(57)【要約】  本発明は、吸着部で情報記録媒体用ガラス基板を吸着した際に、情報記録媒体用ガラス基板の表面に付着する異物や傷等の数が多量に増加するおそれが少ない情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、および、情報記録媒体用ガラス基板を研磨装置の研磨パッドから取り外し易い吸着具及の提供を目的とする。本発明の吸着具１は、吸着パッド３２を備えている。吸着パッド３２は、中心孔３２ａと、その中心孔３２ａから当該当接パッド３２の外周端に延ばされた溝３２ｂとを備えている。
2012001913.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部に貫通孔が設けられた円盤状の情報記録媒体用ガラス基板を製造する情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
中央部に貫通孔が設けられた円盤状のガラス素材の表面を研磨装置で研磨して情報記録媒体用ガラス基板を形成する工程と、
前記研磨された情報記録媒体用ガラス基板に吸着具を当接させて、前記情報記録媒体用ガラス基板に前記吸着具を吸着させた状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板を前記研磨装置から取り出す工程、とを有し、
前記吸着具は、吸引装置に吸引可能に接続される吸引用通気路を有する吸着具本体と、前記吸引用通気路と連通した吸引口を有し前記吸着具本体と一体的に設けられた吸着部とを備え、
前記情報記録媒体用ガラス基板を前記研磨装置から取り出す工程においては、前記吸着部を前記情報記録媒体用ガラス基板に当接させた当接状態で、前記吸引装置の作動に伴い前記吸着部の吸引口から吸引用通気路を介して吸引させることにより、前記吸着部で前記情報記録媒体用ガラス基板が吸着されており、
前記当接状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔が外部と連通されていることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記研磨装置は、前記円盤状のガラス素材の表面を研磨する研磨パッドを備え、
前記研磨パッドとして、前記円盤状のガラス素材が重ね合わされた際に、前記貫通孔を前記円盤状のガラス素材の一面側から塞ぎ得るものを用いることを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記吸着具は、
前記当接状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔と外部とを連通し得るように構成された外部連通用通気路を備え、
前記外部連通用通気路は、前記吸着部に開口されて前記当接状態で前記貫通孔に連通するように配設される連通口と、その連通口と外部とを連通した連通路とを備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記吸着部は、前記情報記録媒体用ガラス基板に当接する当接パッドを備え、
前記当接パッドは、その中心部に形成された中心孔と、前記当接状態で前記中心孔と外部とを連通できるように、前記中心孔から当該当接パッドの外周端に延ばされた溝とを備え、
前記連通口は、前記中心孔から構成され、
前記連通路は、前記溝から構成されることを特徴とする請求項３に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記吸着部は、前記情報記録媒体用ガラス基板に当接する当接パッドを備え、
前記当接パッドは、その中心部に形成された中心孔を備え、
前記吸着具本体は、前記当接状態で前記中心孔と外部とを連通できるように、前記中心孔から当該吸着具本体の外面に貫通するようにあけられた本体連通孔とを備え、
前記連通口は、前記中心孔から構成され、
前記連通路は、前記本体連通孔から構成されることを特徴とする請求項３に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記吸着部は、前記情報記録媒体用ガラス基板に当接する当接パッドを備え、
前記当接パッドは、前記吸引口の周辺を含む一部に設けられており、
前記情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔は、前記当接パッドが設けられていない部分により外部と連通されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項７】
吸引装置に吸引可能に接続される吸引用通気路を有する吸着具本体と、前記吸引用通気路と連通した吸引口を有し前記吸着具本体と一体的に設けられた吸着部とを備え、
前記吸着部を貫通孔を有する円盤状の被吸着部材に当接させた当接状態で前記吸引装置の作動に伴い前記吸着部の吸引口から吸引用通気路を介して吸引させることにより、吸着部で被吸着部材を吸着可能とした吸着具であって、
前記当接状態で、前記被吸着部材に設けられた貫通孔が外部と連通し得るように構成されたことを特徴とする吸着具。
【請求項８】
前記吸着具は、
前記当接状態で、前記被吸着部材に設けられた貫通孔と外部とを連通し得るように構成された外部連通用通気路を備え、
前記外部連通用通気路は、前記吸着部に開口されて前記当接状態で前記貫通孔に連通するように配設される連通口と、その連通口と外部とを連通した連通路とを備えていることを特徴とする請求項７に記載の吸着具。
【請求項９】
前記吸着部は、前記被吸着部材に当接する当接パッドを備え、
前記当接パッドは、その中心部に形成された中心孔と、前記当接状態で前記中心孔と外部とを連通できるように、前記中心孔から当該当接パッドの外周端に延ばされた溝とを備え、
前記連通口は、前記中心孔から構成され、
