(57)【要約】自動化された環境内でテスト対象（たとえば、半導体チップ）をその環境から切り離す必要なしに、実験を自動化するためのシステム、方法および媒体が提供される。「実験」は、自動化された環境を利用する、確立された（たとえば、事前定義された）プロセスの事前計画された逸脱である可能性がある。半導体技術に関する実験など、実験を管理するためのコンピュータ実施方法、システムおよびコンピュータ可読媒体である。実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからのある逸脱を含む。実験オーダーの承認がユーザの分配リストから得られると同時に、ユーザが文書を実験オーダーに添付するか、あるいは場合によっては実験を修正することが許可される。実験オーダーが、前記自動化された環境による実施のために適した処理データに変換され、格納される。実験が、処理データに従って、自動化された環境を介して、前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させられる。
2005520225.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法において、
（Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
（Ｂ）前記実験オーダーの承認を取得するステップと、
（Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
（Ｄ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記取得するステップは、前記実験オーダーを定義するデータを格納するステップと、前記実験オーダーを複数のユーザに分配するステップと、前記実験オーダーへの変更を前記ユーザの少なくとも１人から取得するステップと、前記実験オーダーについての前記承認を少なくとも１人のユーザから受信するステップとをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
文書を実験要求に添付するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
実験要求に添付された文書、または、前記実験オーダーの状態における変更に応答して、実験要求の状態変更を示す情報を発行するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記変換するステップは、前記処理データを受信するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、
前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、
前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従って前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記実験の前記実行の結果を受信し、格納するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記自動化された環境は半導体技術を形成することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行システムであって、
（Ａ）自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含む、実験オーダーと、
（Ｂ）前記実験オーダーの受信に応答して得られた、前記実験オーダーの承認と、
（Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部から変換された、前記自動化された環境による実行のために適した処理データと
を備え、
（Ｄ）前記自動化された環境は、前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させる
ことを特徴とするシステム。
【請求項１０】
前記承認は、格納された前記実験オーダーを定義するデータ、複数のユーザへの前記実験オーダーの分配、前記ユーザの少なくとも１人から格納された前記実験オーダーへの変更、および、少なくとも１人のユーザから受信された前記実験オーダーについての承認をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
実験要求に添付された少なくとも１つの文書をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
【請求項１２】
実験要求に添付された文書、または、前記実験オーダーの状態における変更に応答して発行された、実験要求の状態変更を示す情報をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
【請求項１３】
前記処理データがユーザから受信されることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
【請求項１４】
前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、
