(57)【要約】  アモルファス酸化物薄膜を活性層に用いた薄膜トランジスタにであって、アモルファス酸化物薄膜が、主成分として、インジウム（Ｉｎ）と、酸素（Ｏ）と、シリコン（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、タンタル（Ｔａ）、マグネシウム（Ｍｇ）及びチタン（Ｔｉ）からなる群から選ばれる金属元素（Ｍ）とを含み、このアモルファス酸化物薄膜内のＩｎに対するＭの原子数比を０．１以上０．４以下であり、且つ、このアモルファス酸化物薄膜内のキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下である、薄膜トランジスタ。
2011093506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アモルファス酸化物薄膜を活性層に用いた薄膜トランジスタであって、
前記アモルファス酸化物薄膜は、主成分として、
インジウム（Ｉｎ）と、
酸素（Ｏ）と、
シリコン（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、タンタル（Ｔａ）、マグネシウム（Ｍｇ）及びチタン（Ｔｉ）からなる群から選ばれる金属元素（Ｍ）とを含み、
該アモルファス酸化物薄膜内のＩｎに対するＭの原子数比が０．１以上０．４以下であり、且つ、
該アモルファス酸化物薄膜内のキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下である、薄膜トランジスタ。
【請求項２】
前記金属元素（Ｍ）がＳｉ又はＡｌである、請求項１に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項３】
前記アモルファス酸化物薄膜は、さらに錫（Ｓｎ）を含み、
該アモルファス酸化物薄膜内のＩｎに対するＳｎの原子数比が０．０３以上０．５以下である、請求項１又は２に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項４】
前記薄膜トランジスタは、前記アモルファス酸化物薄膜に接するゲート絶縁膜を有し、
前記金属元素（Ｍ）がＳｉ又はＡｌであり、
ＭがＳｉの場合は前記ゲート絶縁膜が酸化シリコン膜であり、
ＭがＡｌの場合は前記ゲート絶縁膜が酸化アルミニウムである、請求項１から３のいずれか一項に記載の薄膜トランジスタ。
【請求項５】
主成分として、インジウム（Ｉｎ）と、酸素（Ｏ）と、シリコン（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、タンタル（Ｔａ）、マグネシウム（Ｍｇ）及びチタン（Ｔｉ）からなる群から選ばれる金属元素（Ｍ）とを含み、
Ｉｎに対するＭの原子数比が０．１以上０．４以下であり、且つ、
キャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下である、アモルファス酸化物薄膜。
【請求項６】
前記アモルファス酸化物薄膜は、さらに錫（Ｓｎ）を含み、
該アモルファス酸化物薄膜内のＩｎに対するＳｎの原子数比が０．０３以上０．５以下である、請求項５に記載のアモルファス酸化物薄膜。
【請求項７】
請求項１に記載の薄膜トランジスタの製造方法であって、
下記のガス圧比の条件式：
０．０５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．２５
を満たす希ガスと酸素を含む混合ガスの雰囲気下でスパッタリングを行うことにより前記アモルファス酸化物薄膜を成膜する、薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項８】
請求項３に記載の薄膜トランジスタの製造方法であって、
下記のガス圧比の条件式：
０．０５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．２５
を満たす希ガスと酸素を含む混合ガスの雰囲気下でスパッタリングを行うことにより前記アモルファス酸化物薄膜を成膜する、薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項９】
前記のアモルファス酸化物薄膜の成膜において１５０℃以上の基板温度でスパッタリングを行う、あるいは、
前記のアモルファス酸化物薄膜の成膜において１５０℃未満の基板温度でスパッタリングを行い、その後に１５０℃以上の熱処理を行う、請求項７又は８に記載の薄膜トランジスタの製造方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の薄膜トランジスタの製造方法であって、
Ｉｎ、前記金属元素（Ｍ）及びＯを含む液体を基板上に塗布又は印刷し、その後、カーボン密度が１×１０１９ｃｍ−３以下となるように１５０℃以上で熱処理を行って該液体を固化し、前記アモルファス酸化物薄膜を形成する、薄膜トランジスタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アモルファス酸化物薄膜、これを用いた薄膜トランジスタ及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インジウム、スズ及び酸素の化合物であるＩＴＯ膜をはじめとする酸化物透明導電膜は、数百ｎｍ程度の膜厚において数Ω／□のシート抵抗が得られること、及び可視光に対する透過率が高いことから、各種のフラットパネルディスプレイ、光電変換素子などに広く用いられている。【０００３】
近年、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ薄膜等のアモルファス酸化物薄膜をチャネル層に用いた薄膜トランジスタの研究が始められた。このような酸化物薄膜は、イオン性の高い結合で構成されており、結晶とアモルファス間での電子移動度の差が小さいことが特徴である。そのため、この酸化物薄膜は、アモルファス状態でも比較的高い電子移動度が得られている。また、この酸化物薄膜は、スパッタリング法などを用いることにより室温にてアモルファス状態で形成できるため、ＰＥＴ等の樹脂基板上へ酸化物薄膜トランジスタを形成する研究も行われている。【０００４】
このようなアモルファス酸化物薄膜は、上記のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ薄膜の他に、Ｉｎ−Ｚｎ−Ｏ薄膜のように構成元素数の少ないもの、Ａｌ−Ｓｎ−Ｚｎ−Ｏ薄膜のようにレアメタルを用いないもの等、様々な薄膜が検討されている。【０００５】
非特許文献１では、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ薄膜を用いた薄膜トランジスタが報告されている。【０００６】
非特許文献２では、レアメタルをなるべく用いないという観点から、Ｓｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ薄膜を用いた薄膜トランジスタが報告されている。【０００７】
非特許文献３では、Ｇａも用いないレアメタルフリーな系として、Ａｌ−Ｚｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を用いた薄膜トランジスタが報告されている。【０００８】
非特許文献４では、構成元素数を減らすという観点から、Ｚｎ−Ｓｎ−Ｏ薄膜を用いた薄膜トランジスタが報告されている。【０００９】
非特許文献５では、一連の材料探索結果として、Ｉｎ−Ｘ−Ｏ（Ｘ：Ｂ，Ｍｇ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｚｎ，Ｇａ，Ｇｅ，Ｍｏ，Ｓｎ）薄膜を用いた薄膜トランジスタが報告されている。【００１０】
特許文献１には、薄膜トランジスタのチャネル層として用いられる酸化物半導体として、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ−Ｏ（ＭはＧａ、Ａｌ、Ｆｅの少なくとも一種）が記載されている他、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｚｎの少なくとも１種類の元素を含むアモルファス酸化物（Ｉｎ−Ｓｎ酸化物など）が例示されている。そして、このアモルファス酸化物において、ＳｎをＳｎ１−ｘＳｉｘに置換してもよいことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００７−７３７０５号公報
【非特許文献】
【００１２】
【非特許文献１】Nomura,  et  al.,  Nature,  vol.  432,  p.  488,  (2004)
【非特許文献２】Ogo,  et  al.,  physica  status  solidi  (a),  Vol.  205,  p.1920,  (2008)
【非特許文献３】Cho,  et  al.,  International  Display  Workshops  2008,  Technical  Digest,  p.  1625,  (2008)
【非特許文献４】Chiang,  et  al.,  Applied  Physics  Letters,  Vol.  86,  p.  013503,  (2005)
【非特許文献５】Goyal,  et  al.,  Materials  Research  Society  Symposium  Proceeding,  Vol.  1109,  B04-03,  (2009)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
非特許文献５や特許文献１では、Ｉｎ酸化物に一種又は二種の別の元素が添加された薄膜を用いた薄膜トランジスタが開示されている。しかしながら、これらの文献には薄膜中の各元素の適切な原子数比（組成比）やキャリア密度が開示されていない。一般に酸化物薄膜では、酸素欠損に起因してキャリアが発生することが知られており、このキャリア密度を適切な範囲に制御して半導体としての性質を有する酸化物薄膜を用いないと、良好な薄膜トランジスタ特性を得ることは困難である。例えば、キャリア密度が低すぎれば酸化物薄膜は絶縁体に近いものとなりオン電流が低くなってしまう。逆にキャリア密度が高すぎれば酸化物薄膜は金属に近いものとなりオフ電流が高くなってしまう。これらの状況ではオンオフ比が小さくなってしまい、良好なスイッチング特性が得られない。半導体として適切なキャリア密度は、１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下の範囲である。このようなキャリア密度は、薄膜中の酸素原子密度を考慮すると（酸素原子密度は１×１０２２ｃｍ−３のオーダーである）、酸素欠損割合としては０．１％以下であり微量である。従って、例えば非特許文献５の報告では、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜において０．６＜Ｉｎ／（Ｉｎ＋Ｓｉ）＜０．９という組成比の範囲を開示しているが、たとえこのような組成比の範囲内にあっても、酸素欠損割合が０．１％を超えてしまいキャリア密度が高すぎると、薄膜トランジスタの活性層として機能しないことになる。【００１４】
