(57)【要約】本発明は光学装置の対象となる内構造の研究に関する。対象の研究方法およびその実現する光学干渉計の一つの変型において研究している対象８へ向けた低干渉性光学放射のための光路は双向で作り、支持の低干渉性光学放射のための光路は単向で作った。それは分裂係数および光学放射混合係数の絶対独立を確保し、それによって光学放射線源１の電力の最適制御を実現できる。対象の研究方法およびその実現する光学干渉計の別の変型において、支持光路は輪２３で作って、しかも、支持放射の部分は時計の針の方向に動く支持光路を透過し、別の支持放射の部分は時計の針と反対方向に動く支持光路を透過する。この変型において、分裂係数は光ビームスプリッター２１、２４を無相互で、あるいは偏極従属的で作り、そして光ビームスプリッター２１、２４の間および／あるいは測定腕と支持腕に偏極を変化される素子を加入して最良できる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１低干渉性光学放射のビームは前向きおよび後ろ向きに双向で作った測定光路を伝わって透過し、第２低干渉性光学放射のビームは前向きに単向で作った支持光路を伝わって透過する事を特徴とする対象の研究する方法、この方法によって、低干渉性光学放射を形成し、その低干渉性光学放射を第１低干渉性光学放射のビームおよび第２低干渉性光学放射のビームに分け、上記した第１低干渉性光学放射のビームは測定光路を伝わって、研究する対象へ向け、第２低干渉性光学放射のビームは支持光路を伝わる、そして、測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射は支持光路を伝わって透過した低干渉性光学放射と混合し、研究する対象についてのインフォメーションを持ち、測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射の強度を写像する。そのために、上記の混合の結果である光学放射の干渉強度変調の少なくとも一つの信号を利用する。
【請求項２】
研究している対象へ向けたおよび対照光路を伝わる低干渉性光学放射光路の光学長の差を変化され研究している対象の深部走査を実施する事を特徴とする請求項１記載の対象の研究する方法。
【請求項３】
研究している対象へ向けたおよび対照光路を伝わる低干渉性光学放射光路の光学長の差を少なくとも低干渉性光学放射の波長数十段ほど変化される事を特徴とする請求項１か項２記載の対象の研究する方法。
【請求項４】
上記の光学放射の普及方向に対してほとんど直交である表面に研究している対象へ向けた低干渉性光学放射を指定法則で走査を実施する事を特徴とする請求項１か項２か項３記載の対象の研究する方法。
【請求項５】
生きた有機体の生物組織が研究している対象である事を特徴とする請求項１か項２か項３か項４記載の対象の研究する方法。
【請求項６】
生きた有機体の内面空ろが研究している対象である事を特徴とする請求項１か項２か項３か項４か項５記載の対象の研究する方法。
【請求項７】
上記した低干渉性光学放射として、見える或いは近い波長の周波数の赤外線光学放射を利用する事を特徴とする請求項１か項２か項３か項４か項５か項６記載の対象の研究する方法。
【請求項８】
支持光路は輪の形で作って、第１低干渉性光学放射のビームは第３低干渉性光学放射のビームおよび第４低干渉性光学放射のビームに分け、上記した第３低干渉性光学放射のビームは研究している対象に向け、上記した第４低干渉性光学放射のビームは時計の針の方向に動く対照光路を伝わり、上記した第２低干渉性光学放射のビームは時計の針と反対方向に動く支持光路を伝わり、しかも、第３低干渉性光学放射のビームは前向きおよび後ろ向きに双向で作った測定光路を伝わって透過し、研究している対象から戻ってきた低干渉性光学放射は時計の針と反対方向に動く支持光路を透過した第２低干渉性光学放射のビームと混合し、上記の混合の結果である光学放射の部分は時計の針の方向に動く支持光路を透過した第４低干渉性光学放射のビームと混合する事を特徴とする対象の研究する方法、この方法によって、低干渉性光学放射を形成し、その低干渉性光学放射を第１低干渉性光学放射のビームおよび第２低干渉性光学放射のビームに分け、上記した第１低干渉性光学放射のビームは測定光路を伝わって、第２低干渉性光学放射のビームは支持光路を伝わって、そして、測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射は支持光路を伝わって透過した低干渉性光学放射と混合し、研究する対象についてのインフォメーションを持ち、測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射の強度を写像する。そのために、上記の混合の結果である光学放射の干渉強度変調の少なくとも一つの信号を利用する。
【請求項９】
測定腕は双向で作り、支持腕は単向で作った事を特徴とする光学干渉計は光学的に結ばれた低干渉性光学放射線源、第１の光ビームスプリッター、測定腕と支持腕、第２の光ビームスプリッター、そして第２の光ビームスプリッターの適当なポータに結線した少なくとも一つの光受信器を含有する。
【請求項１０】
光学干渉計のすくなくとも一つの腕は光学遅延線を含有する事を特徴とする請求項９記載の光学干渉計。
【請求項１１】
光学干渉計のすくなくとも一つの腕は位相変調器を含有する事を特徴とする請求項９記載の光学干渉計。
【請求項１２】
光学干渉計の測定腕はその離れた先に設備された探針がある事を特徴とする請求項９か項１０か項１１記載の光学干渉計。
【請求項１３】
干渉計の測定腕の探針を含めるすくなくとも部分は光学ファイバで作られる事を特徴とする請求項９か項１０か項１１か項１２記載の光学干渉計。
【請求項１４】
光学干渉計のすくなくとも一つの腕は光学ファイバで作られる事を特徴とする請求項９か項１０か項１１か項１２記載の光学干渉計。
【請求項１５】
すくなくとも一つの光ビームスプリッターは光学ファイバで作られる事を特徴とする請求項９か項１０か項１１か項１２か項１３か項１４記載の光学干渉計。
【請求項１６】
探針は着脱式で作り、光学干渉計の別の部分と分離接続を使って接合した事を特徴とする請求項９か項１０か項１１か項１２か項１３か項１４か項１５記載の光学干渉計。
【請求項１７】
第１の光ビームスプリッターは無相互で作った事を特徴とする請求項９か項１０か項１１か項１２か項１３か項１４か項１５か項１６記載の光学干渉計。
【請求項１８】
第１の光ビームスプリッターは偏極感度的で作られ、測定腕に偏極スイッチが加入された事を特徴とする請求項９か項１０か項１１か項１２か項１３か項１４か項１５か項１６か項１７記載の光学干渉計。
【請求項１９】
