(57)【要約】  エピタキシャル成長装置のサセプタについて、ポケット底壁に形成する複数の円形貫通孔を、円形底壁の中心から半径の１／２の距離より外周領域に配設し、貫通孔の開口面積の総和を底壁面積の０．０５〜５５％とした。または、その外周領域に配設した各貫通孔の開口面積を０．２〜３．２ｍｍ２とし、貫通孔の密度を０．２５〜２５個／ｃｍ２とした。そして、そのポケットに半導体ウェーハを搭載後、サセプタの上面側には原料ガス・キャリアガスを、下面側にはキャリアガスを流しエピタキシャル成長させる。サセプタの外周部では、上面側の原料ガスが各貫通孔を介してサセプタ下面側に流れ込む。その結果、ウェーハ外周部の表面に十分な原料ガスを供給でき、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、オートドープも阻止できる。また、ウェーハ表面のナノトポグラフィを改善できる。かつ、ドーパント濃度を均一化でき、スリップ発生も防止できる。
2005515630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケットを有し、このポケットに半導体ウェーハが載置されるエピタキシャル成長用サセプタにおいて、
その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、
複数の貫通孔の開口面積の総和を、底壁の面積の０．０５〜５５％としたエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項２】
上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部を備えた請求項１に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項３】
上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、ＳｉＣ膜が被着された請求項１に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項４】
上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をＳｉＣ材により構成した請求項１に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項５】
上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜した請求項１に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項６】
略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケットを有し、このポケットに半導体ウェーハが載置されるエピタキシャル成長用サセプタにおいて、
その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、
各貫通孔の開口面積を０．２〜３．２ｍｍ２とし、かつ、これらの貫通孔の密度を０．２５〜２５個／ｃｍ２としたエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項７】
上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部を備えた請求項６に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項８】
上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、ＳｉＣ膜が被着された請求項６に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項９】
上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をＳｉＣ材により構成した請求項６に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項１０】
上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜した請求項６に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項１１】
半導体ウェーハをサセプタのポケット内に搭載し、このサセプタの上面側に原料ガスおよびキャリアガスを、その下面側にキャリアガスをそれぞれ供給することにより、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させるエピタキシャル成長方法にあって、
上記ポケットは、略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成され、  その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設したエピタキシャル成長方法。
【請求項１２】
上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部が設けられた請求項１１に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項１３】
上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、ＳｉＣ膜が被着された請求項１１に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項１４】
上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をＳｉＣ材により構成した請求項１１に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項１５】
上記サセプタの下面側に供給されるキャリアガスが水素含有ガスで、その流量が３〜１００リットル／分である請求項１１に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項１６】
上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜した請求項１１に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項１７】
半導体ウェーハをサセプタのポケット内に搭載し、このサセプタの上面側に原料ガスおよびキャリアガスを、その下面側にキャリアガスをそれぞれ供給することにより、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させるエピタキシャル成長方法にあって、
上記ポケットは、略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成され、  その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、
各貫通孔の開口面積を０．２〜３．２ｍｍ２とし、かつ、これらの貫通孔の密度を０．２５〜２５個／ｃｍ２としたエピタキシャル成長方法。
【請求項１８】
上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部が設けられた請求項１７に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項１９】
上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、ＳｉＣ膜が被着された請求項１７に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項２０】
上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をＳｉＣ材により構成した請求項１７に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項２１】
