【手続補正書】
【提出日】令和1年12月18日(2019.12.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切断により個片化されて複数配列された個片化ワークを搬送するためのワーク搬送装置であって、
複数の個片化ワークからなる個片化ワーク群を第１の吸着面で一括して吸着する第１の吸着装置と、
前記第１の吸着面より面積の小さな第２の吸着面を有するとともに、前記第１の吸着装置が吸着している前記個片化ワーク群の一部を前記第２の吸着面で吸着する第２の吸着装置とを備え、
前記第１の吸着装置は、前記第１の吸着面の互いに異なる領域で吸着するための複数系統の吸着回路を有している、ワーク搬送装置。
【請求項２】
前記個片化ワーク群が複数のサブセットに分割され、前記サブセットの少なくとも一つが互いに交差する２方向のそれぞれに複数の前記個片化ワークが配置されており、
前記第２の吸着装置は、前記個片化ワーク群の一部として、前記サブセット毎に複数の前記個片化ワークを一括して吸着し、
前記第１の吸着装置では、前記サブセット毎に複数の前記個片化ワークを一括して吸着及び吸着状態解除が可能なように、前記吸着回路が構成されている、請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記第１の吸着装置は、前記複数系統の吸着回路を選択的に有効化するための選択機構をさらに含む、請求項１又は２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記第２の吸着装置は、前記第２の吸着面に形成された主領域および副領域について、それぞれの領域での吸着を独立して有効化するための２系統の吸着回路を有している、請求項１〜３のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記第２の吸着装置は、前記個片化ワーク群の配列数が奇数である場合に、前記第１の吸着装置から複数回にわたって個片化ワークを吸着する動作のうち、少なくとも１回は、前記第２の吸着面の前記主領域のみを有効化する、請求項４に記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記第１の吸着装置は、前記第１の吸着面に設けられた吸着孔から前記第１の吸着面側へ空気を送り出すための第１の空気送出回路を有している、請求項１〜５のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項７】
前記第２の吸着装置は、前記第２の吸着面に設けられた吸着面から前記第２の吸着面側へ空気を送り出すための第２の空気送出回路を有している、請求項１〜６のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
前記第２の吸着装置が吸着している個片化ワークを第３の吸着面で一括して吸着する第３の吸着装置をさらに備え、
前記第３の吸着装置は、前記第３の吸着面に形成された主領域および副領域について、それぞれの領域での吸着を独立して有効化するための２系統の吸着回路を有している、請求項１〜７のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のワーク搬送装置を含む、電子部品の製造装置。
【請求項１０】
切断により個片化されて配列された複数の個片化ワークである個片化ワーク群を第１の吸着面に一括して吸着するステップと、
前記第１の吸着面に吸着された前記個片化ワーク群の一部を、前記第１の吸着面より面積の小さな第２の吸着面に吸着するステップと、
前記個片化ワーク群の一部以外の個片化ワークに対して、マーク検査工程およびフリッ 
プ工程のうちいずれか一つを実行する際に、並行して、前記個片化ワーク群の一部の個片化ワークに対して、前記個片化ワーク群の一部以外の個片化ワークに対して実行されている工程とは異なる工程を実行するステップとを備える、ワーク搬送方法。
【請求項１１】
切断により個片化されて配列された複数の個片化ワークである個片化ワーク群を第１の吸着面に一括して吸着するステップと、
前記個片化ワーク群が複数のサブセットに分割され、前記サブセットの少なくとも一つが互いに交差する２方向のそれぞれに複数の前記個片化ワークが配置されており、前記第１の吸着面に吸着された前記個片化ワーク群のうちの前記サブセットの一つに含まれる個片化ワークを一括して、前記第１の吸着面より面積の小さな第２の吸着面に吸着するステップと、
