【誤訳訂正書】
【提出日】令和2年9月18日(2020.9.18)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプ（１１１）、又はターボ分子ポンプであって、ポンプ体と、これに形成される固定装置を有し、この固定装置が、固定要素（２３７）をポンプ体と接続するための少なくとも一つの係合構造（２２５）を有し、係合構造（２２５）が、Ｔ字ストーンの収容のためのＴ字溝として形成されており、そして固定要素（２３７）がＴ字ストーンとして形成されており、このＴ字ストーンが、Ｔ字溝内をスライド可能であり、係合構造（２２５）が、ポンプ体の外周において少なくとも部分的に、ポンプ体の長手方向の延び（２２７）に対して直角に延びている真空ポンプ（１１１）において、ポンプ体の長手方向の延びに沿った、固定装置の位置、及び／又は配置が、ポンプ体の重量重心点（２２９）に応じて選択されていることを特徴とする真空ポンプ（１１１）。
【請求項２】
係合構造（２２５）が、ポンプ体の外周を部分的に、又は完全に周回していることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項３】
少なくとも一つの係合構造（２２５）が、軸方向においてポンプ体の重量重心点（２２９）の高さに配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項４】
少なくとも二つの係合構造（２２５）が、軸方向においてポンプ体の重量重心点（２２９）の両側に配置されており、又は、ポンプ体の重量重心点（２２９）を軸方向において取り囲み、及び、重量重心点（２２９）に対する一方の係合構造（２２５）の軸方向の間隔が、重量重心点（２２９）に対する別の係合構造（２２５）の軸方向の間隔と一致し、又はこれら係合構造（２２５）が、重量重心点（２２９）に対して異なる軸方向間隔を有することを特徴とする請求項１から３の一項に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項５】
係合構造（２２５）が、固定要素（２３７）のための挿入部分（２３１）を有することを特徴とする請求項１から４の一項に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項６】
挿入部分（２３１）が、固定要素（２３７）を係合構造（２２５）の長手方向の延びに対して横切る方向に挿入するために形成されていることを特徴とする請求項５に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項７】
固定要素（２３７）の形状結合的な係合のための突起部（２３５）の省略によって形成されていることを特徴とする請求項５または６に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項８】
少なくとも一つの係合構造（２２５）が、切削により製造されており、又は、係合構造（２２５）が、ポンプ体の旋削処理によってこれに設けられていることを特徴とする請求項１から７に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項９】
ポンプ体が、ハウジング（１１９，１２１）と、ハウジング（１１９，１２１）の中に、又はハウジング（１１９，１２１）に設けられる少なくとも一つのポンプコンポーネントによって形成されており、ハウジング（１１９，１２１）は、多部品式に形成されていて、少なくとも一つのポンプコンポーネントが、ローター（１４９）として、及びハウジング（１１９，１２１）がステーターを形成し、又はステーターと接続されており、ローター（１４９）が、回転軸（１５１）を中心として回転するよう支承されており、回転軸が、ポンプ体の長手方向の延びに沿って、及び、その重量重心点（２２９）を通って延びており、又は、ポンプ体の重心軸と一致することを特徴とする請求項１から８の一項に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項１０】
固定装置が、ハウジング（１１９，１２１）に形成されており、ハウジング（１１９，１２１）が、少なくとも一つのポンプコンポーネントを取り囲み、及びハウジング（１１９，１２１）が長手方向の延びを有し、及び角張った外周、基本的に丸い外周、又は円形の外周を有し、ハウジング（１１９，１２１）の長手方向の延びが、ハウジング直径より長く、又は平均のハウジング直径、最大のハウジング直径、若しくは最小のハウジング直径よりも長いことを特徴とする請求項９に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項１１】
ポンプ体が、係合構造（２２５）の領域に、又は少なくとも一つの係合構造（２２５）に隣接する領域に、補強部を有し、又は、ハウジング（１１９，１２１）が、係合構造（２２５）の領域において、又は、係合構造（２２５）に隣接する領域において、他のハウジング部分におけるよりも厚い壁部厚さを有することを特徴とする請求項１から１０の一項に記載の真空ポンプ（１１１）。
【請求項１２】
真空ポンプ（１１１）の取り扱い、又は組み付けのための装置であって、装置は、担持手段を有する持ち上げ装置、請求項１から１１の一項に記載の真空ポンプ（１１１）、係合構造（２２５）内において、又はこれにスライド可能に配置された少なくとも一つの固定要素（２３７）と、負荷受容手段（２３９）を有し、負荷受容手段は、固定要素（２３７）と接続されており、そしてアイスクリューとして形成されており、負荷受容手段（２３９）は、担持手段と接続されていることを特徴とする装置。
【請求項１３】
真空ポンプ（１１１）の取り扱い、又は組付けのための方法であって、真空ポンプは請求項１から１１のいずれか一項に記載のものであり、又は請求項１２に記載の装置を用いる方法において、真空ポンプ（１１１）は、持ち上げ装置によって持ち上げられ、真空ポンプ（１１１）は、長手方向軸、ローター軸、又は重心軸（２２７）を中心とする回転によって整向され、そして空間における真空ポンプ（１１１）の回転によって、少なくとも一つの固定要素（２３７）が、真空ポンプ（２２５）の係合構造（２２５）内に案内されてスライドされることを特徴とする方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】真空ポンプ並びに真空ポンプの取り扱い及び／又は組立のための方法及び装置
