(57)【要約】  部品移送装置（１）は、複数の吸着ノズル（３１）により移送されるウエハ状態のチップ（１００）を配置部（２１、３００）へ配置するために、配置部にチップを配置するためのプレース位置を決定する決定手段（４０）と、プレース位置に複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め手段（２２、３２）と、プレース位置において、吸着ノズルに吸着されるチップを配置するプレース手段（２３、２４、２５）と、配置部上の撮像範囲内に配置されるチップを撮像する撮像手段（２６）とを備える。決定手段は、プレース位置を、撮像範囲に含まれ、且つ夫々所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスの配置となるように決定し、位置決め手段は、マトリックスの角部を含む列又は行に含まれるプレース位置にチップが配置された後に、順次隣接する列又は行に含まれるプレース位置にチップが配置されるように位置決めを行う。
2011128982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ状態のチップを配置部へ配置する部品移送装置であって、
前記チップを配置するための配置部と、
前記チップを吸着する複数の吸着ノズルと、
前記配置部上において、前記チップを配置するためのプレース位置を決定する決定手段と、
前記配置部における前記プレース位置に前記複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め手段と、
前記複数の吸着ノズルのうちの一に吸着される前記チップを前記配置部上の前記プレース位置に配置するプレース手段と、
前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記チップを撮像する撮像手段と
を備え、
前記決定手段は、前記プレース位置を、前記配置部における前記撮像範囲に含まれ、且つ夫々所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスの配置となるように決定し、
前記位置決め手段は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行うことを特徴とする部品移載装置。
【請求項２】
前記位置決め手段は、前記プレース位置のうち一の前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載の部品移載装置。
【請求項３】
前記配置部上の前記撮像範囲内に配置される前記チップの位置情報を取得する取得手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の部品移送装置。
【請求項４】
ウエハ状態のチップを配置部へ配置する部品移送装置における部品移送方法であって、
前記配置部上において、前記チップを配置するためのプレース位置を決定する決定工程と、
前記配置部における前記プレース位置に前記チップを保持する複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め工程と、
前記複数の吸着ノズルのうちの一に吸着される前記チップを前記配置部上の前記プレース位置に配置するプレース工程と、
前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記チップを撮像する撮像工程と
を備え、
前記決定工程は、前記プレース位置を、前記配置部上に前記プレース位置を、夫々所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスとして決定し、
前記位置決め工程は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行うことを特徴とする部品移載方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップなどの電子部品をピックアップし、移送先に配列する部品移送装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の装置として、ダイシングにより分割されたウエハ状のチップ部品をピックアップし、ランク毎に移送先に配列する装置が知られている。従来の部品移送装置は、真空ポンプに接続された吸着ノズルにより、チップを上側からピックアップするとともに、下側から突き上げる動作により、一つずつチップをピックアップして移送していた。【０００３】
しかしながら、上述したチップ部品は、一枚のウエハから非常に多く作成されるため、チップ部品の移送を行う部品移送装置は、多くのチップを短時間で移送することが求められる。例えば、移送工程のタクトタイムの短縮のために、同時に複数のチップを移送可能な構成が求められ、研究が行われている。【０００４】
下記の先行技術文献には、列状に配置された複数の吸着ノズルで、列毎に一括してチップを吸着し、移送先へ移送する構成が説明されている。この構成では、チップを吸着するに辺り、適切なランクのチップを下側から突上げピンで突き上げることで、ピックアップの補助とピックアップするチップのランク分けとを行っている。【０００５】
また、複数の吸着ノズルを備え、適切にチップを吸着可能な位置に、各ノズルが個別に位置調節可能な構成についても説明されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特許３７１２６９５号
【特許文献２】特許３７１９１８２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
部品移送装置では、多くのチップを短時間で移送するために、移送に係る各種工程のタクトタイムを可能な限り短縮することが求められる。【０００８】
例えば、タクトタイムを短縮させるために複数のの吸着ノズルを用いて、同時に複数のチップをピックアップする構成が開発されている。ところで、上述した先行技術文献に記載されるように列状にノズルが配列される構成では、チップの位置がずれる場合などに対応出来ず、適切なピックアップが行えない場合がある。また、複数のノズルの位置を個別に調整する機構を設ける場合、装置構成が複雑となり、また装置の処理量が複雑となるという技術的な問題がある。【０００９】
例えば、ダイシング後のウエハは、ウエハが載置される粘着シートを伸長することにより、個別のチップ部品に分割され、吸着ノズルを備えるヘッドによるピックアップ工程に渡される。このとき、時間の経過により粘着シートが伸縮することで、個々のチップ部品の位置が変化する場合がある。【００１０】
上述した先行技術文献では、粘着シート上のチップ部品をまとめて位置検出して、ピックアップ工程を開始し、更に個々のチップ部品を取出す直前の位置情報を検出する構成についての説明がある。この方法では、全てのチップについて２度ずつ位置検出を行う必要があり、タクトタイムが延長してしまうという技術的な問題がある。また、複数のノズルの夫々に吸着されるチップ部品の全てについて位置検出する必要があり、位置検出に要する時間が延長する虞がある。【００１１】
例えば、移送先に配列されたチップは、正しく配列されているか否かや、チップの状態について検査が求められる。従来の構成では、配列されるチップについて画像を撮像し、画像認識により、検査が行われている。このとき、チップの配列によっては、適切な検査を行うために複数通りの画像が必要となる場合があり、撮像に要する時間が延長してしまう場合がある。また、複数通りの画像について、個別に画像認識の必要も生じつことから、タクトタイムの延長に繋がる虞がある。【００１２】
本発明は、例えば上述した従来の問題点に鑑み為されたものであり、チップ部品の適切なピックアップと移送を行うと共に、作業工程のタクトタイムの短縮を実現する部品移送装置及び方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明の部品移送装置は、ウエハ状態のチップを配置部へ配置する部品移送装置であって、前記チップを配置するための配置部と、前記チップを吸着する複数の吸着ノズルと、前記配置部上において、前記チップを配置するためのプレース位置を決定する決定手段と、前記配置部における前記プレース位置に前記複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め手段と、前記複数の吸着ノズルのうちの一に吸着される前記チップを前記配置部上の前記プレース位置に配置するプレース手段と、前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記チップを撮像する撮像手段とを備え、前記決定手段は、前記プレース位置を、前記配置部における前記撮像範囲に含まれ、且つ夫々所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスの配置となるように決定し、前記位置決め手段は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う。【００１４】