前記連通路は、前記溝から構成されることを特徴とする請求項８に記載の吸着具。
【請求項１０】
前記吸着部は、前記被吸着部材に当接する当接パッドを備え、
前記当接パッドは、その中心部に形成された中心孔を備え、
前記吸着具本体は、前記当接状態で前記中心孔と外部とを連通できるように、前記中心孔から当該吸着具本体の外面に貫通するようにあけられた本体連通孔とを備え、
前記連通口は、前記中心孔から構成され、
前記連通路は、前記本体連通孔から構成されることを特徴とする請求項８に記載の吸着具。
【請求項１１】
前記吸着部は、前記被吸着部材に当接する当接パッドを備え、
前記当接パッドは、前記吸引口の周辺に設けられており、
前記被吸着部材に設けられた貫通孔は、前記当接パッドが設けられていない部分により外部と連通されていることを特徴とする請求項７に記載の吸着具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、および、負圧により被吸着部材を吸着する吸着具、特に、情報記録媒体用ガラス基板を吸着することに適した吸着具に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータなどに用いられる磁気ディスク記録装置、例えばハードディスクには、研磨パッドを有する研磨装置による研磨工程を経たアルミニウム合金またはガラスが基板として用いられている。この研磨後の基板上に金属磁気薄膜が形成され、金属磁気薄膜を磁気ヘッドで磁化することによって情報が記録される。このような情報記録媒体用ガラス基板の研磨の工程において、研磨装置の研磨パッドで研磨した情報記録媒体用ガラス基板は、研磨装置から取り出される際、従来、手によって行われていた。情報記録媒体用ガラス基板は、研磨液等で研磨パッドに張り付いた状態になっているため、手で外し難い。さらに、情報記録媒体用ガラス基板の表面に傷、凝集した砥粒粒子、或いはバクテリア等の異物を付着させてしまうおそれもある。【０００３】
そこで、情報記録媒体用ガラス基板を研磨装置の研磨パッドから取り出す吸着具が、例えば、特許文献１に開示されている。この吸着具は、当接パッドを有する吸着部（吸着面）を情報記録媒体用ガラス基板の表面に当接させるようにして前記吸着部に開口された吸引口（吸引穴）から吸引することによって前記吸着部で情報記録媒体用ガラス基板を吸着し、これにより、研磨した情報記録媒体用ガラス基板を研磨装置から取り出すことができるようにしている。【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の吸着具において、吸着具の吸着部で吸着すると、情報記録媒体用ガラス基板の表面に付着する異物数が多量に増加する問題が生じた。本出願人が緻密な調査を行なった結果、これは、特許文献１に開示の吸着具を用いた情報記録媒体用ガラス基板の取り出しに起因するものであると結論付けられた。【０００５】
より詳しくは、例えば、図１２に示すように、情報記録媒体用ガラス基板１００に当接させた吸着具ａの吸着部ｂに開口された吸引口ｃから吸引すると、吸着に際して情報記録媒体用ガラス基板１００の貫通孔１０１の空気も吸引して貫通孔１０１を通じて研磨パッド１１１が吸引されしまう場合がある。このような場合に、情報記録媒体用ガラス基板１００を研磨パッド１１１から取り外す際に、吸着具ａによる吸引力を強くする必要があるため、情報記録媒体用ガラス基板１００と吸着部ｂとの間に強い押圧が生じてしまう。そのため、吸着部ｂが有する異物が情報記録媒体用ガラス基板１００の表面に固着し、洗浄によっても除去できなくなる場合がある。その結果、情報記録媒体用ガラス基板１００の表面に付着する異物が多量に残存することが考えられる。【０００６】
また、貫通孔１０１内の空気が吸引された場合には、貫通孔１０１内が真空化するため、研磨パッド１１０が劣化したり、貫通孔１０１内に滞留していた研磨液や研磨粒子等が貫通孔１０１から吸引口ｃの方向に情報記録媒体用ガラス基板１００と吸着部ｂとの間を通って吸引された結果、情報記録媒体用ガラス基板１００に傷がついたり、異物が固着する問題が発生する場合がある。【０００７】
さらに、貫通穴１０１を介して情報記録媒体用ガラス基板１００と研磨装置１１０の研磨パッド１１１とが吸着されてしまうため、情報記録媒体用ガラス基板１００を研磨装置１１０の研磨パッド１１１から取り外し難くなり、取り外しの際にガラス基板１００の落下や、研磨パッド１１１の劣化により傷や異物が発生しやすくなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−２１６３１１号公報
【発明の概要】
【０００９】
本発明は、吸着部で情報記録媒体用ガラス基板を吸着した際に、情報記録媒体用ガラス基板の表面に付着する異物や傷等の数が多量に増加するおそれが少ない情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、および、情報記録媒体用ガラス基板を研磨装置の研磨パッドから取り外し易い吸着具の提供を目的とする。
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明にかかる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、中央部に貫通孔が設けられた円盤状の情報記録媒体用ガラス基板を製造する情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、中央部に貫通孔が設けられた円盤状のガラス素材の表面を研磨装置で研磨して情報記録媒体用ガラス基板を形成する工程、前記研磨された情報記録媒体用ガラス基板に吸着具を当接させて、前記情報記録媒体用ガラス基板に前記吸着具を吸着させた状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板を前記研磨装置から取り出す工程、とを有する。そして、前記吸着具は、吸引装置に吸引可能に接続される吸引用通気路を有する吸着具本体と、前記吸引用通気路と連通した吸引口を有し前記吸着具本体と一体的に設けられた吸着部とを備え、前記情報記録媒体用ガラス基板を前記研磨装置から取り出す工程においては、前記吸着部を前記情報記録媒体用ガラス基板に当接させた当接状態で、前記吸引装置の作動に伴い前記吸着部の吸引口から吸引用通気路を介して吸引させることにより、前記吸着部で前記情報記録媒体用ガラス基板が吸着されており、前記当接状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔が外部と連通されている。
