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【手続補正書】
【提出日】令和2年8月28日(2020.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明によれば、特定の厚みを有するバインダに被覆された絶縁粒子を用いることにより、絶縁粒子から構成される絶縁層を備えながらも、製造装置へダメージを与え難い電極を提供することができる。また、本発明によれば、絶縁粒子の表面に所定の厚み以上のバインダが存在することで、絶縁粒子同士の結着性を確保することができるので、絶縁粒子の脱離等を抑制することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
Ａ．電極の概要
図１は、本発明の１つの実施形態による電極の概略断面図である。電極１０１は、合剤層１０と、合剤層１０の表面に配置された絶縁層２０とを備える。実用的には、電極１０１は、合剤層１０の絶縁層２０とは反対側に集電箔３０をさらに備え得る。図示していないが、合剤層に加え集電箔上にも、絶縁層が形成されていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
Ｂ．絶縁層
上記のとおり、絶縁層は絶縁粒子とバインダから構成され、絶縁粒子はバインダにより被覆されている。より詳細には、絶縁粒子とバインダとは複合体を構成し、当該複合体は、いわゆるコアシェル構造を有し、絶縁粒子から構成されるコア部と、バインダから構成されるシェル部とを含む。バインダは、絶縁粒子同士、ならびに、絶縁粒子と合剤層とを結着させる機能を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
上記絶縁粒子の平均粒子径は、好ましくは１μｍ以上であり、より好ましくは１．２μｍ〜５．０μｍであり、さらに好ましくは１．８μｍ〜３．５μｍである。なお、本明細書において、「平均粒子径」とは、ＪＩＳ−Ｚ−８８１５（２０１３年）に準拠し、粒子を溶媒で希釈した希釈液に対しレーザ回折・散乱法により測定した粒径分布に基づき、ＪＩＳ−Ｚ−８８１９−２（２００１年）に準拠し計算される体積基準積算分布が５０％となる値を意味する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
非水電解質としては、任意の適切な非水電解質が用いられる。非水電解質は、非水溶媒と電解質塩を含む。非水溶媒としては、例えば、エチルメチルカーボネート（ＥＭＣ）、ジメチルカーボネート（ＤＭＣ）、ジエチルカーボネート（ＤＥＣ）、ジフェニルカーボネート等の鎖状カーボネート；エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、ブチレンカーボネート、ビニレンカーボネート、スチレンカーボネート、等が挙げられる。これらの非水溶媒は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。電解質塩としては、例えば、ＬｉＰＦ６、ＬｉＰＦ２（Ｃ２Ｏ４）２、ＬｉＰＦ３（ＣＦ２ＣＦ３）３、ＬｉＰＦ４（Ｃ２Ｏ４）、ＬｉＣｌＯ４、ＬｉＢＦ４、ＬｉＡｓＦ６等のイオン性化合物が挙げられる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（正極合剤層）
正極活物質である平均粒子径（Ｄ５０）が５μｍのリチウム遷移金属複合酸化物（ＬｉＮｉ１／３Ｃｏ１／３Ｍｎ１／３Ｏ２）、及び平均粒子径（Ｄ５０）が２０μｍのリチウム遷移金属複合酸化物（ＬｉＭｎ２Ｏ４）、導電剤であるアセチレンブラック、バインダであるポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、及び非水系溶媒であるＮ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）を用いて正極スラリーを作製した。正極活物質、バインダ及び導電剤の質量比率は９３：４：３（固形分換算）とした。この正極スラリーを１５μｍのアルミ箔に、塗工し、乾燥し、ロールプレスを行うことにより、正極合剤層を作製した。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
１０    合剤層
２０    絶縁層
２１    複合体
２１ａ  絶縁粒子
２１ｂ  バインダ
３０    集電箔
１０１  電極
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2019079633.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】令和2年3月4日(2020.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
図４に示すように、上段に形成された各キャビティ１５と、下段に形成された各キャビティ１５とは、左右方向についてずれた位置に配されている。なお、複数のキャビティ１５の個数は任意であり、また、複数のキャビティ１５が上下方向について１段に並んで形成されていてもよく、また、３段以上に積層されていてもよい。各キャビティ１５は、コネクタハウジング１２の前端部においては前方に開口しており、コネクタハウジング１２の後端部においては後方に開口している。キャビティ１５の前壁１６は、後述する雌端子１１の接続筒部１７の前端縁が後方から当接して、雌端子１１が前止まりされるようになっている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
図１０及び図１１に示すように、ハウジング挿入孔３２は、上方から見て略長方形状をなすと共に比較的に浅く陥没した作業凹部３５と、作業凹部３５のうち上下方向の中央付近に、深く陥没して形成されたコネクタ保持凹部３６と、を備える。コネクタ保持凹部３６の断面形状は、雌コネクタ１０の断面形状と同じか、やや大きく設定されている。作業凹部３５と、コネクタ保持凹部３６との境界部分には、コネクタ挿入方向の後方に向かって拡開する案内斜面３７が設けられている（図７参照）。この案内斜面３７に案内されることにより、雌コネクタ１０をコネクタ保持凹部３６内に容易に挿入することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
