Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】令和2年4月21日(2020.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車載カメラ（１１０）と、クラウド地図サーバ（１２０）とを有した自車両（１０）の自己位置推定装置において、
前記自車両の状態量と前記車載カメラによるセンシングとに基づいて、前記自車両の周りの環境を認識する環境認識部（１４０）を備え、
前記環境認識部は、
前記車載カメラのセンシングに基づいてカメラランドマークを認識するランドマーク認識部（１４１）と、
前記クラウド地図サーバにおけるクラウド地図を更新するクラウド地図送受信部（１４２）と、
前記カメラランドマークと前記クラウド地図における地図ランドマークとから、前記自車両の位置を推定する自己位置推定部（１４３）と、を備え、
前記ランドマーク認識部は、
前記クラウド地図において前記地図ランドマークがない場合、または、前記カメラランドマークの精度が低いと判断された場合に、前記車載カメラのセンシングに基づき新たなランドマークを生成するランドマーク生成部（１４１ａ）を備え、
前記ランドマーク生成部は、
前記車載カメラのセンシングにより得られる交差点の角に基づいた前記新たなランドマークとして抽出する自己位置推定装置。
【請求項２】
前記ランドマーク生成部は、
前記車載カメラのセンシングにより得られる交差点の角となる４点から得られる交差点の中心位置を前記新たなランドマークとして抽出する請求項１に記載の自己位置推定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明では、車載カメラ（１１０）と、クラウド地図サーバ（１２０）とを有した自車両（１０）の自己位置推定装置において、
自車両の状態量と車載カメラによるセンシングとに基づいて、自車両の周りの環境を認識する環境認識部（１４０）を備え、
環境認識部は、
車載カメラのセンシングに基づいてカメラランドマークを認識するランドマーク認識部（１４１）と、
クラウド地図サーバにおけるクラウド地図を更新するクラウド地図送受信部（１４２）と、
カメラランドマークとクラウド地図における地図ランドマークとから、自車両の位置を推定する自己位置推定部（１４３）と、を備え、
ランドマーク認識部は、
クラウド地図において地図ランドマークがない場合、または、カメラランドマークの精度が低いと判断された場合に、車載カメラのセンシングに基づき新たなランドマークを生成するランドマーク生成部（１４１ａ）を備え、
ランドマーク生成部は、
車載カメラのセンシングにより得られる交差点の角に基づいた新たなランドマークとして抽出することを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】令和2年9月4日(2020.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを送達して基板に印刷するシステムであって、
ガスエンクロージャと、
前記ガスエンクロージャ内に配置された基板サポートと、
前記ガスエンクロージャ内に配置されたプリントヘッドアセンブリであって、少なくとも１つのプリントヘッドを備え、前記少なくとも１つのプリントヘッドを前記基板サポートにより支持された基板に対して動かすように、プリントヘッド動作システムに搭載されたプリントヘッドアセンブリと、
前記ガスエンクロージャ内に配置され、前記プリントヘッド動作システムに対し、前記プリントヘッドアセンブリとは別にかつ前記プリントヘッドアセンブリの近くに搭載されたローカルインク送達システムであって、前記プリントヘッドアセンブリに対して動作接続され、
前記少なくとも１つのプリントヘッドと流体結合されたローカルインク分注リザーバと、
少なくとも予め定められたレベルのインクを前記ローカルインク分注リザーバに維持するように、前記ローカルインク分注リザーバと流体結合されたローカルインク補充リザーバと、を備えるローカルインク送達システムと、
前記ガスエンクロージャの外部に配置されたバルクインク送達システムであって、前記ローカルインク補充リザーバに対し、少なくとも予め定められたレベルのインクを前記ローカルインク補充リザーバに維持するように、外部導管の内部に設けられた流体ラインにより流体結合されたバルクインク送達システムと、
を備える、システム。
【請求項２】
前記基板サポートは、基板動作システムを備える、
請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記基板動作システムは、Ｙ軸動作システムであり、
前記プリントヘッド動作システムは、Ｘ軸キャリッジアセンブリである、
請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記基板サポートは、浮動式テーブルを備える、
請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記ガスエンクロージャは、当該ガスエンクロージャの内部に、制御下にある処理環境を維持可能である、
請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記ガスエンクロージャは、当該ガスエンクロージャの内部に、不活性ガス環境を維持可能である、
請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記不活性ガスは、窒素、希ガスのうちのいずれかおよびそれらの組み合わせから選択されたものである、
請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記印刷システムは、前記ガスエンクロージャに対して動作結合されたガス精製システムをさらに備える、
請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記ガス精製システムは、前記ガスエンクロージャ内のガスにおける反応種を制限するように構成される、
請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記反応種は、水蒸気、酸素、有機溶剤蒸気およびオゾンから選択されたものである、
請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記少なくとも１つのプリントヘッドは、有機材料を含むインクを印刷して前記基板上に層を形成するように構成される、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１２】
前記有機材料は、ＯＬＥＤスタックの層を形成する材料である、
請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記有機材料は、ＯＬＥＤ装置のカプセル化層を形成する材料である、
請求項１１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記基板動作システムおよび前記基板サポートは、いずれも基部に搭載された、
