(57)【要約】  本発明は、表面が離型剤で処理されたロール状モールドの表面の微細凹凸構造を、フィルム（物品本体）の表面に転写して、微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する際に、微細凹凸構造をフィルムの表面に転写すること、前記フィルムをモールドから剥離した後のロール状モールドの表面の赤外分光スペクトルを測定すること、および前記赤外分光スペクトルに基づいてロール状モールドの表面の離型剤の状態の良否を判定することを含む、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法に関する。本発明は、モールド表面の離型剤の状態をオンラインで簡易にモニタリングでき、生産性の低下を抑えることができる、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法および製造装置を提供することができる。
2011126044.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面が離型剤で処理されたモールドの表面の微細凹凸構造を、物品本体の表面に転写して、微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する方法であって、
微細凹凸構造を物品本体の表面に転写すること、
前記物品本体をモールドから剥離した後のモールドの表面の赤外分光スペクトルを測定すること、および
モールドの表面の離型剤の状態の良否により製造継続の適否を判定することを含む、前記物品の製造方法。
【請求項２】
モールドの表面の離型剤の状態が不良と判定された際には、モールド表面の微細凹凸構造を物品本体の表面に転写することを停止すること、および／または、モールドの表面を再度離型剤で処理することをさらに含む、請求項１に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
【請求項３】
前記モールドの表面の赤外分光スペクトルを測定することが、
前記モールドの表面の赤外分光スペクトルを連続的または断続的に測定することを含む、請求項１または２に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
【請求項４】
赤外分光スペクトルにおける、離型剤の化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ａ）、あるいは離型剤の化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ａ）とモールドの表面に存在する化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ｂ）との面積比（（Ａ）／（Ｂ））が、あらかじめ設定された閾値以上のときにモールドの表面の離型剤の状態を良と判定することを含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
【請求項５】
前記モールドがアルミナから成り、
前記離型剤がフッ素化合物であり、
前記吸光度面積（Ａ）の閾値が０．１３、あるいは
前記吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））の閾値が０．０４７である、請求項４に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
【請求項６】
前記吸光度面積（Ａ）が０．１３以上１以下、あるいは
前記吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））が０．０４７以上１０以下である、請求項５に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
【請求項７】
表面が離型剤で処理されたモールドの表面の微細凹凸構造を、物品本体の表面に転写して、微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する装置であって、
表面に微細凹凸構造を有し、前記表面が離型剤で処理されたモールドと、
微細凹凸構造を物品本体の表面に転写し、前記物品本体をモールドから剥離した後のモールドの表面の赤外分光スペクトルを測定する反射型赤外分光装置と、
前記赤外分光スペクトルに基づいてモールドの表面の離型剤の状態の良否を判定する判定手段と
を有する、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面が離型剤で処理されたモールドの表面の微細凹凸構造を、物品本体の表面に転写して、微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する方法および装置に関する。
本願は２０１０年４月９日に日本に出願された、特願２０１０−０９０４５６号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
近年、可視光の波長以下の周期の微細凹凸構造を表面に有する物品は、反射防止効果、およびロータス効果等を発現することから、その有用性が注目されている。特に、モスアイ構造と呼ばれる微細凹凸構造は、空気の屈折率から物品の材料の屈折率へと連続的に屈折率が増大していくことで有効な反射防止の手段となることが知られている。【０００３】
微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法としては、例えば、下記の工程（i）〜（iii）を有する方法が知られている（例えば、特許文献１）。
（i）微細凹凸構造の反転構造を表面に有し、かつ前記表面が離型剤で処理されたモールドと、物品の本体となる基材フィルムとの間に、紫外線硬化性樹脂組成物を挟持する工程。
（ii）紫外線硬化性樹脂組成物に紫外線を照射し、前記紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させて微細凹凸構造を有する硬化樹脂層を形成する工程。
（iii）基材フィルムの表面の硬化樹脂層からモールドを離型し、微細凹凸構造を表面に有する物品を得る工程。【０００４】
離型剤によって処理されたモールドは、微細凹凸構造の転写を繰り返すことによって性能が低下することが多く、ついには硬化樹脂層からモールドを離型できなくなる。前記状態になると、モールドの表面に硬化樹脂が付着して洗浄が困難となったり、製造中に基材フィルムが破断したりする。そのため、製造が長時間中断し、生産性が著しく低下する。前記問題を解決するため、モールド表面の離型剤の状態をオンラインで簡易にモニタリングできる方法が求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３２６３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、モールド表面の離型剤の状態をオンラインで簡易にモニタリングでき、生産性の低下を抑えることができる、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法および製造装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法は、表面が離型剤で処理されたモールドの表面の微細凹凸構造を、物品本体の表面に転写して、微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する方法であって、微細凹凸構造を物品本体の表面に転写し、前記物品本体をモールドから剥離した後のモールドの表面の赤外分光スペクトルを測定し、前記赤外分光スペクトルに基づいてモールドの表面の離型剤の状態の良否を判定することを特徴とする。【０００８】
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法においては、モールドの表面の離型剤の状態が不良と判定された際には、モールドの表面の微細凹凸構造の、物品本体の表面への転写を停止してもよく、またモールドの表面の微細凹凸構造に離型剤を供給するようにしてもよい。
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法においては、モールドの表面の赤外分光スペクトルを連続的または断続的に測定することが好ましい。【０００９】
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法においては、赤外分光スペクトルにおける、離型剤の化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ａ）と、モールドの表面に存在する化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ｂ）との面積比（（Ａ）／（Ｂ））があらかじめ設定された閾値以上のときにモールドの表面の離型剤の状態を良と判定することが好ましい。【００１０】
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造装置は、表面が離型剤で処理されたモールドの表面の微細凹凸構造を、物品本体の表面に転写して、微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する装置であって、表面に微細凹凸構造を有し、前記表面が離型剤で処理されたモールドと、微細凹凸構造を物品本体の表面に転写し、前記物品本体をモールドから剥離した後のモールドの表面の赤外分光スペクトルを測定する反射型赤外分光装置と、前記赤外分光スペクトルに基づいてモールドの表面の離型剤の状態の良否を判定する判定手段とを有することを特徴とする。【００１１】
すなわち、本発明は以下に関する。
（１）表面が離型剤で処理されたモールドの表面の微細凹凸構造を、物品本体の表面に転写して、微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する方法であって、微細凹凸構造を物品本体の表面に転写すること、前記物品本体をモールドから剥離した後のモールドの表面の赤外分光スペクトルを測定すること、およびモールドの表面の離型剤の状態の良否により製造継続の適否を判定することを含む、前記物品の製造方法。
（２）モールドの表面の離型剤の状態が不良と判定された際には、モールド表面の微細凹凸構造を物品本体の表面に転写することを停止すること、および／または、モールドの表面を再度離型剤で処理することをさらに含む、（１）に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
（３）前記モールドの表面の赤外分光スペクトルを測定することが、前記モールドの表面の赤外分光スペクトルを連続的または断続的に測定することを含む、（１）または（２）に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
