【手続補正書】
【提出日】令和2年3月16日(2020.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の電気的検査を行うためのテスタと、前記テスタと被検査体の間に設けられるプローブカードとを有し、被検査体の電気的検査を行う、複数の検査ユニットを有する検査部を備えた検査領域と、
被検査体の収容容器が配置される配置部と、前記収容容器と前記検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域と
を備え、
前記検査部は、前記検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、
前記配置部は、前記検査部の前記一方向の端部側に設けられ、
前記検査領域は、前記検査部の前記検査ユニット列の各段に隣接して設けられ、前記一方向に延びる複数の搬送路と、前記各搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記ローダから搬入された被検査体を前記検査ユニットとの間で受け渡す複数の搬送機構とをさらに有し、
前記ローダ領域の前記配置部は、前記検査ユニットの配列方向に直交する方向に前記収容容器が複数配列されることを特徴とする検査システム。
【請求項２】
前記検査領域は、前記搬送路を挟んで前記検査部と反対側に、前記検査ユニットを、垂直方向に複数段設け、その複数段の前記検査ユニットを水平方向の前記一方向に複数配列した他の検査部をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
【請求項３】
被検査体の電気的検査を行うためのテスタと、前記テスタと被検査体の間に設けられるプローブカードとを有し、被検査体の電気的検査を行う、複数の検査ユニットを有し、前記検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、それぞれが間隔を空けて対向するように設けられた２つの検査部と、
前記２つの検査部の各段の前記検査ユニット列の間に設けられ、前記一方向に延びる複数の搬送路と、
前記各搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記各段の前記検査ユニット列の前記検査ユニットとの間で被検査体を受け渡す複数の搬送機構と
を有し、
前記２つの検査部と、前記搬送路と、前記搬送機構とは、検査領域を構成し、
被検査収容容器が配置される配置部と、前記収容容器と前記検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域をさらに有し、
前記配置部は、前記２つの検査部の前記一方向の端部側に設けられ、
前記ローダ領域の前記配置部は、前記検査ユニットの配列方向に直交する方向に前記収容容器が複数配列されることを特徴とする検査システム。
【請求項４】
前記各搬送路に沿って２つの搬送機構が移動可能に設けられ、前記搬送機構の一方が、前記２つの検査部の一方に属する前記検査ユニットに対して被検査体の受け渡しを行い、前記搬送機構の他方が、前記２つの検査部の他方に属する検査ユニットに対して被検査体の受け渡しを行うことを特徴とする請求項２または請求項３に記載の検査システム。
【請求項５】
前記検査部の前記検査ユニット列の各段に設けられ、ステージに載せられた被検査体を前記検査ユニットの前記プローブカードに対して位置決めするアライナーをさらに有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の検査システム。
【請求項６】
前記アライナーは、前記１つまたは２つの検査部の各段における全ての前記検査ユニットにアクセス可能に設けられていることを特徴とする請求項５に記載の検査システム。
【請求項７】
前記検査ユニットは、検査時に、前記ステージ上の被検査体が前記プローブカードのプローブに接触した状態で、前記ステージが吸着されるように構成され、前記アライナーは、一の前記検査ユニットにおいて、前記ステージを上昇させて前記被検査体を前記プローブに接触させ、前記ステージを吸着させた後、一の前記検査ユニットから検査が終了した他の前記検査ユニットに移動し、その検査ユニットの前記ステージの取り外し動作を実施することを特徴とする請求項５または請求項６に記載の検査システム。
【請求項８】
前記搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記ステージに載せられた被検査体のアライメント用のカメラを有するカメラユニットをさらに有することを特徴とする請求項５から請求項７のいずれか１項に記載の検査システム。
【請求項９】
前記カメラユニットは、前記ステージ上の基板の温度を測定する放射温度計を有することを特徴とする請求項８に記載の検査システム。
【請求項１０】
前記カメラユニットは、前記搬送機構と共通のガイドレールに沿って前記搬送路を移動可能に設けられていることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の検査システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
したがって、本発明は、複数の検査ユニットを高さ方向および横方向に複数配置した検査システムにおいて、一つの検査ユニットあたりのフットプリントを小さくすることができる技術を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点は、被検査体の電気的検査を行うためのテスタと、前記テスタと被検査体の間に設けられるプローブカードとを有し、被検査体の電気的検査を行う、複数の検査ユニットを有する検査部を備えた検査領域と、
被検査体の収容容器が配置される配置部と、前記収容容器と前記検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域と
を備え、
前記検査部は、前記検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、
前記配置部は、前記検査部の前記一方向の端部側に設けられ、
前記検査領域は、前記検査部の前記検査ユニット列の各段に隣接して設けられ、前記一方向に延びる複数の搬送路と、前記各搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記ローダから搬入された被検査体を前記検査ユニットとの間で受け渡す複数の搬送機構とをさらに有し、前記ローダ領域の前記配置部は、前記検査ユニットの配列方向に直交する方向に前記収容容器が複数配列されることを特徴とする検査システムを提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第２の観点は、被検査体の電気的検査を行うためのテスタと、前記テスタと被検査体の間に設けられるプローブカードとを有し、被検査体の電気的検査を行う、複数の検査ユニットを有し、前記検査ユニットが水平方向の一方向に複数配列されて形成された検査ユニット列が、垂直方向に複数段配置されて構成され、それぞれが間隔を空けて対向するように設けられた２つの検査部と、前記２つの検査部の各段の前記検査ユニット列の間に設けられ、前記一方向に延びる複数の搬送路と、前記各搬送路に沿って移動可能に設けられ、前記各段の前記検査ユニット列の前記検査ユニットとの間で被検査体を受け渡す複数の搬送機構と、を有し、前記２つの検査部と、前記搬送路と、前記搬送機構とは、検査領域を構成し、被検査収容容器が配置される配置部と、前記収容容器と前記検査領域との間で被検査体の受け渡しを行うローダとを有するローダ領域をさらに有し、前記配置部は、前記２つの検査部の前記一方向の端部側に設けられ、前記ローダ領域の前記配置部は、前記検査ユニットの配列方向に直交する方向に前記収容容器が複数配列されることを特徴とする検査システムを提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明によれば、複数の検査ユニットを高さ方向および横方向に複数配置した検査システムにおいて、空きスペースを減少させる等により、一つの検査ユニットあたりのフットプリントを小さくすることができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
すなわち、従来は、図１１に示すように、ローダ領域１３を検査領域１２と対向して設けていたため、検査ユニット３０の横方向の数を増加させると、ローダ領域１３では必要なＦＯＵＰ１８の数に対応する領域に加え、ＦＯＵＰ１８を置く必要がない空きスペース８０が生じてしまう。このため、検査ユニット３０の数を増加させても検査ユニット３０の１個当たりのフットプリントがほとんど減少しない。これに対して、本実施形態では、ローダ領域１３を検査領域１２における検査ユニット配列方向の一方の端部に設けたので、このような空きスペースが生じない。このため、横方向の検査ユニット３０の数を増やすことにより、従来よりも、一つの検査ユニット３０あたりのフットプリントを小さくすることができる。