【手続補正書】
【提出日】令和2年8月13日(2020.8.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板同士を接合する接合装置であって、
下面に第１の基板を真空引きして吸着保持する第１の保持部と、
前記第１の保持部の下方に設けられ、上面に第２の基板を真空引きして吸着保持する第２の保持部と、
前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に回転させる回転機構と、
前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に水平方向に移動させる移動機構と、
前記回転機構によって回転する前記第１の保持部又は前記第２の保持部に設けられ、当該第１の保持部又は第２の保持部の位置を測定する位置測定部と、
前記位置測定部による測定結果に基づいて、前記回転機構と前記移動機構を制御する制御部と、を有し、
前記位置測定部は、第１の位置測定部、第２の位置測定部及び第３の位置測定部を含み、
前記第１の位置測定部と前記第２の位置測定部の間隔と、前記第１の位置測定部と前記第３の位置測定部の間隔は等しい。
【請求項２】
請求項１に記載の接合装置において、
前記第２の位置測定部と前記第３の位置測定部は、それぞれ前記第１の位置測定部とのなす中心角が９０度となる位置に設けられている。
【請求項３】
請求項１に記載の接合装置において、
前記制御部は、前記第１の位置測定部による測定結果に基づいて、前記回転機構を制御した後、前記位置測定部の測定結果に基づいて、前記移動機構を制御するように構成されている。
【請求項４】
請求項１に記載の接合装置において、
前記制御部は、前記第１の位置測定部による測定結果に基づいて、前記回転機構を制御した後、前記位置測定部の測定結果に基づいて、前記回転機構と前記移動機構を制御するように構成されている。
【請求項５】
請求項１に記載の接合装置において、
前記回転機構は、前記第１の保持部の外周部又は前記第２の保持部の外周部に設けられ、
前記第１の位置測定部は、前記回転機構が設けられた前記第１の保持部の外周部又は前記第２の保持部の外周部において、当該第１の保持部又は第２の保持部の中心線上に前記回転機構に対向して設けられている。
【請求項６】
基板同士を接合する接合装置を備えた接合システムであって、
前記接合装置は、
下面に第１の基板を真空引きして吸着保持する第１の保持部と、
前記第１の保持部の下方に設けられ、上面に第２の基板を真空引きして吸着保持する第２の保持部と、
前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に回転させる回転機構と、
前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に水平方向に移動させる移動機構と、
前記回転機構によって回転する前記第１の保持部又は前記第２の保持部に設けられ、当該第１の保持部又は第２の保持部の位置を測定する位置測定部と、
前記位置測定部による測定結果に基づいて、前記回転機構と前記移動機構を制御する制御部と、を有し、
前記位置測定部は、第１の位置測定部、第２の位置測定部及び第３の位置測定部を含み、
前記第１の位置測定部と前記第２の位置測定部の間隔と、前記第１の位置測定部と前記第３の位置測定部の間隔は等しく、
前記接合システムは、
前記接合装置を備えた処理ステーションと、
第１の基板、第２の基板又は第１の基板と第２の基板が接合された重合基板をそれぞれ複数保有可能で、且つ前記処理ステーションに対して第１の基板、第２の基板又は重合基板を搬入出する搬入出ステーションと、を備え、
前記処理ステーションは、
第１の基板又は第２の基板の接合される表面を改質する表面改質装置と、
前記表面改質装置で改質された第１の基板又は第２の基板の表面を親水化する表面親水化装置と、
前記表面改質装置、前記表面親水化装置及び前記接合装置に対して、第１の基板、第２の基板又は重合基板を搬送するための搬送装置と、を有し、
前記接合装置では、前記表面親水化装置で表面が親水化された第１の基板と第２の基板を接合する。
【請求項７】
接合装置を用いて基板同士を接合する接合方法であって、
前記接合装置は、
下面に第１の基板を真空引きして吸着保持する第１の保持部と、
前記第１の保持部の下方に設けられ、上面に第２の基板を真空引きして吸着保持する第２の保持部と、
前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に回転させる回転機構と、
前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に水平方向に移動させる移動機構と、
前記回転機構によって回転する前記第１の保持部又は前記第２の保持部に設けられ、当該第１の保持部又は第２の保持部の位置を測定する位置測定部と、を有し、
前記位置測定部は、第１の位置測定部、第２の位置測定部及び第３の位置測定部を含み、
前記第１の位置測定部と前記第２の位置測定部の間隔と、前記第１の位置測定部と前記第３の位置測定部の間隔は等しく、
前記接合方法は、
前記位置測定部を用いて、前記第１の保持部又は前記第２の保持部の位置を測定する測定工程と、
前記測定工程における測定結果に基づいて、前記回転機構と前記移動機構を制御し、前記第１の保持部と前記第２の保持部の相対的な位置を調節する位置調節工程と、を有する。
【請求項８】
請求項７に記載の接合方法において、
