【手続補正書】
【提出日】令和1年11月20日(2019.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
梱包テープに収納されたチップ部品を取り出して基板に搭載するチップマウンターであって、
前記梱包テープは、
複数の前記チップ部品のそれぞれを収納する複数のポケットを備えたキャリアテープと、
前記複数のポケットのそれぞれの開口を塞ぐカバーテープと、
を備え、
前記複数のポケットのそれぞれの底面には貫通孔が設けられ、
前記チップマウンターは、
吸着ポイントに向けて送り出される前記梱包テープが走行するテープ走行レールと、
前記吸着ポイントにおいて、前記カバーテープが剥がされた状態の前記キャリアテープの前記ポケットから前記チップ部品を吸着することによって取り出す吸着搭載アームと、
キャビティークリーニング機構と、
を備え、
前記キャビティークリーニング機構は、
前記吸着ポイントよりも上流において、前記テープ走行レールの、前記カバーテープが剥がされていない状態の前記キャリアテープが走行する部分に前記貫通孔と重なるように配置された吸引孔を備え、
前記キャビティークリーニング機構は、前記吸引孔および前記貫通孔を通して前記ポケットの内部を吸引する、
チップマウンター。
【請求項２】
前記テープ走行レールとの間で前記梱包テープを挟み込むように配置されたトップテープガイドをさらに備え、
前記トップテープガイドは、前記テープ走行レールの前記貫通孔の上部に配置され、
前記梱包テープの左右において、前記テープ走行レールと前記トップテープガイドとが嵌合している、
請求項１に記載のチップマウンター。
【請求項３】
前記梱包テープは前記吸着ポイントに向けて前記ポケット単位で移動と停止を繰り返しながら送り出され、
前記キャビティークリーニング機構は、前記梱包テープの移動が停止して前記吸着搭載アームによって前記チップ部品が前記ポケットから取り出された後、前記梱包テープの移動が開始するまでの間に前記ポケットの内部の吸引を行う、
請求項１又は請求項２に記載のチップマウンター。
【請求項４】
梱包テープに収納されたチップ部品を取り出して基板に搭載するチップマウンターであって、
吸着ポイントに向けて送り出される前記梱包テープが走行するテープ走行レールと、
前記吸着ポイントにおいて、前記梱包テープから前記チップ部品を吸着することによって取り出す吸着搭載アームと、
前記吸着搭載アームによって前記梱包テープから取り出されて吸着されている前記チップ部品に対して、気体を吹き付ける異物除去ヘッドと、
を備える、
チップマウンター。
【請求項５】
前記異物除去ヘッドは前記吸着搭載アームに取り付けられ、
前記吸着搭載アームによる吸着と、前記異物除去ヘッドによる気体の吹き付けとが、前記吸着搭載アームに取り付けられた共通の吸排気機構によって行われる、
請求項４に記載のチップマウンター。
【請求項６】
前記吸着搭載アームはその先端に吸着ヘッドを備え、
前記吸着ヘッドによって吸着されている前記チップ部品の前記吸着ヘッドからの位置ずれを検出し、前記基板に前記チップ部品が搭載される際に前記位置ずれを補正する検査部をさらに備え、
前記異物除去ヘッドによる前記チップ部品に対する気体の吹き付けは、前記検査部により位置ずれの検出が行われる前に実行される、
請求項４又は請求項５に記載のチップマウンター。
【請求項７】
梱包テープに収納されたチップ部品を取り出して基板に搭載するチップマウンターであって、
吸着ポイントに向けて送り出される前記梱包テープが走行するテープ走行レールと、
前記吸着ポイントにおいて、前記梱包テープから前記チップ部品を吸着することによって取り出す吸着搭載アームと、
前記吸着搭載アームの本体をレールに沿って移動させる駆動部と、
前記駆動部の駆動機構と前記レールとの摩擦により発生する塵を集塵する駆動部集塵機構と、
を備える、
チップマウンター。
【請求項８】
前記吸着搭載アームによる吸着と前記駆動部集塵機構による吸引とが共通の吸排気機構によって行われる、
請求項７に記載のチップマウンター。
【請求項９】
梱包テープに収納されたチップ部品を取り出して基板に搭載するチップマウンターであって、
吸着ポイントに向けて送り出される前記梱包テープが走行するテープ走行レールと、
前記吸着ポイントにおいて、前記梱包テープから前記チップ部品を吸着することによって取り出す吸着搭載アームと、
前記吸着搭載アームによって前記梱包テープから取り出された前記チップ部品に対して、気体を吹き付ける異物除去ヘッドと、
を備え、
前記吸着ポイントは壁およびエアーカーテンによって囲まれ、
