(57)【要約】  本発明ではフレキシブル半導体装置の製造方法が提供される。本発明の製造方法は、金属箔を用意する工程（Ａ）、金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程（Ｂ）、絶縁層の上に、支持基板を形成する工程（Ｃ）、金属箔の一部をエッチングして、金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程（Ｄ）、ソース電極およびドレイン電極をバンク部材として用いて、ソース電極およびドレイン電極の間に位置する間隙に半導体層を形成する工程（Ｅ）、半導体層、ソース電極およびドレイン電極を覆うように、絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程（Ｆ）を含んで成る。工程（Ｆ）では、樹脂フィルム層の一部を、ソース電極およびドレイン電極の間に位置する間隙へと嵌合させる。
2011142089.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレキシブル半導体装置であって、
ゲート電極、
前記ゲート電極上に設けられ、ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
前記絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
前記ソース電極および前記ドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、該間隙を挟んで配置された前記ソース電極および前記ドレイン電極がバンク部材となっており、
前記間隙に半導体層が形成されており、
前記絶縁層の上には、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように樹脂フィルム層が形成され、該樹脂フィルム層には前記間隙に嵌合した突起部が設けられている、フレキシブル半導体装置。
【請求項２】
前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち、前記間隙を挟んで対向する端面が傾斜面を成していることを特徴とする、請求項１に記載のフレキシブル半導体装置。
【請求項３】
前記樹脂フィルム層の前記突起部と、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙とが、相補的な形状を有していることを特徴とする、請求項１に記載のフレキシブル半導体装置。
【請求項４】
前記半導体層が、シリコンを含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載のフレキシブル半導体装置。
【請求項５】
前記半導体層が、酸化物半導体を含んで成ることを特徴とする、請求項１に記載のフレキシブル半導体装置。
【請求項６】
前記酸化物半導体がＺｎＯまたはＩｎＧａＺｎＯであることを特徴とする、請求項５に記載のフレキシブル半導体装置。
【請求項７】
前記ゲート絶縁膜が無機材料から形成されていることを特徴とする、請求項１に記載のフレキシブル半導体装置。
【請求項８】
前記金属箔が弁金属を含んで成り、
前記ゲート絶縁膜が、前記弁金属の陽極酸化膜であることを特徴とする、請求項１に記載のフレキシブル半導体装置。
【請求項９】
請求項１に記載のフレキシブル半導体装置を用いた画像表示装置であって、
前記フレキシブル半導体装置；および
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている複数の画素より構成された画像表示部
を有して成り、
前記フレキシブル半導体装置のソース電極およびドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、該間隙を挟んで配置された前記ソース電極および前記ドレイン電極がバンク部材となっており、
前記間隙には前記フレキシブル半導体装置の半導体層が形成され、前記フレキシブル半導体装置の樹脂フィルム層には前記間隙に嵌合した突起部が設けられていることを特徴とする、画像表示装置。
【請求項１０】
フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程（Ａ）、
前記金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程（Ｂ）、
前記絶縁層の上に、支持基板を形成する工程（Ｃ）、
前記金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程（Ｄ）、
前記ソース電極および前記ドレイン電極をバンク部材として用いて、該ソース電極および該ドレイン電極の間に位置する間隙に半導体層を形成する工程（Ｅ）、および
前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように、前記絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程（Ｆ）
を含んで成り、
前記工程（Ｆ）では、前記樹脂フィルム層の一部を、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙へと嵌合させる、フレキシブル半導体装置の製造方法。
【請求項１１】
前記工程（Ｄ）では、金属箔に対してフォトリソとウェットエッチングとを実施して、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち前記間隙を挟んで対向する端面を傾斜面とすることを特徴とする、請求項１０に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
【請求項１２】
前記工程（Ｆ）をロール・ツー・ロール工法により行うことを特徴とする、請求項１０に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
【請求項１３】
前記支持基板を除去した後、前記絶縁層のうち前記ゲート絶縁膜となる部位の表面に、ゲート電極を形成することを特徴とする、請求項１０に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
【請求項１４】
前記支持基板として、セラミック基材または金属基材を用いることを特徴とする、請求項１０に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
【請求項１５】
前記工程（Ｂ）では、ゾルゲル法によって前記ゲート絶縁膜を形成することを特徴とする、請求項１０に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
【請求項１６】
前記工程（Ｂ）の後、前記ゲート絶縁膜に加熱処理を施すことを特徴とする、請求項１４に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
【請求項１７】
前記工程（Ｅ）の後、前記半導体層に加熱処理を施すことを特徴とする、請求項１４に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
【請求項１８】
前記支持基板として金属基材を用い、
前記工程（Ｆ）の後、前記金属基材をパターニングすることによって、ゲート電極を形成することを特徴とする、請求項１０に記載のフレキシブル半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可撓性を有するフレキシブル半導体装置およびその製造方法に関する。より詳細には、本発明は、ＴＦＴとして用いることができるフレキシブル半導体装置およびその製造方法に関する。更には、本発明は、そのようなフレキシブル半導体装置を用いた画像表示装置にも関する。
【背景技術】
【０００２】
情報端末の普及に伴い、コンピュータ用のディスプレイとしてフラットパネルディスプレイに対するニーズが高まっている。また、更なる情報化の進展に伴い、従来、紙媒体で提供されていた情報が電子化される機会が増えている。特に昨今は薄くて軽い、手軽に持ち運びが可能なモバイル用表示媒体として、電子ペーパーあるいはデジタルペーパーへのニーズも高まりつつある（特許文献１など）。【０００３】
一般に、フラットパネルディスプレイにおいては、液晶、有機ＥＬ（有機エレクトロルミネッセンス）、電気泳動等を利用した素子を用いて表示媒体を形成している。かかる表示媒体では画面輝度の均一性や画面書き換え速度等を確保するために、画像駆動素子としてアクティブ駆動素子（ＴＦＴ素子）を用いる技術が主流になっている。例えば、通常のコンピュータディスプレイでは基板上にこれらＴＦＴ素子を形成し、液晶、有機ＥＬ素子等が封止されている。【０００４】
ここで、ＴＦＴ素子には主にａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）、ｐ−Ｓｉ（ポリシリコン）等の半導体を用いることができる。これらのＳｉ半導体（必要に応じて金属膜も）を多層化し、ソース、ドレイン、ゲート電極を基板上に順次形成していくことでＴＦＴ素子が製造される。【０００５】
このようなＳｉ材料を用いたＴＦＴ素子の形成には高い温度の工程が含まれるため、基板材料として高い工程温度に耐える材料を用いなければならないという制限が加わることになる。このため、実際上は基板として耐熱性に優れた材質から成るもの、例えばガラス基板を用いることが必要となる。なお、石英基板を用いることも可能であるが、高価であり、ディスプレイの大型化に際して経済的に問題がある。したがって、ＴＦＴ素子を形成する基板としては、一般にガラス基板が使用される。【０００６】
しかしながら、先に述べた薄型ディスプレイを、こうした従来知られたガラス基板を利用して構成した場合、そのディスプレイは重く、柔軟性に欠け、落下の衝撃で割れる可能性のある製品となってしまう。ガラス基板上にＴＦＴ素子を形成することに起因するこれらの特徴は、情報化の進展に伴う手軽な携帯用薄型ディスプレイへのニーズを満たすにあたり望ましくないものである。【０００７】
そこで、軽量で薄型なディスプレイへのニーズに対応させるべく、基板のフレキシブル化、軽量化などの観点から、ＴＦＴ素子を樹脂基板（即ち、プラスチック基板）上に形成する、フレキシブル半導体装置の開発が行われている。例えば、特許文献２には、ＴＦＴを従来と略同様なプロセスにより支持体（例えばガラス基板）上に作製した後、ＴＦＴをガラス基板から剥離して樹脂基板（即ち、プラスチック基板）上に転写する技術が開示されている。かかる技術では、まず、ガラス基板上にＴＦＴ素子を形成し、それをアクリル樹脂などの封止層を介して樹脂基板に接着し、その後、ガラス基板を剥離することによって、樹脂基板上にＴＦＴ素子を転写している。【０００８】
転写法を用いたフレキシブル半導体装置の製造では、支持体（例えばガラス基板）の剥離工程が問題となる。すなわち、樹脂基板から支持体を剥離する工程においては、例えば支持体とＴＦＴとの密着性を低下させる処理を行ったり、あるいは、支持体とＴＦＴとの間に剥離層を形成し、この剥離層を物理的または化学的に除去する処理を行ったりする必要などがある。それゆえ、フレキシブル半導体装置の製造において工程の煩雑さを招いており、生産性の問題が生じ得る。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００７−６７２６３号公報
【特許文献２】特開２００４−２９７０８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
フレキシブル半導体装置の製造においては、ＴＦＴを樹脂基板（プラスチック基板）に転写するのではなく、樹脂基板の上に直接形成する方法も提案されている。この場合、転写後の支持体（例えばガラス基板）の剥離工程が不要となるため、フレキシブル半導体装置を簡易に製造することができる。【００１１】
しかしながら、アクリル樹脂などの樹脂基板は耐熱性が低いため、ＴＦＴを形成するに際してプロセス温度を低く抑えなければならないという制約がある。そのため、樹脂基板に直接形成されたＴＦＴは、転写により形成されたＴＦＴに比べて性能が悪くなるという問題がある。【００１２】
例えば、移動度などの半導体特性を向上させるためには半導体材料に対して加熱処理を行うことが望ましいが、樹脂基板にＴＦＴを直接形成する場合、プロセス温度が制限されるため、そのような加熱処理を行うことが困難になる。また、ゲート電圧を下げるためにはゲート絶縁膜として有機絶縁膜よりも薄くても絶縁耐圧が高く、また、誘電率も高い無機酸化物を用いることが望ましいが、そのような無機酸化物は緻密でかつ化学的に安定であるため加工(例えばレーザー穴加工など)がしにくいといった生産技術上の問題については、改善の余地が大きい。特に、大画面用のフレキシブル半導体装置では、その問題がさらに顕著となる。【００１３】
更にいえば、フレキシブル半導体装置の製造においては、半導体層の形成位置は重要といえ、その精度が良くないと所望のＴＦＴ性能を得ることができず、ひいては、フレキシブル半導体装置の製造歩留まりの点で問題が生じてしまう。【００１４】
また、フレキシブル半導体装置というものは、複数の層が積層されて成るものであるために、個々の層が位置ずれを起こすことを抑制することが求められ、それゆえ、層間の密着性向上が求められる。【００１５】
本願発明者は、上述したフレキシブル半導体装置の課題に対して、従来技術の延長線上で対応するのではなく、新たな方向で対処し、それらの課題を解決するように試みた。本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その主な目的は、生産性に優れたフレキシブル半導体装置の製造方法を提供することであり、また、それに伴って高性能なフレキシブル半導体装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するため、本発明では、
フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程（Ａ）、
金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程（Ｂ）、
絶縁層の上に、支持基板を形成する工程（Ｃ）、
金属箔の一部をエッチングして、金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程（Ｄ）、
ソース電極およびドレイン電極をバンク部材として用いて、ソース電極およびドレイン電極の間に位置する間隙に半導体層を形成する工程（Ｅ）、
半導体層、ソース電極およびドレイン電極を覆うように、絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程（Ｆ）
を含んで成り、工程（Ｆ）では、樹脂フィルム層の一部を、ソース電極およびドレイン電極の間の間隙へと嵌合させる、フレキシブル半導体装置の製造方法が提供される。【００１７】
本発明の製造方法は、ソース電極とドレイン電極との間に“間隙”を形成し、それを利用して好適にフレキシブル半導体装置を製造することである。より具体的には、金属箔のエッチングにより得られた“間隙”を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極をバンク部材として用い、その間隙に収まるように半導体層を形成する。【００１８】
本明細書で用いる“フレキシブル半導体装置”の「フレキシブル」という用語は、半導体装置が屈曲可能な可撓性を有していることを実質的に意味している。そして、本発明にいう“フレキシブル半導体装置”とは、その有する構成などに鑑みると、“フレキシブル半導体デバイス”あるいは“フレキシブル半導体素子”と称すことができるものである。【００１９】
また、本明細書で用いる「バンク部材」とは、“ｂａｎｋ（土手）”に由来して称するものであるが、半導体層の原料・材料の“位置決め”を行う機能を有する部材を実質的に意味している。そして、バンク部材における「間隙」は、そのような“位置決め”を意図して金属箔のエッチングにより設けられたものであり、それゆえ、製造過程などに起因して不可避的または偶発的に形成されたキズ・窪み・隙間などを意味していないことに留意されたい。【００２０】
ある好適な態様では、工程（Ｄ）において、ソース電極およびドレイン電極が成す面のうち“間隙”を挟んで対向する端面を傾斜面として形成する。例えば、フォトリソとエッチングとを実施することによって上記対向する端面を傾斜面とする。より具体的には、“間隙”が成す形状がテーパ形状となるようにソース電極およびドレイン電極の端面をウェットエッチングにより傾斜面として形成する。【００２１】
工程（Ｆ）の樹脂フィルム層の形成では、例えば樹脂フィルムを絶縁層上に貼り合わせることによって行っており、その際に樹脂フィルムの一部を“間隙”に嵌合させる。一例を挙げるとすると、樹脂フィルム層前駆体を用い、それを絶縁層が形成された支持基板に貼り合わせるに際して樹脂フィルム層前駆体の一部が「支持基板上に位置するソース電極とドレイン電極との間の間隙」に埋め込まれるように押圧しながら貼り合わせる。このような樹脂フィルム層の形成はロール・ツー・ロール工法によって行うことができる。【００２２】
ゲート電極の形成について言えば、支持基板を除去した後、絶縁層のうちゲート絶縁膜となる部位の表面にゲート電極を形成してよい。あるいは、支持基板として金属基材を用いた場合では、工程（Ｆ）の後に、その金属基材をパターニングすることによってゲート電極を形成してもよい。【００２３】
ある好適な態様では、支持基板としてセラミック基材または金属基材を用いる。かかる場合、半導体層および／またはゲート絶縁膜に加熱処理を積極的に施すことができる。半導体層の加熱処理についていえば、工程（Ｅ）の後において、支持基板の上の半導体層に対して加熱処理を施すことができる。好ましくは工程（Ｅ）と工程（Ｆ）との間において、「セラミック基材または金属基材から成る支持基板」の上の半導体層に対してレーザ照射することによって半導体層をアニール処理する。このような処理によって、半導体層の膜質または特性を変化させ、それによって、半導体特性の向上を図ることができる（例えば、“膜質の変化”によって、半導体層の結晶度の向上を図ることができる）。尚、本明細書で用いる「アニール処理」という用語は、例えば「結晶状態」、「結晶度」および／または「移動度」などの向上や特性安定化を目的とした加熱処理を実質的に意味している。また、絶縁層の加熱処理についていえば、工程（Ｂ）の後でゲート絶縁膜に加熱処理を施す。好ましくは、ゲート絶縁膜（絶縁層）に対してレーザ照射することによって絶縁層をアニール処理する。このような絶縁層の処理は、工程（Ｄ）と工程（Ｅ）との間に実施してもよいものの、工程（Ｅ）と工程（Ｆ）との間に実施してもよい。つまり、ゲート絶縁膜に対して直接的に加熱処理（特にアニール処理）を施してもよく、あるいは、半導体層の加熱に際して、半導体層に生じる熱によって絶縁膜を加熱（特にアニール処理）してもよい。更に言えば、工程（Ｂ）と工程（Ｃ）との間の後で絶縁層を加熱処理してもよく、つまり、金属箔上の絶縁層に対して直接的に加熱処理を施してもよい。【００２４】
別のある好適な形態では、工程（Ｂ）において、ゲート絶縁膜を含む絶縁層を無機材料から形成する。例えば、ゲート絶縁膜を含む絶縁層をゾルゲル法によって形成してよく、あるいは、金属箔を成す弁金属の局所的な陽極酸化によって絶縁層を形成してもよい。【００２５】
本発明では、上記製造方法によって得ることができるフレキシブル半導体装置も提供される。かかる本発明のフレキシブル半導体装置は、
ゲート電極、
ゲート電極上に設けられ、ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、
絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
ソース電極およびドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、かかる間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極がバンク部材となっており、
半導体層が間隙に収まるように形成されており、
半導体層、ソース電極およびドレイン電極を覆うように樹脂フィルム層が絶縁層の上に形成され、その樹脂フィルム層には間隙に嵌合した突起部が設けられている。【００２６】
