(57)【要約】【課題】  薄膜を取扱う、たとえば、燃料電池電極における隔膜を取扱い、かつ組立てる方法と装置。【解決手段】  その装置は、薄膜を取付ける平行移動自在な真空テーブルと、薄膜を真空テーブルから取外す真空源を有する貫通孔付きドラムと、および薄膜を貫通孔付きドラムから目標位置へ移送する、貫通孔付き表面および真空源を有する移送組立体とを備える。薄膜が収納体に収納される場合、その装置は、中の薄膜にアクセスするために収納体を開放する手段も備えることができる。薄膜の移送組立体からの取外しは、薄膜離脱手段、たとえば、複数の移動自在なワイヤにより容易に実施できる。その装置を自動化することができ、たとえば、その装置は、薄膜物質の取扱いを容易にするために、自動コントローラとロボットアームを備えることができる。
2005536862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜を源位置から目標位置まで移送する方法において、
前記薄膜を前記源位置に位置決めする工程と、
前記薄膜を、第１の位置における第１の表面へ装着する工程と、
前記第１の表面を、前記第１の位置から、前記薄膜が前記源位置から取外される第２の位置へ移動する工程と、
前記薄膜を、前記第１の表面から、第１の位置に位置決めされる第２の表面へ移送する工程と、
前記第２の表面を、前記第１の位置から第２の位置へ移動する工程と、および
前記薄膜を、前記第２の表面から前記目標位置まで移送する工程と、からなることを特徴とする移送方法。
【請求項２】
前記薄膜は、上端部を有する収納体内に設けられ、かつ前記方法は、前記薄膜へアクセスできるように前記収納体の前記上端部を切断する工程をさらに有することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記収納体の前記上端部を切断する工程は、前記薄膜を切断する工程をさらに有することを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記源位置は、平行移動自在な位置からなり、かつ前記第１の表面を移動する工程は、前記源位置を平行移動する工程を有することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記第１の表面を移動する工程は、前記源位置を前記第１の表面へ向けて平行移動する工程をさらに有することを特徴とする請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記第１の表面は、真空源へ機能的に接続される第１の貫通孔表面からなり、かつ前記薄膜を前記第１の表面へ装着する工程は、前記薄膜を前記第１の貫通孔付き表面を経て前記真空源へ露出する工程を有することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記第１の表面は、円弧状表面からなり、かつ前記第１の表面を移動する工程は、前記円弧状表面を回転する工程を有することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記第２の表面は、真空源へ機能的に接続される第２の貫通孔付き表面からなり、かつ前記薄膜を前記第１の表面から前記第２の表面へ移送する工程は、前記薄膜を前記第２の貫通孔付き表面を経て前記真空源へ露出する工程を有することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記薄膜を前記第２の貫通孔付き表面から前記目標位置へ移送する工程は、前記真空源により生成された真空を減少する工程を有することを特徴とする請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記第２の表面は、薄膜離脱機構を備え、かつ前記薄膜を前記第２の表面から前記目標位置へ移送する工程は、前記薄離脱機構を作動する工程を有することを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１１】
前記薄膜は隔膜からなることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１２】
前記薄膜は、粘性溶液内に設けられる薄膜からなることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１３】
前記粘性溶液は、酸性粘性溶液からなることを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
前記薄膜は燃料電池隔膜からなることを特徴とする請求項１２記載の方法。
【請求項１５】
薄膜を源位置から目標位置まで移送する装置において、
前記薄膜を前記源位置から第１の位置における第１の表面へ移送する手段と、
前記第１の表面を移動し、それにより前記薄膜が第２の位置へ移送される手段と、
前記薄膜を、前記第１の表面から第１の位置にある第２の表面へ移送する手段と、
前記第２の表面を前記第１の位置から第２の位置へ移動する手段と、および
前記薄膜を前記第２の表面から前記目標位置へ移送する手段と、を備えることを特徴とする移送装置。
【請求項１６】
前記薄膜は、上端部を有する収納体内に設けられ、かつ前記装置は、前記薄膜へアクセスできるように前記収納体の前記上端部を切断する手段をさらに備えることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
前記収納体の前記上端部を切断する手段は、少なくとも１つの金属刃を有する打抜器具からなることを特徴とする請求項１６記載の装置。
【請求項１８】
前記源位置は、平行移動自在な表面を備えることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項１９】
前記平行移動自在な表面は、サポートフレーム内に滑動自在に取付けられることを特徴とする請求項１８記載の装置。
【請求項２０】
前記平行移動自在な表面は、真空源へ機能的に接続される貫通孔付き平行移動自在な表面であることを特徴とする請求項１８記載の装置。
【請求項２１】
前記第１の表面は、円弧状表面からなることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項２２】
前記円弧状表面は、ドラムからなることを特徴とする請求項２１記載の装置。
【請求項２３】
前記第１の表面を移動する手段は、前記円弧状表面を回転する手段を備えることを特徴とする請求項２１記載の装置。
【請求項２４】
前記円弧状表面は、貫通孔付き円弧状表面からなり、かつ前記薄膜を前記源位置から前記貫通孔付き円弧状表面へ移送する手段は、前記貫通孔付き円弧状表面へ機能的に接続される真空源を備えることを特徴とする請求項２１記載の装置。
【請求項２５】
前記第２の表面は、貫通孔付き第２の表面からなり、かつ前記薄膜を前記源位置から前記貫通孔付き円弧状表面へ移送する手段は、前記貫通孔付き円弧状表面へ機能的に接続される真空源を備えることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項２６】
前記薄膜を前記第２の表面から前記目標位置へ移送する手段は、前記第２の貫通孔付き表面への前記真空源により生成された真空を減少する手段を備えることを特徴とする請求項２５記載の装置。
【請求項２７】
前記第２の表面を前記第１の位置から第２の位置へ移動する手段は、自動操作手段を備えることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項２８】
前記薄膜を前記第２の表面から前記目標位置へ移送する手段は、薄膜離脱機構を備えることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項２９】
前記薄膜離脱機構は、複数のワイヤからなることを特徴とする請求項２８記載の装置。
【請求項３０】
前記薄膜は、隔膜からなることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項３１】
前記隔膜は、燃料電池隔膜からなることを特徴とする請求項３０記載の装置。
【請求項３２】
前記薄膜は、粘性溶液内に設けられる薄膜からなることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項３３】
前記粘性溶液は、酸性粘性溶液からなることを特徴とする請求項３２記載の装置。
【請求項３４】
燃料電池隔膜を燃料電池電極へ供給する方法において、
前記燃料電池隔膜を真空テーブル上に位置決めする工程と、
前記燃料電池隔膜を、第１の位置における円弧状表面へ装着する工程と、
前記燃料電池隔膜を、前記第１の位置から、前記燃料電池隔膜が、前記真空テーブルから取外される第２の位置へ回転する工程と、
前記燃料電池隔膜を、前記円弧状表面から、第１の位置に位置決めされる移送表面へ移送する工程と、
前記燃料電池隔膜を有する前記移送表面を、前記第１の位置から、燃料電池電極に隣接する第２の位置へ移動する工程と、および
前記燃料電池隔膜を、前記移送表面から前記燃料電池電極へ移送する工程と、からなることを特徴とする供給方法。
【請求項３５】
燃料電池隔膜を収納体から取外し、かつ前記燃料電池隔膜を燃料電池電極へ供給する装置において、
燃料電池隔膜を内蔵し、かつ上端部を有する収納体を受容する真空テーブルと、
前記収納体の前記上端部を切断する打抜器具と、
貫通孔付き外面を有する回転自在のドラムと、
前記燃料電池隔膜の少なくとも一部分を、前記収納体から前記回転自在のドラムの前記貫通孔付き外面上へ引込む真空手段と、
前記回転自在のドラムを回転し、それにより、前記燃料電池隔膜が前記真空テーブルから前記回転自在のドラムへ移送される手段と、
