(57)【要約】  シール材一体型金属部品のリサイクル管理方法またはリサイクル管理システムを提供することにある。本発明のリサイクル管理方法は、シール材一体型金属部品のリサイクルを管理する方法であり、第１工程と第２工程とを備える。第１工程では、シール材一体型金属部品の固体識別を可能にする。第２工程では、回収されたシール材一体型金属部品の金属部材から、使用済みのシール材を剥がして新しいシール材を接着させ、再生シール材一体型金属部品を作る。これにより、固体識別が可能であるため、リサイクル履歴等の個体管理が可能になる。
2011016496.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバーの出入口を開閉するボンデッドシールとして用いられるシール材一体型金属部品（５）であって、金属部材（５１）と、シール材（５２）とが接着されて一体化された前記シール材一体型金属部品のリサイクルを管理する方法であって、
前記シール材一体型金属部品の固体識別を可能にする第１工程と、
回収された前記シール材一体型金属部品の前記金属部材から、使用済みの前記シール材を剥がして新しいシール材を接着させ、再生シール材一体型金属部品を作る第２工程と、
を備えたリサイクル管理方法。
【請求項２】
前記固体識別が可能にされた前記シール材一体型金属部品のリサイクル履歴を記憶する第３工程をさらに備えた、
請求項１に記載のリサイクル管理方法。
【請求項３】
前記第１工程は、前記固体識別を可能にする識別可能部位を前記金属部材に形成する識別可能部位形成工程を有する、
請求項１または２に記載のリサイクル管理方法。
【請求項４】
前記識別可能部位形成工程は、刻印、耐熱性部材の貼付、および耐熱非接触通信手段の埋め込みのいずれかである、
請求項３に記載のリサイクル管理方法。
【請求項５】
前記識別可能部位形成工程では、固体識別記号を有する前記識別可能部位を形成し、
前記固体識別記号に関連付けて、前記シール材一体型金属部品の種別を記憶させる第４工程をさらに備える、
請求項３または４のいずれかに記載のリサイクル管理方法。
【請求項６】
前記種別は、前記シール材一体型金属部品の回収先または／および前記シール材一体型金属部品の使用者を示す、
請求項５に記載のリサイクル管理方法。
【請求項７】
前記第２工程の前または／および後で、前記回収されたシール材一体型金属部品を検査する第５工程をさらに備える、
請求項１から６のいずれかに記載のリサイクル管理方法。
【請求項８】
前記第５工程において検査された履歴である検査履歴を、前記固体識別記号に関連付けて記憶させる第６工程をさらに備える、
請求項７に記載のリサイクル管理方法。
【請求項９】
真空チャンバーの出入口を開閉するボンデッドシールとして用いられるシール材一体型金属部品であって、金属部材と、シール材とが接着されて一体化された前記シール材一体型金属部品のリサイクルを管理するためのリサイクル管理システムであって、
前記シール材一体型金属部品の固体識別を可能にする第１手段と、
回収された前記シール材一体型金属部品の前記金属部材から、使用済みの前記シール材を剥がして新しいシール材を接着させ、再生シール材一体型金属部品を作る第２手段と
を備えたリサイクル管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シール材一体型金属部品のリサイクル管理方法およびリサイクル管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、特許文献１（特表２００１−５０９６４７号公報）に示すように、半導体を製造する際には、真空チャンバーが用いられている。真空チャンバーは、ウエハを出し入れするための出入口を有しており、出入口には、出入口を開閉するシール材一体型金属部品が取り付けられている。シール材一体型金属部品は、アルミ等の金属からなる部品（金属部材）と、ゴム製のシール材とが一体となっている。このようなシール材一体型金属部品を用いると、真空チャンバー内の気密性が高められる。シール材一体型金属部品は、シール材の破損を考慮して、定期的に交換されるものであるが、金属部材とシール材とが一体になっているため、再利用されず廃棄処分されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、近年、産業廃棄物の削減および資源の有効活用の観点からリサイクルの要請が高まっており、例えば、レンズ付きフィルムユニットや複写機等、様々な技術分野においてもリサイクルの方法が提案されている。しかし、同様のリサイクル方法をシール材一体型金属部品のリサイクルに適用した場合、製品の特性上、不具合が生じる。
