(57)【要約】  単純な形状のハンドを備えた二台の腕部を有し、二枚の基板を同じ高さに同時に搬送できる搬送装置を提供する。  二台の腕部２０Ｌ1、２０Ｒ1を有し、各腕部は、主能動回転軸線Ｏを中心に回転する主能動腕２１Ｌ1、２１Ｒ1と、主能動腕の先端を通る副能動回転軸線ＳL、ＳRを中心に回転する副能動腕２３Ｌ1、２３Ｒ1と、副能動腕の先端を通るハンド能動回転軸線ＰL、ＰRを中心に回転するハンド２６Ｌ1、２６Ｒ1とをそれぞれ有する。各載置部２７Ｌ1、２７Ｒ1は互いに同じ高さに配置され、各主能動回転軸線Ｏは同一であり、各載置部は、それぞれ載置部が設けられた腕部の中心軸線から離間して配置され、各腕部の副能動回転軸線ＳL、ＳRとハンド能動回転軸線ＰL、ＰRとの間を結ぶ線分の長さは、主能動回転軸線Ｏと副能動回転軸線ＳL、ＳRとの間を結ぶ線分の長さよりも短くされている。
2012026293.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二台の腕部で基板を搬送する搬送装置であって、
一台の腕部は、
水平な中心軸線を通る位置に離間して鉛直に配置された主能動回転軸線と、主従動回転軸線と、
一端の所定位置に前記主能動回転軸線が通り、前記主能動回転軸線を中心に回転する主能動腕と、
一端の所定位置に前記主従動回転軸線が通り、前記主従動回転軸線を中心に回転する主従動腕と、
鉛直に配置され、前記主能動腕の他端の所定位置と、前記主従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、副能動回転軸線と副従動回転軸線と、
前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とを中心として回動可能に構成された規制部材と、
一端の所定位置に前記副能動回転軸線が通り、前記副能動回転軸線を中心に回転する副能動腕と、
一端の所定位置に前記副従動回転軸線が通り、前記副従動回転軸線を中心に回転する副従動腕と、
鉛直に配置され、前記副能動腕の他端の所定位置と、前記副従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、ハンド能動回転軸線とハンド従動回転軸線と、
前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とを中心として回動可能に構成され、基板を載置する載置部が設けられたハンドと、
を有し、
前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線は、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とよりも前記中心軸線に近い位置に配置され、
前記主能動回転軸線と前記副能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記主従動回転軸線と前記副従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第一の長さにされ、
前記副能動回転軸線と前記ハンド能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記副従動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第二の長さにされ、
前記主能動腕の回転に対して、前記副能動腕が逆方向に同角度回転するように構成され、
二台の前記腕部の前記載置部は互いに同じ高さに配置され、
二台の前記腕部の主能動回転軸線は同一であり、二台の前記腕部の前記載置部は、それぞれ前記載置部が設けられた前記腕部の前記中心軸線から離間して配置された前記搬送装置であって、
前記第二の長さは、前記第一の長さよりも短くされた搬送装置。
【請求項２】
二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、互いに異なる位置に配置された請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、前記主能動回転軸線を中心に回転できるように構成された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の搬送装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板やガラス基板等を搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体基板やガラス基板等を各種加工処理を行う処理室に搬送する場合に、伸縮する腕部を有する搬送装置が用いられている。基板搬送のスループットを向上させるために、複数台の腕部を有する搬送装置が開発されている。【０００３】
図１０は二台の腕部を有する従来の搬送装置１１０の平面図を示している。
搬送装置１１０は同一の鉛直な主能動回転軸線Ａを中心にそれぞれ独立に回転可能に配置された左駆動軸１１２Ｌ、右駆動軸１１２Ｒと、左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒとを有している。
左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒはそれぞれ左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒと、左副能動腕１２３Ｌ、右副能動腕１２３Ｒとを有している。【０００４】
左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒの一端は左駆動軸１１２Ｌ、右駆動軸１１２Ｒにそれぞれ固定され、左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒの先端には左規制部材１２５Ｌ、右規制部材１２５Ｒがそれぞれ配置されている。左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒは左規制部材１２５Ｌ、右規制部材１２５Ｒに鉛直に設けられた左副能動回転軸線ＢL、右副能動回転軸線ＢRを中心に回転可能に構成されている。【０００５】
左副能動腕１２３Ｌ、右副能動腕１２３Ｒはそれぞれ左副能動回転軸線ＢL、右副能動回転軸線ＢRを中心に回転可能に配置されている。
左駆動軸１１２Ｌ、右駆動軸１１２Ｒの主能動回転軸線Ａの周りの回転により左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒがそれぞれ回転すると、左副能動腕１２３Ｌ、右副能動腕１２３Ｒはそれぞれ左主能動腕１２１Ｌ、右主能動腕１２１Ｒの回転と逆方向に回転し、すなわち左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒがそれぞれ伸縮するように構成されている。【０００６】
