(57)【要約】  棚（３００）のいずれかの棚板（３０１）に載置される対象物（２０２）を移載する移載装置（１００）であって、棚（３００）の前側に配置され、鉛直方向に延びて配置される２本の支柱（１０１）と、支柱（１０１）の上部の前側面に架橋状に取り付けられる上部レール（１０２）と、２本の支柱（１０１）を含む平面内に配置され、上部レール（１０２）の側面と摺動可能に接続される鉛直レール（１０３）と、鉛直レール（１０３）の下方に配置され、支柱（１０１）の下部に取り付けられると共に、鉛直レール（１０３）と摺動可能に接続される下部レール（１０４）と、対象物（２０２）を着脱可能に保持し、鉛直レール（１０３）の側面と摺動可能に接続される保持手段（１０５）とを備える。
2011141966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向に複数個配置され水平方向に複数個配置される棚板を備える棚のいずれかの棚板に載置される対象物を他の棚板に移載する移載装置であって、
棚の前側に配置され、鉛直方向に延びて配置される２本の支柱と、
水平方向に延び、前記支柱の上部の前側面に架橋状に取り付けられる上部レールと、
鉛直方向に延びて配置され、前記上部レールの側面と摺動可能に接続される鉛直レールと、
前記平面内の前記鉛直レールの下方に配置され、前記支柱の下部に取り付けられると共に、前記鉛直レールと摺動可能に接続される下部レールと、
前記対象物を着脱可能に保持する保持手段であって、棚に向かって前記鉛直レールから突出状に配置され、前記鉛直レールの側面と摺動可能に接続される保持手段と
を備える移載装置。
【請求項２】
さらに、
前記支柱の前側に配置され、前記保持手段の可動領域を覆うカバーであって、
前記上部レールを覆う上部カバーと、
前記上部カバーより後方に配置され、前記可動領域の下部を覆う下部カバーと
を備える請求項１に記載の移載装置。
【請求項３】
前記上部レールは、前記鉛直レールを水平に駆動する水平駆動手段を備え、前記下部レールは、前記鉛直レールを水平に駆動する水平駆動手段を備えない
請求項１に記載の移載装置。
【請求項４】
前記鉛直レールは、上端部側方に、前記保持手段を鉛直方向に駆動する鉛直駆動手段を備え、
前記上部レールは、前記鉛直駆動手段よりも下方に配置される
請求項１に記載の移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、半導体製造装置と通路との間に配置され、半導体の製造に必要な基板などが収容される対象物を一時的に保管する棚に対し、前記対象物の載置場所を前記棚内で変更する移載装置などに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置に対しガラス基板やシリコン基板等の基板を他の場所から搬入したり、処理済の基板を他の場所に搬出したりする場合、複数枚の基板をコンテナと称される箱に収容して搬送することが行われている。当該コンテナの搬送は、半導体工場の省スペース化のためなどにより、工場の天井付近を走行する天井搬送車により行われる。【０００３】
ここで、半導体の製造工程における前工程の進捗や後工程の進捗などにより、コンテナを一時的に保管する必要が発生するため、半導体製造装置のローダやアンローダの上方にはコンテナを保管する棚が設けられている。そして、処理可能になれば該当するコンテナを棚からローダに自動的に移載し、処理済の基板が収容されるコンテナをアンローダから棚に移載することができる移載装置が設けられている。【０００４】
半導体製造工場は、省スペース化のため、通路を挟んで両側に半導体製造装置が設置され、ローダやアンローダは、半導体製造装置と通路の間に配置され、移載装置はさらにローダやアンローダと通路との間に配置される。【０００５】
例えば、特許文献１には、当該移載装置や棚が記載されている。特許文献１に記載されるような棚は、省スペース化をできる限り図るために、移載装置が保持するコンテナが棚の内方で移動できるように水平方向や鉛直方向に通路が設けられている。また、移載装置は、できるだけ通路を広く確保するために、コンテナを保持する保持手段を鉛直方向に移動させるためのレールと当該レールを水平方向に移動させるためのレールとを棚に張り付くように配置している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２９８０６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
