(57)【要約】【課題】  各チップの整列誤差を検出し、各チップの位置でのマーキング誤差を勘案したマーキングをするレーザマーキングシステムのマーキング補正方法を提供すること。【解決手段】 本発明はレーザマーキングシステムのマーキング補正方法に関する。開示されたレーザマーキングシステムのマーキング補正方法は、（ａ）各ビジョンカメラに観察対象チップを割り当てる段階と、（ｂ）各ビジョンカメラ及びレーザマーカの座標を一致させる段階と、（ｃ）前記各チップまたは各チップに該当する位置に第１シンボルをマーキングし、当該ビジョンカメラで選択された第１シンボルを観察し、そのシンボルの一点を基準点としてティーチングする段階と、（ｄ）当該ビジョンカメラで前記チップの前記第１シンボル及び基準点を観察して各チップに前記基準点を基準として第２シンボルをマーキングする段階と、（ｅ）選択されたチップ上の第２シンボルを観察してそのシンボルの比較点をティーチングする段階と、（ｆ）各チップ上の前記基準点から前記比較点の位置を検出して各セルでのマーキング誤差を検出する段階と、を備える。
2005523820.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレイの各セル内に積載されたチップを少なくとも一つのビジョンカメラで観察しつつマーキングするレーザマーカと、マーキングされた誤差を検出するポストビジョンカメラとを備えるレーザマーキングシステムのマーキング補正方法において、
（ａ）前記各ビジョンカメラに観察対象チップを割り当てる段階と、
（ｂ）前記各ビジョンカメラ及びレーザマーカの座標を一致させる段階と、
（ｃ）前記各チップまたは各チップに該当する位置に所定の第１シンボルをマーキングし、当該ビジョンカメラで選択された第１シンボルを観察し、そのシンボルの一点を基準点としてティーチングする段階と、
（ｄ）当該ビジョンカメラで前記チップの前記第１シンボル及び基準点を観察して各チップに前記基準点を基準として第２シンボルをマーキングする段階と、
（ｅ）選択されたチップ上の第２シンボルを観察してそのシンボルの比較点をティーチングする段階と、
（ｆ）各チップ上の前記基準点から前記比較点の位置を検出して各セルでのマーキング誤差を検出する段階と、を備えることを特徴とするレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【請求項２】
前記（ａ）段階は、
（ａ１）前記トレイまたはそれと同じ形状のプレート表面にマーキング用紙を付着して複数のビジョンカメラの下方に配置する段階と、
（ａ２）前記レーザマーカで前記各セル内に一点をマーキングする段階と、
（ａ３）前記ビジョンカメラで前記点を探して前記各セルを観察するビジョンカメラを割り当てる段階と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【請求項３】
前記こと点は、前記セルの中央点であることを特徴とする請求項２に記載のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【請求項４】
前記（ｂ）段階は、
（ｂ１）前記レーザマーカで前記中央点を基準として当該セル領域の外郭エッジ点をマーキングする段階と、
（ｂ２）当該ビジョンカメラで前記エッジ点の位置を検出して前記レーザマーカの座標系と当該ビジョンカメラの座標系とを一致させる段階と、を備えることを特徴とする請求項３に記載のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【請求項５】
前記（ｃ）段階は、前記第１シンボルをディスプレイで見つつポインティングデバイスで前記第１シンボルのエッジをポインティングすることを特徴とする請求項１に記載のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【請求項６】
前記（ｅ）段階は、前記第２シンボルを前記ポストビジョンカメラに連結されたディスプレイで見つつポインティングデバイスで前記第２シンボルのエッジをポインティングすることを特徴とする請求項１に記載のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【請求項７】
（ｇ）マーキング対象チップが積載されたトレイを前記ビジョンカメラの下方に配置する段階と、
（ｈ）当該ビジョンカメラで選択されたチップを観察して前記チップの一点をマーキング基準点としてティーチングする段階と、
