(57)【要約】【課題】【解決手段】分かりやすくフォーマットに標準化されている半導体プロセスシステムを管理するＧＵＩが提供される。グラフィカル表示は、全ての重要なパラメータが明確かつ論理的に表示され、ユーザが可能な限り少ない入力で所望のデータ収集、モニタリング、モデリング、およびトラブルシューティングタスクを実施することができるよう組織化されている。ＧＵＩは、ウェブベースであり、ウェブブラウザを使用するユーザによって見られ得る。ユーザは、ＧＵＩにより、処理モジュールイベントおよびアラームメッセージ、数字的および／またはグラフィカルな履歴データ、ＳＰＣチャート、ＡＰＣシステムログ、およびアラームログに基づいて、リアルタイムのツールおよび処理モジュールステータスを表示することが可能となる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
グラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）スクリーンを有し、半導体プロセスシステムを管理する高度プロセス制御（ＡＰＣ）システムであって、前記ＧＵＩスクリーンは、
安全な入口点を提供するウェブベースのログオンＧＵＩスクリーンと、
前記半導体プロセスシステムの現在のステータスを見るための複数のＧＵＩステータススクリーンであって、少なくとも１つのＧＵＩステータススクリーンが前記ログオンスクリーンからアクセス可能なＧＵＩステータススクリーンと、
前記半導体プロセスシステムを構成する複数のＧＵＩ構成スクリーンと、
前記半導体プロセスシステムに対する履歴およびリアルタイムデータを管理する複数のデータマネージャＧＵＩスクリーンとを有する、ＡＰＣシステム。
【請求項２】
前記ウェブベースのログオンスクリーンは、第１のレベルのユーザ、第２のレベルのユーザ、および第３のレベルのユーザに安全な入口点を提供し、前記第１のレベルのユーザはステータススクリーンを見ることに制限される、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項３】
前記複数のＧＵＩステータススクリーンは、ツールステータススクリーンを有し、このツールステータススクリーンは、少なくとも１つの処理モジュールに対する情報をさらに有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項４】
前記ツールステータススクリーンは、処理モジュールステータススクリーンを表示するように、ユーザが処理モジュールのグラフィカル表示を選択することを可能にする手段をさらに有する、請求項３に記載のＡＰＣシステム。
【請求項５】
前記複数のＧＵＩステータススクリーンは、処理モジュール中のウェハが属するロットの名前を識別するロット名フィールド、処理モジュール中の前記ウェハが属するスロットのＩＤを識別するスロットＩＤフィールド、前記ウェハを識別するウェハＩＤフィールド、現在のウェハに対するレシピを識別するレシピＩＤフィールド、前記ウェハが発せられたカセットを識別するカセットＩＤフィールド、ウェハ開始時間フィールド、およびウェハ終了時間フィールドの少なくとも１つを有する、少なくとも１つの処理モジュールステータススクリーンを含む、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項６】
前記複数のＧＵＩステータススクリーンは、ツール関連チャート、モジュール関連チャート、レシピ関連チャート、工程関連チャート、パラメータ関連チャート、統計関連チャート、および自動ＳＰＣチャートの少なくとも１つにアクセスする、チャート選択スクリーンを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項７】
前記複数のＧＵＩステータススクリーンは、ツールアラーム、プロセスアラーム、ソフトウェアアラームの少なくとも１つのステータスを見るためのアラームログビューアスクリーンを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項８】
前記複数のＧＵＩステータススクリーンは、トレースチャート、サマリチャート、およびＳＰＣチャートの少なくとも１つにアクセスするチャート選択スクリーンを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項９】
前記複数のＧＵＩステータススクリーンは、センサステータスを見るための手段を有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１０】
前記複数のＧＵＩ構成スクリーンは、システム構成スクリーン、モジュール構成スクリーン、センサ構成スクリーン、およびアラーム構成スクリーンの少なくとも１つを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１１】
前記複数のＧＵＩ構成スクリーンは、ツールインスタンス構成スクリーンをさらに有する、請求項１０に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１２】
前記複数のＧＵＩ構成スクリーンは、モジュールインスタンス構成スクリーンをさらに有する、請求項１０に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１３】
前記複数のＧＵＩ構成スクリーンは、センサインスタンス構成スクリーンをさらに有する、請求項１０に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１４】
前記複数のＧＵＩ構成スクリーンは、トレースチャート構成スクリーン、サマリチャート構成スクリーン、およびＳＰＣチャート構成スクリーンの少なくとも１つを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１５】
前記複数のデータマネージャＧＵＩスクリーンは、データ収集戦略を作成するスクリーン、データ収集プランを作成するスクリーン、分析戦略を作成するスクリーン、および分析プランを作成するスクリーンの少なくとも１つを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１６】
前記ＡＰＣシステムは、データ収集戦略、データ収集プラン、分析戦略、および分析プランの少なくとも１つを自動的に生成する、請求項１５に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１７】
前記複数のデータマネージャＧＵＩスクリーンは、データ収集戦略に対するステータスを見るスクリーン、データ収集プランに対するステータスを見るスクリーン、分析戦略に対するステータスを見るスクリーン、および分析プランに対するステータスを見るスクリーンの少なくとも１つを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１８】
前記複数のデータマネージャＧＵＩスクリーンは、データ収集戦略を編集する手段、データ収集プランを編集する手段、分析戦略を編集する手段、および分析プランを編集する手段の少なくとも１つを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項１９】
前記複数のデータマネージャＧＵＩスクリーンは、データ収集戦略を編集する手段を有し、前記データ収集戦略を編集する手段は、前記データ収集戦略に対する使用コンテキストを決定する少なくとも１つのＧＵＩパネルを有する、請求項１８に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２０】
前記複数のデータマネージャＧＵＩスクリーンは、データス収集プランを編集する手段を有し、前記データ収集プランを編集する手段は、センサインスタンスを編集するＧＵＩパネル、センサパラメータを編集するＧＵＩパネル、パラメータ保存情報を編集するＧＵＩパネル、および、パラメータに対するデータ収集タイプを編集するＧＵＩパネルの少なくとも１つを有する、請求項１８に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２１】
前記複数のデータマネージャＧＵＩスクリーンは、分析戦略を編集する手段を有し、この分析戦略を編集する手段は
前記分析戦略に対する使用コンテキストを決定する少なくとも１つのＧＵＩパネルを有する、請求項１８に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２２】
前記複数のデータマネージャＧＵＩスクリーンは、分析プランを編集する手段を有し、この分析プランを編集する手段は、ＳＰＣプランを編集するＧＵＩパネル、ＰＣＡプランを編集するＧＵＩパネル、ＰＬＳプランを編集するＧＵＩパネル、および、ファイル出力プランを編集するＧＵＩパネルの少なくとも１つを有する、請求項１８に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２３】
ＧＵＩスクリーンが、タイトルパネル、コントロールパネル、および情報パネルの少なくとも１つを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２４】
前記ＧＵＩスクリーンは、バージョン情報を表示する企業ロゴブロック、前記現在のユーザのＩＤを表示するユーザＩＤブロック、メッセージを表示するアラームメッセージブロック、サーバの現在の日付および時間を表示する現在の日付および時間ブロック、現在のスクリーンの名前を表示する現在のスクリーン名ブロック、サーバとツールとの間の通信リンクに対する現在のステータスを表示する通信ステータスブロック、モニタリングされている前記ツールのＩＤを表示するツールＩＤブロック、ユーザがログオフすることを可能にするログオフブロック、および、全ての利用可能なスクリーンのリストを見るスクリーン選択ブロックを含むタイトルパネルを有する、請求項２３に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２５】
前記ＧＵＩスクリーンは、ツールステータススクリーン、処理モジュールスクリーン、チャートスクリーン、アラームログスクリーン、ＳＰＣスクリーン、データマネージャスクリーン、およびヘルプスクリーンを含むスクリーンをユーザが表示することを可能にする複数の選択項目を含むコントロールパネルを有する、請求項２３に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２６】
少なくとも１つのＧＵＩスクリーンが、ナビゲーションツリー選択メニューを含む、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２７】
少なくとも１つのＧＵＩスクリーンが、選択可能な項目を表示するユーザ拡張可能なナビゲーションツリーを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２８】
前記ユーザ拡張可能なナビゲーションツリーは、処理ツール情報、処理モジュール情報、戦略情報、およびプラン情報の少なくとも１つを有する、請求項２７に記載のＡＰＣシステム。
【請求項２９】
前記ユーザ拡張可能なナビゲーションツリーは、処理ツール情報を有し、前記処理ツール情報は、エッチングツール、堆積ツール、洗浄ツール、および移送ツールの少なくとも１つに関する情報を有する、請求項２８に記載のＡＰＣシステム。
【請求項３０】
前記ユーザ拡張可能なナビゲーションツリーは、戦略情報を有し、前記戦略情報は制御戦略および分析戦略の少なくとも１つを有する、請求項２８に記載のＡＰＣシステム。
【請求項３１】
前記ユーザ拡張可能なナビゲーションツリーは、プラン情報を有し、前記プラン情報はデータ収集プランおよび分析プランの少なくとも１つを有する、請求項２８に記載のＡＰＣシステム。
【請求項３２】
前記複数のＧＵＩスクリーンは、英語スクリーン、日本語スクリーン、台湾語スクリーン、中国語スクリーン、韓国語スクリーン、ドイツ語スクリーン、およびフランス語スクリーンからなる群から選択される少なくとも１つのスクリーンを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項３３】
少なくとも１つのＧＵＩスクリーンが、英語マルチレベルナビゲーションツリー、日本語マルチレベルナビゲーションツリー、台湾語マルチレベルナビゲーションツリー、中国語マルチレベルナビゲーションツリー、韓国語マルチレベルナビゲーションツリー、ドイツ語マルチレベルナビゲーションツリー、およびフランス語マルチレベルナビゲーションツリーからなる群から選択されるマルチレベルナビゲーションツリーを有する、請求項１に記載のＡＰＣシステム。
【請求項３４】
グラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）スクリーンを有する高度プロセス制御（ＡＰＣ）システムを用いて、半導体プロセスシステムを管理する方法であって、
ウェブベースのログオンスクリーンを用いて安全な入口点を提供することとと、
少なくとも１つのＧＵＩステータススクリーンが前記ログオンスクリーンからアクセス可能な、前記半導体プロセスシステムの現在のステータスを見るための複数のＧＵＩステータススクリーンを提供することと、
前記半導体プロセスシステムを構成する複数のＧＵＩ構成スクリーンを提供する工程と、
前記半導体プロセスシステムに対する履歴およびリアルタイムデータを管理する複数のデータマネージャＧＵＩスクリーンを提供することとを具備する方法。
【請求項３５】
ツールステータス、モジュールステータス、およびセンサステータスの少なくとも１つを見るＧＵＩスクリーンを提供する工程をさらに有する、請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
ツール、処理モジュール、およびセンサの少なくとも１つを構成するＧＵＩスクリーンを提供する工程をさらに有する、請求項３４に記載の方法。
