(57)【要約】  この真空ドライポンプは、気体が通過するポンプ室（１０Ａ〜１０Ｅ）と、前記ポンプ室（１０Ｅ）と隣接して設けられ、油が存在する油室（２０）と、前記ポンプ室（１０Ａ〜１０Ｅ）を貫通して前記油室（２０）の内部に突出する回転軸（３０）と、前記ポンプ室（１０Ａ〜１０Ｅ）内において前記回転軸（３０）の周囲に設けられ、前記回転軸（３０）の回転に連動して回転する回転体（４０）と、前記ポンプ室（１０Ｅ）と前記油室（２０）との境界部分において前記回転軸（３０）の周囲に設けられ、前記回転軸（３０）の回転に連動して回転し、その面上に局所的に配置されて厚み方向に貫通する複数の孔（５１）を有し、前記油室（２０）から前記ポンプ室（１０Ａ〜１０Ｅ）に油が漏れることを防止する円板状の油封止部材（５０）とを含む。
2011037178.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ドライポンプであって、
気体が通過するポンプ室と、
前記ポンプ室と隣接して設けられ、油が存在する油室と、
前記ポンプ室を貫通して前記油室の内部に突出する回転軸と、
前記ポンプ室内において前記回転軸の周囲に設けられ、前記回転軸の回転に連動して回転する回転体と、
前記ポンプ室と前記油室との境界部分において前記回転軸の周囲に設けられ、前記回転軸の回転に連動して回転し、その面上に局所的に配置されて厚み方向に貫通する複数の孔を有し、前記油室から前記ポンプ室に油が漏れることを防止する円板状の油封止部材と、
を含むことを特徴とする真空ドライポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の真空ドライポンプであって、
前記複数の孔は、前記回転軸を囲むように設けられている
ことを特徴とする真空ドライポンプ。
【請求項３】
請求項１に記載の真空ドライポンプであって、
前記複数の孔は、円形に形成され、前記油封止部材の厚み方向における断面においてクランク形状に形成されている
ことを特徴とする真空ドライポンプ。
【請求項４】
請求項１に記載の真空ドライポンプであって、
前記複数の孔は、円形に形成され、前記油封止部材の厚み方向に対して斜め方向に延在するように設けられている
ことを特徴とする真空ドライポンプ。
【請求項５】
請求項１に記載の真空ドライポンプであって、
前記複数の孔は、前記油封止部材の外周に近い位置に設けられ円形に形成された複数の外側孔と、前記油封止部材の中心に近い位置に設けられ円形に形成された複数の内側孔とを含み、
前記複数の外側孔の各々の大きさは前記複数の内側孔の各々の大きさよりも大きく、前記複数の外側孔及び前記複数の内側孔は同心円状に配列されている
ことを特徴とする真空ドライポンプ。
【請求項６】
請求項１に記載の真空ドライポンプであって、
前記複数の孔は、前記油封止部材の中心から外周に向う径方向外側において、孔の開口幅が徐々に大きくなるように形成されている
ことを特徴とする真空ドライポンプ。
【請求項７】
請求項１に記載の真空ドライポンプであって、
前記複数の孔の内部には、孔を塞ぐように焼結金属又は網が配置されている
ことを特徴とする真空ドライポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、油又は液体を真空室内に使用しない機械式の真空ドライポンプに関し、より詳細には、油室からポンプ室に油が漏れることを防止する能力に優れた真空ドライポンプに関する。
本願は、２００９年９月２５日に出願された特願２００９−２２０３２０号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、真空装置等においては、気体を排気するポンプ室を備えた真空ポンプが用いられ、真空ポンプとしてはドライポンプ（ＤＲＰ）或いはメカニカルブースターポンプ（ＭＢＰ）等が知られている。
このようなドライポンプ（ＤＲＰ）とメカニカルブースターポンプ（ＭＢＰ）においては、軸受け又は歯車の潤滑に使用されている油がポンプ室に入ることを避ける必要がある。これには次のような理由がある。