上述の課題を解決するために、本発明の部品移送方法は、ウエハ状態のチップを配置部へ配置する部品移送装置における部品移送方法であって、前記配置部上において、前記チップを配置するためのプレース位置を決定する決定工程と、前記配置部における前記プレース位置に前記チップを保持する複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め工程と、前記複数の吸着ノズルのうちの一に吸着される前記チップを前記配置部上の前記プレース位置に配置するプレース工程と、前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記チップを撮像する撮像工程とを備え、前記決定工程は、前記プレース位置を、前記配置部上に前記プレース位置を、夫々所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスとして決定し、前記位置決め工程は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う。【００１５】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされよう。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施例の移送装置の構成を示すブロック図である。
【図２】移送装置の各部の位置関係と動作方向を示す図である。
【図３】移送装置によるチップのピックアップの態様を示す図である。
【図４】チップのピックアップ時の各部の位置関係を示すグラフである。
【図５】本実施例の移送装置の動作の流れを示すフローチャートである。
【図６】本実施例のピックアップ動作の流れを示すフローチャートである。
【図７】ピックアップ動作におけるチップの位置補正の態様を示す図である。
【図８】本実施例のプレース動作の流れを示すフローチャートである。
【図９】プレース動作時のチップの配置位置と、チップの検査位置の関係を示す図である。
【図１０】プレース動作時のチップの配置位置と、チップの検査位置の関係を示す図である。
【図１１】移送装置の変形例の構成を示すブロック図である。
【図１２】移送装置の変形例の各部の位置関係と動作方向を示す図である。
【図１３】移送装置の変形例の各部の位置関係と動作方向を示す図である。
【図１４】移送装置の変形例の各部の位置関係と動作方向を示す図である。
【図１５】移送装置の変形例の動作の流れを示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の部品移送装置に係る実施形態は、ウエハ状態のチップを配置部へ配置する部品移送装置であって、前記チップを配置するための配置部と、前記チップを吸着する複数の吸着ノズルと、前記配置部上において、前記チップを配置するためのプレース位置を決定する決定手段と、前記配置部における前記プレース位置に前記複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め手段と、前記複数の吸着ノズルのうちの一に吸着される前記チップを前記配置部上の前記プレース位置に配置するプレース手段と、前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記チップを撮像する撮像手段とを備え、前記決定手段は、前記プレース位置を、前記配置部における前記撮像範囲に含まれ、且つ夫々所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスの配置となるように決定し、前記位置決め手段は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う。
【００１８】
本発明の部品移送装置に係る実施形態によれば、吸着ノズルに吸着されるチップが配置部上に決定されるプレース位置に配置される。配置部は、例えば、チップが複数配置可能なシートを保持する部材である。
【００１９】
吸着ノズルは、真空ポンプなどの減圧装置に接続される円筒状のノズルであって、端部に当接したチップを吸着することで保持する。例えば、吸着ノズルは、チップが保持される移動元と配置部との間を移動可能な移載用のヘッド部に複数保持され、チップの移送を行う。
【００２０】
決定手段は、カメラに接続されるＣＰＵから構成され、チップが配置される配置部の画像を撮像し、該画像を解析することで、チップが配置されるプレース位置の位置情報を決定する。具体的には、ＣＰＵは、カメラにより撮像された画像を解析することで、配置部上に座標を設定し、チップのプレース位置を複数の列及び複数の行からなるマトリックスとして決定する。かかるマトリックスにおいて、各チップのプレース位置は、夫々所定のマージンを有するように離隔して決定される。尚、マトリックス状のプレース位置は、チップの大きさや形状、又はマージンの取り方に応じて適宜決定されてよい。
【００２１】
位置決め手段は、吸着ノズルに吸着されるチップを、所望のプレース位置に位置決めするアクチュエータ又はサーボ機構である。具体的には、位置決め手段は、吸着ノズル及び配置部の少なくとも一方を移動することで、吸着ノズルに吸着されるチップと、所望のプレース位置とが対向する位置関係となるよう位置決めを行う。
【００２２】
例えばカメラなどの撮像手段は、チップが載置される配置部における所定の撮像範囲内のの画像を撮像し、後述するＣＰＵなどにより構成される取得手段に撮像した画像又は画像データを送信する。
【００２３】
上述した決定手段は、チップのプレース位置のマトリックスが、撮像手段の撮像範囲内に収まるように決定する。例えば、撮像範囲が長方形の範囲である場合、決定手段は、該長方形の辺に沿ってマトリックスの列方向及び行方向を設定する。
【００２４】
更に位置決め手段は、先ず、撮像範囲内に形成されるマトリックス状のプレース位置にのうち、マトリックスの角を含む第１の列にチップが配置されるよう、順次吸着ノズルに吸着されるチップと所望のプレース位置との位置決めを行う。該所定範囲内の第１の列に含まれるプレース位置にチップが配置された後に、位置決め手段は、所定範囲に含まれるプレース位置のうち、第１の列に隣接する第２の列にチップが配置されるよう、順次吸着ノズルに吸着されるチップと所望のプレース位置との位置決めを行う。以降、位置決め手段は、所定範囲内の第２の列に含まれるプレース位置にチップが配置された後には、第２の列に隣接する第３の列のように順次列をインクリメントして位置決めを行う。
【００２５】
プレース手段は、吸着ノズルに吸着されるチップと、所望のプレース位置とが対向する位置関係となるよう位置決めされた後に、吸着ノズルに吸着するチップを配置部のチップ配置面に接触させるとともに、吸着ノズルの吸着を解除して、チップの配置を行う。
【００２６】
以上、説明した構成によれば、マトリックス中の所定範囲のプレース位置の夫々に対して、列毎に順次チップが配置される。このため、連続して配置されるチップが、所定範囲内のプレース位置の夫々に対して、優先的に配置される。尚、上述した例に限らず、マトリックスの角を含む第１の行にチップが配置された後に、隣接する第２の行にチップが配置される構成であってもよい。
【００２７】
このため、チップが配置されるプレース位置を、所定範囲ごとに管理することが可能となる。例えば、所定範囲を、配置部に配置されたチップの状態や位置を検出するためのカメラの撮像エリアに合わせて設定することで、連続して配置される複数のチップを一の撮像エリア内に収めることが可能となる。これは、撮像及びチップの状態や位置を検出するための処理に要する時間を短縮することに繋がり、タクトタイムの短縮が実現出来る。
【００２８】
本発明の部品移送装置に係る実施形態の他の態様では、前記位置決め手段は、前記プレース位置のうち一の前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う。
【００２９】