本発明者らは、上記の問題を明らかにするとともに、この問題を解決するためには酸化物薄膜の組成比の制御に加えて、数十ｐｐｍから０．１％以下の極微量の酸素欠損（即ちキャリア密度）を制御する必要があることを見出した。また、本発明者らは、このような極微量な酸素欠損密度の制御はターゲット内の酸素原子の組成比を変化させるだけでは困難であり、成膜時の雰囲気ガスの酸素分圧を適切に制御することが重要であることを見出した。【００１５】
本発明の目的は、電気特性に優れたアモルファス酸化物薄膜、高性能な薄膜トランジスタ及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の一態様によれば、
アモルファス酸化物薄膜を活性層に用いた薄膜トランジスタであって、
前記アモルファス酸化物薄膜は、主成分として、
インジウム（Ｉｎ）と、
酸素（Ｏ）と、
シリコン（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、タンタル（Ｔａ）、マグネシウム（Ｍｇ）及びチタン（Ｔｉ）からなる群から選ばれる金属元素（Ｍ）とを含み、
該アモルファス酸化物薄膜内のＩｎに対するＭの原子数比が０．１以上０．４以下であり、且つ、
該アモルファス酸化物薄膜内のキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下である、薄膜トランジスタが提供される。【００１７】
また本発明の他の態様によれば、
主成分として、インジウム（Ｉｎ）と、酸素（Ｏ）と、シリコン（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、タンタル（Ｔａ）、マグネシウム（Ｍｇ）及びチタン（Ｔｉ）からなる群から選ばれる金属元素（Ｍ）とを含み、
Ｉｎに対するＭの原子数比が０．１以上０．４以下であり、且つ、
キャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下である、アモルファス酸化物薄膜が提供される。【００１８】
また本発明の他の態様によれば、
上記の薄膜トランジスタの製造方法であって、
下記のガス圧比の条件式：
０．０５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．２５
を満たす希ガスと酸素を含む混合ガスの雰囲気下でスパッタリングを行うことにより前記アモルファス酸化物薄膜を成膜する、薄膜トランジスタの製造方法が提供される。【００１９】
また本発明の他の態様によれば、
上記の薄膜トランジスタの製造方法であって、
Ｉｎ、前記金属元素（Ｍ）及びＯを含む液体を基板上に塗布又は印刷し、その後、カーボン密度が１×１０１９ｃｍ−３以下となるように１５０℃以上で熱処理を行って該液体を固化し、前記アモルファス酸化物薄膜を形成する、薄膜トランジスタの製造方法が提供される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、電気特性に優れたアモルファス酸化物薄膜、高性能な薄膜トランジスタ及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかる薄膜トランジスタ（ボトムゲートスタガ型）を示す断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態にかかる薄膜トランジスタ（トップゲートスタガ型）を示す断面図である。
【図３】薄膜トランジスタの伝達特性を示す図である。
【図４】酸化物薄膜のキャリア密度の組成比依存性を示す図である。
【図５】薄膜トランジスタの伝達特性を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施形態によれば、薄膜トランジスタの活性層に好適なアモルファス酸化物半導体薄膜を提供することができる。アモルファス酸化物半導体薄膜の組成の種類、組成の比率およびキャリア密度を制御することで、オンオフ比５桁以上の良好なスイッチング特性を有する薄膜トランジスタを提供できる。また、アモルファス酸化物半導体薄膜の組成の種類を特定することにより低コストで高性能な薄膜トランジスタを提供できる。
【００２３】
本発明の実施形態によるアモルファス酸化物半導体薄膜は、レアメタルの使用を抑えることができ、あるいはこの薄膜中の元素数をできるだけ少なくでき、且つ、その薄膜中のキャリア密度が適切に制御されている。例えば、酸化インジウム成分に対して酸化シリコン成分又は酸化アルミニウム成分が適量添加され、キャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下の範囲に制御されたアモルファス酸化物半導体薄膜が提供される。このキャリア密度は、１×１０１６ｃｍ−３以上に制御でき、さらに１×１０１７ｃｍ−３以上に制御でき、また１．５×１０１８以下に制御できる。
【００２４】
この半導体薄膜は、具体的には、元素組成比を制御したＩｎ−Ｓｉ−Ｏターゲット又はＩｎ−Ａｌ−Ｏターゲットを用いてスパッタリングにより成膜することができ、その際、酸素ガス分圧／（アルゴンガス分圧＋酸素ガス分圧）の値を０．０５より大きく０．２５より小さい値に制御する。このガス圧比は、０．２以下に制御でき、さらに０．１５以下に制御できる。
【００２５】
また、この半導体薄膜は、少なくともＩｎ、Ｓｉ、Ｏ元素を含む液体、あるいはＩｎ、Ａｌ、Ｏ元素を含む液体を塗布又は印刷して、その後、１５０℃以上の熱処理を行うことで得ることができる。
【００２６】
この半導体薄膜を活性層に用いた薄膜トランジスタにおいて、半導体薄膜／絶縁体薄膜界面を形成する界面付近のアモルファス酸化物半導体薄膜のバンドギャップ内のエネルギー的に深い位置の準位密度は１×１０１５ｃｍ−３ｅＶ−１から１×１０１６ｃｍ−３ｅＶ−１の範囲である。従って、この半導体薄膜中のキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３より小さいと、このような界面を用いる薄膜トランジスタのサブスレッショルド特性（オフからオン状態へ遷移する時のゲート電圧に対するドレイン電流の増加しやすさ）が悪くなり、急峻なオンオフ特性が得られなくなる虞がある。また、キャリア密度が１×１０１９ｃｍ−３を超えてしまうと、実用的なゲート絶縁膜厚、ゲート電圧で半導体薄膜中のキャリアを空乏化させることができなくなり、その結果、良好なオフ特性が得られなくなってしまう。このため、キャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下であるアモルファス酸化物半導体薄膜を用いることは、良好な薄膜トランジスタ特性を実現するために重要である。このキャリア密度は、１×１０１６ｃｍ−３以上に制御でき、さらに１×１０１７ｃｍ−３以上に制御でき、また１．５×１０１８以下に制御できる。
【００２７】
このアモルファス酸化物半導体薄膜を構成するＳｉやＡｌに代えて、他の元素を用いることができる。すなわち、この半導体薄膜は、シリコン（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、タンタル（Ｔａ）、マグネシウム（Ｍｇ）及びチタン（Ｔｉ）からなる群から選ばれる金属元素（Ｍ）を含むことができる。
【００２８】
この金属元素（Ｍ）のＩｎに対する原子数比は０．１以上０．４以下であることが好ましい。
【００２９】
このアモルファス酸化物半導体薄膜は、Ｉｎ、金属元素（Ｍ）及びＯを含むターゲットを用い、下記のガス圧比の条件式：
０．０５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．２５
を満たす希ガスと酸素を含む混合ガスの雰囲気下でスパッタリングを行うことにより成膜できる。この条件式おけるガス圧比は、０．２以下に設定でき、さらに０．１５以下に設定できる。
【００３０】
またこのアモルファス酸化物半導体薄膜は、Ｉｎ、金属元素（Ｍ）及びＯを含む液体を基板上に塗布又は印刷し、その後に１５０℃以上の熱処理を行うことにより形成することができる。
【００３１】
このアモルファス酸化物半導体薄膜は、さらに錫（Ｓｎ）を含み、Ｉｎに対するＳｎの原子数比が０．０３以上０．５以下である薄膜であってもよい。
【００３２】
このアモルファス酸化物半導体薄膜は、Ｉｎ、Ｓｎ、金属元素（Ｍ）及びＯを含むターゲットを用い、下記のガス圧比の条件式：
０．０５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．２５
を満たす希ガスと酸素を含む混合ガスの雰囲気下でスパッタリングを行うことにより成膜できる。この条件式におけるガス圧比は、０．２以下に設定でき、さらに０．１５以下に設定できる。
【００３３】
またこのアモルファス酸化物半導体薄膜は、Ｉｎ、金属元素（Ｍ）及びＯを含む液体を基板上に塗布又は印刷し、その後、１５０℃以上の熱処理を行って該液体を固化することにより形成することができる。この熱処理は、膜中のカーボン密度が１×１０１９ｃｍ−３以下となるように行う。この液体としては、少なくともＩｎ元素、金属元素（Ｍ）及びＯ元素のいずれかを含む化合物と溶媒を含む液体を用いることができる。この液体には、当該液体に含まれる化合物に由来のＩｎ元素、金属元素（Ｍ）及びＯ元素を含むことができる。
【００３４】
以下、本発明の実施形態に関して、図面を参照しながらさらに説明する。
【００３５】
第１の実施形態
図１は、本発明の第１の実施形態にかかる薄膜トランジスタ（ボトムゲートスタガ型）を示す断面図である。プラスチックやガラスなどの絶縁性基板１０上にゲート電極１１が形成され、その上にゲート絶縁膜１２が形成されている。更にその上に、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜１３がＲＦスパッタリング法により形成される。
【００３６】
この酸化物薄膜の成膜の際、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．１以上０．４以下であり、且つ、Ｉｎに対するＳｎの平均的原子数比が０．０３以上０．５以下である組成比のＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏから成るターゲットを用いる。この場合、Ｓｉの原子数比に依存しておおよそＩｎ１０ＳｎｙＳｉｘＯｚで示される組成比のターゲットが用いられる。
【００３７】
更に加えて、下記のガス圧比の条件式：
０．０５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．２５
を満たす希ガスと酸素を含む混合ガスの雰囲気下でスパッタ成膜を行うことで、酸化物薄膜内の平均的なキャリア密度を１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下の範囲に制御することができる。その際、ガス流量比を下記の条件式：
