【誤訳訂正書】
【提出日】令和2年11月6日(2020.11.6)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理チャンバであって、
内部で処理空間を少なくとも部分的に画定するチャンバ本体と、
前記処理空間内に配置され、前記チャンバ本体に連結された基板支持体と、
入口アダプタと、
ガス分配アセンブリであって、
上側及び下側を有するミキシングマニホールドであって、当該ミキシングマニホールドは、前記上側から前記下側へと通る複数のミキシングチャネルを画定するものであり、ここで前記複数のミキシングチャネルのうちの１つは、
チョーク部と、
第１の部分及び第２の部分と
を有し、前記チョーク部の直径は、前記第１の部分と前記第２の部分との間に配置されており、当該直径は、前記第１の部分又は前記第２の部分のいずれの直径よりも短い、ミキシングマニホールド、
前記複数のミキシングチャネルの下流に配置されたブロッカプレートであって、
第１の複数のガス孔を画定する内側ゾーン、
第２の複数のガス孔を画定する外側ゾーン、及び
前記内側ゾーンを前記外側ゾーンから分離する第１の隔壁を備えたブロッカプレート、並びに
前記ブロッカプレートに連結されたデュアルゾーンシャワーヘッドであって、
第３の複数のガス孔を画定する内側ゾーン、
第４の複数のガス孔を画定する外側ゾーン、及び
前記内側ゾーンと前記外側ゾーンとの間に配置されたトレンチであって、前記デュアルゾーンシャワーヘッドの前記内側ゾーンが、前記デュアルゾーンシャワーヘッドの前記外側ゾーンから物理的に分離されるよう、前記第１の隔壁を受け入れるように構成されたトレンチを備えたデュアルゾーンシャワーヘッドを備えたガス分配アセンブリと、
を備え、前記第１の複数のガス孔及び前記第３の複数のガス孔が、同軸流を避けるためにパターン化され、前記第２の複数のガス孔及び前記第４の複数のガス孔が、同軸流を避けるためにパターン化されている、処理チャンバ。
【請求項２】
前記デュアルゾーンシャワーヘッドの前記内側ゾーンが、前記ブロッカプレートの前記内側ゾーンと位置合わせされる、請求項１に記載の処理チャンバ。
【請求項３】
前記デュアルゾーンシャワーヘッドの前記外側ゾーンが、前記ブロッカプレートの前記外側ゾーンと位置合わせされる、請求項１に記載の処理チャンバ。
【請求項４】
第１のガス供給口及び第２のガス供給口と、複数のガスチャネルとを有するガス分配プレートをさらに備える、請求項１に記載の処理チャンバであって、前記ガス分配プレートが、前記ミキシングマニホールドと前記ブロッカプレートとの間に連結されており、前記第１のガス供給口は、前記複数のミキシングチャネルのうちの１つに連結されており、前記第２のガス供給口は、前記複数のミキシングチャネルの別の１つに連結されており、前記複数のガスチャネルのうち少なくとも１つは、ガス流が分割されて、前記外側ゾーンに入る前に実質的に反対方向に流れるように構成されたＴ字状接合部を備える、処理チャンバ。
【請求項５】
前記ガス分配プレートと前記ブロッカプレートの前記外側ゾーンとの間に配置された第１のプレナム、及び
前記ガス分配プレートと前記ブロッカプレートの前記内側ゾーンとの間に配置された第２のプレナム
をさらに備えている、請求項４に記載の処理チャンバ。
【請求項６】
前記デュアルゾーンシャワーヘッドと前記ブロッカプレートの前記外側ゾーンとの間に配置された第３のプレナム、及び
前記デュアルゾーンシャワーヘッドと前記ブロッカプレートの前記内側ゾーンとの間に配置された第４のプレナム
をさらに備えている、請求項５に記載の処理チャンバ。
【請求項７】
前記第１の隔壁と前記ガス分配プレートとの間に配置された第１のＯリング、及び
前記第１の隔壁と前記デュアルゾーンシャワーヘッドとの間に配置された第２のＯリング
をさらに備える、請求項４に記載の処理チャンバ。
【請求項８】
前記第１のＯリング及び前記第２のＯリングが、パーフロロエラストマー材料を含む、請求項７に記載の処理チャンバ。
【請求項９】
前記ガス分配プレート、前記ブロッカプレート、又は前記デュアルゾーンシャワーヘッドが、アルミニウム材料、セラミック材料、誘電材料、石英材料、又はステンレス鋼材料を含む、請求項４に記載の処理チャンバ。
【請求項１０】
