(57)【要約】  薄いＢＯＸ層を有する高品質なＳＯＩウェーハを高い生産性で製造する方法を提供する。シリコンウェーハに酸素イオンを注入し、シリコンウェーハに対して熱処理を施すことによりＳＯＩウェーハを製造する方法において、シリコンウェーハに対して、２×１０１７〜３×０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２の高ドーズ量で１回目のイオン注入を行った後に、５×１０１４〜１×１０１６ｉｏｎｓ／ｃｍ２の低ドーズ量で２回目のイオン注入を行い、続いて酸素分圧比を１０〜８０％として高酸素濃度雰囲気中で熱処理した後に、酸素分圧比を１０％未満として低酸素雰囲気中で熱処理を施し、その後塩素含有溶液にアルゴン流量を通過させることにより含塩素ガス雰囲気に調整して熱処理を行う。
2011118205.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウェーハに酸素イオンを注入した後に、熱処理を施すことによりＳＯＩウェーハを製造する方法において、前記シリコンウェーハを高酸素雰囲気中で熱処理を施し、その後塩素を含む含塩素ガス雰囲気に調整して熱処理を行うことを特徴とする、ＳＯＩウェーハの製造方法。
【請求項２】
前記含塩素ガス雰囲気への調整は、塩素含有ガスの溶液中にアルゴンガスを３０ｃｃ／分以上の流量にて通過させて行うことを特徴とする、請求項１に記載のＳＯＩウェーハの製造方法。
【請求項３】
前記塩素含有ガスは、トランス−１，２ジクロロエチレン、トリクロロエチレン及び塩化水素のいずれかであることを特徴とする、請求項２に記載のＳＯＩウェーハの製造方法。
【請求項４】
前記酸素イオンの注入を、加速エネルギー：１００〜２３０ｋｅＶにてドーズ量：２×１０１７〜３×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２で行う第１段階と、加速エネルギー：１００〜２３０ｋｅＶにてドーズ量：５×１０１４〜１×１０１６ｉｏｎｓ／ｃｍ２で行う第２段階に分けて行うことを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一項に記載のＳＯＩウェーハの製造方法。
【請求項５】
前記含塩素ガス雰囲気中での熱処理の直前に、酸素分圧比１０％未満の低酸素雰囲気中で熱処理することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一項に記載のＳＯＩウェーハの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＳＯＩウェーハの製造方法に関し、特にＳＩＭＯＸ法により薄いＢＯＸ層を有する高品質のＳＯＩウェーハを製造する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、デバイス性能の更なる向上に向けて、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ  ｏｎ  Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）構造を有するウェーハ（以下、「ＳＯＩウェーハ」と称する）が注目されている。ＳＯＩウェーハは、シリコン単結晶層（ＳＯＩ層）が埋め込み酸化膜（Ｂｕｒｉｅｄ  ＯＸｉｄｅ，ＢＯＸ層）上に形成された構造を有しており、バルク基板上に作製されるデバイスに比べて寄生容量が極めて小さく、また簡単な製造工程とデバイス微細化の容易さから、デバイスの高速動作、低消費電力、高絶縁耐圧特性、耐放射線性などに優れた次世代高性能ＶＬＳＩ用ウェーハとして期待されている。【０００３】
ＳＯＩウェーハを製造する方法としては、主に貼り合わせ法とＳＩＭＯＸ（Ｓｅｐａｒａｔｉｏｎ  ｂｙ  ＩＭｐｌａｎｔｅｄ  ＯＸｙｇｅｎ）法が存在する。【０００４】