測定腕は双向で作り、支持腕は輪の形があり、第１の光ビームスプリッターは第２の光ビームスプリッターのポータを通じ、研究している対象と光学的に結ばれ、そして少なくとも一つの光ビームスプリッターは適当な光受信器と結線した事を特徴とする光学的に結ばれた低干渉性光学放射線源、第１の光ビームスプリッター、測定腕と支持腕、第２の光ビームスプリッター、そして少なくとも一つの光受信器を含有する光学干渉計。
【請求項２０】
光学干渉計の少なくとも一つの腕は光学遅延線を含有する事を特徴とする請求項１９記載の光学干渉計。
【請求項２１】
光学干渉計の少なくとも一つの腕は位相変調器を含有する事を特徴とする請求項１９記載の光学干渉計。
【請求項２２】
光学干渉計の測定腕はその離れた先に設備された探針がある事を特徴とする請求項１９か項２０か項２１記載の光学干渉計。
【請求項２３】
探針を含める干渉計のすくなくとも測定腕の部分は光学ファイバで作られる事を特徴とする請求項１９か項２０か項２１か項２２記載の光学干渉計。
【請求項２４】
光学干渉計のすくなくとも一つの腕は光学ファイバで作られる事を特徴とする請求項１９か項２０か項２１記載の光学干渉計。
【請求項２５】
すくなくとも一つの光ビームスプリッターは光学ファイバで作られる事を特徴とする請求項１９か項２０か項２１か項２２か項２３か項２４記載の光学干渉計。
【請求項２６】
探針は着脱式で作り、光学干渉計の別の部分と分離接続を使って接合した事を特徴とする請求項１９か項２０か項２１か項２２か項２３か項２４か項２５記載の光学干渉計。
【請求項２７】
第１の光ビームスプリッターは無相互で作った事を特徴とする請求項１９か項２０か項２１か項２２か項２３か項２４か項２５か項２６記載の光学干渉計。
【請求項２８】
第１の光ビームスプリッターは偏極感度的で作られ、測定腕に偏極スイッチが加入された事を特徴とする請求項１９か項２０か項２１か項２２か項２３か項２４か項２５か項２６か項２７記載の光学干渉計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は技術物理学に関し、特に光学測定手段を利用して対象となる内構造の研究に関する。さらに低干渉性反射計および光学干渉性トモグラフィー装置に利用できる。上記の低干渉性反射計および光学干渉性トモグラフィー装置は特に人間内臓器官医療診断、そのうち「IN VIVO」或いは「IN VITRO」における人間身体器官の診断、産業技術診断、例えばテクノロジー過程のコントロールために利用できる。
【背景技術】
【０００２】
低干渉性光学放射を使って、対象の研究のために利用する光学干渉計の利点は高空間的分解能のある混濁的媒体の像が出来、そして医療検査および様々な設備の技術診断を行う時、不介入診断および非破壊的コントロールが出来るようになる。
【０００３】
低干渉性反射計および光学干渉性トモグラフィー装置の成分となる光学干渉計はかなりよく知られている。（例えば、米国特許第５３２１５０１号明細書（特許文献１），米国特許第５３８３４６７号明細書（特許文献２），米国特許第５４５９５７０号明細書（特許文献３），米国特許第５５８２１７１号明細書（特許文献４），米国特許第６１３４００３号明細書（特許文献５），国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレット（特許文献６）、その他を参照）。時々干渉計の光学図式は完全にあるいは部分的に集中したパラメーター光学素子を利用して実現する（米国特許第５３８３４６７号明細書）、それにしてももっと頻繁にこのような用途の光学干渉計は光学ファイバ形で作る（米国特許第５３２１５０１号明細書、米国特許第５４５９５７０号明細書、米国特許第５５８２１７１号明細書を参照）。
【０００４】
普通、上記の光学干渉計はマイケルソン干渉計（例えば、X.Clivaz et al. "High resolution reflectometry in biological tissues", Opt.Lett. /Vol.17, No. 1/January 1, 1992（非特許文献１）； J.A.Izatt, J.G.Fujimoto et al, "Optical coherence microscopy in scattering media", Opt.Lett./ Vol.19, No. 8/April 15, 1994, p.590-592（非特許文献２）を参照）、あるいはマッハ・ゼンデル干渉計の形で作る（例えば、J.A.Izatt, J.G.Fujimoto et al. "Micron-resolution Biomedical Imaging with optical coherence tomography", Optics & Photonic News, October 1993, Vol.4, No.10, p.14-19（非特許文献３）；米国特許第５５８２１７１号明細書を参照）。その具体的な光学図式によらないで光学干渉計は恒例的に一つあるいは二つの光ビームスプリッター、測定腕と支持腕、そして少なくとも光受信器を含有する。原則として測定腕は探針があり、その探針は大抵光学ファイバ探針である（例えば、A.Sergeev et al, "In vivo optical coherence tomography of human skin microstructure", Proc.SPIE, v.2328, 1994, p.144（非特許文献４）； X.J.Wang et al. Characterization of human scalp hairs by optical low coherence reflectometry. Opt. Lett./Vol.20, No.5, 1995, рр.524-526（非特許文献５）を参照）。
【０００５】
マイケルソン干渉計には（図１）測定腕と支持腕は双向であり、支持腕の先に対照ミラーが設備する。研究する対象の深部走査を確保するように対照ミラーはその機械的移動を確保する素子に結ぶ （米国特許第５３２１５０１号明細書，1994；米国特許第５４５９５７０号明細書，1995を参照），あるいは対照ミラーの位置を固定して、例えば、深部走査は圧電走査素子を利用して（露国特許第２１００７８７号明細書，1997（特許文献７））、分散・格子遅延線を利用して、あるいは別の光学素子たとえば、回転ミラー、プリズム、らせん面ミラー、その他を利用して実行する（K.F.Kwong, D.Yankelevich et al. 400-Hz mechanical scanning optical delay line, Optics Letters, Vol.18, No.7, April 1, 1993（非特許文献６）を参照）。
【０００６】
