(57)【要約】  発振装置は、圧電層（１１１）の表面と裏面とに電極層（１１２、１１３）が形成されている圧電振動子（１１０）と、圧電振動子（１１０）が少なくとも表面に接合されている振動部材（１２０）と、少なくとも圧電振動子（１１０）の外側面に全周方向に連続に形成されている樹脂部材（１３０）と、を有する。これにより、圧電層の作動面積を増大させることができ、出力の音圧レベルの増大と装置の小型化とを、ともに実現することができる。
2012001954.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電層の表面と裏面とに電極層が形成されている圧電振動子と、
前記圧電振動子が少なくとも表面に接合されている振動部材と、
少なくとも前記圧電振動子の外側面に全周方向に連続に形成されている樹脂部材と、
を有する発振装置。
【請求項２】
前記樹脂部材は、少なくとも前記圧電振動子の外側面に連続する部分の前記振動部材の表面にも密着している請求項１に記載の発振装置。
【請求項３】
前記樹脂部材は、前記圧電層の分極温度より軟化点が高い請求項１または２に記載の発振装置。
【請求項４】
前記樹脂部材は、軟化点が８０度以上である請求項３に記載の発振装置。
【請求項５】
前記圧電振動子は、複数の角部と複数の辺部とを有する多角形の平面形状に形成されており、
前記樹脂部材は、前記圧電振動子の前記辺部の位置より前記角部の位置で分厚い平面形状に形成されている請求項１ないし４の何れか一項に記載の発振装置。
【請求項６】
前記圧電振動子は、四つの角部と四つの辺部とを有する矩形の平面形状に形成されている請求項５に記載の発振装置。
【請求項７】
前記樹脂部材は、前記圧電振動子および前記振動部材より柔軟である請求項１ないし６の何れか一項に記載の発振装置。
【請求項８】
前記樹脂部材は、前記圧電振動子および前記振動部材より内部損失が大きい請求項１ないし７の何れか一項に記載の発振装置。
【請求項９】
前記樹脂部材は、防湿性を有する請求項１ないし８の何れか一項に記載の発振装置。
【請求項１０】
前記樹脂部材は、前記圧電層および前記電極層より導電性が低い請求項１ないし９の何れか一項に記載の発振装置。
【請求項１１】
前記圧電振動子が、複数の前記圧電層である圧電セラミックと複数の前記電極層とが交互に形成された積層構造を有する請求項１ないし１０の何れか一項に記載の発振装置。
【請求項１２】
前記圧電層が、圧電セラミックからなる請求項１ないし１１の何れか一項に記載の発振装置。
【請求項１３】
前記圧電振動子が発振する超音波の周波数が２０ｋＨｚを超える請求項１ないし１２の何れか一項に記載の発振装置。
【請求項１４】
前記圧電振動子が可聴波の超音波変調波を発振する請求項１ないし１３の何れか一項に記載の発振装置。
【請求項１５】
請求項１ないし１４の何れか一項に記載の発振装置と、
前記発振装置に可聴域の音波を出力させる発振駆動部と、
を有する電子機器。
【請求項１６】
請求項１ないし１４の何れか一項に記載の発振装置と、
前記発振装置から発振されて測定対象物で反射した前記超音波を検知する超音波検知部と、
検知された前記超音波から前記測定対象物までの距離を算出する測距部と、
を有する電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電振動子を備えた発振装置に関し、特に、振動部材に圧電振動子が装着されている発振装置、この発振装置を有する電子機器、に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機やノート型コンピュータなどの携帯型の電子機器の需要が拡大している。このような電子機器では、テレビ電話や動画再生、ハンズフリー電話などの音響機能を商品価値とした薄型の携帯端末の開発が進められている。このような開発の中、音響部品である電気音響変換器（スピーカ装置）に対して、高音質でかつ小型・薄型化への要求が高まっている。【０００３】
従来、携帯電話等の電子機器には、電気音響変換器として動電型電気音響変換器が利用されてきた。この動電型電気音響変換器は、永久磁石とボイスコイルと振動膜から構成されている。【０００４】
しかし、動電型電気音響変換器は、その動作原理および構造から、薄型化には限界がある。一方、特許文献１、２には、圧電振動子を電気音響変換器として使用することが記載されている。【０００５】
