(57)【要約】  内部に気体流路を有し、且つ一端に吸込口が形成されると共に他端に排気口が形成され、被処理体の表面に付着した塵埃を吸込口から吸い込まれて排気口から排気される吸引気流により離脱させる吸込ノズルを備えた清掃ノズルにおいて、吸込ノズル内面の一部に塵埃を捕捉するための粘着層を設ける。
2011039972.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に気体流路を有し、且つ一端に吸込口が形成されると共に他端に排気口が形成され、被処理体の表面に付着した塵埃を上記吸込口から吸い込まれて上記排気口から排気される吸引気流により離脱させる吸込ノズルを備えた清掃ノズルであって、
上記吸込ノズル内面の少なくとも一部には、上記塵埃を捕捉するための粘着層が設けられている
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項２】
請求項１に記載の清掃ノズルにおいて、
上記吸引気流を上記吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせる整流手段をさらに備える
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項３】
請求項２に記載の清掃ノズルにおいて、
上記整流手段は、圧縮気体を吹き出す吹出口が先端に形成された吹出ノズルであり、上記吹出口の圧縮気体吹出方向の向きが、圧縮気体を上記吸込ノズル内面に沿わせるように該吸込ノズル内面に対して設定されている
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の清掃ノズルにおいて、
上記気体流路は、上記吸込口側から上記排気口側に向かって流路面積が次第に狭くなるように奥狭く形成されている
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項５】
請求項４に記載の清掃ノズルにおいて、
上記気体流路は、上記吸込口側から上記排気口側に向かって流路径が次第に縮径する円錐台形状に形成されている
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の清掃ノズルにおいて、
上記粘着層は、シリコーン系粘着材又はアクリル系粘着材により構成されている
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の清掃ノズルと、
上記吸込ノズルの排気口に配管を介して接続され、駆動により上記吸込ノズルの内部を負圧状態にする負圧手段と、
被処理体を保持する保持ステージとを備え、
上記保持ステージに保持された被処理体に対し、上記吸込ノズルの吸込口を対応させた状態で、上記負圧手段の駆動により、上記吸込ノズルの内部を負圧状態にして吸引気流を発生させ、上記被処理体の表面に付着した塵埃を上記吸引気流により離脱させて吸込ノズル内面の粘着層に付着させて捕捉するように構成されている
ことを特徴とする塵埃除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、清掃ノズル及びそれを備えた塵埃除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示パネルや半導体デバイスなどの製造においては、液晶表示パネルやガラス基板、ウェハ基板などの被処理体に成膜処理やエッチング処理を行うことから、その被処理体の表面にパーティクルなどの塵埃が付着していると、これが製品パネルや製品チップの不良の原因となる。そのため、被処理体の表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去装置が用いられている。【０００３】
例えば、気体吸引型の塵埃除去装置として、被処理体を保持する保持ステージと、円筒状の吸込ノズルとを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この種の塵埃除去装置は、吸込ノズルの排気口が配管及び塵埃収容部などを介して真空ポンプなどの負圧手段と接続されており、この負圧手段の駆動により、被処理体に接近させた吸込ノズルの吸込口内に吸い込まれる吸引気流を発生させて、被処理体表面の塵埃を吸い込んで除去するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１５６０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のような吸引により塵埃を除去する塵埃除去装置では、被処理体表面の塵埃を浮かせて吸込ノズルから塵埃収容部にまで吸い込むために大きな吸引力が必要となる。そのため、負圧手段による吸引力が小さく十分でないと、被処理体表面における塵埃の除去性能が低くなる。しかしながら、吸引力の大きな真空ポンプを負圧手段として用いると、装置コストが高くなってしまう。【０００６】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小さな吸引力であっても被処理体表面における塵埃の除去性能を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明は、吸込ノズル内面の少なくとも一部に塵埃を捕捉するための粘着層が設けられているようにしたものである。【０００８】
具体的には、第１から第６の発明は、内部に気体流路を有し、且つ一端に吸込口が形成されると共に他端に排気口が形成され、被処理体の表面に付着した塵埃を上記吸込口から吸い込まれて上記排気口から排気される吸引気流により離脱させる吸込ノズルを備えた清掃ノズルを対象とし、以下の解決手段を講じたものである。【０００９】
すなわち、第１の発明は、上記吸込ノズル内面の少なくとも一部には、上記塵埃を捕捉するための粘着層が設けられていることを特徴とする。【００１０】
第２の発明は、第１の発明の清掃ノズルにおいて、上記吸引気流を上記吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせる整流手段をさらに備えることを特徴とする。【００１１】
第３の発明は、第２の発明の清掃ノズルにおいて、上記整流手段は、圧縮気体を吹き出す吹出口が先端に形成された吹出ノズルであり、上記吹出口の圧縮気体吹出方向の向きが、圧縮気体を上記吸込ノズル内面に沿わせるように該吸込ノズル内面に対して設定されていることを特徴とする。【００１２】
第４の発明は、第１から第３の発明のいずれか１つの清掃ノズルにおいて、上記気体流路は、上記吸込口側から上記排気口側に向かって流路面積が次第に狭くなるように奥狭く形成されていることを特徴とする。【００１３】
