Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】令和2年10月28日(2020.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
拡散反射強度の総和Ｖに対する拡散正反射強度Ｒの比であるＲ／Ｖ
（式中、拡散正反射強度Ｒは、防眩フィルムの測定対象である表面に向けて、法線から４５度の角度で可視光線を照射した際の拡散性反射方向で、変角光度計により開口角１度で測定した拡散反射強度であり、拡散反射強度の総和Ｖは、防眩フィルムの測定対象である表面に向けて、法線から４５度の角度で可視光線を照射した際の拡散性反射方向に対して、−４５度〜＋４５度まで０度を含む１度毎に、変角光度計により開口角１度で測定した拡散反射強度の総和である）
が０．０１〜０．１２であり、ヘイズが３０％以上であり、６０度グロスが０〜２５％であり、かつ透過光の色度ｂ＊の絶対値が３以下である防眩フィルム。
【請求項２】
透明基材層と、この透明基材層の少なくとも一方の面に形成された防眩層とを含み、前記防眩層が、１種以上のポリマー成分及び１種以上の硬化樹脂前駆体成分を含む硬化性組成物の硬化物である請求項１記載の防眩フィルム。
【請求項３】
ポリマー成分及び硬化樹脂前駆体成分から選択される少なくとも２つの成分が、湿式スピノーダル分解により相分離可能である請求項２記載の防眩フィルム。
【請求項４】
ポリマー成分が、セルロースエステル類及び／又は重合性基を有していてもよい（メタ）アクリル系重合体を含む請求項２又は３記載の防眩フィルム。
【請求項５】
硬化樹脂前駆体成分が、多官能（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート及びシリコーン（メタ）アクリレートから選択された少なくとも１種を含む請求項２〜４のいずれかに記載の防眩フィルム。
【請求項６】
硬化樹脂前駆体成分が、シリカナノ粒子及び／又はフッ素原子を含む請求項２〜５のいずれかに記載の防眩フィルム。
【請求項７】
硬化性組成物を熱又は活性エネルギー線で硬化させる硬化工程を含む請求項２〜６のいずれかに記載の防眩フィルムの製造方法。
【請求項８】
支持体の上に、１種以上のポリマー成分及び１種以上の硬化樹脂前駆体成分を含む硬化性組成物を塗布して乾燥することにより、ポリマー成分及び硬化樹脂前駆体成分から選択される少なくとも２つの成分を、湿式スピノーダル分解により相分離させる相分離工程をさらに含み、硬化工程が、相分離した硬化性組成物を熱又は活性エネルギー線で硬化させる硬化工程である請求項７記載の防眩フィルムの製造方法。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれかに記載の防眩フィルムを備えた表示装置。
【請求項１０】
有機ＥＬディスプレイ又は液晶表示装置である請求項９記載の表示装置。
【請求項１１】
拡散反射強度の総和Ｖに対する拡散正反射強度Ｒの比であるＲ／Ｖ（式中、拡散正反射強度Ｒは、防眩フィルムの測定対象である表面に向けて、法線から４５度の角度で可視光線を照射した際の拡散性反射方向で、変角光度計により開口角１度で測定した拡散反射強度であり、拡散反射強度の総和Ｖは、防眩フィルムの測定対象である表面に向けて、法線から４５度の角度で可視光線を照射した際の拡散性反射方向に対して、−４５度〜＋４５度まで０度を含む１度毎に、変角光度計により開口角１度で測定した拡散反射強度の総和である）、ヘイズ、６０度グロス及び透過光の色度ｂ＊の絶対値を、それぞれ０．０１〜０．１２、３０％以上、０〜２５％及び３以下の範囲に調整し、防眩フィルムの防眩性及び透明性を向上する方法。
【手続補正書】
【提出日】令和1年12月26日(2019.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
曲面を有する第１光透過プレートと、第２光透過プレートと、調光セルと、を備える調光装置であって、
前記第１光透過プレートは、曲げに対する剛性が、前記調光セルよりも高く、
前記調光セルは、前記第１光透過プレートと前記第２光透過プレートとの間に配置され、第１樹脂基材を含む第１積層体と、第２樹脂基材を含む第２積層体と、前記第１積層体と前記第２積層体との間に設けられた液晶層と、を有し、
前記第２光透過プレートと前記調光セルとの間の空間に空気層が設けられている、調光装置。
【請求項２】
前記第２光透過プレートと前記調光セルとは、前記空気層を介して直接対向している、請求項１に記載の調光装置。
【請求項３】
前記第２光透過プレート又は前記調光セルは、前記空気層に面する面上に反射防止層が設けられている、請求項１又は２に記載の調光装置。
【請求項４】
曲面を有する第１光透過プレートと、第２光透過プレートと、調光セルと、を備える調光装置であって、
前記第１光透過プレートは、曲げに対する剛性が、前記調光セルよりも高く、
前記調光セルは、前記第１光透過プレートと前記第２光透過プレートとの間に配置され、第１樹脂基材を含む第１積層体と、第２樹脂基材を含む第２積層体と、前記第１積層体と前記第２積層体との間に設けられた液晶層と、を有し、
前記第１光透過プレートの曲面と前記調光セルとの間には光学透明粘着フィルムが配置され、
前記第２光透過プレートは、接着層を介して前記調光セルの他方側に取付けられている、調光装置。
【請求項５】
前記光学透明粘着フィルムがＯＣＲ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｃｌｅａｒ  Ｒｅｓｉｎ）を塗工することにより形成され、
前記接着層がＰＶＢ（ポリビニルブチラール）により構成されている、請求項４に記載の調光装置。
【請求項６】
曲面を有する第１光透過プレートと、第２光透過プレートと、調光セルと、を備える調光装置であって、
前記調光セルは、前記第１光透過プレートと前記第２光透過プレートとの間に配置され、第１樹脂基材を含む第１積層体と、第２樹脂基材を含む第２積層体と、前記第１積層体と前記第２積層体との間に設けられた液晶層と、を有し、
前記第１光透過プレートと前記第２光透過プレートとの間がシール材によって封止されることにより形成されている密閉された空間内に、前記調光セルが配置されている、調光装置。
【請求項７】
曲面を有する第１光透過プレートと、第２光透過プレートと、調光セルと、を備える調光装置であって、
前記調光セルは、前記第１光透過プレートと前記第２光透過プレートとの間に配置され、第１樹脂基材を含む第１積層体と、第２樹脂基材を含む第２積層体と、前記第１積層体と前記第２積層体との間に設けられた液晶層と、を有し、
前記第２光透過プレートと前記調光セルとの間がシール材によって封止され、密閉されている、調光装置。
【請求項８】
前記シール材によって封止された前記第２光透過プレートと前記調光セルとの間に、光透過性を有する流体または固体が配置されている、請求項７に記載の調光装置。
【請求項９】
前記シール材によって封止された前記第２光透過プレートと前記調光セルとの間の密閉空間が真空である、請求項７に記載の調光装置。
