(57)【要約】本発明は、特に半導体製造におけるリソグラフィ工程に用いられる露光レンズのために設計された、光軸（３）を有する光学部品（１）に関する。上記の光学部品は、光軸（３）の方向に延びる少なくとも１つの延長部（２、２'）を含む。機構（１１）は、上記光学部品（１）において２波動または多波動変形を行うことができる。少なくとも延長領域（２、２'）に設置されるシステムは、上記の延長部（２、２'）に力を加えるように設計される。
2005506574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸（３）の方向に延長する少なくとも１つの延長部（２、２'）を有することを特徴とする特に半導体製造のリソグラフィ工程における露光レンズのための光軸を有する光学部品。
【請求項２】
光学部品（１）に少なくとも４つの延長部（２）がその円周に均等な間隔で形成されてなることを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
【請求項３】
上記延長部（２）が個別に分かれておらず光学部品と一体化して形成されることを特徴とする請求項１または２に記載の光学部品。
【請求項４】
上記の少なくとも１つの延長部（２、２'）が、少なくとも１つの略管状の延長部（２‘）として形成されることを特徴とする請求項１に記載の光学部品。
【請求項５】
上記延長部（２'）が個別に分かれておらず光学部品と一体化して形成されることを特徴とする請求４項に記載の光学部品。
【請求項６】
上記管状延長部（２'）が円筒状の管部材として形成されることを特徴とする請求項４または５に記載の光学部品。
【請求項７】
上記管状延長部（２'）が円錐台状の管部材として形成されることを特徴とする請求項４または５に記載の光学部品。
【請求項８】
上記光学部品（１）が鏡として形成されることを特徴とした請求項１から７のいずれか１項に記載の光学部品。
【請求項９】
上記延長部（２、２'）に力を伝導するための少なくとも１つの装置（１２）が、各々の延長部（２）または延長部（２'）の領域において設置されることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に基づく光学部品において２波動または多波動の変形を行うための機器。
【請求項１０】
上記の伝導された力の合計が消滅することを特徴とする請求項９に記載の機器。
【請求項１１】
複数の上記装置（１２）が各々の延長部（２）または延長部（２'）の領域に設置され、その数量は実施される変形における波形に比例して２倍となることを特徴とする請求項９または１０に記載の機器。
【請求項１２】
上記延長部（２,２'）を光軸（３）から引き離す、または光軸（３）に引き寄せる力が作動装置（４、１３、２８）によって延長部（２，２'）に加えられることを特徴とする請求項９〜１１のいずれか１項に記載の器具。
【請求項１３】
力を伝導するための上記の少なくとも１つの装置（１２）は、延長部（２，２'）の領域において少なくとも１つの磁気部材（１９）と非接触の状態で相互作用する磁気装置（２０）を有することを特徴とする請求項９〜１２のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１４】
上記磁気装置（２０）と上記の少なくとも１つの磁気部材（１９）の間の間隔は、伝導された力に影響を及ぼすために作動装置（２８）によって可変であることを特徴とする請求項１３に記載の機器。
【請求項１５】
上記の少なくとも１つの磁気部材（１９）は、延長部（２、２'）と一体化された複数の個別の磁石（１９'）から構成されることを特徴とする請求項１３または１４に記載の機器。
【請求項１６】
上記の少なくとも１つの磁気部材（１９）は、延長部（２、２'）における少なくとも１つの磁気コーティング（１９''）から構成されることを特徴とする請求項１３または１４に記載の機器。
【請求項１７】
上記の少なくとも１つの磁気部材（１９）及び／または上記磁気装置（２０）は電磁式な設計であり、磁気の強度（コイル２４）を作用することにより加えられる力を変化させることが可能であることを特徴とする請求項１３に記載の機器。
【請求項１８】
力を伝導するための上記の少なくとも１つの装置（１２）は、少なくとも力を伝導する場合において、上記延長部（２、２'）と直接的または間接的な機械接触を行う少なくとも１つの作動装置（１３）を有することを特徴とする請求項９〜１２のいずれか１項に記載の機器。
【請求項１９】
