(57)【要約】ウェーハの受入れ及び取外しのための開口前部（２４）を備える容器部（２０）と、容器内のウェーハの回転を防止及び予防するためのクッション装置を備えるドア（１００）と、を有するウェーハ容器である。前部の縁を露出して容器部内に積層されたウェーハは、ドアの内向き表面に設けられた一対のエラストマークッション（１４０、１４２）と当接する。可撓性のウェーハスプリング（１５０）は、ドアから外方に突出して、ドアが着座及び取外しされる際それぞれの最初及び最後にウェーハの縁に接触する。ドアの内面は、ドアパネル（１４８）に一体的に鋳造又は成形されたウェーハポケット（１４８）を有する。
2005518318.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも上部、底部、一対の対向側面、背部、及び開口前部を有するエンクロージャ部と、ドアと、を備える複数のウェーハを保持するためのウェーハ容器であって、
前記ドアは前記エンクロージャ部と気密に係合して開口前部を閉じるものであり、また、前記ドアはウェーハ保持装置を有し、
該ウェーハ保持装置は、
複数のウェーハポケットを画定する複数の歯を有する凹凸部と、
前記ドアが前記エンクロージャ部と気密に係合する際にそれぞれのウェーハの周縁と緩衝係合するための一対のエラストマークッションと、
前記ドアが前記エンクロージャ部から離脱する際にそれぞれのウェーハを前記エラストマークッション部から離脱させるように構成される複数の弾性ウェーハスプリングと、
を備えるウェーハ容器。
【請求項２】
請求項１に記載のウェーハ容器であって、
前記一対のエラストマークッションは前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際にウェーハの周縁によって第一距離だけ撓むように構成配置され、
前記弾性ウェーハスプリングは前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際にウェーハの周縁によって第二距離だけ撓むように構成配置され、
前記第二距離は前記第一距離よりも大きいウェーハ容器。
【請求項３】
請求項１に記載のウェーハ容器であって、
前記ドアは周縁壁部によって囲まれるメインパネル部を備えるウェーハ容器。
【請求項４】
請求項３に記載のウェーハ容器であって、
前記ウェーハ保持装置の前記凹凸部は前記メインパネル部に一体的に形成されるウェーハ容器。
【請求項５】
請求項３に記載のウェーハ容器であって、
前記メインパネル部は中央部を囲む周縁部を有し、
前記メインパネル部は前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際に前記中央部が前記周縁部よりも内側に配置される皿形状であるウェーハ容器。
【請求項６】
請求項３に記載のウェーハ容器であって、
前記周縁壁部は中に穴が形成され、
ウェーハ容器は中にフック部が形成された周縁部を有する少なくとも一つのラッチ機構カバーをさらに備え、
前記フック部は前記穴に係合するように構成され、
前記ラッチ機構カバーは複数の圧入コネクタをさらに有し、
前記ラッチ機構カバーは、前記圧入コネクタにより及び前記フック部が前記穴と係合することにより、前記メインパネル部に固定されるウェーハ容器。
【請求項７】
少なくとも上部、底部、一対の対向側面、背部、及び開口前部を有するエンクロージャ部と、ドアと、を備える複数のウェーハを保持するためのウェーハ容器であって、
前記ドアは前記エンクロージャ部と気密に係合して開口前部を閉じるものであり、また、前記ドアはウェーハ保持装置を有し、
該ウェーハ保持装置は、
複数のウェーハポケットを画定する複数の歯を有する凹凸部と、
前記ドアが前記エンクロージャ部と気密に係合する際にそれぞれのウェーハの周縁と緩衝係合するためのエラストマークッション部と、
前記ドアが前記エンクロージャ部から離脱する際にそれぞれのウェーハを前記エラストマークッション部から離脱させるための弾性スプリング部と、
を備えるウェーハ容器。
【請求項８】
請求項７に記載のウェーハ容器であって、
