(57)【要約】本発明のキネマティック・カップリングは、第１の材料からなる装着プレート（１０２）と、複数の接触部品（１０４）とを備えるベース・プレート（１００）を備える。装着プレート（１０２）は、接触部品（１０４）の数に対応する複数の凹部（１１８）を有し、各凹部（１１８）には、それぞれの接触部品（１０４）の孔に係合する突部（１１６）が設けられている。接触部品（１０４）は、第１の材料よりも低い摩擦係数を有する第２の材料から構成されている。接触部品（１０４）は、その奥ほど収束する接触面（１０６）を有する内面（１０８）を備える。接触部品（１０４）は、オーバーモールド、嵌め込み、かしめ、超音波溶着、又は接着の工程の一部としてベース・プレート（１００）に設けられ、且つ機械的連結により所定の位置に保持される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ・キャリアにキネマティック・カップリングを設ける方法であって、
第１の材料からなり、かつ自動機械上のキネマティック・カップリングと動作的に協動するように構成された接触部品を準備する工程と、
型成形装置に前記接触部品を配置する工程と、
金型に第２の材料を注入してウエハ・キャリア部品を形成する工程とを備え、前記接触部品は前記ウエハ・キャリア部品に固定され、前記第２の材料は前記第１の材料と異なる性質を有する、方法。
【請求項２】
前記方法は更に、ＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＩの接触部品を型成形する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記方法は更に、ＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＥＫの接触部品を型成形する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記方法は更に、前記接触部品に一対の傾斜面を形成する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第２の材料はポリカーボネートである、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
一体型の前記ウエハ・キャリア部品はベース・プレートである、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
一体型の前記ウエハ・キャリア部品は半導体ウエハを保持するように構成された容器部である、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記方法は更に、前記接触部品を前記キャリア部品に機械的に連結させる工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
ウエハ・キャリアにキネマティック・カップリングを設ける方法であって、
一対の傾斜面を備え且つ第１の材料から形成された接触部品を、前記第１の材料とは異なる化学組成を持つ第２の材料からなるウエハ・キャリア部品に固定する工程を備え、前記接触部品は、自動機械上のキネマティック・カップリング突部と動作的に協動するように構成されている、方法。
【請求項１０】
前記接触部品を固定する工程は、前記接触部品を前記キャリア部品に超音波溶着することを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記接触部品を固定する工程は、前記接触部品を前記キャリア部品に化学的に結合させることを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記接触部品を固定する工程は、前記接触部品を前記キャリア部品にかしめ加工することを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記接触部品を固定する工程は、前記接触部品を前記キャリア部品に嵌め込むことを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
ウエハ・キャリアにキネマティック・カップリングを設ける方法であって、
各々が一対の傾斜面を備え且つ第１の材料からなる３つのキネマティック・カップリング接触部品を、前記第１の材料とは異なる化学組成を持つ第２の材料からなるウエハ・キャリア部品に機械的に連結させる工程を備え、前記接触部品は、自動機械上のキネマティック・カップリング突部と動作的に協動するように構成されている、方法。
【請求項１５】
機械的連結は、前記第２の材料を受承する一つ以上の開口を有する接触部品の延長部を備える、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記接触部品は、内面と、前記キャリア部品上に形成された突部に係合するように構成された孔とを備える、請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
