(57)【要約】  ガラス基板の表面にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部２０ａが形成されたウエハレンズが開示されている。複数のレンズ部２０ａは、Ｘ方向及びＹ方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合う２つのレンズ部２０ａ間の樹脂部２０による間隔が、第１の間隔３００のものと、第１の間隔３００よりも広い第２の間隔３０２のものとを有する複数のレンズ部２０ａ間間隔を以て形成されている。
2011132690.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の表面にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズであって、
前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合う２つのレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されていることを特徴とするウエハレンズ。
【請求項２】
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部の内、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項３】
請求項２に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第２の間隔を形成している樹脂部には凹部が形成され、当該凹部を形成している樹脂部の厚みは前記第１の間隔を形成している樹脂部の厚みよりも薄く形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項４】
請求項２または３に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記ウエハレンズの一方の面には物体側に凸レンズ部が複数形成され、他方の面には像側に凹レンズ部が複数形成されており、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の樹脂部には、前記凹レンズ部が形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか一項に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第１の間隔を形成している樹脂部には凹部が形成されており、当該第１の間隔を形成している樹脂部に形成された凹部には当該樹脂部とは異なる種類の樹脂が充填されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項６】
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成された第１のウエハレンズと、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、前記第１のウエハレンズと接合された第２のウエハレンズと、
前記第２のウエハレンズの前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記第２のウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部はそれぞれ、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項７】
請求項６に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第２の間隔を形成している樹脂部には凹部が形成され、当該凹部を形成している樹脂部の厚みは前記第１の間隔を形成している樹脂部の厚みよりも薄く形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項８】
請求項６または７に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記第１のウエハレンズの一方の面には物体側に第１の凸レンズ部が複数形成され、他方の面には像側に第１の凹レンズ部が複数形成されており、
前記第２のウエハレンズの一方の面には物体側に第２の凹レンズ部が複数形成され、他方の面には像側に第２の凸レンズ部が複数形成されており、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の樹脂部には、前記第２の凸レンズ部が形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか一項に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第１の間隔を形成している樹脂部には凹部が形成されており、当該第１の間隔を形成している樹脂部に形成された凹部には当該樹脂部とは異なる種類の樹脂が充填されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項１０】
ガラス基板の表面にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、
前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔とを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されているウエハレンズの切断方法であって、
前記第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間の樹脂部および前記ガラス基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内の樹脂部およびガラス基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とするウエハレンズの切断方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程では、前記樹脂部を通して前記ガラス基板を切断することを特徴とするウエハレンズの切断方法。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載のウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程での樹脂部の切断幅より、前記第２工程又は前記第３工程での樹脂部の切断幅を狭くすることを特徴とするウエハレンズの切断方法。
【請求項１３】
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されている積層型ウエハレンズの切断方法であって、
前記ウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程と、
前記第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間の樹脂部および前記ガラス基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内の樹脂部およびガラス基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第２の間隔内の樹脂部には、第１の凹部が形成され、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第１の間隔内の樹脂部には、第２の凹部が形成されており、
前記ウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程の前に、前記第２の凹部に対し、前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の樹脂部とは異なる種類の樹脂を充填する工程を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１５】
