【手続補正書】
【提出日】令和2年7月10日(2020.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被照明面を照明する照明光学系であって、
前記被照明面における照明領域の形状を規定する開口部であって第１の曲線と第２の曲線によって規定される開口部を形成する遮光板と、
前記被照明面における前記照明領域を変更するように前記遮光板の調整を行う調整部と、
前記被照明面を照明する光の波長を選択する波長選択部と、
を有し、
前記調整部は、前記波長選択部により選択される波長に応じて、前記遮光板における前記第１の曲線の形状または前記第２の曲線の形状を変更して、前記第１の曲線の形状と前記第２の曲線の形状を異ならせることにより、前記照明領域を変更する
ことを特徴とする照明光学系。
【請求項２】
前記照明光学系は、マスクを第１方向に移動させながら前記マスクの被照明面を照明し、
前記調整部は、前記波長選択部により選択される波長に応じて、前記遮光板を用いて前記照明領域における前記第１方向の前又は後の境界の位置を変更する
ことを特徴とする請求項１に記載の照明光学系。
【請求項３】
前記遮光板は、前記照明領域における前記第１方向の上流側及び下流側の境界の位置を変更するための第１遮光板と、前記照明領域における前記第１方向の上流側又は下流側の境界の形状を変更するための第２遮光板とを有し、
前記調整部は、前記波長選択部により選択される波長に応じて、前記第１遮光板を用いて前記照明領域における前記第１方向の上流側及び下流側の境界の位置を変更する
ことを特徴とする請求項２に記載の照明光学系。
【請求項４】
前記調整部は、前記第１遮光板の前記第１方向における位置を調整する第１調整部と、前記第２遮光板の形状を調整する第２調整部とを含むことを特徴とする請求項３に記載の照明光学系。
【請求項５】
前記被照明面を照明するための、互いに射出角が異なる複数のオプティカルインテグレータのうちから選択されたオプティカルインテグレータを光路に配置するインテグレータ選択部を更に有し、
前記調整部は、前記光路に配置されるオプティカルインテグレータに応じて、前記遮光板を用いて前記照明領域を変更する
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の照明光学系。
【請求項６】
開口の形状が互いに異なる複数の開口絞りのうちから選択された開口絞りを光路に配置する開口絞り選択部を更に有し、
前記光路に配置される開口絞りに応じて、前記遮光板を用いて前記照明領域を変更する
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の照明光学系。
【請求項７】
前記波長選択部は、互いに異なる波長の光を透過させる複数の波長フィルタを有し、前記複数の波長フィルタのうちから選択された波長フィルタを光路に配置することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の照明光学系。
【請求項８】
前記波長選択部は、互いに異なる波長の光を出射する複数の光源部を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の照明光学系。
【請求項９】
前記開口部は、第１の円弧と第２の円弧によって規定される開口部であって、
前記調整部は、前記波長選択部により選択される波長に応じて、前記遮光板における前記第１の円弧の曲率または前記第２の円弧の曲率を変更して、前記第１の円弧の曲率と前記第２の円弧の曲率を異ならせることにより、前記照明領域を変更する
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の照明光学系。
【請求項１０】
マスクを照明する請求項１乃至９のいずれか１項に記載の照明光学系と、
前記マスクのパターンの像を基板に投影する投影光学系と、
を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
前記基板上の露光領域における照度分布のムラを計測する計測部を更に有し、
前記調整部は、前記計測部により計測された前記照度分布のムラに基づいて前記遮光板を用いて前記照明領域を変更する
ことを特徴とする請求項１０に記載の露光装置。
【請求項１２】