本発明の課題は、シール材一体型金属部品のリサイクル管理方法またはリサイクル管理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１発明に係るリサイクル管理方法は、シール材一体型金属部品のリサイクルを管理する方法であって、第１工程と第２工程とを備える。シール材一体型金属部品は、真空チャンバーの出入口を開閉するボンデッドシールとして用いられる。また、シール材一体型金属部品は、シール材と、金属部材とを有する。金属部材とシール材とは、接着され一体化されている。第１工程では、シール材一体型金属部品の固体識別を可能にする。第２工程では、回収されたシール材一体型金属部品の金属部材から、使用済みのシール材を剥がして新しいシール材を接着させ、再生シール材一体型金属部品を作る。
本発明に係るリサイクル管理方法では、シール材一体型金属部品の固体識別が可能になる。また、金属部材から使用済みのシール材が剥がされ、新しいシール材が接着される。
これにより、固体識別が可能であるため、リサイクル履歴等の個体管理が可能になる。【０００５】
第２発明に係るリサイクル管理方法は、第１発明に係るリサイクル管理方法であって、第３工程をさらに備える。第３工程では、固体識別が可能にされたシール材一体型金属部品のリサイクル履歴を記憶する。
本発明に係るリサイクル管理方法では、固体識別が可能になったシール材一体型金属部品のリサイクル履歴が記憶される。
これにより、シール材一体型金属部品を適切にリサイクルすることができる。【０００６】
第３発明に係るリサイクル管理方法は、第１または第２発明に係るリサイクル管理方法であって、第１工程は、識別可能部位形成工程を有する。識別部位形成工程では、固体識別を可能にする識別可能部位を金属部材に形成する。
本発明に係るリサイクル管理方法では、シール材一体型金属部品の固体識別を可能にするための識別可能部位が形成される。
これにより、一旦形成された識別可能部位を金属部材が廃棄処理されるまで利用することができる。【０００７】
第４発明に係るリサイクル管理方法は、第３発明に係るリサイクル管理方法であって、識別可能部位形成工程は、刻印、耐熱性部材の貼付、および耐熱非接触通信手段の埋め込みのいずれかである。
本発明に係るリサイクル管理方法では、金属部材に形成される識別可能部位が、刻印、耐熱性部材の貼付、および耐熱非接触通信手段の埋め込みのいずれかである。
これにより、温度に影響を受けない識別可能部位を形成することができる。【０００８】
第５発明に係るリサイクル管理方法は、第３発明または第４発明に係るリサイクル管理方法であって、識別可能部位形成工程では、固体識別記号を有する識別可能部位を形成する。さらに、第４工程を備える。第４工程では、固体識別記号に関連付けて、シール材一体型金属部品の種別を記憶させる。
本発明に係るリサイクル管理方法では、固体識別記号を有する識別可能部位が形成される。また、固体識別記号に関連付けた、シール材一体型金属部品の種別が記憶される。
これにより、使用済みのシール材一体型金属部品の種別を容易に特定できる。【０００９】
第６発明に係るリサイクル管理方法は、第５発明に係るリサイクル管理方法であって、種別は、シール材一体型金属部品の回収先または／およびシール材一体型金属部品の使用者を示す。
本発明に係るリサイクル管理方法では、種別として、シール材一体型金属部品の回収先または／およびシール材一体型金属部品の使用者が、固体識別記号に関連付けて記憶される。
これにより、再生シール材一体型金属部品の納品先を容易に特定できる。【００１０】
