(57)【要約】パッケージ装置（１０，１００）は、パッケージ基板（１２，１２２）のキャビティ（２０，１２０）に１つの集積回路（２２，１２２）を有し、該集積回路（２２，１２２）はパッケージ基板の一側（５０，１５０）に電気接続される。パッケージ装置の別の一側には第２集積回路（３２，１３２）が実装され、同様にその一側に電気接続される。第３の集積回路（３８，１３８）またはより多くの集積回路が第２集積回路に実装されてもよい。パッケージ基板の両側には試験に有用なパッド（１６，１１６，１１６）が存在する。集積回路は、機能しない集積回路を内蔵した完成パッケージを提供する危険を減らすために、最終的な封止の前に試験され得る。
2005535103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージ装置（１０，１００）を製作する方法であって、
第１面（５０，１５０）と第２面（５２，１５２）を有し、かつ第１面に第１パッド（１６，１１６）および第２面に第２パッド（１６，１１６）を有するパッケージ基板（１２）を提供する工程；
第１面に第１集積回路（２２，１２２）および第２面に第２集積回路（３２，１３２）を配置する工程；
第１集積回路を第１パッドに、および第２集積回路を第２パッドに、電気接続する工程；および
第１パッドおよび第２パッドに試験探針（４４，１４４）を適用することにより、第１集積回路と第２集積回路を試験する工程；
から成る方法。
【請求項２】
パッケージ装置（１０，１００）を製作する方法であって、
第１平面に沿った第１表面（５０，１５０）と、第２平面に沿った第２表面（５２，１５２）と、第１平面と第２平面の間のキャビティ（２０，１２０）とを有するパッケージ基板（１２，１１２）を提供する工程；
前記キャビティの中に第１集積回路（２２，１２２）を配置する工程；
前記キャビティの外に第１集積回路に隣接して第２集積回路（３２，１３２）を配置する工程；および
第１集積回路と第２集積回路の上に封止材料（２８，４６，１３８，１４６）を堆積させる工程；
から成る方法。
【請求項３】
前記堆積させる工程が、
第２集積回路を配置する工程の前に、第１集積回路（２２，１２２）の上に封止材料の第１部分（２８，１２８）を堆積させる工程；および
第２集積回路（３２，１３２）の上に封止材料の第２部分（４６，１４６）を堆積させる工程；
から成る、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
パッケージ基板（１２，１１２）が、基板の第２平面（５２，１５２）に沿った支持部材（１８，１１９）をさらに有する、請求項２に記載の方法。
【請求項５】
第２集積回路（３２，１３２）を配置する工程の前に、支持部材（１８，１１９）を除去する工程をさらに含む、請求項４に記載の方法
【請求項６】
パッケージ装置（１０，１００）であって、
第１平面を区画規定する第１表面（５０，１５０）と、第２平面を区画規定する第２表面（５２，１５２）と、第１平面と第２平面の間のキャビティ（２０，１２０）とを有するパッケージ基板（１２，１１２）；
キャビティの中に配置された第１集積回路（２２，１２２）；および
キャビティの外でパッケージ基板に接続された第２集積回路（３２，１３２）；
を備えたパッケージ装置（１０，１００）。
【請求項７】
パッケージ装置（１０，１００）であって、
第１面と第２面を有するパッケージ基板（１２，１１２）；
第１面の第１パッド（１６，１１６）；
第２面の第２パッド（１６，１１６）；
パッケージ基板に実装された第１集積回路（２２，１２２）；
を備え、第１パッドと第２パッドが試験探針（４４，１４４）を受け取るのに有用であることをさらなる特徴とする、パッケージ装置。
【請求項８】
パッケージ基板に実装された第２集積回路（３２，１３２）をさらに備える、請求項７に記載のパッケージ装置。
【請求項９】
第１集積回路（２２，１２２）が第１パッド（１６，１１６）に電気接続され；かつ
第２集積回路（３２，１３２）が第２パッド（１６，１１６）に電気接続されている、請求項８に記載のパッケージ装置。
【請求項１０】
