【手続補正書】
【提出日】令和2年3月30日(2020.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための液体吐出素子と、
前記液体吐出素子を駆動するための駆動部と、
絶縁膜を介して前記液体吐出素子を覆う導電性の保護膜と、
前記保護膜に接続され、前記保護膜の電圧の変化または前記保護膜に流れる電流の変化が検知されたとき、前記駆動部を非活性状態にする制御信号を出力する制御部と、
を有する
ことを特徴とする液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項２】
前記制御部は、前記絶縁膜により互いに分離された前記保護膜と前記液体吐出素子との間に流れる電流を検出し、該電流の値が基準値より大きくなった場合に前記制御信号を出力する
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項３】
前記制御部は、前記保護膜の電圧を検出し、該電圧の値が許容範囲から外れた場合に前記制御信号を出力する
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項４】
前記保護膜を一方の端子として含む第１の容量素子と、前記第１の容量素子の他方の端子と基準電圧との間に接続された第２の容量素子とをさらに備え、
前記第１の容量素子と前記第２の容量素子との間のノードの電圧は前記電圧の変化または前記電流の変化に従い、前記制御部は該ノードの電圧に基づいて前記制御信号を出力する
ことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項５】
前記駆動部はスイッチを含み、
前記液体吐出素子と前記スイッチとは、互いに異なる電源電圧を伝搬する第１の電源配線と第２の電源配線との間に直列に接続されており、
前記制御信号に基づいて前記スイッチが非導通状態に固定されることで、前記駆動部が非活性状態になる
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項６】
前記駆動部は第１のスイッチおよび第２のスイッチを含み、
前記液体吐出素子と前記第１のスイッチと前記第２のスイッチとは、互いに異なる電源電圧を伝搬する第１の電源配線と第２の電源配線との間に直列に接続されており、
前記第１のスイッチは、前記液体を吐出するか否かを示す信号に基づいて駆動され、
前記制御信号に基づいて前記第２のスイッチが非導通状態に固定されることで、前記駆動部が非活性状態になる
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項７】
前記液体吐出素子は、前記駆動部が設けられた半導体基板の上方に配され、
前記液体吐出ヘッド用デバイスは、前記半導体基板の上方において前記液体吐出素子と共に前記絶縁膜に覆われ且つ前記制御部に接続された配線パターンを更に備え、
前記保護膜は、前記半導体基板の上面に対する平面視において、前記配線パターンの少なくとも一部および前記液体吐出素子に重なるように配されており、
前記保護膜は、前記配線パターンの前記少なくとも一部に、前記絶縁膜に設けられたコンタクトホールを介して接続されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項８】
前記液体を前記液体吐出素子に導くための流路が設けられた液体供給部材をさらに備えており、
前記コンタクトホールは、前記平面視において、前記絶縁膜における前記流路と重ならない位置に設けられている
ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項９】
前記液体吐出素子は、複数の液体吐出素子の１つであり、
前記保護膜は、前記複数の液体吐出素子を保護するように一体に配されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１０】
前記液体吐出素子は、複数の液体吐出素子の１つであり、
前記保護膜は、前記複数の液体吐出素子に対応し且つ互いに分離された複数の保護膜の１つである
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１１】
前記駆動部は、前記複数の液体吐出素子をそれぞれ駆動するための複数の駆動部の１つであり、
前記制御部は、前記複数の保護膜の少なくとも１つについての前記電圧の変化または前記電流の変化に基づいて、前記複数の駆動部を非活性状態にする制御信号を出力する
ことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１２】
前記保護膜へ電圧を印加する電圧印加部と、モニタ部とを備え、
前記モニタ部は、前記電圧印加部から電圧を前記保護膜へ印加しない場合、前記保護膜からの電気信号に基づいて前記駆動部の活性または非活性を制御する制御信号を出力する
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１３】
前記駆動部は、第１のスイッチと第２のスイッチとを含み、
互いに異なる電源電圧を伝搬する第１の電源配線と第２の電源配線の間に、前記第１のスイッチと前記液体吐出素子と前記第２のスイッチとを直列に接続され、
前記電圧印加部から前記保護膜に電圧を印加する場合、前記第１のスイッチと前記第２のスイッチとは非導通状態に固定され、該電圧を印加しない場合、前記電圧印加部を前記保護膜から電気的に分離された状態にする
