(57)【要約】固体電解質（２）に接続されておりかつ測定ガスにさらされている外部電極（６）と、固体電解質（２）に接続されている電極（９）とを備え、該２つの電極間で固体電解質（２）を流れるポンプ流（Ｉｐ２）を用いて酸素がポンピング可能であり、ここで前記電極（９）と外部電極（１６）との間にポンプ流（Ｉｐ２）を駆動するポンプ流ユニット（Ｕ２）が接続されており、該ポンプ流ユニット（Ｕ２）はパルス幅（Ｗ）を有する複数の個別パルス（１５，１６，１７）を有するパルス列を周期的に送出し、ここで該パルス幅（Ｗ）はポンプ流（Ｉｐ２）のレベルを調整設定するために調整設定されるようになっている測定センサを用いて測定ガス中のガス濃度を測定するための装置および方法が記載されている。
2005530133.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定ガス中のガス濃度を測定するための装置であって、
固体電解質（２）に接続されておりかつ測定ガスにさらされている外部電極（６）と、固体電解質（２）に接続されている電極（９）とを備え、該２つの電極間で固体電解質（２）を流れるポンプ流（Ｉｐ２）を用いて酸素がポンピング可能であり、ここで前記電極（９）と外部電極（６）との間にポンプ流（Ｉｐ２）を駆動するポンプ流ユニット（Ｕ２）が接続されている形式のものにおいて、
ポンプ流ユニット（Ｕ２）はパルス幅（Ｗ）を有する複数の個別パルス（１５，１６，１７）を有するパルス列を周期的に送出し、ここで該パルス幅（Ｗ）はポンプ流（Ｉｐ２）のレベルを調整設定するために変化可能である
ことを特徴とする装置。
【請求項２】
前記個別パルス（１５，１６，１７）は相互に固定的な時間間隔を持つ上昇側縁（１８，２０，２２）を有している
請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記時間間隔はパルス列の周期の１／２０と１／４との間にある
請求項２記載の装置。
【請求項４】
パルス列は２と１０との間の数の個別パルスを有している
請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。
【請求項５】
個別パルス（１５，１６，１７）のパルス幅（Ｗ）に関して前記ポンプ流ユニット（Ｕ２）を駆動制御するマイクロコントローラ（Ｃ）を備えている
請求項１から４までのいずれか１項記載の装置。
【請求項６】
個別パルス（１５，１６，１７）の数は変化可能である
請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。
【請求項７】
固体電解質（２）に接続されておりかつ測定ガスにさらされている外部電極（６）と、固体電解質（２）に接続されている電極（９）とを備え、該２つの電極間で固体電解質（２）を流れるポンプ流（Ｉｐ２）を用いて酸素がポンピング可能であるという測定センサを用いて測定ガス中のガス濃度を測定するための方法であって、
参照電極（１１）と電極（１６）との間にポンプ流（Ｉｐ２）を駆動する
という形式の方法において、
ポンプ流として、パルス幅（Ｗ）を有する複数の個別パルス（１５，１６，１７）を有するパルス列を周期的に使用し、ここで該パルス幅をポンプ流（Ｉｐ２）のレベルを調整設定するために調整設定する
ことを特徴とする方法。
【請求項８】
前記個別パルス（１５，１６，１７）は相互に固定的な時間間隔を持つ上昇側縁（１８，２０，２２）を有している
請求項７記載の装置。
【請求項９】
前記時間間隔はパルス列の周期の１／２０と１／４との間にある
請求項８記載の装置。
【請求項１０】
パルス列は２と１０との間の数の個別パルスを有している
請求項７から９までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１１】
個別パルス（１５，１６，１７）の数は変化可能である
請求項７から１０までのいずれか１項記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定ガス中のガス濃度を測定するための装置であって、固体電解質に接続されておりかつ測定ガスにさらされている外部電極と、固体電解質に接続されている電極とを備え、該２つの電極間で固体電解質を流れるポンプ流を用いて酸素がポンピング可能であり、ここで前記電極と外部電極との間にポンプ流を駆動するポンプ流ユニットが接続されている形式のものに関する。