第７発明に係るリサイクル管理方法は、第１発明から第６発明のいずれかに係るリサイクル管理方法であって、第５工程をさらに備える。第５工程では、第２工程の前または／および後で、回収されたシール材一体型金属部品を検査する。
本発明に係るリサイクル管理方法では、第２工程の前または／および後で、回収されたシール材一体型金属部品が検査される。
これにより、好適なシール材一体型金属部品をリサイクルすることができる。【００１１】
第８発明に係るリサイクル管理方法は、第７発明に係るリサイクル管理方法であって、第６工程をさらに備える。第６工程では、固体識別記号に関連付けて検査履歴を記憶させる。検査履歴とは、第５工程において検査された履歴である。
本発明に係るリサイクル管理方法では、シール材一体型金属部品の検査履歴が記憶される。
これにより、信頼性のあるシール材一体型金属部品をリサイクルすることができる。【００１２】
第９発明に係るリサイクル管理システムは、シール材一体型金属部品のリサイクルを管理するためのリサイクル管理システムであって、第１手段と第２手段とを備える。シール材一体型金属部品は、真空チャンバーの出入口を開閉するボンデッドシールとして用いられる。また、シール材一体型金属部品は、シール材と、金属部材とを有する。金属部材とシール材とは、接着されて一体化されている。第１手段は、シール材一体型金属部品の固体識別を可能にする。第２手段は、回収されたシール材一体型金属部品の金属部材から、使用済みのシール材を剥がして新しいシール材を接着させ、再生シール材一体型金属部品を作る。
本発明に係るリサイクル管理システムでは、シール材一体型金属部品の固体識別が可能になる。また、金属部材から使用済みのシール材が剥がされ、新しいシール材が接着される。
これにより、固体識別が可能であるため、リサイクル履歴等の個体管理が可能になる。
【発明の効果】
【００１３】
第１発明に係るリサイクル管理方法では、固体識別が可能であるため、リサイクル履歴等の個体管理が可能になる。
第２発明に係るリサイクル管理方法では、シール材一体型金属部品を適切にリサイクルすることができる。
第３発明に係るリサイクル管理方法では、一旦形成された識別可能部位を金属部材が廃棄処理されるまで利用することができる。
第４発明に係るリサイクル管理方法では、温度に影響を受けない識別可能部位を形成することができる。
第５発明に係るリサイクル管理方法では、使用済みのシール材一体型金属部品の種別を容易に特定できる。【００１４】
第６発明に係るリサイクル管理方法では、再生シール材一体型金属部品の納品先を容易に特定できる。
第７発明に係るリサイクル管理方法では、好適なシール材一体型金属部品をリサイクルすることができる。
第８発明に係るリサイクル管理方法では、信頼性のあるシール材一体型金属部品をリサイクルすることができる。
第９発明に係るリサイクル管理システムでは、シール材一体型金属部品を適切にリサイクルすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】ボンデッドシールの流通経路を示す図である。
【図２】ボンデッドシールおよびボンデッドシールが用いられるチャンバーを示す図である。
【図３】ボンデッドシールの部分拡大図である。
【図４】管理装置のブロック図である。
【図５】種別情報記憶領域に記憶された情報を示す図である。
【図６】再利用可能回数記憶領域に記憶された情報を示す図である。
【図７】識別記号情報記憶領域に記憶された情報を示す図である。
【図８】リサイクル管理システムにおける処理の流れを示す図である。
【図９】変形例（５）に係るボンデッドシールの流通経路を示す図である。
【図１０】変形例（５）に係るボンデッドシールの流通経路を示す図である。
【図１１】ゲートバルブの断面図である。
【図１２】Ｌ型バルブの断面図である。
【図１３】バタフライバルブの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るリサイクル管理システムについて説明する。
１．全体構成