この態様では、位置決め手段は常に、前回チップが配置されたプレース位置に対して、隣接するプレース位置にチップが配置されるよう、チップとプレース位置との位置決めを行う。従って、この態様でのプレース位置へのチップの配置は、第１の列において、所定範囲の一の端Ａから他の端Ｂまで連続してチップを配置した後に、第１の列に隣接する第２の列において、端Ｂから端Ａまで連続してチップが配置される。以降、第２の列に隣接する第３の列において、端Ａから端Ｂまで連続してチップが配置されるというように、順次位置決めが行われる。
【００３０】
このため、吸着ノズルに吸着されるチップと、所望のプレース位置との位置決めに要する各部の移動距離をより短くすることが出来、移動に要する時間を短縮することが出来る。このため、更なるタクトタイムの短縮が実現出来る。
【００３１】
本発明の部品移送装置に係る実施形態の他の態様では、前記配置部上の前記撮像範囲内に配置される前記チップの位置情報を取得する取得手段を更に備える。
【００３２】
取得手段は、撮像手段を構成するカメラに接続されるＣＰＵから構成され、配置部状の撮像範囲内のチップの画像を解析することで、配置部上に配置されるチップの位置情報を取得する。具体的には、ＣＰＵは、カメラにより撮像された画像を解析することで、各チップの位置を認識し、ある点を基準とする座標を各チップに設定する。そして、各チップの位置座標と、各チップが配置されるプレース位置の座標との間にずれが生じているか否かの検出を行う。
【００３３】
本発明の部品移送方法に係る実施形態は、ウエハ状態のチップを配置部へ配置する部品移送装置における部品移送方法であって、前記配置部上において、前記チップを配置するためのプレース位置を決定する決定工程と、前記配置部における前記プレース位置に前記チップを保持する複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め工程と、前記複数の吸着ノズルのうちの一に吸着される前記チップを前記配置部上の前記プレース位置に配置するプレース工程と、前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記チップを撮像する撮像工程とを備え、前記決定工程は、前記プレース位置を、前記配置部上に前記プレース位置を、夫々所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスとして決定し、前記位置決め工程は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う。
【００３４】
本発明の部品移送方法に係る実施形態によれば、上述した本発明の部品移送装置に係る実施形態と同様の各種効果を享受することが出来る。
【００３５】
尚、本発明の部品移送方法に係る実施形態においても、上述した本発明の部品移送装置に係る実施形態の各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００３６】
以上説明したように、本発明の部品移送装置に係る実施形態は、配置部と、吸着ノズルと、決定手段と、位置決め手段と、プレース手段と、撮像手段とを備える。本発明の部品移送方法に係る実施形態は、決定工程と、位置決め工程と、プレース工程と、撮像工程とを備える。従って、チップ部品の適切なピックアップと移送を行うと共に、作業工程のタクトタイムの短縮を実現することが出来る。
【実施例】
【００３７】
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。【００３８】
（１）基本構成
本発明の部品移送装置の実施例である移送装置１の構成を図を参照しながら説明する。【００３９】
図１は、移送装置１の構成を示す模式図である。該図１において、左右方向をＸ方向、手前側から奥側に向かう方向をＹ方向、上下方向をＺ方向として、以降の説明を行う。【００４０】
図１に示されるように、移送装置１は、ピックアップ部１０、プレース部２０、移載ヘッド３０及び制御部４０を備えて構成されている。ピックアップ部１０とプレース部２０とは、Ｘ方向に相互に離隔して配置される。【００４１】
ピックアップ部１０は、移送装置１において、チップ１００が保持される粘着シート２００からチップ１００のピックアップを行うユニットである。ピックアップ部１０は、ピックアップ台１１、ピックアップ台アクチュエータ１２、ピックアップハンマ１３、上円板カム１４、ピックアップモータ１５、突き上げ針１６、下円板カム１７、突き上げモータ１８及びカメラ１９を備えて構成される。【００４２】
ピックアップ部１０においては、粘着シート２００に保持されるチップ１００を移載ヘッド３０によりピックアップするためのピックアップ位置Ｐｕが一か所設定される。ピックアップ位置Ｐｕは、ピックアップ部１０におけるＸ方向及びＹ方向の所定の位置を示す趣旨である。【００４３】
ピックアップ台１１は、チップ１００が保持される粘着シート２００を保持可能な平坦な面を有する部材である。ピックアップ台１１は、粘着シート２００の周縁部を保持し、伸縮性のある粘着シート２００を伸長することで、粘着シート２００上に保持されるチップ１００を互いに所定の距離離隔させる。【００４４】
ピックアップ台アクチュエータ１２は、ピックアップ台１１をチップ１００が保持される面内（言い換えれば、ＸＹ平面内）で移動可能であるとともに、該面内でピックアップ台１１を回転可能な複数のアクチュエータから成るユニットである。ピックアップ台アクチュエータ１２は、制御部４０から供給される制御信号に応じて、ピックアップ台１１を移動させることで、粘着シート２００上に保持される所望のチップ１００をピックアップ位置Ｐｕに移送する。【００４５】
ピックアップハンマ１３は、ピックアップ位置Ｐｕにおいて、粘着シート２００の上方に配置されるベアリング状の端部を有する構成である。ピックアップハンマ１３のベアリング状の端部は、アームを介して上円板カム１４に接続される。上円板カム１４は、ピックアップモータ１５の回転に応じて回転可能な円板状のカムである。ピックアップモータ１５は、制御部４０から供給される制御信号に応じて回転し、上円板カム１４を回転させる。ピックアップハンマ１３は、上円板カム１４の回転に応じてアームが移動することで、ベアリング状の端部がＺ方向に往復移動する。【００４６】
突き上げ針１６は、ピックアップ位置Ｐｕにおいて、粘着シート２００の下方に配置される針状の構成である。突き上げ針１６は、アームを介して下円板カム１７に接続され、下円板カム１７の回転に伴って、Ｚ方向に移動する。下円板カム１７の回転により、突き上げ針１６がＺ方向を上方に移動するに従って、突き上げ針１６の上端は粘着シート２００に接触する。突き上げ針１６は、移動範囲の上端において、粘着シート２００を貫通し、チップ１００に接触するとともに、チップ１００を突き上げる。尚、突き上げ針１６は、針状の上端がピックアップ位置Ｐｕにおいて保持されるチップ１００を突き上げ可能な態様で配置される。突き上げモータ１８は、制御部４０から供給される制御信号に応じて、下円板カム１７を回転させる。【００４７】
カメラ１９は、粘着シート２００上のピックアップ位置Ｐｕに位置調整されるチップ１００及び周辺に保持されるチップ１００を撮像範囲に収められるよう構成され、配置される。カメラ１９において撮像されたチップ１００の画像は、制御部４０に送信される。【００４８】
プレース部２０は、ピックアップ部１０において、吸着ノズル３１により吸着されたチップ１００を配置シート３００に配置する部位であって、プレース台２１、プレース台アクチュエータ２２、プレースハンマ２３、円板カム２４、プレースモータ２５及びカメラ２６を備えて構成される。また、プレース部においては、移載ヘッド３０に保持される吸着ノズル３１に吸着されるチップ１００を配置シート３００上に配置する（言い換えればプレースする）ためのプレース位置Ｐｌが一か所設定される。【００４９】
プレース位置ｐｌは、プレース部２０におけるＸ方向及びＹ方向の所定の位置を示す趣旨である。尚、プレース位置Ｐｌは、ピックアップ位置ＰｕからＸ方向に所定の距離離隔した位置に設定される。【００５０】
プレース台２１は、チップ１００の配置を行う配置シート３００を保持可能な平坦な面を有する部材である。配置シート３００は、粘着シート２００と同様に粘着性を有するシート上の部材である。プレース台アクチュエータ２２は、プレース台２１をチップ１００が配置される（言い換えれば、プレースされる）面方向（言い換えれば、Ｘ方向及びＹ方向）に移動可能である可動軸を有するアクチュエータである。【００５１】
プレース台２１上に保持される配置シート３００には、移載ヘッド３０の吸着ノズル３１によって保持される複数のチップ１００が夫々所定のマージン離隔して配置される。以降、配置シート３００上の夫々のチップ１００が配置されるべき位置を、チップ配置位置と称して説明する。尚、チップ配置位置は、配置シート３００上に複数の列及び行から成るマトリックス状に設定される。【００５２】
