【手続補正書】
【提出日】令和2年4月1日(2020.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極と、
第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間の、発光層を含む有機層と、
を有し、
前記第１電極の端部は、バンク絶縁層に覆われ、
前記バンク絶縁層は、前記第１電極上に第１開口を有し、
前記有機層は、前記第１開口において、前記第１電極と前記第２電極との間に配され、
前記第１電極は、第１金属を有する金属層と、前記金属層と前記有機層との間の混在層と、を有し、
前記混在層は、前記第１金属と、前記第１金属より反射率の低い第２金属を含む、
有機発光装置。
【請求項２】
前記第１金属は、アルミニウムまたは銀である請求項１に記載の有機発光装置。
【請求項３】
前記第２金属は、チタン、モリブデン、及びタングステンのすくなくとも１つであることを特徴とする請求項１または２に記載の有機発光装置。
【請求項４】
第１電極と、
第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間の、発光層を含む有機層と、
を有し、
前記第１電極は、
第１金属を有する金属層と、
前記金属層と前記有機層との間に配され、前記第１金属及び第２金属を有する混在層と、
を有し、
第１金属はアルミニウムまたは銀であり、
第２金属は、チタン、モリブデン、タングステンの少なくとも１つである有機発光装置。
【請求項５】
陽極である第１電極と、
陰極である第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間の、発光層を含む有機層と、
を有し、
前記第１電極は、第１金属を有する金属層と、前記金属層と前記有機層との間の混在層と、を有し、
前記混在層は、前記第１金属と、前記第１金属より反射率の低い第２金属を含む、
有機発光装置。
【請求項６】
前記第１電極の端部は、バンク絶縁層に覆われ、
前記バンク絶縁層は、前記第１電極上に第１開口を有し、
前記有機層は、前記第１開口において、前記第１電極と前記第２電極との間に配されていることを特徴とする請求項４または５に記載の有機発光装置。
【請求項７】
前記第１電極は、前記第１開口において第１の膜厚を有し、前記バンク絶縁層に覆われる領域において第２の膜厚を有し、前記第１の膜厚は前記第２の膜厚より小さいことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の有機発光装置。
【請求項８】
前記第１電極は、前記混在層と前記バンク絶縁層の間に配され、前記第２金属を有する導電層を有する請求項６または７に記載の有機発光装置。
【請求項９】
前記導電層は、前記第１開口において、前記混在層と前記有機層の間に配される請求項８に記載の有機発光装置。
【請求項１０】
前記導電層は第２開口を有し、前記有機層は、前記第１開口及び前記第２開口において、前記混在層と接する請求項８に記載の有機発光装置。
【請求項１１】
前記混在層は酸素を含むことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の有機発光装置。
【請求項１２】
前記混在層の前記第１電極の膜厚方向における長さは１０ｎｍ以上である請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の有機発光装置。
【請求項１３】
前記混在層の前記第１電極の膜厚方向における長さは、５ｎｍ以上である請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の有機発光装置。
【請求項１４】
前記バンク絶縁層は無機絶縁層である請求項１または６に記載の有機発光装置。
【請求項１５】
前記バンク絶縁層は酸化シリコンを有する請求項１４に記載の有機発光装置。
【請求項１６】
前記混在層において、前記第１金属に対する前記第２金属の割合は、前記有機層側から前記金属層側に向かって減少している請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の有機発光装置。
【請求項１７】
前記混在層に占める前記第２金属の割合は、前記有機層側から前記金属層側に向かって減少している請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の有機発光装置。
【請求項１８】
前記第１電極は、多層配線構造の上に配され、
前記多層配線構造の表面の絶縁層は、前記第１電極に覆われていない部分に凹部を有する請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の有機発光装置。
【請求項１９】
前記第１電極は、シリコン基板に配された多層配線構造の上に配され、前記第１電極は反射電極であり、前記第２電極は透明電極である請求項１乃至１８のいずれか１項に記載の有機発光装置。
【請求項２０】
レンズと、
前記レンズからの光が入射する撮像素子と、
前記撮像素子からの出力が入力される制御部と、
前記制御部から信号が入力される、請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の有機発光装置と、
を有する撮像装置。
【請求項２１】
第１電極を形成する工程と、
前記第１電極の上に発光層を含む有機層を形成する工程と、
前記有機層の上に第２電極を形成する工程を含み、
前記第１電極を形成する工程は、
第１金属を含む金属膜を形成する工程と、
前記金属層に前記第１金属と、前記第１金属より反射率の低い第２金属とを含む混在層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする有機発光装置の製造方法。
【請求項２２】
前記混在層を形成する工程は、
前記第１金属を含む金属膜の上に、前記第２金属を含む導電膜を形成する工程と、
前記第１金属を含む金属膜及び前記第２金属を含む導電膜の一部を除去して、前記第１金属を含む金属層と、前記第２金属を含む導電層を形成する工程と、
前記第１金属を含む金属層と前記第２金属を含む導電層を形成した後、加熱処理を行う工程と、
を有することを特徴とする請求項２１に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項２３】
前記加熱処理によって、前記金属膜に前記第２金属が拡散することで、前記混合層が形成される請求項２２に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項２４】
前記加熱処理を行う工程は、
前記第２金属を含む導電層の上に、絶縁膜を形成する工程である請求項２２または２３に記載の有機発光装置。
【請求項２５】
前記加熱処理の温度は３００℃以上である請求項２１乃至２４のいずれか１項に記載の有機発光装置の製造方法。
【請求項２６】
前記絶縁膜を形成後、前記絶縁膜の一部をエッチングにより除去して開口を形成する工程と、
前記開口において、前記導電層の一部を除去する工程と、を有することを特徴とする請求項２１乃至２５のいずれか１項に記載の有機発光装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本願発明の一様態は、第１電極と、第２電極と、前記第１電極と前記第２電極の間の、発光層を含む有機層と、を有し、前記第１電極の端部は、バンク絶縁層に覆われ、
前記バンク絶縁層は、前記第１電極上に第１開口を有し、前記有機層は、前記第１開口において、前記第１電極と前記第２電極との間に配され、前記第１電極は、第１金属を有する金属層と、前記金属層と前記有機層との間の混在層と、を有し、前記混在層は、前記第１金属と、前記第１金属より反射率の低い第２金属を含む有機発光装置に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本願発明の一様態は、第１電極と、第２電極と、前記第１電極と前記第２電極の間の、発光層を含む有機層と、を有し、
前記第１電極は、アルミニウムまたは銀を有する金属層と、前記金属層と前記有機層との間に配され、チタン、モリブデン、タングステンの少なくとも１つと、前記金属層が有する金属と、を有する混在層と、を有する有機発光装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、第１金属を含む金属膜を形成する工程と、前記金属層上に前記第１金属と、前記第１金属より反射率の低い第２金属とを含む混在層を形成する工程と、前記混在層を形成した後、有機層を形成する工程と、前記有機層上に第二の電極を形成する工程と、を有する有機発光装置の製造方法に関する。