上側カム溝３８と、下側カム溝３９とは、側方から見て、作業面３１側にコネクタ挿入方向の後方に開口する始端部４０を有すると共に、コネクタ挿入方向の前方向かって延びて形成されている。上側カム溝３８と下側カム溝３９とは、コネクタ挿入方向の前方に向かって互いに離隔するように曲がった形状をなしている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
雌コネクタ１０がハウジング挿入孔３２内にコネクタ挿入方向の後方から挿入されて、上側カムピン２８及び下側カムピン２９がそれぞれ、上側カム溝３８の始端部４０及び下側カム溝３９の始端部４０に嵌入した状態では、上側リテーナ１３及び下側リテーナ１４は、コネクタハウジング１２に対して本係止位置に保持された状態になっている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
雌コネクタ１０をコネクタ挿入方向の前方に押圧すると、上側カムピン２８及び下側カムピン２９は、それぞれ上側カム溝３８及び下側カム溝３９内をコネクタ挿入方向に沿って移動する。上側カム溝３８と下側カム溝３９とは、コネクタ挿入方向の前方に向かって互いに離隔するように曲がった形状をなしているので、上側カムピン２８及び下側カムピン２９は、雌コネクタ１０がコネクタ挿入方向の前方に移動するに従って離隔する。更に雌コネクタ１０をコネクタ挿入方向の前方に移動させ、上側カム溝３８及び下側カム溝３９の終端部４２にそれぞれ、上側カムピン２８及び下側カムピン２９が移動した状態では上側リテーナ１３及び下側リテーナ１４は、コネクタハウジング１２に対して、仮係止位置に移動されるようになっている（図８参照）。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
コネクタハウジング１２を、治具３０のハウジング挿入孔３２内にコネクタ挿入方向の後方から収容する。すると、上側カムピン２８が上側カム溝３８の始端部４０内に嵌入し、下側カムピン２９が下側カム溝３９の始端部４０内に嵌入する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
更にコネクタハウジング１２をコネクタ挿入方向の前方に押し込むと、コネクタハウジング１２がコネクタ挿入方向の前方に移動するに従って、上側カムピン２８が上側カム溝３８内を移動すると共に下側カムピン２９が下側カム溝３９内を移動する。すると、上側リテーナ１３と下側リテーナ１４は互いに離間する方向の力が、上側カムピン２８及び下側カムピン２９から加えられる。これにより、上側リテーナ１３の本係止部２６Ａとコネクタハウジング１２の係止受け部２７Ａとの係合が解除されると共に、下側リテーナ１４の本係止部２６Ｂとコネクタハウジング１２の係止受け部２７Ｂとの係合が解除される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
続いて、コネクタハウジング１２をコネクタ挿入方向の後方に引っ張る。すると、上側カムピン２８が上側カム溝３８内をコネクタ挿入方向の後方に移動し、下側カムピン２９が下側カム溝３９内をコネクタ挿入方向の後方に移動する。これにより、上側リテーナ１３と下側リテーナ１４とは、互いに接近する方向の力を受ける。この結果、上側リテーナ１３の仮係止部２５Ａとコネクタハウジング１２の係止受け部２７Ａとの係合が解除されると共に、下側リテーナ１４の仮係止部２５Ｂとコネクタハウジング１２の係止受け部２７Ｂとの係合が解除される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
更に雌コネクタ１０ハウジングをコネクタ挿入方向の後方に引っ張ることにより、上側カムピン２８が上側カム溝３８の始端部４０にまで移動し、下側カムピン２９が下側カム溝３９の始端部４０にまで移動する。これにより、上側リテーナ１３の本係止部２６Ａとコネクタハウジング１２の係止受け部２７Ａとが係合し、下側リテーナ１４の本係止部２６Ｂとコネクタハウジング１２の係止受け部２７Ｂとが係合する。これにより、上段のキャビティ１５内に収容された雌端子１１の接続筒部１７に端子挿入方向の後方から上側リテーナ１３が当接すると共に、下段のキャビティ１５内に収容された雌端子１１の接続筒部１７に端子挿入方向の後方から下側リテーナ１４が当接することにより、コネクタハウジング１２に対して雌端子１１が抜け止めされる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
上記の構成によれば、ハウジング挿入孔３２内にコネクタハウジング１２を挿入すると、コネクタハウジング１２のコネクタ挿入方向の前端部は、後端部よりも重力に対して下方に位置する。この状態で、コネクタハウジング１２のキャビティ１５内に雌端子１１を挿入すると、雌端子１１の前端部は、後端部よりも重力に対して下方に位置するようになっている。この結果、雌端子１１に接続された電線１８に対して、雌端子１１がキャビティ１５から抜ける方向の力が加わったとしても、重力によって雌端子１１が下方に引っ張られるので、雌端子１１がキャビティ１５内から抜け出ることを抑制することができる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年10月15日(2020.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射面と、
第一の方向に延在する出射面と、
該出射面に対向すると共に、前記入射面から入射した光を前記出射面に導光する導光面と、
前記出射面と前記導光面とを接続する側面と、
該側面に設けられる被保持部とを備え、
前記導光面は、前記第一の方向に配列された複数の偏向部を含み、
前記複数の偏向部の密度及び深さの少なくとも一方は、前記導光面における前記第一の方向での前記被保持部が存在する領域に対応する第一の領域と、前記導光面における前記第一の方向での前記第一の領域の両側に隣接する第二の領域とで互いに異なることを特徴とする導光体。
【請求項２】
前記第一の領域は、前記導光面の前記第一の方向における中央に位置することを特徴とする請求項１に記載の導光体。