【請求項３７】
データ収集戦略を作成するスクリーン、データ収集プランを作成するスクリーン、分析戦略を作成するスクリーン、および分析プランを作成するスクリーンの少なくとも１つを提供する工程をさらに有する、請求項３４に記載の方法。
【請求項３８】
データ収集戦略に対するステータスを見るスクリーン、データ収集プランに対するステータスを見るスクリーン、分析戦略に対するステータスを見るスクリーン、分析プランに対するステータスを見るスクリーンの少なくとも１つを提供することをさらに具備する請求項３４に記載の方法。
【請求項３９】
データ収集戦略を編集する手段、データ収集プランを編集する手段、分析戦略を編集する手段、および分析プランを編集する手段の少なくとも１つを提供することをさらに具備する、請求項３４に記載の方法。
【請求項４０】
英語スクリーン、日本語スクリーン、台湾語スクリーン、中国語スクリーン、韓国語スクリーン、ドイツ語スクリーン、およびフランス語スクリーンからなる群から選択される少なくとも１つのスクリーンを提供することをさらに具備する、請求項３４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願は、２００２年３月２９日に出願された米国仮特許出願第６０／３６８，１６２号の出願日に基づき、その恩恵を受け、その内容は参照して全体としてここに組み込まれる。
【０００２】
本発明は、半導体プロセスシステムに係わり、特に、データを管理するためにグラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）を用いる半導体プロセスシステムに関わる。
【背景技術】
【０００３】
再入可能なウェハの流れ、重要な処理工程、および、処理のメンテナンスなどの半導体製造工場における複雑性のため、製造工程を制御、モニタリング、および分析するためにコンピュータが一般的に使用されている。様々な入出力（Ｉ／Ｏ）装置が処理の流れ、ウェハの状態、およびメンテナンスのスケジュールを制御しモニタリングするために用いられる。これら複雑な工程を終えるために様々なツールが半導体製造工場には存在する。多くのツールモニタリングおよび制御分析は、制御コンピュータのグラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）の一部を構成する表示スクリーンを用いて実現される。
【０００４】
半導体プロセス設備は、常にモニタリングされる必要がある。プロセス状況は重要なプロセスパラメータにおける僅かな変化で時間とともに変化し、望ましくない結果をもたらす。エッチングガスの組成または圧力、処理モジュール、または、ウェハの温度において小さい変化が容易に生ずる。多くの場合、プロセス特性の劣化を反映するプロセスデータの変化は、表示されるプロセスデータを単に参照するだけでは検出され得ない。プロセスの初期工程の異常および特性の劣化を検出することは困難である。高度プロセス制御（ＡＰＣ）による予測およびパターン認識が多くの場合必要となる。
【０００５】
設備の制御は、様々なコントローラを有する幾つかの異なる制御システムによってしばしば実施される。いくつかの制御システムがタッチスクリーン等のマン・マシーン・インタフェースを備え、他の制御システムが温度のような１つの変数だけを収集し表示してもよい。モニタリングシステムは、プロセス制御システム用に表にされたデータを収集することができなくてはならない。モニタリングシステムのデータ収集は、単変量のおよび多変量のデータ、ならびに、データの分析および表示を扱い、収集するためのプロセス変数を選択する能力を備えていなくてはならない。プロセスにおける様々な状況が各処理モジュールに設けられた異なるセンサによってモニタリングされ、モニタリングされた状況のデータが制御コンピュータに伝送され蓄積される。プロセスデータが自動的に表示され検出される場合、量産工程のプロセス状況は統計的プロセス制御（ＳＰＣ）チャートを通じて設定され制御される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
設備の非効率的なモニタリングは、設備の不稼働時間を生じさせ、全体的な運転費を増加させる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
したがって、本発明は、グラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）スクリーンを有する半導体プロセスシステムを管理し、ＧＵＩスクリーンが、安全な入口点を提供するウェブベースのログオンＧＵＩスクリーンと、半導体プロセスシステムの現在のステータスを見るための複数のＧＵＩステータススクリーンであって、少なくとも１つのＧＵＩステータススクリーンがログオンスクリーンからアクセス可能であるＧＵＩステータススクリーンと、半導体プロセスシステムを構成する複数のＧＵＩ構成スクリーンと、半導体プロセスシステムのために履歴およびリアルタイムデータを管理する複数のデータ管理ＧＵＩスクリーンとを有する、高度プロセス制御（ＡＰＣ）システムを提供することを目的とする。
【０００８】
本発明は、更に、グラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ）スクリーンを有する高度プロセス制御（ＡＰＣ）システムを用いて半導体プロセスシステムを管理する方法を提供し、同方法は、ウェブベースのログオンスクリーンを用いて安全な入口点を提供し、少なくとも１つのＧＵＩステータススクリーンがログオンスクリーンからアクセス可能である、半導体プロセスシステムの現在のステータスを見るための複数のＧＵＩステータススクリーンを提供し、半導体プロセスシステムを構成する複数のＧＵＩ構成スクリーンを提供し、半導体プロセスシステムのために履歴およびリアルタイムデータを管理する複数のデータ管理ＧＵＩスクリーンを提供することを有している。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明のより完全な理解およびその多くの追加的な利点は、以下の詳細な説明、特に、添付の図面を参照することでより容易に理解されるであろう。
【００１０】
半導体製造工程では、コンピュータが製造工程をセットアップ、モニタリング、および制御するために一般的に用いられる。本発明は、半導体プロセス環境におけるプロセスに関連する素子を制御しモニタリングするＧＵＩコンポーネントを有するＡＰＣシステムを提供する。プロセスに関連する素子として、ツール、チャンバ、センサ、および、プロセスが挙げられる。ＧＵＩコンポーネントは、分かりやすく、フォーマットに標準化され、プロセスに関連する素子の管理を簡略化するＧＵＩパネル／スクリーンを含む。グラフィカル表示は、全ての重要なパラメータが明確かつ論理的に表示されるよう組織化されているため、ユーザは可能な限り少ない入力で、所望の構成、データ収集、モニタリング、モデリング、および、トラブルシューティングタスクを実施することができる。
【００１１】
図１は、本発明の一実施形態による半導体製造環境におけるＡＰＣシステムの典型的なブロック図である。例示する実施形態では、半導体製造環境１００は、少なくとも１つの半導体プロセスツール１１０と、多数の処理モジュール１２０と、ＰＭ１ないしＰＭ４と、ツール、モジュール、およびプロセスをモニタリングする複数のセンサ１３０と、センサインタフェース１４０と、ＡＰＣシステム１４５とを有する。ＡＰＣシステム１４５は、インタフェースサーバ（ＩＳ）１５０、ＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０、ＧＵＩコンポーネント１８０、およびデータベース１９０を含む。一実施形態では、ＩＳ１５０は「ハブ」とされるリアルタイムメモリデータベースを有する。
【００１２】
例示する実施形態では、単一のツール１１０が４つの処理モジュール１２０とともに示されているが、本発明においてこれは必須ではない。ＡＰＣシステム１４５は、１つ以上の処理モジュールを含むクラスタ・ツールを含む幾つかの処理ツールと相互接続することができる。ツールは、例えば、エッチング、堆積、拡散、洗浄、測定、研磨、成長、移送、保管、および積み降ろしプロセスを実施するために用いられることができる。
【００１３】
一実施形態では、処理ツール１１０は、ツール１１０で実行されるソフトウェアプロセスであり、イベント情報、コンテキスト情報、およびデータ捕捉をツールのプロセスと同期するために用いられる開始／終了タイミング指令を供給するツールエージェント（図示せず）を含んでもよい。さらに、ＡＰＣシステム１４５は、ツールエージェントと接続するために用いられるソフトウェアプロセスでもよい、エージェントクライアント（図示せず）を有してもよい。
【００１４】
一実施形態では、ＩＳ１５０はソケットを用いて通信される。例えば、インタフェースはＴＣＰ／ＩＰソケット通信を用いて実行され得る。全ての通信前にソケットが設けられる。次に、メッセージがストリングとして送られる。メッセージが送られた後、ソケットが取り消される。
【００１５】
あるいは、インタフェースは、分散型メッセージハブ（ＤＭＨ）クライアントクラスのような特別なクラスを用いるＣ／Ｃ＋＋コード、またはＣ／Ｃ＋＋プロセスで伸ばされるＴＣＬプロセスとして構成され得る。この場合、ソケット接続を介してプロセス／ツールイベントを収集する論理は、イベントおよびそのコンテキストデータがＩＳ１５０の表に挿入されるよう改正されてもよい。
【００１６】
ツールエージェントは、イベントおよびコンテキスト情報をＡＰＣシステムに供給するようメッセージを送ってもよい。例えば、ツールエージェントは、ロット開始／停止メッセージ、バッチ開始／停止メッセージ、ウェハ開始／停止メッセージ、レシピ開始／停止メッセージ、および、プロセス開始／停止メッセージを送ってもよい。更に、ツールエージェントは、セットポイントデータを送信および／または受信するため、かつ、メンテナンスカウンタデータを送信および／または受信するために使用されてもよい。
【００１７】
処理ツールが内部センサを有する場合、データはＩＳ１５０およびＡＰＣサーバ１６０に送信される。データを転送するためにデータファイルが用いられてもよい。例えば、幾つかの処理ツールは、作成時にツールで圧縮されるトレースファイルを作成する。圧縮されたおよび／または圧縮されていないファイルが転送されてもよい。トレースファイルが処理ツールにおいて作成されるとき、トレースデータはエンドポイントディテクション（ＥＰＤ）データを含んでも含まなくてもよい。トレースデータは、プロセスに関する重要な情報を提供する。トレースデータは、ウェハのプロセスが完了された後に更新され転送されてもよい。トレースファイルは、プロセス毎に正しいディレクトリに転送されるべきである。一実施形態では、ツールのトレースデータ、メンテナンスデータ、およびＥＰＤデータは処理ツール１１０から得られる。
【００１８】
図１では、４つの処理モジュールが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。半導体プロセスシステムは、任意の数の関連する処理モジュールおよび独立した処理モジュールを有する、任意の数の処理ツールを有することができる。ＡＰＣシステム１４５は、処理ツール、処理モジュールおよびセンサに関わるプロセスからのデータを収集、供給、処理、記憶、および表示する。
【００１９】
処理モジュールは、ＩＤ、モジュールタイプ、ガスパラメータ、およびメンテナンスカウンタのようなデータを用いて識別され、同データはデータベースに保存される。新規の処理モジュールが構成されると、このタイプのデータはＧＵＩコンポーネント１８０のモジュール構成スクリーンを用いて提供される。例えば、ＡＰＣシステムは、東京エレクトロン（株）によるＵｎｉｔｙ  ＳＣＣＭチャンバ、Ｕｎｉｔｙ  ＤＲＭ酸化チャンバ（ｏｘｉｄｅ  ｃｈａｍｂｅｒ）、Ｔｅｌｉｕｓ  ＤＲＭ酸化チャンバ、Ｔｅｌｉｕｓ  ＳＣＣＭ酸化チャンバ、およびＴｅｌｉｕｓ  ＳＣＣＭ  Ｐｏｌｙチャンバ等のモジュールタイプをサポートすることができる。ＡＰＣシステムは他のチャンバをサポートしてもよい。
【００２０】
例示する実施形態では、単一のセンサ１３０が関連する処理モジュールとともに示されているが、本発明はおいてこれは必須でない。任意の数のセンサが処理モジュールに結合され得る。センサ１３０は、ＯＥＳセンサ、ＶＩＰセンサ、アナログセンサ、およびディジタルプローブを含む他の種類の半導体プロセスセンサを有してもよい。ＡＰＣデータ管理アプリケーションは、様々なセンサからのデータを収集、処理、記憶、表示および出力するために使用される。
【００２１】
ＡＰＣシステムでは、センサのデータは外部および内部ソースの両方から供給される。外部ソースは、外部データレコーダタイプを用いて定められ、データ記録対象物が各外部ソースに割り当てられ、状態変数表示が使用され得る。
【００２２】
センサ構成情報は、センサタイプとセンサインスタンスパラメータとを組み合わせる。センサタイプはセンサの機能に対応する総称である。センサインスタンスはセンサタイプと特定の処理モジュールおよびツールの特定のセンサとを１組にする。少なくとも１つのセンサインスタンスがツールに取り付けられる各物理的センサに対して設定される。
【００２３】
ＯＥＳセンサが１つのタイプのセンサでもよく、ＶＩプローブが別のタイプのセンサでもよく、アナログセンサがさらに異なるタイプのセンサでもよい。さらに、追加的な一般的なタイプのセンサおよび追加的な特定的なタイプのセンサが存在してもよい。センサのタイプは、ランタイムで特定の種類のセンサをセットアップするために必要な全ての変数を含む。これら変数は、静的（このタイプの全てのセンサが同じ値を有する）でもよく、インスタンスによって設定可能（センサタイプの各インスタンスが固有値を有する）でもよく、またはデータ収集プランによって動的に設定可能（ランタイムでセンサが起動されるたびに異なる値が付与される）でもよい。
【００２４】