請求項３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記ローカルインク分注リザーバおよび前記ローカルインク補充リザーバのそれぞれは、傾斜した底面を有する容器を備える、
請求項１に記載のシステム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年9月16日(2020.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピーキングテストのアプリケーションを予め記憶する携帯型情報処理装置を受検者に配布して前記スピーキングテストを実施し、前記スピーキングテストの終了後に回収される前記携帯型情報処理装置であって、
前記スピーキングテストのアプリケーションを実行する実行手段と、
前記スピーキングテストの受検者に識別情報を入力させる入力手段と、
前記スピーキングテストの第１の問題に対する第１の解答及び第２の問題に対する第２の解答を入力させる音声入力手段と、
前記第１の解答を、前記識別情報に関連付けて第１の解答データとして記憶し、かつ、前記第２の解答を、前記識別情報に関連付けて第２の解答データとして記憶するための記憶手段と、
前記スピーキングテストを実行している最中に、前記第１の解答データ及び前記第２の解答データを送信可能に構成される無線送信手段と、
を有する携帯型情報処理装置。
【請求項２】
前記第１の解答データ及び前記第２の解答データは、それぞれ所定フォーマットからなる音声データであり、かつ、これら音声データが含まれるファイル名は、前記識別情報として利用可能である、請求項１に記載の携帯型情報処理装置。
【請求項３】
前記スピーキングテストは、前記第１の問題を含む第１パートと、前記第２の問題を含む第２パートを有し、
前記記憶手段は、前記第１の解答を含む前記第１パートの解答を、前記識別情報に関連付けて前記第１の解答データとして記憶し、かつ、前記第２の解答を含む前記第２パートの解答を、前記識別情報に関連付けて前記第２の解答データとして記憶する、請求項１又は２に記載の携帯型情報処理装置。
【請求項４】
スピーキングテストのアプリケーションを予め記憶する携帯型情報処理装置を受検者に配布して前記スピーキングテストを実施し、前記スピーキングテストの終了後に回収される前記携帯型情報処理装置の動作方法であって、
前記スピーキングテストの受検者に識別情報を入力させる識別情報入力ステップと、
前記スピーキングテストのアプリケーションを実行させる実行ステップと、
前記スピーキングテストの第１の問題に対する第１の解答及び第２の問題に対する第２の解答を、音声入力手段を用いて入力させる解答入力ステップと、
前記第１の解答を、前記識別情報に関連付けて第１の解答データとして記憶させ、かつ、前記第２の解答を、前記識別情報に関連付けて第２の解答データとして記憶させる記憶ステップと、
前記スピーキングテストを実行している最中に、前記第１の解答データ及び前記第２の解答データを、無線送信手段を用いて送信させる送信ステップと、
を含む携帯型情報処理装置の動作方法。
【請求項５】
前記第１の解答データ及び前記第２の解答データは、それぞれ所定フォーマットからなる音声データであり、かつ、これら音声データが含まれるファイル名は、前記識別情報として利用可能である、請求項４に記載の携帯型情報処理装置の動作方法。
【請求項６】
前記スピーキングテストは、前記第１の問題を含む第１パートと、前記第２の問題を含む第２パートを有し、
前記記憶ステップは、前記第１の解答を含む前記第１パートの解答を、前記識別情報に関連付けて前記第１の解答データとして記憶させ、かつ、前記第２の解答を含む前記第２パートの解答を、前記識別情報に関連付けて前記第２の解答データとして記憶させる、請求項４又は５に記載の携帯型情報処理装置の動作方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月25日(2020.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両（１００）の周囲の状況を検出するセンサ（３０）および該車両に搭載された表示装置（６０）と通信可能に接続され、該車両に搭載される運転支援装置（１０）であって、
前記センサがセンシングするセンシング範囲を取得するセンシング範囲取得部（２４）と、
前記車両の走行状況を特定する走行状況特定部（２３）と、
前記車両の走行予定走路（Ｌｎ、Ｌｎ１、Ｌｎ２、Ｌｎ３）を含んだ地図（ＭＰ、ＭＰ１、ＭＰ２、ＭＰ３、ＭＰ３ａ、ＭＰ３ｂ、ＭＰ３ｃ）を取得する地図情報取得部（２６）と、
前記センシング範囲（ＳＲ、ＳＲ１）を示す画像であるセンシング範囲画像（ＳＲＩｍｇ）を、前記車両の現在位置に対応づけて前記地図に重畳して前記表示装置に表示させる制御部（２１）と、
を備え、
前記制御部は、前記車両が自動運転されている場合に、特定された前記走行状況に応じた表示態様で前記センシング範囲画像を前記表示装置に表示させる、
運転支援装置。
【請求項２】
請求項１に記載の運転支援装置であって、
前記走行状況特定部は、前記走行状況として前記車両の速度を特定し、
前記制御部は、特定された前記速度に応じて、前記センシング範囲画像の表示態様を異ならせて前記表示装置に表示させる、
運転支援装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の運転支援装置であって、
前記制御部は、特定された前記走行状況が予め定められている走行状況である場合に、特定された前記走行状況が該予め定められている走行状況でない場合に比べて、前記地図を拡大して前記表示装置に表示させる、
運転支援装置。
【請求項４】
請求項３に記載の運転支援装置であって、
前記予め定められている走行状況は、前記車両が低速走行中である状況と、前記車両が交差点ＣＲを右折または左折する状況と、のうちの少なくとも一方である、
運転支援装置。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の運転支援装置であって、
前記現在位置から前記車両の進行方向における予め定められた距離の範囲内に存在する交差点を検出し、前記現在位置から検出された該交差点までの距離を算出する距離算出部（２５）を、さらに備え、
前記制御部は、算出された前記距離に応じて、前記センシング範囲画像の表示態様を異ならせて前記表示装置に表示させる、
運転支援装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載の運転支援装置であって、
前記センシング範囲取得部は、前記センシング範囲として、前記センサにより検出された物標の複数の代表位置を示す点列を包絡線で結んで得られる領域を取得し、
前記制御部は、前記センシング範囲と、前記センサがセンシングできない範囲とで表示態様を異ならせて前記表示装置に表示させる、
