(57)【要約】  本発明に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置（１００）は、抵抗変化素子（Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２）と、２端子の電流制御素子（Ｄ１１、Ｄ１２、Ｄ２１、Ｄ２２）とを直列に接続してなる複数のメモリセル（Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２）と、複数のメモリセル（Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２）を低抵抗状態に変化させる方向の第１電流を制限する電流制限回路（１０５ｂ）と、複数のメモリセル（Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２）のうちいずれかを低抵抗状態に変化させるとき、当該メモリセルが低抵抗状態へ変化する前の第１期間において、第１電流を増加させるブースト回路（１０５ｄ）とを備える。
2011013344.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め定められた第１の極性の第１電圧が印加されると第１範囲に属する抵抗値の低抵抗状態に変化し、かつ前記第１の極性とは逆の第２の極性の第２電圧が印加されると前記第１範囲よりも高い第２範囲に属する抵抗値の高抵抗状態に変化する抵抗変化素子と、２端子の電流制御素子とを直列に接続してなる複数のメモリセルと、
互いに交差する複数の第１信号線及び複数の第２信号線と、
前記複数のメモリセルを前記複数の第１信号線と前記複数の第２信号線との交差点に配置し、各交差点に配置されたメモリセルの両端を交差する１組の前記第１信号線と前記第２信号線とにそれぞれ接続してなるメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルに前記複数の第１信号線及び前記複数の第２信号線を介して印加される両極性の電圧を発生する書き込み回路と、
前記書き込み回路から前記複数のメモリセルへ流れる電流の経路に挿入され、前記複数のメモリセルを低抵抗状態に変化させる方向の第１電流と、前記複数のメモリセルを高抵抗状態に変化させる方向の第２電流とのうち、前記第１電流のみを制限する電流制限回路と、
前記電流制限回路と並列に接続され、前記複数のメモリセルのうちいずれかを低抵抗状態に変化させるとき、当該メモリセルが低抵抗状態へ変化する前の第１期間において、前記電流の経路と電圧源とを短絡することにより前記第１電流を増加させるブースト回路と、を備える
抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項２】
前記ブースト回路は、
前記電流の経路に接続された出力端子と、
前記電圧源と前記出力端子との間に接続されたスイッチとを備え、
前記スイッチは、前記第１期間にオンする
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項３】
前記スイッチはトランジスタであり、
前記トランジスタのソース端子は前記電圧源に接続されており、
前記トランジスタのドレイン端子は前記出力端子に接続されおり、
前記トランジスタは前記第１期間にオンする
請求項２に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項４】
前記スイッチは、前記メモリセルが低抵抗状態に変化する前に、オフする
請求項２に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項５】
前記ブースト回路は、前記出力端子の電圧をフィードバックした信号を用い、前記スイッチがオンした後、前記出力端子の電圧が予め定められた電圧に達した際に、前記スイッチをオフする
請求項４に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項６】
前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、
前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、
前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、
前記第１駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、
前記第２駆動回路及び前記第３駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路と
を備え、
前記電流制限回路及び前記ブースト回路は、前記第１駆動回路と前記第１選択回路との間に挿入されている
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項７】
前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、
前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、
前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、
前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、
前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路と
を備え、
前記電流制限回路は複数の制限回路を含み、前記第１選択回路及び前記各第１信号線の間に前記複数の制限回路の各々が挿入されており、
前記ブースト回路は複数のブースト回路部を含み、前記第１選択回路及び前記各第１信号線の間に前記複数のブースト回路部の各々が挿入されている
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項８】
前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、
前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、
前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、
前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１の信号線とを接続する第１選択回路と、
前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２の信号線とを接続する第２選択回路と
を備え、
前記電流制限回路及び前記ブースト回路は、前記第３駆動回路及び前記第２選択回路の間に挿入されている
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項９】
前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、
前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、
前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、
前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、
前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路と
を備え、
前記電流制限回路は複数の制限回路を含み、前記第２選択回路及び前記各第２信号線の間に前記複数の制限回路の各々が挿入されており、
前記ブースト回路は複数のブースト回路部からなり、前記第２選択回路及び前記各第２信号線の間に前記複数のブースト回路部の各々が挿入されている
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１０】
前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記ブースト回路は、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＰ型ＭＯＳトランジスタで構成されている
請求項６又は７に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１１】
前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、
前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第４電圧に前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より大きく、前記第３電圧に前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より小さく、かつ前記第１駆動電圧以下の電圧に設定される
請求項６又は７に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１２】
前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、
前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第１駆動電圧から前記第３電圧を減じて前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より大きく、かつ前記第１駆動電圧から前記第４電圧を減じて前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より小さい電圧に設定される
請求項８に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１３】
前記電流制限回路における前記各制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記ブースト回路における前記各ブースト回路部は、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＰ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記各Ｎ型ＭＯＳトランジスタ及び前記各Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲートに選択信号が供給されることで、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は前記第１選択回路と共用される
請求項７に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１４】
前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記ブースト回路は、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＮ型ＭＯＳトランジスタで構成されている
請求項８又は９に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１５】
前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、
前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第４電圧から前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を減じた値より大きく、かつ前記第３電圧から前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を減じた値より小さい電圧に設定される
請求項６に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１６】
前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、
前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第１駆動電圧から前記第３電圧と前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値とを減じた値より大きく、前記第１の駆動電圧から、前記第４電圧と前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値とを減じた値より小さく、かつ前記第１駆動電圧の基準電圧以上の電圧に設定される
請求項８又は９に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１７】
前記電流制限回路における前記各制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記ブースト回路における前記各ブースト回路部は、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＮ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記各Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及び前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲートに選択信号が供給されることで、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は前記第２選択回路と共用される
請求項９に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１８】
前記第３抵抗値は前記第１範囲に属する最小の抵抗値であり、
前記抵抗変化素子を前記第３抵抗値に設定するときに前記メモリセルに流れる電流は、前記電流制御素子が破壊されない最大の電流以下である
請求項１１、１２、１５、又は１６に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１９】
前記第４抵抗値は前記第１範囲に属する最大の抵抗値であり、
読み出し回路を用いて前記低抵抗状態と前記高抵抗状態とが判別可能であるような最大の抵抗値である
請求項１１、１２、１５、又は１６に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項２０】
予め定められた第１の極性の第１電圧が印加されると第１範囲に属する抵抗値の低抵抗状態に変化しかつ前記極性とは逆の第２の極性の第２電圧が印加されると前記第１範囲よりも高い第２範囲に属する抵抗値の高抵抗状態に変化する抵抗変化素子を有する複数のメモリセルを備えた抵抗変化型不揮発性記憶装置への書き込み方法であって、
前記書き込み方法は、
前記複数のメモリセルに両極性の電圧を印加することにより、前記抵抗変化素子を前記低抵抗状態もしくは前記高抵抗状態に変化させる書き込みステップと、
前記複数のメモリセルを前記低抵抗状態に変化させる方向の第１電流と、前記複数のメモリセルを高抵抗状態に変化させる方向の第２電流とのうち、前記第１電流のみを制限する電流制限ステップと、
前記複数のメモリセルのうちいずれかを低抵抗状態に変化させるとき、当該メモリセルが低抵抗状態へ変化する前の第１期間において、前記第１電流を増加させるブーストステップと、を含む
抵抗変化型不揮発性記憶装置の書き込み方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気的信号に基づいて可逆的に抵抗値が変化する抵抗変化素子（ｖａｒｉａｂｌｅ  ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  ｅｌｅｍｅｎｔ）と電流制御素子（ｃｕｒｒｅｎｔ  ｓｔｅｅｒｉｎｇ  ｅｌｅｍｅｎｔ）とで構成されたメモリセルを有する抵抗変化型不揮発性記憶装置及びその書き込み（ｐｒｏｇｒａｍｍｉｎｇ）方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、抵抗変化素子を用いて構成されたメモリセルを有する不揮発性記憶装置の研究開発が進んでいる。抵抗変化素子とは、電気的信号によって抵抗値が可逆的に変化する性質を有し、さらにはこの抵抗値に対応したデータを、不揮発的に記憶することが可能な素子をいう。【０００３】
抵抗変化素子を用いた不揮発性記憶装置として、立体交差するように配置されたビット線とワード線との交点の位置に、トランジスタと抵抗変化素子とを直列に接続した、いわゆる１Ｔ１Ｒ型と呼ばれるメモリセルをマトリクス状にアレイ配置した不揮発性記憶装置が一般的に知られている。また、さらなる高集積化を目指して、立体交差するように配置されたビット線とワード線との交点の位置に、電流制御素子として機能するダイオード素子と、抵抗変化素子とを直列に接続した、いわゆる１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリと呼ばれるメモリセルをマトリクス状にアレイ配置した不揮発性記憶装置や、１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリのメモリセルを多層に積層した不揮発性記憶装置も知られている。【０００４】
特許文献１では、希土類酸化膜等のアモルファス薄膜を抵抗変化素子として用いた１Ｔ１Ｒ型メモリセルで構成された不揮発性記憶装置が示されている。【０００５】
図５４は、その中で示されている不揮発性記憶装置のメモリセルの回路図である。【０００６】
メモリセル１００１は、トランジスタ１００２と抵抗変化素子１００３とを電気的に直列に接続して形成されている。【０００７】
ここでは、抵抗変化素子１００３に用いる材料として、希土類酸化膜等のアモルファス薄膜が開示されており、電極材料として、銅、銀、亜鉛が開示されている。【０００８】
図５５は、その中で示されている不揮発性記憶装置のメモリセルに使用されている抵抗変化素子１００３の、電圧−電流変化を示す図である。書き込み時には、図５４のＶ１、Ｖ２間に電位差を与えることにより、抵抗変化素子１００３に＋１．１Ｘ［Ｖ］以上の電圧、及び微小な電流を印加し、抵抗変化素子が高抵抗状態から低抵抗状態へと変化する。消去時には、書き込み時と逆極性の電圧を与えることにより、抵抗変化素子１００３に−１．１Ｘ［Ｖ］の電圧、−１．５Ｙ［Ａ］の電流を印加し、抵抗変化素子が低抵抗状態から高抵抗状態へと変化する。【０００９】
特許文献１では、書き込み時において、図５４のトランジスタ１００２のゲート電圧を制御する等の方法で、トランジスタ１００２のオン抵抗値を変化させ、抵抗変化素子１００３が低抵抗化するときの電流値を制御することによって、低抵抗化した後の抵抗変化素子１００３の抵抗値を制御できること、その原理を多値メモリに応用することが開示されている。【００１０】
特許文献２では、ペロブスカイト型結晶構造の材料を抵抗変化素子として用い、バリスタを双方向ダイオード素子として用いた、１Ｄ１Ｒ型クロスポイントのメモリセルで構成された不揮発性記憶装置が示されている。【００１１】
図５６は、その中で示されている不揮発性記憶装置１２００のメモリセルアレイの模式図である。メモリセル１２８０は、ダイオード素子１２７０と抵抗変化素子１２６０とを電気的に直列に接続して形成されている。１２１０はビット線、１２２０はワード線である。【００１２】
抵抗変化素子１２６０は、電圧印加によって抵抗値が変化する抵抗変化層１２３０を、上部電極１２４０と下部電極１２５０との間に挟持してなる。【００１３】
図５７は、ダイオード素子１２７０の電圧−電流特性である。図５７に示す通り、ダイオード素子は双方向性を有し、閾値電圧Ｖｔｈ以上の電圧で急激に電流が増加する非線形、かつ対称な電圧−電流特性を持つ。【００１４】
ここでは、抵抗変化層１２３０に用いる材料として、マンガン、チタン、ジルコニア、高温超伝導材料、Ｌａ又はＰｒの希土類やＬａとＰｒの混晶とＣａやＳｒのアルカリ土類金属やＣａとＳｒの混晶とＭｎＯ3を組み合わせたマンガン酸化物、Ｐｒ1-xＣａxＭｎＯ3（ｘ＝０．３、０．５）が開示され、上部電極１２４０及び下部電極１２５０に用いる材料として、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｐｈ、Ｐｄ各単体、及び合金、Ｉｒ、Ｒｕ等の酸化物導電体、ＳＲＯ、ＹＢＣＯが開示されている。ダイオード素子に用いる材料、デバイスとしては、酸化亜鉛と微量の酸化ビスマス等の金属酸化物を焼結したＺｎＯバリスタや、ＳｒＴｉＯ3バリスタが開示されている。【００１５】
そして、書き込み時において、選択ビット線にＶｐｐ、非選択ビット線に１／２Ｖｐｐ、選択ワード線に０Ｖ、非選択ワード線に１／２Ｖｐｐを印加し、消去時において、選択ワード線にＶｐｐ、非選択ワード線に１／２Ｖｐｐ、選択ビット線に０Ｖ、非選択ビット線に１／２Ｖｐｐを印加することが示されている。【００１６】
このように特許文献２では、１Ｄ１Ｒクロスポイント型メモリセルにおいて、ダイオードとして双方向に電流を流すことのできる非線形素子、例えばバリスタを用いることで、書き換え時に双方向に必要な電流を流すことができ、さらには非選択線に与える電位１／２Ｖｐｐが、非線形素子の閾値電圧Ｖｔｈより低くなるようにこの閾値電圧Ｖｔｈを最適化することで、非選択セルへの漏れ電流の問題が解消され、メモリセルアレイのアレイサイズを大きくでき、高集積化を図れることが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２００５−２３５３６０号公報（図１、図２）
【特許文献２】特開２００６−２０３０９８号公報（図２、図４）
【特許文献３】国際公開第２００９／０５０８３３号
【特許文献４】国際公開第２００８／０５９７０１号
【特許文献５】国際公開第２００８／１４９４８４号
【特許文献６】国際公開第２０１０／００４７０５号
【特許文献７】特開２０１０−２１３８１号公報
【特許文献８】国際公開第２００８／１１７４９４号
【特許文献９】国際公開第２０１０／００４６７５号
【非特許文献】
【００１８】
【非特許文献１】「ＣＲＣ  ＨＡＮＤＢＯＯＫ  ｏｆ  ＣＨＥＭＩＳＴＲＹ  ａｎｄ  ＰＨＹＳＩＣＳ，ＤＡＶＩＤ  Ｒ．ＬＩＤＥ  Ｅｄｉｔｏｒ−ｉｎ−ｃｈｉｆ，８４ｔｈ  Ｅｄｉｔｉｏｎ  ２００３−２００４，ＣＲＣ  ＰＲＥＳＳ」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本願発明者らは、抵抗変化型不揮発性記憶装置の１つとして、酸素不足型の遷移金属酸化物を主たる抵抗変化層材料とする１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリのメモリセルで構成された抵抗変化型不揮発性記憶装置を検討している。【００２０】
ここで、酸素不足型の酸化物とは、酸素が化学量論的組成（ｓｔｏｉｃｈｉｏｍｅｔｒｙ）から不足した酸化物をいう。遷移金属の１つであるタンタルの例で言えば、化学量論的な組成を有する酸化物としてＴａ2Ｏ5がある。このＴａ2Ｏ5では、酸素がタンタルの２．５倍含まれており、酸素含有率で表現すると、７１．４％である。この酸素含有率７１．４％よりも酸素含有率が低くなった状態の酸化物、即ちＴａＯxと表現したとき、０＜ｘ＜２．５を満足する非化学量論的な組成を有するＴａ酸化物を、酸素不足型のＴａ酸化物と呼ぶ。通常、多くの遷移金属酸化物において、化学量論的組成の酸化物は絶縁体であるが、酸素不足型の酸化物は半導体あるいは導体の特性を示す。【００２１】
課題を説明するための準備として、酸素不足型のＴａ酸化物を抵抗変化層とする抵抗変化素子について、測定で得られたいくつかの特性を説明する。【００２２】
図１は、測定に用いた抵抗変化素子の基本構造を示す模式図である。抵抗変化層３３０２に酸素不足型のＴａ酸化物を用い、これをＰｔで構成される下部電極３３０１と、同じくＰｔで構成される上部電極３３０３でサンドイッチしたような上下対称な構造とした。【００２３】
以下、この不揮発性素子を素子Ａと呼ぶ。なお、素子の名称と電極材料の関係は、実施形態で説明する素子も含めて、表１に示した。【００２４】
【表１】
2011013344.tif 000003
【００２５】
図２は、この素子Ａの抵抗変化の様子の一例を示す電流−電圧のヒステリシス特性を示すグラフであり、下部電極３３０１を基準にしたときの上部電極３３０３の電圧を横軸に表し、素子Ａに流れる電流値を縦軸に表している。【００２６】
図２において、最初、抵抗変化素子が低抵抗状態の電圧０ＶのＯ点にあるとする。下部電極３３０１を基準に上部電極３３０３に正電圧を印加していくと、電流はほぼ電圧に比例して増加し、Ａ点で示す正電圧を超えると急激に電流は減少し、Ｄ点に至る。即ち低抵抗状態から高抵抗状態へ変化（高抵抗化）している様子を示している。【００２７】
一方、高抵抗状態のＯ点において、下部電極３３０１を基準に上部電極３３０３に負電圧（上部電極３３０３を基準に下部電極３３０１に正電圧を印加することと等価）を印加していくと、Ｂ点で示す負電圧を超えると急激に電流は増加する。即ち高抵抗状態から低抵抗状態へ変化（低抵抗化）している様子を示している。なお図２のＣ点で示す状態の最終的に到達する低抵抗値は、特許文献１で開示されている現象と同様に、低抵抗化時（図２のＣ点の状態にあるときに相当する時）に流す電流値に依存して決まる現象も確認されている。【００２８】
また、図２に示す抵抗変化特性において、Ｃ点で示す低抵抗化時の到達点と、Ａ点で示す高抵抗化の開始点は、概ね対称な関係になる特徴がある。即ちＣ点に対応する低抵抗化点で、所定の値に制御された電流（Ｃ点において、約−１５ｍＡ）を印加することで所望の低抵抗値が得られ、一方高抵抗化するときは、Ａ点に相当する電圧において上記以上の電流能力で印加すれば、安定な抵抗変化動作を実現できることがわかる。【００２９】
ところで、本願発明者らは、検討を進める中で、１つの方向の抵抗変化（低抵抗化又は高抵抗化）を安定的に生ぜしめる電圧印加方向（駆動極性）は必ずしも一様ではなく、上下電極にＰｔを用い、抵抗変化層に酸素不足型のＴａ酸化物を用いて同一材料で作製した抵抗変化素子の中でも、駆動極性が異なるものがあることを見出した。【００３０】
例えば、ある抵抗変化素子は、下部電極３３０１よりも上部電極３３０３が高い電圧を正として、上下の電極間に＋２．０Ｖ、１００ｎｓのパルス電圧を印加することで低抵抗化し、−２．６Ｖ、１００ｎｓのパルス電圧を印加することで高抵抗化することが確認された。【００３１】
また、他の抵抗変化素子は、下部電極３３０１よりも上部電極３３０３が高い電圧を正として、上下の電極間に−２．０Ｖ、１００ｎｓのパルス電圧を印加することで低抵抗化し、＋２．７Ｖ、１００ｎｓのパルス電圧を印加することで高抵抗化することが確認された。【００３２】
図３Ａ及び図３Ｂは、これらの抵抗変化素子について、低抵抗化を引き起こすパルス電圧と高抵抗化を引き起こすパルス電圧とを交互に印加し続けたときの、その都度の抵抗値を表したグラフである。横軸は加えた電気的なパルスの数を表し、縦軸は抵抗値を表している。【００３３】
図３Ａに示されるように、ある抵抗変化素子は、最初、約３３ｋΩの高抵抗状態にあり、＋２．０Ｖのパルス電圧の印加で約５００Ωの低抵抗状態に変化し、次に−２．６Ｖのパルス電圧の印加で約４０ｋΩの高抵抗状態に変化した後、下部電極３３０１に対し上部電極３３０３に正のパルス電圧の印加による低抵抗化と、下部電極３３０１に対し上部電極３３０３に負のパルス電圧の印加による高抵抗化とを繰り返す。【００３４】
この抵抗変化の方向と印加電圧の極性との関係を、便宜的にＡモードと呼ぶ。【００３５】
図３Ｂに示されるように、別の抵抗変化素子は、最初、約４２ｋΩの高抵抗状態にあり、−２．０Ｖのパルス電圧の印加で約６００Ωの低抵抗状態に変化し、次に＋２．７Ｖのパルス電圧の印加で約４０ｋΩの高抵抗状態に変化した後、下部電極３３０１に対し上部電極３３０３に負のパルス電圧の印加による低抵抗化と、下部電極３３０１に対し上部電極３３０３に正のパルス電圧の印加による高抵抗化とを繰り返す。【００３６】
この抵抗変化の方向と印加電圧の極性との関係を、便宜的にＢモードと呼ぶ。図２に示した電圧−電流ヒステリシス特性は、このＢモードに対応している。【００３７】
なお、上述のパルス電圧値は、パルス発生器の設定出力電圧値を指しており、抵抗変化素子の両端間に印加されている実効的な電圧値は、測定系を通じた電圧降下のためこれより小さな電圧値と考えられる。【００３８】
このような結果が得られた素子Ａにおいて、上部電極３３０３と下部電極３３０１はいずれもＰｔからなり、それらに挟まれた酸素不足型のＴａ酸化物で構成される抵抗変化層３３０２は、電極に対して電気的には上下対称な関係である。【００３９】
このため、抵抗変化特性としてＡモード及びＢモードのいずれが出現するかは必ずしも自明ではなく、経験則や実証的な測定結果に基づいていた。そしてこれらの現象は、抵抗変化のメカニズムにおいて解明されていない何らかの異方性要因により定まっていると予想される。【００４０】
ところでバイポーラ型の抵抗変化素子を用いた１Ｄ１Ｒ型クロスポイント型メモリの書込み動作は、トランジスタで構成された１Ｔ１Ｒ型メモリの場合と異なり、特許文献２でも示されているように、書き込みのため選択されるメモリセルと、それ以外の非選択メモリセルとの区別が、メモリセルの両端にかかる電圧の差異で行われる。【００４１】
また、抵抗変化素子に設定される低抵抗値は、低抵抗化時に流す電流量で決まることから、低抵抗化する方向、例えばワード線側を基準にしてビット線側に正の電圧を印加し、所望の低抵抗値設定に相当する電流量を流す駆動回路（以下、ＬＲ化駆動回路と称す）をビット線駆動回路として構成すればよい。また高抵抗化は、抵抗変化素子の電圧−電流特性で低抵抗化と比べて概ね対称な電圧、電流で変化することから、低抵抗化方向とは逆の向きに、例えばビット線側を基準にしてワード線側に正の電圧を印加でき、かつ少なくともＬＲ化時以上の電流量を流すことができる駆動回路（以下、ＨＲ化駆動回路と称す）をワード線駆動回路として構成すればよい。また非選択メモリセルは、これらの電圧を印加しても電流が流れないような閾値電圧Ｖｔｈを有する電流制御素子で構成することが考えられる。【００４２】
しかしながら、抵抗変化素子の変化方向と印加電圧の極性との関係であるＡモード又はＢモードが必ずしも一律ではない場合、次の課題が考えられる。【００４３】
第１の課題は、Ａモード、Ｂモードの出現が想定とは逆になった場合、抵抗変化素子に所望の抵抗値を設定できないことである。【００４４】
Ａモード、Ｂモードの出現が想定とは逆になると、低抵抗化書き込みは本来の電流駆動能力より高いＨＲ化駆動回路で行うため、抵抗値は想定より、より低く設定されてしまう。また高抵抗化書き込みは、本来の駆動能力より低いＬＲ化駆動回路で行うことになる。このため、想定よりさらに低い抵抗値に設定された抵抗変化素子を高抵抗化する必要があるが、それに必要な電流量が不足し、安定した抵抗変化動作ができないという課題が生じる。【００４５】
このような場合には、高抵抗化に際してより高い電圧を印加して電流を供給することにより高抵抗化動作を行い、安定した抵抗変化動作を行うことも考えられる。しかし所望の抵抗値とは異なる抵抗値に書き込まれるため、読み出し性能を一律にできず、その結果安定した性能の製品を提供できない課題が生じる。また、高い電圧が必要となるため、低電圧化を阻害する課題や、後述の第２の課題にも繋がる。【００４６】
また、ＡモードとＢモードの両方が出現する可能性を想定して、ＬＲ化駆動回路とＨＲ化駆動回路の両方をワード線駆動回路とビット線駆動回路の両方に用意し、ＡモードとＢモードの出現状態に応じて切り替える方法が考えられるが、その状態に応じて設定を切り替える繁雑さや、チップ面積の増大に繋がるという課題が生じる。【００４７】
第２の課題は、メモリセル、特に電流制御素子の信頼性に関係する課題である。特許文献２では１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリに用いられる電流制御素子として、ＺｎＯバリスタやＳｒＴｉＯ3バリスタといったダイオードを用いることで、所定の電流を駆動できることが開示されている。本発明者らは、半導体プロセスとより親和性のある材質の電流制御素子として、後述のＳｉＮ系の材料でダイオードを構成する研究を進めている。【００４８】
ダイオード素子は一般的に、印加電圧に対し、非線形な電流特性を有し、所定の閾値電圧Ｖｔｈ以上で急激に電流が増加する特性をもつ。この閾値電圧Ｖｔｈの設定を制御できること、及び閾値電圧Ｖｔｈ以上の電圧でいかに多くの電流を流せるかということが、高集積化や低電圧化に重要である。反面、電流密度の増大は熱的要因によるダイオード性能の劣化に繋がるため、必要以上の電流は流さない構成にすることが信頼性の観点から重要である。【００４９】
ＡモードとＢモードが想定とは逆になった場合、第１の課題で説明した通り、高抵抗化に際してより高い電圧を印加してより多くの電流を供給することで、高抵抗化動作は可能であるが、ダイオード特性を劣化させる可能性を有するという課題がある。【００５０】
第３の課題は、書き込み速度が低下することである。ここで、上記第１及び第２の課題は、メモリセルを低抵抗状態に変化させる方向の電流を制限する電流制限回路を設け、低抵抗化書き込みを、電流制限回路を介して行うことにより解決される。しかしながら、電流制限回路を介して低抵抗化書き込みを行う場合、書き込み時の電流が制限されるため、書き込み速度が低下するという別の課題が生じる。【００５１】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、抵抗変化素子を用いた１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリの抵抗変化型不揮発性記憶装置において、抵抗変化素子の抵抗変化特性のＡモード及びＢモードの出現を制御可能とし、駆動回路とメモリセルとの接続関係を特定することにより、抵抗変化素子に所望の抵抗値を設定でき、安定した抵抗変化ができる制御技術を提供するとともに、電流制御素子の信頼性を高め、かつ書き込み速度の低下が抑制可能な抵抗変化型不揮発性記憶装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００５２】
上記目的を達成するために、本発明の一形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置は、予め定められた第１の極性の第１電圧が印加されると第１範囲に属する抵抗値の低抵抗状態に変化し、かつ前記第１の極性とは逆の第２の極性の第２電圧が印加されると前記第１範囲よりも高い第２範囲に属する抵抗値の高抵抗状態に変化する抵抗変化素子と、２端子の電流制御素子とを直列に接続してなる複数のメモリセルと、互いに交差する複数の第１信号線及び複数の第２信号線と、前記複数のメモリセルを前記複数の第１信号線と前記複数の第２信号線との交差点に配置し、各交差点に配置されたメモリセルの両端を交差する１組の前記第１信号線と前記第２信号線とにそれぞれ接続してなるメモリセルアレイと、前記複数のメモリセルに前記複数の第１信号線及び前記複数の第２信号線を介して印加される両極性の電圧を発生する書き込み回路と、前記書き込み回路から前記複数のメモリセルへ流れる電流の経路に挿入され、前記複数のメモリセルを低抵抗状態に変化させる方向の第１電流と、前記複数のメモリセルを高抵抗状態に変化させる方向の第２電流とのうち、前記第１電流のみを制限する電流制限回路と、前記電流制限回路と並列に接続され、前記複数のメモリセルのうちいずれかを低抵抗状態に変化させるとき、当該メモリセルが低抵抗状態へ変化する前の第１期間において、前記電流の経路と電圧源とを短絡することにより前記第１電流を増加させるブースト回路と、を備える。【００５３】
このような構成によれば、複数の第１信号線及び複数の第２信号線を、例えば、それぞれ複数のビット線及び複数のワード線として想定し、ワード線を基準にしてビット線に正の電圧が印加されることで抵抗変化素子が上記低抵抗状態に変化し、ビット線を基準にしてワード線に正の電圧が印加されることで抵抗変化素子が上記高抵抗状態に変化するように、各メモリセルを構成することができる。【００５４】
このようにして、複数のメモリセルを低抵抗状態に変化させる電流の方向を固定した上で、固定された方向の電流を電流制限回路にて制限することで、低抵抗状態に変化させるときは、高抵抗状態に変化させるときよりも少ない電流を供給することによって、想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止できる。【００５５】
ここで、電流制限回路によるメモリセルの低抵抗化時の電流制限は、抵抗変化素子が低抵抗状態に変化を開始する時点で行われておればよい。よって、低抵抗化書き込み電流を電流制限回路により制限した上で、低抵抗化書き込みを開始してから抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの間に、電流を増大させるブースト回路をあわせて用いることにより、電流制限回路のみを用いて書き込みを行う場合に低下する書き込み速度を、向上させることができる。【００５６】
その結果、抵抗変化素子にばらつきが少なく、所望の抵抗値を設定することが可能となり、また、電流制御素子の信頼性低下、破壊を防止することができ、かつ書き込み速度の低下を抑制することができる。【００５７】
また、前記ブースト回路は、前記電流の経路に接続された出力端子と、前記電圧源と前記出力端子との間に接続されたスイッチとを備え、前記スイッチは、前記第１期間にオンしてもよい。【００５８】
また、前記スイッチはトランジスタであり、前記トランジスタのソース端子は前記電圧源に接続されており、前記トランジスタのドレイン端子は前記出力端子に接続されおり、前記トランジスタは前記第１期間にオンしてもよい。【００５９】
この構成によれば、ブースト回路を構成するトランジスタのソースが電圧源に接続されるので、当該ブースト回路の電流駆動能力を向上できる。【００６０】
また、前記スイッチは、前記メモリセルが低抵抗状態に変化する前に、オフしてもよい。【００６１】
この構成によれば、メモリセルが低抵抗状態に変化した後には、当該メモリセルに供給する電流を制限できる。【００６２】
また、前記ブースト回路は、前記出力端子の電圧をフィードバックした信号を用い、前記スイッチがオンした後、前記出力端子の電圧が予め定められた電圧に達した際に、前記スイッチをオフしてもよい。【００６３】
この構成によれば、自動的に、メモリセルが低抵抗状態になる前に、ブースト回路をオフできる。【００６４】
また、前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、前記第１駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、前記第２駆動回路及び前記第３駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路とを備え、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は、前記第１駆動回路と前記第１選択回路との間に挿入されていてもよい。【００６５】
この構成によれば、全てのメモリセルに対して、１つの電流制限回路及びブースト回路を共有できるので、回路面積の増加を抑制できる。【００６６】
また、前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路とを備え、前記電流制限回路は複数の制限回路を含み、前記第１選択回路及び前記各第１信号線の間に前記複数の制限回路の各々が挿入されており、前記ブースト回路は複数のブースト回路部を含み、前記第１選択回路及び前記各第１信号線の間に前記複数のブースト回路部の各々が挿入されていてもよい。【００６７】
この構成によれば、メモリセルに近い位置で、電流制限及びブーストの制御を行うことが可能となる。よって、低抵抗化書き込み動作を行うときに、電流制限回路及びブースト回路及びを介して充放電すべき容量負荷を低減することができるため、追随性よく電流制限及びブーストの制御を行うことが可能となる。【００６８】
また、前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１の信号線とを接続する第１選択回路と、前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２の信号線とを接続する第２選択回路とを備え、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は、前記第３駆動回路及び前記第２選択回路の間に挿入されていてもよい。【００６９】
この構成によれば、全てのメモリセルに対して、１つの電流制限回路及びブースト回路を共有できるので、回路面積の増加を抑制できる。【００７０】
また、前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路とを備え、前記電流制限回路は複数の制限回路を含み、前記第２選択回路及び前記各第２信号線の間に前記複数の制限回路の各々が挿入されており、前記ブースト回路は複数のブースト回路部からなり、前記第２選択回路及び前記各第２信号線の間に前記複数のブースト回路部の各々が挿入されていてもよい。【００７１】
この構成によれば、メモリセルに近い位置で、電流制限及びブーストの制御を行うことが可能となる。よって、低抵抗化書き込み動作を行うときに、電流制限回路及びブースト回路及びを介して充放電すべき容量負荷を低減することができるため、追随性よく電流制限及びブーストの制御を行うことが可能となる。【００７２】
また、前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記ブースト回路は、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＰ型ＭＯＳトランジスタで構成されていてもよい。【００７３】
また、前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第４電圧に前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より大きく、前記第３電圧に前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より小さく、かつ前記第１駆動電圧以下の電圧に設定されてもよい。【００７４】
また、前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第１駆動電圧から前記第３電圧を減じて前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より大きく、かつ前記第１駆動電圧から前記第４電圧を減じて前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より小さい電圧に設定されてもよい。【００７５】
また、前記電流制限回路における前記各制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記ブースト回路における前記各ブースト回路部は、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＰ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記各Ｎ型ＭＯＳトランジスタ及び前記各Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲートに選択信号が供給されることで、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は前記第１選択回路と共用されてもよい。【００７６】
この構成によれば、電流制限回路及びブースト回路を少ない素子数で実現することが可能であり、面積を削減することができる。【００７７】
また、前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記ブースト回路は、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＮ型ＭＯＳトランジスタで構成されていてもよい。【００７８】
また、前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第４電圧から前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を減じた値より大きく、かつ前記第３電圧から前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を減じた値より小さい電圧に設定されてもよい。【００７９】
また、前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第１駆動電圧から前記第３電圧と前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値とを減じた値より大きく、前記第１の駆動電圧から、前記第４電圧と前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値とを減じた値より小さく、かつ前記第１駆動電圧の基準電圧以上の電圧に設定されてもよい。【００８０】
また、前記電流制限回路における前記各制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記ブースト回路における前記各ブースト回路部は、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＮ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記各Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及び前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲートに選択信号が供給されることで、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は前記第２選択回路と共用されてもよい。【００８１】
この構成によれば、電流制限回路及びブースト回路を少ない素子数で実現することが可能となり、面積を削減することができる。【００８２】
また、前記第３抵抗値は前記第１範囲に属する最小の抵抗値であり、前記抵抗変化素子を前記第３抵抗値に設定するときに前記メモリセルに流れる電流は、前記電流制御素子が破壊されない最大の電流以下であってもよい。【００８３】
この方法によれば、電流制御素子を破壊することなく、安定に書き込みを行うことが可能となる。【００８４】
また、前記第４抵抗値は前記第１範囲に属する最大の抵抗値であり、読み出し回路を用いて前記低抵抗状態と前記高抵抗状態とが判別可能であるような最大の抵抗値であってもよい。【００８５】
この方法によれば、安定して読み出し動作を行うことが可能となる。【００８６】
なお、本発明は、このような抵抗変化型不揮発性記憶装置として実現できるだけでなく、抵抗変化型不揮発性記憶装置に含まれる特徴的な手段をステップとする抵抗変化型不揮発性記憶装置の書き込み方法として実現できる。【００８７】
また、本発明の一形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置によると、各メモリセルにおいて、抵抗変化素子の第１電極を基準にして第２電極に正の電圧を印加することで高抵抗化し、抵抗変化素子の第２電極を基準にして第１電極に正の電圧を印加することで低抵抗化するように、抵抗変化素子を構成した上で、第１電極側に電流制限回路を介して低抵抗（ＬＲ）化駆動回路を接続し、第２電極側に高抵抗（ＨＲ）化駆動回路を接続して構成される。【００８８】
一般的に、抵抗変化素子を高抵抗化させる場合、低抵抗化させる場合と比べて、低い抵抗値の状態にある抵抗変化素子に抵抗変化を起こすだけの電圧を発生させるために、より多くの駆動電流が必要となる。【００８９】
そこで、高抵抗化させるときは、抵抗変化素子の第２電極側に接続したＨＲ化駆動回路から電流を供給し、一方、低抵抗化させるときは、電流制限回路を介して、抵抗変化素子の第１電極側に接続したＬＲ化駆動回路から電流を供給し、電流制限回路を制御することにより、高抵抗化するときよりも少ない電流を供給することによって、想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止し、抵抗変化素子にばらつきが少なく、所望の抵抗値を設定することが可能となる。同様に想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止できるため、電流制御素子の信頼性低下、破壊を防止することができる。【００９０】
さらには、低抵抗化させるときに、低抵抗化書き込みを開始してから抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの間は、電流制限回路に加え、ブースト回路をあわせて用いることによって、第１信号線又は第２信号線へのプリチャージが効率よく行え、電流制限回路のみで書き込みを行う場合に生じる速度低下を改善することが可能となる。【００９１】
また、抵抗変化現象は抵抗変化層と電極材料との間の相互作用であり、抵抗変化材料だけではなく、特定の電極材料との組合せが重要となる。例えば電極として、その電極材料の標準電極電位が、抵抗変化層を構成する金属の標準電極電位より高い材料を用いる場合（例えば、電極材料として、白金（Ｐｔ）やイリジウム（Ｉｒ）などを用いる場合）は、これらの電極材料は第１電極と第２電極のうちの一方の電極だけに使用し、他方の電極はその標準電極電位が上記一方の電極の材料より低い材料（例えば、他方の電極材料として、タングステン（Ｗ）や窒化タンタル（ＴａＮ）などを用いる）で構成できることが望ましい。そのような場合においては、第１電極と抵抗変化層との界面、及び第２電極と抵抗変化層との界面のうち、標準電極電位が高い方の電極と抵抗変化層との界面付近で抵抗変化を起こす事ができ、電極と駆動回路との接続関係を、確実に決定することができる。
【発明の効果】
【００９２】
以上より、本発明は、抵抗変化素子を用いた１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリの抵抗変化型不揮発性記憶装置において、抵抗変化素子の抵抗変化特性のＡモード及びＢモードの出現を制御可能とし、駆動回路とメモリセルとの接続関係を特定することにより、抵抗変化素子に所望の抵抗値を設定でき、安定した抵抗変化ができる制御技術を提供するとともに、電流制御素子の信頼性を高め、かつ書き込み速度の低下を抑制可能な抵抗変化型不揮発性記憶装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】図１は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の基本構造を示す模式図である。
【図２】図２は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗変化における電流−電圧のヒステリシス特性の一例を示す図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係の一例を示す図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係の一例を示す図である。
【図４】図４は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子のＴａ酸化物層の組成の解析結果を示す図である。
【図５】図５は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の構成を示す断面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図７Ａ】図７Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図８Ａ】図８Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図９Ａ】図９Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１１Ａ】図１１Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１２】図１２は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ａ】図１３Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｃ】図１３Ｃは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｄ】図１３Ｄは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｅ】図１３Ｅは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｆ】図１３Ｆは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｇ】図１３Ｇは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｈ】図１３Ｈは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１４】図１４は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の電極材料種と標準電極電位の関係を示す図である。
【図１５Ａ】図１５Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の動作を説明するための断面模式図である。
【図１５Ｂ】図１５Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の動作を説明するための断面模式図である。
【図１６Ａ】図１６Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の動作を説明するための断面模式図である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の動作を説明するための断面模式図である。
【図１７】図１７は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子のＨｆ酸化物層の組成の解析結果を示す図である。
【図１８Ａ】図１８Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１８Ｂ】図１８Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ａ】図１９Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｂ】図１９Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｃ】図１９Ｃは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｄ】図１９Ｄは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｅ】図１９Ｅは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｆ】図１９Ｆは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｇ】図１９Ｇは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図２０】図２０は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の電極材料種と標準電極電位の関係を示す図である。
【図２１】図２１は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の構成図である。
【図２２】図２２は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの構成を示す断面図である。
【図２３Ａ】図２３Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る第１ＬＲ化駆動回路、第２ＨＲ化駆動回路、及び電流制限回路の実施形態を示す回路図である。
【図２３Ｂ】図２３Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る第１ＨＲ化駆動回路、及び第２ＬＲ化駆動回路の実施形態を示す回路図である。
【図２４】図２４は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの電流電圧特性を示す実測データを示す図である。
【図２５Ａ】図２５Ａは、発明の実施形態の基本構成に係る書き込み系電流経路の等価回路図である。
【図２５Ｂ】図２５Ｂは、発明の実施形態の基本構成に係る書き込み系電流経路の特性を表す図である。
【図２６】図２６は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の別の構成図である。
【図２７】図２７は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の別の構成図である。
【図２８Ａ】図２８Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る別の書き込み系電流経路の等価回路図である。
【図２８Ｂ】図２８Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る別の書き込み系電流経路の特性を表す図である。
【図２９Ａ】図２９Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る別の構成の場合の書き込み系電流経路の等価回路図である。
【図２９Ｂ】図２９Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る別の構成の場合の書き込み系電流経路の等価回路図である。
【図３０】図３０は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の別の構成図である。