前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、
前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記実験の前記実行の結果が受信され、格納されることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
【請求項１６】
前記自動化された環境は半導体技術を形成することを特徴とする請求項９に記載のシステム。
【請求項１７】
コンピュータによって実行される命令を備えるコンピュータ可読媒体であって、前記命令は、自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法を含み、前記命令は、
（Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
（Ｂ）前記実験オーダーの承認を取得するステップと、
（Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
（Ｄ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップとを実行するための命令であることを特徴とする媒体。
【請求項１８】
取得するステップは、前記実験オーダーを定義するデータを格納するステップと、前記実験オーダーを複数のユーザに分配するステップと、前記実験オーダーへの変更を前記ユーザの少なくとも１人から取得するステップと、前記実験オーダーについての前記承認を少なくとも１人のユーザから受信するステップとをさらに含むことを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
【請求項１９】
前記コンピュータプログラムは、文書を実験要求に添付するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
【請求項２０】
前記コンピュータプログラムは、実験要求に添付された文書、または、前記実験オーダーの状態における変更に応答して、実験要求の状態変更を示す情報を発行するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
【請求項２１】
変換するステップは、前記処理データを受信するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
【請求項２２】
前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、
前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、
前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする請求項２１に記載の媒体。
【請求項２３】
前記コンピュータプログラムは、前記実験の前記実行の結果を受信し、格納するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
【請求項２４】
前記自動化された環境は半導体技術を形成することを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
【請求項２５】
半導体技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法であって、
（Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
（Ｂ）前記実験オーダーの承認を取得するステップと、
（Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
（Ｄ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップとを備え、
（Ｅ）取得するステップは、前記実験オーダーを定義するデータを格納するステップと、前記実験オーダーを複数のユーザに分配するステップと、前記実験オーダーへの変更を前記ユーザの少なくとも１人から取得するステップと、前記実験オーダーについての前記承認を少なくとも１人のユーザから受信するステップとをさらに含み、
（Ｆ）前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする方法。
【請求項２６】
半導体技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行システムであって、
（Ａ）自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含む、実験オーダーと、
（Ｂ）前記実験オーダーの受信に応答して得られた、前記実験オーダーの承認と、
（Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部から変換された、前記自動化された環境による実行のために適した処理データとを備え、
（Ｄ）前記自動化された環境は、前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させ、
