(57)【要約】  特に、大型の太陽電池パネルに対して適用可能な、太陽電池パネルのＥＬ検査装置を提供する。  複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネル５０のＥＬ検査装置１００であって、検査対象の太陽電池パネル５０に順バイアス電流を印加してＥＬ発光させるＤＣ電源１と、ＥＬ発光状態の太陽電池パネル５０を撮影する撮影部１０と、撮影した太陽電池パネルの画像を補正する補正部２１と、補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較部２２と、比較結果に基づいて、太陽電池パネルの良否を判定する判定部２３と、を備える。比較部２２は、テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクする。
2011152445.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネルのＥＬ検査装置であって、
検査対象の太陽電池パネルに順バイアス電流を印加してＥＬ発光させるＤＣ電源と、
ＥＬ発光状態の前記太陽電池パネルを撮影する撮影部と、
撮影した前記太陽電池パネルの画像を補正する補正部と、
補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較部と、
比較結果に基づいて、前記太陽電池パネルの良否を判定する判定部と、
を備えた太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項２】
前記補正部は、前記画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行する請求項１に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項３】
前記比較部は、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクする請求項１又は２に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項４】
前記比較部は、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値未満の類似度を有する太陽光発電セルを強調する請求項１〜３の何れか一項に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項５】
前記比較部は、前記特定テンプレートを別の特定テンプレートに変更する請求項３又は４に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項６】
前記判定部は、判定結果に応じて、前記撮影した画像を色分けする請求項１〜５の何れか一項に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項７】
複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネルのＥＬ検査方法であって、
検査対象の太陽電池パネルに順バイアス電流を印加してＥＬ発光させる発光ステップと、
ＥＬ発光状態の前記太陽電池パネルを撮影する撮影ステップと、
撮影した前記太陽電池パネルの画像を補正する補正ステップと、
補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較ステップと、
比較結果に基づいて、前記太陽電池パネルの良否を判定する判定ステップと、
を包含する太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【請求項８】
前記補正ステップにおいて、前記画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行する請求項７に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【請求項９】
前記比較ステップにおいて、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクする請求項７又は８に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【請求項１０】
前記比較ステップにおいて、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値未満の類似度を有する太陽光発電セルを強調する請求項７〜９の何れか一項に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【請求項１１】
前記比較ステップにおいて、前記特定テンプレートを別の特定テンプレートに変更する請求項９又は１０に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【請求項１２】
前記判定ステップにおいて、判定結果に応じて、前記撮影した画像を色分けする請求項７〜１１の何れか一項に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネルのＥＬ検査装置、及びＥＬ検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、太陽電池パネルの大型化が進み、それに伴って、太陽電池パネルの検査に対する要求も厳しくなってきている。太陽電池パネルの検査を効率よく行うためには、太陽電池パネルの検査面を一括で撮影することが求められる。ところが、最近の大型化した太陽電池パネルにおいて、その検査面全体を一括撮影するためには、検査対象（撮影対象）である太陽電池パネルとカメラとの撮影距離をある程度確保する必要がある。例えば、２ｍ×１ｍのサイズを有する大型太陽電池パネルが知られているが、この大型太陽電池パネルの全領域を撮影するためには、３５ｍｍレンズを用いた場合に約３ｍの撮影距離が必要となる。しかしながら、一般に使用されている検査装置の設置環境では、撮影距離を充分に稼げない場合が多い。そこで、このような問題を回避するため、従来、反射鏡を利用して検査対象とカメラとの実質的な撮影距離を稼ぐような工夫をした検査装置があった（例えば、特許文献１を参照）。【０００３】
特許文献１の検査装置は、検査対象である太陽電池パネルを載せる透明板を設けるとともに、当該透明板に対して傾斜している反射板を備えており、この反射板に写った太陽電池パネルの像をカメラで撮影している。このように、反射板を介して太陽電池パネルを撮影することにより、撮影距離の延長を図っている。【０００４】
また、太陽電池パネルの検査においては、「欠け」や「クラック」等の欠陥の有無を確認する必要がある。このような欠陥を発見する一つの手法として、撮影した画像の成分に対して所定の閾値を与え、当該閾値を境として画像に明暗を付与し、その明暗の比率と前記閾値とから太陽電池パネルの良否を判定する方法があった（例えば、特許文献２を参照）。【０００５】
特許文献２の検査装置は、太陽電池パネルの良否判定を行うに際し、撮影した太陽電池セルのＥＬ画像のうちの欠陥が存在する領域に対して強調処理を行うものである。これにより、オペレータは問題ありと判定されたＥＬ画像の箇所を容易に認識できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１９８４１１号公報
