(57)【要約】  エネルギー効率に優れた可動子と固定子の離隔距離が小さい領域で、打音を発生させることなく加振部材の加振変位を効率的に且つ安定して実現することが出来る、新規な構造の電磁式アクチュエータとそれを用いた流体封入式能動型防振装置を提供する。  固定子１２２側の環状支持部材８０と可動子１２４側の加振部材７８を軸直角方向で対向配置すると共に、環状支持部材８０と加振部材７８の対向面間に、それら環状支持部材８０と加振部材７８を弾性連結する円環板状の支持ゴム弾性体８２を配設する。支持ゴム弾性体８２の軸方向一方の面に内周凹状部１６４と外周凸状部１６６を形成すると共に、支持ゴム弾性体８２の軸方向他方の面に内周凸状部１６８と外周凹状部１７０を形成して、加振部材７８と環状支持部材８０との軸直角方向の対向面間で山部と谷部を繋いだ波状に湾曲して延びる弾性中心軸：ｌを支持ゴム弾性体８２に設定する。
2011070744.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルの周囲にヨーク部材を組み付けて固定側磁路を備えた固定子を構成すると共に、該コイルの中心孔に可動子を配設して該コイルへの通電によって生じる磁界の作用で該可動子が該コイルの軸方向に駆動されるようにした電磁式アクチュエータにおいて、
前記固定子側に固定される環状支持部材と前記可動子側に固定される加振部材を軸直角方向で離隔して対向配置すると共に、該環状支持部材と該加振部材の軸直角方向での対向面間に円環板状の支持ゴム弾性体を配設して、該加振部材を該環状支持部材に対して該支持ゴム弾性体で弾性連結する一方、該支持ゴム弾性体の軸方向一方の面に内周凹状部と外周凸状部を形成すると共に、該支持ゴム弾性体の軸方向他方の面に内周凸状部と外周凹状部を形成して、該加振部材と該環状支持部材との軸直角方向の対向面間で山部と谷部を繋いだ波状に湾曲して延びる弾性中心軸を該支持ゴム弾性体に設定したことを特徴とする電磁式アクチュエータ。
【請求項２】
前記コイルへの通電によって生じる磁界の作用で前記可動子に及ぼされる駆動力と、該可動子の変位に伴って変形せしめられる前記支持ゴム弾性体の弾性復元力との相互作用に基づいて、該可動子が往復加振変位される請求項１に記載の電磁式アクチュエータ。
【請求項３】
前記支持ゴム弾性体の前記弾性中心軸に少なくとも一つの変曲点が設定されている請求項１又は２に記載の電磁式アクチュエータ。
【請求項４】
前記支持ゴム弾性体の前記弾性中心軸に対して前記変曲点が一つ設けられており、該弾性中心軸が、該変曲点を挟んで両側に位置する山部と谷部を繋いだ波状に湾曲している請求項３に記載の電磁式アクチュエータ。
【請求項５】
前記支持ゴム弾性体の内周端部が固着された前記加振部材側の内周固着面と、該支持ゴム弾性体の外周端部が固着された前記環状支持部材側の外周固着面とが、前記コイルの軸方向で相対偏倚されていると共に、
該支持ゴム弾性体の内周部分では、該内周固着面に対して該外周固着面が相対偏倚された軸方向側と反対側の面の内周側隅部における軸方向線に対する傾斜角度の最小値が９０度以下とされており、且つ、
該支持ゴム弾性体の外周部分では、該外周固着面に対して該内周固着面が相対偏倚された軸方向側と反対側の面の外周側隅部における軸方向線に対する傾斜角度の最小値が９０度以下とされている請求項１〜４の何れか１項に記載の電磁式アクチュエータ。
【請求項６】
前記支持ゴム弾性体の前記弾性中心軸における前記環状支持部材上の位置と前記加振部材上の位置とを直線でつないだ基準線に対して、該弾性中心軸が長さ方向中間部分において少なくとも一箇所で交差している請求項１〜５の何れか１項に記載の電磁式アクチュエータ。
【請求項７】
第一の取付部材を筒状とされた第二の取付部材の軸方向一方の開口部側に離隔配置して、それら第一の取付部材と第二の取付部材を本体ゴム弾性体によって連結すると共に、壁部の一部を該本体ゴム弾性体で構成された受圧室と、壁部の一部を可撓性膜で構成された平衡室を形成して、それら受圧室と平衡室に非圧縮性流体を封入すると共に、それら受圧室と平衡室を相互に連通するオリフィス通路を形成した流体封入式能動型防振装置において、
請求項１〜６の何れか１項に記載された電磁式アクチュエータを配して、前記受圧室の壁部の他の一部を前記加振部材で構成すると共に、前記環状支持部材を前記第二の取付部材に固定して、それら加振部材と環状支持部材を前記支持ゴム弾性体で連結したことを特徴とする流体封入式能動型防振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コイルへの通電によって発揮される磁気的な吸引力を駆動力として利用する電磁式アクチュエータと、それを用いた流体封入式能動型防振装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、防振装置の一種である流体封入式能動型防振装置の駆動力発生源等として利用されるアクチュエータとして、電磁式アクチュエータが知られている。電磁式アクチュエータは、コイルを備えた固定子と、固定子に対してコイルの軸方向への変位を許容された可動子とを有しており、コイルへの通電で発生する磁界の作用によって可動子と固定子の間に吸引力が作用して、可動子が固定子に対して軸方向に相対変位するようになっている。また、可動子側に取り付けられた加振部材が固定子側に取り付けられた環状支持部材に対して支持ゴム弾性体で連結されており、コイルへの通電を停止して吸引力を解除することで、支持ゴム弾性体の復元力によって可動子が固定子に対する初期位置に復帰するようになっている。そして、コイルへの通電のＯＮ／ＯＦＦを制御することで、加振部材を加振変位させることが可能となっている。なお、特許第４０１６３４３号公報（特許文献１）に示されているのが、それである。【０００３】
ところで、可動子と固定子の間に作用する磁力に基づく吸引力は、コイルの周囲に形成される磁路に欠損部分を設けて磁極形成部を形成することにより、該磁極と強磁性の可動子との間で発揮されるようになっている。このような磁気による吸引力の大きさは、磁極形成部と可動子との軸方向での離隔距離の自乗に反比例することから、離隔距離が小さいほど可動子に作用する駆動力が効率的に発揮される。【０００４】
しかしながら、上記のように吸引力が離隔距離の自乗に反比例することから、離隔距離を小さく設定すると、急激な吸引力の増大によって可動子の制御が困難となり、可動子の過大な変位による他部材への当接とそれに伴う打音の発生等が問題となるおそれがある。それ故、可動子と磁極形成部との離隔距離をある程度大きく確保せざるを得ず、駆動エネルギーを効率的に発揮させることは難しかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４０１６３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上述の事情を背景に為されたものであって、その解決課題は、エネルギー効率に優れた可動子と固定子の離隔距離が小さい領域で、打音を発生させることなく加振部材の加振変位を効率的に且つ安定して実現することが出来る、新規な構造の電磁式アクチュエータとそれを用いた流体封入式能動型防振装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第一の態様は、コイルの周囲にヨーク部材を組み付けて固定側磁路を備えた固定子を構成すると共に、該コイルの中心孔に可動子を配設して該コイルへの通電によって生じる磁界の作用で該可動子が該コイルの軸方向に駆動されるようにした電磁式アクチュエータにおいて、前記固定子側に固定される環状支持部材と前記可動子側に固定される加振部材を軸直角方向で離隔して対向配置すると共に、該環状支持部材と該加振部材の軸直角方向での対向面間に円環板状の支持ゴム弾性体を配設して、該加振部材を該環状支持部材に対して該支持ゴム弾性体で弾性連結する一方、該支持ゴム弾性体の軸方向一方の面に内周凹状部と外周凸状部を形成すると共に、該支持ゴム弾性体の軸方向他方の面に内周凸状部と外周凹状部を形成して、該加振部材と該環状支持部材との軸直角方向の対向面間で山部と谷部を繋いだ波状に湾曲して延びる弾性中心軸を該支持ゴム弾性体に設定したことを、特徴とする。【０００８】
