(57)【要約】本発明は、半径方向に外周溝（１１２）を有する環状のシーリング体（１１０）と、上部負荷集中突起（１１８a)と、下部負荷集中突起（１１８b)と、前記負荷集中突起の中心から前記シールの半径方向の内端へ伸びる圧縮緩和領域（２３５）と、  前記負荷集中突起の中心から前記シールの半径方向の外端へ伸びる圧縮緩和領域（１３０）と、を備えたシール（１００）に関する。  さらに、本発明の側面は、受け入れローべ（２５４）および保持ローベ（２５６）が設けられたシール保持孔（２５２）を有する薄い金属製シート、を備えたシールリテイナーであって、前記受け入れローベは、その中に保持される前記シールの外径より大きな直径を有し、前記シール保持ローベは、前記外周溝のアーチ部（１１４）の最も小さい直径より大きな直径を有する薄い金属シートを備えたシールリテイナー（２５０）に関する。
2005517883.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シールであって、
半径方向に外周溝を有する環状のシーリング体と、
上部負荷集中突起と、
下部負荷集中突起と、
前記負荷集中突起の中心から前記シールの半径方向の内端へ伸びる圧縮緩和領域と、  前記負荷集中突起の中心から前記シールの半径方向の外端へ伸びる圧縮緩和領域と、を備えたこと、
を特徴とするもの。
【請求項２】
請求項１のシールにおいて、前記半径方向の外周溝は、半径方向の最も内部に頂点を有すること、
を特徴とするもの。
【請求項３】
請求項２にかかるシールにおいて、前記負荷集中突起は、前記アーチ部の前記頂点から半径方向の外側にずれていること
を特徴とするもの。
【請求項４】
請求項１のシールにおいて、前記半径方向の外周溝は、ほぼＵ形状であること、
を特徴とするもの。
【請求項５】
請求項１のシールにおいて、前記半径方向の外周溝は、ほぼＶ形状であること、
を特徴とするもの。
【請求項６】
請求項１のシールにおいて、前記シールは、金属製のシールを備えたこと、
を特徴とするもの。
【請求項７】
請求項６のシールにおいて、前記金属製シールは、高純度の３１６Ｌステンレス鋼(316L stainless steel))を含むこと、
を特徴とするもの。
【請求項８】
請求項６のシールにおいて、前記金属製シールには、アニーリング、電解研磨(electro-polishing)および化学的パッシベーション(chemical passivation)の処理工程、の少なくとも一つが施されていること、
を特徴とするもの。
【請求項９】
請求項１のシールにおいて、前記シールは、アルミニウム、ニッケル、ニッケル合金、又は銅のいずれか一つを含むこと、
を特徴とするもの。
【請求項１０】
受け入れローべ(reception lobe)および保持ローベ(retention lobe)が設けられたシール保持孔を有する薄い金属製シートを備えたシールリテイナーであって、前記受け入れローベは、ぞの中に保持される前記シールの外径より大きな直径を有し、前記シール保持孔は、前記外周溝のアーチ部の最も小さい直径より大きな直径を有すること、
を特徴とするもの。
【請求項１１】
請求項１０のシールリテイナーにおいて、さらに、受け入れローベおよび保持ローベを有する、少なくとも一の別のシール保持孔、を備えること、
を特徴とするもの。
【請求項１２】
シール保持アセンブリであって、請求項１０の前記シールリテイナー、ならびに、それぞれが、半径方向に外周溝を有する環状のシーリング体と、上部負荷集中突起と、下部負荷集中突起と、前記負荷集中突起の中心から前記シールの半径方向の外端へ伸びる圧縮緩和領域と、を有する少なくとも２のシール、を備えたこと、
を特徴とするもの。
【請求項１３】
請求項１２のシール保持アセンブリにおいて、さらに、前記シールリテイナーに別のシール保持孔、ならびに、前記シール保持孔に関連する別のシール、を備えたこと、
を特徴とするもの。
【請求項１４】
請求項１２のシール保持アセンブリであって、基板とコンポーネント部との間にはめこまれ、前記コンポーネント部は、前記基板に固定され、前記シール保持アセンブリの前記少なくとも２のシールを圧迫すること、
を特徴とするもの。
【請求項１５】
請求項１４のシール保持アセンブリであって、前記シールは、前記圧迫中に、前記外周溝の領域において弾性的に変形される(elastically deformed)こと、
を特徴とするもの。
【発明の詳細な説明】
