(57)【要約】  本発明のリニアモータは、支持機構への負担や力の脈動が小さく、脈動を調整することができるリニアモータを提供するものである。そして、可動子に配置された磁石を挟み込み保持するように配置された複数の磁極と、可動子の磁石を挟み込み保持する磁極を連続につなぐコアと、複数の磁極にまとめて巻きまわされた巻線と、磁石の磁極を交互に並べた磁石列、または、磁石の極性を交互に並べた磁石列と磁性材料で構成される可動子からなり、磁石を挟み込み保持するように配置された磁極と、磁石を保持する磁極を連続につなぐコアを有した磁極は可動子の長手方向に沿って複数個配置されており、複数個の磁極に共通の巻線を配置し、複数個配置された磁極の極性を同一極性とすることにより、磁極間の漏れ磁束を低減することで小型軽量化が可能である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石の極性が交互になるように配置した可動子を有し、
磁石の極性を交互に配列した可動子を挟み込むように配置した複数の磁極を有し、可動子を挟み込むように配置した複数の磁極に同一に巻かれた巻線を有し、
複数の磁極をつなぐコアを有し、
複数の磁極および磁極をつなぐコアから成る駆動ユニットを有することを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
磁石の極性が交互になるように配置した可動子を有し、
磁石の極性を交互に配列した可動子を挟み込むように配置した複数の磁極を有し、可動子を挟み込むように配置した複数の磁極に同一に巻かれた巻線を有し、
複数の磁極をつなぐコアを有し、
複数の磁極および磁極をつなぐコアから成る駆動ユニットを有し、
可動子に作用する可動子の進行方向以外の力を相殺したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
請求項１ないし請求項２記載のリニアモータであって、可動子の進行方向の磁石ピッチＰに対して磁極のピッチを略２ｎＰ（ｎ＝１，２，３…）になるように配置したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
請求項１から請求項３記載の何れかのリニアモータであって、磁極と磁極をつなぐコアからなる部材を分割したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項５】
請求項１から請求項４記載の何れかのリニアモータであって、磁極ないし磁極をつなぐコアないしそれらから構成される部材を可動子の進行方向に積層した部材で構成されることを特徴としたリニアモータ。
【請求項６】
請求項１から請求項５記載の何れかのリニアモータであって、可動子を挟み込むように配置した複数の磁極を可動子の進行方向にずらして配置したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項７】
請求項１から請求項６記載の何れかのリニアモータであって、磁極と磁石面が対向する平面を有し、可動子が磁極および磁極をつなぐコアからなる固定子を貫通したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項８】
請求項１から請求項７記載の何れかのリニアモータであって、平面を有する磁性体に上下面に磁石を配置した可動子を有することを特徴とするリニアモータ。
【請求項９】
請求項８に記載のリニアモータであって、可動子の進行方向に並んだ磁石の間に磁性体の凸部を設けたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載のリニアモータであって、可動子の磁性体に配置した上下面の磁石の位置が上面と下面で可動子の進行方向にずれたことを特徴とするリニアモータ。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０記載の何れかのリニアモータであって、２つ以上の可動子を有し、２つ以上の可動子を可動子の進行方向の軸に対して対称になるように配置したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項１２】
請求項１１に記載のリニアモータであって、２つ以上の可動子を連結したことを特徴とするリニアモータ。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２に記載のいずれかのリニアモータを用いた位置決め装置。
【請求項１４】
