【手続補正書】
【提出日】令和1年12月12日(2019.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の部材であるバイパス部と、前記バイパス部の２つの主面にそれぞれ積層された一対の板状の部材である一対の外部接続部と、を備えるバイパスユニットであって、
前記バイパス部は、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第１導入孔、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第１導出孔、及び前記第１導入孔と前記第１導出孔とを連通する少なくとも１本の溝が形成された薄板状の部材である第１部材を１つ備えるか、或いは、隣接する前記第１部材の前記第１導入孔同士が気密に連通し且つ隣接する前記第１部材の前記第１導出孔同士が気密に連通するように２つ以上の前記第１部材が積層されてなり、
前記一対の外部接続部の何れか一方には所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第２導入孔が形成されており、前記一対の外部接続部の何れか一方には所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第２導出孔が形成されており、
前記第１部材に形成された前記第１導入孔と前記外部接続部に形成された前記第２導入孔とが気密に連通し且つ前記第１部材に形成された前記第１導出孔と前記外部接続部に形成された前記第２導出孔とが気密に連通するように構成されており、
前記第１部材は、１つの薄板状の部材である第２部材と１つの薄板状の部材である第３部材とが積層されてなる積層体として構成されており、
前記第２部材には、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第３導入孔、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第３導出孔、及び所定の幅及び所定の長さを有する少なくとも１本の貫通孔であるスリットが形成されており、
前記第３部材には、所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第４導入孔及び所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第４導出孔が形成されており、
前記第２部材の前記第３導入孔と前記第３部材の前記第４導入孔とが気密に連通して前記第１部材における前記第１導入孔を形成しており、前記第２部材の前記第３導出孔と前記第３部材の前記第４導出孔とが気密に連通して前記第１部材における前記第１導出孔を形成しており、
前記スリットの両端のうち前記第３導入孔により近い方の端部である導入端部と前記第３導入孔とは前記第４導入孔を介して気密に連通するように構成されており、前記スリットの両端のうち前記第３導出孔により近い方の端部である導出端部と前記第３導出孔とは前記第４導出孔を介して気密に連通するように構成されており、
前記第２部材に形成された前記スリットの前記導入端部及び前記導出端部以外の開口面は前記第３部材の前記第４導入孔及び前記第４導出孔が形成されていない部分によって気密に塞がれて前記第１部材における前記溝を形成している、
バイパスユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のバイパスユニットであって、
前記バイパス部の前記主面に平行な平面への平行投影図において、
前記第４導入孔は、前記第３導入孔の少なくとも一部及び前記導入端部と重なるように形成されており、
前記第４導出孔は、前記第３導出孔の少なくとも一部及び前記導出端部と重なるように形成されている、
バイパスユニット。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のバイパスユニットであって、
前記バイパス部の前記主面に平行な平面への平行投影図において、前記溝は直線状に形成されている、
バイパスユニット。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載のバイパスユニットであって、
前記バイパス部の前記主面に平行な平面への平行投影図において、前記溝は渦巻状に形成されている、
バイパスユニット。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のバイパスユニットであって、
外部から流体を導入する導入配管と前記第２導入孔とが気密に連通するように前記導入配管を前記バイパスユニットに固定するための構造である導入配管接続用構造と、
外部へと流体を導出する導出配管と前記第２導出孔とが気密に連通するように前記導出配管を前記バイパスユニットに固定するための構造である導出配管接続用構造と、
を更に備える、
バイパスユニット。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載のバイパスユニットを備える流量計用ベースであって、
前記一対の外部接続部の何れか一方には、所定の大きさ及び所定の形状を有し且つ前記第１導入孔と気密に連通する少なくとも１つの貫通孔である導入側分岐孔が更に形成されており、
前記一対の外部接続部の何れか一方には、所定の大きさ及び所定の形状を有し且つ前記第１導出孔と気密に連通する少なくとも１つの貫通孔である導出側分岐孔が更に形成されている、
流量計用ベース。
【請求項７】
請求項６に記載の流量計用ベースであって、
内部空間を有する別個の部材である第４部材を前記導入側分岐孔及び／又は前記導出側分岐孔と前記内部空間とが気密に連通するように当該流量計用ベースに固定するための構造である分岐接続用構造を更に備える、
流量計用ベース。
【請求項８】
請求項６又は請求項７に記載の流量計用ベースを備える流量制御装置用ベースであって、
前記一対の外部接続部の何れか一方には所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第５導入孔が更に形成されており、前記一対の外部接続部の何れか一方には所定の大きさ及び所定の形状を有する少なくとも１つの貫通孔である第５導出孔が更に形成されており、
少なくとも１つの前記第１部材には、前記第５導入孔と前記第５導出孔とを気密に連通し且つ前記溝とは連通していない流路である独立流路が更に形成されている、
流量制御装置用ベース。
【請求項９】
請求項８に記載の流量制御装置用ベースであって、
前記第２導出孔と前記第５導入孔とが流量制御弁を介して気密に連通するように前記流量制御弁を当該流量制御装置用ベースに固定するための構造である弁接続用構造を更に備える、
流量制御装置用ベース。
【請求項１０】
請求項６又は請求項７に記載の流量計用ベース、センサチューブ、及び前記センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を前記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計であって、
前記導入側分岐孔と前記導出側分岐孔とが前記センサチューブの内部を介して気密に連通するように前記センサチューブが前記流量計用ベースに固定されている、
熱式流量計。
【請求項１１】