本発明のフレキシブル半導体装置の特徴の１つは、ソース電極の端面とドレイン電極の端面との間に間隙部が形成されており、その間隙部に収容されるように半導体層が形成されていることである（即ち、相互に離隔したソース電極とドレイン電極との間に収まるように半導体層が形成されている）。【００２７】
ここで、「間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極から成るバンク部材」は、上述したように、材料の“位置決め”を意図して設けられた電極要素から成る部材であり、特に半導体層材料の“位置決め”として機能した２種類の電極要素から成る部材である。換言すれば、本発明のフレキシブル半導体装置は、ソース電極およびドレイン電極といった２種類のバンク電極間に半導体層が収容されて構成されたものである。かかるバンク部材における“間隙部”はテーパ形状を好ましくは有しており、ソース電極およびドレイン電極が成す面のうち間隙を挟んで対向する端面が傾斜面となっている（より具体的には、間隙自体がテーパ形状となっており、その結果、ソース電極およびドレイン電極の端面が傾斜している）。【００２８】
本発明のフレキシブル半導体装置では、半導体層、ソース電極およびドレイン電極を覆うように可撓性を有する樹脂フィルム層が絶縁層の上に形成されているが、樹脂フィルム層は「ソース電極とドレイン電極との間の間隙」に嵌合された突起部を有している。より具体的には、「樹脂フィルム層の突起部」が「間隙」に相補的に嵌合している。つまり、「樹脂フィルム層の突起部」と「ソース電極とドレイン電極との間の間隙」とは相補的な形状を有しており、樹脂フィルム層の突起部が間隙（半導体層の充填領域以外の間隙部）を満たすように設けられている。【００２９】
本発明のフレキシブル半導体装置における半導体層は、シリコンを含んで成っていてもよく、あるいは、酸化物半導体（例えばＺｎＯまたはＩｎＧａＺｎＯ）を含んで成っていてもよい。【００３０】
本発明のフレキシブル半導体装置では、ゲート絶縁膜が無機材料から構成されている。好ましくは、ゲート絶縁膜を含む絶縁層は、金属箔を局所的に酸化することで得られたものであってよい。かかる場合、金属箔が弁金属を含んで成り、ゲート絶縁膜ないしは絶縁層が、その弁金属の陽極酸化膜となっていてよい。別の態様では、ゲート絶縁膜ないしは絶縁層がゾルゲル法から得られる酸化膜となっている。【００３１】
本発明では、上記フレキシブル半導体装置を用いた画像表示装置も提供される。かかる画像表示装置は、
フレキシブル半導体装置；および
フレキシブル半導体装置上に形成されている複数の画素より構成された画像表示部
を有して成り、
フレキシブル半導体装置のソース電極およびドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極がバンク部材となっており、
間隙にはフレキシブル半導体装置の半導体層が形成され、フレキシブル半導体装置の樹脂フィルム層には間隙に嵌合した突起部が設けられていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００３２】
本発明の製造方法では、間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極をバンク部材として用いることに起因して、半導体層を好適に配置することができる。特に、「間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極」を“位置決め”用のバンク（ｂａｎｋ）として機能させるので、所望の位置に半導体層を比較的容易に形成することができる。具体的にいえば、（Ｉ）薄膜形成法や印刷法により半導体層を形成する場合、半導体材料が“間隙”に堆積することになり、その堆積物を半導体層として利用することができるので半導体層形成の位置決めが効果的に為される。また、（ＩＩ）半導体層原料がペースト状・液体状である場合では、“間隙”に供される半導体原料が“間隙”から外へと流れ出さずに保持されることになるので、“間隙”の位置において半導体層形成が助力される。ここで、（ＩＩ）についていえば、半導体層の形成に際して液状の半導体原料を“間隙”に溜めることができるので、間隙が“位置決め”用のバンクとして機能するだけでなく、“貯留”用のバンクとしても機能し得る。【００３３】
本発明の製造方法では、位置決めバンクとして機能したソース電極およびドレイン電極はそのままＴＦＴの“ソース電極”および“ドレイン電極”としてフレキシブル半導体装置の構成要素として利用することができる。これは、半導体形成に好適に寄与したバンク部材を最終的に除去ないしは剥離する必要がないことを意味しており、それゆえ、ＴＦＴ素子を簡便なプロセスで作製することができ、生産性が向上し得る。【００３４】
また、本発明の製造方法においては、そのようにバンク部材として機能したソース電極とドレイン電極との間の間隙に対して、樹脂フィルム層の一部を嵌り込ませるので、樹脂フィルム層の剥離防止効果を得ることができる。これは、「樹脂フィルム層の突起部」と「間隙」とが相補的に嵌合した状態となるからであり、そのような構造的特徴に起因して、樹脂フィルム層の密着性を向上させることができる。換言すれば、本発明では、バンク部材として機能する“間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極”に起因して、積層構造の密着性の向上を図ることができる。【００３５】
「積層構造の向上した密着性」は、ロール・ツー・ロール工法などフレキシブル半導体が曲げた状態に付される場合に特に有利な効果となる。つまり、そのような積層構造の剥離を誘発し得る製造条件でもあっても、剥離が効果的に防止されることになるので、その点においても生産性が向上し得る。【００３６】
得られるフレキシブル半導体装置は、積層構造が強固に保持されているので、“剥離”に起因した性能低下などが引き起こされ難い。この点、フレキシブル半導体装置というものは、曲げて使用されることが多いものの、本発明のフレキシブル半導体装置においては、バンク部材として機能した“間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極”に起因して剥離が好適に防止されているので、曲げに特に強いフレキシブル半導体装置が実現されている。【００３７】
更にいえば、本発明では、フレキシブル半導体装置でありながら、金属箔や支持基板（特にセラミック基材または金属基材などから成る支持基板）を利用していることに起因して、ゲート絶縁膜および／または半導体層を加熱処理（特に好ましくはアニール処理）することができ、それらの特性を向上させることができる。つまり、得られるフレキシブル半導体装置の性能を効果的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００の構成を模式的に示す斜視断面図、（ｂ）は間隙５０周辺におけるトランジスタ構造を説明するための上面図
【図２】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００の製造工程を説明するための工程断面図
【図３】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００の製造工程を説明するための工程断面図
【図４】半導体層形成位置を定める位置決め用バンク部材として機能する“間隙”の態様を表した模式図
【図５】（ａ）はマスク態様の本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００の構成を模式的に示す斜視断面図、（ｂ）マスク態様の本発明の特徴である“自己整合的に一致”の態様を示す模式図、（ｃ）は間隙５０周辺におけるトランジスタ構造を説明するための上面図
【図６】（ａ）〜（ｄ）は、マスク態様の本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００の製造工程を説明するための工程断面図
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、マスク態様の本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００の製造工程を説明するための工程断面図
【図８】（ａ）および（ｂ）は、マスク態様の本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００の製造工程を説明するための工程断面図
【図９】ソース電極およびドレイン電極の傾斜面が光照射時に供することになる利点を説明するための模式図（マスク態様の本発明）
【図１０】（ａ）〜（ｄ）は、マスク態様の本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００’の製造工程を説明するための工程断面図
【図１１】（ａ）〜（ｃ）は、マスク態様の本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００’の製造工程を説明するための工程断面図
【図１２】（ａ）および（ｂ）は、マスク態様の本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００’の製造工程を説明するための工程断面図
【図１３】本発明の実施形態に係る画像表示装置の駆動回路９０を示す回路図
【図１４】（ａ）は、画像表示装置の駆動回路がフレキシブル半導体装置１００によって構成された積層構造体２００の一例を示す断面図、および（ｂ）はマスク態様の本発明の実施形態における積層構造体２００の一例を示す断面図
【図１５Ａ】（ａ）積層構造体２００における層１０１を示す平面図、および（ｂ）はマスク態様の積層構造体２００における層１０１を示す平面図
【図１５Ｂ】（ａ）積層構造体２００における層１０２を示す平面図、および（ｂ）はマスク態様の積層構造体２００における層１０２を示す平面図
【図１５Ｃ】（ａ）積層構造体２００における層１０３を示す平面図、および（ｂ）はマスク態様の積層構造体２００における層１０３を示す平面図
【図１５Ｄ】（ａ）積層構造体２００における層１０４を示す平面図、および（ｂ）はマスク態様の積層構造体２００における層１０４を示す平面図
【図１５Ｅ】（ａ）積層構造体２００における層１０５を示す平面図、および（ｂ）はマスク態様の積層構造体２００における層１０５を示す平面図
【図１６】（ａ）線VII−VIIに沿った積層構造体２００の断面図、および（ｂ）線XI−XIに沿った積層構造体２００の断面図
【図１７】（ａ）線VIII−VIIIに沿った積層構造体２００の断面図、および（ｂ）線XII−XIIに沿った積層構造体２００の断面図
【図１８】本発明の画像表示装置を模式的に表した断面図
【図１９】カラーフィルターを備えた本発明の画像表示装置の態様を模式的に表した断面図
【図２０】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の画素表示装置の製造工程を模式的に示す工程断面図
【図２１】（ａ）〜（ｄ）は、カラーフィルターを備えた本発明の画像表示装置の製造工程を模式的に示す工程断面図
【図２２】フレキシブル半導体装置１００がロール・ツー・ロール工法で製造される態様を表した模式図
【図２３】（ａ）ローラ２３０に巻き取られた積層構造体１１０の一部を拡大して示す断面図、および（ｂ）はマスク態様の本発明の実施形態における前記積層構造体１１０の断面図
【図２４】フレキシブル半導体装置の製品適用例（テレビ画像表示部）を示した模式図
【図２５】フレキシブル半導体装置の製品適用例（携帯電話の画像表示部）を示した模式図
【図２６】フレキシブル半導体装置の製品適用例（モバイル・パソコンまたはノート・パソコンの画像表示部）を示した模式図
【図２７】フレキシブル半導体装置の製品適用例（デジタルスチルカメラの画像表示部）を示した模式図
【図２８】フレキシブル半導体装置の製品適用例（カムコーダーの画像表示部）を示した模式図
【図２９】フレキシブル半導体装置の製品適用例（電子ペーパーの画像表示部）を表した模式図
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。以下の図面においては、説明の簡潔化のため、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。また、各図における寸法関係（長さ、幅、厚さ等）は実際の寸法関係を反映するものではない。
【００４０】
本明細書で説明される“方向”（特に本発明の製造工程における“方向”）は、絶縁層１０と半導体層２０との位置関係を基準とした方向であり、便宜上、図中の上下方向にて説明する。基本的には、各図の上下方向に対応しており、絶縁層１０を基準として半導体層２０が形成される側を「上方向」とし、絶縁層１０を基準として半導体層２０が形成されない側を「下方向」としている。
【００４１】
《間隙を有するソース・ドレイン電極をバンク部材として用いる態様の本発明》
図１（ａ）及び（ｂ）を参照しながら、本発明の実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００について説明する。図１（ａ）は、本発明のフレキシブル半導体装置１００の構成を模式的に示す斜視図である。また、図１（ｂ）は、フレキシブル半導体装置１００のソース３０ｓと、チャネル２２（２０）と、ドレイン３０ｄとの関係を示す図である。
【００４２】
本実施形態に係るフレキシブル半導体装置１００は、可撓性を有する半導体装置である。図示するように、かかるフレキシブル半導体装置１００は、ゲート絶縁膜１０ｇとなる部位を有する絶縁層１０と、金属箔７０から構成されたソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄとから構成されている。ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄは、絶縁層１０の上に形成されている。
【００４３】
ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄの間には、間隙５０が存在している。本実施形態の構成では、間隙５０を挟んで配置されたソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄは、バンク部材として機能する。つまり、間隙５０は、半導体層の形成時において、半導体層形成位置を定める位置決め用バンク（positioning bank）として機能する。そして、半導体原料が液体となる場合では、間隙５０が貯留用バンク（storage bank）としても機能する。
【００４４】
図示するように、半導体層２０は間隙５０の少なくとも一部を埋めるように形成されている。図１（ａ）では、半導体層２０を透過させて、間隙５０の形状が見えるように表現している。そして、絶縁層１０の上には、半導体層２０、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄを覆うように、樹脂フィルム層６０が形成されている。ここでは、間隙５０を分かりやすく表すために、樹脂フィルム層６０は点線（二点差線）で表している。
【００４５】
図示する態様から分かるように、樹脂フィルム層６０の一部は、間隙５０に嵌合する突起部６５となっている。特に、「樹脂フィルム層６０の突起部６５」と「間隙５０」とが相補的な形状を有するように互いに嵌合している。このように突起部６５と間隙５０とが互いに嵌合することによって、「樹脂フィルム層６０」と「ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄを含む構造体」との密着度を向上させることができる。つまり、間隙５０に起因して、フレキシブル半導体装置１００の積層構造の密着性が向上している。
【００４６】
尚、ゲート電極１２は、絶縁層１０を挟んで半導体層２０の反対側の位置に形成されている。言い換えると、絶縁層１０のうちゲート絶縁膜１０ｇとなる表面に、ゲート電極１２が設けられている。
【００４７】
本実施形態における半導体層２０は、“間隙”をバンクとして機能させて得られるものである。例えば、薄膜形成法や印刷法を用いて間隙領域に半導体層を形成する場合、原料供給の多少のずれに依らず間隙５０に半導体材料が堆積することになり、その堆積物を半導体層として利用するので、間隙５０が半導体層形成位置を定める位置決め用バンクとして機能し得る（図４参照）。そして、例えば半導体層２０がシリコン（Ｓｉ）から構成されている場合では、液体シリコンを間隙５０に滴下して半導体層２０を形成することになるが、間隙５０が液体シリコンを留める役割も果たすことになる。つまり、半導体原料がペースト状・液体状である場合では、間隙５０は、半導体原料の“位置決め要素”として機能するだけでなく、半導体原料を保持する作用を有する“貯留要素”としても機能し得る。
【００４８】
本実施形態における半導体層２０を構成する材料としては、上述したシリコン（Ｓｉ）の他、種々のものを使用することができ、例えば、ゲルマニウム（Ｇｅ）等の半導体を用いてもよいし、酸化物半導体を用いてもよい。酸化物半導体としては例えばＺｎＯ、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２などの単体の酸化物や、ＩｎＧａＺｎＯ、ＩｎＳｎＯ、ＩｎＺｎＯ、ＺｎＭｇＯなどの複合酸化物が挙げられる。あるいは、必要に応じて化合物半導体（例えば、ＧａＮ、ＳｉＣ、ＺｎＳｅ、ＣｄＳ、ＧａＡｓなど）を使用できる。更には、有機半導体（例えばペンタセン、ポリ３ヘキシルチオフェン、ポルフィリン誘導体、銅フタロシアニン、Ｃ６０）なども使用することができる。
【００４９】
本実施形態におけるゲート絶縁膜１０ｇを含む絶縁層１０は、無機材料から構成されている。例えば、半導体層２０がシリコン（Ｓｉ）からなる場合、ゲート絶縁膜１０ｇは、シリコン酸化膜（ＳｉＯ２）、または、シリコン窒化膜から形成することができる。なお、ゲート絶縁膜１０ｇは、ゾルゲル法を用いて作製することも可能である。また、ゲート絶縁膜１０ｇは、金属箔７０を陽極酸化することによって形成された酸化膜から構成することも可能である。
【００５０】
本実施形態の間隙５０周辺の構造を上方から見ると、図１（ｂ）に示すように表すことができる。間隙５０におけるゲート絶縁膜１０ｇの上には、半導体層２０が形成されている。その半導体層２０には、ソース電極３０ｓとドレイン電極３０ｄとが接触している。半導体層２０の下面（底面）には、ゲート絶縁膜１０ｇおよびゲート電極１２が位置している。したがって、半導体層２０のうちソース電極３０ｓとドレイン電極３０ｄとの間に位置する部位はチャネル領域２２となり、それらの要素によってトランジスタ（薄膜トランジスタ：ＴＦＴ）が構築されている。
【００５１】
本実施形態の樹脂フィルム層６０は、可撓性を有する樹脂材料から構成されている。特に樹脂フィルム層６０は、半導体層２０を含むトランジスタ構造体を支持するための支持基材としても機能し得、硬化後に可撓性を有する熱硬化性樹脂材料や熱可塑性樹脂材料から構成されていていよい。そのような樹脂材料としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド（ＰＩ）樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）樹脂、ＰＴＦＥなどのフッ素系樹脂、液晶ポリマー、それらの複合物等を挙げることができる。別法にて、樹脂フィルム層６０はポリシロキサンなどを含有する有機無機ハイブリッド材料から構成されていてもよい。上記のような樹脂材料は寸法安定性の性質に優れており、本発明におけるフレキシブル基材の材料として好ましい。
【００５２】
次に、図２（ａ）〜（ｄ）および図３（ａ）〜（ｃ）を参照して、本発明に係るフレキシブル半導体装置１００の製造方法について説明する。尚、図２（ａ）〜（ｄ）および図３（ａ）〜（ｃ）は、フレキシブル半導体装置１００の製造方法を説明するための工程断面図である。
【００５３】
本発明の製造方法の製造方法の実施に際しては、まず、工程（Ａ）を実施する。つまり、図２（ａ）に示すように、金属箔７０を用意する。本実施形態の金属箔７０は、例えば、銅箔またはアルミ箔から構成されているものであってよい。金属箔７０の厚さは、例えば０．５μｍ〜１００μｍ程度であり、好ましくは２〜２０μｍ程度である。
【００５４】