請求項１から請求項１２に記載のいずれかのリニアモータを複数軸に配置したことを特徴とする位置決め装置。
【請求項１５】
請求項１から請求項１２に記載のいずれかのリニアモータをＺ軸に配置したことを特徴とする位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータおよびそれを用いた位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のリニアモータは、回転機を切り開いた構造をしており磁石列からなる可動子と電機子との間に大きな吸引力が働く。そのため、可動子を支える部材に大きな負担がかかるとともに、電機子の端部で磁気回路の不連続性により力の脈動などが生じていた。【０００３】
力の脈動により振動や騒音が発生したり、支持部への負担が増加する。また、力の脈動によりリニアモータの位置決め精度が低下する問題もある。【０００４】
そこで、特許文献１に示すような、電機子の端部に補助磁極を設けたり、補助磁極を斜めに配置して脈動を低減する方法がとられている。この特許によると電機子の両端部に補助磁極を設け、補助磁極を斜めに配置することで脈動を相殺することで推力むらが改善できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−１２５３２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記の技術には次のような問題点があった。補助磁極を斜めに配置することで、力の脈動の振幅を低減できる。しかし、製作上の誤差や特性のばらつきなどによって生じた力の脈動などを調整しようとした場合、調整することが困難であった。また、複数の次数の脈動を含んでいた場合や、両側の補助磁極での脈動波形が異なっていた場合など脈動を調整して低減することが困難である。【０００７】
さらに、電機子と磁石の吸引力により電機子等の変形が発生する。駆動時に巻線に流す電流の作用により、電機子と磁石に働く力が大きくなるため脈動が大きくなり、駆動条件によって脈動が変動する問題点もあった。【０００８】
本発明の目的は上記問題を解決するために、支持機構への負担や力の脈動が小さく、脈動を調整することができるリニアモータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のリニアモータは、可動子に配置された磁石を挟み込み保持するように配置された複数の磁極と、可動子の磁石を挟み込み保持する磁極を連続につなぐコアと、複数の磁極にまとめて巻きまわされた巻線と、磁石の磁極を交互に並べた磁石列、または、磁石の極性を交互に並べた磁石列と磁性材料で構成される可動子からなり、磁石を挟み込み保持するように配置された磁極と、磁石を保持する磁極を連続につなぐコアを有した磁極は可動子の長手方向に沿って複数個配置されており、複数個の磁極に共通の巻線を配置している。【００１０】
複数個配置された磁極の極性を同一極性とすることにより、磁極間の漏れ磁束を低減することで小型軽量化が可能である。【００１１】
さらに、挟み込む磁極の位置をずらすことにより端部の影響を小さくし、力の脈動や支持機構への負担を低減できる。さらに、可動子の進行方向に対して可動子を二段または複数段の構成にし、力の脈動や支持機構への負担となる吸引力を相殺することが可能となる。【００１２】
また、本発明のリニアモータは、磁石または磁石と磁石固定部材から成る可動子と、可動子を挟み込むように配置した複数の磁極と、複数の磁極をつなぐコアと、複数の磁極に配置された巻線を有してもよい。【００１３】
また、本発明のリニアモータは、磁極と磁極をつなぐコアで構成された固定子を可動子が貫通する構造を有し、磁気回路に可動子の移動方向に貫通する空間を有し、磁極と磁極をつなぐコアで構成される磁気回路に開口部を有する。【００１４】
また、本発明のリニアモータは、磁極と磁極をつなぐコアと巻線から成る固定子が固定され、磁石と磁石固定部材から成る可動子が移動する。あるいは、前記可動子を固定し、固定子が移動する。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の効果は、可動子に働く吸引力やモーメントを相殺することにより可動子の支持機構への負担が低減される。また、可動子に対して上下のコアをずらすことにより脈動の調整が容易になる。本発明の効果により、複数の磁極が同一極性を有することで漏れ磁束の低減が可能で小型軽量なリニアモータが構成できる。さらに、脈動を容易に調整することが可能で、可動子の支持機構への負担を低減したリニアモータが提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例１によるリニアモータの模式的な代表図。