【手続補正書】
【提出日】令和2年10月28日(2020.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基材層と、この透明基材層の少なくとも一方の面に形成された防眩層とを含み、６０度グロスが２５％以下であり、透過光の色度ｂ＊の絶対値が１５以下であり、かつヘイズが３０％以上である防眩フィルムであって、前記防眩層が、１種以上のポリマー成分及び１種以上の硬化樹脂前駆体成分を含む硬化性組成物の硬化物であり、かつ前記ポリマー成分及び前記硬化樹脂前駆体成分から選択される少なくとも２つの成分が、湿式スピノーダル分解により相分離可能である防眩フィルム。
【請求項２】
透過光の色度ｂ＊の絶対値が３以下である請求項１記載の防眩フィルム。
【請求項３】
ポリマー成分が、セルロースエステル類及び／又は重合性基を有していてもよい（メタ）アクリル系重合体を含む請求項１又は２記載の防眩フィルム。
【請求項４】
硬化樹脂前駆体成分が、多官能（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート及びシリコーン（メタ）アクリレートから選択された少なくとも１種を含む請求項１〜３のいずれかに記載の防眩フィルム。
【請求項５】
硬化樹脂前駆体成分が、シリカナノ粒子及び／又はフッ素原子を含む請求項１〜４のいずれかに記載の防眩フィルム。
【請求項６】
硬化性組成物を熱又は活性エネルギー線で硬化させる硬化工程を含む請求項１〜５のいずれかに記載の防眩フィルムの製造方法。
【請求項７】
支持体の上に、１種以上のポリマー成分及び１種以上の硬化樹脂前駆体成分を含む硬化性組成物を塗布して乾燥することにより、ポリマー成分及び硬化樹脂前駆体成分から選択される少なくとも２つの成分を、湿式スピノーダル分解により相分離させる相分離工程をさらに含み、硬化工程が、相分離した硬化性組成物を熱又は活性エネルギー線で硬化させる硬化工程である請求項６記載の防眩フィルムの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれかに記載の防眩フィルムを備えた表示装置。
【請求項９】
有機ＥＬディスプレイ又は液晶表示装置である請求項８記載の表示装置。
【請求項１０】
透明基材層と、この透明基材層の少なくとも一方の面に形成された防眩層とを含み、前記防眩層が、１種以上のポリマー成分及び１種以上の硬化樹脂前駆体成分を含む硬化性組成物の硬化物であり、かつ前記ポリマー成分及び前記硬化樹脂前駆体成分から選択される少なくとも２つの成分が、湿式スピノーダル分解により相分離可能である防眩フィルムにおいて、６０度グロス、透過光の色度ｂ＊の絶対値及びヘイズを、それぞれ２５％以下、１５以下及び３０％以上の範囲に調整し、防眩フィルムの防眩性及び透明性を向上する方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年11月12日(2020.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の伝熱板が前記伝熱板の外周部に備えられた間隔部材によって所定の間隙を設けて積層され、前記間隙に給気流と排気流とを一段ずつ交互に通風させて前記給気流と前記排気流との間で熱交換する熱交換素子であって、
前記給気流を通風させる給気風路および前記排気流を通風させる排気風路に備えられた前記伝熱板から起立し前記間隙内に流路を形成する流路リブを有し、
前記流路リブは、前記流路リブの前記流路に面する表面が前記伝熱板で覆われており、前記伝熱板で覆われた前記流路リブ内部に吸湿性を持つ流路リブ補強材を備えていることを特徴とする熱交換素子。
【請求項２】
前記伝熱板が透湿性を備え、前記流路リブ補強材が熱可塑性を持つ材料からなることを特徴とする請求項１に記載の熱交換素子。
【請求項３】
前記伝熱板が透湿性を備え、前記伝熱板と前記流路リブ補強材が透湿性を備える接着剤によって接着されていることを特徴とする請求項１に記載の熱交換素子。
【請求項４】
前記間隔部材が前記流路リブ補強材よりも吸湿性の低い材料からなることを特徴とする請求項１から３のいずれか一つに記載の熱交換素子。
【請求項５】
前記流路リブと隣接する前記伝熱板との間に空隙を備えたことを特徴とする請求項１から４のいずれか一つに記載の熱交換素子。
【請求項６】
前記流路リブ補強材は、繊維方向が前記流路リブの起立方向と平行な紙を用いたことを特徴とする請求項１から５のいずれか一つに記載の熱交換素子。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一つに記載の前記熱交換素子を備えたことを特徴とする熱交換形換気装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そして、この目的を達成するために、本発明に係る熱交換素子は、複数の伝熱板が伝熱板の外周部に備えられた間隔部材によって所定の間隙を設けて積層され、間隙に給気流と排気流とを一段ずつ交互に通風させて給気流と排気流との間で熱交換する熱交換素子であって、給気流を通風させる給気風路および排気流を通風させる排気風路に備えられた伝熱板から起立し間隙内に流路を形成する流路リブを有し、流路リブは、流路リブの流路に面する表面が伝熱板で覆われており、伝熱板で覆われた流路リブ内部に吸湿性を持つ流路リブ補強材を備えていることを特徴とするものであり、これにより所期の目的を達成するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る熱交換素子は、複数の伝熱板が伝熱板の外周部に備えられた間隔部材によって所定の間隙を設けて積層され、間隙に給気流と排気流とを一段ずつ交互に通風させて給気流と排気流との間で熱交換する熱交換素子であって、給気流を通風させる給気風路および排気流を通風させる排気風路に備えられた伝熱板から起立し間隙内に流路を形成する流路リブを有し、流路リブは、流路リブの流路に面する表面が伝熱板で覆われており、伝熱板で覆われた流路リブ内部に吸湿性を持つ流路リブ補強材を備えている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明に係る熱交換素子では、伝熱板が透湿性を備え、流路リブ補強材が熱可塑性を持つ材料からなる構成としてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、本発明に係る熱交換素子では、伝熱板が透湿性を備え、伝熱板と流路リブ補強材が透湿性を備える接着剤によって接着されている構成としてもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明に係る熱交換素子では、間隔部材が流路リブ補強材よりも吸湿性の低い材料からなる構成としてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