前記燃料電池隔膜を前記回転自在のドラムから貫通孔付き表面へ引込む真空源へ機能的に接続される前記貫通孔付き表面と、
前記燃料電池電極に隣接して前記燃料電池隔膜を担持する前記貫通孔付き表面を位置決めする手段と、および
前記燃料電池隔膜を前記貫通孔付き表面から前記燃料電池電極へ移送する手段と、からなることを特徴とする供給装置。
【請求項３６】
前記薄膜が上に取付けられる貫通孔付き表面と、
前記表面における前記孔の少なくとも幾つかと連通する給気室と、
前記給気室へ機能的に接続される真空室と、および
前記貫通孔付き表面を移動する手段と、からなることを特徴とする薄膜取扱デバイス。
【請求項３７】
前記貫通孔付き表面は、回転できるように取付けられる円弧状表面であることを特徴とする請求項３６記載の薄膜取扱デバイス。
【請求項３８】
前記貫通孔付き表面を移動する前記手段は、前記円弧状表面を回転する手段からなることを特徴とする請求項３７記載の薄膜取扱デバイス。
【請求項３９】
前記貫通孔付き円弧状表面は、円筒形ドラムからなることを特徴とする請求項３７記載の薄膜取扱デバイス。
【請求項４０】
前記円筒形ドラムの内部は、前記真空室が接続される前記給気室を形成することを特徴とする請求項３９記載の薄膜取扱デバイス。
【請求項４１】
前記貫通孔付き表面は給気室表面であることを特徴とする請求項３６記載の薄膜取扱デバイス。
【請求項４２】
前記貫通孔付き表面は、前記薄膜を前記表面から取外す手段を備えることを特徴とする請求項３６記載の薄膜取扱デバイス。
【請求項４３】
前記薄膜を前記表面から取外す前記手段は、油圧手段、空気圧手段または機械的手段を備えることを特徴とする請求項４２記載の薄膜取扱デバイス。
【請求項４４】
前記機械的手段は、前記表面を横断して延び、かつ前記表面に関して移動自在である複数のワイヤを備えることを特徴とする請求項４３記載の薄膜取扱デバイス。
【請求項４５】
貫通孔表面を第１の位置に設ける工程と、
前記貫通孔付き表面へ機能的に接続される真空源を設ける工程と、
前記真空源の手段により前記薄膜を前記貫通孔付き表面上へ取付ける工程と、および
前記表面を前記第１の位置から第２の位置へ移動する工程と、を有することを特徴とする薄膜を取扱う方法。
【請求項４６】
前記表面は、平面状表面または円弧状表面であることを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項４７】
前記表面は円弧状表面からなり、かつ前記円弧状表面は、円筒形ドラムの外面からなることを特徴とする請求項４６記載の方法。
【請求項４８】
前記表面を移動する工程は、前記表面を１つ以上の方向に平行移動する工程を含むことを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項４９】
前記表面を移動する工程は、前記表面を回転する工程を含むことを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項５０】
前記薄膜を前記表面から取外す工程をさらに含むことを特徴とする請求項４５記載の方法。
【請求項５１】
前記薄膜を前記表面から取外す工程は、前記薄膜を、前記表面から油圧的に、空気圧的に、または機械的に取外す工程からなることを特徴とする請求項５０記載の方法。
【請求項５２】
前記第２の表面は、加圧気体源へ機能的に接続される第２の貫通孔付き表面からなり、かつ前記薄膜を前記第２の貫通孔付き表面から前記目標位置まで移送する工程は、加圧気体を薄膜へ供給する工程を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項５３】
前記第２の表面は、加圧気体源へ機能的に接続される第２の貫通孔付き表面からなり、かつ前記薄膜を前記第２の表面から前記目標位置まで移送する手段は、加圧気体を薄膜へ供給する手段を備えることを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項５４】
前記給気室を加圧する手段をさらに備えることを特徴とする請求項３６記載の薄膜取扱デバイス。
【請求項５５】
前記薄膜離脱機構は、複数のワイヤからなることを特徴とする請求項１０記載の方法。
【請求項５６】
上端部と下端部を有する収納体内に設けられる薄膜を取扱う方法において、
真空源が設けられる第１の貫通孔付き表面を設ける工程と、
前記真空源の手段により、前記薄膜を有する前記収納体を前記貫通孔付き表面上に取付ける工程と、
前記収納体の前記上端部を切離し、それにより、前記収納体の前記上端部をずらすことができる工程と、
前記収納体の前記上端部をずらす工程と、
真空源が設けられる第２の貫通孔付き表面を設ける工程と、および
前記薄膜を、前記第１の貫通孔付き表面から前記第２の貫通孔付き表面へ移送する工程と、からなることを特徴とする薄膜を取扱う方法。
【請求項５７】
前記収納体の前記上端部を前記収納体からずらす工程は、前記収納体の前記上端部を手動でずらす工程と前記収納体の前記上端部を自動でずらす工程とのいずれかの工程からなることを特徴とする請求項５６記載の方法。
【請求項５８】
前記収納体の前記上端部をずらす工程は、前記収納体の前記上端部を取外す工程からなることを特徴とする請求項５６記載の方法。
【請求項５９】
前記薄膜を有する前記第２の貫通孔付き表面を目標位置へ移動する工程をさらに含むことを特徴とする請求項５６記載の方法。
【請求項６０】
前記方法は、燃料電池隔膜を取扱う方法を含むことを特徴とする請求項５６記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、薄膜を取扱うのに、たとえば、薄膜を、薄膜を利用する組立体に移送および位置決めするのに使用される装置と方法に関するものである。具体的には本発明は、隔膜を内蔵するデバイスを、たとえば、燃料電池隔膜−電極組立体を組立中に、薄い隔膜、たとえば、燃料電池隔膜を移送する方法と装置を提供する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜状物質は、多くの種々の工業において、たとえば、とりわけ写真とＸ線フィルムの製造と処理、隔膜の製造と処理、包装、印刷および電子機器において取扱われている。薄膜状物質の薄く、屈曲自在で、かつしばしば脆い特性は、たとえば、これらの物質を取扱うときに、引裂き、ゆがみおよび破損を防止するために、かつ組立中に適切な配向と整合を確保するために、一般的に特別の考慮が必要である。
【０００３】
薄膜状物質の取扱が問題となることが多い１つの分野は、たとえば、燃料電池隔膜を取扱い、かつ隔膜電極ユニット（すなわちＭＥＵ）に組込む際の燃料電池隔膜の分野である。ＭＥＵの組立方法における重要な工程は、隔膜製造工程から隔膜を中に受容する収納体から隔膜を取出す工程である。燃料電池隔膜は、プラスチックバッグ、たとえば、ポリエチレン（ＰＥ）またはポリエステル（ＰＥＴ）のバッグ内に入れて一般的に提供され、かつ酸性環境内に維持され、たとえば、それらの隔膜は、粘性酸性流体、たとえば、燐酸の粘性溶液内で一般的に状態調整される。それらの隔膜は、一般的に、これらのバッグから取外され、ついで、たとえば、厳密な許容差、たとえば、約０．００３インチ内の許容差に基づいて、隔膜に過大なしわ、またはゆがみを生成することなく、目標電極組立体上に位置決めされる。この収納体からの取外し、および電極上への位置決めは、一般的に下記の要因により妨げられる。すなわち、１）隔膜物質は一般的に非常に薄く（たとえば、厚さが約３０〜１００ミクロン(30 100 micron)）、２）その隔膜は、一般的に燐酸と水の粘性溶液、すなわち一般的に燐酸と水の８５％溶液内で状態調整され、３）状態調整された隔膜物質は、非常に軟質になり、滑りやすく、かつゆがみ易くなり、および４）その隔膜は、状態調整中に約２０％だけ全ての寸法が一般的に増大するので、状態調整後に隔膜の切断が必要になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般的に既存技術によれば、燃料電池隔膜の取扱と処理は、手動で実施されている。状態調整酸への頻繁な露出に付随する作業者の安全性の問題に加えて、隔膜のサイズが増加するにつれて作業が一層難しくなっている。たとえば、大きいサイズの隔膜の場合、たとえば、ＭＥＵの組立において取扱われる隔膜の場合、隔膜を取扱い、かつそれを、たとえば、目標電極上に平滑に載置するために少なくとも二人の作業者が必要になる。これは非常に時間のかかる作業である。加えて、状態調整された隔膜が非常に親水性であるので、隔膜を、プラスチックバッグから取出されてから短時間内に電極間に封止しなければならない。経済性、安全性および他の理由のために、燃料電池隔膜を取扱う自動手段を提供するニーズが当該技術にある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、従来技術の方法と装置の問題点の多くを解決する方法と装置を提供する。本発明の１つの実施態様は、薄膜を源位置から目標位置へ移送する方法において、薄膜を源位置に位置決めする工程と、薄膜を第１の位置における第１の表面へ装着する工程と、第１の表面を第１の位置から、薄膜を源位置から取外す第２の位置へ移動する工程と、薄膜を第１の表面から第１の位置に位置決めされる第２の表面へ移送する工程と、第２の表面を第１の位置から第２の位置へ移動する工程と、および薄膜を第２の表面から目標位置へ移送する工程とを有する。本発明の１つの実施態様において、薄膜は、上端部を有する収納体内に設けられ、かつその方法は、薄膜へアクセスできるように収納体の上端部を切断する工程をさらに含む。本発明の他の実施態様において、収納体の上端部を切断する工程は、薄膜を切断する工程をさらに含む。
【０００６】
