【手続補正書】
【提出日】令和2年9月16日(2020.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の正面像を撮像する光学系であって、第２測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、
前記第１合焦手段の合焦情報と前記第２合焦手段の合焦情報とのオフセット量を記憶する記憶手段と、
前記第２合焦手段により前記第２測定光を前記被検査物に合焦させた状態で、前記第１合焦手段により前記第１測定光の合焦位置を変化させたときのオフセット量である更新オフセット量を求める取得手段と、
前記第１光学系による前記断層像の撮像の指示を受け付ける指示受付手段と、
前記指示を受け付けた後における前記第２光学系により得られる前記第２合焦手段の合焦情報と前記更新オフセット量とに基づいて、前記指示に基づく前記第１光学系による前記断層像の撮像中に前記第１合焦手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記指示受付手段が前記指示を受け付ける前に、前記第１合焦手段による合焦位置の変更を受け付ける受付手段を更に備え、
前記取得手段は、前記受け付けられた前記合焦位置の変更量と前記オフセット量とに基づいて前記更新オフセット量を求め、
前記制御手段は、前記指示に基づく前記第１光学系による前記断層像の撮像中に前記第２合焦手段の合焦位置の変化に応じて、前記第１合焦手段の合焦位置を制御することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記第１光学系は、前記第１測定光に基づいて得られる信号を用いて前記断層像を撮像し、
前記制御手段は、前記指示に基づく前記第１光学系による前記断層像の撮像において、前記信号が取得されていないときに前記第１合焦手段を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記第１光学系は、前記第１測定光で前記被検査物上を所定の方向に走査することにより前記被検査物の前記所定の方向に沿って前記断層像を撮像し、
前記制御手段は、前記指示に基づく前記第１光学系による前記断層像の撮像において、前記所定の方向への前記第１測定光の走査が完了し次の走査が開始されるまでの間に前記第１合焦手段を制御することを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記指示を受け付けた後における前記第２光学系の合焦位置の変化量が閾値を超えた場合に、前記指示に基づく前記第１光学系による前記断層像の撮像中に前記第１合焦手段を制御することを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第１光学系は、光源から出射された光より分割されて前記被検査物を経た前記第１測定光と前記光より分割された参照光とを合波させて得られる干渉光より取得された干渉信号に基づいて前記断層像を撮像し、
前記第１光学系は、前記参照光の光路を折り返す参照ミラーを更に備え、
前記制御手段は、前記指示を受け付けた後における前記第２光学系の前記合焦情報に基づいて、前記参照ミラーを制御することを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記指示を受け付けた後における前記第２光学系の合焦状態の変化が警告閾値よりも大きい場合に警告を行う警告手段を更に備えることを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記指示受付手段が前記指示を受け付ける前に、前記第２光学系に含まれる第２合焦手段による合焦位置の変更を受け付ける第２受付手段を更に備え、
前記制御手段は、前記第２合焦手段による前記合焦位置の変更が受け付けられた際の前記正面像の画質を維持するように前記第２光学系に含まれる前記第２合焦手段を制御することを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記第２合焦手段の合焦情報は、前記第２光学系により前記被検査物の移動量を求めるための正面像を撮像する際に取得することを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記被検査物は被検眼であって、
前記制御手段は、前記被検眼の瞬きが発生した場合又は前記被検眼の移動量が移動閾値を超えた場合には、前記第１光学系による撮像中における前記第１合焦手段の制御を行わないことを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１１】
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の正面像を撮像する光学系であって、第２の測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、
前記第２合焦手段の合焦情報に基づいて前記第１合焦手段を制御する制御手段と、
前記第１合焦手段の合焦状態の変更を受け付ける受付手段を備え、
前記制御手段は、前記第１合焦手段の変更量と前記第２合焦手段の合焦情報とに基づいて、前記第１光学系による撮像中に前記第１合焦手段を制御することを特徴とする検査装置。
【請求項１２】
前記第１光学系は、前記第１測定光に基づいて得られる信号を用いて前記断層像を撮像し、
