【誤訳訂正書】
【提出日】令和2年1月22日(2020.1.22)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
注型ポリウレタンポリマーマトリックスと流体充填ミクロスフェアとからなり、最終密度が０．５〜０．６５ｇ／ｃｍ３であり、半導体、光学及び磁性基板の少なくとも１つを平坦化するのに適した研磨パッドであって、
前記注型ポリウレタンポリマーマトリックスが、イソシアナート終端分子及び硬化剤から形成され、
前記イソシアネート終端分子が、８．９５〜９．２５重量％の未反応ＮＣＯを含有する、Ｈ１２ＭＤＩ／ＴＤＩとポリテトラメチレンエーテルグリコール（ＰＴＭＥＧ）とのウレタンプレポリマーであり、
前記硬化剤が、４，４’−メチレン−ビス（２−クロロアニリン）（ＭｂＯＣＡ）と６個のヒドロキシル官能基を有するポリオール硬化剤とのブレンドであり、
前記注型ポリウレタンポリマーマトリックスが、前記イソシアナート終端分子中に５〜７．５重量パーセントの流体充填ミクロスフェアを含有し、
前記流体充填ミクロスフェアは、事前膨張ポリマーミクロスフェアに対する未膨張ポリマーミクロスフェアの重量比が１／１〜１／４のブレンドであり、
前記流体充填ミクロスフェアの最大膨張が、内径７．５４ｍｍのセラミックカップ、外径６．６ｍｍを有するアルミニウム蓋、３０℃から２５０℃まで３℃／分の温度傾斜の下での予荷重０．０６Ｎを用いた熱機械分析により測定した場合に、１４５％〜３０８％であり、
前記流体充填ミクロスフェアの最終平均径が２０〜６０μｍであり、
研磨パッド中の流体充填ミクロスフェアが、空気中でのＴｍａｘ温度から達成される直径よりも小さい直径を有し、ここで、Ｔｍａｘ温度とは、気体が流体充填ミクロスフェアを通り抜けて逃げることにより、ポリマーミクロスフェアの直径が減少する温度であり、
研磨パッド中の流体充填ミクロスフェアが、切開してＳＥＭで観察した場合に、準半球形状を有する、研磨パッド。
【請求項２】
０〜２．６のコンディショナー感受性（ＣＳ）を有する、請求項1に記載の研磨パッドであって、
ここでＣＳは、以下の式：
【数６】
2016129223.tif 000001
［式中、ＲＲ７５％インサイツコンディショニングは７５％インサイツコンディショニングでのブランケットＴＥＯＳ除去速度（ＲＲ７５％インサイツコンディショニング）、ＲＲ５０％インサイツコンディショニングは５０％インサイツコンディショニングでのブランケットＴＥＯＳ除去速度を表す］として定義され、
インサイツコンディショニングとは、研磨パッドのコンディショニングと基板の研磨とを同時に行うことをいい、ＣＳの測定には、基板としてＴＥＯＳ酸化物ウェーハを用い、
研磨条件は、９３／８７rpm（プラテン／ウエーハ）、ダウンフォース４．５psi（３１kPa）で６０秒間であり、研磨スラリーとして、１０．５のｐＨを持つ濃度１２．５重量％の平均粒径０．１μmを有するフュームドシリカスラリーを、スラリー流速２５０ｍｌ／分で用い；
コンディショニング条件は、９lbs（又は４．０８kg）のコンディショナーダウンフォースで、平均粒径１５０μm、ピッチ４００μm及び突起部１００μmを持つダイヤモンドコンディショナーをコンディショニングディスクとして用いることであり；
７５％インサイツコンディショニングとは、６０秒間のウェーハ研磨サイクルのうちの４５秒間、インサイツコンディショニングを行うことを意味し；
５０％インサイツコンディショニングとは、６０秒間のウェーハ研磨サイクルのうちの３０秒間、インサイツコンディショニングを行うことを意味し；
研磨工程開始前の研磨パッド慣らし運転条件は、９０／１０８rpm（プラテン／コンディショニングディスク）；１２lbs（５．４kg）で２０分間、次いで９lbs（４．０８kg）で１０分間;である、研磨パッド。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０００９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０００９】
【図１】Semi-Sperse（商標）25E（SS25）フュームドシリカスラリーに関してインサイツコンディショニングを停止後のウェーハ数に対する除去速度（Å/分）のプロットである（Semi-Sperseは、Cabot Microelectronics Corporationの商標である。）。
【図２】ＩＬＤ研磨に関して平均除去速度（Å/分）及びウェーハ内不均一性（ＷＩＷ−ＮＵ）（％）のプロットである。
【図３】８重量％の濃度での事前膨張及び未膨張の流体充填ミクロスフェアのＳＥＭである。
【図４】ＭｂＯＣＡ硬化剤と形成された、５．２５重量％の濃度での事前膨張及び未膨張の流体充填ミクロスフェアのＳＥＭである。
【図４Ａ】図４の研磨パッドについて測定された直径（マイクロメートル）のサイズ分布プロットである。
【図５】多官能ポリオールと混合されたＭｂＯＣＡ硬化剤と形成された、５．２５重量％の濃度での事前膨張及び未膨張の流体充填ミクロスフェアのＳＥＭである。
