Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】令和2年7月3日(2020.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する吐出口列が第１方向に設けられた記録ヘッドにより記録を行う液体吐出装置であって、
前記吐出口列を保護するキャップユニットと、
前記記録ヘッドおよび前記キャップユニットを相対的に移動可能な移動手段と、
前記記録ヘッドと前記キャップユニットとを、第１の相対位置と、前記第１方向および重力方向と交差する方向において前記第１の相対位置と異なる第２の相対位置と、に位置決めするための位置決め部と、を備えることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項２】
前記位置決め部は、前記記録ヘッドと前記キャップユニットとにそれぞれ備えられていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
液滴を吐出する吐出口列が設けられた記録ヘッドにより記録を行う液体吐出装置であって、
前記吐出口列を保護するキャップユニットと、
前記記録ヘッドおよび前記キャップユニットを相対的に移動可能な移動手段と、を備え、
前記キャップユニットは、前記記録ヘッドのヘッド位置決め部と当接することで前記記録ヘッドと前記キャップユニットとを第１の相対位置に位置決めするための第１位置決め部と、前記ヘッド位置決め部と当接することで前記記録ヘッドと前記キャップユニットとを第２の相対位置に位置決めするための第２位置決め部と、が設けられていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項４】
液滴を吐出する吐出口列が設けられた記録ヘッドにより記録を行う液体吐出装置であって、
前記吐出口列を保護するキャップユニットと、
前記記録ヘッドおよび前記キャップユニットを相対的に移動可能な移動手段と、を備え、
前記キャップユニットは、前記記録ヘッドの第１ヘッド位置決め部と当接することで前記記録ヘッドと前記キャップユニットとを第１の相対位置に位置決めするための第１位置決め部と、前記記録ヘッドの第２ヘッド位置決め部と当接することで前記記録ヘッドと前記キャップユニットとを第２の相対位置に位置決めするための第２位置決め部と、が設けられていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項５】
前記第２位置決め部は可動であることを特徴とする請求項３または４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
液滴を吐出する吐出口列が設けられた記録ヘッドにより記録を行う液体吐出装置であって、
前記吐出口列を保護するキャップユニットと、
前記記録ヘッドおよび前記キャップユニットを相対的に移動可能な移動手段と、を備え、
前記記録ヘッドは、前記キャップユニットの第１位置決め部と当接することで前記記録ヘッドと前記キャップユニットとを第１の相対位置に位置決めするための第１ヘッド位置決め部と、前記第１位置決め部と当接することで前記記録ヘッドと前記キャップユニットとを第２の相対位置に位置決めするための第２ヘッド位置決め部と、が設けられていることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項７】
前記第１ヘッド位置決め部は前記記録ヘッドの第１面であり、前記第２ヘッド位置決め部は前記記録ヘッドの第２面であることを特徴とする請求項４または６に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記移動手段は、前記記録ヘッドを移動させることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記移動手段は、前記記録ヘッドと前記キャップユニットの両方を移動させることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記記録ヘッドは、前記吐出口列が記録媒体の幅に相当する領域に設けられているフルラインタイプであることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記記録ヘッドを備えることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
【請求項１２】
前記第１の相対位置及び前記第２の相対位置において、それぞれ別の種類の液滴の予備吐出が行われることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一態様に係る液体吐出装置は、液滴を吐出する吐出口列が第１方向に設けられた記録ヘッドにより記録を行う液体吐出装置であって、前記吐出口列を保護するキャップユニットと、前記記録ヘッドおよび前記キャップユニットを相対的に移動可能な移動手段と、前記記録ヘッドと前記キャップユニットとを、第１の相対位置と、前記第１方向および重力方向と交差する方向において前記第１の相対位置と異なる第２の相対位置と、に位置決めするための位置決め部と、を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月16日(2020.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口と、液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられている圧力室と、前記圧力室に液体を供給するための液体供給路と、前記圧力室から液体を回収するための液体回収路と、を備えた記録素子基板を有し、
前記記録素子基板の前記液体供給路、前記圧力室、前記液体回収路は、この順番に液体が流れる循環経路の一部を構成しており、
前記液体供給路を含む供給側の流路の流抵抗ＲInが、前記液体回収路を含む回収側の流路の流抵抗ＲOutよりも大きく、
液体吐出時の吐出口の部分の毛管力をＰNoz、供給側の流路の圧力をＰIn、毛管力ＰNozと供給側の流路の圧力ＰInの差をΔＰin、回収側の流路の圧力をＰOut、毛管力ＰNozと回収側の流路の圧力ＰOutの差をΔＰOutとすると、０．８≦（ΔＰin／ＲIn）／（ΔＰOut／ＲOut）≦１．２の関係が成り立つことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記供給側の流路の流抵抗ＲInは、前記液体供給路と前記液体供給路から前記吐出口までの流路を合わせた流路の流抵抗であり、回収側の流路の流抵抗ＲOutは、前記吐出口から前記液体回収路までの流路と前記液体回収路を合わせた流路の流抵抗であることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