貼り合わせ法は、表面酸化されたシリコン支持基板と、デバイスを製造する活性基板を貼り合わせて１２００℃程度の高温にて熱処理を施し、支持基板の酸化膜と活性基板のシリコンを結合させることによりＳＯＩウェーハを製造する方法である。【０００５】
一方、ＳＩＭＯＸ法は、イオン注入機により酸素イオンをシリコンウェーハの所定の深さに注入した後、高温熱処理によりＢＯＸ層を形成するとともにＢＯＸ層上に形成されたＳＯＩ層の結晶性を回復させることによりＳＯＩウェーハを製造する方法である。【０００６】
現在市販されているＳＩＭＯＸ法により製造されたＳＯＩウェーハ（以降、「ＳＩＭＯＸウェーハ」と称する）は、ＭＬＤ(Ｍｏｄｉｆｉｅｄ  ＬｏｗＤｏｓｅ）法と呼ばれる方法により製造されたものが主流であり、シリコンウェーハへの酸素イオン注入を２段階に分けて行う。即ち、１回目の酸素イオン注入はシリコンウェーハを２００℃以上まで加熱して行い、続く２回目の酸素イオン注入はシリコンウェーハの温度を室温程度まで冷却して行う（例えば、特許文献１参照）。【０００７】
その際、１回目の酸素イオン注入では、シリコンウェーハが加熱された状態で行われるため、シリコンウェーハ表面が単結晶に維持されたままシリコンウェーハ内部に高酸素濃度層が形成される。また、２回目の酸素イオン注入では、高酸素濃度層の上層にアモルファス層が形成され、アモルファス層とその上層に欠陥層が形成されるが、その後ＩＴＯＸ（ＩｎＴｅｒｎａｌ  ＯＸｉｄａｔｉｏｎ）処理と呼ばれる酸素とアルゴンの混合ガス雰囲気中で高温にて酸化処理を施すことにより、効率的にＢＯＸ層を厚膜化するとともにＢＯＸ層の品質を向上させてＳＯＩ構造を形成する。【０００８】
ところで最近、ＳＯＩウェーハを用いてデバイスを作製する際に、基板側からの電圧制御や基板側への放熱対策等のために、薄いＢＯＸ層、例えば５０μｍ以下の厚さを有するＢＯＸ層が要求されるようになっている。しかし、既存のＳＩＭＯＸ法においては、イオン注入時だけでも約２．０×１０１７〜４．０×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２の酸素イオンをシリコンウェーハに導入（供給）するため、計算上約４５〜９０ｎｍの酸化膜をシリコンウェーハ内部に形成することになる。続くＩＴＯＸ処理によってＢＯＸ層は更に厚くなるため、最終的には１００ｎｍ以上のＢＯＸ層が形成されることになる。従って、既存のＳＩＭＯＸ法により、例えば５０ｎｍ以下の薄いＢＯＸ層を有するＳＩＭＯＸウェーハを製造することは物理的に困難であり、ＢＯＸ層を薄膜化する技術の確立が望まれている。【０００９】
特許文献２は、ＩＴＯＸ処理の際に、塩素含有ガスを流すことによりＳＯＩウェーハ表面に発生するディボットを防止する技術を開示しており、塩素含有ガスの流量を増加させるとＢＯＸ層の厚さが低減されることが記載されている。【００１０】
また、特許文献３は、製造したＳＯＩウェーハにおけるＢＯＸ層の厚さが所望の値よりも大きい場合に、含塩素ガス雰囲気中で熱処理することによりＢＯＸ層を薄膜化して所望の厚さにする技術について記載している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】米国特許第５，９３０，６４３号明細書
【特許文献２】米国特許第６，４９５，４２９号明細書
【特許文献３】特開２００７−１８０４１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、特許文献２に記載の方法においては、ＳＯＩウェーハ表面のディボットは防止できるものの、絶縁耐圧特性が低下する等、ＢＯＸ層の品質の悪化は依然として問題である。【００１３】
