【手続補正書】
【提出日】令和2年5月27日(2020.5.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体ベースと、
前記本体ベースに移動可能に結合された光学ベースと、
前記光学ベースに固定された測定光学系と、
前記測定光学系による測定対象位置が前記本体ベース内に設定した内部測定対象位置となる内部測定位置と、前記測定光学系による測定対象位置が前記本体ベース外に設定した外部測定対象位置となる外部測定位置との間で、前記光学ベースを前記本体ベースに対して相対移動させる光学ベース移動機構と、
を含む、光学測定装置。
【請求項２】
前記本体ベースに支持され、試料を保持するための試料ホルダが配置される試料ステージをさらに含み、
前記内部測定対象位置が、前記試料ホルダに保持される試料の位置に対応している、請求項１に記載の光学測定装置。
【請求項３】
前記試料ホルダに保持される試料を前記内部測定対象位置に配置する測定ステージ位置と、前記測定光学系による前記外部測定対象位置での測定を阻害しない退避ステージ位置との間で、前記試料ステージを前記本体ベースに対して相対移動させる試料ステージ移動機構をさらに含む、請求項２に記載の光学測定装置。
【請求項４】
前記光学ベース移動機構が、前記光学ベースが前記試料ホルダに保持される試料に対して接離する第１方向に沿って、前記光学ベースを前記内部測定位置と前記外部測定位置との間で移動するように構成されており、
前記試料ステージ移動機構が、前記第１方向に交差する第２方向に沿って、前記試料ステージを前記測定ステージ位置と前記退避ステージ位置との間で移動するように構成されている、請求項３に記載の光学測定装置。
【請求項５】
前記試料ホルダが、複数の試料を前記第２方向に沿って前記試料ステージ上で保持するように構成されており、
前記試料ステージ移動機構が、前記内部測定対象位置に前記複数の試料のうちの任意の一つを配置するように前記試料ステージを移動させる、請求項４に記載の光学測定装置。
【請求項６】
前記本体ベースに結合可能に構成された外部測定ベースと、
前記外部測定ベースに支持され、前記外部測定ベースが前記本体ベースに取り付けられたときに、前記外部測定対象位置に試料を提示するように当該試料を保持する外部試料ホルダと、をさらに含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の光学測定装置。
【請求項７】
前記外部試料ホルダが、複数の試料を保持するように構成されており、
前記外部試料ホルダを前記外部測定ベース上で動かして、前記複数の試料のうちの任意の一つを前記外部測定対象位置に提示する外部試料移動機構をさらに含む、請求項６に記載の光学測定装置。
【請求項８】
前記外部試料ホルダが、試料を収容するビーカもしくは試験管、または流体状の試料が流通する配管部材を保持するように構成されている、請求項６に記載の光学測定装置。
【請求項９】
前記測定光学系が、測定対象位置に照射する光を発生する光源ユニットと、前記光源ユニットの光を測定対象位置に集光する投光レンズと、前記測定対象位置から散乱される散乱光が入射する検出レンズとを含む、請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学測定装置。
【請求項１０】
前記測定光学系が、測定対象位置に光を照射し、前記測定対象位置から散乱される散乱光を検出して、当該検出した散乱光に対応する検出信号を出力するように構成されており、
前記測定光学系が出力する検出信号に基づいて、前記測定光学系の測定対象位置に配置された試料中に含まれる粒子の粒子径を解析する粒子径解析装置をさらに含む、請求項１〜９のいずれか一項に記載の光学測定装置。
【請求項１１】
本体ベースと、本体ベースに移動可能に結合された光学ベースと、前記光学ベースに固定された測定光学系とを含む光学測定装置を用いた光学測定方法であって、
前記本体ベースに対して前記光学ベースを相対移動させることによって、前記測定光学系の測定対象位置を、前記本体ベース外に設定した外部測定対象位置に配置するステップと、
前記外部測定対象位置に試料を配置するステップと、
前記測定光学系の測定対象位置が前記外部測定対象位置に配置され、かつ前記外部測定対象位置に試料が配置された状態で、前記測定光学系による検出信号を取得するステップと、
を含む、光学測定方法。
【請求項１２】
前記本体ベースに対して前記光学ベースを相対移動させることによって、前記測定光学系の測定対象位置を、前記本体ベース内に設定した内部測定対象位置と、前記外部測定対象位置との間で移動可能であり、
前記光学測定装置が、前記本体ベースに支持され、試料を保持するための試料ホルダが配置される試料ステージを含み、
前記光学測定方法が、前記試料を前記内部測定対象位置に提示する測定ステージ位置から前記試料ステージを退避させるステップをさらに含む、請求項１１に記載の光学測定方法。