【０００２】
本発明は更に、固体電解質に接続されておりかつ測定ガスにさらされている外部電極と、固体電解質に接続されている電極とを有し、該２つの電極間で固体電解質を流れるポンプ流を用いて酸素がポンピング可能であるという測定センサを用いて測定ガス中のガス濃度を測定するための方法であって、前記電極と外部電極との間にポンプ流を駆動するという形式の方法に関する。
【０００３】
測定ガス、例えば内燃機関の排気ガス中のＮＯｘ濃度を測定するために、圧膜測定センサを使用することは公知である。この種の測定センサは例えばＤＥ１９９０７９４７Ａ１に記載されている。この測定センサは酸素イオン伝導酸化ジルコニウムから成る基体に２つの測定セルを有している。このセンサは次の測定コンセプトを実現する：拡散バリヤを介して測定ガスが供給される第１の測定セルにおいて、第１の酸素イオンポンプ流を用いて第１の酸素濃度が調整設定され、その際ＮＯｘの分解は行われないようになっている。別の拡散バリヤを介して第１の測定セルに接続されている第２の測定セルにおいて、酸素含有量が第２の酸素イオンポンプ流を用いて一段と低減される。第２の測定セルに存在している測定電極におけるＮＯｘの分解により第３の酸素イオンポンプ流が流れることになり、これがＮＯｘ濃度に対する尺度である。その際全体の測定センサは電気的な加熱体を用いて高められた温度、例えば７５０℃にされる。
【０００４】
酸素イオンポンプ流の調整設定のために、それぞれの測定セルにおいてネルンスト電圧が取り出され、その際参照電極がさらされている酸素含有量、通例は周囲空気の酸素含有量が常時参照される。
【０００５】
ポンプ流のために、調整において酸素濃度を目標値にもっていくポンプ流源（フローソース）が使用される。従ってこの流源の品質は実現可能な測定精度および測定証明限界にとって重要である。このことは、測定電極と外部電極との間に介挿されているポンプ流源に特別言えることである。
【０００６】
ポンプ流を正確に調整設定するという要求は、それぞれのポンプ流を駆動する回路、すなわちポンプ流源の温度特性に対する要求が著しく高いということである。障害となる漏れ電流に関しても同じことが当てはまる。これらは、酸素濃度を調整設定するポンプ流の不変性および精度に同様に不都合に作用する。後者の欠点は殊に、ポンプ流が測定電極から外部電極に向かって生じるように、小さなポンプ流において意味を持ってくる。
【０００７】
確かに温度不変性およびより僅かな漏れ電流レベルに対する要求はパルス幅変調されるパルス電流を使用することによって緩和することができようが、電極に酸素濃度のある程度の変調が生じ、そうなると電極が変動する酸素濃度に不感であるようにするという要求が生じてくる。これにより、電極の、ひいては測定装置の寿命が低下することになりかねない。測定精度も低減される。
【０００８】
本発明の課題は、冒頭に述べた形式の装置ないし冒頭に述べた形式の方法を、電極がより僅かしか負荷されないように改良することである。
【０００９】
この課題は、冒頭に述べた形式の装置において本発明によれば、ポンプ流ユニットがパルス幅を有する複数の個別パルスを有するパルス列を周期的に送出し、ここで該パルス幅はポンプ流のレベルを調整設定するために変化可能であるようにしたことによって解決される。
【００１０】
この課題は、冒頭に述べた形式の方法において本発明によれば、ポンプ流として、パルス幅を有する複数の個別パルスを有するパルス列を周期的に使用し、ここで該パルス幅をポンプ流のレベルを調整設定するために調整設定することによって解決される。
【００１１】
すなわち本発明は、直流電流と純パルス幅変調されるポンプ流との間の中間に新機軸を拓き、これにより驚く仕方でこれら両方のコンセプトの利点を結び付ける。回路の温度特性および漏れ電流は実質的に比較的短期間にスイッチオンされるポンプ流の期間にしか作用しない。個別パルスの外ではこれに比べて無視できる程度の漏れ電流しか流れない。同時に、パルス列によって、電極における酸素含有量の変調は、固定のパルス周波数を持っていて幅に関して変調される個別パルスによるパルス幅変調を使用する場合よりも著しく僅かである。
