(57)【要約】  着脱自在な装置前自動倉庫（１０）を設けると共に、装置前自動倉庫（１０）の着脱に伴う第１のコントローラ（２０）の配線の変更を不要にする。第１のロードポート（１２）と第１のコントローラ（２０）とを備えた装置に対し、搬送車（６）との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポート（１６）と、第２のコントローラ（２２）とを備えた装置前自動倉庫（１０）を着脱自在に設ける。また物品の搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、通信端末に接続された通信装置（３０）とを設ける。通信装置（３０）は、第１のコントローラ（２０）の接続先を、記第２のコントローラ（２２）と通信端末（３０）との間でスイッチにより切り換える。
2011155040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
前記通信装置は、前記第１のコントローラの接続先を、前記第２のコントローラと前記通信端末との間で切換自在なスイッチを備えていることを特徴とする、搬送システム。
【請求項２】
前記スイッチは、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記通信端末に接続することを特徴とする、請求項１の搬送システム。
【請求項３】
前記通信端末は、前記装置前自動倉庫の通信端末を少なくとも１個、前記処理装置の通信端末を少なくとも１個、合計で複数個設けられ、複数の通信端末は直列に接続されて、直列に通信データを転送し、その基端側の１個のみが前記通信装置に接続され、
かつ複数の通信端末中の１個が前記搬送車と通信すると共に、前記基端側の通信端末を介して前記通信装置と通信するように構成されていることを特徴とする、請求項２の搬送システム。
【請求項４】
第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
前記通信装置は、前記第１のコントローラの接続先を、前記第２のコントローラと前記搬送車との間で切換自在なスイッチを備えていることを特徴とする、搬送システム。
【請求項５】
第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システム内で通信する方法であって、
前記搬送システムは、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
前記通信装置内のスイッチにより、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記通信端末に接続することを特徴とする、搬送システム内での通信方法。
【請求項６】
第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システム内で通信する方法であって、
前記搬送システムは、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
前記通信装置内のスイッチにより、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記搬送車に接続することを特徴とする、搬送システム内での通信方法。
【請求項７】
第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
前記通信装置は、前記通信端末から前記通信装置への通信の接続先を、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には、前記第２のコントローラとし、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には、前記第１のコントローラとするスイッチを備えていることを特徴とする、搬送システム。
【請求項８】
第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
