(57)【要約】  スラリーポンプを運転しない間に、インペラケーシング内のスラリーが固形化してインペラの回転が拘束されてしまうことを防止することが可能なスラリーポンプを提供すること。  貯留されたスラリーを汲み上げるスラリーポンプであって、スラリー中に浸漬される吊下管と、前記吊下管の下端に接続されると共にスラリー吸引口とスラリー吐出口を有するインペラケーシングと、前記インペラケーシング内部に配設されたインペラと、その上端がモータの回転軸に連結されると共に前記吊下管内を貫通しその下端が前記インペラに連結された主軸とを備え、前記スラリー吐出口に接続された吐出管にエア配管が接続されると共に該吐出管を介して前記インペラケーシング内にエアが供給されて内部のスラリーが排出されるようにした。
2011024586.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留されたスラリーを汲み上げるスラリーポンプであって、スラリー中に浸漬される吊下管と、前記吊下管の下端に接続されると共にスラリー吸引口とスラリー吐出口を有するインペラケーシングと、前記インペラケーシング内部に配設されたインペラと、その上端がモータの回転軸に連結されると共に前記吊下管内を貫通しその下端が前記インペラに連結された主軸とを備え、前記スラリー吐出口に接続された吐出管にエア配管が接続されると共に該吐出管を介して前記インペラケーシング内にエアが供給されて内部のスラリーが排出されるようにしたことを特徴とするスラリーポンプ。
【請求項２】
前記吐出管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のスラリーポンプ。
【請求項３】
前記吊下管にエア配管が接続されて該吊下管内部にエアが供給されるようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載のスラリーポンプ。
【請求項４】
前記吊下管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のスラリーポンプ。
【請求項５】
貯留されたスラリー中に浸漬される吊下管と、前記吊下管の下端に接続されると共にスラリー吸引口とスラリー吐出口を有するインペラケーシングと、前記インペラケーシング内部に配設されたインペラと、その上端がモータの回転軸に連結されると共に前記吊下管内を貫通しその下端が前記インペラに連結された主軸と、前記砥液吐出口に接続された吐出管を介して前記インペラケーシング内部にエアが供給されるように該吐出管に接続されたエア配管とを備えたスラリーポンプの運転方法であって、前記インペラの回転が停止されると、前記エア配管および前記吐出管を介して前記インペラケーシング内部にエアが供給されて内部のスラリーが排出されるようにしたことを特徴とするスラリーポンプの運転方法。
【請求項６】
前記吐出管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられていると共に、前記インペラの回転が始動する前に前記エア抜き弁が開栓されるようにしたことを特徴とする請求項５に記載のスラリーポンプの運転方法。
【請求項７】
前記吊下管内部にエアが供給されるように該吊下管に接続されたエア配管を備えると共に、前記インペラの回転が停止されると、前記エア配管を介して前記吊下管内部にエアが供給されるようにしたことを特徴とする請求項５または６に記載のスラリーポンプの運転方法。
【請求項８】
