【手続補正書】
【提出日】令和2年9月16日(2020.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の正面像を撮像する光学系であって、第２測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、
第１の条件を用いて、前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を算出する第１算出手段と、
前記第１の条件とは異なる第２の条件を用いて、前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を算出する第２算出手段と
前記第１の条件を用いて算出された前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態に基づいて、前記第２合焦手段による前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態及び前記第１合焦手段による前記第１測定光の前記被検査物に対する合焦状態を制御する第１制御手段と、
前記第２の条件を用いて算出された前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態に基づいて、前記第２合焦手段による前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を制御する第２制御手段と、
前記第２制御手段により前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態が制御された状態で前記第２光学系により撮像された複数の前記正面像を比較することで前記被検査物の移動量を算出する追尾手段と、を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記第１の条件と前記第２の条件とは、前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態を算出する範囲が異なることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記追尾手段は、複数の前記正面像の各々に含まれる特徴部分を比較することで前記被検査物の移動量を算出することを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記被検査物は被検眼であり、
前記第２の条件における前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態を算出する範囲は、前記被検眼の固視を促す固視灯の点灯位置を示す情報及び前記被検眼が左眼であるか右眼であるかを示す情報に基づいて設定されることを特徴とする請求項２又は３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記第２の条件における前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態を算出する範囲は、前記被検眼の視神経乳頭部を含む範囲であることを特徴とする請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
瞬きが発生した場合又は前記被検眼の移動量が移動閾値を超えた場合には、前記第２制御手段は前記合焦状態の制御を行わないことを特徴とする請求項４又は５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記第１の条件と前記第２の条件とは、前記第２光学系の光軸方向における合焦位置において異なることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項８】
前記第１光学系及び前記第２光学系の少なくとも一方の光学系により撮像された前記被検査物の動画像が表示手段に表示された状態で、前記第１光学系による前記断層像の撮像の指示を受け付ける指示受付手段を更に備え、
前記指示受付手段が指示を受け付けた後に、
前記第２算出手段は、前記第２の条件で前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態を算出し、
前記第２制御手段は、前記第２の条件により算出された前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態に基づいて前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態を制御し、
前記追尾手段は、前記第２制御手段により前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態が制御された状態で前記第２光学系により撮像された複数の前記正面像を比較することで前記被検査物の移動量を算出することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記指示受付手段が指示を受け付ける前に、
前記第１算出手段は、前記第１の条件で前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態を算出し、
前記第１制御手段は、前記第１の条件により算出された前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態に基づいて前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態及び前記第１光学系の前記被検査物に対する合焦状態を制御し、
前記第２算出手段は前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態を算出しないことを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記第２算出手段により算出される前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態の変化量が所定の閾値以上の場合、前記第２算出手段により算出される前記第２光学系の前記被検査物に対する合焦状態の変化量に応じて、前記第１光学系の前記被検査物に対する合焦状態が制御されることを特徴とする請求項８又は９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記合焦状態の変化量に応じた前記第１光学系の前記被検査物に対する合焦状態の制御は、前記指示に基づく前記第１光学系による撮像において、前記第１測定光を用いて得られる干渉信号が取得されていないときに実行されることを特徴とする請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記第１光学系は、前記第１測定光で前記被検査物上を所定の方向に走査することにより前記被検査物の前記所定の方向に沿って前記断層像を撮像し、
前記合焦状態の変化量に応じた前記第１光学系の前記被検査物に対する合焦状態の制御は、前記指示に基づく前記第１光学系による前記断層像の撮像において、前記所定の方向への前記第１測定光の１の走査が完了し次の走査が開始されるまでの間に実行されることを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記指示を受け付けた後における前記第２光学系の合焦情報の変化が警告閾値よりも大きい場合に警告を行う警告手段を更に備えることを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１４】
被検査物の断層像を第１測定光を用いて撮像する第１光学系と、
前記被検査物の正面像を第２測定光を用いて撮像する第２光学系と、
前記第２光学系が異なる時間において撮像した複数の正面像を比較することで前記被検査物の移動量を算出する追尾手段と、
前記移動量の算出に用いる前記複数の正面像の撮像時に、前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項１５】
前記第１光学系及び前記第２光学系の少なくとも一方の光学系により撮像された前記被検査物の動画像が表示手段に表示された状態で前記第１光学系による前記断層像の撮像の指示を受け付ける指示受付手段を更に備え、
前記追尾手段は、前記指示受付手段が前記指示を受け付けた後に撮像される前記複数の正面像を比較することで前記移動量を算出することを特徴とする請求項１４に記載の検査装置。
【請求項１６】
前記指示受付手段が前記指示を受け付ける前の前記第２測定光による前記正面像の合焦状態の算出範囲は、前記指示受付手段が前記指示を受け付けた後の前記正面像の合焦状態の算出範囲と異なることを特徴とする請求項１５に記載の検査装置。
【請求項１７】
前記指示受付手段が前記指示を受け付ける前の前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦条件は、前記指示受付手段が前記指示を受け付けた後の前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦条件と異なることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の検査装置。
【請求項１８】
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の正面像を撮像する光学系であって、第２測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、を備えた検査装置の制御方法であって、
第１の条件を用いて、前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を算出する第１算出工程と、
前記第１の条件を用いて算出された前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態に基づいて、前記第２合焦手段による前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態及び前記第１合焦手段による前記第１測定光の前記被検査物に対する合焦状態を制御する第１制御工程と、
前記第１の条件とは異なる第２の条件を用いて、前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を算出する第２算出工程と
前記第２の条件を用いて算出された前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態に基づいて、前記第２合焦手段による前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を制御する第２制御工程と、
前記第２制御工程により前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態が制御された状態で前記第２光学系により撮像された複数の前記正面像を比較することで前記被検査物の移動量を算出する追尾工程と、を含むことを特徴とする検査装置の制御方法。
【請求項１９】
被検査物の断層像を第１測定光を用いて撮像する第１光学系と、
前記被検査物の正面像を第２測定光を用いて撮像する第２光学系と、を備える検査装置の制御方法であって、
前記第２光学系が異なる時間において撮像した複数の正面像を比較することで前記被検査物の移動量を算出する追尾工程と、
前記移動量の算出に用いる前記複数の正面像の撮像時に、前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を制御する制御工程と、を含むことを特徴とする検査装置の制御方法。
【請求項２０】
請求項１８又は１９に記載の制御方法の各工程をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の一実施態様に係る検査装置は、
被検査物の断層像を撮像する光学系であって、第１測定光を前記被検査物に合焦させる第１合焦手段を含む第１光学系と、
前記被検査物の正面像を撮像する光学系であって、第２測定光を前記被検査物に合焦させる第２合焦手段を含む第２光学系と、
第１の条件を用いて、前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を算出する第１算出手段と、
前記第１の条件とは異なる第２の条件を用いて、前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を算出する第２算出手段と
前記第１の条件を用いて算出された前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態に基づいて、前記第２合焦手段による前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態及び前記第１合焦手段による前記第１測定光の前記被検査物に対する合焦状態を制御する第１制御手段と、
前記第２の条件を用いて算出された前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態に基づいて、前記第２合焦手段による前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態を制御する第２制御手段と、
前記第２制御手段により前記第２測定光の前記被検査物に対する合焦状態が制御された状態で前記第２光学系により撮像された複数の前記正面像を比較することで前記被検査物の移動量を算出する追尾手段と、を備える。