（４）赤外分光スペクトルにおける、離型剤の化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ａ）、あるいは離型剤の化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ａ）とモールドの表面に存在する化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ｂ）との面積比（（Ａ）／（Ｂ））が、あらかじめ設定された閾値以上のときにモールドの表面の離型剤の状態を良と判定することを含む、（１）〜（３）のいずれか１項に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
（５）前記モールドがアルミナから成り、前記離型剤がフッ素化合物であり、前記吸光度面積（Ａ）の閾値が０．１３であり、かつ前記吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））の閾値が０．０４７である、（４）に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
（６）前記吸光度面積（Ａ）が０．１３以上１以下であり、かつ前記吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））が０．０４７以上１０以下である、（５）に記載の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法。
（７）表面が離型剤で処理されたモールドの表面の微細凹凸構造を、物品本体の表面に転写して、微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する装置であって、表面に微細凹凸構造を有し、前記表面が離型剤で処理されたモールドと、微細凹凸構造を物品本体の表面に転写し、前記物品本体をモールドから剥離した後のモールドの表面の赤外分光スペクトルを測定する反射型赤外分光装置と、前記赤外分光スペクトルに基づいてモールドの表面の離型剤の状態の良否を判定する判定手段とを有する、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造装置。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法によれば、モールド表面の離型剤の状態をオンラインで簡易にモニタリングでき、生産性の低下を抑えることができる。
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造装置によれば、モールド表面の離型剤の状態をオンラインで簡易にモニタリングでき、生産性の低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造装置の一例を示す構成図である。
【図２】陽極酸化アルミナを表面に有するモールドの製造工程を示す断面図である。
【図３】本発明の微細凹凸構造を表面に有する物品の一例を示す断面図である。
【図４】表面が加水分解性シリル基を有するフッ素化合物で処理された、陽極酸化アルミナを表面に有するモールドの表面の赤外分光スペクトルの一例を示す図である。
【図５】吸光度面積（Ａ）および吸光度面積（Ｂ）を抽出する際のベースライン（各々の吸収曲線の始点と終点とを結ぶ破線）の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本明細書において、（メタ）アクリレートは、アクリレートまたはメタクリレートを意味する。また、透明は、少なくとも波長４００〜１１７０ｎｍの光を透過することを意味する。また、活性エネルギー線は、可視光線、紫外線、電子線、プラズマ、および熱線（赤外線等）等を意味する。
【００１５】
＜微細凹凸構造を表面に有する物品の製造装置＞
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造装置は、表面に微細凹凸構造を有し、前記表面が離型剤で処理されたモールドと、微細凹凸構造を物品本体の表面に転写し、前記物品本体をモールドから剥離した直後のモールドの表面の赤外分光スペクトルを測定する反射型赤外分光装置と、前記赤外分光スペクトルに基づいてモールドの表面の離型剤の状態の良否を判定する判定手段とを有するものである。
【００１６】
図１は、本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造装置の一例を示す概略構成図である。前記製造装置は、表面に微細凹凸構造（図示略）を有し、前記表面が離型剤で処理されたロール状モールド２０と；ロール状モールド２０の回転に同期してロール状モールド２０の表面に沿って移動する帯状のフィルム４２（物品本体）とロール状モールド２０との間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を供給するタンク２２と；ロール状モールド２０との間でフィルム４２および活性エネルギー線硬化性樹脂組成物をニップするニップロール２６と；ニップロール２６のニップ圧を調整する空気圧シリンダ２４と；ロール状モールド２０の下方に設置され、フィルム４２を通して活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に活性エネルギー線を照射する活性エネルギー線照射装置２８と；表面に硬化樹脂層４４が形成されたフィルム４２をロール状モールド２０から剥離する剥離ロール３０と；フィルム４２とともに硬化樹脂層４４が剥離された直後のロール状モールド２０の表面の赤外分光スペクトルを測定する反射型赤外分光装置５０と；赤外分光スペクトルに基づいてモールドの表面の離型剤の状態の良否を判定する判定手段６０と；製造装置の運転を制御する制御装置６２とを有する。なお、本発明においては、「剥離された直後」とは、微細凹凸構造を表面に有する物品本体がモールドから剥離されたときから、前記モールドが次に物品本体と接触するまでをいう。具体的には、フィルム４２とともに硬化樹脂層４４がロール状モールド２０から剥離されたときから、フィルム４２とロール状モールド２０との間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物が供給されるまでをいう。
【００１７】
（反射型赤外分光装置）
反射型赤外分光装置５０は、ロール状モールド２０の表面に赤外線を照射する光源５２と；ロール状モールド２０の表面を反射した赤外線を受光、および分光し、分光された赤外線を検出して赤外分光スペクトルを得る検出器５４と；光源５２および検出器５４を制御し、検出器５４で得られた赤外分光スペクトルを判定手段６０に伝達する操作制御機器５６とを有する。反射型赤外分光装置５０は、フィルム４２とともに硬化樹脂層４４がロール状モールド２０から剥離されたときから、フィルム４２とロール状モールド２０との間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物が供給されるまでの間のロール状モールド２０の表面の赤外線分光スペクトルを測定できる位置に設置される。
反射型赤外分光装置５０としては、フーリエ変換型、および回折格子を用いた分散型等が挙げられ、測定時間が短いことから、フーリエ変換型赤外分光装置が好ましい。
【００１８】
（判定手段）
判定手段６０は、例えば、赤外分光スペクトルから特定の化学構造に由来する所定の波数付近のピークの強度または面積を抽出する抽出部（図示略）と；必要に応じて２種のピークの強度または面積の比を算出する算出部（図示略）と；ピークの強度、面積、またはそれらの比等があらかじめ設定された閾値以上（場合によっては閾値以下）のときにロール状モールド２０の表面の離型剤の状態を良と判定する判定部（図示略）と；外部から入力された閾値等を記憶する記憶部（図示略）と；判定部がロール状モールド２０の表面の離型剤の状態を不良と判定した場合に、その情報を制御装置６２に伝達する伝達部とを有する。
【００１９】
判定部は、離型剤の化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ａ）、または前記吸光度面積（Ａ）とロール状モールド２０の表面に存在する化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ｂ）との面積比（（Ａ）／（Ｂ））が、あらかじめ設定された閾値以上のときにモールドの表面の離型剤の状態を良と判定するものであることが好ましい。
【００２０】
離型剤として、加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物を用い、ロール状モールド２０として、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナをアルミニウム基材の表面に有するモールドを用いる場合、判定手段６０の各部は、具体的には以下のものであることが好ましい。
【００２１】
抽出部は、赤外分光スペクトルから、加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物の化学構造に由来する波数１０８０〜１２９０ｃｍ−１付近のピークの吸光度面積（Ａ）と、陽極酸化アルミナの化学構造に由来する波数７３０〜１０８０ｃｍ−１付近のピークの吸光度面積（Ｂ）とを抽出するものであることが好ましい。この際のベースラインは、所定の波数にピークを有する吸収曲線の始点と終点とを結ぶ線とする。なお、これらの波数は離型剤や陽極酸化アルミナの状態によって変化する場合があり、出現するピーク位置により適宜変更することができる。
算出部は、抽出部で抽出された面積（Ａ）、あるいは面積（Ａ）と面積（Ｂ）との面積比（（Ａ）／（Ｂ））を算出するものであることが好ましい。
判定部は、面積（Ａ）または面積比（（Ａ）／（Ｂ））があらかじめ設定された閾値以上のときにロール状モールド２０の表面の離型剤の状態を良と判定するものであることが好ましい。
ここで、判定に用いる値としては、陽極酸化アルミナの厚みが一定であれば面積比（（Ａ）／（Ｂ））を用いる方が、再現性、および装置間誤差などの問題が少なくなり安定した測定が期待できるため好適である。しかしながら、陽極酸化アルミナの厚みが一定で無い場合などはピーク（Ａ）の面積のみで判断することもできる。
【００２２】
なお、判定手段６０は専用のハードウエアによって実現されるものであってもよく、また、判定手段６０はメモリおよび中央演算装置（ＣＰＵ）によって構成され、判定手段６０の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによってその機能を実現させるものであってもよい。
また、判定手段６０には、周辺機器として、入力装置、および表示装置等が接続されるものとする。ここで、入力装置とは、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、およびキーボード等の入力デバイスのことをいい、表示装置とは、ＣＲＴ、および液晶表示装置等のことをいう。
【００２３】
（制御装置）
制御装置６２は、処理部（図示略）とインターフェイス部（図示略）と記憶部（図示略）とを具備する。
インターフェイス部は、製造装置を構成する各機器等と処理部との間を電気的に接続するものである。
