(57)【要約】  本発明は、半導体製造工程自動化設備の設備側コントローラと半導体製造装置間における並列入出力通信内容を分配するための、並列入出力信号分配器であって、前記設備側コントローラと半導体製造装置間における並列入出力通信内容を含む並列入出力信号が前記設備側コントローラ側の並列入出力信号センサー端から入力される入力部と、該入力された並列入出力信号を上記設備側コントローラに出力する第１出力部と、該入力された並列入出力信号を出力する第２出力部と、を有する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工程自動化設備の設備側コントローラと半導体製造装置間における並列入出力通信内容を分配するための、並列入出力信号分配器であって、
前記設備側コントローラと半導体製造装置間における並列入出力通信内容を含む並列入出力信号が前記設備側コントローラ側の並列入出力信号センサー端から入力される入力部と、
該入力された並列入出力信号を上記設備側コントローラに出力する第１出力部と、
該入力された並列入出力信号を出力する第２出力部と、
を有する。
【請求項２】
請求項１に記載の並列入出力信号分配器において、
上記並列入出力信号は、上記入力部に入力される時や上記第１及び第２出力部から出力される時に、その電圧値や電流値に変化が生じることなくそのまま入出力される。
【請求項３】
請求項１に記載の並列入出力信号分配器において、上記並列入出力信号は、ＳＥＣＳ通信プロトコルによるロギングデータを含む。
【請求項４】
半導体製造工程自動化設備の設備側コントローラと半導体製造装置間における並列入出力通信内容を、並列入出力信号分配器により分配するための並列入出力信号の分配方法において、
該並列入出力信号分配器の入力部にて設備側コントローラ側の並列入出力信号センサー端からの並列入出力信号が入力されるステップと、
前記入力された並列入出力信号を、前記並列入出力信号分配器の第１出力部から前記設備側コントローラに出力するステップと、
前記入力された並列入出力信号を、前記並列入出力信号分配器の第２出力部から出力するステップと、
を有する。
【請求項５】
請求項４に記載の並列入出力信号の分配方法において、
前記並列入出力信号は、前記入力部に入力される時や上記第１及び第２出力部から出力される時に、その電圧値や電流値に変化が生じることなくそのまま入出力される。
【請求項６】
請求項４に記載の並列入出力信号の分配方法において、
前記並列入出力信号は、ＳＥＣＳ通信プロトコルによるロギングデータを含む。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は並列入出力信号分配器および並列入出力信号の分配方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程における自動化システムでは、ＳＥＣＳ（ＳＥＭＩ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｔａｎｄａｒｄ）プロトコルを用いて通信を行う並列入出力信号を、ロギングデータ（ｌｏｇｇｉｎｇ  ｄａｔａ）として格納しておき、自動化された製造工程を該データに基づいてモニターするシステムが提案されている。【０００３】
従来、設備側コントローラと半導体製造装置間で並列入出力通信を行うに際し、その並列入出力通信上において問題が生じた場合、設備側コントローラ（たとえば当該半導体製造装置が設置されている工場側で、作業員等のオペレータが操作するコントローラ）及び半導体製造装置の両システムにロギングされている並列入出力通信ログを分析することにより、両システムの立場から並列入出力通信上において生じた問題に関する原因究明を行ってきた。【０００４】
この場合、従来のシステムでは、ロギングデータを客観的に分析することが困難であった。そのため従来は、両システム各自の立場から内容を分析したうえ、互いに自システム上では特に問題がなく、自システムから相手システムへのデータ伝送は正常に行われており、したがって、相手システムから自システムへのデータ伝送に問題がある、との主張をしていた。しかしながらこのことは、両システムの立場から分析した内容の客観的な主張というよりは、主観的な見解の主張に近い。【０００５】
従来の技術では、図１に示すように、半導体製造装置１１と設備側コントローラ１２間における並列入出力通信に際し、半導体製造装置１１側の並列入出力センサー端１５と、設備側コントローラ１２側の並列入出力センサー端１６間で通信を行い、その通信に用いられた信号データは、並列入出力通信ログデータ１３、１４として、半導体製造装置１１側と設備側コントローラ１２側にそれぞれ格納されていた。【０００６】