上記作動装置（１３）と上記延長部の間にバネ部材（７）が配置されることを特徴とする請求項１８に記載の機器。
【請求項２０】
力を伝導するための上記の少なくとも１つの装置（１２）は、特に上記管状延長部（２'）と共に用いられる際に、光軸（３）を中心に回転するように設置されることを特徴とする請求項９〜１９のいずれか１項に記載の機器。
【請求項２１】
上記の少なくとも１つの磁気装置（２０）は、上記延長部（２、２'）に固定的に接続された少なくとも１つのプランジャ・コイル（２５）から構成されることを特徴とする請求項１７に記載の機器。
【請求項２２】
上記延長部（２）または延長部（２'）における２波動変形（非点収差変形）の場合に、４つの締結部（６ａ、６ｂ）が上記光学部品（１）の円周に略９０°の角度間隔でそれぞれ配置され、隣接する２つの締結部（６ａ、６ｂ）が連接ロッド機構（８）を介してそれぞれ接続され、厳密に１つの可変長の作動装置（４）が向かい合う２つの締結部（６ａ、６ｂ）の間に設置されることを特徴とする請求項９または１０に記載の機器。
【請求項２３】
光軸（３）の方向に延長する少なくとも１つの延長部（２、２'）を有することを特徴とする半導体製造のリソグラフィ工程に用いる露光レンズのための光軸を有する光学部品。
【請求項２４】
上記光学部品（１）が鏡として形成されることを特徴とした請求項２３項に記載の光学部品。
【請求項２５】
マイクロ・リソグラフィ・パターン転写における投影露光機器の部品となる画像装置に用いられる上記光学部品（１）における多波動変形を行うための請求項１〜２４のいずれか１項に記載の機器の使用法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光軸を有する光学部品に関し、またこの光学部品において２波動または多波動変形を作り出す機器に関する。
【０００２】
本発明は、特に半導体のリソグラフィ工程における露光レンズとして用いられるための好適な具体案において、鏡として形成されてなる光学部品に関する。
【背景技術】
【０００３】
ＤＥ  １９８２７６０３Ａ１において、いわゆる「活性光学部品」を含む光学システムが開示されている。光軸に対して少なくとも略垂直に光学部品に作用する作動装置は、非回転式に対称的で放射状に及ぶことのない力によって変形が行われ、このような力及び／または光学部品に対する回転力を用いて、上記活性光学部品に影響を与えることができる。このようなシステムは、例えば非点収差などの修正を行うために意図された光学部品において変形を行うことができる。
【０００４】
更に、先行技術は銀メッキが施された活性鏡（ａｃｔｉｖｅ  ｍｉｒｒｏｒ）が開示されたＤＥ  １９８１２０２１Ａ１から周知である。メッキの表面の形状は１つまたは複数の作動装置による影響を受け、その結果鏡面が操作されることとなり、鏡によって作り出された画像に影響を与えることが可能となる。
【０００５】
鏡面を変形させることによって光学画像の品質に影響を与えることが同様に可能な類似的な設計は、例を挙げるとＷＯ  ９３／２５９２９またはＵＳ  ５２１０６５３において記載されている。
【０００６】
また更にＤＥ  １９６２８６７２Ａ１において、縁部で保持される変形可能な鏡板を有する適応鏡が開示されている。この鏡板は、鏡板の変形を可能にする作動機構によってその後方において作用される。これによって鏡板における適切な適応を達成することが可能となるが、行うことができる変形は比較的制限される。
【０００７】
上記に記載されたような鏡などの光学部品を変形するための必要条件に加え、例えば半導体リソグラフィ・システムで用いられる高精度光学の分野において可能な変形には、非常に高い精密さが更に必要となる。
【０００８】
よって変形が行われる光学部品は、変形のみに反応することが条件となる。可能であれば、望ましくない副作用や変形を生じさせないことが意図される。主に必要とされる変形、具体的には非点収差の修正や、３波動または４波動の多波動におけるエラーの修正を行う場合において、光学部品に変形を行う際に多波動領域において、その表面の形状及び／または厚さを変化させる反応が生じることがあるため、目的とする変形を行うことは非常に困難である。
【０００９】
また上記の設計のほとんどは非常に広幅な空間を必要とするため、これは特に密実装やその類を必要にする画像システムを用いる場合において不利となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従って本発明の目的は、従来の技術における上記の不利点を回避し、２波動または多波動の変形を行うのに非常に良く適した光学部品を創出することである。