また、圧電振動子を用いる発振装置の他の例としては、スピーカ装置のほか、圧電振動子から発振された音波を用いて対象物までの距離などを検出する音波センサ（特許文献３を参照）など、種々の発振装置や電子機器が知られている(特許文献４〜６)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】国際公開第２００７／０２６７３６号パンフレット
【特許文献２】国際公開第２００７／０８３４９７号パンフレット
【特許文献３】特開平０３−２７０２８２号公報
【特許文献４】特開昭６３−１３４９８号公報
【特許文献５】特開２００４−３１２５６１号公報
【特許文献６】特開２００７−１１１８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
圧電振動子を用いる発振装置は、圧電層の圧電効果を利用して、電気信号の入力による電歪作用により、振動振幅を発生させるものである。そして、動電型電気音響変換器がピストン型の進退運動によって振動を発生させるのに対して、圧電振動子を用いる発振装置は屈曲型の振動姿態をとるために振幅が小さくなる。このため、上記した動電型の電気音響変換器に対して薄型化に優位である。【０００８】
しかしながら、発振装置の物理指標の一つである音圧レベルは、振動子による空気の体積排除量によって決定される。換言すると、発振装置は圧電振動子の作動面積により音圧レベルが左右される。【０００９】
しかし、従来の発振装置では、圧電層の表面と裏面とに形成した電極層がマイグレーションなどにより導通することを防止するため、圧電層の表面全域と裏面全域とに電極層を形成することができず、圧電層の表面外周と裏面外周には電極層を形成していない。【００１０】
このため、圧電振動子を用いる発振装置の場合は、動電型電気音響変換器と比較して振幅および体積排除量が小さくなりやすく、小型化を図った場合には出力の音圧レベルを十分に得ることが困難であった。【００１１】
本発明は上述のような課題に鑑みてなされたものであり、出力の音圧レベルの増大と装置の小型化とを、ともに実現する発振装置、この発振装置を利用した電子機器、を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の発振装置は、圧電層の表面と裏面とに電極層が形成されている圧電振動子と、圧電振動子が少なくとも表面に接合されている振動部材と、少なくとも圧電振動子の外側面に全周方向に連続に形成されている樹脂部材と、を有する。【００１３】
本発明の第一の電子機器は、本発明の発振装置と、発振装置に可聴域の音波を出力させる発振駆動部と、を有する。【００１４】
本発明の第二の電子機器は、本発明の発振装置と、発振装置から発振されて測定対象物で反射した超音波を検知する超音波検知部と、検知された超音波から測定対象物までの距離を算出する測距部と、を有する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の発振装置では、圧電振動子の外側面を樹脂部材が密封している。これにより、圧電振動子の表面と裏面との電極層の短絡を防止することができる。このため、圧電層の表面全域と裏面全域とに電極層を形成することができる。従って、圧電層の作動面積を増大させることができ、出力の音圧レベルの増大と装置の小型化とを、ともに実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる【００１７】
【図１】本発明の実施の第一の形態の発振装置である電気音響変換器の構造を示す模式的な縦断正面図である。
【図２】電気音響変換器の構造を示す模式的な平面図である。
【図３】一の変形例の電気音響変換器の構造を示す平面図である。
【図４】他の変形例の電気音響変換器の構造を示す平面図である。
【図５】さらに他の変形例の電気音響変換器の構造を示す平面図である。
【図６】さらに他の変形例の電気音響変換器の構造を示す模式的な縦断正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の実施の第一の形態について図１および図２を参照して以下に説明する。本実施の形態の発振装置である電気音響変換器１００は、図示するように、圧電層である圧電セラミック１１１の表面と裏面とに電極層１１２，１１３が形成されている圧電振動子１１０と、圧電振動子１１０が少なくとも表面に接合されている振動部材である弾性振動板１２０と、少なくとも圧電振動子１１０の外側面に全周方向に連続に形成されている樹脂部材１３０と、を有する。
【００１９】
より具体的には、本実施の形態の電気音響変換器１００では、図２に示すように、弾性振動板１２０が円形の平面形状に形成されており、図１および図２に示すように、円環状のフレーム１２１で外周部が支持されている。
