Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月22日(2020.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色対象データを取得する着色対象データ取得部と、
少なくとも一部が相互に異なる複数のサンプルデータ群のそれぞれを用いて予め学習した複数の学習済モデルの何れかに基づいて、取得した前記着色対象データに対して着色処理を行う着色処理部と
を具備した着色装置。
【請求項２】
着色処理に用いる学習済モデルは、前記複数の学習済モデルの中からユーザの選択によって決定される
請求項１記載の着色装置。
【請求項３】
前記着色処理部において前記着色対象データに対して着色処理を行って得られた一方の着色済データと、
前記一方の着色済データの着色処理に用いられたものと異なる学習済モデルを用いて前記着色処理部において前記着色対象データに対して着色処理を行って得られた少なくとも１以上の他方の着色済データと
を取得し、
前記一方の着色済データと前記他方の着色済データとを合成して合成着色済データを出力する合成部を備える
請求項１又は請求項２に記載の着色装置。
【請求項４】
前記合成部において、前記一方の着色済データと前記他方の着色済データとの合成比率
をユーザが選択可能である
請求項３に記載の着色装置。
【請求項５】
前記着色対象データが複数のレイヤーによって構成されている場合のレイヤー情報を取得するレイヤー情報取得部を備え、
前記着色処理部は、前記着色対象データの何れかのレイヤーを指定して当該レイヤーに対して学習済モデルを用いた着色処理を行う
請求項１から請求項４の何れかに記載の着色装置。
【請求項６】
前記着色処理部は、前記着色対象データのレイヤー毎に前記複数の学習済モデルの中から何れか１つを選択して着色処理を実行可能である
請求項５に記載の着色装置。
【請求項７】
前記着色対象データに対する少なくとも１色の着色のヒント情報を取得するヒント情報取得部を備え、
前着色処理部では、前記着色対象データと前記ヒント情報を入力として着色処理を行うようにした
請求項１から請求項６の何れかに記載の着色装置。
【請求項８】
前記複数の学習済モデルは、前記着色対象データを着色するように学習された、請求項１から請求項７の何れかに記載の着色装置。
【請求項９】
前記複数の学習済モデルは、それぞれ異なる敵対的生成モデルのジェネレータである、請求項１から請求項８の何れかに記載の着色装置。
【請求項１０】
着色対象データに対して着色を行うための処理をコンピュータに実現させるための着色プログラムであって、
前記コンピュータに、
前記着色対象データを取得する着色対象データ取得機能と、
少なくとも一部が相互に異なる複数のサンプルデータ群のそれぞれを用いて予め学習した複数の学習済モデルの何れかに基づいて、取得した前記着色対象データに対して着色処理を行う着色処理機能と
を実現させる着色プログラム。
【請求項１１】
着色対象データを取得する着色対象データ取得手順と、
少なくとも一部が相互に異なる複数のサンプルデータ群のそれぞれを用いて予め学習した複数の学習済モデルの何れかに基づいて、取得した前記着色対象データに対して着色処理を行う着色処理手順と
を含む着色方法。
【請求項１２】
ユーザが着色対象データを入力するためのフォーム領域を表示画面に表示する着色対象データ入力フォーム表示部と、
入力された前記着色対象データが示す画像を、前記表示画面に設けられた着色対象画像表示領域に表示する着色対象画像表示部と、
少なくとも一部が相互に異なる複数のサンプルデータ群のそれぞれを用いて予め学習した複数の学習済モデルの何れかに基づいて、前記着色対象データに対して着色処理を行って得た着色済画像データが示す着色済画像を、前記表示画面に設けられた着色済画像表示領域に表示する着色済画像表示部と
を備える着色装置。
【請求項１３】
前記着色対象画像表示領域に表示された前記着色対象データが示す画像に対して、選択した色で着色すべき箇所を指定するためのヒント情報入力ツールを前記表示画面に表示してヒント情報の入力を受け付けるヒント情報入力ツール表示部と、
を備える請求項１２記載の着色装置。
【請求項１４】
着色対象データを取得するデータ取得部と、
前記着色対象データのレイヤー情報を取得するレイヤー情報取得部と、
前記着色対象データの第１レイヤーに対しては第１学習済モデルを用いて着色処理を行い、前記着色対象データの第２レイヤーに対しては第２学習済モデルを用いて着色処理を行う着色処理部と
を備える着色装置。
【請求項１５】
着色対象データに対して着色を行うための処理をコンピュータに実現させるための着色プログラムであって、
前記コンピュータに、
前記着色対象データを取得するデータ取得機能と、
前記着色対象データのレイヤー情報を取得するレイヤー情報取得機能と、
前記着色対象データの第１レイヤーに対しては第１学習済モデルを用いて着色処理を行い、前記着色対象データの第２レイヤーに対しては第２学習済モデルを用いて着色処理を行う着色処理機能と
を実現させる着色プログラム。
【請求項１６】
着色対象データを取得するデータ取得手順と、
前記着色対象データのレイヤー情報を取得するレイヤー情報取得手順と、
前記着色対象データの第１レイヤーに対しては第１学習済モデルを用いて着色処理を行い、前記着色対象データの第２レイヤーに対しては第２学習済モデルを用いて着色処理を行う着色処理手順と
を含む着色方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月22日(2020.5.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部装置から受信した無線接続要求に基づいて前記外部装置と無線接続を行う情報処理装置であって、
前記情報処理装置が前記無線接続要求を受付可能な状態で受信した複数の無線接続要求のそれぞれに含まれる前記外部装置の名称を示す情報が同じであるか否かを判定する第１の判定手段と、
前記情報処理装置が前記無線接続要求を受付可能な状態で受信した複数の無線接続要求のそれぞれに含まれる装置固有情報が同じであるか否かを判定する第２の判定手段とを有し、
