(57)【要約】単軸レートセンサ（10）であって、共通軸の周りに延びている、内周部（24）および外周部を備えた実質的にリングまたはフープ形構造を有する実質的に平面の振動共振器（16）、共振器をCos3θの振動モードで振動させるための駆動手段（18）、前記駆動手段（18）に応答して、共振器の運動を感知するための搬送波モードピックオフ手段（20）、レートセンサが高感度軸の周りを回転することに応答して引き起こされる共振器の運動を感知するためのピックオフ手段（36）、前記運動をゼロにするための駆動手段（38）、および共振器（16）を柔軟に支持するための支持手段（22）であって、駆動手段および加えられた回転に応答して、支持手段（22）に相関して共振器（16）を振動させることができる支持手段（22）が構成されていて、支持手段（22）が、Ｌ≠３×２Ｋ−１、Ｌ＞２、およびＫ＝１，２、または３として、Ｌ本のみの支持桁を有する単軸レートセンサ（10）を提供する。
2005517898.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単軸レートセンサであって、共通軸の周りに延びている、内周部および外周部を有する実質的にリングまたはフープ形構造を有する実質的に平面の振動共振器、共振器をCos3θの振動モードで振動させるための駆動手段、前記駆動手段に応答して、共振器の運動を感知するための搬送波モードピックオフ手段、レートセンサが高感度軸の周りを回転することに応答して引き起こされる共振器の運動を感知するためのピックオフ手段、前記運動をゼロにするための駆動手段、および共振器を柔軟に支持するための支持手段であって、駆動手段および加えられた回転に応答して、支持手段に相関して共振器を振動させることができる支持手段が構成されていて、支持手段が、Ｌ≠３×２Ｋ−１、Ｌ＞２、およびＫ＝１，２、または３として、Ｌ本のみの支持桁を有する単軸レートセンサ。
【請求項２】
Ｌ＜１２である請求項１記載のレートセンサ。
【請求項３】
各支持桁には、円弧状部分の対向する端部から延びている第１および第２の直線状部分が構成されている請求項１または２記載のレートセンサ。
【請求項４】
支持桁には、実質的に等しい角度間隔が空けられている請求項１ないし３の何れか１項記載のレートセンサ。
【請求項５】
支持手段には、突起ボスを有するベースが構成されていて、実質的にリングまたはフープ形構造の内周部が、支持桁によってボスに接続され、支持桁が、リングまたはフープ形構造の内周部から突起ボスへ延びていて、したがってリングまたはフープ形構造が、ベースから離れている請求項１ないし４の何れか１項記載のレートセンサ。
【請求項６】
支持桁の全剛性が、リングまたはフープ形構造の剛性よりも弱い請求項１ないし５の何れか１項記載のレートセンサ。
【請求項７】
添付の図面の４ａおよび４ｂを参照して、または実質的に示されているように、あるいはこの両者で、請求項１ないし６の何れか１項に実質的に記載されているレートセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、単軸に対して加えられたレートを判断するためのレートセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
振動構造ジャイロスコープのようなレートセンサであって、種々の異なる構造を使用して構成されたレートセンサが知られている。これらの構造には、桁、音叉、円筒、半球形シェル、およびリングが構成されている。これらの設計の全てにおいて、共通の特徴は、共振搬送波モードの発振を維持することである。したがって、線形運動量が得られ、線形運動量は、ジャイロスコープが適切な軸の周りを回転するとき、コリオリ力を生成する。
【０００３】
搬送波モードと応答モードの共鳴振動数とを整合させることにより、これらの装置の感度を向上することが提案された。これらの振動数が正確に整合するとき、応答モードの振動の振幅は、構造の機械的品質因数（mechanical quality factor, Q）によって増幅される。これは、構成公差を必然的により厳密にする。実際には、適切な場所に材料を加えるか、または取り除くかによって、振動構造または共振器のバランスを精密に調整することが必要であり、例えば、平面リング構造に関する第GB-A-2292606号に記載されている。これにより、モードに対する質量または剛性のパラメータを調節し、モードの振動数を差別的にずらす。これらの振動数が整合しないとき、Ｑの増幅は起こらず、ジャイロスコープが適切に働くのに十分な感度をピックオフに与えなければならない。