請求項１３または１４に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１の工程は、前記ウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断することを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１６】
請求項１３〜１５のいずれか一項に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１の工程での切断幅を、前記第２の工程又は第３の工程の切断幅より広くすることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１７】
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成された第１のウエハレンズと、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、前記第１のウエハレンズと接合された第２のウエハレンズと、
前記第２のウエハレンズの前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記第２のウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面にそれぞれ形成された前記複数のレンズ部の内、隣り合うレンズ部間の樹脂部が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法であって、
前記第２のウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程と、
前記第１のウエハレンズの第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間で前記第１のウエハレンズ、前記第２のウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内で前記第１のウエハレンズ、前記第２のウエハレンズ及び前記スペーサ基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第２の間隔内の樹脂部には、第１の凹部が形成され、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第１の間隔内の樹脂部には、第２の凹部が形成されており、
前記第２のウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程の前に、前記第２の凹部に対し、前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の樹脂部とは異なる種類の樹脂を充填する工程を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１９】
請求項１７または１８に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程では、前記第１のウエハレンズ、前記第２のウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断することを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項２０】
請求項１７〜１９のいずれか一項に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程での切断幅を、前記第２又は第３工程での切断幅より広くすることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウエハレンズ、積層型ウエハレンズ、ウエハレンズの切断方法および積層型ウエハレンズの切断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板に対して硬化性樹脂からなるレンズ部を設けることで、耐熱性の高いハイブリッド型の光学素子（レンズ）を得る技術が知られている。この技術を適用した光学素子の製造方法の一例として、ガラス基板の表面に硬化性樹脂からなるレンズ部を複数設けたいわゆる「ウエハレンズ」を形成し、その後にレンズ部間でガラス基板を切断（カット）する方法がある。【０００３】
この場合に、レンズ部を構成する樹脂部分には応力（引っ張り力）がかかっており、ガラス基板を切断するのに伴い、樹脂部分の応力が解放され、樹脂部分がガラス基板から剥離する（めくり上がる）可能性がある。
これに対し、特許文献１の技術では、樹脂部分にいったん幅広の切断痕を形成して樹脂部分の応力を緩和しておき、その後に幅狭の切断ラインでガラス基板を切断している。
また、応力を緩和する方法としては特許文献２の技術にあるようにガラス基板に対しあらかじめ樹脂部分を分割した状態（樹脂部分同士の間に隙間を形成した状態）で形成する事でガラス基板上での樹脂部分の応力が予め緩和されるように設計している技術が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開２００７／１０７０２８号（図６など）
【特許文献２】国際公開２００９／１１６４４８号（段落０１７５や図１０，図１１など）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術によれば、切断ラインに沿う切断を２段階に分けて樹脂部分の応力を緩和しようとしているが、切断に伴うガラス基板の割れまでは想定していない。すなわち、樹脂部分に予想以上の過大な応力がかかっており、切断に伴い急激に応力が緩和されると、ガラス基板が割れる可能性がある。この場合、切断後のその光学素子は不良品となってしまい、製品として扱うことができない。
他方、特許文献２によれば、ガラス基板上に樹脂部分を形成しているが、このように部分的に樹脂部を形成する事は大変手間が係り、結果としてウエハレンズによる大量一括生産のメリットを十分に享受できない。またこれに開示されている技術は主に樹脂製の成形型を対象としているのであり、ガラス基板を切断すること自体が想定されていない。
したがって、本発明の主な目的は、ウエハレンズを簡易的に効率良く作製する共に、ガラス基板上の樹脂部分の応力を緩和しながらも、ガラス基板の割れによる問題を解決することができるウエハレンズ、積層型ウエハレンズ、ウエハレンズの切断方法および積層型ウエハレンズの切断方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため本発明の第１の態様によれば、
ガラス基板の表面にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズであって、
前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合う２つのレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されていることを特徴とするウエハレンズが提供される。【０００７】
本発明の第２の態様によれば、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部の内、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズが提供される。【０００８】
本発明の第３の態様によれば、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成された第１のウエハレンズと、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、前記第１のウエハレンズと接合された第２のウエハレンズと、