０．０５＜酸素ガス流量／（希ガス流量＋酸素ガス流量）＜０．２５
を満たす希ガスと酸素を含む混合ガスの雰囲気下でスパッタ成膜を行うことができる。
【００３８】
ここで希ガスとしては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン等を用いることができる。
【００３９】
このようにしてスパッタ成膜されたＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜は、スパッタターゲットと同じ組成比を有している。即ち、この酸化物薄膜においては、Ｉｎ原子１０個に対してＳｉ原子の平均的な個数（ｘ）が１個から４個の範囲で、また、Ｉｎ原子１０個に対してＳｎ原子の平均的な個数（ｙ）が０．３個から５個の範囲で膜内に空間的に分布している。このときＯ原子の平均的な個数（ｚ）は、化学量論比的にはｚ＝２ｘ＋２ｙ＋１５となるが、実際には２ｘ＋２ｙ＋８＜ｚ＜２ｘ＋２ｙ＋２２の範囲で分布する。このような組成比の酸化物薄膜のＸ線回折パターンを測定したところ、回折ピークは見られずアモルファスであることが確認された。
【００４０】
この酸化物薄膜の膜厚は、１０から２００ｎｍの範囲が好ましい。１０ｎｍより薄いと高い精度での膜厚制御が難しく、また、２００ｎｍより厚い膜厚ではボトムゲート電界によるトップチャネル側界面のキャリア密度制御が困難になり、良好なオフ特性が得られない場合がある。
【００４１】
この酸化物薄膜の両側に、ソース・ドレイン電極１４が形成される。その後、保護絶縁膜１５が形成される。
【００４２】
ここで、薄膜トランジスタ特性の安定性をより高めるために、ゲート絶縁膜１２の成膜とＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜１３の成膜は、その途中で大気に曝すことなく連続して行うことが望ましい。具体的には、ゲート絶縁膜を成膜するためのスパッタチャンバと酸化物薄膜を成膜するためのスパッタチャンバとの間を真空中で基板搬送できるような成膜装置を用いて成膜することが望ましい。
【００４３】
このような薄膜トランジスタでは、オンオフ比が６ケタ以上、電界効果移動度が１０ｃｍ２Ｖ−１ｓ−１程度、閾値電圧１Ｖ程度の良好な電気特性が実現できた。
【００４４】
ここで、酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．０５の条件でＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜をスパッタ成膜すると、薄膜中のキャリア密度が１×１０１９ｃｍ−３より大きくなってしまい、薄膜トランジスタは良好なオフ特性を示さなかった。逆に、０．２５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）の条件でＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜をスパッタ成膜すると、薄膜中のキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３より小さくなってしまい、薄膜トランジスタは良好なオン特性を示さなかった。
【００４５】
また、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．１未満のターゲットを用いてＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を成膜すると、薄膜トランジスタは良好なオフ特性を示さなかった。また、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．４より大きいターゲットを用いてＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を成膜すると、薄膜トランジスタは良好なオン特性を示さなかった。
【００４６】
第１の実施形態では、ゲート絶縁膜として酸化シリコン膜を用いることが望ましい。この酸化シリコン膜は、シリコンターゲットをアルゴンと酸素の混合ガス雰囲気化でリアクティブスパッタリングすることで得られる。また、シランガスを用いたプラズマＣＶＤや熱ＣＶＤにより形成してもよい。活性層であるＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜とゲート絶縁膜である酸化シリコン膜が同じＳｉ−Ｏ結合を膜中に有しているため良好な界面特性が得られやすい。しかしながら、ゲート絶縁膜は酸化シリコン膜に限られるわけではなく、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化タンタル膜などの酸化膜や窒化膜、あるいはこれらの膜の積層膜でもよい。
【００４７】
また第１の実施形態では、活性層としてＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ膜を用いたが、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｇｅ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｔａ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｍｇ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｔｉ−Ｏ膜などを用いることができる。これらの場合も、ターゲットの組成、ガス分圧を適切に制御することで、半導体として適するキャリア密度を実現することができる。
【００４８】
第２の実施形態
図１を参照して、本発明の第２の実施形態にかかる薄膜トランジスタ（ボトムゲートスタガ型）を説明する。
【００４９】
プラスチックやガラスなどの絶縁性基板１０上にゲート電極１１が形成され、その上にゲート絶縁膜１２が形成されている。更にその上に、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜（Ｉｎ１０ＳｉｙＯｚ薄膜）１３がＲＦスパッタリング法により形成される。
【００５０】
この酸化物薄膜の成膜の際、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．１以上０．４以下である組成比のＩｎ−Ｓｉ−Ｏから成るターゲット（Ｉｎ１０Ｓｉ１Ｏ１７〜Ｉｎ１０Ｓｉ４Ｏ２３にわたる範囲の組成）を用いる。この場合、Ｓｉの原子数比に依存しておおよそＩｎ１０ＳｉｘＯ２ｘ＋１５で示される組成比のターゲットが用いられる。
【００５１】
更に加えて、下記のスパッタ成膜時のガス流量比の条件式：
０．０５＜酸素ガス流量／（希ガス流量＋酸素ガス流量）＜０．２５
を満たす希ガスと酸素を含む混合ガスの雰囲気下でスパッタ成膜を行うことで、酸化物薄膜内の平均的なキャリア密度を１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下の範囲に制御することができる。ガス流量比とガス分圧比とは等価である。すなわち、上記の流量比の条件式は、下記のガス圧比の条件式：
０．０５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．２５
と等価である。
【００５２】
ここで、希ガスとしてはヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノンなどを用いることができる。
【００５３】
このようにしてスパッタ成膜されたＩｎ１０ＳｉｙＯｚ薄膜は、スパッタターゲットとほぼ同じ組成比を有している。即ち、この酸化物薄膜においては、Ｉｎ原子１０個に対してＳｉ原子の平均的な個数（ｘ）が１個から４個の範囲で膜内に空間的に分布している。このときＯ原子の平均的な個数（ｚ）は、化学量論比的にはｚ＝２ｘ＋１５となるが、実際には２ｘ＋８＜ｚ＜２ｘ＋２２の範囲で分布する。このような組成比の酸化物薄膜のＸ線回折パターンを測定したところ、回折ピークは見られずアモルファスであることが確認された。
【００５４】
この酸化物薄膜の膜厚は、１０から２００ｎｍの範囲が好ましい。１０ｎｍより薄いと高い精度での膜厚制御が難しく、また、２００ｎｍより厚い膜厚ではボトムゲート電界によるトップチャネル側界面のキャリア密度制御が困難になり、良好なオフ特性が得られない場合がある。
【００５５】
この酸化物薄膜の両側に、ソース・ドレイン配線１４が形成される。その後、保護絶縁膜（パッシベーション絶縁膜）１５が形成される。
【００５６】
ここで、薄膜トランジスタ特性の安定性をより高めるために、ゲート絶縁膜１２の成膜とＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜１３の成膜は、その途中で大気に曝すことなく連続して行うことが望ましい。具体的には、ゲート絶縁膜を成膜するためのスパッタチャンバと酸化物薄膜を成膜するためのスパッタチャンバとの間を真空中で基板搬送できるような成膜装置を用いて成膜することが望ましい。
【００５７】
このような薄膜トランジスタでは、オンオフ比が６ケタ以上、電界効果移動度が１０ｃｍ２Ｖ−１ｓ−１程度、閾値電圧１Ｖ程度の良好な電気特性が実現できた。
【００５８】
ここで、酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．０５の条件でＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜をスパッタ成膜すると、薄膜中のキャリア密度が１×１０１９ｃｍ−３より大きくなってしまい、薄膜トランジスタは良好なオフ特性を示さずオンオフ比は２桁以下になってしまう。逆に、０．２５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）の条件でＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜をスパッタ成膜すると、薄膜中のキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３より小さくなってしまい、薄膜トランジスタは良好なオン特性を示さず、オンオフ比は２桁以下になってしまう。
【００５９】
また、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．１未満のターゲットを用いてＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を成膜すると、薄膜トランジスタは良好なオフ特性を示さなかった。また、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．４より大きいターゲットを用いてＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を成膜すると、薄膜トランジスタは良好なオン特性を示さなかった。
