(57)【要約】【課題】データコンテキストに基づいてデータを処理する方法【解決手段】半導体処理環境におけるデータを管理する方法。プロセス中に、生データが収集される。また、追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータを受け取る。該生データは、該追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータと同期されて、ウェハデータを生成する。サマリデータは、該生データから計算され、該ウェハデータ及びサマリデータを含むファイルが生成される。【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体処理環境におけるデータを管理する方法であって、
プロセス中に生データを収集することと、
追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータを受け取ることと、
前記生データを、ウェハデータを生成するように前記追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータと同期させることと、
前記生データからサマリデータを計算することと、
前記ウェハデータ及び前記サマリデータを含むファイルを生成することとを備える方法。
【請求項２】
少なくとも１つの解析戦略を実行することと、
解析プラン、ＳＰＣプラン、ＰＬＳプラン、ＰＣＡプラン、生ファイル出力プラン、サマリファイル出力プラン及び判断プランのうちの少なくとも１つを実行することとをさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ウェハデータをＳＱＬデータベースに格納することをさらに備える請求項２に記載の方法。
【請求項４】
データバックアップ機能、データ保管機能、データ削除機能、データ回復機能及びデータ復元機能のうちの少なくとも１つを実行することをさらに備える請求項２に記載の方法。
【請求項５】
少なくとも１つのＧＵＩ画面を用いて状態データを表示すること、少なくとも１つのＧＵＩ画面を用いて設定データを表示すること、少なくとも１つのＧＵＩ画面を用いて構成データを表示すること、少なくとも１つのＧＵＩ画面を用いてウェハデータを表示すること、および少なくとも１つのＧＵＩ画面を用いて追跡パラメータデータを表示することのうちの少なくとも１つをさらに備える請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記生データを収集することは、
コンテキスト情報を受け取ることと、
前記コンテキスト情報に基づいて、データ収集戦略を実行することと、
前記データ収集戦略に基づいて、データ収集プランを実行することとを備える請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記データ収集プランを実行することは、
コンテキスト情報を受け取ることと、
前記コンテキスト情報に基づいて、データ収集戦略を実行することと、
前記データ収集戦略に基づいて、データ収集プランを実行することとを備える請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記データ収集プランの実行は、
ｓｔａｒｔ＿ｅｖｅｎｔを受け取ることと、
少なくとも１つのセンサを用いて、前記生データを収集することと、
前記生データを生データ収集ファイルに格納することと、
前記少なくとも１つのセンサが停止されて、前記生データ収集ファイルが閉じられるｅｎｄ＿ｅｖｅｎｔを受け取ることとを備える請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記生データを、ウェハデータを生成するように前記追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータと同期させることは、ｓｔａｒｔ＿ｅｖｅｎｔ及びランタイム工程を用いて、少なくとも１つのセンサからの生データ、追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータのうちの少なくとも１つを有するデータを少なくとも１つのテーブルに索引付けることを備える請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記生データを収集することは、
データ収集プラン及びデータ前処理プランを実行することと、
センサ設定プランを用いて、複数のセンサを初期化することと、
データを索引付けるために時間同期定義を決めることと、
プロセスツール、処理モジュール及びプロセスセンサのうちの少なくとも１つを有するセンサを始動させることと、
前記センサからデータを受け取ることと、
前記センサからの前記データを、前記時間同期定義を用いて、生データ収集ファイル、追跡ファイル及びプロセスログファイルのうちの少なくとも１つに格納することとを備える請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記センサを停止させることと、
前記センサからの前記データをデータ収集ハブに転送することと、
前記データを前記ハブ内で処理することとをさらに備える請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記データを前記ハブ内で処理することは、
カスタムパラメータを計算することと、
前記データ収集プランを用いて、データサマリを計算することと、
前記データ前処理プランを用いてデータをフィルタリングすることと、
生データ及びサマリデータを含むＳＱＬファイルを生成することとをさらに備える請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記データを前記ハブ内でフィルタリングすることは、
プロセス工程のためのデータをトリミングすることと、
データをクリップすることと、
スパイクリミットをカウントすることとをさらに備える請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記データを処理することと、
前記処理されたデータのうちの少なくともいくつかを表示することとをさらに備える請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
前記処理されたデータのうちの少なくともいくつかを表示することは、
追跡ウェハチャートを生成することと、
ＧＵＩ画面を用いて、前記追跡ウェハチャートを表示することとをさらに備える請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記処理されたデータのうちの少なくともいくつかを表示することは、
サマリウェハチャートを生成することと、
ＧＵＩ画面を用いて、前記サマリウェハチャートを表示することとをさらに備える請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記処理されたデータのうちの少なくともいくつかを表示することは、
追跡ウェハ工程比較チャートを生成することと、
ＧＵＩ画面を用いて、前記追跡ウェハ工程比較チャートを表示することとをさらに備える請求項１４に記載の方法。
【請求項１８】
少なくとも１つのセンサを初期化するために、パラメータのリストと、少なくとも１つのパラメータを保存する手段とを備えるパラメータ保存画面を用いることをさらに備える請求項１０に記載の方法。
【請求項１９】
前記パラメータ保存画面は、マルチレベルナビゲーションツリーを備える請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記マルチレベルナビゲーションツリーは、英語のマルチレベルナビゲーションツリー、日本語のマルチレベルナビゲーションツリー、台湾語のマルチレベルナビゲーションツリー、中国語のマルチレベルナビゲーションツリー、韓国語のマルチレベルナビゲーションツリー、ドイツ語のマルチレベルナビゲーションツリー及びフランス語のマルチレベルナビゲーションツリーのうちの少なくとも１つを備える請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記パラメータ保存画面は、複数の選択タブを備える請求項１８に記載の方法。
【請求項２２】
前記複数の選択タブは、左から右へのタブ、右から左へのタブ、上から下へのタブ及び下から上へのタブのうちの少なくとも１つを備える請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記処理されたデータのうちの少なくともいくつかを表示することは、
ツール状態データを生成することと、
ＧＵＩ画面を用いて前記ツール状態データを表示することとを備える請求項１４に記載の方法。
【請求項２４】
システム構成データを生成することと、
前記システム構成データを、システム構成画面を用いて表示することとをさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項２５】
前記システム構成画面は、タイトルパネルと、情報パネルと、ナビゲーションパネルとを備える請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記方法は、英語画面、日本語画面、台湾語画面、中国語画面、韓国語画面、ドイツ語画面及びフランス語画面のうちの少なくとも１つを用いることを備える請求項１に記載の方法。
【請求項２７】
前記方法は、左から右への選択タブ、右から左への選択タブ、上から下への選択タブ及び下から上への選択タブのうちの少なくとも１つを備えるＧＵＩ画面を用いることを備える請求項１に記載の方法。
【請求項２８】
前記ウェハデータを、データ収集ハブを用いて格納することをさらに備える請求項１に記載の方法。
【請求項２９】
前記ウェハデータ及び前記サマリデータを含む前記ファイルは、ＳＱＬファイルである、請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
この出願は、２００２年８月２０日に出願された米国仮特許出願第６０／４０４，４１２号に基づいており、かつ該出願の利益を引き出し、その内容全体は参照してここに組み込まれる。
【０００２】
本発明は、２００２年３月２９日に出願された「状態及び制御装置との相互作用のための方法」というタイトルの同時係属出願の米国仮出願第６０／３６８，１６２号、２００２年４月２３日に出願された「単純化したシステム構造のための方法及び装置」というタイトルの米国仮出願第６０／３７４，４８６号、２００２年５月２９日に出願された「ツール動作を監視するための方法及び装置」というタイトルの米国仮出願第６０／３８３，６１９号および２００２年７月３日に出願された「ダイナミックセンサ構造及びランタイム実行のための方法」というタイトルの米国仮出願第６０／３９３０９１号に関連している。これらの出願はそれぞれ全体として、参照してここに組み込まれる。
【０００３】
本発明は、半導体処理システムに関し、特に、データを管理することができる半導体処理システムに関する。
【背景技術】
【０００４】
コンピュータは、一般に、製造プロセスを制御し、監視し、初期化するのに用いられる。内に向かうウェハの流れ、重要な処理工程及び該プロセスの安全性による半導体製造プラントにおける複雑さを考慮すると、コンピュータは、それらの動作に対して理想的である。様々な入力／出力（Ｉ／Ｏ）装置が、プロセスフロー、ウェハ状態及びメンテナンススケジュールを制御及び監視するために用いられている。半導体製造プラントには、エッチング、バッチ処理及び検査等の重要な動作によるそれらの複雑な工程を完了させるために、様々なツールが存在する。ほとんどのツールの導入は、インストールソフトウェアを含む制御コンピュータのグラフィカルユーザインタフェース（ＧＵＩ）の一部であるディスプレイ画面を用いてなされる。半導体処理ツールの導入は、時間のかかる手続きである。
【０００５】
半導体処理設備は、継続的なモニタリングを要する。処理状況は、時間が経つと、望ましくない結果をもたらす重要なプロセスパラメータのわずかな変化によって変化する。小さな変化は、エッチングガスの成分または圧力、プロセスチャンバ、あるいはウェハ温度において、容易に発生する可能性がある。多くの場合、処理特性の低下を反映するプロセスデータの変化は、表示されたプロセスデータを単に参照することによって検知することはできない。
【０００６】
設備制御は、たいてい、種々のコントローラを有する多数の異なる制御システムによって実行される。該制御システムのうちのいくつかは、タッチ画面などのマンマシンインタフェースを有しており、その他のものは、温度等の１つの変数を集めて表示するのみである。モニタリングシステムは、プロセス制御システムのためにまとめられたデータを集めることができなければならない。該モニタリングシステムのデータ収集は、単変量及び多変量データ、該データの解析及び表示を処理しなければならず、また、収集する処理変数を選択する能力を有していなければならない。プロセスの種々の条件は、各処理チャンバに設けられた様々なセンサによって監視され、監視された条件のデータは、制御コンピュータへ移送されて蓄積される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、半導体処理環境におけるデータを管理する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
生データは、プロセス中に収集される。また、追跡（ｔｒａｃｅ）ファイルデータ及びプロセスログファイルデータは、受け取られる。該生データは、ウェハデータを生成するように（生成するために）、該追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータと同期される。サマリデータは、該生データから計算されて、該ウェハデータ及び該サマリデータを含むファイルが生成される。
【０００９】
本明細書に組み込まれ、かつ本明細書の一部を構成する添付図面は、本発明の様々な実施形態を説明し、また、上述した全般的な説明及び以下に示す該実施形態の詳細な説明と共に、本発明の原理を説明するのに役に立つ。本発明のより完全な正しい認識及び本発明の付随する効果の多くは、特に、該添付図面と共に考慮した場合、以下の詳細な説明を参照して容易に理解できるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は、本発明の一実施形態に係る、半導体製造環境におけるＡＰＣ（アドバンストプロセスコントロール）システムの例示的なブロック図を示す。図示の実施形態において、半導体製造環境１００は、少なくとも１つの半導体処理ツール１１０と、多数の処理モジュール１２０、すなわちＰＭ１からＰＭ４と、該ツール、該モジュール及びプロセスを監視する多数のセンサ１３０と、センサインタフェース１４０と、ＡＰＣシステム１４５とを備える。ＡＰＣシステム１４５は、インタフェースサーバ（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  ｓｅｒｖｅｒ；ＩＳ）１５０と、ＡＰＣサーバ１６０と、クライアントワークステーション１７０と、ＧＵＩコンポーネント１８０と、データベース１９０とを備えることができる。一実施形態において、ＩＳ１５０は、「ハブ」としてみることができるリアルタイムメモリデータベースを備えることができる。
【００１１】
ＡＰＣシステム１４５は、処理ツール、処理モジュール及びセンサのうちの少なくとも１つを制御するツールレベル（ｔｏｏｌ  ｌｅｖｅｌ；ＴＬ）コントローラ（図示せず）を備えることができる。
【００１２】
図示の実施形態において、単一のツール１１０は、４つの処理モジュール１２０と共に示されているが、このことは、本発明に必要なことではない。上記ＡＰＣシステムは、１つ以上の処理モジュールを有するクラスタツールを含む多数の処理ツールとインタフェースをとることができ、また、該ＡＰＣシステムは、１つ以上の処理モジュールを有するクラスタツールを含む多数の処理ツールを構成し、かつ監視するのに用いることができる。例えば、該ツール及び関連する処理モジュールは、エッチング、成膜、拡散、クリーニング、測定、ポリシング、現像、移送、記憶、ローディング、アンローディング、位置決め、温度管理、リソグラフィ、統合計測（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ；ＩＭ）、光データプロファイリング（ｏｐｔｉｃａｌ  ｄａｔａ  ｐｒｏｆｉｌｉｎｇ；ＯＤＰ）、パーティクル検出、およびその他の半導体製造プロセスを実行するのに用いることができる。
【００１３】
一実施形態において、処理ツール１１０は、ツール１１０上で実行するソフトウェアプロセスとすることができ、かつイベント情報、コンテキスト（ｃｏｎｔｅｘｔ）情報、及び該ツールプロセスとデータ収集を同期させるのに使用するスタートストップタイミングコマンドを生成することができるツールエージェント（図示せず）を備えることができる。また、ＡＰＣシステム１４５は、該ツールエージェントとの接続を実行するのに用いることができるソフトウェアプロセスとすることができるエージェントクライアント（図示せず）を備えることができる。例えば、ＡＰＣシステム１４５は、インターネットまたはイントラネット接続を介して処理ツール１１０と接続することができる。
【００１４】
一実施形態において、ＩＳ１５０は、ソケットを使用して通信する。例えば、インタフェースは、ＴＣＰ／ＩＰソケット通信を用いて実施することができる。各通信の前に、ソケットが確立される。次いで、メッセージがストリングとして送られる。メッセージが送られた後、該ソケットがキャンセルされる。
【００１５】
あるいは、インタフェースは、Ｃ／Ｃ＋＋コードを用いて拡張したＴＣＬプロセス、または分散メッセージハブ（Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ  Ｍｅｓｓａｇｅ  Ｈｕｂ；ＤＭＨ）クライアントクラス等の特別なクラスを用いるＣ／Ｃ＋＋プロセスとして構成することができる。この場合、ソケット接続を介してプロセス／ツールイベントを収集する論理は、該イベント及びそれらのコンテキストデータをＩＳ１５０内のテーブルに挿入するために修正することができる。