【図２】本発明の実施例１の変更案による駆動ユニットの模式図。
【図３】本発明の実施例２の駆動ユニットの構成図。
【図４】本発明の実施例２の駆動ユニットをＹ−Ｚ平面で切り落とした模式図。
【図５】本発明の実施例２の変更案１による駆動ユニットの模式図。
【図６】本発明の実施例２の変更案２による駆動ユニットの模式図。
【図７】磁極をつなぐコアの分割例を示す図。
【図８】積層した部材を用いた例を示す図。
【図９】積層および分割した例を示す図。
【図１０】可動子を連結した例を示す図。
【図１１】駆動ユニットの構成例の断面図で切り取った図。
【図１２】磁極または／および磁極をつなぐコアの変形例を示す図。
【図１３】積層枚数を変更した例を示す図。
【図１４】本発明の実施例３の模式図。
【図１５】本発明の実施例３の可動子を連結した例を示す図。
【図１６】３相のリニアモータの構成例を示す図。
【図１７】リニアモータの磁束の例を示す図。
【図１８】巻線の配置例を示す図。
【図１９】可動子の構成例１を示す図。
【図２０】可動子の構成例２を示す図。
【図２１】本発明のリニアモータを配置したステージの構成例を示す図。
【図２２】ステージの構成例２を示す図。
【図２３】ステージの構成例３を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を示す。図１は実施例１の模式的な図を示す。図１は３相で構成した本発明のリニアモータを示している。３つの駆動ユニット１０１で構成されたリニアモータの図中の一番手前の駆動ユニット１０１を、内部が分かるようにＹ−Ｚ平面で切り取った模式図を示す。【００１９】
本発明のリニアモータは磁極１と複数の磁極をつなぐコア２と複数の磁極に巻き回した巻線３から構成される固定子と、磁石４と磁石固定部材６からなる可動子８から構成される。磁極をつなぐコア２は上下に分割されている。【００２０】
分割した磁極をつなぐコアは上下同一部材で構成できるように上側の部材と下側の部材を同形状になる位置で分割しているが、分割する位置は上下の形状が同形状になる位置に限定されるわけではない。【００２１】
また、上下の磁極をつなぐコアは上下のつなぎあわせの部分に三角状の切り欠きを設けて位置合わせをしやすいように工夫されているがこの形に限定されるものではない。【００２２】
磁極をつなぐコアを上下に分割することで上下の磁極および磁極をつなぐコアを相対的にずらすことが可能になる。上下の磁極および磁極をつなぐコアをずらすことにより可動子８に発生する力の脈動を低減することが可能になる。また、このずれを調整することにより可動子に働く力の調整が可能になる。【００２３】
また、磁極１と磁極をつなぐコア２を貫通するように可動子８が挿入されている。磁石固定部材６と複数個の磁石４からなる可動子８を挟み込むように磁極１が上下それぞれ４極で構成されている。磁極１の数は４個に限定されるわけではない。【００２４】
磁極１および磁極をつなぐコア２は積層部材で構成されている。積層した部材で構成することにより、上下の磁極１および磁極をつなぐコア２をずらした場合に、ずらして飛び出た部分を取り外し、ずらした方向と逆側に設置することができるため、大きく形状が変わることなく調整が可能になるなどの効果がある。【００２５】
駆動ユニット１０１はＸ−Ｙ平面で見た場合、左右対称になっており、たとえば、磁石４の磁束が上側の磁極１を通って、磁極をつなぐコア２を介して下側の磁極１を通って磁石４へ戻る磁気回路を構成する。【００２６】
このように、可動子８を囲むように磁極をつなぐコア２を配置することで、磁気回路を短く構成でき、また駆動ユニット１０１の強度も向上させることができる。磁極をつなぐコアは左右対称でなくても構成可能である。【００２７】
図２は、図１で示したリニアモータの磁極１の形状を磁石４に向かって先細りにした例である。図２（ａ）は駆動ユニット１０１の正面図を示す。図２（ｂ）はＹ−Ｚ平面で切り取った駆動ユニット１０１の模式的な斜視図を示す。図２（ｃ）はＹ−Ｚ平面で切り取った模式的な側面図を示す。【００２８】
図２（ａ）示すように巻線３は磁石４に対向するように配置され、磁石４と磁石固定部材６から成る可動子は、磁極をつなぐコア２で囲まれている。図２（ｂ）は磁極１が磁石４に向かって先細りになった例を示す。【００２９】
図２（ｂ）では、磁極１は磁石４に向かって先細りの形状にしているがこの形状に限定されるわけではない。【００３０】