【図３１Ａ】図３１Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図３１Ｂ】図３１Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図３２Ａ】図３２Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３２Ｂ】図３２Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３２Ｃ】図３２Ｃは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３２Ｄ】図３２Ｄは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３３】図３３は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの別の構成を示す断面図である。
【図３４Ａ】図３４Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３４Ｂ】図３４Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３４Ｃ】図３４Ｃは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３５】図３５は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の構成図である。
【図３６】図３６は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの構成を示す断面図である。
【図３７Ａ】図３７Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図３７Ｂ】図３７Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図３８Ａ】図３８Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３８Ｂ】図３８Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３８Ｃ】図３８Ｃは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３８Ｄ】図３８Ｄは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３９】図３９は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの別の構成を示す断面図である。
【図４０Ａ】図４０Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図４０Ｂ】図４０Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図４０Ｃ】図４０Ｃは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図４１】図４１は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の構成図である。
【図４２】図４２は、本発明の実施形態に係るブースト回路の実施形態を示す回路図である。
【図４３Ａ】図４３Ａは、本発明の比較例に係る書き込み回路の動作を示す図である。
【図４３Ｂ】図４３Ｂは、本発明の実施形態に係る書き込み回路の動作を示す図である。
【図４４】図４４は、本発明の実施形態に係るブースト回路の別の実施形態を示す回路図である。
【図４５】図４５は、本発明の実施形態に係る別の構成の書き込み回路の動作を示す図である。
【図４６】図４６は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の別の構成図である。
【図４７】図４７は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例１の構成図である。
【図４８】図４８は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２の構成図である。
【図４９】図４９は、本発明の実施形態に係るブースト回路の変形例２の回路図である。
【図５０】図５０は、本発明の実施形態に係るブースト回路の変形例２の別の回路図である。
【図５１】図５１は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２の別の構成図である。
【図５２】図５２は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２の別の構成図である。
【図５３】図５３は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図５４】図５４は、従来の抵抗変化型不揮発性記憶装置のメモリセルの回路図である。
【図５５】図５５は、従来の抵抗変化型不揮発性記憶装置の抵抗変化素子の電圧−電流特性図である。
【図５６】図５６は、従来の抵抗変化型不揮発性記憶装置のメモリセルの模式図である。
【図５７】図５７は、従来の抵抗変化型不揮発性記憶装置の非線形素子の電圧−電流特性図である。
【発明を実施するための形態】
【００９４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００９５】
本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置は、抵抗変化素子と電流制御素子とを直列に接続してなる１Ｄ１Ｒ型の複数のメモリセルを用いたクロスポイント型の不揮発性記憶装置であって、抵抗変化素子の抵抗変化特性のモードを固定するとともに、固定されるモードに応じて駆動回路の構成を最適化するものである。
【００９６】
［本発明の基礎データ］
準備として、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置の抵抗変化素子に用いられる２種類の抵抗変化材料に関する基礎的なデータを説明する。
【００９７】
これらの抵抗変化素子は、異種の材料で構成される第１と第２の電極で、それぞれ酸素不足型のタンタル酸化物（ＴａＯx、０＜ｘ＜２．５）で構成される抵抗変化層、及び酸素不足型のハフニウム酸化物（ＨｆＯy、０＜ｙ＜２．０）で構成される抵抗変化層を挟んで構成される。
【００９８】
抵抗変化層を構成する金属（Ｔａ又はＨｆ）の標準電極電位をＶｔ、第１の電極材料の標準電極電位をＶ１、第２の電極材料の標準電極電位をＶ２としたとき、Ｖ２−Ｖｔ＞０、かつＶ２−Ｖ１＞０を満足する第１の電極及び第２の電極を用いることにより、第１の電極と抵抗変化層との界面、及び第２の電極と抵抗変化層との界面のうち、第２の電極と抵抗変化層の界面近傍の抵抗変化層において抵抗変化を起こす事ができ、これらの抵抗変化素子は、可逆的に安定した書き換え特性を有する。ここで、酸素不足型のタンタル酸化物で構成される抵抗変化層の場合に、上述した標準電極電位の条件を満足することで、第２の電極と抵抗変化層との界面近傍の抵抗変化層において抵抗変化を起こすことについては、本件出願人が既に出願した特許文献３：国際公開第２００９／０５０８３３号（以下、先願関連出願と略記）に詳細に記載されている。酸素不足型のハフニウム酸化物で構成される抵抗変化層の場合についても、標準電極電位に関する条件については、上記先願関連出願に記載された考え方を同様に適用できる。
【００９９】
これらの抵抗変化素子が有している、抵抗変化特性を前述のＡモード及びＢモードのいずれか意図した一方に固定できるという特徴を、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置に利用する。以下では説明のために、上記先願関連出願の内容の一部を引用する。
【０１００】
なお、本明細書において、「抵抗変化素子」と「抵抗変化型の不揮発性記憶素子（又は、短く、不揮発性記憶素子）」とを同義で用いる。
【０１０１】
［抵抗変化層に酸素不足型のタンタル（Ｔａ）酸化物を用いた抵抗変化素子］
まず、酸素不足型のＴａ酸化物を使ったバイポーラ動作する抵抗変化型の不揮発性記憶素子に関する第１の実験について説明する。
【０１０２】
この実験では、酸素不足型のＴａ酸化物を使ったバイポーラ動作する抵抗変化型の不揮発性記憶素子を、上下のどちらかの電極近傍でのみ抵抗変化が起こりやすく構成することによって、可逆的に安定した書き換え特性が得られるかを検証した。
【０１０３】
この検証のため、抵抗変化の起きやすさが電極の材料種によって変化すると想定して、異種材料の上下電極で酸素不足型のＴａ酸化物を挟んだ構造の抵抗変化素子を作製し、抵抗変化特性を測定した。
【０１０４】
以下では、この実験の結果について説明する。
【０１０５】
なお、この検証結果を説明する前に、酸素不足型のＴａ酸化物層の形成方法や、酸素含有率の好適な範囲を説明する。
【０１０６】
その後、抵抗変化の起こりやすさが電極材料に依存するかどうかの確認を行うため、白金（Ｐｔ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）、窒化タンタル（ＴａＮ）で構成される電極でＴａＯx層を挟んだ構造を形成し、電気パルスによる抵抗変化現象の様子を調べた結果について述べる。
【０１０７】
そして最後に、動作しやすい電極材料と動作しにくい電極材料で酸素不足型のＴａ酸化物を挟み込んだ構造の抵抗変化素子の抵抗変化の測定結果について述べる。
【０１０８】
［スパッタリング時の酸素流量比とＴａ酸化物層の酸素含有率との関係］
まず、本実験における酸素不足型のＴａ酸化物層の作製条件及び酸素含有率の解析結果について述べる。
【０１０９】
酸素不足型のＴａ酸化物層は、ＴａターゲットをアルゴンＡｒとＯ2ガス雰囲気中でスパッタリングする、いわゆる、反応性スパッタリングで作製した。本実験での具体的な酸素不足型のＴａ酸化物の作製方法は次の通りである。
【０１１０】
まずスパッタリング装置内に基板を設置し、スパッタリング装置内を７×１０-4Ｐａ程度まで真空引きする。Ｔａをターゲットとして、パワーを２５０Ｗ、Ａｒガスと酸素ガスとをあわせた全ガス圧力を３．３Ｐａ、基板の設定温度を３０℃にし、スパッタリングを行った。ここでは、Ａｒガスに対するＯ2ガスの流量比を０．８％から６．７％まで変化させた。
【０１１１】
まずは、組成を調べる事が目的であるため、基板としては、Ｓｉ上にＳｉＯ2を２００ｎｍ堆積したものを用い、Ｔａ酸化物層の膜厚は約１００ｎｍになるようにスパッタリング時間を調整した。
【０１１２】
このようにして作製したＴａ酸化物層の組成をラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ法）、及びオージェ電子分光法（ＡＥＳ法）によって解析した結果を図４に示す。
【０１１３】
この図から、酸素流量比を０．８％から６．７％に変化させた場合、Ｔａ酸化物層中の酸素含有率は約３５ａｔ％（ＴａＯ0.66）から約７０ａｔ％（ＴａＯ2.3）へと変化していることが分かる。
【０１１４】
以上の結果より、Ｔａ酸化物層中の酸素含有率を酸素流量比によって制御可能である事と、Ｔａの化学量論的な酸化物であるＴａ2Ｏ5（ＴａＯ2.5）の酸素含有率７１．４ａｔ％よりも酸素が不足している、酸素不足型のＴａ酸化物が形成されている事が明らかとなった。
【０１１５】
なお、本実験では、Ｔａ酸化物層の解析にラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ）及びオージェ電子分光法（ＡＥＳ）を利用したが、蛍光Ｘ線分析法（ＸＰＳ）や電子線マイクロアナリシス法（ＥＰＭＡ）等の機器分析手法も利用可能である。
【０１１６】
［酸素不足型のＴａ酸化物層の組成と抵抗変化特性］
以上のように作製した酸素不足型のＴａ酸化物のうち、どの程度の酸素含有率を有する酸素不足型のＴａ酸化物が抵抗変化を示すのかを調べた。ここで酸素不足型のＴａ酸化物層を挟む電極の材料として用いたのは、上下の電極ともにＰｔである。
【０１１７】
上下の電極ともにＰｔを用いた場合は、上述のように、バイポーラ型の抵抗変化型の不揮発性素子としては、上電極と抵抗変化層の界面で抵抗変化が起こる場合と、下電極と抵抗変化層の界面で抵抗変化が起こる場合が発生し、安定動作と言う観点では不適当である。しかしながら、Ｐｔは後述するように、抵抗変化を非常に示しやすい電極材料であり、ある酸素含有率を有する酸素不足型のＴａ酸化物が抵抗変化を示すか否かの判定を行うには最も好適な材料である。
【０１１８】
以上のような理由から、図５のような不揮発性記憶素子５００を形成した。
【０１１９】
即ち、単結晶シリコン基板５０１上に、厚さ２００ｎｍの酸化物層５０２を熱酸化法により形成し、下部電極５０３としての厚さ１００ｎｍのＰｔ薄膜を、スパッタリング法により酸化物層５０２上に形成した。
【０１２０】
その後、Ｔａをターゲットとして、反応性スパッタリングによって酸素不足型のＴａ酸化物層５０４を形成した。本実験で検討した範囲では、上記の分析試料と同様に、酸素ガスの流量比を、０．８％から６．７％まで変化させて不揮発性記憶素子を作製した。酸素不足型のＴａ酸化物層５０４の膜厚は３０ｎｍとした。
【０１２１】
その後、酸素不足型のＴａ酸化物層５０４の上に、上部電極５０５としての厚さ１５０ｎｍのＰｔ薄膜をスパッタ法により堆積した。
【０１２２】
最後にフォトリソグラフィー工程とドライエッチング工程によって、素子領域５０６を形成した。なお、素子領域５０６は、直径が３μｍの円形パターンである。
【０１２３】
以上のように作製した不揮発性記憶素子の抵抗変化現象を測定した。その結果、図４のα点（酸素流量比約１．７％、酸素含有率約４５ａｔ％）からβ点（酸素流量比約５％、酸素含有率約６５ａｔ％）のＴａ酸化膜を使った不揮発性記憶素子では、高抵抗値が低抵抗値の５倍以上と良好であった。
【０１２４】
図６Ａ及び図６Ｂは、それぞれ、α点及びβ点の酸素含有率を有するＴａ酸化物層を使った不揮発性記憶素子についてのパルス印加回数に対する抵抗変化特性を測定した結果である。
【０１２５】
図６Ａ及び図６Ｂによれば、α点及びβ点の酸素含有率を有するＴａ酸化物層を使った素子では、共に、高抵抗値が低抵抗値の５倍以上と良好であることが判る。
【０１２６】
従って、酸素含有率が４５〜６５ａｔ％の組成範囲、即ち抵抗変化層をＴａＯxと表記した場合におけるｘの範囲が０．８≦ｘ≦１．９の範囲がより適切な抵抗変化層の範囲であると言える（酸素含有率＝４５ａｔ％がｘ＝０．８に、酸素含有率＝６５ａｔ％がｘ＝１．９にそれぞれ対応）。なおこの最適条件については、特許文献４：国際公開第２００８／０５９７０１号にて詳しく説明されている。
【０１２７】
［Ｗ、Ｔａ、ＴａＮを上下の電極材料に用いた抵抗変化素子の抵抗変化特性］
次に、抵抗変化の起こりやすさが、電極材料に依存するかどうかの確認を行うため、Ｐｔ以外の材料として、Ｗ、Ｔａ、ＴａＮから成る下部電極５０３と上部電極５０５で酸素不足型のＴａ酸化物層５０４を挟んだ構造を作製し、電気パルスによる抵抗変化の様子を調べた結果について説明する。
【０１２８】
なお、ここでも抵抗変化の起こりやすさだけを評価する目的で実験を行ったので、上下の電極材料は同一とした。また、使用した酸素不足型のＴａ酸化物の酸素含有率は、好適な酸素含有率の範囲のほぼ中間の５８ａｔ％（ＴａＯ1.38）とした。素子の形成方法は上記とほぼ同じであり、Ｐｔ、Ｗ、Ｔａ、ＴａＮのいずれもスパッタリング法によって堆積した。
【０１２９】
まず、比較のため、下部電極５０３と上部電極５０５のいずれもＰｔで構成される薄膜により形成した不揮発性記憶素子（以下、素子Ｂと表す）の抵抗変化特性について述べる。
【０１３０】
図７Ａ及び図７Ｂは、このようにして作製した素子Ｂの電気パルスによる抵抗変化の測定結果である。
【０１３１】
図７Ａは、下部電極５０３と上部電極５０５の間には、パルス幅が１００ｎｓで、下部電極５０３を基準として上部電極５０５に＋３．０Ｖと−１．５Ｖの電圧を有する電気的パルスを交互に印加した時の抵抗の測定結果である。
【０１３２】
この場合、＋３．０Ｖの電圧の電気パルスを印加する事で抵抗値は８００〜１０００Ω程度となり、−１．５Ｖの電圧の電気パルスを印加した場合は、１５０Ω程度と変化していた。即ち、上部電極５０５に下部電極５０３よりも高い電圧の電気パルスを加えた時に高抵抗化する変化するＢモードの特性を示した。
【０１３３】
また、詳細は省略するが、追加的な実験から、このときの抵抗変化は上部電極５０５の近傍で生じていることを推認する結果が得られた。
【０１３４】
次に、印加する電圧のバランスを変化させ、負の電圧を大きくした場合の結果が図７Ｂである。この場合、下部電極５０３に対して上部電極５０５に−３．０Ｖと＋１．５Ｖの電圧の電気的パルスを印加した。すると、−３．０Ｖの電気パルスを印加した時に、高抵抗化し、抵抗値は６００〜８００Ω程度となり、＋１．５Ｖの電気パルスを印加した時に低抵抗化して、抵抗値は１５０Ω程度となっている。即ち、上部電極５０５に下部電極５０３よりも高い電圧の電気パルスを加えた時に低抵抗化しており、図７Ａを測定した時と、正反対のＡモードの特性を示した。
【０１３５】
また、詳細は省略するが、追加的な実験から、このときの抵抗変化は下部電極５０３の近傍で生じていることを推認する結果が得られた。
【０１３６】
次に、下部電極５０３と上部電極５０５のいずれもＷで構成される薄膜により形成した不揮発性記憶素子（以下、素子Ｃと表す）の抵抗変化特性について述べる。
【０１３７】
図８Ａ及び図８Ｂは、このようにして作製した素子Ｃの電気パルスによる抵抗変化の測定結果である。
【０１３８】
図８Ａは、上部電極５０５の近傍での抵抗変化に起因するＢモードを発生させることを目的に、下部電極５０３を基準にして上部電極５０５に＋７Ｖと、−５Ｖを交互に印加した時の抵抗値の変化を示す。
【０１３９】
図８Ａから分かるように、パルス数が３０回程度まででは、弱いながらも、Ｂモードでの抵抗変化が観測されており、＋７Ｖの電気パルスを印加した時に高抵抗化し、−５Ｖの電気パルスを印加した時に低抵抗化している。しかしながら、パルス数が３０回を超えると、抵抗変化がほとんど観測されなくなっている。
【０１４０】
逆に下部電極５０３の近傍での抵抗変化に起因するＡモードを発生させることを目的に、上部電極５０５に＋５Ｖと、−７Ｖを交互に印加した時の抵抗値の変化を図８Ｂに示す。
【０１４１】
図８Ｂから分かるように、この場合はほとんど抵抗値の変化は観測されておらず、抵抗値は３０Ω程度で一定の値になっている。
【０１４２】
ここで図７Ａの上下の電極をＰｔで形成した素子Ｂの結果と図８Ａの結果を比較すると、Ｗを電極に使用した時、明らかに抵抗変化が起こりにくくなっているのが分かる。
【０１４３】
素子Ｂの測定結果である図７Ａでは、低抵抗状態の抵抗値は１５０Ω、高抵抗状態の抵抗値は約１０００Ωと、比率にして７倍程度の変化をしているのに対し、Ｗを電極材料に使用した素子Ｃの測定結果である図８Ａでは、大きく抵抗変化している範囲でも、高々、５０Ωと１００Ωの間で抵抗変化が起こっているだけであり、比率としては、２倍程度の変化をしているだけである。
【０１４４】
印加している電圧も、図７Ａの測定時は、＋３．０Ｖと−１．５Ｖであるのに対し、図８Ａでは、＋７Ｖと−５Ｖと非常に高い電圧を印加しているのも関わらず、ほとんど抵抗変化が見られていない。
【０１４５】
以上のように、Ｗを電極に使用した場合、電極にＰｔを使用した場合に比べて、明らかに抵抗変化が起こりにくい事がわかる。
【０１４６】
以上の結果は、酸素不足型のＴａ酸化物を抵抗変化層に用いた抵抗変化素子の動作は、使用する電極の材料に非常に強く依存する事を意味している。即ち、少なくとも、Ｐｔを電極に用いた場合は抵抗変化が起こりやすく、Ｗを電極に用いた場合、抵抗変化は起こりにくいのは明らかである。
【０１４７】
また、詳しくは説明しないが、ＴａやＴａＮを上下の電極に用いた抵抗変化素子も作製し、抵抗変化特性の測定を行った。
【０１４８】
図９Ａ及び図９Ｂは下部電極５０３と上部電極５０５のいずれにも、Ｔａを用いた素子Ｄの抵抗変化特性である。
【０１４９】
図９Ａは、上部電極５０５に＋７Ｖと−５Ｖの電気パルスを加えた場合で、図９Ｂは上部電極５０５に＋５Ｖと−７Ｖの電気パルスを加えた場合の測定結果である。いずれの場合も、ほとんど抵抗変化は起こっていない。
【０１５０】
また、図１０Ａは下部電極５０３と上部電極５０５のいずれにも、ＴａＮを用いた素子Ｅの抵抗変化特性である。図１０Ａは、上部電極５０５に＋７Ｖと−５Ｖの電気パルスを加えた場合で、図１０Ｂは上部電極５０５に＋５Ｖと−７Ｖの電気パルスを加えた場合の測定結果である。この場合も、ほとんど変化していないと言ってよい程度の抵抗変化しか起こっていない。
【０１５１】
以上のように、Ｗ以外にも抵抗変化が起こりにくい材料は存在する。
【０１５２】
［ＷとＰｔを電極に用いた抵抗変化素子の抵抗変化特性］
次に抵抗変化を起こしやすい材料であるＰｔと、抵抗変化を起こしにくい材料でかつ、プロセス安定性の高い材料であるＷで酸素不足型のＴａ酸化物を挟み込んだ形の抵抗変化素子である素子Ｆの抵抗変化特性について述べる。
【０１５３】
用意した素子は、下部電極５０３としてＷ薄膜を用い、上部電極５０５としてＰｔ薄膜を用いて作製した。Ｗ薄膜とＰｔ薄膜は、それぞれ、ＷターゲットとＰｔターゲットをＡｒガス中でスパッタリングする事で堆積した。
【０１５４】
以上のようにして作製した素子Ｆの電気パルスによる抵抗変化の様子を図１１Ａ及び図１１Ｂに示す。
【０１５５】
図１１Ａは、上部電極５０５の近傍での抵抗変化を起こさせる（Ｂモード）事を目的に、下部電極５０３を基準にして上部電極５０５に＋２．５Ｖと、−１．５Ｖを交互に印加した時の抵抗値の変化である。この場合、抵抗値は、＋２．５Ｖの電気パルスを印加した時には約６００Ωとなり、−１．５Ｖの電気パルスを印加した時に６０Ωとなって安定して変化している。
【０１５６】
一方で、下部電極５０３の近傍での抵抗変化を起こさせる（Ａモード）事を目的に、下部電極５０３を基準にして上部電極５０５に＋１．５Ｖと、−２．５Ｖを交互に印加した時の抵抗値の変化を図１１Ｂに示す。この場合は、抵抗変化は、６０Ωと１００Ωの間で抵抗変化が起こっているだけであり、Ｂモードの抵抗変化を起こさせるための電圧印加と比較して、無視できる程度の抵抗変化しか起こっていない。
【０１５７】
以上の図１１Ａ及び図１１Ｂの結果から、素子Ｆは、片側の電極近傍だけで抵抗変化を起こすバイポーラ動作する抵抗変化型の不揮発性記憶素子の理想的な動作を示している。
【０１５８】
また、ＡモードとＢモードの混ざりあいのような現象もみられなかった。
【０１５９】
例えば、図１２は、図１１Ａ及び図１１Ｂの測定結果を得た素子Ｆとは別の素子（同一基板上の異なる素子）に１０００回程度電気パルスを加えた結果を示しているが、抵抗変化現象が非常に安定して発生しているのが見て取れる。
【０１６０】
以上の事から、抵抗変化現象を起こしやすい電極と、抵抗変化現象を起こしにくい電極で抵抗変化膜を挟んだ構造を形成する事で、意図した片側の電極側で抵抗変化させることができるため安定動作し、望ましいバイポーラ動作を示す抵抗変化型の不揮発性記憶素子が作製可能である事が分かった。
【０１６１】
また、印加電圧と抵抗値の関係は、抵抗変化を起こしやすい電極に正の電圧の電気パルスを印加した時に、抵抗値が高くなり、負の電圧の電気パルスを印加した時に抵抗値が低くなるような動作を示す。
【０１６２】
［上下の電極材料種に応じた抵抗変化素子の抵抗変化特性］
次に、電極材料が相異なるいくつかの素子について抵抗変化の起こりやすさを評価した第２の実験の結果を示す。
【０１６３】
本実験の結果として、下部電極５０３をＷに固定し、上部電極５０５をＰｔ以外の相異なる材料で構成した複数の素子の抵抗変化の様子について述べる。ここで下部電極５０３をＷに固定したのは、Ｗが比較的安定した材料であり、加工も比較的容易である事による。
【０１６４】
なお、素子の作製方法は、第１の実験で説明した方法と同様であり、下部電極５０３、上部電極５０５は全てスパッタリング法によって形成した。また、抵抗変化材料である酸素不足型のＴａ酸化物もＴａ金属をＯ2とＡｒ中でスパッタリングして作製した。
【０１６５】
電極の違いに応じた抵抗変化の特性を調べるため、酸素不足型のＴａ酸化物の組成は全て同じに設定した。即ち、酸素含有率を約５８ａｔ％の酸素不足型のＴａ酸化物（ＴａＯxと表現した時、ｘは１．３８）に固定した。
【０１６６】
また、本実験では、下部電極５０３を動作しにくいＷとしたので、抵抗値の変化がほとんど生じないＡモード（上部電極に対し、下部電極に高い電圧を加えた時に高抵抗化するモード）の結果は省略し、Ｂモード（下部電極に対し、上部電極に高い電圧を加えた時に高抵抗化するモード）の結果のみを示す。Ｂモードで抵抗変化させた時の電気パルスの電圧は、素子によって若干の違いはあるが、下部電極を電圧の基準として、高抵抗化させる時の電圧は＋１．８〜＋２．０Ｖとし、低抵抗化させる時の電圧は−１．３〜−１．６Ｖとした。
【０１６７】
図１３Ａ〜図１３Ｈに測定結果をまとめる。
【０１６８】
まず、図１３Ａの上部電極にＩｒを用いた素子Ｇ、図１３Ｂの上部電極にＡｇを用いた素子Ｈ、図１３Ｃの上部電極にＣｕを用いた素子Ｉの結果を見ると、比較的安定して、大きな幅で抵抗変化が生じているのが分かる。次に、図１３Ｄの上部電極にＮｉを用いた素子Ｊ、図１３Ｈの上部電極にＴａＮを用いた素子Ｎでは、若干の抵抗変化が見られたがその変化幅が小さい。
【０１６９】
次に、図１３Ｅの上部電極にＴａを用いた素子Ｋ、図１３Ｆの上部電極にＴｉを用いた素子Ｌ、図１３Ｇが上部電極にＡｌを用いた素子Ｍでは、全く抵抗変化現象は観測されなかった。これらの材料は、本質的に抵抗変化が生じにくい性質を持っていると考えられる。
【０１７０】
以上の結果から分かる事は、酸素不足型のＴａ酸化物を用いた不揮発性記憶素子では、抵抗変化現象が生じやすい（動作しやすい）電極材料と、生じにくい（動作しにくい）電極材料とが存在すると言う事である。本実験の範囲で言えば、動作しやすい電極はＰｔ、Ｉｒ、Ａｇ、Ｃｕであり、動作しにくい電極材料はＷ、Ｎｉ、Ｔａ、Ｔｉ、Ａｌ、ＴａＮである。
【０１７１】
これらの材料の組み合わせで酸素不足型のＴａ酸化物を挟んだ構造の抵抗変化素子を形成すれば、抵抗変化モードの混ざり合いのない安定した抵抗変化が得られる。但し、図７Ａ、図１１Ｂ、図１３Ｄ、図１３Ｈを参照すると、Ｗ、Ｎｉ、ＴａＮ電極では、微弱ながらも抵抗変化は観測されている。それ故にこれらの材料を１つの電極に用い、例えば、本実験で全く抵抗変化が観測されなかった電極材料であるＴａ、Ｔｉ、Ａｌをもう１つの電極に用いた場合、微弱ながらも安定した抵抗変化が期待できる。
【０１７２】
次に、抵抗変化自体の起こるメカニズムと、抵抗変化の起こりやすさの材料依存性について若干の考察を行う。
【０１７３】
図１４は、第１の実験と第２の実験の結果をまとめたものである。横軸は電極材料、縦軸には標準電極電位をプロットしてある。図１４の○は抵抗変化が起こりやすかった事を意味し、△は変化の割合が小さいものの抵抗変化が起こった事を意味し、×は抵抗変化が起こらなかった事を意味する。なお、窒化チタン（ＴｉＮ）は第１の実験及び第２の実験では用いなかった電極材料であり、参考のために・で示している。
【０１７４】
図１４において、ＴａＮ、ＴｉＮ以外の電極材料の標準電極電位は、非特許文献１：「ＣＲＣ  ＨＡＮＤＢＯＯＫ  ｏｆ  ＣＨＥＭＩＳＴＲＹ  ａｎｄ  ＰＨＹＳＩＣＳ，ＤＡＶＩＤ  Ｒ．ＬＩＤＥ  Ｅｄｉｔｏｒ−ｉｎ−ｃｈｉｆ，８４ｔｈ  Ｅｄｉｔｉｏｎ  ２００３−２００４，ＣＲＣ  ＰＲＥＳＳ」に開示された文献値であり、ＴａＮ、ＴｉＮの標準電極電位は、発明者らが測定したデータである。
【０１７５】
発明者らは、ＴａＮ、ＴｉＮを含むいくつかの電極材料の標準電極電位を、Ｓｏｌａｒｔｒｏｎ社製の電気化学測定システムＳＩ１２８０Ｂを用いて構成した３電極系のポテンショスタットにより測定した。測定条件として、作用極に測定対象となる電極材料、対極にＰｔ電極、参照極にＡｇ／ＡｇＣｌ電極を用い、電解液には１ｗｔ％ＫＣｌ７ｍｌをＮ2バブリング下で用いた。
【０１７６】
このような条件下で作用極と対極との間の電位平衡点を探索することによって、電極材料のＡｇ／ＡｇＣｌ電極に対する電位平衡点における電位を測定した後、測定された電位に＋０．１９６Ｖを加えた値を、電極材料の標準水素電極に対する電位（即ち標準電極電位）とした。
【０１７７】
図１４を見ると、抵抗変化膜の構成元素であるＴａよりも標準電極電位が高い材料では抵抗変化が起こっており、低い材料では抵抗変化が起こりにくくなっている事が分かる。そして、標準電極電位の差が大きいほど抵抗変化が起こりやすく、差が小さくなるにつれて、抵抗変化が起こりにくくなっているのが分かる。
【０１７８】
一般に標準電極電位は、酸化のされにくさの１つの指標であり、この値が大きければ酸化されにくく、小さければ酸化されやすい事を意味する。この事から酸化のされにくさが抵抗変化現象のメカニズムに大きな役割を果たしているのではないかと推測される。
【０１７９】
以上の結果をもとに、抵抗変化のメカニズムを考える。まず。抵抗変化が起こり易い材料（標準電極電位が大きく酸化されにくい材料）によって上部電極が構成されている場合について、図１５Ａ及び図１５Ｂを使って説明する。
【０１８０】
図１５Ａのように、下部電極１４０１と、酸素不足型のＴａ酸化物層１４０２と、Ｔａよりも酸化されにくい材料によって構成されている上部電極１４０３で構成される抵抗変化素子に、下部電極１４０１に対して高い電圧を上部電極１４０３に印加した場合、酸素不足型のＴａ酸化物中の酸素原子がイオンとなって、電界によって移動し、上部電極１４０３の界面近傍に集まる。
【０１８１】
しかし、上部電極１４０３を構成する金属はＴａに比べて酸化されにくいので、酸素イオン１４０４は酸素不足型のＴａ酸化物層１４０２と上部電極１４０３の界面に滞留した状態になり、界面付近でＴａと結合し、酸素濃度の高い酸素不足型のＴａ酸化物を形成する。この事によって素子は高抵抗化する。
【０１８２】
次に、図１５Ｂのように、下部電極１４０１に高い電圧を印加した場合、酸素原子は再び酸素イオンとなって、酸素不足型のＴａ酸化物層１４０２の内部に戻ってゆく。これにより、低抵抗化が起っていると考えられる。
【０１８３】
次に、Ｔａよりも酸化されやすい材料によって上部電極が構成されている場合について説明した図が図１６Ａ及び図１６Ｂである。
【０１８４】
図１６Ａのように下部電極１５０１と、酸素不足型のＴａ酸化物層１５０２と、Ｔａよりも酸化され易い材料によって構成されている上部電極１５０３で構成される抵抗変化素子に、下部電極１５０１に対して高い電圧を上部電極１５０３に印加した場合、酸素不足型のＴａ酸化物中の酸素原子がイオンとなって電界によって移動し、上部電極１５０３の界面近傍に集まる。
【０１８５】
この場合、上部電極１５０３はＴａよりも酸化されやすいので、酸素イオン１５０４は上部電極１５０３の内部に吸いとられて、上部電極１５０３を形成している材料と結合を起こす。この場合、図１５Ａとは異なり、酸素不足型のＴａ酸化物層１５０２と上部電極１５０３の界面に高抵抗層が形成されず、さらに上部電極１５０３を構成する元素の数に対して酸素イオンの数は少ないために、抵抗値はほとんど上昇しない。
【０１８６】
逆に、図１６Ｂのように、下部電極１５０１に高い電圧を印加した場合、上部電極１５０３に吸い取られた酸素は、上部電極材との結合がより安定であるため、酸素不足型のＴａ酸化物層１５０２の中には戻りにくく、抵抗値は大きくは変化しないと考えられる。
【０１８７】
もし、図１５Ａ、図１５Ｂ、図１６Ａ及び図１６Ｂにおいて、上部電極を構成する材料の酸化のされやすさがＴａと同程度の場合、上記の２つの例の中間的な変化が生じ、微弱な抵抗変化が生じると考えられる。
【０１８８】
以上の結果から分かるように、酸素不足型のＴａ酸化物を抵抗変化膜に使用した不揮発性記憶素子では、上部電極と下部電極とで異なる標準電極電位を有する材料を用いればよい。
【０１８９】
これにより、片側の電極近傍で優勢に抵抗変化が起こって、理想的なバイポーラ型の抵抗変化を実現できる。さらに、抵抗変化モードの混ざり合いも起こらず、安定した抵抗変化動作が可能となる。
【０１９０】
より好適には、一方の電極材料には、Ｔａの標準電極電位よりも大きく、かつ差の大きな材料を用い、もう一方の電極材料には、Ｔａの標準電極電位よりも大きく差の小さな材料を用いればよい。
【０１９１】
さらにより好適には、一方の電極材料には、Ｔａの標準電極電位よりも大きな材料を用い、もう一方の電極材料には、Ｔａの標準電極電位よりも小さな材料を用いればよい。
【０１９２】
なお、第２の実験の結果としては記述していないが、下部電極及び上部電極に、それぞれＴａＮ及びＰｔを用いた抵抗変化素子について、安定した抵抗変化現象が起こったことを示す良好な実験結果が得られている。
【０１９３】
ＴａＮの標準電極電位は、発明者らの測定によれば＋０．４８ｅＶであり、Ｐｔ及びＴａの標準電極電位は、非特許文献１によればそれぞれ＋１．１８ｅＶ、−０．６ｅＶである。
【０１９４】
この例は、上部電極には、Ｔａの標準電極電位よりも大きく、かつ差の大きな材料であるＰｔを用い、下部電極には、Ｔａの標準電極電位よりも大きく差の小さな材料であるＴａＮを用いた一例である。
【０１９５】
即ち、この例では、上述の標準電極電位に関する条件を満たすＴａＮ及びＰｔを電極材料として用いたことで、第２の実験の結果として述べた作用効果が得られたと考えられる。
【０１９６】
また他の例として、下部電極及び上部電極にそれぞれＴｉＮ及びＰｔを用いてもよい。ＴｉＮの標準電極電位は、発明者らによる前述の測定によれば＋０．５５ｅＶである。したがって、ＴｉＮとＰｔとの組み合わせは、抵抗変化層にタンタル酸化物を用いた場合の標準電極電位に関する条件を満たすので、ＴｉＮ及びＰｔを電極材料として用いることで、第２の実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０１９７】
さらに他の例として、Ａｕ（金）又はＰｄを電極材料として用いてもよい。非特許文献１によればＡｕ、Ｐｄの標準電極電位はそれぞれ＋１．６９２ｅＶ、＋０．９５１ｅＶであり、Ｔａの標準電極電位−０．６ｅＶよりも高い。したがって、抵抗変化層としてタンタル酸化物を用いた場合に、抵抗変化しやすい電極材料としてＡｕ及びＰｄの一方を用い、かつ抵抗変化しにくい電極材料としてＡｕ及びＰｄの上記一方よりも標準電極電位が低い材料（例えば、標準電極電位が＋０．１ｅＶであるＷ）を用いることで、第２の実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０１９８】
なお、本実験の結果としては記述していないが、金（Ａｕ）の標準電極電位は＋１．６９２ｅＶであるので、Ｔａの標準電極電位−０．６ｅＶよりも高い。したがって、抵抗変化膜としてＴａを用いた場合に、抵抗変化しやすい電極材料としてＡｕを用いても、本実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０１９９】
また、上記のメカニズムからも明らかなように、抵抗変化を起こしやすい電極に正の電圧の電気パルスを印加した時に、抵抗値が高くなり、負の電圧の電気パルスを印加した時に抵抗値が低くなるような動作を示す。
【０２００】
［抵抗変化層に酸素不足型のハフニウム（Ｈｆ）酸化物を用いた抵抗変化素子］
次に、他の同様な例として、酸素不足型のＨｆ酸化物を抵抗変化膜として用いたバイポーラ動作する不揮発性記憶素子に関する第３の実験について説明する。
【０２０１】
第１の実験の説明と同様に、まず、酸素不足型のＨｆ酸化物層の形成方法や、酸素含有率の好適な範囲を説明する。
【０２０２】
その後、抵抗変化の起こりやすさが電極材料に依存するかどうかの確認を行うため、Ａｌ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ、Ｃｕ、Ｐｔで構成される電極でＨｆＯx層を挟んだ構造を形成し、電気パルスによる抵抗変化現象の様子を調べた結果について述べる。そして最後に、動作しやすい電極材料と動作しにくい電極材料で酸素不足型のＨｆ酸化物を挟み込んだ構造の抵抗変化素子の抵抗変化の測定結果について述べる。
【０２０３】
［スパッタリング時の酸素流量比とＨｆ酸化物層の酸素含有率との関係］
まず、本実験における酸素不足型のＨｆ酸化物層の作製条件及び酸素含有率の解析結果について述べる。
【０２０４】
酸素不足型のＨｆ酸化物層は、Ｈｆターゲットを（アルゴン）ＡｒとＯ2ガス雰囲気中でスパッタリングする、いわゆる、反応性スパッタリングで作製した。本実験での具体的な酸素不足型のＨｆ酸化物の作製方法は次の通りである。
【０２０５】
まずスパッタリング装置内に基板を設置し、スパッタリング装置内を３×１０-5Ｐａ程度まで真空引きする。Ｈｆをターゲットとして、パワーを３００Ｗ、アルゴンガスと酸素ガスとをあわせた全ガス圧力を０．９Ｐａ、基板の設定温度を３０℃にし、スパッタリングを行った。ここでは、Ａｒガスに対するＯ2ガスの流量比を２％から４．２％まで変化させた。
【０２０６】
まずは、組成を調べる事が目的であるため、基板としては、Ｓｉ上にＳｉＯ2を２００ｎｍ堆積したものを用い、Ｈｆ酸化物層の膜厚は約５０ｎｍになるようにスパッタリング時間を調整した。
【０２０７】
このようにして作製したＨｆ酸化物層の組成をラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ法）によって解析した結果を図１７に示す。
【０２０８】
この図から、酸素流量比を２％から４．２％に変化させた場合、Ｈｆ酸化物層中の酸素含有率は約３７．７ａｔ％（ＨｆＯ0.6）から約６９．４ａｔ％（ＨｆＯ2.3）へと変化していることが分かる。
【０２０９】
以上の結果より、Ｈｆ酸化物層中の酸素含有率を酸素流量比によって制御可能である事と、Ｈｆの化学量論的な酸化物であるＨｆＯ2の酸素含有率６６．７ａｔ％よりも酸素が不足している、酸素不足型のＨｆ酸化物から酸素が過剰に含有されていると思われるＨｆ酸化物までが形成されている事が明らかとなった。
【０２１０】
なお、本実験では、Ｈｆ酸化物層の解析にラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ）を利用したが、オージェ電子分光法（ＡＥＳ）、蛍光Ｘ線分析法（ＸＰＳ）、電子線マイクロアナリシス法（ＥＰＭＡ）等の機器分析手法も利用可能である。
【０２１１】
［酸素不足型のＨｆ酸化物層の抵抗変化特性］
以上のように作製した酸素不足型のＨｆ酸化物のうち、どの程度の酸素含有率を有する酸素不足型のＨｆ酸化物が抵抗変化を示すのかを調べた。ここで酸素不足型のＨｆ酸化物層を挟む電極の材料として用いたのは、上下の電極ともにＰｔである。
【０２１２】
上下にＰｔを用いた場合は、上述のように、バイポーラ型の抵抗変化型の不揮発性素子としては不適当である。しかしながら、Ｐｔは後述するように、抵抗変化を非常に示しやすい電極材料であり、ある酸素含有率を有する酸素不足型のＨｆ酸化物が抵抗変化を示すか否かの判定を行うには最も好適な材料である。
【０２１３】
以上のような理由から、図５のような不揮発性記憶素子を形成した。
【０２１４】
即ち、単結晶シリコン基板５０１上に、厚さ２００ｎｍの酸化物層５０２を熱酸化法により形成し、下部電極５０３としての厚さ１００ｎｍのＰｔ薄膜を、スパッタリング法により酸化物層５０２上に形成した。
【０２１５】
その後、Ｈｆをターゲットとして、反応性スパッタリングによって酸素不足型のＨｆ酸化物層５０４を形成した。本実験で検討した範囲では、上記の分析試料と同様に、酸素ガスの流量比を、２％から４．２％まで変化させて不揮発性記憶素子を作製した。酸素不足型のＨｆ酸化物層５０４の膜厚は３０ｎｍとした。
【０２１６】
その後、酸素不足型のＨｆ酸化物層５０４の上に、上部電極５０５としての厚さ１５０ｎｍのＰｔ薄膜をスパッタ法により堆積した。
【０２１７】
最後にフォトリソグラフィー工程とドライエッチング工程によって、素子領域５０６を形成した。なお、素子領域５０６は、直径が３μｍの円形パターンである。
【０２１８】
以上のように作製した不揮発性記憶素子の抵抗変化現象を測定した。その結果、図１７のα点（酸素流量比約２．７％、酸素含有率約４６．６ａｔ％）からβ点（酸素流量比約３．３％、酸素含有率約６２ａｔ％）のＨｆ酸化膜を使った不揮発性記憶素子では、高抵抗値が低抵抗値の４倍以上と良好であった。
【０２１９】
図１８Ａ及び図１８Ｂは、それぞれ、図１７のα点及びβ点の酸素含有率を有するＨｆ酸化物層を使った不揮発性記憶素子についてのパルス印加回数に対する抵抗変化特性を測定した結果である。
【０２２０】
図１８Ａ及び図１８Ｂによれば、α点及びβ点の酸素含有率を有するＨｆ酸化物層を使った素子では、共に、高抵抗値が低抵抗値の４倍以上と良好であることが判る。
【０２２１】
従って、酸素含有率が４６．６〜６２ａｔ％の組成範囲、即ち抵抗変化層をＨｆＯxと表記した場合におけるｘの範囲が０．９≦ｘ≦１．６の範囲がより適切な抵抗変化層の範囲であると言える（酸素含有率＝４６．６ａｔ％がｘ＝０．９に、酸素含有率＝６２ａｔ％がｘ＝１．６にそれぞれ対応）。
【０２２２】
［上下の電極材料種に応じた抵抗変化素子の抵抗変化特性］
次に、抵抗変化の起こりやすさが、電極材料に依存するかどうかの確認を行うため、Ｗで構成される下部電極５０３とＡｌ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｃｕ、Ｐｔの１つから成る上部電極５０５で、酸素不足型のＨｆ酸化物層５０４を挟んだ複数種の素子を作製し、電気パルスによる抵抗変化の様子を調べた結果について説明する。
【０２２３】
使用した酸素不足型のＨｆ酸化物の酸素含有率は、好適な酸素含有率の範囲で上限に近い６１ａｔ％（ＨｆＯ1.56）とした。素子の形成方法は、Ｈｆ酸化物の成膜方法は上記とほぼ同じであるが、Ａｌ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｃｕ、ＰｔはＨｆ酸化物を形成後、一旦大気中に出し、別のスパッタ装置でスパッタリング法によって堆積した。
【０２２４】
作製した素子Ｏ〜素子Ｕに使用した下部電極、上部電極の材料を表２に示す。
【０２２５】
【表２】
2011013344.tif 000004
【０２２６】
上記の素子Ｏ〜素子Ｕを、所定の振幅でパルス幅１００ｎｓの電気パルスを与えて抵抗変化させた。
【０２２７】
本実験では、下部電極５０３を動作しにくいＷとしたので、Ａモード（上部電極に対し、下部電極に高い電圧を加えた時に高抵抗化するようなモード）の結果は省略し、Ｂモード（下部電極に対し、上部電極に高い電圧を加えた時に高抵抗化するようなモード）の結果のみを示す。
【０２２８】
上部電極モードで抵抗変化させた時の電気パルスの電圧は、素子によって若干の違いはあるが、下部電極を電圧の基準として、高抵抗化させる時の電圧は＋１．１〜＋１．９Ｖとし、低抵抗化させる時の電圧は−１．１〜−１．５Ｖとした。
【０２２９】
図１９Ａ〜図１９Ｇに測定結果をまとめる。
【０２３０】
まず、図１９Ａの上部電極にＡｌを用いた素子Ｏ、図１９Ｂの上部電極にＴｉを用いた素子Ｐ、図１９Ｃの上部電極にＨｆを用いた素子Ｑの結果を見ると、ほとんど抵抗変化しないか、あるいはまったく抵抗変化しないのが分かる。次に、図１９Ｄの上部電極にＴａを用いた素子Ｒでは、最初わずかであるが抵抗変化が見られたがパルス数とともにその変化幅が減少していき、ほとんど抵抗変化を示さなくなった。これらの材料は、本質的に抵抗変化が生じにくい性質を持っていると考えられる。
【０２３１】
次に、図１９Ｅの上部電極にＷを用いた素子Ｓ、図１９Ｆの上部電極にＣｕを用いた素子Ｔ、図１９Ｇの上部電極にＰｔを用いた素子Ｕでは、比較的安定した抵抗変化が生じた。
【０２３２】
以上の結果から分かる事は、酸素不足型のＨｆ酸化物を用いた不揮発性記憶素子では、抵抗変化現象が生じやすい（動作しやすい）材料と、生じにくい（動作しにくい）材料が存在すると言う事である。本実験の範囲で言えば、動作しやすい電極はＰｔ、Ｃｕ、Ｗであり、動作しにくい電極材料はＴａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ａｌである。
【０２３３】
これらの材料の組み合わせで酸素不足型のＨｆ酸化物を挟んだ構造の抵抗変化素子を形成すれば、抵抗変化モードの混ざり合いのない安定した抵抗変化が得られる。但し、図１９Ｄを参照すると、Ｔａ電極では、微弱ながらも抵抗変化は観測されている。それ故にこの材料を１つの電極に用い、例えば、本実験で全く抵抗変化が観測されなかった電極材料であるＴｉ、Ｈｆをもう１つの電極に用いた場合、微弱ながらも安定した抵抗変化が期待できる。
【０２３４】
次に、抵抗変化自体の起こるメカニズムと、抵抗変化の起こりやすさの材料依存性について若干の考察を行う。
【０２３５】
図２０は、酸素不足型のＨｆ酸化物を用いた不揮発性記憶素子に係る結果をまとめたものである。横軸は電極材料、縦軸には標準電極電位をプロットしてある。図２０の○は抵抗変化が起こりやすかった事を意味し、△は変化の割合が小さいものの抵抗変化が起こった事を意味し、×は抵抗変化が起こらなかった事を意味する。
【０２３６】
図２０を見ると、抵抗変化膜の構成元素であるＨｆよりも標準電極電位が高い材料では抵抗変化が起こっており、低い材料では抵抗変化が起こりにくくなっている事が分かる。そして、標準電極電位の差が大きいほど抵抗変化が起こりやすく、差が小さくなるにつれて、抵抗変化が起こりにくくなっているのが分かる。
【０２３７】
この結果は、第２の実験に関して述べた、酸素不足型のＴａ酸化物を用いた不揮発性記憶素子に係る結果と全く同一の傾向を示している。即ち、酸素不足型のＨｆ酸化物を用いた不揮発性記憶素子について説明した抵抗変化のメカニズム（図１５Ａ、図１５Ｂ、図１６Ａ及び図１６Ｂを参照）が、酸素不足型のＨｆ酸化物を用いた不揮発性記憶素子にも同様に働いていると考えられる。
【０２３８】
以上の結果から分かるように、酸素不足型のＨｆ酸化物を抵抗変化膜に使用した不揮発性記憶素子では、上部電極と下部電極とで異なる標準電極電位を有する材料を用いればよい。
【０２３９】
これにより、片側の電極近傍で優勢に抵抗変化が起こって、理想的なバイポーラ型の抵抗変化を実現できる。さらに、抵抗変化モードの混ざり合いも起こらず、安定した抵抗変化動作が可能となる。
【０２４０】
より好適には、一方の電極材料には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きく、かつ差の大きな材料を用い、もう一方の電極材料には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きく差の小さな材料を用いればよい。
【０２４１】
なお、本実験の結果としては記述していないが、下部電極及び上部電極に、それぞれＴａＮ及びＰｔを用いた抵抗変化素子について、安定した抵抗変化現象が起こったことを示す良好な実験結果が得られている。
【０２４２】
ＴａＮの標準電極電位は＋０．４８ｅＶであり、Ｐｔ及びＨｆの標準電極電位は＋１．１８ｅＶ、−１．５５ｅＶである。
【０２４３】
この例は、上部電極には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きく、かつ差の大きな材料であるＰｔを用い、下部電極には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きく差の小さな材料であるＴａＮを用いた一例である。
【０２４４】
即ち、この例では、上述の標準電極電位に関する条件を満たすＴａＮ及びＰｔを電極材料として用いたことで、本実験の結果として述べた作用効果が得られたと考えられる。
【０２４５】
また他の例として、下部電極及び上部電極にそれぞれＴｉＮ及びＰｔを用いてもよい。ＴｉＮの標準電極電位は＋０．５５ｅＶである。したがって、ＴｉＮとＰｔとの組み合わせは、抵抗変化層にハフニウム酸化物を用いた場合の標準電極電位に関する条件を満たすので、ＴｉＮ及びＰｔを電極材料として用いることで、本実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０２４６】
さらにより好適には、一方の電極材料には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きな材料も用い、もう一方の電極材料には、Ｈｆの標準電極電位以下の材料を用いればよい。
【０２４７】
なお、本実験の結果としては記述していないが、金（Ａｕ）の標準電極電位は＋１．６９２ｅＶであるので、Ｈｆの標準電極電位−１．５５ｅＶよりも高い。したがって、抵抗変化膜としてＨｆを用いた場合に、抵抗変化しやすい電極材料としてＡｕを用いても、本実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０２４８】
また、上記のメカニズムからも明らかなように、抵抗変化を起こしやすい電極に正の電圧の電気パルスを印加した時に、抵抗値が高くなり、負の電圧の電気パルスを印加した時に抵抗値が低くなるような動作を示す。
【０２４９】
なお、上記の第１、第２の実験及び第３の実験では、抵抗変化膜として酸素不足型のＴａ酸化物及びＨｆ酸化物を用いた例について説明したが、これに限定されるものではなく、他の遷移金属の酸素不足型の酸化膜を抵抗変化膜に用いた不揮発性記憶素子についても、上記で説明したように電極に加えられた電界による酸素イオンの移動が起こると考えられるため、同様に応用可能である。その場合も、用いる遷移金属材料の標準電極電位を基準にして電極材料を選択すれば、片側で優勢的に動作する不揮発性記憶素子が形成できる。また、抵抗変化層としてのタンタル酸化物やハフニウム酸化物に、抵抗変化特性を大きく変化させない程度に微量のドーパントを添加してもよい。
【０２５０】
［抵抗変化層に酸素不足型の遷移金属酸化物を積層した抵抗変化素子］
また、抵抗変化素子として、酸素不足型のタンタル酸化物、酸素不足型のハフニウム酸化物、及び酸素不足型のジルコニウム酸化物の１つからなり、かつ酸素含有率の異なる２つの抵抗変化層を積層し、２つの電極で挟んだ構成も可能である。
【０２５１】
これらの抵抗変化素子は、可逆的に安定した書き換え特性を有する、抵抗変化現象を利用した不揮発性記憶素子を得ることを目的として本願発明者らにより発明されたものであり、それぞれ関連特許出願である特許文献５：国際公開第２００８／１４９４８４号や、特許文献６：国際公開第２０１０／００４７０５号、特許文献７：特開２０１０−２１３８１号公報で詳細に説明されている。
【０２５２】
これらの抵抗変化素子が有している、抵抗変化特性を前述のＡモード及びＢモードのいずれか意図した一方に固定できるという特徴も、前述の異種の材料で構成される上下の電極を用いた抵抗変化素子と同様に、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置に利用可能である。
【０２５３】
なお、酸素不足型のタンタル酸化物を用いた抵抗変化素子における２つの抵抗変化層の膜厚、組成の最適条件については、上記した特許文献５：国際公開第２００８／１４９４８４号にて、詳しく開示されている。
【０２５４】
［電流制御層にＳｉＮxを用いた電流制御素子］
次に本発明の１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリ装置の電流制御素子について説明する。
【０２５５】
電流制御素子は、電流制御層を窒化シリコンＳｉＮx（０＜ｘ≦０．８５）で構成することにより、その電流−電圧特性が非線形の電気特性を有し、かつ印加電圧の極性に対して実質的に対称となるという、双方向ダイオード特性を持つことが、関連出願である特許文献８：国際公開第２００８／１１７４９４号で詳細に説明されている。
【０２５６】
また、電流制御素子の第１の電極及び上記第２の電極の少なくとも一方を、体心立法格子（ｂｃｃ）構造を有するα−タングステン（α−Ｗ）で構成することにより、３００００Ａ／ｃｍ2以上の電流を安定供給可能なＭＳＭダイオードを実現できることが、関連出願である特許文献９：国際公開第２０１０／００４６７５号で詳細に説明されている。
【０２５７】
以上のような、対称な電流電圧特性、及び３００００Ａ／ｃｍ2以上という高い耐電流特性を持つ双方向ダイオード素子を、本発明における１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリの電流制御素子として利用することが可能である。
【０２５８】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置］
以下、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置の実施形態として、上記で説明した抵抗変化素子と電流制御素子を用いた１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリ装置について説明する。本発明の実施形態の具体的な詳細な構成は、図４１以降の図面を用いて説明を行なうが、まずは、そのうちの基本構成について説明する。
【０２５９】
図２１は、本発明の実施形態に係る不揮発性記憶装置の基本構成を示すブロック図である。本実施形態は、抵抗変化現象が抵抗変化素子の上部電極近傍で生じると考えられるＢモード動作が生じるメモリセルの構成と、それに最適な制御回路を示すものである。
【０２６０】
図２１において、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００は、半導体基板上に、メモリ本体部１０１を備えており、メモリ本体部１０１は、メモリアレイ１０２と、行選択回路１０３と、列選択回路１０４と、書き込み回路１０５と、選択ビット線に流れる電流量を検出し、記憶されているデータが「１」か「０」かを判定する読み出し回路１０６と、端子ＤＱを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路１０７とを備えている。
【０２６１】
また、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００の外部より与えられるアドレス信号を入力とし、所定のアドレスを選択指示するアドレス入力回路１０８と、制御信号を入力とする制御回路１０９の出力がメモリ本体部１０１に供給され、その動作を制御している。
【０２６２】
メモリアレイ１０２は、Ｍ行Ｎ列（Ｍ、Ｎは自然数）のマトリクス状にメモリセルＭｉｊ（ｉ≦Ｍ、ｊ≦Ｎなる自然数。以下同じものは省略）が配列されている。メモリセルＭｉｊは、抵抗変化素子Ｒｉｊの一端と、正負の双方向に閾値電圧を有する電流制御素子Ｄｉｊの一端とを、互いに直列に接続して構成されている。抵抗変化素子Ｒｉｊの他端はワード線ＷＬｉに、電流制御素子Ｄｉｊの他端はビット線ＢＬｊに接続されている。なお、図２１では２行２列の４ビット分のメモリセルＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２（抵抗変化素子Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１及びＲ２２と、電流制御素子Ｄ１１、Ｄ１２、Ｄ２１及びＤ２２と、ビット線ＢＬ１及びＢＬ２と、ワード線ＷＬ１及びＷＬ２）のみを図示している。
【０２６３】
本構成では、ビット線ＢＬｊが下層の配線で構成され、紙面内の上下方向に配置されるとすると、ワード線ＷＬｉはビット線ＢＬｊより上層の配線で構成され、紙面内の左右方向に配置される。また抵抗変化素子Ｒｉｊは、後で詳細を説明するが、抵抗変化現象が抵抗変化素子の上部電極近傍で生じるＢモードの特性になる構造で構成されている。
【０２６４】
ワード線ＷＬｉは、行選択回路１０３に接続され、読み出し又は書き込みモードにおいて択一的に行選択が行われる。またビット線ＢＬｊは、列選択回路１０４に接続され、読み出し又は書き込みモードにおいて択一的に列選択が行われる。
【０２６５】
データ入出力回路１０７は、書き込みモードにおいて、データ入力信号Ｄｉｎのデータ“０”又はデータ“１”の書き込み指示に従って、選択されたメモリセルＭｉｊ内の抵抗変化素子Ｒｉｊに対し、低抵抗化又は高抵抗化の書き込みを行う。本実施形態では、データ“０”書き込みを低抵抗化書き込みに、データ“１”書き込みを高抵抗化書き込みに対応させてある。
【０２６６】
書き込み回路１０５はデータ入出力回路１０７と接続される。データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、その出力を入力とする電流制限回路１０５ｂ、及びロウレベルを駆動する第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を有している。また、データ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、及びロウレベルを駆動する第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を有している。
【０２６７】
そして、低抵抗化書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂにより電流制限した信号を、列選択回路１０４を介して選択ビット線ＢＬｊに供給する。一方、高抵抗化書き込みを行うときは、電流制限機能を有しない第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１で行選択回路１０３を介して選択ワード線ＷＬｉに信号を供給することを１つの特徴としている。
【０２６８】
このように構成される抵抗変化型不揮発性記憶装置１００において、ビット線ＢＬｊ及びワード線ＷＬｉが、それぞれ本発明の第１信号線及び第２信号線の一例である。第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、及び第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２が、それぞれ本発明の第１駆動回路、第２駆動回路、第３駆動回路、及び第４駆動回路の一例である。電流制限回路１０５ｂが、本発明の電流制限回路の一例である。また、列選択回路１０４及び行選択回路１０３が、それぞれ本発明の第１選択回路及び第２選択回路の一例である。
【０２６９】
図２２は、図２１においてＡ部で示す、メモリセルＭ１１の構成を示す断面図である。
【０２７０】
電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３は、各々、図２１における電流制御素子Ｄｉｊ、抵抗変化素子Ｒｉｊ（ｉ，ｊはそれぞれ正の整数）に対応している。
【０２７１】
メモリセル２００は、Ａｌで構成される第１層配線２０１、第１ビア２０２、電流制御素子２１２のＴａＮで構成される第３電極２０３、窒素不足型シリコン窒化物で構成される電流制御層２０４、ＴａＮで構成される第４電極２０５、第２ビア２０６、抵抗変化素子２１３のＴａＮで構成される第１電極２０７、酸素不足型タンタル酸化物で構成される抵抗変化層２０８、Ｐｔで構成される第２電極２０９、第３ビア２１０、Ａｌで構成される第２層配線２１１を順に形成して構成されている。
【０２７２】
ここで、ワード線ＷＬｉ側に接続される、より上層の第２電極２０９を、ビット線ＢＬｊ側に接続される第１電極２０７に比べ、標準電極電位がより高い材料であるＰｔで構成することを、もう１つの特徴としている。
【０２７３】
このメモリセル構造では、本発明の基礎データでも説明したように、抵抗変化動作は、第１電極を構成するＴａＮよりも高い標準電極電位を有するＰｔで構成される第２電極と、抵抗変化層２０８との界面近傍で起こり、その動作はＢモードに対応している。