【００１６】
上記ツールエージェントは、上記ＡＰＣシステムに対して、イベント及びコンテキスト情報を提供するメッセージを送ることができる。例えば、該ツールエージェントは、ロットスタート／ストップメッセージ、バッチスタート／ストップメッセージ、ウェハスタート／ストップメッセージ、レシピスタート／ストップメッセージ及びプロセススタート／ストップメッセージを送ることができる。また、該ツールエージェントは、設定値データを送信および／または受信するのに、およびメンテナンスカウンタデータを送信および／または受信するのに用いることができる。
【００１７】
処理ツールが内部センサを備えている場合、該処理ツールは、センサとみなすことができ、またこのデータは、上記ＡＰＣシステムに送ることができる。データファイルは、このデータを転送するのに用いることができる。例えば、ある処理ツールは、追跡ファイルが生成された場合に、該ツールに圧縮される該追跡ファイルを生成することができる。圧縮されたおよび／または圧縮されていないファイルは転送することができる。追跡ファイルが該処理ツール内に生成された場合、追跡データは、終点検出（ｅｎｄ  ｐｏｉｎｔ  ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ；ＥＰＤ）データを含んでもよくまたは含まなくてもよい。該追跡データは、ウェハの処理が完了した後に、更新及び転送することができる。追跡ファイルは、各プロセスのための適当なディレクトリに転送される。一実施形態において、ツール追跡データ、メンテナンスデータ及びＥＰＤデータは、処理ツール１１０から取得することができる。
【００１８】
図１においては、４つの処理モジュールが示されているが、これは、本発明に必要なことではない。上記半導体処理システムは、処理ツールと関連する任意の数の処理モジュールを有する任意の数の処理ツールと、独立した処理モジュールとを備えることができる。（１つ以上のＴＬコントローラを含む）ＡＰＣシステム１４５は、該処理ツールと関連する任意の数の処理モジュールを有する任意の数の処理ツールと、独立した処理モジュールを構成し、制御しかつ監視するのに使用することができる。該ＡＰＣシステムは、処理ツール、処理モジュール及びセンサを含むプロセスからのデータを収集し、生成し、処理し、格納しかつ表示することができる。
【００１９】
処理モジュールは、ＩＤ、モジュールタイプ、ガスパラメータ及びメンテナンスカウンタ等のデータを用いて識別することができ、またこのデータは、データベースに保管することができる。新たな処理モジュールが構成された場合、この種のデータは、ＧＵＩコンポーネント１８０のモジュール構成パネル／画面を用いて生成することができる。例えば、上記ＡＰＣシステムは、東京エレクトロン株式会社（Ｔｏｋｙｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｌｉｍｉｔｅｄ）からの次のツールタイプ、すなわち、ユニティ関連処理モジュール、トリアス（Ｔｒｉａｓ）関連処理モジュール、テリウス（Ｔｅｌｉｕｓ）関連処理モジュール、ＯＥＳ関連モジュール及びＯＤＰ関連モジュールをサポートすることができる。あるいは、上記ＡＰＣシステムは、他のツール及びそれらに関連する処理モジュールをサポートすることができる。例えば、ＡＰＣシステム１４５は、インターネットまたはイントラネット接続を介して処理モジュール１２０に接続することができる。
【００２０】
図示の実施形態においては、単一のセンサ１３０が、関連する処理モジュールと共に示されているが、このことは、本発明に必要なことではない。どんな数のセンサも１つの処理モジュールに結合することができる。センサ１３０は、ＯＤＰセンサ、ＯＥＳセンサ、電圧／電流プローブ（ｖｏｌｔａｇｅ／ｃｕｒｒｅｎｔ  ｐｒｏｂｅ；ＶＩＰ）センサ、アナログセンサ、およびディジタルプローブを含む他の種類の半導体処理センサを備えることができる。ＡＰＣデータ管理アプリケーションは、種々のセンサからのデータを収集し、処理し、格納し、表示し、出力するのに用いることができる。
【００２１】
該ＡＰＣシステムにおいて、センサデータは、外部及び内部の両ソースによって生成することができる。外部ソースは、外部データレコーダタイプを用いて定義することができ、データレコーダオブジェクトは、各外部ソースに割り当てることができ、状態変数表現を用いることができる。
【００２２】
センサ構成情報は、センサタイプとセンサインスタンスパラメータとを結合する。センサタイプは、該センサの機能に対応する包括的な用語である。センサインスタンスは、該センサタイプを、特定の処理モジュール及びツール上の特定のセンサと一対にする。少なくとも１つのセンサインスタンスは、１つのツールに取付けられた各物理的なセンサに対して構成されている。
【００２３】
例えば、ＯＥＳセンサは、１種類のセンサとすることができ、電圧／電流（ｖｏｌｔａｇｅ／ｃｕｒｒｅｎｔ；ＶＩ）プローブは、他の種類のセンサとすることができ、また、アナログセンサは、異なる種類のセンサとすることができる。また、追加的な包括的タイプのセンサ及び追加的な特定の種類のセンサを設けることもできる。センサタイプは、特定の種類のセンサを実行時間で設定するのに必要な全ての変数を含む。これらの変数は、静的にすることができ（このタイプの全てのセンサは、同じ値を有する）、インスタンスによって変更可能にすることができ（該センサタイプの各インスタンスは、固有の値を有することができる）、あるいは、データ収集プランによって動的に変更可能にすることができる（該センサが実行時間で起動されるたびに、該センサは、異なる値を示すことができる）。
【００２４】
「インスタンスによって変更可能な」変数は、センサ／プローブＩＰアドレスとすることができる。このアドレスは、（各プロセスチャンバに対して）インスタンスによって変化するが、実行から実行へ変化しない。「データ収集プランによって変更可能な」変数は、高調波周波数のリストとすることができる。コンテキスト情報に基づいて、各ウェハを異ならせて構成することができる。例えば、ウェハコンテキスト情報は、ツールＩＤ、モジュールＩＤ、スロットＩＤ、レシピＩＤ、カセットＩＤ、スタート時刻及び終了時刻を含むことができる。同じセンサタイプの多くのインスタンスが可能である。センサインスタンスは、ハードウェアの特定の部分に相当し、センサタイプをツールおよび／または処理モジュール（チャンバ）に接続する。換言すれば、センサタイプは包括的であり、またセンサインスタンスは固有である。
【００２５】
図１に示すように、センサインタフェース１４０は、センサ１３０とＡＰＣシステム１４５との間にインタフェースを設けるのに使用することができる。例えば、ＡＰＣシステム１４５は、インターネットまたはイントラネット接続を介してセンサインタフェース１４０に接続することができ、センサインタフェース１４０は、インターネットまたはイントラネット接続を介してセンサ１３０に接続することができる。また、センサインタフェース１４０は、プロトコルコンバータ、メディアコンバータ及びデータバッファとして機能することができる。また、センサインタフェース１４０は、データ収集、ピアトゥピア通信、およびＩ／Ｏ走査等の実時間機能を実行できる。あるいは、センサインタフェース１４０は省くことができ、センサ１３０を直接ＡＰＣシステム１４５に結合することができる。
【００２６】
センサ１３０は、静的または動的センサとすることができる。例えば、動的ＶＩセンサは、データ収集プランによって提供されたパラメータを用いて実時間で設定された、その周波数レンジ、サンプリング期間、スケーリング、トリガリングおよびオフセット情報を有することができる。センサ１３０は、静的および／または動的とすることができるアナログセンサとすることができる。例えば、アナログセンサは、ＥＳＣ電圧、マッチャーパラメータ、ガスパラメータ、流量、圧力、温度、ＲＦパラメータのためのデータ、および他のプロセス関連データを生成するのに使用することができる。センサ１３０は、ＶＩＰプローブ、ＯＥＳセンサ、アナログセンサ、ディジタルセンサ、ＯＤＰセンサおよび他の半導体処理センサのうちの少なくとも１つを備えることができる。
【００２７】
一実施形態において、センサインタフェースは、データポイントを生データファイルに書き込むことができる。例えば、ＩＳ１５０は、データ収集を開始するために、上記センサインタフェースにスタートコマンドを送ることができ、かつ該ファイルを閉じるためにストップコマンドを送ることができる。ＩＳ１５０は、該センサデータファイルを読み込んで解析し、該データを処理して、該データ値をメモリ内のデータテーブルに転記することができる。
【００２８】
あるいは、上記センサインタフェースは、該データを実時間でＩＳ１５０に流すことができる。該センサインタフェースが該ファイルをディスクに書き込むことができるようにするために、スイッチを設けることができる。また、該センサインタフェースは、オフライン処理及び解析のために、該ファイルを読み込んで、該データポイントをＩＳ１５０に流す方法を実現することもできる。
【００２９】
図１に示すように、ＡＰＣシステム１４５は、データベース１９０を備えることができる。ツールメンテナンスデータは、データベース１９０に蓄積することができる。また、上記ツールからの生データ及び追跡データは、ファイルとしてデータベース１９０に蓄積することができる。データの量は、ユーザによって構成されたデータ収集プランと、それによってプロセスが実行され、かつ処理ツールが実行される周波数とに依存する。例えば、データ収集プランは、いつどのようにツール状態データ及びプロセス関連データを収集するかを判断するために設定することができる。上記処理ツール、処理チャンバ、センサ及びＡＰＣシステムから得られたデータは、テーブルに蓄積される。
【００３０】
一実施形態において、該テーブルは、ＩＳ１５０内にメモリ内テーブルとして、およびデータベース１９０内に持続性記憶装置として実装することができる。ＩＳ１５０は、行列の生成およびデータを上記テーブルに転記するために、構造化照会言語（Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄ  Ｑｕｅｒｙ  Ｌａｎｇｕａｇｅ；ＳＱＬ）を用いることができる。該テーブルは、データベース１９０内の持続性テーブルに複製することができ（すなわち、ＤＢ２を用いることができる）、また同様のＳＱＬステートメントを用いて構成することができる。
【００３１】
図示の実施形態において、ＩＳ１５０は、メモリ内のリアルタイムデータベースや登録サーバとすることができる。例えば、クライアントプロセスは、関係型データテーブルの関係のあるプログラミングモデルを有するＳＱＬを用いてデータベース機能を実行することができる。また、ＩＳ１５０は、データ登録サービスを提供することができ、そこでクライアントソフトウェアは、選択基準を満たすデータが挿入され、更新され、あるいは消去されるたびに、非同期通知を受け取る。登録は、ＳＱＬ選択ステートメントのフルパワーを用いて、どのテーブルカラムが対象となっているか、および何のロウ選択基準が、将来のデータ変更通知をフィルタリングするのに用いられるかを指定する。
【００３２】
ＩＳ１５０は、データベース及び登録サーバであるため、クライアントは、該データベース及びサーバが初期化されたときに、「同期した」登録を現在のテーブルデータに対して開くことができる。ＩＳ１５０は、公衆／加入機構、メモリ内データテーブル、および上記システムを介してイベント及びアラームを配列する監視プログラム論理によってデータ同期を実現できる。ＩＳ１５０は、ソケット、ＵＤＰ及び公衆／加入を含む技術に基づいて、いくつかのメッセージＴＣＰ／ＩＰを実現できる。
【００３３】
例えば、ＩＳ１５０アーキテクチャは、リアルタイムデータ管理及び登録機能を実行できるマルチデータハブ（すなわち、ＳＱＬデータベース）を用いることができる。アプリケーションモジュール及びユーザインタフェースは、ＳＱＬメッセージを用いて、該データハブの情報にアクセスし、該情報を更新する。ランタイムデータを関係型データベースに転記することに関連する性能限界により、ランタイムデータは、ＩＳ１５０によって管理されるメモリ内のデータテーブルに転記される。それらのテーブルの内容は、ウェハ処理の終了時に該関係型データベースに転記することができる。
【００３４】
図１に示す実施形態においては、単一のクライアントワークステーション１７０が示されているが、これは、本発明に必要なものではない。ＡＰＣシステム１４５は、複数のクライアントワークステーション１７０をサポートすることができる。一実施形態において、クライアントワークステーション１７０は、ユーザが、センサを構成すること、ツール、チャンバを含む状態及びセンサ状態を見ること、プロセス状態を見ること、履歴データを見ること、故障データを見ること、およびモデル化及びチャート化機能を実行することを可能にする。
【００３５】
図１に示す実施形態において、ＡＰＣシステム１４５は、ＩＳ１５０に結合することができるＡＰＣサーバ１６０と、クライアントワークステーション１７０と、ＧＵＩコンポーネント１８０と、データベース１９０とを備えることができるが、これは本発明に必要なことではない。ＡＰＣサーバ１６０は、少なくとも１つのツール関連アプリケーションと、少なくとも１つのモジュール関連アプリケーションと、少なくとも１つのセンサ関連アプリケーションと、少なくとも１つのＩＳ関連アプリケーションと、少なくとも１つのデータベース関連アプリケーションと、少なくとも１つのＧＵＩ関連アプリケーションとを含む多数のアプリケーションを備えることができる。さらに、ＡＰＣサーバは、多数のプロセス関連アプリケーションを具備することができる。
【００３６】
ＡＰＣサーバ１６０は、少なくとも１つのコンピュータと、多数のプロセスツールをサポートするソフトウェアとを備え、ツール、処理モジュール、センサ及びプローブからのデータを収集して同期させ、データをデータベースに蓄積し、ユーザが、現在のチャートを見ることができるようにし、故障検出を実行する。例えば、ＡＰＣサーバ１６０は、東京エレクトロン株式会社（Ｔｏｋｙｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ）のインジニオ（Ｉｎｇｅｎｉｏ）ソフトウェア等の操作ソフトウェアを備えることができる。該ＡＰＣサーバは、オンラインシステム構成、オンラインロット間故障検出、オンラインウェハ間故障検出、オンラインデータベース管理を可能にし、履歴データに基づくモデルを用いて、サマリデータの多変量解析を実行する。また、上記ＡＰＣは、プロセス及び処理ツールの実時間モニタリングを可能にする。
【００３７】
例えば、ＡＰＣサーバ１６０は、最低３ＧＢの使用可能なディスクスペースと、少なくとも６００ＭＨｚのＣＰＵ（デュアルプロセッサ）と、最低５１２ＭｂのＲＡＭ（物理的メモリ）と、ＲＡＩＤ５構成の９ＧＢ  ＳＣＳＩハードドライブと、ＲＡＭサイズの２倍の最低ディスクキャッシュと、ウィンドウズ２０００サーバソフトウェアインストールと、マイクロソフトインターネットエクスプローラと、ＴＣＰ／ＩＰネットワークプロトコルと、少なくとも２つのネットワークカードとを備えることができる。
【００３８】
ＡＰＣシステム１４５は、センサからの生データを含むファイルと、上記ツールからの追跡データを含むファイルとを格納する、少なくとも１つの記憶装置を備えることができる。それらのファイルが正しく管理されていない（すなわち、定期的に削除される）場合、該記憶装置は、ディスクスペースから外れて作動し、新たなデータの収集を停止することができる。ＡＰＣシステム１４５は、ユーザが古いファイルを削除することができるようにし、それによって、データ収集を中断することなく続けることができるようにディスクスペースを解放する、データ管理アプリケーションを備えることができる。ＡＰＣシステム１４５は、該システムを作動させるのに使用される複数のテーブルを備えることができ、それらのテーブルは、データベース１９０に格納することができる。また、オンサイトまたはオフサイトコンピュータ／ワークステーションおよび／またはホスト等の他のコンピュータ（図示せず）を、１つまたは多数のツールのための、データ／チャートビューイング、統計的プロセス制御（ｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌ  ｐｒｏｃｅｓｓ  ｃｏｎｔｒｏｌ；ＳＰＣ）チャーティング、ＥＰＤ解析、ファイルアクセス等の機能を実行するためにネットワークに接続することができる。
【００３９】
図１に示すように、ＡＰＣシステム１４５は、ＧＵＩコンポーネント１８０を備えることができる。例えば、ＧＵＩコンポーネントは、ＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０及びツール１１０に対するアプリケーションとして作動することができる。
【００４０】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣシステムのユーザが、できる限り少ない入力によって、所望の構成、データ収集、モニタリング、モデリング及びトラブルシューティングタスクを実行することを可能にする。ＧＵＩの設計は、ＳＥＭＩ（国際半導体製造装置材料協会）の半導体製造装置のためのヒューマンインタフェース規格（ＳＥＭＩ  Ｄｒａｆｔ  Ｄｏｃ．＃２７８３Ｂ）、およびＳＥＭＡＴＥＣＨ（半導体製造技術研究組合）戦略セルコントローラ（Ｓｔｒａｔｅｇｉｃ  Ｃｅｌｌ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ；ＳＣＣ）ユーザインタフェーススタイルガイド１．０（Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  ９２０６１１７９Ａ−ＥＮＧ）に従う。当業者は、ＧＵＩパネル／画面が、左から右への選択タブ構造および／または右から左への構造、下部から上部への構造、上部から下部への構造、組合せ構造、またはその他の構造を備えることができることを認識するであろう。