前記吊下管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられていると共に、前記インペラの回転が始動する前に前記エア抜き弁が開栓されるようにしたことを特徴とする請求項７に記載のスラリーポンプの運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タンクや水槽などに貯留された汚泥や半固形または懸濁した結晶等の固形物を含むスラリー（懸濁液）を汲み上げるスラリーポンプおよびスラリーポンプの運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータやテレビなどの家電製品の表示部として、液晶表示パネルが広く用いられている。液晶表示パネルは、一般には薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ基板とカラーフィルタ（ＣＦ）基板とからなる一対のガラス基板が所定の間隔を置いて平行に対向配置され、両基板間に液晶が充填された構成をなしている。【０００３】
ＴＦＴアレイ基板には複数の画素電極がマトリクス状に形成され、ＣＦ基板にはほぼ全面に共通電極が形成されており、これら電極間に印加する電圧を変化させることで、液晶を配向制御することができるようになっている。【０００４】
このような液晶表示パネルの製造工程においては、これらＴＦＴアレイ基板およびＣＦ基板に要求される所定の品質基準を満たさないものは、液晶表示パネルに用いることができず、廃棄処分される。【０００５】
そこで、この廃棄処分されるものからガラス基板上に形成された各種薄膜などを除去をして再生処理し、ＴＦＴアレイ基板用またはＣＦ基板用のガラス基板として再び利用するということが行われている。【０００６】
このようなガラス基板の表面に形成された膜を除去する方法としては、研磨により除去する方法がある。従来、このようなガラス基板の表面を研磨する装置として、図４に示されるような基板研磨機３０が用いられている。図４（ａ）は基板研磨機３０の要部の側面図であり、図４（ｂ）はその上面図である。【０００７】
図示されるように、基板研磨機３０は上下に対向して配置された上定盤３１，３１と下定盤３２を備えている。円形状を有した上定盤３１の下面には、両面粘着シートを介して研磨布３４が貼り付けられており、上定盤３１の上面に配置されたノズル３５から供給された砥液Ｓが上定盤３１の内部を流下して、研磨布３４に供給されるようになっている。【０００８】
また、下定盤３２は、ガラス基板Ｗとほぼ同じ大きさの長方形状を有した多孔質セラミックからなる部材で、この下定盤３２の下部に接続された図示しない真空ポンプによる真空引きにより、ガラス基板Ｗを下定盤３２表面で吸着固定することができるようになっている。【０００９】
そして、上定盤３１が加圧されて、上定盤３１の研磨布３４と下定盤３２との間にガラス基板Ｗを挟み込んで、砥液Ｓを研磨布３４に供給しつつ、上定盤３１および下定盤３２を回転させながら矢印３６で示される方向に反復移動することで研磨加工が行われる。【００１０】
この場合、ノズル３５から供給される研磨用の砥液Ｓとしては、粉末状のアルミナや酸化セリウムなどからなる砥粒（研磨材）が例えばアルカリ溶液や水に分散された懸濁液（スラリー）が用いられている。【００１１】
図５は、上述した基板研磨機３０に砥液Ｓを供給する砥液供給装置を示している。図示されるように砥液供給装置４０は、砥液Ｓが貯留された砥液貯留タンク４１と、この砥液貯留タンク４１内の砥液Ｓを吸い上げて基板研磨機３０に供給するスラリーポンプ４２を備えている。【００１２】
スラリーポンプ４２は、いわゆる遠心式の立軸ポンプと呼ばれるもので、ポンプ設置用の架台としての砥液貯留タンク４１の上壁に取り付けられた台板９に、中空の吊下管４が固定されている。この吊下管４の下端には、インペラケーシング５が取り付けられている。【００１３】
インペラケーシング５は、下方に開口する砥液吸引口５ａと上方に開口する砥液吐出口５ｂとを有しており、その内部に遠心式のインペラ（流体に圧力を加えるための羽根をもつ回転体）６が配設されている。インペラ６は、インペラケーシング５内でその吸込部６ａが砥液吸引口５ａに面し、吐出羽根６ｂが砥液吐出口５ｂに向くように配置されて、水平面内で回転するようになっている。【００１４】
また、台板９上にはモータ７が取り付けられ、モータ７の回転軸７ａに軸継手１０を介して上端が連結された主軸８が吊下管４の内部に配設されている。主軸８の下端は、インペラケーシング５内のインペラ６に連結されている。【００１５】
