(57)【要約】【課題】透湿度を高精度かつ短時間で測定するための透湿度測定装置及びその測定方法を提供すること【解決手段】本発明の透湿度測定装置１は、チャンバ２と、乾燥ガス導入系路５と、乾燥ガス排出経路６と、水蒸気供給部１７と、制御部３０と、水蒸気量測定器８とを具備する。  チャンバ２は、測定対象物Ｆにより第１の室１３と第２の室１４とに区画される。水蒸気供給部２７は、第１の室１３に水蒸気を供給することが可能である。制御部３０は、第１のバルブ１３及び第２のバルブ１４が開放されているときに測定対象物Ｆを加湿し、第１のバルブ１３及び第２のバルブ１４が閉止されているときに第１の室１３に水蒸気を供給するように水蒸気供給部８を制御する。水蒸気量測定器８は、第１のバルブ２４及び第２のバルブ２９が閉止されているときに、測定空間に向けて第１の室１３から測定対象物Ｆを透過した水蒸気の量を測定する。【選択図】図１
2011132391.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物により第１の室と第２の室とに区画されるチャンバと、
第１のバルブを有し、前記第２の室に接続され、前記第１のバルブが開放されているときに前記第２の室に乾燥ガスを導入する乾燥ガス導入経路と、
第２のバルブを有し、前記第２の室に接続され、前記第２のバルブが開放されているときに前記第２の室から前記乾燥ガスを排出する乾燥ガス排出経路と、
前記第１の室に水蒸気を供給することが可能な水蒸気供給部と、
前記第１のバルブ及び前記第２のバルブが開放されているときに前記測定対象物を加湿し、前記第１のバルブ及び前記第２のバルブが閉止されているときに前記第１の室に水蒸気を供給するように前記水蒸気供給部を制御する制御部と、
前記第１のバルブ及び前記第２のバルブが閉止されているときに、前記第１のバルブ及び前記第２のバルブが閉止されることで形成される測定空間に向けて前記第１の室から前記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する水蒸気量測定器と
を具備する透湿度測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の透湿度測定装置であって、
前記水蒸気供給部は、前記第１の室に接続され前記第１の室に加湿ガスを導入する加湿ガス導入系路を有する
透湿度測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の透湿度測定装置であって、
前記水蒸気量測定器は、前記第１のバルブと前記チャンバの間の前記測定空間に配置されている
透湿度測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の透湿度測定装置であって、
前記水蒸気量測定器は露点計である
透湿度測定装置。
【請求項５】
測定対象物により第１の室と第２の室とに区画されるチャンバの、前記第２の室に乾燥ガスを流通させながら前記測定対象物を加湿し、
前記乾燥ガスの流通を停止させて前記第１の室に水蒸気を供給し、
前記第１の室から前記第２の室へ向けて前記測定対象物を透過した水蒸気の量を、前記第２の室に接続された水蒸気量測定器によって測定する
透湿度測定方法。
【請求項６】
請求項５に記載の透湿度測定方法であって、
前記測定対象物を加湿する工程では、前記第１の室に加湿ガスを流通させる
透湿度測定方法。
【請求項７】
請求項６に記載の透湿度測定方法であって、
前記水蒸気量測定器は、前記乾燥ガスについて前記チャンバの上流側に配置されている
透湿度測定方法。
【請求項８】
請求項７に記載の透湿度測定方法であって、
前記水蒸気量測定器は、露点計である
透湿度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物の透湿度を測定するための透湿度測定装置及び透湿度測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
食品包装用のフィルム等の評価要件の一つに透湿度がある。透湿度は水蒸気が測定対象物を透過する速度であり、単位時間、単位面積当たりの水蒸気の透過量（ｇ／ｍ２／ｄａｙ）で表される。透湿度は、特に水蒸気が測定対象物を透過する速度が小さい場合等には非常に小さい値になり、また水蒸気は空気中に存在することもあって、高精度に測定されることが求められている。【０００３】