【０００４】
リング形の完全に相対称の共振器には、２つの縮退振動モードが存在する。これらのモードの一方は、搬送波モードとして励起される。振動の全ては、リングの面において発生する。構造が、リングの面に垂直な軸（すなわち、ｚ軸）の周りを回転するとき、コリオリ力により、エネルギーが応答モードへ結合される。共振器構造は、実際には、半径方向と接線方向の両者に運動する。一般には、半径方向の運動のみが検出される。加速されないときは、応答モードの運動はない。装置がｚ軸の周りを回転するとき、リングの周りにコリオリ力が発生し、縮退振動モードを発振に設定する。得られた運動振幅は、回転レートに比例する。
【０００５】
搬送波モードの振動数と応答モードの振動数とが、正確にバランスがとれているときは、向上した感度が得られる。半径方向に等方性の材料を選択すると、このバランスを実現するのに非常に有益である。しかしながら、望ましい精度を実現するには、製造後に付加的に微調整することがさらに必要である。
【０００６】
縮退のCos3θモードを使用する単軸コリオリレートセンサのリング形共振器を使用することが知られている。このような装置の例は、第GB 001775.6号に記載されている。この装置は、２つの縮退Cos3θモードを使用する。
例示の装置の全てにおいて、搬送波モードの振動数と応答モードの振動数とは、名目上、全く同じでなければならない。これらのリング構造を支持するレッグ構造は、リングの接続位置に作用する個々のばね質量に影響を与える。したがって、これらは、質量および剛性を局所的に変えて、モードの振動数をずらす。搬送波モードおよび応答モードの動力を差別的に摂動しないように、これらの支持体の数および位置を定めなければならない。支持レッグの適切な構成、すなわち単軸Cos3θ装置では、両方のモードの振動数をずらす一方で、振動数を等量分変えて、振動数スプリットを起こさないようにする。これを実現するのにこれまで必要であると考えられてきた支持レッグ数は、４ｎ（ｎを節直径とし、Cos3θモードではｎ＝３）であり、９０°／ｎの角度で分割される。
【０００７】
本出願人の現在審査中の出願第GB 0001775.6号に示されているように、Cos3θの振動モードの対を使用するとき、一般に、３０°の角度間隔で１２本の支持レッグ（ｎ＝３として、４ｎ）が用いられる。これらのレッグ構造は、リングをつるすが、本質的に減衰されていない発振において、リングを振動させることができなければならない。図１は、このような構成を示している。この構成では、支持フレーム14上に中心ボス26が形成されている。中心ボス26と、共振器16の内周部24との間には、支持レッグ22が延びている。支持レッグの直線状部分22’および22’’は、図４において長さが異なっているが、これは、当業者には分かるように標準設計の変形の一部であることに注意すべきである。図１の中心ボス26を与えることにより、共振器16の半径方向外側支持部の既知の代用となることも分かるであろう。これらの構成は、使用されている支持レッグの数とは無関係に、交換可能である。
【０００８】
上述のような装置において、レッグの半径方向および接線方向の剛性は、リング自体の剛性よりも相当に弱く、したがってモードの振動はリング構造によって決まる。半径方向の剛性は、レッグの円弧状セグメント22'''の長さによって、だいたい判断される。接線方向の剛性は、レッグの直線状セグメント22’および22''によって決まる。隣り合うレッグが近いことによって、レッグ構造の円弧の角度が制限されると、このレッグ設計において、とくに半径方向の剛性において、リング対レッグのコンプライアンス比を維持するのは、より困難になる。この要件により、支持レッグの機械的設計に煩わしい制約が加わり、リングのリムと比較して（リングの面において）細いレッグ構造を使用することが必要となる。このように寸法が小さくなると、これらの構造は、機械的構造の生成プロセスにおいて寸法公差の影響をより受け易くなる。したがって、これらの支持レッグ要素の質量および剛性が変化し、モードの動力の対称性が乱され、Cos3θの振動モードの対との間に振動数スプリッティングが引き起こされることになる。
【０００９】