前記第１の判定手段によって前記外部装置の名称を示す情報が同じであると判定し、前記第２の判定手段によって前記装置固有情報が同じでないと判定した場合に、前記情報処理装置は、前記無線接続要求を受け付けない状態に移行することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記第１の判定手段によって前記外部装置の名称を示す情報が同じであると判定し、前記第２の判定手段によって前記装置固有情報が同じであると判定した場合に、前記外部装置と無線接続を行うことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記第１の判定手段によって前記外部装置の名称を示す情報が同じであると判定し、前記第２の判定手段によって前記装置固有情報が同じであると判定した場合に、前記外部装置と無線接続を行うか否かの選択をユーザから受け付けるための画面を表示する表示手段をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記画面には、前記外部装置の名称を示す情報が表示されることを特徴とする請求項３に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記第１の判定手段によって前記外部装置の名称を示す情報が同じであると判定し、前記第２の判定手段によって前記装置固有情報が同じでないと判定した場合に、前記外部装置と通信を行うための電波の送信を停止する制御手段をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項６】
外部装置から受信した無線接続要求に基づいて前記外部装置と無線接続を行う情報処理装置の制御方法であって、
前記情報処理装置が前記無線接続要求を受付可能な状態で受信した複数の無線接続要求のそれぞれに含まれる前記外部装置の名称を示す情報が同じであるか否かを判定し、
前記情報処理装置が前記無線接続要求を受付可能な状態で受信した複数の無線接続要求のそれぞれに含まれる装置固有情報が同じであるか否かを判定し、
前記外部装置の名称を示す情報が同じであると判定し、前記装置固有情報が同じでないと判定した場合に、前記情報処理装置は、前記無線接続要求を受け付けない状態に移行することを特徴とする情報処理装置の制御方法。
【請求項７】
コンピュータを、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の情報処理装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】情報処理装置、情報処理装置の制御方法、およびプログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、情報処理装置、情報処理装置の制御方法、およびプログラムに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の情報処理装置は、外部装置から受信した無線接続要求に基づいて前記外部装置と無線接続を行う情報処理装置であって、前記情報処理装置が前記無線接続要求を受付可能な状態で受信した複数の無線接続要求のそれぞれに含まれる前記外部装置の名称を示す情報が同じであるか否かを判定する第１の判定手段と、前記情報処理装置が前記無線接続要求を受付可能な状態で受信した複数の無線接続要求のそれぞれに含まれる装置固有情報が同じであるか否かを判定する第２の判定手段とを有し、前記第１の判定手段によって前記外部装置の名称を示す情報が同じであると判定し、前記第２の判定手段によって前記装置固有情報が同じでないと判定した場合に、前記情報処理装置は、前記無線接続要求を受け付けない状態に移行することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和2年3月23日(2020.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の携帯端末は、表示部を備える携帯端末であって、外部装置が送信するBluetooth Low Energyのアドバタイジングパケットを検出する検出手段と、前記検出手段で検出したBluetooth Low Energyのアドバタイジングパケットの電波強度に基づいて通知を行うか否かを決定する決定手段と、前記携帯端末に対するユーザの操作を制限するロック画面を前記表示部に表示する表示制御手段と、所定の処理を実行するように画像処理装置にリクエストを送信する送信制御手段とを備え、前記表示制御手段は、前記ロック画面が前記表示部に表示されている間に、前記決定手段によって前記通知を行うと決定した場合、前記ロック画面上に通知オブジェクトを表示し、前記送信制御手段は、前記ロック画面上に表示された前記通知オブジェクトに対する第１の指示が前記表示部を介して行われた場合に、前記表示部の前記ロック画面のロックを解除することなく、前記所定の処理を実行するように前記画像処理装置に前記リクエストを送信することを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示部を備える携帯端末であって、
外部装置が送信するBluetooth Low Energyのアドバタイジングパケットを検出する検出手段と、
前記検出手段で検出したBluetooth Low Energyのアドバタイジングパケットの電波強度に基づいて通知を行うか否かを決定する決定手段と、
前記携帯端末に対するユーザの操作を制限するロック画面を前記表示部に表示する表示制御手段と、
所定の処理を実行するように画像処理装置にリクエストを送信する送信制御手段とを備え、
前記表示制御手段は、前記ロック画面が前記表示部に表示されている間に、前記決定手段によって前記通知を行うと決定した場合、前記ロック画面上に通知オブジェクトを表示し、
前記送信制御手段は、前記ロック画面上に表示された前記通知オブジェクトに対する第１の指示が前記表示部を介して行われた場合に、前記表示部の前記ロック画面のロックを解除することなく、前記所定の処理を実行するように前記画像処理装置に前記リクエストを送信することを特徴とする携帯端末。
【請求項２】
前記第１の指示は、前記携帯端末から前記外部装置にログインするためのログイン指示であり、
前記所定の処理は、前記携帯端末のユーザのためのログイン処理であることを特徴とする請求項１記載の携帯端末。
【請求項３】
前記外部装置は、印刷装置であり、
前記第１の指示は、前記印刷装置に格納された印刷データを印刷する印刷指示であり、
前記所定の処理は、前記格納された印刷データを印刷する処理であることを特徴とする請求項１記載の携帯端末。
【請求項４】
前記第１の指示は、前記第１の指示に対応するボタンであって前記ロック画面上に表示された通知オブジェクトのスワイプ操作に応答して表示されるボタンを介してユーザによって指示されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の携帯端末。
【請求項５】
前記表示制御手段は、前記第１の指示と異なる第２の指示が前記通知オブジェクトを介したユーザの操作によって指示されことに従って、前記外部装置を制御して前記所定の処理の実行するための制御アプリケーションの画面を前記表示部に表示し、前記ユーザから取得した認証情報に基づいて前記ロック画面を解除することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の携帯端末。
【請求項６】
前記通知オブジェクトは、前記携帯端末に近い前記外部装置にログイン可能であることを示す情報を含むことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の携帯端末。
【請求項７】