処理部は、記憶部に記憶された各種設定、および判定手段６０からの判定情報等に基づいて前記各機器等の運転等を制御するものである。例えば、判定手段６０においてロール状モールド２０の表面の離型剤の状態が不良と判定された際には、フィルム４２の移動、ロール状モールド２０の回転、およびタンク２２からの活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の供給等を停止し、ロール状モールド２０の表面の微細凹凸構造の、フィルム４２の表面への転写を停止するものである。
【００２４】
なお、処理部は専用のハードウエアによって実現されるものであってもよく、また、処理部はメモリおよび中央演算装置（ＣＰＵ）によって構成され、処理部の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによってその機能を実現させるものであってもよい。
また、制御装置６２には、周辺機器として、入力装置、および表示装置等が接続されるものとする。ここで、入力装置とは、ディスプレイタッチパネル、スイッチパネル、およびキーボード等の入力デバイスのことをいい、表示装置とは、ＣＲＴ、および液晶表示装置等のことをいう。
また、制御装置６２として、前記判定手段６０の機能を兼ね備えたものを用い、制御装置６２とは別に設けられていた前記判定手段６０を省略してもよい。
【００２５】
（活性エネルギー線照射装置）
活性エネルギー線照射装置２８としては、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、およびフュージョンランプ等が挙げられる。
【００２６】
（モールド）
モールドは、モールド基材の表面に微細凹凸構造を有し、かつ前記表面が離型剤で処理されたものである。
モールド基材の材料としては、金属（表面に酸化皮膜が形成されたものを含む。）、石英、ガラス、樹脂、およびセラミックス等が挙げられる。
モールド基材の形状としては、ロール状以外に、円管状、平板状、およびシート状等が挙げられる。
【００２７】
モールドの作製方法としては、例えば、下記の方法（I−１）、および方法（I−２）が挙げられ、大面積化が可能であり、かつ作製が簡便である点から、方法（I−１）が特に好ましい。
（I−１）アルミニウム基材の表面に、２個以上の細孔（凹部）を有する陽極酸化アルミナを形成する方法。
（I−２）モールド基材の表面にリソグラフィ法等によって微細凹凸構造を直接形成する方法。
【００２８】
方法（I−１）としては、下記の工程（ａ）〜（ｆ）を有する方法が好ましい。
（ａ）アルミニウム基材を電解液中、定電圧下で陽極酸化してアルミニウム基材の表面に酸化皮膜を形成する工程。
（ｂ）酸化皮膜を除去し、アルミニウム基材の表面に陽極酸化の細孔発生点を形成する工程。
（ｃ）アルミニウム基材を電解液中、再度陽極酸化し、細孔発生点に細孔を有する酸化皮膜を形成する工程。
（ｄ）細孔の径を拡大させる工程。
（ｅ）工程（ｄ）の後、電解液中、再度陽極酸化する工程。
（ｆ）工程（ｄ）と工程（ｅ）を繰り返し行い、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナがアルミニウム基材の表面に形成されたモールドを得る工程。
【００２９】
工程（ａ）：
図２に示すように、アルミニウム基材１０を陽極酸化すると、細孔１２を有する酸化皮膜１４が形成される。
アルミニウム基材の形状としては、ロール状、円管状、平板状、およびシート状等が挙げられる。
また、アルミニウム基材は、表面状態を平滑化にするために、機械研磨、羽布研磨、化学的研磨、および電解研磨処理（エッチング処理）などで研磨されることが好ましい。また、アルミニウム基材は、所定の形状に加工する際に用いた油が付着していることがあるため、陽極酸化の前にあらかじめ脱脂処理されることが好ましい。
【００３０】
アルミニウムの純度は、９９％以上が好ましく、９９．５％以上がより好ましく、９９．８％以上が特に好ましい。アルミニウムの純度が低いと、陽極酸化した時に、不純物の偏析によって可視光を散乱する大きさの凹凸構造が形成されたり、陽極酸化で得られる細孔の規則性が低下したりすることがある。
電解液としては、硫酸、シュウ酸、およびリン酸等が挙げられる。
【００３１】
シュウ酸を電解液として用いる場合：
シュウ酸の濃度は、０．７Ｍ以下が好ましい。シュウ酸の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて酸化皮膜の表面が粗くなることがある。
化成電圧が３０〜６０Ｖの時、周期が１００ｎｍの規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向にある。
電解液の温度は、６０℃以下が好ましく、４５℃以下がより好ましい。電解液の温度が６０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
【００３２】
硫酸を電解液として用いる場合：
硫酸の濃度は０．７Ｍ以下が好ましい。硫酸の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて定電圧を維持できなくなることがある。
化成電圧が２５〜３０Ｖの時、周期が６３ｎｍの規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向がある。
電解液の温度は、３０℃以下が好ましく、２０℃以下がより好ましい。電解液の温度が３０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
【００３３】
工程（ｂ）：
図２に示すように、酸化皮膜１４を一旦除去し、これを陽極酸化の細孔発生点１６にすることで細孔の規則性を向上することができる。
酸化皮膜を除去する方法としては、アルミニウムを溶解せず、酸化皮膜を選択的に溶解する溶液に溶解させて除去する方法が挙げられる。このような溶液としては、例えば、クロム酸／リン酸混合液等が挙げられる。
【００３４】
工程（ｃ）：
図２に示すように、酸化皮膜を除去したアルミニウム基材１０を再度、陽極酸化すると、円柱状の細孔１２を有する酸化皮膜１４が形成される。
陽極酸化は、工程（ａ）と同様な条件で行えばよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。
【００３５】
工程（ｄ）：
図２に示すように、細孔１２の径を拡大させる処理（以下、細孔径拡大処理と記す。）を行う。細孔径拡大処理は、酸化皮膜を溶解する溶液に浸漬して陽極酸化で得られた細孔の径を拡大させる処理である。このような溶液としては、例えば、５質量％程度のリン酸水溶液等が挙げられる。
細孔径拡大処理の時間を長くするほど、細孔径は大きくなる。
【００３６】
工程（ｅ）：
図２に示すように、再度、陽極酸化すると、円柱状の細孔１２の底部から下に延びる、直径の小さい円柱状の細孔１２がさらに形成される。
陽極酸化は、工程（ａ）と同様な条件で行えばよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。
【００３７】
工程（ｆ）：
図２に示すように、工程（ｄ）の細孔径拡大処理と、工程（ｅ）の陽極酸化を繰り返すと、直径が開口部から深さ方向に連続的に減少する形状の細孔１２を有する酸化皮膜１４が形成され、アルミニウム基材１０の表面に陽極酸化アルミナ（アルミニウムの多孔質の酸化皮膜（アルマイト））を有するモールド１８が得られる。最後は工程（ｄ）で終わることが好ましい。
【００３８】
繰り返し回数は、合計で３回以上が好ましく、５回以上がより好ましい。繰り返し回数が２回以下では、非連続的に細孔の直径が減少するため、このような細孔を有する陽極酸化アルミナを用いて形成されたモスアイ構造の反射率低減効果は不十分である。
【００３９】
細孔１２の形状としては、略円錐形状、角錐形状、および円柱形状等が挙げられ、円錐形状、および角錐形状等のように、深さ方向と直交する方向の細孔断面積が最表面から深さ方向に連続的に減少する形状が好ましい。
細孔１２間の平均間隔は、可視光の波長以下、すなわち４００ｎｍ以下である。細孔１２間の平均間隔は、２０ｎｍ以上が好ましい。
細孔１２間の平均間隔の範囲は、２０ｎｍ以上４００ｎｍ以下が好ましく、５０ｎｍ以上３００ｎｍ以下がより好ましく、９０ｎｍ以上２５０ｎｍ以下がさらに好ましい。
細孔１２間の平均間隔は、電子顕微鏡観察によって隣接する細孔１２間の間隔（細孔１２の中心から隣接する細孔１２の中心までの距離）を５０点測定し、これらの値を平均したものである。
【００４０】
細孔１２の深さは、平均間隔が１００ｎｍの場合は、８０〜５００ｎｍが好ましく、１２０〜４００ｎｍがより好ましく、１５０〜３００ｎｍが特に好ましい。
細孔１２の深さは、電子顕微鏡観察によって倍率３００００倍で観察したときにおける、細孔１２の最底部と、細孔１２間に存在する凸部の最頂部との間の距離を測定した値である。
細孔１２のアスペクト比（細孔の深さ／細孔間の平均間隔）は、０．８〜５．０が好ましく、１．２〜４．０がより好ましく、１．５〜３．０が特に好ましい。
【００４１】
（離型剤）
ついで、モールドの微細凹凸構造が形成された側の表面を離型剤で処理する。
離型剤としては、アルミニウム基材の陽極酸化アルミナと化学結合を形成し得る官能基を有するものが好ましい。
【００４２】
離型剤としては、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、およびフッ素化合物等が挙げられ、離型性に優れる点、およびモールドとの密着性に優れる点から、シラノール基あるいは加水分解性シリル基を有することが好ましく、その中でも加水分解性シリル基を有するフッ素化合物が特に好ましい。加水分解性シリル基を有するフッ素化合物の市販品としては、フルオロアルキルシラン、ＫＢＭ−７８０３（信越化学工業社製）、「オプツール（登録商標）」シリーズ（ダイキン工業社製）、およびノベックＥＧＣ−１７２０（住友３Ｍ社製）等が挙げられる。
【００４３】
離型剤による処理方法としては、下記の方法（II−１）、および方法（II−２）が挙げられ、モールドの微細凹凸構造が形成された側の表面をムラなく離型剤で処理できる点から、方法（II−１）が特に好ましい。
（II−１）離型剤の希釈溶液にモールドを浸漬する方法。
（II−２）離型剤またはその希釈溶液を、モールドの微細凹凸構造が形成された側の表面に塗布する方法。
【００４４】
方法（II−１）としては、下記の工程（ｇ）〜（ｌ）を有する方法が好ましい。
（ｇ）モールドを水洗する工程。
（ｈ）モールドにエアーを吹き付け、モールドの表面に付着した水滴を除去する工程。
（ｉ）加水分解性シリル基を有するフッ素化合物を溶媒で希釈した希釈溶液に、モールドを浸漬する工程。
（ｊ）浸漬したモールドをゆっくりと溶液から引き上げる工程。
（ｋ）必要に応じて、工程（ｊ）よりも後段にて、モールドを加熱加湿させる工程。
（ｌ）モールドを乾燥させる工程。
【００４５】
＜微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法＞