前記第２のウエハレンズの前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記第２のウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部はそれぞれ、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズが提供される。【０００９】
本発明の第４の態様によれば、
ガラス基板の表面にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、
前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔とを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されているウエハレンズの切断方法であって、
前記第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間の樹脂部および前記ガラス基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内の樹脂部およびガラス基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とするウエハレンズの切断方法が提供される。【００１０】
本発明の第５の態様によれば、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されている積層型ウエハレンズの切断方法であって、
前記ウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程と、
前記第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間の樹脂部および前記ガラス基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内の樹脂部およびガラス基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法が提供される。【００１１】
本発明の第６の態様によれば、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成された第１のウエハレンズと、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、前記第１のウエハレンズと接合された第２のウエハレンズと、
前記第２のウエハレンズの前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記第２のウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面にそれぞれ形成された前記複数のレンズ部の内、隣り合うレンズ部間の樹脂部が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法であって、
前記第２のウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程と、
前記第１のウエハレンズの第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間で前記第１のウエハレンズ、前記第２のウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内で前記第１のウエハレンズ、前記第２のウエハレンズ及び前記スペーサ基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ウエハレンズから各レンズに個片化するために切断する場合であっても、ガラス割れが生ずるような大きな応力解放を生じさせる事がなく、結果として光学性能上安定したレンズを数多く提供する事ができる。また係る問題を、ウエハレンズによる効率的な大量生産というメリットを損なう事なく解決する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１Ａ】撮像装置の概略構成を示す断面図である。
【図１Ｂ】撮像装置中のセンサユニットの概略的な平面図である。
【図２】ウエハレンズ積層体の概略構成を示す平面図である。
【図３】図５のＩ−Ｉ線に沿う分解断面図である。
【図４】ウエハレンズのガラス基板のＳ１面（絞りパターン）を概略的に示す平面図である。
【図５】ウエハレンズのガラス基板のＳ２面（絞りパターン）を概略的に示す平面図である。
【図６】ウエハレンズのガラス基板のＳ４面（絞りパターン）を概略的に示す平面図である。
【図７】スペーサ基板の構成を概略的に示す平面図である。
【図８Ａ】ウエハレンズの樹脂部の成形方法を概略的に説明するための図面である。
【図８Ｂ】図８Ａの後続工程を示す概略的に示す図面である。
【図８Ｃ】図８Ｂの後続工程を示す概略的に示す図面である。
【図８Ｄ】図８Ｃの後続工程を示す概略的に示す図面である。
【図９】ウエハレンズ積層体の概略構成を示す一部断面図である。
【図１０】ウエハレンズ積層体の概略構成を示す一部平面図である。
【図１１】樹脂部の切断順序を概略的に説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら本発明の好ましい実施形態について説明する。
【００１５】
［撮像装置］
図１Ａに示すとおり、撮像装置２は主にはレンズユニット４とセンサユニット６とで構成されており、レンズユニット４がセンサユニット６上に配置されている。
レンズユニット４は撮像用レンズの一例であり、主にレンズブロック８，レンズブロック１０，スペーサ１２で構成され、レンズブロック８，１０とスペーサ１２とが接合（接着・積層）された状態でカバーパッケージ１４に覆われている。
【００１６】
レンズブロック８は平板状を呈したガラス基板１６を有している。
ガラス基板１６の上部（物体側）には絞り１８と樹脂部２０とが形成されており、ガラス基板１２の下部（像側）には絞り２２と樹脂部２４とが形成されている。
樹脂部２０の略中央部には凸状を呈した凸レンズ部２０ａが形成されている。
樹脂部２０では凸レンズ部２０ａ以外の部位が非レンズ部２０ｂとなっている。
樹脂部２４の略中央部には凹状を呈した凹レンズ部２４ａが形成されている。
樹脂部２０では凹レンズ部２４ａ以外の部位が非レンズ部２４ｂとなっている。
【００１７】
レンズブロック１０も平板状を呈したガラス基板２６を有している。
ガラス基板２６の上部（物体側）には樹脂部２８が形成されており、ガラス基板２６の下部（像側）には絞り３０と樹脂部３２とが形成されている。
樹脂部２８の略中央部には凹状を呈した凹レンズ部２８ａが形成されている。
樹脂部２８では凹レンズ部２８ａ以外の部位が非レンズ部２８ｂとなっている。
樹脂部３２の略中央部には凸状を呈した凸レンズ部３２ａが形成されている。
樹脂部３２では凸レンズ部３２ａ以外の部位が非レンズ部３２ｂとなっている。
【００１８】
樹脂部２０，２４，２８，３２は光透過性を有している。
樹脂部２０，２４，２８，３２はエネルギー硬化性樹脂で構成され、好ましくは光硬化性のアクリル系樹脂で構成されている。
樹脂部２０，２４，２８，３２中の凸レンズ部２０ａ，凹レンズ部２４ａ，凹レンズ部２８ａ，凸レンズ部３２ａはレンズ機能（光学機能）を発揮するレンズ有効部となっている。
【００１９】
レンズブロック８，１０を物体側（凸レンズ部２０ａ側）から見た場合には、凸レンズ部２０ａ，凹レンズ部２４ａ，凹レンズ部２８ａ，凸レンズ部３２ａは同心円状に配置されており、これらレンズ部同士で光軸３４（図３参照）が互いに一致するように上下に積層されている。
【００２０】
図１Ａ，図１Ｂに示すとおり、センサユニット６は主にはセンサ３６，パッケージ３８，カバーガラス４０から構成されている。
【００２１】
センサ３６はレンズユニット４を透過した光を受光する受光センサであって、受光した光を光電変換して電気信号を外部機器（図示略）に出力可能となっている。
パッケージ３８は有底箱状を呈しており、上方が開放されている。図１Ｂに示すとおり、パッケージ３８の略中央部にはセンサ３６が配置されている。