（ΔＰin／ＲIn）／（ΔＰOut／ＲOut）＝１．０の関係が成り立つことを特徴とする、請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
供給側の流路の少なくとも一部の幅が回収側の流路の幅より小さいことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
供給側の流路の長さが回収側の流路の長さより長いことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
供給側の流路の少なくとも一部の高さが回収側の流路の高さより低いことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
供給側の流路に設けられているノズルフィルタが、回収側の流路に設けられているノズルフィルタより大きいことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記液体供給路の供給口が前記液体回収路の回収口より小さいことを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記圧力室を通って循環する液体の流れの速さが０．１〜１００ｍｍ／ｓであることを特徴とする、請求項１から８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
複数の前記記録素子基板が直線状に配列されるページワイド型の液体吐出ヘッドである、請求項１から９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記圧力室内の液体は、当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１から１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドと、前記液体吐出ヘッドに対向する位置に被記録媒体を支持して搬送する搬送部と、を含む液体吐出装置。
【請求項１３】
液体を吐出する吐出口と、液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられている圧力室と、前記圧力室に液体を供給するための液体供給路と、前記圧力室から液体を回収するための液体回収路と、を備えた記録素子基板を有する液体吐出ヘッドにおける液体の供給方法であって、
液体の非吐出時には、液体が、前記記録素子基板の前記液体供給路、前記圧力室、前記液体回収路をこの順番に流れる循環流を生じさせ、
液体の吐出時には、前記液体供給路と前記液体回収路の両方から前記圧力室に液体を流れさせ、
前記液体供給路を含む供給側の流路の流抵抗ＲInが、前記液体回収路を含む回収側の流路の流抵抗ＲOutよりも大きく、
液体吐出時の吐出口の部分の毛管力をＰNoz、供給側の流路の圧力をＰIn、毛管力ＰNozと供給側の流路の圧力ＰInの差をΔＰin、回収側の流路の圧力をＰOut、毛管力ＰNozと回収側の流路の圧力ＰOutの差をΔＰOutとすると、０．８≦（ΔＰin／ＲIn）／（ΔＰOut／ＲOut）≦１．２の関係が成り立つことを特徴とする、液体の供給方法。
【請求項１４】
前記供給側の流路の流抵抗ＲInは、前記液体供給路と前記液体供給路から前記吐出口までの流路を合わせた流路の流抵抗であり、回収側の流路の流抵抗ＲOutは、前記吐出口から前記液体回収路までの流路と前記液体回収路を合わせた流路の流抵抗であることを特徴とする、請求項１３に記載の液体の供給方法。
【請求項１５】
前記液体供給路の内部の圧力は、前記液体回収路の内部の圧力よりも大きいことを特徴とする、請求項１４に記載の液体の供給方法。
【請求項１６】
前記液体供給路から前記圧力室への液体の供給量と、前記液体回収路から前記圧力室への液体の供給量が等しい、請求項１４または１５に記載の液体の供給方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口と、液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子が設けられている圧力室と、圧力室に液体を供給するための液体供給路と、圧力室から液体を回収するための液体回収路と、を備えた記録素子基板を有し、記録素子基板の液体供給路、圧力室、液体回収路は、この順番に液体が流れる循環経路の一部を構成しており、液体供給路を含む供給側の流路の流抵抗ＲInが、液体回収路を含む回収側の流路の流抵抗ＲOutよりも大きく、液体吐出時の吐出口の部分の毛管力をＰNoz、供給側の流路の圧力をＰIn、毛管力ＰNozと供給側の流路の圧力ＰInの差をΔＰin、回収側の流路の圧力をＰOut、毛管力ＰNozと回収側の流路の圧力ＰOutの差をΔＰOutとすると、０．８≦（ΔＰin／ＲIn）／（ΔＰOut／ＲOut）≦１．２の関係が成り立つことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月10日(2020.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する吐出口が形成された複数の記録素子基板を第１の方向に配置して構成された、液体吐出装置に対して装着されるページワイド型の液体吐出ヘッドと、
前記複数の記録素子基板を保護する保護部材と、
を備える液体吐出ヘッドユニットであって、
前記液体吐出ヘッドは前記第１の方向に互いに沿って延びる複数のレール部を有し、
前記保護部材は、前記複数の記録素子基板の全面を覆う第１の位置と、前記吐出口からの液体の吐出が可能であるように前記複数の記録素子基板を露出させる第２の位置との間で、前記レール部に沿って移動可能であり、
前記液体吐出ヘッドに設けられる突起と、
前記保護部材に設けられ、前記保護部材が前記第１の位置にある前記突起に係合して前記保護部材の前記第１の位置から前記第２の位置に向かう移動を防止するための固定部と、
をさらに有し、
前記第１の方向とは異なる方向に前記固定部を押圧することによって、前記固定部が前記突起から離れて前記保護部材が前記第１の位置から移動可能となる、液体吐出ヘッドユニット。
【請求項２】
前記レール部の少なくとも一部が金属材料によって形成されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項３】