上記サセプタの下面側に供給されるキャリアガスが水素含有ガスで、その流量が３〜１００リットル／分である請求項１７に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項２２】
上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜した請求項１７に記載のエピタキシャル成長方法。
【請求項２３】
略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケットを有し、このポケットに半導体ウェーハが載置されるエピタキシャル成長用サセプタにおいて、
その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に少なくとも一列の貫通孔が含まれるように配設するとともに、これらの一列の貫通孔において隣接する貫通孔同士が溝で連結されたエピタキシャル成長用サセプタ。
【請求項２４】
上記溝は、その幅が上記貫通孔の直径の１．５倍までであって、その深さが、溝の断面積が１の貫通孔の開口表面積の約５０％〜約１００％であるように規定される請求項２３に記載のエピタキシャル成長用サセプタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法、詳しくは半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させるために使用されるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＭＯＳデバイス用のシリコンウェーハとして、ドーパントが高濃度に添加された低抵抗率のシリコンウェーハの表面に、ウェーハのドーパント濃度よりも低濃度のドーパントが添加されたエピタキシャルウェーハが用いられている。このエピタキシャルウェーハは、ＭＯＳデバイスのゲート酸化膜の歩留りが向上するとともに、寄生容量低減、ソフトエラーの防止、ゲッタリング能力の向上などの優れた特性を有している。
このエピタキシャルウェーハの製造において、従来から実施されている複数のシリコンウェーハに対して同時にエピタキシャル成長処理するバッチ方式ではシリコンウェーハの大口径化に対応し難くなってきたことから、枚葉式のエピタキシャル成長装置が主に使用されるようになってきた。近年では、直径３００ｍｍ以上のウェーハに対してエピタキシャル成長処理が可能な大口径用のエピタキシャル成長装置も開発されている。
この枚葉式のエピタキシャル成長装置としては、装置へのウェーハの搬入、搬出を行う搬送治具とサセプタ間の移載方式が、ベルヌイチャック方式または搬送治具の昇降方式によりウェーハを移載するタイプと、ウェーハ下面をピン支持してピンの昇降により移載するタイプとの２つに大別される。しかしながら、どちらも基本的には、装置内に水平状態に配された一つのサセプタ上に半導体ウェーハを載置して、周囲に配設された赤外線ランプなどの熱源によってウェーハを高温状態とし、かつサセプタを回転させながら高温状態のウェーハ表面上に反応ガスを流すことにより、ウェーハ表面にエピタキシャル成長させるものである。
【０００３】
以下、図１９〜図２３を参照して、従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法について説明する。
図１９は、従来手段に係るエピタキシャル成長装置を模式的に示した断面図である。図２０は、従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した平面図である。図２１は、従来手段に係る他のエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した断面図である。図２２は、この発明の従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタの使用状態を模式的に示した断面図である。図２３は、この発明の別の従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタの使用状態を模式的に示した平面図である。
図１９〜図２２に示すように、エピタキシャル成長装置（以下、装置）１は、その内部にエピタキシャル膜の形成室（以下、膜形成室）２を有している。この膜形成室２は、上側ドーム３と下側ドーム４とドーム取り付け体５とを備えている。上側ドーム３および下側ドーム４は、石英などの透明な材料から構成され、装置１の上方および下方に複数配置されたハロゲンランプ６により、サセプタ１０およびシリコンウェーハＷが加熱される。
サセプタ１０は、サセプタ回転軸７に連なる支持アーム８によってその下面の外周部が嵌合されて回転する。サセプタ１０は、炭素母材の表面にＳｉＣ膜をコーティングしたものが採用されている。このサセプタ１０は、図２０に示すような円板形状、または、図２１に示すような凹部を有する円板形状で、シリコンウェーハＷの裏面全体を面支持する。この凹部は、シリコンウェーハＷが収納される略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケット１０ａを構成する。また、サセプタ１０の外周部には、その周方向に向かって１２０度毎に合計３本の貫通孔１０ｂが形成されている。各貫通孔１０ｂには、シリコンウェーハＷを昇降させる昇降ピン９が遊挿されている。昇降ピン９の昇降は、リフトアーム１１により行われる。
ドーム取り付け体５のうち、サセプタ１０と対峙する高さ位置には、ガス供給口１２とガス排出口１３とが対向配置されている。ガス供給口１２からは、膜形成室２内にＳｉＨＣｌ３などのＳｉソースガス（原料ガス）を水素ガス（キャリアガス）で希釈し、それにドーパントを微量混合した反応ガスが、シリコンウェーハＷの表面に対して平行（水平方向）に供給される。この供給された反応ガスは、シリコンウェーハＷの表面を通過してエピタキシャル膜成長後、ガス排出口１３より装置１の外に排出される。
【０００４】
近年、エピタキシャルウェーハにとっては、エピタキシャル層表面での抵抗率の均一分布が、きわめて重要な要求事項になってきた。ところで、このエピタキシャル成長時では、高温のエピタキシャル成長処理が実施されることから、エピタキシャル成長処理中にウェーハ内のドーパントが外方拡散し、外方拡散したドーパントがエピタキシャル膜内に取り込まれる現象、いわゆるオートドープ現象が発生する。このため、形成されたエピタキシャル膜面内において、ドーパント濃度のバラツキを生じ、エピタキシャル膜の外周縁部の抵抗率が低下して面内の抵抗率分布が均一化しない問題が生じていた。特に、シリコンウェーハＷのドーパント濃度より低濃度のエピタキシャル成長を行う場合には、エピタキシャル膜中のドーパント濃度がウェーハ外周部において上昇する現象が見られる。その結果、エピタキシャル膜のドーパント濃度がスペック外となる領域が発生し、デバイスの歩留り低下を招いている。
このオートドープによるエピタキシャル膜面内の抵抗率分布の悪化を防ぐため、通常、ウェーハの裏面あるいはエピタキシャル膜が形成されるウェーハ表面を除く露出面の全体に保護膜がコーティングされたシリコンウェーハを使用することで、シリコンウェーハＷからのオートドープを防止している。オートドープ防止用の保護膜としては、ＣＶＤ法によるシリコン酸化膜が一般的であり、その他、ゲッタリング能を付与するためにウェーハ裏面に形成される多結晶シリコン膜も、オートドープを防止する保護膜として機能する。一般的に、裏面のみが酸化シリコンで覆われている。このウェーハの裏面周縁部は被覆されていないが、小面積故にこの周縁部からの外方拡散は極微小である。
このように、保護膜を有するウェーハを使用することは、オートドープの抑制に有効ではある。
しかしながら、これは、ＣＶＤ装置などの専用設備や追加の処理工程が必要となる。エピタキシャルウェーハにデバイスを作製するデバイス工程の種類によっては、裏面の保護膜を除去したエピタキシャルウェーハの提供を要求される場合もある。この場合には、エピタキシャル成長処理後に保護膜を除去するための研磨やエッチングなどの工程も必要となる。このため、エピタキシャルウェーハがコスト高となり、近年高まる低価格エピタキシャルウェーハの提供の要求を満たすことができない。
