(57)【要約】  純度を低下させることなく、人力に頼らず機械的に原料シリコンを破砕することができる原料シリコン破砕装置を提供する。この原料シリコン破砕装置１０は、一対のベッド１２を備えており、ベッド１２の互いに対向する破砕面１４で、加熱急冷処理済みの高純度の原料シリコンＧを挟んで加圧破砕するものであり、一対のベッド１２を、それぞれ、天面が開口する有底枡状のケース１６と、その一部が開口３０から突出するようにしてケース１６の内側に配設された、非加熱処理の複数の高純度シリコン材料１８と、ケース１６の内側に設けられ、高純度シリコン材料１８をケース１６に固定する純水製の氷２２とで構成し、ベッド１２の破砕面１４を高純度シリコン材料１８の突出端３２の表面と、突出端３２の間で露出した氷２２の表面とで構成している。
2011021243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一対のベッドを備えており、前記ベッドの互いに対向する破砕面で、加熱急冷処理済みの高純度の原料シリコンを挟んで加圧破砕する原料シリコン破砕装置であって、
前記一対のベッドは、それぞれ、前記破砕面側に開口した有底枡状のケースと、その一部が開口から突出するようにして前記ケースの内側に配設された、加熱急冷処理がなされていない複数の高純度シリコン材料と、前記ケースの内側に設けられ、前記高純度シリコン材料を前記ケースに固定する純水製の氷とを備えており、
前記ベッドの前記破砕面は、前記高純度シリコン材料の突出端の表面と、前記突出端の間で露出した前記氷の表面とで構成されていることを特徴とする原料シリコン破砕装置。
【請求項２】
前記一対のベッドにおける複数の前記高純度シリコン材料は、前記一対のベッドが原料シリコンを挟んだとき、一方の前記ベッドの前記開口から突出した前記複数の高純度シリコン材料の突出端位置の間に、他方の前記ベッドの前記開口から突出した前記複数の高純度シリコン材料の突出端がそれぞれ位置するように配設されていることを特徴とする請求項１に記載の原料シリコン破砕装置。
【請求項３】
前記高純度シリコン材料と前記ケースの底面との間には、連続気泡の発泡ウレタンが更に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の原料シリコン破砕装置。
【請求項４】
前記ベッドには、原料シリコンを加圧破砕する際に、一対の前記破砕面間の空間を囲うスカートが設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の原料シリコン破砕装置。
【請求項５】
前記一対のベッドは、一対の前記破砕面が縦向きで、かつ、前記破砕面同士の間隔が上方から下方にいくほど狭くなるように配設されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の原料シリコン破砕装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体材料として用いられるシリコンウエーハの原料となる原料シリコンを破砕する原料シリコン破砕装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体材料として用いられるシリコンウエーハは、略円柱状に形成された単結晶シリコンをその直径方向に所定の厚さで切断して製造される。この単結晶シリコンは、溶解した原料シリコンに種結晶となる単結晶シリコン片を浸漬し、然る後、ゆっくりと回転させながら引き上げて結晶成長させること（いわゆる、チョクラルスキ（ＣＺ）法）により製造される。なお、原料シリコンには、他の単結晶シリコンから所定枚数のシリコンウエーハを切断した残部のシリコン、あるいはジーメンス法やモノシラン法によって製造された多結晶シリコンが用いられる。【０００３】
原料シリコンの溶融は、原料シリコンを石英製のルツボに充填し、これを加熱することによって行われるが、原料シリコンの溶融を効率よく行うためには、原料シリコンをルツボに充填しやすい大きさまで破砕しなければならない。【０００４】
原料シリコンの破砕は、従来、タングステン製のハンマー等を用いて人力で行われていたが、非常に硬い原料シリコンを人力で破砕するのは重労働であったことから、タングステンカーバイド製の歯を有するジョークラッシャーを用いた機械による破砕や、特許文献１に記載されているように、原料シリコンを高温に加熱し、然る後、急冷することによって原料シリコンにクラックを生じさせるシリコン加熱急冷装置を用いて、人力による破砕に必要な労力を少しでも軽減することが考えられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第０９／０１９７４９号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、いずれの原料シリコンの破砕手段を選択したとしても、破砕時にタングステン（ハンマー）やタングステンカーバイド（ジョークラッシャーの歯）等が原料シリコンの表面に付着して、原料シリコンの純度を低下させるという問題があった。また、ハンマーやジョークラッシャーを用いた場合、原料シリコンのパウダー（粒度が１ｍｍ以下のもの）発生率が１０〜２０％（質量ベース）と高く、いわゆる「微粉化ロス」が大きいという問題もあった。【０００７】
これに対し、手頃な大きさの原料シリコン塊をハンマー代わりにして破砕すべき原料シリコンに叩きつける方法（共割り方法）であれば、破砕時における原料シリコンの純度低下を最小化できるものの、この方法はハンマーを用いて破砕する方法と同等若しくはそれ以上の労力を要することから、作業者が腱鞘炎になるおそれがあり、さらに、ハンマー代わりに当該シリコン材料を掴んで共割り作業を行っている最中に誤って手を傷つけてしまうおそれがあった。【０００８】
また、ジョークラッシャーの歯を高純度のシリコン材料で形成することにより、原料シリコンの純度低下を回避することも考えられるが、当該歯をシリコン以外の金属で形成された固定部材で固定する必要があり、当該固定部材から金属汚染が発生してしまうことから、シリコン材料の純度低下を完全に回避することは出来ず、金属汚染部分を化学エッチングで除去する必要があった。【０００９】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みて開発されたものである。それゆえに本発明の主たる課題は、原料シリコンの純度を低下させることなく、かつ、微粉化ロスを低く抑えつつ、機械的に原料シリコンを破砕することができる原料シリコン破砕装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