このような従来の技術では、並列入出力通信中に問題が生じた場合、設備側コントローラ１２側の並列入出力通信ログ（システムログ、マシンログ等）を取得して分析作業を行ない、ログデータ上に特に問題点が発見されなければ設備側コントローラ１２側に取り付けられている並列入出力センサー端１６に対し直接データ出力可否を確認するようにしていた。そしてここでも問題がなければ設備側コントローラ１２側では並列入出力通信上、特に問題がないと結論付けた後、半導体製造装置１１側のログに対しても同様な分析を行ってみるという手順で問題を発見していた。なお、半導体製造装置１１側でも特に原因究明ができない場合には、原因不明という扱いとされていた。【０００７】
また、このような従来の技術では、並列入出力通信中に問題が生じた場合における原因究明に際し、各自のシステムには問題がないという解釈をしてしまうケースが多発していた。この場合、並列入出力通信中のエラーの原因がどちらのシステムにあるのかに関する責任所在を明確にしにくく、且つ並列入出力信号データの履歴を直接見て確認する必要があるという作業上の不便があった。また、問題が生じてから多くの時間が経過してしまうと、データ自体が遺失され、ログ分析作業を行うこと自体ができなくなるという問題が生じることもあった。そのため、作業者が常に待機して半導体製造装置に対し問題の発生有無を確認する必要があり、作業者に対し肉体的な負担感と精神的なストレスをもたらし得るという問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑みてなされたものであって、並列入出力通信の際に問題が生じた場合、第三者の立場からみた客観的なデータを提示することでどちらのシステムのエラーによって問題が生じたのか責任所在を明確にし、設備側コントローラ側または半導体製造装置側において多くの時間が経過してしまうことでログデータがオーバーライトされログ分析を行うことができないことを防止し、それによって、問題の発生に備えて現場で長い時間滞在する必要がある作業者の肉体的な疲労と精神的なストレスを軽減することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するための本発明の第１の態様は、半導体製造工程自動化設備の設備側コントローラと半導体製造装置間における並列入出力通信内容を分配するための、並列入出力信号分配器であって、
前記設備側コントローラと半導体製造装置間における並列入出力通信内容を含む並列入出力信号が前記設備側コントローラ側の並列入出力信号センサー端から入力される入力部と、
該入力された並列入出力信号を前記設備側コントローラに出力する第１出力部と、
該入力された並列入出力信号を出力する第２出力部と、
を有する。【００１０】
前記目的を達成するための本発明の第２の態様として、上述した装置を利用して半導体製造工程自動化設備の設備側コントローラと半導体製造装置間における並列入出力通信内容を、分配するための並列入出力信号の分配方法において、
該並列入出力信号分配器の入力部にて設備側コントローラ側の並列入出力信号センサー端からの並列入出力信号が入力されるステップと、
前記入力された並列入出力信号を、前記並列入出力信号分配器の第１出力部から前記設備側コントローラに出力するステップと、
前記入力された並列入出力信号を、前記並列入出力信号分配器の第２出力部から出力するステップと、
を有する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、設備側コントローラ側と半導体製造装置側間における並列入出力通信データを、設備側コントローラに出力する第１出力部だけではなく、その他に第２出力部とを有しているので、たとえば、第２出力部からの信号を、設備側コントローラ側とは独立した並列入出力分析システムに伝達することができる。したがって、並列入出力通信の際に問題が生じた場合に、当該並列入出力信号分析システムにおいて客観的なデータを提示することができ、責任所在を明確にすることができる。しかも問題が生じてから多くの時間が経過した後でも並列入出力分析システムに格納されている信号データを分析することができる。したがって作業者が並列入出力通信内容をリアルタイムで確認する必要がないため、作業者の肉体的且つ精神的苦痛を軽減することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】従来技術による並列入出力通信システムを示した図である。
【図２】本発明の実施形態による並列入出力通信システムを示した図である。
【図３】本発明の実施形態による並列入出力信号分配器の正面図である。
【図４】本発明の実施形態による並列入出力信号分配器の背面図である。
【図５】本発明の実施形態による並列入出力信号分配器の構成を示す回路図である。