【０２７４】
図２２で、第１層配線２０１はビット線ＢＬ１に、第２層配線２１１はワード線ＷＬ１に対応しているので、第２層配線２１１の電圧に対し第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は低抵抗状態に変化し、第１層配線２０１の電圧に対し第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は高抵抗状態に変化する。
【０２７５】
なお、図２２において、電流制御素子２１２と抵抗変化素子２１３の関係は上下逆でもかまわないし、抵抗変化素子２１３において第１電極２０７と第２電極２０９の位置が逆でもかまわない。
【０２７６】
図２３Ａ及び図２３Ｂは、図２１の書き込み回路１０５の具体的回路構成の一例を示している。
【０２７７】
図２３Ａは、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２、電流制限回路１０５ｂの一例をそれぞれ示している。
【０２７８】
第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１はＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１で構成され、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２はＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ１で構成され、電流制限回路１０５ｂはＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３で構成されている。
【０２７９】
Ｃ＿ＮＬＲは低抵抗化書き込みパルスの発生時ロウレベル、またＣ＿ＨＲは高抵抗化書き込みパルスの発生時ハイレベルとなる書き込み制御信号である。ＶＣＬは低抵抗化電流制限用ゲート電圧で、所定の定電圧が与えられている。
【０２８０】
またＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１のソース端子には、低抵抗化書き込み電源電圧ＶＬＲが供給され、抵抗変化素子２１３が低抵抗化するのに十分な電圧及び電流を駆動できる能力を有するように設定されている。
【０２８１】
図２３Ｂは、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２の一例を示している。
【０２８２】
第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１はＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２で構成され、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２はＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２で構成されている。
【０２８３】
Ｃ＿ＮＨＲは高抵抗化書き込みパルスの発生時ロウレベル、またＣ＿ＬＲは低抵抗化書き込みパルスの発生時ハイレベルとなる書き込み制御信号である。
【０２８４】
またＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２のソース端子には、高抵抗化書き込み電源電圧ＶＨＲが供給され、抵抗変化素子２１３が高抵抗化するのに十分な電圧及び電流を駆動できる能力を有するように設定されている。
【０２８５】
書き込みモードにおいて、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みが指示されると、Ｃ＿ＮＬＲがロウレベル、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定され、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１と、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２がオンし、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１の出力電流が、電流制限回路１０５ｂ、ビット線ＢＬｊ、メモリセルＭｉｊ、ワード線ＷＬｉを主経路とし、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に流れ込む電流経路が形成される。
【０２８６】
また、電流制限回路１０５ｂの出力は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３で電流制限されるとともに、その出力電圧ＶＬＲ＿Ｏは、ＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３とすると、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３の電圧に上限が制限される。それとともに、トランジスタＭＮ３がソースフォロワ特性を持つため、低抵抗化書き込み電源電圧ＶＬＲを一定電圧以上に設定すると、トランジスタＭＮ３は定電流源として動作し、電流は一定となる。
【０２８７】
書き込みモードにおいてデータ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みが指示されると、Ｃ＿ＮＨＲがロウレベル、Ｃ＿ＨＲがハイレベルに設定され、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２と、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ１がオンし、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１の出力電流がワード線ＷＬｉ、メモリセルＭｉｊ、ビット線ＢＬｊを主経路とし、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２に流れ込む電流経路が形成される。この電流経路に電流制限回路を含まないため、高抵抗化書き込み電源電圧ＶＨＲの増加に従い、電流は単調に増加する。
【０２８８】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作］
以上のように構成された抵抗変化型不揮発性記憶装置１００について、その動作を説明する。
【０２８９】
まず、メモリセルの動作について説明する。図２４は、図２２の構造を持つメモリセルについて、第１層配線２０１よりも第２層配線２１１が高い電圧となる極性を正として電圧を印加した場合に、その電圧と電流との関係を実測した図である。
【０２９０】
メモリセル２００に対し、第２層配線２１１よりも第１層配線２０１が高い電位となる負極性の電圧を印加していくと、−３．２Ｖを超える付近で抵抗変化素子は高抵抗状態から低抵抗状態へと変化を開始する。さらに−３．９Ｖ（Ａ点）まで印加しているが、印加電圧に応じて徐々に低抵抗化が進行している。
【０２９１】
一方、メモリセル２００に対し、第１層配線２０１よりも第２層配線２１１が高い電位となる正極性の電圧を印加していくと、低抵抗状態への変化電圧と概ね対称である３．８Ｖ付近（Ｂ点）で、抵抗変化素子は低抵抗状態から高抵抗状態へと変化を開始する。さらに、５．１Ｖまで印加すると電流増加が見られるが、この後印加電圧を下げていくと、印加電圧を上げるときと比較して電流が小さくなっているため、高抵抗状態に変化していることがわかる。
【０２９２】
即ち、図２４に示す実測データは、図２２の構造を持つメモリセル２００について、第２層配線２１１の電圧を基準として第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき低抵抗状態に変化し、第１層配線２０１の電圧を基準として第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき高抵抗状態に変化するＢモード動作を発現すること、及び、低抵抗状態の印加電圧（Ａ点）と、高抵抗状態への変化開始電圧（Ｂ点）とが、概ね対称な関係にあることを示している。
【０２９３】
次に、以上のように構成した抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作について説明する。
【０２９４】
最初に書き込み回路１０５の特性について説明する。
【０２９５】
図２５Ａは、図２３Ａ及び図２３Ｂに示す第１の具体的書き込み回路を用いて、図２１に示す抵抗変化型不揮発性記憶装置１００の動作を説明するため、書き込みに関わる電流経路だけを切り出した等価回路図である。図２５Ｂは、その特性説明図であり、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１は低抵抗状態を想定して１０ｋΩの固定値とし、双方向特性を有する電流制御素子と直列接続した状態で、書き込み回路１０５から与えられる電圧と、メモリセルＭ１１に流れる電流との関係を、シミュレーションを用いて求めた結果を示す図である。
【０２９６】
図２５Ｂにおいて、負の電圧領域（Ａ）の特性は、高抵抗状態から１０ｋΩと仮定した低抵抗状態に変化した後のメモリセルを、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１により駆動する場合（例えば−３Ｖというのは、ＶＬＲに３Ｖを与えて駆動することを意味する）の特性を示している。また、正の電圧領域（Ｂ）の特性は、１０ｋΩと仮定した低抵抗状態のメモリセルを高抵抗化状態に向け第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１により駆動する場合の特性を示している。なお駆動回路の電圧とは、負の電圧領域（Ａ）では、低抵抗化書き込み電源電圧であるＶＬＲに相当し、正の電圧領域（Ｂ）では、高抵抗化書込み電源電圧であるＶＨＲに相当する。また、負の電圧領域（Ａ）中の破線は、電流制限回路１０５ｂを介さない場合の特性を比較のために示している。
【０２９７】
図２５Ｂより、メモリセルを低抵抗化するときは、低抵抗化電源電圧ＶＬＲの増加とともに、メモリセルに流れる電流も増加し、電流制限回路１０５ｂを介さない場合、破線の特性の様に単調増加するのに対し、電流制限回路１０５ｂを用いる場合、その電流制限効果により、変極点Ｃを持ち、約３．５Ｖ付近からは１３０μＡの一定電流に制限される。
【０２９８】
一方、メモリセルを高抵抗化するときは、電流制限回路がないため、高抵抗化電源電圧ＶＨＲに３．５Ｖを印加した場合、１５０μＡの電流、即ち低抵抗化するときよりも大きい電流が流れることがわかる。
【０２９９】
ここで、この回路構成における電流制限回路１０５ｂのＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の設定条件を考える。
【０３００】
メモリセルに設定する低抵抗値は、図２４に示すメモリセル特性において、Ａ点で示す低抵抗状態の印加電圧である−３．９Ｖまで電流を印加した時の低抵抗状態の設定を想定して考える。なお、上述のように、この低抵抗状態の印加電圧が低く、より少ない電流を流した場合は、低抵抗状態はより高抵抗に近く設定され、反対に印加電圧が高く、より多くの電流を流した場合は、より低抵抗化が進む。定式化のため、Ａ点の電圧をＶＬ、Ａ点の電流をＩＬとする。ただし、ダイオードでの電圧降下はないものと仮定する。
【０３０１】
ところで、図２５Ａにおいて、電流制限回路１０５ｂ中のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３、同ゲート電圧をＶＣＬ、ＬＲ化電源の電圧をＶＬＲとすると、ＶＬＲ≧ＶＣＬのとき、図２５Ｂに示す変極点Ｃの電圧は、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３と近似される。
【０３０２】
図２４のＡ点に示すメモリセルの低抵抗化点の電圧（ＶＬ＝ＶＬｔｈ）と、図２５Ｂに示す電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃの電圧ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３とを一致させておけば、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃにおいて、メモリセルを想定する低抵抗状態に設定できる。よって、
ＶＬｔｈ＝ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３  かつ  ＶＬＲ≧ＶＣＬ
即ち、
ＶＣＬ＝ＶＬｔｈ＋Ｖｔｈ＿ＭＮ３  かつ  ＶＬＲ≧ＶＣＬ  ・・・（式１）
を満たすように、ＶＣＬを設定すればよい。このとき、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２における電圧降下は無視できるとする。またこの条件のとき、Ａ点の電流ＩＬを駆動できるよう、電流制限回路１０５ｂのＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３のゲート幅及びゲート長を調整して設計しておく。
【０３０３】
そして、この条件を満たしておけば、電圧変動や、速度低下の懸念に対してＬＲ化電源の電圧ＶＬＲを、余裕を持って高めに設定しても、変極点Ｃ以上の電圧では定電流となるため、低抵抗状態の抵抗値を一定の値に安定させて設定することができる。
【０３０４】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例１］
図２６は、実施形態の基本構成において、Ｎ型ＭＯＳトランジスタを用いて電流制限回路１０５ｂを構成する場合の、図２１とは異なる変形例１を示している。この構成は、電流制限回路１０５ｂを抵抗変化素子の第１電極と書き込み回路との間に配置することを特徴とする。図２６の構成では、電流制限回路１０５ｂをメモリセルアレイの近くに配置するため、図２１の場合と比較して、よりメモリセルに近い位置で電流制限を行うことが可能となる。よって低抵抗化書き込み動作を行うときに、電流制限回路１０５ｂを介して充放電すべき容量負荷を低減することができ、メモリセルの低抵抗状態への変化に対し、追随性よく電流制限を行えるため、より精度よく想定の抵抗値に設定することが可能となる。
【０３０５】
また、ＬＲ化駆動回路で書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂはソースフォロワとなり、定電流特性を示すため、低抵抗状態の抵抗値を一定の値に安定させて設定することができる一方、ＨＲ化駆動回路で書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂはソースフォロワとはならないため、低抵抗化するときよりも大きい電流を駆動することができる。
【０３０６】
ここで、列選択回路１０４は一般に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及びＮ型ＭＯＳトランジスタと、デコーダ回路とで構成され、選択されたメモリセルに対応したビット線が択一的に選択される。この列選択回路１０４をＮ型ＭＯＳトランジスタのみで構成することにより、ＬＲ駆動回路で書き込みを行うときにソースフォロワとなるため、列を選択する機能に加え、電流を制限する機能を持たせることができる。この場合、電流制限回路１０５ｂを別途設ける必要がなくなり、面積を削減することができる。
【０３０７】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２］
電流制限回路１０５ｂは、図２１に示したような第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１側ではなく、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設けることも可能である。図２７に、実施形態の基本構成の変形例２を示す。また、図２８Ａは、図２７の書き込み回路１０５の第１の具体的回路構成の一例を示していて、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成される電流制限回路１０５ｂを有する。また、図２８Ｂは、その特性説明図であり、図２５Ｂと同様に、メモリセル２００の抵抗変化素子は低抵抗状態を想定して１０ｋΩの固定値とし、双方向特性を有する電流制御素子と直列接続した状態で、書き込み回路１０５から与えられる電圧と、メモリセル２００に流れる電流との関係を、シミュレーションを用いて求めた図である。
【０３０８】
図２８Ｂにおいて、負の電圧領域（Ａ）の特性は、高抵抗状態から１０ｋΩと仮定した低抵抗状態に変化した後のメモリセルを、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１により駆動する場合（例えば−３Ｖというのは、ＶＬＲに３Ｖを与えて駆動することを意味する）の特性を、正の電圧領域（Ｂ）の特性は、１０ｋΩと仮定した低抵抗状態のメモリセルを高抵抗化状態に向け第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１により駆動する場合の特性を示している。負の電圧領域（Ａ）中の破線は、電流制限回路１０５ｂを介さない場合の特性を比較のために示している。
【０３０９】
図２８Ｂより、メモリセルを低抵抗化するときは、低抵抗化電源電圧ＶＬＲの増加とともに、メモリセルに流れる電流も増加し、電流制限回路１０５ｂを介さない場合、破線の特性の様に単調増加するのに対し、電流制限回路１０５ｂを用いる場合、その電流制限効果により、変極点Ｃを持ち、約−３．９Ｖ付近からは−１３０μＡの一定電流に制限される。
【０３１０】
一方、メモリセルを高抵抗化するときは、電流制限回路がないため、高抵抗化電源電圧ＶＨＲに３．５Ｖを印加した場合、１５０μＡの電流、即ち低抵抗化するときよりも大きい電流が流れることがわかる。
【０３１１】
図２８Ａにおいて、電流制限回路１０５ｂ中のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３、同ゲート電圧をＶＣＬ、ＬＲ化電源の電圧をＶＬＲ、メモリセルの低抵抗化点の電圧をＶＬ＝ＶＬｔｈとすると、図２８Ｂに示す変極点Ｃの電圧は、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３＋ＶＬ（＝ＶＬｔｈ）と近似される。この変極点Ｃの電圧ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３＋ＶＬｔｈが、ＬＲ化電源の電圧ＶＬＲと一致するように、
ＶＬＲ＝ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３＋ＶＬｔｈ
即ち、
ＶＣＬ＝ＶＬＲ−ＶＬｔｈ＋Ｖｔｈ＿ＭＮ３  ・・・（式２）
を満たすようにＶＣＬを設定することにより、ＬＲ化電源の電圧としてＶＬＲを与えた場合に、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃでメモリセルを低抵抗化すること、即ち想定する低抵抗状態に設定することが可能となる。このとき、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１における電圧降下は無視できるとした。またこの条件のとき、図２４のＡ点の電流ＩＬが駆動できるよう、電流制限回路１０５ｂのＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３のゲート幅及びゲート長を調整して設計しておく。
【０３１２】
さらには、電流制限回路１０５ｂをＮ型ＭＯＳトランジスタではなく、電流ミラー回路等を用いた定電流回路とし、一定の電流値に制御することにより、より精度よく想定の抵抗値に設定することが可能である。
【０３１３】
そして、この条件を満たしておけば、電圧変動や、速度低下の懸念に対してＬＲ化電源の電圧ＶＬＲを、余裕を持って高めに設定しても、変極点Ｃ以上の電圧では定電流となるため、低抵抗状態の抵抗値を、一定の値に安定させて設定することができる。
【０３１４】
以上において、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３としているが、これはソース電圧が基板電圧に比べ上昇した状態、即ち基板バイアス効果が効いた状態での閾値電圧を指している。ＶＣＬだけでなく、閾値電圧Ｖｔｈ＿ＭＮ３を（式１）、（式２）の関係を満たすように設定することも、動作電圧の低減には有効となる。
【０３１５】
ところで、メモリセルの特性、例えば図２４のＡ点に示すメモリセルの低抵抗化点の電流値はメモリセル毎に固有のばらつきを有している。ばらつきにより変極点Ｃもばらつくため、この点を考慮してＶＣＬを設定しておく必要がある。以下、具体的に説明する。
【０３１６】
まず、下限値について、一般に読み出し回路１０６は、低抵抗状態のメモリセルの読み出しにおいては、一定値以上の読み出し電流が必要となる。そのため、最小読み出し電流となるメモリセル、即ち低抵抗状態のメモリセルのなかで一番高抵抗な状態のメモリセルにおいても、上記読み出し電流を確保すべく、一定値より低い低抵抗状態に設定できるよう、ＶＣＬを設定しておく必要がある。
【０３１７】
一方、上限値について、メモリセル２００に一定値より大きい電流を繰り返し流した場合、メモリセル、特に電流制御素子２１２の信頼性面で、望ましくない場合がある。そのような場合には、電流制御素子に耐電流（電流制御素子が破壊されない最大の電流）より大きい電流が流れないよう、即ち抵抗変化素子を一定値より高い低抵抗状態に留められるように、ＶＣＬを設定しておけばよい。
【０３１８】
下限値の設定において、不揮発性記憶装置で一般的に用いられる手段として、抵抗値のベリファイを行い、例えば低抵抗状態が不足したメモリセルに対して追加書き込みを行う場合がある。このような場合、追加書き込みを行うメモリセルに対してはＶＣＬを高く設定することにより、低抵抗化を促進させてもよい。
【０３１９】
以上の説明では、電流制限回路１０５ｂをＮ型ＭＯＳトランジスタで構成する場合について説明したが、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成することも可能である。Ｐ型ＭＯＳトランジスタを使用して、電流制限回路１０５ｂを第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１側に設けた場合の、図２１の書き込み回路１０５の第２の具体的回路構成例を図２９Ａに、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設けた、図２７の書き込み回路１０５の第２の具体的回路構成例を図２９Ｂに示す。
【０３２０】
電流制限回路１０５ｂのＰ型ＭＯＳトランジスタの満たすべき設定条件は、図２９Ａの場合、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成した図２８Ａの場合と同様に求めることができる。図２９Ａにおいて、電流制限回路１０５ｂ中のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＰ３（Ｖｔｈ＿ＭＰ３は正とする）、同ゲート電圧をＶＣＬ、ＬＲ化電源の電圧をＶＬＲ、メモリセルに印加される電圧をＶＬとすると、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃの電圧は、ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３と近似される。メモリセルの低抵抗化点の電圧（ＶＬ＝ＶＬｔｈ）と、この電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃの電圧（＝ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３）とを一致させておけば、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃにおいて、メモリセルを想定する低抵抗状態に設定できる。よって、
ＶＬ＝ＶＬｔｈ＝ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３
即ち、
ＶＣＬ＝ＶＬｔｈ−Ｖｔｈ＿ＭＰ３  ・・・（式３）
を満たすように、ＶＣＬを設定すればよい。このとき、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２における電圧降下は無視できるとした。またこの条件のとき、Ａ点の電流ＩＬが駆動できるよう、電流制限回路１０５ｂのＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３のゲート幅及びゲート長を調整して設計しておく。
【０３２１】
さらには、電流制限回路１０５ｂをＰ型ＭＯＳトランジスタではなく、電流ミラー回路等を用いた定電流回路とし、一定の電流値に制御することにより、より精度よく想定の抵抗値に設定することが可能である。
【０３２２】
そして、この条件を満たしておけば、電圧変動や、速度低下の懸念に対してＬＲ化電源の電圧ＶＬＲを、余裕を持って高めに設定しても、変極点Ｃ以上の電圧では定電流となるため、低抵抗状態の抵抗値を、一定の値に安定させて設定することができる。
【０３２３】
一方、図２９Ｂの場合は、図２５Ａの場合と同様に求めることが可能である。即ち、図２９Ｂにおいて、電流制限回路１０５ｂ中のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＰ３、同ゲート電圧をＶＣＬ、ＬＲ化電源の電圧をＶＬＲ、メモリセルに印加される電圧をＶＬ、メモリセルの低抵抗化点の電圧をＶＬ＝ＶＬｔｈとすると、ＶＣＬ≧０のとき、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃの電圧は、ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３＋ＶＬ（＝ＶＬｔｈ）と近似される。この変極点Ｃの電圧（＝ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３＋ＶＬ）が、ＬＲ化電源の電圧ＶＬＲと一致するように、
ＶＬＲ＝ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３＋ＶＬ（＝ＶＬｔｈ）  かつ  ＶＣＬ≧０
即ち、
ＶＣＬ＝ＶＬＲ−ＶＬｔｈ−Ｖｔｈ＿ＭＰ３  かつ  ＶＣＬ≧０  ・・・（式４）
を満たすようにＶＣＬを設定することにより、ＬＲ化電源の電圧としてＶＬＲを与えた場合に、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃでメモリセルを低抵抗化すること、即ち想定する低抵抗状態に設定することが可能となる。このとき、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２における電圧降下は無視できるとした。またこの条件のとき、図２４のＡ点の電流ＩＬが駆動できるよう、電流制限回路１０５ｂのＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３のゲート幅及びゲート長を調整して設計しておく。
【０３２４】
そして、この条件を満たしておけば、電圧変動や、速度低下の懸念に対してＬＲ化電源の電圧ＶＬＲを、余裕を持って高めに設定しても、変極点Ｃ以上の電圧では定電流となり、低抵抗状態の抵抗値を、一定の値に安定させて設定することができる。
【０３２５】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例３］
図３０は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタを用いて電流制限回路１０５ｂを構成する場合であって、かつ、電流制限回路１０５ｂを抵抗変化素子の第２電極と書き込み回路との間に配置することを特徴とする。図３０では、電流制限回路１０５ｂをメモリセルアレイの近くに配置するため、図２７の場合と比較して、よりメモリセルに近い位置で電流制限を行うことが可能となる。よって低抵抗化書き込み動作を行うときに、電流制限回路１０５ｂを介して充放電すべき容量負荷を低減することができ、メモリセルの低抵抗状態への変化に対し、追随性よく電流制限を行えるため、より精度よく想定の抵抗値に設定することが可能となる。
【０３２６】
また、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２で書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂはソースフォロワとなり定電流特性となるため、低抵抗状態の抵抗値を一定の値に安定させて設定することができる一方、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１で書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂはソースフォロワとはならないため、低抵抗化するときよりも大きい電流を駆動することができる。
【０３２７】
ここで、行選択回路１０３は一般に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及びＮ型ＭＯＳトランジスタと、デコーダ回路とで構成され、選択されたメモリセルに対応したビット線が択一的に選択される。この行選択回路１０３をＰ型ＭＯＳトランジスタのみで構成することにより、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２で書き込みを行うときにソースフォロワとなるため、行選択回路１０３に行を選択する機能に加え、電流を制限する機能を持たせることができる。この場合、電流制限回路１０５ｂを別途設ける必要がなくなり、面積を削減することができる。
【０３２８】
なお、図２９Ａ及び図２９ＢのＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＰ３としているが、これはソース電圧が基板電圧に比べ下降した状態、即ち基板バイアス効果が効いた状態での閾値電圧を指している。ＶＣＬだけでなく、（式３）、（式４）の関係を満たすように閾値電圧Ｖｔｈ＿ＭＰ３を他のトランジスタより低く設定することも、動作電圧の低減には有効となる。
【０３２９】
図２５Ａ、図２８Ａ、図２９Ａ、図２９Ｂのように電流制限回路を設ける場合、回路を設計する際に、電流制限回路を構成するＭＯＳトランジスタのサイズを適切に選択することにより、より簡便に電流制限を実現することが可能である。
【０３３０】
具体的には、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１を構成するＰ型ＭＯＳトランジスタのゲート幅をＷ２、ゲート長をＬ２とし、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を構成するＮ型ＭＯＳトランジスタのゲート幅をＷ４、ゲート長をＬ４とするとき、抵抗変化素子を高抵抗化する場合の駆動回路の電流能力は、Ｗ２／Ｌ２、Ｗ４／Ｌ４の内の、小さい方で規定される。
【０３３１】
抵抗変化素子を低抵抗化する際に使用する電流制限回路１０５ｂを構成するＭＯＳトランジスタのゲート幅をＷＣ、ゲート長をＬＣとするとき、電流制限回路１０５ｂの電流能力は、ＷＣ／ＬＣで規定されるが、電流制限回路１０５ｂの電流能力が、抵抗変化素子を高抵抗化する場合の駆動回路の電流能力より小さくなるように、即ち、
Ｗ２／Ｌ２＞ＷＣ／ＬＣ、かつＷ４／Ｌ４＞ＷＣ／ＬＣ  ・・・（式５）
を満たすように、電流制限回路１０５ｂのトランジスタサイズを設計することにより、抵抗変化素子を低抵抗化する場合の駆動回路の電流能力を、抵抗変化素子を高抵抗化する場合の駆動回路の電流能力より小さく制限することが可能である。
【０３３２】
また、電流制限回路１０５ｂを構成するＭＯＳトランジスタのサイズを（式５）を満たすように設計し、加えて電流制限回路１０５ｂを構成するＭＯＳトランジスタのゲート電圧を、低抵抗化する場合の駆動回路の電流能力が、抵抗変化素子を高抵抗化する場合の駆動回路の電流能力より小さくなるよう制御することにより、より精度良く抵抗変化素子に抵抗値を設定することが可能なことは、いうまでもない。
【０３３３】
次に、実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置１００にデータを書き込む場合の、書き込みサイクルでの動作例について、図３１Ａ及び図３１Ｂに示すタイミング図を参照しながら説明する。
【０３３４】
図３１Ａ及び図３１Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る不揮発性記憶装置の動作例を示すタイミング図である。図３１Ａは、データ「０」、即ち低抵抗状態を書き込む（ＬＲ化）場合を、図３１Ｂは、データ「１」、即ち高抵抗状態を書き込む（ＨＲ化）場合を示している。
【０３３５】
以下において、説明はメモリセルＭ１１が選択され、データの書き込み及び読み出しが行われる場合についてのみ示す。メモリセルＭ１１が選択メモリセルとなる場合、メモリセルＭ１２はワード線が選択電位、ビット線が非選択電位となる非選択メモリセルであり、メモリセルＭ２１はワード線が非選択電位、ビット線が選択電位となる非選択メモリセルであり、メモリセルＭ２２はワード線もビット線も非選択電位となる非選択メモリセルである。
【０３３６】
図３１Ａ及び図３１Ｂでは、選択メモリセルＭ１１に流れる電流とあわせて、非選択メモリセルＭ１２、Ｍ２１、Ｍ２２に流れる電流も示している。また電流波形は、ワード線からビット線の方向、即ち抵抗変化素子の第２電極から第１電極の方向に流れる電流を正極性としている。
【０３３７】
以下、図３１Ａ及び図３１Ｂについて、期間Ｔ１〜Ｔ４の期間に分けて、その動作を説明する。なお、図３１Ａ及び図３１Ｂにおいて、ＶＤＤは抵抗変化型不揮発性記憶装置１００に供給される電源電圧に対応している。
【０３３８】
図３１Ａに示すメモリセルＭ１１に対するデータ「０」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線（ＷＬ１及びＷＬ２）をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線（ＢＬ１及びＢＬ２）を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０３３９】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が高抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１を使用して選択ビット線ＢＬ１をＶＬＲに駆動し、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を使用して選択ワード線ＷＬ１を０Ｖに駆動する。時間経過とともにビット線ＢＬ１の電位が上昇、ワード線ＷＬ１の電位が降下するが、ワード線ＷＬ１は比較的高速に降下するのに対し、電流制限回路１０５ｂを介して駆動されるビット線ＢＬ１は緩やかに上昇する。また、ビット線ＢＬ１の電位は、電流制限回路１０５ｂを介しているため、ＶＬＲまでは上昇しない。
【０３４０】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、低抵抗状態に遷移する期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子Ｒ１１（図２２の抵抗変化素子２１３）に、第２電極２０９を基準にして第１電極２０７に抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈとなる絶対値を持つ電圧が抵抗変化素子Ｒ１１に印加された時点で、高抵抗値から低抵抗値に書き込みが行われる。低抵抗化すると共に、メモリセルＭ１１に流れる電流は増加するが、電流制限回路１０５ｂがあるため、電流値は一定値以上増加しない。そのため、抵抗値が一定の値で低抵抗化は留まる。なお、図３１Ａでは電流の増加の方向は下向きにとっている。
【０３４１】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「０」の書き込みが完了する。
【０３４２】
図３１Ｂに示すメモリセルＭ１１に対するデータ「１」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０３４３】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が低抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１を使用して選択ワード線ＷＬ１をＶＨＲに駆動し、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を使用して選択ビット線ＢＬ１を０Ｖに駆動する。時間経過とともにワード線ＷＬ１の電位が上昇、ビット線ＢＬ１の電位が降下するが、電流制限回路を介さないため、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１とも、比較的高速に変化する。
【０３４４】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、高抵抗状態に遷移した期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子Ｒ１１（図２２の抵抗変化素子２１３）に、第１電極２０７を基準にして第２電極２０９に抵抗変化素子の高抵抗化電圧ＶＨｔｈを超える絶対値を持つ電圧が印加された時点で、低抵抗値から高抵抗値に書き込みが行われる。
【０３４５】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「１」の書き込みが完了する。
【０３４６】
なお、メモリセルＭｉｊは図２２に示す構造に限定されるものではなく、Ｂモード特性を示す次のようなものでもよい。
【０３４７】
図３２Ａ〜図３２Ｄはいずれも、図２２と同様に抵抗変化層を挟む上部電極及び下部電極構造において、互いに異なる電極材料からなり、かつ上部電極を下部電極と比べて標準電極電位がより高い材料で構成することにより、Ｂモード動作をするメモリセルの展開例である。
【０３４８】
図３２Ａは、第２ビア２０６を設けず、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２とを接する形で構成したメモリセルである。
【０３４９】
図３２Ｂは図３２Ａに対し、ＴａＮで構成される電流制御素子２１２の第４電極２０５とＴａＮで構成される抵抗変化素子２１３の第１電極とを、共通にしたメモリセルである。このメモリセルは、電極を共通にできるため、製造が容易となる。
【０３５０】
図３２Ｃは、第２ビア２０６と同一径で、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２を構成したメモリセルである。このメモリセルは、第２ビア２０６と同一径で構成されるため、メモリセルを配線の最小間隔にあわせて配置することが可能となり、小面積化することができる。このメモリセルは、抵抗変化素子２１３及び電流制御素子２１２の、積層方向に直交する断面の大きさ（一例としては上記の径）を、ビアと比べて同一又はより小さく形成した一例である。
【０３５１】
図３２Ｄは図３２Ｃに対し、第２層配線２１１をＰｔで構成することにより、第２層配線を抵抗変化素子２１３の第２電極として使用し、第１層配線２０１をＴａＮで構成することにより、第１層配線を電流制御素子２１２の第３電極として使用している。この場合、抵抗変化素子２１３の第２電極、電流制御素子２１２の第３電極を別途設ける必要がなくなるため、小面積化が可能となる。なお図３２Ｄでは、第２層配線２１１、第１層配線２０１の双方をメモリセルの両端の電極と共通にする例を示したが、このうちのどちらか一方のみを共通としてもよい。
【０３５２】
以上では、第１層配線２０１の上に電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３、第２層配線２１１の順に構成する場合の構成例を説明したが、図２２、及び図３２Ａ、図３２Ｃ、図３２Ｄの各場合については、第１層配線２０１の上に抵抗変化素子２１３、電流制御素子２１２、第２層配線２１１の順に構成してもよい。そのような構成では、第１層配線２０１の上に、抵抗変化素子２１３の第１電極２０７、抵抗変化層２０８、第２電極２０９、電流制御素子２１２の第３電極２０３、電流制御層２０４、第４電極２０５、及び第２層配線２１１が、この順に形成される。
【０３５３】
図３３はＢモード動作をする別な構造のメモリセル２５０の一例を示す。なお図２２と同じものは、同じ記号を付している。
【０３５４】
メモリセル２５０は、図３３に示すように、Ａｌで構成される第１層配線２０１、第１ビア２０２、ＴａＮで構成される電流制御素子の第３電極２０３、窒素不足型シリコン窒化物で構成される電流制御層２０４、ＴａＮで構成される電流制御素子の第４電極２０５、第２ビア２０６、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第１電極２０７、酸素含有率の低い第１のタンタル酸化物層２０８ａ、酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層２０８ｂ、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第２電極２０９、第３ビア２１０、Ａｌで構成される第２層配線２１１を順に形成して構成されており、第２のタンタル酸化物層２０８ｂを、抵抗変化素子の上部電極である第２電極２０９に接して構成することを特徴としている。
【０３５５】
この構造では、本発明の基礎データに記載した本出願の関連出願中で説明されているように、抵抗変化動作は上部電極である第２電極２０９と第２のタンタル酸化物層２０８ｂとの界面近傍で起こり、その動作はＢモードに対応している。
【０３５６】
図３３で、第１層配線２０１はビット線ＢＬ１に、第２層配線２１１はワード線ＷＬ１に対応しているので、第２層配線２１１の電圧に対し第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は低抵抗状態に変化し、第１層配線２０１の電圧に対し第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は高抵抗状態に変化する。
【０３５７】
図３４Ａ〜図３４Ｃはいずれも、図３３と同様に抵抗変化層を挟む上部電極及び下部電極構造において、上部電極に接して酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置し、何れもＢモード動作をするメモリセルの展開例である。
【０３５８】
図３４Ａは、第２ビア２０６を設けず、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２とを接する形で構成したメモリセルである。
【０３５９】
図３４Ｂは、第２ビア２０６と同一径で、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２を構成したメモリセルである。このメモリセルは、第２ビア２０６と同一径で構成されるため、メモリセルを配線の最小間隔にあわせて配置することが可能となり、小面積化することができる。このメモリセルは、抵抗変化素子２１３及び電流制御素子２１２の、積層方向に直交する断面の大きさ（一例としては上記の径）を、ビアと比べて同一又はより小さく形成した一例である。
【０３６０】
図３４Ｃは図３４Ｂに対し、第２層配線２１１をＰｔで構成することにより、第２層配線を抵抗変化素子２１３の第２電極として使用し、第１層配線２０１をＴａＮで構成することにより、第１層配線を電流制御素子２１２の第３電極として使用している。この場合、抵抗変化素子２１３の第２電極、電流制御素子２１２の第３電極を別途設ける必要がなくなるため、小面積化が可能となる。なお図３４Ｃでは、第２層配線２１１、第１層配線２０１の双方をメモリセルの両端の電極と共通にする例を示したが、このうちのどちらか一方のみを共通としてもよい。
【０３６１】
以上では、図２２、図３２Ａ〜図３２Ｄ、図３３、及び図３４Ａ〜図３４Ｃについて、第１層配線２０１の上に電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３、第２層配線２１１の順に構成する場合の構成例を説明したが、第１層配線２０１の上に抵抗変化素子２１３、電流制御素子２１２、第２層配線２１１の順に構成してもよい。そのような構成では、第１層配線２０１の上に、抵抗変化素子２１３の第１電極２０７、抵抗変化層２０８、第２電極２０９、電流制御素子２１２の第３電極２０３、電流制御層２０４、第４電極２０５、及び第２層配線２１１が、この順に形成される。
【０３６２】
なお、図２２や図３２Ａ〜図３２Ｄの電極構成のように、標準電極電位がより高い材料で上部電極を構成し、それに接して図３３や図３４Ａ〜図３４Ｃで示した酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置するという、異電極と濃度の異なるタンタル酸化物層とを組み合せた構造でもよいことは、いうまでもない。
【０３６３】
さらに、第３電極２０３あるいは第３電極２０３及び電流制御層２０４は、それぞれ第１層配線２０１上に同じ配線形状で形成してもよい。また第２電極２０９も、第２層配線２１１の下に、同じ配線形状で形成してもよい。
【０３６４】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例４］
次に、本発明の実施形態の基本構成における変形例４について説明する。上述してきた本発明の基本構成及びその変形例１〜３ではメモリセルがＢモードである場合について説明したが、本変形例４はメモリセルをＡモードとしたものである。以下、上述した説明と同様となる回路、動作等の説明は、適宜省略する。
【０３６５】
図３５は、本変形例４に係る不揮発性記憶装置の構成を示すブロック図である。本変形例４は、抵抗変化現象が抵抗変化素子の下部電極近傍で生じると考えられるＡモード動作が生じるメモリセルの構成と、それに最適な制御回路を示すものである。
【０３６６】
図３５において、抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０は、半導体基板上に、メモリ本体部１２１を備えており、メモリ本体部１２１は、メモリアレイ１２２と、行選択回路１０３と、列選択回路１０４と、書き込み回路１０５と、選択ビット線に流れる電流量を検出し、記憶されているデータが「１」か「０」かを判定する読み出し回路１０６と、端子ＤＱを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路１０７とを備えている。
【０３６７】
また、抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０の外部より与えられるアドレス信号を入力とし、所定のアドレスを選択指示するアドレス入力回路１０８と、制御信号を入力とする制御回路１０９の出力がメモリ本体部１２１に供給され、その動作を制御している。
【０３６８】
メモリアレイ１２２は、Ｍ行Ｎ列（Ｍ、Ｎは自然数のマトリクス状にメモリセルＭｉｊ（ｉ≦Ｍ、ｊ≦Ｎなる自然数。以下同じものは省略）が配列されている。メモリセルＭｉｊは、抵抗変化素子Ｒｉｊの一端と、正負の双方向に閾値電圧を有する電流制御素子Ｄｉｊの一端とを、互いに直列に接続して構成されている。抵抗変化素子Ｒｉｊの他端はビット線ＢＬｊに、電流制御素子Ｄｉｊの他端はワード線ＷＬｉに接続されている。なお、図３５では２行２列の４ビット分のメモリセルＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２（抵抗変化素子Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１及びＲ２２と、電流制御素子Ｄ１１、Ｄ１２、Ｄ２１及びＤ２２と、ビット線ＢＬ１及びＢＬ２と、ワード線ＷＬ１及びＷＬ２）のみを図示している。
【０３６９】
本構成では、ビット線ＢＬｊが下層の配線で構成され、紙面内の上下方向に配置されるとすると、ワード線ＷＬｉはビット線ＢＬｊより上層の配線で構成され、紙面内の左右方向に配置される。また抵抗変化素子Ｒｉｊは、抵抗変化現象が抵抗変化素子の下部電極近傍で生じるＡモードの特性になる構造で構成されている。
【０３７０】
ワード線ＷＬｉは、行選択回路１０３に接続され、読み出し又は書き込みモードにおいて択一的に行選択が行われる。
【０３７１】
またビット線ＢＬｊは、列選択回路１０４に接続され、読み出し又は書き込みモードにおいて択一的に列選択が行われる。
【０３７２】
データ入出力回路１０７は、書き込みモードにおいて、データ入力信号Ｄｉｎのデータ“０”又はデータ“１”の書き込み指示に従って、選択されたメモリセルＭｉｊ内の抵抗変化素子Ｒｉｊに対し、低抵抗化又は高抵抗化の書き込みを行う。本実施形態では、データ“０”書き込みを低抵抗化書き込みに、データ“１”書き込みを高抵抗化書き込みに対応させてある。
【０３７３】
書き込み回路１０５はデータ入出力回路１０７と接続され、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、その出力を入力とする電流制限回路１０５ｂ、及びロウレベルを駆動する第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を有している。また、データ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、及びロウレベルを駆動する第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を有している。
【０３７４】
そして、低抵抗化書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂにより電流制限した信号を、行選択回路１０３を介して選択ワード線ＷＬｉに供給する。一方、高抵抗化書き込みを行うときは、電流制限機能を有しない第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１で列選択回路１０４を介して選択ビット線ＢＬｊに信号を供給することを１つの特徴としている。
【０３７５】
このように構成される抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０において、ワード線ＷＬｉ及びビット線ＢＬｊが、それぞれ本発明の第１信号線及び第２信号線の一例である。第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、及び第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２が、それぞれ本発明の第１駆動回路、第２駆動回路、第３駆動回路、及び第４駆動回路の一例である。電流制限回路１０５ｂが、本発明の電流制限回路の一例である。また、行選択回路１０３及び列選択回路１０４が、それぞれ本発明の第１選択回路及び第２選択回路の一例である。
【０３７６】
図３６は、図３５においてＡで示す、メモリセルＭ１１の構成を示す断面図である。
【０３７７】
電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３は、各々、図３５における電流制御素子Ｄ１１、抵抗変化素子Ｒ１１に対応している。
【０３７８】
メモリセル２２０は、図３６に示すように、Ａｌで構成される第１層配線２０１、第１ビア２０２、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第２電極２０９、酸素不足型タンタル酸化物で構成される抵抗変化層２０８、ＴａＮで構成される抵抗変化素子の第１電極２０７、第２ビア２０６、ＴａＮで構成される電流制御素子の第４電極２０５、窒素不足型シリコン窒化物で構成される電流制御層２０４、ＴａＮで構成される電流制御素子の第３電極２０３、第３ビア２１０、Ａｌで構成される第２層配線２１１を順に形成して構成されており、抵抗変化素子の第１電極２０７と第２電極２０９とは異なる材料で構成されている。
【０３７９】
ここで、ビット線ＢＬｊ側に接続されているより下層の第２電極２０９を、ワード線ＷＬｉ側に接続される第１電極２０７に比べ標準電極電位がより高い材料であるＰｔで構成することを、もう１つの特徴としている。
【０３８０】
このメモリセル構造では、本発明の基礎データでも説明したように、抵抗変化動作は、第１電極を構成するＴａＮよりも高い標準電極電位を有するＰｔで構成される第２電極と、抵抗変化層２０８との界面近傍で起こり、その動作はＡモードに対応している。
【０３８１】
図３６で、第１層配線２０１はビット線ＢＬ１に、第２層配線２１１はワード線ＷＬ１に対応しているので、第１層配線２０１の電圧に対し第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は低抵抗状態に変化し、第２層配線２１１の電圧に対し第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は高抵抗状態に変化する。
【０３８２】
書き込み回路１０５の具体回路は、図２３Ａ及び図２３Ｂと同様である。
【０３８３】
書き込みモードにおいて、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みが指示されると、Ｃ＿ＮＬＲがロウレベル、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定され、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１と、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２がオンし、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１の出力電流がワード線ＷＬｉ、メモリセルＭｉｊ、ビット線ＢＬｊを主経路とし、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に流れ込む電流経路が形成される。
【０３８４】
また、電流制限回路１０５ｂの出力は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３で電流制限されるとともに、その出力電圧ＶＬＲ＿Ｏは、ＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３とすると、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３の電圧に上限が制限される。それとともに、トランジスタＭＮ３がソースフォロワ特性を持つため、低抵抗化書き込み電源電圧ＶＬＲを一定電圧以上に設定すると、トランジスタＭＮ３は定電流源として動作する。
【０３８５】
書き込みモードにおいてデータ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みが指示されると、Ｃ＿ＮＨＲがロウレベル、Ｃ＿ＨＲがハイレベルに設定され、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２と、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ１がオンし、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１の出力電流がビット線ＢＬｊ、メモリセルＭｉｊ、ワード線ＷＬｉを主経路とし、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２に流れ込む電流経路が形成される。この電流経路に電流制限回路を含まないため、高抵抗化書き込み電源電圧ＶＨＲの増加に従い、電流は単調に増加する。
【０３８６】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例４の動作］
以上の様に構成された抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０について、その動作を説明する。
【０３８７】
図３５のメモリセルＭ１１に対し、電圧を印加した場合の電圧と電流との関係は、上述した実施形態の基本構成、即ち図２４の場合と同様である。但しこの場合、メモリセルＭ１１（図３６における２２０）はＡモードで動作するため、図３６における第２層配線２１１に対し、第１層配線２０１が高い電位となる極性が正となる。
【０３８８】
変形例４における書き込み回路１０５の特性は、実施形態の基本構成の場合、即ち図２５Ａと同様であり、電流制限回路１０５ｂのＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の設定条件は、図２４、図２５Ｂから同様に求めることが可能であるため、ここでは説明は省略する。
【０３８９】
また、実施形態の基本構成（図２１）で述べたのと同様、電流制限回路１０５ｂは、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設けてもよい。同様に、電流制限回路１０５ｂを、抵抗変化素子の第１電極と書き込み回路１０５との間に配置すること（図２６参照）、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成すること（図２９Ａ及び図２９Ｂ参照）、抵抗変化素子の第２電極と書き込み回路１０５との間に配置すること（図３０参照）も可能である。
【０３９０】
次に、実施形態の基本構成の変形例４における抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０にデータを書き込む場合の、書き込みサイクルでの動作例について、図３７Ａ及び図３７Ｂに示すタイミング図を参照しながら説明する。
【０３９１】
図３７Ａ及び図３７Ｂは、本発明の実施形態の基本構成の変形例４に係る不揮発性記憶装置の動作例を示すタイミング図である。図３７Ａは、データ「０」、即ち低抵抗状態を書き込む場合を、図３７Ｂは、データ「１」、即ち高抵抗状態を書き込む場合を示している。
【０３９２】
以下において、説明はメモリセルＭ１１が選択され、データの書き込み及び読み出しが行われる場合についてのみ示す。Ｍ１１が選択メモリセルとなる場合、Ｍ１２はワード線が選択電位、ビット線が非選択電位となる非選択メモリセル、Ｍ２１はワード線が非選択電位、ビット線が選択電位となる非選択メモリセル、Ｍ２２はワード線もビット線も非選択電位となる非選択メモリセルとなる。
【０３９３】