プレースハンマ２３は、ベアリング状の端部がアームに接続され、該アームを介して円板カム２４に接続される。円板カム２４は、プレースモータ２５の駆動に応じて回転可能に構成される。円板カム２４の回転に伴ってアームが移動することで、プレースハンマ２３のベアリング状の端部がＺ方向に往復移動する。プレースモータ２５は、制御部４０から供給される制御信号に応じて、円板カム２４を回転させる。【００５３】
カメラ２６は、配置シート３００上のプレース位置Ｐｌにプレースされるチップ１００及び周辺を撮像範囲に収められるよう構成され、配置される。カメラ２６において撮像された配置シート３００の画像は、制御部４０に送信される。【００５４】
移載ヘッド３０は、円筒状の吸着ノズル３１を複数保持し、ヘッドアクチュエータ３２の動作の下、ピックアップ部１０とプレース部２０との間を移動し、チップ１００のピックアップ動作及びプレース動作を行う。移載ヘッド３０は、ピックアップ部１０のピックアップ台１１及びプレース部２０のプレース台２１に対して、Ｚ方向上方に配置される。【００５５】
吸着ノズル３１は、移載ヘッド３０内に設けられる吸気通路（不図示）を介して、真空ポンプなどの減圧装置（不図示）接続されており、制御部４０から供給される制御信号に応じて、当接するチップ１００の吸着及び吸着の解除を行う。【００５６】
ヘッドアクチュエータ３２は、制御部４０から供給される制御信号に応じて、移載ヘッド３０をＸ方向に移動可能な一軸のアクチュエータである。ヘッドアクチュエータ３２は、移載ヘッド３０をピックアップ位置Ｐｕとプレース位置Ｐｌとを結ぶ直線に沿って、図１の矢印で示されるようにピックアップ部１０及びプレース部２０の間を移動させる。【００５７】
移載ヘッド３０は、吸着ノズル３１の下端がチップ１００の上端からＺ方向に所定距離離隔するよう保持し、更に吸着ノズル３１を該保持位置において固定するようＺ方向上方に付勢するバネ機構を有する。【００５８】
移送装置１の各部の位置関係について、図２を参照して更に説明する。図２は、図１の移載装置１をＺ方向上方から見た場合のピックアップ部１０のピックアップ台１１、プレース部２０のプレース台２１及び移載ヘッド３０の配置及び動作方向を示す図である。【００５９】
図２に示されるように、移載ヘッド３０は、ピックアップ部１０のピックアップ位置Ｐｕと、プレース部２０のプレース位置Ｐｌとを結ぶ直線上に、複数の吸着ノズル３１を夫々所定のマージン離隔した上で一列に保持する。従って、ピックアップ部１０においては、ヘッドアクチュエータ３２の動作により移載ヘッド３０がＸ方向に移動されることで、移載ヘッド３０に保持される吸着ノズル３１が一つ一つピックアップ位置Ｐｕに移送される。他方で、プレース部２０においては、ヘッドアクチュエータ３２の動作により移載ヘッド３０がＸ方向に移動されることで、移載ヘッド３０に保持される吸着ノズル３１が一つ一つプレース位置Ｐｌに移送される。【００６０】
図１に戻り、説明を続ける。制御部４０は、ピックアップ部１０、プレース部２０及び移載ヘッド３０の各部の動作を制御する制御用のＣＰＵであって、各部と電気的に接続され、制御信号を供給することなどによって動作の制御を行う。【００６１】
制御部４０は、例えばカメラ１９より送信される粘着シート２００上のチップ１００の画像を解析することで、各チップ１００に位置座標を設定する。制御部４０は、所望のチップ１００位置座標に応じてピックアップ台アクチュエータ１２を動作させることで、該チップ１００がピックアップ位置Ｐｕに来るよう、ピックアップ台１１の位置調整を行う。【００６２】
また、制御部４０は、配置シート３００上に位置座標を設定し、所望の座標をチップ配置位置として該チップ配置位置がプレース位置Ｐｌに来るよう、プレース台アクチュエータ２２を動作させてプレース台２１の位置調整を行う。【００６３】
また、制御部４０は、カメラ２６より送信される画像解析結果に基づいて、配置シート３００上に配置されたチップ１００の品質の検査や位置情報の取得などを行う。【００６４】
図３及び図４を参照して、移載ヘッド３０の吸着ノズル３１が粘着シート２００上のチップ１００を吸着によりピックアップする動作について説明する。図３は、各部の位置関係を状態１から状態４に分けて記載したものであり、図４は、ピックアップハンマ１３の下端及び突き上げ針１６の上端の時系列的なＺ方向の位置の変化を示すグラフである。以下に説明する各部の動作は、制御部４０の制御の下、実施される。【００６５】
チップ１００のピックアップ動作においては、先ず、ピックアップ台アクチュエータ１２がピックアップ台１１を移動させ、ピックアップ位置Ｐｕ（一点破線で示した軸上）に所望のチップ１００を移動する。同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ３２が移載ヘッド３０を移動させ、ピックアップ位置Ｐｕに所望の吸着ノズル３１を移動する（状態１）。このとき、ピックアップハンマ１３の下端、及び突き上げ針１６の上端は、図４に示されるように夫々の初期位置にある。【００６６】
続いて、ピックアップモータ１５が上円板カム１４を回転させ、ピックアップハンマ１３を下方に移動させる。ピックアップハンマ１３は、移動に伴い、吸着ノズル３１の上端に接触した後、吸着ノズル３１を上方に付勢するバネ機構の付勢力に抗して吸着ノズル３１を下方に押し下げる。押し下げられた吸着ノズル３１は、ピックアップハンマ１３が移動範囲の下端に達した位置で、チップ１００に当接し、チップ１００を吸着する。また、突き上げモータ１８が下円板カム１７を回転させ、突き上げ針１６をチップ１００に向かって移動させる（状態２）。【００６７】
続いて、ピックアップモータ１５が上円板カム１４を回転させ、ピックアップハンマ１３を上方に移動することで、吸着ノズル３１の押し下げを解除する。押し下げが解除された吸着ノズル３１は、バネ機構による付勢により、チップ１００を吸着した状態で上方向に移動する。同時に、突き上げ針１６の上端が粘着シート２００を貫通してチップ１００を上方向に突き上げ、チップ１００の下端を粘着シート２００から剥離させる方向に向かって移動させる（状態３）。【００６８】
ピックアップハンマ１３、及び突き上げ針１６が、図４に示されるように夫々の初期位置に戻り、チップ１００を下端に吸着させた吸着ノズル３１もＺ方向における初期位置に戻る。その後、ピックアップ台アクチュエータ１２がピックアップ台１１を移動させ、ピックアップ位置Ｐｕに次のチップ１００を移動する。同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ３２が移載ヘッド３０を移動させ、ピックアップ位置Ｐｕに次の吸着ノズル３１を移動する（状態４）。【００６９】
以上、説明した動作により、チップ１００が移載ヘッド３０の吸着ノズル３１に吸着される。上述した動作を複数回繰り返すことにより、移載ヘッド３０に保持される複数の吸着ノズル３１の夫々にチップ１００が吸着される。【００７０】
尚、プレース部２０におけるプレース動作についても、同様の手順で実施される。具体的な手順について以下に説明する。チップ１００のプレース動作においては、先ず、プレース台アクチュエータ２２がプレース台２１を移動させ、配置シート３００上の所望のチップ配置位置をプレース位置Ｐｌに移動する。同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ３２が移載ヘッド３０を移動させ、プレース位置Ｐｌにチップ１００を吸着する吸着ノズル３１を移動する。このとき、プレースハンマ２３は、初期位置にある。【００７１】
続いて、プレースモータ２５が円板カム２４を回転させ、プレースハンマ２３を下方に移動させる。プレースハンマ２３は、移動に伴い、吸着ノズル３１の上端に接触した後、吸着ノズル３１を上方に付勢するバネ機構の付勢力に抗して吸着ノズル３１を下方に押し下げる。押し下げられた吸着ノズル３１に吸着されるチップ１００は、プレースハンマ２３が移動範囲の下端に達した位置で、配置シート３００に当接する。このとき、制御部４０が該チップ１００を保持する吸着ノズル３１の吸着を解除することで、チップ１００が配置シート３００上のチップ配置位置に配置される。配置シート３００は粘着性を有するため、チップ１００はチップ配置位置において配置シート３００に接着する。【００７２】
続いて、プレースモータ２５が円板カム２４を回転させ、プレースハンマ２３を上方に移動することで、吸着ノズル３１の押し下げを解除する。押し下げが解除された吸着ノズル３１は、バネ機構による付勢により、チップ１００を吸着していない状態で上方向に移動する。【００７３】
