(57)【要約】本発明は、ポンプ、又はポンプを含むシステムのうちのポンプの一部ではない構成要素の状態をモニタする方法に関する。本発明による方法は、ポンプ又はシステム構成要素に所定の試験条件を生じさせる段階と、試験条件が存在している間、ポンプ又はシステムの状態を表す信号を得る段階とを有する。ポンプ軸受の摩耗、ポンプ内又はポンプシステムの一部を形成する配管中の付着物の蓄積を検出し又は予測して、ポンプ又はシステムが故障する前に是正措置を取ることができる。ポンプ又はシステム状態を現場でモニタする方法を提供することにより、使用中におけるポンプの故障の恐れ及びポンプの頻繁な点検整備の実施の必要性を減らすことができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ、又はポンプを含むシステムのうちのポンプの一部ではない構成要素の状態をモニタする方法であって、
ポンプ又はシステム構成要素に所定の試験条件を生じさせる段階と、
前記試験条件が存在している間、ポンプ又はシステムの状態を表す信号を得る段階と、を有することを特徴とする方法。
【請求項２】
所定の試験条件を生じさせる前記段階は、異常負荷状態を生じさせて、ポンプ又はシステム構成要素が通常の作用応力と比較して高い応力を受けさせる段階を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
所定の試験条件を生じさせる前記段階は、ポンプの部品相互間の隙間を減少させる段階を含み、前記信号は、前記隙間の減少が存在する期間中に得られることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記ポンプは、ロータ及びステータを有し、減少させる前記隙間は、ロータとステータとの間の隙間であることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記隙間を、前記ロータの回転速度の選択的制御によって少なくとも部分的に減少させることを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記隙間の減少は、所定期間にわたって選択された速度からのロータ回転速度の所定の減少を生じさせる段階、及び、所定期間にわたり前記選択された速度を超えるロータ回転速度の所定の増加を生じさせる段階によって少なくとも部分的に生じることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記ポンプは、冷却システムを備え、前記隙間の減少は、冷却剤の流量を制御して前記ポンプ内の温度の摂動を生じさせることにより少なくとも部分的に引き起こされることを特徴とする請求項３〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記隙間の減少は、前記ポンプを通るガス流量を増加させることにより少なくとも部分的に引き起こされることを特徴とする請求項３〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記ポンプは、電気モータにより駆動され、前記信号は、前記モータに供給される電流の支持を提供することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
システム構成要素は、ポンプに連結された導管を含み、前記システム状態は、前記導管の状態であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
所定の試験条件を生じさせる前記段階は、前記導管を通る通常の作動流量よりも高い所定の試験流量を前記導管中に生じさせる段階を含むことを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
更に、前記導管内の圧力を検出するよう配置された圧力センサによりシステムの条件を表す前記信号を得る段階を有することを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記導管内の前記試験流量は、加圧流を前記導管中に注入することにより得られることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記試験流量は、加圧ガス流を前記ポンプ中に注入することにより得られることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
