(57)【要約】  本発明は、溶融ガラスから板ガラスを成形する成形工程と、前記成形された板ガラスを所定の大きさのガラス板に切り折りする切折工程と、前記切り折りされたガラス板の表面に付着した異物を除去する異物除去工程と、前記異物除去工程後のガラス板の表面の傷を、該ガラス板の表面を研磨することにより除去する研磨工程と、を備えたガラス板の製造方法に関する。
2011126028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶融ガラスから板ガラスを成形する成形工程と、
前記成形された板ガラスを所定の大きさのガラス板に切り折りする切折工程と、
前記切り折りされたガラス板の表面に付着した異物を除去する異物除去工程と、
前記異物除去工程後のガラス板の表面の傷を、該ガラス板の表面を研磨することにより除去する研磨工程と、
を備えたガラス板の製造方法。
【請求項２】
溶融ガラスから板ガラスを成形する成形手段と、
前記成形された板ガラスを所定の大きさのガラス板に切り折りする切折手段と、
異物除去パッドを所定の接触圧で前記切り折りされたガラス板の表面に当接させて摺動させることにより、該ガラス板の表面に付着した異物を除去する異物除去手段と、
異物除去後のガラス板の表面の傷を、該ガラス板の表面を研磨することにより除去する研磨手段と、
を備えたガラス板の製造装置。
【請求項３】
前記異物除去パッドは、弾性体からなる緩衝層と、該緩衝層に積層されて前記ガラス板の表面に当接する固定砥粒層とを含む多層構造を有する、請求項２に記載のガラス板の製造装置。
【請求項４】
前記固定砥粒層は、前記ガラス板に当接する面に粒径１０μｍ以下の砥粒を含む多角錐状又は多角錐台状の複数の突起物が所定の規則で配列され、前記突起物は、高さが略同一であって１０〜２００μｍの範囲であり、密度が５〜２００個／ｍｍ２である請求項３に記載のガラス板の製造装置。
【請求項５】
前記砥粒は、アルミナ砥粒である請求項４に記載のガラス板の製造装置。
【請求項６】
前記緩衝層は、ウレタンフォームから構成される請求項３から５のいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項７】
前記固定砥粒層と前記緩衝層との間には、Ａ硬度が６０以上であって、厚さが５０μｍ〜２００μｍの中間層が介在されている請求項３から６のいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項８】
前記異物除去手段は、回転手段を備え、該回転手段によって前記異物除去パッドを回転させることにより前記ガラス板の表面に付着した異物を除去する請求項２から７のいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項９】
前記異物除去手段は、ガラス板の搬送方向と直交する方向に複数の異物除去パッドが所定の間隔を持って配列されたパッド列を複数備え、
各パッド列の異物除去パッドがガラス板搬送方向視で隣接するパッド列の異物除去パッド間の隙間に配置されていることにより、ガラス板の搬送方向と直交する方向に連続的に異物除去パッドが配置されている請求項２から８のいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【請求項１０】
前記異物除去手段は、ガラス板の表面に洗浄液を供給することにより、除去した異物を洗い流す手段を備えた請求項２から９のいずれか一項に記載のガラス板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板の表面に付着した異物を効率よく除去する異物除去工程を有するガラス板の製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等に使用されるＦＰＤ（Flat Panel Display）用のガラス基板は、フロート法と称されるガラス製法により溶融ガラスを板状に厚さ約０．１〜２．８ｍｍの薄板に成形し、これを特許文献１等に開示された連続式の研磨装置によって、表面の微小な凹凸やうねりを研磨除去することにより、液晶ディスプレイ等で要求される平坦度を満足するように製造する。【０００３】
