【手続補正書】
【提出日】令和2年8月3日(2020.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１絶縁層と、
前記第１絶縁層の下面に設けられた第１配線層と、
前記第１絶縁層の下面を覆うと共に、前記第１配線層の一部を露出する第１開口部を有する保護絶縁層と、を有し、
前記第１開口部から露出する前記第１配線層の下面の一部が第１パッドとして機能する配線構造体と、
前記保護絶縁層に接着層を介して接着され、前記第１パッドを露出する第２開口部を有する支持基材と、
を有し、
前記支持基材は、前記接着層が配置される上面と、前記上面とは反対側の下面とを有し、
前記支持基材の厚さ方向における前記支持基材の上面と下面との間の所定位置での前記第２開口部の直径は、前記支持基材の上面における前記第２開口部の直径及び前記支持基材の下面における前記第２開口部の直径よりも小さく、且つ前記第１開口部の直径よりも小さい、配線基板。
【請求項２】
第１絶縁層と、
前記第１絶縁層の下面に設けられた第１配線層と、
前記第１絶縁層の下面を覆うと共に、前記第１配線層の一部を露出する第１開口部を有する保護絶縁層と、を有し、
前記第１開口部から露出する前記第１配線層の下面の一部が第１パッドとして機能する配線構造体と、
前記保護絶縁層に接着層を介して接着され、前記第１パッドを露出する第２開口部を有する支持基材と、
を有し、
前記支持基材は、前記接着層が配置される上面と、前記上面とは反対側の下面とを有し、
前記支持基材の下面における前記第２開口部の直径は、前記支持基材の上面における前記第２開口部の直径よりも小さい、配線基板。
【請求項３】
前記支持基材の上面における前記第２開口部の直径が、前記第１開口部の直径よりも大きく設定され、
前記接着層は、前記第１開口部及び前記第２開口部と連通する第３開口部を有し、
前記第３開口部の内壁が、前記第１開口部の内壁よりも外側に位置している、請求項１又は２に記載の配線基板。
【請求項４】
前記配線構造体は、
上面と、前記上面とは反対側の下面と、前記上面と前記下面との間の側面とを有し、前記第１配線層と電気的に接続された第２配線層と、
前記第２配線層の下面及び側面を覆う第２絶縁層と、をさらに有し、
前記第２配線層の上面は、第２パッドとして機能する、請求項１又は２に記載の配線基板。
【請求項５】
前記接着層は、前記第１開口部及び前記第２開口部と連通する第３開口部を有し、
前記支持基材は、
上面と、前記上面とは反対側の下面とを有する樹脂シートと、
前記樹脂シートの上面に形成された第１金属層と、
前記樹脂シートの下面に形成された第２金属層と、
を有し、
前記樹脂シートの貫通穴は、前記第１金属層の開口部及び前記第２金属層の開口部と連通しており、
前記第２開口部は、前記樹脂シートの貫通穴と、前記第１金属層の開口部と、前記第２金属層の開口部とを有し、
前記第１金属層の開口部の内壁は、前記第３開口部の内壁及び前記樹脂シートの貫通穴の内壁よりも外側に位置している、請求項１又は２に記載の配線基板。
【請求項６】
前記接着層は、前記第１開口部及び前記第２開口部と連通する第３開口部を有し、
前記支持基材は、
上面と、前記上面とは反対側の下面とを有する樹脂シートと、
前記樹脂シートの上面に形成された第１金属層と、
前記樹脂シートの下面に形成された第２金属層と、
を有し、
前記樹脂シートの貫通穴は、前記第１金属層の開口部及び前記第２金属層の開口部と連通しており、
前記第２開口部は、前記樹脂シートの貫通穴と、前記第１金属層の開口部と、前記第２金属層の開口部とを有し、
前記第１金属層の開口部の内壁と前記樹脂シートの貫通穴の内壁とが連続して配置されている、請求項１又は２に記載の配線基板。
【請求項７】
（ａ）仮基板に、第１パッドと、前記第１パッドを露出させる第１開口部を備えた保護絶縁層とを含む配線構造体を形成する工程と、
（ｂ）前記第１パッドを露出させる第２開口部を備え、かつ、接着層が配置される上面と、前記上面とは反対側の下面とを有する支持基材を形成する工程と、
（ｃ）前記第１開口部が前記第２開口部と対向するように、前記支持基材の上面を前記接着層によって前記配線構造体に接着する工程と、
を含み、
前記支持基材の厚さ方向における前記支持基材の上面と下面との間の所定位置での前記第２開口部の直径は、前記支持基材の上面における前記第２開口部の直径及び前記支持基材の下面における前記第２開口部の直径よりも小さく、且つ前記第１開口部の直径よりも小さい、配線基板の製造方法。
【請求項８】
（ａ）仮基板に、第１パッドと、前記第１パッドを露出させる第１開口部を備えた保護絶縁層とを含む配線構造体を形成する工程と、