【００１１】
また、上記のような光学部品における２波動または多波動を行う機器を創出することも本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によると、上記の目的は光学部品に光軸の方向に延長する少なくとも１つの延長部を設けることによって達成できる。
【発明の効果】
【００１３】
少なくとも１つの延長部を介して光学部品に力を伝導することで、光学部品を適切に変形することができる。このような変形は、収差を均等にするためや収差の影響を抑える上で適切であり、また望ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この場合における延長部は、個別の構成部品、または光学部品において光軸と平行方向に光学部品の実際の表面を超えて突出するよう設けられた突出部であると解釈される。またこの場合、延長部は例えばロッドやその類の、どのような形状であってもよい。
【００１５】
この場合、力を発生させるための役割を担う少なくとも１つの延長部における作用点を、延長部のデザインによって、例えば２つの正反対の領域など、様々な場所に非常に好適な配置で設けることが可能である。２つの作用点は適切な力を伝導し、この力は延長部を介して意図した通りの非常に正確な方法で光学部品に伝導される。１つまたは複数の延長部に対して適切な力を加えるのであれば、原理的には回転力（トルク）を用いて光学部品にそれを伝導することも考慮できる。
【００１６】
本発明のとりわけ好ましい具体案において、延長部は光学部品における少なくとも略管状の個別に分離されていない延長部として形成される。
【００１７】
このような管状延長部は、結果として鏡穴部またはレンズ穴部の類となる。力または導入された回転力に対する光学部品自身の非常に均一な反応は、例えば鏡、レンズ、堰板やその類の光学部品における管状延長部の領域に力を加えることで得ることができる。具体的には、加えられる力または圧力は回転式の管状延長部によって非常に均一に光学部品自身に伝導される。その結果、その直径、長さ及び壁面の厚みの作用として管状延長部の光学部品とは逆方向を向いた側における非常に少ない離散力を利用して回転力を伝導することが可能となる。管状延長部によって、上記の回転力は管状延長部の光学部品に対向するもう一方の側において連続的な回転を行う。
【００１８】
このように、ここで開示する模範的具体案に基づく本発明の設計は、管状延長部を介してとりわけ好適な方法で少ない離散力によって、連続的な回転プロファイルを形成することを可能とする。
【００１９】
また、力を伝導するための適切な構造が用いられる際、延長部が回転式の管の形状に形成されてなるため、その角度と関係なく力を加えることも可能である。この結果として、実施される変形の望ましい波形に応じて例えば２つまたは４つ設けられるとする、既に上記で説明したような個別の延長部の場合とは逆に、それぞれの場合において、この使用目的のために特別に設計された対応する光学部品を用いることなく、理想的な変形をそれらの波形及び角度位置に対応して光学部品に適応させることが可能となる。
【００２０】
本発明は、変形やその類を行うための全ての部品が穴部に収納でき、従ってそのシステム及び／または作動装置が一体化された非常にコンパクトな設計となるため、とりわけ鏡を使用する場合においては非常に有利となる。
【００２１】
上記のような光学部品において、２波動または多波動の変形を行うための機器の本発明に基づく解決法は請求項９において説明されている。
【００２２】
力が延長部に伝導されることによって、延長部の幾何学的設計を介して非常に望ましい方法で、光学画像のために用いられる表面、または用いられる光学部品の領域に力が伝導される。
【００２３】
この場合、光学部品が特に鏡として設計されるならば、同等の厚みのある板の原理に対応したような、同様の硬度で設計された鏡面においては、変形に高波形収差は伝導されない。更に、管状延長部が適切な回転式の対称的な設計をしてなるならば、例えばそれぞれの軸における非点収差などの２波動または多波動変形は光軸と垂直方向に生じ、これによって上記に既に記載したように生じた変形の軸は自由に選択することが可能となる。
【００２４】
本発明の更なる好適な改良は、残りの従属請求項及び図面を参照に以下に説明を付した模範的な具体案にて示される。
【００２５】
図１は非常に概略的に描かれた光学部品１の図であり、図を簡略化するために平面的に描かれている。光学部品１には、光学部品１から光軸３と平行方向に延長する４つの延長部２が形成される。