ポンプ又はポンプが関連している装置は、前記信号を記憶するよう構成されていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
前記信号は、ＬＡＮ又はインターネットを介して記憶場所に送られることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
前記信号は、ポンプ又はシステム構成要素の状態を評価するために分析されることを特徴とする請求項１〜１６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
前記分析段階は、前記信号をポンプ又はシステム構成要素の少なくとも１つの先の所定の試験条件中に得られた信号と比較する段階を含むことを特徴とする請求項１７記載の方法。
【請求項１９】
前記分析段階は、前記信号をあらかじめプログラムされたデータと比較する段階を含むことを特徴とする請求項１７又は１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記分析段階は、前記信号を、別のシステムの少なくとも１つの他のポンプ又はシステム構成要素を少なくとも１つの所定の試験条件中に前記別のシステムの前記少なくとも１つの他のポンプ又はシステム構成要素から得られた信号と比較する段階を含むことを特徴とする請求項１７〜１９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２１】
前記分析段階は、前記信号をアルゴリズムに入力してポンプ又はシステム構成要素の状態の予測を得る段階を含むことを特徴とする請求項１７〜２０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２２】
前記分析段階は、前記信号をアルゴリズムに入力してポンプ又はシステム構成要素の所定の条件が生じるまでポンプ又はシステム構成要素の寿命の予測を得る段階を含むことを特徴とする請求項１７〜２１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２３】
システム構成要素の状態を表す信号が得られ、前記分析段階は前記信号を用いてポンプ又はシステムの状態を予測する段階を含むことを特徴とする請求項１７〜２２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２４】
更に、前記分析段階の結果の可聴指示を提供する段階を有することを特徴とする請求項１７〜２３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２５】
更に、前記分析段階の結果の可視指示を提供する段階を有することを特徴とする請求項１７〜２４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２６】
前記ポンプ又はシステムは、前記分析段階がポンプ又はシステム構成要素の所定の条件を指示すると自動的に作動停止されることを特徴とする請求項１７〜２５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２７】
ポンプ又はポンプが関連している装置は、ポンプ又はシステムがポンプ又はシステム構成要素の試験を可能にする状態にあるかどうかを判定できると共に前記状態がポンプ又はシステム構成要素の状態の試験を可能にする場合、請求項１〜２６のいずれか１項に記載の段階の実施を引き起こすことができることを特徴とする請求項１〜２６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２８】
前記判定段階は、所定の間隔で実施されることを特徴とする請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
実行環境において実行されると、請求項１〜２８の段階のうち１以上を実行するよう動作できる１以上のコンピュータプログラムソフトウェア部分を有するコンピュータプログラム製品。
【請求項３０】
請求項２８の前記コンピュータプログラムソフトウェア部分のうち少なくとも１つを記憶したデータ記憶媒体。
【請求項３１】
ポンプ、ポンプコントローラ及びポンプ作動パラメータを検出する少なくとも１つの検出装置を有する装置であって、
前記ポンプコントローラは、所定のポンプ試験条件を選択的に生じさせるよう前記ポンプを制御することができ、前記少なくとも１つの検出装置は、前記試験条件が生じると、前記パラメータの値を表す信号を出力することを特徴とする装置。