一方、特許文献３に記載の方法においては、一度ＳＯＩウェーハを製造した後にＢＯＸ層を薄膜化するためにもう一度熱処理しなければならず、製造工程が複雑になり生産性が低下する。また、含塩素ガス雰囲気中で熱処理する際に、ＳＯＩウェーハの表面は、酸化膜等の保護膜がない状態、又は比較的薄い状態で含塩素ガスに接触することになるため、表面あれ等が生じ、ＳＯＩ層の品質が悪化してしまう。更に、含塩素ガス雰囲気中での熱処理の際にＳＯＩ層が酸化されて薄膜化されるため、ＢＯＸ層の薄膜化を想定して、ある程度厚い、例えば２００ｎｍ以上のＳＯＩ層を有するウェーハしか扱うことができない。このようなウェーハをＳＩＭＯＸ法により用意しようとすると、酸素濃度を低減させてＳＯＩ層を形成する必要があるが、今度はＢＯＸ層の品質が低下するため絶縁耐圧特性が悪化してしまう。従って、現時点での酸素注入機のエネルギーの制約（約２５０ｋｅＶが最大）も考慮すると、ＢＯＸ層の高い絶縁耐圧特性を維持しつつ、例えば２００μｍ以上の厚さを有する高品質のＳＯＩ層を形成することは困難である。【００１４】
そこで本発明の目的は、ＳＩＭＯＸ法により、５０μｍ以下の薄いＢＯＸ層を有する高品質なＳＯＩウェーハを高い生産性で製造する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
発明者らは、特許文献２に記載の方法によるＢＯＸ層の絶縁耐圧性能について鋭意究明したところ、ＢＯＸ層の絶縁耐圧性能は、ＩＴＯＸ処理において導入する塩素含有ガスに影響されることを見出した。即ち、ＩＴＯＸ処理後の適切な段階において含塩素ガス雰囲気とすることが、ＢＯＸ層を薄膜化しつつ高品質のＳＯＩウェーハを製造する上で有効であり、更に高い生産性にも繋がることを見出し、本発明を完成するに至った。【００１６】
即ち、本発明のＳＯＩウェーハの製造方法は、シリコンウェーハに酸素イオンを注入した後に、熱処理を施すことによりＳＯＩウェーハを製造する方法において、前記シリコンウェーハを高酸素雰囲気中で熱処理を施し、その後塩素を含む含塩素ガス雰囲気に調整して熱処理を行うことを特徴とするものである。これにより、高品質のＳＯＩウェーハを高い生産性で製造することができる。【００１７】
ここで、前記含塩素ガス雰囲気への調整は、塩素含有ガスの溶液中にアルゴンガスを３０ｃｃ／分以上の流量にて通過させて行うことが好ましい。これにより、ＢＯＸ層の厚さが５０μｍ以下のＳＯＩウェーハを製造することができる。【００１８】
前記塩素含有ガスは、トランス−１，２ジクロロエチレン、トリクロロエチレン及び塩化水素のいずれかであることが好ましい。【００１９】
また、前記酸素イオンの注入を、加速エネルギー：１００〜２３０ｋｅＶにてドーズ量：２×１０１７〜３×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２で行う第１段階と、加速エネルギー：１００〜２３０ｋｅＶにてドーズ量：５×１０１４〜１×１０１６ｉｏｎｓ／ｃｍ２で行う第２段階に分けて行うことが好ましい。これにより、低ドーズ量で厚いＢＯＸ層を効率的に形成することができる。【００２０】
更に、前記含塩素ガス雰囲気中での熱処理の直前に、酸素分圧比１０％未満の低酸素雰囲気中で熱処理することが好ましい。これにより、結晶性が良く高い平坦性を有するＳＯＩウェーハを製造することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、ＳＩＭＯＸ法により、５０μｍ以下の薄いＢＯＸ層を有する高品質のＳＯＩウェーハを高い生産性で製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】（ａ）は本発明によるＳＯＩ製造方法のフローチャートを示す図であり、（ｂ）〜（ｅ）は各ＳＯＩ製造過程におけるシリコンウェーハの構造を示す図である。
【図２】（ａ）本発明、（ｂ）特許文献２の発明、（ｃ−１）及び（ｃ−２）特許文献３の発明によるＳＯＩ製造方法における熱処理過程を示す図である。