左副能動腕１２３Ｌ、右副能動腕１２３Ｒの先端には、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒがそれぞれ左ハンド能動回転軸線ＣL、右ハンド能動回転軸線ＣRを中心に回転可能に配置され、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒには左載置部１２７Ｌ、右載置部１２７Ｒがそれぞれ固定されている。【０００７】
主能動回転軸線Ａと左副能動回転軸線ＢLとを結ぶ線分の長さと、左副能動回転軸線ＢLと左ハンド能動回転軸線ＣLとを結ぶ線分の長さは同じにされ、主能動回転軸線Ａと右副能動回転軸線ＢRとを結ぶ線分の長さと、右副能動回転軸線ＢRと右ハンド能動回転軸線ＣRとを結ぶ線分の長さは同じにされている。【０００８】
従って、左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒをそれぞれ伸縮させると、左載置部１２７Ｌ、右載置部１２７Ｒに載置された基板はそれぞれ水平面内で直線移動する。
左腕部１２０Ｌと右腕部１２０Ｒにより同時に搬送する搬送先のパスラインが互いに同じ高さに位置する場合には、左載置部１２７Ｌと右載置部１２７Ｒとを同じ高さに配置する必要がある。
そこで、左載置部１２７Ｌと右載置部１２７Ｒとを互いに衝突させないためには、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒの形状をそれぞれクランク形状に形成する必要があった。【０００９】
しかしこの場合には、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒの形状が複雑であるため、製作コストが高いという問題があった。
また、左ハンド１２６Ｌ、右ハンド１２６Ｒの形状が複雑であり、重さが増すと、左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒのたわみ量が増加してしまう。左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒがたわむと、左腕部１２０Ｌ、右腕部１２０Ｒ先端での変異量が大きいため、左載置部１２７Ｌ、右載置部１２７Ｒを処理室に出し入れする際に、各載置部１２７Ｌ、１２７Ｒに載置された基板が処理室のチャンバーの開口に接してしまうリスクが高くなり、ティーチング作業の難易度が高いという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】国際公開第２００９／０３４７９５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、単純な形状のハンドを備えた二台の腕部を有し、二枚の基板を同じ高さに同時に搬送できる搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために本発明は、二台の腕部で基板を搬送する搬送装置であって、一台の腕部は、水平な中心軸線を通る位置に離間して鉛直に配置された主能動回転軸線と、主従動回転軸線と、一端の所定位置に前記主能動回転軸線が通り、前記主能動回転軸線を中心に回転する主能動腕と、一端の所定位置に前記主従動回転軸線が通り、前記主従動回転軸線を中心に回転する主従動腕と、鉛直に配置され、前記主能動腕の他端の所定位置と、前記主従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、副能動回転軸線と副従動回転軸線と、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とを中心として回動可能に構成された規制部材と、一端の所定位置に前記副能動回転軸線が通り、前記副能動回転軸線を中心に回転する副能動腕と、一端の所定位置に前記副従動回転軸線が通り、前記副従動回転軸線を中心に回転する副従動腕と、鉛直に配置され、前記副能動腕の他端の所定位置と、前記副従動腕の他端の所定位置とをそれぞれ通る、ハンド能動回転軸線とハンド従動回転軸線と、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とがそれぞれ所定位置を通り、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線とを中心として回動可能に構成され、基板を載置する載置部が設けられたハンドと、を有し、前記ハンド能動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線は、前記副能動回転軸線と前記副従動回転軸線とよりも前記中心軸線に近い位置に配置され、前記主能動回転軸線と前記副能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記主従動回転軸線と前記副従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第一の長さにされ、前記副能動回転軸線と前記ハンド能動回転軸線との間を結ぶ線分と、前記副従動回転軸線と前記ハンド従動回転軸線との間を結ぶ線分は平行で同じ第二の長さにされ、前記主能動腕の回転に対して、前記副能動腕が逆方向に同角度回転するように構成され、二台の前記腕部の前記載置部は互いに同じ高さに配置され、二台の前記腕部の主能動回転軸線は同一であり、二台の前記腕部の前記載置部は、それぞれ前記載置部が設けられた前記腕部の前記中心軸線から離間して配置された前記搬送装置であって、前記第二の長さは、前記第一の長さよりも短くされた搬送装置である。
本発明は搬送装置であって、二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、互いに異なる位置に配置された搬送装置である。
本発明は搬送装置であって、二台の前記腕部の前記主従動回転軸線は、前記主能動回転軸線を中心に回転できるように構成された搬送装置である。
【発明の効果】
【００１３】
ハンドの形状を単純化できるので、製作コストを低減できる。
またハンドの形状を単純化できることから、ハンドの重量が軽くなり、腕部のたわみ量が軽減される。
腕部のたわみ量が軽減されることにより、ティーチング作業を簡易化できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第一例の搬送装置の平面図
【図２】本発明の第一例の搬送装置の側面図
【図３】（ａ）（ｂ）本発明の第一例の搬送装置を用いた真空処理装置の模式的な平面図
【図４】第一例の第一の左規制部材の内部構成図
【図５】第二例の第一の左規制部材の内部構成図
【図６】第二例の第一の左規制部材のＡ−Ａ線切断断面図
【図７】本発明の第二例の搬送装置の平面図
【図８】本発明の第二例の搬送装置の側面図
【図９】（ａ）（ｂ）本発明の第二例の搬送装置を用いた真空処理装置の模式的な平面図