前記通信装置は、前記搬送車から前記通信装置への通信の接続先を、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には、前記第２のコントローラとし、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には、前記第１のコントローラとするスイッチを備えていることを特徴とする、搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は搬送システムに関し、特に搬送システム内での通信に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内での半導体の搬送などで、処理装置のロードポートを覆うように、装置前自動倉庫を取り付け、搬送車とロードポートとの間の物品の移載を、装置前自動倉庫で中継することが知られている（例えば特許文献１：JP2001-298069A）。図６に、装置前自動倉庫を用いた搬送システムを示す。図において４は走行レール、６は天井走行車で、通信ユニット７を備え、ロードポート１２の上部で走行レール４の周囲に設けられた通信端末３６と通信する。８は処理装置で、半導体ウェハーなどを処理し、ロードポート１２を１個〜複数個備えている。１０は装置前自動倉庫で、複数の棚１６と、倉庫内搬送装置１８とを備えている。天井走行車６は装置前自動倉庫１０の棚１６との間で、FOUP１４などの物品を移載し、倉庫内搬送装置１８により棚１６とロードポート１２との間で物品を移載する。【０００３】
天井走行車６は、棚１６もしくはロードポート１２との間で物品を移載する前に、地上側のコントローラ２０，２２と通信する必要がある。このため通信端末３６をロードポート１２の上部で走行レール４の周囲に設け、光通信により天井走行車６の通信ユニット７と通信する。通信端末３６はロードポート１２毎に設けられ、また天井走行車６が物品を移載可能な棚１６毎に設けられている。図６では、ロードポート１２が４個有り、天井走行車６が物品を移載可能な棚１６が２個有るものとしている。またロードポート１２へ天井走行車６が直接に物品を移載することはないので、コネクタ４１をコントローラ２０への配線から外す。そして処理装置８のコントローラ２０を装置前自動倉庫１０のコントローラ２２へ、コネクタ４０，４２を介して、接続する。また装置前自動倉庫１０のコントローラ２２を、コネクタ４３を介して、通信端末３６に接続する。【０００４】
発明者はここで、図７に示すように、装置前自動倉庫１０を装置８に対し着脱自在にする可能性を検討した。なお図７は、発明者の検討結果を示すもので、公知のシステムを示すものではない。図７のように、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外すと、コネクタ４２を外して、コネクタ４１をコントローラ２０に接続する必要がある。これらのため、地上側と天井側との間で多数本の配線を行う必要があり、装置前自動倉庫１０の着脱に伴い、コネクタ４１の着脱等の配線の切換を行う必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】JP2001-298069A
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この発明の基本的課題は、配線の変更なしで、装置前自動倉庫を着脱できるようにすることにある。
この発明の副次的課題は、天井側と地上側との配線を簡単にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
前記通信装置は、前記第１のコントローラの接続先を、前記第２のコントローラと前記通信端末との間で切換自在なスイッチを備えていることを特徴とする。【０００８】
またこの発明は、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システム内で通信する方法であって、
前記搬送システムは、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
前記通信装置内のスイッチにより、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記通信端末に接続することを特徴とする、搬送システム内での通信方法にある。【０００９】
この発明では、第１のロードポートと第２のロードポートのいずれを有効にするかに際して、スイッチを切り換えるだけで良く、装置のコントローラと装置前自動倉庫のコントローラとの接続を外し、装置のコントローラを通信端末へ接続し直す作業が不要になる。【００１０】
好ましくは、前記スイッチは、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記通信端末に接続する。このようにすると、装置前自動倉庫の着脱時に、配線を接続し直す作業が不要になる。【００１１】