【図５Ａ】図５の研磨パッドについて測定された直径（マイクロメートル）のサイズ分布プロットである。
【図６】修正Einstein-Guth-Gold式による、固体体積分率に対する相対粘度のプロットである。
【図７】事前膨張、未膨張、並びに事前膨張及び未膨張のポリマーミクロスフェアのブレンドについての、ポリマーミクロスフェア重量パーセントに対する相対粘度のプロットである。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１２】
ミクロスフェアを充填する流体は、気体、液体又は気体と液体の組合せであってよい。流体が液体であるならば、好ましい流体は、偶然の不純物のみを含有する蒸留水のような水である。本出願の目的には、ミクロスフェアという用語は、決して完全な球形状でない殻を含む；例えば、これらの殻は、切開してＳＥＭで見ると、準半球形状と思われるものを有する。流体が気体であるならば、空気、窒素、アルゴン、二酸化炭素又はこれらの組合せが好ましい。一部のミクロスフェアでは、気体は、イソブタンのような有機気体であってもよい。好ましくは、この流体は、イソブタン、イソペンタン又はイソブタンとイソペンタンの組合せである。ポリマーミクロスフェアに捕捉されたイソブタンは、ポリマー殻内の内圧に応じて、室温（２５℃）以上で気体である。ポリマーミクロスフェアに捕捉されたイソペンタンは、室温で液体と気体の組合せである。約３０℃以上の温度で、このイソペンタンは、ポリマー殻内の内圧に応じて気体になる。ポリマー殻は流体を保持する；そして典型的にはこのポリマー殻は、加圧下の気体を保持する。ポリマー殻の具体例は、ポリアクリロニトリル／メタクリロニトリル殻及びポリ（二塩化ビニリデン）／ポリアクリロニトリル殻を含む。更に、これらの殻は、ケイ酸塩、カルシウム含有又はマグネシウム含有粒子のような無機粒子を取り込んでいてもよい。これらの粒子は、ポリマーミクロスフェアの分離を容易にする。これらの流体充填ミクロスフェアは、典型的には膨張後１０〜８０μmの、そして好ましくは２０〜６０μmの最終平均径を有する。事前膨張のポリマーミクロスフェアは、典型的には１０〜６０パーセント膨らんで２０〜１５０μmの最終平均径となる。しかし未膨張のポリマーミクロスフェアは、典型的には１，０００〜１０，０００パーセント膨らんで２０〜１５０μmの最終直径となる。凝固ポリマーマトリックス中の生じたポリマーミクロスフェアのブレンドは、膨張後１０〜８０μmの、そして好ましくは２０〜６０μmの最終平均径を有する。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２５】
プレポリマー中に４重量パーセントを超えるレベルの事前膨張のポリマーミクロスフェアによりＣＭＰ研磨パッドを製造することには、事前膨張のポリマーミクロスフェアの添加量の増大に伴う材料粘度の指数関数的増大に起因して、重大な課題が存在する。プレポリマー及び硬化系の反応熱から膨張できる未膨張のポリマーミクロスフェアの導入は、加工の容易さのために材料粘度を低下させただけでなく、製品の一貫性を良好にし、そして生産収率を高めることにもなった。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２６】
生産中に、液体ポリウレタン材料は、Ｔｇｅｌ温度を持ち、そして流体充填ポリマーミクロスフェアを含有する。この流体充填ポリマーミクロスフェアは、事前膨張及び未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアのブレンドである。事前膨張及び未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアは、それぞれＴｓｔａｒｔ温度（ここで、事前膨張及び未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアの直径は、Ｔｓｔａｒｔ温度以上の温度で増大する）を有する。更に、これらは、Ｔｍａｘ温度（ここで、気体が流体充填ポリマーミクロスフェアを通り抜けて逃げることにより、ポリマーミクロスフェアの直径が減少する）を有する。これは、ポリマーマトリックス中に大きな気泡を形成することがあり、そして大きな気泡は、研磨欠陥を引き起こすことがあるため、Ｔｍａｘ温度以上での注型は望ましい状況ではない。未膨張のポリマーミクロスフェアを膨らますために、未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアのＴｓｔａｒｔ温度は液体ポリウレタン材料のＴｇｅｌ温度よりも低いことが重要である。有利には、未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアのＴｓｔａｒｔ温度は、液体ポリウレタン材料のＴｇｅｌ温度より少なくとも５℃低い。有利には、未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアのＴｓｔａｒｔ温度は、液体ポリウレタン材料のＴｇｅｌ温度より少なくとも１０℃低い。事前膨張品は既に有効な平均径を有するため、更なる膨大を必要とせず、そして事前膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアのＴｓｔａｒｔ温度が液体ポリウレタン材料のＴｇｅｌ温度よりも低いことは任意の選択である。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
