(57)【要約】  紫外線ランプの使用状態に応じた冷却を、簡素な構成で実現する。  紫外線ランプ（６）と、その紫外線ランプ（６）を収納する装置筐体（１）の内部に流れる冷却風を生成する冷却風生成手段（ＣＧ）と、紫外線ランプ（６）の出射紫外線が前記装置筐体（１）の外部へ出射されるのを許容する開き姿勢と外部へ出射されるのを阻止する閉じ姿勢とに切り換え操作されるシャッタ（４ａ）とが備えられた紫外線照射装置において、前記紫外線ランプ（６）は、前記シャッタ（４ａ）が前記閉じ姿勢のときの紫外線出力が前記開き姿勢のときの紫外線出力よりも小さい出力に設定され、前記シャッタ（４ａ）は、前記冷却風生成手段（ＣＧ）により生成される冷却風の流路の途中箇所に配置されると共に、前記閉じ姿勢において前記紫外線ランプ（６）に至る前記冷却風の流路を遮り、前記開き姿勢において前記紫外線ランプ（６）に至る前記冷却風の流路を開放するように構成されている。
2011122257.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線ランプと、
その紫外線ランプを収納する装置筐体の内部に流れる冷却風を生成する冷却風生成手段と、
紫外線ランプの出射紫外線が、前記装置筐体の外部へ出射されるのを許容する開き姿勢と、外部へ出射されるのを阻止する閉じ姿勢と、に切り換え可能なシャッタと、
が備えられた紫外線照射装置であって、
前記シャッタが前記閉じ姿勢のときの紫外線ランプの出力は、前記シャッタが前記開き姿勢のときの出力よりも小さい出力に設定され、
前記シャッタは、前記冷却風生成手段により生成される冷却風の流路の途中箇所に配置されると共に、前記閉じ姿勢において前記冷却風が前記紫外線ランプに至る流路に進出し、前記開き姿勢において前記冷却風が前記紫外線ランプに至る流路から引退するように構成されている紫外線照射装置。
【請求項２】
前記冷却風生成手段は、前記装置筐体に形成されている外気の吸気口から外部の空気を吸引するように配置され、吸引した空気を前記装置筐体の内部へ送風するように構成され、
前記装置筐体は、前記紫外線ランプが配置されたランプ室と、前記冷却風生成手段が配置された送風室とが隣り合う状態で配置され、
前記送風室と前記ランプ室との境界位置に、前記送風室を経由した後に前記ランプ室に流入するように、前記冷却風を通過させる通風用の隙間が形成され、
前記シャッタは、前記ランプ室における前記通風用の隙間から流入した前記冷却風が、前記紫外線ランプに至る流路に出退可能に配置されている請求項１記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
前記通風用の隙間は、複数に分割されている請求項２記載の紫外線照射装置。
【請求項４】
前記送風室に前記シャッタを開閉駆動するための駆動手段が備えられている請求項２又は３記載の紫外線照射装置。
【請求項５】
前記駆動手段が、前記紫外線ランプの出射紫外線を遮る紫外線遮蔽部材に覆われて構成されている請求項４記載の紫外線照射装置。
【請求項６】
前記紫外線ランプは略棒状に形成され、
前記紫外線ランプの一端側の電極形成部が、前記ランプ室と前記送風室との間の壁体を貫通して、前記送風室内に入り込んだ姿勢で設置されている請求項２〜５のいずれか１項に記載の紫外線照射装置。
【請求項７】
前記送風室内に入り込んだ姿勢で設置されている前記紫外線ランプの前記電極形成部が、前記冷却風生成手段からの冷却風を遮る冷却風遮蔽部材に覆われて構成されている請求項６記載の紫外線照射装置。
【請求項８】
前記装置筐体が略直方体形状に形成され、
前記外気の吸気口と、前記ランプ室を通過した冷却風の排気口とが、前記装置筐体の１つの面に配置され、
前記紫外線ランプの出射紫外線を前記装置筐体の外部へ出射するための窓が、前記装置筐体における前記吸気口及び前記排気口の形成面と反対側の面に備えられて構成されている請求項２〜７のいずれか１項に記載の紫外線照射装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載の紫外線照射装置が組み込まれ、前記装置筐体が、プリントヘッドを走査して画像を形成する形式のインクジェットプリント装置における前記プリントヘッドに取り付けられているインクジェットプリント装置。
【請求項１０】