昨今の基板の大型化などにより、基板を含むコンテナの重量が重くなってきているため、移載装置も高い剛性が要求されるようになってきている。【０００８】
本願発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、移載装置の剛性を満足させつつ、当該移載装置の配置場所近傍に広い通路を確保することのできる移載装置の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本願発明にかかる移載装置は、鉛直方向に複数個配置され水平方向に複数個配置される棚板を備える棚のいずれかの棚板に載置される対象物を他の棚板に移載する移載装置であって、棚の前側に配置され、鉛直方向に延びて配置される２本の支柱と、水平方向に延び、前記支柱の上部の前側面に架橋状に取り付けられる上部レールと、鉛直方向に延びて配置され、前記上部レールの側面と摺動可能に接続される鉛直レールと、前記平面内の前記鉛直レールの下方に配置され、前記支柱の下部に取り付けられると共に、前記鉛直レールと摺動可能に接続される下部レールと、前記対象物を着脱可能に保持する保持手段であって、棚に向かって前記鉛直レールから突出状に配置され、前記鉛直レールの側面と摺動可能に接続される保持手段とを備えることを特徴としている。【００１０】
これにより、鉛直レールを上部レールと下部レールとでガイドしているため移載装置の剛性を高めることが可能となる。また、上部レールと下部レールとに荷重を分散させることができるため、上部レールを薄くして、通路側に突出する量を抑制することが可能となる。さらに、下部レールが支柱と同じ平面内に配置されているため、人間が通過する高さにおける移載装置の厚みを実質的に薄くすることができ、さらに広い通路を確保することが可能となる。【００１１】
さらに、前記支柱の前側に配置され、前記保持手段の可動領域を覆うカバーであって、前記上部レールを覆う上部カバーと、前記上部カバーより後方に配置され、前記可動領域の下部を覆う下部カバーとを備えてもよい。【００１２】
また、前記上部レールは、前記鉛直レールを水平に駆動する水平駆動手段を備え、前記下部レールは、前記鉛直レールを水平に駆動する水平駆動手段を備えないほうがよい。【００１３】
これにより、薄い下部レールを移載装置に採用することができ、さらに広い通路を確保することが可能となる。【００１４】
また、前記鉛直レールは、上端部側方に、前記保持手段を鉛直方向に駆動する鉛直駆動手段を備え、前記上部レールは、前記鉛直駆動手段よりも下方に配置されることが好ましい。【００１５】
これにより、移載装置の上方空間を広く確保することができ、天井走行車に保持される対象物と移載装置との干渉を容易に回避できるようになる。
【発明の効果】
【００１６】
本願発明によれば、移載装置の高い剛性を確保しつつ、広い通路を確保しうる移載装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、移載装置全体を示す斜示図である。
【図２】図２は、カバーを外した移載装置を示す斜示図である。
【図３】図３は、移載装置を人と共に側面から示す平面図である。
【図４】図４は、扉を開けて人が対象物にアクセスした場合を側面から示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本願発明の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００１９】
図１は、移載装置全体を示す斜示図である。
【００２０】
図２は、カバーを外した移載装置を示す斜示図である。
【００２１】
これらの図に示すように、移載装置１００は、半導体製造装置などの装置２００の前側であって、ローダアンローダ２０１の前側に配置され、鉛直方向に複数個配置され水平方向に複数個配置される棚板３０１を備える棚３００のいずれかの棚板に載置される対象物２０２を他の棚板に移載する装置であって、支柱１０１と、上部レール１０２と、鉛直レール１０３と、下部レール１０４と、保持手段１０５と、カバー１０６と、水平駆動手段１０７と、鉛直駆動手段１０８とを備えている。
【００２２】
支柱１０１は、棚３００の前側に配置され、鉛直方向に延びて配置される柱である。本実施の形態の場合、装置２００の幅よりも若干広い間隔で配置され、２本の支柱１０１が作る平面が装置の前面と平行となるように配置されている。
【００２３】