「インスタンスによって設定可能」な変数は、センサ／プローブＩＰアドレスでもよい。このアドレスは、（各プロセスチャンバについて）インスタンス毎に異なるが、ラン毎に異ならない。「データ収集プランによって設定可能」な変数は、高調波周波数のリストでもよい。これらは、コンテキスト情報に基づいてウェハ毎に異なるよう設定され得る。ウェハコンテキスト情報は、例えば、ツールＩＤ、モジュールＩＤ、スロットＩＤ、レシピＩＤ、カセットＩＤ、開始時間、および終了時間を含む。同じセンサタイプの多数のインスタンスが存在してもよい。センサインスタンスは、特定のハードウェアに対応し、センサタイプをツールおよび／または処理モジュール（チャンバ）に結び付ける。つまり、センサタイプは一般的であり、センサインスタンスは特定的である。
【００２５】
ＡＰＣシステム１４５は、開始、セットアップ、シャットダウン、および、センサ１３０からのデータを収集する複数の方法を含むレコーダアプリケーションを有する。ある場合では、単一周波数用に１つと多周波数用に１つというふうに、２つのレコーダがプローブに対して用いられる。グローバルな状態変数がレコーダの現在の状態を追跡するために使用されてもよく、このとき状態はアイドル、準備完了、および記録である。
【００２６】
例えば、レコーダアプリケーションは、レシピ開始イベントによってトリガされる記録開始方法を含む。さらに、レコーダアプリケーションは、ウェハ−イン・イベントのような開始イベントによってトリガされるセンサセットアップ方法を有してもよい。さらに、レコーダアプリケーションは、ウェハ−アウト・イベントの結果として呼び出される記録終了方法を有してもよい。
【００２７】
ＡＰＣシステム１４５は、センサ１３０からのデータを処理するデータ管理アプリケーションを有してもよい。例えば、Ｃで表されるダイナミック・ロード・ライブラリ（ＤＬＬ）機能は、センサ１３０からのデータを解析し、出力ファイルに印刷するに適切になるようフォーマット化する。ＤＬＬ機能は、センサからのストリングをパラメータとして、印刷可能な（タブで区切った）ストリングを第２の引数（ａｒｇｕｍｅｎｔ）として返してもよい。
【００２８】
図１に示すように、センサインタフェース１４０はセンサ１３０とＡＰＣシステム１４５との間でインタフェースを提供するために用いられ得る。ＡＰＣシステム１４５は、例えば、インターネットまたはイントラネット接続を介してセンサインタフェース１４０に接続され、センサインタフェース１４０はインターネットまたはイントラネット接続を介してセンサ１３０に接続される。さらに、センサインタフェース１４０は、プロトコルコンバータ、メディアコンバータ、および、データバッファとして機能してもよい。センサインタフェース１４０は、データ捕捉、ピアツーピア通信、およびＩ／Ｏ走査のようなリアルタイム機能を提供してもよい。あるいはセンサインタフェース１４０が取り除かれ、センサ１３０がＡＰＣシステム１４５に直接的に接続されてもよい。
【００２９】
センサ１３０は、静的または動的センサでもよい。例えば、動的ＶＩセンサは、データ収集プランによって供給されるパラメータを用いてランタイムで設定される、独自の周波数範囲、サンプリング期間、スケーリング、トリガリング、および、オフセット情報を有してもよい。センサ１３０は、静的および／または動的なアナログセンサでもよい。例えば、アナログセンサは、ＥＳＣ電圧、マッチャーパラメータ、ガスパラメータ、流速、圧力、温度、ＲＦパラメータに対するデータおよび他のプロセスに関連するデータを供給するために使用され得る。センサ１３０は、ＶＩＰプローブ、ＯＥＳセンサ、アナログセンサ、ディジタルセンサ、および、半導体プロセスセンサの少なくとも１つを有する。
【００３０】
一実施形態では、センサインタフェースは、生データファイルにデータ点を書き込むことができる。ＩＳ１５０は、例えば、データ捕捉を開始するためにセンサインタフェースに開始指令を送り、ファイルを閉じるために停止指令を送る。ＩＳ１５０は、次に、センサデータファイルを読み出し、解析し、データを処理し、データ値をインメモリデータテーブルに書き込む。
【００３１】
あるいは、センサインタフェースは、ＩＳ１５０にリアルタイムでデータを流すことができる。センサインタフェースがファイルをディスクに書き込むことを可能にさせるようスイッチが設けられ得る。センサインタフェースは、ファイルを読み出し、オフライン処理および分析のためにＩＳ１５０にデータ点を流す方法も提供する。
【００３２】
図１に示すように、ＡＰＣシステム１４５は、データベース１９０を有する。ツールからの生データおよびトレースデータは、データベース１９０にファイルとして記憶される。データ量は、ユーザによって構成されるデータ収集プラン、およびプロセスが実施され処理ツールが実行される頻度に依存する。処理ツール、処理チャンバ、センサ、およびＡＰＣシステムから得られるデータは、テーブルに記憶される。
【００３３】
一実施形態では、テーブルは、インメモリテーブルとしてＩＳ１５０において、また、固定記憶域としてデータベース１９０において実行される。ＩＳ１５０は、行列作成およびテーブルにデータを書き込むために構造化照会言語（ＳＱＬ）を用いる。テーブルは、データベース１９０（即ち、ＤＢ２が使用され得る）において固定テーブルで複製され、同じＳＱＬ命令文を用いて投入されてもよい。
【００３４】
例示する実施形態では、ＩＳ１５０は、インメモリリアルタイムデータベースおよび加入者サーバの両方でもよい。例えば、クライアントプロセスは関係型データテーブルの既知のプログラミングモデルでＳＱＬを用いてデータベース機能を実施することができる。さらに、ＩＳ１５０は、クライアントソフトウェアがその選択基準を満たすデータが挿入、更新、または削除されるたびに非同期通知を受信する、データ加入者サービスを提供する。加入者は、関心のあるテーブルの列がどれか、また、将来的なデータ変更通知をフィルタ処理するためにどの行選択基準が使用されるかを特定するために、ＳＱＬ選択命令文の全出力を利用する。
【００３５】
ＩＳ１５０がデータベースおよび加入者サーバの両方であるため、クライアントは、初期化されると既存のテーブルデータに「同期化された」加入者を設けることができる。ＩＳ１５０は、発行／加入機構、インメモリデータテーブル、および、システムを通じてイベントおよびアラームを整列する監督ロジックを通じて、データ同期化を提供する。ＩＳ１５０は、ソケット、ＵＤＰ、および、発行／加入を含むいくつかのメッセージングＴＣＰ／ＩＰベースの技術を提供する。
【００３６】
例えば、ＩＳ１５０アーキテクチャは、リアルタイムデータ管理および加入機能を提供することができる多数のデータハブ（即ち、ＳＱＬデータベース）を用いてもよい。アプリケーションモジュールおよびユーザインタフェースは、データハブ中の情報にアクセスし更新するためにＳＱＬメッセージを用いる。ランタイムデータを関係型データベースに送ることに関連する機能の限界により、ランタイムデータはＩＳ１５０によって管理されるインメモリデータテーブルに送られる。これらテーブルのコンテンツは、ウェハプロセスの最後に関係型データベースに送られる。
【００３７】
図１に示す例示する実施形態では、単一のクライアントワークステーション１７０が示されているが、本発明においてこれは必須ではない。ＡＰＣシステム１４５は、複数のクライアントワークステーション１７０をサポートしてもよい。一実施形態では、クライアントワークステーション１７０は、ユーザがツール、チャンバ、およびセンサステータスを含むステータスを見ること、プロセスステータスを見ること、履歴データを見ること、および、モデリングおよびチャート作成機能を実施することを可能にする。
【００３８】
ＡＰＣシステムはデータベース１９０を含んでもよく、ＡＰＣシステムは、前日に処理されたウェハランを、データベース１９０に記憶されるファイルに日常的にアーカイブする。ＡＰＣデータベース１９０中のデータは、チャート作成および／または分析プラン実行のために用いられる。例えば、同ファイルは各ウェハに対する生データ、各ウェハおよび各ロットに対するサマリデータ、および、ウェハに関連するツールデータおよびアラームイベントを含んでもよい。全てのプロセスランに対するデータは、特定の日付に対応するジップファイル（ＹＹＹＹＭＭＤＤ．ｚｉｐ）を用いて、データベース１９０のアーカイブディレクトリに記憶される。これらアーカイブファイルは、クライアントワークステーション１７０、または、ネットワークを用いて別のコンピュータに、あるいは、持ち運び可能媒体に、ＡＰＣサーバ１６０からコピーされ得る。
【００３９】
図１に例示する実施形態では、ＡＰＣシステム１４５は、ＩＳ１５０に結合されるＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０、ＧＵＩコンポーネント１８０、および、データベース１９０を有してもよいが、本発明においてこれは必須ではない。ＡＰＣサーバ１６０は、少なくとも１つのツール関連アプリケーション、少なくとも１つのモジュール関連アプリケーション、少なくとも１つのセンサ関連アプリケーション、少なくとも１つのＩＳ関連アプリケーション、少なくとも１つのデータベース関連アプリケーション、および、少なくとも１つのＧＵＩ関連アプリケーションを含む、幾つかのアプリケーションを有してもよい。
【００４０】
ＡＰＣサーバ１６０は、少なくとも１つのコンピュータと、多数の処理ツールをサポートし、ツール、処理モジュール、センサおよびプローブからのデータを収集し同期し、データベースにデータを記憶して既存のチャートをユーザが見ることを可能にし、故障検出を供給するソフトウェアとを有する。ＡＰＣサーバは、オンラインシステム構成、オンラインロット対ロット故障検出、オンラインウェハ対ウェハ故障検出、オンラインデータベース管理を可能にし、履歴データに基づくモデルを用いてサマリデータの多変量分析を実施する。
【００４１】
例えば、ＡＰＣサーバ１６０は最小で３ＧＢの利用可能ディスク空間、少なくとも６００ＭＨｚのＣＰＵ（デュアルプロセッサ）、最小で５１２ＭｂのＲＡＭ（物理的メモリ）、ＲＡＩＤ５コンフィギュレーションにおいて９ＧＢのＳＣＳＩハードドライブ、ＲＡＭサイズの２倍の最小ディスクキャッシュ、インストールされているウィンドウズ２０００サーバソフトウェア、マイクロソフトインターネットエクスプローラ、ＴＣＰ／ＩＰネットワークプロトコル、および、少なくとも２つのネットワークカードを有する。
【００４２】
ＡＰＣシステム１４５は、センサからの生データを含むファイル、およびツールからのトレースデータを含むファイルを記憶する記憶装置を少なくとも１つ含む。これらのファイルが正しく管理（即ち、定期的に削除）されていない場合、記憶装置はディスク空間を使い果たし、新しいデータの収集を停止することができる。ＡＰＣシステム１４５は、ユーザが古いファイルを削除することでディスク空間が空けられ、データ収集が中断することなく続けられることを可能にするデータ管理アプリケーションを有する。ＡＰＣシステム１４５は、システムを動作させるために使用される複数のテーブルを有してもよく、これらのテーブルはデータベース１９０に記憶される。さらに、１つのまたは多数のツールに対して、データ／チャートビューイング、ＳＰＣチャート作成、ＥＰＤ分析、ファイルアクセスのような機能を提供するように、オンサイトまたはオフサイトコンピュータ／ワークステーションおよび／またはホストのような他のコンピュータ（図示せず）がネットワーク化される。
【００４３】
図１に示すように、ＡＰＣシステム１４５は、ＧＵＩコンポーネント１８０を有してもよい。ＧＵＩコンポーネントは、例えば、ＡＰＣサーバ１６０、クライアントワークステーション１７０、および、ツール１１０でアプリケーションとして実行され得る。
【００４４】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣシステムユーザが所望の構成、データ収集、モニタリング、モデリング、および、トラブルシューティングタスクを可能な限り少ない入力で実施することを可能にさせる。ＧＵＩ設計は、半導体製造機器に対するＳＥＭＩヒューマンインタフェース規格（ＳＥＭＩドラフト文書＃２７８３Ｂ）、およびＳＥＭＡＴＥＣＨ戦略セルコントローラ（ＳＣＣ（Ｓｔｒａｔｅｇｉｃ  Ｃｅｌｌ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ））ユーザインタフェーススタイルガイド１．０（技術移転９２０６１１７９Ａ−ＥＮＧ）に従う。当業者は、ＧＵＩスクリーンが左から右への選択タブ構造および／または右から左への構造、下から上への構造、上から下への構造、またはその組み合わせの構造を有してもよいことを理解するであろう。
【００４５】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣシステム１４５とユーザとの間で相互作用の手段を提供する。ＧＵＩが開始されると、ユーザＩＤおよびパスワードが検証され、第１のレベルのセキュリティを提供するログオンスクリーンが表示される。ユーザは、ログオンする前にセキュリティアプリケーションを用いて登録されていることが望ましい。ユーザＩＤのデータベース確認は、承認レベルを示し、利用可能なＧＵＩ機能が能率化される。ユーザが承認されていない選択項目は別に表示され利用できない。セキュリティシステムにより、ユーザは既存のパスワードを変更することができる。ログオンスクリーンは、例えば、ネットスケープまたはインターネットエクスプローラのようなブラウザツールから開くことができる。ユーザは、ユーザＩＤおよびパスワードをログオンフィールドに入力する。
【００４６】
１つ以上のＧＵＩスクリーンは、スクリーンの上部に沿って位置されるタイトルパネル、ユーザ情報を表示する情報パネル、および、スクリーンの下部にあるコントロールパネルを含んでもよい。ＧＵＩは、サマリデータおよびトレースデータのプロットを作成し見ることができ、最後のウェハに基づくステータスを示すウェブスクリーンを表示し、リアルタイムでアラームログを見て、システムを構成することができる。
