(57)【要約】画像データ毎に検査内容や有効検査領域が変わったり、表面検査用照明・撮像システムそのものが変更されても、画像処理装置側で共通に画像処理できるようにすべく、画像処理用データ構造を、撮像装置による撮像画像を示す撮像画像データに、前記撮像画像における検査に有効な領域である有効撮像領域を示す有効撮像領域データ及び前記有効撮像領域に対して施すべき画像処理の内容を特定するための画像処理特定データを関連づけてなるものにした。
2011027848.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を照明する照明装置、前記検査対象物を撮像する撮像装置、及び情報処理装置を具備した表面検査用照明・撮像システムであって、
前記情報処理装置が、
前記検査対象物の表面形状、前記撮像装置の検査対象物に対する相対位置及び姿勢を示す位置関連情報、前記撮像装置側で定まる撮像条件、及び前記検査対象物への前記照明装置による光照射態様を少なくとも判断パラメータとして、前記撮像画像における検査に有効な領域である有効撮像領域を特定するとともに該有効撮像領域に対して施すべき画像処理の内容を特定する判断部と、
前記撮像画像を示す撮像画像データ、前記有効撮像領域を示す有効撮像領域データ、及び前記有効撮像領域に対して施すべき画像処理の内容を特定するための画像処理特定データを、前記画像処理装置に送信するデータ送信部とを具備していることを特徴とする表面検査用照明・撮像システム。
【請求項２】
前記照明装置又は撮像装置の少なくとも一方の検査対象物に対する相対位置を変更可能に構成したものにおいて、
前記情報処理装置が、
前記検査対象物の表面形状を示す表面形状データ、前記位置関連情報を示す位置関連情報データ、前記撮像条件を示す撮像条件データ、及び前記光照射態様を示す光照射態様データを格納しているデータ格納部と、
前記データ格納部に格納されている位置関連情報データ、表面形状データ、及び撮像条件データから撮像されるべき画像を算出するとともに、この算出画像と撮像画像とにずれがあった場合、そのずれを低減すべく、前記位置関連情報データ、表面形状データ、及び撮像条件データの少なくともいずれかを補正する補正部とをさらに具備していることを特徴とする請求項１記載の表面検査用照明・撮像システム。
【請求項３】
前記位置関連情報が、撮像装置の撮像軸に交わる検査対象物の表面までの距離であるワークディスタンスを少なくとも含み、
前記撮像条件が、撮像装置のレンズに関するパラメータであるカメラレンズパラメータ、被写界深度及び撮像装置の視野の少なくとも１つを含み、
前記光照射態様が、撮像面の照明光軸に対する角度を少なくとも含むことを特徴とする請求項１記載の表面検査用照明・撮像システム。
【請求項４】
前記判断パラメータとして、検査対象物に対する表面検査の内容がさらに含まれていることを特徴とする請求項１記載の表面検査用照明・撮像システム。
【請求項５】
検査対象物を照明する照明装置、前記検査対象物を撮像する撮像装置、及び情報処理装置を具備した表面検査用照明・撮像システムから、画像処理装置での画像処理のために供されるデータの構造であって、
前記撮像装置による撮像画像を示す撮像画像データに、前記撮像画像における検査に有効な領域である有効撮像領域を示す有効撮像領域データ及び前記有効撮像領域に対して施すべき画像処理の内容を特定するための画像処理特定データを関連づけてなることを特徴とする画像処理用データ構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、３次元表面形状を有する検査対象物等に好適に用いられる表面検査用照明・撮像システム等に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
検査対象物の表面にある傷や凹凸、印刷などを検査する場合、照明装置と撮像装置とを有する表面検査用照明・撮像システム（以下、単にシステムともいう）が用いられる。このようなシステムによる検査方法、すなわち、照明態様（照明の角度、照明の色、照明器具の種類等）や撮像態様（表面に対する撮像角度、距離、撮像装置の種類等）等は、検査目的（傷、凹凸、印刷の有無等）や検査対象物の態様（表面状態や形状等）などで定められる。例えば、鏡面状の表面を有した検査対象物の傷を検査する場合、表面に対して斜めから光を当てておき、かつ表面に垂直な方向から撮像するといった検査方法が採用される。【０００３】