しかも、裏面に保護膜が形成されたエピタキシャルウェーハは、エピタキシャル成長中、ウェーハ裏面からほとんど外方拡散によるドーパント放出が行われていないため、裏面側表層部のドーパント濃度が非常に高いエピタキシャルウェーハとなっている。このため、このエピタキシャルウェーハはその裏面の保護膜が除去されて使用されるデバイス工程にあって、高温でのデバイス熱処理時にウェーハ裏面側からドーパントが多量に放出されるという、オートドープが発生し、大きな抵抗率変化を引き起こすという問題もある。
【０００５】
そこで、これらの問題点を解消するものとして、例えば図２３に示すように、サセプタ１０のポケット１０ａの底壁の略全面に多数の貫通孔１０ｃを形成したサセプタ１０を使用し、エピタキシャル成長処理する方法が提案されている。
しかしながら、各貫通孔１０ｃの開口率および開口面積を一定と仮定したとき、このようにポケット底壁の略全面に分散して貫通孔１０ｃが存在する場合には、貫通孔１０ｃの形成領域と非形成領域の温度差により生じるシリコンウェーハＷの表面のナノトポグラフィは大きく劣化する。
また、このポケット底壁の中心位置から半径１／２までの領域は、エピタキシャル成長装置におけるエピタキシャル成長プロセス温度の測定領域である。そのため、この領域に貫通孔１０ｃを形成すると、プロセス温度測定にバラツキを生じ、その結果、エピタキシャル膜にスリップが発生する可能性が高くなる。
一方、前述したように反応ガスはシリコンウェーハＷの表面に対して平行に膜形成室２に供給される（図２２）。そのため、膜形成室２に流れ込んだ反応ガスの一部は、サセプタ１０の外周壁に衝突する。これにより、サセプタ１０の上縁部付近で反応ガスの気流が乱れ、反応ガスがシリコンウェーハＷの外周面と十分に接触し難くなる。その結果、この部分のエピタキシャル膜が表面部分のそれに比べて薄くなるという現象が発生していた。この現象は、シリコンウェーハＷの裏面に、オートドープ防止用の保護膜の有無にかかわらず発生する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、従来、このエピタキシャル成長工程を通して、エピタキシャル膜の外周部の膜厚の低下を防止する方法が開発されている。具体例を挙げれば、(1) エピタキシャル膜の成長速度を低下させる方法、(2) サセプタ１０の底壁の上面から側壁の上端面までの高さＤを低くする方法などである。この高さＤは、一般的に０．５５〜１．００ｍｍである。
しかしながら、(1) 成長速度を低下させる方法によれば、エピタキシャル膜の成長に長い時間が必要となり、シリコンウェーハＷの生産性の向上を阻害するおそれがあった。また、(2) 上記高さＤを低くすると、搬送中のシリコンウェーハＷが、わずかな振動でもポケット１０ａから飛び出すおそれがあった。
また、従来の貫通孔１０ｃは、その軸線方向をサセプタ１０の底壁の厚さ方向に向けて形成されていた。その結果、輻射熱は、この貫通孔を通り抜け、シリコンウェーハ裏面に直接吸収される。この結果、シリコンウェーハの加熱が不均一となっていた。
この発明は、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じる半導体ウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができ、さらにはポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたエピタキシャル膜へのスリップの発生を防止することができ、そしてウェーハ裏面からのオートドープの影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
また、この発明は、ウェーハ裏面から放出されるドーパントの排出効果を大きくすることができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
さらに、この発明は、サセプタ母材に起因したウェーハ汚染を防止することができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
さらに、この発明は、ウェーハ裏面に保護膜を形成することなく、エピタキシャル成長を行うことで、エピタキシャルウェーハの低コスト化を実現することができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
さらに、この発明は、デバイス工程での熱処理時に、オートドープが発生しないエピタキシャルウェーハの提供を目的とするものである。
さらに、この発明は、貫通孔の形成部における輻射熱の低下を抑制し、半導体ウェーハの裏面の光沢ムラの発生を抑制することができるエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を提供することを、その目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケットを有し、このポケットに半導体ウェーハが載置されるエピタキシャル成長用サセプタにおいて、その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、複数の貫通孔の開口面積の総和を、底壁の面積の０．０５〜５５％としたエピタキシャル成長用サセプタである。
略円形とは円形、楕円形またはそれに類似する形状などが挙げられる。また、多角形とは三角形、四角形、五角形またはそれ以上の角形が挙げられる。
半導体ウェーハの種類は限定されない。例えば、シリコンウェーハでもよいし、ガリウム砒素ウェーハでもよい。ＳＯＩウェーハでも、選択的に成長させられたエピタキシャルウェーハでもよい。
複数の貫通孔の開口面積の総和が底壁の面積の０．０５％よりも小さければ、ウェーハ裏面から外方拡散するドーパントを効果的に排出することが困難となる。また、これが５５％を超えると、ウェーハ中心部と外周部との温度差が大きくなりエピタキシャル膜にスリップ転位が発生したり、サセプタ自体の強度が低下してエピタキシャル反応中にサセプタが割れるなどの問題がある。
この第１の発明によれば、複数の貫通孔を、底壁の中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、これらの貫通孔の開口面積の総和を底壁の面積の０．０５〜５５％としたので、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じる半導体ウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。また、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたスリップの発生を防止することができる。さらには、ウェーハ裏面からオートドープの影響が現れる半導体ウェーハにおいて、このオートドープの影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることも可能となる。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明にあって、上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部を備えたエピタキシャル成長用サセプタである。
半導体ウェーハの裏面全体を面支持するようなサセプタ構造によれば、ウェーハ裏面全体に水素ガスなどのキャリアガスが回り込み難くなる。これにより、ウェーハ裏面から放出されるドーパントの排出効果が小さくなる。このため、ウェーハ裏面とサセプタ上面とに若干の空間が形成されるように、ウェーハ外周部と面接触あるいは線接触あるいは点接触してウェーハを支持する支持部をサセプタに形成することが有効である。
第３の発明は、第１の発明にあって、上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、ＳｉＣ膜が被着されたエピタキシャル成長用サセプタである。
サセプタの露出面および貫通孔の内面にＳｉＣ膜がコーティングされていることから、例えば炭素部材からなるサセプタ母材からの炭素汚染など、使用するサセプタ母材に起因した汚染を確実に防止することができる。