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプと、真空ポンプの取り扱い、及び／又は組み立てのための方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプは、各真空ポンプを水平に固定する必要がある設備内でしばしば使用される。これは、特に、吸引性能クラスが１０００ｌ／ｓより高いターボ分子ポンプに対してそうである。この場合、断面積、またはポンプ効果を発揮する部分を通って単位時間ごとに搬送されることが可能である体積流量が、吸引性能として見られる。そのようなポンプは、構造上の大きさに起因して、重量が大きい可能性がある。よって、そのようなポンプは通常、レバー補助によってのみ持ち上げられる。同様に、ポンプの整向と、意図される各装置におけるその固定も、適当なレバー補助を必要とする。
【０００３】
先行技術から、重量が大きなポンプを、ループを巻き付けることによって持ち上げることが公知である。その際、例えば手動式に操作を行うクレーンのような持ち上げ装置が使用されることが可能である。しかし、ループを巻き付けることによるポンプの持ち上げはリスクを伴う。ポンプはループから滑り出して落下し、これによって酷い損傷や、怪我を引き起こす可能性がある。
【０００４】
更に、ポンプのハウジング内に、少なくとも一つのねじ山（スレッド）を設けることが公知である。このねじ山内に、アイスクリューがねじ込まれることが可能である。その後、各もち上げ過程、および組み立て過程のため、持ち上げ装置のフックがアイスクリュー内にはめ込まれる。これによって比較的確実な持ち上げ過程が保証される。しかしポンプの組み立てのためには、持ち上げだけでなく、空間中におけるポンプの向きを整える必要がある。これは、ハウジングにおけるアイスクリューの固定された所定の位置において、著しい困難を伴ってのみ行われることが可能である。特に、この目的のため、著しい手動力の使用が必要であり、これによってポンプをその最終状態に損傷なく組み付けるのは、更に困難となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】欧州特許出願公開第１２９３６８２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような背景のもと、本発明の課題は、取り扱いの手間が少なく、持ち上げられ、整向され、及び／又は組付けられることが可能である真空ポンプを提供することにある。また、課題は、真空ポンプの取り扱い、及び／又は組み付けのための装置、及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
真空ポンプに関しては、この課題は、請求項１に記載の特徴によって解決される。発明に係る装置は、請求項１３の対象であり、そして発明に係る方法は請求項１４に記載される。有利な態様は、従属請求項に記載されており、そして以下に詳細に説明される。
【０００８】
発明に係る真空ポンプは、特にターボ分子ポンプであることが可能であるが、ポンプ体、およびこれに形成される固定装置を有する。固定装置は、固定要素をポンプ体と接続するための少なくとも一つの係合構造を有している。固定要素は、例えば、チャネルストーンであることが可能である（例えばＤＩＮ５０８参照）。チャネルストーンは、係合構造内に挿入され、そして、いわゆるアイスクリュー、又はリングねじ（例えばＤＩＮ５８０参照）をねじ込むことを可能とする。発明に従い、係合構造は、ポンプ体の外周において、少なくとも部分的に、その長手方向の延びに対してある角度で延びている。係合構造は、つまりポンプ体の長手方向の延びに沿っておらず、又は少なくとも正確には沿っておらず、これに対してある角度を有している。これによって、固定要素が係合構造内でスライドされると、ポンプ体は、持ち上げられた状態で、長手方向の延びの周りに向けられることが可能となる。
【０００９】
発明に従い、固定装置の位置、及び／又は配置は、ポンプ体の長手方向の延びに沿って、つまり軸方向に、ポンプ体の重量重心点に応じて選択されている。重量重心点に応じたポンプ体の長手方向の延びに沿う、固定装置の位置、及び／又は配置の選択によって、空間におけるポンプ体の各所望の傾斜が、各オペレーターの少ない労力によっても維持されることが可能であるということが保証されることが可能である。真空ポンプの取り扱いと、よってひいては組みつけも、これによって全体として簡単とされる。
【００１０】
発明に従い、固定要素を、特に形状結合的な接続で、係合構造内に、又は係合構造に設け、例えば、アイスクリューを介して、持ち上げ装置に対する接続を作り上げる可能性が存在する。その後、持ち上げられた状態で、長手方向軸を中心としたポンプ体の回転が行われることが可能であるが、その際、空間内においてポンプ体の長手方向軸の位置を維持することに多大な労力が必要とされることは無い。相応して簡単に、かつ係合構造内において、又は係合構造において使用される各固定要素が傾く危険性なく、長手方向軸、又は長手方向の延在を中心としたポンプ体の回転位置の正確な調整が可能とされる。全体的な取り扱い労力、および組付け労力は、よって少ない手動の労力でもって行われることが可能である。
【００１１】
有利には、固定要素のスライド可能な案内のために係合構造が形成されている。これは特に、ポンプ体の周囲方向に沿ったスライド可能な案内のためのものである。スライド可能な案内によって、持ち上げられた状態でのポンプ体の回転状態の整向は、簡単かつ、取り扱いエラーや負傷の危険性なく行われることが可能である。特に、スライド可能な案内によって長手方向軸を中心としたポンプ体の回転の間、そしてこれに伴う固定手段のスライドの間、係合構造内において、又は係合構造において固定手段が傾かないということが保証される。
【００１２】
有利な態様に従い、少なくとも一つの係合構造は、ポンプ体の周囲方向に沿って、特にポンプ体の長手方向の延びに対して直角に、または基本的に直角に延びている。このようにして、長手方向軸、又は長手方向の延びを中心としたポンプ体の整向が、特に手軽に行われることが可能である。
【００１３】
係合構造は、ポンプ体の外周を、部分的に周回することが可能であり、又は完全に周回することも可能である。部分的に設けられる係合構造は、その際、二つの限界角度位置の間での整向を可能とするので、部分的に設けられる係合構造の位置によって、最終組み立て位置のための方向基準が達成されることが可能である。完全に周回する係合構造においては、ポンプ体は、持ち上げられた状態で完全に自身の長手方向軸を中心として回転するので、その結果、すべての回転位置が最終組み立て位置に対して調節されることが可能である。
【００１４】
有利には、係合構造は、その際、外周に途切れなく延びている。相応して、係合構造はポンプ体の外周内にリング形状に設けられる、又はこれに設けられ、よって無端に形成されている。つまり係合構造の最初と最後は、後者の態様では互いにシームレスに移行している。