このような連続式研磨装置においては、特許文献２に記載の如く、自転及び公転する研磨パッド（研磨具）によって、ガラス基板を研磨することが一般的に行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】日本国特開２００７−１９０６５７号公報
【特許文献２】日本国特開２００１−２９３６５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ガラス板は例えば以下に示す方法で製造される。まず、ガラス原料を溶解槽に投入して溶融ガラスを得る。得られた溶融ガラスは、フロート法やダウンドロー法等によって所定の幅の連続した帯状のガラスリボンに成形され、徐冷炉で徐冷される。徐冷後の帯状の板ガラスは、洗浄装置により洗浄された後、切折装置によって所定の大きさのガラス板に切断される。【０００６】
成形された帯状の板ガラスは、その表面に、徐冷炉での徐冷時、徐冷炉−切折装置間での搬送時、及び切折装置での切断時にカレットや粉塵等の異物が付着する可能性がある。【０００７】
これらの異物は大きさが数μｍ〜数十μｍであるため、上記のような研磨装置で研磨しながら除去しようとすると、通常よりも研磨時間が増大し、生産性を低下させる原因となっていた。また、除去された異物が研磨スラリーに混入し、研磨スラリーの循環系が汚染されるという問題点もあった。【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガラス板の表面に付着した異物を効率よく除去するための異物除去工程を有するガラス板の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために本発明のガラス板の製造方法は、溶融ガラスから板ガラスを成形する成形工程と、前記成形された板ガラスを所定の大きさのガラス板に切り折りする切折工程と、前記切り折りされたガラス板の表面に付着した異物を除去する異物除去工程と、前記異物除去工程後のガラス板の表面の傷を、該ガラス板の表面を研磨することにより除去する研磨工程と、を備えた。【００１０】
本発明によれば、研磨工程の前工程に異物除去工程を備え、この異物除去工程において、ガラス板の表面に付着した異物を除去し、異物を除去する際に発生したガラス板の表面の傷を研磨工程で研磨して除去するようにしたので、ガラス板の表面に付着した異物を効率よく除去することができる。【００１１】
前記目的を達成するために本発明のガラス板の製造装置は、溶融ガラスから板ガラスを成形する成形手段と、前記成形された板ガラスを所定の大きさのガラス板に切り折りする切折手段と、異物除去パッドを所定の接触圧で前記切り折りされたガラス板の表面に当接させて摺動させることにより、該ガラス板の表面に付着した異物を除去する異物除去手段と、異物除去後のガラス板の表面の傷を、該ガラス板の表面を研磨することにより除去する研磨手段と、を備えた。【００１２】
本発明によれば、異物除去パッドを用いてガラス板の表面に付着した異物を除去し、異物を除去する際に発生したガラス板の表面の傷を研磨手段で研磨して除去するようにしたので、ガラス板の表面に付着した異物を効率よく除去することができる。【００１３】
本発明の前記異物除去パッドは、弾性体からなる緩衝層と、該緩衝層に積層されて前記ガラス板の表面に当接する固定砥粒層とを含む多層構造を有する、ことが好ましい。【００１４】
本態様によれば、異物除去パッドの緩衝層によって、固定砥粒層とガラス板との接触圧を適切な圧力にすることができ、固定砥粒層の砥粒に起因するガラス板の表面の傷を最小限に抑えることができる。【００１５】
本発明の前記固定砥粒層は、前記ガラス板に当接する面に粒径１０μｍ以下の砥粒を含む多角錐状又は多角錐台状の複数の突起物が所定の規則で配列され、前記突起物は、高さが略同一であって１０〜２００μｍの範囲であり、密度が５〜２００個／ｍｍ２であることが好ましい。本態様によれば、ガラス板の表面に付着した異物を適切に除去することができる。なお、前記突起物の高さは２０〜１５０μｍの範囲であることがさらに好ましく、密度は５〜１００個／ｍｍ２であることがさらに好ましい。【００１６】
本発明の前記砥粒は、アルミナ砥粒であることが好ましい。本態様によれば、ガラス板の表面に付着した異物をさらに適切に除去することができる。【００１７】