また、本発明に係る熱交換素子では、流路リブと隣接する伝熱板との間に空隙を備えた構成としてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
また、本発明に係る熱交換素子では、流路リブ補強材は、繊維方向が流路リブの起立方向と平行な紙を用いた構成としてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、上述した熱交換素子を用いた熱交換形換気装置としてもよい。
【手続補正書】
【提出日】令和2年11月7日(2020.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
駆動ユニット３のケース３１には、第１端面３１１の第２方向Ｙの一方側Ｙ１の端部から第１方向Ｘの他方側Ｘ２に突出した第１板部３７１と、第１板部３７１に対して第２方向Ｙの一方側Ｙ１に離間する位置で第１端面３１１の一方側Ｙ１の端部から第１方向Ｘの他方側Ｘ２に突出した第２板部３７２とが形成されている。第１板部３７１および第２板部３７２は、第３方向Ｚを板厚方向とする板状に形成されている。駆動ユニット３がフレーム４に取り付けられる際、第１板部３７１および第２板部３７２はフレーム４と嵌合する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
駆動ユニット３を搭載部４０に取り付ける際には、第１フック５１を第３方向Ｚの一方側Ｚ２（図４の矢印Ｆ１方向）へ撓ませて第１係止部５１４を駆動ユニット３の一方側Ｚ１へ退避させる。また、第２フック５２を第３方向Ｚの他方側Ｚ１（図４の矢印Ｆ２方向）へ撓ませて第２係止部５２４を駆動ユニット３の他方側Ｚ２へ退避させる。これにより、第１係止部５１４および第２係止部５２４と干渉せずに、上板部４５と底板部４６の間に駆動ユニット３を配置することができる。駆動ユニット３を壁部４７に当接させると、駆動ユニット３が第１係止部５１４および第２係止部５２４より他方側Ｘ２へ移動するので、第１フック５１および第２フック５２を、駆動ユニット３の第１方向Ｘの一方側Ｘ１への移動を規制する位置（図３参照）に戻すことができる。これにより、第１係止部５１４および第２係止部５２４が駆動ユニット３の第２端面３１２に対して第１方向Ｘの一方側Ｘ１から当接して駆動ユニット３を係止し、駆動ユニット３が搭載部４０から外れることを規制する。
【手続補正書】
【提出日】令和2年8月11日(2020.8.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気に含まれる匂いの原因物質を除去するフィルタと、空気に含まれる匂いの原因物質の量を検出する少なくとも１つの検出素子を含むセンサユニットとを有するセンサ装置と、
前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過した空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値と、前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過していない空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値との差を算出する差分算出部と、算出した前記差に基づき、空気の匂いを判定する判定部とを有する情報処理装置と、
を備えるセンシングシステム。
【請求項２】
前記センサ装置は、
空気を前記フィルタを通過させて前記センサユニットに供給する第１ファンと、
空気を前記フィルタを通過させずに前記センサユニットに供給する第２ファンと、
をさらに有する請求項１に記載のセンシングシステム。
【請求項３】
前記センサ装置は、前記第１ファンを動作させて前記第２ファンを停止させる第１モードと、前記第１ファンを停止させて前記第２ファンを動作させる第２モードとを切り換える制御部をさらに有し、
前記差分算出部は、前記第１モードにおける前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの検出値と、前記第２モードにおける前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの検出値との差を算出する
請求項２に記載のセンシングシステム。
【請求項４】
前記情報処理装置は、複数の種類の匂い毎に、１以上の基準パターンを紐付けて記憶するパターン記憶部をさらに有し、
前記基準パターンは、前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの、対応する匂いの空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値を表し、
前記判定部は、前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過した空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値と、前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過していない空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値との差を表す差分パターンと、前記基準パターンとをマッチングして、空気の匂いの種類を判定する
請求項１から３の何れか１項に記載のセンシングシステム。
【請求項５】
前記情報処理装置は、前記差分パターンと前記差分パターンの基となる前記少なくとも１つの検出素子の検出値の取得時刻とに基づき、前記取得時刻より後の第１時刻における前記差分パターンを推定し、前記第１時刻における空気の匂いを判定する推定部をさらに有する
請求項４に記載のセンシングシステム。
【請求項６】
空気に含まれる匂いの原因物質を除去するフィルタと、空気に含まれる匂いの原因物質の量を検出する少なくとも１つの検出素子を含むセンサユニットとを有するセンサ装置から、前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過した空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値を取得する第１取得部と、
前記センサ装置から、前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過していない空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値を取得する第２取得部と、
前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過した空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値と、前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過していない空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値との差を算出する差分算出部と、