【００２０】
圧電振動子１１０も円形の平面形状に形成されており、円形の弾性振動板１２０の中央表面に貼着されている。樹脂部材１３０は、少なくとも圧電振動子１１０の外側面に連続する部分の弾性振動板１２０の表面にも密着している。
【００２１】
樹脂部材１３０は、圧電層１１１の分極温度より軟化点が高く、例えば、軟化点が８０度以上であるエポキシ樹脂からなる。この樹脂部材１３０は、圧電振動子１１０および弾性振動板１２０より柔軟である。
なお、ＡがＢより柔軟であることとは、例えば、Ａの弾性率がＢより低いことなどを意味している。以下、本明細書中において同様である。
【００２２】
さらに、樹脂部材１３０は、圧電振動子１１０および弾性振動板１２０より内部損失が大きい。また、樹脂部材１３０は、防湿性を有し、圧電セラミック１１１および電極層１１２，１１３より導電性が低い。
【００２３】
このような樹脂部材１３０としては、縦弾性係数が５００ＧＰａ以下である材料が好ましい。樹脂部材１３０の電気伝導度は、電極層１１２，１１３の１／１００程度である。
【００２４】
また、本実施の形態の電気音響変換器１００では、圧電振動子１１０の電極層１１２，１１３に発振駆動部である制御部１４０が接続されている。この制御部１４０から圧電振動子１１０を可聴領域や超音波領域で発振させる電界が印加される。
【００２５】
なお、表面の電極層１１２は、例えば、リード線１４１で制御部１４０に直接に接続されており、裏面の電極層１１３は、金属製の弾性振動板１２０とリード線１４２とで制御部１４０に接続されている。
【００２６】
また、圧電セラミック１１１としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などを使用するが特に限定されない。圧電セラミック１１１の厚みは、特に限定されないが、１０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。
【００２７】
例えば、脆性材料であるセラミック材料として厚み１０μｍ未満の薄膜を使用する場合、取り扱い時に機械強度の弱さから、欠けや破損などが生じて、取り扱いが困難となる。
【００２８】
また、厚み５００μｍを超える圧電セラミック１１１を使用する場合は電気エネルギから機械エネルギに変換する変換効率が著しく低下し、電気音響変換器１００として十分な性能が得られない。
【００２９】
一般的に、電気信号の入力により電歪効果を発生させる圧電セラミック１１１においては、その変換効率は電界強度に依存する。この電界強度は分極方向に対する厚み／入力電圧で表されることから、厚みの増加は必然的に変換効率の低下を招いてしまう問題がある。
【００３０】
本実施の形態の圧電振動子１１０には、電界を発生させるために表面と裏面とに電極層１１２，１１３が形成されている。電極層１１２，１１３は、電気伝導性を有する材料であれば特に限定されないが、銀や銀／パラジウムを使用することが好ましい。銀は低抵抗な汎用的な電極層として使用されており、製造プロセスやコストなどに利点がある。
【００３１】
また、銀／パラジウムは耐酸化に優れた低抵抗材料であるため、信頼性の観点から利点がある。また、電極層１１２，１１３の厚みについては、特に限定されないが、その厚みが１μｍ以上５０μｍ以下であるのが好ましい。
【００３２】
例えば、厚み１μｍ未満では、膜厚が薄いため、均一に成形できず、変換効率が低下する可能性がある。なお、薄膜状の電極層１１２，１１３を形成する技術として、ペースト状にして塗布する方法もある。
【００３３】
しかし、圧電セラミック１１１のような多結晶では表面状態が梨地面であるため、塗布時の濡れ状態が悪く、ある程度の厚みがないと均一な電極膜が形成できない問題点がある。
【００３４】
一方、電極層１１２，１１３の膜厚が１００μｍを超える場合は、製造上に特に問題はないが、電極層１１２，１１３が圧電セラミック１１１に対して拘束面となり、エネルギ変換効率を低下させてしまう問題点がある。
【００３５】
本実施の形態の電気音響変換器１００の圧電振動子１１０は、その片側の主面が弾性振動板１２０によって拘束されている。弾性振動板１２０は、圧電振動子１１０から発生した振動を外側に伝播させる。
【００３６】
また、同時に弾性振動板１２０には、圧電振動子１１０の基本共振周波数を調整する機能を持つ。機械的な電気音響変換器１００の基本共振周波数fは、以下の式で示されるように、負荷重量と、コンプライアンスに依存する。
【００３７】
[数１]
ｆ＝１／(２πＬ√(ｍＣ))
なお、"ｍ"は質量、"Ｃ"はコンプライアンス、である。