（Ｅ）前記承認は、格納された前記実験オーダーを定義するデータ、複数のユーザへの前記実験オーダーの分配、前記ユーザの少なくとも１人から格納された前記実験オーダーへの変更、および、少なくとも１人のユーザから受信された前記実験オーダーについての承認をさらに含み、
（Ｆ）前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とするシステム。
【請求項２７】
コンピュータによって実行される命令を備えるコンピュータ可読媒体であって、前記命令は、自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法を含み、前記命令は、
（Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
（Ｂ）前記実験オーダーの承認を取得するステップと、
（Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
（Ｄ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップとを実行するための命令であり、
（Ｅ）取得するステップは、前記実験オーダーを定義するデータを格納するステップと、前記実験オーダーを複数のユーザに分配するステップと、前記実験オーダーへの変更を前記ユーザの少なくとも１人から取得するステップと、前記実験オーダーについての前記承認を少なくとも１人のユーザから受信するステップとをさらに含み、
（Ｆ）前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実験を管理するためのコンピュータ関連方法、システムおよび媒体に関する。より詳細には、本発明は、たとえば半導体技術による製造を制御するためのプロセスなど、プロセスにおける変更に関する実験の管理に関する。
【背景技術】
【０００２】
大部分の産業において機械、材料およびプロセスはますます複雑になり、コストがかかるようになりつつある。同時に、プロセスを、また機械／材料品質を絶え間なく改善することが求められている。
【０００３】
半導体および他の製品は通常、事前定義されたプロセスの制御下で製造される。これらの事前定義されたプロセスは非常に複雑である可能性がある。たとえば、半導体チップを生産するための事前定義された製造プロセスには、５００から７５０のステップが含まれる可能性がある。さらに、これらの各ステップはいくつかの変数、たとえば６つの変数を有する可能性があり、これらは重要である。
【０００４】
製造またはテスト理論を改善するために、基本製造プロセスのある小部分を変更することによって実験を行うことがしばしば望まれる。たとえば、エンジニアは、半導体上の１層を１０パーセント厚くすることを望む可能性がある。これは、そのステップのためのレシピを１５分間余計に行うことを伴う可能性があり、場合によっては後続のステップでいくつかの調整が生じる。通常、エンジニアは、非常に多くの時間を必要とすることになるため、所望のテストに適応させるために修正を含む新しい基本プロセスの作成をしない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
残念ながら、従来の技術を使用したこのような実験には、手動の介入および結果の手動の追跡が必要である。したがって、実験を行うエンジニアまたはオペレータは、いくつかの半導体チップを得て、これらを自動化された（たとえば、生産またはモック生産による製造）環境外で処理することになる。したがって、実験が行われる製品を自動化された環境から除去する必要があり、これは多くの時間を必要とし、最終的に（また思いもよらず）実験の結果に影響を及ぼす可能性のある外部要因を潜在的な導入することが可能となっている。加えて、半導体チップのこのような除去により、変更または実験履歴の手動追跡を調整すること、ならびに、実験を制御すること、および全体の結果を解析することが困難となっている。
【０００６】
したがって、工場の設定において作業する研究開発エンジニア、オペレータおよび他のユーザにとって、既存のプロセスへの変更に対する実験を柔軟に、容易に、追跡可能にすることが依然として求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、自動化された（たとえば、生産またはモック生産による製造）環境内でテスト対象（たとえば、半導体チップ）をその環境から切り離す必要なしに、実験を自動化するためのシステム、方法および媒体を提供することによって、上述の従来の技術の問題を軽減する。「実験」は、本発明の少なくともいくつかの実施形態によれば、自動化された環境を利用する、確立された（たとえば、事前定義された）プロセスの少なくともある部分の事前計画された逸脱である。
【０００８】