カバーガラス４０はパッケージ３８の上部に蓋体として設けられており、センサ３６はパッケージ３８とカバーガラス４０とに囲まれた空間中に密閉されている。
【００２２】
図１Ａに示すとおり、スペーサ１２はレンズブロック８，１０とセンサ３６との間に介在しており、これら部材間に一定の間隔を付与している。スペーサ１２には円形状の開口部１２ｂが形成されている。開口部１２ｂの内側にはＩＲカットフィルタ４２が設けられている。ＩＲカットフィルタ４２はカバーガラス４０の上方に配置され、センサ３６に入射しようとする赤外線を遮光するようになっている。
なお、ＩＲカットフィルタ４２はガラス基板１６の物体側と像側とに振り分けられレンズブロック８と一体的に構成されていてもよい。
【００２３】
［ウエハレンズ積層体］
図２に示すとおり、ウエハレンズ積層体５０は主にはウエハレンズ５２，５４とスペーサ基板５６とで構成されており、これら部材が積層された構成を有している。ウエハレンズ積層体５０は積層型ウエハレンズの一例である。
【００２４】
図３に示すとおり、ウエハレンズ５２はウエハ状のガラス基板１６を有している。
ガラス基板１６の上部には絞り１８，ＩＤ記録部５８，樹脂部２０が形成されている。
【００２５】
図４に示すとおり、絞り１８はガラス基板１６上の中央大部分に多数形成されている。絞り１８は矩形状を呈しており、その中央部には円形の開口部１８ａが形成されている。絞り１８は開口部１８ａを除く部位がガラス基板１６の一面に形成されてもよい。ＩＤ記録部５８は絞り１８の周辺部に形成されている。
ガラス基板１６には、絞り１８が形成されていない４つの領域６２，６４，６６，６８が存在している。内側の領域６４，６６には十字状のアライメントマーク６４ａ，６６ａが１つずつ形成されている。
絞り１８，ＩＤ記録部５８，アライメントマーク６４ａ，６６ａは同一材料により形成されており、具体的には遮光性フォトレジストにより構成されている。遮光性フォトレジストとしてはカーボンブラックを混入したフォトレジストが適用されている。
ＩＤ記録部５８は２次元バーコードにより構成されている。ＩＤ記録部５８には所定桁数の２値表現により情報が記録されており、本情報にウエハレンズ５２のウエハＩＤが含まれている。本情報はバーコードリーダにより読取可能である。
【００２６】
図３に示すとおり、絞り１８，ＩＤ記録部５８は樹脂部２０により被覆されている。
樹脂部２０は、ガラス基板１６の絞り１８，ＩＤ記録部５８が形成された面に形成され、凸レンズ部２０ａ，非レンズ部２０ｂを構成している。
【００２７】
ガラス基板１６の下部には絞り２２，樹脂部２４が形成されている。
図５に示すとおり、絞り２２はガラス基板１６上の中央大部分に多数形成されている。絞り２２は絞り１８と同一形状を呈しており、その中央部には円形状の開口部２２ａが形成されている。絞り２２は開口部２２ａを除く部位がガラス基板１６の一面に形成されてもよい。
ガラス基板１６には、前述の絞り１８が形成されていない４つの領域６２，６４，６６，６８に対応する位置に、絞り２２が形成されていない４つの領域７２，７４，７６，７８が存在している。外側の領域７２，７８には、三角形を４隅に配置したアライメントマーク７２ａ，７８ａと、十字状のアライメントマーク７２ｂ，７８ｂとが、それぞれ形成されている。内側の領域７４，７６には、三角形を４隅に配置したアライメントマーク７４ａ，７６ａが１つずつ形成されている。
絞り２２，アライメントマーク７２ａ，７２ｂ，７４ａ，７６ａ，７８ａ，７８ｂも、絞り１８，ＩＤ記録部５８，アライメントマーク６４ａ，６６ａと同様の遮光性フォトレジストから構成されている。
絞り２２は樹脂部２４により被覆されている。
樹脂部２４は凸レンズ部２０ａと同軸位置に凹レンズ部２４ａを構成している。
【００２８】
１組の凸レンズ部２０ａ，絞り１８，絞り２２，凹レンズ部２４ａにより構成される部分が部品の一単位に相当し、これらがガラス基板１６に多数保持された状態でウエハレンズ５４やスペーサ基板５６とユニット化される。
【００２９】
図３に示すとおり、ウエハレンズ５４はウエハ状のガラス基板２６を有している。
ガラス基板２６の上部には樹脂部２８が形成されている。
樹脂部２８は凸レンズ部２０ａと同軸位置に凹レンズ部２８ａを構成している。
【００３０】
ガラス基板２６の下部には絞り３０，ＩＤ記録部６０，樹脂部３２が形成されている。
【００３１】
図６に示すとおり、絞り３０はガラス基板２６上の中央大部分に多数形成されている。絞り３０は円形状を呈しており、その中央部には円形の開口部３０ａが形成されている。絞り３０は開口部３０ａを除く部位がガラス基板２６の一面に形成されてもよい。ＩＤ記録部６０は絞り３０の周辺部に形成されている。
ガラス基板２６には、前述の絞り２２が形成されていない４つの領域７２，７４，７６，７８に対応する位置に、絞り３０が形成されていない４つの領域８２，８４，８６，８８が存在している。外側の領域８２，８８には、三角形を４隅に配置したアライメントマーク８２ａ，８２ｂ，８８ａ，８８ｂが２つずつ形成されている。内側の領域８４，８６には、２つの三角形を対向配置したアライメントマーク８４ａ，８６ａが１つずつ形成されている。
絞り３０，ＩＤ記録部６０，アライメントマーク８２ａ，８２ｂ，８４ａ，８６ａ，８８ａ，８８ｂも、絞り１８，ＩＤ記録部５８，アライメントマーク６４ａ，６６ａと同様の遮光性フォトレジストから構成されている。
ＩＤ記録部６０はＩＤ記録部５８と同様のものであり、ＩＤ記録部６０にはウエハレンズ５４のウエハＩＤが含まれている。
【００３２】
図３に示すとおり、絞り３０，ＩＤ記録部６０は樹脂部３２により被覆されている。
樹脂部３２は、ガラス基板２６の絞り３０，ＩＤ記録部６０が形成された面に形成され、凸レンズ部２０ａと同軸位置に凸レンズ部３２ａを構成している。
【００３３】
１組の凹レンズ部２８ａ，絞り３０，凸レンズ部３２ａにより構成される部分が部品の一単位に相当し、これらがガラス基板２６に多数保持された状態でウエハレンズ５２やスペーサ基板５６とユニット化される。
【００３４】
図７に示すとおり、スペーサ基板５６はガラス基板１６，２６と同様にウエハ状を呈したガラス製平板である。スペーサ基板５６には多数の円形状の開口部５６ａが形成されている。
スペーサ基板５６には、開口部５６ａが形成されていない４つの領域９２，９４，９６，９８が存在している。内側の領域９４，９６には、８の字状のアライメントマーク９４ａ，９６ａが１つずつ形成されている。
アライメントマーク９４ａ，９６ａも、絞り１８，ＩＤ記録部５８，アライメントマーク６４ａ，６６ａと同様の遮光性フォトレジストから構成されている。
【００３５】
ウエハレンズ積層体５０では（図３中上側から下側に向けて順に）凸レンズ部２０ａ，絞り１８の開口部１８ａ，絞り２２の開口部２２ａ，凹レンズ部２４ａ，凹レンズ部２８ａ，絞り３０の開口部３０ａ，凸レンズ部３２ａ，スペーサ基板５６の開口部５６ａが光軸３４上に配置されており、ダイシングライン６１に沿ってこれらを一括して切断してレンズユニット４（後述参照）が形成される。
【００３６】
ウエハレンズ積層体５０では、ガラス基板１６の領域６２，６４，６６，６８と、ガラス基板１６の領域７２，７４，７６，７８と、ガラス基板２６の領域８２，８４，８６，８８と、スペーサ基板５６の領域９２，９４，９６，９８とが、領域ごとに１対１で対応しており、各アライメントマークが部材同士の位置合わせに使用される（図４〜図７参照）。
【００３７】
［撮像装置の製造方法］
続いて、撮像装置２（特にレンズユニット４）の製造方法について説明する。
【００３８】
撮像装置２は大きくは下記の工程を経て製造される。
（Ｓ１）ウエハレンズ５２，５４およびスペーサ基板５６を準備（製造）する
（Ｓ２）ウエハレンズ５２，５４およびスペーサ基板５６を接合してウエハレンズ積層体５０を製造する
（Ｓ３）ウエハレンズ積層体５０を切断してレンズユニット４を製造する
（Ｓ４）レンズユニット４とセンサユニット６とを接合する
【００３９】
Ｓ１の工程では、はじめに、ガラス基板１６に対し絞り１８，２２とＩＤ記録部５８とを、ガラス基板２６に対し絞り３０とＩＤ記録部６０とを、それぞれ形成する。
