(57)【要約】両面磁気記録媒体又は両面光磁気ＭＯ記録媒体の両表面に対して同時に磁気パターンをコンタクト・プリントするために使用される装置５０であって、（ａ）第１の端部表面５２を有する、固定取り付けされた第１の磁極５１と、（ｂ）第１の磁極と軸方向に位置合わせされた軸方向に可動な第２の磁極５３であり、第１の磁極の第１の端部表面と対向して向き合う第２の端部表面５４を有する第２の磁極５３と、（ｃ）第１の磁極の第１の端部表面上に取り付けられたセンタリング用インサート固定具５５の第１の部分５５Ｕと、（ｄ）第２の磁極の第２の端部表面上に取り付けられたセンタリング用インサート固定具の第２の部分５５Ｌとを含む装置５０。
2005535995.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両表面に対して同時に磁気パターンをコンタクト・プリントするために使用される装置であって、
（ａ）第１の端部表面を有する、固定取り付けされた第１の磁極と、
（ｂ）前記第１の磁極と軸方向に位置合わせされた、軸方向に可動な第２の磁極であり、前記第１の磁極の前記第１の端部表面と対向して向き合う第２の端部表面を有する第２の磁極と、
（ｃ）前記第１の磁極の前記第１の端部表面上に取り付けられたセンタリング用インサート固定具の第１の部分と、
（ｄ）前記第２の磁極の前記第２の端部表面上に取り付けられたセンタリング用インサート固定具の第２の部分とを含む装置。
【請求項２】
前記センタリング用インサート固定具の前記第１の部分が、第１の磁気スタンパ／インプリンタを、前記センタリング用インサート固定具の前記第２の部分に取り付けられた第２の磁気スタンパ／インプリンタと軸方向に位置合わせした状態で前記第１の部分に取り付ける第１の手段を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記センタリング用インサート固定具の前記第２の部分が、第２の磁気スタンパ／インプリンタを、前記第１の磁気スタンパ／インプリンタと軸方向に位置合わせした状態で前記第２の部分に取り付ける第２の手段を含む、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記第２の取付け手段が、両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体を、その第１の表面を前記第１の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面に向けてこれと軸方向に位置合わせした状態で、またその第２の表面を前記第２の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面に向けてこれと軸方向に位置合わせした状態で前記第２の取付け手段に取り付ける手段をさらに含む、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記第１及び第２のスタンパ／インプリンタ、並びに前記両面磁気記録媒体又は前記両面ＭＯ記録媒体がそれぞれ環状ディスク型であり、前記第２の取付け手段が、前記第１及び第２のスタンパ／インプリンタ並びに前記両面磁気記録媒体又は前記両面ＭＯ記録媒体の中心に位置する円形の開口を通って延びるようになされた円筒形スピンドルを含む、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
（ｅ）非磁性材料で構成された第１のプラテンであり、その中央部分の開口を通って前記第１の磁極が延びる第１のプラテンと、
（ｆ）非磁性材料で構成された第２のプラテンであり、その中央部分の開口を通って前記第２の磁極が延びる第２のプラテンとをさらに含む、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１の磁極が、前記第１のプラテンに固定して取り付けられ、
前記第２の磁極が、前記第２のプラテンの前記中央部分の前記開口内で軸方向に移動可能である、請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記第１のプラテンの前記中央部分が突起を含み、前記センタリング用インサート固定具の前記第１の部分が前記突起を超えて延び、
前記第２のプラテンの前記中央部分が、前記突起と、前記センタリング用インサート固定具の前記第１及び第２の部分とをその中に収容する凹部を含む、請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記突起及び前記凹部がそれぞれ、前記突起の前記凹部内への収容を容易にして、第１のスタンパ／インプリンタ及び第２のスタンパ／インプリンタの、前記両面磁気記録媒体又は両面ＭＯ記録媒体の第１及び第２の表面に対する確実な軸方向の位置合わせ／見当合わせを実現するためのテーパ状の表面形状を含む、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記第１のプラテンが、前記突起の前記凹部内への収容を容易にするために横方向に移動可能であり、
前記第２のプラテンが、前記中央部分の前記開口内に、前記第２の磁極の軸方向移動を円滑にするためのリニア軸受を含む、請求項８に記載の装置。
【請求項１１】
前記第１のプラテンが第１の端面を含み、前記第２のプラテンが第２の端面を含み、前記第１の端面が前記第２の端面から離間してこれと向き合い、
前記第１の端面が、少なくとも一対の軸方向に延びる位置合わせロッドを備え、
前記第２の端面が、前記位置合わせロッドと軸方向に位置合わせされた、前記位置合わせロッドを受けてこれと対合する少なくとも一対の対応する凹部を備えて、第１のスタンパ／インプリンタ及び第２のスタンパ／インプリンタの、前記両面磁気記録媒体又は両面ＭＯ記録媒体の第１及び第２の表面に対する確実な軸方向の位置合わせ／見当合わせを実現する、請求項６に記載の装置。
【請求項１２】
前記位置合わせロッドがそれぞれ、テーパ形状を有する端部を含み、
前記凹部がそれぞれ、前記位置合わせロッドを受けてこれと確実に対合するためのテーパ形状の側面を含む、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記第１のプラテンが、前記位置合わせロッドの前記凹部内への収容を容易にするために横方向に移動可能であり、
前記第２のプラテンが、前記中央部分の前記開口内に、前記第２の磁極の軸方向移動を円滑にするためのリニア軸受を含む、請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】
両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両表面に対して同時に磁気パターンをコンタクト・プリントする方法であって、
（ａ）（ｉ）第１の端部表面を有する、固定取り付けされた第１の磁極と、