【請求項３】
前記第一の方向に沿った単位長さ当たりの前記偏向部の数をＮ、前記複数の偏向部の平均深さをｈとするとき、前記第一の領域におけるＮ×ｈは、前記第二の領域におけるＮ×ｈより小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の導光体。
【請求項４】
前記偏向部は、前記入射面から入射した光を反射する反射部であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の導光体。
【請求項５】
前記偏向部は、前記第一の方向と前記導光面に垂直な第二の方向とに垂直な第三の方向に底面を持つ三角柱からなる楔形状を有していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の導光体。
【請求項６】
前記被保持部は、前記側面から突出していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の導光体。
【請求項７】
光源と、
該光源からの光を被照明面に導光する請求項１乃至６のいずれか一項に記載の導光体とを備えることを特徴とする照明装置。
【請求項８】
前記光源は、前記第一の方向における前記導光体の一方の端部にのみ対向するように設けられていることを特徴とする請求項７に記載の照明装置。
【請求項９】
前記被保持部を保持する保持部を備えることを特徴とする請求項７または８に記載の照明装置。
【請求項１０】
前記保持部は、前記被保持部が挿入される凹部形状を有していることを特徴とする請求項９に記載の照明装置。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の照明装置と、
前記被照明面からの光を受光する受光部と、
前記被照明面からの光を前記受光部に導光する結像部とを備えることを特徴とする画像読取装置。
【請求項１２】
被走査面を除電するように照明する請求項７乃至１０のいずれか一項に記載の照明装置と、
前記被走査面を走査する光走査装置と、
前記被走査面に形成される静電潜像をトナー像として現像する現像器と、
現像された前記トナー像を被転写材に転写する転写器と、
転写された前記トナー像を前記被転写材に定着させる定着器とを備えることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明に係る導光体は、入射面と、第一の方向に延在する出射面と、出射面に対向すると共に、入射面から入射した光を出射面に導光する導光面と、出射面と導光面とを接続する側面と、側面に設けられる被保持部とを備え、導光面は、第一の方向に配列された複数の偏向部を含み、複数の偏向部の密度及び深さの少なくとも一方は、導光面における第一の方向での被保持部が存在する領域に対応する第一の領域と、導光面における第一の方向での第一の領域の両側に隣接する第二の領域とで互いに異なることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
照明装置１００は、第一の方向に延在する長尺な導光体１０１及び導光体１０１の第一の方向における一端部に対向するように配置されている光源１０２を備えている。光源１０２から出射した光線は、導光体１０１の第一の方向の端面に含まれる入射面１０１ａから導光体１０１の内部に入射し伝搬する。
その後、光線の一部は導光体１０１の導光面１０１ｆの内部側において第一の方向に配列するように設けられた複数の反射部（偏向部）１０１ｂによって反射され、第一の方向に延在し導光面１０１ｆに対向する出射面１０１ｅから被照射面１０３（被照明面）へ向かって出射する。
これにより、被照射面１０３は、第一の方向に沿って細長い分布で照明される。
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月22日(2020.1.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、上記コネクタ端子において、前記保持部は、角部を有する板状の形状を有し、前記保持部は、前記角部によって前記芯線を保持するようにしてもよい。
本構成によれば、芯線は保持部の角部によって保持されるため、芯線をより強固に保持することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、カバー部３０は、詳しくは、カバー部３０の各側壁部（３２Ａ、３２Ｂ）は、押圧凸状部３４Ａが芯線７１を湾曲させる際における押圧凸状部３４Ａの変形を規制する変形規制部３５を有する。変形規制部３５は、図６に示されるように、各側壁部（３２Ａ、３２Ｂ）を打ち抜き折り曲げ加工することによって形成され、板状の形状を有する（図７参照）。この変形規制部３５によって、押圧凸状部３４Ａが芯線７１を湾曲させる際における押圧凸状部３４Ａの変形を抑制することができる。それによって、押圧凸状部３４Ａによる芯線７１の押圧動作を確実に行うことができる。なお、変形規制部３５の形状は板状に限られず、また、変形規制部３５は設けられなくてもよい。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月21日(2020.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
【図１】実施形態１に係るＵＴＰケーブルを示す斜視図
【図２】ＵＴＰケーブルを示す断面図
【図３】コネクタを示す断面図
【図４】図３に係るコネクタを示す一部拡大断面図
【図５】実施形態２に係るＵＴＰケーブルを示す斜視図
【図６】ＵＴＰケーブルを示す断面図
【図７】コネクタを示す断面図
【図８】実施形態３に係るＵＴＰケーブルを示す断面図
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
コネクタハウジング２３のジャケット挿入部２７内に後方から端子１８を挿入し、キャビティ２４へと押し込む。端子１８の接続部２１がフード部２６内へと達し、ランス２５が端子１８と弾性的に係止することにより、端子１８がキャビティ２４内に抜け止めされる。この状態で、ジャケット挿入部２７内には、インナージャケット１２の先端部が挿入される。アウタージャケット１３は、コネクタハウジング２３よりも後方の位置に配されており、ジャケット挿入部２７内には挿入されていない。これにより、コネクタ２２が完成する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
