(57)【要約】本発明は、焼入れ可能な高遮光性低放射率コーティングを提供する。本発明はまた、このようなコーティングを備えた断熱ガラスユニット、モノリシック窓板およびその他の基材を提供する。更に、本発明は、このような性質のコーティングを堆積することによって、コーテッド基材を製造する方法を提供する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
焼入れ可能な高遮光性低放射率コーティングを備えた透明基材であって、前記コーティングは、外側に向かって順に、
（ａ）第１の赤外反射フィルムと、
（ｂ）前記第１の赤外反射フィルムの上方に直接に堆積され、且つ、ニオブを含む第１の高吸収ブロッカー層と、
（ｃ）前記第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む中間層と、
（ｄ）第２の赤外反射フィルムと、
（ｅ）前記第２の赤外反射フィルムの上方に直接に堆積され、且つ、ニオブを含む第２の高吸収ブロッカー層と、
（ｆ）前記第２の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む外側層とを含み、
前記第１および第２の高吸収ブロッカー層が、５０オングストロームを超える合計厚みを有する透明基材。
【請求項２】
前記第１および第２の高吸収ブロッカー層が、約８０オングストローム未満の合計厚みを有する請求項１記載の透明基材。
【請求項３】
前記第１および第２の赤外反射フィルムが、約１５０オングストローム〜約２６０オングストロームの合計厚みを有する請求項２記載の透明基材。
【請求項４】
前記第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された前記透明誘電窒化物フィルムが、窒化ケイ素を含む請求項１記載の透明基材。
【請求項５】
前記窒化ケイ素が、約３００オングストローム未満の厚みを有する請求項４記載の透明基材。
【請求項６】
前記中間層が、前記第１の高吸収ブロッカー層の直上に堆積された前記透明誘電窒化物フィルムで始まり、前記第２の赤外反射層の直下に堆積された透明誘電窒化物フィルムで終わる請求項１記載の透明基材。
【請求項７】
前記中間層は、複数の窒化物フィルムと酸化物フィルムとの交互層を含む請求項６記載の透明基材。
【請求項８】
前記第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された前記透明誘電窒化物フィルムには、外側に向かって順に、第１の中間透明誘電酸化物フィルム、第２の中間透明誘電窒化物フィルムおよび第２の中間透明誘電酸化物フィルムという配列の、中間フィルムが続いている請求項７記載の透明基材。
【請求項９】
前記第２の赤外反射フィルムが、前記第２の中間透明誘電酸化物フィルムの上方に直接に堆積されている請求項８記載の透明基材。
【請求項１０】
前記第２の高吸収ブロッカー層の直上の前記透明誘電窒化物フィルムが、窒化ケイ素を含む請求項１記載の透明基材。
【請求項１１】
前記窒化ケイ素が、約１００オングストローム未満の厚みを有する請求項１０記載の透明基材。
【請求項１２】
前記第２の高吸収ブロッカー層の直上の前記透明誘電窒化物フィルムには、外側に向かって順に、窒化チタン層および最外窒化ケイ素層という配列の、外側フィルムが続いている請求項１記載の透明基材。
【請求項１３】
前記窒化チタン層は、約３０オングストローム未満の厚みを有する請求項１２記載の透明基材。
【請求項１４】
前記コーティングは、前記基材と前記第１の赤外反射フィルムとの間に内側層を含み、前記内側層が、約１．７〜約２．４の屈折率を有する少なくとも１つの透明誘電フィルムを含む請求項１記載の透明基材。
【請求項１５】
前記コーティングが、更に、前記基材と前記内側層との間に透明下地層を含み、前記透明下地層は、前記基材上に直接に堆積された二酸化ケイ素を含む請求項１４記載の透明基材。
【請求項１６】
前記コーティングが、約０．０８未満の放射率を有する請求項１記載の透明基材。
【請求項１７】
離間した配置で保持された第１および第２の窓板を含む断熱ガラスユニットであって、前記窓板は、窓板間空間側を向いて向かい合う内側表面と、窓板間空間から離れて対向する外側表面とを有し、前記内側表面の一方は、焼入れされた高遮光性低放射率コーティングを備えており、前記コーティングは、第１および第２の赤外反射フィルムと、それぞれ、第１および第２の赤外反射フィルムの上方に直接に配置された第１および第２の高吸収ブロッカー層とを含み、前記第１および第２の高吸収ブロッカー層はニオブを含み、前記コーティングは、前記第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む中間層を含み、且つ、前記第２の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む外側層を含み、前記断熱ガラスユニットは、約０．４５未満の総可視光透過率を有することを特徴とする断熱ガラスユニット。
【請求項１８】
前記総可視光透過率が、約０．３５〜約０．４３である請求項１７記載の断熱ガラスユニット。
【請求項１９】
前記コーティングが、約０．０８未満の放射率を有する請求項１７記載の断熱ガラスユニット。
【請求項２０】
約１５％未満の外側可視光反射率を有する請求項１７記載の断熱ガラスユニット。
【請求項２１】
前記外側可視光反射率が、約１３％未満である請求項２０記載の断熱ガラスユニット。
【請求項２２】
約−０．７５〜約−３．２５のａh色座標と、約−２．２５〜約−４．７５のｂh色座標とによって特徴付けられる外側反射色を有する請求項１７記載の断熱ガラスユニット。
【請求項２３】
前記第１および第２の赤外反射フィルムが、約１５０オングストローム〜約２６０オングストロームの合計厚みを有し、前記第１および第２の高吸収ブロッカー層が、約５０オングストロームを超え、且つ、約８０オングストローム未満の合計厚みを有する請求項１７記載の断熱ガラスユニット。
【請求項２４】
前記コーティングが、外側に向かって順に、
（ａ）二酸化ケイ素下地層と、
（ｂ）少なくとも１つの透明誘電フィルムを含む内側層と、
（ｃ）前記第１の赤外反射フィルムと、
（ｄ）前記第１の高吸収ブロッカー層と、
（ｅ）前記中間層と、
（ｆ）前記第２の赤外反射フィルムと、
（ｇ）前記第２の高吸収ブロッカー層と、
（ｈ）前記外側層とを、
含む請求項２３記載の断熱ガラスユニット。
【請求項２５】
前記内側層が、約１５０オングストローム〜約４５０オングストロームの光学厚みを有し、前記中間層が、約１２００オングストローム〜約１８００オングストロームの光学厚みを有し、前記外側層が、約４４５オングストローム〜約６０５オングストロームの光学厚みを有する請求項２４記載の断熱ガラスユニット。
【請求項２６】
離間した配置で保持された第１および第２の窓板を含む断熱ガラスユニットであって、前記窓板は、窓板間空間側を向いて向かい合う内側表面と、窓板間空間から離れて対向する外側表面とを有し、前記内側表面の一方は、焼入れされた高遮光性低放射率コーティングを備えており、前記コーティングは、第１および第２の赤外反射フィルムと、それぞれ、第１および第２の赤外反射フィルムの上方に直接に配置された第１および第２の高吸収ブロッカー層とを含み、前記第１および第２の高吸収ブロッカー層はニオブを含み、前記コーティングは、前記第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む中間層を含み、且つ、前記第２の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む外側層を含み、前記断熱ガラスユニットは、約０．４未満の日射熱取得率を有することを特徴とする断熱ガラスユニット。
【請求項２７】
前記日射熱取得率が、約０．３未満である請求項２６記載の断熱ガラスユニット。
【請求項２８】
前記コーティングが、約０．０８未満の放射率を有する請求項２６記載の断熱ガラスユニット。
【請求項２９】
約１５％未満の外側可視光反射率を有する請求項２６記載の断熱ガラスユニット。
【請求項３０】
前記外側可視光反射率が、約１３％未満である請求項２９記載の断熱ガラス。
【請求項３１】
約−０．７５〜約−３．２５のａh色座標と、約−２．２５〜約−４．７５のｂh色座標とによって特徴付けられる外側反射色を有する請求項２６記載の断熱ガラスユニット。
【請求項３２】
前記第１および第２の赤外反射フィルムが、約１５０オングストローム〜約２６０オングストロームの合計厚みを有し、前記第１および第２の高吸収ブロッカー層が、約５０オングストロームを超え、且つ、約８０オングストローム未満の合計厚みを有する請求項２６記載の断熱ガラスユニット。
【請求項３３】
前記コーティングが、外側に向かって順に、
（ａ）二酸化ケイ素下地層と、
（ｂ）少なくとも１つの透明誘電フィルムを含む内側層と、
（ｃ）前記第１の赤外反射フィルムと、
（ｄ）前記第１の高吸収ブロッカー層と、
（ｅ）前記中間層と、
（ｆ）前記第２の赤外反射フィルムと、
（ｇ）前記第２の高吸収ブロッカー層と、
（ｈ）前記外側層とを、
含む請求項３２記載の断熱ガラスユニット。
【請求項３４】
前記内側層が、約１５０オングストローム〜約４５０オングストロームの光学厚みを有し、前記中間層が、約１２００オングストローム〜約１８００オングストロームの光学厚みを有し、前記外側層が、約４４５オングストローム〜約６０５オングストロームの光学厚みを有する請求項３３記載の断熱ガラスユニット。
【請求項３５】
コーテッド基材の製造方法であって、一般に対向する主面を有する窓板を用意し、前記主面のうちの一方の面上に、焼入れ可能な高遮光性低放射率コーティングを堆積することを含み、前記コーティングが、外側に向かって順に、
（ａ）第１の赤外反射フィルムと、
（ｂ）前記第１の赤外反射フィルムの上方に直接に堆積され、且つ、ニオブを含む第１の高吸収ブロッカー層と、