（ｉｉ）前記第１の磁極と軸方向に位置合わせされた、軸方向に可動な第２の磁極であり、前記第１の磁極の前記第１の端部表面と対向して向き合う第２の端部表面を有する第２の磁極と、
（ｉｉｉ）前記第１の磁極の前記第１の向き合う端部表面に取り付けられたセンタリング用インサート固定具の第１の部分と、
（ｉｖ）前記第２の磁極の前記第２の端部表面に取り付けられた、前記センタリング用インサート固定具の第２の部分と、
（ｖ）前記センタリング用インサート固定具の前記第１及び第２の部分の確実な軸方向の位置合わせ／見当合わせを実現する手段とを含む装置を提供する段階、
（ｂ）前記センタリング用インサート固定具の前記第１の部分に、第１の磁気スタンパ／インプリンタを取り付ける段階、
（ｃ）前記センタリング用インサート固定具の前記第２の部分に、第２の磁気スタンパ／インプリンタを取り付ける段階、
（ｄ）裏表となる第１及び第２の表面を有する、磁区が一方向に整列された両面磁気記録媒体又は両面ＭＯ記録媒体を、前記記録媒体の前記第２の表面が前記第２の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面と接触してこれと軸方向に位置合わせされるように、前記センタリング用インサート固定具の前記第２の部分に取り付ける段階、
（ｅ）前記記録媒体の前記第１の表面が前記第１の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面と接触してこれと軸方向に位置合わせされるように、前記第２の磁極を軸方向に移動させる段階、並びに
（ｆ）前記第１の磁極と前記第２の磁極の間に一方向磁場を生成して、前記磁区のうち選択した磁区の整列方向を同時に反転させて、前記第１及び第２の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面に形成された構造パターンに対応する磁気パターンを前記記録媒体の前記第１及び第２の表面にそれぞれ形成する段階を含む方法。
【請求項１５】
（ｇ）前記記録媒体の前記上側表面が前記第１の磁気スタンパ／インプリンタの前記インプリント用表面から離間するように前記第２の磁極を軸方向に移動させる段階と、
（ｈ）磁気パターン形成済みの記録媒体を前記センタリング用インサート固定具の前記第２の部分から取り除く段階とをさらに含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
さらに別の記録媒体に対して段階（ａ）〜（ｈ）を繰り返すことをさらに含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
段階（ａ）〜（ｈ）を自動的に実行することを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
段階（ａ）（ｉ）が、前記第１の磁極を、非磁性材料で構成された第１のプラテンに固定して取り付けられた状態で提供することを含み、前記第１の磁極が前記第１のプラテンの中央部分の開口を通って延び、
段階（ａ）（ｉｉ）が、前記第２の磁極を、非磁性材料で構成された第２のプラテン内を軸方向に移動可能な状態で提供することを含み、前記第２の磁極が前記第２のプラテンの中央部分の開口を通って延びる、請求項１４に記載の方法。
【請求項１９】
段階（ｂ）が、前記センタリング用インサート固定具の前記第１の部分に環状ディスク状磁気スタンパ／インプリンタを取り付けることを含み、
段階（ｃ）が、前記センタリング用インサート固定具の前記第２の部分に環状ディスク状磁気スタンパ／インプリンタを取り付けることを含み、
段階（ｄ）が、前記センタリング用インサート固定具の前記第２の部分に環状ディスク状記録媒体を取り付けることを含み、
段階（ａ）（ｉｖ）が、前記センタリング用インサート固定具の前記第２の部分を、前記第１及び第２の磁気スタンパ／インプリンタ並びに前記記録媒体それぞれの中心に位置する円形の開口を通って延びるようになされた円筒形スピンドルを含むものとして提供することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２０】
段階（ｄ）が、Ａｌ、ＮｉＰめっきしたＡｌ、Ａｌ−Ｍｇ合金、その他のＡｌ合金、その他の非磁性金属、その他の非磁性金属の合金、ガラス、セラミック、ポリマー、ガラス・セラミック、及びこれらの材料の複合材料又は積層材料から選択した非磁性材料で構成された基板の裏表の第１の表面及び第２の表面それぞれに少なくとも１つの磁気記録材料層を含む環状ディスク状の磁気記録媒体又は光磁気（ＭＯ）記録媒体を取り付けることを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２１】
段階（ｂ）及び（ｃ）がそれぞれ、Ｎｉ、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＣｏＳｉＦｅ、ＣｏＦｅ及びＣｏＦｅＶから選択される高い飽和磁化Ｂｓａｔ（≧〜０．５テスラ）及び高い透磁率μ（≧〜５）を有する少なくとも１つの磁性材料から構成されたインプリント用表面を有する環状ディスク状磁気スタンパ／インプリンタを取り付けることを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２２】
段階（ｂ）及び（ｃ）がそれぞれ、パターン化された複数の離間した凹部と、それらの間の複数の非凹部領域とを含む、前記記録媒体の前記表面に形成しようとするサーボ・パターンに対応した構造パターンが形成された各インプリント用表面を有する環状ディスク状磁気スタンパ／インプリンタを取り付けることを含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
段階（ｄ）が、前記記録媒体の前記第１及び第２の表面に垂直な第１の方向に第１の一方向磁場を印加することによって、前記第１の方向に一方向に磁区が整列された両面垂直磁気記録媒体を提供することを含み、
段階（ｆ）が、前記第１の磁極と前記第２の磁極の間に、前記記録媒体の前記第１及び第２の表面と垂直な第２の方向（第１の方向の反対）に前記一方向ＤＣ磁場を生成することによって、前記記録媒体の前記第１及び第２の表面の、前記第１及び第２の磁気スタンパ／インプリンタの前記構造パターンが形成されたインプリント用表面の前記凸部と接触している部分の磁区の整列方向を選択的に再整列させることを含む、請求項２２に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、参照によりその全ての開示を本明細書に援用する２００２年８月８日に出願した米国仮特許出願第６０／４０２２４４号の優先権を主張するものである。
【０００２】
本発明は、一対の鏡像磁気スタンパ／インプリンタを利用したコンタクト・プリントによって両面磁気媒体に磁気転移パターンを形成する方法に関する。本発明は、特に、ハード・ディスクなど、磁気的にデータ／情報を記憶及び検索する媒体や光磁気（ＭＯ）的にデータ／情報を記憶及び検索する媒体の磁気記録層の表面にサーボ・パターンを形成するのに有用である。