【特許文献２】国際公開第２００９／０８４７０２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、太陽電池パネルの撮影を行う際、特許文献１のような反射鏡を用いる検査装置には、種々の問題が介在している。例えば、太陽電池パネルの鮮明な画像を得るためには、反射鏡の曇りや汚れ等を防止しておく必要がある。また、反射鏡は、重力によって撓むことや、温度変化によって光軸のズレが発生することがあるため、取り扱いが容易ではない。さらに、反射鏡は、検査前に正確な角度調整を行う必要があり、取り扱いに大変な手間が掛かる。【０００８】
なお、太陽電池パネルとカメラとの撮影距離を短縮するため、反射鏡に代えて短焦点広角レンズを利用することも考えられるが、短焦点広角レンズを用いて太陽電池パネルの検査面を撮影すると、撮影画像の周辺部に歪みが発生したり、周辺部が暗くなったりする。従って、短焦点広角レンズによる撮影画像を、そのまま検査に適用することはできない。【０００９】
一方、太陽電池パネルの検査における重要項目として、「クラック（マイクロクラックを含む）」や「断線」等の欠陥の有無を確認する必要があり、この目的のためにＥＬ（エレクトロルミネッセンス）画像が利用されている。特許文献２の検査装置は、ＥＬ画像を強調処理することにより欠陥が存在する領域の表示を行っている。しかし、太陽電池パネルの最終的な良否判定は目視に頼っているのが現実である。従って、特許文献２の検査装置では、効率よく且つ確実なＥＬ検査を行うことは困難である。さらに、特許文献２の検査装置では、原画像をそのまま直接強調処理しているので、後から原画像を確認することも出来ない。【００１０】
このように、現状においては、太陽電池パネルのＥＬ検査を行うに際し、取り扱いが容易であるとともに、欠陥有無の検査を効率よく且つ確実に実施し得るＥＬ検査装置やＥＬ検査方法は未だ開発されていない。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、特に、大型の太陽電池パネルに対して適用可能な、太陽電池パネルのＥＬ検査装置、及びＥＬ検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するための本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査装置の特徴構成は、
複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネルのＥＬ検査装置であって、
検査対象の太陽電池パネルに順バイアス電流を印加してＥＬ発光させるＤＣ電源と、
ＥＬ発光状態の前記太陽電池パネルを撮影する撮影部と、
撮影した前記太陽電池パネルの画像を補正する補正部と、
補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較部と、
比較結果に基づいて、前記太陽電池パネルの良否を判定する判定部と、
を備えたことにある。【００１２】
背景技術の項目で説明したように、特に、大型の太陽電池パネルを検査するためには、従来は反射鏡等の補助が必要であり、そのため、検査装置全体の取り扱いが困難なものとなっていた。また、太陽電池パネルの良否判定を効率よく且つ確実に行い得る手法も確立されていなかった。
この点、本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置では、撮影部によって撮影したＥＬ発光状態の太陽電池パネルの画像（すなわち、ＥＬ画像）を補正する補正部を備えている。このため、太陽電池パネルとカメラとの撮影距離を短縮するにあたって、反射鏡を使用せずに短焦点広角レンズを利用して太陽電池パネルの全体を撮影した場合でも、補正部が撮影画像の周辺部の歪みや暗部を補正することにより、通常のレンズで撮影した場合と同等の画像を得ることができる。その結果、後の比較部による比較、及び判定部による判定を良好に行うことができる。
また、補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較部と、比較結果に基づいて、太陽電池パネルの良否を判定する判定部とを備えているので、太陽電池パネルにおける欠陥の有無を効率よく且つ確実に検査することができる。例えば、良好な太陽電池パネルの一部に相当するサンプルをテンプレートとして採用することにより、検査対象の太陽電池パネルと良好な太陽電池パネルとの類似度（すなわち、両者がどの程度一致しているか）を確認することができる。その結果、太陽電池パネルのＥＬ検査を迅速且つ確実に実施することができる。【００１３】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査装置において、
前記補正部は、前記画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行することが好ましい。【００１４】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置であれば、補正部が、撮影した画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行するので、画像処理時間が短縮されるとともに、画像処理精度が向上する。その結果、太陽電池パネルのＥＬ検査をより迅速且つ確実に実施することができる。【００１５】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査装置において、
前記比較部は、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクすることが好ましい。【００１６】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置であれば、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、太陽電池パネルを構成する太陽光発電セルのうち、特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクする。ここで、マスクされた太陽光発電セルは、良品であることが確実なセルである。従って、本構成によれば、太陽光発電セルの検査数を低減することができ、その結果、太陽電池パネルの検査速度及び検査精度が向上する。【００１７】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査装置において、
前記比較部は、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値未満の類似度を有する太陽光発電セルを強調することが好ましい。【００１８】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置であれば、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、太陽電池パネルを構成する太陽光発電セルのうち、特定テンプレートと比較して所定値未満の類似度を有する太陽光発電セルを強調する。ここで、強調された太陽光発電セルは、不良品であることが確実なセルである。従って、本構成によっても、太陽光発電セルの検査数を低減することができ、その結果、太陽電池パネルの検査速度及び検査精度が向上する。【００１９】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査装置において、