【請求項３２】
前記少なくとも１つの検出装置は、前記ポンプを駆動するモータに供給される電流を検出する電流検出装置であることを特徴とする請求項３１記載の装置。
【請求項３３】
前記少なくとも１つの検出装置は、前記装置内の圧力を検出する圧力検出装置であることを特徴とする請求項３１又は３２記載の装置。
【請求項３４】
前記装置は、前記ポンプの冷却システムを有し、前記コントローラは、前記所定の試験条件を生じさせるよう前記冷却システムを制御できることを特徴とする請求項３１〜３３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３５】
前記コントローラは、前記所定の試験条件を生じさせるようポンプ速度を制御できることを特徴とする請求項３１〜３４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３６】
前記装置は、加圧ガス源を有し、前記コントローラは、前記所定の試験条件を生じさせるよう前記源からのガスの流れを生じさせることができることを特徴とする請求項３１〜３５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項３７】
ポンプと、コントローラと、前記ポンプから延びる排出導管と、前記導管内の状態を検出する少なくとも１つの検出装置と、前記ポンプ及び／又は導管と関連していて、前記ポンプ及び／又は導管と加圧ガス源を連結する連結部と、前記ポンプ及び／又は導管内への前記ガスの流量を制御する弁装置とを有し、前記コントローラは、前記弁装置を制御して前記ガスを前記ポンプ及び／又は導管内に選択的に導入して前記導管内に所定の試験条件を生じさせることができ、前記少なくとも１つの検出装置は、試験条件が生じると、導管内の前記条件を表す信号を出力することを特徴とする装置。
【請求項３８】
前記少なくとも１つの検出装置は、前記導管内のガス圧力を検出する圧力センサであることを特徴とする請求項３７に記載の装置。
【請求項３９】
前記コントローラは、前記ポンプ用のコントローラであることを特徴とする請求項３７又は３８に記載の装置。
【請求項４０】
前記コントローラは、前記ポンプに接続できるコンピュータであることを特徴とする請求項３１〜３６のいずれか１項又は請求項３９に記載の装置。
【請求項４１】
前記コントローラは、ＬＡＮ又はインターネットを介してポンプに接続可能であることを特徴とする請求項４０に記載の装置。
【請求項４２】
前記コントローラは、請求項２９又は３０に記載のコンピュータソフトウェア部分のうち１以上を実行するよう構成されていることを特徴とする請求項３１〜４１のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ及びポンプシステムの状態モニタに関し、限定するわけではないが、特に、ドライポンプの状態モニタに関する。
【背景技術】
【０００２】
モータトルク又はモータ電流のサージを観察することによりドライポンプ状態をモニタすることが知られている。しかしながら、これは、ポンプ故障を予測する理想的な方法ではない。ポンプは、通常、堆積物を動的隙間内に次第に堆積させながら、注目すべき問題を生じさせることなしに動作する。この堆積は、通常、長期間にわたって生じ、最終的には、２つの部品が互いに接触し又は摩擦することになる。これが生じると、熱の発生により熱膨張が生じ、かくして、摩擦が増大すると共に熱膨張が一段と生じ、これらが原因となって焼付き及びポンプ故障を生じさせる場合が多い。この接触又は摩擦は、モータ電流中のサージとして検出できる。しかしながら、電流サージの検出とポンプ故障との間の時間が短い場合があり、ドライポンプの場合、電流サージの検出に続く措置を取るには時間が不十分であることが通例である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
焼付きに起因するポンプ故障は、常に望ましくなく、特に、ポンプが製造工程中に用いられている場合に問題となり、ポンプ故障が原因となって製品バッチの損失となる。例えば、真空ポンプが半導体の製造中に故障すると、典型的には、影響を受けたバッチの部品を捨てなければならず、これは費用が非常に高くつく。この問題を回避するため、計画された定期補修システムの一部として、ポンプを取り外して、部品を交換し又はクリーニングする場合がある。しかしながら、この結果、安全であることに関して不必要な費用が生じる場合があり、ポンプを、実際に必要な回数よりも頻繁に点検整備しなければならない。