図３７Ａ及び図３７Ｂでは、選択メモリセルＭ１１に流れる電流とあわせて、非選択メモリセルＭ１２、Ｍ２１、Ｍ２２に流れる電流も示している。また電流波形は、ワード線からビット線の方向、即ち抵抗変化素子の第１電極から第２電極の方向に流れる電流を正極性としている。
【０３９４】
以下、図３７Ａ及び図３７Ｂについて、期間Ｔ１〜Ｔ４の期間に分けて、その動作を説明する。なお、図３７Ａ及び図３７Ｂにおいて、ＶＤＤは抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０に供給される電源電圧に対応している。
【０３９５】
図３７Ａに示すメモリセルＭ１１に対するデータ「０」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０３９６】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が高抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１を使用して選択ワード線ＷＬ１をＶＬＲに駆動し、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を使用して選択ビット線ＢＬ１を０Ｖに駆動する。時間経過とともにワード線ＷＬ１の電位が上昇、ビット線ＢＬ１の電位が降下するが、ビット線ＢＬ１は比較的高速に降下するのに対し、電流制限回路１０５ｂを介して駆動されるワード線ＷＬ１は緩やかに上昇する。
【０３９７】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、低抵抗状態に遷移した期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子２１３に第２電極２０９を基準にして第１電極２０７に、抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈとなる絶対値を持つ電圧が抵抗変化素子Ｒ１１に印加された時点で、高抵抗値から低抵抗値に書き込みが行われる。低抵抗化すると共に、メモリセルＭ１１に流れる電流は増加するが、電流制限回路１０５ｂがあるため、電流値は一定値以上増加しない。そのため、抵抗値が一定の値で低抵抗化は留まる。
【０３９８】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「０」の書き込みが完了する。
【０３９９】
図３７Ｂに示すメモリセルＭ１１に対するデータ「１」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０４００】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が低抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１を使用して選択ビット線ＢＬ１をＶＨＲに駆動し、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を使用して選択ワード線ＷＬ１を０Ｖに駆動する。時間経過とともにビット線ＢＬ１の電位が上昇、ワード線ＷＬ１の電位が降下するが、電流制限回路を介さないため、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１とも、比較的高速に変化する。
【０４０１】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、高抵抗状態に遷移した期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子２１３に第１電極２０７を基準にして第２電極２０９に、抵抗変化素子の高抵抗化電圧ＶＨｔｈを超える絶対値を持つ電圧が印加された時点で、低抵抗値から高抵抗値に書き込みが行われる。
【０４０２】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「１」の書き込みが完了する。
【０４０３】
なお、メモリセルＭｉｊは図３６に示す構造に限定されるものではなく、Ａモード特性を示す次のようなものでもよい。
【０４０４】
図３８Ａ〜図３８Ｄはいずれも、図３６と同様に抵抗変化層を挟む上部電極及び下部電極構造において、互いに異なる電極材料からなり、かつ下部電極を上部電極と比べて標準電極電位がより高い材料で構成することにより、Ａモード動作をするメモリセルの展開例である。
【０４０５】
図３８Ａは、第２ビア２０６を設けず、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２とを接する形で構成したメモリセルである。
【０４０６】
図３８Ｂは図３８Ａに対し、ＴａＮで構成される電流制御素子２１２の第４電極２０５とＴａＮで構成される抵抗変化素子２１３の第１電極とを、共通にしたメモリセルである。このメモリセルは、電極を共通にできるため、製造が容易となる。
【０４０７】
図３８Ｃは、第２ビア２０６と同一径で、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２を構成したメモリセルである。このメモリセルは、第２ビア２０６と同一径で構成されるため、メモリセルを配線の最小間隔にあわせて配置することが可能となり、小面積化することができる。このメモリセルは、抵抗変化素子２１３及び電流制御素子２１２の、積層方向に直交する断面の大きさ（一例としては上記の径）を、ビアと比べて同一又はより小さく形成した一例である。
【０４０８】
図３８Ｄは図３８Ｃに対し、第１層配線２０１をＰｔで構成することにより、第１層配線を抵抗変化素子２１３の第２電極として使用し、第２層配線２１１をＴａＮで構成することにより、第２層配線を電流制御素子２１２の第３電極として使用している。この場合、抵抗変化素子２１３の第２電極、電流制御素子２１２の第３電極を別途設ける必要がなくなるため、小面積化が可能となる。なお図３８Ｄでは、第２層配線２１１、第１層配線２０１の双方をメモリセルの両端の電極と共通にする例を示したが、このうちのどちらか一方のみを共通としてもよい。
【０４０９】
以上では、第１層配線２０１の上に抵抗変化素子２１３、電流制御素子２１２、第２層配線２１１の順に構成する場合の構成例を説明したが、図３６、及び図３８Ａ、図３８Ｃ、図３８Ｄの各場合については、第１層配線２０１の上に電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３、第２層配線２１１の順に構成してもよい。そのような構成では、第１層配線２０１の上に、電流制御素子２１２の第４電極２０５、電流制御層２０４、第３電極２０３、抵抗変化素子２１３の第２電極２０９、抵抗変化層２０８、第１電極２０７、及び第２層配線２１１が、この順に形成される。
【０４１０】
図３９はＡモード動作をする別な構造のメモリセル２７０の一例を示す。なお、図３６と同じものは、同じ記号を付している。
【０４１１】
メモリセル２７０は、図３９に示すように、Ａｌで構成される第１層配線２０１、第１ビア２０２、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第２電極２０９、酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層２０８ｂ、酸素含有率の低い第１のタンタル酸化物層２０８ａ、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第１電極２０７、第２ビア２０６、ＴａＮで構成される電流制御素子の第４電極２０５、窒素不足型シリコン窒化物で構成される電流制御層２０４、ＴａＮで構成される電流制御素子の第３電極２０３、第３ビア２１０、Ａｌで構成される第２層配線２１１を順に形成して構成されており、第２のタンタル酸化物層２０８ｂを、抵抗変化素子の下部電極である第２電極２０９に接して構成することを特徴としている。
【０４１２】
この構造では、本発明の基礎データに記載した本出願の関連出願中で説明されているように、抵抗変化動作は下部電極である第２電極２０９と第２のタンタル酸化物層２０８ｂとの界面近傍で起こり、その動作はＡモードに対応している。
【０４１３】
図３９で、第１層配線２０１はビット線ＢＬ１に、第２層配線２１１はワード線ＷＬ１に対応しているので、第１層配線２０１の電圧に対し第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は低抵抗状態に変化し、第２層配線２１１の電圧に対し第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は高抵抗状態に変化する。
【０４１４】
図４０Ａ〜図４０Ｃはそれぞれ、図３９と同様に抵抗変化層を挟む上部電極及び下部電極構造において、下部電極に接して酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置し、何れもＡモード動作をするメモリセルの展開例である。
【０４１５】
図４０Ａは、第２ビア２０６を設けず、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２とを接する形で構成したメモリセルである。
【０４１６】
図４０Ｂは、第２ビア２０６と同一径で、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２を構成したメモリセルである。このメモリセルは、第２ビア２０６と同一径で構成されるため、メモリセルを配線の最小間隔にあわせて配置することが可能となり、小面積化することができる。このメモリセルは、抵抗変化素子２１３及び電流制御素子２１２の、積層方向に直交する断面の大きさ（一例としては上記の径）を、ビアと比べて同一又はより小さく形成した一例である。
【０４１７】
図４０Ｃは図４０Ｂに対し、第１層配線２０１をＰｔで構成することにより、第１層配線を抵抗変化素子２１３の第２電極として使用し、第２層配線２１１をＴａＮで構成することにより、第２層配線を電流制御素子２１２の第３電極として使用している。この場合、抵抗変化素子２１３の第２電極、電流制御素子２１２の第３電極を別途設ける必要がなくなるため、小面積化が可能となる。なお図４０Ｃでは、第２層配線２１１、第１層配線２０１の双方をメモリセルの両端の電極と共通にする例を示したが、このうちのどちらか一方のみを共通としてもよい。
【０４１８】
以上では、図３９、及び図４０Ａ〜図４０Ｃについて、第１層配線２０１の上に抵抗変化素子２１３、電流制御素子２１２、第２層配線２１１の順に構成する場合の構成例を説明したが、第１層配線２０１の上に電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３、第２層配線２１１の順に構成してもよい。そのような構成では、第１層配線２０１の上に、電流制御素子２１２の第４電極２０５、電流制御層２０４、第３電極２０３、抵抗変化素子２１３の第２電極２０９、抵抗変化層２０８、第１電極２０７、及び第２層配線２１１が、この順に形成される。
【０４１９】
なお、図３６や図３８Ａ〜図３８Ｄの電極構成の様に、標準電極電位がより高い材料で下部電極を構成し、それに接して図３９や図４０Ａ〜図４０Ｃで示した酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置するという、異電極と濃度の異なるタンタル酸化物層とを組み合せた構造でもよいことは、いうまでもない。さらに、第３電極２０３あるいは第３電極２０３及び電流制御層２０４は、それぞれ第２層配線２１１上に同じ配線形状で形成してもよい。また、第２電極２０９も、第１層配線２０１の下に、同じ配線形状で形成してもよい。
【０４２０】
［本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置］
以上述べてきた、本発明の実施形態の基本構成及びその変形例１〜４を基にして、以下に、本発明の実施形態の詳細について説明する。
【０４２１】
上述した実施形態の基本構成及びその変形例１〜４においては、抵抗変化素子を高抵抗化させるときは、抵抗変化素子の第２電極側に接続したＨＲ化駆動回路から電流を供給し、一方、低抵抗化させるときは、電流制限回路を介して、抵抗変化素子の第１電極側に接続したＬＲ化駆動回路から電流を供給し、電流制限回路を制御する。これにより、高抵抗化するときよりも少ない電流を供給することによって、想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止し、抵抗変化素子にばらつきが少なく、所望の抵抗値を設定することが可能となる。さらには想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止できるため、電流制御素子の信頼性低下、破壊を防止できる。
【０４２２】
しかしながら、抵抗変化素子を低抵抗化させるときに、電流制限回路を介して電流を供給するため、ビット線もしくはワード線を充放電する時間が長くなり、書き込み速度が低下する。
【０４２３】
ここで、電流制限は、抵抗変化素子が低抵抗状態に変化する時点で行われていればよく、低抵抗化書き込みを開始してから、抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの時間は、電流を制限する必要はない。このために、本実施形態においては、電流駆動能力を強化するブースト回路を設け、低抵抗状態への書き込みを開始してから抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの期間は、電流制限回路に加え、ブースト回路を併せて用いることにより、ビット線もしくはワード線を充放電する時間を短縮することができるため、書き込み速度を改善することが可能である。
【０４２４】
以下、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置の実施形態として、電流制限回路に加え、ブースト回路を設けた１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリ装置について説明する。以下、上述した、実施形態の基本構成やその変形例と同様の構成については、説明を適宜省略する。
【０４２５】
図４１は、本発明の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を示すブロック図である。本実施形態は、抵抗変化現象が抵抗変化素子の上部電極近傍で生じると考えられるＢモード動作が生じるメモリセルの構成と、それに最適な制御が可能であり、かつその制御に伴って生じる速度低下を抑制可能な制御回路を示すものである。以下、本実施形態は、抵抗変化素子がＢモード動作を行う場合について説明するが、Ａモード動作を行う場合については、上述した、実施形態の基本構成の変形例４と同様である。
【０４２６】
図４１において、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００は、半導体基板上に、メモリ本体部１０１を備えている。また、メモリ本体部１０１は、メモリアレイ１０２と、行選択回路１０３と、列選択回路１０４と、書き込み回路１０５と、選択ビット線に流れる電流量を検出し、記憶されているデータが「１」か「０」かを判定する読み出し回路１０６と、端子ＤＱを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路１０７とを備えている。
【０４２７】
また、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００は、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００の外部より与えられるアドレス信号を入力とし、所定のアドレスを選択指示するアドレス入力回路１０８と、制御信号を入力とする制御回路１０９とを備えている。これらアドレス入力回路１０８及び制御回路１０９の出力信号がメモリ本体部１０１に供給され、メモリ本体部１０１の動作を制御している。
【０４２８】
メモリアレイ１０２、行選択回路１０３、列選択回路１０４、及びデータ入出力回路１０７は、図２１の場合と同様である。
【０４２９】
メモリアレイ１０２において、複数のメモリセルＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１及びＭ２２は複数のビット線ＢＬ１及びＢＬ２と複数のワード線ＷＬ１及びＷＬ２との交差点に配置される。また、各交差点に配置されたメモリセルの両端は、交差する１組のビット線とワード線とにそれぞれ接続されている。
【０４３０】
各メモリセルＭｉｊは、予め定められた第１の極性の第１電圧が印加されると第１範囲に属する抵抗値の低抵抗状態に変化し、かつ第１の極性とは逆の第２の極性の第２電圧が印加されると第１範囲よりも高い第２範囲に属する抵抗値の高抵抗状態に変化する抵抗変化素子Ｒｉｊと、抵抗変化素子Ｒｉｊと直列に接続される２端子の電流制御素子Ｄｉｊとを含む。
【０４３１】
書き込み回路１０５は、複数のメモリセルＭｉｊに複数のビット線ＢＬｊ及び複数のワード線ＷＬｉを介して印加される両極性の電圧を発生する。この書き込み回路１０５はデータ入出力回路１０７と接続される。書き込み回路１０５は、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１と、その出力を入力とする電流制限回路１０５ｂと、低抵抗化書き込みを行うときにロウレベルを駆動する第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２と、書き込み開始後の一定時間ハイレベルを駆動するブースト回路１０５ｄとを有している。また、書き込み回路１０５は、データ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、及びロウレベルを駆動する第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を有している。
【０４３２】
そして、書き込み回路１０５は、低抵抗化書き込みを行うとき、電流制限回路１０５ｂにより電流制限した信号を、列選択回路１０４を介して選択ビット線ＢＬｊに供給し、さらに低抵抗化書き込み開始後の一定期間は、電流制限回路１０５ｂを介さずに、上記信号をブースト回路１０５ｄから列選択回路１０４を介して選択ビット線ＢＬｊに供給する。一方、高抵抗化書き込みを行うときは、書き込み回路１０５は、電流制限機能を有しない第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１から、行選択回路１０３を介して選択ワード線ＷＬｉに信号を供給することを１つの特徴としている。
【０４３３】
このように構成される抵抗変化型不揮発性記憶装置１００において、ビット線ＢＬｊ及びワード線ＷＬｉが、それぞれ本発明の第１信号線及び第２信号線の一例である。第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、及び第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２が、それぞれ本発明の第１駆動回路、第２駆動回路、第３駆動回路、及び第４駆動回路の一例である。電流制限回路１０５ｂが、本発明の電流制限回路の一例であり、ブースト回路１０５ｄが、本発明のブースト回路の一例である。また、列選択回路１０４及び行選択回路１０３が、それぞれ本発明の第１選択回路及び第２選択回路の一例である。
【０４３４】
メモリセルＭ１１の構成を示す断面図は、図２２の場合と同様である。また、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、及び第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２は、図２３Ａ、図２３Ｂ、図２５Ａ、図２８Ａ、図２９Ａ、又は図２９Ｂの回路構成にて実現できる。
【０４３５】
電流制限回路１０５ｂは、書き込み回路１０５から複数のメモリセルへ流れる電流の経路に挿入される。また、電流制限回路１０５ｂは、複数のメモリセルを低抵抗状態に変化させる方向の第１電流と、複数のメモリセルを高抵抗状態に変化させる方向の第２電流とのうち、第１電流のみを制限する。
【０４３６】
ブースト回路１０５ｄは、書き込み回路１０５から複数のメモリセルへ流れる電流の経路に接続された出力端子１３０を有する。また、ブースト回路１０５ｄは、複数のメモリセルのうちいずれかを低抵抗状態に変化させるとき、当該メモリセルが低抵抗状態へ変化する前の第１期間において、出力端子１３０をブースト電圧源に短絡することにより第１電流を増加させる。
【０４３７】
図４２は、図４１の書き込み回路１０５中の、ブースト回路１０５ｄの具体的回路構成の一例を示している。書き込み回路１０５中の、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、電流制限回路１０５ｂについては、図２３Ａ、図２３Ｂ、図２５Ａ、図２８Ａ、図２９Ａ及び図２９Ｂのいずれかの場合と同様である。
【０４３８】
ブースト回路１０５ｄは、スイッチとして機能するＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４で構成されている。このＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４は、ブースト電圧源と出力端子１３０との間に接続されている。具体的には、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のソース端子はブースト電圧源に接続されており、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のドレイン端子は出力端子１３０に接続されている。
【０４３９】
Ｃ＿ＮＢＴは、低抵抗化書き込みパルスの発生時、その活性化後の一定期間（低抵抗状態への書き込みを開始してから一定期間）、ロウレベルとなるブースト制御信号である。つまり、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４は上記一定期間（第１期間）にオンし、メモリセルが低抵抗状態に変化する前に、オフする。
【０４４０】
また、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のソース端子には、ブースト電圧源から供給されるブースト電源電圧ＶＢＴが供給され、当該Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４が十分なブースト電流を駆動できる能力を有するように設定されている。
【０４４１】
書き込みモードにおいて、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みが指示されると、低抵抗化書き込み開始後、メモリセルが低抵抗状態に変化するまでの間の一定期間（数ｎｓ〜数十ｎｓ）、Ｃ＿ＮＢＴがロウレベル（電圧ＶＣＢＴ）に設定され、ブースト回路１０５ｄのＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４がオンし、ブースト電源電圧ＶＢＴを供給するブースト電圧源からブースト回路１０５ｄ、ビット線ＢＬｊ、メモリセルＭｉｊ、ワード線ＷＬｉを経路とし、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に電流が流れ込む電流経路が形成される。加えて、図２３Ａ、図２３Ｂ、図２５Ａ、図２８Ａ、図２９Ａ、又は図２９Ｂのいずれかの回路において、Ｃ＿ＮＬＲがロウレベル、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定され、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１と、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２とがオンし、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１の出力電流が、電流制限回路１０５ｂ、ビット線ＢＬｊ、メモリセルＭｉｊ、ワード線ＷＬｉを主経路とし、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に流れ込む電流経路が形成される。なお、電流制限回路１０５ｂの出力は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３で電流制限されるとともに、その出力電圧ＶＬＲ＿Ｏは、トランジスタＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３とすると、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３の電圧に上限が制限される。それとともに、トランジスタＭＮ３がソースフォロワ特性を持つため、低抵抗化書き込み電源電圧ＶＬＲを一定電圧以上に設定すると、トランジスタＭＮ３は定電流源として動作する。よって、メモリセルに流れる電流は一定となる。
【０４４２】
なお、電流制限回路１０５ｂは、ブースト回路１０５ｄと同時に動作してもよい。その時は、ブースト回路１０５ｄによる電流が支配的となり、選択されたメモリセルに接続された配線へのプリチャージが速やかになされる。
【０４４３】
一方、ブースト回路１０５ｄは、選択された抵抗変化素子に印加される電圧が、抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達する前にオフされ、上記電流制限が有効になるようにする必要がある。
【０４４４】
書き込みモードにおいてデータ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みが指示された場合は、上述した実施形態の基本構成と同じである。
【０４４５】
［本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作］
以上のように構成された抵抗変化型不揮発性記憶装置１００について、その動作を説明する。なお、メモリセルの動作は、上述した実施形態の基本構成の場合と同様のため、省略する。
【０４４６】
図４３Ａは、シミュレーションにより求めた、図２５Ａに示した書き込み回路を用いて低抵抗化書き込みを行った時の、ビット線ＢＬ１の経時変化を示す図である。既に述べた実施形態の基本構成の場合と同じく、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１は、低抵抗状態を想定して１０ｋΩの固定値としている。また、図４３Ａにおいて、比較のため、電流制限回路１０５ｂを介さない場合のビット線ＢＬ１の経時変化を、破線で示している。
【０４４７】
図４３Ａに示すように、電流制限回路１０５ｂを介することにより、ビット線ＢＬ１の立ち上がり速度が遅くなることがわかる。このため、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定されてから、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１に印加される電圧が低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達するまでの時間が、電流制限回路１０５ｂを介さない場合と比較して長くなる。
【０４４８】
これに対し、図２５Ａに示した書き込み回路に加え、図４２に示したブースト回路１０５ｄを接続し、ブースト制御信号Ｃ＿ＮＢＴを低抵抗化書き込み開始後、選択ビット線ＢＬ１の電位が低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達するまでの一定期間ロウレベルにした場合のビット線ＢＬ１の経時変化を、図４３Ｂに示す。図４３Ｂに示すように、図４３Ａと比較して、ビット線ＢＬ１の立ち上がり速度が速くなり、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定されてから、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１に印加される電圧が低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達するまでの時間が短くなることがわかる。
【０４４９】
上述した実施形態の基本構成で説明したとおり、遅くとも、抵抗変化素子が低抵抗状態に変化する時点で電流制限を行う必要がある。そのため、ブースト制御信号Ｃ＿ＮＢＴは、抵抗変化素子が低抵抗状態への変化を開始する直前にハイレベルとなってブースト回路１０５ｄの出力をオフするよう、調整しておくことが望ましい。
【０４５０】
なお、ブースト制御信号Ｃ＿ＮＢＴは、例えば、制御回路１０９等により生成される。
【０４５１】
また、図４２に示すブースト回路１０５ｄの駆動能力は、ブースト電源電圧ＶＢＴ、ブースト制御電圧ＶＣＢＴ（Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のゲート電圧）のいずれか一方、もしくは両方を調整することで、調整可能である。ブースト電源電圧ＶＢＴを上昇、もしくはブースト制御電圧ＶＣＢＴを低減させ、ビット線に供給する電流能力を上げることによって、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定されてから、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１に印加される電圧が低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達するまでの時間を短くすることができる。
【０４５２】
一方、ブースト電源電圧ＶＢＴを低減、もしくはブースト制御電圧ＶＣＢＴを上昇させることにより、ブースト回路１０５ｄを活性化させたときにメモリセルに印加される電圧を抑えることできるため、より安定して低抵抗化書き込みを行うことが可能である。さらには、ブースト電源電圧ＶＢＴを抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈ以下とすることにより、抵抗変化素子が低抵抗化する時点で、ブースト回路１０５ｄからは電流が供給されず、電流制限回路１０５ｂのみから電流が供給されるため、抵抗変化素子に対し確実に電流制限を行うことが可能となる。
【０４５３】
ブースト制御電圧ＶＣＢＴは、メモリセルの抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの一定期間、ロウレベル（Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４をオン）になる。この一定期間は、図４４に示すように、ブースト回路１０５ｄの出力信号を用いて生成してもよい。つまり、ブースト回路１０５ｄは、出力端子１３０の電圧をフィードバックした信号を用い、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４がオンした後、出力端子１３０の電圧が予め定められた電圧に達した際に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４をオフしてもよい。
【０４５４】
図４４に示すブースト回路１０５ｄは、さらに、インバータ１３１と、ＮＡＮＤ回路１３２とを備える。
【０４５５】
Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のドレイン端子（出力端子１３０）は、インバータ１３１を介してＮＡＮＤ回路１３２の一方の入力端子に接続されている。また、ＮＡＮＤ回路１３２の他方の入力端子にブースト制御信号Ｃ＿ＢＴが入力されている。ここでＣ＿ＢＴは、低抵抗化書き込み開始後の一定期間、ハイレベルに設定されるブースト制御信号である。図４４の構成により、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が低い間は、ＶＣＢＴはロウレベルとなり、ブースト回路１０５ｄはオンとなる。また、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が上がるとＶＣＢＴはハイレベルとなり、ブースト回路１０５ｄはオフとなる。
【０４５６】
図４５は、この場合の各信号の経時変化を示す図である。図４５に示すように、ブースト制御信号Ｃ＿ＢＴがロウレベルからハイレベルに変化すると、制御電圧ＶＣＢＴがハイレベルからロウレベルに変化する。これにより、これにより、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４がオンすることにより、ブースト回路１０５ｄがオンする。
【０４５７】
その後、出力端子１３０（ＢＬ１）の電圧が、予め定められた電圧Ｖｔｈ１以上になると、制御電圧ＶＣＢＴがロウレベルからハイレベルに変化する。これにより、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４がオフすることにより、ブースト回路１０５ｄがオフする。
【０４５８】
なお、電圧Ｖｔｈ１は低抵抗化電圧ＶＬｔｈより小さい。また、この電圧Ｖｔｈ１は、インバータ１３１の論理閾値電圧（出力電圧が変化する入力電圧）により決定される。
【０４５９】
ここで、図４４のインバータ１３１の出力信号を、入力信号に対して緩やかに変化する様に設計し、同様にＮＡＮＤ回路１３２の出力信号を、入力信号に対して緩やかに変化する様に設計することにより、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が上がるに従い、ブースト制御電圧ＶＣＢＴがロウレベルからハイレベルに徐々に変化する。これにより、ブースト回路１０５ｄの駆動能力を徐々に小さくしていくことができる。この構成によって、より最適にブースト回路１０５ｄの電流能力を制御することが可能である。
【０４６０】
また、一般に用いられるレプリカ回路を使用して、抵抗変化素子に低抵抗化電圧ＶＬｔｈが印加されるまでの期間、論理が反転する信号を生成し、当該信号の論理が反転する期間を上記一定期間として用いてもよい。
【０４６１】
なお、図４１の構成では、ブースト回路１０５ｄは列選択回路１０４に接続され、駆動電流は、電圧ＶＢＴを供給するブースト電圧源から供給されるが、図４６のように、ブースト回路１０５ｄを列選択回路１０４と第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１とに接続し、ブースト電流を、電圧源である第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１からブースト回路１０５ｄに供給してもよい。
【０４６２】
つまり、図４６に示す構成では、ブースト回路１０５ｄは、電流制限回路１０５ｂと並列に接続される。また、電流制限回路１０５ｂ及びブースト回路１０５ｄは、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１と列選択回路１０４との間に挿入されている。
【０４６３】
［本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例１］
図４７は、本実施形態において、Ｐ型ＭＯＳトランジスタを用いてブースト回路１０５ｄを構成する場合の、図４１とは異なる変形例１を示している。
【０４６４】
図４７ではブースト回路１０５ｄは、抵抗変化素子の第１電極側と列選択回路１０４との間に配置している。これは、既に述べた基本構成の変形例１（図２６）において、ブースト回路１０５ｄを、抵抗変化素子の第１電極側と列選択回路１０４との間に配置した構成に相当する。
【０４６５】
つまり、図４７に示す構成では、電流制限回路１０５ｂは、列毎に設けられた複数の制限回路を含み、列選択回路１０４及び各ビット線の間に複数の制限回路（Ｎ型ＭＯＳトランジスタ）の各々が挿入されている。また、ブースト回路１０５ｄは、列毎に設けられた複数のブースト回路部（Ｐ型ＭＯＳトランジスタ）を含み、列選択回路１０４及び各ビット線の間に複数のブースト回路部の各々が挿入されている。また、互いに対応する列の制限回路（Ｎ型ＭＯＳトランジスタ）とブースト回路部（Ｐ型ＭＯＳトランジスタ）とは並列に接続されている。
【０４６６】
図４７の構成では、ブースト回路１０５ｄをメモリセルアレイの近くに配置するため、図４１の場合と比較して、よりメモリセルに近い位置でブーストの制御を行うことが可能となる。よって低抵抗化書き込み動作を行うときに、ブースト回路１０５ｄを介して充放電すべき容量負荷を低減することができるため、追随性よくブーストを行うことが可能となる。
【０４６７】
ここで、列選択回路１０４は一般に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタと、Ｎ型ＭＯＳトランジスタと、デコーダ回路とで構成され、選択されたメモリセルに対応したビット線が択一的に選択される。この列選択回路１０４のＰ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧を、列選択信号とブースト制御信号とで制御することにより、列選択回路１０４に電流をブーストする機能を持たせることができる。この場合、ブースト回路１０５ｄを別途設ける必要がなくなり、面積を削減することができる。つまり、各Ｎ型ＭＯＳトランジスタ（制限回路）及び各Ｐ型ＭＯＳトランジスタ（ブースト回路部）のゲートに選択信号が供給されることで、電流制限回路１０５ｂ及びブースト回路１０５ｄは列選択回路１０４と共用されてもよい。
【０４６８】
［本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２］
実施形態の基本構成の変形例２（図２７）で説明したように、電流制限回路１０５ｂは第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１側ではなく、図４８のように第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設けることも可能である。電流制限回路１０５ｂを第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設ける場合は、図４８に示すようにブースト回路１０５ｄも第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設け（ブースト回路１０５ｄを行選択回路１０３と第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に接続）、さらにブースト回路１０５ｄを図４９に示すように、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ４で構成し、ブースト制御信号Ｃ＿ＢＴを、低抵抗化書き込みパルスの発生時、その活性化後の一定期間ハイレベルとすればよい。
【０４６９】
本変形例２では、ブースト制御電圧ＶＣＢＴは、メモリセルの抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの一定期間、ハイレベルになる。この一定期間は、図５０のように、ブースト回路１０５ｄの出力電圧を用いて生成してもよい。つまり、ブースト回路１０５ｄは、出力端子１３０の電圧をフィードバックした信号を用い、トランジスタＭＮ４がオンした後、出力端子１３０の電圧が予め定められた電圧に達した際に、トランジスタＭＮ４をオフしてもよい。
【０４７０】
また、図５０の構成では、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ４のドレイン端子（出力端子１３０）を、ＡＮＤ回路１３３の一方の入力端子に接続し、他方の入力端子にブースト制御信号Ｃ＿ＢＴを接続している。ここで、Ｃ＿ＢＴは、低抵抗化書き込み開始後の一定期間、ハイレベルに設定されるブースト制御信号である。図５０の構成により、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が高い間は、ＶＣＢＴはハイレベルとなり、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が下がるとロウレベルとなるように制御される。さらには、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が下がるに従い、ブースト制御電圧ＶＣＢＴはハイレベルからロウレベルに徐々に変化し、ブースト回路の駆動能力を小さくしていくことができるため、より最適にブースト回路の電流能力を制御することが可能である。
【０４７１】
また、図５１のように、ブースト回路１０５ｄの入力を第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に接続し、ブースト電流を第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２からブースト回路１０５ｄに供給してもよい。つまり、図５１に示す構成では、ブースト回路１０５ｄは、電流制限回路１０５ｂと並列に接続される。また、電流制限回路１０５ｂ及びブースト回路１０５ｄは、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２と行選択回路１０３との間に挿入されている。
【０４７２】
さらに、図５２のように、ブースト回路１０５ｄを、抵抗変化素子の第２電極と行選択回路１０３との間に配置することも可能である。
【０４７３】
つまり、図５２に示す構成では、電流制限回路１０５ｂは、行毎に設けられた複数の制限回路を含み、行選択回路１０３及び各ワード線の間に複数の制限回路（Ｐ型ＭＯＳトランジスタ）の各々が挿入されている。また、ブースト回路１０５ｄは、行毎に設けられた複数のブースト回路部（Ｎ型ＭＯＳトランジスタ）を含み、行選択回路１０３及び各ワード線の間に複数のブースト回路部の各々が挿入されている。また、対応する列の制限回路（Ｐ型ＭＯＳトランジスタ）とブースト回路部（Ｎ型ＭＯＳトランジスタ）とは並列に接続されている。
【０４７４】
図５２の構成では、ブースト回路１０５ｄをメモリセルアレイの近くに配置するため、図４８の場合と比較して、よりメモリセルに近い位置でブーストの制御を行うことが可能となる。したがって、低抵抗化書き込み動作を行うときに、ブースト回路１０５ｄを介して充放電すべき容量負荷を低減することができるため、追随性よくブーストを行うことが可能となる。
【０４７５】
ここで、行選択回路１０３は一般に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及びＮ型ＭＯＳトランジスタと、デコーダ回路とで構成され、選択されたメモリセルに対応したワード線が択一的に選択される。この行選択回路１０３のＰ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧を、行選択信号とブースト制御信号とで制御することにより、行選択回路１０３に電流をブーストする機能を持たせることができる。この場合、ブースト回路１０５ｄを別途設ける必要がなくなり、面積を削減することができる。つまり、各Ｐ型ＭＯＳトランジスタ（制限回路）及び各Ｎ型ＭＯＳトランジスタ（ブースト回路部）のゲートに選択信号が供給されることで、電流制限回路１０５ｂ及びブースト回路１０５ｄは行選択回路１０３と共用されてもよい。
【０４７６】
次に、本実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置１００にデータを書き込む場合の、書き込みサイクルでの動作例について、図５３に示すタイミング図を参照しながら説明する。
【０４７７】
図５３では、データ「０」、即ち低抵抗状態を書き込む場合のみを示しており、データ「１」即ち高抵抗状態を書き込む場合は、第１の実施例の図３１Ｂと同様である。
【０４７８】
以下において、説明はメモリセルＭ１１が選択され、データの書き込みが行われる場合についてのみ示す。メモリセルＭ１１が選択メモリセルとなる場合、メモリセルＭ１２はワード線が選択電位、ビット線が非選択電位となる非選択メモリセルであり、メモリセルＭ２１はワード線が非選択電位、ビット線が選択電位となる非選択メモリセルであり、メモリセルＭ２２はワード線もビット線も非選択電位となる非選択メモリセルである。図５３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流とあわせて、非選択メモリセルＭ１２、Ｍ２１、Ｍ２２に流れる電流も示している。また電流波形は、ワード線からビット線の方向、即ち抵抗変化素子の第２電極から第１電極の方向に流れる電流を正極性としている。
【０４７９】
以下、図５３について、期間Ｔ１〜Ｔ４の期間に分けて、その動作を説明する。なお、図５３において、ＶＤＤは抵抗変化型不揮発性記憶装置１００に供給される電源電圧に対応している。
【０４８０】
図５３に示すメモリセルＭ１１に対するデータ「０」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線（ＷＬ１及びＷＬ２）をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線（ＢＬ１及びＢＬ２）を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０４８１】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が高抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１を使用して選択ビット線ＢＬ１をＶＬＲに駆動し、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を使用して選択ワード線ＷＬ１を０Ｖに駆動する。また、ブースト回路１０５ｄを使用して選択ビット線ＢＬ１を駆動するが、ブースト制御信号Ｃ＿ＮＢＴは期間Ｔ２においてオフ、即ちハイレベルとなる。時間経過とともにビット線ＢＬ１の電位が上昇、ワード線ＷＬ１の電位が降下する。ここで、ワード線ＷＬ１は図３１Ａ及び図３１Ｂに示す第１の実施例の場合と同様、比較的高速に降下するが、ビット線ＢＬ１は第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１に加え、ブースト回路１０５ｄによっても駆動されるため、第１の実施例の場合と比較すると高速に上昇する。
【０４８２】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、低抵抗状態に遷移する期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子Ｒ１１に、第２電極２０９を基準にして第１電極２０７に抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈを超える絶対値を持つ電圧が印加された時点で、高抵抗値から低抵抗値に書き込みが行われる。低抵抗化すると共に、メモリセルＭ１１に流れる電流は増加するが、電流制限回路１０５ｂがあるため、電流値は一定値以上増加しない。そのため、抵抗値が一定の値で低抵抗化は留まる。
【０４８３】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「０」の書き込みが完了する。
【０４８４】
なお、メモリセルＭｉｊは図２２に示す構造に限定されるものではなく、図３２Ａ〜図３２Ｄ、図３３、図３４Ａ〜図３４Ｃに示す構成でもよい。さらには図２２や図３２Ａ〜図３２Ｄの電極構成のように、標準電極電位がより高い材料で上部電極を構成し、それに接して図３３や図３４Ａ〜図３４Ｃで示した酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置するという、異電極と濃度の異なるタンタル酸化物層とを組み合せた構造でもよいことは、実施形態の基本構成で述べた場合と同様である。
【０４８５】
また、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置は、タンタル酸化物、ハフニウム酸化物以外に、ジルコニウム酸化物などの他の遷移金属酸化物についても同様に適用できる。また、上下電極間に挟まれる遷移金属酸化物層としては、抵抗変化を発現する主たる抵抗変化層として、タンタル、ハフニウム、ジルコニウム等の酸化物層が含まれていればよく、これ以外に例えば微量の他元素が含まれていても構わない。抵抗値の微調整等で、他元素を少量、意図的に含めることも可能であり、このような場合も本発明の範囲に含まれるものである。また、スパッタリングにて抵抗膜を形成した際に、残留ガスや真空容器壁からのガス放出などにより、意図しない微量の元素が抵抗膜に混入することがあるが、このような微量の元素が抵抗膜に混入した場合も本発明の範囲に含まれることは当然である。
【０４８６】
また、上記各図において、各構成要素の角部及び辺を直線的に記載しているが、製造上の理由により、角部及び辺が丸みをおびたものも本発明に含まれる。
【０４８７】
また、上記実施形態に係る、抵抗変化型不揮発性記憶装置、及びその変形例の機能又は構成のうち少なくとも一部を組み合わせてもよい。
【０４８８】
また、上記で用いた数字は、全て本発明を具体的に説明するために例示するものであり、本発明は例示された数字に制限されない。さらに、ハイ／ローにより表される論理レベル又はオン／オフにより表されるスイッチング状態は、本発明を具体的に説明するために例示するものであり、例示された論理レベル又はスイッチング状態の異なる組み合わせにより、同等な結果を得ることも可能である。さらに、上で示した論理回路の構成は本発明を具体的に説明するために例示するものであり、異なる構成の論理回路により同等の入出力関係を実現することも可能である。また、上記で示した各構成要素の材料は、全て本発明を具体的に説明するために例示するものであり、本発明は例示された材料に制限されない。
【０４８９】
また、上記説明では、ＭＯＳトランジスタを用いた例を示したが、バイポーラトランジスタ等の他のトランジスタを用いてもよい。
【０４９０】
更に、本発明の主旨を逸脱しない限り、本実施の形態に対して当業者が思いつく範囲内の変更を施した各種変形例も本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０４９１】
本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置は、高い信頼性と安定した書き換え特性とを有しており、デジタル家電、メモリカード、携帯型電話機、及びパーソナルコンピュータなどの種々の電子機器に用いられる不揮発性メモリ装置として有用である。
【符号の説明】
【０４９２】
１００、１２０    抵抗変化型不揮発性記憶装置
１０１、１２１    メモリ本体部
１０２、１２２    メモリアレイ
１０３    行選択回路
１０４    列選択回路
１０５    書き込み回路
１０５ａ１    第１ＬＲ化駆動回路
１０５ａ２    第２ＨＲ化駆動回路
１０５ｂ    電流制限回路
１０５ｃ１    第１ＨＲ化駆動回路
１０５ｃ２    第２ＬＲ化駆動回路
１０５ｄ    ブースト回路
１０６    読み出し回路
１０７    データ入出力回路
１０８    アドレス入力回路
１０９    制御回路
１３０    出力端子
１３１    インバータ
１３２    ＮＡＮＤ回路
１３３    ＡＮＤ回路
２００、２２０、２５０、２７０、１００１、１２８０、Ｍｉｊ、Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２    メモリセル
２０１    第１層配線
２０２    第１ビア
２０３    第３電極
２０４    電流制御層
２０５    第４電極
２０６    第２ビア
２０７    第１電極
２０８、１２３０、３３０２    抵抗変化層
２０８ａ    第１のタンタル酸化物層
２０８ｂ    第２のタンタル酸化物層
２０９    第２電極
２１０    第３ビア
２１１    第２層配線
２１２、Ｄｉｊ、Ｄ１１、Ｄ１２、Ｄ２１、Ｄ２２    電流制御素子
２１３、１００３、１２６０、Ｒｉｊ、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２    抵抗変化素子
５００    不揮発性記憶素子
５０１    単結晶シリコン基板
５０２    酸化物層
５０３、１２５０、１４０１、１５０１、３３０１    下部電極
５０４、１４０２、１５０２    酸素不足型のＴａ酸化物層（酸素不足型のＨｆ酸化物層）
５０５、１２４０、１４０３、１５０３、３３０３    上部電極
５０６    素子領域
１００２、ＭＮ１、ＭＮ２、ＭＮ３、ＭＮ４、ＭＰ１、ＭＰ２、ＭＰ３、ＭＰ４    トランジスタ
１２００    不揮発性記憶装置
１２７０    ダイオード素子
１４０４、１５０４    酸素イオン
ＢＬｊ、ＢＬ１、ＢＬ２    ビット線
ＷＬｉ、ＷＬ１、ＷＬ２    ワード線
【図１】
2011013344.tif 000005
【図２】
2011013344.tif 000006
【図３Ａ】
2011013344.tif 000007
【図３Ｂ】
2011013344.tif 000008
【図４】
2011013344.tif 000009
【図５】
2011013344.tif 000010
【図６Ａ】
2011013344.tif 000011
【図６Ｂ】
2011013344.tif 000012
【図７Ａ】
2011013344.tif 000013
【図７Ｂ】
2011013344.tif 000014
【図８Ａ】
2011013344.tif 000015
【図８Ｂ】
2011013344.tif 000016
【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
2011013344.tif 000018
【図１０Ａ】
2011013344.tif 000019
【図１０Ｂ】
2011013344.tif 000020
【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
2011013344.tif 000022
【図１２】
2011013344.tif 000023
【図１３Ａ】
2011013344.tif 000024
【図１３Ｂ】
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【図１３Ｃ】
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【図１３Ｄ】
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【図１３Ｅ】
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【図１３Ｆ】
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【図１３Ｇ】
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【図１３Ｈ】
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【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
2011013344.tif 000039
【図１９Ａ】
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【図１９Ｂ】
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【図１９Ｃ】
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【図１９Ｄ】
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【図１９Ｅ】
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【図１９Ｆ】
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【図１９Ｇ】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
2011013344.tif 000049
【図２３Ａ】
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【図２３Ｂ】
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【図２４】
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【図２５Ａ】
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【図２５Ｂ】
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【図２６】
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【図２７】
2011013344.tif 000056
【図２８Ａ】
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【図２８Ｂ】
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【図２９Ａ】
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【図２９Ｂ】
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【図３０】
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【図３１Ａ】
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【図３１Ｂ】
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【図３２Ａ】
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【図３２Ｂ】
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【図３２Ｃ】
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【図３２Ｄ】
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【図３３】
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【図３４Ａ】