本実施形態に係るリサイクル管理システムは、真空チャンバーに用いられるシール材一体型金属部品（以下、ボンデッドシール）をリサイクルするための管理システムである。図１に示すように、リサイクル管理システムでは、主として、ボンデッドシールメーカー１０と、真空チャンバーのメーカー（装置メーカー）２０と、ユーザー３０との間で流通するボンデッドシールを管理する。
図２に、本実施形態に係るボンデッドシール５を示す。ボンデッドシール５は、例えば、プロセスチャンバー６とトランスファーチャンバー７との仕切り弁、および／またはロードロックチャンバーとトランスファーチャンバー７との仕切り弁として機能する。
【００１７】
図３に、ボンデッドシール５の部分拡大図を示す。ボンデッドシール５は、主として、金属部材５１と、シール材５２とからなる。金属部材５１は、アルミ、ステンレス、チタン、銅等、ユーザーが所望する材質で作られている。金属部材５１は、一の面の周縁近傍に溝５３を有する。当該溝５３には、接着剤が塗られ、その上に、細長い形状に加工されたゴム製のシール材５２が載置される。シール材５２は、耐腐食ガス性および耐プラズマ性の部材である。一般的には、フルオロエラストマー（フッ素ゴム）が好ましい。フッ素ゴムとしては、広く一般的に採用されている、フッ化ビニリデン（ＶｄＦ）とヘキサフルオロプロピレン（ＨＦＰ）との２元共重合体、または、ＶｄＦとＨＦＰとテトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）との３元共重合体などの汎用フッ素ゴムを用いてもよい。また、耐プラズマ性に優れるパーフルオロエラストマーを用いてもよい。金属部材５１とシール材５２とは、プレス成形による圧力と熱とが加えられ、接着され一体化する。
【００１８】
本実施形態に係るリサイクル管理システムでは、まず、ボンデッドシールメーカー１０によって製造されたボンデッドシール５が初期部品として真空チャンバーメーカー（装置メーカー）２０に納品される（矢印Ｉ−１）。その後、真空チャンバーメーカー２０によってボンデッドシール５を構成部品とする真空チャンバーがユーザー３０に納品される（矢印ＩＩ）。さらに、ユーザー３０によって使用されたボンデッドシール５がボンデッドシールメーカー１０によって回収される（矢印ＩＩＩ）。ボンデッドシールメーカー１０は、回収したボンデッドシール５のシール材５２を金属部材５１から取り外し、その後、取替え部品としてユーザー１０に納品する（矢印Ｉ−２）。
以下、ボンデッドシールメーカー１０による、リサイクル管理の詳細を説明する。
【００１９】
２．リサイクル管理の詳細
ボンデッドシールメーカー１０は、主として、図示しない破損判定装置、識別記号形成装置、識別記号読み取り装置、およびシール材取替え装置と、管理装置４０とを有する。識別記号形成装置および識別記号読取装置は、管理装置４０に接続されている。
【００２０】
＜破損判定装置＞
破損判定装置は、回収されたボンデッドシール５の金属部材５１に破損があるか否かを判定する。ここで、金属部材５１の破損とは、シール材５２を取り替えたとしても、ボンデッドシール５を再度利用することが好ましくない状態を意味する。
【００２１】
＜識別記号形成装置＞
識別記号形成装置は、ボンデッドシール５の金属部材５１に識別可能部位を形成する装置である。識別可能部位とは、ボンデッドシール５の固体識別を可能にする部位である。具体的に、識別記号形成装置は、金属部材５１に識別記号を刻印する。識別記号は、各ボンデッドシール５に対して割り当てられた固有の識別番号に相当する。固有の識別番号は、後述する管理装置４０に記憶されている情報に基づいて決定される。識別記号は、二次元バーコードの態様で、金属部材５１に刻印される。
【００２２】
＜識別記号読取装置＞
識別記号読取装置は、ボンデッドシール５の金属部材５１に形成された識別可能部位（刻印された識別記号）を読み取る。具体的には、各ボンデッドシール５に対して割り当てられた固有の識別番号が読み取られる。その後、識別記号読取装置は、読み取った識別記号に関する情報を後述する管理装置４０に送る。
【００２３】
＜シール材取替え装置＞