請求項１０又は１１に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を含み、前記現像された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の一側面によれば、被照明面を照明する照明光学系であって、前記被照明面における照明領域の形状を規定する開口部であって第１の曲線と第２の曲線によって規定される開口部を形成する遮光板と、前記被照明面における前記照明領域を変更するように前記遮光板の調整を行う調整部と、前記被照明面を照明する光の波長を選択する波長選択部とを有し、前記調整部は、前記波長選択部により選択される波長に応じて、前記遮光板における前記第１の曲線の形状または前記第２の曲線の形状を変更して、前記第１の曲線の形状と前記第２の曲線の形状を異ならせることにより、前記照明領域を変更することを特徴とする照明光学系が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図３は、スリット機構１８１の構成例を示している。スリット機構１８１は、被照明面における照明領域の形状を規定する開口部１７２が形成された第１遮光板１７１と、被照明面における照明領域を変更するように第１遮光板１７１の調整を行う調整部９０とを有する。開口部１７２は、例えば、光が通過する円弧形状のスリットである。調整部９０は、第１遮光板１７１のＹ方向（第１方向）における位置を調整する第１調整部５２と、Ｙ方向における開口部１７２の形状を調整する第２調整部１７３とを含みうる。第１調整部５２はアクチュエータを含む。第１調整部５２は制御部５０と接続され、第１調整部５２の動作は制御部５０によって制御されうる。第１遮光板１７１は、照明領域におけるＹ方向の上流側及び下流側の境界の位置を変更するための部材である。第１調整部５２によって第１遮光板１７１（開口部１７２）のＹ方向における位置が変更されることによって、照明領域におけるＹ方向の上流側及び下流側の境界の位置が変更される。開口部１７２の円弧状をなす一方の端部には、第２遮光板１７０が形成されている。第２遮光板１７０は、照明領域におけるＹ方向の下流側の境界の形状を変更するための部材である。第２遮光板１７０には、Ｘ方向（第２方向）における第２遮光板１７０の各位置をＹ方向に押し引きする第２調整部１７３（押し引き部）が設けられている。第２調整部１７３は複数のアクチュエータでありうる。これら複数のアクチュエータはそれぞれ、配線１７４を介して制御部５０と接続されている。これにより、複数のアクチュエータはそれぞれ、制御部５０の制御により駆動する。第２調整部１７３のアクチュエータを駆動することにより第２遮光板１７０の端部の形状が変更されることによって、照明領域におけるＹ方向の下流側の境界の形状が変更される。なお、第２遮光板１７０は、照明領域におけるＹ方向の上流側の境界の形状を変更するように配置してもよい。図１４に、スリット機構１８１の変形例であるスリット機構１８２の構成例を示す。図１４の例では、図３の第１遮光板１７１が、２つの遮光部材１７５，１７６に分割されている。遮光部材１７５は、開口部１７２のＹ方向の上流側の境界の位置を規定する部材である。遮光部材１７６は、開口部１７２のＸ方向の両端の境界を規定する部材である。調整部９１は、遮光部材１７５のＹ方向における位置を調整する位置調整部５３を有する。位置調整部５３はアクチュエータを含む。位置調整部５３によって遮光部材１７５のＹ方向における位置が変更されることによって、照明領域におけるＹ方向の上流側の境界の位置が変更される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
合成部１０８から出た光は、第２光学系１４０により、被照明面を均一に照明するためのオプティカルインテグレータであるフライアイ光学系１０９に導かれる。フライアイ光学系１０９の入射側近傍には、波長フィルタ２２０が光路に配置されている。ここで、第２光学系１４０は、フライアイ光学系１０９の入射面が合成部１０８の実質的にフーリエ変換位置となるように、配置されている。フライアイ光学系１０９の近傍には、フライアイ光学系１１１が配置されており、フライアイ光学系１０９と切り替え可能に構成されている。インテグレータ選択部６２は、複数のオプティカルインテグレータ（フライアイ光学系１０９とフライアイ光学系１１１）のうちから選択されたオプティカルインテグレータを光路に配置する。インテグレータ選択部６２は制御部６０と接続されており、使用するオプティカルインテグレータは制御部６０によって指定（選択）されうる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
図１０に示されるように、基板ステージ３０２に結像する光の領域４０１に対し、スリット３０３をＸ方向にスキャンさせる。このとき、領域４０１に結像する光のうち、スリット３０３の開口部３０７に結像した光のみが、計測部３０４内に入射する。計測部３０４内に入射した光は、光学系３０６を介してセンサ３０５に導かれる。スリット３０３をＸ方向にスキャンさせながら、センサ３０５に到達する光のエネルギーを読み取ることで、領域４０１内の位置ごとの照度を計測する。これにより照度ムラを算出することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
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【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
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