(57)【要約】  蓋体（２０）が容器本体（１）の基板出し入れ開口（２）に取り付けられるのに伴って、載置片強制退避手段（２２）が、基板出し入れ開口（２）の近傍領域に設けられた基板載置片（４）を円盤状基板（Ｗ）と重なり合わない退避位置に強制的に移動させる。それによって、円盤状基板（Ｗ）が大径化されても、収納されている円盤状基板（Ｗ）が振動や衝撃等で基板載置片（４）に接触するおそれがなく、円盤状基板（Ｗ）をより安全に収納することができる。
2011132257.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の円盤状基板を並列に並べた状態で収納するための容器本体と、上記容器本体に上記円盤状基板を出し入れするために上記容器本体に形成された基板出し入れ開口と、上記基板出し入れ開口を塞ぐために上記基板出し入れ開口に着脱自在に外側から取り付けられる蓋体と、上記容器本体内の上記基板出し入れ開口から見て奥側の領域において上記各円盤状基板を位置決め保持する奥側支持部と、上記蓋体の内壁部に設けられて上記各円盤状基板を位置決め保持する蓋側リテーナと、上記蓋体が上記基板出し入れ開口に取り付けられていない状態のときに上記基板出し入れ開口の近傍領域において上記円盤状基板を載置するための基板載置片と、を備えた基板収納容器において、
上記基板載置片が、上記円盤状基板の面に対し垂直の方向から見て、上記円盤状基板と重なり合って上記円盤状基板を載置することができる載置可能位置と、上記円盤状基板と重なり合わない退避位置との間を可動に設けられ、
上記蓋体が上記基板出し入れ開口に取り付けられるのに伴って、上記基板載置片を上記退避位置に強制的に移動させる載置片強制退避手段と、
上記蓋体が上記基板出し入れ開口に取り付けられていない状態になると、上記基板載置片を上記載置可能位置に復帰させる載置片復帰手段
とが設けられていることを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
請求項１の基板収納容器において、上記載置片強制退避手段が上記蓋体に設けられている基板収納容器。
【請求項３】
請求項２の基板収納容器において、上記載置片強制退避手段が、上記蓋体の内面壁に形成された斜面であり、上記蓋体が上記基板出し入れ開口に取り付けられるのに伴って、上記斜面が、上記基板載置片に連設された部材に当接して上記基板載置片に連設された部材を移動させ、それによって上記基板載置片が上記退避位置に移動する基板収納容器。
【請求項４】
請求項２の基板収納容器において、上記載置片復帰手段が、上記基板載置片を上記載置可能位置に向かって付勢する戻しスプリングであり、上記蓋体が上記基板出し入れ開口に取り付けられると、上記載置片強制退避手段によって上記戻しスプリングが弾性変形させられ、上記蓋体が上記基板出し入れ開口から取り外されると、上記戻しスプリングが上記弾性変形前の状態に戻って、上記基板載置片を上記載置可能位置に復帰させる基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数の半導体ウエハや円形の石英ガラス基板等のような薄い円盤状基板を保管、輸送等する際に収納するための基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板収納容器には一般に、複数の半導体ウエハ等のような円盤状の基板を並列に並べた状態で収納するための容器本体が設けられている。その容器本体には、円盤状基板を出し入れするための基板出し入れ開口が形成されている。そして、基板出し入れ開口を塞ぐための蓋体が、基板出し入れ開口に着脱自在に外側から取り付けられるように設けられている。【０００３】
容器本体内で円盤状基板をがたつかない状態に保持するために、容器本体内の基板出し入れ開口から見て奥側の領域に奥側支持部が配置され、蓋体の内壁部に蓋側リテーナが設けられている。【０００４】
