源とを含んでいる。それらの処理用資源は、それら第１および第２の複合画像の比にローパスフィルタを適用して、低周波数の比を得る。その低周波数の比によって第２の複合画像を修正して、第２の複合画像の低周波数成分を第１の複合画像の低周波数成分で置き換える。その後、その修正された複合画像を第１の複合画像と比較して、第２の複合画像が第１の複合画像に整合しているか否かを決定する。
【００１１】
本発明の更に他の実施態様によれば、複合画像間の差異を検出するための方法は、共に同様な特徴点を有する第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉し、予想される収差範囲から第１の複合画像についての複数の収差値を選択することを含んでいる。その収差値の各々について収差関数を演算し、その収差関数の各々によって第１の複合画像を繰り返し修正する。その修正された複合画像を第２の複合画像と比較し、そして、修正された複合画像および第２の複合画像の間に最も小さい差異を生じる収差値を選択することによって収差補正値を決定する。
【００１２】
本発明の更なる実施態様によれば、複合画像間の差異を検出するためのシステムは、同様な特徴点を有する第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉するためのディジタルレコーダと、そのディジタルレコーダに結合された処理用資源とを含んでいる。その処理用資源は、予想される収差範囲から第１の複合画像についての複数の収差値を選択し、その収差値の各々について収差関数を演算する。その収差関数の各々によって第１の複合画像を繰り返し修正し、その修正された複合画像を第２の複合画像と比較する。処理用資源は、修正された複合画像および第２の複合画像の間に最も小さい差異を生じる収差値を選択することによって、収差補正値を決定する。
【００１３】
本発明のもう一つの実施態様によれば、複合画像間の差異を検出するための方法は、同様な特徴点を有する第１の複合画像および第２の複合画像を捕捉し、それら第１および第２の複合画像の間に収差値の差が存在するか否かを決定することを含んでいる。収差関数によって第１の複合画像を繰り返し修正し、高周波数範囲においてその修正された第１の複合画像を第２の複合画像と比較することによって、その収差値の差を補正する。この方法は、更に、低周波数の比によって第２の複合画像を修正し、第２の複合画像の低周波数成分を第１の複合画像の低周波数成分で置き換えることによって、その修正された第１の複合画像が第２の複合画像に整合しているか否かを決定する。その後、修正された第１の複合画像の高周波数成分と修正された第２の複合画像とを比較して、第１の複合画像が第２の複合画像に整合しているか否かを決定する。
【００１４】
本発明の実施態様における重要な技術的利点は、対象物から多重の画像を捕捉するために必要とされる時間量を減少させるディジタル−トゥ−ダイレクト式システムを含んでいる。いくつかの応用においては、その対象物に関して異なる配置からの画像を捕捉するために、そのシステムを用いることもできる。捕捉された画像の各々に関連する収差値は、異なっていてもよい。調整された収差値をもつ画像を再捕捉する代わりに、システムが第２の画像に関連する収差値で第１の画像を調整する。
【００１５】
本発明の実施態様における他の重要な技術的利点は、捕捉された画像から人工物を除去するダイレクト‐トゥ‐ディジタル式ホログラフィシステムを含んでいる。システムにおける小さな変化が、第１の画像が捕捉される時点と第２の画像が捕捉される時点との間に、生じるかもしれない。これらの小変化は、一般的には、捕捉された画像の低周波数成分中に生じる。システムが二つの捕捉された画像の比にローパスフィルタを適用し、一方の画像にその比を掛けて画像比較から低周波数成分を除去する。こうして、画像の高周波数成分のみが比較され、それによって、システムがそれら二つの画像間にいかなる差異が存在するかを精確に決定することが可能となる。
【００１６】
本発明の各種の実施態様において、これらの技術的利点を、全て、部分的に、あるいは、一つも含むことなく、得ることもできる。他の技術的利点は、以下の図面、説明および特許請求の範囲から、当業者には容易に明らかとなろう。
【００１７】