前記保護部材は帯電防止材料によって形成されている、請求項２に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項４】
前記複数の記録素子基板の周囲に、前記液体吐出装置に設けられた吸引部材が当接する当接面部材が配置され、前記当接面部材は、前記記録素子基板における前記吐出口が形成される面と同じ向きを向いた第１の面と前記第１の面に対して反対となる第２の面とを有し、前記第２の面の少なくとも一部が前記レール部によって支持されている、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項５】
前記液体吐出ヘッドの側面の一部を覆う金属製のカバー部材を備え、前記レール部は金属材料によって形成されており、前記カバー部材と前記レール部とは電気的に接続されている、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項６】
１以上の電気配線基板と、前記電気配線基板と前記複数の記録素子基板を電気的に接続するフレキシブル配線基板と、前記電気配線基板と前記フレキシブル配線基板の少なくとも一部を覆う金属製のカバー部材を備え、前記カバー部材に対して前記レール部が取り付けられている請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項７】
前記レール部は前記カバー部材で形成されている、請求項６に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項８】
前記液体吐出ヘッドユニットは前記液体吐出ヘッドに前記保護部材が装着された状態で前記液体吐出装置に装着される、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項９】
前記液体吐出ヘッドユニットは前記液体吐出ヘッドに前記保護部材が装着された状態で前記液体吐出装置に装着され、前記カバー部材は前記液体吐出装置の接地部と電気的に接続される、請求項５または６に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項１０】
前記複数の記録素子基板は前記第１の方向に沿って直線状に配列される、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項１１】
前記液体吐出ヘッドの前記複数の記録素子基板が設けられる面の短辺と長辺との比は１：７以上である、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項１２】
前記記録素子基板は、液体を吐出するためのエネルギーを発生する記録素子と、前記記録素子を内部に備える圧力室と、を備え、
前記圧力室内の液体は該圧力室の外部との間で循環される、請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項１３】
液体を吐出する吐出口が形成された複数の記録素子基板が第１の方向に配列された、液体吐出装置に対して着脱可能なページワイド型の液体吐出ヘッドと、
前記複数の記録素子基板を保護する保護部材と、
を備える液体吐出ヘッドユニットであって、
前記液体吐出ヘッドは、前記複数の記録素子基板の、前記第１の方向と直交する方向における両側に、前記第１の方向に沿って延びる複数のレール部を有し、
前記保護部材は、前記レール部に対して当接し、前記第１の方向に沿って摺動する摺接部を有しており、
前記液体吐出ヘッドに設けられる突起と、
前記保護部材に設けられ、前記保護部材が第１の位置にある前記突起に係合して前記保護部材の前記第１の位置から第２の位置に向かう移動を防止するための固定部と、
をさらに有し、
前記第１の方向とは異なる方向に前記固定部を押圧することによって、前記固定部が前記突起から離れて前記保護部材が前記第１の位置から移動可能となる、液体吐出ヘッドユニット。
【請求項１４】
前記液体吐出ヘッドは、前記記録素子基板と接続されるフレキシブル配線基板と、前記フレキシブル配線基板の少なくとも一部を覆う金属製のカバー部材と、を備え、
前記レール部は金属材料で形成されており、前記カバー部材と前記レール部材とは当接している、請求項１３に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項１５】
前記レール部は前記カバー部材で形成されている、請求項１４に記載の液体吐出ヘッドユニット。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドユニットと、前記液体吐出ヘッドユニットが挿入される開口と、を有し、
前記液体吐出ヘッドユニットは、前記開口に対して前記第１の方向に沿って差し込まれる、液体吐出装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の液体吐出ヘッドユニットは、液体を吐出する吐出口が形成された複数の記録素子基板を第１の方向に配置して構成された、液体吐出装置に対して装着されるページワイド型の液体吐出ヘッドと、複数の記録素子基板を保護する保護部材と、を備える液体吐出ヘッドユニットであって、液体吐出ヘッドは第１の方向に互いに沿って延びる複数のレール部を有し、保護部材は、複数の記録素子基板の全面を覆う第１の位置と、吐出口からの液体の吐出が可能であるように複数の記録素子基板を露出させる第２の位置との間で、レール部に沿って移動可能であり、液体吐出ヘッドに設けられる突起と、保護部材に設けられ、保護部材が第１の位置にある突起に係合して保護部材の第１の位置から第２の位置に向かう移動を防止するための固定部と、をさらに有し、第１の方向とは異なる方向に固定部を押圧することによって、固定部が突起から離れて保護部材が第１の位置から移動可能となる。