【００１１】
この構成によれば、吸着部を情報記録媒体用ガラス基板に当接させた状態で、情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔と外部とを連通できるように構成されているため、吸着部で情報記録媒体用ガラス基板を吸着するに際し、吸引口から貫通孔内の空気が吸引される場合に、情報記録媒体用ガラス基板の貫通孔内に空気を導入でき、情報記録媒体用ガラス基板と研磨装置の研磨パッドとが吸着するおそれの少ないものにできる。したがって、このような構成の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法および吸着具は、吸着部で情報記録媒体用ガラス基板を強く吸着せずに済み、吸着部が有する異物が情報記録媒体用ガラス基板の表面に強く固着して残留するおそれの少ないものできる。しかも、このような構成の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法および吸着具は、情報記録媒体用ガラス基板を研磨装置の研磨パッドから取り外し易いものにできる。
【００１２】
上記並びにその他の本発明の目的、特徴および利点は、以下の詳細な記載と添付図面から明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明における第１実施形態の吸着具の正面図である。
【図２】図１の底面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】第１実施形態の吸着具で情報記録媒体用ガラス基板を吸着する際の断面説明図である。
【図５】吸着部を情報記録媒体用ガラス基板に位置ずれした状態で当接した状態の説明図である。
【図６】本発明における第２実施形態の吸着具の正面図である。
【図７】図６の底面図である。
【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線断面図である。
【図９】第１実施形態の吸着具と比較例とのそれぞれで情報記録媒体用ガラス基板を吸着した際の異物数に基づく情報記録媒体用ガラス基板の良品率を１０段階に分けた各段階に含まれるバッチ数を表した図表である。
【図１０】図９のバッチ数に基づいて作成したグラフの一例である。
【図１１】第１実施形態の吸着具と比較例とのそれぞれで吸着した情報記録媒体用ガラス基板の４個について、付着した異物（パーティクル）の数を測定してその数を表示した一例の図表である。
【図１２】外部連通用通気路を設けていない吸着具で情報記録媒体用ガラス基板を吸着する際の断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明にかかる実施の一形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、適宜、その説明を省略する。
【００１５】
図１は、本発明における第１実施形態の吸着具の正面図であり、図２は、図１の底面図であり、図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【００１６】
第１実施形態の吸着具１は、吸着具本体２と、吸着部３とを備えている。吸着具本体２は、把持部２１と、吸着操作部２２とを備えている。
【００１７】
把持部２１は、手で把持できる程度の径を有する円柱状体から構成されている。また、把持部２１の内部の軸心部に、軸方向に沿って軸方向の両端を貫通しかつ流体が通過することができるようにあけられた把持部用通気孔２３ａが設けられている。
【００１８】
また、把持部２１における軸方向の第１端（図の上端）には、吸引装置接続部２４が設けられている。そして、この吸引装置接続部２４に吸引装置（図示せず）の接続ホース２７の接続具２６が接続されるようになっており、これにより、把持部用通気孔２３ａが前記吸引装置に吸引可能に接続される。
【００１９】
また、把持部２１における外周面には、その外周面から把持部用通気孔２３ａに貫通するようにあけられた開閉操作用孔２５が設けられている。この開閉操作用孔２５は、この実施形態では、手の指で塞ぐことができる程度の大きさで構成されている。
【００２０】
吸着操作部２２は、把持部２１よりも径が大きい円板状体から構成されており、把持部２１の軸方向の第２端（図の下端）に連結されている。把持部２１における、この第２端は、前記第１端とは異なる軸方向の他方端である。この実施形態では、吸着操作部２２は、把持部２１と一体的に形成された第１吸着操作部２２ａと、第１吸着操作部２２ａに取り付けられた第２吸着操作部２２ｂとの２つから構成されている。
【００２１】
第１吸着操作部２２ａの内部には、保持部用通気孔２３ｂが設けられている。この保持部用通気孔２３ｂの第１端（図の上端）は、把持部用通気孔２３ａと連通されている。
【００２２】
また、この保持部用通気孔２３ｂの第２端（図の下端）には、３つの分岐孔２３ｃが設けられている。分岐孔２３ｃは、それぞれ、保持部用通気孔２３ｂから径方向外方に延ばされるように形成されている。各分岐孔２３ｃは、周方向で互いに等間隔に設けられている。この実施形態では、分岐孔２３ｃは、第１吸着操作部２２ａの軸心を中心とした略直径４０ｍｍの円周上まで延ばされ、その円周上に分岐孔端２３ｄが形成されている。