従来技術に記載されている構造は、多数のプロセスを使用して、種々の材料で組立てられる。このような装置は、金属から組立てられるとき、ワイヤ侵食技術を使用して、高精度に機械加工され、要求される精密な寸法公差を実現することが好都合である。このプロセスには、各レッグの縁端部およびリング構造の周りの材料を連続的に機械加工することが含まれる。機械加工時間と生成コストとは、レッグ数に比例して増加する。したがって、レッグ数を最少化することが、非常に有益である。他の材料から、代わりのプロセスを使用して組立てられる構造も、同様と考えられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
平面リング構造であって、比較的に多数の支持レッグが構成されている従来技術の構造と比べて、必要な支持レッグ数は、より少ないが、リング構造の振動は（従来技術の構造ほどは）より大きく影響を与えない平面リング構造を設計できることが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の第１の態様にしたがって、単軸レートセンサであって、共通軸の周りに延びている、内周部および外周部を有する実質的にリングまたはフープ形構造を有する実質的に平面の振動共振器、共振器をCos3θの振動モードで振動させる駆動手段、前記駆動手段に応答して、共振器の運動を感知するための搬送波モードピックオフ手段、レートセンサが高感度軸の周りを回転することに応答して引き起こされる共振器の運動を感知するためのピックオフ手段、前記運動をゼロにするための駆動手段、および共振器を柔軟に支持するための支持手段であって、駆動手段および加えられた回転に応答して、支持手段に相関して共振器を振動できるようにし、Ｌ≠３×２Ｋ−１、Ｌ＞２、およびＫ＝１、２、または３として、Ｌ本のみの支持桁を有する支持手段が構成されている単軸レートセンサを提供する。支持桁は、例えば、４本、５本、または７本であってもよい。
【００１２】
製造プロセスを簡単にするために、支持桁は１２本未満であることが好ましい。
各支持桁には、円弧状部分の対向する末端部から延びている第１および第２の直線状部分が構成されている。
実施形態では、支持桁は、実質的に等しい角度間隔を空けている。
【００１３】
支持手段には、突起ボスを有するベースが構成されていて、実質的にリングまたはフープ形構造の内周部が、支持桁によってボスに接続され、支持桁が、リングまたはフープ形構造の内周部から突起ボスへ延びていて、したがってリングまたはフープ形構造が、ベースから離れていることが好都合である。
【００１４】
実施形態では、支持桁の全剛性は、リングまたはフープ形構造の剛性よりも弱い。
上述の方式は、リングまたはフープ形構造の動力を、レッグの運動の影響を含めて、詳細に解析した結果として得られた。本発明では、設計の融通性を向上して、（リングに対する）レッグのコンプライアンスをより大きくし、一方で（リング面において）より大きい寸法のレッグを用いる。このような設計では、寸法公差の影響を受け難く、かつより経済的に組み立てることができる。
【００１５】
本発明をよりよく理解し、かつ本発明をどのように実行するかを示すために、ここで、添付の図面を参照することにする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
ここで、図１および２を参照して、従来技術にしたがう角レートセンサ装置について記載する。センサ装置10には、超小型の機械加工された振動構造のジャイロスコープが含まれ、既に記載したように、Sin3θおよびCos3θの振動モードの対で運動するように構成されている。とくに、図３ａおよび３ｂには、Cos3θおよびSin3θの応答モードパターンが示されている。
【００１７】
これらのモードを使用する装置10は、静電駆動トランスデューサおよび容量性フォーシングトランスデューサとを取入れており、これらは、本出願の現在審査中の第GB 9817347.9号に記載されているものと類似している。この構造を生成するのに使用される組み立てプロセスは、本出願人の現在審査中の出願である第GB 9828478.9号に記載されているものと本質的に同じであり、したがって、別途詳しく記載しない。
【００１８】
図１および２に示されている装置10において、[１００]導電性シリコンの層12は、ガラス基板14に対して陽極側に接着されている。装置10の主な構成要素は、１つのリング構造共振器16、６つの駆動コンデンサトランスデューサ18、および６つのピックオフ容量性トランスデューサ20である。共振器16、駆動容量性トランスデューサ18、およびピックオフ容量性トランスデューサ20は、シリコン層12を通る溝を形成するディープリアクティブイオンエッチング（Deep Reactive Ion Etching, DRIE）のプロセスによって形成される。組立てプロセスは、シリコン装置層12の直ぐ上にマイクロエレクトロニクス（図示されていない）を組立てるのと完全に対応する。このような組み立てに含まれる技術は、周知であり、本明細書には記載されていない。