【００１２】
パルス列において複数の個別パルスが存在しているということによって、有効な電流高さが同じになるように設計した場合にパルス高さを低く抑えることができ、これにより酸素変調は小さく、このために電極の老化特性および測定精度に好都合に作用することになる。パルス列の個別パルスが発生しない休止時間では、測定はポンプ流変化によるどんな影響も受けずに実施することができ、殊にこの場合ポンプ流の上昇または下降側縁による不都合な作用は生じない。同じことがタイミング制御される加熱に関しても当てはまる。
【００１３】
本発明のポンプ流形態は測定センサのすべてのポンプ流源に対して使用することができる。測定信号改善に関する特別な利点は、酸素イオンポンプ流を外部電極と測定電極との間に酸素イオンポンプ流を駆動するポンプ流源を使用する際に生じる。
【００１４】
パルス列の個別パルスはパルス幅が変化され、その際パルス列のすべての個別パルスは同一のパルス幅を有している。その際パルス電流制御は、個別パルスが相互に固定的な時間間隔を持つ上昇側縁を有しているのであれば、特別簡単に省略することができる。その場合個別パルスの数および固定の時間的な間隔が最大のキーイング比、すなわちパルス列を繰り返す周期のうち、個別パルスがとることができる割合を決める。
【００１５】
個別パルスの数は適用に依存して調整設定可能である。有利なのは２と１０との間の個別パルスを有しているパルス列である。とどのつまり、このことはパルス電流源ないしパルス電流源をキーイング制御することができる周波数に依存している。
【００１６】
ＮＯｘセンサに対する特別有利なキーイング制御比は上昇する側縁の時間間隔が固定の場合パルス列の周期の１／２０と１／４との間にある。
【００１７】
パルス幅の調整設定は適当な調整器によって行うことができる。これは、個別パルスのパルス幅に関してポンプ流ユニットをキーイング制御するマイクロコントローラを使用するとき特別簡単に実現可能である。
【００１８】
個別パルスの数が変化可能であるとき、ポンプ流制御の特別なフレキシビリティが得られる。その際付加的な個別パルスの接続ないし遮断によって、変調幅を拡大ないし縮小することができるので、そうした場合１００％までの変調深度が可能である。このことは、測定電流センサのスタートフェーズにおいて後に続く、通常の作動の期間に要求されるよりも著しく高いポンプ流を要求するようにすれば特別有利である。
【００１９】
次に本発明を図面を参照して実施例に基づき詳細に説明する。図面に示されているのは、
図１はＮＯｘ測定センサの断面略図およびこれに応じて設けられている接続関係を示す略図であり、
図２は個別パルスにより周期的に繰り返されるパルス列を有しているポンプ流の時間系列を示す線図であり、
図３は図１の測定センサに対する作動法のフローチャートである。
【００２０】
図１には、内燃機関の排気ガスダクトにおけるＮＯｘ濃度を検出するＮＯｘ測定センサの断面が略示されている。固体電解質、例えばＺｒＯ２から形成されているこの測定センサ１は拡散バリヤ３を介して測定すべき排気ガスを検出する。すなわち、この排気ガスのＮＯｘ濃度を突き止めようというものである。測定センサ１全体はタイミングをとられて通電する加熱体１３により作動温度にされる。
【００２１】
排気ガスは第１の測定セル４における拡散バリヤ３を通って拡散する。この測定セル４における酸素含有量は、第１の測定セル４に存在している第１の電極５と、参照セル１２に配置されている参照電極１１との間の第１のネルンスト電圧Ｖ０を取り出すことによって測定される。参照セル１２は周囲の空気に対してほぼシールされており、その際周囲圧力が変化した際には圧力補償のために適当な措置が講ぜられるようになっている。実施例においてはこのためにピンホールの形態の圧力補償開口１４が設けられている。
【００２２】
ネルンスト電圧Ｖ０は、参照電極１１が存在している参照セル１２における酸素含有量に関連付けられている。この事実関係の意味は後にもう一度詳細に説明する。
【００２３】