本発明の液体吐出装置は、本発明の液体吐出ヘッドユニットと、液体吐出ヘッドユニットが挿入される開口と、を有し、液体吐出ヘッドユニットは、開口に対して第１の方向に沿って差し込まれる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月16日(2020.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記回転後の放物線の前記横軸正側の部分及び前記横軸負側の部分のそれぞれの前記縦軸側への移動距離は、０．５〜４ｍｍであることを特徴とする請求項４に記載の光照射装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図５乃至図７は、光照射装置１から出射される紫外光の照射強度分布を示した図である。図５はＷＤ１２０の位置での紫外光の照射強度分布を示し、図６はＷＤ１００の位置での紫外光の照射強度分布を示し、図７はＷＤ８０の位置での紫外光の照射強度分布を示している。また、図５（ａ）、図６（ａ）、図７（ａ）は、Ｘ−Ｙ平面上の、光軸ＡＸの位置でのＸ軸方向における照射強度分布であり、横軸は光照射装置１の長手方向の中心（すなわち、紫外光の線長ＬＬ（Ｘ軸方向の長さ）の１／２の位置）を「０ｍｍ」としたときの距離であり、縦軸は単位面積当たりの紫外光の照射強度（Ｗ／ｃｍ２）である。また、図５（ｂ）、図６（ｂ）、図７（ｂ）は、Ｘ−Ｙ平面上の、光照射装置１の長手方向の中心位置（すなわち、紫外光の線長ＬＬ（Ｘ軸方向の長さ）の１／２の位置）でのＹ軸方向における照射強度分布であり、横軸は光軸ＡＸを「０ｍｍ」としたときの距離であり、縦軸は単位面積当たりの紫外光の照射強度（Ｗ／ｃｍ２）である。なお、図５乃至図７において、「α」が第１実施形態の光照射装置１から出射される紫外光の照射強度を示し、「β」が後述する第２実施形態の光照射装置２から出射される紫外光の照射強度を示し、「γ」が後述する第３実施形態の光照射装置３から出射される紫外光の照射強度を示し、「δ」が後述する第４実施形態の光照射装置４から出射される紫外光の照射強度を示している。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月25日(2020.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
操作部と記憶部とを有する画像形成装置であって、
ユーザを認証する認証手段と、
前記認証されたユーザに関連づけて前記記憶部に登録される印刷ジョブの一覧を前記操作部に表示する表示手段と、
前記操作部に表示される印刷ジョブの一覧から、印刷対象とする印刷ジョブの選択をユーザから受け付ける受け付け手段と、
前記選択された印刷ジョブを、印刷指示に応じて実行する実行手段と、を有し、
前記ユーザに関連づく印刷ジョブが前記記憶部に登録されてから実行されるまでの間に、前記ユーザに関連づく印刷ジョブが所定条件を満たしたかどうか示す情報を管理する管理手段を更に有し、
前記表示手段は、前記認証されたユーザに関連づけて前記記憶部に登録される印刷ジョブの一覧を前記操作部に表示する際に、前記受け付け手段により印刷対象とする印刷ジョブの選択をユーザから受け付ける前に、前記管理される情報に基づき、前記所定条件を満たした印刷ジョブを非選択状態で表示し、前記所定条件を満たさない印刷ジョブを選択状態で表示することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記所定条件は、前記記憶部に登録される印刷ジョブが、前記認証されたユーザに関連づく印刷ジョブの一覧に含まれて前記操作部に表示されることを含むことを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記所定条件として、前記記憶部に登録される印刷ジョブが、前記操作部でユーザにより選択されることを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
操作部と記憶部とを有する画像形成装置であって、
ユーザを認証する認証手段と、
前記認証されたユーザに関連づけて前記記憶部に登録される印刷ジョブの一覧を前記操作部に表示する表示手段と、
前記操作部に表示される印刷ジョブの一覧から、印刷対象とする１印刷ジョブの選択をユーザから受け付ける受け付け手段と、
前記選択された１以上の印刷ジョブを、印刷指示に応じて実行する実行手段と、を有し、
前記ユーザに関連づく印刷ジョブが前記記憶部に登録されてから実行されるまでの間に、前記ユーザに関連づく印刷ジョブが所定条件を満たしたかどうか示す情報を管理する管理手段を更に有し、
前記表示手段は、前記認証されたユーザに関連づけて前記記憶部に登録される印刷ジョブの一覧を前記操作部に表示する際に、前記管理される情報に基づき、前記所定条件を満たした印刷ジョブを非選択状態で表示し、かつ、前記所定条件を満たさない１以上の印刷ジョブを選択状態で表示するためのユーザ指示を受け付けるオブジェクトを表示することを特徴とする画像形成装置。
【請求項５】
操作部と記憶部とを有する画像形成装置の制御方法であって、
ユーザを認証する認証工程と、
前記認証されたユーザに関連づけて前記記憶部に登録される印刷ジョブの一覧を前記操作部に表示する表示工程と、
前記操作部に表示される印刷ジョブの一覧から、印刷対象とする印刷ジョブの選択をユーザから受け付ける受け付け工程と、
前記選択された印刷ジョブを、印刷指示に応じて実行する実行工程と、を有し、
前記ユーザに関連づく印刷ジョブが前記記憶部に登録されてから実行されるまでの間に、前記ユーザに関連づく印刷ジョブが所定条件を満たしたかどうか示す情報を管理する管理工程を更に有し、
前記表示工程では、前記認証されたユーザに関連づけて前記記憶部に登録される印刷ジョブの一覧が前記操作部に表示される際に、前記受け付け工程で印刷対象とする印刷ジョブの選択をユーザから受け付ける前に、前記管理される情報に基づき、前記所定条件を満たした印刷ジョブが非選択状態で表示され、前記所定条件を満たさない印刷ジョブが選択状態で表示されることを特徴とする制御方法。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の手段としてコンピューターを機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、操作部と記憶部とを有する画像形成装置であって、ユーザを認証する認証手段と、前記認証されたユーザに関連づけて前記記憶部に登録される印刷ジョブの一覧を前記操作部に表示する表示手段と、前記操作部に表示される印刷ジョブの一覧から、印刷対象とする印刷ジョブの選択をユーザから受け付ける受け付け手段と、前記選択された印刷ジョブを、印刷指示に応じて実行する実行手段と、を有し、前記ユーザに関連づく印刷ジョブが前記記憶部に登録されてから実行されるまでの間に、前記ユーザに関連づく印刷ジョブが所定条件を満たしたかどうか示す情報を管理する管理手段を更に有し、前記表示手段は、前記認証されたユーザに関連づけて前記記憶部に登録される印刷ジョブの一覧を前記操作部に表示する際に、前記受け付け手段により印刷対象とする印刷ジョブの選択をユーザから受け付ける前に、前記管理される情報に基づき、前記所定条件を満たした印刷ジョブを非選択状態で表示し、前記所定条件を満たさない印刷ジョブを選択状態で表示することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月17日(2020.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラが設置されたアームを備えるロボットを制御する制御装置であって、