具体的には、ガラス基板１６，２６に対し遮光性フォトレジストを塗布し、その後所定パターンを有するマスクを介して光照射して現像し、絞り１８，２２，３０とＩＤ記録部５８，６０を形成する。
【００４０】
その後、ガラス基板１６に対し樹脂部２０，２４を、ガラス基板２６に対し樹脂部２８，３２を、それぞれ形成する。
ここでは、樹脂部２０（レンズ部２０ａ）の成形方法について詳しく説明する。
図８Ａに示すとおり、凹状金型１００（レンズ部２０ａの形状に対応した凹部が形成されている金型）とウエハ状の基板１１２との間に樹脂を充填しながら、凹状金型１００を基板１１２に対し所定量ずつ移動させ、第１の転写型１１０を作製する。第１の転写型１１０では、図８Ｂに示すとおり、凹状金型１００の移動に対応して樹脂型部１１４がブロックごとに（ブロック単位で）形成され、樹脂型部１１４同士の間には微小な隙間１１６（溝）が形成される。
その後、第１の転写型１１０を成形型として、図８Ｃに示す第２の転写型１２０を作製する。この場合、第１の転写型１１０とウエハ状の基板１２２との間に樹脂を充填し、樹脂型部１２４を形成する。第２の転写型１２０は第１の転写型１１０の形状全体（樹脂型部１１４や隙間１１６）の転写をそのまま受けるため、樹脂型部１２４には隙間１１６のような隙間は形成されず、樹脂型部１２４は一体的に成形される。ただ、樹脂型部１４２には隙間１１６に対応して凸部１２６（突条）が形成される。
その後、第２の転写型１２０を成形型として、図８Ｄに示すとおり、ガラス基板１６に対し樹脂部２０を形成する。樹脂部２０には、凹状金型１００の形状に対応した複数の凸レンズ部２０ａが形成される。凸レンズ部２０ａは凹状金型１００の移動に対応して複数のブロック２００に区画される。ブロック２００同士の間には第２の転写型１２０の凸部１２６（凹状金型１００の移動）に対応した凹部２１０（溝）が形成されている。
以上のように、凹状金型１００，第１の転写型１１０，第２の転写型１２０を用いた方法により、樹脂部２０をガラス基板１６に形成することができる。
【００４１】
その後、（凹状金型１００を他の凸状金型に変更し、）樹脂部２０をガラス基板１６に形成したのと同様に、樹脂部２４をガラス基板１６に形成する。またこれとは別に、樹脂部２８，３２をガラス基板２６に形成する。その結果、ウエハレンズ５２，５４が製造される。
【００４２】
この場合において、図９に示すとおり、ウエハレンズ５２の樹脂部２４には、凸状金型の移動に対応した凹部２２０（溝）と凸状金型の形状に対応した凹部２２２（溝）とが形成される。凹部２２０，２２２の厚み（底厚）は樹脂部２４の厚み２２４より薄い。ウエハレンズ５４の樹脂部２８にも、凸状金型の移動に対応した凹部２３０（溝）と凸状金型の形状に対応した凹部２３２（溝）とが形成される。ウエハレンズ５４の樹脂部３２にも、凹状金型の移動に対応した凹部２４０（溝）と凹状金型の形状に対応した凹部２４２（溝）とが形成される。凹部２４０，２４２の厚みは樹脂部３２の厚み２４４より薄い。
なお、本実施態様では凹部２２２が形成されているが、これは樹脂のヒケを考慮して形成されるものであり、成形されるレンズの形状等によっては形成されないものもある。また凸状金型の移動に対応して形成される凹部２２０も、前述の説明から明らかな通り、成形型をいわゆるステップ＆リピート方式によりブロック２００単位で成形しないものであれば必ずしも形成されるものではない。
【００４３】
Ｓ２の工程では、凹部２２０，２２２，２３０，２３２，２４０，２４２に対し、樹脂部２４，２８，３２とは異なる種類の樹脂を充填する。当該樹脂を充填することにより、ウエハレンズ積層体５０の切断時のガラス基板１６，２６の割れを防止することができる。
なお、凹部２２０，２３０，２４０はブロック２００同士の間に形成され、ウエハレンズ積層体５０の切断時においてガラス基板１６，２６に割れが発生しても、レンズユニット４の製造に関し特に問題とならないため、凹部２２０，２３０，２４０には樹脂を充填しなくてもよい。
【００４４】
その後、図３に示すとおり、ウエハレンズ５２のアライメントマーク７２ｂ，７８ｂとウエハレンズ５４のアライメントマーク８２ｂ，８８ｂとを位置合わせし、ウエハレンズ５４のアライメントマーク８４ａ，８６ａとスペーサ基板５６のアライメントマーク９４ａ，９６ａとを位置合わせし、ウエハレンズ５２，５４およびスペーサ基板５６を互いに接合（積層・接着）し、ウエハレンズ積層体５０を製造する。その結果、図９に示すとおり、樹脂部２０，２４，２８，３２の凸レンズ部２０ａ，凹レンズ部２４ａ，凹レンズ部２８ａ，凸レンズ部３２ａが互いに対応する位置（同軸上）に配置される。
【００４５】
Ｓ３の工程では、ウエハレンズ積層体５０を凸レンズ部２０ａごとにマトリクス状（格子状）に切断する。
図１０に示すとおり、凸レンズ部２０ａは、ブロック２００ごとに区画された状態で配置されている。
詳しくは、凸レンズ部２０ａは、図１０中横方向（行方向）と図１０中縦方向（列方向）とにラインを形成するように配列され、全体としてマトリックス状に整列して形成されている。凹レンズ部２４ａ，凹レンズ部２８ａ，凸レンズ部３２ａも、凸レンズ部２０ａと同様に配置されている。ここで行方向と列方向とは同一平面上において互いに直交する方向である。
同じブロック２００の行方向または列方向に沿う凸レンズ部２０ａ間には樹脂部２０によるレンズ部間間隔３００が形成されている。これと同様に、異なるブロック２００の行方向または列方向に沿う凸レンズ部２０ａ間にも樹脂部２０によるレンズ部間間隔３０２が形成されている。間隔３０２は間隔３００より凸レンズ部２０ａ間の間隔が広くなっている。
【００４６】
Ｓ３の工程では、基本的に下記の工程順序にしたがってウエハレンズ積層体５０を切断する。
（Ｓ３−１）ブロック２００間の切断ラインに沿って切断する
（Ｓ３−２）ブロック２００外縁の切断ラインに沿って切断する
（Ｓ３−３）ブロック２００内の切断ラインに沿って切断する
【００４７】
Ｓ３−１の工程では、図９，図１０に示すとおり、切断刃３０６を用いて、ブロック２００間に形成された樹脂部２０、すなわち間隔３０２の樹脂部２０を切断ライン３１０で行方向及び／又は列方向に切断する。図１１に示すとおり、好ましくは樹脂部２０の中央部近傍の切断ライン３１０から切断し、その後も樹脂部２０の面積が均等になるような位置の切断ライン３１０から切断する。この場合、樹脂部２０の面積（体積）の偏りが緩和され、樹脂部２０がガラス基板１６から剥離しにくくなる。
Ｓ３−２の工程では、切断刃３０８を用いて、切断ライン３１０とこれに隣り合う凸レンズ部２０ａとの間の切断ライン３２０で、ウエハレンズ積層体５０を樹脂部２０からスペーサ基板５６にかけて行方向と列方向とに切断し、ウエハレンズ積層体５０をブロック２００ごとに分割する。
Ｓ３−３の工程では、切断刃３０８を用いて、ブロック２００内に形成された切断ライン３３０で、ウエハレンズ積層体５０を樹脂部２０からスペーサ基板５６にかけて行方向と列方向とに切断し、ウエハレンズ積層体５０のブロック２００を凸レンズ部２０ａごとに分割する。その結果、複数のレンズユニット４が製造される。
【００４８】
Ｓ３の工程では、好ましくは切断刃３０６として切断刃３０８より刃先が幅広のものを用い、切断ライン３１０の切断幅３１２を、切断ライン３２０，３３０の切断幅３２２，３３２より広くする。
これにより、切断ライン３１０の切断刃３０６が、切断ライン３２０，３３０の切断痕との干渉が軽減されるため、干渉による切断時の樹脂の飛び散りが軽減される効果がある。
【００４９】
なお、Ｓ３−１の工程の切断は、基本的には樹脂部２０のみの切断であるが、ガラス基板１６を部分的に一部切断してもよいし、ウエハレンズ積層体５０自体を樹脂部２０からスペーサ基板５６にかけて切断してもよい。
Ｓ３−２の工程とＳ３−３の工程とで、Ｓ３−３の工程の切断（切断ライン３３０に沿う切断）を先におこない、その後にＳ３−２の工程の切断（切断ライン３２０に沿う切断）をおこなってもよい。
【００５０】
Ｓ４の工程では、レンズユニット４のスペーサ１２にＩＲカットコート４２を設置し、レンズユニット４とセンサユニット６とを接合する。その後、レンズユニット４をカバーパッケージ１４で被覆する。その結果、撮像装置２が製造される。
