(57)【要約】  本発明はレーザ光（ＬＳ）用のミラー（２）に関する。ミラー（２）には、レーザ光（ＬＳ）から熱負荷を受けた範囲を冷却するために、冷却液（Ｆ）のための少なくとも１つの第１の冷却通路（１０）が配置されている。第１の冷却通路（１０）は、当該範囲がミラー（２）の中心に対して少なくともほぼ対称に冷却されるようにミラー（２）の内部を延びている。当該範囲で加熱された冷却液（Ｆ）が、熱により引き起こされた応力を補償するために、ミラー（２）の熱負荷を受けない範囲に案内されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光（ＬＳ）から熱負荷を受けた範囲を冷却するために、冷却液（Ｆ）用の少なくとも１つの第１の冷却通路（１０）が配置されているレーザ光（ＬＳ）用のミラー（２）であって、第１の冷却通路（１０）は当該範囲がこの範囲の中心に対して少なくともほぼ対称に冷却されるようにミラー（２）の内部を延び、当該範囲で加熱された冷却液（Ｆ）が熱により引き起こされる応力を補償すべくミラー（２）の熱負荷を受けない範囲に案内されているレーザ光（ＬＳ）用のミラー（２）。
【請求項２】
鏡面（４）とこの鏡面（４）に向かい合っている背壁（６）とを備え、当該範囲の冷却のための第１の冷却通路（１０）は、ミラー内部に置かれ当該範囲に隣接して配置された第１の通路部分（１００）と、ミラー内部に置かれ冷却液（Ｆ）の流れ方向において第１の通路部分（１００）の後に配置されかつ背壁（６）に隣接して配置された第２の通路部分（１０２）とを有する請求項１記載のミラー（２）。
【請求項３】
冷却液（Ｆ）のための少なくとも１つの供給通路（１２０）および少なくとも１つの出口通路（１２４）を備え、供給通路（１２０）および出口通路（１２４）は、冷却液（Ｆ）が第１の通路部分（１００）もしくは第２の通路部分（１０２）において中心部から縁部へもしくは縁部から中心部へ流れる少なくとも２つの部分流に配分されるように、第１の通路部分（１００）もしくは第２の通路部分（１０２）に接続されている請求項１又は２記載のミラー（２）。
【請求項４】
第１の通路部分（１００）と第２の通路部分（１０２）とはミラー内部にある少なくとも１つの側方の接続通路（１０３）を介して連通している請求項１乃至３の１つに記載のミラー（２）。
【請求項５】
第１の通路部分（１００）および第２の通路部分（１０２）は鏡面（４）もしくは背壁（６）にほぼ平行に延びている請求項１乃至４の１つに記載のミラー（２）。
【請求項６】
第１の通路部分（１００）と第２の通路部分（１０２）とは、それらの長さの少なくとも主要部分において、鏡面（４）に対してほぼ平行に走るミラー（２）の中心面（８０）に関して互いにほぼ鏡面対称に配置されている請求項１乃至５の１つに記載のミラー（２）。
【請求項７】
第１の通路部分（１００）は複数の対称に配置された供給通路（１２０）に接続されている請求項１乃至６の１つに記載のミラー（２）。
【請求項８】
第２の通路部分（１０２）は複数の出口通路（１２４）に接続されている請求項７記載のミラー（２）。
【請求項９】
第１の冷却通路（１０）とほぼ同一構造の第２の冷却通路（１１）が設けられ、第１の冷却通路（１０）と第２の冷却通路（１１）とは、中心面（８０）に対して垂直に延びる対称平面（８）に対して鏡面対称に配置されている請求項１乃至８の１つに記載のミラー（２）。
【請求項１０】
第１の冷却通路（１０）と第２の冷却通路（１１）とは、ミラー内部にある垂直の接続通路（１０８）を介して互いにそれぞれ連通している請求項９記載のミラー（２）。
【請求項１１】
特にスラブレーザ用の共振器ミラーであって、基板（２１）およびカバー板（２３）を備え、両板間に、鏡面（４）と冷却通路（１０，１１）とを有する反射体板（２２）が配置されている請求項１乃至１０の１つに記載のミラー（２）。
【請求項１２】