ことを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１４】
前記電圧印加部は抵抗体を介して前記保護膜に接続された
ことを特徴とする請求項１２に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１５】
前記抵抗体は、前記保護膜と前記電圧印加部とを接続する配線が長尺化された部分である
ことを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１６】
前記抵抗体は、前記保護膜と前記電圧印加部を接続する配線が幅狭化された部分である
ことを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１７】
前記抵抗体は、前記保護膜と前記電圧印加部とを接続する高抵抗の配線である
ことを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１８】
前記抵抗体は、拡散抵抗である
ことを特徴とする請求項１４に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項１９】
請求項１から請求項１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用デバイスを備える
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２０】
請求項１９に記載の液体吐出ヘッドを備える
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２１】
複数のユニットおよび論理回路を備える液体吐出ヘッド用デバイスであって、
前記複数のユニットは、
液体を吐出するための液体吐出素子と、
前記液体吐出素子を駆動するための駆動部と、
絶縁膜を介して前記液体吐出素子を覆う導電性の保護膜と、
を含み、
前記複数のユニットに対応する複数の導電性の保護膜は、該複数のユニット間において相互に分離されており、
前記論理回路は、前記導電性の保護膜に電気的に接続された入力端子と、前記駆動部に電気的に接続された出力端子とを含む
ことを特徴とする液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項２２】
前記論理回路は、前記絶縁膜により互いに分離された前記保護膜と前記液体吐出素子との間に流れる電流を検出し、該電流の値が基準値より大きくなった場合に、前記駆動部を非活性状態にする制御信号を出力する
ことを特徴とする請求項２１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項２３】
前記論理回路は、前記保護膜の電圧を検出し、該電圧の値が許容範囲から外れた場合に、前記駆動部を非活性状態にする制御信号を出力する
ことを特徴とする請求項２１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項２４】
前記駆動部はスイッチを含み、
前記液体吐出素子と前記スイッチとは、互いに異なる電源電圧を伝搬する第１の電源配線と第２の電源配線との間に直列に接続されており、
前記論理回路からの制御信号に基づいて前記スイッチが非導通状態に固定されることで、前記駆動部が非活性状態になる
ことを特徴とする請求項２１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項２５】
前記駆動部は第１のスイッチおよび第２のスイッチを含み、
前記液体吐出素子と前記第１のスイッチと前記第２のスイッチとは、互いに異なる電源電圧を伝搬する第１の電源配線と第２の電源配線との間に直列に接続されており、
前記第１のスイッチは、前記液体を吐出するか否かを示す信号に基づいて駆動され、
前記論理回路からの制御信号に基づいて前記第２のスイッチが非導通状態に固定されることで、前記駆動部が非活性状態になる
ことを特徴とする請求項２１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項２６】
前記保護膜へ電圧を印加する電圧印加部と、モニタ部とを備え、
前記モニタ部は、前記電圧印加部から電圧を前記保護膜へ印加しない場合、前記保護膜からの電気信号に基づいて前記駆動部の活性または非活性を制御する制御信号を出力する
ことを特徴とする請求項２１に記載の液体吐出ヘッド用デバイス。
【請求項２７】
液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置であって、
前記液体吐出ヘッドは、請求項２１から請求項２６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド用デバイスを備える
ことを特徴とする液体吐出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一つの側面は液体吐出ヘッド用デバイスにかかり、前記液体吐出ヘッド用デバイスは、液体を吐出するための液体吐出素子と、前記液体吐出素子を駆動するための駆動部と、絶縁膜を介して前記液体吐出素子を覆う導電性の保護膜と、前記保護膜に接続され、前記保護膜からの電気信号をモニタするためのモニタ部と、を備え、前記モニタ部は、前記保護膜からの電気信号に基づいて前記駆動部を非活性化するための制御信号を出力することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液体吐出ヘッド用デバイス