【００４７】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、ツールステータスおよび処理モジュールステータスを見て、選択されたウェハに対するサマリおよび生（トレース）パラメトリックデータのｘ−ｙチャートを作成し編集し、ツールアラームログを見て、データベースまたは出力ファイルへのデータの書き込み条件を特定するデータ収集プランを構成し、統計的プロセス制御（ＳＰＣ）チャート、モデリングおよびスプレッドシートプログラムにファイルを入力し、特定のウェハに対するプロセス情報を詳述するウェハリポート、およびデータベースにどのデータが現在保存されているかを詳述するデータベース保存リポートを生成し、プロセスパラメータのＳＰＣチャートを作成し編集し、電子メール警告を発するＳＰＣアラームを設定し、故障検出に対して多変量主成分分析（ＰＣＡ）モデルを実行し、ＡＰＣコントローラの問題を検査し報告するために診断スクリーンを見ることをユーザに可能にさせる、使いやすいインタフェースを提供する。
【００４８】
さらに、承認されたユーザおよびアドミニストレータは、システム構成およびセンサセットアップパラメータを変更するためにＧＵＩスクリーンを用いてもよい。オフラインワークステーションにより、ＧＵＩコンポーネント１８０は、故障検出に対する多変量ＰＣＡモデルを展開するユーザフレンドリーなスクリーンをユーザに提供する。
【００４９】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、処理ツール、処理モジュール、センサ、および、ＡＰＣシステムを構成することをユーザに可能にさせる、構成コンポーネントを有する。例えば、ＧＵＩ構成スクリーンは、処理ツール、処理モジュール、センサ、センサインスタンス、モジュールポーズ、およびアラームの少なくとも１つに対して設けられる。構成データは、属性データベースに記憶され、インストール時にデフォルトでセットアップされる。
【００５０】
ＧＵＩコンポーネント１８０は、処理ツール、処理モジュール、センサ、および、ＡＰＣシステムに対する現在のステータスを表示するステータスコンポーネントを有してもよい。さらに、ステータスコンポーネントは、１つ以上の異なるタイプのチャートを利用して、システムに関連する、および、プロセスに関連するデータをユーザに提示するチャート作成コンポーネントを有してもよい。
【００５１】
ＧＵＩコンポーネントは、データを収集、記憶、および分析するために用いられる戦略およびプランを、作成、編集、および見るためのデータ管理コンポーネントを有してもよい。
【００５２】
さらに、ＧＵＩコンポーネント１８０は、リアルタイム動作コンポーネントを有してもよい。例えば、ＧＵＩコンポーネントは、バックグラウンドタスクに結合され、共有システムロジックがバックグランドタスクおよびＧＵＩコンポーネントの両方によって使用される共通の機能を提供する。共有ロジックは、ＧＵＩコンポーネントに戻された値がバックグランドタスクに戻されたものと同じであることを補償するために使用される。さらに、ＧＵＩコンポーネント１８０は、ＡＰＣファイル管理ＧＵＩコンポーネントおよびセキュリティコンポーネントを有してもよい。
【００５３】
図２Ａは、本発明の一実施形態によるログオンスクリーンの典型的な図を示す。例えば、ユーザＩＤ(User ID)およびパスワード(Pasword)用のフィールドが設けられてもよい。ログオンス(Logon)クリーンは、安全な入口点となる。ログオンスクリーンは、異なるユーザレベル、例えば、第１のレベルのユーザ、第２のレベルのユーザ、および第３のレベルのユーザを区別するために使用される。第１のレベルのユーザは、例えば、ステータススクリーンを見ることに制限されている。
【００５４】
図２Ｂは、本発明の一実施形態による典型的な選択スクリーンの図を示す。例示する実施形態では、メニューＧＵＩスクリーン２００は、タイトルパネル２１０、情報パネル２５０、およびコントロールパネル２７０を含む。情報パネル２５０は、複数の選択項目を含む。例えば、選択項目は表示され、ステータス選択項目、チャート選択項目、ログ選択項目、構成選択項目、メインメニュー選択項目、ランタイムセットアップ選択項目、および、データ管理選択項目の少なくとも１つを含む。別の実施形態では、選択項目は、タブ、ピクチャ、アイコン、グループ、メニューおよび／またはドロップダウンリストとして表示される。
【００５５】
例示する実施形態では、タイトルパネル２１０はスクリーンの上部分を含む。例えば、タイトルパネル２１０は、企業ロゴフィールド、製品情報フィールド、現ユーザのＩＤを表示するユーザＩＤフィールド、アクティブアラームがあるときメッセージを表示するアラームメッセージフィールド（さもなければ空白フィールド）、サーバの現在の日付および時間を表示する現在の日付および時間フィールド、現在のスクリーンの名前を表示する現在のスクリーン名フィールド、サーバとツールとの間の通信リンクに対する現在のステータスを表示する通信ステータスフィールド、モニタリングされているツールのＩＤを表示するツールＩＤフィールド、ユーザがログオフすることを可能にするログオフフィールド、および、ＧＵＩスクリーンおよび／またはパネル間をナビゲートするために選択されるスクリーン選択フィールドを含む。あるいは、ＧＵＩスクリーンは選択項目を含む１つ以上のナビゲーションバーを含んでもよい。他の実施形態では、タイトルパネルは必要でない。
【００５６】
例示する実施形態に示すように、コントロールパネル２７０は、選択項目を有し、スクリーンの下部に沿って配置される。例えば、これら選択項目によりユーザはステータススクリーン、チャートスクリーン、アラームスクリーン、ＳＰＣスクリーン、データ管理スクリーン、メニュースクリーン、およびヘルプスクリーンの少なくとも１つを表示することができる。別の実施形態では、コントロールパネルは必要でない。
【００５７】
別の実施形態では、選択項目は異なる言語および異なる構成で表示され、異なるサイズに処理され位置付けられる。
【００５８】
図３は、本発明の一実施形態によるシステム構成パネルの典型的な図を示す。例示する実施形態では、処理ツール構成パネルを示す。例えば、システム構成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。あるいは、処理システム構成スクリーン／パネルが示されてもよい。
【００５９】
ユーザは、図３に示すような構成パネルを用いて１つ以上の処理ツールおよび／またはシミュレータを構成する。ユーザは、例えば、ツール名、ツールのタイプ、データルートディレクトリ、ツールのＩＰアドレス、エージェントバージョン、エージェントコマンド、ツールバージョン、およびインストールされている処理モジュールのような情報を入力および／または編集することができる。例としてエッチング関連の処理ツールが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のおよび／または追加的な処理ツールが示されてもよい。たとえば、堆積ツール、拡散ツール、洗浄ツール、移送ツール、測定ツール、研磨ツール、および他の種類の半導体プロセスツールが使用されてもよい。さらには、ＧＵＩによりユーザはオフライン分析のためにツールシミュレータを構成し使用することができる。
【００６０】
図４Ａないし図４Ｃは、本発明の一実施形態によるセンサ構成パネルの典型的な図を示す。例えば、センサ構成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いて、ユーザによってアクセスされ得る。ユーザは、新規のセンサインタフェースが展開されるとき、または、新規の処理ツールあるいは処理モジュールの構成が必要なとき新規のセンサタイプを作成するためにセンサ構成パネルを用いることができる。ＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアによってサポートされる予め定められたセンサタイプのリストを有する。例えば、インストール後に、プロセス機器の実行を開始する前に、または、工場から設定される再構成された例として、顧客サイトで変更が成される。センサ構成プロセスは、センサインスタンスを作成するとき、または、データ収集プランにおいてランタイムでセンサのインスタンスを構成するときに、後で使用されるように全ての入力および出力パラメータの完全な定義を含む。このセットアップ工程で作成されるパラメータは、他のセンサ情報スクリーンおよびデータ収集プランスクリーンにおいて後で表示される。
【００６１】
図４Ａでは、センサタイプリストパネルが示される。図４Ｂでは、センサ情報パネルが示される。図４Ｃでは、センサセットアップパネルが示される。例えば、ユーザは、ボタンおよび／またはタブを用いてパネル間をナビゲートするとことができ、さらに、ユーザは入力フィールド、ボタン、タブ、メニュー、およびリストを用いて項目を入力および／または変更することができる。ユーザは、編集項目を用いて既存のセンサを選択して、そのセンサに対する関連パラメータを変更することができる。ユーザは、保存項目を用いて既存のセンサタイプに基づいて新しいタイプのセンサを作成することができる。
【００６２】
例えば、ＯＥＳセンサがセンサのタイプでもよく、ＶＩプローブがセンサの別のタイプでもよい。これらはセンサのタイプに対する総称的な定義である。センサタイプは、ランタイムで特定の種類のセンサをセットアップするために必要な全ての変数を含む。これら変数は、静的（このタイプの全てのセンサが同じ値を有する）でもよく、インスタンスによって設定可能（センサタイプのインスタンスが固有値を有する）でもよく、またはデータ収集プランによって設定可能（ランタイムでセンサがアクティブにされる度に異なる値が付与される）でもよい。例えば、「インスタンスによって設定可能」な変数は、センサＩＰアドレスである。このアドレスは、インスタンス毎（プロセスチャンバ毎）に異なるが、ラン毎に異ならない。「データ収集プランによって設定可能」な変数は、高調波周波数のリストである。これらは、コンテキスト情報に基づいてウェハによって構成される。ウェハコンテキスト情報は、ツールＩＤ、モジュールＩＤ、スロットＩＤ、レシピＩＤ、カセットＩＤ、開始時間および終了時間を含む。
【００６３】
エッチング関連のセンサが例として示されているが、本発明においてこれは必須ではない。他のおよび／または追加的なセンサタイプおよび処理モジュールタイプが示されてもよい。例えば、堆積モジュール、拡散モジュール、洗浄モジュール、移送モジュール、測定モジュール、および他の種類の半導体プロセスモジュールがそれぞれの関連するセンサとともに使用されてもよい。
【００６４】
図５Ａから５Ｃは、本発明の一実施形態によるモジュール構成パネルの典型的な図を示す。例えば、モジュール構成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。ユーザは、新しいモジュールインタフェースが展開されるとき、または、新しい処理ツールあるいは処理モジュールの構成が必要なとき、新しい処理モジュールタイプを作成するためにモジュール構成パネルを用いる。ＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアによってサポートされるモジュールタイプおよびモジュールインスタンスの、予め定められたリストを有してもよい。例えば、インストール後に、処理機器の実行を開始する前に、または、工場から設定される再構成された例として顧客サイトで変更が成される。モジュール構成プロセスは、モジュールインスタンスを作成するとき、または、データ収集プランにおいてランタイムでモジュールのインスタンスを構成するときに後で使用されるように、全ての入力および出力パラメータの完全な定義を含む。このセットアップ工程において作成されるパラメータは、他のモジュール情報スクリーンおよびデータ収集プランスクリーンにおいて後で表示される。
【００６５】
図５Ａでは、モジュールリストパネルが示される。図５Ｂでは、第１のモジュール情報パネルが示される。図５Ｃでは、第２のモジュール情報パネルが示される。例えば、ユーザは、ボタンおよび／またはタブを用いてパネル間をナビゲートすることができ、さらに、ユーザは、入力フィールド、ボタン、タブ、およびリストを用いて項目を入力および／または変更することができる。ユーザは、編集項目を用いて既存の処理モジュールを選択して、そのモジュールに対する関連パラメータを変更することができる。ユーザは、保存項目を用いて、既存のモジュールに基づいて新しいタイプの処理モジュールを形成することができる。ユーザは、削除項目を用いて既存モジュールインスタンスを削除することができる。
【００６６】
エッチング関連の処理モジュールが例として示されているが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、他のおよび／または追加的な処理モジュールタイプが示されてもよい。例えば、堆積モジュール、拡散モジュール、洗浄モジュール、移送モジュール、測定モジュール、および他の種類の半導体プロセスモジュールが使用されてもよい。さらには、ＧＵＩによりユーザは、オフライン分析のために処理モジュールシミュレータを構成し使用することができる。
【００６７】
図６Ａないし６Ｃは、本発明の一実施形態によるセンサインスタンス作成パネルの例を示す図である。例えば、センサインスタンス作成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。ユーザは、新しいセンサインスタンスが必要なとき、または、新しいセンサインスタンスが処理ツールあるいは処理モジュールに必要なときに、新しいセンサインスタンスを作成するためにセンサインスタンス作成パネルを用いる。同じセンサタイプの多数のインスタンスが存在してもよい。例えば、センサインスタンスは、特定のハードウェアに対応し、センサタイプをツールまたは処理モジュールと結び付けてもよい。
【００６８】
ＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアによってサポートされる、センサインスタンスの予め定められたリストを有する。例えば、インストール後に、プロセス機器の実行を開始する前に、または、工場から設定された再構成された例として、顧客サイトで変更が成される。センサ構成プロセスは、センサインスタンスを作成するとき、または、データ収集プランにおいてランタイムでセンサのインスタンスを構成するときに、後で使用されるよう全ての入力および出力パラメータの完全な定義を含む。このセットアップ工程で作成されるパラメータは、他のセンサ情報スクリーンおよびデータ収集プランスクリーンにおいて後で表示される。
【００６９】
図６Ａではセンサインスタンスリストパネルが示される。図６Ｂでは、センサインスタンス情報パネルが示される。図６Ｃでは、センサインスタンス項目パネルが示される。例えば、ユーザは、ボタンおよび／またはタブを用いてパネル間をナビゲートすることができ、さらに、ユーザは、入力フィールド、ボタン、タブ、およびリストを用いて項目を入力および／または変更することができる。ユーザは、編集項目を用いて既存のセンサインスタンスを選択し、そのセンサインスタンスに対する関連パラメータを変更することができる。ユーザは、インスタンス保存項目を用いて、新しいセンサインスタンスを作成することができる。
【００７０】
図７は、本発明の一実施形態によるモジュールポーズ構成パネルの典型的な図を示す。例えば、モジュールポーズ構成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。承認されたユーザは、新しいモジュールポーズインスタンスが必要なとき、または、新しいモジュールポーズが処理ツールあるいは処理モジュールに必要なときに、新しいモジュールポーズインスタンスを作成するために、モジュールポーズ構成パネルを用いる。
【００７１】
モジュールポーズ構成パネルのようなモジュール構成パネルは、情報選択域、モジュールポーズ試験域、モジュールポーズメッセージ域、およびモジュールポーズリスト域を含む。ドロップダウンリストは、ユーザがモジュールポーズを構成することを補助する。
【００７２】
モジュールポーズ構成パネルは、工程技師のような特定のレベルの権限を有するユーザによって使用され得る。ユーザは、分析プランおよび戦略を用いてポーズアクションを構成する。例えば、ユーザは、アラームが発生するときにどのメンテナンスカウンタがモジュールポーズに使用されるかを決定することができる。一般的には、各モジュールに対して１つのモジュールポーズだけが構成される。ユーザは、モジュールポーズを行うために一般的なメンテナンスカウンタの１つを選択することができる。メンテナンスカウンタは、任意の測定可能なパラメータに基づいてモジュールポーズ機能を実施するために構成され得る。ユーザは、例えば、ドロップダウンリストを用いてツールＩＤフィールド、モジュールＩＤフィールド、モジュールインスタンスフィールド（モジュール名を示す）、および、モジュールカウンタフィールドを構成することができる。モジュールインスタンスフィールドが使用可能な場合にだけ、モジュールインスタンスリストがドロップダウンボックスに表示される。さらに、各メンテナンスカウンタの名前およびインデックスを組み合わせる一般的なカウンタ情報のリストが、ドロップダウンボックスに記載される。ユーザは、追加ボタンを用いて選択された情報をテーブルに追加することができる。ユーザは、削除ボタンを用いて、テーブルから選択された情報を削除することができる。ポーズエラーメッセージ表示は、ユーザにエラーメッセージフィードバックを提供する。
【００７３】
モジュールポーズは、現在のウェハの終わりまたは現在のロットの終わりで有効になる。幾つかのアラーム、例えば、ツールアラーム、故障検出アラームまたはソフトウェア内部エラーがツールポーズをトリガするために使用される。
【００７４】
図８Ａないし図８Ｄは、本発明の一実施形態によるアラーム構成パネルの典型的な図を示す。例えば、アラーム構成パネルは、ボタン、タブ、リスト項目、メニュー項目、および／またはビジュアル記述子のような選択項目を用いてユーザによってアクセスされ得る。ユーザは、新しいアラームが必要なとき、または、新しいアラームが処理ツールあるいは処理モジュールに必要なときに、新しいアラームを作成するためにアラーム構成パネルを用いる。アラームは、例えば、ツールアラーム、ソフトウェアアラーム、およびプロセス関連アラームを有する。
【００７５】
ＡＰＣシステムは、ＡＰＣソフトウェアによってサポートされるアラームの予め定められたリストを有してもよい。例えば、インストール後に、プロセス機器の実行を開始する前に、または、工場から設定された再構成された例として顧客サイトで変更が成される。アラーム構成プロセスは、アラームインスタンスを作成するときに後で使用されるよう全ての入力および出力パラメータの完全な定義を含む。このセットアップ工程で作成されるパラメータは、他のアラーム情報スクリーンおよびデータ収集プランスクリーンにおいて後で表示される。
【００７６】
図８Ａでは、アラームリストパネルが示される。図８Ｂでは、アラームセットアップパネルが示される。図８Ｃでは、受信者セットアップパネルが示される。図８Ｄでは、メッセージセットアップパネルが示される。例えば、ユーザは、選択項目を用いてパネル間をナビゲートするとことができ、さらに、ユーザは、入力フィールド、ボタン、タブ、およびリストを用いて項目を入力および／または変更することができる。ユーザは、編集項目を用いて既存のアラームを選択し、そのアラームに対する関連パラメータを変更することができる。ユーザは、保存項目を用いて新しいアラームを作成することができる。
【００７７】
図９は、本発明の一実施形態によるツールステータスパネルの典型的な図を示す。例えば、ツールステータスパネルは、モジュールＩＤ、ロットＩＤ、カセットＩＤ、レシピＩＤ、プラン、ランＩＤ、処理モジュール、ＶＩＰ、ＯＥＳ、ＲＦ状態、処理モジュールステータス、およびＲＦ時間フィールドのような情報パネル要素を１つ以上含む。例えば、処理チャンバに現在あるウェハに関する情報が表示され、このときウェハＩＤは処理されている現在のウェハに対する名前、スロットＩＤはウェハのカセットにおけるスロット、ロットＩＤはチャンバにあるウェハが属するロットのＩＤ、カセットはウェハが発せられるカセットのＩＤ、レシピＩＤは現在のウェハに対するレシピのＩＤ、プランは現在のウェハで実行されるデータ収集プランの名前である。
【００７８】
ユーザは、センサステータスを見るためにツールステータススクリーンを用いてもよい。例えば、ＶＩＰプローブの現在の状態を表示するためにＶＩＰフィールドが使用される。処理モジュールにおけるＯＥＳセンサの現在の状態を表示するためにＯＥＳフィールドが使用される。ＶＩＰプローブおよびＯＥＳセンサに対する有効値は、非アクティブなプローブ／センサに対するアイドル、初期化され記録準備ができたプローブ／センサに対する準備完了、ＯＥＳセンサまたはＶＩＰプローブデータを記録しているプローブ／センサに対する記録を含んでもよい。処理モジュールにセンサがインストールされていない場合、フィールドは空白フィールドになる。ＲＦ状態は、現在のＲＦ状態である。有効値は、オンとオフである。ＲＦがオンであるとき、ウェハのピクチャが強調され、さもなければウェハのピクチャは灰色である。スロットＩＤは、ウェハが発せられたカセットスロットを表す。ウェハＩＤは、処理モジュールにおける現在のウェハのスクライブである。ユーザがウェハＩＤをウェハスクライブとして定めない場合、ツールが割当てられたウェハ番号が表示される。
【００７９】
リアルタイム処理モジュールステータスもサブパネルにグラフィックで表示することができ、処理モジュールのステータスは処理モジュールグラフィックの左上コーナーに表示される。例えば、有効値は、処理モジュールが空のときアイドル、ウェハが処理モジュールにあるがレシピが開始されていないときアクティブ、ウェハが処理モジュールにありレシピが開始されているとき処理、および、ウェハが処理モジュールにありレシピが完了したとき完了であってよい。ウェハが処理モジュールにあるときピクチャ（即ち、円）が表示される。例えば、円はＲＦがオンのときある色でＲＦがオフのとき別の色でもよい。ピクチャの一部として表示される数は、第１の数字はウェハが発せられたカセット、第２および第３の数字はウェハが発せられたスロットを示す。ＲＦ時間は処理モジュールに対する累積ＲＦ時間である。
【００８０】
処理モジュールステータスの追加的な情報を見るためには、ユーザはツールステータススクリーンにおける所望の処理モジュールのグラフィカル表示（円）を選択項目として用いる、または、コントロールパネル（図示せず）の選択項目を用いる、または、メニューの選択項目を用いることができる。処理モジュールステータススクリーンは、特定の処理モジュールに関するデータを表示する。
【００８１】
図１０は、本発明の一実施形態による処理モジュールステータスパネルの簡略化された図を示す。例えば、現在の情報は、パネルにおいて選択された処理モジュールに対して表示されてもよく、パネルはロット名フィールド、スロットＩＤフィールド、ウェハＩＤフィールド、レシピＩＤフィールド、カセットＩＤフィールド、ウェハ開始時間フィールド、前のウェハの終了時間フィールド、ＶＩＰフィールド、ＯＥＳフィールド、名前フィールド、値フィールド、および、単位フィールドのようなパネル要素を１つ以上含んでもよい。例えば、ロット名フィールドは処理モジュールにおけるウェハが属するウェハのロットの名前を含み、スロットＩＤフィールドはウェハが発せられたカセットスロットを示し、ウェハＩＤフィールドは現在のウェハのスクライブを表示し、レシピＩＤフィールドはモジュールで実行されている現在のあるいは最後のレシピのランの名前を示し、カセットＩＤフィールドはウェハが発せられたカセットのＩＤを表示し、レシピＩＤフィールドは現在のウェハに対するレシピのＩＤを含む。さらに、ウェハ開始時間フィールドはレシピ開始工程が開始された日付および時間を表示し、前のウェハの終了時間フィールドはレシピ終了工程が開始された日付および時間を示し、ＶＩＰフィールドは処理モジュールに対するＶＩＰプローブの現在の状態を表示し、ＯＥＳフィールドは処理モジュールに対するＯＥＳセンサの現在の状態を含み、このときＶＩＰプローブおよびＯＥＳセンサに対する有効値はアイドル、準備完了および記録を含み、インデックスフィールドはメンテナンスカウンタ１〜ｘｘのインデックスを示し、名前フィールドはパラメータ名を示し、値フィールドはパラメータ／メンテナンスカウンタの値を示し、単位フィールドはＲＦ時間のような単位を示す。
【００８２】
処理モジュールパネルは、リアルタイムで現在のステータスを表示することができる。例えば、ウェハが処理モジュールにないとき、フィールドは空白である。あるいは、ウェハが処理モジュールにないとき、フィールドはモジュールで処理された最後のウェハに対するデータを表示する。ユーザがウェハスクライブに対してウェハＩＤを定めていない場合、ツールが割り当てられたウェハ番号が表示される。
【００８３】
別の実施形態では、ステータススクリーンはナビゲーションツリーからアクセスされる。例えば、ツール名フィールドはツリー構造で表示され、ツールステータススクリーンは同フィールドを選択することでアクティブにされ得る。さらに、モジュール名フィールドがツリー構造で表示され、モジュールステータススクリーンは同フィールドを選択することでアクティブにされ得る。あるいは、ステータススクリーンはナビゲーションバーを用いてアクセスされ得る。
【００８４】
図１１Ａないし１１Ｅは、本発明の一実施形態によるチャート選択パネルの典型的な図を示す。チャートはリアルタイムステータスおよび履歴ステータス情報を表示するために使用される。例示する実施形態では、チャートスクリーン１１００は、選択バー１１２０および情報パネル１１５０を含む。情報パネルはチャート選択ツリーサブパネルおよびリストサブパネルを含んでもよい。例えば、チャート選択ツリーは、ツール、モジュール、およびレシピハイアラキーを用いて組織化され、ツリーにおける選択は多数あり隣接しておらず、ウェハ／ロットのリストテーブルにおける列はドラグされ再配置され、列ヘッダをクリックすることでテーブルは該列についてソートされ、テーブル中の多数のウェハ／ロットは選択され、チャートは再使用可能なテンプレートであり、チャートはどの特定のウェハとも関連付けられていない。
【００８５】
ＡＰＣシステムを用いてツールおよびセンサから収集されたデータは、異なるタイプのチャートを用いてユーザに表示され得る。例えば、トレースパラメータデータを表示するためにトレースチャートが使用される。さらに、１つ以上の工程に対して１つ以上のウェハに対するサマリパラメータデータを表示するためにサマリチャートが使用される。ウェハサマリ計算は、ツールから集められた生データから計算される。データベースは、生データを別々に記憶し、生データはサマリ計算が実施されているとき変更されない。さらには、サマリ統計が生時系列データから工程毎に一般的に計算され、最小値、最大値、平均値、範囲、標準偏差、高スパイクカウント（ＨＳＣ）、および低スパイクカウント（ＬＳＣ）の少なくとも１つを含む。標準偏差は、少なくとも２つのデータ点がある場合にだけ計算される。さらに、トレースチャートは１つ以上のウェハおよび１つ以上の工程に対する生パラメータデータを表示するために使用される。
【００８６】
選択バーにおける選択項目を用いて、編集ドロップダウンリストが表示される。このショートカットメニューは、テーブルに記載される全てのウェハまたはロットを選択する、すべての選択を含んでもよい。オプションドロップダウンメニューは、ウェハレベル項目におけるリスト、ロット項目におけるリスト、チャートナビゲーションツリーのノードに対する異なるオプションを表示するノード優先項目、および、ナビゲーションツリーを更新するリフレッシュツリー項目の少なくとも１つを含む。
【００８７】