【００１５】
特に好ましくは、少なくとも一つの係合構造は、軸方向でポンプ体の重量重心点の高さに配置されている。相応して、少なくとも一つの係合構造は、ポンプ体の長手方向の延び、又は長手方向軸に関して、長手方向の延び、または長手方向軸に沿うポンプ体の重量重心点の位置に一致する位置に配置されている。このようにして、一つの係合構造のみで容易な組み付けが保証されることが可能である。よって、係合構造のこの配置によって、オペレーターによる追加的な支持労力無しで、真空ポンプの持ち上げられた状態において基本的に水平なポンプ体の向きが維持されることが可能である。
【００１６】
発明に係る真空ポンプの有利な態様に従い、固定装置は、複数の係合構造を有する。複数の係合構造によって、各持ち上げ手段の固定確実性が高められ、そしてポンプの持ち上げられた状態における位置安定性も高められる。
【００１７】
その際、有利には、少なくとも二つの係合構造が、軸方向でポンプ体の重量重心点の両側に配置されている。特に、二つの係合構造は、重量重心点を軸方向で取り囲んでいる。よって、ポンプ体の長手方向軸に沿って見て、一方の係合構造が重量重心点の前に、そして他方の係合構造が重量重心点の後ろに配置されている。真空ポンプを持ち上げる間、及び／又は組み付ける間の空間中における長手方向軸の望まれない傾斜は、このようにして確実に防止されることが可能である。
【００１８】
特に有利には、重量重心点に対する一方の係合構造の軸方向の間隔が、重量重心点に対する他方の係合構造の軸方向の間隔と一致するよう選択されている。これは、使用される各負荷受容手段、又はストッパー手段、及び／又は持ち上げ装置の各担持手段の一様な負荷を保証する。同様に、複数の係合構造が、重量重心点に対して異なる軸方向の間隔を有するということも可能であり、これによって個々の係合構造の位置の選択の際により高い態様自由度が存在する。
【００１９】
さらに好ましくは、係合構造は、溝状のくぼみとして、及び／又は少なくとも一つのチャネルストーンを収容するために形成されている。その際、好ましくはチャネルストーンは、溝状のくぼみ内においてスライド可能であり得る。チャネルストーンの使用と、対応する溝状のくぼみとしての係合構造の形成は、ポンプ体の持ち上げの時間を節約し、そして容易にすることを可能とする。チャネルストーンが少ないステップでそのような係合構造と接続されることが可能だからである。溝状のくぼみは、好ましくはＴ字溝である。相応して、溝はＴ字形状の断面を有する。これによって、特に簡単に固定要素（特にチャネルストーンとして形成されている固定要素）との形状結合的な連結が作られることが可能となる。
【００２０】
同様に、少なくとも一つの係合構造が、ウェブ状の突起部として、及び／又は補完的に形成された固定要素、特に内部に形成された溝状のくぼみを有するチャネルストーンの案内のために形成されていると有利であり得る。くぼみは、例えばＴ字形状のウェブを取り囲んでいる。そのようなウェブ状の突起部は、簡単に製造されることが可能であり、そして同様に、補完的に形成された固定要素の確実な固定と適切な案内を実現可能である。
【００２１】
更に、係合構造が、固定要素のための挿入部分を有し、及び／又は、その際、挿入部分が、固定要素を係合構造の長手方向の延びに対して横切る方向に挿入するために形成されていると有利であり得る。よって、各固定要素は、各取り扱い作業、および組立作業の実施のためにのみ、係合構造内へともたらされ、またはこれに接続されて配置されることが可能である。取り扱い作業、および組付け作業の後、固定要素は再び係合構造から引き離され、そして場合によっては再使用されることが可能である。
【００２２】
挿入部分は、断面形状の中断によって、特にＴ字形状の断面の中断によって、及び／又は、固定要素の形状結合的な係合のための突起部の省略によって形成されていることが可能である。例えば、溝状のくぼみの場合、挿入部分は、溝部分によって形成されていることが可能である。この溝部分は、単に長方形の断面を有し、突起部を有さない、又はＴ字形状を有さない。
【００２３】
挿入部分が存在するとき、係合構造は、有利には突起部、及び／又は係合構造の断面を狭める及び／又は縮小するための段差を有することが可能である。そのような突起部、及び／又は段差は、好ましくは挿入部分の前、又は後ろに、例えば周回する係合構造の断面における段差によって設けられていることが可能である。これによってチャネルストーンは、確かに負荷無く係合構造を通して案内されることが可能である。しかし負荷の下では、つまりこれに吊架されたポンプを有する場合は、特別に追加される対抗力や、わずかな傾きが必要である。相応して狭まることを克服するためである。そのような態様は、チャネルストーンが挿入部分の領域へスライドした際に、吊架する負荷の不注意による消失と、望まれない落下を防止する。
【００２４】
発明に係る係合構造のための製造コスト（製造労力）を低く保つために、これは切削、好ましくは旋削、及び／又はフライス加工によって製造されていることが可能である。係合構造をＴ字溝として形成する場合には、好ましくは、Ｔ字溝フライスが製造のために使用されることができる。これは安価に実現可能である。
【００２５】
その際、係合構造は、特にポンプ体の切削処理によってこれに設けられることが可能である。相応して、例えばポンプ体の一部が、その基本形状における一次成型工程、及び／又は成型工程によって作られることが可能であり、そして引き続いて、係合構造は、ポンプ体の外周における切削プロセスによって設けられる、又はこれに作られることが可能である。これは、少ない製造技術上のコスト（労力）のみで実現されることが可能である。
【００２６】
発明に係る真空ポンプの有利な態様に従い、ポンプ体は、ハウジング、およびハウジング内に、及び／又はハウジングに設けられる少なくとも一つのコンポーネントより形成されている。特に、複数のポンプコンポーネントが、ハウジング内に、及び／又はハウジングに設けられている。ハウジング、および少なくとも一つのポンプコンポーネントを含む全ポンプ体の重量重心点は、固定装置の位置及び／又は配置にとって決定的に重要であるので、持ち上げられた状態での全ポンプ体のバランスは、特に少ない手動力によって維持されることが可能である。特に、これによって、真空ポンプの個々のコンポーネントが持ち上げられた状態でアンバランスとなり、これによって、持ち上げられた状態での空間における長手方向軸の傾斜が、不都合に、又は望ましくない状態で調整されることが防止される。
【００２７】