【関連出願】
【０００１】
本出願は、その開示が参照のため取り込まれる２００２年２月２０日出願の米国仮特許出願番号６０／３５８、３１６の優先権を主張する。
【技術分野】
【０００２】
本発明は、シーリングアセンブリに関し、より具体的には、塑性変形可能な負荷集中特性を有する弾性変形可能な金属シール、ならびに、一以上の金属シールを伴うリテイナープレートに関する。
【関連技術の説明】
【０００３】
【特許文献１】米国特許番号第６、０４３、１２１号
【０００４】
【特許文献２】米国特許番号第６、４０９、１８０号
【０００５】
従来の半導体製造におけるガス供給システムは、ステンレス鋼の管を溶接した部品から構成されている。これらのシステムは、大きな設置面積(large foot  print)を必要とする。また、溶接が施されていたため、部品を取り替えるのも困難であった。これに加え、溶接により、腐食を生じさせ、粒子を生成させてしまう傾向のある熱影響部(heat affected area)、を生じさせてしまう。
【０００６】
新たなモジュール表面実装（Modular Surface Mount technology、ＭＳＭ）技術により、設置面積は、かなり小さくすることができる。前記部品は、代わりに、部品間の金属シールをボルト留めしている。これにより、部品の交換ならびに構成についてより柔軟性の高いシステムを構成する。また、ＭＳＭ技術は、溶接の必要がないので、熱影響部を生じさせることがない。ＭＳＭ技術を成功に導くのに不可欠なのは、半導体業界の清浄度の要求に適合する、超低漏えい率の金属シールである。
【０００７】
ＭＳＭガス供給システムは、半導体業界用のガスの供給を制御し、調整するため用いられる。これらのシステムは、通常、ボルト留めされたステンレス鋼製の加工済みブロックを備えている。かかるブロックの頂上には、複数のオリフィスがある。フィルター、流量調整弁、圧力変換器、圧力スイッチ、バルブ等のモジュール部品が、前記ブロック上に設けられており、ガス通路は、前記オリフィスから、および、それを通じてガスを供給することにより定義される。各オリフィス／部品の接合部において、ガス漏れ防止ならびに汚染物質のシステム内への侵入防止のため、シールが設けられている。半導体業界用には、超クリーンで、耐腐食の金属シールが必要とされる。かかるシールは、漏れが非常に小さく、フランジ、および、それによりこれらが結合されるハードウエアインターフェースに対する歪みあるいはダメージを最小化させなければならない。クリーンルーム環境において小さなシールの取り扱いを容易にするため、シールは、リテイナーと呼ばれる薄い金属板内に取り付けられる。かかるシールは、取り付けの間、シールを所定位置に保持するリテイナー内の穴の中に挿入される。次に、リテイナーおよび複数の独立したシールから構成された、このシールアセンブリは、インターフェース内のモジュール部品間に取り付けられる。これらのシステムは、ブロックのサイズ、オリフィスのサイズ、ならびに、位置を業界内で共通化するよう、インターフェースを標準化するため開発された。これにより、シールが、ほとんどのＭＳＭガス供給システムに普遍的に使用可能となった。
【０００８】
図１から図４に、従来技術のシールならびにシールアセンブリを示す。図１および図２は、つる巻きバネを有する典型的な”Ｃ”型シールを示している。かかるシール１０は、つる巻きバネ３０を包む可塑性のジャケット(ductile jacket)２０を有している。かかる可塑性ジャケット２０は、バネ３０を完全に包含せず、リテイナー５０内にシールを保持する役割を果たすギャップ２２を残す。この構造により、負荷集中突起を可塑的に変形させるのに必要とされる負荷を提供するバネ３０を用いてモジュール部品間でシール１０を圧迫することが可能となる。このようなシールの複雑な性状から、性能低下の原因となる製造上の不一致を招くことがある。
【０００９】
図３及び図４は、２のシール孔５２ならびに４つの固定穴６０を備える薄い金属シートを有するリテイナー５０を示す。プレートにリリーフ切り込み５４を施すことにより、シール保持孔５２内にシール１０を取り付けることが可能となる。この設計の欠点の一つは、リテイナーが撓んだり曲がったりした場合に、シールが抜け易い性質を有することである。この設計のリテイナーは、かかるシステムに要求される正の保持力を提供しない。
【００１０】
