(57)【要約】誘電体バリア放電ランプ（１０１）は、放電ガスが封入された長尺状の放電管（３）と、一対の電極（５，５）と、を備える。放電管（３）のうち放電管（３）の長手方向に沿った外周面の一部が、放電管（３）内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域（３Ａ）とされる。一対の電極（５，５）は、放電管（３）の外周面の周方向において、当該一対の電極（５，５）の間に光取り出し領域（３Ａ）が位置するように外周面上にそれぞれ配置されている。
2011114937.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電ガスが封入された長尺状の放電管と、  一対の電極と、を備え、  前記放電管のうち当該放電管の長手方向に沿った外周面の一部が、前記放電管内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域とされ、  前記一対の電極は、前記外周面の周方向において前記一対の電極の間に前記光取り出し領域が位置するように前記外周面上にそれぞれ配置されていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ。
【請求項２】
前記放電管の前記長手方向における各端部をそれぞれ保持する一対の保持ブロックを備え、  前記一対の電極の少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる棒状の形状をなし、当該棒状形状の電極の各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項３】
前記放電管は断面円形状の丸管であって、  前記棒状形状の電極のうち前記放電管と対向する内側面は曲面とされ、当該内側面の曲率は前記放電管の外周面の曲率以下であることを特徴とする請求の範囲第２項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項４】
前記棒状形状の電極のうち、前記放電管と対向する内側面以外の外側面においては、隣り合う面の間にテーパ面が形成されていることを特徴とする請求の範囲第２項または第３項に記載の誘電体バリア放電ランプ。  
【請求項５】
前記保持ブロックの前記放電管の前記長手方向における端部に対向する対向面には、前記放電管を収容する放電管収容部と、前記放電管収容部を挟むように配置され、前記一対の電極をそれぞれ収容する電極収容部とが形成されていることを特徴とする請求の範囲第２項ないし第４項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項６】
前記保持ブロックには、前記電極収容部の前記電極の端面に対向する奥面から連なり、前記保持ブロックの前記対向面とは反対側の非対向面にまで達する貫通孔が形成され、  前記電極の端面には、前記貫通孔から挿入されたネジが螺合するネジ孔が形成されていることを特徴とする請求の範囲第５項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項７】
前記電極の端面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度と、前記電極収容部の前記奥面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度とを異ならせて、前記電極を前記保持ブロックに連結したときに前記電極が前記放電管を押圧するように設定したことを特徴とする請求の範囲第６項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項８】
前記放電管と前記一方の電極との間に、導電性の弾性部材が弾性変形された状態で挿入されていることを特徴とする請求の範囲第２項ないし第７項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項９】
前記放電管の前記長手方向における各端部をそれぞれ保持する一対の保持ブロックと、  前記長手方向に延びる棒状の部材であって、前記長手方向における各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結される梁部材と、を備え、  前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記放電管の外周面と前記梁部材との間に配置され、前記保持ブロックに連結された前記梁部材によって前記外周面側に押圧されることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１０】
前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる平板状をなし、  前記梁部材の前記外周面と対向する対向面には、前記長手方向に沿った溝が形成されており、前記保持ブロックに連結されることにより前記一方の電極は、前記対向面のうち前記溝の両側縁に押圧されてＵ字形に湾曲されつつ前記外周面側に押圧されることを特徴とする請求の範囲第９項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１１】
前記長手方向に延びる平板状の電極には、複数のスリットが設けられていることを特徴とする請求の範囲第１０項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１２】
前記長手方向に延びる平板状の電極には、前記長手方向と交差する方向に突出形成され、前記梁部材の溝に差し込まれて、前記平板状の電極のずれを防止するずれ防止突部が設けられていることを特徴とする請求の範囲第１０項または第１１項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１３】
前記放電管は断面円形状の丸管であって、  前記放電管には係合部が設けられ、前記一対の保持ブロックの少なくとも一方の保持ブロックには前記係合部と係合する被係合部が設けられていることを特徴とする請求の範囲第２項ないし第１２項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１４】
前記放電管において前記一対の電極に挟まれる２つの部分のうち、一方の部分は前記光取り出し領域とされ、他方の部分には絶縁性の反射膜が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第１３項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１５】
請求の範囲第２項ないし第１４項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプを複数本、前記放電管の長手方向と交差する方向に並列配置してなる誘導体バリア放電ランプ列と、  前記誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における一方の保持ブロックをまとめて支持する第一の支持部材と、  前記複数本の誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における他方の保持ブロックをまとめて支持する第二の支持部材と、  を備えることを特徴とするランプユニット。 
【請求項１６】
前記第一の支持部材は、電源に連なる第１電源端子側に接続される給電部材であり、  前記第二の支持部材は、前記電源に連なる第２電源端子側に接続される給電部材であり、  隣り合う２本の前記誘電体バリア放電ランプ間で互いに対向する前記電極同士は、前記第一の支持部材及び前記第二の支持部材のいずれか一方に共通接続されていることを特徴とする請求の範囲第１５項に記載のランプユニット。
【請求項１７】
前記第一の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、電源に連なる第１電源端子側に接続される給電部材であり、  前記第二の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、前記電源に連なる第２電源端子側に接続される給電部材であり、  前記各誘電体バリア放電ランプが有する前記一対の電極のうち一方の電極は前記第一の支持部材に電気的に接続され、他方の電極は前記第二の支持部材に電気的に接続されていることを特徴とする請求の範囲第１５項または第１６項のいずれか一項に記載のランプユニット。
【請求項１８】
隣り合う２本の誘電体バリア放電ランプ間には、その対向する前記電極同士を離間する方向に付勢する付勢部材が設けられていることを特徴とする請求の範囲第１５項ないし第１７項のいずれか一項に記載のランプユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、誘電体バリア放電ランプおよびランプユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】  誘電体バリア放電ランプは、被処理物（半導体や、液晶表示装置に用いられるガラス基板等）を光洗浄するために使用される。従来の誘電体バリア放電ランプでは、例えば放電管の上面にベタ電極が配置され、下面にメッシュ電極が配置され、そのメッシュ電極の網目の隙間から紫外線を出射する構成になっている（特許文献１参照）。そして、この紫外線が被処理物の表面に照射されることによって、被処理物表面の有機物が分解し、これにより、被処理物が洗浄される。【特許文献１】特開２０００−２６０３９６号公報
【発明の開示】
【０００３】（発明が解決しようとする課題）  上述したように従来の誘電体バリア放電ランプは、放電管のうち光を取り出すための光取り出し領域（下面）にメッシュ電極が配置されている。このため、光取り出し領域から出射された光の一部がメッシュ電極の網目で遮光される分だけ光透過率が低かった。