＜実施形態３＞
次に、本明細書に開示された技術の実施形態３を、図８を参照しつつ説明する。本実施形態に係るＵＴＰケーブル５０においては、インナージャケット５３の外面には、ＵＴＰケーブル５０の径方向の外方に向けて突出する複数（本実施形態では８つ）の突起５１が形成されている。この突起５１は、インナージャケット５３の延びる方向に沿って延びて形成されており、概ねリブ状をなしている。突起５１は、インナージャケット５３の周方向について、略等間隔に並んで形成されている。各突起５１の、インナージャケット５３の外面からの突出寸法は、略同じに設定されている。突起５１の断面形状は、略半円形状をなしている。
【手続補正書】
【提出日】令和2年3月30日(2020.3.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１方向に沿って互いに積層された複数のバイポーラ電極と、前記第１方向に沿って隣り合う前記バイポーラ電極の間にそれぞれ配置された複数のセパレータと、を有する積層体と、
前記バイポーラ電極の縁部を包囲するように前記積層体に設けられた封止体と、
を備え、
前記バイポーラ電極は、電極板と、前記電極板の第１面に設けられた正極と、前記電極板の前記第１面の反対の第２面に設けられた負極と、を含み、
前記第１方向に沿って隣り合う前記複数のバイポーラ電極は、一の前記バイポーラ電極の前記正極と別の前記バイポーラ電極の前記負極とが前記セパレータを介して対向するように配置されており、
前記セパレータは、前記第1方向からみて、前記バイポーラ電極の前記正極または前記負極に重複する部分と、前記電極板の縁部に重複する延在部分と、を有しており、
前記封止体は、前記第１方向に沿って隣り合う前記バイポーラ電極の前記電極板の縁部の間に配置されると共に前記電極板の縁部との間に前記セパレータの前記延在部分を介在させた状態において前記電極板の縁部に溶着された複数の第１封止部と、前記複数の第１封止部を外側から包囲して前記複数の第１封止部に接合された第２封止部と、を含み、
前記第１封止部は、前記セパレータよりも弾性変形しやすい弾性材料からなり、前記第１方向に沿って弾性的に圧縮された状態において前記第２封止部により保持されている、
蓄電モジュール。
【請求項２】
前記セパレータは、前記第１封止部と前記電極板との間に介在された状態において前記電極板に接触している、
請求項１に記載の蓄電モジュール。
【請求項３】
前記第１封止部の縦弾性係数は、前記セパレータの縦弾性係数よりも小さい、
請求項１又は２に記載の蓄電モジュール。
【請求項４】
前記第１封止部の縦弾性係数は、前記第２封止部の縦弾性係数よりも小さい、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の蓄電モジュール。
【請求項５】
第１方向に沿って互いに積層された複数のバイポーラ電極と、前記第１方向に沿って隣り合う前記バイポーラ電極の間にそれぞれ配置された複数のセパレータと、を有する積層体を構成する積層工程と、
前記バイポーラ電極の縁部を包囲するように封止体を前記積層体に設ける封止工程と、
を備え、
前記バイポーラ電極は、電極板と、前記電極板の第１面に設けられた正極と、前記電極板の前記第１面の反対の第２面に設けられた負極と、を含み、
前記封止体は、弾性材料からなる複数の第１封止部と、第２封止部と、を含み、
前記封止工程は、前記積層工程の前に前記電極板の縁部に第１樹脂部を溶着する一次封止工程を含み、
前記積層工程は、前記一次封止工程の後に、前記第１方向からみて前記電極板の縁部に重複して延在する前記セパレータを介在させながら、前記第１方向に沿って前記正極と前記負極とが交互に配列されるように前記バイポーラ電極を互いに積層し、
前記封止工程は、前記積層工程の後に、前記第１封止部と前記電極板の縁部との間に前記セパレータを介在させた状態において、前記第１封止部を前記第１方向に沿って弾性的に圧縮しながら、前記第１封止部を外側から包囲するように第２封止部を設けることにより、前記第２封止部により前記第１封止部を保持する二次封止工程を含む、
蓄電モジュールの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月28日(2020.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
このような構成によれば、相手端子を挿入口から本体部の内部に挿入する際には、斜め巻きコイルスプリングが倒れ込んで、ばねの高さ寸法（軸線に垂直な方向の寸法）が小さくなるように変形する。これにより、相手端子を低い挿入力でもって挿入することができる。また、相手端子を抜出口から本体部の外部に抜出する際にも、相手端子から斜め巻きコイルスプリングに対して、ばねの高さ寸法（コイル軸Ａに垂直な方向の寸法）が小さくなろうとする方向に力が働くので、相手端子を低い抜出力でもって抜出することができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
（２）上記実施形態１では、雌端子金具１が、底壁部１２に沿って配置される２つの第１斜め巻きコイルスプリング２０Ａを備えていたが、第１斜め巻きコイルスプリングが、１つまたは３つ以上であっても構わない。第２斜め巻きコイルスプリングについても同様である。
【手続補正書】
【提出日】令和2年9月17日(2020.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体の三次元の３Ｄ設計データに基づいて、当該３Ｄ設計データに対して配置される複数の電線の経路情報である配線経路情報を作成するルーティングステップと、
前記配線経路情報から所定の規則に従い所定数以下となるように選択された前記複数の電線を束ねてワイヤハーネスを定義するハーネス定義ステップと、
前記ハーネス定義ステップで定義された前記ワイヤハーネス単位のハーネス設計図を作成するステップと、
を有する設計支援方法。
【請求項２】