以下、主に図１および５を用いて上記課題を解決する手段について説明する。なお、図面では、同一構造のものについて同一の参照番号を付し、この参照番号にアルファベット小文字を添える（図１ではａおよびｂ、図５ではｃおよびｄ）ことによって同一構造の各個別体を識別するようにしている。また、この［課題を解決するための手段］では、第１実施例１０Ａ（図１）および第２実施例１０Ｂ（図５）に共通する内容の場合は、第１実施例１０Ａの番号（すなわち、アルファベット小文字のａあるいはｂを添えた番号）を代表として記載することとするが、このことは当然、第２実施例その他の実施態様を除外する意図ではない。【００１１】
請求項１に記載した発明は、「互いに対向する一対のベッド１２ａ、１２ｂを備えており、前記ベッド１２ａ、１２ｂの互いに対向する破砕面１４ａ、１４ｂで、加熱急冷処理済みの高純度の原料シリコンＧを挟んで加圧破砕する原料シリコン破砕装置１０Ａであって、
前記一対のベッド１２ａ、１２ｂは、それぞれ、前記破砕面１４ａ、１４ｂ側に開口した有底枡状のケース１６ａ、１６ｂと、その一部が開口３０a、３０ｂから突出するようにして前記ケース１６ａ、１６ｂの内側に配設された、非加熱急冷処理の複数の高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂと、前記ケース１６ａ、１６ｂの内側に設けられ、前記高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂを前記ケース１６ａ、１６ｂに固定する純水製の氷２２ａ、２２ｂとを備えており、
前記ベッド１２ａ、１２ｂの前記破砕面１４ａ、１４ｂは、前記高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂの突出端３２ａ、３２ｂの表面と、前記突出端３２ａ、３２ｂの間で露出した前記氷２２の表面とで構成されていることを特徴とする原料シリコン破砕装置１０Ａ」である。【００１２】
本発明に係る原料シリコン破砕装置１０は、一対のベッド１２ａ、１２ｂにおける互いに対向する破砕面１４ａ、１４ｂで原料シリコンＧを挟んで加圧破砕するものであって、有底枡状のケース１６ａ、１６ｂの開口３０a、３０ｂから突出する複数の高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂが純水製の氷２２で固定されているので、前記破砕面１４ａ、１４ｂは、ケース１６ａ、１６ｂの開口３０a、３０ｂから突出した高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂの突出端３２ａ、３２ｂの表面および純水製の氷２２ａ、２２ｂの表面で構成されることになる。【００１３】
これにより、シリコン以外の金属で高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂの保持部材を形成する必要がなく、原料シリコンＧと直接接触するものを高純度シリコン材料あるいは純水のみに限定することができるので、原料シリコンＧの破砕工程において、当該原料シリコンＧの純度が低下するおそれを極小化することができる。【００１４】
また、原料シリコンＧを衝撃力によってではなく加圧力によって破砕するので、微粉化ロスを例えば２〜３％（質量ベース）に極小化することができる。【００１５】
なお、高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂは、原料シリコン破砕装置１０Ａのように円柱状のものを破砕面と平行に複数引き揃えてもよく、あるいは、円柱状のものを縦置きにして、その天面が破砕面となるように配設してもよいし、原料シリコン破砕装置１０Ｂのように不定形な塊状のものをランダムに配設してもよい。【００１６】
請求項２に記載した発明は、請求項１に記載した原料シリコン破砕装置１０Ａに関し、「前記一対のベッド１２ａ、１２ｂにおける複数の前記高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂは、前記一対のベッド１２ａ、１２ｂが原料シリコンＧを挟んだとき、一方の前記ベッド１２ａ、１２ｂの前記開口３０ａから突出した前記複数の高純度シリコン材料１８ａの突出端３２ａ位置の間に、他方の前記ベッド１２ｂの前記開口３０ｂから突出した前記複数の高純度シリコン材料１８ｂの突出端３２ｂがそれぞれ位置するように配設されている」ことを特徴とする。【００１７】
この原料シリコン破砕装置１０Ａによれば、一対のベッド１２ａ、１２ｂで原料シリコンＧを挟んだとき、一方のベッド１２ａに設けられた複数の高純度シリコン材料１８ａの突出端３２ａの間に他方のベッド１２ｂに設けられた高純度シリコン材料１８ｂの突出端３２ｂがそれぞれ位置し、突出端３２ａ、３２ｂ同士が対向しないようになっている。これにより、一対のベッド１２ａ、１２ｂで加熱急冷処理された破砕対象の原料シリコンＧを挟んで加圧する際の加圧力を、図４（ａ）に示す「突出端同士が対向する」場合のような単なる「圧縮力」ではなく、より破砕し易い「モーメント力」として付与することができ（図４（ｂ―１）に示すような「突出端同士が対向しない」場合、図４（ｂ−２）に概念的に示すように、上側突出端から与えられる下向きの加圧力は、下側突出端を中心とするモーメント力となる。）、原料シリコンＧの破砕がより容易になる。この結果、原料シリコン破砕装置１０Ａを構成する各部材の強度や、原料シリコンＧの破砕に必要な動力（例えば、油圧装置やモータによる加圧力）を小さくすることができるので、装置の小型化や、ランニングコストおよびイニシャルコストの低減が可能となる。【００１８】
請求項３に記載した発明は、請求項１または２に記載した原料シリコン破砕装置１０Ａに関し、「前記高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂと前記ケース１６ａ、１６ｂの底面３４ａ、３４ｂとの間には、連続気泡の発泡樹脂マット２０ａ、２０ｂが更に設けられている」ことを特徴とする。【００１９】