有利には、真空ポンプのハウジングは、多部品式（マルチピース）に形成されることが可能である。これによってポンプの個々の部材の組付けが簡単となり、又は構造上の余裕が大きくなる。
【００２８】
少なくとも一つのポンプコンポーネントが、ローターとして形成されていることが可能であり、そしてハウジングは、ステーターを形成する、又はステーターと接続されていることが可能である。これによって、スペース節約的な構造が保証される。さらに好ましくは、真空ポンプのローターは、回転軸を中心として回転するよう支承されている。回転軸は、ポンプ体の長手方向の延びに沿って延びており、及び／又はその重量重心点を通って延びている。これは特に、ポンプ体の重心軸（独語：Ｓｃｈｗｅｒａｃｈｓｅ）と一致している。このような配置によって、特に簡単に、ローターの回転軸を中心としたポンプ体の整向が行われることが可能である。真空ポンプの各ポンプインレット、又はポンプアウトレットは、よって、その後必要な組付け作業を実施するため、簡単に各機器に整向されることが可能である。
【００２９】
発明に係る真空ポンプの有利な態様に従い、ハウジングは、長手方向の延び、及び／又は長方形の外周、及び／又は基本的に丸い外周、好ましくは円形の外周を有する。このようにして各ポンプコンポーネントは、少ない構造空間のみでコンパクトなハウジングの内部に持ち込まれることが可能である。丸い外周の場合、各ポンプローターは、ステーターとして形成されるハウジング内にスペース節約に持ち込まれることが可能である。
【００３０】
更に、ハウジングの長手方向の延びが、ハウジング直径よりも大である、特に平均のハウジング直径、及び／又は最大、又は最小のハウジング直径よりも大であると有利であり得る。この場合、ハウジングは全体として、長い形状を有する。これによって複数のポンプ段、又はローターがハウジング内に配置されることが可能であり、よって高いポンプ性能が図られ得る。
【００３１】
有利には、ポンプ体は、特にポンプのハウジングは、少なくとも一つの係合構造に隣接して補強部を有することが可能である。そのような補強部によって、固定安定性が高められることが可能である。特に、これによって、固定要素が、係合構造に隣接するポンプ体の領域の望まれない変形によって変形し、これによって係合構造から外れてしまうということが回避されることが可能である。ポンプの落下の危険性が、これによって減ぜられる。ポンプ体のそのような補強部は、係合構造の領域、及び／又は係合構造に隣接する領域において、他のポンプ体部分、特にハウジング部分におけるより、厚い壁厚が意図されていることによって達成される。
【００３２】
本発明の別の観点に従い、真空ポンプの取り扱い、及び／又は組付けのための装置が意図されている。これは、担持手段を有する持ち上げツールと、上述した真空ポンプを有している。更に、少なくとも一つの、係合構造（例えば溝、又はウェブ）内に、又は係合構造にスライド可能に配置された固定要素、好ましくはチャネルストーンと、負荷受容手段が設けられている。この負荷受容手段は、固定要素と接続されており、又はこれと一体に形成されており、および好ましくはアイスクリューとして形成されている。その際、負荷受容手段は、好ましくは担持手段と接続されており、これは直接、又は間接にストッパー手段を介して接続されている。これは例えば、担持ベルト、又は持ち上げベルトの形式のものである。
【００３３】
そのような装置によって、上述した真空ポンプは少ない労力で、および高い程度で、確実に持ち上げられ、取り扱われ、そして引き続いて所望の最終位置で各設備に組付けられることが可能である。持ち上げられた状態で、少ない手動力のみを加えることによって、長手方向の延び、又は長手方向軸を中心としたポンプ体の回転が行われることが可能であり、よって空間におけるポンプ体の所望の向き、又は回転位置が調整されることが可能である。その際、この為、固定要素が例えば溝状のくぼみ内に、又はポンプ体の突起においてスライド可能に配置されており、よって取り扱いの間の回転移動が支持されることができる。
【００３４】
本発明の別の観点は、真空ポンプの取り扱い、及び／又は組み付けのための方法に関する。真空ポンプは、好ましくは上述した真空ポンプである。好ましくは、そのような方法は上述した装置を用いて行われることが可能である。その際、発明に係る真空ポンプは、持ち上げ装置によって持ち上げられ、その後、空間中で長手方向軸、及び／又はローター軸を中心とした回転によって整向される。その際、空間中における真空ポンプの回転によって少なくとも一つの固定要素、好ましくはチャネルストーンが、真空ポンプの係合構造において、及び／又は係合構造内において案内されてスライドされる。固定要素の案内されたスライドによって、長手方向軸を中心としたポンプ体の管理された回転が可能とされるので、空間中における正確な整向が、少ない手動労力のみによって保証されることができる。
【００３５】
本発明の別の観点に従い、挿入部分が、周回する係合構造に対する分岐した溝として、特に挿入チャネルの形式で形成されている。そのような挿入チャネルは、例えばポンプ体の正面において抜け出す（開口する）、及び／又は係合構造に対して軸方向でずらされた挿入部分内へと開口していることが可能である。負荷受容手段は、直接軸方向で差し込まれるか、又は埋没によって挿入されることも可能である。
【００３６】
そのような挿入チャネルを設ける際、負荷受容手段の周回する配置可能性は、周回する係合構造に沿って中断なく行われることが可能である。軸方向のずらされた挿入部分からの負荷受容手段の脱落が防止されるからである。同時に、係合構造の製造は簡易化されることが可能である。これが、純粋に周回する切削プロセスにおいて、例えば旋削において製造されることが可能だからである。負荷受容手段が挿入部分において望まれず失われることや、ポンプの落下を防止すべき係合構造の輪郭における段差は、省略されることが可能である。更に、有利には挿入チャネルは、ポンプ体の正面を通って、ツールによって一つの工程のみで、ツールの複雑な軸方向における埋没なく製造されることが可能である。
【００３７】
複数の係合構造においては、挿入チャネルは、係合構造を貫通して、別の係合構造へと続けられている事が可能であり、又はそれぞれ異なる方向の複数の挿入チャネルが、係合構造へと案内されることも可能である。そのような挿入チャネルは、更に、ポンプ長手方向軸に対して異なる角度に配置されていることが可能であり、又はオフセット、又は角度によって、負荷受容手段の逸失、又は望まれない脱落が起こりにくくなる、又は防止されるよう構成されることが可能である。
【００３８】