算出した前記差に基づき、空気の匂いを判定する判定部と、
を備える情報処理装置。
【請求項７】
空気に含まれる匂いの原因物質を除去するフィルタと、
空気に含まれる匂いの原因物質の量を検出する少なくとも１つの検出素子を含むセンサユニットと、
を有し、
前記センサユニットは、前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過した空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値と、前記少なくとも１つの検出素子のそれぞれの前記フィルタを通過していない空気に含まれる匂いの原因物質の量を示す検出値とを出力する
センサ装置。
【請求項８】
前記センサ装置は、車両における乗車者が座るシートに設けられることを特徴とする請求項７に記載のセンサ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】センシングシステム、情報処理装置およびセンサ装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、センシングシステム、情報処理装置およびセンサ装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、匂いを精度良く検出することができるセンシングシステム、情報処理装置およびセンサ装置を提供することを目的とする。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月5日(2020.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
複数の電力供給部４は、支持部材３の第２面１１に接合されている。電力供給部４は、例えばリチウムイオン二次電池等の充電可能な電池であり、又は電気二重層キャパシタ、リチウムイオンキャパシタ等のキャパシタである。なお、図示は省略するが、支持部材３の第２面１１には回路基板も接合される。回路基板には、検出基板９の駆動を制御する駆動制御回路、検出基板９から出力される電気信号を処理する信号処理回路、外部との通信を行うための通信回路、電源回路等が形成されている。回路基板の電力も複数の電力供給部４から供給される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
また、本明細書に開示された放射線検出装置は、放射線検出パネルと、上記放射線検出パネルが第１面側に配置される支持部材と、上記支持部材の上記第１面とは反対側の第２面に接合される複数の電力供給部と、上記放射線検出パネルと、上記支持部材と、上記複数の電力供給部とを収容する筐体と、上記複数の電力供給部よりも突出して上記第２面に設けられており、上記第２面に対向する上記筐体の底に当接する複数のスペーサと、を備え、上記複数の電力供給部は、上記第２面の面内における第１方向に間隔をあけて配置される第１電力供給部と、第２電力供給部とを含み、上記複数のスペーサは、上記第２面の面内において上記第１方向と交差する第２方向に上記第１電力供給部を挟み且つ上記第１電力供給部の上記第１方向両側の端部を越えて上記第１方向に延びる一対の第１スペーサと、上記第２方向に上記第２電力供給部を挟み且つ上記第２電力供給部の上記第１方向両側の端部を越えて上記第１方向に延びる一対の第２スペーサと、を含み、上記一対の第１スペーサと上記一対の第２スペーサとを上記第２方向に見た場合に、少なくとも一方の第１スペーサと、少なくとも一方の第２スペーサとは、上記第１電力供給部と上記第２電力供給部との間を上記第１方向に一続きに横断している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2019113404.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月5日(2020.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２５８５４１号公報
【特許文献２】特開２０１３−０７６７８３号公報
【特許文献３】特開２０１６−０６５７２８号公報
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
支持部材３と底１１との間には、回路基板１７が配置されている。回路基板１７には、検出基板１３の駆動を制御する駆動制御回路、検出基板１３から出力される電気信号を処理する信号処理回路、外部との通信を行うための通信回路、電源回路等が形成されている。なお、回路基板１７は、図２では単一の要素として模式的に示されているが、複数に分割され、支持部材３と底１１との間に分散して配置されてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
また、図４に示すように、好ましくは、ねじ２０を天板７の四辺に沿って結んでなる枠線Ｌ（図３参照）を境界として、天板７における枠線Ｌの外側領域Ｌｏｕｔは、枠線Ｌの内側領域Ｌｉｎよりも厚い。これにより、放射線透過率を低下させることなくフロント部材５の剛性を高めることができ、放射線検出装置１に負荷がかかった場合にも、天板７及び内枠１０と第１シール部材１９とが密接した状態を保ち、筐体４の密封性を高めることができる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月5日(2020.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−３２１５６８号公報
【特許文献２】特開２００９−０２００９９号公報
【特許文献３】特開２０１１−０６９７４０号公報
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
支持部材３と底１１との間には、回路基板１８が配置されている。回路基板１８には、検出基板１３の駆動を制御する駆動制御回路、検出基板１３から出力される電気信号を処理する信号処理回路、外部との通信を行うための通信回路、電源回路等が形成されている。なお、回路基板１８は、図２では単一の要素として模式的に示されているが、複数に分割され、支持部材３と底１１との間に分散して配置されてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、支持部材３と底１１との間には、検出基板１３及び回路基板１８に電力を供給する電力供給部１９も配置されている。電力供給部１９は、例えばリチウムイオン二次電池等の充電可能な電池であり、又は電気二重層キャパシタ、リチウムイオンキャパシタ等のキャパシタである。なお、電力供給部１９は、図２では単一の要素として模式的に示されているが、複数に分割され、支持部材３と底１１との間に分散して配置されてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