以下の発明は、一般的に、米国特許第６，０７８，３９２号「ダイレクト−トゥ−ディジタル式ホログラフィおよびホロビジョン」、米国特許第６，５２５，８２１号「ダイレクト−トゥ−ディジタル式ホログラフィおよびホロビジョンのための捕捉および中継システム」、米国特許出願番号第０９／９４９，２６６号「複合画像処理システムにおける相関ノイズ除去のためのシステムおよび方法」および米国特許出願番号第０９／９４９，４２３号「複合画像の重ね合わせのためのシステムおよび方法」に記載されているような、ディジタルホログラフィ画像処理システムおよびその応用に関しており、これら文献は全てこの参照によりここに組み込まれる。
【００１８】
図１は、ダイレクト−トゥ−ディジタル式ホログラフィシステム１０の概略図を示す。システム１０は、レーザ１２、ビームエキスパンダー／空間フィルタ１４、レンズ１６、ビームスプリッター１８、ターゲット２０、フォーカスレンズ２２およびミラー２４を備えている。図示された実施態様において、レーザ１２が光ビームをエキスパンダー／フィルタ１４に向けて発し、拡大／濾波された光がレンズ１６を通ってビームスプリッター１８に進む。ビームスプリッター１８は、ビームの一部を透過し、かつ、ビームの一部を反射することができるいかなる光学要素でもよい。一つの実施態様において、ビームスプリッター１８は５０／５０ビームスプリッターでよく、そこでは、ビームの約５０％が反射され、かつ、ビームの約５０％が透過される。他の実施態様においては、ビームスプリッター１８はいかなる適当な割合の光を反射および／または透過してもよい。ビームスプリッター１８は、立体型ビームスプリッターおよび平板型ビームスプリッターでもよいが、それに限定されない。
【００１９】
そのビームスプリッターによって反射された拡大／濾波された光は、ターゲット２０に向かって進むターゲットビーム２６を構成する。一つの実施態様において、ターゲット２０はシリコン、ゲルマニウムあるいはＩＩＩ族および／またはＶ族の元素を含むいずれかの化合物から作られる電子的デバイスでもよい。もう一つの実施態様においては、ターゲット２０は基板上に形成されたパターンを含むフォトマスクあるいはレチクルでもよい。他の実施態様においては、ターゲット２０は複合画像を発生させることとなるいかなる他の対象物、組立体あるいは部品であってもよい。次いで、ターゲット２０で反射された光の一部がビームスプリッター１８を通ってフォーカスレンズ２２に進む。フォーカスレンズ２２は、ディジタルレコーダ（特に図示せず）の焦点面にターゲット２０をフォーカスするように動作することもできる。更に、フォーカスレンズ２２は、所望ならば、異なる焦点距離のレンズを用い、かつ、その対応する空間的幾何学形態（例えば、画像距離に対する対象物距離の比）を調整することにより、拡大あるいは縮小をもたらしてもよい。次いで、フォーカスされた光はディジタルレコーダに進む。一つの実施態様において、ディジタルレコーダは、ターゲット２０から捕捉されたホログラムを記録し、かつ、再生する高解像度の電荷結合デバイス（ＣＣＤ）カメラであってもよい。更に、ディジタルレコーダは処理用資源を備えたコンピュータ（特に図示せず）にインターフェイス接続されてもよい。一つの実施態様において、処理用資源は、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、ディジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）あるいは情報を処理するように設計された他のディジタル回路のいずれかのうちの一つあるいはそれらの組み合わせであってもよい。
【００２０】
ビームスプリッター１８を通過する、レンズ１６からの光の一部が参照用ビーム２８を構成する。参照用ビーム２８は参照用ミラー２４から小さい角度で反射される。参照用ミラー２４からの反射された参照用ビームは、その後、ビームスプリッター１８に向けて進む。その反射された参照用ビームの一部がビームスプリッター１８によって反射され、次いで、フォーカスレンズ２２に向けて進む。フォーカスレンズ２２を出た参照用ビームは、次いで、ディジタルレコーダに向けて進む。フォーカスレンズ２２からの対象物用ビームおよび参照用ビームは、合体して、同時に存在する複数の参照用および対象物用の波動を構成し、それらがホログラムを形成することとなる。
【００２１】