【００６０】
第２の実施形態では、ゲート絶縁膜として酸化シリコン膜を用いることが望ましい。この酸化シリコン膜は、シリコンターゲットをアルゴンと酸素の混合ガス雰囲気化でリアクティブスパッタリングすることで得られる。また、シランガスを用いたプラズマＣＶＤや熱ＣＶＤにより形成してもよい。活性層であるＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜とゲート絶縁膜である酸化シリコン膜が同じＳｉ−Ｏ結合を膜中に有しているため良好な界面特性が得られやすく、界面準位密度は１×１０１２ｃｍ−３以下まで低減できる。しかしながら、ゲート絶縁膜は酸化シリコン膜に限られるわけではなく、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化タンタル膜などの酸化膜や窒化膜、あるいはこれらの膜の積層膜でもよい。
【００６１】
また第２の実施形態では、活性層としてＩｎ−Ｓｉ−Ｏ膜を用いたが、Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｇｅ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｔａ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｍｇ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｔｉ−Ｏ膜などを用いることができる。これらの場合も、ターゲットの組成、ガス分圧を適切に制御することで、半導体として適するキャリア密度を実現することができる。
【００６２】
第３の実施形態
図２は、本発明の第３の実施形態にかかる薄膜トランジスタ（トップゲートスタガ型）を示す断面図である。プラスチックやガラスなどの絶縁性基板１０上にソース・ドレイン電極１４が形成されている。ソース・ドレイン電極間に両側でこれらの電極と重なるようにＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜１３がＲＦスパッタリング法により形成される。
【００６３】
この酸化物薄膜の成膜の際、Ｉｎに対するＡｌの平均的原子数比が０．１以上０．４以下である組成比のＩｎ−Ａｌ−Ｏから成るターゲットを用いる。この場合、Ａｌの原子数比に依存しておおよそＩｎ１０ＡｌｘＯ１．５ｘ＋１５で示される組成比のターゲットが用いられる。
【００６４】
更に加えて、下記のガス圧比の条件式：
０．０５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．２５
を満たす希ガスと酸素を含む混合ガスの雰囲気下でスパッタ成膜を行うことで、酸化物薄膜内の平均的なキャリア密度を１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下の範囲に制御する。ここで希ガスとしては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン等を用いることができる。
【００６５】
このようにしてスパッタ成膜されたＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜１３はスパッタターゲットとほぼ同じ組成比を有している。即ち、この酸化物薄膜においては、Ｉｎ原子１０個に対してＡｌ原子の平均的な個数（ｘ）が１個から４個の範囲で膜内に空間的に分布している。このような組成比の酸化物薄膜のＸ線回折パターンを測定したところ、回折ピークは見られずアモルファスであることが確認された。
【００６６】
この酸化物薄膜の膜厚は、１０から２００ｎｍの範囲が好ましい。１０ｎｍより薄いと高い精度での膜厚制御が難しく、また、２００ｎｍより厚い膜厚ではゲート電界によるチャネル側界面のキャリア密度制御が困難になり、良好なオフ特性が得られない場合がある。
【００６７】
Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜１３上にゲート絶縁膜１２が成膜される。ここで、薄膜トランジスタ特性の安定性をより高めるために、Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜１３とゲート絶縁膜１２との成膜は、その途中で大気に曝すことなく連続して行うことが望ましい。
【００６８】
ゲート絶縁膜１２上にゲート電極１１が形成され、その後、保護絶縁膜１５が形成される。
【００６９】
このような薄膜トランジスタでは、オンオフ比が６ケタ以上、電界効果移動度が５ｃｍ２Ｖ−１ｓ−１程度、閾値電圧１Ｖ程度の良好な電気特性が実現できた。
【００７０】
ここで、酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．０５の条件でＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜をスパッタ成膜すると、薄膜中のキャリア密度が１×１０１９ｃｍ−３より大きくなってしまい、薄膜トランジスタは良好なオフ特性を示さなかった。逆に、０．２５＜酸素ガス分圧／（希ガス分圧＋酸素ガス分圧）の条件でＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜をスパッタ成膜すると、薄膜中のキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３より小さくなってしまい、薄膜トランジスタは良好なオン特性を示さなかった。
【００７１】
また、Ｉｎに対するＡｌの平均的原子数比が０．１未満のターゲットを用いてＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜を成膜すると、薄膜トランジスタは良好なオフ特性を示さなかった。また、Ｉｎに対するＡｌの平均的原子数比が０．４より大きいターゲットを用いてＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜を成膜すると、薄膜トランジスタは良好なオン特性を示さなかった。
【００７２】
第３の実施形態では、ゲート絶縁膜として酸化アルミニウム膜を用いることが望ましい。活性層であるＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜とゲート絶縁膜である酸化アルミニウム膜が同じＡｌ−Ｏ結合を膜中に有しているため良好な界面特性が得られやすい。しかしながら、ゲート絶縁膜は酸化アルミニウム膜に限られるわけではなく、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、酸化タンタル膜などの酸化膜や窒化膜、あるいはこれらの膜の積層膜でもよい。
【００７３】
また第３の実施形態では、活性層としてＩｎ−Ａｌ−Ｏ膜を用いたが、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｇｅ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｔａ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｍｇ−Ｏ膜、Ｉｎ−Ｔｉ−Ｏ膜などを用いることができる。これらの場合も、ターゲットの組成、ガス分圧を適切に制御することで、半導体として適するキャリア密度を実現することができる。
【００７４】
また酸化物薄膜の構成元素数は３に限られるものではなく４でもよい。具体的には、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ膜を活性層に用いることができる。この場合は、Ｉｎに対するＡｌの平均的原子数比が０．１以上０．４以下であり、且つ、Ｉｎに対するＳｎの平均的原子数比が０．０３以上０．５以下であり、さらに、このアモルファス酸化物薄膜内の平均的なキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下であることが重要である。
【００７５】
その他の実施形態
上記の第１の実施形態、第２の実施形態および第３の実施形態ではそれぞれ、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜及びＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜の成膜のために真空プロセスであるスパッタ法を用いた。より低コスト化を実現するために、これらの薄膜を、溶液固化プロセスによる成膜方法で形成してもよい。
【００７６】
この成膜方法では、少なくともＩｎ、Ｓｉ、Ｏ元素を含む液体（原料溶液）を塗布又は印刷して、その後、１５０℃以上の温度で熱処理を行う。原料溶液としては、少なくともＩｎ、Ｓｉ、Ｏ元素のいずれかを含む化合物と溶媒を含む液体を用いることができる。例えば、少なくともＩｎ、Ｓｉ、Ｏ元素を含む液体として、インジウム塩化物等のＩｎを含む化合物とシロキサン等のＳｉとＯを含む化合物と溶媒を含む液体を用いることができる。これにより、平均的なキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下であり、且つ、カーボン密度が１×１０１９ｃｍ−３以下であるＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を形成することができる。この原料溶液を、スピン塗布して基板全体にＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を成膜した後に所望の形状にパターニングする方法、あるいはインクジェット法により所望の形状にＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜のパターンを描画する方法などを用いることができる。この原料溶液を塗布又は印刷した後、１５０℃以上の熱処理を酸素が含まれる雰囲気中で行うことにより、塗布又は印刷された薄膜を固化させるとともに、原料溶液に含まれていた有機物に由来する膜中のカーボンを二酸化炭素として膜外に放出させることで、膜中のカーボン密度を１×１０１９ｃｍ−３以下とすることができる。Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜も同様な成膜方法により形成できる。この場合、少なくともＩｎ、Ａｌ、Ｏ元素のいずれかを含む化合物として、インジウム塩化物等のＩｎを含む化合物、アルミニウム塩化物等のＡｌを含む化合物と、アルミン酸塩等のＡｌとＯを含む化合物を用いることができる。インジウム塩化物、アルミニウム塩化物及びアルミン酸塩の三つの化合物を組み合わせて用いてもよいし、インジウム塩化物及びアルミン酸塩の二つの化合物を組み合わせて用いてもよい。
【００７７】