（ｉ）各チップを当該ビジョンカメラで撮像して各チップの整列誤差を計算する段階と、
（ｊ）各チップの前記マーキング基準点を基準として前記マーキング誤差及び前記整列誤差を補正してマーキングする段階と、をさらに備えることを特徴とする請求項４に記載のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【請求項８】
前記（ｇ）段階は、前記（ａ１）段階の前記プレートの位置に前記トレイを配置することを特徴とする請求項７に記載のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【請求項９】
前記（ｈ）段階は、前記チップをディスプレイで見つつポインティングデバイスで前記チップのエッジをポインティングすることを特徴とする請求項７に記載のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【請求項１０】
前記（ｉ）段階は、
（ｉ１）前記各チップを撮像する段階と、
（ｉ２）前記撮像されたイメージを標準イメージと比較して前記標準イメージの前記マーキング基準点から前記撮像されたイメージの前記マーキング基準点のｘ、ｙ偏差及び傾斜角度を測定する段階と、を備えることを特徴とする請求項７に記載のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はビジョンカメラを利用したレーザマーキングシステムのマーキング補正方法に係り、さらに詳細にはマーキング対象物を撮像しつつあらかじめ保存されたマーキング誤差を勘案して補正するレーザマーキングシステムのマーキング補正方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、一般的なリードフレームストリップの概略的な平面図である。図面を参照すれば、一つのストリップ１０には複数のチップ１２が搭載され、これらチップ１２を生産ロット別に区別するために各チップ１２の表面に文字及び／または数字を表示する。この時、マーキングのために使用する装備としてレーザビームを使用する後述するレーザマーカ装備を使用する。ここで、１４は認識タグであって、ストリップの整列に利用される標識である。
【０００３】
このようなストリップ１０上にレーザマーカを使用するマーキング工程は、マーキング効率を向上させるためにストリップ１０のハンドリングを含む自動工程でなされる傾向である。
【０００４】
図２は、一般的なレーザマーキングシステムの概略図である。
【０００５】
図面を参照すれば、レーザマーキングシステムは、複数のストリップ１０が積載されたストリップ供給マガジン２０と、前記マガジン２０から一つのストリップ１０を引出して水平移送テーブル２２に整列するローダ３０と、前記ストリップ１０の整列状態を測定するプレビジョンカメラ４０と、前記水平移送テーブル２２上のストリップ１０を一方向に移送するステップモータ５０と、その下方に移送されたストリップ１０上の複数のチップ上に文字をマーキングするレーザマーカ６０と、前記マーキングされたストリップ１０上のマーキングを撮像するポストビジョンカメラ７０と、前記マーキングされたストリップ１０をストリップ回収マガジン９０にアンローディングするアンローダ８０と、を備える。
【０００６】
前記ローダ３０によって水平移送テーブル２２に置かれたストリップ１０は、プレビジョンカメラ４０によって撮像される。このようなストリップ１０は、整列状態が容易に判別されるようにストリップ１０の一側に認識タグ（ストリップ自体またはエッチングライン）が形成されている。前記プレビジョンカメラ４０によって整列されたストリップ１０のみが次のマーキング工程に案内され、誤整列されたストリップ１０はバイパスされて再びストリップ供給マガジン２０に積載されるか、または廃棄される。
【０００７】
前記水平移送テーブル２２上のストリップ１０を所定位置、すなわちプレビジョンカメラ４０、レーザマーカ６０及びポストビジョンカメラ７０の下方に位置するようにアーム５２がステップモータ５０によって正確に駆動される。
【０００８】
図３は、レーザマーカの概略的な構成を示す図面である。図３を参照すれば、レーザマーカ６０は、レーザ発振器６１と、レーザビームを所定領域にＸ−Ｙ方向に走査させるガルバノスキャナー６３と、入射されたレーザビームが加工領域の全体に対して同じサイズの焦点を形成させるＦシータレンズ６４と、を備える。６３ａ及び６３ｂはそれぞれｘ及びｙミラーとして入射されるレーザビームを反射させ、それぞれのミラーは駆動ドライバー（図示せず）に連結されて入力される命令によってその角度を変更する。