【背景技術】
【０００３】
磁気記録媒体及び光磁気（ＭＯ）記録媒体は、特にコンピュータ産業において例えばハード・ディスクという形で、大量のデータ／情報の記憶及び検索を行うために様々に応用されて広く使用されている。これらの媒体では、通常、動作を円滑にするために、１つ又は複数の主要な表面にパターン形成を行う必要がある。例えば、特定のデータ帯域又はデータ領域の上で読取り／書込みトランスデューサ・ヘッドを位置決めすることを可能にするサーボ・パターンを形成する。
【０００４】
従来の磁気記録媒体及び光磁気（ＭＯ）記録媒体は、薄膜の形態で作製される。磁気記録媒体は、活性磁気記録層を構成する磁性材料のグレイン（粒子）の磁区の該記録層の表面に対する配向（すなわち平行であるか垂直であるか）によって、「水平磁気記録」又は「垂直磁気記録」に大別される。
【０００５】
磁気媒体の動作中に、磁性層は、書込みトランスデューサ又は書込みヘッドによって局所的に磁化され、データ／情報を記録及び記憶する。書込みトランスデューサは、そのときに記憶している情報のビットに基づいて向きを変える極めて集中的な磁場を形成する。書込みトランスデューサが印加する局所磁場が記録媒体層の保磁度より大きいと、その位置の多結晶磁性層のグレインが磁化される。書込みトランスデューサが印加する磁場が除去された後も、これらのグレインは磁化を保持する。磁化の方向は、印加された磁場の方向と一致する。その後、この記録媒体の磁化パターンは、読取りトランスデューサに電気的応答を生じ、記憶した媒体の読取りを可能にすることができる。
【０００６】
上述の薄膜磁気記録媒体などのディスク状記録媒体の使用中に利用される通常のコンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）方式では、浮動式トランスデューサ・ヘッドが、互いに滑るトランスデューサ及びディスクの表面の間に発生する空気流によって生じる動圧力効果によってディスク表面から所定距離だけ離れて滑動する。読取り動作中及び記録（書込み）動作中には、トランスデューサ・ヘッドは、ディスクが回転する際の空気軸受で支持されて記録表面から一定の制御距離に保持され、トランスデューサ・ヘッドが円周方向及び径方向の両方に自由に移動可能となることにより、データ・ゾーンの所望位置でディスクにデータを記録し、またディスクからデータを取り出すことができるようになっている。
【０００７】
図１を参照すると、複数のサーボ・トラックを含むデータ・ゾーン３４とコンタクト・スタート・ストップ（ＣＳＳ）ゾーン３２とを有する（水平記録式又は垂直記録式の）磁気記録ディスク３０を簡略に示す概略平面図が示してある。サーボ・パターン４０は、データ・ゾーン３４内に形成され、サーボ・トラッキング・ゾーン３６で分離されたいくつかのデータ・トラック・ゾーン３８を含む。ディスク３０のデータ記憶機能は、データ・トラック・ゾーン３８に限定され、サーボ・トラッキング・ゾーン３６は、近接した個々のデータ・トラック上における読取り／書込みヘッドの位置合わせを維持することを可能にする情報を、ディスク・ドライブに提供する。
【０００８】
図面を見易くするために、図１には比較的少数のサーボ・トラッキング・ゾーンしか示していないが、本明細書で企図する媒体のトラック・パターンは、ディスクが１回転する度のヘッドのトラッキングを改善するために数百のサーボ・ゾーンを含むことができることを理解されたい。さらに、サーボ・トラッキング・ゾーンは、図示のような直線的な径方向ゾーンである必要はなく、個々のデータ・トラックを分離する円弧状ゾーン、不連続ゾーン又は不規則形状のゾーンであってもよい。
【０００９】
従来のハード・ディスク・ドライブでは、データは、ビット単位でデータ・トラックに沿って記憶される。動作中には、ディスクは比較的高速で回転し、磁気ヘッド・アセンブリは、ディスク表面上でヘッドを径方向に位置決めする支持アーム又はアクチュエータ・アームの端部に取り付けられる。アクチュエータ・アームを静止させておくと、磁気ヘッド・アセンブリは、円形経路に沿って、すなわちデータ・トラックに沿ってディスク上を移動し、このトラックから情報を読み取る、又はこのトラックに情報を書き込むことができる。同心円状トラックは、それぞれ独自の半径を有し、特定のトラックから情報を読み取る、又は特定のトラックに情報を書き込むためには、このトラックの上に磁気ヘッドを位置決めする必要がある。アクチュエータ・アームを移動させることにより、磁気ヘッド・アセンブリをディスク表面上でトラックとトラックの間で径方向に移動させる。多くのアクチュエータ・アームは回転可能であり、アクチュエータ・アームを回転軸の周りに旋回させるサーボモータを作動させることによって、磁気ヘッド・アセンブリをトラック間で移動させる。或いは、線形アクチュエータを使用して、直線に沿って径方向内向き又は径方向外向きに磁気ヘッド・アセンブリを移動させることもできる。
【００１０】
上述のように、ディスクに情報を記録するためには、トランスデューサは、磁気記録媒体の近くで極めて集中的な磁場を発生させて印加する。書込み中には、書込みトランスデューサの真下における集中的な磁場の強度は記録媒体の保磁度より大きく、この位置における記録媒体のグレインは、印加された磁場の方向と一致する向きに磁化される。記録媒体のグレインは、磁場が除去された後も磁化を保持する。ディスクが回転する間に、そのときに記憶している情報のビットに基づいて書込み磁場の方向が変化し、それにより書込みトランスデューサの真下でトラック上に磁気パターンが記録される。
【００１１】
各トラック上では、通常は８ビットで１バイトが構成され、数バイト分のデータがセクターとしてグループ化されている。セクターの読取り又は書込みを行うには、ディスク・ドライブのサーボ制御装置が適切な時に適切な位置に読取り／書込みヘッドを正確に位置決めすることができるように、当該データのデータ・ゾーン内での物理的位置が分かっている必要がある。たいていのディスク・ドライブでは、磁気読取り可能な情報の「サーボ・パターン」が埋め込まれたディスクを使用する。サーボ・パターンは、磁気ヘッド・アセンブリによって読み取られ、ディスク・ドライブにトラック位置を知らせるものである。従来のディスク・ドライブでは、トラックは通常、データ・セクタ及びサーボ・パターンを両方とも含み、各サーボ・パターンは通常、径方向索引付け情報、並びに「サーボ・バースト」を含む。サーボ・バーストとは、トラック中心の上でヘッドを正確に位置決めするためのセンタリング・パターンである。精密な位置決めが必要とされるので、サーボ・パターンの書込みは、高価なサーボ・パターン書込み機器を必要とし、また時間のかかるプロセスでもある。
【００１２】
