(57)【要約】３つの接続口を有するＴ字管４１の一端部にサンプリング・ノズル２１が，他端部に分析装置５０につながるイオン供給管３１が，もう一つの端部にバリヤー放電管１１が接続され，その中央部がイオン化室ＳＰである。イオン化室ＳＰは閉鎖された空間であり，ここで生成されたイオンは，イオン供給管３１を経て分析装置５０に導入される。これにより，殆どすべてのイオンが分析装置内部に導かれる。
2011099642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バリヤー放電管部と，試料導入管部と，イオン供給管部と，閉鎖型のイオン化室を形成するイオン化室壁とを備え，
上記バリヤー放電管部は誘電体で形成された部分を有し，その誘電体部分の外周面側と内部にそれぞれ配置された外側電極および内側電極を備え，
上記試料導入管部はその一端側に外界につながる試料導入口を有し，
上記バリヤー放電管部の前方であって上記試料導入管部の他端側からイオン供給管部の一端側に向う空間が上記イオン化室壁によって囲まれることにより外界と遮断された上記イオン化室が形成され，
上記イオン供給管部はその他端側に分析装置とつながるイオン供給口を有している，
イオン化装置。
【請求項２】
上記イオン化室が外界よりも減圧した状態に保たれる，請求の範囲第１項に記載のイオン化装置。
【請求項３】
上記試料導入管部の開口断面の面積が上記イオン供給管部の開口断面の面積よりも小さい，請求の範囲第２項に記載のイオン化装置。
【請求項４】
上記イオン化室壁が３つの接続口を有し，各接続口に上記バリヤー放電管部の前端部，上記試料導入管部の上記他端部，上記イオン供給管部の上記一端部がそれぞれ接続される，請求の範囲第１項から第３項のいずれか一項に記載のイオン化装置。
【請求項５】
上記イオン化室壁がＴ字型の管体である，請求の範囲第４項に記載のイオン化装置。
【請求項６】
上記イオン化室壁と上記イオン供給管部とが電気的に絶縁され，これらの間に直流電圧が印加される，請求の範囲第１項から第５項のいずれか一項に記載のイオン化装置。
【請求項７】
上記試料導入管部が導電体製部分を有し，この導電体製部分が上記バリヤー放電管部内に上記内側電極として挿入されている，請求の範囲第１項から第３項のいずれか一項に記載のイオン化装置。
【請求項８】
上記バリヤー放電管部が上記イオン供給管部と連結され，上記イオン供給管部が上記イオン化室壁を兼ねている，請求の範囲第７項に記載のイオン化装置。
【請求項９】
上記請求の範囲第１項ないし第８項のいずれか一項に記載のイオン化装置と上記分析装置とを備えたイオン化分析装置。
【請求項１０】
上記分析装置は上記イオン供給口につながる減圧室を有し，上記イオン化室内は外気よりも減圧した状態に保たれ，上記減圧室は上記イオン化室内よりも低い圧力に保たれている，請求の範囲第９項に記載のイオン化分析装置。
【請求項１１】
上記分析装置が順次段階的に減圧する少なくとも２段の減圧室を備えている，請求の範囲第１０項に記載のイオン化分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はバリヤー放電を利用したイオン化装置およびイオン化分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
バリヤー放電を利用したイオン化分析方法および装置の例が次の文献に記載されている。
Ｎａ  Ｎａ，Ｃｈａｏ  Ｚｈａｎｇ，Ｍｅｎｇｘｉａ  Ｚｈａｏ，Ｓｉｃｈｕｎ  Ｚｈａｎｇ，Ｃｈｅｎｇｄｕｉ  Ｙａｎｇ，Ｘｉａｎｇ  Ｆａｎｇ  ａｎｄ  Ｘｉｎｒｏｎｇ  Ｚｈａｎｇ，“Ｄｉｒｅｃｔ  ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ  ｏｆ  ｅｘｐｌｏｓｉｖｅｓ  ｏｎ  ｓｏｌｉｄ  ｓｕｒｆａｃｅｓ  ｂｙ  ｍａｓｓ  ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ  ｗｉｔｈ  ａｎ  ａｍｂｉｅｎｔ  ｉｏｎ  ｓｏｕｒｃｅ  ｂａｓｅｄ  ｏｎ  ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ  ｂａｒｒｉｅｒ  ｄｉｓｃｈａｒｇｅ”，Ｊ．Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍ．２００７；４２：１０７９−１０８５