【００４１】
また、説明のために示した画面は、英語版であるが、これは、本発明に必要なことではなく、他の言語を使用することもできる。
【００４２】
また、ＧＵＩコンポーネント１８０は、上記ＡＰＣシステムとユーザとの間の対話の手段を実現できる。該ＧＵＩが始動すると、ユーザ登録名及びパスワードを確認し、第１のレベルのセキュリティを実行できるログオン画面を表示することができる。望ましくは、ユーザは、ログオン前に、セキュリティアプリケーションを用いて登録することができる。ユーザ登録名のデータベースチェックは、許可レベルを指し、これは、使用可能なＧＵＩ機能を簡素化する。ユーザが許可されない選択項目は、異ならせることができ、利用できなくすることができる。また、セキュリティシステムは、ユーザが現在のパスワードを変更できるようにする。例えば、ログオンパネル／画面は、ネットスケープやインターネットエクスプローラ等のブラウザツールから開くことができる。ユーザは、ユーザＩＤ及びパスワードをログオンフィールドに入力することができる。
【００４３】
許可されたユーザ及び管理者は、ＧＵＩパネル／画面を用いて、システム構成及びセンサ設定パラメータを変更することができる。ＧＵＩコンポーネント１８０は、ユーザが、処理ツール、処理モジュール、センサ及び上記ＡＰＣシステムを構成できるようにする、構成コンポーネントを備えることができる。例えば、ＧＵＩ構成パネル／画面は、処理ツール、処理モジュール、センサ、センサインスタンス、モジュール休止及びアラームのうちの少なくとも１つのために設けることができる。構成データは、属性データベーステーブルに格納することができ、また、設置時にデフォルト値と共に設定することができる。
【００４４】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、処理ツール、処理モジュール、センサ及び上記ＡＰＣシステムの現在の状態を表示する状態コンポーネントを備えることができる。また、該状態コンポーネントは、１つ以上の異なる種類のチャートを用いて、ユーザに、システム関連及びプロセス関連のデータを示すチャーティングコンポーネントを備えることができる。
【００４５】
また、ＧＵＩコンポーネント１８０は、リアルタイム操作コンポーネントを備えることができる。例えば、ＧＵＩコンポーネントは、背景タスクに結合することができ、また共用システム論理は、該背景タスク及び該ＧＵＩコンポーネントの両方によって使用される共通の機能性を実現できる。共用論理は、該ＧＵＩコンポーネントへの返却値が、該背景タスクへの返却値と同じであることを保証するために用いることができる。さらに、ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣファイル管理ＧＵＩコンポーネントと、セキュリティコンポーネントとを備えることができる。ヘルプパネル／画面も使用可能である。例えば、ヘルプファイルは、ＰＤＦ（Ｐｏｒｔａｂｌｅ  Ｄｏｃｕｍｅｎｔ  Ｆｏｒｍａｔ）および／またはＨＴＭＬフォーマットで提供される。
【００４６】
図１に示すように、ＡＰＣシステム１４５は、ファクトリシステム１０５および／またはＥ診断システム１１５に結合することができる。ファクトリシステム１０５および／またはＥ診断システム１１５は、半導体処理システムにおける上記ツール、モジュール、センサ及びプロセスを外部から監視し、また外部から制御する手段を実現することができる。あるいは、ファクトリシステム１０５及びＥ診断システム１１５は、ツール状態のモニタリングを実行することができる。例えば、ユーザは、ファクトリシステム１０５および／またはＥ診断システム１１５を介して上記半導体処理システムに結合されているウェブをベースとした端末を用いて、上記ツール状態監視システムにアクセスすることができる。
【００４７】
また、上記ＡＰＣシステム及びＥ診断システムは、リアルタイムで問題を解決するために一緒に作動することができる。例えば、ＡＰＣシステム１４５が故障を検知した場合、問題を診断するのに必要な情報を、上記ＡＰＣサーバによってまとめて該Ｅ診断システムに送ることができ、あるいは、後の該Ｅ診断システムによるアクセスのために蓄積することができる。操作方法は、セキュリティ制約および／または顧客のビジネスルールを用いて決定することができる。
【００４８】
また、上記ＡＰＣは、センサを付加し、駆動されるコンテキストおよび／またはイベントであるデータ収集プランを編集する手段を備える。例えば、このことは、Ｅ診断「プローブ」および／またはソフトウェアコンポーネントを、該Ｅ診断システムのためにダウンロードして該システムの障害を処理できるようにする。該ＡＰＣシステムは、問題を診断し、検知し、および／または予測することができる追加的なデータを提供することができる診断ツールからなるポータブルセットを備えることができる。例えば、上記ＡＰＣシステムは、それらの診断ツールを追加的なセンサとして使用することができる。最低レベルとしてアナログ入力を含む、多数のプロトコルをサポートする一般的なセンサインタフェースの場合、局所ポータブル診断ユニットは、上記ファクトリシステムに結合することができ、上記ＡＰＣシステム、Ｅ診断システムおよび／または該ファクトリシステムによって遠隔的に使用することができる。
【００４９】
上記ＡＰＣシステムは、工場で遠隔的に開発された、および該工場または該診断システムからダウンロードした新たなアプリケーションを備えることができる。例えば、新たなアプリケーションは、上記ＡＰＣサーバ内に局所的に存在することができる。該ＡＰＣシステムは、新たな手順を学習し、センサを動的に付加し、アプリケーションを追加し、また、カスタムセンサのためのＧＵＩ画面を追加する能力を有している。さらに、該ＡＰＣシステムは、ツールおよび／またはモジュールが誤動作したときに解決するタイミング解析アロケーション等の非常に特殊な手順（すなわち、モータまたはアクチュエータアーム位置を伴うウェハ処理システム問題）を実行することができる。
【００５０】
また、上記ＡＰＣシステムは、ツール動作に基づいて、サンプリングレートを変更することができる。例えば、データ収集サンプリングレート及び分析量は、ツール状態に基づいて変更することができる。また、該ＡＰＣシステムは、問題を予測し、あるいは、ツールおよび／またはモジュールが、限界状態の近くで動作していることを検知することもできる。
【００５１】
また、高等なユーザ及び管理者は、ＧＵＩ画面を用いてシステム構成やセンサ設定パラメータを変更し、ツール関連戦略（ｓｔｒａｔｅｇｉｅｓ）及びプランを生成しかつ編集し、および／またはナンバーツール及びモジュールを変更することができる。
【００５２】
上記ＡＰＣシステムは、顧客（エンドユーザ）が、処理ツール、処理モジュールおよび／またはセンサを付加できるようにする構成可能なシステムを用いて実施される。該ＡＰＣシステムは、顧客が、モニタリングソフトウェアをカスタマイズし、解析アプリケーションを追加し、および／または環境に新しいツール、モジュール及びセンサをインストールして監視できるようにする、開発環境及び方法を実現できる。
【００５３】
上記ＡＰＣシステムは、ツールの消耗可能な寿命を延ばし、ありうる故障のサインの検出を実行できるモニタリングシステムを顧客に提供することにより、該処理ツールの設備総合効率（Ｏｖｅｒａｌｌ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  Ｅｆｆｅｃｔｉｖｅｎｅｓｓ；ＯＥＥ）及び所有コスト（Ｃｏｓｔ  Ｏｆ  Ｏｗｎｅｒｓｈｉｐ；ＣＯＯ）を改善する。
【００５４】
上記ＡＰＣシステムのソフトウェアアーキテクチャは、４つの機能コンポーネント、すなわち、データ収集コンポーネントと、メッセージングシステムコンポーネントと、関係型データベースコンポーネントと、後処理コンポーネントとを含む。該アーキテクチャは、ランタイムデータ収集パラメータを格納するのに使用するメモリ内データテーブルも含む。上記ツール及びツールエージェントは、上記ＡＰＣシステムの外部にあり、それらはコンテキスト情報及び該ツールプロセスによってデータ収集を同期させるのに用いるスタートストップタイミングコマンドを提供する。
【００５５】
上記データ収集コンポーネントは、パラメータといわれるデータポイントを収集し、それらをファイルに書き込む。上記メッセージングシステムは、該データ収集コンポーネントから受け取ったランタイムデータの一時的記憶のために、メモリ内データテーブルを使用する。該メッセージングシステムは、エージェントおよび／またはツールクライアントによって、該データ収集期間の開始及び終了時を知らされる。該データ収集期間の終了時に、データは上記関係型データベースに送られ、該メモリ内データテーブルは、次の収集期間のためにクリアされる。該メッセージングシステムによって供給されたデータの後処理は、ランタイムに実行され、上記関係型データベースに格納されたデータの後処理は、オフラインで実行される。
【００５６】
上記ＡＰＣシステムの目的は、リアルタイム及び履歴のデータを用いて、上記半導体処理システムの性能を改善することである。この目的を達成するために、可能性のある問題は、それが発生する前に予測しかつ修正することができ、それに伴って設備のダウンタイム及び生産される非生産的なウェハの数を低減する。このことは、データを収集して、そのデータを、特定のツール、処理モジュールおよび／またはセンサの作用をモデル化するソフトウェアアルゴリズムに供給することによって実現することができる。上記ＡＰＣシステムは、特定の範囲内に該ツールの性能を保つために、後に前段へ供給され、または戻されるプロセスパラメトリック調節値を出力する。この制御は、異なるレベルで異なる形態で実現することができる。
【００５７】
上記ＡＰＣシステムのアラーム管理部分は、故障検知アルゴリズム、故障分類アルゴリズムおよび／または故障予測アルゴリズムを備えることができる。該ＡＰＣシステムは、ツール、処理モジュールおよび／またはセンサが故障するときを予測することができ、また、該故障を修正し、メンテナンス及び処理機能中に生産される非生産的なウェハの数を低減するための可能な解決法を識別することができる。
【００５８】
故障を予測することは、故障検知と故障のモデリングとの組合せである。この方法は、チャンバのクリーニング及び消耗可能なパーツの交換を最適化するのに用いることができ、生産の休止時の予防的なメンテナンスタスクの「適切なスケジューリング」を容易にすることが意図されている。故障を予測することは、複雑な多変量モデルまたは単純な単変量関係（例えば、エッチングにおけるウェット洗浄のためのＡＰＣ角度）のいずれかに基づいて行うことができる。例えば、故障の予測は、ツール、処理モジュールおよび／またはセンサがいつ故障するか、およびツール、処理モジュールおよび／またはセンサに対していつメンテナンスを実行するかを予測するのに用いることができる。
【００５９】
上記ＧＵＩアプリケーションは、ユーザに、センサがデータを収集しているか否かを判断する能力を与える。データ収集プランが、センサからのデータを必要としない場合、該センサのステータス状態は、ユーザに、このセンサがオンすることが予想されていないことを示す。例えば、データ収集プランが、センサからのデータを必要としない場合、該センサ状態は、「オンラインオフ」になり、該ユーザが、該システムレベルでセンサを不能にした場合には、該状態は、「オフラインオフ」になる。
【００６０】
ツール、モジュールおよび／またはセンサに対するインタフェースは、故障及びサービス関連の混乱に対して耐性がある。また、該インタフェースは、設定及びトラブルシューティング能力を備える。例えば、混乱が発生した場合、該ツール、モジュールおよび／またはセンサおよび／またはＡＰＣシステムは、該混乱を検知して、ロギング、アラーム及び自動回復／解析を始動して、正しい動作を判断し、かつ機能性の損失を最少化することができる。このようにして、製品を生産する顧客のリスクを低減することができると共に、上記ツール、モジュールセンサおよび／またはＡＰＣシステムは縮小された機能で動作する。
【００６１】
また、トラブルシューティングおよび／またはメンテナンスアプリケーションは、サービス／メンテナンスモード中に作動することができる。トラブルシューティングセンサ通信のために、センサは、ウェハを流すことなくテストすることができる。例えば、センサは、ＷＥＢをベースとするＧＵＩによって始動及び停止を設定することができる。この特徴は、センサ設定及びルーチンセンサメンテナンスに共通して用いることができる。
【００６２】
図２は、本発明の一実施形態に係るデータハブの例示的な相互接続図を示す。図示の実施形態に示すように、複数のデータハブを、実時間データ管理及び登録機能を有するＴｃｌを統合するのに用いることができる。例えば、アプリケーションモジュール及びユーザインタフェースは、該データハブに含まれる情報と同期した実時間登録停止によって、該データハブの情報にアクセスし、また該情報を更新するＳＱＬメッセージを用いることができる。メッセージ通信は、単純なメールボックスモデル及びＴｃｌアプリケーションプロセスを用いることができる。エラーに強く高性能なプロセス間通信は、分散形メッセージハブ（ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ  ｍｅｓｓａｇｅ  ｈｕｂ；ＤＭＨ）メッセージシステムを用いると可能である。
【００６３】
該ＤＭＨシステムは、国際文字データの交換をサポートすることができる。該ＤＭＨシステムは、単一のワークステーション上での、またはワークステーション間の、あるいは、様々なランタイム環境にわたる、プロセス間通信を処理することができる。このことは、センサベンダのシステム上、あるいは、上記プロセスツールに固有の走行に対して、ＤＭＨ顧客接続を配置することを可能にする。
【００６４】
分散形システムにおける一つの問題は、アプリケーション全体で、共用データの無矛盾のビューを実現すること、およびそれを効率的な方法で行うことである。登録概念を用いることができる。このスキームにおいては、データ項目のユーザは、登録サーバを用いて、該データ項目に対して登録を起動する。該データ項目が更新されると、ユーザプロセスは、該登録サーバから非同期通知を受け取る。ここで、ポーリングはなく、該ユーザプロセスは、当該項目を正確に追跡する。
【００６５】
ＤＭＨとデータハブ機能の組合せは、時間同期実行データのような複雑なタスクを可能にし、すなわち、データがテーブルに挿入され、ランタイムによって索引付けられた場合、それは時間同期される。高レベルの、データリッチなアプリケーション環境は、データ構成によって規定される、およびコードの柔軟性を欠くラインによって規定されないサマリデータを処理し、かつ整えるのに必要なツールをユーザに与える。Ｔｃｌインタプリタ及びＳＱＬインタプリタの可用性は、顧客パラメータデータ公式のための、およびコンテキスト基準の動的マッチングのためのメカニズムをもたらす。また、該インタプリタは、顧客登録をエンドユーザ顧客にさらす能力をもたらす。
【００６６】
例えば、ＤＭＨメッセージシステムサーバは、戦略、出力プラン及びデバイス設定情報等の構成データのためのホームとして機能することができる。開始時において、該構成データは、ＤＢ２から読み出される。上記システムの動作中、ＧＵＩクライアント及びセンサインタフェースクライアントは、このプロセスで管理される構成及び設定データに対して照会または登録することができる。該構成に対する変更は、このプロセスで実行され、登録によって該システムの停止に対して与えられる。また、該構成データに対する変更は、登録によって、ＤＢ２インタフェースプロセスを介して、ＤＢ２データベースに与えられる。状態データは、行ごとに１つのデータ項目がデータハブテーブルに保持される。上記ＧＵＩクライアントは、状態ビューが自動的にリフレッシュされるように状態画面がなっている場合、登録を開く。そこには、関連するコンテキストデータを有するプロセスツール及びシステムイベントを示すテーブルがある。このテーブルは、該ツールイベントの処理に関係なく、ツールインタフェースの符号化を展開し、かつテストすることを可能にする。
【００６７】
「監視論理」は、上記システムを介して配布することができる。イベント処理のいくつかは、メインハブに配置される。例えば、登録論理は、プロセスの実行が始動したときに反応し、プレランデバイス設定戦略を突き合わせ、かつセンサデバイスの所望の現在の構成を示す他のテーブルを更新することができる。イベント管理の少なくともいくつかは、上記メインハブで実行される非同期インタラクションによって構成することができる。
【００６８】
一実施形態において、データベースサーバ（データハブ）は、Ｗｉｎｄｏｗｓ  ＮＴサービスとして実行するように構成することができる。例えば、このことは、アプリケーションを、ユーザのログオンなしに、システムブートによって始動させることを可能にし、このことは、アプリケーションを実行したままで、ユーザがログオン及びログアウトできるようにし、このことは、アプリケーションを、ユーザのディスプレイと対話しないように構成できるようにし、またこのことは、アプリケーションが、ログインしたユーザとは異なるセキュリティ証明を有する異なるログオンアカウントを使用できるようにする。
【００６９】