高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂの形状は、上述のように円柱状でも、あるいは不定形な塊状でもよいが、基準面（本実施例では、ケース１６ａ、１６ｂの底面３４ａ、３４ｂ）から高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂの突出端３２ａ、３２ｂまでの距離（以下、「突き出し長さＸ」という。）は、ひとつのベッド１２ａ、１２ｂに取り付けられた各高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂ間において一定であることが好ましい。【００２０】
なぜならば、仮に、突き出し長さＸが一定でない場合、一対のベッド１２ａ、１２ｂで原料シリコンＧを挟んだとき、当該原料シリコンＧは、両ベッド１２ａ、１２ｂのそれぞれにおいて突き出し長さＸが最も長い高純度シリコン材料１８同士で挟まれることとなり、突き出し長さＸが短い高純度シリコン材料１８は原料シリコンＧから離間した状態となる場合がある。この場合、突き出し長さＸが短い高純度シリコン材料１８では原料シリコンＧを加圧破砕できなくなることから、当該短い高純度シリコン材料１８の位置を中心として、不所望に大きな原料シリコンＧの塊が残ってしまうおそれがあるからである。【００２１】
この点、請求項３に係る原料シリコン破砕装置１０Ａによれば、複数の高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂが例え不定形な塊状であっても、高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂとケース１６ａ、１６ｂの底面３４ａ、３４ｂとの間に設けられた連続気泡の発泡樹脂マット２０ａ、２０ｂによって各高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂ同士の寸法差を吸収させた状態で純水を凍らせることにより、突き出し長さＸを均一にすることができる。【００２２】
また、「連続気泡」の発泡樹脂マット２０ａ、２０ｂを用いることにより、純水を凍結させて高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂをケース１６ａ、１６ｂに固定する際、連続気泡によって形成された発泡樹脂マット２０ａ、２０ｂの上面側と下面側とを蛇行して連通する連通路に入り込んだ純水製の氷２２ａ、２２ｂを介して高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂがケース１６ａ、１６ｂの内壁面に氷着固定される。この結果、「連続気泡」のものであれば、発泡樹脂マット２０ａ、２０ｂが介在することによる上記利点を享受しつつ、高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂをケース１６ａ、１６ｂに対して確実に氷着固定できる。【００２３】
請求項４に記載した発明は、請求項１ないし３のいずれかに記載の原料シリコン破砕装置１０Ａに関し、「前記ベッド１２ａ、１２ｂには、原料シリコンＧを加圧破砕する際に、一対の前記破砕面１４ａ、１４ｂ間の空間を囲うスカート２５ａ、２５ｂが設けられている」ことを特徴とする。【００２４】
この発明によれば、原料シリコンＧを加圧破砕したとき、破砕された原料シリコンＧが飛び散って原料シリコン破砕装置１０Ａからこぼれ出てしまうのを防止することができる。【００２５】
請求項５に記載した発明は（図５）、請求項１ないし４のいずれかに記載の原料シリコン破砕装置１０Ｂに関し、「前記一対のベッド１２ｃ、１２ｄは、一対の前記破砕面１４ｃ、１４ｄが縦向きで、かつ、前記破砕面１４ｃ、１４ｄ同士の間隔が上方から下方にいくほど狭くなるように配設されている」ことを特徴とする。【００２６】
この原料シリコン破砕装置１０Ｂによれば、一対のベッド１２ｃ、１２ｄの間に原料シリコンＧをセットして原料シリコンＧを加圧破砕すると、粒径が小さくなる程に原料シリコンＧは下方へ移動し、最下端における破砕面１４ｃ、１４ｄ同士の間隔ｄよりも粒径が小さくなった原料シリコンＧのみが系外へ流出することになる。【００２７】
したがって、最下端における破砕面１４ｃ、１４ｄ同士の間隔ｄを破砕後の原料シリコンＧの予定粒径に設定しておくことにより、当該予定粒径以下の破砕済み原料シリコンＧを得ることができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、加熱急冷処理済みの原料シリコンと直接接触するものを非加熱急冷処理の高純度シリコン材料および純水のみに限定することができるので、原料シリコンの破砕工程において、当該原料シリコンの純度が低下するおそれを極小化するとともに、微粉化ロスを低下させつつ、原料シリコンの破砕に要する労力を人力で破砕する場合に比べて大幅に低減することができた。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１実施例の原料シリコン破砕装置を示す断面図である。
【図２】第１実施例の原料シリコン破砕装置を示す斜視図である。
【図３】原料シリコン破砕装置のベッドの製作手順を示す図である。
【図４】加圧力が作用する位置と原料シリコンの破砕の容易さとの関係を示す図である。
【図５】第２実施例の原料シリコン破砕装置を示す断面図である。
【図６】第３実施例の原料シリコン破砕システムを示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明が適用された原料シリコン破砕装置１０について、図面を用いて説明する。最初に、原料シリコンＧを加圧するための高純度シリコン材料１８の形状が円柱状の場合を第１実施例として説明し、然る後、高純度シリコン材料１８の形状が不定形な塊状で、かつ、破砕面１４が縦向きの場合を第２実施例として説明する。なお、第１実施例と第２実施例との間では、主として高純度シリコン材料１８の形状、および破砕面１４の向きが相違するだけであるから、第２実施例について、第１実施例との共通部分については、第１実施例の説明を援用してその説明を省略し、相違部分を中心に説明する。
【００３１】
さらに、第３実施例として、第１実施例および第２実施例の原料シリコン破砕装置１０を直列に組み合わせることにより、原料シリコンＧを２段破砕する原料シリコン破砕システム１００について説明する。