【図１０】従来の搬送装置の平面図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は、本発明の第一例の搬送装置１０の平面図であり、図２は同側面図である。なお、図２では、後述する第一の左主従動腕２２Ｌ1、第一の右主従動腕２２Ｒ1と第一の左副従動腕２４Ｌ1、第一の右副従動腕２４Ｒ1の図示を省略している。
この搬送装置１０は、二台の腕部、すなわち第一の左腕部２０Ｌ1と第一の右腕部２０Ｒ1とを有している。
図２を参照し、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1は第一の左駆動軸１２Ｌ1、第一の右駆動軸１２Ｒ1をそれぞれ有している。
【００１６】
第一の左駆動軸１２Ｌ1、第一の右駆動軸１２Ｒ1は、鉛直かつ同心状に配置されており、各駆動軸１２Ｌ1、１２Ｒ1の中心軸線である同一の主能動回転軸線Ｏを中心にそれぞれ独立に回転できるように構成されている。
また、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1は、左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒをそれぞれ有している。左回転部材１６Ｌと右回転部材１６Ｒはそれぞれ主能動回転軸線Ｏを中心に独立に回転できるように構成されている。
【００１７】
図１を参照し、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1は、第一の左主リンク３１Ｌ1、第一の右主リンク３１Ｒ1と、第一の左副リンク３２Ｌ1、第一の右副リンク３２Ｒ1とをそれぞれ有している。
第一の左主リンク３１Ｌ1、第一の右主リンク３１Ｒ1は、第一の左主能動腕２１Ｌ1、第一の右主能動腕２１Ｒ1と、第一の左主従動腕２２Ｌ1、第一の右主従動腕２２Ｒ1とをそれぞれ有している。
【００１８】
第一の左主能動腕２１Ｌ1、第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端は第一の左駆動軸１２Ｌ1、第一の右駆動軸１２Ｒ1にそれぞれ固定されている。
ここでは図２を参照し、第一の右駆動軸１２Ｒ1は第一の左駆動軸１２Ｌ1より高い位置に配置され、第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端は第一の左主能動腕２１Ｌ1の一端より高い位置に固定されており、第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状に下方に曲げられて、第一の右主能動腕２１Ｒ1の他端と第一の左主能動腕２１Ｌ1の他端とは同一の高さに配置されている。
なお、第一の右主能動腕２１Ｒ1の他端と第一の左主能動腕２１Ｌ1の他端とが同一の高さに配置されているならば、第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端と他端との間の部分が曲線状に下方に曲げられてもいてもよいし、第一の左主能動腕２１Ｌ1の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状又は曲線状に上方に曲げられていてもよい。
また、第一の左駆動軸１２Ｌ1が第一の左駆動軸１２Ｒ1より高い位置に配置され、第一の左主能動腕２１Ｌ1の一端が第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端より高い位置に固定されており、第一の左主能動腕２１Ｌ1の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状又は曲線状に下方に曲げられ、または第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状又は曲線状に上方に曲げられて、第一の右主能動腕２１Ｒ1の他端と第一の左主能動腕２１Ｌ1の他端とが同一の高さに配置された構成も本発明に含まれる。
図１を参照し、第一の左駆動軸１２Ｌ1が回転すると、第一の左主能動腕２１Ｌ1は第一の左駆動軸１２Ｌ1と一緒に同一角度同方向に水平面内で回転するように構成されている。また第一の右駆動軸１２Ｒ1が回転すると、第一の右主能動腕２１Ｒ1は第一の右駆動軸１２Ｒ1と一緒に同一角度同方向に水平面内で回転するように構成されている。
【００１９】
左回転部材１６Ｌの主回転軸線Ｏから離間した位置には、左主従動回転軸線ＲLが鉛直に設けられ、右回転部材１６Ｒの主回転軸線Ｏから離間した位置には、右主従動回転軸線ＲRが鉛直に設けられている。すなわち、左主従動回転軸線ＲLと右主従動回転軸線ＲRは、互いに異なる位置に配置されている。
【００２０】
ここでは第一の左主従動腕２２Ｌ1の一端に設けられた凹部が、左回転部材１６Ｌの左主従動回転軸線ＲLを中心に鉛直に立設された凸部に嵌合されて、第一の左主従動腕２２Ｌ1は左主従動回転軸線ＲLを中心に水平面内で回転可能に配置されている。また第一の右主従動腕２２Ｒ1の一端に設けられた凹部が、右回転部材１６Ｒの右主従動回転軸線ＲRを中心に鉛直に立設された凸部に嵌合されて、第一の右主従動腕２２Ｒ1は右主従動回転軸線ＲRを中心に水平面内で回転可能に配置されている。
【００２１】
本発明は、第一の左主従動腕２２Ｌ1、第一の右主従動腕２２Ｒ1がそれぞれ左主従動回転軸線ＲL、右主従動回転軸線ＲRを中心に水平面内で回転可能に配置されているならば、第一の左主従動腕２２Ｌ1と左回転部材１６Ｌとの連結構造及び第一の右主従動腕２２Ｒ1と右回転部材１６Ｒとの連結構造は上記構成に限定されず、第一の左主従動腕２２Ｌ1の一端に鉛直に立設された凸部が、左回転部材１６Ｌの左主従動回転軸線ＲLを中心に設けられた凹部に嵌合され、第一の右主従動腕２２Ｒ1の一端に鉛直に立設された凸部が、右回転部材１６Ｒの右主従動回転軸線ＲRを中心に設けられた凹部に嵌合されていてもよい。
【００２２】
第一の左主能動腕２１Ｌ1の先端と第一の左主従動腕２２Ｌ1の先端には第一の左規制部材２５Ｌ1が配置され、第一の右主能動腕２１Ｒ1の先端と第一の右主従動腕２２Ｒ1の先端には第一の右規制部材２５Ｒ1が配置されている。
【００２３】
第一の左主能動腕２１Ｌ1と第一の左主従動腕２２Ｌ1は、第一の左規制部材２５Ｌ1に設けられた鉛直な左副能動回転軸線ＳLと左副従動回転軸線ＴLを中心にそれぞれ回動可能に構成され、第一の右主能動腕２１Ｒ1と第一の右主従動腕２２Ｒ1は、第一の右規制部材２５Ｒ1に設けられた鉛直な右副能動回転軸線ＳRと右従動回転軸線ＴRを中心にそれぞれ回動可能に構成されている。
【００２４】
第一の左副リンク３２Ｌ1、第一の右副リンク３２Ｒ1は、第一の左副能動腕２３Ｌ1、第一の右副能動腕２３Ｒ1と、第一の左副従動腕２４Ｌ1、第一の右副従動腕２４Ｒ1とをそれぞれ有している。
【００２５】