前記エラストマークッション部は前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際にウェーハの周縁によって第一距離だけ撓むように構成配置され、
前記弾性スプリング部は前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際にウェーハの周縁によって第二距離だけ撓むように構成配置され、
前記第二距離は前記第一距離よりも大きいウェーハ容器。
【請求項９】
請求項７に記載のウェーハ容器であって、
前記ドアは周縁壁部によって囲まれるメインパネル部を備えるウェーハ容器。
【請求項１０】
請求項９に記載のウェーハ容器であって、
前記ウェーハ保持装置の前記凹凸部は前記メインパネル部に一体的に形成されるウェーハ容器。
【請求項１１】
請求項９に記載のウェーハ容器であって、
前記メインパネル部は中央部を囲む周縁部を有し、
前記メインパネル部は前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際に前記中央部が前記周縁部よりも内側に配置される皿形状であるウェーハ容器。
【請求項１２】
請求項９に記載のウェーハ容器であって、
前記周縁壁部は中に穴が形成され、
ウェーハ容器は中にフック部が形成された周縁部を有する少なくとも一つのラッチ機構カバーをさらに備え、
前記フック部は前記穴に係合するように構成され、
前記ラッチ機構カバーは複数の圧入コネクタをさらに有し、
前記ラッチ機構カバーは、前記圧入コネクタにより及び前記フック部が前記穴と係合することにより、前記メインパネル部に固定されるウェーハ容器。
【請求項１３】
少なくとも上部、底部、一対の対向側面、背部、及び開口前部を有するエンクロージャ部と、ドアと、を備える複数のウェーハを保持するためのウェーハ容器であって、
前記ドアは前記エンクロージャ部と気密に係合して開口前部を閉じるものであり、また、前記ドアはウェーハ保持装置を有し、
該ウェーハ保持装置は、
前記ドアが前記エンクロージャ部と気密に係合する際にそれぞれのウェーハの周縁と緩衝係合するためのクッション手段と、
前記クッション手段と係合するようにそれぞれのウェーハを配置するための手段と、
前記ドアが前記エンクロージャ部から離脱する際にそれぞれのウェーハを前記クッション手段から離脱させるための手段と、
を備えるウェーハ容器。
【請求項１４】
請求項１３に記載のウェーハ容器であって、
前記クッション手段はエラストマー材料から形成される少なくとも一つのクッション部材を備え、
前記クッション部材は前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際にウェーハの周縁によって第一距離だけ撓むように配置構成され、
前記離脱させるための手段は弾性スプリング部を備え、
前記弾性スプリング部は前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際にウェーハの周縁によって第二距離だけ撓むように配置構成され、
前記第二距離は前記第一距離よりも大きいウェーハ容器。
【請求項１５】
請求項１３に記載のウェーハ容器であって、
前記ドアは周縁壁部によって囲まれるメインパネル部を備えるウェーハ容器。
【請求項１６】
請求項１５に記載のウェーハ容器であって、
前記配置するための手段は複数のポケットを形成する凹凸状の複数の歯を備え、
前記歯は前記メインパネル部に一体的に形成されるウェーハ容器。
【請求項１７】
請求項１５に記載のウェーハ容器であって、
前記メインパネル部は中央部を囲む周縁部を有し、
前記メインパネル部は前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際に前記中央部が前記周縁部よりも内側に配置される皿形状であるウェーハ容器。
【請求項１８】
請求項１５に記載のウェーハ容器であって、
前記周縁壁部は中に穴が形成され、また、中にフック部が形成された周縁部を有する少なくとも一つのラッチ機構カバーをさらに備え、
前記フック部は前記穴に係合するように構成され、
前記ラッチ機構カバーは複数の圧入コネクタをさらに有し、
前記ラッチ機構カバーは、前記圧入コネクタにより及び前記フック部が前記穴と係合することにより、前記メインパネル部に固定されるウェーハ容器。