【０００９】
レーザマーカ６０によって所定の文字がマーキングされたストリップ１０は、次の工程であるポストビジョンカメラ７０の下方へ移送される。ポストビジョンカメラ７０は、ストリップ１０を撮像してマーキング品質を判断し、マーキングが誤まったストリップはバイパスし、正しくマーキングされたストリップはアンローダ８０でストリップ回収マガジン９０に積載する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図４は、一般的なトレイ１６及びその内部に位置するチップｃを説明する平面図である。図４を参照すれば、トレイ１６は、複数のチップｃが位置するように各チップｃが入るセルに区画されている。このセルのサイズは、チップのサイズに比べて多少大きいので、トレイ１６を移送する時に各セルでのチップが動ける。したがって、レーザマーカでトレイ１６内の各チップをマーキングする時、それぞれのチップが整列されていなければ、チップごとにマーキングされる位置が変わる。したがって、マーキング位置が一定しなければ、消費者からチップ自体の品質に対する信頼を与えられず、不満の原因となる。
【００１１】
前記ストリップ上のチップにマーキングを行う時、プレビジョンカメラでストリップの誤整列のみを観察してマーキングすることが可能であるが、トレイ内のチップをマーキングする場合、各セル内で誤整列された状態のチップに前記方法でマーキングする時にマーキング品質が顕著に低下する問題が発生する。
【００１２】
本発明は、前記問題点を改善するために創出されたものであって、本発明の目的は、各チップの整列誤差を検出し、各チップの位置でのマーキング誤差を勘案したマーキングをするレーザマーキングシステムのマーキング補正方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するために本発明のレーザマーキングシステムのマーキング補正方法は、トレイの各セル内に積載されたチップを少なくとも一つのビジョンカメラで観察しつつマーキングするレーザマーカと、マーキングされた誤差を検出するポストビジョンカメラと、を備えるレーザマーキングシステムのマーキング補正方法において、（ａ）前記各ビジョンカメラに観察対象チップを割り当てる段階と、（ｂ）前記各ビジョンカメラ及びレーザマーカの座標を一致させる段階と、（ｃ）前記各チップまたは各チップに該当する位置に所定の第１シンボルをマーキングし、当該ビジョンカメラで選択された第１シンボルを観察し、そのシンボルの一点を基準点としてティーチングする段階と、（ｄ）当該ビジョンカメラで前記チップの前記第１シンボル及び基準点を観察し、各チップに前記基準点を基準として第２シンボルをマーキングする段階と、（ｅ）選択されたチップ上の第２シンボルを観察してそのシンボルの比較点をティーチングする段階と、（ｆ）各チップ上の前記基準点から前記比較点の位置を検出して各セルでのマーキング誤差を検出する段階と、を備える。
【００１４】
前記（ａ）段階は、（ａ１）前記トレイまたはそれと同じ形状のプレートの表面にマーキング用紙を付着して複数のビジョンカメラの下方に配置する段階と、（ａ２）前記レーザマーカで前記各セル内に一点をマーキングする段階と、（ａ３）前記ビジョンカメラで前記点を探して前記各セルを観察するビジョンカメラを割り当てる段階と、を備えることが望ましい。
【００１５】
（ａ２）段階の前記一点は、前記セルの中央点であることが望ましい。
【００１６】
前記（ｂ）段階は、（ｂ１）前記レーザマーカで前記中央点を基準として当該セル領域の外郭エッジ点をマーキングする段階と、（ｂ２）当該ビジョンカメラで前記エッジ点の位置を検出して前記レーザマーカの座標系と当該ビジョンカメラの座標系とを一致させる段階と、を備えることが望ましい。
【００１７】
前記（ｃ）段階は、前記第１シンボルをディスプレイで見つつポインティングデバイスで前記第１シンボルのエッジをポインティングし、前記（ｅ）段階は、前記第２シンボルを前記ポストビジョンカメラに連結されたディスプレイで見つつポインティングデバイスで前記第２シンボルのエッジをポインティングする段階であることを特徴とする。
【００１８】