レーザガス（ＬＧ）が平らに広がった電極（４０）の間に存在し、電極（４０）は狭い放電空間（４１）を定め、放電空間（４１）には少なくとも一方の端面（４２）に共振器ミラーとして請求項１乃至１１の１つに記載のミラー（２）が付設されているスラブレーザ、特にＣＯ２高出力スラブレーザ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高出力密度のレーザ光用の冷却式ミラーに関する。
【０００２】
高出力レーザ光の案内または形成に使用されるミラーは、レーザ光における高い出力密度と、衝突する出力の一部の避け得ない吸収とにより、高い熱負荷を受ける。これは、一方では、作動中に反射被膜の損傷を招き得るミラーの局部加熱をもたらす。他方では、片側からの熱入力によってミラーの内部に大きな温度勾配が生じる。この温度勾配は、鏡面の変形をもたらし、これにともなってレーザ光の特性、すなわちレーザ光の輪郭（形状）および伝播方向の望ましくない変化をもたらす。
【０００３】
このような変形を避けるために、基本的には、当該ミラーを液体により冷却することが知られている。しかしながら、多くの適用例においてミラーの簡単な冷却は、変形を是認できる程度に低減するためには十分でない。むしろ、熱により誘導された変形を避けるために、鏡面の冷却のほかにミラーの反射面とは反対側にある背面の同時加熱も必要である。このようなミラーは、例えば米国特許４２５３７３９号明細書から公知である。これによると、ミラーの背壁を加熱することにより、熱によって誘導される鏡面変形を補償するために、鏡面範囲で加熱された冷却液がミラーの背壁に案内される。このために、冷却液が側方からミラー本体内へ導入され、ミラー板の下部においてミラーの反対側縁部へ向けて流れ、そこから背壁へ案内され、同様にミラーの側方縁部にある出口に向かって反対方向に戻るように流れる。しかしながら、このようにしても、鏡面の不均一な加熱およびそれにともなう鏡面の変形を防止することはできない。
【０００４】
熱により引き起こされた変形は、特に共振器ミラーとして使用されるミラーの場合には望ましくない。共振器ミラーにおいて変形は特に有害である。なぜならば、その変形に付随して生じる共振器の光学特性の低下が共振器から出射するレーザ光の特性に特に敏感に作用するからである。これは、特に例えば米国特許４７１９６３９号明細書から知られているような拡散冷却される高出力ＣＯ２スラブレーザの場合、電極の全幅に亘って延在する共振器ミラーの大きな膨張のゆえに問題である。公知のスラブレーザの場合にはこのためにできるだけ高反射性の表面により熱入力を最小限に減らしたミラーが専ら使用される。しかしながら、このような表面の製造は一般に高価である。更に、そのような表面は、作動中に、生じ得る汚れによって良好な反射特性を失う。
【０００５】
このために、西独特許第４４２８１９４号明細書においては、先に挙げた米国特許第４２５３７３９号明細書から公知のミラーと同様に、レーザ光によって引き起こされる変形を補償するために、スラブレーザの共振器ミラーに制御可能な熱源、例えばスラブレーザの背面に配置された加熱導体を熱的に結合することが提案されている。しかしながら、高出力範囲では、このような補償は特に顕著な出力変化をともなう作動の際には熱変形を避けるにはもはや十分でないことが判明した。なぜならば必要な加熱容量が大きくなりすぎて制御があまりにも緩慢になるからである。
【０００６】
本発明の課題は、片側の熱入力によって生じる鏡面の変形が付加的な熱源の使用なしにも低減されるようなレーザ光用のミラーを提供することにある。
【０００７】
この課題は、本発明によれば、請求項１の特徴事項を備えたミラーによって解決される。この特徴事項によれば、レーザ光から熱負荷を受けた範囲、すなわちレーザ光を照射された面に隣接する範囲の冷却のために、冷却液用の少なくとも１つの第１の冷却通路は当該範囲がこの範囲の中心に対して少なくともほぼ対称に冷却されるようにミラー内部に配置され、当該範囲で加熱された冷却液が熱により引き起こされる応力を補償すべく熱負荷を受けない範囲、すなわちレーザ光を照射されないミラー範囲に案内されている。