前記アームを制御するアーム制御部と、
前記カメラを制御するカメラ制御部と、
前記アームの手先座標系と前記カメラのカメラ座標系との間の座標変換行列を推定し、前記座標変換行列を含む前記カメラのパラメーターを作成するカメラ校正実行部と、
を備え、
前記カメラ制御部は、前記カメラの校正用パターンのパターン画像を前記カメラに撮像させ、
前記カメラ校正実行部は、
前記パターン画像の撮像時における前記アームのアーム座標系と前記校正用パターンのパターン座標系の関係を算出可能であり、
前記パターン画像の撮像時における前記アームの位置姿勢と、前記パターン画像とを用いて、前記座標変換行列を推定する、制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の制御装置であって、
前記カメラ校正実行部は、
前記パターン画像の撮像時における前記アームの位置姿勢から、前記アーム座標系と前記手先座標系との間の第１変換行列を算出し、
前記パターン座標系と前記アーム座標系との間の第２変換行列を算出又は推定し、
前記パターン画像から、前記カメラ座標系と前記パターン座標系との間の第３変換行列を推定し、
前記第１変換行列と前記第２変換行列と前記第３変換行列から、前記座標変換行列を算出する、制御装置。
【請求項３】
請求項２に記載の制御装置であって、
前記ロボットは、前記校正用パターンを予め定めた設置状態で設置可能に構成された第２アームを有し、
前記カメラ校正実行部は、前記パターン画像の撮像時における前記第２アームの位置姿勢から、前記パターン座標系と前記アーム座標系との間の前記第２変換行列を算出する、
制御装置。
【請求項４】
請求項２に記載の制御装置であって、
前記カメラ制御部は、前記校正用パターンの第２パターン画像を前記アームとは独立して配置された固定カメラで撮像させ、
前記カメラ校正実行部は、前記第２パターン画像から、前記パターン座標系と前記アーム座標系との間の前記第２変換行列を推定する、
制御装置。
【請求項５】
請求項４に記載の制御装置であって、
前記固定カメラはステレオカメラである、制御装置。
【請求項６】
カメラが設置されたアームを備えるロボットと、  前記ロボットに接続された制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記アームを制御するアーム制御部と、
前記カメラを制御するカメラ制御部と、
前記アームの手先座標系と前記カメラのカメラ座標系との間の座標変換行列を推定し、前記座標変換行列を含む前記カメラのパラメーターを作成するカメラ校正実行部と、
を有し、
前記カメラ制御部は、前記カメラの校正用パターンのパターン画像を前記カメラに撮像させ、
前記カメラ校正実行部は、
前記パターン画像の撮像時における前記アームのアーム座標系と前記校正用パターンのパターン座標系の関係を算出可能であり、
前記パターン画像の撮像時における前記アームの位置姿勢と、前記パターン画像とを用いて、前記座標変換行列を推定する、
ロボットシステム。
【請求項７】
カメラが設置されたアームを備えるロボットにおいて前記カメラの校正を行う方法であって、
前記カメラの校正用パターンのパターン画像を前記カメラで撮像し、
前記パターン画像の撮像時における前記アームのアーム座標系と前記校正用パターンのパターン座標系の間の関係を算出し、
前記パターン画像の撮像時における前記アームの位置姿勢と、前記パターン画像とを用いて、前記アームの手先座標系と前記カメラのカメラ座標系との間の座標変換行列を推定する、方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ロボットの制御装置、ロボットシステム、並びに、カメラの校正方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ロボットの制御装置、ロボットシステム、並びに、カメラの校正（キャリブレーション）方法に関するものである。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月9日(2020.6.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
前記ロック部材４６は、リング状をした部材であって、図８からも分かるように、中心に、前記復帰ピストン３４の係止部３４ａが嵌合可能な大きさを有する円形の係止穴４６ａを有すると共に、外周部に、第２ボディ３側に突出するリング状の突縁４６ｂを有し、上面には、前記係止穴４６ａの穴縁から前記突縁４６ｂに至るまで延在する係止面４６ｃを有し、該係止面４６ｃは、前記第１軸線Ｌ１と直交する平面をなしている。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月17日(2020.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラの校正用パターンを設置可能に構成されたアームを備えるロボットと、前記アームとは独立して設置されたカメラと、を制御する制御装置であって、
前記アームを制御するアーム制御部と、
前記カメラを制御するカメラ制御部と、
前記ロボットのロボット座標系に対して既知の相対位置姿勢を有するターゲット座標系と前記カメラのカメラ座標系との間の座標変換を計算可能な前記カメラのパラメーターを決定するカメラ校正実行部と、
を備え、
前記アーム制御部は、互いに一次独立な３つの回転軸の各回転軸を中心として前記校正用パターンをそれぞれ回転させて複数の回転位置で停止させるように前記アームを動作させ、
前記カメラ制御部は、前記複数の回転位置における前記校正用パターンのパターン画像を前記カメラに撮像させ、
前記カメラ校正実行部は、前記複数の回転位置で撮像された前記パターン画像を用いて前記パラメーターを決定する、制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の制御装置であって、
前記３つの回転軸は、前記ターゲット座標系の原点の回りに設定される、制御装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の制御装置であって、
前記カメラ校正実行部は、