ポンプ中に生じる堆積物と関連した問題に加えて、ポンプ及びこのポンプが動作するシステムの効率は、ポンプ排出部、このポンプ排出部に連結された配管及び／又はポンプそれ自体におけるプロセス副生物の堆積によって悪影響を受ける場合がある。
ポンプ故障の原因となる場合があるポンプに関する更に別の問題は、軸受の摩耗が検出されないことである。
本発明の目的は、これら問題のうち１以上を少なくとも部分的に軽減することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、ポンプ、又はポンプを含むシステムのうちのポンプの一部ではない構成要素の状態をモニタする方法であって、ポンプ又はシステム構成要素に所定の試験条件を生じさせる段階と、所定の試験条件が存在している間にポンプ又はシステムの状態を表す信号を得る段階とを有する方法を提供する。
本発明は又、ポンプと、ポンプコントローラと、ポンプ作動パラメータを検出する少なくとも１つの検出装置とを有し、ポンプコントローラは、所定のポンプ試験条件を選択的に生じさせるようにポンプを制御することができ、各検出装置は、試験条件が生じると、ポンプ作動パラメータの値を表す信号を供給する装置を含む。
本発明は又、ポンプと、コントローラと、ポンプから延びる排出導管と、排出導管内の状態を検出する少なくとも１つの検出装置と、ポンプ及び／又は排出導管と加圧ガス源を連結するポンプ及び／又は排出導管と関連した連結部と、ポンプ及び／又は排出導管内へのガスの流量を制御する弁装置とを有し、コントローラは、排出導管内に所定の試験条件を生じさせるためにガスをポンプ及び／又は排出導管内に選択的に導入するように弁装置を制御することができ、少なくとも１つの検出装置は、所定の試験条件が生じると、排出導管内の条件を表す信号を供給する装置を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
本発明を一層よく理解できるようにするために、例示として与えられているに過ぎない本発明の実施形態を図面を参照して以下に説明する。
図１を参照すると、システムが示され、このシステムにおいて、ポンプ１０が処理チャンバ１４から延びるパイプ又は導管１２に連結されている。処理チャンバ１４は、例えば半導体を処理するチャンバである。典型的には、隔離弁１６がポンプ１０と処理チャンバ１４との間の導管１２に設けられている。
ポンプ排出部１８は、低減(abatement)システム２２に通じる導管２０に連結されている。低減システム２２は、当業者には周知のように、排気ガスをきれいにする濾過又は処理システムである。ポンプ排出部１８及び導管２０は、ポンプ１０からの排出用通路を構成する。
ポンプ１０は、ステータ及びロータ（図示せず）を有し、更に、ロータを駆動する電気モータ２４を有している。図示の例では、モータ２４は、ポンプ１０の外部に示されている。しかしながら、これは、図示を容易にするためであり、当業者には周知のように、モータ２４がポンプケーシングの内部に設けられてもよいし、その外部に設けられてもよいこと、及び、適当な歯車装置がモータ２４とロータとの間に設けられていることを理解すべきである。
【０００６】
ポンプ１０は、典型的には、或る程度の記憶容量及びプロセッサを含むコントローラ２６を有している。典型的には、コントローラ２６は、ポンプ１０の一体部分であるが、この代わりに、別個のユニットとして設けられてもよいし、適当なインタフェースを介してポンプ１０と通信するＰＣ（パソコン）であってもよい。
モータ２４と関連したセンサ３０が、モータトルク又はモータに供給される電流を検出するために設けられている。任意適当なセンサを用いることができる。一例は、電流クランププローブであり、これは、当業者には周知のように、試験中、回路を遮断することなく非接触式に電流測定を行う、モータリード線周りにクランプできるプローブである。
ポンプ１０を冷却剤源３４に連結するのがよく、冷却剤は、ポンプ１０を冷却するために、ポンプの中をポンプによって運ばれる。冷却剤源３４は、本管加圧水であるのがよく、この加圧水は、ポンプをいったん通過するとドレンに差し向けられる。変形例として、冷却剤源３４は、再循環冷却システムの一部であってもよく、この再循環冷却システムは、ポンプを通って循環する冷却剤が熱伝達プロセスにより冷却される熱伝達装置を有する。適当な再循環冷却システムは、当業者には周知であり、したがって本明細書においてはこれ以上詳細には説明しない。このシステムは、或る手段、典型的には、弁装置、例えば電気制御弁３５を有し、それにより、コントローラ２６がポンプ１０への冷却剤の流量を制御することを可能にする。