前記比較部は、前記特定テンプレートを別の特定テンプレートに変更することが好ましい。【００２０】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置であれば、比較部が特定テンプレートを別の特定テンプレートに変更することにより、一つのＥＬ検査装置で、多種多様な太陽電池パネルの検査に対応することが可能となる。また、検査途中において、検査精度があまり芳しくないと判断される場合には、現在使用中の特定テンプレートを、より好ましい別の特定テンプレートに変更することも可能である。この場合、検査途中からでも検査精度を向上させることができる。【００２１】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査装置において、
前記判定部は、判定結果に応じて、前記撮影した画像を色分けすることが好ましい。【００２２】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置であれば、判定部が、判定結果に応じて、撮影した画像を色分けすることにより、検査結果をオペレータに対して分かり易く表示することができる。【００２３】
上記課題を解決するための本発明に係る太陽電池パネルの検査方法の特徴構成は、
複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネルのＥＬ検査方法であって、
検査対象の太陽電池パネルに順バイアス電流を印加してＥＬ発光させる発光ステップと、
ＥＬ発光状態の前記太陽電池パネルを撮影する撮影ステップと、
撮影した前記太陽電池パネルの画像を補正する補正ステップと、
補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較ステップと、
比較結果に基づいて、前記太陽電池パネルの良否を判定する判定ステップと、
を包含することにある。【００２４】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、上述した本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置と同様の作用効果を奏する。
すなわち、撮影ステップにおいて撮影したＥＬ発光状態の太陽電池パネルの画像（すなわち、ＥＬ画像）を補正ステップにより補正することができる。このため、太陽電池パネルとカメラとの撮影距離を短縮するにあたって、反射鏡を使用せずに短焦点広角レンズを利用して太陽電池パネルの全体を撮影した場合でも、撮影画像の周辺部の歪みや暗部を補正することにより、通常のレンズで撮影した場合と同等の画像を得ることができる。その結果、後の比較ステップによる比較、及び判定ステップによる判定を良好に行うことができる。
また、補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較ステップと、比較結果に基づいて、太陽電池パネルの良否を判定する判定ステップとを実行することにより、太陽電池パネルにおける欠陥の有無を効率よく且つ確実に検査することができる。例えば、良好な太陽電池パネルの一部に相当するサンプルをテンプレートとして採用することにより、検査対象の太陽電池パネルと良好な太陽電池パネルとの類似度（すなわち、両者がどの程度一致しているか）を確認することができる。その結果、太陽電池パネルのＥＬ検査を迅速且つ確実に実施することができる。【００２５】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査方法において、
前記補正ステップにおいて、前記画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行することが好ましい。【００２６】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、上述した本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置と同様の作用効果を奏する。
すなわち、補正ステップにおいてが、撮影した画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行するので、画像処理時間が短縮されるとともに、画像処理精度が向上する。その結果、太陽電池パネルのＥＬ検査をより迅速且つ確実に実施することができる。【００２７】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査方法において、
前記比較ステップにおいて、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクすることが好ましい。【００２８】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、上述した本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置と同様の作用効果を奏する。
すなわち、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、太陽電池パネルを構成する太陽光発電セルのうち、特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクする。ここで、マスクされた太陽光発電セルは、良品であることが確実なセルである。従って、本構成によれば、太陽光発電セルの検査数を低減することができ、その結果、太陽電池パネルの検査速度及び検査精度が向上する。【００２９】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査方法において、
前記比較ステップにおいて、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値未満の類似度を有する太陽光発電セルを強調することが好ましい。【００３０】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、上述した本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置と同様の作用効果を奏する。
すなわち、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、太陽電池パネルを構成する太陽光発電セルのうち、特定テンプレートと比較して所定値未満の類似度を有する太陽光発電セルを強調する。ここで、強調された太陽光発電セルは、不良品であることが確実なセルである。従って、本構成によっても、太陽光発電セルの検査数を低減することができ、その結果、太陽電池パネルの検査速度及び検査精度が向上する。【００３１】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査方法において、
前記比較ステップにおいて、前記特定テンプレートを別の特定テンプレートに変更することが好ましい。【００３２】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、上述した本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置と同様の作用効果を奏する。