【００３８】
言い換えれば、コンプライアンスは電気音響変換器１００の機械剛性であるため、このことは圧電振動子１１０の剛性を制御することで基本共振周波数を制御できることを意味する。
【００３９】
例えば、弾性率の低い材料の選択や、弾性振動板１２０の厚みを低減することで、基本共振周波数を低域にシフトさせることが可能となる。この一方で、弾性率の高い材料を選択することや、弾性振動板１２０の厚みを増加させることで基本共振周波数を高域にシフトさせることができる。
【００４０】
従来は、圧電振動子１１０の形状や材質により基本共振周波数を制御していたところから設計上の制約やコスト、信頼性に問題があったが、本発明のように、構成部材である弾性振動板１２０を変更することで所望の基本共振周波数に容易に調整できることから、工業上の価値は大きい。
【００４１】
さらに、本実施の形態の電気音響変換器１００では、圧電振動子１１０の外側面が樹脂部材１３０で拘束されている。このため、樹脂部材１３０の高い内部損失を利用して、圧電振動子の機械品質係数Ｑを低減することができる。
【００４２】
既存の電気音響変換器では、圧電振動子の外側面に樹脂部材が存在しないので、材料の特性上でＱが高い傾向にあった。本実施の形態の電気音響変換器１００では、樹脂部材１３０により、圧電振動子１１０に機械的なダンピングをかけることができ、Ｑを低減することができる。これにより、振幅周波数特性が平坦になり、電気音響変換器１００として応用範囲が拡大する。
【００４３】
なお、弾性振動板１２０には、金属や樹脂など脆性材料であるセラミックに対して高い弾性率を持つ材料であれば特に限定されないが、加工性やコストの観点からリン青銅やステンレスなどの汎用材料が使用される。
【００４４】
また、弾性振動板１２０の厚みについては、５μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましい。厚みが５μｍ未満の場合、機械強度が弱く、拘束部材として機能を損なうことや、加工精度の低下により、製造ロット間で圧電振動子１１０の機械振動特性の誤差が生じてしまう問題点がある。
【００４５】
また、厚みが１０００μｍを超える場合は、剛性増による圧電振動子１１０への拘束が強まり、振動変位量の減衰を生じさせてしまう問題点がある。また、本実施形態の弾性振動板１２０は、材料の剛性を示す指標である縦弾性係数が、１ＧＰａ以上５００ＧＰａ以下であることが好ましい。上述のように、弾性振動板１２０の剛性が過度に低い場合や、過度に高い場合は、機械振動子として特性や信頼性を損なう問題点がある。
【００４６】
ここで、本実施の形態の電気音響変換器１００の製造方法を以下に説明する。まず、圧電振動子１１０は、外径＝φ３ｍｍ、厚み＝２００μｍの圧電セラミック１１１を形成し、その両面に、それぞれ厚み８μｍの電極層１１２および電極層１１３を形成する。
【００４７】
圧電セラミック１１１には、ジルコン酸チタン酸鉛系セラミックを用い、電極層１１２，１１３には銀／パラジウム合金（重量比７０％：３０％）を使用する。この圧電セラミック１１１の製造はグリーンシート法で行い、大気中で１１００℃で２時間にわたって焼成し、その後、圧電セラミック１１１に分極処理を施す。圧電振動子１１０と弾性振動板１２０との接着にはエポキシ系接着剤を用いる。
【００４８】
さらに、高い信頼性を有する圧電振動子１１０を得るために、圧電振動子１１０の外側面と弾性振動板１２０の境界面を電気伝導性が低い樹脂部材１３０により保護する。この樹脂部材１３０は、圧電振動子１１０を弾性振動板１２０の表面に接着してから、その外側面を封止するように形成される。
【００４９】
本実施の形態の電気音響変換器１００では、樹脂部材１３０によって、応力が集中する弾性振動板１２０と圧電層の境界面を保護できることから、割れや欠け、機械的な破壊を防止することができ、信頼性が向上する。
【００５０】
また、導電性が低い樹脂部材１３０により保護することで、マイグレーションなどによる圧電セラミック１１１の表面と裏面との電極層１１２，１１３の短絡を防止することができる。
【００５１】
このため、電極層１１２，１１３の短絡を懸念することなく、圧電セラミック１１１の表面全域と裏面全域とに電極層１１２，１１３を形成することができる。従って、圧電セラミック１１１の全体を発振させることができるので、出力の音圧レベルの増大と装置の小型化とを、ともに実現することができる。
【００５２】
さらに、内部損失の大きい樹脂部材１３０を利用することで、機械品質係数Ｑｍを低減することができる。すなわち、応力が集中する圧電振動子１１０と弾性振動板１２０との境界面に機械的なダンピングをかけることができる。