このような第一の態様に従う構造とされた電磁式アクチュエータによれば、可動子と固定子の離隔距離を小さく設定して、大出力を効率的に得ることが可能となる。即ち、支持ゴム弾性体を特定の波打ち形状とすることにより、可動子の駆動変位初期において支持ゴム弾性体のばね定数が小さく抑えられると共に、可動子の変位量が増加するに従って支持ゴム弾性体のばね定数が非線形的に大きくなる。これにより、可動子の固定子に対する接近変位に伴って増大する磁気的な吸引力が、非線形的に増大する支持ゴム弾性体の弾性力によって相殺されて、可動子の運動エネルギーが低減される。従って、可動子の固定子に対する初期の離隔距離がより小さく設定されて、駆動力を効率的に発揮させることが可能なストローク領域で可動子が加振変位される場合にも、可動子の過大な変位が防止されて、可動子の他部材への当接とそれに伴う打音の発生が回避される。【０００９】
本発明の第二の態様は、第一の態様に記載された電磁式アクチュエータにおいて、前記コイルへの通電によって生じる磁界の作用で前記可動子に及ぼされる駆動力と、該可動子の変位に伴って変形せしめられる前記支持ゴム弾性体の弾性復元力との相互作用に基づいて、該可動子が往復加振変位されるものである。【００１０】
第二の態様によれば、支持ゴム弾性体の非線形的なばね定数の変化を利用することで、磁界の作用による可動子の一方向への駆動変位と、支持ゴム弾性体の弾性復元力による可動子の反対方向への駆動変位とが実現されるようになっており、可動子の往復加振変位をエネルギー効率良く実現することができる。【００１１】
本発明の第三の態様は、第一又は第二の態様に記載された電磁式アクチュエータにおいて、前記支持ゴム弾性体の前記弾性中心軸に少なくとも一つの変曲点が設定されているものである。【００１２】
第三の態様によれば、変曲点の設定部位において支持ゴム弾性体が滑らかな形状となることにより、応力の集中を回避して、耐久性の向上を実現することができる。【００１３】
本発明の第四の態様は、第三の態様に記載された電磁式アクチュエータにおいて、前記支持ゴム弾性体の前記弾性中心軸に対して前記変曲点が一つ設けられており、該弾性中心軸が、該変曲点を挟んで両側に位置する山部と谷部を繋いだ波状に湾曲しているものである。【００１４】
第四の態様によれば、支持ゴム弾性体の弾性中心軸において１つの変曲点が設定されていることにより、山部と谷部を繋いだ波状の弾性中心軸を持った支持ゴム弾性体を得て、上記の如き非線形なばね特性を実現することができ、出力効率に優れた電磁式アクチュエータを実現することができる。【００１５】
本発明の第五の態様は、第一〜第四の何れか１つの態様に記載された電磁式アクチュエータにおいて、前記支持ゴム弾性体の外周端部が固着された前記環状支持部材側の内周固着面と、該支持ゴム弾性体の内周端部が固着された前記加振部材側の外周固着面とが、前記コイルの軸方向で相対偏倚されていると共に、該支持ゴム弾性体の内周部分では、該外周固着面に対して該内周固着面が相対偏倚された軸方向側と反対側の面の内周側隅部における軸方向線に対する傾斜角度の最小値が９０度以下とされており、且つ、該支持ゴム弾性体の外周部分では、該内周固着面に対して該外周固着面が相対偏倚された軸方向側と反対側の面の外周側隅部における軸方向線に対する傾斜角度の最小値が９０度以下とされているものである。【００１６】
第五の態様によれば、支持ゴム弾性体の内周部分と外周部分における凹みの深さ或いは突出高さが大きくなって、波状とされた弾性中心軸の振幅がより大きくなる。これにより、支持ゴム弾性体の非線形なばね特性がより有利に発揮されて、電磁式アクチュエータにおける効率的な出力と、可動子の当接打音の防止が、何れも効果的に実現される。【００１７】
本発明の第六の態様は、第一〜第五の何れか１つの態様に記載された電磁式アクチュエータにおいて、前記支持ゴム弾性体の前記弾性中心軸における前記環状支持部材上の位置と前記加振部材上の位置とを直線でつないだ基準線に対して、該弾性中心軸が長さ方向中間部分において少なくとも一箇所で交差しているものである。【００１８】
第六の態様によれば、支持ゴム弾性体の弾性中心軸が波状に湾曲して上下に凹凸していることから、可動子の駆動変位に対する支持ゴム弾性体の非線形なばね特性が有効に発揮されて、効率的な出力特性を実現しつつ、当接打音の発生を回避することができる。【００１９】
また、本発明の第七の態様は、第一の取付部材を筒状とされた第二の取付部材の軸方向一方の開口部側に離隔配置して、それら第一の取付部材と第二の取付部材を本体ゴム弾性体によって連結すると共に、壁部の一部を該本体ゴム弾性体で構成された受圧室と、壁部の一部を可撓性膜で構成された平衡室を形成して、それら受圧室と平衡室に非圧縮性流体を封入すると共に、それら受圧室と平衡室を相互に連通するオリフィス通路を形成した流体封入式能動型防振装置において、第一〜第六の何れか１つの態様に記載された電磁式アクチュエータを配して、前記受圧室の壁部の他の一部を前記加振部材で構成すると共に、前記環状支持部材を前記第二の取付部材に固定して、それら加振部材と環状支持部材を前記支持ゴム弾性体で連結したことを特徴とする。【００２０】
このような第七の態様に従う構造とされた流体封入式能動型防振装置によれば、本発明の電磁式アクチュエータを採用することで、加振部材から受圧室に及ぼされる加振力を効率的に得ることが出来て、受圧室の圧力を制御することによる能動的な防振効果を有利に得ることが出来る。
【発明の効果】
【００２１】
本発明では、支持ゴム弾性体に山部と谷部を繋いだ波状の弾性中心軸を軸直角方向で設定することにより、支持ゴム弾性体が非線形のばね特性を備えている。それ故、可動子と固定子の離隔距離が小さく設定されて、それら可動子と固定子の間で磁気的な吸引力が大きく発揮される場合にも、可動子の変位速度が支持ゴム弾性体の弾性力によって低減されて、可動子の過大な変位による他部材への当接とそれに伴う打音の発生を防ぐことが出来る。その結果、固定子側の磁極からの離隔距離が小さいストローク領域で可動子を駆動変位させることが可能となって、発生力を効率的に発揮させることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第一の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。
【図２】図１に示されたエンジンマウントの要部を拡大して示す縦断面図。
【図３】エンジンマウントを構成する支持ゴム弾性体の荷重−たわみ特性を示すグラフ。