本発明の少なくともいくつかの実施形態によれば、実験は実験オーダー（すなわち、実験を開始するための要求）により開始し、これは最初に非公式の要求として発せられ、コンピュータ化されたシステムに提出され、様々な定義済ユーザ内で経路指定され、場合によっては修正され、最終的に承認される。要求された実験の実施を容易にすることにおいて、実験管理は、オーダー管理、セットアップ、実行および解析の４つの概念上別個の段階を含む。本発明のオーダー管理コンポーネントは、実験オーダー（上述）を形式化するのを自動的にナビゲートする、また実験を追跡する際に支援する。セットアップ段階は通常、一般化されたステートメント、要件、または提案された結果から、自動化された環境によって実行する準備のできた特定のプロセスを定義するデータへの、実験の手動または自動変換を扱う。実行段階は、自動化された環境を介して、プロセスデータに基づいた実験自体の実行を含み、実験結果の収集を含む。解析段階では、実験の結果がレポートされ、解析される。
【０００９】
本発明の少なくともいくつかの実施形態によれば、オペレーションにおいて、実験オーダーが受信され、この実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含む。実験オーダーの承認が次いで得られる。実験オーダーの少なくとも一部が、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換され、格納される。実験が、処理データに従って、自動化された環境を介して、前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させられる。
【００１０】
さらに、本発明は、実験オーダーを定義するデータを格納すること、実験オーダーを複数のユーザに分配すること、実験オーダーへの変更をこれらのユーザの少なくとも１人から取得すること、および、実験オーダーについての承認を少なくとも１人のユーザから受信することを含むことができる。さらに、文書を実験要求に添付することができる。
【００１１】
加えて、実験要求に添付された文書、または、実験オーダーの状態における変更に応答して、実験要求の状態変更を示す情報を発行することができる。
【００１２】
また、実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品（すなわち、これをたとえば、テスト製品の前または後に処理され、基本プロセスに従って処理された製品とすることができるであろうコントロール）を生産することができ、処理データは、基本プロセスの指示、基本プロセスへの変更、およびコントロールセット（すなわち、実験を受ける製品）の分割（ｓｐｌｉｔ−ｏｆｆ）を含むことができ、コントロールセットの分割は、基本プロセスに従って少なくとも１つの生産製品を生産することができ、基本プロセスへの変更は少なくとも１つのテスト製品を生産することができる。実験の実行の結果を格納することができる。
【００１３】
本発明の上述および他の利点および特徴は、添付の図面における以下の詳細な説明からより容易に明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下の詳細な説明には、多数の具体的な詳細が含まれる。このような詳細を含めることは例示のためにすぎず、本発明を限定するように理解されるべきではない。この考察の全体に渡って、参照を容易にするため、様々な図において類似の要素を類似の番号によって参照する。
【００１５】
要約のセクションで上述したように、「実験」は、本発明の少なくともいくつかの実施形態によれば、自動化された環境を利用する、基本プロセスの少なくともある部分の事前計画された逸脱である。通常、実験は、半導体チップなどの材料において行われ、これらは自動化されたプロセスの結果として生産される。同じく前述のように、本発明の少なくともいくつかの実施形態は、実験管理が４つの概念上別個の段階、すなわち、オーダー管理、セットアップ、実行および解析を含むと想定する。これらの段階は概念上別個であるが、時間的に重複する可能性がある。
【００１６】
本発明の少なくともいくつかの実施形態によれば、レポート、メモ、フォーム、ファイルおよび他の文書を特定の実験に、オーダー管理およびセットアップ段階の全体に渡って、関連付けることができる。これらを、実験へのアクセスが許可されたユーザによってレビューすることができる。これにより、ユーザおよびレビュー者が実験についてコメントし、背景情報を提供し、適切なフォームを提供し、関連情報を添付することなどが、ユーザフレンドリで大変柔軟性のある方法で可能になる。その柔軟性により、これはユーザに入力を提供するように勧め、結果としてより高い品質の実験になるはずである。
【００１７】
ここで図１を参照し、これは、本発明の少なくともいくつかの実施形態と関連して使用することができる、コンピュータ化されたプロセス制御システムを全体として例示するブロック図である。例示のように、実験オーダー１０１が、コンピュータ化されたシステムに入力され、これは全体としてコントローラ１０３と呼ばれる。実験オーダー１０１は、所望の実験の、テキストなどによる説明を含む。実験オーダー１０１を、たとえば、テキストを含むワードプロセッシング文書にすることができる。１つの代替物として、これをメニューから入力することができる。実験オーダー１０１で説明された実験は、製品を作成する既存の自動化されたプロセスからの逸脱であるが、必ずしもオーダーにおいて特定のプロセスからの逸脱として説明されるとは限らない。
【００１８】