第４の発明は、第１の発明にあって、上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をＳｉＣ材により構成したエピタキシャル成長用サセプタである。
前述したサセプタの露出面および貫通孔の内面にＳｉＣ膜をコーティングしたサセプタの作製にあっては、全ての貫通孔内面に対してＳｉＣ膜を一様にコーティングすることが難しく、一部の貫通孔内面において、ＳｉＣ膜の剥離が発生するおそれがある。そこで、少なくとも貫通孔が形成されるサセプタ領域部の母材そのものをＣＶＤ法などにより積層したＳｉＣ材により構成することで、サセプタ母材に起因した汚染を確実に防止することができる。もちろん、サセプタ全体をＳｉＣ材で構成してもよい。
第５の発明は、第１の発明にあって、上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜したエピタキシャル成長用サセプタである。
すなわち、底壁に形成された各貫通孔は、その軸線が底壁面と直交しておらず、底壁面に対して所定角度だけ傾斜している。
貫通孔の傾斜角度は、例えば２０〜７０度である。また、貫通孔の傾斜方向は限定されない。底壁の上面から下面に向かって底壁の内方向または外方向への傾斜などが挙げられる。
この第５の発明によれば、貫通孔が底壁の厚さ方向に沿って延在するのではなく、所定角度で傾斜しているので、サセプタの裏面側からの熱が、直接、貫通孔を通して半導体ウェーハに伝達されにくい。そのため、底壁の貫通孔の形成部における輻射熱の低減を抑制し、半導体ウェーハの裏面の光沢ムラの発生を抑制することができる。
【０００９】
第６の発明は、略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成されるポケットを有し、このポケットに半導体ウェーハが載置されるエピタキシャル成長用サセプタにおいて、その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、各貫通孔の開口面積を０．２〜３．２ｍｍ２とし、かつ、これらの貫通孔の密度を０．２５〜２５個／ｃｍ２としたエピタキシャル成長用サセプタである。
開口面積が０．２ｍｍ２未満の貫通孔を形成することは、機械加工精度の観点から技術的に困難であり、開口面積が３．２ｍｍ２を超える貫通孔を形成した場合には、開口面積が大きすぎるため、温度分布が不均一となり、ナノトポグラフィの劣化やスリップの発生が顕著となる。
一方、貫通孔の密度が０．２５個／ｍｍ３未満では、原料ガスの流通が小さいため、エピタキシャル膜の外周部の膜厚低下を防止することができない。また、ウェーハ裏面から排出されるドーパントの排出効果も小さいため、オートドープの影響を排除することができなくなる。また、貫通孔の密度が２５個／ｍｍ３を超えると、サセプタそのものの強度が低下し、エピタキシャル成長処理中、サセプタが反るまたは割れるなどの不都合が生じる。
この第６の発明によれば、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じるウェーハ表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。さらには、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたスリップの発生を防止することができる。そして、ウェーハ裏面からのオートドープの影響が現れる半導体ウェーハの場合には、その影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができる。
第７の発明は、第６の発明に係るエピタキシャル成長用サセプタにおいて、上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部を備えたエピタキシャル成長用サセプタである。
第８の発明は、第６の発明に係るサセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、ＳｉＣ膜が被着されたエピタキシャル成長用サセプタである。
第９の発明は、第６の発明に係るサセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をＳｉＣ材により構成したエピタキシャル成長用サセプタである。
第１０の発明は、第６の発明に係るサセプタの貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜したエピタキシャル成長用サセプタである。
【００１０】
第１１の発明は、半導体ウェーハをサセプタのポケット内に搭載し、このサセプタの上面側に原料ガスおよびキャリアガスを、その下面側にキャリアガスをそれぞれ供給することにより、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させるエピタキシャル成長方法にあって、上記ポケットは、略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成され、その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、複数の貫通孔の開口面積の総和を、底壁の面積の０．０５〜５５％としたエピタキシャル成長方法である。
原料ガスとしては、例えばＳｉＨ４、ＳｉＨ２Ｃｌ２、ＳｉＨＣｌ３、ＳｉＣｌ４ などを採用することができる。
キャリアガスとしては、例えば水素ガス、不活性ガスなどを採用することができる。
この第１１の発明によれば、ポケットに半導体ウェーハを搭載後、サセプタの上面側には原料ガスおよびキャリアガスを流し、その下面側にはキャリアガスを流しながらエピタキシャル成長する。これにより、サセプタの外周部では、サセプタの下面側を流れるキャリアガスにより生じた負圧力により、サセプタの上面側を流れる原料ガスの一部が、半導体ウェーハの外周部とサセプタの側壁との隙間から各貫通孔を介してサセプタの下面側に流れ込む。その結果、ウェーハ外周部の表面にも、十分な原料ガスを供給することができる。よって、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもサセプタの底壁の中心から半径１／２の領域には貫通孔が存在しないので、ポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じる半導体ウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。また、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたスリップの発生を防止することができる。
さらに、表裏両面が半導体単結晶面で構成された半導体ウェーハにエピタキシャル成長処理を施す場合、エピタキシャル成長処理中にウェーハ裏面からドーパントが外方拡散される。しかしながら、上記負圧力の作用によりドーパントはサセプタの下面側に排出され、エピタキシャル膜内に取り込まれにくくなる。その結果、ウェーハ裏面からのオートドープの影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができる。もちろん、裏面に酸化膜または多結晶膜が形成されたオートドープの影響がない半導体ウェーハにエピタキシャル成長処理を施してもよい。この場合でも、エピタキシャル膜の外周部の膜厚の低下を抑制することができる。
【００１１】
第１２の発明は、第１１の発明に係る方法にあって、上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部が設けられたエピタキシャル成長方法である。
第１３の発明は、第１１の発明に係る方法にあって、上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、ＳｉＣ膜が被着されたエピタキシャル成長方法である。
第１４の発明は、第１１の発明に係る方法にあって、上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をＳｉＣ材により構成したエピタキシャル成長方法である。