一方、本発明は、（ｇ）マーキング対象チップが積載されたトレイを前記ビジョンカメラの下方に配置する段階と、（ｈ）当該ビジョンカメラで選択されたチップを観察して前記チップの一点をマーキング基準点としてティーチングする段階と、（ｉ）各チップを当該ビジョンカメラで撮像して各チップの整列誤差を計算する段階と、（ｊ）各チップの前記マーキング基準点を基準として前記マーキング誤差及び前記整列誤差を補正してマーキングする段階と、をさらに備えることが望ましい。
【００１９】
前記（ｈ）段階は、前記チップをディスプレイで見つつポインティングデバイスで前記チップのエッジをポインティングすることが望ましい。
【００２０】
前記（ｉ）段階は、（ｉ１）前記各チップを撮像する段階と、（ｉ２）前記撮像されたイメージを標準イメージと比較して前記標準イメージの前記マーキング基準点から前記撮像されたイメージの前記マーキング基準点のｘ、ｙ偏差及び傾斜角度を測定する段階と、を備えることが望ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によるレーザマーキングシステムの補正方法によれば、各セルでのマーキング誤差及び各チップの整列誤差を測定し、これら誤差を補正するようにガルバノスキャナーを調整することによってマーキング品質を向上しうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付された図面を参照して本発明の望ましい実施例にレーザマーキングシステムのマーキング補正方法を詳細に説明する。
【００２３】
図５は、本発明の望ましい実施例によるマーキング補正方法が適用されたレーザマーキングシステムの構成を概略的に示す図面であり、従来の発明と同じ構成要素には同じ名称を使用し、詳細な説明を省略する。
【００２４】
レーザマーキングシステム１６０は、複数のトレイ１１０が積載されたトレイ供給マガジン１２０と、前記マガジン１２０から一つのトレイ１１０を引出して水平移送テーブル１２２に整列するローダ１３０と、前記水平移送テーブル１２２上のトレイ１１０を一方向に移送するステップモータ１５０と、その下方へ移送されたトレイ１１０のセル内の各チップに文字をマーキングするレーザマーカ１６０と、前記マーキングされたトレイ１１０上のマーキングを撮像するポストビジョンカメラ１７０と、前記マーキングされたトレイ１１０をトレイ回収マガジン１９０にアンローディングするアンローダ１８０と、を備える。また、前記レーザマーキングシステムには前記ローダ１３０、プレビジョンカメラ１４０、ステップモータ１５０、レーザマーカ１６０、ポストビジョンカメラ１７０、アンローダ１８０を制御する制御ユニット１００が設けられている。
【００２５】
前記ポストビジョンカメラ１７０は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラである。ＣＣＤは、光を電気信号に変換する光電変換センサーである。カメラ１７０の前端のレンズ（図示せず）に入った光度は、まずＣＣＤに記録される。この時に撮影された映像の光は、ＣＣＤに付いているＲＧＢ色フィルターによってそれぞれ異なる色に分離される。分離された色は、ＣＣＤを構成する数十万個の光センサー（画素に対応する）で電気的信号に変換される。ＣＣＤから出たアナログ信号は、０及び１のデジタル信号に変換されて映像信号が作られて出力される。前記ポストビジョンカメラ１７０は、トレイ１１０から光を受光して電気的映像信号を発生させる。前記カメラで撮像された映像信号は、制御ユニット１００に伝送される。
【００２６】
図６は、図５のレーザマーカの構成を概略的に示す図面である。
【００２７】
図６を参照すれば、レーザマーカ１６０は、レーザ発振器１６１とガルバノスキャナー１６３及びＦシータレンズ１６４と、マーキング対象物であるトレイ１１０内の複数のチップｃから光を受光して電気的映像信号を発生するビジョンカメラ１６５と、前記トレイ１１０に光を照射するライト１６７と、前記ビジョンカメラ１６５からのチップの位置情報によって前記ガルバノスキャナー１６３のｘミラー１６３ａ及びｙミラー１６３ｂを調節するコントローラ（図示せず）が設けられる。
【００２８】
前記ガルバノスキャナー１６３は、ｘミラー１６３ａ及びｙミラー１６３ｂと、これらをそれぞれ駆動させるモータ（図示せず）とを備え、これらミラーの位置を調整してレーザビームを所定領域にＸ−Ｙ方向に走査させる。
【００２９】