【請求項１３】
前記測定光学系が、測定対象位置に光を照射し、前記測定対象位置から散乱される散乱光を検出して、当該検出した散乱光に対応する検出信号を出力するように構成されており、
前記光学測定方法が、前記測定光学系の出力信号に基づいて、前記試料中に含まれる粒子の粒子径を解析するステップをさらに含む、請求項１１または１２に記載の光学測定方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この発明の一実施形態は、本体ベースと、前記本体ベースに移動可能に結合された光学ベースと、前記光学ベースに固定された測定光学系と、前記測定光学系による測定対象位置が前記本体ベース内（より具体的には光学測定装置のハウジング内）に設定した内部測定対象位置となる内部測定位置と、前記測定光学系による測定対象位置が前記本体ベース外（より具体的には光学測定装置のハウジング外）に設定した外部測定対象位置となる外部測定位置との間で、前記光学ベースを前記本体ベースに対して相対移動させる光学ベース移動機構と、を含む、光学測定装置を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
この発明の一実施形態では、前記試料ステージが、前記試料ホルダを当該試料ステージに対して着脱するための着脱手段を備えており、一つの試料を保持（たとえば一つの試料セルを保持）する第１試料ホルダと、複数の試料を保持（たとえば複数の試料セルを保持）する第２試料ホルダとを交換可能に前記試料ステージに装着可能である。
この発明の一実施形態では、前記試料ホルダが、複数の試料を前記第２方向に沿って前記試料ステージ上で保持（たとえば複数の試料セルを保持）するように構成されており、前記試料ステージ移動機構が、前記内部測定対象位置に前記複数の試料のうちの任意の一つを配置（たとえば複数の試料セルのうちの任意の一つを配置）するように前記試料ステージを移動させる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
この発明の一実施形態では、前記外部試料ホルダが、複数の試料を保持するように構成されており、前記光学測定装置が、前記外部試料ホルダを前記外部測定ベース上で動かして、前記複数の試料のうちの任意の一つを前記外部測定対象位置に提示（配置）する外部試料移動機構をさらに含む。
この発明の一実施形態では、前記外部試料ホルダが、試料を収容するビーカもしくは試験管、または流体状の試料が流通する配管部材を保持するように構成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この発明の一実施形態では、前記測定光学系が、測定対象位置に光を照射し、前記測定対象位置から散乱される散乱光を検出して、当該検出した散乱光に対応する検出信号（たとえば光信号または電気信号）を出力するように構成されており、前記光学測定装置が、前記測定光学系が出力する検出信号に基づいて、前記測定光学系の測定対象位置に配置された試料中に含まれる粒子の粒子径を解析する粒子径解析装置をさらに含む。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
このように、この光学測定装置１は、測定光学系３０の測定対象位置３０ａを内部測定対象位置３０Ａに配置する内部測定モードと、測定光学系３０の測定対象位置３０ａを外部測定対象位置３０Ｂに配置する外部測定モードとを有する。
試料ステージ１２は、当該試料ステージ１２に対して試料ホルダＨを着脱するための着脱機構１６を備えている。着脱機構１６は、試料ステージ１２上の所定位置に試料ホルダＨを位置決めして保持し、かつその保持状態を必要に応じて解除できるように構成されている。試料ホルダＨは、試料セルＣを保持するように構成されている。試料セルＣは、試料Ｓを保持する。試料セルＣは、光源ユニット３１が発生する波長の光を透過させることができる材料、たとえば、ガラスまたは透明樹脂で構成されている。試料セルＣは、平面視矩形の四角筒状容器であってもよい。試料Ｓの典型例は液体である。とくに液中に微小粒子が分散した液体試料Ｓが試料セルＣに保持されてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
図３、図４、図５および図６は、外部測定ベース結合面１３ａに結合可能な外部測定ベースを有する複数のオプション機器の例をそれぞれ示す。
図３は、外部測定ベース結合面１３ａにオートサンプラ４０を結合した構成例を示す。オートサンプラ４０は、外部測定ベース結合面１３ａに固定される外部測定ベース４１と、外部測定ベース４１に回転可能に支持された回転テーブル４２とを含む。回転テーブル４２は、回転駆動機構４３によって、鉛直方向に沿う回転軸線４４まわりに回転させられる。回転駆動機構４３は、外部試料移動機構の一例である。回転テーブル４２は、複数の試料セルＣを回転軸線４４まわりの円周に沿って環状に配列して保持する試料ホルダ部４５を備えており、外部試料ホルダの一例である。その円周は、オートサンプラ４０が外部測定ベース結合面１３ａに結合された状態において、外部測定対象位置３０Ｂを通る。したがって、回転テーブル４２が回転することによって、複数の試料セルＣを外部測定対象