【００２３】
第２吸着操作部２２ｂは、第１吸着操作部２２ａと略同じ径の円板状体から構成されている。また、第２吸着操作部２２ｂにおける軸方向の第１端（図の上端）は、第１吸着操作部２２ａに連結される連結部２２ｃを構成している。一方、第２吸着操作部２２ｂにおける軸方向の第２端（図の下端）には、後述のように吸着部３が設けられている。第２吸着操作部２２ｂにおける、この第２端は、前記第１端とは異なる軸方向の他方端である。
【００２４】
また、第２吸着操作部２２ｂには、軸方向に沿って、連結部２２ｃから吸着部３それぞれに貫通するようにあけられた３つの吸引用貫通孔２３ｅが設けられている。これらの吸引用貫通孔２３ｅは、第１吸着操作部２２ａの分岐孔２３ｃの分岐孔端２３ｄに対応する位置に形成されている。
【００２５】
そして、このように構成された第２吸着操作部２２ｂは、その連結部２２ｃが第１吸着操作部２２ａに合わされ、その状態でボルト５を介して固定的に連結されている。また、この連結状態で、各吸引用貫通孔２３ｅと吸着保持部２２の分岐孔２３ｃの分岐孔端２３ｄとが合致して連通されている。
【００２６】
これにより、３つの吸引用貫通孔２３ｅと、保持部用通気孔２３ｂと、把持部用通気孔２３ａとが連通し、これらによって吸引用通気路２３が構成されている。
【００２７】
吸着部３は、上述のように、第２吸着操作部２２ｂの第２端の端面に設けられている。また、この吸着部３は、この実施形態では、当接パッド３２を備えている。当接パッド３２は、吸着操作部２２の外径と同程度（この実施形態では、４９ｍｍ）の外径を有する円形状（円板状）のものから構成されている。また、当接パッド３２は、３つの吸引口３３と、連通口としての中心孔３２ａと、連通路としての溝３２ｂとを備えている。
【００２８】
吸引口３３は、それぞれ、吸着部本体３１の吸引用貫通孔２３ｅに対応する位置に設けられている。
【００２９】
中心孔３２ａは、この実施形態では、後述の情報記録媒体用ガラス基板１００の貫通孔１０１（図４に図示）と同じかまたはやや大きい程度の大きさのものから構成されている。したがって、中心孔３２ａは、吸引口３３の径内側に配設されている。
【００３０】
溝３２ｂは、この実施形態では、２ｍｍ程度の細幅で、中心孔３２ａから外周端まで、当接パッド３２の一部をカットするようにして形成されている。そして、この溝３２ｂと上記中心孔３２ａとで、外部連通用通気路３４を構成する。
【００３１】
そして、この当接パッド３２は、第２吸着操作部２２ｂの第２端に取り付けられ、その取り付け状態で、当接パッド３２の吸引口３３は、それぞれ、吸着具本体２における吸引用通気路２３の吸引用貫通孔２３ｅに合致して連通している。
【００３２】
なお、この実施形態では、当接パッド３２にできるバリを防止するため、コンパスカッターにより切り出したものを用いている。また、吸引口３３を、ホールパンチにより作成している。
【００３３】
また、当接パッド３２の材質は、特に限定されないが、後述の研磨装置１１０の研磨パッド１１１（図４に図示）と同じ材質のものを用いるのが好ましい。これにより、情報記録媒体用ガラス基板１００（図４、図５に図示）を吸着支持した際に情報記録媒体用ガラス基板１００に傷を付けるおそれが少なく、また、当接パッド３２が研磨パッド１１１に当たった場合にも、研磨パッド１１１が損傷するおそれの少ないものにできる。また、当接パッド３２の硬さは、Ａｓｋｅｒ硬度で７５以下のものが好ましい。
【００３４】
以上のように構成された吸着具１は、例えば情報記録媒体用ガラス基板の製造工程における研磨工程で、被吸着部材として情報記録媒体用ガラス基板を吸着して研磨装置から取り出すのに用いられる。
【００３５】
この被吸着部材としての情報記録媒体用ガラス基板１００は、図４、図５に示すように貫通孔１０１を有するドーナツ状（環状）の円板状のものであり、例えば外径が６５ｍｍ、内径が２０ｍｍ、板厚が０．６３５ｍｍのものである。
【００３６】
また、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、例えば次のような工程を有するものである。まず、貫通孔１０１を有する円盤状の板状ガラス素材が形成される。次に、その板状ガラス素材の表面をラッピングするラッピング工程が実施される。次に、そのラッピングした表面を研磨装置を用いて粗研磨する粗研磨工程と、粗研磨工程で研磨した板状ガラス素材の表面を更に表面粗さを小さく研磨して情報記録媒体用ガラス基板に形成する精密研磨工程との２つからなる研磨工程が実施される。次に、その精密研磨工程で研磨した情報記録媒体用ガラス基板を研磨装置から取り出す取り出し工程が実施される。そして、その取り出した情報記録媒体用ガラス基板を洗浄する洗浄工程が実施される。
【００３７】
また、上記精密研磨工程で使用する研磨装置１１０は、図４に示すように、例えば下定盤１１２と、図示しない上定盤とを備えている。下定盤１１２の上面には、研磨パッド１１１が配設されている。また、図示しないが、上定盤の下面にも、その研磨パッド１１１と同構成を採る研磨パッドが設けられている。
【００３８】
そして、下定盤１１２の研磨パッド１１１と上定盤の研磨パッドとの間に板状ガラス素板１００が配設される。この実施形態では、研磨装置１１０は、同時に１００枚の板状ガラス素板１００を配設でき、１バッチで１００枚の板状ガラス素板１００を研磨処理できる。
【００３９】
そして、これら上記間に研磨液が供給されながら、下定盤１１２と上定盤とが相対回転等される。これにより、両研磨パッド１１１によって、情報記録媒体用ガラス基板１００の表面が研磨される。
【００４０】