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法は、表面が離型剤で処理されたモールドの表面の微細凹凸構造を、物品本体の表面に転写して、微細凹凸構造を表面に有する物品を製造する方法であって、微細凹凸構造を物品本体の表面に転写し、前記物品本体をモールドから剥離した後のモールドの表面の赤外分光スペクトルを測定し、前記赤外分光スペクトルに基づいてモールドの表面の離型剤の状態の良否を判定する方法である。
【００４６】
モールドの表面の微細凹凸構造を物品本体の表面に転写する方法としては、例えば、下記の工程（i）〜（iii）を有する方法が挙げられる。
（i）微細凹凸構造を表面に有し、かつ前記表面が離型剤で処理されたモールドと、物品本体との間に、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を挟持する工程。
（ii）活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に活性エネルギー線を照射し、前記活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化させて微細凹凸構造を有する硬化樹脂層を形成する工程。
（iii）物品本体の表面の硬化樹脂層からモールドを離型し、微細凹凸構造を表面に有する物品を得る工程。
【００４７】
（物品本体）
物品本体の材料としては、物品本体越しに活性エネルギー線の照射を行うため、透明性の高い材料が好ましく、例えば、アクリル系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、およびトリアセチルセルロース等が挙げられる。
物品本体の形状としては、フィルム、シート、射出成形品、およびプレス成形品等が挙げられる。
【００４８】
（活性エネルギー線硬化性樹脂組成物）
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、重合性化合物および重合開始剤を含む。
重合性化合物としては、分子中にラジカル重合性結合および／またはカチオン重合性結合を有するモノマー、オリゴマー、および反応性ポリマー等が挙げられる。
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、非反応性のポリマー、および活性エネルギー線ゾルゲル反応性組成物を含んでいてもよい。
【００４９】
ラジカル重合性結合を有するモノマーとしては、単官能モノマー、および多官能モノマーが挙げられる。
単官能モノマーとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、アルキル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、および２−エトキシエチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート誘導体；（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリロニトリル；スチレン、およびα−メチルスチレン等のスチレン誘導体；並びに（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、およびジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド等の（メタ）アクリルアミド誘導体等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種類以上を併用してもよい。
【００５０】
多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性ジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，５−ペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（３−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル）プロパン、１，２−ビス（３−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）エタン、１，４−ビス（３−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）ブタン、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド付加物ジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのプロピレンオキサイド付加物ジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、およびメチレンビスアクリルアミド等の二官能性モノマー；ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシド変性トリアクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート等の三官能モノマー；コハク酸／トリメチロールエタン／アクリル酸の縮合反応混合物、ジペンタエリストールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールペンタ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、およびテトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート等の四官能以上のモノマー；並びに二官能以上のウレタンアクリレート、および二官能以上のポリエステルアクリレート等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種類以上を併用してもよい。
【００５１】
カチオン重合性結合を有するモノマーとしては、エポキシ基、オキセタニル基、オキサゾリル基、ビニルオキシ基等を有するモノマーが挙げられ、エポキシ基を有するモノマーが特に好ましい。
【００５２】
オリゴマーまたは反応性ポリマーとしては、不飽和ジカルボン酸と多価アルコールとの縮合物等の不飽和ポリエステル類；ポリエステル（メタ）アクリレート、ポリエーテル（メタ）アクリレート、ポリオール（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、カチオン重合型エポキシ化合物、および側鎖にラジカル重合性結合を有する上述のモノマーの単独または共重合ポリマー等が挙げられる。
【００５３】
非反応性のポリマーとしては、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリウレタン、セルロース系樹脂、ポリビニルブチラール、ポリエステル、および熱可塑性エラストマー等が挙げられる。
活性エネルギー線ゾルゲル反応性組成物としては、アルコキシシラン化合物、およびアルキルシリケート化合物等が挙げられる。
【００５４】
アルコキシシラン化合物としては、下記式（１）の化合物が挙げられる。
Ｒ１１ｘＳｉ（ＯＲ１２）ｙ  ・・・（１）
ただし、Ｒ１１、Ｒ１２は、それぞれ炭素数１〜１０のアルキル基を表し、ｘ、ｙは、ｘ＋ｙ＝４の関係を満たす整数を表す。
【００５５】
アルコキシシラン化合物としては、テトラメトキシシラン、テトラ−ｉ−プロポキシシラン、テトラ−ｎ−プロポキシシラン、テトラ−ｎ−ブトキシシラン、テトラ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、テトラ−ｔ−ブトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチルメトキシシラン、トリメチルプロポキシシラン、およびトリメチルブトキシシラン等が挙げられる。
【００５６】
アルキルシリケート化合物としては、下記式（２）の化合物が挙げられる。
Ｒ２１Ｏ［Ｓｉ（ＯＲ２３）（ＯＲ２４）Ｏ］ｚＲ２２  ・・・（２）
ただし、Ｒ２１〜Ｒ２４は、それぞれ炭素数１〜５のアルキル基を表し、ｚは、３〜２０の整数を表す。
【００５７】
アルキルシリケート化合物としては、メチルシリケート、エチルシリケート、イソプロピルシリケート、ｎ−プロピルシリケート、ｎ−ブチルシリケート、ｎ−ペンチルシリケート、およびアセチルシリケート等が挙げられる。
【００５８】
光硬化反応を利用する場合、光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジル、ベンゾフェノン、ｐ−メトキシベンゾフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、α，α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノン、メチルフェニルグリオキシレート、エチルフェニルグリオキシレート、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、および２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン等のカルボニル化合物；テトラメチルチウラムモノスルフィド、およびテトラメチルチウラムジスルフィド等の硫黄化合物；並びに２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、およびベンゾイルジエトキシフォスフィンオキサイド等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００５９】
電子線硬化反応を利用する場合、重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン、メチルオルソベンゾイルベンゾエート、４−フェニルベンゾフェノン、ｔ−ブチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、および２，４−ジクロロチオキサントン等のチオキサントン；ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、１−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、２−メチル−２−モルホリノ（４−チオメチルフェニル）プロパン−１−オン、および２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン等のアセトフェノン；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、およびベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル；２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、およびビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド；並びにメチルベンゾイルホルメート、１，７−ビスアクリジニルヘプタン、および９−フェニルアクリジン等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００６０】
