【手続補正書】
【提出日】令和1年11月22日(2019.11.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円環状の振動子と円環状の接触体とを備えた超音波モータであって、
前記振動子は、前記接触体と接する円環状の振動板と、圧電素子を備え、
前記円環状の振動板は、面上に放射状に伸びる溝部をＸ箇所に有し、該円環状の振動板の外径を２Ｒ（単位ｍｍ）としたとき、前記Ｘは２Ｒ−１０≦Ｘ≦２Ｒ＋５を満たす自然数であり、
隣接する前記溝部同士を隔てる隔壁部の外径側の円周方向の長さの平均値Ｌｔｏｐと前記溝部の外径側の円周方向の長さの平均値Ｌｂｔｍの比は１．００≦Ｌｔｏｐ／Ｌｂｔｍ≦２．８６の範囲にあり、
前記Ｘ箇所の溝部の中心深さを円周方向に順にＤ１〜ＤＸとしたとき、該Ｄ１〜ＤＸは、５種以上の異なる値を取ることを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】
前記圧電素子は室温におけるヤング率が８０ＧＰａ以上１４５ＧＰａ以下である圧電セラミックスを有することを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
【請求項３】
前記Ｄ１〜ＤＸの最大値と最小値との差分が前記振動板の最大厚みＴｄｉａに対して５％以上２５％以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の超音波モータ。
【請求項４】
前記Ｄ１〜ＤＸの平均値Ｄａｖｅが前記振動板の最大厚みＴｄｉａに対して２５％以上５０％以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項５】
前記圧電素子は円環状であって、円環状に配置された圧電セラミックスと、該圧電セラミックスの前記振動板と対向する面上に該圧電セラミックスと該振動板との間に挟まれるように設けられた共通電極と、該圧電セラミックスの前記共通電極が設けられた面とは反対側の面上に設けられた複数の電極とを有しており、該複数の電極は、２つの駆動相電極と１つ以上の非駆動相電極と１つ以上の検知相電極よりなり、前記円環状の圧電素子の面上の任意の位置を通る、当該円環と中心を共にする円の円周を７等分した１つの円弧の長さをλとして円周長を７λで表したとき、前記２つの駆動相電極の円周方向の長さはそれぞれ３λであり、それらは円周方向にλ／４および３λ／４の長さを有する２つの間隔部により互いに円周方向に離隔され、前記圧電セラミックスの各駆動相電極と接する部分は円周方向に交互に極性が反転する６つの分極部からなり、前記１つ以上の非駆動相電極および前記１つ以上の検知相電極は前記２つの間隔部に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項６】
前記振動板の外径２Ｒが９０ｍｍを超えないことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項７】
前記振動板の内径２Ｒｉｎ（単位ｍｍ）が、２Ｒ−１６≦２Ｒｉｎ≦２Ｒ−６の関係を満たすことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項８】
前記圧電セラミックスは円環状の一片の圧電セラミックスであり、該圧電セラミックスの外径が、前記振動板の外径より小さく、かつ、該圧電セラミックスの内径が、前記振動板の内径より大きいことを特徴とする請求項５に記載の超音波モータ。
【請求項９】
前記振動板の最大厚みＴｄｉａが、４ｍｍ以上６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項１０】
前記振動板が、鋼を５０質量％以上、クロムを１０．５質量％以上含有する合金よりなることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項１１】
前記Ｘが偶数であり、前記Ｄ１〜ＤＸのうち、Ｄ１〜ＤＸ／２の深さ変動とＤＸ／２＋１〜ＤＸの深さ変動とが一致することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項１２】