第一の左副能動腕２３Ｌ1は左副能動回転軸線ＳLを中心に回動可能に配置され、第一の左副従動腕２４Ｌ1は左副従動回転軸線ＴLを中心に回動可能に配置されている。また第一の右副能動腕２３Ｒ1は右副能動回転軸線ＳRを中心に回動可能に配置され、第一の右副従動腕２４Ｒ1は右副従動回転軸線ＴRを中心に回動可能に配置されている。
第一の左規制部材２５Ｌ1と第一の右規制部材２５Ｒ1の構造は同じであり、第一の左規制部材２５Ｌ1で代表して説明する。
【００２６】
図４は第一例の第一の左規制部材２５Ｌ1の内部構成図を示している。第一の左規制部材２５Ｌ1は、ここでは同一歯数で互いに噛合する第一の歯車４１、第二の歯車４２を有している。第一の歯車４１、第二の歯車４２は、それぞれ鉛直な左副能動回転軸線ＳL、左副従動回転軸線ＴLを中心に回転可能に配置されており、第一の歯車４１は第一の左主能動腕２１Ｌ1の先端に固定され、第二の歯車４２は第一の左副従動腕２４Ｌ1の先端に固定されている。
【００２７】
第一の左駆動軸１２Ｌ1と左回転部材１６Ｌとがどちらも静止した状態では、第一の左主能動腕２１Ｌ1と第一の左副従動腕２４Ｌ1はどちらも静止している。
左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ1が回転して第一の左主能動腕２１Ｌ1が回動されると、第一の歯車４１が第一の左主能動腕２１Ｌ1と一体に同一角度同方向に回転し、これに噛合している第二の歯車４２は同一角度逆方向に回転する。従ってこの第二の歯車４２に固定された第一の左副従動腕２４Ｌ1は左副従動回転軸線ＴLを中心に第一の左主能動腕２１Ｌ1と同一角度逆方向に回動する。
【００２８】
ここでは第一の歯車４１の鉛直な回転軸が第一の左規制部材２５Ｌ1の上方を向いた面から凸設され、第一の左副能動腕２３Ｌ1の先端に設けられた凹部に嵌合されて、第一の左副能動腕２３Ｌ1は左副能動回転軸線ＳLを中心に回動可能に構成されている。また、第二の歯車４２の鉛直な回転軸が第一の左規制部材２５Ｌ1の下方を向いた面から凸設され、第一の左主従動腕２２Ｌ1の先端に設けられた凹部に嵌合されて、第一の左主従動腕２２Ｌ1は左副従動回転軸線ＴLを中心に回動可能に構成されている。
上記実施例では第一の左主リンク３１Ｌ1と第一の左副リンク３２Ｌ1の連結に第一の歯車４１、第二の歯車４２を用いた例を示したが、本発明はこれに限定されず、二本のベルトを歯車に代えて用いてもよい。
【００２９】
図５は第二例の第一の左規制部材２５Ｌ1の内部構成図、図６は同Ａ−Ａ線切断断面図を示している。
第一の左規制部材２５Ｌ1には、直径が同じ大きさの第一プーリ４５と第二プーリ４６がそれぞれ鉛直な左副能動回転軸線ＳLと左副従動回転軸線ＴLを中心に回転可能に配置されており、第一プーリ４５は第一の左主能動腕２１Ｌ1の先端に固定され、第二プーリ４６は第一の左副従動腕２４Ｌ1の先端に固定されている。
【００３０】
両プーリ４５、４６には二本のベルト４７、４８がたすき掛けされ、それぞれの端部が各プーリ４５、４６に固定されている。なお二本のベルト４７、４８の代わりに一本のベルトが「８」の字状に巻き掛けられて構成されていてもよい。
【００３１】
左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ1が回転して第一の左主能動腕２１Ｌ1が回動されると、第一プーリ４５が第一の左主能動腕２１Ｌ1と一体に同一角度同方向に回転し、これにベルト４７、４８を介して連結された第二プーリ４６は同一角度逆方向に回転する。従ってこの第二プーリ４６に固定された第一の左副従動腕２４Ｌ1は左副従動回転軸線ＴLを中心に第一の左主能動腕２１Ｌ1と同一角度逆方向に回動する。
【００３２】
図１を参照し、第一の左副能動腕２３Ｌ1の先端と第一の左副従動腕２４Ｌ1の先端には、第一の左ハンド２６Ｌ1が配置されている。また第一の右副能動腕２３Ｒ1の先端と第一の右副従動腕２４Ｒ1の先端には、第一の右ハンド２６Ｒ1が配置されている。
【００３３】
ここでは第一の左副能動腕２３Ｌ1、第一の左副従動腕２４Ｌ1の一端にそれぞれ設けられた凹部が、第一の左ハンド２６Ｌ1の左ハンド能動回転軸線ＰL、左ハンド従動回転軸線ＱLを中心に鉛直に立設された凸部にそれぞれ嵌合され、第一の左副能動腕２３Ｌ1と第一の左副従動腕２４Ｌ1は、第一の左ハンド２６Ｌ1の鉛直な左ハンド能動回転軸線ＰLと左ハンド従動回転軸線ＱLを中心にそれぞれ水平面内で回動可能に構成されている。
【００３４】
また、ここでは第一の右副能動腕２３Ｒ1、第一の右副従動腕２４Ｒ1の一端にそれぞれ設けられた凹部が、第一の右ハンド２６Ｒ1の右ハンド能動回転軸線ＰR、右ハンド従動回転軸線ＱRを中心に鉛直に立設された凸部にそれぞれ嵌合され、第一の右副能動腕２３Ｒ1と第一の右副従動腕２４Ｒ1は、第一の右ハンド２６Ｒ1の鉛直な右ハンド能動回転軸線ＰRと右ハンド従動回転軸線ＱRを中心にそれぞれ水平面内で回動可能に構成されている。
【００３５】
本発明は、第一の左副能動腕２３Ｌ1、第一の左副従動腕２４Ｌ1が左ハンド能動回転軸線ＰL、左ハンド従動回転軸線ＱLを中心に回転可能に構成されているならば、第一の左副能動腕２３Ｌ1、第一の左副従動腕２４Ｌ1の一端にそれぞれ鉛直に立設された凸部が、第一の左ハンド２６Ｌ1の左ハンド能動回転軸線ＰL、左ハンド従動回転軸線ＱLを中心に設けられた凹部にそれぞれ嵌合されていてもよい。また、第一の右副能動腕２３Ｒ1、第一の右副従動腕２４Ｒ1が右ハンド能動回転軸線ＰR、右ハンド従動回転軸線ＱRを中心に回転可能に構成されているならば、第一の右副能動腕２３Ｒ1、第一の右副従動腕２４Ｒ1の一端にそれぞれ鉛直に立設された凸部が、第一の右ハンド２６Ｒ1の右ハンド能動回転軸線ＰR、右ハンド従動回転軸線ＱRを中心に設けられた凹部にそれぞれ嵌合されていてもよい。
【００３６】
以下では、主能動回転軸線Ｏと左主従動回転軸線ＲLとを通る水平な直線を左中心軸線と呼び、主能動回転軸線Ｏと右主従動回転軸線ＲRとを通る水平な直線を右中心軸線と呼ぶ。
左ハンド能動回転軸線ＰL、左ハンド従動回転軸線ＱLは、左副能動回転軸線ＳL、左副従動回転軸線ＴLよりも、左中心軸線に近い位置に配置され、右ハンド能動回転軸線ＰR、右ハンド従動回転軸線ＱRは、右副能動回転軸線ＳR、右副従動回転軸線ＴRよりも、右中心軸線に近い位置に配置されている。
【００３７】
また主能動回転軸線Ｏと左副能動回転軸線ＳLとの間を水平に結ぶ線分ＯＳLと、左主従動回転軸線ＲLと左副従動回転軸線ＴLとの間を水平に結ぶ線分ＲLＴLは平行で同じ左の第一の長さＭLにされている。
さらに左副能動回転軸線ＳLと左ハンド能動回転軸線ＰLとの間を水平に結ぶ線分ＳLＰLと、左副従動回転軸線ＴLと左ハンド従動回転軸線ＱLとの間を水平に結ぶ線分ＴLＱLは平行で同じ左の第二の長さＮLにされている。
【００３８】