透湿度を測定するための測定装置及び測定方法には種々の形態のものが存在する。例えば、特許文献１には、「水蒸気透過度を測定するための装置とその方法」が記載されている。当該装置では、測定対象物によって第１の室と第２の室とが区画され、第２の室には循環路が接続されている。循環路にはポンプと露点計が設けられている。測定前に、第２の室を含む循環路にパージガスが流通され、水分が除去される。測定では、測定対象物を透過して第２の室に到達した水蒸気はポンプによって循環路を循環する。露点計によって循環路を流通する水蒸気の量が測定され、測定対象物の水蒸気透過性が判断される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開ＷＯ  ２００９／０４１６３２号公報（段落[００１０]、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の装置では、高精度を得るために第２の室の水分をできる限り除去しているが、そのために測定が開始された際、第１の室に供給された水蒸気が測定対象物を浸潤させた後、測定対象物を透過する。このため、水蒸気が測定対象物に浸潤するまでに時間を要し、その分測定時間が長くなってしまう。【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、透湿度を高精度かつ短時間で測定するための透湿度測定装置及びその測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る透湿度測定装置は、チャンバと、乾燥ガス導入系路と、乾燥ガス排出経路と、水蒸気供給部と、制御部と、水蒸気量測定器とを具備する。
上記チャンバは、測定対象物により第１の室と第２の室とに区画される。
上記乾燥ガス導入経路は、第１のバルブを有し、上記第２の室に接続され、上記第１のバルブが開放されているときに上記第２の室に乾燥ガスを導入する。
上記乾燥ガス排出経路は、第２のバルブを有し、上記第２の室に接続され、上記第２のバルブが開放されているときに上記第２の室から上記乾燥ガスを排出する。
上記水蒸気供給部は、上記第１の室に水蒸気を供給することが可能である。
上記制御部は、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが開放されているときに上記測定対象物を加湿し、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが閉止されているときに上記第１の室に水蒸気を供給するように上記水蒸気供給部を制御する。
上記水蒸気量測定器は、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが閉止されているときに、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが閉止されることで形成される測定空間に向けて上記第１の室から上記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する。【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る透湿度測定方法は、測定対象物により第１の室と第２の室とに区画されるチャンバの、上記第２の室に乾燥ガスを流通させながら上記測定対象物を加湿する。
測定時には、第２室の上記乾燥ガスの流通を停止させ、水蒸気は上記第１の室に供給される。
上記第１の室から上記第２の室へ向けて上記測定対象物を透過した水蒸気の量は、上記第２の室に接続された水蒸気量測定器によって測定される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施形態に係る透湿度度測定装置の概略構成を示す図である。
【図２】同透湿度測定装置のチャンバの構成を示す断面図である。
【図３】第２の実施形態に係る透湿度測定装置の概略構成を示す図である。
【図４】実施例及び比較例にかかる透湿度の測定結果を示すグラフである。
