(57)【要約】  このポンプユニットは、ポンプ機構部（２１，３１，４１）と、モータ部（２２，３２，４２）と、インバータ部（２３）と、前記インバータ部（２３）を制御するとともに前記モータ部（２２，３２，４２）の電力値を監視する制御部（２４）と、前記制御部（２４）による制御に用いられる制御パターンを記憶する記憶部（２５）とを含み、前記制御部（２４）は、少なくとも、予め規定された上限電力値を超えた状態で、予め規定された上限時間を超えて前記モータ部（２２，３２，４２）が運転された時、又は予め規定した所定時間内に、予め規定された上限積算電力値を超えて前記モータ部（２２，３２，４２）が運転された時に、前記モータ部（２２，３２，４２）が回転状態を維持しつつ回転速度を低下させる抑制運転モードとなるように、前記インバータ部（２３）を制御する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプユニットであって、
吸気口を通じて気体を吸い込み、排気口を通じて前記吸い込まれた気体を排気するポンプ機構部と、
前記ポンプ機構部を駆動させるモータ部と、
前記モータ部に供給される電力値を制御するインバータ部と、
前記インバータ部を制御するとともに、前記モータ部の電力値を監視する制御部と、
前記制御部による制御に用いられる制御パターンを記憶する記憶部と、
を含み、
前記制御部は、少なくとも、予め規定された上限電力値を超えた状態で、予め規定された上限時間を超えて前記モータ部が運転された時、又は予め規定した所定時間内に、予め規定された上限積算電力値を超えて前記モータ部が運転された時に、前記モータ部が回転状態を維持しつつ回転速度を低下させる抑制運転モードとなるように、前記インバータ部を制御する
ことを特徴とするポンプユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のポンプユニットであって、
前記制御部は、予め規定した維持時間を経過した後に前記抑制運転モードを解除し、通常運転モードとなるように前記インバータ部を制御する
ことを特徴とするポンプユニット。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のポンプユニットであって、
前記記憶部においては、互いに異なる複数の前記制御パターンが記憶され、
前記吸気口に接続される減圧体に応じて、最適な制御パターンが前記制御部によって選択される
ことを特徴とするポンプユニット。
【請求項４】
ロードロックチャンバの排気装置であって、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のポンプユニットを備え、
半導体製造装置又はフラットパネルディスプレイ製造装置におけるプロセスチャンバに併設されている
ことを特徴とするロードロックチャンバの排気装置。
【請求項５】
真空装置であって、
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のポンプユニットを備えたことを特徴とする真空装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプユニット，ロードロックチャンバの排気装置，及び真空装置に関し、詳しくは、ポンプに過大な負荷を与えることなく、効率よく運転可能な技術に関する。
本願は、２００９年１０月２９日に出願された特願２００９−２４９１３３号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造装置又はフラットパネルディスプレイ製造装置（ＦＰＤ製造装置）の一例として、ウエハに成膜処理を行うプロセスチャンバ（処理室）に隣接してロードロックチャンバ（ロードロック室）が設けられた装置が知られている。このロードロックチャンバは、プロセスチャンバと半導体製造装置又はＦＰＤ製造装置の外部との間でウエハ等を交換する際に、プロセスチャンバ内を真空（真空状態）に維持する。【０００３】
こうしたロードロックチャンバには、チャンバ内を所定の真空（真空圧力）にするための真空ポンプ（ポンプユニット）が接続されている。そして、ロードロックチャンバとプロセスチャンバとの間でウエハ等を交換する際には、ロードロックチャンバの内部空間が半導体製造装置の外部から隔離され、真空ポンプによってロードロックチャンバの内圧が所定の真空度に到達された状態で、ウエハ等がロードロックチャンバとプロセスチャンバとの間で交換される。【０００４】
一方、ロードロックチャンバと半導体製造装置の外部との間でウエハ等を交換する際には、ロードロックチャンバの内部空間がプロセスチャンバから隔離され、ロードロックチャンバの内圧が大気圧に戻された状態でウエハ等がロードロックチャンバと半導体製造装置の外部との間で交換される。【０００５】
