(57)【要約】  回転軸長手方向におけるポンプ寸法の小型化を達成するとともに、ポンプ構成部材の設計自由度を確保するスクリュー真空ポンプを提供すること。  雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０とステータ１３０と、駆動モータ１４０とを備え、雄ロータ１１０のねじ歯車部１１１と雌ロータ１２０のねじ歯車部１２１とステータ１３０とは、協働して気体作動室を形成し、ステータ１３０は、吸気口１３４及び排気口１３５を有し、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０のうち少なくとも一方は、雄ロータ１１０及び／又は雌ロータ１２０の回転軸長手方向の少なくとも一端面側で開口するロータ中空部１１２、１２２を有し、駆動モータ１４０の少なくとも一部は、ロータ中空部１１２、１２２内に収納されているスクリュー真空ポンプ１００。
2011148797.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に噛み合うねじ歯車部を外周側にそれぞれ有する雄ロータ及び雌ロータと、前記雄ロータ及び雌ロータを収納するステータと、前記雄ロータ及び雌ロータを回転駆動する駆動モータとを備え、
前記雄ロータのねじ歯車部と雌ロータのねじ歯車部とステータとは、協働して気体作動室を形成し、
前記ステータは、前記気体作動室の一端及び他端に連通する吸気口及び排気口を有し、
前記雄ロータ及び雌ロータのうち少なくとも一方は、前記雄ロータ及び／又は雌ロータの回転軸長手方向の少なくとも一端面側で開口するロータ中空部を有し、
前記駆動モータの少なくとも一部は、前記ロータ中空部内に収納されていることを特徴とするスクリュー真空ポンプ。
【請求項２】
前記雄ロータ及び雌ロータは、前記ロータ中空部をそれぞれ有し、
前記駆動モータは、２つ設けられ、
前記雄ロータ及び雌ロータのロータ中空部内には、前記駆動モータの少なくとも一部がそれぞれ収納されていることを特徴とする請求項１に記載のスクリュー真空ポンプ。
【請求項３】
前記ロータ中空部内に少なくとも一部が収納され、前記雄ロータ及び／又は雌ロータに固定される回転シャフトと、前記回転シャフトを軸受する少なくとも２つの軸受ベアリングとを更に備え、
前記駆動モータは、前記軸受ベアリング間に配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のスクリュー真空ポンプ。
【請求項４】
前記ステータは、前記雄ロータ及び雌ロータを収納するステータ本体部と、該ステータ本体部に固定され、前記ロータ中空部内に一部が収納され、前記駆動モータ及び／又は軸受ベアリングを支持する支持部を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載のスクリュー真空ポンプ。
【請求項５】
前記雄ロータ及び雌ロータのねじ歯車部は、前記吸気口側に配置される不等リード不等傾斜角スクリュー部と、該不等リード不等傾斜角スクリュー部に連続する１リードまたは複数リードの等リードスクリュー部とを有していることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のスクリュー真空ポンプ。
【請求項６】
前記雄ロータ及び雌ロータのねじ歯車部は、前記吸気口側に配置される第１等リードスクリュー部と、該第１等リードスクリュー部に連続する不等リード不等傾斜角スクリュー部と、該不等リード不等傾斜角スクリュー部に連続する１リードまたは複数リードの第２等リードスクリュー部とを有していることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のスクリュー真空ポンプ。
【請求項７】
前記雄ロータ及び雌ロータの噛み合いは、前記雄ロータの回転軸および雌ロータの回転軸の軸間距離と雄ロータ及び雌ロータの歯数とにより決定される歯車噛み合いピッチ円から外れた位置にあることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のスクリュー真空ポンプ。
【請求項８】
前記雄ロータ及び／又は雌ロータに固定される回転シャフトと、潤滑オイルを供給するオイル供給手段とを更に備え、
前記オイル供給手段は、潤滑オイルを貯留するオイル貯留部と、前記回転シャフトに固定され前記回転シャフトの回転を利用して前記オイル貯留部から潤滑オイルを押し上げる押し上げヘッドと、前記押し上げヘッドにより押し上げた潤滑オイルを所定箇所に流通させるオイル流通路とを有していることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のスクリュー真空ポンプ。
【請求項９】