次に、この第１実施形態の吸着具１の動作について説明する。なお、上記精密研磨工程で用いる研磨装置１１０で研磨した後の情報記録媒体用ガラス基板１００を研磨装置１１０から取り出す場合を例にして説明する。
【００４１】
吸着具１の吸引装置接続部２４に吸引装置を接続し吸引装置を作動させた状態で、操作者は、例えば図４に示すように、研磨装置１１０によって表面を研磨し終えて下定盤１１２の研磨パッド１１１上にある情報記録媒体用ガラス基板１００の表面に、吸着具１の吸着部３の当接パッド３２を当接させる。
【００４２】
これにより、情報記録媒体用ガラス基板１００の貫通孔１０１と外部とが、外部連通用通気路３４をなす当接パッド３２の中心孔３２ａおよび溝３２ｂを介して連通した状態になる。
【００４３】
また、その際、当接パッド３２の中心を、情報記録媒体用ガラス基板１００の中心に合わせるようにして情報記録媒体用ガラス基板１００の全体が当接されてもよいが、例えば図５に示すように、当接パッド３２の中心が、情報記録媒体用ガラス基板１００の中心から多少ずれても、本実施形態の吸着具１は、情報記録媒体用ガラス基板１００の貫通孔１０と中心孔３２ａとの一部同士が重なり、中心孔３２ａおよび溝３２ｂを介して情報記録媒体用ガラス基板１００の貫通孔１０１と外部とを連通した状態にできる。
【００４４】
従って、例えば下定盤１１２の研磨パッド１１１上にある情報記録媒体用ガラス基板１００が研削液の反射等の影響によりその位置が明確に把握し難い場合でも、本実施形態の吸着具１は、容易に中心孔３２ａおよび溝３２ｂを介して情報記録媒体用ガラス基板１００の貫通孔１０と外部とを連通した状態にできる。
【００４５】
そして、この状態で、操作者は、開閉操作用孔２５を、例えばその手の指で塞ぐ。これにより、吸引用通気路２３を介して吸引口３３から吸引して当接パッド３２に情報記録媒体用ガラス基板１００が吸着される。
【００４６】
その際、例えば図１２に示すように外部連通用通気路を有しない吸着具において、当接パッド３２が押圧・経年劣化によって歪を持つような場合には、情報記録媒体用ガラス基板１００と当接パッド３２との間に間隙が生じやすく、吸着に際して情報記録媒体用ガラス基板１００の貫通孔１０１の空気も吸引して貫通孔１０１を通じて研磨パッド１１１が吸引されてしまう場合がある。
【００４７】
しかし、この実施形態では、吸着具１は、外部連通用通気路３４を構成する中心孔３２ａおよび溝３２ｂを介して貫通孔１０１に空気を導入でき、吸引口３３および貫通孔１０１を通じて研磨パッド１１１が吸引されるおそれの少ないものにできる。
【００４８】
したがって、この実施形態の吸着具１は、当接パッド３２が有する異物が情報記録媒体用ガラス基板１００の表面に付着するおそれの少ないものにできる。しかも、この実施形態の吸着具１は、情報記録媒体用ガラス基板１００を研磨パッド１１１から取り外し易いものにできる。
【００４９】
また、例えば研磨装置１１０の下定盤１１２の研磨パッド１１１が、例えば図５の一点鎖線で示すように、その表面に、複数の凹溝１１１ａを有したものであるが、隣接する凹溝１１１ａ同士の間隔Ｌ１が貫通孔１０１の直径よりも大きくて情報記録媒体用ガラス基板１００が重ねあわされた場合に凹溝１１１ａ同士の間の部分で貫通孔１０１を下方側（一面側）から隙間無く塞いでしまうもの、或いは、そのような凹溝１１１ａを全く有しないものである場合には、上記のように、貫通孔１０１を通じて研磨パッド１１１が吸引され易くなる。しかし、この実施形態の吸着具１は、外部連通用通気路３４によって、そのようなことを防止できる。したがって、この実施形態の吸着具１では、研磨装置１１０に種々の研磨パッドが使用でき、研磨装置１１０は、使用便利なものにできる。
【００５０】
次に、上記第１実施形態の吸着具１を用いて研磨装置から取り出した情報記録媒体用ガラス基板１００の異物の検査を行ったので、以下に説明する。
【００５１】
まず、公知の手法により粗加工工程まで完了したガラス基板が用いられ、ガラス基板が１００枚で１バッチとする精密研磨加工が４８バッチ分行われた。精密研磨加工には、平均粒子径が２０ｎｍ程度のコロイダルシリカが用いられた。そして、それらが、上記第１実施形態の吸着具１（実施例）を用いて吸着して取り出され、その取り出された情報記録媒体用ガラス基板に対し、洗剤を用いた超音波洗浄、リンス処理、フッ酸を用いた表面処理が行われた。そして、このようにして得られた情報記録媒体用ガラス基板の表面が、Ｈｅ−Ｎｅレーザ光源を用いた表面検査装置ＳＳＩ−６４０（システム精工社製）によって調べられ、情報記録媒体用ガラス基板の表面に付着している異物の数に基づいて、４８バッチそれぞれについてその良品率が調べられた。
【００５２】
そして、検査結果は、良品率を１０段階に分け、各段階に含まれるバッチ数を図９に数値で示すとともに、図１０に、図９の数値に基づいて作成した棒グラフを表記した（図１０の実施例）。
【００５３】
また、上記洗浄工程を経て得られた情報記録媒体用ガラス基板がランダム（無作為）に４個、抜き出され、表面欠陥検査装置ＯＳＡ−６３００（ＫＬＡ社）によって、観測され、図１１に示すように、付着した異物（パーティクル）の数が確認されるとともに、これらの異物の種類が原子間力顕微鏡等の手法によって確認された。その結果、それらの異物は、主にシリカが付着したものであった。
【００５４】
また、比較例として、外部連通用通気路を有しない吸着具が作成され（外部連通用通気路を有しないこと以外は上記第１実施形態の吸着具１と同じもので、図１２に示した吸着具と同等のもの）、この比較例の吸着具を用いて、上記と同様に、良品率が調べられた。
【００５５】
その結果は、図９、図１０に示すように、比較例を用いたものに比べ、第１実施形態の吸着具１を用いた方が良品率の良いバッチ数が多く、また、図１１に示すように、付着した異物（パーティクル）の数も少なく、シリカの付着が有意に抑えられることが確認できた。
【００５６】