前記複数の回転位置で撮像された前記パターン画像から、各回転軸の方向をベクトル方向とし前記回転の角度をベクトル長さとする３つの回転ベクトルを推定し、
前記３つの回転ベクトルをそれぞれ正規化して３つの正規化回転ベクトルを求め、
前記３つの正規化回転ベクトルを行成分又は列成分として配列することによって前記ターゲット座標系と前記カメラ座標系との間の座標変換行列を構成する回転行列を決定する、
制御装置。
【請求項４】
請求項３に記載の制御装置であって、
前記ターゲット座標系と前記カメラ座標系との間の座標変換行列は、前記カメラ座標系と前記校正用パターンのパターン座標系との間の第１変換行列と、前記パターン座標系と前記ターゲット座標系との間の第２変換行列と、の積で表され、
前記カメラ校正実行部は、
（ａ）前記複数の回転位置のうちの１つの特定回転位置において撮像された前記パターン画像から前記第１変換行列を推定し、
（ｂ）前記複数の回転位置で撮像された前記パターン画像から、前記第２変換行列を構成する並進ベクトルの３つの成分のうちで各回転軸と直交する２つの座標軸方向における２つの並進ベクトル成分の２乗和を推定し、前記３つの回転軸についてそれぞれ推定された前記並進ベクトル成分の２乗和から前記第２変換行列を構成する前記並進ベクトルを算出し、
（ｃ）前記特定回転位置で推定された前記第１変換行列と、前記第２変換行列の並進ベクトルから、前記座標変換行列を構成する並進ベクトルを算出する、制御装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の制御装置であって、
前記ターゲット座標系は、前記アームとは独立に前記ロボットのロボット座標系に対して固定された相対位置姿勢を有する座標系である、制御装置。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の制御装置であって、
前記ターゲット座標系は、前記アームの手先座標系である、制御装置。
【請求項７】
アームを備えるロボットと、
前記アームとは独立して設置されたカメラと、
前記アームに設置された前記カメラの校正用パターンと、
前記ロボットと前記カメラに接続された制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記アームを制御するアーム制御部と、
前記カメラを制御するカメラ制御部と、
前記ロボットのロボット座標系に対して既知の相対位置姿勢を有するターゲット座標系と前記カメラのカメラ座標系との間の座標変換を計算可能な前記カメラのパラメーターを決定するカメラ校正実行部と、を有し、
前記アーム制御部は、互いに一次独立な３つの回転軸の各回転軸を中心として前記校正用パターンをそれぞれ回転させて複数の回転位置で停止させるように前記アームを動作させ、
前記カメラ制御部は、前記複数の回転位置における前記校正用パターンのパターン画像を前記カメラに撮像させ、
前記カメラ校正実行部は、前記複数の回転位置で撮像された前記パターン画像を用いて前記パラメーターを決定する、ロボットシステム。
【請求項８】
カメラの校正用パターンを設置可能に構成されたアームを備えるロボットと、前記アームとは独立して設置されたカメラと、を備えるロボットシステムにおいて前記カメラの校正を行う方法であって、
互いに一次独立な３つの回転軸の各回転軸を中心として前記校正用パターンをそれぞれ回転させて複数の回転位置で停止させるように前記アームを動作させ、
前記複数の回転位置における前記校正用パターンのパターン画像を前記カメラに撮像させ、
前記複数の回転位置で撮像された前記パターン画像を用いて、前記ロボットのロボット座標系に対して既知の相対位置姿勢を有するターゲット座標系と前記カメラのカメラ座標系との間の座標変換を計算可能な前記カメラのパラメーターを決定する、方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ロボットの制御装置、ロボットシステム、並びに、カメラの校正方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ロボットの制御装置、ロボットシステム、並びに、カメラの校正（キャリブレーション）方法に関するものである。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月16日(2020.6.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
図８に戻り、液吸収部材５０の回転移動速度あるいは回転移動量は、センサＳＲ１で検知される。センサＳＲ１は例えばロータリエンコーダである。本実施形態の場合、センサＳＲ１の回転体ＲＬが液吸収部材５０に接触して液吸収部材５０の回転移動に従動して回転し、その回転量を検知する。回転体ＲＬは従動回転体５１１ｅに対向して配置されている。液吸収部材５０の回転移動速度あるいは回転移動量は、駆動回転体５１０または従動回転体５１１ｂ〜５１１ｈの回転速度を検知して演算することでも特定可能である。しかしながら、これら回転体に対して液吸収部材５０が滑る場合があるため、液吸収部材５０の実際の移動速度と異なる値になってしまうおそれがある。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
検知ユニット５６は、液吸収部材５０の移動経路上の所定の位置において液吸収部材５０の所定の部位の通過を検知するセンサである。例えば、液吸収部材５０にはマーカを設けておき、検知ユニット５６はこのマーカを検知するセンサである。マーカは例えば液吸収部材５０の他の部位と色が異なるマーカ（例えば液吸収部材５０が白でマーカは黒）であり、検知ユニット５６は例えば反射式の光センサである。検知ユニット５６でマーカを検知し、センサＳＲ１で液吸収部材５０の移動量を検知することで、液吸収位置Ａを通過する液吸収部材５０の部位の認識や、液吸収部材５０の循環回数の認識等を行うことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
付与ローラ５３１は従動回転体５１１ｄに対向して配置され、付与ローラ５３１が付与位置に移動すると液吸収部材５０が付与ローラ５３１と従動回転体５１１ｄとでニップされる。付与ローラ５３１は液吸収部材５０の回転移動に従動して回転する。付与ローラ５３１の周面は、例えば、ゴムで形成され、貯留槽５３２に貯留された保湿液５３２ａを汲み上げるようにして液吸収部材５０の第１の面５０ａに保湿液５３２ａを供給する。保湿液５３２ａは例えば水である。保湿液５３２ａは水溶性有機溶剤や界面活性剤を含有していてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