本発明の他の実施態様において、源位置が平行移動自在な位置を有し、そこにおいて、薄膜を第１の表面へ装着する工程は、源位置を平行移動する工程をさらに含む。本発明の１つの実施態様において、第１の表面は、真空源へ機能的に接続される第１の貫通孔付き表面を備え、またそこにおいて、薄膜を第１の表面へ装着する工程が、その第１の貫通孔付き表面を経て薄膜を真空源へ露出する工程を含む。本発明の他の実施態様において、第１の表面は、円弧状表面、たとえば、貫通孔付きドラムを備え、またそこにおいて、第１の表面を移動する工程は、円弧状表面を回転する工程を含む。本発明の他の実施態様において、第２の表面は、薄膜離脱機構を備え、またそこにおいて、薄膜を第２の表面から目標位置へ移送する工程は、薄膜離脱機構を作動する工程を含む。薄膜は、隔膜、たとえば、粘性酸性溶液内に設けられる燃料電池隔膜から成ることができる。
【０００７】
本発明の他の実施態様は、薄膜を源位置から目標位置へ移送する装置において、薄膜を源位置から第１の位置における第１の表面へ移送する手段と、第１の表面を移動し、それにより薄膜が第２の位置へ移送される手段と、薄膜を、第１の表面から第１の位置にある第２の表面へ移送する手段と、第２の表面を第１の位置から第２の位置へ移動する手段と、および薄膜を第２の表面から目標位置へ移送する手段とを備える。本発明の１つの実施態様において、薄膜は、上端部を有する収納体内に設けられ、かつ装置は、薄膜へアクセスできるように収納体の上端部を切断する手段をさらに備える。本発明の１つの実施態様において、収納体の上端部を切断する手段は、少なくとも１つの金属刃を有する打抜器具から成る。
【０００８】
本発明の他の実施態様において、源位置は、平行移動自在な表面、たとえば、平行移動自在な真空テーブルを備える。本発明の１つの実施態様において、第１の表面は、円弧状表面、たとえば、貫通孔付きドラムを備え、またそこにおいて、第１の表面を移動する手段は、ドラムを回転する手段を備える。本発明の１つの実施態様において、第２の表面は第２の貫通孔付き表面を備え、またそこにおいて、薄膜を第２の位置から第２の表面へ移送する手段は、第２の貫通孔付き表面へ機能的に接続される真空源を備える。本発明の１つの実施態様において、薄膜は、隔膜、たとえば、粘性酸性溶液内に設けられる燃料電池隔膜である。
【０００９】
本発明の別の実施態様は、燃料電池隔膜を燃料電池電極へ供給する方法において、燃料電池隔膜を真空テーブル上に位置決めする工程と、燃料電池隔膜を、第１の位置における円弧状表面へ装着する工程と、燃料電池隔膜を、第１の位置から、燃料電池隔膜が、真空テーブルから取外される第２の位置へ回転する工程と、燃料電池隔膜を、円弧状表面から、第１の位置に位置決めされる移送表面へ移送する工程と、燃料電池隔膜を有する移送表面を、第１の位置から、燃料電池電極に隣接する第２の位置へ移動する工程と、および燃料電池隔膜を、移送表面から燃料電池電極へ移送する工程と、を有する。
【００１０】
本発明の別の実施態様は、燃料電池隔膜を収納体から取外し、かつ燃料電池隔膜を燃料電池電極へ供給する装置において、燃料電池隔膜を内蔵し、かつ上端部を有する収納体を受容する真空テーブルと、収納体の上端部を切断する打抜器具と、貫通孔付き外面を有する回転自在のドラムと、燃料電池隔膜の少なくとも一部分を、収納体から回転自在のドラムの貫通孔付き外面上へ引込む真空手段と、回転自在のドラムを回転し、それにより、燃料電池隔膜が真空テーブルから回転自在のドラムへ移送される手段と、燃料電池隔膜を回転自在のドラムから貫通孔付き表面へ引込む真空源へ機能的に接続される貫通孔付き表面と、燃料電池電極に隣接して燃料電池隔膜を担持する貫通孔付き表面を位置決めする手段と、および燃料電池隔膜を貫通孔付き表面から燃料電池電極へ移送する手段と、を備える。
【００１１】
本発明の別の実施態様は、薄膜取扱デバイスにおいて、薄膜が上に取付けられる貫通孔付き表面と、その表面におけるその貫通孔の少なくとも幾つかと連通する給気室と、給気室へ機能的に接続される真空室と、および貫通孔付き表面を移動する手段と、を備える。本発明の１つの実施態様において、貫通孔付き表面は、回転できるように取付けられる円弧状表面であり、および貫通孔付き表面を移動する手段は、円弧状表面を回転する手段を備える。本発明の１つの実施態様において、貫通孔付き円弧状表面は、円筒形ドラムを備える。本発明の１つの実施態様において、円筒形ドラムの内部は、真空室が接続される給気室を形成する。本発明の他の実施態様において、貫通孔付き表面は給気室表面である。本発明の他の実施態様において、平面状または円弧状の表面を有するデバイスは、薄膜をその表面から取外す手段をさらに備える。たとえば、薄膜をその表面から取外す手段は、油圧手段、空気圧手段または機械的手段でよい。たとえば、本発明の１つの実施態様において、薄膜を取外す機械的手段は、その表面を横断して延び、かつその表面に関して移動自在である複数のワイヤでもよい。本発明の他の実施態様において、薄膜を表面から取外す空気的手段は、たとえば、限定された期間、薄膜を表面から取外すために、給気室を加圧する手段を備えることができる。本発明の１つの実施態様において、薄膜は、隔膜、たとえば、燃料電池隔膜から成るが、本発明では、任意の型式の薄膜を取扱うことができる。
【００１２】
本発明のさらに別の実施態様は、薄膜を取扱う方法において、第１の位置に貫通孔付き表面を設ける工程と、貫通孔付き表面へ機能的に接続される真空源を設ける工程と、薄膜を、真空源の手段により貫通孔付き表面上に取付ける工程と、およびその表面を第１の位置から第２の位置へ移動する工程とを含む。その表面は、平面状または円弧状の表面でもよく、たとえば、円弧状表面は、円筒形ドラムの外面でもよい。本発明の１つの実施態様において、表面を移動する工程は、その表面を１つ以上の方向に平行移動する工程か、またはその表面を回転する工程を含むことができる。その方法は、薄膜をその表面から取外す工程、たとえば、薄膜をその表面から油圧的に、空気圧的に、または機械的に取外す工程をさらに含むことができる。その方法は、隔膜、たとえば、燃料電池隔膜を取扱う方法を含むことができるが、任意の型式の薄膜を取扱うのに使用できる。
【００１３】
本発明の別の実施態様は、上端部と下端部を有する収納体内に収納される薄膜を取扱う方法において、真空源が接続される第１の貫通孔付き表面を設ける工程と、真空源の手段により、薄膜を有する収納体を貫通孔付き表面上に取付ける工程と、収納体の上端部を切断し、それにより、収納体の上端部をずらすことができる工程と、収納体の上端部をずらす工程と、真空源が接続される第２の貫通孔付き表面を設ける工程と、および薄膜を、第１の貫通孔表面から第２の貫通孔表面へ移送する工程と、を含む。本発明の１つの実施態様において、収納体の上端部を収納体からずらす工程は、収納体の上端部を手動でずらす工程と収納体の上端部を自動でずらす工程とのいずれかの工程を含む。本発明の他の実施態様において、収納体の上端部をずらす工程は、収納体の上端部を取外す工程を含む。本発明の１つの実施態様において、その方法は、薄膜を有する第２の貫通孔付き表面を目標位置へ移動する工程をさらに含む。上述の実施態様におけるように、その方法は、燃料電池隔膜を取扱う方法を含むことができる。
【００１４】
本発明のこれらと他の実施態様と実施例、および従来技術と比べての本発明の利点は、添付図面、以下の説明および付属の特許請求の範囲を再検討すれば、一層明らかになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明としてみなされる対象内容は、本明細書の結論部分において特に指摘され、かつ明確に主張される。しかしながら、本発明の別の目的と利点と共に、実施の構成と方法に関する本発明は、好ましい実施態様の以下の詳細な説明および添付図面を参照することにより、最も良く理解できる。
【００１６】
図１は、本発明の１つの実施態様に従う薄膜取扱システム１０の斜視図を図示する。広い範囲の厚さを有する薄膜状物質を本発明により取扱うことができるが、本発明により取扱われる物質は、約１マイクロメートル（約０．００００４インチ）から約１ミリメートル（約０．０４０インチ）までの範囲の厚さを有することができ、また一般的には、約２５マイクロメートル（約０．００１インチ）から約５００マイクロメートル（約０．０２０インチ）までの範囲の厚さを有することができる。本発明の１つの実施態様において、本発明により取扱われる物質は、約５０マイクロメートル（約０．００２インチ）と約２００マイクロメートル（約０．００８インチ）との間の厚さを有することができる。
【００１７】
取扱システム１０は、膜取付テーブル組立体１２、たとえば、真空テーブル組立体と、膜移送ドラム組立体１４、および膜移送プレート組立体１６とを備える。本発明の１つの実施態様において、薄膜を、取付テーブル組立体１２から移送ドラム組立体１４を経て移送プレート組立体１６へ移送できるが、本発明の他の実施態様において、薄膜を、取付テーブル組立体１２から移送プレート組立体１６へ手動で移送できる。システム１０を、密閉収納体１１、たとえば、中で温度、圧力および湿度が調節される密閉収納体内に密閉できる。システム１０により取扱われる一般的な薄膜は、図２に示されるが、図１には示されない。取付テーブル組立体１２は一般的に、少なくとも１つの薄膜取付テーブル１８、たとえば、複数の開口２０と、および真空源（図示せず）へ機能的に接続される給気室１９とを有する真空テーブルを備える。本発明の１つの実施態様における取付テーブル１８は、滑動自在に取付けられ、それにより、平行移動自在であり、すなわち１つ以上の方向に移動自在である。図１に示される本発明の実施態様において、取付プレート１８は、二重矢印２２により示される方向に移動自在である。取付プレート組立体１２は、図３に詳細に開示される。