【０００４】  本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、その目的は、光取り出し領域における光透過率を向上させることが可能な誘電体バリア放電ランプを提供することにある。
【０００５】（課題を解決するための手段）  上記の目的を達成するための手段として、本発明は、放電ガスが封入された長尺状の放電管と、一対の電極と、を備え、前記放電管のうち当該放電管の長手方向に沿った外周面の一部が、前記放電管内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域とされ、前記一対の電極は、前記外周面の周方向において前記一対の電極の間に前記光取り出し領域が位置するように前記外周面上にそれぞれ配置されていることを特徴とする誘電体バリア放電ランプである。
【０００６】  本発明によれば、一対の電極は、放電管の外周面の周方向において両電極の間に光取り出し領域が位置するように配置されており、当該光出射領域には電極が存在しない。そのため、光取り出し領域に電極が配置された従来の構成に比べて、光透過率を高めることができる。また、本発明によれば、光取り出し領域の内面が直接プラズマにさらされないから光透過率の低下を小さくすることができる。
【０００７】  ところで、メッシュ電極を備える放電ランプから光を取り出す場合には、メッシュ電極において生じるマイクロスパッタによる光透過率低下を防止するために、光透過性の保護膜（たとえばＭｇＦ２など）が必要となり、コスト高となることがあった。しかし、本発明によれば、マイクロスパッタを引き起こすメッシュ電極を設けなくてもよいので、光透過性の保護膜を不要とすることができる。
【０００８】  本発明の誘電体バリア放電ランプは以下の構成であってもよい。  （１）前記放電管の前記長手方向における各端部をそれぞれ保持する一対の保持ブロックを備え、前記一対の電極の少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる棒状の部材であって、当該棒状の電極の各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結されていてもよい。
【０００９】  このような構成とすると、棒状の部材である電極は放電管の長手方向における各端部を保持する一対の保持ブロック間を連結することで、構造材（梁）として放電管を保護するよう機能する。そのため、電極とは別に構造材を設けた構成に比べて部品点数を低減させることができる。
【００１０】  （１）の構成において前記放電管は断面円形状の丸管であって、前記棒状形状の電極のうち前記放電管と対向する内側面は曲面とされ、当該内側面の曲率は前記放電管の外周面の曲率以下であってもよい。
【００１１】  放電管の内側面の曲率が放電管の曲率よりも大きいと、両者の間で発生したスパッタが外部に漏れ易くなり、スパッタにより生じた金属膜等が光取り出し領域に付着し、当該光取り出し領域の光透過率が低下してしまうおそれがある。そこで上記のような構成とすると、スパッタが外部に漏れることを抑制することができる。
【００１２】  （１）の構成において、前記棒状形状の電極のうち、前記放電管と対向する内側面以外の外側面においては、隣り合う面の間にテーパ面が形成されていてもよい。  このような構成とすると、電極において角ばった部分をなくすことができるので外側面でコロナ放電が生じることを抑制することができる。
【００１３】  （１）の構成において前記保持ブロックの前記放電管の前記長手方向における端部に対向する対向面には、前記放電管を収容する放電管収容部と、前記放電管収容部を挟むように配置され、前記一対の電極をそれぞれ収容する電極収容部とが形成されていてもよい。このような構成とすると、保持ブロックにより、放電管が一対の電極の間に挟まれて一体化された状態で保護される。
【００１４】  上記構成において、前記保持ブロックには、前記電極収容部の前記電極の端面に対向する奥面から連なり、前記保持ブロックの前記対向面とは反対側の非対向面にまで達する貫通孔が形成され、前記電極の端面には、前記貫通孔から挿入されたネジが螺合するネジ孔が形成されていてもよい。  このような構成とすると、電極の端面に形成されたネジ孔に電極収容部の貫通孔から挿入されたネジを螺合させることで、電極が保持ブロックに強固に固定される。
【００１５】  上記構成において、前記電極の端面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度と、前記電極収容部の前記奥面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度とを異ならせて、前記電極を前記保持ブロックに連結したときに前記電極が前記放電管を押圧するように設定してもよい。  このような構成とすると、電極を保持ブロックに連結した際に電極が放電管を押圧するので放電管と電極との非接触領域を確実に低減することができる。
【００１６】  （１）の構成において、前記放電管と前記一方の電極との間に、導電性の弾性部材が弾性変形された状態で挿入されていてもよい。このような構成とすると、弾性部材により放電管と電極との非接触領域が低減するから、放電管の点灯時において放電管と電極との間で放電が生じることを抑制することができる。
【００１７】  （２）前記放電管の前記長手方向における各端部をそれぞれ保持する一対の保持ブロックと、前記長手方向に延びる棒状の部材であって、前記長手方向における各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結される梁部材と、を備え、前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記放電管の外周面と前記梁部材との間に配置され、前記保持ブロックに連結された前記梁部材によって前記外周面側に押圧されていてもよい。
【００１８】  このような構成とすると、少なくとも一方の電極は梁部材によって放電管の外周面に押圧されるから、当該電極と外周面とをより確実に接触させることができる。また、梁部材自体が構造材として作用するから、上記一方の電極自体に高い強度は不要である。
【００１９】  （２）の構成において、前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる平板状をなし、前記梁部材の前記外周面と対向する対向面には、前記長手方向に沿った溝が形成されており、前記保持ブロックに連結されることにより前記一方の電極は、前記対向面のうち前記溝の両側縁に押圧されてＵ字形に湾曲されつつ前記外周面側に押圧されていてもよい。
【００２０】  このような構成とすると、平板状の電極が、梁部材側に形成された溝の両側縁によってＵ字形に湾曲されつつ放電管の外周面側に押圧されるから、上記一方の電極の両側縁側を外周面側により確実に接触させることができる。
【００２１】  （２）の構成において、前記長手方向に延びる平板状の電極には、複数のスリットが設けられていてもよい。このような構成とすると、平板状の電極が熱を受けた際にスリットから熱を逃がすことができ、熱膨張による変形を防ぐことができる。
【００２２】  また（２）の構成において、前記長手方向に延びる平板状の電極には、前記長手方向と交差する方向に突出形成され、前記梁部材の溝に差し込まれて、前記平板状の電極のずれを防止するずれ防止突部が設けられていてもよい。このような構成とすると、電極が梁部材の所定位置に位置決めされ、ずれにくくなる。
【００２３】  （３）前記放電管は断面円形状の丸管であって、前記放電管には係合部が設けられ、前記一対の保持ブロックの少なくとも一方の保持ブロックには前記係合部と係合する被係合部が設けられていてもよい。
【００２４】  電極と放電管とが相対的に回転すると、放電管のうち電極との隙間や電極のエッジ部分で生じた微少放電によって電極材が放電管へスパッタされることにより汚れた領域が、光取り出し領域の一部を構成するようになり、その結果、当該光取り出し領域における光透過率が低下するおそれがある。  しかし、上記のような構成とすると、係合部と被係合部とが係合することにより、電極と放電管とが相対的に回転することを抑えて、当該光取り出し領域における光透過率が低下することを抑制することができる。
【００２５】  （４）前記放電管において前記一対の電極に挟まれる２つの部分のうち、一方の部分は前記光取り出し領域とされ、他方の部分には絶縁性の反射膜が形成されていてもよい。
【００２６】  このような構成とすると、別途、反射板を設ける必要がない。また、反射膜は絶縁性なので、一対の電極間が短絡することを防止することができる。
【００２７】  また、上記の目的を達成するための手段として、本発明は、前記誘電体バリア放電ランプを複数本、前記放電管の長手方向と交差する方向に並列配置してなる誘導体バリア放電ランプ列と、前記誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における一方の保持ブロックをまとめて支持する第一の支持部材と、前記複数本の誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における他方の保持ブロックをまとめて支持する第二の支持部材と、を備えることを特徴とするランプユニットである。
【００２８】  この発明によれば、従来のものよりも光取り出し領域の光透過率を高めた誘電体バリア放電ランプが複数本、並列配置された状態で支持部材及び梁部材により一体化されている。そのため、例えば複数本の誘電体バリア放電ランプを所定の設置場所からまとめて取り出して交換作業を行うなど、利便性を向上させることができる。
【００２９】  本発明のランプユニットは以下の構成であってもよい。  前記各誘電体バリア放電ランプが有する前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記長手方向に延びる棒状の形状をなし、かつ、当該棒状形状の電極の各端部が前記第一の支持部材と前記第二の支持部材とに連結されることにより前記梁部材を構成していてもよい。  このような構成とすると、各誘電体バリア放電ランプが有する一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、導電性の棒状の部材であり、梁部材を構成するから、この一方の電極によって各誘電体バリア放電ランプの放電管が保護される。また、電極と梁部材とを共通化することにより、両者を別部材とする構成に比べて部品点数を低減させることができる。