また、最近では、特許文献１に知られているように、複雑な３次元形状を有する検査対象物をロボットアームなどで移動自在に保持しておき、当該検査対象物の姿勢や位置を適切に変動させながら、その表面を照明器付きの撮像装置で撮像するようにしたシステムも考えられている。このシステムでは、検査対象物の表面を、正反射光像を得ることが可能な複数の領域にモデルを用いて予め分割しておき、各分割領域に対して設定された撮像及び照明の位置・姿勢となるように、検査対象物を移動させるようにしている。【０００４】
そして、このようにして撮像された画像データは、画像処理装置に送信乃至記録媒体を介して取り込まれ、自動判別や目視判別を容易化するために、前記検査方法や検査対象物の態様に応じた適宜の画像処理が施される。【０００５】
このとき、システムから画像処理装置に送られるのは、従来、基本的には画像データのみ（もちろん、各画像データを識別するための識別子や撮像日時などの画像処理とは直接的に関係のない書誌データが添付されるときもある。）である。そして、画像処理装置側で、この画像データに対し、プログラムなどによって予め定められた一定内容の画像処理が施される。【０００６】
このように画像データを送るだけでよいのは、検査対象物や検査内容が予め定められており、送信されてきた画像データのどの領域に画像処理を施せばよいのかも予め把握されているからである。言い換えれば、１つのシステムに対して１つの専用プログラムをもった画像処理装置が対応するように、これらシステム及び画像処理装置が一体不可分の関係になっているからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２４０４３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、例えば複雑な３次元形状や表面状態が多様な検査対象物などのように、その検査領域に応じて照明器具や撮像装置の配置等を変える必要があって、画像データ毎に検査内容や有効検査領域が変わったりするような場合、従来のように、画像データのみが画像処理装置側に送信されたとしても、そこでの画像処理内容を特定することができないし、各画像データ毎に、どの領域に画像処理を施せばよいのかも判断できないという問題が発生する。【０００９】
また、現状の構成では、種々の表面検査用照明・撮像システムに対して対応できる汎用性のある画像処理装置を提供することは難しく、前述したように、システム毎に専用の画像処理装置を用意する必要がある。【００１０】
本発明は、かかる課題を鑑みてなされたものであって、その主たる所期課題は、画像データ毎に検査内容や有効検査領域が変わったり、表面検査用照明・撮像システムそのものが変更されても、画像処理装置側で共通に画像処理できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
すなわち、本発明に係る表面検査用照明・撮像システムは、検査対象物を照明する照明装置、前記検査対象物を撮像する撮像装置、及び情報処理装置を具備したものであって、
前記情報処理装置が、
前記検査対象物の表面形状、前記撮像装置の検査対象物に対する相対位置及び姿勢を示す位置関連情報、前記撮像装置側で定まる撮像条件、及び前記検査対象物への前記照明装置による光照射態様を少なくとも判断パラメータとして、前記撮像画像における検査に有効な領域である有効撮像領域を特定するとともに該有効撮像領域に対して施すべき画像処理を特定する判断部と、
前記撮像画像を示す撮像画像データ、前記有効撮像領域を示す有効撮像領域データ、及び前記有効撮像領域に対して施すべき画像処理を特定するための画像処理特定データを、前記画像処理装置に送信するデータ送信部とを具備していることを特徴とするものである。【００１２】
本発明の効果をより顕著ならしめるともに、精度良く表面検査ができるようにするには、前記照明装置又は撮像装置の少なくとも一方の検査対象物に対する相対位置を変更可能に構成しておくとともに、前記情報処理装置に、前記検査対象物の表面形状を示す表面形状データ、前記位置関連情報を示す位置関連情報データ、前記撮像条件を示す撮像条件データ、及び前記光照射態様を示す光照射態様データを格納しているデータ格納部と、前記データ格納部に格納されている位置関連情報データ、表面形状データ、及び撮像条件データから撮像されるべき画像を算出するとともに、この算出画像と撮像画像とにずれがあった場合、そのずれを低減すべく、前記位置関連情報データ、表面形状データ、及び撮像条件データの少なくともいずれかの値を補正する補正部とをさらに具備させておくことが好ましい。【００１３】