前記ハーネス定義ステップは、同じ機器に接続される前記複数の電線を束ねて前記ワイヤハーネスを定義する、請求項１記載の設計支援方法。
【請求項３】
前記ハーネス定義ステップは、同じ電気種類の前記複数の電線を束ねて前記ワイヤハーネスを定義する、請求項１または２に記載の設計支援方法。
【請求項４】
前記ルーティングステップの前に、前記複数の機器の間の電気的な接続を示す電気回路情報を、前記配線情報の少なくとも一部に変換する配線変換ステップを更に有する請求項３記載の設計支援方法。
【請求項５】
前記配線経路情報には、予め定められた形式で余長を表示する余長表示情報が含まれ、
前記配線情報には、前記電線の一方の端部および他方の端部の少なくとも一方に設けられる前記余長の長さの値である余長値が含まれる請求項３または４に記載の設計支援方法。
【請求項６】
前記配線情報には、前記電線が通過する３次元の位置である通過位置情報が含まれ、
前記通過位置情報には、当該位置を通過する前記電線の形状を規定する境界情報が含まれている請求項３から５のいずれか１項に記載の設計支援方法。
【請求項７】
移動体の三次元の３Ｄ設計データに基づいて、当該３Ｄ設計データに対して配置される複数の電線の経路情報である配線経路情報を作成するルーティング部と、
前記配線経路情報から所定の規則に従い所定数以下となるように選択された前記複数の電線を束ねてワイヤハーネスを定義するハーネス定義部と、
が設けられ、
前記ハーネス定義部で定義された前記ワイヤハーネス単位のハーネス設計図を作成する設計支援システム。
【請求項８】
前記ハーネス定義部は、同じ機器に接続される前記複数の電線を束ねて前記ワイヤハーネスを定義する、請求項７記載の設計支援システム。
【請求項９】
前記ハーネス定義部は、同じ電気種類の前記複数の電線を束ねて前記ワイヤハーネスを定義する、請求項７または８に記載の設計支援システム。
【請求項１０】
前記複数の機器の間の電気的な接続を示す電気回路情報を、前記配線情報の少なくとも一部に変換する配線変換部が更に設けられている請求項９記載の設計支援システム。
【請求項１１】
前記配線経路情報には、予め定められた形式で余長を表示する余長表示情報が含まれ、
前記配線情報には、前記電線の一方の端部および他方の端部の少なくとも一方に設けられる前記余長の長さの値である余長値が含まれる
請求項９または１０に記載の設計支援システム。
【請求項１２】
前記配線情報には、前記電線が通過する３次元の位置である通過位置情報が含まれ、
前記通過位置情報には、当該位置を通過する前記電線の形状を規定する境界情報が含まれている請求項９から１１のいずれか１項に記載の設計支援システム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年10月12日(2020.10.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像における複数の画素領域のそれぞれの色情報に基づいて、前記複数の画素領域のそれぞれに関する複数の第１色値を判定する第１判定手段と、
前記複数の第１色値に基づいて、前記画像における前記複数の画素領域を含む判定対象領域に関する第２色値を判定する第２判定手段と、を有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記第２判定手段は、前記複数の第１色値と、前記複数の第１色値のそれぞれに対応する前記画素領域の数との関係を示すヒストグラムに基づいて、前記第２色値を判定することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記第２判定手段は、前記ヒストグラムの重心値、平均値、または、最頻値を前記第２色値と判定することを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記複数の画素領域のそれぞれは、前記判定対象領域に含まれる一つの画素に相当することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記第１判定手段は、前記判定対象領域に含まれる全ての画素のそれぞれに関して前記第１色値を判定することを特徴とする請求項４に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記複数の画素領域のそれぞれは、前記判定対象領域に含まれる複数の画素を含む画素領域であり、
前記第１判定手段は、前記複数の画素のそれぞれの前記色情報の平均値に基づいて、前記複数の画素領域のそれぞれに関する前記複数の第１色値を判定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項７】
前記第１判定手段は、第１分解能で前記第１色値を判定し、
前記第２判定手段は、前記第１分解能よりも高い第２分解能で前記第２色値を判定することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項８】
前記色情報は、前記複数の画素領域のそれぞれのＲ、Ｇ、Ｂに関する情報であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項９】
前記第１判定手段は、事前に学習したフィルタ情報に基づく機械学習を利用して前記第１色値を判定することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１０】
前記フィルタ情報は、ノイズフィルタを含むことを特徴とする請求項９に記載の画像処理装置。
【請求項１１】
前記第１判定手段は、更に前記第１色値の確率を判定することを特徴とする請求項９または１０に記載の画像処理装置。
【請求項１２】
前記第２判定手段は、ユーザにより指定された前記判定対象領域に応じて、前記第２色値を補正することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１３】
撮像光学系により形成された光学像を光電変換して画像データを出力する撮像素子と、
前記画像データに基づく画像における複数の画素領域のそれぞれの色情報に基づいて、前記複数の画素領域のそれぞれに関する複数の第１色値を判定する第１判定手段と、