シール材取替え装置は、主として、ボンデッドシール５の金属部材５１からシール材５２を取り外す第１処理と、金属部材５１に新たなシール材５２を取り付ける第２処理とを行う。具体的に、第１処理では、超臨界流体により金属部材５１からシール材５２を取り外す。第２処理では、シール材５２が取り外された金属部材５１に新たなシール材を取り付ける。
【００２４】
＜管理装置＞
管理装置４０は、外部機器と接続されている。外部機器には、識別記号形成装置および識別記号読取装置が含まれる。管理装置４０は、図４に示すように、主として、通信部４１と、表示部４２と、入力部４３と、記憶部４４と、制御部４５とを有する。
〔通信部〕
通信部４１は、管理装置４０を識別記号形成装置および識別記号読取装置を含む外部機器と接続するネットワークインターフェースである。また、通信部４１は、外部機器との間で各種信号の授受を行う。
〔表示部〕
表示部４２は、主としてディスプレイから構成されている。表示部４２には、外部機器から取得した情報および管理装置４０で管理している情報を表示するための管理画面が表示される。
【００２５】
〔入力部〕
入力部４３は、主としてディスプレイを覆うタッチパネルおよび操作ボタンから構成されている。
〔記憶部〕
記憶部４４には、後述する制御部４５が読み出して実行可能なプログラムが記憶されている。また、記憶部４４は、主として、種別情報記憶領域４４ａと、再利用可能回数記憶領域４４ｂと、識別記号情報記憶領域４４ｃとを有する。
【００２６】
（ａ）種別情報記憶領域
種別情報記憶領域４４ａには、ボンデッドシール５の種別に関する情報が記憶されている。ボンデッドシール５の種別に関する情報とは、ボンデッドシール５の回収先または／および回収したボンデッドシール５のユーザーを示す情報である。具体的には、図５に示すように、種別情報記憶領域４４ａには、ユーザー名と、当該ユーザーが使用するボンデッドシールの種別とが関連付けて記憶されている。
【００２７】
（ｂ）再利用可能回数記憶領域
再利用可能回数記憶領域４４ｂには、ボンデッドシール５の種別と、リサイクル可能回数とが関連付けて記憶されている（図６参照）。リサイクル可能回数は、ボンデッドシール５の種別に応じた値である。具体的には、リサイクル可能回数は、それぞれのシール材５２と金属部材５１との耐久期間に応じて決定される。より具体的に、例えば、会社Ａが使用しているボンデッドシール５のシール材５２は、３ヶ月程度で取り替える必要が生じる場合、シール材５２の耐久期間は３ヶ月である。このとき、会社Ａが使用するボンデッドシール５の金属部材５１の耐久期間が３年である場合には、当該ボンデッドシール５のリサイクル可能回数は１１回となる。
【００２８】
（ｃ）識別記号情報記憶領域
識別記号情報記憶領域４４ｃには、製品ＩＤと、リサイクル回数と、回収履歴とが関連付けて記憶されている（図７参照）。製品ＩＤは、ボンデッドシール５を識別するための記号である。製品ＩＤは、ボンデッドシール５の金属部材５１に刻印された識別記号と関連付けられている。回収履歴は、ボンデッドシール５が回収される度に、当該ボンデッドシール５の製品ＩＤに関連付けて記憶されていく。具体的には、識別記号読取装置によって、ボンデッドシール５の識別記号が読み取られると、後述する識別記号情報取得部４５ａによって、当該識別記号に関する情報が取得される。さらに、識別記号情報取得部４５ａによって取得された識別記号に関する情報に基づいて、該当する製品ＩＤの回収履歴が更新される。具体的には、回収履歴のフィールドに、識別記号読取装置によって識別記号が読み取られた日付が記憶されていく。リサイクル回数は、ボンデッドシール５がリサイクルされた回数の合計である。リサイクル回数は、上述の回収履歴が更新されるたびに一つ増加される。
【００２９】
〔制御部〕
制御部４５は、主としてＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭから構成されており、上述の記憶部４４に記憶されているプログラムを読み出して実行する。
また、制御部４５は、主として、識別記号情報取得部４５ａ、種別判定部４５ｂ、再利用可能回数判定部４５ｃ、および再利用可否決定部４５ｄとして機能する。