【００３２】
なお、図面では、同一構造のものについて同一の参照番号を付し、この参照番号にアルファベット小文字を添える（図１ではａおよびｂ、図５ではｃおよびｄ）ことによって同一構造の各個別体を識別するようにしているが、以下の説明において、両者に差異がない場合には、上位概念としてアルファベット小文字の添え字を削除して説明することがある。
【００３３】
（第１実施例）
第１実施例に係る原料シリコン破砕装置１０Ａは、加熱急冷処理が施された、ロッド状（あるいはＣＺ法、ＦＺ法、キャスティング法で製造した残材リサイクル用材料等）の原料シリコンＧの破砕に適したものであり、図１（ａ）に示すように、上下一対のベッド１２ａ、１２ｂを備えており、一対のベッド１２ａ、１２ｂの互いに対向する破砕面１４ａ、１４ｂで高純度の原料シリコンＧを加圧破砕するものである。なお、図２は、一対のベッド１２ａ、１２ｂの内、下側のベッド１２ａを示す斜視図である。以下、図１（ａ）および図２を参照しつつ説明する。
【００３４】
ベッド１２ａ、１２ｂは、それぞれ、大略、ケース１６と、非加熱急冷処理の高純度シリコン材料１８と、発泡樹脂マット２０と、氷２２と、必要に応じて設けられるベース２４およびスカート２５と、同じく必要に応じて設けられる網７０とを備えている。
【００３５】
以下、下側のベッド１２ａについて説明するが、その内容は基本的に上側のベッド１２ｂについても同様であることから、ベッド１２ｂについての説明は、ベッド１２ａの説明を援用する。
【００３６】
ケース１６ａは、破砕面１４ａ側に開口した角形有底枡状のステンレス製容器であり、その底部には後述するようにケース１６ａ内に満たされた純水を凍結させて氷２２ａの溶解を防止するための冷媒Ｌが通流する冷媒配管２６ａが埋設されている。また、後述するスカート２５ａを当該内側壁に沿って配設したとき、スカート２５ａが対向する破砕面１４ｂに向かって自然に広がっていくように（すなわち、角錐あるいは円錐状に）するため、ケース１６ａの内側壁はテーパー状に形成されている。なお、冷媒Ｌを使用しない場合には、一定時間使用した後、フリーザーに戻し再度使用可能になるまで冷凍される。
【００３７】
高純度シリコン材料１８ａは、図１（ａ）に示すように、ジーメンス法で製造された、非加熱急冷処理の中実円柱状の多結晶シリコン（もちろん、他の方法で製造されたものでもよいが、ジーメンス法を用いることが高純度シリコン材料１８ａの硬さの点で好適である。）を所定長さに切断加工した後、エッチング処理を施して金属汚染を除去した高純度のシリコンであり、原料シリコンＧと同等の純度（例えば、イレブンナイン）となっている。
【００３８】
本実施例の場合、複数（下側のベッド１２ａには４本、上側のベッド１２ｂには３本）の非加熱急冷処理の円柱状の高純度シリコン材料１８ａがケース１６ａの内側にて破砕面１４ａと平行に引き揃えられ、その側周面２８ａの一部がケース１６ａの開口３０ａから外方に突出するようにして配設されている（以下、この突出した部分を「突出端３２」という。）。さらに、下側のベッド１２ａにおける高純度シリコン材料１８ａは、各突出端３２ａ位置の間に、上側のベッド１２ｂの突出端３２ｂがそれぞれ位置するように（要するに、「突出端３２ａ、３２ｂ同士が対向しないように」）設定されている。
【００３９】
なお、高純度シリコン材料１８ａは、図１（ｂ）あるいは（ｃ）に示すように不定形な塊状であってもよく、このような不定形塊状の高純度シリコン材料１８ａ’には、ジーメンス法で作成された多結晶シリコン棒を機械または金属ハンマー等で破砕した後、エッチング処理を施して金属汚染が除去されたものが使用される。また、図１（ｂ）では、このような不定形塊状の高純度シリコン材料１８ａ’の先端部が氷２２ａの表面から牙状に突出するように配設されており、図１（ｃ）では、不定形塊状の高純度シリコン材料１８ａ’の先端部が平面状に形成されているとともに、各高純度シリコン材料１８ａ’の各先端平面がほぼ同一平面に位置するように（つまり、後述するように、各高純度シリコン材料１８ａ’の突き出し長さＸが均一となるように）調整されている。
【００４０】
発泡樹脂マット２０ａは（図１（ａ））、必要に応じて設けられる、高純度シリコン材料１８ａとケース１６ａの底面３４ａとの間に設けられた連続気泡の発泡樹脂からなる厚手の敷物であり、後述するように、複数の高純度シリコン材料１８ａが例え不定形な塊状であっても、高純度シリコン材料１８ａとケース１６ａの底面３４ａとの間に設けられた連続気泡の発泡樹脂マット２０ａによって各高純度シリコン材料１８ａ同士の寸法差を吸収させた状態で純水を凍らせることにより、基準面（本実施例では、ケース１６ａの底面３４ａ）から高純度シリコン材料１８ａの突出端３２ａまでの突き出し長さＸを均一にするために用いられる。なお、発泡樹脂マット２０ａは、発泡ウレタン（ウレタンフォーム）、ポリオレフィン発泡体、フェノール樹脂発泡体、あるいはスポンジゴム等で形成されている。
【００４１】
また、発泡樹脂マット２０ａに連続気泡のものを用いる理由は、純水を凍結させて高純度シリコン材料１８ａをケース１６ａに固定する際、発泡樹脂マット２０ａの上面側と下面側との間で連続気泡によって形成され、複雑に入り組むとともに蛇行して捩れ合った連通路（図示せず）に入り込んだ氷２２ａを介して高純度シリコン材料１８ａがケース１６ａの内壁面に氷着され、この結果、発泡樹脂マット２０ａが介在しているにもかかわらず、高純度シリコン材料１８ａをケース１６ａに対して確実に氷着固定できるからである。
【００４２】
ここで、ケース１６ａに対する高純度シリコン材料１８ａの氷着固定を更に確実にする場合には、（１）ケース１６ａの底部側周に凹部３５ａを設け、発泡樹脂マット２０ａの底部側周に、当該凹部３５ａに入り込んだ凸部３６ａを設けることにより、当該凸部３６ａがケース１６ａの凹部３５ａに係合させるようにすること。あるいは（もちろん、同時に適用してもよい）、（２）ケース１６ａ内に網７０ａあるいは桟（図示せず）を取り付けるのが好適である（特に、破砕面１４ｂが下向きとなる上側のケース１６ｂの場合、ケース１６ｂの内表面と氷２２ｂとの間の氷着力が原料シリコンＧを押圧する際の反力によって生じる熱を受けて少しでも弱まると、高純度シリコン材料１８ｂが落下する危険性があることから、通常は、ケース１６ｂ内には上記網７０ｂ等を取り付けることになる。）。
【００４３】