第１５の発明は、第１１の発明に係る方法にあって、上記サセプタの下面側に供給されるキャリアガスが水素含有ガスで、その流量が３〜１００リットル／分であるエピタキシャル成長方法である。
サセプタの下面側に流すキャリアガスの流量が３リットル／分未満では、サセプタに設けられた貫通孔からドーパントを吸い出す作用が小さすぎて、オートドープの低減効果が十分得られない。また、１００リットル／分を超えると、ドーパント排出効果は増大するが、ドーパントを含むキャリアガスが適切にガス排出口から排出されず、その一部が原料ガス中に流れ込み、エピタキシャル膜中の抵抗率分布が悪化する。
第１６の発明は、第１１の発明に係る方法にあって、上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜したエピタキシャル成長方法である。
【００１２】
第１７の発明は、半導体ウェーハをサセプタのポケット内に搭載し、このサセプタの上面側に原料ガスおよびキャリアガスを、その下面側にキャリアガスをそれぞれ供給することにより、半導体ウェーハの表面にエピタキシャル膜を成長させるエピタキシャル成長方法にあって、上記ポケットは、略円形の底壁と、これを取り囲む側壁とにより形成され、その開口形状が略円形乃至多角形の複数の貫通孔を上記底壁にてその中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、各貫通孔の開口面積を０．２〜３．２ｍｍ２とし、かつ、これらの貫通孔の密度を０．２５〜２５個／ｃｍ２としたエピタキシャル成長方法である。
この第１７の発明によれば、サセプタのポケットに半導体ウェーハを搭載し、サセプタの上面側には原料ガスおよびキャリアガスを流し、その下面側にはキャリアガスを流しながらエピタキシャル成長する。このとき、サセプタの外周部では、サセプタの下面側を流れるキャリアガスにより生じた負圧力の作用で、各貫通孔を介して、サセプタの上面側を流れる原料ガスの一部がサセプタの下面側に流れ込む。その結果、ウェーハ外周部の表面にも、十分な原料ガスを供給することができる。よって、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じる半導体ウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。また、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたスリップの発生を防止することができる。
さらには、表裏両面が半導体単結晶面で構成された半導体ウェーハの場合には、エピタキシャル成長処理中にウェーハ裏面からドーパントが外方拡散される。しかしながら、外方拡散されたドーパントは、上記負圧力の作用により、サセプタの下面側に排出される。そのため、このドーパントがエピタキシャル膜内に取り込まれにくい。その結果、ウェーハ裏面からのオートドープの影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができる。
【００１３】
第１８の発明は、第１７の発明に係る方法にあって、上記側壁には、載置される半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部が設けられたエピタキシャル成長方法である。
第１９の発明は、第１７の発明に係る方法にあって、上記サセプタの表面および各貫通孔の内壁面には、ＳｉＣ膜が被着されたエピタキシャル成長方法である。
第２０の発明は、第１７の発明に係る方法にあって、上記サセプタは、少なくとも各貫通孔の内壁をＳｉＣ材により構成したエピタキシャル成長方法である。
第２１の発明は、第１７の発明に係る方法にあって、上記サセプタの下面側に供給されるキャリアガスが水素含有ガスで、その流量が３〜１００リットル／分であるエピタキシャル成長方法である。
第２２の発明は、第１７の発明に係る方法にあって、上記貫通孔が、底壁の厚さ方向に対して傾斜したエピタキシャル成長方法である。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、この発明によれば、複数の貫通孔を、底壁の中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、これらの貫通孔の開口面積の総和を底壁の面積の０．０５〜５５％としたので、または、複数の貫通孔を底壁の中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域内に配設し、かつ、少なくとも半導体ウェーハが上方に載置される底壁領域内に貫通孔が含まれるように配設するとともに、各貫通孔の開口面積を０．２〜３．２ｍｍ２とし、これらの貫通孔の密度を０．２５〜２５個／ｃｍ２としたので、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じる半導体ウェーハの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができ、さらには貫通孔の形成コストを低減することができ、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたエピタキシャル膜へのスリップの発生を防止することができ、そしてウェーハ裏面からのオートドープの影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができる。
また、この発明は、半導体ウェーハの外周部のみに対して面接触、線接触または点接触してこの半導体ウェーハを支持する支持部を側壁に設けている。また、貫通孔はこの接触領域からウェーハ中心側に設けられている。ウェーハ外縁部ではシールがなされ、ウェーハ裏面から放出されるドーパントがこれらの貫通孔を介して拡散される。その結果、裏面からのオートドープの影響を最小化することができる。
さらに、この発明は、サセプタの表面および各貫通孔の内壁面にＳｉＣ膜を被着、または、サセプタの少なくとも各貫通孔の内壁をＳｉＣ材により構成したので、サセプタ母材に起因したウェーハ汚染を防止することができる。
さらに、この発明は、半導体ウェーハの裏面に保護膜を形成していないことで、エピタキシャルウェーハの製造コストを低くできる。
しかも、この発明のエピタキシャル成長方法によれば、エピタキシャル反応中、ウェーハ裏面から積極的にドーパントが外方拡散されることから、ウェーハ裏面表層部のドーパント濃度が極めて低いエピタキシャルウェーハを提供することができる。さらに、その後のデバイス工程におけるオートドープ発生を防止することもできる。そして、この発明のエピタキシャル成長用サセプタを使用した場合には、オートドープの問題はもちろんのこと、不純物汚染といったサセプタ構造に起因する問題を全て解決することができる。
さらにまた、この発明によれば、底壁の厚さ方向に対して貫通孔が傾斜しているので、サセプタの裏面側からの熱が、直接、貫通孔を通して半導体ウェーハに伝達されにくくなる。その結果、底壁の貫通孔の形成部における輻射熱の低減を抑制し、半導体ウェーハの裏面の光沢ムラの発生を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、この発明の一実施例に係るエピタキシャル成長用サセプタおよびエピタキシャル成長方法を説明する。また、本発明は、この実施例に限定されないことはもちろんである。図１は、この発明の一実施例に係るエピタキシャル成長用サセプタが搭載されたエピタキシャル成長装置を模式的に示した断面図である。図２は、この発明の一実施例に係るエピタキシャル成長用サセプタの使用状態を模式的に示した要部拡大断面図である。図３は、この発明の一実施例に係るエピタキシャル成長用サセプタの要部平面図である。図４は、この発明の一実施例に係るエピタキシャル成長用サセプタの要部拡大断面図である。
図５は、この発明の他の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した平面図である。図６は、この発明の他の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した要部断面図である。図７は、この発明の他の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した要部断面図である。