具体的な実施態様としては、前記位置関連情報が、撮像装置の撮像軸に交わる検査対象物の表面までの距離であるワークディスタンスを少なくとも含み、前記撮像条件が、撮像装置のレンズに関するパラメータであるカメラレンズパラメータ、被写界深度及び撮像装置の視野の少なくとも１つを含み、前記光照射態様が、撮像面の照明光軸に対する角度を少なくとも含むものを挙げることができる。
前記判断パラメータに、検査対象物に対する表面検査の内容がさらに含まれているものであれば、画像処理をより的確に特定することができる。【００１４】
また、本発明に係る画像処理用データ構造は、検査対象物を照明する照明装置、前記検査対象物を撮像する撮像装置、及び情報処理装置を具備した表面検査用照明・撮像システムから、画像処理装置での画像処理のために供されるデータの構造であって、前記撮像装置による撮像画像を示す撮像画像データ、前記撮像画像における有効撮像領域を示す有効撮像領域データ、及び前記有効撮像領域に対して施すべき画像処理を特定するための画像処理特定データを関連づけてなることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
上述した本発明によれば、表面検査用照明・撮像システム側で、撮像画像に加えて、その撮像画像中の有効撮像領域及び該有効撮像領域に施すべき画像処理内容を特定して画像処理装置に送信できるので、画像処理装置側では、表面検査用照明・撮像システムの構成に拘わらず、共通のプログラムによって画像処理を施すことができるようになり、この結果、画像処理装置の汎用化、標準化を推し進めることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る表面検査装置の全体模式図。
【図２】同実施形態における情報処理装置の機能ブロック図。
【図３】同実施形態における検査対象物に係るＣＡＤデータの概念図。
【図４】同実施形態における表面形状データの概念図。
【図５】同実施形態におけるデータ設定ルーチンを示すフローチャート。
【図６】同実施形態における撮像装置調整ルーチンを示すフローチャート。
【図７】同実施形態における照明装置調整ルーチンを示すフローチャート。
【図８】同実施形態における補正ルーチンを示すフローチャート。
【図９】同実施形態における判断ルーチンを示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００１８】
本実施形態に係る表面検査用照明・撮像システム１００は、図１に示すように、照明装置２、撮像装置３、これら照明装置２と撮像装置３とを位置及び姿勢変更可能に支持するロボットアーム４１、４２、及び情報処理装置５を具備しており、検査対象物１を複数の位置から照明しつつ撮像することで該検査対象物１の一部又は全部の表面を検査するものである。
具体的に各部を説明する。
【００１９】
照明装置２は、例えばＬＥＤを用いたもので、ここではスポット光照射型のものを用いているが、これに限られず、リング型のものやドーム型のものなどでも構わないし、光源もハロゲンライトなどを用いて構わない。
【００２０】
撮像装置３は、カメラレンズ等の受光光学系と、その受光光学系を通った光を受光してセンシングするＣＣＤやＣＭＯＳセンサを用いたいわゆるＦＡ用のものである。
【００２１】
ロボットアーム４１、４２は、その先端で前記照明装置２及び撮像装置３を支持して、これらの姿勢及び位置（これらは、本発明における位置と同義）を、例えば、それぞれ３自由度の計６自由度で設定するものである。
【００２２】
情報処理装置５は、ＣＰＵ、メモリ、Ｉ／Ｏチャネル等を有するいわゆるコンピュータであり、そのメモリに記憶させたプログラムにしたがってＣＰＵやその周辺機器が協働することにより、図２に示すように、データ格納部５１、データ受付部５２、位置調整部５３、撮像装置制御部５４、照明装置制御部５５、補正部５６、判断部５７、データ送信部５８等としての機能を発揮する。なお、かかる情報処理装置５は、物理的に言えば、単独で設置されていても構わないし、撮像装置３や照明装置２に付帯させて一体に設けてあっても構わない。
次に、この情報処理装置５の各部の説明を兼ねて、表面検査用照明・撮像システム１００の動作について詳述する。
【００２３】
前記データ格納部５１には、検査対象物１の表面形状を示す表面形状データが格納されている。この表面形状データは、図２に示すように、例えば最小単位となる平面多角形（ここでは例えば四角形）のポリゴンを示すポリゴンデータの集合からなるもので、各ポリゴンデータには、図３に示すように、その各コーナ（ここでは四角形だから４点）の座標データと面方向（面の法線方向）を示すベクトルデータが与えられている。また、各ポリゴンデータには、その表面態様を示す表面態様データがそれぞれ対応付けられていてもよい。表面態様データとは、鏡面や拡散面などの面粗さや、筋目の方向などを示すデータのことである。