【図４】本発明の第二の実施形態としてのエンジンマウントを示す縦断面図。
【図５】図４に示されたエンジンマウントの要部を拡大して示す縦断面図。
【図６】本発明の別の一実施形態としてのエンジンマウントの要部を拡大して示す縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２４】
図１には、本発明に従う構造とされた流体封入式能動型防振装置の第一の実施形態として、自動車用のエンジンマウント１０が示されている。エンジンマウント１０は、マウント本体１２に電磁式アクチュエータ１４を組み付けた構造を有している。更に、マウント本体１２は、第一の取付部材１６と第二の取付部材１８を本体ゴム弾性体２０によって弾性的に連結した構造を有しており、第一の取付部材１６が図示しない自動車のパワーユニットに取り付けられると共に、第二の取付部材１８が図示しない自動車のボデーに取り付けられることにより、パワーユニットをボデーに対して防振支持するようになっている。また、そのような装着状態下、第一の取付部材１６と第二の取付部材１８の間には、パワーユニットの分担荷重と、防振すべき主たる振動が、何れも、エンジンマウント１０の略軸方向（図１中、上下方向）に入力されるようになっている。なお、以下の説明中、上下方向とは、原則として、図１中の上下方向を言うものとする。
【００２５】
より詳細には、第一の取付部材１６は、本体ゴムインナ金具２２と可撓性膜インナ金具２４によって構成されていると共に、第二の取付部材１８は、本体ゴムアウタ筒金具２６と可撓性膜アウタ筒金具２８によって構成されている。そして、本体ゴム弾性体２０に対して本体ゴムインナ金具２２と本体ゴムアウタ筒金具２６が加硫接着されて第一の一体加硫成形品３０とされている一方、可撓性膜インナ金具２４と可撓性膜アウタ筒金具２８が、可撓性膜３２に対して加硫接着されて第二の一体加硫成形品３４とされており、これら第一及び第二の一体加硫成形品３０，３４が相互に組み合わされている。
【００２６】
第一の一体加硫成形品３０を構成する本体ゴムインナ金具２２は、逆向きの略円錐台形状を有している。また、本体ゴムインナ金具２２の上端面（大径側端面）には、嵌合凹部３６が形成されていると共に、嵌合凹部３６の底面に開口するねじ穴３８が設けられている。
【００２７】
また、本体ゴムアウタ筒金具２６は、略大径円筒形状を有する筒壁部４０を備えており、この筒壁部４０の軸方向下端部には径方向外方に向かって広がるフランジ状部４２が一体形成されている一方、筒壁部４０の軸方向上端部分は、軸方向上方に行くに従って次第に拡開するテーパ筒状部４４とされている。これによって、本体ゴムアウタ筒金具２６の外周側には、外周面に開口して周方向に一周弱の長さで延びる周溝４５が形成されている。そして、本体ゴムアウタ筒金具２６の上方に離隔して、本体ゴムインナ金具２２が略同一中心軸上で離隔配置されており、本体ゴムインナ金具２２における逆テーパ形状の外周面と本体ゴムアウタ筒金具２６におけるテーパ筒状部４４の内周面が相互に離隔して対向位置しており、これら本体ゴムインナ金具２２と本体ゴムアウタ筒金具２６との対向面間が、本体ゴム弾性体２０によって弾性的に連結されている。
【００２８】
かかる本体ゴム弾性体２０は、全体として大径の円錐台形状を有しており、その中央部分には、本体ゴムインナ金具２２が同軸的に配されて加硫接着されていると共に、その大径側端部外周面に対して本体ゴムアウタ筒金具２６のテーパ筒状部４４が重ね合わせられて加硫接着されている。これによって、本体ゴム弾性体２０が、上述の如き本体ゴムインナ金具２２および本体ゴムアウタ筒金具２６を備えた第一の一体加硫成形品３０として形成されている。
【００２９】
また一方、第二の一体加硫成形品３４を構成する可撓性膜インナ金具２４は、厚肉の円板形状を有している。また、可撓性膜インナ金具２４の下面には、嵌合凸部４６が形成されていると共に、嵌合凸部４６の形成部位を貫通して挿通孔５２が形成されている。更に可撓性膜インナ金具２４には、上方に突出して取付板部５４が一体形成されており、取付板部５４の中央部分にはボルト挿通孔５６が設けられている。
【００３０】
また、可撓性膜アウタ筒金具２８は、薄肉大径の円筒形状を有しており、その軸方向上側の開口部には、径方向外方に向かって広がる取付用板部５８が一体形成されている。なお、取付用板部５８には、図示しない複数の固定ボルトが植設されている。更にまた、可撓性膜アウタ筒金具２８の軸方向下側の開口部には、径方向外方に向かって広がる円環板形状のフランジ状部６２が一体形成されており、更に、フランジ状部６２の外周縁部には、軸方向下方に向かって突出する円環状のかしめ片６４が一体形成されている。
【００３１】
そして、可撓性膜アウタ筒金具２８の軸方向上方に離隔して、可撓性膜インナ金具２４が、略同一中心軸上に配設されており、それら可撓性膜インナ金具２４と可撓性膜アウタ筒金具２８が、可撓性膜３２によって連結されている。
【００３２】
可撓性膜３２は、薄肉のゴム膜によって形成されており、容易に弾性変形が許容されるように大きな弛みを持った湾曲断面形状をもって周方向に延びる略円環形状を有している。そして、可撓性膜３２の内周縁部が、可撓性膜インナ金具２４の外周縁部に対して加硫接着されていると共に、可撓性膜３２の外周縁部が、可撓性膜アウタ筒金具２８の軸方向上側の開口部に加硫接着されている。これにより、可撓性膜３２は、可撓性膜インナ金具２４および可撓性膜アウタ筒金具２８を備えた第二の一体加硫成形品３４として形成されている。
【００３３】
而して、かかる第二の一体加硫成形品３４が、前述の第一の一体加硫成形品３０に対して上方から重ね合わせられて組み付けられており、可撓性膜インナ金具２４が本体ゴムインナ金具２２に固着されていると共に、可撓性膜アウタ筒金具２８が本体ゴムアウタ筒金具２６に固着されており、更に可撓性膜３２が、本体ゴム弾性体２０の外方に離隔して、本体ゴム弾性体２０の外周面を全体に亘って覆うようにして配設されている。
【００３４】
すなわち、可撓性膜インナ金具２４が本体ゴムインナ金具２２の上面に直接に重ね合わされて、可撓性膜インナ金具２４の嵌合凸部４６が本体ゴムインナ金具２２の嵌合凹部３６に嵌め込まれることによって、可撓性膜インナ金具２４と本体ゴムインナ金具２２が同一中心軸上に位置合わせされている。また、特に本実施形態では、嵌合凸部４６の外周面に形成された係合外周面６６と嵌合凹部３６の内周面に切欠状に形成された係合内周面６８の係合作用によって、可撓性膜インナ金具２４と本体ゴムインナ金具２２が周方向でも相互に位置決めされており、可撓性膜インナ金具２４の挿通孔５２と本体ゴムインナ金具２２のねじ穴３８が位置合わせされている。
【００３５】
そして、図１に示されているように、本体ゴムインナ金具２２と可撓性膜インナ金具２４を重ね合わせた状態下で、連結ボルト７０が、可撓性膜インナ金具２４の挿通孔５２を通じて本体ゴムインナ金具２２のねじ穴３８に螺着されている。而して、これら本体ゴムインナ金具２２と可撓性膜インナ金具２４が連結ボルト７０で連結固定されることにより、第一の取付部材１６が構成されている。
【００３６】
一方、可撓性膜アウタ筒金具２８は、本体ゴムアウタ筒金具２６に対して軸方向上方から外挿されている。また、本体ゴムアウタ筒金具２６は、その下端部において、フランジ状部４２の外周縁部が可撓性膜アウタ筒金具２８のフランジ状部６２に対して軸方向に重ね合わされていると共に、その上端部において、テーパ筒状部４４の開口端縁部が可撓性膜アウタ筒金具２８の内周面に対して径方向で重ね合わされている。
