(57)【要約】  本発明はロータリバルブ及びこれを用いた極低温冷凍機に係り、本体側流路が形成されたバルブ本体と、プレート側流路が形成されたバルブプレートとを有しており、前記バルブ本体の本体側摺動面を前記バルブプレートのプレート側摺動面に密着させると共に、前記バルブプレートを回転させることにより、前記本体側流路と前記プレート側流路の接続状態を切換えるロータリバルブであって、前記バルブプレートを、前記プレート側摺動面を有する樹脂製のバルブ摺動体と、該バルブ摺動体を収納する収納室が形成された非磁性材よりなるバルブプレート本体とを備える。
2011132563.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体側流路が形成されたバルブ本体と、プレート側流路が形成されたバルブプレートとを有しており、前記バルブ本体の本体側摺動面を前記バルブプレートのプレート側摺動面に密着させると共に、前記バルブプレートを回転させることにより、前記本体側流路と前記プレート側流路の接続状態を切換えるロータリバルブであって、
前記バルブプレートを、前記プレート側摺動面を有する樹脂製のバルブ摺動体と、該バルブ摺動体を収納する収納室が形成された非磁性材よりなるバルブプレート本体とを有する構成としたことを特徴とするロータリバルブ。
【請求項２】
前記バルブプレートは、前記バルブ摺動体の前記バルブプレート本体に対する回転を規制する回転規制部材を有することを特徴とする請求項１記載のロータリバルブ。
【請求項３】
前記バルブ摺動体は、前記バルブプレート本体に対して着脱可能な構成であることを特徴とする請求項１記載のロータリバルブ。
【請求項４】
前記バルブ本体は、磁性材料により形成されてなることを特徴とする請求項１記載のロータリバルブ。
【請求項５】
吸気口から吸入された冷媒ガスを圧縮して排出口に排出するする圧縮機と、
前記冷媒ガスが供給されるシリンダと、
該シリンダ内で往復移動して前記シリンダ内で圧縮された前記冷媒ガスを膨張させるディスプレーサと、
前記ディスプレーサを前記シリンダ内で往復移動させる駆動装置と、
請求項１記載のロータリバルブとを有しており、
前記バルブ本体の前記本体側流路を、前記排出口に接続される第１の本体側流路と、前記シリンダに接続される第２の本体側流路とにより構成し、
前記ロータリバルブの前記バルブプレートに形成されたプレート側流路を前記吸気口に接続するよう構成し、
前記バルブプレートが回転することにより、前記第２の本体側流路が前記第１の本体側流路又は前記プレート側流路に選択的に接続するよう構成したことを特徴とするロータリバルブを用いた極低温冷凍機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はロータリバルブ及びこれを用いた極低温冷凍機に係り、特にバルブ本体に当接させたバルブプレートを回転させることにより流路の切換えを行うロータリバルブ及びこれを用いた極低温冷凍機に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ロータリバルブ方式のギフォード・マクマホン（ＧＭ）冷凍機では、ステータ及びロータとなる２枚の円盤を押し付けながらロータを回転させ、冷媒ガスの気密とバルブの切換えを行っている（特許文献１）。【０００３】
図５は、従来のＧＭ冷凍機に用いられていたロータリバルブ１００を示している。従来のロータリバルブ１００は、摺動面１０１ａを有するバルブ本体１０１（ステータ）と摺動面１０２ａを有するバルブプレート１０２（ロータ）とにより構成されている。バルブ本体１０１には第１及び第２のガス流路１０４，１０５が形成されており、またバルブプレート１０２には溝部１０６及びガス流路１０７が形成されている。【０００４】
バルブプレート１０２は回転軸受１０３に回転可能に支持されており、図示しない回転駆動機構により回転する構成とされている。これに対して、バルブ本体１０１は回転不能な構成とされており、またバルブプレート１０２に向け押圧付勢される。バルブ本体１０１がバルブプレート１０２に押し付けられることにより、各摺動面１０１ａ，１０２ａは気密に摺接する。【０００５】
