【誤訳訂正書】
【提出日】令和2年5月18日(2020.5.18)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ体（１６）を有する真空ポンプ（１０）であって、ポンプ体の内側がポンプ空間を画成し、且つボンプ体の外側に、ポンプ空間内へのバラストガス供給制御用のバルブ（１２）が配置されていて、バルブ（１２）が入気口（４６）及び排気口（４８）を有していて、第一チャンネル及び第二チャンネル（５８）がポンプ体（１６）内に形成されていて、各チャンネル（５８）の入口（６０）はバルブ（１２）に向けられていて、及び各チャンネル（５８）の出口は、ポンプ空間に到達し、及び第一開放状態と第二開放状態の間でバルブ（１２）が切り替え可能であって、排気口（４８）が、第一開放状態において、第一チャンネル（５８）の入口（６０）と、そして、第二開放状態において、第二チャンネル（５８）の入口（６０）と、位置合わせされていることを特徴とする真空ポンプ（１０）。
【請求項２】
バルブ（１２）が、少なくとも１つ更なる状態を有し、この状態において、排気口（４８）が、１つのチャンネル入口（６０）とも位置合わせされていないことを特徴としている請求項１に記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項３】
バルブ（１２）がチェックバルブ（５３）を有し、このチェックバルブが排気口（４８）から入気口（４６）への気体の逆流を阻んでいることを特徴としている請求項１又は２記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項４】
第一チャンネル（５８）及び第二チャンネル（５８）が異なる長さを有していることを特徴としている請求項１〜３の少なくとも何れか１つに記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項５】
第一チャンネル及び第二チャンネル（５８）が、異なる横断面の出口を有することを特徴としている請求項１〜４の少なくとも何れか１つに記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項６】
１つの又は各チャンネル（５８）の出口の最大寸法は、分離要素の幅に等しいか、又はこの幅を下回って、この分離要素がポンプ空間の２つの領域を相互に分離して、及びに真空ポンプ（１０）の稼働中に、当該出口又は各出口を越えて移動することを特徴とする請求項１〜５の少なくとも何れか１つに記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項７】
バルブ（１２）が回転体（２２）を有し、この回転体はポンプ体（１６）に回動可能に軸支されていて、特にその際、回転体（２２）の回転軸Ｄが、平らな接続平面（１７）に直交してポンプ体（１６）に配置されていて、チャンネル入口（６０）が、接続平面（１７）内に配置されていることを特徴とする請求項１〜６の少なくとも何れか１つに記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項８】
バルブ（１２）が回転体（２２）の回転によって、少なくとも第一開放状態と第二開放状態の間で、位置合わせ可能であることを特徴としている請求項７に記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項９】
チャンネル入口（６０）が、各々に密封部材（６２）によって、特にシールリングで包囲されていることを特徴としている請求項７又は請求項８に記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項１０】
少なくとも３つの密封部材（６２、６６）が、特にシールリングが、設置されていて、これら密封部材は、回転体（２２）の回転軸Ｄ周りに配分されていて、特に少なくとも殆ど左右対称に配置されていることを特徴としている請求項７〜９の少なくとも何れか１つに記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項１１】
回転体（２２）が、ポンプ体（１６）に向けられた下側において、及び／又は密封部材（６２、６６）が、少なくともこれら密封部材の、回転体（２２）に向けられた側面において、ドライ潤滑剤で実装されていることを特徴とする請求項７〜１０の少なくとも何れか１つに記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項１２】
