【手続補正書】
【提出日】令和2年2月3日(2020.2.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流出孔および流入孔を有する流体室、並びに、先端が流体室内で往復移動するニードルを備えるバルブ装置のシール構造であって、
シールと、前記シールに挿通されるニードルとを備えてなり、
前記シールは、前記ニードルが挿着されるニードル挿着孔が形成された弾性体からなる本体部と、前記本体部から半径方向外側に環状に延出される弾性体からなるつば部（１０４、１０５）とを備え、
前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径（Ｄ３）が、前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径（Ｄ２）と比べ小径であり、かつ、前記流出孔側の端部開口径（Ｄ３）および前記流出孔と反対側の端部開口径（Ｄ２）のいずれもが、前記ニードルの径（Ｄ１）と比べ小径であることを特徴とするシール構造。
【請求項２】
前記本体部および前記つば部が、一体的に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のシール構造。
【請求項３】
前記ニードル挿着孔が、
（ａ）第一の直径、第二の直径および段部を備えること、
（ｂ）内周面がテーパ状の断面を有すること、
（ｃ）内周面が内側に膨らむ曲線状の断面を有すること、または、
（ｄ）内周面が外側に膨らむ曲線状の断面を有することを特徴とする請求項１または２に記載のシール構造。
【請求項４】
前記つば部の外周部（１０５）に、前記流出孔側および前記流出孔と反対側の少なくともいずれか一方に隆起する隆起部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のシール構造。
【請求項５】
前記つば部（１０４、１０５）が、前記流出孔側の端部よりも前記流出孔と反対側の端部に近い位置から半径方向外側に延出されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のシール構造。
【請求項６】
前記つば部（１０４、１０５）が、前記本体部の前記流出孔と反対側の端部から半径方向外側に延出されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のシール構造。
【請求項７】
流出孔および流入孔を有する流体室、並びに、先端が流体室内で往復移動するニードルを備えるバルブ装置のシール構造であって、
シールと、前記流体室が形成されたハウジングとを備えてなり、
前記シールは、前記ニードルが挿着されるニードル挿着孔が形成された弾性体からなる本体部と、前記本体部から半径方向外側に環状に延出される弾性体からなるつば部（１０４、１０５）とを備え、
前記シールの本体部が、前記流体室よりも幅狭に構成されており、
前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径（Ｄ３）が、前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径（Ｄ２）と比べ小径であり、
前記ハウジングが、前記流体室を備える第一ハウジング部材（２０７）と、前記ニードルが挿通されるニードルよりも幅広な駆動室（２０４）を備える第二ハウジング部材（２０６）とを備え、
前記第一ハウジング部材（２０７）および前記第二ハウジング部材（２０６）の少なくともいずれか一方が、前記つば部の外周端と隣接する面と当接する段部（２１５）を備え、
前記第一ハウジング部材（２０７）と前記第二ハウジング部材（２０６）とが前記つば部の外周部（１０５）を狭圧した状態で連結されること、
前記ニードルが往復移動すると前記つば部の内周部（１０４）が追従して変形することで前記ニードルと前記本体部との位置関係が変わらないことを特徴とするシール構造。
【請求項８】
前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径（Ｄ３）および前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径（Ｄ２）のいずれもが、前記ニードルの径（Ｄ１）と比べ小径であることを特徴とする請求項７に記載のシール構造。
【請求項９】
シールと、
流出孔および流入孔を有する流体室と、
先端が流体室内で往復移動するニードルと、
前記流体室が形成されたハウジングと、
前記ニードルを往復移動させるニードル駆動装置と、を備え、前記流入孔から供給された流体を前記流出孔から排出するバルブ装置であって、
前記シールは、前記ニードルが挿着されるニードル挿着孔が形成された弾性体からなる本体部と、前記本体部から半径方向外側に環状に延出される弾性体からなるつば部（１０４、１０５）とを備え、
前記シールの本体部が、前記流体室よりも幅狭であり、
前記ニードル挿着孔が、前記ニードルよりも幅狭であり、前記ニードル挿着孔の一方の端部開口径（Ｄ３）が、前記ニードル挿着孔のもう一方の端部開口径（Ｄ２）と比べ小径であり、
前記ハウジングが、前記流体室を備える第一ハウジング部材（２０７）と、前記ニードルが挿通されるニードルよりも幅広な駆動室（２０４）を備える第二ハウジング部材（２０６）とを備え、
前記第一ハウジング部材（２０７）および前記第二ハウジング部材（２０６）の少なくともいずれか一方が、前記つば部の外周端と隣接する面と当接する段部（２１５）を備え、
前記第一ハウジング部材（２０７）と前記第二ハウジング部材（２０６）とが前記つば部の外周部（１０５）を狭圧した状態で連結されること、
前記ニードルが往復移動すると前記つば部の内周部（１０４）が追従して変形することで前記ニードルと前記本体部との位置関係が変わらないことを特徴とするバルブ装置。
【請求項１０】
前記ニードル駆動装置が、アクチュエータを備えて構成され、
さらに、前記ニードルのストロークを調整するストローク調整機構を備えることを特徴とする請求項９に記載のバルブ装置。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載のバルブ装置と、
前記流入孔と流体的に接続された貯留容器と、
前記流出孔と流体的に接続された吐出口を有するノズルと、