かかる用途のための他の従来技術によるシールは、Ｍａ等に対する米国特許番号６、０４３、１２１およびＳｐｅｎｃｅ等に対する米国特許番号６、４０９、１８０に開示されている。そこに開示されている金属製のリングは、負荷が与えられると曲がるよう(to buckle under an applied load)構成された可塑的に変形可能なコラム(plastically deformable column)により形成されている。これらは、通常、シールを変形可能とするため、コラム内に内部環状溝を有する２の平らなシーリング面を備えている
漏れが小さく、汚染が少ないシールが求められるＭＳＭガス供給システムならびに他の用途に用いられる、効率的なシールが提供されることが望ましい。また、その一部が、複雑さとその欠点となる傾向を最小化するようなシールを提供することが有益である。簡素で、他の多くのシリング用途に適用可能であるよう設計がなされたシールを提供することが、より望ましい。
【発明の概要】
【００１１】
本発明のある側面においては、半径方向の外周溝を有する環状のシーリング体、上部負荷集中突起、下部負荷集中突起、負荷集中突起の中心から、シールの半径方向の内端へ伸びる圧縮緩和領域、ならびに、負荷集中突起の中心から、シールの半径方向の外端へ伸びる圧縮緩和領域、を備えたシールが設けられる。
【００１２】
本発明のシールの特徴ならびに効果は、一体に構成され、高真空で、低微粒子となることが必要なシーリング用途に適用可能である、ことである。また、基本的な設計ならびに構造は、他のシール用途に用いてもよく、本発明のサイズおよび範囲は、製造および加工の問題によってのみ制限される。
【００１３】
本発明の他の側面においては、受け入れローべおよび保持ローベが設けられたシール保持孔を有する薄い金属製シートを備えたシールリテイナーであって、前記受け入れローベは、その中に保持される前記シールの外径より大きな直径を有し、前記シール保持孔は、前記外周溝のアーチ部の最も小さい直径より大きな直径を有するもの、が設けられる。
【００１４】
シールおよびリテイナーに対し、本発明の様々な側面が、改良された性能および取り扱い特性を提供する。
【００１５】
本発明の様々な側面は、シール並びにシールリテイナーの性能および取り扱い特性を改良する。本発明のシールおよびリテイナーを、多くの異なる用途に用いるようにしてもよいが、これらは、ＭＳＭガス供給システム等の、高真空で低微粒子環境に特に適している。
【詳細な説明】
【００１６】
図面を参照すると、同じ参照番号は、本発明のいくつかの実施形態の同じ特徴を示しており、図５に、本発明に基づいて構成されたシールが示されている。シール１００は、様々なシーリングの用途に用いることができるが、特に、半導体業界で用いられているＭＳＭガス供給システム等の超クリーン動作環境に適している。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態に基づくシール１００の断面図である。シール１００は、環状のシーリング体、本発明の好ましい実施形態では、円形のものを備えている。しかし、当業者には、シール１００を、長円形、矩形、楕円形等、どのような環状に製造してもよいことが明かである。
【００１８】
シール１００は、非腐食性材料(non-corrosive material)から構成された環状シーリング体１１０により定義される。本発明の好ましい実施形態において、シーリング体１１０は、高純度の３１６Ｌ等の完全にアニールされたステンレス鋼、あるいは、他の同様の材料等を含んでいる。他の適切な材料には、アルミニウム、ニッケル、ニッケル合金および銅を含んでいる。シーリング体１１０は、アニールされ、残存する自由イオンを除去するため、化学的パッシベーション等の電解研磨および／または、等の他の表面処理により処理されていることが好ましい。
【００１９】
図５に示す本発明の第１側面において、シーリング体１１０は、制御可能で、高度に予測可能に弾力的な変形が行われるような寸法にされ、構成される。より具体的には、シーリング体１１０は、柔軟性のある回転アーチ部１１４を定義する、半径方向の外周に存するほぼＵ形状の溝１１２を有している。負荷が加えられると、シーリング体１１０は、外周溝１１２、２１２の領域において準変形状態となる。
【００２０】
図６に示す本発明の他の実施形態においては、シール２００が設けられる。シール２００は、そのシーリング体２１０が、柔軟性のある回転アーチ部２１４を定義する、ほぼＶ形状の外周溝１１２を有することを除き、シール１００とほぼ同じである。