【００５１】
以上の本実施形態によれば、ブロック２００間に間隔３００より幅広の間隔３０２を有する樹脂部２０を確保し、Ｓ３の工程において、まずは切断ライン３１０で樹脂部２０を切断し、その後に切断ライン３２０で再度の切断をおこなうことができる。すなわち、切断ライン３１０を切断することで樹脂部２０の応力を緩和することができ、その際仮にガラス基板１６に割れが発生しても、切断ライン３２０で再度ガラス基板１６を含むウエハレンズ５２，５４およびスペーサ基板５６を切断するから、ガラス基板１６の割れによりレンズユニット４が不良品となるのを有効に防止することができる。
【００５２】
なお、ウエハレンズ５２，ウエハレンズ５４を別個に（積層せずに）切断してレンズブロック８，１０を製造し、その後にレンズブロック８とレンズブロック１０とを接合してもよい。
この場合、ウエハレンズ５２，５４の切断はウエハレンズ５２，５４ごとに上記Ｓ３の工程の処理と同様におこなえばよい。特にＳ３−１の工程では、ウエハレンズ５２（またはウエハレンズ５４）の樹脂部２０，２４（または樹脂部２８，３２）を両面から切断してもよい。
【００５３】
なお、上述の説明では、説明の便宜上、「切断ライン３１０，３２０，３３０」との表記及びそれを用いた説明がされているが、必ずしもそのようなマークや形状が予めウエハレンズ５２，５４上に示されている事を限定するものではない。すなわち、「切断ライン３１０，３２０，３３０」とは、当該部分で切断する事を示す旨の説明にのみ用いているものである。
【００５４】
ウエハレンズ積層体５０をウエハレンズ５２とスペーサ基板５６とで構成し、ウエハレンズ５２の樹脂部２４とスペーサ基板５６とを接合してもよい。
この場合も、ウエハレンズ積層体５０の切断は上記Ｓ３の工程の処理と同様におこなえばよい。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、ウエハレンズまたは積層型ウエハレンズを切断するのに用いられ、特にガラス基板上の樹脂部分の応力を緩和しながらも、ガラス基板の割れによる問題を解決するのに好適に用いられる。
【符号の説明】
【００５６】
２  撮像装置
４  レンズユニット
６  センサユニット
８，１０  レンズブロック
１２  スペーサ
１２ｂ  開口部
１４  カバーパッケージ
１６  ガラス基板
１８  絞り
１８ａ  開口部
２０  樹脂部
２０ａ  凸レンズ部
２０ｂ  非レンズ部
２２  絞り
２４  樹脂部
２４ａ  凹レンズ部
２４ｂ  非レンズ部
２６  ガラス基板
２８  樹脂部
２８ａ  凹レンズ部
２８ｂ  非レンズ部
３０  絞り
３２  樹脂部
３２ａ  凸レンズ部
３２ｂ  非レンズ部
３４  光軸
３６  センサ
４０  カバーガラス４０
４２  ＩＲカットフィルタ
５０  ウエハレンズ積層体
５２，５４  ウエハレンズ
５６  スペーサ基板
５６ａ  開口部
５８，６０  ＩＤ記録部
６１  ダイシングライン
６２，６４，６６，６８  領域
６４ａ，６６ａ  アライメントマーク  ７２，７４，７６，７８  領域
７２ａ，７２ｂ，７４ａ，７６ａ，７８ａ，７８ｂ  アライメントマーク
８２，８４，８６，８８  領域
８２ａ，８２ｂ，８４ａ，８６ａ，８８ａ，８８ｂ  アライメントマーク
９２，９４，９６，９８  領域
９４ａ，９６ａ  アライメントマーク
１００  凹状金型
１１０  第１の転写型
１１２  基板
１１４  樹脂型部
１１６  隙間
１２０  第２の転写型
１２２  基板
１２４  樹脂型部
１２６  凸部
２００  ブロック
２１０  凹部
２２０，２２２  凹部
２２４  厚み
２３０，３２３  凹部
２４０，２４２  凹部
２４４  厚み
３００，３０２  間隔
３０６，３０８  切断刃
３１０，３２０，３３０  切断ライン
【図１Ａ】
2011132690.tif 000003
【図１Ｂ】
2011132690.tif 000004
【図２】
2011132690.tif 000005
【図３】
2011132690.tif 000006
【図４】
2011132690.tif 000007
【図５】
2011132690.tif 000008
【図６】
2011132690.tif 000009
【図７】
2011132690.tif 000010
【図８Ａ】
2011132690.tif 000011
【図８Ｂ】
2011132690.tif 000012
【図８Ｃ】
2011132690.tif 000013
【図８Ｄ】
2011132690.tif 000014
【図９】
2011132690.tif 000015
【図１０】
2011132690.tif 000016
【図１１】
2011132690.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成24年10月15日(2012.10.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の表面にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合う２つのレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成され、
前記スペーサ基板は、隣り合う２つの開口部間の間隔として、前記第１の間隔に対応する第３の間隔と、前記第２の間隔に対応しかつ前記第３の間隔よりも広い第４の間隔とを有していることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項２】
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部の内、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成され、
前記スペーサ基板は、隣り合う開口部間の間隔として、前記第１の間隔に対応する第３の間隔と、前記第２の間隔に対応しかつ前記第３の間隔よりも広い第４の間隔とを有していることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項３】
請求項２に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第２の間隔を形成している樹脂部には凹部が形成され、当該凹部を形成している樹脂部の厚みは前記第１の間隔を形成している樹脂部の厚みよりも薄く形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項４】
請求項２または３に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記ウエハレンズの一方の面には物体側に凸レンズ部が複数形成され、他方の面には像側に凹レンズ部が複数形成されており、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の樹脂部には、前記凹レンズ部が形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか一項に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第１の間隔を形成している樹脂部には凹部が形成されており、当該第１の間隔を形成している樹脂部に形成された凹部には当該樹脂部とは異なる種類の樹脂が充填されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項６】
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成された第１のウエハレンズと、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、前記第１のウエハレンズと接合された第２のウエハレンズと、
