(57)【要約】  放電加工装置内の放電状態を一定に保持するため、放電加工制御装置（１０１）は、所定間隔を隔てて対向配置させた電極と被加工物との微小間隔にパルス状の電圧を印加して放電を発生させる加工電源と、電極と前記被加工物との微小間隔における極間電圧を検出する状態量検出器（８）と、状態量検出器（８）で得られた極間電圧の振幅を検出する電極振動状態検出手段（１３）と、電極振動状態検出手段（１３）で得られた極間電圧（９Ｂ）の振幅に基づいて前記状態量検出器（８）で得られた極間平均電圧（９Ａ）に乗じる係数を設定する調整係数設定手段（１４）と、調整係数設定手段（１４）から出力された係数に基づいて評価電圧（１６）を設定する評価電圧設定手段（１５）とを備えている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定間隔を隔てて対向配置させた電極と被加工物との微小間隔に電圧を印加して放電を発生させ、放電の高温エネルギーを利用して加工を行う放電加工装置に対して、前記電極を駆動するサーボ機構の速度指令値を、目標電圧と評価電圧との差分に比例ゲインを乗じたものとして制御する放電加工装置の制御装置において、
前記微小間隔にパルス状の電圧を印加する加工電源と、
前記電極と前記被加工物との微小間隔における極間電圧を検出する状態量検出器と、
前記状態量検出器で得られた極間電圧の振幅を検出する電極振動状態検出手段と、
前記電極振動状態検出手段で得られた極間電圧の振幅に基づいて前記状態量検出器で得られた極間平均電圧に乗じる係数を設定する調整係数設定手段と、
前記調整係数設定手段から出力された係数に基づいて評価電圧を設定する評価電圧設定手段と、
を備えたことを特徴とする放電加工制御装置。
【請求項２】
所定間隔を隔てて対向配置させた電極と被加工物との微小間隔に電圧を印加して放電を発生させ、放電の高温エネルギーを利用して加工を行う放電加工装置に対して、前記電極を駆動するサーボ機構の速度指令値を、目標電圧と評価電圧との差分に比例ゲインを乗じたものとして制御する放電加工装置の制御装置において、
前記微小間隔にパルス状の電圧を印加する加工電源と、
前記電極と前記被加工物との微小間隔における極間電圧を検出する状態量検出器と、
前記状態量検出器で得られた極間電圧の短絡時の周波数を検出する電極振動状態検出手段と、
前記電極振動状態検出手段で得られた極間電圧の短絡時の周波数に基づいて前記状態量検出器で得られた極間平均電圧に乗じる係数を設定する調整係数設定手段と、
前記調整係数設定手段から出力された係数に基づいて評価電圧を設定する評価電圧設定手段と、
を備えたことを特徴とする放電加工制御装置。
【請求項３】
所定間隔を隔てて対向配置させた電極と被加工物との微小間隔に電圧を印加して放電を発生させ、放電の高温エネルギーを利用して加工を行う放電加工装置に対して、前記電極を駆動するサーボ機構の速度指令値を、目標電圧と評価電圧との差分に比例ゲインを乗じたものとして制御する放電加工装置の制御装置において、
前記微小間隔にパルス状の電圧を印加する加工電源と、
前記電極と前記被加工物との微小間隔における極間電圧を検出する状態量検出器と、
前記状態量検出器で得られた極間平均電圧に乗じる係数をフィードバック量に基づいて設定する調整係数設定手段と、
前記調整係数設定手段から出力された係数に基づいて評価電圧を設定する評価電圧設定手段と、
を備えたことを特徴とする放電加工制御装置。
【請求項４】
前記フィードバック量が、位置フィードバック量である
ことを特徴とする請求項３に記載の放電加工制御装置。
【請求項５】
前記調整係数設定手段は、予め設定されたパラメータテーブルに基づいて極間平均電圧に乗じる係数を選択する
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の放電加工制御装置。
【請求項６】
前記調整係数設定手段は、係数の近似値を算出する数式を用いて極間平均電圧に乗じる係数を選択する
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の放電加工制御装置。
【請求項７】
前記状態量検出器は、ローパスフィルタを含んで構成されている
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の放電加工制御装置。
【請求項８】
前記電極振動状態検出手段は、極間電圧の振幅数を時系列的に記憶する記憶手段を有している