【図５】実施例及び比較例にかかる透湿度の測定結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明の一実施形態に係る透湿度測定装置は、チャンバと、乾燥ガス導入系路と、乾燥ガス排出経路と、水蒸気供給部と、制御部と、水蒸気量測定器とを具備する。
上記チャンバは、測定対象物により第１の室と第２の室とに区画される。
上記乾燥ガス導入経路は、第１のバルブを有し、上記第２の室に接続され、上記第１のバルブが開放されているときに上記第２の室に乾燥ガスを導入する。
上記乾燥ガス排出経路は、第２のバルブを有し、上記第２の室に接続され、上記第２のバルブが開放されているときに上記第２の室から上記乾燥ガスを排出する。
上記水蒸気供給部は、上記第１の室に水蒸気を供給することが可能である。
上記制御部は、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが開放されているときに上記測定対象物を加湿し、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが閉止されているときに上記第１の室に水蒸気を供給するように上記水蒸気供給部を制御する。
上記水蒸気量測定器は、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが閉止されているときに、上記第１のバルブ及び上記第２のバルブが閉止されることで形成される測定空間に向けて上記第１の室から上記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する。
【００１１】
第１のバルブ及び第２のバルブが開放されている測定準備の段階では、第２の室に乾燥ガス導入系路から乾燥ガスが導入され、乾燥ガス排出経路から排出される。これにより測定空間が乾燥される。同時に、制御部が制御する水蒸気供給部によって測定対象物が加湿される。第１のバルブ及び第２のバルブが閉止されている測定の段階では、制御部が制御する水蒸気供給部によって第１の室に供給された水蒸気が測定空間に向けて測定対象物を透過し、水蒸気量測定器によって測定される。測定時には第１のバルブ及び第２のバルブが閉止されているため、測定対象物を透過した水蒸気量が微量であっても精度よく検出することが可能である。また、測定準備の段階で測定対象物は加湿されているため、測定の際に測定対象物に浸潤する時間が不要であり、測定が開始されてから水蒸気量測定器によって水蒸気が検出されるまでの時間を短縮することが可能である。
【００１２】
上記水蒸気供給部は、上記第１の室に接続され上記第１の室に加湿ガスを導入する加湿ガス導入系路を有してもよい。
【００１３】
加湿ガス導入系路から第１の室に加湿ガスを導入することにより、第１の室内の湿度及び温度を維持することができる。これにより、測定準備段階では測定対象物を加湿し、測定段階では第１の室に水蒸気を定量供給することが可能である。
【００１４】
上記水蒸気量測定器は、上記第１のバルブと上記チャンバの間の上記測定空間に配置されていてもよい。
【００１５】
上述のように、測定準備段階では、乾燥ガス導入系路から第２の室に乾燥ガスが導入され、乾燥ガス排出経路から排出される。水蒸気量測定器を、流通する乾燥ガスの上流に当たる第１のバルブとチャンバの間に配置することにより、測定準備段階においてチャンバ内から除去された水分が水蒸気量測定器に付着して測定精度が低下することを防止することが可能である。
【００１６】
上記水蒸気量測定器は露点計であってもよい。
【００１７】
露点計によって、微少な透湿度を高精度に測定することが可能である。
【００１８】
本発明の一実施形態に係る透湿度測定方法は、測定対象物により第１の室と第２の室とに区画されるチャンバの、上記第２の室に乾燥ガスを流通させながら上記測定対象物を加湿する。
測定時には第２の室の上記乾燥ガスの流通を停止させて、水蒸気は上記第１の室に供給される。
上記第１の室から上記第２の室へ向けて上記測定対象物を透過した水蒸気の量は、上記第２の室に接続された水蒸気量測定器によって測定される。
【００１９】
上記測定対象物を加湿する工程では、上記第１の室に加湿ガスを流通させてもよい。
【００２０】
上記水蒸気量測定器は、上記乾燥ガスについて上記チャンバの上流側に配置されていてもよい。
