【誤訳訂正書】
【提出日】令和1年11月14日(2019.11.14)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ上の欠陥を検出する方法であって、
第１および第２の検査システムにより一つのウエハを走査することにより前記一つのウエハのための出力を生成するステップと、
前記第１の検査システムを用いて生成された前記出力を用いて前記一つのウエハのための第１の画像データと、前記第２の検査システムを用いて生成された前記出力を用いて前記一つのウエハのための第２の画像データと、を生成するステップであって、前記第１の検査システムは、第１の光を生成するように構成された第１の光源と、前記一つのウエハを移動するように構成された第１のステージと、前記一つのウエハからの光を検出して、前記出力の第１の部分を生成するように構成された第１の検出器とを含み、前記第２の検査システムは、第２の光を生成するように構成された第２の光源と、前記一つのウエハを移動するように構成された第２のステージと、前記一つのウエハからの光を検出して、前記出力の第２の部分を生成するように構成された第２の検出器とを含み、前記第１および前記第２の光源は同一の光源ではなく、前記第１および前記第２のステージは同一のステージではないステップと、
前記第１の画像データと、前記一つのウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第２の画像データとを組み合わせるステップであって、それによって、前記一つのウエハのための付加的な画像データを生成するステップと、
前記付加的な画像データを用いて前記一つのウエハ上の欠陥を検出するステップと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第１の検査システムにより前記出力を生成するステップは、前記第１の検査システムの第１の光学状態を用いて実行され、前記第２の検査システムにより前記出力を生成するステップは、前記第２の検査システムの第２の光学状態を用いて実行され、前記第１および前記第２の光学状態は、前記第１および前記第２の検査システムの少なくとも１つの光学パラメータのための個別の値によって定義されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記個別の値は、前記走査中に前記第１および前記第２の光が前記ウエハに対して方向づけられる照射の個別の角度を含むことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記個別の値は、個別の撮像モード、個別の偏光状態、個別の波長、個別のピクセルサイズ、またはそれらのいくつかの組み合わせを含むことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記個別の値は、前記第１および前記第２の検査システムの個別のチャネルを含むことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記第１および前記第２の光は、干渉性光であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第１の検査システムにより前記出力を生成するステップは、前記第１の検査システムの第１の光学状態を用いて実行され、前記第２の検査システムにより前記出力を生成するステップは、前記第２の検査システムの第２の光学状態を用いて実行され、前記第１および前記第２の光学状態は、前記走査中に前記ウエハから光を収集するために用いられる前記第１および前記第２の検査システムの光学パラメータのための同一の値によって定義されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
個別の検査システムにより前記ウエハを走査することにより前記ウエハのための出力を生成するステップと、
前記個別の検査システムを用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハのための第３の画像データを生成するステップと、
前記ウエハ上の同一の位置に実質的に対応する前記第１の画像データまたは前記第２の画像データに、前記第３の画像データを組み合わせるステップであって、それによって、前記ウエハのためのさらなる付加的な画像データを生成するステップと、
前記さらなる付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出するステップと
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記第１の画像データと前記第２の画像データとは、差分画像データを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記組み合わせるステップは、前記第１の画像データと、前記ウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第２の画像データとについて画像相関を実行することを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記組み合わせるステップは、前記第１の画像データおよび第２の画像データの画素レベルで実行されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
欠陥検出は、前記組み合わせるステップに先立って実行されないことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記欠陥に対応する前記付加的な画像データの一部は、前記付加的な画像データの前記一部を生成するために組み合わせられる前記第１の画像データおよび前記第２の画像データの一部より大きな信号対ノイズ比を有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記付加的な画像データは、前記第１の画像データおよび前記第２の画像データより少ないノイズを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記付加的な画像データは、前記第１の画像データおよび前記第２の画像データより少ないスペックルノイズを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１６】
前記第１の画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出するステップと、
前記第２の画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出するステップと、
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データのいずれかを用いて検出された前記欠陥の組み合わせとして、前記ウエハ上で検出された前記欠陥を報告するするステップと
をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１７】
前記付加的な画像データを用いて前記欠陥の特徴のための値を判定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１８】