【００３７】
そして、本体ゴムアウタ筒金具２６のフランジ状部４２の外周縁部に対して、可撓性膜アウタ筒金具２８のかしめ片６４がかしめ固定されることによって、本体ゴムアウタ筒金具２６と可撓性膜アウタ筒金具２８が相互に固定されて組み付けられている。なお、これら本体ゴムアウタ筒金具２６の上下両端部における可撓性膜アウタ筒金具２８との重ね合わせ部位には、それぞれ、本体ゴム弾性体２０または可撓性膜３２と一体成形されたシールゴムが介在されており、流体密にシールされている。これにより、本体ゴムアウタ筒金具２６に形成された周溝４５が可撓性膜アウタ筒金具２８で流体密に覆蓋されており、もって、本体ゴムアウタ筒金具２６の筒壁部４０と可撓性膜アウタ筒金具２８の径方向対向面間を周方向に所定長さで乃至は全周に亘って連続して延びる環状通路７２が形成されている。
【００３８】
さらに、本体ゴムアウタ筒金具２６の下側開口部には、仕切板金具７４と支持部材７６が組み付けられている。支持部材７６は、軸直角方向に離隔配置された加振部材７８と環状支持部材８０を略円環板形状の支持ゴム弾性体８２で弾性的に連結した構造を有している。
【００３９】
加振部材７８は、円板形状を有しており、その外周縁部には軸方向で上方に向かって突出する略円筒形状の環状連結部８４が一体形成されている。また、加振部材７８の中央部分には、下方に向かって延びる駆動軸８６が一体形成されている。また、図２に示すように、駆動軸８６の先端部分（図中、下端側）からやや上部は雄ねじ部８８とされてねじ溝が刻設されている。また、加振部材７８は、環状連結部８４や駆動軸８６を含んで、金属や合成樹脂等の硬質材で一体成形されている。
【００４０】
一方、環状支持部材８０は、円筒形状を有して軸方向に延びる円筒状部９２の上下開口部に対してそれぞれフランジ状に広がる取付板部９４と位置決め突部９６が一体形成されており、取付板部９４の外周縁部には、更に下方に突出する円環状の圧入部１００が一体形成されている。なお、環状支持部材８０は、例えば、略円環板形状の金属板の内周縁部および外周縁部をプレス等によって下方に曲げ加工すると共に、下方に曲げられた内周縁部の下端を更に径方向外側に向かって曲げ加工することで形成される。
【００４１】
そして、加振部材７８が環状支持部材８０の径方向内方に離隔して略同一中心軸上に配設されて、加振部材７８が環状支持部材８０に対して軸方向上方に偏倚して配置されていると共に、それら環状支持部材８０と加振部材７８の径方向対向面間に支持ゴム弾性体８２が配設されている。また、かかる支持ゴム弾性体８２は、その内周面が加振部材７８の環状連結部８４の外周面（内周固着面９９）に加硫接着されていると共に、その外周面が環状支持部材８０の円筒状部９２の内周面（外周固着面１０１）に加硫接着されている。これにより、加振部材７８と環状支持部材８０の径方向対向面間が支持ゴム弾性体８２で流体密に閉塞されている。なお、内周固着面９９と外周固着面１０１は、軸方向で相対的に偏倚しており、内周固着面９９が外周固着面１０１よりも軸方向上方に延び出している。
【００４２】
一方、仕切板金具７４は、薄肉の円板形状を有しており、その外径寸法が、環状支持部材８０における取付板部９４の径方向中間部分まで至る大きさとされている。また、仕切板金具７４の中央部分は、略台地状に上方に突出せしめられていると共に、複数のオリフィス通孔１０２が貫設されている。更に、仕切板金具７４の外周縁部近くに位置する周上には、複数の係止片１０４が、上方に向かって突設されている。
【００４３】
そして、仕切板金具７４は、係止片１０４によって軸直方向に位置合わせされて、可撓性膜アウタ筒金具２８の下側開口部において、そこに組み付けられた本体ゴムアウタ筒金具２６のフランジ状部４２に対して外周縁部が重ね合わされて組み付けられている。更に、可撓性膜アウタ筒金具２８の下側開口部には、仕切板金具７４の下方から支持部材７６が組み付けられており、支持部材７６における環状支持部材８０の取付板部９４が、本体ゴムアウタ筒金具２６と仕切板金具７４に重ね合わされて、それぞれの外周縁部が可撓性膜アウタ筒金具２８のかしめ片６４によってかしめ固定されている。そして、これら第一の一体加硫成形品３０、第二の一体加硫成形品３４、仕切板金具７４、及び支持部材７６によって、マウント本体１２が構成されている。
【００４４】
これにより、可撓性膜アウタ筒金具２８の下側開口部が、支持部材７６で流体密に覆蓋されており、もって、本体ゴム弾性体２０と支持部材７６の対向面間には、非圧縮性流体が封入された受圧室１０６が形成されている。この受圧室１０６は、壁部の一部が本体ゴム弾性体２０で構成されており、第一の取付部材１６と第二の取付部材１８の間への振動入力時に本体ゴム弾性体２０の弾性変形に基づいて振動が入力されて圧力変動が惹起されるようになっている。なお、受圧室１０６の壁部の他の一部は、支持部材７６で構成されている。
【００４５】
また、受圧室１０６には、仕切板金具７４が配設されており、受圧室１０６が、仕切板金具７４を挟んで、本体ゴム弾性体２０側の振動入力室１０８と、支持部材７６側の加振室１１０に二分されていると共に、これら振動入力室１０８と加振室１１０がオリフィス通孔１０２で連通せしめられている。
【００４６】
更にまた、本体ゴム弾性体２０と可撓性膜３２が、それぞれの内周縁部と外周縁部において第一の取付部材１６と第二の取付部材１８に固着されることにより、本体ゴム弾性体２０と可撓性膜３２の対向面間には、非圧縮性流体が封入された平衡室１１２が形成されている。即ち、この平衡室１１２は、壁部の一部が変形容易な可撓性膜３２で構成されており、可撓性膜３２の弾性変形に基づいて容易に容積変化が許容されるようになっている。なお、受圧室１０６や平衡室１１２に封入される非圧縮性流体としては、後述するオリフィス通路１１８を通じて流動せしめられる流体の共振作用に基づく防振効果を自動車用のエンジンマウント１０に要求される振動周波数域で効率的に得るために、一般に、０．１Ｐａ・ｓ以下の低粘性流体が好適に採用される。
【００４７】
さらに、第二の取付部材１８を利用して環状通路７２が形成されており、この環状通路７２の周方向一方の端部が図示しない連通孔を通じて受圧室１０６に連通されていると共に、環状通路７２の周方向他端部が本体ゴム弾性体２０に形成された連通孔１１６を通じて平衡室１１２に連通されている。これにより、受圧室１０６と平衡室１１２を相互に連通せしめて両室１０６，１１２間での流体流動を許容するオリフィス通路１１８が、受圧室１０６の周囲に所定長さで形成されている。なお、オリフィス通路１１８は、振動入力時に受圧室１０６と平衡室１１２の間に惹起される圧力差に基づいて内部を流動せしめられる流体の共振作用に基づく防振効果が、例えばアイドリング振動等の特定の周波数域で有効に発揮されるように、その通路断面積や通路長さが適当に設定されてチューニングされている。
【００４８】