各ガス流路１０４，１０５，１０７の一端部及び溝部１０６は、摺動面１０１ａ，１０２ａに開口している。よってバルブプレート１０２が回転させることにより、第２のガス流路１０５がガス流路１０７とが連通する状態と、第２のガス流路１０５が溝部１０６を介して第１のガス流路１０４と連通する状態との間で切換え処理を行うことができる。【０００６】
ところでＧM冷凍機は、MRI（Magnetic Resonance Imaging system：磁気共鳴画像装置）等の磁場中で使用されることが多く、磁場中で磁性体の構造物を動かすと磁場を乱すという問題がある。このため、従来では回転側であるバルブプレート１０２にはアルミニウム等の非磁性材料を使用し、固定側であるバルブ本体１０１は高機能樹脂を用いていた。更に、バルブプレート１０２のバルブ本体１０１と摺接する摺動面１０２ａを保護するため、全体に硬質アルマイトを実施することにより表面処理層１０８を形成し、更にこの表面処理層１０８を表面研磨することが実施されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２０５５８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら従来のロータリバルブ１００では、上記のようにバルブプレート１０２に表面処理層１０８を形成すると共に、この表面処理層１０８を表面研磨する処理が必要となり作製が面倒で、これによりバルブプレート１０２が非常に高価になってしまうという問題点があった。また定期メンテ時においては、バルブ本体１０１及びバルブプレート１０２の両方を交換する必要があり、メンテナンスに要する交換部品コストも高価となるという問題点があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述した従来技術の問題を解決する、改良された有用なロータリバルブ及びこれを用いた極低温冷凍機を提供することを総括的な目的とする。【００１０】
本発明のより詳細な目的は、低コスト化を図りうるロータリバルブ及びこれを用いた極低温冷凍機を提供することにある。【００１１】
この目的を達成するために、本発明は、
本体側流路が形成されたバルブ本体と、プレート側流路が形成されたバルブプレートとを有しており、前記バルブ本体の本体側摺動面を前記バルブプレートのプレート側摺動面に密着させると共に、前記バルブプレートを回転させることにより、前記本体側流路と前記プレート側流路の接続状態を切換えるロータリバルブであって、
前記バルブプレートを、前記プレート側摺動面を有する樹脂製のバルブ摺動体と、該バルブ摺動体を収納する収納室が形成された非磁性材よりなるバルブプレート本体とを有する構成としたことを特徴とするものである。【００１２】
また上記発明において、前記バルブプレートが、前記バルブ摺動体の前記バルブプレート本体に対する回転を規制する回転規制部材を有する構成としてもよい。【００１３】
また上記発明において、前記バルブ摺動体を前記バルブプレート本体に対して着脱可能な構成としてもよい。【００１４】
また上記発明において、前記バルブ本体を鋼により構成してもよい。【００１５】
また、上記の目的を達成するために、本発明は、
吸気口から吸入された冷媒ガスを圧縮して排出口に排出するする圧縮機と、
前記冷媒ガスが供給されるシリンダと、
該シリンダ内で往復移動して前記シリンダ内で圧縮された前記冷媒ガスを膨張させるディスプレーサと、
前記ディスプレーサを前記シリンダ内で往復移動させる駆動装置と、
上記のロータリバルブとを有しており、
前記バルブ本体の前記本体側流路を、前記排出口に接続される第１の本体側流路と、前記シリンダに接続される第２の本体側流路とにより構成し、
前記ロータリバルブの前記バルブプレートに形成されたプレート側流路を前記吸気口に接続するよう構成し、
前記バルブプレートが回転することにより、前記第２の本体側流路が前記第１の本体側流路又は前記プレート側流路に選択的に接続するよう構成したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、バルブプレートをプレート側摺動面を有する樹脂製のバルブ摺動体と、このバルブ摺動体を収納する収納室が形成されたバルブプレート本体とを有する構成としたため、プレート側摺動面に従来のような表面研磨処理が不要となり、ロータリバルブ及び極低温冷凍機のコスト低減を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態であるロータリバルブ及びこれを用いた極低温冷凍機を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態であるロータリバルブの分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態であるロータリバルブを分解した状態の断面図である。