熱硬化反応を利用する場合、熱重合開始剤としては、例えば、メチルエチルケトンパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシオクトエート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、およびラウロイルパーオキサイド等の有機過酸化物；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系化合物；並びに前記有機過酸化物にＮ，Ｎ−ジメチルアニリン、およびＮ，Ｎ−ジメチル−ｐ−トルイジン等のアミンを組み合わせたレドックス重合開始剤等が挙げられる。
【００６１】
重合開始剤の量は、重合性化合物１００質量部に対して、０．１〜１０質量部が好ましい。重合開始剤の量が０．１質量部未満では、重合が進行しにくい。重合開始剤の量が１０質量部を超えると、硬化膜が着色したり、機械強度が低下したりすることがある。
【００６２】
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、帯電防止剤、離型剤、防汚性を向上させるためのフッ素化合物等の添加剤；微粒子、および少量の溶媒を含んでいてもよい。
【００６３】
（疎水性材料）
硬化樹脂層の微細凹凸構造の表面の水接触角を９０°以上にするためには、疎水性の材料を形成し得る活性エネルギー線硬化性樹脂組成物として、フッ素含有化合物またはシリコーン系化合物を含む組成物を用いることが好ましい。
【００６４】
フッ素含有化合物：
フッ素含有化合物としては、下記式（３）で表されるフルオロアルキル基を有する化合物が好ましい。
−（ＣＦ２）ｎ−Ｘ   ・・・（３）
ただし、Ｘは、フッ素原子または水素原子を表し、ｎは、１以上の整数を表し、１〜２０が好ましく、３〜１０がより好ましく、４〜８が特に好ましい。
【００６５】
フッ素含有化合物としては、フッ素含有モノマー、フッ素含有シランカップリング剤、フッ素含有界面活性剤、およびフッ素含有ポリマー等が挙げられる。
【００６６】
フッ素含有モノマーとしては、フルオロアルキル基置換ビニルモノマー、およびフルオロアルキル基置換開環重合性モノマー等が挙げられる。
フルオロアルキル基置換ビニルモノマーとしては、フルオロアルキル基置換（メタ）アクリレート、フルオロアルキル基置換（メタ）アクリルアミド、フルオロアルキル基置換ビニルエーテル、およびフルオロアルキル基置換スチレン等が挙げられる。
【００６７】
フルオロアルキル基置換開環重合性モノマーとしては、フルオロアルキル基置換エポキシ化合物、フルオロアルキル基置換オキセタン化合物、およびフルオロアルキル基置換オキサゾリン化合物等が挙げられる。
【００６８】
フッ素含有モノマーとしては、フルオロアルキル基置換（メタ）アクリレートが好ましく、下記式（４）の化合物が特に好ましい。
ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ４１）Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｍ−（ＣＦ２）ｎ−Ｘ  ・・・（４）
ただし、Ｒ４１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｘは、水素原子またはフッ素原子を表し、ｍは、１〜６の整数を表し、１〜３が好ましく、１または２がより好ましく、ｎは、１〜２０の整数を表し、３〜１０が好ましく、４〜８がより好ましい。
【００６９】
フッ素含有シランカップリング剤としては、フルオロアルキル基置換シランカップリング剤が好ましく、下記式（５）の化合物が特に好ましい。
（Ｒｆ）ａＲ５１ｂＳｉＹｃ  ・・・（５）
【００７０】
Ｒｆは、エーテル結合またはエステル結合を１個以上含んでいてもよい炭素数１〜２０のフッ素置換アルキル基を表す。Ｒｆとしては、３，３，３−トリフルオロプロピル基、トリデカフルオロ−１，１，２，２−テトラヒドロオクチル基、３−トリフルオロメトキシプロピル基、および３−トリフルオロアセトキシプロピル基等が挙げられる。
【００７１】
Ｒ５１は、炭素数１〜１０のアルキル基を表す。Ｒ５１としては、メチル基、エチル基、およびシクロヘキシル基等が挙げられる。
【００７２】
Ｙは、水酸基または加水分解性基を表す。
加水分解性基としては、アルコキシ基、およびハロゲン原子、Ｒ５２Ｃ（Ｏ）Ｏ（ただし、Ｒ５２は、水素原子または炭素数１〜１０のアルキル基を表す。）等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、ｉ−プロピルオキシ基、ブトキシ基、ｉ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、２−エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、３，７−ジメチルオクチルオキシ基、およびラウリルオキシ基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、Ｃｌ、Ｂｒ、およびＩ等が挙げられる。
Ｒ５２Ｃ（Ｏ）Ｏとしては、ＣＨ３Ｃ（Ｏ）Ｏ、およびＣ２Ｈ５Ｃ（Ｏ）Ｏ等が挙げられる。
【００７３】
ａ、ｂ、およびｃは、ａ＋ｂ＋ｃ＝４であり、かつａ≧１、およびｃ≧１を満たす整数を表し、ａ＝１、ｂ＝０、およびｃ＝３が好ましい。
【００７４】
フッ素含有シランカップリング剤としては、３，３，３−トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、３，３，３−トリフルオロプロピルトリアセトキシシラン、ジメチル−３，３，３−トリフルオロプロピルメトキシシラン、およびトリデカフルオロ−１，１，２，２−テトラヒドロオクチルトリエトキシシラン等が挙げられる。
【００７５】
フッ素含有界面活性剤としては、フルオロアルキル基含有アニオン系界面活性剤、フルオロアルキル基含有カチオン系界面活性剤等が挙げられる。
【００７６】
フルオロアルキル基含有アニオン系界面活性剤としては、炭素数２〜１０のフルオロアルキルカルボン酸またはその金属塩、パーフルオロオクタンスルホニルグルタミン酸ジナトリウム、３−［オメガ−フルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１１）オキシ］−１−アルキル（Ｃ３〜Ｃ４）スルホン酸ナトリウム、３−［オメガ−フルオロアルカノイル（Ｃ６〜Ｃ８）−Ｎ−エチルアミノ］−１−プロパンスルホン酸ナトリウム、フルオロアルキル（Ｃ１１〜Ｃ２０）カルボン酸またはその金属塩、パーフルオロアルキルカルボン酸（Ｃ７〜Ｃ１３）またはその金属塩、パーフルオロアルキル（Ｃ４〜Ｃ１２）スルホン酸またはその金属塩、パーフルオロオクタンスルホン酸ジエタノールアミド、Ｎ−プロピル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）パーフルオロオクタンスルホンアミド、パーフルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１０）スルホンアミドプロピルトリメチルアンモニウム塩、パーフルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１０）−Ｎ−エチルスルホニルグリシン塩、およびモノパーフルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１６）エチルリン酸エステル等が挙げられる。
【００７７】
フルオロアルキル基含有カチオン系界面活性剤としては、フルオロアルキル基含有脂肪族一級、二級または三級アミン酸、パーフルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１０）スルホンアミドプロピルトリメチルアンモニウム塩等の脂肪族４級アンモニウム塩、ベンザルコニウム塩、塩化ベンゼトニウム、ピリジニウム塩、およびイミダゾリニウム塩等が挙げられる。
【００７８】
フッ素含有ポリマーとしては、フルオロアルキル基含有モノマーの重合体、フルオロアルキル基含有モノマーとポリ（オキシアルキレン）基含有モノマーとの共重合体、およびフルオロアルキル基含有モノマーと架橋反応性基含有モノマーとの共重合体等が挙げられる。フッ素含有ポリマーは、共重合可能な他のモノマーとの共重合体であってもよい。
【００７９】
フッ素含有ポリマーとしては、フルオロアルキル基含有モノマーとポリ（オキシアルキレン）基含有モノマーとの共重合体が好ましい。
ポリ（オキシアルキレン）基としては、下記式（６）で表される基が好ましい。
−（ＯＲ６１）ｐ−  ・・・（６）
ただし、Ｒ６１は、炭素数２〜４のアルキレン基を表し、ｐは、２以上の整数を表す。
Ｒ６１としては、−ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ（ＣＨ３）−等が挙げられる。
【００８０】
ポリ（オキシアルキレン）基は、同一のオキシアルキレン単位（ＯＲ６１）からなるものであってもよく、２種以上のオキシアルキレン単位（ＯＲ６１）からなるものであってもよい。２種以上のオキシアルキレン単位（ＯＲ６１）の配列は、ブロックであってもよく、ランダムであってもよい。
【００８１】
シリコーン系化合物：
シリコーン系化合物としては、（メタ）アクリル酸変性シリコーン、シリコーン樹脂、およびシリコーン系シランカップリング剤等が挙げられる。
（メタ）アクリル酸変性シリコーンとしては、シリコーン（ジ）（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００８２】
（親水性材料）
硬化樹脂層の微細凹凸構造の表面の水接触角を２５°以下にするためには、親水性の材料を形成し得る活性エネルギー線硬化性樹脂組成物として、少なくとも親水性モノマーを含む組成物を用いることが好ましい。また、耐擦傷性や耐水性付与の観点からは、架橋可能な多官能モノマーを含むものがより好ましい。なお、親水性モノマーと架橋可能な多官能モノマーは、同一（すなわち、親水性多官能モノマー）であってもよい。さらに、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、その他のモノマーを含んでいてもよい。
【００８３】
親水性の材料を形成し得る活性エネルギー線硬化性樹脂組成物としては、下記の重合性化合物を含む組成物を用いることがより好ましい。
４官能以上の多官能（メタ）アクリレートの１０〜５０質量％、
２官能以上の親水性（メタ）アクリレートの３０〜８０質量％、および
単官能モノマーの０〜２０質量％の合計１００質量％からなる重合性化合物。
【００８４】