第５の発明は、第４の発明の清掃ノズルにおいて、上記気体流路は、上記吸込口側から上記排気口側に向かって流路径が次第に縮径する円錐台形状に形成されていることを特徴とする。【００１４】
第６の発明は、第１から第５の発明のいずれか１つの清掃ノズルにおいて、上記粘着層は、シリコーン系粘着材又はアクリル系粘着材により構成されていることを特徴とする。【００１５】
また、第７の発明は、上記の対象とする清掃ノズルを備えた塵埃除去装置に関するものであり、第１から第６の発明のいずれか１つの清掃ノズルと、上記吸込ノズルの排気口に配管を介して接続され、駆動により上記吸込ノズルの内部を負圧状態にする負圧手段と、被処理体を保持する保持ステージとを備え、上記保持ステージに保持された被処理体に対し、上記吸込ノズルの吸込口を対応させた状態で、上記負圧手段の駆動により、上記吸込ノズルの内部を負圧状態にして吸引気流を発生させ、上記被処理体の表面に付着した塵埃を上記吸引気流により離脱させて吸込ノズル内面の粘着層に付着させて捕捉するように構成されていることを特徴とする。【００１６】
−作用−
次に、本発明の作用について説明する。【００１７】
第１から第６の発明によると、被処理体から離脱した塵埃が吸込ノズルの内部に吸い込まれて吸込ノズル内面の粘着層に付着して捕捉される。そのため、吸込ノズルから塵埃収容部まで塵埃を吸い込む場合に比べて、大きな吸引力で塵埃を吸い込む必要がない。したがって、小さな吸引力であっても被処理体表面における塵埃の除去性能を向上させることが可能になる。【００１８】
第２の発明によると、被処理体表面の塵埃を吸い込む場合に、整流手段により、吸引気流が吸込ノズル内面に螺旋状に沿うように整流される。そのことにより、吸引気流が吸込口側から排気口側に向かって直線状である場合は吸引気流のほんの一部しか吸込ノズル内面に沿わないのに対し、吸引気流のほとんどが吸込ノズル内面に沿うと共に、吸引気流が旋回する分だけ吸込ノズル内面に沿う距離が長くなる。これによって、吸引気流と共に螺旋状に巻き上げられた塵埃が吸込ノズル内面の粘着層に効率良く捕捉され、被処理体表面の塵埃が良好に除去される。【００１９】
第３の発明によると、被処理体表面の塵埃を吸い込む場合に、吹出ノズルにより、吸込ノズル内面に沿わせるように圧縮気体を吹き出すことで、吸込ノズルの内部における吸引気流が吸込ノズル内面に螺旋状に沿うように整流される。したがって、このように吹出ノズルで整流手段を構成しても、吸引気流を吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせることができ、第２の発明の作用効果が具体的に奏される。【００２０】
さらに、吹出ノズルで整流手段を構成する場合には、例えば吹出ノズルを吸込ノズルの外部側方から内部に挿入するなど、簡素な構成で整流手段を実現できるため、清掃ノズルの構成を簡略化できる。【００２１】
第４の発明によると、気体流路が奥狭く形成されているため、吸込口側（上流側）よりも排気口側（下流側）での吸引気流の流速が上がる。そのことにより、整流手段により吸引気流を吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせやすいと共に、排気口側に向かって上がる流速に伴って増す吸引気流の回転力により、巻き上げられた塵埃が吸込ノズル内面側に押し付けられるため、吸込ノズル内面の粘着層に塵埃を確実に捕捉させることが可能になる。【００２２】
第５の発明によると、気体流路が円錐台形状に形成されているため、その気体流路が三角錐台形状や四角錐台形状などの他の形状に形成されている場合に比べて、整流手段により乱流を発生させることなく吸引気流を吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせやすく、吸込ノズル内面の粘着層に塵埃をより一層確実に捕捉させることが可能になる。【００２３】
第６の発明によると、シリコーン系粘着材又はアクリル系粘着材は一般的な粘着材であるため、例えば両面テープの貼着や刷毛による塗布などにより吸込ノズル内面に粘着層を簡易に設けることが可能である。【００２４】
第７の発明によると、被処理体の表面に付着した塵埃が吸引気流により離脱して吸込ノズル内面の粘着層に捕捉されるため、吸込ノズルにより吸い込んだ塵埃を収容する塵埃収容部が不要になる。したがって、塵埃除去装置の構成を簡略化することが可能である。【００２５】
さらに、吸引除去した塵埃は吸込ノズルの内部に捕集されるので、吸込ノズルや粘着層の交換により塵埃除去装置のメンテナンスを簡易に行うことが可能になる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、吸込ノズル内面の少なくとも一部に塵埃を捕捉するための粘着層が設けられているので、小さな吸引力でも被処理体表面における塵埃の除去性能を向上させることができる。その結果、装置コストの上昇を抑えながらも、被処理体表面の塵埃を良好に除去できて、塵埃残留による製品不良の発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】図１は、実施形態の塵埃除去装置を概略的に示す斜視図である。
【図２】図２は、大面積の被処理体に対する塵埃除去処理を概略的に示す斜視図である。
【図３】図３は、小面積の被処理体に対する塵埃除去処理を概略的に示す斜視図である。
【図４】図４は、変形例１の吸込ノズルを概略的に示す斜視図である。
【図５】図５は、変形例２の吸込ノズルを概略的に示す斜視図である。
【図６】図６は、変形例の塵埃除去装置を概略的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２９】
《発明の実施形態》
図１は、本発明の実施形態に係る塵埃除去装置Ａを概略的に示す斜視図である。なお、図１では、塵埃除去装置Ａにおける清掃ノズル１０の吸込口１１ａよりも大面積の被処理体１を保持ステージ２３上に載置した場合を図示している。
【００３０】
本実施形態の塵埃除去装置Ａは、例えば、液晶表示パネル、ガラス基板、ウェハなどの半導体基板、又はチップなどの被処理体の表面に付着したパーティクルなどの塵埃を除去するために用いられる。
【００３１】
＜塵埃除去装置Ａの概略構成＞
塵埃除去装置Ａは、図１に示すように、被処理体１の表面に付着した塵埃を先端から吸い込む吸込ノズル１１を有する清掃ノズル１０と、吸込ノズル１１の後端に排気管（配管）２０を介して接続された負圧手段である真空ポンプ２２と、被処理体１を保持する保持ステージ２３とを備えている。
【００３２】
＜清掃ノズル１０の構成＞
清掃ノズル１０は、吸込ノズル１１と、吸込ノズル１１の先端側において外部側方から側壁を貫通して内部に挿入された整流手段である吹出ノズル１５とにより構成されている。
【００３３】
