【手続補正書】
【提出日】令和2年9月18日(2020.9.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体（１４）からの距離を判定するための受信デバイス（１）であって、
前記物体（１４）によって反射された信号（１６）を受信して光誘起電荷キャリアを生成するための受信機を備え、
前記受信機は、光子を検出するための半導体構造（２）を備え、
前記半導体構造（２）は、背面から照光するように設計され、
前記半導体構造（２）は、光誘起電荷キャリアを生成するための、背面（Ｂ）に面する感光性領域（４）を有する半導体基板（３）と、電荷キャリアを輸送するための、前面（Ｆ）に面する輸送領域（６）と、を有し、
前記感光性領域（４）及び前記輸送領域（６）は、前記感光性領域（４）と前記輸送領域（６）との間に通路（７）を有する分離層（５）によって互いに空間的に分離され、前記分離層（５）は、埋め込み層として具現化され、
前記輸送領域（６）は、少なくとも２つのゲート（８，８ａ，８ｂ）が互いに隣接して位置し、そのうちのゲート（８ａ，８ｂ）の少なくとも１つが前記通路（７）とのオーバーラップ領域（９）内に位置する構成を有し、
前記輸送領域（６）内にある前記ゲート（８，８ａ，８ｂ）それぞれの下で電荷キャリアを動かすために、前記ゲート（８，８ａ，８ｂ）のそれぞれに電圧を印加可能である、受信デバイス（１）において、
前記ゲート（８，８ａ，８ｂ）のそれぞれの下で電荷キャリアを動かすことによって、それらを前記輸送領域（６）に沿って輸送するために、前記ゲート（８，８ａ，８ｂ）に電圧を連続して交互に印加するためのクロック発振器（１０）が設けられ、
時間解像度を空間解像度に変換するために、前記クロック発振器（１０）は、電荷キャリアを、前記感光性領域（４）から時系列に予め定義された間隔で前記輸送領域（６）に動かし、そこから前記輸送領域（６）に沿って輸送するように設計され、
前記輸送領域（６）は、ＣＣＤのコンベアベルト構造として具現化され、それにより、互いに隣接配置される前記ゲートに電位が印加され、それにより、電荷キャリアのパケットを、ゲートからゲートへ動かすために、その領域に位置する前記電荷キャリアが引き寄せられる、または、反発されることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項２】
請求項１記載の受信デバイス（１）であって、
前記通路（７）とのオーバーラップ領域（９）内に配置される前記少なくとも１つのゲート（８ａ，８ｂ）は、対応する１つのゲート及び／または２つのゲート（８ａ，８ｂ）に電圧を印加可能であることによって、前記電荷キャリアを、前記感光性領域（４）から前記輸送領域（６）に、前記通路（７）を通って動かすように設計されることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の受信デバイス（１）であって、
前記ゲート（８，８ａ，８ｂ）は、前記半導体基板（３）の前面（Ｆ）に配置される金属コンタクトとして具現化されていることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の受信デバイス（１）であって、
前記感光性領域（４）及び前記通路（７）は、第１のドーピングを有し、
前記分離層（５）は、第２のドーピングを有し、前記輸送領域（６）は、第３のドーピングを有し、
前記第２のドーピングは、第１及び／または第３のドーピングとは逆符号であることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項５】
請求項４記載の受信デバイス（１）であって、
前記第１のドーピングは、前記第２及び／または第３のドーピングよりも弱くされていることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の受信デバイス（１）であって、
前記第３のドーピングは、前記第１のドーピングよりも強くされていることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の受信デバイス（１）であって、
前記輸送領域（６）は、前記電荷キャリアの量を判定するための読み取りデバイス（１１）を備えることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の受信デバイス（１）であって、
光信号、または光パルスの時系列強度プロファイルにおける最大値を判定するように設計される評価装置（Ａ）が設けられていることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項９】