【００３０】
ａ）識別記号情報取得部
識別記号情報取得部４５ａは、ボンデッドシール５の識別記号に関する情報を識別記号読取装置から取得する。識別記号情報取得部４５ａは、識別番号を取得すると、上述したように、識別記号情報記憶領域４４ｃに日付を記憶し、リサイクル回数の値を一つ増加させる。
ｂ）種別判定部
種別判定部４５ｂは、識別記号情報取得部４５ａによって取得された識別番号に基づいて、当該識別番号に対応するボンデッドシール５の種別を判定する（図５参照）。
【００３１】
ｃ）再利用可能回数判定部
再利用可能回数判定部４５ｃは、種別判定部４５ｂによって判定されたボンデッドシール５の種別に基づいて、ボンデッドシール５のリサイクル可能回数を判定する。また、上述したように、再利用可能回数判定部４５ｃは、再利用可能回数記憶領域４４ｂに記憶されている情報に基づいて、リサイクル可能回数を判定する。
ｄ）再利用可否決定部
再利用可否決定部４５ｄは、再利用可能回数判定部４５ｃによって判定されたリサイクル可能回数と、識別記号情報記憶領域４４ｃに記憶された情報（図６参照）とを比較して、ボンデッドシール５のリサイクルの可否を判定する。
【００３２】
３．リサイクル管理の流れ
次に、図８を用いて、本発明に係るリサイクル管理システムにおける処理の流れを説明する。
まず、ステップＳ１０１として、使用済みのボンデッドシール５が回収される。次に、ステップＳ１０２で、破損判定装置によって、回収されたボンデッドシール５の金属部材５１に破損があるか否かが判定される。ステップＳ１０２で、ボンデッドシール５の金属部材５１に破損があると判定された場合には、ステップＳ１０９に進み、破損がないと判定された場合には、ステップＳ１０３に進む。
ステップＳ１０３では、金属部材５１が識別可能部位を有しているか否かが判断される。ステップＳ１０３で、金属部材５１が識別可能部位を有していない場合には、ステップＳ１０４に進む。ステップＳ１０４では、識別記号形成装置によって、金属部材５１に識別可能部位が形成される。具体的には、ボンデッドシール５１を固体識別可能にするための識別記号が、金属部材５１に刻印される。また、このとき、識別情報記憶領域４４ａには新たなフィールドが形成される。新たなフィールドには、識別可能部位が形成されたボンデッドシール５１に関する情報が記憶される。その後、ステップＳ１０７に進む。
【００３３】
一方、ステップＳ１０３で金属部材５１が識別可能部位を有している場合には、ステップＳ１０５に進む。ステップＳ１０５では、識別記号読取装置によって、金属部材５１に刻印された識別記号が読み取られ、識別記号に関する情報が管理装置４０に送られる。管理装置４０において、識別記号情報取得部４５ａが識別記号に関する情報を取得すると、識別記号情報記憶領域４４ｂの該当する製品ＩＤの回収履歴のフィールドに、日付が入力される。さらに、リサイクル回数のフィールドも更新される。
次に、ステップＳ１０６では、ボンデッドシール５１のリサイクルの可否が判定される。具体的には、まず、種別判定部４５ｂが、識別記号を読み取られたボンデッドシール５の種別を判定する。さらに、再利用可能回数判定部４５ｃが、再利用可能回数記憶領域４４ｃに記憶された情報に基づき、当該ボンデッドシール５の再利用可能回数を判定する。その後、再利用可否決定部４５ｄは、当該ボンデッドシール５が再利用可能か否かを判定する。ステップＳ１０６において、ボンデッドシール５の再利用が可能であると判定された場合には、ステップＳ１０７に進む。例えば、識別記号読取装置によって識別記号が読み取られたボンデッドシール５が図７に示す製品（製品ＩＤ：ＡＢＣ０１０１００）であった場合、種別判定部４５ｂによってボンデッドシールの種別が「ＡＢＣ」であると判定され、再利用可能回数判定部４５ｃによって当該種別「ＡＢＣ」の再利用可能回数が「１１」であることが判定される。また、再利用可否決定部４５ｄが、識別記号情報記憶領域４４ｂに記憶されているリサイクル回数「２」と、再利用可能回数「１１」とを比較し、再利用可能であると判定する。
【００３４】
