(57)【要約】  洗浄液を霧状に噴射して洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に用いられる噴射ノズルであって、ノズル本体を備え、ノズル本体は、第１の噴射口、第２の噴射口、洗浄液供給源から供給される洗浄液と気体供給源から供給される内部混合用気体とを内部で混合して第１の噴射口から噴射する洗浄液流路、及び、気体供給源から供給される外部混合用気体を第２の噴射口から噴射する外部混合用気体流路を有し、第１の噴射口から噴射された洗浄液と第２の噴射口から噴射された外部混合用気体とがノズル本体の前方で混合する。ノズル本体の内部で内部混合用気体と混合されて噴射された洗浄液を更にノズル本体の外部で外部混合用気体と混合するので、内部混合型の噴射ノズル、及び外部混合型の噴射ノズルに比べて液滴の速度のばらつきを小さくすることができる。
2011077523.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液を霧状に噴射して洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に用いられる噴射ノズルであって、
ノズル本体を備え、
前記ノズル本体は、第１の噴射口、第２の噴射口、洗浄液供給源から供給される洗浄液と気体供給源から供給される内部混合用気体とを内部で混合して前記第１の噴射口から噴射する洗浄液流路、及び、気体供給源から供給される外部混合用気体を前記第２の噴射口から噴射する外部混合用気体流路を有し、
前記第１の噴射口から噴射された洗浄液と前記第２の噴射口から噴射された外部混合用気体とが前記ノズル本体の前方で混合する、噴射ノズル。
【請求項２】
請求の範囲第１項に記載の噴射ノズルであって、
前記第１の噴射口の流路面積を絞るオリフィスを備える、噴射ノズル。
【請求項３】
洗浄液を霧状に噴射して洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に用いられる噴射ノズルであって、
ノズル本体を備え、
前記ノズル本体は、第１の噴射口、前記第１の噴射口の流路面積を絞るオリフィス、及び、洗浄液供給源から供給される洗浄液と気体供給源から供給される内部混合用気体とを内部で混合して前記第１の噴射口から噴射する洗浄液流路を有する、噴射ノズル。
【請求項４】
洗浄液を霧状に噴射して洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に用いられる噴射ノズルであって、
ノズル本体を備え、
前記ノズル本体は、第１の噴射口、前記第１の噴射口の流路面積を絞るオリフィス、第２の噴射口、洗浄液供給源から供給される洗浄液を前記第１の噴射口から噴射する洗浄液流路、及び、気体供給源から供給される外部混合用気体を前記第２の噴射口から噴射する外部混合用気体流路を有し、
前記第１の噴射口から噴射された洗浄液と前記第２の噴射口から噴射された外部混合用気体とが前記ノズル本体の前方で混合する、噴射ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄液を霧状に噴射して洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に用いられる噴射ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄液と気体とを噴射ノズルにより混合して霧状に噴射し、噴射した洗浄液により液晶パネル、半導体、電気回路などの洗浄対象物を洗浄する洗浄装置が知られている。このような洗浄装置に用いられる噴射ノズルとして、洗浄液と気体とを噴射ノズルの内部で混合して噴射する内部混合型の噴射ノズル（例えば、特許文献１参照）や、洗浄液と気体とを別々に噴射して噴射ノズルの外部で混合する外部混合型の噴射ノズルが知られている。【０００３】
【特許文献１】特開平８−３１８１８１号公報
【発明の開示】
【０００４】