システム１０が「マイケルソン」形幾何学的配列形態（例えば、ビームスプリッター１８、参照用ビームミラー２４およびディジタルレコーダの間の幾何学的関係はマイケルソン干渉計の幾何学的配列形態に似ている）を利用してもよい。この幾何学的配列形態によれば、フォーカスレンズ２２における参照用ビームおよび対称物用ビームが非常に小さい角度で組み合わされる。例えば、参照用ミラー２４を傾斜させて、ホログラムのフーリエ分析のための空間的ヘテロダインあるいはサイドバンド縞を生じる小さい角度を形成するようにしてもよい。
【００２２】
図２は、ダイレクト‐トゥ‐ディジタル式ホログラフィシステム４０のもう一つの例示である実施態様の概略図を示す。システム４０は、レーザ１２、可変減衰器４２、可変ビ−ムスプリッター４４、ターゲット用アーム、参照用アーム、ビームコンバイナー５４およびディジタルレコーダ５６を備えている。ターゲット用アームが、ターゲット用ビームエキスパンダー４６、ターゲット用ビームスプリッター４８、ターゲット用対物レンズ５０、ターゲット２０およびターゲット用チューブレンズ５２を含んでもよい。参照用アームが、参照用ビームエキスパンダー５８、参照用ビームスプリッター６０、参照用対物レンズ６２、参照用ミラー２４および参照用チューブレンズ６４を含んでもよい。図示された実施態様において、レーザ１２が光ビームを可変減衰器４２に向けて発し、減衰された光が可変ビームスプリッター４４に進む。可変ビームスプリッター４４は、ビームの一部を透過し、かつ、そのビームの他の一部を反射する光学要素であってもよい。図示された実施態様においては、可変ビームスプリッター４４が光ビームをターゲット用ビーム６６および参照用ビーム６８に分割する。
【００２３】
更に図２を参照すれば、ターゲット用ビーム６６は、ターゲット用ビームエキスパンダー４６を通ってターゲット用ビームスプリッター４８に向かい、そこでターゲット用ビーム６６の一部がターゲット用対物レンズ５０に向けて反射される。次いで、反射されたターゲット用ビームはターゲット２０と作用し合い、ターゲット用対物レンズ５０を通って戻る。ターゲット用ビームスプリッター４８は、ターゲット用対物レンズ５０から受けたその反射されたターゲット用ビームの一部を透過し、ターゲット用チューブレンズ５２を経てビームコンバイナー５４に向ける。参照用アームにおいては、可変ビームスプリッター４４からの参照用ビーム６８が参照用ビームエキスパンダー５８を通過し、参照用ビームスプリッター６０で反射される。反射された参照用ビームは、参照用対物レンズ６２を通り、参照用ミラー２４で反射される。次いで、反射された参照用ビームは参照用対物レンズ６２を通って戻り、参照用ビームスプリッター６０を透過する。参照用チューブレンズ６４がそのビームをビームコンバイナー５４に向かわせ、そこでは、ターゲット用アームおよび参照用アームからの光が組み合わされ、組み合わされたビームをディジタルレコーダ５６に向かわせる。一つの実施態様において、その組み合わされたビームは、記憶、伝送および／または変換されるディジタルデータであってもよい。
【００２４】
システム４０がマッハ−ツェンダー形幾何学的配列形態を利用してもよい。図２のマッハ−ツェンダー形幾何学的配列形態（マッハ−ツェンダー干渉計の幾何学的配列形態との類似性のためマッハ−ツェンダー形と呼ばれる）をマイケルソン形幾何学的配列形態（図１に示すような）と比較すると、スルー・ザ・レンズ照明によりターゲット用ビームスプリッター４８を、ターゲット用対物レンズ５０とターゲット２０との間よりもむしろ、ターゲット用対物レンズ５０の背後に置くことができるので、フォーカスレンズ（例えば、図２におけるターゲット用対物レンズ５０）をターゲット２０にもっとより近づけることができると高く評価することができる。これは、小さい対象物を観察（し、そのホログラムを記憶）するために、大きい数値のアパーチャで、高倍率の対物レンズを使用することを可能にする。大きな対象物に対しては、図１に示すような最初のマイケルソン形幾何学的配列形態が、状況にも依るが、適しているかもしれない。
【００２５】