前記バルブ装置の動作を制御するバルブ制御装置とを備える流体吐出装置。
【請求項１２】
前記貯留容器が、液体材料の貯留容器である請求項１１に記載の流体吐出装置。
【請求項１３】
前記ニードルを進出移動し、前記流出孔の入り口部分である弁座に衝突させて、または、前記ニードルを進出移動し、前記弁座に衝突する直前に停止して、前記吐出口より液滴を飛翔吐出させるジェット式の吐出装置であることを特徴とする請求項１２に記載の流体吐出装置。
【請求項１４】
請求項１１ないし１３のいずれかに記載の流体吐出装置と、
塗布対象物を載置するステージと、
前記流体吐出装置と前記ステージとを相対動させる相対駆動装置と、
前記相対駆動装置の動作を制御するステージ制御装置とを備える塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明のシール構造は、流出孔および流入孔を有する流体室、並びに、先端が流体室内で往復移動するニードルを備えるバルブ装置のシール構造であって、シールと、前記シールに挿通されるニードルとを備えてなり、前記シールは、前記ニードルが挿着されるニードル挿着孔が形成された弾性体からなる本体部と、前記本体部から半径方向外側に環状に延出される弾性体からなるつば部（１０４、１０５）とを備え、前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径（Ｄ３）が、前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径（Ｄ２）と比べ小径であり、かつ、前記流出孔側の端部開口径（Ｄ３）および前記流出孔と反対側の端部開口径（Ｄ２）のいずれもが、前記ニードルの径（Ｄ１）と比べ小径であることを特徴とする。
上記シール構造において、前記本体部および前記つば部が、一体的に形成されていることを特徴としてもよい。
上記シール構造において、前記ニードル挿着孔が、（ａ）第一の直径、第二の直径および段部を備えること、（ｂ）内周面がテーパ状の断面を有すること、（ｃ）内周面が内側に膨らむ曲線状の断面を有すること、または、（ｄ）内周面が外側に膨らむ曲線状の断面を有することを特徴としてもよい。
上記シール構造において、前記つば部の外周部（１０５）に、前記流出孔側および前記流出孔と反対側の少なくともいずれか一方に隆起する隆起部が形成されていることを特徴としてもよい。
上記シール構造において、前記つば部（１０４、１０５）が、前記流出孔側の端部よりも前記流出孔と反対側の端部に近い位置から半径方向外側に延出されることを特徴としてもよい。
上記シール構造において、前記つば部（１０４、１０５）が、前記本体部の前記流出孔と反対側の端部から半径方向外側に延出されることを特徴としてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の第２の観点のシール構造は、流出孔および流入孔を有する流体室、並びに、先端が流体室内で往復移動するニードルを備えるバルブ装置のシール構造であって、シールと、前記流体室が形成されたハウジングとを備えてなり、前記シールは、前記ニードルが挿着されるニードル挿着孔が形成された弾性体からなる本体部と、前記本体部から半径方向外側に環状に延出される弾性体からなるつば部（１０４、１０５）とを備え、前記シールの本体部が、前記流体室よりも幅狭に構成されており、前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径（Ｄ３）が、前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径（Ｄ２）と比べ小径であり、前記ハウジングが、前記流体室を備える第一ハウジング部材（２０７）と、前記ニードルが挿通されるニードルよりも幅広な駆動室（２０４）を備える第二ハウジング部材（２０６）とを備え、前記第一ハウジング部材（２０７）および前記第二ハウジング部材（２０６）の少なくともいずれか一方が、前記つば部の外周端と隣接する面と当接する段部（２１５）を備え、前記第一ハウジング部材（２０７）と前記第二ハウジング部材（２０６）とが前記つば部の外周部（１０５）を狭圧した状態で連結されること、前記ニードルが往復移動すると前記つば部の内周部（１０４）が追従して変形することで前記ニードルと前記本体部との位置関係が変わらないことを特徴とする。
上記第２の観点のシール構造において、前記ニードル挿着孔の前記流出孔側の端部開口径（Ｄ３）および前記ニードル挿着孔の前記流出孔と反対側の端部開口径（Ｄ２）のいずれもが、前記ニードルの径（Ｄ１）と比べ小径であることを特徴としてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のバルブ装置は、シールと、流出孔および流入孔を有する流体室と、先端が流体室内で往復移動するニードルと、前記流体室が形成されたハウジングと、前記ニードルを往復移動させるニードル駆動装置と、を備え、前記流入孔から供給された流体を前記流出孔から排出するバルブ装置であって、前記シールは、前記ニードルが挿着されるニードル挿着孔が形成された弾性体からなる本体部と、前記本体部から半径方向外側に環状に延出される弾性体からなるつば部（１０４、１０５）とを備え、前記シールの本体部が、前記流体室よりも幅狭であり、前記ニードル挿着孔が、前記ニードルよりも幅狭であり、前記ニードル挿着孔の一方の端部開口径（Ｄ３）が、前記ニードル挿着孔のもう一方の端部開口径（Ｄ２）と比べ小径であり、前記ハウジングが、前記流体室を備える第一ハウジング部材（２０７）と、前記ニードルが挿通されるニードルよりも幅広な駆動室（２０４）を備える第二ハウジング部材（２０６）とを備え、前記第一ハウジング部材（２０７）および前記第二ハウジング部材（２０６）の少なくともいずれか一方が、前記つば部の外周端と隣接する面と当接する段部（２１５）を備え、前記第一ハウジング部材（２０７）と前記第二ハウジング部材（２０６）とが前記つば部の外周部（１０５）を狭圧した状態で連結されること、前記ニードルが往復移動すると前記つば部の内周部（１０４）が追従して変形することで前記ニードルと前記本体部との位置関係が変わらないことを特徴とする。
上記バルブ装置において、前記ニードル駆動装置が、アクチュエータを備えて構成され、さらに、前記ニードルのストロークを調整するストローク調整機構を備えることを特徴としてもよい。