回収ユニット５４は、液吸収部材５０から液体成分を除去する装置である。回収ユニット５４は、除去ローラ５４０と、除去した液体成分を収容する貯留槽５４１と、支持部材５４３と、移動機構５４４とを有する。支持部材５４３は、除去ローラ５４０をＹ方向の軸周りに回転自在に支持するとともに、貯留槽５４１を支持する。移動機構５４４は支持部材５４３を移動する機構であり、例えば、電動シリンダである。支持部材５４３と共に除去ローラ５４０および貯留槽５４１も移動する。これらは、除去ローラ５４０が液吸収部材５０に接触する除去位置と、除去ローラ５４０が液吸収部材５０から離間した退避位置との間で矢印ｄ６方向（ここでは左右方向）に移動される。図８は、除去ローラ５４０が除去位置に位置している状態（回復動作中の状態）を示す。除去ローラ５４０は、記録システム１の運転中は除去位置に位置する構成とし、メンテナンス時は退避位置に移動する構成としてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０６】
付与ローラ５５１は従動回転体５１１ｅに対向して配置され、付与ローラ５５１が付与位置に移動すると液吸収部材５０が付与ローラ５５１と従動回転体５１１ｅとでニップされる。付与ローラ５５１は液吸収部材５０の回転移動に従動して回転する。付与ローラ５５１の周面は、例えば、ゴムで形成され、貯留槽５５２に貯留された前処理液５５２ａを汲み上げるようにして液吸収部材５０の第１の面５０ａに供給する。
【手続補正書】
【提出日】令和2年6月15日(2020.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０１】
回収ユニット５４において、液吸収部材５０の第２の面５０ｂが重力方向の下側に位置し、第１の面５０ａが重力方向の上側に位置している。したがって、第１の面５０ａ側よりも第２の面５０ｂ側から液体成分が絞り出されて重力で落下し易い。第２の面５０ｂからの液体成分の除去が促進されることで、裏層に液体成分を吸収するための領域を確保し、液吸収部材５０の液体吸収性能を回復することができる。また、付与ユニット５３によって保湿液が付与された第１の面５０ａが乾燥されることを抑制することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０５】
付与ローラ５５１は従動回転体５１１ｅに対向して配置され、付与ローラ５５１が付与位置に移動すると液吸収部材５０が付与ローラ５５１と従動回転体５１１ｅとでニップされる。付与ローラ５５１は液吸収部材５０の回転移動に従動して回転する。付与ローラ５５１の周面は、例えば、ゴムで形成され、貯留槽５５２に貯留された前処理液５５２ａを汲み上げるようにして液吸収部材５０の第１の面５０ａに供給する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２３】
転写部ＴＲの周速度と、液吸収部材５０の回転移動速度が等速度で制御されることを前提とし、連結部位５０ｃ及び非転写部ＮＲが液吸収位置Ａを通過するタイミングで、液吸収部材５０を退避状態から接触状態へ変位させる。すると、連結部位５０ｃが液吸収位置Ａに到達すると、同時に、非転写部ＮＲも液吸収位置Ａに到達している。よって、連結部位５０ｃとインク像ＩＭとの接触を回避することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３０】
液吸収部材５０が退避状態にあるとき、速度Ｖ１、速度Ｖ２がともに速度ＶＬに制御される。時間Ｔ０で液吸収部材５０を退避状態から接触状態に変位する。液吸収部材５０のうち、転写体２と接触可能な位置にある部分５０Ａは凹部内に位置している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３１】
時間Ｔ１で速度Ｖ１、速度Ｖ２の加速動作を開始する。部分５０Ａは凹部４１ａ内に位置している。加速動作を開始するタイミング（時間Ｔ１）は、例えば、転写ドラム４１の位相で管理することができ、予め定めた位相になった時に加速を開始できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３２】
時間Ｔ２で部分５０Ａが凹部４１ａの端に到達する。速度Ｖ１、速度Ｖ２の加速動作は継続中である。時間Ｔ２は例えば図１３における時間Ｔ’の段階である。速度差Ｖｄｅｆのピークを避けることができる。時間Ｔ２の時点で加速動作が完了していてもよい。つまり、部分５０Ａが凹部４１ａ内にある間に加速動作を開始し、終了してもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
時間Ｔ２の後、液吸収部材５０が転写体２と接触し始める。時間Ｔ３で加速動作が終了し、速度Ｖ１、Ｖ２は速度ＶＨとなるように一定に制御される。時間Ｔ３において、液吸収部材５０の部分５０Ａは、凹部４１ａの端から距離Ｌだけ離れて転写体２上に位置している。凹部４１ａの端から距離Ｌの範囲内では、速度Ｖ１、Ｖ２を加速しながら部分５０Ａと転写体２とが接触しており、多少の擦れが生じる場合がある。したがって、距離Ｌの範囲を含む転写体２上の領域Ｒ０は非転写部ＮＲの一部とし、転写部ＴＲとして用いないようにしてもよい。以上により加速制御が終了する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３６】
Ｓ３で変位タイミングであると判定するとＳ４へ進み、押圧機構５１２ｂを駆動して液吸収部材５０を接触状態へ変位する。液吸収部材５０の部分５０Ａが凹部４１ａに位置する。Ｓ５ではセンサＳＲ２の検知結果を取得する。Ｓ６ではＳ５で取得した検知結果に基づいて、速度Ｖ１、Ｖ２の加速動作開始タイミングか否かを判定する。転写ドラム４１の位相が所定の位相であれば加速動作開始タイミングであると判定し、そうでなければＳ５へ戻る。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３７】
Ｓ６で加速動作開始タイミングであると判定するとＳ７へ進み、速度Ｖ１、Ｖ２の加速動作を開始する。部分５０Ａが凹部４１ａに位置している段階で加速動作が開始され、速度Ｖ１、Ｖ２の速度差Ｖｄｅｆのピークを過ぎた後に、部分５０Ａが転写体２と接触する。速度Ｖ１、Ｖ２が速度ＶＨに達すると加速動作を終了し、定速状態を維持する。以上により一回の処理が終了する。その後、記録動作が開始される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2019014094.tif 000001
