【手続補正書】
【提出日】令和2年7月17日(2020.7.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔性ポリウレタン研磨パッドを形成する方法であって、：
ベース表面から上向きに伸長し、上方表面に開口している大孔を有する多孔性マトリックスを生じさせるために熱可塑性ポリウレタンを凝固する工程であって、大孔が小孔と相互接続され、大孔の一部分が上部研磨表面に開口しており、大孔が実質的に垂直な配向を有する上部研磨表面まで伸長し、熱可塑性ポリウレタンが軟化開始温度を有する、工程と；
熱可塑性ポリウレタンの軟化開始温度の１０Ｋ下〜１０Ｋ上の温度までプレスを加熱する工程であって、軟化開始温度が最初のＴＭＡ傾斜の変化によって画定され、ならびに大孔および小孔を包含する多孔性マトリックスから形成された一連のピロー構造を形成するために加熱されたプレスを熱可塑性ポリウレタンにプレスする、工程と；
下向きに傾斜した側壁を形成するためにピロー構造の側壁を塑性変形させる工程であって、下向きに傾斜した側壁がピロー構造のすべての側面から伸長し、大孔の一部分が下向きに傾斜した側壁に開口しており、下向きに傾斜した側壁に開口している大孔が上部研磨表面に開口している大孔より垂直ではなく、傾斜した側壁により直角の方向に、垂直方向から１０〜６０度オフセットする、工程と；
大孔および小孔の大多数を閉鎖し、溝チャンネルを形成するために、傾斜した側壁の下部で熱可塑性ポリウレタンを溶融し固める工程と
を含む方法。
【請求項２】
側壁を塑性変形させる工程および溶融し固める工程が相互接続溝の格子を形成する、請求項１記載の方法。
【請求項３】
側壁を塑性変形させることが下向きに傾斜した側壁に通じる、研磨表面から５〜３０度の最初のテーパー区域を有する、下向きに傾斜した側壁を形成する、請求項１記載の方法。
【請求項４】
加熱されたプレートプレスが側壁を塑性変形させることおよび傾斜した側壁の下部で熱可塑性ポリウレタンを溶融し固めることを開始する、請求項１記載の方法。
【請求項５】
塑性的に変形した側壁の小孔の大多数が、研磨表面における側壁の上部から溝チャンネルまでが計測された少なくとも１００μmの距離で開口したまま残る、請求項１記載の方法。
【請求項６】
多孔性ポリウレタン研磨パッドを形成する方法であって、：
ベース表面から上向きに伸長し、上方表面に開口している大孔を有する多孔性マトリックスを生じさせるために熱可塑性ポリウレタンを凝固する工程であって、大孔が小孔と相互接続され、大孔の一部分が上部研磨表面に開口しており、大孔が実質的に垂直な配向を有する上部研磨表面まで伸長し、熱可塑性ポリウレタンが軟化開始温度を有する、工程と；
熱可塑性ポリウレタンの軟化開始温度の５Ｋ下〜５Ｋ上の温度までプレスを加熱する工程であって、軟化開始温度が最初のＴＭＡ傾斜の変化によって画定され、ならびに大孔および小孔を包含する多孔性マトリックスから形成された一連のピロー構造を形成するために加熱されたプレスを熱可塑性ポリウレタンにプレスする、工程と；
下向きに傾斜した側壁を形成するためにピロー構造の側壁を塑性変形させる工程であって、下向きに傾斜した側壁がピロー構造のすべての側面から伸長し、大孔の一部分が下向きに傾斜した側壁に開口しており、下向きに傾斜した側壁に開口している大孔が上部研磨表面に開口している大孔より垂直ではなく、傾斜した側壁により直角の方向に、垂直方向から１０〜６０度オフセットする、工程と；
大孔および小孔の大多数を閉鎖し、溝チャンネルを形成するために、傾斜した側壁の下部で熱可塑性ポリウレタンを溶融し固める工程と
を含む方法。
【請求項７】