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、従来の内部混合型の噴射ノズルや外部混合型の噴射ノズルは、噴射される液滴の速度のばらつきが大きいという問題がある。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、内部混合型の噴射ノズル、及び外部混合型の噴射ノズルに比べて液滴の速度のばらつきが小さい噴射ノズルを提供することを目的とする。
【０００５】
（課題を解決するための手段）
第１の発明は、洗浄液を霧状に噴射して洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に用いられる噴射ノズルであって、ノズル本体を備え、前記ノズル本体は、第１の噴射口、第２の噴射口、洗浄液供給源から供給される洗浄液と気体供給源から供給される内部混合用気体とを内部で混合して前記第１の噴射口から噴射する洗浄液流路、及び、気体供給源から供給される外部混合用気体を前記第２の噴射口から噴射する外部混合用気体流路を有し、前記第１の噴射口から噴射された洗浄液と前記第２の噴射口から噴射された外部混合用気体とが前記ノズル本体の前方で混合する。
【０００６】
洗浄液を霧状に噴射して洗浄対象物を洗浄する場合、液滴の速度が速すぎると洗浄対象物に損傷を与える虞があり、一方、液滴の速度が遅すぎると洗浄効果が低下する虞がある。このため、噴射ノズルから噴射される液滴の速度のばらつきが大きいと、液滴の平均速度が目的の速度になるように洗浄液の圧力や気体の圧力を調整した場合には、一部の液滴の速度が目的の速度よりも大幅に速くなることにより、洗浄対象物に損傷を与える虞がある。一方、一部の液滴の速度が目的の速度よりも大幅に速くなることを避けるために液滴の平均速度を下げると、大部分の液滴の速度が目的の速度より遅くなることにより、洗浄効果が低下する虞がある。
【０００７】
この発明によると、ノズル本体の内部で内部混合用気体と混合されて噴射された洗浄液を更にノズル本体の外部で外部混合用気体と混合するので、内部混合型の噴射ノズル、及び外部混合型の噴射ノズルに比べて液滴の速度のばらつきを小さくすることができる。これにより、液滴の平均速度が目的の速度になるように洗浄液の圧力や気体の圧力を調整した場合に、目的の速度よりも大幅に速い液滴が減少するので、洗浄対象物に損傷を与える虞を低減できるとともに、大部分の液滴の速度が目的の速度かあるいはその近傍の速度になることにより、洗浄効果の低下を低減できる。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明の噴射ノズルであって、前記第１の噴射口の流路面積を絞るオリフィスを備える。
この発明によると、オリフィスを設けることにより、液滴の速度のばらつきをより小さくすることができる。
【０００９】
第３の発明は、洗浄液を霧状に噴射して洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に用いられる噴射ノズルであって、ノズル本体を備え、前記ノズル本体は、第１の噴射口、前記第１の噴射口の流路面積を絞るオリフィス、及び、洗浄液供給源から供給される洗浄液と気体供給源から供給される内部混合用気体とを内部で混合して前記第１の噴射口から噴射する洗浄液流路を有する。
この発明によると、オリフィスを設けることにより、オリフィスを持たない従来の内部混合型の噴射ノズルに比べて液滴の速度のばらつきを小さくすることができる。これにより、洗浄対象物に損傷を与える虞を低減しつつ洗浄効果の低下を低減できる。
【００１０】
第４の発明は、洗浄液を霧状に噴射して洗浄対象物を洗浄する洗浄装置に用いられる噴射ノズルであって、ノズル本体を備え、前記ノズル本体は、第１の噴射口、前記第１の噴射口の流路面積を絞るオリフィス、第２の噴射口、洗浄液供給源から供給される洗浄液を前記第１の噴射口から噴射する洗浄液流路、及び、気体供給源から供給される外部混合用気体を前記第２の噴射口から噴射する外部混合用気体流路を有し、前記第１の噴射口から噴射された洗浄液と前記第２の噴射口から噴射された外部混合用気体とが前記ノズル本体の前方で混合する。