なお、高純度シリコン材料１８ａを適当な位置で保持することのできる保持具（図示せず）を用いるような場合、発泡樹脂マット２０は不要となる。
【００４４】
網７０ａは、ケース１６ａの底面３４ａから少し離間し、かつ、発泡ウレタン等の液状発泡樹脂を充填・発泡させることで形成された発泡樹脂マット２０ａに埋設されるような位置において、その周端がケース１６ａの内壁面に接着や溶接等の手段によって強固に固定されている（図示しない桟についても同様）。この網７０ａは、ケース１６ａと発泡樹脂マット２０ａとを強く固定する補強材として作用することから、網７０ａを取り付けることにより、ケース１６ａの内表面に接する氷２２ａが原料シリコンＧを押圧する際の反力によって生じる熱で溶けて氷着力が弱まり、高純度シリコン材料１８ａと、発泡樹脂マット２０ａと、それらの間に介在する氷２２ａとがまとまってケース１６ａから外れてしまうのを防止することができる。
【００４５】
なお、不定形塊状の高純度シリコン材料１８ａ’を用いる場合（図１（ｃ）参照）には、氷２２ａや発泡樹脂マット２０ａの容積に対する高純度シリコン材料１８ａ’の容積が小さくなってベッド１２ａ全体の熱容量が減少し、ベッド１２ａ全体が暖まり易くなる結果、氷２２ａが溶け易くなるおそれがある。これに対応するため、高純度シリコン材料１８ａ’とケース１６ａの底面３４ａとの間において、網７０ａに替えて、あるいは網７０ａとともに、熱容量増加用部材１５０（本実施例では、ステンレス製の板材を用いているが、水や発泡樹脂マット２０ａよりも熱容量の大きな材料であれば他の材質を用いることができる。）をその周端がケース１６ａの内壁面に接着や溶接等の手段によって強固に固定してもよい。このような熱容量増加用部材１５０を取り付けることにより、不定形塊状の高純度シリコン材料１８ａ’を場合に氷２２ａが溶け易くなるのを回避することができる（なお、図１（ｃ）では、熱容量増加用部材１５０を網７０ａに替えて下側のケース１６ａのみに取り付けている状態を描いているが、もちろん上側のケース１６ｂに取り付けてもよく、網７０ａと共に取り付けてもよい。）。
【００４６】
氷２２ａは、純水（あるいは超純水）を凍結させて得られたものであり、上述したように高純度シリコン材料１８ａをケース１６ａに固定する役割を有している。なお、氷２２ａを形成する「純水」には、純水あるいは超純水の他、破砕工程後に原料シリコンＧをエッチング処理してその純度を高めるような場合であれば、飲料水等の処理水を用いることができる。
【００４７】
ベース２４ａは、ケース１６ａを保持する保持部材であり、また、ベッド１２を上下動（あるいは、回動）させるための装置が必要に応じて取り付けられる部材である。例えば、下側のベース２４ａには、図６に示すように、ベース２４ａを回動させるためのアクチュエータ１１８、および回動の際の中心となる下側ベッド枢着部材１１６が取り付けられる。また、上側のベース２４ｂには、図１（ａ）に示すように、上側のベース２４ｂを上下方向に移動させるとともに、下側のベース２４ａとで挟み込んだ原料シリコンＧに対する加圧力を付与する油圧シリンダ３７（ボールスクリュー等他のものでもよい）が取り付けられている。
【００４８】
スカート２５ａは、原料シリコンＧを加圧破砕したとき、破砕された原料シリコンＧが飛び散って原料シリコン破砕装置１０Ａからこぼれ出てしまうのを防止するための囲いであり、厚さ約０．５ｍｍのテフロン（登録商標）シート製フィルム材が用いられている。もちろん、スカート２５ａの材質はこれに限られるものではなく、例えば、テフロン以外のシート材における原料シリコンＧに向かう面に純水製の氷を付着させたものを用いることができる。
【００４９】
また、スカート２５ａは、ケース１６ａの内側壁全周と発泡樹脂マット２０ａとの間に配設され、スカート２５ａの先端は、破砕面１４ａを越えて対向する破砕面１４ｂに近く、かつ、当該破砕面１４ｂに向けて拡径する略筒状に形成されている（したがって、破砕面１４ａは、略筒状のスカート２５ａの底に位置することになる。）。
【００５０】
なお、破砕面１４ａからスカート２５ａの先端までの長さは、ベッド１２ａと対向するベッド１２ｂとを組み合わせたとき、破砕面１４ａ、１４ｂ間の空間をスカート２５ａ、２６ｂで完全に覆うことができるように、原料シリコンＧの大きさに基づいて設定されている。また、スカート２５ａは、図２に示すように、破砕面１４ａに平行な仮想断面で見たとき、ケース１６ａの内側形状に合わせて四隅が丸い四角形状に形成すると、薄いフィルム材のスカート２５ａが自立した状態になり易く、好適である。
【００５１】
次に、このようなベッド１２ａを製造する手順について、図３を用いて説明する。ベース２４ａに保持されたケース１６ａを用意し、ケース１６ａの内側壁全周にスカート２５ａを接着やビス止め等の手段で取り付ける（図３（ａ））。なお、網７０ａを用いる場合には、スカート２５ａを網７０ａの位置よりも開口３０ａ側の内側壁全周に取り付けることとなる。
【００５２】
次に、ケース１６ａに発泡ウレタン等の液状発泡樹脂を充填・発泡させて発泡樹脂マット２０を敷設する（図３（ｂ））。
【００５３】
充填した発泡樹脂を発泡させ、網７０ａを取り込むようにして発泡樹脂マット２０ａが敷設された後、所定数（図では４本）の高純度シリコン材料１８ａをケース１６ａの開口３０ａから発泡樹脂マット２０ａに載置し、さらに高純度シリコン材料１８ａにテフロン製の（シリコン板や、石英板とテンレス板との合わせ板材（原料シリコンＧとの当たり面に石英板が位置する）でもよい。）平板３８を押し当てて、すべての高純度シリコン材料１８ａの突き出し長さＸが均一となるように当該平板３８を保持する（図３（ｃ））。
【００５４】
然る後、純水供給ホース４０等を用いて発泡樹脂マット２０ａが敷設されたケース１６ａ内に純水ＰＷを満たした後（図３（ｄ））、ケース１６ａの冷媒配管２６ａに冷媒Ｌを通流させることによってケース１６ａ内を冷却し、純水ＰＷを凍結させて氷２２ａを形成する。
【００５５】
なお、氷面の位置を高純度シリコン材料１８ａの断面中心よりも高く（つまり、氷面の位置から突出端３２ａまでの距離Ｙは、高純度シリコン材料１８ａの断面半径よりも小さい。）設定するのが好適である。さもないと、高純度シリコン材料１８ａが図中上方向に外れやすくなるからである。また、ケース１６ａに冷媒配管２６ａを設けず、例えば、−６５℃程度まで冷却可能なフリーザー内で氷２２ａを形成してもよい。フリーザーの内容量が大きければ、一度に複数個のベッド１２を製造することができる。