第１、第２及び第２の実施形態、並びにその他の実施形態による組成比及びキャリア密度を制御した酸化物薄膜の光学的バンドギャップは、３．０ｅＶから３．８ｅＶの範囲で変化した。従って、可視光に対してはほぼ透明であり、一方で紫外線は吸収して薄膜の電気伝導率が向上する。特に、本発明で特定するキャリア密度の範囲では酸化物薄膜は半導体的な電気伝導率であり、これに紫外光を照射することでキャリア密度を増加させ電気伝導率を数桁にわたって増加させることができる。この特徴を生かせば、本発明の実施形態の酸化物薄膜は、薄膜トランジスタの活性層のみならず、紫外線センサー用途にも用いることができる。また、ＳｉやＡｌの組成比を任意に制御して酸化物薄膜の電気伝導率（即ち抵抗率）を制御することで、薄膜デバイスの透明抵抗素子としても活用することができる。
【実施例】
【００７８】
実施例１
図１を参照して実施例１の薄膜トランジスタについて説明する。【００７９】
絶縁性基板１０としてガラス基板を用い、この基板上にスパッタリング法によりＩＴＯ（indium  tin  oxide）を成膜し、その後、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術を用いてパターニングを行い、所定の形状のゲート電極１１を形成した。【００８０】
その後、ゲート絶縁膜１２として酸化シリコン膜（厚み２００ｎｍ）をスパッタリング法により成膜した。この酸化シリコン膜は、不純物をドープしていないシリコンターゲットを用い、アルゴンと酸素の混合ガス雰囲気下でスパッタリングを行うことにより成膜した。【００８１】
引き続いてスパッタリング法によりＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜（厚み３０ｎｍ）を成膜し、その後、所定の形状にパターニングしてこの酸化物薄膜からなる活性層１３を形成した。成膜温度は室温とした。スパッタリングのターゲットとしては、ＩＴＯターゲット（Ｉｎ２Ｏ３とＳｎＯ２をモル比５：１で混合して作製したターゲット）とシリコンターゲットの二つを用いた。この二つのターゲットに同時に電力を印加する同時スパッタ法によりＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を成膜した。ここで、ＩＴＯターゲットに印加する電力を一定に保ち、シリコンターゲットに印加する電力のみを変化させた。成膜時の総ガス圧力は０．５Ｐａに設定し、アルゴンガスと酸素ガスの流量比は９：１に設定した。即ち、ガス圧比（酸素ガス分圧／（アルゴンガス分圧＋酸素ガス分圧））が０．１であるアルゴンと酸素の混合ガスの雰囲気下でスパッタ成膜を行った。このように成膜したＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜中のＳｉ組成比は、シリコンターゲットに印加する電力の値によって変化した。【００８２】
このＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を所定の形状にパターニングして活性層１３を形成した後、ＩＴＯ膜を形成し、所定の形状にパターニングしてソース・ドレイン電極１４を形成した。【００８３】
その後、保護絶縁膜１５として酸化シリコン膜を室温スパッタ法により成膜し、所定のコンタクトホールを形成することで薄膜トランジスタ構造を完成させた。安定した電気特性を得るために、最後に３００℃で１時間、大気雰囲気中で熱処理（アニール）を行った。【００８４】
図３は、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜中のＳｉ組成比が変化した場合の薄膜トランジスタ特性の変化を示している。ここでは成膜されたＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ膜の組成比の指標として、化学量論比組成Ｉｎ１０Ｓｎ１ＳｉｘＯ２ｘ＋１７で表わされるｘを用いている。Ｉｎの組成比１０に対してＳｎの組成比が１であるのは、上記記載のようにＩＴＯターゲット中のＩｎとＳｎの原子数比によるものである。ｘが１以上４以下（即ち、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．１以上０．４以下）の場合、良好なスイッチング特性が見られる。これに対して、ｘが１より小さくなるとオフ特性を示さなくなり、逆にｘが４より大きくなるとオン特性を示さなくなっている。この実験データから、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比を０．１以上０．４以下に制御することが重要であることが分かる。【００８５】
図４は、上記のｘの値に対するＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中の平均的なキャリア密度の変化を示している。本発明の酸化物薄膜のキャリア密度は電子密度であり、その起源は薄膜中の酸素欠損密度と等価である。ここで、キャリア密度は、一般的なＨａｌｌ効果測定より求めた。ｘが１以上４以下の場合、キャリア密度は１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下の領域におさまっている。ｘが１より小さくなるとキャリア密度は１×１０２０ｃｍ−３程度まで高くなり、ｘが４より大きくなるとキャリア密度は１×１０１５ｃｍ−３より小さくなった。このように、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．１以上０．４以下とすることで、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜内の平均的な酸素欠損密度を１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下の範囲に制御できることが分かる。【００８６】
キャリア密度は、走査型キャパシタンス顕微鏡法（ＳＣＭ）によっても測定できる。この場合、薄膜の断面方向（基板平面に垂直方向）でのキャリア密度分布を測定可能である。薄膜の断面方向でのキャリア密度分布が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下の範囲におさまっていることが重要である。Ｈａｌｌ効果測定の場合、薄膜全体の平均的な値としてキャリア密度を見積もる。従って、Ｈａｌｌ効果測定で見積もった平均的なキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下の領域におさまっていても、局所的、例えばゲート絶縁膜との界面近傍の酸化物薄膜の極薄部のみに１×１０１９ｃｍ−３を超えるキャリア密度の領域が局在していると良好なトランジスタ特性を発現しない場合がある。【００８７】
図３及び図４から分かるように、組成比としてｘ＝１．８８、キャリア密度として６．７×１０１７ｃｍ−３を満たす時、ターンオン電圧（オフ領域から急にドレイン電流が増加し始めるゲート電圧）が０Ｖ付近であり、オンオフ比も最も大きく、電界効果移動度が５ｃｍ２Ｖ−１ｓ−１程度、閾値電圧１Ｖ程度の良好な電気特性が実現できた。この時、上述のＩＴＯターゲット（４インチサイズ）に７５Ｗ、シリコンターゲット（４インチサイズ）に１１３Ｗの電力を投入し、酸素ガス分圧／（アルゴンガス分圧＋酸素ガス分圧）＝０．１を満たすガス雰囲気下（トータルガス圧：０．５Ｐａ）でＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を室温で成膜した。ラザフォード後方散乱法で測定したこの薄膜全体の組成比は、Ｉｎ：Ｓｎ：Ｓｉ：Ｏ＝１０：１：１．８８：２０．７であった。【００８８】
また、図３が示しているように、ｘ＝１．０３、１．８８、３．７４いずれの場合もターンオン電圧は０Ｖよりもやや低く、いわゆるデプレッション型の振舞いを示している。応用上の観点から、エンハンスメント型（ターンオン電圧が０Ｖよりも正側の動作）の振舞いも必要になる場合がある。このような場合、ゲート絶縁膜中の固定電荷密度やゲート金属の仕事関数を制御することでエンハンスメント型とすることも可能である。【００８９】
上記実施例では、薄膜トランジスタ構造の完成後に熱処理（アニール）を行ったが、薄膜トランジスタの製造途中、例えばＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の成膜直後に熱処理を追加することも可能である。特に室温スパッタ成膜したＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜中には水に起因する成分（ＯＨ基など）が含まれる可能性があり、このような成分が含まれていると、薄膜トランジスタの電気特性を不安定なものにしてしまう虞がある。薄膜トランジスタ構造の完成後に熱処理を行っても、このような水起因の成分を膜外に放出させることは可能であるが、薄膜トランジスタ構造完成後ではＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜上に保護絶縁膜等の薄膜が形成されており水起因成分の放出が阻害される可能性がある。Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の成膜直後に熱処理を追加すれば、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜からより効率的に水起因の成分を膜外に放出できる。このような酸化物薄膜中の水起因の成分は、昇温脱離ガス分析法（ＴＤＳ）のスペクトルから評価できる。特に３００℃以下のスペクトル領域の質量数１８（即ちＨ２Ｏ）に起因するＴＤＳスペクトルに注目して、熱処理後の酸化物薄膜からの注目スペクトルの積分強度が熱処理前の強度の３分の１以下まで低下していれば良好な薄膜トランジスタ特性が得られる。この熱処理は、温度制御された大気雰囲気のオーブンの中で実施可能であり、また酸素などの酸化性ガスで置換された雰囲気下で行ってもよい。【００９０】
このような薄膜トランジスタ構造の完成後又はＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の成膜直後の熱処理は、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜中の平均的なキャリア密度を安定して１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下に制御することを可能にした。熱処理を行わない場合、基板内のある部分ではＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が１×１０２０ｃｍ−３程度となり、オンオフしない薄膜トランジスタも見受けられた。具体的には、１５０℃で１時間、熱処理を行うと基板内の全域でＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が５×１０１８ｃｍ−３程度となり、３００℃で１時間、熱処理を行うと基板内の全域でＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が３×１０１７ｃｍ−３程度となった。【００９１】