すなわち、比較ステップにおいて、特定テンプレートを別の特定テンプレートに変更することにより、多種多様な太陽電池パネルのＥＬ検査に対応することが可能となる。また、検査途中において、検査精度があまり芳しくないと判断される場合には、現在使用中の特定テンプレートを、より好ましい別の特定テンプレートに変更することも可能である。この場合、検査途中からでも検査精度を向上させることができる。【００３３】
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査方法において、
前記判定ステップにおいて、判定結果に応じて、前記撮影した画像を色分けすることが好ましい。【００３４】
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、上述した本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置と同様の作用効果を奏する。
すなわち、判定ステップにおいて、判定結果に応じて、撮影した画像を色分けすることにより、検査結果をオペレータに対して分かり易く表示することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は、本発明による太陽電池パネルのＥＬ検査装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、本発明の第１実施形態による、補正部が実行する補正結果、及び比較部が実行する比較結果を示した説明図である。
【図３】図３は、本発明の第２実施形態による、補正部が実行する補正結果、及び比較部が実行する比較結果を示した説明図である。
【図４】図４は、本発明の第３実施形態による、太陽電池パネルのＥＬ検査方法の手順を示すフローチャートである。
【図５】図５は、本発明の第４実施形態による、太陽電池パネルのＥＬ検査方法の手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下、本発明の太陽電池パネルのＥＬ検査装置、及びＥＬ検査方法に関する実施形態を図１〜図５に基づいて説明する。ただし、本発明は、以下に説明する実施形態や図面に記載される構成に限定されることを意図せず、それらと均等な構成も含む。
【００３７】
〔太陽電池パネルのＥＬ検査装置〕
図１は、本発明による太陽電池パネルのＥＬ検査装置１００の概略構成を示すブロック図である。ここでは、太陽電池パネル５０をインライン方式で連続的に検査するＥＬ検査装置を例示してある。ただし、本発明の太陽電池パネルのＥＬ検査装置１００は、検査対象の太陽電池パネル５０を一つずつ個別に検査する、いわゆるバッチ方式のＥＬ検査装置として構成することも当然に可能である。ＥＬ検査装置１００は、主に、検査対象の太陽電池パネル５０に順バイアス電流を印加してＥＬ発光させるＤＣ電源１と、ＥＬ発光状態の太陽電池パネル５０を撮影するカメラ（撮影部）１０と、撮影した太陽電池パネル５０の画像を処理及び解析するコンピュータ２０とを備えている。検査対象の太陽電池パネル５０には、複数の太陽光発電セルが備えられており、この太陽光発電セルの良否をＥＬ検査装置１００により判定する。
【００３８】
ＤＣ電源１は、太陽電池パネル５０の検査面５１（太陽光発電セルが配列されている面）の裏側に設けられている電極コンタクト５２と接触し、太陽電池パネル５０に順バイアス電流を印加する。その結果、太陽電池パネル５０はＥＬ発光する。カメラ１０は、外部光を遮蔽可能な環境にある暗室３０の内部に設置される。カメラ１０と対峙する暗室３０の側壁には、太陽電池パネル５０を撮影するための光透過性の撮影窓３１が設けられる。この撮影窓３１に対して、検査対象の太陽電池パネル５０の検査面５１が当接させられる。この当接状態では、撮影窓３１が太陽電池パネル５０によって完全に覆われるため、太陽電池パネル５０の検査面５１は外部光が遮断された状態となっている。この状態で、太陽電池パネル５０の検査面５１にあるＥＬ発光状態の複数の太陽光発電セルは、カメラ１０により撮影される。ここで、カメラ１０には、太陽電池パネル５０が大型（例えば、２ｍ×１ｍのサイズ）の場合にも対応できるように、短焦点広角レンズ１１が搭載されている。これにより、太陽電池パネル５０の検査面５１の全体を撮影画像に収めることができる。太陽電池パネル５０の撮影が完了したら、当該撮影済みの太陽電池パネル５０は次工程に搬送され（図１では暗室３０の右側に移動する）、次の検査対象の太陽電池パネル（図１では暗室３０の左側に待機している太陽電池パネル５０）が暗室３０の撮影窓３１に当接させられる。同時に、太陽電池パネル５０の電極コンタクト５２がＤＣ電源１に接触し、順バイアス電流が印加されてＥＬ発光する。このようにして、太陽電池パネル５０の連続撮影（インライン検査）が実行される。
【００３９】
コンピュータ２０には、カメラ１０によって撮影した太陽電池パネル５０の画像を補正する補正部２１と、補正後の画像と基準となるテンプレート２４とを比較する比較部２２と、比較結果に基づいて、太陽電池パネル５０の良否を判定する判定部２３とが備えられている。ここで、テンプレート２４は、良好な状態の太陽光発電セルのサンプルデータであり、これは比較部２２に格納されている。また、テンプレート２４は、検査対象の太陽電池パネルの種類に応じて複数存在し、夫々の太陽電池パネルに対して特定のテンプレートが利用される。従って、比較部２２は、特定テンプレートを別の特定テンプレートに変更することにより、一つのＥＬ検査装置１００で、多種多様な太陽電池パネルの検査に対応することが可能となる。また、検査途中において、検査精度があまり芳しくないと判断される場合には、現在使用中の特定テンプレートを、より好ましい別の特定テンプレートに変更することも可能である。この場合、検査途中からでも検査精度を向上させることができる。
【００４０】
補正部２１、比較部２２、及び判定部２３は、コンピュータ２０の内部に実装されるハードウェアとして実現してもよいが、コンピュータ２０において実行されるソフトウェアの機能として実現することもできる。以下、補正部２１、比較部２２、及び判定部２３により実行される代表的な２つの演算処理を、第１実施形態及び第２実施形態として説明する。
【００４１】
＜第１実施形態＞
図２は、本発明の第１実施形態による、補正部２１が実行する補正結果、及び比較部２２が実行する比較結果を示した説明図である。検査対象の太陽電池パネル５０を、短焦点広角レンズ１１を備えたカメラ１０を介して撮影した場合、撮影した画像の周辺部が歪曲し、さらに輝度も低下する。従って、短焦点広角レンズ１１付きのカメラ１０で撮影した元画像は、そのままの状態で検査に使用することはできない。そこで、補正部２１により、撮影画像に対して、歪曲補正と輝度補正とを同時に実行する。なお、歪曲補正には、側方からの撮影のため台形状に変形した画像を方形状画像に補正する台形補正も含まれる。図２において、（ａ）は短焦点広角レンズ１１付きのカメラ１０で撮影した元画像である。（ｂ）は元画像を歪曲補正した後の画像である。（ｃ）はさらに輝度補正をした後の画像である。歪曲補正及び輝度補正が完了した画像に対しては、比較部２２によりマスク処理を実行する。（ｄ）はマスク処理後の画像であり、点線で囲まれた領域が、マスク処理が行われた太陽光発電セルである。（ｄ）において、点線の丸で囲まれた箇所に「欠け」や「クラック」等の不良個所が含まれている。すなわち、周囲より暗くなっている部分が不良個所として認識される。マスク処理は、以下の＜１＞〜＜１０＞の手順で示す「パターンマッチング法」を利用して行われる。
【００４２】