挿入チャネルは、ポンプ体の一つのみの構成部材内に形成されていることが可能である。その結果、複数の構成部材、例えば下部材、及びハウジングをまとめる前に、負荷受容手段の挿入が可能である。そのような挿入チャネルは、複数の構成部材の接合の後、各隣接する部材によってカバーされ、又はブロックされていることが可能であるので、負荷受容手段は、取り出し不可能であり、よって失われることなく長期にわたって係合構造の内部を移動可能に使用されるままとなる。挿入部分、又は挿入チャネルのそのようなブロッキングは、ブロック手段を挿入部分、又は挿入チャネル内に挿入すること、圧入すること、貼付すること、及び／又は一回固定すること、及び／又は長期にわたって固定することによって可能である。
【００３９】
発明に係る真空ポンプに対する上述の説明は、相応して、発明に係る装置や、真空ポンプの取り扱い、及び／又はくみつけのための方法にも当てはまる。
【００４０】
以下に本発明を、有利な実施形に基づき添付の図面を参照しつつ説明する。図は以下を簡略的に示している。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】ターボ分子ポンプの斜視図
【図２】図１のターボ分子ポンプの下側の図
【図３】図２に示された線Ａ−Ａに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図４】図２に示された線Ｂ−Ｂに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図５】図２に示された線Ｃ−Ｃに沿うターボ分子ポンプの断面図
【図６】本発明の一つの実施形に従うターボ分子ポンプの側面図
【図７】図６に示されたターボ分子ポンプの断面図
【図８】図６に示されたターボ分子ポンプの詳細断面図
【図９】図６に示されたターボ分子ポンプの詳細断面図、ターボ分子ポンプは挿入されたスライディングブロックと固定されたアイスクリューを有している
【図１０】図６に示されたターボ分子ポンプに沿う断面図、ターボ分子ポンプは挿入されたスライディングブロックと固定されたアイスクリューを有している
【図１１】本発明の別の一つの実施形に従うターボ分子ポンプの側面図
【発明を実施するための形態】
【００４２】
図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３に取り囲まれたポンプインレット１１５を有する。このポンプインレットには、公知の方法で、図示されていないレシピエントが接続されることが可能である。レシピエントからのガスは、ポンプインレット１１５を介してレシピエントから吸引され、そしてポンプを通してポンプアウトレット１１７へと搬送されることが可能である。ポンプアウトレットには、予真空ポンプ（例えばロータリーベーンポンプ）が接続されていることが可能である。
【００４３】
インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいては、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これには、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が設けられている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、真空ポンプ１１１の電気的、及び／又は電子的コンポーネントが収容されている。これらは例えば、真空ポンプ内に配置される電動モーター１２５を作動させるためのものである。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリーのための複数の接続部１２７が設けられている。更に、データインターフェース１２９（例えばＲＳ４８５スタンダードに従うもの）と、電源供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３には設けられている。
【００４４】
ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、フローインレット１３３が、特にフローバルブの形式で設けられている。これを介して真空ポンプ１１１は溢出を受けることが可能である。下部分１２１の領域には、更にシールガス接続部１３５（洗浄ガス接続部とも称される）が設けられている。これを介して、洗浄ガスが、電動モーター１５をポンプによって搬送されるガスに対して保護するため、モーター室１３７内に取り込まれることが可能である。モーター室内には、真空ポンプ１１１の電動モーター１２５が収容されることが可能である。下部分１２１内には、更に二つの冷却媒体接続部１３９が設けられている。その際、一方の冷却媒体接続部は冷却媒体のインレットとして、そして他方の冷却媒体接続部はアウトレットとして設けられている。冷却媒体は、冷却目的で真空ポンプ内に導かれることが可能である。
【００４５】
真空ポンプの下側面は、起立面として使用されることが可能であるので、真空ポンプ１１１は下側面１４１上に起立して作動させられることが可能である。しかしまた、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介してレシピエントに固定されることも可能であり、これによっていわば懸架して作動させられることが可能である。更に真空ポンプ１１１は、図１に示されたものと異なった向きとされているときにも作動させられることが可能であるよう構成されていることが可能である。下側面１４１が下に向かってではなく、側方に向けられて、又は上に向けられて配置されている真空ポンプの実施形も実現されることが可能である。
【００４６】
図２に表わされている下側面１４１には、更に、種々のスクリュー１４３が設けられている。これらによって、ここでは詳細に特定されない真空ポンプの部材が互いに固定されている。例えば、支承部カバー１４５が下側面１４１に固定されている。
【００４７】
下側面１４１には、更に、固定穴１４７が設けられている。これを介してポンプ１１１は例えば載置面に固定されることが可能である。
【００４８】
図２から５には、冷却媒体配管１４８が表わされている。この中に、冷却媒体接続部１３９を介して導入、又は導出される冷却媒体が循環していることが可能である。
【００４９】
図３から５の断面図に示されているように、真空ポンプは、複数のプロセスガスポンプ段を有している。これは、ポンプインレット１１５に及ぶプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するためのものである。
【００５０】
ハウジング１１９内には、ローター１４９が配置されている。このローターは、回転軸１５１を中心として回転可能なローター軸１５３を有している。