【００１９】
図１は、装置10の設計を示す模式的な平面図であり、図２は、装置10の構造の模式的な断面図を示している。リング構造共振器16は、コンプライアントなレッグ22によって中心で支持されている。レッグ22は、ばね質量の作用を有し、接続位置においてリング構造共振器16に作用する。各支持レッグ22は、Sin3θモードとCos3θモードの動力を差別的に摂動し、振動数スプリットを引き起こす。支持レッグ22の正味効率によりスプリッティングが引き起こされないことを保証するために、一般に、モード対称になるように、支持レッグ22の数および位置を整合させる。１２個の同じレッグ支持部12に、３０°の規則正しい角度間隔を与えることが好都合である。レッグ支持部12の一方の端部は、リング構造共振器16の内側24に取付けられ、他方の端部は、中心の支持ハブ26に取付けられる。また、ハブ26は、絶縁ガラス基板14に固定的に取付けられる。ガラス基板14内の、リング構造共振器16のリムおよびコンプライアントなレッグ構造22の下には、キャビティ28が与えられ、リング構造共振器16が自由に動くことができるようにされている。
【００２０】
リング構造共振器のリムの外周部には、１２枚の別々の湾曲形の板30が与えられており、リング構造共振器16に面している板30の表面と、リング構造共振器自体の外周表面との間にコンデンサをそれぞれ形成している。板30は、ガラス基板14に固定され、リング構造共振器16から電気的に絶縁される。板30は、リング構造共振器16のリムの周りに、３０°の等しい角度間隔で位置付けられ、それぞれ２５°の角度に対する。板30の中の３枚を、固定基準軸Ｒに対して０°、１２０°、および２４０°で位置付けて、搬送波駆動要素32として使用することが好都合である。搬送波モードの運動は、ピックオフトランスデューサ34のような、固定基準軸Ｒに対して６０°、１８０°、および３００°の板30を使用して検出される。回転状態のもとでは、コリオリ力により、エネルギーが応答モードへ結合される。この運動は、固定基準軸Ｒに対して３０°、１５０°、および２７０°に位置付けられている応答モードのピックオフトランスデューサ36によって検出される。装置10をフォースフィードバックモード応答モードで運動させるために、駆動要素38は、固定基準軸Ｒに対して９０°、２１０°、および３３０°に位置付けられている。駆動トランスデューサ18およびピックオフトランスデューサ20のそれぞれの上に電気ボンドパッド40を与えて、制御回路（図示されていない）へ接続できるようにする。
【００２１】
動作のときは、駆動電圧は、共鳴振動数において、搬送波駆動要素32へ印加される。リング構造共振器16を固定オフセット電圧に維持したときに発生する力は、小さいコンデンサのギャップの変位に対して印加される電圧と線形である。リング構造共振器16は、中心ハブ26上に与えられているボンドパッド41により電気接続し、中心ハブ26は、レッグ22の導電性シリコンを介してリング構造共振器16へ接続される。引き起こされた運動により、搬送波モードピックオフトランスデューサ34のコンデンサのギャップの分割の変化が生じる。これにより、増幅されるギャップに電流が流れ、運動に比例する信号を与える。回転により引き起こされる運動は、応答モードのピックオフトランスデューサ36において同様に検出される。フォースフィードバックモードでは、駆動電圧を応答モードの駆動トランスデューサ38に印加して、回転レートに正比例する印加された駆動電圧を使用して、この運動をゼロにする。駆動信号をピックオフトランスデューサ20、34、36へ直接に容量性結合すると、スプリアス信号出力が発生し、スプリアス信号出力は、バイアス出力であると考えられ、駆動性能を劣化する。この誤差を最少化するために、コンデンサ板30の側部の中で、リング構造共振器16に面している側部を除く全側部を、スクリーン層42で取り囲む。このスクリーン42は、大地電位に接続され、駆動トランスデューサ18およびピックオフトランスデューサ20とが互いに近接できるようにする。
【００２２】
リングの動力を、レッグの運動の作用を含めて、詳しく解析することにより、望ましい振動モードの対の振動数整合を維持するのに必要な、実質的に等しい間隔を空けた支持レッグの数に関して有効なオプションの範囲を定める簡単な方式を展開することができる。