前記紫外線ランプの発光長が２００ｍｍ以下に形成されて構成されている請求項９記載のインクジェットプリント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線ランプと、その紫外線ランプを収納する装置筐体の内部に流れる冷却風を生成する冷却風生成手段と、紫外線ランプの出射紫外線が前記装置筐体の外部へ出射されるのを許容する開き姿勢と外部へ出射されるのを阻止する閉じ姿勢とに切り換え操作されるシャッタとが備えられた紫外線照射装置及び当該紫外線照射装置を備えたインクジェットプリント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる紫外線照射装置は、半導体素子の処理工程や各種の部材の洗浄工程等の多様な用途で用いられている。
紫外線照射装置内に配置される紫外線ランプは、高電圧が印加されて発光動作するに伴って温度上昇するため、紫外線ランプを冷却するための冷却手段が必須となる。
この冷却手段は空冷式で構成されるのが一般的であり、装置筐体内の熱気を排気ファンで排気するか、あるいは、外気を給気ファンあるいは下記特許文献１のように給気ダクトで装置筐体内に取り込んで給気することによって、紫外線ランプ、更には、装置筐体内の各部品の冷却を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−７２７００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような冷却手段で紫外線ランプを一律に冷却するのが望ましくない場合もある。
すなわち、紫外線ランプの出射紫外線の光路をシャッタにて開閉する構成の紫外線照射装置においては、通常、シャッタを閉じ状態として処理対象物へ紫外線を照射していない場合には、紫外線ランプの紫外線出力を低下させる制御を行う。【０００５】
紫外線ランプの紫外線出力を低下させた状態において、シャッタが開き状態の通常の紫外線出力の状態と同様の冷却風を供給してしまうと、紫外線ランプが過剰に冷却され、紫外線ランプの点灯状態が不安定になってしまう。
このような場合には、例えば給気ファンの回転速度を低下させる等して、冷却風生成手段による冷却能力そのものを低下させて対応することが考えられる。
ところが、冷却風生成手段により生成される冷却風は、紫外線ランプのみならず近隣の他の部品等の冷却をも担っているため、紫外線ランプの都合だけで、冷却能力を任意に変更操作することは好ましくはなく、冷却能力の調整にも制限がある。【０００６】
本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、紫外線ランプの使用状態に応じた冷却を、簡素な構成で実現する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本出願の紫外線照射装置の第１の発明は、紫外線ランプと、その紫外線ランプを収納する装置筐体の内部に流れる冷却風を生成する冷却風生成手段と、紫外線ランプの出射紫外線が、前記装置筐体の外部へ出射されるのを許容する開き姿勢と、外部へ出射されるのを阻止する閉じ姿勢と、に切り換え可能なシャッタと、が備えられた紫外線照射装置であって、前記シャッタが前記閉じ姿勢のときの紫外線ランプの出力は、前記シャッタが前記開き姿勢のときの出力よりも小さい出力に設定され、前記シャッタは、前記冷却風生成手段により生成される冷却風の流路の途中箇所に配置されると共に、前記閉じ姿勢において前記冷却風が前記紫外線ランプに至る流路に進出し、前記開き姿勢において前記冷却風が前記紫外線ランプに至る流路から引退するように構成されている。【０００８】
紫外線ランプの紫外線出力が高く、シャッタを開き姿勢としている状態では、開き姿勢のシャッタは、紫外線ランプへの冷却風の流路から引退して、紫外線ランプに十分な冷却風が到達するようにしている。
又、紫外線ランプの紫外線出力が低く、シャッタを閉じ姿勢としている状態では、閉じ姿勢のシャッタは、紫外線ランプへの冷却風の流路に進出して、紫外線ランプに過度な冷却風が当たらないようにしている。【０００９】
すなわち、シャッタの開閉と連動して紫外線ランプの出力を変化させる構成の紫外線照射装置において、開閉駆動されるシャッタ自体に、紫外線ランプに対する冷却能力の調整機能を持たせている。
しかも、その冷却能力の調整は、シャッタの姿勢変化だけで実現している。【００１０】