前記潤滑オイルを冷却する冷却装置を更に備えていることを特徴とする請求項８に記載のスクリュー真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリュー真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体デバイス製造装置、液晶パネル製造装置及びソーラパネル製造装置では、当該デバイス製造装置のプロセスチャンバーにポンプからのオイル逆流があると各デバイス製造工程上重大な問題をもたらすため、吸気ガスとオイルが接触することがない、所謂、ドライポンプ、メカニカルブースターポンプ、ターボ分子ポンプが用いられている。
しかしながら、プロセスガス、キャリアガス、発生ガス等の分子量が１から百数十と広いため、前記ポンプの各種ガスの排気特性とポンプ固有の排気領域によって使い分けをしているのが現状である。【０００３】
一方では、排気ガスの種類によって排気速度が低下するため、排気速度の大きなポンプを効率の悪い状態で使用しているため消費電力の削減及びポンプ寸法が大きく装置近傍に設置出来ないという問題がある。【０００４】
また、一般のドライポンプ、メカニカルブースターポンプは、吸気口から排気口の間のポンプ内部に生成物が堆積し、メンテナンスタイムが短いという大きな問題がある。【０００５】
この点、スクリュー真空ポンプは、大気圧から０．５Ｐａの領域に使用でき、かつポンプ内の圧力は排気口近傍における急上昇を抑え、異常発熱を抑え、消費電力を削減することができるという特徴を有しており、また、大量の生成物の発生が生じたとしても各スクリュー歯面によってポンプ外に掻き出すことができるという特徴を有している。【０００６】
従来、このようなスクリュー真空ポンプとして、特許文献１に記載のスクリュー真空ポンプが知られている。【０００７】
この従来のスクリュー真空ポンプは、相互に噛み合う雄ロータ及び雌ロータと、雄ロータ及び雌ロータを収納するステータと、雄ロータ及び雌ロータの回転軸として機能する第１のシャフト及び第２のシャフトと、第１のシャフト及び第２のシャフトを軸受する受けベアリングと、第１のシャフト及び第２のシャフトを回転駆動する駆動モータとを備えている。【０００８】
受けベアリングと駆動モータとは、雄ロータ又は雌ロータの外部に配置され、すなわち、雄ロータ又は雌ロータと受けベアリングと駆動モータとは、回転軸長手方向に並列状に配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−２６３６２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが、従来のスクリュー真空ポンプでは、雄ロータ又は雌ロータと受けベアリングと駆動モータとが回転軸長手方向に並列状に配置されているため、回転軸長手方向におけるポンプ寸法が大きくなってしまうという課題があった。【００１１】
また、ポンプ駆動時には駆動モータから駆動熱が発せられるが、この駆動モータの駆動熱の影響を考慮して駆動モータの周辺部材や周辺装置を設計しなければならず、その結果、ポンプ構成部材の設計自由度が損なわれるという課題があった。【００１２】
そこで、本発明は、従来の問題を解決するものであって、すなわち、本発明の目的は、回転軸長手方向におけるポンプ寸法の小型化を達成することである。
また、本発明の他の目的は、ポンプ構成部材の設計自由度を確保するスクリュー真空ポンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のスクリュー真空ポンプは、相互に噛み合うねじ歯車部を外周側にそれぞれ有する雄ロータ及び雌ロータと、前記雄ロータ及び雌ロータを収納するステータと、前記雄ロータ及び雌ロータを回転駆動する駆動モータとを備え、前記雄ロータのねじ歯車部と雌ロータのねじ歯車部とステータとは、協働して気体作動室を形成し、前記ステータは、前記気体作動室の一端及び他端に連通する吸気口及び排気口を有し、前記雄ロータ及び雌ロータのうちいずれか一方または両方は、該雄ロータ及び／又は雌ロータの回転軸長手方向の少なくとも一端面側で開口するロータ中空部を有し、前記駆動モータの少なくとも一部は、前記ロータ中空部内に収納されていることにより、前述した課題を解決したものである。なお、雄ロータ及び雌ロータの両方に中空部を設けてそれぞれの中空部にモータを収納する（すなわちモータは二つ）構造にすると、モータの発熱による熱上昇が雄ロータ及び雌ロータで均一となり、熱膨張が同じになって両者の噛み合い隙間の均一性が維持されるという効果ももたらされるが、雄ロータ及び雌ロータのどちらか一方に中空部を設けてその中空部にモータを収納する（すなわちモータは一つ）構造にすればポンプ寸法を小型化し排気システムの設置自由度を増加しつつモータのコストが抑えられる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、駆動モータの少なくとも一部をロータ中空部内に収納することにより、回転軸長手方向におけるポンプ寸法を小型化できる。また、駆動モータの駆動熱の大部分を雄ロータ及び／又は雌ロータの内部に留め、雄ロータ及び雌ロータ以外のポンプ構成部材に対する駆動モータの駆動熱の影響を低減できるため、ポンプ構成部材の高い設計自由度を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施例であるスクリュー真空ポンプを概略的に示す平面図である。