コントローラ１０３は、様々な格納済プロセス１１１へのアクセスを有し、これは半導体チップのための製造プロセスなどである。コントローラ１０３を汎用コンピュータ、または専用にプログラムされた専用コンピュータ、または、他の自動システムもしくは分散システムにすることができる。（一般に、ここで使用されるようなコンピュータ、またはその使用がこの考察の関連から明らかになる可能性のあるコンピュータを、いかなる数の異なるタイプのコンピュータにすることもでき、これには、Ｓａｎｔａ  Ｃｌａｒａ、ＣＡのＩｎｔｅｌ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎによるプロセッサを含むコンピュータが含まれ、これらのコンピュータは、コンピュータ可読媒体としての機能を果たすいかなる数の異なるタイプの記憶装置をも含むことができ、加えて、本発明の少なくともいくつかの実施形態によって、このコンピュータ可読媒体は伝送であると企図される）。格納済プロセス１１１は、いくつかの自動化されたステップを製造プロセスにおいて有する。これらのステップの内容の実際のフォーマットは、システムおよびシステム内のデバイスによって定義される。プロセスにおけるステップのいくつかは、レシピデータベース１１３に格納されたレシピを利用する。レシピを、様々なプロセスによって共有することができる。コントローラ１０３は、生産システム１０５など、自動化された環境の処理を制御し、生産システム１０５は最終的に生産製品１０７を生産し、あるいは実験に続いてテスト製品１０９を生産する。本発明はそれにより、ユーザが実験要求を提出し、基本プロセスの派生物を作成し、実験要求の状況を追跡できるようにする。
【００１９】
図２を参照し、これは、本発明の少なくともいくつかの実施形態による、実験管理のためのプロセス全体の流れ図である。４つの概念上の段階（上述）には、オーダー管理２０１、製造実行システム（ＭＥＳ）セットアップ２０３、実行２０５、および解析２０７が含まれる。
【００２０】
以下でさらに定義するオーダー管理段階２０１では、実験オーダーが定義される。通常、実験は実験オーダーにおいて要件のセットとして定義され、既存のプロセスからの逸脱として指定することができる。実験オーダーは、次の段階について承認されることに先立って、様々な人員による経路指定、レビューおよび変更を受ける。
【００２１】
ＭＥＳセットアップ段階２０３で、実験オーダーが実験セットアップに変換され、これはすなわち、生産システム内のコンポーネントによって実行することができる特定の処理データである。処理データは、生産システムのコンポーネントによって期待されるフォーマットである。通常の状況では、実験を実行するためのデータは、基本プロセスの複数のステップの間に挿入される（および／または既存のステップと置き換わる）。
【００２２】
実行段階２０５で、材料の実行が実験セットアップに基づいて行われる。この段階の大部分または全部は、生産システムのコンポーネントによって自動的に行われる。この実行段階２０３で実行されたセットアップ内の各ステップの結果が記録される。
【００２３】
解析段階２０７で、実験の結果がレポートされ、解析される。これをコンピュータによって自動的に行うことができ、および／またはユーザによる解析を含むことができる。
【００２４】
図３Ａおよび３Ｂを参照し、これらは、本発明の少なくともいくつかの実施形態によって想定される、図２のプロセス全体の一実施例のオーダー管理段階２０１の流れ図である。この段階により、実験を、実験要求のレビューおよびサインオフの後に続いて要求し、実行することができる。ステップ３０１で、実験が要求者によって最初に定義される。実験を容易にするために、要求をいかなる適切な形態においても提出することができると想定される。１つの適切な形態は、電子文書におけるテキストの説明である。実験を非公式に説明できることに留意されたい。最初の実験要求が実験を既存のプロセスからの変形形態として定義することは必要ではない。
【００２５】
ステップ３０３で、実験オブジェクト（または、実験データのための他のストレージ）が作成される。最初の情報が、要求者および実験を識別するために収集される。この情報が、オブジェクトなどにおいて格納される。次いで実験要求が、分配リストで識別された適切なユーザに分配される。
【００２６】
ステップ３０５で、実験要求を（たとえば、レビューのために）受信したユーザは、外部ファイル、メモ、フォームまたは他の文書を実験要求に添付することができる。文書を実験要求に関連付けるための機能を使用して、実験要求に関するユーザの対話を容易にすることができる。次いで、これらの文書を他のユーザによってレビューすることができる。
【００２７】
ステップ３０７で、ユーザ（または、自動化されたエンティティ）は、特定の基本プロセスに行われる変更を決定する。ユーザ（または、自動化されたエンティティ）はまた、修正されるべきである基本プロセスを決定することもできる。またステップ３０９で、ユーザ（または、自動化されたエンティティ）は、いつコントロールセットからロットを分割するか、および、行われるべきロット特有のトランザクションを決定する。ステップ３１１で、ユーザ（または、自動化されたエンティティ）は、レシピ変更がある場合に何のレシピ変更を行う必要があるかを決定する。基本プロセスに行われる、指定された変更を決定した後、システムは変更を処理データとして受信し、格納する。ステップ３１３で、実験が、ユーザによって微調整されているように、サインオフのために送信され、これを図３Ｂで説明する。ステップ３１５で、実験がユーザによって承認されている場合、３１７でプロセスは終了し、実験は次の概念上の段階に進行する。そうでない場合、プロセスはさらなる処理のためにステップ３０５に戻る。