又、同第２の発明は、上記第１の発明の構成に加えて、前記冷却風生成手段は、前記装置筐体に形成されている外気の吸気口から外部の空気を吸引するように配置され、吸引した空気を前記装置筐体の内部へ送風するように構成され、前記装置筐体は、前記紫外線ランプが配置されたランプ室と、前記冷却風生成手段が配置された送風室とが隣り合う状態で配置され、前記送風室と前記ランプ室との境界位置に、前記送風室を経由した後に前記ランプ室に流入するように、前記冷却風を通過させる通風用の隙間が形成され、前記シャッタは、前記ランプ室における前記通風用の隙間から流入した前記冷却風が、前記紫外線ランプに至る流路に出退可能に配置されている。【００１１】
すなわち、冷却風生成手段は、外気を取り入れて冷却風を装置筐体内へ送り込む形式で冷却風を生成する。
装置筐体内の空気を吸引排気する形式のものでは、排気風が高温であるために、冷却風生成手段を耐熱仕様とする必要がありコストアップを招くのに対して、外気を装置筐体内へ送風する形式では、そのような必要がなく、コストアップを抑えることができる。【００１２】
外気を装置筐体内へ送風する形式の冷却風生成手段によって、装置筐体内に取り入れた冷却風をそのまま紫外線ランプに当ててしまうと、紫外線ランプに対する冷却風の当たり方にむらが発生し、均一な冷却が困難であるという欠点がある。
これに対して、冷却風生成手段を配置した送風室と紫外線ランプを配置したランプ室とを備えて、両者を隔てる境界位置に通風用の隙間を形成することで、その隙間部分の通過の際に冷却風が散乱され、紫外線ランプに対して風量の分布の偏りが抑制された冷却風を当てることができる。またシャッタを、通風用の隙間から流入した冷却風が紫外線ランプに至る流路に出退可能に配置することで、流路に進出した姿勢のシャッタにより紫外線ランプへの直接当る冷却風の流れを妨げる効果を向上させることができる。【００１３】
又、同第３の発明は、上記第２の発明の構成に加えて、前記通風用の隙間は、複数に分割されている。
すなわち、その隙間部分の通過の際に冷却風の散乱の程度が強くなり、紫外線ランプに対して風量の分布の偏りの程度が大きく抑制された冷却風を当てることができる。【００１４】
又、同第４の発明は、上記第２又は第３の発明の構成に加えて、前記送風室に前記シャッタを開閉駆動するための駆動手段が備えられている。
すなわち、開閉操作されるシャッタはランプ室側に配置されるが、そのシャッタを開閉駆動する駆動手段は送風室側に配置される。
これによって、送風室のスペースを部品配置に有効活用して装置筐体をコンパクトに構成できると共に、送風室に配置した前記駆動手段によっても冷却風が散乱されるため、冷却風の風量分布の偏り是正にも寄与できる。【００１５】
又、同第５の発明は、上記第４の発明の構成に加えて、前記駆動手段が、前記紫外線ランプの出射紫外線を遮る紫外線遮蔽部材に覆われて構成されている。
すなわち、紫外線ランプが出射する紫外線がシャッタを開閉駆動する駆動手段に照射されると、駆動手段を構成する機器の寿命を低下させてしまうという不都合がある。
そこで、紫外線遮蔽部材にて紫外線を遮ることで、紫外線による寿命低下を抑制することができる。
しかも、駆動手段を紫外線から守るために備えた紫外線遮蔽部材は、冷却風を散乱させる効果をも有しており、前記駆動手段と同様に、冷却風の風量分布の偏り是正に寄与できる。【００１６】
又、同第６の発明は、上記第２〜第５のいずれかの発明の構成に加えて、前記紫外線ランプは略棒状に形成され、前記紫外線ランプの一端側の電極形成部が、前記ランプ室と前記送風室との間の壁体を貫通して、前記送風室内に入り込んだ姿勢で設置されている。【００１７】
すなわち、略棒状の紫外線ランプを用いる場合、その全長をランプ室内に納めるようにすると、ランプ室の大きさが過大となってしまう。
そこで、紫外線ランプのうち紫外線発光に寄与しない電極形成部については、隣の送風室に入り込ませる状態で配置することで、スペースに余裕のある送風室を有効に活用して、ランプ室の容積を小さくすることができる。
しかも、送風室内に位置する電極形成部は、冷却風を散乱させる効果を有しており、冷却風の風量分布の偏り是正にも寄与できる。【００１８】
又、同第７の発明は、上記第６の発明の構成に加えて、前記送風室内に入り込んだ姿勢で設置されている前記紫外線ランプの前記電極形成部が、前記冷却風生成手段からの冷却風を遮る冷却風遮蔽部材に覆われて構成されている。