図２は底板５ｃを外したインペラケーシング５を下方から見たときの図を示している。インペラケーシング５内には、インペラ６が配設される空間である渦巻室５ｄとこの渦巻室５ｄから側方に向かって延びる吐出通路５ｅが形成されている。底板５ｃに開口された砥液吸引口５ａは、渦巻室５ｄの中央に連通している。また、吐出通路５ｅの先端に砥液吐出口５ｂが連通されており、この砥液吐出口５ｂには吐出管１２が連結されている。【００１６】
このような形状を有するインペラケーシング５内でインペラ６がモータ７の駆動により回転されると、渦巻室５ｄでは遠心力によって中央部の圧力が下がり、これに伴って底板５ｃの砥液吸引口５ａから砥液Ｓが吸い込まれる。吸い込まれた砥液Ｓは、インペラケーシング５の渦巻室５ｄにおいて、複数枚の吐出羽根６ｂを有したインペラ６の回転により昇圧され、吐出通路５ｅへと導かれ砥液吐出口５ｂから吐出管１２へと送り出されるようになっている。尚、本発明に関連する先行技術文献としては下記特許文献が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開昭５８−１６０５９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、このような構成を有するスラリーポンプ４２を運転しない間に、インペラケーシング５内の砥液Ｓが滞留により固形化し、これがインペラ６に固着してしまい、インペラ６の回転を拘束してしまうことが発生していた。例えば、砥液濃度（スラリー濃度）が１０重量パーセント程度である場合、スラリーポンプ４２を一時間ほど停止しただけでこのような固着が発生していた。【００１９】
このような状態でスラリーポンプ４２を運転すると、いわゆるサーマルトリップと呼ばれるモータ７に過度な負荷がかかって過熱して損傷してしまうことを防止する為に設けられた保護回路が作動してしまう。【００２０】
このような場合、モータケーシング１１内に作業者がマイナスドライバーなどの治具を差し込んでモータ７の回転軸７ａを手動で回してインペラケーシング５内のインペラ６を回転させて固形化してしまった砥液Ｓをほぐしてインペラ６の拘束を解除し、更には、作動したサーマルトリップをリセットさせてから、スラリーポンプ４２を運転する作業が必要であり、この作業が繁雑で問題になっていた。【００２１】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、スラリーポンプを運転しない間に、インペラケーシング内の砥液が固形化してインペラの回転が拘束されてしまうことを防止することが可能なスラリーポンプおよスラリーポンプの運転方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記課題を解決するため本発明は、貯留されたスラリーを汲み上げるスラリーポンプであって、スラリー中に浸漬される吊下管と、前記吊下管の下端に接続されると共にスラリー吸引口とスラリー吐出口を有するインペラケーシングと、前記インペラケーシング内部に配設されたインペラと、その上端がモータの回転軸に連結されると共に前記吊下管内を貫通しその下端が前記インペラに連結された主軸とを備え、前記スラリー吐出口に接続された吐出管にエア配管が接続されると共に該吐出管を介して前記インペラケーシング内にエアが供給されて内部のスラリーが排出されるようにしたことを要旨とするものである。【００２３】
この場合、前記吐出管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられている構成にすると良い。また、前記吊下管にエア配管が接続されて該吊下管内部にエアが供給されるようにした構成にすると良い。更に、前記吊下管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられている構成にすると良い。【００２４】