回転体（２２）を、特に回転軸Ｄに沿って、ポンプ体（１６）に対して与圧するために、回転体（２２）がクランプ装置（２８）を有していることを特徴とする請求項７〜１１の少なくとも何れか１つに記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項１３】
ポンプ体（１６）が円弧状のガイドリンク（６８）を形成し、及び回転体（２２）がガイド要素（４０）で装備されていて、このガイド要素はポンプ体（１６）に向けられた回転体（２２）の下側から突出し、且つポンプ体（１６）のガイドリンク（６８）内で誘導されていることを特徴とする請求項７〜１２の少なくとも何れか１つに記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項１４】
ガイド要素（４０）が、バネ付勢された球体（４２）を有し、この球体がガイドリンク（６８）に係合し、ガイドリンク（６８）が窪み（７０）を、少なくとも第一開放状態及び第二開放状態に相応する位置に有することを特徴としている請求項１３に記載の真空ポンプ（１０）。
【請求項１５】
ポンプ体（１６）外側に、表示素子（１８）が設置されていて、この表示素子が、回転体（２２）の、少なくとも第一開放状態又は第二開放状態のための適正な回転角度を表示し、及び／又は回転体（２２）は非円形の横断面を有し、特に方向を示している横断面を有していることを特徴とする請求項７〜１４の少なくとも何れか１つに記載の真空ポンプ（１０）。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】バラストガスのバルブを有する真空ポンプ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ体を有する真空ポンプに関する。このポンプ体の内側はポンプ空間を画成し、且つポンプ体の外側には、ポンプ空間内へのバラストガス供給制御用バルブが設置されていて、このバルブが入気口及び排気口を有している。
【背景技術】
【０００２】
上記の種類の真空ポンプは、基本的に公知であり、及び特に、高真空ポンプの排気領域における予真空生成ための予ポンプとして使用されている。その稼働中、一定の状況下において、追加の気体（ここでは概してバラストガスと呼ぶ。）をキャリアガス、パージガス又は遮断ガスとして、ポンプ体内に送入することが必要である。
【０００３】
例えば、腐食性気体給送の際に、バラストガスは、不活性の遮断ガスの形で、真空ポンプの壊れ易い構成部材を保護するために、ポンプ体内に送入される。バラストガスは、例えば、稼働点の移行によって起こる真空ポンプの温度上昇といった場合に、冷却のためにも使用され得る。いわゆるキャリアガスは、水素又はヘリウムといった特に軽い気体をより良く圧送できるように、送入される。キャリアガスは、望ましくない蓄積物、例えば液状物質の結露、又はポンプシステム内部における固形の堆積物などを、真空ポンプの排出方向に移送するためにも使用され得る。バラストガスは、真空ポンプ停止後に、パージガスとして、ポンプ空間内の気体、特に腐蝕性の気体の結露を阻止するために、送入される。例えば窒素などは、バラストガスとして、この適用目的において考慮の対象となる。
【０００４】
更なる適用範囲は、例えば発火の恐れのある気体濃縮を回避するために、圧送される媒体気体の希釈（“受動的添加”）に関連している。この気体濃縮は、媒体の圧縮によって、圧送動作中に、ポンプシステム内の様々な部位で起こり得る。これに反して、“能動的添加”の際、圧送される媒体は、無害種に変えられ、例えば相応しい反応体又は触媒の添加によって、腐蝕性の、又は他の種類において、圧送された媒体の有害な成分が沈降され、且つ除去され得る。
【０００５】
ポンプ体内へのバラストガス供給は、通常、バルブによって制御され、このバルブの入気口は接続ホースを介してバラストガス容器に結合していて、及びそのバルブの排気口はポンプ体に連通している。しかしながら、公知のバラストガス用バルブは、つまりは“バルブ開”及び“バルブ閉”という２つの設定を有するのみである。１単位時間当たりに供給されるバラストガスの量の変更は、公知のバルブにおいて、不可能である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