データハブは、メモリ内での実時間データベース及び登録サーバを形成することができる。該データハブは、高性能実時間データ収集、データ時間同期、および生データストリームの、解析及びモニタリングアプリケーションへの入力のためのＳＱＬテーブル及びファイルへの処理のためのメモリ内ＳＱＬデータベースを形成することができる。また、該データハブは、上記ＤＭＨのためのサーバとすることもできる。該ＤＭＨは、単純化した高レベルのプログラミングインタフェースによって、プロセス間通信を実行できる。例えば、該データハブは、データ登録を実行することができ、この場合、クライアントソフトウェアは、選択基準を満たすデータが挿入され、更新され、あるいは削除されるたびに、非同期通知を受け取る。登録は、ＳＱＬ「選択」ステートメントのフルパワーを用いて、どのテーブルカラムが該当するか、またどの行選択基準が、将来のデータ変更通知をフィルタリングするのに用いられるかを指定することができる。また、上記データハブは、顧客をサポートするのを容易にする、動的に行ったり来たりするウェブアプリケーション等の待ち行列管理を実行することができる。また、該データハブは、データ取得等の高速プロセス及び入力等の低速プロセスの持続性データベースへの結合を可能にする。該データハブは、解釈プログラム環境の柔軟性を有するコンパイルした言語環境の性能を結合するアプリケーション論理サーバとすることができる。カスタム論理は、ツールコマンド言語（Ｔｏｏｌ  Ｃｏｍｍａｎｄ  Ｌａｎｇｕａｇｅ；ＴＣＬ）コードを用いて展開することができる。最初の実行時、ＴＣＬコードは、高性能のための内部バイトコード表現に透過的にコンパイルすることができる。例えば、ＴＣＰ／ＩＰメッセージを受け取り、実行するＴＣＬコードは、十個程のプログラミングステートメントを必要とする。また、上記データハブは、動的にロードしたＣ／Ｃ＋＋コードを用いると拡張できる。
【００７０】
ユーザが開発した処理手順は、Ｔｃｌプログラミング言語で書込むことができ、あるいは、Ｃ／Ｃ＋＋で符号化することができ、およびＤＬＬとして動的にロードすることができる。ランタイム中、処理手順は、修正、除去、または追加することができる。最良の動作のために、上記インタプリタは、その最初の実行中に、Ｔｃｌコードをコンパイルする。ユーザが書込んだ処理手順は、登録通知によって呼び出されたとき、あるいは、外部のクライアントプロセスから送られたメッセージによって呼び出されたときに、実行する。該Ｔｃｌ処理手順は、プロセス間通信のオーバーヘッドなしに、アプリケーションデータベーステーブルへの完全なアクセスを有する。さらに、ユーザが書込んだＴｃｌ処理手順は、ファイルシステム及びソケットＩＯ、カレンダー及び時間機能、ＯＤＢＣデータベースアクセス、ＤＭＨメッセージ機能、および当然他のアプリケーション処理手順を含むＴｃｌコマンドのリッチなセットへのアクセスを有する。
【００７１】
上記データハブは、データベースや登録サーバとすることができるため、顧客は、初期化されたときに、現在のテーブルデータに対して「同期した」登録を開くことができる。例えば、上記ＡＰＣシステムの場合、新たなユーザインタフェースセッションは、システム状態データ項目を読出すことができ、かつ上記メインデータハブに単一のコマンドを送ることにより、将来の変更に対する登録を開くことができる。
【００７２】
上記データハブは、システムブート時に始動することができる２つの追加的なプロセスと共に作動することができる。第１には、その機能が、ＤＭＨメッセージシステムクライアントの代表としてのＴＥＬＡＰＣ持続性データベースへの接続性を与えるためのものであるＳＱＬプロセスがあってよい。第２のプロセスは、その機能が、プロセス実行のデータを含むＳＱＬステートメントのファイルを管理しかつ処理することであるバッチローダプロセスとすることができる。これらの両プロセスは、上記データハブへのＤＭＨ接続が失われた場合に遮断するようにプログラムすることができる。
【００７３】
上記データハブは、ウェブクライアントアクセスを実行して、構成及び履歴データをモデル化することができる。モデルデータ構成アプリケーションは、ＤＭＨメッセージシステム通信を可能にするＪａｖａクラスのセットを用いる。論理は、実時間データハブテーブル内に存在する構成を、上記持続性データベース内の構成データと同期して維持することができることを保証するように存在する。
【００７４】
例えば、上記ＡＰＣサーバは、ある暦日の場合の全てのロットに対するデータベーステーブルの抽出を含む単一の大きなＺＩＰファイルを自動的に生成することができる。このようにして、該ファイルを自動的に生成することができ、すなわち、ユーザの介入は必要なく、インポートは、非常に速くすることができ（すなわち、１日のデータで約３分）、該ファイルは、サーバの生データ及びサマリからなる完全なミラーにすることができ、ツール名は、多数のＡＰＣサーバに対して有用に保存することができ、各日にちは、１つのＺＩＰファイルを有する。
【００７５】
データベースのメンテナンスの場合、日々のバックアップ、アーカイブ及び削除を該データベースに対して実行することができる。例えば、バックアップ及びアーカイブは、圧縮し及びｚｉｐ形式で圧縮することができる。このバックアップ方法は、該システム内部にインストールするテープを要する可能性があり、また、外部メディアを装着してフォーマット化し、ｚｉｐ形式で圧縮したファイルを格納するために、ヒューマンインタラクションを必要とする可能性がある。データベースのための例示的なデータフロー図を図３に示す。
【００７６】
ＡＰＣシステムのＢＡＤＤＲアプリケーションは、上記データベースに格納されているデータを自動的に保管し、結果として生じるファイルをサーバのハードドライブ上に格納する。これらのファイルは、ファイルシステムメンテナンスＧＵＩを用いて設定された設定に基づいて削除することができる。それらのファイルが自動的に削除される前に、保管されたそれらのファイルを外部のメディアにコピーすることは、オンサイトユーザおよび／または管理者の責任とすることができる。
【００７７】
上記ファイルシステムメンテナンスのコンポーネントは、ファイルエントリを保管し、変更するためのファイルメンテナンス画面を備えることができる。例えば、ファイルメンテナンスシステムは、ＡＰＣコントローラによって格納することができる５つのファイル形式を備えることができる。各ファイル形式に対するデフォルト削除期間は、該ＡＰＣコントローラがインストールされたときに設定することができる。
【００７８】
上記５つのファイル形式を以下に示す。
【００７９】
Ａｌｅｒｔ−これらのログは、システムエラーメッセージ及びイベントタイムスタンプ等の情報を含み、またトラブルシューティングに用いることができる。
【００８０】
ＤｂＡｒｃｈｉｖｅ−これらのファイルは、上記ＢＡＤＲＲアプリケーションによって生成することができる。該ファイルは、ユーザによって構成されたデータ収集プランに基づいて上記データベースに保存されているデータを含むｚｉｐ形式で圧縮したファイルとすることができる。
【００８１】
Ｅｖｅｎｔ−これらのログは、ツールエージェントから流されたイベント情報に基づいて生成することができる。
【００８２】
Ｒａｗ−生ファイルは、上記ツールから転送された追跡及びプロセスファイル、およびＯＥＳ及びＶＩＰセンサデータを含むファイルを含む。
【００８３】
ＲａｗＩｎｄｅｘ−これらのファイルは、生Ａｐｃデータに関する情報を含む。
【００８４】
図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の一実施形態に係る半導体処理システムにおけるデータを管理するフロー図の例示的な図を示す。ソフトウェア及び関連するＧＵＩ画面は、システム内の１つ以上の処理ツールからのデータを管理するための処理手順を備える。処理手順４００は、該半導体処理システムの各処理ツールに対して実行することができる。あるいは、処理手順４００は、該半導体処理システムの処理ツールからなる群に対して実行することができる。
【００８５】
処理手順４００は、４１０で始まる。プロセスが始まる前に、処理ツール、処理チャンバ及び複数のセンサを構成することができる。プロセスは、いくつかの異なるレベルの始点及び終点を含むことができる。プロセスは、ウェハ、ロット、バッチ、ツール、チャンバ、あるいはツールアクティビティの組合せからなる工程のセットを定義することができる。
【００８６】
４１２において、第１のレベルのＳｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔ（スタート  イベント）を受け取ることができる。例えば、処理ツールコントローラは、第１のレベルのＳｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔを上記ＡＰＣシステムに送ることができる。あるいは、別のコンピュータが該第１のレベルのＳｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔを送ることができる。
【００８７】
Ｓｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔは、プロセスまたはレシピ工程がスタートした時点とすることができ、またコンテキストベースとすることができる。例えば、Ｗａｆｅｒ＿Ｉｎ（ウェハ  イン）、Ｒｅｃｉｐｅ＿Ｓｔａｒｔ（レシピ  スタート）、Ｐｒｏｃｅｓｓ＿Ｓｔａｒｔ（プロセス  スタート）、Ｓｔｅｐ＿Ｓｔａｒｔ（ステップ  スタート）、Ｍｏｄｕｌｅ＿Ｓｔａｒｔ（モジュール  スタート）及びＴｏｏｌ＿Ｓｔａｒｔ（ツール  スタート）を、Ｓｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔとすることができる。また、第１のレベルのＳｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔは、ウェハが処理チャンバに入ったときに生じる可能性がある。あるいは、Ｓｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔは、ウェハが移送チャンバに入ったとき、あるいは、ウェハが処理システムに入ったときに生じる可能性がある。
【００８８】
４１４においては、制御戦略を実行することができる。制御戦略は、プロセスコンテキストに基づいて決めることができる。制御戦略は、処理ツール上のシーケンスのセット中に何が起きるかを決める。戦略は、単一のウェハ、単一のツール、単一のロット、またはツールアクティビティの組合せのためのシーケンスのセットを決めることができる。制御戦略は、処理アクティビティ、構成／設定アクティビティ、測定アクティビティ、プリコンディショニングアクティビティ、前測定アクティビティ、及び後測定アクティビティからなる組合せを含むことができる。戦略における各部分（アクティビティからなる群）は、プランと呼ばれる。コンテキストは、コンテキスト要素からなる組合せによって規定することができる。例えば、コンテキストは、予め決められた順序のコンテキスト要素の配列とすることができ、あるいは、コンテキストは、ディクショナリ形式のネームバリューペアからなるセットとすることができる。
【００８９】
制御戦略は、データをどのように管理することができるかを「制御する」。制御戦略は、少なくとも１つのデータ収集（ｄａｔａ  ｃｏｌｌｅｃｔｉｏｎ；ＤＣ）プランを含むことができ、またＤＣプランは、どのデータを収集するか、データをどのようにフィルタリングするか、およびデータをどのように格納するかを判断するのに用いることができる。戦略及びプランのための例示的なフロー図を図５に示す。
【００９０】
コンテキスト情報は、所定の操作を他の操作と関連付けるのに用いることができる。具体的には、該コンテキスト情報は、プロセス工程またはレシピを、１つ以上の戦略および／またはプランと関連付ける。該コンテキストは、どの戦略および／またはプランを特定のプロセスレシピに対して実行できるかを決める。
【００９１】
ランタイム中、Ｓｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔは、上記ＡＰＣシステムに、現在のコンテキストデータを探索させ、どの戦略が該コンテキストに一致しているかを判断し、どのプランを実行するかを判断し、それらの対応するスクリプトを呼び出す。制御戦略レコードは、ウェハ処理、ツール、チャンバ、レシピ、スロット等のコンテキストマッチング情報を含むことができる。例えば、上記ＡＰＣシステムは、ランタイム情報を比較することができ、また該情報を戦略のデータベースに対して一致させようとすることができ、各制御戦略は、次のコンテキスト情報、すなわち、ツールｉｄ、ロットｉｄ、チャンバｉｄ、カセットｉｄ、スロットｉｄ、ウェハｉｄ、レシピｉｄ、スタート時間、終了時間、工程番号、状態、メンテナンスカウンタ値、製品ｉｄ及び材料ｉｄのうちの少なくともいくつかを含む。プロセスコンテキストは、実行されているプロセス及び監視されているツールに依存することができる。例えば、レシピが、「ドライ洗浄」というコンテキストタームを含む場合、プロセスツールが、「ドライ洗浄」というコンテキストターム（要素）を含むいずれかのレシピを用いてプロセスを実行するときに、「ドライ洗浄」というコンテキストタームに関連する制御戦略を実行することができる。
【００９２】
コンテキストマッチングプロセスにおいては、サーチ順序が重要である。例えば、該サーチは、ＧＵＩテーブル内の優先順位を用いて実行することができる。該サーチは、ＳＱＬステートメントを用いて実施することができる。戦略が、一旦、識別されると、センサプラン、データ前処理プラン及び判定プランを含むデータ収集プランを自動的に判断することができる。データ収集プランＩＤ、データ前処理プランＩＤ及び判定プランＩＤは、「実行制御戦略」モジュールに送ることができる。比較プロセスコンテキスト機能が実行されるときに、マッチング戦略が存在しない場合には、ソフトウェアが、ツール状態画面及びポップアップウィンドウの障害フィールドにエラーメッセージを表示する。
【００９３】
実行コンテキストに一致する多くの制御戦略があるが、１つの制御戦略のみを、特定の処理ツールに対して特定の時間に実行することができる。ユーザは、該戦略をリスト上で上下させることにより、特定のコンテキストの範囲内で該戦略の順序を決定する。選択される戦略のための時間がきた場合、ソフトウェアは、リストのトップでスタートし、該コンテキストによって決定された要求に一致する第１の戦略が見つかるまで該リストを下っていく。
【００９４】
図４Ａに戻って説明すると、データ収集（ｄａｔａ  ｃｏｌｌｅｃｔｉｏｎ；ＤＣ）プランを、４１６において実行することができる。データ収集プランは、所望のデータを収集し、フィルタリングし、格納するユーザによって構成された再使用可能エンティティとすることができる。各制御戦略は、特に、データをどのように格納すべきか、および観測パラメータを格納のためにどのようにフォーマットするかを述べたデータ格納コンポーネントを含む関連するデータ収集プランを有する。上記ＡＰＣシステムのデータ管理コンポーネントは、柔軟性があり、かつ処理ツールがデータを収集できるようにする。例えば、処理ツールは、ウェハ処理中にデータを収集して、該データを追跡ファイルに格納することができる。各ウェハが該ツールで処理された後、該追跡ファイルは、該処理ツールから上記ＡＰＣシステムのデータ管理コンポーネントへコピーすることができ、この場合、ソフトウェアは、該ファイルを解釈して、該データをメモリ内のデータテーブルに転記する。そして、該メモリ内データは、後処理コンポーネントに送って、関係型データベースに転記することができる。
【００９５】
また、ＤＣプランは、データ前処理プランを備えることができる。データ前処理プランは、予測される観測パラメータを、データタイミング及びフィルタリング（すなわち、スパイクカウンティング、工程トリミング、ハイクリップ及びロークリップリミット）に対して、どのように処理すべきかを説明する。また、該データ前処理プランは、パラメータ選択定義、時間同期定義、工程定義、サマリ演算（トリム、クリップ／しきい値、スパイク）定義及び出力定義を含むことができる。該データ前処理プランにおけるパラメータ選択は、センサ固有のものとすることができる。上記ＡＰＣシステムは、各センサのための追跡パラメータリストを備えることができ、また該センサのためのデフォルトパラメータリストを、選択されるツールに従属させることができる。データ前処理手順のための例示的なフロー図を図６に示す。
【００９６】
また、ＤＣプランは、センサ設定プランを含むことができる。センサ設定プランは、１つ以上のセンサを、１つ以上の独立したモジュールに対して構成する方法について説明する。また、該プランは、関連するセンサによって収集すべきデータパラメータの選択、およびどのデータパラメータを保存すべきかの選択を含む。センサは、デバイス、計器、チャンバタイプ、または、観測データを収集するか、またはソフトウェア設定インタラクションを要するか、あるいは、センサの場合に、該システムソフトウェアによって処理することができるその他のエンティティとすることができる。例えば、処理モジュール（すなわち、エッチングチャンバ）を、データ収集プランにおけるセンサとして扱うことができる。同じセンサタイプのいくつかのインスタンスは、同時に１つのツールにインストールすることができる。ユーザは、各データ収集プランのための利用に対して、特定のセンサまたは複数のセンサを選択することができる。
【００９７】
図４Ａに戻って説明すると、上記センサは、４１８において初期化することができる。例えば、各センサに関連するデータレコーダの現在の状態の追跡を続けるために、大域状態変数を用いることができる。データレコーダのオブジェクト及び状態変数は、該センサの追跡を続けるソフトウェアによって用いることができる。該センサ状態は、停止中、準備中及び記録中とすることができる。該停止状態は、パワーアップ時に発生する。これを初期状態とすることができる。また、該停止状態は、記録が停止した後の状態とすることもできる。準備中状態は、センサが設定されたとき、およびセンサが記録を始める準備をしているときに入ることができる。記録中状態は、センサが「スタート」コマンドを送り、センサがデータの記録を始めたときに生じる。該センサは、「ストップ」コマンドが送られるまで、該記録中状態のままである。
【００９８】
４２０においては、第２のレベルのＳｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔを受け取ることができる。例えば、処理ツールコントローラは、第２のレベルのＳｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔを送ることができる。あるいは、他のコンピュータが、該第２のレベルのＳｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔを送ることができる。第２のレベルのＳｔａｒｔ＿Ｅｖｅｎｔは、Ｗａｆｅｒ＿ＳｔａｒｔイベントまたはＰｒｏｃｅｓｓ＿Ｓｔａｒｔイベントとすることができる。スタートイベントは、ウェハが処理モジュール（チャンバ）に入った後に生じることが可能である。あるいは、該スタートイベントは、設定ルーチンが完了したときに生じることができる。