前記アルミニウム材料が、６０６１−Ｔ６アルミニウム材料である、請求項９に記載の処理チャンバ。
【請求項１１】
前記ガス分配プレートが、第５の複数のガス孔を画定し、前記第５の複数のガス孔が、少なくとも８つのガス孔を含む、請求項４に記載の処理チャンバ。
【請求項１２】
前記第１の複数のガス孔、前記第２の複数のガス孔、前記第３の複数のガス孔、及び前記第４の複数のガス孔が、それぞれ、前記デュアルゾーンシャワーヘッドの中心軸方向と位置合わせされた穿孔軸を有する、請求項１に記載の処理チャンバ。
【請求項１３】
前記第１の複数のガス孔、前記第２の複数のガス孔、前記第３の複数のガス孔、及び前記第４の複数のガス孔が、個々にそれぞれ均一幅を有する、請求項１に記載の処理チャンバ。
【請求項１４】
前記第１の複数のガス孔、前記第２の複数のガス孔、前記第３の複数のガス孔、及び前記第４の複数のガス孔が、それぞれ、前記デュアルゾーンシャワーヘッドの中心軸方向と位置ずれした穿孔軸を有する、請求項１に記載の処理チャンバ。
【請求項１５】
前記第１の複数のガス孔、前記第２の複数のガス孔、前記第３の複数のガス孔、及び前記第４の複数のガス孔が、個々にそれぞれ可変幅を有する、請求項１に記載の処理チャンバ。
【請求項１６】
処理チャンバであって、
内部で処理空間を画定するチャンバ本体と、
前記チャンバ本体内に配置されたガス分配プレートであって、
少なくとも１つのガス供給口、及び
前記ガス分配プレートを通して画定された第１の複数のガス孔を備えたガス分配プレートと、
前記ガス分配プレートに連結されたブロッカプレートであって、
第２の複数のガス孔を備えた内側ゾーン、
第３の複数のガス孔を備えた外側ゾーン、及び
前記内側ゾーンを前記外側ゾーンから分離する第１の隔壁を備えたブロッカプレートと、
前記ブロッカプレートに連結されたデュアルゾーンシャワーヘッドであって、
第４の複数のガス孔を備えた内側ゾーン、
第５の複数のガス孔を備えた外側ゾーン、及び
前記内側ゾーンと前記外側ゾーンとの間に配置されたトレンチ、ここで前記第１の隔壁は、前記第１の隔壁の一部が前記トレンチ内に延在するとともに、前記デュアルゾーンシャワーヘッドの前記内側ゾーンが前記デュアルゾーンシャワーヘッドの前記外側ゾーンとは物理的に分離されるように、前記第１の隔壁を受け入れるように大きさが決められた前記トレンチの一部内に配置されている、
を備えたデュアルゾーンシャワーヘッドと、
前記ガス分配プレートに作動可能に連結された、上側及び下側を有するミキシングマニホールドであって、
前記上側から前記下側へと通る複数のミキシングチャネルであって、前記複数のミキシングチャネルのうちの１つは、チョーク部、第１の部分及び第２の部分を有し、前記第１の部分と前記第２の部分との間に配置された前記チョーク部の直径は、前記第１の部分又は前記第２の部分のいずれの直径よりも短い、複数のミキシングチャネルを備えたミキシングマニホールドと
を備えており、前記ブロッカプレートは、前記ミキシングチャネルの下流に配置されている、処理チャンバ。
【請求項１７】
前記第２の複数のガス孔及び前記第４の複数のガス孔が、同軸流を避けるためにパターン化され、前記第３の複数のガス孔及び前記第５の複数のガス孔が、同軸流を避けるためにパターン化されている、請求項１６に記載の処理チャンバ。
【請求項１８】
前記ガス分配プレートと前記ブロッカプレートの前記外側ゾーンとの間に配置された第１のプレナム、及び
前記ガス分配プレートと前記ブロッカプレートの前記内側ゾーンとの間に配置された第２のプレナム、
をさらに備えている、請求項１６に記載の処理チャンバ。
【請求項１９】
前記デュアルゾーンシャワーヘッドと前記ブロッカプレートの前記外側ゾーンとの間に配置された第３のプレナム、及び
前記デュアルゾーンシャワーヘッドと前記ブロッカプレートの前記内側ゾーンとの間に配置された第４のプレナム
をさらに備えている、請求項１６に記載の処理チャンバ。
【請求項２０】
処理チャンバであって、
内部で処理空間を画定するチャンバ本体と、
前記処理空間内に配置され、前記チャンバ本体に連結された基板支持体と、
前記チャンバ本体に連結されたガス供給源と、
前記チャンバ本体内に配置されたガス分配アセンブリであって、
ガス分配プレートであって、
少なくとも１つのガス供給口、及び