つまり本発明の課題は、文頭にて言及した真空ポンプを創出することであり、この真空ポンプは、１単位時間毎に供給されるバラストガス量を、容易且つ、安価な方法で変更することを実現する。
【０００７】
この課題は、請求項１の特徴を有する真空ポンプによって解決され、且つ特に第一チャンネル及び第二チャンネルがポンプ体内に形成されていていることで解決され、各チャンネルの入口はバルブに向けられていて、且つ各チャンネルの出口はポンプ空間内に通じ、バルブは第一開放状態及び第二開放状態の間で位置合わせ可能であり、及び排気口は、第一開放状態において、第一チャンネルの入口と、及び第二開放状態において、第二チャンネルの入口と位置合わせされている。
【０００８】
バルブの排気口の位置合わせ状況に従って、バラストガスは、選択的に、第一チャンネルによって又は、第二チャンネルによってポンプ空間内に送入され得る。これによって、チャンネルの相応する形成様式において、ポンプ空間内へのバラストガスの複数段階の供給が可能である。その他、或るバルブの状態が考えられ得る。この状態では、バルブの排気口は、第一チャンネルの入口によっても、第二チャンネルの入口によっても位置合わせされずに、両方のチャンネルの入口は、むしろ閉ざされている。その結果、バラストガスがポンプ空間内へ全く送入されない。
【０００９】
本発明に係る真空ポンプにおいては、予ポンプが主題である。例えば、本発明に係る真空ポンプは、単段の、又は複数段のスクロールポンプ、ダイアフラムポンプ、ロータリーポンプ、ローブポンプ、ピストンポンプ、スクリューポンプ、クローポンプの形で、又はルーツポンプとしても形成されていることが可能である。
【００１０】
本発明の有利な形成様式は、従属請求項、明細書及び図面に見て取れる。
【００１１】
１つの実施形態に従って、第一チャンネル及び第二チャンネルは、ポンプ空間の異なる領域にバラストガスを注入できるように、異なる長さを有している。これによって、例えばバラストガスを選択的にポンプ空間の中央領域又は、周縁領域内に送入することが可能となる。これらチャンネルは、ポンプ空間の異なる圧力ゾーン内に、特に比較的高い気体密度を伴う内側の領域内に、及び比較的少ない気体密度を伴う更に外にある領域内に、到達することが特に予見され得る。
【００１２】
更なる実施形態に従って、第一チャンネル及び第二チャンネルの出口は、異なる横断面を有している。１単位時間毎にポンプ空間内へ注入可能なバラストガス量は、各チャンネル出口の横断面並びにチャンネル出口及びバルブ排気口間の支配的な圧力差異によって決まるので、異なるバラストガス量は、チャンネルの選択に従って、ポンプ空間内に送入される。
【００１３】
更なる実施形態に従って、第一チャンネル及び第二チャンネルの、少なくとも部分区間は、異なる横断面を有している。１単位時間毎にポンプ空間内へ注入可能なバラストガス量は、各チャンネル出口の横断面並びに各チャンネルの部分長さの横断面及びバルブ排気口間の支配的な圧力差異によって決まるので、異なるバラストガス量は、チャンネルの選択に従って、ポンプ空間内に送入される。
【００１４】
更なる実施形態に従って、少なくとも第一チャンネル及び第二チャンネルは、少なくとも１つの、長さ及び／又は横断面において異なるチャンネル部分を有し、及び共通の排気口に到達し、有利には少なくとも１つの共同使用されるチャンネル部分を有している。１単位時間毎にポンプ空間内へ注入可能なバラストガス量は、各チャンネル出口の横断面並びに各チャンネルの部分長さの横断面及びバルブ排気口間の支配的な圧力差異によって決まるので、異なるバラストガス量は、チャンネルの選択に従って、ポンプ空間内に送入される。
【００１５】
更なる実施形態に従って、２つを上回る、有利には３つ又はそれ以上のチャンネル、バラストガス量の更なる段階付けを可能にするために、及び相応する更なるバルブの状態が想定される。前述した各異形の組み合わせによって、例えば第一チャンネルが、比較的高い気体密度を伴う内側のポンプ空間領域内へ、及び異なる横断面及び／又はチャンネル長さを有する２つの更なるチャンネルが、共通の排気口内へ、比較的低い気体密度を伴う更に外側に実装されたポンプ空間の領域内に到達し、そのことによって様々なバラストガス量がポンプ空間の異なる部位で送入される。