【図３】ＢＯＸ層の厚さと絶縁破壊電圧との関係を示す図である。
【図４】ＤＣＥ流量と絶縁破壊電界との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
ここで、本発明のＳＯＩウェーハの製造方法を説明する。
図１（ａ）は、本発明によるＳＯＩウェーハの製造方法のフローチャートを示している。また、図１（ｂ）〜（ｅ）は、各製造過程におけるシリコンウェーハの構造を示している。まず、シリコンウェーハ１に酸素イオン注入を行うが、本発明ではイオン注入方法として上述のＭＬＤ法を採用し、酸素イオン注入を２回に分けて行う。即ち、ステップＳ１にて、加速エネルギーを１００ｋｅＶ〜２３０ｋｅＶ、酸素イオンのドーズ量を２×１０１７〜３×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２、基板温度を２００〜５００℃として１回目のイオン注入を行う。その結果、図１（ｂ）に示すようにシリコンウェーハ１中に高酸素濃度層２が形成される。この１回目のイオン注入処理では、シリコンウェーハ１は２００℃以上まで加熱されているため、ウェーハ表面では単結晶が維持されている。
【００２４】
１回目のイオン注入時に加速エネルギーを１００ｋｅＶ〜２３０ｋｅＶに限定した理由は、１００ｋｅＶ未満の場合にはダメージのピークが浅い位置に形成され、表面領域のダメージが２回目の注入によりアモルファス化されて結晶性が回復されない虞があるためであり、一方で２３０ｋｅＶを越える場合には、極めて深い領域にＢＯＸ層が形成されてその上に厚いＳＯＩ層が残るため、ＢＯＸ層の薄膜化速度が低減されて薄膜化効率が悪化し、また厚いＳＯＩ層を薄膜化する追加の工程が必要になるためである。また、酸素イオンのドーズ量を２×１０１７〜３×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２の範囲とする理由は、ドーズ量が２×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２未満の場合にはＢＯＸ層が不連続になるためであり、３×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２を超える場合には多くの欠陥が発生してＢＯＸ層の絶縁耐圧性能が悪化するためである。更に、基板温度を２００℃〜５００℃の範囲とする理由は、２００℃未満の場合には注入ダメージが極めて大きいために結晶性が完全には回復せず、またＢＯＸ層が厚く形成されるためＢＯＸ層の薄膜化に不利なためであり、５００℃を超える場合には注入により温度が上昇するが、注入ホルダーなど部品の耐熱性に制約があるためである。
【００２５】
続いて、ステップＳ２にて、加速エネルギーを１００ｋｅＶ〜２３０ｋｅＶ、酸素イオンのドーズ量を５×１０１４〜１×１０１６ｉｏｎｓ／ｃｍ２、基板温度を１０〜１５０℃として２回目の酸素イオン注入を行う。この２回目の酸素イオン注入は比較的低温で行うため、図１（ｃ）に示すように、高酸素濃度層２の上にアモルファス層３が形成される。
【００２６】
２回目のイオン注入において加速エネルギーを１００ｋｅＶ〜２３０ｋｅＶと限定した理由は、１００ｋｅＶ未満の場合にはダメージのピークが浅い位置に形成され、表面領域のダメージが２回目の注入によりアモルファス化されて結晶性が回復されない虞があるためであり、２３０ｋｅＶを越える場合には極めて深い領域にＢＯＸ層が形成されてその上に厚いＳＯＩ層が残るため、ＢＯＸ層の薄膜化速度が低減されて薄膜化効率が悪化し、また厚いＳＯＩ層を薄膜化する追加の工程が必要になるためである。また、酸素イオンのドーズ量を５×１０１４〜１×１０１６ｉｏｎｓ／ｃｍ２とした理由は、この範囲のドーズ量が一定の深さに適当な厚みを有するアモルファス層を形成するのに適しているためである。更に、基板温度を１０℃〜１５０℃の範囲とする理由は、１０℃未満の場合にはアモルファス化が促進されて広がり、厚いＢＯＸ層が形成されるため、ＢＯＸ層の薄膜化に不利なためであり、１５０℃を超える場合にはアモルファス化が起きにくく、高品質のＢＯＸ層が形成されにくいためである。