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データのいくつかの組み合わせを用いて前記欠陥の特徴のための値を判定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１９】
前記欠陥を検出するステップは、
前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の潜在的な欠陥を識別するステップと、
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された前記潜在的な欠陥に関する画素レベル情報を用いて、前記潜在的な欠陥の擬似欠陥フィルタリングを実行することにより前記欠陥を識別するステップと
を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２０】
前記欠陥を検出するステップは、
前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の潜在的な欠陥を識別するステップと、
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された前記潜在的な欠陥の特徴の値を用いて、前記潜在的な欠陥の擬似欠陥フィルタリングを実行することにより前記欠陥を識別するステップと
を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２１】
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された前記欠陥に関する画素レベルの情報を用いて、前記欠陥をビニングするステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２２】
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された前記欠陥の特徴の値を用いて、前記欠陥をビニングするステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２３】
ウエハ上の欠陥を検出するように構成されたシステムであって、
一つのウエハを走査することにより前記一つのウエハのための出力を生成するように構成された第１および第２の検査システムと、
コンピュータサブシステムであって、
前記第１の検査システムを用いて生成された前記出力を用いて前記一つのウエハのための第１の画像データと、前記第２の検査システムを用いて生成された前記出力を用いて前記一つのウエハのための第２の画像データとを生成するように構成され、前記第１の検査システムは、第１の光を生成するように構成された第１の光源と、前記一つのウエハを移動するように構成された第１のステージと、前記一つのウエハからの光を検出して、前記出力の第１の部分を生成するように構成された第１の検出器とを含み、前記第２の検査システムは、第２の光を生成するように構成された第２の光源と、前記一つのウエハを移動するように構成された第２のステージと、前記一つのウエハからの光を検出して、前記出力の第２の部分を生成するように構成された第２の検出器とを含み、前記第１および前記第２の光源は同一の光源ではなく、前記第１および第２のステージは同一のステージではなく、
前記第１の画像データと、前記一つのウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第２の画像データとを組み合わせ、それによって、前記一つのウエハのための付加的な画像データを生成するように構成され、
前記付加的な画像データを用いて前記一つのウエハ上の欠陥を検出するように構成された、コンピュータサブシステムと
を備えることを特徴とするシステム。
【請求項２４】
前記第１の検査システムにより前記出力を生成するステップは、前記第１の検査システムの第１の光学状態を用いて実行され、前記第２の検査システムにより前記出力を生成するステップは、前記第２の検査システムの第２の光学状態を用いて実行され、前記第１および前記第２の光学状態は、前記第１および前記第２の検査システムの少なくとも１つの光学パラメータのための個別の値によって定義されることを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項２５】
前記個別の値は、前記走査中に前記第１および前記第２の光が前記ウエハに対して方向づけられる照射の個別の角度を含むことを特徴とする請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
前記個別の値は、個別の撮像モード、個別の偏光状態、個別の波長、個別のピクセルサイズ、またはそれらのいくつかの組み合わせを含むことを特徴とする請求項２４に記載のシステム。
【請求項２７】
前記個別の値は、前記第１および前記第２の検査システムの個別のチャネルを含むことを特徴とする請求項２４に記載のシステム。
【請求項２８】
前記第１および前記第２の光は、干渉性光である請求項２３に記載のシステム。
【請求項２９】
前記第１の検査システムにより前記出力を生成するステップは、前記第１の検査システムの第１の光学状態を用いて実行され、前記第２の検査システムにより前記出力を生成するステップは、前記第２の検査システムの第２の光学状態を用いて実行され、前記第１および前記第２の光学状態は、前記走査中に前記ウエハから光を収集するために用いられる前記第１および前記第２の検査システムの光学パラメータのための同一の値によって定義されることを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項３０】
前記ウエハを走査することにより、前記ウエハのための出力を生成するように構成された個別の検査システムをさらに備え、
前記コンピュータサブシステムは、
前記個別の検査システムを用いて生成された前記出力を用いて前記ウエハのための第３の画像データを生成し、
前記ウエハ上の同一の位置に実質的に対応する前記第１または前記第２の画像データに前記第３の画像データを組み合わせ、それによって、前記ウエハのためのさらなる付加的な画像データを生成し、
前記さらなる付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出するようにさらに構成されることを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項３１】
前記第１および前記第２の画像データは、個別の画像データを含むことを特徴とする請求項２３のシステム。
【請求項３２】
前記組み合わせることは、前記ウエハ上の実質的に同一の位置に対応する前記第１の画像データと前記第２の画像データについて画像相関を実行することを含むことを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項３３】
前記組み合わせることは、前記第１および前記第２の画像データの画素レベルで実行されることを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項３４】