【００２６】
延長部２にかかる力が理想的な方法で延長部２を介して光学部品１に伝導され、光学部品１の変形が行われるように、光学部品１はその延長部２と一体化した１つの形態として形成される。基本的には、光学部品の単純な変形は延長部２が２つあれば十分に達成できる。本発明で示される４つの延長部２を備えた形態は、非点収差を行うためにとりわけ適している。
【００２７】
図２で示されるのは、図１の矢印ＩＩに対応する箇所の図であり、２波動変形、いわゆる非点収差を行うために特に意図された作動装置４の可能な具体案である。この場合、１つの作動装置４は、それぞれがバネ部材７を介して２つの延長部２と連結する２つの締結点６ａに２つの伝導部品５を介して接続される。継ぎロッド８は、２つの締結点６ａから、バネ部材７を介して同様にもう２つの延長部２と連結する更なる２つの締結点６ｂまで延長して形成される。
【００２８】
このような設計により、作動装置４の伸張または収縮から生じるそれに対応する伝導部品５の動作によって、１つの作動装置４を用いて延長部２に望ましい方法で力を伝導することが可能となる。
【００２９】
図２で示された作動装置４の長さを短くした場合、上記作動装置または伝導部品５によって２つの締結点６ａが引っ張られることとなる。バネ部材７によって２つの締結点６ａに連結された２つの延長部２には、光軸３の方向に働く力が伝導される。それと同時に、２つの締結点６ｂは光軸３から延長部２の方向に及ぶ力が、バネ部材７を介して延長部２が締結点６ｂと相互反応する領域に伝導され、２つの締結点６ｂは継ぎロッド８を介して互いから押し離される。
【００３０】
このような力は、上記の説明に基づいて今一度図３ａにおいて概略的に図示されている。光学部品１がその位置を動かないように、光学部品１の全体に及んで力の釣合いが取れていることが明確に見受けられ、光学部品１が厳密に静止した状態に保たれる必要のあるリソグラフィ用のレンズの分野で用いられる用途目的において特に適している。
【００３１】
更なる応用における力の釣合いの結果は図３ｂにおいて例示されており、ここで示されるのは３波動変形を行う場合の具体案である。光学部品１が上記で説明したような模範的な具体案に対応して設計されるのであれば、変形の１波形につき２つの作用点が必要となるため、当然このような３波動変形においては６つの延長部２が必要となる。
【００３２】
２つの締結点６ａがお互いから押し離されるように、図２による作動装置４をもう一方の方向に移動することももちろん可能である。これにより、締結点６ｂは光軸３の方向に移動し、結果として上記で説明した操作モードが逆に行われる。
【００３３】
図２を参照として説明された設計は、作動装置４、伝導部品５及び適切であれば継ぎロッド８が光学部品１の画像フィールドに突出してしまうため、光学部品１が鏡として設計された場合にのみ適用できる。
【００３４】
異なる設計の作動装置４が用いられる場合、対応する光学部品１をレンズ、平行板またはその類として形成することも完全に可能となり、適切な作動装置４を介して行われる変形と相応する結果が得られる。
【００３５】
管状に形成された延長部２'によって連接される、鏡として設計された光学部品１の具体案が図４において開示されており、とりわけ図５による断面図において明白に図示される。光学部品１は鏡穴部９の類を形成し、管状延長部２'もそれと一体化して形成される。上記の穴部は支持部材１０を有するが、本発明においては関連性がないため詳細な説明は記載していない。
【００３６】
鏡穴部９における管状延長部２'は一例としては円柱状に設計されてもよく、これは特に伝導される力、そして一体化された光学部品１と管状延長部２'との間の接続に関連して適切となる。
【００３７】
上記の円柱状の設計に加えて、管状延長部２'は円錐状（ｆｒｕｓｔｏｃｏｎｉｃａｌ）の設計で（図示なし）形成されることも可能である。光学部品１と反対を向いた側が開口して形成された円錐状の管状延長部２'は、所定の伝導に関して作動装置４を光学部品１の領域外に配置することを可能にするため、この設計は特に透明な光学部品１を用いる場合に適している。
【００３８】
その一方で、鏡が用いられる場合、光学部品１に伝導される力を変化することが可能となり、上記で説明した円柱状の管状延長部２'と比較すると空間の占領域が多少縮小できるため、光学部品１と反対側の方向に向かって先細に形成された円錐状の管状延長部２'が適切となる。
【００３９】