好ましくは、前記通信端末は、前記装置前自動倉庫の通信端末を少なくとも１個、前記処理装置の通信端末を少なくとも１個、合計で複数個設けられ、複数の通信端末は直列に接続されて、直列に通信データを転送し、その基端側の１個のみが前記通信装置に接続され、かつ複数の通信端末中の１個が前記搬送車と通信すると共に、前記基端側の通信端末を介して前記通信装置と通信するように構成されている。このようにすると、通信装置と通信端末との配線を１本にまとめることができ、装置前自動倉庫と装置毎に、またそれらの各ロードポート毎に別々の配線を施す必要がない。【００１２】
この発明はさらに、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
前記通信装置は、前記第１のコントローラの接続先を、前記第２のコントローラと前記搬送車との間で切換自在なスイッチを備えていることを特徴とする。【００１３】
この発明はまた、  第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた処理装置に対し、物品を搬出入するための搬送システム内で通信する方法であって、
前記搬送システムは、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
前記通信装置内のスイッチにより、前記第１のコントローラを、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には前記第２のコントローラに接続し、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には前記搬送車に接続することを特徴とする。【００１４】
このようにすると、第１のロードポートと第２のロードポートのいずれを有効にするかに際して、スイッチを切り換えるだけで良くなる。さらに通信端末が不要で、通信端末との配線も不要になる。また搬送車が第１及び第２のロードポートの付近に到着する前から通信できるので、第１あるいは第２のロードポートとの間で物品を受け渡すことができない場合、搬送車は停止せずに通過でき、搬送効率が向上する。【００１５】
この発明はさらに、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車と通信可能な範囲内に配置された通信端末と、
前記通信端末に接続された通信装置とを備え、
前記通信装置は、前記通信端末から前記通信装置への通信の接続先を、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には、前記第２のコントローラとし、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には、前記第１のコントローラとするスイッチを備えていることを特徴とする。【００１６】
このようにすると、装置前自動倉庫の着脱に従って、通信端末からの通信先をスイッチで変更するので、配線の変更が不要になる。【００１７】
この発明はまた、第１のロードポートと第１のコントローラとを備えた装置に対し、物品を搬出入するための搬送システムであって、
物品の搬送車と、
前記搬送車との間で物品を受け渡し自在な第２のロードポートと、第２のコントローラとを備え、かつ前記処理装置に着脱自在な装置前自動倉庫と、
前記搬送車とワイヤレスで通信する通信装置とを備え、
前記通信装置は、前記搬送車から前記通信装置への通信の接続先を、前記装置前自動倉庫が前記処理装置にセットされている際には、前記第２のコントローラとし、前記装置前自動倉庫が前記処理装置から取り外されている際には、前記第１のコントローラとするスイッチを備えていることを特徴とする。【００１８】
このようにすると、装置前自動倉庫の着脱に従って、搬送車からの通信先をスイッチで変更するので、配線の変更が不要になる。また通信装置と搬送車はワイヤレスに通信するので、通信端末を搬送車の走行経路の付近に設ける必要が無くなる。さらに第１あるいは第２のロードポートとの間で物品を受け渡すことができない場合、搬送車は停止せずに通過でき、搬送効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】実施例の搬送システムでの、処理装置と装置前自動倉庫と、天井走行車との通信環境を示す図
【図２】実施例から装置前自動倉庫を取り外した際の通信環境を示す図
【図３】実施例の搬送システムの要部平面図
【図４】第２の施例の搬送システムでの、処理装置と装置前自動倉庫と、天井走行車との通信環境を示す図
【図５】図４の実施例から装置前自動倉庫を取り外した際の通信環境を示す図
【図６】従来例の搬送システムでの、処理装置と装置前自動倉庫と、天井走行車との通信環境を示す図