ことを特徴とする請求項１に記載の放電加工制御装置。
【請求項９】
前記電極振動状態検出手段は、極間電圧の短絡時の周波数を時系列的に記憶する記憶手段を有している
ことを特徴とする請求項２に記載の放電加工制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電加工装置を制御する放電加工制御装置に関し、特に放電加工装置の加工状態を最適に保つ放電加工制御装置の最適制御に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
導電性のある金属等の材料を、放電の高温エネルギーを利用して溶融加工をおこなう放電加工装置は周知のものである。この放電加工装置においては対向した電極と被加工物との間に所定の電圧を印加し、電極と被加工物との間の微小間隔の絶縁破壊時に発生したパルス状の電流が用いられる。このパルス状の電流による放電を維持させるためには、上記電極と被加工物との間の微小間隔の調整が重要である。【０００３】
通常、被加工物は電極との間隔に発生した放電の高温エネルギーにより溶融除去される。そのため、電極と被加工物との距離が固定されている場合、加工が進むにつれて極間間隔は拡大されて、放電の起こりにくい状態へと移行する。極間間隔の拡大が進み、放電が持続できない距離まで拡大すると加工が止まる。これを防止するために、通常放電加工では上記極間間隔を最適な状態に維持する制御が行なわれる。【０００４】
通常、加工中に極間で発生した加工屑は絶縁性の加工液等によって洗い流される。しかし、加工液が放電位置に充分供給できない場合や、極間間隔が小さい場合、この加工屑が局所的に極間間隔の絶縁性を低下させ、電気的に導通状態になることがある。この場合は、間隔に放電を発生させるのに充分な電圧を印加できなくなり、放電が停止したり過大な電流が局所的に流れて電極や被加工物に損傷を与えたりする場合がある。この様な場合は極間間隔を拡大することで、絶縁状態を回復させたり、加工液の流路を確保したりすることが行なわれる。【０００５】
つまり、放電加工においては、絶えず極間間隔を縮小したり拡大したりする制御を行うことで、平均的に最適な距離を維持する。この極間間隔の制御能力は電極及び被加工物の加工結果に対して大きな影響を持つ基本的な性能である。【０００６】
この様に、極間間隔の制御と維持は放電加工において基本的かつ重要な制御内容であるが、放電中の極間間隔を直接測定することは容易なことではなく実際上不可能である。【０００７】
このため通常は極間距離と等価と見なすことのできる極間の状態量を検出することにより、極間間隔を推定し、任意に設定した状態量との大小を比較し制御を行なっている（例えば、特許文献１〜３参照）。【０００８】
図８は、例えば特許文献３に記載された従来の放電加工制御装置のブロック図である。図９は、図８においてブロック図で説明した内容を、実際の電気回路として構成した場合の一例を示す電気回路図である。従来の放電加工制御装置２０１においては、極間間隔の推定に、状態量（極間電圧波形）７より得られる極間平均電圧９を用いている。この方法は従来より行なわれている方法で、平均電圧サーボ方式といわれているものである。極間平均電圧９は極間間隔に比例するとされており、平均電圧が目標とする極間設定電圧１に対して、高いときは放電が発生し易いように極間間隔を縮小し、極間設定電圧１より低いときには放電を抑制するように極間間隔を拡大する制御を行なうことにより、良好な放電状態を維持させる。【０００９】
ここで、加工速度５による外乱がこの系に入り、極間間隔か広がったため、駆動装置を動かして極間間隔を一定に保つため電極送りを行なう場合を考えてみる。【００１０】
加工によって極間間隔が拡大したことは、極間現象６を通じて極間電圧波形に放電が起こりにくくなったこととして現われる。放電が起こりにくくなった場合、極間平均電圧９が増大する。比較器２は、極間平均電圧９と極間設定電圧１との差である誤差量１０を検出する。この誤差量１０は比例ゲイン３に乗じた後、サーボ機構４を駆動する速度指令１１として送られる。サーボ機構４が電極を送り、加工によって極間距離が広がった部分だけ送られると、極間間隔は元の放電するに適当な距離となり、極間平均電圧は９となり、極間設定電圧１に再び一致する。
【００１１】