自動機械と相互作用するように構成されたウエハ・キャリア装置において、
ウエハ・キャリアであって、内面と外面と開口とを有するポッドと、前記キャリアの内面に設けられ且つ半導体ウエハを水平状態で支持するように構成されたウエハ支持構造体と、前記ウエハ・キャリアを前記自動機械と位置調整するように構成された取付部品とを備えるウエハ・キャリアを備え、前記取付部品は、
３つの凹部を有し且つ第１の材料からなるベース・プレートと、
前記ベース・プレートの前記３つの凹部内に固定可能に受承されるように構成された３つの接触部品とを備え、前記接触部品は前記第１の材料よりも低い摩擦係数を有する第２の材料からなる、ウエハ・キャリア装置。
【請求項１８】
前記第１の材料がポリカーボネートである、請求項１７に記載のウエハ・キャリア。
【請求項１９】
前記第２の材料が、ＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＩ及びＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＥＫからなるグループから選択される、請求項１７に記載のウエハ・キャリア。
【請求項２０】
前記接触部品が、固着により前記凹部内に固定可能に受承されている、請求項１７に記載のウエハ・キャリア。
【請求項２１】
前記接触部品が、化学結合により前記凹部内に固定可能に受承されている、請求項１７に記載のウエハ・キャリア。
【請求項２２】
前記接触部品が、オーバーモールドにより前記凹部内に固定可能に受承されている、請求項１７に記載のウエハ・キャリア。
【請求項２３】
前記接触部品は更に、前記接触部品を前記凹部内に固定することを補助するように構成された一つ以上のスロットを有する側方延長部を備える、請求項１７に記載のウエハ・キャリア。
【請求項２４】
自動機械と相互作用するように構成されたウエハ・キャリア装置において、
ウエハ・キャリアであって、内面と外面と開口とを有するポッドと、前記キャリアの内面に設けられ且つ半導体ウエハを水平状態で支持するように構成されたウエハ支持構造体と、前記ウエハ・キャリアを位置調整するように構成された取付部品とを備えるウエハ・キャリアを備え、前記取付部品は、
前記キャリアと一体的に設けられた接触部品を備え、前記キャリアは、第１の材料からなり、前記接触部品は、前記第１の材料よりも低い摩擦係数を有する第２の材料からなる、ウエハ・キャリア装置。
【請求項２５】
ウエハ・キャリア装置であって、
キネマティック・カップリングのピン部品と接触し、且つ第１の材料からなる接触手段と、
半導体ウエハを搬送し、且つ第２の材料からなる搬送手段と、
前記接触手段を前記搬送手段に固定する固定手段とを備える、ウエハ・キャリア装置。
【請求項２６】
前記搬送手段はベース・プレートを含む、請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
ウエハ・キャリアに一体型キネマティック・カップリングを設ける方法において、
第１の材料からなる接触部品を、第１の材料と異なる化学組成を持つ第２の材料かなるウエハ・キャリア部品に共射出成形し、前記接触部品は自動機械と動作的に協動するように構成される、方法。
【請求項２８】
キネマティック・カップリングの自動機械接触部をウエハ・キャリアのベース・プレートに固定する方法において、
その周囲に延出する片を有するウエハ・キャリア接触部品であって、前記片は片を貫通する複数の凹部を含む前記ウエハ・キャリア接触部品を金型に配置する工程と、
流動性材料が前記ウエハ・キャリア接触部品の前記片の前記凹部を充填するように、融解流動性材料を前記金型に注入し、ウエハ・キャリア・ベース・プレートを形成する工程とを備える、方法。
【請求項２９】
キネマティック・カップリングの自動機械接触部をウエハ・キャリアのベース・プレートに固定する方法において、
その周囲に延出する片を有するウエハ・キャリア接触部品であって、前記片は片を貫通する複数の凹部を含む前記ウエハ・キャリア接触部品を金型に配置する工程と、
流動性材料が前記ウエハ・キャリア接触部品の前記片の前記凹部を充填するように、融解流動性材料を前記金型に注入し、ウエハ・キャリアを形成する工程とを備える、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路の製造に使用される半導体ウエハ・ディスクを支持し、収容し、格納し、且つ正確に配置するために設計されたウエハ・キャリアに関する。より詳細には、本発明は、ウエハ・キャリアを位置調整するインターフェース・カップリング及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
本願は、２００１年１１月１４日出願の仮出願第６０／３３３１６６号の優先権を主張し、同出願を参照として本明細書に引用する。