【００１６】
有利にも、１つの又は各チャンネルの出口の最大限の寸法は、分離要素の幅に等しいか、又はこの幅を下回り、この分離要素は、このポンプ空間の２つの領域を相互に分離し、並びに真空ポンプの稼働中に、当該出口を越えて、若しくは各出口を越えて移動する。こうして、分離要素が真空ポンプの稼働中に出口を越えて移動する場合に、バラストガスが１つの領域から他の領域に不意に流入する可能性は阻まれる。言い換れば、“ガス短絡”が回避される。
【００１７】
随時の開放状態を選択するために、バルブは、基本的に摺動可能に、ポンプ体に形成され得て、つまりバルブ排気口は、チャンネル入口による線状の動きによって位置合わせされる。しかし有利には、バルブは回転体を有し、この回転体はポンプ体に回動可能に軸支されていて、バルブ孔の縦軸と回転体の回転軸は互いに、平行にずれて配置されている。
【００１８】
第一チャンネル又は第二チャンネルの選択は、特に容易に、第一開放状態と第二開放状態の間における回転体の回転を介してバルブが位置合わせ可能であることによって、バラストガスの供給のために実施される。言い換えれば、回転体中で回転軸に対して、ずれて配置されたバルブは、円弧軌道を描き、第一チャンネルの入口、及び第二チャンネルの入口を有している。両入口の開放状態に加えて、回転体の回転角度が相応する時、バルブの閉鎖状態又は零状態も予見され得、この閉鎖状態又は零状態において両チャンネルの入口が同時に閉鎖されていて、及びバラストガスのポンプ空間内への供給が阻まれている。
【００１９】
チャンネルの入口は、有利にも、各々が密封部材によって、特にシールリングによって包囲されている。密封部材は、供給されたバラストガスが制御されずに漏れ得、及び／又は周囲の大気がポンプ空間内に流入し、且つ真空ポンプの予真空を汚染する可能性を阻む。同じことは、逆の流体路にも該当する。なぜなら、圧送された気体は汚染されている可能性があり、且つ、その際、如何なる場合においても、例えばポンプ空間が周囲に対して正圧の際も、この周囲に放たれてはならない。その上、密封部材が回転体下側とポンプ体の間のスペーサとして機能し、それによって摩擦負荷を受けた接触は、有利にも、回転体と密封部材間においてのみ存在し、但し回転体とポンプ体の間には存在しない。これにより、この相反して動く構成部材間における摩擦は減少し、そのことが、この構成部材の損耗を減らして、維持管理の反復期間をより長いものにし得て、且つ真空ポンプの更なる低コスト稼働に寄与する。
【００２０】
更なる実施形態に従って、少なくとも３つの密封部材が設置されていて、これら密封部材は回転体の回転軸周りに配分されていて、特に少なくとも殆ど左右対称に配置されている。この左右対称の構造は回転体の傾倒に反作用して、且つ回転体の下側及びチャンネルの入口を有するポンプ体のレベルが常に、少なくとも殆ど平行に位置合わせされていることを保証する。この事が、好ましくない摩耗に反作用し、且つ密封部材の最適な密封作用に貢献する。全ての密封部材がチャンネルを包囲し、且つ封止する必要は無く、少なくとも１つの、又は複数の密封部材はブラインド（ｂｌｉｎｄ）でもあり得て、つまりチャンネル無しで、他の密封部材との十分な左右対称性を形成するために作製されていて、且つ配置されていることが可能である。
【００２１】
有利な実施形態に従って、回転体は、ポンプ体に向けられた回転体下側において、ドライ潤滑剤で実装されている。ドライ潤滑剤として、例えばＰＴＦＥ又はＭｏＳ２が考慮の対象となる。この種のドライ潤滑剤は、特段に安定しているだけでなく、例えばポンプ体内に至って、且つ予真空を汚染する可能性を有する摩耗粒子を極めて少量のみ発生させる。
【００２２】
代替的又は追加的に、密封部材は、少なくとも、回転体に向けられた密封部材側面において、各々、ドライ潤滑剤によって実装されている。特に、ドライ潤滑剤は減摩塗料として密封部材上に塗布されていることが可能である。バルブの完全に乾燥した形成様式のために、密封部材は例えばＰＴＦＥ減摩塗料によって包囲されていることが可能であり、且つＰＴＦＥでコーティングされた回転体の表面と接触していることが可能である。
【００２３】