第１の回路装置は第１の測定セル４において前以て決められている酸素濃度を調整設定する。このために第１のネルンスト電圧Ｖ０が調整器によって取り出される。調整器は電圧制御される流源（フローソース）Ｕ０をコントロールする。この流源は第１の電極５と外部電極６との間で測定センサ１の固体電解質２に第１の酸素イオンポンプ流Ｉｐ０が流れるようにする。その際第１の測定セル４において前以て決められている酸素濃度が生じるようにされる。この酸素濃度は電極５と参照電極１１との間のネルンスト電圧Ｖ０を介して測定される。調整のために必要である、第１の酸素イオンポンプ流Ｉｐ０の検出はポンプ流源Ｕ０の既知の特性を介して行われる。この特性に基づいてポンプ流はコントロール電圧に直接結び付けられている。
【００２４】
第２の測定セル８は第１の測定セル４と別の拡散バリヤ７を介して接続されている。この拡散バリヤ７を通って、第１の測定セル４に存在しているガスは第２の測定セル８に拡散する。
【００２５】
第２の測定セル８において第２の回路装置が第２の酸素濃度を調整設定する。このために第２の電極９と参照電極１１との間で第２のネルンスト電圧Ｖ１が取り出されかつ調整器に供給される。調整器は第２の電圧制御される流源Ｕ１をコントロールする。この第２の流源により第２の酸素イオンポンプ流Ｉｐ１が第２の測定セル８から駆動されて、第２の測定セル８における酸素含有量が低減されるようにする。ここでも、第２の酸素イオンポンプ流Ｉｐ１の調整に対して流源Ｕ１の特性が利用される。
【００２６】
第２の回路装置は第２の酸素イオンポンプ流Ｉｐ１を調整して、第２の測定セル８において前以て決められている酸素濃度が調整設定されるようにする。その際濃度は、ＮＯｘが実行される過程によって強い影響を受けない、殊に分解されない程度の大きさである。ＮＯｘは第２の測定セル８において触媒的に実現されていてよい測定電極１０にて第３の酸素イオンポンプ流Ｉｐ２において測定電極１０から外部電極６に向かってポンピングされる。測定セル８における残留酸素含有量は、酸素イオンポンプ流Ｉｐ２が実質的に、測定電極１０におけるＮＯｘの分解が原因で生じた酸素イオンだけを運ぶ程度にまで低下しているので、ポンプ流Ｉｐ２は測定セル８における、ひいては測定すべき排気ガスにおけるＮＯｘ濃度に対する尺度である。第３の酸素イオンポンプ流Ｉｐ２も、第３のネルンスト電圧Ｖ２の測定に基づいて調整される電圧制御される流源Ｕ２によって駆動される。その際上に述べたポンプ流に類似して、測定電極１０と参照電極１１との間で第３のネルンスト電圧Ｖ２を取り出す調整器が設けられている。
【００２７】
ネルンスト電圧の測定の際、参照電極１１において一定の基準電位を使用することができるようにするために、参照セル１２は周囲空気に対して実質的に封鎖されている。更に、回避できない拡散プロセスのため、参照セル１２において周囲に比べて高められている酸素分圧が調整設定されると、第４の制御される流源Ｕ３を用いて第４の酸素イオンプンプＩｐ３が外部電極から参照電極１１に駆動されることで、酸素が参照セル１２内にポンピング入力される。その際流源Ｕ３は、コントローラＣから送出されるコントロール電圧ＶＳを用いて制御される。この場合択一選択的に、すべての電流調整に対してアナログ回路も可能である。
【００２８】
その際ポンプ流は図２に示されているスキーマに従って調整設定される。ここでは例として第３のポンプ流Ｉｐ２が参照される。
【００２９】
図２にはポンプ流Ｉの時間系列が図示されている。分かるように、パルス列は周期Ｔによって繰り返される。パルス列は３つの個別パルス、第１の個別パルス１５、真ん中の個別パルス１６および最後の個別パルス１７から成っており、これらはすべて同じパルス幅Ｗおよび同一のパルス高さＨを有している。
【００３０】
パルス高さＨは固定保持される一方、ポンプ流Ｉｐ２のレベルの調整設定のためにパルス幅Ｗは変化される。その際第１の個別パルス１５の上昇する側縁１８、真ん中の個別パルス１６の上昇する側縁２０および最後の個別パルス１７の上昇する側縁２２は相互に固定の時間距離を有している。幅Ｗの変化は、第１の個別パルス１５の下降する側縁１９、真ん中の個別パルス１６の下降する側縁２１および最後の個別パルス１７の下降する側縁２３をそれぞれの上昇する側縁１８，２０，２２に対して時間的に変化することによって行われる。遅延によりパルス幅Ｗは大きくなり、早めればパルス幅は短くなる。