【図２】潤滑オイルの循環経路を概念的に示す説明図である。
【図３】雄ロータを示す斜視図である。
【図４】雄ロータ及び雌ロータのねじ歯車部を模式的に示す説明図である。
【図５】雄ロータ及び雌ロータの軸直角断面図である。
【図６】本発明の第２実施例であるスクリュー真空ポンプを概略的に示す平面図である。
【図７】本発明の変形例であるスクリュー真空ポンプの雄ロータを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【第１実施例】
【００１７】
まず、本発明の第１実施例であるスクリュー真空ポンプ１００は、図１、図２に示すように、噛み合い隙間を保ちつつ相互に噛み合った状態で配置されて逆方向に同期回転する（図示しないインバータにより同期駆動される）雌雄一対の雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０と、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０を収納するステータ１３０と、雄ロータ１１０又は雌ロータ１２０を回転駆動する駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂと、雄ロータ１１０又は雌ロータ１２０に固定される回転シャフト（回転軸）１５０Ａ、１５０Ｂと、回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂを軸受する軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ａｂ、１６０Ａｃ、１６０Ｂａ、１６０Ｂｂ、１６０Ｂｃと、回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂの一端部に取り付けられた一対の歯車１７０Ａ、１７０Ｂ（異常時に雄雌スクリューロータの接触を防止する。特に回転立ち上げ時、立ち下げ時に歯車のバックラッシュによる振動、騒音を大幅に低減させる）と、回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂの回転を利用して遠心力により後述する各構成部材に潤滑オイルを供給するオイル供給手段１８０と、潤滑オイルを水冷式で冷却する冷却装置１９０とを備えている。
【００１８】
雄ロータ１１０と雌ロータ１２０とステータ１３０とは、協働して、ガスを移送圧縮する気体作動室を形成している。
【００１９】
雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０は、図１、図３、図４に示すように、噛み合い隙間を保ちつつ相互に噛み合うねじ歯車部１１１、１２１を外周側にそれぞれ有している。
これら雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０のねじ歯車部１１１、１２１は、図１、図３、図４に示すように、吸気口１３４側に配置されて、ガスを移送圧縮する不等リード不等傾斜角スクリュー部１１１ａ、１２１ａと、不等リード不等傾斜角スクリュー部１１１ａ、１２１ａに連続し、ガスを移送する１リードまたは複数リードの等リードスクリュー部１１１ｂ、１２１ｂとを有している。
不等リード不等傾斜角スクリュー部１１１ａ、１２１ａでは、歯筋リード角を雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０の回転角にしたがって変化させ、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０とステータ１３０により形成されるＶ字形の気体作動室の容積が変化し、小さくなり、移送圧縮を行い、排気口１３５近傍で圧縮排気する。
不等リード不等傾斜角スクリュー部１１１ａ、１２１ａでは、移送圧縮排気を行うため、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０の温度は均一となる。
【００２０】
雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０は、図１、図３、図４に示すように、雄ロータ１１０及び／又は雌ロータ１２０の回転軸長手方向の両端面側で開口する、すなわち、回転軸長手方向に貫通するロータ中空部１１２、１２２を有している。
このロータ中空部１１２、１２２は、軸直角断面形状が円形を呈している。
【００２１】