【００３０】  前記梁部材は、前記各誘電体バリア放電ランプに対して少なくとも１本ずつ設けられ、前記各誘電体バリア放電ランプが有する一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記放電管の外周面と１本の前記梁部材との間に配置され、前記第一の支持部材と前記第二の支持部材とに連結された前記梁部材によって前記外周面側に押圧されていてもよい。
【００３１】  このような構成とすると、少なくとも一方の電極は梁部材によって放電管の外周面に押圧されるから、当該電極と外周面とをより確実に接触させることができる。また、各梁部材自体が構造材として作用するから、上記一方の電極自体に高い強度は不要である。
【００３２】  前記第一の支持部材は、電源に連なる第１電源端子側に接続される給電部材であり、前記第二の支持部材は、前記電源に連なる第２電源端子側に接続される給電部材であり、隣り合う２本の前記誘電体バリア放電ランプ間で互いに対向する前記電極同士は、前記第一の支持部材及び前記第二の支持部材のいずれか一方に共通接続されていてもよい。
【００３３】  このような構成とすると、隣り合う２本の誘電体バリア放電ランプ間で互いに対向する電極同士が、第一の支持部材及び第二の支持部材のいずれか一方に共通接続されている。このため、例えば対向する電極の一方が第一の支持部材に接続され、他方が第二の支持部材に接続された構成において両電極が短絡するといった事態を回避することができ、誘電体バリア放電ランプ同士の間隔を狭くすることができる。
【００３４】  前記第一の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、電源に連なる第１電源端子側に接続される給電部材であり、前記第二の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、前記電源に連なる第２電源端子側に接続される給電部材であり、前記各誘電体バリア放電ランプが有する前記一対の電極のうち一方の電極は前記第一の支持部材に電気的に接続され、他方の電極は前記第二の支持部材に電気的に接続されていてもよい。
【００３５】  このような構成とすると、第一の支持部材と第二の支持部材とを、棒状の部材であって誘電体バリア放電ランプの並列方向（上記交差する方向）における構造材とするとともに、電源からの電力を電極に供給する給電部材としても機能させることができる。
【００３６】  隣り合う２本の誘電体バリア放電ランプ間には、その対向する前記電極同士を離間する方向に付勢する付勢部材が設けられていてもよい。  このような構成とすると、付勢部材の付勢力により、各電極は放電管の外周面側に押圧されるため、電極と放電管との非接触領域が低減し、放電管の点灯時において放電管と電極との間で放電が生じることを抑制することができる。
【００３７】（発明の効果）  本発明によれば、光取り出し領域における光透過率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】実施形態１のランプユニットの上面図である。
【図２】ランプユニットの前面図である。
【図３】ランプユニットの左側面図である。
【図４】ランプユニットの右側面図である。
【図５】誘電体バリア放電ランプの上面図である。
【図６】誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ断面図である。
【図８】図６のＣ−Ｃ断面図である。
【図９】図５のＡ−Ａ断面図である。
【図１０Ａ】連結前の側面電極と保持ブロックとを示した拡大図である。
【図１０Ｂ】連結後の側面電極と保持ブロックとを示した拡大図である。
【図１１Ａ】実施形態２の側面電極と保持ブロックの連結前における放電管と側面電極とを示した模式図である。
【図１１Ｂ】側面電極と保持ブロックとの連結後における放電管と側面電極とを示した模式図である。
【図１２Ａ】実施形態３の誘電体バリア放電ランプの断面図である。
【図１２Ｂ】放電管、電極及び梁部材の分解図である。
【図１３】実施形態４の各誘電体バリア放電ランプ１の放電管及び側面電極を模式的に示した上面図である。
【図１４】実施形態５のランプユニットの下面図である。
【図１５】誘電体バリア放電ランプの下面図である。
【図１６】誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【図１７】放電管、電極および梁部材の分解側面図である。
【図１８】ずれ防止突部を折り曲げる前の電極の上面図である。
【符号の説明】
【００３９】  １，１０１...誘電体バリア放電ランプ  ２，１０２...誘電体バリア放電ランプ列  ３，１０３...放電管  ３Ａ，１０３Ａ...光取り出し領域  ３Ｂ...凸部（係合部）  ５...側面電極(電極、梁部材)  １０５...電極  ７，１１０...保持ブロック  ７Ｅ...凹部（被係合部）  ９...反射膜  １０，１００...ランプユニット  ２１，１２１...給電部材（支持部材）  ２１Ａ，１２１Ａ...給電部材（第１の支持部材）  ２１Ｂ，１２１Ｂ...給電部材（第２の支持部材）  ３３...コイルスプリング（弾性部材）  ４３...梁部材  ５１...コイルスプリング（付勢部材）  １０６...スリット  １０７...ずれ防止突部  １３０...梁部材  １３２...梁部材の溝
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】  ＜実施形態１＞  本発明の実施形態１について図１〜図１０を参照しつつ説明する。なお、各図に示されたＸの矢印方向がランプユニット１０、誘電体バリア放電ランプ１の右方（誘電体バリア放電ランプ１の長手方向）を示し、Ｙの矢印方向が前方を示し、Ｚの矢印方向が上方を示す。【００４１】  １．ランプユニットの全体構成  図１は本実施形態のランプユニット１０の上面図であり、図２はその前面図であり、図３は左側面図であり、図４は右側面図である。ランプユニット１０は、図１に示すように、複数本（例えば１０本）の誘電体バリア放電ランプ１を前後方向に並列した状態で一体化したものである。具体的には、ランプユニット１０は、上記複数本の誘電体バリア放電ランプ１（誘電体バリア放電ランプ列２）、及び、一対の給電部材２１（第一の支持部材２１Ａ及び第二の支持部材２１Ｂの一例）を備えて構成されている。【００４２】  ２．各誘電体バリア放電ランプの構成  図５は誘電体バリア放電ランプ１の上面図であり、図６はその側面図であり、図７は図６のＢ−Ｂ断面図である。各誘電体バリア放電ランプ１は、放電管３と、一対の側面電極５，５（電極の一例）と、一対の保持ブロック７，７とを備える。【００４３】  放電管３の左右方向（長手方向）に沿った外周面のうち下面側（「外周面の一部」の一例）が、当該放電管３内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域３Ａとされている（図６を参照）。一対の側面電極５，５は、放電管３の外周面の周方向において両電極５，５の間に光取り出し領域３Ａが位置するように外周面上にそれぞれ配置されている。以下、両側面電極を区別する場合には「側面電極５Ａ，側面電極５Ｂ」という。【００４４】  （１）放電管  放電管３は、合成石英ガラス製の円筒の両端を閉じた単管構造を有する。即ち、図７に示すように放電管３は断面が円形の丸管である。放電管３内部に形成された放電空間６内には誘電体バリア放電用ガスが充填されている。なお、この誘電体バリア放電ランプ１は、汎用の丸管を、複雑な加工をせずにほとんどそのままを放電管３として使用する。すなわち、円筒形の原管（丸管）の両端を、排気管（チップ管）を有するように先端先細り状に加工し、チップ管から放電用ガスを封入する。そして、チップオフする封止加工により放電管とする。従って、扁平な角筒状の放電管を使用する構成に比べて、加工負担・コストを低減することができる。【００４５】  なお、誘電体バリア放電用ガスとしては、キセノン（Ｘｅ）、アルゴン（Ａｒ）、及びクリプトン（Ｋｒ）、等の希ガス、並びにフッ素（Ｆ２）、塩素（Ｃｌ２）等のハロゲンガス等が使用される。誘電体バリア放電ランプ１は、ガスの種類によって、異なる波長（１７２ｎｍ、２２２ｎｍ、３０８ｎｍ等の波長）のエキシマ光を発光する。例えば、電子部品の洗浄、すなわち、電子部品に付着した有機化合物を分解するためには、１７２ｎｍを中心波長とするエキシマ光が用いられる。したがって、この場合には、キセノン（Ｘｅ）を含有するガスが使用される。なお、ガスの封入圧力は特に限定されないが、通常、１０〜８０ＫＰａ程度の圧力で封入される。【００４６】  （２）側面電極  各側面電極５は、放電管３と略同等の長さを有する棒状の形状をなす部材（梁部材の一例）である（図６を参照）。側面電極５の材質としてはアルミ合金、ステンレス（ＳＵＳ）、真鍮など、導電性を有するものであればよいが、コスト面や加工性を考慮するとアルミ合金が好ましい。なお、各側面電極５は、押出成形または切削により製造することができる。また、各側面電極５はアルマイト処理により表面に酸化皮膜が形成されている。側面電極５の端面５Ｄのネジ孔５Ｃは導通確保のためアルマイト処理はされていない。【００４７】  また、図７に示すように、一対の側面電極５Ａ，５Ｂは、放電管３を前後方向から挟んだ位置に配置されている。より具体的には、一対の側面電極５Ａ，５Ｂは、それぞれの位置と放電管３の中心軸Ｏとを結ぶ直線同士がなす角度θ１が略１８０度をなすように配置されている。【００４８】  更に図７に示すように、各側面電極５のうち放電管３と対向する内側面１１は、当該放電管３の外面とほぼ同じ曲率の曲面になっている。