参照によりその開示の全てを本明細書に援用する、２００２年２月２６日に出願し、本願と同じ出願人に譲渡された同時継続の米国特許出願第１０／０８２１７８号には、処理時間が長くなる高価で複雑なサーボ書込み機器／技術を必要とすることなく、水平磁気記録層又は垂直磁気記録層を含む磁気媒体に、極めて明瞭な磁気転移パターンを容易かつ迅速に高い費用効率で形成する方法及び装置が開示されている。
【００１３】
具体的には、米国特許出願第１０／０８２１７８号は、例えばＮｉ、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＣｏＳｉＦｅ、ＣｏＦｅ及びＣｏＦｅＶから選択したものなど、高い飽和磁化Ｂｓａｔ（Ｂｓａｔ≧約０．５テスラ）と高い透磁率μ（μ≧約５）とを有する磁性材料で構成されたスタンパ／インプリンタは、例えばサーボ・パターンなどの磁気転移パターンを磁気媒体（「加工物」）の磁気記録層（水平式でも垂直式でもよい）の表面にコンタクト「インプリント（刷り込み）」するためのコンタクト「スタンパ／インプリンタ」として効果的に利用することができるという認識に基づくものである。この発明の重要な特色は、ある構造パターンを含むインプリント用表面、すなわち例えばサーボ・パターンなど磁気記録層に形成する所望の磁気転移パターンに対応した凸部及び凹部からなるインプリント用表面を有するスタンパ／インプリンタを使用することである。この発明がもたらす利点の１つは、スタンパ／インプリンタの構造パターンが形成されたインプリント用表面、並びにその基板又は本体を、周知の経済的の電鋳技術などを使用して単一の材料で作製することができる点である。
【００１４】
この発明によれば、加工物の磁気記録層の磁区は、最初は、第１の方向を向き、かつ磁気記録層の飽和磁場を超える高い強度、通常は２０００Ｏｅ以上約２００００Ｏｅ以下の強度を有する第１の外部一方向磁場Ｈｉｎｉｔｉａｌの印加により、一方向に整列されている（すなわち「消去」又は「初期化」されている）。次いで、スタンパ／インプリンタのインプリント用表面を磁気記録層の表面と密着させる（すなわち影響が及ぶように接触させる）。第２の方向（第１の方向の反対）を向き、かつスタンパの材料のＢｓａｔ／μによって決まる、第１の外部一方向磁場よりは低いが適当な強度Ｈｒｅ−ａｌｉｇｎ（通常は１００Ｏｅ以上、例えば約２０００Ｏｅから約４５００Ｏｅ）を有する第２の外部印加磁場を用いて、加工物の磁気記録層の、スタンパ／インプリンタのインプリント用表面の凸部と接触する領域（図２に概略的に示す垂直記録媒体の場合）、又はスタンパ／インプリンタのインプリント用表面の凹部と向き合う領域（図３に概略的に示す水平記録媒体の場合）の磁区の整列状態を選択的に反転させながら、それぞれ非接触領域（スタンパ／インプリンタのインプリント用表面の凹部によって画定される）又は接触領域における磁区の整列状態には影響を及ぼさず、それにより、パターン形成対象の加工物の磁気記録層内に、インプリント用表面の凸部及び凹部の構造パターンをそっくり写した明瞭な磁気転移パターンを作成する。この発明によれば、（１）インプリント用表面の凸部と磁気記録層の間の接点でスタンパ／インプリンタが短時間で磁気飽和に達することを防止するため、また（２）凸部の側縁部における磁束線の出入りが容易になるように、Ｂｓａｔ及びμが大きい材料をスタンパ／インプリンタに使用することが好ましい。
【００１５】
例えば水平式又は垂直式のディスク状薄膜磁気記録媒体に水平サーボ・パターンを形成するなど通常の応用分野で使用されるスタンパ／インプリンタは、例えば参照によりその開示の全てを本明細書に援用する、本願と同じ譲受人に譲渡された米国特許第５９９１１０４号に開示されるように、大面積のデータ・ゾーンと、これらを分離する、従来構成されるサーボ・セクタに対応する明瞭な凸部及び凹部のパターンを備えた小領域とからなる構造的特徴を有するインプリント用表面を含む。例えば、サーボ・セクタの形成に適した構造は、約１００ｎｍから約５００ｎｍの範囲の高さ（或いは深さ）、約５０ｎｍから約５００ｎｍの範囲の幅、及び約５０ｎｍから約５００ｎｍの範囲の間隔を有する複数の凸部（或いは凹部）を含むことができる。
【００１６】
前述のパターン形成プロセスを行う際に使用するのに適したスタンパ／インプリンタは、通常は、スタンパ／インプリンタの表面に形成しようとする所望のパターンに（必要に応じてポジ像又はネガ像の形態で）対応する複数の凸部及び凹部を含むパターンが形成されたレジスト材料層をその上に有する実質的に剛性の基板で構成された「マスタ」を形成することを含む、一連の段階で作製される。スタンパ／インプリンタは、最初にパターン形成されたレジスト層の上に導電性の磁性材料（例えばＮｉ）の薄いコンフォーマル層を形成し、次いで、これより大幅に厚い（「ブランケット」）磁性層（前述の磁性金属及び／又は合金製）をこの導電性材料の薄層の上に電鋳することにより、マスタから作製される。電鋳したブランケット層は、レジスト層の表面構造を複写している。電鋳プロセスが完了したら、スタンパ／インプリンタをマスタから分離する。マスタは、その後さらにスタンパ／インプリンタを作製するために再利用される。
【００１７】
現在のところ、磁気媒体のサーボ・パターン形成のためのコンタクト・プリントは、１度にディスクの片面に対して行う。この方法では、磁気スタンパ／インプリンタ・ディスクを、例えばハード・ディスクなどの磁気媒体の表面と接触した状態で配置し、適切に位置あわせし、時期スタンパ／インプリンタの構造パターン付きインプリント用表面の磁気像を形成するための外部磁場をディスクの片側に印加する段階を必要とする。ディスクの両側に磁気パターンを形成する（ハード・ドライブ産業では両面ディスクが標準である）ためには、コンタクト・プリント・プロセスを２回行わなければならないが、この要件は製品のスループット率を大きく制限することになり不利である。１度に片面のコンタクト・プリントを行う手法のもう１つの欠点は、主として１つ又は複数の磁気スタンパ／インプリンタをディスクの両側で正確に位置合わせすることが困難であるために、磁気媒体のコンタクト・プリントを行う際に、媒体の片面に形成された磁気転移パターンを反対側の面に形成された磁気転移パターンと位置合わせすることが困難であることである。加工物ディスク及び磁気スタンパ／インプリンタが異なる内径及び外形を有し、従来の位置合わせ装置の大きさが外部磁石の幾何形状によって制限されるので、位置合わせを精密に行うことは複雑かつ困難である。前述の事柄の結果として、精密に位置合わせした正確な両面コンタクト・プリントを行うことができないので、磁気的コンタクト・プリント・プロセスのコストは、大量生産が可能なラインを大幅に超えてしまう。換言すれば、磁気媒体の両面コンタクト・プリントを行う方法の改善をもたらす原動力となるのは、サーボ・パターン付きディスクの製造のコスト面の競争力を高めるために必要な、製品スループット率の向上の必要性である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