また、上記課題を解決するため本発明は、貯留されたスラリー中に浸漬される吊下管と、前記吊下管の下端に接続されると共にスラリー吸引口とスラリー吐出口を有するインペラケーシングと、前記インペラケーシング内部に配設されたインペラと、その上端がモータの回転軸に連結されると共に前記吊下管内を貫通しその下端が前記インペラに連結された主軸と、前記砥液吐出口に接続された吐出管を介して前記インペラケーシング内部にエアが供給されるように該吐出管に接続されたエア配管とを備えたスラリーポンプの運転方法であって、前記インペラの回転が停止されると、前記エア配管および前記吐出管を介して前記インペラケーシング内部にエアが供給されて内部のスラリーが排出されるようにしたことを要旨とするものである。【００２５】
この場合、前記吐出管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられていると共に、前記インペラの回転が始動する前に前記エア抜き弁が開栓されるようにした構成にすると良い。【００２６】
また、前記吊下管内部にエアが供給されるように該吊下管に接続されたエア配管を備えると共に、前記インペラの回転が停止されると、前記エア配管を介して前記吊下管内部にエアが供給されるようにした構成にすると良い。【００２７】
更に、前記吊下管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられていると共に、前記インペラの回転が始動する前に前記エア抜き弁が開栓されるようにした構成にすると良い。
【発明の効果】
【００２８】
本発明に係るスラリーポンプおよびスラリーポンプの運転方法によれば、スラリーポンプが運転されない間、つまりインペラケーシング内のインペラが回転しない間に、スラリー吐出口に接続された吐出管にエア配管が接続されると共に該吐出管を介してインペラケーシング内にエアが供給されるので、通常はインペラケーシング内で滞留することにより固形化してしまう砥液などのスラリーが、インペラケーシング内に供給されたエアによるバブリングによって排出または攪拌されることになる。したがって、このようなエアバブリングによる排出または攪拌によってスラリーの固形化が抑制されるので、インペラの回転が拘束されてしまうことが防止される。【００２９】
この場合、前記吐出管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられている構成にすれば、エアバブリングされていたインペラケーシング内部のエアをスラリーポンプの運転始動前に除去することができるので、エアがみによるスラリーの汲み上げ不良（吐出不良）を防止することができる。【００３０】
また、前記吊下管にエア配管が接続されて該吊下管内部にエアが供給されるようにした構成にすれば、吐出管からインペラケーシング内部に供給されたエアによるバブリングの影響によって吊下管内部をスラリーが上昇することが吊下管内部に供給されたエアの圧力によって抑制されるので、例えば、吊下管内部に設けられたモータの回転軸を軸支する軸受け部等がスラリーによって浸水してしまうことが防止される。【００３１】
更に、前記吊下管に接続されたエア配管にエア抜き弁が設けられている構成にすれば、エアバブリングされていたインペラケーシング内部のエアをスラリーポンプの運転始動前に除去することができるので、エアがみによるスラリーの汲み上げ不良（吐出不良）を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態に係るスラリーポンプを備えた砥液供給装置の概略構成を示した図である。
【図２】スラリーポンプが備えるインペラケーシングの底板を外して下方から見たときの図である。
【図３】図１のインペラケーシング内部がエアによってバブリングされている状態を示した図である。
【図４】従来用いられてきた基板表面を研磨する基板研磨機の概略構成を示しており、（ａ）は側面図、（ｂ）はその上面図である。