吸込ノズル１１は、内部に気体流路１２を有し、先端に吸込口１１ａが形成されると共に後端に排気口１１ｂが形成されており、真空ポンプ２２の駆動により生じる吸込口１１ａから吸い込まれて排気口１１ｂから排気される吸引気流によって、被処理体１表面の塵埃を離脱させるように構成されている。
【００３４】
この吸込ノズル１１は、先端から後端に向かって次第に縮径する円錐台形の筒状に形成されている。この吸込ノズル１１の形状に倣って、気体流路１２も吸込口１１ａから排気口１１ｂに向かって次第に縮径する円錐台形状に形成され、流路面積が吸引方向に向かうに連れて徐々に狭くなるように奥狭くなっている。
【００３５】
そして、吸込ノズル１１内面の吸込口１１ａ側下半部分には、塵埃を捕捉するための粘着層１３（図１中に太破線で示す）が全周に亘って設けられている。この粘着層１３は、例えば、シリコーン系粘着材又はアクリル系粘着材により構成されており、両面テープの貼着や刷毛による塗布などによって吸込ノズル１１の内面に簡易に設けることが可能である。
【００３６】
吹出ノズル１５は、内部に気体流路１６を有し、吸込ノズル１１の内部に配置された先端に気体吹出口１５ａが形成されると共に後端に気体導入口１５ｂが形成されいる。気体導入口１５ｂは、気体供給管１７を介してガスボンベなどの気体供給部１８に接続されている。気体吹出口１５ａは、気体供給部１８の駆動により気体導入口１５ｂから導入された圧縮気体（例えば、アルゴンや窒素などの不活性ガス、又は圧縮空気など）を吹き出す。この気体吹出口１５ａは、吸込ノズル１１の内周に沿う方向（つまり吸込ノズル１１の中心軸周りに吸込ノズル１１内面の曲がりに沿う方向）に臨んで、吸込ノズル１１の排気口１１ｂ側に若干傾斜しており、吹き出した圧縮気体を吸込ノズル１１内面に沿うわせるように圧縮気体吹出方向が設定されている。この吹出ノズル１５を吸込ノズル１１による吸引動作時に駆動させることにより、吸引気流を吸込ノズル１１の内面に螺旋状に沿わせることができる。
【００３７】
＜真空ポンプ２２の構成＞
真空ポンプ２２は、駆動により排気管２０と共に吸込ノズル１１の内部（気体流路１２）を負圧状態にするように構成されている。この真空ポンプ２２には、例えばメカニカルブースターポンプやロータリーポンプなどの一般的な真空ポンプを用いることが可能である。
【００３８】
＜保持ステージ２３の構成＞
保持ステージ２３は、不図示の回転移動機構、昇降移動機構及び水平移動機構を備えており、上面に載置した被処理体１を、上方に配置された清掃ノズル１０に対して相対的に移動可能に構成されている。また、保持ステージ２３の上面には、不図示の複数の吸着口が形成され、これら各吸着口に繋がる貫通孔が真空ポンプなどの真空吸引手段と接続されている。そして、保持ステージ２３は、真空吸引手段の駆動により、載置した被処理体１を吸着保持するように構成されている。
【００３９】
−塵埃除去方法−
次に、上記塵埃除去装置Ａを使用して被処理体１，２の表面に付着した塵埃を除去する方法について、図２及び図３を参照しながら、一例を挙げて説明する。図２は吸込ノズル１１の吸込口１１ａよりも大面積の被処理体１に対する塵埃除去処理、図３は吸込ノズル１１の吸込口１１ａよりも小面積の被処理体２に対する塵埃除去処理をそれぞれ概略的に示す斜視図である。なお、図２及び図３中の矢印は気流の流れる方向を示している。
【００４０】
＜吸込口１１ａよりも大面積の被処理体１に対する塵埃除去処理＞
大面積の被処理体１に対して塵埃除去処理を行う場合には、被処理体１と清掃ノズル１０とを相対的に移動させて、吸込ノズル１１の先端（吸込口１１ａ）で被処理体１の表面を走査することにより、被処理体１全面の塵埃を吸引除去する。
【００４１】
まず、搬送ロボットなどにより、図１に示すように、保持ステージ２３上に被処理体１を載置した後、この保持ステージ２３に接続された真空吸引手段を駆動させることにより、保持ステージ２３と被処理体１との間の空気を各吸着口から排出し、保持ステージ２３表面に被処理体１を吸着保持させる。
【００４２】
次いで、回転移動機構、昇降移動機構及び水平移動機構を駆動することにより、清掃ノズル１０（吸込ノズル１１）が被処理体１表面の走査開始位置に配置されるように、且つ吸込ノズル１１先端と被処理体１表面との離間距離ｈが３ｍｍ程度となるように保持ステージ２３を移動させる。
【００４３】
続いて、吸込ノズル１１の後端（排気口１１ｂ）に排気管２０を介して接続された真空ポンプ２２を駆動することにより、吸込ノズル１１の内部（気体流路１２）を負圧状態にし、外気を吸込口１１ａ内に吸い込む吸引力を発生させる。それと共に、吹出ノズル１５の後端（気体導入口１５ｂ）に気体供給管１７を介して接続された気体供給部１８を駆動することにより、吹出ノズル１５の先端（気体吹出口１５ａ）から圧縮気体を吹き出す。そのことにより、図２に示すように、吸込ノズル１１の内部での吸引気流１９がノズル内面に螺旋状に沿うように整流される。このとき、本実施形態では、気体流路１２が円錐台形状に奥狭く形成されているため、吸引気流１９が吸込口１１ａから排気口１１ｂまでの全体に亘って乱れることなく整流される。
【００４４】
このように真空ポンプ２２及び気体供給部１８をそれぞれ駆動することにより、吸込ノズル１１に発生した吸引力によって外気と共に被処理体１表面に付着した塵埃５を吸込口１１ａ内に吸い込む。吸い込まれた塵埃５は、吸引気流１９に乗って吸込ノズル１１内面に沿うように排気口１１ｂ側へ螺旋状に巻き上げられ、その途中で粘着層１３に捕捉される。
【００４５】
さらに、吸込ノズル１１に吸引動作を持続させた状態で、その吸込ノズル１１の先端が離間距離ｈを保ちつつ被処理体１の全面を走査するように、回転移動機構及び水平移動移行を駆動して保持ステージ２３を移動させることにより、被処理体１の全面に付着した塵埃５を吸引除去する。その後、保持ステージ２３の各吸着口による被処理体１の吸着を解除することにより、保持ステージ２３表面から被処理体１を分離して、該被処理体１に対する塵埃除去処理を終了する。
【００４６】
＜吸込口１１ａよりも小面積の被処理体２に対する塵埃除去処理＞
小面積の被処理体２に対して塵埃除去処理を行う場合には、被処理体２を吸込ノズル１１で覆って被処理体２表面の塵埃５を吸引除去する。
【００４７】
まず、大面積の被処理体１を塵埃除去処理する場合と同様に、保持ステージ２３の上面に被処理体２を吸着保持させる。次いで、回転移動機構、昇降移動機構及び水平移動機構を駆動することにより、図３に示すように、保持ステージ２３表面に吸込口１１ａが接触するように被処理体２に吸込ノズル１１を被せる。
【００４８】