第一に、ドライポンプにおいて気体が排気されている真空容器に、油室から油が逆流することを防ぐため。
第二に、油に反応性ガスが溶けてドライポンプの母材の腐食の促進を防止するため、などである。【０００３】
油室からポンプ室へ油が入る現象は、真空ポンプ内の圧力が所定圧力に到達した時に、油の蒸気圧で拡散する油分子と、吸入圧力が変動してポンプ室と油室との圧力差により、気体の流れが生じて油分子あるいは油微粒子がポンプ室に入ることによって生じる。【０００４】
従来は、油室からポンプ室に油が流入することを防止するため、例えば、接触型オイルシール又はラビリンスシール等が使われていた。
油室及びポンプ室のコンダククンスを小さくすると、気体の移動量が小さくなり、油室からポンプ室に油が流入することを防止するため、このような構造は有効である。このため、従来の真空ドライポンプにおいては、接触型オイルシール又は接触型のリングシール（ラビリンスシール）が使用されてきた。
しかしながら、この構造は、接触型であるため、摩擦によって機械損が生じる虞がある。昨今、省エネが重要視されており、この機械損が発生することを防止する構造が求められていた。【０００５】
一方、回転軸に付いたリング状の軸封環体によって油が漏れることを防止する構造が従来から知られている。この構造は、軸封環体の形状又は隙間によって油が漏れることを防止しており（例えば、特許文献１参照）、基本的にラビリンスシール構造の一つである。
また、ラビリンスシールを構成する要素が複雑化された構造が知られている（例えば、特許文献２等参照）。ラビリンスシールを構成する要素を複雑化させる構造は、油の漏れを防止する構造として有効であると考えられるが、軸封環体と、この軸封環体を支持するシリンダ構造とが複雑になって、真空ドライポンプの製造コストが増加するという問題がある。特に、シリンダの一部に幅の狭い複数のリング状溝を削ることは容易ではない。
また、ポンプ作用を有する軸封環体によって、油が漏れることを防止する構造（例えば、特許文献３参照）も提案されているが、この場合も構造が複雑であるため、真空ドライポンプの製造コストを低減することが難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３３２９６３号公報
【特許文献２】特開２００８−５１１１６号公報
【特許文献３】特開２００２−２５７０７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記の従来の課題を解決するためになされたものであって、簡単な構造を有し、油が漏れることを防止することが可能な真空ドライポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様の真空ドライポンプは、気体が通過するポンプ室と、前記ポンプ室と隣接して設けられ、油が存在する油室と、前記ポンプ室を貫通して前記油室の内部に突出する回転軸と、前記ポンプ室内において前記回転軸の周囲に設けられ、前記回転軸の回転に連動して回転する回転体と、前記ポンプ室と前記油室との境界部分において前記回転軸の周囲に設けられ、前記回転軸の回転に連動して回転し、その面上に局所的に配置されて厚み方向に貫通する複数の孔を有し、前記油室から前記ポンプ室に油が漏れることを防止する円板状の油封止部材とを含む。【０００９】
本発明の一態様の真空ドライポンプにおいては、前記複数の孔は、前記回転軸を囲むように設けられていることが好ましい。
本発明の一態様の真空ドライポンプにおいては、前記複数の孔は、円形に形成され、前記油封止部材の厚み方向における断面においてクランク形状に形成されていることが好ましい。
本発明の一態様の真空ドライポンプにおいては、前記複数の孔は、円形に形成され、前記油封止部材の厚み方向に対して斜め方向に延在するように設けられていることが好ましい。
本発明の一態様の真空ドライポンプにおいては、前記複数の孔は、前記油封止部材の外周に近い位置に設けられ円形に形成された複数の外側孔と、前記油封止部材の中心に近い位置に設けられ円形に形成された複数の内側孔とを含み、前記複数の外側孔の各々の大きさは前記複数の内側孔の各々の大きさよりも大きく、前記複数の外側孔及び前記複数の内側孔は同心円状に配列されていることが好ましい。