（ｃ）前記第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む中間層と、
（ｄ）第２の赤外反射フィルムと、
（ｅ）前記第２の赤外反射フィルムの上方に直接に堆積され、且つ、ニオブを含む第２の高吸収ブロッカー層と、
（ｆ）前記第２の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む外側層とを含み、
前記第１および第２の高吸収ブロッカー層が、５０オングストロームを超える合計厚みで堆積されることを特徴とする方法。
【請求項３６】
前記第１および第２の高吸収ブロッカー層が、約８０オングストローム未満の合計厚みで堆積される請求項３５記載の方法。
【請求項３７】
前記第１および第２の赤外反射フィルムが、約１５０オングストローム〜約２６０オングストロームの合計厚みで堆積される請求項３６記載の方法。
【請求項３８】
前記第１の高吸収ブロッカー層の直上の透明誘電窒化物フィルムが、窒化ケイ素を含むフィルムとして堆積される請求項３５記載の方法。
【請求項３９】
前記窒化ケイ素が、約３００オングストローム未満の厚みで堆積される請求項３８記載の方法。
【請求項４０】
前記中間層の堆積が、前記第１の高吸収ブロッカー層の直上に堆積された前記透明誘電窒化物フィルムで始まり、前記第２の赤外反射層の直下に堆積された透明誘電窒化物フィルムで終わる請求項３５記載の方法。
【請求項４１】
前記中間層の堆積が、複数の窒化物フィルムと酸化物フィルムとの交互層を堆積することを含む請求項４０記載の方法。
【請求項４２】
前記第１の高吸収ブロッカー層の直上の前記透明誘電窒化物フィルムの堆積に続いて、外側に向かって順に、第１の中間透明誘電酸化物フィルム、第２の中間透明誘電窒化物フィルムおよび第２の中間透明誘電酸化物フィルムという配列の、中間フィルムを堆積することを含む請求項４１記載の方法。
【請求項４３】
前記第２の赤外反射フィルムが、前記第２の中間透明誘電酸化物フィルムの上方に直接に堆積される請求項４２記載の方法。
【請求項４４】
前記第２の高吸収ブロッカー層の直上の前記透明誘電窒化物フィルムが、窒化ケイ素を含むフィルムとして堆積される請求項３５記載の方法。
【請求項４５】
前記窒化ケイ素が、約１００オングストローム未満の厚みで堆積される請求４４記載の方法。
【請求項４６】
前記第２の高吸収ブロッカー層の直上の前記透明誘電窒化物フィルムの堆積に続いて、外側に向かって順に、窒化チタン層および最外窒化ケイ素層という配列の、外側フィルムを堆積することを含む請求項３５記載の方法。
【請求項４７】
前記窒化チタン層が、約３０オングストローム未満の厚みで堆積される請求項４６記載の方法。
【請求項４８】
前記基材と前記第１の赤外反射フィルムとの間に内側層を堆積することを含み、前記内側層が、約１．７〜約２．４の屈折率を有する少なくとも１つの透明誘電フィルムを含む請求項３５記載の方法。
【請求項４９】
更に、前記基材と前記内側層との間に透明下地層を堆積することを含み、前記透明下地層が、前記基材上に直接に堆積された二酸化ケイ素を含む請求項４８記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスおよびその他の基材のためのコーティングを提供する。更に詳しくは、本発明は、高い遮光性能を示す焼入れ可能なコーティングを提供する。本発明はまた、このようなコーティングの製造方法、並びに、このコーティングを備えたモノリシック窓板およびその他の基材を提供する。
【背景技術】
【０００２】
低放射率コーティングは、当該技術において周知である。それは、一般に、１以上の赤外反射フィルムを含み、その各々が、２以上の透明誘電フィルム同士間に配置されている。赤外反射フィルムは、一般に、銀、金または銅などの導電性金属であるが、（例えば、赤外線を反射することによって）コーティングを介した放射熱の透過を減少させる。透明誘電フィルムは、主に、可視光反射を減少させ、色などのコーティングのその他の特性を制御するために用いられる。一般に使用される透明誘電体には、亜鉛、錫およびチタンの酸化物、および、窒化ケイ素などの窒化物が含まれる。
【０００３】
低放射率コーティングによって与えられる赤外反射に加えて、これらのコーティングは、所望の遮光特性を与えるように設計され得る。よく知られているように、窓の日射熱取得率（ＳＨＧＣ）は、窓を通して入った、入射した太陽放射の割合である。太陽熱利得の低い窓が特に有益である、幾つかの応用がある。温暖な気候においては、太陽熱利得の低い窓を有することが、特に望まれる。例えば、合衆国南部の建築物には、一般に、約０．４以下の日射熱取得率が推奨される。更に、大量の望ましからざる日光に曝される窓は、低い日射熱取得率を有することが好ましい。例えば、建築物の東側または西側の窓には、午前中または午後に、大量の日光を浴びる傾向がある。このような適用のためには、窓の日射熱取得率は、建築物内の快適な環境を維持するために重要な役割を果たす。よって、低い日射熱取得率を確立するコーティング（すなわち、高遮光性コーティング）を備えた、このような性質の窓を提供することが有益である。
【０００４】
高遮光性コーティングにおいてトレードオフが為される場合があり、これにより、低ＳＨＧＣを達成するように選択されたフィルムは、可視光反射率を、理想よりも高いレベルに増大させる作用を有することとなる。その結果、これらのコーティングを備えた窓は、幾分、鏡のような外観を有し得る。この鏡のような外観の問題を回避するため、十分に低い可視光反射率を有する高遮光性コーティングを提供することが望まれる。
【０００５】
望ましからざる高い可視光反射に加えて、従来の高遮光性コーティングの透過色および反射色は、理想とは異なる傾向にある。例えば、これらのコーティングは、一般に、所望よりも赤味および／または黄味を帯びた色相を示す。コーティングが有色の外観を有する場合、コーティングは、青色または青緑色の透過および／または反射色相を示すことが好ましい。これらのコーティングの色度もまた、所望よりも大きくなる傾向にある。大部分の場合、可能な限り無色のコーティングを提供することが好ましい。よって、従来の低日射取得コーティングの反射および透過色は、色相および色度の両方の点において、理想よりも劣る傾向にある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここに記載された所望の特性を示す低放射率コーティングを製造することは、非常に難しいことである。これらの所望のコーティング特性を、焼入れ可能なコーティングにおいて達成することは、更に難しい。ガラスの焼入れは、一般に、ガラスを、６８０℃オーダーおよびそれ以上（一般に、約６９５℃に達する）の高温にまで、加熱することを含む。当該技術においてよく知られているように、低放射率コーティングの特性は、焼入れの結果、相当に変化する傾向にある。しかしながら、焼入れ中にこのようなコーティングに生じる可能性のある厳密な変化を予測することは、極めて困難である。その結果、焼入れ可能なコーティングの設計は、非常に予測できないものとなる。このように、焼入れの後であっても所望の特性を示す、高遮光性低放射率コーティングを提供することが、特に望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の特定の実施形態は、焼入れ可能な高遮光性低放射率コーティングを備えた透明基材を提供する。これらの実施形態において、コーティングは、外側に向かって順に：第１の赤外反射フィルムと；第１の赤外反射フィルムの上方に直接に堆積された、ニオブを含む第１の高吸収ブロッカー層と；第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された、透明誘電窒化物フィルムを含む中間層と；第２の赤外反射フィルムと；第２の赤外反射フィルムの上方に直接に堆積された、ニオブを含む第２の高吸収ブロッカー層と；第２の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された、透明誘電窒化物フィルムを含む外側層とを含む。本実施形態において、第１および第２の高吸収ブロッカー層は、５０オングストロームを超える合計厚みを有する。
【０００８】
本発明の特定の実施形態は、離間した配置に保持された第１および第２の窓板を含む断熱ガラスユニットを提供する。窓板は、窓板間空間側を向いて向かい合う内側表面と、窓板間空間から離れて対向する外側表面とを有する。内側表面の一方は、焼入れされた高遮光性低放射率コーティングを備えている。本実施形態において、コーティングは、第１および第２の赤外反射フィルムと、それぞれ、第１および第２の赤外反射フィルムの上方に直接に配置された第１および第２の高吸収ブロッカー層とを含む。第１および第２の高吸収ブロッカー層は、ニオブを含む。コーティングは、第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む中間層を含む。コーティングは、第２の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む外側層をも含む。本実施形態において、断熱ガラスユニットは、約０．４５未満の総可視光透過率を有する。
【０００９】
本発明の特定の実施形態は、離間した配置に保持された第１および第２の窓板を含む断熱ガラスユニットを提供する。窓板は、窓板間空間側を向いて向かい合う内側表面と、窓板間空間から離れて対向する外側表面とを有する。内側表面の一方は、焼入れされた高遮光性低放射率コーティングを備えている。本実施形態において、コーティングは、第１および第２の赤外反射フィルムと、それぞれ、第１および第２の赤外反射フィルムの上方に直接に配置された第１および第２の高吸収ブロッカー層とを含む。第１および第２の高吸収ブロッカー層は、ニオブを含む。コーティングは、第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された、透明誘電窒化物フィルムを含む中間層を含む。コーティングは、第２の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された、透明誘電窒化物フィルムを含む外側層をも含む。本実施形態において、断熱ガラスユニットは、約０．４未満の日射熱取得率を有する。