前記複数の第１色値に基づいて、前記画像における前記複数の画素領域を含む判定対象領域に関する第２色値を判定する第２判定手段と、を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項１４】
画像における複数の画素領域のそれぞれの色情報に基づいて、前記複数の画素領域のそれぞれに関する複数の第１色値を判定するステップと、
前記複数の第１色値に基づいて、前記画像における前記複数の画素領域を含む判定対象領域に関する第２色値を判定するステップと、を有することを特徴とする画像処理方法。
【請求項１５】
画像における複数の画素領域のそれぞれの色情報に基づいて、前記複数の画素領域のそれぞれに関する複数の第１色値を判定するステップと、
前記複数の第１色値に基づいて、前記画像における前記複数の画素領域を含む判定対象領域に関する第２色値を判定するステップと、をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一側面としての画像処理装置は、画像における複数の画素領域のそれぞれの色情報に基づいて、前記複数の画素領域のそれぞれに関する複数の第１色値を判定する第１判定手段と、前記複数の第１色値に基づいて、前記画像における前記複数の画素領域を含む判定対象領域に関する第２色値を判定する第２判定手段と、を有する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の他の側面としての画像処理方法は、画像における複数の画素領域のそれぞれの色情報に基づいて、前記複数の画素領域のそれぞれに関する複数の第１色値を判定するステップと、前記複数の第１色値に基づいて、前記画像における前記複数の画素領域を含む判定対象領域に関する第２色値を判定するステップと、を有する。
【手続補正書】
【提出日】令和2年5月28日(2020.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
この時、第一の光源６０の発光時間と第一の受光部６４が受光した時間との時間的な差Δｔ１によりＹ軸方向の指までの距離情報を、同時に第一の光源６０と第一の受光部６４との絶対的な位置座標によりＸ軸方向の位置情報を得る。ついで同図に示すように、使用者（例えば運転者）の指が図面の左から右に更に移動した場合にはまず、第三の光源６８からの光束φ４はコンデンサ光学素子６９により略平行光束となし移動する使用者の指で反射し反射光束φ６となって集光レンズ素子７３により集光されて第三の受光部７２に到達する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
この時、第三の光源６８の発光時間と第三の受光部７２が受光した時間との時間的な差Δｔ２によりＹ軸方向の指までの距離情報を、同時に第三の光源６８と第三の受光部７２との絶対的な位置座標によりＸ軸方向の位置情報を得る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
＜本実施例のその他の特徴＞
乗用車のフロントガラス６は、図９に示すように、垂直方向の曲率半径Ｒｖと水平方向の曲率半径Ｒｈが異なり、一般には、Ｒｈ＞Ｒｖの関係にある。このため、図９に示すように、反射面としてフロントガラス６を捉えると、凹面ミラーのトロイダル面となる。このため、本実施例のＨＵＤ装置１００では、凹面ミラー１の形状はフロントガラス６の形状による虚像倍率を補正するように、すなわち、フロントガラスの垂直方向と水平方向の曲率半径の違いを補正するように水平方向と垂直方向で異なる平均曲率半径とすれば良い。この時、凹面ミラー１の形状は、光軸に対称な球面または非球面（以下に式（２）で示す）形状では光軸からの距離ｈの関数であり、離れた場所の水平断面と垂直断面形状を個別に制御できないことから、以下に式（１）で示す自由曲面としてミラー面の光軸からの面の座標（ｘ，ｙ）の関数として補正することが好ましい。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月4日(2020.2.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図２Ａに示すように、予約案内装置２１０は、バス２０に接続されたＣＰＵ（Central Processing Unit）２１、ＲＯＭ（Read Only Memory）２２、ＲＡＭ（Random Access Memory）２３、不揮発性ストレージ２４備える。また、利用客２０１との会話を行うための入力部２６と出力部２７を備える。さらに、外部との通信を行うための通信インターフェース（通信ＩＦ）２５を備えている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
ＣＰＵ２１は、予約案内装置２１０の各部の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードをＲＯＭ２２から読み出して実行する。ＲＡＭ２３には、ＣＰＵ２１で行われる処理の途中で発生した変数等が一時的に書き込まれる。入力部２６は、図１の予約案内装置２１０のうち、タッチパネル等の入力部２１１と音声の入力を行うマイク２１４を含む。出力部２７は、図１の予約案内装置２１０のうち、表示部２１３及びスピーカ２１５に相当する。不揮発性ストレージ２４には、予約案内装置２１０の予約部２１２で処理する情報が蓄積される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
案内ロボットＩＤフィールド１０９ａには、案内ロボット３０１のＩＤ、例えば「ＲＯＢＯ１」、「ＲＯＢＯ２」が記憶される。また、設備フィールド１０９ｂには、それぞれの案内ロボット３０１がどこの設備に配置されているかが記憶される。更に、設備内位置フィールド１０８ｃには、各案内ロボット３０１がそれぞれの設備のどこに置かれているかという座標値、すなわち、「ＲＯＢＯ１」、「ＲＯＢＯ２」の各設備内におけるそれぞれの座標値が記憶される。
このロボット管理テーブル１０９へのアクセスは、設備３００のロボット制御装置３１０からのアクセスに限られ、設備２００側のロボット制御装置２２０からのアクセスは制限されている。
【手続補正書】