【図４】本発明の一実施形態であるロータリバルブの断面図である。
【図５】従来の一例であるロータリバルブの断面図である。
【符号の説明】
【００１８】
１    ガス圧縮機
２    コールドヘッド
３Ａ    第１段目ディスプレーサ
３Ｂ    第２段目ディスプレーサ
４Ａ，４Ｂ    蓄冷材
６，７    冷却ステージ
８    バルブ本体
８ａ    摺動面
８ｂ    第１のガス流路
８ｃ    溝８ｃ           名詞
８ｄ    第２のガス流路
９    バルブプレート
９ｂ    プレート側ガス流路
１０    シリンダ部
１０Ａ    第１段目シリンダ
１０Ｂ    第２段目シリンダ
１１    第１段目膨張室
１２    第２段目膨張室
１３    上部室
１４    クランク
１５    モータ
１６    回転軸受
２２    スコッチヨーク
３０    バルブプレート本体
３０ａ    収納室
３０ｂ    ガス流路
３０ｃ    回り止めピン
３１    バルブ摺動部材
３１ａ    摺動面
３１ｂ    ガス流路
３１ｃ    回り止め凹部
３１ｄ    溝３１
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
図１は本発明の一実施形態である極低温冷凍機を示す断面図であり、図２乃至図４は本発明の一実施形態であるロータリバルブを説明するための図である。尚、本実施形態では、極低温冷凍機としてギフォード・マクマホン型冷凍機（以下、ＧＭ冷凍機という）を例に挙げて説明するものとする。また本実施形態に係るＧＭ冷凍機及びロータリバルブは、MRI等のように磁場中で磁場を乱すことを嫌う環境下で使用されるものであるとする。
【００２１】
本実施形態によるＧＭ型冷凍機は、ガス圧縮機１とコールドヘッド２とを有する。コールドヘッド２は、ハウジング２３とシリンダ部１０とを有する。ガス圧縮機１は、吸気口１ａから冷媒ガスを吸い込み、圧縮して、吐出口１ｂから高圧の冷媒ガスとして吐出する。また、冷媒ガスとしては、ヘリウムガスを用いている。
【００２２】
シリンダ部１０は、第１段目シリンダ１０Ａと第２段目シリンダ１０Ｂとの２段構成であり、第２段目シリンダ１０Ｂは、第１段目シリンダ１０Ａよりも細く設定されている。また、第１段目シリンダ１０Ａの内部には第１段目ディスプレーサ３Ａが、第２段目シリンダ１０Ｂの内部には第２段目ディスプレーサ３Ｂが、各シリンダ１０Ａ，１０Ｂの軸方向に往復運動可能に挿入されている。
【００２３】
第１段目ディスプレーサ３Ａと第２段目ディスプレーサ３Ｂは、図示を省略したジョイント機構により相互に連結されている。また、第１段目ディスプレーサ３Ａの内部には蓄冷材４Ａが設けられ、第２段目ディスプレーサ３Ｂには蓄冷材４Ｂが充填されている。更に、各第１段目ディスプレーサ３Ａ，３Ｂには、冷媒ガスが通過するガス流路Ｌ１〜Ｌ４が形成されている。
【００２４】
第１段目シリンダ１０Ａ内の、第２段目シリンダ１０Ｂ側の端部には第１段目膨張室１１が形成され、他方の端部には上部室１３が形成されている。また、第２段目シリンダ１０Ｂの第１段目シリンダ１０Ａ側とは反対側の端部には、第２段目膨張室１２が形成されている。
【００２５】
上部室１３と第１段目膨張室１１とは、ガス流路Ｌ１、蓄冷材４が充填された第１段蓄冷材充填室、及びガス流路Ｌ２を介して接続されている。また、第１段目膨張室１１と第２段目膨張室１２とは、ガス流路Ｌ３、蓄冷材４Ｂが充填された第２段蓄冷材充填室、及びガス流路Ｌ４を介して接続されている。
【００２６】
第１段目シリンダ１０Ａの外周面の内、第１段目膨張室１１にほぼ対応する位置には冷却ステージ６が配設されている。また、第２段目シリンダ１０Ｂの外周面の内、第２段目膨張室１２にほぼ対応する位置には冷却ステージ７が配設されている。