基板（１２，１１２）がキャビティ（２０，１２０）を有することをさらなる特徴とすると共に、第１集積回路（２２，１２２）が該キャビティの中にあることをさらなる特徴とする、請求項９に記載のパッケージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般に半導体パッケージ装置に関し、より詳細には半導体パッケージ装置を製作および試験する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路をパッケージする際に、パッケージ内に多数のダイを許容するパッケージを提供することがより必要とされるようになっている。ダイの複雑度が増すにつれて、そのような多数ダイパッケージの試験はより難しくなっている。また、マルチチップパッケージのうちの一部には、マルチチップパッケージ内の１または複数のダイを、マルチチップパッケージ内の１または複数の残りのダイから電気的に遮蔽することが重要なものもある。さらに、マルチチップパッケージを製作する製造プロセス中には再加工が行なえることが望ましい。さらに、電流回路基板技術の制約のため、マルチチップパッケージの断面積はより小さいことも望ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００３】
（図面の簡単な説明）
本発明を、限定ではなく例示として添付図面に示す。図中、同様な参照符号は同様の要素を示す。
【０００４】
当業者には、図中の要素が簡潔性と明瞭性を期すよう描かれており、必ずしも正しい縮尺ではないことが理解されるだろう。例えば、本発明の実施形態についての理解をより促すために、図中のいくつかの要素の寸法は、他の要素と比べて誇張されることを有する。（詳細な説明）
複数のダイの少なくとも１つを収容するために、基板のキャビティ（空洞のこと、以下キャビティ）を使用して複数のダイを積み重ねることにより、使用されるパッケージ装置の断面積はより低くすることが可能となる。さらに、試験目的で使用されるパッドは、パッケージ装置の２以上の面面に配置され得る。さらに、複数のダイの間の層が、選択したダイの間に電気的遮蔽を提供するために使用され得る。本発明は図面を参照することにより一層深く理解される。
【０００５】
図１は本発明の１実施形態によるキャビティ２０を有するパッケージ装置１０を示す。パッケージ装置１０は、表面５０と表面５２を有するパッケージ基板１２を備えている。表面５０が第１平面を構成し、表面５２が第２平面を構成することに留意する。上部では、基板１２が、１または複数のボンドフィンガー１４と、１または複数のパッド１６とを有する。本発明の１実施形態では、パッド１６は導電性で、様々な目的に使用することができる。例えば、パッド１６は別の独立した装置を実装するために使用されてもよいし、試験用の試験探針を受け取るために使用されてもよいし、あるいは導電性の相互接続（例、ハンダボール）を受け取るために使用されてもよい。図１は基板１２の表面５２に適用されるテープ層１８を示す。本発明の１実施形態では、基板１２は、１または複数のダイを外部接続（図示しない）に相互接続させるために使用可能なトレースおよびバイアのような導電体を含む。
【０００６】
図２は、ダイ接着材料２４がテープ１８に重ねて配置されたパッケージ装置１０の１実施形態を示す。次に、ダイ接着材料２４の上にダイ２２が配置される。本発明の代替実施形態は、ダイ接着材料２４を使用せず、その代わりに、ダイ２２をテープ１８に直接接着しうる。テープ１８はダイ２２および任意選択でダイ接着材料２４を支持する支持部材として使用される。テープ１８は基板１２の表面５２全体の上に延びていてもよいし、延び
ていなくてもよい。
【０００７】
図３は、ダイ２２がワイヤボンド２６によりボンドフィンガー１４に電気接続されたパッケージ装置１０の１実施形態を示す。本発明の代替実施形態は、いかなる数のワイヤボンド２６とボンドフィンガー１４を使用してもよい。
【０００８】
図４は、ダイ２２、ワイヤボンド２６、およびボンドフィンガー１４の上を覆って封止材料２８が堆積されたパッケージ装置１０の１の実施形態を示す。封止材料２８は、例えば成型プラスチックや液体を堆積させた小滴材料のような、集積回路に適したいかなるタイプの材料であってもよいことに留意する。
【０００９】
図５は、テープ１８を基板１２の底面５２から除去したパッケージ装置１０の１実施形態を示す。