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【図３４Ｂ】
2011013344.tif 000070
【図３４Ｃ】
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【図３５】
2011013344.tif 000072
【図３６】
2011013344.tif 000073
【図３７Ａ】
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【図３７Ｂ】
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【図３８Ａ】
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【図３８Ｂ】
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【図３８Ｃ】
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【図３８Ｄ】
2011013344.tif 000079
【図３９】
2011013344.tif 000080
【図４０Ａ】
2011013344.tif 000081
【図４０Ｂ】
2011013344.tif 000082
【図４０Ｃ】
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【図４１】
2011013344.tif 000084
【図４２】
2011013344.tif 000085
【図４３Ａ】
2011013344.tif 000086
【図４３Ｂ】
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【図４４】
2011013344.tif 000088
【図４５】
2011013344.tif 000089
【図４６】
2011013344.tif 000090
【図４７】
2011013344.tif 000091
【図４８】
2011013344.tif 000092
【図４９】
2011013344.tif 000093
【図５０】
2011013344.tif 000094
【図５１】
2011013344.tif 000095
【図５２】
2011013344.tif 000096
【図５３】
2011013344.tif 000097
【図５４】
2011013344.tif 000098
【図５５】
2011013344.tif 000099
【図５６】
2011013344.tif 000100
【図５７】
2011013344.tif 000101
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月1日(2010.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気的信号に基づいて可逆的に抵抗値が変化する抵抗変化素子（ｖａｒｉａｂｌｅ  ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ  ｅｌｅｍｅｎｔ）と電流制御素子（ｃｕｒｒｅｎｔ  ｓｔｅｅｒｉｎｇ  ｅｌｅｍｅｎｔ）とで構成されたメモリセルを有する抵抗変化型不揮発性記憶装置及びその書き込み（ｐｒｏｇｒａｍｍｉｎｇ）方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、抵抗変化素子を用いて構成されたメモリセルを有する不揮発性記憶装置の研究開発が進んでいる。抵抗変化素子とは、電気的信号によって抵抗値が可逆的に変化する性質を有し、さらにはこの抵抗値に対応したデータを、不揮発的に記憶することが可能な素子をいう。
【０００３】
抵抗変化素子を用いた不揮発性記憶装置として、立体交差するように配置されたビット線とワード線との交点の位置に、トランジスタと抵抗変化素子とを直列に接続した、いわゆる１Ｔ１Ｒ型と呼ばれるメモリセルをマトリクス状にアレイ配置した不揮発性記憶装置が一般的に知られている。また、さらなる高集積化を目指して、立体交差するように配置されたビット線とワード線との交点の位置に、電流制御素子として機能するダイオード素子と、抵抗変化素子とを直列に接続した、いわゆる１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリと呼ばれるメモリセルをマトリクス状にアレイ配置した不揮発性記憶装置や、１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリのメモリセルを多層に積層した不揮発性記憶装置も知られている。
【０００４】
特許文献１では、希土類酸化膜等のアモルファス薄膜を抵抗変化素子として用いた１Ｔ１Ｒ型メモリセルで構成された不揮発性記憶装置が示されている。
【０００５】
図５４は、その中で示されている不揮発性記憶装置のメモリセルの回路図である。
【０００６】
メモリセル１００１は、トランジスタ１００２と抵抗変化素子１００３とを電気的に直列に接続して形成されている。
【０００７】
ここでは、抵抗変化素子１００３に用いる材料として、希土類酸化膜等のアモルファス薄膜が開示されており、電極材料として、銅、銀、亜鉛が開示されている。
【０００８】
図５５は、その中で示されている不揮発性記憶装置のメモリセルに使用されている抵抗変化素子１００３の、電圧−電流変化を示す図である。書き込み時には、図５４のＶ１、Ｖ２間に電位差を与えることにより、抵抗変化素子１００３に＋１．１Ｘ［Ｖ］以上の電圧、及び微小な電流を印加し、抵抗変化素子が高抵抗状態から低抵抗状態へと変化する。消去時には、書き込み時と逆極性の電圧を与えることにより、抵抗変化素子１００３に−１．１Ｘ［Ｖ］の電圧、−１．５Ｙ［Ａ］の電流を印加し、抵抗変化素子が低抵抗状態から高抵抗状態へと変化する。
【０００９】
特許文献１では、書き込み時において、図５４のトランジスタ１００２のゲート電圧を制御する等の方法で、トランジスタ１００２のオン抵抗値を変化させ、抵抗変化素子１００３が低抵抗化するときの電流値を制御することによって、低抵抗化した後の抵抗変化素子１００３の抵抗値を制御できること、その原理を多値メモリに応用することが開示されている。
【００１０】
特許文献２では、ペロブスカイト型結晶構造の材料を抵抗変化素子として用い、バリスタを双方向ダイオード素子として用いた、１Ｄ１Ｒ型クロスポイントのメモリセルで構成された不揮発性記憶装置が示されている。
【００１１】
図５６は、その中で示されている不揮発性記憶装置１２００のメモリセルアレイの模式図である。メモリセル１２８０は、ダイオード素子１２７０と抵抗変化素子１２６０とを電気的に直列に接続して形成されている。１２１０はビット線、１２２０はワード線である。
【００１２】
抵抗変化素子１２６０は、電圧印加によって抵抗値が変化する抵抗変化層１２３０を、上部電極１２４０と下部電極１２５０との間に挟持してなる。
【００１３】
図５７は、ダイオード素子１２７０の電圧−電流特性である。図５７に示す通り、ダイオード素子は双方向性を有し、閾値電圧Ｖｔｈ以上の電圧で急激に電流が増加する非線形、かつ対称な電圧−電流特性を持つ。
【００１４】
ここでは、抵抗変化層１２３０に用いる材料として、マンガン、チタン、ジルコニア、高温超伝導材料、Ｌａ又はＰｒの希土類やＬａとＰｒの混晶とＣａやＳｒのアルカリ土類金属やＣａとＳｒの混晶とＭｎＯ3を組み合わせたマンガン酸化物、Ｐｒ1-xＣａxＭｎＯ3（ｘ＝０．３、０．５）が開示され、上部電極１２４０及び下部電極１２５０に用いる材料として、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｐｈ、Ｐｄ各単体、及び合金、Ｉｒ、Ｒｕ等の酸化物導電体、ＳＲＯ、ＹＢＣＯが開示されている。ダイオード素子に用いる材料、デバイスとしては、酸化亜鉛と微量の酸化ビスマス等の金属酸化物を焼結したＺｎＯバリスタや、ＳｒＴｉＯ3バリスタが開示されている。
【００１５】
そして、書き込み時において、選択ビット線にＶｐｐ、非選択ビット線に１／２Ｖｐｐ、選択ワード線に０Ｖ、非選択ワード線に１／２Ｖｐｐを印加し、消去時において、選択ワード線にＶｐｐ、非選択ワード線に１／２Ｖｐｐ、選択ビット線に０Ｖ、非選択ビット線に１／２Ｖｐｐを印加することが示されている。
【００１６】
このように特許文献２では、１Ｄ１Ｒクロスポイント型メモリセルにおいて、ダイオードとして双方向に電流を流すことのできる非線形素子、例えばバリスタを用いることで、書き換え時に双方向に必要な電流を流すことができ、さらには非選択線に与える電位１／２Ｖｐｐが、非線形素子の閾値電圧Ｖｔｈより低くなるようにこの閾値電圧Ｖｔｈを最適化することで、非選択セルへの漏れ電流の問題が解消され、メモリセルアレイのアレイサイズを大きくでき、高集積化を図れることが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特開２００５−２３５３６０号公報（図１、図２）
【特許文献２】特開２００６−２０３０９８号公報（図２、図４）
【特許文献３】国際公開第２００９／０５０８３３号
【特許文献４】国際公開第２００８／０５９７０１号
【特許文献５】国際公開第２００８／１４９４８４号
【特許文献６】国際公開第２０１０／００４７０５号
【特許文献７】特開２０１０−２１３８１号公報
【特許文献８】国際公開第２００８／１１７４９４号
【特許文献９】国際公開第２０１０／００４６７５号
【非特許文献】
【００１８】
【非特許文献１】「ＣＲＣ  ＨＡＮＤＢＯＯＫ  ｏｆ  ＣＨＥＭＩＳＴＲＹ  ａｎｄ  ＰＨＹＳＩＣＳ，ＤＡＶＩＤ  Ｒ．ＬＩＤＥ  Ｅｄｉｔｏｒ−ｉｎ−ｃｈｉｆ，８４ｔｈ  Ｅｄｉｔｉｏｎ  ２００３−２００４，ＣＲＣ  ＰＲＥＳＳ」
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本願発明者らは、抵抗変化型不揮発性記憶装置の１つとして、酸素不足型の遷移金属酸化物を主たる抵抗変化層材料とする１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリのメモリセルで構成された抵抗変化型不揮発性記憶装置を検討している。
【００２０】
ここで、酸素不足型の酸化物とは、酸素が化学量論的組成（ｓｔｏｉｃｈｉｏｍｅｔｒｙ）から不足した酸化物をいう。遷移金属の１つであるタンタルの例で言えば、化学量論的な組成を有する酸化物としてＴａ2Ｏ5がある。このＴａ2Ｏ5では、酸素がタンタルの２．５倍含まれており、酸素含有率で表現すると、７１．４％である。この酸素含有率７１．４％よりも酸素含有率が低くなった状態の酸化物、即ちＴａＯxと表現したとき、０＜ｘ＜２．５を満足する非化学量論的な組成を有するＴａ酸化物を、酸素不足型のＴａ酸化物と呼ぶ。通常、多くの遷移金属酸化物において、化学量論的組成の酸化物は絶縁体であるが、酸素不足型の酸化物は半導体あるいは導体の特性を示す。
【００２１】
課題を説明するための準備として、酸素不足型のＴａ酸化物を抵抗変化層とする抵抗変化素子について、測定で得られたいくつかの特性を説明する。
【００２２】
図１は、測定に用いた抵抗変化素子の基本構造を示す模式図である。抵抗変化層３３０２に酸素不足型のＴａ酸化物を用い、これをＰｔで構成される下部電極３３０１と、同じくＰｔで構成される上部電極３３０３でサンドイッチしたような上下対称な構造とした。
【００２３】
以下、この不揮発性素子を素子Ａと呼ぶ。なお、素子の名称と電極材料の関係は、実施形態で説明する素子も含めて、表１に示した。
【００２４】
【表１】
2011013344.tif 000102
【００２５】
図２は、この素子Ａの抵抗変化の様子の一例を示す電流−電圧のヒステリシス特性を示すグラフであり、下部電極３３０１を基準にしたときの上部電極３３０３の電圧を横軸に表し、素子Ａに流れる電流値を縦軸に表している。
【００２６】
図２において、最初、抵抗変化素子が低抵抗状態の電圧０ＶのＯ点にあるとする。下部電極３３０１を基準に上部電極３３０３に正電圧を印加していくと、電流はほぼ電圧に比例して増加し、Ａ点で示す正電圧を超えると急激に電流は減少し、Ｄ点に至る。即ち低抵抗状態から高抵抗状態へ変化（高抵抗化）している様子を示している。
【００２７】
一方、高抵抗状態のＯ点において、下部電極３３０１を基準に上部電極３３０３に負電圧（上部電極３３０３を基準に下部電極３３０１に正電圧を印加することと等価）を印加していくと、Ｂ点で示す負電圧を超えると急激に電流は増加する。即ち高抵抗状態から低抵抗状態へ変化（低抵抗化）している様子を示している。なお図２のＣ点で示す状態の最終的に到達する低抵抗値は、特許文献１で開示されている現象と同様に、低抵抗化時（図２のＣ点の状態にあるときに相当する時）に流す電流値に依存して決まる現象も確認されている。
【００２８】
また、図２に示す抵抗変化特性において、Ｃ点で示す低抵抗化時の到達点と、Ａ点で示す高抵抗化の開始点は、概ね対称な関係になる特徴がある。即ちＣ点に対応する低抵抗化点で、所定の値に制御された電流（Ｃ点において、約−１５ｍＡ）を印加することで所望の低抵抗値が得られ、一方高抵抗化するときは、Ａ点に相当する電圧において上記以上の電流能力で印加すれば、安定な抵抗変化動作を実現できることがわかる。
【００２９】
ところで、本願発明者らは、検討を進める中で、１つの方向の抵抗変化（低抵抗化又は高抵抗化）を安定的に生ぜしめる電圧印加方向（駆動極性）は必ずしも一様ではなく、上下電極にＰｔを用い、抵抗変化層に酸素不足型のＴａ酸化物を用いて同一材料で作製した抵抗変化素子の中でも、駆動極性が異なるものがあることを見出した。
【００３０】
例えば、ある抵抗変化素子は、下部電極３３０１よりも上部電極３３０３が高い電圧を正として、上下の電極間に＋２．０Ｖ、１００ｎｓのパルス電圧を印加することで低抵抗化し、−２．６Ｖ、１００ｎｓのパルス電圧を印加することで高抵抗化することが確認された。
【００３１】
また、他の抵抗変化素子は、下部電極３３０１よりも上部電極３３０３が高い電圧を正として、上下の電極間に−２．０Ｖ、１００ｎｓのパルス電圧を印加することで低抵抗化し、＋２．７Ｖ、１００ｎｓのパルス電圧を印加することで高抵抗化することが確認された。
【００３２】
図３Ａ及び図３Ｂは、これらの抵抗変化素子について、低抵抗化を引き起こすパルス電圧と高抵抗化を引き起こすパルス電圧とを交互に印加し続けたときの、その都度の抵抗値を表したグラフである。横軸は加えた電気的なパルスの数を表し、縦軸は抵抗値を表している。
【００３３】
図３Ａに示されるように、ある抵抗変化素子は、最初、約３３ｋΩの高抵抗状態にあり、＋２．０Ｖのパルス電圧の印加で約５００Ωの低抵抗状態に変化し、次に−２．６Ｖのパルス電圧の印加で約４０ｋΩの高抵抗状態に変化した後、下部電極３３０１に対し上部電極３３０３に正のパルス電圧の印加による低抵抗化と、下部電極３３０１に対し上部電極３３０３に負のパルス電圧の印加による高抵抗化とを繰り返す。
【００３４】
この抵抗変化の方向と印加電圧の極性との関係を、便宜的にＡモードと呼ぶ。
【００３５】
図３Ｂに示されるように、別の抵抗変化素子は、最初、約４２ｋΩの高抵抗状態にあり、−２．０Ｖのパルス電圧の印加で約６００Ωの低抵抗状態に変化し、次に＋２．７Ｖのパルス電圧の印加で約４０ｋΩの高抵抗状態に変化した後、下部電極３３０１に対し上部電極３３０３に負のパルス電圧の印加による低抵抗化と、下部電極３３０１に対し上部電極３３０３に正のパルス電圧の印加による高抵抗化とを繰り返す。
【００３６】
この抵抗変化の方向と印加電圧の極性との関係を、便宜的にＢモードと呼ぶ。図２に示した電圧−電流ヒステリシス特性は、このＢモードに対応している。
【００３７】
なお、上述のパルス電圧値は、パルス発生器の設定出力電圧値を指しており、抵抗変化素子の両端間に印加されている実効的な電圧値は、測定系を通じた電圧降下のためこれより小さな電圧値と考えられる。
【００３８】
このような結果が得られた素子Ａにおいて、上部電極３３０３と下部電極３３０１はいずれもＰｔからなり、それらに挟まれた酸素不足型のＴａ酸化物で構成される抵抗変化層３３０２は、電極に対して電気的には上下対称な関係である。
【００３９】
このため、抵抗変化特性としてＡモード及びＢモードのいずれが出現するかは必ずしも自明ではなく、経験則や実証的な測定結果に基づいていた。そしてこれらの現象は、抵抗変化のメカニズムにおいて解明されていない何らかの異方性要因により定まっていると予想される。
【００４０】
ところでバイポーラ型の抵抗変化素子を用いた１Ｄ１Ｒ型クロスポイント型メモリの書込み動作は、トランジスタで構成された１Ｔ１Ｒ型メモリの場合と異なり、特許文献２でも示されているように、書き込みのため選択されるメモリセルと、それ以外の非選択メモリセルとの区別が、メモリセルの両端にかかる電圧の差異で行われる。
【００４１】
また、抵抗変化素子に設定される低抵抗値は、低抵抗化時に流す電流量で決まることから、低抵抗化する方向、例えばワード線側を基準にしてビット線側に正の電圧を印加し、所望の低抵抗値設定に相当する電流量を流す駆動回路（以下、ＬＲ化駆動回路と称す）をビット線駆動回路として構成すればよい。また高抵抗化は、抵抗変化素子の電圧−電流特性で低抵抗化と比べて概ね対称な電圧、電流で変化することから、低抵抗化方向とは逆の向きに、例えばビット線側を基準にしてワード線側に正の電圧を印加でき、かつ少なくともＬＲ化時以上の電流量を流すことができる駆動回路（以下、ＨＲ化駆動回路と称す）をワード線駆動回路として構成すればよい。また非選択メモリセルは、これらの電圧を印加しても電流が流れないような閾値電圧Ｖｔｈを有する電流制御素子で構成することが考えられる。
【００４２】
しかしながら、抵抗変化素子の変化方向と印加電圧の極性との関係であるＡモード又はＢモードが必ずしも一律ではない場合、次の課題が考えられる。
【００４３】
第１の課題は、Ａモード、Ｂモードの出現が想定とは逆になった場合、抵抗変化素子に所望の抵抗値を設定できないことである。
【００４４】
Ａモード、Ｂモードの出現が想定とは逆になると、低抵抗化書き込みは本来の電流駆動能力より高いＨＲ化駆動回路で行うため、抵抗値は想定より、より低く設定されてしまう。また高抵抗化書き込みは、本来の駆動能力より低いＬＲ化駆動回路で行うことになる。このため、想定よりさらに低い抵抗値に設定された抵抗変化素子を高抵抗化する必要があるが、それに必要な電流量が不足し、安定した抵抗変化動作ができないという課題が生じる。
【００４５】
このような場合には、高抵抗化に際してより高い電圧を印加して電流を供給することにより高抵抗化動作を行い、安定した抵抗変化動作を行うことも考えられる。しかし所望の抵抗値とは異なる抵抗値に書き込まれるため、読み出し性能を一律にできず、その結果安定した性能の製品を提供できない課題が生じる。また、高い電圧が必要となるため、低電圧化を阻害する課題や、後述の第２の課題にも繋がる。
【００４６】
また、ＡモードとＢモードの両方が出現する可能性を想定して、ＬＲ化駆動回路とＨＲ化駆動回路の両方をワード線駆動回路とビット線駆動回路の両方に用意し、ＡモードとＢモードの出現状態に応じて切り替える方法が考えられるが、その状態に応じて設定を切り替える繁雑さや、チップ面積の増大に繋がるという課題が生じる。
【００４７】
第２の課題は、メモリセル、特に電流制御素子の信頼性に関係する課題である。特許文献２では１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリに用いられる電流制御素子として、ＺｎＯバリスタやＳｒＴｉＯ3バリスタといったダイオードを用いることで、所定の電流を駆動できることが開示されている。本発明者らは、半導体プロセスとより親和性のある材質の電流制御素子として、後述のＳｉＮ系の材料でダイオードを構成する研究を進めている。
【００４８】
ダイオード素子は一般的に、印加電圧に対し、非線形な電流特性を有し、所定の閾値電圧Ｖｔｈ以上で急激に電流が増加する特性をもつ。この閾値電圧Ｖｔｈの設定を制御できること、及び閾値電圧Ｖｔｈ以上の電圧でいかに多くの電流を流せるかということが、高集積化や低電圧化に重要である。反面、電流密度の増大は熱的要因によるダイオード性能の劣化に繋がるため、必要以上の電流は流さない構成にすることが信頼性の観点から重要である。
【００４９】
ＡモードとＢモードが想定とは逆になった場合、第１の課題で説明した通り、高抵抗化に際してより高い電圧を印加してより多くの電流を供給することで、高抵抗化動作は可能であるが、ダイオード特性を劣化させる可能性を有するという課題がある。
【００５０】
第３の課題は、書き込み速度が低下することである。ここで、上記第１及び第２の課題は、メモリセルを低抵抗状態に変化させる方向の電流を制限する電流制限回路を設け、低抵抗化書き込みを、電流制限回路を介して行うことにより解決される。しかしながら、電流制限回路を介して低抵抗化書き込みを行う場合、書き込み時の電流が制限されるため、書き込み速度が低下するという別の課題が生じる。
【００５１】
本発明は、このような事情を鑑みてなされたものであり、抵抗変化素子を用いた１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリの抵抗変化型不揮発性記憶装置において、抵抗変化素子の抵抗変化特性のＡモード及びＢモードの出現を制御可能とし、駆動回路とメモリセルとの接続関係を特定することにより、抵抗変化素子に所望の抵抗値を設定でき、安定した抵抗変化ができる制御技術を提供するとともに、電流制御素子の信頼性を高め、かつ書き込み速度の低下が抑制可能な抵抗変化型不揮発性記憶装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００５２】
上記目的を達成するために、本発明の一形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置は、予め定められた第１の極性の第１電圧が印加されると第１範囲に属する抵抗値の低抵抗状態に変化し、かつ前記第１の極性とは逆の第２の極性の第２電圧が印加されると前記第１範囲よりも高い第２範囲に属する抵抗値の高抵抗状態に変化する抵抗変化素子と、２端子の電流制御素子とを直列に接続してなる複数のメモリセルと、互いに交差する複数の第１信号線及び複数の第２信号線と、前記複数のメモリセルを前記複数の第１信号線と前記複数の第２信号線との交差点に配置し、各交差点に配置されたメモリセルの両端を交差する１組の前記第１信号線と前記第２信号線とにそれぞれ接続してなるメモリセルアレイと、前記複数のメモリセルに前記複数の第１信号線及び前記複数の第２信号線を介して印加される両極性の電圧を発生する書き込み回路と、前記書き込み回路から前記複数のメモリセルへ流れる電流の経路に挿入され、前記複数のメモリセルを低抵抗状態に変化させる方向の第１電流と、前記複数のメモリセルを高抵抗状態に変化させる方向の第２電流とのうち、前記第１電流のみを制限する電流制限回路と、前記電流制限回路と並列に接続され、前記複数のメモリセルのうちいずれかを低抵抗状態に変化させるとき、当該メモリセルが低抵抗状態へ変化する前の第１期間において、前記電流の経路と電圧源とを短絡することにより前記第１電流を増加させるブースト回路と、を備える。
【００５３】
このような構成によれば、複数の第１信号線及び複数の第２信号線を、例えば、それぞれ複数のビット線及び複数のワード線として想定し、ワード線を基準にしてビット線に正の電圧が印加されることで抵抗変化素子が上記低抵抗状態に変化し、ビット線を基準にしてワード線に正の電圧が印加されることで抵抗変化素子が上記高抵抗状態に変化するように、各メモリセルを構成することができる。
【００５４】
このようにして、複数のメモリセルを低抵抗状態に変化させる電流の方向を固定した上で、固定された方向の電流を電流制限回路にて制限することで、低抵抗状態に変化させるときは、高抵抗状態に変化させるときよりも少ない電流を供給することによって、想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止できる。
【００５５】
ここで、電流制限回路によるメモリセルの低抵抗化時の電流制限は、抵抗変化素子が低抵抗状態に変化を開始する時点で行われておればよい。よって、低抵抗化書き込み電流を電流制限回路により制限した上で、低抵抗化書き込みを開始してから抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの間に、電流を増大させるブースト回路をあわせて用いることにより、電流制限回路のみを用いて書き込みを行う場合に低下する書き込み速度を、向上させることができる。
【００５６】
その結果、抵抗変化素子にばらつきが少なく、所望の抵抗値を設定することが可能となり、また、電流制御素子の信頼性低下、破壊を防止することができ、かつ書き込み速度の低下を抑制することができる。
【００５７】
また、前記ブースト回路は、前記電流の経路に接続された出力端子と、前記電圧源と前記出力端子との間に接続されたスイッチとを備え、前記スイッチは、前記第１期間にオンしてもよい。
【００５８】
また、前記スイッチはトランジスタであり、前記トランジスタのソース端子は前記電圧源に接続されており、前記トランジスタのドレイン端子は前記出力端子に接続されおり、前記トランジスタは前記第１期間にオンしてもよい。
【００５９】
この構成によれば、ブースト回路を構成するトランジスタのソースが電圧源に接続されるので、当該ブースト回路の電流駆動能力を向上できる。
【００６０】
また、前記スイッチは、前記メモリセルが低抵抗状態に変化する前に、オフしてもよい。
【００６１】
この構成によれば、メモリセルが低抵抗状態に変化した後には、当該メモリセルに供給する電流を制限できる。
【００６２】
また、前記ブースト回路は、前記出力端子の電圧をフィードバックした信号を用い、前記スイッチがオンした後、前記出力端子の電圧が予め定められた電圧に達した際に、前記スイッチをオフしてもよい。
【００６３】
この構成によれば、自動的に、メモリセルが低抵抗状態になる前に、ブースト回路をオフできる。
【００６４】
また、前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、前記第１駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、前記第２駆動回路及び前記第３駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路とを備え、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は、前記第１駆動回路と前記第１選択回路との間に挿入されていてもよい。
【００６５】
この構成によれば、全てのメモリセルに対して、１つの電流制限回路及びブースト回路を共有できるので、回路面積の増加を抑制できる。
【００６６】
また、前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路とを備え、前記電流制限回路は複数の制限回路を含み、前記第１選択回路及び前記各第１信号線の間に前記複数の制限回路の各々が挿入されており、前記ブースト回路は複数のブースト回路部を含み、前記第１選択回路及び前記各第１信号線の間に前記複数のブースト回路部の各々が挿入されていてもよい。
【００６７】
この構成によれば、メモリセルに近い位置で、電流制限及びブーストの制御を行うことが可能となる。よって、低抵抗化書き込み動作を行うときに、電流制限回路及びブースト回路及びを介して充放電すべき容量負荷を低減することができるため、追随性よく電流制限及びブーストの制御を行うことが可能となる。
【００６８】
また、前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１の信号線とを接続する第１選択回路と、前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２の信号線とを接続する第２選択回路とを備え、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は、前記第３駆動回路及び前記第２選択回路の間に挿入されていてもよい。
【００６９】
この構成によれば、全てのメモリセルに対して、１つの電流制限回路及びブースト回路を共有できるので、回路面積の増加を抑制できる。
【００７０】
また、前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路とを備え、前記電流制限回路は複数の制限回路を含み、前記第２選択回路及び前記各第２信号線の間に前記複数の制限回路の各々が挿入されており、前記ブースト回路は複数のブースト回路部からなり、前記第２選択回路及び前記各第２信号線の間に前記複数のブースト回路部の各々が挿入されていてもよい。
【００７１】
この構成によれば、メモリセルに近い位置で、電流制限及びブーストの制御を行うことが可能となる。よって、低抵抗化書き込み動作を行うときに、電流制限回路及びブースト回路及びを介して充放電すべき容量負荷を低減することができるため、追随性よく電流制限及びブーストの制御を行うことが可能となる。
【００７２】
また、前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記ブースト回路は、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＰ型ＭＯＳトランジスタで構成されていてもよい。
【００７３】
また、前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第４電圧に前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より大きく、前記第３電圧に前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より小さく、かつ前記第１駆動電圧以下の電圧に設定されてもよい。
【００７４】
また、前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第１駆動電圧から前記第３電圧を減じて前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より大きく、かつ前記第１駆動電圧から前記第４電圧を減じて前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より小さい電圧に設定されてもよい。
【００７５】
また、前記電流制限回路における前記各制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記ブースト回路における前記各ブースト回路部は、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＰ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記各Ｎ型ＭＯＳトランジスタ及び前記各Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲートに選択信号が供給されることで、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は前記第１選択回路と共用されてもよい。
【００７６】
この構成によれば、電流制限回路及びブースト回路を少ない素子数で実現することが可能であり、面積を削減することができる。
【００７７】
また、前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記ブースト回路は、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＮ型ＭＯＳトランジスタで構成されていてもよい。
【００７８】
また、前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第４電圧から前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を減じた値より大きく、かつ前記第３電圧から前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を減じた値より小さい電圧に設定されてもよい。
【００７９】
また、前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第１駆動電圧から前記第３電圧と前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値とを減じた値より大きく、前記第１の駆動電圧から、前記第４電圧と前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値とを減じた値より小さく、かつ前記第１駆動電圧の基準電圧以上の電圧に設定されてもよい。
【００８０】
また、前記電流制限回路における前記各制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記ブースト回路における前記各ブースト回路部は、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＮ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、前記各Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及び前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲートに選択信号が供給されることで、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は前記第２選択回路と共用されてもよい。
【００８１】
この構成によれば、電流制限回路及びブースト回路を少ない素子数で実現することが可能となり、面積を削減することができる。
【００８２】
また、前記第３抵抗値は前記第１範囲に属する最小の抵抗値であり、前記抵抗変化素子を前記第３抵抗値に設定するときに前記メモリセルに流れる電流は、前記電流制御素子が破壊されない最大の電流以下であってもよい。
【００８３】
この方法によれば、電流制御素子を破壊することなく、安定に書き込みを行うことが可能となる。
【００８４】
また、前記第４抵抗値は前記第１範囲に属する最大の抵抗値であり、読み出し回路を用いて前記低抵抗状態と前記高抵抗状態とが判別可能であるような最大の抵抗値であってもよい。
【００８５】
この方法によれば、安定して読み出し動作を行うことが可能となる。
【００８６】
なお、本発明は、このような抵抗変化型不揮発性記憶装置として実現できるだけでなく、抵抗変化型不揮発性記憶装置に含まれる特徴的な手段をステップとする抵抗変化型不揮発性記憶装置の書き込み方法として実現できる。
【００８７】
また、本発明の一形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置によると、各メモリセルにおいて、抵抗変化素子の第１電極を基準にして第２電極に正の電圧を印加することで高抵抗化し、抵抗変化素子の第２電極を基準にして第１電極に正の電圧を印加することで低抵抗化するように、抵抗変化素子を構成した上で、第１電極側に電流制限回路を介して低抵抗（ＬＲ）化駆動回路を接続し、第２電極側に高抵抗（ＨＲ）化駆動回路を接続して構成される。
【００８８】
一般的に、抵抗変化素子を高抵抗化させる場合、低抵抗化させる場合と比べて、低い抵抗値の状態にある抵抗変化素子に抵抗変化を起こすだけの電圧を発生させるために、より多くの駆動電流が必要となる。
【００８９】
そこで、高抵抗化させるときは、抵抗変化素子の第２電極側に接続したＨＲ化駆動回路から電流を供給し、一方、低抵抗化させるときは、電流制限回路を介して、抵抗変化素子の第１電極側に接続したＬＲ化駆動回路から電流を供給し、電流制限回路を制御することにより、高抵抗化するときよりも少ない電流を供給することによって、想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止し、抵抗変化素子にばらつきが少なく、所望の抵抗値を設定することが可能となる。同様に想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止できるため、電流制御素子の信頼性低下、破壊を防止することができる。
【００９０】
さらには、低抵抗化させるときに、低抵抗化書き込みを開始してから抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの間は、電流制限回路に加え、ブースト回路をあわせて用いることによって、第１信号線又は第２信号線へのプリチャージが効率よく行え、電流制限回路のみで書き込みを行う場合に生じる速度低下を改善することが可能となる。
【００９１】
また、抵抗変化現象は抵抗変化層と電極材料との間の相互作用であり、抵抗変化材料だけではなく、特定の電極材料との組合せが重要となる。例えば電極として、その電極材料の標準電極電位が、抵抗変化層を構成する金属の標準電極電位より高い材料を用いる場合（例えば、電極材料として、白金（Ｐｔ）やイリジウム（Ｉｒ）などを用いる場合）は、これらの電極材料は第１電極と第２電極のうちの一方の電極だけに使用し、他方の電極はその標準電極電位が上記一方の電極の材料より低い材料（例えば、他方の電極材料として、タングステン（Ｗ）や窒化タンタル（ＴａＮ）などを用いる）で構成できることが望ましい。そのような場合においては、第１電極と抵抗変化層との界面、及び第２電極と抵抗変化層との界面のうち、標準電極電位が高い方の電極と抵抗変化層との界面付近で抵抗変化を起こす事ができ、電極と駆動回路との接続関係を、確実に決定することができる。
【発明の効果】
【００９２】
以上より、本発明は、抵抗変化素子を用いた１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリの抵抗変化型不揮発性記憶装置において、抵抗変化素子の抵抗変化特性のＡモード及びＢモードの出現を制御可能とし、駆動回路とメモリセルとの接続関係を特定することにより、抵抗変化素子に所望の抵抗値を設定でき、安定した抵抗変化ができる制御技術を提供するとともに、電流制御素子の信頼性を高め、かつ書き込み速度の低下を抑制可能な抵抗変化型不揮発性記憶装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】図１は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の基本構造を示す模式図である。
【図２】図２は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗変化における電流−電圧のヒステリシス特性の一例を示す図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係の一例を示す図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係の一例を示す図である。
【図４】図４は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子のＴａ酸化物層の組成の解析結果を示す図である。
【図５】図５は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の構成を示す断面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図７Ａ】図７Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図８Ａ】図８Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図９Ａ】図９Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１１Ａ】図１１Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１２】図１２は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ａ】図１３Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｃ】図１３Ｃは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｄ】図１３Ｄは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｅ】図１３Ｅは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｆ】図１３Ｆは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｇ】図１３Ｇは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１３Ｈ】図１３Ｈは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１４】図１４は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の電極材料種と標準電極電位の関係を示す図である。
【図１５Ａ】図１５Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の動作を説明するための断面模式図である。
【図１５Ｂ】図１５Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の動作を説明するための断面模式図である。
【図１６Ａ】図１６Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の動作を説明するための断面模式図である。
【図１６Ｂ】図１６Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の動作を説明するための断面模式図である。
【図１７】図１７は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子のＨｆ酸化物層の組成の解析結果を示す図である。
【図１８Ａ】図１８Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１８Ｂ】図１８Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ａ】図１９Ａは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｂ】図１９Ｂは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｃ】図１９Ｃは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｄ】図１９Ｄは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｅ】図１９Ｅは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｆ】図１９Ｆは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図１９Ｇ】図１９Ｇは、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の抵抗値と電気パルス印加回数との関係を示す図である。
【図２０】図２０は、本発明の基礎データとしての不揮発性記憶素子の電極材料種と標準電極電位の関係を示す図である。
【図２１】図２１は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の構成図である。
【図２２】図２２は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの構成を示す断面図である。
【図２３Ａ】図２３Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る第１ＬＲ化駆動回路、第２ＨＲ化駆動回路、及び電流制限回路の実施形態を示す回路図である。
【図２３Ｂ】図２３Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る第１ＨＲ化駆動回路、及び第２ＬＲ化駆動回路の実施形態を示す回路図である。
【図２４】図２４は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの電流電圧特性を示す実測データを示す図である。
【図２５Ａ】図２５Ａは、発明の実施形態の基本構成に係る書き込み系電流経路の等価回路図である。
【図２５Ｂ】図２５Ｂは、発明の実施形態の基本構成に係る書き込み系電流経路の特性を表す図である。
【図２６】図２６は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の別の構成図である。
【図２７】図２７は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の別の構成図である。
【図２８Ａ】図２８Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る別の書き込み系電流経路の等価回路図である。
【図２８Ｂ】図２８Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る別の書き込み系電流経路の特性を表す図である。
【図２９Ａ】図２９Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る別の構成の場合の書き込み系電流経路の等価回路図である。
【図２９Ｂ】図２９Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る別の構成の場合の書き込み系電流経路の等価回路図である。
【図３０】図３０は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の別の構成図である。
【図３１Ａ】図３１Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図３１Ｂ】図３１Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図３２Ａ】図３２Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３２Ｂ】図３２Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３２Ｃ】図３２Ｃは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３２Ｄ】図３２Ｄは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３３】図３３は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの別の構成を示す断面図である。
【図３４Ａ】図３４Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３４Ｂ】図３４Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３４Ｃ】図３４Ｃは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３５】図３５は、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の構成図である。
【図３６】図３６は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの構成を示す断面図である。
【図３７Ａ】図３７Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図３７Ｂ】図３７Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図３８Ａ】図３８Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３８Ｂ】図３８Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３８Ｃ】図３８Ｃは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３８Ｄ】図３８Ｄは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図３９】図３９は、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの別の構成を示す断面図である。
【図４０Ａ】図４０Ａは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図４０Ｂ】図４０Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図４０Ｃ】図４０Ｃは、本発明の実施形態の基本構成に係るメモリセルの展開例を示す断面図である。
【図４１】図４１は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の構成図である。
【図４２】図４２は、本発明の実施形態に係るブースト回路の実施形態を示す回路図である。
【図４３Ａ】図４３Ａは、本発明の比較例に係る書き込み回路の動作を示す図である。
【図４３Ｂ】図４３Ｂは、本発明の実施形態に係る書き込み回路の動作を示す図である。
【図４４】図４４は、本発明の実施形態に係るブースト回路の別の実施形態を示す回路図である。
【図４５】図４５は、本発明の実施形態に係る別の構成の書き込み回路の動作を示す図である。
【図４６】図４６は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の別の構成図である。
【図４７】図４７は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例１の構成図である。
【図４８】図４８は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２の構成図である。
【図４９】図４９は、本発明の実施形態に係るブースト回路の変形例２の回路図である。
【図５０】図５０は、本発明の実施形態に係るブースト回路の変形例２の別の回路図である。
【図５１】図５１は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２の別の構成図である。
【図５２】図５２は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２の別の構成図である。
【図５３】図５３は、本発明の実施形態に係る抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作タイミングの説明図である。
【図５４】図５４は、従来の抵抗変化型不揮発性記憶装置のメモリセルの回路図である。
【図５５】図５５は、従来の抵抗変化型不揮発性記憶装置の抵抗変化素子の電圧−電流特性図である。
【図５６】図５６は、従来の抵抗変化型不揮発性記憶装置のメモリセルの模式図である。
【図５７】図５７は、従来の抵抗変化型不揮発性記憶装置の非線形素子の電圧−電流特性図である。
【発明を実施するための形態】
【００９４】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００９５】
本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置は、抵抗変化素子と電流制御素子とを直列に接続してなる１Ｄ１Ｒ型の複数のメモリセルを用いたクロスポイント型の不揮発性記憶装置であって、抵抗変化素子の抵抗変化特性のモードを固定するとともに、固定されるモードに応じて駆動回路の構成を最適化するものである。
【００９６】
［本発明の基礎データ］
準備として、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置の抵抗変化素子に用いられる２種類の抵抗変化材料に関する基礎的なデータを説明する。
【００９７】
これらの抵抗変化素子は、異種の材料で構成される第１と第２の電極で、それぞれ酸素不足型のタンタル酸化物（ＴａＯx、０＜ｘ＜２．５）で構成される抵抗変化層、及び酸素不足型のハフニウム酸化物（ＨｆＯy、０＜ｙ＜２．０）で構成される抵抗変化層を挟んで構成される。
【００９８】
抵抗変化層を構成する金属（Ｔａ又はＨｆ）の標準電極電位をＶｔ、第１の電極材料の標準電極電位をＶ１、第２の電極材料の標準電極電位をＶ２としたとき、Ｖ２−Ｖｔ＞０、かつＶ２−Ｖ１＞０を満足する第１の電極及び第２の電極を用いることにより、第１の電極と抵抗変化層との界面、及び第２の電極と抵抗変化層との界面のうち、第２の電極と抵抗変化層の界面近傍の抵抗変化層において抵抗変化を起こす事ができ、これらの抵抗変化素子は、可逆的に安定した書き換え特性を有する。ここで、酸素不足型のタンタル酸化物で構成される抵抗変化層の場合に、上述した標準電極電位の条件を満足することで、第２の電極と抵抗変化層との界面近傍の抵抗変化層において抵抗変化を起こすことについては、本件出願人が既に出願した特許文献３：国際公開第２００９／０５０８３３号（以下、先願関連出願と略記）に詳細に記載されている。酸素不足型のハフニウム酸化物で構成される抵抗変化層の場合についても、標準電極電位に関する条件については、上記先願関連出願に記載された考え方を同様に適用できる。
【００９９】
これらの抵抗変化素子が有している、抵抗変化特性を前述のＡモード及びＢモードのいずれか意図した一方に固定できるという特徴を、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置に利用する。以下では説明のために、上記先願関連出願の内容の一部を引用する。
【０１００】
なお、本明細書において、「抵抗変化素子」と「抵抗変化型の不揮発性記憶素子（又は、短く、不揮発性記憶素子）」とを同義で用いる。
【０１０１】
［抵抗変化層に酸素不足型のタンタル（Ｔａ）酸化物を用いた抵抗変化素子］
まず、酸素不足型のＴａ酸化物を使ったバイポーラ動作する抵抗変化型の不揮発性記憶素子に関する第１の実験について説明する。
【０１０２】
この実験では、酸素不足型のＴａ酸化物を使ったバイポーラ動作する抵抗変化型の不揮発性記憶素子を、上下のどちらかの電極近傍でのみ抵抗変化が起こりやすく構成することによって、可逆的に安定した書き換え特性が得られるかを検証した。
【０１０３】
この検証のため、抵抗変化の起きやすさが電極の材料種によって変化すると想定して、異種材料の上下電極で酸素不足型のＴａ酸化物を挟んだ構造の抵抗変化素子を作製し、抵抗変化特性を測定した。
【０１０４】
以下では、この実験の結果について説明する。
【０１０５】
なお、この検証結果を説明する前に、酸素不足型のＴａ酸化物層の形成方法や、酸素含有率の好適な範囲を説明する。
【０１０６】
その後、抵抗変化の起こりやすさが電極材料に依存するかどうかの確認を行うため、白金（Ｐｔ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）、窒化タンタル（ＴａＮ）で構成される電極でＴａＯx層を挟んだ構造を形成し、電気パルスによる抵抗変化現象の様子を調べた結果について述べる。
【０１０７】
そして最後に、動作しやすい電極材料と動作しにくい電極材料で酸素不足型のＴａ酸化物を挟み込んだ構造の抵抗変化素子の抵抗変化の測定結果について述べる。
【０１０８】
［スパッタリング時の酸素流量比とＴａ酸化物層の酸素含有率との関係］
まず、本実験における酸素不足型のＴａ酸化物層の作製条件及び酸素含有率の解析結果について述べる。
【０１０９】
酸素不足型のＴａ酸化物層は、ＴａターゲットをアルゴンＡｒとＯ2ガス雰囲気中でスパッタリングする、いわゆる、反応性スパッタリングで作製した。本実験での具体的な酸素不足型のＴａ酸化物の作製方法は次の通りである。
【０１１０】
まずスパッタリング装置内に基板を設置し、スパッタリング装置内を７×１０-4Ｐａ程度まで真空引きする。Ｔａをターゲットとして、パワーを２５０Ｗ、Ａｒガスと酸素ガスとをあわせた全ガス圧力を３．３Ｐａ、基板の設定温度を３０℃にし、スパッタリングを行った。ここでは、Ａｒガスに対するＯ2ガスの流量比を０．８％から６．７％まで変化させた。
【０１１１】
まずは、組成を調べる事が目的であるため、基板としては、Ｓｉ上にＳｉＯ2を２００ｎｍ堆積したものを用い、Ｔａ酸化物層の膜厚は約１００ｎｍになるようにスパッタリング時間を調整した。
【０１１２】
このようにして作製したＴａ酸化物層の組成をラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ法）、及びオージェ電子分光法（ＡＥＳ法）によって解析した結果を図４に示す。
【０１１３】
この図から、酸素流量比を０．８％から６．７％に変化させた場合、Ｔａ酸化物層中の酸素含有率は約３５ａｔ％（ＴａＯ0.66）から約７０ａｔ％（ＴａＯ2.3）へと変化していることが分かる。
【０１１４】
以上の結果より、Ｔａ酸化物層中の酸素含有率を酸素流量比によって制御可能である事と、Ｔａの化学量論的な酸化物であるＴａ2Ｏ5（ＴａＯ2.5）の酸素含有率７１．４ａｔ％よりも酸素が不足している、酸素不足型のＴａ酸化物が形成されている事が明らかとなった。
【０１１５】
なお、本実験では、Ｔａ酸化物層の解析にラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ）及びオージェ電子分光法（ＡＥＳ）を利用したが、蛍光Ｘ線分析法（ＸＰＳ）や電子線マイクロアナリシス法（ＥＰＭＡ）等の機器分析手法も利用可能である。
【０１１６】
［酸素不足型のＴａ酸化物層の組成と抵抗変化特性］
以上のように作製した酸素不足型のＴａ酸化物のうち、どの程度の酸素含有率を有する酸素不足型のＴａ酸化物が抵抗変化を示すのかを調べた。ここで酸素不足型のＴａ酸化物層を挟む電極の材料として用いたのは、上下の電極ともにＰｔである。
【０１１７】
上下の電極ともにＰｔを用いた場合は、上述のように、バイポーラ型の抵抗変化型の不揮発性素子としては、上電極と抵抗変化層の界面で抵抗変化が起こる場合と、下電極と抵抗変化層の界面で抵抗変化が起こる場合が発生し、安定動作と言う観点では不適当である。しかしながら、Ｐｔは後述するように、抵抗変化を非常に示しやすい電極材料であり、ある酸素含有率を有する酸素不足型のＴａ酸化物が抵抗変化を示すか否かの判定を行うには最も好適な材料である。
【０１１８】
以上のような理由から、図５のような不揮発性記憶素子５００を形成した。
【０１１９】
即ち、単結晶シリコン基板５０１上に、厚さ２００ｎｍの酸化物層５０２を熱酸化法により形成し、下部電極５０３としての厚さ１００ｎｍのＰｔ薄膜を、スパッタリング法により酸化物層５０２上に形成した。
【０１２０】