【図５】従来用いられてきたスラリーポンプを備えた砥液供給装置の概略構成を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下に、本発明に係るスラリーポンプおよびスラリーポンプの運転方法の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００３４】
図１はスラリーポンプを備えた砥液供給装置の概略構成を示した図である。図示されるように、砥液供給装置１は、図４で説明した基板研磨機３０に供給される懸濁液（スラリー）である砥液Ｓが貯留された砥液貯留タンク２と、この砥液貯留タンク２内の砥液Ｓを吸い込んで吐出するスラリーポンプ３を備えている。
【００３５】
砥液貯留タンク２には、貯留された砥液Ｓの液面を検知する図示しない液面センサが内部に設けられており、スラリーポンプ３の吐出によって液面が所定位置まで低下した場合には、同じく図示しないポンプによって砥液Ｓが補充されるようになっている。
【００３６】
スラリーポンプ３は遠心式の立軸ポンプの構造を有しており、砥液貯留タンク２の上面に取り付けられている。
【００３７】
このスラリーポンプ３は、中空の吊下管４と、この吊下管４の下端に接続されるインペラケーシング５と、このインペラケーシング５内部に配設されたインペラ６と、その上端がモータ７の回転軸７ａに連結されると共に吊下管４内を貫通しその下端がインペラ６に連結された主軸８とを備えている。
【００３８】
吊下管４は、ポンプ設置用の架台としての砥液貯留タンク２の上壁２ａに取り付けられた台板９に固定されている。
【００３９】
台板９上にはモータ７が取り付けられ、モータ７の回転軸７ａに軸継手１０を介して上端が連結された主軸８が吊下管４の内部に配設されている。主軸８の下端は、インペラケーシング５内のインペラ６に連結されている。尚、モータ７は、モータケーシング１１に収容されており、このモータケーシング１１が台板９上に固定されている。
【００４０】
インペラケーシング５は、下方に開口する砥液吸引口５ａと上方に開口する砥液吐出口５ｂとを有しており、その内部に遠心式のインペラ（流体に圧力を加えるための羽根をもつ回転体）６が配設されている。
【００４１】
図２にも示されるように、インペラ６は、吸込部６ａとは反対側の面、つまり円形の主板６ｃと、この主板６ｃの下面に主軸８を中心にして放射状に設けられた複数枚の吐出羽根６ｂとを有している。この場合、インペラケーシング５内でその吸込部６ａが砥液吸引口５ａに面し、吐出羽根６ｂが砥液吐出口５ｂに向くように配置されて、水平面内で回転するようになっている。
【００４２】
インペラケーシング５内には、インペラ６が配設される空間である渦巻室５ｄとこの渦巻室５ｄから側方に向かって延びる吐出通路５ｅが形成されている。この場合、底板５ｃに開口された砥液吸引口５ａは、渦巻室５ｄの中央に連通している。
【００４３】
また、吐出通路５ｅの先端に砥液吐出口５ｂが連通されており、この砥液吐出口５ｂには吐出管１２が連結されている。渦巻室５ｄと吐出通路５ｅの接続部分、つまり渦巻室５ｄの巻き始めから吐出通路５ｅへ至る部分には、水切り部５ｆが形成されている。
【００４４】
このようなインペラケーシング５内でインペラ６がモータ７の駆動により回転されると、渦巻室５ｄでは遠心力によって中央部の圧力が下がり、これに伴って底板５ｃの砥液吸引口５ａから砥液Ｓが吸い込まれる。吸い込まれた砥液Ｓは、インペラケーシング５の渦巻室５ｄでインペラ６の回転により昇圧され、吐出通路５ｅへと導かれ砥液吐出口５ｂから吐出管１２へと送り出されるようになっている。
【００４５】
吐出管１２の途中部位には、閉栓・開栓動作が可能な吐出用電磁弁１５が設けられており、この吐出用電磁弁１５を開栓し、スラリーポンプ３を運転することで、吐出管１２を介して図４に示される基板研磨機３０のノズル３５に砥液Ｓが供給されるようになっている。
【００４６】
インペラケーシング５の砥液吐出口５ｂと吐出用電磁弁１５との間の吐出管１２の途中部位にはエア配管１６が接続されており、吐出管１２の内部に圧縮エアを供給することができるようになっている。このエア配管１６は、開栓・閉栓動作が可能なエア供給用電磁弁１７を介して圧縮エア供給源２３に接続されている。また、エア供給用電磁弁１７と吐出管１２との接続部との間のエア配管１６の途中部位には同じく開栓・閉栓動作が可能なエア抜き用電磁弁１８が設けられている。