このような大気圧状態のロードロックチャンバの内圧が所定の真空度に到達するようにロードロックチャンバを減圧する際には、ロードロックチャンバと真空ポンプとの間に接続された開閉バルブの状態を閉状態から開状態に切り替えた後に、真空ポンプによってロードロックチャンバを減圧する。この時、真空ポンプが駆動しながら開閉バルブの状態が閉状態から開状態に切替わると、真空ポンプの内圧が真空から大気圧に急激に上昇する。これにより、真空ポンプにおいて発生する圧力差に起因する負荷が急増する。このため、真空ポンプの駆動源であるモータの出力トルクも急増する。【０００６】
真空ポンプのモータの出力トルクが急激に増加すると、真空ポンプの構成部材が破損する虞がある。このため、従来は、モータの回転数又は電力値をモニタするためのセンサを真空ポンプ（ポンプユニット）の外部に設け、このセンサで検出されたモニタリング信号を真空ポンプ（ポンプユニット）の制御部に入力させることによって、真空ポンプの負荷トルクが所定の上限値を超えないように真空ポンプが制御されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−００３５０３号公報
【特許文献２】特開２００３−１５５９８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述したような従来の真空ポンプ（ポンプユニット）においては、モータの回転数又は電力値をモニタするためのセンサや、センサを制御するドライバ等を真空ポンプの外部機器として用意し、この機器を真空ポンプの外部に接続する必要があった。このため、真空ポンプ以外に、真空ポンプを適切な範囲内で運転させる保護機器を設ける手間や、保護機器が設置される設置スペースが必要になり、コストも高くなるという問題があった。【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、簡易な構成で省スペース、かつ低コストで、真空ポンプを適切な範囲内で運転させる保護機能を備えたポンプユニットを提供することを目的とする。【００１０】
また、本発明は、上記保護機能を有するポンプユニットを備えたロードロックチャンバの排気装置を提供することを目的とする。
更に、本発明は、上記保護機能を有するポンプユニットを備えた真空装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明は次のようなポンプユニットを提供する。
すなわち、本発明の第１態様のポンプユニットは、吸気口を通じて気体を吸い込み、排気口を通じて前記吸い込まれた気体を排気するポンプ機構部と、前記ポンプ機構部を駆動させるモータ部と、前記モータ部に供給される電力値を制御するインバータ部と、前記インバータ部を制御するとともに、前記モータ部の電力値を監視する制御部と、前記制御部による制御に用いられる制御パターンを記憶する記憶部とを含む。本発明の第１態様のポンプユニットにおいては、前記制御部は、少なくとも、予め規定された上限電力値を超えた状態で、予め規定された上限時間を超えて前記モータ部が運転された時、又は予め規定した所定時間内に、予め規定された上限積算電力値を超えて前記モータ部が運転された時に、前記モータ部が回転状態を維持しつつ回転速度を低下させる抑制運転モードとなるように、前記インバータ部を制御する。【００１２】
本発明の第１態様のポンプユニットにおいては、前記制御部は、予め規定した維持時間を経過した後に前記抑制運転モードを解除し、通常運転モードとなるように前記インバータ部を制御することが好ましい。
本発明の第１態様のポンプユニットにおいては、前記記憶部においては、互いに異なる複数の前記制御パターンが記憶され、前記吸気口に接続される減圧体に応じて、最適な制御パターンが前記制御部によって選択されることが好ましい。
本発明の第２態様のロードロックチャンバの排気装置は、上記のポンプユニットを備え、半導体製造装置又はフラットパネルディスプレイ製造装置におけるプロセスチャンバに併設されている。
本発明の第３態様の真空装置は、上記のポンプユニットを備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ポンプユニット，ポンプユニットが適用されたロードロックチャンバの排気装置，及び真空装置における運転状態が、不測の気体のリーク等に起因して非定常な状態になっても、ポンプユニットを停止する必要がなく、また、ポンプユニットに過大な負荷を長時間与えることがない。このため、ポンプユニットの運転を所定の電力値の範囲で続けることが可能になる。【００１４】