なお、内側面１１の曲率は、放電管３の曲率と同等、或いは、それよりも小さい方が好ましい。その理由は次の通りである。即ち、内側面１１の曲率が放電管３の曲率よりも大きいと、両者３，１１間で発生したスパッタが外部に漏れ易くなる。そうすると、そのスパッタにより生じた金属膜等が光取り出し領域３Ａに付着し、当該光取り出し領域３Ａの光透過率が低下してしまうおそれがある。これに対して、内側面１１の曲率が放電管３の曲率以下とすれば、スパッタが外部に漏れることを抑制することができるからである。【００４９】  また、各側面電極５のうち上記内側面１１以外の外側面については、それを構成する上面と前面（或いは後面）との間、下面と前面（或いは後面）との間にそれぞれテーパ面１３が形成されている。このテーパ面１３を形成することにより、各側面電極５において角張った部分を無くし、外側面でコロナ放電が生じることを抑制することができる。なお、外側面全体を曲面形状にすれば、コロナ放電をより効果的に抑制することができる。【００５０】  （３）反射膜  放電管３において電極５Ａ，５Ｂ間に挟まれる２つの部分のうち、下側部分が光取り出し領域３Ａとされ、上側部分の外面には絶縁性の反射膜９が形成されている。この反射膜９には、例えば絶縁性の微粒子を焼結してなる反射膜や誘電体多層膜など、公知のものを利用することができる。【００５１】  （４）保持ブロック  図８は図６のＣ−Ｃ断面図であり、図９は図５のＡ−Ａ断面図である。但し、図８，９には、前述した誘電体バリア放電ランプが２本だけ例示され、且つ、これらを連結するための上記給電部材２１，２１が示されている点で、図５〜７とは異なる。一対の保持ブロック７，７は、図５，６に示すように放電管３の各端部をそれぞれ保持するように配置される。以下、両保持ブロック７，７を区別する場合には「保持ブロック７Ａ，保持ブロック７Ｂ」という。【００５２】  各保持ブロック７は、例えばセラミックスなど、絶縁性を有する材料で形成されている。各保持ブロック７は、全体として直方体状をなし、そのうち放電管３と対向する対向面７Ｃには、放電管収容部２３と一対の電極収容部２５とが形成されている。放電管収容部２３は、放電管３の外形に対応した断面円形状の凹所であり、放電管３の端部を収容可能になっている。なお、放電管収容部２３の奥側は放電管３の端部形状に対応して、先端先細り状に形成されている。【００５３】  一対の電極収容部２５は、放電管収容部２３を前後で挟むように配置されている。各電極収容部２５は、側面電極５の外形に対応した断面略矩形状の凹所であり、側面電極５の端部を収容可能になっている。また、各電極収容部２５の奥面２５Ａには、保持ブロック７のうち上記対向面７Ｃとは反対側の非対向面７Ｄまで達する貫通孔２７が形成されている。この貫通孔２７は、放電管３の左右方向に沿って延びており、電極収容部２５寄りのネジ挿通部分２７Ａと、当該ネジ挿通部分２７Ａよりも径大である径大部分２７Ｂとから構成されている。【００５４】  一方、各側面電極５の端面５Ｄには、ネジ孔５Ｃが形成されている。そして、図８に示すように、放電管３及び側面電極５の各端部に保持ブロック７Ａ，７Ｂがそれぞれ嵌められており、貫通孔２７から挿入されたネジ２９のネジ部が、ネジ挿通部分２７Ａを通って側面電極５のネジ孔５Ｃに螺合されている。これにより、一対の側面電極５，５は、放電管３を挟みつつ、保持ブロック７Ａ，７Ｂ間を連結する梁として放電管３を保護するよう機能し、これにより放電管３と一対の側面電極５，５とが一体化されている。【００５５】  （５）放電管の回転を抑制するための構成  放電管３に対して側面電極５を蒸着などにより接合する構成でも良いが、本実施形態では、蒸着等による作業負担やコスト高を抑制するために、放電管３と側面電極５とは接合されていない。このため、例えば振動などにより側面電極５に対して放電管３が相対的に回転するおそれがある。ここで、仮にこの相対的な回転を許容すると、放電管３のうち側面電極５のエッジ部分との間で生じた放電により汚れた部分が、光取り出し領域３Ａの一部を構成するようになり、その結果、当該光取り出し領域３Ａにおける光透過率が低下するおそれがある。【００５６】  そこで、本実施形態では、誘電体バリア放電ランプ１には、放電管３の回転を抑制するための構成が設けられている。具体的には、図５，７に示すように、放電管３の端部寄りの部分には凸部３Ｂ（係合部の一例）が形成されている。一方、保持ブロック７には、その凸部３Ｂと係合可能な凹部７Ｅ（同図の切り込み部分、被係合部の一例）が形成されている。そして、両者３Ｂ，７Ｅが係合することにより、側面電極５に対して放電管３が相対的に回転することを抑制することができる。【００５７】  （６）放電管と側面電極との非接触領域を低減するための構成  図１０Ａは連結前の側面電極５と保持ブロック７とを示した拡大図であり、図１０Ｂは連結後の側面電極５と保持ブロック７とを示した拡大図である。【００５８】  上述したように放電管３と側面電極５とは接合されていないため、両者３，５間に非接触領域が多くなり得る。そうすると、側面電極５への電圧印加時において両者３，５間に放電が生じ易くなり、その放電により放電管３や側面電極５が劣化して寿命が短くなるおそれがある。【００５９】  そこで、側面電極５と保持ブロック７との連結前において電極収容部２５の奥面２５Ａと側面電極５の端面５Ｄとで前後方向（側面電極５Ａ，５Ｂの並び方向、放電管の長手方向に垂直な方向）に対する角度を異ならせている。これにより、ネジ２９による連結時において側面電極５が放電管３に押圧されるようにしている。【００６０】  図１０Ａに示した例では、側面電極５Ａの端面５Ｄが前後方向に略平行である一方、電極収容部２５の奥面２５Ａがやや放電管収容部２３側に向くように前後方向に対して傾斜している。このため、側面電極５Ａと保持ブロック７Ｂとをネジ２９により連結した際、両面５Ｄ，２５Ａ間において側面電極５Ａを放電管３側に反らせる力が生じ、その結果、側面電極５Ａが放電管３に押圧される。これにより、上記非接触領域を少なくすることができる。なお、その他の例として、電極収容部２５の奥面２５Ａが前後方向に略平行である一方、側面電極５Ａの端面５Ｄがやや放電管収容部２３側に向くように前後方向に対して傾斜している構成が挙げられる。【００６１】  ３．給電部材の構成  図８に示すように複数本の誘電体バリア放電ランプ１は、前後方向に沿って並列され、棒状の給電部材２１，２１によって一体化できるようになっている。以下、両給電部材２１，２１を区別する場合には「給電部材２１Ａ，給電部材２１Ｂ」という。【００６２】  各給電部材２１は、図３および図４に示すように、前後方向に延びる扁平な棒状形状の部材である。給電部材２１の材質としてはアルミ合金、ステンレス（ＳＵＳ）、真鍮など、導電性を有するものであればよいが、コスト面や加工性を考慮するとアルミ合金が好ましい。給電部材２１Ａは、交流電圧を印加する電源装置の高電圧端子（図示せず  第１電源端子の一例）側に電気的に接続されると共に、複数本の誘電体バリア放電ランプ１の保持ブロック７Ａをまとめて支持する第１の支持部材２１Ａとして機能する。他方の給電部材２１Ｂは、電源装置のアース端子（図示せず  第２電源端子の一例）側に電気的に接続されると共に、複数本の誘電体バリア放電ランプ１の保持ブロック７Ｂをまとめて支持する第２の支持部材２１Ｂとして機能する。【００６３】  具体的には、上記ネジ２９には、頭部が長い第１ネジ２９Ａと、頭部が短い第２ネジ２９Ｂとの２種類あり、少なくとも第１ネジ２９Ａは導電性を有する材料で形成されている。また、第１ネジ２９Ａの頭部にはネジ孔２９Ｃが形成されている。【００６４】  側面電極５Ａは、その一方の端面５Ｄ（右側端面）に第１ネジ２９Ａが螺合され、その第１ネジ２９Ａの頭部に、給電部材２１Ａに形成されたネジ挿通孔２１Ｃから通されたネジ３１が螺合されている。このため、側面電極５Ａと給電部材２１Ａとが電気的に接続される。また、側面電極５Ａは、その他方の端面５Ｄ（左側端面）に第２ネジ２９Ｂが螺合されており、当該第２ネジ２９Ｂと給電部材２１Ｂとは離間している。このため、側面電極５Ａと給電部材２１Ｂとは絶縁状態になっている。【００６５】  逆に、側面電極５Ｂは、その一方の端面５Ｄ（右側端面）に第２ネジ２９Ｂが螺合されており、当該第２ネジ２９Ｂと給電部材２１Ａとが離間している。このため、側面電極５Ｂと給電部材２１Ａとは絶縁状態になっている。また、側面電極５Ｂは、その他方の端面５Ｄ（左側端面）に第１ネジ２９Ａが螺合され、その第１ネジ２９Ａの頭部に、給電部材２１Ｂに形成されたネジ挿通孔２１Ｃから通されたネジ３１が螺合されている。このため、側面電極５Ｂと給電部材２１Ｂとが電気的に接続される。以上のように、側面電極５Ａは、給電部材２１Ａに直接連結されると共に、保持ブロック７Ｂを介して間接的に給電部材２１Ｂに連結される。また、側面電極５Ｂは、給電部材２１Ｂに直接連結されると共に、保持ブロック７Ａを介して間接的に給電部材２１Ａに連結される。【００６６】  そして、側面電極５Ａは給電部材２１Ａを介して電源装置の上記高電圧端子側に接続され、側面電極５Ｂは給電部材２１Ｂを介してアース端子側に接続される。しかも、隣り合う２本の誘電体バリア放電ランプ１，１間で互いに対向する側面電極５Ａ，５Ｂは、給電部材２１Ａ及び給電部材２１Ｂのいずれか一方に共通接続されている。図８では、前側の誘電体バリア放電ランプ１の側面電極５Ｂと、後側の誘電体バリア放電ランプ１の側面電極５Ａとが給電部材２１Ｂに接続される。また、当該後側の誘電体バリア放電ランプ１の側面電極５Ｂと、更に後側の誘電体バリア放電ランプ（図示せず）の側面電極５Ａとが給電部材２１Ａに接続されている。このため、例えば対向する一方の側面電極５Ａが給電部材２１Ａに、他方の側面電極５Ｂが給電部材２１Ｂに別々に接続された構成において両電極５Ａ，５Ｂが短絡するといった事態を回避することができ、各誘電体バリア放電ランプ１同士を近接配置することができる。【００６７】  ４．本実施形態の効果  本実施形態によれば、一対の側面電極５，５は、放電管３の外周面の周方向において両電極５，５の間に光取り出し領域３Ａが位置するように外周面上にそれぞれ配置されている。