【００２１】
上記水蒸気量測定器は、露点計であってもよい。
【００２２】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００２３】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る透湿度測定装置１の概略構成を示す模式図である。
【００２４】
同図に示すように、透湿度測定装置１は、チャンバ２、ガス供給系３、加湿ガス導入経路４、乾燥ガス導入経路５、加湿ガス排出経路６、乾燥ガス排出経路７、露点計８及び制御部３０を有する。
加湿ガス導入経路４、乾燥ガス導入経路５、加湿ガス排出経路６及び乾燥ガス排出経路７はそれぞれチャンバ２に接続されている。ガス供給系３は、加湿ガス導入経路４及び乾燥ガス導入経路５に接続されている。露点計８は乾燥ガス導入経路５上に配置されている。制御部３０は後述する各部に接続されている。チャンバ２には、測定対象物であるフィルムＦが取り付けられている。
【００２５】
図２はチャンバ２の構成を示す断面図である。
同図に示すように、チャンバ２は、第１チャンバ部９、第２チャンバ部１０、締結具１１及びガスケット１２を有する。第１チャンバ部９と第２チャンバ部１０とが締結具１１により締結され、ガスケット１２は第１チャンバ部９と第２チャンバ部１０の接合箇所に配置される。
【００２６】
第１チャンバ部９はステンレス等の材料からなり、凹部９ａと、フランジ部９ｂとが形成されている。凹部９ａは開口を有する凹状部分である。凹部９ａの開口縁にフランジ部９ｂが形成され、フランジ部９ｂに、凹部９ａの開口に沿って溝が形成されている。また凹部９ａには加湿ガス導入経路４の配管１８及び加湿ガス排出経路６の配管２６が接続される孔が形成されている。
【００２７】
第２チャンバ部１０はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、凹部１０ａと、フランジ部１０ｂとが形成されている。凹部１０ａは開口を有する凹状部分である。凹部１０ａの開口縁にフランジ部１０ｂが形成され、フランジ部１０ｂに、凹部１０ａの開口に沿って溝が形成されている。また、凹部１０ａには乾燥ガス導入経路５の配管２２及び乾燥ガス排出経路７の配管２８が接続される孔が形成されている。
【００２８】
第１チャンバ部９と第２チャンバ部１０とは同一形状に形成されてもよく、異なる形状に形成されてもよい。ただし、凹部９ａと凹部１０ａの開口形状及びフランジ部９ｂとフランジ部１０ｂの接合面は対応する必要がある。なお、凹部１０ａの容積が小さくなるように第２チャンバ部１０を形成することにより、フィルムＦを透過した水蒸気が拡散するのに必要な時間を低減することができる。
【００２９】
締結具１１はフランジ部９ｂとフランジ部１０ｂを締結する。締結具１１は例えばボルトとナット、クランプ等、着脱が容易なものが用いられる。
ガスケット１２は、チャンバ２の内部と外部とをシールする。ガスケット１２は例えばゴムからなるＯリング等である。ガスケット１２は、フランジ部９ｂの溝、フランジ部１０ｂの溝にそれぞれ一つずつ嵌めこまれる。ガスケット１２はフランジ部９ｂとフランジ部１０ｂが締結されるとフィルムＦを介して対向し、フィルムＦとフランジ部９ｂ、フィルムＦとフランジ部１０ｂとの間のガスの連通を遮断する。
【００３０】
フィルムＦが取り付けられた状態で第１チャンバ部９と第２チャンバ部１０が結合されると、チャンバ２内に、凹部９ａとフィルムＦで囲まれた第１の室１３と、凹部１０ａとフィルムＦで囲まれた第２の室１４の二室が形成される。
【００３１】
図１に示すように、ガス供給系３はガス源１５と配管１６を有する。ガス源１５は配管１６によって加湿ガス導入経路４の加湿器１７及び乾燥ガス導入経路５の純化・加熱器２０に接続されている。ガス源１５はガスボンベ等であり、加湿ガス導入経路４及び乾燥ガス導入経路５に加湿ガス及び乾燥ガスの元となる原料ガスを供給する。原料ガスは例えば窒素である。
【００３２】
加湿ガス導入経路４は、加湿器１７、配管１８及び第３のバルブ１９を有する。加湿器１７は配管１８によってチャンバ２の第１の室１３に接続されている。加湿器１７はガス供給系３から供給される原料ガスに、例えばバブリング等により水蒸気を含有させ加湿ガスを生成する。第３のバルブ１９は配管１８に設けられ、配管１８を開閉する。