【００９９】
４２２においては、センサを始動させることができる。例えば、センサインスタンスを構成するために、および／またはセンサインスタンスに関連するパラメータを変更するために、センサ設定項目画面を用いることができる。パラメータ保存画面は、選択されたデータ収集プランにおいて選択されたセンサインスタンスのためのパラメータのリストを示す。形式情報画面は、選択されたパラメータのための使いやすい形式のエディタを備えることができる。
【０１００】
パラメータ保存画面の例示的な図を図７に示す。図７においては、選択タブを有する情報パネルが示されている。該選択タブは、他のＧＵＩ画面を選択するのに用いることができる。あるいは、他のＧＵＩ画面を表示し、選択するのに、ナビゲーションツリーを用いることができる。該パラメータ保存画面は、選択されたデータ収集プランにおいて選択されたセンサインスタンスのためのパラメータのリストを示す。データベース保存プランは、該パラメータ保存画面における各パラメータへのリンクを備えることができる。
【０１０１】
図４Ａに戻って説明すると、４２４において、データを受け取ることができる。データは、１つ以上のセンサを使用して、上記ＡＰＣシステムのデータ管理コンポーネントによって収集することができ、各センサは、データレコーダを用いる。ランタイムにおいて、このデータは、ツール上の追跡ファイルと同様の生データファイルに送ることができる。レシピ終了時、該生データファイルを解釈することができ、該データは、上記ハブに含まれ、かつ該ハブによって管理されるメモリ内データテーブルに送ることができる。タイミングに対しては、各センサを、Ｃ−ＤＬＬ（センサインタフェース）によってラップすることができ、該Ｃ−ＤＬＬは、上記ＡＰＣサーバに対する無矛盾のインタフェースを形成することができるとともに、センサタイプ固有のものとすることができる、各センサに対するインタフェースを形成することができる。センサインタフェース、ハブ、データベース及びＡＰＣサーバ間の接続を図１に示す。
【０１０２】
各センサに対する接続は、Ｃ−ＤＬＬとして実施することができるセンサインタフェースによって形成することができる。ランタイム状態、すなわち、各センサからの最新のデータは、上記データ管理コンポーネントにおいて使用することができ、かつＧＵＩコンポーネントによってユーザへ提供することができる。該センサデータは、上記メモリ内データテーブルへの格納のために、ランタイム時に、上記ハブへ転送することができる。例えば、データ取得及びデータ処理のためのコンテキスト情報及びタイミングは、ツールエージェントによってエージェントクライアントへ与えることができる。該エージェントクライアントは、タイミングメッセージをデータ管理コンポーネントへ送り、データ管理コンポーネントは、タイミングメッセージを上記ハブへ送る。該コンテキスト情報は、動的センサ構成のために用いることができる。ウェハ処理工程の終了時に、該ハブは、上記メモリ内データテーブルの内容を上記関係型データベースへ転記して、次のウェハ処理工程のために、該テーブルをクリアする。
【０１０３】
例えば、新たな記録がスタートするたびに、各デバイスｉｄのためのデバイスランテーブルにレコードを書込むことができる。１つのセンサは、１つ以上のデバイスｉｄを有することが可能である。例えば、ＯＥＳセンサは、１つのＯＥＳセンサによって生成されるデータ量により、４つのデバイスｉｄを使用することができる。１つのデバイスｉｄの各サンプルの場合、１行のデータを１つの生データテーブルに挿入することができる。
【０１０４】
データレコーダインタフェースの例示的な実施を図８に示す。例えば、データレコーダインタフェースは、実時間でデータを上記ハブへ流すことができる。該データレコーダが、ファイルをディスクに書込めるようにするために、スイッチを設けることができる。また、該データレコーダは、該ファイルを読出し、オフライン処理及び解析のために、データポイントを上記ハブへ流す方法を備えることもできる。
【０１０５】
あるいは、該データレコーダインタフェースは、データポイントを生データファイルに書込むことができ、該ハブは、スタートコマンドを該データレコーダへ送って、データ収集を始動させることができる。ストップコマンドは、該ファイルを閉じさせる。この場合、該ハブは、上記データファイルを読出して解釈し、該データを処理して、該データ値を上記メモリ内データテーブルへ転記する。
【０１０６】
４２６においては、第２のレベルのＥｎｄ＿ｅｖｅｎｔを受け取ることができる。例えば、処理ツールコントローラは、第２のレベルのＥｎｄ＿Ｅｖｅｎｔ（エンド  イベント）を送ることができる。あるいは、他のコンピュータが、該第２のレベルのＥｎｄ＿Ｅｖｅｎｔを送ることができる。第２のレベルのＥｎｄ＿Ｅｖｅｎｔｓは、プロセスまたはレシピ工程が停止した時点とすることができる。Ｗａｆｅｒ＿Ｏｕｔ（ウェハ  アウト）、Ｒｅｃｉｐｅ＿Ｅｎｄ（レシピ  エンド）、Ｐｒｏｃｅｓｓ＿Ｅｎｄ（プロセス  エンド）、Ｓｔｅｐ＿Ｅｎｄ（ステップ  エンド）、Ｍｏｄｕｌｅ＿Ｅｎｄ（モジュール  エンド）及びＴｏｏｌ＿Ｅｎｄ（ツール  エンド）は、Ｅｎｄ＿Ｅｖｅｎｔｓ（エンド  イベント）とすることができる。第２のレベルのＥｎｄ＿Ｅｖｅｎｔは、Ｗａｆｅｒ＿Ｅｎｄ（ウェハ  エンド）イベントとすることができ、Ｗａｆｅｒ＿Ｅｎｄイベントは、ウェハが処理モジュール（チャンバ）を出たときに生じることができる。あるいは、Ｗａｆｅｒ＿Ｅｎｄイベントは、処理工程が完了したときに生じることができる。
【０１０７】
プロセスレシピは、１つ以上の第２のレベルのＳｔａｒｔ＿ｅｖｅｎｔと、１つ以上の第２のレベルのＥｎｄ＿ｅｖｅｎｔとを含むことができる。例えば、各プロセス工程は、第２のレベルのＳｔａｒｔ＿ｅｖｅｎｔ及び第２のレベルのＥｎｄ＿ｅｖｅｎｔを含むことができる。
【０１０８】
４２８においては、センサを停止させることができる。例えば、上記レコーダの状態は、記録中から準備中に変化させることができる。一般的な場合、各データレコーダは、センサの始動時に使用可能にすることができ、かつウェハの完了時にターンオフすることができる。データは、ウェハ間で記録することができる場合もある（環境データ、すなわち、移送チャンバ真空、温度、湿度等）。この場合、該レコーダは、構成可能な、１つのサンプルレートでウェハに、および異なるサンプルレートでマシンオブジェクトに、該データを関連付けるデータの多数の出力を有することができる。
【０１０９】
４３０においては、生データ収集ファイルを閉じることができる。例えば、該レコーダの状態は、準備中から停止中に変化させることができる。
【０１１０】
４３２においては、追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータを処理ツールから受け取ることができる。あるいは、追跡ファイルデータおよび／またはプロセスログファイルデータは、他のコンピュータから受け取ることができる。
【０１１１】
４３４においては、第１のレベルのＥｎｄ＿Ｅｖｅｎｔを受け取ることができる。例えば、処理ツールコントローラは、第１のレベルのＥｎｄ＿Ｅｖｅｎｔを送ることができる。あるいは、他のコンピュータが、該第１のレベルのＥｎｄ＿Ｅｖｅｎｔを送ることができる。Ｅｎｄ＿Ｅｖｅｎｔは、プロセスまたはレシピ工程が停止した時点とすることができ、かつコンテキストベースとすることができる。例えば、Ｗａｆｅｒ＿Ｏｕｔ、Ｒｅｃｉｐｅ＿Ｓｔｏｐ（レシピ  ストップ）、Ｐｒｏｃｅｓｓ＿Ｓｔｏｐ（プロセス  ストップ）、Ｓｔｅｐ＿Ｓｔｏｐ（ステップ  ストップ）、Ｍｏｄｕｌｅ＿Ｓｔｏｐ（モジュール  ストップ）及びＴｏｏｌ＿Ｓｔｏｐ（ツール  ストップ）は、Ｅｎｄ＿Ｅｖｅｎｔｓとすることができる。第１のレベルのＥｎｄ＿Ｅｖｅｎｔは、ウェハが処理チャンバを出たとき（Ｗａｆｅｒ＿Ｏｕｔ）に生じることができる。あるいは、Ｅｎｄ＿Ｅｖｅｎｔは、ウェハが移送チャンバを出たとき、あるいは、ウェハが処理システムを出たときに生じることができる。
【０１１２】
ウェハデータは、上記生データを上記追跡ファイルデータ及びプロセスログファイルデータと同期させることによって生成される。上記データ管理コンポーネントは、該ウェハデータを上記ハブにロードする。例えば、特定のセンサデータファイル、および該ウェハ処理をデータベース内で固有のものにするためのキー変数をロードするスクリプトを呼び出すのに必要な情報を有する各センサデータファイルのためのハブに対して、メッセージを送ることができる。ウェハデータは、追跡データ、プロセスログデータ、レシピ設定データ、メンテナンスカウンタデータ及びセンサデータを含むことが可能である。
【０１１３】
４３６（図４Ｂ）においては、データ前処理および／またはデータ要約を実行することができる。例えば、データ前処理プランは、上記データ収集ハブにおいて実行することができる。あるいは、上記ＡＰＣコントローラは、該データ前処理プランの一部を実行することができる。データ前処理プランは、いくつかの機能を備えることができる。ＯＥＳセンサのための例示的なフロー図を図９に示す。
【０１１４】
図４Ｂに戻って説明すると、データ前処理プランを実行するのに必要な設定は、少なくとも１つのＧＵＩ画面を使用して指定することができる。該設定は、データベースに、データ前処理プランとして保存することができる。コンテキスト情報がＡＰＣコントローラに入ってきたとき、「コンテキストをベースとする実行」モジュールは、適切な前処理プランを抽出する。上記データベーステーブル内の優先順位に基づいて、１つの前処理プランのみを選択することができる。該抽出された前処理プランに基づいて、時系列データを生成することができ、ウェハサマリデータを生成することができ、および／またはロットサマリデータを生成することができる。必要な場合、カスタムパラメータを計算することができる。例えば、カスタムパラメータは、形式情報画面を用いたデータ収集プランに対して生成することができる。
【０１１５】
時系列データを生成する場合、該時系列データは、生データファイルから生成することができ、上記データベースに格納することができる。時間同期は、データ転送速度によって指定することができる。時間同期は、データをレシピ工程に関連付けるために、およびデータをファイルに出力するために用いることができる。
【０１１６】
ウェハサマリデータを生成する場合、該ウェハサマリデータは、時系列データファイルから生成することができ、上記データベースに格納することができる。必要な場合、データトリミングは、工程に関連付けられたパラメータに対して実行することができる。必要な場合、選択されたパラメータに対して、データクリッピングを実行することができる。また、スパイク解析を、必要に応じて、選択されたパラメータに対して実行することができる。また、統計値（最大、最少、平均、３シグマ）を計算することができる。データは、ファイルに移すことができ、また履歴時系列データは、上記データベースからロードすることができる。
【０１１７】
ロットサマリデータを生成する場合、該ロットサマリデータは、ウェハレベルデータファイルから生成して、上記データベースに格納することができる。データは、特定のパラメータまたは工程を用いて選択することができる。また、統計値（最大、最少、平均、３シグマ）を計算することができる。データは、ファイルに移すことができ、また履歴時系列データは、上記データベースからロードすることができる。ウェハ及びロットサマリデータが計算された後、該データは、適当な解析プラン（すなわち、ＳＰＣチャートおよび／またはＰＣＡ／ＰＬＳモデル）に送ることができる。
【０１１８】
例えば、「データ前処理」アプリケーションは、「コンテキストをベースとする実行」アプリケーションからデータ前処理プランＩＤを受け取ることができる。「データ前処理」アプリケーションは、時系列データを生成する前に、必要な設定を抽出することができる。ウェハアウトイベント後、データ収集プランは、処理しようとする追跡、ＶＩＰ／ＳＣＮ及びＯＥＳファイルを形成することができる。そして、「データ前処理」アプリケーションは、上記データハブ内に時系列データを生成することを始めることができる。オフライン機能として、「データ前処理」アプリケーションは、タブ区切り、コンマ区切り等のユーザの優先度に従って、時系列データファイルを生成することができる。
【０１１９】
例示的なサマリデータ生成プロセスを図１０に示す。図示の実施例においては、工程における時間＜工程開始トリムであるデータポイントは捨てられ、かつ工程における時間＞工程終了トリムであるデータポイントも捨てられるため、トリミングは、データポイント「Ａ」、「Ｎ」及び「Ｏ」に対して行われる。図示の実施例においては、クリップ限界より大きなデータ値は捨てられ、かつしきい限界より小さいデータ値が捨てられるため、クリッピングは、データポイント「Ｃ」及び「Ｍ」に対して行われる。また、上限スパイクよりも大きい１つの残ったデータポイント「Ｇ」があるため、高スパイクカウントは１であり、かつ下限スパイクよりも小さい残っているデータポイントはないため、低スパイクカウントは０である。
【０１２０】
また、次のパラメータ、すなわち、最大、最少、平均及び３シグマを計算して、該計算値を上記データベースに保存するために、「統計値を計算する」機能を用いることができる。この場合には、上記パラメータの標準偏差を計算できるように、少なくとも２つのポイントを有する必要がある。２つより少ないデータポイントしかない場合には、ナル値を入れることができる。
【０１２１】
４３８においては、上記プロセスの特定の部分に対するデータ収集プロセスを完了することができる。例えば、該データ収集プロセスは、特定のウェハまたは基板に対して完了することができる。該ウェハデータは、ＳＱＬファイルに入れることができ、該ＳＱＬファイルは、データベースローダ待ち行列に入れることができる。あるいは、該データ収集プロセスは、ウェハまたは基板等の製品からなる群に対して完了することができる。
【０１２２】
各データ収集プランは、少なくとも１つの、それに対して割り当てられたデータフロータイプを有することができる。データフロータイプは、収集するデータを用いて何ができるかを定義する。例えば、ＤＡＴＡＢＡＳＥ＿ＳＡＶＥフロータイプは、上記データベースに書込むパラメータや周波数及び該パラメータを書込むことができる条件を指定するのに用いることができる。ＤＡＴＡＢＡＳＥ＿ＳＡＶＥフロータイプは、他のデータ収集プランでの用途に使用できるように、該データベースにデータを書込むのに用いられる。
【０１２３】
以下のデータフロータイプを用いることができる。
【０１２４】
ａ．ＦＩＬＥ＿ＲＡＷＤＡＴＡフロータイプは、生データを、外部の解析のための出力ファイルに書込むことができる条件を定義する。
【０１２５】
ｂ．ＦＩＬＥ＿ＳＵＭＭＡＲＩＥＳフロータイプは、サマリデータを、外部の解析のための出力ファイルに書込むことができる条件を定義する。所定のパラメータに対するサマリデータは、各レシピ工程に対して４つの値、すなわち、平均、３シグマ、最大及び最少を含むことができる。
【０１２６】
ｃ．ＳＩＭＣＡ＿Ｐ＿ＲＡＷフロータイプは、生データを、モデリング及び解析のためのＳＩＭＣＡ−Ｐへの入力のための出力ファイルに書込むことができる条件を定義する。
【０１２７】
ｄ．Ｓｉｍｃａ＿Ｐ＿ＳＵＭフロータイプは、サマリデータを、モデリング及び解析のためのＳＩＭＣＡ−Ｐへの入力のための出力ファイルに書込むことができる条件を定義する。
【０１２８】
ｅ．ＴＥＬ＿ＳＴＥＰ＿ＳＵＭフロータイプは、出力の内容に関してＳＩＭＣＡ＿Ｐ＿ＳＵＭフロータイプと同様である。しかし、出力ファイルのデータは、異ならせて順序づけることができる。
【０１２９】
ｆ．ＳＰＣ（Ｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｃｏｎｔｒｏｌ；統計的プロセス制御）フロータイプは、レシピ工程のための単一のパラメータに対するサマリデータを、単変量解析及びＳＰＣチャーティングのためのＳＰＣモジュールに入れることができる条件を定義する。工程サマリデータは、ＤＡＴＡＢＡＳＥ＿ＳＡＶＥプランを用いて上記データベースに保存されたデータを使用して計算することができる。
【０１３０】
ｇ．ＰＣＡ＿ＳＰＣフロータイプは、１つの工程のための１つ以上のパラメータに対するサマリデータを、多変量解析のためのＰＣＡ（ｐｒｉｎｃｉｐｌｅ  ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ  ａｎａｌｙｓｉｓ；主成分分析）モジュールに入れることができ、該データをその後、ＳＰＣチャートに送ることができる条件を定義する。
【０１３１】
例えば、ＦＩＬＥ＿ＲＡＷＤＡＴＡデータタイプにより生成されたファイルは、上記指定されたパラメータのための生センサデータを含むことができる。出力ファイルの各行は、該プランで指定された出力時間に基づいて、生データエントリを含むことができる。該出力時間を毎秒一回とすることができる場合、各連続する行は、ウェハが処理された各連続する秒に対する生データを含むことができる。
【０１３２】
４４０においては、現在のコンテキストをマッチングすることにより、解析戦略を決めることができる。例えば、解析戦略は、ＳＰＣチャートを生成するためのデータを使用することにより、多変量解析（ｍｕｌｔｉ−ｖａｒｉａｔｅ  ａｎａｌｙｓｉｓ；ＭＶＡ）を実行するためのデータを使用し、かつ判断プランを実行するためのデータを使用することにより、収集後のデータを「解析」するのに用いることができる。データ収集の終了後、ウェハコンテキストは、解析（Ｆａｕｌｔ  Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ  Ｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎ（ＦＤＣ）；故障検出分類）戦略、および適当な戦略と比較することができ、またプランを識別することができる。複数の戦略を選択することができる。コンテキストサーチは、ＳＱＬステートメントを用いて実施することができる。識別された戦略は、上記解析プラン及び判断プランを決めるのに用いることができる。一旦、解析戦略が識別されると、少なくとも１つのデータ解析プラン及び少なくとも１つの判断プランを、自動的に決定することができる。