すなわち、第一の左腕部２０Ｌ1に関し、主能動回転軸線Ｏと、左主従動回転軸線ＲLと、左副能動回転軸線ＳLと、左副従動回転軸線ＴLとを水平に結んで形成される四角形ＯＲLＴLＳLは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。
【００３９】
また、左副能動回転軸線ＳL、左副従動回転軸線ＴL、左ハンド能動回転軸線ＰL、左ハンド従動回転軸線ＱLの回転軸線を水平に結んで形成される四角形ＳLＴLＱLＰLは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。
左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ1が回転すると、各四角形ＯＲLＴLＳL、ＳLＴLＱLＰLはそれぞれ平行四辺形であることを維持しながら変形する。
【００４０】
以下では、主能動回転軸線Ｏと左主従動回転軸線ＲLとを水平に結ぶ線分ＯＲLと、主能動回転軸線Ｏと左副能動回転軸線ＳLとを水平に結ぶ線分ＯＳLとがなす角度をαL、左副能動回転軸線ＳLと左副能動回転軸線ＴLとを水平に結ぶ線分ＳLＴLと、左副能動回転軸線ＳLと左ハンド能動回転軸線ＰLとを水平に結ぶ線分ＳLＰLとがなす角度をβLと呼ぶ。
【００４１】
左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ1が回転して、第一の左主能動腕２１Ｌ1が角度αLを小さくする方向に回転すると、第一の左副能動腕２３Ｌ1は角度βLを小さくする方向に回転し、ここでは第一の左腕部２０Ｌ1は伸びるようになっている。
【００４２】
また、左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ1が回転して、第一の左主能動腕２１Ｌ1が角度αLを大きくする方向に回転すると、第一の左副能動腕２３Ｌ1は角度βLを大きくする方向に回転し、ここでは第一の左腕部２０Ｌ1は縮むようになっている。
【００４３】
一方、主能動回転軸線Ｏと右副能動回転軸線ＳRとの間を水平に結ぶ線分ＯＳRと、右主従動回転軸線ＲRと右副従動回転軸線ＴRとの間を水平に結ぶ線分ＲRＴRは平行で同じ右の第一の長さＭRにされている。
【００４４】
さらに右副能動回転軸線ＳRと右ハンド能動回転軸線ＰRとの間を水平に結ぶ線分ＳRＰRと、右副従動回転軸線ＴRと右ハンド従動回転軸線ＱRとの間を水平に結ぶ線分ＴRＱRは平行で同じ右の第二の長さＮRにされている。
【００４５】
すなわち、第一の右腕部２０Ｒ1に関し、主能動回転軸線Ｏと、右主従動回転軸線ＲRと、右副能動回転軸線ＳRと、右副従動回転軸線ＴRとを水平に結んで形成される四角形ＯＲRＴRＳRは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。
【００４６】
また、右副能動回転軸線ＳR、右副従動回転軸線ＴR、右ハンド能動回転軸線ＰR、右ハンド従動回転軸線ＱRを水平に結んで形成される四角形ＳRＴRＱRＰRは、平行四辺形になるように、軸線間の距離が設定されている。
右回転部材１６Ｒが静止した状態で第一の右駆動軸１２Ｒ1が回転すると、各四角形ＯＲRＴRＳR、ＳRＴRＱRＰRはそれぞれ平行四辺形であることを維持しながら変形する。
【００４７】
以下では、主能動回転軸線Ｏと右主従動回転軸線ＲRとを水平に結ぶ線分ＯＲRと、主能動回転軸線Ｏと右副能動回転軸線ＳRとを水平に結ぶ線分ＯＳRとがなす角度をαR、右副能動回転軸線ＳRと右副能動回転軸線ＴRとを水平に結ぶ線分ＳRＴRと、右副能動回転軸線ＳRと右ハンド能動回転軸線ＰRとを水平に結ぶ線分ＳRＰRとがなす角度をβRと呼ぶ。
【００４８】
右回転部材１６Ｒが静止した状態で第一の右駆動軸１２Ｒ1が回転して、第一の右主能動腕２１Ｒ1が角度αRを小さくする方向に回転すると、第一の右副能動腕２３Ｒ1は角度βRを小さくする方向に回転し、ここでは第一の右腕部２０Ｒ1は縮むようになっている。
【００４９】
また、右回転部材１６Ｒが静止した状態で第一の右駆動軸１２Ｒ1が回転して、第一の右主能動腕２１Ｒ1が角度αRを大きくする方向に回転すると、第一の右副能動腕２３Ｒ1は角度βRを大きくする方向に回転し、ここでは第一の右腕部２０Ｒ1は伸びるようになっている。
【００５０】
第一の左ハンド２６Ｌ1、第一の右ハンド２６Ｒ1には、基板を載置可能に構成された第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1がそれぞれ固定されている。符号３０Ｌ1、３０Ｒ1は第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1に載置された基板をそれぞれ示している。
【００５１】
左回転部材１６Ｌを静止させた状態で第一の左駆動軸１２Ｌ1を回転させて、第一の左腕部２０Ｌ1を水平面内で伸縮させると、第一の左載置部２７Ｌ1は、角度αLが９０°に近づくに従って左中心軸線から離れ、角度αLが９０°から離れるに従って左中心軸線に近づく水平な円弧曲線に沿って移動する。
【００５２】
また右回転部材１６Ｒを静止させた状態で第一の右駆動軸１２Ｒ1を回転させて、第一の右腕部２０Ｒ1を水平面内で伸縮させると、第一の右載置部２７Ｒ1は、角度αRが９０°に近づくに従って右中心軸線から離れ、角度αRが９０°から離れるに従って右中心軸線に近づく水平な円弧曲線に沿って移動する。
【００５３】
第一の左駆動軸１２Ｌ1と左回転部材１６Ｌとを一緒に主能動回転軸線Ｏを中心に同一角度同方向に回転させると、第一の左腕部２０Ｌ1は角度αL、βLの大きさを維持した状態で主能動回転軸線Ｏの周りを回転移動し、第一の右駆動軸１２Ｌ1と右回転部材１６Ｒとを一緒に主能動回転軸線Ｏを中心に同一角度同方向に回転させると、第一の右腕部２０Ｒ1は角度αR、βRの大きさを維持した状態で主能動回転軸線Ｏの周りを回転移動する。
【００５４】
図２を参照し、本発明の搬送装置１０では、第一の左載置部２７Ｌ1と第一の右載置部２７Ｒ1は互いに同じ高さに配置されている。
さらに、図１を参照し、上述の左の第二の長さＮLは、左の第一の長さＭLよりも短くされ、右の第二の長さＮRは、右の第一の長さＭRよりも短くされている。
【００５５】
従って、角度αLが０°より大きく１８０°より小さい場合には、左ハンド能動回転軸線ＰLと左ハンド従動回転軸線ＱLとを水平に結ぶ線分ＰLＱLは上述の左中心軸線から離間して配置され、角度αRが０°より大きく１８０°より小さい場合には、右ハンド能動回転軸線ＰRと右ハンド従動回転軸線ＱRとを水平に結ぶ線分ＰRＱRは右中心軸線から離間して配置されている。
第一の左ハンド２６Ｌ1の左中心軸線に近い側の縁と線分ＰLＱLとの間の距離ＷLと、左の第二の長さＮLとの和（ＷL＋ＮL）は、左の第一の長さＭLより短くされている。また、第一の右ハンド２６Ｒ1の右中心軸線に近い側の縁と線分ＰRＱRとの間の距離ＷRと、右の第二の長さＮRとの和（ＷR＋ＮR）は、右の第一の長さＭRより短くされている。そのため、角度αL、αRが９０°のときでも、第一の左ハンド２６Ｌ1と第一の右ハンド２６Ｒ1は互いに衝突しないようになっている。