ステータ１３０は、図１に示すように、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０を収納するステータ本体部１３１と、ステータ１３０に固定されて駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂ及び軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ａｂ、１６０Ｂａ、１６０Ｂｂを支持する第１支持部１３２と、ステータ１３０に固定されて軸受ベアリング１６０Ａｃ、１６０Ｂｃを支持する第２支持部１３３と、ステータ本体部１３１に形成されて気体作動室の一端及び他端に連通する吸気口１３４及び排気口１３５とを有している。
第１支持部１３２は、図１に示すように、その一部がロータ中空部１１２、１２２内に収納されている。
【００２２】
駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂは、図１に示すように、その一部が雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０のロータ中空部１１２、１２２内にそれぞれ収納され、インバータ（図示ぜず）により同期制御されている。
駆動モータ１４０Ａは、図１に示すように、軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ａｂ間に配置されている。
駆動モータ１４０Ｂは、図１に示すように、軸受ベアリング１６０Ｂａ、１６０Ｂｂ間に配置されている。
【００２３】
回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂは、図１に示すように、その一部がロータ中空部１１２、１２２内に収納されている。
回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂは、図１に示すように、ロータ中空部１１２、１２２の内周壁に向けて延出して固定されるフランジ部１５１Ａ、１５１Ｂをそれぞれ有している。
【００２４】
回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂのベアリング機構は、図１に示すように、吸気口１３４側に配置された軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ｂａと、排気口１３５側に配置された軸受ベアリング１６０Ａｃ、１６０Ｂｃと、軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ａｃ間または軸受ベアリング１６０Ｂａ、１６０Ｂｃ間に配置された軸受ベアリング１６０Ａｂ、１６０Ｂｂとから構成されている。
【００２５】
歯車１７０Ａ、１７０Ｂは、回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂに取り付けられ、異常発生時に、雄ロータ１１０のねじ歯車部１１１及び雌ロータ１２０のねじ歯車部１２１との接触を防止する機能を果たし、特に、回転立ち上げ時及び立ち下げ時に、ねじ歯車部１１１、１２１のバックラシュによる振動及び騒音を低減する機能を果たす。
【００２６】
オイル供給手段１８０は、各構成部材に潤滑オイルを供給するものであり、図２に示すように、潤滑オイルを貯留するオイル貯留部１８１と、オイル貯留部１８１から潤滑オイルを遠心力及びドラッグ効果により上方へ押し上げる押し上げヘッド１８２と、押し上げヘッド１８２により押し上げた潤滑オイルを各構成部材に供給するオイル流通路１８３とから構成されている。
【００２７】
なお、図２は、潤滑オイルの循環経路に関連する各部にハッチングを施すことにより、潤滑オイルの循環経路を概念的に説明する図である。また、図２に示す矢印は、潤滑オイルの循環経路を概念的に説明するために記載したものであり、具体的な潤滑オイルの循環経路を示すものではない。
【００２８】
オイル貯留部１８１は、図２に示すように、ステータ１３０の下部に形成され、潤滑オイルを貯留する空間であり、このオイル貯留部１８１内には、後述する冷却装置１９０の冷却パイプ１９１が配置されている。
【００２９】
押し上げヘッド１８２は、図２に示すように、上下方向に貫通する貫通孔を有し、この貫通孔の内周面は、下方から上方に向けて拡径するテーパ状に形成されている。押し上げヘッド１８２は、回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂの下端に固定され、スクリュー真空ポンプ１００の駆動時には、回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂと共に回転し、前述したテーパ状の内周面及び回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂの回転を利用した遠心力と、ドラッグ効果とにより、オイル貯留部１８１から潤滑オイルを押し上げるように構成されている。