図２によれば、ビームコンバイナー５４をディジタルレコーダ５６に近接して配置してもよいこともまた、高く評価することができる。ビームコンバイナー５４が、参照用ビーム６６および対称物用ビーム６８を組み合わせて、ディジタルレコーダ５６を照明してもよい。ビームコンバイナー５４の角度を、参照用および対象物用のビームが正確に同一線上にあるか、あるいは、一般的に、ヘテロダイン用キャリアの縞が生じるように互いの間にある角度をもってディジタルレコーダ５６に当たるように、変化させてもよい。これは、キャリアの縞の周波数をゼロからディジタルレコーダ５６のナイキストの限界値まで変えることを可能にする。ビームコンバイナー５４を、少なくとも幾何学的配列形態を拡大するために（例えば、対象物のホログラムがディジタルカメラによる捕捉のために拡大されているような幾何学的配列形態）、マイケルソン形幾何学的配列形態の場合よりもディジタルレコーダ５６に近接させてもよい。これは、参照用および対象物用のビームによるスポットをディジタルレコーダ５６においてもはや重ならせないようにすることなく、対象物用および参照用のビーム間の組み合わせ角度を相対的に大きなものとすることを可能にする。これにより、キャリア周波数の縞に対してずっとより精密な制御を行うことができる。事実、ヘテロダインホログラムの空間的キャリア周波数がディジタルレコーダにより許容されるナイキスト周波数を超えることなしに、それら二つのビーム間の角度をゼロからシステムの制約により許容される最大角度まで変化させることが可能となるかもしれない（例えば、その角度を、空間的キャリア周波数の縞ごとに二つの画素が存在する限りは、増大することができる−この角度を超えると、空間的キャリア周波数がディジタルレコーダによってもはや正しく記憶されなくなる）。マイケルソン形幾何学的配列形態では、望まれる角度がいくつかの幾何学的配列形態について参照用および対象物用のビームがディジタルレコーダにおいてもはや重ならないであろう程十分に大きいので、ホログラムの最大空間キャリア周波数は到達しうるものではなくなる。
【００２６】
動作においては、システム１０および４０はホログラフィ画像をリアルタイムで記憶および再生するか、あるいは、後に再生するようにそれらを蓄積するために適したものでよい。ホログラフィ映画を作成するために一連のディジタル的に蓄積されたホログラムを形成してもよいし、または、それらのホログラムが離れた場所で電子的に再生するために放送されてホログラフィテレビジョン（ホロビジョン）を提供することもできる。ホログラムは振幅および位相を蓄えており、かつ、位相は波長および光路長に直接比例するので、ダイレクト−トゥ−ディジタル式ホログラフィシステム１０および４０を、精密部品、組立体などの形状や寸法を照合するための非常に精確な測定ツールとして、役立ててもよい。同様に、ホログラムをディジタル的に蓄積する能力から、直ちにディジタルホログラフィ干渉計使用技術のための方法が提供される。ある物理的変化（ストレス、温度、ミクロ微細加工など）の後、同じ対象物のホログラムを互いに引き算して（位相の直接減算）、その変化の物理的な測定値、そこでは位相変化が波長に直接比例しているが、を計算してもよい。同様に、ある対象物を同様な対象物と比較して、それぞれのホログラムを引き算することにより第１あるいは主たる対象物からの第２の対象物のずれを測定することもできる。ｘ  −ｙ平面における二つの画素についてｚ平面における２πより大きい位相変化を明確に測定するためには、一波長を超えてホログラムを記録しなければならない。
【００２７】
システム１０および４０は、ビデオカメラのような高解像度ディジタルレコーダの使用と、対象物用および参照用のホログラフィ波動の極小角度での混合（例えば、一つの縞当たり少なくとも二つの画素および解像されるべき一つの空間的特徴点当たり少なくとも二つの縞を生じるような角度での混合）と、レコーディング（カメラ）平面での対象物の画像処理と、空間的低周波数ヘテロダイン（サイドバンド）ホログラムのフーリエ変換分析とを組み合わせて、ホログラフィ画像（例えば、各画素について記録された位相および振幅の両方を有する画像）を記録することを可能にしている。加えて、対象物のフォーカシングに係る一つ以上のレンズの後部焦点面にアパーチャ絞りを用いて、画像処理システムによって解像されうるよりもより高いいずれかの周波数のアリアジングを防止することもできる。対象物における全ての空間周波数が画像処理システムによって解像可能ならば、アパーチャは不必要である。
【００２８】