本発明の一態様の真空ドライポンプにおいては、前記複数の孔は、前記油封止部材の中心から外周に向う径方向外側において、孔の開口幅が徐々に大きくなるように形成されていることが好ましい。
本発明の一態様の真空ドライポンプにおいては、前記複数の孔の内部には、孔を塞ぐように焼結金属又は網が配置されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の真空ドライポンプよれば、回転軸の回転に連動して回転する円板状の油封止部材が設けられ、油封止部材の面上に局所的に配置されて厚み方向に貫通する複数の孔が形成され、油封止部材によって油室からポンプ室に油が漏れることが防止されている。このような構造を有する油封止部材は、気体が通過できる構造を有する。この気体の流れにより、油の微粒子又は油蒸気は、回転中の油封止部材内を通過するときに、油封止部材に吸着する。油封止部材に吸着した油は、油封止部材の回転による遠心力で油封止部材の周りに向けて吹き飛ばされる。
これにより、本発明によれば、簡単な構造を有し、油が漏れることを防止することが可能な真空ドライポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１Ａ】本発明の第１実施形態に係る真空ドライポンプの構成を模式的に示す縦断面図である。
【図１Ｂ】本発明の第１実施形態に係る真空ドライポンプの構成を模式的に示す縦断面図である。
【図１Ｃ】本発明の第１実施形態に係る真空ドライポンプの構成を模式的に示す横断面図である。
【図２Ａ】本発明の第１実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す平面図である。
【図２Ｂ】本発明の第１実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す断面図である。
【図３Ａ】本発明の第２実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す平面図である。
【図３Ｂ】本発明の第２実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す断面図である。
【図４Ａ】本発明の第３実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す平面図である。
【図４Ｂ】本発明の第３実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す断面図である。
【図５Ａ】本発明の第４実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す平面図である。
【図５Ｂ】本発明の第４実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す断面図である。
【図６Ａ】本発明の第５実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す平面図である。
【図６Ｂ】本発明の第５実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す断面図である。
【図７Ａ】本発明の第６実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す平面図である。
【図７Ｂ】本発明の第６実施形態に係る真空ドライポンプにおいて、油封止部材を模式的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る真空ドライポンプの最良の形態について、図面に基づき説明する。
また、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【００１３】
（第１実施形態）