【００２４】
そして、図５に示すように、まずは、オペレータによる入力等によって、検査対象物における表面検査したい領域である検査対象領域が定められる。具体的には、例えば前記入力等で定められた検査対象領域をデータ受付部５２が受け付け、前記表面形状データにおいて、検査対象領域に存在するポリゴンデータの集合を、検査対象領域データとして、データ格納部５１に格納する。
【００２５】
また、同入力等によって、撮像装置３に関しての調整可能なパラメータ、すなわち、前記検査対象領域の所定点と撮像装置３との距離（ワークディスタンスとも言う）や撮像角度、撮像倍率、絞り等が定められる。具体的には、例えば前記入力等で定められた撮像装置関連パラメータをデータ受付部５２が受け付け、これらを前記データ格納部５１に格納する。
【００２６】
さらに、同入力等によって、照明装置２に関する調整可能なパラメータ、すなわち、検査対象領域に対する照明装置２の距離、照明光の角度、照明光の光質（光射出強度、光の色）等が設定される。具体的には、例えば前記入力等で定められた照明装置関連パラメータをデータ受付部５２が受け付け、これらを該データ格納部５１に格納する。
このデータ格納部５１には、この他に、種々の情報、例えば、撮像装置３のカメラレンズパラメータや被写界深度などに係るデータが予め格納されている。
【００２７】
このように、データ格納部５１には、（１）検査対象物１の表面形状を示すデータである表面形状データ、（２）前記検査対象領域を示すデータである検査対象領域データ、（３）撮像装置３の検査対象物１に対する位置及び姿勢、すなわちこれらを特定するワークディスタンス及び撮像角度を示すデータである位置関連情報データ、（４）撮像装置３側で定まる撮像条件、すなわち、撮像倍率、絞り、カメラレンズパラメータ、被写界深度、撮像視野立体角等を示すデータである撮像条件データ、（５）前記検査対象物１への前記照明装置２による光照射態様を決定する条件、すなわち検査対象領域に対する照明装置２の距離、照明光の角度、照明光の光質等を示すデータである光照射態様データ等が格納されている。
【００２８】
次に、位置調整部５３が、図６に示すように、前記データ格納部５１の表面形状データを参照し、前記検査対象領域の所定点（例えば中心位置）の座標を算出する。
【００２９】
そして、該位置調整部５３は、前記データ格納部５１の位置関連情報データを参照して、前記所定点に撮像軸が一致し、同所定点から撮像装置３までの距離が位置関連情報データの示す前記ワークディスタンスと一致し、かつ、同所定点における検査対象面の所定点における法線方向（ここでは所定点を含むポリゴンデータにより法線方向を特定する）と撮像軸とのなす角度が、位置関連情報データの示す前記撮像角度（ここでは、撮像軸が前記法線方向と一致する角度、すなわち０度）と一致するように、前記ロボットアーム４２に制御信号を出力して、撮像装置３の検査対象物１に対する相対的な位置及び姿勢を設定する。
【００３０】
また、該位置調整部５３は、図７に示すように、前記データ格納部５１の光照射態様データを参照して、前記所定点と照明装置２との距離が、光照射態様データの示す距離となり、かつ、前記照明光の角度が光照射態様データの示す前記照明角度となるように、前記ロボットアーム４１に制御信号を出力して、照明装置２の検査対象物１に対する相対的な位及び姿勢を設定する。
【００３１】
一方で、照明装置制御部５５は、所定の指令信号を照明装置２に出力し、該照明装置２から射出される光が、前記光照射態様データが示す光質や射出光強度となるように設定する。
また、撮像装置制御部５４は、所定の指令信号を撮像装置３に出力し、該撮像装置が、前記撮像条件データが示す撮像倍率や絞りとなるように設定する。
【００３２】
次に、補正部５６が、図８に示すように、データ格納部５１に格納されている位置関連情報データ、撮像条件データ及び表面形状データに基づいて、撮像画像中に写るべき検査対象物の画像を算出する。そして、その算出画像と、実際に撮像された撮像画像とを比較してそのずれが最少となるように算出画像を決定するパラメータ、すなわち位置関連情報データ、撮像条件データ及び表面形状データを補正する。
【００３３】
具体的には、補正部５６は、前記算出画像データと実撮像画像データとを、エッジや特定マークなどの検査対象物１の特異点を参照することなどによって比較する。そして、ずれがあった場合は、前記位置関連情報データの値や、撮像条件データのうちの例えばレンズ歪み等を示すメラレンズパラメータの値を補正したり、検査対象物１の形状や寸法に誤差があった場合は、検査対象領域やその周辺領域の表面形状データを補正したりして、整合性を取る。