前記外部装置を制御する前記制御アプリケーションでは、前記制御アプリケーションの操作設定として前記通知オブジェクトを表示させるか否かが設定され、
前記制御アプリケーションの操作設定として前記通知オブジェクトを表示させないことが設定されている場合、前記表示制御手段は、前記Bluetooth Low Energyのアドバタイジングパケットの検出状態に関わらず、前記通知オブジェクトを前記ロック画面上に表示しないことを特徴とする請求項５記載の携帯端末。
【請求項８】
表示部を備える携帯端末の制御方法であって、
外部装置が送信するBluetooth Low Energyのアドバタイジングパケットを検出する検出ステップと、
前記検出ステップにて検出したBluetooth Low Energyのアドバタイジングパケットの電波強度に基づいて通知を行うか否かを決定する決定ステップと、
前記携帯端末に対するユーザの操作を制限するロック画面を前記表示部に表示する表示制御ステップと、
所定の処理を実行するように画像処理装置にリクエストを送信する送信制御ステップとを有し、
前記表示制御ステップは、前記ロック画面が前記表示部に表示されている間に、前記決定ステップにて前記通知を行うと決定した場合、前記ロック画面上に通知オブジェクトを表示し、
前記送信制御ステップは、前記ロック画面上に表示された前記通知オブジェクトに対する第１の指示が前記表示部を介して行われた場合に、前記表示部の前記ロック画面のロックを解除することなく、前記所定の処理を実行するように前記画像処理装置に前記リクエストを送信することを特徴とする携帯端末の制御方法。
【請求項９】
表示部を備える携帯端末の制御方法をコンピュータに実行させるプログラムであって、
前記携帯端末の制御方法は、
外部装置が送信するBluetooth Low Energyのアドバタイジングパケットを検出する検出ステップと、
前記検出ステップにて検出したBluetooth Low Energyのアドバタイジングパケットの電波強度に基づいて通知を行うか否かを決定する決定ステップと、
前記携帯端末に対するユーザの操作を制限するロック画面を前記表示部に表示する表示制御ステップと、
所定の処理を実行するように画像処理装置にリクエストを送信する送信制御ステップとを有し、
前記表示制御ステップは、前記ロック画面が前記表示部に表示されている間に、前記決定ステップにて前記通知を行うと決定した場合、前記ロック画面上に通知オブジェクトを表示し、
前記送信制御ステップは、前記ロック画面上に表示された前記通知オブジェクトに対する第１の指示が前記表示部を介して行われた場合に、前記表示部の前記ロック画面のロックを解除することなく、前記所定の処理を実行するように前記画像処理装置に前記リクエストを送信することを特徴とするプログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年8月3日(2020.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（１）で表されるシリルホスフィン化合物であって、
純度が９９．０モル%以上であり、
下記一般式（２）で表される化合物の含有量が０．３モル％以下であり、
下記一般式（４）で表される化合物の含有量が０．１５モル％以下であり、
下記一般式（５）で表される化合物の含有量が０．０５モル％以下であり、
下記一般式（６）で表される化合物の含有量が０．０５モル％以下である、シリルホスフィン化合物。
【化１】
2018197257.tif 000001
（Ｒはそれぞれ独立に、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｉｓｏ−ブチル基、ｎ−アミル基、ｉｓｏ−アミル基及びｔｅｒｔ−アミル基から選ばれるアルキル基、又は、炭素数６以上１０以下のアリール基である。）
【化２】
2018197257.tif 000002
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【化３】
2018197257.tif 000003
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【化４】
2018197257.tif 000004
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【化５】
2018197257.tif 000005
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【請求項２】
インジウムリン量子ドットの原料に用いられる、請求項１に記載のシリルホスフィン化合物。
【請求項３】
有機溶媒中に分散された状態で存在している、請求項１又は２に記載のシリルホスフィン化合物。
【請求項４】
下記一般式（３）で表される化合物の含有量が０．１モル％以下であり、
下記一般式（７）で表される化合物の含有量が０．２１モル％以下である、請求項１〜３の何れか１項に記載のシリルホスフィン化合物。
【化６】
2018197257.tif 000006
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【化７】
2018197257.tif 000007
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【請求項５】
一般式（２）で表される化合物を含有する、請求項１〜４の何れか１項に記載のシリルホスフィン化合物。
【請求項６】
前記シリルホスフィン化合物及び有機溶媒を含む液を蒸留する工程を有する製造方法によって工業的に製造されたものである、請求項１〜５の何れか１項に記載のシリルホスフィン化合物。
【請求項７】
前記有機溶媒の比誘電率が４以下である、請求項６に記載のシリルホスフィン化合物。
【請求項８】
下記一般式（１）で表されるシリルホスフィン化合物を含む蒸留生成物であって、
下記一般式（１）で表されるシリルホスフィン化合物の純度が９９．０モル%以上であり、
下記一般式（２）で表される化合物を０．３モル％以下の量で含有し、
下記一般式（４）で表される化合物の含有量が０．１５モル％以下であり、
下記一般式（５）で表される化合物の含有量が０．０５モル％以下であり、
下記一般式（６）で表される化合物の含有量が０．０５モル％以下である、蒸留生成物。
【化８】
2018197257.tif 000008
（Ｒはそれぞれ独立に、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｉｓｏ−ブチル基、ｎ−アミル基、ｉｓｏ−アミル基及びｔｅｒｔ−アミル基から選ばれるアルキル基、又は、炭素数６以上１０以下のアリール基である。）
【化９】
2018197257.tif 000009
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【化１０】
2018197257.tif 000010