【００３０】
オイル流通路１８３は、前述した気体作動室から物理的に隔てられた位置に形成され、押し上げヘッド１８２により押し上げた潤滑オイルを各構成部材に供給するとともに、各構成部材に供給された潤滑オイルを再びオイル貯留部１８１に戻す循環路である。潤滑オイルは、オイル流通通路１８３を規定する内壁を伝って流動するとともに、中空のオイル流通通路１８３内を霧状に流動する。具体的には、本実施例では、図２に示すように、潤滑オイルが、押し上げヘッド１８２によりオイル貯留部１８１から押し上げられ、回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂ内に形成された中空部を通して遠心力により上方に向けて移動し、軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ｂａの上部付近で回転シャフト１５０Ａ、１５０Ｂの外部へ放出される。次に、放出された潤滑オイルは、軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ｂａの内部に供給され、軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ｂａと駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂとの間に形成された中空部内を霧状に流動するとともに、当該中空部を規定する内壁を伝って流動し、駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂ内に供給される。次に、駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂから出た潤滑オイルは、駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂと軸受ベアリング１６０Ａｂ、１６０Ｂｂとの間に形成された中空部内を霧状に流動するとともに、当該中空部を規定する内壁を伝って流動し、軸受ベアリング１６０Ａｂ、１６０Ｂｂ内に供給される。次に、軸受ベアリング１６０Ａｂ、１６０Ｂｂから出た潤滑オイルは、軸受ベアリング１６０Ａｂ、１６０Ｂｂと同期ギア１７０Ａ、１７０Ｂとの間に形成された中空部内を霧状に流動するとともに、当該中空部を規定する内壁を伝って流動し、同期ギア１７０Ａ、１７０Ｂ側に供給される。次に、同期ギア１７０Ａ、１７０Ｂ側に供給された潤滑オイルは、同期ギア１７０Ａ、１７０Ｂ間の噛合部を含む同期ギア１７０Ａ、１７０Ｂの表面に供給される。次に、潤滑オイルは、軸受ベアリング１６０Ａｃ、１６０Ｂｃ内に供給され、再びオイル貯留部１８１に戻される。なお、潤滑オイルの供給箇所は、実施態様に応じて任意に設定すればよい。
【００３１】
冷却装置１９０は、オイル貯留部１８１に貯留された潤滑オイルを水冷式で冷却するものであり、図２に示すように、オイル貯留部１８１内に配置され冷却水を循環させる冷却パイプ１９１と、冷却パイプ１９１に冷却水を供給する冷却ポンプ１９２とから構成されている。なお、図１においては、冷却装置１９０の図示を省略している。
【００３２】
雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０の噛み合いは、図５に示すように、雄ロータ１１０の回転シャフト（回転軸）１５０Ａおよび雌ロータ１２０の回転シャフト（回転軸）１５０Ｂの軸間距離と雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０の歯数とにより決定される歯車噛み合いピッチ円ＳＡ、ＳＢから外れた位置にある。
そのため、ねじ歯車部１１１及びねじ歯車部１２１の歯面速度が一致する歯面がなく、吸入された反応生成物等を掻き出す作用があり、反応生成物をポンプ外に掻き出す効果を奏する。
なお、図５に示す符号ＤＡ、ＤＢは、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０の外径を示している。
【００３３】
このようにして得られた本実施例では、駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂの一部をロータ中空部１１２、１２２内に収納することにより、回転軸長手方向におけるポンプ寸法を小型化できる。
【００３４】
また、駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂの駆動熱の大部分を雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０の内部に留め、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０以外のポンプ構成部材に対する駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂの駆動熱の影響を低減できるため、ポンプ構成部材の高い設計自由度を実現できる。