原理的には、光軸方向の力要素は円錐状に設計された管状延長部２'から起因されることを特筆する。これによって必要とされる力を様々な幅広い方法で用いることが可能となるが、光学部品１が所定の好ましい位置からずれないように力の釣合いに注意しなければならない。
【００４０】
図６と、それに対応した３次元で描かれた図７において、光学部品１における２波動変形を行う機構１１、具体的には非点収差を行う機構１１を備えた鏡穴部９が開示されている。
【００４１】
管状延長部２'に力を伝導するために上記の機構１１が有する装置１２の数は、結果として行われる変形の波形に応じて２倍され、それぞれの場合における装置１２はそれぞれ少なくとも１つの作動装置１３を有する（明確には図示されていない）。装置１２に配置される作動装置１３は圧電性の作動装置、油圧式または空気圧式の作動装置、電気機械式または電磁式の作動装置、またはこれらの類として本質的には通常の方法で形成される。２つの装置１２は軸１４に配置され、バネ部材７が備わった加圧部材１５をそれぞれ有する。２つの加圧部材１５は光軸３に対して主に垂直方向に延長部２'との機械的接触によって延長部２'に加えられる圧力を伝導するために備えられる。
【００４２】
その他の２つの装置１２は、この場合においては非点収差の際に軸１４に対して９０度で軸１６に配置される。上記の２つの装置１２はそれぞれ引張装置１７を備えてなる。ここで説明される模範的具体案では、引張装置１７はそのカギ状の設計によって管状延長部２'を固定し、管状延長部２'を光軸３の方向に引っ張ることができる。
【００４３】
相互に固定された角度で配置された４つの装置１２によって形成された全体とした構造は、光軸３を中心に回転することも可能で、そのためにここで概略的に開示されているような駆動装置１８が備えられる。ここで説明された構造の場合、２波動変形、いわゆる非点収差の変形は、光軸３に対して垂直な面におけるあらゆる好ましい位置にある光学部品１または鏡穴部９において行うことができる。
【００４４】
基本的には、装置１２を備えた構造において装置１２の数を、例えば６つの装置に増やすことも可能で、その場合、図３ｂによる光軸３に対して同じ方向に力を及ぼすために、３つの装置は互いに１２０度の角度で固定的に配置される。６つの装置１２によって行われる上記のような３波動変形に加えて、鏡穴部９において例えば４、５または６波動変形などのより高波動の変形を行うこともまた可能である。
【００４５】
また、例えば非点収差を行うための対応する装置１２とそれと平行な面において対応する装置１２を、３波動変形を行うための位置に設置するために、幾つかの上記機構１１を相互に結合することも可能である。２つの機構１１がとりわけ好ましい方法で、それぞれに対して個々に回転することが可能であるので、必要とされる作動装置システムに関して過度の支出を出すことなく、上記機構１１双方の動作、また適切であればその他の機構１１の動作の重層法によって２波動または多波動の変形を鏡穴部において本質的に大体にして望ましい形態で行うことが可能となる。
【００４６】
明確には開示されていないが、ここで説明される機構１１の具体案において、力の釣合いでもって、つまり図３ａ及び３ｂで示された図に類似した配置で、それぞれが操作されなければならず、支持部材１０の領域にその対応する力が加わることにより、半導体のリソグラフィ・システムで必要とされる高精度画像領域の場合には許容範囲外とされる、鏡穴部１０において望ましくない変形を引き起こすことを防ぐためである。
【００４７】
ここで説明した、管状延長部２'に機械的に望ましい変形を生じさせる力を伝導する方法に加えて、機械的接触を行わない、つまり非接触式の方法で磁気部材１９によって力を伝導することももちろん可能である。この場合における磁気部材１９の使用は機構１１と管状延長部２'との間で行われる直接的な機械的接触を不要にする。これにより、圧縮荷重、粗雑さ及びその他のものが要因となり、摩擦や会得するのが非常に困難な配置効果から引き起こされる複写不可能な状態になるのを回避することが可能となる。そして特に行われる望ましい変形の再現性に関しては、達成されるべき精度は向上する。
【００４８】
磁気接触の状態にあるまたは相互に磁気的作用する２つの部品の間の間隔を変化させるために、装置１２において対応する作動装置１３を用いることが、この場合とりわけ好ましい。具体的には、間隔に変化をつけると磁力にも変化が生じ、対応する部品はより強く誘引または反発する。
【００４９】