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2019014094.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月14日(2020.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
次に、ガス供給部ＧＳＵから反応ガスを供給するとともに、不活性ガス供給部ＩＧＳＵから不活性ガスを成膜容器の内部に供給する（図７のＳ１０４）。これにより、反応ガスは、成膜容器の内部に供給される。反応ガスは、例えば，１秒間、成膜容器の内部に供給される。この反応ガスを供給する工程において、図１に示す上部電極ＵＥと下部電極ＢＥとの間に放電電圧を印加することにより、プラズマ放電を生じさせる。この結果、反応ガスにラジカル（活性種）が生成される。このようにして、図８（ｄ）に示すように、成膜容器内に不活性ガスＩＧと反応ガスＲＡＧとが供給され、かつ、基板１Ｓ上に吸着している吸着層が反応ガスＲＡＧと化学反応することにより、原子層ＡＴＬからなる薄膜層が形成されることになる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
（実施の形態２）
＜改善の検討＞
図９は、本実施の形態２におけるプラズマ原子層成長装置１００の模式的な全体構成を示す図である。図９において、本実施の形態２におけるプラズマ原子層成長装置１００では、前記実施の形態１のように、上部電極ＵＥの下面に別部品からなる導体防着部材１０ａと導体防着部材１０ｂとを設ける構成とは異なり、下部電極ＢＥ上に配置された基板１Ｓと対向する上部電極ＵＥの下面に単体の導体防着部材１０が設けられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
＜実施の形態２における特徴点＞
本実施の形態２における特徴点は、例えば、図１２に示すように、基板１Ｓと平面的に重ならない位置に配置されたビス１３によって上部電極ＵＥに固定される導体防着部材１０と、上部電極ＵＥとの間に、上部電極ＵＥの厚さ方向（ｚ方向）に伸縮性を有する導電部材１５を配置する点にある。これにより、図１２に示すように、導体防着部材１０に撓みが発生したとしても、導体防着部材１０と上部電極ＵＥとの間の電気的な接触の均一性向上を図ることができる。つまり、図１２に示すように、導体防着部材１０と上部電極ＵＥとの間に挟み込まれるように配置されている導電部材１５は、上部電極ＵＥの厚さ方向に伸縮性を有する。このことから、導体防着部材１０が撓むことによって、導体防着部材１０の端部から中央部に向って、ｚ方向のサイズが連続的に変化する隙間が発生したとしても、この隙間のｚ方向のサイズに対応して、導電部材１５が伸縮する。このため、本実施の形態２における特徴点によれば、導体防着部材１０に撓みが発生した場合であっても、導体防着部材１０の端部から中央部に向って、導体防着部材１０と上部電極ＵＥとの間の電気的な接触の均一性を確保することができる。これにより、本実施の形態２における特徴点によれば、導体防着部材１０の内部に電位差が発生することを抑制することができる。この結果、本実施の形態２における特徴点によれば、導体防着部材１０に撓みが発生することにより生じる隙間を介した意図しない放電を防止できる。つまり、本実施の形態２における特徴点によれば、放電空間におけるプラズマ放電の不良を抑制することができ、これによって、基板１Ｓ上の膜の形成に悪影響が及ぶことを抑制することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
これにより、図１８の太矢印で示す経路１０００ｃは、図３の太矢印で示す経路１０００ａに比べて、遥かに長くなる。このことは、本実施の形態３においても、放電空間から上部電極ＵＥ自体までのガスの侵入距離が長くなることを意味する。したがって、たとえ、微細な隙間にも膜が形成されてしまうという性質があるプラズマ原子層成長装置であっても、前記実施の形態１と同様の特徴点を採用することにより、上部電極ＵＥ自体に膜が付着することを効果的に防止することができる。この結果、本実施の形態３におけるプラズマ原子層成長装置においても、上部電極ＵＥを取り外して、上部電極ＵＥに付着した膜を除去するメンテナンス作業を実施する頻度が少なくなる結果、上部電極ＵＥの取り付け位置が変化することに起因する成膜条件の変動を抑制できる。この結果、本実施の形態３でも、前記実施の形態１と同様の特徴点を採用することにより、基板１Ｓ上に形成される膜の品質が変動することを抑制することができる。このことから、本実施の形態３におけるプラズマ原子層成長装置においても、基板１Ｓ上に品質の良好な膜を形成できる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年7月31日(2020.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記充填状態判定工程は、前記液体を充填したモールドの撮影画像を解析し、前記モールドの全ての針状凹部に前記薬剤液が着弾している場合に前記薬剤液の充填状態が正常と判定する請求項３又は４に記載のマイクロニードルアレイの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
充填状態判定工程は、液体を充填したモールドの撮影画像を解析し、モールドの全ての針状凹部に薬剤液が着弾している場合に薬剤液の充填状態が正常と判定することが好ましい。これにより、薬剤液の充填状態を適切に判定することができる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年7月31日(2020.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
台座３００に蓋３１０を装着した状態では、モールド固定部１８２がモールド１２０の縁部である土手部１２４に接触する。したがって、台座３００の座面部１６２と蓋３１０のモールド固定部１８２との間でモールド１２０の縁部である土手部１２４を挟み込むことができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
蓋３４０は、覆い部１８４、貫通孔１８６、及び円筒部１９９を備えている。円筒部１９９は、一定の厚みを有する円筒形状を有し、Ｚ方向上方側の端に覆い部１８４が設けられている。円筒部１９９は、蓋３４０が台座３３０に装着された状態において、少なくとも一部が座面部１６２と対向する。