Ｎａ  Ｎａ，Ｍｅｎｇｘｉａ  Ｚｈａｏ，Ｓｉｃｈｕｎ  Ｚｈａｎｇ，Ｃｈｅｎｇｄｕｉ  Ｙａｎｇ，ａｎｄ  Ｘｉｎｒｏｎｇ  Ｚｈａｎｇ，“Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ  ｏｆ  ａ  Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ  Ｂａｒｒｉｅｒ  Ｄｉｓｃｈａｒｇｅ  Ｉｏｎ  Ｓｏｕｒｃｅ  ｆｏｒ  Ａｍｂｉｅｎｔ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ”，Ｊ  Ａｍ  Ｓｏｃ  Ｍａｓｓ  Ｓｐｅｃｔｒｏｍ．２００７，１８，１８５９−１８６２
これらの文献に記載のイオン化分析方法および装置は，板状電極と，板状電極の表面上に配置されたガラス板と，ガラス板（板状電極）の面にほぼ垂直にガラス板から離して配置された針状電極とを備え，板状電極と針状電極との間に交流高電圧を印加し，バリヤー放電を起こすものである。分析対象物である試料をガラス板上に置き，バリヤー放電によって生じるプラズマ・トーチに晒す。これによって試料から原子，分子が脱離しかつイオン化される。生成されたイオンは質量分析装置に導かれ，分析される。
上記の文献に記載のイオン化方法では大気に解放された空間において試料のイオン化が行なわれる。したがって，生成された多くのイオンは大気に発散してしまい，その一部のみが質量分析装置に導入されることになり，感度が犠牲になる。
【発明の開示】
【０００３】
この発明は，高感度のイオン化分析が可能なイオン化装置およびイオン化分析装置を提供することを目的とする。
この発明はまた，構造が簡素なイオン化装置を提供することを目的とする。
この発明によるイオン化装置は，バリヤー放電管部と，試料導入管部と，イオン供給管部と，閉鎖型のイオン化室を形成するイオン化室壁とを備える。上記バリヤー放電管部は誘電体で形成された部分を有し，その誘電体部分の外周面側と内部にそれぞれ配置された外側電極および内側電極を備える。上記試料導入管部はその一端側に外界につながる試料導入口を有する。上記バリヤー放電管部の前方であって上記試料導入管部の他端側からイオン供給管部の一端側に向う空間が上記イオン化室壁によって囲まれることにより外界と遮断された上記イオン化室が形成される。上記イオン供給管部はその他端側に分析装置とつながるイオン供給口を有する。
バリヤー放電管部，試料導入管部，イオン供給管部における管部の断面は円形に限らず，角形（多角形を含む），楕円形，その他の任意の形状でよい。バリヤー放電管部の前方とは，イオン化室に向う方向である。試料導入管部の試料導入口の具体的一例はサンプリング・ノズルである。イオン供給管部のイオン供給口とは分析装置側からみればイオン導入口に相当する。
バリヤー放電管部に放電ガスが流れ，その外側電極と内側電極との間に高周波高電圧が印加されることにより，バリヤー放電が起り，これにより準安定励起種，その他のイオン種が生成され，イオン化室に送られる（プラズマはイオン化室までは伸びない）。他方，試料導入管部からは検出すべき気体または粒子を含む気体がイオン化室に導入される（検出すべき気体または粒子が含まれない場合もありうる）。いずれにしても，イオン化室においてペニングイオン化，反応イオン化等により，試料導入管部から導入される気体がイオン化される。生成されたイオンはイオン供給管部を通ってイオン分析装置に移送され，分析される。
イオン化室は閉鎖した空間であり，ここで生成されたイオンはその殆どすべてがイオン供給管部を通して分析装置に移送されるから，感度を犠牲にすることなく高い感度で分析が可能となる。またイオン化装置の構成も簡素である。
一実施態様では，上記イオン化室壁が３つの接続口を有し，各接続口に上記バリヤー放電管部の前端部，上記試料導入管部の上記他端部，上記イオン供給管部の上記一端部がそれぞれ接続される。上記イオン化室壁の具体例は，たとえばＴ字型の管体である。