【００２７】
第１段目ディスプレーサ３Ａの外周面のうち、上部室１３側の端部近傍にシール材５０が配置されている。このシール材５０は、第１段目ディスプレーサ３Ａの外周面とシリンダ１０Ａの内周面との間をシールする。
【００２８】
第１段目ディスプレーサ３Ａは、図示を省略した連結機構を介してスコッチヨーク２２の出力軸２２ａに連結されている。スコッチヨーク２２は、ハウジング２３に固定された一対の摺動軸受１７ａ，１７ｂにより、第１段目ディスプレーサ３Ａ，３Ｂの軸方向に移動可能に支持されている。摺動軸受１７ｂにおいては、摺動部の気密性が保たれており、ハウジング２３内の空間と上部室１３とが気密に画成されている。
【００２９】
また、スコッチヨーク２２にはモータ１５が接続されている。モータ１５の回転運動は、クランク１４及びスコッチヨーク２２により往復運動に変換される。この往復運動は出力軸２２ａ及び連結機構を介して第１段目ディスプレーサ３Ａに伝達され、これにより第１段目ディスプレーサ３Ａは第１段目シリンダ１０Ａ内で、また第２段目ディスプレーサ３Ｂは第２段目シリンダ１０Ｂ内で往復移動を行う。このモータ１５及びスコッチヨーク２２（出力軸２２ａを含む）は、請求項に記載の駆動装置を構成する。
【００３０】
各第１段目ディスプレーサ３Ａ，３Ｂが図中上方に移動する時、上部室１３の容積は減少し、逆に第１段目及び第２段目の膨張室１１，１２の容積は増加する。また反対に、各第１段目ディスプレーサ３Ａ，３Ｂが図中下方に移動する時、上部室１３の容積は増大し、第１段目及び第２段目の膨張室１１，１２の容積は減少する。この上部室１３、膨張室１１，１２の容積の変動に伴い、冷媒ガスがガス流路Ｌ１〜Ｌ４を通って移動する。
【００３１】
また、冷媒ガスが各ディスプレーサ３Ａ，３Ｂに充填された蓄冷材４Ａ，４Ｂ内を通過する際、冷媒ガスと蓄冷材４Ａ，４Ｂとの間で熱交換が行われる。これにより、蓄冷材４Ａ，４Ｂは冷媒ガスにより冷却される。
【００３２】
次に、ロータリバルブＲＶについて、図１に加えて図２乃至図４を用いて説明する。図２はロータリバルブＲＶの分解斜視図であり、図３はロータリバルブＲＶの分解した状態の断面図であり、図４はロータリバルブＲＶの組み立て状態の断面図である。
【００３３】
ロータリバルブＲＶは、冷媒ガスの流路において圧縮機１の吸気口１ａ及び吐出口１ｂと上部室１３との間に配置されている。ロータリバルブＲＶは、冷媒ガスの流路を切換える機能を奏する。具体的には、ロータリバルブＲＶは、ガス圧縮機１の吐出口１ｂから吐出された冷媒ガスを上部室１３内に導く第１の態様と、上部室１３内の冷媒ガスをガス圧縮機１の吸気口１ａに導く第２の態様との切換え処理を行う。
【００３４】
ロータリバルブＲＶは、バルブ本体８及びバルブプレート９とを有する。また、バルブプレート９は、バルブプレート本体３０とバルブ摺動部材３１とにより構成されている（これについては後に詳述する）。
【００３５】
バルブプレート９は、回転軸受１６により、ハウジング２３内に回転可能に支持されている。スコッチヨーク２２を駆動するクランク１４の偏心ピン１４ａが回転軸を中心として公転することにより、バルブプレート９が回転する。バルブ本体８は、コイルバネ２０によりバルブプレート９に押し付けられ、またピン１９により回転しないように固定されている。
【００３６】
コイルバネ２０は、排気側の圧力が給気側の圧力より大きくなってしまった場合に、バルブ本体８がバルブプレート９から離れてしまわないようにバルブ本体８を押圧するために設けられた押圧手段である。作動時にバルブ本体８をバルブプレート９に押圧する力は、冷媒ガスの給気側の圧力と排気側の圧力の差圧がバルブ本体８に作用することにより生じるようになっている。
【００３７】
バルブ本体８は、円柱状を有している。このバルブ本体８のバルブプレート９と対向する面は平坦な摺動面８ａが形成されており、この摺動面８ａがバルブプレート９を構成するバルブ摺動部材３１の摺動面３１ａと面接触する。
【００３８】
第１のガス流路８ｂ（第１の本体側流路）は、バルブ本体８の中心軸に沿ってバルブ本体８を貫通して形成されている。この第１のガス流路８ｂの一端は、摺動面８ａに開口している。また第１のガス流路８ｂの他端は、図１に示したガス圧縮機１の吐出口１ｂに接続されている。