請求項７に記載の流量計用ベース、前記第４部材としてのセンサチューブ、及び前記センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を前記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計であって、
前記導入側分岐孔と前記導出側分岐孔とが前記センサチューブの内部を介して気密に連通するように前記分岐接続用構造によって前記センサチューブが前記流量計用ベースに固定されている、
熱式流量計。
【請求項１２】
請求項６又は請求項７に記載の流量計用ベース、上流側圧力センサ、及び下流側圧力センサを備え、前記第１導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第１導出孔から流出する流体の流量に対応する検出値を前記上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計であって、
前記導入側分岐孔と気密に連通する空間に前記上流側圧力センサの検出部が露出するように前記上流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されており、
前記導出側分岐孔と気密に連通する空間に前記下流側圧力センサの検出部が露出するように前記下流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されている、
差圧式流量計。
【請求項１３】
請求項７に記載の流量計用ベース、前記第４部材としての上流側圧力センサ、及び前記第４部材としての下流側圧力センサを備え、前記第１導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第１導出孔から流出する流体の流量に対応する検出値を前記上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計であって、
前記導入側分岐孔と気密に連通する空間に前記上流側圧力センサの検出部が露出するように前記分岐接続用構造によって前記上流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されており、
前記導出側分岐孔と気密に連通する空間に前記下流側圧力センサの検出部が露出するように前記分岐接続用構造によって前記下流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されている、
差圧式流量計。
【請求項１４】
請求項８又は請求項９に記載の流量制御装置用ベース、センサチューブ、及び前記センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を前記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備え、
前記制御部は、前記熱式流量計によって取得される前記検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記流体の前記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、
熱式流量制御装置であって、
前記導入側分岐孔と前記導出側分岐孔とが前記センサチューブの内部を介して気密に連通するように前記センサチューブが前記流量制御装置用ベースに固定されており、
前記第２導出孔と前記第５導入孔とが前記流量制御弁を介して気密に連通するように前記流量制御弁が前記流量制御装置用ベースに固定されている、
熱式流量制御装置。
【請求項１５】
請求項９に記載の流量制御装置用ベース、前記第４部材としてのセンサチューブ、及び前記センサチューブに巻き付けられた一対のセンサワイヤを備え、前記導入側分岐孔を通して前記センサチューブの内部に流入して前記導出側分岐孔を通して前記センサチューブの内部から流出する流体の流量に対応する検出値を前記一対のセンサワイヤの電気抵抗値の違いに基づいて取得する熱式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備え、
前記制御部は、前記熱式流量計によって取得される前記検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記流体の前記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、
熱式流量制御装置であって、
前記導入側分岐孔と前記導出側分岐孔とが前記センサチューブの内部を介して気密に連通するように前記分岐接続用構造によって前記センサチューブが前記流量制御装置用ベースに固定されており、
前記第２導出孔と前記第５導入孔とが前記流量制御弁を介して気密に連通するように前記弁接続用構造によって前記流量制御弁が前記流量制御装置用ベースに固定されている、
熱式流量制御装置。
【請求項１６】
請求項８又は請求項９に記載の流量制御装置用ベース、上流側圧力センサ、及び下流側圧力センサを備え、前記第１導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第１導出孔から流出する流体の流量に対応する検出値を前記上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備え、
前記制御部は、前記差圧式流量計によって取得される前記検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記流体の前記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、
差圧式流量制御装置であって、
前記導入側分岐孔と気密に連通する空間に前記上流側圧力センサの検出部が露出するように前記上流側圧力センサが前記流量制御装置用ベースに固定されており、
前記導出側分岐孔と気密に連通する空間に前記下流側圧力センサの検出部が露出するように前記下流側圧力センサが前記流量制御装置用ベースに固定されており、
前記第２導出孔と前記第５導入孔とが前記流量制御弁を介して気密に連通するように前記流量制御弁が前記流量制御装置用ベースに固定されている、
差圧式流量制御装置。
【請求項１７】
請求項９に記載の流量制御装置用ベース、前記第４部材としての上流側圧力センサ、及び前記第４部材としての下流側圧力センサを備え、前記第１導入孔から流入し前記バイパス部の前記溝を通って前記第１導出孔から流出する流体の流量に対応する検出値を前記上流側圧力センサ及び下流側圧力センサによって検出される圧力の違いに基づいて取得する差圧式流量計と、流量制御弁と、前記流量制御弁の開度を調節するアクチュエータと、制御部と、を備え、
前記制御部は、前記差圧式流量計によって取得される前記検出値に基づいて前記アクチュエータを制御して前記流量制御弁の前記開度を調節することにより、前記流体の前記流量を所定の目標値に近付けるように構成されている、
差圧式流量制御装置であって、
前記導入側分岐孔と気密に連通する空間に前記上流側圧力センサの検出部が露出するように前記分岐接続用構造によって前記上流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されており、
前記導出側分岐孔と気密に連通する空間に前記下流側圧力センサの検出部が露出するように前記分岐接続用構造によって前記下流側圧力センサが前記流量計用ベースに固定されており、
前記第２導出孔と前記第５導入孔とが前記流量制御弁を介して気密に連通するように前記弁接続用構造によって前記流量制御弁が前記流量制御装置用ベースに固定されている、
差圧式流量制御装置。