このような熱処理を行う代わりに、スパッタ成膜時の基板温度を上げてもよい。具体的には、基板温度１５０℃で成膜を行うと、基板内の全域でＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が１×１０１８ｃｍ−３程度となり、基板温度３００℃で成膜を行うと、基板内の全域でＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が２×１０１６ｃｍ−３程度となり、良好な薄膜トランジスタ特性が実現できた。【００９２】
本実施例では、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を成膜する際にＩＴＯターゲットとＳｉターゲットを用いた同時スパッタ法を採用したが、予めＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏターゲットを作製しておいて、このＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏターゲット一つのみを用いて成膜してもよい。この場合、ターゲット中のＩｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．１以上０．４以下であり、且つ、Ｉｎに対するＳｎの平均的原子数比が０．０３以上０．５以下としておき、それによって成膜されたＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜中の原子数比に関してもＩｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．１以上０．４以下であり、且つ、Ｉｎに対するＳｎの平均的原子数比が０．０３以上０．５以下とすることが重要である。【００９３】
実施例２
図１を参照して実施例２の薄膜トランジスタについて説明する。【００９４】
絶縁性基板１０としてガラス基板を用い、この基板上にスパッタリング法によりＣｒを成膜し、その後、フォトリソグラフィ技術とエッチング技術を用いてパターニングを行い、所定の形状のゲート電極１１を形成した。【００９５】
その後、ゲート絶縁膜１２として酸化シリコン膜（厚み２００ｎｍ）をスパッタリング法により成膜した。【００９６】
引き続いて、ゲートバルブを介して隣接したチャンバに基板を搬送して、大気に曝すことなく連続してスパッタリング法によりＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜（厚み３０ｎｍ）を成膜し、その後、所定の形状にパターニングしてこの酸化物薄膜からなる活性層１３を形成した。成膜温度は室温とした。スパッタリングのターゲットとしては、Ｉｎ１０Ｓｉ２Ｏ１９で示される組成のターゲットを用いた。即ち、このターゲットは、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．２となる組成をもつ。また、成膜時の総ガス圧力は０．５Ｐａに設定し、アルゴンガスと酸素ガスの流量比は９：１に設定した。即ち、ガス圧比（酸素ガス分圧／（アルゴンガス分圧＋酸素ガス分圧））が０．１であるアルゴンと酸素の混合ガスの雰囲気下でスパッタ成膜を行った。このように成膜したＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の組成比はおおよそ上記のターゲットの組成比と一致し、また、Ｈａｌｌ効果測定で見積もった薄膜中のキャリア密度は１×１０１７ｃｍ−３のオーダーであった。薄膜の組成比はラザフォード後方散乱法により測定した。【００９７】
このＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を所定の形状にパターニングして活性層１３を形成した後、Ｍｏ膜を形成し、所定の形状にパターニングしてソース・ドレイン電極１４を形成した。【００９８】
その後、保護絶縁膜１５として酸化シリコン膜を室温スパッタ法により成膜し、所定のコンタクトホールを形成することで薄膜トランジスタ構造を完成させた。安定した電気特性を得るために、最後に３００℃で１時間、大気雰囲気中で熱処理を行った。【００９９】
図５は、上記のターゲット（Ｉｎ１０Ｓｉ２Ｏ１９）を用い、スパッタ成膜時の条件を変化させてＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜中の室温でのキャリア密度（電子密度）を変化させた場合の薄膜トランジスタ特性の変化を示している。キャリア密度（Ｎ）が１×１０１９ｃｍ−３を超えるとオフ特性を示さなくなることが分かる。この時のガス圧比（Ｒ）は、酸素ガス分圧／（アルゴンガス分圧＋酸素ガス分圧）＝０．０３であった。また、キャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３より小さくなるとオン特性を示さなくなる。この時のガス圧比（Ｒ）は、酸素ガス分圧／（アルゴンガス分圧＋酸素ガス分圧）＝０．３であった。これらの実験データから、薄膜中の平均的なキャリア密度を１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下に制御することが重要であることが分かる。ここで、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜中のキャリア密度を１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下に制御するために、スパッタ成膜中のガス圧比（Ｒ）を０．０５＜酸素ガス分圧／（アルゴンガス分圧＋酸素ガス分圧）＜０．２５を満たすようにした。ガス圧比（Ｒ）が０．１の時の膜中キャリア密度は１．５×１０１７ｃｍ−３であり、オンオフ比が７ケタ、電界効果移動度が１０ｃｍ２Ｖ−１ｓ−１程度、閾値電圧１Ｖ程度の良好な電気特性が実現できた。【０１００】
以上の実施例２ではＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の場合を説明したが、Ｉｎの代替としてＳｎ、Ｇａ、Ｚｎを用いることも可能である。また、Ｓｉの代替としてＡｌ、Ｇｅ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｔａを用いることも可能である。【０１０１】
また実施例２では、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜に接するゲート絶縁膜及び保護絶縁膜として酸化シリコン膜を用いた。このように、酸化物薄膜中の元素（本実施例の場合はシリコン）の酸化物（本実施例の場合は酸化シリコン）をゲート絶縁膜や保護絶縁膜に用いると、それぞれの界面での欠陥を低減化することができ、より良好な薄膜トランジスタ特性が得られる。例えば、Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜を活性層に用いた場合、ゲート絶縁膜及び保護絶縁膜として酸化アルミニウムを用いることができる。但し、このように限定されるものではなく、プロセスに応じて、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜に対して酸化シリコン以外の絶縁膜を用いることができ、Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜に対して酸化シリコンやその他の絶縁膜も用いることができる。【０１０２】
上記実施例では、薄膜トランジスタ構造の完成後に熱処理を行ったが、薄膜トランジスタの製造途中、例えばＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の成膜直後に熱処理を追加することも可能である。特に室温スパッタ成膜したＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜中には水に起因する成分（ＯＨ基など）が含まれる可能性があり、このような成分が含まれていると、薄膜トランジスタの電気特性を不安定なものにしてしまう虞がある。薄膜トランジスタ構造の完成後に熱処理を行っても、このような水起因の成分を膜外に放出させることは可能であるが、薄膜トランジスタ構造の完成後ではＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜上に保護絶縁膜等の薄膜が形成されており水起因成分の放出が阻害される可能性がある。Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の成膜直後に熱処理を追加すれば、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜からより効率的に水起因の成分を膜外に放出できる。この熱処理は、温度制御された大気雰囲気のオーブンの中で実施可能であり、また酸素などの酸化性ガスで置換された雰囲気下で行ってもよい。【０１０３】
このような薄膜トランジスタ構造の完成後又はＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の成膜直後の熱処理は、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜中の平均的なキャリア密度を安定して１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下に制御することを可能にした。熱処理を行わない場合、基板内のある部分ではＩｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が１×１０２０ｃｍ−３程度となり、オンオフしない薄膜トランジスタも見受けられた。具体的には、１５０℃で１時間、熱処理を行うと基板内の全域でＩｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が５×１０１８ｃｍ−３程度となり、３００℃で１時間、熱処理を行うと基板内の全域でＩｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が３×１０１７ｃｍ−３程度となった。【０１０４】
このような熱処理を行う代わりに、スパッタ成膜時の基板温度を上げてもよい。具体的には、基板温度１５０℃で成膜を行うと、基板内の全域でＩｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が１×１０１８ｃｍ−３程度となり、基板温度３００℃で成膜を行うと、基板内の全域でＩｎ−Ｓｉ−Ｏ膜中のキャリア密度が２×１０１６ｃｍ−３程度となり、良好な薄膜トランジスタ特性が実現できた。【０１０５】