【００５６】
最後に、氷２２ａが形成された後、平板３８を取り外して、ベッド１２が完成する（図３(e)）。
【００５７】
なお、上述の例では、未発泡の樹脂を用いてケース１６ａ内で発泡樹脂マット２０ａを形成する場合について説明したが、予めマット状に成形した連続気泡発泡樹脂を、ケース１６ａ内において網７０ａの上面に重ねるようにして敷設してもよい。この場合、網７０ａは、発泡樹脂マット２０ａとケース１６ａの底面３４ａとの間に溜められた純水製の氷２２ａに取り込まれるので、網７０ａは、ケース１６ａと、（発泡樹脂マット２０ａを含む）氷２２ａとを強く固定する補強材として作用することになり、上記実施例と同様に、ケース１６ａから高純度シリコン材料１８ａ（および氷２２ａ、発泡樹脂マット２０ａ）が外れるのを防止できる。
【００５８】
第１実施例の原料シリコン破砕装置１０Ａを用いて原料シリコンＧを破砕する手順について説明する（図１（ａ））。最初に、上側のベッド１２ｂに取り付けられた油圧シリンダ３７を稼働させて上側のベッド１２ｂを上昇させ、対向する破砕面１４ａ、１４ｂ間の距離が十分に開いたことを確認した後、下側のベッド１２ａの破砕面１４ａ（より厳密には高純度シリコン部材１８ａの突出端３２ａ）上に、破砕を行うロッド状の原料シリコンＧを高純度シリコン材料１８ａの長手方向に直交する向きで載置する。
【００５９】
原料シリコンＧを載置した後、油圧シリンダ３７を用いて上側のベッド１２ｂをゆっくりと降下させていくと、先に上下のスカート２５ａ、２５ｂが、原料シリコンＧが配置された両破砕面１４ａ、１４ｂ間の空間を囲い、その後、上側のベッド１２ｂの破砕面１４ｂ（高純度シリコン材料１８ｂの突出端３２ｂ）が原料シリコンＧの表面に当接する。この状態から油圧シリンダ３７に負荷をかけて上側のベッド１２ｂで原料シリコンＧを下向きに加圧すると、上下の高純度シリコン材料１８の突出端３２と原料シリコンＧとの当接位置を起点として原料シリコンＧに亀裂が生じ始め、さらに加圧していくと、ある時点で当該亀裂が一気に成長して原料シリコンＧが破砕される。
【００６０】
この段階で破砕を終了し、上側のベッド１２ｂを上昇させてもよいし、当該ベッド１２ｂをさらに降下させてもよい。ベッド１２ｂをさらに降下させると、高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂ同士の隙間に入り込んだ原料シリコンＧの塊が存在することから、今度は上述のような高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂの突出端３２ａ、３２ｂ同士だけでなく、突出端３２ａ、３２ｂと対向する氷２２ａ、２２ｂの表面、あるいは互いに対向する氷２２ａ、２２ｂの表面同士の間で、原料シリコンＧ塊の挟み込み−加圧破砕が行われることとなり、原料シリコンＧをさらに小粒径の塊になるまで破砕することができる。
【００６１】
本実施例の原料シリコン破砕装置１０Ａでは、一対のベッド１２ａ、１２ｂの互いに対向する破砕面１４ａ、１４ｂが高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂの突出端３２ａ、３２ｂの表面および純水製の氷２２ａ、２２ｂの表面で構成されており、また、高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂは、ケース１６ａ、１６ｂに対して純水製の氷２２ａ、２２ｂで氷着固定されており、原料シリコンＧと直接接触するものが高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂ、純水製の氷２２ａ、２２ｂ、あるいはテフロン製のスカート２５ａ、２５ｂのみに限定されていることから、原料シリコンＧの破砕工程において、当該原料シリコンＧの純度が低下するおそれを極小化することができる。
【００６２】
また、下側のベッド１２ａに設けられた複数の高純度シリコン材料１８ａの突出端３２ａの間に、上側のベッド１２ｂに設けられた高純度シリコン材料１８ｂの突出端３２ｂがそれぞれ位置しており、突出端３２ａ、３２ｂ同士が互いに対向しないようになっているので、一対のベッド１２ａ、１２ｂで破砕対象の原料シリコンＧを挟んで加圧する際の加圧力を、図４（ａ）に示す「突出端同士が対向する」場合のような単なる「圧縮力」ではなく、より破砕し易い「モーメント力」として付与することができ（図４（ｂ―１）に示すような「突出端同士が対向しない」場合、図４（ｂ−２）に概念的に示すように、上側突出端から与えられる下向きの加圧力は、下側突出端を中心とするモーメント力となる。）、原料シリコンＧの破砕がより容易になる。
【００６３】
さらに、複数の高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂが例え不定形な塊状であっても、高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂとケース１６ａ、１６ｂの底面３４ａ、３４ｂとの間に設けられた連続気泡の発泡樹脂マット２０ａ、２０ｂによって各高純度シリコン材料１８ａ、１８ｂ間の寸法差を吸収させて、突き出し長さＸを均一にすることができる。
【００６４】
（第２実施例）
第２実施例に係る原料シリコン破砕装置１０Ｂ（図５）は、加熱急冷処理が施された、ロッド状（あるいはブロック状、不定形状）の原料シリコンＧを一回（あるいは複数回）破砕した後の大塊状の原料シリコンＧの破砕に適した装置であり、第１実施例の原料シリコン破砕装置１０Ａと同様に一対のベッド１２ｃ、１２ｄを備えており、互いに対向する破砕面１４ｃ、１４ｄで原料シリコンＧを加圧破砕するものである。
【００６５】
本実施例では、第１実施例と異なり、高純度シリコン材料１８ｃ、１８ｄとして不定形な塊状のものがランダムに配設されている。なお、図５には、図１（ｂ）と同様に不定形塊状の高純度シリコン材料１８ｃ、１８ｄが氷２２ｃ、２２ｄの表面から牙状に突出するように配設されているが、これに代えて、図１（ｃ）と同様に不定形塊状の高純度シリコン材料１８ｃ、１８ｄの先端部を平面状に形成し、各高純度シリコン材料１８ｃ、１８ｄの各先端平面がほぼ同一平面に位置するように（つまり、各高純度シリコン材料１８ｃ、１８ｄの突き出し長さＸが均一となるように）してもよい。