圧力センサ３２が、排出導管２０に設けられている。任意適当なセンサを用いることができる。適当なセンサの一例は、一又は複数の歪ゲージと結合されたダイヤフラムである。
【０００７】
使用の際、ポンプは通常通りに機能し、処理チャンバ内における製品の処理中、ガスを処理チャンバから連続的に又は間欠的に引く。ポンプを使用していない間、及びポンプを使用しているときでも或る場合には、ポンプ及び／又はポンプシステムの状態を評価するためのデータを提供する診断試験を実施するのがよい。
１つの診断試験では、運転中のポンプ内の隙間の状態及び軸受の状態を判定する。この診断試験では、コントローラ２６を試験モードに切り換え、ポンプ１０に応力を加えるようにポンプ１０を作動させる。ポンプ１０には、種々の仕方で応力を加えることができる。
１）ポンプをその通常の作動速度で運転させ、次にシャフト速度を所定期間（例えば、３分間）減速させ、次に所定期間（例えば、３分間）通常の作動速度よりも増速させる。速度の増減は、例えば、通常の作動速度の±１０％である。
２）ポンプに冷却剤源３４から冷却剤を供給する場合、冷却剤の流量を例えば１０〜２０分間、通常の流量の例えば２５％に減少させる。流量を減少させる期間の終わりに、流量をその通常のレベルまで戻し、又は場合によっては、これよりも高いレベルに増大させ、ポンプ温度の摂動を生じさせる。
３）ポンプ内を流れるガスの流量を、例えばポンプが通常の作動モードにある場合のガスの流量の１０〜１００倍に増大させることによって変化させる。この処理量を増大させる期間は、例えば、１０秒〜１分である。
４）上記方法１）〜３）の２以上を組み合わせる。
【０００８】
ポンプの試験期間中、モータ２４に流れる電流を表す信号を、センサ３０によって発生させ、これをコントローラ２６に送信して、コントローラ２６内のメモリに記憶させる。次に、コントローラ２６によって実行されるプログラムにより、試験中にセンサ３０から受け取ったデータの全て又はそのいくらかと、メモリに記憶されているあらかじめプログラムされたデータ及び／又は先の試験中に受け取ったデータとを比較する。この比較に基づいて、規定されたポンプ条件が生じる前のポンプ１０の残り寿命の予測を行うことができる。ポンプが所定期間内に故障する恐れのあることを試験結果が指示する場合、ポンプを交換すべきである。これに関して、コントローラ２６は、試験結果の指示を表す種々のやり方を有している。例えば、コントローラ２６は可聴装置３６に接続され、この可聴装置３６により、ポンプの交換の必要性又はポンプが特定の期間内に故障する恐れがあることを指示する可聴メッセージを提供する。加えて又は変形例として、コントローラ２６は目視表示装置３８に接続される。目視表示装置３８は、単純な警告灯であってもよいし、試験結果の指示を表示できるスクリーンであってもよい。別の選択肢として、目視表示装置３８は、プリンタであってもよい。
所望ならば、試験結果がポンプの一定の状態を指示する場合には、コントローラ２６は、手動によるオーバーライドを作動させる時点まで又はポンプの点検整備又は交換後にリセットを行うまで、システムを不作動状態にするように構成されてもよい。
【０００９】
ポンプ排出部１８及び／又は排出導管２０の状態を判定するための別の試験を実施してもよい。この試験では、大流量、例えば１００標準リットル／分のパージガスをポンプ１０内又は試験すべき領域の上流側の排出導管２０内へ注入する。ガスが注入される１又は複数の位置に対して、圧力センサ３２が試験すべき領域の状態を判定するのに適した信号を供給するように位置決めされること、及び、所望の結果を得るために、好ましくは、複数のセンサを間隔を置いた箇所に設けることを理解すべきである。注入期間は比較的短く、例えば、１０秒〜１分である。
図１では、圧力センサ３２の上流側の位置でパイプ４０を介して導管２０内に注入されるガスが示されている。ポンプ内への注入をパイプ４２を表す破線で示す。パージガスは典型的には、加圧窒素供給源４４から供給される窒素であるが、これに代えて、他のガス及び／又は供給源を用いてもよい。弁装置４６が、パイプ４０に設けられており、弁装置４６により、パージガスの流量を制御することができる。この弁装置４６は、典型的には、ポンプによって電気的に制御される弁を有している。ポンプ自体への注入の場合、この試験は、上述の応力試験の方法２）の一部であり、ポンプが使用されていないときに実施される。パージガスを排出部に注入する場合、試験は、ポンプが使用されているときに実施されるのがよい。