ウエハ・ディスクを集積回路チップに加工するための製造工程には、ウエハが繰り返し処理され、格納され、そして搬送される複数のステップが含まれる。このようなディスクは、非常に繊細なものであり、且つ極めて高価なものである。従って、物理的損傷及び汚染物質混入の両方から保護するために、ディスクが様々な処理ステップに亘って適切に保護されることが重要である。ウエハ・キャリアは、製造工程中においてウエハに必要な保護を提供するために使用される。米国特許第５９４４１９４号及び第６２１６８７５Ｂ１号の両方には、ウエハ・キャリアの典型的な例が開示されている。米国特許第第５９４４１９４号及び第６２１６８７５Ｂ１号の両方を本明細書に参照として引用する。
【０００３】
概して、ウエハの製造工程は自動化されている。従って、個々のディスクが自動装置により処理可能となるように、ウエハ・キャリアが製造機械に対して正確に位置調整されることが必要不可欠である。好ましくは、処理装置とウエハ・ディスクとの間の許容誤差を最小限にすることが挙げられる。
【０００４】
図１には、ウエハ・キャリア又はポッド５０が、自動ウエハ処理装置５２上に配置された状態で示されている。ウエハ・キャリア５０は、底部５６と、開口６０を有する前部側面５８と、開口６０の反対側にある後部側面６２とを備える外殻部即ちハウジング部５４を有する。図５に示すように、キャリア５０は、ウエハ・ディスク６４を水平状態で支持するウエハ支持構造体５７を含む。ディスク６４の汚染を防止するために、開口６０を閉鎖してハウジング部５４を密閉するドア６６が設けられている。
【０００５】
図２にはキャリアの底部が示されている。底部５６には三組のインターフェース接触部６８が設けられており、その各々は図２ａに示されている。接触部６８は、略等しく離間した形態で底面５６から延出する傾斜面６７を備える。インターフェース部６８は当該技術分野において通常、キネマティック・カップリング（ｋｉｎｅｍａｔｉｃ  ｃｏｕｐｌｉｎｇｓ）と呼ばれ、２つのカップリング・ペアの一方である。図５に示すように、ペアの他方は３つの突部９０である。
【０００６】
図３に示すように、ガイド・プレート７０は、キャリアの底部に取り付けられ、その内部に型成形されたキネマティック・カップリング６８を有する。図示されたガイド・プレート７０は、キャリア側部分７２と、キャリア側部分７２の反対側にある装置側部分７４と、キャリアの前部側面５８に対応する前側部分７６と、キャリアの後部側面６２に対応する後側部分７８とを有する。ガイド・プレート７０はガイド・アーム８０とセンサ・パッド８２とガイド面８４とを備える。ガイド面８４はキネマティック・カップリング６８を備える。ガイド・アーム８０は、隣接するアーム間の角度が１２０°となるように、正三角形の中心部から三角形の頂点に向かって延出している。図４は、キャリアの底部５６と位置調整された対応するベース・プレート７０を備えるキャリア５０を示す。
【０００７】
図５には、キャリア５０と自動装置５２との協動状態が示されている。自動処理装置５２には複数の突部、即ちピン９０が設けられている。ガイド・プレート７０は、キャリアに設けられ、かつキネマティック・カップリング６８がピン９０上で心合せされるように位置調整される。キャリア５０は、ピン９０上にキネマティック・カップリング６８を配置することにより装置５２上に設置される。キャリア５０が装置５２の中央に位置するまで、ピンが傾斜面６７に沿ってスライドする。この工程により、自動搬送手段は装置５２の一部の上にウエハ・キャリア５０を確実且つ反復的に配置することができる。
【０００８】
ウエハ容器５０及びキャリア用のベース・プレート７０の両方は、通常、ポリカーボネートから構成されている。ポリカーボネート材料は、成形が容易であり且つ低コストであるため、一般的に使用されている。多くの場合、自動装置５２上に形成されたピン９０は金属製である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ピン用の接触面としてポリカーボネートを使用した場合、キャリアをキネマティック・カップリングに心合わせることを失敗することがある。この問題は、ピンとピン接触面との間の比較的高い摩擦係数により生じることが分かった。一つの可能な解決方法は、位置調整不良の問題を回避するに十分な低い摩擦係数を持つ材料からキャリア及びベース・プレートの両方を形成することである。しかしながら、このような方法はコストが非常に高くなるものと思われ、製造の困難性及び追加コストが生じる。従って、従来技術の欠点を克服するウエハ・キャリアを自動装置上に位置調整するキネマティック・カップリング及び方法を提供する必要性がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