【００５１】
ターボ分子ポンプ１１１は、ポンプ効果を奏する互いにシリアルに接続された複数のターボ分子ポンプ段を有している。これらポンプ段は、ローター軸１５３に固定された複数の半径方向のローターディスク１５５と、ローターディスク１５５の間に配置され、そしてハウジング１１９内に固定されているステーターディスク１５７を有している。その際、一つのローターディスク１５５とこれに隣接する一つのステーターディスク１５７がそれぞれ一つのターボ分子ポンプ段を形成している。ステーターディスク１５７は、スペーサーリング１５９によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。
【００５２】
真空ポンプは、更に、半径方向において互いに入れ子式に配置され、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローター側は、ローターシャフト１５３に設けられるローターハブ１６１と、ローターハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ１６３，１６５を有している。これらは、回転軸１５１と同軸に向けられており、そして半径方向において互いに入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは同様に、回転軸１５１に対して同軸に向けられており、そして半径方向で見て互いに入れ子式に接続されている。
【００５３】
ポンプ効果を発揮するホルベックポンプ段の表面は、側面によって、つまり、ホルベックロータースリーブ１６３，１６５とホルベックステータースリーブ１６７，１６９の半径方向内側面、及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ１６７の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、ターボ分子ポンプに後続する第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ、内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータースリーブ１６５の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第三のホルベックポンプ段を形成する。
【００５４】
ホルベックロータースリーブ１６３の下側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられていることが可能である。これを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、ホルベックステータースリーブ１６９の上側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられていることが可能である。これを介して、中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、入れ子式に接続される複数のホルベックポンプ段が互いにシリアルに接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータースリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９が設けられていることが可能である。
【００５５】
ホルベックステータースリーブ１６３、１６５の上述したポンプ効果を発揮する表面は、それぞれ、螺旋形状に回転軸１５１の周りを周回しつつ軸方向に延びる複数のホルベック溝を有する。他方で、ホルベックロータースリーブ１６３、１６５のこれに向かい合った側面は、滑らかに形成されており、そして真空ポンプ１１１の作動のためのガスをホルベック溝内へと駆り立てる。
【００５６】
ローター軸１５３の回転可能な支承のため、ポンプインレット１１７の領域にローラー支承部１８１、およびポンプアウトレット１１５の領域に永久磁石支承部１８３が設けられている。
【００５７】
ローラー支承部１８１の領域には、ローター軸１５３に円錐形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、ローラー支承部１８１の方に向かって増加する外直径を有している。スプラッシュナット１８５は、作動媒体貯蔵部の少なくとも一つの掻き落とし部材と滑り接触状態にある。作動媒体貯蔵部は、互いに積層された吸収性の複数のディスク１８７を有する。これらディスクは、ローラー支承部１８１のための作動媒体、例えば潤滑剤に浸漬されている。
【００５８】
真空ポンプ１１１の作動中、作動媒体は、毛細管効果によって作動媒体貯蔵部から掻き落とし部材を介して回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして、遠心力によってスプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット９２の大きくなる外直径の方向へと、ローラー支承部１８１に向かって搬送される。そこでは例えば、潤滑機能が発揮される。ローラー支承部１８１と作動媒体貯蔵部は、真空ポンプ内において槽形状のインサート１８９と、支承部カバー１４５に囲まれている。
【００５９】
永久磁石支承部１８３は、ローター側の支承半部１９１と、ステーター側の支承半部１９３を有している。これらは、各一つのリング積層部を有している。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング１９５、１９７から成っている。リングマグネット１９５，１９７は、半径方向の支承部間隙１９９を形成しつつ互いに向き合っており、その際、ローター側のリングマグネット１９５は、半径方向外側に、そしてステーター側のリングマグネット１９７は半径方向内側に設けられている。支承部間隙１９９内に存在する磁場は、リングマグネット１９５，１９７の間の磁気的反発力を引き起こす。これは、ローター軸１５３の半径方向の支承を実現する。ローター側のリングマグネット１９５は、ローター軸１５３のキャリア部分２０１によって担持されている。これは、リングマグネット１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステーター側のリングマグネット１９７は、ステーター側のキャリア部分２０３によって担持されている。これは、リングマグネット１９７を通って延びており、そしてハウジング１１９の半径方向の支材２０５に吊架されている。回転軸１５１に平行に、ローター側のリングマグネット１９５が、キャリア部分２０３と連結されるカバー要素２０７によって固定されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、回転軸１５１に平行に、一つの方向においてキャリア部分２０３と接続される固定リング２０９によって、およびキャリア部分２０３と接続される固定リング２１１によって固定されている。その上、固定リング２１１とリングマグネット１９７の間には、さらばね２１３が設けられていることが可能である。