前記Ｆシータレンズ１６４は、入射されたレーザビームがマーキング対象物１１０の全体に対して同じサイズの焦点を形成させる。
【００３０】
前記ビジョンカメラ１６５は、前記ポストビジョンカメラ１７０と同じＣＣＤカメラを使用し、望ましくはトレイ１１０の移送方向と垂直方向のトレイ１１０の表面全体を撮像するように一つまたは複数個が配置されることが望ましい。したがって、トレイのサイズ及びカメラの視野によって使われるビジョンカメラの数が決定される。例えば、トレイの長手方向の長さ（トレイ移送方向の長さ）が３２０ｍｍであり、トレイの長手方向と垂直方向の長さとが１５０ｍｍであり、ビジョンカメラの視野が１００×１００ｍｍであり、ビジョンカメラをトレイ移送方向と垂直方向に２個配置された場合、ステップモータ１５０にトレイ１１０を４回移送して、トレイの全面をビジョンカメラで撮像しうる。もし、４個のビジョンカメラをトレイ移送方向と垂直方向に２×２配置すれば、ステップモータ１５０にトレイ１１０を２回移送してトレイの全面をビジョンカメラで撮像しうる。
【００３１】
一方、ポストビジョンカメラ１７０は、一つ配置されて移送されるトレイ１１０を移送方向と垂直方向に移動させつつマーキング状態を観察することが望ましい。
【００３２】
前記レーザマーキングシステムを使用して本発明のレーザマーキングシステムの補正方法を詳細に説明する。
【００３３】
図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の望ましい実施例によるレーザマーキングシステムのマーキング補正方法を示すフローチャートである。
【００３４】
まず、各セルでのマーキング誤差を計算するか否かをチェックする（第１０段階）。
【００３５】
第１０段階で、マーキング誤差を計算すると判断されれば、複数のビジョンカメラ１６５、例えば４台のビジョンカメラ１６５を使用する場合、各ビジョンカメラ１６５で観察するチップを割り当てる（第１１段階）。
【００３６】
図８は、図７Ａに示された第１１段階の一実施例１１Ａを説明するフローチャートである。
【００３７】
図８を参照すれば、まず、トレイ１１０またはトレイと同じ形状のプレート（図示せず）の表面にマーキング用紙（図示せず）を付着してビジョンカメラ１６５の下部に配置する（第３０段階）。マーキング用紙は、白色の用紙上に黒色が印刷された用紙を使用し、このマーキング用紙の表面がＦシータレンズ１６４の焦点距離に位置するように配置することが望ましい。
【００３８】
次いで、レーザマーカ１６０で各セルの一点、例えば中央点をマーキングする（第３２段階）。
【００３９】
そして、ビジョンカメラ１６５で前記中央点を探して各セルを観察するビジョンカメラ１６５を定める（第３４段階）。
【００４０】
第１１段階後に、各ビジョンカメラ１６５の座標系とレーザマーカ１６０の座標系とを一致させる（第１２段階）。これは、ビジョンカメラ１６５で見る座標とレーザマーカ１６０で見る座標との単位が異なるので、これら座標を一致させる過程である。
【００４１】
図９は、図７Ａに示された第１２段階の一実施例１２Ａを説明するフローチャートである。
【００４２】
図９を参照すれば、まず、レーザマーカ１６０で前記第３２段階の中央点を基準としてセルに該当する領域の四角形エッジに点をマーキングする（第４２段階）。この時、エッジ点はレーザマーカ１６０の座標系によってマーキングされる。
【００４３】
次いで、選択されたセルの外郭点の位置を当該ビジョンカメラ１６５の座標系で検出して第４２段階でのレーザマーカ１６０の座標系と比較して換算する（第４４段階）。
【００４４】
第１２段階後に、各チップに該当する位置に所定の第１シンボルＳ１をマーキングした後、当該ビジョンカメラ１６５で選択された第１シンボルＳ１をディスプレイ（図示せず）上で観察しつつポインティングデバイス（図示せず）で第１シンボルＳ１のエッジをポインティングして基準点Ｐ１とする（図１０参照）。すなわち、基準点Ｐ１を当該ビジョンカメラ１６５にティーチングする（第１３段階）。
【００４５】
次いで、当該ビジョンカメラ１６５で各セルを観察しつつ第１シンボルＳ１と基準点Ｐ１とを探して、基準点Ｐ１を基準として第２シンボルＳ２をマーキングする（第１４段階）。
【００４６】
前記マーキング過程を終えたトレイ１１０またはプレートは、ポストビジョンカメラ１７０の下方へ移送されてトレイ移送方向と垂直方向に移動するポストビジョンカメラ１７０によって望ましくは一つのセルずつ観察される。作業者は、このうち一つのチップをディスプレイで観察しつつポインティングデバイスで第２シンボルＳ２の一点Ｐ２をポインティングしてポストビジョンカメラ１７０に比較点Ｐ２をティーチングする（第１５段階）。