また一方、支持部材７６を挟んで受圧室１０６と反対側には、電磁式アクチュエータ１４が配設されている。この電磁式アクチュエータ１４は、固定子１２２と可動子１２４を含んで構成されている。固定子１２２は、略カップ形状のハウジング１２６にコイル１２８が収容状態で固定的に組み付けられていると共に、コイル１２８の周りにそれぞれ環状の強磁性材からなるヨーク部材１３０，１３２が固定的に組み付けられて固定側磁路が形成された構造を有している。また、固定側磁路を形成する上側ヨーク部材１３０の筒状内周面には、ガイドスリーブ１３４が弾性的に位置決めされて装着されており、強磁性材からなる可動子１２４がガイドスリーブ１３４内を滑動可能に組み付けられている。
【００４９】
可動子１２４は、コイル１２８の中心孔に挿入配置されて、磁路を形成するヨーク部材１３０，１３２間に形成された磁気ギャップの領域に配設されており、コイル１２８に通電することにより磁力が及ぼされて、ガイドスリーブ１３４で案内されつつ軸方向に駆動されるようになっている。また、可動子１２４は、軸方向に貫通する貫通孔１３６を有する全体として略円筒形状を有しており、外周面においてガイドスリーブ１３４に摺動可能とされている一方、貫通孔１３６の軸方向上部には、係合突部１３８が内方に向かって突出形成されている。
【００５０】
そして、電磁式アクチュエータ１４は、ハウジング１２６の開口周縁部に形成されたフランジ部１４０が、支持部材７６における環状支持部材８０の取付板部９４に重ね合わされて、環状支持部材８０等と共に、かしめ片６４で第二の取付部材１８にかしめ固定されている。これにより、電磁式アクチュエータ１４は、その可動子１２４の滑動中心軸が、第一及び第二の取付部材１６，１８の中心軸に略一致するように組み付けられている。
【００５１】
また、このように組み付けられた電磁式アクチュエータ１４には、その中心軸上で上方から加振部材７８の駆動軸８６が差し入れられており、この駆動軸８６が、可動子１２４の貫通孔１３６に挿通されている。そして、駆動軸８６の先端部分に略円筒形状の締結部材１４２が螺着されることにより、可動子１２４が駆動軸８６から抜出し不能に支持されている。
【００５２】
また、駆動軸８６にコイルスプリング１４８が外挿されて、加振部材７８と可動子１２４の係合突部１３８の対向面間に跨って配設されていることにより、駆動軸８６と可動子１２４が軸方向で位置決めされている。即ち、コイルスプリング１４８は、締結部材１４２を駆動軸８６に対してねじ込むことで、可動子１２４の係合突部１３８を介して加振部材７８との間で圧縮されている。これにより、可動子１２４は、コイルスプリング１４８によって駆動軸８６からの抜出し方向に付勢されていると共に、締結部材１４２によって抜出し不能に支持されている。その結果、駆動軸８６と可動子１２４は、軸方向で相対的に位置決めされて、固定的に連結されている。
【００５３】
なお、コイルスプリング１４８の両端には、カラー部材１５０が冠着されており、コイルスプリング１４８と他部材との擦れによる磨耗を軽減している。而して、可動子１２４と駆動軸８６は軸方向において実質的に固着状態で連結されて、コイル１２８への通電で可動子１２４に作用する駆動力が駆動軸８６に伝達されるようになっている。また、可動子１２４の貫通孔１３６の内周面と駆動軸８６との軸直角方向の対向面間、および締結部材１４２と可動子１２４との軸直角方向の対向面間には、何れも所定の隙間が設けられている。
【００５４】
また、締結部材１４２には、可動子１２４の係合突部１３８に重ね合わされる軸方向上端面において、径方向に連続して延びる凹溝１５２が形成されている。締結部材１４２が駆動軸８６に取り付けられた状態下で、締結部材１４２と可動子１２４の係合突部１３８との重ね合わせ面間には、凹溝１５２によって連通路が形成されており、この連通路を通じて、可動子１２４の上下の空間が相互に連通状態に維持されて、密閉空間での空気ばねによる悪影響が回避されるようになっている。
【００５５】
また、電磁式アクチュエータ１４のハウジング１２６の底壁部中央には、透孔１５４が貫設されており、この透孔１５４を通じて、可動子１２４に対向位置せしめられて磁力を及ぼす下側ヨーク部材１３２が外部に露呈されている。下側ヨーク部材１３２の中央部分は、山形に厚肉とされて中央突部１５６とされており、この中央突部１５６がガイドスリーブ１３４に対して下方から入り込んでいる。
【００５６】
そして、下側ヨーク部材１３２は、ハウジング１２６と上側ヨーク部材１３０に対して磁気的に接続されており、それらハウジング１２６と上側ヨーク部材１３０と協働して、コイル１２８の周りに延びる環状の磁路を形成している。また、この磁路には、コイル１２８の中心孔内において、上側ヨーク部材１３０と下側ヨーク部材１３２の間に磁気ギャップが形成されており、この磁気ギャップに相当する位置に可動子１２４が配設されている。かかる可動子１２４は、上側ヨーク部材１３０に対してガイドスリーブ１３４を挟んだ内周側において、下側ヨーク部材１３２から上方に所定距離だけ離隔して位置せしめられている。
【００５７】
これにより、周方向に巻回されたコイル１２８に通電すると、磁気ギャップを形成する上下のヨーク部材１３０，１３２の対向面間に対峙する磁極が生ぜしめられるようになっている。そして、かかる磁気ギャップに配設された可動子１２４に対して、磁気抵抗を最も小さくする方向への駆動力、即ち下側ヨーク部材１３２に向かう軸方向の駆動力が及ぼされるようになっている。また、コイル１２８への通電を停止すると、加振部材７８に加硫接着された支持ゴム弾性体８２の復元力に基づいて、可動子１２４が固定子１２２に対する初期位置に復帰するようになっている。そして、コイル１２８への電力供給のオンとオフを切り替えることにより、磁力に基づく吸引力と支持ゴム弾性体８２の弾性に基づく復元力との相互作用によって、可動子１２４が軸方向上下に往復駆動されるようになっている。なお、本実施形態において、支持ゴム弾性体８２は、電磁式アクチュエータ１４の一部を構成すると共に、マウント本体１２の一部を構成するようになっている。
【００５８】
上述の如き構造とされたエンジンマウント１０では、電磁式アクチュエータ１４に対して、更に筒形ブラケット１５８が外挿されている。筒形ブラケット１５８は、上端開口部にフランジ状部１６０を有しており、このフランジ状部１６０が、本体ゴムアウタ筒金具２６のフランジ状部４２や環状支持部材８０の取付板部９４，ハウジング１２６のフランジ部１４０と共に、可撓性膜アウタ筒金具２８に対してかしめ片６４でかしめ固定されている。また、筒形ブラケット１５８の下端開口部には取付板部１６２が形成されており、この取付板部１６２に対して複数の取付用孔（図示せず）が形成されている。
【００５９】
而して、エンジンマウント１０は、図示されていないが、第一の取付部材１６の取付板部５４が、ボルト挿通孔５６に挿通される固定ボルトでパワーユニットに取り付けられる一方、第二の取付部材１８が、筒形ブラケット１５８を介して固定ボルトで自動車のボデーに取り付けられることにより、パワーユニットとボデーの間に装着されることとなる。
【００６０】
そして、かかる装着状態下、第一の取付部材１６と第二の取付部材１８の間に振動が入力されると、本体ゴム弾性体２０の弾性変形に伴って受圧室１０６と平衡室１１２の間に惹起される圧力差に基づいてオリフィス通路１１８を通じて流体流動が生ぜしめられて、かかる流体の共振作用等の流動作用に基づいて受動的な防振効果が発揮される。
【００６１】