【００１０】
本発明の特定の実施形態は、コーテッド基材の製造方法を提供する。方法は、一般に対向する主面を有する窓板を用意し、前記主面の一つの上方に、焼入れ可能な高遮光性低放射率コーティングを堆積することを含む。本発明の方法において、前記コーティングは、外側に向かって順に、次のフィルムを堆積することによって堆積される：第１の赤外反射フィルム；前記第１の赤外反射フィルムの上方に直接に堆積され、且つ、ニオブを含む第１の高吸収ブロッカー層；前記第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む中間層；第２の赤外反射フィルム；前記第２の赤外反射フィルムの上方に直接に堆積され、且つ、ニオブを含む第２の高吸収ブロッカー層；および、前記第２の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された透明誘電窒化物フィルムを含む外側層。前記第１および第２の高吸収ブロッカー層は、５０オングストロームを超える合計厚みで堆積される。幾つかの例においては、前記第１および第２の高吸収ブロッカー層は、５０オングストロームを超え、且つ、約８０オングストローム未満の合計厚みで堆積される。この場合、前記第１および第２の赤外反射フィルムは、約１５０オングストローム〜約２６０オングストロームの合計厚みで堆積されることが望ましい。幾つかの例においては、前記第１の高吸収ブロッカー層の直上の透明誘電窒化物フィルムは、窒化ケイ素を含むフィルムとして堆積される。この場合、窒化ケイ素は、約３００オングストローム未満の厚みで堆積されることが望ましい。幾つかの場合、中間層の堆積は、前記第１の高吸収ブロッカー層の直上に堆積された前記透明誘電窒化物フィルムで始まり、前記第２の赤外反射層の直下に堆積された透明誘電窒化物フィルムで終わる。この場合、中間層の堆積は、複数の窒化物フィルムと酸化物フィルムとの交互層を堆積することを含むことが望ましい。例えば、方法は、前記第１の高吸収ブロッカー層の直上の前記透明誘電窒化物フィルムの堆積に続いて、外側に向かって順に、第１の中間透明誘電酸化物フィルム、第２の中間透明誘電窒化物フィルムおよび第２の中間透明誘電酸化物フィルムという配列の、中間フィルムを堆積することを含んでいてもよい。ここで、第２の赤外反射フィルムは、第２の中間透明誘電酸化物フィルムの上方に直接に堆積される。幾つかの例において、前記第２の高吸収ブロッカー層の直上の前記透明誘電窒化物フィルムが、窒化ケイ素を含むフィルムとして堆積される。この場合、前記窒化ケイ素は、約１００オングストローム未満の厚みで堆積されることが望ましい。方法は、前記第２の高吸収ブロッカー層の直上の前記透明誘電窒化物フィルムの堆積に続いて、外側に向かって順に、窒化チタン層および最外窒化ケイ素層という配列の、外側フィルムを堆積することを含んでいてもよい。ここで、前記窒化チタン層は、約３０オングストローム未満の厚みで堆積され、幾つかの実施形態においては、約１〜１０オングストロームで堆積される。幾つかの例において、方法は、前記基材と前記第１の赤外反射フィルムとの間に内側層を堆積することを含む。この場合、前記内側層は、約１．７〜約２．４の屈折率を有する少なくとも１つの透明誘電フィルムを含むことが望ましい。幾つかの例においては、方法は、更に、前記基材と前記内側層との間に透明下地層を堆積することを含む。ここで、前記透明下地層は、前記基材上に直接に堆積された二酸化ケイ素を含むことが望ましい。好ましくは、前記二酸化ケイ素は、約２００オングストローム未満の厚みで堆積される。例えば、二酸化ケイ素は、約５０オングストローム〜約１９５オングストロームの厚みで堆積することができる。特定の実施形態において、二酸化ケイ素は、１００オングストローム未満（例えば、約５０オングストローム〜約９０オングストローム）の厚みで堆積される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下の詳細な説明は図面を参照しながら読まれるものであり、図面においては、別の図面中の同様の要素には、同様の参照番号が付されている。図面は、一定の率で縮尺する必要のないものであり、選択された実施形態を表してはいるが、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。当業者であれば、ここに示された実施例が、利用可能で且つ本発明の範囲内である、多くの好適な代替手段を有していることを認めるであろう。
【００１２】
種々の基材が、本発明における使用に好適である。多くの場合、基材１０は、透明物質の板状物（すなわち、透明板）である。しかしながら、基材１０は、透明である必要はない。例えば、不透明基材が有用である場合がある。しかしながら、多くの応用において、基材は、ガラスや透明プラスチックなどの、透明または半透明物質を含む。多くの場合、基材１０は、ガラス窓板である。種々の既知のガラス種を使用することができ、ソーダ石灰ガラスが好ましいと予想される。
【００１３】
本発明の特定の実施形態においては、任意で、ティンテッドガラスを使用することができる。多くの種類の好適なティンテッドガラスが、著名なガラス製造業者から入手可能である。このように、本発明の焼入れ可能な高遮光性コーティングは、所望であれば、ティンテッドガラスの窓板に適用することができ、このコーテッド窓板を、少なくとも１つの透明ガラスの窓板（例えば、内側板）を含む多層（multiple pane）断熱ガラスユニット（または「ＩＧユニット」）に、（例えば、外側板として）組み入れることができる。このような実施形態が考えられる一方で、焼入れ可能な高遮光性コーティングは、透明ガラスに単純に使用される場合に、特に有益である。
【００１４】
特定の実施形態において、本発明は、少なくとも１つの焼入れ可能な高遮光性コーティングを備えたＩＧユニットを提供する。ＩＧユニットは、当該技術において周知である。図１は、本発明によって提供され得るＩＧユニット８の一例を示す。しかしながら、本発明は、特定の種類のＩＧユニットへの実施に限定されるものではない。反対に、本発明の全ての側面は、あらゆる種類のＩＧユニット（例えば、全ガラスユニット、真空ユニットなど）に実施することができる。このように、図示のＩＧユニットの種類は、本発明を限定するものとして作図されたものではない。更に、本開示全体において、断熱「ガラス」ユニットという用語が使用されるが、窓板は、ガラスで形成される必要はないと理解される。むしろ、周知のあらゆる基材材料を使用することができる。
【００１５】
図１に示すＩＧユニット８は、離間した一対の窓板を形成する、第１の窓板１０および第２の窓板１０’を含む。窓板１０、１０’は、それらの間に窓板間空間１１５を境界付け、それらの周辺に外部空間２５０を境界付ける。窓板は、窓板間空間１１５に向かって配向した、向かい合った内側表面１４、１４’と、窓板間空間１１５から離れて配向した、対向した外側表面１２，１２’とを有する。図１の実施形態において、窓板１０、１０’は、スペーサー１０１によって離間した配置（例えば、実質的に平行に離間した関係）で保持されている。スペーサーは、窓板の周囲の内側表面に結合している。このように、スペーサー１０１と、窓板１０、１０’の向かい合う内側表面１４，１４’は、共に、窓板間空間１１５を限定している。有用なＩＧユニット、その構成要素、並びに、ＩＧユニットの製造および使用方法は、米国特許出願第１０／０７６，２１１号に記載されており、ここにその教示の全てを引用して組み入れる。
【００１６】
図１の実施形態において、図示のＩＧユニット８は、ただ１つのコーティング４０を備えている。しかしながら、所望であれば、ＩＧユニット８に、別のコーティングを付与することができる。例えば、ＩＧユニットの外側表面１２、１２’の一方または両方に、様々な異種のコーティングを付与することが望ましい。特定の実施形態においては、親水性コーティング（図示せず）が、外側表面１２、１２’の一方または両方に付与される。一実施形態においては、＃１表面が親水性コーティングを備え、＃２表面が焼入れ可能な高遮光性コーティングを備えている。有用な親水性コーティングは、米国特許出願第０９／８６８，５４２号、第０９／５７２，７６６号および第０９／５９９，３０１号に開示されており、ここに、これらの教示の全てを引用して組み入れる。
【００１７】
別の実施形態においては、＃１表面が疎水性コーティングを備え、＃２表面が焼入れ可能な高遮光性コーティングを備えている。有用な疎水性コーティングは、米国特許第５，４２４，１３０号（ナカニシ等）に開示されており、ここに、その教示のすべてを引用して組み入れる。
【００１８】
更に、特定の実施形態（図示せず）は、外側表面１２、１２’の一方または両方に光触媒性コーティングが付与された、ＩＧユニットを提供する。一実施形態において、＃１表面が光触媒性コーティングを備え、＃２表面が焼入れ可能な高遮光性コーティングを備えている。有用な光触媒性コーティングは、米国特許第５，８７４，７０１号（ワタナベ等）、第５，８５３，８６６号（ワタナベ等）、第５，９６１，８４３号（ハヤカワ等）、第６，１３９，８０３号（ワタナベ等）、第６，１９１，０６２号（ハヤカワ等）、第５，９３９，１９４号（ハシモト等）、第６，０１３，３７２号（ハヤカワ等）、第６，０９０，４８９号（ハヤカワ等）、第６，２１０，７７９号（ワタナベ等）、第６，１６５，２５６号（ハヤカワ等）および第５，６１６，５３２号（ヘラー（Heller）等）に開示されており、ここにその教示のすべてを引用して組み入れる。
【００１９】