そして、真空ポンプ２２及び気体供給部１８をそれぞれ駆動させることにより、吸込ノズル１１に吸引力を発生させると共に、その吸込ノズル１１の内部においてノズル内面に螺旋状に沿う吸引気流１９を発生させる。そのことにより、被処理体２表面に付着した塵埃５が吸引気流１９に吹き飛ばされて舞い上がり、吸引気流１９と共に排気口１１ｂ側に吸込ノズル１１内面に沿って螺旋状に巻き上げられ、その途中で粘着層１３に捕捉される。その後、大面積の被処理体１を塵埃除去処理する場合と同様に、保持ステージ２３から被処理体２を分離して、該被処理体２に対する塵埃除去処理を終了する。
【００４９】
以上のようにして、塵埃除去装置Ａにより被処理体１，２表面の塵埃５を吸引除去することができる。
【００５０】
−実施形態の効果−
したがって、この実施形態の清掃ノズル１０を備えた塵埃除去装置Ａによると、吸込ノズル１１内面の下半部分に塵埃５を捕捉するための粘着層１３が設けられていることにより、吸込口１１ａから吸引気流１９により吸い込んだ塵埃５を粘着層１３により吸込ノズル１１内面に捕捉できる。
【００５１】
特に、この実施形態では、被処理体１，２表面の塵埃５を吸い込む場合に、吹出ノズルにより、吸引気流１９が吸込ノズル１１内面に螺旋状に沿うように整流される。そのことにより、吸引気流１９が吸込口１１ａ側から排気口１１ｂ側に向かって直線状である場合は吸引気流のほんの一部しか吸込ノズル１１内面に沿わないのに対し、吸引気流１９のほとんどが吸込ノズル１１内面に沿うと共に、吸引気流１９が旋回する分だけ吸込ノズル１１内面に沿う距離が長くなる。
【００５２】
しかも、気体流路１２が円錐台形状に奥狭く形成されているため、吸込口１１ａ側（上流側）よりも排気口１１ｂ側（下流側）での吸引気流１９の流速が上がることにより、この吸引気流１９の流速に伴って増す吸引気流１９の回転力により、巻き上げられた塵埃５が吸込ノズル１１内面側に押し付けられる。
【００５３】
以上により、吸引気流１９と共に螺旋状に巻き上げられた塵埃５を吸込ノズル１１内面の粘着層に効率良く捕捉できる。したがって、小さな吸引力であっても被処理体１，２表面における塵埃５の除去性能を向上させることができる。その結果、吸引力の大きな真空ポンプを負圧手段としなくてよく、装置コストの上昇を抑えながらも、被処理体１，２表面の塵埃５を良好に除去できて、塵埃５残留による製品不良の発生を抑制できる。
【００５４】
また、吸引除去した塵埃５は吸込ノズル１１の内部に捕集されるので、吸込ノズル１１により吸い込んだ塵埃５を収容する塵埃収容部が不要であり、塵埃除去装置Ａの構成を簡略化できる。そして、吸込ノズル１１や粘着層１３の交換によって塵埃除去装置Ａのメンテナンスを簡易に行うことができる。
【００５５】
なお、本実施形態では、吸込ノズル１１内面の下半部分に粘着層１３が設けられているとしているが、本発明はこれに限定されない。図４及び図５は、それぞれ本実施形態の変形例の吸込ノズル１１を概略的に示す斜視図である。粘着層１３は、図４に示すように吸込ノズル１１内面において先端部（吸込口１１ａ側部分）と中途部とに間隔をあけて全周に亘って設けられていてもよく、図５に示すように吸込ノズル１１内面において吸込口１１ａから排気口１１ｂに母線に沿って延びる帯状に複数設けられていてもよい。また、粘着層１３は、吸込ノズル１１内面の全体に設けられていてもよい。
【００５６】
また、本実施形態では、１本の吹出ノズル１５により吸引気流１９を吸込ノズル１１内面に螺旋状に沿わせる整流手段を構成しているが、吹出ノズル１５は複数本設けられていてもよい。複数本の吹出ノズル１５で整流手段を構成すれば、吸引気流１９をより確実に吸込ノズル１１内面に螺旋状に沿わせることができ、吸引気流１９の回転力を増大させて小面積の被処理体２表面の塵埃５をより確実に吹き飛ばすことができる。
【００５７】
また、吸込ノズル１１の気体流路１２は、円錐台形状に形成されているとしたが、例えば、先端部が吸込口１１ａから排気口１１ｂ側に向かって流路径が縮径する円錐台形状に形成されると共に後端側の他部が同径の筒状に形成されているなど、一部で吸引方向に向かって流路面積が次第に狭くなるように奥狭く形成されていてもよい。そして、この場合には、気体流路１２が奥狭く形成された吸込ノズル１１部分の内面に粘着層１３が設けられ、その吸込ノズル１１部分の内面に吸引気流１９を螺旋状に沿わせる吹出ノズル１５などの整流手段が設けられていることが好ましい。このように構成されていれば、上記実施形態と同様に、被処理体１，２表面の塵埃５を、奥狭く形成された吸込ノズル１１部分の内面に沿うように吸引気流１９と共に螺旋状に巻き上げて、粘着層１３により効率良く捕捉できる。
【００５８】
またその他に、吸込ノズル１１の気体流路１２は、吸込口１１ａから排気口１１ｂまでの全体に亘る流路径が同径の筒状に形成されていてもよく、種々の形状を採用することが可能であり、吸込ノズル１１内部に吸い込んだ塵埃５が粘着層１３により捕捉されるように構成されていればよい。
【００５９】
また、本実施形態では、清掃ノズル１０に対して、保持ステージ２３に載置された被処理体１，２が保持ステージ２３の回転移動機構や昇降移動機構、水平移動機構によって移動可能であるとしたが、被処理体１，２が固定されて清掃ノズル１０が移動する、若しくは被処理体１，２及び清掃ノズル１０の双方が移動してもよく、この両方が互いに相対的に移動可能に構成されていればよい。
【００６０】
また、本実施形態では、吸込ノズル１１により吸い込んだ塵埃５を収容する塵埃収容部が設けられてない場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限られず、図６に示すように、万一吸込ノズル１１から排気管２０を介して塵埃５が吸い込まれる場合に備えて、真空ポンプ２２と排気管２０との間に塵埃収容部２１が予備的に設けられていてもよい。塵埃収容部２１は、例えば、不図示のフィルタが内部に設けられており、排気管２０が接続された導入口に対してフィルタを介する箇所に真空ポンプが接続されている。そして、この塵埃回収部２１は、吸込ノズル１１から排気管２０を介して吸い込まれた塵埃をフィルタによりろ過して内部に収容するように構成されている。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
以上説明したように、本発明は、清掃ノズル及びそれを備えた塵埃除去装置について有用であり、特に、小さな吸引力であっても被処理体表面における塵埃の除去性能を向上させることが要望される清掃ノズル及びそれを備えた塵埃除去装置に適している。
【符号の説明】
【００６２】
Ｓ    塵埃除去装置
１，２    被処理体
５    塵埃
１０    清掃ノズル
１１    吸込ノズル
１１ａ    吸込口
１１ｂ    排気口
１２    気体流路
１３    粘着層
１５    吹出ノズル（整流手段）
１５ａ    吹出口
１９    吸引気流
２０    排気管（配管）
２２    真空ポンプ（負圧手段）
２３    保持ステージ
【図１】
2011039972.tif 000003
【図２】