更なる実施形態に従って、回転体は、その本体をポンプ体に抗して、特に回転体の回転軸に沿って、与圧するために、クランプ装置を有する。回転体は、クランプ装置によって、シールリング及びポンプ体に押圧される。この際、回転体に働く予荷重は、バルブを操作するために、つまり回転体を回転することによって、開放状態の１つ、又は閉鎖状態、又は零状態を選択するために、バルブの最大限の気密性を保証し、且つ他方で、最小限の労力が必要とされるように選択される。その上、過大な力の作用は、多大な摩耗、及びドライ潤滑剤の多大な損耗に繋がる。
【００２４】
更なる実施形態に従って、ポンプ体は、円弧状のガイドリンクを形成する。特に、ガイドリンクは、第一開放状態及び第二開放状態に相応する位置において、窪みを有することが可能である。追加の窪みが形成されていて、この窪みが閉鎖状態の位置又は零状態の位置に相応することも考えられる。
【００２５】
有利にも、回転体はガイド要素で実装されていて、このガイド要素がポンプ体に向けられた回転体の下側から突出し、且つポンプ体のガイドリンク内で方向付けされている。ガイド要素は、ガイドリンク内に形成された窪みと協働することによって、回転体の回転時における開放状態、又は閉鎖状態、又は零状態の検出を容易化する。加えて、ガイド要素は、回転体及びポンプ体表面の面平行の配置安定に寄与する。
【００２６】
有利には、ガイド要素がバネ付勢された球体を有し、この球体がガイドリンクに係合する。その際、球体の大きさは、理想的には、ガイドリンク内の窪みの大きさに適合されている。有利には、球体が、ガイドリンクに向けられたガイド要素の下側で、垂直に摺動可能に形成されていて、回転体の方向における球体の垂直摺動は、ガイド要素内に配置されたバネ部材の復元力に反作用して起こる。開放状態若しくは閉鎖状態又は零状態に相応する回転体の回転角度において、球体は、ガイドリンクによって回転体の方向に押圧され、及びバネ部材には負荷がかけられる。ガイド要素が回転体の回転運動中に、ガイドリンク内の窪みを越えて移動すると、バネ部材の復元力は球体を窪みに追いやって、つまりは球体が窪みに係止する。
【００２７】
この事は、回転体の、開放状態又は閉鎖状態又は零状態のための適正な回転角度の検出を容易にするのみでなく、選択された開放状態、又は閉鎖状態におけるバルブの固定にも寄与し、これによって、望ましくない位置合わせリスクが低減される。それにもかかわらず、当該係合接続は、球形の球体の形成様式に基づいて、回転体の回転時に、比較的僅かな抗力を克服しながら再び解け得る。球体の丸い形状は、通常、ガイドリンク中におけるガイド要素の低摩擦移動に寄与する。
【００２８】
回転体の選択された状態の、且つ、バルブの選択された状態の検出を容易にするために、ポンプ体の外側に有利にもラベルが添付されていて、このラベルは、第一開放状態、第二開放状態及び／又は閉鎖状態、又は零状態のための、回転体の適正な回転角度を表示する。追加的又は代替的に、回転体は、非円形の横断面を有し得て、この横断面は、特に方向を示すように形成されていることが可能である。ここで考えられ得るのは、例えば、矢型に類似の形態であり、この形態において、矢の先端が随時の回転角度を表示する。回転体には、楕円形又は他の非円形の形態も可能であり、これらの形態は、特に簡単に握られて、且つ容易に手で操作されて、追加のマーカーが回転体の上側面で、方向表示として機能し得る。
【００２９】
本発明は、下記において、可能な実施形態によって、純然な例として、添付図解に関連付けつつ解説される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る真空ポンプのバラストガス用バルブの実施形態の斜視図
【図２】図１のバラストガス用バルブの縦断面図
【図３】図１のバラストガス用バルブの分解図
【図４】本発明に係る真空ポンプのポンプ体表面の透視図及び部分的透視図
【発明を実施するための形態】
【００３１】
図１中において、本発明に係る真空ポンプ１０のバラストガス用バルブ１２の実施形態が、ここにスクロールポンプの形で示されている。バラストガス用バルブ１２は、カバー１４に形成されていて、このカバーは、ポンプ体１６（参照図２）に着設されていて、且つカバーの外側に、表示素子１８を有している。カバー１４は、合成樹脂から成形されていることができて、且つ例えば射出成形法によって生成されていることが可能である。バラストガス吸気口の領域において、カバー１４は、バラストガス供給制御のための回転体２２のための円形の窪み２０を有している。
【００３２】