【００５３】
また、本構成では、プライバシー保護が可能な音響再生を実現するために、超音波を発振させる。ここでは、変調した超音波を可聴音に復調するパラメトリックスピーカの原理を利用している。圧電振動子１１０は周波数２０ｋＨｚ以上の超音波を発振するものである。
【００５４】
ここでは、ＡＭ(Amplitude Modulation)変調やＤＳＢ(Double Sideband)変調、ＳＳＢ(Single-Sideband modulation)変調、ＦＭ(Frequency Modulation)変調をかけた超音波を空気中に放射し、超音波が空気中に伝播する際の非線形特性により、可聴音が出現する原理で音響再生を行っている。
【００５５】
非線形としては、流れの慣性作用と粘性作用の比で示されるレイノルズ数が大きくなると、層流から乱流に推移する現象が挙げられる。すなわち、音波は流体内で微少に、じょう乱しているため、音波は非線形で伝播している。
【００５６】
しかしながら、低周波数帯域での音波の振幅は非線形でありながら、振幅差が非常に小さく、通常、線形理論の現象として取り扱っている。これに対して、超音波では非線形性が容易に観察でき、空気中に放射した場合、非線形性に伴う高調波が顕著に発生する。
【００５７】
概略すれば、音波は空気中に分子集団が濃淡に混在する疎密状態であり、空気分子が圧縮よりも復元するのに時間が生じた場合、圧縮後に復元できない空気が、連続的に伝播する空気分子と衝突し、衝撃波が生じて可聴音が発生する原理である。
【００５８】
続いて、圧電振動子１１０の動作原理を説明する。圧電セラミック１１１は、上述のように二個の主面を有する圧電板からなり、圧電セラミック１１１の主面のそれぞれに、電極層１１２および電極層１１３が形成されている。
【００５９】
圧電セラミック１１１の分極方向は特に限定されるものではないが、本実施の形態の電気音響変換器では、上下方向（圧電振動子１１０の厚み方向）で上向きとなっている。このように構成された圧電振動子１１０は、電極層１１２および電極層１１３に交流電圧が印加され、交番的な電界が付与されると、その両主面が同時に拡大または縮小するような、半径方向の伸縮運動（径拡がり運動）を行う。
【００６０】
換言すれば、圧電振動子１１０は、主面が拡大するような第一の変形モードと、主面が縮小するような第二の変形モードとを繰り返すような運動を行う。このような運動を繰り返すことで弾性振動板１２０は弾性効果を利用して、慣性作用と復元作用による上下振動を発生し、音波を発生する。
【００６１】
上述のように圧電振動子１１０が作動することで、その外周部と弾性振動板１２０との接合部分に応力が集中する。しかし、本実施の形態の電気音響変換器１００では、弾性振動板１２０の外側面と圧電振動子１１０とに樹脂部材１３０を接合している。この樹脂部材１３０は、応力が集中する境界面での機械的な破壊を防止する役割を果たす。
【００６２】
互いに剛性が異なる材料間での境界では、駆動力の伝達の際に応力が集中し、大振幅の際には、破壊などの問題点が生じる。本構成では、弾性力のある樹脂部材１３０を形成しているため、応力集中を緩和することができる。
【００６３】
しかも、樹脂部材１３０は、圧電層１１１の分極温度より軟化点が高いので、圧電層１１１を分極するために加熱しても樹脂部材１３０が溶融する懸念がない。さらに、樹脂部材１３０はエポキシ樹脂からなるので、圧電振動子１１０を弾性振動板１２０に接合する接着剤と兼用することができる。
【００６４】
また、本発明の構成では、圧電振動子１１０は周波数２０ｋＨｚ以上の超音波を発振する。ＦＭやＡＭ変調させた超音波を発振させ、空気の非線形状態（疎密状態）を利用して、変調波を復調させ可聴音を再生する、いわゆるパラメトリックスピーカの原理に基づいて音響再生を行う。これは、超音波の特徴である高い指向性を利用して音波を伝播させるものであり、ユーザにしか聴こえないプライバシー音源の実現が可能となる。
【００６５】
以上のように、本実施の形態の電気音響変換器１００は、小型で大音量の再生ができる。また、超音波を利用しているため、指向性が狭く、ユーザのプライバシー保護などの点で、工業的な価値は大きい。
【００６６】
すなわち、本実施形態の電気音響変換器１００は、従来の電気音響変換器に比べ、音波の直進性が高く、ユーザに伝えたい位置へ選択的に音波を伝播できる。以上をまとめると、本実施の形態の電気音響変換器１００は、電子機器（例えば、携帯電話機、ノート型パーソナルコンピュータ、小型ゲーム機器など）の音源としても利用可能である。しかも、電気音響変換器１００の大型化を防止することができ、音響特性が向上することから、携帯型の電子機器に対しても好適に利用することが可能である。