すなわち、送風室内は、冷却風生成手段により生成された強い冷却風が流れており、冷却効果が高い状態にある。【００１９】
その一方、紫外線ランプの電極形成部は、過剰に冷却すると紫外線ランプの点灯動作が不安定になってしまう。
そこで、冷却風遮蔽部材によって冷却効果を弱めることで、電極形成部を送風室内に位置させても、紫外線ランプを安定動作させることができる。
しかも、送風室内に位置する冷却風遮蔽部材は、冷却風を散乱させる効果を有しており、冷却風の風量分布の偏り是正にも寄与できる。【００２０】
又、同第８の発明は、上記第２〜第７のいずれかの発明の構成に加えて、前記装置筐体が略直方体形状に形成され、前記外気の吸気口と、前記ランプ室を通過した冷却風の排気口とが、前記装置筐体の１つの面に配置され、前記紫外線ランプの出射紫外線を前記装置筐体の外部へ出射するための窓が、前記装置筐体における前記吸気口及び前記排気口の形成面と反対側の面に備えられて構成されている。【００２１】
従って、冷却風の給排気のための開口は、紫外線照射用の窓と反対側に設置されているので、紫外線照射対象物が紫外線照射用の窓に接近して処理される場合でも、装置筐体に流入するあるいは流出する空気の流れによって、紫外線照射対象物の処理に悪影響を与えてしまうようなことがない。【００２２】
本出願のインクジェットプリント装置の第１の発明は、上記第１〜第８のいずれかの紫外線照射装置が組み込まれ、前記装置筐体が、プリントヘッドを走査して画像を形成する形式のインクジェットプリント装置における前記プリントヘッドに取り付けられている。
このような構成によれば、装置筐体がコンパクトに構成され、プリント動作時に高速に移動するプリントヘッドに取り付けることが可能になる。その結果、プリントヘッドを走査して画像を形成する際に、そのプリントヘッドと共に移動して、形成した画像のＵＶインクに紫外線を照射させることにより瞬時に硬化させることができる。【００２３】
又、本出願のインクジェットプリント装置の第２の発明は、上記第１の発明の構成に加えて、前記紫外線ランプの発光長が２００ｍｍ以下に形成されて構成されている。
すなわち、紫外線ランプの発光長（紫外線ランプ内における紫外線発光領域の長さ）が２００ｍｍと比較的に短い紫外線ランプを使用して、その紫外線ランプの配置等を工夫して装置筐体を一層コンパクトに構成することで、プリント動作時に高速に移動するプリントヘッドに取り付けて使用することが可能となった。
【発明の効果】
【００２４】
上記紫外線照射装置の第１の発明によれば、シャッタの開閉と連動して紫外線ランプの出力を変化させる構成の紫外線照射装置において、開閉駆動されるシャッタ自体に、紫外線ランプに対する冷却能力の調整機能を持たせると共に、その冷却能力の調整は、シャッタの姿勢変化だけで実現しているので、紫外線ランプの使用状態に応じた冷却を、簡素な構成で実現することができる。【００２５】
又、上記第２の発明によれば、冷却風生成手段の耐熱性をそれほど要求することなく、紫外線ランプに対して風量の分布の偏りが抑制された冷却風を当てることができるので、紫外線ランプを均一に冷却することができ、点灯動作を安定させることができる。
さらに、シャッタを紫外線ランプに向けた冷却風の流路に進出させることによって、冷却風の流れを妨げる効果を向上させることができるので、紫外線ランプの出力変化と冷却効果の変化とを的確に対応させることができる。【００２６】
又、上記第３の発明によれば、通風用の隙間が複数に分割されているため、冷却風の散乱の程度が高くなり、紫外線ランプを冷却する風量の分布の偏りがさらに小さくなるため、紫外線ランプがより一層均一に冷却されるようになる。【００２７】
又、上記第４の発明によれば、送風室を部品配置に有効活用して装置筐体をコンパクトに構成できると共に、冷却風の風量分布の偏り是正にも寄与できるので、紫外線ランプの安定動作と装置筐体のコンパクト化を図れる。
つまり、紫外線ランプの温度は８００〜９００℃の高温になり、装置に組み込まれるモータやセンサ等の構成部品はそれよりも十分に低い所定の耐熱温度以下に維持される必要がある。そこで、送風室にこれらの構成部品を配置すれば、冷却風の流れの上流側にモータやセンサ等の構成部品が配置され、下流側に紫外線ランプが配置されることになるので、冷却風量を十分に抑制しながら効率的に冷却できるようになる。【００２８】