【００３５】
また、駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂの一部がロータ中空部１１２、１２２内に収納されていることにより、駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂから発せられる駆動熱が雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０のねじ歯車部１１１、１２１の温度を均一にし、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０のねじ歯車部１１１、１２１の熱膨張を同程度に維持できるため、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０のねじ歯車部１１１、１２１の噛み合い隙間が偏らず均一な隙間を維持する。このため、ねじ歯車部１１１、１２１の噛み合いの接触がなくなり、噛み合い隙間が安定するため排気口１３５側からの逆拡散を抑え、消費電力を削減でき、スクリュー真空ポンプ１００の安定運転を実現できる。
【００３６】
駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂが、軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ａｂ間、軸受ベアリング１６０Ｂａ、１６０Ｂｂ間に配置されている。
これにより、軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ａｂ間及び軸受ベアリング１６０Ｂａ、１６０Ｂｂ間に一定間隔を確保して回転シャフトの確実な軸受を確保しつつ、軸受ベアリング１６０Ａａ、１６０Ａｂ間及び軸受ベアリング１６０Ｂａ、１６０Ｂｂ間のスペースを駆動モータ１４０Ａ、１４０Ｂの設置スペースとして有効利用して、回転軸長手方向におけるポンプ寸法を一段と小型化できる。すなわち、モータをスクリューロータ内部に入れたためポンプ外寸法を大幅に小さくすることが出来る。従来のポンプは半導体デバイス製造装置、液晶パネル製造装置及びソーラパネル製造装置の近傍に設置出来なかったが、このモータ内臓スクリューポンプは各装置の近傍またはチャンバーの下に設置が可能となり、装置設置スペースを大幅に改善することが出来る。
【００３７】
また、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０が、吸気口１３４側の不等リード不等傾斜角スクリュー部１１１ａ、１２１ａと、排気口１３５側の等リードスクリュー部１１１ｂ、１２１ｂとを備え、また、雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０の噛み合いが、雄ロータ１１０および雌ロータ１２０の軸間距離と雄ロータ１１０及び雌ロータ１２０の歯数とにより決定される歯車噛み合いピッチ円ＳＡ、ＳＢから外れた位置にあることにより、圧縮比を高め、生成物の掻き出し効果を有し、０．５Ｐａまで安定した排気速度を維持することができる。
【第２実施例】
【００３８】
次に、本発明の第２実施例であるスクリュー真空ポンプ２００を図６に基づいて説明する。
ここで、第２実施例であるスクリュー真空ポンプ２００における駆動モータ２４０以外の構成は前述した内容と全く同じであるため、第１実施例のスクリュー真空ポンプ１００に関する明細書、および、図１乃至図５に示す１００番台の符号を２００番台の符号に読み替えることによって、駆動モータ２４０以外の構成についてはその説明を省略する。
【００３９】
本発明の第２実施例であるスクリュー真空ポンプ２００では、図６に示すように、雄ロータ２１０及び雌ロータ２２０に共通する駆動源としての単一の駆動モータ２４０が、雄ロータ２１０に形成されたロータ中空部２１２内に収納されている。
そして、駆動モータ２４０は、回転シャフト２５０Ａを回転駆動するとともに、駆動モータ２４０の駆動力は、同期ギア２７０Ａ、２７０Ｂを介して回転シャフト２５０Ｂにも同期状態で伝達される。他方のスクリューロータを回転駆動させるため、同期ギア２７０Ａ、２７０Ｂは、第１実施例の歯車１７０Ａ、１７０Ｂよりも幅が大きく頑丈に構成されている。
【００４０】
なお、第２実施例においても、前述した第１実施例と同様に構成されたオイル供給手段２８０及び冷却装置（図示しない）が設けられているが、潤滑オイルが供給される駆動モータの数量以外には違いが無いため、その図示及び説明を省略する。
【００４１】