【００３１】
図２に図示のパルス列は周期Ｔの経過後繰り返され、その際調整はパルス幅Ｗの変化を自ずと引き起こす可能性がある。
【００３２】
上昇側縁１８，２０および２２間の固定の時間的な間隔のために図２に図示の、３つの個別パルス１５，１６および１７を有するパルス列では、変調度、すなわちポンプ流がレベルＨを有している周期Ｔの部分は１００％を大幅に下回っていることになる。これを高めるために、短時間付加的な個別パルスを供給することが可能である。
【００３３】
変調度をこのように高めることは測定センサのスタートフェーズにおいて、加速される作動開始が実現されるように図３に示されている次の方法が実施される。
【００３４】
方法がスタートするステップＳ０の後、最初にステップＳ１において変調の際に個別パルスができるだけ大きな幅Ｗに設定される。大きな幅Ｗで平均電流レベルＩｇは高くなる。それは、このために供給元である外部電極、固体電解質並びに測定電極９の破壊または過度の崩壊がまだ結果生じることがない程度の大きさである。しかしそれは熱伝導接触抵抗によって引き起こされる電圧が相応のネルンスト電圧の殆どエラーのない測定を可能にする程度の大きさである。それ故に、第３のポンプ流Ｉｐ２が外部電極６から測定電極９に酸素を搬送するこのスタートフェーズにおいて測定センサ１のこれ以上の測定作動は行われない。ステップＳ２において、大きなパルス幅Ｗを有するポンプ流Ｉｐ２のスイッチイン以降の持続時間が捕捉検出される。
【００３５】
ステップＳ３において高い平均電流レベルＩｇが所定の時間Ｔ１の間流れたことが検出されて漸く、ステップＳ４が続けられ、その他の場合には時間測定ステップＳ２の前に戻りジャンプされる。
【００３６】
ステップＳ４において幅Ｗの短縮によって外部電極６から測定電極９へのポンプ流Ｉｐ２は著しく僅かな平均電流レベルＩｋに低減される。僅かな平均電流レベルＩｋは、その場合に酸素イオンポンプ流Ｉｐ２が測定のために適当であるように選択されている。僅かな平均電流レベルＩｋのためにネルンスト電圧の捕捉検出は許容できる程度にしか歪まないので、ステップＳ５において測定センサ１の作動が終了するまで、測定作動が実施される。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】ＮＯｘ測定センサの断面略図およびこれに応じて設けられている接続関係を示す略図
【図２】個別パルスにより周期的に繰り返されるパルス列を有しているポンプ流の時間系列を示す線図
【図３】図１の測定センサに対する作動法のフローチャート
【図１】
2005530133.tif 000003
【図２】
2005530133.tif 000004
【図３】
2005530133.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月8日(2004.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
測定ガス中のガス濃度を測定するための装置であって、
固体電解質（２）に接続されておりかつ測定ガスにさらされている外部電極（６）と、固体電解質（２）に接続されている電極（９）とを備え、該２つの電極間で固体電解質（２）を流れるポンプ流（Ｉｐ２）を用いて酸素がポンピング可能であり、ここで前記電極（９）と外部電極（６）との間にポンプ流（Ｉｐ２）を駆動するポンプ流ユニット（Ｕ２）が接続されている形式のものにおいて、
ポンプ流ユニット（Ｕ２）は前以て決められている周期によって周期的にパルス幅（Ｗ）を有する複数の個別パルス（１５，１６，１７）を有するパルス列を送出し、ここで該パルス幅（Ｗ）は１周期の経過終了後にポンプ流（Ｉｐ２）のレベルを調整設定するために変化可能である
ことを特徴とする装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
固体電解質（２）に接続されておりかつ測定ガスにさらされている外部電極（６）と、固体電解質（２）に接続されている電極（９）とを備え、該２つの電極間で固体電解質（２）を流れるポンプ流（Ｉｐ２）を用いて酸素がポンピング可能であるという測定センサを用いて測定ガス中のガス濃度を測定するための方法であって、