次に、工程（Ｂ）として、図２（ｂ）に示すように金属箔７０の表面に絶縁層１０を形成する（絶縁層１０の厚さは３０ｎｍ〜２μｍ程度であってよい）。絶縁層１０には、ゲート絶縁膜となる部位（１０ｇ）も含まれている。絶縁層１０は、例えば、酸化シリコンであってよい。かかる場合、例えばＴＥＯＳなどによって得られる酸化シリコン薄膜を形成してよい。
【００５５】
ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層１０は、無機材料から構成することが可能である。すなわち、樹脂基材を支持基板として用いるフレキシブル半導体装置においては、ゲート絶縁膜として有機絶縁膜を使用することが考えられるものの、本発明では無機材料からなるゲート絶縁膜を用いることができ、フレキシブル半導体装置１００のトランジスタ特性を向上させることができる。
【００５６】
なぜなら、無機材料からなるゲート絶縁膜は、有機材料からなるゲート絶縁膜と比較して、厚さが薄くても絶縁耐圧が高く、また、誘電率も高いからである。本発明に係るＴＦＴ構成では、金属箔７０の表面に絶縁層１０を形成するので、絶縁層１０を作製する際のプロセス上の制約が少ない。したがって、本発明では、フレキシブル半導体装置のゲート絶縁膜の作製であっても、無機材料からなるゲート絶縁膜を容易に形成することができる。また、金属箔７０の上に絶縁層１０を形成した後も、下地は金属箔７０であるので、その絶縁層１０をアニール処理（熱処理）して、膜質を向上させることも可能である。
【００５７】
さらに、金属箔７０がアルミニウムから成る場合、その金属箔７０の表面領域を局所的に陽極酸化することによって、絶縁層１０を形成することも可能である（局所的な陽極酸化で形成する絶縁層の厚さは３０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であってよい）。アルミニウムの陽極酸化は、種々の化成液を用いて簡易に行うことができ、これにより、非常に薄い緻密な酸化被膜を形成することができる。例えば化成液としては、アンモニアで中性付近のｐＨになるように調整した「酒石酸水溶液とエチレングリコールとの混合溶液」を用いることができる。また、陽極酸化によって絶縁層１０を形成できる金属箔７０は、アルミニウムに限らず、良好な電気伝導性を有し、緻密な酸化物を容易に形成できる金属であればよく、例えば弁金属（バルブメタル）である。このような弁金属としては、例えば、アルミニウム、タンタル、ニオブ、チタン、ハフニウム、ジルコニウム、モリブデンおよびタングステンから成る群から選択される少なくとも１種以上の金属または合金を挙げることができる。ちなみに、陽極酸化を利用する場合、金属箔７０の表面が複雑な形状であっても表面に均一な厚みで酸化膜を形成することができるという利点がある。また、陽極酸化の場合では、酸化シリコン膜よりも高誘電率のゲート絶縁膜を作製することができるという利点もある。
【００５８】
更にいえば、金属箔７０は弁金属（例えば、アルミニウム）に限らず、酸化によって金属表面が酸化被膜で一様に覆われるものであればよく、それゆえに、弁金属以外の金属から成るものであってもよい。その場合、金属箔７０の酸化方法は、陽極酸化に代えて、熱酸化（加熱による表面酸化処理）や化学酸化（酸化剤による表面酸化処理）を用いることができる。
【００５９】
別法にて、絶縁層１０は、ゾルゲル法を用いて形成することも可能である（ゾルゲル法で形成する絶縁層の厚さは１００ｎｍ〜１μｍ程度であってよい）。この場合、絶縁層１０は、例えば、酸化シリコン膜から構成されることになる。ゾルゲル法による酸化シリコン膜の作成方法の一例を挙げると、テトラ・エトキシ・シラン(ＴＥＯＳ)、メチル・トリエトキシシラン（ＭＴＥＳ）、エタノール、希塩酸（０．１ｗｔ％）の混合溶液を室温で２時間攪拌して調製したコロイド溶液(ゾル)を、金属箔上にスピンコート法にて均一に塗布して、３００℃にて１５分加熱処理をして作製することができる。ゾルゲル法によれば、シリコン酸化膜のみならずハフニウム酸化膜、アルミニウム酸化膜、チタン酸化膜など高誘電率のゲート絶縁膜を作製することができるという利点がある。
【００６０】
次に、図２（ｃ）に示すように、絶縁層１０の上に支持基板７２を形成する。つまり、本発明の製造方法の工程（Ｃ）を実施する。支持基板７２は、セラミック基材（例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ））、または、金属基材（例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス基板）であってよい。なお、支持基板７２として、樹脂基材を用いても構わない。一例を挙げるとすると、そのような基材を絶縁層１０に貼り合わせることによって（必要に応じて接着剤を用いて）、絶縁層１０の上に支持基板７２を供することができる。
【００６１】
次に、図２（ｄ）に示すように、金属箔７０の一部をエッチングすることによって、金属箔７０からソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄを形成する。つまり、本発明の製造方法の工程（Ｄ）を実施する。ここで、金属箔７０のエッチングを行っても、絶縁層１０の片面に支持基板７２が形成されているので、支持基板７２によって全体は保持される。換言すると、金属箔７０のエッチングを行っても、全体が切れてバラバラになってしまうことはない。
【００６２】
ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄの形成は、例えば、フォトリソとエッチングの組合せによって行うことができる。詳述すると次のようになる。まず、ドライフィルムや液状タイプなどのフォトレジスト材料を金属箔７０全面に成膜する。次に、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄの形状および位置を規定するパターンの形成されたフォトマスクを用いてパターン露光、現像する。次いで、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄに対応するパターンを有するフォトレジストをマスクとして、金属箔７０をエッチング液に浸漬すると、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄ、ならびに、両電極（３０ｓ・３０ｄ）の間に位置する間隙５０が形成される。最後にフォトレジストを除去すれば「間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極」が完成する。ここで、エッチング液は金属箔の種類に応じて適当なものを選択して用いることができる。一例を挙げると、銅箔を用いる場合は塩化第２鉄溶液や過酸化水素・硫酸溶液を用いることができる。アルミ箔の場合ではリン酸、酢酸、硝酸の混合溶液を用いることができる。
【００６３】
本実施形態の構成では、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄの面のうち、間隙５０を挟んで対向する端面５０ｂが傾斜面となっている。換言すれば、図２（ｄ）に示すように、間隙５０の周辺は、底面５０ａと壁面５０ｂと上面５０ｃとからなり、壁面５０ｂが傾斜している。壁面５０ｂと上面５０ｃとのなす角度θは鈍角であり、例えば、角度θ＝１００°〜１７０°程度であり、好ましくは１１０°〜１６０°程度である（図２（ｄ）参照）。尚、図２（ｄ）に示すような間隙５０の底面寸法ｗは、好ましくは１μｍ〜１ｍｍ程度であり、より好ましくは１０μｍ〜３００μｍ程度である。また、図２（ｄ）に示すような間隙５０の高さ・深さ寸法ｈは、好ましくは０．５μｍ〜１００μｍ程度、より好ましくは２μｍ〜２０μｍ程度である。
【００６４】
次に、図３（ａ）に示すように、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄをバンク部材として用いて、間隙５０に半導体層２０を形成する。つまり、本発明の製造方法の工程（Ｅ）を実施する。この工程（Ｅ）では、「間隙５０を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極」を“位置決め”用のバンク部材として機能させるので、半導体層２０を好適に形成することができる。
【００６５】
具体的には、間隙５０の周辺における底面５０ａとなる絶縁層１０（ゲート絶縁膜１０ｇとなる部位）の上に半導体層２０を形成する（半導体層２０の厚さは３０ｎｍ〜１μｍ程度であってよく、好ましくは５０ｎｍ〜３００ｎｍ程度である）。つまり、間隙５０に収容されるように半導体層２０を形成する。
【００６６】
例えば、薄膜形成法や印刷法によって半導体層を形成する場合、供される半導体材料が間隙５０に堆積し、その堆積物を半導体層として利用することができるので、間隙５０が、半導体層形成の位置を定める役割を果たすことになる（図４参照）。つまり、「間隙５０を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極」が“位置決め”用のバンク部材として機能する。薄膜形成法としては、例えば、真空蒸着、スパッタリング、プラズマＣＶＤなどを挙げることができる。また、印刷法としては、凸版印刷、グラビア印刷、スクリーン印刷、インクジェットなどを挙げることができる。
【００６７】
また、半導体層２０を構成する材料が液体であって底面５０ａの上に液体材料を供給する場合では、その液体材料が間隙５０の外に流れ出さず、間隙５０の内にて保持されることになる。つまり、この場合では、間隙５０が、液体の半導体材料を保持する役割も果たすことになる。それゆえ、半導体材料が液体・ペースト状である場合では「間隙５０を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極」が“位置決め”用バンク部材として機能するとともに、“貯留”用のバンク部材としても機能する。
【００６８】
半導体層の形成を具体的に例示する。半導体層２０をシリコン層として形成する場合、一例としては、環状シラン化合物含有溶液（例えばシクロペンタシランのトルエン溶液）をインクジェットなどの方法を用いて、間隙５０の底面５０ａの上に塗布し、次いで、３００℃で熱処理することによって、アモルファスシリコンからなる半導体層２０を形成することができる。
【００６９】
半導体層を形成した直後は、金属箔７０の上に絶縁層１０を介して半導体層２０が設けられた状態であるので、半導体層２０をアニール処理することが可能である。半導体層２０をアニール処理することによって、半導体層２０の膜質を向上させたり、改質したりすることができる。特に、支持基板７２がセラミック基材や金属基材である場合には耐熱性に優れるので、高温のアニール処理をしても実質的に問題ない。また、支持基板７２が樹脂基材からなる場合でも、その支持基板７２は最終的に除去されるものであるので、樹脂基材からなる支持基板７２の膜質が比較的劣化したとしても、支持基板として機能するのであれば、半導体層２０のアニール処理を実行することは可能である。
【００７０】
アモルファスシリコンからなる半導体層２０を間隙５０の中に形成した場合では、アニール処理後によって、多結晶シリコン（例えば、平均粒径：数百ｎｍ〜２μｍ程度）に変化させることができる。また、半導体層２０が多結晶シリコンの場合では、アニール処理によってその結晶度が向上したりする。また、半導体層２０の膜質の変化によって、半導体層２０の移動度が向上し、アニールの処理前と処理後とでは移動度が顕著に大きく異なることになる。
【００７１】
ここで、シリコン半導体の結晶粒径と移動度との関係を例示的に簡単に説明すると次の通りである。ａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）の移動度は、＜１．０（ｃｍ２／Ｖｓ）である。μＣ−Ｓｉ（微結晶シリコン）の移動度は、約３（ｃｍ２／Ｖｓ）であり、その結晶粒径は１０〜２０ｎｍである。ｐＣ−Ｓｉ（多結晶シリコン）の移動度は、約１００（ｃｍ２／Ｖｓ）、または、１０〜３００（ｃｍ２／Ｖｓ）程度であり、その結晶粒径は５０ｎｍ〜０．２μｍである。したがって、アニール処理によって、ａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）から、μＣ−Ｓｉ（微結晶シリコン）またはｐＣ−Ｓｉ（多結晶シリコン）に膜質が変化すると、移動度は数倍以上（数倍、数十倍、数百倍など）に変化する。なお、ｓＣ−Ｓｉ（単結晶シリコン）の移動度は例えば６００（ｃｍ２／Ｖｓ）以上である。
【００７２】
ここでのアニール処理としては、半導体層２０が形成された金属箔７０の全体を加熱処理する手法の他、間隙５０にレーザ光を照射して、半導体層２０を加熱する手法を採用することができる。レーザ光を照射してアニール処理をする場合には、例えば、次のようにすることができる。一例を挙げると、波長３０８ｎｍのエキシマレーザ（ＸｅＣｌ）を、エネルギー密度５０ｍＪ／ｃｍ２、パルス幅３０ナノ秒で１００〜２００ショット照射することができる。なお、具体的なアニール処理の条件は、種々の因子を総合的に勘案して適宜決定される。
【００７３】
半導体層２０の加熱処理に際して、絶縁層１０（特にゲート絶縁膜１０ｇ）の加熱処理を行ってもよい。つまり、半導体層２０のアニール処理と、絶縁層１０のアニール処理とを同一工程で実行してもよい。これにより、絶縁層１０（特にゲート絶縁膜１０ｇ）の膜質も変化させることができる。例えば、半導体層が加熱されると、その熱に起因してゲート絶縁膜１０ｇも加熱することができる。絶縁層１０が水蒸気中で熱酸化（ウエット酸化）によって作製した酸化膜（ＳｉＯ２）から成る場合、絶縁層１０が加熱されることによって、その酸化膜（ＳｉＯ２）の電子トラップ準位を減少させることができる。さらに説明をすると、ウエット酸化は、ドライ酸化よりも酸化速度が１０倍程度大きいので生産性が良く好ましいが、電子トラップ準位が多くなる傾向がある。一方、ドライ酸化は、電子トラップ準位の生成は少ないものの、ホールトラップが多くなる。そこで、ウエット酸化による酸化膜を酸素雰囲気中で加熱処理されることによって、電子トラップおよびホールトラップが共に少ないゲート酸化膜を生産性良く得ることができる。
【００７４】
半導体層２０の形成（およびその加熱処理）に引き続いて、工程（Ｆ）として樹脂フィルム層６０を形成する。つまり、図３（ｂ）に示すように、ソース・ドレイン電極３０ｓ・３０ｄおよび半導体層２０を覆うように樹脂フィルム層６０を形成する。これにより、フィルム積層体（フレキシブル基板構造体）１１０が得られる。本発明では、この樹脂フィルム層６０の形成において、樹脂フィルム６０の一部を間隙５０に挿入させる。つまり、間隙部５０が樹脂フィルム材で充填されるように、樹脂フィルム層６０を形成する。これにより、樹脂フィルム層６０において間隙５０に嵌合される突起部６５が得られる。そして、このように突起部６５が間隙５０に嵌合することによって、樹脂フィルム層６０と、ソース・ドレイン電極３０ｓ・３０ｄを含むトランジスタ構造体との密着性が向上する。
【００７５】
ここで、間隙５０を規定する対向面の角度θ（図２（ｄ）参照）が本願発明のように鈍角である場合では、例えば角度θが直角である場合と比較して、樹脂フィルム６０の一部が間隙５０内に挿入されやすくなり、それゆえに、突起部６５と間隙５０との嵌合が形成されやすくなるので好ましい。角度θが鈍角のときは、角度θが直角である場合と比べて、半導体層２０を形成する際に、ソース・ドレイン電極３０ｓ・３０ｄのバンク部材としての機能を高めることができる。すなわち、半導体材料を間隙５０内に滴下する際に、滴下装置の位置精度が悪い（又は、公差が大きい）ときでも、角度θを鈍角した構造の場合の方が受け止める範囲を広げることができるので、形成される半導体層２０の位置合わせ精度を高めることができる。
【００７６】
樹脂フィルム層６０の形成方法は、特に限定されないが、例えば、半硬化の樹脂フィルムを絶縁層１０の上に貼り合わせて硬化させる方法（樹脂シートの貼り合わせ面に接着性材料を塗布してもよい。）や、液体の樹脂を絶縁層１０の上にスピンコートなどで塗布して硬化させる方法などを採用することができる。形成される樹脂フィルム層６０の厚さは、例えば４〜１００μｍ程度である。半硬化の樹脂フィルムを貼り合わせる場合では、貼合せ時に樹脂フィルムを加圧することによって樹脂フィルムの一部を「ソース電極とドレイン電極との間の間隙５０」に供することができ、それによって、樹脂フィルム層の一部を間隙５０に嵌合させることができる。尚、貼合せに用いる樹脂フィルムとして、「間隙５０の形状と実質的に相補的な形状を有する凸部を予め備えた樹脂フィルム」を用いてもよい。
【００７７】
樹脂シートの貼り合わせ面に接着性材料を塗布した場合では、樹脂シート部厚さが２〜１００μｍ程度であってよく、接着性材料部厚さが３〜２０μｍ程度であってよい。貼り合わせ条件は、樹脂フィルム材料、接着性材料の硬化特性に応じて適宜決定することができる。例えば、ポリイミド・フィルム（厚み：約１２．５μｍ）の貼り合わせ面にエポキシ樹脂を接着性材料として塗布（厚み：約１０μｍ）した樹脂フィルムを用いる場合は、まず、金属箔と樹脂フィルムとを積層して６０℃に加熱して、３ＭＰａに加圧した条件で仮圧着する。そして、１４０℃、５ＭＰａで１時間接着性材料を本硬化させる。
【００７８】
このように樹脂フィルム層６０が形成されることによって、半導体層２０を保護することができるとともに、次工程（金属箔７０のパターニング処理など）のハンドリングや搬送を安定して行うことが可能となる。
【００７９】
樹脂フィルム層６０が形成された後においては、フィルム積層体１１０から、支持基板７２を除去し、次いで、ゲート絶縁膜１０ｇの表面にゲート電極１２を形成する。以上の工程によって、本発明に係るフレキシブル半導体装置１００を得ることができる。
【００８０】
ここで、図３（ｃ）に示した構造において支持基板７２を除去したとしても、今度は樹脂フィルム６０が支持基材としての役割を果たすことができる。ゲート電極１２は、典型的には、金属ペースト（例えば、Ａｇペースト）から形成することができる。なお、ゲート電極１２の形成は、スクリーン印刷、グラビア印刷、インクジェット法などの印刷法で金属ペーストを塗布して実行することができる他、真空蒸着、スパッタリング、プラズマＣＶＤなどの薄膜形成法、または、めっき法によって実行することができる。更には、支持基板７２が金属基材（または導電性材料）からなる場合、その金属基材をパターニングすることによっても、ゲート電極１２を形成することが可能である。
【００８１】
ここで、樹脂基材を支持基板として用いるフレキシブル半導体装置においては、薄膜トランジスタなどの異種材料が積層されることになるので、層間界面における接着強度が相対的に小さく接着性が問題となる。特に、金属層と有機物層との界面では剥離等が生じ易い。一般的には、金属の表面にプラスティックとの親和性が高いシランカップリング剤の層を形成したり、接着剤に極性基を多く有するエポキシ樹脂を用いる一般に行われているものの、それらの手法では特定の材料の組合せが必要となり、材料選択の余地を狭めてしまうこととなる。材料組合せを制約のなかで、電気的な特性のみならず、製造プロセスでの耐熱性や、使用環境での対環境安定性を満足することはデバイス開発を益々困難なものとする。異種材料を積層したときに熱膨張のミスマッチにより界面にひずみが生ずることを考慮すると、あるいは、単位長さあたりのミスマッチが同じであっても積層体の面積が大きくなればそれだけ、ひずみの絶対値が大きくなることを考慮すると、上記の接着性・剥離の問題は、今後デバイスが大面積化すればするほど深刻化し得るといえ、また、積層体がロール状に曲げられるロール・ツー・ロール方式にて顕在化し得るといえる（ロール・ツー・ロール方式では、積層体上面と下面でひずみの大きさが異なり、接着強度の弱い界面での剥離等の課題を生じやすい）。この点、本発明のフレキシブル半導体装置１００では、樹脂フィルム層６０の突起部６５が間隙５０に嵌合することにより、樹脂フィルム層６０と「ソース・ドレイン電極３０ｓ・３０ｄを含むトランジスタ構造体」との密着性が向上する。
【００８２】