実際には知られているマイケルソン干渉計はたとえば、米国特許第５３２１５０１号明細書、米国特許第５３８３４６７号明細書、米国特許第５４５９５７０号明細書そして露国特許第２１４８３７８号明細書（特許文献８）に説明した同じような対象の研究する方法を実現する。この方法によって、低干渉性光学放射を形成し、その低干渉性光学放射を第１低干渉性光学放射のビームおよび第２低干渉性光学放射のビームに分ける。上記した第１低干渉性光学放射のビームは測定光路を伝わって、研究する対象へ向け、第２低干渉性光学放射のビームは支持光路に向ける。そして、前向きおよび後ろ向きに測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射は前向きおよび後ろ向きに支持光路を伝わって透過した低干渉性光学放射と混合する。測定光路および支持光路は双向でつくる。研究する対象についてのインフォメーションを持ち、測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射の強度を写像する。そのために、上記の混合の結果である干渉強度変調の信号を利用する。
【０００７】
マイケルソン干渉計の主要な欠陥はその干渉計に実現した方法と同じように光学放射線源の利用の不十分な有効性である。その理由は光ビームスプリッタの最適分裂係数があっても（その係数は無相互の配図の場合に０．５である）入力電力の大分は支持腕に、そして光ビームスプリッタから放射線源への逆路に損失する。尚、光ビームスプリッタから放射線源へ戻ってくる光学放射は可変成分を含み、その可変成分は利用干渉信号に対応する。その信号の振幅は検波器の出力電力の信号振幅に比例である。その成分は信号対雑音比を改良するため、別の配図の干渉計に可能性があるのに、マイケルソン干渉計にはその成分は損失し、更に多数知られている広帯域光学放射源泉（例えば、半導体スーパールミネセンス・ダイオード、ドープト コア ファイバーのスーパールミネセンス放射線源、スーパールミネッセント自発放射レーザー、固体および光ファイバーフェムト秒レーザー）に悪影響をする。
【０００８】
マッハ・ゼンデル干渉計（図２）の利点は光学電力のなにかの本質的な部分は放射線源に返らないことである。しかも、電力の分割と総和のために異なる光ビームスプリッターが使うので図式には支持腕および測定腕の間に電力の分割と総和の広い可能性がある。
【０００９】
更に逆位相干渉成分を含有する第２の光学チャネルは到達可能であり、差動検波用の装置に信号対雑音比を改良するため使う。マッハ・ゼンデル干渉計には測定腕および支持腕は単向であり、それゆえ、反射的研究する対象に従事するため、光学循環器を測定腕に加入することが必要である。低干渉性光学放射で透過を使って、生物組織の像をつくるため、実際に不可能である。なぜなら光散乱のために、低干渉性光学放射は奥深くに浸透することが原則的に２〜３mmに限り、人間と動物の組織および器官はもっとも大きな厚度がある。マッハ・ゼンデル干渉計には深さの走査することがビルトインされた透過の遅延線、例えば光学ファイバ圧電遅延線を使って実現する可能。単向のため、その遅延線は同様反射の遅延素子よりただ５０％光路長さの変化（従って、５０％の深さの走査すること）を確保できる。それゆえ、もっとも普及された遅延線はマイケルソン干渉計に使っている遅延線の様な反射遅延線です。しかし、その遅延線の利用はもう一つの光学循環器の加入が要り、その結果、構造はもっと複雑、そして高くになる。
【００１０】
知られているマッハ・ゼンデル干渉計は例えば、国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレット，米国特許第６４８５４１３号明細書（特許文献９）に説明した少しだけ別の研究方法を実現する。この方法によって、低干渉性光学放射を形成し、その低干渉性光学放射を第１低干渉性光学放射のビームおよび第２低干渉性光学放射のビームに分ける。上記した第１低干渉性光学放射のビームは単向測定光路の第１部を伝わって、研究する対象へ向け、第２低干渉性光学放射のビームは単向支持光路に向ける。補足の光学システムを使って、研究する対象についてのインフォメーションを持っている低干渉性光学放射を単向測定光路の第２部を伝わる。そして、前向きに測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射は前向きに支持光路を伝わって透過した低干渉性光学放射と混合する。それから、研究する対象についてのインフォメーションを持ち、測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射の強度を写像する。そのために、上記の混合の結果である光学放射の干渉強度変調の信号を利用する。その方法は、その実現する装置と同じように、光学放射線源電力の もっと高い有効性利用を確保する。
【００１１】
研究する対象の深部走査することは第１、第２方法に、そしてその方法を実現する干渉計と同じように研究する対象へ向けたおよび支持光路を向けた低干渉性光学放射のため光路の光学長の差を変化され実施する。必要に応じて、研究する対象の側方向走査を実施する。
【００１２】
国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレットに説明した対象を雑種性研究方法も知られている。この方法によって、低干渉性光学放射を形成し、その低干渉性光学放射を第１低干渉性光学放射のビームおよび第２低干渉性光学放射のビームに分ける。上記した第１低干渉性光学放射のビームは単向測定光路の第１部を伝わって、研究する対象に焦点をあわせ、研究する対象に向け、第２低干渉性光学放射のビームは双向支持光路を伝わる。補足の光学システムを使って、研究する対象についてのインフォメーションを持っている低干渉性光学放射を単向測定光路の第２部を伝わる。そして、前向きに測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射は前向きおよび後ろ向きに支持光路を伝わって透過した低干渉性光学放射と混合する。研究する対象についてのインフォメーションを持っている測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射の強度を写像する。そのために、上記の混合の結果である光学放射の干渉強度変調のすくなくとも一つの信号を利用する。
【００１３】
国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレットによって上記したの方法を実現する雑種性の光学干渉計が知られている。この干渉計（図３を参照）は光学的に結ばれた低干渉性光学放射線源、第１の光ビームスプリッター、測定腕と支持腕、第２の光ビームスプリッター、そして少なくとも一つの光受信器を含有する。低干渉性光学放射線源は第１の光ビームスプリッターの第１ポータと光学的に結ばれた。測定腕は単向で作られ、二つの部があり、その一つの部は第１の光ビームスプリッターの第２ポータと結線した。測定腕の第１部は光学システムが含む探針を含有する。光学システムは研究している対象に低干渉性光学放射の第１の光ビームの焦点をあわせることが確保する。測定腕の第２部は補足の光学システムが含む。補足の光学システムは研究する対象についてのインフォメーションを持っている低干渉性光学放射を第２の光ビームスプリッターの第１ポータに届けることが確保する。第１の光ビームスプリッターの第３ポータは第２の光ビームスプリッターの第３ポータと接合された。第１の光ビームスプリッターの第４ポータは双向で作らた支持腕と接合して、支持腕の先に対照ミラーが設備する。第２の光ビームスプリッターの第２ポータおよび第４ポータに適当な光受信器が結線した。対照ミラーは研究する対象の深部走査を確保する適当な装置と接合する。