鏡穴部９の一部と認識できる図８において、その原理が開示されている。鏡穴部９の開示された部分は管状延長部２'の領域に磁気部材１９が備わってなる。この磁気部材１９は、磁気部材１９に関連して固定された磁気装置２０または電磁駆動２０と相互作用する。ここで描かれた概略図において、電磁駆動２０は支持部材２１を介して基板２２に接続される。この際、管状延長部２'における磁気部材１９は、接触しない方法で電磁駆動２０の介助を行う。図８で示された概略図によると、矢印２３で概略的に示される力を、２つの電磁駆動の間で両方の方向、つまりは光軸３に向かう方向と光軸３と反対向きの方向に生じさせることが可能である。
【００５０】
従って、電磁駆動及び／または磁気部材を用いて変形のための幾つかの解決法を実行することが可能となる。既に上記で説明したように、最も単純な具体案は磁気接触の状態にある、または相互に磁気的に作用し合う２つの部品の間の間隔に変化を生じさせることである。以下はこのような設計をより詳細に述べることを目的としている。しかし第一の目的は、既に説明したように駆動原理が磁気部材１９と電磁駆動２０との間の接触に基づく場合における、２つ目の変化形の解決案を説明することである。
【００５１】
図９では可能な解決案が開示されている。この場合、延長部２'の領域において図９で示されるような極性を有する磁石１９'が磁気部材１９として用いられる。ここで示されるように、この磁石１９'は個別磁石１９'として管状延長部２'に接続することも出来る。しかし、このためには対応する大量の数の磁石１９'が必要となり、更にその数または磁石１９'の間の角度間隔と対応して行われる変形のための角度位置が個別的な配置である場合のみ可能となる。
【００５２】
また磁気部材１９は、管状延長部２'の領域において磁気塗装１９''として形成されてもよく、管状延長部２'の少なくとも光軸３に対向する側面に磁気塗装１９''が途切れなく施されることとする。これにより、あらゆる望ましい配置で意図された変形のための角度位置を定めることができる。この磁気塗装１９''は下記で説明される図において、より詳細に説明されている。
【００５３】
図９では、個別磁石が備わった具体案が一例として開示されており、磁石１９'は電磁石２０'と共に電磁駆動装置２０として相互反応する。磁気部材１９と電磁駆動装置２０との間で反発が生じるという事実と対応するような極性を備えた電磁石２０''、その極性が、一方では操作中に磁気部材１９と電磁駆動装置２０との間で誘引または反発のどちらかが生じるようにその極性がコイル２４を介して影響され、また一方ではコイル２４を流れる電流によって生じる磁界の誘引力と反発力の強度は、上記の電流によって変化する。図９に開示されるような機構１１は、光学部品１における管状延長部２'に伝導される力がその方向と強度に対応して望ましく変化することが可能となる、非常に柔軟性のある設計となる。
【００５４】
更に機構１１が光軸３を中心にして回転する際に、既に上記で説明したように非接触で実施される操作によって、サブマイクロメートル（ｓｕｂ−μｍ）範囲において対応する変形や圧力を引き起こすような摩擦は一切生じず、また摩擦によって生じる熱が原因で光学部品１の画質に更なる悪影響を及ぼすこともない。
【００５５】
図１１による具体案では、電磁駆動装置２０と磁気部材１９の配置が置き換えられた構造の、類似した設計が開示されている。これは、本具体案においてはプランジャ・コイル２５として形成された電磁駆動装置２０が管状延長部２'に配置されるという事である。この場合におけるプランジャ・コイル２５は、これらの部品同士が問題なく作用するような対応する幾何学図形で設計された磁気部材１９と相互作用する。プランジャ・コイル２５に加えられる電圧Ｕに応じて、方向及び大きさに関して変化することが可能な磁気部材１９と電磁駆動装置２０の間で生じる望ましい力は、本質的には周知のような結果となる。
【００５６】
この具体案の唯一の不利点は、光軸３を中心とした角度調整を行う際に困難を伴う点である。結果として、幾つかの個別の角度位置を有する設計を選択することが可能となる。これは、例えば１２個などの比較的量の多いプランジャ・コイル２５が鏡穴部９の円周に沿って配置され、様々ではあるが所定された個別の角度位置で多波動変形を行うことが従って可能となるという事である。この場合、図１０によるプランジャ・コイル２５を有する設計は、図１に基づいた光学部品１の設計、つまり個別の延長部２を備えた光学部品１の設計と組み合わせることを意図している。
【００５７】