例えば、比例ゲイン３が大きすぎる値に設定されていた場合、比例ゲイン３からサーボ機構４へ送られる駆動信号と機械構造体やサーボ機構などの応答位相差が大きくなり、加工によって広がった極間間隔以上に駆動装置が動作して、極間間隔が逆に小さくなってしまうことが起こる、この場合、極間平均電圧は逆に小さくなり、サーボ機構４には極間間隔を広げる信号が送られるため、再び極間間隔は広がる方向へ移行するが、極間平均電圧９やサーボ機構４は発振状態となり、場合によっては極間間隔にて短絡状態、解放状態を繰り返すハンチング状態に陥ってしまう。逆に比例ゲイン３が小さすぎると、系の回復に要する遅れ時間が大きくなり、加工速度５として系に入ってくる外乱に充分速い速度で応答することができず、理想的な間隔に設定が困難になり加工速度の低下などを引き起こしてしまう。【００１２】
この様に、比例ゲイン３は、最適な値に設定されている必要のあるものである。なお図９は、図８においてブロック図で説明した内容を、実際の電気回路として構成した場合の一例を示している。図８と同一番号で示したものは、それと等価な内容のものを示している。ローパスフィルタ８ａ，８ｂは、極間電圧検出手段８Ｂを構成し、極間平均電圧９を出力する。また加えて、図９においては、放電加工装置として一般に具備されている構成部分を示している。すなわち、放電加工装置は、放電エネルギーを供給するための加工電源１８、放電工ネルキーを電流値として規定するための抵抗１７、パルス状の電流波形を作るためのスイッチング素子１９、そのスイッチンクのための発振器２０、電極２３、被加工物２４、加工槽２１、加工液２２を具備している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開昭６３−３１２０２０号公報
【特許文献２】特開平１−３０１０１９号公報
【特許文献３】特開平２−３６０１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、このような放電加工においては、加工の進行や加工屑の生成等の外乱に対して常に制御を行ない、放電するのに適当な極間間隔を維持しなければ、効率のよい加工は望めない。そのためには極間間隔を変化させるサーボ機構に対する比例ゲインを最適に設定する必要がある。【００１５】
ところが放電加工においては、この比例ゲインの最適値は機械剛性やサーボ機構の特性だけで決まる訳ではなく、加工内容や加工条件等により時々刻々変化するものであり、加工中すべての時間において作業者が手動にて最適値に設定することは困難である。【００１６】
この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、極間電圧の振幅或いは極間電圧の短絡時の周波数といった極間電圧の電気信号情報に基づいて極間の状態を判別し、比例ゲインにて乗じる評価電圧データの係数設定を自動的に行うことにより、最適化を図るとともに、加工中の状態の変化に対しても柔軟に対応できるようにし、作業者の経験によらず最適状態の放電加工を無人で行う放電加工制御装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る放電加工制御装置によれば、所定間隔を隔てて対向配置させた電極と被加工物との微小間隔に電圧を印加して放電を発生させ、放電の高温エネルギーを利用して加工を行う放電加工装置に対して、電極を駆動するサーボ機構の速度指令値を、目標電圧と評価電圧との差分に比例ゲインを乗じたものとして制御する放電加工装置の制御装置において、微小間隔にパルス状の電圧を印加する加工電源と、電極と被加工物との微小間隔における極間電圧を検出する状態量検出器と、状態量検出器で得られた極間電圧の振幅を検出する電極振動状態検出手段と、電極振動状態検出手段で得られた極間電圧の振幅に基づいて状態量検出器で得られた極間平均電圧に乗じる係数を設定する調整係数設定手段と、調整係数設定手段から出力された係数に基づいて評価電圧を設定する評価電圧設定手段とを備えたことを特徴とする。【００１８】
また、本発明に係る他の放電加工制御装置によれば、所定間隔を隔てて対向配置させた電極と被加工物との微小間隔に電圧を印加して放電を発生させ、放電の高温エネルギーを利用して加工を行う放電加工装置に対して、電極を駆動するサーボ機構の速度指令値を、目標電圧と評価電圧との差分に比例ゲインを乗じたものとして制御する放電加工装置の制御装置において、微小間隔にパルス状の電圧を印加する加工電源と、電極と被加工物との微小間隔における極間電圧を検出する状態量検出器と、状態量検出器で得られた極間電圧の短絡時の周波数を検出する電極振動状態検出手段と、電極振動状態検出手段で得られた極間電圧の短絡時の周波数に基づいて状態量検出器で得られた極間平均電圧に乗じる係数を設定する調整係数設定手段と、調整係数設定手段から出力された係数に基づいて評価電圧を設定する評価電圧設定手段とを備えたことを特徴とする。【００１９】