支持部材３は、一つ以上の凹部を有し、凹部は、放射線検出パネル２を支持する第１面１５に設けられている。図２に示す例では、凹部は、支持部材３によって周囲を閉じられた、底を有する穴３０であり、第１面１５に複数設けられている。放射線検出パネル２は、穴３０の第１面１５における開口を除いた第１面１５の残余の領域に、両面粘着テープ、接着剤等の接合材を介して接合されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
一方、図５に示す例は、複数の穴３０が、第１方向Ｘに等しい間隔をあけて並び、穴３
０が第１方向Ｘに並んでなる凹部列３４が第２方向Ｙに間隔をあけて並んでいる。そして、隣り合う二つの凹部例３４を第１列３４ａ及び第２列３４ｂとして、第１列３４ａに含まれる複数の穴３０は、第２列３４ｂに含まれる複数の穴３０に対し、第１方向Ｘにずれて配置されており、換言すればジグザグ状に配置されている。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月21日(2020.2.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
特許文献１には、この脚部の構成として、複数の円柱状の凸部が離間して配列された構
成と、凸部が枠状に形成された構成と、凸部が蜂の巣状又は格子状に形成された構成等が
記載されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１１−０６９７４０号公報
【特許文献２】特開２０１６−０３３５１６号公報
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
【図１】本発明の放射線検出装置の一実施形態である電子カセッテ１の概略構成を示す図である。
【図２】図１に示す電子カセッテ１のＡ−Ａ線の断面模式図である。
【図３】図１に示す電子カセッテ１の支持部材２０及び補強部材３０をＸ線入射側と反対側から見た平面図である。
【図４】図１に示す電子カセッテ１の回路基板４０の変形例を示す図である。
【図５】図４に示す回路基板４０の配置例を示す図である。
【図６】図１に示す電子カセッテ１の第一の変形例である電子カセッテ１Ａの断面を示す図であり、図２に対応する断面図である。
【図７】図１に示す電子カセッテ１の第二の変形例である電子カセッテ１Ｂの断面を示す図であり、図２に対応する断面図である。
【図８】図１に示す電子カセッテ１の第三の変形例である電子カセッテ１Ｃの断面を示す図であり、図２に対応する断面図である。
【図９】図１に示す電子カセッテ１の第四の変形例である電子カセッテ１Ｄの断面を示す図であり、図２に対応する断面図である。
【図１０】図１に示す電子カセッテ１の第五の変形例である電子カセッテ１Ｄａの断面を示す図であり、図２に対応する断面図である。
【図１１】図１に示す電子カセッテ１の第六の変形例である電子カセッテ１Ｅの断面を示す図であり、図２に対応する断面図である。
【図１２】図３に示す補強部材３０の第一の変形例である補強部材３０Ａを示す図である。
【図１３】図３に示す補強部材３０の第二の変形例である補強部材３０Ｂを示す図である。
【図１４】図３に示す補強部材３０の第三の変形例である補強部材３０Ｃを示す図である。
【図１５】図１に示す電子カセッテ１の第七の変形例である電子カセッテ１Ｆの概略構成を示す図である。
【図１６】図１５に示す電子カセッテ１ＦをＸ線入射側から見た平面図である。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月5日(2020.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
電子カセッテは、ＦＰＤに電力を供給するバッテリを備え、例えば特許文献１に記載された放射線画像検出装置では、バッテリが、ＦＰＤを収容する筐体に収容されている。また、特許文献２に記載された放射線画像検出装置では、バッテリが、ＦＰＤを収容する筐体に設けられたバッテリ収容部に嵌め込まれている。特許文献２に記載された放射線画像検出装置のように、バッテリが外付けされる電子カセッテとしては、特許文献３に記載された放射線撮影装置、特許文献４に記載された放射線画像撮影装置も知られている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−１４１１５４号公報
【特許文献２】特開２０１３−０７２８０９号公報
【特許文献３】特開２０１４−１７３８９５号公報
【特許文献４】特開２０１５−２００６０６号公報
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
図５に示す放射線検出装置１０１は、複数のスペーサ３１をさらに備える点で上述した放射線検出装置１と異なる。複数のスペーサ３１は、ホルダ部２０とは別に支持部材３の第２面１１に設けられている。そして、複数のスペーサ３１は、ホルダ部２０の一対のフレーム２１よりも筐体５の底１４に向けて突出しており、筐体５の底１４に当接している。放射線検出装置１０１に被写体の荷重、落下に伴う衝撃等がかかった場合に、支持部材３は複数のスペーサ３１によって支持される。これにより、筐体５の底１４とホルダ部２０との間に挟み込まれているシール部材２８が過度に圧縮されることが回避される。これにより、シール部材２８の劣化を抑制でき、筐体５の内部への水の浸入、光の進入を一層確実に阻止できる。
【手続補正書】
【提出日】令和2年2月28日(2020.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電潜像担持体上の潜像を現像する現像剤担持体を有し、
該現像剤担持体の表面が以下の条件を満足することを特徴とする現像装置。
摩擦係数が０．３５以上０．９以下
周方向の表面粗さにおいて、
負荷長さ率ｔp （６０〔％〕）：２０〔％〕以上３５〔％〕以下
負荷長さ率ｔp （８０〔％〕）：５２〔％〕以上７０〔％〕以下
【請求項２】
前記現像剤担持体に現像剤を供給する現像剤供給部材を更に有し、
該現像剤供給部材のアスカーＦ硬度が４０度以上５０度以下であり、かつ、前記現像剤供給部材の前記現像剤担持体に対する食い込み量が０．４〔ｍｍ〕以上０．７〔ｍｍ〕以下である請求項１に記載の現像装置。
【請求項３】
前記現像剤担持体の抵抗値が１×１０4 〔Ω〕以上１×１０7 〔Ω〕以下であり、前記現像剤供給部材の抵抗値が１×１０4 〔Ω〕以上１×１０7 〔Ω〕以下である請求項２に記載の現像装置。
【請求項４】
前記現像剤担持体の表面の凹凸の平均間隔Ｓm が０．１２〔ｍｍ〕以上０．２３〔ｍｍ〕以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載の現像装置。
【請求項５】
前記現像剤担持体は、弾性層と該弾性層の外周面を覆う表面層とを有し、前記弾性層は、アスカーＣ硬度が５５度以上８０度以下である請求項１〜３のいずれか１項に記載の現像装置。