本発明の前記緩衝層は、ウレタンフォームから構成されることが好ましい。本態様によれば、簡単に固定砥粒層とガラス板との接触圧を適切な圧力にすることができる。【００１８】
本発明の前記固定砥粒層と前記緩衝層との間には、Ａ硬度が６０以上であって、厚さが５０μｍ〜２００μｍの中間層が介在されていることが好ましい。本態様によれば、固定砥粒層と緩衝層との間に前記中間層を介在させることによって、固定砥粒層とガラス板との接触圧が一定になり、異物の除去能力も一定に保つことができる。【００１９】
本発明の前記異物除去手段は、回転手段を備え、該回転手段によって前記異物除去パッドを回転させることにより前記ガラス板の表面に付着した異物を除去することが好ましい。本態様によれば、ガラス板の表面に付着した異物を円滑に除去することができる。【００２０】
本発明の前記異物除去手段は、ガラス板の搬送方向と直交する方向に複数の異物除去パッドが所定の間隔をもって配列されたパッド列を複数備え、各パッド列の異物除去パッドがガラス板搬送方向視で隣接するパッド列の異物除去パッド間の隙間に配置されていることにより、ガラス板の搬送方向と直交する方向に連続的に異物除去パッドが配置されていることが好ましい。本態様によれば、ガラス板の全面に異物除去手段の固定砥粒層が接触するようになるので、ガラス板に付着した異物を洩れなく除去することができる。【００２１】
本発明の異物除去手段は、ガラス板の表面に洗浄液を供給することにより、除去した異物を洗い流す手段を備えることが好ましい。本態様によれば、水や一般的なガラス洗浄用の洗剤溶液等の洗浄液により除去した異物を洗い流すことができ、除去した異物によりガラス板が損傷するのを防止することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のガラス板の製造方法及び製造装置によれば、ガラス板の表面に付着した異物を効率よく除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】図１は、ガラス板の製造フローを示す図である。
【図２】図２は、成形工程で使用される成形装置の構成図である。
【図３】図３は、洗浄装置の要部を示す斜視図である。
【図４】図４（ａ）及び４（ｂ）は、異物除去パッドの配置を示す上面図である。
【図５】図５（ａ）及び５（ｂ）は、洗浄装置のガラス板の搬送方向から見た側面図である。
【図６】図６は、異物除去パッドの斜視図である。
【図７】図７（ａ）及び７（ｂ）は、固定砥粒フィルムの表面拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、添付図面に従って本発明に係るガラス板の製造方法及び製造装置の好ましい実施の形態について説明する。なお、本実施の形態のガラス板の製法は、フロート法について説明しているが、本発明は、スロットダウンドロー法、オーバーフローダウンドロー法、リドロー法、引上げ法等にも適用できる。
【００２５】
図１は、本実施の形態のガラス板の製造フローを示す図である。
【００２６】
ガラス板は、フロート法を用いて板ガラスを成形する成形工程（Ｓ１）、成形された板ガラスを所定の大きさのガラス板に切り折りする切折工程（Ｓ２）、切り折りされたガラス板の表面を洗浄する洗浄工程（異物除去工程）（Ｓ３）、洗浄後のガラス板の表面を研磨する研磨工程（Ｓ４）、研磨後のガラス基板の傷の有無や表面の平坦度、板厚等を検査する検査工程（Ｓ５）、検査に合格したガラス基板を所定の容器に収納して梱包する梱包工程（Ｓ６）を経て、出荷（Ｓ７）される。ここでは、研磨後のガラス板をガラス基板と呼んでいる。
【００２７】
＜成形工程（Ｓ１）＞
図２に、成形工程で使用される成形装置１０の構成図を示す。成形装置１０は、溶融窯１１、清澄槽１２、フロートバス１３、及び徐冷炉１４を備えて構成される。
【００２８】
溶融窯１１において溶融された溶融ガラスは、清澄槽１２内で清澄されて気泡が除去される。この溶融ガラスは、溶融錫が溜められたフロートバス１３に導入され、溶融錫上を広がって所定の厚さのガラスリボンに成形される。
【００２９】
このガラスリボンは、徐冷炉１４の方向へ与えられた延伸力により、引き伸ばされながらフロートバス１３の下流方向へ一定幅のガラスリボンとなって進行する。その後、ガラスリボンは、徐冷炉１４の搬送ローラによって搬送される過程で徐冷され、成形時に生じた歪等が除去されて帯状の板ガラスとなる。