【００４７】
更に、吐出管１２とエア配管１６の接続部分には、開栓・閉栓動作が可能な液侵入防止用電磁弁１９が設けられて吐出管１２からエア配管１６に砥液Ｓが侵入しないよう閉栓することができるようになっており、エア配管１６に砥液Ｓが侵入して固形化してエア配管１６が詰まってしまってエアを供給することができなくなることが防止されている。
【００４８】
吊下管４内の軸継手１０の下方には、ボールベアリングなどの軸受部１３が設けられており、主軸８が回転自在に支持されている。また、軸受部１３の下方には、グランドパッキンやメカニカルシールなどの軸封機構としての封止シール部１４が設けられており、この封止シール部１４より下方の吊下管４内部の気密性が保たれるようになっている。
【００４９】
このような封止シール部１４を設けることで、この封止シール部１４より下方の位置に接続されたエア配管２０から供給されたエアが、吊下管４内部を下方へと流れていくようになっている。
【００５０】
この場合、吊下管４の下端には側方に開口した開口部４ａが形成されて砥液Ｓが排出可能になっているので、インペラケーシング５の上面の開口部５ｇを介して吊下管４内部を砥液Ｓが上昇して、封止シール部１４や軸受部１３が砥液Ｓによって浸水してしまうことが防止されている。
【００５１】
尚、封止シール部１４は、吊下管４内部を上ってくる砥液Ｓの湯気や湿気が、軸受部１３に到達しないようにする機能も有しており、このような湯気や湿気によって軸受部１３が腐蝕したりグリース等の潤滑剤の劣化が早まったりすることが防止されている。
【００５２】
エア配管２０は、吊下管４の内部に圧縮エアを供給できるように接続されている。この場合、エア配管２０は、吊下管４内部に設けられた封止シール部１４と吊下管４の下端の開口部４ａとの間の途中部位に接続されている。
【００５３】
エア配管２０は、開栓・閉栓動作が可能なエア供給用電磁弁２１を介して圧縮エア供給源２３に接続されている。また、エア供給用電磁弁２１と吊下管４のとの接続部との間のエア配管２０の途中部位には同じく開栓・閉栓動作が可能なエア抜き用電磁弁２２が設けられている。
【００５４】
このような砥液供給装置１は、制御部２４を備えており、上述したモータ７の回転・停止動作や各電磁弁１５，１７，１８，１９，２１，２２の開栓・閉栓動作を制御することが可能になっている。
【００５５】
次に、このような砥液供給装置１が備えるスラリーポンプ３の運転の手順について説明する。
【００５６】
先ず、砥液貯留タンク２内の砥液Ｓを基板研磨機３０に供給する場合は、図１に示されるように、制御部２４は吐出用電磁弁１５を開栓動作させ、モータ７を回転駆動する。モータ７の回転駆動によりインペラケーシング５内のインペラ６が回転されると、砥液Ｓは砥液吸引口５ａから渦巻室５ｄに吸い込まれ、吐出通路５ｅを経て砥液吐出口５ｂから吐出管１２へと送り込まれて、基板研磨機３０に供給されてガラス基板Ｗの研磨加工に供される。
【００５７】
このとき、制御部２４は、エア配管１６に設けられたエア供給用電磁弁１７、エア抜き用電磁弁１８、液侵入防止用電磁弁１９およびエア配管２０に設けられたエア供給用電磁弁２１、エア抜き用電磁弁２２を閉栓状態に制御する。
【００５８】
次に、基板研磨機３０への砥液Ｓの供給を停止する場合は、図３に示されるように、制御部２４はモータ７の回転を停止させ、吐出用電磁弁１５を閉栓させる。そして、制御部２４は、エア配管１６のエア抜き用電磁弁１８は閉栓状態のままエア供給用電磁弁１７および液侵入防止用電磁弁１９を開栓させると共に、エア配管２０のエア抜き用電磁弁２２は閉栓状態のままエア供給用電磁弁２１を開栓させる。
【００５９】
エア配管１６のエア供給用電磁弁１７および液侵入防止用電磁弁１９が開栓されると、吐出管１２内部にエアが供給される。吐出管１２内部に供給されたエアは、吐出用電磁弁１５が閉栓されているので上方には流れず吐出管１２内部を下方へと流れ、砥液吐出口５ｂを介してインペラケーシング５内に送り込まれる。