【００３３】
乾燥ガス導入経路５は、純化・加熱器２０、配管２２、第１のバルブ２４及び第４のバルブ２５を有する。純化・加熱器２０は、配管２２によって、後述する露点計８を介してチャンバ２の第２の室１４に接続されている。純化・加熱器２０はガス供給系３から供給される原料ガスから水分及び不純物を除去すると共に原料ガスを加熱し、乾燥ガスを生成する。第１のバルブ２４は配管２２の純化・加熱器２０と露点計８の間に設けられ、配管２２を開閉する。第４のバルブ２５は配管２２の露点計８とチャンバ２の間に設けられ、配管２２を開閉する。
【００３４】
加湿ガス排出経路６は、配管２６及び第５のバルブ２７を有する。配管２６は一端がチャンバ２の第１の室１３に接続され、他端は図示しない排気系に接続されている。排気系は、真空ポンプ等の排気機構であってもよく、また大気開放であってもよい。第５のバルブ２７は配管２６に設けられ、配管２６を開閉する。
【００３５】
乾燥ガス排出経路７は、配管２８及び第２のバルブ２９を有する。配管２８は一端がチャンバ２の第２の室１４に接続され、他端は排気系に接続されている。排気系は、真空ポンプ等の排気機構であってもよく、また大気開放であってもよい。第２のバルブ２９は配管２８に設けられ、配管２８を開閉する。
【００３６】
露点計８は、乾燥ガス導入経路５の配管２２の、第１のバルブ２４とチャンバ２の第２の室１４の間に配置されている。露点計８は、例えば、塩化リチウム露点計、鏡面冷却式露点計、アルファ線露点計等とすることができる。露点計を用いることにより、微少な水蒸気量を高精度に測定することが可能である。また、露点計以外にも、水蒸気量（湿度）を測定することが可能なもの、例えば高分子抵抗式湿度計、高分子容量式湿度計、酸化アルミ容量式湿度計、赤外線湿度計、マイクロ波湿度計等を用いることが可能である。
【００３７】
制御部３０は、第１のバルブ２４、第２のバルブ２９及び加湿器１７に接続されている。制御部３０は、第１のバルブ２４及び第２のバルブ２９の開閉状態を検出し、その状態に応じて加湿器１７を制御する。具体的には、第１のバルブ２４及び第２のバルブ２９が開放されているときには、フィルムＦが加湿される量の水蒸気を生成させ、第１のバルブ２４及び第２のバルブ２９が閉止されているときには、加湿ガスが所定の湿度となるように水蒸気を生成させる。また、制御部３０は、自らが第１のバルブ２４及び第２のバルブ２９の開閉を行ってもよい。
【００３８】
透湿度測定装置１は以上のように構成される。第１のバルブ２４及び第２のバルブ２９が閉止されると、第２の室１４、配管２２の第１のバルブ２４よりチャンバ２側及び配管２８の第２のバルブ２９よりチャンバ２側によって測定空間が形成される。なお、透湿度測定装置１は、チャンバ２及び各配管の温度をそれぞれ所定の温度に維持する図示しないヒータを備える。
【００３９】
以下、透湿度測定装置１の動作を説明する。
フィルムＦの透湿度を測定する前に、以下のようにして測定準備工程が行われる。
【００４０】
第１チャンバ部９のフランジ部９ｂと、第２チャンバ部１０のフランジ部１０ｂの間に測定対象物であるフィルムＦがセットされ、透湿度測定装置１の温度が一定に維持される。
【００４１】
この状態で、第２の室１４に乾燥ガスが流通される。第２のバルブ２９、第４のバルブ２５及び第１のバルブ２４がこの順に開放され、原料ガスがガス源１５から配管１６を通って純化・加熱器２０に供給され、純化・加熱器２０によって乾燥、不純物除去及び加熱され、乾燥ガスが生成される。乾燥ガスは配管２２及び露点計８を通って第２の室１４に導入される。第２の室１４に導入された乾燥ガスは、配管２８を通って排出される。
【００４２】
乾燥ガスの流通と同時に、第１の室１３に加湿ガスが流通される。第５のバルブ２７及び第３のバルブ１９がこの順に開放され、原料ガスがガス源１５から配管１６を通って加湿器１７に供給され、加湿器１７によって加湿され、加湿ガスが生成される。加湿ガスは配管１８を通って第１の室１３に導入される。第１の室１３に導入された加湿ガスは、配管２６を通って排出される。
【００４３】