【００１８】
図１において、移送ドラム組立体１４は、薄膜を保持し、かつ取付テーブル組立体１２から移送プレート組立体１６へ移送する円弧状表面２４を備える。図１において、円弧状表面２４は完全な円筒形ドラム２６であるが、本発明の１つの実施態様において、円弧状表面２４は、円周を３６０度未満にでき、たとえば、約１８０度未満の、または約９０度未満もの円弧状長さを有する円弧状表面とすることができる。本発明の１つの実施態様において、表面２４は、孔または貫通孔２５を備え、およびドラム２６の内側は、たとえば、導管２８を経て真空源へ機能的に接続される給気室２７を形成する。貫通孔２５は、一般的に、表面２４を横断して均一に分布される。貫通孔２５の単列が図１に示されるが、表面２４は２列以上の貫通孔２５を備えることができる。ドラム２６の内側の真空圧力と貫通孔２５とは、薄膜を表面２４上に保持する１つの手段を提供する。本発明に従う移送ドラム組立体１４の別の実施態様は、図５において詳細に開示される。
【００１９】
また図１を参照すれば、本発明の１つの実施態様に従う、真空チャックとしても知られる膜移送プレート組立体１６は、表面３０、たとえば、薄膜を、移送ドラム組立体１４から目標位置（図示せず）へ移送する平坦な表面を備える。たとえば、本発明の１つの実施態様において、薄膜用の目標位置は、燃料電池隔膜電極組立体であるが、本発明の他の実施態様によれば、他の型の目標位置を、取扱われている薄膜の型式に応じて使用できる。後で一層明確に示されるように、本発明の１つの実施態様において、表面３０が貫通孔付きにされ、また移送プレート組立体１６は、たとえば、サポートと導管３４を経て真空源へ機能的に接続される給気室３２を備える。移送プレート組立体１６は、一般的に、自動化された位置コントローラまたはロボットアーム１８、たとえば、Ａｄｅｐｔ  Ｃｏｂｒａ  ６００ロボットアームまたは同等物のようなＳＣＡＲＡ型のロボットアームのロボットアーム上に取付けられる。本発明に従う移送プレート組立体１６の別の実施態様は、図６、７（Ａ）および８において詳細に開示される。
【００２０】
図１に示されるシステム１０により取扱いできる１つの型式の薄膜が、図２に示される。図２は、１つ以上の隔膜４２、たとえば、１つ以上の燃料電池隔膜、たとえば、米国特許第６，１８７，２３１号（Ｃｅｌａｎｓｅ  Ｖｅｎｔｕｒｅｓ  ＧｍｂＨへ譲渡された）に開示される方法または同等な方法により製造されるポリベンゾイミダゾール（ＰＢＩ）を有する隔膜保管収納体４０の斜視図を図示する。本発明の１つの実施態様において、収納体４０は、プラスチックバッグ、たとえば、ポリエチレン（ＰＥ）プラスチックバッグ、たとえば、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）または低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）のプラスチックバッグ、もしくはポリエステル（ＰＥＴ）プラスチックバッグである。収納体４０は一般的に、１つ以上の封止された縁部４１、および上端部内側表面４３および下端部内側表面４５を備える。本発明の１つの実施態様において、収納体４０は、米国特許第４，７５６，４２２号（米国再発行特許ＲＥ３４，９２９号として再発行された）に記載され、かつカリフォルニア州サンフランシスコに所在する会社Ｔｉｌｌｉａ  Ｉｎｃ．により商標Ｖａｃｌｏｃ  ＦｏｏｄＳａｖｅｒバッグのもとに市販されているプラスチックバッグである。本発明の１つの実施態様において、収納体４０は、粘性流体４４、たとえば、隔膜４２を状態調整する酸性溶液を含有し、たとえば、その酸性溶液は、燐酸またはその同等物を含有できる。粘性流体４４は一般的に、少なくとも約１．０センチポアズ（ｃｐ）の粘度を有し、および本発明の１つの実施態様において、その流体の粘度は、約２０ｃｐと約７０ｃｐとの間であり、たとえば、約２０℃の温度で約２８ｃｐの粘度を有する。
【００２１】
本発明の１つの実施態様において、収納体４０の内部表面４３、４５は、「優先的接着」を示し、すなわち、１つの表面は、他の表面よりも薄膜４２に対して大きい付着性を示す。たとえば、薄膜４２を１つの表面から他の表面へ移送するときに、本発明の幾つかの実施態様において、薄膜４２は、収納体４０の他の内部表面４３、４５により保持されながら、収納体４０の１つの内部表面４３、４５から容易に離脱されることが好ましい。たとえば、取付テーブル１８からドラム組立体１４の円弧状表面２４への移送中に、本発明の１つの実施態様によれば、薄膜４２は好ましくは、上端内部表面４３へ一層強力に付着し、かつ上端表面４３と共に円弧状表面２４へ移送され、一方、下端内部表面４５は、取付テーブル１８上に保持されながら、薄膜４２を容易に離脱して、薄膜４２を円弧状表面２４へ移送させる。差別的接着は、表面のキメの差異により形成でき、たとえば、１つの表面はキメの粗い表面を形成でき、また他の表面は、キメの滑らかな表面を形成できる。差別的接着は、異なる物質、たとえば、異なるポリマーによっても形成でき、および表面処理または種々の表面処理、たとえば、数ある手段の中でエッチング、被覆、および磨き仕上などによっても形成できる。本発明の１つの実施態様において、差別的接着は、収納体４０に内蔵される粘性流体４４のｐＨ、粘度または化学的成分の関数である。
【００２２】
図３は、図１に示されるシステム１０により取扱われる薄膜を取付ける、図１に示される取付テーブル組立体１２の斜視図を図示する。取付テーブル組立体１２上に取付けられる薄膜は、図２に示される収納体４０またはその同等物のような封止された収納体内に保管できるか、もしくは薄膜は、収納体内に保管できないが、取付テーブル組立体１２上にお直接載置できる。本発明の１つの実施態様において、薄膜またはその収納体を、取付テーブル組立体１２上に手動で取付けでき、また本発明の他の実施態様において、取付けを自動化できる。
【００２３】
図３に示されるように、本発明の１つの実施態様において、取付テーブル組立体１２は、複数の貫通孔５１と給気室または共通室５３を有する真空テーブル５０を備える。貫通孔５１は一般的に、表面全体に、たとえば、均一に分布されるが、本発明の１つの実施態様において、貫通孔５１を、真空テーブル５０の表面全体にランダムに分布できる。本発明の１つの実施態様において、貫通孔５１の間隔、位置およびサイズは、テーブル５０により取扱われる収納体（たとえば、図２の収納体４０）のサイズと重量に適応される。本発明の１つの実施態様において、貫通孔５１は、円形貫通孔であるが、貫通孔５１は、卵形または楕円形のような滑らかな形状、および、とりわけ、三角形、正方形、四辺形、および五角形のような多角形状を含む任意の形状をとることができる。貫通孔５１は、約０．０４インチから約０．２５インチへサイズを変えることができる。貫通孔５１は、一列または複数列の貫通孔、たとえば、均一に離間した、または不均一に離間した貫通孔から成ることができる。複数列の貫通孔５１を、整合、均一に千鳥配列、不均一に千鳥配列、またはランダムに分布できる。貫通孔５１は、真空テーブル５０の表面全体にランダムに分布できるか、または真空テーブル５０の表面全体に均等に分布、たとえば、均等に離間できる。本発明の１つの実施態様において、貫通孔５１は、径が約８分の１インチ（約３．１７５ｍｍ）であり、および縦方向と横方向に約０．７５インチ（約１９．０５ｍｍ）の中心間隔で均等に離間される。本発明の１つの実施態様において、１つ以上の貫通孔５１を覆い、真空に曝される収納体の部位の量を限定し、かくして収納体上の「掴み」力を限定することができる。本発明の１つの実施態様において、貫通孔５１のサイズと位置は、真空テーブル５０上に位置決めされる収納体の切断中に、貫通孔５１が切断刃と干渉するのを最小化または防止するように、たとえば、貫通孔５１が、図４（Ａ）および（Ｂ）に示される打抜器具組立体６０の切断刃６４と干渉するのを最小化または防止するように決められる。
【００２４】
給気室５３は一般的に、真空源（図示せず）へ機能的に接続される。本発明の１つの実施態様において、真空テーブル５０は、サポート構造体５２により支持され、ついでその構造体がフレーム５４上に滑動自在に取付けられる。給気室５３内の真空は、薄膜を真空テーブル５０上に保持し、かつ薄膜の好ましくない移動、たとえば、取扱または分離工程中に薄膜または薄膜収納体の好ましくない横方向移動を最小化する。加えて、本発明の１つの実施態様において、給気室５３内の真空により、収納体の上端層および薄膜、たとえば、隔膜が、収納体の下端層から「剥ぎ取られる」ときに、収納体の下端層は所定位置のままであることが保証される。
【００２５】
サポート構造体５２は一般的に、低摩擦軸受５５、たとえば、ボールまたはローラ軸受もしくは低摩擦軸受表面の手段によりフレーム５４上に取付けられる。本発明の１つの実施態様において、サポート構造体５２は、低摩擦軸受５５、たとえば、精密研磨シャフト上で平行移動できるように取付けられる再循環ボール型リニア軸受によりフレーム５４へ滑動自在に取付けられる。本発明に使用できる１つのそのような軸受取付台は、「トンプソンスライド」と呼ばれる軸受手段である。
【００２６】
本発明の１つの実施態様において、真空テーブル５０は、平行移動自在であり、たとえば、二重矢印５６の方向に往復動ができる。真空テーブル５０の移動を自動化でき、たとえば、本発明の１つの実施態様において、真空テーブル５０の移動は、モータ、たとえば、ステッパモータまたはサーボモータにより、かつ適切な制御器と１つ以上の駆動手段により制御される。図３に示される本発明の１つの実施態様において、真空テーブル５０の移動は、モータ取付台５７へ取付けられるステッパモータ（図示せず）により制御される。モータは、駆動手段、たとえば、１つ以上のボールネジ５８を備える駆動手段へ連結できるが、本発明の他の実施態様においては、他の型式の駆動手段を使用できる。本発明の１つの実施態様において、エンコーダ（図示せず）を駆動モータシャフトまたは駆動手段上に使用して、動作コントローラ（図示せず）、たとえば、Ａｄｅｐｔ動作コントローラへの位置フィードバックを実施することができる。