【００１０】
ポンプの試験が行われている間、導管２０内の圧力を表す信号が圧力センサ３２によって供給され且つコントローラ２６に送られ、この信号は、コントローラ２６においてメモリに記憶される。コントローラ２６は、受け取った圧力データの全て又はいくらかを入力ガス流量及びあらかじめプログラムされたデータ及び／又は先の試験で得られたデータと比較して、ポンプ排出部／排出導管１２の閉塞のレベル及び／又は有効寿命を判定する。ポンプに対する応力試験の結果の指示を提供する上述の方法は、この試験の結果を指示するのに使用され、同様に、コントローラは、一定のシステム状態が指示された場合にシステムを不作動にさせることができるのがよい。
システムを、コントローラが上述の試験のうちの一方又は両方を所望に応じて実施できるように構成すること、及び、上述の試験のうちの１つだけが必要な場合にセンサ３０，３２のうちの適当な一方を図１に示す構成から省いてもよいことを理解すべきである。
【００１１】
上述の構成では、試験は、試験結果を分析し且つ試験の結果に関する指示を提供するように構成されているコントローラ２６の制御下で実施される。しかしながら、ポンプは、スタンドアロン型である必要はなく、試験方式がセントラルシステムに組み込まれていてもよく、後者の場合、この試験データを他のポンプからの試験データと関連させて分析することを可能にする。この目的のために、ポンプは、図１にボックス５０で示すネットワークに結合されるのがよい。ネットワーク５０への結合は、コントローラ２６を介して行われるのがよい。しかしながら、ポンプ１０は、ネットワークに直接結合されていてもよく、それにより、中央コントローラがポンプをそれ用の局所コントローラ無しに制御することを可能にする。
ボックス５０は、例えばＢＯＣエドワーズ社によって市販されているＦａｂＷｏｒｋｓ１６又はＦａｂＷｏｒｋｓ３２等のネットワークシステムを指示している。これらのシステムにより、センサ３０，３２から収集されたデータを中央ハブに転送することを可能にし、中央ハブにおいて、データは、あらかじめプログラムされたデータ、試験中のポンプから得られた前の試験データ及び／又は他のポンプからの試験データと比較する。データ分析が例えばポンプ製造業者によって操作される中央ハブのところで実施されるように、ＦａｂＷｏｒｋｓシステムが、セキュリティ保護されたインターネット接続を提供することを可能にするのがよい。変形例として、ＦａｂＷｏｒｋｓシステムが、ポンプユーザによって操作されるイントラネット上で作動することを可能にしてもよい。ＦａｂＷｏｒｋｓシステム以外のネットワークシステムを使用してもよいことを理解すべきである。
【００１２】
ポンプ又はポンプシステムを故障させる試験それ自体の危険を減少させるために、試験を比較的頻繁に実施すべきである。コントローラ２６及び／又は中央ハブは、手動による指令により試験の実行を開始させること許すことができるのがよい。しかしながら、ポンプ又はポンプシステムの信頼性のあるモニタを確実にするために、加えて又は別法として、試験を自動的に開始させることが好ましく、この目的のために、コントローラ２６又は中央ハブのコンピュータは、好ましくは、所定間隔で試験の実行を開始させることが好ましい。ポンプが使用されていないときに実施しなければならない試験であれば、コントローラ２６又はコンピュータは、ポンプの使用状態を判定することができる。問い合わせの結果が、ポンプを試験することができないということであれば、コントローラ又はコンピュータは、好ましくは、試験と試験の間の通常の間隔よりも短い、好ましくはずっと短い更なる所定の間隔後、ポンプに再び問い合わせることができ、このプロセスは、ポンプが依然として試験されるべき状態にない場合、長さを短くした間隔で繰り返されるのがよい。また、ポンプに関する応力試験の結果の指示を提供する上述の方法を、スケジュールどおりに試験を実施することができなかった指示を得るのに使用してもよい。同様に、最近、試験が十分に実施されなかった判定がなされたら、コントローラ又はハブコンピュータは、或る形態の手動による介入が行われるまで、ポンプ又はポンプシステムを不作動状態にすることができるのがよい。
【００１３】