この発明によると、オリフィスを設けることにより、オリフィスを持たない従来の外部混合型の噴射ノズルに比べて液滴の速度のばらつきを小さくすることができる。これにより、洗浄対象物に損傷を与える虞を低減しつつ洗浄効果の低下を低減できる。
【００１１】
（発明の効果）
本発明によれば、内部混合型の噴射ノズル、及び外部混合型の噴射ノズルに比べて液滴の速度のばらつきを小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態１に係る洗浄装置の全体構成を示すフロー図。
【図２】噴射ノズルの断面図。
【図３】噴射ノズルを図２に示すＡ方向から見た正面図。
【図４】噴射ノズルを図２に示すＢ方向から見た背面図。
【図５】ノズルの動作を説明するための部分拡大図。
【図６】オリフィスを持たない従来の内部混合型の噴射ノズルの断面図。
【図７】従来の噴射ノズルの測定結果を示すヒストグラム。
【図８】オリフィスを持たない従来の外部混合型の噴射ノズルの断面図。
【図９】従来の噴射ノズルの測定結果を示すヒストグラム。
【図１０】噴射ノズルの測定結果を示すヒストグラム。
【図１１】測定結果を整理して示す表。
【図１２】本発明の実施形態２に係る噴射ノズルの断面図。
【図１３】噴射ノズルの測定結果を示すヒストグラム。
【図１４】測定結果を整理して示す表。
【図１５】本発明の実施形態３に係る噴射ノズルの断面図。
【図１６】噴射ノズルの測定結果を示すヒストグラム
【図１７】測定結果を整理して示す表。
【図１８】本発明の実施形態４に係る噴射ノズルの断面図。
【図１９】噴射ノズルの測定結果を示すヒストグラム。
【図２０】測定結果を整理して示す表。
【符号の説明】
【００１３】
１・・・三流体ノズル（噴射ノズル）
１０・・・洗浄装置
１２・・・洗浄液供給源
１６・・・気体供給源
３１・・・本体部
３２・・・先端部
３３・・・中間部
３４・・・キャップ部
４１・・・洗浄液流路
４２・・・内部混合用気体流路
４６・・・オリフィス部（第１の噴射口）
４８・・・オリフィス
５４・・・開口（第２の噴射口）
７１・・・三流体ノズル（噴射ノズル）
７２・・・二流体ノズル（噴射ノズル）
７３・・・二流体ノズル（噴射ノズル）
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
＜実施例１＞
本発明の実施形態１を図１ないし図１１によって説明する。【００１５】
（１）洗浄装置の全体構成
図１は、本発明の実施形態１に係る三流体ノズル１（噴射ノズルの一例）を備える洗浄装置１０の全体構成を示すフロー図である。洗浄装置１０は、洗浄液を霧状に噴射して液晶パネル、半導体、電気回路などの洗浄対象物を洗浄する装置である。【００１６】
洗浄液供給路１１は高圧の洗浄液を供給する洗浄液供給源１２に一端が接続されており、他端が三流体ノズル１の洗浄液供給継手３５（図２参照）に接続されている。洗浄液供給路１１にはレギュレータ１３、及び流量計１４が設けられている。洗浄液供給源１２から供給される洗浄液は、具体的にはオゾン水、アンモニア水素水、炭酸ガス水、ヘリウム水、窒素水、酸素水、アルゴン水などである。洗浄液は洗浄対象物の性質などに応じて適宜に選択可能である。【００１７】
気体流路１５は高圧の気体を供給する気体供給源１６に一端が接続されており、他端側が途中で内部混合用気体供給路１５ａと外部混合用気体供給路１５ｂとに分岐している。気体供給源１６から供給される気体は、具体的には空気、窒素ガス、アルゴンガス、炭酸ガス、酸素ガスなどである。気体は洗浄対象物の性質などに応じて適宜に選択可能である。【００１８】
内部混合用気体供給路１５ａの他端は三流体ノズル１の内部混合用気体供給継手３６（図２参照）に接続されている。内部混合用気体供給路１５ａには、外部からの電圧または電流の入力信号に応じて気体の圧力を制御する電空レギュレータ１７、２ポートバルブ１８、気体中の微粒子を除去する気体フィルタ１９、ロータリーバルブ２０が設けられている。【００１９】