運転支援装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の運転支援装置であって、
前記センシング範囲取得部は、前記センサのセンシング可能範囲を取得し、
前記制御部は、前記センシング範囲に加えて、前記センシング可能範囲も前記表示装置に表示させる、
運転支援装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本開示の一実施形態によれば、運転支援装置が提供される。この運転支援装置（１０）は、車両（１００）の周囲の状況を検出するセンサ（３０）および該車両に搭載された表示装置（６０）と通信可能に接続され、該車両に搭載される運転支援装置（１０）であって、前記センサのセンシング範囲を取得するセンシング範囲取得部（２４）と；前記車両の走行状況を特定する走行状況特定部（２３）と；前記車両の走行予定走路（Ｌｎ、Ｌｎ１、Ｌｎ２、Ｌｎ３）を含んだ地図（ＭＰ、ＭＰ１、ＭＰ２、ＭＰ３、ＭＰ３ａ、ＭＰ３ｂ、ＭＰ３ｃ）を取得する地図情報取得部（２６）と；前記センシング範囲（ＳＲ、ＳＲ１）を示す画像であるセンシング範囲画像（ＳＲＩｍｇ）を、前記車両の現在位置に対応づけて前記地図に重畳して前記表示装置に表示させる制御部（２１）と；を備える。ここで、前記制御部は、前記車両が自動運転されている場合に、特定された前記走行状況に応じた表示態様で前記センシング範囲画像を前記表示装置に表示させる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年9月1日(2020.9.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光測距装置(10, 10B)であって、
光を照射する複数の発光部(16)が、隣接する前記発光部の間に間隙を設けて配列された発光素子(18)と、
前記光が透過する透過部(32,90)と、
前記発光素子と前記透過部との位置関係を変更する駆動部(34,34B)と、
反射した前記光を受光する受光部(12)と、を備え、
前記駆動部によって、前記発光素子と前記透過部との位置関係を変更することにより、前記光の照射経路を前記配列の方向に沿って変更し、
さらに、前記透過部とは別部材であり前記光を略平行光にする出射レンズを備え、
前記駆動部は、前記透過部を駆動し、
前記透過部の駆動により前記発光素子と前記透過部との位置関係が変更することによって、前記透過部が前記光を屈折させずに透過させることと、前記透過部が前記光を屈折させて透過させることと、が切り替わる、光測距装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光測距装置であって、
前記透過部と前記発光素子との間に前記出射レンズが設けられている、光測距装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の光測距装置であって、
前記透過部の駆動による前記照射経路の変動幅（Ｗ）は、０μｍより大きく１００μｍ以下である、光測距装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一形態によれば、光測距装置(10, 10B)が提供される。この光測距装置は、光を照射する複数の発光部(16)が、隣接する前記発光部の間に間隙を設けて配列された発光素子(18)と、前記光が透過する透過部(32,90)と、前記発光素子と前記透過部との位置関係を変更する駆動部(34,34B)と、反射した前記光を受光する受光部(12)と、を備え、前記駆動部によって、前記発光素子と前記透過部との位置関係を変更することにより、前記光の照射経路を前記配列の方向に沿って変更し、さらに、前記透過部とは別部材であり前記光を略平行光にする出射レンズを備え、前記駆動部は、前記透過部を駆動し、前記透過部の駆動により前記発光素子と前記透過部との位置関係が変更することによって、前記透過部が前記光を屈折させずに透過させることと、前記透過部が前記光を屈折させて透過させることと、が切り替わる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年11月2日(2020.11.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
監視対象となる設備の稼動データに基づいて、設備の異常またはその予兆を検知する異常検知システムであって、
前記設備から稼動データを収集する機器と、
前記稼動データから構築される異常検知モデルに基づいて、設備の異常またはその予兆を検知する情報処理装置とを有し、
前記情報処理装置は、
前記稼動データを収集する手段と、
前記稼働データから異常検知モデルを学習する手段と、
前記稼働データと異常検知モデルから、個々の稼動データに対して異常スコアを算出する手段とを有し、
前記稼働データから異常検知モデルを学習する手段は、前記異常検知モデルの内で、その異常検知モデルの要素のばらつきが小さい異常検知モデルを学習し、
前記稼働データから異常検知モデルを学習する手段は、複数の異常検知モデルから生成する異常検知モデルの異常スコアを、重み付き線形和によって合成することを特徴とする異常検知システム。
【請求項２】
前記異常検知モデルの要素のばらつきは、前記異常検知モデルの要素の異常スコアの分散または四分位範囲であることを特徴とする請求項１記載の異常検知システム。
【請求項３】
前記稼働データから異常検知モデルを学習する手段は、初期の異常検知モデルを設定し、逐次的に異常検知モデルから異常スコアのばらつきが小さい異常検知モデルを再構成することを特徴とする請求項１記載の異常検知システム。
【請求項４】
逐次的に異常検知モデル新たな異常検知モデルを追加する際、所定探索範囲内で異常検知モデルの異常スコアの最もばらつきが小さい組み合わせ方を探索し、それを異常検知モデルの異常スコアの合成に用いることを特徴とする請求項１記載の異常検知システム。
【請求項５】
前記異常検知モデルは、ｋ近傍距離に基づく異常検知モデルであることを特徴とする請求項１記載の異常検知システム。
【請求項６】
前記稼働データから異常検知モデルを学習する手段は、複数の異常検知モデルから新たな異常検知モデルを生成するにあたり、複数の異常検知モデルから稼働データをサンプリングして新たな異常検知モデルを生成することを特徴とする請求項１記載の異常検知システム。
【請求項７】
前記稼働データから異常検知モデルを学習する手段は、前記異常スコアの大きい異常検知モデルに対して、大きな確率でサンプリングすることを特徴とする請求項６記載の異常検知システム。
【請求項８】
前記稼働データから異常検知モデルを学習する手段は、ランダム分布に基づいてサンプリングするか、補間値あるいは推定値を用いてサンプリングするか、稼働データから生成モデルを学習し、そこからサンプリングするかのいずれかでサンプリングすることを特徴とする請求項６記載の異常検知システム。
【請求項９】