また、上記の実施例１及び２では、保護絶縁膜としてスパッタ成膜による酸化シリコン膜を用いた。この成膜の際、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の表面がスパッタプラズマに曝されることになり、その結果、まれにＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の表面付近（即ち薄膜トランジスタのトップ側界面）のキャリア密度が１×１０１９ｃｍ−３を超えてしまうような局所的な欠陥が生じてしまうこともあり、このような局所的なキャリア密度の異常な増大はその後の熱処理でも回復しなかった。これはプラズマにより、表面が還元されてしまうためである。そこで、保護絶縁膜として、まずはプラズマを用いない成膜法、具体的にはシロキサンやシラザン等を有機溶剤に溶かした溶液を塗布し熱処理して有機溶剤を蒸発させることで酸化シリコン膜を形成する方法を用いることもできる。このような成膜法では、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の表面がプラズマに曝されることはなく、キャリア密度が異常に増加することもない。このような溶液を用いて成膜した酸化シリコン膜は多孔質になる傾向があり、外部からの水分の侵入に対する阻止能が低下する傾向にある。従って、溶液を用いて成膜した酸化シリコン膜の上に、更にスパッタ等のプラズマ成膜法で酸化シリコン膜や窒化シリコン膜を成膜して、積層化した保護絶縁膜を設けることが望ましい。このような積層化した保護絶縁膜の場合、上側に積む絶縁膜の選択の自由度が広がる。例えば、水分の侵入に対する阻止能という観点からは、窒化シリコン膜が好ましいが、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の上に直接窒化シリコン膜を成膜すると、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の表面が還元されてしまうという問題がある。これに対し、このような積層化した保護絶縁膜を用いれば、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の表面に接することなく窒化シリコン膜を保護絶縁膜として用いることができ、また、窒化シリコン膜に限らず酸化膜ではないその他の絶縁膜を保護絶縁膜として用いることができる。【０１０６】
また上記の実施例２では、ソース・ドレイン電極の材料としてＭｏを用いた。このような金属からなる薄膜でもＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜と実用的なオーミックコンタクトを形成することができるが、酸化インジウムと酸化スズの化合物、いわゆるＩＴＯ薄膜の方が、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜とより良好なオーミックコンタクトを形成しやすい。そのため、ソース・ドレイン電極の材料に金属を用いる場合は、金属／ＩＴＯのような積層構造を形成し、この積層構造のＩＴＯ薄膜とＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜とを直接接触させることが望ましい。このような積層構造を用いることにより金属の選択肢が広がる。例えば、Ａｌを用いる場合、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜とＡｌを直接接触させると界面に絶縁性の酸化アルミニウムが形成されてしまいオーミックコンタクトが得られない。Ａｌ／Ｍｏ／ＩＴＯやＡｌ／Ｔｉ／ＩＴＯのような積層構造を用いればこのような問題はなく、良好なオーミックコンタクトを実現することができ、しかもＡｌの利点を生かした低抵抗化が可能になる。もちろん、ＩＴＯを用いずＡｌ／ＭｏやＡｌ／Ｔｉのような積層構造を用いることで、ＭｏやＴｉと、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜との間でオーミックコンタクトを形成することもできる。特に、Ｔｉの酸化物は導電体であるので、Ｔｉ／ＩＴＯやＴｉ／Ｉｎ−（Ｓｎ）−Ｓｉ−Ｏの界面でＴｉが酸化されても良好なオーミックコンタクトを実現できるというメリットがある。更には、Ａｌ中に原子数比で１％から５％の微量のＳｉを含ませたＡｌ−Ｓｉ合金をソース・ドレイン電極に用いれば、純Ａｌに比べて抵抗率が若干高くなってしまうが、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜との直接接続でオーミックコンタクトが得られる。これは、Ｓｉを含むＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜と、同じくＳｉを含むＡｌ−Ｓｉ合金との界面における欠陥が小さく抑えられるためである。【０１０７】
本実施例では、３元素から成る１つのターゲットを用いて酸化物薄膜をスパッタ成膜した。これに対し、複数のターゲットを用いた同時スパッタ法による成膜も可能である。例えば、Ｉｎ２Ｏ３ターゲットとＳｉターゲット（又はＳｉＯ２ターゲット）を用いた同時スパッタにより基板上にＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を成膜することが可能である。この時、これら２つのターゲットに印加するスパッタ電力の比を制御することで薄膜中のＩｎに対するＳｉの比を０．１以上０．４以下にすることができる。また同時に、酸素ガス分圧／（アルゴンガス分圧＋酸素ガス分圧）の比を０．０５より大きくし、０．２５より小さくすることでキャリア密度を１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下とすることができる。また同様にして、Ｉｎ２Ｏ３ターゲットとＡｌ（又はＡｌ２Ｏ３ターゲット）を用いた同時スパッタによるＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜成膜も可能である。【０１０８】
実施例３
図２を参照して実施例３の薄膜トランジスタについて説明する。【０１０９】
絶縁性基板１０としてガラス基板を用い、この基板上にスパッタリング法によりＣｒ金属を成膜し、その後、フォトリソソグラフィ技術とエッチング技術を用いてパターニングを行い、所定の形状のソース・ドレイン電極１４を形成した。【０１１０】
引き続き、スパッタリング法によりＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜（厚み３０ｎｍ）を成膜し、その後、所定の形状にパターニングしてこの酸化物薄膜からなる活性層１３を形成した。成膜温度は室温とした。スパッタリングのターゲットとしては、Ｉｎ１０Ａｌ２Ｏ１８で示される組成のターゲットを用いた。即ち、このターゲットは、Ｉｎに対するＡｌの平均的原子数比が０．２となる組成をもつ。また、成膜時の総ガス圧力は０．５Ｐａに設定し、アルゴンガスと酸素ガスの流量比は１８：１に設定した。即ち、ガス圧比（酸素ガス分圧／（アルゴンガス分圧＋酸素ガス分圧））が０．０５３であるアルゴンと酸素の混合ガスの雰囲気下でスパッタ成膜を行った。このように成膜したＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜の組成比はおおよそ上記のターゲット組成比と一致し、また、薄膜中のキャリア密度は１×１０１６ｃｍ−３のオーダーであった。【０１１１】
このＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜を所定の形状にパターニングして活性層１３を形成した後、ゲート絶縁膜１２として酸化アルミニウム膜（厚み３００ｎｍ）をスパッタリング法により成膜した。【０１１２】
引き続いて、Ｍｏを成膜し、所定の形状にパターニングしてゲート電極１１を形成した。その後、保護絶縁膜１５として酸化シリコン膜を室温スパッタ法により成膜し、所定のコンタクトホールを形成することで薄膜トランジスタ構造を完成させた。安定した電気特性を得るために、最後に３００℃で１時間、大気雰囲気中で熱処理を行った。【０１１３】
このような薄膜トランジスタでは、オンオフ比が６ケタ、電界効果移動度が５ｃｍ２Ｖ−１ｓ−１程度、閾値電圧１Ｖ程度の良好な電気特性が実現できた。【０１１４】
上記実施例では、薄膜トランジスタ構造の完成後に熱処理を行ったが、薄膜トランジスタの製造途中、例えばＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜の成膜直後に熱処理を追加することも可能である。特に室温スパッタ成膜したＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜中には、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ膜の場合と同様、水に起因する成分（ＯＨ基など）が含まれる可能性があり、このような成分が含まれていると、薄膜トランジスタの電気特性を不安定なものにしてしまう虞がある。薄膜トランジスタ構造の完成後に熱処理を行っても、このような水起因の成分を膜外に放出させることは可能であるが、薄膜トランジスタ構造の完成後ではＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜上にゲート絶縁膜や保護絶縁膜等の薄膜が形成されており水起因成分の放出が阻害される可能性がある。Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜の成膜直後に熱処理を追加すれば、Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜からより効率的に水起因の成分を膜外に放出できる。この熱処理は、温度制御された大気雰囲気のオーブンの中で実施可能であり、また酸素などの酸化性ガスで置換された雰囲気下で行ってもよい。【０１１５】
このような薄膜トランジスタ構造の完成後又はＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜の成膜直後の熱処理は、Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜中の平均的なキャリア密度を安定して１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下に制御することを可能にした。熱処理を行わない場合、基板内のある部分ではＩｎ−Ａｌ−Ｏ膜中のキャリア密度が２×１０２０ｃｍ−３程度となり、オンオフしない薄膜トランジスタも見受けられた。具体的には、１５０℃で１時間、熱処理を行うと基板内の全域でＩｎ−Ａｌ−Ｏ膜中のキャリア密度が７×１０１８ｃｍ−３程度となり、３００℃で１時間、熱処理を行うと基板内の全域でＩｎ−Ａｌ−Ｏ膜中のキャリア密度が６×１０１７ｃｍ−３程度となった。【０１１６】
このような熱処理を行う代わりに、スパッタ成膜時の基板温度を上げてもよい。具体的には、基板温度１５０℃で成膜を行うと、基板内の全域でＩｎ−Ａｌ−Ｏ膜中のキャリア密度が３×１０１８ｃｍ−３程度となり、基板温度３００℃で成膜を行うと、基板内の全域でＩｎ−Ａｌ−Ｏ膜中のキャリア密度が５×１０１６ｃｍ−３程度となり、良好な薄膜トランジスタ特性が実現できた。【０１１７】