４官能以上の多官能（メタ）アクリレートとしては、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、コハク酸／トリメチロールエタン／アクリル酸のモル比１：２：４の縮合反応混合物、ウレタンアクリレート類（ダイセル・サイテック社製：ＥＢＥＣＲＹＬ２２０、ＥＢＥＣＲＹＬ１２９０、ＥＢＥＣＲＹＬ１２９０Ｋ、ＥＢＥＣＲＹＬ５１２９、ＥＢＥＣＲＹＬ８２１０、ＥＢＥＣＲＹＬ８３０１、およびＫＲＭ８２００）、ポリエーテルアクリレート類（ダイセル・サイテック社製：ＥＢＥＣＲＹＬ８１）、変性エポキシアクリレート類（ダイセル・サイテック社製：ＥＢＥＣＲＹＬ３４１６）、およびポリエステルアクリレート類（ダイセル・サイテック社製：ＥＢＥＣＲＹＬ４５０、ＥＢＥＣＲＹＬ６５７、ＥＢＥＣＲＹＬ８００、ＥＢＥＣＲＹＬ８１０、ＥＢＥＣＲＹＬ８１１、ＥＢＥＣＲＹＬ８１２、ＥＢＥＣＲＹＬ１８３０、ＥＢＥＣＲＹＬ８４５、ＥＢＥＣＲＹＬ８４６、およびＥＢＥＣＲＹＬ１８７０）等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
４官能以上の多官能（メタ）アクリレートとしては、５官能以上の多官能（メタ）アクリレートがより好ましい。
【００８５】
４官能以上の多官能（メタ）アクリレートの割合は、１０〜５０質量％が好ましく、耐水性、および耐薬品性の点から、２０〜５０質量％がより好ましく、３０〜５０質量％が特に好ましい。４官能以上の多官能（メタ）アクリレートの割合が１０質量％以上であれば、弾性率が高くなって耐擦傷性が向上する。４官能以上の多官能（メタ）アクリレートの割合が５０質量％以下であれば、表面に小さな亀裂が入りにくく、外観不良となりにくい。
【００８６】
２官能以上の親水性（メタ）アクリレートとしては、アロニックス（登録商標）Ｍ−２４０、アロニックス（登録商標）Ｍ２６０（東亞合成社製）、ＮＫエステルＡＴ−２０Ｅ、ＮＫエステルＡＴＭ−３５Ｅ（新中村化学社製）等の長鎖ポリエチレングリコールを有する多官能アクリレート、およびポリエチレングリコールジメタクリレート等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
ポリエチレングリコールジメタクリレートにおいて、一分子内に存在するポリエチレングリコール鎖の平均繰り返し単位の合計は、６〜４０が好ましく、９〜３０がより好ましく、１２〜２０が特に好ましい。ポリエチレングリコール鎖の平均繰り返し単位が６以上であれば、親水性が十分となり、防汚性が向上する。ポリエチレングリコール鎖の平均繰り返し単位が４０以下であれば、４官能以上の多官能（メタ）アクリレートとの相溶性が良好となり、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物が分離しにくい。
【００８７】
２官能以上の親水性（メタ）アクリレートの割合は、３０〜８０質量％が好ましく、４０〜７０質量％がより好ましい。２官能以上の親水性（メタ）アクリレートの割合が３０質量％以上であれば、親水性が十分となり、防汚性が向上する。２官能以上の親水性（メタ）アクリレートの割合が８０質量％以下であれば、弾性率が高くなって耐擦傷性が向上する。
【００８８】
単官能モノマーとしては、親水性単官能モノマーが好ましい。
親水性単官能モノマーとしては、Ｍ−２０Ｇ、Ｍ−９０Ｇ、およびＭ−２３０Ｇ（新中村化学社製）等のエステル基にポリエチレングリコール鎖を有する単官能（メタ）アクリレート；ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等のエステル基に水酸基を有する単官能（メタ）アクリレート；単官能アクリルアミド類；並びにメタクリルアミドプロピルトリメチルアンモニウムメチルサルフェート、およびメタクリロイルオキシエチルトリメチルアンモニウムメチルサルフェート等のカチオン性モノマー類等が挙げられる。
また、単官能モノマーとして、アクリロイルモルホリン、およびビニルピロリドン等の粘度調整剤、並びに物品本体への密着性を向上させるアクリロイルイソシアネート類等の密着性向上剤等を用いてもよい。
【００８９】
単官能モノマーの割合は、０〜２０質量％が好ましく、５〜１５質量％がより好ましい。単官能モノマーを用いることによって、物品本体と硬化樹脂との密着性が向上する。単官能モノマーの割合が２０質量％以下であれば、４官能以上の多官能（メタ）アクリレートまたは２官能以上の親水性（メタ）アクリレートが不足することなく、防汚性または耐擦傷性が十分に発現する。
【００９０】
単官能モノマーは、１種または２種以上を（共）重合した低重合度の重合体として活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に０〜３５質量部配合してもよい。低重合度の重合体としては、Ｍ−２３０Ｇ（新中村化学社製）等のエステル基にポリエチレングリコール鎖を有する単官能（メタ）アクリレート類と、メタクリルアミドプロピルトリメチルアンモニウムメチルサルフェートとの４０／６０共重合オリゴマー（ＭＲＣユニテック社製、ＭＧポリマー）等が挙げられる。
【００９１】
（製造方法の具体例）
図１に示す製造装置を用いた、本発明の微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法の具体例を説明する。
【００９２】
表面に微細凹凸構造（図示略）を有するロール状モールド２０と、ロール状モールド２０の回転に同期してロール状モールド２０の表面に沿って移動する帯状のフィルム４２（物品本体）との間に、タンク２２から活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を供給する。
【００９３】
ロール状モールド２０と、空気圧シリンダ２４によってニップ圧が調整されたニップロール２６との間で、フィルム４２および活性エネルギー線硬化性樹脂組成物をニップし、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を、フィルム４２とロール状モールドとの間に均一に行き渡らせると同時に、ロール状モールド２０の微細凹凸構造の凹部内に充填する。
【００９４】
ロール状モールド２０の下方に設置された活性エネルギー線照射装置２８から、フィルム４２を通して活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に活性エネルギー線を照射し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化させることによって、ロール状モールド２０の表面の微細凹凸構造が転写された硬化樹脂層４４を形成する。活性エネルギー線照射装置２８からの光照射エネルギー量は、１００〜１００００ｍＪ／ｃｍ２が好ましい。
剥離ロール３０によって、表面に硬化樹脂層４４が形成されたフィルム４２をロール状モールド２０から剥離することによって、図３に示すような物品４０を得る。
【００９５】
ついで、反射型赤外分光装置５０によって、フィルム４２が剥離された直後のロール状モールド２０の表面の赤外分光スペクトルを測定する。モールドの表面の赤外分光スペクトルの測定は、モールド表面の離型剤の状態を常時把握する点から、連続的、または所定間隔をあけて断続的に行うことが好ましい。反射型赤外分光装置５０は固定式であっても走査式であってもよい。
【００９６】
ついで、判定手段６０において、抽出部にて反射型赤外分光装置５０で測定された赤外分光スペクトルから特定の化学構造に由来する所定の波数付近のピークの強度または面積を抽出し；算出部にて必要に応じて２種のピークの強度または面積の比を算出し；判定部にてピークの強度、面積、またはそれらの比等があらかじめ設定された閾値以上（場合によっては閾値以下）のときにロール状モールド２０の表面の離型剤の状態を良と判定し；判定部にてロール状モールド２０の表面の離型剤の状態を不良と判定した場合に、伝達部からその情報を制御装置６２に伝達する。
【００９７】
判定部においては、判定の精度が比較的高い点から、離型剤の化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ａ）あるいは離型剤の化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ａ）と、ロール状モールド２０の表面に存在する化学構造に由来する波数付近のピークの吸光度面積（Ｂ）との面積比（（Ａ）／（Ｂ））があらかじめ設定された閾値以上のときにモールドの表面の離型剤の状態を良と判定することが好ましい。
【００９８】
判定手段６０においては、具体的には、離型剤として、加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物を用い、ロール状モールド２０として、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナをアルミニウム基材の表面に有するモールドを用いる場合、以下の処理を行うことが好ましい。
【００９９】
抽出部にて、赤外分光スペクトルから、加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物の化学構造に由来する波数１０８０〜１２９０ｃｍ−１付近のピークの吸光度面積（Ａ）と、陽極酸化アルミナの化学構造に由来する波数７３０〜１０８０ｃｍ−１付近のピークの吸光度面積（Ｂ）とを抽出する。この際のベースラインは、所定の波数にピークを有する吸収曲線の始点と終点とを結ぶ破線とする。具体例を図５に示す。
算出部にて、抽出部で抽出された面積（Ａ）と面積（Ｂ）、さらに両者の面積比（（Ａ）／（Ｂ））を算出する。
判定部にて、面積（Ａ）または面積比（（Ａ）／（Ｂ））があらかじめ設定された閾値以上のときにロール状モールド２０の表面の離型剤の状態を良と判定する。
【０１００】
面積（Ａ）または面積比（（Ａ）／（Ｂ））の閾値は、実際の製造に用いるものと同じ製造装置、および同じ材料を用いてあらかじめ予備実験を実施し、ロール状モールド２０を硬化樹脂層４４から離型できなくなる直前、または一部に離型不良による欠陥が生じた時点の面積（Ａ）または面積比（（Ａ）／（Ｂ））を確認し、設定すればよい。離型剤として、加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物（ダイキン工業社製、オプツール（登録商標）ＤＳＸ）を用い、ロール状モールド２０として、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナをアルミニウム基材の表面に有するモールドを用いる場合、面積（Ａ）が０．１３、または面積比（（Ａ）／（Ｂ））が０．０４７以上であれば離型不良が発生しないこと、面積（Ａ）が０．１５、または面積比（（Ａ）／（Ｂ））が０．０７０以上であればより安定して転写を行えることを、本発明者らは繰り返し予備実験を実施することによって確認している。面積（Ａ）または面積比（（Ａ）／（Ｂ））の上限は特に制限されないが、離型剤の量が多くなるとロール状モールド２０の微細凹凸構造を正確に転写できない等の問題が生じるため、面積（Ａ）は１以下が好ましく、０．８以下がさらに好ましい。また、面積比（（Ａ）／（Ｂ））は１０以下が好ましく、５以下がよりに好ましい。
【０１０１】