したがって、従来の片側パターン形成を用いることに伴う上述の欠点及び不利のない、コンタクト・プリントによって両面サーボ・パターン形成を行う手段及び方法であって、精密に位置合わせしたサーボ・パターンをコンタクト・プリントによって両面磁気ディスク記録媒体又は両面ＭＯディスク記録媒体に高品質、高スループットで複写することを容易にする手段及び方法が必要とされている。
【００１９】
本発明は、自動ハード・ディスク製造技術の各種要件との完全な両立を保ちながら、両面薄膜磁気記録媒体にサーボ・パターンを形成するための従来の手段及び方法に関する上述の問題、不利及び欠点に対処してこれを解決するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の利点は、両面記録媒体の両面に対して同時に磁気パターンのコンタクト・プリントを行う際に使用される、改良した装置である。
【００２１】
本発明の別の利点は、両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両面に対して同時にサーボ・パターンのコンタクト・プリントを行う際に使用される、改良した装置である。
【００２２】
本発明のさらに別の利点は、両面記録媒体の両面に対して同時に磁気パターンのコンタクト・プリントを行う、改善した方法である。
【００２３】
本発明のさらに別の利点は、両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両面に対して同時にサーボ・パターンのコンタクト・プリントを行う、改善した方法である。
【００２４】
本発明のさらなる利点及びその他の特徴を以下に記述するが、それらのいくつかは、以下の説明を検討することで当業者には明らかになるであろうし、或いは本発明を実施することで理解することができるであろう。本発明の利点は、添付の特許請求の範囲に特に記載するように実現し、達成することができる。
【００２５】
本発明の１態様によれば、上記その他の利点は、
両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両表面に対して同時に磁気パターンをコンタクト・プリントするために使用される装置であって、
（ａ）第１の端部表面を有する、固定取り付けされた第１の磁極と、
（ｂ）第１の磁極と軸方向に位置合わせされた、軸方向に可動な第２の磁極であり、第１の磁極の第１の端部表面と向き合う第２の端部表面を有する第２の磁極と、
（ｃ）第１の磁極の第１の端部表面上に取り付けられたセンタリング用インサート固定具の第１の部分と、
（ｄ）第２の磁極の第２の端部表面上に取り付けられたセンタリング用インサート固定具の第２の部分とを含む装置によって部分的に得られる。
【００２６】
本発明の好ましい実施例によれば、センタリング用インサート固定具の第１の部分は、第１の磁気スタンパ／インプリンタを、センタリング用インサート固定具の第２の部分に取り付けられた第２の磁気スタンパ／インプリンタと軸方向に位置合わせした状態で第１の部分に取り付ける第１の手段を含み、センタリング用インサート固定具の第２の部分は、第２の磁気スタンパ／インプリンタを、第１の磁気スタンパ／インプリンタと軸方向に位置合わせした状態で第２の部分に取り付ける第２の手段を含み、第２の取付け手段は、両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体を、その第１の表面を第１の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面に向けてこれと軸方向に位置合わせした状態で、またその第２の表面を第２の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面に向けてこれと軸方向に位置合わせした状態で第２の取付け手段に取り付ける手段をさらに含む。
【００２７】
本発明の好ましい実施例には、第１及び第２のスタンパ／インプリンタ並びに両面磁気記録媒体又は両面ＭＯ記録媒体がそれぞれ環状ディスク型であり、第２の取付け手段が、第１及び第２のスタンパ／インプリンタ並びに両面磁気記録媒体又は両面ＭＯ記録媒体の中心に位置する円形の開口を通って延びるようになされた円筒形スピンドルを含む実施例、そして、当該装置が、
（ｅ）非磁性材料で構成された第１のプラテンであり、その中央部分の開口を通って第１の磁極が延びる第１のプラテンと、
（ｆ）非磁性材料で構成された第２のプラテンであり、その中央部分の開口を通って第２の磁極が延びる第２のプラテンとをさらに含む実施例、並びに第１の磁極が、第１のプラテンに固定して取り付けられ、第２の磁極が、第２のプラテンの中央部分の開口内で軸方向に移動可能である実施例も含まれる。
【００２８】
本発明の一実施例によれば、第１のプラテンの中央部分は突起を含み、センタリング用インサート固定具の第１の部分がこの突起を超えて延び、第２のプラテンの中央部分は、突起と、センタリング用インサート固定具の第１及び第２の部分とをその中に収容する凹部を含む。
【００２９】
本発明の実施例には、突起及び凹部がそれぞれ、突起の凹部内への収容を容易にして、第１及び第２のスタンパ／インプリンタの、両面磁気記録媒体又は両面ＭＯ記録媒体の第１及び第２の表面に対する軸方向の位置合わせを実現するためのテーパ状の表面形状を含む実施例、並びに第１のプラテンが、突起の凹部内への収容を容易にするために横方向に移動可能であり、第２のプラテンが、中央部分の開口内に、第２の磁極の軸方向移動を円滑にするためのリニア軸受を含む実施例も含まれる。
【００３０】
本発明の別の実施例によれば、第１のプラテンは第１の端面を含み、第２のプラテンは第２の端面を含み、第１の端面は第２の端面から離間してこれと向き合い、第１の端面は、少なくとも一対の軸方向に延びる位置合わせロッドを備え、第２の端面は、位置合わせロッドと軸方向に位置合わせされた、位置合わせロッドを受けてこれと対合する少なくとも一対の対応する凹部を備えて、第１のスタンパ／インプリンタ及び第２のスタンパ／インプリンタの、両面磁気記録媒体又は両面ＭＯ記録媒体の第１及び第２の表面に対する確実な軸方向の位置合わせ／見当合わせを実現する。
【００３１】
本発明の好ましい実施例には、位置合わせロッドがそれぞれ、テーパ形状を有する端部を含み、凹部がそれぞれ、位置合わせロッドを受けてこれと確実に対合するためのテーパ形状の側面を含む実施例、及び第１のプラテンが、位置合わせロッドの凹部内への収容を容易にするために横方向に移動可能であり、第２のプラテンが、中央部分の開口内に、第２の磁極の軸方向移動を円滑にするためのリニア軸受を含む実施例が含まれる。
【００３２】
本発明の別の態様は、両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両表面に対して同時に磁気パターンをコンタクト・プリントする方法であって、
（ａ）（ｉ）第１の端部表面を有する、固定取り付けされた第１の磁極と、