【００２３】
解析により、レッグ数の要件は、既に示したものよりも制限が相当に緩いことが分かった。何れのモードが、所定数の均等に間隔を空けた支持レッグに対して振動数スプリットするかを示す簡単な方式が得られた。これらの方式は、一般に、平面内および平面外のCosNθモードの両者に適用可能である（なお、Ｎは、モードの次数であり、Ｌ＞２において有効である）。Ｌ≦２のときは、全てのモードがスプリットする。レッグＬが偶数のときは、Ｋを整数として、次に示す条件、すなわち、
Ｎ＝ＬＫ／２
が満たされるときのみ、次数Ｎのモードに対して振動数スプリッティングが生じる。最大振動数スプリッティングは、Ｋ＝１のときに生じ、Ｋが増加すると、低減する。レッグＬが奇数のときは、
Ｎ＝ＬＫ
のときのみ、振動数スプリッティングが生じる。
【００２４】
最大振動数スプリッティングは、ここでも、Ｋ＝１のときに生じ、Ｋの値が増加すると、低減する。
これらの一般原理を、単軸平面リング共振器設計に適用し、Cos3θモードを採用すると、支持レッグ数が、最早１２本に制限されないという結論が導き出される。次の式にしたがう支持レッグ構造を備えた平面リング共振器を構成することができる：
Ｌ≠Ｎ×２Ｋ−１
なお、Ｎはモードの次数であり（Cos3θモードのときは、Ｎは３）、Ｋは値１、２、または３の整数である。レッグは、等しい角度間隔を空けられている。図４ａに示されているように、９０°の間隔で４本のレッグが構成されている支持構造、および図４ｂに示されているように、７２°の間隔で５本のレッグが構成されている支持構造、などは、要求されるモード振動数整合を維持し、かつコリオリレートセンサで使用するのに適しており、したがって使用される。１２本以上のレッグが構成されていても、モード振動数の整合を維持するが、既に記載した理由のために、より少ない数のレッグを用いるのが好都合である。
【００２５】
全ての共振器設計において、支持レッグの結合剛性は、リングの剛性よりも弱くなければならない。支持レッグの結合剛性がリングの剛性よりも弱いときは、モードの振動が、リング構造によって決まり、かつ構造のハブ26を介して熱により引き起こされる応力結合の影響（これは、性能に悪影響を与える）から、共振器を切り離すのを助けることが保証される。より少ない数の支持レッグを用いるとき、要求されるレッグ対リングのコンプライアンス比は、より広い幅とより長い長さとを備えた支持レッグ構造を使用することによって維持される。これにより、これらの構造は、組立てプロセス中に発生する寸法公差の誤差の影響を受け難くなる。このような誤差により、Sin3θモードとCos3θモードとの間に振動数スプリッティングが引き起こされ、センサの性能が損われる。したがって、一般に、所望の性能レベルを実現するのに、機械的調整手続きを使用することが不可欠である。このために、コストおよび組立て時間に関して、この調整手続きの要件を緩和することが非常に望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明にしたがっていない、１２本の支持レッグが構成されている振動構造のジャイロスコープの平面図。
【図２】図１の実施形態の断面図。
【図３】搬送波モードとして働いている対称共振器または振動構造の縮退のCos3θのモードをそれぞれ示す図（図３のａおよびｂ）。
【図４】４本の支持レッグが構成されている本発明にしたがう振動構造ジャイロスコープの平面図（図４ａ）と、５本の支持レッグが構成されている本発明にしたがう振動構造ジャイロスコープの平面図（図４ｂ）。
【符号の説明】
【００２７】
10・・・レートセンサ、12・・・シリコン層、14・・・ガラス基板、16・・・共振器、18、38・・・駆動トランスデューサ、20、34、36・・・ピックオフトランスデューサ、22・・・支持レッグ、24・・・内周部、26・・・ボス（ハブ）、28・・・キャビティ、30・・・板、32・・・搬送波駆動要素、40、41・・・ボンドパッド、42・・・スクリーン。
【図１】
2005517898.tif 000003
【図２】
2005517898.tif 000004
【図３】
2005517898.tif 000005
【図４】