さらに、本発明に係る他の放電加工制御装置によれば、所定間隔を隔てて対向配置させた電極と被加工物との微小間隔に電圧を印加して放電を発生させ、放電の高温エネルギーを利用して加工を行う放電加工装置に対して、電極を駆動するサーボ機構の速度指令値を、目標電圧と評価電圧との差分に比例ゲインを乗じたものとして制御する放電加工装置の制御装置において、微小間隔にパルス状の電圧を印加する加工電源と、電極と被加工物との微小間隔における極間電圧を検出する状態量検出器と、状態量検出器で得られた極間平均電圧に乗じる係数をフィードバック量に基づいて設定する調整係数設定手段と、調整係数設定手段から出力された係数に基づいて評価電圧を設定する評価電圧設定手段とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る放電加工制御装置によれば、極間電圧の振幅、短絡時の周波数、或いはサーボ系の位置フィードバック量の振幅を検出し、その結果に基づいて、評価電圧を変化させるようにしたので、使用する電極の重量、加工面積、加工形状、加工速度、加工電流等の変動に対して、常に最適な加工ゲインにより加工を行なえる放電加工制御装置を安価に実現することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本発明に係る放電加工制御装置の実施の形態１の放電加工制御装置を示す図である。
【図２】図２は、調整係数設定手段が係数を設定する際に用いる極間電圧振幅と対応する係数の関係を示すパラメータテーブルの図である。
【図３】図３は、本発明に係る放電加工制御装置の実施の形態２の放電加工制御装置を示す図である。
【図４】図４は、調整係数設定手段が係数を設定する際に用いる極間電圧周波数と対応する係数の関係を示すパラメータテーブルの図である。
【図５】図５は、本発明に係る放電加工制御装置の実施の形態３の放電加工制御装置を示す図である。
【図６】図６は、本発明に係る放電加工制御装置の実施の形態４の放電加工制御装置を示す図である。
【図７】図７は、調整係数設定手段が係数を設定する際に用いる位置フィードバック量の振幅と対応する係数の関係を示すパラメータテーブルの図である。
【図８】図８は、従来の放電加工制御装置のブロック図である。
【図９】図９は、図８においてブロック図で説明した内容を、実際の電気回路として構成した場合の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に、本発明に係る放電加工制御装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００２３】
実施の形態１．
図１は、本発明に係る放電加工制御装置の実施の形態１の放電加工制御装置を示す図である。図２は、調整係数設定手段が係数を設定する際に用いる極間電圧振幅と対応する係数の関係を示すパラメータテーブルの図である。本実施の形態の放電加工制御装置１０１においては、図１に示すように、比較器２、比例ゲイン３、サーボ機構４、状態量検出器８、電極振動状態検出手段１３、調整係数設定手段１４、及び評価電圧設定手段１５を有している。このうち、比較器２、比例ゲイン３、及びサーボ機構４は、図８に示す従来の放電加工制御装置２０１と同様なものである。
【００２４】
放電加工装置は、所定間隔を隔てて対向配置させた電極２３と被加工物２４との微小間隔に電圧を印加して放電を発生させ（図８）、放電の高温エネルギーを利用して加工を行う。このような放電加工装置に対して、放電加工制御装置１０１は、電極２３を駆動するサーボ機構４の速度指令値１１を、極間設定電圧（目標電圧）と評価電圧１６との差分に比例ゲイン３を乗じたものとして制御する。
【００２５】
そして、本実施の形態の放電加工制御装置１０１は、図１に示すように、従来の放電加工制御装置２０１と比較して、極間電圧検出手段８Ｂに替わって以下のものを具備している。すなわち、電極２３と被加工物２４との微小間隔における極間電圧を検出する状態量検出器８と、状態量検出器８で得られた極間電圧の振幅を検出する電極振動状態検出手段１３と、電極振動状態検出手段１３で得られた極間電圧の振幅に基づいて、状態量検出器８で得られた極間平均電圧９Ａに乗じる係数を設定する調整係数設定手段１４と、調整係数設定手段１４から出力された係数に基づいて評価電圧１６を設定する評価電圧設定手段１５とを有している。その他の構成は、図９に電気回路で示す部分も含めて従来の放電加工制御装置２０１と同様である。なお、状態量検出器８は、図８の極間電圧検出手段８Ｂ（ローパスフィルタ８ａ，８ｂ）と同じようにローパスフィルタを含んで構成されている。