【図７】装置前自動倉庫を着脱自在にする際の参考例を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
【実施例】
【００２１】
図１〜図５に第１及び第２の実施例を示し、図６，図７の従来例との相違点を中心に説明する。なお説明を省略する事項は、クリーンルーム内での半導体搬送の分野において周知の事項である。図１〜図３は第１の実施例を示し、２は搬送システムで、クリーンルーム内で半導体ウェハーなどを搬送し、４は天井空間に設けられた走行レール、６は天井走行車で地上走行の搬送車でもよい。８は処理装置で半導体ウェハーなどを処理し、１個〜複数個、図では例えば４個のロードポート１２を備え、コントローラ２０によりロードポート１２を含む処理装置８を制御する。なお半導体ウェハーなどの検査装置も処理装置８に含めるものとする。１０は装置前自動倉庫で、処理装置８に対し着脱自在である。また装置前自動倉庫１０は複数個の棚１６と倉庫内搬送装置１８を備え、棚１６とロードポート１２との間で,FOUP１４などの物品を移載する。そして棚１６の内の１〜複数個、図では例えば２個の棚１６が天井走行車６と物品を受け渡しできる。処理装置８のロードポート１２を第１のロードポート、自動倉庫１０の棚１６を第２のロードポートと呼ぶ。【００２２】
天井走行車６は、無線、光、赤外線等を用いた通信ユニット７により、周囲の即ち通信可能範囲内の、通信端末３６ａ〜ｃと通信する。複数個の通信端末３６ａ〜ｃはデイジーチェーンにより直列に接続され、デイジーチェーンの基端となる通信端末３６ａは通信装置３０と有線で接続されている。３６ｂはデイジーチェーンの終端となる通信端末、３６ｃは中継となる通信端末である。また通信端末３６ａ〜ｃは、図３に示すように、ロードポート１２及び棚１６のの上部に配置され、走行レール４に沿って延びるＬＡＮを構成するのではない。【００２３】
図３は天井側から見た搬送システムを示し、処理装置８は走行レール４の直下に例えば４個のロードポート１２を備え、各々のロードポート１２の付近に対応する通信端末３６ｃが設けられている。また装置前自動倉庫１０は、天井走行車６との間で物品を移載自在な棚１６を例えば２個備え、各々の棚１６の付近に１個ずつ、合計２個の通信端末３６ａ，bを備えている。そして通信端末３６ａ〜ｃはデイジーチェーンにより直列に接続され、基端側の通信端末３６ａのみが通信装置３０の通信ユニット３４と接続されている。【００２４】
地上側の通信装置３０はディストリビュータ３２と通信ユニット３４とを備え、ディストリビュータ３２は、コントローラ２０からコネクタ４０を介して接続された配線の接続先を、コントローラ２２と通信ユニット３４との間で切り換える。ディストリビュータ３２はスイッチの例で、スイッチはリレー等の電気的スイッチでも、半導体を用いた電子的スイッチでも良い。また通信ユニット３４はデイジーチェーンの基端となる通信ユニット３６ａとの通信を行う。【００２５】
装置前自動倉庫１０が処理装置８に取り付けられている場合、ディストリビュータ３２により、コントローラ２０から通信装置３０へ接続された配線は、コントローラ２２へ接続される。これによってコントローラ２０，２２が通信し、装置前自動倉庫１０とロードポート１２間の移載に関するデータを交換できる。図２のように、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外すと、ディストリビュータ３２はコントローラ２０からの配線を通信ユニット３４へ接続する。これによってコントローラ２０と通信端末３６ａ〜ｃを接続し、ロードポート１２と天井走行車６との間の移載に関するデータを交換できる。【００２６】
天井走行車６の通信ユニット７は個々の通信端末３６ａ〜ｃを区別して通信するため、ポート番号等を通信端末のIDとして、通信データにIDを付加して通信する。また通信ユニット３４は通信装置３０内のどの配線から受け取った信号であるかに応じて、通信データにポート番号などのIDを付加して通信端末３６ａ〜ｃへ送信する。そして通信端末３６ａ〜ｃが構成するデイジーチェーンでは、通信端末３６ａ〜ｃのIDを発信元のアドレスもしくは宛先のアドレスとし、データを転送する。通信ユニット３４からの通信では、宛先アドレス以外の通信端末３６ａ〜ｃは終端側へ信号を転送し、宛先アドレスの通信端末３６ａ〜ｃは終端側へ転送せずに、通信ユニット７へ送信する。通信ユニット７からの通信では、宛先アドレスの通信端末３６ａ〜ｃが受信して、デイジーチェーンの基端側へ信号を転送する。ここで通信端末３６ａ〜ｃがデイジーチェーンを成すとは、基端の通信端末３６ａから終端の通信端末３６ｂまで各通信端末が直列に接続され、中間の通信端末３６ｃが中継端末となることを言う。また物理的には、中間の通信端末３６ｃはデイジーチェーンの基端側と終端側とを隣接する通信端末３６ａ〜ｃと同種のコネクタで接続されている。基端及び終端の通信端末３６ａ，ｂは中継の通信端末３６ｃと同種のコネクタで接続されている。また通信の方式自体は全２重、半２重など任意である。【００２７】