【０００８】
加熱された冷却液が、レーザ光によって直接に加熱されない（熱負荷を受けない）ミラー範囲に案内され、吸収した熱量の一部をそこで放出することから、効率の良いミラー冷却に加えて、別の熱源を必要とすることなしに、鏡面の変形、すなわち鏡面の設定形状からのずれを引き起こすミラー内部の温度勾配が軽減される。従って、本発明は、別の熱源の代わりに、ミラーの熱負荷を受けた範囲で加熱された冷却液自体を熱源として使用するという着想に基づいている。従って、熱負荷を受けた範囲の熱上昇によって加熱された冷却液は、温度勾配の存在のもとに望ましくない変形をもたらしていた領域にある熱負荷を受けないミラー範囲を加熱するために用いられる。個々の具体的な事例において、熱負荷を受けない範囲への冷却通路の好ましい案内とその構造的な設計は、ミラー本体の具体的な形状と、レーザ光を照射された鏡面部分の位置および幾何学的形状とに著しく依存する。
【０００９】
更に、冷却液によって吸収された熱量およびこれにともなってミラー背面で冷却液から放出された熱量がレーザ光により生ぜしめられた熱入力によって直接的に定まることから、この熱負荷を受けないミラー範囲の、許容できない温度勾配を避けるために必要な加熱を、その都度のレーザ作動条件に適合させることは、必然的にかつ外部の制御装置を必要とすることなしに達成される。
【００１０】
更に、第１の冷却通路は、熱負荷を受けた範囲の少なくともほぼ中心対称の冷却が行なわれるように配置されている。これは鏡面の形状そのままでの膨張をもたらすので、ミラーの光学的特性の変化が十分に避けられる。
【００１１】
有利な実施態様において、第１の冷却通路は、ミラー内部に置かれミラーの鏡面に隣接して配置された第１の通路部分と、ミラー内部に置かれ冷却液の流れ方向においてこの第１の通路部分の後に配置されかつ背壁に隣接して配置された第２の通路部分とを有している。加熱された冷却液がミラーの背壁へ案内され、吸収した熱量の一部をその背壁で放出するので、ミラーの効率のよい冷却と同時に、鏡面の変形に対する主たる原因である鏡面と背壁との間の温度勾配が明らかに低減される。
【００１２】
本発明の特に有利な構成では、ミラーが冷却液のための少なくとも１つの供給通路および少なくとも１つの出口通路を備え、これらの供給通路および出口通路は、冷却液が第１の通路部分もしくは第２の通路部分において中心部から縁部へもしくは縁部から中心部へ流れる少なくとも２つの部分流に配分されるように、第１の通路部分もしくは第２の通路部分に接続されている。それによってミラーの対称的な冷却が生じ、熱変形が更に低減される。
【００１３】
特に、第１の通路部分と第２の通路部分とはミラー内部にある少なくとも１つの側方の接続通路を介して連通している。これは、冷却液内にもたらされた熱量の特に効率のよい利用を可能にし、ミラー内に特に均一な温度分布を生じる。
【００１４】
特に、第１の通路部分および第２の通路部分は鏡面もしくは背壁にほぼ平行に延びている。これらの通路部分は鏡面もしくは背壁の形状に十分に合うことから、非対称の熱負荷が十分に回避され、熱により誘導されたゆがみが付加的に低減される。
【００１５】
本発明の他の有利な構成では、第１の通路部分と第２の通路部分とは、それらの長さの少なくとも主要部分において、ミラーの中心で鏡面にほぼ平行に走るミラーの中心面に関して互いにほぼ鏡面対称に配置されている。第１の通路部分と第２の通路部分との鏡面対称な配置によってミラーの全容積における均一な冷却が可能にされ、熱応力の発生が顕著に低減される。
【００１６】
本発明の他の特に有利な構成では、第１の通路部分は複数の対称に配置された供給通路に接続されている。それによって、熱負荷を受けた範囲の多数の個所に未使用の冷却水が導かれ、ミラーの温度がミラー全面に亘って一様になる。