【００６０】
磁石支承部の内部には、緊急用または安全用支承部２１５が設けられている。これは、真空ポンプの通常の作動時には、非接触で空転し、そしてローター１４９がステーターに対して半径方向において過剰に偏移した際に初めて作用するに至る。ローター１４９のための半径方向のストッパーを形成するためである。ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのが防止されるからである。安全用支承装置２１５は、潤滑されないローラー支承部として形成されており、そして、ローター１４９及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。この関係は、安全用支承部２１５が通常のポンプ作動中は作用しないことに供する。安全用支承部が作用するに至る半径方向の間隙は、十分大きく寸法取られているので、安全用支承部２１５は、真空ポンプの通常の作動中は作用せず、そして同時に十分小さいので、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのがあらゆる状況で防止される。
【００６１】
真空ポンプ１１１は、ローター１４９を回転駆動するための電動モーター１２５を有している。電動モーター１２５の電機子は、ローター１４９によって形成されている。そのローター軸１５３はモーターステーター２１７を通って延びている。ローター軸１５３の、モーターステーター２１７を通って延びる部分には、半径方向外側に、または埋め込まれて、永久磁石装置が設けられていることが可能である。ローター１４９の、モーターステーター２１７を通って延びる部分と、モーターステーター２１７との間には、中間空間２１９が設けられている。これは、半径方向のモーター間隙を有する。これを介して、モーターステーター２１７と永久磁石装置は、駆動トルク伝達のため、磁気的に影響することが可能である。
【００６２】
モーターステーター２１７は、ハウジング内において、電動モーター１２５のために設けられるモーター室１３７の内部に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、シールガス（洗浄ガスとも称され、これは例えば空気や窒素であることが可能である）が、モーター室１３７内へと至る。シールガスを介して電動モーター１２５は、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食性の部分に対して保護されることが可能である。モーター室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介しても真空引きされることが可能である、つまりモーター室１３７は、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される予真空ポンプによって実現される予真空状態となっている。
【００６３】
モーター室１３７を画成する壁部２２１とローターハブ１６１の間には、更に、いわゆる公知のラビリンスシール２２３が設けられていることが可能である。特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対してモーター室２１７をより良好にシールすることを達成するためである。
【００６４】
図１から５のターボ分子ポンプは、発明に係る真空ポンプを形成する。図６から１１は、これらがそこに明示的に示されていなくとも、図１から５のターボ分子ポンプにおいても意図されることも可能である詳細を示す。
【００６５】
図６は、本発明の一つの実施形に従うターボ分子ポンプの側面図を示す。図６に示されたターボ分子ポンプ１１１は、係合構造２２５を有する。係合構造２２５は、溝状のくぼみとして、特にＴ溝として、ハウジング１１９の外周に設けられている。その際、係合構造２２５は、ポンプハウジング１１９の長手方向軸２２７に対してある角度で延びている。よって、係合構造２２５と、ポンプハウジング１１９の長手方向軸２２７は、図６に示された図では互いにある角度を形成している。特に、係合構造２２５は、長手方向軸２２７の周りを周回して延びている。その際、係合構造２２５は、特に有利には、ハウジング１１９の長手方向軸２２７に対して直角に向けられている平面に沿って延びている。
【００６６】
発明に従い、係合構造２２５の位置のみが、ターボ分子ポンプ１１１のポンプ体の重量重心点２２９に応じて、ハウジング１１９の長手方向軸２２７に沿って選択されている。その際、重量重心点は、ターボ分子ポンプ１１１の全ての部材に応じて、つまり特にポンプハウジング１１９と、ハウジング１１９内に、およびハウジング１１９に配置される全ての、特にポンプ１１１の組み立ての際、レシピエントに存在するコンフィギュレーションにおける、ポンプコンポーネントに応じて決定される。このようにして、ターボ分子ポンプ１１１は、特に有利には、係合構造２２５内の固定要素を介して持ち上げられることが可能であり、そして持ち上げられた位置で、長手方向軸２２７を中心とした回転によって整向される。整向は、空間における長手方向軸２２７の各所望の傾斜状態を維持するためのオペレーターの特別な労力を必要とすることなく行われる。
【００６７】
固定手段を係合構造２２５内に持ち込むために、係合構造２２５は、挿入部分２３１を設けられていることが可能である。挿入部分は、図８に示され、そして以下に詳細に説明されるように、例えばＴ字形状の中断によって、及び／又は、固定要素の形状結合的係合のための突起部２３５を省略することによって形成されていることが可能である。よって、固定要素は、挿入部分２３１の領域において係合構造内２２５内へと挿入されることが可能であり、その後、係合構造２２５の延びに沿ったスライドによって、これと形状結合的な係合状態へともたらされることが可能である。
【００６８】