前記電極（９）と外部電極（６）との間にポンプ流（Ｉｐ２）を駆動する
という形式の方法において、
ポンプ流として、前以て決められている周期によって周期的に、パルス幅（Ｗ）を有する複数の個別パルス（１５，１６，１７）を有するパルス列を使用し、ここで該パルス幅をポンプ流（Ｉｐ２）のレベルを１周期の経過終了後に調整設定するために調整設定する
ことを特徴とする方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
ＵＳ６３０１９５１Ｂ１に、混合ガス、殊に内燃機関の排気ガスにおける酸素濃度を突き止めるために測定センサを制御するための方法が記載されている。この方法では、酸素濃度に相応する、ネルンスト測定セルから供給される検出電圧が回路装置からポンプセルに対するポンピング電圧に変換される。混合ガスの酸素含有量に応じて、アノードまたはカソード限界電流がポンプセルを介して流れる。選択可能な時間間隔にわたってアノード限界電流が流れるという測定センサの安定した作動において、ポンプセルおよび／またはネルンスト測定セルには測定センサの復極が行われるように、測定された検出電圧ないし設定されたポンプ流に無関係に用意される少なくとも１つの電圧パルスが印加される。
ＧＢ２２５２１６７Ａには、固体電解質を有する酸素センサシステムが記載されている。このシステムは参照ボリュームを有しており、該参照ボリュームはある領域が開口または孔を介して外部の測定ガスに接続されておりかつ酸素ポンプを介して固体電解質に接しておりかつ酸素センサによって固体電解質に接している。酸素ポンプも酸素センサも参照ボリュームにおける電極を使用しかつ測定ガスにおける別の電極を使用する。調整される加熱体はセンサの温度を所望の値に保持する。酸素ポンプの電極に正弦波状の電流が供給される。この電流により酸素センサの擬似正弦波状電磁力が生じ、その振幅が測定ガスの酸素分圧を求めるために測定される。更に、擬似正弦波状電磁力の位相が測定され、このことで測定ガスにおける酸素分圧、気圧および診断情報をセンサにおけるエラーに関連して一層正確に求めることが可能になる。
ＧＢ２２７０１６４Ａには、電解質を有するセンサおよびポンプを使用する酸素測定システムが記載されている。このシステムは閉じられたボリュームを有している。これは、固体電解質を有する酸素ポンプおよび固体電解質を有する酸素センサによって形成されている。酸素ポンプも酸素センサもこの閉じられたボリュームにある電極および測定ガス中の別の電極を使用することができる。センサの電磁力は別個に生成される周期的に発振する電圧と比較されかつ電磁力と電圧との間の差が酸素ポンプに流れる電流を調整する調整によって保持される。結果生じる周期的に振動するポンプ流が解析されて、測定ガス中の酸素分圧および／または酸素濃度が求められる。
ＥＰ０４２７９５８Ａ１には、リニヤな酸素センサに属している酸素ポンプの電流供給のための装置が記載されている。この装置は、マイクロプロセッサによって制御されるトランジスタのブリッジ回路を有している。マイクロプロセッサはセンサの測定セルの測定信号を処理して、酸素ポンプを流れる前以て決められている強度の電流の方向および持続時間が制御されるようにしている。ブリッジのトランジスタのスイッチングによって固定の周波数および変化する循環的なスイッチオン持続時間を有する周期的な交番電流が供給される。
確かに温度不変性およびより僅かな漏れ電流レベルに対する要求はパルス幅変調されるパルス電流を使用することによって緩和することができようが、電極に酸素濃度のある程度の変調が生じ、そうなると電極が変動する酸素濃度に不感であるようにするという要求が生じてくる。これにより、電極の、ひいては測定装置の寿命が低下することになりかねない。測定精度も低減される。


【国際調査報告】
2005530133.tif 000006
2005530133.tif 000007
2005530133.tif 000008
2005530133.tif 000009
2005530133.tif 000010
2005530133.tif 000011