【００６０】
砥液吐出口５ｂからからインペラケーシング５内部に送り込まれたエアは、インペラケーシング５内部に滞留している砥液Ｓの中でバブル状（泡状）になり、このバブル状になったエアが、インペラ６の主軸８との連結部分や主板６ｃ、吐出羽根６ｂの周囲を移動しつつ、砥液吸引口５ａから溢れ出て排出されると共に、開口部５ｇを経て吊下管４の下端の開口部４ａより溢れ出て排出されることになる。
【００６１】
このように吐出管１２内部に供給されたエアが、インペラケーシング５内部へと送り込まれることにより、インペラケーシング５内部で滞留している砥液Ｓには、この送り込まれたエアがバブル状（泡状）になって、インペラ６の周囲を移動することになる。このときのバブル状のエアの移動により砥液Ｓが排出または攪拌されるので、インペラ６の周囲の砥液Ｓの滞留が抑制され、その結果、砥液Ｓが固形化してインペラ６に固着することが防止される。
【００６２】
これによりスラリーポンプ３を運転しない間に、インペラケーシング５内の砥液Ｓが滞留により固形化し、これがインペラ６に固着してしまい、インペラ６の回転を拘束してしまうことが防止されることになる。
【００６３】
また、エア配管２０のエア供給用電磁弁２１が開栓されると、吊下管４内部にエアが供給される。吊下管４内部に供給されたエアは、封止シール部１４があるため上方には流れず吊下管４内部を下方へと流れる。
【００６４】
このとき、上述した吐出管１２からインペラケーシング５内部に供給されたエアによるバブリングの影響によって吊下管４内部を砥液Ｓが上昇することが吊下管４内部に供給されたエアの圧力によって抑制されるので、吊下管４内部に設けられた封止シール部１４や軸受部１３が上昇した砥液Ｓによって浸水してしまうことが防止されている。
【００６５】
また、このように吊下管４内部にエアを供給することで、吊下管４内部を上ってくる砥液Ｓの湯気や湿気が、封止シール部１４や軸受部１３に到達しないように防止することもできるので、このような湯気や湿気によって封止シール部１４や軸受部１３が腐蝕したりグリース等の潤滑剤の劣化が早まったりすることが防止されている。
【００６６】
次に、図３の状態からスラリーポンプ３の運転を始動する場合について説明する。先ず、制御部２４は、エア配管１６の開栓されているエア供給用電磁弁１７を閉栓させると共に、エア配管２０の開栓されているエア供給用電磁弁２１を閉栓させる。
【００６７】
これにより、吐出管１２を介したインペラケーシング５内へのエアの供給が止まり、インペラケーシング５内部のエアによるバブリングが停止される。また、吐出管１２からインペラケーシング５内部に供給されたエアによるバブリングの影響によって吊下管４内部を砥液Ｓが上昇することを防止するための吊下管４内部へのエアの供給も止まる。
【００６８】
次に、エア配管１６の閉栓されているエア抜き用電磁弁１８を開栓させると共に、エア配管２０の閉栓されているエア抜き用電磁弁２２を開栓させる。エア配管１６のエア抜き用電磁弁１８が開栓されると、そのエア配管１６内部および吐出管１２内部が大気解放される。また、エア配管２０のエア抜き用電磁弁２２が開栓されると、そのエア配管２０内部および吊下管４内部が大気解放される。このような吐出管１２内部および吊下管４内部の大気解放に伴って、インペラケーシング５内部のエアは、吐出管１２内部を介してエア配管１６を経てエア抜き用電磁弁１８から外部へ、また、吊下管４内部を介してエア配管２０を経てエア抜き用電磁弁２２から外部へと排出（エア抜き）されることになる。
【００６９】
そして、インペラケーシング５内部のエアが排出されると、制御部２４は、エア配管１６のエア抜き用電磁弁１８および液侵入防止用電磁弁１９とエア配管２０のエア抜き用電磁弁２２をそれぞれ閉栓させる。その後、閉栓されていた吐出管１２の吐出用電磁弁１５を開栓させると共にモータ７を回転駆動させると、図１に示されるようにスラリーポンプ３による砥液Ｓの供給が開始されることになる。