図１のように、装置前自動倉庫１０を処理装置８に取り付けた状態では、天井走行車６は通信ユニット７を介して適宜の通信端末３６ａ〜ｃと通信し、デイジーチェーンを介して通信結果は通信ユニット３４へ入力され、コントローラ２２へ伝えられる。コントローラ２２からの通信は、逆の経路を介して、通信端末３６ａ〜ｃから通信ユニット７へ伝えられる。そしてコントローラ２０とコントローラ２２とは、ディストリビュータ３２を介して互いに通信する。【００２８】
これに対して図２のように、装置前自動倉庫１０を取り外すと、コントローラ２０からの配線の接続先が、ディストリビュータ３２で通信ユニット３４へと切り換えられ、コントローラ２０は天井走行車６と通信できる。このため装置前自動倉庫１０を取り外しても、ディストリビュータ３２の接続先を切り換えるだけで、ロードポート１２と天井走行車６との間で物品の移載ができる。これらの結果、以下の効果が得られる。天井側と地上側とを結ぶ配線は１本で良く、配線作業が簡単である。装置前自動倉庫１０の着脱に際して必要なのは、ディストリビュータ３２の切換のみで、図６，図７の従来例のように、コネクタ４０〜４２の切換は不要である。【００２９】
図１，図２の実施例では、通信端末３６ａ〜３６ｃと天井走行車６との間で通信したが、天井走行車６が地上側の通信装置３０との間で、直接通信することも可能である。このような実施例を図４，図５に示す。特に指摘した点以外は図１，図２の実施例と同様で、通信装置３０は、有線の通信ユニット３４に代えて、無線通信、光通信、赤外線通信等を行う通信ユニット３５を備えている。このため通信端末３６ａ〜ｃが不要になるが、どのロードポート１２あるいはどの棚１６との間の移載に関する通信であるかを指定するため、通信端末３６ａ〜３６ｃが仮想的に存在するものとして、そのIDを用いる。天井走行車６の通信ユニット７は、仮想的な通信端末３６ａ〜３６ｃのIDを指定して、通信ユニット３５へ向けて通信する。通信ユニット３５も、仮想的な通信端末３６ａ〜３６ｃのIDを付加して、通信ユニット７と通信する。通信ユニット３５と通信ユニット７との通信は、通信端末３６ａ〜３６ｃのIDを付加して行われるので、天井走行車６からすると、図１，図２と同じ環境で同じ手順により通信することになる。またコントローラ２０，２２からしても、図１，図２と同じ手順で通信することになる。相違点は、地上側の通信ユニット３５が個々の通信端末３６ａ〜ｃのIDを用いて、天井走行車側の通信ユニット６と直接に通信することである。【００３０】
図４は装置前自動倉庫１０が処理装置８にセットされた状態を示し、コントローラ２２は、通信ユニット３５を介して天井走行車６と通信し、またディストリビュータ３２を介してコントローラ２２と通信する。図５は装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外した状態を示す。ディストリビュータ３２により、コントローラ２０の接続先をコントローラ２２から通信ユニット３５に変更し、コントローラ２０はディストリビュータ３２と通信ユニット３５を介して、天井走行車６と通信する。【００３１】
図４，図５の実施例では、天井空間と地上側の配線が不要である。さらに天井走行車６は装置前自動倉庫１０あるいはロードポート１２の直上に達する前に、通信ユニット３５と通信できる。従って物品の移載に関するデータを、天井走行車６が目的地に到着する前に交換でき、例えば物品の受け渡しができない場合、天井走行車６は停止せずに、好ましくは減速せずに、ロードポート１２及び装置前自動倉庫１０の上部を通過できる。従って、天井走行車６の無駄な停止を減らし、渋滞を緩和できる。【００３２】
各実施例では、コントローラ２２を常時通信ユニット３４，３５と接続するが、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外した際に、ディストリビュータ３２により、コントローラ２２と通信ユニット３４，３５との接続を解除しても良い。ディストリビュータ３２は、装置前自動倉庫１０が処理装置８に着脱されたことを検出して自動的に切り換えても、マニュアルで切り換えても良い。実施例ではロードポート１２を備えた装置として処理装置８を示すが、検査装置などの他の装置でも良い。また搬送する物品は半導体ウェハーの他に、レチクル等の他の物品でも良い。装置前自動倉庫１０は棚１６を用いて天井走行車６と物品を受け渡すが、棚以外のロードポートを用いても良い。【００３３】