【００２１】
ＵおよびＶ形状構造のいずれもが、多くの共通の属性を有しているが、以下の問題は、通常、両方の実施形態に共通のものである。シーリング体１１０、２１０の上部および下部１２０a、２２０aおよび１２０b、２２０bの上に、上下に対向する可塑的に変形可能な負荷集中突起１１８a、２１８aおよび１１８b、２１８b、が設けられる。かかる部分１２０a、２２０aおよび１２０b、２２０bは、外周溝１１２、２１２により定義され、外周溝１１２、２１２の軸方向上下にシーリング体１１０、２１０の領域を有している。前記負荷集中突起１１８a、２１８aおよび１１８b、２１８bは、外周溝１１２、２１２の最小の直径より大きい直径に位置し、圧縮緩和領域(compression relief region)により半径方向に境界づけられている(bounded)。このように半径方向にずれることにより、シーリング体１１０、２１０に負荷が加えられた場合、アーチ部１１４、２１４の回転が制御されることがある。本発明の一実施形態によると、シールの断面の高さ、および／または、Ｕ形状のアーチ領域１１４、２１４に対する負荷集中突起の位置を変更することにより、ハーメチックシール(hermetic seal)を生じさせる力を変化させることが可能である。
【００２２】
シーリング体１１０、２１０の形状は、２つの本体部間で効率的に密閉状態を提供するよう、シールリテイナー上の特定の点において負荷を効率的に集中するよう設計されている。図５および図６において見られるように、Ｕ又はＶ形状のアーチ部１１４、２１４を有する外周溝１１２、２１２は、アーチ部１１４、２１４の半径方向の最も内部に位置する部分において定義される頂上(apex)、を備えている。シールが、シールリテイナーとともに用いられている本発明のある実施形態においては、後述のように、よい密閉状態を提供するため、外周溝の高さは、シールリテイナーの厚みより少しだけ大きくなければならない。
【００２３】
本発明の好ましい実施形態において、前記頂点は、シールの軸中心に存在する。また、本発明の他の実施形態において、前記頂点は、シールの軸中心から外れ、すなわち、外周溝は、２の頂点を有する溝およびその間にうね(ridge)、を備えている。本発明のさらに別の実施形態において、前記頂点は、前記溝の半径方向の最も内側の部分に、軸方向に配される(axially aligned) 内壁を生じさせる平面部分を備えている。
【００２４】
シールの軸方向の外側面１３０、２３０は、負荷集中突起１１８a、１１８bから半径方向に外側に伸び、互いに半径方向に平行をなすよう伸びるのが好ましい。かかる外側面１３０、２３０は、２つのフランジ間でシーリングがかみ合っている間にシールに圧力が加えられた場合に撓むよう設計された圧縮緩和領域を備えている。同様に、負荷集中突起から半径方向の内側に伸びるシール体の軸方向の外側面１３５、２３５は、第２の圧縮緩和領域を備えている。かかる圧縮緩和領域は、フランジのシーリング面が負荷集中突起領域に接触するのを制限する。これにより、負荷を負荷集中突起に集中させるとともに、ハーメチックシールに必要とされる可塑的な変形が促進される。
【００２５】
本発明の他の側面において、負荷集中突起から内側に伸びるシールの軸方向の外側面１３５、２３５は、互いに向かって傾斜するのが好ましい。本発明のある実施形態において、シールの半径方向の内部本体部は、前記傾斜側面によって定義される。かかる半径方向の内部本体部は、アーチ部の頂点から半径方向の内側面へと伸びている。本発明の別の実施形態において、シールの本体部の軸方向の外側面は、互いに向かって湾曲し、あるいは、互いに平行である。加えて、シールの半径方向の内側面を湾曲させ、前記軸方向の外側面とほぼ連続させるようにしてもよい。
【００２６】
本発明のシールの全体的なサイズならびに具体的な寸法は、密閉される部品の特定の側面に基づいて変化する。ＭＳＭガス供給システムにおいて用いられたシールが、本明細書内で例として用いられているが、本発明のシールは、多くの用途に適用可能である。シールのサイズは、費用および製造機械等の現実の問題によってのみ制限される。本発明のシールは、拡大縮小が可能であって、直径が１インチの数分の一から数フィート以上の、いずれのサイズにおいても効率的に機能するよう構成される。したがって、本発明において、サイズは制限要因とはならない。
【００２７】