【００７０】
以上説明したスラリーポンプ３によれば、スラリーポンプが運転されない間、つまりインペラケーシング５内のインペラ６が回転しない間に、砥液吐出口５ｂに接続された吐出管１２にエア配管１６が接続されると共にその吐出管１２を介してインペラケーシング５内にエアが供給されるので、通常はインペラケーシング５内で滞留することにより固形化してしまう砥液Ｓが、インペラケーシング５内に供給されたエアによるバブリングによって排出または攪拌されることになる。したがって、このようなエアバブリングによる排出または攪拌によって砥液Ｓの固形化が抑制されるので、インペラ６の回転が拘束されてしまうことが防止される。
【００７１】
この場合、吐出管１２に接続されたエア配管１６にエア抜き弁１８が設けられているので、エアバブリングされていたインペラケーシング５内部のエアをスラリーポンプ３の運転始動前に除去することができるので、エアがみによる砥液Ｓの汲み上げ不良（吐出不良）を防止することができる。
【００７２】
また、吊下管４にもエア配管２０が接続されてその吊下管４内部にエアが供給されているので、吐出管１２からインペラケーシング５内部に供給されたエアによるバブリングの影響によって吊下管４内部を砥液Ｓが上昇してしまうことが、吊下管４内部に供給されたエアの圧力によって抑制されるため、吊下管４内部に設けられた封止シール部１４や軸受部１３が砥液Ｓによって浸水してしまうことが防止される。また、このように吊下管４内部にエアを供給することで、吊下管４内部を上ってくる砥液Ｓの湯気や湿気が、封止シール部１４や軸受部１３に到達しないように防止することもできるので、このような湯気や湿気によって封止シール部１４や軸受部１３が腐蝕したりグリース等の潤滑剤の劣化が早まったりすることが防止されている。
【００７３】
更に、吊下管４に接続されたエア配管２０にエア抜き弁２２が設けられているので、エアバブリングされていたインペラケーシング５内部のエアをスラリーポンプ３の運転始動前に除去することができるので、エアがみによるスラリーの汲み上げ不良（吐出不良）を防止することができる。
【００７４】
以上、本発明に係るスラリーポンプおよびスラリーポンプの運手方法の一実施形態について説明したが、本発明はこうした実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。
【００７５】
例えば、上述した実施の形態では下面に砥液吸引口、上面に砥液吐出口が設けられたインペラケーシングについて説明したが、一方の側面に砥液吸引口、他方の側面に砥液吐出口が設けられたインペラケーシングの構成や、下面に砥液吸引口、側面に砥液吐出口が設けられたインペラケーシングの構成などの種々なる形状を有するインペラケーシングにも本発明を適用することが可能であり、上述した実施の形態には限定されない。
【００７６】
また、エア配管に設けられたエア供給用電磁弁とエア抜き用電磁弁は、エアの供給と大気解放の切換動作が一度に可能な電磁弁を用いても良く、上述した実施の形態には限定されず、種々なる弁を用いることが可能である。
【００７７】
更に、上述した実施の形態では、基板研磨機３０に砥液Ｓを供給するスラリーポンプ３の構成について説明したが、タンクまたは水槽の底部に溜まった汚泥を汲み上げる農業用水用ポンプなどの種々なる懸濁液（スラリー）を汲み上げるポンプに適用可能であり、上述した実施の形態には限定されない。
【００７８】
例えば、懸濁液（スラリー）が汚泥である場合も、ポンプを運転しない間に、インペラケーシング内で滞留により固形化してインペラに固着してしまい、インペラ６の回転を拘束してしまう問題があるため、このような汚泥を汲み上げるポンプに本発明に係るスラリーポンプを適用することで、このような問題を解決することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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