（ｉｉ）第１の磁極と軸方向に位置合わせされた、軸方向に可動な第２の磁極であり、第１の磁極の第１の端部表面と対向して向き合う第２の端部表面を有する第２の磁極と、
（ｉｉｉ）第１の磁極の第１の端部表面に取り付けられたセンタリング用インサート固定具の第１の部分と、
（ｉｖ）第２の磁極の第２の端部表面に取り付けられた、センタリング用インサート固定具の第２の下側部分と、
（ｖ）センタリング用インサート固定具の第１及び第２の部分の確実な軸方向の位置合わせ／見当合わせを実現する手段とを含む装置を提供する段階、
（ｂ）センタリング用インサート固定具の第１の部分に、第１の磁気スタンパ／インプリンタを取り付ける段階、
（ｃ）センタリング用インサート固定具の第２の部分に、第２の磁気スタンパ／インプリンタを取り付ける段階、
（ｄ）裏表となる第１及び第２の表面を有する、磁区が一方向に整列された両面磁気記録媒体又は両面ＭＯ記録媒体を、記録媒体の第２の表面が第２の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面と接触してこれと位置合わせされるように、センタリング用インサート固定具の第２の部分に取り付ける段階、
（ｅ）記録媒体の第１の表面が第１のスタンパ／インプリンタのインプリント用表面と接触してこれと位置合わせされるように、第２の磁極を軸方向に移動させる段階、並びに
（ｆ）第１の磁極と第２の磁極の間に一方向磁場を生成して、磁区のうち選択した磁区の整列方向を同時に反転させて、第１及び第２の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面に形成された構造パターンに対応する磁気転移パターンを記録媒体の第１及び第２の表面にそれぞれ形成する段階を含む方法である。
【００３３】
本発明のいくつかの実施例では、
（ｇ）記録媒体の第１の表面が第１の磁気スタンパ／インプリンタのインプリント用表面から離間するように第２の磁極を軸方向に移動させる段階と、
（ｈ）磁気パターン形成済みの記録媒体をセンタリング用インサート固定具の第２の部分から取り除く段階とをさらに含む。
【００３４】
段階（ａ）〜（ｈ）は、必要に応じてさらに別の記録媒体に対して繰り返すことができ、また自動的に実行することもできる。
【００３５】
本発明の好ましい実施例によれば、
段階（ａ）（ｉ）は、非磁性材料で構成された第１のプラテンに固定して取り付けられた第１の磁極を提供することを含み、第１の磁極は第１のプラテンの中央部分の開口を通って延び、
段階（ａ）（ｉｉ）は、第２の磁極を、非磁性材料で構成された第２のプラテン内を軸方向に移動可能な状態で提供することを含み、第２の磁極は第２のプラテンの中央部分の開口を通って延び、
段階（ｂ）は、センタリング用インサート固定具の第１の部分に環状ディスク状磁気スタンパ／インプリンタを取り付けることを含み、
段階（ｃ）は、センタリング用インサート固定具の第２の部分に環状ディスク状磁気スタンパ／インプリンタを取り付けることを含み、
段階（ｄ）は、センタリング用インサート固定具の第２の部分に環状ディスク状記録媒体を取り付けることを含み、
段階（ａ）（ｉｖ）は、センタリング用インサート固定具の第２の部分を、第１及び第２の磁気スタンパ／インプリンタ並びに記録媒体それぞれの中心に位置する円形の開口を通って延びるようになされた円筒形スピンドルを含むものとして提供することを含む。
【００３６】
本発明の好ましい実施例には、段階（ｄ）が、Ａｌ、ＮｉＰめっきしたＡｌ、Ａｌ−Ｍｇ合金、その他のＡｌ合金、その他の非磁性金属、その他の非磁性金属の合金、ガラス、セラミック、ポリマー、ガラス・セラミック、及びこれらの材料の複合材料又は積層材料から選択した非磁性材料で構成された基板の裏表の第１の表面及び第２の表面それぞれに少なくとも１つの磁気記録材料層を含む環状ディスク状の磁気記録媒体又は光磁気（ＭＯ）記録媒体を取り付けることを含む実施例、段階（ｂ）及び（ｃ）がそれぞれ、Ｎｉ、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＣｏＳｉＦｅ、ＣｏＦｅ及びＣｏＦｅＶから選択される高い飽和磁化Ｂｓａｔ（≧〜０．５テスラ）及び高い透磁率μ（≧〜５）を有する少なくとも１つの磁性材料から構成されたインプリント用表面を有する環状ディスク状磁気スタンパ／インプリンタを取り付けることを含む実施例、並びに段階（ｂ）及び（ｃ）がそれぞれ、パターン化された複数の離間した凹部と、それらの間の複数の非凹部領域とを含む、記録媒体の表面に形成しようとするサーボ・パターンに対応した構造パターンが形成された各インプリント用表面を有する環状ディスク状磁気スタンパ／インプリンタを取り付けることを含む実施例が含まれる。
【００３７】
本発明の特定の実施例には、段階（ｄ）が、記録媒体の第１及び第２の表面に垂直な第１の方向に第１の一方向磁場を印加することによって、第１の方向に一方向に磁区が整列された両面垂直磁気記録媒体を提供することを含み、段階（ｆ）が、第１の磁極と第２の磁極の間に、記録媒体の第１及び第２の表面と垂直な第２の方向（第１の方向の反対）に一方向ＤＣ磁場を生成することによって、記録媒体の第１及び第２の表面の、第１及び第２の磁気スタンパ／インプリンタの構造パターンが形成されたインプリント用表面の凸部と接触している部分の磁区の整列方向を選択的に再整列させることを含む実施例が含まれる。
【００３８】
本発明のさらなる利点及び態様は、単に本発明を実施するための最良の形態を説明するために本発明の実施例を示して説明する以下の詳細な説明から当業者には容易に明らかになるであろう。後述のように、本発明は、その他の異なる実施例で実施することもでき、そのいくつかの詳細は、本発明の趣旨を逸脱することなく、様々な明白な点で改変することができる。したがって、これらの図面及び説明は、本質的に限定的なものではなく、例示的なものとみなされるものとする。
【実施例】
【００３９】
以下の本発明の実施例の詳細な説明は、添付の図面とあわせて読むと最もよく理解することができる。各図面では、様々な要素は必ずしも一定の比率で描いたものではなく、当該要素を最もよく説明できるように描いたものであり、同じ要素に対しては全図面を通じて同じ参照番号を使用している。
【００４０】
本発明は、両面磁気記録媒体及び両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両面に対して同時に、例えばサーボ・パターン形成などのコンタクト・パターン形成を行うために磁気スタンパ／インプリンタを使用することに関する問題に対処し、これを解決するものである。具体的には、本発明は、ディスク上面とディスク下面の間のパターンの見当合わせの差（「不整合」）によって生じる問題に対処するものである。さらに、本発明は、従来技術による１度に片面のコンタクト・パターン形成を行うための要件を解消し、両面媒体の両側で同時にコンタクト・パターン形成を行う手段及び方法を開発することを目的とする。