2011039972.tif 000004
【図３】
2011039972.tif 000005
【図４】
2011039972.tif 000006
【図５】
2011039972.tif 000007
【図６】
2011039972.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成24年3月6日(2012.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、清掃ノズル及びそれを備えた塵埃除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示パネルや半導体デバイスなどの製造においては、液晶表示パネルやガラス基板、ウェハ基板などの被処理体に成膜処理やエッチング処理を行うことから、その被処理体の表面にパーティクルなどの塵埃が付着していると、これが製品パネルや製品チップの不良の原因となる。そのため、被処理体の表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去装置が用いられている。
【０００３】
例えば、気体吸引型の塵埃除去装置として、被処理体を保持する保持ステージと、円筒状の吸込ノズルとを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この種の塵埃除去装置は、吸込ノズルの排気口が配管及び塵埃収容部などを介して真空ポンプなどの負圧手段と接続されており、この負圧手段の駆動により、被処理体に接近させた吸込ノズルの吸込口内に吸い込まれる吸引気流を発生させて、被処理体表面の塵埃を吸い込んで除去するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１５６０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のような吸引により塵埃を除去する塵埃除去装置では、被処理体表面の塵埃を浮かせて吸込ノズルから塵埃収容部にまで吸い込むために大きな吸引力が必要となる。そのため、負圧手段による吸引力が小さく十分でないと、被処理体表面における塵埃の除去性能が低くなる。しかしながら、吸引力の大きな真空ポンプを負圧手段として用いると、装置コストが高くなってしまう。
【０００６】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小さな吸引力であっても被処理体表面における塵埃の除去性能を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、本発明は、吸込ノズル内面の少なくとも一部に塵埃を捕捉するための粘着層が設けられているようにしたものである。
【０００８】
具体的には、第１から第５の発明は、内部に気体流路を有し、且つ一端に吸込口が形成されると共に他端に排気口が形成され、被処理体の表面に付着した塵埃を上記吸込口から吸い込まれて上記排気口から排気される吸引気流により離脱させる吸込ノズルを備えた清掃ノズルを対象とし、以下の解決手段を講じたものである。
【０００９】
すなわち、第１の発明は、上記吸込ノズル内面の少なくとも一部に上記塵埃を捕捉するための粘着層が設けられており、上記吸引気流を上記吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせる整流手段をさらに備えることを特徴とする。
【００１０】
第２の発明は、第１の発明の清掃ノズルにおいて、上記整流手段は、圧縮気体を吹き出す吹出口が先端に形成された吹出ノズルであり、上記吹出口の圧縮気体吹出方向の向きが、圧縮気体を上記吸込ノズル内面に沿わせるように該吸込ノズル内面に対して設定されていることを特徴とする。
【００１１】
第３の発明は、第１又は第２の発明の清掃ノズルにおいて、上記気体流路は、上記吸込口側から上記排気口側に向かって流路面積が次第に狭くなるように奥狭く形成されていることを特徴とする。
【００１２】
第４の発明は、第３の発明の清掃ノズルにおいて、上記気体流路は、上記吸込口側から上記排気口側に向かって流路径が次第に縮径する円錐台形状に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
第５の発明は、第１から第４の発明のいずれか１つの清掃ノズルにおいて、上記粘着層は、シリコーン系粘着材又はアクリル系粘着材により構成されていることを特徴とする。
【００１４】
また、第６の発明は、上記の対象とする清掃ノズルを備えた塵埃除去装置に関するものであり、第１から第５の発明のいずれか１つの清掃ノズルと、上記吸込ノズルの排気口に配管を介して接続され、駆動により上記吸込ノズルの内部を負圧状態にする負圧手段と、被処理体を保持する保持ステージとを備え、上記保持ステージに保持された被処理体に対し、上記吸込ノズルの吸込口を対応させた状態で、上記負圧手段の駆動により、上記吸込ノズルの内部を負圧状態にして吸引気流を発生させ、上記被処理体の表面に付着した塵埃を上記吸引気流により離脱させて吸込ノズル内面の粘着層に付着させて捕捉するように構成されていることを特徴とする。
【００１５】
−作用−
次に、本発明の作用について説明する。
【００１６】
第１から第５の発明によると、被処理体表面の塵埃を吸い込む場合に、整流手段により、吸引気流が吸込ノズル内面に螺旋状に沿うように整流される。そのことにより、吸引気流が吸込口側から排気口側に向かって直線状である場合は吸引気流のほんの一部しか吸込ノズル内面に沿わないのに対し、吸引気流のほとんどが吸込ノズル内面に沿うと共に、吸引気流が旋回する分だけ吸込ノズル内面に沿う距離が長くなる。これによって、被処理体から離脱した塵埃が吸引気流と共に螺旋状に巻き上げられて吸込ノズル内面の粘着層に効率良く付着し捕捉され、被処理体表面の塵埃が良好に除去される。しかも、このように吸込ノズル内で塵埃を捕捉するので、吸込ノズルから塵埃収容部にまで塵埃を吸い込む場合に比べて、大きな吸引力も必要としない。したがって、小さな吸引力であっても被処理体表面における塵埃の除去性能を向上させることが可能になる。
【００１７】
第２の発明によると、被処理体表面の塵埃を吸い込む場合に、吹出ノズルにより、吸込ノズル内面に沿わせるように圧縮気体を吹き出すことで、吸込ノズルの内部における吸引気流が吸込ノズル内面に螺旋状に沿うように整流される。したがって、このように吹出ノズルで整流手段を構成しても、吸引気流を吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせることができ、本発明の作用効果が具体的に奏される。
【００１８】
さらに、吹出ノズルで整流手段を構成する場合には、例えば吹出ノズルを吸込ノズルの外部側方から内部に挿入するなど、簡素な構成で整流手段を実現できるため、清掃ノズルの構成を簡略化できる。