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【化１１】
2018197257.tif 000011
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【化１２】
2018197257.tif 000012
（Ｒは一般式（１）と同じである。）
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月21日(2020.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】熱源側ユニット及び冷凍装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
第１の発明は、冷媒を貯留するレシーバ（41）が接続された熱源側回路（21）と、上記レシーバ（41）に貯留される冷媒の液面高さを検出する液面検出部（40）と、を備え、上記熱源側回路（21）が利用側ユニット（12）の利用側回路（23）と接続されて冷媒回路（20）が構成される熱源側ユニットを前提とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そして、この熱源側ユニットは、上記液面検出部（40）が、上記レシーバ（41）に設けられ且つ高さ方向の位置が異なる複数の冷媒サンプリングポート（42）と、上記レシーバ（41）から冷媒を抜き出すように各冷媒サンプリングポート（42）に接続された冷媒サンプリング管（43）と、各冷媒サンプリング管（43）を通る冷媒を加熱する加熱部（44）と、各冷媒サンプリング管（43）の加熱部（44）により加熱された冷媒の温度を検出する温度センサ（45）とを備え、隣り合う２つの冷媒サンプリング管（43）で加熱された冷媒の温度差が所定値以上であるとその２つの冷媒サンプリングポート（42）の間に液面があると判定する液面判定部（91）を有する制御器（90）を備えていることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
この第５の発明では、液面検出部（40）で検出した上記レシーバ（41）の液面高さの検出値と、冷媒回路（20）の運転条件に応じて予め定められた上記レシーバ（41）の液面高さの基準値とが冷媒量判定部（92）で比較され、冷媒回路（20）における冷媒量の過不足が判定される。
第６の発明は、熱源側ユニット（11）が有する熱源側回路（21）と、利用側ユニット（12）の利用側回路（23）とを接続することによって構成される冷媒回路（20）を有する冷凍装置であって、上記熱源側ユニット（11）が、第１から第５の態様の何れか１つの熱源側ユニットであることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷媒を貯留するレシーバ（41）が接続された熱源側回路（21）と、上記レシーバ（41）に貯留される冷媒の液面高さを検出する液面検出部（40）とを備え、上記熱源側回路（21）が利用側ユニット（12）の利用側回路（23）と接続されて冷媒回路（20）が構成される熱源側ユニットであって、
上記液面検出部（40）は、上記レシーバ（41）に設けられ且つ高さ方向の位置が異なる複数の冷媒サンプリングポート（42）と、上記レシーバ（41）から冷媒を抜き出すように各冷媒サンプリングポート（42）に接続された冷媒サンプリング管（43）と、各冷媒サンプリング管（43）を通る冷媒を加熱する加熱部（44）と、各冷媒サンプリング管（43）の加熱部（44）により加熱された冷媒の温度を検出する温度センサ（45）と、を備え、
隣り合う２つの冷媒サンプリング管（43）で加熱された冷媒の温度差が所定値以上であるとその２つの冷媒サンプリングポート（42）の間に液面があると判定する液面判定部（91）を有する制御器（90）を備えていることを特徴とする熱源側ユニット。
【請求項２】
請求項１において、
上記液面検出部（40）は、冷媒を減圧する絞り部（47）を各冷媒サンプリング管（43）に備え、
各冷媒サンプリング管（43）の加熱部（44）は、各冷媒サンプリング管（43）の冷媒が上記絞り部（47）の下流側で高圧液冷媒と熱交換して加熱される熱交換部（48）により構成されていることを特徴とする熱源側ユニット。
【請求項３】
請求項２において、
各熱交換部（48）は、上記高圧液冷媒が流れる高圧液管（53b）の同じ位置で熱交換が行われるように構成されていることを特徴とする熱源側ユニット。
【請求項４】
請求項２または３において、
上記冷媒サンプリング管（43）の冷媒流出側の端部が、上記冷媒回路（20）に設けられている圧縮機（31）の低圧吸入管（52）または中間圧導入管（54）に接続されていることを特徴とする熱源側ユニット。
【請求項５】
請求項１から４の何れか１つにおいて、
上記制御器（90）は、上記液面検出部（40）で検出した上記レシーバ（41）の液面高さの検出値と、上記冷媒回路（20）の運転条件に応じて予め定められた上記レシーバ（41）の液面高さの基準値とを比較して、上記冷媒回路（20）における冷媒量の過不足を判定する冷媒量判定部（92）を備えていることを特徴とする熱源側ユニット。
【請求項６】
熱源側ユニット（11）が有する熱源側回路（21）と、利用側ユニット（12）の利用側回路（23）とを接続することによって構成される冷媒回路（20）を有する冷凍装置であって、
上記熱源側ユニット（11）が、請求項１から５の何れか１つの熱源側ユニットであることを特徴とする冷凍装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月27日(2020.2.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明に係るエレベータ非常止め装置の芯出し調整装置は、１対のガイドレールのそれぞれに対向するように設置され、それぞれのガイドレールの両端をレールアタリで挟み込むことにより発生する摩擦力によってエレベータを非常停止させるエレベータ非常止め装置の芯出し調整装置であって、ガイドレールと同じ板厚を有するレール治具と、レール治具の一端に設けられ、芯出し調整に用いる光学ユニットが取り付けられるブラケットと、エレベータ非常止め装置とブラケットを当接させる際に、エレベータ非常止め装置側に設けられた精度穴に挿入されることで、レール治具とエレベータ非常止め装置との位置決めを行うピンとを含む芯出し治具を備え、光学ユニットを用いてレールアタリとレール治具との隙間を均一にする芯出し調整を実施可能とするものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１対のガイドレールのそれぞれに対向するように設置され、それぞれのガイドレールの両端をレールアタリで挟み込むことにより発生する摩擦力によってエレベータを非常停止させるエレベータ非常止め装置の芯出し調整装置であって、
前記ガイドレールと同じ板厚を有するレール治具と、