さらに、チャート特性選択項目は、特定のチャートの特性を作成し編集するために使用され得る。チャート特性ＧＵＩパネルは、図１１Ｂないし１１Ｅに例示され、新しいトレースチャートおよび新しいサマリチャートを構成するために使用され得る。例えば、チャート特性ＧＵＩパネルは、仕様書パネル、パラメータパネル、ラベルパネル、およびシリーズパネルを含む。ユーザは、タブ、ボックス、リスト、およびメニューのような選択項目を用いてチャート作成ＧＵＩパネル間をナビゲートする。
【００８８】
ＳＰＣチャートは、ＡＰＣシステムおよびソフトウェアによってサポートされる別のタイプのチャートである。ＳＰＣチャートは、全てのウェハデータが収集された後に選択されたプロセスをモニタリングするために使用され得る。例えば、ＳＰＣチャートは、平均および分散が時間とともに変化するかを決定するようにプロセスをモニタリングするために使用される。データが収集された後、サマリデータはウェハ毎に１点として計算されチャートにプロットされる。ＡＰＣソフトウェアは、工程サマリパラメータによってデータをサマライズする。履歴データを検討した後、技師は最初の管理限界を設定し、処理にどのランルールを適用するかを判断する。処理を観察した後、技師は既知のドリフトが生ずると限界をリセットしてもよい。
【００８９】
図１２Ａないし１２Ｃは、本発明の一実施形態によるＳＰＣチャートパネルの典型的な図を示す。ＳＰＣチャートＧＵＩパネルは、プロセスパラメータのＳＰＣチャートを作成し、ＳＰＣチャート構成を編集し、および電子メール警告および／またはページャメッセージを生成するＳＰＣアラームを設定する手段を提供する。
【００９０】
例えば、ＳＰＣチャートは、工程毎にサマライズされたパラメトリックデータを示し、この工程サマリデータはデータ収集プランでデータベースに保存されたデータを用いて計算され得る。サマリデータ情報は、多変量分析にも使用される。サマリデータをモデルに送るために使用される方法は、任意の工程に対する１つ以上のパラメータに対するサマリデータが多変量分析のために主成分分析（ＰＣＡ）モデルまたは部分的最小二乗法（ＰＬＳ）モデルに入力される条件を定義する。モデル出力パラメータはＳＰＣチャートに送られる。
【００９１】
ＳＰＣチャートは、リアルタイムステータスおよび履歴ステータス情報を表示するために使用される。例えば、ＳＰＣチャートバイオレーションは、リアルタイムでアラーム状態をトリガするために使用される。
【００９２】
図１２Ａでは、ＳＰＣチャート選択ＧＵＩパネルが示される。ＳＰＣチャート選択パネルは、チャートナビゲーションサブパネル、選択リストサブパネル、および、選択項目リストを含む。例えば、チャートナビゲーションウィンドウは、ユーザが利用可能なチャートをブラウジングする手段を提供し、ノードを有するフォルダがナビゲーションウィンドウに設けられる。さらに、選択項目リストは、ショートカットメニューまたはドロップダウンリストでもよく、ＳＰＣチャートを開けることと、ジャーナルを調査することと、新しいＳＰＣチャートを作成することと、既存のＳＰＣチャートをコピーすることと、データをクリアすることと、ＳＰＣデータを削除することと、ＳＰＣチャートを分析すること、および、ＳＰＣチャートの特性を見る／編集することのために使用される。追加的な選択項目は、仕様書情報、限界情報、およびメッセージ情報を見る／編集／入力するために使用されてもよい。
【００９３】
典型的なＳＰＣグラフは図１２Ｂに示される。単一のチャートが示されているが、本発明においてこれは必須ではなく、ＡＰＣシステムおよびソフトウェアは１回に１つ以上のチャートを表示することができる。
【００９４】
ＡＰＣシステムおよびソフトウェアはＳＰＣチャートを作成、編集、見るためにＧＵＩパネルを提供する。例えば、ＳＰＣチャートは、平均値、最小値、最大値、プロセスパラメータ対時間の範囲、プロセスパラメータ対サンプル数の範囲の少なくとも１つを含むシューハートコントロールチャートでもよい。例示するチャートは、中心線−正常または「インコントロール」処理状況下で予想されるプロットされたパラメータの平均値を表す水平線、上方管理限界（ＵＣＬ）および下方管理限界（ＬＣＬ）、このときＵＣＬおよびＬＣＬはそれぞれ平均値の上および下にある水平線であり、それぞれの値は＋／−３シグマに設定され、シグマは平均値からの標準偏差（正常な状況下では、データ点の９９．７３％が上方および下方管理限界内）であり、上方警戒限界（ＵＷＬ）および下方警戒限界（ＬＷＬ）であるといった特徴を有する。
【００９５】
ナビゲーションメニューに示されるフォルダの１つは「自動ＳＰＣ」フォルダである。フォルダは、ＡＰＣシステムおよびソフトウェアによって自動的に構成されたＳＰＣチャートのリストを含む。さらに、ＡＰＣシステムおよびソフトウェアは、自動的に生成されたＳＰＣチャートを編集、見る、分析、使用可能、使用不可能、および削除するためのＧＵＩパネルを提供する。自動ＳＰＣフィールドは、例えば、自動構成機能を使用可能にまたは使用不可能にするために使用される。
【００９６】
インストール中、テンプレートＳＰＣプランが作成され、１つ以上の自動ＳＰＣポストラン戦略と関連付けられる。ＧＵＩスクリーンはテンプレートＳＰＣプランを編集することを可能にする。インストール後、ＡＰＣシステムは、ＳＰＣランルール評価を用いて故障検出について自動的に構成される。各利用可能なトレースパラメータに対する各利用可能なサマリ統計値（平均値、標準偏差、最小値、最大値等）は、自動ＳＰＣチャート作成の候補である。ツールレベルのトレースパラメータは、例えば、エッチングシステム用のプロセス変数、ガス流速、ＲＦ電力、ＲＦ反射電力、ピークツーピーク電圧、圧力、温度等の測定され報告される値を有する。利用可能なパラメータおよび統計値の使用可能なパラメータのマッピングは、インストーラのあるいは操作者の提案および処理特異的要件に基づく。自動構成は、パラメータの選択が変化した場合、インストール後にいつでも再実行され得る。
【００９７】
インストール後のランタイム時に新しいレシピに直面すると、ＳＰＣチャートがエッチングシステムにおけるＲＦ工程のような処理工程に、制御されたあるいは制御されていない使用可能なパラメータを追跡するために自動的に作成される。制御されたパラメータは、セットポイントを有するトレースパラメータを有する。これらパラメータは、セットポイントからのパーセンテージ偏差あるいはセットポイントからの絶対偏差に基づいて幾らかの許容差内でツールにおいて制御される。所与のレシピおよび処理工程について、幾らかの制御されたパラメータはゼロのセットポイントを有する。この場合、セットポイントからのパーセンテージ偏差の技術は、ゼロによる割算を必要とするため使用できない。制御されていないパラメータはセットポイントを有さないトレースパラメータを有する。これらパラメータの値は、一般的に制御されたパラメータのセットポイントに依存する。構成可能な数のウェハが各自動的に作成されたチャートで蓄積された後、かつ、自動計算フラグがそのパラメータに対して使用可能である場合、上方および下方管理限界が自動的に計算され、チャートがＳＰＣランルール評価に基づいてアラームについて使用可能になる。
【００９８】
図１３は、本発明の一実施形態によるアラームログパネルの典型的な図を示す。例えば、ツールアラームが発生すると、データベース中のアラームテーブルにエントリーが書き込まれる。ツールアラームは、処理ツール、処理モジュールおよび／またはプロセスセンサが問題に直面すると発生する。さらに、プロセスアラームが発生されると、アラームテーブルにエントリーが書き込まれる。プロセスアラームは、測定されたプロセスパラメータが定められた限界外であるときに発生される。ソフトウェアアラームが発生されると、アラームテーブルにエントリーが書き込まれる。ソフトウェアアラームは、ディスク領域が定められた限界に達すると発生する。同様にして、システムがアラームから回復すると、テーブルにエントリーが書き込まれる。ユーザは、このファイルのコンテンツを見るためにアラームログＧＵＩパネルを用いる。
【００９９】
アラームログパネルは、アラームが発生した日付／時間あるいは処理ツールがアラームから回復した日付／時間を示す時間発生フィールド、システムに割り当てられたアラームＩＤ（即ち、ＡＰＣシステムは特定のアラームに対して特定のＩＤ番号を割り当てる）を示すアラームＩＤフィールド、アラームの重大度およびアラームの現在の状態に関する情報を示すアラームメッセージフィールド、アラームタイプフィールド、設定／クリアフィールド、ツールに割り当てられる固有の名前（即ち、エッチャ、堆積、洗浄）を示すツールフィールドの少なくとも１つを含む。さらに、メッセージフィールドはアラームの詳細、ステータス、アラームの重大度のいずれかを含んでもよい。
【０１００】
ユーザは、リフレッシュ選択項目により最新のアラームを示すためにパネルを更新することができる。パネルは、ボタンがクリックされたときだけリフレッシュされる。ユーザは、範囲選択項目により選択された最終日付範囲からのアラームを見ることができる。ユーザは、選択範囲選択項目により選択可能な期間に対するアラームを得ることができる。
【０１０１】
アラームログパネルのようなステータスパネルは、問題のステータスをモニタリングする手段を提供し、アラームログパネルは、リアルタイムで問題をユーザに警告するために使用され、履歴データを用いて問題を追跡するために使用される。ＳＰＣチャートバイオレーションは、アラームマネージャに送られ、バイオレーションをアラームログにおいてアラームとして送り、メッセージを送り（即ち、電子メール、ページをトリガする）および、プロセスを停止する（即ち、ツールポーズコマンドを送る）。
【０１０２】
図１４Ａから１４Ｂは、本発明の一実施形態によるデータ収集戦略パネルの典型的な図を示す。例示する実施形態では、ナビゲーションツリーが示されているが本発明において必須ではない。あるいは、選択タブ、リスト、またはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。図１４Ａに示す第１のレベルはツールレベルであるが、本発明において必須ではない。あるいは、システムレベルまたは他のよりハイレベルグループが示されてもよい。例えば、ツールレベルはエッチングツール、堆積ツール、洗浄ツール、移送ツールまたは他の半導体プロセスツールと関連付けられる。別の実施形態では、マウスボタンまたは一連のキーストロークでナビゲーションツリーから、１つ以上のツールステータスパネルをユーザが表示することを可能にする選択手段が設けられる。
【０１０３】
図示する次のレベルは、処理モジュールレベルである。ユーザは処理モジュールレベルに対するステータスを表示するようにツールレベルフォルダを開ける。例えば、図１４Ａは、「ＴｅｌｉｕｓＰＣ」とラベル付けされる開けられたツールレベルフォルダ、および「処理モジュール１」から「処理モジュール４」とラベル付けされる４つの処理モジュールフォルダを示す。ユーザは、特定の処理モジュールに関連付けられるデータ収集戦略に対するステータスを表示するために処理モジュールフォルダを開けてもよい。別の実施形態では、マウスボタンまたは一連のキーストロークでナビゲーションツリーから、１つ以上のモジュールステータスパネルをユーザが表示することを可能にする選択手段が設けられる。
【０１０４】
図示される次のレベルは、データ収集戦略レベルである。ユーザは、戦略レベルに対するステータスを表示するために処理モジュールレベルフォルダを開けてもよい。例えば、図１４Ａは、「処理モジュール１」とラベル付けされる開けられた処理モジュールレベルフォルダ、および、「データ収集戦略」および「分析戦略」とラベル付けされる２つの戦略フォルダを示す。ユーザは、特定の戦略に関連付けられるコンテキストに対するステータスを表示するために戦略フォルダを開ける。「データ収集戦略」フォルダは、データ収集戦略のリストを表示するために開けられる。例示する実施形態では、単一のデータ収集戦略がデータ収集戦略と関連付けられるコンテキストとともに示される。ウェハコンテキストは、ウェハのような特定の項目に必要な特定のデータ収集戦略およびプランを呼び出すために使用される。ウェハコンテキストは、システムｉｄ、ツールｉｄ、モジュールｉｄ、スロットｉｄ、レシピｉｄ、ロットｉｄ、バッチｉｄ、カセットｉｄ、開始時間および停止時間の少なくとも１つを有する。
【０１０５】
ユーザが新規戦略を作成、戦略を編集、戦略を保存、戦略を削除、シーケンスを編集、戦略をインポート、戦略をエクスポートすることを可能にするショートカットメニューが設けられる。
【０１０６】
データ収集戦略セットアップパネルは図１４Ｂに示される。ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアは、ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアが構成されるとき少なくとも１つのデフォルトデータ収集戦略を自動生成する。自動生成されたデータ収集戦略は、システムを動作するために使用され、または、異なるデータ収集戦略をセットアップするために工程技師が使用する見本となる。
【０１０７】
図１５Ａから１５Ｇは、本発明の一実施形態によるデータ収集プラン（ＤＣＰ）パネルの典型的な図を示す。例えば、ＤＣＰは、どのデータが収集され、どのようにしてデータが収集されたかを決定するために使用される。図１５Ａでは、ナビゲーションツリーが示されるが、本発明おいてこれは必須ではない。あるいは、選択タブ、リスト、またはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。ユーザが新規のＤＣＰを作成、ＤＣＰを編集、ＤＣＰを保存、ＤＣＰを削除、ＤＣＰを関連付け、ＤＣＰを非関連付け、ＤＣＰをインポート、ＤＣＰをエクスポートすることを可能にするドロップダウンリストも示される。あるいは、選択タブ、メニュー項目またはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。
【０１０８】
ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアは、ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアが構成されるとき少なくとも１つのデフォルトＤＣＰを自動生成する。自動生成されたＤＣＰは、システムを動作させるために使用され、または、異なるＤＣＰをセットアップするために工程技師が使用する見本となる。
【０１０９】
データ収集プラン名を表示するために開けられる「データ収集プラン」フォルダを表示するために特定のデータ収集プランフォルダが開けられる。図１５Ｂでは、単一のデータ収集プラン名「デフォルトプラン１」が表示され、図１５Ｃから１５Ｇに示すようなデータマネージャスクリーンをユーザが表示することを可能にする選択手段が利用可能となる。例えば、選択リストは、マウスボタンまたは一連のキーストロークを用いて表示される。
【０１１０】
データ収集戦略は、センサインスタンスの組を決定し、センサインスタンスがどのようにして構成されるかを決定し、どのパラメータが収集されるべきかを決定し、スパイクカウンティング、工程トリミング、高クリップ、低クリップおよび限界に関してどのようにしてパラメータが処理されるべきかを説明する関連ＤＣＰを有する。
【０１１１】
実行コンテキストに適合する多数のデータ収集戦略がある。ユーザは、戦略をリスト上で上下に移動することで特定のコンテキスト内の戦略の順番を決定する。データ収集戦略が選択されるべきときになると、ソフトウェアはリストの上から、コンテキストによって決定される要件に適合する第１のデータ収集戦略が見つかるまで、リストの下に向かう。第１のデータ収集戦略は、使用されている単一のＤＣＰを指す。
【０１１２】
図１６Ａから図１６Ｂは、本発明の一実施形態による分析戦略パネルの典型的な図を示す。例示する実施形態では、ナビゲーションツリーが示されているが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、選択タブ、リストまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。
【０１１３】
図１６Ａに示される第１のレベルは、ツールレベルであるが、本発明においてこれは必須ではない。あるいは、システムレベルまたはよりハイレベルのグループが示されてもよい。例えば、ツールレベルは、エッチングツール、堆積ツール、洗浄ツール、移送ツールまたは他の半導体プロセスツールと関連付けられる。別の実施形態では、マウスボタンまたは一連のキーストロークでナビゲーションツリーから、１つ以上のツールステータスパネルをユーザが表示することを可能にする選択手段が設けられる。
【０１１４】
図示する次のレベルは、処理モジュールレベルである。ユーザは処理モジュールレベルに対するステータスを表示するようツールレベルフォルダを開けてもよい。例えば、図１６Ａは、「ＴｅｌｉｕｓＰＣ」とラベル付けされる開けられたツールレベルフォルダ、および「処理モジュール１」から「処理モジュール４」とラベル付けされる４つの処理モジュールフォルダを示す。ユーザは、特定の処理モジュールに関連付けられる分析戦略に対するステータスを表示するために処理モジュールフォルダを開ける。別の実施形態では、マウスボタンまたは一連のキーストロークを用いてナビゲーションツリーから、１つ以上のモジュールステータスパネルをユーザが表示することを可能にする選択手段が設けられる。
【０１１５】
１つの処理モジュールサブレベルは、分析戦略レベルである。ユーザは、分析戦略レベルに対するステータスを表示するために処理モジュールレベルフォルダを開ける。例えば、特定の分析戦略と関連付けられるコンテキストに対するステータスを表示するために分析戦略フォルダを開ける。例示する実施形態では、単一の分析戦略「自動ＳＰＣ」が分析戦略と関連付けられるコンテキストとともに示される。ウェハコンテキストは、ウェハのような特定の項目に必要な特定の分析戦略およびプランを呼び出すために使用される。ウェハコンテキストは、システムｉｄ、ツールｉｄ、モジュールｉｄ、スロットｉｄ、レシピｉｄ、ロットｉｄ、バッチｉｄ、カセットｉｄ、開始時間および停止時間の少なくとも１つを有する。
【０１１６】
ユーザが新規戦略を作成、戦略を編集、戦略を保存、戦略を削除、シーケンスを編集、戦略をインポート、戦略をエクスポートすることを可能にするドロップダウンリストが設けられる。
【０１１７】
分析戦略セットアップパネルは図１６Ｂに示される。ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアは、ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアが構成されるとき少なくとも１つのデフォルト分析戦略を自動生成する。自動生成された分析戦略は、システムを動作するために使用され、または、異なるデータ収集戦略をセットアップするために工程技師が使用する見本となる。例えば、分析戦略は、ウェハのプロセスが完了された後にデータがどのように提供されるかを決定するために使用される。分析戦略は幾つかの分析プランと関連付けられてもよい。単一の分析戦略は多数の分析プランを実行し得る。
【０１１８】
図１７は、本発明の一実施形態による分析プランパネルの典型的な図を示す。分析プランは、ファイル出力プラン、ＳＰＣプラン、ＰＣＡプランおよびＰＬＳプランを含む。各プランは、リストに現れる順に実行される。例えば、分析プランは、収集されたデータがどのようにして処理されて提供されるかを決定するために使用される。図１７では、ナビゲーションツリーが示されるが本発明において必須ではない。あるいは、選択タブ、リストまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。ユーザが分析プランを作成、分析プランを編集、分析プランを保存、分析プランを削除、分析プランを関連付け、分析プランを非関連付け、分析プランをインポート、分析プランをエクスポート、データ準備を実施することを可能にするためにドロップダウンリストが示される。あるいは、分析プランは、他のＭＶＡプランおよびＦＤＣプランを含んでもよい。
【０１１９】
図１８Ａから１８Ｃは、本発明の一実施形態によるＳＰＣプランパネルの典型的な図を示す。例えば、ＳＰＣプランは、ＳＰＣチャートにどのデータが提供されアラームがどのようにして処理されるべきかを決定するために使用されてよい。図１８Ａでは、ナビゲーションツリーが示されるが本発明において必須ではない。あるいは、選択タブ、リストまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。ユーザが新規ＳＰＣプランを作成、ＳＰＣプランを編集、ＳＰＣプランを保存、ＳＰＣプランを削除、ＳＰＣプランを関連付け、ＳＰＣプランを非関連付け、ＳＰＣプランをインポート、ＳＰＣプランをエクスポート、および、データ準備を実施することを可能にするためにドロップダウンリストが示される。あるいは、選択タブ、メニュー項目、チェックボックスまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。
【０１２０】
ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアは、ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアが構成されるとき少なくとも１つのデフォルトＳＰＣプランを自動生成する。自動生成されたＳＰＣプランは、システムを動作するために使用され、または、異なるＳＰＣプランをセットアップするために工程技師が使用する見本となる。
【０１２１】
例えば、ＳＰＣプランパネルは、プラン名フィールド、プラン詳細フィールド、データ収集プラン名フィールド、ＳＰＣアラームアクションフィールド、および、アラーム情報フィールドの少なくとも１つを有してもよい。
【０１２２】
「ＳＰＣプラン」のようなＳＰＣプランフォルダが、「自動テンプレート」のような１つ以上の特定のＳＰＣプランを表示するために開けられてもよい。図１８Ａでは、単一のＳＰＣプランが示され、ユーザが図１８Ｂから１８Ｃに示すようなＳＰＣプランセットアップパネルを表示することを可能にする選択手段が利用可能である。例えば、これらパネルは、マウスボタンまたは一連のキーストロークを用いて表示される。
【０１２３】
図１９Ａから１９Ｃは、本発明の一実施形態によるＰＣＡプランパネルの典型的な図を示す。例えば、ＰＣＡ  ＳＰＣプランは、ＰＣＡ  ＳＰＣチャートにどのデータが提供され、アラームがどのようにして処理されるべきかを決定するために使用される。図１９Ａでは、ナビゲーションツリーが示されるが本発明において必須ではない。あるいは、選択タブ、リストまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。ユーザが新規ＰＣＡ  ＳＰＣプランを作成、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを編集、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを保存、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを削除、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを関連付け、ＰＣＡ  ＳＰＣプランを非関連付け、ＰＣＡ  ＳＰＣプランをインポート、ＰＣＡ  ＳＰＣプランをエクスポート、および、データ準備を実施することを可能にするためにドロップダウンリストが示される。あるいは、選択タブ、メニュー項目、チェックボックスまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。
【０１２４】
ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアは、ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアが構成されるとき、少なくとも１つのデフォルトＰＣＡ  ＳＰＣプランを自動生成する。自動生成されたＰＣＡ  ＳＰＣプランは、システムを動作するために使用され、または、異なるＰＣＡ  ＳＰＣプランをセットアップするために工程技師が使用する見本となる。
【０１２５】
例えば、ＰＣＡ  ＳＰＣプランパネルは、プラン名フィールド、プラン詳細フィールド、データ収集プラン名フィールド、ＳＰＣアラームアクションフィールド、インポート／エクスポートサブパネル、パラメータサブパネル、コンポーネントサブパネル、および、ＰＣＡ出力サブパネルの少なくとも１つを有してもよい。
【０１２６】
「ＰＣＡ  ＳＰＣプラン」のようなＰＣＡ  ＳＰＣプランフォルダが、例えば、ＰＣＡプランのような１つ以上の特定のＳＰＣプランを表示するために開けられる。図１９Ａでは、単一のＰＣＡ  ＳＰＣプランが表示され、ユーザが図１９Ｂから１９Ｃに示すようなＰＣＡ  ＳＰＣプランセットアップパネルを表示することを可能にする選択手段が利用可能である。例えば、これらパネルは、マウスボタンまたは一連のキーストロークを用いて表示されてもよい。
【０１２７】
図２０Ａから２０Ｃは、本発明の一実施形態によるＰＬＳプランパネルの典型的な図を示す。例えば、ＰＬＳ  ＳＰＣプランは、ＰＬＳ  ＳＰＣチャートにどのデータが提供されアラームがどのようにして処理されるべきかを決定するために使用される。図２０Ａでは、ナビゲーションツリーが示されるが本発明において必須ではない。あるいは、選択タブ、リストまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。ユーザが新規ＰＬＳ  ＳＰＣプランを作成、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを編集、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを保存、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを削除、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを関連付け、ＰＬＳ  ＳＰＣプランを非関連付け、ＰＬＳ  ＳＰＣプランをインポート、ＰＬＳ  ＳＰＣプランをエクスポート、および、データ準備を実施することを可能にするためにドロップダウンリストが示される。あるいは、選択タブ、メニュー項目、チェックボックスまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。
【０１２８】
ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアは、ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアが構成されるとき、少なくとも１つのデフォルトＰＬＳ  ＳＰＣプランを自動生成する。自動生成されたＰＬＳ  ＳＰＣプランは、システムを動作するために使用され、または、異なるＰＬＳ  ＳＰＣプランをセットアップするために工程技師が使用する見本となる。
【０１２９】
例えば、ＰＬＳ  ＳＰＣプランパネルは、プラン名フィールド、プラン詳細フィールド、データ収集プラン名フィールド、ＳＰＣアラームアクションフィールド、インポート／エクスポートサブパネル、ファイラオプションサブパネル、入力パラメータサブパネル、モデルマトリックスサブパネル、および、ＰＬＳ出力サブパネルの少なくとも１つを有してもよい。
【０１３０】
「ＰＬＳ  ＳＰＣプラン」のようなＰＬＳ  ＳＰＣプランフォルダが、例えば、ＰＬＳプランのような１つ以上の特定のＳＰＣプランを表示するために開けられる。図２０Ａでは、単一のＰＬＳ  ＳＰＣプランが表示され、ユーザが図２０Ｂから２０Ｃに示すようなＰＬＳ  ＳＰＣプランセットアップパネルを表示することを可能にする選択手段が利用可能である。例えば、これらパネルは、マウスボタンまたは一連のキーストロークを用いて表示される。
【０１３１】