【００１６】
図１〜図４に示すように、エピタキシャル成長装置（以下、装置）１は、その内部にエピタキシャル膜の形成室２を有している。この膜形成室２は、上側ドーム３と下側ドーム４とドーム取り付け体５とを備えている。上記上側ドーム３および下側ドーム４は、石英などの透明な材料から構成され、装置１の上方および下方に複数配置されたハロゲンランプ６により、サセプタ１０およびシリコンウェーハＷが加熱される。使用されるシリコンウェーハＷは、直径２００ｍｍ、厚さ７４０μｍ、表面の面方向（１００）、比抵抗１５ｍΩｃｍのＰ型の片面が鏡面化されたシリコン単結晶ウェーハである。シリコンウェーハＷの裏面にはシリコン酸化膜（保護膜）が形成されておらず、ウェーハ表裏両面が単結晶のシリコン面となっている。
ドーム取り付け体５のうち、サセプタ１０と対峙する高さ位置には、ガス供給口１２とガス排出口１３とが対向配置されている。ガス供給口１２からは、膜形成室２内にＳｉＨＣｌ３などのＳｉソースガス（原料ガス）を水素ガス（キャリアガス）で希釈し、それにドーパントを微量混合した反応ガスが、シリコンウェーハＷの表面に対して平行（水平方向）に供給される。この供給された反応ガスは、シリコンウェーハＷの表面を通過してエピタキシャル膜成長後、ガス排出口１３より装置１の外に排出される。
また、ドーム取り付け体５のうち、ガス供給口１２の下方近傍には、サセプタ１０の下面側に水素ガスなどのキャリアガスを供給するガス供給口１４が形成されている。また、ドーム取り付け体５のうち、ガス排出口１３の下方近傍には、ガス供給口１４から供給された水素ガスを外部に排出するガス排出口１５が設けられている。なお、ガス排出口１５を設けずにエピタキシャル成長用の反応ガスなどを排出するガス排出口１３を兼用してもよい。
【００１７】
次に、図２〜図４を参照して、この実施例に係るサセプタ１０について説明する。ただし、この発明は何らこのサセプタ１０に限定されるものではない。
サセプタ１０は、サセプタ回転軸７に連なる支持アーム８によってその下面の外周部が嵌合されて回転する。このサセプタ１０は、シリコンウェーハＷより若干大径な直径２１５ｍｍの円形の底壁と、これを取り囲む円筒形状の側壁とにより形成されるポケット１０ａを有している。底壁と側壁とはそれぞれ炭素製である。このポケット１０ａにシリコンウェーハＷが収納、載置される。なお、サセプタ１０の大きさは、取り扱われるシリコンウェーハＷの口径に応じて適宜変更される。要は、底壁の外周縁とシリコンウェーハＷの外周縁との間に１〜１０ｍｍ程度の隙間が形成される大きさのサセプタ１０であればよい。ポケット１０ａの深さ、すなわちサセプタ１０の底壁の上面から側壁の上端面までの高さは、シリコンウェーハＷの厚さと略同じ８００μｍである。
また、底壁の外周部には、シリコンウェーハＷをピン支持して昇降させるための合計３本の貫通孔１０ｂが、周方向に１２０度間隔で配設されている。各貫通孔１０ｂには、シリコンウェーハＷを昇降させる昇降ピン９が遊挿されている。各昇降ピン９は支持アーム８に対して昇降自在に設けられている。これらの昇降ピン９は、支持アーム８とは別体でサセプタ回転軸７に昇降可能に設けられた複数のリフトアーム１１により昇降させられる。
また、この底壁の外周部には、ウェーハ外周部の表面に成長させられるエピタキシャル膜の膜厚低下を防止するとともに、シリコンウェーハＷの裏面から放出されるドーパントを排出するための複数の貫通孔１０ｃが形成されている。具体的には、底壁の外周縁からウェーハ半径方向内側に向かって２０ｍｍの範囲に貫通孔１０ｃが形成されている。
【００１８】
まず、貫通孔１０ｂについて詳述する。
エピタキシャル成長中にあっては、貫通孔１０ｂ内に昇降ピン９が吊持されることから、貫通孔１０ｂ内は実質的に閉蓋状態にある。そのため、貫通孔１０ｂはドーパント排出用の貫通孔としての役割をほとんど果たさない。また、このウェーハ昇降用の貫通孔１０ｂはベルヌイチャック方式などによるウェーハ搬送を行うエピタキシャル成長装置にあっては不要であり、設ける必要はない。
このように、貫通孔１０ｂは、エピタキシャル成長中には、ドーパント排出用の貫通孔としての役割をほとんど果たさない。しかしながら、ウェーハ昇降用の貫通孔１０ｂ内をガスが流通するように溝加工することで（図５）、ドーパント排出用の貫通孔として兼用することができる。具体的には、図６で示すように、支持ピン９のヘッド部の両端（ｘ軸方向）と接触支持する溝部と、図７で示すように、支持ピン９のヘッド部の両端（ｙ軸方向）と接触支持しない溝部を形成したものである。この場合、貫通孔１０ｂ内へのガス流れを促進させるために、ポケット１０ａの底壁表層部にメッシュ（網目状）加工を施しておくことが望ましい。
【００１９】
次に、貫通孔１０ｃについて説明する。
各貫通孔１０ｃは、上述のように、円形で直径２１６ｍｍの底壁に形成されている。この実施例では、図３に示すように、貫通孔が７列で、全体で８３４個存在する。各貫通孔１０ｃは平面視して円形の孔で、直径１ｍｍ、開口面積０．７９ｍｍ２、密度７．３個／ｃｍ２で底壁に形成されている。貫通孔１０ｃの開口面積の総和が、底壁の面積の１．８％となっている。この貫通孔１０ｃは、少なくとも、ウェーハ外周部が上方に位置するサセプタ１０の領域内に形成されている。上述のサイズと密度とを有する、すくなくとも１列の貫通孔、好ましくはすくなくとも２列の貫通孔が、この領域に設けられている。ウェーハ径を超えるサセプタ１０の外周部領域（ウェーハの外側領域）に貫通孔１０ｃを形成した場合には、サセプタ１０の外周部において温度バラツキを生じるため、エピタキシャル膜へのスリップ転位が発生しやすく、またウェーハ裏面から排出されるドーパントガスの排出効果が低減し、オートドープの影響を排除することができない。
また、図２および図４に示すように、ポケット１０ａの側壁には外周側から内周側下方に向けて傾斜するテーパー形状にして（傾斜面）シリコンウェーハＷの外周部を線接触状態で支持する支持部１０ｄが設けられている。これにより、載置されるシリコンウェーハＷは、中央部においてウェーハ裏面とポケット１０ａの底壁との間に少なくとも１００μｍ程度の空間が形成される。その結果、ウェーハ裏面側への水素ガスの回り込みが促進され、ウェーハ裏面から放出されるドーパントの排出効果が大きくなる。
【００２０】
図８は、この発明の別の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した断面図である。図９は、図８に示すエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した平面図である。また、図１１はこの発明のまた別の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した平面図であり、ポケット１０ａの底壁に形成された各貫通孔は浅いチャネル（環状の溝）１０ｆで連結または接続されている。
図８に示すように、支持部１０ｄはまたシリコンウェーハＷの外周部のみを面接触して支持するように構成してもよい。または、支持部１０ｄの表面部に凹凸部を設けて、シリコンウェーハＷの外周部を点接触状態で支持するように構成してもよい。
図８および図９に示すサセプタ１０は、底壁および側壁とは異なる素材を用いて形成することができる。このサセプタ１０では、貫通孔１０ｃが形成されたポケット１０ａの底壁の全てをＳｉＣ材で形成するとともに、ポケット１０ａの側壁には、炭素母材にＳｉＣ（炭化ケイ素）膜をコーティングした部材を採用している。なお、底壁の表面にＳｉＣ膜をコーティングしてもよいし、側壁をＳｉＣ材で形成してもよい。また、貫通孔１０ｃの内壁だけにＳｉＣ膜をコーティングしたり、この内壁だけをＳｉＣ材で形成してもよい。底壁は、側壁の底部に形成された支持部１０ｅに固定されている。これにより、サセプタ１０の母材からの炭素汚染などを効果的に排除することができる。
ここでは、各貫通孔１０ｃはサセプタ１０の面内の温度分布を考慮して、ポケット１０ａの底壁のうち、その中心から半径の１／２の距離より半径方向の外側の外周領域全体に形成されている。
【００２１】