この実施例においても、モータをスクリューロータ内部に入れたためポンプ外寸法を大幅に小さくすることが出来る。従来のポンプは半導体デバイス製造装置、液晶パネル製造装置及びソーラパネル製造装置の近傍に設置出来なかったが、このモータ内臓スクリューポンプは各装置の近傍またはチャンバーの下に設置が可能となり、装置設置スペースを大幅に改善することが出来る。
【変形例】
【００４２】
次に、本発明の第１実施例及び第２実施例に共通する変形例を図７に基づいて説明する。
前述した第１実施例及び第２実施例では、図１または図６に示すように、雄ロータ１１０、２１０及び雌ロータ１２０、２２０のねじ歯車部１１１、１２１、２１１、２２１は、不等リード不等傾斜角スクリュー部１１１ａ、１２１ａ、２１１ａ、２２１ａと、１リードまたは複数リードの等リードスクリュー部１１１ｂ、１２１ｂ、２１１ｂ、２２１ｂとを有しているものとして説明した。
本変形例では、図７に示すように、雄ロータ３１０及び雌ロータ３２０のねじ歯車部３１１、３２１は、吸気口３３５側に配置される第１等リードスクリュー部３１１ａ、３２１ａと、第１等リードスクリュー部３１１ａ、３２１ａに連続する不等リード不等傾斜角スクリュー部３１１ｂ、３２１ｂと、不等リード不等傾斜角スクリュー部３１１ｂ、３２１ｂに連続する１リードまたは複数リードの第２等リードスクリュー部３１１ｃ、３２１ｃとを有している。
なお、図７には、雄ロータ３１０のみを図示した。
【００４３】
なお、前述した第１実施例、第２実施例、変形例では、雄ロータ及び雌ロータのねじ歯車部が不等リード不等傾斜角スクリュー部及び等リードスクリュー部を有するものとして説明したが、不等リード不等傾斜角スクリュー部のみを有するものとして設計しても何ら構わない。
また、不等リード不等傾斜角スクリュー部及び等リードスクリュー部の寸法設計や組み合わせは、実施態様に応じて適宜設定すれば良い。
【符号の説明】
【００４４】
１００    、２００      ・・・  スクリュー真空ポンプ
１１０    、２１０      ・・・  雄ロータ
１１１    、２１１      ・・・  ねじ歯車部
１１１ａ                ・・・  不等リード不等傾斜角スクリュー部
１１１ｂ                ・・・  等リードスクリュー部
１１２    、２１２      ・・・  ロータ中空部
１２０    、２２０      ・・・  雌ロータ
１２１    、２２１      ・・・  ねじ歯車部
１２１ａ                ・・・  不等リード不等傾斜角スクリュー部
１２１ｂ                ・・・  等リードスクリュー部
１２２    、２２２      ・・・  ロータ中空部
１３０    、２３０      ・・・  ステータ
１３１    、２３１      ・・・  ステータ本体部
１３２    、２３２      ・・・  第１支持部
１３３    、２３３      ・・・  第２支持部
１３４    、２３４      ・・・  吸気口
１３５    、２３５      ・・・  排気口
１４０Ａ                ・・・  駆動モータ
１４０Ｂ                ・・・  駆動モータ
２４０      ・・・  駆動モータ
１５０Ａ  、２５０Ａ    ・・・  回転シャフト
１５０Ｂ  、２５０Ｂ    ・・・  回転シャフト
１５１Ａ  、２５１Ａ    ・・・  フランジ部
１５１Ｂ  、２５１Ｂ    ・・・  フランジ部
１６０Ａａ、２６０Ａａ  ・・・  軸受ベアリング
１６０Ａｂ、２６０Ａｂ  ・・・  軸受ベアリング
１６０Ａｃ、２６０Ａｃ  ・・・  軸受ベアリング
１６０Ｂａ、２６０Ｂａ  ・・・  軸受ベアリング
１６０Ｂｂ、２６０Ｂｂ  ・・・  軸受ベアリング
１６０Ｂｃ、２６０Ｂｃ  ・・・  軸受ベアリング
１７０Ａ  、１７０Ｂ    ・・・  歯車
２７０Ａ  、２７０Ｂ    ・・・  同期ギア
１８０    、２８０      ・・・  オイル供給手段
１８１                  ・・・  オイル貯留部
１８２                  ・・・  押し上げヘッド
１８３                  ・・・  オイル流通路
１９０                  ・・・  冷却装置
１９１                  ・・・  冷却パイプ
１９２                  ・・・  冷却ポンプ
３１０    ・・・  雄ロータ
３１１    ・・・  ねじ歯車部
３１１ａ  ・・・  第１等リードスクリュー部
３１１ｂ  ・・・  不等リード不等傾斜角スクリュー部
３１１ｃ  ・・・  第２等リードスクリュー部
３１２    ・・・  ロータ中空部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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