【００１９】
第３の発明によると、気体流路が奥狭く形成されているため、吸込口側（上流側）よりも排気口側（下流側）での吸引気流の流速が上がる。そのことにより、整流手段により吸引気流を吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせやすいと共に、排気口側に向かって上がる流速に伴って増す吸引気流の回転力により、巻き上げられた塵埃が吸込ノズル内面側に押し付けられるため、吸込ノズル内面の粘着層に塵埃を確実に捕捉させることが可能になる。
【００２０】
第４の発明によると、気体流路が円錐台形状に形成されているため、その気体流路が三角錐台形状や四角錐台形状などの他の形状に形成されている場合に比べて、整流手段により乱流を発生させることなく吸引気流を吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせやすく、吸込ノズル内面の粘着層に塵埃をより一層確実に捕捉させることが可能になる。
【００２１】
第５の発明によると、シリコーン系粘着材又はアクリル系粘着材は一般的な粘着材であるため、例えば両面テープの貼着や刷毛による塗布などにより吸込ノズル内面に粘着層を簡易に設けることが可能である。
【００２２】
第６の発明によると、被処理体の表面に付着した塵埃が吸引気流により離脱して吸込ノズル内面の粘着層に捕捉されるため、吸込ノズルにより吸い込んだ塵埃を収容する塵埃収容部が不要になる。したがって、塵埃除去装置の構成を簡略化することが可能である。
【００２３】
さらに、吸引除去した塵埃は吸込ノズルの内部に捕集されるので、吸込ノズルや粘着層の交換により塵埃除去装置のメンテナンスを簡易に行うことが可能になる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、吸込ノズル内面の少なくとも一部に塵埃を捕捉するための粘着層が設けられており、吸引気流を吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせる整流手段を備えているので、小さな吸引力でも被処理体表面における塵埃の除去性能を向上させることができる。その結果、装置コストの上昇を抑えながらも、被処理体表面の塵埃を良好に除去できて、塵埃残留による製品不良の発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、実施形態の塵埃除去装置を概略的に示す斜視図である。
【図２】図２は、大面積の被処理体に対する塵埃除去処理を概略的に示す斜視図である。
【図３】図３は、小面積の被処理体に対する塵埃除去処理を概略的に示す斜視図である。
【図４】図４は、変形例１の吸込ノズルを概略的に示す斜視図である。
【図５】図５は、変形例２の吸込ノズルを概略的に示す斜視図である。
【図６】図６は、変形例の塵埃除去装置を概略的に示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２７】
《発明の実施形態》
図１は、本発明の実施形態に係る塵埃除去装置Ａを概略的に示す斜視図である。なお、図１では、塵埃除去装置Ａにおける清掃ノズル１０の吸込口１１ａよりも大面積の被処理体１を保持ステージ２３上に載置した場合を図示している。
【００２８】
本実施形態の塵埃除去装置Ａは、例えば、液晶表示パネル、ガラス基板、ウェハなどの半導体基板、又はチップなどの被処理体の表面に付着したパーティクルなどの塵埃を除去するために用いられる。
【００２９】
＜塵埃除去装置Ａの概略構成＞
塵埃除去装置Ａは、図１に示すように、被処理体１の表面に付着した塵埃を先端から吸い込む吸込ノズル１１を有する清掃ノズル１０と、吸込ノズル１１の後端に排気管（配管）２０を介して接続された負圧手段である真空ポンプ２２と、被処理体１を保持する保持ステージ２３とを備えている。
【００３０】
＜清掃ノズル１０の構成＞
清掃ノズル１０は、吸込ノズル１１と、吸込ノズル１１の先端側において外部側方から側壁を貫通して内部に挿入された整流手段である吹出ノズル１５とにより構成されている。
【００３１】
吸込ノズル１１は、内部に気体流路１２を有し、先端に吸込口１１ａが形成されると共に後端に排気口１１ｂが形成されており、真空ポンプ２２の駆動により生じる吸込口１１ａから吸い込まれて排気口１１ｂから排気される吸引気流によって、被処理体１表面の塵埃を離脱させるように構成されている。
【００３２】
この吸込ノズル１１は、先端から後端に向かって次第に縮径する円錐台形の筒状に形成されている。この吸込ノズル１１の形状に倣って、気体流路１２も吸込口１１ａから排気口１１ｂに向かって次第に縮径する円錐台形状に形成され、流路面積が吸引方向に向かうに連れて徐々に狭くなるように奥狭くなっている。
【００３３】
そして、吸込ノズル１１内面の吸込口１１ａ側下半部分には、塵埃を捕捉するための粘着層１３（図１中に太破線で示す）が全周に亘って設けられている。この粘着層１３は、例えば、シリコーン系粘着材又はアクリル系粘着材により構成されており、両面テープの貼着や刷毛による塗布などによって吸込ノズル１１の内面に簡易に設けることが可能である。
【００３４】
吹出ノズル１５は、内部に気体流路１６を有し、吸込ノズル１１の内部に配置された先端に気体吹出口１５ａが形成されると共に後端に気体導入口１５ｂが形成されいる。気体導入口１５ｂは、気体供給管１７を介してガスボンベなどの気体供給部１８に接続されている。気体吹出口１５ａは、気体供給部１８の駆動により気体導入口１５ｂから導入された圧縮気体（例えば、アルゴンや窒素などの不活性ガス、又は圧縮空気など）を吹き出す。この気体吹出口１５ａは、吸込ノズル１１の内周に沿う方向（つまり吸込ノズル１１の中心軸周りに吸込ノズル１１内面の曲がりに沿う方向）に臨んで、吸込ノズル１１の排気口１１ｂ側に若干傾斜しており、吹き出した圧縮気体を吸込ノズル１１内面に沿うわせるように圧縮気体吹出方向が設定されている。この吹出ノズル１５を吸込ノズル１１による吸引動作時に駆動させることにより、吸引気流を吸込ノズル１１の内面に螺旋状に沿わせることができる。
【００３５】
＜真空ポンプ２２の構成＞
真空ポンプ２２は、駆動により排気管２０と共に吸込ノズル１１の内部（気体流路１２）を負圧状態にするように構成されている。この真空ポンプ２２には、例えばメカニカルブースターポンプやロータリーポンプなどの一般的な真空ポンプを用いることが可能である。
【００３６】
＜保持ステージ２３の構成＞
保持ステージ２３は、不図示の回転移動機構、昇降移動機構及び水平移動機構を備えており、上面に載置した被処理体１を、上方に配置された清掃ノズル１０に対して相対的に移動可能に構成されている。また、保持ステージ２３の上面には、不図示の複数の吸着口が形成され、これら各吸着口に繋がる貫通孔が真空ポンプなどの真空吸引手段と接続されている。そして、保持ステージ２３は、真空吸引手段の駆動により、載置した被処理体１を吸着保持するように構成されている。