ただし、蓋側リテーナは、蓋体が容器本体の基板出し入れ開口に取り付けられた状態にならないと円盤状基板を保持する状態にならない。そこで、蓋体が取り付けられていない状態の時に基板出し入れ開口の近傍領域で円盤状基板を載置するための基板載置片が設けられている。円盤状基板は、蓋側リテーナに保持された状態になると、基板載置片からは浮いた状態にされる（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特表２００３−５２２０７８  図１０等
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、生産性の向上やコスト低減等を目的として、半導体ウエハ等の大径化が進んでいる。半導体ウエハの場合、その直径は現在は３００ｍｍが主流であるが、近い将来には４５０ｍｍになるであろうと予想されている。【０００７】
基板収納容器に振動や衝撃等が加わると、その内部に収納されている円盤状基板に撓みが発生する。そのような円盤状基板の撓み量は、円盤状基板が大径化されるのに伴って著しく大きくなる。円盤状基板の肉厚を直径に対応して厚くする訳にはいかないからである。【０００８】
そのため、基板収納容器内で基板載置片から浮いた状態に保持されている円盤状基板が、基板収納容器に振動や衝撃が加わって撓むと、基板載置片に接触（又は衝突）して、基板収納容器内で損傷、汚損する可能性がある。【０００９】
本発明の目的は、収納されている円盤状基板が振動や衝撃等により撓んでも基板載置片に接触するおそれがなく、大径化された円盤状基板であっても安全に収納することができる基板収納容器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するため、本発明の基板収納容器は、複数の円盤状基板を並列に並べた状態で収納するための容器本体と、容器本体に円盤状基板を出し入れするために容器本体に形成された基板出し入れ開口と、基板出し入れ開口を塞ぐために基板出し入れ開口に着脱自在に外側から取り付けられる蓋体と、容器本体内の基板出し入れ開口から見て奥側の領域において各円盤状基板を位置決め保持する奥側支持部と、蓋体の内壁部に設けられて各円盤状基板を位置決め保持する蓋側リテーナと、蓋体が基板出し入れ開口に取り付けられていない状態のときに基板出し入れ開口の近傍領域において円盤状基板を載置するための基板載置片と、を備えた基板収納容器において、基板載置片が、円盤状基板の面に対し垂直の方向から見て、円盤状基板と重なり合って円盤状基板を載置することができる載置可能位置と、円盤状基板と重なり合わない退避位置との間を可動に設けられ、蓋体が基板出し入れ開口に取り付けられるのに伴って、基板載置片を退避位置に強制的に移動させる載置片強制退避手段と、蓋体が基板出し入れ開口に取り付けられていない状態になると、基板載置片を載置可能位置に復帰させる載置片復帰手段とが設けられているものである。【００１１】
なお、載置片強制退避手段が蓋体に設けられていてもよく、載置片強制退避手段が、蓋体の内面壁に形成された斜面であり、蓋体が基板出し入れ開口に取り付けられるのに伴って、斜面が、基板載置片に連設された部材に当接して基板載置片に連設された部材を移動させ、それによって基板載置片が退避位置に移動するようにしてもよい。【００１２】
また、載置片復帰手段が、基板載置片を載置可能位置に向かって付勢する戻しスプリングであり、蓋体が基板出し入れ開口に取り付けられると、載置片強制退避手段によって戻しスプリングが弾性変形させられ、蓋体が基板出し入れ開口から取り外されると、戻しスプリングが弾性変形前の状態に戻って、基板載置片を載置可能位置に復帰させるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、蓋体が容器本体の基板出し入れ開口に取り付けられるのに伴って、載置片強制退避手段が基板載置片を円盤状基板と重なり合わない退避位置に強制的に移動させるので、円盤状基板が大径化されても、収納されている円盤状基板が振動や衝撃等で基板載置片に接触するおそれがなく、半導体ウエハや石英ガラス基板等のような円盤状基板をより安全に収納することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施例に係る基板収納容器において蓋体が外された状態の外観斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係る基板収納容器において蓋体が外された状態の平面断面図である。