これによって、ポンプユニットが適用されている半導体製造装置における生産を停止させることがなく、製造装置を含む設備を効率的に運用することが可能になる。また、ポンプユニットに過大な負荷が加わることを防ぐことで、ポンプユニットの耐久性及び寿命を高めることが可能になり、本発明のポンプユニットが適用された真空機器のランニングコストの低減に寄与する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のポンプユニットの一実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明のポンプユニットの制御方法を説明するグラフである。
【図３】本発明のポンプユニットの制御方法を説明するグラフである。
【図４】本発明のポンプユニットの第１変形例を示す概略図である。
【図５】本発明のポンプユニットの第２変形例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明に係るポンプユニット，ロードロックチャンバの排気装置，及び真空装置の最良の形態について、図面に基づき説明する。
なお、本発明の技術範囲は、以下に説明する実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
また、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態のポンプユニットと、ポンプユニットを備えた半導体製造装置の構成を示す概略図である。例えば、半導体製造装置１０は、ウエハ等を真空下で処理するプロセスチャンバ１１と、プロセスチャンバ１１に接続されるロードロックチャンバ（ロードロック室、減圧体）１２とを備えている。
プロセスチャンバ１１は、例えばウエハに対する真空蒸着処理又はスパッタリング処理等を行う。この時、プロセスチャンバ１１の内部は真空に減圧されている。
【００１８】
このように構成されたプロセスチャンバ１１に半導体製造装置１０の外部からウエハ等を搬入したり、プロセスチャンバ１１から半導体製造装置１０の外部にウエハ等を搬出したりする際には、ロードロックチャンバ１２が用いられる。プロセスチャンバ１１とロードロックチャンバ１２との間、およびロードロックチャンバ１２と外部（常圧空間）との間には、それぞれ、ゲートバルブ１３，１４が設けられている。ゲートバルブ１３，１４は、半導体製造装置１０の外部とロードロックチャンバ１２の内部空間とを隔離し、ロードロックチャンバ１２の内部空間とプロセスチャンバ１１の内部空間とを隔離する。従って、ゲートバルブ１３，１４によって、ロードロックチャンバ１２及びプロセスチャンバ１１の圧力は、隣接するチャンバの圧力変動によって影響されない。
【００１９】
半導体製造装置１０のロードロックチャンバ１２には、開閉弁１６を介してポンプユニット２０が接続されている。ポンプユニット２０は、ロードロックチャンバ１２の内部を減圧し、真空空間を生じさせる。更に、ロードロックチャンバ１２は、開閉弁１７を介して半導体製造装置１０の外部空間（外気）と連通されている。
【００２０】
ポンプユニット２０は、筐体２６の内部に、ロードロックチャンバ１３を減圧して内部の気体を排気するポンプ機構部２１と、このポンプ機構部２１を駆動するためのモータ部２２とを備えている。
ポンプ機構部２１は、開閉弁１６及び吸気口を通じてロードロックチャンバ１３内に存在する気体を吸い込み、排気口を通じて吸い込まれた気体を排気する。
モータ部２２は、インバータ部２３を介して制御部２４に接続される。制御部２４には記憶部２５が設けられている。
【００２１】
モータ部２２は、例えば、ブラシレスモータ、具体的には、ブラシレスＤＣモータ等から構成されている。こうしたモータ部２２は、インバータ部２３から供給された電力によって駆動される。インバータ部２３は、制御部２４から入力された制御信号に応じて、モータ部２２に供給される駆動電流の周波数を調節する。これによって、インバータ部２３は、モータ部２２に供給される電力値を制御する。従って、モータ部２２の回転速度が調節される。
【００２２】
インバータ部２３は、例えば、電流検出センサと電圧検出センサとを備え、モータ部２２に供給される電力値を検出する。そして、インバータ部２３は、このように検出された値を制御部２４に出力する。制御部２４は、この情報（検出値）に基づいて、インバータ部２３を制御するとともに、モータ部２２の電力値を監視し、モータ部２２の運転状態を調節する。
【００２３】
具体的には、インバータ部２３は、電力を制御する機能を備えている。換言すれば、インバータ部２３は、ポンプ機構部２１におけるトルクが大きい場合には、モータ部２２の回転するを下げるという機能を有している。