【００３０】
＜切折工程（Ｓ２）＞
帯状の板ガラスは、ダイヤモンドガラスカッター等で表面にスクライブ線が入れられ、そのスクライブ線に応力を生じさせることにより、所定の大きさのガラス板１００に割断される。
【００３１】
＜洗浄工程（異物除去工程）（Ｓ３）＞
切折工程（Ｓ２）において所定の大きさに割断されたガラス板１００は、図示しない搬送手段によって洗浄装置（異物除去手段）３０に搬送される。
【００３２】
図３は、洗浄装置３０の要部を示す斜視図である。同図に示すように、洗浄装置３０は、主に下側搬送ローラ３１、異物除去パッド３２、上側搬送ローラ３３、洗浄パッド３４から構成される。なお、上側搬送ローラ３３、洗浄パッド３４については、一部のみを図示している。また、洗浄装置３０は、ガラス板１００の上下面に高圧の洗浄液を噴射する図示しない噴射手段を備えている。なお、本発明において、“上方”とは鉛直上方を指し、“下方”とは鉛直下方を指す。
【００３３】
下側搬送ローラ３１は、その回転中心に軸受３１２により回転自在に支持された回転軸３１１を備えている。また、上側搬送ローラ３３も同様に、図示しない軸受により回転自在に支持された回転軸３３１を備えている。この回転軸３１１及び回転軸３３１が図示しない駆動手段によって回転することで、下側搬送ローラ３１及び上側搬送ローラ３３が回転する。下側搬送ローラ３１及び上側搬送ローラ３３は、ガラス板１００を挟持して回転し、図３の矢印方向にガラス板１００を搬送する。ガラス板１００は、１〜２０ｍ／分の速度で搬送されることが好ましく、５〜１５ｍ／分の速度で搬送されることがより好ましい。
【００３４】
異物除去パッド３２は、その表面が搬送されるガラス板１００のボトム面に所定の圧力で接するように、それぞれ定盤３２１に取り付けられている。また、定盤３２１は回転軸３２２に支持されており、回転軸３２２が図示しない駆動手段により回転（自転）することにより、異物除去パッド３２の表面がガラス板１００のボトム面を摺動払拭する。なお、回転軸３２２は、１つの駆動手段により複数の回転軸３２２を連動して回転させてもよいし、回転軸３２２毎に駆動手段を設け、それぞれを独立に回転させてもよい。
【００３５】
同様に、洗浄パッド３４は、搬送されるガラス板１００のトップ面（ボトム面の反対側の表面）に所定の圧力で接するように、それぞれ台座３４１に取り付けられている。台座３４１は回転軸３４２に支持されており、回転軸３４２が図示しない駆動手段により回転（自転）することにより、洗浄パッド３４の表面がガラス板１００のトップ面を摺動払拭する。回転軸３４２についても、回転軸３２２と同様に、複数の回転軸３４２を連動して回転させてもよいし、それぞれ独立に回転させてもよい。
【００３６】
なお、本実施形態では、異物除去パッド３２及び洗浄パッド３４を、それぞれ約３００ｒｐｍの速度で回転させているが、回転速度は適宜決めればよい。
【００３７】
洗浄装置３０には、ガラス板１００の幅方向の全域に渡って、所定の間隔をもって略直線状に配置された複数個の異物除去パッド３２から構成されるパッド列が、ガラス板１００の搬送方向に対して直交するように複数列配置されている。
【００３８】
この複数列に配置された異物除去パッド３２は、ガラス板１００の搬送方向に各列の異物除去パッド３２を投影させたときに、投影パッド間に隙間が生じないように、ガラス板１００の搬送方向と直交する方向に所定量だけずらされて配置されている。即ち、各異物除去パッド３２がガラス板搬送方向視で隣接するパッド列の異物除去パッド３２間の隙間に配置され、ガラス板１００の搬送方向と直交する方向にガラス板搬送方向視で連続的に配置されている。このように配置することで、ガラス板１００の全面の異物を除去することが可能になるとともに、異物除去時間を均一化することが可能となる。
【００３９】
図４（ａ）は、異物除去パッド３２をガラス板１００の搬送方向に対して２列配置した場合の、異物除去パッド３２の配置を示す上面図であり、図中の矢印はガラス板１００の搬送方向を示している。この場合は、例えば、直径１００ｍｍの異物除去パッド３２を１列につき１９個配置するとともに、１列目対して２列目を５０ｍｍ程度ずらして配置する。このように配置することにより、幅２．５ｍのガラス板１００の全面を均一に洗浄することができ、異物除去時間が均一化される。