【００１７】
他の有利な実施態様では、第２の通路部分も複数の出口通路に接続され、それによって第２の通路部分によって加熱された範囲においても温度の一様性が生じる。
【００１８】
特に、第１の冷却通路とほぼ同一構造の第２の冷却通路が設けられ、第１の冷却通路と第２の冷却通路とは、鏡面に当たるレーザ光の中心面に対して垂直に延びる対称平面に対して鏡面対称に配置されている。それによって、使用可能な熱交換面積が広められ、それにより冷却効率が改善される。この実施態様では、ミラーは特に、長く延びた矩形の外形を有するレーザ光、つまりレーザ光軸線に対して直角方向の軸線における大きな広がりとその軸線に対して垂直方向の小さい広がりとを有するレーザ光に適している。該当するミラーは同様にほぼ矩形の形状を有し、すなわち大きな横方向広がりと僅かな高さとを有する。更に、特に、スラブレーザの狭い放電空間から共振器ミラーへ出射するレーザ光のようにレーザ光の幅が非常に狭い適用例においては、僅かな不調整（レーザ光の中心平面≠ミラーの対称平面）がミラーの障害的変形をもたらさないように、通路部分間のミラーの中心範囲、すなわち対称平面の両側にほんの数ｍｍで広がる範囲が一様に冷却されることが保証されている。更に、互いに隔てられた２つの冷却通路への分割によって、鏡面にそれぞれ隣接する第１の通路部分をできるだけ表面近くに近づけるができる。なぜならば、第１の通路部分の間に鏡面を支えるブリッジ部が残っているからである。その場合に冷却通路の個数は２つに限定されない。むしろ３つ以上の対称に配置された冷却通路を設けることもできる。
【００１９】
有利な実施態様では、ミラーは基板およびカバー板を含み、両板間には鏡面と冷却通路とを有する反射体板が配置されている。このサンドイッチ構造によって、反射体板の両平坦面を削って反射体板内に冷却通路を形成することができるので、冷却通路の形状付与および敷設を製造技術的に簡単にその都度の要求に合わせることができる。
【００２０】
本発明によるミラーは、特にスラブレーザ、特にＣＯ２高出力スラブレーザの共振器ミラーとして使用するのに適している。
【００２１】
本発明の更なる説明のために、図面の実施例を参照する。
図１は本発明によるミラーの概略を原理的に示す斜視図、
図２はそのミラーの平面図、
図３はスラブレーザ用の共振器ミラーとして設けられた本発明によるミラーの構造を示す鏡面側からの正面図、
図４は図３によるミラーをレーザ光の伝播平面に対して垂直方向から見た平面図、
図５は図３に記入された切断線Ｖ−Ｖに沿ったミラー断面図、
図６はスラブレーザ用共振器ミラーの他の特に有利な実施例、
図７および図８は本発明による共振器ミラーを備えたスラブレーザの概略を原理的に示す平面図および側面図である。
【００２２】
図１によれば、レーザ光ＬＳがミラー２に当たり、ミラー２によって反射される。この実施例では、矩形のビーム形状を有するレーザ光ＬＳと平坦な鏡面４を有するミラー２が示されている。レーザ光ＬＳは、ハッチングで強調された面Ａを照射し、この面Ａにおいて、レーザ光ＬＳの高い強度と不可避の部分的吸収とに基づいてミラー２に熱がもたらされ、ミラーのこの面の周囲は熱負荷を受ける（熱負荷を受けた範囲）。
【００２３】
ミラー２内には、冷却液Ｆが通流する破線で示された第１の冷却通路１０が延びている。冷却通路１０はミラー内部に置かれ鏡面４に隣接して延びている第１の通路部分１００を含み、冷却液Ｆの流れ方向においてこの第１の通路部分１００の後に、ミラー内部に置かれミラー２の背壁６に沿って案内されている第２の通路部分１０２が配置されている。
【００２４】
鏡面４に対向するミラー２の背壁６の加熱がなければ、鏡面４と背壁６との間に鏡面４のゆがみをもたらす温度勾配が形成されたであろう。
【００２５】