外部混合用気体供給路１５ｂの他端は三流体ノズル１の外部混合用気体供給継手３７（図２参照）に接続されている。外部混合用気体供給路１５ｂには、電空レギュレータ２１、２ポートバルブ２２、気体フィルタ２３が設けられている。【００２０】
（２）三流体ノズル
図２は三流体ノズル１の断面図、図３は三流体ノズル１を図２に示すＡ方向から見た正面図、図４は三流体ノズル１を図２に示すＢ方向から見た背面図である。
図２に示すように、三流体ノズル１は、本体部３１、先端部３２、中間部３３、キャップ部３４、洗浄液供給継手３５、内部混合用気体供給継手３６、及び外部混合用気体供給継手３７を備えて構成されている。以下の説明では図２において左側を先端側、右側を後端側という。【００２１】
本体部３１は略円柱状に形成されており、後端側から先端側に向かって段階的に外径が小さくなるように構成されている。本体部３１には、洗浄液供給継手３５が圧入固定される取付穴３８、内部混合用気体供給継手３６が圧入固定される取付穴３９、外部混合用気体供給継手３７が圧入固定される取付穴４０、洗浄液流路４１、内部混合用気体流路４２、及び、貫通孔４３が形成されている。
なお、洗浄液供給継手３５、内部混合用気体供給継手３６、及び外部混合用気体供給継手３７は、圧入ではなく継手の外周壁に形成した雄ねじと取付穴の内周壁に形成した雌ねじとをねじ結合することによって固定される構造であってもよい。【００２２】
洗浄液流路４１は、洗浄液供給継手３５が圧入固定される取付穴３８の底壁から本体部３１の中心線に沿って先端側に延びており、本体部３１を貫通している。
内部混合用気体流路４２は、内部混合用気体供給継手３６が圧入固定される取付穴３９の底壁から洗浄液流路４１に向かって垂直に延びており、本体部３１の内部で洗浄液流路４１と合流している。【００２３】
貫通孔４３は、外部混合用気体供給継手３７が圧入固定される取付穴４０の側壁から本体部３１の側壁に向かって斜めに延びており、本体部３１の側壁に開口している。【００２４】
先端部３２は、筒状部４４、筒状部４４に一体形成され筒状部４４を本体部３１の先端部に固定するための環状の取付部４５、及び、筒状部４４の先端側の開口から挿入されて筒状部４４の内周部に圧入固定されているオリフィス部４６を備えて構成されている。筒状部４４の先端側の開口は第１の噴射口の一例である。本体部３１の先端側を向く端面と筒状部４４の後端側を向く端面との間はＯリング４７によってシールされている。【００２５】
オリフィス部４６は、本体部３１側の面が後端側に向かって円錐面状に盛り上がっている。オリフィス部４６には、洗浄液流路４１の上流側から下流側に向かって本体部３１の中心軸線から離間するように傾いて延びる複数のオリフィス４８が形成されている。図３に示すようにオリフィス部４６にはオリフィス部４６の中心周りに８個のオリフィス４８が等間隔で形成されている。オリフィス４８の直径は０．０１ｍｍ〜１０ｍｍに設定することが望ましく、より望ましくは０．５ｍｍ〜１ｍｍである。本実施形態ではオリフィス４８の直径を０．６ｍｍに設定している。【００２６】
図２に示す中間部３３は、先端部３２及び本体部３１の外周を覆うように本体部３１の外周に圧入固定されている。中間部３３の後端側の端面と本体部３１の段差面４９との間はＯリング５０によってシールされている。中間部３３の内周面の後端側と本体部３１の外周面との間には空間５１が設けられており、本体部３１に形成されている貫通孔４３は空間５１に開口している。また、中間部３３の外周壁には貫通孔５２が形成されている。本体部３１に形成されている貫通孔４３と中間部３３に形成されている貫通孔５２とは空間５１を介して連通している。【００２７】
キャップ部３４は、中間部３３の外周を覆うように中間部３３の外周に圧入固定されている。キャップ部３４の内周面と中間部３３の外周面との間には空間５３が設けられており、この空間５３は先端側に向かって開口している。空間５３の開口５４は第２の噴射口の一例である。【００２８】