【提出日】令和2年1月17日(2020.1.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
現実空間の撮影画像にコンピュータグラフィックス画像を重畳して仮の重畳画像を生成する重畳部と、
クロマキー画像を生成するクロマキー生成部と、
前記仮の重畳画像に対して前記クロマキー画像によってマスクをかけることにより、合成クロマキー画像を生成する合成部とを含み、
前記合成クロマキー画像は、前記現実空間の撮影画像に重畳して拡張現実画像を生成するために利用されることを特徴とする画像生成装置。
【請求項２】
前記仮の重畳画像および前記クロマキー画像を新たな視点位置または視線方向に合うように変換するリプロジェクション部をさらに含み、
前記合成部は、リプロジェクション処理が施された前記仮の重畳画像に対してリプロジェクション処理が施された前記クロマキー画像によってマスクをかけることにより、前記合成クロマキー画像を生成することを特徴とする請求項１に記載の画像生成装置。
【請求項３】
前記重畳部が前記仮の重畳画像を生成する際に利用する前記現実空間の撮影画像は、前記拡張現実画像を生成するために利用される前記現実空間の撮影画像よりも解像度が低いことを特徴とする請求項１または２に記載の画像生成装置。
【請求項４】
ヘッドマウントディスプレイと画像生成装置を含む画像生成システムであって、
前記画像生成装置は、
前記ヘッドマウントディスプレイから伝送される現実空間の撮影画像にコンピュータグラフィックス画像を重畳して重畳画像を生成する第１の重畳部と、
クロマキー画像を生成するクロマキー生成部と、
前記重畳画像および前記クロマキー画像を新たな視点位置または視線方向に合うように変換する第１のリプロジェクション部と、
リプロジェクション処理が施された前記重畳画像に対してリプロジェクション処理が施された前記クロマキー画像によってマスクをかけることにより、合成クロマキー画像を生成する合成部とを含み、
前記ヘッドマウントディスプレイは、
前記現実空間の撮影画像を新たな視点位置または視線方向に合うように変換する第２のリプロジェクション部と、
第２のリプロジェクション部によりリプロジェクション処理が施された前記現実空間の撮影画像に、前記画像生成装置から伝送される前記合成クロマキー画像を合成することにより、拡張現実画像を生成する第２の重畳部とを含むことを特徴とする画像生成システム。
【請求項５】
ヘッドマウントディスプレイと画像生成装置を含む画像生成システムであって、
前記画像生成装置は、
前記ヘッドマウントディスプレイから伝送される現実空間の撮影画像にコンピュータグラフィックス画像を重畳して仮の重畳画像を生成する第１の重畳部と、
クロマキー画像を生成するクロマキー生成部と、
前記仮の重畳画像に対して前記クロマキー画像によってマスクをかけることにより、合成クロマキー画像を生成する合成部とを含み、
前記ヘッドマウントディスプレイは、
前記現実空間の撮影画像を新たな視点位置または視線方向に合うように変換する第１のリプロジェクション部と、
前記画像生成装置から伝送される前記合成クロマキー画像を新たな視点位置または視線方向に合うように変換する第２のリプロジェクション部と、
第１のリプロジェクション部によるリプロジェクション処理が施された前記現実空間の撮影画像に、第２のリプロジェクション部によるリプロジェクション処理が施された前記合成クロマキー画像を合成することにより、拡張現実画像を生成する第２の重畳部とを含むことを特徴とする画像生成システム。
【請求項６】
現実空間の撮影画像にコンピュータグラフィックス画像を重畳して仮の重畳画像を生成する重畳ステップと、
クロマキー画像を生成するクロマキー生成ステップと、
前記仮の重畳画像に対して前記クロマキー画像によってマスクをかけることにより、合成クロマキー画像を生成する合成ステップとを含み、
前記合成クロマキー画像は、前記現実空間の撮影画像に重畳して拡張現実画像を生成するために利用されることを特徴とする画像生成方法。
【請求項７】
現実空間の撮影画像にコンピュータグラフィックス画像を重畳して仮の重畳画像を生成する重畳機能と、
クロマキー画像を生成するクロマキー生成機能と、
前記仮の重畳画像に対して前記クロマキー画像によってマスクをかけることにより、合成クロマキー画像を生成する合成機能とをコンピュータに実現させ、
前記合成クロマキー画像は、前記現実空間の撮影画像に重畳して拡張現実画像を生成するために利用されることを特徴とするプログラム。
【請求項８】
前記クロマキー生成部は、仮想空間のオブジェクトの位置関係を判定し、前記クロマキー画像を生成することを特徴とする請求項１に記載の画像生成装置。
【請求項９】
前記クロマキー生成部は、現実空間のオブジェクトと仮想空間のオブジェクトの位置関係を判定し、前記クロマキー画像を生成することを特徴とする請求項８に記載の画像生成装置。
【請求項１０】
前記クロマキー生成部は、前記現実空間の撮影画像の奥行き情報にもとづいて前記コンピュータグラフィックス画像をクロマキー処理して前記クロマキー画像を生成することを特徴とする請求項１または９に記載の画像生成装置。
【請求項１１】
前記仮の重畳画像および前記クロマキー画像に対して歪み処理を施す歪み処理部をさらに含み、
前記合成部は、歪み処理が施された前記仮の重畳画像に対して歪み処理が施された前記クロマキー画像によってマスクをかけることにより、前記合成クロマキー画像を生成することを特徴とする請求項１または２に記載の画像生成装置。
【請求項１２】
前記仮の重畳画像にポストプロセスを施すポストプロセス部をさらに含み、
前記合成部は、ポストプロセスが施された前記仮の重畳画像に対して前記クロマキー画像によってマスクをかけることにより、前記合成クロマキー画像を生成することを特徴とする請求項１、２、１１のいずれかに記載の画像生成装置。
【請求項１３】
仮想空間のオブジェクトをレンダリングしてコンピュータグラフィックス画像を生成するレンダリング部と、
クロマキー画像を生成するクロマキー生成部と、
前記コンピュータグラフィックス画像に対して前記クロマキー画像によってマスクをかけることにより、合成クロマキー画像を生成する合成部とを含み、