図２が示すように、回転体２２は、クランプ装置収容のために、回転体２２の回転軸Ｄに沿って延在する受容穿孔３４によって実装されていて、このクランプ装置は、回転体２２をポンプ体１６に固定して、且つ回転軸Ｄに沿って、ポンプ体１６の平らな接続平面１７に対して予荷重をかけている。
【００３３】
示された実施例において、クランプ装置がネジ２８を有し、このネジは、ポンプ体１６に当接する回転体２２を回転軸Ｄ周りに回動可能に固定するために、ポンプ体１６のネジ山付孔３０に係合する。ネジ２８は肩部２８ａを形成し、この肩部は、ネジ２８が最大限にねじ込まれた状態において、ポンプ体１６の接続平面１７上に着座し、且つ、これによって予荷重を限定する。この予荷重は回転体２２に作用し、この回転体はネジ頭２８ｂとポンプ体１６の間に担持されている。代替的又は追加的に、クランプ装置は、バネ部材も有し得て、このバネ部材は受容穿孔３４内に配置されていて、且つ回転軸Ｄに沿って機能し、このバネ部材の復元力に抗しつつネジ２８は締着される。
【００３４】
更に図２及び図３が示しているように、回転体２２は２つの部分から形成されている。ポンプ体１６から背いた第一部分は、ヘッド部２４を形成し、及び合成樹脂材料又は金属材料から製作されていることがあり得る。ポンプ体１６に向けられた第二部分は、滑り円盤２６の形で形成され、この滑り円盤は同様に、合成樹脂材料、又は金属材料から製作されていることがあり得る。ポンプ体１６に向けられた滑り円盤２６の下側は、例えばＰＴＦＥ又はＭｏＳ２といったドライ潤滑剤でコーティングされている。
【００３５】
回転体２２の滑り円盤２６及びヘッド部２４は、複数の（この実施例においては３つの）連結子３２によって相互に結合していて、これら連結子は、ヘッド部２４内及び滑り円盤２６内において、回転軸Ｄに対して平行な穿孔３６に挿通されている。具体的には、連結子３２が、ソケットヘッドネジとして形成されていて、これら連結子はヘッド部２４を貫通して、延出し、且つ滑り円盤２６のネジ山付孔３０内にねじ込まれている。
【００３６】
回転体２２中において、さらに、回転軸Ｄに平行して延びる穿孔３８は、ガイド要素４０収容のために形成されていて、このガイド要素は、滑り円盤２６を貫通して、延出し、及び部分的にヘッド部２４内に突出している。ガイド要素４０は、金属ピンとして形成されていて、且つ、ポンプ体１６に向けられた端部にバネ付勢された球４２を有している。球４２は、ガイド要素４０の長手方向において、摺動可能に軸支されていて、及び不図示のバネ部材の復元力に対して少なくとも部分的にガイド要素４０内に押し込まれることが可能である。
【００３７】
バルブ孔４４は、回転軸Ｄに対して平行にずらされて、回転体２２内に形成されていて、このバルブ孔が入気口４６及び排気口４８を画定している。入気口４６の領域において、接続部材５０は、バルブ孔４４に装入されていて、この接続部材を介してバラストガスは、バルブ孔４４に送入され得る。接続部材５０を回転体２２に対して密封するために、シールリング５２が設置されている。
【００３８】
バルブ孔４４は、回転体２２のヘッド部２４及び滑り円盤２６を通って延在していて、且つ複数の穿孔部分から成り立っている。入気口４６から突出し、ヘッド部２４内に形成された第一の穿孔部分は、そこに連接する第二の穿孔部分よりも小さな横断面を有している。この第二の穿孔部分は同様にして、ヘッド部２４内にある。第二の穿孔部分は、滑り円盤２６を貫通して延出している第三の穿孔部分と連通し、この第三の穿孔部分は、排気口４８に到達している。第一の穿孔部分及び第二の穿孔部分の異なる横断面に基づいて、バルブ孔４４は、第一の穿孔部分から第二の穿孔部分への過渡部において、第二の穿孔部分内に摺動可能に軸支されているバルブボディ５６のためのバルブシート５４を形成し、このバルブボディはバネ部材５７（ここでは螺旋状圧縮バネの形状を有する。）によって、バルブシート５４に押圧される。バルブシート５４及びバルブボディ５６が、この方法で、チェックバルブ５３を形成して、このチェックバルブは、接続部材５０によってバルブ孔４４内に送入されたバラストガスの逆流及び、真空ポンプによって圧送された媒体の逆流をも阻止している。
【００３９】