嵌合構造を形成して異種材料界面の接着性を向上させる場合では、嵌合構造の突起の大きさや数量に特に限定はなく、大きさは大きいほど、また、数は多いほど効果は高い。その一方、接着性を向上させるために嵌合構造を別途形成すると、トランジスタや配線を形成する部分の面積が減少してしまい都合が悪くなる。本発明のフレキシブル半導体装置１００では、間隙５０におけるソース・ドレイン電極３０（３０ｓ、３０ｄ）間のチャネル部分を嵌合構造として用いるので、接着性を向上させるための嵌合構造を別途形成しなくてもよい。つまり、本発明では、嵌合構造の突起部６５（即ち、間隙５０）のサイズが大きければ大きいほど、また、その数が多ければ多いほど接着性・密着性を向上させることができる。本発明における嵌合構造の大きさは、トランジスタ構造体の大きさに対応して、例えば、間隙部の底面が１μｍ〜１ｍｍ、高さが０．５μｍ〜１００μｍ程度である。また、嵌合構造の面密度は、例えば有機ＥＬディスプレイに用いる場合では、解像度と画面サイズに対応して決定される。一例を挙げると、１００インチのテレビでＲＧＢ夫々に２トランジスタを形成した場合にはＮＴＳＣ(縦横の画素数が７２０×４８０)方式では約５８０個／平方インチ、フラハイビジョン（縦横の画素数が１９２０×１０８０）方式では約３４６０個／平方インチとなる。
【００８３】
《間隙を有するソース・ドレイン電極をマスクとして用いる態様の本発明》
本発明におけるようなバンク部材は、光硬化による別の電極形成の“マスク”として用いることができる。具体的には、金属箔のエッチングにより得られた「間隙を有するソース・ドレイン電極」をマスクとして用いて光照射を実施し、それによって、光硬化性導電性ペースト層を部分的に硬化させてゲート電極を形成することができる。これは、従来技術におけるフレキシブル半導体装置の設計では「トランジスタの寄生容量の影響を考慮する必要があり、かかる寄生容量を一定かつ最小にすることが望まれている」といった事情があるので、その事情にとって特に有利となる。以下マスク態様の本発明について詳述する。
【００８４】
バンク部材を“マスク”として用いる態様に係る本発明のフレキシブル半導体装置の製造方法は、
金属箔を用意する工程（Ａ）’、
金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程（Ｂ）’、
金属箔の一部をエッチングして、かかる金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程（Ｃ）’、
絶縁層の主面のうち半導体層が形成される側と反対側の主面に、光硬化性の導電性ペーストを供して、光硬化性導電性ペースト層を形成する工程（Ｄ）’、ならびに
ソース電極およびドレイン電極をマスクとして用いて、かかるソース電極およびドレイン電極が形成された側から光を照射し、それによって、光硬化性導電性ペースト層の一部を硬化させてゲート電極を形成する工程（Ｅ）’
を含んで成ることを特徴とする。
【００８５】
マスク態様の本発明の製造方法の特徴の１つは、金属箔のエッチングにより得られる電極をマスクとして用いて光照射を実施し、それによって、光硬化性導電性ペースト層を部分的に硬化させて別の電極を形成することである。より具体的には、金属箔のエッチングにより得られるソース電極およびドレイン電極をマスクとして用いて光照射を実施し、それによって、絶縁層の主面のうち半導体層が形成される側と反対側の主面に設けられた光硬化性導電性ペースト層を部分的に硬化させてゲート電極を形成する。これによって、ゲート電極の端面がソース電極の端面およびドレイン電極の端面と自己整合的に一致するようになる。即ち、ソース電極の一方の端面とゲート電極の一方の端面とが相互に整合ないしは整列した位置関係を有すると共に、ドレイン電極の一方の端面とゲート電極の他方の端面とが相互に整合ないしは整列した位置関係を有することになる。
【００８６】
かかる製造方法では、工程（Ｃ）’の後において、ソース電極とドレイン電極との間の“間隙”に収まるように絶縁層の主面上に半導体層を形成する。そして、半導体層の形成後に光照射の工程（Ｅ）’を実施する場合では、半導体層を介して光照射を行うことになる。つまり、ソース電極およびドレイン電極に向かって光を照射し、照射された光が「ソース電極とドレイン電極との間に形成された半導体層」を透過することによって、光硬化性導電性ペースト層を部分的に硬化させる。
【００８７】
上述したように、半導体層の形成においては、ソース電極およびドレイン電極をバンク部材として用いて、かかるソース電極とドレイン電極との間の間隙に半導体材料を供することが好ましい。
【００８８】
ある好適な態様では、工程（Ｃ）’に先立って、絶縁層上に支持基板を設けるか、あるいは、そのような支持基板の層を形成する。換言すれば、金属箔に形成された絶縁層に重なるように支持基板を配置・形成した後、金属箔の一部をエッチングして、かかる金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する。
【００８９】
ソース電極およびドレイン電極の形成に際しては、ソース電極およびドレイン電極が成す面のうち“間隙”を挟んで対向する端面が傾斜面となるように、金属箔にフォトリソとウェットエッチングとを実施することが好ましい。より具体的には、“間隙”が成す形状がテーパ形状となるようにソース電極およびドレイン電極の端面をウェットエッチングにより傾斜面とする。
【００９０】
絶縁層上に配置・形成される支持基板としては、セラミック基材または金属基材を用いてよい。かかる場合、半導体層および／またはゲート絶縁膜に加熱処理を積極的に施すことができる。半導体層の加熱処理についていえば、支持基板の上の半導体層に対して加熱処理を施すことができる。好ましくは「セラミック基材または金属基材から成る支持基板」の上の半導体層に対してレーザ照射することによって半導体層をアニール処理する。このような処理によって、半導体層の膜質または特性を変化させ、それによって、半導体特性の向上を図ることができる（例えば、“膜質の変化”によって、半導体層の結晶度の向上を図ることができる）。尚、ここで用いる「アニール処理」という用語は、上述したように、例えば「結晶状態」、「結晶度」および／または「移動度」などの向上や特性安定化を目的とした加熱処理を実質的に意味している。また、絶縁層の加熱処理についていえば、工程（Ｂ）’の後でゲート絶縁膜に加熱処理を施す。好ましくは、ゲート絶縁膜（絶縁層）に対してレーザ照射することによって絶縁層をアニール処理する。このような絶縁層の処理では、ゲート絶縁膜に対して直接的に加熱処理（特にアニール処理）を施してもよく、あるいは、半導体層の加熱に際して、半導体層に生じる熱によって絶縁膜を加熱（特にアニール処理）してもよい。
【００９１】
マスク態様の本発明の製造方法は、半導体層、ソース電極およびドレイン電極を覆うように、絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程を更に含んで成り得る。かかる樹脂フィルム層の形成は、例えば樹脂フィルムを絶縁層上に貼り合わせることによって行っており、その際に樹脂フィルムの一部を“間隙”に嵌合させる。一例を挙げるとすると、樹脂フィルム層前駆体を用い、それをソース電極・ドレイン電極が形成された支持基板に貼り合わせるに際して樹脂フィルム層前駆体の一部が「支持基板上に位置するソース電極とドレイン電極との間の間隙」に埋め込まれるように押圧しながら貼り合わせる。このような樹脂フィルム層の形成はロール・ツー・ロール工法によって行うことができる。
【００９２】
マスク態様の本発明に係る別のある好適な形態では、工程（Ｂ）’において、ゲート絶縁膜を含む絶縁層を無機材料から形成する。例えば、ゲート絶縁膜を含む絶縁層をゾルゲル法によって形成してよく、あるいは、金属箔を成す弁金属の局所的な陽極酸化によって絶縁層を形成してもよい。
【００９３】
マスク態様では、上記製造方法によって得ることができるフレキシブル半導体装置も提供される。かかるマスク態様の本発明のフレキシブル半導体装置は、
ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
ソース電極およびドレイン電極の間の間隙には半導体層が形成されており、
絶縁層の主面のうち、ソース電極およびドレイン電極が形成された側と反対側の主面にゲート電極が形成されており、
ソース電極の一方の端面（又は端部）とゲート電極の一方の端面（又は端部）とが相互に整合して位置していると共に、ドレイン電極の一方の端面（又は端部）とゲート電極の他方の端面（又は端部）とが相互に整合して位置している。
【００９４】
かかるマスク態様の本発明の特徴の１つは、ソース電極およびドレイン電極の双方の端面に対して、ゲート電極の端面が自己整合的に一致するように形成されていることである。
【００９５】
本明細書において「自己整合的に一致するように形成されている」とは、ゲート電極とソース電極・ドレイン電極とがセルフアライン（self-align）方式で形成されていることを意味しており、電極の形成位置に対して特別な整合措置を取ることなく、これらの電極形成に伴って必然的に「ゲート電極」と「ソース電極・ドレイン電極」とが所望の相対的位置関係を有している態様を意味している。より具体的にいえば、自己整合的に一致するように形成されているゲート電極およびソース電極・ドレイン電極においては、ゲート電極の一方の端面とソース電極の端面とがフレキシブル半導体装置の厚さ方向にて一致していると共に、ゲート電極の他方の端面とドレイン電極の端面とがフレキシブル半導体装置の厚さ方向にて一致している。
【００９６】
上記マスク態様の本発明のある好適な態様では、「“ソース電極の一方の端面”と“絶縁層”との接点Ａ」と「“ゲート電極の一方の端面”と“絶縁層”との接点Ｂ」とが相互に対向していると共に、「“ドレイン電極の一方の端面”と“絶縁層”との接点Ｃ」と、「“ゲート電極の他方の端面”と“絶縁層”との接点Ｄ」とが相互に対向している。
【００９７】
マスク態様の本発明のフレキシブル半導体装置において、ソース電極とドレイン電極との間の“間隙部”はテーパ形状を有していることが好ましく、それゆえ、ソース電極およびドレイン電極が成す面のうち間隙を挟んで対向する端面が傾斜面となっている（より具体的には、間隙がテーパ形状となるようにソース電極およびドレイン電極の端面が傾斜している）。
【００９８】
マスク態様の本発明のフレキシブル半導体装置において、半導体層、ソース電極およびドレイン電極を覆うように可撓性を有する樹脂フィルム層が絶縁層の上に形成されているが、樹脂フィルム層は「ソース電極とドレイン電極との間の間隙」に嵌合された突起部を有している。より具体的には、「樹脂フィルム層の突起部」が「間隙」に相補的に嵌合している。つまり、「樹脂フィルム層の突起部」と「ソース電極とドレイン電極との間の間隙」とは互いに相補的な形状を有しており、樹脂フィルム層の突起部が間隙（半導体層の充填領域以外の間隙部）を満たすように設けられている。
【００９９】
マスク態様のフレキシブル半導体装置における半導体層は、シリコンを含んで成っていてもよく、あるいは、酸化物半導体（例えばＺｎＯまたはＩｎＧａＺｎＯ）を含んで成っていてもよい。
【０１００】
マスク態様の本発明のフレキシブル半導体装置において、ゲート絶縁膜が無機材料から構成されている。好ましくは、ゲート絶縁膜を含む絶縁層は、金属箔を局所的に酸化することで得られたものであってよい。かかる場合、金属箔が弁金属を含んで成り、ゲート絶縁膜ないしは絶縁層が、その弁金属の陽極酸化膜となっていてよい。別の態様では、ゲート絶縁膜ないしは絶縁層がゾルゲル法から得られる酸化膜となっている。
【０１０１】
マスク態様の本発明の特徴に基づくことによって更なる本発明の製造方法が提供される。具体的には、『金属箔のエッチングにより得られる電極をマスクとして用いて光照射を実施することによって、光硬化性導電性ペースト層を部分的に硬化させて別の電極を形成する』といった本発明の本質的な特徴に基づいて、更なる製造方法が提供される。かかるマスク態様に係る更なる本発明の製造方法は、
金属箔を用意する工程（Ａ）”、
金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程（Ｂ）”、
絶縁層の主面のうちゲート電極が形成される側と反対側の主面に、光硬化性の導電性ペーストを供して、光硬化性導電性ペースト層を形成する工程（Ｃ）”、
金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からゲート電極を形成する工程（Ｄ）”、および
ゲート電極をマスクとして用いて、ゲート電極が形成された側から光を照射し、それによって、光硬化性導電性ペースト層の一部を硬化させてソース電極およびドレイン電極を形成する工程（Ｅ）”
を含んで成る。
【０１０２】
かかるマスク態様の本発明の製造方法は、金属箔のエッチングにより得られるゲート電極をマスクとして用いて光照射を実施し、それによって、光硬化性導電性ペースト層を部分的に硬化させてソース電極およびドレイン電極を形成することである。より具体的には、金属箔のエッチングにより得られるゲート電極をマスクとして用いて光照射を実施し、それによって、絶縁層の主面のうちゲート電極が形成される側と反対側の主面に設けられた光硬化性導電性ペースト層を部分的に硬化させてソース電極およびドレイン電極を形成する。これによって、ソース電極の端面およびドレイン電極の端面がゲート電極の端面と自己整合的に一致することになる。
【０１０３】
この更なる本発明の製造方法は、上述したソース電極・ドレイン電極をマスクとして用いる製造方法と実質的に同様の態様を有している。例えば、工程（Ｅ）”の後においては、ソース電極とドレイン電極との間の間隙に収まるように絶縁層の主面上に半導体層を形成することになるが、かかる半導体層の形成においてソース電極およびドレイン電極を“バンク部材”として用いることができ、バンク部材として機能するソース電極とドレイン電極との間の間隙に半導体材料を供することができる。また、かかる本発明の製造方法は、半導体層、ソース電極およびドレイン電極を覆うように、絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程を更に含んで成り得る。この樹脂フィルム層の形成は、例えば樹脂フィルムを絶縁層上に貼り合わせることによって行い、その際に樹脂フィルムの一部を「ソース電極とドレイン電極との間の間隙」に嵌合させる。一例を挙げるとすると、樹脂フィルム層前駆体を用い、それをソース電極・ドレイン電極が形成された支持基板に貼り合わせるに際して樹脂フィルム層前駆体の一部が「支持基板上に位置するソース電極とドレイン電極との間の間隙」に埋め込まれるように押圧しながら貼り合わせる。このような樹脂フィルム層の形成はロール・ツー・ロール工法によって行うことができる。更には、工程（Ｄ）”に先立って、金属箔に支持基板を設けてよく、あるいは、そのような支持基板の層を形成してよい。換言すれば、金属箔に対して支持基板を配置・形成した後、金属箔の一部をエッチングして、かかる金属箔からゲート電極を形成する。支持基板としては、セラミック基材または金属基材を用いてよい。半導体層および／またはゲート絶縁膜には加熱処理（より好ましくはアニール処理）を施してもよい。マスク態様に係る更なる本発明の製造方法の工程（Ｂ）”では、ゲート絶縁膜を含む絶縁層を無機材料から形成してよい。例えば、ゲート絶縁膜を含む絶縁層をゾルゲル法によって形成してよく、あるいは、金属箔を成す弁金属の局所的な陽極酸化によって絶縁層を形成してもよい。
【０１０４】
このようにゲート電極をマスクとして用いる製造方法で得られるフレキシブル半導体装置は、上述の半導体装置と同様の特徴を有しており、その結果、同様に規定される。つまり、ゲート電極をマスクとして用いる製造方法により得られるフレキシブル半導体装置は、
ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
ソース電極およびドレイン電極の間の間隙には半導体層が形成されており、
絶縁層の主面のうち、ソース電極およびドレイン電極が形成された側と反対側の主面にゲート電極が形成されており、
ソース電極の一方の端面とゲート電極の一方の端面とが相互に整合して位置していると共に、ドレイン電極の一方の端面とゲート電極の他方の端面とが相互に整合して位置している（より具体的には「ソース電極・ドレイン電極がゲート電極と自己整合的に一致するように形成されている」）。
【０１０５】
マスク態様の本発明の効果としては「セルフアライン効果」を挙げることができる。つまり、マスク態様の本発明の製造方法では、金属箔のエッチングにより得られた電極を、光硬化による別の電極形成のマスクとして用いるので、それらの電極の相互の位置関係が必然的に所望の関係を満たすことになる。つまり、マスク態様の本発明では、電極の形成位置に対して特別な整合措置を取ることなく、電極形成に伴って「ゲート電極」と「ソース電極・ドレイン電極」とが所望の相対的位置関係を満たすことになり、ＴＦＴを構成する電極がセルフアライン（即ち「自己整合」）することになる。より具体的には、ゲート電極の一方の端面とソース電極の端面とがフレキシブル半導体装置の厚さ方向にて一致すると共に、ゲート電極の他方の端面とドレイン電極の端面とがフレキシブル半導体装置の厚さ方向にて一致する。換言すれば、マスク態様の本発明においてはゲート電極の端面が自己整合的にソース電極・ドレイン電極の双方の端面と一致するようになっており、フレキシブル半導体装置がセルフアラインのゲート構造を有している。従って、マスク態様の本発明では、ゲート電極とドレイン電極とのオーバーラップ部に形成されるトランジスタの寄生容量を一定かつ最小にすることができる。
【０１０６】
特にマスク態様の本発明では、ソース電極およびドレイン電極を“マスク”として用いると共に、間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極を“バンク部材”として用いることもできる。つまり、ソース電極およびドレイン電極を“マスク”として用いるだけでなく、上述したように“半導体層形成のバンク部材”としても用いることができる。そして、そのような電極は、最終的には、ＴＦＴの“ソース電極”および“ドレイン電極”としてフレキシブル半導体装置の構成要素として利用することができる。これは、半導体形成に好適に寄与した“バンク部材”および電極形成に寄与した“マスク”を最終的に除去ないしは剥離する必要がないことを意味しており、それゆえ、ＴＦＴ素子を簡便なプロセスで作製することができ、生産性が向上し得る。
【０１０７】
次に、図５（ａ）〜（ｃ）を参照しながら、マスク態様の本発明のフレキシブル半導体装置１００に係る実施形態について詳細に説明する。図５（ａ）は、マスク態様のフレキシブル半導体装置１００の構成を模式的に示す斜視図である。図５（ｂ）は、マスク態様の特徴である“自己整合的一致”の態様を示す模式図である。また、図５（ｃ）は、フレキシブル半導体装置１００のソース３０ｓと、チャネル２２（２０）と、ドレイン３０ｄとの関係を示す図である。
【０１０８】
マスク態様の本発明に係るフレキシブル半導体装置１００は、可撓性を有する半導体装置である。図示するように、かかるフレキシブル半導体装置１００は、ゲート絶縁膜１０ｇとなる部位を有する絶縁層１０と、金属箔７０から構成されたソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄとから構成されている。ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄは、絶縁層１０の上に形成されている。
【０１０９】
ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄの間には、間隙５０が存在している。本実施形態の構成では、間隙５０を挟んで配置されたソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄは“マスク”として機能すると共に、“バンク部材”としても機能する。つまり、「間隙５０を挟んで配置されたソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄ」は、ゲート電極の形成位置に寄与すると共に、半導体層の形成位置を定める位置決め用バンクとして機能する。
【０１１０】
図示するように、半導体層２０は間隙５０の少なくとも一部を埋めるように形成されている。図５（ａ）では、半導体層２０を透過させて、間隙５０の形状が見えるように表現している。
【０１１１】