他の実施態様では，上記試料導入管部が導電体製部分を有し，この導電体製部分が上記バリヤー放電管部内に上記内側電極として挿入されている。そして，上記バリヤー放電管部が上記イオン供給管部と連結され，上記イオン供給管部がイオン化室壁を兼ねている。構成がきわめて簡素となる。
望ましい実施態様では，上記イオン化室が外界よりも減圧した状態に保たれる。
一般に分析装置の内部は真空に保たれる。外界（大気圧）の状態から急激に真空の分析装置内にイオンが導入されると，大きな圧力差のために分析装置内のイオン導入口付近でイオンが勢いよく空間全体に広く発散してしまう可能性があるが，減圧した状態のイオン化室からイオンが導かれるときには穏やかに分析装置内に導入されるようになり，さらに減圧下のために，イオンを電場で効率よく収束できるので，イオンの捕集効率が高まる。これにより多くのイオンが分析のために寄与できるようになるので，イオンの検出効率が高まる。
イオン化室内を減圧した状態に保つための様々な方法があるが，その一例としては，上記試料導入管部の（最も狭い箇所の）開口断面の面積を上記イオン供給管部の（最も狭い箇所の）開口断面の面積よりも小さく設定することである。そうすることにより，閉鎖空間の圧力を大気圧以下の真空（減圧状態）に排気することが可能となる。要すれば，バリヤー放電管部からイオン化室に流入する放電ガスの流量を調整して，イオン化室の圧力を適切な値に保つことができる。
一実施態様では，上記イオン化室壁と上記イオン供給管部とが電気的に絶縁され，これらの間に直流電圧が印加される。直流電圧の電極は，イオンが分析装置によりよく導入されるようにイオンの極性に応じて定められる。
この発明はまた，イオン化装置と上記分析装置とを備えたイオン化分析装置を提供している。
一実施態様では，上記分析装置は，その内部に，上記イオン供給口につながる１段または複数段の減圧室を有する。上記イオン化室内は外気よりも減圧した状態に保たれ，上記減圧室は上記イオン化室内よりも低い圧力に保たれる。複数段の減圧室が設けられる場合には，段階的に減圧される。これにより，イオンは大きな圧力差のない２段階または３段階以上に段階的に減圧された真空領域を進んで分析装置の分析部にきわめて穏やかに導かれることになる。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
第１図は，第１実施例のイオン化装置を分析装置とともに示す断面図である。
第２図は，第２実施例のイオン化装置を分析装置とともに示す断面図である。
第３図は，第３実施例のイオン化装置を分析装置とともに示す断面図である。
第４図は，携帯型のイオン化分析装置を示す斜視図である。
第５図は，第４実施例のイオン化装置と分析装置を示す断面図である。
第６図は，レモンの分析結果を示すマススペクトルである。
第７図は，にんにくの分析結果を示すマススペクトルである。
第８図は，シナモン（粉末）の分析結果を示すマススペクトルである。
第９図は，風邪薬錠剤の分析結果を示すマススペクトルである。
第１０図は，指紋（付着物）の分析結果を示すマススペクトルである。
第１１図は，ＨＭＴＤ１０ｎｇの分析結果を示すマススペクトルである。
第１２図は，ＨＭＴＤ５ｐｇの分析結果を示すマススペクトルである。
第１３図は，ブランクのマススペクトルである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
第１図は第１実施例によるイオン化装置を質量分析装置とともに示すものである。イオン化装置と質量分析装置（分析装置）をあわせてイオン化分析装置という。
質量分析装置としては飛行時間型質量分析計，イオントラップ型質量分析計，四重極質量分析計など，イオンを大気圧から真空中へ導入するタイプのあらゆる質量分析計を用いることができる。この種のタイプの質量分析装置は，内部が高真空（一例として１０−５Ｔｏｒｒ以下）に保たれるので，大気との間に大きな圧力差が存在する。一般にはこの圧力差（差動排気）を利用して外部からイオンを質量分析装置内に取り込む（吸い込む）。
この実施例の質量分析装置５０は，そのスキマー５２の前方に減圧室５１が形成されているタイプのものである。減圧室５１はフランジ（囲繞壁，装置壁）（または，分析装置５０のハウジングの一部）５３によって形成されている。フランジ５３には，スキマー５２のイオン導入口５２ａに対向する位置にイオン導入口５５があけられている。これらのイオン導入口５５と５２ａとの間には，減圧室５１内においてリングレンズ５４が設けられ，イオン導入口５５から減圧室５１内に導入されたイオンはこのレンズ５４によって収束されてイオン導入口５２ａを経て高真空の質量分析装置５０内に取り込まれる。減圧室５１内の圧力は一例を挙げれば１Ｔｏｒｒ程度である。