【００２７】
次に、イオン注入されたシリコンウェーハ１に対して熱処理を行う。この熱処理では、イオン注入されたシリコンウェーハ１をアニール炉に導入して炉の温度を上昇させ、高酸素雰囲気中で酸化を行うＩＴＯＸ処理を施して厚いＢＯＸ層とＳＯＩ層を形成し、続いて低酸素雰囲気中で熱処理を施してこれらの層の結晶性を向上させる。まず、ステップＳ３にて、イオン注入したシリコンウェーハをアニール炉にロードして昇温し、酸素分圧比を１０〜８０％、炉内温度を１１００〜１４００℃、処理時間５〜１５時間としてＩＴＯＸ処理を施す。これにより、図１（ｃ）に示すように、高酸素濃度層２及びアモルファス層３からＢＯＸ層４が形成され、その上方にＳＯＩ層５と酸化膜６、更にシリコンウェーハ１の裏面に酸化膜７が形成される。
【００２８】
このＩＴＯＸ処理において、炉内温度を１１００〜１４００℃に限定した理由は、１１００℃未満の場合には酸素の内部拡散が起きにくくＩＴＯＸ処理の効果がほとんど無いためであり、１４００℃を越える場合には表面酸化が急速に進み、酸素が基板内部へ拡散しづらくなり、また高温のためスリップなどの欠陥が発生する可能性が高くなるためである。また、酸素分圧比を１０〜８０％の範囲とする理由は、１０％未満の場合には酸素の量が少なく酸素の内部拡散が起きにくいためであり、８０％を超える場合には酸化速度が早くなるため平坦度が悪化し、また表面酸化が急速に進んでＳＯＩ層が消失するなど膜厚制御に不利なためである。更に、処理時間を５〜１５時間と限定する理由は、ＢＯＸ層の品質、欠陥密度、耐圧には時間依存性があり、５時間未満の場合には欠陥密度が高くＢＯＸ層の絶縁耐圧性能が低く、一方、１５時間を超えると酸化時間が長すぎ、表面酸化および内部酸化の双方が過剰に進行してＳＯＩ層が消失し、またＢＯＸ層が厚くなりすぎるためである。
【００２９】
続いて、ステップＳ４にて、酸素分圧比を１０％未満、炉内温度を１１００〜１４００℃、処理時間を１５時間以下として低酸素雰囲気中での熱処理を施してＳＯＩ層の結晶性及び表面の平坦性を向上させる。
【００３０】
この低酸素雰囲気中での熱処理において炉内温度を１１００〜１４００℃に限定した理由は、１１００℃未満の場合には温度が低いため表面の原子再整列が起きにくくなり平坦度の向上効果が低いためであり、１４００℃を越える場合には高温によりスリップなど欠陥が発生する可能性が高いためである。また、酸素分圧比を１０％未満の範囲とする理由は、１０％以上の場合には内部へ酸素拡散が起こりＳＯＩ層中に酸素析出物など欠陥を形成する可能性があるためである。更に、処理時間を１５時間以下と限定する理由は、１５時間を超えると熱応力によるスリップが発生する可能性があるためである。
【００３１】
その後、ステップＳ５にて、ＩＴＯＸ処理及び低酸素雰囲気中での熱処理の後に、雰囲気中に塩素含有ガスを導入して含塩素ガス雰囲気に調整して熱処理を行う。これにより、図１（ｅ）に示すように、ＢＯＸ層４が薄膜化される。これは、塩素によりシリコンウェーハ表面での酸化が促進され、表面から供給される酸素だけでは不足する結果、ＢＯＸ層から酸素が供給されるようになるためである。上記の処理において、低酸素雰囲気中での熱処理後にシリコンウェーハをアニール炉外に取り出すことなく含塩素ガス雰囲気中で熱処理され、上述のように、薄いＢＯＸ層を有する高品質のＳＯＩウェーハを製造する上で重要な処理である。この熱処理は、処理温度を１１００〜１４００℃、処理時間１〜１５時間として行う。
【００３２】