自動製造工程の一部としてウエハ・キャリアを位置調整するカップリングは、キネマテッィク・カップリングと呼ばれる。本発明のキネマティック・カップリングは、第１の材料からなるウエハ・キャリア又はキャリア・ベース・プレートを備える。ベース・プレート又はキャリアには、第１の材料よりも低い摩擦係数を持つ第２の材料からなる接触部品が設けられる。オーバーモールド、嵌め込み（ｓｎａｐ−ｉｎ−ｐｌａｃｅ）、かしめ、超音波溶着又は接着の工程の一部として、接触部品がベース・プレートに、又は直接的にウエハ・キャリアの底部に設けられてもよい。加えて、接触部品が、各部品の機械的連結により所定の位置に保持されてもよい。製造方法は、上記した一つ以上の工程により、第１の材料からなる接触部品を第２の材料からなるキャリア部品に設けることを含み、第２の材料は第１のものよりも高い摩擦係数を有する。
【００１１】
本発明の一実施形態の目的及び利点は、従来技術の欠点を克服することにある。
本発明の一実施形態の目的及び利点は、その特性が改善された利点を備えるキネマティック・カップリングを提供することにある。
【００１２】
本発明の一実施形態の目的及び利点は、コストを節約して、２つの異なる材料からなるキネマティック・カップリングを製造する方法を提供することにある。
本発明の一実施形態の目的及び利点は、応力破損耐性のある２つの異なる材料のキネマティック・カップリングを提供することにある。
【００１３】
本発明の一実施形態の他の目的及び利点は、当業者が本発明の明細書及び図面を参照することにより理解されるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
基本的に、オーバーモールド工程には複数のステップが含まれる。先ず、キネマティック・カップリングの接触部品等の第１のモールド部品を形成するために金型を準備する。接触部品は、型成形され、別の型か或いは型挿入物が取り除かれた同じ型に配置される。第２のステップでは、接触部品が所定位置に配置された金型を閉じ、金型のキャビティに注入された第２の材料で接触部品をオーバーモールドすることにより、例えば、ウエハ・キャリア・ポッドを形成する。型成形工程が逆の順番で行われてもよい。逆の順番では、先ず、上記例のウエハ・キャリア・ポッドが型成形され、その後、接触部品が第２ステップとして型成形される。
【００１５】
そして、完成した複合部品は、取り込まれた接触部品を有するウエハ・キャリア・ポッドを備える。このような方法により、キャリア全体の特性、コスト性又は製造容易性を大きく損なうことなく、接触部品は、製造装置で使用するためのキネマティック・カップリング型の取付体として機能するに最適な材料特性を有する接触部品となることが可能である。
【００１６】
特定の用途においては、第１の射出成形部品を第２のオーバーモールド部品よりも体積的に比較的小さくすることが好ましい。別の用途では、第１の材料が金型の重要な部分に挿入され、続いて、金型を変更することも金型を開けることもなく第２のオーバーモールド材料を挿入する。
【００１７】
或いは、特定の用途では、第２の材料は必ずしも凝固可能である必要はない。代わりに、融解状態の２つの材料が加えられる。このような共射出成形では、オーバーモールドと同レベルの、第１の部品と第２の部品との間の境界の位置決めの精度が得られない。しかしながら、この場合、余分な金型及び、第１の部品が凝固することを可能にし、金型からその部品を取り出し、第１の部品を第２の金型に配置することを含む追加の工程が不要である。
【００１８】
図６に示すように、ウエハ・キャリアのベース・プレート１００は、装着プレート１０２と３つ以上の接触部品１０４とを備える。図６及び７に示すように、好ましくは、各接触部品１０４は、軸断面が略幅広Ｕ字又はＶ字状の接触面１０６を有する内面１０８を備える。内面１０８の奥ほど、接触面１０６が収束している。孔１１４が、内面１０８の頂部１２０に設けられている。更に、接触部品１０４には、接触部品１０４の外周の一部又は全体において、側方に延長されたリブ即ち延長部１１０が設けられている。好ましくは、延長部１１０は、接触部品１０４を装着プレート１０２に機械的に固定することを補助するために設けられた１つ以上のスロット１１２、即ち開口を有する。
【００１９】
図６，９及び１０に示すように、装着プレート１０２は、接触部品１０４の数に対応する３つ以上の凹部１１８を有する。好ましくは、各凹部１１８には、それぞれの接触部品１０４の孔１１４と協動するように構成された突部１１６が設けられている。この協動により、接触部品１０４を凹部１１８に固定することが補助される。別の実施形態では、図８に示すように、接触部品１０４は、オーバーモールド工程の一部として第１の金型にではなく、ウエハ・キャリアのベースに直接的に設けられる。
【００２０】