また、防振すべき振動に応じた周波数や位相でコイル１２８への通電を制御して電磁式アクチュエータ１４で加振部材７８を加振駆動させることにより、加振室１１０からオリフィス通孔１０２を通じて振動入力室１０８に圧力変動を及ぼし、振動入力室１０８の圧力変動を能動制御することにより入力振動に対して能動的な防振効果を得ることが出来る。
【００６２】
そこにおいて、エンジンマウント１０では、支持ゴム弾性体８２の縦断面形状が特定の波打ち形状とされていることによって、電磁式アクチュエータ１４の高出力化と出力特性の安定化が実現されている。
【００６３】
より詳細には、支持ゴム弾性体８２の上面に内周凹状部１６４と外周凸状部１６６が形成されている。内周凹状部１６４は、加振部材７８への固着部分を外周側に外れた支持ゴム弾性体８２の内周部分に形成されており、全周に亘って連続的に形成されている。また、内周凹状部１６４は、縦断面における曲率中心が支持ゴム弾性体８２の上面よりも上方に設定されており、上方に向かって開口する凹所状とされている。
【００６４】
外周凸状部１６６は、環状支持部材８０への固着部分を内周側に外れた支持ゴム弾性体８２の外周部分に形成されており、内周凹状部１６４の外周側において全周に亘って連続的に形成されている。また、外周凸状部１６６は、縦断面における曲率中心が支持ゴム弾性体８２の上面よりも下方に設定されており、上方に向かって突出するなだらかな山状とされている。
【００６５】
そして、内周凹状部１６４の外周縁と外周凸状部１６６の内周縁が滑らかに接続されており、支持ゴム弾性体８２の上面全体が折れ点を持たない滑らかな湾曲面とされている。更に、支持ゴム弾性体８２の上面は、縦断面において、内周凹状部１６４と外周凸状部１６６の接続点で１つの変曲点を持つ形状となっている。
【００６６】
なお、支持ゴム弾性体８２の縦断面において、内周凹状部１６４と外周凸状部１６６との接続点（変曲点）における接線が軸方向に対して成す角の大きさ、言い換えれば、支持ゴム弾性体８２の上面の内周側隅部における傾斜角度の最小値：α1 （図２参照）は、０°＜α1 ≦９０°の範囲で設定されていることが望ましい。より好適には、上記傾斜角度の最小値：α1 は、５０°≦α1 ≦９０°の範囲で設定されている。
【００６７】
また、支持ゴム弾性体８２の下面には、内周凸状部１６８と外周凹状部１７０が形成されている。内周凸状部１６８は、加振部材７８への固着部分を外周側に外れた支持ゴム弾性体８２の内周部分に形成されており、全周に亘って連続的に形成されている。また、内周凸状部１６８は、縦断面における曲率中心が支持ゴム弾性体８２の下面よりも上方に設定されており、下方に向かって突出するなだらかな山状とされている。
【００６８】
外周凹状部１７０は、環状支持部材８０への固着部分を内周側に外れた支持ゴム弾性体８２の外周部分に形成されており、内周凸状部１６８の外周側において、全周に亘って連続的に形成されている。また、外周凹状部１７０は、縦断面における曲率中心が支持ゴム弾性体８２の下面よりも下方に設定されており、下方に向かって開口する凹所状とされている。
【００６９】
そして、内周凸状部１６８の外周縁と外周凹状部１７０の内周縁が滑らかに接続されており、支持ゴム弾性体８２の下面全体が折れ点を持たない滑らかな湾曲面とされている。更に、支持ゴム弾性体８２の下面は、縦断面において、内周凸状部１６８と外周凹状部１７０の接続点で１つの変曲点を持つ形状となっている。
【００７０】
なお、支持ゴム弾性体８２の縦断面において、内周凸状部１６８と外周凹状部１７０との接続点（変曲点）における接線が軸方向に対して成す角の大きさ、言い換えれば、支持ゴム弾性体８２の下面の外周側隅部における傾斜角度の最小値：β1 （図２参照）は、０°＜β1 ≦９０°の範囲で設定されていることが望ましい。より好適には、上記傾斜角度の最小値：β1 は、５０°≦β1 ≦９０°の範囲で設定されている。
【００７１】
このように支持ゴム弾性体８２の上面および下面に凸状部１６６，１６８と凹状部１６４，１７０が形成されていることで、支持ゴム弾性体８２の内周側に上方に向かって凹の湾曲形状を有する谷状部１７２が設けられていると共に、外周側には上方に向かって凸の湾曲形状を有する山状部１７４が設けられている。これにより、図２に示されているように、支持ゴム弾性体８２の径方向の弾性中心軸：ｌ1 には、中間部分に１つの変曲点が設定されている。そして、弾性中心軸：ｌ1 は、変曲点を挟んで内周側が上側に曲率中心が設定されて上方に凹の谷部とされていると共に、変曲点を挟んで外周側が下側に曲率中心が設定されて上方に凸の山部とされており、全体として横転Ｓ字形状とされている。さらに、弾性中心軸：ｌ1 が略Ｓ字状の波形となっていることから、弾性中心軸：ｌ1 は、加振部材７８への固着端と環状支持部材８０への固着端とを結ぶ仮想的な線分（図２中に二点鎖線で示された基準線）と、長さ方向の中間部分の一箇所で交差している。特に本実施形態では、弾性中心軸：ｌ1 が、加振部材７８の環状連結部８４の軸方向中央と環状支持部材８０の円筒状部９２の軸方向中央とを結んだ仮想的な線分に対しても、一箇所で交差している。
【００７２】
なお、弾性中心軸：ｌ1 は、振動が入力されていない静置状態において全体として略軸直角方向に延びている。また、弾性中心軸：ｌ1 は、支持ゴム弾性体８２の縦断面において現れる半径方向に延びる弾性主軸と言い換えることができる。
【００７３】
また、本実施形態では、内周固着面９９と外周固着面１０１が何れも軸方向と略平行に広がる円筒状の面とされており、内周固着面９９の軸方向中央と外周固着面１０１の軸方向中央とを結ぶ線分が支持ゴム弾性体８２の弾性中心軸：ｌ1 と一箇所で交差している。なお、内周固着面９９と外周固着面１０１は、必ずしも軸方向と平行に広がるように設けられていなくても良く、例えば、外周固着面と内周固着面の少なくとも一方が軸方向に対して傾斜していても良いし、軸方向で湾曲して軸方向に対する傾斜角度を変化させながら広がっていても良い。尤も、外周固着面と内周固着面の少なくとも一方が軸方向に対して傾斜している場合には、軸方向に対する傾斜角度が４５°以下に設定されていることが望ましい。
【００７４】
さらに、支持ゴム弾性体８２は、内周部分（谷状部１７２）の軸方向厚さ寸法：ｔ1 が、外周部分（山状部１７４）の軸方向厚さ寸法：ｔ2 よりも大きくなっており、全体として内周側に向かって次第に厚肉となっている。これにより、支持ゴム弾性体８２の内周部分における亀裂等の損傷が防止されて、支持ゴム弾性体８２の耐久性が有利に確保されている。なお、厚肉とされた内周部分の厚さ寸法：ｔ1 は、後述する非線形なばね特性を有効に実現するために、外周部分の厚さ寸法：ｔ2 に対して、２倍以下（ｔ1 ≦２ｔ2 ）に設定されている。
【００７５】
支持ゴム弾性体８２は、縦断面形状を上記のような波打ち形状とされていることにより、可動子１２４が固定子１２２に対して下方に相対変位して変形量が増加するに従って、非線形的にばね定数が大きくなるばね特性を有している。このようなばね特性が実現される理由は、以下のように推定される。
【００７６】
すなわち、固定子１２２側の磁極からの離隔距離が大きい可動子１２４の駆動初期では、支持ゴム弾性体８２が波打ち形状とされていることから、支持ゴム弾性体８２が主として剪断変形を生ずる。それ故、ばね定数が小さく抑えられて、可動子１２４が小さな発生力によって効率的に駆動変位されるようになっている。なお、支持ゴム弾性体８２が軸方向の弛みを有していることから、支持ゴム弾性体８２の変形量が小さい駆動初期では、可動子１２４が支持ゴム弾性体８２の弾性による抵抗を受けることなく駆動変位するようになっている。