前記クロマキー生成部は、現実空間のオブジェクトと仮想空間のオブジェクトの位置関係を判定し、前記クロマキー画像を生成することを特徴とする画像生成装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年3月25日(2020.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
診断対象に設けた検出素子からの検出信号に基づき、前記診断対象の異常を検出する異常検出システムであって、
通常運転時における前記検出素子からの検出信号に基づき、前記診断対象の第１の運転モード時および第２の運転モード時における異常の有無を判定する異常判定部と、
前記異常判定部で判定した前記第１の運転モードおよび前記第２の運転モードの異常の有無の組み合わせに基づき、前記診断対象の異常の原因を判断して検出する異常原因検出部と、
を備え、
前記異常判定部は、
前記検出信号に基づき、運転モードを判定するための閾値を学習する学習部と、
前記検出信号に基づき、前記閾値を用いて前記診断対象の運転モードを判定し、前記運転モードごとに前記検出信号を分類するモード判定部と、
分類された前記検出信号ごとに、前記診断対象の異常を検出する異常検出部と、を備えることを特徴とする異常検出システム。
【請求項２】
請求項１に記載の異常検出システムであって、
前記診断対象は、第１の要素装置と第２の要素装置で構成されており、
前記第１の運転モードおよび前記第２の運転モードは、前記第１の要素装置と第２の要素装置の稼動状態の組み合わせに依存するモードであることを特徴とする、異常検出システム。
【請求項３】
請求項１に記載の異常検出システムであって、
前記検出素子からの検出信号は、前記診断対象の前記運転モードに因らずに生じる外的要因によって変化し、
前記異常原因検出部は、前記第１の運転モード時および前記第２の運転モード時の異常の有無の組み合わせに基づき、前記診断対象の異常か前記外的要因に起因する異常かを判断することを特徴とする、異常検出システム。
【請求項４】
請求項１に記載の異常検出システムであって、
前記検出素子は、複数設けられ、
前記異常判定部は、各検出素子毎に各運転モード時に検出する検出信号に基づき異常の有無を判定し、
前記異常原因検出部は、各運転モードで各検出素子から検出した異常の有無の生み合わせに基づき、前記診断対象の異常の原因を判断して検出することを特徴とする、異常検出システム。
【請求項５】
請求項１に記載の異常検出システムであって、
前記第１の運転モードおよび前記第２の運転モードの異常の有無の組み合わせに対して、想定される異常原因を格納した異常原因推定テーブルを格納した記憶装置を備え、
前記異常原因検出部は、前記異常原因推定テーブルを参照して異常の原因を判断して検出することを特徴とする、異常検出システム。
【請求項６】
請求項１に記載の異常検出システムであって、
前記学習部は、
第１のアルゴリズムを用いて前記検出信号に基づき、運転モードを判定し、当該判定結果を用いて前記閾値を学習し、
前記異常検出部は、
前記第１のアルゴリズムとは異なる第２のアルゴリズムを用いて、前記診断対象の異常を検出することを特徴とする、異常検出システム。
【請求項７】
請求項６に記載の異常検出システムであって、
前記第１のアルゴリズムは、k-means法によるクラスタリングであり、
前記診断対象の運転モード数を外部から入力する入力装置を備えることを特徴とする、
異常検出システム。
【請求項８】
記憶装置、入力装置、処理装置、出力装置を備えた情報処理装置を用い、診断対象の異常を検出する異常検出方法であって、
前記入力装置が、前記診断対象の状態を検出する検出素子からのセンサデータを取得し、
前記処理装置が、前記センサデータを前記診断対象の運転モード毎に分類する分類処理と、分類した前記運転モード毎に異常検出を行なう異常検出処理を行ない、
前記分類処理では、
第１のアルゴリズムを用いて前記センサデータを前記診断対象の運転モード毎に分類し、分類結果に基づいて運転モード毎に閾値を学習する学習処理と、
学習した前記閾値により前記センサデータを運転モード毎に判定するモード判定処理と、を行なう、
異常検出方法。
【請求項９】
前記学習処理では、
前記第１のアルゴリズムとしてk-means法を用い、前記k-means法を実行する際に、前記入力装置から運転モード数を入力可能とし、前記センサデータを前記運転モード数にクラスタリングする、
請求項８記載の異常検出方法。
【請求項１０】
前記記憶装置に、前記運転モード毎の異常の有無の組み合わせに対して、想定される異常原因を格納した異常原因推定テーブルを格納しておき、
前記異常検出処理では、
前記運転モード毎に異常検出を行ない、異常検出の結果を前記異常原因推定テーブルに当てはめ、該当する前記異常原因を前記出力装置から出力する、
請求項８記載の異常検出方法。
【請求項１１】
前記異常原因推定テーブルは、さらに、前記運転モード毎の異常の有無の組み合わせの遷移パターンに対して、想定される異常原因を格納する、
請求項１０記載の異常検出方法。
【請求項１２】
前記異常検出処理では、前記第１のアルゴリズムとは異なる第２のアルゴリズムを用いて、前記運転モード毎に異常検出を行なう、
請求項８記載の異常検出方法。
【請求項１３】
前記異常検出処理では、前記運転モード毎に異なるアルゴリズムあるいは特徴量を用いて異常検出を行なう、
請求項１２記載の異常検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
この装置には５つの運転モードがある。まず、スクロールポンプ１７１とターボ分子ポンプ１７２が停止している停止モードがある。次に、スクロールポンプ１７１が稼動し、粗引き弁１７３が開き、真空チャンバ１７５内の圧力を大気圧から真空圧まで下げる粗引きモードがある。その後、粗引き弁１７３を閉め、背圧弁１７６を空け、ターボ分子ポンプ１７２が稼動する、空転モードがある。次に、本引き弁１７４を開け、真空チャンバ１７５内の圧力を真空圧から超高真空圧まで下げる、本引きモードがある。最後に、真空チャンバ１７５内で半導体加工を行う加工モードがある。加工モードでは、図示していない装置の要素が稼動する。例えばＲＩＥ装置では、真空チャンバ１７５内に反応性ガスが注入される。センサ１０８から得たセンサデータを実施例１と同様のシステム構成により処理することで、これらの運転モードを区別し、半導体製造装置の状態を正確に判定することができる。