離型剤として、前記フッ素化合物（ダイキン工業社製、オプツール（登録商標）ＤＳＸ）を用い、ロール状モールド２０として、２個以上の細孔を有する陽極酸化アルミナをアルミニウム基材の表面に有するモールドを用いる場合、面積（Ａ）は０．１３以上１以下が好ましく、０．１５以上０．８以下がより好ましい。
離型剤として前記フッ素化合物を用い、ロール状モールド２０として、前記モールドを用いる場合、面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０４７以上１０以下が好ましく、０．０７０以上５以下がより好ましい。
【０１０２】
制御装置６２においては、例えば、判定手段６０においてロール状モールド２０の表面の離型剤の状態が不良と判定された際には、フィルム４２の移動、ロール状モールド２０の回転、およびタンク２２からの活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の供給等を停止し、ロール状モールド２０の表面の微細凹凸構造の、フィルム４２の表面への転写を停止する。停止後にモールドを取り外して離型剤を塗布してもよい。また、制御装置６２は、判定手段６０からの出力に応じて、ロール状モールド２０の表面に離型剤を塗布するように構成することができる。
【０１０３】
（物品）
図３は、本発明の製造方法で得られる、微細凹凸構造を表面に有する物品４０の一例を示す断面図である。
フィルム４２は、光透過性フィルムである。フィルムの材料としては、ポリカーボネート、ポリスチレン系樹脂、ポリエステル、ポリウレタン、アクリル系樹脂、ポリエーテルスルフォン、ポリスルフォン、ポリエーテルケトン、セルロース系樹脂（トリアセチルセルロース等）、ポリオレフィン、および脂環式ポリオレフィン等が挙げられる。
【０１０４】
硬化樹脂層４４は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物からなる膜であり、表面に微細凹凸構造を有する。
陽極酸化アルミナのモールドを用いた場合の物品４０の表面の微細凹凸構造は、陽極酸化アルミナの表面の微細凹凸構造を転写して形成されたものであり、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物からなる２個以上の凸部４６を有する。
【０１０５】
微細凹凸構造としては、略円錐形状、または角錐形状等の突起（凸部）が２個以上並んだ、いわゆるモスアイ構造が好ましい。突起間の間隔が可視光の波長以下であるモスアイ構造は、空気の屈折率から材料の屈折率へと連続的に屈折率が増大していくことで有効な反射防止の手段となることが知られている。
【０１０６】
凸部間の平均間隔は、可視光の波長以下、すなわち４００ｎｍ以下である。陽極酸化アルミナのモールドを用いて凸部を形成した場合、凸部間の平均間隔は１００から２００ｎｍ程度となることから、２５０ｎｍ以下が特に好ましい。
【０１０７】
凸部間の平均間隔は、凸部の形成のしやすさの点から、２０ｎｍ以上が好ましい。
凸部間の平均間隔の範囲は、２０〜４００ｎｍが好ましく、５０〜３００ｎｍがより好ましく、９０〜２５０ｎｍがさらに好ましい。
凸部間の平均間隔は、電子顕微鏡観察によって隣接する凸部間の間隔（凸部の中心から隣接する凸部の中心までの距離）を５０点測定し、これらの値を平均したものである。
【０１０８】
凸部の高さは、平均間隔が１００ｎｍの場合は、８０〜５００ｎｍが好ましく、１２０〜４００ｎｍがより好ましく、１５０〜３００ｎｍが特に好ましい。凸部の高さが８０ｎｍ以上であれば、反射率が十分低くなり、かつ反射率の波長依存性が少ない。凸部の高さが５００ｎｍ以下であれば、凸部の耐擦傷性が良好となる。
凸部の高さは、電子顕微鏡によって倍率３００００倍で観察したときにおける、凸部の最頂部と、凸部間に存在する凹部の最底部との間の距離を測定した値である。
【０１０９】
凸部のアスペクト比（凸部の高さ／凸部間の平均間隔）は、０．８〜５．０が好ましく、１．２〜４．０がより好ましく、１．５〜３．０が特に好ましい。凸部のアスペクト比が１．０以上であれば、反射率が十分に低くなる。凸部のアスペクト比が５．０以下であれば、凸部の耐擦傷性が良好となる。
【０１１０】
凸部の形状は、高さ方向と直交する方向の凸部断面積が最表面から深さ方向に連続的に増加する形状、すなわち、凸部の高さ方向の断面形状が、三角形、台形、および釣鐘型等の形状が好ましい。
【０１１１】
硬化樹脂層４４の屈折率とフィルム４２の屈折率との差は、０．２以下が好ましく、０．１以下がより好ましく、０．０５以下が特に好ましい。屈折率差が０．２以下であれば、硬化樹脂層４４とフィルム４２との界面における反射が抑えられる。
【０１１２】
表面に微細凹凸構造を有する場合、その表面が疎水性の材料から形成されていればロータス効果により超撥水性が得られ、その表面が親水性の材料から形成されていれば超親水性が得られることが知られている。
【０１１３】
硬化樹脂層４４の材料が疎水性の場合の微細凹凸構造の表面の水接触角は、９０゜以上が好ましく、１１０゜以上がより好ましく、１２０゜以上が特に好ましい。水接触角が９０゜以上であれば、水汚れが付着しにくくなるため、十分な防汚性が発揮される。また、水が付着しにくいため、着氷防止を期待できる。
硬化樹脂層４４の材料が疎水性の場合の微細凹凸構造の表面の水接触角の範囲は、９０゜以上１８０゜以下が好ましく、１１０゜以上１８０゜以下がより好ましく、１２０゜以上１８０゜以下が特に好ましい。
【０１１４】
硬化樹脂層４４の材料が親水性の場合の微細凹凸構造の表面の水接触角は、２５゜以下が好ましく、２３゜以下がより好ましく、２１゜以下が特に好ましい。水接触角が２５゜以下であれば、表面に付着した汚れが水で洗い流され、また油汚れが付着しにくくなるため、十分な防汚性が発揮される。前記水接触角は、硬化樹脂層４４の吸水による微細凹凸構造の変形、それに伴う反射率の上昇を抑える点から、３゜以上が好ましい。
硬化樹脂層４４の材料が親水性の場合の、微細凹凸構造の表面の水接触角の範囲は、３゜以上３０゜以下が好ましく、３゜以上２３゜以下がより好ましく、３゜以上２１゜以下が特に好ましい。
【０１１５】
（用途）
物品４０の用途としては、反射防止物品、防曇性物品、防汚性物品、および撥水性物品、より具体的には、ディスプレー用反射防止、自動車メーターカバー、自動車ミラー、自動車窓、有機または無機エレクトロルミネッセンスの光取り出し効率向上部材、および太陽電池部材等が挙げられる。
【０１１６】
（作用効果）
以上説明した本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法および製造装置にあっては、微細凹凸構造を物品本体の表面に転写し、前記物品本体をモールドから剥離した直後のモールドの表面の赤外分光スペクトルを測定し、前記赤外分光スペクトルに基づいてモールドの表面の離型剤の状態の良否を判定するため、モールド表面の離型剤の状態をオンラインで簡易にモニタリングできる。その結果、モールドの離型不良を事前に把握することができ、微細凹凸構造を表面に有する物品の生産性の低下を抑えることができる。
【０１１７】
すなわち、本発明によれば、モールドの表面の離型剤の状態を非接触、および非破壊で判定できるため、物品の製造中にオンラインで判定できる。したがって、離型不良を事前に予測することができ、離型不良の直前に物品の製造を中止できる。その結果、離型不良の直前まで物品を製造できるため、モールドを効率的に用いることができ、離型不良による硬化樹脂の付着を防げるため、モールドの洗浄が容易となる。また、離型不良におけるトラブルを回避できるため、より安全に物品を製造できる。
【０１１８】
なお、本発明において、反射赤外分光法を採用している理由は、下記の通りである。
上述のように、モールドの表面の微細凹凸構造を、物品本体の表面に転写し続けると、やがて離型性が悪化してくる。その原因としては、モールドからの離型剤の脱落、および活性エネルギー線（紫外線等）や熱等による離型剤の変質等が考えられる。そこで、離型剤として加水分解性シリル基を有するフッ素化合物を用いた場合の離型不良の原因を見極めるために、初期のモールドと離型不良となったモールドの表面を分析し、離型剤の量を見積もることとした。通常、離型剤は極薄くモールドに塗布されているため、表面感度の優れた手法を用いる必要がある。例えば、ＴＯＦ−ＳＩＭＳ、ＸＰＳ、およびＩＲ法等を用いることが考えられる。そこで、ＸＰＳ、およびＴＯＦ−ＳＩＭＳで分析した結果、例えばＸＰＳから求められる離型剤の量（原子数比Ｆ／Ａｌ）は、初期の８．３から離型不良時には２．１に低下していた。また、モールド上に残存している離型剤の構造変化は認められなかった。この結果から、離型不良の原因は離型剤の脱落にあることが明白となった。よって、モールドの表面の離型剤の量を把握することで離型不良を事前に予測することが可能となる。
【０１１９】
しかしながら、ＴＯＦ−ＳＩＭＳやＸＰＳでは、装置構成上の問題から、一定の大きさ以上のモールドは測定できないため、物品の製造中に測定することは困難であり、オンラインでモニタリングできない問題がある。また、赤外分光法の中でも表面感度に優れるＡＴＲ法は、非接触での測定ができず、モールドの表面を傷つけてしまうため、物品の製造中に測定できない。さらに、これらの手法では、モールドの表面が微細凹凸構造を有しているため、どの部分を測定しているのかの判別も困難である。そこで、反射赤外分光法による測定を行うことで、上記問題を解決することができ、モールドの大きさによらず、かつ非接触で離型剤の量を把握できる。
【０１２０】
ここで、反射赤外分光法について説明する。モールドに赤外線を照射すると、赤外線は、表面にある加水分解性シリル基を有するフッ素化合物からなる離型剤や陽極酸化アルミナの大部分は透過し、アルミニウム基材の金属面で反射する。その反射光を分光することで離型剤の赤外分光スペクトルが得られる。この場合、モールドの微細凹凸構造の内外の全ての離型剤の情報が得られることになる。また、この方法によれば、モールドと非接触で測定できるため、モールドを傷付けることがなく、物品の製造中に測定することも可能である。また、大型のロール状モールド等、大きさや形状の制約を受けない。これらの特徴から、インラインでの測定も可能である。また、赤外線としては、目的に応じて近赤外〜遠赤外まで用いることができる。
【実施例】
【０１２１】
以下、本発明を実施例によって具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。【０１２２】
（陽極酸化アルミナの細孔）
陽極酸化アルミナの一部を削り、断面にプラチナを１分間蒸着し、電界放出形走査電子顕微鏡（日本電子社製、ＪＳＭ−７４００Ｆ）を用いて、加速電圧３．００ｋＶの条件にて、断面を観察し、細孔の間隔、および細孔の深さを測定した。各測定は、それぞれ５０点について行い、平均値を求めた。【０１２３】
（転写試験）
モールドの微細凹凸構造が形成された側に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を流し込み、アクリルフィルムを被せた後、ＵＶ照射機(高圧水銀ランプ、積算光量：４００ｍＪ／ｃｍ２)によって硬化を行った。ついで、アクリルフィルムごと硬化樹脂層をモールドから離型することによって、アクリルフィルムの表面に微細凹凸構造を転写した。この操作を繰り返し行い、目視ではっきりと認識できる離型不良が発生するまでの回数を転写可能回数とした。この場合の離型不良とは、モールドへの硬化樹脂の付着等の原因によって、モールドの微細凹凸面に樹脂残りが発生し、モールドと硬化樹脂層とが離型困難になった状態である。【０１２４】