プレースハンマ２３が初期位置に戻り、チップ１００の配置を終えた吸着ノズル３１もＺ方向における初期位置に戻った後、プレース台アクチュエータ２２がプレース台２１を移動させ、プレース位置Ｐｌに次のチップ配置位置を移動する。同時に、又は相前後して、ヘッドアクチュエータ３２が移載ヘッド３０を移動させ、プレース位置Ｐｌに次のチップ１００を吸着する吸着ノズル３１を移動する。【００７４】
以上、説明した動作により、移載ヘッド３０により移送されたチップ１００が配置シート３００上に配置される。上述した動作を複数回繰り返すことにより、移載ヘッド３０に保持される複数の吸着ノズル３１に夫々吸着されるチップ１００が配置シート３００上に配置される。【００７５】
（２）動作例
移送装置１によるピックアップ動作及びプレース動作を含む、全体的な動作の流れを示すフローチャートである図５を参照して移送装置１の動作を説明する。【００７６】
移送装置１では、一連の動作の開始時に、チップ１００が保持される粘着シート２００がピックアップ部１０のピックアップ台１１の上に設置される（ステップＳ１）。同時に、又は相前後して、チップ１００が移動される配置シート３００がプレース部２０のプレース台２１上に設置される（ステップＳ２）。【００７７】
次に、ピックアップ部１０のカメラ１９は、粘着シート２００上に保持される全てのチップ１００について画像を撮像し、制御部４０へと画像情報を送信する。制御部４０は、送信された画像情報に基づき、粘着シート２００上の各チップ１００に座標を設定し、位置情報を生成する（ステップＳ３）。生成された位置情報は、制御部４０内のメモリに格納される。【００７８】
続いて、制御部４０は、移載ヘッド３０をピックアップ部１０へと移動し（ステップＳ４）、ピックアップ動作を実行する（ステップＳ５）。かかるピックアップ動作により、粘着シート２００上に保持されるチップ１００が、移載ヘッド３０内の複数の吸着ノズル３１の夫々に吸着される。尚、ピックアップ動作については後に詳述する。【００７９】
続いて、制御部４０は、移載ヘッド３０をプレース部２０へと移動し（ステップＳ６）、プレース動作を実行する（ステップＳ７）。かかるプレース動作により、移載ヘッド３０内の複数の吸着ノズル３１の夫々に吸着されるチップ１００が、配置シート３００へと配置される。尚、プレース動作については後に詳述する。【００８０】
制御部４０は、粘着シート２００上の移動されるべき全てのチップ１００が配置シート３００へと移動されるまで（ステップＳ８：Ｙｅｓ）、ステップＳ４からステップＳ７までの一連の動作を繰り返したのち、動作を終了する。【００８１】
（２−１）ピックアップ動作
移送装置１のピックアップ部１０によるチップ１００のピックアップ動作について、図６のフローチャートを参照して説明する。【００８２】
先ず、制御部４０は、最初にピックアップを行うチップ１００を基準チップに設定する。カメラ１９は、該基準チップについて画像を撮像し、制御部４０へと画像情報を送信する。制御部４０は、送信された画像情報に基づき、基準チップに再度座標を設定し、位置情報を生成する（ステップＳ１０１）。【００８３】
制御部４０は、初めに取得された（図５、ステップＳ３）全チップ１００の位置情報と、改めて取得された基準チップの位置情報とを比較し、基準チップの位置が最初の（即ち、ステップＳ３において検出された）位置からどれだけずれているかを検出し、ずれを補正するための位置補正量を算出する（ステップＳ１０２）。【００８４】
制御部４０は、改めて取得された基準チップの位置情報を適用して、格納される基準チップの位置情報を更新する（ステップＳ１０３）。【００８５】
次に、制御部４０は、基準チップの更新後の位置情報に基づいてピックアップ台アクチュエータ１２を動作させ、基準チップがピックアップ位置Ｐｕに移動されるよう、ピックアップ台１１を移動させる（ステップＳ１０４）。【００８６】
同時に、又は相前後して、制御部４０は、ヘッドアクチュエータ３２を動作させ、チップ１００を吸着していない吸着ノズル３１がピックアップ位置Ｐｕに移動されるよう、移載ヘッド３０を移動させる（ステップＳ１０５）。【００８７】
続いて、制御部４０は、吸着ノズル３１に基準チップを吸着させ、チップ１００のピックアップを行う（ステップＳ１０６）。具体的には、制御部４０は、ピックアップモータ１５を駆動させ、ピックアップハンマ１３に吸着ノズル３１を押し下げさせる。同時に、制御部４０は、突き上げモータ１８を駆動させ、突き上げ針１６にチップ１００を突き上げさせる。チップ１００は、ピックアップハンマ１３に押し下げられた吸着ノズル３１と接触することで吸着され、更に吸着ノズル３１が上方向に移動するとともに、突き上げ針１６により突き上げられることで、粘着シート２００より剥離しピックアップされる。【００８８】
次に、ピックアップ可能なチップ１００が存在し（ステップＳ１０７：Ｙｅｓ）、且つ、チップ１００を吸着していない吸着可能な吸着ノズル３１が存在する場合（ステップＳ１０８：Ｙｅｓ）、次のチップ１００のピックアップが行われる。【００８９】
制御部４０は、次のチップ１００について格納されている位置情報を読み出し、該チップ１００の座標と更新前の基準チップの座標（即ち、ステップＳ３において検出された座標）とを比較し、該チップ１００の位置が補正量適用エリア内であるか否かの判定を行う。【００９０】
補正量適用エリアは、基準チップの位置座標を起点とする所定の範囲を示す趣旨である。かかる補正量適用エリア内では、各チップ１００について、最初のチップ１００位置の検出（即ち、図５のステップＳ３）から、基準チップの位置の再検出（即ち、図６のステップＳ１０１）との間に生じた位置のずれが同様であると見なすことが出来る。チップ１００位置のずれは、伸長される粘着シート２００の伸縮が大きな要因となっており、ある程度近い範囲内のチップ１００であれば、位置のずれは同程度であると考えられる。【００９１】
図７（ａ）に基準チップと補正量適用エリアとの位置関係を示す。基準チップＡのピックアップを行った後に、ピックアップされるチップ１００Ｂが補正量適用エリア内に存在するのであれば、チップ１００Ｂの位置のずれは、基準チップＡの位置のずれと同程度であると考えられる。このため、チップ１００Ｂについて改めて座標を検出して、位置情報の取得を行わなくとも、基準チップＡの補正量を適用することで、チップ１００Ｂについてずれた後の位置情報を算出出来ると考えられる。【００９２】
尚、補正量適用エリアを規定する、基準チップを中心とする所定の範囲は、適宜変更されてよく、例えば、チップ１００の位置のずれの要因となる粘着シート２００の伸縮性などに応じて適宜変更されてよい。【００９３】
制御部４０は、次のチップ１００の位置が基準チップを基準とする補正量適用エリア内である場合（ステップＳ１０９：Ｙｅｓ）、基準チップの位置補正量を用いて、該チップ１００の位置情報の補正を行う（ステップＳ１１０）。具体的には、格納された該チップ１００の位置情報に対し、基準チップの位置補正量を適用したものを補正後の位置情報とする。【００９４】
制御部４０は、次のチップ１００の補正後の位置情報に基づいて、ピックアップ台アクチュエータ１２を動作させ、該チップ１００がピックアップ位置Ｐｕに移動されるよう、ピックアップ台１１を移動させる（ステップＳ１１１）。続いて、チップ１００を吸着していない次の吸着ノズル３１をピックアップ位置Ｐｕに移動させ（ステップＳ１０５）、該次のチップ１００のピックアップを行わせる。【００９５】
他方で、次のチップ１００の位置が基準チップを基準とする補正量適用エリア外である場合（ステップＳ１０９：Ｎｏ）、制御部４０は、該チップ１００を新しい基準チップに設定する。そして制御部４０は、新しい基準チップについて、画像の撮像による位置情報の取得（ステップＳ１０１）、位置補正量の算出（ステップＳ１０２）、及び位置情報の更新（ステップＳ１０３）を行い、ステップＳ１０４以降のピックアップ動作を実行させる。【００９６】
具体的には、図７（ａ）において、チップ１００Ｃをピックアップする場合について例示する。チップ１００Ｃは、基準チップＡを基準とする補正量適用エリア外に存在するため、チップ１００Ｃの位置のずれは、基準チップＡの位置のずれと同程度であると考えることが出来ない。このため、チップ１００Ｃについては、改めて座標を検出して、位置情報の取得を行うことが求められる。そこで、制御部４０は、図７（ｂ）に示されるように、チップ１００Ｃを新しい基準チップに設定して、位置情報の更新を行う。新しく設定された基準チップＣを基準とする補正量適用エリア内に存在するチップ１００の位置のずれについては、基準チップＣの位置のずれと同程度であると考えることが出来る。【００９７】