【請求項１９】
前開き型ウェーハ容器に複数のウェーハを保持する方法であって、
上部、底部、一対の対向側面、背部、及び開口前部を有するエンクロージャ部を備える前開き型ウェーハ容器を用意する段階を有し、
前記ウェーハ容器は前記エンクロージャ部と気密に係合して開口前部を閉じるドアをさらに含み、前記ドアはエラストマークッション部と弾性スプリング部とを有し、前記クッション部と前記スプリング部はそれぞれ前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際にウェーハと係合するように配置されるものであり、
そして、前記ドアを前記エンクロージャ部と係合させ、その結果前記クッション部をウェーハに対して第一距離だけ撓ませ、また、その結果前記弾性スプリング部をウェーハに対して第二距離だけ撓ませる段階を有し、
前記第二距離は前記第一距離よりも大きいものである方法。
【請求項２０】
前開き型ウェーハ容器のエラストマーのウェーハ保持クッションからウェーハを離脱させる方法であって、
複数のウェーハが装填され、また、開口前部を備えるエンクロージャ部を有する前開き型ウェーハ容器を用意する段階を有し、
前記ウェーハ容器は前記エンクロージャ部と気密に係合して開口前部を閉じるドアをさらに含み、前記ドアはエラストマークッション部と弾性スプリング部とを有し、前記クッション部は前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際にウェーハに対して第一距離だけ撓むように配置され、前記スプリング部は前記ドアが前記エンクロージャ部と係合する際にウェーハに対して第二距離だけ撓むように配置され、前記第二距離は前記第一距離よりも大きいものであり、
そして、前記ドアを前記エンクロージャ部から離脱させ、その結果前記クッション部と前記スプリング部との撓みが戻る段階を有する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、２００２年２月２６日提出の米国仮出願番号第６０／３５９８１４号の米国特許法１１９条（ｅ）に基づく利益を主張するものである。その仮出願の内容はそのまま参照として全て本明細書に組み込まれている。
【０００２】
本発明は、ウェーハ容器に関する。より詳しくは、ウェーハ保持具を有するドアを備える前開きウェーハ容器に関する。
【背景技術】
【０００３】
ウェーハを半導体、特に集積回路に加工する場合、多くの工程が行われる必要があり、ウェーハを施設間で移送したり、即時に加工する工程では施設内部でも移送しなければならないことも多い。そのような移送や保管や即時加工工程の間、ウェーハを保護する必要がある。近年は、半導体ウェーハの大きさは直径３００ｍｍにまで増大している。さらに、そのようなウェーハ上の回路の密度も劇的に増大している。その結果、そのようなウェーハは以前よりも極めて高価になり、汚染及び／又は破損から保護することが重要となっている。
【０００４】
本明細書に係る発明の様々な側面は、ＦＯＵＰ（前開き一体型容器（front opening unified pod））やＦＯＳＢ（前開き出荷箱（front opening shipping boxes））として周知のウェーハ容器での使用に特に適している。こうしたウェーハ容器は内部ウェーハ支持体を備える容器部を有しており、軸方向に間隔を設けて積み重ねられた水平方向のウェーハを前記容器部内に保持する。容器部はウェーハの挿入と取外しを可能とする前ドアを有し、ドアはウェーハ容器に気密に係合して、その容器をラッチ止めして密封する。例えば、このような箱は米国特許第６２６７２４５号、第６２１６８７４号、第６２０６１９６号、第６０１０００８号、第５９４４１９４号に説明されているが、これらの全ては本出願の所有者が所有しており、したがって、これらはそのまま本明細書に参照として組み込まれている。一般的な従来技術の搬送容器を図１に示す。図示されているように、ウェーハ容器が自動加工装置２５に着座しており、概ね容器部２０とドア２２とから構成されている。容器部２０は、開口前部２４、上部２３、一対の側面部２８、２９、背面部３２、及び底部３４を有する。