（活性エネルギー線硬化性樹脂組成物）
コハク酸／トリメチロールエタン／アクリル酸のモル比１：２：４の縮合反応混合物の４５質量部、
１，６−ヘキサンジオールジアクリレート（大阪有機化学社製）の４５質量部、
ラジカル重合性シリコーンオイル（信越化学工業社製、Ｘ−２２−１６０２）の１０質量部、および
１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（チバ・スペシャリティーケミカルズ社製、イルガキュア１８４）の３質量部
を混合し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を調製した。【０１２５】
（モールドの作製方法）
５０ｍｍ×５０ｍｍ×厚さ０．３ｍｍのアルミニウム板（純度９９．９９％）を、過塩素酸／エタノール混合溶液（１／４体積比）中で電解研磨したものを用意した。
工程（ａ）：
前記アルミニウム板について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中で、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で６時間陽極酸化を行った。
工程（ｂ）：
酸化皮膜が形成されたアルミニウム板を、６質量％リン酸／１．８質量％クロム酸混合水溶液に３時間浸漬して、酸化皮膜を除去した。
工程（ｃ）：
前記アルミニウム板について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で３０秒間陽極酸化を行った。【０１２６】
工程（ｄ）：
酸化皮膜が形成されたアルミニウム板を、３２℃の５質量％リン酸水溶液に８分間浸漬して、細孔径拡大処理を行った。
工程（ｅ）：
前記アルミニウム板について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で３０秒間陽極酸化を行った。【０１２７】
工程（ｆ）：
前記工程（ｄ）および工程（ｅ）を合計で４回繰り返し、最後に工程（ｄ）を行い、平均間隔：１００ｎｍ、深さ：２４０ｎｍの略円錐形状の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールドを得た。【０１２８】
工程（ｇ）：
シャワーを用いてモールドの表面のリン酸水溶液を軽く洗い流した後、モールドを流水中に１０分間浸漬した。
工程（ｈ）：
モールドにエアーガンからエアーを吹き付け、モールドの表面に付着した水滴を除去した。【０１２９】
工程（ｉ）：
モールドを、オプツール（登録商標）ＤＳＸ（ダイキン化成品販売社製）を希釈剤ＨＤ−ＺＶ（ハーベス社製）で０．１質量％に希釈した溶液に室温で１０分間浸漬した。
工程（ｊ）：
モールドを希釈溶液から３ｍｍ／ｓｅｃでゆっくりと引き上げた。
工程（ｌ）：
モールドを１５分間風乾して、離型剤で処理されたモールドを得た。【０１３０】
〔実施例１〕
モールドの表面の赤外分光スペクトルを、フーリエ変換赤外分光装置（ＴｈｅｒｍｏＦｉｓｈｅｒ  Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ社製、Ｎｉｃｏｌｅｔ３８０／Ｃｏｎｔｉｎｕｍ）を用いて測定した。結果を図４に示す。１０８０〜１２９０ｃｍ−１に見られるピークＡが離型剤由来であり、７３０〜１０８０ｃｍ−１に見られるピークＢが陽極酸化アルミナ由来である。ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．４３であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．１８であり、前記モールドを用いて転写試験を１回行ったところ、離型性は良好であった。【０１３１】
〔実施例２〕
実施例１に引き続き、転写試験を１００回行い、モールドの表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．２１であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０８９であり、前記モールドを用いて転写試験を１回行ったところ、離型性は良好であった。【０１３２】
〔実施例３〕
実施例１と同様の方法で作製した別のモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．３５であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．１４であった。さらに前記モールドを用いて転写試験を１回行ったところ、離型性は良好であった。【０１３３】
〔実施例４〕
実施例３から転写を繰り返し１９回行った（この間、離型性は良好であった）後にモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．２９であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．１２であった。さらに前記モールドを用いてさらに転写試験を１回行ったところ、離型性は良好であった。【０１３４】
〔実施例５〕
実施例４から転写を繰り返し１９回行った（この間、離型性は良好であった）後にモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度の面積（Ａ）は０．２２であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０８５であった。さらに前記モールドを用いてさらに転写試験を１回行ったところ、離型性は良好であった。【０１３５】
〔実施例６〕
実施例５から転写を繰り返し１９回行った（この間、離型性は良好であった）後にモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度の面積（Ａ）は０．１８であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０７４であった。さらに前記モールドを用いてさらに転写試験を１回行ったところ、離型性は良好であった。【０１３６】
〔実施例７〕
実施例６から転写を繰り返し１９回行った（この間、離型性は良好であった）後にモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度の面積（Ａ）は０．１３であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０５６であった。さらに前記モールドを用いてさらに転写試験を１回行ったところ、やや力を要したが離型できた。【０１３７】
〔比較例１〕
実施例７から転写を繰り返し９回行った。この間剥離に要する力が増え、実施例７から１０回目に転写した際、作製した微細凹凸構造を有するフィルムにクラックが発生した（離型性不良）。この時点のモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．１２であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０４５であった。【０１３８】
〔実施例８〕
比較例１で用いたモールドを前述の作製方法と同様に再び離型剤で処理した。そのモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．２６であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．１１であった。さらに前記モールドを用いて転写試験を１回行ったところ、離型性は良好であった。【０１３９】
〔実施例９〕
実施例８から転写を繰り返し１９回行った（この間、離型性は良好であった）後にモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．２２であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０９０であった。さらに前記モールドを用いてさらに転写試験を１回行ったところ、離型性は良好であった。【０１４０】
〔実施例１０〕
実施例９から転写を繰り返し１９回行った（この間、離型性は良好であった）後にモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．１８であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０７８であった。さらに前記モールドを用いてさらに転写試験を１回行ったところ、離型性は良好であった。【０１４１】
〔実施例１１〕
実施例１０から転写を繰り返し１９回行った（この間、離型性は良好であった）後にモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．１４であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０６２であった。さらに前記モールドを用いてさらに転写試験を１回行ったところ、やや力を要したが離型できた。【０１４２】
〔実施例１２〕
実施例１１から転写を繰り返し９回行った（この間、離型性は良好であった）後にモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した。その結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．１３であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０５５であった。さらに前記モールドを用いてさらに転写試験を１回行ったところ、やや力を要したが離型できた。【０１４３】
〔比較例２〕
実施例１２から転写を繰り返し８回行った。この間、剥離に要する力が増え、実施例１１から９回目に転写した際、作製した微細凹凸構造を有するフィルムにクラックが発生した（離型性不良）。この時点のモールド表面の赤外分光スペクトルを測定した結果、ピークＡの吸光度面積（Ａ）は０．１１であり、ピークの吸光度の面積比（（Ａ）／（Ｂ））は０．０４１であった。
【産業上の利用可能性】
【０１４４】
本発明の、微細凹凸構造を表面に有する物品の製造方法および製造装置は、反射防止物品、防曇性物品、防汚性物品、および撥水性物品の効率的な量産にとって有用である。
【符号の説明】
【０１４５】
１２  細孔（微細凹凸構造）
１８  モールド
２０  ロール状モールド
４０  物品
４２  フィルム（物品本体）
４６  凸部（微細凹凸構造）
５０  反射型赤外分光装置
６０  判定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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