制御部２４は、インバータ部２３の機能を有効にするか否かをインバータ部２３に指示するとともに、電力目標値をインバータ部２３に指示する。ここで、電力は、「（電力）＝（電流）×（電圧）＝（トルク）×（回転周波数）」によって示される。ポンプにおいては負荷に応じて電力が変化するため、インバータ部２３は、制御部２４から指示された電力よりも小さい電力となるように、トルクと回転周波数、即ち、電圧と電流と回転周波数を制御する。
【００２４】
記憶部２５においては、予め定めたモータ部２２の制御に用いる検出値の標準的な変動パターンと、検出値がこの変動パターンから逸脱した際に、電力値を変化させるために用いられる閾値などが記憶される。こうした検出値の変動パターン又は閾値は、制御部２４から随時参照される。即ち、記憶部２５は、制御部２４による制御に用いられる制御パターンを記憶する。
【００２５】
このような記憶部２５においては、互いに異なる複数の前記制御パターンが記憶されている。また、複数の制御パターンの中から、吸気口に接続されるロードロックチャンバ（減圧体）に応じて、最適な制御パターンが制御部２４によって選択される。このように最適な制御パターンを選択する際には、ポンプユニットにおいて用いられているポンプ特性（排気特性）の条件範囲内において利用可能な制御パターンが選択される。
具体的には、例えば、制御部２４に接続された入力装置（不図示）を用いることによって入力された入力情報に基づいて、制御部２４において最適な制御パターンが選択される。このような入力情報としては、例えば、積算電力を換算するための算術条件に関する情報、制御運転モードに関する設定情報（例えば、後述する電力値の閾値、継続時間、積算電力等）、制御運転モードの継続条件に関する設定情報（例えば、継続時間、供給電力の上限等）が挙げられる。また、制御運転モードとは、後述する通常運転モード及び抑制運転モードを意味する。
【００２６】
以上のような構成を有する本発明のポンプユニットにおける、電力値を制御する具体的な方法（制御例）を図２及び図３を参照して説明する。
【００２７】
（予め規定された上限電力値に基づく制御方法）
図２は、ポンプユニットのモータ部に供給される電力値の変化と、電力値の変化に伴うロードロックチャンバ（真空容器）の内圧の推移を示すグラフである。
図２のＰＡＲＴ（Ａ）は、ロードロックチャンバ内に存在する気体の排気に伴って、ロードロックチャンバの内圧が大気圧から所定の到達圧力に向けて低下する変化を示している。まず、大気圧であるＰｒｍａｘの時、電力値はＰｏ１であり、気体の排気が開始すると、徐々に電力値は上昇する。電力値が上昇している過程において、時間ｔ１において電力値は後述する閾値Ｐｏ２に達し、更に電力値は上昇する。
【００２８】
そして、排気を続ける過程で、ポンプユニットの圧縮仕事によって電力値が増大し、時間ｔ２において電力値は最高電力値Ｐｏｍａｘに達する。その後、時間ｔ２を経過した後に、圧力の低下に伴って圧縮仕事は減少し始め、電力値は減少する。電力値が減少している過程において、時間ｔ３において電力値は後述する閾値Ｐｏ２に達し、更に電力値は減少する。そして、最終的には時間ｔ４において、内圧は到達圧力Ｐｒｍｉｎに達し、電力値も最小のＰｏｍｉｎになる。
【００２９】
このような電力値と圧力との関係は、ロードロックチャンバ（真空容器、減圧体）の形状及び体積、ポンプユニットの排気性能、更にそれらの間に設けられた排気配管の構成によって定まる。即ち、真空容器，ポンプユニット，及び配管構成が一定であれば、この構成における電力値の推移と圧力の推移とを推定することができる。
【００３０】
図２のＰＡＲＴ（Ｂ）は、何らかの障害が発生した場合、例えば、ロードロックチャンバ（真空容器）のメンテナンス作業或いは配管の取り外し作業に起因して気体のリークが生じた場合など、真空容器の圧力が低下しない時の電力値の変化と、真空容器の内圧の推移を示している。
ここで、「気体のリーク」とは、圧力が高い雰囲気と圧力が低い雰囲気との間における密閉性が十分に得られず、真空容器又は真空配管内に気体が不測に導入されてしまう現象を意味する。
このようにリーク状態が発生している場合、リーク量とポンプユニットの排気能力とが釣合い、電力Ｐｏ３、圧力Ｐｒ３が定常（一定）になる。こうしたリーク状態が長時間継続すると電力が浪費される。
【００３１】
本発明の実施形態における予め規定された上限電力値に基づく制御方法においては、次のようにポンプユニット２０が制御される。