【００５６】
第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1にそれぞれ載置された基板３０Ｌ1、３０Ｒ1が互いに衝突するときの角度αR、αLは、各基板３０Ｌ1、３０Ｒ1の直径と、左の第一の長さＭL、第二の長さＮLと、右の第一の長さＭR、第二の長さＮRと、第一の左載置部２７Ｌ1に載置された基板３０Ｌ1の中心と線分ＰLＱLの延長線との間の間隔と、第一の右載置部２７Ｒ1に載置された基板３０Ｒ1の中心と線分ＰRＱRの延長線との間の間隔とから予め計算で求めることができる。
【００５７】
左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒが静止した状態で、第一の左駆動軸１２Ｌ1、第一の右駆動軸１２Ｒ1が予め求められた角度の範囲内で回転して、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1がそれぞれ伸縮すると、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1はそれぞれ左中心軸線、右中心軸線から離間して配置され、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1に載置された基板３０Ｌ1、３０Ｒ1は互いに衝突しないように移動することができる。
【００５８】
そのため、第一の左ハンド２６Ｌ1、第一の右ハンド２６Ｒ1を従来より単純な形状に形成することができ、従来より各ハンド２６Ｌ1、２６Ｒ1の製作コストを低減できる。
さらに、第一の左ハンド２６Ｌ1、第一の右ハンド２６Ｒ1が従来よりも単純な形状に形成できるので、各ハンド２６Ｌ1、２６Ｒ1は従来よりも軽量になり、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1のたわみ量が従来よりも軽減される。
【００５９】
ここでは左の第一の長さＭLと右の第一の長さＭRは互いに同じ長さにされ、左の第二の長さＮLと右の第二の長さＮRも互いに同じ長さにされている。
従って、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1を伸縮させたときの第一の載置部２７Ｌ1、第二の載置部２７Ｒ1のそれぞれの位置を簡単に計算できるようになっている。
【００６０】
図３（ａ）、（ｂ）の符号５０は本発明の搬送装置１０を用いた真空処理装置の模式的な平面図である。
この真空処理装置５０は、搬送室５１と、搬送室５１にそれぞれ接続された１又は複数の処理室５２〜５９とを有している。
【００６１】
搬送装置１０は、搬送室５１の内部に配置されている。
図３（ａ）を参照し、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1をそれぞれ縮めた状態で、第一の左駆動軸１２Ｌ1、第一の右駆動軸１２Ｒ1と左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒとを一緒に同一角度同方向に回転させると、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1は主能動回転軸線Ｏを中心に一緒に回転し、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1を各処理室５２〜５９に向けることができる。
【００６２】
第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1をここでは符号５６、５７の処理室にそれぞれ向けた後、左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒとを静止させた状態で第一の左駆動軸１２Ｌ1、第一の右駆動軸１２Ｒ1を回転させて第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1をそれぞれ伸ばすと、図３（ｂ）を参照し、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1にそれぞれ載置された基板３０Ｌ1、３０Ｒ1を互いに衝突させずに、各処理室５６、５７内の同じ高さの位置に同時に搬入することができる。
【００６３】
また第一の左ハンド２６Ｌ1、第一の右ハンド２６Ｒ1は従来よりも軽く、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1のたわみ量は従来より小さいので、各処理室５６、５７に基板３０Ｌ1、３０Ｒ1を搬入する際に、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1に保持された基板３０Ｌ1、３０Ｒ1が各処理室５６、５７の開口に衝突する可能性が従来より低減されている。
【００６４】
第一の右駆動軸１２Ｒ1と右回転部材１６Ｒを静止させた状態で、第一の左駆動軸１２Ｌ1と左回転部材１６Ｌを一緒に同一角度同方向に回転させると、第一の左載置部２７Ｌ1は第一の右載置部２７Ｒ1と独立に回転移動され、第一の左載置部２７Ｌ1に載置された基板３０Ｌ1を処理室５６内で位置合わせができるようになっている。また、第一の左駆動軸１２Ｌ1と左回転部材１６Ｌを静止させた状態で、第一の右駆動軸１２Ｒ1と右回転部材１６Ｒを一緒に同一角度同方向に回転させると、第一の右載置部２７Ｒ1は第一の左載置部２７Ｌ1と独立に回転移動され、第一の右載置部２７Ｒ1に載置された基板３０Ｒ1を処理室５７内で位置合わせができるようになっている。
【００６５】
左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒとを静止させた状態で第一の左駆動軸１２Ｌ1、第一の右駆動軸１２Ｒ1をそれぞれ回転させて第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1を縮めると、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1を互いに衝突させずに、各処理室５６、５７内から搬送室５１に引き出すことができる（図３（ａ）参照）。
【００６６】
以上の各工程を組み合わせることにより、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1にそれぞれ載置された基板３０Ｌ1、３０Ｒ1を搬送室５１から各処理室５２〜５９へ搬入し、逆に各処理室５２〜５９から搬送室５１に搬出できる。
【００６７】
図７は本発明の第二例の搬送装置の平面図を示し、図８は同側面図を示している。
第二例の搬送装置１０’は上記実施例の搬送装置１０に加えて、第二の左腕部２０Ｌ2、第二の右腕部２０Ｒ2を有している。
【００６８】