このような設計は図１１において概要が開示されているが、ただしこの場合また別の作動原理が備わっている。具体的には、図１１に基づく設計においては、銀メッキされた面とは反対の面から見た鏡穴部９が開示されている。この具体案においては、管状延長部２'に力を伝導するための１２個の装置１２が鏡穴部９に施されている。それぞれの装置１２は、この場合では鏡穴部９の内面に配置され、基板２２に対して様々な長さの作動装置２８を介して支持された２つの磁石２６、２７を備え持つ。２つの磁石２６、２７は、磁石２６が、ここでは磁気層１９''として形成された磁気部材１９と自らとの間に反発が生じるように分極される。それぞれの磁石２６、２７と磁気層１９''との間の間隔は、それぞれの作動装置２８に応じて多様に変化できる。この間隔に応じて、磁気層１９''及びそれに接続された管状延長部２'は磁石２６、２７によって生じる誘引力または反発力の程度が強まったり弱まったりする。
【００５８】
上記に既に記載したように、変形を行う際に個別の角度位置のみが考慮される事から、大量の磁石１９'はそれぞれ磁気層１９''の代わりに管状延長部２'と一体化されることもできる。基本的には図１１に基づいた設計の場合に可能な、基板２２及び装置１２の構造の回転は、適切であれば省略されてもよい。これによって上記で説明したような、角度に関連した変化は部分的に失われるのは確かであるが、適切な応用を行うには１２の異なる位置における角度変位で十分であり、これによってより安定した設計となる。
【００５９】
この場合の磁気層１９''は、本質的な磁気素材、つまり蒸着またはスパッタされた永久磁石の類などから構成される。しかし、上記の構成の代わりに、例えば永久磁石として形成された磁石２６、２７と連携するように、磁気層１９''は例えば鉄やその類の磁気素材から形成されてもよい。
【００６０】
図１２では、管状延長部２'における光軸３に対向する面と光軸３と逆を向いた面の両面に磁気層１９''が施された類似した設計が開示されている。１つの磁石２６を有する作動装置２８の内の１つは、管状延長部２'の光軸３に対向する面に配置される。磁石２７は、２つ目の作動装置２８と共に管状延長部２'の光軸３と逆を向いた面に施される。
【００６１】
行われる変形に変化を生じさせる可能性は同程度だが、構成的配置に関してはそれに対応する利点が生じることも考えられる。
【００６２】
装置１２のプランジャ・コイル２５以外の全ての構造において、光軸３を中心とした回転を光軸３と垂直な面において行うことが適切となり、これにおける変化が生じる可能性を、個別の磁石またはその類を一体化することによって規制することが可能となる。しかし、適切なだけ大量の個別の磁石及び／または固定装置１２があるとすれば、この重要性は二次的なものに過ぎない。
【００６３】
この結果、非点収差や特に３波動変形などの高波動変形に関して非常に効果的に影響を受け、例えば半導体のソグラフィ工程のためのレンズなどの画像システムに、その要する空間と駆動機能の点において、何の問題もなく一体化することが可能な、単純で信頼性がありコンパクトな設計の光学部品１となる。
【００６４】
本質的に周知の駆動装置は、全ての応用において力を伝導するために用いることができ、これにはそれぞれ対応する装置１２と一体化された図２における駆動装置４、図６及び７における駆動装置１４、そしてまた図１１及び１２における駆動装置２８も含まれる。この場合、駆動装置４、１３，２８を作動させるために、特に圧電スタックとしての圧電素子のとりわけ好ましく且つ有利な応用として、スプリング力、空気圧シリンダまたは水圧シリンダを使用することも考えられる。
【００６５】
更なる好ましい機能は、磁気的または電磁的に活性の装置１２の使用から生じる。電磁的な設計とは、結果として互いを相殺する力が一様且つ同時に加えられるため、反作用の力の介助により更なる転位または変形が生じないように力が非常に均一に伝えられ、切り替えられることを意味する。更に、既に図６及び７において記載されている数種類の異なる波形の組合せは原理的には常に可能であり、例えば図１１及び１２に基づく個別の角度位置を有する設計において付加的な部品が一切必要でないため、電磁機構１１の場合において概ねに簡略化される。この場合、全ての電磁駆動部品は光学部品１に対して張力及び圧縮力を加えることができ、磁石の極性及び／または、電圧及び／または電流の対応する方向の実施のみが決定される。
【００６６】
特に光学部品１が鏡である場合、行われる望ましい変形は非常に小さく、サブマイクロメートルの範囲またはナノメートル範囲においてのみ生じるので、この用途に縮小された電磁駆動装置を用いることも可能である。構造的な利点に加えて、これにより電力消費量がより少なくなり、対応して発熱も抑えられる。それでもなお生じる熱は、例えば直接的な水冷法やその類によって放散することができる。このような熱の放散は、例えば基板２２に組み込まれることも可能である。