＜１＞初めに、テンプレート（検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレート）となる基準画像の各ピクセルの輝度値から、当該基準画像の平均輝度を求める。基準画像は、予め定めた基準となる良品セル一つ分の画像とする。
＜２＞基準画像から当該基準画像の平均輝度を差し引いた画像ａを取得する。この演算は、基準画像を構成するピクセルの夫々に対して繰り返す。
＜３＞撮影画像の任意位置における選択画像（これは、基準画像と同サイズの画像とする）の各ピクセル輝度値から、当該選択画像の平均輝度を求める。
＜４＞選択画像から当該選択画像の平均輝度を差し引いた画像ｂを取得する。この演算は、選択画像を構成するピクセルの夫々に対して繰り返す。
＜５＞基準画像のノルムを求める。式（１）に示すように、画像ａの各ピクセルを２乗した値の合計ｃ１を求める。
ｃ１＝Σａ２  ・・・  （１）
＜６＞選択画像のノルムを求める。式（２）に示すように、画像ｂの各ピクセルを２乗した値の合計ｃ２を求める。
ｃ２＝Σｂ２  ・・・  （２）
＜７＞式（３）に示すように、画像ａと画像ｂとの積の合計ｃ３を求める。
ｃ３＝Σ（ａ・ｂ）  ・・・  （３）
＜８＞式（４）により、百分率ｖを求める。
ｖ＝ｃ３／｛（ｃ１）１／２・（ｃ２）１／２｝×１００  ・・・  （４）
＜９＞予め設定した二つの閾値ｐ１及びｐ２とｖとを比較する。ここで、ｐ１及びｐ２は、テンプレートを１００％とした場合の類似度（すなわち、基準画像に対して選択画像がどの程度一致しているかを示す指標）に相当する。本実施形態では、ｐ１は類似サイドにおける閾値であり、ｐ２は非類似サイドにおける閾値である。各ピクセルの輝度に基づいて、太陽光発電セルのランク分けを行い、ランク分けされた後の太陽光発電セルについて類似度を判定する。具体的には、初めにｖ＜ｐ２となる画像を求める。求めた画像は非類似であると判定され、当該画像は太陽光発電セルではないと判定する。次に、ｖ≧ｐ１となる画像（選択画像）を求める。求めた選択画像は基準画像に類似していると判定し、選択画像に対してマスク処理を行う。このとき、マスクされた太陽光発電セルは、良品であることが確実なセルである。このランク分けでは、初めにｖとｐ１との比較を実行することにより良品セルを除外し、次いで、ｖとｐ２との比較を実行することによりセルでないものを除外しても構わない。マスク処理をする前の原画像はコンピュータ２０に格納されているため、本発明においては、マスク処理前後の画像を比較することも可能である。このため、オペレータにとっては不良個所の認識が容易となる。
＜１０＞上記＜３＞における任意位置を変更し、＜３＞〜＜９＞を繰り返す。ここで、繰り返し回数は、撮影画像を構成するピクセルの数とすることが好ましい。ただし、演算が不要な箇所を省略したり、次の演算を行う太陽光発電セルの位置を予測したり、すでに行った演算結果を再利用したりすることで、演算精度を落とすことなく、演算回数を減少させることができる。その結果、太陽電池パネルの検査を迅速且つ確実に実施することができる。
【００４３】
上記＜１＞におけるテンプレートは、自由に設定することができる。例えば、テンプレートとして、太陽電池パネルの構成単位である一つの太陽光発電セルの１／ｎ倍サイズの画像（ｎ＞１）を基準画像とする。このようなテンプレートを使用することにより、コンピュータ２０における演算回数を１／ｎに減少させることが可能となる。具体例を説明すると、テンプレートとして、太陽光発電セル上半分の画像を設定すれば、上記＜３＞における選択画像も太陽光発電セル上半分の画像となる。これにより、事前に太陽光発電セルの位置を特定し、セル位置が特定された段階で全体を比較する。
【００４４】
基準画像と類似していると判定された選択画像（すなわち、良品であることが確実な太陽光発電セル）に対しては、例えば、濃色で色分けすることができる。これにより、オペレータは、太陽電池パネルにおける不良な太陽光発電セルのみを容易に認識することができる。
【００４５】
＜第２実施形態＞
図３は、本発明の第２実施形態による、補正部２１が実行する補正結果、及び比較部２２が実行する比較結果を示した説明図である。この第２実施形態においても、上記第１実施形態と同様に、補正部２１により、撮影画像に対して、歪曲補正と輝度補正とを同時に実行する。図３において、（ａ）から（ｂ）への処理が歪曲補正であり、（ｂ）から（ｃ）への処理が輝度補正である。歪曲補正及び輝度補正が完了した画像に対しては、比較部２２により（ｃ）から（ｄ）に示す強調処理を実行する。なお、（ｄ）に示す強調処理の結果は、（ｃ）において点線で囲まれた領域の処理結果を拡大表示したものである。
【００４６】
強調処理に至るまでのプロセスは、基本的には上述の「パターンマッチング法」と同様であるが、基準画像と類似していないと判定した選択画像を抽出する。すなわち、上記パターンマッチング法の＜９＞において、予め設定した閾値ｐ２とｖとを比較し、ｖ＜ｐ２の場合、選択画像は基準画像に類似していないと判定する。
【００４７】
基準画像と類似していないと判定された選択画像（すなわち、セルではないと判定された領域を除く、不良品であることが確実なセル）に対しては、例えば、図３（ｄ）に示すような明示化による強調処理を行う。ここで、注目すべきは、太陽光発電セルの表面に元々形成されている表面電極等の構造物のパターンは排除され、丸印で囲んだ領域内に見られるような欠陥部のみが特に目立つように強調されることである。これにより、オペレータは、太陽電池パネルにおける不良な太陽光発電セルのみを容易に認識することができる。
【００４８】
なお、第２実施形態で用いるテンプレートとして、例えば、太陽光発電セルの表面にある表面電極等の構造物を含めたパターンをテンプレートとして設定することも有効である。この場合、テンプレートと太陽光発電セルとの比較において、セル画像の二値化の際に構造物のパターンが差し引かれるので、その後に強調表示した場合でも構造物が画像中に現れない。その結果、構造物を「欠け」や「クラック」等の欠陥として誤認することがなくなり、検査精度を向上させることができる。
【００４９】
上記第１実施形態の「マスク処理」と、上記第２実施形態の「強調処理」とを組み合わせて太陽電池パネルの良否判定を実行することも有効である。この場合、より確実な検査を行い得る。
【００５０】
〔太陽電池パネルのＥＬ検査方法〕
次に、上記の太陽電池パネルのＥＬ検査装置１００を用いて実行する太陽電池パネルのＥＬ検査方法を説明する。
【００５１】
＜第３実施形態＞
図４は、本発明の第３実施形態による、太陽電池パネルのＥＬ検査方法の手順を示すフローチャートである。第３実施形態の太陽電池パネルのＥＬ検査方法は、上述した第１実施形態の太陽電池パネルのＥＬ検査装置に対応し、以下に説明するステップ１からステップ７により実行される。なお、図４では、各ステップを記号「Ｓ」として示している。
【００５２】
初めに、発光ステップとして、検査対象の太陽電池パネル５０に順バイアス電流を印加する。これにより、太陽電池パネル５０をＥＬ発光させる（Ｓ０）。次に、撮影ステップとして、ＥＬ発光状態の太陽電池パネル５０の画像（すなわち、ＥＬ画像）を撮影する（Ｓ１）。この撮影では、短焦点広角レンズ１１を使用する。これにより、太陽電池パネル５０が大型（例えば、２ｍ×１ｍのサイズ）の場合にも、パネル全体を撮影することができる。
【００５３】
短焦点広角レンズ１１を用いて撮影した画像は、ディスプレイサイズに適合するように、必要に応じてリサイズする（Ｓ２）。リサイズ前の元の画像は、拡大表示の際に利用することができる。次に、短焦点広角レンズ１１の影響による画像周辺部の歪曲および輝度低下を補正する（Ｓ３）。このとき、歪曲補正と輝度補正とを同時に実行すれば、画像処理時間が短縮されるとともに画像処理精度が向上する。画像リサイズ（Ｓ２）及び歪曲・輝度補正（Ｓ３）が補正ステップとなる。