【００２７】
本発明の１つの実施態様によれば、図１に示される取扱システム１０は、封止された収納体またはバッグ、たとえば、図２に示される収納体４０内に収納される薄膜、たとえば、隔膜などを取扱うのに使用される。本発明の１つの実施態様において、薄膜を保持する収納体は、酸性溶液を内蔵する。そのような薄膜を取扱うために、薄膜を保持する収納体は一般的に、薄膜の内側にアクセスできるように、切離し、切断または開放される。加えて、本発明に従って取扱われる幾つかの型式の隔膜、たとえば、燃料電池型隔膜は、酸充填バッグ内での状態調整中に約２０％乃至２５％「増大」する。薄膜が所要のサイズのものであることを保証するために、薄膜は、それが状態調整された後に所要のサイズに切断される。一般的に、これは、薄膜、たとえば、隔膜を、その所要のサイズに維持する唯一の方法であろう。
【００２８】
本発明の１つの実施態様において、薄膜を保持する収納体を開放する従来の手段を使用できる。収納体を、手により、または自動化手段を通して切断できる。
【００２９】
本発明の他の実施態様において、薄膜を保持する収納体が開放され、および薄膜は、図４（Ａ）および（Ｂ）に示される打抜器具組立体６０の手段によりアクセスされる。図４（Ｂ）は、図４（Ａ）に示される４Ｂ−４Ｂ線上の打抜器具６０の断面図である。本発明の１つの実施態様において、打抜器具６０は、サポートブロック６２、たとえば、木製サポートブロック６２、およびサポートブロック６２内に取付けられる少なくとも１つの金属製切断刃６４を備える。本発明の１つの実施態様によれば、打抜器具６０は、薄膜収納体、たとえば、図２における収納体４０の上方に位置決めされ、ついで収納体に押付けられて、収納体の少なくとも一部分を切離す。その少なくとも１つの金属製切断刃は好ましくは、耐酸性であり、たとえば、本発明の１つの実施態様において、金属製切断刃６４は、チタン製切断刃またはステンレス鋼製切断刃、たとえば、ＡＳＴＭ３０４または３１６のステンレス鋼製切断刃またはそれらの同等物でよい。本発明の他の実施態様において、その１つ以上の金属製切断刃６４は、Ｓ−７焼入鋼のような焼入鋼でもよく、その焼入鋼を、耐酸性皮膜、たとえば、窒化チタン皮膜で被覆できる。本発明の１つの実施態様において、１つ以上の切断刃６４を、材料の中実ブロックから機械加工でき、たとえば、ステンレス鋼（たとえば、３１０または３１６ステンレス鋼）、チタンまたは焼入鋼（耐酸性皮膜で処理されたＳ−７焼入鋼のような）から放電加工（ＥＤＭ）、レーザ切断、またはウオータージェット切断できる。本発明の１つの実施態様において、１つ以上の切断刃６４を材料の中実ブロックから機械加工することができ、そこにおいて、残りの材料は、サポートブロック６２を形成し、すなわち、切断刃６４とサポートブロック６２を、単一の一体部材として加工できる。本発明の１つの実施態様において、打抜器具組立体６０には、複数の弾性ブロック６６、たとえば、ゴム製ブロックが備えられ、それらのブロックは、薄膜または収納体が、切断に引続いて打抜器具組立体６０から確実に押出されるように使用される。本発明の１つの実施態様において、弾性ブロック６６には、１つ以上の弾性シートまたは板が備えられ、それらのシートまたは板は、サポートブロック６２を部分的に覆うか、またはその全体を覆うことができる。
【００３０】
本発明の１つの実施態様において、打抜器具組立体６０は、打抜器具組立体６０を表面へ押付ける手段、たとえば、油圧プレス上に取付けられる。打抜器具組立体６０を押付ける手段は、薄膜、たとえば、隔膜を内蔵する収納体上に打抜器具組立体６０を押付ける手段から成ることができる。
【００３１】
本発明の１つの実施態様において、打抜器具組立体６０は、たとえば、手動または自動手段により位置決め自在である。本発明の１つの実施態様において、たとえば、収納体４０が取付テーブル組立体１２上で位置決めされる（図１参照）間に、打抜器具組立体６０は、図２における収納体４０のような薄膜を保持する収納体の上方に位置決め自在である。たとえば、本発明の１つの実施態様において、打抜器具組立体６０は、自動コントローラと油圧プレスの手段により位置決め自在である。本発明の他の実施態様において、打抜器具組立体６０は、薄膜が取付テーブル１２上に載置される前に、薄膜を保持する収納体上に位置決めされ、かつ押付けられる。
【００３２】
本発明の１つの実施態様において、少なくとも１つの切断刃６４は、薄膜と収納体の下端覆いを、ほぼそのままにしながら、薄膜を保持する収納体の上端覆いだけを切離す。本発明の他の実施態様において、少なくとも１つの切断刃６４は、収納体の上端覆い、および収納体内の薄膜を切離し、すなわち、「軽い接触切断」を実施し、また収納体の下端覆いは、ほぼそのままである。本発明の他の実施態様において、少なくとも１つの切断刃６４は、収納体の上端覆い、収納体内の薄膜、および収納体の下端覆いを切離し、すなわち、収納体の全ての側面とその内容物が切離される。本発明の他の実施態様において、少なくとも３つの切断刃６４が、打抜器具組立体６０内で使用され、たとえば、収納体４０の前縁部と２つの側縁部が切離される。本発明の他の実施態様において、少なくとも４つの切断刃６４が、打抜器具組立体６０内で使用される。
【００３３】
図５は、図１に示される移送ドラム組立体１４の斜視図を図示する。移送ドラム組立体１４は、取付テーブル組立体１２から薄膜を、または収納体の上端部と薄膜を剥ぎ取るのに使用され、ついで薄膜を移送プレート組立体１６まで移送できる位置まで薄膜を移送するのに使用される。図１に関して分かるように、移送ドラム組立体１４は、一般的に円弧状表面２４を備える。図５において円弧状表面２４は、完全な円筒形ドラム２６であるが、本発明の１つの実施態様において、円弧状表面２４は、周辺を３６０度未満にできる。たとえば、表面２４は、円筒形体のセグメントの表面を備えることができるか、またはなんらかの他の湾曲した表面、たとえば、非円筒形の湾曲した表面を使用できる。本発明の１つの実施態様において、表面２４は、孔または貫通孔２５、たとえば、１列以上の貫通孔２５を備え、またドラム２６の内部は、たとえば、真空入口２９を経て真空源へ機能的に接続される給気室または共通室２７を形成する。本発明の１つの実施態様において、真空源は、中空駆動シャフト、たとえば、以下で検討されるシャフト６８、および適切な回転シールを経て、給気室２７へ機能的に接続される。真空源は一般的に、約０．１キロパスカル（ｋＰａ）（約０．０３水銀柱インチ）と約３３．８ｋＰａ（約１０水銀柱インチ）との間の真空を給気室２７内に形成する。給気室２７内の真空レベルを監視かつ調節して、取扱われている薄膜物質へ加えられる掴み力を制御できる。
【００３４】
貫通孔２５は一般的に、表面２４全体に分布、たとえば、均一に分布されるが、本発明の１つの実施態様において、貫通孔２５を、表面２４全体にランダムに分布できる。本発明の１つの実施態様において、貫通孔２５の間隔、位置およびサイズは、取扱われている薄膜物質のサイズと重量へ適応される。本発明の１つの実施態様において、図５に示されるように、貫通孔２５は、円形貫通孔であるが、貫通孔２５は、卵形または楕円形のような滑らかな形状、および、とりわけ、三角形、正方形、四辺形、および五角形のような多角形状を含む任意の形状をとることができる。貫通孔２５は、約０．０４インチから約０．１２５インチへサイズを変えることができる。貫通孔２５は、一列または複数列の貫通孔、たとえば、均一に離間した、または不均一に離間した貫通孔から成ることができる。複数列の貫通孔２５を、整合、均一に千鳥配列、不均一に千鳥配列、またはランダムに分布できる。また貫通孔２５を、表面２４全体にランダムに分布できるか、もしくは均等に軸方向または均等に円周方向に、または両方の方向に離間できる。本発明の１つの実施態様において、貫通孔２５は、径が約８分の１インチ（約３．１７５ｍｍ）であり、ならびに約１．１２５インチ（約２８．５７５ｍｍ）の中心間隔で均等に軸方向に離間され、かつ約０．５インチ（約１２．７ｍｍ）の中心間隔で均等に円周方向に離間される。本発明の１つの実施態様において、表面２４上の貫通孔２５の前縁部（すなわち、テーブル１２に最も近い貫通孔であり、それにより、表面２４がテーブル１２上の薄膜を先ず掴む）は、ドラム２６の貫通孔付き表面２４の残りの部分とは異なる貫通孔のパターンを有することができる。たとえば、貫通孔２５の前縁部は、貫通孔の残りの部分よりも高い密度の孔、たとえば、大きい開放部位を有することができる。前縁部へ向けて位置決めされるこれらの貫通孔２５は、均一なサイズと分布のものにできるか、もしくは非均一な、または変動するサイズと分布のものにできる。本発明の１つの実施態様において、前縁部に沿う貫通孔２５は、径が約８分の１インチ（約３．１７５ｍｍ）であり、および約０．２５インチ（６．３５ｍｍ）の中心間隔で離間され、すなわち、上述の貫通孔よりも近接して離間され、かくして上述の貫通孔よりも広く開放された部位を形成する。当該技術に有能な者は、多くの孔のサイズ決めと間隔を使用して、薄膜の所要の移送を実施できることが分かる。
【００３５】
本発明の１つの実施態様において、ドラム２６が、駆動シャフト６８へ強固に取付けられ、そのシャフトは、たとえば、１つ以上の補強板７３を有するサポートプレート７２により支持される軸受７０内に回転できるように取付けられる。サポートプレート７２は、真空テーブル５０とドラム２６との間の離間する間隔を調整して、取扱われている薄膜物質の厚さと平面度の差異を補償できるように、調整ネジ８２の手段により取付けできる。移送ドラム組立体１４は、移送自在の取付台、たとえば、軸受またはローラ上にも取付けでき、そこにおいて、移送ドラム組立体１４を、たとえば、自動コントローラの手段と位置決め手段により、組立体１０内で手動的にまたは自動的に位置決め自在にできる。
