【手続補正書】
【提出日】令和2年7月8日(2020.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と前記振動子の振動によって駆動する被駆動部材を備えた振動波アクチュエータの制御装置であって、
前記振動子と前記被駆動部材との相対位置と前記相対位置に関する指令値との差である第１の偏差を取得する手段と、
前記相対位置の目標位置と前記相対位置との差である前記第２の偏差に基づいてゲインを求めるゲイン調整手段と、
前記第１の偏差と前記ゲインを用いて前記振動子を制御する制御量を出力する制御量演算部と、
前記制御量に基づき制御パラメータを、前記振動子へ印加する交流信号を生成する前記振動子の駆動部へ出力する制御パラメータ生成部、を制御部に備え、
前記ゲイン調整手段は、前記第２の偏差の減少に応じて前記ゲインを減少させるように構成されていることを特徴とする振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項２】
前記制御量演算部は、前記制御量を制御パラメータ生成部が備える位置偏差部および周波数変換部へ出力する請求項１に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項３】
前記制御パラメータ生成部は、前記駆動部による前記交流信号の印加により前記振動子に生じる楕円運動の、楕円比、振幅、及び駆動方向の少なくとも１つの制御パラメータを生成する請求項１または２に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項４】
前記交流信号は、前記制御パラメータに基づいて設定された位相、周波数又は駆動電圧を有することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項５】
前記制御部は前記交流信号のパルス幅情報を出力する電圧調整手段をさらに有し、
前記駆動部は、前記制御パラメータ生成部の出力と前記電圧調整手段の出力に基づいて、前記交流信号を生成する請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項６】
前記振動子への前記交流信号の印加により、前記振動子に楕円運動が生じ、それによって前記振動子と前記被駆動部材との相対位置が変化する請求項５に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項７】
前記制御部は、振動型アクチュエータの減速駆動期間及び停止駆動期間において、前記第２の偏差の減少に応じて前記ゲインを減少させるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項８】
前記制御部は、振動型アクチュエータの減速開始から前記第２の偏差がゼロになるまで、前記第２の偏差の減少に応じて前記ゲインを減少させるように構成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項９】
前記ゲイン調整手段は、前記第２の偏差がある値になった時、前記ゲインの符号を反転させる、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１０】
前記ゲイン調整手段は、前記第２の偏差がある値になる前に前記ゲインを減少させるよう構成されており、前記第２の偏差が前記ある値になった時、前記ゲインを再び増加させる、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１１】
前記ある値は、停止整定時の目標精度に相当する偏差である、請求項９または１０に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１２】
前記制御量は、前記第１の偏差をＰＩＤ演算した値に前記ゲインを乗算した結果である、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１３】
前記制御量は、前記第１の偏差と前記ゲインを乗算した値を、ＰＩＤ演算した結果である、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１４】
前記振動子と前記被駆動部材との相対位置を検出する位置検出手段を有する請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置。
【請求項１５】
振動子と前記振動子の振動によって駆動する被駆動部材を備えた振動波アクチュエータと、
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、を備える駆動装置。
【請求項１６】
レンズと、
前記被駆動部材を駆動することで前記レンズを駆動する機構と、
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、を備えた交換用レンズ。
【請求項１７】
撮像素子と、
レンズと、
前記被駆動部材を駆動することで前記レンズを駆動する機構と、
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、を備えた撮像装置。
【請求項１８】
レンズと、
撮像素子と、
前記被駆動部材を駆動することで前記撮像素子を駆動する機構と、
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、を備えた撮像装置。
【請求項１９】
ステージと、
前記被駆動部材を駆動することで前記ステージを駆動する機構と、
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の振動型アクチュエータの制御装置と、を備えた自動ステージ。
【請求項２０】
振動子と前記振動子に接触された被駆動部材とを有する振動型アクチュエータの制御方法において、
前記振動子と被駆動部材との相対位置に関する指令値と前記相対位置との差である第１の偏差を求める工程と、
前記相対位置の目標位置と前記相対位置との差である第２の偏差に基づきゲインを求める工程と、
前記ゲインと前記第１の偏差の両方に基づいた制御量により生成する工程と、
前記制御量に基づく制御パラメータにより前記振動子の駆動用の交流信号を生成する工程と、
前記第２の偏差の減少に応じてゲインを減少させるゲイン調整工程、
を有する振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項２１】
前記制御パラメータは、前記交流信号によって駆動される振動子の駆動部に生じる楕円運動の楕円比、振幅、又は駆動方向を制御するためのパラメータである請求項２０に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【請求項２２】
前記交流信号は、前記制御パラメータに基づいて位相、周波数、又は駆動電圧が設定されることを特徴とする、請求項２１に記載の振動型アクチュエータの制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一様態は、振動子と前記振動子の振動によって駆動する被駆動部材を備えた振動波アクチュエータの制御装置であって、
前記振動子と前記被駆動部材との相対位置と前記相対位置に関する指令値との差である第１の偏差を取得する手段と、
前記相対位置の目標位置と前記相対位置との差である前記第２の偏差に基づいてゲインを求めるゲイン調整手段と、  前記第１の偏差と前記ゲインを用いて前記振動子を制御する制御量を出力する制御量演算部と、
前記制御量に基づき制御パラメータを、前記振動子へ印加する交流信号を生成する前記振動子の駆動部へ出力する制御パラメータ生成部、を制御部に備え、
前記ゲイン調整手段は、前記第２の偏差の減少に応じて前記ゲインを減少させるように構成されていることを特徴とする振動型アクチュエータの制御装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の一様態は、振動子と前記振動子に接触された被駆動部材とを有する振動型アクチュエータの制御方法において、
前記振動子と被駆動部材との相対位置に関する指令値と前記相対位置との差である第１の偏差を求める工程と、
前記相対位置の目標位置と前記相対位置との差である第２の偏差に基づきゲインを求める工程と、
前記ゲインと前記第１の偏差の両方に基づいた制御量により生成する工程と、
前記制御量に基づく制御パラメータにより前記振動子の駆動用の交流信号を生成する工程と、
前記第２の偏差の減少に応じてゲインを減少させるゲイン調整工程、
を有する振動型アクチュエータの制御方法に関する。