前記第２のウエハレンズの前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記第２のウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部はそれぞれ、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成され、
前記スペーサ基板は、隣り合う開口部間の間隔として、前記第１の間隔に対応する第３の間隔と、前記第２の間隔に対応しかつ前記第３の間隔よりも広い第４の間隔とを有していることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項７】
請求項６に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第２の間隔を形成している樹脂部には凹部が形成され、当該凹部を形成している樹脂部の厚みは前記第１の間隔を形成している樹脂部の厚みよりも薄く形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項８】
請求項６または７に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記第１のウエハレンズの一方の面には物体側に第１の凸レンズ部が複数形成され、他方の面には像側に第１の凹レンズ部が複数形成されており、
前記第２のウエハレンズの一方の面には物体側に第２の凹レンズ部が複数形成され、他方の面には像側に第２の凸レンズ部が複数形成されており、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の樹脂部には、前記第２の凸レンズ部が形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか一項に記載の積層型ウエハレンズにおいて、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第１の間隔を形成している樹脂部には凹部が形成されており、当該第１の間隔を形成している樹脂部に形成された凹部には当該樹脂部とは異なる種類の樹脂が充填されていることを特徴とする積層型ウエハレンズ。
【請求項１０】
ガラス基板の表面にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、
前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔とを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されているウエハレンズの切断方法であって、
前記第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間の樹脂部および前記ガラス基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内の樹脂部およびガラス基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とするウエハレンズの切断方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載のウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程では、前記樹脂部を通して前記ガラス基板を切断することを特徴とするウエハレンズの切断方法。
【請求項１２】
請求項１０に記載のウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程では、前記樹脂部のみを切断するか、または前記樹脂部と前記ガラス基板の一部とを切断し、
前記第１工程後の前記第２工程または前記第３工程の処理を、前記ガラス基板を繋げた状態で実行することを特徴とするウエハレンズの切断方法。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれか一項に記載のウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程での樹脂部の切断幅より、前記第２工程又は前記第３工程での樹脂部の切断幅を狭くすることを特徴とするウエハレンズの切断方法。
【請求項１４】
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されている積層型ウエハレンズの切断方法であって、
前記ウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程と、
前記ウエハレンズの第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間で前記ウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内で前記ウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第２の間隔内の樹脂部には、第１の凹部が形成され、
前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第１の間隔内の樹脂部には、第２の凹部が形成されており、
前記ウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程の前に、前記第２の凹部に対し、前記ウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の樹脂部とは異なる種類の樹脂を充填する工程を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１６】
請求項１４または１５に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１の工程では、前記ウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断することを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１７】
請求項１４または１５に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程では、前記ウエハレンズの樹脂部のみを切断するか、または前記ウエハレンズの樹脂部とガラス基板の一部とを切断し、
前記第１工程後の前記第２工程または前記第３工程の処理を、前記ウエハレンズのガラス基板を繋げた状態で実行することを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１８】
請求項１３〜１７のいずれか一項に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１の工程での切断幅を、前記第２の工程又は第３の工程の切断幅より広くすることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項１９】
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成された第１のウエハレンズと、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、前記第１のウエハレンズと接合された第２のウエハレンズと、
前記第２のウエハレンズの前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記第２のウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面にそれぞれ形成された前記複数のレンズ部の内、隣り合うレンズ部間の樹脂部が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されていることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法であって、
前記第２のウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程と、