【００３７】
−塵埃除去方法−
次に、上記塵埃除去装置Ａを使用して被処理体１，２の表面に付着した塵埃を除去する方法について、図２及び図３を参照しながら、一例を挙げて説明する。図２は吸込ノズル１１の吸込口１１ａよりも大面積の被処理体１に対する塵埃除去処理、図３は吸込ノズル１１の吸込口１１ａよりも小面積の被処理体２に対する塵埃除去処理をそれぞれ概略的に示す斜視図である。なお、図２及び図３中の矢印は気流の流れる方向を示している。
【００３８】
＜吸込口１１ａよりも大面積の被処理体１に対する塵埃除去処理＞
大面積の被処理体１に対して塵埃除去処理を行う場合には、被処理体１と清掃ノズル１０とを相対的に移動させて、吸込ノズル１１の先端（吸込口１１ａ）で被処理体１の表面を走査することにより、被処理体１全面の塵埃を吸引除去する。
【００３９】
まず、搬送ロボットなどにより、図１に示すように、保持ステージ２３上に被処理体１を載置した後、この保持ステージ２３に接続された真空吸引手段を駆動させることにより、保持ステージ２３と被処理体１との間の空気を各吸着口から排出し、保持ステージ２３表面に被処理体１を吸着保持させる。
【００４０】
次いで、回転移動機構、昇降移動機構及び水平移動機構を駆動することにより、清掃ノズル１０（吸込ノズル１１）が被処理体１表面の走査開始位置に配置されるように、且つ吸込ノズル１１先端と被処理体１表面との離間距離ｈが３ｍｍ程度となるように保持ステージ２３を移動させる。
【００４１】
続いて、吸込ノズル１１の後端（排気口１１ｂ）に排気管２０を介して接続された真空ポンプ２２を駆動することにより、吸込ノズル１１の内部（気体流路１２）を負圧状態にし、外気を吸込口１１ａ内に吸い込む吸引力を発生させる。それと共に、吹出ノズル１５の後端（気体導入口１５ｂ）に気体供給管１７を介して接続された気体供給部１８を駆動することにより、吹出ノズル１５の先端（気体吹出口１５ａ）から圧縮気体を吹き出す。そのことにより、図２に示すように、吸込ノズル１１の内部での吸引気流１９がノズル内面に螺旋状に沿うように整流される。このとき、本実施形態では、気体流路１２が円錐台形状に奥狭く形成されているため、吸引気流１９が吸込口１１ａから排気口１１ｂまでの全体に亘って乱れることなく整流される。
【００４２】
このように真空ポンプ２２及び気体供給部１８をそれぞれ駆動することにより、吸込ノズル１１に発生した吸引力によって外気と共に被処理体１表面に付着した塵埃５を吸込口１１ａ内に吸い込む。吸い込まれた塵埃５は、吸引気流１９に乗って吸込ノズル１１内面に沿うように排気口１１ｂ側へ螺旋状に巻き上げられ、その途中で粘着層１３に捕捉される。
【００４３】
さらに、吸込ノズル１１に吸引動作を持続させた状態で、その吸込ノズル１１の先端が離間距離ｈを保ちつつ被処理体１の全面を走査するように、回転移動機構及び水平移動移行を駆動して保持ステージ２３を移動させることにより、被処理体１の全面に付着した塵埃５を吸引除去する。その後、保持ステージ２３の各吸着口による被処理体１の吸着を解除することにより、保持ステージ２３表面から被処理体１を分離して、該被処理体１に対する塵埃除去処理を終了する。
【００４４】
＜吸込口１１ａよりも小面積の被処理体２に対する塵埃除去処理＞
小面積の被処理体２に対して塵埃除去処理を行う場合には、被処理体２を吸込ノズル１１で覆って被処理体２表面の塵埃５を吸引除去する。
【００４５】
まず、大面積の被処理体１を塵埃除去処理する場合と同様に、保持ステージ２３の上面に被処理体２を吸着保持させる。次いで、回転移動機構、昇降移動機構及び水平移動機構を駆動することにより、図３に示すように、保持ステージ２３表面に吸込口１１ａが接触するように被処理体２に吸込ノズル１１を被せる。
【００４６】
そして、真空ポンプ２２及び気体供給部１８をそれぞれ駆動させることにより、吸込ノズル１１に吸引力を発生させると共に、その吸込ノズル１１の内部においてノズル内面に螺旋状に沿う吸引気流１９を発生させる。そのことにより、被処理体２表面に付着した塵埃５が吸引気流１９に吹き飛ばされて舞い上がり、吸引気流１９と共に排気口１１ｂ側に吸込ノズル１１内面に沿って螺旋状に巻き上げられ、その途中で粘着層１３に捕捉される。その後、大面積の被処理体１を塵埃除去処理する場合と同様に、保持ステージ２３から被処理体２を分離して、該被処理体２に対する塵埃除去処理を終了する。
【００４７】
以上のようにして、塵埃除去装置Ａにより被処理体１，２表面の塵埃５を吸引除去することができる。
【００４８】
−実施形態の効果−
したがって、この実施形態の清掃ノズル１０を備えた塵埃除去装置Ａによると、吸込ノズル１１内面の下半部分に塵埃５を捕捉するための粘着層１３が設けられていることにより、吸込口１１ａから吸引気流１９により吸い込んだ塵埃５を粘着層１３により吸込ノズル１１内面に捕捉できる。
【００４９】
特に、この実施形態では、被処理体１，２表面の塵埃５を吸い込む場合に、吹出ノズルにより、吸引気流１９が吸込ノズル１１内面に螺旋状に沿うように整流される。そのことにより、吸引気流１９が吸込口１１ａ側から排気口１１ｂ側に向かって直線状である場合は吸引気流のほんの一部しか吸込ノズル１１内面に沿わないのに対し、吸引気流１９のほとんどが吸込ノズル１１内面に沿うと共に、吸引気流１９が旋回する分だけ吸込ノズル１１内面に沿う距離が長くなる。
【００５０】
しかも、気体流路１２が円錐台形状に奥狭く形成されているため、吸込口１１ａ側（上流側）よりも排気口１１ｂ側（下流側）での吸引気流１９の流速が上がることにより、この吸引気流１９の流速に伴って増す吸引気流１９の回転力により、巻き上げられた塵埃５が吸込ノズル１１内面側に押し付けられる。
【００５１】
以上により、吸引気流１９と共に螺旋状に巻き上げられた塵埃５を吸込ノズル１１内面の粘着層に効率良く捕捉できる。したがって、小さな吸引力であっても被処理体１，２表面における塵埃５の除去性能を向上させることができる。その結果、吸引力の大きな真空ポンプを負圧手段としなくてよく、装置コストの上昇を抑えながらも、被処理体１，２表面の塵埃５を良好に除去できて、塵埃５残留による製品不良の発生を抑制できる。
【００５２】
また、吸引除去した塵埃５は吸込ノズル１１の内部に捕集されるので、吸込ノズル１１により吸い込んだ塵埃５を収容する塵埃収容部が不要であり、塵埃除去装置Ａの構成を簡略化できる。そして、吸込ノズル１１や粘着層１３の交換によって塵埃除去装置Ａのメンテナンスを簡易に行うことができる。
【００５３】