【００３６】
多くの従来の駆動手段を、ドラム２６を回転するのに使用できるが、本発明の１つの実施態様において、ドラム２６は、たとえば、Ｖベルトまたは調時ベルトのベルト７８を駆動する駆動滑車７６を有するモータ７４、たとえば、ステッパモータにより駆動される。ベルト７８は、シャフト６８上に取付けられる滑車８０を回転して、ドラム２６を回転する。本発明の１つの実施態様において、駆動手段はドラム２６を可逆的に回転し、また他の実施態様において、駆動手段はドラム２６を一方向に回転する。本発明の他の実施態様によれば、ドラム２６を、数ある手段の中で、直結駆動モータ、チェーンとスプロケット、およびギヤなどを含むが、それらに限定されない任意の他の従来の駆動手段により駆動できる。
【００３７】
本発明の１つの実施態様によれば、ドラム２６の速さは、ドラム２６が真空テーブル５０と移送プレート組立体１６の横方向移動とほぼ同期して回転できるように、監視および制御される。本発明の１つの実施態様において、エンコーダ（図示せず）が、駆動モータ７４のシャフト上に位置決めされ、そのエンコーダは、ドラム２６の速さまたは配向をモータコントローラ（図示せず）への位置フィードバックを実施するのに使用される。
【００３８】
本発明の１つの実施態様によれば、真空テーブル５０の速さに関してのドラム２６の回転速度は、移送の位置精度を制御することにより、薄膜移送工程を最適化する。薄膜移送の制御は、薄膜が真空テーブル５０からドラム２６へ、およびドラム２６から移送プレート組立体１６へ移送されているときに薄膜のしわ、または他のゆがみを最小化するのに役立つ。本発明の１つの実施態様において、ドラム２６は、ドラム表面２４が、真空テーブル５０とほぼ同一の速さで動くように最初に回転する。これにより、薄膜物質が、ドラム２６により確実に保持され、かつ真空テーブル５０からの初期分離を達成するのが保証される。本発明の他の実施態様において、ドラム２６と真空テーブル５０が継続して動くにつれて、ドラム２６の速さは、真空テーブル５０の速さに比べて僅かに（たとえば、少なくとも約１％乃至約１００％）増加するので、薄膜物質は僅かな張力を受けて移送されることができ、それにより、移送中に薄膜物質におけるしわ、または他のゆがみ、もしくは薄膜物質への損傷が最小化される。たとえば、本発明の１つの実施態様において、テーブル５０は、毎秒約１インチの線速度で走行し、またドラム２６は、毎秒約１０度で回転し、この回転速度（使用されるドラム２６のサイズの場合）は、毎秒約１．８７インチのドラム２６の接線方向速度に対応する。本発明のこの実施態様において、ドラム２６の速さは、テーブル５０の速さよりも約８７％速い。
【００３９】
図６は、図１に示される移送プレート組立体１６の平面斜視図を図示する。図７（Ａ）は、図１に示される移送プレート組立体１６の底面斜視図を図示する。移送プレート組立体１６は、「真空チャック組立体」とも呼ばれる。図１に関して分かるように、本発明の１つの実施態様によれば、移送プレート組立体１６は、薄膜物質、たとえば、隔膜を、移送ドラム２６から取外し、ついで薄膜物質を、目標位置（図示せず）へ、たとえば、隔膜が中に設置されることになる組立体へ移送するのに使用される。薄膜物質が収納体、たとえば、図２に示されるプラスチックバッグ４０内に収納される本発明の１つの実施態様において、移送プレート組立体１６は、収納体の１つの層を移送ドラム２６に残しながら、薄膜物質を移送ドラム２６から取外すのに使用される。本発明のこの実施態様において、収納体のその層は、移送ドラム２６の表面２４上に真空により保持される。
【００４０】
図７（Ａ）に最も明確に示されるように、移送プレート組立体１６は、複数の孔、貫通孔または開口３１を有する少なくとも１つの表面３０、たとえば、水平で平坦な表面を備える。表面３０における孔３１の数、サイズおよび位置は、薄膜の種々のサイズと形状に、たとえば、隔膜の種々の形状に対応するように、変更または調整できる。孔３１は一般的に、表面３０全体に分布され、たとえば、均一に分布されるが、本発明の１つの実施態様において、孔３１を、表面３０全体にランダムに分布することができる。本発明の１つの実施態様において、孔３１の間隔、位置およびサイズは、取扱われている物質のサイズと重量に適応される。図７（Ａ）に示される本発明の１つの実施態様において、孔３１は、円形孔であるが、孔３１は、卵形または楕円形のような滑らかな形状、および、とりわけ、三角形、正方形、四辺形、および五角形のような多角形状を含む任意の形状をとることができる。孔３１は、約０．０４インチ（約１ｍｍ）から約０．１２５インチ（３．１２５ｍｍ）までサイズを変えることができる。孔３１は、貫通孔２５と同様に、単列または複数列の貫通孔、たとえば、均一に離間した、または不均一に離間した貫通孔から成ることができる。複数列の孔３１を、整合、均一に千鳥配列、不均一に千鳥配列、またはランダムに分布できる。また孔３１を、表面３０全体にランダムに分布できるか、または表面３０上に均等に分布できる。本発明の一般的な実施態様において、孔３１は、径が約０．０５１インチ（約１．２９ｍｍ）であり、また約０．５インチ（約１２．７ｍｍ）の中心間隔で均等に離間された列で、約０．５インチ（約１２．７ｍｍ）の中心間隔で均等に離間される。本発明の１つの実施態様において、表面３０上の孔３１の前縁部（すなわち、ドラム２６に最も近い孔であり、それにより、表面３０がドラム２６上の薄膜を先ず掴む）は、移送プレート組立体１６の表面３０におけるパターンの残りの部分とは異なる孔のパターンを有することができる。たとえば、貫通孔３１の前縁部は、孔の残りの部分よりも高い密度の孔、たとえば、大きい開放部位を有することができる。前縁部へ向けて位置決めされるこれらの孔３１は、均一なサイズと分布のものにできるか、もしくは非均一な、または変動するサイズと分布のものにできる。本発明の１つの実施態様によれば、表面３０の前縁部に沿う孔３１は、１列以上の大きい孔から成ることができる。本発明の他の実施態様によれば、表面３０の前縁部に沿う孔３１は径が変わる千鳥配列にされた列から成ることができる。たとえば、図７（Ｂ）に示される本発明の１つの実施態様において、表面３０の前縁部に沿う１列以上の大きい孔は、大きい孔３１Ｂと交互に小さい孔３１Ａの列から成ることができる。たとえば、孔３１Ａは、約０．０４インチ（約１ｍｍ）の径を有することができ、また孔３１Ｂは、約０．０６インチ（約１．５ｍｍ）の径を有することができる。本発明のこの実施態様において、孔３１Ａは、たとえば、図７（Ｂ）に示される垂直方向において８分の１インチ（約３．１２７ｍｍ）の中心間隔で均等に離間され、およびたとえば、図７（Ｂ）に示される水平方向において約４分の１インチ（約６．２５４ｍｍ）の中心間隔で均等に離間できる。大きい孔３１Ｂは、約４分の１インチ（約６．２５４ｍｍ）の中心間隔で均等に離間できる。孔３１Ａと３１Ｂを、不均等に離間することもできる。
【００４１】
表面３０は、金属材料から、もしくは非金属材料、たとえば、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレンまたは同様な材料のような透明プラスチック材料から製造できる。図６に最も明確に示されるように、移送プレート組立体１６は、共通室または給気室３２を有する真空プレート組立体９３も備える。真空プレート組立体９３の斜視図が、図８に示される。給気室３２は、たとえば、真空コネクタ８７と８９へそれぞれ接続されるホースまたは導管３４と３５を経て、真空源（図示せず）へ機能的に接続される。真空源は一般的に、給気室３２内に、約０．１ｋＰａ（約０．０３水銀柱インチ）乃至約３３．８ｋＰａ（約１０水銀柱インチ）の真空を生成する。給気室３２内に生成される真空レベルを監視かつ調節して、取扱われている薄膜物質へ加えられる掴み力を制御できる。孔、開口または貫通孔３１は、表面３０を貫通して、給気室３２内の真空に曝される。本発明の１つの実施態様によれば、薄膜は、孔３１を通して引込まれる真空の手段により表面３０上に保持される。移送プレート組立体１６は、加圧気体、たとえば、約０ｐｓｉｇ乃至約９０ｐｓｉｇの圧力での加圧空気の流れを給気室３２へ送るために、１つ以上の空気ホース３４、３５または別個のホース（図示せず）を備えることもできる。移送プレート組立体１６は、移送プレート組立体１６をサポート１０６へ接続およびそれから取外すために、たとえば、ロボットアーム（図示せず）へ取付けるために、カップリング９４、たとえば、相コネクタ９４Ａと９４Ｂを有する急速脱着カップリングを備えることもできる。取付アダプタ９４が、空気圧的に制御される急速脱着カップリングを備える場合、そのカップリングを、コネクタ９４Ａと９４Ｂをそれぞれ作動するホース９０と９２を経て導入される加圧空気の手段により作動できる。本発明の１つの実施態様によれば、薄膜は、孔３１を通して給気室３２からの加圧気体の流れにより、表面３０から引離される。加圧気体の供給と真空は、適切な圧力と流量の制御手段（図示せず）、たとえば、圧力計または圧力引出口、および流量弁と弁コントローラのような手段により監視かつ調節される。
【００４２】