別の制御のやり式では、コントローラ又はハブコンピュータにより、いつポンプがアイドリング状態になったかを検出することができ、アイドリング状態を検出したら、いつ試験を最後に実施したかを確認するためにメモリをチェックするのがよい。最後の試験から所定の間隔が経過していれば、コントローラ又はハブにより、新しい試験を開始させる。当然のことながら、アイドリング状態が検出されればいつでも、試験を開始させるのがよいが、これは好ましいやり方ではない。
ポンプの作動状態、即ち、ポンプがアイドリング状態であるのか又は使用中であるのかを検出する１つの方法は、センサからの信号又は他の指示を用いて、ポンプモータに流れる電流を分析することである。
【００１４】
試験からの信号を、所定のポンプ状態が起こりそうになる前にポンプ又はポンプシステムの有効寿命の指示提供するアルゴリズムに用いることが好ましく、このようにすると、最新の試験中にセンサから得られた信号と、前の試験で得られた信号、他のポンプのセンサから得られた信号及び／又はあらかじめプログラムされたデータとを比較することが期待される。しかしながら、これに加えて又は別法として、最新の試験から得られた信号だけを分析し、これら信号からの指示についての判定がなされてもよい。例えば、閾値が検出されたら、点検整備又は交換の措置を取るべき判定がなされるのがよい。かかる方式は、ポンプ応力試験の結果よりも、ポンプ排出部の通路についての試験の結果に適用できる見込みが高いことが予想される。
【００１５】
試験手順を、コントローラ又はハブのコンピュータにロードされたソフトウェアによって実施する見込みが最も高いこと、及び、このことが、電流クランプ又は圧力変換器等のセンサを比較的容易に組み込むことができる事実に照らして、モニタ方法を既存のポンプ及びシステムに容易に適用できるという意味であることを理解すべきである。例えば、この方法を実施するソフトウェアは、フロッピィ（登録商標）ディスク又はコンパクトディスク等のデータ保持媒体によって提供されるのがよい。別の選択肢は、インターネット又はイントラネットを介してダウンロードされるソフトウェアである。更に別の選択肢は、コントローラ内の既存のチップと交換することができるチップ自体に組み込まれた又は恐らくは交換カードの一部として組み込まれたコードである。
モニタシステムを具体化するソフトウェアが多くの形態を取り得ること、考えられる多くのルーチン又はアルゴリズムが開発されるであろうことことを理解すべきである。フロッピィ（登録商標）ディスクの形態のデータ即ちキャリヤ上に保持されるサブルーチンの一例を、図２に示す。サブルーチンは、上述したポンプに応力を加える方法２）を実行すること、及び、ポンプ状態が「ＯＫ」条件に合致していないと判定された場合にポンプを不作動状態にすることが分かる。一例を挙げると、「ＯＫ」条件が満たされていないという判定は、ポンプが故障状態に近づいていることを指示する試験が連続して２回起こったことに基づくが、当然のことながら、多くの他の判断基準を使用してもよい。
【００１６】
上述のシステム及び方法を多くのやり方で変形できることを理解すべきである。例えば、弁装置を一層正確に制御するフィードバックループを形成するために、電気制御式弁装置３５，４６を制御する際に使用するための変換器が設けられてもよい。かかる変換器の例は、ポンプ温度又はポンプから流出した後の冷却剤の温度を検出する温度センサ又は導管内の冷却剤又はパージガスの流量又はガス流量を検出する流量センサである。
試験中に集められたデータを、ポンプ又はシステムの他の領域の指示を得るのに用いてもよいことを理解すべきである。例えば、導管２０から得られた信号を、導管２０内の閉塞の程度を評価することに用いてもよいし、ポンプの２つの部品相互間には相関関係があるはずなので、ポンプの部品間の閉塞の程度を評価することに用いてもよい。
制御方式は、センサからの信号により所定の試験条件が実際に達成された期間を表すことを確実するために、センサからの信号をポンプ又はシステムの試験中の所定の期間にのみサンプリングしていることを理解すべきである。別の選択肢は、所定の閾値が得られるような時期まで得られた信号を無視することである。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】ポンプシステムを示すブロック図である。
【図２】ポンプモニタ法を実施する際に用いられるデータキャリヤに載せられるサブルーチンを示す流れ図である。
【図１】
2005534849.tif 000003
【図２】
2005534849.tif 000004
【国際調査報告】
2005534849.tif 000005
2005534849.tif 000006
2005534849.tif 000007