本発明の好ましい実施形態の装着プレート１０２は炭素粉充填ポリカーボネートから構成されている。しかしながら、当業者には、他のプラスチック材料を本発明の範囲から逸脱することなく使用可能であることが理解できるであろう。好ましくは、接触部品は、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）を含有させたカーボン・ファイバ（ＣＦ）及びポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）から構成されている。ＣＦは導電特性の点において好ましい。ＰＴＦＥは摩擦係数が低いため好ましい。ＰＥＩによりＣＦ−ＰＴＦＥ合成物に強度が加えられる。材料合成時に、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）を組み合わせて、或いはＰＥＩの代わりに使用してもよい。
【００２１】
ＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＩは、金属に対して非常に優れた耐磨耗性を備えている。更に、ＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＩは、製造装置のピン型突部上にキネマティック・カップリングを載置することを促進する実質的に一様な微細構造を有することが摩擦特性から示されている。当業者には、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、他の適切な材料を接触部品１０４に使用可能であることが理解できるであろう。
【００２２】
好ましくは、ベース・プレート１００は、オーバーモールド・タイプの工程により形成される。好ましくは、先ず、接触部品１０４が射出成形工程により成形される。そして、完成した接触部品１０４が第２の金型に配置され、ポリカーボネートの装着プレート１０２をオーバーモールドする。そして、出来上がったベース・プレート１００は、異種プラスチックの組合せから構成されている。これに代えて、本発明の範囲から逸脱することなく、先ず、装着プレート１０２が成形され、その後、第２のステップとして接触部品１０４がオーバーモールドされてもよい。
【００２３】
好ましい実施形態の接触部品１０４は、化学結合により所定の位置に保持されるのではなく、むしろ、機械的な連結手段により保持されている。応力亀裂が発生しにくく、異なる材料及び物理構造に対して容易に適応可能であるため、機械的連結手段が使用されている。しかしながら、本発明の特定の実施形態では、一形態の固定手段として化学的な固定手段の使用が含まれる。
【００２４】
機械的連結手段は、スロット１１２が形成された延長部１１０と、孔１１４と、突部１１６とを備える。延長部１１０は、装着プレート１０２のポリカーボネート材料内に配置される。スロット即ち開口１１２が存在するので、図１０に示すように、プレートにより延長部１１０が囲まれる。この協動が機械的連結に寄与する。接触部品１０４の孔１１４と装着プレート１０２の凹部１１８に形成された突部１１６との協動により更なる機械的連結が形成される。この協動は図１２に示されている。当業者には当然のことながら、リブ、延長部、スロット、孔、穴及び突部の他の物理的な具体例を接触部品１０４及び装着プレート１０２の各部に採用し、必要とされる機械的連結機能を提供してもよい。加えて、２つの個別の部品に対して、超音波溶着、化学的結合法、かしめ、嵌め込み（ｓｎａｐｐｉｎｇ−ｉｎ−ｐｌａｃｅ）又は共射出成形を行うことにより接触部品１０４が保持されてもよい。
【００２５】
本発明を好ましい実施形態に沿って説明したが、当業者は、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく形状及び細部を変更してもよいことを理解するであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】従来技術の処理装置に係合したウエハ・キャリアを示す斜視図。
【図２】従来技術のウエハ・キャリアのインターフェース側部分を示す底面図。
【図２ａ】従来技術の底面の接触部を示す細部断面図。
【図３】従来技術のガイド・プレートのキャリア側部分を示す斜視図。
【図４】従来技術のガイド・プレートが取り付けられたキャリアのインターフェース・サイドを示す底面図。
【図５】処理装置に係合するガイド・プレートを有するウエハ・キャリアを示す分解部分断面図
【図６】本発明の一実施形態の射出成形されたキネマティック・カップリングを示す分解斜視図。
【図７】本発明の一実施形態の挿入物を示す斜視図。
【図８】本発明の一実施形態のウエハ・キャリアを示す底面図。
【図９】本発明の一実施形態のインターフェース・カップリングを示す軸断面図。
【図１０】本発明の一実施形態のインターフェース・カップリングを示す長手断面図。
【図１】
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【図２】
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【図２ａ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005530331.tif 000009