【００４７】
次いで、ポストビジョンカメラ１７０で各セルの基準点Ｐ１とマーキング基準点Ｐ２とを検出して基準点Ｐ１から比較点Ｐ２の位置を測定した後、所定の二つの点間の偏差からマーキング誤差を計算してメモリに保存する（第１６段階）。メモリに保存されたマーキング誤差は、ガルバノスキャナー１６３のｘミラー１６３ａ及びｙミラー１６３ｂの調節値を補正して前記マーキング誤差を補正したマーキングをする。
【００４８】
前記マーキング誤差の計算過程は、トレイ１１０の各セル内でチップが一定に配列された場合、またはストリップにチップが形成された場合には適用可能であるが、トレイ１１０内でチップが動く場合には再び各チップの整列誤差を測定して補正しなければならない。
【００４９】
次いで、セル内にチップが積載されたトレイ１１０を第３０段階と同じ位置に配置する（第１７段階）。
【００５０】
次いで、マーキング基準点を新たに指定しなければならないかを判断する（第１８段階）。一方、第１０段階でメモリにあらかじめ保存された各セルでのマーキング誤差を使用する場合には、第１８段階を行う。
【００５１】
第１８段階で、新たにマーキング基準点を指定すると判断されれば、当該ビジョンカメラ１６５で選択されたチップをディスプレイで見つつポインティングデバイスで前記チップの一点、例えば一つのエッジ点Ｐ３をポインティングして当該ビジョンカメラ１６５にマーキング基準点Ｐ３としてティーチングする（第１９段階）（図１１を参照）。
【００５２】
次いで、各チップを当該ビジョンカメラ１６５で撮像して各チップの整列誤差を計算する（第２０段階）。第１８段階で、あらかじめ保存されたマーキング基準点Ｐ３を使用すると判断されれば、第２０段階を行う。
【００５３】
図１２は、図７Ｂに示された第２０段階の一実施例２０Ａを説明するフローチャートである。
【００５４】
図１２を参照すれば、まず、各チップの位置をビジョンカメラ１６５で撮像する（第５０段階）。
【００５５】
次いで、前記チップの標準イメージ（図１２の点線表示）と測定された各チップのイメージ（図１２の実線表示）とを比較して前記マーキング基準点Ｐ３に対応する標準イメージの一点Ｐ０からの前記マーキング基準点Ｐ３のｘ、ｙ偏差ｄｘ，ｄｙと前記測定されたチップの傾斜角度θとを測定する（第５２段階）。
【００５６】
第２０段階後に、各チップのマーキング基準点Ｐ３を基準として第３２段階で計算された当該セルのマーキング誤差と、第５２段階で計算された各チップの整列誤差を補正してマーキングする（第２１段階）。すなわち、前記誤差を勘案してガルバノスキャナー１６３のｘミラー１６３ａ及びｙミラー１６３ｂを調節して各チップにマーキングする。
【００５７】
前記実施例では、トレイのセル内の各チップをマーキングする方法を記述したが、ストリップに形成された各チップをマーキングする時にも各チップのマーキング誤差を検出してマーキング補正する方法にも適用可能である。
【００５８】
また、前記実施例では、複数のビジョンカメラを利用したマーキングシステムでのマーキング補正方法を説明したが、一つのビジョンカメラでトレイまたはストリップの一幅が観察される場合にも適用可能である。
【００５９】
本発明は、図面を参照して実施例を参考として説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当業者ならば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であることが分かる。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲によって決定されなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】一般的なリードフレームストリップの概略的な平面図である。
【図２】一般的なレーザマーキングシステムの概略図である。
【図３】図２のレーザマーカの構成を概略的に示す図面である。
【図４】一般的なトレイ及びその内部に位置するチップを示す図面である。
【図５】本発明の望ましい実施例によるマーキング補正方法が適用されたレーザマーキングシステムの構成を概略的に示す図面である。
【図６】図５のレーザマーカの構成を概略的に示す図面である。