図１は、本実施形態の第１実施形態に係る真空ドライポンプを模式的に示す図であって、図１Ａ及び図１Ｂは縦断面図であり、図１Ｃは横断面図である。
真空ドライポンプ１は、ポンプ室１０Ａ〜１０Ｅと、油室２０と、回転軸３０，３０と、ロータ４０（回転体）と、油封止部材５０とを備える。
ポンプ室１０Ａ〜１０Ｅにおいては、真空ドライポンプ１に吸入されて真空ドライポンプ１から排出される気体が通過する。油室２０は、ポンプ室１０Ｅに隣接して設けられており、油室２０の中には油が存在している。回転軸３０，３０は、ポンプ室１０Ａ〜１０Ｅを貫通して、油室２０の内部に突出するように設けられている。ロータ４０は、ポンプ室１０Ａ〜１０Ｅ内において回転軸３０，３０の周囲に設けられ、回転軸３０，３０の回転に連動して回転する。油封止部材５０は、ポンプ室１０Ｅと油室２０との境界部分において回転軸３０，３０の周囲に設けられている。油封止部材５０は、円板状に形成されており、回転軸３０，３０の回転運動に連動して回転し、油室２０からポンプ室１０Ａ〜１０Ｅに油が漏れることを防止する。
このような構成を有する真空ドライポンプ１は、回転軸３０，３０の回転に基づいてロータ４０を回転させ、ロータ４０の回転動作によってポンプ室１０Ａ〜１０Ｅの内部に存在する気体を吸入口１６から吐出口１７に向けて移動させ、真空ドライポンプ１の外部に気体を排気する。
【００１４】
そして、本発明の第１実施形態の真空ドライポンプ１においては、円板状の油封止部材５０は、油封止部材５０の面上に局所的に配置され、油封止部材５０の厚み方向に貫通する複数の孔５１を有する。
本発明の第１実施形態の真空ドライポンプ１においては、油封止部材５０に上述したような複数の孔５１が設けられているので、油封止部材５０は、気体を通過させることができる構造を有する。
油封止部材５０によって発生する気体の流れにより、油の微粒子又は油蒸気は、回転中の油封止部材５０内を通過するときに、油封止部材５０に吸着する。
ここで、油封止部材５０に吸着した油においては、油封止部材５０の回転による遠心力が働く。この遠心力によって油封止部材５０に吸着した油は、油封止部材５０の周りに向けて（油封止部材５０の径方向外側に向けて）、吹き飛ばされる。
これにより本発明の第１実施形態の真空ドライポンプ１では、簡単な構造を有し、油が漏れることを防止することが可能となる。
【００１５】
真空ドライポンプ１のケーシング２内には、その長手方向に沿って、複数（本実施形態では、例えば、５段）のポンプ室１０Ａ〜１０Ｅが配管１５を通じて直列に接続されている。
ポンプ室１０Ａ〜１０Ｅのうち、最も上流に位置するポンプ室１０Ａには吸入口１６が設けられ、最も下流に位置するポンプ室１０Ｅには吐出口１７が設けられている。真空ドライポンプ１のポンプ作用によって、気体は、吸入口１６に供給され、ポンプ室１０Ａ〜１０Ｅ及び配管１５を通過し、吐出口１７から排出される。
【００１６】
真空ドライポンプ１のケーシング２内には、ポンプ室１０Ａ〜１０Ｅを貫通して、ポンプ室１０Ｅに隣接して設けられた油室２０の内部に突出する回転軸３０，３０が配設されている。
図１Ａに示すように、２つの回転軸３０，３０（第１回転軸、第２回転軸）は、軸受３１，３２に回転自在に支持されており、２つの回転軸３０，３０の一端に設けられたギア３３（タイミングギア）を介して互いに連結されている。また、２つの回転軸３０，３０のうち一方の回転軸は、カップリング３４を介してモータ３５に連結されている。
【００１７】
軸受３１，３２の間には、各ポンプ室１０Ａ〜１０Ｅ内に配置された複数のロータ４０が回転軸３０，３０の軸方向に沿って設けられている。複数のロータ４０は、ポンプ室１０Ａ〜１０Ｅの各々に配置されており、回転軸３０，３０の周囲に設けられている。複数のロータ４０は、回転軸３０，３０の回転に連動して回転可能である。ロータ４０は、気体を移送する気体移送体である。
【００１８】
油室２０は、ポンプ室１０Ｅと隣接して設けられ、真空ドライポンプ１の外部に油が漏れないように密封された油存在領域である。油室２０には、油２１（潤滑油）が貯留されており、回転軸３０，３０の回転機構を構成するギア３３が収容されている。油室２０内の油２１は、ギアの回転動作によってかき上げられ、ギア３３が潤滑状態に維持されている。