ここで処理温度を１１００〜１４００℃の範囲と限定する理由は、１１００℃未満の場合にはＳＯＩ層の酸化率が低く処理時間がかかるためであり、１４００℃を超える場合には酸化率が高くなりすぎてＳＯＩ層の膜厚の制御が困難になるとともに熱応力によってスリップが発生するためである。好適には１２５０〜１３８０℃とする。また、処理時間を
１〜１５時間と限定する理由は、１時間未満の場合にはＢＯＸ層の薄膜化速度を考慮すると、低酸素条件下で高温熱処理することによる薄膜化と実質的に変わらず、また短時間のため薄膜化の効果が低いためであり、１５時間を超えると通常の薄膜化速度を考慮するとＢＯＸ層が完全に消失し、また熱応力によりスリップが発生する可能性があるためである。
【００３３】
上記の熱処理に使用する塩素含有ガスとしては、トランス−１，２ジクロロエチレン（ＤＣＥ）、トリクロロエチレン（ＴＣＥ）及び塩化水素のいずれかから選択することができるが、安定で利用しやすい点からＤＣＥであることが好ましい。また、アニール炉への塩素の導入は、塩素含有ガスの溶液（以下、「塩素含有溶液」と称する）の場合、例えばＤＣＥ溶液である場合は、ＤＣＥ溶液が入っている容器にアルゴンガスを通過させてバブリングすることにより行い、導入する塩素の量は、キャリアガスであるアルゴンガスの流量で制御する。塩化水素のようなガスの場合は前記キャリアガスとの混合比率で制御する。
【００３４】
塩素含有溶液を通過させるアルゴンガスの流量は、１０〜３００ｃｃ／分、好ましくは３０〜１５０ｃｃ／分とし、アルゴンガスの分圧が０．１〜３％となるようにする。このアルゴンガス流量の限定理由は、１０ｃｃ／分未満ではＢＯＸ層の減少率が低いために熱処理時間が長くなり、３００ｃｃ／分を超えるとＳＯＩ層の酸化率が高くなり過ぎるため、ＳＯＩ層の膜厚の制御が困難になるためである。
【００３５】
また、含塩素ガス雰囲気中に含まれる酸素の量は、分圧が１〜５０％、好ましくは５〜２０％となるようにする。これは、酸素濃度が１％未満では酸化率が低くいために処理時間が長くなり、２０％を超えると酸化率が高くなり過ぎてＳＯＩ層の膜厚の制御が困難になるためである。
【００３６】
本発明においては、塩素含有溶液を通過させるアルゴンガス流量を３０ｃｃ／分以上とすることにより、５０μｍ以下のＢＯＸ層を有するＳＯＩウェーハを得ることができる。
【００３７】
低酸素雰囲気中での熱処理の後、炉内温度を降温してシリコン基板をアンロードする。この後、上述の一連の処理が施されたシリコンウェーハの表面酸化膜６（および７）をエッチング等により除去することによりＳＯＩウェーハが得られる。
【００３８】
こうして、５０μｍ以下の薄いＢＯＸ層を有する高品質のＳＯＩウェーハを高い生産性で製造することができる。
【実施例】
【００３９】
以下に、本発明の実施例について詳細に説明する。
（発明例１〜４）
まず、イオン注入機を用いて直径３００ｍｍシリコンウェーハに酸素イオンを注入した。酸素イオンの注入方法としてＭＬＤ法を採用し、ウェーハを約３５０℃に加熱してドーズ量を約２．５×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２として１回目の酸素イオン注入を行い、続いてウェーハ温度を室温まで冷却した後にドーズ量を約３×１０１５ｉｏｎｓ／ｃｍ２として２回目の酸素イオン注入を行った。尚、チャンバ内の真空度は約１．５×１０−４Ｔｏｒｒである。
次に、イオン注入したシリコンウェーハを窒素雰囲気中で６００℃にてアニール炉にロードし、約１０℃／分の昇温速度で１３５０℃まで炉内温度を上昇させた。続いて分圧比３０％の酸素を含むアルゴン雰囲気中で１３５０℃にて約７時間ＩＴＯＸ処理を施した。その後、分圧比４％の酸素を含むアルゴン雰囲気中で１３５０℃にて約７時間、低酸素雰囲気中で熱処理を施した。