本体部３１の貫通孔４３、本体部３１と中間部３３との間の空間５１、中間部３３の外周壁に形成されている貫通孔５２、及び中間部３３とキャップ部３４との間の空間５３は外部混合用気体流路を構成している。外部混合用気体流路は、外部混合用気体が先端部３２の先端側の外周面に当たるように噴射方向が設定されている。【００２９】
（３）三流体ノズルの作動
図５は、三流体ノズル１の作動を説明するための部分拡大図である。洗浄液供給継手３５から供給される洗浄液と内部混合用気体供給継手３６から供給される内部混合用気体とは三流体ノズル１の内部（洗浄液流路４１内）で混合され、オリフィス４８から三流体ノズル１の前方に噴射される。一方、外部混合用気体供給継手３７から供給される外部混合用気体は外部混合用気体流路を流れて開口５４から三流体ノズル１の前方に噴射される。そして、オリフィス４８から噴射された洗浄液と開口５４から噴射された外部混合用気体とは、三流体ノズル１の前方で混合される。【００３０】
（４）液滴の速度のばらつき
三流体ノズル１、オリフィスを持たない従来の内部混合型の二流体ノズル、及びオリフィスを持たない従来の外部混合型の二流体ノズルについて、各ノズルから噴射される液滴の速度のばらつきを測定し、その結果を比較した。【００３１】
この測定は、ＳＤＰＡ（Shadow Doppler Particle Analyzer）を用いて行った。ＳＤＰＡは、２本のビームの交差による干渉縞を通過する液滴の光散乱信号を使用してドップラーシフトから液滴の速度を測定すると同時に、レンズで拡大投影し、受光部に並べたファイバーアレイセンサにより干渉縞を通過する液滴の影を捉え、その直径を測定する装置である。【００３２】
（測定ａ）オリフィスを持たない従来の内部混合型の二流体ノズル
図６は、測定に用いたオリフィスを持たない従来の内部混合型の二流体ノズル６１の断面図である。二流体ノズル６１の構成、及び寸法は、オリフィス部４６を備えていない点、及び外部混合用気体を噴射しないように構成されている点を除いて三流体ノズル１と実質的に同一である。【００３３】
図７は、測定ａの測定結果を示すヒストグラムであって、液滴毎の速度のヒストグラムである。測定ａでは次の条件で測定を行った。
噴射量＝５０ｍｌ／ｍｉｎ
内部混合用気体の気体圧＝０．４ＭＰａ
測定液滴数（有効データ数）＝２４６２【００３４】
（測定ｂ）オリフィスを持たない従来の外部混合型ノズル
図８は、測定に用いたオリフィスを持たない従来の外部混合型の二流体ノズル６２を示す断面図である。二流体ノズル６２の構成、及び寸法は、オリフィス部４６を備えていない点、及び内部混合用気体を噴射しないように構成されている点を除いて三流体ノズル１と実質的に同一である。【００３５】
図９は、測定ｂの測定結果を示すヒストグラムである。測定ｂでは次の条件で測定を行った。
噴射量＝５０ｍｌ／ｍｉｎ
外部混合用気体の気体圧＝０．４ＭＰａ
測定液滴数（有効データ数）＝１４５２【００３６】
（測定１）三流体ノズル
図１０は、三流体ノズル１の測定結果を示すヒストグラムである。測定１では次の条件で測定を行った。
噴射量＝５０ｍｌ／ｍｉｎ
外部混合用気体の気体圧＝０．４ＭＰａ
内部混合用気体の気体圧＝０．４ＭＰａ
測定液滴数（有効データ数）＝２７４１【００３７】
（測定結果の比較）
図１１は、測定結果を整理して示す表である。なお、ここでは速度の標準偏差の他に、平均速度、平均液滴径、及び液滴径の標準偏差も併せて示している。標準偏差はばらつきの大きさの尺度であり、標準偏差が小さいほどばらつきが小さいことを意味している。オリフィスを持たない従来の内部混合型の二流体ノズル６１の速度の標準偏差は１６．３であり、オリフィスを持たない従来の外部混合型の二流体ノズル６２は１３．２であった。これに対し、三流体ノズル１の速度の標準偏差は７．８であった。したがって、液滴の速度のばらつきは三流体ノズル１が最も小さい。【００３８】