【請求項６】
前記現像剤は非磁性一成分の負帯電性現像剤であり、前記現像剤の粒子は、体積平均粒径が６．０〔μｍ〕、円形度が０．９６、単位重量当たりの電荷量Ｑ／Ｍが約−３５〔μＣ／ｇ〕である請求項１〜５のいずれか１項に記載の現像装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の現像装置を備える画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そのために、本発明の現像装置においては、静電潜像担持体上の潜像を現像する現像剤担持体を有し、該現像剤担持体の表面が以下の条件を満足する。
【手続補正書】
【提出日】令和2年4月23日(2020.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形量に応じた弾性力を所定方向へ加える一対の板ばねと、
前記一対の板ばねにより前記所定方向へ移動可能に支持された可動部材と、
前記所定方向において前記一対の板ばねの間で作用させる電磁力により、前記可動部材を非接触で前記所定方向へ駆動する駆動部と、
前記板ばね及び前記可動部材を内部に収納した容器と、
前記可動部材に取り付けられ、前記容器の内面とで区画した所定空間を形成し、前記所定空間の内部と外部とを前記所定方向に連通させる所定隙間を、前記内面との間に形成したダンパと、
を備える電磁アクチュエータ。
【請求項２】
前記所定方向において、前記可動部材に対して前記ダンパよりも外側に前記所定空間が形成されている、請求項１に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項３】
前記所定方向において、前記ダンパは前記可動部材の両端部に取り付けられている、請求項１又は２に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項４】
前記可動部材は、所定面において前記所定方向に所定長で開口する開口流路が形成された弁体であり、
前記所定面に対向する対向面に開口する複数のポートが、前記所定方向に前記所定長よりも短い間隔で並んで形成され、且つ前記複数のポートにそれぞれ接続された接続流路が形成された本体を備え、
前記容器は、前記本体を内部に収納している、請求項１〜３のいずれか１項に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項５】
前記所定方向において、前記ダンパは前記可動部材に対して前記板ばねよりも外側に取り付けられている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項６】
前記ダンパは、板状に形成されており、
前記所定隙間は、前記内面と前記ダンパの外周面との間に環状に形成されている、請求項５に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項７】
前記ダンパは、最も面積の大きい主面が前記所定方向に垂直となるように、前記可動部材に固定されている、請求項６に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項８】
前記駆動部により、前記可動部材が非接触で前記所定方向へ駆動された際に、前記所定隙間の大きさが一定に維持される、請求項１〜７のいずれか１項に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項９】
前記所定方向において、前記容器の端部に前記所定空間が形成されている、請求項１〜８のいずれか１項に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１０】
前記所定隙間の大きさは０．２〜５ｍｍである、請求項１〜９のいずれか１項に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１１】
変形量に応じた弾性力を所定方向へ加える一対の板ばねと、
前記一対の板ばねにより前記所定方向へ移動可能に支持され、液体の流通状態を制御する弁体と、
前記所定方向において前記一対の板ばねの間で作用させる電磁力により、前記弁体を非接触で前記所定方向へ駆動する駆動部と、
前記板ばね及び前記弁体を内部に収納した容器と、
前記弁体に取り付けられ、前記容器の内面との間に所定隙間を形成し、前記所定隙間に前記所定方向へ前記液体を通過させるダンパと、
を備える電磁アクチュエータ。
【請求項１２】
前記所定方向において、前記弁体に対して前記ダンパよりも外側に、前記容器の内面と前記ダンパとで区画された所定空間が形成されている、請求項１１に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１３】
前記所定方向において、前記ダンパは前記弁体の両端部に取り付けられている、請求項１１又は１２に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１４】
前記弁体には、所定面において前記所定方向に所定長で開口する開口流路が形成されており、
前記所定面に対向する対向面に開口する複数のポートが、前記所定方向に前記所定長よりも短い間隔で並んで形成され、且つ前記複数のポートにそれぞれ接続された接続流路が形成された本体を備え、
前記容器は、前記本体を内部に収納している、請求項１１〜１３のいずれか１項に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１５】
前記所定方向において、前記ダンパは前記弁体に対して前記板ばねよりも外側に取り付けられている、請求項１１〜１４のいずれか１項に記載の電磁アクチュエータ。
【請求項１６】
前記所定方向に垂直な平面に沿って前記ダンパが回転することを規制する位置決めピンを備える、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の電磁アクチュエータ。
【手続補正書】
【提出日】令和2年8月27日(2020.8.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方面に正極が形成され、他方面に負極が形成された、矩形の電極板を有するバイポーラ電極を準備する準備工程と、
前記電極板の各辺の縁部に沿って封止体を積層させることで、前記封止体の積層方向から見て、前記電極板の前記縁部と重なる部分と、前記電極板の外周縁よりも外周側にはみ出す部分と、を有するように前記封止体を配置する積層工程と、
電極板と前記封止体とが前記重なる部分を熱プレスすることで、前記封止体を前記電極板の前記縁部に溶着させる溶着工程と、
前記溶着工程の後、前記電極板の前記縁部に溶着された枠状の前記封止体の前記はみ出す部分の少なくとも一部を切断する切断工程と、を備える、蓄電装置の製造方法。
【請求項２】
前記電極板に前記封止体が溶着された前記バイポーラ電極とセパレータとを交互に複数枚積層することで電極積層体を形成する電極積層体形成工程を更に備え、