回転体２２のバルブ孔４４内に送入されたバラストガスを、ポンプ体１６の内部における不図示のポンプ空間に転送するために、２つのチャンネル５８がポンプ体１６内に形成されていて、これらチャンネルは各々がチャンネル入口６０及び不図示のチャンネル出口を有する。チャンネル５８のチャンネル出口は、例えば螺旋状の壁によって分離された、例えばスクロールポンプの領域といったポンプ空間の異なる領域に到達する。
【００４０】
追加的に、チャンネル出口は、異なる大きさの横断面を有することが可能で、その結果、チャンネル５８を介してバラストガスの異なる量が１単位時間毎にポンプ空間内に送入される。この実施例において、第一チャンネル５８を介する１単位時間毎におけるポンプ空間内へのバラストガス供給可能量は、第二チャンネル５８を介しての供給可能量を下回る。いずれにしても、チャンネル出口の最大限の寸法は、各々、例えばスクロールポンプの螺旋状の壁というような、不図示の分離要素の幅に等しいか、又はこの幅を下回り、この分離要素はポンプ空間の２つの部分領域を相互に分離して、且つ真空ポンプ１０の稼働中に、１つの又は両方のチャンネル出口を越えて移動する。チャンネル５８は、予設定され、離れて配置された排気口４８、又はポンプ体１６内の排気口４８で始まるチャンネルに到達するために、及び、そうしてチャンネル入口６０と排気口４８の間における結合を生成するために、ポンプ体１６の接続平面１７に対して直交しても、任意の斜角においても延在し得る。
【００４１】
バルブ孔４４の排気口４８の横断面は、チャンネル入口６０の横断面に適合され、並びに、このチャンネル入口に少なくとも類似する、若しくは一致するように選ばれて、有利には、チャンネル入口６０の横断面より小さいように選択される。加えて、チャンネル入口６０は、シールリング６２によって包囲されていて、これらシールリング６２は、ポンプ体１６の相応するキー溝６４内に収容されている。シールリング６２が、回転体２２のための載置面を形成し、つまり封止体２２は、シールリング６２とのみ接触し、しかしながら、ポンプ体１６の表面とは接触していない。
【００４２】
回転体２２とシールリング６２間の摩擦を回避するため、シールリング６２はドライ潤滑剤で実装されている。例えば、シールリング６２はＰＴＦＥ塗料でコーティングされていることが可能である。ＰＴＦＥ又はＭｏＳ２といったドライ潤滑剤の排他的使用は、潤滑剤粒子によるポンプ空間の汚染を減少させる。これら潤滑剤粒子は、チャンネル５８を介して、ポンプ空間内に至り得る。通常、ドライ潤滑剤は、固体脂又は液状油といった潤滑剤に比べて、より少ない損耗を呈し、及び、維持管理の必要性がより少なくて、且つ、より低コストでの、真空ポンプ１０の稼働が実現される。
【００４３】
更に、ドライ潤滑剤は、流出、気化、又は沸騰蒸発し得る液状の潤滑剤の様に、容易に気化したり又は消失したりしない。この事は、主に高いハウジング温度によるポンプ稼働に関係していて、この高いハウジング温度は、液状潤滑剤の粘度を下げ、及び成分を低い沸点で気化させ得る。例えばＰＴＦＥ及び液状油のような乾性潤滑剤、及び液状の潤滑剤の組み合わせは有利にも、更に向上した耐用期間及び潤滑性に繋がり得て、特に、両構成部分の１つが、不意に、又は想定外の使用によって、予想外に故障する、又は気化する場合における非常運転の安定性向上にも繋がる。
【００４４】
シールリング６２から形成された載置面上における回転体２２の傾倒に抗するために、少なくとも１つの追加的シールリング６６が設けられ、このシールリングは、チャンネル５８に結合しないブラインド要素（Ｂｌｉｎｄｅｌｅｍｅｎｔ）を形成する。３つのシールリング６２、６６の少なくとも殆ど左右対称の配置によって、載置面が作られる。この載置面は、ポンプ体１６の表面に面平行して延在し、且つ及回転体２２を、回転中に、相応に面平行な状態に担持する。
【００４５】
回転体２２の回転中に、回転体を追加誘導するために、ポンプ体１６の表面には、円弧状のガイドリンク６８が形成されている。このガイドリンクには、図４の斜視図に示されているように、回転体２２に着設されたガイド要素４０が係合する。ガイドリンク６８は３つの窪み７０を有している。ガイド要素４０のバネ付勢された各球体４２は、これらの窪みに、回転体２２が次の条件下にある場合において係合する。つまりは、排気口４８が第一チャンネル５８の入口と位置合わせされている第一開放状態、及び排気口４８が第二チャンネル５８の入口と位置合わせされている第二開放状態、並びに排気口４８が第一チャンネル５８の入口によっても、及びに第二チャンネル５８の入口とも位置合わせされていない閉鎖状態においてである。この係合位置は、回転体２２の、開放状態又は閉鎖状態のための適正な回転角度の検出及び設定を容易にする。