【図３】本発明の第１の実施例に係る基板収納容器において蓋体を除いた状態の部分側面断面図である。
【図４】本発明の第１の実施例に係る基板収納容器において基板載置片が載置可能位置にあるときの部分斜視図である。
【図５】本発明の第１の実施例に係る基板収納容器において基板載置片が退避位置にあるときの部分斜視図である。
【図６】本発明の第１の実施例に係る基板収納容器において蓋体が取り付けられる直前の状態の平面断面図である。
【図７】本発明の第１の実施例に係る基板収納容器において蓋体が取り付けられる直前の状態の部分側面断面図である。
【図８】本発明の第１の実施例に係る基板収納容器において蓋体が取り付けられた状態の平面断面図である。
【図９】本発明の第１の実施例に係る基板収納容器において蓋体が取り付けられた状態の部分側面断面図である。
【図１０】本発明の第２の実施例に係る基板収納容器において蓋体が取り付けられる直前の状態の平面断面図である。
【図１１】本発明の第２の実施例に係る基板収納容器において蓋体が取り付けられた状態の平面断面図である。
【図１２】本発明の第２の実施例に係る基板収納容器における基板載置片の部分斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は、本発明の第１の実施例に係る基板収納容器の斜視図、図２はその平面断面図である。ただし、図１には円盤状基板Ｗが実線で図示され、図２には二点鎖線で図示されている。
【００１６】
１は、薄い円盤状に形成されている複数の円盤状基板Ｗを並列に並べた状態で収納するための容器本体である。容器本体１は、円盤状基板Ｗが出し入れされる際には、各円盤状基板Ｗが水平（又は斜め）の向きに収納される状態に配置される。なお、この実施例における円盤状基板Ｗは半導体ウエハであるが、円形の石英ガラス基板等であっても本発明が適用される。
【００１７】
そのような状態において、容器本体１の四側面の中の一側面には、円盤状基板Ｗを出し入れするための基板出し入れ開口２が形成されている。そして、その基板出し入れ開口２を塞ぐための蓋体２０が、基板出し入れ開口２に着脱自在に外側から取り付けられるように設けられている。
【００１８】
なお、基板出し入れ開口２と蓋体２０の外縁部との間をシールするための弾力性のあるシール部材や、蓋体２０をロックするためのロック機構等が設けられているが、それらの図示は省略されている。
【００１９】
容器本体１内の基板出し入れ開口２から見て奥側の領域には、各円盤状基板Ｗの外縁部を位置決め保持する公知の奥側支持部３が配置されている。奥側支持部３は、図２に示されるように、基板出し入れ開口２から見て中心線Ｘ（基板出し入れ開口２に対し垂直方向の容器本体１の中心線）の右側と左側とに間をあけて一対設けられている。奥側支持部３についてはさらに後述する。
【００２０】
また、蓋体２０の内壁部には、各円盤状基板Ｗの外縁部を基板出し入れ開口２側から奥側支持部３側に個々に弾力的に押し付けて位置決め保持するための公知の蓋側リテーナ２１が設けられている。
【００２１】
蓋側リテーナ２１は、蓋体２０が容器本体１の基板出し入れ開口２に取り付けられたときに各円盤状基板Ｗの外周部に当接するＶ溝状の部分が、弾性変形し易い支持部材で支持された構成を備えていて、中心線Ｘ位置の近傍に設けられている。
【００２２】
容器本体１内の基板出し入れ開口２の近傍領域であって中心線Ｘから離れた位置（即ち、容器本体１の左右側壁の近傍位置）には、基板出し入れ開口２に蓋体２０が取り付けられていない状態の時に円盤状基板Ｗの外縁部を載置するための基板載置片４が設けられている。
【００２３】
また、基板載置片４と奥側支持部３との間には、図２に示されるように、円盤状基板Ｗを手動等で容器本体１内に出し入れする際に円盤状基板Ｗの外縁部分を案内するための溝板５が、円盤状基板Ｗに対し緩く隙間をあけて沿う状態に形成されている。自動制御されるロボットハンド等で円盤状基板Ｗが出し入れされる場合には、溝板５は不要である。