【００３４】
その後、判断部５７が、前記データ格納部５１を参照して、そのデータが示す、検査対象物１の表面形状、ワークディスタンス、撮像角度、撮像条件、光照射態様等を判断パラメータとして、前記撮像画像における検査に有効な領域である有効撮像領域を特定し、有効撮像領域データとしてデータ格納部に格納する。
【００３５】
有効撮像領域を特定する具体的な手法としては、以下のようなものを挙げることができる。例えば、カメラレンズパラメータによって撮像画像の周辺のゆがみの大きい部分を特定し、この周辺領域を排除する。視野立体角によっても同じく、視野よりも外側の周辺部分を排除する。また、被写界深度から、例えば検査対象領域中に大きく凹んでいたり突出したりしてその領域が被写界深度から外れていると表面形状データから判断された場合は、その領域を排除する。さらに、前記検査対象領域中に、面の方向が所定以上異なる領域があると表面形状データから判断されて、その領域に照射される光の角度が許容範囲を超えるような場合は、当該領域を排除する。このようにして、画像として検査に不適切と判断される領域をマスクし、それらマスクされた領域を除いた残りの領域を有効撮像領域としてこの判断部５７が特定する。そして、この有効撮像領域を示すデータである有効撮像領域データをデータ格納部５１に格納する。
【００３６】
また、当該判断部５７は、表前記データ格納部５１を参照して、そのデータが示す、有効検査領域の表面形状、ワークディスタンス、撮像角度、撮像条件、光照射態様及び傷検査や文字認識などに係る検査内容等に基づいて、画像処理装置側で行うべき１又は複数の画像処理の内容を特定し、画像処理特定データとしてデータ格納部５１に格納する。
【００３７】
画像処理の内容とは、例えば、２値化、明るさ調整、色成分の抽出、コントラスト調整、ガンマ補正、グレイスケール化、ノイズ除去、ぼかし等のような画像処理の種類のことである。画像処理の内容には、画像処理の種類に加え、それぞれの画像処理における調整パラメータを付加してもよい。例えば、２値化であれば、２値に分けるための閾値が調整パラメータとなるし、コントラスト調整であれば、入力画素値（画素値とは画素の濃度や明るさのこと）に対する出力画素値との関係式が調整パラメータとなる。
【００３８】
このような画像処理の内容を定める場合、当該判断部５７は、基本的には、予めメモリに記憶させてある検査内容−画像処理種類の対応表を参照するなどして、画像処理種類を定める。例えば、検査内容が傷検査であれば、当該判断部５７は、画像処理の種類を基本的には２値化とし、そのときの閾値等の調整パラメータを表面形状（表面態様も含む）、撮像条件、光照射態様などによって定める。これに加えて明るさ調整やコントラスト調整が含まれる場合もある。また、検査内容が文字認識であれば、画像処理の種類として２値化や色成分の抽出が選択される。
なお、この画像処理の内容は、オペレータによる入力によって設定しても構わない。
【００３９】
加えて、もし有効撮像領域が前記検査対象領域をカバーできなかった場合、情報処理装置５は、撮像装置３、照明装置２の位置や姿勢を１乃至複数回変化させ、各位置で都度撮像した撮像画像データに含まれる有効撮像領域によって、前記検査対象領域をカバーできるようにする。各有効撮像領域のオーバーラップ量は予め定めておけばよい。
【００４０】
このようにして撮像された各撮像画像データは、データ送信部５８によって、有効撮像領域データ及び画像処理特定データと関連づけられて、画像処理装置に送信される。
【００４１】
一方、画像処理装置では、受信した撮像画像データにおいて、有効撮像領域以外の部分をマスクし、その有効撮像領域中の画像に画像処理特定データが示す画像処理を施して、画面出力したり、場合によっては検査内容に応じた判断、すなわち傷の有無や文字認識などを自動で行う。
【００４２】
このように構成した本実施形態は、前記撮像画像データに有効撮像領域データ及び画像処理特定データを関連付けたデータ構造を表面検査用照明・撮像システム１００側で構築したことこそが特徴である。
【００４３】
そしてこのことによって、表面検査用照明・撮像システム１００側で、撮像画像データに加えて、その撮像画像中の有効撮像領域及び該有効撮像領域に施すべき画像処理内容を特定して画像処理装置に送信できるので、画像処理装置側では、表面検査用照明・撮像システム１００の構成に拘わらず、共通のプログラムによって画像処理を施すことができるようになり、その結果、画像処理装置の汎用化、標準化を推し進めることが可能になる。