このようなリーク状態においては、インバータ部２３によって監視されている電力Ｐｏ３は閾値Ｐｏ２よりも高い。即ち、電力Ｐｏ３は予め規定された上限電力値を超えている。このように電力が閾値Ｐｏ２を越えた状態でポンプの駆動が継続され、所定の時間ｔ５〜ｔ６が経過すると、制御部２４はモータ部２２に供給される電力値を電力Ｐｏ４にするようにインバータ部２３及びモータ部２２の制御を開始する。これによって、モータ部２２の運転状態は、通常運転モードから抑制運転モードに切り替わる。
即ち、予め規定された上限電力値を超えた状態で予め規定された上限時間を超えてモータ部２２が運転された場合に、制御部２４は、モータ部２２が回転状態を維持しつつ回転速度を低下させる抑制運転モードとなるように、インバータ部２３を制御する。
上記の閾値Ｐｏ２は、電力Ｐｏ１及びＰｏｍｉｎよりも大きくなるように設定されている。実際の生産工程においては、モータ部に供給される電力値が電力Ｐｏ４にならないように制御部２４はモータ部を制御する。
また、本実施形態のポンプユニットが用いられている製造装置における実際の生産工程においては、ポンプが正常に運転している際（通常運転モード）に運転モードが抑制運転モード（圧力Ｐｏ４）に切り替わることを防止するために、時間ｔ５〜ｔ６が上述した時間ｔｌ〜ｔ３よりも大きくなるように制御パターンが設定されている。更に、この制御パターンにおいては、時間ｔ５〜ｔ６にマージン時間が含まれている。ここで、マージン時間とは、ポンプの耐久性を維持するために設定された時間であり、誤作動を避けるために必要な時間である。このようなマージン時間は、ポンプユニットが用いられている製造装置の使用条件に応じて適切に設定されている。
【００３２】
上記のようにモータ部２２の運転状態が通常運転モードから抑制運転モードに切り替わり、更に、所定の時間ｔ６〜ｔ７（維持時間）が経過した後に、制御部２４は、モータ部２２の運転状態が抑制運転モードから元の動作（通常運転モード）に戻るようにインバータ部２３を制御する。
【００３３】
（積算電力値に基づく制御方法）
次に、積算電力値に基づく制御方法について述べる。以下の説明においては、図２において説明された方法を省略または簡略化する。
図３は、ポンプユニットのモータ部に供給される電力値の変化を示すグラフである。図３は、予め規定した所定時間内に、予め規定された上限積算電力値を超えてモータ部２２が運転された時におけるポンプユニットの制御方法を説明している。
また、ポンプが駆動されている間の積算電力値は、インバータ部２３によって監視された電力値と経過時間とに基づいて制御部２４によって算出されている。また、予め規定された上限積算電力値は、制御部２４又は記憶部２５に記憶されている。
【００３４】
図２のようにリーク状態が発生している場合、リーク量とポンプユニットの排気能力とが釣合い、電力Ｐｏ３と圧力Ｐｒ３（図２参照）とが定常（一定）になる。こうしたリーク状態が長時間継続すると電力が浪費される。
【００３５】
本発明の実施形態における積算電力値に基づく制御方法おいては、次のようにポンプユニット２０が制御される。
このようなリーク状態においては、このように電力が閾値Ｐｏ２を越えながらポンプの駆動が継続される。図３のＰＡＲＴ（Ａ）に示すように、符号Ｘで示された積算電力値は、ポンプの運転時間に伴って増加する。所定の時間ｔ５〜ｔ６の経過に伴って積算電力値Ｘが増加すると、電力閾値Ｐｏ２と時間ｔ５〜ｔ６との積によって示された所定積算値（予め規定された上限積算電力値）よりも、積算電力値Ｘ（インバータ部２３によって監視された電力値と時間ｔ５〜ｔ６との積によって示された値）が大きくなる。
【００３６】
制御部２４において積算電力値Ｘが予め規定された所定積算値よりも大きいと判断された場合、制御部２４はモータ部２２に供給される電力値を電力Ｐｏ４にするようにインバータ部２３及びモータ部２２の制御を開始する。これによって、モータ部２２の運転状態は、通常運転モードから抑制運転モードに切り替わる。
即ち、予め規定した所定時間内に予め規定された上限積算電力値を超えてモータ部２２が運転された場合に、制御部２４は、モータ部２２が回転状態を維持しつつ回転速度を低下させる抑制運転モードとなるように、インバータ部２３を制御する。
このように図３のＰＡＲＴ（Ａ）に示された制御方法においては、電力値が一時的に電力閾値Ｐｏ２よりも小さくなった場合（符号Ｘ１参照）であっても、積算電力値Ｘは継続的に算出され、電力閾値Ｐｏ２に基づく所定積算値よりも積算電力値Ｘが大きいか小さいかが継続的に判断される。即ち、電力値が一時的に低くなったとしても、積算電力値に基づいて運転状態が判断され、過大な負荷が長時間にポンプユニットに加わることが防止される。
【００３７】
また、図３のＰＡＲＴ（Ｂ）に示すように、積算電力値に基づいてポンプユニット２０を制御してもよい。