【００５４】
補正後の画像に対して、パターンマッチングを実行することにより太陽光発電セルの状態を認識し、太陽電池パネル５０における良品セルのマスクを行う（Ｓ４〜Ｓ６）。パターンマッチングは、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと検査対象の太陽光発電セルとを比較し、特定テンプレートに対する類似度が所定値以上又は所定値未満の太陽光発電セルを抽出する作業である。具体的には、上記の「太陽電池パネルの検査装置」で説明した＜１＞〜＜１０＞の手順による「パターンマッチング法」を実行する。ここで、所定値として、太陽電池パネルの種類に応じた閾値（類似度の判定基準）が設定される。閾値は、例えば、先に説明した類似サイドにおける閾値ｐ１、及び非類似サイドにおける閾値ｐ２とすることができる。閾値は、テンプレートを１００％とすると、６０〜９０％の範囲とすることが好ましい。閾値が６０％未満では、太陽光発電セルの特定に支障が発生し、検査精度が低下する。一方、閾値が９０％を超えると、過剰な基準のため良品と判定される太陽光発電セルの数が極端に減少し、検査効率が悪くなる。パターンマッチングの結果に基づいて、必要に応じて太陽光発電セルのランク分け（ランク値の設定）が行われ、太陽光発電セルの認識が行われる（Ｓ５）。
【００５５】
次に、太陽電池パネル５０における良品セルのマスクを行う（Ｓ６）。これは、Ｓ５で認識したセルの中から明らかに良品のセルを除外する作業である。上記のパターンマッチング（Ｓ４）、セル認識（Ｓ５）、及び良品セルのマスク（Ｓ６）が比較ステップとなる。
【００５６】
最後に、太陽電池パネル５０に対する良否判定を行う（Ｓ７）。この良否判定は、各セルのランク値などからコンピュータ２０が自動的に行うことができる。良否判定（Ｓ７）が判定ステップとなる。
【００５７】
＜第４実施形態＞
図５は、本発明の第４実施形態による、太陽電池パネルのＥＬ検査方法の手順を示すフローチャートである。第４実施形態の太陽電池パネルのＥＬ検査方法は、上述した第２実施形態の太陽電池パネルのＥＬ検査装置に対応し、以下に説明するステップ１０からステップ２０により実行される。なお、図５では、各ステップを記号「Ｓ」として示している。
【００５８】
初めに、発光ステップとして、検査対象の太陽電池パネル５０に順バイアス電流を印加する。これにより、太陽電池パネル５０をＥＬ発光させる（Ｓ１０）。次に、撮影ステップとして、ＥＬ発光状態の太陽電池パネル５０の画像（すなわち、ＥＬ画像）を撮影する（Ｓ１１）。この撮影では、短焦点広角レンズ１１を使用する。これにより、太陽電池パネル５０が大型（例えば、２ｍ×１ｍのサイズ）の場合にも、パネル全体を撮影することができる。
【００５９】
短焦点広角レンズ１１を用いて撮影した画像は、ディスプレイサイズに適合するように、必要に応じてリサイズする（Ｓ１２）。リサイズ前の元の画像は、拡大表示の際に利用することができる。次に、短焦点広角レンズ１１の影響による画像周辺部の歪曲および輝度低下を補正する（Ｓ１３）。このとき、歪曲補正と輝度補正とを同時に実行すれば、画像処理時間が短縮されるとともに画像処理精度が向上する。画像リサイズ（Ｓ１２）及び歪曲・輝度補正（Ｓ１３）が補正ステップとなる。
【００６０】
補正後の画像に対して、パターンマッチングを実行することにより太陽光発電セルの状態を認識し、太陽電池パネル５０における不良個所を抽出する（Ｓ１４〜Ｓ１８）。パターンマッチングは、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと検査対象の太陽光発電セルとを比較し、特定テンプレートに対する類似度が所定値以上又は所定値未満の太陽光発電セルを抽出する作業である。具体的には、上記の「太陽電池パネルの検査装置」で説明した＜１＞〜＜１０＞の手順による「パターンマッチング法」を実行する。ここで、所定値として、太陽電池パネルの種類に応じた閾値（類似度の判定基準）が設定される。閾値は、例えば、先に説明した類似サイドにおける閾値ｐ１、及び非類似サイドにおける閾値ｐ２とすることができる。閾値は、テンプレートを１００％とすると、６０〜９０％の範囲とすることが好ましい。閾値が６０％未満では、太陽光発電セルの特定に支障が発生し、検査精度が低下する。一方、閾値が９０％を超えると、過剰な基準のため良品と判定される太陽光発電セルの数が極端に減少し、検査効率が悪くなる。パターンマッチングの結果に基づいて、必要に応じて太陽光発電セルのランク分け（ランク値の設定）が行われ、太陽光発電セルの認識が行われる（Ｓ１５）。
【００６１】
その後、必要に応じて、サブ補正ステップとして、セルの輝度補正（Ｓ１６）及びセル画像の二値化（Ｓ１７）を実行する。これらのサブ補正ステップの実行は任意であるが、セルの輝度補正やセル画像の二値化を行うと、後の判定ステップにおける精度向上が期待できる。
【００６２】
次に、太陽電池パネル５０におけるセルの不良個所を抽出する（Ｓ１８）。これは、Ｓ１５で認識したセルの中から（あるいは、サブ補正ステップにより補正されたセルの中から）不良のセルを抽出する作業である。上記のパターンマッチング（Ｓ１４）、セル認識（Ｓ１５）、及び不良個所の抽出（Ｓ１８）が比較ステップとなる。この比較ステップには、セルの輝度補正（Ｓ１６）及びセル画像の二値化（Ｓ１７）を含めても構わない。
【００６３】
抽出したセルの不良個所に対して、強調表示を行う（Ｓ１９）。この強調表示には着色表示も含まれる。例えば、不良個所を黒色化し、その他の箇所を白色化することにより、画像を二値化する。最後に、太陽電池パネル５０に対する良否判定を行う（Ｓ２０）。この良否判定は、黒色化の面積などからコンピュータ２０が自動的に行うことができる。セル不良個所の強調表示（Ｓ１９）及び良否判定（Ｓ２０）が判定ステップとなる。
【００６４】
以上の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、太陽電池パネルにおける欠陥の有無を迅速に、効率よく且つ確実に検査することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明の太陽電池パネルのＥＬ検査装置、及び太陽電池パネルのＥＬ検査方法は、種々のタイプの太陽電池パネルの検査に利用可能であり、特に、大型の太陽電池パネルの検査に対して適用できる。
【符号の説明】
【００６６】
１      ＤＣ電源
１０    カメラ（撮影部）
１１    短焦点広角レンズ
２０    コンピュータ
２１    補正部
２２    比較部
２３    判定部
３０    暗室
３１    撮影窓
５０    太陽電池パネル
５１    検査面
１００  ＥＬ検査装置
【図１】
2011152445.tif 000003
【図２】
2011152445.tif 000004
【図３】
2011152445.tif 000005
【図４】
2011152445.tif 000006
【図５】
2011152445.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月13日(2012.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネルのＥＬ検査装置であって、