【００２６】
本実施の形態の放電加工制御装置１０１において、状態量検出器８は、放電加工装置の電極と被加工物との微小間隔における極間電圧を検出する。そして、状態量検出器８は、評価電圧設定手段１５に対して極間平均電圧９Ａを出力するとともに、評価電圧設定手段１５に極間電圧９Ｂを出力する。電極振動状態検出手段１３は、状態量検出器８で得られた極間電圧の振幅１３Ａを検出する。
【００２７】
電極振動状態検出手段１３は、状態量検出器８から出力される極間電圧９Ｂを記憶する図示しない記憶装置を有しており、この記憶装置に時系列的に記憶した極間電圧９Ｂから、極間電圧の振幅１３Ａを検出する。
【００２８】
次に、本実施の形態の放電加工制御装置１０１の動作について説明する。まず、極間間隔を最適な間隔にし、加工電源１８から極間にパルス状の電圧を印加する。放電加工の進行に伴ない加工面の位置が変化する。状態量検出器８は極間間隔の変化に対応して変化する状態量（極間電圧波形）７を検出する。次いで、電極振動状態検出手段１３にて上記状態量（極間電圧波形）７の極間電圧の振幅を測定し、調整係数設定手段１４にて、電極振動状態検出手段１３で設定した電圧の振幅に基づき、例えば図２のように予め設定された係数のパラメータテーブルより値を選択し、調整係数を決定する。上記にて決定した調整係数を上記状態量検出器８より出力された極間平均電圧９Ａに乗じて評価電圧１６とし、この評価電圧１６と極間設定電圧（目標電圧）１との差分に比例ゲイン３を乗じて、サーボ機構４に速度指令値１１として出力する。サーボ機構４は速度指令値１１に基づいて電極の位置又は速度が指令値と一致するように制御する。
【００２９】
以上説明したように、本実施の形態の放電加工制御装置１０１によれば、電極振動状態検出手段１３は、状態量検出器８により極間電圧９Ｂの振幅を検出し、極間の振動状態を検出して、評価電圧１６を変化させるようにしたので、使用する電極の重量、加工面積、加工形状、加工速度、加工電流等の変動に対して、常に最適な加工ゲインにより加工を行なえる放電加工装置を安価に実現することができる。
【００３０】
なお、図２に示すパラメータテーブルは、テストなどにより放電加工装置の機種毎に予め参考値が設定されており、製品の出荷後、放電加工装置が据え付け場所に設置された際、改めて調整される。係数は振幅が大きくなるほどその値を大きくする概略比例の値となる。
【００３１】
実施の形態２．
図３は、本発明に係る放電加工制御装置の実施の形態２の放電加工制御装置を示す図である。図４は、調整係数設定手段が係数を設定する際に用いる極間電圧周波数と対応する係数の関係を示すパラメータテーブルの図である。本実施の形態の放電加工制御装置１０２においては、電極振動状態検出手段１３は、状態量検出器８で得られた極間電圧９Ｂの短絡時の周波数１３Ｂを検出する。調整係数設定手段１４は、電極振動状態検出手段１３で得られた極間電圧の周波数１３Ｂに基づいて図４のパラメータテーブルより、状態量検出器８で得られた極間平均電圧９Ａに乗じる係数を設定する。評価電圧設定手段１５は、調整係数設定手段１４から出力された係数に基づいて評価電圧１６を設定する。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００３２】
電極振動状態検出手段１３は、状態量検出器８から出力される極間電圧９Ｂを記憶する図示しない記憶装置を有しており、この記憶装置に時系列的に記憶した極間電圧９Ｂから、極間電圧の短絡時の周波数１３Ｂを検出する。
【００３３】
なお、図４に示すパラメータテーブルは、テストなどにより放電加工装置の機種毎に予め参考値が設定されており、製品の出荷後、放電加工装置が据え付け場所に設置された際、改めて調整される。係数は極間電圧の周波数が大きくなるほどその値を小さく大きくする概略反比例の値となる。
【００３４】
実施の形態３．