前記切断工程は、前記電極積層体形成工程の前に、それぞれの前記封止体に対して個別に実行される、請求項１に記載の蓄電装置の製造方法。
【請求項３】
前記切断工程では、前記矩形の電極板の縁部に溶着された一対の長辺と一対の短辺を有する矩形枠状の前記封止体の少なくとも前記長辺に対応する前記はみ出す部分が切断される、請求項１又は２に記載の蓄電装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年8月28日(2020.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方面に正極が形成され、他方面に負極が形成された電極板を有するバイポーラ電極を準備する準備工程と、
前記電極板の縁部に沿って封止体を積層させる積層工程と、
プレス部材と熱付与部材とによって、前記封止体の積層方向から見て前記封止体と前記電極板との重なり部分をプレスしつつ、前記熱付与部材が前記電極板及び前記封止体に熱を付与することで、前記封止体を前記電極板に溶着させる溶着工程、を備え、
前記溶着工程では、
前記プレス部材は、前記封止体が配置された前記電極板の縁部において、前記封止体が配置されている側にて前記封止体と対向するように配置され、
前記熱付与部材は、前記封止体が配置された前記電極板の縁部において、プレス時に前記電極板と当接するように、前記封止体が配置されている側とは反対側に配置され、
前記熱付与部材は、前記積層方向から見て、前記重なり部分に対応する電極板当接部と、前記電極板当接部に連続して前記電極板の外周縁よりも外周側に位置するはみ出し部と、を有し、
前記熱付与部材は、前記電極板当接部に、プレス時に前記電極板の外周縁と接触する平面領域を有する、蓄電装置の製造方法。
【請求項２】
前記電極板は、前記一方面及び前記他方面のうち一方から切断具を押し付けて母材を切断することによって形成され、
前記溶着工程では、前記一方面及び前記他方面の前記一方に前記封止体を積層させる、請求項１に記載の蓄電装置の製造方法。
【請求項３】
前記封止体が溶着された前記バイポーラ電極とセパレータとを交互に積層して電極積層体を形成する電極積層体形成工程と、
積層された前記電極積層体を金型内に配置して、樹脂の射出成形によって前記封止体を包囲するように二次封止体を形成する二次封止体形成工程と、を更に備える、請求項１又は２に記載の蓄電装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】令和1年12月13日(2019.12.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】転写フィルム
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本開示は、転写フィルムに関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
（参考例）
転写フィルムとして厚さが５０μｍのＰＥＴフィルムを用いた。転写フィルムを剥離した後の絶縁保護層の表面は艶消し表面となっていた。転写フィルムの絶縁保護層形成面におけるＳｖは５．９μｍ、Ｓｚは９．６μｍ、Ｓａは０．６９μｍであった。Ｓｖの変動係数は０．０７、Ｓｚの変更係数は０．０９であった。剥離強度の最小値は０．９８Ｎ／５０ｍｍ、最大値は１．５０Ｎ／５０ｍｍ、平均値は１．２５Ｎ／５０ｍｍであった。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
【表１】
2019145769.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に樹脂層を形成して所定の形状を転写する転写フィルムであって、
前記樹脂層を形成する面は、最大谷深さ（Ｓｖ）が１μｍ以上、５μｍ以下、最大高さ（Ｓｚ）が２μｍ以上、９ｍ以下であり、最小自己相関長さ（Ｓａｌ）が８．５μｍ以上、２０μｍ以下である、転写フィルム。
【請求項２】
前記樹脂層を形成する面における最大谷深さ（Ｓｖ）の変動係数及び最大高さ（Ｓｚ）の変動係数は、０．２以下である、請求項１に記載の転写フィルム。
【請求項３】
前記樹脂層を形成する面における突出谷部とコア部を分離する負荷面積率（Ｓｍｒ２）は９０％以上である、請求項１又は２に記載の転写フィルム。
【請求項４】
微粒子を含有している、請求項１〜３のいずれか１項に記載の転写フィルム。
【手続補正書】
【提出日】令和2年9月30日(2020.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマ処理装置のチャンバの中で支持台上に載置された基板のエッジを囲むフォーカスリングの上面の高さ方向の位置を設定する工程と、
設定された前記フォーカスリングの前記上面の前記高さ方向の前記位置を維持した状態で、前記基板に対してプラズマ処理を行うために前記チャンバの中でプラズマを生成する工程と、
前記プラズマの生成中に、設定された前記フォーカスリングの前記上面の前記高さ方向の前記位置を維持した前記状態において、前記フォーカスリングに負極性の直流電圧を印加する工程と、
を含み、
設定する前記工程では、前記支持台上の搭載領域上に搭載された前記フォーカスリングの前記上面の前記高さ方向の位置が前記支持台上に載置された前記基板の上面の前記高さ方向の位置である基準位置よりも低くなるように設定された厚みを有する該フォーカスリングを、前記チャンバの中に運び入れて、前記基板のエッジを囲むように前記搭載領域上に載置するか、又は、前記フォーカスリングの前記上面の前記高さ方向の前記位置が前記基準位置よりも低くなるように前記チャンバの中でフォーカスリングを移動させる、
プラズマ処理方法。
【請求項２】
前記基板は、膜及び該膜上に設けられたマスクを有し、
該プラズマ処理方法は、
前記膜及び前記マスクを有する別の基板に対して前記プラズマ処理を行う工程と、
前記プラズマ処理によって前記別の基板のエッジ領域内で前記膜に形成された開口の傾斜量を測定する工程と、
を更に含み、
前記負極性の直流電圧の電圧値は前記傾斜量に応じて決定される、
請求項１に記載のプラズマ処理方法。
【請求項３】
前記傾斜量は、前記膜に形成された前記開口の垂直方向に対する傾斜角である、請求項２に記載のプラズマ処理方法。
【請求項４】
前記傾斜量は、前記膜に形成された前記開口の上端と下端との水平方向におけるずれ量である、請求項２に記載のプラズマ処理方法。
【請求項５】
前記別の基板の前記エッジ領域内で前記膜に形成された前記開口が、垂直方向に対して内向きに傾斜した方向に延びている場合に、プラズマを生成する前記工程において処理される前記基板の前記エッジ領域に対するイオンの入射方向が、外向きに傾斜した方向となるように、前記負極性の直流電圧の前記電圧値が決定される、請求項２〜４の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。
【請求項６】