【００６７】
なお、本発明は本実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、本実施の形態では圧電振動子１１０の圧電素子としてジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）などの圧電セラミック１１１を利用することを例示した。
【００６８】
しかし、圧電素子については、圧電効果を有する材料であれば、無機材料、有機材料ともに特に限定されず、電気機械変換効率が高い材料、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）などの材料が使用できる。
【００６９】
また、上記形態では圧電振動子１１０および弾性振動板１２０が同心円状の円形の平面形状に形成されていることを例示した。しかし、図３に例示する発振装置である電気音響変換器２００のように、圧電振動子２１０や振動部材である弾性振動板２２０が矩形である正方形などに形成されていてもよい。
【００７０】
そして、このような四つの角部２１１と四つの辺部２１２とを有する矩形の平面形状に形成されている圧電振動子２１０に、樹脂部材２３０は、圧電振動子１１０の辺部２１２の位置より角部２１１の位置で分厚い平面形状に形成されていることが好適である。
【００７１】
これは、上述のような平面形状の圧電振動子２１０では発振の応力が角部２１１に集中するため、その部分を樹脂部材２３０で強固に弾性振動板２２０に接合するためである。
【００７２】
また、上記形態および一の変形例では、一個の弾性振動板１２０，２２０に一個の圧電振動子１１０，２１０が搭載されていることを例示した。しかし、図４に発振装置として例示する電気音響変換器３００のように、一個の弾性振動板２２０に複数の圧電振動子２１０が行列状態などに配列されて搭載されていてもよい。
【００７３】
さらに、図５に発振装置として例示する電気音響変換器４００のように、六角形の振動部材４２０に、三角形の圧電振動子４１０が交互に図中上下逆様に二列などに配列されていてもよい。また、六角形の圧電振動子がハニカム状に配列されていてもよい(図示せず)。
【００７４】
また、上記形態では圧電振動子１１０が、一層の圧電セラミック１１１と両面の電極層１１２，１１３からなることを例示した。しかし、このような圧電振動子が、複数の圧電セラミックと複数の電極層とが交互に形成された積層構造を有してもよい。
【００７５】
さらに、上記形態では樹脂部材１３０がエポキシ樹脂からなることを例示した。しかし、このような樹脂部材１３０としては、ＰＥＴ(Polyethylene Terephthalate)、ウレタン、ポリカーボネート、ポリエチレン、なども利用することができる。
【００７６】
また、上記形態では圧電振動子１１０の外側面が面一に形成されており、その全域に樹脂部材１３０が形成されていることを例示した。しかし、このような樹脂部材１３０は、最低限、電極部材１１２，１１３の短絡を防止できればよいので、例えば、図６に発振装置として例示する電気音響変換器５００のように、圧電振動子１１０の圧電セラミック１１１の外側面に全周方向に連続に形成されていれば、その上下方向の層厚は短くともよい。
【００７７】
また、上記形態では、電気機器として電気音響変換器１００等で音声を出力する携帯電話機等を想定した。しかし、電子機器として、発振装置である電気音響変換器１００等と、この電気音響変換器１００等から発振されて測定対象物で反射した超音波を検知する超音波検知部と、検知された超音波から測定対象物までの距離を算出する測距部と、を有するソナー(図示せず)なども実施可能である。
【００７８】
なお、当然ながら、上述した複数の実施の形態および複数の変形例は、その内容が相反しない範囲で組み合わせることができる。また、上述した実施の形態では、各部の構造などを具体的に説明したが、その構造などは本願発明を満足する範囲で各種に変更することができる。
【００７９】
この出願は、２０１０年６月３０日に出願された日本出願特願２０１０−１４９８７７を基礎とする優先権を主張し、その開示の総てをここに取り込む。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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