位置３０Ｂに順次配置し、その内部の試料Ｓを外部測定対象位置３０Ｂに提示することができる。外部測定対象位置３０Ｂは、試料セルＣの内面よりも内方に位置してもよいし、試料セルＣの内面と試料Ｓとの界面に位置してもよい。回転テーブル４２は、さらに、試料ホルダ部４５に保持された試料セルＣを温度調節（加熱および／または冷却）するための温度調節ユニット４６を備えていてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
光学ベース１１を内部測定位置１１Ａと外部測定位置１１Ｂとの間で移動させることにより、測定光学系３０の測定対象位置３０ａを内部測定対象位置３０Ａと外部測定対象位置３０Ｂとの間で移動させることができる。内部測定対象位置３０Ａは本体ベース１０内に設定されており、外部測定対象位置３０Ｂは本体ベース１０外に設定されている。したがって、光学ベース１１を移動させることによって、測定対象位置３０ａを本体ベース１０内または本体ベース１０外に設定することができる。それにより、本体ベース１０に対して必要に応じて外部測定ベース４１，５１，６１，７１を結合することにより、外部測
定ベース４１，５１，６１，７１上において外部測定対象位置３０Ｂに試料Ｓを配置すれば、本体ベース１０外に配置した試料Ｓに対する測定を行うことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
散乱光検出装置２の本体ベース１０には、ユーザの要求に応じて、外部測定ベース４１，５１，６１，７１を結合することができ、それによって、外部オプション機器を備えた装置構成とすることができる。すなわち、散乱光検出装置２を、オートサンプラ４０、ビーカホルダ５０、試験管ホルダ６０、配管ホルダ７０等の外部オプション機器を備えた構成とすることができる。これらの外部オプション機器が備える外部試料ホルダ（４２，５２，６２，７２）は、外部測定対象位置３０Ｂに試料Ｓを提示するように構成されている。したがって、光学ベース１１を外部測定位置１１Ｂに配置することによって、外部オプション機器を利用した光学測定を行える。具体的には、オートサンプラ４０を利用することによって、多数の試料Ｓに対する光学測定を連続的に短時間で行うことができる。また、ビーカホルダ５０や試験管ホルダ６０を用いることにより、試料Ｓを専用の試料セルＣに移すことなく光学測定を行える。さらに、配管ホルダ７０を用いることにより、配管７３中を通って流通する試料Ｓに対する光学測定を行える。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
一方、光学ベース１１は、水平方向に平行移動可能であり、かつ鉛直方向に沿う回転軸線１７まわりに回転可能な状態で、本体ベース１０に支持されている。詳細な図示は省略
するが、光学ベース移動機構２１は、リニア駆動機構および回転駆動機構を含む。たとえば、リニア駆動機構は、回転駆動機構を支持する直動ブロックを本体ベース１０に対してＸ方向に直線移動させ、回転駆動機構は、直動ブロックに対して光学ベース１１を回転軸線１７まわりに回転駆動してもよい。この場合、回転軸線１７は、直動ブロックのＸ方向移動に伴ってＸ方向に移動する。また、回転駆動機構が、直動ブロックを支持する回転ブロックを本体ベース１０に対して回転軸線１７まわりに回転させ、リニア駆動機構は、回転ブロックに対して光学ベース１１を水平方向に進退させてもよい。この場合、回転軸線１７は本体ベース１０に対して不動であり、リニア駆動機構は、回転軸線１７に対して接近／離反する放射方向に光学ベース１１を進退させる。いずれの構成の場合も、光学ベース１１は、水平方向に沿った平行移動と、鉛直な回転軸線１７まわりの回転移動とが可能であり、平行移動および回転移動を複合させた移動が可能である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
試料ステージ移動機構２２は、複数セルホルダＨｍを用いるときに試料セルＣを切り換えるために、試料ステージ１２を移動させるように構成されている。試料ステージ移動機構２２は、たとえば、試料ステージ１２を複数の試料セルＣの整列方向に沿って移動させるリニア駆動機構を含む。試料ステージ移動機構２２は、さらに、試料ステージ１２を鉛直な回転軸線１８まわりに回転させる回転駆動機構を含んでいてもよい。それにより、試料ステージ１２に装着されたセルホルダＨに保持された試料セルＣの測定光学系３０に対する方位角、すなわち、照射光Ｌ１の入射角を調整することができる。入射角の調整が必要でなければ、回転駆動機構を設ける必要はない。