【００４０】
また、図４（ｂ）は、異物除去パッドをガラス板１００の搬送方向に対して３列配置した場合の、異物除去パッド３２の配置を示す上面図である。この場合は、例えば、直径１００ｍｍの異物除去パッド３２を１列につき１２又は１３個配置するとともに、２列目に対して１列目をガラス板１００の搬送方向と直交方向に５０ｍｍ程度ずらし、２列目に対して３列目をその逆方向に５０ｍｍ程度ずらして配置する。このように配置することにより、幅２．５ｍのガラス板１００の全面を均一に洗浄することができ、異物除去時間が均一化される。
【００４１】
なお、異物除去パッド３２の大きさや配列する列数及びガラス板のサイズは、本実施形態の数値に限られるものではなく、全面を均一に異物除去可能なように適宜決定すればよい。
【００４２】
図５（ａ）は、図４（ａ）に示した、異物除去パッド３２がガラス板１００の搬送方向に対して２列配置されている場合の、ガラス板１００の搬送方向から見た異物除去パッド３２と洗浄パッド３４の配置を示す側面図である。
【００４３】
図５（ａ）に示すように、異物除去パッド３２と洗浄パッド３４は、上下で一組となるように、対向して複数組備えられている。また、一組を構成する異物除去パッド３２と洗浄パッド３４は、ガラス板１００の搬送方向と直交する方向に所定量だけずらされて配置されている。また、異物除去パッド３２及び洗浄パッド３４は、ガラス板１００に対する接触圧を調整できるように、上下方向の位置を調整可能に構成されている。接触圧の調整機構は、パッド毎に調整可能に構成してもよいし、パッド列毎に調整可能に構成してもよい。
【００４４】
図５（ｂ）は、図４（ｂ）に示した、異物除去パッド３２が３列に配置されている場合の、ガラス板１００の搬送方向から見た異物除去パッド３２と洗浄パッド３４の配置を示す側面図である。２列に配置されている場合と同様に、異物除去パッド３２と洗浄パッド３４は、上下で一組となるように対向して複数組備えられており、一組を構成する異物除去パッド３２と洗浄パッド３４は、ガラス板１００の搬送方向と直交する方向に所定量だけずらされて配置されている。
【００４５】
図６は、異物除去パッド３２の斜視図である。同図に示すように、異物除去パッド３２は円盤状に形成されており、固定砥粒層３２３とウレタン層（緩衝層）３２４とを含む多層構造を有する。
【００４６】
固定砥粒層３２３は、ガラス板１００に当接する面に形成されており、固定砥粒フィルム平坦形状部３２３ａと固定砥粒フィルムＲ形状部３２３ｂとから構成される。
【００４７】
図７（ａ）は固定砥粒フィルム平坦形状部３２３ａの表面の断面拡大図であり、図７（ｂ）は上面拡大図である。同図に示すように、固定砥粒フィルム平坦形状部３２３ａの表面には、略同一の形状及び大きさの三角錐状の異物除去用突起物３２０が複数形成され、規則正しく配列されている。異物除去用突起物３２０は、その高さＳが１０〜２００μｍ、三角錐の一辺の長さＰが０．０５〜０．５ｍｍ、配列ピッチＱが０．１〜３ｍｍ、配列における行の幅Ｒが０．１〜３ｍｍであることが好ましい。特に、Ｓが２０〜１５０μｍ、Ｐが０．１〜０．３ｍｍ、Ｑが０．１〜１．５ｍｍ、Ｒが０．１〜１．５ｍｍであることがより好ましい。また、１ｍｍ２あたりの異物除去用突起物３２０の数は、５〜２００個であることが好ましく、１０〜１５０個であることがより好ましい。
【００４８】
異物除去用突起物３２０は、粒径が１０μｍ以下の研磨砥粒とバインダとの混合物から構成されている。研磨砥粒は、シリコンカーバイトやダイヤモンドを用いても良いがアルミナ砥粒を用いることがより好ましい。粒径が１０μｍより大きい研磨砥粒とバインダとの混合物を用いたり、アルミナ砥粒より硬いシリコンカーバイトやダイヤモンドを用いたりすると、ガラス板に傷が付きやすくなるからである。その中でも粒径が５μｍ以下のアルミナ砥粒がより好ましく、０．５〜５μｍのアルミナ砥粒が特に好ましい。また、バインダとしてはエポキシ樹脂材やアクリル樹脂材を用いることができる。 
【００４９】
なお、本実施形態では、異物除去用突起物３２０は三角錐状に形成されているが、突起物の形状はこれに限定されるものではなく、多角錘、円錐、三角錘台、多角錘台、円錐台、三角柱、多角柱、円柱状であってもよい。さらに、これらの形状が混在していてもよい。
【００５０】
