(57)【要約】層構造をなすオブジェクトの層情報を格納し表示する方法であって、（ａ）前記オブジェクトの層の各層の実際の平面図画像である層画像を形成し、（ｂ）共通二次元軸に前記層画像を配列し、前記共通軸における前記層画像の配置は、組み立てられたときの前記オブジェクトにおける前記層の配置に関連付けられており、（ｃ）各層画像に一つの二次元マトリクスが対応するように、二次元マトリクスを形成し、各マトリクスの要素が三つの変数（ｘ，ｙ，ｊ）を有し、“ｘ”および“ｙ”は、前記共通軸に従った前記層画像上の点の位置を表し、“ｊ”は、前記層画像の前記点における材料の図形の存在を表し、（ｄ）前記二次元マトリクスを足し合わせて一つの三次元マトリクスにし、各マトリクスの要素は四つの変数（ｘ，ｙ，ｚ，ｊ）を有し、“ｘ”および“ｙ”は、前記点の位置を表し、“ｚ”は層の識別を表し、“ｊ”は材料の存在を表す。
2005523493.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
層構造をなすオブジェクトの層情報を格納し表示する方法であって、
ａ）前記オブジェクトの層の各層の実際の平面図画像である層画像を形成し、
ｂ）共通二次元軸に前記層画像を配列し、前記共通軸における前記層画像の配置は、組み立てられたときの前記オブジェクトにおける前記層の配置に関連付けられており、
ｃ）各層画像に一つの二次元マトリクスが対応するように、二次元マトリクスを形成し、各マトリクスの要素が三つの変数（ｘ，ｙ，ｊ）を有し、“ｘ”および“ｙ”は、前記共通軸に従った前記層画像上の点の位置を表し、“ｊ”は、前記層画像の前記点における材料の図形の存在を表し、
ｄ）前記二次元マトリクスを足し合わせて一つの三次元マトリクスにし、各マトリクスの要素は四つの変数（ｘ，ｙ，ｚ，ｊ）を有し、“ｘ”および“ｙ”は、前記点の位置を表し、“ｚ”は層の識別を表し、“ｊ”は材料の存在を表す。
【請求項２】
ｅ）前記三次元マトリクスの各要素を関数（ｘ，ｙ，ｊ［ｉ］）で表すことをさらに含む、請求項１に記載の方法。
なお、
【数１】
2005523493.tif 000004
は、前記共通軸の位置ｘ，ｙにおける情報を表し、Ｊｘｙは、ｎの長さを持つベクトルＪｘｙ＝（ｊｘｙ１，ｊｘｙ２，ｊｘｙ３，・・・ｊｘｙｎ）であって、“ｎ”は前記層の数であり、ｊｘｙ［ｉ］は、前記位置（ｘ，ｙ）におけるｎ層のうちｉ番目の層によるデータである。
【請求項３】
ｆ）ｘ，ｙ（ｊ1，ｊ2，ｊ3，・・・ｊn）の形式で層情報を格納することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記“ｘ”，“ｙ”は前記共通軸による各ポイントの位置であり、“ｊ”は材料または他の原料の存在（真または偽）であり、“ｊ”の指標“ｎ”は層の識別である。
【請求項４】
“ｊ”は、材料または原料の種類、および、前記材料または原料の存在あるいは材料または原料の非存在を表す文字変数である請求項３に記載の方法。
【請求項５】
ｇ）各要素が特定のコードを有しており、
前記三次元マトリクスの各要素をデコードし、層情報を格納することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
ｈ）前記三次元マトリクスを画像として表示することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記画像は、変数“ｘ”，“ｙ”によって配置されており、特定の“ｘ”および“ｙ”の変数“ｚ，ｊ”の組み合わせのそれぞれが、特定かつ互いに異なる色を有する。
【請求項７】
前記三次元マトリクスの各要素が、表された点の関心のレベルを表す付加的な変数を有し、前記付加的な変数は手動で決定され、または所定の基準に従って決定される、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記付加的な変数は、前記三次元マトリクスが表示されるときに、関心領域をマークするために用いられる請求項７に記載の方法。
【請求項９】
層のＣＡＤ／ＣＡＭが前記層画像の代わりに用いられる、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記変数“ｊ”が材料の非存在または材料または他の原料の存在、および、材料または前記原料の種類を、層情報に従って表す、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記ＣＡＤ／ＣＡＭがＰＣＢ層のＣＡＤ／ＣＡＭである、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記層情報が、ＰＣＢ層のＣＡＤ／ＣＡＭ情報である、請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