側壁を塑性変形させる工程および溶融し固める工程が相互接続溝の格子を形成する、請求項６記載の方法。
【請求項８】
側壁を塑性変形させることが下向きに傾斜した側壁に通じる、研磨表面から５〜３０度の最初のテーパー区域を有する、下向きに傾斜した側壁を形成する、請求項６記載の方法。
【請求項９】
加熱されたプレスが側壁を塑性変形させることおよび傾斜した側壁の下部で熱可塑性ポリウレタンを溶融し固めることを開始する、請求項６記載の方法。
【請求項１０】
塑性的に変形した側壁の小孔の大多数が、研磨表面における側壁の上部から溝チャンネルまでが計測された少なくとも１００μmの距離で開口したままである、請求項６記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
発明の明細
本発明の態様は、ベース表面から上向きに伸長し、上方表面に開口している大孔を有する多孔性マトリックスを生じさせるために熱可塑性ポリウレタンを凝固する工程であって、大孔が小孔と相互接続され、大孔の一部分が上部研磨表面に開口しており、大孔が実質的に垂直な配向を有する上部研磨表面まで伸長し、熱可塑性ポリウレタンが軟化開始温度を有する、工程と；熱可塑性ポリウレタンの軟化開始温度の１０Ｋ下〜１０Ｋ上の温度までプレスを加熱する工程であって、軟化開始温度が最初のＴＭＡ傾斜の変化によって画定され、ならびに大孔および小孔を包含する多孔性マトリックスから形成された一連のピロー構造を形成するために加熱されたプレスを熱可塑性ポリウレタンにプレスする、工程と；下向きに傾斜した側壁を形成するためにピロー構造の側壁を塑性変形させる工程であって、下向きに傾斜した側壁がピロー構造のすべての側面から伸長し、大孔の一部分が下向きに傾斜した側壁に開口しており、下向きに傾斜した側壁に開口している大孔が上部研磨表面に開口している大孔より垂直ではなく、傾斜した側壁により直角の方向に、垂直方向から１０〜６０度オフセットする、工程と；大孔および小孔の大多数を閉鎖し、溝チャンネルを形成するために、傾斜した側壁の下部で熱可塑性ポリウレタンを溶融し固める工程と、を含む多孔性ポリウレタン研磨パッドを形成する方法を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のもう一つの態様は、ベース表面から上向きに伸長し、上方表面に開口している大孔を有する多孔性マトリックスを生じさせるために熱可塑性ポリウレタンを凝固する工程であって、大孔が小孔と相互接続され、大孔の一部分が上部研磨表面に開口しており、大孔が実質的に垂直な配向を有する上部研磨表面まで伸長し、熱可塑性ポリウレタンが軟化開始温度を有する、工程と；熱可塑性ポリウレタンの軟化開始温度の５Ｋ下〜５Ｋ上の温度までプレスを加熱する工程であって、軟化開始温度が最初のＴＭＡ傾斜の変化によって画定され、ならびに大孔および小孔を包含する多孔性マトリックスから形成された一連のピロー構造を形成するために加熱されたプレスを熱可塑性ポリウレタンにプレスする、工程と；下向きに傾斜した側壁を形成するためにピロー構造の側壁を塑性変形させる工程であって、下向きに傾斜した側壁がピロー構造のすべての側面から伸長し、大孔の一部分が下向きに傾斜した側壁に開口しており、下向きに傾斜した側壁に開口している大孔が上部研磨表面に開口している大孔より垂直ではなく、傾斜した側壁により直角の方向に、垂直方向から１０〜６０度オフセットする、工程と；大孔および小孔の大多数を閉鎖し、溝チャンネルを形成するために、傾斜した側壁の下部で熱可塑性ポリウレタンを溶融し固める工程と、を含む多孔性ポリウレタン研磨パッドを形成する方法を提供する。