【００１４】
国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレットによって知られている対象の雑種性研究方法、そしてその方法を実現する雑種性の光学干渉計の欠陥は研究する対象についてのインフォメーションを持っている低干渉性光学放射を収集および届けのために補足の光学システムを利用する必要性である。研究している対象に低干渉性光学放射の焦点をあわせるように利用する光学システムおよび記載した補足の光学システムは調整して同時にミクロン精度を守って同じ点へ向かなければなりません。その理由は研究している対象の表面の上にビームの直径は１５〜３０μ必要であり、しかし、一つビーム直径量の偏差でも測定腕の第２部へ届いた光学電力の絶対的な損失に導く。更に支持腕から光学電力の部分は不可避的に線源に戻り、線源の作動に悪影響をあたえる可能。
【特許文献１】米国特許第５３２１５０１号明細書
【特許文献２】米国特許第５３８３４６７号明細書
【特許文献３】米国特許第５４５９５７０号明細書
【特許文献４】米国特許第５５８２１７１号明細書
【特許文献５】米国特許第６１３４００３号明細書
【特許文献６】国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレット
【特許文献７】露国特許第２１００７８７号明細書
【特許文献８】露国特許第２１４８３７８号明細書
【特許文献９】米国特許第６４８５４１３号明細書
【非特許文献１】X.Clivaz et al. "High resolution reflectometry in biological tissues", Opt.Lett. /Vol.17, No. 1/January 1, 1992
【非特許文献２】J.A.Izatt, J.G.Fujimoto et al, "Optical coherence microscopy in scattering media", Opt.Lett./ Vol.19, No. 8/April 15, 1994, p.590-592
【非特許文献３】J.A.Izatt, J.G.Fujimoto et al. "Micron-resolution Biomedical Imaging with optical coherence tomography", Optics & Photonic News, October 1993, Vol.4, No.10, p.14-19
【非特許文献４】A.Sergeev et al, "In vivo optical coherence tomography of human skin microstructure", Proc.SPIE, v.2328, 1994, p.144
【非特許文献５】X.J.Wang et al. Characterization of human scalp hairs by optical low coherence reflectometry. Opt. Lett./Vol.20, No.5, 1995, рр.524-526
【非特許文献６】K.F.Kwong, D.Yankelevich et al. 400-Hz mechanical scanning optical delay line, Optics Letters, Vol.18, No.7, April 1, 1993
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
提案する発明は最適の信号対雑音比が確保され、光学放射線源電力の利用の高い有効性を確保する低干渉性光学放射を使って対象を研究するため利用する方法および光学干渉計の列挙を増やすことを目的とする。とは言え、従来の技術から知られている少なくとも最良の類似の動作特性に負けない動作特性のある方法および光学干渉計変型の創造を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
対象を研究方法の開発された第１の変型は国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレットから知られている雑種性の研究方法と同じように以下に述べる。この方法によって、低干渉性光学放射を形成し、その低干渉性光学放射を第１低干渉性光学放射のビームおよび第２低干渉性光学放射のビームに分ける。第１低干渉性光学放射のビームは測定光路を伝わて研究する対象に向け、第２低干渉性光学放射のビームは支持光路を伝わる。そして、測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射は支持光路を伝わって透過した低干渉性光学放射と混合する。研究する対象についてのインフォメーションを持っている測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射の強度を写像する。そのために、上記の混合の結果である光学放射の干渉強度変調のすくなくとも一つの信号を利用する。
【００１７】
知られている方法と違って、発明に従って第１低干渉性光学放射のビームは前向きおよび後ろ向きに双向で作った測定光路を伝わって透過し、第２低干渉性光学放射のビームは前向きに単向で作った支持光路を伝わって透過する。
【００１８】
具体的な場合に研究している対象へ向けたおよび対照光路へ向けた低干渉性光学放射のため光路の光学長の差を変化され研究している対象の深部走査を実施する。
【００１９】
その場合の具体的な実施例において研究している対象へ向けたおよび対照光路へ向けた低干渉性光学放射光路の光学長の差を少なくとも低干渉性光学放射の動作波長数十段ほど変化される。別の具体的な場合に上記の光学放射の普及方向に対してほとんど直交である表面に研究している対象へ向けた低干渉性光学放射を指定法則で走査を実施する。
【００２０】
別の具体的な場合に生きた有機体の生物組織が研究している対象である。
【００２１】
その具体的な場合の具体的な実施例において生きた有機体の内面空ろが研究している対象である。
【００２２】
具体的な実施例において上記した低干渉性光学放射として、見える或いは近い波長の周波数の赤外線光学放射を利用する。
【００２３】
