【手続補正書】
【提出日】令和1年12月17日(2019.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
略筒状の固定部と、
その少なくとも一部が前記固定部の中空部内に収容され、前記固定部の軸線方向に往復駆動される可動部と、
前記可動部を前記軸線方向に往復移動可能に側方から支持する可動部支持機構と、
を備え、
前記可動部が、
その先端側の部分が前記可動部支持機構により支持されたフレームと、
前記フレームの後端部に取り付けられたコイルと、を備え、
前記フレームが、
前記固定部の軸線方向に延びる主柱と、
前記主柱の外周面から放射状に延びる複数の板状のリブと、
前記フレームの先端側において、前記複数のリブの放射方向における先端部を連結する略円環状の第１の周縁部と、
前記フレームの後端側において、前記複数のリブの放射方向における先端部を連結する略円環状の第２の周縁部と、
動電型アクチュエータ。
【請求項２】
前記可動部が、前記フレームの先端側において、前記複数のリブの放射方向における中間部分を連結する略円筒状の中間連結部を備えた、
請求項１に記載の動電型アクチュエータ。
【請求項３】
前記主柱、前記リブ、前記第１の周縁部及び前記中間連結部の先端面が同一平面上に形成された、
請求項２に記載の動電型アクチュエータ。
【請求項４】
前記可動部が、前記軸線方向に延びるロッドを備え、
前記固定部が、前記ロッドを前記軸線方向に移動可能に支持する軸受を備え、
前記主柱が略円筒状であり、
前記主柱の後端部に前記ロッドの先端部が嵌入した、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の動電型アクチュエータ。
【請求項５】
前記可動部支持機構がリニアガイドウェイを備え、
前記リニアガイドウェイが
前記固定部の軸線方向に延びるレールと、
前記レール上を転動可能な複数の転動体と、
前記転動体を介して前記レール上を移動可能なキャリッジと、
を備え、
前記レールが前記フレームに取り付けられ、
前記キャリッジが前記固定部に取り付けられた、
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の動電型アクチュエータ。
【請求項６】
前記レールが前記リブの端面に取り付けられた、
請求項５に記載の動電型アクチュエータ。
【請求項７】
前記レールと前記キャリッジとの間に、それぞれ複数の前記転動体が転動する８条の負荷経路が形成された、
請求項５又は請求項６に記載の動電型アクチュエータ。
【請求項８】
前記フレームが、前記固定部から外に突き出た部分において、前記可動部支持機構によって支持された、
請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の動電型アクチュエータ。
【請求項９】
前記固定部が４つの前記可動部支持機構を備え、
前記４つの可動部支持機構が、前記可動部の軸線の周囲に、周方向に等間隔に配置された、
請求項１から請求項８のいずれか一項に記載の動電型アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の動電型アクチュエータと、
前記動電型アクチュエータの可動部に連結された振動テーブルと、
を備えた、
加振装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】動電型アクチュエータ及び加振装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、振動試験等に使用される動電型アクチュエータ及び加振装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の目的とするところは、可動部の軽量化により、加振性能を向上させる点にある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一実施形態に係る動電型アクチュエータは、略筒状の固定部と、その少なくとも一部が固定部の中空部内に収容され、固定部の軸線方向に往復駆動される可動部と、可動部を軸線方向に往復移動可能に側方から支持する可動部支持機構と、を備える。可動部は、その先端側の部分が可動部支持機構により支持されたフレームと、フレームの後端部に取り付けられたコイルと、を備える。フレームは、固定部の軸線方向に延びる主柱と、主柱の外周面から放射状に延びる複数の板状のリブと、フレームの先端側において、複数のリブの放射方向における先端部を連結する略円環状の第１の周縁部と、フレームの後端側において、複数のリブの放射方向における先端部を連結する略円環状の第２の周縁部と、を備える。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記の動電型アクチュエータにおいて、フレームの先端側において、複数のリブの放射方向における中間部分を連結する略円筒状の中間連結部を備えた構成としてもよい。
上記の動電型アクチュエータにおいて、主柱、リブ、第１の周縁部及び中間連結部の先端面が同一平面上に形成された構成としてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記の動電型アクチュエータにおいて、可動部が、軸線方向に延びるロッドを備え、固定部が、ロッドを軸線方向に移動可能に支持する軸受を備え、主柱が略円筒状であり、主柱の後端部にロッドの先端部が嵌入した構成としてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記の動電型アクチュエータにおいて、可動部支持機構がリニアガイドウェイを備え、リニアガイドウェイが固定部の軸線方向に延びるレールと、レール上を転動可能な複数の転動体と、転動体を介してレール上を移動可能なキャリッジと、を備え、レールがフレームに取り付けられ、キャリッジが固定部に取り付けられた構成としてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記の動電型アクチュエータにおいて、レールがリブの端面に取り付けられた構成としてもよい。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記の動電型アクチュエータにおいて、レールとキャリッジとの間に、それぞれ複数の転動体が転動する８条の負荷経路が形成された構成としてもよい。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記の動電型アクチュエータにおいて、フレームが、固定部から外に突き出た部分において、可動部支持機構によって支持された構成としてもよい。
上記の動電型アクチュエータにおいて、固定部が４つの可動部支持機構を備え、４つの可動部支持機構が、可動部の軸線の周囲に、周方向に等間隔に配置された構成としてもよい。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の一実施形態に係る加振装置は、上記の動電型アクチュエータと、動電型アクチュエータにより駆動される振動テーブルと、を備える。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の一実施形態の構成によれば、可動部のフレームの高い剛性と軽量化の両立により、より高い周波数で往復駆動することが可能になる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２１１】
本実施形態のＹＺスライダ３１６０及びＺＸスライダ３２６０は、第１実施形態のＹＺスライダ１６０及びＺＸスライダ２６０よりも多くのクロスガイド３１６４及び３２６４により振動テーブル３４００と各水平アクチュエータ３１００Ａ及び３２００Ａとを連結するため、振動テーブル３４００をより均一に加振することができる。また、本実施形態のＹＺスライダ３１６０及びＺＸスライダ３２６０は、変形例３６０Ａ（図３４）と同様に、同数の第１の向きのクロスガイドと第２の向きのクロスガイドを交互に配置した構成を有しているため、加振性能の方向性が軽減されると共に、振動テーブル３４００の各部をより均一に加振することが可能になる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
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