【０１３３】
解析戦略は、プロセスコンテキストに基づいて決めることができる。解析戦略は、上記処理ツール上のシーケンスのセット中に何が起きるかを定義する。解析戦略は、単一のウェハ、単一のツール、単一のロット、またはツールアクティビティの組合せのためのシーケンスのセットを定義することができる。例えば、解析戦略レコードは、ウェハ処理、ツール、チャンバ、レシピ、スロット等のコンテキストマッチング情報を含むことができる。コンテキスト情報は、所定のオペレーションを他のオペレーションに関連付けるのに用いることができる。具体的には、コンテキスト情報は、プロセス工程またはレシピを１つ以上の戦略および／またはプランに関連付ける。該コンテキストは、特定のプロセスレシピに対して、どの戦略および／またはプランが実行されるかを決める。例えば、レシピが、「ドライ洗浄」というコンテキストタームを含む場合、「ドライ洗浄」というコンテキストストリングを含む戦略レコードを有する解析戦略を、上記プロセスツールが「ドライ洗浄」と名付けられた任意のレシピを有するプロセスを実行するときに、実行することができる。
【０１３４】
例えば、解析戦略は、次のもの、すなわち、ファイル出力プラン、ＳＰＣプラン、ＰＣＡプラン及びＰＬＳプランのうちの１つ以上を含むことができる。また、解析戦略は、特定の時間に実行することができるプランを含むことができる。ツール状態、洗浄タイミング及びならし完了等の共通のアプリケーションは、多くの解析プランに実装することができる。例えば、ツール状態プランは、全てのウェハ処理に対して実行することができ、洗浄タイミングプランは、特定のウェハ処理（すなわち、１つのカセットにおける最初のウェハ処理またはダミーウェハ処理）に対して実行することができ、ならし完了プランは、ならし（すなわち、ダミーウェハ）処理に対して実行することができ、仮想エッチング状態モニタプランは、製造ウェハ処理に対して実行することができ、消耗品プランは、特定のウェハ処理（すなわち、１つのカセットにおける最初のウェハ処理またはダミーウェハ処理）に対して実行することができ、チャンバ設定チェックプランは、ならし（すなわち、ダミーウェハ）処理に対して実行することができる。
【０１３５】
４４２においては、解析プランを実行することができる。一実施形態においては、「解析戦略を実行する」モジュールが、「コンテキストマッチング」モジュールから、解析プランＩＤ及び判断プランＩＤからなるリストを受け取ることができ、かつ該解析プラン及び判断プランを一つずつ実行することができる。例えば、該「解析戦略を実行する」モジュールは、複数の解析戦略を処理するループ構造を含むことができ、これは、上記ハブを用いて実施することができる。
【０１３６】
一実施形態においては、「解析プランを実行する」モジュールは、「ＦＤＣ戦略を実行する」モジュールによって呼び出すことができ、また、使用する引数は、解析プランＩＤとすることができる。該解析プランを実行する場合、解析プラン設定を抽出することができ、１つ以上のＰＣＡプラン（モデル）設定を抽出することができ、１つ以上のＰＬＳプラン（モデル）設定を抽出することができ、ＳＰＣプラン（チャート）設定を抽出することができ、ルール設定を抽出することができる。
【０１３７】
解析プランは、移動可能であり、様々なカスタマ及び非カスタマサイトで、異なるコンピュータへ移すことができ、かつ異なるコンピュータから取り込むことができる。また、エンドユーザが、いくつかの該解析プランに含まれていてもよいポーズコマンドを無効にすることができるように、動作マスキング機能を設けることができる。
【０１３８】
図１１は、本発明の一実施形態に係るコンテキスト選択画面の例示的な図を示す。コンテキスト選択画面は、新たな戦略が生成されているときにアクセスすることができる。例えば、コンテキスト選択画面は、データ管理画面上の戦略フォルダを選択することによりアクセスすることができる。
【０１３９】
図１１に示すように、コンテキスト選択画面は、戦略の名称を表示する名称フィールドと、戦略の種類を表示する戦略種類フィールドと、ツールを表示するツールフィールドと、この特定の戦略を使用可能にし、または不能にするＩｓ使用可能チェックボックスと、該戦略の簡単な説明を表示する説明フィールドと、選択された処理モジュールの番号を表示するモジュールフィールドとを備えることができる。
【０１４０】
また、多数の使用コンテキスト仕様フィールドは、ユーザが、該戦略のための使用コンテキストを選択できるようにする。ユーザは、使用コンテキストを指定するために、フィールド値を選択することができ、または、ユーザは、使用コンテキストを指定するために、ＳＱＬ表現を選択することができる。また、レシピフィールドは、プロセスレシピを表示する。選択ボタンは、ユーザがプロセスレシピを選択できるようにする。ロットＩＤフィールドは、ロットＩＤを表示する。ウェハＩＤは、ウェハＩＤを表示する。開始時間後フィールドは、処理されたウェハ処理を見せるために開始日を表示するのに使用される。開始時間前フィールドは、処理されたウェハ処理を見せるために終了日を表示するのに使用される。スロット番号フィールドは、選択されたウェハのためのスロット番号を表示するのに使用される。カセット番号フィールドは、選択されたウェハのためのカセット番号を表示するのに使用される。ＳＱＬ表示ボタンは、該フィールドに入れられた情報から生成されたＳＱＬ表現を生成するのに使用され、ＳＱＬテストボタンは、該フィールドに入れられた情報から生成されたＳＱＬ表現のための文法チェックに使用される。保存ボタンは、ユーザが戦略選択を保存できるようにし、取り消しボタンは、ＳＱＬ表現の一部を消去するのに使用され、クローズボタンは、戦略情報を保存することなく該画面から出るのに使用される。
【０１４１】
コンテキスト選択画面は、新たな制御（データ収集）戦略および／または解析（データ解析）戦略を生成するのに使用されることができる。
【０１４２】
４４４においては、ＳＰＣプランは、定義可能な解析フローまたはコンテキストをベースとする実行を用いて実行することができる。例えば、統計的プロセス制御は、プロセスが終了した後にツールから集められた情報を解析することを含むことができる。統計的プロセス制御は、統計的モデルを用いて、製品の品質を改善し、プロセス効率を向上させ、コストを低く保つことができる。ＳＰＣは、ウェハデータが収集された後に、選択されたプロセスをモニタするのに用いることができる。該プロセスをモニタすることの目的は、時間の経過によって平均および分布が変化したか否かを判断することである。
【０１４３】
データが収集された後、サマリデータを計算して、ウェハごとに１つのポイントをチャート上にプロットすることができる。ＡＰＣソフトウェアは、ステップサマリパラメータを用いてデータを要約することができる。例えば、履歴データを見た後、プロセスエンジニアは、初期制御限界を設定して、どの処理ルールを該プロセスに適用するかを決定することができる。該プロセスを観察した後、該エンジニアは、定義可能なドリフトが生じた場合、該限界を再設定してもよい。
【０１４４】
ＳＰＣチャートは、ステップサマリパラメータを用いてデータを示す。この情報をどのように該ＳＰＣチャートに与えるかが、レシピ工程のための単一のパラメータに対するサマリデータを、単変量解析及びＳＰＣチャーティングのためのＳＰＣモジュールに入れることができる条件を決める。該ステップサマリデータは、データ収集プランによって上記データベースに保存されたデータを用いて計算することができる。
【０１４５】
一実施形態において、「ＳＰＣチャートを実行する」モジュールは、「解析プランを実行する」モジュールによって呼び出すことができ、引数は、チャートＩＤとすることができる。例えば、「ＱｕＭＡＰ」は、ＳＰＣアプリケーションとして用いることができ、「ＱｕＭＡＰ」が実行された場合、Ｔ２、Ｑ及び予測可能値がプロットされる。ＳＰＣプランが実行された場合は、ＳＰＣアラームを起動することができる。
【０１４６】
４４６においては、ＰＣＡ及びＰＬＳプランを実行することができる。多変量解析は、現在の現象を予測するまたは理解するために、多数の変数の同時解析を必要とする。多変量解析は、一度に一つの変数をモニタリングすることを伴う。単変量解析は、従来、様々なプロセスを解析するのに用いられてきたが、多変量解析は、多くの追加的な恩恵を有している。多変量解析の目的は、モニタしなければならない変数の数を減らすことである。モデルは、同時に多くの変数をモニタすることなく、モデル出力をモニタできるように、生成される。多変量解析は、処理間基準に対するプロセスの変動を表わす方法及び常には測定されないプロセス及び製品パラメータを予測する方法として、モデリングを用いる。
【０１４７】
主成分分析（ＰＣＡ）は、ｎ個の相互関係を有する変数のセットの中の関係を調べるのに用いられる数学的方法である。これは、関連パラメータの初期群を新しい関連のない変数に変えることによって実現できる。主成分（ｐｒｉｎｃｉｐａｌ  ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ；ＰＣ）としても知られるこの新たな群は、分散による重みの降順の変数のもとのセットの線形の組合せである。最初の主成分は、変数の後続のセットよりも初期のセットにある分散より、大きな割合になる。
【０１４８】
部分的最少二乗法（ｐａｒｔｉａｌ  ｌｅａｓｔ  ｓｑｕａｒｅｓ  ｍｅｔｈｏｄ）は、ＰＣＡと同じ投影方法を用いるが、部分的最少二乗法は、データを入力と出力に分ける。ＰＬＳは、ＰＣＡと同じ成分構造を用いてモデルを作成して、測定された入力のみから将来の出力を予測する。ＰＬＳ出力は、個別にＳＰＣチャートにプロットすることができる。
【０１４９】
一実施形態において、「ＰＣＡ／ＰＬＳモデルを実行する」モジュールは、「解析プランを実行する」モジュールによって呼び出すことができ、用いる引数は、ＰＣＡ／ＰＬＳモデルＩＤとすることができる。全てのＰＣＡ及びＰＬＳプランは、テンプレートに従って実行することができる。定義可能な解析フローは、該テンプレートに従って、ＰＣＡ／ＰＬＳモデルまたはＳＰＣチャートを実行することができ、規則実行を用いて障害クラスを決める。ここで、ＳＰＣアラームを起動してもよい。
【０１５０】
例えば、定義可能な解析フローは、サブルーチンを呼び出すことにより、あるＰＣＡモデルを実行することができる。ＰＣＡモデルまたはＰＬＳモデルは、モデルＩＤ及びランＩＤ等の１つ以上の引数を有するサブルーチンを呼び出すことにより実行することができる。ＰＣＡサブルーチンが実行する場合、該サブルーチンは、テーブルからモデル設定値を抽出し、Ｔ２及びＱを計算し、それらをテーブルに格納し、ポイント（＝Ｔ２及びＱ）をＱｕｍａｐにプロットすることができ、また該モデル設定値を定義可能な解析フローに戻すことができる。
【０１５１】
４４８においては、ファイル出力プランを実行することができ、またファイルを格納することができる。例えば、ファイル出力プランフォーマットは、生値対ランタイムを含むことが可能なＦＩＬＥ＿ＲＡＷＤＡＴＡファイルと、パラメータ及び工程によって格納されたサマリ値を含むことが可能なＦＩＬＥ＿ＳＵＭＭＡＲＩＥＳファイルと、サマリ値を工程ごとに１行、追加のコンテキストデータとともに含むことができるＲＵＮ＿ＳＴＥＰ＿ＳＵＭファイルと、サマリ値を処理ごとに１行、追加のコンテキストデータとともに含むことができるＲＵＮ＿ＳＵＭファイルと、Ｓｉｍｃａ−Ｐに入れるために、生値対ランタイムを含むことができるＳＩＭＣＡ＿Ｐ＿ＲＡＷファイルと、Ｓｉｍｃａ−Ｐに入れるために、サマリ値を処理ごとに１行含むことができるＳＩＭＣＡ＿Ｐ＿ＳＵＭファイルと、および／またはサマリ値を工程ごとに１行含むことができるＴＥＬ＿ＳＴＥＰ＿ＳＵＭファイルとを含むことができる。
【０１５２】
ファイルが、多数のウェハ処理に対するデータを含むかどうかは、該ファイルに対する命名規則に依存する。例えば、該ファイル名がプラン名と同じ場合、および新しいデータの追加オプションが選択された場合、該ファイルは、多数の処理に対するデータを含むことができる。該ファイル名がプロセスランＩＤと同じ場合には、該ファイルは、単一のウェハ処理に対するデータを含むことができる。各行の個々のデータ値は、出力ファイルを表計算アプリケーションに入れることができるように、タブ区切りまたはコンマ区切りとすることができる。該出力ファイルの最初の行は、見出し行とすることができ、また該ファイルの各データ列のタイトルを含むことができる。該出力ファイルの各後続の行は、ランＩＤで始まり、観測、および各パラメータの値が続く。該ランＩＤは、次の項目、すなわち、ウェハ処理開始日、シーケンス番号、処理モジュール及びツールＩＤのうちの１つ以上を含むことができる。該出力ファイルの各行は、上記データ収集プランで指定された出力時間に基づいて、生データエントリを含むことができる。例えば、該出力時間が毎秒一度の場合、各連続する行は、ウェハが処理される各連続する秒に対して、生データを含むことができる。
【０１５３】
例えば、「ＦＩＬＥ＿ＲＡＷＤＡＴＡ」プランによって生成されるファイルは、指定されたパラメータに対する生センサデータを含むことができる。「ＳＩＭＣＡ＿Ｐ＿ＲＡＷ」プランによって生成されるファイルは、該指定されたパラメータに対する生センサデータを含むことができる。このデータは、Ｓｉｍｃａ−Ｐに固有のフォーマットとすることができる。Ｓｉｍｃａ−Ｐサマリファイルは、Ｓｉｍｃａ−Ｐモデリングを容易にするように設計される。Ｓｉｍｃａ−Ｐサマリファイルは、平均値、３シグマ値、最小値、最大値、範囲、または該プランにおける各レシピ工程における１つのプランにおける各パラメータに対して、それらの値の組合せを含んでもよい。
【０１５４】
例えば、「ファイルサマリ」プランによって生成されるファイルは、指定されているパラメータに対する１つ以上のウェハのためのサマリデータを含む。パラメータのためのサマリデータは、ウェハ処理に対するパラメータの最少、最大、平均及び３シグマ値を含むことができる。サマリ出力ファイルは、一般に、多数のウェハに対するデータを含むが、該ファイルの内容は、該ファイルの名称に基づくことができる。例えば、該ファイル名がプラン名と同じ場合、および新たなデータを追加するオプションが選択された場合には、該ファイルは、多数の処理に対するデータを含むことができる。該ファイル名がプロセスランＩＤと同じ場合、該ファイルは、単一のウェハに対するデータを含むことができる。
【０１５５】
ウェハサマリ計算は、上記ツールから集められた生データから計算することができる。上記データベースは、生データを別々に格納し、サマリ計算が実行されたときには変更されない。サマリ統計は、一般に、生時系列データによる工程によって計算され、次の情報、すなわち、最少、最大、平均、範囲及び標準偏差を含む。標準偏差は、少なくとも２つのデータポイントがある場合にのみ計算することができる。ポイントが２に満たない場合には、標準偏差は計算されない。
【０１５６】
３つのデータタイプ、すなわち、ソースファイルに対する生データタイプ、周期的に、通常毎秒一度集められてサマリデータを生成するデータに対する時系列データタイプ、およびサマリデータに対するウェハ工程データタイプを用いることができる。
【０１５７】
トリミングは、集められた生データの一部のみの解析が必要な場合に用いることができる。トリミングは、プロセス工程の最初の数秒及び最後の数秒が、上記計算が実行される前に移動した場合に行われる。トリミングは、データのある一部のみを解析できるようにするため有用であり、過渡等の通常のイベントが関連性のあるデータの残りに影響を与えるのを防ぐ。トリミングは、上記データ収集プランの設定時に指定される。時系列データは、個別に保存することができ、どのような方法でも変更されない。そのため、トリミングによって除去されたデータは、サマリパラメータを計算するのには使用されないが、生データとしてはなお格納することができる。
【０１５８】
ロークリップ及びハイクリップは、問題のあるデータポイント（例えば、質量流量計の負の値）を削除するために実行することができる。ロークリップ及びハイクリップは、パラメータにより、工程により、および設定値によって定義することができる。ハイクリップ限界より大きいデータポイントは、サマリ計算には含まれない。ロークリップ限界よりも小さいデータポイントは、サマリ計算には含まれない。
【０１５９】
スパイクカウンティングは、サマリ計算に含めることができる。スパイクカウントは、次のようにデータポイントを考慮する。上限スパイク（Ｕｐｐｅｒ  Ｓｐｉｋｅ  Ｌｉｍｉｔ；ＵＳＬ）より高いものは、上方のスパイクと考えられ、下限スパイク（Ｌｏｗｅｒ  Ｓｐｉｋｅ  Ｌｉｍｉｔ；ＬＳＬ）より低いものは、下方のスパイクと考えられる。
【０１６０】
上方スパイクおよび／または下方スパイクのデータポイントは、工程により、およびパラメータにより、別々にカウントすることができる。データポイントが、ＵＳＬまたはＬＳＬを継続して超える場合、各ポイントは、スパイクとしてカウントすることができる。スパイクしたポイントは、サマリ計算から捨てられない。「ハイスパイク」および「ロースパイク」のカウントされた値は、上記データベースに保存され、それらを主成分解析モデル、部分的最少二乗モデルまたはＳＰＣチャートに供給できるように、サマリ出力ファイルに抽出することができる。ＵＳＬ及びＬＳＬが「百分率値」で定義される場合、「スパイクカウント」機能は、ランタイム時のレシピ設定値を用いる。
【０１６１】
設定値は、プロセスレシピから得ることができる。ＲＦ＿ＦＯＲＷＡＲＤやＧＡＳ＿ＦＬＯＷ等の該プロセスレシピで指定されているパラメータは、設定値を有することができる。ＯＥＳセンサやＥＰＤセンサ等の外部のセンサからのパラメータは、設定値を有してもよく、または有していなくてもよい。