焼入れ可能な高遮光性コーティングは、好ましくは、ＩＧユニットの「第２の」表面に設けられる。これは、おそらく、図４（ＩＧユニット８が、建築物９９の外壁９８のフレームに取り付けられている。）を鑑みて、図１（本発明のコーティング４０を備えたＩＧユニット８を示す。）を参照すると、よく分かる。一般に、「第１」（または、＃１）表面は、屋外環境に面する（すなわち、屋外環境に曝された）ものである。従って、太陽７７からの放射が最初に当たるのは、＃１表面である。図４において、第１の窓板１０の外側表面１２が、いわゆる第１表面である。＃１表面から建築物９９の内部側に向かって、次の表面が、「第２」（または、＃２）表面である。すなわち、第１の窓板１０の内側表面１４が、いわゆる第２表面である。更に建築物９９の内部側に向かって、次の表面が、「第３」（または、＃３）表面であり、「第４」（または、＃４）表面と続く。すなわち、第２の窓板１０’の内側表面１４’が、いわゆる第３表面であり、第２の窓板１０’の外側表面１２’が、いわゆる第４表面である。
【００２０】
焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、数多くの有益な特性を有する。次の記述において、これらの特性の幾つかを報告する。報告される特性は、通常のガラス焼入れに曝された後の、コーティング４０のものである。ある場合においては、これらの特性を、一つの表面４０に本発明のコーティングを備えた単一の（すなわち、モノリシック）窓板に関連して、報告する。別の場合においては、これらの特性を、＃２表面に本発明のコーティング４０を有するＩＧユニットに関連して、報告する。このような場合、報告される特性は、両窓板が３ｍｍのソーダ石灰フロートガラスであり、９０％のアルゴンと１０％の空気との断熱気体混合物が充填された１／２インチの窓板間空間を有するＩＧユニットについて測定されたものである。勿論、これらの詳細は、本発明を限定するものではない。それに反対するような、はっきりとした明言がない場合、本記述は、米国熱・冷凍空調工業会（ＡＳＨＲＡＥ）規格条件のウインドウ４．１プログラムを用いて為された測定を報告するものである。
【００２１】
焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、ひときわ優れた遮光性を有する。例えば、本発明のＩＧユニット８の日射熱取得率は、他の高遮光性コーティングと比較しても、特に低い。当該技術でよく知られているように、窓の日射熱取得率（ＳＨＧＣ）は、窓を通して入る入射太陽放射の割合である。ここで、「日射熱取得率」という用語は、周知の意味に従って使用される。ＮＦＲＣ２００−９３（１９９３年）を参照することができ、ここに、その教示のすべてを引用して組み入れる。
【００２２】
前述のように、日射熱取得率の低い窓が特に有益となる、数多くの応用がある。例えば、温暖な気候においては、日射熱取得率の低い窓とすることが望ましい。更に、望ましからざる多量の日光に曝される窓は、低い日射熱取得率を有することが有益である（例えば、建築物の東側または西側の窓は、午前中および午後に多量の日光を浴びる。）。このように、低い日射熱取得率を確立するコーティングを備えた、このような性質の窓を提供することは有益である。例えば、一般に、合衆国南部およびその他の温暖気候における建築物のためには、約０．４以下の日射熱取得率が推奨される。
【００２３】
本発明のコーティング４０の高い遮光性は、温暖気候での適用に特に有益である。例えば、本発明のＩＧユニット８は、約０．４未満の日射熱取得率を有する。実際に、本発明のＩＧユニット８は、約０．３未満（特に、約０．２８未満）の日射熱取得率を有する。これは、他の高遮光性コーティングと比較しても、特に低い。遮光性の正確なレベルは、本開示の教示に従って選択および変更することができるが、特定の好ましい実施形態（例えば、コーティング４０が、後に詳説する独特の好ましいフィルム積層体のうちの１つである場合）は、約０．２７の日射熱取得率を有するＩＧユニット８を提供する。このように、本発明のコーティング４０は、高い遮光性が望まれる場合に、特に有益である。
【００２４】
前述したように、幾つかの高遮光性コーティングの制限は、所望よりも多い可視光を反射することである。高遮光性コーティングにおいてトレードオフが為されることがあり、これによって、低ＳＨＧＣを達成するように選択されたフィルムは、可視光反射率を理想よりも高いレベルに制限する作用を有する。その結果、これらのコーティングを備えた窓は、幾分、鏡のような外観を有し得る。
【００２５】
反対に、焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、この鏡のような外観の問題を回避するために、十分に低い可視光反射率を有する。例えば、本発明のＩＧユニット８の外側可視光反射率Ｒv（第１の窓板１０のガラス面からのもの）は、約２０％未満である。実際に、ＩＧユニット８は、約１５％未満（特に、約１３％未満）の外側可視光反射率Ｒvを達成する。可視光反射率の正確なレベルは、本教示に従って選択および変更することができるが、特定の好ましい実施形態（例えば、コーティング４０が、後に詳説する独特の好ましいフィルム積層体のうちの１つである場合）は、約１１％の外側可視光反射率Ｒvが得られる。この可視光反射率は、特に、通常は高い可視光反射率を有する従来の高遮光性コーティングと比較して、非常に低い。
【００２６】
「可視光反射率」という用語は、当該技術において周知である。ここで、この用語は、モノリシック窓板のガラス面（反対のフィルム面にコーティング４０を備える。）または本発明のＩＧユニット８の外面から反射した、全入射可視光線の割合を指すという、周知の意味に従って使用される。当業者であれば、モノリシック窓板のガラス面での可視光反射率は、表面１２で反射した可視光線だけでなく、表面１４で反射した可視光線をも含むことがわかる。同様に、ＩＧユニット８の外側面での可視光反射率は、表面１２で反射した可視光線だけでなく、表面１４、１４’、１２’で反射した可視光線をも含む。報告される可視光反射率は、モノリシック窓板のガラス面の中央部、または、本発明のＩＧユニット８の外側窓板１０のガラス面の中央部から測定され、Ｒv（ｖは可視を表す。）として示される。可視光反射率は、前出の「シート材の太陽エネルギー透過率および反射率のための標準試験方法（地球上）、ＡＳＴＭ」に明記されているように測定することができる。
【００２７】
本発明のコーティング４０の遮光性は、コーティングの透過特性に関しても評価できる。例えば、本発明のＩＧユニット８の全可視光透過率は、通常、約４５％未満である。好ましくは、可視光透過率は、約３５％〜約４３％である。これに対して、従来の二層銀（double-silver）低反射率コーティングを備えたＩＧユニットは、一般に、より高い全可視光透過率（例えば、約６５％以上）を有する。幾つかの適用には、このような高い可視光透過は、過度に明るいと感じられる環境を作り出す（本発明のコーティング４０は、高可視光透過率コーティングに比べて、まぶしさが制御される。）。可視光透過率の正確なレベルは、本教示に従って選択および変更することができるが、特定の好ましい実施形態（例えば、コーティング４０が、後に詳説する独特の好ましいフィルム積層体のうちの１つである場合）は、約３７％〜約４１％（例えば、約３９％）の全可視光透過を有するＩＧユニット８を提供する。
【００２８】
低レベルの可視光透過率を達成するために、追加の金属層が、高遮光性コーティングに導入されることがある。これらの追加の金属層は、低い可視光透過率を確立し得るが、不要な複雑性を生じるため、本実施形態においては避けることが好ましい。本発明のコーティング４０によれば、銀層およびブロッカー層以外の金属層なしに、優れた遮光性を達成することができる。追加の金属層は、バランスのとれた特性の組み合わせを得ることを非常に困難にする可能性がある。
【００２９】
これらの有益な特性に加えて、焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、特に好ましい色特性を達成する。例えば、本発明のコーティングは、反射色が関心事である適用に、非常によく適している。色についての以下の記述は、周知の色座標「ａ」および「ｂ」を用いて報告される。特に、ここでは、これらの色座標は、周知のハンターラボカラーシステム（Hunter Lab Color System）（ハンター法／ユニット、III． Ｄ６５、１０度オブザーバー）を通常に用いたことを示す、下付き文字ｈを用いて示される（すなわち、ａhおよびｂh）。本発明の色特性は、ＡＳＴＭ Ｄ−２２４４−９３、「器機で測定された色座標からの色差算出のための標準試験法（Standard Test Method For Calculation Of Color Differences From Instrumentally Measured Color Coordinates）」１９９３年９月１５日に詳説され、ＡＳＴＭ Ｅ−３０８−８５、ＡＳＴＭ規格年報、Ｖｏｌ．０６．０１「ＣＩＥ系を用いた物体の色計算のための標準方法（Standard Method For Computing The Colors Of Objects By Using The CIE System）」によって増補されたようにして測定することができ、ここにその内容の全てを引用して組み入れる。
【００３０】