次に、ステップＳ１０７では、ボンデッドシール５のシール材５２が交換される。例えば、シール材５２に浸透しうる流体を用いて、金属部材５１からシール材５２が取り外され、その後、新たなシール材５２がプレス成形により金属部材５１に接着される。その後、ステップＳ１０８に進み、ボンデッドシール５の種別に応じて、所定のユーザーに出荷される。
一方、ステップＳ１０６において、ボンデッドシール５の再利用が不可能と判定された場合には、ステップＳ１０９に進む。ステップＳ１０９では、金属部材５１からシール材５２が取り外され、その後、廃棄処理が行われる。なお、廃棄処理では、金属部材５１およびシール材がそれぞれ再利用可能な場合には、再利用のための処理が行われる。
【００３５】
４．特徴
（１）
本実施形態においてリサイクル管理を行うボンデッドシール５は、真空チャンバーの仕切り弁として機能する。ボンデッドシール５は、アルミ等を成形した金属部材５１と、ゴム製のシール材５２とからなる。これにより、真空チャンバー内の状態を一定に保つ。ここで、ボンデッドシールはチャンバーを開閉するために頻繁に用いられることから、シール材にねじれや破損が生じやすい。そのため、ボンデッドシールは、一定期間（例えば、３ヶ月間）使用されると、破損の有無に限らず、新しいボンデッドシールに交換される。
ところで、真空チャンバーの出入口を開閉する部品には、シール材５１と金属部材５２とが一体であるシール材一体型金属部品５の他に、シール材と金属部材とが別体であるシール材別体型金属部品がある。シール材別体型金属部品は、シール材としてのＯリングが金属部材に取り付けられるもので、シール材一体型金属部品は、金属部材に細長い形状のシール材が強固に接着されているものである。シール材別体型金属部品については、シール材を金属部材から容易に取り外すことができるため、一定期間使用されたときには、使用済みのシール材を新たなシール材に取り替えることで対処できる。すなわち、ボンデッドシール全体を廃棄する必要がない。しかし、シール材一体型金属部品については、金属部材からシール材を取り外すことができないため、一定期間使用されると、新たなボンデッドシールへと取り替えられる必要が生じる。その結果、使用済みのボンデッドシール５は、産業廃棄物となっていた。
上記実施形態に係るリサイクル管理方法およびリサイクル管理システムでは、使用済みのボンデッドシールを回収し、金属部材からシール材を取り外して新たなシール材を取り付ける。また、回収時には、ボンデッドシールの固体識別を可能にする識別可能部位を形成する。これにより、従来、一定期間使用後に産業廃棄物となっていたシール材一体型金属部品としてのボンデッドシール５を、再利用することを可能にする。
【００３６】
（２）
また、ボンデッドシール５の材質や形状は、ユーザーが利用するチャンバーの形状や機能等に応じて異なるため、金属部材５１を製造するためにはコストがかかる。シール材別体型金属部品としてのボンデッドシールであれば、シール材が劣化した際、シール材を交換すれば、再度金属部材を利用することができるため、シール材一体型金属部品に比べて、一般的に低コストと考えられてきた。しかし、シール材別体型金属部品の大きさや形状によって、金属部材にシール材を適切に取り付けることが困難な場合もある。シール材が金属部材に適切に取り付けられない場合、チャンバー内の状態を一定に保つことができず好ましくない。本実施形態に係るリサイクル管理方法およびリサイクル管理システムを採用することにより、コスト高の金属部材５１を再利用することができる。その結果、シール材一体型金属部品としてのボンデッドシールを低コストで利用することができる。
【００３７】
（３）
また、本実施形態では、金属部材５１に識別可能部位が形成される。これにより、一旦形成された識別可能部位を金属部材が廃棄処理されるまで利用することができる。
（４）
また、本実施形態では、識別可能部位として、識別記号を金属部材５１に刻印している。そのため、金属部材５１が繰り返し利用された場合にも、適当に識別記号を読み取ることができる。
【００３８】
（５）