図６を参照すると、真空プレート組立体９３の給気室３２は、金属材料から、もしくは非金属材料、たとえば、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレンまたは同様な材料のような透明プラスチック材料から製造できる。給気室３２は、給気室３２の種々の領域を隔離するために、たとえば、導管３４と３５、または別の導管（図示せず）により供給される真空源へ機能的に接続される領域を隔離するために、１つ以上の内部邪魔板８４を備えることができる。たとえば、本発明の１つの実施態様において、真空プレート組立体９３は、複数の個別の給気室（たとえば、２つ以上の給気室、または４つ以上の給気室）を備え、少なくとも一部の給気室には、真空源または加圧気体が接続される。個別の給気室への加圧気体の流れ、および個別の給気室の真空への暴露が個別に制御および監視されて、貫通孔付き表面３０からの薄膜の保持と偏向移動とにおける順応性を提供できる。図６および図７（Ａ）に示される本発明の実施態様において、真空プレート９３は、サポートフレーム８６、たとえば、金属製または非金属製のサポートフレーム８６に取付けられる。サポートフレーム８６は、ワイヤ９６用の取付受けを形成する（図７（Ａ）に関して以下で検討する）。サポートフレーム８６は、真空プレート９３に関して偏向移動（すなわち、平行移動）し、また本発明の１つの実施態様において、サポートフレーム８６の移動を、真空プレート９３により案内でき、たとえば、真空プレート９３の側面により案内できる。サポートフレーム８６は、複数のネジ込み締付具８８、たとえば、六角頭押えネジを備えることができる。ネジ込み締付具８８は、サポートフレーム８６（およびワイヤ９６）を真空プレート９３に関して引込または持上位置に保持するのに使用できる。
【００４３】
図６に示されるように、本発明の１つの実施態様において、真空プレート９３を有する移送プレート組立体１６を、取付アダプタ９４の手段によりロボットアーム１８（図１参照）または他の位置決めシステムへ取付けできる。取付アダプタ９４を、自動位置コントローラまたはロボットアーム１８（図１参照）、たとえば、Ａｄｅｐｔ  Ｃｏｂｒａ  ６００のようなＳＣＡＲＡ型ロボットアーム、またはその同等物へ装着できる。本発明の１つの実施態様によれば、アーム１８は、移送プレート組立体１６を、移送ドラム２６へ少なくとも隣接して、ついで目標位置（図示せず）、たとえば、上に薄膜が載置される組立体へ隣接して位置決めするのに使用される。本発明の１つの実施態様において、マシンヴィジョンが、ロボットアーム１８を精確に案内して薄膜を目標位置に載置するのに使用される。本発明の１つの実施態様において、移送プレート組立体１６の位置決めは、手動で実施される。
【００４４】
図７（Ａ）に最も明確に示されるように、本発明の１つの実施態様において、移送プレート組立体１６には複数のワイヤ９６が備えられ、それらのワイヤは、表面３０を横断して延び、かつ薄膜を、真空プレート組立体９３の表面３０から取外すのに役立つ。ワイヤ９６は一般的に、金属製ワイヤ、たとえば、３０４または３１６のステンレス鋼から製造されるワイヤであり、かつ約０．０１０インチ（約０．２５ｍｍ）と約０．１２５インチ（約３．１７５ｍｍ）との間の径を有する。ワイヤ９６は一般的に、サポートフレーム８６を横断して延び、かつ従来の機械的締付具９８、１００、たとえば、押えネジにより保持される。ワイヤ９６を、できるだけ均一な平面状ワイヤ界面を形成するように織編または製織にすることができる。本発明の１つの実施態様において、締付具１００は、ワイヤ９６における張力を変えるのに使用される調整自在の引張ネジであり、たとえば、本発明の１つの態様において、ワイヤ９６は、一端部においてソケットヘッド押えネジ９８により、かつ他端部において調整自在の引張ネジ１００により保持される。本発明の１つの実施態様において、図７（Ｃ）に示されるように、表面３０は、浅い溝または窪み３３を備えることができ、その窪み中にワイヤ９６が埋込まれるか、または表面３０の下方へ引込まれて、薄膜と表面３０との間の接触が保証される。溝または窪み３３は、孔３１から均等に離間することができ、またワイヤ９６の径に少なくとも等しいか、またはそれよりも僅かに大きい深さと幅を有する。これにより、ワイヤ９６は、表面３０より引込まれ、たとえば、薄膜と接触するように表面３０の上方へ露出されないことが保証される。表面３０内の窪みまたは溝３３は、表面３０中に模様付け、たとえば、機械加工された十文字格子パターンに形成できる。
【００４５】
本発明の１つの実施態様において、表面３０上に薄膜（図示せず）を有する（たとえば、真空の手段により保持される）移送プレート組立体１６が、所要の位置の上方に位置決めされるときに、その真空が減少または遮断されて、薄膜は、重力の作用を受けて所要の位置に落下される。薄膜と表面３０との間の表面張力（たとえば、中に薄膜が浸漬される粘性液体の存在による）が重力に抗するには強すぎる場合、気体流、たとえば、低圧で大量の気体流（一般的に空気流）を、たとえば、ホース３４、３５を経て真空プレート組立体９３へ供給して、薄膜を表面３０から取外すことができる。（ただし、本発明の１つの実施態様において、ホース３４、３５は加圧気体と真空の両方を供給し、また本発明の他の実施態様において、加圧気体と真空を別個のホースにより供給できる。）しかしながら、薄膜を表面３０から離脱するのに役立つ別の手段として、表面３０をワイヤ９６に関して移動自在にして、薄膜を表面３０から強制的に離すことができる。本発明の１つの実施態様において、真空プレート組立体９３は、サポートフレーム８６に関して移動自在であり、および真空プレート組立体９３をサポートフレーム８６に関して偏向移動するか、または両方を逆にする手段を設けて薄膜を表面３０から取外すことができる。たとえば、表面３０を有する真空プレート組立体９３は、ワイヤ９６を有するサポートフレーム８６から取外されると、薄膜は、ワイヤ９６から重力により一層容易に分離される。というのは、ワイヤ９６と薄膜との間の表面接触部位は、薄膜がワイヤ９６へ付着できるには一般的に不十分であるからである。
【００４６】
本発明の１つの実施態様によれば、ワイヤ９６を有するサポートフレーム８６を、手動的、電気的、機械的、または電気機械的手段、たとえば、油圧的、空気圧的、または磁気的手段の何らかの形態の手段により真空プレート組立体９３に関して偏向移動できる。本発明の１つの形態において、サポートフレーム８６の偏向移動は、「ショットピン」としても知られる電磁制御ロッドにより電気機械的に実施される。真空プレート９３に関してのサポートフレーム８６の偏向移動は、何らかの形態のカムまたは止め金により、たとえば、フレーム８６またはプレート９３の偏向移動の範囲を制限するバネ押し止め金により実施できる。サポートフレーム８６の偏向移動は、機械的停止手段によって制限してもよい。
【００４７】
図８に示されるように、真空プレート組立体９３上の止め具１０４は、真空プレート９３をサポートフレーム８６に関してどれだけ離してずらすことができるかを決めることができる。本発明の１つの実施態様において、真空プレート組立体９３とサポートフレーム８６との間に約０．２５インチ乃至約０．５０インチの相対的なずらしが形成される。図８に示されるように、真空プレート組立体９３には、位置決めピンブロック１０８を備えることができ、そのブロックは、着脱自在のピンまたはネジ込み締付具（図示せず）と協働して、真空プレート組立体９３と目標位置との容易な位置合わせを実現できる。
【００４８】
また図８に示されるように、真空プレート組立体９３は一般的に、少なくとも１つの真空サポート１１０と１１２を備え、それらのサポート中に、真空コネクタ８７と８９（図６参照）を挿入できる。真空プレート組立体９３は一般的に、取付アダプタ９４（図６参照）を真空プレート９３へ装着する、何らかの形態のサポート取付台１１４も備える。たとえば、取付サポート１１４は、ホース９０、９２を経て供給される加圧空気（一般的に約７０乃至約９０ｐｓｉｇの圧力）により作動される空気圧的に作動される急速脱着器具の取付けに好適である。
【００４９】
本発明の１つの実施態様によれば、薄膜、たとえば、図２に示される薄膜４２を、下記の仕方で取扱うことができる。先ず、薄膜４２を、真空テーブル組立体１２の表面１８上に載置する前に、収納体４０（たとえば、プラスチックバッグ４０）から取外しできるが、本発明の１つの実施態様において、薄膜４２を内蔵するバッグ４０は、開放または切断されることなく、テーブル組立体１２上に載置される。バッグ４０を表面１８上に載置する前、または載置後に直ちに、テーブル組立体１２への真空源は、作動されて真空を給気室１９内に生成し、それによりバッグ４０が表面１８上に保持される。バッグ４０を、手動で開放できるか、または打抜器具６０（図４（Ａ）および（Ｂ）参照）をバッグ４０上に位置決めし、かつそれに押付けることにより開放できる。上述のように、本発明の１つの実施態様において、打抜器具６０の４つの刃６４は「軽い接触切断」を実施でき、そこにおいて、バッグ４０の上端部と薄膜４２は、刃６４により切離されるが、バッグ４０の下端部は刃６４により切離されない。打抜器具６０は、手動により、または自動アクチュエータの手段により、たとえば、自動コントローラ、およびたとえば、油圧プレスの手段により位置決めおよび押付けができる。
【００５０】
