【手続補正書】
【提出日】令和1年12月17日(2019.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１クラッド層と、
前記第１クラッド層の上に形成されたコア層と、
前記第１クラッド層及び前記コア層の上に形成され、前記第１クラッド層よりも平面視での面積が小さい第２クラッド層と
を有し、
前記第２クラッド層は、本硬化部と、前記第２クラッド層の外周部に形成され、前記本硬化部の外周を覆う半硬化部とを有することを特徴とする光導波路装置。
【請求項２】
第１クラッド層と、
前記第１クラッド層の上に形成されたコア層と、
前記第１クラッド層及び前記コア層の上に形成され、前記第１クラッド層よりも平面視での面積が小さい第２クラッド層と
を有し、
前記第１クラッド層は、本硬化部と、リング状の半硬化部とを有し、
前記第２クラッド層の外周部は、前記第１クラッド層の半硬化部の上に配置されていることを特徴とする光導波路装置。
【請求項３】
第１クラッド層と、
前記第１クラッド層の上に形成された複数のコア層と、
前記第１クラッド層及び前記複数のコア層の上に形成された第２クラッド層と
を有し、
前記第１クラッド層は、本硬化部と、複数の半硬化部とを有し、
前記複数のコア層は、前記第１クラッド層の半硬化部の上にそれぞれ配置され、
前記第２クラッド層は、本硬化部と、前記複数のコア層の上面及び側面を覆う半硬化部とを有することを特徴とする光導波路装置。
【請求項４】
前記第１クラッド層及び前記第２クラッド層は、光硬化性樹脂から形成されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の光導波路装置。
【請求項５】
前記半硬化部は、架橋率が前記本硬化部に対して１０％〜８０％であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光導波路装置。
【請求項６】
前記コア層に形成された光路変換ミラーに光結合された光素子を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の光導波路装置。
【請求項７】
基板の上に第１クラッド層を形成する工程と、
前記第１クラッド層の上にコア層を形成する工程と、
前記第１クラッド層及び前記コア層の上に、前記第１クラッド層よりも平面視での面積が小さく、かつ、外周部が、本硬化部の外周を覆うリング状の半硬化部からなる第２クラッド層を形成する工程と
を有することを特徴とする光導波路装置の製造方法。
【請求項８】
基板の上に、本硬化部と、平面視でリング状領域に配置された半硬化部とを備えた第１クラッド層を形成する工程と、
前記第１クラッド層の上にコア層を形成する工程と、
前記第１クラッド層及び前記コア層の上に第２クラッド層を形成する工程と
を有し、
前記第２クラッド層を形成する工程では、前記第２クラッド層の外周部が前記第１クラッド層の半硬化部の上に配置されることを特徴とする光導波路装置の製造方法。
【請求項９】
基板の上に、本硬化部と、複数の半硬化部とを有する第１クラッド層を形成する工程と、
前記第１クラッド層の複数の半硬化部の上に複数のコア層をそれぞれ形成する工程と、
前記第１クラッド層及び前記複数のコア層の上に第２クラッド層を形成する工程と
を有し、
前記第２クラッド層を形成する工程では、本硬化部と、前記複数のコア層のそれぞれの上面及び側面を覆う複数の半硬化部とを形成することを特徴とする光導波路装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第２クラッド層を形成する工程は、
光硬化性樹脂を形成する工程と、
中央部に第１透光部を備えた第１フォトマスクを通して前記光硬化性樹脂に紫外線を照射して半硬化させる工程と、
前記第１透光部よりもサイズの小さい第２透光部を備えた第２フォトマスクを通して、前記光硬化性樹脂に紫外線を照射して本硬化させる工程とを含むこと特徴とする請求項７に記載の光導波路装置の製造方法。
【請求項１１】
前記第２クラッド層を形成する工程は、
光硬化性樹脂を形成する工程と、
透光部と半透光部とを備えたフォトマスクを通して前記光硬化性樹脂に紫外線を照射する工程とを含み、
前記第２クラッド層の本硬化部は、前記フォトマスクの透光部に対応する前記光硬化性樹脂から得られ、
前記第２クラッド層の半硬化部は、前記フォトマスクの半透光部に対応する前記光硬化性樹脂から得られることを特徴とする請求項７又は９に記載の光導波路装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
以下の開示の一観点によれば、第１クラッド層と、前記第１クラッド層の上に形成されたコア層と、前記第１クラッド層及び前記コア層の上に形成され、前記第１クラッド層よりも平面視での面積が小さい第２クラッド層とを有し、前記第２クラッド層は、本硬化部と、前記第２クラッド層の外周部に形成され、前記本硬化部の外周を覆う半硬化部とを有する光導波路装置が提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、その開示の他の観点によれば、基板の上に第１クラッド層を形成する工程と、前記第１クラッド層の上にコア層を形成する工程と、前記第１クラッド層及び前記コア層の上に、前記第１クラッド層よりも平面視での面積が小さく、かつ、外周部が、本硬化部の外周を覆うリング状の半硬化部からなる第２クラッド層を形成する工程とを有する光導波路装置の製造方法が提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
