【手続補正書】
【提出日】令和2年6月10日(2020.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンを形成するリソグラフィ装置において行われるリソグラフィ処理の条件を予め定める第１処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す第１収集データと、前記リソグラフィ処理の条件を予め定める、前記第１処理条件とは少なくとも一部が異なる第２処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す第２収集データとを取得する第１取得手段と、
前記第１収集データに基づき第１許容範囲を取得し、前記第２収集データに基づき、前記第１許容範囲とは少なくとも一部が異なる第２許容範囲を取得する第２取得手段と、
前記第１処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す収集データが前記第１許容範囲外にある場合に当該収集データに異常が発生していると判定し、前記第２処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す収集データが前記第２許容範囲外にある場合に当該収集データに異常が発生していると判定する判定手段と、
を有することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記判定手段により前記収集データが異常であると判定された場合、前記リソグラフィ装置を保全するための保全方法を決定する決定手段を有することを特徴とする、請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記決定手段は、前記判定手段により前記収集データが異常であると判定された場合、前記異常の種別と、前記収集データが収集された際に行われたリソグラフィ処理に適用された処理条件と、前記リソグラフィ装置を保全するために実行された保全方法と、前記保全方法に対応した実行結果とに基づいて保全方法を決定することを特徴とする、請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記決定手段は、前記判定手段により前記収集データが異常であると判定された場合、前記収集データに発生している異常の要因と、前記異常の要因に対応する、前記リソグラフィ装置を保全するために実行される保全方法とに基づいて前記保全方法を決定することを特徴とする、請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記決定手段により決定された前記保全方法を実行するための指令を出力する出力手段を有することを特徴とする、請求項２ないし４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記第１処理条件が適用されて行われた前記リソグラフィ処理の結果を示す収集データが取得された場合に当該収集データに基づき前記第１許容範囲を更新し、前記第２処理条件が適用されて行われた前記リソグラフィ処理の結果を示す収集データが取得された場合に当該収集データに基づき前記第２許容範囲を更新する更新手段を有することを特徴とする、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記リソグラフィ処理の結果を示す前記収集データは、前記リソグラフィ装置に備えられる複数のステージの相対的な位置の誤差を示す同期精度データを含むことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記リソグラフィ処理の結果を示す前記収集データは、前記リソグラフィ装置に備えられる光学系により照射される光の照度を示す照度データを含むことを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記リソグラフィ処理の結果を示す前記収集データは、前記リソグラフィ装置に備えられるステージの制御における、目標位置と計測位置との偏差を示すステージ偏差データを含むことを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
前記リソグラフィ処理の結果を示す前記収集データは、前記パターンを形成する基板のマークを撮像して得られる画像信号に関するアライメント計測データを含むことを特徴とする請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１１】
前記第１許容範囲及び前記第２許容範囲は、前記リソグラフィ処理の結果を示す前記収集データに関する平均値及び標準偏差、または前記リソグラフィ処理の結果を示す前記収集データに関する中央値及び標準偏差に基づき定められることを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１２】
前記第１許容範囲及び前記第２許容範囲は、前記リソグラフィ処理の結果を示す前記収集データに関する平均値からの差分、前記リソグラフィ処理の結果を示す前記収集データに関する中央値からの差分、前記平均値に対する比率、及び前記中央値に対する比率のいずれかに基づき定められることを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１３】
前記第１許容範囲及び前記第２許容範囲は、複数の許容範囲を含み、段階的なレベルに分類された異常が判定されることを特徴とする請求項１ないし請求項１２のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１４】
前記第１処理条件及び前記第２処理条件は、搬送条件、位置決め条件、計測条件、露光条件、セットアップ条件の少なくとも１つを含み、前記第１処理条件と前記第２処理条件は、搬送条件、位置決め条件、計測条件、露光条件、セットアップ条件の少なくとも１つの条件が互いに異なることを特徴とする請求項１ないし請求項１３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１５】