これが図２に示されている。片側の熱入力およびそれにより生じさせられる温度勾配ΔＴによって、破線で図示されているように、背壁６の長さ膨張分ΔＬ１が鏡面４の長さ膨張分ΔＬ２よりも少ないという結果となったであろう。この差は鏡面４の湾曲となってはっきりと現われる。
【００２６】
このような温度勾配は、今や本発明に従って、第１の通路部分１００内で加熱された冷却液Ｆが、第２の通路部分１０２を通流する際に、ミラー２の背壁６を、ミラー２の熱吸収、従って鏡面４へのパワー入力に相当する程度に加熱することによって回避される。
【００２７】
冷却液Ｆの供給は、一般にミラーに当たるレーザ光ＬＳの中心と一致するするミラー２のほぼ中心における供給通路１２０を介して行なわれる。冷たい冷却液Ｆは２つの部分流に分かれる。２つの部分流は鏡面４の直ぐ近くにおいて鏡面４に対して平行にかつ互いに反対方向に外側に向かってミラー２の側方縁７へ流れる。冷却液Ｆは、面Ａを介してミラー２内へ入力される熱を奪って次第に熱くなり、鏡面４に沿って中心に向かって温度低下を生じる。ミラー内部にあり側方縁７に配置されている接続通路１０３を通って、冷却液Ｆは背壁６に沿って延びている第２の通路部分１０２へ案内される。そこで冷却液Ｆは、吸収した熱量の一部を放出し、しかる後にほぼミラー中心において出口通路１２４を介してミラー２から外に案内される。その際に背壁６の範囲において冷却液Ｆは鏡面４の範囲における流れ方向とは逆方向に流れる。それによって、加熱された冷却液Ｆが背壁６の縁領域を中心範囲よりも強く加熱するので、背壁６では鏡面４におけると同様に中心に向かって温度低下を生じる。鏡面４において存在するのとほぼ等しい温度分布を持つミラー２の背壁６の加熱は、ミラー２の鏡面４および背壁６が内部応力を避けながらほぼ同程度に膨張し、曲がりが防止されるようにする。これは、ミラー２の右側方縁７におけるハッチング範囲によって図示されている。
【００２８】
図１および図２に基づいて説明した考察は、基本的には他のビーム形状および湾曲した、すなわちビームの形に合わせた鏡面にも適用可能である。重要なことは、照射された面にもたらされた熱を冷却材によって奪うだけでなく、冷却通路の相応の構造によりレーザ光を照射されないミラー容積範囲を加熱するのに利用することによって、冷却液の案内が温度分布の均質化を生ぜしめることにある。
【００２９】
図３によれば、ミラー２は、ＣＯ２スラブレーザの共振器ミラーであり、サンドイッチ構造様式にて基板２１、反射体板２２およびカバー板２３から構成され、これらは特に銅Ｃｕからなり、互いにろう付けされている。反射体板２２は端面側にハッチングを施された凹面状に湾曲した鏡面４を保持し、この鏡面は具体的な実施例では回転放物面の一部である。
【００３０】
反射体板２２には、その横方向ｙにかつ鏡面４に対して垂直に広がっている対称平面８に対して鏡面対称に第１の冷却通路１０および第２の冷却通路１１が配置され、これらの冷却通路の経過が図４による平面図（対称平面８に対して平行な紙面）に破線で記入されている。第１の冷却通路１０は第１の通路部分１００を有し、この第１の通路部分１００は鏡面４のできるだけ近くを走り、ほぼミラー２の横方向の広がり全体に亘って延びているので、スラブレーザの作動時にレーザ光によって照射され、従って熱負荷を受ける鏡面全体が冷却される。
第２の通路部分１０２はミラー内部にある側方の接続通路１０３を介して第１の通路部分１００に接続され、共振器ミラー２の鏡面４とは反対側の背壁６に対してほぼ平行に延びているので、第１の冷却通路１０はリング状でありかつ反射体板２２の外側輪郭に十分に合っている。第１の通路部分１００と第２の通路部分１０２とは、鏡面４に対してほぼ平行に走りかつ紙面に対して垂直に走る中心面８０に関して互いにほぼ鏡面対称に配置されている。
【００３１】
この図４による平面図において、第１の冷却通路１０の下側に、対応する同一構造の通路部分１１０，１１２および接続通路１１３を備えた同一構造の第２の冷却通路１１がある。