本発明のＩＧユニット８は、反射に関して、特に好ましい色相である感知できる程度の反射色を有する、極めて無色の外観を有する。ここで報告される反射色は、ＩＧユニット８の外側から（すなわち、外側窓板１０のガラス面から）観察されるものである。本発明のＩＧユニット８の反射色相は、青緑色の範囲に入る。例えば、本発明のＩＧユニット８は、約−０．７５〜約−３．２５のａh色座標と、約−２．２５〜約−４．７５のｂh色座標とで特徴付けられる外側反射色を有する。この反射色範囲が、本発明のコーティング４０の特異な特性である。コーティングにおいて、一般に言われている目標は、概して青色または青緑色を達成することであるが、殆どの高遮光性コーティングは、このような好ましい色を達成できない。更に、本発明のコーティング４０は、焼入れ後に、上記の色特性を達成する。特定の好ましい実施形態（例えば、コーティング４０が、後に詳説する独特の好ましいフィルム積層体のうちの１つである場合）においては、ＩＧユニット８は、約−１〜約−３（例えば、約−２）のａh色座標と、約−２．５〜約−４．５（例えば、約−３．５）のｂh色座標とで特徴付けられる外側反射色を示す。これは図５に示され、本図において、反射色は、破線で定められた色範囲によって示される。本図において、反射光のａhおよびｂh色値は完全に負であり、反射色相は青緑色の範囲に入る。更に、ａhおよびｂh値の大きさは、極めて低い。このように、本発明のＩＧユニット８は、反射に関して、青緑色の知覚できる程度の色相を有する主に灰色を帯びた（これが、コーティング４０に特有の特徴である。）、実質的に無色の外観を有する。（このコーティング４０を備えた窓の実際の外観という点での）この色範囲の質的なレベルでの好ましさは、本発明のコーティング４０の最も有効な側面の一つである。これは、本発明のコーティング４０を備えた窓を、その他の高遮光性コーティングを備えた窓と比較して観察したときに、明らかとなる。
【００３１】
前述したような有益な特性に加えて、本発明のＩＧユニット８は、望ましい断熱特性を有する。本発明のコーティング４０によって増強された断熱特性は、他の高遮光性コーティングと比較しても、特異なものである。後述するように、焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、２つの赤外反射フィルム５０、１５０を含む。これらのフィルム５０、１５０は、赤外線（すなわち、放射熱）に対する反射性が高い。赤外反射フィルム５０、１５０は、一般に、銀またはその他の導電物質であるため、これらのフィルム５０、１５０は、コーティング４０の低反射率に貢献する。例えば、本発明のコーティング４０の放射率は、約０．１未満である。実際に、このコーティング４０の放射率は、約０．０８未満（特に、約０．０７未満）である。放射率の正確なレベルは、本教示に従って選択および変更することができるが、幾つかの好ましいコーティングの実施形態（例えば、後に詳説する独特の好ましいフィルム積層体）は、約０．０６３の放射率を提供する。これに対して、コーティングされていない透明ガラス窓板は、一般に、約０．８４の放射率を有する。本発明のコーティング４０の放射率は驚くほど低く、特に、このコーティングによって達成される特性の特異的な組合せを与える。
【００３２】
「放射率」という用語は、当該技術において周知である。ここで、この用語は、同じ温度の黒体が発する放射に対する、表面が発する放射の比を意味するという、周知の意味で使用される。放射率は、吸収と反射の両方で特徴付けられる。これは、通常、次式によって表される：Ｅ＝１−反射率。本発明の放射率値は、「分光測定を用いた反射面の放射率の標準試験法（Standard Test Method For Emittance Of Specular Surface Using Spectrometric Measurements）」ＮＦＲＣ ３０１−９３に記載されているようにして測定することができ、ここにその教示のすべてを引用して組み入れる。
【００３３】
本発明のＩＧユニット８の「Ｕ値」も、その他の高遮光性コーティングを備えたＩＧユニットと比較して、非常に低い。よく知られているように、ＩＧユニットのＵ値は、ユニットの断熱能の程度の測定値である。Ｕ値が小さいほど、ユニットの断熱能は良好である。本発明のＩＧユニット８のＵ値は、約０．４未満である。実際に、本発明のＩＧユニット８のＵ値は、約０．３未満（特に、約０．２８未満）である。Ｕ値の正確なレベルは、本発明の教示に従って選択および変更することができるが、特定の好ましい実施形態（例えば、コーティング４０が、後に詳説する独特な好ましいフィルム積層体のうちの１つである場合）は、Ｕ値が約０．２６であるＩＧユニット８を提供する。これに対して、コーティングされていないガラスの窓板を有するＩＧユニットのＵ値は、通常、約０．４６である。このように、焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、ＩＧユニット８のＵ値を劇的に低下させる（すなわち、ユニットの断熱能を実質的に改善する。）。本発明のコーティング４０によって促進されるＵ値は驚くほど低く、特に、このコーティング４０によって達成される特性の特異的な組合せを与える。
【００３４】
Ｕ値という用語は、当該分野において周知である。ここで、これは、ＩＧユニット８の高温側とＩＧユニット８の低温側との間の単位温度差当りの、単位時間当りに単位面積を透過する熱量を表すものとする、周知の意味に従って用いられる。Ｕ値は、ＮＦＲＣ １００−９１（１９９１年）のＵwinterの標準規格に従って測定することができ、ここにその教示の全てを引用して組み入れる。
【００３５】
図２は、本発明の好ましい焼入れ可能な高遮光性低放射率コーティングを示す。分かるように、コーティング４０は、外側に向かって順に（すなわち、基材から離れる方向に）、次のフィルムを含む：透明下地層２０、内側層３０、第１の赤外反射層５０、第１の高吸収ブロッカー層８０、中間層９０、第２の赤外反射層１５０、第２の高吸収ブロッカー層１８０および外側層１３０。本開示は、前述した特異的な特性を達成するような、厚みおよび物質の特定の組合せを教示する。
【００３６】
図２に示すコーティングの実施形態は、２つの赤外反射層５０、１５０を含む（すなわち、「二層」型低放射率コーティングである。）。第１の赤外反射層５０および第２の赤外反射層１５０は、あらゆる所望の赤外反射物質で形成することが可能である。銀が好ましい。しかしながら、金、銅およびその他の赤外反射物質を使用することも可能である。同様に、これらの物質の合金または混合物を使用することが可能である。大部分の場合、銀または銀含有層５０、１５０を用いることが好ましい。ここで、「銀含有」という用語は、少なくとも幾らかの銀を含むあらゆるフィルムを意味する。例えば、少量の金（例えば、約５％以下の金）と組み合わせた銀という形態で、赤外反射層５０、１５０を設けることができる。
【００３７】
前述の特性を達成するため、第１の赤外反射層５０および第２の赤外反射層１５０は、特定の厚みで付与されることが好ましい。２つの赤外反射層５０、１５０の合計厚みは、好ましくは少なくとも約１５０オングストローム、おそらく更に好ましくは少なくとも約１８０オングストローム、幾つかの実施形態においては少なくとも約２１０オングストロームである。例えば、これら２つの層５０、１５０の合計厚みは、好ましくは約１５０オングストローム〜約２６０オングストロームである。特に、第１の赤外反射層５０は、好ましくは約７０オングストローム〜約１１０オングストローム、更に好ましくは約８５オングストローム〜約１００オングストローム、おそらく最適には約９０オングストロームである。これに連帯して、第２の赤外反射層１５０は、好ましくは約１００オングストローム〜約１５０オングストローム、更に好ましくは約１１０オングストローム〜約１４０オングストローム、おそらく最適には約１３０オングストロームである。本実施形態において、外側の赤外反射層１５０は、内側の赤外反射層５０よりも、（例えば、少なくとも１４オングストローム、ある場合は１６オングストローム、別の場合は３５オングストローム）薄い。第１の赤外反射層５０および第２の赤外反射層１５０を、銀で、この厚みで形成することが好ましい。
【００３８】
焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、好ましくは、特定の厚みで、特定の物質で形成された第１の高吸収ブロッカー層８０および第２の高吸収ブロッカー層を含む。第１の高吸収ブロッカー層８０および第２の高吸収ブロッカー層は、それぞれ、第１の赤外反射層５０および第２の赤外反射層１５０の上方に直接に堆積されることが望ましい。高吸収ブロッカー層８０、１８０は、従来のブロッカー層よりも厚いことが好ましい。例えば、２つの高吸収ブロッカー層８０、１８０の合計厚みは、好ましくは５０オングストロームを超え、好ましくは約８０オングストローム未満である。特に、これら２つの層８０、１８０の合計厚みは、好ましくは約５０オングストローム〜約８０オングストローム、更に好ましくは約５２オングストローム〜約７５オングストローム、幾つかの場合においては約５５オングストローム〜約７０オングストロームである。各高吸収ブロッカー層の厚みは、２５オングストロームを超えることが好ましい。特に好ましい実施形態において、２つのブロッカー層の合計厚みは、５０オングストロームを超え、約８０オングストローム未満であり、２つのブロッカー層の合計厚みは、約１５０オングストローム〜約２６０オングストロームである。
【００３９】
高吸収ブロッカー層８０、１８０は、ニオブを含むことが好ましい。特定の好ましい実施形態において、これらの層８０、１８０は、実質的に純粋なニオブとして堆積される。別の例では、これらの層は、ニオブ−チタン材料を含む。ここで、「ニオブ−チタン」という用語は、少なくとも幾らかのニオブと、少なくとも幾らかのチタンとを含む、あらゆるフィルムを意味するものとして用いられる。有用なニオブ−チタンフィルムおよびその堆積方法は、米国特許出願第１０／１２３，０３２号、発明の名称「ニオブ−チタン層を含む薄膜コーティング（Thin Film Coating Having Niobium-Titanium Layer）」に記載されており、ここにその教示のすべてを引用して組み入れる。
【００４０】