又、上記第５の発明によれば、紫外線遮蔽部材にて紫外線を遮ることで、紫外線による寿命低下を抑制することができ、冷却風の風量分布の偏り是正に寄与できるので、紫外線照射装置の性能を一層向上させることができる。
又、上記第６の発明によれば、ランプ室の容積を小さくして装置筐体をコンパクト化することができ、しかも、冷却風の風量分布の偏り是正にも寄与できるので、紫外線照射装置の性能を更に向上させることができる。【００２９】
又、上記第７の発明によれば、冷却風遮蔽部材によって紫外線ランプを安定動作させることができ、しかも、冷却風の風量分布の偏り是正にも寄与できるので、紫外線照射装置の性能を更に向上させることができる。【００３０】
又、上記第８の発明によれば、装置筐体に流入するあるいは流出する空気の流れによって、紫外線照射対象物の処理に悪影響を与えてしまうようなことがないので、紫外線照射装置を多様な用途で便利に使用することができる。【００３１】
上記インクジェットプリント装置の第１の発明によれば、プリントヘッドに取り付けることが可能なコンパクトな紫外線照射装置によって、プリントヘッドと共に移動して、プリントヘッドで形成した画像のＵＶインクに紫外線を照射して瞬時に硬化させることが可能になる。【００３２】
又、上記インクジェットプリント装置の第１の発明によれば、比較的に短い紫外線ランプを使用して、更に、その紫外線ランプの配置等を工夫して装置筐体をコンパクトに構成することで、プリントヘッドに極めて容易に取り付けることが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】図1は本発明の実施の形態にかかる紫外線照射装置の内部構成を正面視で示す図
【図２】図2は本発明の実施の形態にかかる紫外線照射装置の内部構成を側面視で示す図
【図３】図3は本発明の実施の形態にかかる紫外線照射装置の平面視による外観を示す図
【図４】図4は本発明の実施の形態にかかる要部拡大図
【図５】図5は本発明の実施の形態にかかる要部拡大図
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の紫外線照射装置の実施の形態を図面に基づいて説明する。
本実施の形態の紫外線照射装置ＵＲは、業務用のインクジェットプリント装置のプリントヘッドに取り付けられて使用されるものであり、プリントヘッドを走査して画像を形成する際に、そのプリントヘッドと共に移動して、形成した画像のＵＶインクに紫外線を照射させることにより瞬時に硬化させる。
【００３５】
図１には、紫外線照射装置の装置筐体の正面側のカバーを外した状態の内部構造が示されている。紫外線照射装置ＵＲは、直方体形状の装置筐体１を有し、送風ユニット２と、ランプユニット３と、シャッタユニット４と、排気ダクト５とを主要部として構成されている。これらのユニットは、ユニット同士が連結されているか、あるいは、図示を省略する固定部材によって装置筐体１内に固定されている。
【００３６】
図３には、図１において矢印Ａで示す方向視での装置筐体１の外観が示されている。装置筐体１の上面には、外気の吸気口１ａと冷却風の排気口１ｂとが形成されている。
送風ユニット２は、吸気口１ａに近接して、より具体的には、送風ユニット２の上端が吸気口１ａに近接する状態で配置され、送風ユニット２の回転羽根体２ａが吸気口１ａを通して装置筐体１の外部に露出している。
送風ユニット２は、回転羽根体２ａの回転によって装置筐体１の外部の空気を吸引して装置筐体１の内部に送風する。これによって、送風ユニット２は、後述の紫外線ランプ６を収納する装置筐体１の内部に流れる冷却風を生成する冷却風生成手段ＣＧとして機能する。
【００３７】
排気口１ｂの直下には排気ダクト５が取り付けられている。
排気口１ｂからは、排気ダクト５の最上部に位置する遮光部材５ａが装置筐体１の外部に露出している。遮光部材５ａは、短冊状の金属板を正面視（図１参照）でくの字状（dog-leg shaped）に配置して、冷却風の通風を許容すると共に、ランプユニット３から漏れる紫外線が装置筐体１の外部に漏れ出るのを極力抑制する。
【００３８】
図１及び図２に示すように、ランプユニット３は、略棒状の外形形状を有する紫外線ランプ６と、紫外線ランプ６の出射紫外線を装置筐体１の底面側（図１において矢印Ｃで示す側）に向けて集光する一対の反射ミラー７ａ，７ｂと、その反射ミラー７ａ，７ｂを夫々支持する一対のミラーホルダ８ａ，８ｂとを主要部として構成されており、これらが、平面視で口の字状（Box-shaped）の枠体３ａに囲まれる状態で配置されている。