【００３２】
鏡面４を効率よく均一に冷却するために、第１の通路部分１００，１１０は、ミラー２の紙面に平行に走る対称平面８を備えた鏡面４の切断線９に対して平行に横方向ｙに延びているので、第１の通路部分１００，１１０の鏡面４側の各壁面１０１，１１１は鏡面４の湾曲に合わせられている。実際上の典型的な値が約１〜２ｍの大きさであるという鏡面４の大きな曲率半径のために、壁面１０１，１１１はそれに対して垂直な平面において曲げられる必要はない。
【００３３】
ミラー２は、その背壁６に冷却液Ｆを供給もしくは排出するための接続短管１０４，１０６を備えている。
【００３４】
図５による断面図から、反射体板２２内に第１の冷却通路１０と第２の冷却通路１１とが対称平面８に対して対称に配置されていることが分かる。第１の冷却通路１０と第２の冷却通路１１とは垂直な接続通路１０８を介して互いにそれぞれ連通している。垂直な接続通路１０８は入口通路１２０の直ぐ上および出口通路１２４の直ぐ下にある。
【００３５】
第１の冷却通路１０および第２の冷却通路１１はほぼ矩形の横断面形状を有する。その場合に、冷却通路１０，１１の製造は、共振器ミラー２のサンドイッチ構造により、製造技術上簡単に、例えば両平坦面へのフライス削り加工により実現することができる。鏡面４の大きな曲率半径により、その実際の湾曲は図５の紙面ではもはや認識できない。鏡面４はその紙面においてはほぼ平坦であることから、鏡面４に隣接する通路部分１００，１１０の鏡面４側の平らな壁面１０１，１１１は常に鏡面４に対して平行であるので、鏡面４は十分に一様に冷却され、応力が避けられる。
【００３６】
対称平面８に対して対称に配置された第１の冷却通路１０と第２の冷却通路１１との間には、その対称平面８の両側に広がる反射体板２２の、つまりミラー２の中実の中心範囲がある（切断線Ｖ−Ｖの位置によっては、中心範囲が図で断面を認識することができない）。この中心範囲は鏡面４に対して安定化の働きをするブリッジ部を形成する。従って、互いに隔てられかつ対称平面８に対して対称に配置された２つの第１の通路部分１００，１１０を備えた反射体板２２の内部に冷却液Ｆを案内することは、鏡面４の効率のよい冷却に顕著に貢献する。これは、ミラー２がスラブレーザの共振器ミラーとして使用される場合に特に有利である。横方向の広がりに対して垂直方向へのレーザ光ＬＳの広がりｈはほんの数ｍｍ（典型例では１〜２ｍｍ）である。鏡面４の不均一な冷却は、不均一な温度分布の際にレーザ光位置に依存した鏡面４の光学特性に基づいて鏡面４において起こり得るレーザ光位置の不調整または変動が共振器特性の著しい変動もしくは悪化をもたらしていた。
【００３７】
図６による実施例においては、第１の通路部分１００が多数の供給通路１２０を介して中央の分配器通路１２２に接続されている。供給通路１２０は、中心軸線の周りに対称に配分され、第１の通路部分１００に種々の個所で未使用の冷却液Ｆを供給する。冷却液を多数の冷たい部分流に分けることによって、鏡面４に沿った横方向ｙにおける温度勾配が低減される。背面側でも温度勾配を緩やかにするために、同じように第２の通路部分１０２も多数の出口通路１２４を介して中央の集合通路１２６に接続されている。分配器通路１２２および集合通路１２６は比較的近くに集まっているので、流入する冷却液と流出する冷却液との間で付加的な熱交換が行なわれ、この熱交換は反射体板２２の前面と背面との間における温度勾配の均一化に付加的に寄与する。
【００３８】