このような固定砥粒フィルム平坦形状部３２３ａを用いることで、ガラス板１００の表面に付着した異物を適切に除去することができる。
【００５１】
また、固定砥粒層３２３には、下側搬送ローラ３１及び上側搬送ローラ３３によって搬送されてきたガラス板１００が、異物除去パッド３２及び洗浄パッド３４の間に狭入されやすくなるように、その外周に所定の角度のテーパを有する固定砥粒フィルムＲ形状部３２３ｂが設けられている。固定砥粒フィルムＲ形状部３２３ｂのＲ形状は、Ｒ２〜Ｒ６であることが好ましく、Ｒ３〜Ｒ５であることがより好ましい。
【００５２】
固定砥粒層３２３は、所定の厚さのウレタン層３２４に圧着されている。ウレタン層３２４は、固定砥粒層３２３がガラス板１００と当接する際に弾性緩衝材としての役割を果たしており、表１の品質特徴をもったウレタンフォームから構成されている。
【００５３】
【表１】
2011126028.tif 000003
【００５４】
これらのデータは、以下の方法に基づいて得られたものである。
【００５５】
密度：ＪＩＳＫ７２２２（２００５年）
硬さ：ＪＩＳＫ６４００−２（２００４年）
引張強度：ＪＩＳＫ６４００−５（２００４年）
伸び：ＪＩＳＫ６４００−５（２００４年）
通気性：ＪＩＳＫ６４００−７（２００４年）
【００５６】
ウレタン層３２４は、固定砥粒層３２３がガラス板１００に対して後述する好適な接触圧で当接するように、弾性緩衝材として適した材質、厚さのものが選択される。ウレタン層３２４は、固定砥粒層３２３が積層された面とは反対側の面に設けられた図示しない保持手段により、塩化ビニル樹脂で形成された定盤３２１に取り付けられる。
また、固定砥粒層３２３とウレタン層３２４との間に、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン（ＰＥ）などでできたバックプレート（中間層）３２５を一層介在させてもよい。固定砥粒層３２３とガラス板１００との接触圧が均一にならない場合、ウレタン層３２４の硬さを低くすることが有効であるが、その場合、異物の除去能力が低くなる傾向がある。対策としてバックプレート３２５を一層追加することで、前記接触圧を一定にでき、なお且つ、異物の除去能力も一定に保つことが可能になる。バックプレート３２５のＡ硬度は、６０以上であることが好ましく、厚さは５０μｍ〜２００μｍであることが好ましい。Ａ硬度が６０未満であったり、厚さが５０μｍ未満であったりすると、異物の除去能力維持が難しくなり、逆に厚さが２００μｍを超えると接触圧を一定に保つことが難しくなる。
【００５７】
このように構成された洗浄装置３０の動作について説明する。洗浄装置３０は、切折工程（Ｓ２）から搬送されたガラス板１００を、下側搬送ローラ３１及び上側搬送ローラ３３により約１０ｍ／分の速度で搬送する。異物除去パッド３２及び洗浄パッド３４は、予め約３００ｒｐｍの速度で回転を開始している。
【００５８】
ガラス板１００は、異物除去パッド３２の外周に設けられたテーパにより、異物除去パッド３２及び洗浄パッド３４の間にスムーズに狭入される。異物除去パッド３２及び洗浄パッド３４は、回転を維持した状態で、所定の接触圧をもってガラス板１００を狭持する。さらに、ガラス板１００の上下面には、噴射手段により水が噴射される。
【００５９】
異物除去パッド３２は、ガラス板１００のボトム面を摺動払拭し、ボトム面を洗浄するとともにボトム面に付着した異物を除去する。同様に、洗浄パッド３４は、ガラス板１００のトップ面を摺動払拭し、トップ面を洗浄する。除去された汚れ、異物等は、噴射手段による高圧水流によって洗い流されるため、除去された異物等によるガラス板１００の傷の発生が防止される。
【００６０】
このときの、ガラス板１００と異物除去パッド３２との接触圧は０．０１〜２０ｋＰａとなることが好ましい。接触圧が０．０１ｋＰａより弱いと、ガラス板１００表面に付着した異物の除去ができず、接触圧が２０ｋＰａより大きいと、異物除去パッド３２の異物除去用突起物３２０によるガラス板１００の傷が深くなり、次工程の研磨工程（Ｓ４）において、この傷を除去するために要する時間が増大してしまうという問題が発生する。
【００６１】