また、図１０に示すように、サセプタ１０の外周部に形成される貫通孔１０ｃを底壁の厚さ方向に対して４５度だけ傾斜させてもよい。これにより、サセプタ１０の裏面側からの熱が、直接、貫通孔１０ｃを通してシリコンウェーハＷに伝達されにくい。そのため、傾斜角は２０〜７０度の範囲であれば、底壁の貫通孔１０ｃの形成部における輻射熱の低減を抑制し、シリコンウェーハＷの裏面の光沢ムラの発生を抑制することができる。
図１１はこの発明に係るサセプタの他の実施態様を示している。ウェーハが載置されるサセプタの領域内でサセプタの外周部には環状一列の貫通孔が配設されている。これらの貫通孔は浅い環状の溝またはチャネルで連結または接続されている。この溝の幅は例えば貫通孔の直径の１．５倍より少しだけ大きい。その溝の断面積が貫通孔の開口表面積の約５０％〜１００％、好ましくは貫通孔のそれに近似するように、この溝の深さは規定される。製造上の観点からは、この環状溝の底は平坦とする。
この環状溝を形成した実施例では、以下の利点を有する。
（１）ウェーハ裏面外周部からのドーパントのオートドープを、外周部の貫通孔だけの場合よりも、より効果的にコントロールできる。
（２）外周部に貫通孔を配置するだけの場合に比較してウェーハ中心部でのナノトポグラフィを改善することができる。すなわち、貫通孔の減少によりナノトポグラフィが改良される。
（３）この溝により、ウェーハ外周部で、ウェーハとサセプタとの間に隙間が形成され、この隙間により、貫通孔を通ってきたドーパントガスの流れをスムーズにすることができる。
（４）この溝がドーパントガスの流れを改良するため、貫通孔の配設密度を低減でき、かつ、ナノトポグラフィをさらに改善することができる。
（５）浅い溝では、貫通孔の場合よりもナノトポグラフィの劣化に対しての影響は小さい。ナノトポグラフィに影響を与える熱の均一分布の維持に十分な熱容量を、サセプタが有しているからである。
図１１には一列のみの貫通孔を例示したが、これより多い貫通孔列を配置しても良い。
【００２２】
実施例と比較例
図３に示すサセプタ１０が搭載された枚葉式のエピタキシャル成長装置によるエピタキシャル成長方法を説明する。
まず、定法に則り表面を鏡面研磨したＣＺシリコンウェーハＷをサセプタ１０のポケット１０ａに載置する。
そして、シリコンウェーハＷを、１１５０℃で２０秒間の水素ベーク処理の後、シリコンソースガスであるＳｉＨＣｌ３およびボロンのソースガスであるＢ２Ｈ６を水素ガスで希釈した混合反応ガスを装置１内に５０リットル／分により供給し、エピタキシャル成長温度１０７０℃で、厚さ約６μｍ、比抵抗１０ΩｃｍのＰ型のエピタキシャル膜をウェーハ表面上に成長させる。
反応ガス供給口１２から供給された反応ガスは、装置１の上方および下方に複数配置されたハロゲンランプ６によってサセプタ１０およびシリコンウェーハＷが加熱される膜形成室２内を通過し、シリコンウェーハＷの表面にエピタキシャル膜を形成した後、ガス排出口１３から装置１に排出される。これとは別にガス供給口１４からは、水素ガスを、サセプタ１０の下面側を通過するように１５リットル／分の流量で膜形成室２内に供給し、その後、水素ガスをガス排出口１５から排出する。
この場合、複数の貫通孔１０ｃが、底壁の外周部領域に配設され、しかも各貫通孔１０ｃの開口面積の総和が底壁の面積の１．８％としたサセプタ１０（図３参照）を用いる。すなわち、そのポケット１０ａにシリコンウェーハＷを搭載後、サセプタ１０の上面側には反応ガスを流し、その下面側には水素ガスを流しながらエピタキシャル成長する。このとき、図２に示すように、サセプタ１０の外周部では、サセプタ１０の下面側を流れる水素ガスにより生じた負圧力の作用で、各貫通孔１０ｃを介して、サセプタ１０の上面側を流れる反応ガスの一部がサセプタ１０の下面側に流れ込む。これにより、ウェーハ外周部の表面に多量の反応ガスが接触することになる。よって、エピタキシャル膜の膜厚の均一化が図れ、しかもポケットの底壁に形成された複数の貫通孔の形成領域と非形成領域の温度差により生じるシリコンウェーハＷの表面のナノトポグラフィの劣化を低減することができる。また、サセプタにあってはその開口面積を上述のように規定したため、貫通孔の形成コストを低減することができる。また、このポケット底壁への貫通孔の形成を原因としたエピタキシャル膜へのスリップの発生を防止することができる。
さらに、シリコンウェーハＷの裏面に、オートドープを防止するシリコン酸化膜が形成されておらず、ウェーハ表裏両面がシリコン単結晶面で構成されるので、エピタキシャル成長処理中にウェーハ裏面からドーパント（ボロン）が外方拡散される。しかしながら、この外方拡散されたドーパントは、上記負圧力の作用により、サセプタ１０の下面側に排出される。そのため、このドーパントがエピタキシャル膜内に取り込まれにくい。その結果、エピタキシャル膜のドーパント濃度がシリコンウェーハＷのドーパント濃度より低濃度で、ウェーハ裏面からのオートドープの影響が大きいシリコンウェーハＷの場合であっても、この影響を排除し、エピタキシャル膜面内のドーパント濃度の均一性を向上させることができる。
【００２３】
ここで、実際にこの発明の一実施例に基づくこの発明の試験例と、従来法による比較例とを対比した結果を報告する。
比較例では、この発明の試験例と同様に、図１に示す枚葉式のエピタキシャル成長装置を使用し、サセプタ１０の回転軸７などの膜形成室２の下方における炉内部材へのシリコン析出防止の観点から、ガス供給口１４から１５リットル／分の水素ガスを供給した。使用するサセプタ１０は、図２０に示す従来型のサセプタを用いてエピタキシャル成長処理した。
この発明例および比較例で得られたそれぞれのエピタキシャルシリコンウェーハについて、外周から３ｍｍまでの領域を除くエピタキシャル膜中の半径方向のドーパント濃度分布をＳＣＰ装置（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｃｈａｒｇｅ  Ｐｒｏｆｉｌｅｒ）を用いて測定した。その結果を、図１２のグラフに示す。また、この測定結果を基にエピタキシャル膜中の半径方向の抵抗率分布を求めた結果を図１３に示す。図１２はこの試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおけるエピタキシャル膜中の半径方向のドーパント濃度の分布を示すグラフ、図１３はこの試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおけるエピタキシャル膜中の半径方向の抵抗率の分布を示すグラフである。
【００２４】
図１２および図１３から明らかなように、この発明例ではエピタキシャル膜中のドーパント濃度が半径方向に均一に取り込まれており、目標とする比抵抗１０ΩｃｍのＰ型のエピタキシャル膜が面内均一に得られていることが分かる。これに対し、比較例では外周部においてドーパント濃度が高く、これに対応してその抵抗率分布が外周部で大きく低下していることが分かる。
また、図１４のグラフに示すように、ここでのウェーハ外周部、特に外周縁から２〜３ｍｍまでの領域では、エピタキシャル膜の膜厚が急激に落ち込む。この落ち込みは、エピタキシャル膜の成膜工程でのフラットネス劣化に大きく関係する。図１４は、試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおけるエピタキシャル膜の膜厚の変化を示すグラフである。
従来のサセプタでは、ウェーハ外周縁から２〜１０ｍｍの領域、詳しくはこの外周縁から２〜５ｍｍの領域で、エピタキシャル膜の膜厚の均一性が崩れ、極端にエピタキシャル膜が薄くなっていた。その結果、エピタキシャル成長後のフラットネス（ＳＦＱＲなど）は、エピタキシャル成長前のシリコンウェーハのフラットネスに比べて、大きく崩れていた。これに対して、この発明のサセプタでは、エッジ領域に十分な反応ガスを供給できるため、ウェーハ外周部におけるエピタキシャル膜の膜厚低下を大幅に改善できるようになった。
次に、図１５のグラフに基づき、ウェーハ表面のナノトポグラフィの劣化が、サセプタの外周部に複数の貫通孔を形成することで改善される点を説明する。
【００２５】