制御部４０は、ステップＳ１０５からステップＳ１１１の一連の動作を、ピックアップ可能なチップ１００が存在しなくなるまで（ステップＳ１０７：Ｎｏ）、又はチップ１００を吸着していない吸着可能な吸着ノズル３１が存在しなくなるまで（ステップＳ１０８：Ｎｏ）、繰り返し実行させる。ピックアップ可能なチップ１００が存在しなくなる場合（ステップＳ１０７：Ｎｏ）、又はチップ１００を吸着していない吸着可能な吸着ノズル３１が存在しなくなる場合（ステップＳ１０８：Ｎｏ）、制御部４０は、ピックアップ動作を終了させる。【００９８】
以上、説明した構成によれば、移載ヘッド３０に保持される複数の吸着ノズル３１について、連続して粘着シート２００上に保持されるチップ１００の吸着動作を行うことが可能となる。このため、移載ヘッド３０の一度の移動で、複数のチップ１００をまとめてプレース部２０へ移送することが可能となる。このため、１つずつ移送を行っていた従来の装置に比べて、大幅なタクトタイムの短縮が実現出来る。【００９９】
移送装置１では、チップ１００の取り出しを行う位置であるピックアップ位置Ｐｕを定め、該ピックアップ位置ｐｕに１つずつ順番に吸着ノズル３１及びチップ１００を移送している。このため、比較的短時間で位置決めを行うことが可能となり、タクトタイムの短縮が実現出来る。尚、チップ１００の移送と、吸着ノズル３１の移送を平行して行うことで、更なるタクトタイムの短縮が見込まれる。また、チップ１００の状態や形状に応じて、吸着するチップ１００を適宜選択することで、チップ１００の仕分けが可能となる。【０１００】
（２−２）プレース動作
移送装置１のプレース部２０によるチップ１００のプレース動作について、図８のフローチャートを参照して説明する。【０１０１】
制御部４０は、プレース台２１上に予め設定された座標などに基づき、プレース台アクチュエータ２２を動作させ、配置シート３００上の所望のチップ配置位置がプレース位置Ｐｌに移動されるよう、プレース台２１を移動させる（ステップＳ２０１）。【０１０２】
同時に、又は相前後して、制御部４０は、ヘッドアクチュエータ３２を動作させ、チップ１００を吸着している吸着ノズル３１がプレース位置Ｐｌに移動されるよう、移載ヘッド３０を移動させる（ステップＳ２０２）。【０１０３】
続いて、制御部４０は、吸着ノズル３１に吸着されるチップ１００が配置シート３００上のチップ配置位置に配置されるよう、吸着の解除を行う（ステップＳ２０３）。具体的には、制御部４０は、モータ２０５を駆動させ、プレースハンマ２３に吸着ノズル３１を押し下げさせる。押し下げられた吸着ノズル３１に吸着されるチップ１００が配置シート３００に接触した後に、制御部４０は、該吸着ノズル３１の吸着を解除し、チップ１００を配置シート３００上に配置する。【０１０４】
次にプレース可能なチップ１００が存在しなくなるまで（ステップＳ２０４：Ｎｏ）、制御部４０は、ステップＳ２０１からステップＳ２０３までの一連の動作を繰り返させる。【０１０５】
吸着ノズル３１に吸着される全てのチップ１００が配置シート３００に配置された後（ステップＳ２０４：Ｙｅｓ）、制御部４０は、カメラ２６により配置されたチップ１００の画像を撮像し、画像情報の入力を受ける。そして入力された画像情報に基づいて、チップ１００が配置されているか否か、チップ１００の配列の精度及びチップ１００の外観について検査を行う（ステップＳ２０８）。チップ１００検査後、制御部４０は、プレース動作を終了させる。【０１０６】
配置シート３００上のチップ配置位置と、配置されたチップ１００の検査との関係について説明する。図９（ａ）は、配置シート３００上のチップ配置位置と、一度の撮像でカメラ２６に撮像される領域である撮像エリアとを示す図である。【０１０７】
図９（ａ）に示されるように、チップ配置位置は、夫々ＸＹ方向に所定の距離離隔して、マトリックス状に配置されている。カメラ２６の撮像エリアは、例えば複数のチップ配置位置を含む長方形の範囲である。図９（ａ）に示される例では、カメラ２６の撮像エリアには、Ｘ方向に４個、Ｙ方向に３個、合計１２個のチップ１００が収まる。【０１０８】
ここで、移載ヘッド３０が１２本の吸着ノズル３１を保持している場合について考える。かかる移載ヘッド３０を備える移送装置１では、一度のピックアップ動作及びプレース動作で１２個のチップ１００を配置シート３００に配置可能となる。【０１０９】
また、図９（ｂ）中の矢印に示されるようにチップ１００を配置する場合、Ｘ方向に６個、Ｙ方向に２個のチップ１００が配置される。このとき、次のチップ配置位置は、前のチップ配置位置に隣接しているため（言い換えれば、最短距離にあるため）、一のチップ１００の配置から次のチップ１００の配置までの間の配置シート３００の移動量（言い換えれば、プレース台２１の移動量）が最も小さくなる。このため、配置シート３００の移動に要する時間も最も小さくなり、タクトタイムの短縮に有益である。【０１１０】
しかしながら、図９（ｂ）中の矢印に示されるようにチップ１００を配置する場合、配置される１２個のチップ１００がカメラ２６の撮像エリア内に収まらない。このため、チップ１００の検査のために、カメラ２６は図９（ｂ）に示されるように、配置シート３００を移動させて撮像エリア１及び撮像エリア２について画像を撮像することが求められる。このように複数の画像を取得する場合、タクトタイムの延長や、配置シート３００の移動のための処理量の増加などが生じるため、装置動作上好ましくない。【０１１１】
そこで、制御部４０は、図９（ｃ）に示されるように、撮像エリア内に全てのチップ１００が収まるように、チップ１００の配置方法を決定する。具体的には、Ｘ方向に４個、Ｙ方向に３個のチップ１００が収まるカメラ２６の撮像エリアに、１２個のチップ１００が全て収まるよう、図９（ｃ）中の矢印に示されるようにジグザグの順番に（言い換えれば、矩形波を描くように）にチップ１００を配置する位置を決定する。【０１１２】
より詳細には、以下の態様でチップ１００の配置が行われる。先ず長方形の撮像エリアの一つの角よりチップ１００の配置が開始され、撮像エリアの一つの辺に沿って所定の距離ずつ離隔した位置にチップ１００が配置される。チップ１００が撮像エリアの他の角に配置された後、上述した辺に直行する辺に沿って、所定の距離離隔した位置にチップ１００が配置される。続いて、最初の辺に平行であり、且つ反対の方向に所定の距離ずつ離隔した位置にチップ１００が配置される。チップ配置位置が撮像エリアの辺に突き当たった場合、該辺に沿って所定の距離離隔した位置にチップ１００が配置される。続いて、最初の辺に平行な方向に所定の距離ずつ離隔した位置にチップ１００が配置される。以上の繰り返しにより、チップ１００が配置される。【０１１３】
図９（ｃ）中の矢印に示されるようにチップ１００の配置を行うことでも、上述したように配置シート３００の移動に要する時間が小さくなるため、タクトタイムの短縮に有益である。また、全てのチップ１００を配置した後のチップ１００の検査の際に、一つの画像で１２個のチップ１００全てを検査出来るため、画像を撮像するためのタクトタイムの短縮に繋がる。【０１１４】
尚、場合によっては、一度のプレース動作で配置される全てのチップ１００を一の撮像エリア内に収めることが出来ない場合もある。【０１１５】
例えば、図１０（ａ）の例では、一の撮像エリア内にＸ方向に４個、Ｙ方向に３個、合計１２個のチップ１００が収まる一方で、移載ヘッド３０が１５本の吸着ノズル３１を保持し、一度のプレース動作で１５個のチップ１００が配置可能である場合について説明している。このとき、制御部４０は、可能な限り少ない撮像エリアに全てのチップ１００が収まるよう、上述したジグザグの態様でチップ１００を配置する位置を決定する。【０１１６】
尚、上述の例では、プレース動作をＹ方向（言い換えれば、列方向）から開始して、ジグザグに配置していき、撮像エリアをＸ方向（言い換えれば、行方向）に移動していく例について説明している。これに限らず、図１０（ｂ）に示されるように、プレース動作をＸ方向（行方向）から開始して、ジグザグにチップ１００を配置していき、撮像エリアをＹ方向（列方向）に移動する態様であってもよい。【０１１７】
このようにチップ１００を配置する位置を決定することで、チップ１００の検査のための画像の撮像に要するタクトタイムの削減を図ることが出来る。上述した構成によって、多少なりとも撮像される画像数を削減することが出来れば、上述の効果を享受可能となる。【０１１８】
（３）変形例
移送装置１の変形例である移送装置１’の構成を図１１乃至図１４を参照して説明する。【０１１９】