その後、Ｔａをターゲットとして、反応性スパッタリングによって酸素不足型のＴａ酸化物層５０４を形成した。本実験で検討した範囲では、上記の分析試料と同様に、酸素ガスの流量比を、０．８％から６．７％まで変化させて不揮発性記憶素子を作製した。酸素不足型のＴａ酸化物層５０４の膜厚は３０ｎｍとした。
【０１２１】
その後、酸素不足型のＴａ酸化物層５０４の上に、上部電極５０５としての厚さ１５０ｎｍのＰｔ薄膜をスパッタ法により堆積した。
【０１２２】
最後にフォトリソグラフィー工程とドライエッチング工程によって、素子領域５０６を形成した。なお、素子領域５０６は、直径が３μｍの円形パターンである。
【０１２３】
以上のように作製した不揮発性記憶素子の抵抗変化現象を測定した。その結果、図４のα点（酸素流量比約１．７％、酸素含有率約４５ａｔ％）からβ点（酸素流量比約５％、酸素含有率約６５ａｔ％）のＴａ酸化膜を使った不揮発性記憶素子では、高抵抗値が低抵抗値の５倍以上と良好であった。
【０１２４】
図６Ａ及び図６Ｂは、それぞれ、α点及びβ点の酸素含有率を有するＴａ酸化物層を使った不揮発性記憶素子についてのパルス印加回数に対する抵抗変化特性を測定した結果である。
【０１２５】
図６Ａ及び図６Ｂによれば、α点及びβ点の酸素含有率を有するＴａ酸化物層を使った素子では、共に、高抵抗値が低抵抗値の５倍以上と良好であることが判る。
【０１２６】
従って、酸素含有率が４５〜６５ａｔ％の組成範囲、即ち抵抗変化層をＴａＯxと表記した場合におけるｘの範囲が０．８≦ｘ≦１．９の範囲がより適切な抵抗変化層の範囲であると言える（酸素含有率＝４５ａｔ％がｘ＝０．８に、酸素含有率＝６５ａｔ％がｘ＝１．９にそれぞれ対応）。なおこの最適条件については、特許文献４：国際公開第２００８／０５９７０１号にて詳しく説明されている。
【０１２７】
［Ｗ、Ｔａ、ＴａＮを上下の電極材料に用いた抵抗変化素子の抵抗変化特性］
次に、抵抗変化の起こりやすさが、電極材料に依存するかどうかの確認を行うため、Ｐｔ以外の材料として、Ｗ、Ｔａ、ＴａＮから成る下部電極５０３と上部電極５０５で酸素不足型のＴａ酸化物層５０４を挟んだ構造を作製し、電気パルスによる抵抗変化の様子を調べた結果について説明する。
【０１２８】
なお、ここでも抵抗変化の起こりやすさだけを評価する目的で実験を行ったので、上下の電極材料は同一とした。また、使用した酸素不足型のＴａ酸化物の酸素含有率は、好適な酸素含有率の範囲のほぼ中間の５８ａｔ％（ＴａＯ1.38）とした。素子の形成方法は上記とほぼ同じであり、Ｐｔ、Ｗ、Ｔａ、ＴａＮのいずれもスパッタリング法によって堆積した。
【０１２９】
まず、比較のため、下部電極５０３と上部電極５０５のいずれもＰｔで構成される薄膜により形成した不揮発性記憶素子（以下、素子Ｂと表す）の抵抗変化特性について述べる。
【０１３０】
図７Ａ及び図７Ｂは、このようにして作製した素子Ｂの電気パルスによる抵抗変化の測定結果である。
【０１３１】
図７Ａは、下部電極５０３と上部電極５０５の間には、パルス幅が１００ｎｓで、下部電極５０３を基準として上部電極５０５に＋３．０Ｖと−１．５Ｖの電圧を有する電気的パルスを交互に印加した時の抵抗の測定結果である。
【０１３２】
この場合、＋３．０Ｖの電圧の電気パルスを印加する事で抵抗値は８００〜１０００Ω程度となり、−１．５Ｖの電圧の電気パルスを印加した場合は、１５０Ω程度と変化していた。即ち、上部電極５０５に下部電極５０３よりも高い電圧の電気パルスを加えた時に高抵抗化する変化するＢモードの特性を示した。
【０１３３】
また、詳細は省略するが、追加的な実験から、このときの抵抗変化は上部電極５０５の近傍で生じていることを推認する結果が得られた。
【０１３４】
次に、印加する電圧のバランスを変化させ、負の電圧を大きくした場合の結果が図７Ｂである。この場合、下部電極５０３に対して上部電極５０５に−３．０Ｖと＋１．５Ｖの電圧の電気的パルスを印加した。すると、−３．０Ｖの電気パルスを印加した時に、高抵抗化し、抵抗値は６００〜８００Ω程度となり、＋１．５Ｖの電気パルスを印加した時に低抵抗化して、抵抗値は１５０Ω程度となっている。即ち、上部電極５０５に下部電極５０３よりも高い電圧の電気パルスを加えた時に低抵抗化しており、図７Ａを測定した時と、正反対のＡモードの特性を示した。
【０１３５】
また、詳細は省略するが、追加的な実験から、このときの抵抗変化は下部電極５０３の近傍で生じていることを推認する結果が得られた。
【０１３６】
次に、下部電極５０３と上部電極５０５のいずれもＷで構成される薄膜により形成した不揮発性記憶素子（以下、素子Ｃと表す）の抵抗変化特性について述べる。
【０１３７】
図８Ａ及び図８Ｂは、このようにして作製した素子Ｃの電気パルスによる抵抗変化の測定結果である。
【０１３８】
図８Ａは、上部電極５０５の近傍での抵抗変化に起因するＢモードを発生させることを目的に、下部電極５０３を基準にして上部電極５０５に＋７Ｖと、−５Ｖを交互に印加した時の抵抗値の変化を示す。
【０１３９】
図８Ａから分かるように、パルス数が３０回程度まででは、弱いながらも、Ｂモードでの抵抗変化が観測されており、＋７Ｖの電気パルスを印加した時に高抵抗化し、−５Ｖの電気パルスを印加した時に低抵抗化している。しかしながら、パルス数が３０回を超えると、抵抗変化がほとんど観測されなくなっている。
【０１４０】
逆に下部電極５０３の近傍での抵抗変化に起因するＡモードを発生させることを目的に、上部電極５０５に＋５Ｖと、−７Ｖを交互に印加した時の抵抗値の変化を図８Ｂに示す。
【０１４１】
図８Ｂから分かるように、この場合はほとんど抵抗値の変化は観測されておらず、抵抗値は３０Ω程度で一定の値になっている。
【０１４２】
ここで図７Ａの上下の電極をＰｔで形成した素子Ｂの結果と図８Ａの結果を比較すると、Ｗを電極に使用した時、明らかに抵抗変化が起こりにくくなっているのが分かる。
【０１４３】
素子Ｂの測定結果である図７Ａでは、低抵抗状態の抵抗値は１５０Ω、高抵抗状態の抵抗値は約１０００Ωと、比率にして７倍程度の変化をしているのに対し、Ｗを電極材料に使用した素子Ｃの測定結果である図８Ａでは、大きく抵抗変化している範囲でも、高々、５０Ωと１００Ωの間で抵抗変化が起こっているだけであり、比率としては、２倍程度の変化をしているだけである。
【０１４４】
印加している電圧も、図７Ａの測定時は、＋３．０Ｖと−１．５Ｖであるのに対し、図８Ａでは、＋７Ｖと−５Ｖと非常に高い電圧を印加しているのも関わらず、ほとんど抵抗変化が見られていない。
【０１４５】
以上のように、Ｗを電極に使用した場合、電極にＰｔを使用した場合に比べて、明らかに抵抗変化が起こりにくい事がわかる。
【０１４６】
以上の結果は、酸素不足型のＴａ酸化物を抵抗変化層に用いた抵抗変化素子の動作は、使用する電極の材料に非常に強く依存する事を意味している。即ち、少なくとも、Ｐｔを電極に用いた場合は抵抗変化が起こりやすく、Ｗを電極に用いた場合、抵抗変化は起こりにくいのは明らかである。
【０１４７】
また、詳しくは説明しないが、ＴａやＴａＮを上下の電極に用いた抵抗変化素子も作製し、抵抗変化特性の測定を行った。
【０１４８】
図９Ａ及び図９Ｂは下部電極５０３と上部電極５０５のいずれにも、Ｔａを用いた素子Ｄの抵抗変化特性である。
【０１４９】
図９Ａは、上部電極５０５に＋７Ｖと−５Ｖの電気パルスを加えた場合で、図９Ｂは上部電極５０５に＋５Ｖと−７Ｖの電気パルスを加えた場合の測定結果である。いずれの場合も、ほとんど抵抗変化は起こっていない。
【０１５０】
また、図１０Ａは下部電極５０３と上部電極５０５のいずれにも、ＴａＮを用いた素子Ｅの抵抗変化特性である。図１０Ａは、上部電極５０５に＋７Ｖと−５Ｖの電気パルスを加えた場合で、図１０Ｂは上部電極５０５に＋５Ｖと−７Ｖの電気パルスを加えた場合の測定結果である。この場合も、ほとんど変化していないと言ってよい程度の抵抗変化しか起こっていない。
【０１５１】
以上のように、Ｗ以外にも抵抗変化が起こりにくい材料は存在する。
【０１５２】
［ＷとＰｔを電極に用いた抵抗変化素子の抵抗変化特性］
次に抵抗変化を起こしやすい材料であるＰｔと、抵抗変化を起こしにくい材料でかつ、プロセス安定性の高い材料であるＷで酸素不足型のＴａ酸化物を挟み込んだ形の抵抗変化素子である素子Ｆの抵抗変化特性について述べる。
【０１５３】
用意した素子は、下部電極５０３としてＷ薄膜を用い、上部電極５０５としてＰｔ薄膜を用いて作製した。Ｗ薄膜とＰｔ薄膜は、それぞれ、ＷターゲットとＰｔターゲットをＡｒガス中でスパッタリングする事で堆積した。
【０１５４】
以上のようにして作製した素子Ｆの電気パルスによる抵抗変化の様子を図１１Ａ及び図１１Ｂに示す。
【０１５５】
図１１Ａは、上部電極５０５の近傍での抵抗変化を起こさせる（Ｂモード）事を目的に、下部電極５０３を基準にして上部電極５０５に＋２．５Ｖと、−１．５Ｖを交互に印加した時の抵抗値の変化である。この場合、抵抗値は、＋２．５Ｖの電気パルスを印加した時には約６００Ωとなり、−１．５Ｖの電気パルスを印加した時に６０Ωとなって安定して変化している。
【０１５６】
一方で、下部電極５０３の近傍での抵抗変化を起こさせる（Ａモード）事を目的に、下部電極５０３を基準にして上部電極５０５に＋１．５Ｖと、−２．５Ｖを交互に印加した時の抵抗値の変化を図１１Ｂに示す。この場合は、抵抗変化は、６０Ωと１００Ωの間で抵抗変化が起こっているだけであり、Ｂモードの抵抗変化を起こさせるための電圧印加と比較して、無視できる程度の抵抗変化しか起こっていない。
【０１５７】
以上の図１１Ａ及び図１１Ｂの結果から、素子Ｆは、片側の電極近傍だけで抵抗変化を起こすバイポーラ動作する抵抗変化型の不揮発性記憶素子の理想的な動作を示している。
【０１５８】
また、ＡモードとＢモードの混ざりあいのような現象もみられなかった。
【０１５９】
例えば、図１２は、図１１Ａ及び図１１Ｂの測定結果を得た素子Ｆとは別の素子（同一基板上の異なる素子）に１０００回程度電気パルスを加えた結果を示しているが、抵抗変化現象が非常に安定して発生しているのが見て取れる。
【０１６０】
以上の事から、抵抗変化現象を起こしやすい電極と、抵抗変化現象を起こしにくい電極で抵抗変化膜を挟んだ構造を形成する事で、意図した片側の電極側で抵抗変化させることができるため安定動作し、望ましいバイポーラ動作を示す抵抗変化型の不揮発性記憶素子が作製可能である事が分かった。
【０１６１】
また、印加電圧と抵抗値の関係は、抵抗変化を起こしやすい電極に正の電圧の電気パルスを印加した時に、抵抗値が高くなり、負の電圧の電気パルスを印加した時に抵抗値が低くなるような動作を示す。
【０１６２】
［上下の電極材料種に応じた抵抗変化素子の抵抗変化特性］
次に、電極材料が相異なるいくつかの素子について抵抗変化の起こりやすさを評価した第２の実験の結果を示す。
【０１６３】
本実験の結果として、下部電極５０３をＷに固定し、上部電極５０５をＰｔ以外の相異なる材料で構成した複数の素子の抵抗変化の様子について述べる。ここで下部電極５０３をＷに固定したのは、Ｗが比較的安定した材料であり、加工も比較的容易である事による。
【０１６４】
なお、素子の作製方法は、第１の実験で説明した方法と同様であり、下部電極５０３、上部電極５０５は全てスパッタリング法によって形成した。また、抵抗変化材料である酸素不足型のＴａ酸化物もＴａ金属をＯ2とＡｒ中でスパッタリングして作製した。
【０１６５】
電極の違いに応じた抵抗変化の特性を調べるため、酸素不足型のＴａ酸化物の組成は全て同じに設定した。即ち、酸素含有率を約５８ａｔ％の酸素不足型のＴａ酸化物（ＴａＯxと表現した時、ｘは１．３８）に固定した。
【０１６６】
また、本実験では、下部電極５０３を動作しにくいＷとしたので、抵抗値の変化がほとんど生じないＡモード（上部電極に対し、下部電極に高い電圧を加えた時に高抵抗化するモード）の結果は省略し、Ｂモード（下部電極に対し、上部電極に高い電圧を加えた時に高抵抗化するモード）の結果のみを示す。Ｂモードで抵抗変化させた時の電気パルスの電圧は、素子によって若干の違いはあるが、下部電極を電圧の基準として、高抵抗化させる時の電圧は＋１．８〜＋２．０Ｖとし、低抵抗化させる時の電圧は−１．３〜−１．６Ｖとした。
【０１６７】
図１３Ａ〜図１３Ｈに測定結果をまとめる。
【０１６８】
まず、図１３Ａの上部電極にＩｒを用いた素子Ｇ、図１３Ｂの上部電極にＡｇを用いた素子Ｈ、図１３Ｃの上部電極にＣｕを用いた素子Ｉの結果を見ると、比較的安定して、大きな幅で抵抗変化が生じているのが分かる。次に、図１３Ｄの上部電極にＮｉを用いた素子Ｊ、図１３Ｈの上部電極にＴａＮを用いた素子Ｎでは、若干の抵抗変化が見られたがその変化幅が小さい。
【０１６９】
次に、図１３Ｅの上部電極にＴａを用いた素子Ｋ、図１３Ｆの上部電極にＴｉを用いた素子Ｌ、図１３Ｇが上部電極にＡｌを用いた素子Ｍでは、全く抵抗変化現象は観測されなかった。これらの材料は、本質的に抵抗変化が生じにくい性質を持っていると考えられる。
【０１７０】
以上の結果から分かる事は、酸素不足型のＴａ酸化物を用いた不揮発性記憶素子では、抵抗変化現象が生じやすい（動作しやすい）電極材料と、生じにくい（動作しにくい）電極材料とが存在すると言う事である。本実験の範囲で言えば、動作しやすい電極はＰｔ、Ｉｒ、Ａｇ、Ｃｕであり、動作しにくい電極材料はＷ、Ｎｉ、Ｔａ、Ｔｉ、Ａｌ、ＴａＮである。
【０１７１】
これらの材料の組み合わせで酸素不足型のＴａ酸化物を挟んだ構造の抵抗変化素子を形成すれば、抵抗変化モードの混ざり合いのない安定した抵抗変化が得られる。但し、図７Ａ、図１１Ｂ、図１３Ｄ、図１３Ｈを参照すると、Ｗ、Ｎｉ、ＴａＮ電極では、微弱ながらも抵抗変化は観測されている。それ故にこれらの材料を１つの電極に用い、例えば、本実験で全く抵抗変化が観測されなかった電極材料であるＴａ、Ｔｉ、Ａｌをもう１つの電極に用いた場合、微弱ながらも安定した抵抗変化が期待できる。
【０１７２】
次に、抵抗変化自体の起こるメカニズムと、抵抗変化の起こりやすさの材料依存性について若干の考察を行う。
【０１７３】
図１４は、第１の実験と第２の実験の結果をまとめたものである。横軸は電極材料、縦軸には標準電極電位をプロットしてある。図１４の○は抵抗変化が起こりやすかった事を意味し、△は変化の割合が小さいものの抵抗変化が起こった事を意味し、×は抵抗変化が起こらなかった事を意味する。なお、窒化チタン（ＴｉＮ）は第１の実験及び第２の実験では用いなかった電極材料であり、参考のために・で示している。
【０１７４】
図１４において、ＴａＮ、ＴｉＮ以外の電極材料の標準電極電位は、非特許文献１：「ＣＲＣ  ＨＡＮＤＢＯＯＫ  ｏｆ  ＣＨＥＭＩＳＴＲＹ  ａｎｄ  ＰＨＹＳＩＣＳ，ＤＡＶＩＤ  Ｒ．ＬＩＤＥ  Ｅｄｉｔｏｒ−ｉｎ−ｃｈｉｆ，８４ｔｈ  Ｅｄｉｔｉｏｎ  ２００３−２００４，ＣＲＣ  ＰＲＥＳＳ」に開示された文献値であり、ＴａＮ、ＴｉＮの標準電極電位は、発明者らが測定したデータである。
【０１７５】
発明者らは、ＴａＮ、ＴｉＮを含むいくつかの電極材料の標準電極電位を、Ｓｏｌａｒｔｒｏｎ社製の電気化学測定システムＳＩ１２８０Ｂを用いて構成した３電極系のポテンショスタットにより測定した。測定条件として、作用極に測定対象となる電極材料、対極にＰｔ電極、参照極にＡｇ／ＡｇＣｌ電極を用い、電解液には１ｗｔ％ＫＣｌ７ｍｌをＮ2バブリング下で用いた。
【０１７６】
このような条件下で作用極と対極との間の電位平衡点を探索することによって、電極材料のＡｇ／ＡｇＣｌ電極に対する電位平衡点における電位を測定した後、測定された電位に＋０．１９６Ｖを加えた値を、電極材料の標準水素電極に対する電位（即ち標準電極電位）とした。
【０１７７】
図１４を見ると、抵抗変化膜の構成元素であるＴａよりも標準電極電位が高い材料では抵抗変化が起こっており、低い材料では抵抗変化が起こりにくくなっている事が分かる。そして、標準電極電位の差が大きいほど抵抗変化が起こりやすく、差が小さくなるにつれて、抵抗変化が起こりにくくなっているのが分かる。
【０１７８】
一般に標準電極電位は、酸化のされにくさの１つの指標であり、この値が大きければ酸化されにくく、小さければ酸化されやすい事を意味する。この事から酸化のされにくさが抵抗変化現象のメカニズムに大きな役割を果たしているのではないかと推測される。
【０１７９】
以上の結果をもとに、抵抗変化のメカニズムを考える。まず。抵抗変化が起こり易い材料（標準電極電位が大きく酸化されにくい材料）によって上部電極が構成されている場合について、図１５Ａ及び図１５Ｂを使って説明する。
【０１８０】
図１５Ａのように、下部電極１４０１と、酸素不足型のＴａ酸化物層１４０２と、Ｔａよりも酸化されにくい材料によって構成されている上部電極１４０３で構成される抵抗変化素子に、下部電極１４０１に対して高い電圧を上部電極１４０３に印加した場合、酸素不足型のＴａ酸化物中の酸素原子がイオンとなって、電界によって移動し、上部電極１４０３の界面近傍に集まる。
【０１８１】
しかし、上部電極１４０３を構成する金属はＴａに比べて酸化されにくいので、酸素イオン１４０４は酸素不足型のＴａ酸化物層１４０２と上部電極１４０３の界面に滞留した状態になり、界面付近でＴａと結合し、酸素濃度の高い酸素不足型のＴａ酸化物を形成する。この事によって素子は高抵抗化する。
【０１８２】
次に、図１５Ｂのように、下部電極１４０１に高い電圧を印加した場合、酸素原子は再び酸素イオンとなって、酸素不足型のＴａ酸化物層１４０２の内部に戻ってゆく。これにより、低抵抗化が起っていると考えられる。
【０１８３】
次に、Ｔａよりも酸化されやすい材料によって上部電極が構成されている場合について説明した図が図１６Ａ及び図１６Ｂである。
【０１８４】
図１６Ａのように下部電極１５０１と、酸素不足型のＴａ酸化物層１５０２と、Ｔａよりも酸化され易い材料によって構成されている上部電極１５０３で構成される抵抗変化素子に、下部電極１５０１に対して高い電圧を上部電極１５０３に印加した場合、酸素不足型のＴａ酸化物中の酸素原子がイオンとなって電界によって移動し、上部電極１５０３の界面近傍に集まる。
【０１８５】
この場合、上部電極１５０３はＴａよりも酸化されやすいので、酸素イオン１５０４は上部電極１５０３の内部に吸いとられて、上部電極１５０３を形成している材料と結合を起こす。この場合、図１５Ａとは異なり、酸素不足型のＴａ酸化物層１５０２と上部電極１５０３の界面に高抵抗層が形成されず、さらに上部電極１５０３を構成する元素の数に対して酸素イオンの数は少ないために、抵抗値はほとんど上昇しない。
【０１８６】
逆に、図１６Ｂのように、下部電極１５０１に高い電圧を印加した場合、上部電極１５０３に吸い取られた酸素は、上部電極材との結合がより安定であるため、酸素不足型のＴａ酸化物層１５０２の中には戻りにくく、抵抗値は大きくは変化しないと考えられる。
【０１８７】
もし、図１５Ａ、図１５Ｂ、図１６Ａ及び図１６Ｂにおいて、上部電極を構成する材料の酸化のされやすさがＴａと同程度の場合、上記の２つの例の中間的な変化が生じ、微弱な抵抗変化が生じると考えられる。
【０１８８】
以上の結果から分かるように、酸素不足型のＴａ酸化物を抵抗変化膜に使用した不揮発性記憶素子では、上部電極と下部電極とで異なる標準電極電位を有する材料を用いればよい。
【０１８９】
これにより、片側の電極近傍で優勢に抵抗変化が起こって、理想的なバイポーラ型の抵抗変化を実現できる。さらに、抵抗変化モードの混ざり合いも起こらず、安定した抵抗変化動作が可能となる。
【０１９０】
より好適には、一方の電極材料には、Ｔａの標準電極電位よりも大きく、かつ差の大きな材料を用い、もう一方の電極材料には、Ｔａの標準電極電位よりも大きく差の小さな材料を用いればよい。
【０１９１】
さらにより好適には、一方の電極材料には、Ｔａの標準電極電位よりも大きな材料を用い、もう一方の電極材料には、Ｔａの標準電極電位よりも小さな材料を用いればよい。
【０１９２】
なお、第２の実験の結果としては記述していないが、下部電極及び上部電極に、それぞれＴａＮ及びＰｔを用いた抵抗変化素子について、安定した抵抗変化現象が起こったことを示す良好な実験結果が得られている。
【０１９３】
ＴａＮの標準電極電位は、発明者らの測定によれば＋０．４８ｅＶであり、Ｐｔ及びＴａの標準電極電位は、非特許文献１によればそれぞれ＋１．１８ｅＶ、−０．６ｅＶである。
【０１９４】
この例は、上部電極には、Ｔａの標準電極電位よりも大きく、かつ差の大きな材料であるＰｔを用い、下部電極には、Ｔａの標準電極電位よりも大きく差の小さな材料であるＴａＮを用いた一例である。
【０１９５】
即ち、この例では、上述の標準電極電位に関する条件を満たすＴａＮ及びＰｔを電極材料として用いたことで、第２の実験の結果として述べた作用効果が得られたと考えられる。
【０１９６】
また他の例として、下部電極及び上部電極にそれぞれＴｉＮ及びＰｔを用いてもよい。ＴｉＮの標準電極電位は、発明者らによる前述の測定によれば＋０．５５ｅＶである。したがって、ＴｉＮとＰｔとの組み合わせは、抵抗変化層にタンタル酸化物を用いた場合の標準電極電位に関する条件を満たすので、ＴｉＮ及びＰｔを電極材料として用いることで、第２の実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０１９７】
さらに他の例として、Ａｕ（金）又はＰｄを電極材料として用いてもよい。非特許文献１によればＡｕ、Ｐｄの標準電極電位はそれぞれ＋１．６９２ｅＶ、＋０．９５１ｅＶであり、Ｔａの標準電極電位−０．６ｅＶよりも高い。したがって、抵抗変化層としてタンタル酸化物を用いた場合に、抵抗変化しやすい電極材料としてＡｕ及びＰｄの一方を用い、かつ抵抗変化しにくい電極材料としてＡｕ及びＰｄの上記一方よりも標準電極電位が低い材料（例えば、標準電極電位が＋０．１ｅＶであるＷ）を用いることで、第２の実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０１９８】
なお、本実験の結果としては記述していないが、金（Ａｕ）の標準電極電位は＋１．６９２ｅＶであるので、Ｔａの標準電極電位−０．６ｅＶよりも高い。したがって、抵抗変化膜としてＴａを用いた場合に、抵抗変化しやすい電極材料としてＡｕを用いても、本実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０１９９】
また、上記のメカニズムからも明らかなように、抵抗変化を起こしやすい電極に正の電圧の電気パルスを印加した時に、抵抗値が高くなり、負の電圧の電気パルスを印加した時に抵抗値が低くなるような動作を示す。
【０２００】
［抵抗変化層に酸素不足型のハフニウム（Ｈｆ）酸化物を用いた抵抗変化素子］
次に、他の同様な例として、酸素不足型のＨｆ酸化物を抵抗変化膜として用いたバイポーラ動作する不揮発性記憶素子に関する第３の実験について説明する。
【０２０１】
第１の実験の説明と同様に、まず、酸素不足型のＨｆ酸化物層の形成方法や、酸素含有率の好適な範囲を説明する。
【０２０２】
その後、抵抗変化の起こりやすさが電極材料に依存するかどうかの確認を行うため、Ａｌ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ、Ｃｕ、Ｐｔで構成される電極でＨｆＯx層を挟んだ構造を形成し、電気パルスによる抵抗変化現象の様子を調べた結果について述べる。そして最後に、動作しやすい電極材料と動作しにくい電極材料で酸素不足型のＨｆ酸化物を挟み込んだ構造の抵抗変化素子の抵抗変化の測定結果について述べる。
【０２０３】
［スパッタリング時の酸素流量比とＨｆ酸化物層の酸素含有率との関係］
まず、本実験における酸素不足型のＨｆ酸化物層の作製条件及び酸素含有率の解析結果について述べる。
【０２０４】
酸素不足型のＨｆ酸化物層は、Ｈｆターゲットを（アルゴン）ＡｒとＯ2ガス雰囲気中でスパッタリングする、いわゆる、反応性スパッタリングで作製した。本実験での具体的な酸素不足型のＨｆ酸化物の作製方法は次の通りである。
【０２０５】
まずスパッタリング装置内に基板を設置し、スパッタリング装置内を３×１０-5Ｐａ程度まで真空引きする。Ｈｆをターゲットとして、パワーを３００Ｗ、アルゴンガスと酸素ガスとをあわせた全ガス圧力を０．９Ｐａ、基板の設定温度を３０℃にし、スパッタリングを行った。ここでは、Ａｒガスに対するＯ2ガスの流量比を２％から４．２％まで変化させた。
【０２０６】
まずは、組成を調べる事が目的であるため、基板としては、Ｓｉ上にＳｉＯ2を２００ｎｍ堆積したものを用い、Ｈｆ酸化物層の膜厚は約５０ｎｍになるようにスパッタリング時間を調整した。
【０２０７】
このようにして作製したＨｆ酸化物層の組成をラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ法）によって解析した結果を図１７に示す。
【０２０８】
この図から、酸素流量比を２％から４．２％に変化させた場合、Ｈｆ酸化物層中の酸素含有率は約３７．７ａｔ％（ＨｆＯ0.6）から約６９．４ａｔ％（ＨｆＯ2.3）へと変化していることが分かる。
【０２０９】
以上の結果より、Ｈｆ酸化物層中の酸素含有率を酸素流量比によって制御可能である事と、Ｈｆの化学量論的な酸化物であるＨｆＯ2の酸素含有率６６．７ａｔ％よりも酸素が不足している、酸素不足型のＨｆ酸化物から酸素が過剰に含有されていると思われるＨｆ酸化物までが形成されている事が明らかとなった。
【０２１０】
なお、本実験では、Ｈｆ酸化物層の解析にラザフォード後方散乱法（ＲＢＳ）を利用したが、オージェ電子分光法（ＡＥＳ）、蛍光Ｘ線分析法（ＸＰＳ）、電子線マイクロアナリシス法（ＥＰＭＡ）等の機器分析手法も利用可能である。
【０２１１】
［酸素不足型のＨｆ酸化物層の抵抗変化特性］
以上のように作製した酸素不足型のＨｆ酸化物のうち、どの程度の酸素含有率を有する酸素不足型のＨｆ酸化物が抵抗変化を示すのかを調べた。ここで酸素不足型のＨｆ酸化物層を挟む電極の材料として用いたのは、上下の電極ともにＰｔである。
【０２１２】
上下にＰｔを用いた場合は、上述のように、バイポーラ型の抵抗変化型の不揮発性素子としては不適当である。しかしながら、Ｐｔは後述するように、抵抗変化を非常に示しやすい電極材料であり、ある酸素含有率を有する酸素不足型のＨｆ酸化物が抵抗変化を示すか否かの判定を行うには最も好適な材料である。
【０２１３】
以上のような理由から、図５のような不揮発性記憶素子を形成した。
【０２１４】
即ち、単結晶シリコン基板５０１上に、厚さ２００ｎｍの酸化物層５０２を熱酸化法により形成し、下部電極５０３としての厚さ１００ｎｍのＰｔ薄膜を、スパッタリング法により酸化物層５０２上に形成した。
【０２１５】
その後、Ｈｆをターゲットとして、反応性スパッタリングによって酸素不足型のＨｆ酸化物層５０４を形成した。本実験で検討した範囲では、上記の分析試料と同様に、酸素ガスの流量比を、２％から４．２％まで変化させて不揮発性記憶素子を作製した。酸素不足型のＨｆ酸化物層５０４の膜厚は３０ｎｍとした。
【０２１６】
その後、酸素不足型のＨｆ酸化物層５０４の上に、上部電極５０５としての厚さ１５０ｎｍのＰｔ薄膜をスパッタ法により堆積した。
【０２１７】
最後にフォトリソグラフィー工程とドライエッチング工程によって、素子領域５０６を形成した。なお、素子領域５０６は、直径が３μｍの円形パターンである。
【０２１８】
以上のように作製した不揮発性記憶素子の抵抗変化現象を測定した。その結果、図１７のα点（酸素流量比約２．７％、酸素含有率約４６．６ａｔ％）からβ点（酸素流量比約３．３％、酸素含有率約６２ａｔ％）のＨｆ酸化膜を使った不揮発性記憶素子では、高抵抗値が低抵抗値の４倍以上と良好であった。
【０２１９】
図１８Ａ及び図１８Ｂは、それぞれ、図１７のα点及びβ点の酸素含有率を有するＨｆ酸化物層を使った不揮発性記憶素子についてのパルス印加回数に対する抵抗変化特性を測定した結果である。
【０２２０】
図１８Ａ及び図１８Ｂによれば、α点及びβ点の酸素含有率を有するＨｆ酸化物層を使った素子では、共に、高抵抗値が低抵抗値の４倍以上と良好であることが判る。
【０２２１】
従って、酸素含有率が４６．６〜６２ａｔ％の組成範囲、即ち抵抗変化層をＨｆＯxと表記した場合におけるｘの範囲が０．９≦ｘ≦１．６の範囲がより適切な抵抗変化層の範囲であると言える（酸素含有率＝４６．６ａｔ％がｘ＝０．９に、酸素含有率＝６２ａｔ％がｘ＝１．６にそれぞれ対応）。
【０２２２】
［上下の電極材料種に応じた抵抗変化素子の抵抗変化特性］
次に、抵抗変化の起こりやすさが、電極材料に依存するかどうかの確認を行うため、Ｗで構成される下部電極５０３とＡｌ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｃｕ、Ｐｔの１つから成る上部電極５０５で、酸素不足型のＨｆ酸化物層５０４を挟んだ複数種の素子を作製し、電気パルスによる抵抗変化の様子を調べた結果について説明する。
【０２２３】
使用した酸素不足型のＨｆ酸化物の酸素含有率は、好適な酸素含有率の範囲で上限に近い６１ａｔ％（ＨｆＯ1.56）とした。素子の形成方法は、Ｈｆ酸化物の成膜方法は上記とほぼ同じであるが、Ａｌ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｃｕ、ＰｔはＨｆ酸化物を形成後、一旦大気中に出し、別のスパッタ装置でスパッタリング法によって堆積した。
【０２２４】
作製した素子Ｏ〜素子Ｕに使用した下部電極、上部電極の材料を表２に示す。
【０２２５】
【表２】
2011013344.tif 000103
【０２２６】
上記の素子Ｏ〜素子Ｕを、所定の振幅でパルス幅１００ｎｓの電気パルスを与えて抵抗変化させた。
【０２２７】
本実験では、下部電極５０３を動作しにくいＷとしたので、Ａモード（上部電極に対し、下部電極に高い電圧を加えた時に高抵抗化するようなモード）の結果は省略し、Ｂモード（下部電極に対し、上部電極に高い電圧を加えた時に高抵抗化するようなモード）の結果のみを示す。
【０２２８】
上部電極モードで抵抗変化させた時の電気パルスの電圧は、素子によって若干の違いはあるが、下部電極を電圧の基準として、高抵抗化させる時の電圧は＋１．１〜＋１．９Ｖとし、低抵抗化させる時の電圧は−１．１〜−１．５Ｖとした。
【０２２９】
図１９Ａ〜図１９Ｇに測定結果をまとめる。
【０２３０】
まず、図１９Ａの上部電極にＡｌを用いた素子Ｏ、図１９Ｂの上部電極にＴｉを用いた素子Ｐ、図１９Ｃの上部電極にＨｆを用いた素子Ｑの結果を見ると、ほとんど抵抗変化しないか、あるいはまったく抵抗変化しないのが分かる。次に、図１９Ｄの上部電極にＴａを用いた素子Ｒでは、最初わずかであるが抵抗変化が見られたがパルス数とともにその変化幅が減少していき、ほとんど抵抗変化を示さなくなった。これらの材料は、本質的に抵抗変化が生じにくい性質を持っていると考えられる。
【０２３１】
次に、図１９Ｅの上部電極にＷを用いた素子Ｓ、図１９Ｆの上部電極にＣｕを用いた素子Ｔ、図１９Ｇの上部電極にＰｔを用いた素子Ｕでは、比較的安定した抵抗変化が生じた。
【０２３２】
以上の結果から分かる事は、酸素不足型のＨｆ酸化物を用いた不揮発性記憶素子では、抵抗変化現象が生じやすい（動作しやすい）材料と、生じにくい（動作しにくい）材料が存在すると言う事である。本実験の範囲で言えば、動作しやすい電極はＰｔ、Ｃｕ、Ｗであり、動作しにくい電極材料はＴａ、Ｈｆ、Ｔｉ、Ａｌである。
【０２３３】
これらの材料の組み合わせで酸素不足型のＨｆ酸化物を挟んだ構造の抵抗変化素子を形成すれば、抵抗変化モードの混ざり合いのない安定した抵抗変化が得られる。但し、図１９Ｄを参照すると、Ｔａ電極では、微弱ながらも抵抗変化は観測されている。それ故にこの材料を１つの電極に用い、例えば、本実験で全く抵抗変化が観測されなかった電極材料であるＴｉ、Ｈｆをもう１つの電極に用いた場合、微弱ながらも安定した抵抗変化が期待できる。
【０２３４】
次に、抵抗変化自体の起こるメカニズムと、抵抗変化の起こりやすさの材料依存性について若干の考察を行う。
【０２３５】
図２０は、酸素不足型のＨｆ酸化物を用いた不揮発性記憶素子に係る結果をまとめたものである。横軸は電極材料、縦軸には標準電極電位をプロットしてある。図２０の○は抵抗変化が起こりやすかった事を意味し、△は変化の割合が小さいものの抵抗変化が起こった事を意味し、×は抵抗変化が起こらなかった事を意味する。
【０２３６】
図２０を見ると、抵抗変化膜の構成元素であるＨｆよりも標準電極電位が高い材料では抵抗変化が起こっており、低い材料では抵抗変化が起こりにくくなっている事が分かる。そして、標準電極電位の差が大きいほど抵抗変化が起こりやすく、差が小さくなるにつれて、抵抗変化が起こりにくくなっているのが分かる。
【０２３７】
この結果は、第２の実験に関して述べた、酸素不足型のＴａ酸化物を用いた不揮発性記憶素子に係る結果と全く同一の傾向を示している。即ち、酸素不足型のＨｆ酸化物を用いた不揮発性記憶素子について説明した抵抗変化のメカニズム（図１５Ａ、図１５Ｂ、図１６Ａ及び図１６Ｂを参照）が、酸素不足型のＨｆ酸化物を用いた不揮発性記憶素子にも同様に働いていると考えられる。
【０２３８】
以上の結果から分かるように、酸素不足型のＨｆ酸化物を抵抗変化膜に使用した不揮発性記憶素子では、上部電極と下部電極とで異なる標準電極電位を有する材料を用いればよい。
【０２３９】
これにより、片側の電極近傍で優勢に抵抗変化が起こって、理想的なバイポーラ型の抵抗変化を実現できる。さらに、抵抗変化モードの混ざり合いも起こらず、安定した抵抗変化動作が可能となる。
【０２４０】
より好適には、一方の電極材料には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きく、かつ差の大きな材料を用い、もう一方の電極材料には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きく差の小さな材料を用いればよい。
【０２４１】
なお、本実験の結果としては記述していないが、下部電極及び上部電極に、それぞれＴａＮ及びＰｔを用いた抵抗変化素子について、安定した抵抗変化現象が起こったことを示す良好な実験結果が得られている。
【０２４２】
ＴａＮの標準電極電位は＋０．４８ｅＶであり、Ｐｔ及びＨｆの標準電極電位は＋１．１８ｅＶ、−１．５５ｅＶである。
【０２４３】
この例は、上部電極には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きく、かつ差の大きな材料であるＰｔを用い、下部電極には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きく差の小さな材料であるＴａＮを用いた一例である。
【０２４４】
即ち、この例では、上述の標準電極電位に関する条件を満たすＴａＮ及びＰｔを電極材料として用いたことで、本実験の結果として述べた作用効果が得られたと考えられる。
【０２４５】
また他の例として、下部電極及び上部電極にそれぞれＴｉＮ及びＰｔを用いてもよい。ＴｉＮの標準電極電位は＋０．５５ｅＶである。したがって、ＴｉＮとＰｔとの組み合わせは、抵抗変化層にハフニウム酸化物を用いた場合の標準電極電位に関する条件を満たすので、ＴｉＮ及びＰｔを電極材料として用いることで、本実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０２４６】
さらにより好適には、一方の電極材料には、Ｈｆの標準電極電位よりも大きな材料も用い、もう一方の電極材料には、Ｈｆの標準電極電位以下の材料を用いればよい。
【０２４７】
なお、本実験の結果としては記述していないが、金（Ａｕ）の標準電極電位は＋１．６９２ｅＶであるので、Ｈｆの標準電極電位−１．５５ｅＶよりも高い。したがって、抵抗変化膜としてＨｆを用いた場合に、抵抗変化しやすい電極材料としてＡｕを用いても、本実験の結果として述べた作用効果が期待できる。
【０２４８】
また、上記のメカニズムからも明らかなように、抵抗変化を起こしやすい電極に正の電圧の電気パルスを印加した時に、抵抗値が高くなり、負の電圧の電気パルスを印加した時に抵抗値が低くなるような動作を示す。
【０２４９】
なお、上記の第１、第２の実験及び第３の実験では、抵抗変化膜として酸素不足型のＴａ酸化物及びＨｆ酸化物を用いた例について説明したが、これに限定されるものではなく、他の遷移金属の酸素不足型の酸化膜を抵抗変化膜に用いた不揮発性記憶素子についても、上記で説明したように電極に加えられた電界による酸素イオンの移動が起こると考えられるため、同様に応用可能である。その場合も、用いる遷移金属材料の標準電極電位を基準にして電極材料を選択すれば、片側で優勢的に動作する不揮発性記憶素子が形成できる。また、抵抗変化層としてのタンタル酸化物やハフニウム酸化物に、抵抗変化特性を大きく変化させない程度に微量のドーパントを添加してもよい。
【０２５０】
［抵抗変化層に酸素不足型の遷移金属酸化物を積層した抵抗変化素子］
また、抵抗変化素子として、酸素不足型のタンタル酸化物、酸素不足型のハフニウム酸化物、及び酸素不足型のジルコニウム酸化物の１つからなり、かつ酸素含有率の異なる２つの抵抗変化層を積層し、２つの電極で挟んだ構成も可能である。
【０２５１】
これらの抵抗変化素子は、可逆的に安定した書き換え特性を有する、抵抗変化現象を利用した不揮発性記憶素子を得ることを目的として本願発明者らにより発明されたものであり、それぞれ関連特許出願である特許文献５：国際公開第２００８／１４９４８４号や、特許文献６：国際公開第２０１０／００４７０５号、特許文献７：特開２０１０−２１３８１号公報で詳細に説明されている。
【０２５２】
これらの抵抗変化素子が有している、抵抗変化特性を前述のＡモード及びＢモードのいずれか意図した一方に固定できるという特徴も、前述の異種の材料で構成される上下の電極を用いた抵抗変化素子と同様に、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置に利用可能である。
【０２５３】
なお、酸素不足型のタンタル酸化物を用いた抵抗変化素子における２つの抵抗変化層の膜厚、組成の最適条件については、上記した特許文献５：国際公開第２００８／１４９４８４号にて、詳しく開示されている。
【０２５４】
［電流制御層にＳｉＮxを用いた電流制御素子］
次に本発明の１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリ装置の電流制御素子について説明する。
【０２５５】
電流制御素子は、電流制御層を窒化シリコンＳｉＮx（０＜ｘ≦０．８５）で構成することにより、その電流−電圧特性が非線形の電気特性を有し、かつ印加電圧の極性に対して実質的に対称となるという、双方向ダイオード特性を持つことが、関連出願である特許文献８：国際公開第２００８／１１７４９４号で詳細に説明されている。
【０２５６】
また、電流制御素子の第１の電極及び上記第２の電極の少なくとも一方を、体心立法格子（ｂｃｃ）構造を有するα−タングステン（α−Ｗ）で構成することにより、３００００Ａ／ｃｍ2以上の電流を安定供給可能なＭＳＭダイオードを実現できることが、関連出願である特許文献９：国際公開第２０１０／００４６７５号で詳細に説明されている。
【０２５７】
以上のような、対称な電流電圧特性、及び３００００Ａ／ｃｍ2以上という高い耐電流特性を持つ双方向ダイオード素子を、本発明における１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリの電流制御素子として利用することが可能である。
【０２５８】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置］
以下、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置の実施形態として、上記で説明した抵抗変化素子と電流制御素子を用いた１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリ装置について説明する。本発明の実施形態の具体的な詳細な構成は、図４１以降の図面を用いて説明を行なうが、まずは、そのうちの基本構成について説明する。
【０２５９】
図２１は、本発明の実施形態に係る不揮発性記憶装置の基本構成を示すブロック図である。本実施形態は、抵抗変化現象が抵抗変化素子の上部電極近傍で生じると考えられるＢモード動作が生じるメモリセルの構成と、それに最適な制御回路を示すものである。
【０２６０】
図２１において、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００は、半導体基板上に、メモリ本体部１０１を備えており、メモリ本体部１０１は、メモリアレイ１０２と、行選択回路１０３と、列選択回路１０４と、書き込み回路１０５と、選択ビット線に流れる電流量を検出し、記憶されているデータが「１」か「０」かを判定する読み出し回路１０６と、端子ＤＱを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路１０７とを備えている。
【０２６１】
また、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００の外部より与えられるアドレス信号を入力とし、所定のアドレスを選択指示するアドレス入力回路１０８と、制御信号を入力とする制御回路１０９の出力がメモリ本体部１０１に供給され、その動作を制御している。
【０２６２】
メモリアレイ１０２は、Ｍ行Ｎ列（Ｍ、Ｎは自然数）のマトリクス状にメモリセルＭｉｊ（ｉ≦Ｍ、ｊ≦Ｎなる自然数。以下同じものは省略）が配列されている。メモリセルＭｉｊは、抵抗変化素子Ｒｉｊの一端と、正負の双方向に閾値電圧を有する電流制御素子Ｄｉｊの一端とを、互いに直列に接続して構成されている。抵抗変化素子Ｒｉｊの他端はワード線ＷＬｉに、電流制御素子Ｄｉｊの他端はビット線ＢＬｊに接続されている。なお、図２１では２行２列の４ビット分のメモリセルＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２（抵抗変化素子Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１及びＲ２２と、電流制御素子Ｄ１１、Ｄ１２、Ｄ２１及びＤ２２と、ビット線ＢＬ１及びＢＬ２と、ワード線ＷＬ１及びＷＬ２）のみを図示している。
【０２６３】
本構成では、ビット線ＢＬｊが下層の配線で構成され、紙面内の上下方向に配置されるとすると、ワード線ＷＬｉはビット線ＢＬｊより上層の配線で構成され、紙面内の左右方向に配置される。また抵抗変化素子Ｒｉｊは、後で詳細を説明するが、抵抗変化現象が抵抗変化素子の上部電極近傍で生じるＢモードの特性になる構造で構成されている。
【０２６４】
ワード線ＷＬｉは、行選択回路１０３に接続され、読み出し又は書き込みモードにおいて択一的に行選択が行われる。またビット線ＢＬｊは、列選択回路１０４に接続され、読み出し又は書き込みモードにおいて択一的に列選択が行われる。
【０２６５】
データ入出力回路１０７は、書き込みモードにおいて、データ入力信号Ｄｉｎのデータ“０”又はデータ“１”の書き込み指示に従って、選択されたメモリセルＭｉｊ内の抵抗変化素子Ｒｉｊに対し、低抵抗化又は高抵抗化の書き込みを行う。本実施形態では、データ“０”書き込みを低抵抗化書き込みに、データ“１”書き込みを高抵抗化書き込みに対応させてある。
【０２６６】
書き込み回路１０５はデータ入出力回路１０７と接続される。データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、その出力を入力とする電流制限回路１０５ｂ、及びロウレベルを駆動する第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を有している。また、データ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、及びロウレベルを駆動する第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を有している。
【０２６７】
そして、低抵抗化書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂにより電流制限した信号を、列選択回路１０４を介して選択ビット線ＢＬｊに供給する。一方、高抵抗化書き込みを行うときは、電流制限機能を有しない第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１で行選択回路１０３を介して選択ワード線ＷＬｉに信号を供給することを１つの特徴としている。
【０２６８】
このように構成される抵抗変化型不揮発性記憶装置１００において、ビット線ＢＬｊ及びワード線ＷＬｉが、それぞれ本発明の第１信号線及び第２信号線の一例である。第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、及び第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２が、それぞれ本発明の第１駆動回路、第２駆動回路、第３駆動回路、及び第４駆動回路の一例である。電流制限回路１０５ｂが、本発明の電流制限回路の一例である。また、列選択回路１０４及び行選択回路１０３が、それぞれ本発明の第１選択回路及び第２選択回路の一例である。
【０２６９】
図２２は、図２１においてＡ部で示す、メモリセルＭ１１の構成を示す断面図である。
【０２７０】
電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３は、各々、図２１における電流制御素子Ｄｉｊ、抵抗変化素子Ｒｉｊ（ｉ，ｊはそれぞれ正の整数）に対応している。
【０２７１】
メモリセル２００は、Ａｌで構成される第１層配線２０１、第１ビア２０２、電流制御素子２１２のＴａＮで構成される第３電極２０３、窒素不足型シリコン窒化物で構成される電流制御層２０４、ＴａＮで構成される第４電極２０５、第２ビア２０６、抵抗変化素子２１３のＴａＮで構成される第１電極２０７、酸素不足型タンタル酸化物で構成される抵抗変化層２０８、Ｐｔで構成される第２電極２０９、第３ビア２１０、Ａｌで構成される第２層配線２１１を順に形成して構成されている。
【０２７２】
ここで、ワード線ＷＬｉ側に接続される、より上層の第２電極２０９を、ビット線ＢＬｊ側に接続される第１電極２０７に比べ、標準電極電位がより高い材料であるＰｔで構成することを、もう１つの特徴としている。
【０２７３】
このメモリセル構造では、本発明の基礎データでも説明したように、抵抗変化動作は、第１電極を構成するＴａＮよりも高い標準電極電位を有するＰｔで構成される第２電極と、抵抗変化層２０８との界面近傍で起こり、その動作はＢモードに対応している。
【０２７４】
図２２で、第１層配線２０１はビット線ＢＬ１に、第２層配線２１１はワード線ＷＬ１に対応しているので、第２層配線２１１の電圧に対し第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は低抵抗状態に変化し、第１層配線２０１の電圧に対し第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は高抵抗状態に変化する。
【０２７５】
なお、図２２において、電流制御素子２１２と抵抗変化素子２１３の関係は上下逆でもかまわないし、抵抗変化素子２１３において第１電極２０７と第２電極２０９の位置が逆でもかまわない。
【０２７６】
図２３Ａ及び図２３Ｂは、図２１の書き込み回路１０５の具体的回路構成の一例を示している。
【０２７７】
図２３Ａは、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２、電流制限回路１０５ｂの一例をそれぞれ示している。
【０２７８】
第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１はＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１で構成され、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２はＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ１で構成され、電流制限回路１０５ｂはＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３で構成されている。
【０２７９】
Ｃ＿ＮＬＲは低抵抗化書き込みパルスの発生時ロウレベル、またＣ＿ＨＲは高抵抗化書き込みパルスの発生時ハイレベルとなる書き込み制御信号である。ＶＣＬは低抵抗化電流制限用ゲート電圧で、所定の定電圧が与えられている。
【０２８０】
またＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１のソース端子には、低抵抗化書き込み電源電圧ＶＬＲが供給され、抵抗変化素子２１３が低抵抗化するのに十分な電圧及び電流を駆動できる能力を有するように設定されている。
【０２８１】
図２３Ｂは、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２の一例を示している。
【０２８２】
第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１はＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２で構成され、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２はＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２で構成されている。
【０２８３】
Ｃ＿ＮＨＲは高抵抗化書き込みパルスの発生時ロウレベル、またＣ＿ＬＲは低抵抗化書き込みパルスの発生時ハイレベルとなる書き込み制御信号である。
【０２８４】
またＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２のソース端子には、高抵抗化書き込み電源電圧ＶＨＲが供給され、抵抗変化素子２１３が高抵抗化するのに十分な電圧及び電流を駆動できる能力を有するように設定されている。
【０２８５】
書き込みモードにおいて、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みが指示されると、Ｃ＿ＮＬＲがロウレベル、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定され、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１と、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２がオンし、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１の出力電流が、電流制限回路１０５ｂ、ビット線ＢＬｊ、メモリセルＭｉｊ、ワード線ＷＬｉを主経路とし、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に流れ込む電流経路が形成される。
【０２８６】
また、電流制限回路１０５ｂの出力は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３で電流制限されるとともに、その出力電圧ＶＬＲ＿Ｏは、ＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３とすると、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３の電圧に上限が制限される。それとともに、トランジスタＭＮ３がソースフォロワ特性を持つため、低抵抗化書き込み電源電圧ＶＬＲを一定電圧以上に設定すると、トランジスタＭＮ３は定電流源として動作し、電流は一定となる。
【０２８７】
書き込みモードにおいてデータ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みが指示されると、Ｃ＿ＮＨＲがロウレベル、Ｃ＿ＨＲがハイレベルに設定され、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２と、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ１がオンし、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１の出力電流がワード線ＷＬｉ、メモリセルＭｉｊ、ビット線ＢＬｊを主経路とし、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２に流れ込む電流経路が形成される。この電流経路に電流制限回路を含まないため、高抵抗化書き込み電源電圧ＶＨＲの増加に従い、電流は単調に増加する。
【０２８８】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作］
以上のように構成された抵抗変化型不揮発性記憶装置１００について、その動作を説明する。
【０２８９】
まず、メモリセルの動作について説明する。図２４は、図２２の構造を持つメモリセルについて、第１層配線２０１よりも第２層配線２１１が高い電圧となる極性を正として電圧を印加した場合に、その電圧と電流との関係を実測した図である。
【０２９０】
メモリセル２００に対し、第２層配線２１１よりも第１層配線２０１が高い電位となる負極性の電圧を印加していくと、−３．２Ｖを超える付近で抵抗変化素子は高抵抗状態から低抵抗状態へと変化を開始する。さらに−３．９Ｖ（Ａ点）まで印加しているが、印加電圧に応じて徐々に低抵抗化が進行している。
【０２９１】
一方、メモリセル２００に対し、第１層配線２０１よりも第２層配線２１１が高い電位となる正極性の電圧を印加していくと、低抵抗状態への変化電圧と概ね対称である３．８Ｖ付近（Ｂ点）で、抵抗変化素子は低抵抗状態から高抵抗状態へと変化を開始する。さらに、５．１Ｖまで印加すると電流増加が見られるが、この後印加電圧を下げていくと、印加電圧を上げるときと比較して電流が小さくなっているため、高抵抗状態に変化していることがわかる。
【０２９２】
即ち、図２４に示す実測データは、図２２の構造を持つメモリセル２００について、第２層配線２１１の電圧を基準として第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき低抵抗状態に変化し、第１層配線２０１の電圧を基準として第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき高抵抗状態に変化するＢモード動作を発現すること、及び、低抵抗状態の印加電圧（Ａ点）と、高抵抗状態への変化開始電圧（Ｂ点）とが、概ね対称な関係にあることを示している。
【０２９３】
次に、以上のように構成した抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作について説明する。
【０２９４】
最初に書き込み回路１０５の特性について説明する。
【０２９５】
図２５Ａは、図２３Ａ及び図２３Ｂに示す第１の具体的書き込み回路を用いて、図２１に示す抵抗変化型不揮発性記憶装置１００の動作を説明するため、書き込みに関わる電流経路だけを切り出した等価回路図である。図２５Ｂは、その特性説明図であり、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１は低抵抗状態を想定して１０ｋΩの固定値とし、双方向特性を有する電流制御素子と直列接続した状態で、書き込み回路１０５から与えられる電圧と、メモリセルＭ１１に流れる電流との関係を、シミュレーションを用いて求めた結果を示す図である。
【０２９６】
図２５Ｂにおいて、負の電圧領域（Ａ）の特性は、高抵抗状態から１０ｋΩと仮定した低抵抗状態に変化した後のメモリセルを、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１により駆動する場合（例えば−３Ｖというのは、ＶＬＲに３Ｖを与えて駆動することを意味する）の特性を示している。また、正の電圧領域（Ｂ）の特性は、１０ｋΩと仮定した低抵抗状態のメモリセルを高抵抗化状態に向け第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１により駆動する場合の特性を示している。なお駆動回路の電圧とは、負の電圧領域（Ａ）では、低抵抗化書き込み電源電圧であるＶＬＲに相当し、正の電圧領域（Ｂ）では、高抵抗化書込み電源電圧であるＶＨＲに相当する。また、負の電圧領域（Ａ）中の破線は、電流制限回路１０５ｂを介さない場合の特性を比較のために示している。
【０２９７】
図２５Ｂより、メモリセルを低抵抗化するときは、低抵抗化電源電圧ＶＬＲの増加とともに、メモリセルに流れる電流も増加し、電流制限回路１０５ｂを介さない場合、破線の特性の様に単調増加するのに対し、電流制限回路１０５ｂを用いる場合、その電流制限効果により、変極点Ｃを持ち、約３．５Ｖ付近からは１３０μＡの一定電流に制限される。
【０２９８】
一方、メモリセルを高抵抗化するときは、電流制限回路がないため、高抵抗化電源電圧ＶＨＲに３．５Ｖを印加した場合、１５０μＡの電流、即ち低抵抗化するときよりも大きい電流が流れることがわかる。
【０２９９】
ここで、この回路構成における電流制限回路１０５ｂのＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の設定条件を考える。
【０３００】
メモリセルに設定する低抵抗値は、図２４に示すメモリセル特性において、Ａ点で示す低抵抗状態の印加電圧である−３．９Ｖまで電流を印加した時の低抵抗状態の設定を想定して考える。なお、上述のように、この低抵抗状態の印加電圧が低く、より少ない電流を流した場合は、低抵抗状態はより高抵抗に近く設定され、反対に印加電圧が高く、より多くの電流を流した場合は、より低抵抗化が進む。定式化のため、Ａ点の電圧をＶＬ、Ａ点の電流をＩＬとする。ただし、ダイオードでの電圧降下はないものと仮定する。
【０３０１】
ところで、図２５Ａにおいて、電流制限回路１０５ｂ中のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３、同ゲート電圧をＶＣＬ、ＬＲ化電源の電圧をＶＬＲとすると、ＶＬＲ≧ＶＣＬのとき、図２５Ｂに示す変極点Ｃの電圧は、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３と近似される。
【０３０２】
図２４のＡ点に示すメモリセルの低抵抗化点の電圧（ＶＬ＝ＶＬｔｈ）と、図２５Ｂに示す電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃの電圧ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３とを一致させておけば、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃにおいて、メモリセルを想定する低抵抗状態に設定できる。よって、
ＶＬｔｈ＝ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３  かつ  ＶＬＲ≧ＶＣＬ
即ち、
ＶＣＬ＝ＶＬｔｈ＋Ｖｔｈ＿ＭＮ３  かつ  ＶＬＲ≧ＶＣＬ  ・・・（式１）