前記層が物理層、または、製造工程において前記物理層に対して実行されるプロセス層である、請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品が、例えばＰＣＢまたはウェハのように層構造をなしている場合に製品の情報を格納し表示することに関する。本発明は、自動光学検査において有益な方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
層構造をなす様々な製品がある。実際、垂直方向で見ると、ほとんど全ての製品が、一つの層を他の層の上に積層した層構造をなしている。製品の観点からは、「層」とは、必ずしも物理的な層を意味するものではなく、「穿孔」や「塗装」または他のプロセスないしは一連のプロセスのような、プロセス層であっても良い。
【０００３】
製品の層を格納し表示するために、各層の図面またはＣＡＤ／ＣＡＭが格納され、別個にまたは透明な背景図の上に表示される。これらの方法は全て不便であり、層の数が少ない場合に用いることができる。
【０００４】
半導体ウェハおよびＰＣＢは複数の層からなり、層情報は最終検査のために非常に有益である。例えば、多数の層からなるＰＣＢは、最終製品においては、最上位の層のみが見え、他の層は隠されている。与えられた点における検査対象のＰＣＢの全ての層に関する情報は、その点における欠陥をどのように扱うかを決定するために有益である。
【０００５】
製品またはオブジェクトの全体の情報層をコード化して格納し、一つの画像に表示することが可能な新しい方法を得ることは、有益であろう。
【発明の開示】
【０００６】
本発明は、層構造オブジェクトの層情報を格納し表示する方法である。
【０００７】
本発明の開示によれば、以下のステップを含む、層構造オブジェクトの層情報を格納し表示する方法が提供される。
【０００８】
前記オブジェクトの層の各層の実際の平面図画像である層画像を形成する。
【０００９】
共通二次元軸に前記層画像を配列する。前記共通軸における前記層画像の配置は、組み立てられたときの前記オブジェクトにおける前記層の配置に関連付けられている。
【００１０】
各層画像に一つの二次元マトリクスが対応するように、二次元マトリクスを形成する。各マトリクスの要素が三つの変数（ｘ，ｙ，ｊ）を有し、“ｘ”および“ｙ”は、前記共通軸に従った前記層画像上の点の位置を表し、“ｊ”は、前記層画像の前記点における材料の図形の存在を表す。
【００１１】
前記二次元マトリクスを足し合わせて一つの三次元マトリクスにする。各マトリクスの要素は四つの変数（ｘ，ｙ，ｚ，ｊ）を有し、“ｘ”および“ｙ”は、前記点の位置を表し、“ｚ”は層の識別を表し、“ｊ”は材料の存在を表す。
【００１２】
本発明の他の側面によれば、前記三次元マトリクスの各要素を関数（ｘ，ｙ，ｊ［ｉ］）で表すことをさらに含む、層情報の格納および表示方法が提供される。
【００１３】
なお、
【００１４】
【数２】
2005523493.tif 000003
【００１５】
は、前記共通軸の位置ｘ，ｙにおける情報を表し、Ｊｘｙは、ｎの長さを持つベクトルＪｘｙ＝（ｊｘｙ１，ｊｘｙ２，ｊｘｙ３，・・・ｊｘｙｎ）であって、“ｎ”は前記層の数であり、ｊｘｙ［ｉ］は、前記位置（ｘ，ｙ）におけるｎ層のうちｉ番目の層によるデータである。
【００１６】
本発明の他の側面によれば、ｘ，ｙ（ｊ1，ｊ2，ｊ3，・・・ｊn）の形式で層情報を格納することをさらに含む、層情報の格納および表示方法が提供される。なお、前記“ｘ”，“ｙ”は前記共通軸による各ポイントの位置であり、“ｊ”は材料または他の原料の存在（真または偽）であり、“ｊ”の指標“ｎ”は層の識別である。“ｊ”は、材料または原料の種類、および、前記材料または原料の存在あるいは材料または原料の非存在を表す文字変数であっても良い。
【００１７】
本発明の他の側面によれば、前記三次元マトリクスの各要素をデコードし、層情報を格納することをさらに含む、層情報の格納および表示方法が提供される。なお、各要素が特定のコードを有している。
【００１８】
本発明の他の側面によれば、前記三次元マトリクスを画像として表示することをさらに含む、層情報の格納および表示方法が提供される。前記画像は、変数“ｘ”，“ｙ”によって配置されており、特定の“ｘ”および“ｙ”の変数“ｚ，ｊ”の組み合わせのそれぞれが、特定かつ互いに異なる色を有する。
【００１９】
本発明の他の側面によれば、前記三次元マトリクスの各要素が、表された点の関心のレベルを表す付加的な変数を有し、前記付加的な変数は手動で決定され、または所定の基準に従って決定される、層情報の格納および表示方法が提供される。さらに、前記付加的な変数は、前記三次元マトリクスが表示されるときに、関心領域をマークするために用いられる。
【００２０】
提供される前記の方法は、層のＣＡＤ／ＣＡＭを前記層画像の代わりに用いても良く、前記変数“ｊ”が材料の非存在または材料または他の原料の存在、および、材料または前記原料の種類を、層情報に従って表しても良い。
【００２１】
本発明のさらに他の側面によれば、ＰＣＢ層のＣＡＤ／ＣＡＭが用いられ、前記層情報が、ＰＣＢ層のＣＡＤ／ＣＡＭ情報であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