従来の内部混合型の二流体ノズル６１に比べて三流体ノズル１の方が液滴の速度のばらつきが小さくなる理由は、従来の内部混合型の二流体ノズル６１では気層流の中に洗浄液を送って洗浄液流路４１内（フィードパイプ内）で液体から液滴に変化させるので、液滴の粒径が大きくばらつき、それにより速度のばらつきが大きくなるのに対し、三流体ノズル１では速度のばらついた飛行液滴に三流体ノズル１の外部で外部混合用気体を混合するので、速度のばらつきが小さくなったものと推測される。【００３９】
また、従来の外部混合型の二流体ノズル６２に比べて三流体ノズル１の方が液滴の速度のばらつきが小さくなる理由は、従来の外部混合型の二流体ノズル６２では液体を外部混合のみで液滴化するので液量が多くなると微粒化するまでのエネルギーが必要であり、それにより液滴の速度のばらつきが大きくなるのに対し、三流体ノズル１では内部混合により液滴速度を持たせたあとに外部混合によって微粒化を促進させることにより、液滴の速度のばらつきが小さくなったものと推測される。【００４０】
また、上述した理由に加えて、オリフィスを備えたことも液滴の速度のばらつきが小さくなったことに寄与している。後述する実施形態２ではオリフィスを備えない場合について液滴の速度のばらつきを測定しているが、その測定結果と比較しても三流体ノズル１の方が液滴の速度のばらつきが小さい。オリフィスを備えると液滴の速度のばらつきが小さくなる理由は、内部混合で生成された微粒化された液滴および液体が微小口径のオリフィスを通過することによって液滴の径と速度とが均一化されるからであると推測される。【００４１】
（５）実施形態の効果
以上説明した本発明の実施形態１に係る三流体ノズル１によると、ノズル本体の内部で内部混合用気体と混合されて噴射された洗浄液を更にノズル本体の外部で外部混合用気体と混合するので、オリフィスを持たない従来の内部混合型の二流体ノズル６１、及びオリフィスを持たない従来の外部混合型の二流体ノズル６２に比べて液滴の速度のばらつきを小さくすることができる。【００４２】
これにより、液滴の平均速度が目的の速度になるように洗浄液の圧力や気体の圧力を調整した場合に、従来の内部混合型の二流体ノズル６１や外部混合型の二流体ノズル６２に比べて目的の速度よりも大幅に速い液滴が減少するので、洗浄対象物に損傷を与える虞を低減できるとともに、大部分の液滴の速度が目的の速度かあるいはその近傍の速度になることにより、洗浄効果の低下を低減できる。【００４３】
更に、三流体ノズル１によると、筒状部４４の先端側の開口（第１の噴射口）に流路面積を絞るオリフィス４８を設けたことにより、液滴の速度のばらつきをより小さくできる。【００４４】
＜実施形態２＞
次に、本発明の実施形態２を図１２ないし図１４によって説明する。
図１２は、本発明の実施形態２に係る三流体ノズル７１の断面図である。三流体ノズル７１が備える筒状部８０は、実施形態１に係る筒状部４４からオリフィス部４６を除いたものである。三流体ノズル７１の構成はその点を除いて実施形態１に係る三流体ノズル１と同構造である。【００４５】
（測定２）三流体ノズル
図１３は、三流体ノズル７１の測定結果を示すヒストグラムである。測定２では次の条件で測定を行った。
噴射量＝５０ｍｌ／ｍｉｎ
外部混合用気体の気体圧＝０．４ＭＰａ
内部混合用気体の気体圧＝０．４ＭＰａ
測定液滴数（有効データ数）＝１８２０【００４６】
（測定結果の比較）
図１４は、前述した測定ａ及び測定ｂ、並びに測定２の測定結果を整理して示す表である。三流体ノズル７１の速度の標準偏差は１１．１であり、速度のばらつきは三流体ノズル７１が最も小さい。【００４７】
以上説明した本発明の実施形態２に係る三流体ノズル７１によると、オリフィスを持たない従来の内部混合型の二流体ノズル６１、及びオリフィスを持たない従来の外部混合型の二流体ノズル６２と比べて液滴の速度のばらつきが小さい。これにより、洗浄対象物に損傷を与える虞を低減できるとともに、洗浄効果の低下を低減できる。【００４８】