【００４１】
簡単に言えば、本発明の基礎をなしているのは、両面磁気記録媒体又は両面光磁気記録媒体の両表面に対して同時に磁気パターンのコンタクト・プリントを行う手段及び方法の改良は、例えばディスク状磁気媒体又はディスク状ＭＯ媒体などの記録媒体の裏表の主要表面にコンタクト・プリントを行う第１及び第２の磁気スタンパ／インプリンタの迅速かつ正確な位置合わせ／見当合わせを可能にする取付け装置であって、媒体の両面の磁性層の磁区の配向を選択的に反転するための第１及び第２の磁極を含む取付け装置を利用することによって実現するという本発明者等の発見である。本発明の方法の重要な特色又は特徴によれば、この取付け装置により、媒体の迅速な装着及び取り外しが可能となり、これにより多数の媒体のパターン形成を行う処理の低コスト化及び自動化を進めることができる。
【００４２】
図４を参照すると、本発明の一実施例による、両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両面に同時に磁気パターンのコンタクト・プリントを行う装置５０を簡略に示す概略断面図が示してある。ただし、装置５０は垂直な状態で示してあるが、その他の垂直ではない状態で動作することもできることに留意されたい。
【００４３】
図示のように、装置５０は、第１の下向き端部表面５２を有する、垂直に（すなわち軸方向に）延びる固定上側磁極５１と、上側磁極５１と垂直方向に位置合わせされた、上側磁極５１の第１の下向き端部表面５２と向き合う第２の上向き端部表面５４を有する、垂直に（すなわち磁気方向に）延びる垂直に（軸方向に）可動な下側磁極５３と含む（この動きは図４では両方向矢印で示す）。第１の上側磁気スタンパ／インプリンタ５６を取り付けるための水平に延びる平坦な取付け表面５５Ｈを有するセンタリング用インサート固定具５５の第１の上側部分５５Ｕは、上側磁極５１の第１の下向き端部表面５２に固定され、センタリング用インサート固定具５５の第２の下側部分５５Ｌは、下側磁極５２の第２の上向き端部表面５４に固定される。このセンタリング用インサート固定具５５の第２の下側部分５５Ｌは、第２の下側磁気スタンパ／インプリンタ５７を支持するための水平に延びる平坦表面５５Ｈ’と、上向きに延びる円筒形スピンドル５５Ｓとを含み、この上向きに延びる円筒形スピンドル５５Ｓは、第１の上側磁気スタンパ／インプリンタ５６や第２の下側磁気スタンパ／インプリンタ５７などのこの装置の環状ディスク状部品、及びハード・ディスク記録媒体５８などの環状ディスク状加工物の中央開口の中にぴったり嵌合して通るように調整された適当な直径を有する。
【００４４】
装置５０は、非磁性金属や非磁性合金などの非磁性材料で構成された第１の上側プラテン５９と、非磁性金属や非磁性合金などの非磁性材料で構成された第２の下側プラテン６２とを含む。上側磁極５１は、第１の上側プラテン５９の中央部分６１に形成された垂直に延びる開口６０に固定されてこの開口中に延び、下側磁極は、第２の下側プラテン６２の中央部分６３に形成された垂直に（すなわち軸方向に）延びる開口６５内に、リニア軸受６４を介して軸方向に移動できるように取り付けられ、この開口中に延びる。第１の上側プラテン５９は、図中に両方向矢印で示すようにわずかに水平方向（すなわち横方向）に移動することができ、第１の上側磁気スタンパ／インプリンタ５６及び第２の下側磁気スタンパ／インプリンタ５７それぞれのインプリント用表面の、記録媒体５８の上側表面５８Ｕ及び下側表面５８Ｌに対する垂直方向の適切な位置合わせが円滑に行われる。
【００４５】
本発明のこの実施例によれば、第１の上側プラテン５９及び第２の下側プラテン６２の互いに向き合う表面５９Ｌ及び６２Ｕは、第１の上側磁気スタンパ／インプリンタ５６及び第２の下側スタンパ／インプリンタ５７の、記録媒体５８の上側表面及び下側表面に対する垂直方向の位置合わせの信頼性を高めるように成形される。したがって、第１の上側プラテン５９の中央部分６１は、その下側表面５９Ｌから延びる突起５９Ｐを含み、センタリング用インサート固定具５５Ｕの第１の上側部分はこの突起５９Ｐの下に延びる。また、第２の下側プラテン６２の中央部分６３は、突起５９Ｐを収容する凹部６６と、センタリング用インサート固定具５５の第１の上側部分５５Ｕ及び第２の下側部分５５Ｌとを含む。本発明のこの好ましい実施例によれば、突起５９Ｐ及び凹部６６はそれぞれ、凹部内への突起の収容が容易になるようにテーパ状の表面形状５９Ｔ及び６２Ｔを有する。これにより、第１の上側スタンパ／インプリンタ５６及び第２の下側スタンパ／インプリンタ５７は、それぞれ両面記録媒体５８の第１の上側表面５８Ｕ及び第２の下側表面５８Ｌに対して確実に垂直方向に位置合わせされる。
【００４６】
本発明の代替の実施例によれば、センタリング用インサート固定具５５の第１の上側部分５５Ｕは、上側磁極５１の端部表面５２ではなく、第１の上側プラテン５９の中央部分６１に取り付けられる。この場合には、センタリング用インサート固定具５５の第１の上側部分５５Ｕは、位置合わせプロセス中に垂直方向に位置合わせされ、適所に固定されることになる。その後の動作は以下に述べる通りである。
【００４７】
装置５０の使用に際しては、第１の上側磁気スタンパ／インプリンタ５６を、センタリング用インサート固定具５５の第１の上側部分５５Ｕに取り付け、第２の下側磁気スタンパ／インプリンタ５７を、センタリング用インサート固定具５５の第２の下側部分５５Ｌに取り付け、表裏となる上側表面５８Ｕ及び下側表面５８Ｌを有する磁区が一方向に整列された両面磁気記録媒体又は両面ＭＯ記録媒体５８を、記録媒体５８の下側表面５８Ｌが第２の下側磁気スタンパ／インプリンタ５７の上向きのインプリント用表面と接触してこれと位置合わせされるように、センタリング用インサート固定具の第２の下側部分５５Ｌに取り付け、記録媒体５８の上側表面５８Ｕが第１の上側磁気スタンパ／インプリンタ５６の下向きのインプリント用表面と接触してこれと位置合わせされるように、下側磁極５３を垂直方向（軸方向）上向きに移動させ、上記の一方向に整列された磁区とは反対の極性を有する一方向磁場を、上側磁極５１と下側磁極５３の間で（適当な時間だけ）発生させて、媒体５８の両面それぞれの磁気記録層の磁区のうち選択した磁区の整列方向を同時に反転させ、上側磁気スタンパ／インプリンタ５６及び下側磁気スタンパ／インプリンタ５７それぞれのインプリント用表面に形成された構造パターンに対応する磁気パターンを媒体５８の上側表面及び下側表面に同時に形成する。
【００４８】
磁区の選択的再整列を行ってコンタクト・プリントによって両面記録媒体の両表面に対して同時に磁気パターンを形成する上記処理に続いて、下側磁極５３を垂直方向（軸方向）下向きに移動させて、磁気パターン形成済みの媒体５８の上側表面５８Ｕを第１の上側磁気スタンパ／インプリンタ５６の下向きのインプリント用表面から離間させ、磁気パターン形成済み媒体５８をセンタリング用インサート固定具５５の第２の下側部分５５Ｌから取り外して、装置５０から取り外す。