前記レール治具の一端に設けられ、芯出し調整に用いる光学ユニットが取り付けられるブラケットと、
前記エレベータ非常止め装置と前記ブラケットを当接させる際に、前記エレベータ非常止め装置側に設けられた精度穴に挿入されることで、前記レール治具と前記エレベータ非常止め装置との位置決めを行うピンと
を含む芯出し治具を備え、
前記光学ユニットを用いて前記レールアタリと前記レール治具との隙間を均一にする芯出し調整を実施可能とする
エレベータ非常止め装置の芯出し調整装置。
【請求項２】
前記芯出し治具は、非常止め枠の一端側に設置された第１の非常止め装置に取り付けられる投光側治具と、前記非常止め枠の他端側に設置される第２の非常止め装置に取り付けられる受光側治具とで構成され、
前記光学ユニットは、前記投光側治具のブラケットに取り付けられる投光側レーザーと、前記受光側治具のブラケットに取り付けられる受光側レーザーセンサとで構成され、
前記投光側レーザーは、前記受光側レーザーセンサに向かって、レール治具の長手方向に対してシート状のレーザーを照射し、
受光側レーザーセンサは、前記投光側レーザーから照射された前記シート状のレーザーを複数のセンサで受光し、前記複数のセンサによる受光結果から、前記受光側レーザーセンサのセンター位置に対する前記シート状のレーザーのズレ量およびズレ角度を演算し、表示部に演算結果を表示させ、
前記表示部に表示された前記ズレ量および前記ズレ角度がともに０となるように、前記第１の非常止め装置側のレールアタリの芯出し調整、および前記第２の非常止め装置側のレールアタリの芯出し調整を調整員に実行させることを可能とする
請求項１に記載のエレベータ非常止め装置の芯出し調整装置。
【請求項３】
前記芯出し治具は、非常止め枠の一端側に設置された第１の非常止め装置に取り付けられ、
前記光学ユニットは、前記ブラケットに取り付けられるカメラとして構成され、
前記非常止め枠の他端側に設置される第２の非常止め装置に設けられた精度穴に取り付けられたピンを前記カメラで撮像し、前記カメラで撮像した画像に含まれる前記ピンの位置が前記画像の中心に一致するように、前記第１の非常止め装置側のレールアタリの芯出し調整を調整員に実行させることを可能とする
請求項１に記載のエレベータ非常止め装置の芯出し調整装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月25日(2020.5.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
図６において、フロントグリル取付け部７には傾斜壁２７が設けられている。傾斜壁２７は、開口部７Ｂの上側壁面からターボチャージャ１５に向かって傾斜している。
図５において、フロントグリル取付け部７の後方にはフロントバンパ２と別体のガイド部としてのガイド板２８が設けられている。ガイド板２８は、ホーン２２の下方で、かつ、開口部７Ｂの上方（図６参照）において上下方向に延びている。
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月14日(2020.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
また実施例７においては、表１の実施例７に示す組成を有するアルミニウム合金溶湯を溶製し、そのアルミニウム合金溶湯を用いて、鋳造径２１０ｍｍで連続鋳造を行ってφ２１０ｍｍの実施例７の押出用ビレットを得た。そのビレットを３５０℃に加熱して押出加工して、φ３８ｍｍの実施例７の押出材を得た。得られた押出材を４７０℃×７ｈｒにて均質化処理を施し、空冷した。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
【表２】
2018197366.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】令和2年7月21日(2020.7.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
重量平均分子量が大きくなり過ぎると、溶液の粘度が高くなり加工がし難くなることから、最終的に得られるセルロース膜中の再生セルロースの重量平均分子量は、１，０００，０００以下が好ましく、より好ましくは５００，０００以下であり、さらに好ましくは３００，０００以下である。１,０００,０００以下の重量平均分子量であれば加工が可能となり、５００,０００以下の重量平均分子量であれば加工が容易となり、３００,０００以下の重量平均分子量では、厚みバラツキが少ない、より安定なシートを得ることができる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月15日(2020.5.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
給送前の媒体を支持する媒体支持部と、
前記媒体支持部から送り出された媒体を給送する媒体給送経路と、
前記媒体給送経路を抜け出た媒体を読み取る読み取り部と、
前記読み取り部の上流側に配置され、媒体を前記読み取り部へ搬送する搬送ローラーと、
前記搬送ローラーの回転に負荷を付与する負荷付与手段と、
を備える画像読取装置。
【請求項２】
請求項１に記載の画像読取装置において、前記搬送ローラーは、媒体給送方向と交差する方向である媒体幅方向に延設された回転軸に設けられ、
前記負荷付与手段は、前記回転軸の一方側端部側に設けられた搬送ローラー駆動歯車を、前記回転軸の一方側端部から他方側端部に向けて押すことで前記負荷を付与する、
ことを特徴とする画像読取装置。
【請求項３】
請求項２に記載の画像読取装置において、前記回転軸の回転軸線方向における位置を規制する位置規制部を備え、
前記位置規制部は、前記回転軸線方向において、前記回転軸の中心位置より前記一方側端部側に設けられている、
ことを特徴とする画像読取装置。
【請求項４】
請求項３に記載の画像読取装置において、前記搬送ローラー駆動歯車の少なくとも一部が、前記媒体幅方向において媒体給送領域の内側に入り込んでいる、
ことを特徴とする画像読取装置。
【請求項５】
請求項４に記載の画像読取装置において、前記搬送ローラー駆動歯車に対し駆動源の動力を伝達する歯車群と、
前記媒体給送経路を形成するとともに、前記媒体幅方向における一方側端部において前記歯車群を支持する経路形成部材と、を備え、
前記経路形成部材の前記一方側端部に凹部が形成され、
前記凹部に、前記歯車群の少なくとも一部が入り込んでいる、
ことを特徴とする画像読取装置。
【請求項６】
請求項５に記載の画像読取装置において、前記経路形成部材は、前記回転軸を受ける軸受け部と、
前記軸受け部に供給される潤滑材を保持する潤滑材保持部と、を備える、
ことを特徴とする画像読取装置。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の画像読取装置において、前記負荷付与手段は、圧縮ばねを備えて構成され、