【０１６２】
サマリ計算（トリム、ロークリップ、ハイクリップ、最大、平均、最少、３シグマ、範囲）及びデータベース保存は、ウェハごとに一度実行することができる。
【０１６３】
データフロータイプは、サマリデータを出力ファイルに書込むことができる条件を定義する。所定のパラメータに対するサマリデータは、各レシピ工程に対して４つの値、すなわち、平均、３シグマ、最大及び最少からなる。
【０１６４】
サマリ出力ファイルの最初の行は、見出し行とすることができる。該見出し行は、該ファイルの各データ列のタイトルを含むことができる。各後続の行は、ランＩＤで始まり、パラメータ名、データ収集が始まるレシピ工程、および該パラメータに対するサマリ値、すなわち、最少、最大、平均及び３シグマが続く。
【０１６５】
ＳＰＣプランは、チャート上のサマリパラメータを表示する。ＰＣＡ及びＰＬＳプランは、サマリデータを取得して、該データをモデルに入れる。該モデルから生成されたデータは、一連のＳＰＣチャートに表示することができる。
【０１６６】
モデルは、ウェハ処理中に発生する異常及び通常のドリフトを見せるのに使用することができる。異常またはドリフトが発見された場合、該プロセスを停止または調整して通常の範囲内に戻すために、複数の工程を採用することができる。単変量モニタリングとは違って、障害が検出された後、エンジニアは、現在のデータを該モデルに取り入れることができ、また該プロセスを制御下に戻すためのガイダンスをさらに有することができる。ＡＰＣを用いて収集したデータは、第三者のモデリングソフトウェアプログラムに直接入れて、該データを用いてモデルを生成することができる。該モデルは、障害検出及びパラメータ予測のために、該ＡＰＣサーバに入れることができる。
【０１６７】
また、サマリデータ情報は、多変量解析に用いることもできる。サマリデータをモデルに供給するのに用いられる方法は、１つの工程のための１つ以上のパラメータに対するサマリデータを、多変量解析のために、主成分解析（ＰＣＡ）モデルまたは部分的最少二乗（ＰＬＳ）モデルに入力することができる条件を定義する。そして、モデル出力パラメータは、ＳＰＣチャートに送ることができる。
【０１６８】
４５０においては、データを格納することができる。一実施形態において、上記システムに収集されたデータは、実時間センサ収集とデータベース格納の間の一連の工程を通って流れる。該センサから収集されたデータは、まず上記データハブにロードすることができる。該データハブは、ユーザにより制御及び解析戦略によって、およびスクリプトによって定義された異なるアルゴリズムによって処理されるデータのための物理的記憶場所を設けることができる。
【０１６９】
上記データハブは、上記データ収集プランを含むことができる。該データハブは、ＡＰＳシステムと相互に作用して、必要な適切なデータ収集プランを選択する。該データハブは、データ構成プランを含み、上記データベースに対する構成プランに基づいてデータをフィルタリングし、構成プランの使用に基づいてサマリデータを計算し、かつサマリデータを該データベースに配置することができる。該データハブは、ＳＰＣチャートにサマリデータを供給することができ、実行規則違反が生じたときに電子メールを送ることができ、ＰＣＡ及びＰＬＳモデルにサマリデータを供給することができ、結果として生じるパラメータをＳＰＣチャート及び上記データベースに供給することができる。
【０１７０】
一実施形態において、上記データベース内のサマリデータは、読出し専用データとすることができ、一旦、ランタイム時に計算されると、変更する方法はない。例えば、上記ＡＰＣシステムに接続された１つ以上のユーザ端末は、上記データベース内の生データ及び構成プランに基づいて、該データベース内のサマリデータを再計算する能力を有することができる。生データファイルのコピーは、異なるトリム、クリップ等を用いてサマリデータを再計算する１つの方法とすることができ、かつ該データベースを更新することができる。
【０１７１】
上記データベースに成功裏にロードされたファイルは、入力ディレクトリから直接アーカイブディレクトリに移動させることができる。それらは、上記データベースで処理されかつ該データベースに配置されているＳＱＬファイルとすることができる。例えば、それらのファイルは、該データベースがバックアップされるまで、保存することができる。日々のバックアップ前に、上記システムが故障した場合には、それらのファイルをローダ入力ディレクトリに配置することができ、データの現在の日付がリロードされる。保存されたファイルは、マシン間でデータを転送するのに用いることができる。他の方法が、データ準備を用い、ＳＱＬファイルを入れることができる。
【０１７２】
例えば、データローディングは、ＴＣＬインタフェースを介して実行することができる。ユーザによって設定されたプランは、上記データハブによって上記データベースにロードされるデータ及びデータパラメータを定義する。
【０１７３】
エラーデータの処理もソフトウェアによって実行することができる。すでにロードされているデータの処理によるエラーは、防ぐことができ、追跡テーブルでの警告として報知することができる。追跡ログファイルは、データハブローディングによって生じたいかなるエラーも含むことができる。エラーログファイルは、どのようなデータベースＳＱＬエラーも、あるいは、ＴＣＬが処理できないいかなる他のエラーも含むことができる。エラーメッセージは、ファイルまたはパラメータの紛失によりロードが失敗した場合に、戻すことができる。
【０１７４】
例えば、データハブは、システムブート時にスタートすることができるＴＣＬ／Ｔｋプロセスを用いることができる。まず、メッセージシステムクライアントに代わって、持続性データベースへの接続性を与える役割を有することができるＳＱＬｓｒｖプロセスがある。第２のプロセスは、プロセス実行のデータを含むＳＱＬステートメントのファイルを管理しかつ処理する役割を有することができるバッチローダプロセスとすることができる。それらのプロセスは、上記データハブへの接続が失われた場合に、遮断するようにプログラムすることができる。
【０１７５】
データハブ（ローダ）プロセスは、システムブート時の初期化中にスタートすることができる。該データハブは、プロセス実行のデータを表わす普通テキストＳＱＬステートメントを含むファイルの処理を管理し、かつ監督する。各ファイルは、単一のプロセス実行に関する全てのデータを含むことができる。この標準的なフォーマットにおいては、ファイルデータは、該データハブに、あるいは、いずれかのＳＱＬデータベースに入力することができる。
【０１７６】
ウェハの処理後、上記ローダは、バックグラウンドのデータベースに該ウェハをロードするために呼び出すことができる。例えば、このことは、上記データ収集プランによって定義されたように、異なる実行に対して異ならせることができる。スクリプトが全てのデータを書き出す場合があり、またスクリプトが、データのサブセットのみを書込む場合もある。上記ローダは、ＴＣＬコードをファイルのリストとともに引数として送ることにより、特定の入力ファイルを処理するように知らせることができる。このコマンドの実行中、該ローダは、データベースユーティリティを実行して、指定されたＳＱＬデータファイルを該データベースにロードする。該ローダは、エラーの場合に、該ユーティリティの出力を解析する。該結果は、処理手順呼び出しのリターン値として通知することができ、上記ＤＭＨ追跡機能に通知することもできる。
【０１７７】
上記データ管理テーブルは、上記ＤＭＨにメモリ内テーブルとして、および上記データベース内に持続性記憶として実施することができる。ＤＭＨは、列及び行の生成のためのＳＱＬの限定されたセットを生成することができるとともに、データを上記テーブルに転記することを実行できる。該テーブルは、上記持続性データベース内に複製することができ、かつ同じＳＱＬステートメントを用いて構成することができる。該テーブルに対するソフトウェアインタフェースは、ＴＣＬ及びＳＱＬコードの組合せによって設けることができる。
【０１７８】
上記データベースへデータを転記することは、ファイルから該データベースへＳＱＬコマンドを送る、バックグラウンドで作動するローダプロセスによって実行することができる。上記メモリ内テーブルから上記持続性テーブルへのデータの転送は、ＳＱＬをファイルに書込むことにより、および該ファイルをローダディレクトリに配置することにより実現することができる。ＳＱＬが実行された後、該ファイルは、該ローダディレクトリから自動的に削除される。
【０１７９】
ＯＥＳ及びＶＩＰ等の上記センサからの生データ、および上記ツールからの追跡データは、上記ＡＰＣサーバ内にファイルとして格納することができる。データの量は、ユーザによって構成されたデータ収集プラン、および該ツールがそれによって実行する頻度に依存する。また、他のデータを、上記サーバ上に、ログ及び後処理ファイルとして格納することができる。従って、データ管理コンポーネントの１つの目的は、上級ユーザが、上記ＡＰＣサーバファイルを管理して、サーバ動作をディスクスペースから外すことなく、収集したデータを維持できるようにすることであってよい。ファイルメンテナンスは、該ＡＰＣサーバで利用可能としてもよく、また該サーバに与えられたワークステーションでは利用できなくてもよい。
【０１８０】
４５２においては、バックアップ、保管、削除、回復及び復元（Ｂａｃｋｕｐ，Ａｒｃｈｉｖｅ，Ｄｅｌｅｔｅ，Ｒｅｃｏｖｅｒ，ａｎｄ  Ｒｅｓｔｏｒｅ；ＢＡＤＲＲ）機能を実行することができる。例えば、ＢＡＤＲＲＧＵＩモジュールは、定期的なデータベースメンテナンス作業が作動する方法に影響を及ぼすことなく、一連のＢＡＤＲＲコマンドを実行するインタフェースを備えることができる。ＢＡＤＲＲ構成ファイルは、定期的なデータベースメンテナンス構成をどのように作動させるかを決めるために用いることができ、該ＢＡＤＲＲＧＵＩモジュールを実行することは、該ＢＡＤＲＲ構成ファイルで指定されたパラメータを変更しない。「ＢＡＤＲＲＧＵＩ定期的」モジュールは、該ＢＡＤＲＲ構成ファイル内に見つかった最も共通して用いられる構成パラメータに、グラフィカルユーザインタフェースを与えることができる。「ＢＡＤＲＲＧＵＩ定期的」モジュール内でなされた変更は、該ＢＡＤＲＲ構成ファイルを変更することができ、そのため、後続の定期的なデータベースメンテナンスオペレーションに影響を及ぼすことが可能である。該ＢＡＤＲＲＧＵＩモジュールは、データをどのように処理すべきかを決めるために、ユーザが対話するいくつかのパネルを含むことができる。バックアップ機能は、何のデータをバックアップすべきか（バックアップデータは、実行ウェハデータだけではなく構成データからなる）を決めるために用いることができる。保管機能は、保管すべきデータを判断する。削除機能は、何のデータを、一度に１つの実行ＩＤで削除し、処理すべきかを判断することができる。データは、保管された後に削除することができる。復元機能は、バックアップディレクトリに格納された現在のファイルを採用し、該ｚｉｐファイルをワークディレクトリに対して解凍し、該ファイル名に従って各テーブルを復元することができる。検索機能は、保管ディレクトリに格納された選択ファイルを採用し、各ファイルを個別に処理し、ワークディレクトリに対して該ｚｉｐファイルを解凍し、該ファイル名に従って各テーブルを検索することができる。再索引付け機能は、テーブル上の現在の統計を集めて索引付けることができ、これにより、データ検索時の最良のアクセスプランを決めるための最も的確な情報を有する最適化器を形成することができる。再編成機能は、行を再構成して、断片化されたデータを排除することにより、および情報を圧縮することにより、テーブルを再編成する。
【０１８１】
４５４においては、データを表示することができる。一実施形態において、データの表示は、状態画面をユーザに表示することと、設定／構成画面をユーザに表示することと、チャートをユーザに表示することと、アラーム情報（介入情報）をユーザに表示することとを含むことができる。
【０１８２】
状態データは、少なくとも１つのＧＵＩ画面を用いて表示することができる。例えば、ツール状態データは、図１２に示すようなＧＵＩ画面を用いて表示することができる。あるいは、他の状態データを、他のＧＵＩ画面を用いて表示することができる。図示の実施形態において、ツール状態画面は、タイトルパネル、情報パネル及び制御パネルを備える。該情報パネルにおいては、現在の情報を、この画面上で、各処理モジュールのために表示することができる。チャンバフィールドは、少なくとも１つの処理モジュール名を含むことができる。現在の処理モジュール内のウェハに関する情報は、ロットＩＤ、カセット、レシピＩＤ及びプランフィールドに表示することができる。ロットＩＤは、該モジュール内のウェハが属するロットのＩＤとすることができる。カセットは、ウェハがそこから来るカセットのＩＤとすることができる。レシピＩＤは、現在のウェハに対するレシピのＩＤとすることができる。プランは、現在のウェハに対して実行されるデータ収集プランの名称とすることができる。処理モジュールパネルは、該モジュールのキーとなる要素の状態を示す文字及び図形を含む。
【０１８３】
設定及び構成データは、少なくとも１つのＧＵＩ画面を用いて表示することができる。例えば、ツール構成データは、図１３に示すようなＧＵＩ画面を用いて表示することができる。あるいは、他の設定及び構成データを、他のＧＵＩ画面を用いて表示することができる。図示の実施形態において、システム構成画面は、タイトルパネル、情報パネル及びナビゲーションパネルを備える。該情報パネルにおいては、現在の情報を上記ツールに対して表示することができる。ナビゲーションパネルは、ユーザがツール及びチャンバ情報を選択できるようにし、ユーザは、該ナビゲーションパネルを利用して、該ツールに関連するプローブのためのパラメータを見、あるいは編集することができる。代替の実施形態においては、構成画面は、タイトルパネルと、情報パネルと、制御パネルとを備えることができる。
【０１８４】
データは、１つ以上のチャートを用いて表示することができ、チャーティング機能は、少なくとも１つのＧＵＩ画面を用いてデータを表示するのに用いることができる。例えば、チャートは、少なくとも１つのＧＵＩ画面を用いて構成し、編集し、かつ見ることができる。チャート選択画面の例示的な図を図１４に示す。図示の実施形態において、チャート選択画面は、タイトルパネルと、情報パネルと、ナビゲーションパネルとを備える。該情報パネルにおいては、現在の情報を該チャートに対して表示することができる。ナビゲーションパネルは、異なるチャート形式を表示する手段を提供する。
【０１８５】
図１５は、本発明の一実施形態に係る他のチャート選択画面の例示的な図を示す。ユーザは、このチャート選択画面から、追跡チャート、ＯＥＳスペクトルチャート、サマリチャート、またはＯＥＳサマリチャートにアクセスすることができる。
【０１８６】
図１６は、本発明の一実施形態に係る追跡チャート構成画面の例示的な図を示す。ユーザは、チャート選択画面からパラメータタブ画面にアクセスすることができる。パラメータタブ画面は、ユーザが、該チャートに含ませるパラメータを選択できるようにする。レーベルタブ画面は、ユーザが該チャートに含ませるレーベルを選択できるようにする。シリーズタブ画面は、ユーザが該チャートに含ませるシリーズを選択できるようにする。着色タブ画面は、ユーザが該チャートに使用する色を選択できるようにする。
【０１８７】
図１７は、本発明の一実施形態に係るウェハサマリチャート画面の例示的な図を示す。例えば、ユーザは、チャート選択画面から、ウェハサマリチャート画面にアクセスすることができる。ウェハサマリチャート画面は、ユーザが、チャート上の選択したパラメータを見ることができるようにする。ウェハサマリチャート画面上で、前に選択されたウェハに関連するパラメータをプロットすることができる。チャーティング機能は、ＳＱＬステートメントを用いて実行することができる。サマリチャートは、編集し、削除し、保存することができる。また、他のユーザからのチャートを、「ＳａｖｅＡｓ」選択を用いて保存することができる。
【０１８８】
図１８Ａ及び図１８Ｂは、本発明の一実施形態に係るチャート選択画面の例示的な図及び選択されたチャートの例示的な図を示す。
【０１８９】
図１９Ａから図１９Ｃは、本発明の一実施形態に係るＰＣＡプランパネルの例示的な図を示す。例えば、ＰＣＡ  ＳＰＣプランは、どのデータをＰＣＡ  ＳＰＣチャートに示すか、およびアラームをどのように処理すべきかを判断するのに用いることができる。図１９Ａにおいては、ナビゲーションツリーが示されているが、これは、本発明に必要なことではない。あるいは、選択タブ、リストまたはボタン等の他の選択手段を用いることができる。ドロップダウンリストは、ユーザが、新たなＰＣＡ  ＳＰＣプランを生成し、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを編集し、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを保存し、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを削除し、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを関連付け、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを関連付けず、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを取り入れ、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを取り出し、データ準備を実行できるようにするために見せることができる。あるいは、選択タブ、メニュー項目、チェックボックスまたはボタン等の他の選択手段を用いることができる。
【０１９０】