上部レール１０２は、水平方向に延びて配置され、２本の支柱１０１の上部の前側面に架橋状に取り付けられる部材である。本実施の形態の場合、上部レール１０２の内部には、鉛直レール１０３を水平方向に駆動するための無端ベルトが設けられている。
【００２４】
鉛直レール１０３は、鉛直方向に延びて配置されると共に２本の支柱１０１を含む平面内に配置され、上部レール１０２の側面と摺動可能に接続される部材である。鉛直レール１０３と上部レール１０２とは、前後方向に重なり合うように配置されている。
【００２５】
下部レール１０４は、２本の支柱１０１が仮想的に形成する平面内に配置され、鉛直レール１０３の下方に配置されており、支柱１０１の下部に両端部がそれぞれ突き合わせた状態で２本の支柱１０１に対して架橋状に取り付けられている。また、下部レール１０４は、鉛直レール１０３と摺動可能に接続されている。つまり、下部レール１０４と鉛直レール１０３とは、同一平面内に配置され、鉛直レール１０３は、前記平面内を移動するものとなっている。
【００２６】
本実施の形態の場合、下部レール１０４と鉛直レール１０３とは、プーリーケース１３１を介して接続されている。プーリーケース１３１と鉛直レール１０３とは固定されており、下部レール１０４の延びている方向に共に移動するものとなっている。なお、プーリーケース１３１に剛性が足りない場合などは、プーリーケース１３１を回避しつつ下部レール１０４と鉛直レール１０３とを接続するブラケットなどを設けてもかまわない。
【００２７】
保持手段１０５は、対象物２０２を着脱可能に保持する装置であって、棚３００に向かって鉛直レール１０３から突出状に配置され、鉛直レール１０３の側面と摺動可能に接続される装置である。
【００２８】
本実施の形態の場合、対象物２０２は、上部に保持用のフランジ２０３が設けられており、保持手段１０５は、水平方向に移動することでフランジ２０３を挿脱可能することができ、フランジ２０３が挿入された状態において、フランジ２０３の下面と係合して対象物２０２を持ち上げることのできるかぎ爪１５１を備えている。
【００２９】
水平駆動手段１０７は、上部レール１０２の端部に取り付けられ鉛直レール１０３を水平に駆動する装置である。本実施の形態の場合、水平駆動手段１０７は、上部レール１０２に備えられる無端ベルトを順方向や逆方向に送るように駆動しており、当該無端ベルトに接続される鉛直レール１０３が上部レール１０２や下部レール１０４に案内されながら水平方向に移動するものとなっている。
【００３０】
なお、本実施の形態の場合、下部レール１０４には水平駆動手段１０７は取り付けられていない。これは、移載装置１００の前側の下部空間を広くするためである。従って、前記下部空間に影響を与えなければ、小型の駆動装置を取り付けてもかまわない。
【００３１】
鉛直駆動手段１０８は、鉛直レール１０３の上端部側方に取り付けられ、保持手段１０５を鉛直方向に駆動する装置である。本実施の形態の場合、鉛直駆動手段１０８は、上部レール１０２と同様に、鉛直レール１０３に備えられる無端ベルトを順方向や逆方向に送るように駆動しており、当該無端ベルトに接続される保持手段１０５が鉛直レール１０３に案内されながら水平方向に移動するものとなっている。
【００３２】
本実施の形態の場合、上部レール１０２は、鉛直駆動手段１０８の下方に配置されており、鉛直レール１０３と共に鉛直駆動手段１０８が移動しても上部レール１０２と鉛直駆動手段１０８とが干渉しないものとなっている。
【００３３】
カバー１０６は、移載装置１００の稼働時においては、人と移載装置１００とを隔絶する壁であって、２本の支柱１０１の前側に配置され、保持手段１０５の可動領域の全域を覆うカバーであって、可動領域の上部に位置する上部レール１０２を覆うように前側に膨出し、上部レール１０２に沿って延びる上部カバー１６１と、上部カバー１６１より後方に配置され、可動領域の下部を覆う下部カバー１６３とを備える板状の部材である。本実施の形態の場合、下部カバー１６３には、扉１６２が３枚設けられており、当該扉１６２を空けることで、移載装置１００や、ローダアンローダ２０１にアクセスできるものとなっている。
【００３４】
棚３００は、ローダアンローダ２０１の上方に配置され、天井走行車などから受け取った対象物２０２を一時的に保管し、天井走行車などに受け渡すための対象物２０２を一時的に保管する、いわゆる装置前バッファである。本実施の形態の場合、棚３００は、縦方向に３枚の棚板３０１を備え、当該棚板３０１を３列備えており、合計９個の対象物２０２を載置できるものとなっている。また、棚３００は、棚板３０１の間に上下方向に延びる通路を備えており、対象物２０２を棚３００の内方で上下方向に移動できる構成となっている。