第１取得手段は複数のリソグラフィ装置から前記リソグラフィ処理の結果を示す前記収集データを取得し、第２取得手段は前記複数の前記リソグラフィ装置のそれぞれに対して前記第１許容範囲及び前記第２許容範囲を求めることを特徴とする請求項１ないし請求項１４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１６】
パターンを形成するリソグラフィ装置において行われるリソグラフィ処理の条件を予め定める第１処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す第１収集データと、前記リソグラフィ処理の条件を予め定める、前記第１処理条件とは少なくとも一部が異なる第２処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す第２収集データとを取得する第１取得工程と、
前記第１収集データに基づき第１許容範囲を取得し、前記第２収集データに基づき、前記第１許容範囲とは少なくとも一部が異なる第２許容範囲を取得する第２取得工程と、
前記第１処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す収集データが前記第１許容範囲外にある場合に当該収集データに異常が発生していると判定し、前記第２処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す収集データが前記第２許容範囲外にある場合に当該収集データに異常が発生していると判定する判定工程と、
を有することを特徴とする判定方法。
【請求項１７】
パターンを形成するリソグラフィ装置において行われるリソグラフィ処理の条件を予め定める第１処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す第１収集データと、前記リソグラフィ処理の条件を予め定める、前記第１処理条件とは少なくとも一部が異なる第２処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す第２収集データとを取得する第１取得工程と、
前記第１収集データに基づき第１許容範囲を取得し、前記第２収集データに基づき、前記第１許容範囲とは少なくとも一部が異なる第２許容範囲を取得する第２取得工程と、
前記第１処理条件が適用された行われたリソグラフィ処理の結果を示す収集データが前記許容範囲外にある場合に当該収集データに異常が発生していると判定し、前記第２処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す収集データが前記第２許容範囲外にある場合に当該収集データに異常が発生していると判定する判定工程と、を有する判定方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１８】
請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の情報処理装置と、
基板上にパターンを形成するリソグラフィ装置と、を有し
前記情報処理装置は、前記リソグラフィ装置において行われたリソグラフィ処理が行われている状態で収集された収集データに異常が発生していることを判定することを特徴とするリソグラフィシステム。
【請求項１９】
請求項１８に記載のリソグラフィシステムを用いて、基板上にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、を有し、
前記処理された基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
特許文献１では、半導体製造装置の内部状態を表す装置パラメータであるＥＥＳ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）データから、主成分分析により主成分ベクトルを算出する。そして、主成分ベクトルが属する主成分空間において、主成分ベクトルが正常状態を表す領域に属するか否かを判定する。しかし、正常状態を表す領域は、半導体製造装置おいて適用される処理条件によって異なる場合がある。つまり、ＥＥＳデータが取得された際に半導体製造装置において適用される処理条件によって、正常状態であるか否かを判定するための正常状態を表す領域の範囲が変わることがある。よって、処理条件を考慮して正常状態を表す領域を決定しないと、正確に半導体製造装置の内部状態が正常状態か否かを判定することが困難となり得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の一側面としての情報処理装置は、パターンを形成するリソグラフィ装置において行われるリソグラフィ処理の条件を予め定める第１処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す第１収集データと、前記リソグラフィ処理の条件を予め定める、前記第１処理条件とは少なくとも一部が異なる第２処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す第２収集データとを取得する第１取得手段と、前記第１収集データに基づき第１許容範囲を取得し、前記第２収集データに基づき、前記第１許容範囲とは少なくとも一部が異なる第２許容範囲を取得する第２取得手段と、前記第１処理条件が適用された行われたリソグラフィ処理の結果を示す収集データが前記第１許容範囲外にある場合に当該収集データに異常が発生していると判定し、前記第２処理条件が適用されて行われたリソグラフィ処理の結果を示す収集データが前記第２許容範囲外にある場合に当該収集データに異常が発生していると判定する判定手段と、を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