この接触圧は、ガラス板１００への異物除去パッド３２の押し込み量と、異物除去パッド３２のウレタン層３２４の硬さから、所望の値に設定される。本実施形態では、押し込み量が約０．５〜１．５ｍｍ、接触圧が約２〜１０ｋＰａに設定されている。なお、本明細書において、押し込み量とは異物除去パッド３２の固定砥粒フィルム平坦形状部３２３ａ表面とガラス板１００のボトム面が接する位置を０ｍｍとして、その位置から異物除去パッド３２がガラス板１００のボトム面に押し込まれる量をいう。
【００６２】
このように洗浄を行うことで、ガラス板１００のボトム面に付着している、カレットや粉塵等の異物を、適切に除去することができる。
【００６３】
なお、本実施形態では、噴射手段から噴射する洗浄液として水を使用しているが、一般的なガラス洗浄用の洗剤溶液を噴射するようにしてもよい。
【００６４】
また、本実施形態では、異物除去パッド３２がガラス板１００のボトム面に接するように取り付けられているが、本発明はこれに限定されず、異物除去パッドがトップ面及びボトム面の少なくとも一方の面に取り付けられていればよい。つまり、ボトム面側に取り付けた異物除去パッドでガラス板のボトム面に付着している異物を除去した後に、続けてトップ面側に取り付けた異物除去パッドで該ガラス板のトップ面に付着している異物を除去してもよい。
【００６５】
＜研磨工程（Ｓ４）＞
洗浄工程（Ｓ３）後、図示しない搬送手段によって連続的に搬送されたガラス板１００は、研磨工程（Ｓ４）において、研磨具によって研磨対象面が研磨される。研磨具は、ガラス板１００の幅よりも大きな直径を持ち、自転／公転機構によって所定の回転中心を中心に回転されるとともに、所定の公転中心を中心に公転されながらガラス板１００の幅全域を一度に研磨する。
【００６６】
洗浄工程（Ｓ３）の異物除去パッド３２の摺動払拭によってガラス板１００のボトム面及びトップ面の少なくとも一方の面に発生した傷は、この研磨工程（Ｓ４）により除去される。
【００６７】
研磨されたガラス板１００は、その後洗浄され、研磨されたガラス板１００の表面に付着している研磨スラリー、研磨ガラス屑やその他の異物などが取り除かれた後、ガラス基板として検査工程（Ｓ５）へ搬送される。
【００６８】
＜検査工程（Ｓ５）〜出荷工程（Ｓ７）＞
研磨工程（Ｓ４）においてボトム面が研磨されたガラス基板は、検査工程（Ｓ５）において傷の有無や表面の平坦度、板厚等が検査される。検査に合格したガラス基板は、梱包工程（Ｓ６）において所定の容器に収納され、梱包される。梱包されたガラス基板は、出荷工程（Ｓ７）において所定の出荷先へ出荷される。
【００６９】
製造されるガラス板１００は、フラットパネルディスプレイ用に限定されず、建築用、太陽電池用や車両用、その他の各種用途が挙げられる。
【００７０】
本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の範囲と精神を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本出願は、２０１０年４月８日出願の日本特許出願２０１０−０８９５７０に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【符号の説明】
【００７１】
１０…成形装置、１１…溶融窯、１２…清澄槽、１３…フロートバス、１４…徐冷炉、３０…洗浄装置、３１…下側搬送ローラ、３２…異物除去パッド、３２３…固定砥粒層、３２３ａ…固定砥粒フィルム平坦形状部、３２３ｂ…固定砥粒フィルムＲ形状部、３２４…ウレタン層、３３…上側搬送ローラ、３４…洗浄パッド、１００…ガラス板、３１１、３２２、３３１、３４２…回転軸、３２０…異物除去用突起物、３２１…定盤、３４１…台座
【図１】
2011126028.tif 000004
【図２】
2011126028.tif 000005
【図３】
2011126028.tif 000006
【図４】
2011126028.tif 000007
【図５】
2011126028.tif 000008
【図６】
2011126028.tif 000009
【図７】
2011126028.tif 000010
【国際調査報告】
2011126028.tif 000011
2011126028.tif 000012
2011126028.tif 000013
2011126028.tif 000014
2011126028.tif 000015
2011126028.tif 000016