【００１９】
ポンプ室１０Ｅと油室２０との境界部分において、回転軸３０，３０の周囲に円板状の油封止部材５０が設けられている。この油封止部材５０は、回転軸３０，３０の回転に連動して回転し、前記油室２０からポンプ室１０Ａ〜１０Ｅに油が漏れることを防止する。
【００２０】
本発明の第１実施形態の真空ドライポンプ１において、油封止部材５０は、油封止部材５０の厚み方向に貫通する複数の孔５１を有する。この孔５１は、油封止部材５０の面上に局所的に配置されている。
一方、従来の真空ドライポンプにおいては、回転する油封止部材５０の外側に隙間（スリット）が設けられており、この隙間を気体が通過していた。
このため、スリットの数を多くしたり、スリットの大きさを小さく（細かく）した構造が採用されていたが、油封止部材が固定される部品を加工することが難しく、製造コストが増加していた。
【００２１】
本発明の第１実施形態では、油封止部材５０の円板部に貫通孔５１が設けられ、油封止部材５０は気体を通過できる構造を有する。
図２Ａ及び図２Ｂは、本発明の第１実施形態の油封止部材５０を示す図であり、図２Ａは平面図、図２Ｂは断面図である。
例えば、図２Ａ及び図２Ｂに示す油封止部材５０Ａ（５０）では、複数の孔５１Ａ（５１）は、円形に形成され、前記回転軸３０，３０を囲むように設けられている。また、油封止部材５０Ａ（５０）は、第１面６０と、第１面６０とは反対の第２面６１を有する。孔５１Ａは、第１面６０と第２面６１との間に形成され、即ち、油封止部材５０Ａを貫通するように形成されている。
【００２２】
油封止部材５０を通過する気体の流れに関し、油封止部材５０の周りに形成されている隙間のコンダクタンスより、油封止部材５０におけるコンダクタンス（複数の孔５１Ａによって規定される合計コンダクタンス）が大きく、円板に形成された複数の孔５１Ａを通過する気体の流量が増加している。
油の微粒子又は油蒸気は、回転中の油封止部材５０の孔５１を通過するときに孔５１の周囲に当たり吸着する。油封止部材５０に吸着した油（油膜、油滴）の上に更に油が吸着（付着）し、先に吸着した油の上に油が積み重なると、油封止部材５０に吸着している油（油膜、油滴）の量が増加する。更に、油封止部材５０の回転による遠心力が働き、この遠心力によって油封止部材５０に吸着した油は、油封止部材５０の周りに向けて（油封止部材５０の径方向外側に向けて）、吹き飛ばされる。
近年、高速回転が実現された真空ドライポンプが用いられている。本実施形態の真空ドライポンプ１においては、回転軸３０，３０は５０００回／分以上の速度で回転しており、この構成においては油粒子を捕らえる確率が高くなると考えられる。
【００２３】
油封止部材５０の周りに形成されている隙間のコンダクタンスを、油封止部材５０に形成された複数の孔５１Ａの合計コンダクタンスより小さくするためには、油封止部材５０の複数の孔５１Ａを気体が通過する合計面積を大きくする必要がある。また、油封止部材５０の周りに形成されている隙間の大きさを小さくする必要がある。油封止部材５０の温度がシリンダの温度より高くなる場合、熱膨張に起因して、常温時の隙間よりも高温時の隙間が小さくなる。このため、隙間が小さい構造（隙間構造）は限界がある。このため、ラビリンス構造と隙間構造とが併用された構造が必要になる。それでも、ラビリンスシールのみが用いられている従来の構造（設計）に比べて、本発明の第１実施形態の構造においては、簡単な構造によって油が漏れることを防止する効果が得られる。
【００２４】
また、軸封環体にポンプ作用を付けることによって抽漏れをことを防止する従来の構造（例えば、特許文献３参照）を２軸のドライ真空ポンプに適用した場合においては、第１軸（一方の軸）の回転方向は、第２軸（他方の軸）の回転方向とは逆である。このため、形状が異なる２つの軸封環体、即ち、互いに対称な形状を有する２つの軸封環体が必要である。