イオン化装置１Ａは上記の質量分析装置５０の前面に取付けられる。この実施例ではイオン化装置１Ａはフランジ５３の前面に取付けられている。
この実施例ではイオン化装置１Ａは，外部から遮断された（後述するサンプリング・ノズル，バリヤー放電管のバルブ，イオン供給口を除く）閉じたイオン化室を有するように構成されている。すなわち，イオン化装置１ＡはＴ字管（イオン化室壁）４１を備えている。Ｔ字管４１の部分をイオン化室部４０という。
Ｔ字管４１は３つの第１，第２，第３の管部４２，４３，４４が互いに連通するように結合して形成されている。管部４２と４３は一直線状につながり，管部４４がこれらの管部４２と４３との結合部に垂直に結合している。これらの管部４２と４３と４４との結合部分の内部空間がイオン化室ＳＰである。後述するように，イオン化室ＳＰは減圧された状態（大気圧よりも低く，減圧室５１内の圧力よりも高い状態）に保たれる。
Ｔ字管４１を金属（導電体）により作製すれば，後述する第２実施例のように，正または負の直流電圧を印加して，イオンを分析装置５０の方向に移動させる電気的反発力を生じさせることができるが，金属に限られる必要はなく，ガラス等の絶縁体により形成してもよい。
第１の管部４２の外界側端部には，継手（ジョイント）２４により中間パイプ２２が接続され，さらにこの中間パイプ２２に継手によりサンプリング・ノズル２１が接続されている。サンプリング・ノズル２１の先端が試料導入口である。第２の管部４３の分析装置側端部には継手３２によりイオン供給管３１が接続され，このイオン供給管３１が継手（アダプタ）５６により，質量分析装置５０の外側フランジ５３に結合している。イオン供給管３１の分析装置側端部がイオン供給口であり，継手５６を経てフランジ５３のイオン導入口５５につながっている。このようにして，サンプリング・ノズル２１から中間パイプ２２，Ｔ字管４１，イオン供給管３１を経てイオン導入口５５，５２ａまで連通することになる。サンプリング・ノズル２１，中間パイプ２２の部分を試料導入部（試料導入管部）２０といい，イオン供給管３１の部分をイオン供給部（イオン供給管部）３０という。
サンプリング・ノズル２１，中間パイプ２２，イオン供給管３１および継手２３，２４，３２，５６はすべて金属により作製することができるが，必ずしも材質は金属に限らない。たとえば，サンプリングノズルには，金属細管の他，シリカチューブ等の絶縁体の使用も可能である。
第３の管部４４には継手１６によりバリヤー放電管１１が接続されている。バリヤー放電管１１は誘電体（たとえばガラス）製である。バリヤー放電管１１の先端は第１，第２の管部４２，４３までは突出していない。バリヤー放電管１１の外周面には外側電極１２が設けられ，内部には直線状の内側電極１３が管１１の中心を通って（管１１の内面との間に間隙を保って）設けられている（内側電極１３の支持体については図示略）。内側電極１１の先端の位置はバリヤー放電管１１の先端部の位置と同程度であるが，管１１の外に突出していても，若干内方に退入していてもよい。バリヤー放電管１１の部分がバリヤー放電部（バリヤー放電管部）１０である。
バリヤー放電管１１には放電ガス供給管（チューブ）１４が（必要ならば継手を用いて）接続されている。この供給管１４の途中には流量調整バルブ１５が設けられ，このバルブ１５により放電ガス・ボンベ（図示略）等（放電ガス供給源）から供給される放電ガス（たとえばＨｅガス）の供給量（流量）が調整される。
バリヤー放電部１０において，外側電極１２と内側電極１３との間に，高周波高圧電源７０により，高周波数の高電圧が印加される。これにより，放電管１１の内部およびその前方（放電ガスが流れる方向，すなわちＴ字管４１の側）にバリヤー放電が発生する。バリヤー放電はイオン化室（３つの管部４２〜４４の結合部の内部空間）ＳＰまでは達しない。放電ガスにはアルゴン（Ａｒ），ヘリウム（Ｈｅ）等の希ガス，窒素（Ｎ２）ガス，酸素（Ｏ２）ガス，大気（空気）等を用いることができる。