【符号の説明】
【００１３】
２１    半導体製造装置
２２    設備側コントローラ
２６    出力信号センサー端
２７    並列入出力信号分配器
２８    並列入出力信号分析システム
３１    入力部
３２    第１出力部
３３    第２出力部
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図２〜図５を参照して本発明の実施形態について説明する。図２は、本発明の好適な実施形態による並列入出力通信システムを示した図である。半導体製造装置２１と設備側コントローラ２２間における並列入出力通信は、ＳＥＣＳプロトコルによる並列入出力通信を意味し、ＳＥＣＳプロトコルは、関連技術の標準化のためにＳＥＭＩの装備自動化分野で半導体製造装置と外部ホスト間のインターフェースのために定義したデータ通信標準規約である。ＳＥＣＳプロトコルは、ＲＳ−２３２Ｃ方式を用いたシリアル通信を定義したＳＥＣＳ−Ｉと、ＴＣＰ／ＩＰ通信を規定したＨＳＭＳ方式、及びメッセージ内容を定義したＳＥＣＳ−ＩＩから構成されている。【００１５】
本実施の形態では、図２に示したように、設備側コントローラ２２側の並列入出力信号センサー端２６側に、並列入出力信号分配器２７が配置され、設備側コントローラ２２側の並列入出力信号センサー端２６から入力される、設備側コントローラ２２と半導体製造装置２１間で行なう並列入出力通信に係る全ての信号は、設備側コントローラ２２と、この設備側コントローラ２２とは別個に設けられた並列入出力信号分析システム２８に出力される。そして通信に用いられた並列入出力信号は、半導体製造装置２１においては、並列入出力通信ログデータ２３として格納され、設備側コントローラ２２においては、並列入出力通信ログデータ２４として格納され、並列入出力信号分析システム２８においては、並列入出力通信ログデータ２９として格納される。【００１６】
図３及び図４には、本発明の好適な実施形態による並列入出力信号分配器２７の正面及び背面が示されている。並列入出力信号分配器２７の入力部３１は、設備側コントローラ２２側の並列入出力信号センサー端２６から並列入出力信号が入力される。入力部３１とは反対側（背面）に設けられた並列入出力信号分配器２７の第１出力部３２は、入力部３１にて入力された並列入出力信号を設備側コントローラ２２に出力する。第１出力部３２と同じ側には、並列入出力信号分配器２７の第２出力部３３が設けられ、入力部３１にて入力された並列入出力信号を並列入出力信号分析システム２８に出力する。【００１７】
図５には、本発明の実施形態による並列入出力信号分配器２７の構成を示す回路図が示されている。図５には入力部３１に対応する２５ピンの第１コネクタＰ１と、第１出力部３２に対応する２５ピンの第２コネクタＰ２と、第２出力部３３に対応する２５ピンの第３コネクタＰ３が示されている（なお、図５中、小さく描かれている数字１〜２５は、ピン番号を示している）。コネクタＰ１、Ｐ２、Ｐ３において信号の伝送に用いられる１番ピン〜８番ピン、１４番ピン〜２１番ピンは、同じピン番号を有するピンどうしが接続されている。すなわち、第１コネクタＰ１の１番ピンは、第２コネクタＰ２及び第３コネクタＰ３の１番ピンと接続され、第１コネクタＰ１の２番ピンは、第２コネクタＰ２及び第３コネクタＰ３の２番ピンと接続されており、他の３番ピン〜８番ピン、１４番ピン〜２１番ピンどうしも同様に接続されている。このような構成によれば、並列入出力信号が第１コネクタＰ１に入力されて、第２コネクタＰ２及び第３コネクタＰ３から出力される場合に、信号の変形が生じないため、伝達する信号の電圧値や電流値に変化を生じさせることなくそのまま入出力することができる。【００１８】
このように、本実施の形態では、設備側コントローラ２２側の並列入出力信号センサー端２６から入力部３１を介して入力された並列入出力信号は、第１出力部３２及び第２出力部３３から、各々設備側コントローラ２２と並列入出力信号分析システム２８に出力される。したがって、設備側コントローラ２２だけに並列入出力信号が格納されるのではなく、並列入出力信号分析システム２８にも当該並列入出力信号が並列入出力通信ログデータ２９として格納されるため、並列入出力通信中に異常が生じた場合、並列入出力信号分析システム２８に格納された並列入出力通信ログデータ２９を様々な方式にて分析することで問題を解決することができるようになる。【００１９】
なお、並列入出力信号が入力部３１に入力される時や、並列入出力信号が第１出力部３２及び第２出力部３３から設備側コントローラ２２と並列入出力信号分析システム２８に出力する時に、該並列入出力信号の電圧値や電流値に変化が生じないことが好ましい。かかる構成によれば、設備側コントローラ２２の並列入出力信号センサー端２６から入力された並列入出力信号が、変形することなく並列入出力信号分析システム２８に伝達されるため、並列入出力信号の正確な分析が可能になる。【００２０】