【００４９】
その後、両面記録媒体に磁気パターンの同時コンタクト・プリントを行う上記の一連の段階を、さらに別の記録媒体に対して繰り返すことができる。本発明の好ましい実施例によれば、ロボット工学的ロード／アンロード手段を使用し、下側磁極の垂直移動を電磁作動式に行うことなどにより、このプロセスは自動的に実行される。
【００５０】
図５を参照すると、本発明の別の好ましい実施例による、両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両面に同時に磁気パターンをコンタクト・プリントする装置７０を簡略に示す概略断面図が示してある。前述の実施例の場合と同様に、装置７０は垂直な状態で示してあるが、この装置は垂直でない状態で動作することもできることに留意されたい。
【００５１】
装置７０はおおむね装置５０と同様であるが（したがって詳細には説明しない）、第１の上側プラテン５９及び第２の下側プラテン６２の垂直方向（軸方向）の見当合わせ／位置合わせの確実性を高める手段が根本的に異なっている。この実施例によれば、成形された（すなわちテーパ形状の）端部７２及び７２’を有し、上側プラテン５９の下側表面５９Ｌから垂下し、かつ垂直に延びる、少なくとも一対の位置合わせロッド７１及び７１’が設けられ、また、下側プラテン６２の上側表面６２Ｕは、位置合わせロッド７１及び７１’と垂直方向（軸方向）に位置合わせされ、位置合わせロッド７１及び７１’の成形（テーパ形状）端部７２及び７２’を収容してこれと対合する、少なくとも一対の対応する成形（テーパ形状）凹部７３及び７３’を備える。上述のように、装置７０の動作は基本的には装置５０と同様である。
【００５２】
本発明の好ましい実施例によれば、両面記録媒体５８は、環状ディスク状の磁気記録媒体又は光磁気（ＭＯ）記録媒体を含み、この磁気記録媒体又は光磁気（ＭＯ）記録媒体は、Ａｌ、ＮｉＰめっきしたＡｌ、Ａｌ−Ｍｇ合金、その他のＡｌ合金、その他の非磁性金属、その他の非磁性金属の合金、ガラス、セラミック、ポリマー、ガラス・セラミック、及びこれらの材料の複合材料又は積層材料から選択した非磁性材料で構成された基板の裏表の第１の表面及び第２の表面それぞれに、少なくとも１つの磁気記録材料層を含む。各磁気スタンパ／インプリンタは、環状ディスク状のインプリント用表面を有し、このインプリント用表面は、Ｎｉ、ＮｉＦｅ、ＣｏＮｉＦｅ、ＣｏＳｉＦｅ、ＣｏＦｅ及びＣｏＦｅＶから選択される高い飽和磁化Ｂｓａｔ（≧〜０．５テスラ）及び高い透磁率μ（≧〜５）を有する少なくとも１つの磁性材料から構成され、構造パターンが形成された各インプリント用表面は、パターン化された複数の離間凹部と、それらの間の複数の非凹部領域とを含み、この構造パターンは、上記記録媒体の上記表面に形成しようとするサーボ・パターンに対応している。
【００５３】
本発明の実施例には、両面記録媒体５８が、記録媒体の上側及び下側の表面に対して垂直な第１の方向に第１の一方向磁場を印加することによって第１の方向に一方向に磁区が整列されている垂直磁気記録媒体である実施例、並びにプロセスが、上側磁極と下側磁極の間に、記録媒体の上側表面及び下側表面に対して垂直な第２の方向（第１の方向の反対）に一方向ＤＣ磁場を生成することによって、記録媒体の上側表面及び下側表面の、第１の上側磁気スタンパ／インプリンタ及び第２の下側磁気スタンパ／インプリンタの構造パターン形成インプリント用表面の凸部と接触した部分の磁区の整列方向を選択的に再整列させることを含む実施例も含まれる。
【００５４】
本発明では、上側及び下側の磁気スタンパ／インプリンタと、上側及び下側のセンタリング用インサート固定具と、上側及び下側の自動対合プラテンとを含む位置合わせ装置を使用することにより、両面媒体の同時コンタクト・パターン形成を、媒体表面間でのパターンの見当合わせを改善して自動的に行うことが容易になり、それにより、特に様々な両面磁気記録媒体及び両面ＭＯ記録媒体の両面に対する同時サーボ・パターン形成の容易さ及び簡単さについて、上述のような従来技術に優る大きな改善がもたらされることは、当業者には明らかであるものとする。さらに、本発明によるスタンパ／インプリンタのインプリント用表面には、多様な構造パターンを形成することができ、したがって、本発明の方法は、パターン形成を必要とするいくつもの磁気物品や磁気装置などの自動製造において迅速かつ容易に高い費用効率で実施することができ、垂直磁気記録媒体のサーボ・パターン形成は、本発明の多用性及び有用性の単なる一例に過ぎない。
【００５５】
上記説明では、本発明がより理解されるように、具体的な材料や構造、プロセスなど、具体的な詳細を多数記載した。しかし、本発明は、特に記載したこれらの詳細を用いなくても実施することができる。その他、本発明が不必要に曖昧にならないように、周知の処理材料及び技術については詳細には述べていない。
【００５６】
本開示では、本発明の好ましい実施例及び本発明の多用性を示す例のいくつかのみを示し、説明した。本発明はその他の組合せでも、またその他の環境でも使用することができること、また本明細書に記載の本発明の概念の範囲内で様々な変更及び／又は修正を行うことができることを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】データ・ゾーン、サーボ・パターン・ゾーン及びＣＳＳゾーンを指定した磁気記録ディスクを簡略に示す概略平面図である。
【図２】高い飽和磁化（Ｂｓａｔ）及び高い透磁率（μ）を有する磁性材料で構成した、所望の磁気転移パターンに対応する表面構造を有するインプリント用表面を有するスタンパ／インプリンタを利用して、垂直磁気記録層の表面に磁気転移パターンをコンタクト・プリントする一連のプロセス段階を簡略に示す概略断面図である。
【図３】水平磁気記録層の表面に磁気転移パターンをコンタクト・プリントする同様の一連のプロセス段階を簡略に示す概略断面図である。
【図４】本発明の実施例による、両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両面に対して同時に磁気パターンをコンタクト・プリントする装置を簡略に示す概略断面図である。
【図５】本発明の別の実施例による、両面磁気記録媒体又は両面光磁気（ＭＯ）記録媒体の両面に対して同時に磁気パターンをコンタクト・プリントする装置を簡略に示す概略断面図である。
【図１】
2005535995.tif 000003
【図２】
2005535995.tif 000004
【図３】
2005535995.tif 000005
【図４】
2005535995.tif 000006
【図５】
2005535995.tif 000007
【国際調査報告】
2005535995.tif 000008
2005535995.tif 000009
2005535995.tif 000010