（ｂ）前記第１パッドを露出する第２開口部を備え、かつ、接着層が配置される上面と、前記上面とは反対側の下面とを有する支持基材を形成する工程と、
（ｃ）前記第１開口部が前記第２開口部と対向するように、前記支持基材の上面を前記接着層によって前記配線構造体に接着する工程と、
を含み、
前記支持基材の下面における前記第２開口部の直径は、前記支持基材の上面における前記第２開口部の直径よりも小さい、配線基板の製造方法。
【請求項９】
前記支持基材の上面における前記第２開口部の直径が、前記第１開口部の直径よりも大きく設定され、
前記接着層は、前記第１開口部及び前記第２開口部と連通する第３開口部を有し、
前記第３開口部の内壁が、前記第１開口部の内壁よりも外側に位置している、請求項７又は８に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１０】
前記工程（ｃ）の後に、前記仮基板から前記配線構造体を分離する工程をさらに含む、請求項７又は８に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１１】
前記工程（ｂ）は、
上面と、前記上面とは反対側の下面とを有する樹脂シートと、前記樹脂シートの上面に形成された第１金属層と、前記樹脂シートの下面に形成された第２金属層とを有する金属積層板を用意する工程と、
前記第１金属層に開口部を形成する工程と、
前記第２金属層に開口部を形成する工程と、
剥離フィルム付きの接着層を前記金属積層板に設ける工程と、
少なくとも前記第１金属層の開口部に対向する前記剥離フィルムと前記第１金属層の開口部から露出した樹脂シートをレーザで加工することで、前記支持基材に前記第２開口部を形成する工程と、
前記剥離フィルムを前記接着層から剥離する工程と、
を含む、請求項７又は８に記載の配線基板の製造方法。
【請求項１２】
前記第２開口部は、前記樹脂シートの貫通穴と、前記第１金属層の開口部と、前記第２金属層の開口部とを有し、
前記第１金属層の開口部の内壁と前記樹脂シートの貫通穴の内壁とが連続して配置されている、請求項１１に記載の配線基板の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
以下の開示の一観点によれば、第１絶縁層と、前記第１絶縁層の下面に設けられた第１配線層と、前記第１絶縁層の下面を覆うと共に、前記第１配線層の一部を露出する第１開口部を有する保護絶縁層と、を有し、前記第１開口部から露出する前記第１配線層の下面の一部が第１パッドとして機能する配線構造体と、前記保護絶縁層に接着層を介して接着され、前記第１パッドを露出する第２開口部を有する支持基材と、を有し、前記支持基材は、前記接着層が配置される上面と、前記上面とは反対側の下面とを有し、前記支持基材の厚さ方向における前記支持基材の上面と下面との間の所定位置での前記第２開口部の直径は、前記支持基材の上面における前記第２開口部の直径及び前記支持基材の下面における前記第２開口部の直径よりも小さく、且つ前記第１開口部の直径よりも小さい配線基板が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2019102774.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2019102774.tif 000002
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１３】
2019102774.tif 000003
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2019102774.tif 000004
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2019102774.tif 000005
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２１】
2019102774.tif 000006
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２９】
2019102774.tif 000007
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３０】
2019102774.tif 000008
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３１】
2019102774.tif 000009