このため、光取り出し領域３Ａには電極が存在しない。従って、光取り出し領域にメッシュ電極が配置された従来の構成に比べて、光透過率を高めることができる。【００６８】  また、誘電体バリア放電ランプにより被処理物（例えば液晶パネルのガラス基板）を光洗浄する場合、雰囲気中のミストや被処理物から発生する分解ガスにより光取り出し領域が汚れて、当該光取り出し領域における光透過率が低下することがある。そのため、その汚れを除去する必要がある。しかし、上記特許文献１に記載の従来の構成（従来の構成）では、メッシュ電極が邪魔になり光取り出し領域の汚れを除去することが困難であった。これに対して、本実施形態の誘電体バリア放電ランプ１においては、光取り出し領域３Ａに電極が存在しないため、光取り出し領域３Ａの汚れを簡単に除去することができる。【００６９】  また、従来の構成では、電極への電圧印加時において、メッシュ電極にスパッタが発生して放電管の表面に金属膜が付着して、光取り出し領域における光透過率が低下するおそれがある。これに対して、本実施形態の誘電体バリア放電ランプ１は、光取り出し領域３Ａに電極が存在しないため、たとえ側面電極５においてスパッタが発生しても光取り出し領域３Ａに金属膜が付着し難く、光取り出し領域３Ａにおける光透過率の低下を抑制することができる。【００７０】  また、従来の構成のようにメッシュ電極を使用する場合には、それを放電管に形成するのに手間とコストがかかるが、本実施形態によれば、メッシュ電極を使用しないので、そのような手間やコストを低減することができる。更に、従来の構成では、光取り出し領域に形成されたメッシュ電極が被処理物と接触するなどして断線し、誘電体バリア放電ランプ自体が使用できなくなるおそれがあるが、本実施形態ではそのようなことが発生することを抑制することができる。【００７１】  さらに、本実施形態によれば、放電管３には凸部３Ｂ（係合部）が設けられ、保持ブロック７には凹部７Ｅ（被係合部）が設けられているから、係合部と被係合部とが係合することにより、電極５と放電管３とが相対的に回転することを抑えて、光取り出し領域３Ａにおける光透過率が低下することを抑制することができる。【００７２】  さらに、本実施形態によれば、複数本の誘電体バリア放電ランプが並列配置された状態で給電部材２１（支持部材）及び側面電極５（梁部材）により一体化されている。このため、複数本の誘電体バリア放電ランプ１を所定の設置場所で平面ランプとして使用しつつ、当該設置場所からまとめて取り出して交換作業を行うなど、利便性を向上させることができる。【００７３】  更に、本実施形態において、一対の保持ブロック７，７は放電管３の各端部をそれぞれ保持し、側面電極５，５は棒状の形状をなす部材であり、一対の保持ブロック７，７間を連結することで構造材（梁）として放電管３を保護するように機能する。そのため、電極とは別に構造材を設けた構成に比べて部品点数を低減させることができる。また、側面電極５として棒状形状のものを用いることによりメッシュ電極等に比べて断面積が大きくなるためインピーダンスが低くなり、電極での電力ロスを低減させることができる。【００７４】  加えて、本実施形態では、側面電極５，５間であって光取り出し領域３Ａとは異なる部分に絶縁性の反射膜９が形成されている。このため、別途、反射板を設ける必要がない。また、反射膜９は絶縁性なので、側面電極５，５間が短絡することを防止することができる。【００７５】  ＜実施形態２＞  図１１Ａ，１１Ｂは実施形態２を示す。上記実施形態１との相違は、放電管３と側面電極５との接触方法にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。【００７６】  図１１Ａは側面電極５と保持ブロック７との連結前における放電管３と側面電極５とを示した模式図であり、図１１Ｂは側面電極５と保持ブロック７との連結後における放電管３と側面電極５とを示した模式図である。【００７７】  本実施形態では、放電管３と側面電極５との間に、導電性のクッション部材（弾性部材）が弾性変形された状態で挿入されている。具体的には、側面電極５のうち放電管９との対向面５Ｅに、左右方向に沿って溝５Ｆが形成されており、その溝５Ｆ内にコイルスプリング３３（クッション部材の一例）が挿入されている（図１１Ａ参照）。【００７８】  そして、側面電極５と保持ブロック７と連結すると、コイルスプリング３３が放電管３と側面電極５との間に挟まれて圧縮変形する。これにより、両者３，５の非接触領域を少なくすることができる。なお、コイルスプリング３３以外に、例えばスチールワイヤや導電性ゴムなどでもよい。【００７９】  本実施形態によれば、コイルスプリング３３により放電管３と側面電極５との非接触領域が低減するから、側面電極５への電圧印加時において放電管３と側面電極５との間で放電が生じることを抑制することができる。【００８０】  ＜実施形態３＞  図１２Ａ，１２Ｂは実施形態３を示す。上記実施形態１との相違は、電極の構造、及び、放電管３を保護するための梁構造にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。【００８１】  図１２Ａは本実施形態の誘電体バリア放電ランプ１"を左右方向から見た断面図であり、図１２Ｂは放電管３と、一対の電極４１，４１と、一対の梁部材４３，４３とを組み付ける前の分解図である。以下、両電極４１，４１を区別する場合には「電極４１Ａ，電極４１Ｂ」といい、両梁部材４３，４３を区別する場合には「梁部材４３Ａ，梁部材４３Ｂ」という。【００８２】  各電極４１は、放電管３の左右方向に沿って延びる平板状の板バネである。素材としてはりん青銅、ステンレス、ベリリウム銅など、導電性を有するものであればよいが、特に耐食性が高い材質が好ましく、本実施形態では厚さ略０．０３ｍｍのステンレス製の板バネである。【００８３】  各梁部材４３は、放電管３の左右方向に沿って延びる棒状の部材である。具体的には、各梁部材４３のうち放電管３の外周面との対向面には、上記左右方向に沿った溝４５が開口形成されており、これにより、各梁部材４３は、左右方向から見た断面が略「Ｃ」字形（角ばった「Ｃ」）をなしている。なお、各梁部材４３は、ステンレス製であればアルマイト処理が不要であり、例えば鏡保持用などに使用される汎用のＣチャンネルを利用すれば更にコストを低減することができる。【００８４】  一対の保持ブロック７"，７"には、各梁部材４３の左右方向における各端部の断面形状に対応した電極収容部２５"，２５"が形成されている。そして、各梁部材４３は、図１２Ｂに示すように、放電管３との間に各電極４１を挟むようにして配置され、左右方向の各端部が一対の保持ブロック７"、７"の電極収容部２５"内に収容されつつ連結される。なお、各梁部材４３は、導電性を有するステンレス製とし、例えば各端部が閉塞されており、ここに、上記実施形態１と同様のネジ２９Ａ，２９Ｂを介して各保持ブロック７"に固定され、その結果、各電極４１が各給電部材２１に電気的に接続される構成が好ましい。【００８５】  そして、各梁部材４３を一対の保持ブロック７"，７"に連結することにより、各電極４１は各梁部材４３によって放電管３の外周面側に押圧される。より具体的には、各電極４１は、梁部材４３の開口端（溝４５の両側縁）４７，４７に押圧されることにより、放電管３の外周面に倣うようにＵ字形に湾曲される（図１２Ａ参照）。これにより、各電極の上下方向における両側縁側を、放電管３の外周面により確実に接触させることができる。また、梁部材４３自体が構造材として作用するから、電極に上記実施形態１，２ほどの強度を求める必要がない。【００８６】  ＜実施形態４＞  図１３は実施形態４を示す。上記実施形態１との相違は、電極を��電管に押圧する方法にあり、その他の点は前記実施形態１と同様である。従って、実施形態１と同一符号を付して重複する説明を省略し、異なるところのみを次に説明する。【００８７】  図１３は、各誘電体バリア放電ランプ１の放電管３及び側面電極５を模式的に示した上面図である。同図に示すように、隣り合う２本の誘電体バリア放電ランプ１，１間には、その対向する側面電極５Ａ，５Ｂ同士を離間する方向に付勢するコイルスプリング５１（付勢部材の一例）が圧縮変形した状態で配置されている。【００８８】  本実施形態によれば、コイルスプリング５１の反発力（付勢力）により、各側面電極５は放電管３の外周面側に押圧される。このため、側面電極５と放電管３との非接触領域が低減し、放電管３の点灯時において放電管３と側面電極５との間で放電が生じることを抑制することができる。【００８９】  ＜実施形態５＞  本発明の実施形態５について図１４ないし図１８を参照しつつ説明する。  図１４は本実施形態のランプユニット１００を下側から示した下面図である。ランプユニット１００は、図１４に示すように、複数本（例えば１０本）の誘電体バリア放電ランプ１０１を前後方向に並列した状態で一体化したものである。具体的には、ランプユニット１００は、上記複数本の誘電体バリア放電ランプ１０１を並列させてなる誘電体バリア放電ランプ列１０２、及び、一対の給電部材１２１，１２１（第一の支持部材１２１Ａ及び第二の支持部材１２１Ｂの一例）を備えて構成されている。【００９０】  誘電体バリア放電ランプ列１０２は、図１４に示すように、複数の誘電体バリア放電ランプ１０１を隣接する誘電体バリア放電ランプ１０１の接続片１３５（詳細は後述する）が隣り合うように並列して構成される（図１４の右下側に接続片１３５を有する誘電体バリア放電ランプ１０１を１０１Ａとし、同図右上側に接続片１３５を有する誘電体バリア放電ランプ１０１を１０１Ｂとする）。【００９１】  誘電体バリア放電ランプ１０１は、図１５〜図１７に示すように、放電管１０３と、一対の電極１０５，１０５と、一対の梁部材１３０，１３０と、一対の保持ブロック１１０，１１０と、梁部材１３０と保持ブロック１１０とを接続する接続片１３５と、を備える。図１５は誘電体バリア放電ランプ１０１を下側から示した下面図、図１６は誘電体バリア放電ランプ１０１の側面図、図１７は放電管１０３、電極１０５および梁部材１３０の分解側面図である。