一旦記録されると、ホログラフィ画像を３−Ｄ位相あるいは振幅プロットとして二次元ディスプレイ上に再生するか、あるいは、フェーズ変化結晶および白色光またはレーザ光を用いて完全な元の記録された波動を再生して元の画像を再生するかのいずれかが可能である。元の画像は、レーザを備えたフェーズ変化媒体中にそれを書き込むことにより、再生され、白色光か、あるいは、他のレーザかのいずれかがそれを再生するために用いられる。三つの異なる色のレーザにより画像を記録し、再生された画像を組み合わせることによって、真の色のホログラムを作成することができる。一連の画像を継続的に書き込みかつ再生することによって、ホログラフィ映画を形成することができる。これらの画像はディジタル的に記録されているので、ラジオ周波数（ＲＦ）電波（例えば、マイクロ波）により、または、適当なディジタルエンコーディング技術を用いたファイバーあるいはケーブルのディジタルネットワークを経て、それらを放送し、離れた場所で再生することもできる。これにより、ホログラフィテレビジョンおよび映画、すなわち、「ホロビジョン」を有効に実現することができる。
【００２９】
システム１０および４０を、多くの代替手法によってもまた、実施することができる。例えば、システム１０および４０が、各画素についてのホログラムの位相および振幅をヘテロダイン捕捉するよりもむしろ、位相シフトを利用してもよい。もう一つの実施態様においては、システム１０および４０が感光結晶に強度パターンを書き込むための多くの異なる方法を利用することもできる。これらには、鋭く収束された走査用レーザビームを用いること（空間的光変調器を用いるよりもむしろ）、ＳＬＭを用いるがバイアス用レーザビームなしに書き込むこと、および、書き込み手法についての多くの可能な幾何学的変更、が含まれる。他の実施態様においては、システム１０および４０が、ホログラムを再生する回折格子を作るために、位相変化以外の光学効果を用いた感光結晶を利用してもよい。更なる実施態様においては、システム１０および４０が、強度パターンを作成するために、微小画素化されたＳＬＭを利用してもよく、それによって、ホログラムを再生するために強度パターンを書き込むということを全く不必要にすることができる。
【００３０】
上述したように、同じ対象物すなわちターゲットから、ある物理的変化がそのターゲットに起った後に、得られる複合画像を比較するか、あるいは、異なるターゲットからの複合画像を比較するために、システム１０および４０を用いてもよい。加えて、ターゲット２０に関して異なった配置からの画像を捕捉するために、システム１０および４０を用いることもできる。その異なった配置における画像は、同様な特徴点をもっている。例えば、ターゲット２０は多段階の単一ダイを含む半導体ウェハであってもよい。この例においては、各ダイ上の特定区域の複合画像を得るために、システム１０および４０を用いることもできる。捕捉された画像は同様な特徴点をもっているが、各画像の関連する同一平面内の（isoplanatic）収差値（例えば、一次収差項のフォーカス）が異なってもよい。この差異は、画像間に仮想の、存在しない差異を生じさせることとなる。それ故、一方の画像の収差値が、捕捉された複合画像が精確に比較されることを保証するように、調整されねばならない。
【００３１】
本発明は、複合画像の捕捉のために要する時間を増加させることなく、収差値を補正することのできる解決法を提供する。ターゲット２０に関して異なった配置からの二つの複合画像を捕捉するために、システム１０および４０を用いてもよい。第１に、収差範囲が、それら二つの画像間の収差の違いが決められた制限値の間の値をもつように、決定される。その決められた収差範囲内の一つ以上の収差値が選択され、それらの選択された値の各々について、収差関数が計算される。第２に、その計算された収差値の各々について修正された第1の複合画像を得るために、各収差値に第１の画像を掛けることによってシステム１０および／または４０により捕捉された第１の複合画像が繰り返し修正される。第３に、修正された第１の複合画像の各々が第２の複合画像と比較される。高周波数領域において修正された第１の複合画像と第２の複合画像との間に最小の分散を生じる場合、その比較が二つの複合画像間の収差の違いを補正するための最良の近似を示すこととなる。一つの実施態様において、最初に決定された収差値の付近のより微細に選択された収差値を用いることによって、手続を精密なものとしてもよい。もう一つの実施態様においては、最良の収差値に対する二つの最良の近似を用い、かつ、その二つの最良の近似の間のベターな収差値を内挿することによって、手続を精密なものとすることもできる。