バリヤー放電により，放電ガス（たとえばＨｅ）の準安定励起種，熱化した電子（熱電子），イオン種等が生成され，これらは放電ガスの流れにより管部４４を通ってイオン化室ＳＰの方向に送られていく。
他方，サンプリング・ノズル２１からはサンプル気体（大気を含んでいてもよいし，固体，液体試料から蒸発した，または脱離した粒子等を含んでもよいし，ガスクロマトグラフからの気体，その他の分析すべき気体）（分析対象気体が存在しないこともあり得る）が吸引され，中間パイプ２２，管部４２を通ってイオン化室ＳＰに流入する。これらのサンプル気体（原子，分子など）は，バリヤー放電により生成された準安定励起種，イオン種等によりイオン化（ペニングイオン化，反応イオン化）される。電子親和力が正の分子においては，熱電子が分子に付着して，負イオンが効率よく生成する。このようにして，イオン化された試料イオンは，放電ガス等の流れにより，管部４３，イオン供給管３１を経て，イオン導入口５５から減圧室５１に入り，さらにイオン導入口５２ａを経て質量分析装置５０内に導かれ，質量分析される。
この実施例の構成のイオン化装置は次の２つの特徴をもっている。
その一は，上述したように，サンプリング・ノズル２１，バリヤー放電部１０のバルブ１５およびイオン供給管３１のイオン供給口を除いて，イオン化室ＳＰが外界から閉鎖されていることである。このため，イオン化室ＳＰで生成したイオンはその殆どすべてが（器壁との衝突で電荷を失うもの，また正・負イオン同士の再結合により中性化するものを除いて）分析装置５０内に導入されるということである。これにより，効率が良く高感度の分析が可能となる。もしイオン化室ＳＰの一部または全部が大気に解放されていたとすると，イオンは大気に発散して，分析装置５０に導入されるイオンは僅かになってしまう。閉鎖されたイオン化室ＳＰおよびイオン供給管３１の構造により上記の問題点が解決されている。
その二は，イオン化室ＳＰ内が減圧されているので，イオン化室ＳＰで生成したイオンが穏やかに高真空の分析装置５０内に導かれるということである。この実施例では，分析装置５０の前段にも減圧室５１があり，その圧力はイオン化室ＳＰ内の圧力と分析装置５０内の圧力との間の値に保たれているので，イオン化室ＳＰから順次減圧されて分析装置５０内に至ることになる。したがって，イオンはその多くが確実に分析装置５０内部で分析のために供されることになる。たとえば，大気圧の雰囲気からイオンが急激に高真空の分析装置内部に吸引されたとすると，イオンは大きな圧力差のために分析装置内部で発散してしまう可能性があるが，そのような事態が発生するのが上記の段階的減圧構造により防止される。
イオン化室ＳＰ内の圧力の調整はたとえば次のようにして行なわれる。サンプリング・ノズル２１の先端部（試料導入口）の内径（最も細い箇所の内径）ｄは，イオン供給管３１のイオン供給口の内径（イオン供給管３１からフランジ５３のイオン導入口５５までの経路で最も細い箇所の内径）Ｄよりも小さく設定される（一例を挙げればｄ＝０．２ｍｍ，Ｄ＝０．８ｍｍ）。すなわち，ノズル２１を通して流入する気体の流量よりも分析装置５０内に吸引される気体の流量をより大きくすることができる。他方，バリヤー放電管１１からは放電ガスがイオン化室ＳＰに流入する。したがって，上述の径ｄ，Ｄ，バルブ１５により調整される放電ガスの流量および分析装置内を真空にする真空ポンプの能力を調節することにより，イオン化室ＳＰ内を，ある減圧状態（たとえば１０〜１００Ｔｏｒｒ程度）に保つことができる。このようにして，イオン化室ＳＰと減圧室５１の２段階の圧力調整が行なわれる。要するに，イオン化室の流入側と流出側の絞りを適切に設定し，放電ガス流量をバルブ１５により調整するということである。
サンプリング・ノズル２１にはスペーサ２６を介して，または継手２３，２４を用いて，または中間パイプ２２もしくは管部４２に直接に，延長パイプ２５を接続すれば，分析すべき気体の採取の空間的範囲が広がる。延長パイプ２５は長くても（たとえば１ｍ以上でも）よい。延長パイプ２５をフレキシブル・チューブとすることもできる。サンプリング・ノズルは延長パイプ２５の先端に設けてもよいし，図示のようにイオン化室ＳＰの近くに設けてもよい。