尚、図２（ａ）は、側面視（矢印Ｂ方向視）で装置筐体１の側面カバー１ｃを外した状態を示しており、図２（ｂ）は、装置筐体１の幅方向中央付近での断面図を示している。図２（ｂ）では、図面を見易くするために、装置筐体１のカバー部分等の細部においては断面を示す斜線の表記を適宜に省略している。
更に、図１では、枠体３ａにおける正面側の縦壁部分を取り外した状態で、ミラーホルダ８ａを示している。
【００３９】
紫外線ランプ６は、図１において破線で示すように、紫外線発光に寄与する部分が円筒形状で、全体として略棒状の外形形状を有している。紫外線ランプ６の長手方向両端部には、放電用の高電圧を印加するための一対の電極６ａ，６ｂが振り分けて配置されており、紫外線ランプ６の長手方向両端部が電極形成部ＥＰとなっている。
この両端の電極形成部ＥＰは、ランプユニット３の枠体３ａにおける側面側の縦壁部分３１，３２を貫通して、ランプユニット３の外部へ突出している。
本実施の形態では、上述のように、紫外線照射装置ＵＲをインクジェットプリント装置のプリントヘッドに取り付ける関係で、装置構成の小型化が図られており、紫外線ランプ６も、発光長が２００ｍｍ以下の小型のものが使用されている。
【００４０】
電極６ａ，６ｂは、板ばねにて形成される端子３ｃ，３ｄに支持されている。
図２（ａ）に示すように、枠体３ａにおける送風ユニット２側の縦壁部分３１には側面視で略コの字状（U-shaped）の冷却風遮蔽部材９が取り付けられ、一対の端子３ｃ，３ｄのうちの送風ユニット２の下方位置に位置する端子３ｃは、その冷却風遮蔽部材９内に取り付けられている。
冷却風遮蔽部材９は、コの字の開放側を下方に向ける姿勢で取り付けられており、この冷却風遮蔽部材９で電極形成部ＥＰを覆うことによって、送風ユニット２から送風される冷却風を遮り、冷却風が電極形成部ＥＰに直接当たるのを防いでいる。これによって、電極形成部ＥＰが送風ユニット２からの強い冷却風によって過度に冷却されてしまうのを防止している。
【００４１】
シャッタユニット４は、紫外線ランプ６の出射紫外線をシャッタユニット４の直下に位置する窓１０から出射するか否かを切り換え操作するためのユニットである。石英製の窓１０は、吸気口１ａ及び排気口１ｂが形成された装置筐体１の上面とは反対側の底面に取り付けられているため、出射紫外線により処理する処理対象物が吸気口１ａや排気口１ｂでの冷却風の出入りに影響されないようになっている。
【００４２】
シャッタユニット４には、長方形の金属製の板材を浅い角度で３段に同側に屈曲させた形状のシャッタ４ａと、そのシャッタ４ａを開閉駆動する駆動手段ＤＭであるモータ４ｂとが主要部として備えられている。
シャッタ４ａは、平面視で略コの字状（U-shaped）に作製された枠体４ｃに囲まれるように配置され、図２（ｂ）において実線で示す姿勢では、起立姿勢のシャッタ４ａが枠体４ｃのコの字の開放側を塞ぐに位置に位置する。
【００４３】
このシャッタ４ａが起立姿勢の状態が、シャッタ４ａの開き姿勢に相当し、詳細な説明は省略するが、枠体４ｃ及びシャッタ４ａにおける、枠体４ｃ及びシャッタ４ａで囲まれる空間に面する各面は鏡面仕上げがなされており、紫外線ランプ６から出射した紫外線の損失を防いでいる。
尚、図１では、この枠体４ｃの前面側の縦壁を省略して図示し、起立姿勢のシャッタ４ａを示している。
【００４４】
モータ４ｂは、シャッタ４ａと枠体４ｃとで囲まれる空間の外側の送風ユニット２の下方位置に配置されている。モータ４ｂの設置位置の上部には、紫外線遮蔽部材４６が取り付けられ、直上に位置する電極形成部ＥＰから漏れる紫外線で、モータ４ｂや関連部品の寿命が短くなってしまうのを防いでいる。
減速機を通したモータ４ｂの回転軸４１は、枠体４ｃを貫通して、シャッタ４ａの端部に取り付けられた固定部材４２に取り付けられている。
更に、固定部材４２の存在側と反対側の端部に取り付けられた固定部材４３にも回転軸４４が取り付けられ、回転軸４４は、枠体４ｃの縦壁を貫通して、軸受け４５に回転自在に支持されている。
回転軸４１と回転軸４４とは共通の回転軸芯上に配置され、固定部材４２と固定部材４３とは起立姿勢のシャッタ４ａの下端付近に取り付けられて、モータ４ｂの駆動によってシャッタ４ａを遥動駆動する構成としている。
