【手続補正書】
【提出日】令和2年8月4日(2020.8.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持し、該基板を回転させる基板保持部と、
砥粒を表面に有する研磨テープを前記基板の裏面に接触させて前記基板の裏面を研磨する研磨ヘッドと、
前記研磨テープをその長手方向に送るテープ送り装置と、
前記研磨ヘッドを並進回転運動させる並進回転運動機構とを備え、
前記基板保持部は、複数のローラーを備え、
前記複数のローラーは、各ローラーの軸心を中心に回転可能に構成されており、
前記複数のローラーは、前記基板の周縁部に接触可能な基板保持面を有し、
前記研磨ヘッドは、前記基板保持面よりも下方に配置されており、
前記研磨ヘッドは、前記研磨テープを前記基板の裏面に対して押し付ける研磨ブレードと、前記研磨ブレードを上方に押し上げる加圧機構とを備えていることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記研磨ブレードは、前記研磨テープの進行方向に対して斜めに延びていることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記研磨ヘッドは、前記研磨ブレードを傾動可能に支持する球面軸受を備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記研磨ヘッドは、前記研磨ブレードの上縁を覆う軟質材を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記研磨ブレードは、前記基板の半径よりも長いことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記研磨ブレードは複数の研磨ブレードであり、かつ前記加圧機構は複数の加圧機構であり、
前記複数の加圧機構は、互いに独立して動作可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項７】
前記複数の研磨ブレードは、直線状に並んでいることを特徴とする請求項６に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記複数の研磨ブレードの全体は、前記基板の半径よりも長いことを特徴とする請求項７に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記複数の研磨ブレードは、前記基板保持部の軸心から異なる距離に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の研磨装置。
【請求項１０】
前記研磨装置は、前記研磨ヘッドを平行移動させる研磨ヘッド移動機構をさらに備えていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１１】
基板を保持し、該基板を並進回転運動可能な基板保持部と、
研磨具を前記基板の裏面に接触させて前記基板の裏面を研磨する研磨ヘッドとを備え、
前記基板保持部は、複数のローラーを備え、
前記複数のローラーは、回転可能に構成されており、
前記複数のローラーは、前記基板の周縁部に接触可能な基板保持面を有し、
前記研磨ヘッドは、前記研磨具を上方に押し上げる加圧機構を備え、
前記研磨ヘッドは、前記基板保持面よりも下方に配置されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項１２】
前記研磨具は、砥粒を表面に有する研磨テープであり、
前記研磨装置は、前記研磨テープをその長手方向に送るテープ送り装置をさらに備えており、
前記研磨ヘッドは、前記研磨テープを前記基板の裏面に対して押し付ける研磨ブレードをさらに備えており、
前記加圧機構は、前記研磨ブレードを上方に押し上げるように該研磨ブレードに連結されていることを特徴とする請求項１１に記載の研磨装置。
【請求項１３】
前記研磨ブレードは、前記研磨テープの進行方向に対して斜めに延びていることを特徴とする請求項１２に記載の研磨装置。
【請求項１４】
前記研磨ヘッドは、前記研磨ブレードを傾動可能に支持する球面軸受を備えていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の研磨装置。
【請求項１５】
前記研磨ヘッドは、前記研磨ブレードの上縁を覆う軟質材を備えていることを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１６】
前記研磨ブレードは、前記基板の直径よりも長いことを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１７】
前記研磨ブレードは複数の研磨ブレードであり、かつ前記加圧機構は複数の加圧機構であり、
前記複数の加圧機構は、互いに独立して動作可能に構成されていることを特徴とする請求項１２乃至１５のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１８】
前記複数の研磨ブレードは、直線状に並んでいることを特徴とする請求項１７に記載の研磨装置。
【請求項１９】
前記複数の研磨ブレードの全体は、前記基板の直径よりも長いことを特徴とする請求項１８に記載の研磨装置。
【請求項２０】
前記複数の研磨ブレードは、前記基板保持部の軸心から異なる距離に配置されていることを特徴とする請求項１７に記載の研磨装置。
【請求項２１】
前記研磨具は複数の研磨具であり、かつ前記加圧機構は複数の加圧機構であり、
前記複数の加圧機構は、互いに独立して動作可能に構成されていることを特徴とする請求項１１に記載の研磨装置。
【請求項２２】
前記研磨ヘッドは複数設けられていることを特徴とする請求項１１乃至１５および請求項１７および請求項１８および請求項２０および請求項２１のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項２３】
基板を保持し、該基板を回転させる基板保持部と、
研磨具を前記基板の裏面に接触させて前記基板の裏面を研磨する研磨ヘッドと、
前記基板の裏面を流体を介して非接触に吸引するベルヌーイチャックとを備え、
前記基板保持部は、複数のローラーを備え、
前記複数のローラーは、回転可能に構成されており、
前記複数のローラーは、前記基板の周縁部に接触可能な基板保持面を有し、
前記研磨ヘッドおよび前記ベルヌーイチャックは、前記基板保持面よりも下方に配置されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項２４】
前記研磨装置は、前記研磨ヘッドを並進回転運動させる並進回転運動機構をさらに備えていることを特徴とする請求項２３に記載の研磨装置。
【請求項２５】
前記基板保持部は、並進回転運動が可能であることを特徴とする請求項２３に記載の研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一態様は、基板を保持し、該基板を並進回転運動可能な基板保持部と、研磨具を前記基板の裏面に接触させて前記基板の裏面を研磨する研磨ヘッドとを備え、前記基板保持部は、複数のローラーを備え、前記複数のローラーは、回転可能に構成されており、前記複数のローラーは、前記基板の周縁部に接触可能な基板保持面を有し、前記研磨ヘッドは、前記研磨具を上方に押し上げる加圧機構を備え、前記研磨ヘッドは、前記基板保持面よりも下方に配置されていることを特徴とする研磨装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の一態様は、基板を保持し、該基板を回転させる基板保持部と、研磨具を前記基板の裏面に接触させて前記基板の裏面を研磨する研磨ヘッドと、前記基板の裏面を流体を介して非接触に吸引するベルヌーイチャックとを備え、前記基板保持部は、複数のローラーを備え、前記複数のローラーは、回転可能に構成されており、前記複数のローラーは、前記基板の周縁部に接触可能な基板保持面を有し、前記研磨ヘッドおよび前記ベルヌーイチャックは、前記基板保持面よりも下方に配置されていることを特徴とする研磨装置である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の好ましい態様は、前記研磨装置は、前記研磨ヘッドを並進回転運動させる並進回転運動機構をさらに備えていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板保持部は、並進回転運動が可能であることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2019077003.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２４】
2019077003.tif 000002
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２５】
2019077003.tif 000003