図２１Ａから図２１Ｅは、本発明の一実施形態によるファイル出力プランパネルの典型的な図を示す。例えば、ファイル出力プランは、どのデータが生データファイル、サマリデータファイル、およびＳｉｍｃａ−Ｐサマリファイルで提供されるかを決定するために使用される。図２１Ａでは、ナビゲーションツリーが示されるが本発明において必須ではない。あるいは、選択タブ、リストまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。ユーザが新規ファイル出力プランを作成、ファイル出力プランを編集、ファイル出力プランを保存、ファイル出力プランを削除、ファイル出力プランを関連付け、ファイル出力プランを非関連付け、ファイル出力プランをインポート、ファイル出力プランをエクスポート、および、データ準備を実施することを可能にするためにドロップダウンリストが示される。あるいは、選択タブ、メニュー項目、チェックボックスまたはボタンのような他の選択手段が使用されてもよい。
【０１３２】
ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアは、ＡＰＣシステムおよびＡＰＣソフトウェアが構成されるとき、少なくとも１つのデフォルトファイル出力プランを自動生成する。自動生成されたファイル出力プランは、システムを動作するために使用され、または、異なるファイル出力プランをセットアップするために工程技師が使用する見本となる。
【０１３３】
例えば、ファイル出力プランパネルは、プラン名フィールド、プラン詳細フィールド、データ収集プラン名フィールド、ファイルフォーマットタイプフィールド、パラメータサブパネル、サンプリング速度サブパネル、工程サブパネル、サマリ処理サブパネル、および、ファイル出力サブパネルの少なくとも１つを有してもよい。
【０１３４】
「ファイル出力プラン」のようなファイル出力プランフォルダは、生データファイルプラン、サマリデータファイルプラン、またはＳｉｍｃａ−Ｐサマリファイルプランのような、１つ以上のファイル出力プランを表示するために開けられる。図２１Ａでは、３つの異なるファイル出力プランが表示され、図２１Ｂから２１Ｄに示すようなファイル出力プランセットアップパネルをユーザが表示することを可能にする選択手段が利用可能である。例えば、これらパネルは、マウスボタンまたは一連のキーストロークを用いて表示されてもよい。
【０１３５】
生データファイルプランによって生成されるファイルは、特定されたパラメータに対する生センサデータを含む。出力ファイルの各行は、データ収集プランにおいて特定された出力時間に基づく生データエントリーを含む。例えば、出力時間が毎秒１回である場合、各連続した行は、ウェハがプロセスされる各連続した秒に対する生データを有する。
【０１３６】
サマリデータファイルプランによって生成されるファイルは、特定されたパラメータに対する１つ以上のウェハに対するサマリデータを含む。あるパラメータに対するサマリデータは、ウェハランにわたる該パラメータの最小値、最大値、平均値および３σ値からなる。サマリ出力ファイルは、多数のウェハに対するデータを一般的に含むが、ファイルのコンテンツはファイルに与えられる名前に基づく。
【０１３７】
Ｓｉｍｃａ−Ｐ生データプランによって生成されるファイルは、特定されたパラメータに対する生センサデータを含む。このデータは、Ｓｉｍｃａ−Ｐ特有のフォーマットにある。出力ファイルの各行は、プランにおいて特定される出力時間に基づく生データエントリーを含む。例えば、出力時間が毎秒１回である場合、各連続した行はウェハがプロセスされた各連続した秒に対する生データを含む。ファイルが多数のウェハランに対するデータを含むか否かは、ファイルをどのように名前付けするかに依存する。
【０１３８】
さらに、Ｓｉｍｃａ−Ｐサマリファイルおよびファイルプランは、Ｓｉｍｃａ−Ｐモデリングを容易化するよう設計されている。例えば、Ｓｉｍｃａ−Ｐサマリファイルは、プランにおける各レシピ工程におけるプランにおいて、各パラメータに対して平均値、３シグマ値、最小値、最大値、範囲、または、これら値の組み合わせを含んでもよい。
【０１３９】
上述したように、ＧＵＩはウェブベースであり、ウェブブラウザを使用するユーザによって見られる。ＧＵＩは、ユーザが、処理モジュールイベントおよびアラームメッセージ、数字的および／またはグラフィカルな履歴データ、ＳＰＣチャート、ＡＰＣシステムログ、アラームログに基づいて、リアルタイムツールおよび処理モジュールのステータスを表示することを可能にする。さらに、ＧＵＩはユーザがグラフおよびレポートを印刷し、ファイルにデータを保存し、データをエクスポートし、データをインポートし、システムをセットアップまたは変更することを可能にする。
【０１４０】
ＧＵＩスクリーンは、タイトルバー、ナビゲーションバー、選択バー、コントロールバー、メッセージバー、およびＧＵＩパネルの少なくとも１つを有してもよい。バーは、ＧＵＩパネルの下および／または上に沿って位置され、これらバーは、一連のメニューを行き来することなく、スクリーンおよび／またはパネル間をナビゲートすることをユーザに可能にさせる選択項目を含んでもよい。ログオフする手段が少なくとも１つのスクリーン／パネルに表示されていることが望ましい。さらに、データが変更され保存されていないときにリマインダメッセージが供給されてもよい。さらに、ヘルプを得る手段が表示されてもよく、これはユーザに提示されているデータおよび／またはユーザから要求されるデータをユーザが理解することを補助するために、コンテンツが特定的なおよび一般的な文書を見るために使用される。さらに、ＧＵＩコンポーネントは、英語スクリーン、日本語スクリーン、台湾語スクリーン、中国語スクリーン、韓国語スクリーン、ドイツ語スクリーンおよびフランス語スクリーンからなる群から選択される少なくとも１つのスクリーンを有してもよい。
【０１４１】
本発明の多数の変更および変化が上述の教示により可能である。したがって、本発明は添付の特許請求の範囲内において、本明細書で特定的に説明した以外の方法で実施され得ることは理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【０１４２】
【図１】本発明の一実施形態による半導体製造環境におけるＡＰＣシステムの典型的なブロック図である。
【図２Ａ】ログオンスクリーンの典型的な図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施形態による選択スクリーンの典型的な図である。
【図３】本発明の一実施形態によるシステム構成パネルの典型的な図である。
【図４Ａ】本発明の一実施形態によるセンサ構成パネルの典型的な図である。
【図４Ｂ】本発明の一実施形態によるセンサ構成パネルの典型的な図である。
【図４Ｃ】本発明の一実施形態によるセンサ構成パネルの典型的な図である。
【図５Ａ】本発明の一実施形態によるモジュール構成パネルの典型的な図である。
【図５Ｂ】本発明の一実施形態によるモジュール構成パネルの典型的な図である。
【図５Ｃ】本発明の一実施形態によるモジュール構成パネルの典型的な図である。
【図６Ａ】本発明の一実施形態によるセンサインスタンテーションパネルの典型的な図である。
【図６Ｂ】本発明の一実施形態によるセンサインスタンテーションパネルの典型的な図である。
【図６Ｃ】本発明の一実施形態によるセンサインスタンテーションパネルの典型的な図である。
【図７】本発明の一実施形態によるモジュールポーズ構成パネルの典型的な図である。
【図８Ａ】本発明の一実施形態によるアラーム構成パネルの典型的な図である。
【図８Ｂ】本発明の一実施形態によるアラーム構成パネルの典型的な図である。
【図８Ｃ】本発明の一実施形態によるアラーム構成パネルの典型的な図である。
【図８Ｄ】本発明の一実施形態によるアラーム構成パネルの典型的な図である。
【図９】本発明の一実施形態によるツールステータスパネルの典型的な図である。
【図１０】本発明の一実施形態による処理モジュールステータスパネルの典型的な図である。
【図１１Ａ】本発明の一実施形態によるチャート選択パネルの典型的な図である。
【図１１Ｂ】本発明の一実施形態によるチャート選択パネルの典型的な図である。
【図１１Ｃ】本発明の一実施形態によるチャート選択パネルの典型的な図である。
【図１１Ｄ】本発明の一実施形態によるチャート選択パネルの典型的な図である。
【図１１Ｅ】本発明の一実施形態によるチャート選択パネルの典型的な図である。
【図１２Ａ】本発明の一実施形態によるＳＰＣチャートパネルの典型的な図である。
【図１２Ｂ】本発明の一実施形態によるＳＰＣチャートパネルの典型的な図である。
【図１２Ｃ】本発明の一実施形態によるＳＰＣチャートパネルの典型的な図である。
【図１３】本発明の一実施形態によるアラームログパネルの典型的な図である。
【図１４Ａ】本発明の一実施形態によるデータ収集戦略パネルの典型的な図である。
【図１４Ｂ】本発明の一実施形態によるデータ収集戦略パネルの典型的な図である。
【図１５Ａ】本発明の一実施形態によるデータ収集プラン（ＤＣＰ）パネルの典型的な図である。
【図１５Ｂ】本発明の一実施形態によるデータ収集プラン（ＤＣＰ）パネルの典型的な図である。
【図１５Ｃ】本発明の一実施形態によるデータ収集プラン（ＤＣＰ）パネルの典型的な図である。
【図１５Ｄ】本発明の一実施形態によるデータ収集プラン（ＤＣＰ）パネルの典型的な図である。
【図１５Ｅ】本発明の一実施形態によるデータ収集プラン（ＤＣＰ）パネルの典型的な図である。
【図１５Ｆ】本発明の一実施形態によるデータ収集プラン（ＤＣＰ）パネルの典型的な図である。
【図１５Ｇ】本発明の一実施形態によるデータ収集プラン（ＤＣＰ）パネルの典型的な図である。
【図１６Ａ】本発明の一実施形態による分析戦略パネルの典型的な図である。
【図１６Ｂ】本発明の一実施形態による分析戦略パネルの典型的な図である。
【図１７】本発明の一実施形態による分析プランパネルの典型的な図である。
【図１８Ａ】本発明の一実施形態によるＳＰＣプランパネルの典型的な図である。
【図１８Ｂ】本発明の一実施形態によるＳＰＣプランパネルの典型的な図である。
【図１８Ｃ】本発明の一実施形態によるＳＰＣプランパネルの典型的な図である。
【図１９Ａ】本発明の一実施形態によるＰＣＡプランパネルの典型的な図である。
【図１９Ｂ】本発明の一実施形態によるＰＣＡプランパネルの典型的な図である。
【図１９Ｃ】本発明の一実施形態によるＰＣＡプランパネルの典型的な図である。
【図２０Ａ】本発明の一実施形態によるＰＬＳプランパネルの典型的な図である。
【図２０Ｂ】本発明の一実施形態によるＰＬＳプランパネルの典型的な図である。
【図２０Ｃ】本発明の一実施形態によるＰＬＳプランパネルの典型的な図である。
【図２１Ａ】本発明の一実施形態によるファイル出力プランパネルの典型的な図である。
【図２１Ｂ】本発明の一実施形態によるファイル出力プランパネルの典型的な図である。
【図２１Ｃ】本発明の一実施形態によるファイル出力プランパネルの典型的な図である。
【図２１Ｄ】本発明の一実施形態によるファイル出力プランパネルの典型的な図である。
【図２１Ｅ】本発明の一実施形態によるファイル出力プランパネルの典型的な図である。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１１Ｃ】
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【図１１Ｄ】
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【図１１Ｅ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１５Ｄ】
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【図１５Ｅ】
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【図１５Ｆ】
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【図１５Ｇ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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【図１８Ｃ】
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【図１９Ａ】
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【図１９Ｂ】
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【図１９Ｃ】
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【図２０Ａ】
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【図２０Ｂ】
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【図２０Ｃ】
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【図２１Ａ】
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【図２１Ｂ】
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【図２１Ｃ】
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【図２１Ｄ】
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【図２１Ｅ】
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【国際調査報告】
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