透湿度測定装置１は、この状態で所定時間維持される。乾燥ガスの流通により、測定空間に存在する水蒸気が除去される。ここで、露点計８は、第２の室１４の上流にあたる配管２２に設けられているため、第２の室１４から放出された水蒸気が露点計８に付着することがない。また、加湿ガスの流通によりフィルムＦが加湿（含水）される。
【００４４】
所定時間経過後、フィルムＦの透湿度の測定が開始される。第１のバルブ２４及び第２のバルブ２９がこの順で閉止され、乾燥ガスの流通が停止される。加湿ガスは、このまま第１の室１３に水蒸気を供給するために流通させる。ここで、流量の調整、ガス温度や湿度の調整を施してもよい。
【００４５】
第１の室１３に導入された加湿ガスに含まれる水蒸気の一部は、測定対象物であるフィルムＦから測定空間に透過する。透過した水蒸気は測定空間内を拡散し、露点計８によって測定される。露点計８により測定された露点温度と、フィルムＦの面積と、測定経過時間から、透湿度（ｇ／ｍ２／ｄａｙ）が得られる。
【００４６】
具体的には、以下の［数１］に示したｓｏｎ−ｎｔａｇの式（ＪＩＳ  Ｚ−８８０６参照）を用いて露点温度を水分圧に変換する。
【００４７】
【数１】
2011132391.tif 000003
【００４８】
［数１］の式において、ＰＨ２Ｏは水分圧（Ｐａ）、ＴＤＰは露点温度（Ｋ）である。
【００４９】
次に、［数１］の式により求めた水分圧を、以下の［数２］に示す式を用いて水分重量に変換する。ここで、水蒸気が理想気体であるものとして近似する。
【００５０】
【数２】
2011132391.tif 000004
【００５１】
［数２］の式において、Ｗは水分重量（ｇ）、Ｖは第２の室１４の体積（ｍ３）、Ｒは気体定数（８．３１４（ＪＫ／ｍｏｌ））、Ｔｇａｓはガス温度（Ｋ）、ＭｗＨ２Ｏは水の分子量（１８．０２（ｇ／ｍｏｌ））である。
【００５２】
次に、［数２］の式で得られた水分重量を、以下の［数３］に示す式を用いて、測定時間及びフィルムＦの面積で規格化し、透湿度を求める。
【００５３】
【数３】
2011132391.tif 000005
【００５４】
［数３］の式において、ＷＶＴＲは透湿度（ｇ／ｍ２／ｄａｙ）、ＡはフィルムＦの面積（ｍ２）である。
【００５５】
以上のようにして、露点温度から透湿度が求められる。ここで、上述のように、測定準備の段階でフィルムＦが加湿されているため、測定の際に測定対象物に浸潤する時間が不要であり、測定が開始されてから水蒸気量測定器によって水蒸気が検出されるまでの時間を短縮することが可能である。また、測定準備の段階において、第２の室１４から放出された水蒸気が露点計８に付着することがないため、このような水蒸気による測定値への影響が排除され、高精度に透湿度を測定することが可能となる。
【００５６】
（第２の実施形態）
図３は、第２の実施形態に係る透湿度測定装置１００の概略構成を示す模式図である。なお、第２の実施形態において第１の実施形態と同様の構成を有する箇所には同様の符号を付し、説明を省略する。
【００５７】
図３に示すように、透湿度測定装置１００では、露点計８の位置が異なり、乾燥ガス排出経路７上に配置されている。また、それに伴ない、第４のバルブ２５も乾燥ガス排出経路７上の、チャンバ２と露点計８の間に配置されている。
【００５８】
透湿度測定装置１００の動作も透湿度測定装置１と同様である。
具体的には、第１チャンバ部９のフランジ部９ｂと、第２チャンバ部１０のフランジ部１０ｂの間に測定対象物であるフィルムＦがセットされ、透湿度測定装置１００の温度が一定に維持される。
【００５９】
この状態で、第２の室１４に乾燥ガスが流通される。第２のバルブ２９、第４のバルブ２５及び第１のバルブ２４がこの順に開放され、原料ガスがガス源１５から配管１６を通って純化・加熱器２０に供給され、純化・加熱器２０によって乾燥、不純物除去及び加熱され、乾燥ガスが生成される。乾燥ガスは配管２２及び露点計８を通って第２の室１４に導入される。第２の室１４に導入された乾燥ガスは、配管２８を通って排出される。
【００６０】
乾燥ガスの流通と同時に、第１の室１３に加湿ガスが流通される。第５のバルブ２７及び第３のバルブ１９がこの順に開放され、原料ガスがガス源１５から配管１６を通って加湿器１７に供給され、加湿器１７によって加湿され、加湿ガスが生成される。加湿ガスは配管１８を通って第１の室１３に導入される。第１の室１３に導入された加湿ガスは、配管２６を通って排出される。