また、三流体ノズル７１は実施形態１に係る三流体ノズル１と比べた場合には液滴の速度のばらつきが大きいが、オリフィスを設けるとノズルの構成が複雑になるので、オリフィスを持たない従来の内部混合型の二流体ノズル６１や外部混合型の二流体ノズル６２に比べて速度のばらつきを小さくできればよく、実施形態１に係る三流体ノズル１と同程度まで小さくできなくてもよい場合には、ノズルの構成が簡素でよいので好適である。【００４９】
＜実施形態３＞
次に、本発明の実施形態３を図１５ないし図１７によって説明する。
図１５は、本発明の実施形態３に係る二流体ノズル７２の断面図である。二流体ノズル７２は、従来の内部混合型の噴射ノズルにオリフィス部４６を設けたものである。【００５０】
（測定３）二流体ノズル
図１６は、二流体ノズル７２の測定結果を示すヒストグラムである。測定３では次の条件で測定を行った。
噴射量＝５０ｍｌ／ｍｉｎ
内部混合用気体の気体圧＝０．４ＭＰａ
測定液滴数（有効データ数）＝７００【００５１】
（測定結果の比較）
図１７は、前述した測定ａ及び測定３の測定結果を整理して示す表である。二流体ノズル７２の速度の標準偏差は１３．４であり、速度のばらつきは二流体ノズル７２の方が小さい。【００５２】
以上説明した本発明の実施形態３に係る二流体ノズル７２によると、オリフィスを設けることにより、オリフィスを持たない従来の内部混合型の二流体ノズル６１に比べて液滴の速度のばらつきを小さくすることができる。これにより、洗浄対象物に損傷を与える虞を低減しつつ洗浄効果の低下を低減できる。【００５３】
また、二流体ノズル７２は実施形態１や実施形態２に係る三流体ノズルと比べた場合には速度のばらつきが大きいが、外部混合用気体を噴射するためにはノズルの構成や洗浄装置１０の構成が複雑になるので、オリフィスを持たない従来の内部混合型の二流体ノズル６１に比べて速度のばらつきを小さくできればよく、実施形態１や実施形態２に係る三流体ノズルと同程度まで小さくできなくてもよい場合には、ノズルや洗浄装置１０の構成が簡素でよいので好適である。【００５４】
＜実施形態４＞
次に、本発明の実施形態４を図１８ないし図２０によって説明する。
図１８は、本発明の実施形態４に係る二流体ノズル７３の断面図である。二流体ノズル７３は、従来の外部混合型の二流体ノズルにオリフィス部４６を設けたものである。【００５５】
（測定４）二流体ノズル
図１９は、二流体ノズル７３の測定結果を示すヒストグラムである。測定４では次の条件で測定を行った。
噴射量＝５０ｍｌ／ｍｉｎ
外部混合用気体の気体圧＝０．４ＭＰａ
測定液滴数（有効データ数）＝１０７４【００５６】
（測定結果の比較）
図２０は、前述した測定ｂ及び測定４の測定結果を整理して示す表である。二流体ノズル７３の速度の標準偏差は１１．５であり、速度のばらつきは二流体ノズル７３の方が小さい。【００５７】
以上説明した本発明の実施形態４に係る二流体ノズル７３によると、オリフィスを設けることにより、オリフィスを持たない従来の外部混合型の二流体ノズル６２に比べて液滴の速度のばらつきを小さくすることができる。これにより、洗浄対象物に損傷を与える虞を低減しつつ洗浄効果の低下を低減できる。【００５８】
また、二流体ノズル７３は実施形態１や実施形態２に係る三流体ノズルと比べた場合には速度のばらつきが大きいが、内部部混合用気体を噴射するためにはノズルの構成や洗浄装置１０の構成が複雑になるので、オリフィスを持たない従来の外部混合型の二流体ノズル６２に比べて速度のばらつきを小さくできればよく、実施形態１や実施形態２に係る三流体ノズルと同程度まで小さくできなくてもよい場合には、ノズルや洗浄装置１０の構成が簡素でよいので好適である。【００５９】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。【００６０】
（１）上記実施形態ではオリフィスを持つ三流体ノズルを例に説明したが、例えばオリフィスに替えて回転霧化頭により洗浄液を霧化する噴射ノズルに本発明を適用してもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【国際調査報告】
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