検査対象の太陽電池パネルに順バイアス電流を印加してＥＬ発光させるＤＣ電源と、
ＥＬ発光状態の前記太陽電池パネルを撮影する撮影部と、
撮影した前記太陽電池パネルの画像を補正する補正部と、
補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較部と、
比較結果に基づいて、前記太陽電池パネルの良否を判定する判定部と、
を備え、前記テンプレートとして、前記太陽電池パネルの構成単位である一つの前記太陽光発電セルの１／ｎ倍サイズの画像（ｎ＞１）を基準画像とする太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項２】
前記補正部は、前記画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行する請求項１に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項３】
前記比較部は、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクする請求項１又は２に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項４】
前記比較部は、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値未満の類似度を有する太陽光発電セルを強調する請求項１〜３の何れか一項に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項５】
前記比較部は、前記特定テンプレートを別の特定テンプレートに変更する請求項３又は４に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項６】
前記判定部は、判定結果に応じて、前記撮影した画像を色分けする請求項１〜５の何れか一項に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査装置。
【請求項７】
複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネルのＥＬ検査方法であって、
検査対象の太陽電池パネルに順バイアス電流を印加してＥＬ発光させる発光ステップと、
ＥＬ発光状態の前記太陽電池パネルを撮影する撮影ステップと、
撮影した前記太陽電池パネルの画像を補正する補正ステップと、
補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較ステップと、
比較結果に基づいて、前記太陽電池パネルの良否を判定する判定ステップと、
を包含し、前記テンプレートとして、前記太陽電池パネルの構成単位である一つの前記太陽光発電セルの１／ｎ倍サイズの画像（ｎ＞１）を基準画像とする太陽電池パネルのＥＬの検査方法。
【請求項８】
前記補正ステップにおいて、前記画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行する請求項７に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【請求項９】
前記比較ステップにおいて、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクする請求項７又は８に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【請求項１０】
前記比較ステップにおいて、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値未満の類似度を有する太陽光発電セルを強調する請求項７〜９の何れか一項に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【請求項１１】
前記比較ステップにおいて、前記特定テンプレートを別の特定テンプレートに変更する請求項９又は１０に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【請求項１２】
前記判定ステップにおいて、判定結果に応じて、前記撮影した画像を色分けする請求項７〜１１の何れか一項に記載の太陽電池パネルのＥＬ検査方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
。特許文献２の検査装置は、ＥＬ画像を強調処理することにより欠陥が存在する領域の表示を行っている。しかし、太陽電池パネルの最終的な良否判定は目視に頼っているのが現実である。従って、特許文献２の検査装置では、効率よく且つ確実なＥＬ検査を行うことは困難である。さらに、特許文献２の検査装置では、原画像をそのまま直接強調処理しているので、後から原画像を確認することも出来ない。
［００１０］
このように、現状においては、太陽電池パネルのＥＬ検査を行うに際し、取り扱いが容易であるとともに、欠陥有無の検査を効率よく且つ確実に実施し得るＥＬ検査装置やＥＬ検査方法は未だ開発されていない。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、特に、大型の太陽電池パネルに対して適用可能な、太陽電池パネルのＥＬ検査装置、及びＥＬ検査方法を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
［００１１］
上記課題を解決するための本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査装置の特徴構成は、
複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネルのＥＬ検査装置であって、
検査対象の太陽電池パネルに順バイアス電流を印加してＥＬ発光させるＤＣ電源と、
ＥＬ発光状態の前記太陽電池パネルを撮影する撮影部と、
撮影した前記太陽電池パネルの画像を補正する補正部と、
補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較部と、
比較結果に基づいて、前記太陽電池パネルの良否を判定する判定部と、
を備え、前記テンプレートとして、前記太陽電池パネルの構成単位である一つの前記太陽光発電セルの１／ｎ倍サイズの画像（ｎ＞１）を基準画像とすることにある。
［００１２］
背景技術の項目で説明したように、特に、大型の太陽電池パネルを検査するためには、従来は反射鏡等の補助が必要であり、そのため、検査装置全体の取り扱いが困難なものとなっていた。また、太陽電池パネルの良否判定を効率よく且つ確実に行い得る手法も確立されていなかった。
この点、本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置では、撮影部によって撮
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
影したＥＬ発光状態の太陽電池パネルの画像（すなわち、ＥＬ画像）を補正する補正部を備えている。このため、太陽電池パネルとカメラとの撮影距離を短縮するにあたって、反射鏡を使用せずに短焦点広角レンズを利用して太陽電池パネルの全体を撮影した場合でも、補正部が撮影画像の周辺部の歪みや暗部を補正することにより、通常のレンズで撮影した場合と同等の画像を得ることができる。その結果、後の比較部による比較、及び判定部による判定を良好に行うことができる。