第二の左腕部２０Ｌ2、第二の右腕部２０Ｒ2の構造は第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1の構造と同じであり、第二の左腕部２０Ｌ2、第二の右腕部２０Ｒ2は第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1の上方にそれぞれ配置されている。
【００６９】
ただし、ここでは第二の左腕部２０Ｌ2は第一の右腕部２０Ｒ1と右回転部材１６Ｒを共有し、第二の右腕部２０Ｒ2は第一の左腕部２０Ｌ1と左回転部材１６Ｌを共有している。すなわち、第二の左腕部２０Ｌ2の第二の左主従動腕２２Ｌ2は右主従動回転軸線ＲRを中心に回転可能に配置され、第二の右腕部２０Ｒ2の第二の右主従動腕２２Ｒ2は左主従動回転軸線ＲLを中心に回転可能に配置されている。
【００７０】
従って、第一の左駆動軸１２Ｌ1と第二の右駆動軸１２Ｒ2と左回転部材１６Ｌとが一緒に主回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の左腕部２０Ｌ1と第二の右腕部２０Ｒ2はそれぞれの形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転するように構成されている。また、第一の右駆動軸１２Ｒ1と第二の左駆動軸１２Ｌ2と右回転部材１６Ｒとが一緒に主回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の右腕部２０Ｒ1と第二の左腕部２０Ｌ2はそれぞれの形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転するように構成されている。
【００７１】
本発明は、第二の左腕部２０Ｌ2は第一の左腕部２０Ｌ1と左回転部材１６Ｌを共有し、第二の右腕部２０Ｒ2は第一の右腕部２０Ｒ1と右回転部材１６Ｒを共有する構造も含まれる。この場合、第二の左主従動腕２２Ｌ2は右主従動回転軸線ＲRを中心に回転可能に配置され、第二の右主従動腕２２Ｒ2は左主従動回転軸線ＲLを中心に回転可能に配置されていたが、第二の左主従動腕２２Ｌ2は左主従動回転軸線ＲLを中心に回転可能に配置され、第二の右主従動腕２２Ｒ2は右主従動回転軸線ＲRを中心に回転可能に配置される。
【００７２】
従って、第一の左駆動軸１２Ｌ1、第二の左駆動軸１２Ｌ2と左回転部材１６Ｌとが一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の左腕部２０Ｌ1と第二の左腕部２０Ｌ2はそれぞれ形状を維持ながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転し、第一の右駆動軸１２Ｒ1、第二の右駆動軸１２Ｒ2と右回転部材１６Ｒが一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の右腕部２０Ｒ1と第二の右腕部２０Ｌ2はそれぞれ形状を維持ながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転するように構成されている。
【００７３】
ここでは、図８を参照し、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1の第一の左副リンク３２Ｌ1、第一の右副リンク３２Ｒ1は、第一の左主リンク３１Ｌ1、第一の右主リンク３１Ｒ1の上方にそれぞれ配置され、第二の左腕部２０Ｌ2、第二の右腕部２０Ｒ2の第二の左副リンク３２Ｌ2、第二の右副リンク３２Ｒ2は、第二の左主リンク３１Ｌ2、第二の右主リンク３１Ｒ2の下方にそれぞれ配置されている。
【００７４】
そのため、第二の左載置部２７Ｌ2、第二の右載置部２７Ｒ2の高さと、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1の高さの差は、第一の左副リンク３２Ｌ1、第一の右副リンク３２Ｒ1が、第一の左主リンク３１Ｌ1、第一の右主リンク３１Ｒ1の下方にそれぞれ配置された場合や、第二の左腕部２０Ｌ2、第二の右腕部２０Ｒ2の第二の左副リンク３２Ｌ2、第二の右副リンク３２Ｒ2が、第二の左主リンク３１Ｌ2、第二の右主リンク３１Ｒ2の上方にそれぞれ配置された場合よりも小さく、第二の左載置部２７Ｌ2、第二の右載置部２７Ｒ2に載置された基板は、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1に載置された基板とほぼ同じ高さで搬送されるようになっている。
【００７５】
図９（ａ）、（ｂ）の符号５０’は本発明の第二例の搬送装置１０’を用いた真空処理装置の模式的な平面図である。
この真空処理装置５０’は、符号５０の真空処理装置と同様に、搬送室５１’と、搬送室５１’にそれぞれ接続された１又は複数の処理室５２’〜５９’とを有している。
搬送装置１０’は、搬送室５１’の内部に配置されている。
【００７６】
図９（ａ）を参照し、ここでは符号５６’、５７’の処理室内でそれぞれ基板が真空処理されているとする。各腕部２０Ｌ1、２０Ｌ2、２０Ｒ1、２０Ｒ2を縮めた状態で、第一の左駆動軸１２Ｌ1、第二の左駆動軸１２Ｌ2と、第一の右駆動軸１２Ｒ1、第二の右駆動軸１２Ｒ2と、左回転部材１６Ｌ、右回転部材１６Ｒとを一緒に同一角度同方向に回転させ、各腕部２０Ｌ1、２０Ｌ2、２０Ｒ1、２０Ｒ2を回転させて、第一の左載置部２７Ｌ1、第二の左載置部２７Ｌ2を一方の処理室５６’に向け、第一の右載置部２７Ｒ1、第二の右載置部２７Ｒ2を他方の処理室５７’に向ける。
【００７７】
図９（ｂ）を参照し、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1には一枚ずつ未処理の基板が載置され、第二の左載置部２７Ｌ2、第二の右載置部２７Ｒ2には基板は載置されていない場合には、第二の左腕部２０Ｌ2、第二の右腕部２０Ｒ2を処理室５６’、５７’内にそれぞれ伸ばして、処理済みの基板を第二の左載置部２７Ｌ2、第二の右載置部２７Ｒ2に載せ、第二の左腕部２０Ｌ2、第二の右腕部２０Rを縮めて、基板を搬送室５１’に搬出する。
【００７８】
次いで第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1をそれぞれ伸ばして、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1に載置された未処理の基板を同処理室５６’、５７’内に搬入し、第一の左腕部２０Ｌ1、第一の右腕部２０Ｒ1を縮めて、第一の左載置部２７Ｌ1、第一の右載置部２７Ｒ1を搬送室５１’に引き出す。次いで、同処理室５６’、５７’内に搬入された基板を真空処理させる。
【００７９】
第二例の搬送装置１０’では、処理済みの基板を処理室５６’、５７’から搬出した後すぐに、未処理の別の基板を同処理室５６’、５７’内に搬入できるので、第一例の搬送装置１０よりも基板処理のスループットを向上できる。