ドア枠３６は開口前部を画定し、ドア２２が納まるように構成されている。容器部はロボット操作用フランジ４２を有してもよい。容器部内部のウェーハ支持部４６は、積層空間列内で水平方向に位置合わせされるウェーハ（図示せず）を支持する。ドアは外向き面５０と内向き面５２と周縁部５４とを有する。周縁部５４は外向き面にラッチスロット５８を有する。外装パネル６２は、ドアの構造上の主要なパネルであってもよく、鍵穴６８に対応するラッチ機構（図示せず）を覆う。ラッチ機構は、ラッチスロット５８から外に突出するラッチ部材（この図では図示せず）を有する。一般的には、図１に示されている部材は、前開き型の３００ｍｍウェーハ容器に共通のものである。
【特許文献１】米国特許第６２６７２４５号
【特許文献２】米国特許第６２１６８７４号
【特許文献３】米国特許第６２０６１９６号
【特許文献４】米国特許第６０１０００８号
【特許文献５】米国特許第５９４４１９４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般的には、この型の搬送容器においては、ウェーハが出荷中に回転しないようにする配慮がなされていない。このような回転は防止することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ウェーハの受入れ及び取外しのための開口前部を備える容器部を有するウェーハ容器はさらに、クッション装置を備えるドアを有する。クッション装置は、独自のウェーハ保持装置と構造上の特徴とを利用してウェーハを最大限に保護し、前記ウェーハの回転を防止する。好ましい実施形態においては、前部の縁を露出して容器部内に積層されたウェーハは、ドアの前部表面に設けられた一対のエラストマークッションと係合する。さらに、可撓性のウェーハスプリングがドアから外方に突出して、ドアが着座及び取外しされる際それぞれの最初及び最後にウェーハの縁に接触する。ドアの内面には、ドアハウジングに一体的に鋳造又は成形されたクッション装置に対応するウェーハポケットを利用してもよい。
【０００７】
本発明の特徴及び利点は、ウェーハの縁を非常に高い摩擦係数でそっとつかむことによって、エラストマークッションがウェーハ容器内でのウェーハの回転を防止することである。
【０００８】
本発明のさらなる特徴及び利点は、満載状態の容器部からドアを取り外す場合において、エラストマークッションが引かれてウェーハの縁との係合から外れる際に、ウェーハスプリングがウェーハを容器部内の定位置に保持するように動作することである。これによってウェーハがエラストマークッションに固着することが防止でき、ドアが取り外される最中にウェーハがドアに追従するという惨事にもなりかねない結果をなくすことができる。
【０００９】
本発明のさらなる特徴及び利点は、エラストマークッションを使用することによって、ウェーハ破損を最小限に食い止めてドアの締付け力を低減することである。
【００１０】
ウェーハ搬送容器のさらなる特徴は、内側表面にドーム形状の構成が利用可能なドアにある。それによって、ドア、特にドアのウェーハ保持装置、が定位置にあって積層されたウェーハを保持する位置にある場合に、ドアの構造物に変形に対して最大限の耐性を与えることができる。好ましい実施形態においては、ドアの周縁部に隣接した四つの内側コーナーに内向き凹部を設けて内向きパネルに傾斜をつけることによって、ドアの内向きパネルにドーム構造を与えて、周縁側面の中央部付近並びに前記ドアの周縁及び底面の中央部付近において、前記パネルが概ねウェーハ方向を向くようにする。
【００１１】
ドアのさらなる特徴は、ドアカバーの前部において、一対のラッチ用空孔がドアの外向き面上に設けられていることである。ラッチ用空孔はラッチ部材を備える二つのラッチ機構を受け入れるためのものであり、ラッチ部材はドアの周縁端部の上部及び下部から突出している。ラッチ機構は一対のドアパネルに覆われている。一対のドアパネルはフックを利用しており、フックはドアの周縁端部に取り付けられてさらには垂直方向の中間部分付近のピンに取り付けられる。ドアの周縁側面端部及び垂直方向中間部のラッチカバーによって、ドアは屈曲に対して剛性及び耐性を得る。好ましい実施形態においては、ドアパネルをドアの周縁端部に取り付けるためには、周縁側面のスロットを通して突出する、ドアパネル上のフック部材を利用する。ラッチパネルの端部をドアの中央部付近に結合するためには、圧入コネクタと穴との組み合わせを利用することが好ましい。