これに対し、本発明の第１実施形態の真空ドライポンプ１においては、軸回転方向に関係なく、同じ形状を有する油封止部材５０を用いることができる。ゆえに、部品の種類が減り、管理コストを下げることが可能となる。また、本発明の第１実施形態によれば、第１軸に取り付けられる部品を誤って第２軸に取り付けてしまうという取り付け作業上のミスを回避することができる。
【００２５】
さらに、例えば、真空ドライポンプの真空雰囲気に曝される軸受けの油室、ＭＢＰ等、油室内が真空になる場合、一方向に生じるポンプ作用によって、油室の圧力上昇速度が速いが圧力低下速度が遅いという使用条件下において、排気性能の低下が起こる。具体的に、例えば、ロードロック室を減圧したり、ロードロック室の圧力を真空よりも高い圧力（例えば、大気圧）に設定したりするような減圧・加圧工程を繰り返し行う場合に、排気性能の低下が起こる。
しかしながら、本発明の第１実施形態の構成によれば、気体の流れに方向性を持たず、コンダクタンスの大きさの割に油を効率良く捕らえることが可能となる。
【００２６】
上述した実施形態においては、油封止部材５０に複数の円形の孔５１が形成され、前記回転軸３０，３０を囲むように孔５１が設けられた構造を説明したが、本発明はこの実施形態に限定されず、種々な形状を有する孔５１を用いてもよい。
【００２７】
以下、本発明の第２実施形態〜第７実施形態について説明する。第２実施形態〜第７実施形態において、第１実施形態と同一部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。
【００２８】
（第２実施形態）
図３Ａ及び図３Ｂは、本発明の第２実施形態の油封止部材５０を示す図であり、図３Ａは平面図、図３Ｂは断面図である。
まず、図３Ａ及び図３Ｂに示す構造では、孔５１Ｂ（５１）は、円形に形成され、油封止部材５０Ｂ（５０）の厚み方向における断面において、孔５１Ｂ（５１）は、クランク形状に形成されている。具体的に、孔５１Ｂは、油封止部材５０Ｂの第１面６０に形成された所定の深さを有する第１孔６２と、油封止部材５０Ｂの第２面６１に形成された所定の深さを有する第２孔６３とが接続することによって形成されている。また、第２孔６３の中心は、油封止部材５０Ｂの径方向外側において第１孔６２の中心からずれている。
油封止部材５０Ｂの断面においてクランク形状を有するように孔５１を形成することによって、遠心力によるポンプ作用の効果が期待できる。ただし、遠心力によるポンプ作用は、あくまでも油分子が油封止部材５０に衝突する確率（補足確率）を上げるために利用される。
【００２９】
（第３実施形態）
図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の第３実施形態の油封止部材５０を示す図であり、図４Ａは平面図、図４Ｂは断面図である。
また、図４Ａ及び図４Ｂに示す構造では、孔５１Ｃ（５１）は、円形に形成され、油封止部材５０Ｃ（５０）の厚み方向における断面において、厚み方向に対して斜め方向に延在するように設けられている。また、具体的に、第２面６１に形成された第２開口６５の位置は、油封止部材５０Ｃの径方向外側において第１面６０に形成された第１開口６４の位置からずれている。
孔５１を厚み方向に対して斜め方向に形成することで、遠心力によるポンプ作用の効果が期待できる。ただし、遠心力によるポンプ作用は、あくまでも油分子が油封止部材５０に衝突する確率（補足確率）を上げるために利用される。
【００３０】
（第４実施形態）
図５Ａ及び図５Ｂは、本発明の第４実施形態の油封止部材５０を示す図であり、図５Ａは平面図、図５Ｂは断面図である。
また、図５Ａ及び図５Ｂに示す構造では、孔５１Ｄ（５１）は、円形に形成された複数の内側孔１５１Ｄ（５１）及び外側孔２５１Ｄ（５１）を有する。具体的に、外側孔２５１Ｄ（５１）は、油封止部材５０Ｄ（５０）の外周に近い位置に設けられている。内側孔１５１Ｄ（５１）は、油封止部材５０Ｂの径方向内側において、中心に近い位置に設けられている。また、外側孔２５１Ｄ（５１）の直径（大きさ）は、内側孔１５１Ｄ（５１）の直径（大きさ）よりも大きい。