図１１乃至図１４は、移送装置１’の構成を示す模式図であって、図１１は移送装置１’をＹ方向から見た図であり、図１２は移送装置１’をＺ方向上方から見た図であり、図１３は移送装置１’におけるピックアップ部１０’をＸ方向から見た図であり、図１４は移送装置１’におけるプレース部２０’をＸ方向から見た図である。【０１２０】
図１１に示されるように、移送装置１’は、ピックアップ部１０’、プレース部２０’及び制御部４０’を備えると共に、移送装置１が備える移載ヘッド３０と同様の構成である移載ヘッド３０ａ及び移載ヘッド３０ｂを備える。移載ヘッド３０ａは、吸着ノズル３１と同様の構成である吸着ノズル３１ａを複数本保持し、移載ヘッド３０ｂは、吸着ノズル３１と同様の構成である吸着ノズル３１ｂを複数本保持する。また、移載ヘッド３０ａは、ヘッドアクチュエータ３２と同様の構成であるヘッドアクチュエータ３２ａによりＸ方向に移動可能であり、移載ヘッド３０ｂは、ヘッドアクチュエータ３２と同様の構成であるヘッドアクチュエータ３２ｂによりＸ方向に移動可能である。以上説明したように、移送装置１’は、移載ヘッド３０、吸着ノズル３１、ヘッドアクチュエータ３２を二組ずつ備える。【０１２１】
移載ヘッド３０ａと移載ヘッド３０ｂとは、図１２に示されるように、Ｙ方向に所定の距離離隔した位置に配置される。【０１２２】
移送装置１’のピックアップ部１０’では、移載ヘッド３０ａがチップ１００の吸着を行うための第１のピックアップ位置Ｐｕａと、移載ヘッド３０ｂがチップ１００の吸着を行うための第２のピックアップ位置Ｐｕｂとの２通りのピックアップ位置Ｐｕが設定される。同様に、移送装置１’のプレース部２０’では、移載ヘッド３０ａがチップ１００の配置を行うための第１のプレース位置Ｐｌａと、移載ヘッド３０ｂがチップ１００の配置を行うための第２のプレース位置Ｐｌｂとの２通りのプレース位置Ｐｌが設定される。【０１２３】
移載ヘッド３０ａは、ピックアップ部１０’のピックアップ位置Ｐｕａと、プレース部２０’のプレース位置Ｐｌａとを結ぶ直線上に、複数の吸着ノズル３１ａを夫々所定のマージン離隔した上で一列に保持する。また、移載ヘッド３０ａが備えるヘッドアクチュエータ３２ａは、移載ヘッド３０ａをピックアップ位置Ｐｕａとプレース位置Ｐｌａとを結ぶ直線に沿って、図１２の矢印で示されるようにピックアップ部１０’及びプレース部２０’の間を移動させる。【０１２４】
移載ヘッド３０ｂは、ピックアップ部１０’のピックアップ位置Ｐｕｂと、プレース部２０’のプレース位置Ｐｌｂとを結ぶ直線上に、複数の吸着ノズル３１ｂを夫々所定のマージン離隔した上で一列に保持する。また、移載ヘッド３０ｂが備えるヘッドアクチュエータ３２ｂは、移載ヘッド３０ｂをピックアップ位置Ｐｕｂとプレース位置Ｐｌｂとを結ぶ直線に沿って、図１２の矢印で示されるようにピックアップ部１０’及びプレース部２０’の間を移動させる。【０１２５】
移載ヘッド３０ａと移載ヘッド３０ｂとは、一方がピックアップ部１０’においてピックアップ動作を行っている間、他方はプレース部２０’においてプレース動作を行うよう、制御部４０’により動作を制御される。【０１２６】
尚、ピックアップ部１０’のピックアップ位置Ｐｕａとピックアップ位置Ｐｕｂとは、Ｙ方向に所定距離離隔して設定され、プレース部２０’のプレース位置Ｐｌａとプレース位置Ｐｌｂは、Ｙ方向に同距離離隔して設定される。このため、移載ヘッド３０ａの移動軸と移載ヘッド３０ｂの移動軸とは互いに平行となる。【０１２７】
移送装置１’の各部の構成について、図１３及び図１４を参照して更に説明する。図１３に示されるように、移送装置１’のピックアップ部１０’は、移載ヘッド３０ａが保持する吸着ノズル３１ａをピックアップ位置Ｐｕａにおいて押圧するためのピックアップハンマ１３ａと、移載ヘッド３０ｂが保持する吸着ノズル３１ｂをピックアップ位置Ｐｕｂにおいて押圧するためのピックアップハンマ１３ｂとの二つのピックアップハンマを備える。ピックアップハンマ１３ａ及びピックアップハンマ１３ｂは、夫々対応するピックアップ位置において吸着ノズル３１ｂ押圧するよう同一のアームを介して上円板カム１４に連結される。このため、ピックアップモータ１５の動作に応じて上円板カム１４が回転する場合、ピックアップハンマ１３ａ及びピックアップハンマ１３ｂが同時にＺ方向に移動する。このようなピックアップハンマ１３ａ及びピックアップハンマ１３ｂによれば、ピックアップ部１０’においてピックアップ動作中である移載ヘッド３０ａ又は移載ヘッド３０ｂのいずれかに保持される吸着ノズル３１が押圧される。【０１２８】
また、図１３に示されるように、移送装置１’のピックアップ部１０’は、チップ１００を突き上げるための突き上げ針１６、円板カム１７及び突き上げモータ１８を含む構成（以降、突き上げ針ユニットと称して説明する）をＹ方向に移動可能な突き上げ針アクチュエータ５０を備える。突き上げ針アクチュエータ５０は、制御部４０’の制御の下、突き上げ針ユニットの突き上げ針１６をピックアップ位置Ｐｕａとピックアップ位置Ｐｕｂとの間で往復移動させるアクチュエータである。
制御部４０’は、ピックアップ位置Ｐｕａにおけるピックアップ動作時には、突き上げ針アクチュエータ５０により突き上げ針ユニットをピックアップ位置Ｐｕａに対応する位置に移動させ、突き上げ針１６によるチップ１００の突き上げ動作を行わせる。他方で、ピックアップ位置Ｐｕｂにおけるピックアップ動作時には、突き上げ針アクチュエータ５０により突き上げ針ユニットをピックアップ位置Ｐｕｂに対応する位置に移動させ、突き上げ針１６によるチップ１００の突き上げ動作を行わせる。【０１２９】
図１４に示されるように、移送装置１’のプレース部２０’は、移載ヘッド３０ａが保持する吸着ノズル３１ａをプレース位置Ｐｌａにおいて押圧するためのプレースハンマ２３ａと、移載ヘッド３０ｂが保持する吸着ノズル３１ｂをプレース位置Ｐｌｂにおいて押圧するためのプレースハンマ２３ｂとの二つのプレースハンマを備える。プレースハンマ２３ａ及びプレースハンマ２３ｂは、夫々対応するプレース位置において吸着ノズル３１ｂ押圧するよう同一のアームを介して円板カム２４に連結される。このため、上モータ２５の動作に応じて円板カム２４が回転する場合、プレースハンマ２３ａ及びプレースハンマ２３ｂが同時にＺ方向に移動する。このようなプレースハンマ２３ａ及びプレースハンマ２３ｂによれば、プレース部１０’においてプレース動作中である移載ヘッド３０ａ又は移載ヘッド３０ｂのいずれかに保持される吸着ノズル３１が押圧される。【０１３０】
移送装置１’を用いる一連の移送処理について、図１５のフローチャートを参照して説明する。先ず、チップ１００が保持される粘着シート２００がピックアップ部１０’のピックアップ台１１の上に設置される（ステップＳ１）。同時に、又は相前後して、チップ１００が移動される配置シート３００がプレース部２０’のプレース台２１上に設置される（ステップＳ２）。次に、ピックアップ部１０’のカメラ１９は、粘着シート２００上に配置される全てのチップ１００について画像を撮像し、制御部４０へと画像情報を送信する。制御部４０は、送信された画像情報に基づき、粘着シート２００上の各チップ１００に座標を設定し、位置情報を生成する（ステップＳ３）。生成された位置情報は、制御部４０内のメモリに格納される。【０１３１】
続いて、制御部４０は、移載ヘッド３０ａをピックアップ部１０’へと移動し（ステップＳ４ａ）、ピックアップ動作を実行する（ステップＳ５ａ）。同時に、制御部４０は、移載ヘッド３０ｂをプレース部２０’へと移動し（ステップＳ４ｂ）、プレース動作を実行する（ステップＳ５ｂ）。尚、動作開始時の初回のプレース動作は、移載ヘッド３０ｂの吸着ノズル３１ｂにチップ１００が保持されていないため、実行されない。【０１３２】
続いて、制御部４０は、移載ヘッド３０ａをプレース部２０’へと移動し（ステップＳ６ａ）、プレース動作を実行する（ステップＳ７ａ）。同時に、制御部４０は、移載ヘッド３０ｂをピックアップ部１０’へと移動し（ステップＳ６ｂ）、ピックアップ動作を実行する（ステップＳ７ｂ）。【０１３３】
制御部４０は、粘着シート２００上の移動されるべき全てのチップ１００が配置シート３００へと移動されるまで（ステップＳ８：Ｙｅｓ）、ステップＳ４からステップＳ７までの一連の動作を繰り返したのち、動作を終了する。【０１３４】
移送装置１’の動作によれば、移載ヘッド３０ａがピックアップ部１０’でピックアップ動作を行っている間、移載ヘッド３０ｂがプレース部２０’でプレース動作を行うことが出来る。このとき、移載ヘッド３０ａ及び移載ヘッド３０ｂの位置関係及び移動経路により、移載ヘッド３０ａの動作は移載ヘッド３０ｂの動作に影響を与えることなく、移載ヘッド３０ｂの動作は移載ヘッド３０ａの動作に影響を与えることがない。【０１３５】