マスク態様の本発明に係るフレキシブル半導体装置１００の構成においては、絶縁層１０の主面のうち、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄが形成された側と反対側の主面ａに、ゲート電極１２が形成されている。そして、ソース電極３０ｓの端面３１ｓおよびドレイン電極３０ｄの端面３１ｄに対して、ゲート電極１２の端面１３は自己整合的に一致するように形成されている。すなわち、マスク態様の本発明のフレキシブル半導体装置１００では、ゲート電極が光照射時の“マスク”として用いられたことに起因して、ゲート電極１２と、ソース電極３０ｓ及びドレイン電極３０ｄとが、セルフアライン（自己整合）方式で形成されている。これは、マスク態様の本発明のフレキシブル半導体装置１００がセルフアラインのゲート構造を有していることを意味している。つまり、ゲート電極１２の一方の端面（ソース電極３０ｓ側の端面）１３と、ソース電極３０ｓの端面３１ｓとは、基板厚さ方向（Ｚ）で一致し、一方、ゲート電極１２の他方の端面（ドレイン電極３０ｄ側の端面）１３と、ドレイン電極３０ｄの端面３１ｄとは基板厚さ方向（Ｚ）で一致している。より具体的にいうと、図５（ｂ）に示すように、「“ソース電極の一方の端面”と“絶縁層１０”との接点Ａ」と「“ゲート電極の一方の端面”と“絶縁層１０”との接点Ｂ」とが相互に対向していると共に、「“ドレイン電極の一方の端面”と“絶縁層１０”との接点Ｃ」と、「“ゲート電極の他方の端面”と“絶縁層１０”との接点Ｄ」とが相互に対向している。
【０１１２】
絶縁層１０の上には、半導体層２０、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄを覆うように、樹脂フィルム層（６０）が形成されている。図５（ａ）では、間隙５０を分かりやすく表すために、樹脂フィルム層６０は点線（二点差線）で表している。図示する態様から分かるように、樹脂フィルム層６０の一部は、間隙５０に嵌合する突起部６５となっている。特に、「樹脂フィルム層６０の突起部６５」と「間隙５０」とが相補的な形状を有するように互いに嵌合・接合している。このように突起部６５と間隙５０とが互いに嵌合することによって、「樹脂フィルム層６０」と「ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄを含む構造体」との密着度を向上させることができる。つまり、間隙５０に起因して、フレキシブル半導体装置１００の積層構造の密着性が向上している。
【０１１３】
マスク態様における半導体層２０は、“間隙５０”をバンクとして機能させて得られるものである。例えば、薄膜形成法や印刷法を用いて間隙領域に半導体層を形成する場合、原料供給の多少のずれに依らず間隙５０に半導体材料が堆積することになり、その堆積物を半導体層として利用するので、間隙５０が半導体層形成位置を定める“位置決め用バンク（positioning bank）”として機能する（図４参照）。そして、例えば半導体層２０がシリコン（Ｓｉ）から構成されている場合では、液体シリコンを間隙５０に滴下して半導体層２０を形成することになるが、間隙５０が液体シリコンを留める役割も果たすことになる。つまり、半導体原料がペースト状・液体状である場合では、間隙５０は、半導体原料の“位置決め用バンク”として機能するだけでなく、半導体原料を保持する作用を有する“貯留用バンク(storage bank)”としても機能し得る。
【０１１４】
マスク態様における半導体層２０を構成する材料としては、上述したシリコン（Ｓｉ）の他、種々のものを使用することができ、例えば、ゲルマニウム（Ｇｅ）等の半導体を用いてもよいし、酸化物半導体を用いてもよい。酸化物半導体としては例えばＺｎＯ、ＳｎＯ２、Ｉｎ２Ｏ３、ＴｉＯ２などの単体の酸化物や、ＩｎＧａＺｎＯ、ＩｎＳｎＯ、ＩｎＺｎＯ、ＺｎＭｇＯなどの複合酸化物が挙げられる。あるいは、必要に応じて化合物半導体（例えば、ＧａＮ、ＳｉＣ、ＺｎＳｅ、ＣｄＳ、ＧａＡｓなど）を使用できる。更には、有機半導体（例えばペンタセン、ポリ３ヘキシルチオフェン、ポルフィリン誘導体、銅フタロシアニン、Ｃ６０など）なども使用することができる。
【０１１５】
マスク態様におけるゲート絶縁膜１０ｇを含む絶縁層１０は、無機材料から構成されている。例えば、半導体層２０がシリコン（Ｓｉ）からなる場合、ゲート絶縁膜１０ｇは、シリコン酸化膜（ＳｉＯ２）、または、シリコン窒化膜から形成することができる。なお、ゲート絶縁膜１０ｇは、ゾルゲル法を用いて作製することも可能である。また、ゲート絶縁膜１０ｇは、金属箔７０を陽極酸化することによって形成された酸化膜から構成することも可能である。
【０１１６】
マスク態様における間隙５０周辺の構造を上方から見ると、図５（ｃ）に示すように表すことができる。間隙５０におけるゲート絶縁膜１０ｇの上には、半導体層２０が形成されている。その半導体層２０には、ソース電極３０ｓとドレイン電極３０ｄとが接触している。半導体層２０の下面（底面）には、ゲート絶縁膜１０ｇおよびゲート電極１２が位置している。したがって、半導体層２０のうちソース電極３０ｓとドレイン電極３０ｄとの間に位置する部位はチャネル領域２２となり、それらの要素によってトランジスタ（薄膜トランジスタ：ＴＦＴ）が構築される。ここでマスク態様の本発明では、ソース電極３０ｓの端面３１ｓおよびドレイン電極３０ｄの端面３１ｄと、ゲート電極の端面（図５（ｃ）では図示せず）とは、一致するように形成されている。
【０１１７】
マスク態様における樹脂フィルム層６０は、可撓性を有する樹脂材料から構成されている。さらに説明すると、樹脂フィルム層６０は、半導体層２０を含むトランジスタ構造体を支持するための支持基材としても機能し得、硬化後に可撓性を有する熱硬化性樹脂材料や熱可塑性樹脂材料から構成されていてよい。そのような樹脂材料としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド（ＰＩ）樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）樹脂、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）樹脂、ＰＴＦＥなどのフッ素系樹脂、液晶ポリマー、それらの複合物等を挙げることができる。別法にて、樹脂フィルム層６０はポリシロキサンなどを含有する有機無機ハイブリッド材料から構成されていてもよい。上記のような樹脂材料は寸法安定性の性質に優れており、本発明のフレキシブル半導体装置１００におけるフレキシブル基材の材料として好ましい。
【０１１８】
次に、図６（ａ）〜（ｄ）、図７（ａ）〜（ｃ）および図８（ａ）〜（ｂ）を参照して、マスク態様の本発明に係るフレキシブル半導体装置１００の製造方法について説明する。尚、図６（ａ）〜（ｄ）、図７（ａ）〜（ｃ）および図８（ａ）〜（ｂ）は、フレキシブル半導体装置１００の製造方法を説明するための工程断面図である。
【０１１９】
マスク態様の本発明の製造方法の実施に際しては、まず、工程（Ａ）’を実施する。つまり、図６（ａ）に示すように、金属箔７０を用意する。マスク態様における金属箔７０は、例えば、銅箔またはアルミ箔から構成されているものであってよい。金属箔７０の厚さは、例えば０．５〜１００μｍ程度であり、好ましくは２〜２０μｍである。
【０１２０】
次に、工程（Ｂ）’として、図６（ｂ）に示すように、金属箔７０の表面に絶縁層１０を形成する（絶縁層１０の厚さは３０ｎｍ〜２μｍ程度であってよい）。絶縁層１０には、ゲート絶縁膜となる部位（１０ｇ）も含まれている。絶縁層１０は、例えば、酸化シリコンであってよい。かかる場合、例えば、ＴＥＯＳなどによって得られる酸化シリコン薄膜を形成してもよい。
【０１２１】
ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層１０は、無機材料から構成することが可能である。すなわち、樹脂基材を支持基板として用いるフレキシブル半導体装置においては、ゲート絶縁膜として有機絶縁膜を使用することが考えられるものの、本発明では無機材料からなるゲート絶縁膜を用いることができ、フレキシブル半導体装置１００のトランジスタ特性を向上させることができる。
【０１２２】
なぜなら、無機材料からなるゲート絶縁膜は、有機材料からなるゲート絶縁膜と比較して、厚さが薄くても絶縁耐圧が高く、また、誘電率も高いからである。本発明に係るＴＦＴ構成では、金属箔７０の表面に絶縁層１０を形成するので、絶縁層１０を作製する際のプロセス上の制約が少ない。したがって、本発明では、フレキシブル半導体装置のゲート絶縁膜の作製であっても、無機材料からなるゲート絶縁膜を容易に形成することができる。また、金属箔７０の上に絶縁層１０を形成した後も、下地は金属箔７０であるので、その絶縁層１０をアニール処理（熱処理）して、膜質を向上させることも可能である。
【０１２３】
さらに、金属箔７０がアルミニウムから成る場合、その金属箔７０の表面領域を局所的に陽極酸化することによって、絶縁層１０を形成することも可能である（局所的な陽極酸化で形成する絶縁層の厚さは３０ｎｍ〜２００ｎｍ程度であってよい）。アルミニウムの陽極酸化は、種々の化成液を用いて簡易に行うことができ、これにより、非常に薄い緻密な酸化被膜を形成することができる。例えば化成液としては、アンモニアで中性付近のｐＨになるように調整した「酒石酸水溶液とエチレングリコールとの混合溶液」を用いることができる。また、陽極酸化によって絶縁層１０を形成できる金属箔７０は、アルミニウムに限らず、良好な電気伝導性を有し、緻密な酸化物を容易に形成できる金属であればよく、例えば弁金属（バルブメタル）である。このような弁金属としては、例えば、アルミニウム、タンタル、ニオブ、チタン、ハフニウム、ジルコニウム、モリブデンおよびタングステンから成る群から選択される少なくとも１種以上の金属または合金を挙げることができる。ちなみに、陽極酸化を利用する場合、金属箔７０の表面が複雑な形状であっても表面に均一な厚みで酸化膜を形成することができるという利点がある。また、陽極酸化の場合では、酸化シリコン膜よりも高誘電率のゲート絶縁膜を作製することができるという利点もある。
【０１２４】
更にいえば、金属箔７０は弁金属（例えば、アルミニウム）に限らず、酸化によって金属表面が酸化被膜で一様に覆われるものであればよく、それゆえに、弁金属以外の金属から成るものであってもよい。その場合、金属箔７０の酸化方法は、陽極酸化に代えて、熱酸化（加熱による表面酸化処理）や化学酸化（酸化剤による表面酸化処理）を用いることができる。
【０１２５】
別法にて、絶縁層１０は、ゾルゲル法を用いて形成することも可能である（ゾルゲル法で形成する絶縁層の厚さは１００ｎｍ〜１μｍ程度であってよい）。この場合、絶縁層１０は、例えば、酸化シリコン膜から構成されることになる。ゾルゲル法による酸化シリコン膜の作成方法の一例を挙げると、テトラ・エトキシ・シラン(ＴＥＯＳ)、メチル・トリエトキシシラン（ＭＴＥＳ）、エタノール、希塩酸（０．１ｗｔ％）の混合溶液を室温で２時間攪拌して調製したコロイド溶液(ゾル)を、金属箔上にスピンコート法にて均一に塗布して、３００℃にて１５分加熱処理をして作製することができる。ゾルゲル法によれば、シリコン酸化膜のみならずハフニウム酸化膜、アルミニウム酸化膜、チタン酸化膜など高誘電率のゲート絶縁膜を作製することができるという利点がある。
【０１２６】
次に、図６（ｃ）に示すように、絶縁層１０の上に支持基板７２を形成する。支持基板７２は、セラミック基材（例えば、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ））、または、金属基材（例えば、ＳＵＳ３０４などのステンレス基板）であってよい。なお、支持基板７２として、樹脂基材を用いても構わない。一例を挙げるとすると、そのような基材を絶縁層１０に貼り合わせることによって（必要に応じて接着剤を用いて）、絶縁層１０の上に支持基板７２を供することができる。
【０１２７】
次に、図６（ｄ）に示すように、金属箔７０の一部をエッチングすることによって、金属箔７０からソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄを形成する。つまり、マスク態様の製造方法の工程（Ｃ）’を実施する。ここで、金属箔７０のエッチングを行っても、絶縁層１０の片面に支持基板７２が形成されているので、支持基板７２によって全体は保持される。換言すると、金属箔７０のエッチングを行っても、全体が切れてバラバラになってしまうことはない。
【０１２８】
ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄの形成は、例えば、フォトリソとエッチングの組合せによって行うことができる。詳述すると次のようになる。まず、ドライフィルムや液状タイプなどのフォトレジスト材料を金属箔７０全面に成膜する。次に、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄの形状および位置を規定するパターンの形成されたフォトマスクを用いてパターン露光、現像する。次いで、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄに対応するパターンを有するフォトレジストをマスクとして、金属箔７０をエッチング液に浸漬すると、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄ、ならびに、両電極（３０ｓ・３０ｄ）の間に位置する間隙５０が形成される。最後にフォトレジストを除去されば「間隙を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極」が完成する。ここで、エッチング液は金属箔の種類に応じて適当なものを選択して用いることができる。一例を挙げると、銅箔を用いる場合は塩化第２鉄溶液や過酸化水素・硫酸溶液を用いることができる。アルミ箔の場合ではリン酸、酢酸、硝酸の混合溶液を用いることができる。
【０１２９】
マスク態様において、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄの面のうち、間隙５０を挟んで対向する端面５０ｂが傾斜面となっている。換言すれば、図６（ｄ）に示すように、間隙５０の周辺は、底面５０ａと壁面５０ｂと上面５０ｃとからなり、壁面５０ｂが傾斜している。壁面５０ｂと上面５０ｃとのなす角度θは鈍角であり、例えば、角度θ＝１００°〜１７０°であり、好ましくは１１０°〜１６０°程度である（図６（ｄ）参照）。尚、図６（ｄ）に示すような間隙５０の底面寸法ｗは、好ましくは１μｍ〜１ｍｍ程度であり、より好ましくは１０μｍ〜３００μｍ程度である。また、図６（ｄ）に示すような間隙５０の高さ・深さ寸法ｈは、好ましくは０．５μｍ〜１００μｍ程度、より好ましくは２μｍ〜２０μｍ程度である。
【０１３０】
次に、図７（ａ）に示すように、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄをバンク部材として用いて、間隙５０に半導体層２０を形成する（半導体層２０の厚さは３０ｎｍ〜１μｍ程度であってよく、好ましくは５０ｎｍ〜３００ｎｍ程度である）。この半導体層の形成工程では、「間隙５０を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極」を、半導体原料・材料の位置決め用のバンク部材として機能させるので、半導体層２０を好適に形成することができる。
【０１３１】
具体的には、間隙５０の周辺における底面５０ａとなる絶縁層１０（ゲート絶縁膜１０ｇとなる部位）の上に半導体層２０を形成する。別の表現を用いれば間隙５０に収容されるように半導体層２０を形成する。
【０１３２】
例えば、薄膜形成法や印刷法によって半導体層を形成する場合、供される半導体材料が間隙５０に堆積し、その堆積物を半導体層として利用することができるので、間隙５０が、半導体層形成の位置を定める役割を果たすことになる（図４参照）。つまり、「間隙５０を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極」が“位置決め”用のバンク部材として機能する。薄膜形成法としては、例えば、真空蒸着、スパッタリング、プラズマＣＶＤなどを挙げることができる。また、印刷法としては、凸版印刷、グラビア印刷、スクリーン印刷、インクジェットなどを挙げることができる。
【０１３３】
また、半導体層２０を構成する材料が液体であって底面５０ａの上に液体材料を供給する場合では、その液体材料が間隙５０の外に流れ出さず、間隙５０の内にて保持されることになる。つまり、この場合では、間隙５０が、液体の半導体材料を保持する役割も果たすことになる。それゆえ、半導体材料が液体・ペースト状である場合では「間隙５０を挟んで配置されたソース電極およびドレイン電極」が“位置決め”用バンク部材として機能するとともに、“貯留”用のバンク部材としても機能する。
【０１３４】
半導体層の形成を具体的に例示する。半導体層２０をシリコン層として形成する場合、一例としては、環状シラン化合物含有溶液（例えばシクロペンタシランのトルエン溶液）をインクジェットなどの方法を用いて、間隙５０の底面５０ａの上に塗布し、次いで、３００℃で熱処理することによって、アモルファスシリコンからなる半導体層２０を形成することができる。
【０１３５】
半導体層を形成した直後は、金属箔７０の上に絶縁層１０を介して半導体層２０が設けられた状態であるので、半導体層２０をアニール処理することが可能である。半導体層２０をアニール処理することによって、半導体層２０の膜質を向上させたり、改質したりすることができる。特に、支持基板７２がセラミック基材や金属基材である場合には耐熱性に優れるので、高温のアニール処理をしても実質的に問題ない。また、支持基板７２が樹脂基材からなる場合でも、その支持基板７２は最終的に除去されるものであるので、樹脂基材からなる支持基板７２の膜質が比較的劣化したとしても、支持基板として機能するのであれば、半導体層２０のアニール処理を実行することは可能である。
【０１３６】
アモルファスシリコンからなる半導体層２０を間隙５０の中に形成した場合では、アニール処理後によって、多結晶シリコン（例えば、平均粒径：数百ｎｍ〜２μｍ程度）に変化させることができる。また、半導体層２０が多結晶シリコンの場合では、アニール処理によってその結晶度が向上したりする。また、半導体層２０の膜質の変化によって、半導体層２０の移動度が向上し、アニールの処理前と処理後とでは移動度が顕著に大きく異なることになる。
【０１３７】
ここで、シリコン半導体の結晶粒径と移動度との関係を例示的に簡単に説明すると次の通りである。ａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）の移動度は、＜１．０（ｃｍ２／Ｖｓ）である。μＣ−Ｓｉ（微結晶シリコン）の移動度は、約３（ｃｍ２／Ｖｓ）であり、その結晶粒径は１０〜２０ｎｍである。ｐＣ−Ｓｉ（多結晶シリコン）の移動度は、約１００（ｃｍ２／Ｖｓ）、または、１０〜３００（ｃｍ２／Ｖｓ）程度であり、その結晶粒径は５０ｎｍ〜０．２μｍである。したがって、アニール処理によって、ａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）から、μＣ−Ｓｉ（微結晶シリコン）またはｐＣ−Ｓｉ（多結晶シリコン）に膜質が変化すると、移動度は数倍以上（数倍、数十倍、数百倍など）に変化する。なお、ｓＣ−Ｓｉ（単結晶シリコン）の移動度は例えば６００（ｃｍ２／Ｖｓ）以上である。
【０１３８】
ここでのアニール処理としては、半導体層２０が形成された金属箔７０の全体を加熱処理する手法の他、間隙５０にレーザ光を照射して、半導体層２０を加熱する手法を採用することができる。レーザ光を照射してアニール処理をする場合には、例えば、次のようにすることができる。一例を挙げると、波長３０８ｎｍのエキシマレーザ（ＸｅＣｌ）を、エネルギー密度５０ｍＪ／ｃｍ２、パルス幅３０ナノ秒で１００〜２００ショット照射することができる。なお、具体的なアニール処理の条件は、種々の因子を総合的に勘案して適宜決定される。
【０１３９】