なお、本発明は前記実施形態に限られない。
【００４４】
例えば、前記撮像画像データと有効撮像領域データ及び画像処理特定データは同時に送信する必要は必ずしもなく、それらを関連づけることが可能なように、共通の識別子を付与しておいても構わない。
【００４５】
また、照明装置や撮像装置は、必ずしも検査対象物に対して相対移動可能でなくともよく、本発明のデータ構造を用いることができる環境であれば、どのような検査設備にも本発明を適用して同等の効果を奏することは可能である。
加えて、本発明は、検査対象物として、形状が２次元的な単なるプレート等にも適用可能である。
その他、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
表面検査用照明・撮像システム側で、撮像画像に加えて、その撮像画像中の有効撮像領域及び該有効撮像領域に施すべき画像処理内容を特定して画像処理装置に送信できるので、画像処理装置側では、表面検査用照明・撮像システムの構成に拘わらず、共通のプログラムによって画像処理を施すことができるようになり、この結果、画像処理装置の汎用化、標準化を推し進めることが可能になる。
【符号の説明】
【００４７】
１００・・・表面検査用照明・撮像システム
１・・・検査対象物
２・・・照明装置
３・・・撮像装置
５・・・情報処理装置
【図１】
2011027848.tif 000003
【図２】
2011027848.tif 000004
【図３】
2011027848.tif 000005
【図４】
2011027848.tif 000006
【図５】
2011027848.tif 000007
【図６】
2011027848.tif 000008
【図７】
2011027848.tif 000009
【図８】
2011027848.tif 000010
【図９】
2011027848.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月27日(2010.12.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を照明する照明装置、前記検査対象物を撮像する撮像装置、及び情報処理装置を具備した表面検査用照明・撮像システムであって、
前記情報処理装置が、
前記検査対象物の表面形状、前記撮像装置の検査対象物に対する相対位置及び姿勢を示す位置関連情報、前記撮像装置側で定まる撮像条件、及び前記検査対象物への前記照明装置による光照射態様を少なくとも判断パラメータとして、前記撮像画像における検査に有効な領域である有効撮像領域を特定するとともに該有効撮像領域に対して施すべき画像処理の内容を特定する判断部と、
前記撮像画像を示す撮像画像データ、前記有効撮像領域を示す有効撮像領域データ、及び前記有効撮像領域に対して施すべき画像処理の内容を特定するための画像処理特定データを、前記画像処理装置に送信するデータ送信部とを具備していることを特徴とする表面検査用照明・撮像システム。
【請求項２】
前記照明装置又は撮像装置の少なくとも一方の検査対象物に対する相対位置を変更可能に構成したものにおいて、
前記情報処理装置が、
前記検査対象物の表面形状を示す表面形状データ、前記位置関連情報を示す位置関連情報データ、前記撮像条件を示す撮像条件データ、及び前記光照射態様を示す光照射態様データを格納しているデータ格納部と、
前記データ格納部に格納されている位置関連情報データ、表面形状データ、及び撮像条件データから撮像されるべき画像を算出するとともに、この算出画像と撮像画像とにずれがあった場合、そのずれを低減すべく、前記位置関連情報データ、表面形状データ、及び撮像条件データの少なくともいずれかを補正する補正部とをさらに具備していることを特徴とする請求項１記載の表面検査用照明・撮像システム。
【請求項３】
前記位置関連情報が、撮像装置の撮像軸に交わる検査対象物の表面までの距離であるワークディスタンスを少なくとも含み、
前記撮像条件が、撮像装置のレンズに関するパラメータであるカメラレンズパラメータ、被写界深度及び撮像装置の視野の少なくとも１つを含み、
前記光照射態様が、撮像面の照明光軸に対する角度を少なくとも含むことを特徴とする請求項１記載の表面検査用照明・撮像システム。
【請求項４】
前記判断パラメータとして、検査対象物に対する表面検査の内容がさらに含まれていることを特徴とする請求項１記載の表面検査用照明・撮像システム。
【国際調査報告】
2011027848.tif 000012
2011027848.tif 000013
2011027848.tif 000014
2011027848.tif 000015