【００７７】
一方、可動子１２４が駆動変位して、支持ゴム弾性体８２の変形量が可動子１２４の変位に伴って大きくなると、支持ゴム弾性体８２において引張ばね成分が増すことで、ばね定数が非線形で急激に増大する。特に、支持ゴム弾性体８２の変形量が充分に大きくなって湾曲部分が殆ど延びきると、支持ゴム弾性体８２において引張ばね成分が支配的となって、ばね定数が大きくなる。その結果、可動子１２４の磁極に対する接近変位に伴って急激に増大する可動子１２４の運動エネルギーが効率的に支持ゴム弾性体８２で吸収および蓄積されて、可動子１２４の変位速度が低減される。従って、大きな発生力が発揮される磁極からの離隔距離の小さい領域において、可動子１２４の駆動変位を制御することが容易となる。
【００７８】
これによって、可動子１２４と固定子１２２の初期の離隔距離を小さく設定することが可能となって、可動子１２４の駆動力を効率的に得ることが出来ると共に、可動子１２４の過大な変位による他部材への当接とそれに伴う打音の発生を防ぐことが出来る。しかも、可動子１２４から加振部材７８に及ぼされる加振力の出力特性が安定することから、目的とする周波数の振動に対して、より効率的な能動的防振効果が発揮され得る。
【００７９】
また、電磁式アクチュエータ１４では、部品の寸法誤差や組付け誤差等に起因する製品間における可動子１２４と磁極との離隔距離のばらつきに対して、支持ゴム弾性体８２の弾性力を利用して出力特性の変化幅が低減される。それ故、量産時には、目的とする防振性能を満たすエンジンマウント１０を、安定して提供することが可能である。
【００８０】
なお、このような支持ゴム弾性体８２のばね特性は、図３に示された実験データに基づくグラフからも明らかである。即ち、図３では、支持ゴム弾性体８２のたわみ変形量（横軸）に対する、可動子１２４の変位によって支持ゴム弾性体８２に及ぼされる荷重（縦軸）の関係が示されている。これによれば、本発明の支持ゴム弾性体８２では、破線で示された従来形状の上方に凸な山形断面を有する支持ゴム弾性体に比べて、ばね定数が変形量の増加に応じて増大している。従って、かかる支持ゴム弾性体８２を電磁式アクチュエータ１４に採用することで、上記の如き優れた効果を発揮することが、実験の結果によっても明らかである。なお、グラフ中にの一点鎖線は、支持ゴム弾性体８２と同じ初期のばね定数と線形のばね特性を有する支持ゴム弾性体の特性を示す。
【００８１】
次に、図４には、本発明に従う構造とされた流体封入式能動型防振装置の第二の実施形態として、自動車用のエンジンマウント１８０が示されている。エンジンマウント１８０は、マウント本体１２に電磁式アクチュエータ１８４が組み付けられた構造を有しており、更に電磁式アクチュエータ１８４が支持部材１８６を有している。なお、以下の説明において、第一の実施形態と実質的に同一の部材および部位については、図中に同一の符号を付すことで説明を省略する。
【００８２】
より詳細には、支持部材１８６は、環状支持部材１８８と加振部材７８を支持ゴム弾性体１９０で弾性的に連結した構造を有している。環状支持部材１８８は、全体として略円環形状を有する高剛性の部材であって、上方に開口する溝形断面で周方向環状に延びる環状固着部１９２と、環状固着部１９２の外周壁部の上端から軸直角方向で外側に向かって突出する円環板形状の取付板部９４と、取付板部９４の外周端縁部から下方に向かって突出する円環状の圧入部１００とが、一体形成された構造となっている。
【００８３】
このような構造とされた環状支持部材１８８は、外周部分が可撓性膜アウタ筒金具２８のかしめ片６４によって第二の取付部材１８にかしめ固定されている。一方、環状支持部材１８８の内周側には加振部材７８が径方向に離隔して配設されており、加振部材７８が環状支持部材１８８に対して軸方向上方に相対偏倚した位置に配置されている。そして、環状支持部材１８８と加振部材７８の間には、支持ゴム弾性体１９０が配設されており、それら環状支持部材１８８と加振部材７８が支持ゴム弾性体１９０によって弾性的に連結されている。
【００８４】
支持ゴム弾性体１９０は、全体として略円環板形状であって、内周面が加振部材７８の環状連結部８４の外周面（内周固着面１９４）に加硫接着されていると共に、外周面が環状支持部材１８８の環状固着部１９２の内周面（外周固着面１９６）に加硫接着されている。これにより、加振部材７８が環状支持部材１８８に対して弾性連結されており、加振部材７８の環状支持部材１８８に対する軸方向での相対変位量が支持ゴム弾性体１９０の弾性力によって制限されている。なお、第一の実施形態と同様に、内周固着面１９４と外周固着面１９６は軸方向で相対偏倚しており、内周固着面１９４が外周固着面１９６よりも上方に延び出している。
【００８５】
また、支持ゴム弾性体１９０の上面には、内周凹状部１９８と外周凸状部２００が連続的に形成されている。内周凹状部１９８は、第一の実施形態の内周凹状部１６４と同様に、曲率中心が支持ゴム弾性体１９０の上面よりも上側に設定されて上方に向かって開口する凹所であって、全周に亘って連続的に形成されている。外周凸状部２００は、第一の実施形態の外周凸状部１６６と同様に、曲率中心が支持ゴム弾性体１９０の上面よりも下側に設定されて上方に向かって凸となっている。
【００８６】
なお、支持ゴム弾性体１９０の縦断面において、内周凹状部１９８と外周凸状部２００の変曲点での共通接線が軸方向に対して成す傾斜角の大きさ：α2 （図５参照）は、０°＜α2 ≦９０°の範囲に設定されていることが望ましい。特に、本実施形態の傾斜角度：α2 は、第一の実施形態の傾斜角度：α1 よりも小さく（α2 ＜α1 ）設定されており、より好適には３０°≦α2 ≦６０°の範囲に設定されている。
【００８７】
一方、支持ゴム弾性体１９０の下面には、内周凸状部２０２と外周凹状部２０４が連続的に形成されている。内周凸状部２０２は、第一の実施形態の内周凸状部１６８と同様に、全周に亘って連続的に形成されており、曲率中心が支持ゴム弾性体１９０の下面よりも上側に設定されて上方に向かって凸となっている。外周凹状部２０４は、第一の実施形態の外周凹状部１７０と同様に、全周に亘って連続的に形成されており、曲率中心が支持ゴム弾性体１９０の下面よりも下側に設定されて下方に向かって開口する凹所状となっている。
【００８８】
なお、支持ゴム弾性体１９０の縦断面において、内周凸状部２０２と外周凹状部２０４の変曲点での共通接線が軸方向に対して成す傾斜角の大きさ：β2 （図５参照）は、０°＜β2 ≦９０°の範囲に設定されていることが望ましい。特に、本実施形態の傾斜角度：β2 は、第一の実施形態の傾斜角度：β1 よりも小さく（β2 ＜β1 ）設定されており、より好適には３０°≦β2 ≦６０°の範囲に設定されている。
【００８９】
なお、図５に示されているように、本実施形態の支持ゴム弾性体１９０においても、第一の実施形態の支持ゴム弾性体８２の弾性中心軸：ｌ1 と同様に、波状（横転Ｓ字形状）の弾性中心軸：ｌ2 が設定されている。そして、弾性中心軸：ｌ2 が、その両端を直線的に結んだ基準線（図５中の二点鎖線）に対して、長さ方向の中間部分の一箇所で交差している。また、弾性中心軸：ｌ2 は、環状連結部８４の軸方向中央と環状固着部１９２の内周壁部の軸方向中央とを結ぶ仮想的な線分に対して、中間部分の一箇所で交差している。