ほぼＵおよびＶ形状の構成として、シート１００、２００のアーチ状の外周溝１１２、２１２についてそれぞれ説明がなされ、図示がなされてきたが、本発明の精神ならびに範囲を逸脱することがないのであれば、他の同様の形状を採用することも想定される。また、負荷が加えられている際に、内部溝の内側の最も大きな直径が、アーチ領域の回転を制御するよう、小さい直径において負荷集中特性を有する内部溝構造としてアーチ状構造が存在可能であることも想定される。また、負荷集中特性は、三角の突起として表されているが、丸いビーズ状の突起、又は、長方形、あるいは、正方形の突起等、他の形式で存在することも想定される。
【００２８】
本発明の別の側面において、シールリテイナーは、取り付けの間、シールを所定位置に保持するため設けられる。図７を参照すると、本発明の一実施形態のシールリテイナー１５０は、受け入れローベ(reception lobe)１５４および保持ローベ(retention lobe)１５６を有する、少なくとも一のシール保持孔１５２を備えている。かかる保持ローベ１５６の直径は、受け入れローベ１５４の直径よりも大きい。ローベのサイズは、内部に保持されるシールのサイズにより決定される。前記保持ローベは、内部に用いられるシールの外周溝のアーチ部のもっとも小さい直径よりも少しだけ大きい直径を有する。受け入れローベと保持ローベとの境目は、外周溝のアーチ部の最も小さい直径よりすこし小さい直径を有する、リテイナーの一部である干渉領域(interference region)を定義する。かかる構成により、受け入れローベ内に置かれたシールが、干渉領域を通じて保持ローベ内に移動することが可能となり、これにより、シールが所定位置に固定される。
【００２９】
図８に示す本発明の他の実施形態において、シールリテイナー２５０は、それぞれが受け入れローベ２５４と保持ローベ２５６を有する、３つのシール保持孔２５２を備えている。右側のシールは、取り付け中であるため、受け入れローベ２５４内にあることが分かる。取り付けが完了すると、他のシールがそうであるように、シールは、保持ローベ２５６内の所定位置に移動する。本発明の好ましい実施形態において、保持ローベ２５６は、線Ａ−Ａで示される共通の軸に沿ってセンターラインを有している。図９は、本発明の一実施形態のシールリテイナー２５０の断面図であって、前記共通軸Ａ−Ａに沿って示されたものである。かかる図から見て取れるように、シールは、シールの外周溝とシールリテイナーの相互作用によって、所定位置に保持される。これにより、シールがシールリテイナー２５０から外れるのが防止される。
【００３０】
本発明の好ましい実施形態において、シールリテイナー１５０は、３００番台のＳＳであり、完全に焼入された(fully hardened)ステンレス鋼から構成される。本発明の他の好ましい実施形態において、シールリテイナー１５０は、それぞれが受け入れローベ１５４および保持ローべ１５６を有する、２つのシール保持孔１５２を備えている。本発明のある実施形態においては、保持ローべ１５６の中心線は、前記共通軸上に配されている。また、本発明の別の実施形態において、必要に応じ、前記リテイナーについて、他の形状、あるいは、構造のシール保持孔を用いることもできる。さらに、かかるリテイナーは、用途に応じ、必要ないずれの数のシール保持孔を有するようにしてもよい。
【００３１】
本発明の別の実施形態においてシールレテイナー１５０は、ネジ又はボルト等の留め具を収納するための取り付け穴１６０をも有している。図１０は、モジュール部品３１０上に取り付けられたシールリテイナー１５０内に挿入された、シール１００を示している。他の部品３２０は、シール１００およびシールリテイナー１５０を備えたシール保持アセンブリ上に位置する。ボルト３２５は、シールアセンブリ３００を固定するため、シールリテイナー１５０内の取り付け穴１６０を通じて位置する。
【００３２】
図１１は、コンポーネント部３２０、シール１００およびシールリテイナー１５０を有し、ボルト３２５によってモジュール部品３１０上に取り付けられたシールアセンブリ、を備えた、シールアセンブリ３００の切り欠け図である。コンポーネント部３２０が、モジュール部品３１０上に取り付けられると、シールアセンブリに対し圧迫負荷が加えられる。かかる圧迫力は、負荷集中突起領域においてシールを可塑的に変形させ、ハーメチックシールを生じさせる。さらに、外周溝のアーチ部は、使用中にハーメチックシールを維持するため十分な接触ストレスを促進する、半弾性変形(semi-elastic deformation)を経験する。