前記制御手段は、前記第１光学系による前記断層像の撮像中において、前記信号が取得されていないときに前記第１合焦手段を制御することを特徴とする請求項１１に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記制御手段は、前記第１光学系による前記断層像の撮像中において、前記正面像から得られる第２合焦手段の合焦状態の変化量が閾値を超えた場合に、前記第１光学系による前記断層像の撮像中に前記第１合焦手段を制御することを特徴とする請求項１１又は１２に記載の検査装置。
【請求項１４】
前記第１光学系は、光源から出射された光より分割されて前記被検査物を経た前記第１測定光と前記光より分割された参照光とを合波させて得られる干渉光より取得された干渉信号に基づいて前記断層像を撮像し、
前記第１光学系は、前記参照光の光路を折り返す参照ミラーを更に備え、
前記制御手段は、前記第１光学系による前記断層像の撮像中において、前記正面像から得られる前記第２合焦手段の合焦情報に基づいて、前記参照ミラーを制御することを特徴とする請求項１１乃至１３の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１５】
前記正面像から得られる前記第２合焦手段の合焦情報は、前記第２光学系により前記被検査物の移動量を求めるための正面像を撮像する際に取得することを特徴とする請求項１１乃至１４の何れか１項に記載の検査装置。
【請求項１６】
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の移動量を取得するための正面像を撮像する光学系であって、第２測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、
前記移動量を取得するための前記正面像を撮像する際に取得できる前記第２合焦手段の合焦情報を用いて、前記第１光学系による前記断層像の撮像中に前記第１合焦手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項１７】
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の正面像を撮像する光学系であって、第２測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、を備えた検査装置の制御方法であって、
前記第１合焦手段の合焦情報と前記第２合焦手段の合焦情報とのオフセット量を記憶する工程と、
前記第２合焦手段により前記第２測定光を前記被検査物に合焦させた状態で、前記第１合焦手段により前記第１測定光の合焦位置を変化させたときのオフセット量である更新オフセット量を求める工程と、
前記第１光学系による前記断層像の撮像の指示を受け付ける工程と、
前記指示を受け付けた後に前記第２光学系により得られる前記第２合焦手段の合焦情報と前記更新オフセット量とに基づいて、前記指示に基づく前記第１光学系による撮像中に前記第１合焦手段を制御する工程と、を含むことを特徴とする検査装置の制御方法。
【請求項１８】
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の正面像を撮像する光学系であって、第２の測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、を備える検査装置の制御方法であって、
第２合焦手段の合焦情報に基づいて前記第１合焦手段を制御する工程と、
前記第１合焦手段の合焦状態の変更を受け付ける工程と、を含み、
前記制御する工程は、前記第１合焦手段の変更量と前記第２合焦手段の合焦情報とに基づいて、前記第１光学系による撮像中に前記第１合焦手段を制御することを特徴とする検査装置の制御方法。
【請求項１９】
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の正面像を撮像する光学系であって、第２測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、を備える検査装置の制御方法であって、
前記正面像に基づいて前記被検査物の移動量を取得する工程と、
前記移動量の取得に用いる前記正面像を撮像する際に取得できる前記第２合焦手段の合焦情報を用いて、前記第１光学系による前記断層像の撮像中に前記第１合焦手段を制御する工程と、を含むことを特徴とする検査装置の制御方法。
【請求項２０】
請求項１７乃至１９の何れか１項に記載の検査装置の制御方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査装置は、
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の正面像を撮像する光学系であって、第２測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、
前記第１合焦手段の合焦情報と前記第２合焦手段の合焦情報とのオフセット量を記憶する記憶手段と、
前記第２合焦手段により前記第２測定光を前記被検査物に合焦させた状態で、前記第１合焦手段により前記第１測定光の合焦位置を変化させたときのオフセット量である更新オフセット量を求める取得手段と、
前記第１光学系による前記断層像の撮像の指示を受け付ける指示受付手段と、
前記指示を受け付けた後における前記第２光学系により得られる前記第２合焦手段の合焦情報と前記更新オフセット量とに基づいて、前記指示に基づく前記第１光学系による前記断層像の撮像中に前記第１合焦手段を制御する制御手段と、を備える。