前記圧縮ばねは、前記凹部に設けられたばね保持部と、前記搬送ローラー駆動歯車と、の間でばね力を発揮する、
ことを特徴とする画像読取装置。
【請求項８】
請求項７に記載の画像読取装置において、前記圧縮ばねは、前記ばね保持部に対し固定され、
前記圧縮ばねと前記搬送ローラー駆動歯車との間には、摺動部材が設けられる、
ことを特徴とする画像読取装置。
【請求項９】
請求項２から請求項８のいずれか一項に記載の画像読取装置において、前記搬送ローラーと前記回転軸は、２種類の樹脂材料を用いて形成される、
ことを特徴とする画像読取装置。
【請求項１０】
請求項１に記載の画像読取装置において、原稿を載置する載置台及び前記読み取り部を備えた装置本体と、
前記装置本体に対して開閉可能に設けられるとともに、前記載置台における読み取り領域に原稿を搬送する原稿搬送装置と、を備え、
前記媒体支持部、前記媒体給送経路、前記搬送ローラー、のこれらは前記原稿搬送装置を構成し、
前記搬送ローラーに動力を伝達する駆動源は、前記装置本体に設けられるとともに、前記読み取り部を前記載置台に対して移動させる為の駆動源として用いられ、
前記原稿搬送装置が前記装置本体に対して閉じた状態において、前記駆動源から前記搬送ローラーへの駆動力の伝達経路が形成される構成を有する、
ことを特徴とする画像読取装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年7月1日(2020.7.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキャナを備え、データを第１の送信先に送信する送信ジョブを実行できる画像処理装置であって、
送信ジョブの終了を通知する設定をユーザに設定させる設定手段と、
前記スキャナを用いて得られた画像データを所定のフォーマットのファイルに変換する変換手段と、
前記ファイルを送信するための送信ジョブを実行する実行手段と、
前記送信ジョブの終了に従い、前記設定手段による設定に基づき、当該送信ジョブの終了を第２の送信先に通知する通知手段と、を有し、
前記通知手段は、
前記変換手段により、暗号化することなく、前記ファイルへの変換が行われていた場合には、前記送信ジョブの終了に従い、前記画像データと、該送信ジョブの終了と、を前記第２の送信先に通知し、
前記変換手段により、暗号化された前記ファイルへの変換が行われていた場合には、前記送信ジョブの終了に従い、前記画像データなしに、該送信ジョブの終了を前記第２の送信先に通知することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記設定手段による設定は、前記通知手段による通知を、前記送信ジョブが終了すると常に通知するか、或いは、前記送信ジョブがエラー終了した場合に通知するかの設定を含むことを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記設定手段による設定は、前記第２の送信先として、アドレス帳からの選択、或いは、前記ユーザの宛先のいずれかの設定を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記設定手段による設定は、前記通知手段による通知に前記送信ジョブで送信される画像データを含めるかどうかの設定を含むことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記送信ジョブで暗号化されたファイルが送信される場合、前記通知手段による通知に対して当該ファイルに含まれる画像データを含めるための設定をできなくすることを特徴とする請求項４に記載の画像処理装置。
【請求項６】
スキャナを備え、データを第１の送信先に送信する送信ジョブを実行できる画像処理装置の制御方法であって、
送信ジョブの終了を通知する設定をユーザに設定させる設定工程と、
前記スキャナを用いて得られた画像データを所定のフォーマットのファイルに変換する変換工程と、
前記ファイルを送信するための送信ジョブを実行する実行工程と、
前記送信ジョブの終了に従い、前記設定工程による設定に基づき、該送信ジョブの終了を第２の送信先に通知する通知工程と、を有し、
前記通知工程では、
前記変換工程で、暗号化することなく、前記ファイルへの変換が行われていた場合には、前記送信ジョブの終了に従い、前記画像データと、該送信ジョブの終了と、が前記第２の送信先に通知され、
前記変換工程で、暗号化された前記ファイルへの変換が行われていた場合には、前記送信ジョブの終了に従い、前記画像データなしに、該送信ジョブの終了が前記第２の送信先に通知されることを特徴とする制御方法。
【請求項７】
コンピュータを、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の画像処理装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明の一態様に係る画像処理装置は以下のような構成を備える。即ち、
スキャナを備え、データを第１の送信先に送信する送信ジョブを実行できる画像処理装置であって、
送信ジョブの終了を通知する設定をユーザに設定させる設定手段と、
前記スキャナを用いて得られた画像データを所定のフォーマットのファイルに変換する変換手段と、
前記ファイルを送信するための送信ジョブを実行する実行手段と、
前記送信ジョブの終了に従い、前記設定手段による設定に基づき、当該送信ジョブの終了を第２の送信先に通知する通知手段と、を有し、
前記通知手段は、
前記変換手段により、暗号化することなく、前記ファイルへの変換が行われていた場合には、前記送信ジョブの終了に従い、前記画像データと、該送信ジョブの終了と、を前記第２の送信先に通知し、
前記変換手段により、暗号化された前記ファイルへの変換が行われていた場合には、前記送信ジョブの終了に従い、前記画像データなしに、該送信ジョブの終了を前記第２の送信先に通知することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
先ずＳ１３０１でＣＰＵ２１１は、ユーザからファイル形式の設定指示を待つ。この指示は、画像データを送信する送信アプリケーションにより表示される画面（不図示）から指示されても、或いは、ユーザが操作部２２０で所定の操作を行うことにより指示されても良い。ユーザからファイル形式の設定指示を入力するとＳ１３０２へ進む。Ｓ１３０２でＣＰＵ２１１は、ジョブ終了通知が設定されているかどうかを、前述のＲＡＭ２１３の通知フラグを参照して判定する。ここでジョブ終了通知が設定されていると判定するとＳ１３０３に進み、そうでないときはＳ１３０５へ進む。Ｓ１３０３でＣＰＵ２１１は、ジョブ終了通知の設定でボタン５０６により「原稿を添付」が設定されているかどうか、ＲＡＭ２１３を参照して判定する。ここで「原稿を添付」が設定されていると判定するとＳ１３０４に進み、そうでないときはＳ１３０５へ進む。Ｓ１３０４でＣＰＵ２１１は、図１０の画面で、「暗号化する」を指示するボタン１００６を網掛け、或いはグレーアウトして表示し、「暗号化する」を指示できないようにして、この処理を終了する。一方、Ｓ１３０５でＣＰＵ２１１は、図１０のボタン１００６を通常通り表示して、「暗号化する」の設定を可能にしてこの処理を終了する。