上記低酸素雰囲気中での熱処理の後に、処理温度１３５０℃、処理時間１０時間、ＤＣＥ溶液を通過するアルゴン流量（以下、「ＤＣＥ流量」と称する）を１０ｃｃ／分（発明例１）、２０ｃｃ／分（発明例２）、３０ｃｃ／分（発明例３）及び４７ｃｃ／分（発明例４）、酸素ガス流量を１．６Ｌ／分、運搬ガスとしてのアルゴンガス流量を１２．２Ｌ／分とする条件下で、ＤＣＥ雰囲気中でシリコンウェーハに対して熱処理を施した。
その後、約−１０℃/分の降温速度で６００℃まで冷却し、シリコンウェーハをアンロードした。最後に、表面酸化膜をフッ化水素（ＨＦ）溶液によるエッチングを施して除去し、ＳＯＩウェーハを得た。得られたＳＯＩウェーハの品質評価結果を表１に示す。尚、表１の「膜厚」項目のＢＯＸ層の厚さは、ＳＯＩウェーハ製造後に測定されたＢＯＸ層の厚さであるのに対して、「ＢＯＸ層絶縁耐圧特性」項目のＢＯＸ層の厚さは、絶縁耐圧特性の評価のためにＳＯＩ層をエッチングにより除去した後の厚さであり、エッチングにより僅かに薄くなる。
発明例１〜４におけるＢＯＸ層の厚さはＤＣＥ流量に反比例しており、これは高い制御性を以てＢＯＸ層の厚さを制御できることを示している。また、ＤＣＥ流量が３０ｃｃ／分以上の場合にはＢＯＸ層の厚さが５０μｍ以下となることが分かる。【００４０】
【表１】
2011118205.tif 000003
【００４１】
（発明例５）
発明例１〜４よりも更に薄い、１０ｎｍ程度の極めて薄いＢＯＸ層を有するＳＯＩウェーハの製造条件について検討した。酸素イオン注入、ＩＴＯＸ処理及び低酸素アニール処理は、発明例１〜４の場合と同一の条件で行った。一方、含塩素ガス雰囲気中での熱処理については、処理温度を１３５０℃及びＤＣＥ溶液を通過するアルゴンガス流量を３０ｃｃ／分、酸素ガス流量を１．６Ｌ／分とする点は発明例１と同一条件であるが、処理時間を１１時間３０分とし、また運搬ガスとしてのアルゴンガス流量を５．６Ｌ／分として熱処理した。その結果、ＢＯＸ層の厚さは、１０ｎｍ程度となった。このように発明例１〜４に対してＢＯＸ層の厚さが大きく低減されたのは、アルゴンガスの流量が１２．２Ｌ／分から５．６Ｌ/分へと低減されたことにより全体のガス流量も低減され、アニール炉を流れるＤＣＥの分圧が上昇してＢＯＸ層の薄膜化が更に進んだためと考えられる。得られた品質評価結果を表１に示す。【００４２】
（比較例１及び２）
特許文献２に記載された方法、即ち、ＩＴＯＸ処理において塩素含有ガスを導入する方法により薄いＢＯＸ層を有するＳＯＩウェーハを製造した。まず、イオン注入機を用いて直径３００ｍｍシリコンウェーハに酸素イオンを注入した。酸素イオンの注入方法としてＭＬＤ法を採用し、ウェーハを約３５０℃に加熱してからドーズ量を約２．５×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２として１回目の酸素イオン注入を行い、続いてウェーハ温度を室温まで冷却した後にドーズ量を約３×１０１５ｉｏｎｓ／ｃｍ２として２回目の酸素イオン注入を行った。尚、チャンバ内の真空度は１．５×１０−４Ｔｏｒｒである。
次に、図２（ｂ）に示す熱処理を施した。即ち、酸素イオンを注入したシリコンウェーハを窒素雰囲気で６００℃にてロードし、約１０℃／分の昇温速度で１３５０℃まで炉内温度を上昇させた後に、分圧比３０％の酸素とともにＤＣＥ流量を０（比較例１）及び５ｃｃ／分（比較例２）、処理温度１３５０℃、処理時間約５時間としてＩＴＯＸ処理を施した後、分圧比４％の酸素を含むアルゴン雰囲気中で１３００℃にて約５時間低酸素雰囲気中での熱処理を施した。得られた品質評価結果を表１に示す。【００４３】
（比較例３）
特許文献３に記載された方法、即ち一度ＳＯＩウェーハを製造した後に含塩素ガス雰囲気中で熱処理する方法により薄いＢＯＸ層を有するＳＯＩウェーハを製造した。まず、イオン注入機を用いて直径３００ｍｍシリコンウェーハに酸素イオンを注入した。酸素イオンの注入方法としてＭＬＤ法を採用し、ウェーハを約３５０℃に加熱してからドーズ量を約２．５×１０１７ｉｏｎｓ／ｃｍ２として１回目の酸素イオン注入を行い、続いてウェーハ温度を室温まで冷却した後にドーズ量を約３×１０１５ｉｏｎｓ／ｃｍ２として２回目の酸素イオン注入を行った。尚、チャンバ内の真空度は１．５×１０−４Ｔｏｒｒである。