高吸収ブロッカー層８０、１８０は、多くの目的に役立つ。例えば、この層８０、１８０は、その他の特性（特に、色）の優れたバランスを維持しながら、本発明のコーティング４０の高い遮光性を確立するのを助ける。更に、高吸収ブロッカー層８０、１８０は、その下に存在する赤外反射フィルム５０、１５０を、後続フィルム堆積の間および焼入れの間、保護する。高吸収ブロッカー層８０、１８０は、後続フィルムの堆積および／または焼入れ中に使用される酸素、窒素またはその他の反応性ガスと容易に反応する、ニオブ金属またはニオブ合金を含むことが好ましい。これは、ブロッカー層８０、１８０が、さもなければ赤外反射フィルム５０、１５０に達して反応する、反応性酸素、窒素などを捕らえるのを可能にする。よって、ブロッカー層８０、１８０は、一般に、金属フィルム（すなわち、純金属フィルムまたは合金フィルム）として堆積されるが、後続フィルムの堆積中および／または焼入れ中に、幾分か酸化および／または窒化される傾向にある。
【００４１】
図２に示すように、焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、基材１０と第１の赤外反射層５０との間に堆積された内側層３０を含むことが好ましい。内側層３０は、少なくとも１つの透明誘電フィルムを含む。ここで、「透明誘電」という用語は、１種以上の金属を含み、薄膜として堆積されたときに実質的に透明である、あらゆる非金属化合物（すなわち、純金属でも合金でもない。）を指すものとして使用される。例えば、この定義には、あらゆる金属酸化物、金属窒化物、金属炭化物、金属硫化物、金属ホウ化物およびそれらの組合せ（例えば、酸窒化物）が含まれる。更に、「金属」という用語は、全ての金属および半金属（すなわち、メタロイド）を含むと解すべきである。特に、有用な金属酸化物には、亜鉛、錫、インジウム、ビスマス、チタン、ハフニウム、ジルコニウム並びにそれらの合金および混合物の酸化物が含まれる。金属酸化物は、その適用が容易且つ低コストであるため有益であるが、既知の金属窒化物（例えば、窒化ケイ素、窒化チタンなど）もまた有益に使用できる。当業者であれば、その他の有用な透明誘電物質を熟知しているであろう。
【００４２】
焼入れ可能な高遮光性コーティング４０の優れた特性は、驚くほど薄い内側層３０を用いることによって達成することができる。例えば、内側層３０は、約２７０オングストローム未満、幾つかの例では約２４０オングストローム未満の厚みを有することが好ましい。一つの特に好ましい範囲は、約２１０オングストローム〜約２２５オングストロームである。別の実施形態において、内側層３０は、約１７５オングストローム未満、幾つかの例では約１５０オングストローム未満であると同時に、好ましくは少なくとも約７５オングストロームである、更に小さい厚みで付与される。この実施形態において、内側層３０の物理的厚みは、好ましくは約９５オングストローム〜約１３５オングストローム、おそらく更に好ましくは約１００オングストローム〜約１３０オングストローム、幾つかの場合には約１１５オングストロームである。一つの好ましい実施形態において、内側層３０は、このパラグラフに記載した範囲のうちの少なくとも１つにはいる厚みを有する、酸化亜鉛フィルムである。本実施形態において、第１の赤外反射フィルム５０は、この酸化亜鉛フィルム上に直接に堆積された銀を含むことが好ましい。
【００４３】
特定の実施形態（図示せず）において、内側層３０は、少なくとも２つのフィルムを含む。例えば、内側層３０は、次の層を含む：（透明下地層２０の上方に直接に堆積され、）酸化亜鉛と、酸化ビスマス、酸化錫または酸化インジウムとの合金などの、酸化亜鉛のアロイまたは混合物を含む、約６５オングストロームの厚みの第１の内側層と；（第１の内側層の上方に堆積され、）亜鉛単体の酸化物を含む、約５０オングストロームの厚みの第２の内側層。内側層３０は、実質的にあらゆる所望の数のフィルムで形成することができる。内側層３０の合計光学厚み（すなわち、物理的厚みと屈折率との積）は、（一つのフィルムからなるか、複数のフィルムからなるかに関わらず）、好ましくは約１５０オングストローム〜約４５０オングストローム、更に好ましくは約１９５オングストローム〜約４５０オングストロームである。特定の実施形態において、内側層３０の各フィルムは、（約１の屈折率を有する空気と比較して、）約１．７〜約２．４、おそらく最適には約２．０の屈折率を有する透明誘電フィルムである。
【００４４】
引き続き図２を参照して、透明下地層２０が、内側層３０と基材１０との間に設けられることが好ましい。下地層２０は、基材１０の上方に直接に堆積されたに酸化ケイ素を含むことが好ましい。二酸化ケイ素下地層２０は、約２００オングストローム未満、幾つかの場合には約１００オングストロームの厚みを有することが望ましい。例えば、下地層２０は、約５０オングストローム〜約１９５オングストローム（例えば、ある場合は約１８５オングストローム、別の場合は約８５オングストローム）の厚みを有することが好ましい。透明下地層２０は、特に、高吸収ニオブブロッカー層、並びに、好ましい内側層、中間層および外側層と組み合わせて付与された場合に、焼入れに対する優れた耐性をコーティング４０に与える。有用な透明下地層は、米国特許出願第１０／０８７，６６２号に記載されており、ここにその教示の全てを引用して組み入れる。焼入れ可能な高遮光性コーティング４０には、第１の高吸収ブロッカー層８０と第２の赤外反射層１５０との間に、中間層１９０を備えることが好ましい。中間層１９０は、第１の高吸収ブロッカー層８８０の上方に直接に堆積された、透明誘電窒化物フィルム、望ましくは窒化ケイ素を含むことが好ましい。これは、焼入れまたはその他の熱処理後における、本発明のコーティング４０のひときわ優れた色特性を確立する上で、特に有益である。特定の実施形態において、この窒化物フィルムは、約３００オングストローム未満の厚みを有する。例えば、この窒化物フィルムは、好ましくは約１６０オングストローム〜約３００オングストローム、更に好ましくは約１６５オングストローム〜約２９５オングストローム（例えば、ある場合は約１９５オングストローム、別の場合は約２８５オングストローム）の厚みを有する。
【００４５】
中間層１９０は、第１のブロッカー層８０の直上の窒化物フィルムで始まり、第２の赤外反射層１５０の直下の酸化物フィルムで終わる、複数の透明誘電フィルムを含む。本実施形態において、複数の（例えば、４層以上の）窒化物と酸化物との交互フィルムを含む中間層１９０が設けられることが好ましい。少なくとも１つ（おそらく最適には２つ）の中間フィルムが、非晶質または実質的に非晶質であることが好ましい。例えば、１つまたは２つの中間フィルムを、窒化ケイ素とすることができる。
【００４６】
特定の好ましい実施形態において、中間層は、少なくとも４つの透明誘電フィルムを含む。例えば、中間層１９０は、外側に向かって、次のような配列の中間フィルムを含み得る：第１の高吸収ブロッカー層の上方に直接に堆積された、（前述の）第１の中間透明誘電窒化物フィルム；第１の中間透明誘電酸化物フィルム；第２の中間透明誘電窒化物フィルム；および、第２の中間透明誘電酸化物フィルム。これらのフィルムは、接触した連続体として有益に設けることができるが、これは必須条件ではない。第２の赤外反射フィルム１５０は、第２の透明誘電酸化物フィルムの上方に直接に堆積される。幾つかの例においては、第１および第２の中間窒化物フィルムは窒化ケイ素を含み、第１および第２の中間酸化物フィルムは酸化亜鉛を含む。この場合、第１の中間窒化物フィルムの厚みは、好ましくは前述の通りであり、第１の中間酸化物フィルムの厚みは、好ましくは約１９５オングストローム〜約２６５オングストローム、更に好ましくは約２０５オングストローム〜約２５５オングストローム（例えば、ある場合は約２３０オングストローム、別の場合は約２２０オングストローム）であり、第２の中間窒化物フィルムの厚みは、好ましくは約１６５オングストローム〜約２２０オングストローム、更に好ましくは約１７０オングストローム〜約２１５オングストローム（例えば、ある場合には約１３０オングストローム、別の場合には約１７５オングストローム）であり、第２の中間酸化物フィルムの厚みは、更に薄い（例えば、好ましくは約９０オングストローム〜約１４０オングストローム、更に好ましくは約９５オングストローム〜約１３５オングストローム（例えば、ある場合には約１３０オングストローム、別の場合には約１１０オングストローム））ことが望ましい。所望であれば、第２の中間酸化物フィルムは、２つの酸化物フィルムに分割することができる。例えば、このフィルムは、次の層を含み得る：（第２の中間窒化物フィルムの上方に堆積された）（例えば、約５０オングストロームの厚みの）酸化亜鉛と、酸化ビスマス、酸化錫若しくは酸化インジウムとのアロイまたは混合物などの酸化亜鉛のアロイまたは混合物の第１層；（例えば、約６０オングストロームの厚みの）その上に重ねられる亜鉛単体の酸化物の第２層。
【００４７】
中間層１９０の合計光学厚み（すなわち、物理的厚みと屈折率との積）は、好ましくは約１２００オングストローム〜約１８００オングストローム、更に好ましくは約１３００オングストローム〜約１７００オングストロームである。特定の実施形態において、中間層１９０の各フィルムは、（約１の屈折率を有する空気と比較して、）約１．７〜約２．４、おそらく最適には約２．０の屈折率を有する透明誘電フィルムである。
【００４８】
高遮光性コーティング４０は、第２の高吸収ブロッカー層１８０よりも基材１０から離れて配置された外側層１３０を備えることが好ましい。外側層１３０は、第２の高吸収ブロッカー層１８０の上方に直接に堆積された、透明誘電窒化物フィルム、望ましくは窒化ケイ素を含むことが好ましい。これは、焼入れまたはその他の熱処理後における、本発明のコーティング４０の優れた色特性を確立する上で、特に有益である。特定の実施形態において、この窒化物フィルムは、約１００オングストローム未満、おそらく最適には約８５オングストローム未満の厚みを有する。例えば、この窒化物フィルムは、好ましくは約２５オングストローム〜約８５オングストローム、更に好ましくは約３０オングストローム〜約８０オングストローム（例えば、ある場合は約３０オングストローム、別の場合には約６０オングストローム）の厚みを有する。
【００４９】