ボンデッドシール５の材質や形状は、上述したように、ユーザーが利用するチャンバーの形状や機能等に応じて異なる。したがって、シール材５２が交換されたボンデッドシール５は、当該ボンデッドシール５の元の利用者に納品する必要がある。本実施形態では、管理装置４０に、ボンデッドシールの種別に対応するボンデッドシール５のユーザーが記憶されている。これにより、再生されたボンデッドシール５の納品先を適当に判定することができる。
（６）
本実施形態のリサイクル管理システムでは、回収されたボンデッドシール５の検査が行われる。これにより、信頼性のあるボンデッドシールをリサイクルすることができる。
【００３９】
５．変形例
（１）
上記実施形態では、ボンデッドシール５のリサイクル時に、金属部材５１に識別可能部位を形成したが、ボンデッドシール５の製造時に金属部材５１に識別可能部位を形成していてもよい。
（２）
上記実施形態では、金属部材５１に、固有の識別番号に相当する識別記号を刻印したが、固有の識別番号に加えて、その他の情報（例えば、履歴）を付加するようにしてもよい。
【００４０】
（３）
上記実施形態では、金属部材５１に識別記号を刻印したが、刻印ではなく、耐熱性部材を貼付してもよい。また、耐熱比接触通信手段を金属部材５１に埋め込むことにより、ボンデッドシール５の固体識別を可能にしてもよい。
（４）
上記実施形態では、既に再利用した回数と、再利用可能回数とを比較して、回収されたボンデッドシール５の再利用の可否を判定したが、ボンデッドシール５が製造された日付を記憶させ、ボンデッドシール５の利用期間を判定することにより、再利用の可否を判定してもよい。
（５）
上記実施形態では、図１に示すように、ボンデッドシール５のリサイクル処理を行う主体と、ボンデッドシールメーカーとが同一である例を挙げたが、リサイクル処理を行う主体と、ボンデッドシールメーカーとが別の主体であってもよい。また、ボンデッドシールメーカーが初期部品を納品する先を真空チャンバーメーカー（装置メーカー）としたが、これに限られるものではない。
また、ボンデッドシール５の流通経路は、図１に示すものに限られず、図９および図１０に示すような経路であってもよい。例えば、図９では、ユーザーカスタマイズしたボンデッドシールが、ボンデッドシールメーカーからユーザーに納品され（矢印Ｉ−２）、使用済みのボンデッドシールがユーザーからボンデッドシールメーカーに回収される（矢印ＩＩＩ）経路を示す。また、図１０では、真空チャンバー等の装置メーカーがメンテナンス等の理由で、ユーザーからボンデッドシールを回収し（矢印ＩＶ）、その後、当該ボンデッドシールがリサイクル処理の工程に送られる（矢印Ｉ−１）経路を示す。
【００４１】
（６）
また、図２および図３では、半導体製造装置に用いられるスリットバルブをボンデッドシール５として例示したが、本発明は、液晶、ＬＥＤ、太陽電池等の製造装置に用いられるボンデッドシールにも採用することもできる。
例えば、ゲートバルブ１５（図１１参照）や、Ｌ型バルブ１６（図１２参照）、さらに、バタフライバルブ１７（図１３参照）等、所定領域についての気密性を高めるために用いられる、金属部材にシール材を接着させて一体化させたような部品であれば、他の製品に用いられる他の部品であっても、上記実施形態に係るリサイクル管理方法およびリサイクル管理システムを適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、シール材一体型金属部品のリサイクル管理方法またはリサイクル管理システムとして有用である。
【符号の説明】
【００４３】
５  スリットバルブ（シール材一体型金属部品）
４０  管理装置
５１  金属部材
５２  シール材
５３  溝
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４４】
【特許文献１】特表２００１−５０９６４７号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際調査報告】
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