2005517898.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成16年2月10日(2004.2.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単軸レートセンサであって、共通軸（Ｒ）の周りに延びている、内周部（24）および外周部を有する実質的にリングまたはフープ形構造を有する実質的に平面の振動共振器（16）、共振器（16）をCos3θの振動モードで振動させるための駆動手段（30）、前記駆動手段（30）に応答して、共振器（16）の運動を感知するための搬送波モードピックオフ手段（34）、レートセンサが前記軸の周りを回転することに応答して引き起こされる共振器の運動を感知するためのピックオフ手段（36）、前記運動をゼロにするための駆動手段（38）、および共振器（16）を柔軟に支持するための支持手段（22）であって、駆動手段（30）および加えられた回転に応答して、支持手段（22）に相関して共振器（16）を振動させることができる支持手段（22）が構成されていて、支持手段（22）が、Ｌ≠３×２Ｋ−１、Ｌ＞２、Ｌ＜１２、およびＫ＝１、２、または３として、Ｌ本のみの支持レッグを有することを特徴とする単軸レートセンサ。
【請求項２】
各支持レッグ（22）には、円弧状部分（22１１１）の対向する端部から延びている第１および第２の直線状部分（22１，22１１）が構成されている請求項１記載のレートセンサ。
【請求項３】
支持レッグ（10）には、実質的に等しい角度間隔が空けられている請求項１または２記載のレートセンサ。
【請求項４】
支持手段には、突起ボス（26）を有するベース（14）が構成されていて、実質的にリングまたはフープ形構造の内周部（24）が、支持レッグ（22）によってボス（26）に接続され、支持レッグ（22）が、リングまたはフープ形構造の内周部（24）から突起ボス（26）へ延びていて、したがってリングまたはフープ形構造が、ベース（14）から離れている請求項１ないし３の何れか１項記載のレートセンサ。
【請求項５】
支持レッグ（22）の全剛性が、共振器（16）のリングまたはフープ形構造の剛性よりも弱い請求項１ないし４の何れか１項記載のレートセンサ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
縮退のCos3θモードを使用する単軸コリオリレートセンサのリング形共振器を使用することが知られている。このような装置の例は、第GB 001775.6号に記載されている。この装置は、２つの縮退Cos3θモードを使用する。
第WO-A-99 47890号には、２軸および３軸のレート感知のためのジャイロスコープについて記載されている。平面のCos nθの搬送波モードを、Cos(n±1)の平面外の応答モードと組合せて使用することについて開示されている。特定のより低い次数の支持レッグ数については開示されていない。
第WO-A-01 55675号には、Cos nθの平面内のモードを使用し、かつ[１００]の主クリスタル平面の層から組立てられている短軸容量性リングジャイロスコープについて開示されている。
第WO-A-99 47891号は、１つの平面外のCos nθのモードを、１対の平面内のCos(n±1)の応答モードと組合せて使用して、２軸ジャイロスコープの例を与える角レートセンサ装置に関する。
例示の装置の全てにおいて、搬送波モードの振動数と応答モードの振動数とは、名目上、全く同じでなければならない。これらのリング構造を支持するレッグ構造は、リングの接続位置に作用する個々のばね質量に影響を与える。したがって、これらは、質量および剛性を局所的に変えて、モードの振動数をずらす。搬送波モードおよび応答モードの動力を差別的に摂動しないように、これらの支持体の数および位置を定めなければならない。支持レッグの適切な構成、すなわち単軸Cos3θ装置では、両方のモードの振動数をずらす一方で、振動数を等量分変えて、振動数スプリットを起こさないようにする。これを実現するのにこれまで必要であると考えられてきた支持レッグ数は、４ｎ（ｎを節直径とし、Cos3θモードではｎ＝３）であり、９０°／ｎの角度で分割される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
各支持レッグには、円弧状部分の対向する末端部から延びている第１および第２の直線状部分が構成されている。
実施形態では、支持レッグは、実質的に等しい角度間隔を空けている。
【国際調査報告】
2005517898.tif 000007
2005517898.tif 000008
2005517898.tif 000009
2005517898.tif 000010
2005517898.tif 000011