次に、第２実施形態の吸着具２００について、図６ないし図８に基づいて説明する。第２実施形態の吸着具２００における吸着部２０３の当接パッド２３２は、先の第１実施形態のものと同様に、３つの吸引口２３３と、中心孔２３２ａとを備えているが、この第２実施形態の当接パッド２３２は、先の第１実施形態の当接パッド３２における溝３２ｂに相当するものが設けられていない。
【００５７】
また、吸着具本体２０２の吸着操作部２２２は、中心孔２３２ａと外部とを連通した連通路としての本体連通孔２３１を備えている。この本体連通孔２３１は、吸着操作部２２２の第１吸着操作部２２２ａに設けられた第１本体連通孔２３４ａと、吸着操作部２２２の第２吸着操作部２２２ｂに設けられた第２本体連通孔２３４ｂとから構成されている。
【００５８】
第２本体連通孔２３４ｂは、上記中心孔２３２ａと連通するように形成されている。また、第１本体連通孔２３４ａは、第２本体連通孔２３４ｂと外部とを連通するように形成されている。第２本体連通孔２３４ｂは、第１吸着操作部２２２ａの上面で外部に臨んでいる。そして、これらの第１本体連通孔２３４ａと第２本体連通孔２３４ｂとから構成され本体連通孔２３１と、中心孔２３２ａとで、外部連通用通気路２３４が構成されている。第２実施形態のその他は、先の第１実施形態のものと同構成である。
【００５９】
なお、上記実施形態では、吸着部は、当接パッドを備えたものとし、当接パッドに、外部連通用通気路としての中心孔および溝を設け、或いは、当接パッドに、外部連通用通気路の一部を構成する中心孔を設けているが、この形態のものに限らず、適宜変更できる。
【００６０】
例えば、吸着部は、当接パッドを有しないものから構成し、第２吸着操作部の第２端に円形状の凹部およびその凹部から外周端に延ばした溝を設けるようにしてもよい。
【００６１】
また、上記実施形態では、中心孔を、情報記録媒体用ガラス基板の貫通穴と同程度の大きさのものから構成しているが、中心孔の大きさは、特に限定されず、例えば溝の幅と同程度の径の孔でもよい。
【００６２】
また、当接パッドを設ける場合に、当接パッドの大きさは、情報記録媒体用ガラス基板の外径よりも大きいものでも小さいものでもよく、特に限定されない。また、当接パッドに溝を設ける場合に、溝の幅についても、適宜変更できる。さらには、溝を２以上の複数、設けてもよく、適宜変更できる。
【００６３】
また、上記実施形態では、吸着具１、２００は、精密研磨工程で用いる研磨装置１１０で研磨した後の情報記録媒体用ガラス基板１００を研磨装置１１０から取り出すために使用されたが、この形態のものに限らず、適宜変更できる。吸着具１、２００は、例えば、粗研磨工程で用いる研磨装置で粗研磨した後の板状ガラス素材を研磨装置から取り出すために使用することもできる。
【００６４】
また、上記第１実施形態では、当接パッドは、連通路としての溝を備えたものとし、上記第２実施形態では、吸着具本体は、連通路としての本体連通孔を備えたものとしているが、当接パッドは、溝を備えたものとするとともに、吸着具本体は、本体連通孔を備えたものとしてもよく、適宜変更できる。
【００６５】
また、別の実施形態として、吸着具は、当接パッドを設ける場合に、吸引口の周辺部の一部のみに当接パッドが設けられ、当接パッドが設けられない部分により、情報記録媒体用ガラス基板の貫通孔と外部とが連通されるような構成とされてもよい。
【００６６】
また、上記実施形態の吸着具１、２００は、開閉操作用孔２５を設け、この開閉操作用孔２５を開閉することにより、被吸着部材として情報記録媒体用ガラス基板１００を着脱するように構成されているが、この形態のものに限らず、適宜変更できる。吸着具１、２００は、例えば、開閉操作用孔２５を設けずに、吸引装置を操作スイッチによる操作によって情報記録媒体用ガラス基板１００を着脱するように構成されてもよい。
【００６７】
本明細書は、上記のように様々な態様の技術を開示しているが、そのうち主な技術を以下に纏める。
【００６８】
一態様にかかる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、中央部に貫通孔が設けられた円盤状の情報記録媒体用ガラス基板を製造する情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、中央部に貫通孔が設けられた円盤状のガラス素材の表面を研磨装置で研磨して情報記録媒体用ガラス基板を形成する工程と、前記研磨された情報記録媒体用ガラス基板に吸着具を当接させて、前記情報記録媒体用ガラス基板に前記吸着具を吸着させた状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板を前記研磨装置から取り出す工程、とを有する。
【００６９】
そして、前記吸着具は、吸引装置に吸引可能に接続される吸引用通気路を有する吸着具本体と、前記吸引用通気路と連通した吸引口を有し前記吸着具本体と一体的に設けられた吸着部とを備え、前記情報記録媒体用ガラス基板を前記研磨装置から取り出す工程において、前記吸着部を前記情報記録媒体用ガラス基板に当接させた当接状態で、前記吸引装置の作動に伴い前記吸着部の吸引口から吸引用通気路を介して吸引させることにより、前記吸着部で前記情報記録媒体用ガラス基板が吸着されており、前記当接状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔が外部と連通されている。
【００７０】