前記別の基板の前記エッジ領域内で前記膜に形成された前記開口が、垂直方向に対して外向きに傾斜した方向に延びている場合に、プラズマを生成する前記工程において処理される前記基板の前記エッジ領域に対するイオンの入射方向が、内向きに傾斜した方向となるように、負極性の直流電圧の電圧値が決定される、請求項２〜４の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。
【請求項７】
前記負極性の直流電圧の前記電圧値は、前記傾斜量と前記負極性の直流電圧の前記電圧値との間の関係を予め定めたテーブル又は関数を用いて決定される、請求項２〜６の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。
【請求項８】
前記基板は、膜及び該膜上に設けられたマスクを有し、
該プラズマ処理方法は、前記基板のエッジ領域における前記マスクの開口の傾斜量を測定する工程を更に含み、
前記負極性の直流電圧の電圧値は前記傾斜量に応じて決定される、
請求項１に記載のプラズマ処理方法。
【請求項９】
前記傾斜量は、前記マスクの前記開口の垂直方向に対する傾斜角である、請求項８に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１０】
前記傾斜量は、前記マスクの前記開口の上端と下端との水平方向におけるずれ量である、請求項８に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１１】
前記基板の前記エッジ領域内で前記マスクの前記開口が垂直方向に対して内向きに傾斜した方向に延びている場合に、前記基板の前記エッジ領域に対するイオンの入射方向が、外向きに傾斜した方向となるように、前記負極性の直流電圧の前記電圧値が決定される、請求項８〜１０の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１２】
前記基板の前記エッジ領域内で前記マスクの前記開口が垂直方向に対して外向きに傾斜した方向に延びている場合に、前記基板の前記エッジ領域に対するイオンの入射方向が、内向きに傾斜した方向となるように、前記負極性の直流電圧の前記電圧値が決定される、請求項８〜１０の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１３】
前記負極性の直流電圧の前記電圧値は、前記傾斜量と前記負極性の直流電圧の前記電圧値との間の関係を予め定めたテーブル又は関数を用いて決定される、請求項８〜１２の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１４】
前記傾斜量は、前記プラズマ処理装置の外部に設けられた測定器によって測定される、請求項２〜１３の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１５】
前記傾斜量は、前記プラズマ処理装置に設けられた測定器によって測定される、請求項２〜１３の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。
【請求項１６】
前記マスクは、レジストマスクである、請求項２〜１５の何れか一項に記載のプラズマ処理方法。
【手続補正書】
【提出日】令和2年10月20日(2020.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を回転させる基板回転機構と、
回転される前記基板の所定面に向かって超音波洗浄液を噴射する第１ノズルおよび第２ノズルと、を備え、
前記第１ノズルと前記第２ノズルは、１つの筐体に保持されており、
前記第１ノズルおよび／または前記第２ノズルは、回転される前記基板のべべルに前記基板の接線方向に超音波洗浄液を噴射する、基板洗浄装置。
【請求項２】
前記第１ノズルからの超音波洗浄液と前記第２ノズルからの超音波洗浄液は、互いに混ざり合った後に前記所定面に達するか、前記所定面に達した後に互いに混ざり合う、請求項１に記載の基板洗浄装置。
【請求項３】
前記第１ノズルと前記第２ノズルは旋回軸を中心に旋回するアームの先端に取り付けられ、前記基板の第１面に超音波洗浄液を噴射する、請求項１または２に記載の基板洗浄装置。
【請求項４】
前記第１ノズルは回転される前記基板の第１面に超音波洗浄液を噴射し、
前記第２ノズルは回転される前記基板の前記第１面と反対側の第２面に超音波洗浄液を噴射する、請求項１に記載の基板洗浄装置。
【請求項５】
前記第１ノズルおよび／または前記第２ノズルは、回転される前記基板のエッジ部分に超音波洗浄液を噴射する、請求項１に記載の基板洗浄装置。
【請求項６】
前記エッジ部分に超音波洗浄液を噴射する前記第１ノズルおよび／または前記第２ノズルは、超音波洗浄液が、回転される前記基板のべべルには当たらず前記基板のエッジ部分に着液し、その後、エッジ部分から中心に向かうように超音波洗浄液を噴射する、請求項５に記載の基板洗浄装置。
【請求項７】
前記エッジ部分に超音波洗浄液を噴射する前記第１ノズルおよび／または前記第２ノズルは、超音波洗浄液が、回転される前記基板のエッジ部分より中心側に着液し、その後、エッジ部分に向かうように超音波洗浄液を噴射する、請求項５に記載の基板洗浄装置。
【請求項８】
前記ベベルに超音波洗浄液を噴射する前記第１ノズルおよび／または前記第２ノズルは、前記基板の水平面内で前記基板の第１接線方向および第２接線方向の内側の範囲で移動可能に支持され、
超音波洗浄液が、前記基板のベベルに、前記第１接線方向および前記第２接線方向に噴射される、請求項１に記載の基板洗浄装置。
【請求項９】
前記第１ノズルおよび前記第２ノズルは、前記基板回転機構の近傍を揺動しながら前記基板のエッジ部分に超音波洗浄液を噴射する、請求項１に記載の基板洗浄装置。
【請求項１０】
基板を回転させる基板回転機構と、
回転される前記基板の所定面に向かって超音波洗浄液を噴射する第１ノズルおよび第２ノズルと、
前記筐体に接続され、前記第１ノズルおよび前記第２ノズルに洗浄液を供給する流路と、
前記流路から供給された洗浄液に超音波を付与する振動子と、
前記流路に接続され、洗浄液にマイクロバブルを導入するマイクロバブル供給機構と、を備え、
前記第１ノズルと前記第２ノズルは、１つの筐体に保持されている、基板洗浄装置。
【請求項１１】
前記第１ノズルおよび前記第２ノズルと、前記マイクロバブル供給機構と、の間に設置され、前記マイクロバブル供給機構により導入されたマイクロバブルを除去するように構成されたフィルタをさらに備える、請求項１０に記載の基板洗浄装置。
【請求項１２】
基板を回転させながら、前記基板の所定面に向かって、１つの筐体に保持された第１ノズルおよび第２ノズルから超音波洗浄液を噴射する、基板洗浄方法。
【請求項１３】
前記第１ノズルから噴射される超音波洗浄液と前記第２ノズルから噴射される超音波洗浄液は、超音波洗浄液の周波数、電力、流量、温度および液の種類のうちの少なくとも１つが互いに異なる、請求項１２に記載の基板洗浄方法。