前記第１のウエハレンズの第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間で前記第１のウエハレンズ、前記第２のウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内で前記第１のウエハレンズ、前記第２のウエハレンズ及び前記スペーサ基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項２０】
請求項１９に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第２の間隔内の樹脂部には、第１の凹部が形成され、
前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の前記第１の間隔内の樹脂部には、第２の凹部が形成されており、
前記第２のウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程の前に、前記第２の凹部に対し、前記第２のウエハレンズの前記スペーサ基板と接合される側の樹脂部とは異なる種類の樹脂を充填する工程を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項２１】
請求項１９または２０に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程では、前記第１のウエハレンズ、前記第２のウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断することを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項２２】
請求項１９または２０に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程では、前記第１のウエハレンズの樹脂部のみを切断するか、または前記第１のウエハレンズの樹脂部とガラス基板の一部とを切断し、
前記第１工程後の前記第２工程または前記第３工程の処理を、前記第１のウエハレンズのガラス基板を繋げた状態で実行することを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【請求項２３】
請求項１９〜２２のいずれか一項に記載の積層型ウエハレンズの切断方法において、
前記第１工程での切断幅を、前記第２又は第３工程での切断幅より広くすることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は積層型ウエハレンズ、ウエハレンズの切断方法および積層型ウエハレンズの切断方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の技術によれば、切断ラインに沿う切断を２段階に分けて樹脂部分の応力を緩和しようとしているが、切断に伴うガラス基板の割れまでは想定していない。すなわち、樹脂部分に予想以上の過大な応力がかかっており、切断に伴い急激に応力が緩和されると、ガラス基板が割れる可能性がある。この場合、切断後のその光学素子は不良品となってしまい、製品として扱うことができない。
他方、特許文献２によれば、ガラス基板上に樹脂部分を形成しているが、このように部分的に樹脂部を形成する事は大変手間が係り、結果としてウエハレンズによる大量一括生産のメリットを十分に享受できない。またこれに開示されている技術は主に樹脂製の成形型を対象としているのであり、ガラス基板を切断すること自体が想定されていない。
したがって、本発明の主な目的は、ウエハレンズを簡易的に効率良く作製する共に、ガラス基板上の樹脂部分の応力を緩和しながらも、ガラス基板の割れによる問題を解決することができる積層型ウエハレンズ、ウエハレンズの切断方法および積層型ウエハレンズの切断方法を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するため本発明の第１の態様によれば、
ガラス基板の表面にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合う２つのレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成され、
前記スペーサ基板は、隣り合う２つの開口部間の間隔として、前記第１の間隔に対応する第３の間隔と、前記第２の間隔に対応しかつ前記第３の間隔よりも広い第４の間隔とを有していることを特徴とする積層型ウエハレンズが提供される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の第２の態様によれば、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部の内、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成され、
前記スペーサ基板は、隣り合う開口部間の間隔として、前記第１の間隔に対応する第３の間隔と、前記第２の間隔に対応しかつ前記第３の間隔よりも広い第４の間隔とを有していることを特徴とする積層型ウエハレンズが提供される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の第３の態様によれば、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成された第１のウエハレンズと、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成され、前記第１のウエハレンズと接合された第２のウエハレンズと、
前記第２のウエハレンズの前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記第２のウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記第１のウエハレンズおよび前記第２のウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部はそれぞれ、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成され、
前記スペーサ基板は、隣り合う開口部間の間隔として、前記第１の間隔に対応する第３の間隔と、前記第２の間隔に対応しかつ前記第３の間隔よりも広い第４の間隔とを有していることを特徴とする積層型ウエハレンズが提供される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の第５の態様によれば、
ガラス基板の表裏両面の各々にエネルギー硬化性樹脂で形成された樹脂部の一部に複数のレンズ部が形成されたウエハレンズと、
前記複数のレンズ部と対応する位置に開口部を有し、前記ウエハレンズの一方の面に接合されたスペーサ基板とを備え、
前記ウエハレンズの両面に形成された前記複数のレンズ部は、行及び列方向にマトリックス状に整列して形成されると共に、隣り合うレンズ部間の樹脂部による間隔が、第１の間隔のものと、当該第１の間隔よりも広い第２の間隔のものとを有する複数のレンズ部間間隔を以て形成されている積層型ウエハレンズの切断方法であって、
前記ウエハレンズと前記スペーサ基板とを接合する工程と、
前記ウエハレンズの第２の間隔内の樹脂部を切断する第１工程と、
前記第１工程で切断した切断ラインとこれに隣り合うレンズ部との間で前記ウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断する第２工程と、
前記第１工程後、前記第１の間隔内で前記ウエハレンズおよび前記スペーサ基板を切断する第３工程と、
を備えることを特徴とする積層型ウエハレンズの切断方法が提供される。
【国際調査報告】
2011132690.tif 000018
2011132690.tif 000019
2011132690.tif 000020
2011132690.tif 000021