請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の受信デバイス（１）であって、
光パルスの時系列強度プロファイルにおける最大値を判定するように設計される評価装置（Ａ）が設けられ、前記評価装置（Ａ）が、最大値を判定する、平均値を形成する、または、パルスの立ち上がりエッジからパルスの立ち下がりエッジへの切り替わりの検出を行うように設計されていることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項１０】
請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の受信デバイス（１）であって、
光パルスの時系列強度プロファイルにおける最大値を判定するように設計される評価装置（Ａ）が設けられ、前記評価装置（Ａ）が、最大値を判定する、平均値を形成する、または、パルスの立ち上がりエッジからパルスの立ち下がりエッジへの切り替わりの検出を行うように設計され、更には、光パルスの発光から反射された光パルスの受信までの期間を判定するための計時デバイスが設けられていることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項１１】
請求項１〜請求項１０のいずれか１項に記載の受信デバイス（１）であって、
前記受信機は、マトリックスとして具現化されていることを特徴とする受信デバイス（１）。
【請求項１２】
物体（１４）からの距離を判定するためのセンサデバイス（１２）であって、光パルスを発光する送信機（１３）と、前記物体（１４）で反射された光パルスの信号を検出するための請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載の受信デバイス（１）と、が設けられ、前記センサデバイス（１２）が、ＴＯＦセンサデバイスとして具現化されていることを特徴とするセンサデバイス（１２）。
【請求項１３】
パルス光の伝播時間を測定して物体からの距離を判定するための方法であって、
時系列強度プロファイル内で最大値を有する光パルス（１５）を発光するステップと、
光誘起電荷キャリアを生成するために、前記物体で反射された信号（１６）を、半導体構造（２）の半導体基板（３）の感光性領域（４）で受信するステップと、
輸送領域（６）を設けるステップであって、分離層（５）によって分離され、前記電荷キャリアを輸送する輸送経路と、前記感光性領域（４）と前記輸送領域（６）との間の通路（７）と、を有し、その結果、前記電荷キャリアが、前記通路（７）を通って輸送され得るが、前記分離層（５）を通っては輸送されない、埋め込み層が前記分離層（５）として用いられる輸送領域（６）を設けるステップと、
前記輸送経路の範囲内で互いに隣接する少なくとも２つのゲート（８，８ａ，８ｂ）を設けるステップであって、それらゲート（８ａ，８ｂ）のうちの少なくとも１つが前記通路（７）とのオーバーラップ領域（９）に位置し、その結果、電位の印加によって前記電荷キャリアが前記通路（７）を通って引き寄せられ得る、少なくとも２つのゲート（８，８ａ，８ｂ）を設けるステップと、
光パルスの強度の時系列プロファイルを前記輸送経路全体にわたって空間的にマッピングするために、前記電荷キャリアを、別々の時間間隔で、前記通路（７）を通って前記輸送領域（６）内へと輸送するステップと、
クロック制御により前記電荷キャリアが前記輸送経路を通って移動するステップと、
が実行され、
請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載の受信デバイス（１）または請求項１２記載のセンサデバイス（１２）が用いられ、
光パルスの強度プロファイルの空間マッピングの焦点が、平均値の形成及び／またはエッジ検出によって判定され、
前記輸送領域（６）内にある前記ゲート（８，８ａ，８ｂ）それぞれの下で電荷キャリアを動かすために、前記ゲート（８，８ａ，８ｂ）のそれぞれに電圧が印加される
方法であって、
前記ゲート（８，８ａ，８ｂ）それぞれの下で電荷キャリアを動かすことによって、それらを前記輸送領域（６）に沿って輸送するために、クロック発振器（１０）によって前記ゲート（８，８ａ，８ｂ）に電圧を交互に連続印加し、
時間解像度を空間解像度に変換するために、前記クロック発振器（１０）によって、前記電荷キャリアを、前記感光性領域（４）から時系列に予め定義された間隔で前記輸送領域（６）に動かし、そこから前記輸送領域（６）に沿って輸送し、
コンベアベルト構造として具現化される前記輸送領域（６）によって、互いに隣接配置される前記ゲートに電位を印加することによって、電荷キャリアのパケットをゲートからゲートへ動かすために、その領域に位置する前記電荷キャリアが引き寄せられる、または、反発されることを特徴とする方法。