【手続補正書】
【提出日】令和2年10月14日(2020.10.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
温水調整弁１２０および冷水調整弁１２１は、温水の流量および冷水の流量をそれぞれ調整することが可能な流量制御弁である。これら温水調整弁１２０および冷水調整弁１２１が温水の流量および冷水の流量を変化させると、熱交換器１１１の温度が変化する。熱交換器１１１と研磨パッド１０３との間で熱交換が行われ、結果として研磨パッド１０３の表面温度が変化する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
温水調整弁１２０および冷水調整弁１２１の動作は、弁制御部１３０によって制御される。より具体的には、弁制御部１３０は、研磨パッド１０３の表面温度と目標温度との差を最小とするための温水調整弁１２０および冷水調整弁１２１の操作量を決定し、これら操作量を温水調整弁１２０および冷水調整弁１２１にそれぞれ送信する。温水調整弁１２０および冷水調整弁１２１は、操作量に従って動作し、温水の流量および冷水の流量を調整する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
しかしながら、温水調整弁１２０および冷水調整弁１２１には、操作量を変えても流量が変わらない不感帯が存在する。例えば、図８に示すように、温水調整弁１２０の操作量は０％から１００％までの範囲内で変化可能であるにもかかわらず、０％から２０％までの領域と、８０％から１００％までの領域では温水調整弁１２０の操作量を変えても流量が変わらない。図９に示す例では、冷水調整弁１２１の操作量が０％から１００％までの範囲内で変化可能であるにもかかわらず、０％から３０％までの領域と、５０％から１００％までの領域では冷水調整弁１２１の操作量を変えても流量が変わらない。このような不感帯の存在は、研磨パッド１０３の表面温度が目標温度に到達することを妨げてしまう。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
弁制御部４０は、記憶装置１１１０に電気的に格納されたプログラムに従って動作する。すなわち、弁制御部４０は、第１流量制御弁４２の不感帯Ｌ１，Ｈ１を第１流量制御弁４２の操作量の範囲から除外することで加熱側操作範囲Ｒ１を決定し、加熱側操作範囲Ｒ１から選択された操作量を第１流量制御弁４２に与えて、第１流量制御弁４２を選択された操作量に従って動作させ、第２流量制御弁５６の不感帯を第２流量制御弁５６の操作量の範囲から除外することで冷却側操作範囲Ｒ２を決定し、冷却側操作範囲Ｒ２から選択された操作量を第２流量制御弁５６に与えて、第２流量制御弁５６を選択された操作量に従って動作させる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１流量制御弁の不感帯を前記第１流量制御弁の操作量の範囲から除外することで加熱側操作範囲を決定し、
前記加熱側操作範囲から選択された操作量を前記第１流量制御弁に与えて、前記第１流量制御弁を前記選択された操作量に従って動作させ、
第２流量制御弁の不感帯を前記第２流量制御弁の操作量の範囲から除外することで冷却側操作範囲を決定し、
前記冷却側操作範囲から選択された操作量を前記第２流量制御弁に与えて、前記第２流量制御弁を前記選択された操作量に従って動作させ、
前記第１流量制御弁を通過した加熱流体および前記第２流量制御弁を通過した冷却流体を研磨パッド上の熱交換器に供給して前記研磨パッドの表面温度を調整することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記加熱側操作範囲および前記冷却側操作範囲のそれぞれを０％から１００％までの数値で表したとき、前記加熱側操作範囲から選択された前記操作量と、前記冷却側操作範囲から選択された前記操作量との合計は、１００％であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１流量制御弁の不感帯は、前記第１流量制御弁の操作量の範囲の低域側に位置する低域側不感帯と、前記第１流量制御弁の操作量の範囲の高域側に位置する高域側不感帯とを含むことを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記加熱側操作範囲の下限値は、前記第１流量制御弁の低域側不感帯の上限値以上であり、
前記加熱側操作範囲の上限値は、前記第１流量制御弁の高域側不感帯の下限値以下であることを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記第２流量制御弁の不感帯は、前記第２流量制御弁の操作量の低域側に位置する低域側不感帯と、前記第２流量制御弁の操作量の範囲の高域側に位置する高域側不感帯とを含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
前記冷却側操作範囲の下限値は、前記第２流量制御弁の低域側不感帯の上限値以上であり、
前記冷却側操作範囲の上限値は、前記第２流量制御弁の高域側不感帯の下限値以下であることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドの表面に押し付けて該基板を研磨する研磨ヘッドと、
前記研磨パッド上に配置された熱交換器と、
前記熱交換器に連結された加熱流体供給ラインおよび冷却流体供給ラインと、
前記加熱流体供給ラインに取り付けられた第１流量制御弁と、
前記冷却流体供給ラインに取り付けられた第２流量制御弁と、
前記第１流量制御弁および前記第２流量制御弁に接続された弁制御部とを備え、
前記弁制御部は、
前記第１流量制御弁の不感帯を前記第１流量制御弁の操作量の範囲から除外することで加熱側操作範囲を決定し、
前記加熱側操作範囲から選択された操作量を前記第１流量制御弁に与えて、前記第１流量制御弁を前記選択された操作量に従って動作させ、
前記第２流量制御弁の不感帯を前記第２流量制御弁の操作量の範囲から除外することで冷却側操作範囲を決定し、
前記冷却側操作範囲から選択された操作量を前記第２流量制御弁に与えて、前記第２流量制御弁を前記選択された操作量に従って動作させるように構成されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
前記加熱側操作範囲および前記冷却側操作範囲のそれぞれを０％から１００％までの数値で表したとき、前記加熱側操作範囲から選択された前記操作量と、前記冷却側操作範囲から選択された前記操作量との合計は、１００％であることを特徴とする請求項７に記載の研磨装置。
【請求項９】
前記第１流量制御弁の不感帯は、前記第１流量制御弁の操作量の範囲の低域側に位置する低域側不感帯と、前記第１流量制御弁の操作量の範囲の高域側に位置する高域側不感帯とを含むことを特徴とする請求項７または８に記載の研磨装置。
【請求項１０】
前記加熱側操作範囲の下限値は、前記第１流量制御弁の低域側不感帯の上限値以上であり、
前記加熱側操作範囲の上限値は、前記第１流量制御弁の高域側不感帯の下限値以下であることを特徴とする請求項９に記載の研磨装置。
【請求項１１】
前記第２流量制御弁の不感帯は、前記第２流量制御弁の操作量の低域側に位置する低域側不感帯と、前記第２流量制御弁の操作量の範囲の高域側に位置する高域側不感帯とを含むことを特徴とする請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の研磨装置。
【請求項１２】
前記冷却側操作範囲の下限値は、前記第２流量制御弁の低域側不感帯の上限値以上であり、
前記冷却側操作範囲の上限値は、前記第２流量制御弁の高域側不感帯の下限値以下であることを特徴とする請求項１１に記載の研磨装置。