第２図は他の実施例を示している。このイオン化装置１Ｂにおいては，イオン化室ＳＰからイオンを分析装置５０内に直接に導入するために，延長管（イオン供給管）３３をフランジ５３の継手５６の部分からイオン化室ＳＰまで延ばしている。また分析装置５０（またはその外壁もしくはフランジ５３）とＴ字管（イオン化室壁）４１との間に，直流電源７２により直流電圧を印加している。そのために，Ｔ字管４１の管部４３を延長管３３の途中に連結する継手３２と延長管３３との間に絶縁体３５を介在させ，Ｔ字管４１と延長管３３とを電気的に絶縁している。継手３２を絶縁体で形成してもよい。延長管３３と継手５６は金属製であり，フランジ５３と同電位である。
イオン化室ＳＰ内で発生するイオンの正，負に応じてＴ字管４１に印加する電圧の正，負を変える。正イオンの場合にはＴ字管４１に正電位を，負イオンの場合には負電位を与える。同じように，フランジ５３とスキマー５２との間にも電位差を与えることが好ましい。
他の構成は第１図に示すものと同じであり，第１図に示すものと同一物には同一符号を付し重複説明を避ける。
第３図はさらに他の実施例を示している。
このイオン化装置１Ｃにおいては，Ｔ字管は用いられず，分析装置５０のフランジ５３のイオン導入口を囲むようにイオン供給管（イオン導入管）３６が直接に（または図示しない継手（アダプタ）により）設けられ，その内部がイオン化室ＳＰとなっている。イオン供給管３６のイオン供給口とフランジ５３のイオン導入口とが共用されており，この部分の内径Ｄがリング３６Ａ等を挿入することにより調整されている。
イオン供給管３６には継手３７によりバリヤー放電管１１が取付けられ，バリヤー放電管１１の内部とイオン供給管３６の内部とが連通している。バリヤー放電管１１の前方にイオン化室ＳＰがある。
サンプリング・ノズル２６を有する試料導入管２７は金属で形成され，バリヤー放電管１１内の中心部に気密状態を保って挿入され，内側電極１３を兼ねている。サンプル導入管２７の分析装置側端部の位置はバリヤー放電管１１の対応する端部の位置とほぼ一致している（いずれかが他方よりも少し突出していてもよい）。バリヤー放電管１１の内面と試料導入管２７との間には当然，間隙がある。バリヤー放電管１１は途中で屈曲され，継手１６を経て放電ガス供給管１４に接続されている。
バリヤー放電管１１の内側電極（試料導入管）２７（１３）と外側電極１２との間には，電源７０により高周波高電圧が印加されるとともに，発生するイオンの正負に応じて直流電源７３により直流電圧がこれに重畳して印加される。他の構成は第１図に示すものと同じである。
この実施例においても，バリヤー放電（バリヤー放電はイオン化室ＳＰまでは伸びない）により発生した準安定励起種等により，サンプル導入管２７により導入されたサンプルがイオン化室ＳＰでペニングイオン化等のイオン化過程によってイオン化され，分析装置５０内に導入される。イオン化室ＳＰは適当な減圧状態に保たれる。
上記実施例では分析装置５０に減圧室５１が設けられているが，この減圧室５１は必ずしも設けなくてもよい。
第４図は可搬型のイオン化分析装置を示している。このイオン化分析装置６０は，小型の質量分析装置のハウジングに必要な操作盤，表示装置を設けるとともに，上述したイオン化装置１Ａ（または１Ｂもしくは１Ｃ）を取付けたものである。イオン導入管部にはサンプリング・ノズル２５Ａを有する可撓性延長チューブ２５が接続されている。
第５図はさらに他の実施例を示し，質量分析装置に段階的に減圧構造を持たせたものである。この実施例においても，既に述べた実施例におけるものと同一物には同一符号を付し，重複説明をできるだけ避ける。
質量分析装置５０として四重極質量分析計が示されている。この質量分析装置５０のイオン供給側に，上述したフランジ（囲繞壁ないしは装置壁）５３を用いて減圧室（第１の減圧室）５１が設けられている。分析装置５０のハウジング５０Ａのイオン供給側にスキマー５２を設けて第１減圧室５１を区画したと表現することもできる。このスキマー５２よりも装置の内部寄りに（イオン供給側とは反対側）もう１つのスキマー５６がスキマー５２と間隔をあけて設けられ，これらのスキマー５２と５６との間に第２の減圧室５５が形成されている。スキマー５６にも小さなイオン導入口５６ａがあけられている。
分析装置５０の内部には，リングレンズ５７，４本のロッド電極５９，リングレンズ５８，イオン検出器６０等が配置されている。