【００１２】
本明細書に開示されているウェーハ保持装置の特徴と利点は、この装置によってウェーハにかかる負荷が他のウェーハ保持装置に比べてはるかに少なくて済むということである。
【００１３】
本発明の付加的な目的、利点、及び新規的な特徴は、一部は以下の記載に説明され、一部は以下を吟味することによって当業者にとって明確となる。あるいは、本発明の実施によって分かる可能性もある。本発明の目的及び利益は、付随する特許請求の範囲に特に指摘されている手段や組合せによって実現及び達成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図２及び図３を参照すると、本明細書の発明の具体的な実施形態を含むドア１００が示されている。ドアは外向き面１０４と内向き面１０６とを有している。周縁部１０８に沿って延設されているのはシール部材１１０である。内表面上にウェーハ保持装置１１４が設けられている。外向き面上では一対のラッチ機構パネル１１８、１２０がラッチ機構１２２、１２４を覆っている。ドア周縁部はスロット１２８を有しており、スロット１２８を通ってラッチ部材１３０は突出し、図1に符号５９で示すようなラッチ受けと係合する。
【００１５】
図３及び図４を参照すると、ウェーハ保持装置の詳細が図示され、本発明の好ましい実施形態が示されている。この実施形態には三つの別個のタイプのウェーハ保持具が存在しており、それらが相乗的に組み合わされて、ウェーハの回転及びウェーハの破損を防止しドアの締付け力を最小限にする信頼性のある保持手段が与えられる。
【００１６】
装置には、ドアの内向き面沿いに垂直方向上方に延びる一対のエラストマークッション１４０、１４２を含めてもよい。これらのクッションの作用の一部は、ウェーハの縁に摩擦係合し、その結果、容器内のウェーハの回転を防止するというものである。これらのクッションは、ウェーハ容器の環境での利用に適すればどんなエラストマー材料から形成してもよい。例えば、ウレタン、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート、スチレンブロック共重合体、スチレン-ブタジエンゴム、又はポリエーテルブロックポリアミドのような熱可塑性エラストマーが含まれる。
【００１７】
エラストマークッションに隣接して、複数のウェーハポケット１４８を画定する複数の歯１４６を有する二列の凹凸部１４４が設けられている。この好ましい実施形態では、ウェーハ歯１４６は、ドア内側の内向き表面を実質的に画定する表面パネル１４９と一体化される。
【００１８】
ドアの中央を垂直下向きに延びて一列の可撓性ウェーハフィンガー、すなわちスプリング１５０が設けられている。これらは剛弾性のフィンガーであることが好ましく、例えば、ポリエーテルエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）のような材料から製造してもよい。これら三つの別個のウェーハ保持具の作用は、図６Ａ、図６Ｂ、図７Ａ、図７Ｂ、図８Ａ、図８Ｂ、図９Ａ、及び図９Ｂに示されている保持装置の作用の一部である。装置はまずウェーハを容器部側面のウェーハ支持位置からウェーハを持上げるように作用する。次に、ウェーハの縁に「そっと」緩衝して、エラストマー材料によってウェーハの回転を防止するように作用する。第三に、ドアが容器部から取り外される際にウェーハの縁をエラストマー材料から解放し、ウェーハがドアに追従するのを防止する。
【００１９】
図６Ａ、図７Ａ、図８Ａ、及び図９Ａはウェーハ保持装置を垂直方向に横切って見た断面図を示し、図６Ｂ、図７Ｂ、図８Ｂ、及び図９Ｂは水平方向断面から見た同等の図を示す。まず、図６Ａ及び図６Ｂを参照すると、これらの図が示しているのは、ドアがドア枠内に挿入されている際のウェーハとウェーハ保持装置との相対的な位置である。ウェーハは、容器部の内側側面のウェーハ支持部４６上の載置位置にある。図示されているように、ウェーハ１５８の縁はウェーハ保持装置に向き合ってはいるが、まだ係合はしていない。