この構成によれば、吸着部を情報記録媒体用ガラス基板に当接させた状態で、情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔と外部とを連通できるように構成されているため、このような構成の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、吸着部で情報記録媒体用ガラス基板を吸着するに際し、吸引口から貫通孔内の空気が吸引される場合に、情報記録媒体用ガラス基板の貫通孔内に空気を導入でき、情報記録媒体用ガラス基板と研磨装置の研磨パッドとが吸着するおそれの少ないものにできる。したがって、この製造方法は、吸着部で情報記録媒体用ガラス基板を強く吸着せずに済み、吸着部が有する異物が情報記録媒体用ガラス基板の表面に強く固着して残留するおそれの少ないものできる。しかも、この製造方法は、情報記録媒体用ガラス基板を研磨装置の研磨パッドから取り外し易いものにできる。
【００７１】
また、他の一態様では、上記の態様において、前記研磨装置は、前記円盤状のガラス素材の表面を研磨する研磨パッドを備え、前記研磨パッドとして、前記円盤状のガラス素材が重ね合わされた際に、前記貫通孔を前記円盤状のガラス素材の一面側から塞ぎ得るものを用いることが好ましい。
【００７２】
この構成によれば、例えば表面に凹溝を全く有しない研磨パッド、あるいは、表面に凹溝を有するが凹溝同士の間隔が貫通孔の直径よりも大きくて板状ガラス素材が重ね合わされた際に、凹溝同士の間の部分が貫通孔を一面側から塞いでしまうような研磨パッドを用いた場合でも、外部連通用通気路によって、吸着部で研磨した情報記録媒体用ガラス基板を吸着するに際して貫通孔内の空気が吸引されると、外部連通用通気路から貫通孔内に空気が導入され得る。したがって、このような構成の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法は、平面性の高い種々の研磨パッドを使用でき、研磨の均一性を高めることができる。
【００７３】
また、他の一態様にかかる吸着具は、吸引装置に吸引可能に接続される吸引用通気路を有する吸着具本体と、前記吸引用通気路と連通した吸引口を有し前記吸着具本体と一体的に設けられた吸着部とを備え、前記吸着部を貫通孔を有する円盤状の被吸着部材に当接させた当接状態で前記吸引装置の作動に伴い前記吸着部の吸引口から吸引用通気路を介して吸引させることにより、吸着部で被吸着部材を吸着可能とした吸着具であって、前記当接状態で、前記非吸着部材に設けられた貫通孔が外部と連通し得るように構成される。
【００７４】
このような構成の吸着具は、吸着部を被吸着部材に当接させた状態で、被吸着部材に設けられた貫通孔と外部とを連通できるように構成されているため、吸着部で被吸着部材を吸着するに際し、吸引口から貫通孔内の空気が吸引される場合に、被吸着部材の貫通孔内に空気を導入でき、被吸着部材と研磨装置の研磨パッドとが吸着するおそれの少ないものにできる。したがって、このような構成の吸着具は、吸着部で被吸着部材を強く吸着せずに済み、吸着部が有する異物が被吸着部材の表面に強く固着して残留するおそれの少ないものできる。しかも、このような構成の吸着具は、被吸着部材を研磨装置の研磨パッドから取り外し易いものにできる。
【００７５】
また、他の一態様では、これら上述の態様において、前記吸着具は、前記当接状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板（被吸着部材）に設けられた貫通孔と外部とを連通し得るように構成された外部連通用通気路を備え、前記外部連通用通気路は、前記吸着部に開口されて前記当接状態で前記貫通孔に連通するように配設される連通口と、その連通口と外部とを連通した連通路とを備えていることが好ましい。
【００７６】
このような形態によれば、被吸着部材に設けられた貫通孔と外部とを簡易な構成で連結させることができる。
【００７７】
また、他の一態様では、上述の吸着具において、前記吸着部は、前記被吸着部材に当接する当接パッドを備え、前記当接パッドは、その中心部に形成された中心孔と、前記当接状態で前記中心孔と外部とを連通できるように、前記中心孔から当該当接パッドの外周端に延ばされた溝とを備え、前記連通口は、前記中心孔から構成され、前記連通路は、前記溝を有していることが更に好ましい。
【００７８】
このような構成の吸着具は、外部連通用通気路を容易に形成できる。また、例えば中心孔を、情報記録媒体用ガラス基板の貫通孔と同程度の大きさに形成しておけば、当接パッドを情報記録媒体用ガラス基板に当接させる際に、当接パッドが情報記録媒体用ガラス基板に対して所定位置から位置ずれした場合でも、このような構成の吸着具は、中心孔を情報記録媒体用ガラス基板の貫通孔に連通させることができ、貫通孔を外部に連通させた状態にできる。したがって、このような構成の吸着具は、情報記録媒体用ガラス基板に吸着させる際の作業を容易なものにできる。
【００７９】
また、他の一態様では、いずれか上述の吸着具において、前記吸着部は、前記被吸着部材に当接する当接パッドを備え、前記当接パッドは、その中心部に形成された中心孔を備え、前記吸着具本体は、前記当接状態で前記中心孔と外部とを連通できるように、前記中心孔から当該吸着具本体の外周に貫通するようにあけられた本体連通孔とを備え、前記連通口は、前記中心孔から構成され、前記連通路は、前記本体連通孔を有していることも好ましい。
【００８０】
このような構成の吸着具は、例えば当接パッドを情報記録媒体用ガラス基板に強い力で押し付けた場合でも外部連通用通気路が塞がれることがなく、確実に貫通孔と外部とを連通させた状態に維持できる。
【００８１】
また、他の一態様では、いずれか上述の吸着具において、前記吸着部は、前記情報記録媒体用ガラス基板に当接する当接パッドを備え、前記当接パッドは、前記吸引口の周辺を含む一部に設けられており、前記情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔は、前記当接パッドが設けられていない部分により外部と連通されていることも好ましい。
【００８２】
このような構成の吸着具は、吸着具と情報記録用媒体との接触する部分を低減させることも可能となり、傷や異物の付着をより低減することが可能となる。