さらに、初期の異常検知モデルの異常スコアと、再構成された異常検知モデルの異常スコアの比率を表示する手段とを有することを特徴とする請求項１記載の異常検知システム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年11月13日(2020.11.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の筐体と、第１のタッチセンサと、第２のタッチセンサと、第３のタッチセンサと、第１のスイッチと、第２のスイッチと、表示パネルと、を有し、
前記第１のタッチセンサは、前記表示パネルと重なる領域を有し、
前記表示パネルは第１の辺及び第２の辺を有し、
前記第２のタッチセンサは前記第１の辺に沿って設けられ、
前記第３のタッチセンサは前記第２の辺に沿って設けられ、
前記第１の辺と前記第２の辺とは、交差し、
前記第１のスイッチは、前記第２のタッチセンサの近傍に配置され、
前記第２のスイッチは、前記第３のタッチセンサの近傍に配置されている、電子機器。
【請求項２】
第１の筐体と、第２の筐体とを有し
前記第１の筐体は、前記第２の筐体を収納する構造を有し、
前記第１の筐体は、第２のタッチセンサと、第３のタッチセンサと、第１のスイッチと、第２のスイッチと、第１の通信モジュールと、開口領域と、を有し、
前記第２の筐体は、表示パネルと、第１のタッチセンサと、プロセッサと、第２の通信モジュールと、を有し、
前記開口領域は、前記表示パネルと重なる位置に配置され、
前記第１の通信モジュールは、前記第２のタッチセンサと、前記第３のタッチセンサと、のいずれか一が検知したタッチ座標情報を、前記第２の通信モジュールに送信する機能を有し、
前記第１の通信モジュールは、前記第１のスイッチと、前記第２のスイッチと、のいずれか一が検出した検出信号を、前記第２の通信モジュールに送信する機能を有し
前記プロセッサは、前記第２の通信モジュールを介して前記タッチ座標情報又は前記検出信号を受信する機能を有し、
前記プロセッサは、受信した前記タッチ座標情報又は前記検出信号のいずれか一を用いて表示パネルの表示を制御する機能を有する、電子機器。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記表示パネルは、表示領域を有し、
前記表示領域は、複数の画素を有し、
前記画素は、第１の画素回路と、第２の画素回路と、を有し、
前記第１の画素回路は、第１の表示素子を有し、
前記第２の画素回路は、第２の表示素子を有し、
前記第１の表示素子は、反射電極を有し、
前記第１の表示素子は、外光を前記反射電極に反射させることで表示する機能を有し、
前記反射電極は、開口領域又は切欠き領域を有し、
前記第２の表示素子により発せられた光は、前記開口領域又は切欠き領域を通過し、表示する機能を有する、電子機器。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一において、
前記第１の表示素子は、反射型の液晶素子または発光素子である電子機器。
【請求項５】
請求項３又は４において、
前記第１の表示素子が反射する第１の光、及び前記第２の表示素子が発する第２の光のうち、いずれか一方又は両方により、画像を表示する機能を有する、電子機器。
【請求項６】
請求項３乃至５のいずれか一において、
画素はトランジスタを有し、前記トランジスタは、半導体層に金属酸化物を有する電子機器。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一に記載の電子機器を用いたタッチパネル入力方法であって、
前記第２のタッチセンサは、タッチを検知すると、第１のタッチ座標を出力し、
前記第３のタッチセンサは、タッチを検知すると、第２のタッチ座標を出力し、
前記表示パネルは、前記第１のタッチ座標を基点として前記第２のタッチセンサの長辺に対し垂直の方向に延在する第１の領域を表示し、
前記表示パネルは、第２のタッチ座標を基点として前記第３のタッチセンサの長辺に対し垂直の方向に延在する第２の領域を表示する、タッチパネル入力方法。
【請求項８】
請求項７において、
前記表示パネルは、前記第１の領域と、前記第２の領域と、が交差して形成された第３の領域を有し、
前記第３の領域と重なり合う位置に表示された表示オブジェクトを抽出し、
前記表示オブジェクトに関連付けられたアプリケーションプログラムを実行する、タッチパネル入力方法。
【請求項９】
請求項７又は８において、
前記第１のスイッチから検出信号を検出することにより、選択されている第１の領域の選択表示を解除し、
前記第２のスイッチから検出信号を検出することにより、選択されている第２の領域の選択表示を解除する、タッチパネル入力方法。
【請求項１０】
請求項７乃至９のいずれか一において、
前記第３の領域で選択された表示オブジェクトが選択されたことを明示するために、階調もしくは色調を変化させる、タッチパネル入力方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年10月7日(2020.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央処理装置（ＣＰＵ）の資源に基づいてカーブのテッセレーションレベルを決定する段階と、
前記テッセレーションレベルに基づいて、前記カーブに対応する少なくとも２つの第１サブカーブ、及び少なくとも１つの三角形を生成する段階と、
前記少なくとも２つの第１サブカーブ、及び前記少なくとも１つの三角形をレンダリングする段階と、
を含み、前記レンダリングする段階は、前記少なくとも２つの第１サブカーブ、及び前記少なくとも１つの三角形を別々にレンダリングする、カーブレンダリングを行う方法。
【請求項２】
前記決定する段階は、
中央処理装置（ＣＰＵ）の資源使用比率、及びグラフィック処理装置（ＧＰＵ）の資源使用比率を考慮し、前記テッセレーションレベルを決定する段階を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記決定する段階は、
前記ＣＰＵの資源使用比率が、前記ＧＰＵの資源使用比率より高いことに応答して、前記テッセレーションレベルを低下させ、前記ＣＰＵの資源使用比率が、前記ＧＰＵの資源使用比率より低いか、あるいはそれと同じであることに応答して、前記テッセレーションレベルを上昇させる段階を含むことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記生成する段階は、
前記テッセレーションレベルがＮであることに応答して、第（Ｎ−１）サブカーブに対応する少なくとも２つの第Ｎサブカーブ、及び少なくとも１つの三角形を生成する段階を含み、
前記Ｎは２以上の自然数であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記生成する段階は、
De  Casteljauアルゴリズムを利用して、前記カーブを分割することにより、前記少なくとも２つの第１サブカーブを生成する段階を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記テッセレーションレベルを保存する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記レンダリングする段階は、