【００４５】
モータ４ｂの回転駆動によって、シャッタ４ａは、図２（ｂ）において実線で示す起立姿勢と、２点鎖線で示す略水平姿勢とに切り換え駆動される。
実線で示す起立姿勢が上述のようにシャッタ４ａの開き姿勢であり、シャッタ４ａは、この開き姿勢において、紫外線ランプ６の出射紫外線がシャッタユニット４の直下に位置する石英製の窓１０から装置筐体１の外部へ出射されるのを許容する。
一方、図２（ｂ）で２点鎖線で示す略水平姿勢がシャッタ４ａの閉じ姿勢であり、この閉じ姿勢では、シャッタ４ａが紫外線ランプ６側に向けて凸となる姿勢になっている。シャッタ４ａは、その閉じ姿勢において、紫外線ランプ６から出射した紫外線を遮って、窓１０から装置筐体１の外部へ紫外線が出射されるのを阻止する。
【００４６】
詳細な説明は省略するが、紫外線ランプ６に印加される電力は、図示を省略する駆動回路の制御によって、シャッタ４ａの開閉と連動して高低の２段階に変化する。すなわち、シャッタ４ａが閉じ姿勢のときの紫外線出力が、開き姿勢のときの紫外線出力よりも小さい出力に設定され、閉じ姿勢のときの紫外線ランプ６への印加電力は、開き姿勢のときの紫外線ランプ６への印加電力よりも小さい電力に制御されている。
【００４７】
装置筐体１内における、送風ユニット２，ランプユニット３，シャッタユニット４及び排気ダクト５の配置は、冷却風の流れによって区分けをすると、ランプユニット３及びシャッタユニット４における枠体３ａ，４ｃで区画される内部空間、並びに、排気ダクト５で区画される内部空間が一連に連なって、主な冷却対象である紫外線ランプ６が配置されるランプ室ＲＲを構成している。
一方、送風ユニット２の配置側は、それの下方側箇所において、ランプユニット３の枠体３ａにおける送風ユニット２側の縦壁部分３１とシャッタユニット４の枠体４ｃにおける送風ユニット２側の縦壁部分４０とによって区画される空間を形成しており、この空間が、送風ユニット２に設置箇所を含めて、送風ユニット２にて生成された冷却風をランプユニット３に送るための送風室ＡＲを構成している。
【００４８】
この送風室ＡＲとランプ室ＲＲとの区分で、両者の構成部品の配置関係を表現すると、モータ４ｂは、シャッタユニット４の構成部品であるが、ランプ室ＲＲではなく、送風室ＡＲ側に配置されている位置関係にある。又、ランプユニット３の備えられる紫外線ランプ６の電極形成部ＥＰのうち、一端側の電極形成部が、ランプ室ＲＲと送風室ＡＲとの間の壁体、すなわち、枠体３ａの縦壁部分３１を貫通して送風室ＡＲに入り込んだ姿勢で配置される関係となっている。
【００４９】
紫外線ランプ６が配置されたランプ室ＲＲと、送風ユニット２が配置された送風室ＡＲとは、枠体３ａ，４ｃの縦壁部分３１，４０に隔てられて隣り合う状態で配置されており、送風室ＡＲとランプ室ＲＲとの境界位置には、冷却風を通過させる多数の（複数に分割された）通風用の隙間が形成されている。
具体的には、送風室ＡＲとランプ室ＲＲとの間における枠体３ａ，４ｃの縦壁部分３１，４０が存在する境界位置には、各ユニットを組み付けて構成している関係で、多数の（複数に分割された）隙間が存在し、送風ユニット２から送風室ＡＲ内に送られた冷却風は、それらの隙間を通過してランプ室ＲＲ内に至る。
【００５０】
送風ユニット２は二重反転式ファンを備えており、この送風ユニット２からの送風は、非常に高速で且つ風量が多い。
このため、送風ユニット２から送り出された冷却風のうちの大きな割合の部分は、送風室ＡＲの底部のモータ４ｂの取り付け位置まで至り、図４において符号なしの矢印で冷却風の流れの向きを示すように、送風室ＡＲの底部付近に存在する隙間からランプ室ＲＲ内へ流入する。
【００５１】
ランプ室ＲＲ内に流入した冷却風は、シャッタ４ａが開き姿勢（起立姿勢）の状態では、図１，図２（ｂ）及び図５において符号のない矢印で冷却風の流れの方向を示すように、起立姿勢のシャッタ４ａと枠体４ｃとで囲まれる広い空間をランプユニット３に向かって上昇する。従って、シャッタ４ａは、送風ユニット２にて生成された冷却風の流路の途中個所に配置されていることになり、シャッタ４ａが開き姿勢となっているときは、図２（ｂ）に示すように、紫外線ランプ６に至る冷却風の流路を広く開放している。
【００５２】