ダイヤフラムポンプ７１が排気管７４により第１減圧室５１に接続され，第１減圧室をたとえば１００〜２００Ｔｏｒｒ程度に減圧する。
第２減圧室５５は排気管７５により接続されるロータリーポンプ７２により排気され，たとえば数Ｔｏｒｒ程度に減圧される。
４本のロッド電極５９が配置された四重極質量分析計本体内部は，排気管７６を通して，たとえばターボ分子ポンプにより１０−５Ｔｏｒｒの高真空に排気される。
このように分析装置５０の内部において３段階に圧力を低減するようにしているので，分析装置５０の内部でイオンが発散するのを防止することができる。
イオン化装置１Ｄにおいて，フランジ５３に設けられたイオン供給管３６に誘電体製のバリヤー放電管１１が連結され，このバリヤー放電管１１の先端は連結部２８によって閉じられている。この連結部２８を通してサンプル導入管２７（兼サンプリング・ノズル２６兼内側電極１３）がバリヤー放電管１１の内部に挿入されている。また連結部２８に放電ガス供給管１４が接続されている。
第３図に示す実施例と同じように，内側電極１３と外側電極１２との間に高周波高電圧が印加される（図示略）。また必要ならばこれらの間に直流電圧がイオンの正負に応じて印加される。さらに必要ならば，スキマー５２，５６を絶縁体８１，８２，８３，８４により分析装置のハウジング５０Ａから電気的に絶縁し，これらのスキマー５２，５６にもイオンを装置内部に導入しやすくするための直流電圧を印加するとよい。さらに，イオン導入口５５に鎖線で示すようにリング３６Ａを設け，第１減圧室５１とイオン化室ＳＰの圧力を異ならせれば，全体として４段階の減圧構造となる。
質量分析装置として四重極質量分析計を用いると小型化が可能であり，第５図に示すイオン化分析装置は，第４図に示すような可搬型のものとして構成することが可能である。
第６図，第７図，第８図はそれぞれ，第１図に示すイオン化分析装置において，そのサンプリング・ノズル２１の先端に，レモン，にんにく，シナモン（粉末）をそれぞれ近づけたときに得られたマススペクトルを示している。
第９図から第１３図もまた，第１図に示すイオン化分析装置を用いた分析結果を示すものである。
第９図は風邪薬錠剤の直接分析例である。試料分子がほとんどフラグメントイオンを与えず，ソフトにイオン化されている。これは，Ｈｅ＊ペニングイオン化の特徴である。
第１０図はアルミニウムフォイルに指を押し付けて指紋（付着物）を残し，これをサンプリング・ノズル２１に近づけ，アルミニウムフォイルの背後から加熱窒素を吹き付けて加熱して気化した蒸気成分を分析した例である。負イオンモードでの測定である。乳酸（ｌａｃｔｉｃ  ａｃｉｄ），脂肪酸などの負イオンが強く観測されている。
第１１図および第１２図は，手製爆弾であるＨＭＴＤ（Ｈｅｘａｍｅｔｈｙｌｅｎｅｔｒｉｐｅｒｏｘｉｄｅｄｉａｍｉｎｅ）（Ｎ（ＣＨ２−Ｏ−Ｏ−ＣＨ２）３Ｎ）の分析例である。ガラス棒にＨＭＴＤを一定量塗布し，これをサンプリング・ノズル２１に近づけ，背後から加熱窒素ガス（１５０度Ｃ）を吹き付けて蒸気分析した。第１１図は１０ｎｇのＨＭＴＤ，第１２図は５ｐｇのＨＭＴＤの場合である。ＨＭＴＤが５ｐｇまで検出された。この検出限界は，化学イオン化法（気相イオン分子反応）による検出感度の極限に近い値であり，本発明の優位性を検証している。第１３図はブランクの場合のマススペクトルである。
上記実施例のように，サンプリング・ノズルを用いてサンプルを採取する方法は，極めて応用範囲が広い。たとえば，マトリックス支援レーザ脱離イオン化のレーザ照射部分にサンプリング・ノズルを近づければ，大気圧ＭＡＬＤＩの高感度イオン分析が可能となる。その他にも，レーザ加熱や，電気抵抗加熱などで発生する蒸気分析，食品蒸気分析，土壌分析，麻薬分析，違法薬物分析，尿の分析など，さらに乾燥血液中の環境ホルモン分析（ＰＣＢ，可塑剤など），指紋分析，植物から発生する蒸気分析，呼気分析に用いることができる。
探針を試料（特に水分を含むあらゆる形態の試料）に突き刺して探針の先端に試料を採取し，探針に高電圧を印加して脱離，イオン化する探針エレクトロスプレーと組合せ上記イオン化分析装置を用いることもできる。探針エレクトロスプレーで発生したイオンおよび中性ガスを上記サンプリング・ノズルで採取し，イオン化装置内で中性ガスをペニングイオン化する。これにより，探針エレクトロスプレーで発生したイオンと同時に中性ガス成分もイオン化して検出できる。一般にエレクトロスプレーでは，極性分子が検出されやすく（含窒素，含酸素化合物），無極性分子（炭化水素成分など）はイオン化され難い。上記実施例の方法は，極性の低いガス成分をイオン化できるので，エレクトロスプレーの本質的欠点をカバーできる画期的な方法である。