を満たすように、ＶＣＬを設定すればよい。このとき、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２における電圧降下は無視できるとする。またこの条件のとき、Ａ点の電流ＩＬを駆動できるよう、電流制限回路１０５ｂのＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３のゲート幅及びゲート長を調整して設計しておく。
【０３０３】
そして、この条件を満たしておけば、電圧変動や、速度低下の懸念に対してＬＲ化電源の電圧ＶＬＲを、余裕を持って高めに設定しても、変極点Ｃ以上の電圧では定電流となるため、低抵抗状態の抵抗値を一定の値に安定させて設定することができる。
【０３０４】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例１］
図２６は、実施形態の基本構成において、Ｎ型ＭＯＳトランジスタを用いて電流制限回路１０５ｂを構成する場合の、図２１とは異なる変形例１を示している。この構成は、電流制限回路１０５ｂを抵抗変化素子の第１電極と書き込み回路との間に配置することを特徴とする。図２６の構成では、電流制限回路１０５ｂをメモリセルアレイの近くに配置するため、図２１の場合と比較して、よりメモリセルに近い位置で電流制限を行うことが可能となる。よって低抵抗化書き込み動作を行うときに、電流制限回路１０５ｂを介して充放電すべき容量負荷を低減することができ、メモリセルの低抵抗状態への変化に対し、追随性よく電流制限を行えるため、より精度よく想定の抵抗値に設定することが可能となる。
【０３０５】
また、ＬＲ化駆動回路で書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂはソースフォロワとなり、定電流特性を示すため、低抵抗状態の抵抗値を一定の値に安定させて設定することができる一方、ＨＲ化駆動回路で書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂはソースフォロワとはならないため、低抵抗化するときよりも大きい電流を駆動することができる。
【０３０６】
ここで、列選択回路１０４は一般に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及びＮ型ＭＯＳトランジスタと、デコーダ回路とで構成され、選択されたメモリセルに対応したビット線が択一的に選択される。この列選択回路１０４をＮ型ＭＯＳトランジスタのみで構成することにより、ＬＲ駆動回路で書き込みを行うときにソースフォロワとなるため、列を選択する機能に加え、電流を制限する機能を持たせることができる。この場合、電流制限回路１０５ｂを別途設ける必要がなくなり、面積を削減することができる。
【０３０７】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２］
電流制限回路１０５ｂは、図２１に示したような第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１側ではなく、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設けることも可能である。図２７に、実施形態の基本構成の変形例２を示す。また、図２８Ａは、図２７の書き込み回路１０５の第１の具体的回路構成の一例を示していて、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成される電流制限回路１０５ｂを有する。また、図２８Ｂは、その特性説明図であり、図２５Ｂと同様に、メモリセル２００の抵抗変化素子は低抵抗状態を想定して１０ｋΩの固定値とし、双方向特性を有する電流制御素子と直列接続した状態で、書き込み回路１０５から与えられる電圧と、メモリセル２００に流れる電流との関係を、シミュレーションを用いて求めた図である。
【０３０８】
図２８Ｂにおいて、負の電圧領域（Ａ）の特性は、高抵抗状態から１０ｋΩと仮定した低抵抗状態に変化した後のメモリセルを、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１により駆動する場合（例えば−３Ｖというのは、ＶＬＲに３Ｖを与えて駆動することを意味する）の特性を、正の電圧領域（Ｂ）の特性は、１０ｋΩと仮定した低抵抗状態のメモリセルを高抵抗化状態に向け第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１により駆動する場合の特性を示している。負の電圧領域（Ａ）中の破線は、電流制限回路１０５ｂを介さない場合の特性を比較のために示している。
【０３０９】
図２８Ｂより、メモリセルを低抵抗化するときは、低抵抗化電源電圧ＶＬＲの増加とともに、メモリセルに流れる電流も増加し、電流制限回路１０５ｂを介さない場合、破線の特性の様に単調増加するのに対し、電流制限回路１０５ｂを用いる場合、その電流制限効果により、変極点Ｃを持ち、約−３．９Ｖ付近からは−１３０μＡの一定電流に制限される。
【０３１０】
一方、メモリセルを高抵抗化するときは、電流制限回路がないため、高抵抗化電源電圧ＶＨＲに３．５Ｖを印加した場合、１５０μＡの電流、即ち低抵抗化するときよりも大きい電流が流れることがわかる。
【０３１１】
図２８Ａにおいて、電流制限回路１０５ｂ中のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３、同ゲート電圧をＶＣＬ、ＬＲ化電源の電圧をＶＬＲ、メモリセルの低抵抗化点の電圧をＶＬ＝ＶＬｔｈとすると、図２８Ｂに示す変極点Ｃの電圧は、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３＋ＶＬ（＝ＶＬｔｈ）と近似される。この変極点Ｃの電圧ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３＋ＶＬｔｈが、ＬＲ化電源の電圧ＶＬＲと一致するように、
ＶＬＲ＝ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３＋ＶＬｔｈ
即ち、
ＶＣＬ＝ＶＬＲ−ＶＬｔｈ＋Ｖｔｈ＿ＭＮ３  ・・・（式２）
を満たすようにＶＣＬを設定することにより、ＬＲ化電源の電圧としてＶＬＲを与えた場合に、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃでメモリセルを低抵抗化すること、即ち想定する低抵抗状態に設定することが可能となる。このとき、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１における電圧降下は無視できるとした。またこの条件のとき、図２４のＡ点の電流ＩＬが駆動できるよう、電流制限回路１０５ｂのＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３のゲート幅及びゲート長を調整して設計しておく。
【０３１２】
さらには、電流制限回路１０５ｂをＮ型ＭＯＳトランジスタではなく、電流ミラー回路等を用いた定電流回路とし、一定の電流値に制御することにより、より精度よく想定の抵抗値に設定することが可能である。
【０３１３】
そして、この条件を満たしておけば、電圧変動や、速度低下の懸念に対してＬＲ化電源の電圧ＶＬＲを、余裕を持って高めに設定しても、変極点Ｃ以上の電圧では定電流となるため、低抵抗状態の抵抗値を、一定の値に安定させて設定することができる。
【０３１４】
以上において、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３としているが、これはソース電圧が基板電圧に比べ上昇した状態、即ち基板バイアス効果が効いた状態での閾値電圧を指している。ＶＣＬだけでなく、閾値電圧Ｖｔｈ＿ＭＮ３を（式１）、（式２）の関係を満たすように設定することも、動作電圧の低減には有効となる。
【０３１５】
ところで、メモリセルの特性、例えば図２４のＡ点に示すメモリセルの低抵抗化点の電流値はメモリセル毎に固有のばらつきを有している。ばらつきにより変極点Ｃもばらつくため、この点を考慮してＶＣＬを設定しておく必要がある。以下、具体的に説明する。
【０３１６】
まず、下限値について、一般に読み出し回路１０６は、低抵抗状態のメモリセルの読み出しにおいては、一定値以上の読み出し電流が必要となる。そのため、最小読み出し電流となるメモリセル、即ち低抵抗状態のメモリセルのなかで一番高抵抗な状態のメモリセルにおいても、上記読み出し電流を確保すべく、一定値より低い低抵抗状態に設定できるよう、ＶＣＬを設定しておく必要がある。
【０３１７】
一方、上限値について、メモリセル２００に一定値より大きい電流を繰り返し流した場合、メモリセル、特に電流制御素子２１２の信頼性面で、望ましくない場合がある。そのような場合には、電流制御素子に耐電流（電流制御素子が破壊されない最大の電流）より大きい電流が流れないよう、即ち抵抗変化素子を一定値より高い低抵抗状態に留められるように、ＶＣＬを設定しておけばよい。
【０３１８】
下限値の設定において、不揮発性記憶装置で一般的に用いられる手段として、抵抗値のベリファイを行い、例えば低抵抗状態が不足したメモリセルに対して追加書き込みを行う場合がある。このような場合、追加書き込みを行うメモリセルに対してはＶＣＬを高く設定することにより、低抵抗化を促進させてもよい。
【０３１９】
以上の説明では、電流制限回路１０５ｂをＮ型ＭＯＳトランジスタで構成する場合について説明したが、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成することも可能である。Ｐ型ＭＯＳトランジスタを使用して、電流制限回路１０５ｂを第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１側に設けた場合の、図２１の書き込み回路１０５の第２の具体的回路構成例を図２９Ａに、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設けた、図２７の書き込み回路１０５の第２の具体的回路構成例を図２９Ｂに示す。
【０３２０】
電流制限回路１０５ｂのＰ型ＭＯＳトランジスタの満たすべき設定条件は、図２９Ａの場合、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成した図２８Ａの場合と同様に求めることができる。図２９Ａにおいて、電流制限回路１０５ｂ中のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＰ３（Ｖｔｈ＿ＭＰ３は正とする）、同ゲート電圧をＶＣＬ、ＬＲ化電源の電圧をＶＬＲ、メモリセルに印加される電圧をＶＬとすると、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃの電圧は、ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３と近似される。メモリセルの低抵抗化点の電圧（ＶＬ＝ＶＬｔｈ）と、この電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃの電圧（＝ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３）とを一致させておけば、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃにおいて、メモリセルを想定する低抵抗状態に設定できる。よって、
ＶＬ＝ＶＬｔｈ＝ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３
即ち、
ＶＣＬ＝ＶＬｔｈ−Ｖｔｈ＿ＭＰ３  ・・・（式３）
を満たすように、ＶＣＬを設定すればよい。このとき、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２における電圧降下は無視できるとした。またこの条件のとき、Ａ点の電流ＩＬが駆動できるよう、電流制限回路１０５ｂのＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３のゲート幅及びゲート長を調整して設計しておく。
【０３２１】
さらには、電流制限回路１０５ｂをＰ型ＭＯＳトランジスタではなく、電流ミラー回路等を用いた定電流回路とし、一定の電流値に制御することにより、より精度よく想定の抵抗値に設定することが可能である。
【０３２２】
そして、この条件を満たしておけば、電圧変動や、速度低下の懸念に対してＬＲ化電源の電圧ＶＬＲを、余裕を持って高めに設定しても、変極点Ｃ以上の電圧では定電流となるため、低抵抗状態の抵抗値を、一定の値に安定させて設定することができる。
【０３２３】
一方、図２９Ｂの場合は、図２５Ａの場合と同様に求めることが可能である。即ち、図２９Ｂにおいて、電流制限回路１０５ｂ中のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＰ３、同ゲート電圧をＶＣＬ、ＬＲ化電源の電圧をＶＬＲ、メモリセルに印加される電圧をＶＬ、メモリセルの低抵抗化点の電圧をＶＬ＝ＶＬｔｈとすると、ＶＣＬ≧０のとき、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃの電圧は、ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３＋ＶＬ（＝ＶＬｔｈ）と近似される。この変極点Ｃの電圧（＝ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３＋ＶＬ）が、ＬＲ化電源の電圧ＶＬＲと一致するように、
ＶＬＲ＝ＶＣＬ＋Ｖｔｈ＿ＭＰ３＋ＶＬ（＝ＶＬｔｈ）  かつ  ＶＣＬ≧０
即ち、
ＶＣＬ＝ＶＬＲ−ＶＬｔｈ−Ｖｔｈ＿ＭＰ３  かつ  ＶＣＬ≧０  ・・・（式４）
を満たすようにＶＣＬを設定することにより、ＬＲ化電源の電圧としてＶＬＲを与えた場合に、電流制限回路１０５ｂの変極点Ｃでメモリセルを低抵抗化すること、即ち想定する低抵抗状態に設定することが可能となる。このとき、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２における電圧降下は無視できるとした。またこの条件のとき、図２４のＡ点の電流ＩＬが駆動できるよう、電流制限回路１０５ｂのＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３のゲート幅及びゲート長を調整して設計しておく。
【０３２４】
そして、この条件を満たしておけば、電圧変動や、速度低下の懸念に対してＬＲ化電源の電圧ＶＬＲを、余裕を持って高めに設定しても、変極点Ｃ以上の電圧では定電流となり、低抵抗状態の抵抗値を、一定の値に安定させて設定することができる。
【０３２５】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例３］
図３０は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタを用いて電流制限回路１０５ｂを構成する場合であって、かつ、電流制限回路１０５ｂを抵抗変化素子の第２電極と書き込み回路との間に配置することを特徴とする。図３０では、電流制限回路１０５ｂをメモリセルアレイの近くに配置するため、図２７の場合と比較して、よりメモリセルに近い位置で電流制限を行うことが可能となる。よって低抵抗化書き込み動作を行うときに、電流制限回路１０５ｂを介して充放電すべき容量負荷を低減することができ、メモリセルの低抵抗状態への変化に対し、追随性よく電流制限を行えるため、より精度よく想定の抵抗値に設定することが可能となる。
【０３２６】
また、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２で書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂはソースフォロワとなり定電流特性となるため、低抵抗状態の抵抗値を一定の値に安定させて設定することができる一方、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１で書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂはソースフォロワとはならないため、低抵抗化するときよりも大きい電流を駆動することができる。
【０３２７】
ここで、行選択回路１０３は一般に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及びＮ型ＭＯＳトランジスタと、デコーダ回路とで構成され、選択されたメモリセルに対応したビット線が択一的に選択される。この行選択回路１０３をＰ型ＭＯＳトランジスタのみで構成することにより、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２で書き込みを行うときにソースフォロワとなるため、行選択回路１０３に行を選択する機能に加え、電流を制限する機能を持たせることができる。この場合、電流制限回路１０５ｂを別途設ける必要がなくなり、面積を削減することができる。
【０３２８】
なお、図２９Ａ及び図２９ＢのＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＰ３としているが、これはソース電圧が基板電圧に比べ下降した状態、即ち基板バイアス効果が効いた状態での閾値電圧を指している。ＶＣＬだけでなく、（式３）、（式４）の関係を満たすように閾値電圧Ｖｔｈ＿ＭＰ３を他のトランジスタより低く設定することも、動作電圧の低減には有効となる。
【０３２９】
図２５Ａ、図２８Ａ、図２９Ａ、図２９Ｂのように電流制限回路を設ける場合、回路を設計する際に、電流制限回路を構成するＭＯＳトランジスタのサイズを適切に選択することにより、より簡便に電流制限を実現することが可能である。
【０３３０】
具体的には、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１を構成するＰ型ＭＯＳトランジスタのゲート幅をＷ２、ゲート長をＬ２とし、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を構成するＮ型ＭＯＳトランジスタのゲート幅をＷ４、ゲート長をＬ４とするとき、抵抗変化素子を高抵抗化する場合の駆動回路の電流能力は、Ｗ２／Ｌ２、Ｗ４／Ｌ４の内の、小さい方で規定される。
【０３３１】
抵抗変化素子を低抵抗化する際に使用する電流制限回路１０５ｂを構成するＭＯＳトランジスタのゲート幅をＷＣ、ゲート長をＬＣとするとき、電流制限回路１０５ｂの電流能力は、ＷＣ／ＬＣで規定されるが、電流制限回路１０５ｂの電流能力が、抵抗変化素子を高抵抗化する場合の駆動回路の電流能力より小さくなるように、即ち、
Ｗ２／Ｌ２＞ＷＣ／ＬＣ、かつＷ４／Ｌ４＞ＷＣ／ＬＣ  ・・・（式５）
を満たすように、電流制限回路１０５ｂのトランジスタサイズを設計することにより、抵抗変化素子を低抵抗化する場合の駆動回路の電流能力を、抵抗変化素子を高抵抗化する場合の駆動回路の電流能力より小さく制限することが可能である。
【０３３２】
また、電流制限回路１０５ｂを構成するＭＯＳトランジスタのサイズを（式５）を満たすように設計し、加えて電流制限回路１０５ｂを構成するＭＯＳトランジスタのゲート電圧を、低抵抗化する場合の駆動回路の電流能力が、抵抗変化素子を高抵抗化する場合の駆動回路の電流能力より小さくなるよう制御することにより、より精度良く抵抗変化素子に抵抗値を設定することが可能なことは、いうまでもない。
【０３３３】
次に、実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置１００にデータを書き込む場合の、書き込みサイクルでの動作例について、図３１Ａ及び図３１Ｂに示すタイミング図を参照しながら説明する。
【０３３４】
図３１Ａ及び図３１Ｂは、本発明の実施形態の基本構成に係る不揮発性記憶装置の動作例を示すタイミング図である。図３１Ａは、データ「０」、即ち低抵抗状態を書き込む（ＬＲ化）場合を、図３１Ｂは、データ「１」、即ち高抵抗状態を書き込む（ＨＲ化）場合を示している。
【０３３５】
以下において、説明はメモリセルＭ１１が選択され、データの書き込み及び読み出しが行われる場合についてのみ示す。メモリセルＭ１１が選択メモリセルとなる場合、メモリセルＭ１２はワード線が選択電位、ビット線が非選択電位となる非選択メモリセルであり、メモリセルＭ２１はワード線が非選択電位、ビット線が選択電位となる非選択メモリセルであり、メモリセルＭ２２はワード線もビット線も非選択電位となる非選択メモリセルである。
【０３３６】
図３１Ａ及び図３１Ｂでは、選択メモリセルＭ１１に流れる電流とあわせて、非選択メモリセルＭ１２、Ｍ２１、Ｍ２２に流れる電流も示している。また電流波形は、ワード線からビット線の方向、即ち抵抗変化素子の第２電極から第１電極の方向に流れる電流を正極性としている。
【０３３７】
以下、図３１Ａ及び図３１Ｂについて、期間Ｔ１〜Ｔ４の期間に分けて、その動作を説明する。なお、図３１Ａ及び図３１Ｂにおいて、ＶＤＤは抵抗変化型不揮発性記憶装置１００に供給される電源電圧に対応している。
【０３３８】
図３１Ａに示すメモリセルＭ１１に対するデータ「０」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線（ＷＬ１及びＷＬ２）をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線（ＢＬ１及びＢＬ２）を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０３３９】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が高抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１を使用して選択ビット線ＢＬ１をＶＬＲに駆動し、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を使用して選択ワード線ＷＬ１を０Ｖに駆動する。時間経過とともにビット線ＢＬ１の電位が上昇、ワード線ＷＬ１の電位が降下するが、ワード線ＷＬ１は比較的高速に降下するのに対し、電流制限回路１０５ｂを介して駆動されるビット線ＢＬ１は緩やかに上昇する。また、ビット線ＢＬ１の電位は、電流制限回路１０５ｂを介しているため、ＶＬＲまでは上昇しない。
【０３４０】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、低抵抗状態に遷移する期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子Ｒ１１（図２２の抵抗変化素子２１３）に、第２電極２０９を基準にして第１電極２０７に抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈとなる絶対値を持つ電圧が抵抗変化素子Ｒ１１に印加された時点で、高抵抗値から低抵抗値に書き込みが行われる。低抵抗化すると共に、メモリセルＭ１１に流れる電流は増加するが、電流制限回路１０５ｂがあるため、電流値は一定値以上増加しない。そのため、抵抗値が一定の値で低抵抗化は留まる。なお、図３１Ａでは電流の増加の方向は下向きにとっている。
【０３４１】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「０」の書き込みが完了する。
【０３４２】
図３１Ｂに示すメモリセルＭ１１に対するデータ「１」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０３４３】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が低抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１を使用して選択ワード線ＷＬ１をＶＨＲに駆動し、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を使用して選択ビット線ＢＬ１を０Ｖに駆動する。時間経過とともにワード線ＷＬ１の電位が上昇、ビット線ＢＬ１の電位が降下するが、電流制限回路を介さないため、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１とも、比較的高速に変化する。
【０３４４】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、高抵抗状態に遷移した期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子Ｒ１１（図２２の抵抗変化素子２１３）に、第１電極２０７を基準にして第２電極２０９に抵抗変化素子の高抵抗化電圧ＶＨｔｈを超える絶対値を持つ電圧が印加された時点で、低抵抗値から高抵抗値に書き込みが行われる。
【０３４５】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「１」の書き込みが完了する。
【０３４６】
なお、メモリセルＭｉｊは図２２に示す構造に限定されるものではなく、Ｂモード特性を示す次のようなものでもよい。
【０３４７】
図３２Ａ〜図３２Ｄはいずれも、図２２と同様に抵抗変化層を挟む上部電極及び下部電極構造において、互いに異なる電極材料からなり、かつ上部電極を下部電極と比べて標準電極電位がより高い材料で構成することにより、Ｂモード動作をするメモリセルの展開例である。
【０３４８】
図３２Ａは、第２ビア２０６を設けず、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２とを接する形で構成したメモリセルである。
【０３４９】
図３２Ｂは図３２Ａに対し、ＴａＮで構成される電流制御素子２１２の第４電極２０５とＴａＮで構成される抵抗変化素子２１３の第１電極とを、共通にしたメモリセルである。このメモリセルは、電極を共通にできるため、製造が容易となる。
【０３５０】
図３２Ｃは、第２ビア２０６と同一径で、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２を構成したメモリセルである。このメモリセルは、第２ビア２０６と同一径で構成されるため、メモリセルを配線の最小間隔にあわせて配置することが可能となり、小面積化することができる。このメモリセルは、抵抗変化素子２１３及び電流制御素子２１２の、積層方向に直交する断面の大きさ（一例としては上記の径）を、ビアと比べて同一又はより小さく形成した一例である。
【０３５１】
図３２Ｄは図３２Ｃに対し、第２層配線２１１をＰｔで構成することにより、第２層配線を抵抗変化素子２１３の第２電極として使用し、第１層配線２０１をＴａＮで構成することにより、第１層配線を電流制御素子２１２の第３電極として使用している。この場合、抵抗変化素子２１３の第２電極、電流制御素子２１２の第３電極を別途設ける必要がなくなるため、小面積化が可能となる。なお図３２Ｄでは、第２層配線２１１、第１層配線２０１の双方をメモリセルの両端の電極と共通にする例を示したが、このうちのどちらか一方のみを共通としてもよい。
【０３５２】
以上では、第１層配線２０１の上に電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３、第２層配線２１１の順に構成する場合の構成例を説明したが、図２２、及び図３２Ａ、図３２Ｃ、図３２Ｄの各場合については、第１層配線２０１の上に抵抗変化素子２１３、電流制御素子２１２、第２層配線２１１の順に構成してもよい。そのような構成では、第１層配線２０１の上に、抵抗変化素子２１３の第１電極２０７、抵抗変化層２０８、第２電極２０９、電流制御素子２１２の第３電極２０３、電流制御層２０４、第４電極２０５、及び第２層配線２１１が、この順に形成される。
【０３５３】
図３３はＢモード動作をする別な構造のメモリセル２５０の一例を示す。なお図２２と同じものは、同じ記号を付している。
【０３５４】
メモリセル２５０は、図３３に示すように、Ａｌで構成される第１層配線２０１、第１ビア２０２、ＴａＮで構成される電流制御素子の第３電極２０３、窒素不足型シリコン窒化物で構成される電流制御層２０４、ＴａＮで構成される電流制御素子の第４電極２０５、第２ビア２０６、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第１電極２０７、酸素含有率の低い第１のタンタル酸化物層２０８ａ、酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層２０８ｂ、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第２電極２０９、第３ビア２１０、Ａｌで構成される第２層配線２１１を順に形成して構成されており、第２のタンタル酸化物層２０８ｂを、抵抗変化素子の上部電極である第２電極２０９に接して構成することを特徴としている。
【０３５５】
この構造では、本発明の基礎データに記載した本出願の関連出願中で説明されているように、抵抗変化動作は上部電極である第２電極２０９と第２のタンタル酸化物層２０８ｂとの界面近傍で起こり、その動作はＢモードに対応している。
【０３５６】
図３３で、第１層配線２０１はビット線ＢＬ１に、第２層配線２１１はワード線ＷＬ１に対応しているので、第２層配線２１１の電圧に対し第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は低抵抗状態に変化し、第１層配線２０１の電圧に対し第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は高抵抗状態に変化する。
【０３５７】
図３４Ａ〜図３４Ｃはいずれも、図３３と同様に抵抗変化層を挟む上部電極及び下部電極構造において、上部電極に接して酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置し、何れもＢモード動作をするメモリセルの展開例である。
【０３５８】
図３４Ａは、第２ビア２０６を設けず、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２とを接する形で構成したメモリセルである。
【０３５９】
図３４Ｂは、第２ビア２０６と同一径で、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２を構成したメモリセルである。このメモリセルは、第２ビア２０６と同一径で構成されるため、メモリセルを配線の最小間隔にあわせて配置することが可能となり、小面積化することができる。このメモリセルは、抵抗変化素子２１３及び電流制御素子２１２の、積層方向に直交する断面の大きさ（一例としては上記の径）を、ビアと比べて同一又はより小さく形成した一例である。
【０３６０】
図３４Ｃは図３４Ｂに対し、第２層配線２１１をＰｔで構成することにより、第２層配線を抵抗変化素子２１３の第２電極として使用し、第１層配線２０１をＴａＮで構成することにより、第１層配線を電流制御素子２１２の第３電極として使用している。この場合、抵抗変化素子２１３の第２電極、電流制御素子２１２の第３電極を別途設ける必要がなくなるため、小面積化が可能となる。なお図３４Ｃでは、第２層配線２１１、第１層配線２０１の双方をメモリセルの両端の電極と共通にする例を示したが、このうちのどちらか一方のみを共通としてもよい。
【０３６１】
以上では、図２２、図３２Ａ〜図３２Ｄ、図３３、及び図３４Ａ〜図３４Ｃについて、第１層配線２０１の上に電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３、第２層配線２１１の順に構成する場合の構成例を説明したが、第１層配線２０１の上に抵抗変化素子２１３、電流制御素子２１２、第２層配線２１１の順に構成してもよい。そのような構成では、第１層配線２０１の上に、抵抗変化素子２１３の第１電極２０７、抵抗変化層２０８、第２電極２０９、電流制御素子２１２の第３電極２０３、電流制御層２０４、第４電極２０５、及び第２層配線２１１が、この順に形成される。
【０３６２】
なお、図２２や図３２Ａ〜図３２Ｄの電極構成のように、標準電極電位がより高い材料で上部電極を構成し、それに接して図３３や図３４Ａ〜図３４Ｃで示した酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置するという、異電極と濃度の異なるタンタル酸化物層とを組み合せた構造でもよいことは、いうまでもない。
【０３６３】
さらに、第３電極２０３あるいは第３電極２０３及び電流制御層２０４は、それぞれ第１層配線２０１上に同じ配線形状で形成してもよい。また第２電極２０９も、第２層配線２１１の下に、同じ配線形状で形成してもよい。
【０３６４】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例４］
次に、本発明の実施形態の基本構成における変形例４について説明する。上述してきた本発明の基本構成及びその変形例１〜３ではメモリセルがＢモードである場合について説明したが、本変形例４はメモリセルをＡモードとしたものである。以下、上述した説明と同様となる回路、動作等の説明は、適宜省略する。
【０３６５】
図３５は、本変形例４に係る不揮発性記憶装置の構成を示すブロック図である。本変形例４は、抵抗変化現象が抵抗変化素子の下部電極近傍で生じると考えられるＡモード動作が生じるメモリセルの構成と、それに最適な制御回路を示すものである。
【０３６６】
図３５において、抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０は、半導体基板上に、メモリ本体部１２１を備えており、メモリ本体部１２１は、メモリアレイ１２２と、行選択回路１０３と、列選択回路１０４と、書き込み回路１０５と、選択ビット線に流れる電流量を検出し、記憶されているデータが「１」か「０」かを判定する読み出し回路１０６と、端子ＤＱを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路１０７とを備えている。
【０３６７】
また、抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０の外部より与えられるアドレス信号を入力とし、所定のアドレスを選択指示するアドレス入力回路１０８と、制御信号を入力とする制御回路１０９の出力がメモリ本体部１２１に供給され、その動作を制御している。
【０３６８】
メモリアレイ１２２は、Ｍ行Ｎ列（Ｍ、Ｎは自然数のマトリクス状にメモリセルＭｉｊ（ｉ≦Ｍ、ｊ≦Ｎなる自然数。以下同じものは省略）が配列されている。メモリセルＭｉｊは、抵抗変化素子Ｒｉｊの一端と、正負の双方向に閾値電圧を有する電流制御素子Ｄｉｊの一端とを、互いに直列に接続して構成されている。抵抗変化素子Ｒｉｊの他端はビット線ＢＬｊに、電流制御素子Ｄｉｊの他端はワード線ＷＬｉに接続されている。なお、図３５では２行２列の４ビット分のメモリセルＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２（抵抗変化素子Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１及びＲ２２と、電流制御素子Ｄ１１、Ｄ１２、Ｄ２１及びＤ２２と、ビット線ＢＬ１及びＢＬ２と、ワード線ＷＬ１及びＷＬ２）のみを図示している。
【０３６９】
本構成では、ビット線ＢＬｊが下層の配線で構成され、紙面内の上下方向に配置されるとすると、ワード線ＷＬｉはビット線ＢＬｊより上層の配線で構成され、紙面内の左右方向に配置される。また抵抗変化素子Ｒｉｊは、抵抗変化現象が抵抗変化素子の下部電極近傍で生じるＡモードの特性になる構造で構成されている。
【０３７０】
ワード線ＷＬｉは、行選択回路１０３に接続され、読み出し又は書き込みモードにおいて択一的に行選択が行われる。
【０３７１】
またビット線ＢＬｊは、列選択回路１０４に接続され、読み出し又は書き込みモードにおいて択一的に列選択が行われる。
【０３７２】
データ入出力回路１０７は、書き込みモードにおいて、データ入力信号Ｄｉｎのデータ“０”又はデータ“１”の書き込み指示に従って、選択されたメモリセルＭｉｊ内の抵抗変化素子Ｒｉｊに対し、低抵抗化又は高抵抗化の書き込みを行う。本実施形態では、データ“０”書き込みを低抵抗化書き込みに、データ“１”書き込みを高抵抗化書き込みに対応させてある。
【０３７３】
書き込み回路１０５はデータ入出力回路１０７と接続され、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、その出力を入力とする電流制限回路１０５ｂ、及びロウレベルを駆動する第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を有している。また、データ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、及びロウレベルを駆動する第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を有している。
【０３７４】
そして、低抵抗化書き込みを行うときは、電流制限回路１０５ｂにより電流制限した信号を、行選択回路１０３を介して選択ワード線ＷＬｉに供給する。一方、高抵抗化書き込みを行うときは、電流制限機能を有しない第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１で列選択回路１０４を介して選択ビット線ＢＬｊに信号を供給することを１つの特徴としている。
【０３７５】
このように構成される抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０において、ワード線ＷＬｉ及びビット線ＢＬｊが、それぞれ本発明の第１信号線及び第２信号線の一例である。第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、及び第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２が、それぞれ本発明の第１駆動回路、第２駆動回路、第３駆動回路、及び第４駆動回路の一例である。電流制限回路１０５ｂが、本発明の電流制限回路の一例である。また、行選択回路１０３及び列選択回路１０４が、それぞれ本発明の第１選択回路及び第２選択回路の一例である。
【０３７６】
図３６は、図３５においてＡで示す、メモリセルＭ１１の構成を示す断面図である。
【０３７７】
電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３は、各々、図３５における電流制御素子Ｄ１１、抵抗変化素子Ｒ１１に対応している。
【０３７８】
メモリセル２２０は、図３６に示すように、Ａｌで構成される第１層配線２０１、第１ビア２０２、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第２電極２０９、酸素不足型タンタル酸化物で構成される抵抗変化層２０８、ＴａＮで構成される抵抗変化素子の第１電極２０７、第２ビア２０６、ＴａＮで構成される電流制御素子の第４電極２０５、窒素不足型シリコン窒化物で構成される電流制御層２０４、ＴａＮで構成される電流制御素子の第３電極２０３、第３ビア２１０、Ａｌで構成される第２層配線２１１を順に形成して構成されており、抵抗変化素子の第１電極２０７と第２電極２０９とは異なる材料で構成されている。
【０３７９】
ここで、ビット線ＢＬｊ側に接続されているより下層の第２電極２０９を、ワード線ＷＬｉ側に接続される第１電極２０７に比べ標準電極電位がより高い材料であるＰｔで構成することを、もう１つの特徴としている。
【０３８０】
このメモリセル構造では、本発明の基礎データでも説明したように、抵抗変化動作は、第１電極を構成するＴａＮよりも高い標準電極電位を有するＰｔで構成される第２電極と、抵抗変化層２０８との界面近傍で起こり、その動作はＡモードに対応している。
【０３８１】
図３６で、第１層配線２０１はビット線ＢＬ１に、第２層配線２１１はワード線ＷＬ１に対応しているので、第１層配線２０１の電圧に対し第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は低抵抗状態に変化し、第２層配線２１１の電圧に対し第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は高抵抗状態に変化する。
【０３８２】
書き込み回路１０５の具体回路は、図２３Ａ及び図２３Ｂと同様である。
【０３８３】
書き込みモードにおいて、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みが指示されると、Ｃ＿ＮＬＲがロウレベル、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定され、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１と、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２がオンし、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１の出力電流がワード線ＷＬｉ、メモリセルＭｉｊ、ビット線ＢＬｊを主経路とし、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に流れ込む電流経路が形成される。
【０３８４】
また、電流制限回路１０５ｂの出力は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３で電流制限されるとともに、その出力電圧ＶＬＲ＿Ｏは、ＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３とすると、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３の電圧に上限が制限される。それとともに、トランジスタＭＮ３がソースフォロワ特性を持つため、低抵抗化書き込み電源電圧ＶＬＲを一定電圧以上に設定すると、トランジスタＭＮ３は定電流源として動作する。
【０３８５】
書き込みモードにおいてデータ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みが指示されると、Ｃ＿ＮＨＲがロウレベル、Ｃ＿ＨＲがハイレベルに設定され、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ２と、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ１がオンし、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１の出力電流がビット線ＢＬｊ、メモリセルＭｉｊ、ワード線ＷＬｉを主経路とし、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２に流れ込む電流経路が形成される。この電流経路に電流制限回路を含まないため、高抵抗化書き込み電源電圧ＶＨＲの増加に従い、電流は単調に増加する。
【０３８６】
［本発明の実施形態の基本構成における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例４の動作］
以上の様に構成された抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０について、その動作を説明する。
【０３８７】
図３５のメモリセルＭ１１に対し、電圧を印加した場合の電圧と電流との関係は、上述した実施形態の基本構成、即ち図２４の場合と同様である。但しこの場合、メモリセルＭ１１（図３６における２２０）はＡモードで動作するため、図３６における第２層配線２１１に対し、第１層配線２０１が高い電位となる極性が正となる。
【０３８８】
変形例４における書き込み回路１０５の特性は、実施形態の基本構成の場合、即ち図２５Ａと同様であり、電流制限回路１０５ｂのＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３の設定条件は、図２４、図２５Ｂから同様に求めることが可能であるため、ここでは説明は省略する。
【０３８９】
また、実施形態の基本構成（図２１）で述べたのと同様、電流制限回路１０５ｂは、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設けてもよい。同様に、電流制限回路１０５ｂを、抵抗変化素子の第１電極と書き込み回路１０５との間に配置すること（図２６参照）、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成すること（図２９Ａ及び図２９Ｂ参照）、抵抗変化素子の第２電極と書き込み回路１０５との間に配置すること（図３０参照）も可能である。
【０３９０】
次に、実施形態の基本構成の変形例４における抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０にデータを書き込む場合の、書き込みサイクルでの動作例について、図３７Ａ及び図３７Ｂに示すタイミング図を参照しながら説明する。
【０３９１】
図３７Ａ及び図３７Ｂは、本発明の実施形態の基本構成の変形例４に係る不揮発性記憶装置の動作例を示すタイミング図である。図３７Ａは、データ「０」、即ち低抵抗状態を書き込む場合を、図３７Ｂは、データ「１」、即ち高抵抗状態を書き込む場合を示している。
【０３９２】
以下において、説明はメモリセルＭ１１が選択され、データの書き込み及び読み出しが行われる場合についてのみ示す。Ｍ１１が選択メモリセルとなる場合、Ｍ１２はワード線が選択電位、ビット線が非選択電位となる非選択メモリセル、Ｍ２１はワード線が非選択電位、ビット線が選択電位となる非選択メモリセル、Ｍ２２はワード線もビット線も非選択電位となる非選択メモリセルとなる。
【０３９３】
図３７Ａ及び図３７Ｂでは、選択メモリセルＭ１１に流れる電流とあわせて、非選択メモリセルＭ１２、Ｍ２１、Ｍ２２に流れる電流も示している。また電流波形は、ワード線からビット線の方向、即ち抵抗変化素子の第１電極から第２電極の方向に流れる電流を正極性としている。
【０３９４】
以下、図３７Ａ及び図３７Ｂについて、期間Ｔ１〜Ｔ４の期間に分けて、その動作を説明する。なお、図３７Ａ及び図３７Ｂにおいて、ＶＤＤは抵抗変化型不揮発性記憶装置１２０に供給される電源電圧に対応している。
【０３９５】
図３７Ａに示すメモリセルＭ１１に対するデータ「０」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０３９６】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が高抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１を使用して選択ワード線ＷＬ１をＶＬＲに駆動し、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を使用して選択ビット線ＢＬ１を０Ｖに駆動する。時間経過とともにワード線ＷＬ１の電位が上昇、ビット線ＢＬ１の電位が降下するが、ビット線ＢＬ１は比較的高速に降下するのに対し、電流制限回路１０５ｂを介して駆動されるワード線ＷＬ１は緩やかに上昇する。
【０３９７】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、低抵抗状態に遷移した期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子２１３に第２電極２０９を基準にして第１電極２０７に、抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈとなる絶対値を持つ電圧が抵抗変化素子Ｒ１１に印加された時点で、高抵抗値から低抵抗値に書き込みが行われる。低抵抗化すると共に、メモリセルＭ１１に流れる電流は増加するが、電流制限回路１０５ｂがあるため、電流値は一定値以上増加しない。そのため、抵抗値が一定の値で低抵抗化は留まる。
【０３９８】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「０」の書き込みが完了する。
【０３９９】
図３７Ｂに示すメモリセルＭ１１に対するデータ「１」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０４００】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が低抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１を使用して選択ビット線ＢＬ１をＶＨＲに駆動し、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を使用して選択ワード線ＷＬ１を０Ｖに駆動する。時間経過とともにビット線ＢＬ１の電位が上昇、ワード線ＷＬ１の電位が降下するが、電流制限回路を介さないため、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１とも、比較的高速に変化する。
【０４０１】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、高抵抗状態に遷移した期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子２１３に第１電極２０７を基準にして第２電極２０９に、抵抗変化素子の高抵抗化電圧ＶＨｔｈを超える絶対値を持つ電圧が印加された時点で、低抵抗値から高抵抗値に書き込みが行われる。
【０４０２】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「１」の書き込みが完了する。
【０４０３】
なお、メモリセルＭｉｊは図３６に示す構造に限定されるものではなく、Ａモード特性を示す次のようなものでもよい。
【０４０４】
図３８Ａ〜図３８Ｄはいずれも、図３６と同様に抵抗変化層を挟む上部電極及び下部電極構造において、互いに異なる電極材料からなり、かつ下部電極を上部電極と比べて標準電極電位がより高い材料で構成することにより、Ａモード動作をするメモリセルの展開例である。
【０４０５】
図３８Ａは、第２ビア２０６を設けず、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２とを接する形で構成したメモリセルである。
【０４０６】
図３８Ｂは図３８Ａに対し、ＴａＮで構成される電流制御素子２１２の第４電極２０５とＴａＮで構成される抵抗変化素子２１３の第１電極とを、共通にしたメモリセルである。このメモリセルは、電極を共通にできるため、製造が容易となる。
【０４０７】
図３８Ｃは、第２ビア２０６と同一径で、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２を構成したメモリセルである。このメモリセルは、第２ビア２０６と同一径で構成されるため、メモリセルを配線の最小間隔にあわせて配置することが可能となり、小面積化することができる。このメモリセルは、抵抗変化素子２１３及び電流制御素子２１２の、積層方向に直交する断面の大きさ（一例としては上記の径）を、ビアと比べて同一又はより小さく形成した一例である。
【０４０８】
図３８Ｄは図３８Ｃに対し、第１層配線２０１をＰｔで構成することにより、第１層配線を抵抗変化素子２１３の第２電極として使用し、第２層配線２１１をＴａＮで構成することにより、第２層配線を電流制御素子２１２の第３電極として使用している。この場合、抵抗変化素子２１３の第２電極、電流制御素子２１２の第３電極を別途設ける必要がなくなるため、小面積化が可能となる。なお図３８Ｄでは、第２層配線２１１、第１層配線２０１の双方をメモリセルの両端の電極と共通にする例を示したが、このうちのどちらか一方のみを共通としてもよい。
【０４０９】
以上では、第１層配線２０１の上に抵抗変化素子２１３、電流制御素子２１２、第２層配線２１１の順に構成する場合の構成例を説明したが、図３６、及び図３８Ａ、図３８Ｃ、図３８Ｄの各場合については、第１層配線２０１の上に電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３、第２層配線２１１の順に構成してもよい。そのような構成では、第１層配線２０１の上に、電流制御素子２１２の第４電極２０５、電流制御層２０４、第３電極２０３、抵抗変化素子２１３の第２電極２０９、抵抗変化層２０８、第１電極２０７、及び第２層配線２１１が、この順に形成される。
【０４１０】
図３９はＡモード動作をする別な構造のメモリセル２７０の一例を示す。なお、図３６と同じものは、同じ記号を付している。
【０４１１】
メモリセル２７０は、図３９に示すように、Ａｌで構成される第１層配線２０１、第１ビア２０２、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第２電極２０９、酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層２０８ｂ、酸素含有率の低い第１のタンタル酸化物層２０８ａ、Ｐｔで構成される抵抗変化素子の第１電極２０７、第２ビア２０６、ＴａＮで構成される電流制御素子の第４電極２０５、窒素不足型シリコン窒化物で構成される電流制御層２０４、ＴａＮで構成される電流制御素子の第３電極２０３、第３ビア２１０、Ａｌで構成される第２層配線２１１を順に形成して構成されており、第２のタンタル酸化物層２０８ｂを、抵抗変化素子の下部電極である第２電極２０９に接して構成することを特徴としている。
【０４１２】
この構造では、本発明の基礎データに記載した本出願の関連出願中で説明されているように、抵抗変化動作は下部電極である第２電極２０９と第２のタンタル酸化物層２０８ｂとの界面近傍で起こり、その動作はＡモードに対応している。
【０４１３】
図３９で、第１層配線２０１はビット線ＢＬ１に、第２層配線２１１はワード線ＷＬ１に対応しているので、第１層配線２０１の電圧に対し第２層配線２１１の電圧が所定電圧ＶＬｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は低抵抗状態に変化し、第２層配線２１１の電圧に対し第１層配線２０１の電圧が所定電圧ＶＨｔｈ以上高くなったとき、抵抗変化素子２１３は高抵抗状態に変化する。
【０４１４】
図４０Ａ〜図４０Ｃはそれぞれ、図３９と同様に抵抗変化層を挟む上部電極及び下部電極構造において、下部電極に接して酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置し、何れもＡモード動作をするメモリセルの展開例である。
【０４１５】
図４０Ａは、第２ビア２０６を設けず、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２とを接する形で構成したメモリセルである。
【０４１６】
図４０Ｂは、第２ビア２０６と同一径で、抵抗変化素子２１３と電流制御素子２１２を構成したメモリセルである。このメモリセルは、第２ビア２０６と同一径で構成されるため、メモリセルを配線の最小間隔にあわせて配置することが可能となり、小面積化することができる。このメモリセルは、抵抗変化素子２１３及び電流制御素子２１２の、積層方向に直交する断面の大きさ（一例としては上記の径）を、ビアと比べて同一又はより小さく形成した一例である。
【０４１７】
図４０Ｃは図４０Ｂに対し、第１層配線２０１をＰｔで構成することにより、第１層配線を抵抗変化素子２１３の第２電極として使用し、第２層配線２１１をＴａＮで構成することにより、第２層配線を電流制御素子２１２の第３電極として使用している。この場合、抵抗変化素子２１３の第２電極、電流制御素子２１２の第３電極を別途設ける必要がなくなるため、小面積化が可能となる。なお図４０Ｃでは、第２層配線２１１、第１層配線２０１の双方をメモリセルの両端の電極と共通にする例を示したが、このうちのどちらか一方のみを共通としてもよい。
【０４１８】
以上では、図３９、及び図４０Ａ〜図４０Ｃについて、第１層配線２０１の上に抵抗変化素子２１３、電流制御素子２１２、第２層配線２１１の順に構成する場合の構成例を説明したが、第１層配線２０１の上に電流制御素子２１２、抵抗変化素子２１３、第２層配線２１１の順に構成してもよい。そのような構成では、第１層配線２０１の上に、電流制御素子２１２の第４電極２０５、電流制御層２０４、第３電極２０３、抵抗変化素子２１３の第２電極２０９、抵抗変化層２０８、第１電極２０７、及び第２層配線２１１が、この順に形成される。
【０４１９】
なお、図３６や図３８Ａ〜図３８Ｄの電極構成の様に、標準電極電位がより高い材料で下部電極を構成し、それに接して図３９や図４０Ａ〜図４０Ｃで示した酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置するという、異電極と濃度の異なるタンタル酸化物層とを組み合せた構造でもよいことは、いうまでもない。さらに、第３電極２０３あるいは第３電極２０３及び電流制御層２０４は、それぞれ第２層配線２１１上に同じ配線形状で形成してもよい。また、第２電極２０９も、第１層配線２０１の下に、同じ配線形状で形成してもよい。
【０４２０】
［本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置］
以上述べてきた、本発明の実施形態の基本構成及びその変形例１〜４を基にして、以下に、本発明の実施形態の詳細について説明する。
【０４２１】
上述した実施形態の基本構成及びその変形例１〜４においては、抵抗変化素子を高抵抗化させるときは、抵抗変化素子の第２電極側に接続したＨＲ化駆動回路から電流を供給し、一方、低抵抗化させるときは、電流制限回路を介して、抵抗変化素子の第１電極側に接続したＬＲ化駆動回路から電流を供給し、電流制限回路を制御する。これにより、高抵抗化するときよりも少ない電流を供給することによって、想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止し、抵抗変化素子にばらつきが少なく、所望の抵抗値を設定することが可能となる。さらには想定以上の電流がメモリセルに流れることを防止できるため、電流制御素子の信頼性低下、破壊を防止できる。
【０４２２】
しかしながら、抵抗変化素子を低抵抗化させるときに、電流制限回路を介して電流を供給するため、ビット線もしくはワード線を充放電する時間が長くなり、書き込み速度が低下する。
【０４２３】
ここで、電流制限は、抵抗変化素子が低抵抗状態に変化する時点で行われていればよく、低抵抗化書き込みを開始してから、抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの時間は、電流を制限する必要はない。このために、本実施形態においては、電流駆動能力を強化するブースト回路を設け、低抵抗状態への書き込みを開始してから抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの期間は、電流制限回路に加え、ブースト回路を併せて用いることにより、ビット線もしくはワード線を充放電する時間を短縮することができるため、書き込み速度を改善することが可能である。