図７および図８によれば、ミラー２はＣＯ２スラブレーザの共振器ミラーとして使用されている。このようなＣＯ２スラブレーザは平面状に広がった板状電極４０を有し、電極４０の間にはレーザガスＬＧが存在する。電極４０は、狭い数ミリメートルの高さでかつ縦方向ｘおよび横方向ｙに広がっている放電空間４１を定め（ｋＷ範囲の高出力レーザの典型的な値は、高さｈ≒１〜２ｍｍ、長さＬ≒１ｍ、幅Ｂ≒０．５ｍ）、放電空間４１には各端面４２のところに共振器ミラーとして横方向ｙに広がった比較的狭い液体貫流式ミラー２が付設されている。図示の実施例において、共振器は凹状に湾曲した鏡面４を有するミラー２をそれぞれ備えたＰ枝の不安定共振器である。一方のミラー２は放電空間４１の全幅Ｂに亘って広がっていないので、それの縁部では、共振器内に発生したレーザ光ＬＳが出射することができ、レーザ光ＬＳはほぼ端面４２の形状に一致する矩形のビーム形状を有する。
【００３９】
更に、共振器ミラーの一方、例えばバックミラーはその背面側に破線で示されている熱源５０を備え、この熱源５０により、場合によっては生じる残留熱応力を補償することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明によるミラーの概略を原理的に示す斜視図
【図２】図１のミラーの平面図
【図３】スラブレーザ用の共振器ミラーとして設けられた本発明によるミラーの構造を鏡面側から見た正面図
【図４】図３によるミラーをレーザ光の伝播平面に対して垂直方向から見た平面図
【図５】図３に記入された切断線Ｖ−Ｖに沿ったミラーの断面図
【図６】スラブレーザ用共振器ミラーの他の特に有利な実施態様を示す平面図
【図７】本発明による共振器ミラーを備えたスラブレーザの概略を原理的に示す平面図
【図８】本発明による共振器ミラーを備えたスラブレーザの概略を原理的に示す側面図
【符号の説明】
【００４１】
２              ミラー
４              鏡面
６              背壁
７              縁
８              対称平面
１０            第１の冷却通路
１１            第２の冷却通路
４０            電極
４１            放電空間
４２            端面
２１            基板
２２            反射体板
２３            カバー板
５０            熱源
８０            中心面
１００          第１の通路部分
１０１，１１１  壁面
１０２          第２の通路部分
１０３          側方の接続通路
１０４，１０６  接続短管
１０８          垂直の接続通路
１１０，１１２，１１３  通路部分
１２０          供給通路
１２２          分配器通路
１２４          出口通路
１２６          集合通路
ｘ              縦方向
ｙ              横方向
ｈ              広がり
Ｂ              幅
Ｌ              長さ
Ｈ              高さ
Ｆ              冷却液
ＬＧ            レーザガス
ＬＳ            レーザ光
【図１】
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【図２】
2005515492.tif 000004
【図３】
2005515492.tif 000005
【図４】
2005515492.tif 000006
【図５】
2005515492.tif 000007
【図６】
2005515492.tif 000008
【図７】
2005515492.tif 000009
【図８】
2005515492.tif 000010
【国際調査報告】
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2005515492.tif 000012
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