対象を研究方法の開発された第２の変型は国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレットから知られている雑種性の研究方法と同じように以下に述べる。この方法によって、低干渉性光学放射を形成し、その低干渉性光学放射を第１低干渉性光学放射のビームおよび第２低干渉性光学放射のビームに分ける。第１低干渉性光学放射のビームは測定光路を伝わって、第２低干渉性光学放射のビームは支持光路を伝わる。そして、測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射は支持光路を伝わって透過した低干渉性光学放射と混合する。研究する対象についてのインフォメーションを持っている測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射の強度を写像する。そのために、上記の混合の結果である光学放射の干渉強度変調のすくなくとも一つの信号を利用する。
【００２４】
知られている方法と違って、発明に従って支持光路は輪で作って、第１低干渉性光学放射のビームは第３低干渉性光学放射のビームおよび第４低干渉性光学放射のビームに分ける。上記した第３低干渉性光学放射のビームは研究している対象に向け、上記した第４低干渉性光学放射のビームは時計の針の方向に動く対照光路を伝わって、上記した第２低干渉性光学放射のビームは時計の針と反対方向に動く対照光路を伝わる。しかも、第３低干渉性光学放射のビームは前向きおよび後ろ向きに双向で作った測定光路を伝わって透過する。研究している対象から戻ってきた低干渉性光学放射は時計の針と反対方向に動く支持光路を透過した第２低干渉性光学放射のビームと混合し、上記の混合の結果である光学放射の部分は時計の針と反対方向に動く支持光路を透過した第４低干渉性光学放射のビームと混合する。
【００２５】
開発された光学干渉計の第１の変型は国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレットから知られている雑種性の光学干渉計と同じように光学的に結ばれた低干渉性光学放射線源、第１の光ビームスプリッター、測定腕と支持腕、第２の光ビームスプリッター、そして第２の光ビームスプリッターの適当なポータに結線した少なくとも一つの光受信器を含有する。
【００２６】
知られている雑種性の光学干渉計と違って、発明に従って測定腕は双向で作り、支持腕は単向で作った。
【００２７】
具体的な場合に光学干渉計のすくなくとも一つの腕は光学遅延線を含有する。
【００２８】
別の具体的な場合に光学干渉計のすくなくとも一つの腕は位相変調器を含有する。
【００２９】
別の具体的な場合に光学干渉計の測定腕はその離れた先に設備された探針がある。
【００３０】
別の具体的な場合に探針を含める干渉計のすくなくとも測定腕の部分は光学ファイバで作られる。
【００３１】
別の具体的な場合に光学干渉計のすくなくとも一つの腕は光学ファイバで作られる。
【００３２】
別の具体的な場合にすくなくとも一つの光ビームスプリッターは光学ファイバで作られる。
【００３３】
別の具体的な場合に探針は着脱式で作り、光学干渉計の別の部分と分離接続を使って接合した。
【００３４】
別の具体的な場合に第１の光ビームスプリッターは無相互で作った。
【００３５】
別の具体的な場合に第１の光ビームスプリッターは偏極感度的で作られ、測定腕に偏極スイッチが加入された。
【００３６】
開発された光学干渉計の第２の変型は国際公開第ＷＯ００／１６０３４号パンフレットに説明した雑種性の光学干渉計と同じように光学的に結ばれた低干渉性光学放射線源、第１の光ビームスプリッター、測定腕と支持腕、第２の光ビームスプリッター、少なくとも光受信器を含有する。
【００３７】
知られている雑種性の光学干渉計と違って、発明に従って測定腕は双向で作り、支持腕は輪の形がある。しかも、第１の光ビームスプリッターは第２の光ビームスプリッターのポータを通じ、研究している対象と光学的に結ばれ、そして少なくとも一つの光ビームスプリッターは適当な光受信器と結線した。
【００３８】
具体的な場合に光学干渉計のすくなくとも一つの腕は光学遅延線を含有する。
【００３９】
別の具体的な場合に光学干渉計の測定腕はその離れた先に設備された探針がある。
【００４０】
別の具体的な場合に光学干渉計のすくなくとも一つの腕は光学ファイバで作られる。
【００４１】
別の具体的な場合に探針は着脱式で作り、光学干渉計の別の部分と分離接続を使って接合した。
【００４２】
別の具体的な場合に第１の光ビームスプリッターは無相互で作った。
【００４３】
別の具体的な場合に第１の光ビームスプリッターは偏極感度的で作られ、測定腕に偏極スイッチが加入された。
【００４４】
対象の開発した研究方法の変型およびその方法を実現する雑種性の光学干渉計は研究している対象に向ける低干渉性光学放射のために双向光路の実行、支持低干渉性光学放射のために単向光路の実行を規定する。第１の変型において、それは分裂係数および光学放射混合係数の絶対独立を確保し、それによって光学放射線源電力の最適制御を実現できる。第２の変型において、支持光路は輪で作って、しかも、支持放射の部分は時計の針の方向に動く支持光路を透過し、別の支持放射の部分は時計の針と反対方向に動く支持光路を透過する。この変型において、分裂係数は光ビームスプリッターを無相互で、あるいは偏極従属的で作り、そして光ビームスプリッターの間および／あるいは測定腕と支持腕に光学放射の偏極を変化される素子を加入して最良できる。対象の提案した研究方法の変型およびその方法を実現する雑種性の光学干渉計に分裂係数および光学放射混合係数は光学放射線源の指定した電力を持ち、最良の信号対雑音比を確保するように取り決めることが出来る。
【００４５】
従って、提案した技術的ソリュションは最適の信号対雑音比を持って、光学放射線源電力の利用の高い有効性を確保する。そして、その動作特性は少なくとも従来の技術から知られている低干渉性光学放射および光学干渉計を使って最良の対象を研究する方法の動作特性に負けない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
本発明の本質は以下の発明の実施例の変型において図解する。
【００４７】
対象の開発した研究方法の変型およびその方法を実現する光学干渉計の変型は光学低干渉性トモグラフィー装置の成分となる光学ファイバ干渉計の例によって図解される。けれども、その変型は集中したパラメーター光学素子を利用して実現できることは明らかである。このような実現は医療用、特に内診鏡検査法に利用する方がいい。内診鏡検査法に利用する時に光学ファイバの伸縮性は内診鏡検査法を使って内臓を含め、様々な組織および器官に便利な接近を確保する。けれども、光学干渉計は全体として、その何でもの部分は恒例的な集中したパラメターの光学素子を使って作る可能。ミラー、プリズマ、等々。その任意の光学干渉計の単向支持腕および双向測定腕の作りは本発明で把握する。
【００４８】
光学干渉計の第１変型の作動は以下に述べた対象を研究する方法の第１変型の実施例から明らかになる。