【００３２】
捕捉された画像間の収差値の差異に加えて、システム１０および４０には他の装置的変化が発生し、それらが複合画像中に人工物を生じさせる。それらの人工物は小さく、また、複合画像の低周波数成分中に生じる。対照的に、同様な対象物間の差異は、一般にサイズにおいて小さく、それ故、主として高周波数空間成分からなる。標準的な画像処理においては、画像処理システム内の変化に起因する人工物はいずれもフーリエ空間において除去される。しかしながら、システム１０および４０内の変化に起因する人工物については、フーリエ空間における各画素が変動の（複雑な）スペクトルを巻き込んでいるので、それらをフーリエ空間において除去することができない。
【００３３】
それらの人工物が低周波数空間成分中に生じ、かつ、同様な対象物間の真の差異のいかなるものも高周波数空間成分中に生じると仮定すれば、複合画像の低周波数成分同士の間の差異を（ホログラムから演算されるように）演算することによりシステム１０および４０内の変化を近似することができる。それらの変化を補償するために、複合画像の比にローパスフィルタを適用してもよい。次いで、その結果を、システム内の変化を補償する掛け算係数として、それらの画像の一方に対して使用する。
【００３４】
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【００３５】
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【００３６】
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【００３７】
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【００３８】
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【００３９】
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【００４０】
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【００４１】
図３は、システム１０および／または４０によって捕捉された多重の複合画像を例示している。具体的には、画像３２は第１のフォーカス値におけるターゲット２０上の一つの配置から得られる複合画像であり、画像３４は第２のフォーカス値におけるターゲット２０上のもう一つの配置から得られる複合画像である。画像３６は、それら二つの複合画像の間のフォーカスの差を演算し、かつ、適用した後、画像３２中に表示される複合画像である。画像を得るために用いられたアパーチャ値は約０．５ｎＡであった。また、フォーカス補正は高い分散角度に対して有効である。
【００４２】
図４および図５は、システム１０および／または４０によって捕捉された二つの複合画像の間の差異を例示している。具体的には、図４は、システム内変化により惹起される人工物を補償していない、二つの複合画像間の差異を例示している。図に見られるように、画像は、画像を歪ませる多くの人工物を含んでいる。図５は、捕捉された二つの画像の比に対してローパスフィルタを適用した後の図４に示されている差分画像を例示している。図に見られるように、システム１０および／または４０内の小さな変化によって導入された人工物が大きく軽減されているといえる。図示された実施態様においては、明るい白色のスポットが欠陥であり、図４に示された画像では検出できなかった欠陥が、関連する低周波数成分の全てがローパスフィルタの適用によって除去されているので、今や精確に表示されているといえる。
【００４３】