【００９２】  放電管１０３の長手方向（図１５の左右方向）に沿った外周面のうち下面側は、当該放電管１０３内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域１０３Ａとされ、上側部分の外面には絶縁性の反射膜（図示せず）が形成されている。一対の電極１０５，１０５は、放電管１０３の外周面の周方向において両電極１０５，１０５の間に光取り出し領域１０３Ａが位置するように外周面上にそれぞれ配置されている。以下、両側面の電極１０５，１０５を区別する場合には「電極１０５Ａ，電極１０５Ｂ」という。なお、反射膜の構成は、上記実施形態１と同様である。図１５中の１０４は放電空間である。【００９３】  放電管１０３は、端部寄りの部分に凸部３Ｂを有していないという点で実施形態１と��違するが、その他の構成は、実施形態１の誘電体バリア放電ランプ１の放電管３と概ね同じである。【００９４】  各電極１０５は、放電管１０３の長手方向に沿って延びる平板状の板バネである。素材としてはりん青銅、ステンレス、ベリリウム銅など、導電性を有するものであればよいが、特に耐食性が高い材質が好ましく、本実施形態では厚さが略０．０３ｍｍのステンレス製の板バネを用いている。【００９５】  本実施形態において、各電極１０５には、図１８に示すように、長手方向と交差する方向に形成された複数のスリット１０６が設けられている。スリット１０６は電極１０５の長手方向に沿った縁部および中央部分に、多数形成されている。これらのスリット１０６は、電極１０５が熱を受けた際に熱を逃がして、電極１０５が熱膨張により変形するのを防止する機能を有する。【００９６】  なお、本実施形態においても、実施形態３と同様に、一対の梁部材１３０，１３０を一対の保持ブロック１１０，１１０に連結することにより、各電極１０５は各梁部材１３０，１３０によって放電管１０３の外周面側に押圧されるようになっている。これにより、各電極１０５の上下方向における両側縁側を、放電管１０３の外周面により確実に接触させることができる。  さらに、各電極１０５には、図１８に示すように、長手方向と交差する方向（幅方向）に突出形成された複数の突部１０７が設けられている。複数の突部１０７は、略垂直に折り曲げられて、梁部材１３０，１３０の溝１３１に差し込まれ、これにより電極１０５がずれることなく、梁部材１３０，１３０の所定位置に組みつけられている。すなわち、電極１０５に設けられた突部１０７は、電極１０５がずれるのを防ぐ（「ずれ防止突部」の一例）。【００９７】  一対の梁部材１３０，１３０は、放電管１０３の長手方向に沿って延びる棒状の部材であり、実施形態３の梁部材４３と同様に、放電管１０３の外周面との対向面に長手方向に沿った溝１３１が開口形成されている。これにより本実施形態の梁部材１３０も、左右方向から見た断面が略Ｃ字形をなしている。なお、各梁部材１３０として、ステンレス製のものを用いれば、アルマイト処理が不要であり、例えば鏡保持用などに使用される汎用のＣチャンネルを利用すれば更にコストを低減することができる。【００９８】  各梁部材１３０の長手方向における２つの端部１３０Ｃ，１３０Ｄはネジ部材１４０（第２のネジ部材１４０Ｂ）の螺合により各保持ブロック１１０，１１０に接続されている。各梁部材１３０の２つの端部１３０Ｃ，１３０Ｄには、保持ブロック１１０と直接接続される第１の接続孔１３２Ａと、接続片１３５とともに保持ブロック１１０に接続される第２の接続孔１３２Ｂがそれぞれ設けられている。なお、一対の梁部材１３０，１３０を区別する場合には「梁部材１３０Ａ，梁部材１３０Ｂ」という。【００９９】  一対の保持ブロック１１０，１１０は、図１５および図１６に示すように放電管１０３の各端部をそれぞれ保持するように配置される。以下、両保持ブロック１１０，１１０を区別する場合には「保持ブロック１１０Ａ，保持ブロック１１０Ｂ」という。【０１００】  各保持ブロック１１０は、例えばセラミックスなど、絶縁性を有す���材料で形成されている。各保持ブロック１１０は、全体として略円筒状をなし、そのうち放電管１０３と対向する対向面１１０Ｃには、放電管収容部１１１が形成されている。放電管収容部１１１は、放電管１０３の外形に対応した断面円形状の凹所であり、放電管１０３の端部を収容可能になっている。なお、放電管収容部１１１の奥側は放電管１０３の端部形状に対応して、先端先細り状に形成されている。【０１０１】  各保持ブロック１１０の外側面には、外側方向に突出形成され、接続片１３５と給電部材１２１に接続される接続突部１１２が形成されている。接続突部１１２は、保持ブロック１１０の対向面１１０Ｃから、対向面１１０Ｃとは反対側の面１１０Ｄ（非対向面１１０Ｄ）を経て対向面１１０Ｃに連なるように略Ｕ字状に形成されており、接続突部１１２の一端部１１２Ａと他端部１１２Ｂとは、対向面１１０Ｃにおいて対向する位置に配される。保持ブロック１１０の非対向面１１０Ｄには、接続片１３５を間に挟んで、保持ブロックと給電部材１２１とを接続するネジ部材１４０（第１のネジ部材１４０Ａ）が螺合可能とされる。接続突部１１２の非対向面１１０Ｄ側に至る部分は弧状をなす弧状部１１２Ｄであり、接続片１３５の屈曲部１３８を容易に添わせられるようになっている。【０１０２】  保持ブロック１１０の対向面１１０Ｃには、接続突部１１２の端部１１２Ａ，１１２Ｂから連なり、放電管１０３の中央方向側（図１５〜図１７の中央方向側）に突出形成され、梁部材１３０の端部１３０Ｃ，１３０Ｄが取り付けられる梁取付部１１３，１１３が対向する位置に設けられている。梁取付部１１３と接続突部１１２との間には段差１１４が形成されており、この段差１１４のところに梁部材１３０の端部１３０Ｃ，１３０Ｄが当接して固定されるようになっている。各梁取付部１１３には第２のネジ部材１４０Ｂの螺合により接続片１３５および梁部材１３０を接続可能とされる。【０１０３】  接続片１３５は、保持ブロック１１０と梁部材１３０とを接続するとともに、保持ブロック１１０と給電部材１２１とを接続する部材であり、図１７に示すように略Ｌ字状をなす導電性の部材である。接続片１３５は、保持ブロック１１０の非対向面１１０Ｄに重ねられ給電部材１２１に接続される第１の接続部１３６と、保持ブロック１１０の梁取付部１１３に取り付けられた梁部材１３０に接続される第２の接続部１３７とを有する。接続片１３５の第１の接続部１３６から第２の接続部１３７に至る屈曲部１３８は、保持ブロック１１０の弧状部１１２Ｄに沿う形状（弧状）をなすように屈曲されている。【０１０４】  接続片１３５の第１の接続部１３６には、第１のネジ部材１４０Ａが挿通可能なネジ挿通孔（図示せず）が設けられており、接続片１３５の第２の接続部１３７には、第２のネジ部材１４０Ｂが挿通されるネジ挿通孔（図示せず）が設けられている。また、接続片１３５の第２の接続部１３７には、保持ブロック１１０の接続突部１１２を幅方向から挟持する一対の挟持片１３７Ｂ，１３７Ｂが設けられている。  接続片１３５は、１つの保持ブロック１１０に対して１つずつ取り付けられている。具体的には、図１５の右側の保持ブロック１１０Ａにおいては梁部材１３０Ａ側に取り付けられ、同図左側の保持ブロック１１０Ｂにおいては梁部材１３０Ｂ側に取り付けられている。【０１０５】  複数本の誘電体バリア放電ランプ１０１を一体化する一対の給電部材１２１，１２１は、放電管１０３の並列方向に沿って延びる棒状の部材であり、梁部材１３０と同様に、長手方向に沿った溝１２２が開口形成され、保持ブロック１１０，１１０の非対向面１１０Ｄに形成された接続突部１１２をはめ込んで保持可能とされる。以下、一対の給電部材１２１，１２１を区別する場合には「給電部材１２１Ａ，給電部材１２１Ｂ」という。【０１０６】  各給電部材１２１の材質としてはアルミ合金、ステンレス（ＳＵＳ）、真鍮など、導電性を有するものであればよいが、コスト面や加工性を考慮するとステンレスやアルミ合金が好ましい。各給電部材１２１として、梁部材１３０と同様のステンレス製の汎用のＣチャンネルを用いると、さらにコストを低減することができるので特に好ましい。給電部材１２１Ａは、交流電圧を印加する電源装置の高電圧端子（図示せず、第１電源端子の一例）側に電気的に接続されると共に、複数本の誘電体バリア放電ランプ１０１の保持ブロック１１０Ａをまとめて支持する第１の支持部材１２１Ａとして機能する。他方の給電部材１２１Ｂは、電源装置のアース端子（図示せず、第２電源端子の一例）側に電気的に接続されると共に、複数本の誘電体バリア放電ランプ１０１の保持ブロック１１０Ｂをまとめて支持する第２の支持部材１２１Ｂとして機能する。【０１０７】  給電部材１２１，１２１には、第１のネジ部材１４０Ａを挿入可能なネジ挿入孔１２３が形成されており、給電部材１２１，１２１は、第１のネジ部材１４０Ａの螺合により、接続片１３５および各誘電体バリア放電ランプ１０１の保持ブロック１１０と接続されている。【０１０８】  誘電体バリア放電ランプ１０１Ａの電極１０５Ａが取り付けられた梁部材１３０Ｂの一方の端部１３０Ｄ（図１４における左側端部）は第２のネジ部材１４０Ｂの螺合により接続片１３５に接続され、この接続片１３５は第１のネジ部材１４０Ａの螺合により給電部材１２１Ｂに接続されている。このため電極１０５Ａと給電部材１２１Ｂとは電気的に接続される。一方、電極１０５Ａが取り付けられた梁部材１３０Ｂの他方の端部１３０Ｃ（図１４における右側端部）は第２のネジ部材１４０Ｂの螺合により保持ブロック１１０Ａに接続されるため、電極１０５Ａと給電部材１２１Ａとは絶縁状態になっている。【０１０９】  そして、誘電体バリア放電ランプ１０１Ａの電極１０５Ｂが取り付けられた梁部材１３０Ａの一方の端部１３０Ｄ（図１４における右側端部）は第２のネジ部材１４０Ｂの螺合により接続片１３５に接続され、この接続片１３５は第１のネジ部材１４０Ａの螺合により給電部材１２１Ａに接続されている。このため電極１０５Ｂと給電部材１２１Ａとは電気的に接続される。一方、電極１０５Ｂが取り付けられた梁部材１３０Ａの他方の端部１３０Ｃ（図１４における左側端部）は第２のネジ部材１４０Ｂの螺合により保持ブロック１１０Ｂに接続されるため、電極１０５Ｂと給電部材１２１Ｂとは絶縁状態になっている。