このため、移載ヘッド３０ａ及び移載ヘッド３０ｂに平行に動作を行わせることが可能となり、移送装置１の動作による効果に加え、タクトタイムの更なる短縮を実現することが出来る。【０１３６】
本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴なう部品移送装置及び方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【０１３７】
１  移送装置、
１０  ピックアップ部、
１１  ピックアップ台、
１２  ピックアップ台アクチュエータ、
１３  ピックアップハンマ、
１４  円板カム、
１５  ピックアップモータ、
１６  突き上げ針、
１７  下円板カム、
１８  突き上げモータ、
１９  カメラ（ピックアップ部）、
２０  プレース部、
２１  プレース台、
２２  プレース台アクチュエータ、
２３  プレースハンマ、
２４  円板カム、
２５  プレースモータ、
２６  カメラ（プレース部）、
３０  移載ヘッド、
３１  吸着ノズル、
３２  ヘッドアクチュエータ、
４０  制御部、
１００  チップ、
２００  粘着シート、
３００  配置シート。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【手続補正書】
【提出日】平成23年6月23日(2011.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ状態のチップを配置部へ配置する部品移送装置であって、
前記チップを配置するための配置部と、
前記チップを吸着する複数の吸着ノズルと、
前記配置部上において、前記チップを配置するためのプレース位置を決定する決定手段と、
前記配置部における前記プレース位置に前記複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め手段と、
前記複数の吸着ノズルのうちの一に吸着される前記チップを前記配置部上の前記プレース位置に配置するプレース手段と、
前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記チップを撮像する撮像手段と
を備え、
前記決定手段は、前記プレース位置を、前記複数の吸着ノズルに吸着された複数のチップが全て前記配置部における前記撮像範囲に収まると共に、夫々所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスの配置となるように決定し、
前記位置決め手段は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行うことを特徴とする部品移載装置。
【請求項２】
前記位置決め手段は、前記プレース位置のうち一の前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載の部品移載装置。
【請求項３】
前記配置部上の前記撮像範囲内に配置される前記チップの位置情報を取得する取得手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の部品移送装置。
【請求項４】
ウエハ状態のチップを配置部へ配置する部品移送装置における部品移送方法であって、
前記配置部上において、前記チップを配置するためのプレース位置を決定する決定工程と、
前記配置部における前記プレース位置に前記チップを保持する複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め工程と、
前記複数の吸着ノズルのうちの一に吸着される前記チップを前記配置部上の前記プレース位置に配置するプレース工程と、
前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記チップを撮像する撮像工程と
を備え、
前記決定工程は、前記プレース位置を、前記複数の吸着ノズルに吸着された複数のチップが全て前記配置部における前記撮像範囲に収まると共に、所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスとして決定し、
前記位置決め工程は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行うことを特徴とする部品移載方法。
【手続補正書】
【提出日】平成23年12月5日(2011.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持部に保持されるウエハ状の複数のチップを配置部へ配置する部品移送装置であって、
前記複数のチップを配置するための配置部と、
前記複数のチップを吸着する複数の吸着ノズルを保持すると共に、前記保持部と前記配置部との間で移動する移載手段と、
前記配置部上において、前記複数のチップを配置するためのプレース位置を決定する決定手段と、
前記配置部における前記プレース位置に前記複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め手段と、
一つ一つ順番に前記プレース位置に位置決めされた前記複数の吸着ノズルに吸着される前記複数のチップを、前記配置部上の前記プレース位置に一つ一つ順番に配置するプレース手段と、
前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記複数のチップを撮像する撮像手段と
を備え、
前記決定手段は、前記プレース位置を、(i)前記保持部から前記配置部に向かって前記移載手段が１回移動するときに前記移載手段が保持している前記複数の吸着ノズルに吸着された前記複数のチップが全て前記配置部における前記撮像範囲に収まると共に、(ii)夫々所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスの配置となるように決定し、
前記位置決め手段は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行うことを特徴とする部品移載装置。
【請求項２】
前記位置決め手段は、前記プレース位置のうち一の前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行うことを特徴とする請求項１に記載の部品移載装置。
【請求項３】
前記配置部上の前記撮像範囲内に配置される前記チップの位置情報を取得する取得手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の部品移送装置。
【請求項４】
(i)保持部に保持されるウエハ状の複数のチップを配置部へ配置し、且つ(ii)前記複数のチップを吸着する複数の吸着ノズルを保持すると共に、前記保持部と前記配置部との間で移動する移載手段を備える部品移送装置における部品移送方法であって、
前記配置部上において、前記複数のチップを配置するためのプレース位置を決定する決定工程と、
前記配置部における前記プレース位置に前記複数の吸着ノズルを一つ一つ順番に位置決めする位置決め工程と、
一つ一つ順番に前記プレース位置に位置決めされた前記複数の吸着ノズルに吸着される前記複数のチップを、前記配置部上の前記プレース位置に一つ一つ順番に配置するプレース工程と、
前記配置部上の撮像範囲内に配置される前記複数のチップを撮像する撮像工程と
を備え、
前記決定工程は、前記プレース位置を、(i)前記保持部から前記配置部に向かって前記移載手段が１回移動するときに前記移載手段が保持している前記複数の吸着ノズルに吸着された複数のチップが全て前記配置部における前記撮像範囲に収まると共に、(ii)所定の距離離隔する複数の列及び複数の行から成るマトリックスとして決定し、
前記位置決め工程は、前記マトリックスの角部を含む列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する列に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行う、又は、前記マトリックスの角部を含む行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置された後に、順次隣接する行に含まれる全ての前記プレース位置に前記チップが配置されるように位置決めを行うことを特徴とする部品移載方法。
【国際調査報告】
2011128982.tif 000018
2011128982.tif 000019