図６は、ダイ３２をパッケージ装置１０に接着するためにダイ接着材料３０を配置したパッケージ装置１０の１実施形態を示す。１実施形態では、ダイ接着材料３０がダイ接着材料２４とダイ３２の間に配置される。代替実施形態では、ダイ接着材料２４が使用されない場合に、ダイ接着材料３０がダイ２２とダイ３２の間に配置される。本発明の１実施形態では、底面５２がここで上面５２となり、上面５０がここで底面５０となるように、パッケージ装置１０がプロセシングのこの時点で表裏が返されてもよい。しかしながら、本発明の代替実施形態はパッケージ装置１０をその製作中にいかなる方法で方向付けてもよい。簡潔さのため、パッケージ装置１０を、残りの図面では一貫して同じ方向で示す。
【００１０】
図７は、ダイ３２をワイヤボンド３４によりボンドフィンガー１４に電気接続した、パッケージ装置１０の１実施形態を示す。本発明の代替実施形態は、いかなる数のワイヤボンド３４とボンドフィンガー１４を使用してもよい。フリップチップ技術を使用する本発明の実施形態の場合、ダイ３２はワイヤボンド３４を有さず、その代わり、表面５２により電気接続されてもよい。
【００１１】
図８は、ダイ３２にダイ３８を接着するためにダイ接着材料３６が配置されたパッケージ装置１０の１実施形態を示す。１実施形態では、ダイ接着材料３６がダイ３２とダイ３８の間に配置される。フリップチップ技術を使用する代替実施形態では、ダイ接着剤３６が使用されず、その代わり、ダイ３８が公知のフリップチップ技術を使用してダイ３２に直接電気接続される。
【００１２】
図９は、ダイ３８をワイヤボンド４２によりボンドフィンガー１４に電気接続すると共に、ダイ３８をワイヤボンド４０によりダイ３２に電気接続した、パッケージ装置１０の１実施形態を示す。本発明の代替実施形態は、いかなる数のワイヤボンド４０，４２を使用してもよく、いかなる数のボンドフィンガー１４を使用してもよい。フリップチップ技術を使用する本発明の実施形態の場合、ダイ３８がワイヤボンド４２を有さず、その代わり、ダイ３２に直接電気接続され得る。
【００１３】
図１０は、１または複数のダイ２２，３２，３８を電気的に試験する１つの方法を示すために試験探針４４を例示した、パッケージ装置１０の１実施形態を示す。本発明の代替実施形態では、試験探針４４が、基板１２の上面５０のちょうど上、基板の底面５２のちょうど上、または代わりに基板の上面と底面５０，５２の両方の上に配置された１または複数のパッド１６を使用し得ることに留意する。本発明のいくつかの実施形態では、試験探針４４が基板１２の上面５０と底面５２の両方に接近できることに重要な利点がありうることに留意する。例えば、これにより、より多くのパッド１６が試験探針４４に接近され、したがって、試験プロセス中により多くの信号を使用することが可能となる。さらに、試験探針４４が基板１２の上面と底面５０，５２の両方に接近することにより、ダイ２
２，３２，３８の各々に、より容易に接近することが可能となる。パッケージ内に多数のダイを使用した場合、試験に必要なパッド１６の数は非常に多くなることに留意する。
【００１４】
図１１は、封止材料４６がダイ３８、ダイ３２、およびボンドフィンガー１４の上に重ねて堆積されたパッケージ装置１０の１実施形態を示す。本発明の代替実施形態では、封止材料４６が基板１２のより大部分に堆積されてもよいことに留意する。例えば、本発明のいくつかの実施形態では、封止材料４６が基板１２の上を覆っているパッド１６の上にも堆積される。封止材料４６によりパッド１６が封止されるか否かにかかわらず、パッド１６は別の独立した装置を１または複数のダイ２２，３２，３８に電気接続するために使用される。封止材料４６は、例えば成型プラスチックや液体を堆積させた小滴材料のような、集積回路に適したいかなるタイプの材料であってもよいことに留意する。
【００１５】
図１２は、導電性相互接続４８が表面５０でパッド１６を覆って配置されたパッケージ装置１０の１実施形態を示す。本発明の１実施形態では、導電性相互接続４８はハンダボールであってよい。しかしながら、本発明の代替実施形態では、導電性相互接続４８は、いかなる様式で形成されたいかなるタイプの導電材料であってもよい。導電性相互接続は任意選択の要素であることに留意する。本発明のいくつかの実施形態では、封止材料２８が基板１２の上面５０と同じ高さにある場合、導電性相互接続４８は必要でなく、電気接続を基板１２の表面５０の上のパッド１６に直接作成することができる。基板１２の様々な部分を選択的に相互接続するために、基板１２内のトレースおよびバイア（図示しない）を使用できることに再び留意する。さらに、ダイ接着材料２４，３０，３６は、例えば接着テープまたは非固体の接着剤（例えば糊、エポキシ樹脂）のような、いかなるタイプの適当な材料であってもよいことにも留意する。