また、補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較部と、比較結果に基づいて、太陽電池パネルの良否を判定する判定部とを備えているので、太陽電池パネルにおける欠陥の有無を効率よく且つ確実に検査することができる。例えば、良好な太陽電池パネルの一部に相当するサンプルをテンプレートとして採用することにより、検査対象の太陽電池パネルと良好な太陽電池パネルとの類似度（すなわち、両者がどの程度一致しているか）を確認することができる。その結果、太陽電池パネルのＥＬ検査を迅速且つ確実に実施することができる。テンプレートとして、太陽電池パネルの構成単位である一つの太陽光発電セルの１／ｎ倍サイズの画像（ｎ＞１）を基準画像としているので、演算回数を１／ｎに減少させることができる。
［００１３］
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査装置において、
前記補正部は、前記画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行することが好ましい。
［００１４］
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置であれば、補正部が、撮影した画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行するので、画像処理時間が短縮されるとともに、画像処理精度が向上する。その結果、太陽電池パネルのＥＬ検査をより迅速且つ確実に実施することができる。正確な測定ができる。
［００１５］
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査装置において、
前記比較部は、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクすることが好ましい。
［００１６］
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置であれば、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、太陽電池パネルを構成する太陽光
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
好ましい。
［００２２］
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置であれば、判定部が、判定結果に応じて、撮影した画像を色分けすることにより、検査結果をオペレータに対して分かり易く表示することができる。
［００２３］
上記課題を解決するための本発明に係る太陽電池パネルの検査方法の特徴構成は、
複数の太陽光発電セルを備えた太陽電池パネルのＥＬ検査方法であって、
検査対象の太陽電池パネルに順バイアス電流を印加してＥＬ発光させる発光ステップと、
ＥＬ発光状態の前記太陽電池パネルを撮影する撮影ステップと、
撮影した前記太陽電池パネルの画像を補正する補正ステップと、
補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較ステップと、
比較結果に基づいて、前記太陽電池パネルの良否を判定する判定ステップと、
を包含し、前記テンプレートとして、前記太陽電池パネルの構成単位である一つの前記太陽光発電セルの１／ｎ倍サイズの画像（ｎ＞１）を基準画像とすることにある。
［００２４］
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、上述した本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置と同様の作用効果を奏する。
すなわち、撮影ステップにおいて撮影したＥＬ発光状態の太陽電池パネルの画像（すなわち、ＥＬ画像）を補正ステップにより補正することができる。このため、太陽電池パネルとカメラとの撮影距離を短縮するにあたって、反射鏡を使用せずに短焦点広角レンズを利用して太陽電池パネルの全体を撮影した場合でも、撮影画像の周辺部の歪みや暗部を補正することにより、通常のレンズで撮影した場合と同等の画像を得ることができる。その結果、後の比較ステップによる比較、及び判定ステップによる判定を良好に行うことができる。
また、補正後の画像と基準となるテンプレートとを比較する比較ステップと、比較結果に基づいて、太陽電池パネルの良否を判定する判定ステップとを実行することにより、太陽電池パネルにおける欠陥の有無を効率よく且つ
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
確実に検査することができる。例えば、良好な太陽電池パネルの一部に相当するサンプルをテンプレートとして採用することにより、検査対象の太陽電池パネルと良好な太陽電池パネルとの類似度（すなわち、両者がどの程度一致しているか）を確認することができる。その結果、太陽電池パネルのＥＬ検査を迅速且つ確実に実施することができる。テンプレートとして、太陽電池パネルの構成単位である一つの太陽光発電セルの１／ｎ倍サイズの画像（ｎ＞１）を基準画像としているので、演算回数を１／ｎに減少させることができる。
［００２５］
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査方法において、
前記補正ステップにおいて、前記画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行することが好ましい。
［００２６］
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、上述した本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置と同様の作用効果を奏する。
すなわち、補正ステップにおいて、撮影した画像の歪曲補正と輝度補正とを同時に実行するので、画像処理時間が短縮されるとともに、画像処理精度が向上する。その結果、太陽電池パネルのＥＬ検査をより迅速且つ確実に実施することができる
［００２７］
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査方法において、
前記比較ステップにおいて、前記テンプレートとして、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、当該特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクすることが好ましい。
［００２８］
本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査方法によれば、上述した本構成の太陽電池パネルのＥＬ検査装置と同様の作用効果を奏する。
すなわち、検査対象の太陽光発電セルに応じた特定テンプレートを作成し、太陽電池パネルを構成する太陽光発電セルのうち、特定テンプレートと比較して所定値以上の類似度を有する太陽光発電セルをマスクする。ここで、マスクされた太陽光発電セルは、良品であることが確実なセルである。従って、本構成によれば、太陽光発電セルの検査数を低減することができ、その結果、太陽電池パネルの検査速度及び検査精度が向上する。
［００２９］
本発明に係る太陽電池パネルのＥＬ検査方法において、
【国際調査報告】
2011152445.tif 000008
2011152445.tif 000009