本実施例の酸化物薄膜はＩｎ−Ａｌ−Ｏの３元素からなるが、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏのような４元素からなる酸化物薄膜であっても良好な薄膜トランジスタ特性が得られる。【０１１８】
本実施例では、３元素から成る１つのターゲットを用いて酸化物薄膜をスパッタ成膜したが、上述のＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の場合（実施例２）でも可能であったように、複数のターゲットを用いた同時スパッタ法でも形成できる。【０１１９】
上記実施例では、ソース・ドレイン電極の材料としてＣｒを用いた。このような金属からなる薄膜でもＩｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜と実用的なオーミックコンタクトを形成することができるが、酸化インジウムと酸化スズの化合物、いわゆるＩＴＯ薄膜の方が、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜とより良好なオーミックコンタクトを形成しやすい。そのため、ソース・ドレイン電極の材料に金属を用いる場合は、金属／ＩＴＯのような積層構造を形成し、この積層構造のＩＴＯ薄膜とＩｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜とを直接接触させることが望ましい。このような積層構造を用いることにより金属の選択肢が広がる。例えば、Ａｌを用いる場合、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜とＡｌを直接接触させると界面に絶縁性の酸化アルミニウムが形成されてしまいオーミックコンタクトが得られない。Ａｌ／Ｍｏ／ＩＴＯやＡｌ／Ｔｉ／ＩＴＯのような積層構造を用いればこのような問題はなく、良好なオーミックコンタクトを実現することができ、しかもＡｌの利点を生かした低抵抗化が可能になる。もちろん、ＩＴＯを用いずＡｌ／ＭｏやＡｌ／Ｔｉのような積層構造を用いることで、ＭｏやＴｉと、Ｉｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜との間でオーミックコンタクトを形成することもできる。特に、Ｔｉの酸化物は導電体であるので、Ｔｉ／ＩＴＯやＴｉ／Ｉｎ−（Ｓｎ）−Ａｌ−Ｏの界面でＴｉが酸化されても良好なオーミックコンタクトを実現できるというメリットがある。【０１２０】
実施例３の薄膜トランジスタは、図２に示すように、Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ（あるいはＩｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ）薄膜の上にゲート絶縁膜を形成するトップチャネル構造（トップゲートスタガ型）を有している。この構造においては、ゲート絶縁膜をスパッタ成膜する際に薄膜の表面がスパッタの影響を受けてトップチャネル側界面が還元され、キャリア密度が異常に高くなってしまうという現象がまれに観察された。そのため、前述の実施例１及び２における保護絶縁膜の形成方法と同様に、溶液を用いて酸化シリコン膜を形成し、その上に、更にスパッタ等のプラズマ成膜法で酸化シリコン膜や窒化シリコン膜を成膜して、積層化したゲート絶縁膜を設けることが望ましい。本構造では、保護絶縁膜は、Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ（あるいはＩｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ）薄膜に直接接することはないので、成膜方法や材料種に制約を受けることがなく、所望の方法で絶縁膜を設けることができ、また、酸化シリコン膜に限らず、酸化膜以外の所望の材料で絶縁膜（例えば窒化シリコン膜）を設けることができる。【０１２１】
実施例３では、Ｉｎ−Ａｌ−Ｏ（あるいはＩｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ）薄膜を活性層に用いたトップチャネル構造の薄膜トランジスタの例を説明したが、このＩｎ−Ａｌ−Ｏ（あるいはＩｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ）薄膜に代えて、Ｉｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜やＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を用いることができる。【０１２２】
以上、実施例１〜３では、Ｉｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜（あるいはＩｎ−Ｓｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜）やＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜（あるいはＩｎ−Ｓｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜）の成膜のために真空プロセスであるスパッタ法を用いた。薄膜トランジスタ製造プロセスをより低コスト化するためには、これらの薄膜を溶液状態から固化するプロセスによる成膜方法を用いて形成することが望ましい。【０１２３】
この成膜方法では、少なくともＩｎ、Ｓｉ、Ｏ元素と有機溶媒を含む液体を基板上に塗布又は印刷して、その後、１５０℃以上の温度で熱処理を行う。これにより、平均的なキャリア密度が１×１０１５ｃｍ−３以上１×１０１９ｃｍ−３以下であり、且つ、カーボン密度が１×１０１９ｃｍ−３以下となるＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を形成することができる。【０１２４】
まず、Ｉｎ、Ｓｉ、Ｏのいずれかを含む分子体が酢酸ブチルやキシレンなどの溶媒に溶解している溶液を準備した。Ｉｎ、Ｓｉ、Ｏのいずれかを含む分子体としては、インジウム塩化物（ＩｎＣｌ３）、シロキサン（Ｓｉ−ＯＨを含む）を用いることができる。ここで、溶液中の原子数比に関しては、Ｉｎに対するＳｉの平均的原子数比が０．１以上０．４以下となるようにした。【０１２５】
次に、この溶液を３０００ｒｐｍ程度の回転速度でスピン塗布し、スピン塗布から１分以内に雰囲気温度２００℃設定のオーブンに導入し、大気雰囲気下で固化させることでＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を形成した。【０１２６】
このようにして形成したＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜のキャリア密度は１×１０１７ｃｍ−３のオーダー、またカーボン密度は１×１０１６ｃｍ−３のオーダーであり、スパッタ成膜で作製した薄膜トランジスタと同程度の良好な電気特性を実現した。このような成膜方法では、インクジェット法により、所望のパターン形状のＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜を直接描画する方法も用いることができる。【０１２７】
この成膜方法において、酸化物薄膜中のカーボン密度を１×１０１９ｃｍ−３以下にすることは重要である。例えば、カーボン密度が５×１０１８ｃｍ−３の場合にはオンオフ比６桁、電界効果移動度４ｃｍ２Ｖ−１ｓ−１程度の薄膜トランジスタが得られたが、カーボン密度が２×１０１９ｃｍ−３まで増えるとオンオフ比は３桁、電界効果移動度は０．０２ｃｍ２Ｖ−１ｓ−１と著しい特性低下が見られた。【０１２８】
また、この成膜方法においては、原料溶液をスピン塗布あるいはインクジェット印刷した後に、素早く（例えば２分以内に）酸素が存在する１５０℃以上の雰囲気（例えば、大気雰囲気の１５０℃以上に設定のオーブンなど）に移す処理が重要である。このような処理により、原料液の膜を固化し、酸化物薄膜を形成することで、膜中のカーボンを二酸化炭素として膜外に放出させ、膜中の残存カーボン密度を１×１０１９ｃｍ−３以下とすることができた。【０１２９】
上記の例ではＩｎ−Ｓｉ−Ｏ薄膜の成膜方法について説明したが、少なくともＩｎ、Ａｌ、Ｏのいずれかを含む分子体が酢酸ブチル等の溶媒に溶解している溶液を用いて、同様な手法でＩｎ−Ａｌ−Ｏ薄膜を形成することも可能である。Ｉｎ、Ａｌ、Ｏのいずれかを含む分子体としては、インジウム塩化物（ＩｎＣｌ３）、アルミニウム塩化物（ＡｌＣｌ３）、アルミン酸塩（Ａｌ−ＯＨを含む）を用いることができる。インジウム塩化物、アルミニウム塩化物及びアルミン酸塩の三つの化合物を含んだ溶液を用いてもよいし、インジウム塩化物及びアルミン酸塩の二つの化合物を含んだ溶液を用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１３０】
本発明の実施形態は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、電子ペーパー等のフラットパネルディスプレイの画素駆動素子に利用することが可能である。特に、本発明の実施形態では、酸化物半導体薄膜の元素組成比およびキャリア密度を制御しているので、閾値電圧等の電気特性がより精密に制御された薄膜トランジスタが得られる。従って、画素駆動素子のみならず、インバータをベースにした論理回路のようなより高性能回路にも利用できる。【０１３１】
また、本発明の実施形態は、室温成膜した場合でも、典型的な３００℃成膜の非晶質シリコンよりも１桁程度電子移動度が高い酸化物半導体薄膜を提供できるため、室温成膜でも良好な特性を有する薄膜トランジスタアレイの形成が可能である。従って、耐熱性の低い樹脂基板上でも良好な特性が得られるので、フレキシブル樹脂基板ディスプレイへの応用も可能である。【０１３２】
以上、実施例を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。【０１３３】
この出願は、２０１０年２月１日に出願された日本出願特願２０１０−０２０５２８を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
【符号の説明】
【０１３４】
１０  絶縁性基板
１１  ゲート電極
１２  ゲート絶縁膜
１３  酸化物薄膜
１４  ソース・ドレイン電極
１５  保護絶縁膜
【図１】
2011093506.tif 000003
【図２】
2011093506.tif 000004
【図３】
2011093506.tif 000005
【図４】
2011093506.tif 000006
【図５】
2011093506.tif 000007
【国際調査報告】
2011093506.tif 000008
2011093506.tif 000009