本発明の１つの実施態様において、バッグ４０の上端部を、テーブル組立体１２から手動で、すなわち作業者により取外しでき、また薄膜４２を、移送プレート組立体１６によりテーブル組立体１２から取上げ、ついで移送プレート組立体１６により所要の位置まで移送できる。しかしながら、本発明の他の実施態様において、バッグ４０の上端部と薄膜４２を、テーブル組立体１２から取外し、ついで移送ドラム組立体１４の手段により移送プレート組立体１６へ移送できる。本発明のこの実施態様において、打抜器具６０をバッグ４０から取外した後に、切離されたバッグ４０を有する表面１８は、図１の二重矢印２２により示されるように、たとえば、手動または自動の手段により、たとえば、移送ドラム組立体１４へ向けて移動される。テーブル組立体１２上のバッグ４０がドラム２６の表面２４へ接近する前に、またはそれと同時に、給気室２７への真空源は作動され、かつ真空が、表面２４の孔２５を通して引込まれる。本発明によれば、バッグ４０が孔２５に隣接して位置決めされるときに十分な真空が、孔２５を通して引込まれ、そこにおいて、バッグ４０の上端部の少なくとも前縁部と薄膜４２の前縁部は、表面２４へ引込まれ、かつその上に保持される。本発明の１つの実施態様において、ドラム２６の取付台は、固定できないが、ドラム２６の少なくとも何らかの偏向移動、たとえば、垂直方向の偏向移動を実現でき、それにより表面２４が、たとえば、瞬間的にバッグ４０の上端部へ一層近接するように動かされて、バッグ４０の上端と薄膜４２の表面２４上への保持を容易にする。ついでドラム２６は、たとえば、図１においてドラム２６の右手側から見たときに時計方向に回転される。本発明のこの実施態様によれば、ドラム２６の回転の速さと方向、およびテーブル組立体１２の偏向移動の速さと方向は、（それらは相対方向に移動できるが、たとえば、同一方向において）ドラム２６の回転が、バッグ４０の上端部と薄膜４２をテーブル組立体１２から「剥ぎ取り」、一方ではバッグ４０の下端部がテーブル組立体１２上に保持されるように決められる。薄膜４２のドラム２６上での保持は、表面張力によるバッグ４０の上端部と薄膜４２との間の付着により容易に実施できる。この表面張力を、粘性流体、たとえば、中で薄膜４２が処理される粘性流体の存在により高めることができる。先に述べたように、バッグ４０の上端部と薄膜４２のバッグ４０の下端部からのこの剥ぎ取りは、バッグ４０の上端部に対する薄膜４２の差別的接着により容易に実施できる。この差別的接着は、上述の１つ以上の手段により実施できる。
【００５１】
ドラム２６の回転とテーブル組立体１２の偏向移動は、バッグ４０の上端部と薄膜４２がテーブル組立体１２から取外されるまで継続される。バッグ４０の上端部と薄膜４２が取外されると、テーブル組立体１２は、その初期の元の位置または取付位置に戻ることができ、ついで、その廃棄バッグ物質の取外し後に、次のバッグ４０と薄膜４２の受容を待つことができる。この廃棄バッグ物質を、手動により、または自動手段によりテーブル組立体１２から取外しできる。
【００５２】
本発明によれば、ドラム２６の回転は、バッグ４０の上端部と薄膜４２の位置が移送プレート組立体１６へ近接するまで継続される。ドラム２６の回転は、膜４２がテーブル組立体１２から取外されるときと同一の方向に（たとえば、図１の右側から見たときに時計方向に）継続できるか、または反対方向に継続できる。たとえば、ドラム２６を可逆的に回転でき、そこにおいて、ドラムは、膜４２をテーブル組立体１２から移送テーブル組立体１６へ移送するときに、前後に「揺動」する。
【００５３】
バッグ４０と薄膜４２が移送テーブル組立体１６へ近接する前に、または近接する丁度そのときに、真空源は、移送テーブル組立体１６の給気室３２へ接続される。給気室３２内の真空が、貫通孔３１（図７（Ａ）参照）を通して真空を引込み、そこにおいて、薄膜４２は、移送テーブル組立体１６の表面３０へ引かれて、装着される。本発明によれば、ドラム２６の給気室２７内に維持される真空、および移送テーブル組立体１６の給気室３２内に引込まれた真空が、十分であるので、薄膜４２は、表面３０へ引かれて、装着されるが、バッグ４０の上端部は、ドラム２６の表面２４上に保持される。本発明の１つの実施態様において、ドラム２６と表面３０は、薄膜４２の移送中に静止しているが、本発明の他の実施態様において、薄膜４２の表面２４からの取外しは、表面２４と３０が移動中に、もしくは表面２４または表面３０のいずれかが移動しているときに実施できる。たとえば、移送テーブル組立体１６の位置を制御でき、それにより薄膜４２の前縁部は、ドラム２６が移動しており、かつ薄膜４２の前縁部が表面３０へ近接するときに、表面３０により掴まれる。ドラム２６と移送テーブル組立体１６の両方が、薄膜４２の表面３０への移送中に移動しているとき、ドラム２６と表面３０の移動方向は一般的に同一であるが、その表面は相対方向に移動できる。表面３０が薄膜４２を離脱するワイヤ９６（図７（Ａ）参照）を備えるとき、ワイヤ９６は一般的に、引込まれて、膜４２の表面３０への移送を妨害するのを避ける。薄膜４２が表面２４から取外された後に、ドラム２６は回転して所定位置に戻ることができ、また廃棄バッグ物質の取外し後に、次の薄膜を受容かつ保持するように位置決めされることができる。さらにまた、廃棄バッグ物質を、ドラム２６から手動で、または自動手段により取外しできる。
【００５４】
本発明によれば、薄膜４２が、移送テーブル組立体１６の表面３０上に保持された後に、移送テーブル組立体１６を、移動して目標位置上に位置決めでき、たとえば、電極組立体上に位置決めできる。移送テーブル組立体１６の移動は、手動により、または自動コントローラの手段により、たとえば、ロボットアーム１８（図１参照）の手段により実施できる。上述のように、移送テーブル組立体１６の位置決めは、マシンヴィジョンと適切な位置決めソフトウェアを使用することにより容易に実施できる。
【００５５】
薄膜４２を目標位置上に適切に位置決めすると、給気室３２内の真空を減少または無くすことができ、そこにおいて、薄膜４２は、重力の作用を受けて目標位置の所定の箇所に落下できる。重力が薄膜４２を取外すには不十分である場合、薄膜４２の表面３０からのずらしを、導管３４と３５を経て給気室３２へ供給される加圧空気（または窒素のような他の気体）を導入することにより、および／または上述のように、表面３０をワイヤ９６に関して偏向移動(defecting)することにより促進できる。薄膜４２の目標位置への移送が完了すると、移送テーブル１６は、移送ドラム１４まで戻されて次の薄膜４２を受容できる。この工程は、連続的または間歇的に繰返すことができる。
【００５６】
上述のように、本発明に従う薄膜の取扱は、手動により、自動的に、または両方の組合せにより実施できる。適切な自動コントローラ、たとえば、コンピュータ化されたコントローラを使用して、平行移動、回転、位置決め、真空、気体圧力と流量、および図１に示されるシステムの１つ以上の構成部分の関連するパラメータを最適化することができる。
【００５７】
上に述べられ、かつ付属特許請求の範囲に記載される本発明は、たとえば、薄膜物質を含む組立体に薄膜物質を挿入中に、薄膜物質を取扱う改良された手段を提供する。本発明の１つの実施態様において、腐食環境において封止された収納体に内蔵される薄膜物質は、一層容易に取扱われて、人間の手操作の必要性を不要にする。本発明の他の実施態様において、燃料電池型隔膜の燃料電池電極中への組込みは、自動化されて、容易に実施される。
【００５８】
本発明を、好ましい実施例と実施態様を参照して特に図示し説明してきたが、本発明に対する形態と詳細の種々の変更を、特許請求の範囲に記載される本発明の精神と範囲から逸脱することなく実施できることは、当該技術に有能な者により理解される。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の１つの実施態様に従う薄膜取扱システムの斜視図である。
【図２】本発明の１つの実施態様に従う図１に示される取扱システムを使用して取扱うことができる隔膜保管収納体の斜視図である。
【図３】本発明の１つの実施態様に従う図１に示される薄膜取扱システムの真空テーブル組立体の斜視図である。
【図４】本発明の１つの実施態様に従う打抜器具を示す図で、（Ａ）は該打抜器具の平面図、（Ｂ）はその断面図である。
【図５】本発明の１つの実施態様に従う図１に示される薄膜取扱システムの移送ドラム組立体の斜視図である。
【図６】本発明の１つの実施態様に従う図１に示される薄膜取扱システムの移送プレート組立体の斜視図である。
【図７】本発明の１つの実施態様に従う図１に示される薄膜取扱システムを示す図で、（Ａ）は移送プレート組立体の底面斜視図、（Ｂ）は本発明の１つの実施態様に従う（Ａ）の移送プレート組立体の１つの前縁部孔パターンの詳細図、（Ｃ）は本発明の１つの実施態様に従う（Ａ）に示される貫通孔付き表面の詳細断面図である。
【図８】本発明の１つの実施態様に従う図６および図７（Ａ）に示される真空プレート組立体の斜視図である。
【符号の説明】
【００６０】
１０  薄膜取扱システム
１１  密閉収納体
１２  膜取付テーブル組立体
１４  膜移送ドラム組立体
１６  膜移送プレート組立体
１８  薄膜取付テーブル
１９  給気室
２０  開口
２４  表面
２５  貫通孔
２６  円筒形ドラム
２８  導管
３０  表面
３１、３１Ａ、３１Ｂ  孔
３２  給気室
３４  導管
３５  ホース
４０  収納体
４２  薄膜
４３、４５  内部表面
４４  粘性流体
５０  真空テーブル
５１  貫通孔
５２  サポート構造体
５３  給気室
５４  フレーム
５５  低摩擦軸受
５７  モータ取付台
５８  ボールネジ
６０  打抜器具組立体
６２  サポートブロック
６４  切断刃
６６  弾性ブロック
６８  駆動シャフト
７２  サポートプレート
７３  補強板
７４  モータ
７６  駆動滑車
７８  ベルト
８２  調整ネジ
８６  サポートフレーム
８７、８９  真空コネクタ
８８  ネジ込み締付具
９３  真空プレート組立体
９４Ａ、９４Ｂ  コネクタ
９４  アダプタ
９６  ワイヤ
９８  押えネジ
１００  引張ネジ
１０６  サポート
１１０、１１２  真空サポート
１１４  サポート取付台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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