ダイ２２，３２，３８は、いかなるタイプの集積回路、半導体素子または他のタイプの電気的に作動する基板であってもよい。本発明の代替実施形態は、いかなる数のダイ２２，３２，３８がパッケージ装置１０内にパッケージされてもよい。例えば代替実施形態は、パッケージ装置１０の中に２つのダイのみをパッケージしていてもよい。ダイ２２，３２，３８のサイズとアスペクト比は変わってもよく、ダイ間にダイスペーサー（図示しない）を使用してもよいことに留意する。ダイ２２はキャビティ２０の中に位置し、ダイ３２とダイ３８はキャビティ２０の外に位置することに留意する。
【００１６】
図１３は、本発明の１実施形態によるキャビティ１２０を有するパッケージ装置１００を示す。パッケージ装置１００は、表面１５０と表面１５２を有するパッケージ基板１１２を備えている。表面１５０が第１平面を構成し、表面１５２が第２平面を構成することに留意する。上部では、基板１１２が、１または複数のボンドフィンガー１１４と、１または複数のパッド１１６とを有する。本発明の１実施形態では、パッド１１６は導電性で、様々な目的に使用することができる。例えば、パッド１１６は別の独立した装置を実装するために使用されてもよいし、試験用の試験探針を受け取るために使用されてもよいし、あるいは導電性の相互接続（例、ハンダボール）を受け取るために使用されてもよい。図１３は、その外側表面が表面１５２である基板１１２の一部である層１０１を示す。本発明の１実施形態では、層１０１は支持部材１１９と、１または複数のボンドフィンガー１１４と、１または複数のパッド１１６とを有している。本発明の代替実施形態は、ボンドフィンガー１１４が必要でない場合もあるし（例えばフリップフロップ技術が使用される時）、表面１５２への電気接続が望まれない時にはパッド１１６が必要でない場合もある。本発明の１実施形態では、基板１１２は、１または複数のダイを外部接続（図示しない）に相互接続させるために使用可能なトレースおよびバイアのような導電体を含む。
【００１７】
図１４は、ダイ接着材料１２４が支持部材１１９に重ねて配置されたパッケージ装置１００の１実施形態を示す。次に、ダイ接着材料１２４の上にダイ１２２が配置される。
図１５は、ダイ１２２がワイヤボンド１２６によりボンドフィンガー１１４に電気接続
されたパッケージ装置１００の１実施形態を示す。本発明の代替実施形態は、いかなる数のワイヤボンド１２６とボンドフィンガー１１４を使用してもよい。フリップチップ技術を使用する本発明の実施形態の場合、ダイ１２２はワイヤボンド１２６を有さず、その代わり、層１０１により電気接続されてもよい。
【００１８】
図１６は、封止材料１２８がダイ１２２、ワイヤボンド１２６、およびボンドフィンガー１４の上に重ねて堆積されたパッケージ装置１００の１実施形態を示す。封止材料１２８は、例えば成型プラスチックや液体を堆積させた小滴材料のような、集積回路に適したいかなるタイプの材料であってもよいことに留意する。
【００１９】
図１７は、ダイ１３２をパッケージ装置１００に接着するためにダイ接着材料１３０を配置したパッケージ装置１００の１実施形態を示す。１実施形態では、ダイ接着材料１３０が層１０１とダイ１３２の間に配置される。本発明の１実施形態では、底面１５２がここで上面１５２となり、上面１５０がここで底面１５０となるように、パッケージ装置１００がプロセシングのこの時点で表裏が返されてもよい。しかしながら、本発明の代替実施形態はパッケージ装置１００をその製作中にいかなる方法で方向付けてもよい。簡潔さのため、パッケージ装置１００を、残りの図面では一貫して同じ方向で示す。
【００２０】
図１８は、ダイ１３２をワイヤボンド１３４によりボンドフィンガー１１４に電気接続した、パッケージ装置１００の１実施形態を示す。本発明の代替実施形態は、いかなる数のワイヤボンド１３４とボンドフィンガー１１４を使用してもよい。フリップチップ技術を使用する本発明の実施形態の場合、ダイ１３２はワイヤボンド１３４を有さず、その代わり、表面１５２により電気接続されてもよい。
【００２１】
図１９は、ダイ１３２にダイ１３８を接着するためにダイ接着材料１３６が配置されたパッケージ装置１００の１実施形態を示す。１実施形態では、ダイ接着材料１３６がダイ１３２とダイ１３８の間に配置される。フリップチップ技術を使用する代替実施形態では、ダイ接着剤１３６が使用されず、その代わり、ダイ１３８が公知のフリップチップ技術を使用してダイ１３２に直接電気接続される。