半導体層２０の加熱処理に際して、絶縁層１０（特にゲート絶縁膜１０ｇ）の加熱処理を行ってもよい。つまり、半導体層２０のアニール処理と、絶縁層１０のアニール処理とを同一工程で実行してもよい。これにより、絶縁層１０（特にゲート絶縁膜１０ｇ）の膜質も変化させることができる。例えば、半導体層が加熱されると、その熱に起因してゲート絶縁膜１０ｇも加熱することができる。絶縁層１０が水蒸気中で熱酸化（ウエット酸化）によって作製した酸化膜（ＳｉＯ２）から成る場合、絶縁層１０が加熱されることによって、その酸化膜（ＳｉＯ２）の電子トラップ準位を減少させることができる。さらに説明をすると、ウエット酸化は、ドライ酸化よりも酸化速度が１０倍程度大きいので生産性が良く好ましいが、電子トラップ準位が多くなる傾向がある。一方、ドライ酸化は、電子トラップ準位の生成は少ないものの、ホールトラップが多くなる。そこで、ウエット酸化による酸化膜を酸素雰囲気中で加熱処理されることによって、電子トラップおよびホールトラップが共に少ないゲート酸化膜を生産性良く得ることができる。
【０１４０】
半導体層２０の形成（およびその加熱処理）に引き続いて、樹脂フィルム層６０を形成する。つまり、図７（ｂ）に示すように、ソース・ドレイン電極３０ｓ・３０ｄおよび半導体層２０を覆うように、透光性の樹脂フィルム層６０（例えば、紫外線透過型の樹脂フィルム層）を形成する。これにより、フィルム積層体（フレキシブル基板構造体）１１０が得られる。本発明では、この樹脂フィルム層６０の形成において、樹脂フィルム層６０の一部を間隙５０に挿入させる。つまり、間隙部５０が樹脂フィルム材で充填されるように、樹脂フィルム層６０を形成する。これにより、樹脂フィルム層６０において間隙５０に嵌合される突起部６５が得られる。そして、このように突起部６５が間隙５０に嵌合することによって、樹脂フィルム層６０と、ソース・ドレイン電極３０ｓ・３０ｄを含むトランジスタ構造体との密着性が向上する。
【０１４１】
ここで、間隙５０を規定する対向面の角度θ（図６（ｄ）参照）が鈍角であると、例えば角度θが直角である場合と比較して、樹脂フィルムの一部が間隙５０内に挿入されやすくなり、それゆえに、突起部６５と間隙５０との嵌合が形成されやすくなるので好ましい。角度θが鈍角のときは、角度θが直角である場合と比べて、半導体層２０を形成する際に、ソース・ドレイン電極３０ｓ・３０ｄのバンク部材としての機能を高めることができる。すなわち、半導体材料を間隙５０内に滴下する際に、滴下装置の位置精度が悪い（又は、公差が大きい）ときでも、角度θを鈍角にした構造の場合の方が受け止める範囲を広げることができるので、形成される半導体層２０の位置合わせ精度を高めることができる。
【０１４２】
樹脂フィルム層６０の形成方法は、特に限定されないが、例えば、半硬化の樹脂フィルムを絶縁層１０の上に貼り合わせて硬化させる方法（樹脂シートの貼り合わせ面に接着性材料を塗布してもよい。）や、液状の樹脂を絶縁層１０の上にスピンコートなどで塗布して硬化させる方法などを採用することができる。形成される樹脂フィルム層６０の厚さは、例えば４〜１００μｍ程度である。半硬化の樹脂フィルムを貼り合わせる場合では、貼合せ時に樹脂フィルムを加圧することによって樹脂フィルムの一部を「ソース電極とドレイン電極との間の間隙５０」に供することができ、それによって、樹脂フィルム層の一部を間隙５０に嵌合させることができる。尚、貼合せに用いる樹脂フィルムとして、「間隙５０の形状と実質的に相補的な形状を有する凸部を予め備えた樹脂フィルム」を用いてもよい。
【０１４３】
樹脂シートの貼り合わせ面に接着性材料を塗布した場合では、樹脂シート部厚さが２〜１００μｍ程度であってよく、接着性材料部厚さが３〜２０μｍ程度であってよい。貼り合わせ条件は、樹脂フィルム材料、接着性材料の硬化特性に応じて適宜決定することができる。例えば、ポリイミド・フィルム（厚み：約１２．５μｍ）の貼り合わせ面にエポキシ樹脂を接着性材料として塗布（厚み：約１０μｍ）した樹脂フィルムを用いる場合は、まず、金属箔と樹脂フィルムとを積層して６０℃に加熱して、３ＭＰａに加圧した条件で仮圧着する。そして、１４０℃、５ＭＰａで１時間接着性材料を本硬化させる。
【０１４４】
このように樹脂フィルム層６０が形成されることによって、半導体層２０を保護することができるとともに、次工程（金属箔７０のパターニング処理など）のハンドリングや搬送を安定して行うことが可能となる。
【０１４５】
樹脂フィルム層６０が形成された後においては、フィルム積層体１１０から、支持基板７２を除去する。ここで、図７（ｂ）に示した構造において支持基板７２を除去したとしても、樹脂フィルム層６０が支持基材としての役割を果たすことができる。
【０１４６】
支持基板７２の除去に引き続いて、工程（Ｄ）’を実施する。つまり、図７（ｃ）に示すように、ゲート絶縁膜１０ｇを含む絶縁層１０の上に、光硬化性の導電性ペーストを付与して、光硬化性導電性ペースト層１１を形成する。より具体的には、絶縁層１０の主面のうち半導体層２０が形成される側と反対側の主面ａに、光硬化性の導電性ペーストを供給して、光硬化性導電性ペースト層を形成する（導電性ペースト層１１の厚さは５０ｎｍ〜２０μｍ程度であってよい）。用いる導電性ペーストは、常套の光硬化性ペーストを用いてもよく、例えば紫外線硬化型のペースト材料（例えば、Ａｇペースト）を用いることができる（具体的には“Ａｇペースト”は１０ｎｍから２０ｕｍ程度のＡｇ粒子、エポキシアクリレート樹脂などの光重合開始可能な樹脂およびエチルセルロース（ＥＣ）などの粘度調整のための溶剤を含んで成る）。導電性ペーストの付与は、例えば、絶縁層１０の上に全面印刷することによって行うことができる。なお、導電性ペースト層１１の形成は、例えば、スクリーン印刷、グラビア印刷、インクジェット法などの印刷法を用いて、ゲート絶縁膜１０ｇの周囲に塗布して実行することもできる。
【０１４７】
次に、図８（ａ）に示すように、樹脂フィルム層６０側（図示した基板構造体の裏面側）から光（例えば、ＵＶ光）６２を照射する。つまり、工程（Ｅ）’を実施する。具体的には、図示するように、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄをマスクとして用いて、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄが形成された側から光を照射する。照射光６２は、樹脂フィルム層６０を透過し、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄとの間を介して、チャネル部分の導電性ペースト層１１を硬化させる。かかる導電性ペースト層の硬化によってゲート電極１２が形成される。照射光６２としては、樹脂フィルム層６０、ゲート絶縁膜１０および半導体層２０を透過して、導電性ペースト層１１を硬化させる波長の光を用いる。照射光の波長は樹脂フィルム層、ゲート絶縁膜および半導体層を透過して、かつ、導電ペーストを硬化させる波長を選択することができる。一例を挙げるとすると、樹脂フィルム層６０がアクリル樹脂（ＰＭＭＡ）またはポリカーボネート（ＰＣ）から成り、ゲート絶縁膜がシリコン酸化物から成り、半導体層２０がＩｎＧａＺｎＯから成る場合では、波長約４３６ｎｍの光（いわゆるｇ線）を透過させることができるので、その光の照射によって光硬化性の導電性ペースト層１１を硬化させることができる。
【０１４８】
かかる光照射の工程では、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄをマスクとして、導電性ペースト層１１の一部を硬化させるので、ソース電極３０ｓの端面３１ｓと、ゲート電極１２の端面１３とを一致させることができると共に、ドレイン電極３０ｄの端面３１ｄとゲート電極１２の端面１３とを一致させることができる。すなわち、この照射工程で、セルフアラインのゲート構造を作製することができる。
【０１４９】
上述したように、ソース電極・ドレイン電極をマスクとして用いた光６２の照射によって、ゲート電極１２の端面１３をソース・ドレイン電極の端面（３１ｓ・３１ｄ）と自己整合的に一致させている。しかしながら、現実の製造プロセスにおいては、光６２の照射による熱によって、導電性ペースト１１の硬化領域が若干広がり、ゲート電極１２の端面１３がソース・ドレイン電極の端面（３１ｓ・３１ｄ）と厳密には一致しない場合もあり得る。ただし、本実施形態では、現実プロセスにおけるその若干の広がりを含めて、自己整合的に一致するように形成されている（セルフアラインで形成されている）ものとする。あるいは、光６２の照射時に、ゲート電極１２のマスクとして機能するソース・ドレイン電極３０ｓ・３０ｄよって光６２の回折または散乱が生じて、導電性ペースト１１の硬化領域に若干変化が生じて、ゲート電極１２の端面１３がソース・ドレイン電極の端面（３１ｓ・３１ｄ）と厳密には一致しない場合もあり得る。この場合であっても、現実プロセスにおける誤差を含めて、自己整合的に一致するように形成されている（セルフアラインで形成されている）ものとする。
【０１５０】
マスク態様では、ソース電極およびドレイン電極が成す面のうち“間隙”を挟んで対向する端面が傾斜した面となっていることに起因して、工程（Ｅ）’の光硬化時に利点が供される。特に本発明では“間隙”が光源側に向かって広がる順テーパ形状を有しているが、そのような順テーパ形状の“間隙”ゆえに、次のような有利な効果が奏される。例えば、図９（ａ）に示すように“間隙”が逆テーパ形状の場合（即ち間隙が光源側に向かって狭まる形状を有している場合）、露光時の光が垂直に入射すると、ゲート電極１２の形成部分は半導体層２０よりも小さくなり、（ゲート電極に対応して形成される）チャネル部が半導体層の全面に形成されない不具合が生じ得る。かかる場合、トランジスタをＯＮした場合のソース電極−ドレイン電極間の抵抗が大きくなってしまうことになる。この点、本発明のように“間隙”が順テーパ形状の場合（図９（ｂ））では、半導体層部分２０とゲート電極１２は一致することになり、そのような不具合は生じ得ない。しかしながら、これは“間隙”が鉛直形状の場合（図９（ｃ））であっても同様である。ここで、露光に用いる光が基板から少しずれて入射する場合を想定すると、“間隙”が鉛直形状の場合（図９（ｃ））では入射光の一部がソース電極・ドレイン電極の陰になってしまい入射光の一部が電極に遮られてゲート電極１２が半導体層部分２０よりも小さくなってしまうという不具合が生じるものの、順テーパー形状の場合（図９（ｂ））では入射光が少しずれたとしても影が生じないため半導体層部分２０とゲート電極１２とは一致しており前記不具合は生じ得ない。以上より、本発明のような順テーパ形状の“間隙”は、工程（Ｅ）’の光硬化時に有利な効果を奏することを理解できるであろう。
【０１５１】
光照射に引き続いて、図８（ｂ）に示すように、導電性ペースト層１１の未硬化部分を除去する。以上の工程によって、マスク態様の本発明に係るフレキシブル半導体装置１００を得ることができる。なお、マスク態様においては、この後、ゲート電極１２を覆うように絶縁層１０の上に樹脂フィルム層（図示せず）を形成してもよい。
【０１５２】
このような発明に従えば、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄをマスクとして用い、導電性ペースト層１１の一部を硬化させて、ゲート電極１２を形成することができる。それゆえに、ゲート電極１２、ソース電極３０ｓ、ドレイン電極３０ｄの位置関係を、誤差の生じやすいマスク合わせを用いることなく自動的に決定することができる。かかるセルフアラインのゲート構造によって、三つの電極間の重なりを一定かつ最小にすることができ、その結果、ゲート電極１２とドレイン電極３０ｄとのオーバーラップ部に形成されるトランジスタの寄生容量を一定かつ最小にすることができる。つまり、マスク態様の本発明では、画質およびその均一性・信頼性の特性を向上させることができる。なお、大面積になるほどマスク合わせは困難となるため、ゲート・セルフアラインの必要性は高まる。
【０１５３】
上述のマスク態様に係る本発明の製造方法ではソース電極およびドレイン電極をマスクとして用いてゲート電極をセルフアライン方式で形成する製造方法であったが、その逆の態様で、ゲート電極をマスクとして用いてソース電極およびドレイン電極をセルフアライン方式で形成することもできる。以下、かかる製造方法について図１０（ａ）〜（ｄ）、図１１（ａ）〜（ｃ）および図１２（ａ）〜（ｂ）を参照して説明する。図１０（ａ）〜（ｄ）、図１１（ａ）〜（ｃ）および図１２（ａ）〜（ｂ）は、フレキシブル半導体装置１００’の製造方法を説明するための工程断面図である。
【０１５４】
まず、図１０（ａ）に示すように、金属箔７０を用意する。つまり、本発明の製造方法の工程（Ａ）”を実施する。金属箔７０は、例えば、銅箔またはアルミ箔から構成されているものであってよい。次に、工程（Ｂ）”として、図１０（ｂ）に示すように、金属箔７０の表面に絶縁層１０を形成する。絶縁層１０には、ゲート絶縁膜となる部位（１０ｇ）も含まれている。
【０１５５】
次いで、図１０（ｃ）に示すように、絶縁層１０の上に、光硬化性の導電性ペーストを付与して光硬化性導電性ペースト層１１を形成する。つまり、工程（Ｃ）”を実施する。具体的には、絶縁層の主面のうちゲート電極が形成される側と反対側の主面ｂに、光硬化性の導電性ペーストを供して、光硬化性導電性ペースト層１１を形成する。その後、図１０（ｄ）に示すように、導電性ペースト層１１の上に、支持基板７３を形成する。支持基板７３は例えば樹脂基材であってよい。しかしながら、支持基板７３としては、前述したように、セラミック基材、または、金属基材を用いても構わない。
【０１５６】
次に、図１１（ａ）に示すように、工程（Ｄ）”として、金属箔７０をエッチングすることによって、ゲート電極１２を形成する。具体的には、金属箔７０に対してフォトリソとウェットエッチングとを実施することによって、ゲート電極１２を形成する。次いで、図１１（ｂ）に示すように、ゲート電極側から光（例えば、ＵＶ光）６３を照射する。つまり、工程（Ｅ）”を実施する。具体的には、図示するように、ゲート電極１２をマスクの一部として用いて、それが形成された側から導電性ペースト層１１に向かって光を照射する。これにより、絶縁層１０を介して導電性ペースト層１１を部分的に照射することができ、照射された層１１を硬化させることができる。硬化された部分はソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄとなる。照射光６３としては、絶縁層１０を透過して、導電性ペースト層１１を硬化させることができる波長の光を用いる。
【０１５７】
この工程では、ゲート電極１２をマスクの一部として、導電性ペースト層１１を硬化させるので、ゲート電極１２の端面１３とソース電極３０ｓの端面３１ｓとを一致させることができると共に、ゲート電極１２の端面１３とドレイン電極３０ｄの端面３１ｄとを一致させることができる。すなわち、この照射工程で、セルフアラインのゲート構造を作製することができる。なお、このセルフアラインのゲート構造においても、光の回折・散乱などによって端面（１３、３１ｓ、３１ｄ）同士の一致について若干の誤差が生じる可能性がある点は上述した通りである。
【０１５８】
次に、図１１（ｃ）に示すように、ゲート電極１２を覆うように、絶縁層１０の表面に樹脂フィルム層７４を形成した後、支持基板７３を取り除く。次いで、図１２（ａ）に示すように、導電性ペースト層１１の未硬化部分を除去した後、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄをバンク部材として用いて、両電極（３０ｓ・３０ｄ）の間に半導体層２０を形成する。その後、図１２（ｂ）に示すように、半導体層２０およびソース・ドレイン電極（３０ｓ・３０ｄ）を覆う樹脂フィルム層６０を形成する。かかる樹脂フィルム層６０の一部は、ソース・ドレイン電極（３０ｓ・３０ｄ）の間隙５０に入り込む嵌合部６５となる。以上のような工程を経ることによって、フレキシブル半導体装置１００’を得ることができる。
【０１５９】
このような製造方法によっても、セルフアラインのゲート構造を形成することができる。すなわち、ゲート電極１２の一部をマスクとして、導電性ペースト層１１を部分的に硬化させて、ソース電極３０ｓおよびドレイン電極３０ｄを形成することができる。したがって、ゲート電極１２、ソース電極３０ｓ、ドレイン電極３０ｄの位置関係を、誤差の生じやすいマスク合わせを用いることなく自動的に決定することができる。
【０１６０】
《フレキシブル半導体装置が搭載される画像表示装置》
図１３を参照して、本発明に係るフレキシブル半導体装置１００を画像表示装置に搭載する態様について説明する（ちなみに、フレキシブル半導体装置１００’を画像表示装置に搭載する態様であっても同様である）。図１３に示した回路９０は、画像表示装置（ここでは有機ＥＬディスプレイ）に搭載される駆動回路であり、ここでは画像表示装置の一画素の構成を表している。この例の画像表示装置の各画素は、２つのトランジスタ（１００Ａ、１００Ｂ）と、１つのコンデンサ８５との組み合わせの回路から構成されている。この駆動回路には、スイッチ用トランジスタ（以下、「Ｓｗ−Ｔｒ」と称する）１００Ａと、駆動用トランジスタ（以下、「Ｄｒ−Ｔｒ」と称する）１００Ｂとが含まれており、両方のトランジスタ（１００Ａ、１００Ｂ）とも、本発明のフレキシブル半導体装置１００から構成されている。なお、フレキシブル半導体装置１００の構造体の一部に、コンデンサ８５を形成することも可能である。その場合、本実施形態の絶縁層１０を、コンデンサ８５の誘電体層として利用してもよい。
【０１６１】
さらに説明すると、Ｓｗ−Ｔｒ１００Ａのゲート電極は、選択ライン９４に接続されている。また、Ｓｗ−Ｔｒ１００Ａのソース電極およびドレイン電極は、それぞれ、一方がデータライン９２に接続され、他方がＤｒ−Ｔｒ１００Ｂのゲート電極に接続されている。さらに、Ｄｒ−Ｔｒ１００Ｂのソース電極およびドレイン電極は、それぞれ、一方が電源ライン９３に接続され、他方が表示部（ここでは有機ＥＬ素子）８０に接続されている。なお、コンデンサ８５は、Ｄｒ−Ｔｒ１００Ｂのソース電極とゲート電極との間に接続されている。
【０１６２】
上記構成の画素回路において、選択ライン９４の作動時に、Ｓｗ−Ｔｒ１００Ａのスイッチがオンになると、駆動電圧がデータライン９２から入力され、それがＳｗ−Ｔｒ１００Ａによって選択されることにより、コンデンサ８５に電荷が蓄積される。そして、その電荷によって生じた電圧がＤｒ−Ｔｒ１００Ｂのゲート電極に印加され、その電圧に応じたドレイン電流が表示部８０に供給され、それによって表示部（有機ＥＬ素子）８０を発光させるようになっている。
【０１６３】
図１４（ａ）および（ｂ）は、本実施形態のフレキシブル半導体装置１００（１００Ａ、１００Ｂ）によって回路９０を構築した積層構造体２００を示している。
【０１６４】
図１４（ａ）および（ｂ）に示した積層構造体２００では、上部側にフレキシブル半導体装置１００Ａが配置されており、下部側にフレキシブル半導体装置１００Ｂが配置されている。フレキシブル半導体装置１００Ａのドレイン電極３０ｄは、ビア８２を介して、フレキシブル半導体装置１００Ｂのゲート電極１２に接続されている。また、フレキシブル半導体装置１００Ａのドレイン電極３０ｄは、ビア８２を介して、コンデンサ８５の上部電極８５ａに接続されている。ここで、コンデンサ８５の誘電層は、フレキシブル半導体装置１００Ｂのゲート絶縁膜１０ｇと同じ層１０である。また、コンデンサ８５の下部電極８５ａは、フレキシブル半導体装置１００Ｂのソース電極３０ｓから延びた電極である。なお、フレキシブル半導体装置１００Ｂのドレイン電極３０ｄは、ビア８２を介して、配線８４に接続されている。
【０１６５】
ここで、樹脂フィルム６０Ａの突起部６５Ａは、フレキシブル半導体装置１００Ａの間隙５０に挿入されている。一方、樹脂フィルム６０Ｂの突起部６５Ｂは、フレキシブル半導体装置１００Ｂの間隙５０に挿入されている。各突起部６５（６５Ａ、６５Ｂ）とも、間隙５０と嵌合構造を形成している。したがって、この例に示した構成では、各フレキシブル半導体装置１００（１００Ａ、１００Ｂ）のチャネル部分の周辺を嵌合構造として用いるので、接着性を向上させるための嵌合構造を別途形成しなくてもよいという利点を有する。尚、マスク態様の本発明の実態態様を示す図１４（ｂ）を参照すると分かるように、フレキシブル半導体装置１００Ａおよび１００Ｂはともに、セルフアラインのゲート構造を有している。すなわち、マスク態様の本発明では、ゲート電極１２の端面１３と、ソース電極３０ｓの端面３１ｓ・ドレイン電極３０ｄの端面３１ｄとが一致している。
【０１６６】