【００４９】
構成上の図が図４で示した光学干渉計を利用して対象を研究する方法は以下のように実現する。
【００５０】
具体的な実施例において線源１を使って、見える或いは近い波長の周波数の赤外線低干渉性光学放射を形成する。
【００５１】
線源１は見える或いは近い波長の周波数の赤外線低干渉性光学放射線源である。線源１として、例えば半導体スーパールミネセンス・ダイオード、スーパールミネッセント自発放射レーザー、固体および光ファイバーフェムト秒レーザーが利用する可能。図４の具体的な実施例において線源１は光学的に第１の光ビームスプリッター（２）の第１ポータ（６）と結ばれた。第１の光ビームスプリッター（２）を使って、この光学放射を第１低干渉性光学放射のビームおよび第２低干渉性光学放射のビームに分ける。第１低干渉性光学放射のビームは研究する対象（８）に向ける。具体的な実施例において研究する対象は光学的に第１の光ビームスプリッター（２）の第２ポータ（７）と結ばれた。上記した第１低干渉性光学放射のビームは具体的な実施例において第１の光ビームスプリッター（２）の第２ポータ（７）と結線した測定腕（３）を使って、測定光路を伝わって、研究する対象（８）へ向ける。研究する対象（８）に便利な接近を確保するために測定腕（３）の離れた先に探針（１９）が配置する可能。
【００５２】
対象の研究方法の優先的実現の変型において探針（１９）は着脱式で作り、測定腕（３）の別の部分と光学ファイバの分離接続を使って接合した。もし光学干渉計が偏極存続のファイバを使って作った場合、分離接続も偏極存続で作らなければなりません。探針（１９）は従来の技術から知られている任意の構成がある可能。例えば、内診鏡、内診鏡探針、カテーテル、導体カテーテル、針、あるいは内臓に瞬間の接近を確保するため身体に移植する可能。もし探針（１９）は周辺のイメージ（例えば、血管の内部）を写像するために構造するなら探針は干渉計の別の部分と回転接続を使って接合する可能。
【００５３】
測定腕（３）で形成した測定光路は双向で作った。それゆえ、第１低干渉性光学放射のビームは測定光路を伝わって前向きに光ビームスプリッター（２）の第２ポータ（７）から光学遅延線（１７）を通じ、研究する対象（８）へ届く。少なくとも、第１低干渉性光学放射のビームの部分は研究する対象（８）から反射して、測定光路を伝わって後ろ向きに光学遅延線（１７）を通じ、光ビームスプリッター（２）の第２ポータへ届く。測定光路を伝わって透過した、研究する対象（８）についてのインフォメーションを持っている低干渉性光学放射は光ビームスプリッター（２）の第３ポータ（９）から光ビームスプリッター（２）と光学的に結ばれた光ビームスプリッター（５）の第３ポータ（１０）へ届く。
【００５４】
第２低干渉性光学放射のビームは光ビームスプリッター（２）と光学的に結ばれた支持腕（４）を使って、支持光路を伝わる。具体的な実施例において支持腕（４）の一つの先は光ビームスプリッター（２）の第４ポータ（１５）と結線し、その二つの先は光ビームスプリッター（５）の第１ポータ（１６）と結線した。支持腕（４）で形成した支持光路は単向で作った。それゆえ、第２低干渉性光学放射のビームは支持光路を伝わって前向きに光ビームスプリッター（２）の第４ポータ（１５）から光学遅延線（１８）を通じ、光ビームスプリッター（５）の第１ポータ（１６）へ届く。光学遅延線（１７、１８）は定速度（Ｖ）で測定腕（３）および支持腕（４）の光学長の差の変化を確保する。とは言え、研究する対象（８）の深部走査を確保する。
【００５５】
図４で示した優先的実施例において光学遅延線（１７、１８）は露国特許第２１００７８７号明細書によって同様でビルトインされた光学ファイバ遅延線の形で作り、合計効果を得るため、制御装置（図で示しません）を使って、相応な極性を守って、同時に始動させる。けれども、従来の技術から知られている光学長の変化させるための任意の手段が利用する可能。例えば、ミラー、プリズム移動に基づいている遅延線、回折遅延線、回転ミラー、回転プリズム、カムシャフト機械およびヘリコイドミラー。
【００５６】
それから測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射は光ビームスプリッター（５）を使って支持光路を伝わって透過した低干渉性光学放射と混合する。光学遅延線（１７、１８）によって測定腕（３）および支持腕（４）の光学長の差の変化の時、光ビームスプリッター（５）の第２ポータ（１１）と第４ポータ（１２）にドップラー周波数（ｆ＝ν／λ）で混合光学放射の干渉強度変調が行われる。
ν＝ｄΔ／ｄｔ，
ν−光学長の差（Δ）の速度
λ−線源（１）の中央の波長
【００５７】
それに干渉変調の法則は研究している対象（８）の様々な深さから反射したあるいは逆分散した光学放射の強度の変化に相応する。それから、研究する対象についてのインフォメーションを持っている測定光路を伝わって透過した低干渉性光学放射の強度を写像する。そのために、上記の混合の結果である光学放射の干渉強度変調のすくなくとも一つの信号（具体的な実施例において二つの信号）を利用する。それは以下のように実行する。
【００５８】
光受信器（１３、１４）は相応的に光ビームスプリッター（５）の第２ポータ（１１）と第４ポータ（１２）に結線した。光受信器（１３、１４）として光ダイオードが使う可能。光受信器（７、８）は二つの干渉信号の逆位相可変成分を受信する。上記した干渉信号の逆位相可変成分は適当に支持腕（３）および測定腕（４）からのドップラー周波数で偏移した放射（常速度で深部走査するによって）の混合によって形成した。光受信器（１３、１４）は光ビームスプリッター（５）の第２ポータ（１１）と第４ポータ（１２）からの混合光学放射を電気信号に変換することが確保する。この電気信号は差動増幅器処（図で示さない）、それから処理と表示ブロック（図で示さない）に届く。処理と表示ブロックは露国特許第２１４８３７８号明細書に説明した直列接続した帯域フィルタ、対数増幅器、振幅検波器、アナログヂジタル変換器とコンピュータを含む処理と表示ブロックと同じように作る可能。処理と表示ブロックの帯域フィルタはドップラー周波数で信号選択を行う。それは信号対雑音比の改良を確保する。増幅の後、信号はこの信号包絡線と比例である信号を選択する振幅検波器に届く。処理と表示ブロックの振幅検波器で選択した信号は混合光学放射の干渉強度変調の信号と比例である。処理と表示ブロックのアナログヂジタル変換器は振幅検波器の出力からの信号をヂジタル形式に変換する。処理と表示ブロックのコンピュータはヂスプレーでヂジタル信号の強度のイメージが示すように確保する。（上述したイメージングは例えば、「H.E.Burdick. Digital imaging: Theory and Applications, 304 pp., Me Graw Hill, 1997」という本によって実現する可能。）なぜならヂジタル信号は研究している対象（８）の様々な深さからの反射したあるいは逆分散した光学放射の強度の変化に相応するので、ヂスプレーでのイメージは研究している対象（８）のイメージに相応する。