なお各実施例では、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外した時でも、通信装置３０とコントローラ２２からの配線は有効である。しかし通信ユニット３４，３５とコントローラ２２との配線もディストリビュータ３２を経由するようにして、装置前自動倉庫１０を処理装置８から取り外すと、通信ユニット３４，３５とコントローラ２２との通信を遮断しても良い。【００３４】
図１〜図３の実施例での、信号の流れを再度説明する。天井走行車６は移載しようとするロードポート１２もしくは棚１６の付近で停止し、ロードポート１２もしくは棚１６のIDを付加して、物品の移載用の信号を通信端末３６ａ〜ｃへ送信する。通信端末３６ａ〜ｃはデイジーチェーンで接続され、信号は基端側の通信端末３６ａから通信装置３０の通信ユニット３４へ送信される。図１のように装置前自動倉庫１０が処理装置８にセットされている場合、通信端末３６ａ〜ｃのIDでロードポート１２に対応するものを付加された信号は、通信装置３０からコントローラ２２へ転送されず、例えば無応答でエラーとなる。なおこのような信号をコントローラ２２へ転送し、コントローラ２２から、ロードポート１２とは移載できないが、棚１６とは移載できる等の信号を返信しても良い。また棚１６に対応するIDを付加された信号はコントローラ２２へ転送され、逆の経路で移載の承認信号等が返信される。【００３５】
図２のように、装置前自動倉庫１０が処理装置８から外されている場合、ロードポート１２のIDを付加された信号は、通信装置３０からコントローラ２０へ転送され、コントローラ２０からの返信はディストリビュータ３０，通信ユニット３４、通信端末３６ａを介して、前記のIDで定まる通信端末３６ａ〜ｃへ返信される。棚１６に対応するIDを付加された信号は、通信ユニット３４からコントローラ２２へ転送され、装置前自動倉庫１０は物品を移載できない状態なので、エラー信号が返信されるか無応答でエラーとなる。この時、通信ユニット３４は棚１、６に対応するIDが付加された信号を、コントローラ２２へ転送せずに無視しても良い。【００３６】
図４，図５の実施例では、通信端末３６ａ〜ｃが実在せず、天井走行車６はロードポート１２あるいは棚１６の上流側から停止せずに、通信ユニット７から移載に関する信号を通信ユニット３５へ送信する。図４のように装置前自動倉庫１０が処理装置８にセットされた状態では、ロードポート１２に対応するIDが付加された信号は、例えば通信ユニット３５では処理されず、天井走行車６側ではタイムオーバーでエラーとなる。なおこのような信号をコントローラ２２へ転送し、コントローラ２２側で処理しても良い。さらに天井走行車６は停止せずに通信を開始し、移載に関する信号の交換に成功しない場合、減速することはあっても、停止することはない。また棚１６に対応するIDが付加された信号はコントローラ２２へ転送され、コントローラ２２側から通信ユニット３５を介して天井走行車６の通信ユニット７へ返信する。【００３７】
図５のように、装置前自動倉庫１０が処理装置８から取り外されている状態では、天井走行車６の通信ユニット７からの通信は、付加されたIDに従い、通信ユニット３５でコントローラ２０，２２へ分配される。コントローラ２２への通信は、例えば無応答でエラーとなり、コントローラ２０は通信に対して、ロードポート１２への移載に関する信号を返信する。この場合も、天井走行車６は停止せずに移載に関する信号を交換する。  
【符号の説明】
【００３８】
２          搬送システム
４          走行レール
６          天井走行車
７          通信ユニット
８          処理装置
１０        装置前自動倉庫
１２        ロードポート
１４        FOUP
１６        棚
１８        倉庫内搬送装置
２０，２２  コントローラ
３０        通信装置
３２        ディストリビュータ
３４，３５  通信ユニット
３６        通信端末
４０〜４３  コネクタ    
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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