前記ガス分配プレートを通して配置された第１の複数のガス孔を備えたガス分配プレート、
前記ガス分配プレートに連結されたブロッカプレートであって、
第２の複数のガス孔を備えた内側ゾーン、
第３の複数のガス孔を備えた外側ゾーン、及び
前記内側ゾーンを前記外側ゾーンから分離する第１の隔壁を備えたブロッカプレート、
前記ブロッカプレートに連結されたデュアルゾーンシャワーヘッドであって、
第４の複数のガス孔を備えた内側ゾーン、
第５の複数のガス孔を備えた外側ゾーン、及び
前記内側ゾーンと前記外側ゾーンとの間に配置されたトレンチであって、前記デュアルゾーンシャワーヘッドの前記内側ゾーンが、前記デュアルゾーンシャワーヘッドの前記外側ゾーンから物理的に分離されるよう、前記第１の隔壁を受け入れるように構成されたトレンチを備えたデュアルゾーンシャワーヘッド、並びに
前記ガス分配プレートに作動可能に連結された、上側及び下側を有するミキシングマニホールドであって、
前記上側から前記下側へと通る複数のミキシングチャネルであって、前記複数のミキシングチャネルのうちの１つが、チョーク部、第１の部分及び第２の部分を有し、前記第１の部分と前記第２の部分との間に配置された前記チョーク部の直径は、前記第１の部分又は前記第２の部分のいずれの直径よりも短い、複数のミキシングチャネルを備えたミキシングマニホールドを備えたガス分配アセンブリと
を備えており、前記ガス分配プレートは、前記ミキシングチャネルの下流に配置されている、処理チャンバ。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
［００３２］内側ゾーン３０２は、第２の複数のガス孔３０６を含む。幾つかの実施形態では、第２の複数のガス孔３０６は、まっすぐに穿孔されたガス孔であり得る。まっすぐに穿孔されたガス孔は、それぞれ、ブロッカプレート１３８及び／又はガス分配シャワーヘッド１３０の縦方向軸と位置合わせされた縦方向軸を有し得る。幾つかの実施形態では、第２の複数のガス孔３０６は、角度を付けて穿孔されてもよい。他の実施形態では、第２の複数のガス孔３０６は、まっすぐに穿孔されたガス孔及び／又は角度を付けて穿孔されたガス孔の混合を含み得る。このようにして、角度を付けて穿孔されたガス孔は、ブロッカプレート１３８及び／又はガス分配シャワーヘッド１３０の縦方向軸と位置ずれした縦方向軸を有し得る。さらに、幾つかの実施形態では、第２の複数のガス孔３０６は、約０．０１インチと約０．３インチとの間の直径、例えば、約０．０１５インチの直径を有し得る。このようにして、幾つかの実施形態では、第２の複数のガス孔３０６は、それぞれ均一幅を有し得る。他の実施形態では、第２の複数のガス孔３０６は、それぞれ可変幅を有し得る。さらに、第２の複数のガス孔３０６は、それぞれ均等に離間され得るが、幾つかの実施形態では、第２の複数のガス孔３０６は、それぞれ、可変的に離間され得る。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３０】
［００３３］外側ゾーン３０４は、第３の複数のガス孔３０８を含む。幾つかの実施形態では、第３の複数のガス孔３０８は、まっすぐに穿孔されたガス孔であり得る。まっすぐに穿孔されたガス孔は、それぞれ、ブロッカプレート１３８及び／又はガス分配シャワーヘッド１３０の縦方向軸と位置合わせされた縦方向軸を有し得る。他の実施形態では、第３の複数のガス孔３０８は、角度を付けて穿孔されてもよい。他の実施形態では、第３の複数のガス孔３０８は、まっすぐに穿孔されたガス孔及び／又は角度を付けて穿孔されたガス孔の混合を含み得る。このようにして、角度を付けて穿孔されたガス孔は、ブロッカプレート１３８の縦方向軸と位置ずれした縦方向軸を有し得る。さらに、幾つかの実施形態では、第３の複数のガス孔３０８は、約０．０１インチと約０．３インチとの間の直径、例えば、約０．０１５インチの直径を有し得る。このようにして、幾つかの実施形態では、第３の複数のガス孔３０８は、それぞれ均一幅を有し得る。他の実施形態では、第３の複数のガス孔３０８は、それぞれ可変幅を有し得る。さらに、第３の複数のガス孔３０８は、それぞれ均等に離間され得るが、幾つかの実施形態では、第３の複数のガス孔３０８は、それぞれ、可変的に離間され得る。全体的に、ブロッカプレート１３８は、約６００から約２２００の間のガス孔を含み得る。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４１】