【００３９】
またバルブ本体８の摺動面８ａには、バルブ本体８の中心軸を中心とした円弧に沿った溝８ｃが形成されている。更に、バルブ本体８には、側面視で逆Ｌ字形状を有した第２のガス流路８ｄ（第２の本体側流路）が形成されている。この第２のガス流路８ｄの一端は溝８ｃの底面に開口すると共に、その他端はバルブ本体８の外周面に開口している。このバルブ本体８の外周面に開口した第１のガス流路８ｂの端部は、図１に示すハウジング２３に形成されたガス流路２１を経由して上部室１３に連通している。
【００４０】
バルブプレート９（バルブ摺動部材３１）の摺動面３１ａには、その中心から半径方向に伸びる溝３１ｄが形成されている。バルブプレート９が回転し、溝３１ａの外周側の端部が溝８ｃに部分的に重なった時、第１のガス流路８ｂと第２のガス流路８ｄとが溝３１ａを介して連通する。
【００４１】
プレート側ガス流路９ｂ（ガス流路３０ｂ，３１ｂとにより構成される）は、バルブプレート９（バルブプレート本体３０及びバルブ摺動部材３１）を貫通して回転軸に平行な方向に延在している。プレート側ガス流路９ｂの一端部は、摺動面３１ａに開口している。このプレート側ガス流路９ｂの端部は、摺動面３１ａ内の摺動面８ａに形成された溝８ｃと対応する位置に開口している。
【００４２】
よって、バルブプレート９が回転し、プレート側ガス流路９ｂの開口部（バルブ本体８側の端部）が溝８ｃに部分的に重なると、第２のガス流路８ｄとプレート側ガス流路９ｂとが連通した状態となる。プレート側ガス流路９ｂの他端は、図１に示したハウジング２３内の空洞を介してガス圧縮機１の吸気口１ａに連通している。
【００４３】
よって、第１のガス流路８ｂとガス流路８ｄとが溝８ｃを介して連通している時、圧縮機１から送られる冷媒ガスはロータリバルブＲＶを介して上部室１３内に送り込まれる。一方、第２のガス流路８ｄとプレート側ガス流路９ｂとが連通している時、上部室１３内の冷媒ガスがガス圧縮機１に回収される。従って、バルブプレート９を回転させると、上部室１３への冷媒ガスの導入（給気）と、上部室１３からの冷媒ガスの回収（排気）が繰り返され実施される。
【００４４】
ここで、バルブ本体８及びバルブプレート９について、更に詳細に説明する。
【００４５】
本実施形態では、ステータ（固定側）となるバルブ本体８は、焼入れ鋼等の金属により形成されている。このような磁性材料である金属によりバルブ本体８を形成しても、バルブ本体８は回転しない構成であるため、極低温冷凍機及びロータリバルブＲＶをMRI等に適用しても、その磁場中で磁場が極低温冷凍機及びロータリバルブＲＶに起因して乱れるようなことはない。
【００４６】
尚、バルブ本体８の材料は磁性材料に限定されるものではなく、アルミニウムの表面をアルマイト処理したもの等の非磁性材料を用いることも可能である。
【００４７】
また、バルブプレート９は、バルブプレート本体３０とバルブ摺動部材３１とにより構成されている。バルブプレート本体３０は、非磁性金属材であるステンレスにより形成されている。このバルブプレート本体３０は、回転軸受１６によりハウジング２３に回転可能に支持される。よって、バルブプレート本体３０の前面側（バルブ本体８と対向する側）には、回転軸受１６と係合する鍔部３０ｅが形成されている。
【００４８】
また、バルブプレート本体３０のバルブ本体８と対向する面には、バルブ摺動部材３１を収納するための収納室３０ａが形成されている。この収納室３０ａは窪んだ形状とされており、その底面には回り止めピン３０ｃ（請求項に記載の回転規制部材に相当する）が形成されている。
【００４９】
この回り止めピン３０ｃは、バルブプレート本体３０に形成された回り止め凹部３０ｆ及びバルブ摺動部材３１に形成された回り止め凹部３１ｃと係合することにより、バルブプレート本体３０に対するバルブ摺動部材３１の回転を規制する。しかしながら、回り止めピン３０ｃはバルブ摺動部材３１を完全にバルブプレート本体３０に固定するものではなく、回転を規制するのみの機能を奏するものである。よって、バルブ摺動部材３１はバルブプレート本体３０に対して装着脱可能（回転軸方向に装着脱可能）な構成となっている。
【００５０】