図６ａおよび６bは、複合画像間の差異を検出するための方法のフローチャートを例示している。一般に、ダイレクト‐トゥ‐ディジタル式ホログラフィシステムが、対象物あるいはターゲットを表わす複合画像を捕捉し、かつ、捕捉された画像がいずれかの実際の差異を有しているか否かを決定するために、用いられる場合がある。画像の捕捉プロセスの間、ホログラフィシステム内に捕捉された画像の精度に影響を与えるような変化が生じることがある。例えば、ホログラフィシステムが対象物に関して二つの異なる配置から同様な画像を得るならば、捕捉された画像の各々が特有な収差値を含んでいる場合がある。捕捉された画像が同じ特徴点を実際に含んでいる場合、収差値における差異によってそれらの捕捉された画像が異なるものであるとホログラムシステムに決定させることもできる。画像捕捉プロセスのスピードに影響を与えることなく精確に画像を捕捉するために、捕捉されるべき第１の画像が、その第１の捕捉された画像が第２の捕捉された画像の収差値をもつように、繰り返し調整されてもよい。その後、その修正された第１の画像が、それら二つの捕捉された画像が同じ特徴点を有しいているか否かを決定するために、用いられる。各画像についての低周波数成分の間の差異を演算することによって、ホログラフィシステム内の他の変化を近似することもできる。画像の低周波数成分を除去するためにローパスフィルタを画像の比に適用し、そして、その結果を画像の一方を修正するために用いてホログラフィシステムの変化を補償することもできる。次いで、高周波数成分において、画像間のいずれの差異をも検出することになる。
【００４４】
ステップ７０において、システム１０あるいは４０がターゲット２０からの第１の複合画像を捕捉する。一つの実施態様において、ターゲット２０がシリコン、ゲルマニウムあるいはＩＩＩ族および／またはＩＶ族元素を含むいずれかの化合物から作成された電子デバイスであってもよい。もう一つの実施態様においては、ターゲット２０が基板上に形成されたパターンを含むフォトマスクあるいはレチクルであってもよい。他の実施態様においては、ターゲット２０が形状や寸法を照合するためにシステム１０および４０によって分析されるいずれの対象物、部品あるいは組立体であってもよい。ステップ７２において、ターゲット２０から第２の複合画像を捕捉する。第２の複合画像が同一の対象物から捕捉されてその対象物における物理的変化を計算するか、あるいは、第２の複合画像が同様な対象物から捕捉されて第１の対象物からの第２の対象物の偏差を測定してもよい。
【００４５】
ステップ７３において、システム１０および／または４０が、第１および第２の画像を整合させるために収差補正が必要であるか否かを、決定する。第２の画像に対する収差値が第１の画像に対する収差値と異なるならば、ステップ７４において予測される収差範囲を決定する。その予測される範囲は、特定の対象物に関連して先に決定された値、あるいは、対象物のタイプ（例えば、半導体ウェハ、フォトマスクなど）に基づく見積もりに基づいてもよい。第１および第２の画像間の実際の収差の違いに収斂させるために、ステップ７６において、その範囲から少なくとも二つの収差値を選択する。一つの実施態様において、二つの最良の値を選択し、そして、それら二つの最良値を用いて内挿することにより収差の違いを見積もってもよい。もう一つの実施態様においては、多重の値を選択することもできる。ステップ７８において、選択された収差値の各々を用いて収差関数を計算する。一つの実施態様において、フォーカスのような一次の収差値を計算するために、その収差関数を用いてもよい。
【００４６】
ステップ８０において、その計算された収差関数を第１の画像を繰り返し修正するために用いる。一つの実施態様において、フーリエ変換を第１の複合画像に適用し、かつ、その結果に収差関数を掛けてもよい。第１の複合画像が多重回修正されるように、計算された収差関数の各々についてこのプロセスが繰り返される。修正された第１の複合画像を変換して時間領域に戻すために、各収差関数が適用された後の修正された第１の複合画像に対して逆フーリエ変換が施される。次いで、ステップ８２において、各収差関数に関連する修正された第１の複合画像を第２の複合画像と比較して、収差の補正を決定する。一つの実施態様において、修正された第１の複合画像と第２の複合画像との比の絶対値（modulus）の偏差を演算することによって、画像を比較してもよい。
【００４７】