【００２２】
図２０は、ダイ１３８をワイヤボンド１４２によりボンドフィンガー１１４に電気接続すると共に、ダイ１３８をワイヤボンド１４０によりダイ１３２に電気接続した、パッケージ装置１００の１実施形態を示す、本発明の代替実施形態は、いかなる数のワイヤボンド１４０，１４２を使用してもよく、いかなる数のボンドフィンガー１１４を使用してもよい。フリップチップ技術を使用する本発明の実施形態の場合、ダイ１３８がワイヤボンド１４２を有さず、その代わり、ダイ１３２に直接電気接続され得る。
【００２３】
図２１は、１または複数のダイ１２２，１３２，１３８が電気的に試験される１つの方法を示すために試験探針１４４を例示した、パッケージ装置１００の１実施形態を示す。本発明の代替実施形態では、試験探針１４４が、基板１１２の上面１５０のちょうど上、基板１１２の底面１５２のちょうど上、または代わりに基板１１２の上面と底面１５０，１５２の両方の上に配置された１または複数のパッド１１６を使用し得ることに留意する。本発明のいくつかの実施形態では、試験探針４４１が基板１１２の上面１５０と底面１５２の両方に接近できることに重要な利点がありうることに留意する。例えば、これにより、より多くのパッド１１６が試験探針１４４に接近され、したがって、試験プロセス中により多くの信号を使用することが可能となる。さらに、試験探針１４４が基板１１２の上面と底面１５０，１５２の両方に接近することにより、ダイ１２２，１３２，１３８の各々に、より容易に接近することが可能となる。パッケージ内に多数のダイを使用した場合、試験に必要なパッド１１６の数は非常に多くなることに留意する。
【００２４】
図２２は、封止材料１４６がダイ１３８、ダイ１３２、およびボンドフィンガー１１４の上に重ねて堆積されたパッケージ装置１００の１実施形態を示す。本発明の代替実施形態では、封止材料１４６が基板１１２のより大部分に堆積されてもよいことに留意する。例えば、本発明のいくつかの実施形態では、封止材料１４６が基板１１２の上を覆っているパッド１１６の上にも堆積される。封止材料１４６によりパッド１１６が封止されるか否かにかかわらず、パッド１１６は別の独立した装置を１または複数のダイ１２２，１３２，１３８に電気接続するために使用される。封止材料１４６は、例えば成型プラスチックや液体を堆積させた小滴材料のような、集積回路に適したいかなるタイプの材料であってもよいことに留意する。
【００２５】
図２３は、導電性相互接続１４８が表面１５０でパッド１１６を覆って配置されたパッケージ装置１００の１実施形態を示す。本発明の１実施形態では、導電性相互接続１４８はハンダボールであってよい。しかしながら、本発明の代替実施形態では、導電性相互接続１４８は、いかなる様式で形成されたいかなるタイプの導電材料であってもよい。導電性相互接続１４８は任意選択の要素であることに留意する。本発明のいくつかの実施形態では、封止材料１２８が基板１１２の上面１５０と同じ高さにある場合、導電性相互接続１４８は必要でなく、電気接続は基板１１２の表面１５０の上のパッド１１６に直接作成することができる。基板１１２の様々な部分を選択的に相互接続するために、基板１１２内のトレースおよびバイア（図示しない）を使用できることに再び留意する。さらに、ダイ接着材料１２４，１３０，１３６は、例えば接着テープまたは非固体の接着剤（例えば糊、エポキシ樹脂）のような、いかなるタイプの適当な材料であってもよいことにも留意する。ダイ１２２，１３２，１３８は、いかなるタイプの集積回路、半導体素子または他のタイプの電気的に作動する基板であってもよい。本発明の代替実施形態は、いかなる数のダイ１２２，１３２，１３８がパッケージ装置１００内にパッケージされてもよい。例えば代替実施形態は、パッケージ装置１００の中に２つのダイのみをパッケージしていてもよい。ダイ１２２，１３２，１３８のサイズとアスペクト比は変わってもよく、ダイ間にダイスペーサー（図示しない）を使用してもよいことに留意する。ダイ１２２はキャビティ１２０の中に位置し、ダイ１３２とダイ１３８はキャビティ１２０の外に位置することに留意する。
【００２６】