【００６６】
本実施例における一対のベッド１２ｃ、１２ｄにおける一方（図中左側）のベッド１２ｃは、その破砕面１４ｃが垂直方向からやや斜め上向きで台座５０の上面に配設されている。具体的には、ベッド１２ｃのベース２４ｃの下端面がスライド機構５２を介して台座５０の上面に取り付けられており、このスライド機構５２は、ベッド１２ｃが台座５０に対して摺動自在な状態、あるいは固定された状態を選択できるようになっている。
【００６７】
他方（図中右側）のベッド１２ｄは、その破砕面１４ｄがほぼ垂直横向きで、ベッド１２ｃの破砕面１４ｃに対向して台座５０の上面に取り付けられている（したがって、破砕面１４ｃ、１４ｄ同士の間隔は、上方から下方にいくほど狭くなる。）。具体的には、ベッド１２ｄのベース２４ｄの下端部（台座５０側端部）が軸５４で台座５０に対して回動可能に枢着されている。また、ベッド１２ｄのベース２４ｄには、ベッド１２ｄを回動させるための回動機構５６が取り付けられている。
【００６８】
回動機構５６は、リンク機構５８と、油圧（あるいは空圧でもよい）で伸び縮みするアクチュエータ６０とで構成されている。リンク機構５８は、２本のリンク部材６２ａ、６２ｂを有しており、一方のリンク部材６２ａの一端は、ベッド１２ｄにおけるベース２４ｄの図中上部に回動可能に枢着されており、他方のリンク部材６２ｂの一端は、プラント建屋の鉄骨等に取り付けられたブラケット６４に回動可能に枢着されている。そして、一方のリンク部材６２ａの他端、他方のリンク部材６２ｂの他端、およびアクチュエータ６０の一端は、ピン６６によって枢着されており、アクチュエータ６０の他端は、台座５０の上面に取り付けられたブラケット６８に回動可能に枢着されている。これにより、アクチュエータ６０を油圧（あるいは空圧）で伸び縮みさせることで、リンク機構５８によってベッド１２ｄが台座５０に対して回動する。
【００６９】
本実施例の場合、原料シリコンＧは上方から供給され、破砕後の原料シリコンＧは下方から排出されることから、スカート２５ｃは、第１実施例のように分割されておらず、ケース１６ｃおよびケース１６ｄそれぞれの内側壁全周に取り付けられることによって一体型の袋状に形成されており、その上端には原料シリコンＧを供給するための原料シリコン供給孔２５ｄが設けられ、その下端には原料シリコンＧを排出するための原料シリコン排出孔２５ｅが設けられている（メンテナンス時において破砕面１４ｃ、１４ｄ等を点検するために開閉するチャック等（図示せず）も設けられている）。
【００７０】
第２実施例の原料シリコン破砕装置１０Ｂを用いて原料シリコンＧを破砕する手順について説明する。最初に、ベッド１２ｃの下面に取り付けられたスライド機構５２を用いて破砕面１４ｃと破砕面１４ｄとの間隔を調節する。上述のように、破砕面１４ｃは斜め上向きになっており、破砕面１４ｄはほぼ垂直横向きであることから、両破砕面１４ｃ、１４ｄの最下端における間隔ｄが最も短くなり、当該間隔ｄが原料シリコン破砕装置１０Ｂから系外へ排出される原料シリコンＧの最大粒径となる。
【００７１】
間隔ｄを適宜設定した後、スライド機構５２を固定状態にしてベッド１２ｃを台座５０に対して固定し、両破砕面１４ａ、１４ｂの上端から原料シリコンＧの大塊を投入する。
【００７２】
原料シリコンＧを投入した後、ベッド１２ｄに取り付けられた回動機構５６のアクチュエータ６０を作動させると、ベッド１２ｄが台座５０に対して回動することにより、ベッド１２ｄの破砕面１４ｄが対向する破砕面１４ｃに対して近接離間を繰り返し、両破砕面１４ｃ、１４ｄ間の原料シリコンＧが高純度シリコン材料１８の突出端３２同士の間、突出端３２と氷２２の表面との間、あるいは氷２２の表面同士の間で加圧破砕される。
【００７３】
原料シリコンＧの粒径は、両破砕面１４ｃ、１４ｄ間で何度も加圧破砕されることによって小さくなり、粒径が小さくなった原料シリコンＧは徐徐に下方に移動していく。最終的に、その粒径が両破砕面１４ｃ、１４ｄの最下端における間隔ｄよりも小さくなった段階で当該原料シリコンＧは原料シリコン破砕装置１０Ｂから系外へ排出される。
【００７４】
（第３実施例）
第３実施例に係る原料シリコン破砕システム１００（図６）は、第１実施例および第２実施例の原料シリコン破砕装置を直列に組み合わせることにより、ロッド状の原料シリコンＧを２段破砕して最終的に「野球用ボール」あるいは「ピーナッツ」程度の粒径にまで破砕するものである。
【００７５】
原料シリコン破砕システム１００は、上段台座５０ａおよび下段台座５０ｂが階段状に形成された台座５０に、大略、原料シリコン破砕装置１０Ａおよび１０Ｂ（上述したように、不定形塊状の高純度シリコン材料１８ｃ、１８ｄの先端部を平面状に形成したものであってもよい。）と、シュート１０２と、原料シリコン洗浄装置１０４とを設置して構成されている。
【００７６】
原料シリコン破砕装置１０Ａは、上段台座５０ａに据え付けられており、その構成は基本的に上述した通りであるが、原料シリコン破砕システム１００に適用するに当たり、更に、上側ベッド横行装置１０６と、下側ベッド回動装置１０８とが設けられている。
【００７７】
上側ベッド横行装置１０６は、原料シリコン破砕装置１０Ａにおける上側のベッド１２ｂを原料シリコンＧから離間させた状態で図中横方向に移動させる装置であり、水平に延びる横行レール１１０と、横行レール１１０上を走行する車輪１１２を有し、上側のベッド１２ｂが吊り下げられた横行ユニット１１４とを備えている。
【００７８】
下側ベッド回動装置１０８は、下側ベッド枢着部材１１６と、アクチュエータ１１８とで構成されている。
【００７９】
下側ベッド枢着部材１１６は、上段台座５０ａの端部に取り付けられたブラケット１２０と、原料シリコン破砕装置１０Ａにおける下側のベッド１２ａを、ブラケット１２０を介して上段台座５０ａに回動可能に枢着するピン１２２とで構成されている。
【００８０】
アクチュエータ１１８は、油圧（あるいは空圧）で伸び縮みするものであり、その一端がベッド１２ａのベース２４ａに枢着されており、他端がプラント建屋の鉄骨等に取り付けられたブラケット１２４に回動可能に枢着されている。
【００８１】
これにより、アクチュエータ１１８を収縮させているとき、下側のベッド１２ａの破砕面１４ａは水平となっており、アクチュエータ１１８を伸張させると、図６において破線で示すように、下側のベッド１２ａはピン１２２を中心軸として回動し、その破砕面１４ａは傾斜した状態となる。