図１５は、試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハの外周部におけるナノトポグラフィを示すグラフである。ナノトポグラフィは、ウェーハ表面からのレーザ光の反射角に基づいて測定される（ＳＥＭＩ標準ｍ４３に記載されるように）。図１５中、Ｓ＝０の線グラフは、貫通孔の開口面積が０ｍｍ２、すなわち底壁の外周部に貫通孔が形成されていないサセプタを使用したときのナノトポグラフィを示し、Ｓ＝３．１４は開口面積が３．１４ｍｍ２（直径２ｍｍ）貫通孔が底壁の外周部に形成されたサセプタを使用したときのナノトポグラフィを示す。なお、例えば、ポケットの底壁の全域に分散して貫通孔が存在する場合には、貫通孔の形成領域と非形成領域との温度差で生じるナノトポグラフィの劣化はウェーハ全面に点在して発生する。これに対して、本発明では底壁の中心から半径１／２の距離より半径方向の外側の外周領域に貫通孔を形成していることから、ウェーハ面内においてナノトポグラフィの劣化がない領域部分が拡大され、ナノトポグラフィの劣化が低減された高品位なエピタキシャルウェーハが得られる。また、サセプタの底壁の中心から半径１／２までの領域は、エピタキシャル成長装置におけるプロセス温度の測定領域である。そのため、この発明では、この領域を外して貫通孔を形成するので、エピタキシャル膜へのスリップの発生が抑制される。また、貫通孔の形成数も従来のサセプタに比べて少ないので、サセプタの制作コストも安価になる。
【００２６】
次に、図１６のグラフに、この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおける貫通孔の開口面積と貫通孔形成部のＰ−Ｖ値との関係を示す。この開口面積と貫通孔形成部のＰ−Ｖ値との関係から明らかなように、ナノトポグラフィの劣化に対するリスクを最小とするためには、できるだけ貫通孔の開口面積は小さい方が好ましい。
次に、図１７のグラフを用いて、貫通孔が存在する領域とウェーハエッジ領域でのエピタキシャル膜の膜厚の落ち込み量との関係について説明する。図１７は、この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおける貫通孔の形成領域とウェーハ外周部のエピタキシャル膜の膜厚落ち込み量との関係を示すグラフである。
図１７のグラフから、サセプタのポケットの外周縁から約５０ｍｍ（サセプタの底壁の中心から半径１／２）付近まで貫通孔が存在すれば、この膜厚の落ち込みが防止できることがわかった。
【００２７】
次に、図１８に示す試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおける貫通孔の開口面積とスリップ発生量との関係のグラフを用いて、貫通孔の開口面積とスリップ発生量について説明する。
貫通孔の開口面積については、貫通孔形成における機械加工精度の制限から、円柱孔として考察したとき、０．２ｍｍ２未満の貫通孔は形成できないと考えられる。０．２ｍｍ２以上の貫通孔については、ナノトポグラフィの劣化の問題とスリップの発生の問題が制約条件となる。よって、ナノトポグラフィの劣化量を１０ｎｍ以下、および、このスリップの発生を回避するために必要な貫通孔の開口面積は３．２ｍｍ２以下となる。
さらに、貫通孔の開口面積と貫通孔の密度との関係によりウェーハ外周部への反応ガスの供給比率は大きく変化する。すなわち、図１に示すような反応ガスのサセプタ下側への流れの影響を、ウェーハ周方向に対して均一に高めて、オートドープの影響およびウェーハ外周部でのエピタキシャル膜厚の低下を極力抑えるには、できるだけ小さな貫通孔をできるだけ高密度に配置することが望ましい。すなわち、サセプタの強度および貫通孔の加工精度の問題を考慮すると、貫通孔の密度の最適範囲は、おおよそ０．２５〜２５個／ｃｍ２程度となる。
なお、この試験例では枚葉式のエピタキシャル成長装置を用いて説明したが、何らこれに限定されるものではなく、従来から実施されている複数枚のウェーハを一度に処理するバッチ式のエピタキシャル成長装置においても適用可能であることは言うまでもない。また、この発明の方法は、ベルヌイチャック方式によるウェーハ搬送を行うウェーハ成長装置にあっても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】この発明の一実施例に係るエピタキシャル成長用サセプタが搭載されたエピタキシャル成長装置を模式的に示した断面図である。
【図２】この発明の一実施例に係るエピタキシャル成長用サセプタの使用状態を模式的に示した要部拡大断面図である。
【図３】この発明の一実施例に係るエピタキシャル成長用サセプタの要部平面図である。
【図４】この発明の一実施例に係るエピタキシャル成長用サセプタの要部拡大断面図である。
【図５】この発明の他の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した平面図である。
【図６】この発明の他の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した要部断面図である。
【図７】この発明の他の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した要部断面図である。
【図８】この発明の別の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した断面図である。
【図９】この発明のまた別の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した平面図である。
【図１０】この発明のさらに別の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模試的に示した要部断面図である。
【図１１】この発明のさらにまた別の実施の形態に係るエピタキシャル成長用サセプタを模試的に示した要部断面図である。
【図１２】この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおけるエピタキシャル膜中の半径方向のドーパント濃度の分布を示すグラフである。
【図１３】この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおけるエピタキシャル膜中の半径方向の抵抗率の分布を示すグラフである。
【図１４】この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおけるエピタキシャル膜の膜厚の変化を示すグラフである。
【図１５】この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハの外周部におけるナノトポグラフィを示すグラフである。
【図１６】この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおける貫通孔の開口面積と貫通孔形成部のＰ−Ｖ値との関係を示すグラフである。
【図１７】この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおける貫通孔の形成領域とウェーハ外周部のエピタキシャル膜の膜厚落ち込み量との関係を示すグラフである。
【図１８】この試験例および比較例で得られたエピタキシャルウェーハにおける貫通孔の開口面積とスリップ発生量との関係を示すグラフである。
【図１９】従来手段に係るエピタキシャル成長装置を模式的に示した断面図である。
【図２０】従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した平面図である。
【図２１】従来手段に係る他のエピタキシャル成長用サセプタを模式的に示した断面図である。
【図２２】この発明の従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタの使用状態を模式的に示した断面図である。
【図２３】この発明の別の従来手段に係るエピタキシャル成長用サセプタの使用状態を模式的に示した平面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【国際調査報告】
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