更に、バルブプレート本体３０には、プレート側ガス流路９ｂの一部を構成するガス流路３０ｂが形成されている。このガス流路３０ｂは、バルブプレート本体３０の収納室３０ａの底板部を貫通して形成されている。よって、ガス流路３０ｂの一端は収納室３０ａの底面に開口し、他端は前記のようにハウジング２３内の空洞を介してガス圧縮機１の吸気口１ａに連通している。
【００５１】
一方、バルブ摺動部材３１は樹脂により形成されており、円盤形状を有している。バルブ摺動部材３１に用いる樹脂としては、例えば四フッ化エチレン（例えば、ＮＴＮ社製のベアリーＦＬ３０００）により形成されている。このバルブ摺動部材３１はバルブ本体８と密着する摺動面３１ａに、前記の溝３１ｄが形成されている。また、バルブ摺動部材３１にはプレート側ガス流路９ｂを構成するガス流路３１ｂが貫通形成されている。このガス流路３１ｂは、バルブ摺動部材３１をバルブプレート本体３０の収納室３０ａに装着した際、バルブプレート本体３０に形成されたガス流路３０ｂと連通することによりプレート側ガス流路９ｂを形成する。
【００５２】
従って、バルブ摺動部材３１が装着された状態でバルブプレート本体３０が駆動手段により回転されると、回り止めピン３０ｃによりバルブプレート本体３０に回転規制された状態で装着されているバルブ摺動部材３１も回転を開始する。このようにバルブ本体８に対してバルブプレート９（バルブプレート本体３０，バルブ摺動部材３１）が回転すると、上記のように第１のガス流路８ｂと第２のガス流路８ｄを溝３１ｄにより接続する状態と、第２のガス流路８ｄをバルブプレート９に接続する状態との間で切換えが行われる。
【００５３】
この際、前記のようにバルブプレート本体３０はステンレス等の非磁性金属材により形成されおり、またバルブ摺動部材３１も非磁性である樹脂により形成されている。このため、本実施形態に係る極低温冷凍機及びロータリバルブＲＶを磁場の変動を嫌う環境下で使用しても、バルブプレート本体３０及びバルブ摺動部材３１の回転により磁場が乱されるようなことはない。
【００５４】
また本実施形態では、バルブプレート９の摺動面３１ａは樹脂製のバルブ摺動部材３１に形成されている。よって、従来のアルミニウム製のバルブプレート１０２では必要であったアルマイト処理を不要とすることができ、バルブプレート９のコスト低減を図ることができる。
【００５５】
更に、ロータリバルブＲＶに対してメンテナンスを行う場合、従来では摺動面１０１ａ及び摺動面１０２ａが共に消耗部分であったため、バルブ本体１０１及びバルブプレート１０２を共に交換することが行われていた（図５参照）。しかしながら、本実施形態に係るロータリバルブＲＶでは、バルブプレート本体３０に消耗部分は存在せず、かつバルブ摺動部材３１がバルブプレート本体３０に対して着脱可能な構成であるため、メンテナンス時にはバルブ本体８バルブ摺動部材３１の交換を行うだけで済む。
【００５６】
バルブプレート本体３０はステンレスに収納室３０ａ，ガス流路３０ｂ，回り止めピン３０ｃ等を設ける必要があるため、バルブ摺動部材３１に対して高価である。よってメンテナンス時には、バルブプレート本体３０に対して低価格であるバルブ摺動部材３１及びバルブ本体８を交換すればよいため、メンテナンス時における交換部品のコストダウンも図ることができる。
【００５７】
以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上記した特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能なものである。
【００５８】
本国際出願は２０１０年４月１９日に出願された日本国特許出願２０１０−０９５９２１号に基づく優先権を主張するものであり、日本国特許出願２０１０−０９５９２１号の全内容をここに本国際出願に援用する。
【図１】
2011132563.tif 000003
【図２】
2011132563.tif 000004
【図３】
2011132563.tif 000005
【図４】
2011132563.tif 000006
【図５】
2011132563.tif 000007
【国際調査報告】
2011132563.tif 000008
2011132563.tif 000009
2011132563.tif 000010
2011132563.tif 000011