図３は情報処理装置のハードウェア構成を示した図である。情報処理装置の各ハードウェア構成は、プログラムに従って機能する。図３の例では、ＣＰＵ３０１は、プログラムに従って制御のための演算を行い、バス３０８に接続された各構成要素を制御する処理装置である。ＲＯＭ３０２は、データ読出し専用のメモリであり、プログラムやデータが格納されている。ＲＡＭ３０３は、データ読み書き用のメモリであり、プログラムやデータの保存用に用いられる。ＲＡＭ３０３は、ＣＰＵ３０１の演算の結果等のデータの一時保存用に用いられる。記憶装置３０４も、プログラムやデータの保存用に用いられる。記憶装置３０４は、情報処理装置のオペレーティングシステム（ＯＳ）のプログラム、およびデータの一時保存領域としても用いられる。記憶装置３０４は、ＲＡＭ３０３に比べてデータの入出力は遅いが、大容量のデータを保存することが可能である。記憶装置３０４は、保存するデータを長期間にわたり参照できるように、永続的なデータとして保存できる不揮発性記憶装置であることが望ましい。記憶装置３０４は、主に磁気記憶装置（ＨＤＤ）で構成されるが、ＣＤ、ＤＶＤ、メモリカードといった外部メディアを装填してデータの読み込みや書き込みを行う装置であっても良い。入力装置３０５は、情報処理装置に文字やデータを入力するための装置であり、各種のキーボードやマウスなどが該当する。表示装置３０６は、情報処理装置の操作に必要な情報や処理結果などを表示するための装置であり、ＣＲＴ又は液晶モニターなどが該当する。通信装置３０７は、ネットワークに接続してＴＣＰ／ＩＰ等の通信プロトコルによるデータ通信を行い、他の情報処理装置と相互に通信を行う場合に使用される。また、情報処理装置には高速な演算処理を可能とするために、不図示のＧＰＵ（Ｇｒａｐｈｉｃｓ  Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ  Ｕｎｉｔの略。）が構成されていても良い。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
ここで、図５の説明に戻る。ステップ５０３において、異常判定部４０３は、蓄積部４０２により蓄積されたロットデータと基準データとを用いて異常を判定する。ここで、ロットデータに含まれる複数のデータのうち同期精度データを用いて異常を判定する例について説明する。図９は同期精度データと許容範囲の一例を示した図である。図９は、処理条件１における同期精度データＥ１（黒丸の印）、処理条件２における同期精度データＥ２（黒三角の印）を表している。また、ｍ１、ｍ２はそれぞれ同期精度データＥ１、同期精度データＥ２の中央値である。例えば、処理条件１と処理条件２とでは露光条件に含まれる、ウエハ４上のショット領域のレイアウトが異なることにより、同期精度データに違いが生じる。例えば、処理条件１におけるレイアウトではショット領域の数を１００、処理条件２におけるレイアウトではショット領域の数を５０とする。その場合、ショット領域の大きさが異なるため露光を行う際に駆動されるレチクルステージ２及びウエハステージ６の経路、速度、加速度などが異なる。処理条件１を適用して露光する場合、レチクルステージ２及びウエハステージ６の加減速を繰り返す回数が多くなり、レチクルステージ２及びウエハステージ６の加減速を繰り返す間隔が短くなる。そのため、処理条件１を適用して露光する場合、レチクルステージ２及びウエハステージ６の偏差が大きくなる。前述の通り同期精度データはステージ偏差データから求められるので、同期精度データＥ１の中央値ｍ１の方が同期精度データＥ２の中央値ｍ２より大きくなる傾向がある。そのため、図９に示すように処理条件１と処理条件２とで、同期精度データに違いが生じる。また、中央値ｍ１、ｍ２は、それぞれ同一の露光装置、同一の処理条件における基準データに含まれる値である。また、蓄積データに蓄積された複数のロットデータが更新されると、中央値ｍ１、ｍ２は更新され得る。図９に示す同期精度データにおいて、同期精度データの許容範囲をｒ１以上ｒ４以下と設定した場合、同期精度データＥ１−１、及びＥ２−１は異常と判定されるが、同期精度データＥ１−２、及びＥ２−２は正常と判定される。しかし、処理条件毎に同期精度データを見ると、同期精度データＥ１−２、Ｅ２−２は、それぞれ中央値ｍ１、ｍ２から大きく離れており、異常な同期精度データと判定するべきである。そこで、異常判定部４０３は、同期精度データＥ１の許容範囲をｒ１以上ｒ２以下、同期精度データＥ２の許容範囲をｒ３以上ｒ４以下と設定することにより、同期精度データＥ１−２、及びＥ２−２を異常と判定することができる。つまり、異常判定部４０３は、処理条件毎に許容範囲を定めることにより、適切に異常を判定することができる。また、許容範囲を定めるｒ１、ｒ２、ｒ３、及びｒ４は予め定められても良い。また、許容範囲を定めるｒ１、ｒ２、ｒ３、及びｒ４は、中央値ｍ１、ｍ２に対する差分に基づき定められても良い。具体的には、ｒ１＝ｍ１−ａ、ｒ２＝ｍ１＋ｂ、ｒ３＝ｍ２−ｃ、ｒ４＝ｍ２＋ｄ（ａ、ｂ、ｃ、ｄは予め定められた正値である。）と定められても良い。また、許容範囲を定めるｒ１、ｒ２、ｒ３、及びｒ４は、中央値ｍ１、ｍ２に対する比率に基づき定められても良い。具体的には、ｒ１＝ｅｍ１、ｒ２＝ｆｍ１、ｒ３＝ｇｍ２、ｒ４＝ｈｍ２（ｅ、ｆ、ｇ、ｈは予め定められた正値であり、０＜ｅ＜１、ｆ＞１、０＜ｇ＜１、ｈ＞１である。）と定められても良い。また、許容範囲を定めるｒ１、ｒ２、ｒ３、及びｒ４は、蓄積データに基づき演算により求められても良い。例えば、許容範囲を定めるｒ１、ｒ２、ｒ３、及びｒ４は、蓄積データのロットデータの中で正常と判断されたデータから算出された標準偏差に基づき定められても良い。具体的には、ｒ１＝ｍ１−σ１、ｒ２＝ｍ１＋σ１、ｒ３＝ｍ２−σ２、ｒ４＝ｍ２＋σ２（σ１、σ２は標準偏差である。）としても良い。また、許容範囲を中央値ｍ１、ｍ２を基準として定めたが、最大値、最小値、平均値などの他の統計値を基準としても良い。また、基準データは、ロットデータが取得された露光装置と同一の露光装置、同一の処理条件の基準データとして説明したが、基準となる露光装置をロットデータが取得された露光装置と異なる露光装置、同一の処理条件としても良い。また、ここでは同期精度データについて説明したが、ロットデータに複数の収集データが含まれる場合には、収集データ毎に異常を判定する。