次に事前膨張及び未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアのブレンドを含有する液体ポリウレタン材料を注型して、イソシアナート終端分子及び硬化剤を反応させる。反応からの発熱は、液体ポリウレタン材料中の事前膨張及び未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアのブレンドを少なくとも未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアのＴｓｔａｒｔの温度まで加熱して、未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアの直径を増大させる。好ましくは、この発熱は、ポリマーミクロスフェアへの膨張を推進するための主な熱源である。加熱は、気体が事前膨張及び未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアを通り抜けて逃げるＴｍａｘ温度未満の温度までとする。この加熱は、液体ポリウレタン材料中に事前膨張及び膨張後の流体充填ポリマーミクロスフェアのブレンドを形成する。場合により、注型前に液体ポリウレタン材料中の事前膨張及び未膨張のポリマーミクロスフェアのブレンドを混合すると、ポリマーミクロスフェア分布の均一性が向上する。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２８】
液体ポリウレタン材料中の事前膨張及び未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアのブレンドを硬化すると、液体ポリウレタン材料が、事前膨張及び膨張後の流体充填ポリマーミクロスフェアを含有するポリウレタンマトリックスへと凝固する。事前膨張及び膨張後の流体充填ポリマーミクロスフェアを含有する硬化ポリウレタンマトリックスを、削り、面削り、溝切り、穿孔及びサブパッドの添加により研磨パッドへと仕上げると、最終製品が作り出される。例えば、成形型に注型するとき、この研磨パッドを削って複数のポリウレタンシートにし、そしてこのポリウレタンシートから研磨パッドを形成することができる。研磨パッド中の事前膨張及び膨張後の流体充填ポリマーミクロスフェアの最終直径は、空気中でＴｍａｘ温度から達成された直径より小さく、そして事前膨張及び未膨張の流体充填ポリマーミクロスフェアに含まれる流体の大部分は、事前膨張及び膨張後の流体充填ポリマーミクロスフェア中に残存する。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
更に、この液体ポリウレタン材料は、一貫した製品構成への注型を容易にするために低い粘度を有することが重要である。事前膨張及び未膨張のポリマーミクロスフェアのブレンドを形成すると、粘度が低下して注型が容易になる。このことは、研磨パッドに透明窓を形成するために使用される透明ブロックのような物の周りに注型するときに、特に重要である。事前膨張品のみの混合物は、単純な形状に注ぎ入れるために必要な粘度を欠いていることがある。未膨張品のみの混合物は、未膨張のミクロスフェアの大きな膨張から、ケーキ中に著しい応力を作り出すことがある。これらの応力から、亀裂の入った、又は破砕されたポリマーマトリックスが生じることがある。更に、未膨張のポリマーミクロスフェアを膨張させるのに必要な熱の大部分は、ポリマーマトリックスを作り出すために利用される発熱反応から生じる。しかし１．１〜７の相対粘度を有する事前膨張及び未膨張のポリマーミクロスフェアのブレンドは、適正な空隙率を作り出すために充分な発熱と併せた、注型に充分な粘度を有することができる。好ましくは、３〜７の相対粘度は、注型可能性と細孔径の均衡のとれた組合せを提供する。更に、事前膨張のポリマーミクロスフェアに対する未膨張のポリマーミクロスフェアの割合を増大させると、粘度が低下して注型可能性が向上するが、ケーキポップ（cake pop）及び他の欠陥を引き起こすことがあるケーキ中の残留応力が増大する。同様に、未膨張のポリマーミクロスフェアに対する事前膨張のポリマーミクロスフェアの割合を増大させると、粘度が増大して、注型がもっと困難になることがある。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３０】
実施例