幾つかの好ましい実施形態（図示せず）において、外側層１３０は、少なくとも３つのフィルムを含む。例えば、外側層１３０は、外側に向かって次のような配列の外側フィルムを含み得る：第２の高吸収ブロッカー層１８０の上方に堆積された、（前述の）第１の外側透明誘電窒化物フィルム；第２の外側透明誘電窒化物フィルム；および、好ましくはコーティング４０の最外フィルムである、第３の外側透明誘電窒化物フィルム。本実施形態において、第２の外側透明誘電窒化物フィルムは、第１および第３の外側窒化物フィルムとは異なる窒化物で形成される。これらのフィルムは、接触した連続体として有益に設けられるが、これは必須条件ではない。幾つかの例において、第１および第３の外側窒化物フィルムは窒化ケイ素であり、第２の外側窒化物フィルムは窒化チタンである。このように、特定の特に好ましい実施形態においては、外側層１３０は、２つの窒化ケイ素フィルムの間に挟まれた窒化チタン層を含み（実質的にそれらからなることが有効であり）、得られるサンドイッチ状物が、第２のブロッカー層１８０の上方に直接に配置されている。この配置は、焼入れまたはその他の熱処理後における、本発明のコーティング４０の優れた色特性の確立に好適である。このような幾つかの特に好ましい実施形態においては、第１の外側窒化物フィルムは前述の通りであり、第２の外側窒化物フィルムの厚みは、好ましくは約３０オングストローム未満、更に好ましくは約２０オングストローム未満、おそらくは約１〜１０オングストローム程度であり、第３の外側窒化物フィルムの厚みは、好ましくは約１８０オングストローム〜約２６０オングストローム、更に好ましくは約２００オングストローム〜約２５０オングストローム（例えば、ある場合は約２２５オングストローム、別の場合は約２００オングストローム）である。これらの厚みは、本発明のコーティング４０の優れた色特性の確立に好適である。
【００５０】
外側層１３０は、複数の透明誘電フィルムを含むことが好ましい。外側層１３０の合計光学厚み（すなわち、物理的厚みと屈折率との積）は、好ましくは約４４５オングストローム〜約６０５オングストローム、更に好ましくは約４７５オングストローム〜約５８０オングストローム（例えば、約５２０オングストローム）である。特定の実施形態において、外側層１３０の各フィルムは、（約１の屈折率を有する空気と比較して）約１．７〜約２．４、おそらく最適には約２．０の屈折率を有する。
【００５１】
特定の特に好ましい実施形態において、第１および第２の赤外反射層５０、１５０は、約１５０オングストローム〜約２６０オングストロームの合計厚みを有し、第１および第２の高吸収ブロッカー層８０、１８０は、５０オングストロームを超え、約８０オングストローム未満の合計厚みを有する。本実施形態において、コーティングは、外側に向かって順に、次のフィルムを含むことが好ましい：二酸化ケイ素下地層；少なくとも１つの透明誘電フィルムを含む内側層；第１の赤外反射フィルム；第１の高吸収ブロッカー層；中間層；第２の赤外反射フィルム；第２の高吸収ブロッカー層；および外側層。好ましくは、二酸化ケイ素下地層は、約５０オングストローム〜約１９５オングストロームの物理的厚みを有し、内側層は、約１５０オングストローム〜約４５０オングストロームの光学厚みを有し、中間層は、約１２００オングストローム〜約１８００オングストロームの光学厚みを有し、外側層は、約４４５オングストローム〜約６０５オングストロームの光学厚みを有する。
【００５２】
２つの独特の好ましい焼入れ可能な高遮光性フィルム積層体４０の実施形態について、以下に詳説する。フィルム積層体は、いわゆる第２表面コーティングとして使用されることが好ましい。特に、フィルム積層体は、ＩＧユニットの＃２表面に設けられると、得られるユニット８は、前述した有益な特性の全てを達成する。本開示は、幾分ＩＧユニットの実施形態に焦点をあてているが、本発明は、焼入れ可能な高遮光性コーティング４０を備えたあらゆる基材（例えば、ガラス窓板またはフレキシブルフィルムなどのモノリシック基材）に及ぶことが理解されるべきである。
【００５３】
第１の独特の好ましい高遮光性フィルム積層体は、次の構造を有する：（１）約７７オングストローム〜約９５オングストローム、おそらく最適には約８６〜８７オングストロームの厚みで、ガラス板上に直接に堆積された二酸化ケイ素（おそらくは、コーティング４０の各ケイ素系フィルムと同様に、少量のアルミニウムを含む）を含む透明下地層；（２）約１０４オングストローム〜約１２８オングストローム、おそらく最適には約１１６オングストロームの厚みで、二酸化ケイ素下地層上に直接に堆積された酸化亜鉛を含む内側層；（３）約７５オングストローム〜約９１オングストローム、おそらく最適には約８３〜約８４オングストロームの厚みで、内側層上に直接に堆積された銀を含む第１の赤外反射層；（４）約２４オングストローム〜約２８オングストローム、おそらく最適には約２６〜約２７オングストロームの厚みで、第１の赤外反射層上に直接に堆積されたニオブを含む第１の高吸収ブロッカー層；（５）約１７６オングストローム〜約２１５オングストローム、おそらく最適には約１９５〜１９８オングストロームの厚みで、第１の高吸収ブロッカー層上に直接に堆積された窒化ケイ素を含む第１の中間フィルム；（６）約２０７オングストローム〜約２５３オングストローム、おそらく最適には約２３０〜２３６オングストロームの厚みで、第１の中間フィルム上に直接に堆積された酸化亜鉛を含む第２の中間フィルム；（７）約１７６オングストローム〜約２１５オングストローム、おそらく最適には約１９５〜１９８オングストロームの厚みで、第２の中間フィルム上に直接に堆積された窒化ケイ素を含む第３の中間フィルム；（８）約９８オングストローム〜約１２０オングストローム、おそらく最適には約１０９〜１１０オングストロームの厚みで、第３の中間フィルム上に直接に堆積された酸化亜鉛を含む第４の中間フィルム；（９）約８９オングストローム〜約１０９オングストローム、おそらく最適には約９８〜９９オングストロームの厚みで、第４の中間フィルム上に直接に堆積された銀を含む第２の赤外反射層；（１０）約２４オングストローム〜約２８オングストローム、おそらく最適には約２６オングストロームの厚みで、第２の赤外反射層上に直接に堆積されたニオブを含む第２の高吸収ブロッカー層；（１１）約２９オングストローム〜約３５オングストローム、おそらく最適には約３２オングストロームの厚みで、第２の高吸収ブロッカー層上に直接に堆積された窒化ケイ素を含む第１の外側層；（１２）約２０オングストローム未満、おそらく最適には約５オングストロームの厚みで、第１の外側層上に直接に堆積された窒化チタンを含む第２の外側層；（１３）約２０３オングストローム〜約２４９オングストローム、おそらく最適には約２２５〜２２６オングストロームの厚みで、第２の外側層上に直接に堆積された窒化ケイ素を含む第３の外側層（本実施形態における最外層である。）。
【００５４】
第２の独特の好ましい高遮光性フィルム積層体は、次の構造を有する：（１）約１８５オングストロームの厚みで、ガラス板上の直接に堆積された、二酸化ケイ素を含む透明下地層；（２）約２１０オングストロームの厚みで、二酸化ケイ素上に直接に堆積された、酸化亜鉛を含む内側層；（３）約９０オングストロームの厚みで、内側層上に直接に堆積された、銀を含む第１の赤外反射層；（４）約３５オングストロームの厚みで、第１の赤外反射層上に直接に堆積された、ニオブを含む第１の高吸収ブロッカー層；（５）約２８５オングストロームの厚みで、第１の高吸収ブロッカー層上に直接に堆積された、窒化ケイ素を含む第１の中間フィルム；（６）約２２０オングストロームの厚みで、第１の中間フィルム上に直接に堆積された、酸化亜鉛を含む第２の中間フィルム；（７）約１７５オングストロームの厚みで、第２の中間フィルム上に直接に堆積された、窒化ケイ素を含む第３の中間フィルム；（８）約１３０オングストロームの厚みで、第３の中間フィルム上に直接に堆積された、酸化亜鉛を含む第４の中間フィルム；（９）約１２０オングストロームの厚みで、第４の中間フィルム上に直接に堆積された、銀を含む第２の赤外反射層；（１０）約３０オングストロームの厚みで、第２の赤外反射層上に直接に堆積された、ニオブを含む第２の高吸収ブロッカー層；（１１）約６０オングストロームの厚みで、第２の高吸収ブロッカー層上に直接に堆積された、窒化ケイ素を含む第１の外側層；（１２）約２オングストロームの厚みで、第１の外側層上に直接に堆積された、窒化チタンを含む第２の外側層；（１３）約２００オングストロームの厚みで、第２の外側層上に直接に堆積された窒化ケイ素を含む第３の外側層（本実施形態における最外層である。）。
【００５５】
本発明は、所望の基材の主面上にコーティング４０を堆積することによって（すなわち、前述の実施形態の各フィルムを堆積することによって）、コーテッド基材を製造する方法を提供する。焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、周知の様々なコーティング法によって付与することができる。例えば、コーティングは、スパッタ堆積（すなわち、スパッタリング）によって付与することができる。スパッタリングは、当該技術において周知である。図３は、例示的なマグネトロンスパッタリングチャンバー２００を示す。マグネトロンスパッタリングチャンバーおよび関連装置は、様々な供給元（例えば、レイボルド アンド ビーオーシー コーティング テクノロジー（Leybold and BOC Coating Technology））から商業的に入手可能である。有用なマグネトロンスパッタリング法および装置は、チャピン（Chapin）に与えられた米国特許第４，１６６，０１８号に記載されており、ここにその教示の全てを引用して組み入れる。すなわち、好ましい実施形態において、本発明は、前述のコーティングの実施形態における各フィルムを、所望の基材上にスパッタ堆積することによって、コーテッド基材を製造する方法を提供する。
【００５６】