ループブリン方式を利用することにより前記少なくとも２つの第１サブカーブをレンダリングし、ＧＰＵのパイプラインを利用することにより前記少なくとも１つの三角形をレンダリングする段階を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記少なくとも２つの第１サブカーブ、及び少なくとも１つの三角形に対応するデータを保存する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
中央処理装置（ＣＰＵ）の資源使用比率、及びグラフィック処理装置（ＧＰＵ）の資源使用比率に基づいて、テッセレーションレベルを決定する段階と、
前記テッセレーションレベルに基づいて、カーブに対応するプリミティブデータを生成する段階と、
前記プリミティブデータを利用して、前記カーブをレンダリングする段階と、
を含むカーブレンダリングを行う方法。
【請求項１０】
前記決定する段階は、
前記ＣＰＵの資源使用比率が、前記ＧＰＵの資源使用比率より高いことに応答して、前記テッセレーションレベルを低下させ、前記ＣＰＵの資源使用比率が、前記ＧＰＵの資源使用比率より低いか、あるいはそれと同じであることに応答して、前記テッセレーションレベルを上昇させる段階を含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記テッセレーションレベルは、前記カーブを分割する回数に対応することを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記決定する段階は、
第１カーブのテッセレーションレベルを上昇させるか、あるいは低下させることにより、第２カーブのテッセレーションレベルを決定する段階を含み、
前記第１カーブは、前記第２カーブより前に決定されたテッセレーションレベルを有するカーブを含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記プリミティブデータは、カーブデータ及び三角形データのうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記生成する段階は、
De  Casteljauアルゴリズムを利用して、前記カーブを分割することにより、前記プリミティブデータを生成する段階を含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１５】
前記レンダリングする段階は、
前記ＧＰＵのパイプラインに基づくレンダリング、及び前記プリミティブデータを利用することによるループブリン方式に基づくレンダリング、のうち少なくとも一つを実行する段階を含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１６】
前記テッセレーションレベルを保存する段階をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１７】
前記プリミティブデータを保存する段階をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１８】
第１処理装置の資源使用比率が、第２処理装置の資源使用比率よりも基準値倍大きいことに応答して、第１テッセレーションレベルと決定する段階であって、前記基準値は０より大きな実数である、段階と、
前記第１処理装置の資源使用比率が、前記第２処理装置の資源使用比率より前記基準値倍小さいか、あるいはそれと同じであることに応答して、前記第１テッセレーションレベルとは異なる第２テッセレーションレベルを決定する段階と、
を含むカーブレンダリングを行う方法。
【請求項１９】
前記第１処理装置は中央処理装置（ＣＰＵ）を含み、前記第２処理装置はグラフィック処理装置（ＧＰＵ）を含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】カーブレンダリング方法
【手続補正書】
【提出日】令和2年8月24日(2020.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報処理装置の前方状態を判定する情報処理装置であって、
前記情報処理装置の前方が撮影された画像から人物を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出した人物を追跡する追跡手段と、
前記追跡手段による追跡状況に基づき、前記前方状態の遷移確率を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
第１の状態遷移確率と前記第１の状態遷移確率よりも低い値である第２の状態遷移確率を記憶する記憶手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記追跡手段により追跡処理が開始または終了した場合は、前記前方状態の状態遷移確率として第１の状態遷移確率を設定し、前記追跡手段により追跡処理が継続している場合は、前記前方状態の状態遷移確率として第２の状態遷移確率を設定することを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記前方状態は、予め登録された人物の在席、前記予め登録された人物とは異なる人物の在席、離席の３つの状態のいずれかであることを特徴とする請求項１または２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
情報処理装置の検出手段が、当該情報処理装置の前方が撮影された画像から人物を検出する検出工程と、
前記情報処理装置の追跡手段が、前記検出工程により検出した人物を追跡する追跡工程と、
前記情報処理装置の制御手段が、前記追跡工程による追跡状況に基づき、前記前方状態の遷移確率を制御する制御工程と、
を備えることを特徴とする情報処理方法。
【請求項５】
コンピュータを、
前記コンピュータの前方が撮影された画像から人物を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出した人物を追跡する追跡手段と、
前記追跡手段による追跡状況に基づき、前記前方状態の遷移確率を制御する制御手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年7月7日(2020.7.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
文書の中の文字列を取得する情報処理装置であって、
文書の中の複数の領域から文字列が認識された認識結果を取得する取得手段と、
前記認識結果を取得した複数の領域の関連性と、前記取得した認識結果とにより、前記文字列が認識された複数の領域の妥当性を決定する決定手段と