欠陥検出は、前記組み合わせるステップに先立って実行されないことを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項３５】
前記欠陥に対応する前記付加的な画像データの一部は、前記付加的な画像データの前記一部を生成するために組み合わせられる前記第１および前記第２の画像データの一部より大きな信号対ノイズ比を有することを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項３６】
前記付加的な画像データは、前記第１および前記第２の画像データより少ないノイズを有することを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項３７】
前記付加的な画像データは、前記第１および前記第２の画像データより少ないスペックルノイズを有することを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項３８】
前記コンピュータサブシステムは、
前記第１の画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出し、
前記第２の画像データを用いて前記ウエハ上の欠陥を検出し、
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データのいずれかを用いて検出された前記欠陥の組み合わせとして、前記ウエハ上で検出された前記欠陥を報告するようにさらに構成されることを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項３９】
前記コンピュータサブシステムは、前記付加的な画像データを用いて前記欠陥の特徴のための値を判定するようにさらに構成されることを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項４０】
前記コンピュータサブシステムは、前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データのいくつかの組み合わせを用いて、前記欠陥の特徴のための値を判定するようにさらに構成されることを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項４１】
前記欠陥を検出することは、
前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の潜在的な欠陥を識別することと、
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された前記潜在的な欠陥に関する画素レベル情報を用いて、前記潜在的な欠陥の擬似欠陥フィルタリングを実行することにより前記欠陥を識別することと
を含むことを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項４２】
前記欠陥を検出することは、
前記付加的な画像データを用いて前記ウエハ上の潜在的な欠陥を識別することと、
前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された前記潜在的な欠陥の特徴の値を用いて、前記潜在的な欠陥の擬似欠陥フィルタリングを実行することにより前記欠陥を識別することと
を含むことを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項４３】
前記コンピュータサブシステムは、前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された前記欠陥に関する画素レベルの情報を用いて、前記欠陥をビニングするようにさらに構成されることを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【請求項４４】
前記コンピュータサブシステムは、前記第１の画像データ、前記第２の画像データ、および前記付加的な画像データ、またはそれらのいくつかの組み合わせを用いて判定された前記欠陥の特徴の値を用いて、前記欠陥をビニングするようにさらに構成されることを特徴とする請求項２３に記載のシステム。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
なお別の実施形態は、ウエハ上の欠陥を検出するための別の方法に関する。この方法は、第１の検査システムおよび第２の検査システムにより一つのウエハを走査することにより、一つのウエハのための出力を生成するステップを含む。方法は、また、第１の検査システムを用いて生成された出力を用いて一つのウエハのための第１の画像データと、第２の検査システムを用いて生成された出力を用いて一つのウエハのための第２の画像データとを生成するステップを含む。さらに、方法は、第１の画像データと、一つのウエハ上の実質的に同一の位置に対応する第２の画像データとを組み合わせ、それによって、一つのウエハのための付加的な画像データを生成するステップを含む。方法は、付加的な画像データを用いて一つのウエハ上の欠陥を検出するステップをさらに含む。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１００
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１００】
別の実施形態において、ウエハ上の欠陥を検出する方法は、第１の検査システムおよび第２の検査システムにより一つのウエハを走査することにより、一つのウエハのための出力を生成することを含む。このステップにおいて一つのウエハのための出力を生成することは、本明細書にさらに記載されたように実行されてもよい。第１の検査システムおよび第２の検査システムは、本明細書に記載された個別の検査システムのいずれかを含んでもよい。第１の検査システムおよび第２の検査システムにより一つのウエハを走査することは、同一のまたは実質的に同一の光学状態を用いて実行されてもよい。あるいは、第１の検査システムおよび第２の検査システムにより一つのウエハをスキャンすることは、個別の光学状態を用いて実行されてもよい。この方式において、融合される個別の画像データに対応する個別の光学状態は、個別の検査システムの個別の光学状態であってもよい。例えば、検査システムＸの光学状態Ａに対応する画像データは、検査システムＹの光学状態Ｂに対応する画像データと、本明細書にさらに記載されたように、組み合わせることができる。光学状態Ａおよび光学状態Ｂは、同一であってもよいし、または異なってもよい。同一のまたは実質的に同一の光学状態、および個別の光学状態は、本明細書に記載された任意の光学状態を含んでもよい。方法は、また、第１の検査システムを用いて生成された出力を用いて一つのウエハのための第１の画像データと、第２の検査システムを用いて生成された出力を用いて一つのウエハのための第２の画像データとを生成することを含む。第１の画像データおよび第２の画像データを生成することが、本明細書にさらに記載されたように実行されてもよい。第１の画像データおよび第２の画像データは、本明細書に記載された画像データのいずれかを含んでもよい。