上記ＡＰＣシステム及び上記ＡＰＣソフトウェアは、該ＡＰＣシステム及びＡＰＣソフトウェアが構成されたときに、少なくとも１つのデフォルトＰＣＡ  ＳＰＣプランを自動生成する。該自動生成されたＰＣＡ  ＳＰＣプランは、該システムを作動させるために、または異なるＰＣＡ  ＳＰＣプランを設定するのに用いるプロセスエンジニアのための実施例として機能させることに用いることができる。
【０１９１】
例えば、ＰＣＡ  ＳＰＣプランパネルは、プラン名フィールド、プラン記述フィールド、データ収集プラン名フィールド、ＳＰＣアラーム動作フィールド、取り入れ／取り出しサブパネル、パラメータサブパネル、コンポーネントサブパネル及びＰＣＡ出力サブパネルのうちの少なくとも１つを備えることができる。
【０１９２】
「ＰＣＡ  ＳＰＣプラン」等のＰＣＡ  ＳＰＣプランフォルダは、例示的なＰＣＡプラン等の１つ以上の特定のＳＰＣプランを表示するために開くことができる。図１９Ａにおいては、単一のＰＣＡ  ＳＰＣプランが表示され、ユーザが、図１９Ｂから図１９Ｃに示すようなＰＣＡ  ＳＰＣプラン設定パネルを表示できるようにする選択手段が使用可能である。例えば、これらのパネルはマウスボタンまたはキーストロークのシーケンスによって表示することができる。
【０１９３】
図２０Ａから図２０Ｃは、本発明の一実施形態に係るＰＬＳプランパネルの例示的な図を示す。例えば、ＰＬＳ  ＳＰＣプランは、どのデータをＰＬＳ  ＳＰＣチャートに示すか、およびアラームをどのように処理すべきかを判断するのに用いることができる。図２０Ａにおいては、ナビゲーションツリーが示されているが、これは、本発明に必要なことではない。あるいは、選択タブ、リストまたはボタン等の他の選択手段を用いることができる。ドロップダウンリストは、ユーザが、新たなＰＬＳ  ＳＰＣプランを生成し、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを編集し、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを保存し、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを削除し、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを関連付け、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを関連付けず、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを取り入れ、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを取り出し、および／またはデータ準備を実行できるようにするために見せることができる。あるいは、選択タブ、メニュー項目、チェックボックスまたはボタン等の他の選択手段を用いることができる。
【０１９４】
上記ＡＰＣシステム及び上記ＡＰＣソフトウェアは、該ＡＰＣシステム及びＡＰＣソフトウェアが構成されたときに、少なくとも１つのデフォルトＰＬＳ  ＳＰＣプランを自動生成する。該自動生成されたＰＬＳ  ＳＰＣプランは、該システムを作動させるために、または異なるＰＬＳ  ＳＰＣプランを設定するのに用いるプロセスエンジニアのための実施例として機能させることに用いることができる。
【０１９５】
例えば、ＰＬＳ  ＳＰＣプランパネルは、プラン名フィールド、プラン記述フィールド、データ収集プラン名フィールド、ＳＰＣアラーム動作フィールド、取り入れ／取り出しサブパネル、フィルタオプションサブパネル、入力パラメータサブパネル、モデルマトリックスサブパネル及びＰＬＳ出力サブパネルのうちの少なくとも１つを備えることができる。
【０１９６】
「ＰＬＳ  ＳＰＣプラン」等のＰＬＳ  ＳＰＣプランフォルダは、例示的なＰＬＳプラン等の１つ以上の特定のＳＰＣプランを表示するために開くことができる。図２０Ａにおいては、単一のＰＬＳ  ＳＰＣプランが表示され、ユーザが、図２０Ｂから図２０Ｃに示すようなＰＬＳ  ＳＰＣプラン設定パネルを表示できるようにする選択手段が使用可能である。例えば、これらのパネルは、マウスボタンまたはキーストロークのシーケンスによって表示することができる。
【０１９７】
図２１Ａから図２１Ｅは、本発明の一実施形態に係るファイル出力プランパネルの例示的な図を示す。例えば、ファイル出力プランは、どのデータを生データファイル、サマリデータファイル及びＳｉｍｃａ−Ｐサマリファイルに示すかを判断するのに用いることができる。図２１Ａにおいては、ナビゲーションツリーが示されているが、これは、本発明に必要なことではない。あるいは、選択タブ、リストまたはボタン等の他の選択手段を用いることができる。ドロップダウンリストは、ユーザが、新たなファイル出力プランを生成し、ファイル出力プランを編集し、ファイル出力プランを保存し、ファイル出力プランを削除し、ファイル出力プランを関連付け、ファイル出力プランを関連付けず、ファイル出力プランを取り入れ、ファイル出力プランを取り出し、およびデータ準備を実行できるようにするために見せることができる。あるいは、選択タブ、メニュー項目、チェックボックスまたはボタン等の他の選択手段を用いることができる。
【０１９８】
上記ＡＰＣシステム及び上記ＡＰＣソフトウェアは、該ＡＰＣシステム及びＡＰＣソフトウェアが構成されたときに、少なくとも１つのデフォルトファイル出力プランを自動生成する。該自動生成されたファイル出力プランは、該システムを作動させるために、または異なるファイル出力プランを設定するのに用いるプロセスエンジニアのための実施例として機能させることに用いることができる。
【０１９９】
例えば、ファイル出力プランパネルは、プラン名フィールド、プラン記述フィールド、データ収集プラン名フィールド、ファイルフォーマット形式フィールド、パラメータサブパネル、サンプリングレートサブパネル、工程サブパネル、サマリ処理サブパネル及びファイル出力サブパネルのうちの少なくとも１つを備えることができる。
【０２００】
「ファイル出力プラン」等のファイル出力プランフォルダは、生データファイルプラン、サマリデータファイルプランまたはＳｉｍｃａ−Ｐサマリファイルプラン等の１つ以上のファイル出力プランを表示するために開くことができる。図２１Ａにおいては、３つの異なるファイル出力プランが表示され、ユーザが、図２１Ｂから図２１Ｄに示すようなファイル出力プラン設定パネルを表示できるようにする選択手段が使用可能である。例えば、これらのパネルは、マウスボタンまたはキーストロークのシーケンスによって表示することができる。
【０２０１】
生データファイルプランによって生成されたファイルは、指定されたパラメータに対する生センサデータを含む。該出力ファイルの各行は、上記データ収集プランで指定された出力時間に基づく生データエントリを含む。例えば、該出力時間が毎秒一度の場合、各連続する行は、ウェハが処理される各連続する秒に対して生データを含むことになる。
【０２０２】
サマリデータファイルプランによって生成されたファイルは、すでに指定されているパラメータに対する１つ以上のウェハのためのサマリデータを含む。パラメータに対する該サマリデータは、ウェハ処理に対する該パラメータの最少、最大、平均及び３σ値から成る。サマリ出力ファイルは、一般に、多数のウェハに対するデータを含むが、該ファイルの内容は、該ファイルに与えられた名称に基づいている。
【０２０３】
Ｓｉｍｃａ  Ｐ＿生データプランによって生成されたファイルは、指定されたパラメータのための生センサデータを含む。このデータは、Ｓｉｍｃａ−Ｐに固有のフォーマットである。出力ファイルの各行は、該プランで指定された出力時間に基づく生データエントリを含む。例えば、該出力時間が毎秒一度の場合、各連続する行は、ウェハが処理される各連続する秒に対する生データを含むことになる。該ファイルが多数のウェハ処理のためのデータを含むか否かは、該ファイルにどのような名称をつけるかによる。
【０２０４】
また、Ｓｉｍｃａ−Ｐサマリファイル及びファイルプランは、Ｓｉｍｃａ−Ｐモデリングを容易にするように設計される。例えば、Ｓｉｍｃａ−Ｐサマリファイルは、平均値、３シグマ値、最小値、最大値、範囲、あるいは、該プランにおける各レシピ工程でのプランの各パラメータのためのそれらの値の組合せを含んでもよい。
【０２０５】
上述したように、上記ＧＵＩはウェブをベースとし、ユーザは、ウェブブラウザを利用して見ることができる。該ＧＵＩは、ユーザが、実時間ツールを表示できるようにし、かつ処理モジュールイベント及びアラームメッセージ、数値および／または図形の履歴データ、ＳＰＣチャート、ＡＰＣシステムログ及びアラームログに基づいて、モジュール状態を処理できるようにする。また、該ＧＵＩは、ユーザが、グラフ及びリポートを印刷できるようにし、データをファイルに保存できるようにし、データを取り出すことができるようにし、データを取り入れることができるようにし、かつ該システムを設定または変更できるようにする。
【０２０６】
ＧＵＩ画面は、タイトルバー、ナビゲーションバー、選択バー、制御バー、メッセージバー及びＧＵＩパネルのうちの少なくとも１つを備えることができる。バーは、下部および／または該ＧＵＩパネルの上部に沿って配置することができ、これらのバーは、ユーザが、メニューのシリーズを横切る必要なしに画面および／またはパネルの間をナビゲートできるようにする選択項目を備えることができる。望ましくは、ログオフする手段は、少なくとも１つの画面／パネル上に表示される。また、データが変更された場合および保存されない場合には、注意メッセージを表示することができる。また、ヘルプを得る手段を表示することができ、これは、ユーザに表示するデータおよび／またはユーザから要求されるデータをユーザが理解するのを手助けするための、内容特定の及び全般的な文書を見せるために用いることができる。さらに、ＧＵＩコンポーネントは、英語画面、日本語画面、台湾語画面、中国語画面、韓国語画面、ドイツ語画面及びフランス語画面から成る群から選択された少なくとも１つの画面を備えることができる。処理手順４００は、４５６で終了する。
【０２０７】
また、上記ＡＰＣシステムのデータ管理コンポーネントは、ダミーウェハデータ収集、および上記ツールが安定しているとき、処理のためにモニタされているとき、またはならし中に、ツールからのデータを解析するのに必要な他のプロセスデータ収集を実行することもできる。ダミーウェハは、それらのタイプの処理の間に、製品ウェハの損失を避けるために用いることができる。
【０２０８】
当業者は、左から右への選択タブ構造は、右から左への構造、下から上への構造、上から下への構造、組合せ構造、あるいはその他の構造と置き換えることができることを認識するであろう。当業者は、上記選択タブ構造を、ナビゲーションツリー構造または他の構造と置き換えることができることを認識するであろう。代替の実施形態においては、機能ボタンは、全てのＧＵＩ画面の下部に沿って配置することができる。ポップアップ注意は、データが変更されたとき、およびデータが保存されていないときに表示することができる。ヘルプ画面は、ユーザに表示するデータおよび／またはユーザから要求されるデータをユーザが理解するのを手助けするための、内容特定の及び全般的な文書を見せるために用いることができる。
【０２０９】
上記の教示に照らして、本発明の多数の変更例及び変形例が可能である。従って、添付の特許請求の範囲内で、本発明を、本願明細書に具体的に記載したのと違う方法で実施することができることを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【０２１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る、アドバンストプロセスコントロール（ａｄｖａｎｃｅｄ  ｐｒｏｃｅｓｓ  ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ；ＡＰＣ）型半導体製造システムの例示的なブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る、データハブのための例示的な相互接続図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る、データベースのための例示的なデータフロー図である。
【図４Ａ】本発明の一実施形態に係る、半導体処理システムにおけるデータを管理するためのフロー図の単純化した図である。
【図４Ｂ】本発明の一実施形態に係る、半導体処理システムにおけるデータを管理するためのフロー図の単純化した図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る、戦略及びプランのための例示的なフロー図である。
【図６】本発明の一実施形態に係る、データ予備処理プロセスのための例示的なフロー図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る、パラメータ保管画面の例示的な図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る、データ記録インタフェースの例示的な実施を示す図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る、光放射スペクトロメータ（ＯＥＳ）のための例示的なフロー図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る、例示的なサマリデータ生成プロセスを示す図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る、コンテキスト選択画面の例示的な図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係る、ツール状態画面の例示的な図である。
【図１３】本発明の一実施形態に係る、システム構成画面の例示的な図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係る、チャート選択画面の例示的な図である。
【図１５】本発明の一実施形態に係る、別のチャート選択画面の例示的な図である。
【図１６】本発明の一実施形態に係る、追跡チャート構造画面の例示的な図である。
【図１７】本発明の一実施形態に係る、ウェハサマリチャート画面の例示的な図である。
【図１８Ａ】本発明の一実施形態に係る、チャート選択画面の例示的な図である。
【図１８Ｂ】本発明の一実施形態に係る、選択されたチャートの例示的な図である。
【図１９Ａ】本発明の一実施形態に係る、主成分分析（ｐｒｉｎｃｉｐａｌ  ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ  ａｎａｌｙｓｉｓ；ＰＣＡ）プランパネルの例示的な図である。
【図１９Ｂ】本発明の一実施形態に係る、主成分分析（ＰＣＡ）プランパネルの例示的な図である。
【図１９Ｃ】本発明の一実施形態に係る、主成分分析（ＰＣＡ）プランパネルの例示的な図である。
【図２０Ａ】本発明の一実施形態に係る、部分的最少二乗法（ｐａｒｔｉａｌ  ｌｅａｓｔ  ｓｑｕａｒｅｓ；ＰＬＳ）プランパネルの例示的な図である。
【図２０Ｂ】本発明の一実施形態に係る、部分的最少二乗法（ＰＬＳ）プランパネルの例示的な図である。
【図２０Ｃ】本発明の一実施形態に係る、部分的最少二乗法（ＰＬＳ）プランパネルの例示的な図である。
【図２１Ａ】本発明の一実施形態に係る、ファイル出力プランパネルの例示的な図である。
【図２１Ｂ】本発明の一実施形態に係る、ファイル出力プランパネルの例示的な図である。
【図２１Ｃ】本発明の一実施形態に係る、ファイル出力プランパネルの例示的な図である。
【図２１Ｄ】本発明の一実施形態に係る、ファイル出力プランパネルの例示的な図である。
【図２１Ｅ】本発明の一実施形態に係る、ファイル出力プランパネルの例示的な図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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【図１９Ａ】
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【図１９Ｂ】
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【図１９Ｃ】
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【図２０Ａ】
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【図２０Ｂ】
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【図２０Ｃ】
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【図２１Ａ】
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【図２１Ｂ】
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【図２１Ｃ】
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【図２１Ｄ】
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【図２１Ｅ】
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【手続補正書】
【提出日】平成17年4月27日(2005.4.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
前記データ収集プランの実行は、
ｓｔａｒｔ＿ｅｖｅｎｔを受け取ることと、
少なくとも１つのセンサを用いて、前記生データを収集することと、
前記生データを生データ収集ファイルに格納することと、
前記少なくとも１つのセンサが停止されて、前記生データ収集ファイルが閉じられるｅｎｄ＿ｅｖｅｎｔを受け取ることとを備える請求項６に記載の方法。