図５は、本発明に係る放電加工制御装置の実施の形態３の放電加工制御装置を示す図である。本実施の形態の放電加工制御装置１０３の調整係数設定手段２９は、図２に示すようなパラメータテーブルを使わずに数式を用いて係数を算出する。上記のように係数は極間電圧振幅が大きくなるほどその値を大きくする概略比例の関係なので、所定の数式から近似値を求めることができる。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００３５】
なお、本実施の形態を上記実施の形態２に適用して、パラメータテーブルを使わずに極間電圧の周波数から所定の数式を用いて係数を算出するようにしてもよい。上記のように、係数は極間電圧の周波数が大きくなるほどその値を大きくする概略反比例の関係なので、所定の数式から近似値を求めることができる。本実施の形態によれば、実施の形態１或いは２のパラメータテーブルパラメータ方式と比較して、より細かい最適化制御を実現することができる。
【００３６】
実施の形態４．
図６は、本発明に係る放電加工制御装置の実施の形態４の放電加工制御装置を示す図である。図７は、調整係数設定手段が係数を設定する際に用いる位置フィードバック量の振幅と対応する係数の関係を示すパラメータテーブルの図である。本実施の形態の放電加工制御装置１０４においては、状態量検出器８と、調整係数設定手段３９と、評価電圧設定手段１５とを有している。状態量検出器８は、放電加工装置の電極と被加工物との微小間隔における極間電圧を検出する。そして、評価電圧設定手段１５に対して極間平均電圧９を出力する。調整係数設定手段３９は、極間現象６から得られる第３の状態量である位置フィードバック量３０を入力してその振幅を求め、図７のパラメータテーブルより係数を選択する。この係数は評価電圧設定手段１５により、状態量検出器８で得られた極間平均電圧９に乗じられる。評価電圧設定手段１５は、調整係数設定手段３９から出力された係数に基づいて評価電圧を設定する。その他の構成は実施の形態１と同様である。
【００３７】
本実施の形態によれば、ソフトウェアでも容易に実現することが可能なので、最適化の頻度がサーボ系の通信周波数程度で問題が無い場合は、加工内容や加工条件などの外乱要素に対して、常に最適な加工ゲインにより加工を行なえる放電加工装置を安価に実現することができる。
【００３８】
以上説明したように、上記実施の形態１乃至４の放電加工制御装置によれば、極間電圧の振幅、短絡時の周波数、或いはサーボ系の位置フィードバック量の振幅を検出し、その結果に基づいて、評価電圧を変化させるようにしたので、使用する電極の重量、加工面積、加工形状、加工速度、加工電流等の変動に対して、常に最適な加工ゲインにより加工を行なえる放電加工装置を安価に実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
以上のように、本発明に係る放電加工制御装置は、電極と被加工物との間に所定の電圧を印加し、電極と被加工物との間の微小間隔にパルス状の電流を発生させ、放電の高温エネルギーを利用して溶融加工をおこなう放電加工装置に適している。
【符号の説明】
【００４０】
１  極間設定電圧（目標電圧）
２  比較器
３  比例ゲイン
４  サーボ機構
５  加工速度
６  極間現象
７  状態量（極間電圧波形）
８  状態量検出器
８Ｂ  極間電圧検出手段
８ａ，８ｂ  ローパスフィルタ
９，９Ａ  極間平均電圧
９Ｂ  極間電圧
１０  誤差量（差分）
１１  速度指令値
１３  電極振動状態検出手段
１３Ａ  極間電圧の振幅
１３Ｂ  短絡時の極間電圧の周波数
１４，２９，３９  調整係数設定手段
１５  評価電圧設定手段
１６  評価電圧
１７  抵抗
１８  加工電源
１９  スイッチング素子
２０  発振器
２１  加工槽
２２  加工液
２３  電極
２４  被加工物
１０１，１０２，１０３，１０４，２０１  放電加工制御装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2011161764.tif 000008
【図７】
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【図８】
2011161764.tif 000010
【図９】
2011161764.tif 000011
【国際調査報告】
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2011161764.tif 000013
2011161764.tif 000014
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