【０１１０】  一方、誘電体バリア放電ランプ１０１Ｂの電極１０５Ａが取り付けられた梁部材１３０Ｂの一方の端部１３０Ｄ（図１４における右側端部）は第２のネジ部材１４０Ｂの螺合により接続片１３５に接続され、この接続片１３５は第１のネジ部材１４０Ａの螺合により給電部材１２１Ａに接続されている。このため電極１０５Ａと給電部材１２１Ａとは電気的に接続される。一方、電極１０５Ａが取り付けられた梁部材１３０Ｂの他方の端部１３０Ｃ（図１４における左側端部）は第２のネジ部材１４０Ｂの螺合により保持ブロック１１０Ｂに接続されるため、電極１０５Ａと給電部材１２１Ｂとは絶縁状態になっている。【０１１１】  そして、誘電体バリア放電ランプ１０１Ｂの電極１０５Ｂが取り付けられた梁部材１３０Ａの一方の端部１３０Ｄ（図１４における左側端部）は第２のネジ部材１４０Ｂの螺合により接続片１３５に接続され、この接続片１３５は第１のネジ部材１４０Ａの螺合により給電部材１２１Ｂに接続されている。このため電極１０５Ｂと給電部材１２１Ｂとは電気的に接続される。一方、電極１０５Ｂが取り付けられた梁部材１３０Ａの他方の端部１３０Ｃ（図１４における右側端部）は第２のネジ部材１４０Ｂの螺合により保持ブロック１１０Ａに接続されるため、電極１０５Ｂと給電部材１２１Ａとは絶縁状態になっている。【０１１２】  そして、前記誘電体バリア放電ランプ１０１Ｂの電極１０５Ａは梁部材１３０および給電部材１２１Ａを介して電源装置の上記高電圧端子側に接続され、前記誘電体バリア放電ランプ１０１Ｂの電極１０５Ｂは梁部材１３０および給電部材１２１Ｂを介してアース端子側に接続される。しかも、隣り合う２本の誘電体バリア放電ランプ１０１Ａ，１０１Ｂ間で互いに対向する電極１０５Ａ，１０５Ｂは、給電部材１２１Ａ及び給電部材１２１Ｂのいずれか一方に共通接続されている。  図１４では、誘電体バリア放電ランプ１０１Ａの電極１０５Ｂと、これに隣接する誘電体バリア放電ランプ１０１Ｂの電極１０５Ａとが給電部材１２１Ａに接続される。また、誘電体バリア放電ランプ１０１Ｂの電極１０５Ｂと、これに隣接する誘電体バリア放電ランプ１０１Ａの電極１０５Ａとが給電部材１２１Ｂに接続されている。  このため、例えば対向する一方の電極１０５Ａが給電部材１２１Ａに、他方の電極１０５Ｂが給電部材１２１Ｂに別々に接続された構成において両電極１０５Ａ，１０５Ｂが短絡するといった事態を回避することができ、各誘電体バリア放電ランプ１０１Ａ，１０１Ｂを近接配置することができる。【０１１３】  次に本実施形態の効果を説明する。  本実施形態においては、一対の電極１０５，１０５は、放電管１０３の外周面の周方向において両電極１０５，１０５の間に光取り出し領域１０３Ａが位置するように、それぞれ配置されており、光取り出し領域１０３Ａには電極１０５が存在しない。  したがって、本実施形態によれば、実施形態１と同様に、光透過率を高めることができるとともに、光取り出し領域１０３Ａの汚れを簡単に除去することができ、かつ、電極１０５においてスパッタが発生したとしても光取り出し領域１０３Ａに金属膜が付着し難く、光取り出し領域１０３Ａにおける光透過率の低下を抑制することができる。【０１１４】  また、本実��形態によれば、メッシュ電極を使用しないので、放電管１０３にメッシュ電極を形成する手間やコストを低減することができるとともに、メッシュ電極を使用した構成における問題の発生（メッシュ電極と被処理物との接触による断線の発生など）を抑制することができる。【０１１５】  また、本実施形態によれば、複数本の誘電体バリア放電ランプ１０１が並列配置された状態で給電部材１２１（支持部材）及び梁部材１３０により一体化されている。このため、複数本の誘電体バリア放電ランプ１０１を所定の設置場所で平面ランプとして使用しつつ、当該設置場所からまとめて取り出して交換作業を行うなど、利便性を向上させることができる。【０１１６】  また、本本実施形態によれば、実施形態３と同様に、一対の梁部材１３０，１３０を一対の保持ブロック１１０，１１０に連結することにより、各電極１０５，１０５は各梁部材１３０，１３０によって放電管１０３の外周面側に押圧されるから、各電極１０５，１０５の上下方向における両側縁側を、放電管１０３の外周面により確実に接触させることができる。  特に、本実施形態によれば、電極１０５には、長手方向と交差する方向に突出形成され、梁部材１３０の溝１３１に差し込まれて、平板状の電極１０５，１０５のずれを防止するずれ防止突部１０７が設けられているから、電極１０５が梁部材１３０の所定位置に位置決めされ、ずれにくくなり良好な接触状態を確保することができる。【０１１７】  さらに、本実施形態では、電極１０５には、長手方向と交差する方向に複数のスリット１０６が設けられているから、電極１０５が熱を受けた際にスリット１０６から熱を逃がすことができ、熱膨張による変形を防ぐことができる。【０１１８】  ＜他の実施形態＞  本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような種々の態様も本発明の技術的範囲に含まれる。  （１）上記実施形態では、光取り出し領域は、被処理物側に向けられる対向部分（放電管３の下側部分）であったが、本発明はこれに限らず、その対向部分とは反対側の部分（放電管３の上側部分）でもよい。例えば紫外線照射装置の中には、誘電体バリア放電ランプの上方（被処理物側とは反対側）に反射板を設けて、誘電体バリア放電ランプの上側部分から出射された光を反射板にて反射させて被処理物に照射させるものがある。このように使用される誘電体バリア放電ランプでは、その放電管の上側部分が光取り出し領域である。  【０１１９】  （２）上記実施形態では、一対の側面電極５，５は、それぞれの位置と放電管３の中心軸とを結ぶ直線同士がなす角度が略１８０度をなすように配置されていたが、本発明はこれに限られない。例えば１３２度をなすように配置してもよい。要するに、一対の側面電極５，５は「外周面の周方向において一対の電極の間に光取り出し領域が位置するように外周面上にそれぞれ配置」されていればよい。但し、一対の電極５，５は、短絡しない程度に離間させる必要がある。【０１２０】  （３）上記実施形態では、棒状形状や平板状の側面電極５Ａ，５Ｂを用いたが、本発明の電極はこれに限られない。例えばメッシュ状、ストライプ状、放射状、又は渦巻き状の導電体からなる電極でもよい。更に、めっき、溶射、蒸着又はスパッタにより放電管３上に形成された薄膜電極や、印刷された電極でもよい。但し、上記実施形態１の構成（棒状の電極）であれば、電極５Ａ，５Ｂを構造材（梁）としても機能させることができるというメリットがある。  薄膜電極は、材質がアルミニウムの場合、紫外線を反射しやすいので、紫外線強度を向上するというメリットがあるが、膜厚が小さすぎると抵抗が大きくなり、膜厚が大きいと応力が大きくなって剥離しやすくなる。これらの点を考慮すると、適度な膜厚の電極を形成することができるという点で、溶射により電極を形成するのが好ましい。  蒸着では真空チャンバーが必要であるが、溶射では、真空チャンバーが不要であるので低コストである。なお、溶射により電極を形成する場合には、密着性がよいという点で、アルミニウムを溶射するのが好ましい。【０１２１】  （４）上記実施形態では、反射膜９を放電管３の外面に形成したが、本発明はこれに限られず、放電管３の内面に形成してもよい。特に、反射膜９が紫外線照射などにより劣化してパーチクルを発生し、それが被処理物上に落下する問題が生じ得る場合には、反射膜９を放電管３の内面に形成することが好ましい。但し、このような構成は製造負荷・コストが高くなるため、上記問題が生じなければ、上記実施形態の構成を採用することが好ましい。【０１２２】  （５）上記実施形態１および実施形態２では、両側面電極５，５を棒状の部材としたが、本発明はこれに限られない。例えば両側面電極５，５の少なくとも一方を、メッシュ電極等とし、保持ブロック７，７間を別の構造材で連結してもよい。但し、上記実施形態の構成であれば部品点数を低減させるなどのメリットがある。【０１２３】  （６）上記実施形態３では、板バネからなる電極４１を利用したが、本発明はこれに限られない。例えばステンレス製以外の導電体（導電ゴム含む）からなる電極でもよい。更に、メッシュ電極でもよい。【０１２４】  （７）上記実施形態では、梁部材として機能する部材（側面電極５や梁部材４３）が、各誘電体バリア放電ランプ１本につき２本設けられていたが、本発明はこれに限られない。例えば、ランプユニット全体として梁部材を１本だけ有する構成や、前後方向における端部に梁部材をそれぞれ１本ずつ有する構成でもよい。また、上記実施形態１，２において隣り合う側面電極５Ａ，５Ｂを、同一部材で共通化してもよい。【０１２５】  （８）上記実施形態では、付勢部材としてコイルスプリング５１を利用したが、本発明はこれに限られない。対向する電極を離間する方向に付勢可能なものであればよく、例えば板バネやゴム部材でもよい。【０１２６】  （９）上記実施形態５では、電極の長手方向に対して交差する方向にスリット１０６が形成され、かつずれ防止突部１０７が形成された電極１０５，１０５を備えるものを示したが、本発明はこれに限定されない。ずれ防止突部１０７かスリット１０６のいずれか一方のみが形成されている電極であってもよいし、スリット１０６の形成方向が長手方向に対して略平行であってもよい。【０１２７】  （１０）上記実施形態では、合成石英ガラス製の放電管を備えるものを示したが、放電管の材料はこれに限定されない。例えば２２２ｎｍなど、２００ｎｍ以下の真空紫外領域よりも高波長領域の発光であれば、合成石英ガラス以外のガラスも使用できる。放電用ガスとしてフッ素系を用いる場合は、ガラス内面に耐フッ素処理を施すと良い。
【図１】
2011114937.tif 000003
【図２】
2011114937.tif 000004
【図３】
2011114937.tif 000005
【図４】
2011114937.tif 000006