【００４６】
更なる設定補助として、カバー１４に表示素子１８が、例えばラベルの形で設置されていて、このラベルは、開放状態及び閉鎖状態のために設定されるべき適正な回転角度を指し示している。回転体２２は、随時の回転角度を表示するために、非円形状に形成されていて、特に回転体２２のヘッド部２４は、示された実施例の中で、凡そ矢印の様な基本形を有し、その矢先は、随時の回転角度方向を指している。代替的に、回転体２２の楕円形の形成様式又は、他の非円形状の形成様式が同様に可能であり、これら形成様式は容易に握持され、及び簡単に手動操作される。その際、回転体２２に追加的にマーカーが着設されていて、これらマーカーが回転体２２の随時の回転角度を指し示すことも考えられ得る。
【００４７】
バラストガスをポンプ空間内に送入するために、接続部材５０は、不図示の接続管を介して、同様に不図示のバラストガス容器と結合していて、及び回転体２２は、ガイド要素４０がガイドリンク６８の相応する窪み７０に係止するまで、所望の開放状態へ回される。バルブ孔４４中に流れ込むバラストガスによって、バルブボディ５６がバルブシート５４から外され、その結果、バラストガスがチャンネル入口６０を通って選択されたチャンネル５８内に流入し、及び各チャンネル５８の出口を通って真空ポンプ１０のポンプ空間内に至り得る。
【００４８】
回転体２２が、１つの開放状態から、他の開放状態へ回されることによって、バラストガスがポンプ空間内に送入される部位、及び１単位時間毎にポンプ空間内に送入されるバラストガスの量も変更され得る。回転体２２内部のチェックバルブ５３の構造によって、更に公知の解決策に対する利点がある。この利点とは、任意の数の送入部のために、又は任意の数のチャンネル５８のために、唯一つのチェックバルブ５３だけが必要とされることである。
【００４９】
この際、本発明は二段式のバルブによって解説されたが、複数の実施形態が可能であって、これらの実施形態は詳述された二段に加えて、更なるチャンネルがポンプ体１６内で形成され、これらチャンネルの入口によって回転体２２の排気口４８が位置合わせされ得ることによって、バラストガス供給の更なる段を実現し得ることは自明である。
【００５０】
加えて本発明は一先ず、パッキング材料といったものを有さないが、更なる密封部材が、排気口４８を、バラストガス用バルブ１２の閉鎖状態又は零状態において固く封止するように、接続平面１７上に配置され得ることが自明である。その結果、この状態中、存在する圧力差において、バラストガスが、滑り円盤２６とチャンネル入口６０の間に形成された溝穴を通って、周囲へ漏れ得ない、又は逆に周囲の大気がバラストガス管に浸入することはあり得ない。
【００５１】
とりわけ、本発明は一先ず、ガイドリンク６８といったものを有さないが、ガイドリンクのようなものが間断なく、一貫して、実装されていることも可能で、又は窪み７０は、ガイドリンク６８もなく、直接に接続平面１７上で、回転軸Ｄに対して同中心の円上に配置され得ることが自明であり、その結果、バネ付勢された球体４２は接続平面内に係合することが可能である。相応して、回転体２２が任意の回数で任意の方向において回転軸Ｄ周りを回転され得る。何故なら、幾何的制限がないからである。
【符号の説明】
【００５２】
１０    真空ポンプ
１２    バラストガス用バルブ
１４    カバー
１６    ポンプ体
１７    接続平面
１８    表示素子
２０    窪み
２２    回転体
２４    ヘッド部
２６    滑り円盤
２８    ネジ
２８ａ  肩部
２８ｂ  ネジ頭
３０    ネジ山付孔
３２    連結子
３４    受容穿孔
３６    穿孔
３８    穿孔
４０    ガイド要素
４２    バネ付勢された球体
４４    バルブ孔
４６    入気口
４８    排気口
５０    接続部材
５２    シールリング
５３    チェックバルブ
５４    バルブシート
５６    バルブボディ
５７    バネ部材
５８    チャンネル
６０    チャンネル入口
６２    シールリング
６４    キー溝
６６    シールリング
６８    ガイドリンク
７０    窪み