実施例１
表１は、２つの比較実施例Ｃ１及びＣ２並びに本発明からの２つの実施例１及び２の研磨層の組成をリストしている。使用したイソシアナート終端プレポリマーは、９．１重量％の典型的な未反応イソシアナート（ＮＣＯ）を含む、Chemtura Corporationから販売されているAdiprene（登録商標）L325とした。硬化系は、４，４’−メチレン−ビス（２−クロロアニリン）（ＭｂＯＣＡ）又はＭｂＯＣＡとVoralux（登録商標）HF 505（６個のヒドロキシル官能基及びＭＷ約１１，０００の高分子量（ＭＷ）多官能ポリオール硬化剤）の組合せのいずれかとした。総活性水素（硬化系中のアミン及びヒドロキシル官能基として）対プレポリマー中のイソシアナート官能基のモル比により算出される反応化学量論は、全ての実施例について０．８７とした。流体充填ポリマーミクロスフェアは、事前膨張（ＤＥ）及びドライ未膨張（ＤＵ）の両方とも、プレポリマーと混合してプレブレンドを形成した。Expancel（登録商標）551DE40d42、Expancel（登録商標）461DE20d70（両方ともＤＥ等級）及びExpancel（登録商標）031DU40（ＤＵ等級）は、AkzoNobelから販売されている。総ポリマーミクロスフェアの量は、プレブレンド（プレポリマーとポリミクロスフェアの混合物）中に２．２〜５．２５重量パーセントと様々であった。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３１】
【表１】
2016129223.tif 000002
Adiprene（登録商標）は、Chemtura Corporationのウレタンプレポリマー製品である。
Adiprene L325は、8.95〜9.25重量％の未反応ＮＣＯを有する、Ｈ１２ＭＤＩ／ＴＤＩとポリテトラメチレンエーテルグリコール（ＰＴＭＥＧ）とのウレタンプレポリマーである。
＊551DE40d42、＊＊461DE20d70、及び＊＊＊031DE40  551DE40d42、461DE20d70、及び031DE40は、Expancel（登録商標）という商標でAkzoNobelにより製造されている流体充填ポリミクロスフェアである。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３３】
使用したスラリーは、研磨のために使用時（ＰＯＵ）に１２．５重量％ 砥粒まで１：１比で脱イオン水により希釈される、平均粒径約０．１μmを有する、Nitta Haas Incorporatedから販売されているフュームドシリカ系ILD3225スラリーとした。研磨は、Applied Materials製の３００mm ＣＭＰ研磨システムReflexion（登録商標）で実施した。研磨条件は、以下に要約される。
研磨条件：
・スラリー：ILD3225（砥粒含量１２．５％までＤＩ水で１：１希釈；ｐＨ １０．５）
・ＰＯＵフィルター：Pall １．５μm
・スラリ―流速：２５０ｍｌ／ｍｉｎ
・コンディショナー：Kinik Company製のPDA33A-3；ダイヤモンドサイズ１５０μm、ダイヤモンドピッチ４００μm、ダイヤモンド突起部１００±１５μm。
・パッド慣らし運転：９０／１０８rpm（プラテン／コンディショニングディスク）、１２lbs（５．４kg）で２０分間、続いてダウンフォース９lbs（４．１kg）で１０分間；
高圧上昇（ＨＰＲ）
・研磨中：コンディショニングダウンフォース９lbs（４．１kg）で完全インサイツコンディショニング
・研磨：９３／８７rpm（プラテン／ウェーハ）、ダウンフォース４．５psi（３１kPa）で６０秒間
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４４】
典型的なプレポリマーの比重（ＳＧ）は、約１．０５g/cm３である。流体充填ポリマーミクロスフェアの所与のＳＧでは、我々は、式（３）を利用することにより、流体充填ポリミクロスフェアの様々な添加量レベルでのプレブレンドの粘度増大を容易に予測できる。プレブレンドの粘度は、事前膨張のポリマーミクロスフェアの添加量が増大するにつれ有意に増大する。表４の結果は、事前膨張のポリマーミクロスフェアに関するものである。Expancel 551DE40d42、Expancel 551DE20d60、及びExpancel 461DE20d70は全て、８重量％を超える流体充填ポリマーミクロスフェアで、４０μ／μ０を超える数字を達成している。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４６】