ステップ８４において、修正された第１の複合画像および第２の複合画像の高周波数成分の間の差異を分析する。その差異が画像間の最小の偏差であれば、ステップ８６において、特定の収差関数を計算するために用いた収差値を収差補正の最良の近似として選択する。そうでなければ、ステップ８３において、もう一つの収差値に関連して第１の複合画像を修正し、ステップ８２において、その新たな修正された複合画像を第２の複合画像と比較する。反復プロセスにより二つの画像間の最小偏差が決定されると、ステップ８６において、修正された第１の複合画像を得るために、その最小偏差に関連する収差値を第１の複合画像に適用する。
【００４８】
適当な収差補正値を得た後、ステップ８８において、修正された第１の複合画像と第２の複合画像との比を計算する。一つの実施態様において、第１および第２の複合画像間の収差値が、第１の複合画像に対する調整を不必要とするように、同様なものであってもよい。この実施態様においては、修正された第１の複合画像が第１の複合画像とほぼ等しいものとなる。二つの捕捉された複合画像が、システム１０および／または４０内の変化により惹起された人工物を含んでいる場合もある。これらの人工物は画像に関連する低周波数成分中に存在するが、他方、実際の差異はそのいずれも高周波数成分中に存在する。修正された第１の複合画像と第２の複合画像との比較から低周波数成分を効果的に除去するために、ステップ９０において、ローパスフィルタをその比に対して適用する。一つの実施態様において、画像の比が周波数領域に変換され、かつ、ローパスフィルタが周波数領域において適用されるように、フーリエ変換をその比に対して適用してもよい。次いで、低周波数の比を変換して時間領域に戻すために、逆フーリエ変換を適用する。
【００４９】
ステップ９２において、その低周波数の比に第２の複合画像を掛けて、修正された第２の複合画像を得る。その低周波数の比を第２の複合画像に適用することによって、第２の複合画像の低周波数成分が第１の画像の低周波数成分で置き換えられる。次いで、ステップ９４において、その修正された第２の複合画像を修正された第１の複合画像と比較する。この比較においては、画像間の実際の差異を決定するために、第１および第２の複合画像の各々に関連する高周波数成分のみが比較される。ステップ９６において、システムが二つの画像の高周波数成分がほぼ同一であるか否かを決定する。修正された第１の複合画像と修正された第２の複合画像との間に差異がなければ、ステップ９８において、システム１０および／または４０は、画像が同様のものであると、決定する。差異があると決定されると、ステップ１００において、その差異を記録する。一つの実施態様において、ターゲット２０が半導体ウェハであり、かつ、画像間の計算された差異がウェハに関する特定の配置における欠陥を示すものであってもよい。
【００５０】
本発明をその特定の好適な実施態様について説明したが、各種の変形や修正が当業者にとって示唆される場合もあり、本発明が添付した特許請求の範囲に該当するような変形や修正を含むことは意図するところである。
【００５１】
本発明およびその利点は、添付した図面と共になされる以下の説明を参照すれば、より完全に理解されるであろう。図中、同じ参照番号は同じ部分要素を示す。
【００５２】
図１から図６を参照することにより、本発明の好適な実施態様およびそれらの利点を最もよく理解することができる。図中、同一および対応する部分を指示するために同一の番号が用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の教示に従うダイレクト−トゥ−ディジタル式ホログラフィシステムの概略図を示す。
【図２】本発明の教示に従う他のダイレクト−トゥ−ディジタル式ホログラフィシステムの概略図を示す。
【図３】本発明の教示に従うダイレクト−トゥ−ディジタル式ホログラフィシステムにより得られる二つの複合画像と、収差補正値を決定し、かつ、適用した後の結果として得られる画像とを例示している。
【図４】ダイレクト−トゥ−ディジタル式ホログラフィシステムによって、そのホログラフィシステム内の変化に起因する人工物を補償することなく、得られた複合画像を例示している。
【図５】本発明の教示に従って人工物を除去した後の図４の複合画像を例示している。
【図６】本発明の教示に従う、複合画像間の差異を検出するための方法のフローチャートを示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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