【００５９】
光学干渉計の第２の変型の作動は以下に述べた対象の研究方法の第２の変型の実現の説明から明らかになる。
【００６０】
構成上の図が図５で示した光学干渉計を利用して対象を研究する方法は以下のように実現する。
【００６１】
線源（２０）によって具体的な実施例において見える或いは近い波長の周波数の赤外線光学放射を形成する。線源（２０）は図４で示した装置と同じように作る可能である。図５で示した具体的な実施例において線源（２０）光学的に第１の光ビームスプリッター（２１）の第１ポータ（２５）と結ばれた。その低干渉性光学放射は光ビームスプリッター（２１）によって第１低干渉性光学放射のビームおよび第２低干渉性光学放射のビームに分ける。光ビームスプリッター（２１）の第２ポータ（２６）は第２光ビームスプリッター（２４）の第１ポータ（２８）と第２ポータ（２９）を通じて研究している対象（２７）と光学的に結ばれた。第１低干渉性光学放射のビームは光ビームスプリッター（２４）の第１ポータ（２８）に届く。光ビームスプリッター（２４）によって第１低干渉性光学放射のビームは第３低干渉性光学放射のビームおよび第４低干渉性光学放射のビームに分ける。上記した第３低干渉性光学放射のビームは測定腕（２２）を使って、測定光路を伝わって、研究している対象（２７）に向ける。研究する対象（２７）に便利な接近を確保するために測定腕（２２）の離れた先に探針（３８）が配置する可能。測定光路は測定腕（２２）で形成して双向で作った。第３低干渉性光学放射のビームは測定光路を伝わって前向きに光ビームスプリッター（２４）の第２ポータ（２９）から光学遅延線（３６）を通じ、研究する対象（２７）へ届く。少なくとも、第３低干渉性光学放射のビームの部分は研究する対象（２７）から反射して、測定光路を伝わって後ろ向きに光学遅延線（３６）を通じ、光ビームスプリッター（２４）の第２ポータ（２９）へ届く。
【００６２】
支持光路は支持腕（２３）で形成し、輪の形で作った。上記した第４低干渉性光学放射のビームは支持腕（２３）によって支持光路を伝わって時計の針の方向に動く光ビームスプリッター（２４）の第４ポータ（３１）から光学遅延線（３７）を通じ、光ビームスプリッター（２１）の第４ポータ（３０）へ届く。上記した第２低干渉性光学放射のビームは支持腕（２３）によって支持光路を伝わって時計の針と反対方向に動く光ビームスプリッター（２１）の第４ポータ（３０）から光学遅延線（３７）を通じ、光ビームスプリッター（２４）の第４ポータ（３１）へ届く。研究する対象（２７）から戻ったきた低干渉性光学放射は光ビームスプリッター（２４）によって時計の針と反対方向に動く支持光路を透過した第２低干渉性光学放射のビームと混合する。上記した混合の結果である光学放射の部分は光ビームスプリッター（２４）の第１ポータ（２８）を通じ、光ビームスプリッター（２１）の第２ポータ（２６）へ届く。その光学放射は光ビームスプリッター（２１）によって時計の針の方向に動く支持光路を透過した第４低干渉性光学放射のビームと混合する。光学遅延線（３６、３７）は定速度（ν）で光学干渉計の測定腕（２２）および支持腕（２３）の光学長の差の変化を確保する。とは言え、研究する対象（２７）の深部走査を確保する。測定腕（２２）および支持腕（２３）の光学長の差の変化の時、光ビームスプリッター（２１）の第３ポータ（３２）と光ビームスプリッター（２４）の第３ポータ（３４）にドップラー周波数（ｆ＝ν／λ）で混合光学放射の干渉強度変調が行われる。
【００６３】
図５での光学干渉計の今後の作動は図４での光学干渉計の作動と同様である。
【００６４】
図５での光学干渉計の線源（２０）、光受信器（３３，３５）、光学遅延線（３６、３７）、探針（３８）は図４での光学干渉計の適当な素子と同じように作る可能。
【００６５】
対象の第１と第２の研究方法の優先的実現の変型において探針（１９、３８）は着脱式で作り、相応的に測定腕（３、２２）の別の部分と光学ファイバの分離接続を使って接合した。もし雑種性の光学干渉計が偏極存続のファイバを使って作った場合、分離接続も偏極存続で作らなければなりません。探針（１９、３８）は従来の技術から知られている任意の構成がある可能。例えば、内診鏡、内診鏡探針、カテーテル、導体カテーテル、針、あるいは内臓に瞬間の接近を確保するため身体に移植する可能。もし探針（１９、３８）は周辺のイメージ（例えば、血管の内部のイメージを写像するためカテーテル）を写像するために構造するなら探針は干渉計の別の部分と回転接続を使って接合する可能。
【００６６】
探針（１９、３８）は側方向走査システムが含む可能。側方向走査システムは例えば、露国特許第２１４８３７８号明細書で説明した装置と同じように作る可能。
【００６７】
常速度で深部走査は方法の第１変型を実現する雑種性の光学干渉計に、方法の第２変型を実現する雑種性の光学干渉計にも、任意の腕に加入された一つの遅延線によって実行される可能。けれども、光学遅延線は大分量の光学ファイバを含む光学ファイバ遅延線の形で作る方がいい。別の腕は光路の同じような長さがあるべきで、従って同様量の光学ファイバがあるべきである。それゆえ、図４と図５での優先的変型において遅延線は光路の長さの変化はもっと有効であるように支持腕に、測定腕にも加入された。深部走査は位相変調によっても実行される可能。その場合には位相変調器は任意の腕、あるいは両方ともの腕（図で示さない）に配置する可能。
【００６８】
よく知られているのは静態的および動的の偏極ひずみは信号のフェーヂングを起こさせ、光学干渉計の任意の腕に起こる可能。その効果は提案した雑種性の光学干渉計の変型を含み、任意の知られている配図の光学干渉計に起こる可能。その効果の予防、あるいは補整するため、様々な知られている手段が利用する可能。その手段に関するのは偏極存続（複屈折がある）あるいは偏極維持の（不必要な偏極の高吸収がある）光学ファイバ、無相互の素子（ファラデー素子、ファラデー効果に基づいた偏極回転機）、偏極感度的受信器である。更に、偏極状態の変化が可能である。その次に幾つかの順次に出来たイメージから偏極についてのインフォメーションを受け取る可能。その全ての手段は従来の技術から知られている、以前に説明した他の図式のように新しい雑種性の光学干渉計の図式と適合する。尚、任意の必要な偏極状態の保存、あるいは除去のために任意の腕に偏極コントローラおよび偏光器が加入する可能。
【００６９】