【００２８】
図３Ｂは、サインオフプロセスの一実施形態を例示する。ステップ３２１で、実験要求を（たとえば、レビューのために）受信したユーザは、外部ファイル、メモ、フォームまたは他の文書を実験要求に添付することができ、次いでこれを他のユーザがレビューすることができる。ステップ３２３で、文書が実験要求に添付されるか、あるいはそれから削除される場合、またはステップ３２５で、実験要求のための状態変更があった場合、３２７でこのような情報が発行される。発行のための１つの適切な方法は、このような情報を、リストされたユーザに、電子メールを介して送信することである。状態変更には、たとえば、実験（またはその一部）における「サインオフ」が含まれる。ステップ３２９で、最終承認（または、承認の肯定の欠乏）の指示が受信されていない場合、ステップ３２１でプロセスは繰り返す。最終承認が受信されている場合、３３１でこの段階が終了される。
【００２９】
図４を参照し、これは図２のプロセス全体のセットアップ段階２０３の部分の流れ図である。セットアップ段階中に、ユーザは特定の実験をセットアップすることができる。たとえば、ユーザは実験特有のデータをセットアップすることができ、これはたとえばレティクルまたはレシピの詳細である。ステップ４０１で、ユーザ（または、自動化されたエンティティ）は、実験オーダーを検索およびレビューする。前述のように、実験オーダーを、実験の非公式の説明にすることができる。ユーザは、要求された実験を行うためにどのようにプロセスが実行されるべきであるかを決定することができ、あるいは、プロセスを自動化することができ、これはたとえば、実験の説明を構文解析すること、および、何が要求されるかを示すあるキーワードまたはフレーズを識別することによって行われる。本発明の少なくともいくつかの実施形態は、これをたとえば、様々なエキスパートシステム技術を利用して行うことができると想定する。本発明の少なくともいくつかの実施形態はまた、自動化およびユーザ参加のある組み合わせも想定する。
【００３０】
なお図４を参照すると、ステップ４０３で、ユーザ（または、自動化されたエンティティ）は、特定の基本プロセスに行われる変更を決定する。ユーザ（または、自動化されたエンティティ）はまた、修正されるべきである基本プロセスを決定することもできる。またステップ４０５で、ユーザ（または、自動化されたエンティティ）は、いつコントロールセットからロットを分割するか、および、行われるべきロット特有のトランザクションを決定する。ステップ４０７で、ユーザ（または、自動化されたエンティティ）は、レシピ変更がある場合に何のレシピ変更を行う必要があるかを決定する。基本プロセスに行われる、指定された変更を決定した後、システムは変更を処理データとして受信し、格納する。
【００３１】
図５を参照し、これは、図２のプロセス全体の実行段階２０５の流れ図である。この時点で、実験は処理データ内で定義されており、これを、自動化された環境に入力することができる。次いで実験を、自動化された環境に透過的な方法で処理することができる。ステップ５０１で、自動化された環境は、修正されたプロセスについての処理データを受信する。ステップ５０３で、自動化された環境は処理データのステップを実行する。格納されるいずれかのテスト結果がある場合、ステップ５０５〜５０７で、システムはテスト結果を格納する。ステップ５０９で、処理が完了しない場合、自動化された環境は、処理を継続するためにステップ５０３に戻る。処理が完了している場合、ステップ５１１でこの段階は終了する。
【００３２】
図６を参照し、これは図２のプロセス全体の解析段階２０７の流れ図である。実験履歴セットアップ情報および履歴データは、解析およびレポーティングにおいて使用するために使用可能である。ステップ６０１で、実験結果が収集される。ステップ６０３で、実験結果がいずれかの解析について使用可能にされる。たとえば、ユーザは結果の手動解析を行うことを望むことができる。ステップ６０５で、自動化された環境は、いずれかの要求されたコンピュータ解析を行う。いずれかの提案された実験への変更がある場合、ステップ６０７〜６０９で、ユーザは別の実験要求を生成することができる。ステップ６１１で、解析が完了される。
【００３３】
図７を参照し、これは、本発明の少なくともいくつかの実施形態によって企図される、実験の定義を例示する図である。具体的には、実験７０１が最初に格納済データに関連付けられ、このデータは、たとえばユーザによって定義された属性情報７０３、および、実験がどのように動作するかを定義するオペレーション情報７０５を含む。実験を最初に無から作成することができ、あるいは、テンプレートとして使用された別の実験からコピーすることができる。通常の属性は、実験についての有用な情報を識別するために十分な情報を含み、これは実験識別子、実験目的、要求者名、実験名、要求者の電子メールアドレスなどである。
【００３４】