【００２４】
図３は、そのような奥側支持部３、基板載置片４及び溝板５とそこに載置された円盤状基板Ｗの側面断面を部分的に略示したものである。奥側支持部３と基板載置片４は、溝板５より高い位置に円盤状基板Ｗを載置するための面を有している。
【００２５】
このように、容器本体１の基板出し入れ開口２に蓋体２０が取り付けられていない状態においては、各円盤状基板Ｗの外縁部が、奥側支持部３と基板載置片４とに載置された状態に保持される。
【００２６】
奥側支持部３の外周部分は、円盤状基板Ｗの中心から遠い側を底とするＶ字状の溝になっている。したがって、各円盤状基板Ｗは、基板出し入れ開口２側から奥側支持部３側に押し込まれると、外周の稜線部分が奥側支持部３のＶ字状溝部に押し付けられた状態になり、載置されていた奥側支持部３の下面から浮き上がった状態になる（図９参照）。
【００２７】
そのように形成された奥側支持部３と基板載置片４と溝板５とは、図４に外観が図示されるように、円盤状基板Ｗの収納枚数に合わせて縦に積み重ねられた状態に、プラスチック材により一体に一つながりで形成されている。なお、図４には容器本体１内の半部側に配置された奥側支持部３と基板載置片４と溝板５が図示されているが、それと対称形のもの（図示せず）が他の半部側にも配置されている。
【００２８】
基板載置片４と溝板５とをつなぐ部分の壁部には、図２等に示されるように、局部的に肉薄に括れた折れ曲がり容易部６が形成されている。ただし、折れ曲がり容易部６の構成は、例えば二つの部品を回動自在に連結する等、各種の態様をとり得るものである。
【００２９】
基板載置片４は、折れ曲がり容易部６を中心にして回動することにより、円盤状基板Ｗの面に対し垂直の方向から見て、円盤状基板Ｗと重なり合って円盤状基板Ｗを載置することができる載置可能位置（図２等参照）と、後述する図８に示されるように円盤状基板Ｗと重なり合わない（したがって、円盤状基板Ｗを載置できない）退避位置との間で可動である。
【００３０】
なお、図４には基板載置片４が載置可能位置にある状態が図示され、図５には、折れ曲がり容易部６を中心に矢印Ａ方向に回動することにより、基板載置片４が退避位置に移動した状態が図示されている。
【００３１】
基板載置片４を側方から円盤状基板Ｗ側に付勢する戻しスプリング７（載置片復帰手段）が、基板載置片４に一体につながる部材と容器本体１の側壁との間に挟設されている。この実施例では戻しスプリング７は独立した部品であり、ビス止めで取り付けられている。
【００３２】
そして、戻しスプリング７により押された基板載置片４が一定以上容器本体１の内方に移動しないようにするためのストッパピン８が、容器本体１の床面から突設されている。その結果、基板出し入れ開口２から容器本体１内に円盤状基板Ｗを出し入れする動作が、基板載置片４によって阻止されることがない。
【００３３】
図３を除く図１〜図５の各図に示される符号９は、折れ曲がり容易部６を中心として基板載置片４を動作させるための作用点となるように基板載置片４と一体に連設された作用片９であり、容器本体１の内部側から基板出し入れ開口２の位置に向かって板状に突出形成されている。
【００３４】
蓋体２０の内面壁には、蓋体２０が容器本体１の基板出し入れ開口２を塞ぐ状態に取り付けられた時に、作用片９に当接して移動させ、それによって基板載置片４を退避位置に強制的に移動させる斜面２２（載置片強制退避手段）が左右両側に各々形成されている。
【００３５】
図６は、蓋体２０が容器本体１の基板出し入れ開口２を塞ぐ状態に取り付けられる直前の状態を示す平面断面図であり、図７は、その状態の側面断面を部分的に略示したものである。この状態では、円盤状基板Ｗがまだ蓋体２０側から容器本体１内に押し付けられていないので、円盤状基板Ｗは、蓋体２０が取り除かれている時と同様に、奥側支持部３と基板載置片４とに外縁部付近が載置された状態になっている。
【００３６】