さらに、本実施形態のフレキシブル半導体装置１００（１００Ａ、１００Ｂ）によって回路９０を構築した積層構造体２００の他の例を示す。図１５Ａ（ａ）および（ｂ）〜図１５Ｅ（ａ）および（ｂ）は、他の例の積層構造体２００の各層（１０１〜１０５）を模式的に示した平面図である。図１６（ａ）は、図１５Ａ（ａ）〜図１５Ｅ（ａ）における線VII−VIIに沿った断面図の一部（拡大図）である一方、図１５Ａ（ｂ）〜図１５Ｅ（ｂ）における線ＸI−ＸIに沿った断面図の一部（拡大図）である。また、図１７（ａ）は、図１５Ａ（ａ）〜図１５Ｅ（ａ）における線VIII−VIIIに沿った断面図の一部（拡大図）である一方、図１７（ｂ）は、図１５Ａ（ｂ）〜図１５Ｅ（ｂ）における線ＸII−ＸIIに沿った断面図の一部（拡大図）である。
【０１６７】
図１５Ａ（ａ）および（ｂ）に示した層１０１には、ゲート電極１２が配置されている。また、図１５Ｂ（ａ）および（ｂ）に示した層１０２には、ソース電極３０ｓ、ドレイン電極３０ｄ、および、その間（３０ｓ、３０ｄ）に位置する半導体層２０が設けられている。図１５Ｃ（ａ）および（ｂ）に示した層１０３には、ゲート電極１２およびビア８２が配置されている。図１５Ｄ（ａ）および（ｂ）に示した層１０４には、ソース電極３０ｓ、ドレイン電極３０ｄ、および、その間（３０ｓ、３０ｄ）に位置する半導体層２０が設けられている。そして、図１５Ｅ（ａ）および（ｂ）に示した層１０５には、配線８４およびビア８２が配置されている。
【０１６８】
図１６（ａ）および（ｂ）に示されているように、樹脂フィルム６０Ａの突起部６５Ａは、フレキシブル半導体装置１００Ａの間隙５０で嵌合されており、一方、樹脂フィルム６０Ｂの突起部６５Ｂは、フレキシブル半導体装置１００Ｂの間隙５０で嵌合されている。また、図１４（ａ）および（ｂ）に示すように、コンデンサ８５の誘電体層１０は、フレキシブル半導体装置１００Ｂのゲート絶縁膜１０ｇと共通の層である。尚、マスク態様の本発明の実態態様を示す図１４（ｂ）および図１６（ｂ）を参照すると分かるように、フレキシブル半導体装置１００Ａおよび１００Ｂともに、セルフアラインのゲート構造を有している。
【０１６９】
次に、前記したトランジスタあるいはトランジスタより構成された回路上に画像表示部が形成される態様（特に、フレキシブル半導体装置上に形成される複数の画素より構成された画像表示部の態様）を説明する。
【０１７０】
図１８は本発明のフレキシブル半導体装置上にＲ(赤)Ｇ(緑)Ｂ(青)の３色を３つの画素に配置したＯＬＥＤ(有機ＥＬ)画像表示装置３００の断面図である。半導体装置では樹脂フィルムおよび画素電極(陰極)のみを図示している。かかる画像表示装置３００では、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素の画素電極１５０上にそれぞれの色に対応した発光材料から成る発光層１７０が配置されている。隣接する各画素の間には画素規制部１６０が形成されており、発光材料が混ざり合うのを防止すると同時にＥＬ材料配置の際の位置決めを容易にしている。発光層１７０の上面には各画素全体を覆うように透明電極層(陽極層)１８０が形成されている。
【０１７１】
画素電極１５０に用いる材料はＣｕなどの金属が挙げられるが、発光層１７０への電荷注入効率を向上させるための電荷注入層と発光層からの光を反射して上側への光取り出し効率を上げるために、表面を０．１ｕｍのＡｌとの積層構造として(例えばＡｌ／Ｃｕ)反射電極としてもよい。
【０１７２】
発光層１７０に用いる材料は特に限定は無いが、一例を挙げるとポリフルオレン系発光材料、樹木状多分岐構造を持つ物質はいわゆるデンドリマのデンドロン骨格の中心部にＩｒやＰｔ等の重金属を使用したデンドリマ系発光材料を用いることが出来る。発光層１７０は単層構造としてよいが、電荷注入を容易にするため正孔注入層としてＭｏＯ３や電子注入層としてＬｉＦを用いて電子注入層／発光層／正孔注入層のように積層構造としてもよい。陽極の透明電極１８０にはＩＴＯを用いることが出来る。
【０１７３】
画素規制部１６０は絶縁材料であればよいが、例えばポリイミドを主成分とする感光性樹脂やＳｉＮを用いることが出来る。
【０１７４】
尚、画像表示装置は、図１９に示すようなカラーフィルターを有する構成であってもかまわない。図示する画像表示装置３００’では、フレキシブル半導体装置１００、フレキシブル半導体装置１００上に形成されている複数の画素電極１５０、その画素電極１５０を全体的に覆うように形成されている発光層１７０、および、発光層１７０上に形成されている透明電極層１８０、更には、透明電極層１８０上に形成されているカラーフィルター１９０が設けられている。かかる画像表示装置３００’では、カラーフィルター１９０が発光層１７０からの光を赤・緑・青の３色に変換する機能を有しているので、それによって、Ｒ(赤)Ｇ(青)Ｂ(青)の３つの画素を構成することができる。つまり、図１８に示す画像表示装置３００では、画素規制部によって分けられた各発光層が別個に赤・緑・青の発光をするのに対して、図１９の画像表示装置３００’においては、発光層から発せられる光自体には色の区別はないものの（例えば白色の光となっており）、かかる光がカラーフィルター１９０を通過することによって赤・緑・青の光が生じるようになっている。
【０１７５】
（画素表示装置の製造方法）
次に、画素表示装置の製造方法について説明する。具体的には、図２０を参照して本態様のＯＬＥＤの製造方法について説明する。
【０１７６】
まず、図２０（ａ）に示すように、画素電極１５０を備えたフレキシブル半導体装置１００を用意する。具体的には、フレキシブル半導体装置１００の製造に際して金属箔をパターニングすることによって画素電極１５０を形成できる他（即ち、可撓性フィルム層上に設けられた金属箔をフォトリソグラフィなどを通じで部分的にエッチングして画素電極１５０を形成できる他）、印刷法などによって所定箇所に画素電極原料を塗布することを通じても画素電極１５０を形成できる。
【０１７７】
次いで、フレキシブル半導体装置の上に「複数の画素より構成されている画像表示部」を形成する。例えば、図２０（ｂ）〜（ｄ）に示すように、フレキシブル半導体装置１００上に複数の画素規制部１６０を形成し、かかる複数の画素規制部１６０によって仕切られた領域かつ画素電極１５０上に発光層１７０を形成する。画素規制層１６０は、例えば、ポリイミドを主成分とする感光性樹脂材料で画素電極全体を覆うように形成して画素規制部の前駆体層１６０’を形成した後、かかる前駆体層１６０’に対してフォトリソグラフィを施すことによって形成してよい。所定の色の発光層１７０は所定の画素電極上に形成される。発光層１７０の形成方法としては、例えば、ポリフルオレン系の発光材料をキシレンに溶解して１％の溶液にし、インクジェット法を用いて画素電極上に配置することが出来る。たとえば、発光層１７０の厚みは約８０ｎｍとすることができる。
【０１７８】
次いで、発光層１７０を覆うように透明導電層１８０（たとえばＩＴＯ膜）を形成する。かかる透明導電層のＩＴＯ膜はスパッタ法により製膜することが出来る。
【０１７９】
以上のような工程を通じることによって、図２０（ｅ）および図１８に示される構造を備えた画像表示装置３００を構築することができる。
【０１８０】
代替的な態様としてカラーフィルターを備えた画像表示装置３００’の製造態様についても説明しておく。かかる製造態様は、部分的に違いはあるものの上記製造方法と実質的に同様である。具体的には、上述したように画素電極１５０を設けた後、（図２１（ａ）参照）、白色の発光層１７０を全面にベタ膜状に形成する（図２１（ｂ）参照）。次いで、透明電極層１８０の形成を上記と同様に実施した後（図２１（ｃ）参照）、カラーフィルター１９０のＲ(赤)Ｇ(緑)Ｂ(青)の３色を所望の画素位置に配置することによって（図２１（ｄ）参照）、画像表示装置３００’を完成することができる。
【０１８１】
《ロール・ツー・ロール方式》
本発明のフレキシブル半導体装置１００は、“フレキシブル”であるために、ロール・ツー・ロール方式によって作製することが可能である。図２２は、本実施形態のフレキシブル半導体装置１００がロール・ツー・ロール工法で作製される態様を表している。
【０１８２】
ロール・ツー・ロール工法では、図２２に示すように、半導体層２０を含むトランジスタ（ＴＦＴ）が形成されてなる支持基板７２を含む構造（すなわち、図３（ａ）または図７（ａ）に示した構造）が、樹脂フィルム６０とともに、一対のローラ２２０Ａ、２２０Ｂの間に通される。これにより、「トランジスタが形成された支持基板７２」と「樹脂フィルム６０」とが一体化されたフィルム積層体１１０（すなわち、図３（ｂ）または図７（ｂ）に示した構造）が得られる。
【０１８３】
さらに詳細に説明すると次の通りである。トランジスタ（ＴＦＴ）が形成されてなる支持基板７２（図３（ａ）または図７（ａ）に示した構造）は、矢印２０１の方向に進行していく。一方、樹脂フィルム６０は、ローラ２１０から巻き出されて（矢印２１５参照）、補助ローラ２１２に沿って、矢印２０２の方向に進行していく。そして、金属箔７０と樹脂フィルム６０とは、矢印２２５のように回転する加熱加圧ローラ（２２０Ａ，２２０Ｂ）の間で積層されて一体化される。
【０１８４】
この積層一体化工程では、樹脂フィルム６０の一部（６５）を間隙５０に挿入して嵌合構造の形成が行われる。積層一体化工程を経た後に、樹脂フィルム付の金属箔（フィルム積層体）１１０は、ローラ２３０に巻き取られる（矢印２３５参照）。なお、支持基板７２が金属材料からなり、支持基板７２をパターニングしてゲート電極１２を作製する場合には、当該パターニングを実行するエッチング工程（図示せず）を経て、フレキシブル半導体装置１００を完成させて、ローラ２３０に巻き取ることもできる。
【０１８５】
図２３（ａ）および（ｂ）に、ローラ２３０に巻き取られたフィルム積層体１１０の一部２５０の断面を示す。図示するように、ソース・ドレイン電極３０が、樹脂フィルム６０よりも内側に積層されているため、ソース・ドレイン電極３０は圧縮され、樹脂フィルム６０は引っ張られることになる。その結果、ソース・ドレイン電極３０と樹脂フィルム６０とではひずみの大きさが異なり、その界面にせん断応力が発生し剥離を誘発する原因となる。通常の積層構造の場合は、ソース・ドレイン電極３０（パターニングされた金属箔７０）と、樹脂フィルム６０の接着力によって剥離の発生を抑制している。しかしながら、本発明の構成によれば、接着力に加えて嵌合構造（５０、６５）が強固に積層構造を保持するため、密着性が向上しており、剥離等の発生を防止ないしは緩和することができる。
【０１８６】
なお、フィルム積層体１１０をローラ２３０で巻き取った後、別工程で、支持基板７２を除去して、ゲート電極１２を形成するような工程を採用することも可能である。また、金属箔７０を初期ローラ（図示せず）から巻き出し、図２（ａ）から図３（ｃ）に示す工程の全部（あるいは、その中の一部）などを、ローラ、チャンバ、エッチング槽などを用いて連続して実行することも可能である。
【０１８７】
《半導体層の改質》
上述したことであるが、本発明に従えば、半導体層の改質を容易かつ効果的に行うことができる。特に半導体層２０を酸化物半導体から構成した場合の改質を行うことができる。例えば、ＺｎＯなどの結晶性の酸化物半導体では、スパッタなどで成膜した直後には結晶層の中に多く非晶質層が含まれており、それによって、半導体デバイスとしての特性を示さない場合が多い。しかしながら、本発明では、図３（ａ）または図７（ａ）に示した状態、すなわち、間隙５０に半導体材料（ここでは、酸化物半導体）が充填された状態は、フレキシブルな状態でありながら、ソース・ドレイン電極３０（３０ｓ・３０ｄ）と絶縁層１０と半導体層２０とから構成された構造であるので（すなわち、残りは、支持基板７２であるので）、アニール工程や、レーザ照射工程を大きな制約なく実行することができる。そのような工程を実行することで、ＺｎＯなどの酸化物半導体の結晶性を向上させて、その結果、半導体特性を改善することができる。
【０１８８】
これにつき一例を挙げると、ＺｎＯをＲＦマグネトロンスパッタ法で、ＳｉＯ２（５０ｎｍ）、ＺｎＯ（５０ｎｍ）を順に成膜した場合では、エキシマレーザ照射前は半導体特性を示さない。一方、ＸｅＣｌエキシマレーザを照射すると、半導体動作をさせることが可能で、２０ｃｍ２／Ｖｓ程度の移動度を実現することが可能となる。
【０１８９】
加えて、ＩｎＧａＺｎＯなどのアモルファス酸化物半導体においても半導体特性を向上させる効果を得ることができる。アモルファス酸化物半導体の場合は、間隙５０に半導体材料（ここでは、アモルファス酸化物半導体）を充填した状態において、酸素雰囲気中（例えば、大気中）にてレーザ照射をすることによって、酸素欠損を修復することができ、その結果、移動度を向上させることができる。半導体としてＩｎＧａＺｎＯを用いて、ＴＦＴを作製した場合、レーザ照射前には非常に低かった移動度が、レーザ照射後には１０ｃｍ２／Ｖｓ程度に向上させることができる。
【０１９０】
また、酸化物半導体の導電率制御を実行することも可能である。酸化物半導体の酸素欠損が多いと、伝動電子が多いことを意味し（すなわち、キャリア濃度が多い）、それゆえ、導電率が高いことになる。酸素欠損を修復する（酸素を導入する）ためには、酸化物半導体を、高温で、酸素雰囲気に暴露することが好適である。なお、高温に代えて、レーザ、プラズマ、オゾン等の形態で酸化物半導体にエネルギーを加えてもよい。
【０１９１】
一つの例を挙げると、間隙５０に半導体材料（ここでは、酸化物半導体）を充填し（酸素欠損が多い状態）、次いで、酸素雰囲気でチャネル領域２２を選択的にレーザアニールすると、酸化物半導体の導電率制御を行うことができる。なお、Ｈプラズマ（水素プラズマ）処理でも還元雰囲気となり、酸化物半導体に酸素欠損を生じやすくすることができる。
【０１９２】
《本発明の総括》
なお、総括的に述べると、上述した本発明は、以下の態様を包含している：
第１の態様：フレキシブル半導体装置であって、
ゲート電極、
前記ゲート電極上に設けられ、ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
前記絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
前記ソース電極および前記ドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、該間隙を挟んで配置された前記ソース電極および前記ドレイン電極がバンク部材となっており、
前記間隙に半導体層が形成されており、
前記絶縁層の上には、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように樹脂フィルム層が形成され、該樹脂フィルム層には前記間隙に嵌合した突起部が設けられているフレキシブル半導体装置。
第２の態様：前記第１の態様において、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち、前記間隙を挟んで対向する端面が傾斜面を成していることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第３の態様：前記第１または第２の態様において、前記樹脂フィルム層の前記突起部と、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙とが、相補的な形状を有していることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第４の態様：前記第１〜３の態様のいずれかにおいて、前記半導体層が、シリコンを含んで成ることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第５の態様：前記第１〜３の態様のいずれかにおいて、前記半導体層が酸化物半導体を含んで成ることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第６の態様：前記第５の態様において、前記酸化物半導体がＺｎＯまたはＩｎＧａＺｎＯであることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第７の態様：前記第１〜６の態様のいずれかにおいて、前記ゲート絶縁膜が無機材料から形成されていることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第８の態様：前記第１〜６の態様のいずれかにおいて、前記金属箔が弁金属を含んで成り、前記ゲート絶縁膜が前記弁金属の陽極酸化膜であることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第９の態様：前記第１〜８の態様のいずれかのフレキシブル半導体装置を用いた画像表示装置であって、
前記フレキシブル半導体装置；および
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている複数の画素より構成された画像表示部
を有して成り、
前記フレキシブル半導体装置のソース電極およびドレイン電極の間には間隙が存在し、それによって、該間隙を挟んで配置された前記ソース電極および前記ドレイン電極がバンク部材となっており、
前記間隙には前記フレキシブル半導体装置の半導体層が形成されており、前記フレキシブル半導体装置の樹脂フィルム層には前記間隙に嵌合した突起部が設けられていることを特徴とする、画像表示装置。
第１０の態様：前記第９の態様において、
前記画像表示部が、
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている画素電極；
前記画素電極上に形成されている発光層；および
前記発光層上に形成されている透明電極層
を有して成ることを特徴とする画像表示装置。
第１１の態様：前記第１０の態様において、前記発光層が、画素規制部によって仕切られた領域に形成されていることを特徴とする画像表示装置。
第１２の態様：前記第１０の態様において、前記透明電極層上にカラーフィルターを有して成ることを特徴とする画像表示装置。
第１３の態様：フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程（Ａ）、
前記金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程（Ｂ）、
前記絶縁層の上に、支持基板を形成する工程（Ｃ）、
前記金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程（Ｄ）、
前記ソース電極および前記ドレイン電極をバンク部材として用いて、該ソース電極および該ドレイン電極の間に位置する間隙に半導体層を形成する工程（Ｅ）、および
前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように、前記絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程（Ｆ）
を含んで成り、
前記工程（Ｆ）では、前記樹脂フィルム層の一部を、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙へと嵌合させる、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第１４の態様：前記第１３の態様において、前記工程（Ｄ）では、金属箔に対してフォトリソとウェットエッチングとを実施して、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち前記間隙を挟んで対向する端面を傾斜面とすることを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第１５の態様：前記第１３または１４の態様において、前記工程（Ｆ）をロール・ツー・ロール工法により行うことを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第１６の態様：前記第１３〜１５の態様のいずれかにおいて、前記支持基板を除去した後、前記絶縁層のうち前記ゲート絶縁膜となる部位の表面にゲート電極を形成することを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第１７の態様：前記第１３〜１６の態様のいずれかにおいて、前記支持基板としてセラミック基材または金属基材を用いることを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第１８の態様：前記第１３〜１７の態様のいずれかにおいて、前記工程（Ｂ）ではゾルゲル法によって前記ゲート絶縁膜を形成することを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第１９の態様：前記第１７の態様において、前記工程（Ｂ）の後、前記ゲート絶縁膜に加熱処理を施すことを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第２０の態様：前記第１７または１９の態様において、前記工程（Ｅ）の後、前記半導体層に加熱処理を施すことを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第２１の態様：前記第１３〜１５の態様のいずれかにおいて、前記支持基板として金属基材を用い、前記工程（Ｆ）の後、前記金属基材をパターニングすることによってゲート電極を形成することを特徴とするフレキシブル半導体装置の製造方法。