【００２０】
図７Ａ及び図７Ｂを参照すると、ウェーハの縁先１５８は、ウェーハ歯１４６の傾斜した表面、すなわち斜面１６２に係合している。ドアがドア枠内の定位置に入り込むように内向きに移動すると、ウェーハは斜面１６２に乗り上がり、それに対応してウェーハスプリング、すなわちフィンガー１５０は撓む。この図に示されているように、ウェーハの縁はまだ、破線で示されている弾性エラストマークッション１４０に接触していない。
【００２１】
図８Ａ及び図８Ｂには、ウェーハがウェーハポケット１４８に十分に着座してエラストマーウェーハクッション１４０に十分に係合している様子が示されており、ウェーハスプリング１５０は十分に撓んでいる。そして、図８Ａ及び図８Ｂには、ドアが十分な着座位置にある様子及びドア枠がドアの開口前部に嵌っている様子が示されている。
【００２２】
図９Ａ及び図９Ｂは、ドアがドア枠から取り外される際のウェーハＷの動きを示している。初めはウェーハはエラストマークッション１４０に着座している。ドアが取り外されると、図９Ａに示すようにエラストマークッションは短い距離Ｄだけ圧縮から戻る。同時に、ウェーハスプリング１５０もまた、撓みから図９Ａに示される位置まで撓みから戻る。弾性エラストマークッションは、その構成ゆえに、限られた距離ｄだけウェーハに追従する。一方、スプリング、すなわちウェーハクッションフィンガー１５０がそれよりも長い距離ｄ２だけ撓みから戻り続ける。これは有効に作用して、ある程度の粘着性を有しかねないエラストマークッションからクッションを分離し、その結果、取外し動作の間ウェーハがドアに追従するのを防止する。そして、ウェーハは、表面を滑り降りるか、そうでなければ、符号１６７の破線によって示されているように、ウェーハ支持部４６の載置位置まで降下する。したがって、ウェーハスプリングは、図９Ａ及び図９Ｂに示されているように、エラストマークッションの圧縮分ｄよりも長い距離ｄ２だけ撓む。
【００２３】
現在のところ最も好ましい図示された実施形態に加えて、当業者であれば、ウェーハ保持装置の三つの部材の様々な代替構成が本発明の範囲内で可能であることが分かる。例えば、図４に示されているウェーハスプリング１５０は、剛弾性で非粘着性の構造であれば、「Ｄ」字形断面を有する単一の部材のような、他のどんな構造に置き換えてもよい。このような実施形態においては、Ｄ字形部材は、部材の曲線部が搬送容器の中を向いて、積層されたウェーハに面するようにして垂直方向に置かれる。もう一つの他の実施形態においては、一対のエラストマーウェーハクッション１４０、１４２は、単一のクッション部材に置き換えてもよい。したがって、本発明の範囲は、エラストマーウェーハクッション部材、図示された実施形態の凹凸部１４４のようなウェーハ位置決め部材、及びウェーハをエラストマークッションから離脱させるスプリング作用部材、を有するウェーハ搬送容器ドアにおいて、あらゆる配列、形状、又は組み合わせを含んでよい。
【００２４】
図３、図１０、及び図１１を参照すると、発明に関するもう一つの側面が示されている。ドアはメインパネル部１８２を有し、メインパネル部１８２は周縁壁部１８４に結合されており、周縁壁部１８４はドアの周縁部沿いに延設されており、ドアの周縁部は前記ドアが容器部に受け入れられる際に容器部のドア枠内に対接して摺動する。メインパネル部１８２は、コーナー１８５、１８６、１８７、１８８において、ドアの前部１９０よりも凹んでいる。メインパネル部１８２は、パネルがコーナー間の中間領域に近づくにつれて前記凹部から傾けて、すなわち傾斜がつけられて、好ましくは円弧状に湾曲されている。したがって、コーナー１８５と１８８との間も、１８５と１８６との間も、１８５と１８７との間も、概ねドーム型、すなわち円弧形状となる。メインパネル１８２の中央部１７０は周縁部１７１よりも内側に配置され、パネルは搬送容器外部から見てほぼ皿形状となっている。メインとなる横断パネルの形状にこのようなほぼドーム型傾向を利用することによって、構造上の強度は有意に増加し、ウェーハ保持装置と積層されたウェーハが容器部で係合することによって生じる負荷に起因するドアの撓みに耐えられる。