【手続補正書】
【提出日】令和2年7月13日(2020.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力画像から低周波成分を抽出して低周波画像を生成する第１生成手段と、
前記入力画像から高周波成分を抽出して高周波画像を生成する第２生成手段と、
前記低周波画像に対してＡＭスクリーン処理してＡＭスクリーン画像を生成するスクリーン処理手段と、
前記ＡＭスクリーン画像に前記高周波画像を加算して、加算画像を生成する加算処理手段と、
を有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記加算画像を補正する補正手段をさらに有し、
前記補正手段は、前記加算画像において、所定の階調レンジ外の画素値を前記所定の階調レンジ内の画素値に置換し、前記所定の階調レンジ内の画素値による置換が行われた画素において生じる置換前の画素値と置換後の画素値との差分を、前記所定の階調レンジ内の画素値による置換が行われた画素以外の画素に分配することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記第１生成手段は、前記入力画像から所定のカットオフ周波数より低い低周波数成分を抽出し、
前記第２生成手段は、前記入力画像から前記所定のカットオフ周波数より高い高周波成分を抽出することを特徴とする請求項１または２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記所定のカットオフ周波数は、前記スクリーン処理手段におけるＡＭスクリーン周波数の２分の１以下であることを特徴とする請求項３に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記補正手段は、前記差分を前記加算画像における注目画素の周辺の画素に拡散することを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記補正手段は、前記差分を前記周辺の画素に重みをつけて拡散することを特徴とする請求項５に記載の画像処理装置。
【請求項７】
前記補正手段は、複数の画素を含む所定のブロック領域毎に、前記複数の画素のそれぞれの画素値と前記所定の階調レンジとの比較による差分の合計値を算出し、前記高周波画像の画素値に基づいて、前記合計値を前記所定のブロック領域に含まれる前記複数の画素に分配することを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項８】
前記補正手段は、
前記合計値が０より大きい場合、前記ブロック領域において画素値が前記所定の階調レンジの最大値よりも小さく、かつ、前記高周波画像の対応する画素の画素値が０より大きい画素に分配し、
前記合計値が０より小さい場合、前記ブロック領域において画素値が前記所定の階調レンジの最小値よりも大きく、かつ、前記高周波画像の対応する画素の画素値が０より小さい画素に分配することを特徴とする請求項７に記載の画像処理装置。
【請求項９】
前記補正手段は、加算処理後の画素値が前記所定の階調レンジ内にある状態で加算される加算量の期待値が、目標とする前記高周波画像の画素値と一致するように、前記低周波画像の画素値に基づいて、前記高周波画像の画素値を補正することを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項１０】
画像処理装置によって実行される画像処理方法であって、
入力画像から低周波成分を抽出して低周波画像を生成する工程と、
前記入力画像から高周波成分を抽出して高周波画像を生成する工程と、
前記低周波画像に対してＡＭスクリーン処理してＡＭスクリーン画像を生成する工程と、
前記ＡＭスクリーン画像に前記高周波画像を加算して、加算画像を生成する工程と、
を含むことを特徴とする画像処理方法。
【請求項１１】
コンピュータを、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の画像処理装置の各手段として機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の一実施形態における画像処理装置は、入力画像から低周波画像を生成する第１生成手段と、前記入力画像から高周波成分を抽出して高周波画像を生成する第２生成手段と、前記低周波画像に対してＡＭスクリーン処理してＡＭスクリーン画像を生成するスクリーン処理手段と、前記ＡＭスクリーン画像に前記高周波画像を加算して、加算画像を生成する加算処理手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月21日(2020.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
上部板状部材６２は、中間板６０の上面６０ｔに金属接合されている。上部板状部材６２は、下部板状部材５８と略同径の円板形状を有し、Ｃｕ、Ａｌ等の熱伝導材料により形成されている。上部板状部材６２の上面６２ｔには、ウエハＷが載置される。即ち、上部板状部材６２の上面６２ｔは、載置面として機能する。上部板状部材６２の下面６２ｂには、載置面と垂直な方向からの平面視において、下部板状部材５８の溝部５８ａが形成された位置と重なる位置に溝部６２ａが形成されている。なお、溝部５８ａと溝部６２ａとの間の位置関係は、これに限定されるものではない。図６は、第２構成例の搬送ステージ１８Ｂの概略断面図である。図６に示されるように、載置面と垂直な方向からの平面視において、溝部６２ａは、溝部５８ａの位置と重ならない位置に形成されていてもよい。溝部６２ａが溝部５８ａと重ならない位置に形成されている場合、チャックトップ５０Ｂの強度が向上する。そのため、強度が求められる場合には、載置面と垂直な方向からの平面視において、溝部６２ａと溝部５８ａとが重ならない位置に形成されていることが好ましい。溝部６２ａの深さは、例えば２ｍｍとすることができる。溝部６２ａは、例えば図５（ｂ）に示されるように、上部板状部材６２の外周部から中央部に向かって曲線状（渦巻き状）に延びると共に、中央部において折り返して中央部から外周部に向かって曲線状（渦巻き状）に延びるように形成されている。溝部６２ａは、上部板状部材６２の下面６２ｂに中間板６０が金属接合されることにより、冷媒流路として機能する。冷媒流路には、上部板状部材６２の外周部に形成された流入口６２ｉから冷媒が供給される。冷媒流路は、外周部から中央部に向かって冷媒を流すための流路を含む。外周部から中央部に向かって流れる冷媒は、ウエハＷからチャックトップ５０Ａ内に伝わった熱を吸熱しながら中央部に流れた後、外周部に形成された流出口６２ｏに向かって流れる。そのため、冷媒の流れの下流側である中央部の温度は、冷媒の流れの上流側である外周部の温度よりも高くなる。冷媒の種類は特に限定されないが、例えば下部板状部材５８の冷媒流路に供給される冷媒と同様であってよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