を備えることを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記決定された妥当性に基づいて、前記文書の中の文字列が認識された領域を識別可能に表示する表示制御手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記決定手段は、前記認識結果を取得した関連する複数の領域において、前記取得した認識結果に従って前記複数の領域が妥当かを決定することを特徴とする請求項１または２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記複数の領域からそれぞれ認識される文字列の形式を記憶する記憶手段を備え、
前記取得手段は、前記形式に従う文字列が認識されたか否かの認識結果を取得することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記文書の中の領域から、文字列が認識される領域の指定を受け付ける受付手段を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記複数の領域とは、表の列または行の領域であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記複数の領域とは、縦並びまたは横並びの一定範囲の領域であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項８】
文書の中の文字列を取得する情報処理装置の制御方法であって、
取得手段が、文書の中の複数の領域から文字列が認識された認識結果を取得する取得ステップと、
決定手段が、前記認識結果を取得した複数の領域の関連性と、前記取得した認識結果とにより、前記文字列が認識された複数の領域の妥当性を決定する決定ステップと
を備えることを特徴とする情報処理装置の制御方法。
【請求項９】
情報処理装置を、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
そこで、本発明の目的は、文書の中で文字列が認識された複数の領域の妥当性を確認することができる仕組みを提供することを目的とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は、文書の中の文字列を取得する情報処理装置であって、文書の中の複数の領域から文字列が認識された認識結果を取得する取得手段と、前記認識結果を取得した複数の領域の関連性と、前記取得した認識結果とにより、前記文字列が認識された複数の領域の妥当性を決定する決定手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明によれば、文書の中で文字列が認識された複数の領域の妥当性を確認することができる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月29日(2020.1.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
任意の位置に物体が直接又は間接的に置かれ得る所定エリアが撮像された結果として得られる撮像画像を取得する取得手段と、
取得された前記撮像画像に基づいて、前記所定エリアにおける前記物体の存在を認識する認識手段と、
前記撮像画像における前記物体の影が生じない又は減少するように、前記物体を含む前記所定エリア全面を照明する照明手段と、
外光が前記所定エリア内に入り込まないように、前記所定エリアを囲む囲繞手段と、
を備える、
情報処理システム。
【請求項２】
前記所定エリアは、前記囲繞手段の内部に設置されるプレートの盤面である、
請求項１に記載の情報処理システム。
【請求項３】
前記照明手段は、１以上の方向から照明するように設置される、
請求項１又は２に記載の情報処理システム。
【請求項４】
前記照明手段は、複数備えられ、少なくとも１の前記照明手段で前記所定エリアに生じた影の少なくとも一部を別の前記照明手段によって除去するように配置されている
請求項３に記載の情報処理システム。
【請求項５】
前記照明手段は、２色以上に変色可能に発光する、
請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の情報処理システム。
【請求項６】
前記照明手段は、前記所定エリアを照明する光を用いて画像を表示することが可能な装置である、
請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の情報処理システム。
【請求項７】
前記所定エリアの少なくとも一部は、前記所定エリア上の物体の転がりを防止するように形成されている、
請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の情報処理システム。
【請求項８】
前記囲繞手段は、前記所定エリアを視認できるように透明になる透明状態と、不透明になる不透明状態とに切替え可能とする遮光手段を有し、
前記遮光手段の前記透明状態と前記不透明状態とに切り替える遮光制御手段をさらに備えている、
請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の情報処理システム。
【請求項９】
前記情報処理システムに関する１以上の状態を提示する提示手段をさらに備えている、
請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の情報処理システム。
【請求項１０】
取得された前記撮像画像のうち、少なくとも一部の画像を表示する表示手段をさらに備えている、
請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の情報処理システム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年11月11日(2020.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられた第１のメモリセルと、
前記第１のメモリセル上に設けられた第２のメモリセルと、を有し、
前記第１のメモリセルは、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第１の容量素子と、を有し、
前記第２のメモリセルは、第３のトランジスタと、第４のトランジスタと、第２の容量素子と、を有し、
前記第１のトランジスタのゲートは、前記第２のトランジスタのソース又はドレインの一方と、電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第１の容量素子の電極の一方と、電気的に接続され、
前記第３のトランジスタのゲートは、前記第４のトランジスタのソース又はドレインの一方と、電気的に接続され、
前記第４のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第２の容量素子の電極の一方と、電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第３のトランジスタのソース又はドレインの一方と、電気的に接続された回路構成を有し、