前記第２の吸着面に吸着されたサブセット以外のサブセットの個片化ワークに対して、マーク検査工程およびフリップ工程のうちいずれか一つを実行する際に、並行して、前記第２の吸着面に吸着されたサブセットの個片化ワークに対して、前記第２の吸着面に吸着されたサブセット以外のサブセットの個片化ワークに対して実行されている工程とは異なる工程を実行するステップとを備える、ワーク搬送方法。
【請求項１２】
前記第２の吸着面による個片化ワークの吸着に応じて、前記第１の吸着面の互いに異なる領域に接続された複数系統の吸着回路を選択的に有効化するステップをさらに備える、請求項１０又は１１に記載のワーク搬送方法。
【請求項１３】
前記第１の吸着面に吸着される前記個片化ワーク群の一部の配列数に応じて、前記第２の吸着面に形成された主領域および副領域にそれぞれ接続された複数系統の吸着回路を選択的に有効化するステップをさらに備える、請求項１０〜１２のいずれか１項に記載のワーク搬送方法。
【請求項１４】
前記第１の吸着面に吸着される前記個片化ワーク群の一部の配列数が奇数である場合に、前記第２の吸着面に個片化ワークを吸着する複数回の動作のうち、少なくとも１回の動作は、前記第２の吸着面の前記主領域のみを有効化するステップをさらに備える、請求項１３に記載のワーク搬送方法。
【請求項１５】
前記第２の吸着面に吸着された個片化ワークに対する工程の実行完了後、前記第２の吸着面に吸着された個片化ワークを第３の吸着面で一括して吸着し、予め定められた規則に従って配置するステップと、
前記第３の吸着面に形成された主領域および副領域にそれぞれ接続された複数系統の吸着回路を選択的に有効化するステップと、
前記第１の吸着面に吸着される前記個片化ワーク群の一部の配列数が奇数である場合に、前記第３の吸着面に個片化ワークを吸着する複数回の動作のうち、少なくとも１回の動作は、前記第３の吸着面の前記主領域のみを有効化するステップとをさらに備える、請求項１４に記載のワーク搬送方法。
【請求項１６】
請求項１０〜１５のいずれか１項に記載のワーク搬送方法を含む、電子部品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の別の局面に従えば、上述のワーク搬送装置を含む電子部品の製造装置が提供される。
本発明のさらに別の局面に従うワーク搬送方法は、切断により個片化されて配列された複数の個片化ワークである個片化ワーク群を第１の吸着面に一括して吸着するステップと、第１の吸着面に吸着された個片化ワーク群の一部を、第１の吸着面より面積の小さな第
２の吸着面に吸着するステップと、個片化ワーク群の一部以外の個片化ワークに対して、マーク検査工程およびフリップ工程のうちいずれか一つを実行する際に、並行して、個片化ワーク群の一部の個片化ワークに対して、個片化ワーク群の一部以外の個片化ワークに対して実行されている工程とは異なる工程を実行するステップとを含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２９】
図１２は、本実施の形態に従う製造装置１を構成するワーク搬送装置８の反転機構４０に装着される搬送ジグ４０８Ａ，４０８Ｂから金属ラバープレートを取り除いた状態を平面視した模式図である。図１２（Ａ）には、サブセットのレイアウトが同一である場合に用いられる搬送ジグ４０８Ａから金属ラバープレートを取り除いた状態を平面視した一例を示し、図１２（Ｂ）には、サブセットのレイアウトが同一ではない場合に用いられる搬送ジグ４０８Ｂから金属ラバープレートを取り除いた状態を平面視した一例を示す。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）に示すように、金属プレート４０８１の共通した所定位置に複数の孔を形成するとともに、それぞれの孔を主吸着面４０１（主領域）および副吸着面４０２（副領域）にいずれと連通させるかを適宜設計するようにしてもよい。すなわち、金属プレート４０８１に設けられる孔の位置を共通化することで、搬送ジグ４０８Ａ，４０８Ｂの用途が異なっていても、空気圧回路と接続するインターフェイスを共通化できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