【００６１】
透湿度測定装置１は、この状態で所定時間維持される。乾燥ガスの流通により、測定空間に存在する水蒸気が除去される。ここで、加湿ガスの流通によりフィルムＦが加湿される。
【００６２】
所定時間経過後、フィルムＦの透湿度の測定が開始される。第１のバルブ２４及び第２のバルブ２９がこの順で閉止され、乾燥ガスの流通が停止される。加湿ガスは、このまま第１の室１３に水蒸気を供給するために流通させる。ここで、流量の調整、ガス温度や湿度の調整を施してもよい。
【００６３】
第１の実施形態と同様に、露点計８により測定された露点温度と、フィルムＦの面積と、測定経過時間から、透湿度（ｇ／ｍ２／ｄａｙ）が得られる。上述のように、測定準備の段階でフィルムＦが加湿されているため、測定の際に測定対象物に浸潤する時間が不要であり、測定が開始されてから水蒸気量測定器によって水蒸気が検出されるまでの時間を短縮することが可能である。
【実施例】
【００６４】
以下、実施例について説明する。
上述の第１の実施形態に係る透湿度測定装置１を用いてサンプル（フィルムＦ）の透湿度を測定した。第２の室１４の体積（数２のＶ）は８．５４×１０−５ｍ３である。Ａｌ２Ｏ３／ＰＵ(Polyurethane）／ＰＥＴ（Polyethylene Terephthalate）バリア膜とＡｌ／Ａｃｒｙｌ／ＰＥＴバリア膜をサンプルとした。それぞれのサンプルの面積（数３のＡ）は３．３２×１０−３ｍ２である。【００６５】
チャンバ２にサンプルをセットし、チャンバ２の温度を８０℃、各配管の温度を５０℃とした。測定準備段階として、乾燥ガスを第２の室１４に、加湿ガスを第１の室１３に導入した。乾燥ガスは４０℃０％ＲＨ（相対湿度）の窒素ガスとし、流量は１Ｌ／ｍｉｎとした。加湿ガスは４０℃９０％ＲＨの窒素ガスとし、流量は５Ｌ／ｍｉｎとした。この状態で２０時間維持した。【００６６】
また、比較例として、測定準備段階において第１の室に加湿ガスを流通させず、乾燥ガス（４０℃０％ＲＨの窒素ガス）を５Ｌ／ｍｉｎの流量で流通させた。第２の室には実施例と同様に乾燥ガス（４０℃０％ＲＨの窒素ガス）を５Ｌ／ｍｉｎの流量で流通させた。この状態で２０時間維持した【００６７】
実施例及び比較例に示した測定準備段階の終了後、乾燥ガスの流通を停止させ、露点温度の測定を開始した。図４及び図５は、測定された露点温度から、上述のようにして透湿度を算出した結果のグラフである。図４はＡｌ２Ｏ３／ＰＵ／ＰＥＴバリア膜、図５はＡｌ／Ａｃｒｙｌ／ＰＥＴバリア膜をそれぞれサンプルとしたものである。これらの図において横軸は測定時間であり、縦軸は水蒸気透過量（ＷＶＴＲ）である。実施例の測定結果を実線、比較例の測定結果を破線で示す。なおガス温度（数２のＴｇａｓ）は３１３Ｋであった。【００６８】
図４及び図５に示すように、実施例及び比較例のプロットを比較すると、実施例のプロットの方がより早くピークが検出され、即ちより早く水蒸気量を検出することが可能である。具体的には、図４に示すプロットでは０．０５ｇ／ｍ２／ｄａｙの透湿度が１８分早く測定された。また、図５に示すプロットでは０．００５ｇ／ｍ２／ｄａｙの透湿度が３２分早く測定された。このように、本測定方法は、本来測定に時間を要する透湿度が小さいサンプルほど有効である。【００６９】
本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において変更され得る。【００７０】
上述の実施形態では、加湿ガスによってフィルムを加湿するものとしたがこれに限られない。例えば、チャンバの外からフィルムに直接水分を供給して加湿するものとすることも可能である。
【符号の説明】
【００７１】
１    透湿度測定装置
２    チャンバ
５    乾燥ガス導入経路
７    乾燥ガス排出経路
８    露点計
１７  加湿器
１３  第１の室
１４  第２の室
２４  第１のバルブ
２９  第２のバルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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