図３のＰＡＲＴ（Ｂ）は、インバータ部２３によって監視されている電力が閾値Ｐｏ２を越えながらポンプの駆動が継続されている状態を示している。図３のＰＡＲＴ（Ｂ）に示すように、符号Ｙで示された積算電力値は、ポンプの運転時間に伴って増加する。所定の時間ｔ５〜ｔ６の経過に伴って積算電力値Ｙが増加すると、電力閾値Ｐｏ２と時間ｔ５〜ｔ６との積によって示された所定積算値（予め規定された上限積算電力値）よりも、積算電力値Ｙ（インバータ部２３によって監視された電力値と時間ｔ５〜ｔ６との積によって示された値）が大きくなる。
【００３８】
制御部２４において積算電力値Ｙが予め規定された所定積算値よりも大きいと判断された場合、制御部２４はモータ部２２に供給される電力値を電力Ｐｏ４にするようにインバータ部２３及びモータ部２２の制御を開始する。これによって、モータ部２２の運転状態は、通常運転モードから抑制運転モードに切り替わる。
即ち、予め規定した所定時間内に予め規定された上限積算電力値を超えてモータ部２２が運転された場合に、制御部２４は、モータ部２２が回転状態を維持しつつ回転速度を低下させる抑制運転モードとなるように、インバータ部２３を制御する。
このような制御方法においても、積算電力値に基づいて運転状態が判断され、過大な負荷が長時間にポンプユニットに加わることが防止される。
【００３９】
本実施形態においては、図３に示すように積算電力値に基づく制御方法について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されない。例えば、インバータ部２３において測定された電力値と運転時間とよって算出された所定時間内における平均電力値に基づいて、制御部２４は、モータ部２２の運転状態を通常運転モードから抑制運転モードに切り替えてもよい。また、運転時間に基づいて重み付けされた電力値を用いて、制御部２４は、モータ部２２の運転状態を上記のように切り替えてもよい。また、一般的に知られている算術的処理に基づいて電力値が処理された値を用いて、制御部２４は、モータ部２２の運転状態を上記のように切り替えてもよい。
【００４０】
以上のように、本実施形態においては、ポンプユニット，ポンプユニットが適用されたロードロックチャンバの排気装置，及び真空装置における運転状態が、不測の気体のリーク等に起因して非定常な状態になっても、ポンプユニット２０を停止する必要がなく、また、ポンプユニットに過大な負荷を長時間与えることがない。このため、ポンプユニット２０の運転を所定の電力値の範囲で続けることが可能になる。
【００４１】
これによって、ポンプユニットが適用されている半導体製造装置における生産を停止させることなく、製造装置を含む設備を効率的に運用することが可能になる。また、ポンプユニットに過大な負荷が加わることを防ぐことで、ポンプユニットの耐久性及び寿命を高めることが可能になり、本発明のポンプユニットが適用された真空機器のランニングコストの低減に寄与する。
【００４２】
なお、上述した実施形態においては、ポンプユニット２０の例として、１つのポンプ機構部とモータ部とを備えた構成を説明したが、本発明はこの構造に限定されない。例えば、上記実施形態の第１変形例として、図４に示すように、ポンプ機構部３１とモータ部３２とからなるポンプ本体が直列に２つ接続された構成が採用されてもよい。
また、上記実施形態の第２変形例として、図５に示すように、ポンプ機構部４１とモータ部４２とからなるポンプ本体が並列に２つ接続された構成が採用されてもよい。
【００４３】
上記の構成の他に、ポンプ機構部とモータ部とからなるポンプ本体が３つ以上、直列又は並列に接続された構成が採用されてもよい。上記の複数のポンプ本体を用いる構造においては、ポンプの仕様が互い異なってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、ポンプユニット，ロードロックチャンバの排気装置，及び真空装置に広く適用可能である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  半導体製造装置
１１  プロセスチャンバ
１２  ロードロックチャンバ
２０  ポンプユニット
２１，３１，４１  ポンプ機構部
２２，３２，４２  モータ部
２３  インバータ部
２４  制御部
２５  記憶部
２６  筐体
【図１】
2011052675.tif 000003
【図２】
2011052675.tif 000004
【図３】
2011052675.tif 000005
【図４】
2011052675.tif 000006
【図５】
2011052675.tif 000007
【国際調査報告】
2011052675.tif 000008
2011052675.tif 000009
2011052675.tif 000010
2011052675.tif 000011