【００３５】
さらに、棚３００とローダアンローダ２０１との間は、対象物２０２が水平方向にも移動できる空間が形成されている。従って、棚３００は、上記移載装置１００により、棚３００の内方で対象物２０２を自由に移載することができるものとなっている。
【００３６】
ローダアンローダ２０１は、装置２００に対し、対象物２０２に収容されている基板などを搬入し、また、処理後の基板などを対象物２０２に収容して搬出するための装置である。本実施の形態の場合、ローダアンローダ２０１は、一時的に対象物２０２を保管する棚３００としても機能している。
【００３７】
図３は、移載装置を人と共に側面から示す平面図である。
【００３８】
以上の移載装置１００によれば、上下方向に上部レール１０２と下部レール１０４とを備え、高い剛性を備えているにも関わらず、前側（同図中左）に突出する部分を上部に集中させることにより、人Ｈや、走行車（図示せず）が通行する空間の幅を広く確保することが可能となる。つまり、実質的に広い通路幅を確保することが可能となる。
【００３９】
また、鉛直駆動手段１０８が支柱１０１よりも上方に配置されることなく、また、上部レール１０２とも干渉することがないため、移載装置１００の上方空間を広くすることが可能となる。従って、天井走行車等が装置２００の上部に配置されているような場合でも、天井走行車との干渉を回避することが可能となる。
【００４０】
図４は、扉を開けて人が対象物にアクセスした場合を側面から示す平面図である。
【００４１】
同図に示すように、移載装置１００が停止中にカバー１０６の扉１６２を開け、人Ｈがローダアンローダ２０１に載置されている対象物２０２に等にアクセスする場合でも、下部レール１０４が支柱１０１よりも前側に突出することなく比較的下方に配置されているため、下部レール１０４が邪魔になることなく、人Ｈが対象物２０２に容易にアクセスすることが可能となる。
【００４２】
なお、本願発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、保持手段１０５は、対象物２０２の上部に設けられるフランジ２０３と係合し、対象物２０２をつり下げ状態で移送するものばかりでなく、対象物２０２の下部に爪を挿入して持ち上げる方式の保持手段１０５であってもかまわない。また、棚３００は、対象物２０２を縦３段、横３列で載置できるものを示したが、本実施の形態で示したローダアンローダ２０１も対象物２０２が載置されるものであり、ローダアンローダ２０１も棚３００の一部を構成している。
【００４３】
また、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて実現される別の実施の形態を本願発明の実施の形態としてもよい。上記実施の形態に対して本願発明の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本願発明に含まれる。
【００４４】
また、「鉛直」や「平面」「平行」などの文言は、本願発明の趣旨を逸脱しない程度の誤差を許容する意味で使用している。また、「ローダアンローダ」の文言は、搬入装置、および、搬出装置のいずれかの機能、または、両方の機能を含む装置を示している。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本願発明は、半導体製造装置等の近傍に設けられる装置前自動倉庫に適用可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１００  移載装置
１０１  支柱
１０２  上部レール
１０３  鉛直レール
１０４  下部レール
１０５  保持手段
１０６  カバー
１０７  水平駆動手段
１０８  鉛直駆動手段
１３１  プーリーケース
１５１  かぎ爪
１６１  上部カバー
１６２  扉
１６３  下部カバー
２００  装置
２０１  ローダアンローダ
２０２  対象物
２０３  フランジ
３００  棚
３０１  棚板
【図１】
2011141966.tif 000003
【図２】
2011141966.tif 000004
【図３】
2011141966.tif 000005
【図４】
2011141966.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成23年8月22日(2011.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向に複数個配置され水平方向に複数個配置される棚板を備える棚のいずれかの棚板に載置される対象物を他の棚板に移載する移載装置であって、