前記第１のトランジスタ及び前記第３のトランジスタのチャネル長方向の軸が互いに重なり、
前記第２のトランジスタ及び前記第４のトランジスタのチャネル長方向の軸が互いに重なる、半導体装置。
【請求項２】
基板上に設けられた第１のメモリセルと、
前記第１のメモリセル上に設けられた第２のメモリセルと、を有し、
前記第１のメモリセルは、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第１の容量素子と、を有し、
前記第２のメモリセルは、第３のトランジスタと、第４のトランジスタと、第２の容量素子と、を有し、
前記第１のトランジスタのゲートは、前記第２のトランジスタのソース又はドレインの一方と、電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第１の容量素子の電極の一方と、電気的に接続され、
前記第３のトランジスタのゲートは、前記第４のトランジスタのソース又はドレインの一方と、電気的に接続され、
前記第４のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第２の容量素子の電極の一方と、電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第３のトランジスタのソース又はドレインの一方と、電気的に接続された回路構成を有し、
前記第１のトランジスタ乃至前記第４のトランジスタのチャネル長方向が前記基板の上面に略垂直である、半導体装置。
【請求項３】
基板上に設けられた第１のメモリセルと、
前記第１のメモリセル上に設けられた第２のメモリセルと、を有し、
前記第１のメモリセルは、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第１の容量素子と、を有し、
前記第２のメモリセルは、第３のトランジスタと、第４のトランジスタと、第２の容量素子と、を有し、
前記第１のトランジスタのゲートは、前記第２のトランジスタのソース又はドレインの一方と、電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第１の容量素子の電極の一方と、電気的に接続され、
前記第３のトランジスタのゲートは、前記第４のトランジスタのソース又はドレインの一方と、電気的に接続され、
前記第４のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第２の容量素子の電極の一方と、電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第３のトランジスタのソース又はドレインの一方と、電気的に接続された回路構成を有し、
前記第２のトランジスタのゲートとして機能する第１の配線と、
前記第１のトランジスタのゲートとして機能する電極と、
前記第１の配線、前記電極を貫通して形成された第１の穴を埋める第１の半導体と
を有し、
前記第１の半導体と前記第１の配線との間には第１の絶縁膜があり、
前記第１の半導体と前記電極は電気的に接続している、半導体装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記第１の容量素子は、前記電極、第２の絶縁膜、及び前記第１の配線と略同一方向に延在する第２の配線の一部を有する、半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年7月20日(2020.7.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アノードと、カソードと、前記アノードと前記カソードとの間に配置されている光電変換層と、を有する光電変換素子であって、
前記光電変換層は第一の有機化合物と第二の有機化合物とを有し、前記第一の有機化合物の酸化電位は、前記第二の有機化合物の酸化電位よりも小さく、下記式（Ａ）であらわされるΔＥが、下記式（Ｂ）を満たし、
ΔＥ＝第一の有機化合物の酸化電位−第二の有機化合物の還元電位  （Ａ）
ΔＥ≧１．５  ［Ｖ］                                          （Ｂ）
前記第一の有機化合物が下記一般式［１］乃至［５］のいずれかであることを特徴とする光電変換素子。
【化１】
2018085499.tif 000001
一般式［１］において、Ｒ１は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基を表す。
ｎ１及びｎ２は０乃至４までの整数を表す。Ｘ１乃至Ｘ３は窒素原子、硫黄原子、酸素原子または炭素原子を表わし、当該炭素原子は、置換基を有してもよい。
Ａｒ１及びＡｒ２は置換あるいは無置換のアリール基、または置換あるいは無置換の複素環基からそれぞれ独立に選ばれる。
Ａｒ１及びＡｒ２が複数ある場合はそれぞれ同じでも異なってもよく、Ａｒ１及びＡｒ２はＸ２あるいはＸ３が炭素原子の場合、互いに結合して環を形成してもよい。
Ｚ１はハロゲン原子、シアノ基、置換あるいは無置換のヘテロアリール基または以下の一般式［１−１］乃至［１−９］で表される置換基のいずれかを表す。
一般式［１−１］乃至［１−９］において、Ｒ５２１乃至Ｒ５８８は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。
【化２】
2018085499.tif 000002
一般式［２］においてＲ２０乃至Ｒ２９は水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。Ｒ２０乃至Ｒ２９のうちの隣り合う２つは互いに結合して環を形成してもよい。
【化３】
2018085499.tif 000003
一般式［３］乃至［５］において、Ｍは金属原子を表す。当該金属原子は酸素原子またはハロゲン原子を置換基として有してもよい。
Ｌ１乃至Ｌ９は金属Ｍに配位する配位子を表す。当該配位子は、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基からなり、それぞれＬ１乃至Ｌ９のうちの隣り合う２つは互いに結合して環を形成してもよい。
【請求項２】
前記一般式［１］において、Ａｒ１が前記アリール基または前記複素環基であり、Ｘ１が硫黄原子または酸素原子であり、ｎ１が１であり、ｎ２が０であることを特徴とする請求項１に記載の光電変換素子。
【請求項３】
前記一般式［２］が以下に示す一般式［１１］乃至［２７］であることを特徴とする請求項１または２に記載の光電変換素子。
【化４】
2018085499.tif 000004
【化５】
2018085499.tif 000005
式［１１］乃至［２７］において、Ｒ３１乃至Ｒ３９０は、水素原子、ハロゲン原子、置換あるいは無置換のアルキル基、置換あるいは無置換のアルコキシ基、置換あるいは無置換のアリール基、置換あるいは無置換の複素環基、置換あるいは無置換のビニル基、置換あるいは無置換のアミノ基、シアノ基からそれぞれ独立に選ばれる。