５０〜７０℃の典型的なプレポリマー処理温度で、充填剤を含まない大部分の市販のプレポリマーは、表５に示されるとおり、１，０００〜５，０００cpsの範囲の粘度を有する。注型プロセスにおいて１０，０００cpsより著しく高い粘度を持つプレブレンドを扱うことには、流動パターンのような欠陥を含む、多数の課題が存在する。粘度を低下させるためにプレブレンドの温度を上昇させることは、ゲル化時間がケーキを注ぎ入れるには短くなり過ぎるため、実現可能ではない。結果として、プレブレンドへの最大の充填剤添加量は、通常はExpancel 461DE20d70ポリマーミクロスフェアではわずか４重量％であるか、又はExpancel 551DE40d42ポリマーミクロスフェアでは２．５重量％である。このような充填剤添加量レベルでは、未充填プレポリマーに対するプレブレンドの相対粘度は約５である。言い換えると、プレブレンドの粘度は、未充填プレポリマーの約５倍である。この制限のため、最大体積空隙率は、典型的には従来の事前膨張のポリマーミクロスフェアを組み込むことにより生成される空隙率を持つ研磨パッドでは４０％未満である。このことは、事前膨張のポリマーミクロスフェアを用いて、ＳＧが０．７０より低いＣＭＰ研磨パッドを製造する際の重大な課題に翻訳できる。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５２】
図７は、様々なタイプの流体充填ポリマーミクロスフェアを含有するプレブレンドの相対粘度比較を示している。４重量％を超えて８重量％未満の流体充填ポリマーミクロスフェアの添加量で、妥当な範囲にプレブレンド粘度を保持するために２つの実行可能なアプローチが存在する。第１のアプローチは、Expancel 031DU40ポリマーミクロスフェアのような、未膨張のポリマーミクロスフェアのみを利用することである。粘度の増大は、最高８重量％の添加量レベルで５０％未満となろう。１つの代替法は、事前膨張及び未膨張のポリマーミクロスフェアの組合せを利用することである。Expancel 461DE20d70ポリマーミクロスフェアのような、事前膨張のポリマーミクロスフェアの量は、妥当なプレブレンド粘度を維持するために４重量％未満を保持できる。１．０g/cm３に近い比重値では、Expancel 031DU40ポリマーミクロスフェアのような、未膨張のポリマーミクロスフェアは、プレブレンド粘度にあまり貢献しない。全部で８重量％の添加量の流体充填ポリマーミクロスフェアで、Expancel 031DU40のような、未膨張のポリマーミクロスフェアを導入することにより、一桁を超えるプレブレンド粘度の低下を達成することができる。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５３】
実施例３
事前膨張又は未膨張のいずれかの流体充填ポリマーミクロスフェアは、温度を上昇させると膨張させることができる。膨張の程度は、温度、ポリマー殻のポリマー組成、封入された液体の沸点、及びこのポリマーミクロスフェアが事前膨張品であるか未膨張品であるかどうかに依存する。熱機械分析（ＴＭＡ）は、種々の流体充填ポリマーミクロスフェアの膨張を測定するための優れたツールを提供する。ＴＭＡ法は、TA Instrumentsにより製造されたThermal Mechanical Analyzer Q400で実施した。内径７．５４mmのセラミックカップを、TMA Q400の試料台に置いた。外径６．６mmを有するアルミニウム蓋を台上のカップの内側に収めた。直径６．１mmの石英膨張プローブを、ダウンフォース０．０６Ｎの予荷重で蓋を含むカップ中に下ろした。初期試料厚さをこの機器により測定して、得られる厚さを機器によりゼロ設定した。次にこの試料カップ及び蓋を台から取り外し、蓋をカップから取り外した。少量の流体充填ポリマーミクロスフェアをカップに入れ、次に蓋をカップ中に挿入した。このカップ及び蓋をＴＭＡ台に戻して、石英プローブを、試料及び蓋を含むカップ中に下ろした。再び厚さを測定して、機器により記録した。次に３℃/分のランプ速度及び０．０６Ｎの予荷重での、３０℃から２５０℃までの温度傾斜に関してＴＭＡをプログラムした。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００５４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００５４】
膨張の開始温度（Ｔｓｔａｒｔ）、最大膨張、及び最大膨張の温度（Ｔｍａｘ）は、少数の選択された流体充填ポリマーミクロスフェアについて表７に要約される。事前膨張等級を含めて全てのポリマーミクロスフェアは、そのＴｓｔａｒｔ温度を超えて加熱されると膨張した。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６０】
本発明は、優れたコンディショナー安定性を持つ研磨パッドを提供する。このコンディショナー安定性は、パッドの寿命を向上させることができる。更に、この事前膨張及び未膨張のポリマーミクロスフェアのブレンドにより、従来の注型法では不可能な低密度研磨パッドの注型ができる。最後に、事前膨張及び未膨張のポリマーミクロスフェアのブレンドを使用すると、注型可能性のための粘度と、研磨の強化のための有効な細孔径を達成するための発熱との理想的な組合せを作り出すことができる。