【０４２４】
以下、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置の実施形態として、電流制限回路に加え、ブースト回路を設けた１Ｄ１Ｒ型クロスポイントメモリ装置について説明する。以下、上述した、実施形態の基本構成やその変形例と同様の構成については、説明を適宜省略する。
【０４２５】
図４１は、本発明の実施形態に係る不揮発性記憶装置の構成を示すブロック図である。本実施形態は、抵抗変化現象が抵抗変化素子の上部電極近傍で生じると考えられるＢモード動作が生じるメモリセルの構成と、それに最適な制御が可能であり、かつその制御に伴って生じる速度低下を抑制可能な制御回路を示すものである。以下、本実施形態は、抵抗変化素子がＢモード動作を行う場合について説明するが、Ａモード動作を行う場合については、上述した、実施形態の基本構成の変形例４と同様である。
【０４２６】
図４１において、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００は、半導体基板上に、メモリ本体部１０１を備えている。また、メモリ本体部１０１は、メモリアレイ１０２と、行選択回路１０３と、列選択回路１０４と、書き込み回路１０５と、選択ビット線に流れる電流量を検出し、記憶されているデータが「１」か「０」かを判定する読み出し回路１０６と、端子ＤＱを介して入出力データの入出力処理を行うデータ入出力回路１０７とを備えている。
【０４２７】
また、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００は、抵抗変化型不揮発性記憶装置１００の外部より与えられるアドレス信号を入力とし、所定のアドレスを選択指示するアドレス入力回路１０８と、制御信号を入力とする制御回路１０９とを備えている。これらアドレス入力回路１０８及び制御回路１０９の出力信号がメモリ本体部１０１に供給され、メモリ本体部１０１の動作を制御している。
【０４２８】
メモリアレイ１０２、行選択回路１０３、列選択回路１０４、及びデータ入出力回路１０７は、図２１の場合と同様である。
【０４２９】
メモリアレイ１０２において、複数のメモリセルＭ１１、Ｍ１２、Ｍ２１及びＭ２２は複数のビット線ＢＬ１及びＢＬ２と複数のワード線ＷＬ１及びＷＬ２との交差点に配置される。また、各交差点に配置されたメモリセルの両端は、交差する１組のビット線とワード線とにそれぞれ接続されている。
【０４３０】
各メモリセルＭｉｊは、予め定められた第１の極性の第１電圧が印加されると第１範囲に属する抵抗値の低抵抗状態に変化し、かつ第１の極性とは逆の第２の極性の第２電圧が印加されると第１範囲よりも高い第２範囲に属する抵抗値の高抵抗状態に変化する抵抗変化素子Ｒｉｊと、抵抗変化素子Ｒｉｊと直列に接続される２端子の電流制御素子Ｄｉｊとを含む。
【０４３１】
書き込み回路１０５は、複数のメモリセルＭｉｊに複数のビット線ＢＬｊ及び複数のワード線ＷＬｉを介して印加される両極性の電圧を発生する。この書き込み回路１０５はデータ入出力回路１０７と接続される。書き込み回路１０５は、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１と、その出力を入力とする電流制限回路１０５ｂと、低抵抗化書き込みを行うときにロウレベルを駆動する第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２と、書き込み開始後の一定時間ハイレベルを駆動するブースト回路１０５ｄとを有している。また、書き込み回路１０５は、データ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みを行うときにハイレベルを駆動する第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、及びロウレベルを駆動する第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２を有している。
【０４３２】
そして、書き込み回路１０５は、低抵抗化書き込みを行うとき、電流制限回路１０５ｂにより電流制限した信号を、列選択回路１０４を介して選択ビット線ＢＬｊに供給し、さらに低抵抗化書き込み開始後の一定期間は、電流制限回路１０５ｂを介さずに、上記信号をブースト回路１０５ｄから列選択回路１０４を介して選択ビット線ＢＬｊに供給する。一方、高抵抗化書き込みを行うときは、書き込み回路１０５は、電流制限機能を有しない第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１から、行選択回路１０３を介して選択ワード線ＷＬｉに信号を供給することを１つの特徴としている。
【０４３３】
このように構成される抵抗変化型不揮発性記憶装置１００において、ビット線ＢＬｊ及びワード線ＷＬｉが、それぞれ本発明の第１信号線及び第２信号線の一例である。第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、及び第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２が、それぞれ本発明の第１駆動回路、第２駆動回路、第３駆動回路、及び第４駆動回路の一例である。電流制限回路１０５ｂが、本発明の電流制限回路の一例であり、ブースト回路１０５ｄが、本発明のブースト回路の一例である。また、列選択回路１０４及び行選択回路１０３が、それぞれ本発明の第１選択回路及び第２選択回路の一例である。
【０４３４】
メモリセルＭ１１の構成を示す断面図は、図２２の場合と同様である。また、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、及び第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２は、図２３Ａ、図２３Ｂ、図２５Ａ、図２８Ａ、図２９Ａ、又は図２９Ｂの回路構成にて実現できる。
【０４３５】
電流制限回路１０５ｂは、書き込み回路１０５から複数のメモリセルへ流れる電流の経路に挿入される。また、電流制限回路１０５ｂは、複数のメモリセルを低抵抗状態に変化させる方向の第１電流と、複数のメモリセルを高抵抗状態に変化させる方向の第２電流とのうち、第１電流のみを制限する。
【０４３６】
ブースト回路１０５ｄは、書き込み回路１０５から複数のメモリセルへ流れる電流の経路に接続された出力端子１３０を有する。また、ブースト回路１０５ｄは、複数のメモリセルのうちいずれかを低抵抗状態に変化させるとき、当該メモリセルが低抵抗状態へ変化する前の第１期間において、出力端子１３０をブースト電圧源に短絡することにより第１電流を増加させる。
【０４３７】
図４２は、図４１の書き込み回路１０５中の、ブースト回路１０５ｄの具体的回路構成の一例を示している。書き込み回路１０５中の、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１、第２ＨＲ化駆動回路１０５ａ２、第１ＨＲ化駆動回路１０５ｃ１、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２、電流制限回路１０５ｂについては、図２３Ａ、図２３Ｂ、図２５Ａ、図２８Ａ、図２９Ａ及び図２９Ｂのいずれかの場合と同様である。
【０４３８】
ブースト回路１０５ｄは、スイッチとして機能するＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４で構成されている。このＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４は、ブースト電圧源と出力端子１３０との間に接続されている。具体的には、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のソース端子はブースト電圧源に接続されており、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のドレイン端子は出力端子１３０に接続されている。
【０４３９】
Ｃ＿ＮＢＴは、低抵抗化書き込みパルスの発生時、その活性化後の一定期間（低抵抗状態への書き込みを開始してから一定期間）、ロウレベルとなるブースト制御信号である。つまり、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４は上記一定期間（第１期間）にオンし、メモリセルが低抵抗状態に変化する前に、オフする。
【０４４０】
また、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のソース端子には、ブースト電圧源から供給されるブースト電源電圧ＶＢＴが供給され、当該Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４が十分なブースト電流を駆動できる能力を有するように設定されている。
【０４４１】
書き込みモードにおいて、データ“０”書き込み、即ち低抵抗化書き込みが指示されると、低抵抗化書き込み開始後、メモリセルが低抵抗状態に変化するまでの間の一定期間（数ｎｓ〜数十ｎｓ）、Ｃ＿ＮＢＴがロウレベル（電圧ＶＣＢＴ）に設定され、ブースト回路１０５ｄのＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４がオンし、ブースト電源電圧ＶＢＴを供給するブースト電圧源からブースト回路１０５ｄ、ビット線ＢＬｊ、メモリセルＭｉｊ、ワード線ＷＬｉを経路とし、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に電流が流れ込む電流経路が形成される。加えて、図２３Ａ、図２３Ｂ、図２５Ａ、図２８Ａ、図２９Ａ、又は図２９Ｂのいずれかの回路において、Ｃ＿ＮＬＲがロウレベル、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定され、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１のＰ型ＭＯＳトランジスタＭＰ１と、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２のＮ型ＭＯＳトランジスタＭＮ２とがオンし、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１の出力電流が、電流制限回路１０５ｂ、ビット線ＢＬｊ、メモリセルＭｉｊ、ワード線ＷＬｉを主経路とし、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に流れ込む電流経路が形成される。なお、電流制限回路１０５ｂの出力は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ３で電流制限されるとともに、その出力電圧ＶＬＲ＿Ｏは、トランジスタＭＮ３の閾値電圧をＶｔｈ＿ＭＮ３とすると、ＶＣＬ−Ｖｔｈ＿ＭＮ３の電圧に上限が制限される。それとともに、トランジスタＭＮ３がソースフォロワ特性を持つため、低抵抗化書き込み電源電圧ＶＬＲを一定電圧以上に設定すると、トランジスタＭＮ３は定電流源として動作する。よって、メモリセルに流れる電流は一定となる。
【０４４２】
なお、電流制限回路１０５ｂは、ブースト回路１０５ｄと同時に動作してもよい。その時は、ブースト回路１０５ｄによる電流が支配的となり、選択されたメモリセルに接続された配線へのプリチャージが速やかになされる。
【０４４３】
一方、ブースト回路１０５ｄは、選択された抵抗変化素子に印加される電圧が、抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達する前にオフされ、上記電流制限が有効になるようにする必要がある。
【０４４４】
書き込みモードにおいてデータ“１”書き込み、即ち高抵抗化書き込みが指示された場合は、上述した実施形態の基本構成と同じである。
【０４４５】
［本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置の動作］
以上のように構成された抵抗変化型不揮発性記憶装置１００について、その動作を説明する。なお、メモリセルの動作は、上述した実施形態の基本構成の場合と同様のため、省略する。
【０４４６】
図４３Ａは、シミュレーションにより求めた、図２５Ａに示した書き込み回路を用いて低抵抗化書き込みを行った時の、ビット線ＢＬ１の経時変化を示す図である。既に述べた実施形態の基本構成の場合と同じく、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１は、低抵抗状態を想定して１０ｋΩの固定値としている。また、図４３Ａにおいて、比較のため、電流制限回路１０５ｂを介さない場合のビット線ＢＬ１の経時変化を、破線で示している。
【０４４７】
図４３Ａに示すように、電流制限回路１０５ｂを介することにより、ビット線ＢＬ１の立ち上がり速度が遅くなることがわかる。このため、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定されてから、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１に印加される電圧が低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達するまでの時間が、電流制限回路１０５ｂを介さない場合と比較して長くなる。
【０４４８】
これに対し、図２５Ａに示した書き込み回路に加え、図４２に示したブースト回路１０５ｄを接続し、ブースト制御信号Ｃ＿ＮＢＴを低抵抗化書き込み開始後、選択ビット線ＢＬ１の電位が低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達するまでの一定期間ロウレベルにした場合のビット線ＢＬ１の経時変化を、図４３Ｂに示す。図４３Ｂに示すように、図４３Ａと比較して、ビット線ＢＬ１の立ち上がり速度が速くなり、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定されてから、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１に印加される電圧が低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達するまでの時間が短くなることがわかる。
【０４４９】
上述した実施形態の基本構成で説明したとおり、遅くとも、抵抗変化素子が低抵抗状態に変化する時点で電流制限を行う必要がある。そのため、ブースト制御信号Ｃ＿ＮＢＴは、抵抗変化素子が低抵抗状態への変化を開始する直前にハイレベルとなってブースト回路１０５ｄの出力をオフするよう、調整しておくことが望ましい。
【０４５０】
なお、ブースト制御信号Ｃ＿ＮＢＴは、例えば、制御回路１０９等により生成される。
【０４５１】
また、図４２に示すブースト回路１０５ｄの駆動能力は、ブースト電源電圧ＶＢＴ、ブースト制御電圧ＶＣＢＴ（Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のゲート電圧）のいずれか一方、もしくは両方を調整することで、調整可能である。ブースト電源電圧ＶＢＴを上昇、もしくはブースト制御電圧ＶＣＢＴを低減させ、ビット線に供給する電流能力を上げることによって、Ｃ＿ＬＲがハイレベルに設定されてから、メモリセルＭ１１の抵抗変化素子Ｒ１１に印加される電圧が低抵抗化電圧ＶＬｔｈに達するまでの時間を短くすることができる。
【０４５２】
一方、ブースト電源電圧ＶＢＴを低減、もしくはブースト制御電圧ＶＣＢＴを上昇させることにより、ブースト回路１０５ｄを活性化させたときにメモリセルに印加される電圧を抑えることできるため、より安定して低抵抗化書き込みを行うことが可能である。さらには、ブースト電源電圧ＶＢＴを抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈ以下とすることにより、抵抗変化素子が低抵抗化する時点で、ブースト回路１０５ｄからは電流が供給されず、電流制限回路１０５ｂのみから電流が供給されるため、抵抗変化素子に対し確実に電流制限を行うことが可能となる。
【０４５３】
ブースト制御電圧ＶＣＢＴは、メモリセルの抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの一定期間、ロウレベル（Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４をオン）になる。この一定期間は、図４４に示すように、ブースト回路１０５ｄの出力信号を用いて生成してもよい。つまり、ブースト回路１０５ｄは、出力端子１３０の電圧をフィードバックした信号を用い、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４がオンした後、出力端子１３０の電圧が予め定められた電圧に達した際に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４をオフしてもよい。
【０４５４】
図４４に示すブースト回路１０５ｄは、さらに、インバータ１３１と、ＮＡＮＤ回路１３２とを備える。
【０４５５】
Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４のドレイン端子（出力端子１３０）は、インバータ１３１を介してＮＡＮＤ回路１３２の一方の入力端子に接続されている。また、ＮＡＮＤ回路１３２の他方の入力端子にブースト制御信号Ｃ＿ＢＴが入力されている。ここでＣ＿ＢＴは、低抵抗化書き込み開始後の一定期間、ハイレベルに設定されるブースト制御信号である。図４４の構成により、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が低い間は、ＶＣＢＴはロウレベルとなり、ブースト回路１０５ｄはオンとなる。また、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が上がるとＶＣＢＴはハイレベルとなり、ブースト回路１０５ｄはオフとなる。
【０４５６】
図４５は、この場合の各信号の経時変化を示す図である。図４５に示すように、ブースト制御信号Ｃ＿ＢＴがロウレベルからハイレベルに変化すると、制御電圧ＶＣＢＴがハイレベルからロウレベルに変化する。これにより、これにより、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４がオンすることにより、ブースト回路１０５ｄがオンする。
【０４５７】
その後、出力端子１３０（ＢＬ１）の電圧が、予め定められた電圧Ｖｔｈ１以上になると、制御電圧ＶＣＢＴがロウレベルからハイレベルに変化する。これにより、Ｐ型ＭＯＳトランジスタＭＰ４がオフすることにより、ブースト回路１０５ｄがオフする。
【０４５８】
なお、電圧Ｖｔｈ１は低抵抗化電圧ＶＬｔｈより小さい。また、この電圧Ｖｔｈ１は、インバータ１３１の論理閾値電圧（出力電圧が変化する入力電圧）により決定される。
【０４５９】
ここで、図４４のインバータ１３１の出力信号を、入力信号に対して緩やかに変化する様に設計し、同様にＮＡＮＤ回路１３２の出力信号を、入力信号に対して緩やかに変化する様に設計することにより、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が上がるに従い、ブースト制御電圧ＶＣＢＴがロウレベルからハイレベルに徐々に変化する。これにより、ブースト回路１０５ｄの駆動能力を徐々に小さくしていくことができる。この構成によって、より最適にブースト回路１０５ｄの電流能力を制御することが可能である。
【０４６０】
また、一般に用いられるレプリカ回路を使用して、抵抗変化素子に低抵抗化電圧ＶＬｔｈが印加されるまでの期間、論理が反転する信号を生成し、当該信号の論理が反転する期間を上記一定期間として用いてもよい。
【０４６１】
なお、図４１の構成では、ブースト回路１０５ｄは列選択回路１０４に接続され、駆動電流は、電圧ＶＢＴを供給するブースト電圧源から供給されるが、図４６のように、ブースト回路１０５ｄを列選択回路１０４と第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１とに接続し、ブースト電流を、電圧源である第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１からブースト回路１０５ｄに供給してもよい。
【０４６２】
つまり、図４６に示す構成では、ブースト回路１０５ｄは、電流制限回路１０５ｂと並列に接続される。また、電流制限回路１０５ｂ及びブースト回路１０５ｄは、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１と列選択回路１０４との間に挿入されている。
【０４６３】
［本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例１］
図４７は、本実施形態において、Ｐ型ＭＯＳトランジスタを用いてブースト回路１０５ｄを構成する場合の、図４１とは異なる変形例１を示している。
【０４６４】
図４７ではブースト回路１０５ｄは、抵抗変化素子の第１電極側と列選択回路１０４との間に配置している。これは、既に述べた基本構成の変形例１（図２６）において、ブースト回路１０５ｄを、抵抗変化素子の第１電極側と列選択回路１０４との間に配置した構成に相当する。
【０４６５】
つまり、図４７に示す構成では、電流制限回路１０５ｂは、列毎に設けられた複数の制限回路を含み、列選択回路１０４及び各ビット線の間に複数の制限回路（Ｎ型ＭＯＳトランジスタ）の各々が挿入されている。また、ブースト回路１０５ｄは、列毎に設けられた複数のブースト回路部（Ｐ型ＭＯＳトランジスタ）を含み、列選択回路１０４及び各ビット線の間に複数のブースト回路部の各々が挿入されている。また、互いに対応する列の制限回路（Ｎ型ＭＯＳトランジスタ）とブースト回路部（Ｐ型ＭＯＳトランジスタ）とは並列に接続されている。
【０４６６】
図４７の構成では、ブースト回路１０５ｄをメモリセルアレイの近くに配置するため、図４１の場合と比較して、よりメモリセルに近い位置でブーストの制御を行うことが可能となる。よって低抵抗化書き込み動作を行うときに、ブースト回路１０５ｄを介して充放電すべき容量負荷を低減することができるため、追随性よくブーストを行うことが可能となる。
【０４６７】
ここで、列選択回路１０４は一般に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタと、Ｎ型ＭＯＳトランジスタと、デコーダ回路とで構成され、選択されたメモリセルに対応したビット線が択一的に選択される。この列選択回路１０４のＰ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧を、列選択信号とブースト制御信号とで制御することにより、列選択回路１０４に電流をブーストする機能を持たせることができる。この場合、ブースト回路１０５ｄを別途設ける必要がなくなり、面積を削減することができる。つまり、各Ｎ型ＭＯＳトランジスタ（制限回路）及び各Ｐ型ＭＯＳトランジスタ（ブースト回路部）のゲートに選択信号が供給されることで、電流制限回路１０５ｂ及びブースト回路１０５ｄは列選択回路１０４と共用されてもよい。
【０４６８】
［本発明の実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置の変形例２］
実施形態の基本構成の変形例２（図２７）で説明したように、電流制限回路１０５ｂは第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１側ではなく、図４８のように第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設けることも可能である。電流制限回路１０５ｂを第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設ける場合は、図４８に示すようにブースト回路１０５ｄも第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２側に設け（ブースト回路１０５ｄを行選択回路１０３と第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に接続）、さらにブースト回路１０５ｄを図４９に示すように、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ４で構成し、ブースト制御信号Ｃ＿ＢＴを、低抵抗化書き込みパルスの発生時、その活性化後の一定期間ハイレベルとすればよい。
【０４６９】
本変形例２では、ブースト制御電圧ＶＣＢＴは、メモリセルの抵抗変化素子が低抵抗状態に変化するまでの一定期間、ハイレベルになる。この一定期間は、図５０のように、ブースト回路１０５ｄの出力電圧を用いて生成してもよい。つまり、ブースト回路１０５ｄは、出力端子１３０の電圧をフィードバックした信号を用い、トランジスタＭＮ４がオンした後、出力端子１３０の電圧が予め定められた電圧に達した際に、トランジスタＭＮ４をオフしてもよい。
【０４７０】
また、図５０の構成では、Ｎ型ＭＯＳトランジスタＭＮ４のドレイン端子（出力端子１３０）を、ＡＮＤ回路１３３の一方の入力端子に接続し、他方の入力端子にブースト制御信号Ｃ＿ＢＴを接続している。ここで、Ｃ＿ＢＴは、低抵抗化書き込み開始後の一定期間、ハイレベルに設定されるブースト制御信号である。図５０の構成により、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が高い間は、ＶＣＢＴはハイレベルとなり、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が下がるとロウレベルとなるように制御される。さらには、ブースト回路１０５ｄの出力電圧が下がるに従い、ブースト制御電圧ＶＣＢＴはハイレベルからロウレベルに徐々に変化し、ブースト回路の駆動能力を小さくしていくことができるため、より最適にブースト回路の電流能力を制御することが可能である。
【０４７１】
また、図５１のように、ブースト回路１０５ｄの入力を第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２に接続し、ブースト電流を第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２からブースト回路１０５ｄに供給してもよい。つまり、図５１に示す構成では、ブースト回路１０５ｄは、電流制限回路１０５ｂと並列に接続される。また、電流制限回路１０５ｂ及びブースト回路１０５ｄは、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２と行選択回路１０３との間に挿入されている。
【０４７２】
さらに、図５２のように、ブースト回路１０５ｄを、抵抗変化素子の第２電極と行選択回路１０３との間に配置することも可能である。
【０４７３】
つまり、図５２に示す構成では、電流制限回路１０５ｂは、行毎に設けられた複数の制限回路を含み、行選択回路１０３及び各ワード線の間に複数の制限回路（Ｐ型ＭＯＳトランジスタ）の各々が挿入されている。また、ブースト回路１０５ｄは、行毎に設けられた複数のブースト回路部（Ｎ型ＭＯＳトランジスタ）を含み、行選択回路１０３及び各ワード線の間に複数のブースト回路部の各々が挿入されている。また、対応する列の制限回路（Ｐ型ＭＯＳトランジスタ）とブースト回路部（Ｎ型ＭＯＳトランジスタ）とは並列に接続されている。
【０４７４】
図５２の構成では、ブースト回路１０５ｄをメモリセルアレイの近くに配置するため、図４８の場合と比較して、よりメモリセルに近い位置でブーストの制御を行うことが可能となる。したがって、低抵抗化書き込み動作を行うときに、ブースト回路１０５ｄを介して充放電すべき容量負荷を低減することができるため、追随性よくブーストを行うことが可能となる。
【０４７５】
ここで、行選択回路１０３は一般に、Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及びＮ型ＭＯＳトランジスタと、デコーダ回路とで構成され、選択されたメモリセルに対応したワード線が択一的に選択される。この行選択回路１０３のＰ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧を、行選択信号とブースト制御信号とで制御することにより、行選択回路１０３に電流をブーストする機能を持たせることができる。この場合、ブースト回路１０５ｄを別途設ける必要がなくなり、面積を削減することができる。つまり、各Ｐ型ＭＯＳトランジスタ（制限回路）及び各Ｎ型ＭＯＳトランジスタ（ブースト回路部）のゲートに選択信号が供給されることで、電流制限回路１０５ｂ及びブースト回路１０５ｄは行選択回路１０３と共用されてもよい。
【０４７６】
次に、本実施形態における抵抗変化型不揮発性記憶装置１００にデータを書き込む場合の、書き込みサイクルでの動作例について、図５３に示すタイミング図を参照しながら説明する。
【０４７７】
図５３では、データ「０」、即ち低抵抗状態を書き込む場合のみを示しており、データ「１」即ち高抵抗状態を書き込む場合は、第１の実施例の図３１Ｂと同様である。
【０４７８】
以下において、説明はメモリセルＭ１１が選択され、データの書き込みが行われる場合についてのみ示す。メモリセルＭ１１が選択メモリセルとなる場合、メモリセルＭ１２はワード線が選択電位、ビット線が非選択電位となる非選択メモリセルであり、メモリセルＭ２１はワード線が非選択電位、ビット線が選択電位となる非選択メモリセルであり、メモリセルＭ２２はワード線もビット線も非選択電位となる非選択メモリセルである。図５３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流とあわせて、非選択メモリセルＭ１２、Ｍ２１、Ｍ２２に流れる電流も示している。また電流波形は、ワード線からビット線の方向、即ち抵抗変化素子の第２電極から第１電極の方向に流れる電流を正極性としている。
【０４７９】
以下、図５３について、期間Ｔ１〜Ｔ４の期間に分けて、その動作を説明する。なお、図５３において、ＶＤＤは抵抗変化型不揮発性記憶装置１００に供給される電源電圧に対応している。
【０４８０】
図５３に示すメモリセルＭ１１に対するデータ「０」書き込みサイクルにおいては、期間Ｔ１において、全ワード線（ＷＬ１及びＷＬ２）をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線（ＢＬ１及びＢＬ２）を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージしておく。なお、プリチャージ電圧は、ワード線及びビット線の最大振幅の概ね中間電圧が設定されている。
【０４８１】
期間Ｔ１に続く期間Ｔ２は、まだ抵抗変化素子Ｒ１１が高抵抗状態にある期間で、行選択回路１０３でワード線ＷＬ１を、列選択回路１０４でビット線ＢＬ１を選択し、第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１を使用して選択ビット線ＢＬ１をＶＬＲに駆動し、第２ＬＲ化駆動回路１０５ｃ２を使用して選択ワード線ＷＬ１を０Ｖに駆動する。また、ブースト回路１０５ｄを使用して選択ビット線ＢＬ１を駆動するが、ブースト制御信号Ｃ＿ＮＢＴは期間Ｔ２においてオフ、即ちハイレベルとなる。時間経過とともにビット線ＢＬ１の電位が上昇、ワード線ＷＬ１の電位が降下する。ここで、ワード線ＷＬ１は図３１Ａ及び図３１Ｂに示す第１の実施例の場合と同様、比較的高速に降下するが、ビット線ＢＬ１は第１ＬＲ化駆動回路１０５ａ１に加え、ブースト回路１０５ｄによっても駆動されるため、第１の実施例の場合と比較すると高速に上昇する。
【０４８２】
期間Ｔ３は、書き込み、即ち抵抗変化が生じ、低抵抗状態に遷移する期間を示している。期間Ｔ３では、選択メモリセルＭ１１に流れる電流値が増加して、抵抗変化素子Ｒ１１に、第２電極２０９を基準にして第１電極２０７に抵抗変化素子の低抵抗化電圧ＶＬｔｈを超える絶対値を持つ電圧が印加された時点で、高抵抗値から低抵抗値に書き込みが行われる。低抵抗化すると共に、メモリセルＭ１１に流れる電流は増加するが、電流制限回路１０５ｂがあるため、電流値は一定値以上増加しない。そのため、抵抗値が一定の値で低抵抗化は留まる。
【０４８３】
その後期間Ｔ４では、ワード線ＷＬ１及びビット線ＢＬ１の選択を解除し、全ワード線をＶＰＲ＿ＷＬに、全ビット線を電圧ＶＰＲ＿ＢＬにプリチャージして、データ「０」の書き込みが完了する。
【０４８４】
なお、メモリセルＭｉｊは図２２に示す構造に限定されるものではなく、図３２Ａ〜図３２Ｄ、図３３、図３４Ａ〜図３４Ｃに示す構成でもよい。さらには図２２や図３２Ａ〜図３２Ｄの電極構成のように、標準電極電位がより高い材料で上部電極を構成し、それに接して図３３や図３４Ａ〜図３４Ｃで示した酸素含有率の高い第２のタンタル酸化物層を配置するという、異電極と濃度の異なるタンタル酸化物層とを組み合せた構造でもよいことは、実施形態の基本構成で述べた場合と同様である。
【０４８５】
また、本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置は、タンタル酸化物、ハフニウム酸化物以外に、ジルコニウム酸化物などの他の遷移金属酸化物についても同様に適用できる。また、上下電極間に挟まれる遷移金属酸化物層としては、抵抗変化を発現する主たる抵抗変化層として、タンタル、ハフニウム、ジルコニウム等の酸化物層が含まれていればよく、これ以外に例えば微量の他元素が含まれていても構わない。抵抗値の微調整等で、他元素を少量、意図的に含めることも可能であり、このような場合も本発明の範囲に含まれるものである。また、スパッタリングにて抵抗膜を形成した際に、残留ガスや真空容器壁からのガス放出などにより、意図しない微量の元素が抵抗膜に混入することがあるが、このような微量の元素が抵抗膜に混入した場合も本発明の範囲に含まれることは当然である。
【０４８６】
また、上記各図において、各構成要素の角部及び辺を直線的に記載しているが、製造上の理由により、角部及び辺が丸みをおびたものも本発明に含まれる。
【０４８７】
また、上記実施形態に係る、抵抗変化型不揮発性記憶装置、及びその変形例の機能又は構成のうち少なくとも一部を組み合わせてもよい。
【０４８８】
また、上記で用いた数字は、全て本発明を具体的に説明するために例示するものであり、本発明は例示された数字に制限されない。さらに、ハイ／ローにより表される論理レベル又はオン／オフにより表されるスイッチング状態は、本発明を具体的に説明するために例示するものであり、例示された論理レベル又はスイッチング状態の異なる組み合わせにより、同等な結果を得ることも可能である。さらに、上で示した論理回路の構成は本発明を具体的に説明するために例示するものであり、異なる構成の論理回路により同等の入出力関係を実現することも可能である。また、上記で示した各構成要素の材料は、全て本発明を具体的に説明するために例示するものであり、本発明は例示された材料に制限されない。
【０４８９】
また、上記説明では、ＭＯＳトランジスタを用いた例を示したが、バイポーラトランジスタ等の他のトランジスタを用いてもよい。
【０４９０】
更に、本発明の主旨を逸脱しない限り、本実施の形態に対して当業者が思いつく範囲内の変更を施した各種変形例も本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０４９１】
本発明の抵抗変化型不揮発性記憶装置は、高い信頼性と安定した書き換え特性とを有しており、デジタル家電、メモリカード、携帯型電話機、及びパーソナルコンピュータなどの種々の電子機器に用いられる不揮発性メモリ装置として有用である。
【符号の説明】
【０４９２】
１００、１２０    抵抗変化型不揮発性記憶装置
１０１、１２１    メモリ本体部
１０２、１２２    メモリアレイ
１０３    行選択回路
１０４    列選択回路
１０５    書き込み回路
１０５ａ１    第１ＬＲ化駆動回路
１０５ａ２    第２ＨＲ化駆動回路
１０５ｂ    電流制限回路
１０５ｃ１    第１ＨＲ化駆動回路
１０５ｃ２    第２ＬＲ化駆動回路
１０５ｄ    ブースト回路
１０６    読み出し回路
１０７    データ入出力回路
１０８    アドレス入力回路
１０９    制御回路
１３０    出力端子
１３１    インバータ
１３２    ＮＡＮＤ回路
１３３    ＡＮＤ回路
２００、２２０、２５０、２７０、１００１、１２８０、Ｍｉｊ、Ｍ１１、Ｍ１２、Ｍ２１、Ｍ２２    メモリセル
２０１    第１層配線
２０２    第１ビア
２０３    第３電極
２０４    電流制御層
２０５    第４電極
２０６    第２ビア
２０７    第１電極
２０８、１２３０、３３０２    抵抗変化層
２０８ａ    第１のタンタル酸化物層
２０８ｂ    第２のタンタル酸化物層
２０９    第２電極
２１０    第３ビア
２１１    第２層配線
２１２、Ｄｉｊ、Ｄ１１、Ｄ１２、Ｄ２１、Ｄ２２    電流制御素子
２１３、１００３、１２６０、Ｒｉｊ、Ｒ１１、Ｒ１２、Ｒ２１、Ｒ２２    抵抗変化素子
５００    不揮発性記憶素子
５０１    単結晶シリコン基板
５０２    酸化物層
５０３、１２５０、１４０１、１５０１、３３０１    下部電極
５０４、１４０２、１５０２    酸素不足型のＴａ酸化物層（酸素不足型のＨｆ酸化物層）
５０５、１２４０、１４０３、１５０３、３３０３    上部電極
５０６    素子領域
１００２、ＭＮ１、ＭＮ２、ＭＮ３、ＭＮ４、ＭＰ１、ＭＰ２、ＭＰ３、ＭＰ４    トランジスタ
１２００    不揮発性記憶装置
１２７０    ダイオード素子
１４０４、１５０４    酸素イオン
ＢＬｊ、ＢＬ１、ＢＬ２    ビット線
ＷＬｉ、ＷＬ１、ＷＬ２    ワード線
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め定められた第１の極性の第１電圧が印加されると第１範囲に属する抵抗値の低抵抗状態に変化し、かつ前記第１の極性とは逆の第２の極性の第２電圧が印加されると前記第１範囲よりも高い第２範囲に属する抵抗値の高抵抗状態に変化する抵抗変化素子と、２端子の電流制御素子とを直列に接続してなる複数のメモリセルと、
互いに交差する複数の第１信号線及び複数の第２信号線と、
前記複数のメモリセルを前記複数の第１信号線と前記複数の第２信号線との交差点に配置し、各交差点に配置されたメモリセルの両端を交差する１組の前記第１信号線と前記第２信号線とにそれぞれ接続してなるメモリセルアレイと、
前記複数のメモリセルに前記複数の第１信号線及び前記複数の第２信号線を介して印加される両極性の電圧を発生する書き込み回路と、
前記書き込み回路から前記複数のメモリセルへ流れる電流の経路に挿入され、前記複数のメモリセルを低抵抗状態に変化させる方向の第１電流と、前記複数のメモリセルを高抵抗状態に変化させる方向の第２電流とのうち、前記第１電流のみを制限する電流制限回路と、
前記電流制限回路と並列に接続され、前記複数のメモリセルのうちいずれかを低抵抗状態に変化させるとき、当該メモリセルが低抵抗状態へ変化する前の第１期間において、前記電流の経路と電圧源とを短絡することにより前記第１電流を増加させるブースト回路と、を備える
抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項２】
前記ブースト回路は、
前記電流の経路に接続された出力端子と、
前記電圧源と前記出力端子との間に接続されたスイッチとを備え、
前記スイッチは、前記第１期間にオンする
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項３】
前記スイッチはトランジスタであり、
前記トランジスタのソース端子は前記電圧源に接続されており、
前記トランジスタのドレイン端子は前記出力端子に接続されおり、
前記トランジスタは前記第１期間にオンする
請求項２に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項４】
前記スイッチは、前記メモリセルが低抵抗状態に変化する前に、オフする
請求項２に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項５】
前記ブースト回路は、前記出力端子の電圧をフィードバックした信号を用い、前記スイッチがオンした後、前記出力端子の電圧が予め定められた電圧に達した際に、前記スイッチをオフする
請求項４に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項６】
前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、
前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、
前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、
前記第１駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、
前記第２駆動回路及び前記第３駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路と
を備え、
前記電流制限回路及び前記ブースト回路は、前記第１駆動回路と前記第１選択回路との間に挿入されている
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項７】
前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、
前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、
前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、
前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、
前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路と
を備え、
前記電流制限回路は複数の制限回路を含み、前記第１選択回路及び前記各第１信号線の間に前記複数の制限回路の各々が挿入されており、
前記ブースト回路は複数のブースト回路部を含み、前記第１選択回路及び前記各第１信号線の間に前記複数のブースト回路部の各々が挿入されている
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項８】
前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、
前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、
前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、
前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１の信号線とを接続する第１選択回路と、
前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２の信号線とを接続する第２選択回路と
を備え、
前記電流制限回路及び前記ブースト回路は、前記第３駆動回路及び前記第２選択回路の間に挿入されている
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項９】
前記各メモリセルは、接続されている第１信号線と第２信号線とを介して、前記第１信号線の電圧が前記第２信号線の電圧よりも高い前記第１の極性の第１電圧が印加されたときに前記低抵抗状態に変化し、前記第１極性とは逆の前記第２の極性の第２電圧が印加されたときに前記高抵抗状態に変化し、
前記書き込み回路は、前記第１電圧以上の第１駆動電圧を発生する第１駆動回路と、前記第２電圧以上の第２駆動電圧を発生する第２駆動回路と、前記第１駆動電圧の基準となる電圧を発生する第３駆動回路と、前記第２駆動電圧の基準となる電圧を発生する第４駆動回路とを有し、
前記抵抗変化型不揮発性記憶装置は、さらに、
前記第１駆動回路及び前記第２駆動回路と、前記複数の第１信号線の中から選択される１つの第１信号線とを接続する第１選択回路と、
前記第３駆動回路及び前記第４駆動回路と、前記複数の第２信号線の中から選択される１つの第２信号線とを接続する第２選択回路と
を備え、
前記電流制限回路は複数の制限回路を含み、前記第２選択回路及び前記各第２信号線の間に前記複数の制限回路の各々が挿入されており、
前記ブースト回路は複数のブースト回路部からなり、前記第２選択回路及び前記各第２信号線の間に前記複数のブースト回路部の各々が挿入されている
請求項１に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１０】
前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記ブースト回路は、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＰ型ＭＯＳトランジスタで構成されている
請求項６又は７に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１１】
前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、
前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第４電圧に前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より大きく、前記第３電圧に前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より小さく、かつ前記第１駆動電圧以下の電圧に設定される
請求項６又は７に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１２】
前記電流制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、
前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第１駆動電圧から前記第３電圧を減じて前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より大きく、かつ前記第１駆動電圧から前記第４電圧を減じて前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を加えた値より小さい電圧に設定される
請求項８に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１３】
前記電流制限回路における前記各制限回路は、Ｎ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記ブースト回路における前記各ブースト回路部は、前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＰ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記各Ｎ型ＭＯＳトランジスタ及び前記各Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲートに選択信号が供給されることで、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は前記第１選択回路と共用される
請求項７に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１４】
前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記ブースト回路は、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＮ型ＭＯＳトランジスタで構成されている
請求項８又は９に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１５】
前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、
前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第４電圧から前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を減じた値より大きく、かつ前記第３電圧から前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値を減じた値より小さい電圧に設定される
請求項６に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１６】
前記電流制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記抵抗変化素子を、前記第１範囲に属する抵抗値のなかで、前記メモリセルに第３電圧が印加されたときに設定される第３抵抗値より大きく、かつ前記第３電圧よりも小さい第４電圧が印加されたときに設定される第４抵抗値より小さい抵抗値に設定するとき、
前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタのゲート電圧は、前記第１駆動電圧から前記第３電圧と前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値とを減じた値より大きく、前記第１の駆動電圧から、前記第４電圧と前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタの閾値電圧の絶対値とを減じた値より小さく、かつ前記第１駆動電圧の基準電圧以上の電圧に設定される
請求項８又は９に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１７】
前記電流制限回路における前記各制限回路は、Ｐ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記ブースト回路における前記各ブースト回路部は、前記Ｐ型ＭＯＳトランジスタと並列に接続されたＮ型ＭＯＳトランジスタで構成されており、
前記各Ｐ型ＭＯＳトランジスタ及び前記Ｎ型ＭＯＳトランジスタのゲートに選択信号が供給されることで、前記電流制限回路及び前記ブースト回路は前記第２選択回路と共用される
請求項９に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１８】
前記第３抵抗値は前記第１範囲に属する最小の抵抗値であり、
前記抵抗変化素子を前記第３抵抗値に設定するときに前記メモリセルに流れる電流は、前記電流制御素子が破壊されない最大の電流以下である
請求項１１、１２、１５、又は１６に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項１９】
前記第４抵抗値は前記第１範囲に属する最大の抵抗値であり、
読み出し回路を用いて前記低抵抗状態と前記高抵抗状態とが判別可能であるような最大の抵抗値である
請求項１１、１２、１５、又は１６に記載の抵抗変化型不揮発性記憶装置。
【請求項２０】
予め定められた第１の極性の第１電圧が印加されると第１範囲に属する抵抗値の低抵抗状態に変化しかつ前記極性とは逆の第２の極性の第２電圧が印加されると前記第１範囲よりも高い第２範囲に属する抵抗値の高抵抗状態に変化する抵抗変化素子を有する複数のメモリセルを備えた抵抗変化型不揮発性記憶装置への書き込み方法であって、
前記書き込み方法は、
前記複数のメモリセルに両極性の電圧を印加することにより、前記抵抗変化素子を前記低抵抗状態もしくは前記高抵抗状態に変化させる書き込みステップと、
前記複数のメモリセルを前記低抵抗状態に変化させる方向の第１電流と、前記複数のメモリセルを高抵抗状態に変化させる方向の第２電流とのうち、前記第１電流のみを制限する電流制限ステップと、
前記複数のメモリセルのうちいずれかを低抵抗状態に変化させるとき、当該メモリセルが低抵抗状態へ変化する前の第１期間において、前記第１電流を増加させるブーストステップと、を含む
抵抗変化型不揮発性記憶装置の書き込み方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2011013344.tif 000104
【図２】
2011013344.tif 000105
【図３Ａ】
2011013344.tif 000106
【図３Ｂ】
2011013344.tif 000107
【図４】
2011013344.tif 000108
【図５】
2011013344.tif 000109
【図６Ａ】
2011013344.tif 000110
【図６Ｂ】
2011013344.tif 000111
【図７Ａ】
2011013344.tif 000112
【図７Ｂ】
2011013344.tif 000113
【図８Ａ】
2011013344.tif 000114
【図８Ｂ】
2011013344.tif 000115
【図９Ａ】
2011013344.tif 000116
【図９Ｂ】
2011013344.tif 000117
【図１０Ａ】
2011013344.tif 000118
【図１０Ｂ】
2011013344.tif 000119
【図１１Ａ】
2011013344.tif 000120
【図１１Ｂ】
2011013344.tif 000121
【図１２】
2011013344.tif 000122
【図１３Ａ】
2011013344.tif 000123
【図１３Ｂ】
2011013344.tif 000124
【図１３Ｃ】
2011013344.tif 000125
【図１３Ｄ】
2011013344.tif 000126
【図１３Ｅ】
2011013344.tif 000127
【図１３Ｆ】
2011013344.tif 000128
【図１３Ｇ】
2011013344.tif 000129
【図１３Ｈ】
2011013344.tif 000130
【図１４】
2011013344.tif 000131
【図１５Ａ】
2011013344.tif 000132
【図１５Ｂ】
2011013344.tif 000133
【図１６Ａ】
2011013344.tif 000134
【図１６Ｂ】
2011013344.tif 000135
【図１７】
2011013344.tif 000136
【図１８Ａ】
2011013344.tif 000137
【図１８Ｂ】
2011013344.tif 000138
【図１９Ａ】
2011013344.tif 000139
【図１９Ｂ】
2011013344.tif 000140
【図１９Ｃ】
2011013344.tif 000141
【図１９Ｄ】
2011013344.tif 000142
【図１９Ｅ】
2011013344.tif 000143
【図１９Ｆ】
2011013344.tif 000144
【図１９Ｇ】
2011013344.tif 000145
【図２０】
2011013344.tif 000146
【図２１】
2011013344.tif 000147
【図２２】
2011013344.tif 000148
【図２３Ａ】
2011013344.tif 000149
【図２３Ｂ】
2011013344.tif 000150
【図２４】
2011013344.tif 000151
【図２５Ａ】
2011013344.tif 000152
【図２５Ｂ】
2011013344.tif 000153
【図２６】
2011013344.tif 000154
【図２７】
2011013344.tif 000155
【図２８Ａ】
2011013344.tif 000156
【図２８Ｂ】
2011013344.tif 000157
【図２９Ａ】
2011013344.tif 000158
【図２９Ｂ】
2011013344.tif 000159
【図３０】
2011013344.tif 000160
【図３１Ａ】
2011013344.tif 000161
【図３１Ｂ】
2011013344.tif 000162
【図３２Ａ】
2011013344.tif 000163
【図３２Ｂ】
2011013344.tif 000164
【図３２Ｃ】
2011013344.tif 000165
【図３２Ｄ】
2011013344.tif 000166
【図３３】
2011013344.tif 000167
【図３４Ａ】
2011013344.tif 000168
【図３４Ｂ】
2011013344.tif 000169
【図３４Ｃ】
2011013344.tif 000170
【図３５】
2011013344.tif 000171
【図３６】
2011013344.tif 000172
【図３７Ａ】
2011013344.tif 000173
【図３７Ｂ】
2011013344.tif 000174
【図３８Ａ】
2011013344.tif 000175
【図３８Ｂ】
2011013344.tif 000176
【図３８Ｃ】
2011013344.tif 000177
【図３８Ｄ】
2011013344.tif 000178
【図３９】
2011013344.tif 000179
【図４０Ａ】
2011013344.tif 000180
【図４０Ｂ】
2011013344.tif 000181
【図４０Ｃ】
2011013344.tif 000182
【図４１】
2011013344.tif 000183
【図４２】
2011013344.tif 000184
【図４３Ａ】
2011013344.tif 000185
【図４３Ｂ】
2011013344.tif 000186
【図４４】
2011013344.tif 000187
【図４５】
2011013344.tif 000188
【図４６】
2011013344.tif 000189
【図４７】
2011013344.tif 000190
【図４８】
2011013344.tif 000191
【図４９】
2011013344.tif 000192
【図５０】
2011013344.tif 000193
【図５１】
2011013344.tif 000194
【図５２】
2011013344.tif 000195
【図５３】
2011013344.tif 000196
【図５４】
2011013344.tif 000197
【図５５】
2011013344.tif 000198
【図５６】
2011013344.tif 000199
【図５７】
2011013344.tif 000200
【国際調査報告】
2011013344.tif 000201
2011013344.tif 000202