【符号の説明】
【００８０】
１０、１０’……搬送装置
２０Ｌ1、２０Ｒ1、２０Ｌ2、２０Ｒ2……腕部
２１Ｌ1、２１Ｒ1……主能動腕
２２Ｌ1、２２Ｒ1、２２Ｌ2、２２Ｒ2……主従動腕
２３Ｌ1、２３Ｒ1……副能動腕
２４Ｌ1、２４Ｒ1……副従動腕
２５Ｌ1、２５Ｒ1……規制部材
２６Ｌ1、２６Ｒ1……ハンド
２７Ｌ1、２７Ｒ1……載置部
Ｏ……主能動回転軸線
ＭL、ＭR……第一の長さ
ＮL、ＮR……第二の長さ
ＲL、ＲR……主従動回転軸線
ＳL、ＳR……副能動回転軸線
ＴL、ＴR……副従動回転軸線
ＰL、ＰR……ハンド能動回転軸線
ＱL、ＱR……ハンド従動回転軸線
【図１】
2012026293.tif 000003
【図２】
2012026293.tif 000004
【図３】
2012026293.tif 000005
【図４】
2012026293.tif 000006
【図５】
2012026293.tif 000007
【図６】
2012026293.tif 000008
【図７】
2012026293.tif 000009
【図８】
2012026293.tif 000010
【図９】
2012026293.tif 000011
【図１０】
2012026293.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成24年6月12日(2012.6.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
第一の左主能動腕２１Ｌ1、第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端は第一の左駆動軸１２Ｌ1、第一の右駆動軸１２Ｒ1にそれぞれ固定されている。
ここでは図２を参照し、第一の右駆動軸１２Ｒ1は第一の左駆動軸１２Ｌ1より高い位置に配置され、第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端は第一の左主能動腕２１Ｌ1の一端より高い位置に固定されており、第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状に下方に曲げられて、第一の右主能動腕２１Ｒ1の他端と第一の左主能動腕２１Ｌ1の他端とは同一の高さに配置されている。
なお、第一の右主能動腕２１Ｒ1の他端と第一の左主能動腕２１Ｌ1の他端とが同一の高さに配置されているならば、第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端と他端との間の部分が曲線状に下方に曲げられていてもよいし、第一の左主能動腕２１Ｌ1の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状又は曲線状に上方に曲げられていてもよい。
また、第一の左駆動軸１２Ｌ1が第一の右駆動軸１２Ｒ1より高い位置に配置され、第一の左主能動腕２１Ｌ1の一端が第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端より高い位置に固定されており、第一の左主能動腕２１Ｌ1の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状又は曲線状に下方に曲げられ、または第一の右主能動腕２１Ｒ1の一端と他端との間の部分が「Ｌ」字状又は曲線状に上方に曲げられて、第一の右主能動腕２１Ｒ1の他端と第一の左主能動腕２１Ｌ1の他端とが同一の高さに配置された構成も本発明に含まれる。
図１を参照し、第一の左駆動軸１２Ｌ1が回転すると、第一の左主能動腕２１Ｌ1は第一の左駆動軸１２Ｌ1と一緒に同一角度同方向に水平面内で回転するように構成されている。また第一の右駆動軸１２Ｒ1が回転すると、第一の右主能動腕２１Ｒ1は第一の右駆動軸１２Ｒ1と一緒に同一角度同方向に水平面内で回転するように構成されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
両プーリ４５、４６には二本のベルト４７、４８がたすき掛けにされ、それぞれの端部が各プーリ４５、４６に固定されている。なお二本のベルト４７、４８の代わりに一本のベルトが「８」の字状に巻き掛けられて構成されていてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
左回転部材１６Ｌが静止した状態で第一の左駆動軸１２Ｌ1が回転して第一の左主能動腕２１Ｌ1が回動されると、第一プーリ４５が第一の左主能動腕２１Ｌ1と一体に同一角度同方向に回転し、これに二本のベルト４７、４８を介して連結された第二プーリ４６は同一角度逆方向に回転する。従ってこの第二プーリ４６に固定された第一の左副従動腕２４Ｌ1は左副従動回転軸線ＴLを中心に第一の左主能動腕２１Ｌ1と同一角度逆方向に回動する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
第一の左駆動軸１２Ｌ1と左回転部材１６Ｌとを一緒に主能動回転軸線Ｏを中心に同一角度同方向に回転させると、第一の左腕部２０Ｌ1は角度αL、βLの大きさを維持した状態で主能動回転軸線Ｏの周りを回転移動し、第一の右駆動軸１２Ｒ1と右回転部材１６Ｒとを一緒に主能動回転軸線Ｏを中心に同一角度同方向に回転させると、第一の右腕部２０Ｒ1は角度αR、βRの大きさを維持した状態で主能動回転軸線Ｏの周りを回転移動する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
従って、第一の左駆動軸１２Ｌ1、第二の左駆動軸１２Ｌ2と左回転部材１６Ｌとが一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の左腕部２０Ｌ1と第二の左腕部２０Ｌ2はそれぞれ形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転し、第一の右駆動軸１２Ｒ1、第二の右駆動軸１２Ｒ2と右回転部材１６Ｒが一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに同一角度同方向に回転すると、第一の右腕部２０Ｒ1と第二の右腕部２０Ｒ2はそれぞれ形状を維持しながら一緒に主能動回転軸線Ｏの周りに回転するように構成されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2012026293.tif 000013
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
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【国際調査報告】
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