前記第１の位置測定部を用いて、前記第１の保持部又は前記第２の保持部の位置を測定する第１の測定工程と、
前記第１の測定工程における測定結果に基づいて、前記回転機構を制御し、前記第１の保持部と前記第２の保持部の相対的な位置を調節する第１の位置調節工程と、
その後、前記位置測定部を用いて、前記第１の保持部又は前記第２の保持部の位置を測定する第２の測定工程と、
前記第２の測定工程における測定結果に基づいて、前記移動機構を制御し、前記第１の保持部と前記第２の保持部の相対的な位置を調節する第２の位置調節工程と、を有する。
【請求項９】
請求項７に記載の接合方法において、
前記第１の位置測定部を用いて、前記第１の保持部又は前記第２の保持部の位置を測定する第１の測定工程と、
前記第１の測定工程における測定結果に基づいて、前記回転機構を制御し、前記第１の保持部と前記第２の保持部の相対的な位置を調節する第１の位置調節工程と、
その後、前記位置測定部を用いて、前記第１の保持部又は前記第２の保持部の位置を測定する第２の測定工程と、
前記第２の測定工程における測定結果に基づいて、前記回転機構と前記移動機構を制御し、前記第１の保持部と前記第２の保持部の相対的な位置を調節する第２の位置調節工程と、を有する。
【請求項１０】
請求項７に記載の接合方法において、
前記回転機構は、前記第１の保持部の外周部又は前記第２の保持部の外周部に設けられ、
前記第１の位置測定部は、前記回転機構が設けられた前記第１の保持部の外周部又は前記第２の保持部の外周部において、当該第１の保持部又は第２の保持部の中心線上に前記回転機構に対向して設けられている。
【請求項１１】
接合方法を接合装置によって実行させるように、当該接合装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体であって、
前記接合装置は、
下面に第１の基板を真空引きして吸着保持する第１の保持部と、
前記第１の保持部の下方に設けられ、上面に第２の基板を真空引きして吸着保持する第２の保持部と、
前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に回転させる回転機構と、
前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に水平方向に移動させる移動機構と、
前記回転機構によって回転する前記第１の保持部又は前記第２の保持部に設けられ、当該第１の保持部又は第２の保持部の位置を測定する位置測定部と、を有し、
前記位置測定部は、第１の位置測定部、第２の位置測定部及び第３の位置測定部を含み、
前記第１の位置測定部と前記第２の位置測定部の間隔と、前記第１の位置測定部と前記第３の位置測定部の間隔は等しく、
前記接合方法は、
前記位置測定部を用いて、前記第１の保持部又は前記第２の保持部の位置を測定する測定工程と、
前記測定工程における測定結果に基づいて、前記回転機構と前記移動機構を制御し、前記第１の保持部と前記第２の保持部の相対的な位置を調節する位置調節工程と、を有する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
前記の目的を達成するため、本発明の一態様は、基板同士を接合する接合装置であって、下面に第１の基板を真空引きして吸着保持する第１の保持部と、前記第１の保持部の下方に設けられ、上面に第２の基板を真空引きして吸着保持する第２の保持部と、前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に回転させる回転機構と、前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に水平方向に移動させる移動機構と、前記回転機構によって回転する前記第１の保持部又は前記第２の保持部に設けられ、当該第１の保持部又は第２の保持部の位置を測定する位置測定部と、前記位置測定部による測定結果に基づいて、前記回転機構と前記移動機構を制御する制御部と、を有し、前記位置測定部は、第１の位置測定部、第２の位置測定部及び第３の位置測定部を含み、前記第１の位置測定部と前記第２の位置測定部の間隔と、前記第１の位置測定部と前記第３の位置測定部の間隔は等しい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また別な観点による本発明の一態様は、接合装置を用いて基板同士を接合する接合方法であって、前記接合装置は、下面に第１の基板を真空引きして吸着保持する第１の保持部と、前記第１の保持部の下方に設けられ、上面に第２の基板を真空引きして吸着保持する第２の保持部と、前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に回転させる回転機構と、前記第１の保持部と前記第２の保持部を相対的に水平方向に移動させる移動機構と、前記回転機構によって回転する前記第１の保持部又は前記第２の保持部に設けられ、当該第１の保持部又は第２の保持部の位置を測定する位置測定部と、を有し、前記位置測定部は、第１の位置測定部、第２の位置測定部及び第３の位置測定部を含み、前記第１の位置測定部と前記第２の位置測定部の間隔と、前記第１の位置測定部と前記第３の位置測定部の間隔は等しく、前記接合方法は、前記位置測定部を用いて、前記第１の保持部又は前記第２の保持部の位置を測定する測定工程と、前記測定工程における測定結果に基づいて、前記回転機構と前記移動機構を制御し、前記第１の保持部と前記第２の保持部の相対的な位置を調節する位置調節工程と、を有する。