なお、本実施形態では、吸込ノズル１１内面の下半部分に粘着層１３が設けられているとしているが、本発明はこれに限定されない。図４及び図５は、それぞれ本実施形態の変形例の吸込ノズル１１を概略的に示す斜視図である。粘着層１３は、図４に示すように吸込ノズル１１内面において先端部（吸込口１１ａ側部分）と中途部とに間隔をあけて全周に亘って設けられていてもよく、図５に示すように吸込ノズル１１内面において吸込口１１ａから排気口１１ｂに母線に沿って延びる帯状に複数設けられていてもよい。また、粘着層１３は、吸込ノズル１１内面の全体に設けられていてもよい。
【００５４】
また、本実施形態では、１本の吹出ノズル１５により吸引気流１９を吸込ノズル１１内面に螺旋状に沿わせる整流手段を構成しているが、吹出ノズル１５は複数本設けられていてもよい。複数本の吹出ノズル１５で整流手段を構成すれば、吸引気流１９をより確実に吸込ノズル１１内面に螺旋状に沿わせることができ、吸引気流１９の回転力を増大させて小面積の被処理体２表面の塵埃５をより確実に吹き飛ばすことができる。
【００５５】
また、吸込ノズル１１の気体流路１２は、円錐台形状に形成されているとしたが、例えば、先端部が吸込口１１ａから排気口１１ｂ側に向かって流路径が縮径する円錐台形状に形成されると共に後端側の他部が同径の筒状に形成されているなど、一部で吸引方向に向かって流路面積が次第に狭くなるように奥狭く形成されていてもよい。そして、この場合には、気体流路１２が奥狭く形成された吸込ノズル１１部分の内面に粘着層１３が設けられ、その吸込ノズル１１部分の内面に吸引気流１９を螺旋状に沿わせる吹出ノズル１５などの整流手段が設けられていることが好ましい。このように構成されていれば、上記実施形態と同様に、被処理体１，２表面の塵埃５を、奥狭く形成された吸込ノズル１１部分の内面に沿うように吸引気流１９と共に螺旋状に巻き上げて、粘着層１３により効率良く捕捉できる。
【００５６】
またその他に、吸込ノズル１１の気体流路１２は、吸込口１１ａから排気口１１ｂまでの全体に亘る流路径が同径の筒状に形成されていてもよく、種々の形状を採用することが可能であり、吸込ノズル１１内部に吸い込んだ塵埃５が粘着層１３により捕捉されるように構成されていればよい。
【００５７】
また、本実施形態では、清掃ノズル１０に対して、保持ステージ２３に載置された被処理体１，２が保持ステージ２３の回転移動機構や昇降移動機構、水平移動機構によって移動可能であるとしたが、被処理体１，２が固定されて清掃ノズル１０が移動する、若しくは被処理体１，２及び清掃ノズル１０の双方が移動してもよく、この両方が互いに相対的に移動可能に構成されていればよい。
【００５８】
また、本実施形態では、吸込ノズル１１により吸い込んだ塵埃５を収容する塵埃収容部が設けられてない場合を例に挙げて説明したが、本発明はこれに限られず、図６に示すように、万一吸込ノズル１１から排気管２０を介して塵埃５が吸い込まれる場合に備えて、真空ポンプ２２と排気管２０との間に塵埃収容部２１が予備的に設けられていてもよい。塵埃収容部２１は、例えば、不図示のフィルタが内部に設けられており、排気管２０が接続された導入口に対してフィルタを介する箇所に真空ポンプが接続されている。そして、この塵埃回収部２１は、吸込ノズル１１から排気管２０を介して吸い込まれた塵埃をフィルタによりろ過して内部に収容するように構成されている。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
以上説明したように、本発明は、清掃ノズル及びそれを備えた塵埃除去装置について有用であり、特に、小さな吸引力であっても被処理体表面における塵埃の除去性能を向上させることが要望される清掃ノズル及びそれを備えた塵埃除去装置に適している。
【符号の説明】
【００６０】
Ｓ    塵埃除去装置
１，２    被処理体
５    塵埃
１０    清掃ノズル
１１    吸込ノズル
１１ａ    吸込口
１１ｂ    排気口
１２    気体流路
１３    粘着層
１５    吹出ノズル（整流手段）
１５ａ    吹出口
１９    吸引気流
２０    排気管（配管）
２２    真空ポンプ（負圧手段）
２３    保持ステージ
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に気体流路を有し、且つ一端に吸込口が形成されると共に他端に排気口が形成され、被処理体の表面に付着した塵埃を上記吸込口から吸い込まれて上記排気口から排気される吸引気流により離脱させる吸込ノズルを備えた清掃ノズルであって、
上記吸込ノズル内面の少なくとも一部には、上記塵埃を捕捉するための粘着層が設けられており、
上記吸引気流を上記吸込ノズル内面に螺旋状に沿わせる整流手段をさらに備える
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項２】
請求項１に記載の清掃ノズルにおいて、
上記整流手段は、圧縮気体を吹き出す吹出口が先端に形成された吹出ノズルであり、上記吹出口の圧縮気体吹出方向の向きが、圧縮気体を上記吸込ノズル内面に沿わせるように該吸込ノズル内面に対して設定されている
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の清掃ノズルにおいて、
上記気体流路は、上記吸込口側から上記排気口側に向かって流路面積が次第に狭くなるように奥狭く形成されている
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項４】
請求項３に記載の清掃ノズルにおいて、
上記気体流路は、上記吸込口側から上記排気口側に向かって流路径が次第に縮径する円錐台形状に形成されている
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の清掃ノズルにおいて、
上記粘着層は、シリコーン系粘着材又はアクリル系粘着材により構成されている
ことを特徴とする清掃ノズル。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の清掃ノズルと、
上記吸込ノズルの排気口に配管を介して接続され、駆動により上記吸込ノズルの内部を負圧状態にする負圧手段と、
被処理体を保持する保持ステージとを備え、
上記保持ステージに保持された被処理体に対し、上記吸込ノズルの吸込口を対応させた状態で、上記負圧手段の駆動により、上記吸込ノズルの内部を負圧状態にして吸引気流を発生させ、上記被処理体の表面に付着した塵埃を上記吸引気流により離脱させて吸込ノズル内面の粘着層に付着させて捕捉するように構成されている
ことを特徴とする塵埃除去装置。
【国際調査報告】
2011039972.tif 000009
2011039972.tif 000010
2011039972.tif 000011
2011039972.tif 000012