上部板状部材７８は、第２中間板７６の上面７６ｔに金属接合されている。上部板状部材７８は、下部板状部材７０と略同径の円板形状を有し、Ｃｕ、Ａｌ等の熱伝導材料により形成されている。上部板状部材７８の上面７８ｔには、ウエハＷが載置される。即ち、上部板状部材７８の上面７８ｔは、載置面として機能する。上部板状部材７８の下面７８ｂには、載置面と垂直な方向からの平面視において、下部板状部材７０の溝部７０ａが形成された位置と重なる位置に溝部７８ａが形成されている。溝部７０ａと溝部７８ａとの間の位置関係は、これに限定されるものではなく、載置面と垂直な方向からの平面視において、溝部７８ａは、溝部７０ａの位置と重ならない位置に形成されていてもよい。溝部７８ａが溝部７０ａと重ならない位置に形成されている場合には、チャックトップ５０Ｃの強度が向上する。そのため、強度が求められる場合には、載置面と垂直な方向からの平面視において、溝部７０ａと溝部７８ａとが重ならない位置に形成されていることが好ましい。溝部７８ａの深さは、例えば２ｍｍとすることができる。溝部７８ａは、上部板状部材７８の外周部から中央部に向かって曲線状（渦巻き状）に延びると共に、中央部において折り返して中央部から外周部に向かって曲線状（渦巻き状）に延びるように形成されている。溝部７８ａは、上部板状部材７８の下面７８ｂに第２中間板７６が金属接合されることにより、冷媒流路として機能する。冷媒流路には、上部板状部材７８の外周部に形成された流入口７８ｉから冷媒が供給される。冷媒流路は、外周部から中央部に向かって冷媒を流すための冷媒流路を含む。外周部から中央部に向かって流れる冷媒は、ウエハＷの発熱を吸熱しながら中央部まで流れた後、外周部に形成された流出口７８ｏに向かって流れる。そのため、冷媒の流れの下流側である中央部の温度は、冷媒の流れの上流側である外周部の温度よりも高くなる。冷媒の種類は特に限定されないが、例えば下部板状部材７０の冷媒流路に供給される冷媒と同様であってよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
ヒータ５４は、下部板状部材７０の下面に取り付けられている。ヒータ５４は、チャックトップ５０Ｃ（下部板状部材７０、第１中間板７２、中部板状部材７４、第２中間板７６、及び上部板状部材７８）を介してウエハＷを加熱する。これにより、冷媒流路を流れる冷媒による温度制御に加えて、ヒータ５４による温度制御を行うことができる。また、チャックトップ５０Ｃの下面にヒータ５４を取り付ける構造を採用することにより、冷媒によりチャックトップ５０Ｃの温度の面内均一性を向上させた状態で更にチャックトップ５０Ｃを全体として加熱することができるため、チャックトップ５０Ｃの温度の面内均一性に対するヒータの影響を抑制しつつ高温側へ温度制御することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
続いて、ロウ付け、拡散接合等の金属接合により、下部板状部材５８の上面５８ｔと中間板６０の下面６０ｂとを接合し、溝部５８ａ及び中間板６０の下面６０ｂに囲まれた冷媒流路を形成する。また、ロウ付け、拡散接合等の金属接合により、上部板状部材６２の下面６２ｂと中間板６０の上面６０ｔとを接合し、溝部６２ａ及び中間板の上面６０ｔに囲まれた冷媒流路を形成する。
【手続補正書】
【提出日】令和2年7月6日(2020.7.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
また、加工対象物（半導体基板）１がドライエッチング処理時よりも減圧の雰囲気下に置かれる減圧処理が施される。減圧処理では、真空ポンプ２０６が稼働することによりチャンバー２０１内が真空にされる。つまり、減圧処理では、チャンバー２０１内が真空引きされる。ドライエッチング処理による反応済み滞在反応副成物が真空ポンプ２０６を介して配管を通じて排出される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図１６に示されるように、第１のドライエッチング処理の後に、第１の減圧処理が施される。第１の減圧処理では、加工対象物（半導体基板）１が第１のドライエッチング処理時よりも減圧の雰囲気下に置かれる。これにより、図１１に示されるチャンバー２０１内から第１のドライエッチング処理時の反応済み滞在反応副生成物が除去される。このため、第１のドライエッチング処理により形成された溝９内に残留した反応済み滞在反応副生成物が溝９内から除去される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図１８に示されるように、第２のドライエッチング処理の後に、第２の減圧処理が施される。第２の減圧処理では、加工対象物１が第２のドライエッチング処理時よりも減圧の雰囲気下に置かれる。これにより、第２のドライエッチング処理時の反応済み滞在反応副成物が除去される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
圧力が１０Ｐａ未満の場合にはエッチングの反応速度が遅くなることによりエッチング速度が遅くなるため、圧力は１０Ｐａ以上とされる。また、真空ポンプ２０６を用いて圧力を１０Ｐａ未満にするには時間がかかるため、圧力は１０Ｐａ以上とされる。また、圧力が１０Ｐａ未満とされても溝９から排出される反応済み滞在反応副生成物の量は圧力が１０Ｐａとされた場合と略変化しないため、圧力は１０Ｐａ以上とされる。また、ターボ分子ポンプではなくメカニカルブースターポンプを用いて圧力を１０Ｐａにすることができるため、圧力は１０Ｐａ以上とされる。また、真空装置では圧力を９０ｋＰａよりも上げることは困難であるため、圧力は９０ｋＰａ以下とされる。プラズマレスの三フッ化塩素（ＣｌＦ３）ガスでは、１０Ｐａ以上９０ｋＰａ（ａｂｓ）以下の圧力の範囲にわたってエッチングすることができる。このため、圧力の範囲は１０Ｐａ以上９０ｋＰａ（ａｂｓ）以下とされる。三フッ化塩素（ＣｌＦ３）ガスは、珪素（Ｓｉ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、窒化チタン（ＴｉＮ）およびモリブデン（Ｍｏ）をエッチングすることができる。このため、加工対象物１の材料として珪素（Ｓｉ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、窒化チタン（ＴｉＮ）およびモリブデン（Ｍｏ）が用いられる。加工対象物１の材料の各フッ化物の沸点以上にすることで、各材料におけるエッチング速度が確保することができるため、温度が材料の各フッ化物の沸点以上とされる。加工対象物１に形成されたデバイスをダイシングする際の最高温度は２００℃であるため、温度は２００℃未満とされる。