図１３は、本実施の形態に従う製造装置１を構成するワーク搬送装置８のインデックステーブル４１に装着される搬送ジグ４１８Ａ，４１８Ｂから金属ラバープレートを取り除いた状態を平面視した模式図である。図１３（Ａ）には、サブセットのレイアウトが同一である場合に用いられる搬送ジグ４１８Ａから金属ラバープレートを取り除いた状態を平面視した一例を示し、図１３（Ｂ）には、サブセットのレイアウトが同一ではない場合に用いられる搬送ジグ４１８Ｂから金属ラバープレートを取り除いた状態を平面視した一例を示す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３８】
図１３（Ａ）および図１３（Ｂ）に示すように、金属プレート４１８１の共通した所定位置に複数の孔を形成するとともに、それぞれの孔を主吸着面４１１（主領域）および副吸着面４１２（副領域）にいずれと連通させるかを適宜設計するようにしてもよい。すなわち、金属プレート４１８１に設けられる孔の位置を共通化することで、搬送ジグ４１８Ａ，４１８Ｂの用途が異なっていても、空気圧回路と接続するインターフェイスを共通化できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６７】
なお、本実施の形態に従うワーク搬送装置８においては、個片化ワーク６を吸着する手法として、空気圧回路を用いる例を示したが、このような構成に限定されず、任意の吸着方法を採用できる。例えば、個片化ワーク６を側面で把持する方法、個片化ワーク６を底面から支持する方法、磁気により生じる吸引力を利用する方法、および、静電気により生じる吸引力を利用する方法などを採用してもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１９７】
１  製造装置、２  受入モジュール、３  切断モジュール、４  払出モジュール、５  成形済基板、６  個片化ワーク、８  ワーク搬送装置、２１  マガジン、３１  供給レール、３２  基板搬送機構、３３  カットテーブル、３４  切断機構、３５  位置認識部、３６  基板側クリーニング機構、３７  整列機構、３８  パッケージ搬送機構、３９  樹脂側クリーニング機構、４０  反転機構、４１  インデックステーブル、４２  移載機構、４３  視覚検査機構、４４  良品トレイ、４５  不良品トレイ、４６  トレイ供給機構、５０  空気圧制御機構、５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ  空気圧回路、５１  基板、５２  封止樹脂、５４  吸着源、５５  負圧用主管、５６  圧縮空気源、５７  レギュレータ、５８  正圧用主管、６０  個片化ワーク群、１００  制御部、１０２  入力部、１０４  出力部、１０６  メインメモリ、１０８  光学ドライブ、１０８Ａ  記録媒体、１１０  プロセッサ、１１２  ネットワークインターフェイス、１１４  サーボモータインターフェイス、１１５，１１７，１１８  フィールドバス、１１６  アクチュエータインターフェイス、１１９  内部バス、１２０  ＨＤＤ、１２２  汎用ＯＳ、１２４  リアルタイムＯＳ、１２６  ＨＭＩプログラム、１２８  制御プログラム、５１１，５１２，５１３，５１４，５３１，５３２，５３３，５３４，５５１，５５２，５５３，５５４  電磁弁、１５２  シリンダー、３４１  スピンドル、３４２  ブレード、３６１  洗浄水噴霧部、３６２，３９２  エアー噴射部、３８１，３８２  吸着面、３８３，３８４，４０３，４０４，４１３，４１４  制御ポート（配管）、３８５，３８６，４０５，４０６，４１５，４１６  空間、３８７，４０７，４１７  吸着孔、３８８，３８８Ａ，３８８Ｂ，４０８Ａ，４０８Ｂ，４１８Ａ，４１８Ｂ  搬送ジグ、３８９，４０９，４１９
補強部材、３９１  ブラシローラ、４０１，４１１  主吸着面、４０２，４１２  副吸着面、４３１，４３２  カメラ、５０１，５０２，５０３，５０４，５０５，５０６  支管、５２１，５２２，５２３，５２４，５４１，５４２，５４３，５４４，５６１，５６２，５６３，５６４  メカバルブ、３８８１，４０８１，４１８１  金属プレート、３８８２  金属ラバープレート、３８８３，４０８３，４１８３  Ｏリング、３８８４  金属層、３８８５  ラバー層。