【００８３】
この出願は、２０１０年６月３０日に出願された日本国特許出願特願２０１０−１４８９３７を基礎とするものであり、その内容は、本願に含まれるものである。
【００８４】
本発明を表現するために、上述において図面を参照しながら実施形態を通して本発明を適切且つ十分に説明したが、当業者であれば上述の実施形態を変更および／または改良することは容易に為し得ることであると認識すべきである。したがって、当業者が実施する変更形態または改良形態が、請求の範囲に記載された請求項の権利範囲を離脱するレベルのものでない限り、当該変更形態または当該改良形態は、当該請求項の権利範囲に包括されると解釈される。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
本発明は、情報記録媒体用ガラス基板の製造方法および負圧により被吸着部材を吸着する吸着具を提供することができる。
【図１】
2012001913.tif 000003
【図２】
2012001913.tif 000004
【図３】
2012001913.tif 000005
【図４】
2012001913.tif 000006
【図５】
2012001913.tif 000007
【図６】
2012001913.tif 000008
【図７】
2012001913.tif 000009
【図８】
2012001913.tif 000010
【図９】
2012001913.tif 000011
【図１０】
2012001913.tif 000012
【図１１】
2012001913.tif 000013
【図１２】
2012001913.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成24年2月2日(2012.2.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部に貫通孔が設けられた円盤状の情報記録媒体用ガラス基板を製造する情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、
中央部に貫通孔が設けられた円盤状のガラス素材の表面を研磨装置で研磨して情報記録媒体用ガラス基板を形成する工程と、
前記研磨された情報記録媒体用ガラス基板に吸着具を当接させて、前記情報記録媒体用ガラス基板に前記吸着具を吸着させた状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板を前記研磨装置から取り出す工程、とを有し、
前記吸着具は、吸引装置に吸引可能に接続される吸引用通気路を有する吸着具本体と、前記吸引用通気路と連通した吸引口を有し前記吸着具本体と一体的に設けられた吸着部とを備え、
前記情報記録媒体用ガラス基板を前記研磨装置から取り出す工程においては、前記吸着部を前記情報記録媒体用ガラス基板に当接させた当接状態で、前記吸引装置の作動に伴い前記吸着部の吸引口から吸引用通気路を介して吸引させることにより、前記吸着部で前記情報記録媒体用ガラス基板が吸着されており、
前記吸着具は、
前記当接状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔と外部とを連通し得るように構成された外部連通用通気路を備え、
前記外部連通用通気路は、前記吸着部に開口されて前記当接状態で前記貫通孔に連通するように配設される連通口と、その連通口と外部とを連通した連通路とを備えており、
前記吸着部は、前記情報記録媒体用ガラス基板に当接する当接パッドを備え、
前記当接パッドは、その中心部に形成された中心孔と、前記当接状態で前記中心孔と外部とを連通できるように、前記中心孔から当該当接パッドの外周端に延ばされた溝とを備え、
前記連通口は、前記中心孔から構成され、
前記連通路は、前記溝から構成されており、
前記当接状態で、前記情報記録媒体用ガラス基板に設けられた貫通孔が外部と連通されていることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項２】
前記研磨装置は、前記円盤状のガラス素材の表面を研磨する研磨パッドを備え、
前記研磨パッドとして、前記円盤状のガラス素材が重ね合わされた際に、前記貫通孔を前記円盤状のガラス素材の一面側から塞ぎ得るものを用いることを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
【請求項３】
吸引装置に吸引可能に接続される吸引用通気路を有する吸着具本体と、前記吸引用通気路と連通した吸引口を有し前記吸着具本体と一体的に設けられた吸着部とを備え、
前記吸着部を貫通孔を有する円盤状の被吸着部材に当接させた当接状態で前記吸引装置の作動に伴い前記吸着部の吸引口から吸引用通気路を介して吸引させることにより、吸着部で被吸着部材を吸着可能とした吸着具であって、
前記吸着具は、
前記当接状態で、前記被吸着部材に設けられた貫通孔と外部とを連通し得るように構成された外部連通用通気路を備え、
前記外部連通用通気路は、前記吸着部に開口されて前記当接状態で前記貫通孔に連通するように配設される連通口と、その連通口と外部とを連通した連通路とを備え、
前記吸着部は、前記被吸着部材に当接する当接パッドを備え、
前記当接パッドは、その中心部に形成された中心孔と、前記当接状態で前記中心孔と外部とを連通できるように、前記中心孔から当該当接パッドの外周端に延ばされた溝とを備え、
前記連通口は、前記中心孔から構成され、
前記連通路は、前記溝から構成されており、
前記当接状態で、前記被吸着部材に設けられた貫通孔が外部と連通し得るように構成されたことを特徴とする吸着具。
【国際調査報告】
2012001913.tif 000015
2012001913.tif 000016
2012001913.tif 000017
2012001913.tif 000018