【００２５】
図５及び図５Ａを参照すると、発明のもう一つの側面が示されている。この図は、ドア及びウェーハ搬送容器を横切った断面図であり、ウェーハ保持装置１１４内で定位置にあるウェーハＷを示している。ラッチ機構カバー１１８は、図５Ａに詳細に示されているように、ドアの周縁壁部１８４の穴１８８に係合するフック部１８６を有している。ドアラッチパネルカバー１１８はラッチ機構１２２全体に亘っており、複数のピン／穴圧入コネクタ１９４でドアの中央部１９２と結合している。このようなコネクタは米国特許第６２１６８７４号に記載されているようなものでよい。米国特許第６２１６８７４号は本出願の所有者によって所有され、したがって、その全体が参照として組み込まれている。
【００２６】
圧入結合１９４及びフック結合１８６で確実に結合することによって、ドアの左側と右側に構造上の剛性を与え、図５に示すように、ドアが定位置にある場合において、積層されたウェーハによって与えられる力Ｆに耐えるだけの有意な剛性の増加を与えることができる。一般的には、ラッチ機構カバー１１８は、周縁部がドア枠に留められているので、力Ｆが加わると引張力を受ける。発明のこの側面は、この力に対する耐性をラッチカバーパネル１１８によって大幅に向上させるものであり、有意な撓みはたとえあったとしてもごくわずかしかない。
【００２７】
本発明は好ましい実施形態を参照して記載されているが、当業者であれば本発明の精神及び範囲を逸脱せずに形態及び詳細の変更ができる可能性があることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】従来技術のウェーハ容器の典型的な図である。
【図２】本明細書の発明に係るウェーハ容器ドアの外向き面、すなわち前面の斜視図である。
【図３】図２のウェーハ搬送容器の内向き面、すなわち背面の斜視図である。
【図４】ウェーハ保持装置の詳細な斜視図である。
【図５】ウェーハ搬送容器と係合するドアの一部を横切る水平方向断面図である。
【図５Ａ】図５に示されたドア部分の拡大部分図である。
【図６Ａ】ドアの挿入中でウェーハと接触する前のウェーハ保持装置の垂直方向断面図である。
【図６Ｂ】ドアの挿入中でウェーハと接触する前のウェーハ保持装置の水平方向断面図である。
【図７Ａ】ドアの挿入中で、ウェーハはウェーハスプリングと接触した後だがウェーハはエラストマークッションで押圧される前のウェーハ保持装置の垂直方向断面図である。
【図７Ｂ】ドアの挿入中で、ウェーハはウェーハスプリングと接触した後だがウェーハはエラストマークッションで押圧される前のウェーハ保持装置の水平方向断面図である。
【図８Ａ】ドアが挿入されて完全に着座したウェーハ保持装置の垂直方向断面図である。
【図８Ｂ】ドアが挿入されて完全に着座したウェーハ保持装置の水平方向断面図である。
【図９Ａ】ドアの取外し中のウェーハ保持装置の垂直方向断面図である。
【図９Ｂ】ドアの取外し中のウェーハ保持装置の水平方向断面図である。
【図１０】図３の１０−１０線断面図である。
【図１１】図３の１１−１１線断面図である。
【図１】
2005518318.tif 000003
【図２】
2005518318.tif 000004
【図３】
2005518318.tif 000005
【図４】
2005518318.tif 000006
【図５】
2005518318.tif 000007
【図５Ａ】
2005518318.tif 000008
【図６ａ】
2005518318.tif 000009
【図６ｂ】
2005518318.tif 000010
【図７ａ】
2005518318.tif 000011
【図７ｂ】
2005518318.tif 000012
【図８ａ】
2005518318.tif 000013
【図８ｂ】
2005518318.tif 000014
【図９ａ】
2005518318.tif 000015
【図９ｂ】
2005518318.tif 000016
【図１０】
2005518318.tif 000017
【図１１】
2005518318.tif 000018
【国際調査報告】
2005518318.tif 000019