実験が最初に定義される場合、開始状態は「変更可能」７０７（実験を変更できることを示す）となり、実験が承認された後、終了段階は有効（分配済）７１１である。一連のユーザ定義状態７０９がある可能性があり、これはユーザの制御下であり、変更可能状態の後に続き、有効状態に先立つ。実験が承認され、サインオフが得られた後に、有効状態に入る。ユーザが実験の内容を適切な許可なしに変更できないことが好ましい。他のユーザ定義属性、ならびに、添付の外部文書および／またはファイル、およびユーザ定義の状態モデルがある可能性がある。１つの可能な実施態様によれば、実験はオブジェクトとして実行される。この状態テーブルは他の管理プロセスの部分に対応することに留意されたい。
【００３５】
図８〜１１は、本発明の少なくともいくつかの実施形態と関連して使用される、潜在的ユーザインターフェイスの実施例である。最初に図８を参照し、これは、実験エディタのための例示的ユーザインターフェイスの一態様である。ここでユーザは、実験８１１について、実験属性８１３について、またオプショナルで実験カテゴリ８１５についての情報を提供することができる。実験情報には目的８０１が含まれる可能性があり、これは実験の説明を要約することができる。他の実験情報には、要求者識別情報８０３（たとえば、名前、電子メールアドレス）、実験のための基本プロセスまたは状態モデル８０５、およびオプショナルで、その後で実験要求が満了する有効日８０７が含まれる。この最初のインターフェイスで収集された情報は、実験要求に関連付けられる。
【００３６】
図９を参照し、これは、本発明の少なくともいくつかの実施形態と関連して使用される、添付物を例示する、実験エディタのための例示的ユーザインターフェイスのもう１つの態様である。このような実施形態では、ファイル、メモ、フォーム、ウェブアドレスなどの文書を制限なしに添付することができ、あるいはそうでない場合は実験要求に関連付けることができる。図９は、例として、実験要求に添付されるいくつかの文書をファイル名９０９によりリストし、すなわち、ローカルの文書ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ．ｄｏｃ  ９０１、別の文書のためのファイルパスＣ：＼Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ＼Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔ．ｄｏｃ  ９０３、ウェブサイトｗｗｗ．ｃｏｎｓｏｌｉｕｍ．ｃｏｍ  ９０５、およびｈｔｔｐ文書http://www.consilium.com/corp_events.html?phase=ge 907である。この実施例のユーザインターフェイスはまた、ファイルが単に参照９１１であるかどうかも指示する。
【００３７】
図１０を参照し、これは、本発明の少なくともいくつかの実施形態と関連して使用される、実験内容を例示する、実験エディタのための例示的ユーザインターフェイスのもう１つの態様である。この例示的ユーザインターフェイスにより、実験内容１００１、物理的分割詳細１００３、および併合詳細１００５へのアクセスが可能となり、分割は基準およびテスト材料を違う方法で扱い、併合は、基準およびテスト材料が分割の後に併合される場合にどのように扱われるかを詳述する。実験内容１００１は、実験プロセスを制御するファイルを提供する。ここで、これは実験プロセス１００７、実験ルート１００９、および実験オペレーション１０１１を指定する。実験についての追加の情報を提供することができ、これは、処理が分割前であるか分割後であるか１０１３などであることに留意されたい。
【００３８】
図１１を参照し、これは、本発明と関連して使用される、ウエハレベルの分割詳細を例示する、実験エディタのための例示的ユーザインターフェイスである。ここで、処理データは明細を、ロットレベル、スロットレベルまたはユニットレベル１１０１で提供する。この実施例は、スロットレベルの分割に関する。例示のように、分割詳細１１０３は、スロットおよび分割される量、ならびに、各分割に関連付けられるプロセスプラン１１０５を提供する。
【００３９】
図１２を参照し、これは、本発明によって企図されるような実験の少なくともいくつかの実施形態を例示する。各実験オーダー１２０１はそれに様々な文書を関連付けておくことができ、これはファイル１２０３、フォーム１２０５、メモ１２０７および実験結果１２０９などである。ユーザは文書を実験オーダーに追加するか、あるいは実験オーダーから削除することができる。文書の添付がイベントとして見なされ、結果として、たとえば電子メールまたはワークフローによるイベントの公開を生ずることができることが好ましい。
【００４０】
実験オーダーをユーザによって、添付文書、属性および他の相関情報と共にコピーすることができる。
【００４１】
また、本発明の少なくともいくつかの実施形態によれば、実験オーダーへの変更が履歴に格納される。格納された変更は、固有の属性への変更、外部文書の追加／削除を含むことができ、他のオブジェクトに関連付けることができる。
【００４２】