本発明の好ましい方法において、焼入れ可能な高遮光性コーティング４０は、マルチチャンバースパッタリングラインにおいて、基材上に付与される。スパッタリングラインは、当該技術において周知である。一般的なスパッタリングラインは、基材１０を、各チャンバーにおいて離間した輸送ローラー２１０上を水平に運ぶことによって、シート状基材１０を１つのチャンバーから次へと通過させるように、配列し、結合させた、一連のスパッタリングチャンバーを含む（ローラー２１０は、スパッタリングラインにおける基材１０移動の連続した経路を形成する）。基材１０は、一般に、毎分約１００〜５００インチの速度で運ばれる。
【００５７】
一つの特定の堆積方法において、基材１０は、スパッタリングラインの入口に配置され、第１の被覆ゾーンへ運ばれる。第１の被覆ゾーンには、透明下地層２０を堆積するために調整された３つの陰極が設けられている。更に詳しくは、これらの陰極の各々は、ケイ素スパッタリングターゲットを含む。この被覆ゾーンのケイ素ターゲットが、酸化雰囲気下でスパッタリングされて、二酸化ケイ素下地層２０が堆積される。このスパッタリング雰囲気は、実質的に酸素からなるもの（例えば、約１００％のＯ2）とすることができる。別の例では、この雰囲気は、Ａｒ／Ｏ2（例えば、酸素と、約４０％までのアルゴン）を含んでいてもよい。第１の陰極に約３６ｋＷの電力が印加され、第２の陰極に約３７ｋＷの電力が印加され、第３の陰極に約３７ｋＷの電力が印加される。二酸化ケイ素下地層２０が約８７オングストロームの厚みで付与されるように、基材１０が、これら３つのケイ素ターゲットのすべての下方を毎分約２００インチの速度で運ばれ、これらのケイ素ターゲットの各々が上記の電力レベルでスパッタリングされる。
【００５８】
その後、このようなコーテッド基材は、第２の被覆ゾーンに運ばれる。この被覆ゾーンには、２つの陰極が、内側層３０の堆積のために用いられる。これら２つの陰極の各々は、亜鉛スパッタリングターゲットを含む。この被覆ゾーンにおける亜鉛ターゲットが、酸化雰囲気下でスパッタリングされて、酸化亜鉛内側層３０が堆積される。この酸化雰囲気は、実質的に酸素からなるもの（例えば、約１００％のＯ2）とすることができる。別の例では、この雰囲気は、Ａｒ／Ｏ2（例えば、３．５ミリバール）を含んでいてもよい。第１の陰極に約３５ｋＷの電力が印加され、第２の陰極に約２５ｋＷの電力が印加される。酸化亜鉛内側層３０が約１１６オングストロームの厚みで付与されるように、基材１０が、これら両亜鉛ターゲットの下方を毎分約２００インチの速度で運ばれ、これらの亜鉛ターゲットの各々が上記の電力レベルでスパッタリングされる。
【００５９】
その後、基材１０は、第３の被覆ゾーンに運ばれ、ここで、第１の赤外反射層５０および第１の高吸収ブロッカー層８０が堆積される。この被覆ゾーンは、好ましくは、不活性雰囲気を含む（例えば、約４ミリバールのアルゴン）。この被覆ゾーンの第１のスパッタリング区画は、銀ターゲットを含む陰極を有する。この陰極に約４ｋＷの電力が印加され、基材１０が、この銀ターゲットの下方を、毎分約２００インチの速度で運ばれて、酸化亜鉛内側層３０の直上に第１の赤外反射銀層５０が約８４オングストロームの厚みで堆積される。この被覆ゾーンの次のスパッタリング区画は、ニオブターゲットを含む陰極を有する。この陰極に約６ｋＷの電力が印加され、基材１０が、このニオブターゲットの下方を、毎分約２００インチの速度で運ばれて、第１の高吸収ニオブブロッカー層が約２７オングストロームの厚みで堆積される。そして、以下に記載するように、基材１０が、後続の４つの被覆ゾーンを運ばれて、中間層１９０が堆積される。
【００６０】
このようなコーテッド基材は、３つのスパッタリング区画を有し、その各々がケイ素ターゲットを含む陰極を備えている、後続の被覆ゾーンを運ばれる。これら３つの全てのターゲットが、窒化雰囲気下でスパッタリングされ、中間層１９０の最も内側の部分が堆積される。スパッタリング雰囲気は、約３．５〜５ミリバールの圧力の窒素とすることができる。基材１０が、これらの３つの全てのターゲットの下方を、毎分約２００インチの速度で運ばれ、第１の陰極に約５２ｋＷの電力が印加され、第２の陰極に約５１ｋＷの電力が印加され、第３の陰極に約５５ｋＷの電力が印加される。その結果、第１の高吸収ニオブブロッカー層８０の直上に、窒化ケイ素が約１９９オングストロームの厚みで堆積される。
【００６１】
その後、このようなコーテッド基材は、３つのスパッタリング区画を有し、その各々が亜鉛ターゲットを含む陰極を備えている、後続の被覆ゾーンを運ばれる。この被覆ゾーンは、前述したような（例えば、内側層３０を参照）酸化雰囲気を含む。第１の陰極に約３９ｋＷの電力が印加され、第２の陰極に約４３ｋＷの電力が印加され、第３の陰極に約４２ｋＷの電力が印加される。各ターゲットを上記の電力レベルでスパッタリングしながら、これらのターゲットの下方を基材１０が毎分約２００インチの速度で運ばれることによって、酸化亜鉛が、下に存在する窒化ケイ素の直上に、約２３６オングストロームの厚みで付与される。
【００６２】
その後、このようなコーテッド基材は、３つのスパッタリング区画を有し、その各々がケイ素ターゲットを含む陰極を備えている、後続の被覆ゾーンを運ばれる。これら３つの全てのターゲットが、（前述のような）窒化雰囲気下でスパッタリングされる。基材１０が、これらの３つの全てのターゲットの下方を、毎分約２００インチの速度で運ばれ、第１の陰極に約５２ｋＷの電力が印加され、第２の陰極に約５４ｋＷの電力が印加され、第３の陰極に約５０ｋＷの電力が印加される。その結果、下に存在する酸化亜鉛の直上に、窒化ケイ素が約１９６オングストロームの厚みで堆積される。
【００６３】
その後、このようなコーテッド基材は、後続の被覆ゾーンに運ばれ、ここで、中間層１９０の最も外側の部分が付与される。この被覆ゾーンは、３つのスパッタリング区画を有し、その各々が、亜鉛ターゲットを含む陰極を備えている。この被覆ゾーンは、（例えば、内側層３０について前述したような）酸化雰囲気を含む。第１の陰極に約１３ｋＷの電力が印加され、第２の陰極に約１５ｋＷの電力が印加され、第３の陰極に約２５ｋＷの電力が印加される。各ターゲットを上記の電力レベルでスパッタリングしながら、これらのターゲットの下方を基材１０が毎分約２００インチの速度で運ばれることによって、酸化亜鉛が約１１０オングストロームの厚みで付与される。この１１０オングストロームの酸化亜鉛が、中間層１９０の最も外側の部分を形成する。
【００６４】
その後、基材１０は、後続の被覆ゾーンに運ばれ、ここで、第２の赤外反射フィルム１５０および第２の高吸収ブロッカー層１８０が堆積される。この被覆ゾーンは、好ましくは、（前述のような）不活性雰囲気を含む。この被覆ゾーンの第１のスパッタリング区画は、銀ターゲットを含む陰極を有する。この陰極に約５ｋＷの電力が印加される。このターゲットを上記の電力レベルでスパッタリングしながら、このターゲットの下方を基材１０が運ばれることによって、第２の赤外反射銀層１５０が約９８オングストロームの厚みで堆積される。この被覆ゾーンの第２のスパッタリング区画は、ニオブターゲットを含む陰極を有する。この陰極に約６ｋＷの電力が印加され、基材１０が、このターゲットの下方を毎分約２００インチの速度で運ばれて、第２の高吸収ブロッカー層１８０が約２６オングストロームの厚みで堆積される。そして、以下に記載するように、基材１０は、２以上の活性な被覆ゾーンを運ばれ、外側層１３０が堆積される。
【００６５】
基材１０は、第１のケイ素ターゲット、チタンターゲット、第２のケイ素ターゲット、第３のケイ素ターゲット、第４のケイ素ターゲットおよび第５のケイ素ターゲットを集合的に含む、２つの後続の被覆ゾーンを運ばれる。これら６つのターゲットは全て、窒化雰囲気下でスパッタリングされる。第１のケイ素ターゲットを含む陰極に約２６ｋＷの電力が印加され、チタンターゲットを含む陰極に約７ｋＷの電力が印加され、第２のケイ素ターゲットを含む陰極に約６０ｋＷの電力が印加され、第３のケイ素ターゲットを含む陰極に約４９ｋＷの電力が印加され、第４のケイ素ターゲットを含む陰極に約４２ｋＷの電力が印加され、第５のケイ素ターゲットを含む陰極に約３０ｋＷの電力が印加される。各ターゲットを上記の電力レベルでスパッタリングしながら、これら６つのターゲットの下方を基材１０が毎分約２００インチの速度で運ばれることによって、外側層１３０を次のような形態で付与することができる：第２の高吸収ブロッカー層の直上の３２オングストロームの窒化ケイ素；この３２オングストロームの窒化ケイ素の直上の５オングストロームの窒化チタン；この５オングストロームの窒化チタンの直上の２２５オングストロームの窒化ケイ素。この２２５オングストロームの窒化ケイ素が、外側層１３０の最も外側の部分を形成し、これによって、一つの特定の実施形態にかかる焼入れ可能な高遮光性コーティング４０が完成する。
【００６６】
それと逆の明白な指示がない場合、ここに記載された全ての厚みは、光学厚みではなく、物理的厚みである。
【００６７】
本発明の好ましい実施形態を記述してきたが、本発明の精神および添付クレームの範囲を逸脱することなく、数多くの変更、応用および改良が可能であることが理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】図１は、本発明の特定の実施形態に係る焼入れ可能な高遮光性コーティングを備えた断熱ガラスユニットの透視断面図である。
【図２】図２は、本発明の特定の実施形態に係る、基材上の、焼入れ可能な高遮光性コーティングの模式的な断面図である。
【図３】図３は、本発明の特定の方法において有用なスパッタリングチャンバーの模式的な側面図である。
【図４】図４は、本発明の特定の実施形態に係る、建築物の壁に搭載された、焼入れ可能な高遮光性コーティングを備えたグレイジングの透視図である。
【図５】図５は、本発明の特定の実施形態に係る焼入れ可能な高遮光性コーティングを備えた断熱ガラスユニットの外側反射色のグラフである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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