図７は、図６に示されたターボ分子ポンプ１１１に沿う断面を、そして図８は、図６に示されたターボ分子ポンプ１１１の詳細断面を示す。図７および８には、係合構造２２５が、この実施例においては、Ｔ字形状の断面２３３を有している溝状のくぼみであるのが見て取れる。特にその際、係合構造は突起部２３５を有する。これは挿入された固定要素、例えばチャネルストーンのようなもの、と形状結合的に係合することが可能である。係合部分２３１の領域では、Ｔ時形状の断面２３３は突起部２３５の省略によって中断されることが可能であるので、固定要素、例えばチャネルストーンのようなものは、取り扱いが容易に挿入されることが可能である。
【００６９】
図９は、図６に示されたターボ分子ポンプ１１１の詳細断面図を示す。このターボ分子ポンプ１１１は、挿入されたチャネルストーン２３７、および固定された、又はチャネルストーン２３７と一体に形成されたアイスクリュー２３９を有している。チャネルストーンとして形成された固定要素２３７が係合構造２２５内に挿入されており、そして突起部２３５内に係合し、又は突起部２３５が固定要素２３７内に係合するのが見て取れる。
【００７０】
よって、ハウジング１１９の長手方向軸２２７に対して横切る方向において、チャネルストーンとして形成された固定要素２３７は係合構造２２５と形状結合的に接続されている。同時に、固定要素２３７は、係合構造２２５の延びに沿って、特に、ポンプ体、又はハウジング１１９の周囲方向、又は周囲の向きに沿ってスライドされることが可能であるので、真空ポンプ１１１が持ち上げられた状態において、長手方向軸２２７を中心として簡単に回転が行われることが可能である。示された係合構造２２５の内部における固定要素２３７の案内態様によって、長手方向軸を中心として回転運動が適切に支持される。固定要素２３７内には、その際、負荷受容手段２３９、例えばアイスクリューのようなものがねじ込まれることが可能である。負荷受容手段２３９は、その際、持ち上げ装置の担持手段、又は特別なストッパー手段との接続のために使用されることが可能である。
【００７１】
図１０は、図６に示されたターボ分子ポンプ１１１に沿う断面を示す。このターボ分子ポンプ１１１は、挿入された固定要素２３７と、固定された負荷受容手段２３９を有している。チャネルストーンとして形成された固定要素２３７が係合構造２２５内に挿入されており、そして形状結合的な接続が固定要素２３７と係合要素２２５の間に作られているのが見て取れる。同時に、アイスクリューとして形成された負荷受容手段２３９が固定要素２３７内にねじ込まれている。その際、コンポーネント２３７と２３９は一体式に形成されていることも可能である。負荷受容手段２３９には、持ち上げ装置の担持手段、又は特別なストッパー手段が固定されることが可能である。その際、図１０に見て取れるように、負荷受容手段２３９によって形成される、ストッパー手段、又は持ち上げ装置の担持手段のための力の作用点は、ハウジング１１９の長手方向軸２２７に沿って、ポンプ体の重量重心点２２９の高さに存在している。
【００７２】
図１１は、本発明の別の実施形に従うターボ分子ポンプの側面図を示す。図１１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、全体として二つの係合構造２２５を有する。これらは同様に、ハウジング１１９の周囲方向に、その外周に沿って延びている。その際、各係合構造２２５は、ハウジング１１９、又はターボ分子ポンプ１１１のポンプ体の長手方向軸２２７に対して直角に配置されている平面に沿って延びている。各係合構造２２５は、ここでもまた、溝状のくぼみとして形成されており、特に、Ｔ字形状を有している。そしてその上、各係合構造２２５は、挿入部分２３１を有している。この中でＴ字形状は中断されている。
【００７３】
図１１には更に、ポンプ体の重量重心点２２９が長手方向軸２２７に沿って、これら両方の係合構造２２５の間に配置されていることが見て取れる。両方の係合構造２２５は、よって、重量重心点２２９の軸方向両側に配置されている。係合構造２２５は、その際、重量重心点２２９に対して異なる軸方向間隔を有している。同様に、重量重心点２２９に対する一方の係合構造２２５の軸方向の間隔が、重量重心点２２９に対する他方の係合構造２２５の軸方向の間隔と一致する（（いわば）同間隔配置）も可能である（図示せず）。
【００７４】
図６から１１に規範的に示された係合構造２２５と、明細書冒頭部に記載したコンセプトは、同様に図１から５に従う実施形においても、そこに詳細には表わされておらず、又は説明されていないとしても、意図され得る。これは、ポンプ体における、及び／又はターボ分子ポンプ１１１のポンプハウジング１１９における係合構造の配置、及び／又は形成に関するすべての詳細に対しても同様である。同様に、図１から５に表わされており、そして相応して説明されているターボ分子ポンプ１１１の全体的、又は個々の詳細もまた、ターボ分子ポンプ１１１の図６から図１１に示されている実施形においても意図され得る。
【符号の説明】
【００７５】
１１１  ターボ分子ポンプ
１１３  インレットフランジ
１１５  ポンプインレット
１１７  ポンプアウトレット
１１９  ハウジング
１２１  下部分
１２３  エレクトロニクスハウジング
１２５  電動モーター
１２７  アクセサリー接続部
１２９  データインターフェース
１３１  電源供給接続部
１３３  フローインレット
１３５  シールガス接続部
１３７  モーター室
１３９  冷却媒体接続部
１４１  下側面
１４３  ねじ
１４５  支承部カバー
１４７  固定穴
１４８  冷却媒体配管
１４９  ローター
１５１  ローター軸
１５３  ローターシャフト
１５５  ローターディスク
１５７  ステーターディスク
１５９  スペーサーリング
１６１  ローターハブ
１６３  ホルベックロータースリーブ
１６５  ホルベックロータースリーブ
１６７  ホルベックステータースリーブ
１６９  ホルベックステータースリーブ
１７１  ホルベック間隙
１７３  ホルベック間隙
１７５  ホルベック間隙
１７９  接続チャネル
１８１  ローラー支承部
１８３  永久磁石支承部
１８５  スプラッシュナット
１８７  ディスク
１８９  インサート
１９１  ローター側の支承半部
１９３  ステーター側の支承半部
１９５  リングマグネット
１９７  リングマグネット
１９９  支承部間隙
２０１  担持部分
２０３  担持部分
２０５  半径方向の支柱
２０７  カバー要素
２０９  支持リング
２１１  固定リング
２１３  さらばね
２１５  緊急用または安全用支承部
２１７  モーターステーター
２１９  中間空間
２２１  壁部
２２３  ラビリンスシール
２２５  係合構造
２２７  長手方向軸
２２９  重量重心点
２３１  挿入部分
２３３  Ｔ字形状の断面
２３５  突起部
２３７  固定要素
２３９  負荷受容手段