【００９０】
このように、本実施形態のエンジンマウント１８０を構成する支持ゴム弾性体１９０では、径方向中間部分において支持ゴム弾性体１９０の軸方向に対する傾斜角度の最小値が小さくなっており、内周凹状部１９８と外周凹状部２０４が支持ゴム弾性体１９０を抉るように形成されている。かくの如き構造の支持ゴム弾性体１９０では、図３に細い実線で示されているように、太い実線で示された第一の実施形態の支持ゴム弾性体８２に比して、ばね定数が変形量（たわみ）の増加に応じてより大幅に増大しており、非線形なばね特性がより有利に実現されていることが分かる。従って、かかる支持ゴム弾性体１９０を電磁式アクチュエータ１８４に採用することで、電磁式アクチュエータ１８４におけるエネルギー効率の更なる改善を実現できることが、実験結果によっても示されている。
【００９１】
また、図６に示された支持ゴム弾性体２１０のように、第一の実施形態の支持ゴム弾性体８２と第二の実施形態の支持ゴム弾性体１９０との中間の形状を採用しても、目的とする本発明の効果が有効に発揮され得る。即ち、支持ゴム弾性体２１０は、上面に形成された内周凹状部２１２と外周凸状部２１４の接続点（変曲点）における共通接線が軸方向に対して成す角度：α3 が、α2 ＜α3 ＜α1 の範囲に設定されており、好適には、４０°≦α3 ≦８０°の範囲に設定されている。更に、支持ゴム弾性体２１０は、下面に形成された内周凸状部２１６と外周凹状部２１８の接続点における共通接線が軸方向に対して成す角度β3 が、β2 ＜β3 ＜β1 の範囲に設定されており、好適には、４０°≦β3 ≦８０°の範囲に設定されている。なお、内周凹状部２１２，外周凸状部２１４，内周凸状部２１６，外周凹状部２１８は、実質的に第一，第二の実施形態に示されているものと同一の構造とされていることから、ここでは詳細な説明を省略する。
【００９２】
なお、図６に示されているように、本実施形態の支持ゴム弾性体２１０においても、第一，第二の実施形態の支持ゴム弾性体８２, １９０の弾性中心軸：ｌ1,ｌ2 と同様に、波状（横転Ｓ字形状）の弾性中心軸：ｌ3 が設定されている。そして、弾性中心軸：ｌ3 が、その両端を直線的に結んだ基準線（図６中の二点鎖線）に対して、長さ方向の中間部分の一箇所で交差している。また、弾性中心軸：ｌ3 は、環状連結部８４の軸方向中央と円筒状部９２の軸方向中央とを結ぶ仮想的な線分に対して、中間部分の一箇所で交差している。
【００９３】
このような支持ゴム弾性体２１０によれば、図３に２点鎖線で示されているように、第一の実施形態の支持ゴム弾性体８２の特性（図３中の太い実線）と、第二の実施形態の支持ゴム弾性体１９０の特性（図３中の細い実線）の中間の特性を得ることができる。従って、支持ゴム弾性体２１０を備えた電磁式アクチュエータにおいても、第一，第二の実施形態と同様に、本発明によって発揮される種々の優れた効果が有効に発揮されることとなる。
【００９４】
以上、本発明の実施形態について詳述してきたが、本発明はその具体的な記載によって限定されない。例えば、支持ゴム弾性体の上面に内周凸状部と外周凹状部が形成されると共に、支持ゴム弾性体の下面に内周凹状部と外周凸状部が形成された構造も採用可能であり、それによって支持ゴム弾性体の弾性主軸が、内周側に山部を有すると共に、外周側に谷部を有する湾曲形状とされていても良い。即ち、支持ゴム弾性体の断面形状は横転逆Ｓ字形状でも良く、その場合には支持ゴム弾性体の内周部分とガイドスリーブ１３４との接触防止がより一層有利に図られる。
【００９５】
また、加振部材に固着された支持ゴム弾性体の内周部分および環状支持部材に固着された支持ゴム弾性体の外周部分は、何れも、その突出方向（軸方向に対する傾斜角度）が制限されるものではなく、軸直角方向に対して上方に傾斜して延び出していても良いし、反対に軸直角方向に対して下方に傾斜して延び出していても良い。更に、支持ゴム弾性体の内外周部分は、例えば軸直角方向で延び出していても良い。
【００９６】
また、支持ゴム弾性体は、その弾性中心軸が２つ以上の変曲点を設けられて、複数の山部或いは谷部を有する波打ち形状となっていても良い。この場合にも、支持ゴム弾性体の弾性中心軸は、好適には、その両端を結ぶ線分に対して少なくとも一箇所で交差している。
【００９７】
また、支持ゴム弾性体は、必ずしも内周部分の軸方向厚さ寸法が外周部分の軸方向厚さ寸法よりも大きくなっていなくても良く、内周部分と外周部分の厚さが同じであっても良いし、外周部分が内周部分よりも厚肉とされた構造も採用され得る。なお、支持ゴム弾性体において外周部分が内周部分よりも厚肉とされている場合には、外周部分の軸方向厚さ寸法（ｔ2 ）が、内周部分の軸方向厚さ寸法（ｔ1 ）に対して、２倍以下（ｔ2 ≦２ｔ1 ）に設定されることが望ましい。
【００９８】
また、支持ゴム弾性体の軸方向両側の面は、図１等に示された縦断面において必ずしも滑らかな湾曲形状とされている必要はなく、角部や折れ点を含んで軸直角方向に延びていても良い。具体的には、例えば、内周凹状部，外周凸状部，内周凸状部，外周凹状部の少なくとも１つが、表面を複数の平面を組み合わせて構成された角張った形状となっていても良い。
【００９９】
また、前記実施形態では、磁力の作用による吸引力と、支持ゴム弾性体８２の復元力との相互作用によって、可動子１２４が往復駆動させられるようになっていたが、これらの作用に加えて、例えば、金属製の板ばねやコイルスプリング等の弾性を利用した補助的な駆動力が発揮される構造も採用され得る。
【０１００】
さらに、支持ゴム弾性体の弾性力のみで可動子の変位が規制されて他部材への当接が回避される必要はなく、例えば、ゴム弾性体で形成されたストッパ部材を設けることにより、可動子の変位規制がストッパ部材によって補助されるようになっていても良い。
【０１０１】
また、本発明は、流体封入式能動型防振装置に用いられる電磁式アクチュエータ以外にも、質量体を加振変位させることで相殺的な制振作用を発揮する能動型制振器用の電磁式アクチュエータ等にも適用可能である。更に、本発明に係る電磁式アクチュエータを備えた流体封入式能動型防振装置は、自動車用以外にも、鉄道用車両や産業用車両等に装着される流体封入式能動型防振装置にも採用可能である。更にまた、本発明に係る電磁式アクチュエータを備えた流体封入式能動型防振装置は、エンジンマウントだけでなく、サブフレームマウントやデフマウント等にも適用可能である。
【符号の説明】
【０１０２】
１０，１８０：エンジンマウント（流体封入式能動型防振装置）、１４，１８４：電磁式アクチュエータ、１６：第一の取付部材、１８：第二の取付部材、２０：本体ゴム弾性体、７８：加振部材、８０，１８８：環状支持部材、８２，１９０，２１０：支持ゴム弾性体、９９：内周固着面、１０１：外周固着面、１０６：受圧室、１１２：平衡室、１１８：オリフィス通路、１２２：固定子、１２４：可動子、１２８：コイル、１３０：上側ヨーク部材、１３２：下側ヨーク部材、１６４，１９８，２１２：内周凹状部、１６６，２００，２１４：外周凸状部、１６８，２０２，２１６：内周凸状部、１７０，２０４，２１８：外周凹状部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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