【００８２】
原料シリコン破砕装置１０Ｂは、下段台座５０ｂに据え付けられており、その構成は基本的に上述した通りである。
【００８３】
シュート１０２は、原料シリコン破砕装置１０Ｂの上方に配設された漏斗状の構造物であり、原料シリコン破砕装置１０Ａで一次破砕され、下側のベッド１２ａが回動することによって傾斜状態となった破砕面１４ａから滑り落ちてきた大塊状の原料シリコンＧをこぼすことなく原料シリコン破砕装置１０Ｂへ導くように位置調整されている。なお、原料シリコンＧが不純物で汚染されるのを回避するため、シュート１０２の内面には、その表面にテフロンが貼り付けられた金属板が貼り付けられており、原料シリコンＧと接触する物質がテフロンのみに制限されている。
【００８４】
また、シュート１０２の内側下部には、テフロン製シートで形成された漏斗状のスカート１２６が取り付けられており、当該スカート１２６の下端部が原料シリコン破砕装置１０Ｂにおけるスカート２５ｃの原料シリコン供給孔２５ｄ内に嵌挿されている。
【００８５】
原料シリコン洗浄装置１０４は、加温純水槽１３０と、バスケット１３２とで構成されている。加温純水槽１３０は、原料シリコン破砕装置１０Ｂにおける両破砕面１４ｃ、１４ｄに挟まれた空間の真下に設けられ、原料シリコン破砕装置１０Ｂから排出された破砕済みの原料シリコンＧを受け入れるための開口を天面に有する塩化ビニルまたはＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）製の水槽であり、約６０℃に加温された純水（あるいは超純水）が常時貯留されている。また、図示しないが、貯留される純水は、加温純水槽１３０に連続あるいは間歇供給され、余剰の純水はオーバーフローにより排出されるようになっている。
【００８６】
バスケット１３２は、加温純水槽１３０に貯留された純水中に沈められ、加温純水槽１３０に落ちてきた原料シリコンＧを受ける箱状体であり、その側面および底面には、受け入れた粒状の原料シリコンＧが抜け出さない程度の大きさの孔１３４が多数設けられており、純水中で原料シリコンＧの入ったバスケット１３２の引き揚げ下げを繰り返すことにより、原料シリコンＧの表面に付着していた微粉末状シリコンが剥がれ、当該孔１３４を通ってバスケット１３２から流出し、加温純水槽１３０内に溜まるようになっている。なお、加温純水槽１３０内に溜まった微粉末状シリコンは定期的に取り除かれる。
【００８７】
本実施例の原料シリコン破砕システム１００を用いて原料シリコンＧを破砕するには、まず、第１実施例において説明したように、原料シリコン破砕装置１０Ａでロッド状の原料シリコンＧを大塊状になるまで一次破砕する。一次破砕が終了したら、上側ベッド横行装置１０６を用いて上側のベッド１２ｂを下側のベッド１２ａが回動したときに干渉しない位置まで逃がした後、下側ベッド回動装置１０８を用いて一次破砕された原料シリコンＧが載った下側のベッド１２ａを回動させ、原料シリコンＧを破砕面１４ａからシュート１０２に滑り落とす（下側のベッド１２ａのスカート２５ａにおける、原料シリコンＧを滑り落とす側（図６における２５ｆ）のみをケース１６ａに対して倒立自在に取り付けておくことにより、破砕した原料シリコンＧを滑り落とす際にスカート２５ａが邪魔にならない。）。
【００８８】
シュート１０２を通過した原料シリコンＧは、原料シリコン破砕装置１０Ｂにおける両破砕面１４ｃ、１４ｄ間の空間に導かれる（なお、スライド機構５２によるベッド１２ｃの位置決めは、原料シリコンＧが導入されるまでに完了しておく。）。
【００８９】
原料シリコンＧが原料シリコン破砕装置１０Ｂに導入された後、第２実施例において説明したように、原料シリコン破砕装置１０Ｂで原料シリコンＧを所定の粒径になるまで二次破砕する。全ての原料シリコンＧが所定の粒径よりも小さくなり、両破砕面１４ｃ、１４ｄ間の空間から流出したことをもって二次破砕が完了する。
【００９０】
原料シリコン破砕装置１０Ｂで二次破砕が開始されてしばらくすると、所定の粒径よりも小さくなった原料シリコンＧが原料シリコン破砕装置１０Ｂから排出され始め、排出された原料シリコンＧは、原料シリコン洗浄装置１０４の加温純水槽１３０内に落下し、加温純水槽１３０内に沈められたバスケット１３２に受け入れられる。原料シリコン破砕装置１０Ｂからの原料シリコンＧの排出が完了すると、原料シリコンＧが溜まったバスケット１３２を加温純水槽１３０から引き揚げ（このとき、微粉状の原料シリコンＧは、純水とともにバスケット１３２の孔１３４から抜け出ることになる。）、原料シリコンＧを乾燥機（図示せず）で乾燥させることによって原料シリコンＧの破砕が完了する。
【符号の説明】
【００９１】
１０…原料シリコン破砕装置
１２…ベッド
１４…破砕面
１６…ケース
１８…高純度シリコン材料
２０…発泡樹脂マット
２２…氷
２４…ベース
２５…スカート
２６…冷媒配管
２８…（高純度シリコン材料の）側周面
３０…（ケースの）開口
３２…突出端
３４…（ケースの）底面
３５…（ケースの底部側周における）凹部
３６…（発泡樹脂マットの底部側周における）凸部
３７…油圧シリンダ
３８…平板
４０…純水供給ホース
５０…台座
５２…スライド機構
５４…軸
５６…回動機構
５８…リンク機構
６０…アクチュエータ
６２…リンク部材
６４…ブラケット
６６…ピン
６８…ブラケット
７０…網
１００…原料シリコン破砕システム
１０２…シュート
１０４…原料シリコン洗浄装置
１０６…上側ベッド横行装置
１０８…下側ベッド回動装置
１１０…横行レール
１１２…車輪
１１４…横行ユニット
１１６…下側ベッド枢着部材
１１８…アクチュエータ
１２０…ブラケット
１２２…ピン
１２４…ブラケット
１２６…スカート
１３０…加温純水槽
１３２…バスケット
１３４…孔
【図１】
2011021243.tif 000003
【図２】
2011021243.tif 000004
【図３】
2011021243.tif 000005
【図４】
2011021243.tif 000006
【図５】
2011021243.tif 000007
【図６】
2011021243.tif 000008
【国際調査報告】
2011021243.tif 000009
2011021243.tif 000010
2011021243.tif 000011
2011021243.tif 000012