ざらに上記実施例の装置は過酸化水素（Ｈ２Ｏ２）の検出に適用することもできる。すなわち，ヘリウム（Ｈｅ）を放電ガスとして流すバリヤー放電により高いエネルギーを持つ準安定励起種Ｈｅ＊が形成され，これによって大気成分ガス（Ｎ２，Ｏ２など）が励起イオン化され，電子が放出される。生成された電子が酸素分子Ｏ２に付着して，酸素分子負イオンＯ２−が生成される。この酸素分子負イオンＯ２−はイオン化室ＳＰに流れていく。
他方，サンプリング・ノズル２１により採取された気体中に過酸化水素Ｈ２Ｏ２が含まれていれば，この過酸化水素もイオン化室ＳＰに送られる。イオン化室ＳＰにおいて酸素分子負イオンＯ２−が過酸化水素Ｈ２Ｏ２と強い結合を形成し，酸素分子負イオンと過酸化水素のクラスタイオンＯ２−（Ｈ２Ｏ２）を生成する。このクラスタイオンはイオン導入口５５，５２ａ（５６ａ）から質量分析装置５０内に導かれ，検出される。すなわち，過酸化水素Ｈ２Ｏ２の存在と量を酸素分子負イオンとのクラスタイオンＯ２−（Ｈ２Ｏ２）として検出する訳である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【手続補正書】
【提出日】平成25年1月22日(2013.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バリヤー放電管部と，試料導入管部と，イオン供給管部と，閉鎖型のイオン化室を形成するイオン化室壁とを備え，
上記バリヤー放電管部は誘電体で形成された部分を有し，その誘電体部分の外周面側と内部にそれぞれ配置された外側電極および内側電極を備え，
上記試料導入管部はその一端側に外界につながる試料導入口を有し，
上記バリヤー放電管部の前方であって上記試料導入管部の他端側からイオン供給管部の一端側に向う空間が上記イオン化室壁によって囲まれることにより外界と遮断された上記イオン化室が形成され，
上記イオン供給管部はその他端側に分析装置とつながるイオン供給口を有している，
イオン化装置。
【請求項２】
上記イオン化室が外界よりも減圧した状態に保たれる，請求項１に記載のイオン化装置。
【請求項３】
上記試料導入管部の開口断面の面積が上記イオン供給管部の開口断面の面積よりも小さい，請求項２に記載のイオン化装置。
【請求項４】
上記イオン化室壁が３つの接続口を有し，各接続口に上記バリヤー放電管部の前端部，上記試料導入管部の上記他端部，上記イオン供給管部の上記一端部がそれぞれ接続される，請求項１から３のいずれか一項に記載のイオン化装置。
【請求項５】
上記イオン化室壁がＴ字型の管体である，請求項４に記載のイオン化装置。
【請求項６】
上記イオン化室壁と上記イオン供給管部とが電気的に絶縁され，これらの間に直流電圧が印加される，請求項１から５のいずれか一項に記載のイオン化装置。
【請求項７】
上記試料導入管部が導電体製部分を有し，この導電体製部分が上記バリヤー放電管部内に上記内側電極として挿入されている，請求項１から３のいずれか一項に記載のイオン化装置。
【請求項８】
上記バリヤー放電管部が上記イオン供給管部と連結され，上記イオン供給管部が上記イオン化室壁を兼ねている，請求項７に記載のイオン化装置。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか一項に記載のイオン化装置と上記分析装置とを備えたイオン化分析装置。
【請求項１０】
上記分析装置は上記イオン供給口につながる減圧室を有し，上記イオン化室内は外気よりも減圧した状態に保たれ，上記減圧室は上記イオン化室内よりも低い圧力に保たれている，請求項９に記載のイオン化分析装置。
【請求項１１】
上記分析装置が順次段階的に減圧する少なくとも２段の減圧室を備えている，請求項10に記載のイオン化分析装置。
【国際調査報告】
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