図３から６を参照して、実験の一実施例を考察する。この実施例では、ユーザはチップの指定された層を１０％厚くすることを望む。この実施例の実験は、エンジニアからのアイデアである。ステップ３０１から３０３で、実験要求がユーザによって定義され、システムに提出される。これは、単純なテキストの説明による非常に一般的な要求となる可能性がある。ステップ３０５から３１３で、実験オブジェクトが実験要求について作成され、実験要求が承認のために適切なユーザに経路指定される。承認を自動化することができ、これは承認済というマーク付けを待機する電子メールを介した配信などである。ステップ３２１から３２９のように、サインオフが実験について受信されるまで、ユーザは関連したファイル、メモなどを実験オブジェクトに添付および／またはそれから削除することができる。ステップ３２３から３２７のように、添付または削除がある場合、または、実験が状態を変更している場合、イベントがユーザに発行される。レビュープロセスは、サインオフが受信されるまで継続する。
【００４３】
サインオフが受信された後、図４のように実験オーダーがレビューされ、処理データに変換される。このレビューおよび変換を、適切な経験を有する人員によって行われる手動プロセスにすることができる。加えて、これをまた（全部または部分的に）自動化された手段によって行うこともできる。いずれにしても、ステップ４０３で、たとえば、ロット内のウエハ１〜１１が対照となり（すなわち、確立されたステップが実行されない）、そのロット内のウエハの残りがテスト製品となることを決定することができる。また、基準の基本プロセスの５００番目のサイクルにおける特定のパラメータが１００から２００に変更されなければならないことを決定することもできる。ステップ４０５で、対照が他の処理から分割されることが指定される。必要であった場合、ステップ４０７で新しいレシピが作成され、あるいは既存のレシピが修正される。すべてのウエハが自動制御下になる。２つのロットが再結合され、解析のために保持または送達される。基本プロセスからの変形形態、特定の実行トランザクションおよびいかなるレシピ変更に関係する情報も、処理データとして格納される。実験が、処理結果の一部として収集されるべき追加または異なる情報を必要とする可能性があることに留意されたい。
【００４４】
次いで、図５のように実験が実行される。この時点で、実験処理データが、通常の制御ジョブと変わりなく扱われる。すなわち、例外処理は必要ではない。ステップ５０１で、処理データが生産システムに入力され、ステップ５０３で処理データを実行することによってテストが自動的に進行する。ステップ５０５〜５０７で、実験の実行中に生成されるテスト結果が格納される。
【００４５】
実験の後に続いて、テスト製品をテスト材料から基準の生産材料まで分類し直すことができ、許容範囲内である場合、顧客に出荷することができる。代替として、図６のように、基準外の処理済材料を廃棄するか、あるいはさらなる解析のために保存することができる。
【００４６】
本発明を、上記で概説した具体的な実施形態に関連して説明したが、多数の代替物、修正および変形形態は当業者には明らかであろう。したがって、前述の本発明の好ましい実施形態は例示的であり、限定でないように意図される。様々な変更を、以下の特許請求の範囲で定義した本発明の精神および範囲から逸脱することなく、行うことができる。
【００４７】
たとえば、実験全体を最初から定義することが可能となる。通常の半導体製造プロセスは５００から７５０ステップであり、そのためしばしば、実験を既存のプロセスからの変形形態として定義する方がより効率的である可能性がある。
【００４８】
もう１つの実施例として、コントローラを汎用コンピュータ、専用にプログラムされた専用コンピュータにすることができ、これをまた、単一のコンピュータではなく分散コンピュータシステムとして実施することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の少なくともいくつかの実施形態と関連して使用することができる、コンピュータ化されたプロセス制御システムのブロック図である。
【図２】本発明の少なくともいくつかの実施形態による、実験管理のためのプロセス全体の流れ図である。
【図３Ａ】図２のプロセス全体のオーダー管理プロセス部分の流れ図である。
【図３Ｂ】図２のプロセス全体のオーダー管理プロセス部分の流れ図である。
【図４】図２のプロセス全体のセットアッププロセス部分の流れ図である。
【図５】図２のプロセス全体の実行プロセス部分の流れ図である。
【図６】図２のプロセス全体の解析プロセス部分の流れ図である。
【図７】実験の定義を例示する図である。
【図８】本発明の少なくともいくつかの実施形態と関連して使用される、実験エディタのための例示的ユーザインターフェイスの図である。
【図９】本発明と関連して使用される、添付物を例示する、実験エディタのための例示的ユーザインターフェイスの図である。
【図１０】本発明の少なくともいくつかの実施形態と関連して使用される、実験内容を例示する、実験エディタのための例示的ユーザインターフェイスの図である。
【図１１】本発明の少なくともいくつかの実施形態と関連して使用される、ウエハレベルの分割詳細を例示する、実験エディタのための例示的ユーザインターフェイスの図である。
【図１２】実験の少なくともいくつかの実施形態の例示の図である。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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