本発明における並列入出力信号は、設備側コントローラ２２及び並列入出力信号分析システム２８にロギングデータとして格納されることが好ましい。【００２１】
本発明による並列入出力信号分配器２７の好適な実施形態では、最大１０ＭＨｚの周波数を用いてデータを収集することで、多量のデータを同時に収集することができる。【００２２】
本発明による並列入出力信号分配器２７の好適な実施形態では、その表側に表示窓（例えばＬＥＤ窓）を設け、当該表示窓から基板の状態及び通信状態をリアルタイムで確認可能としてもよい。【００２３】
本発明による並列入出力信号分配器２７の好適な実施形態では、ＲＳ−２３２Ｃを用いたシリアル通信に対応可能としてもよい。また、本発明による並列入出力信号分配器２７の好適な実施形態では、ＲＪ−４５イーサネットポートを用いたＴＣＰ／ＩＰ通信に対応可能としてもよい（「イーサネット」はゼロックス社の登録商標）。【００２４】
本発明による並列入出力信号分配器２７の好適な実施形態では、並列入出力信号分配器２７自体の状態を確認するための状態ロギングデータを、最大１０ＭＢの容量で格納するように構成することで、並列入出力信号分配器２７自体の状態についてロギングデータから確認することが可能である。【００２５】
次いで、本発明による並列入出力信号の分配方法について説明する。半導体製造装置２１と設備側コントローラ２２間における並列入出力通信による並列入出力信号が、設備側コントローラ２２側の並列入出力信号センサー端２６から並列入出力信号分配器２７の入力部３１に入力される。入力部３１に入力された並列入出力信号は、並列入出力信号分配器２７の第１出力部３２から設備側コントローラ２２に出力され、第２出力部３３からも並列入出力分析システム２８に出力される。【００２６】
このような構成によれば、設備側コントローラ２２側の並列入出力信号センサー端２６から入力部３１に入力された並列入出力信号を、第１出力部３２及び第２出力部３３から、各々対応する設備側コントローラ２２と並列入出力信号分析システム２８に出力することにより、設備側コントローラ２２だけに並列入出力信号が格納されるのではなくて、並列入出力信号分析システム２８にも当該並列入出力信号が並列入出力通信ログデータ２９として格納されるため、並列入出力通信中に異常が生じた場合、並列入出力信号分析システム２８に格納された並列入出力通信ログデータ２９を様々な方式にて分析することで、従来の問題を解決することができるようになる。【００２７】
なお、並列入出力信号を第１出力部３２及び第２出力部３３から設備側コントローラ２２と並列入出力信号分析システム２８に出力する際に、該並列入出力信号の電圧値や電流値に変化が生じないことが好ましい。これによって、設備側コントローラ２２の並列入出力信号センサー端２６から入力された並列入出力信号が変形することなく並列入出力信号分析システム２８に伝達されるため、並列入出力信号の正確な分析が可能になる。【００２８】
本実施の形態による並列入出力信号分配器及び並列入出力信号の分配方法では、ＳＥＣＳプロトコルを用いて通信を行う並列入出力信号をロギングデータとして格納しておき、該データから自動化された製造工程をモニターするシステムにおいて、設備側コントローラと半導体製造装置間における並列入出力通信データを並列入出力分析システムに伝達している。したがって、並列入出力通信を行なう際に問題が生じた場合、客観的なデータを提示することができる。これによって、当該問題の責任所在を明確にすることができ、且つ問題が生じてから多くの時間が経過した後でも並列入出力分析システムに格納されている信号データを分析することができる。また、作業者が並列入出力通信内容をリアルタイムで確認する必要がないため、作業者の肉体的、精神的苦痛を軽減することができるという効果がある。【００２９】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記のような特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨から逸脱しない範囲内で種々の変形及び置換が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本発明は、半導体製造工程の自動化設備において有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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