また、複数の外側孔２５１Ｄ（５１）の中心が円周上に位置している円、及び複数の内側孔１５１Ｄ（５１）の中心が円周上に位置している円は、同心円状に配置される。即ち、複数の外側孔２５１Ｄ（５１）及び複数の内側孔１５１Ｄ（５１）は、同心円状に配列されている。
このように、大きい開口径を有する孔５１が周速の速い外周に近い位置に設けられている構造は、コンダクタンスが大きくしたいときなどに効果的である。
【００３１】
なお、第４実施形態においては、２つの直径を有する孔群、即ち、複数の内側孔１５１Ｄからなる第１群と、複数の外側孔２５１Ｄからなる第２群が油封止部材５０に配列されている構造について説明したが、本発明はこの構造に限定されない。
３つ以上の直径を有する孔群、即ち、上述した第１群及び第２群に加えて、第３の孔群が油封止部材に配列されている構造が採用されてもよい。この場合、内側孔１５１Ｄの直径よりも大きく外側孔２５１Ｄの直径よりも小さい直径を有する複数の孔によって第３の孔群が構成されており、第３の孔群は、第１群（内側孔１５１Ｄ）と第２群（外側孔２５１Ｄ）との間に設けられている。即ち、中心から外周に向う径方向外側において、孔の直径が徐々に増加している構造が採用される。このような構造においても、第１群，第２群，及び第３群は、同心円状に配列されている。
【００３２】
（第５実施形態）
図６Ａ及び図６Ｂは、本発明の第５実施形態の油封止部材５０を示す図であり、図６Ａは平面図、図６Ｂは断面図である。
また、図６Ａ及び図６Ｂに示す構造では、孔５１Ｅ（５１）は、油封止部材５０Ｅ（５０）の径方向外側において、孔５１Ｅの開口幅が増加している。孔５１Ｅの形状は、円形でなくてもよい。
このように、油封止部材５０Ｅ（５０）の径方向外側において開口幅が増加している孔５１Ｅを設けることにより、周速の速い外周に近い位置における開口面積が増加している構造が実現されている。この構造は、コンダクタンスを大きくしたいときなどに効果的である。
【００３３】
（第６実施形態）
図７Ａ及び図７Ｂは、本発明の第６実施形態の油封止部材５０を示す図であり、図７Ａは平面図、図７Ｂは断面図である。
また、図７Ａ及び図７Ｂに示す構造では、孔５１Ｆ（５１）の内部に、孔５１Ｆを塞ぐように焼結金属又は網５２が配置されている。
孔５１の内部に、焼結金属又は網５２を配置することで、油粒子を補足する作用を高めることができる。
【００３４】
図１に示した構造を有する実験用真空ポンプを用い、従来の油封止部材が取り付けられている場合と、本発明の油封止部材が取り付けられている場合とを比較する実験を行った。この実験においては、実験用真空ポンプとは異なる減圧ポンプを準備し、減圧ポンプを用いて実験用真空ポンプ内を減圧し、油室に気体を供給し、ポンプ室に溜まった油の量を測定した。
孔が形成されていない従来の油封止部材を用いた真空ポンプにおいては、ポンプ室に溜まった油の量は２．１２ｇであった。一方、孔が形成されている本発明の油封止部材を用いた真空ポンプにおいては、ポンプ室に溜まった油の量は０．３２ｇであった。
この結果から、本発明の真空ポンプを用いることにより、ポンプ室に油が漏れる量が従来の漏れ量の１５％に低減されたことが確認された。
【００３５】
以上、本発明の真空ドライポンプについて説明してきたが、本発明の技術範囲は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、油又は液体が真空室内に使用されていない機械式の真空ドライポンプに広く適用可能である。
【符号の説明】
【００３７】
１  真空ドライポンプ、１０Ａ〜１０Ｅ  ポンプ室、２０  油室、２１  油、３０  回転軸、４０  ロータ（回転体）、５０Ａ〜５０Ｆ（５０）  油封止部材、５１Ａ〜５１Ｆ（５１）  孔、５２  焼結金属又は網。  
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【国際調査報告】
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