本発明は、ここで、例示のためにのみ、添付の図面を参照しながら説明される。図示された事項は、例示の目的および本発明の好適な実施形態の具体例を説明する目的のために過ぎず、また、本発明の原理および概念的な側面についての最も有益かつ容易に理解される説明と信じられるものを提供する目的のためであることを強調する。この点で、本発明の基礎的な理解に必要な程度を越えて本発明の構造的な詳細を示す試みはなされていない。図面を伴う説明により、実際に本発明がどのような形態で実施可能であるかは、当業者にとって明確になっている。
【００２３】
図面において：
【図１】図１は、本発明にかかる方法の利用を示す。
【図２】図２は、三層オブジェクトの色表示を示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明は、層構造オブジェクトの層情報を格納し表示する方法である。
【００２５】
本発明によれば、製品の各層は二次元マトリクスとして表現され、マトリクス全体が一つの三次元マトリクスに組み合わされる。三次元マトリクスの各要素は、関数、コード、またはカラーコードのいずれかとして格納され表示される。
【００２６】
本発明にかかる方法の原理および動作は、図面およびその説明を参照することによってより良く理解されるであろう。
【００２７】
図１は、本発明の方法の利用を示す。同図のＡの側は、三層のＰＣＢのような製品を示す。この製品を製造するために、第一層１１、第二層１２、および第三層１３の三層を貼り合わせる。各々の層は、平坦な基板からなる。この基板において、一部の領域１４が材料で覆われ、他の領域１５は覆われていない。
【００２８】
各層の画像またはＣＡＤは、各層の二次元マトリクスを有する共通の軸１０上に配列される。層上の各点は、定義された点における材料の存在または非存在を示す表示と共に、共通軸に従って定義できる。例えば、第一層１１において、要素２，２（１）は、その点が共通軸の座標ｘ＝２，ｙ＝２に配置されており、材料の存在が真（１）であることを意味する。
【００２９】
同図のＢの側において、三つの二次元マトリクスが、同一の共通軸１０を有する一つの三次元マトリクス１６に集められている。その製品が組み立てられたとき、第一層１１のみが見えるが、全ての層の情報を格納し表示することができる。例えば、点１６ａは、座標１０，３（ｘ＝１０，ｙ＝３）に配置されており、この座標は、第一層１１では偽（０）、第二層１２では偽（０）、第三層１３では真（１）である。この点は、次のようないくつかの方法で表現することができる。例えば、１０，３（０，０，１）は、座標１０，３において第一層１１が偽、第二層１２が偽、第三層１３が真であることを意味する。１０，３（ａ）は、「ａ」が組み合わせが０，０，１であることを表す。１０，３（０，０，１n）は、指標「ｎ」が第三層の材料の種類を表す。
【００３０】
同様に、点１６ｂは、９，１０（１，０，１）であり、点１６ｃは４，７（１，０，０）であり、同様にして、その製品の全ての点を表すことができる。
【００３１】
図２は、三層オブジェクトの色表示を示す。ＰＣＢのような製品の最上位層のみが見えるが、色画像１７は、三層の情報を一つの画像に表す。
【００３２】
この製品は、第一層１１、第二層１２、および第三層１３の三層からなる。共通軸１０へ各層の画像またはＣＡＤを配列する。図１に示されたような三次元マトリクスとして層を参照し、材料の存在の組み合わせの各々をカラーコードで表す。製品の全ての点を共通軸１０に配列された色画像１７として表示する。ここで、各画像の点の位置は、製品の点に関連付けられており、材料の存在の組み合わせのそれぞれは、色テーブル１７ａに従って色コードで表現される。例えば、共通軸１０の座標９，８にある点１８は、（１，１，１）を表す色で示されている。なお、（１，１，１）は、この点における材料の存在が、第一層１８ａで真、第二層１８ｂで真、第三層１８ｃで真であることを意味する。他の例としては、座標５，１１にある点１９は、（０，１，１）を表す色で示されている。なお、（０，１，１）は、この点における材料の存在が、第一層１９ａで偽、第二層１９ｂで真、第三層１９ｃで真であることを意味する。
【００３３】
この明細書および特許請求の範囲において用いられているように、「層」等の言葉は、材料からなる物理層、または、製造工程において前記物理層の一つになされるプロセスであるプロセス層を指す。
【００３４】
本発明は、特定の実施形態に関して説明されたが、当業者にとっては、多くの代替、改変、および変形が可能であることは明らかである。従って、添付された特許請求の範囲の精神と広い範囲内に入る全ての代替、改変、および変形を包含することが意図されている。
【図１】
2005523493.tif 000005
【図２】
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【国際調査報告】
2005523493.tif 000007
2005523493.tif 000008
2005523493.tif 000009