【００３３】
例：
以下は、ＭＳＭガス供給システムに用いられるシールおよびリテイナーの例である。識別番号は、上で説明し、図４から図１１で説明したものを示している。寸法は、読み手に対して相対的なサイズならびにスケールの概要を提供するためのものであり、発明の範囲を制限する意図はない。
【００３４】
本発明の例示の実施形態において、シール１００、２００は、標準的なＭＳＭガス供給アセンブリに適合するよう構成されている。かかるシールは、約０．１８８インチの内径を有している。かかるシールの外径は、約０．２７５インチであり、該シールの軸方向の高さは、約０．０６３インチである。外周溝は、シールリテイナーのシール保持孔の内径に適合するよう設計されている。したがって、アーチ部の頂点は、シールの半径方向の外側端から約０．０１７５インチ突き出し、外周溝は、シールの半径方向の外側端において約０．０３８インチの高さである。
【００３５】
半径方向の内側に伸びるシールの軸方向の外側面１３５、２３５は、それぞれ、水平から１０度の角度で互いに向かって傾斜している。かかる側面は、軸方向に配され、ほぼ平らな、シール体の半径方向の内面において終了する。負荷集中突起は、アーチ部の頂点から約０．００２５インチだけ半径方向の外側にずれており、その頂点で約９０度を形成するような三角形である。
【００３６】
本発明のこのような例において、シールリテイナー１５０の厚さは、約０．００３０インチである。リテイナー内にシールが挿入され、アセンブリが、２つの部品間に固定された場合、前記シールは、軸方向、すなわち、シールの高さ方向に１５から２５パーセント圧縮される。
【００３７】
開示義務を履行するため、本発明の様々な実施形態が説明された。これらの実施形態は、単に本発明の原理を表したものにすぎないことを認識すべきである。本発明の精神および範囲から逸脱することなく、それらに様々な変更を加え、適応させることは、当業者にとって、自明のことである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】図１は、内部のつる巻きバネを見せるための切り欠け部を含む従来技術のシールの斜視図を示している。
【図２ａ】図２aは、図１の従来のシールの平面図である。
【図２ｂ】図２bは、線Ａに沿って見た図２aの従来のシールの長手方向の断面図である。
【図３】図３は、従来技術のリテイナーを示している。
【図４】図４は、図１のシールがそこに挿入された図３の従来のリテイナーを示している。
【図５】図５は、本発明の一実施形態のシールの部分断面図を示している。
【図６】図６は、本発明の一実施形態のシールの部分断面図である。
【図７】図７は、本発明の一実施形態の２つのシールアセンブリの斜視図である。
【図８】図８は、リテイナーおよび３つのシールを含む本発明の一実施形態の３つのシールアセンブリの平面図である。
【図９】図９は、リテイナー内の２つのシールが示された線Ａに沿った図８のシールアセンブリの断面図である。
【図１０】図１０は、基板、シールおよび部品部を有するリテイナー、を含む本発明のシールアセンブリの分解組み立て図である。
【図１１】図１１は、図１０のアセンブリの切り欠け図であって、アセンブリ全体を示すものである
【図１】
2005517883.tif 000003
【図２ａ】
2005517883.tif 000004
【図２ｂ】
2005517883.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005517883.tif 000009
【図７】
2005517883.tif 000010
【図８】
2005517883.tif 000011
【図９】
2005517883.tif 000012
【図１０】
2005517883.tif 000013
【図１１】
2005517883.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成16年12月28日(2004.12.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2005517883.tif 000015
【国際調査報告】
2005517883.tif 000016
2005517883.tif 000017