前記異物除去ヘッドによって前記チップ部品に吹き付けられる気体は、前記エアーカーテン内の気体である、
チップマウンター。
【請求項１０】
前記吸着ポイントの上部に配置され、前記エアーカーテンで囲まれた前記吸着ポイントに外気を導入する導入部と、
前記吸着ポイントの下部に配置され、前記エアーカーテンで囲まれた領域の気体を排出する排出部と、
をさらに備える、
請求項９に記載のチップマウンター。
【請求項１１】
前記導入部にフィルターが配置され、
外気は前記導入部の前記フィルターを通過して前記吸着ポイントに導入される、
請求項１０に記載のチップマウンター。
【請求項１２】
前記吸着ポイントと、前記チップ部品が前記基板に搭載される搭載ポイントとの間にエアーカーテンが配置され、
前記チップ部品を吸着した前記吸着搭載アームは、前記エアーカーテンを通過する、
請求項９から請求項１１のいずれか一項に記載のチップマウンター。
【請求項１３】
梱包テープに収納されたチップ部品を取り出して基板に搭載するチップマウンターであって、
吸着ポイントに向けて送り出される前記梱包テープが走行するテープ走行レールと、
前記吸着ポイントにおいて、前記梱包テープから前記チップ部品を吸着することによって取り出す吸着搭載アームと、
を備え、
前記チップ部品が前記基板に搭載される搭載ポイントはエアーカーテンによって囲まれる、
チップマウンター。
【請求項１４】
梱包テープに収納されたチップ部品を取り出して基板に搭載するチップマウンターであって、
吸着ポイントに向けて送り出される前記梱包テープが走行するテープ走行レールと、
前記吸着ポイントにおいて、前記梱包テープから前記チップ部品を吸着することによって取り出す吸着搭載アームと、
を備え、
前記チップ部品が前記吸着搭載アームに吸着される吸着ポイントおよび前記チップ部品が前記基板に搭載される搭載ポイントを含む空間の周囲が壁で囲まれる、
チップマウンター。
【請求項１５】
梱包テープに収納されたチップ部品を取り出して基板に搭載するチップマウンターであって、
吸着ポイントに向けて送り出される前記梱包テープが走行するテープ走行レールと、
前記吸着ポイントにおいて、前記梱包テープから前記チップ部品を吸着することによって取り出す吸着搭載アームと、
前記チップ部品が前記基板に搭載される搭載ポイントに前記基板を移動させるインローダーと、
前記インローダー上の前記基板に対して気体を吹き付ける吹き付け機構と、
前記インローダー上の前記基板に吹き付けられた気体を吸引する集塵機構と、
を備える、
チップマウンター。
【請求項１６】
請求項１から請求項１５のいずれか一項に記載のチップマウンターにより前記基板に前記チップ部品が搭載された、電子回路基板。
【請求項１７】
請求項１６に記載の電子回路基板と、
前記電子回路基板によって駆動されるスイッチング素子と、
を備える、
パワーモジュール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
図６は、図５の線分Ａ−Ａに沿った断面図である。本実施の形態１においてトップテープガイド１６は、テープ走行レール９の貫通孔１２の上部に配置される。梱包テープ２の左右において、テープ走行レール９とトップテープガイド１６とが嵌合している。図６に示すように、テープ走行レール９とトップテープガイド１６が嵌合していることにより、テープ走行レール９とトップテープガイド１６との接触面は、疑似的な密閉形状となる。これにより、テープ走行レール９とトップテープガイド１６との隙間からの空気の流入が抑制されるため、キャビティークリーニング機構１３は、矢印Ａ１で空気の流れが示されるように、梱包テープ２のポケット１１の内部を効率的に吸引できる。従って、梱包テープ２のポケット１１内の異物（キャリアテープ切断時のバリ、キャリアテープ梱包時の環境異物等）を効率よく排除できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
電子回路基板は、例えば、スイッチング素子を駆動するための電子回路基板である。スイッチング素子は、例えば電力変換用のスイッチング素子であり、ＳｉＣ又はＧａＮを含むパワー半導体である。スイッチング素子は、例えばＩＧＢＴ（insulated gate bipolar transistor）、ＭＯＳＦＥＴ（metal-oxide-semiconductor field-effect transistor）などである。このように、本実施の形態１から８のチップマウンターによって製造された電子回路基板と、スイッチング素子とを組み合わせて、電気的特性の劣化等が抑制されて信頼性の高いパワーモジュールを構成することが可能である。