さらに、図３に示すように、第１クラッド層２００の上にコア層３００を形成する。コア層３００は、光硬化性樹脂にフォトマスクを介して紫外光を照射し、現像することにより、光硬化性樹脂が帯状にパターン化されて形成される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
次いで、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、配線基板１０上に第１クラッド層３０を形成する。第１クラッド層３０は、光硬化性樹脂に紫外光を照射した後に、１００℃〜１５０℃の温度で加熱処理して、光硬化性樹脂を本硬化させることにより得られる。「本硬化」とは、光硬化性樹脂が露光及び加熱処理によって完全に硬化した状態を示す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
さらに、マスク蒸着などにより、コア層３２の溝部３２ａの傾斜面Ｓに光反射性の金属層を部分的に形成して光路変換ミラーＭを得る。光反射性の金属として、金又はアルミニウムなどがある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
さらに、コア層３２の両端部には傾斜面Ｓを備えた溝部３２ａ（図８（ｂ））が形成されている。溝部３４ａの傾斜面Ｓには、金属層からなる光路変換ミラーＭ（図８（ｂ））が形成されている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
第２クラッド層３４の本硬化部３４ａと半硬化部３４ｂとは一体的に繋がって形成されている。複数のコア層３２は全て第２クラッド層３４の本硬化部３４ａで被覆されている。第１クラッド層３０、コア層３２及び第２クラッド層３４から光導波路５が構築される。コア層３２の屈折率は、第１クラッド層３０及び第２クラッド層３４の屈折率よりも高くなるように設定される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
さらに、1次露光が行われた第１光硬化性樹脂３０ｘを１００℃〜１５０℃の温度で第１の加熱処理を行う。このようにして、図１５（ｂ）に示すように、第１光硬化性樹脂３０ｘが半硬化状態となる条件で１次露光及び第１の加熱処理を行うことにより、第１光硬化性樹脂３０ｘの中央部と外周部とを半硬化状態にする（ドット領域）。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
このようにして、第１クラッド層３０が形成される。第１クラッド層３０の中央部と外周部とが完全に硬化されて本硬化部３０ａ（白抜き領域）となって形成される。また、第１クラッド層３０の中央部と外周部と間のリング状領域が半硬化部３０ｂ（ドット領域）となって形成される。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１３】
第１クラッド層３０のリング状の半硬化部３０ｂの上に第２クラッド層３４の半硬化部３４ｂが配置されている。第１クラッド層３０の半硬化部３０ｂの幅は、第２クラッド層３４の半硬化部３４ｂの幅よりも広く設定される。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１８】
図２１は第２実施形態の変形例の光導波路装置を示す図である。図２１に示すように、第２実施形態の変形例の光導波路装置１ｘでは、図２０の光導波路装置１ａにおいて、第２クラッド層３４の全体が本硬化しており、第１クラッド層３０のみにリング状の半硬化部３０ｂが形成されている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１９】
第２実施形態の変形例の光導波路装置１ｘでは、第２クラッド層３４の全体が本硬化していても、第２クラッド層３４の外周部の側面が第１クラッド層３０の半硬化部３０ｂの上に配置される。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２８】
そして、図２３の第１グレートーンマスク６０の透光部６０ａ及び半透光部６０ｂを通して、図２２（ａ）の第１光硬化性樹脂３０ｘに紫外線を照射する。さらに、露光された第１光硬化性樹脂３０ｘを１００℃〜１５０℃の温度で加熱処理する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
このとき、第１グレートーンマスク６０の透光部６０ａに対応する領域の第１光硬化性樹脂３０ｘが完全に硬化して本硬化するように、露光条件及び加熱条件が調整される。また、このとき同時に、第１グレートーンマスク６０の半透光部６０ｂに対応する領域の第１光硬化性樹脂３０ｘが半硬化状態になるように露光条件及び加熱条件が調整される。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
この場合は、まず、図２２（ａ）の第１光硬化性樹脂３０ｘを全面露光して半硬化状態とする。その後に、本硬化部３０ａ対応する透光部と、半硬化部３０ｂに対応する遮光部とを備えたフォトマスクを通して露光することにより本硬化部３０ａを得る。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５３】
この場合は、まず、図２６（ａ）の第２光硬化性樹脂３４ｘの中央部を第１フォトマスクを通して露光して半硬化状態とする。その後に、本硬化部３４ａに対応する透光部と、半硬化部３４ｂに対応する遮光部とを備えた第２フォトマスクを通して露光することにより本硬化部３４ａを得る。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５４】
以上により、図３０に示すように第３実施形態の光導波路装置１ｂが得られる。