【請求項４】
前記一般式［３］乃至［５］において、Ｍがイリジウム、プラチナ、バナジウム、コバルト、ガリウム、チタンのいずれかであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光電変換素子。
【請求項５】
アノードと、カソードと、前記アノードと前記カソードとの間に配置されている有機光電変換層と、を有する光電変換素子であって、
前記光電変換層における暗電流の活性化エネルギーが、０．７０ｅＶ以上であることを特徴とする光電変換素子。
【請求項６】
前記光電変換層は、第一の有機化合物と、第二の有機化合物とを有することを特徴とする請求項５に記載の光電変換素子。
【請求項７】
前記光電変換層は、第一の有機化合物と、第二の有機化合物とを有し、
前記第一の有機化合物の酸化電位は、前記第二の有機化合物の酸化電位よりも小さいことを特徴とする請求項５または６に記載の光電変換素子。
【請求項８】
前記第一の有機化合物の吸収ピーク波長は、５３０ｎｍ以上であることを特徴とする請求項１乃至４、６及び７のいずれか一項に記載の光電変換素子。
【請求項９】
前記第一の有機化合物の酸化電位が、０．６５Ｖ以上であることを特徴とする請求項１乃至４、及び６乃至８のいずれか一項に記載の光電変換素子。
【請求項１０】
前記第二の有機化合物がフラーレン誘導体であることを特徴とする請求項１乃至４、及び６乃至９のいずれか一項に記載の光電変換素子。
【請求項１１】
前記フラーレン誘導体が、フラーレンＣ６０であることを特徴とする請求項１０に記載の光電変換素子。
【請求項１２】
前記上部電極の上に封止層を有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の光電変換素子。
【請求項１３】
複数の画素と、前記画素に接続されている信号処理回路と、を有する撮像素子であって、
前記画素は、請求項１乃至１２のいずれか一項に記載の光電変換素子と、前記光電変換素子に接続されている読み出し回路とを有することを特徴とする撮像素子。
【請求項１４】
複数のレンズを有する光学部と、前記光学部を透過した光を受光する撮像素子とを有し、
前記撮像素子は、請求項１３に記載の撮像素子であることを特徴とする撮像装置。
【請求項１５】
外部からの信号を受信する受信部をさらに有することを特徴とする請求項１４に記載の撮像装置。
【請求項１６】
前記信号は、前記撮像装置の撮像範囲、撮像の開始、撮像の終了の少なくともいずれかを制御する信号であることを特徴とする請求項１５に記載の撮像装置。
【請求項１７】
取得した画像を外部に送信する送信部をさらに有することを特徴とする請求項１４乃至１６のいずれか一項に記載の撮像装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年9月3日(2020.9.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性ウェハ基板の変形を前記ウェハ基板のプラズマエッチングの間に監視及び制御する方法であって、
電気絶縁性ウェハ基板を、前記電気絶縁性ウェハの上面全体が露出するようにプロセスチャンバ内のプラテンアセンブリ上に配置する工程と、
前記プロセスチャンバ中にプロセスガスを通す工程と、
前記プラテンアセンブリに高周波バイアス電圧を印加する工程と、
前記プロセスチャンバ内にプラズマを生成させることによって前記電気絶縁性ウェハ基板の前記露出した上面全体をエッチングする工程と、
前記プラテンアセンブリと前記プロセスチャンバとの間の電圧差を監視することによって、前記プラテンアセンブリに対する前記電気絶縁性ウェハ基板の反り（ワーピング）を、前記エッチングの間に求める工程と、
閾値監視電圧に達したら、前記プラズマを減衰又は消滅させて、さらなるエッチングを防止する工程と、
を含む、方法。 
【請求項２】
前記プラテンアセンブリの温度を制御して前記ウェハ基板の温度を調整する工程をさらに含む、請求項１に記載の方法。 
【請求項３】
前記絶縁性ウェハ基板がサファイア基板である、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記絶縁性ウェハ基板がガラス基板である、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記プラズマが、高周波（ＲＦ）電力を前記プロセスチャンバ中に誘導又は容量結合させることにより生成される、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記プロセスチャンバの周りに配置された１つ又は複数のアンテナにＲＦ電位を印加することにより前記プロセスチャンバ中にＲＦ電力を誘導結合させる工程をさらに含む、請求項５に記載の方法。 
【請求項７】
前記プラテンアセンブリと前記プロセスチャンバとの間のピーク・トゥ・ピーク電圧差（Ｖｐｐ）を監視する工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記プラテンアセンブリと前記プロセスチャンバとの間のＶｐｐが前記エッチングの開始時のＶｐｐの１０％を超えたら、前記プラズマを減衰又は消滅させる工程をさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記プラテンアセンブリと前記プロセスチャンバとの間のＶｐｐが前記エッチングの開始時のＶｐｐの２０％を超えたら、前記プラズマを減衰又は消滅させる工程をさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記Ｖｐｐが、前記プラテンアセンブリ上に実質的にフラットな配向で延在する代表的な絶縁ウェハ基板のＶｐｐに特徴的な所定の値まで減少したら、前記プラズマを減衰又は消滅させる工程をさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項１１】
前記プラテンアセンブリと前記プロセスチャンバとの間の直流電圧差（Ｖｄｃ）を監視する工程を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記プラテンアセンブリと前記プロセスチャンバの間のＶｄｃが前記エッチングの開始時のＶｄｃの５０％を超えたら、前記プラズマを減衰又は消滅させる工程をさらに含む、請求項１１に記載の方法。 
【請求項１３】
前記プラテンアセンブリと前記プロセスチャンバの間のＶｄｃが前記エッチングプロセスの開始時のＶｄｃの１００％を超えたら、前記プラズマを減衰又は消滅させる工程をさらに含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記Ｖｄｃが、前記プラテンアセンブリ上に実質的にフラットな配向で延在する代表的な絶縁性ウェハ基板のＶｄｃに特徴的な所定の値まで減少したら、前記プラズマを減衰又は消滅させる工程をさらに含む、請求項１１に記載の方法。