棚の前側に配置され、鉛直方向に延びて配置される２本の支柱と、
水平方向に延び、前記支柱の上部の前側面に架橋状に取り付けられる上部レールと、
鉛直方向に延びて配置され、前記上部レールの側面と摺動可能に接続される鉛直レールと、
２本の前記支柱が仮想的に形成する平面内の前記鉛直レールの下方に配置され、前記支柱の下部に両端部をそれぞれ突き合わせた状態で架橋状に取り付けられると共に、前記鉛直レールと摺動可能に接続される下部レールと、
前記対象物を着脱可能に保持する保持手段であって、棚に向かって前記鉛直レールから突出状に配置され、前記鉛直レールの側面と摺動可能に接続される保持手段とを備え、
前記鉛直レールは、前記平面内を移動する
移載装置。
【請求項２】
さらに、
前記支柱の前側に配置され、前記保持手段の可動領域を覆うカバーであって、
前記上部レールを覆う上部カバーと、
前記上部カバーより後方に配置され、前記可動領域の下部を覆う下部カバーと
を備える請求項１に記載の移載装置。
【請求項３】
前記上部レールは、前記鉛直レールを水平に駆動する水平駆動手段を備え、前記下部レールは、前記鉛直レールを水平に駆動する水平駆動手段を備えない
請求項１に記載の移載装置。
【請求項４】
前記鉛直レールは、上端部側方に、前記保持手段を鉛直方向に駆動する鉛直駆動手段を備え、
前記上部レールは、前記鉛直駆動手段よりも下方に配置される
請求項１に記載の移載装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
配置している。
先行技術文献
特許文献
［０００６］
特許文献１：特開２００１−２９８０６９号公報
発明の概要
発明が解決しようとする課題
［０００７］
昨今の基板の大型化などにより、基板を含むコンテナの重量が重くなってきているため、移載装置も高い剛性が要求されるようになってきている。
［０００８］
本願発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、移載装置の剛性を満足させつつ、当該移載装置の配置場所近傍に広い通路を確保することのできる移載装置の提供を目的としている。
課題を解決するための手段
［０００９］
上記課題を解決するために、本願発明にかかる移載装置は、鉛直方向に複数個配置され水平方向に複数個配置される棚板を備える棚のいずれかの棚板に載置される対象物を他の棚板に移載する移載装置であって、棚の前側に配置され、鉛直方向に延びて配置される２本の支柱と、水平方向に延び、前記支柱の上部の前側面に架橋状に取り付けられる上部レールと、鉛直方向に延びて配置され、前記上部レールの側面と摺動可能に接続される鉛直レールと、２本の前記支柱が仮想的に形成する平面内の前記鉛直レールの下方に配置され、前記支柱の下部に両端部をそれぞれ突き合わせた状態で架橋状に取り付けられると共に、前記鉛直レールと摺動可能に接続される下部レールと、前記対象物を着脱可能に保持する保持手段であって、棚に向かって前記鉛直レールから突出状に配置され、前記鉛直レールの側面と摺動可能に接続される保持手段とを備え、前記鉛直レールは、前記平面内を移動することを特徴としている。
［００１０］
これにより、鉛直レールを上部レールと下部レールとでガイドしているため移載装置の剛性を高めることが可能となる。また、上部レールと下部レールとに荷重を分散させることができるため、上部レールを薄くして、通路側に突出する量を抑制することが可能となる。さらに、下部レールが支柱と同
【手続補正書】
【提出日】平成24年11月28日(2012.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
鉛直駆動手段１０８は、鉛直レール１０３の上端部側方に取り付けられ、保持手段１０５を鉛直方向に駆動する装置である。本実施の形態の場合、鉛直駆動手段１０８は、上部レール１０２と同様に、鉛直レール１０３に備えられる無端ベルトを順方向や逆方向に送るように駆動しており、当該無端ベルトに接続される保持手段１０５が鉛直レール１０３に案内されながら鉛直方向に移動するものとなっている。
【国際調査報告】
2011141966.tif 000007
2011141966.tif 000008
2011141966.tif 000009
2011141966.tif 000010