第２２の態様：フレキシブル半導体装置であって、
ゲート絶縁膜となる部位を有する絶縁層、および
前記絶縁層の上に形成され、金属箔から構成されたソース電極およびドレイン電極
を有して成り、
前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の間隙には半導体層が形成されており、
前記絶縁層の主面のうち、前記ソース電極および前記ドレイン電極が形成された側と反対側の主面にゲート電極が形成されており、
前記ソース電極の一方の端面と前記ゲート電極の一方の端面とが相互に整合して位置していると共に、前記ドレイン電極の一方の端面と前記ゲート電極の他方の端面とが相互に整合して位置している、フレキシブル半導体装置。
第２３の態様：前記第２２の態様において、前記ソース電極および前記ドレイン電極の双方の前記端面に対して前記ゲート電極の前記端面が自己整合的に一致するように形成されていることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第２４の態様：前記第２２の態様において、前記ソース電極の前記一方の端面と前記絶縁層との接点Ａと、前記ゲート電極の前記一方の端面と前記絶縁層との接点Ｂとが相互に対向していると共に、
前記ドレイン電極の前記一方の端面と前記絶縁層との接点Ｃと、前記ゲート電極の前記他方の端面と前記絶縁層との接点Ｄとが相互に対向していることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第２５の態様：前記第２２〜２４の態様のいずれかにおいて、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち、前記間隙を挟んで対向する端面が傾斜面を成していることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第２６の態様：前記第２２〜２５の態様のいずれかにおいて、前記絶縁層の上には、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように樹脂フィルム層が形成されており
前記樹脂フィルム層の突起部と、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙とが、相補的な形状を有していることを特徴とする、フレキシブル半導体装置。
第２７の態様：前記第２２〜２６の態様のいずれかにおいて、前記半導体層がシリコンを含んで成ることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第２８の態様：前記第２２〜２６の態様のいずれかにおいて、前記半導体層が酸化物半導体を含んで成ることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第２９の態様：前記第２８の態様において、前記酸化物半導体がＺｎＯまたはＩｎＧａＺｎＯであることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第３０の態様：前記第２２〜２９の態様のいずれかにおいて、前記ゲート絶縁膜が無機材料から形成されていることを特徴とするフレキシブル半導体装置。
第３１の態様：前記第２２〜２９の態様のいずれかにおいて、前記金属箔が弁金属を含んで成り、前記ゲート絶縁膜が前記弁金属の陽極酸化膜であることを特徴とする、フレキシブル半導体装置。
第３２の態様：前記第２２〜３１の態様のいずれかのフレキシブル半導体装置を用いた画像表示装置であって、
前記フレキシブル半導体装置；および
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている複数の画素より構成された画像表示部
を有して成り、
前記フレキシブル半導体装置では、ソース電極の一方の端面とゲート電極の一方の端面とが相互に整合して位置していると共に、前記ドレイン電極の一方の端面と前記ゲート電極の他方の端面とが相互に整合して位置していることを特徴とする、画像表示装置。
第３３の態様：前記第３２の態様において、
前記画像表示部が、
前記フレキシブル半導体装置上に形成されている画素電極；
前記画素電極上に形成されている発光層；および
前記発光層上に形成されている透明電極層
を有して成ることを特徴とする画像表示装置。
第３４の態様：前記第３３の態様において、前記発光層が、画素規制部によって仕切られた領域に形成されていることを特徴とする画像表示装置。
第３５の態様：前記第３３の態様において、前記透明電極層上にカラーフィルターを有して成ることを特徴とする画像表示装置。
第３６の態様：フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程（Ａ）’、
前記金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程（Ｂ）’、
前記金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からソース電極およびドレイン電極を形成する工程（Ｃ）’、
前記絶縁層の主面のうち半導体層が形成される側と反対側の主面に、光硬化性の導電性ペーストを供して、光硬化性導電性ペースト層を形成する工程（Ｄ）’、ならびに
前記ソース電極および前記ドレイン電極をマスクとして用いて、前記ソース電極および前記ドレイン電極が形成された側から光を照射し、それによって、前記光硬化性導電性ペースト層の一部を硬化させてゲート電極を形成する工程（Ｅ）’
を含んで成る、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第３７の態様：前記第３６の態様において、前記工程（Ｃ）’の後では、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間の間隙に収まるように前記絶縁層の主面上に半導体層を形成し、
前記工程（Ｅ）’においては、前記照射された光が前記半導体層を透過することによって、前記光硬化性導電性ペースト層の一部が硬化することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第３８の態様：前記第３７の態様において、前記半導体層の形成においては、前記ソース電極および前記ドレイン電極をバンク部材として用いて、該ソース電極および該ドレイン電極の間の間隙に半導体材料を供することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第３９の態様：前記第３６〜３８の態様のいずれかにおいて、前記工程（Ｃ）’では、金属箔に対してフォトリソとウェットエッチングとを実施して、前記ソース電極および前記ドレイン電極が成す面のうち、相互に対向する端面を傾斜面とすることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４０の態様：前記第３７の態様に従属する前記第３８または３９の態様において、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように、前記絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程を更に含んで成ることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４１の態様：前記第４０の態様において、前記樹脂フィルム層を形成する工程では、前記樹脂フィルム層の一部を、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の間隙へと嵌合させることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４２の態様：前記第４０または４１の態様において、前記樹脂フィルム層を形成する工程をロール・ツー・ロール工法により行うことを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４３の態様：前記第３６〜４２の態様のいずれかにおいて、前記工程（Ｂ）’では、ゾルゲル法によって前記ゲート絶縁膜を形成することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４４の態様：前記第３６〜４３の態様のいずれかにおいて、前記工程（Ｂ）’の後、前記ゲート絶縁膜に加熱処理を施すことを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４５の態様：前記第３７の態様に従属する前記第３８〜４４の態様のいずれかにおいて、前記絶縁層の上に支持基板を形成する工程を含んでなり、前記半導体層に加熱処理を施すことを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４６の態様：フレキシブル半導体装置の製造方法であって、
金属箔を用意する工程（Ａ）”、
前記金属箔に、ゲート絶縁膜となる部位を含む絶縁層を形成する工程（Ｂ）”、
前記絶縁層の主面のうちゲート電極が形成される側と反対側の主面に、光硬化性の導電性ペーストを供して、光硬化性導電性ペースト層を形成する工程（Ｃ）”、
前記金属箔の一部をエッチングして、該金属箔からゲート電極を形成する工程（Ｄ）”
および
前記ゲート電極をマスクとして用いて、前記ゲート電極が形成された側から光を照射し、それによって、前記光硬化性導電性ペースト層の一部を硬化させてソース電極およびドレイン電極を形成する工程（Ｅ）”
を含んで成る、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４７の態様：前記第４６の態様において、前記工程（Ｅ）”の後では、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間の間隙に収まるように前記絶縁膜の主面上に半導体層を形成し、
前記半導体層の形成においては、前記ソース電極および前記ドレイン電極をバンク部材として用い、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の間隙に半導体材料を供することを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４８の態様：前記第４７の態様において、前記半導体層、前記ソース電極および前記ドレイン電極を覆うように、前記絶縁層の上に樹脂フィルム層を形成する工程を更に含んで成ることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第４９の態様：前記第４８の態様において、前記樹脂フィルム層を形成する工程では、前記樹脂フィルム層の一部を、前記ソース電極および前記ドレイン電極の間の前記間隙へと嵌合させることを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第５０の態様：前記第４８または４９の態様において、前記樹脂フィルム層を形成する工程をロール・ツー・ロール工法により行うことを特徴とする、フレキシブル半導体装置の製造方法。
第５１の態様：前記第１〜８または２２〜３１の態様のいずれか１つのフレキシブル半導体装置を備えた画像表示装置の製造方法であって、
（Ｉ）画素電極を備えた前記フレキシブル半導体装置を供する工程；および
（ＩＩ）前記フレキシブル半導体装置上に、複数の画素より構成されている画像表示部を形成する工程
を含んで成る、画像表示装置の製造方法。
第５２の態様：前記第５１の態様において、前記工程（ＩＩ）では、複数の画素規制部を形成し、該複数の画素規制部によって仕切られた領域の前記画素電極上に前記画素を形成することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
第５３の態様：前記第５１の態様において、前記工程（ＩＩ）において、前記画素電極を覆うように前記画素電極上に発光層を形成し、該発光層上にカラーフィルターを形成することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【０１９３】
《本発明の変更態様》
以上、本発明の好適な実施形態を中心に説明してきたが、本発明はこれに限定されず、種々の改変がなされ得ることを当業者は容易に理解されよう。
【０１９４】
例えば、上記マスク態様の本発明の説明では、光硬化性の導電性ペーストとして、Ａｇペーストを用いる態様を前提としたが、本発明は必ずしもかかる態様に限定されるわけではない。例示すれば、Ａｇ粒子に変えてＣｕ粒子を用いたり、光硬化樹脂として不飽和ポリエステル樹脂を用いたり、ブチル・カルビトール・アセテート（ＢＣＡ）なども光硬化性の導電性ペーストとして用いることができる。
【０１９５】
また、上記マスク態様の本発明の説明では、照射する光の具体例として、波長約４３６ｎｍの光（いわゆるｇ線）を用いる態様に言及したが（樹脂フィルム層がアクリル樹脂（ＰＭＭＡ）またはポリカーボネート（ＰＣ）から成り、ゲート絶縁膜がシリコン酸化物から成り、半導体層がＩｎＧａＺｎＯから成る場合）、本発明は必ずしもかかる態様に限定されるわけではない。照射光の波長は、光硬化性ペーストを硬化させることができる波長で、かつ、ゲート絶縁膜、半導体層および、樹脂フィルムを透過する波長を選択することができる。ここで透過とは１００％透過することを意味するのではなく、光硬化性ペーストを硬化させるのに充分な照射光が到達する程度に透過することを意味する。上記構成の変形例としては波長約３６５ｎｍの光（いわゆるｉ線）を用いてもよい。
【０１９６】
最後に、本発明のフレキシブル半導体装置の各構成要素の機能について念のため付言しておく。本発明のフレキシブル半導体装置の各構成要素は、フレキシブル半導体装置がＴＦＴ（薄膜トランジスタ）として好適に用いることができるように構成されている。当業者であればＴＦＴの動作原理と各構成要素の機能自体は理解できるものと考えられるが、本発明に関連していえば次のようになる。通常、ソース電極はゼロ電位、ドレイン電極には必要な電圧を印加する。ソース電極とドレイン電極の間には半導体層が形成され、チャネル領域と呼ばれる。チャネル領域はゲート絶縁膜と接するようにゲート構造体の上に形成されている。ここで、ゲート構造体はゲート絶縁膜とゲート電極より構成される。ゲート電極に電圧を印加するとチャネル領域の電気抵抗を変化させることができ、この結果、ソース電極とドレイン電極との間に流れる電流値を変化させることができる。これがＴＦＴの基本的な動作と各構成要素の働きである。なお、樹脂フィルムは上記下ＴＦＴの動作には直接関与しないが、ソース電極等のＴＦＴの各構成要素を封止して保護する役割、ソース電極等のＴＦＴの各構成要素を機械的に保持する支持基板の役割、そして、樹脂フィルム自体がもつ可撓性に起因して本願発明の半導体装置全体に可撓性を付与してフレキシブル半導体装置を実現する役割を担う。
【産業上の利用可能性】
【０１９７】
本発明の製造方法は、フレキシブル半導体装置の生産性に優れている。得られるフレキシブル半導体装置は、各種画像表示部に用いることができ、電子ペーパーやデジタルペーパー等にも用いることができる。例えば、図２４に示すようなテレビ画像表示部、図２５に示すような携帯電話の画像表示部、図２６に示すようなモバイル・パソコンまたはノート・パソコンの画像表示部、図２７および図２８に示すようデジタルスチルカメラおよびカムコーダーの画像表示部、ならびに、図２９に示すような電子ペーパーの画像表示部などに用いることができる。更には、本発明の製造方法で得られるフレキシブル半導体装置は、現在、印刷エレクトロニクスで適用が検討されている各種用途（例えば、ＲＦ−ＩＤ、メモリ、ＭＰＵ、太陽電池、センサなど）にも適応することができる。
【関連出願の相互参照】
【０１９８】
本出願は、日本国特許出願第２０１０−１１２３１７号（出願日：２０１０年５月１４日、発明の名称：「フレキシブル半導体装置およびその製造方法」）および日本国特許出願第２０１０−１１２３１９号（出願日：２０１０年５月１４日、発明の名称：「フレキシブル半導体装置およびその製造方法」）に基づくパリ条約上の優先権を主張する。当該出願に開示された内容は全て、この引用により、本明細書に含まれるものとする。
【符号の説明】
【０１９９】
１０  絶縁層
１０ｇ  ゲート絶縁膜
１１  導電性ペースト
１２  ゲート電極
１３  ゲート電極の端面
２０  半導体層
２２  チャネル領域
３０ｓ  ソース電極
３０ｄ  ドレイン電極
３１ｓ  ソース電極の端面
３１ｄ  ドレイン電極の端面
５０  間隙（間隙部）
６０  樹脂フィルム
６２  照射光
６３  照射光
６５  突起部（嵌合部）
７０  金属箔
７２  支持基板
７３  支持基板
７４  樹脂フィルム
８０  表示部
８２  ビア
８４  配線
８５  コンデンサ
９０  駆動回路
９２  データライン
９４  選択ライン
１００  フレキシブル半導体装置
１１０  フィルム積層体（積層構造体）
１５０  画素電極
１６０  画素規制部
１６０’画素規制部の前駆体層
１６５  画素規制部の形成に用いるフォトマスク
１７０  発光層
１８０  透明電極層
１９０  カラーフィルター
２００  積層構造体
２１０  ローラ
２１２  補助ローラ
２１５  矢印
２２０  ローラ
２３０  ローラ
３００  画像表示装置
３００’  画像表示装置
【図１】
2011142089.tif 000003
【図２】
2011142089.tif 000004
【図３】
2011142089.tif 000005
【図４】
2011142089.tif 000006
【図５】
2011142089.tif 000007
【図６】
2011142089.tif 000008
【図７】
2011142089.tif 000009
【図８】
2011142089.tif 000010
【図９】
2011142089.tif 000011
【図１０】
2011142089.tif 000012
【図１１】
2011142089.tif 000013
【図１２】
2011142089.tif 000014
【図１３】
2011142089.tif 000015
【図１４】
2011142089.tif 000016
【図１５Ａ】
2011142089.tif 000017
【図１５Ｂ】
2011142089.tif 000018
【図１５Ｃ】
2011142089.tif 000019
【図１５Ｄ】
2011142089.tif 000020
【図１５Ｅ】
2011142089.tif 000021
【図１６】
2011142089.tif 000022
【図１７】
2011142089.tif 000023
【図１８】
2011142089.tif 000024
【図１９】
2011142089.tif 000025
【図２０】
2011142089.tif 000026
【図２１】
2011142089.tif 000027
【図２２】
2011142089.tif 000028
【図２３】
2011142089.tif 000029
【図２４】
2011142089.tif 000030
【図２５】
2011142089.tif 000031
【図２６】
2011142089.tif 000032
【図２７】
2011142089.tif 000033
【図２８】
2011142089.tif 000034
【図２９】
2011142089.tif 000035
【国際調査報告】
2011142089.tif 000036
2011142089.tif 000037