［００４４］幾つかの実施形態では、第４の複数のガス孔４１０は、まっすぐに穿孔されたガス孔であり得る。まっすぐに穿孔されたガス孔は、それぞれ、ブロッカプレート１３８及び／又はガス分配シャワーヘッド１３０の縦方向軸と位置合わせされた縦方向軸を有し得る。他の実施形態では、第４の複数のガス孔４１０は、角度を付けて穿孔されてもよい。他の実施形態では、第４の複数のガス孔４１０は、まっすぐに穿孔されたガス孔及び／又は角度を付けて穿孔されたガス孔の混合を含み得る。このようにして、角度を付けて穿孔されたガス孔は、ガス分配シャワーヘッド１３０の縦方向軸と位置ずれした縦方向軸を有し得る。さらに、幾つかの実施形態では、第４の複数のガス孔４１０は、約０．０１インチと約０．６インチとの間の直径、例えば、約０．０３インチの直径を有し得る。このようにして、幾つかの実施形態では、第４の複数のガス孔４１０は、それぞれ均一幅を有し得る。他の実施形態では、第４の複数のガス孔４１０は、それぞれ可変幅を有し得る。さらに、第４の複数のガス孔４１０は、それぞれ均等に離間され得るが、幾つかの実施形態では、第４の複数のガス孔４１０は、それぞれ、可変的に離間され得る。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４２】
［００４５］ガス分配シャワーヘッド１３０の外側ゾーン４０８は、ブロッカプレート１３８の外側ゾーンに対応してもよく、且つ／又はブロッカプレート１３８の外側ゾーンに作動的に接続してもよい。ガス分配シャワーヘッド１３０の外側ゾーンは、それを通る第５の複数のガス孔４１２を含む。幾つかの実施形態では、第５の複数のガス孔４１２は、まっすぐに穿孔されたガス孔であり得る。まっすぐに穿孔されたガス孔は、それぞれ、ブロッカプレート１３８及び／又はガス分配シャワーヘッド１３０の縦方向軸と位置合わせされた縦方向軸を有し得る。他の実施形態では、第５の複数のガス孔４１２は、角度を付けて穿孔されてもよい。他の実施形態では、第５の複数のガス孔４１２は、まっすぐに穿孔されたガス孔及び／又は角度を付けて穿孔されたガス孔の混合を含み得る。このようにして、角度を付けて穿孔されたガス孔は、ガス分配シャワーヘッド１３０の縦方向軸と位置ずれした縦方向軸を有し得る。さらに、幾つかの実施形態では、第５の複数のガス孔４１２は、約０．０１インチと約０．６インチとの間の直径、例えば、約０．０３インチの直径を有し得る。このようにして、幾つかの実施形態では、第５の複数のガス孔４１２は、それぞれ均一幅を有し得る。他の実施形態では、第５の複数のガス孔４１２は、それぞれ可変幅を有し得る。さらに、第５の複数のガス孔４１２は、それぞれ均等に離間され得るが、幾つかの実施形態では、第５の複数のガス孔４１２は、それぞれ、可変的に離間され得る。全体的に、ガス分配シャワーヘッド１３０は、約６００から約２２００の間のガス孔を含み得る。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
［００５０］これより図１、図３、及び図４を参照すると、ブロッカプレート１３８の第２の複数のガス孔３０６及びガス分配シャワーヘッド１３０の第４の複数のガス孔４１０がパターン化され、ブロッカプレート１３８がガス分配シャワーヘッド１３０に連結且つ／又は作動的に接続されたときに同軸流が避けられる。このようにして、ブロッカプレート１３８の第２の複数のガス孔３０６のそれぞれの縦方向軸は、ガス分配シャワーヘッド１３０の任意の第４の複数のガス孔４１０の縦方向軸と位置合わせされない。さらに、ブロッカプレート１３８の第３の複数のガス孔３０８及びガス分配シャワーヘッド１３０の第５の複数のガス孔４１２がパターン化され、ブロッカプレート１３８がガス分配シャワーヘッド１３０に連結且つ／又は作動的に接続されたときに同軸流が避けられる。このようにして、ブロッカプレート１３８の第３の複数のガス孔３０８のそれぞれの縦方向軸は、ガス分配シャワーヘッド１３０の任意の第５の複数のガス孔４１２の縦方向軸と位置合わせされない。