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【手続補正書】
【提出日】平成15年6月16日(2003.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ容器にキネマティック・カップリングを設ける方法であって、
第１の材料からなり、かつ自動機械上のキネマティック・カップリングと動作的に協動するように構成された接触部品を形成する工程と、
型成形装置に前記接触部品を配置する工程と、
金型に第２の材料を注入してウエハ容器部を形成する工程であって、前記接触部品はウエハ容器部品に固定され、前記第２の材料は前記第１の材料と異なる性質を有する工程と、
前記ウエハ容器部と密閉状態で係合可能なドアを前記ウエハ容器部に設ける工程とを備える、方法。
【請求項２】
前記方法は更に、ＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＩを金型に導入し、前記ウエハ容器部を形成する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記方法は更に、ＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＥＫを金型に導入し、接触部品を形成する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記方法は更に、前記接触部品に一対の傾斜面を形成する工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
第２の材料を金型に注入する工程はポリカーボネートを導入することを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記方法は更に、前記接触部品を前記容器部に機械的に連結させる工程を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
ウエハ容器にキネマティック・カップリングを設ける方法であって、
一対の傾斜面を備え且つ第１の材料から形成された接触部品を、前記第１の材料とは異なる化学組成を持つ第２の材料から形成されたウエハ容器ベース・プレートに固定する工程であって、前記接触部品は、自動機械上のキネマティック・カップリング突部と動作的に協動するように構成されている工程と
ドア部を密閉状態で受承するように構成されたウエハ容器部に、前記ウエハ容器ベース・プレートを固定する工程とを備える、方法。
【請求項８】
前記接触部品を固定する工程は、前記接触部品を容器部品に超音波溶着することを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記接触部品を固定する工程は、前記接触部品を容器部品に化学的に結合させることを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記接触部品を固定する工程は、前記接触部品を容器部品にかしめ加工することを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１１】
前記接触部品を固定する工程は、前記接触部品を容器部品に嵌め込むことを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１２】
ウエハ容器にキネマティック・カップリングを設ける方法であって、
第１の材料から形成され且つ一対の傾斜面を有する複数の接触部品を形成する工程と、
自動機械上のそれぞれのキネマティック・カップリング突部と各々が協動するように構成された複数の接触部品を金型に導入する工程と、
第２の材料からウエハ容器部を形成する工程とを備え、前記複数の接触部品が容器部品と機械的に連結される、方法。
【請求項１３】
前記方法は更に、前記接触部品に、前記第２の材料を受承する一つ以上の開口を形成する工程を備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
複数の接触部品を形成する工程は、前記複数の接触部品の各々を貫通する孔であって、前記容器部のそれぞれの形状に係合するように構成された孔を形成することを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
自動機械と相互作用するように構成されたウエハ容器装置において、
内面と外面と開口とを備えるウエハ容器部と、
容器の内面に設けられ且つ半導体ウエハを水平状態で支持するように構成されたウエハ支持構造体と、
ウエハ容器部と密閉状態で係合するように構成されたドアと、
前記ウエハ容器部に動作的に連結され、且つウエハ容器を前記自動機械と位置調整するように構成された取付部品とを備え、前記取付部品は、
その内部に形成された少なくとも３つの凹部を有し且つ第１の材料からなるベース・プレートと、