【００６７】
上記で説明したような機構１１の使用の好適な用途は、マイクロ・リソグラフィ・パターン転写における投影露光機器の画像装置において用いられる光学部品１の分野において見られる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】光学部品の具体案における原理を示した図である。
【図２】作動装置の具体案の一例が示された、図１の矢印ＩＩで示された箇所に対応する図である。
【図３ａ】２波動変形（非点収差）の場合における力の釣合いの原理を示した図である。
【図３ｂ】３波動変形（非点収差）の場合における力の釣合いの原理を示した図である。
【図４】光学部品の別の具体案を示した図である。
【図５】図４の線Ｖ−Ｖで示された箇所に対応する光学部品の図である。
【図６】２波動変形を作り出す装置を備えた図４で示した光学部品の図である。
【図７】２波動変形を作り出す装置を備えた図４で示した光学部品を三次元的に表した図である。
【図８】光学部品において変形を行うための電磁作動装置を作動させる可能な原理を示した図である。
【図９】上記の電磁作動装置の可能な具体案を示した図である。
【図１０】上記の電磁作動装置のまた別の可能な具体案を示した図である。
【図１１】また別の具体案における２波動または多波動変形を行うための作動装置を備えた光学部品を示した図である。
【図１２】更に別の具体案における２波動または多波動変形を行うための作動装置を備えた光学部品を示した図である。
【符号の説明】
【００６９】
１      光学部品
２      延長部
２'    管状延長部
３      光軸
４      作動装置
５      伝導部品
６ａ    締結点
６ｂ    締結点
７      バネ部材
８      継ぎロッド
９      鏡穴部
１０    支持部材
１１    機構部
１２    装置
１３    作動装置
１４    軸
１５    加圧部材
１７    引張装置
１８    駆動装置
１９    磁気部材
１９'  磁石
１９''  磁気層
２０    磁気装置／電磁駆動装置
２１    支持部材
２２    基板
２３    矢印
２４    コイル
２５    プランジャ・コイル
２６    磁石
２７    磁石
２８    作動装置
【国際公開パンフレット】
2005506574.tif 000003
2005506574.tif 000004
2005506574.tif 000005
2005506574.tif 000006
2005506574.tif 000007
2005506574.tif 000008
2005506574.tif 000009
2005506574.tif 000010
2005506574.tif 000011
2005506574.tif 000012
2005506574.tif 000013
2005506574.tif 000014
2005506574.tif 000015
2005506574.tif 000016
2005506574.tif 000017
2005506574.tif 000018
2005506574.tif 000019
2005506574.tif 000020
2005506574.tif 000021
2005506574.tif 000022
2005506574.tif 000023
2005506574.tif 000024
2005506574.tif 000025
2005506574.tif 000026
2005506574.tif 000027
2005506574.tif 000028
2005506574.tif 000029
2005506574.tif 000030
2005506574.tif 000031
2005506574.tif 000032
2005506574.tif 000033
2005506574.tif 000034
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2005506574.tif 000035
2005506574.tif 000036
【国際調査報告】
2005506574.tif 000037
2005506574.tif 000038
2005506574.tif 000039
2005506574.tif 000040
2005506574.tif 000041
2005506574.tif 000042