次に、図２（ｃ−１）に示す熱処理を施した。即ち、イオン注入したシリコンウェーハを窒素雰囲気で６００℃にてロードし、約１０℃／分の昇温速度で１３５０℃まで炉内温度を上げた後に、分圧比３０％の酸素を含むアルゴンガス雰囲気で１３５０℃にて約１０時間、ＩＴＯＸ処理を施した後、分圧比４％の酸素を含むアルゴンガス雰囲気で１３５０℃にて約５時間、低酸素雰囲気中で熱処理を施し、その後約−１０℃/分の降温速度で６００℃まで冷却し、シリコンウェーハをアンロードした。表面酸化膜は５９０ｎｍ、ＳＯＩ層は２１０ｎｍ、ＢＯＸ層は８０ｎｍの膜厚を有していた。次に、表面酸化膜をＨＦ溶液によるエッチングを施して除去し、ＳＯＩウェーハを得た。続いて、図２（ｃ−２）に示す熱処理により、ＢＯＸ層の薄膜化を行った。この時のロード、アンロード、昇温、降温は図２（ｃ−１）の熱処理の場合と同一とし、１３５０℃での熱処理は、ＤＣＥ流量を１５０ｃｃ／分、酸素流量を２Ｌ／分、運搬ガスとしてのアルゴンガス流量を１０Ｌ／分として４時間行った。熱処理後の膜厚は、表面酸化膜は２７６ｎｍ、ＳＯＩ層は５３ｎｍ、ＢＯＸ層は１２ｎｍであった。得られたＳＯＩウェーハの品質評価結果を表１に示す。【００４４】
（品質評価結果）
ここで、得られたＳＯＩウェーハの品質評価結果について検討する。
まず、ＢＯＸ層の絶縁耐圧特性について検討する。図３は発明例１〜７及び比較例１及び２のＢＯＸ層の厚さと絶縁破壊電圧との関係を示している。図から分かるように、絶縁破壊電圧は全体的にＢＯＸ層が厚い方が大きくなる。しかし、図４に示す、ＤＣＥ流量と絶縁破壊電界との関係を見ると、本発明のＳＯＩウェーハの製造方法により得られた発明例１〜７については約８．２ＭＶ／ｃｍ以上であるのに対し、特許文献２の製造方法、即ちＩＴＯＸ処理の際にＤＣＥを導入すると、５ＭＶ／ｃｍ程度となることが分かる。更に、発明例１〜５においてはＤＣＥ流量の増加とともに絶縁破壊電界も増加するのに対して、比較例１及び２では絶縁破壊電界はむしろ低減していることが分かる。尚、特許文献３の方法、即ち、ＳＯＩウェーハの製造後にＢＯＸ層を薄膜化する方法で得られた比較例３についても、絶縁破壊電界は約２ＭＶ／ｃｍであり、発明例１及び２に対して１／４程度にすぎない。このように、本発明のＳＯＩウェーハの製造方法においては、含塩素ガス雰囲気中での熱処理により、ＢＯＸ層の薄膜化とともに高い絶縁耐圧特性を有するＢＯＸ層を形成できることが分かる。【００４５】
続いて、ＳＯＩ層の品質について評価する。表１から、発明例１〜７及び比較例３に対して、ＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）により評価したＳＯＩ層の表面マイクロ平坦度を見ると、発明例１〜７については１０μｍ×１０μｍの面積に対してＲｍｓは約２．２〜２．７Åであるのに対し、比較例３については約２１Åと約１０倍となった。このように、本発明のＳＯＩウェーハの製造方法により、ＳＯＩ層表面の平坦度が大きく改善されることが分かる。
【産業上の利用の可能性】
【００４６】
本発明によれば、５０μｍ以下のＢＯＸ層を有する高品質のＳＯＩウェーハが得られるので、薄膜化が要求されるデバイスに有用である。
【符号の説明】
【００４７】
１  シリコンウェーハ
２  高酸素濃度層
３  アモルファス層
４  ＢＯＸ層
５  ＳＯＩ層
６，７  表面酸化膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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