送風ユニット２から送り出された強い冷却風は、上述のような送風室ＡＲとランプ室ＲＲとの境界位置に存在する複数に分割された隙間を経てランプ室ＲＲに至ること、更には、冷却風遮蔽部材９，モータ４ｂ及び紫外線遮蔽部材４６等の送風室ＡＲ内に配置されている部材に当たることから、散乱された状態でランプ室ＲＲに進入する。ランプ室ＲＲに進入した後、更に、シャッタユニット４を上昇して、紫外線ランプ６の設置箇所に至るときには、冷却風の風量の位置的（場所的な）な偏りが抑制された状態となっている。
これによって、紫外線ランプ６を均一に冷却することができる。
【００５３】
つまり、シャッタ４ａは、冷却風生成手段により生成される冷却風の流路の途中箇所に配置されると共に、閉じ姿勢において冷却風が紫外線ランプに至る流路に進出し、開き姿勢において冷却風が紫外線ランプに至る流路から引退するように構成されている。
【００５４】
紫外線ランプ６の設置箇所を通過した冷却風は、図２（ｂ）及び図５に示すように、紫外線ランプ６の直上に位置する、一対の反射ミラー７ａ，７ｂの上端部のスリット状の隙間を通過して、排気ダクト５へ至り、遮光部材５ａと排気口１ｂとを通過して装置筐体１の外部へと排出される。
【００５５】
一方、図４において破線で示すシャッタ４ａが閉じ姿勢となっている状態では、シャッタ４ａはランプ室ＲＲにおける前記通風用の隙間に隣接して配置される位置関係にある。従って、図４において符号のない矢印で示す冷却風の流れは、前記通風用の隙間を通過してランプ室ＲＲ内に流入した後、閉じ姿勢のシャッタ４ａに進路を阻止される。すなわち、閉じ姿勢のシャッタ４ａは紫外線ランプ６に至る冷却風の流路を遮っている。閉じ姿勢のシャッタ４ａによって進路を遮られた冷却風は他所へ流出し、紫外線ランプ６に至る冷却風の風量が低下する。
【００５６】
しかしながら、上述のように、シャッタ４ａが閉じ姿勢のときには、紫外線ランプ６の紫外線出力が低下している。この低出力の状態でシャッタ４ａが開き状態と同様の強い冷却風で紫外線ランプ６を冷却すると、過剰な冷却となって紫外線ランプ６の動作が不安定になってしまう。
これに対して、上記のようにシャッタ４ａが閉じ姿勢のときには紫外線ランプ６に至る冷却風の風量を低下させることで、紫外線ランプ６の安定動作を確保しながら適切な冷却を行うことができる。
【００５７】
〔別実施形態〕
以下、本発明の別実施形態を列記する。
（１）上記実施の形態では、送風ユニット２として、二重反転式のファンを例示しているが、ブロア式の送風装置を用いる等、冷却風生成手段ＣＧの具体構成は、種々に変更可能である。
（２）上記実施の形態では、紫外線ランプ６として、紫外線発光に寄与する部分が円筒形状のものを例示しているが、紫外線ランプ６の具体形状は種々に変更可能であり、例えば、長手方向中央部にのみ発光領域が存在する形状の紫外線ランプを用いても良い。
（３）上記実施の形態では、シャッタ４ａの構成として、１枚の板材を浅い角度で３段に緩やかに屈曲形成して、そのシャッタ４ａを遥動操作する場合を例示しているが、シャッタ４ａの具体形状は種々に変更可能であり、例えば、短冊状のシャッタ板を複数個横並びで配列して、各シャッタ板を回転駆動することで、閉じ姿勢と開き姿勢とに切り換えるような構成としても良い。
（４）上記実施の形態では、送風室とランプ室との境界位置に、送風室を経由した後にランプ室に流入するように、冷却風を通過させる複数に分割された通風用の隙間が形成されている例を説明したが、通風用の隙間の形状や数は特に制限されるものではなく、単一の隙間であってもよい。
また、シャッタは、ランプ室における通風用の隙間から流入した冷却風が、紫外線ランプに至る流路に出退可能に配置されていればよく、出射紫外線が外部に照射されるのを遮る部位と冷却風の流れに影響を与える部位とが異なるように構成されていてもよい。
【符号の説明】
【００５８】
１          装置筐体
１ａ        吸気口
１ｂ        排気口
４ａ        シャッタ
６          紫外線ランプ
６ａ，６ｂ  電極
９          冷却風遮蔽部材
４６        紫外線遮蔽部材
ＡＲ        送風室
ＣＧ        冷却風生成手段
ＤＭ        駆動手段
ＥＰ        電極形成部
ＲＲ        ランプ室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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