前記ベース・プレートの前記少なくとも３つの凹部内に固定可能に受承されるように構成された少なくとも３つの接触部品とを備え、前記少なくとも３つの接触部品は前記第１の材料よりも低い摩擦係数を有する第２の材料からなる、ウエハ容器装置。
【請求項１６】
前記第１の材料がポリカーボネートである、請求項１５に記載のウエハ容器。
【請求項１７】
前記第２の材料が、ＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＩ及びＣＦ−ＰＴＦＥ−ＰＥＥＫからなるグループから選択される、請求項１５に記載のウエハ容器。
【請求項１８】
前記接触部品が、固着により前記凹部内に固定可能に受承されている、請求項１５に記載のウエハ容器。
【請求項１９】
前記接触部品が、化学結合により前記凹部内に固定可能に受承されている、請求項１５に記載のウエハ容器。
【請求項２０】
前記接触部品が、オーバーモールドにより前記凹部内に固定可能に受承されている、請求項１５に記載のウエハ容器。
【請求項２１】
前記接触部品は更に、その内部に形成され、且つ前記接触部品を前記凹部内に固定することを補助するように構成された一つ以上のスロットを有する側方延長部を備える、請求項１５に記載のウエハ容器。
【請求項２２】
自動機械と相互作用するように構成されたウエハ容器装置において、
内面と外面と開口とを備え、且つ第１の材料からなるウエハ容器部と、
前記容器部の内面に設けられ且つ半導体ウエハを水平状態で支持するように構成されたウエハ支持構造体と、
前記ウエハ容器部と密閉状態で係合するように構成されたドアと、
前記ウエハ容器を位置調整するように構成された取付部品とを備え、前記取付部品は、
前記容器に一体的に設けられた接触部品を備え、前記接触部品は、前記第１の材料よりも低い摩擦係数を有する第２の材料からなる、ウエハ容器装置。
【請求項２３】
ウエハ容器装置であって、
半導体ウエハを水平状態で収容し、且つ第１の材料からなる収容手段と、
キネマティック・カップリングのピン部品と接触し、且つ第２の材料からなる接触手段と、
前記接触手段を前記搬送手段に固定する固定手段とを備える、ウエハ容器装置。
【請求項２４】
搬送手段はベース・プレートを含む、請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】
ウエハ容器に一体型キネマティック・カップリングを設ける方法において、
第１の材料からなる接触部品を、第１の材料と異なる化学組成を持つ第２の材料からなるウエハ容器部部品に共射出成形し、前記接触部品は自動機械と動作的に協動するように構成され、ドアが前記ウエハ容器部に密閉状態で係合可能である、方法。
【請求項２６】
キネマティック・カップリングの自動機械接触部をウエハ容器のベース・プレートに固定する方法において、前記ウエハ容器は、内面を有し、ドアと密閉状態で係合可能であり、且つ半導体ウエハを水平状態で支持する前記内面に設けられたウエハ支持構造体を有し、
その周囲に延出する片を有するウエハ容器接触部品であって、前記片はその内部に形成された複数の凹部を含む前記ウエハ容器接触部品を金型に配置する工程と、
流動性材料が前記ウエハ容器接触部品の前記片の前記凹部を充填するように、融解流動性材料を前記金型に注入し、ウエハ容器ベース・プレートを形成する工程とを備える、方法。
【請求項２７】
キネマティック・カップリングの自動機械接触部をウエハ容器に固定する方法において、前記ウエハ容器は、内面を有し、ドアと密閉状態で係合可能であり、且つ半導体ウエハを水平状態で支持する前記内面に設けられたウエハ支持構造体を有し、
その周囲に延出する片を有するウエハ容器接触部品であって、前記片は片を貫通する複数の凹部を含む前記ウエハ容器接触部品を金型に配置する工程と、
流動性材料が前記ウエハ容器接触部品の前記片の前記凹部を充填するように、融解流動性材料を前記金型に注入し、ウエハ容器を形成する工程とを備える、方法。
【請求項２８】
前記方法は更に、ウエハ容器部品をウエハ容器に固着する工程を備える、請求項１２に記載の方法。
【請求項２９】
キネマティック・カップリングをウエハ容器に設ける方法において、
一対の傾斜面を備え且つ第１の材料から形成された接触部品を、第１の材料とは異なる化学組成を持つ第２の材料から形成されたウエハ容器部に固定する工程を備え、前記接触部品は自動機械上のキネマティック・カップリング突部と動作的に協動するように構成され、前記ウエハ容器部はドア部を密閉状態で受承するように構成される、方法。
【請求項３０】
キネマティック・カップリングをウエハ容器に設ける方法において、
第１の材料からなる接触部品を、前記第１の材料とは異なる化学組成を持つ第２の材料からなるウエハ容器ベース部に共射出成形する工程であって、前記接触部品は自動機械と動作的に協動するように構成される工程と、
半導体ウエハを水平状態で支持するように構成された支持構造体を含むウエハ容器ポッドに、前記ウエハ容器ベース部を固着する工程とを備える、方法。
【国際調査報告】
2005530331.tif 000014