図８は、蓋体２０が容器本体１の基板出し入れ開口２に完全に取り付けられた状態を示す平面断面図であり、図９は、その状態の側面断面を部分的に略示したものである。この状態では、円盤状基板Ｗに蓋側リテーナ２１が弾力的に押し付けられている。
【００３７】
その結果、図９に示されるように、各円盤状基板Ｗの外周部が蓋側リテーナ２１と奥側支持部３の各Ｖ溝状部分の谷部に導かれて、容器本体１内に収納されている円盤状基板Ｗが、基板載置片４から浮き上がった状態でガタつかないように位置決め保持された状態になる。
【００３８】
それと同時に、図８に示されるように、作用片９が蓋体２０の斜面２２で押されて戻しスプリング７をその付勢力に抗して弾性変形させ、折れ曲がり容易部６を中心に基板載置片４を回動させて（矢印Ａ）、円盤状基板Ｗの面に対し垂直の方向から見て円盤状基板Ｗと重なり合わない退避位置に基板載置片４を強制的に移動させる。
【００３９】
したがって、円盤状基板Ｗが大径化されて振動や衝撃を受けた時の撓み量が大きくなっても、基板収納容器内に収納されている円盤状基板Ｗが基板載置片４に接触するおそれがなく、円盤状基板Ｗを安全に収納することができる。
【００４０】
そして、蓋体２０が容器本体１の基板出し入れ開口２から取り外された状態になると、載置片復帰手段である戻しスプリング７が弾性変形前の状態に戻って、基板載置片４が、図２に示されるように、ストッパピン８により位置決めされた載置可能位置に戻される。
なお、戻しスプリング７が基板載置片４や作用片９等と一体成形されていてもよく、作用片９が戻しスプリング７を兼ねるような構造にしてもよい。
【００４１】
図１０と図１１は、本発明の第２の実施例に係る基板収納容器を示している。図１０は、蓋体２０が容器本体１の基板出し入れ開口２に取り付けられる直前の状態、図１１は蓋体２０が基板出し入れ開口２に完全に取り付けられた状態である。
【００４２】
この実施例においては、前述の第１の実施例に設けられている溝板５が設けられておらず、基板載置片４は、図１２にその一部が図示されているように、コーン状のピンが櫛の歯状に並置された構成になっている。
【００４３】
基板載置片４は、容器本体１内に立設された支軸１１を中心に回動自在に設けられていて、戻しスプリング７はプラスチック材により基板載置片４と一体に形成されている。１２は、ストッパピン８が緩く嵌まり込む窪みである。
【００４４】
このように構成された実施例の基板収納容器も、第１の実施例と同様に、蓋体２０が容器本体１の基板出し入れ開口２に取り付けられるのに伴って、蓋体２０に形成された斜面２２が作用片９に当接して支軸１１を中心に回動させることで、基板載置片４が退避位置に強制的に移動させられる。そして、蓋体２０が基板出し入れ開口２から取り外された状態になると、戻しスプリング７によって基板載置片４が載置可能位置に戻される。
【符号の説明】
【００４５】
１  容器本体
２  基板出し入れ開口
３  奥側支持部
４  基板載置片
６  折れ曲がり容易部
７  戻しスプリング（載置片復帰手段）
８  ストッパピン
９  作用片
１１  支軸
２０  蓋体
２１  蓋側リテーナ
２２  斜面（載置片強制退避手段）
Ｗ  円盤状基板
【図１】
2011132257.tif 000003
【図２】
2011132257.tif 000004
【図３】
2011132257.tif 000005
【図４】
2011132257.tif 000006
【図５】
2011132257.tif 000007
【図６】
2011132257.tif 000008
【図７】
2011132257.tif 000009
【図８】
2011132257.tif 000010
【図９】
2011132257.tif 000011
【図１０】
2011132257.tif 000012
【図１１】
2011132257.tif 000013
【図１２】
2011132257.tif 000014
【国際調査報告】
2011132257.tif 000015
2011132257.tif 000016
2011132257.tif 000017
2011132257.tif 000018