上述の明細書では、本発明を特定の実施形態に関して説明したが、当業者には、請求項に述べる本発明の範囲から逸脱することなく、様々な改変および変更を行なえることが理解される。例えば、パッケージ装置１０および１００の製作には任意の適当なダイ接着プロセス、ワイヤボンドプロセス、テーププロセスを使用することができ、それらの多くが当該技術分野では公知である。従って、明細書と図面は限定的な意味ではなく例証的な意味とみなすべきであり、そのような改変はすべて本発明の範囲内に包含される。効果、他の利点および課題解決策を、特定の実施形態に関して上述した。しかしながら、任意の効果、利点または解決策を生じさせ得るかそれ自体より顕著になり得る、そのような効果、利点、課題解決策は、任意またはすべての請求項の重要な、必要な、または必須の特徴もしくは要素と解釈すべきではない。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図２】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図３】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図４】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図５】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図６】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図７】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図８】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図９】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１０】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１１】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１２】本発明の１実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１３】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１４】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１５】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１６】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１７】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１８】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１９】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図２０】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図２１】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図２２】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図２３】本発明の代替実施形態に従って製作されたパッケージ装置の一連の断面図。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2005535103.tif 000017
【図１６】
2005535103.tif 000018
【図１７】
2005535103.tif 000019
【図１８】
2005535103.tif 000020
【図１９】
2005535103.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【国際調査報告】
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2005535103.tif 000026
2005535103.tif 000027
2005535103.tif 000028