【図５】
2011114937.tif 000007
【図６】
2011114937.tif 000008
【図７】
2011114937.tif 000009
【図８】
2011114937.tif 000010
【図９】
2011114937.tif 000011
【図１０Ａ】
2011114937.tif 000012
【図１０Ｂ】
2011114937.tif 000013
【図１１Ａ】
2011114937.tif 000014
【図１１Ｂ】
2011114937.tif 000015
【図１２Ａ】
2011114937.tif 000016
【図１２Ｂ】
2011114937.tif 000017
【図１３】
2011114937.tif 000018
【図１４】
2011114937.tif 000019
【図１５】
2011114937.tif 000020
【図１６】
2011114937.tif 000021
【図１７】
2011114937.tif 000022
【図１８】
2011114937.tif 000023
【手続補正書】
【提出日】平成25年1月25日(2013.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電ガスが封入された長尺状の放電管と、一対の電極と、
前記放電管の前記長手方向における各端部をそれぞれ保持する一対の保持ブロックと、
前記長手方向に延びる棒状の部材であって、前記長手方向における各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結される梁部材と、を備え、
前記放電管のうち当該放電管の長手方向に沿った外周面の一部が、前記放電管内で生じた光を外部に取り出すための光取り出し領域とされ、
前記一対の電極は、前記外周面の周方向において前記一対の電極の間に前記光取り出し領域が位置するように前記外周面上にそれぞれ配置され、
前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は、前記放電管の外周面と前記梁部材との間に配置され、前記保持ブロックに連結された前記梁部材によって前記外周面側に押圧されることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ。
【請求項２】
前記一対の電極の少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる棒状の形状をなし、当該棒状形状の電極の各端部が前記保持ブロックにそれぞれ連結されていることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項３】
前記放電管は断面円形状の丸管であって、
前記棒状形状の電極のうち前記放電管と対向する内側面は曲面とされ、当該内側面の曲率は前記放電管の外周面の曲率以下であることを特徴とする請求の範囲第２項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項４】
前記棒状形状の電極のうち、前記放電管と対向する内側面以外の外側面においては、隣り合う面の間に勾配を有する面が形成されていることを特徴とする請求の範囲第２項または第３項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項５】
前記保持ブロックの前記放電管の前記長手方向における端部に対向する対向面には、前記放電管を収容する放電管収容部と、前記放電管収容部を挟むように配置され、前記一対の電極をそれぞれ収容する電極収容部とが形成されていることを特徴とする請求の範囲第２項ないし第４項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項６】
前記保持ブロックには、前記電極収容部の前記電極の端面に対向する奥面から連なり、前記保持ブロックの前記対向面とは反対側の非対向面にまで達する貫通孔が形成され、
前記電極の端面には、前記貫通孔から挿入されたネジが螺合するネジ孔が形成されていることを特徴とする請求の範囲第５項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項７】
前記電極の端面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度と、前記電極収容部の前記奥面の前記放電管の前記長手方向に垂直な方向に対する角度とを異ならせて、前記電極を前記保持ブロックに連結したときに前記電極が前記放電管を押圧するように設定したことを特徴とする請求の範囲第６項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項８】
前記放電管と前記一方の電極との間に、導電性の弾性部材が弾性変形された状態で挿入されていることを特徴とする請求の範囲第２項ないし第７項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項９】
前記一対の電極のうち少なくとも一方の電極は前記長手方向に延びる平板状をなし、
前記梁部材の前記外周面と対向する対向面には、前記長手方向に沿った溝が形成されており、前記保持ブロックに連結されることにより前記一方の電極は、前記対向面のうち前記溝の両側縁に押圧されてＵ字形に湾曲されつつ前記外周面側に押圧されることを特徴とする請求の範囲第１項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１０】
前記長手方向に延びる平板状の電極には、複数のスリットが設けられていることを特徴とする請求の範囲第９項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１１】
前記長手方向に延びる平板状の電極には、前記長手方向と交差する方向に突出形成され、前記梁部材の溝に差し込まれて、前記平板状の電極のずれを防止するずれ防止突部が設けられていることを特徴とする請求の範囲第９項または第１０項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１２】
前記放電管は断面円形状の丸管であって、
前記放電管には係合部が設けられ、前記一対の保持ブロックの少なくとも一方の保持ブロックには前記係合部と係合する被係合部が設けられていることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第１１項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１３】
前記放電管において前記一対の電極に挟まれる２つの部分のうち、一方の部分は前記光取り出し領域とされ、他方の部分には絶縁性の反射膜が形成されていることを特徴とする請求の範囲第１項ないし第１２項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプ。
【請求項１４】
請求の範囲第１項ないし第１３項のいずれか一項に記載の誘電体バリア放電ランプを複数本、前記放電管の長手方向と交差する方向に並列配置してなる誘導体バリア放電ランプ列と、
前記誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における一方の保持ブロックをまとめて支持する第一の支持部材と、
前記複数本の誘電体バリア放電ランプの前記長手方向における他方の保持ブロックをまとめて支持する第二の支持部材と、
を備えることを特徴とするランプユニット。
【請求項１５】
前記第一の支持部材は、電源に連なる第１電源端子側に接続される給電部材であり、
前記第二の支持部材は、前記電源に連なる第２電源端子側に接続される給電部材であり、
隣り合う２本の前記誘電体バリア放電ランプ間で互いに対向する前記電極同士は、前記第一の支持部材及び前記第二の支持部材のいずれか一方に共通接続されていることを特徴とする請求の範囲第１４項に記載のランプユニット。
【請求項１６】
前記第一の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、電源に連なる第１電源端子側に接続される給電部材であり、
前記第二の支持部材は、前記交差する方向に延びる導電性の棒状の部材であって、前記電源に連なる第２電源端子側に接続される給電部材であり、
前記各誘電体バリア放電ランプが有する前記一対の電極のうち一方の電極は前記第一の支持部材に電気的に接続され、他方の電極は前記第二の支持部材に電気的に接続されていることを特徴とする請求の範囲第１４項または第１５項のいずれか一項に記載のランプユニット。
【請求項１７】
隣り合う２本の誘電体バリア放電ランプ間には、その対向する前記電極同士を離間する方向に付勢する付勢部材が設けられていることを特徴とする請求の範囲第１４項ないし第１６項のいずれか一項に記載のランプユニット。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（１）の構成において、前記棒状形状の電極のうち、前記放電管と対向する内側面以外の外側面においては、隣り合う面の間に勾配を有する面が形成されていてもよい。
このような構成とすると、電極において角ばった部分をなくすことができるので外側面でコロナ放電が生じることを抑制することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
また、各側面電極５のうち上記内側面１１以外の外側面については、それを構成する上面と前面（或いは後面）との間、下面と前面（或いは後面）との間にそれぞれ勾配を有する面１３が形成されている。この勾配を有する面１３を形成することにより、各側面電極５において角張った部分を無くし、外側面でコロナ放電が生じることを抑制することができる。なお、外側面全体を曲面形状にすれば、コロナ放電をより効果的に抑制することができる。
【国際調査報告】
2011114937.tif 000024
2011114937.tif 000025
2011114937.tif 000026