従来の技術から、よく知られているのは最良の信号対雑音比を確保するように、測定腕と支持腕の間に放射線源の電力の不等分配が必要である。提案した対象の研究する方法の変型および、その実現する光学干渉計の変型はマッハ・ゼンデル光学干渉計のように、分裂係数および混合係数は絶対に独立であるので、電力の最適な制御を実行できる。そのために、例えば、図４での光学干渉計には光ビームスプリッター（２）無相互であるべき、あるいは光ビームスプリッター（２）は偏極従属的で作り、測定腕（３）に偏極を変化される素子、例えば、ファラデー回転機、あるいは複屈折の平たい平行した平板、あるいは偏極コントローラ（図４で示さない）が加入すべきである。この場合に全ての必要な三つ分裂係数[光ビームスプリッター（２）の前向きに、光ビームスプリッター（２）の後ろ向き二、そして光ビームスプリッター（５）の]は最良する可能。最良することはは線源（１）、中央波長、帯域幅、様々な素子に光学損失、光受信器（１３，１４）の有効性および暗いノイズのレベル、予増幅器の光電流の電流ノイズおよび潜在的のノイズ、データ収集の速度、その他によって実現する可能。その計算はかなり標準的である。８００〜１３００ナノメートル（中央波長）および１０〜１５μｍ干渉性長がある分光範囲の数ミリワットの電力の低干渉性光学放射線源を利用する光学干渉計の代表的な図式にとって、光ビームスプリッター（２）は前向きの透過する場合、電力の９５％を測定腕（３）に電送すべきである。どんな場合にも支持放射と混合するために、出来る限り大くの電力は測定腕（３）から光ビームスプリッター（２）へ電送すべきである。指摘すべきであるのは光ビームスプリッター（２）の任意の分裂係数である場合、線源（１）への反射した光学電力は実際にゼロである、なぜなら生物対象から反射した電力レベルはめったに０．１％を過ぎない。最適の一致の場合、一寸した電力は線源（１）へ戻らない。
【００７０】
図５に応じる光学干渉計の配図のために、分裂係数はほとんど同じような方法で、光ビームスプリッター（２１、２４）を無相互あるいは偏極従属的で作り、光ビームスプリッター（２１）と光ビームスプリッター（２４）の間に、および／あるいは測定腕（２２）と支持腕（２３）そして偏極を変化させる素子を加入によって、最良する可能。
【００７１】
両方ともの変型において、探針および測定する対象の間の距離の補整のために、あるいは探針―測定する対象の光学遅延の変化の補整のために、補足の遅延線の加入は便利であるようになる可能。探針―測定する対象の光学遅延線の変化は入れ子焦点すること、あるいは様々な探針の光学長の相違によって起こる可能。その補足の遅延は指定した長さの光学ファイバを任意の腕に加入することによって確保する可能。上記した光学ファイバの加入は例えば、機械的接合を使って、あるいは溶解接合を使って、その他に光学ファイバ接合を使って実行する可能。尚、遅延線はコリメーチド放射が透過する隙間の機械的調整を使い、放射をスペースに、そして逆にファイバに向けることによって作る可能。尚、その目的のために、マイケルソン干渉計に恒例的に利用する遅延線のような機械的遅延線が利用する可能。遅延線はファラデー回転機と結合した偏光器の形で作る可能である光学循環器あるいは４／λ複屈折平板と結合する必要である。その構成は腕に偏極の変化が必要である時、有利である可能。反射する機械的遅延線は逆レフレクター（「猫目」あるいは逆レフレクターのプリズム）の利用によって、機械的な偏差あるいは振動に対して、著しく縮小した感度性（量の二つ階数）があり、作る可能。従って、技術規格は、そして光学機械的システムでの隙間の調整することの実行コストは減らす可能。
【００７２】
よく知られているのは低干渉性光学干渉計には両方ともの腕の光学長の平等だけではない、波の分散の平等も必要である。なぜなら、支持腕および測定腕の波の分散の任意の相違は干渉性のクロス相互関係の機能の拡大こと、そして軸分解能（深部分解能）の減らすことに導く。支持腕および測定腕の波の分散の相違を補整するために、干渉計の上記した腕に光学ファイバの素子が加入する可能。上記した光学ファイバの素子は機械的接合、あるいは溶接、あるいは光学ファイバ接合を使って、腕のその他の部分と結合された。その素子は干渉計に利用するその他の光学ファイバの分散特性と違う分散特性がある光学ファイバの一切れで作る可能。更に、任意の腕からの放射はスペースに送り、それから逆に光学ファイバに送る可能。コリメーション（優先的）あるいは放射の焦点をあわせること／焦点の転位が行われる隙間に分散を補整するために、適当な集中したパラメターのある光学素子が配置する可能。このような素子は上記した単向、あるいは双向の機械的光学遅延線と合わせる可能。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明は光学装置の対象となる内構造の研究、すなわち低干渉性反射計および光学干渉性トモグラフィー装置に利用できる。上記の低干渉性反射計および光学干渉性トモグラフィー装置は特に人間内臓器官医療診断、そのうち「IN VIVO」における人間身体器官の診断、産業技術診断、例えばテクノロジー過程のコントロールために利用できる。指摘しておかなければならないのは本発明は標準的な手段によって実施できるということである。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】従来の技術から知られているマイケルソン光学干渉計の構成上の図である。
【図２】従来の技術から知られているマッハ・ゼンデル光学干渉計の構成上の図である。
【図３】従来の技術から知られている雑種性の光学干渉計の構成上の図である。
【図４】光学干渉計の構成上の図の変型である。その変型によって開発した方法の第１の変型は実現できる。
【図５】光学干渉計の構成上の図の変型である。その変型によって開発した方法の第２の変型は実現できる。
【符号の説明】
【００７５】
１，２０    線源
２    第１の光ビームスプリッター
３，２２    測定腕
４，２３    支持腕
５，２１，２４    光ビームスプリッター
６，１６，２５，２８    第１ポータ
７，１１，２６，２９    第２ポータ
８，２７    対象
９，１０，３２，３４    第３ポータ
１２，１５，３０，３１    第４ポータ
１３，１４，３３，３５    光受信器
１７，１８，３６，３７    光学遅延線
１９，３８    探針
【図１】
2005517912.tif 000003
【図２】
2005517912.tif 000004
【図３】
2005517912.tif 000005
【図４】
2005517912.tif 000006
【図５】
2005517912.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成16年12月24日(2004.12.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005517912.tif 000008
【図２】
2005517912.tif 000009
【図３】
2005517912.tif 000010
【国際調査報告】
2005517912.tif 000011
2005517912.tif 000012