前記検知相電極に最も近接する溝部の中心深さをＤｓｅｎ（１≦ｓｅｎ≦Ｘ）としたときに、｜Ｄｓｅｎ＋１−Ｄｓｅｎ−１｜／Ｄｓｅｎが５％以下であることを特徴とする請求項５に記載の超音波モータ。
【請求項１３】
前記Ｘが、５０≦Ｘ≦７０の関係を満たすことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項１４】
前記隔壁部の少なくとも一つにおいて、当該隔壁部の頂面の円周方向端部の角が落とされていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項１５】
前記Ｘ箇所の溝部または該溝部同士を互いに隔てる隔壁部の少なくとも一方の外径側の円周方向の長さの最大値をＬｍａｘとし最小値をＬｍｉｎとしたときに１＜Ｌｍａｘ／Ｌｍｉｎ≦２の関係が満たされることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項１６】
前記圧電素子が下記一般式（１）〜（３）：
｛Ｍｈ（ＮａｊＬｉｋＫ１−ｊ−ｋ）１−ｈ｝１−ｍ｛（Ｔｉ１−ｕ−ｖＺｒｕＨｆｖ）ｈ（Ｎｂ１−ｗＴａｗ）１−ｈ｝Ｏ３    （１）
（式中、Ｍは（Ｂｉ０．５Ｋ０．５）、（Ｂｉ０．５Ｎａ０．５）、（Ｂｉ０．５Ｌｉ０．５）、Ｂａ、Ｓｒ及びＣａから選ばれる少なくとも一種であり、０≦ｈ≦０．３、０≦ｊ≦１、０≦ｋ≦０．３、０≦ｊ＋ｋ≦１、０＜ｕ≦１、０≦ｖ≦０．７５、０≦ｗ≦０．２、０＜ｕ＋ｖ≦１、−０．０６≦ｍ≦０．０６）；
（Ｂａ１−ｓＣａｓ）α（Ｔｉ１−ｔＺｒｔ）Ｏ３    （２）
（式中、０．９８６≦α≦１．１００、０．０２≦ｓ≦０．３０、０≦ｔ≦０．０９５）；
（ＮａｑＢａ１−ｒ）（ＮｂｒＴｉ１−ｒ）Ｏ３    （３）
（式中、０．８０≦ｑ≦０．９５、０．８５≦ｒ≦０．９５）
のいずれかで表わされるペロブスカイト型金属酸化物を主成分とする圧電セラミックスを有し、該圧電セラミックスに含まれる主成分以外の金属成分の含有量が前記金属酸化物１００重量部に対して金属換算で１重量部以下であることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項１７】
前記圧電素子は鉛の含有量が１０００ｐｐｍ未満である圧電セラミックスを有することを特徴とする請求項１〜１６のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項１８】
前記２Ｒは５５ｍｍより大きいことを特徴とする請求項１〜１７のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項１９】
前記Ｄ１〜ＤＸは１つ以上の正弦波を重ね合せた曲線に沿うように変化していることを特徴とする請求項１〜１８のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項２０】
前記Ｄ１〜Ｄｘの変化における極大となる溝部と極小となる溝部とがそれぞれ１２箇所以上１６箇所以下であることを特徴とする請求項１〜１９のいずれか一項に記載の超音波モータ。
【請求項２１】
前記Ｄ１〜Ｄｘの変化における極大となる溝部と極小となる溝部とは互いに隣接しないことを特徴とする請求項１９または２０に記載の超音波モータ。
【請求項２２】
請求項１〜２１のいずれか一項に記載の超音波モータと、該超音波モータに電気的に接続される駆動回路とを少なくとも有することを特徴とする駆動制御システム。
【請求項２３】
前記駆動回路が前記振動子に７次の曲げ振動波を発生させる信号発生機構を有することを特徴とする請求項２２に記載の駆動制御システム。
【請求項２４】
請求項２２または２３に記載の駆動制御システムと前記超音波モータに力学的に接続した光学部材とを少なくとも有することを特徴とする光学機器。
【請求項２５】
円環状の振動子であって、円環状の振動板と、圧電素子を備え、
前記円環状の振動板は、面上に放射状に伸びる溝部をＸ箇所に有し、該円環状の振動板の外径を２Ｒ（単位ｍｍ）としたとき、前記Ｘは２Ｒ−１０≦Ｘ≦２Ｒ＋５を満たす自然数であり、前記２Ｒは５５ｍｍより大きく、
隣接する前記溝部同士を隔てる隔壁部の外径側の円周方向の長さの平均値Ｌｔｏｐと前記溝部の外径側の円周方向の長さの平均値Ｌｂｔｍの比は１．００≦Ｌｔｏｐ／Ｌｂｔｍ≦２．８６の範囲にあることを特徴とする振動子。