【図７Ａ】本発明の望ましい実施例によるレーザマーキングシステムの補正方法を示すフローチャートである。
【図７Ｂ】本発明の望ましい実施例によるレーザマーキングシステムの補正方法を示すフローチャートである。
【図８】図７Ａに示された第１１段階の一実施例を説明するフローチャートである。
【図９】図７Ａに示された第１２段階の一実施例を説明するフローチャートである。
【図１０】各セルでのマーキング誤差を測定することを説明する図面である。
【図１１】チップの整列誤差を測定することを説明する図面である。
【図１２】図７Ｂに示された第２０段階の一実施例を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００６１】
１０    ストリップ
１２    チップ
１４    認識タグ
２０,１２０    供給マガジン
２２,１２２    水平移送テーブル
３０,１３０    ローダ
４０    プレビジョンカメラ
５０,１５０    ステップモータ
６０,１６０    レーザマーカ
６１,１６１    レーザ発振器
６３,１６３    ガルバノスキャナー
６３ａ,１６３ａ    ｘミラー
６３ｂ,１６３ｂ    ｙミラー
６４,１６４    Ｆシータレンズ
１００ 制御ユニット
１１０    トレイ
１６５    ビジョンカメラ
１６７    ライト
【図１】
2005523820.tif 000003
【図２】
2005523820.tif 000004
【図３】
2005523820.tif 000005
【図４】
2005523820.tif 000006
【図５】
2005523820.tif 000007
【図６】
2005523820.tif 000008
【図７Ａ】
2005523820.tif 000009
【図７Ｂ】
2005523820.tif 000010
【図８】
2005523820.tif 000011
【図９】
2005523820.tif 000012
【図１０】
2005523820.tif 000013
【図１１】
2005523820.tif 000014
【図１２】
2005523820.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月16日(2004.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
次いで、レーザマーカ１６０でトレイの表面上に付着されたマーキング用紙の各セルの一点、例えば中央点をマーキングする（第３２段階）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
図９を参照すれば、まず、レーザマーカ１６０で前記第３２段階の中央点を基準としてセルに該当する前記マーキング用紙領域の四角形エッジに点をマーキングする（第４２段階）。この時、エッジ点はレーザマーカ１６０の座標系によってマーキングされる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
第１２段階後に、各チップに該当する前記マーキング用紙の位置に所定の第１シンボルＳ１をマーキングした後、当該ビジョンカメラ１６５で選択された第１シンボルＳ１をディスプレイ（図示せず）上で観察しつつポインティングデバイス（図示せず）で第１シンボルＳ１のエッジをポインティングして基準点Ｐ１とする（図１０参照）。すなわち、基準点Ｐ１を当該ビジョンカメラ１６５にティーチングする（第１３段階）。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
次いで、当該ビジョンカメラ１６５で各セルを観察しつつ第１シンボルＳ１と基準点Ｐ１とを探して、基準点Ｐ１を基準として第２シンボルＳ２をマーキング用紙のセルにマーキングする（第１４段階）。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
前記マーキング誤差の計算過程は、トレイ１１０の各セル内でチップが一定に配列された場合、またはストリップにチップが形成された場合には適用可能であるが、トレイ１１０内でチップが動く場合には再び各チップの整列誤差を測定して補正しなければならない。前記マーキング用紙にセルをマーキングすることはトレイの各チップのマーキングに代替されることもある。
【国際調査報告】
2005523820.tif 000016