図２（ｃ）に示すように磁石４は、同一の磁化方向の磁石で磁石固定部材６を挟み込むように配置され、Ｚ方向に隣り合う方向には、逆向きに磁化された磁石が交互に配置されている。磁石４の矢印は磁石の磁化方向を示す。【００３１】
また、Ｚ方向に並んだ磁石のピッチに対して、磁極１のピッチは略２倍になるように並んでいる。図で示すように磁石のＺ方向のピッチＰに対して、磁極１にピッチは略２ｎＰ（ｎ＝１，２，３…）になるように配置されている。【００３２】
本実施例では、磁石固定部材６は磁性材料を用いて構成したが、非磁性材料でも構成可能である。また、磁石固定部材６を挟み込むように配置された磁石４において、Ｙ方向に並んだ磁石を一体で構成し、はしご状の磁石固定部材に磁石を埋め込んでも構成できる。【００３３】
また、図２（ｃ）において磁石４の位置に応じて巻線３に電流を流すことにより、可動子８にＺ方向の力が作用する。【００３４】
駆動ユニット１０１を複数個配置し、複数個の駆動ユニットを磁石に対して位相をずらし、その駆動ユニット毎に異なる交流電流を流して連続的に可動子を移動させることも可能である。【００３５】
このように、複数個の駆動ユニットで多相のリニアモータを構成することも可能である。図２は、可動子８を挟み込むように配置された上下の磁極１の中心が略一致しており、Ｚ軸方向にずれていない状態である。【００３６】
この状態では、可動子８に働くＹ方向への力は上下で相殺されることにより小さくできる特徴がある。また、組立の精度や磁石の特性のばらつきなどによって力の脈動が生じた場合は、上下の磁極１をずらして力の脈動を調整したりすることも可能である。【００３７】
このように、本発明のリニアモータは用途に応じて、上下の磁極位置を調整することにより可動子に働く力を低減するものでる。
【実施例２】
【００３８】
図３に本発明の実施例２のリニアモータの模式図を示す。図４に図３のリニアモータのＹ−Ｚ面で切り取った図面を示す。図３に示すように、可動子８は磁石４と磁性体のポールピース５から構成され、可動子８が２段になるように構成されている。【００３９】
また、図４において矢印は磁石の磁化方向を示す。磁石は＋Ｚ方向に磁化された磁石４ａと−Ｚ方向に磁化された磁石４ｂが磁石ピッチＰで交互に配置され、各々の磁石間には磁性体で作られたポールピース５が配置される。【００４０】
磁極１と磁極をつなぐコア２および複数の磁極に巻き回した巻線３からなる固定子は２段に構成された可動子８の各々に対向するように配置される。可動子８に対して片側の磁極１のピッチは略２ｎＰ（ｎ＝１，２，３…）（図ではｎ＝１）になるように配置される。【００４１】
また、上下の各可動子８に対向する磁極１は可動子の上下で磁石ピッチＰとほぼ同等の距離ａずれている。上下のリニアモータを図４に示すように対称に配置し、上下の可動子８を機械的に連結することにより、可動子８に作用する吸引力やモーメントを相殺できる。【００４２】
さらに、上側のリニアモータと下側のリニアモータの磁極をつなぐコアの一部を共通化することが可能になり、リニアモータも小型に構成できる。【００４３】
図４に示した巻線３に電流を流すことにより、上下の可動子のＺ方向に力が働く。【００４４】
図５は上下の可動子の磁化方向が同じになるように配置した場合の電流の方向を示している。【００４５】
図６は、可動子を磁石４ａと磁石４ｂで構成した例である。図６に示すように可動子８は磁石４ａと磁石４ｂを交互につなげても構成が可能である。【００４６】
図４，図５および図６では、可動子に対向する磁極の位置を可動子の上下で略磁石ピッチずらした例を示しているが、可動子の上下の磁極のずれは略磁石ピッチでなくてもかまわない。略磁石ピッチずれた上下の磁極のずれを調整することにより、上下のリニアモータの可動子に作用する吸引力やモーメントが相殺できる。【００４７】
図７は２段に構成したリニアモータの磁極をつなぐコアを３分割にした例である。図７に示すように、磁極をつなぐコアを上側分割コア２ａ，下側分割コア２ｃ，中央分割コア２ｂと分割し、上側分割コア２ａと下側分割コア２ｃを同一形状となるように分割した例である。【００４８】
図８は積層コア２ｄを用いてリニアモータを構成した例である。【００４９】
図９は積層分割コア２ｅでリニアモータを構成した例である。【００５０】
図１０は図４で示した駆動ユニット１０１を３つ並べて３相のリニアモータを構成した例である。それぞれの駆動ユニット１０１は磁石列に対して電気的に位相が１２０°毎ずれるように配置してある。【００５１】
また、可動子の端部を連結部材７で結合している。このように上下の可動子を連結することで、上下の各々の可動子に働くモーメントや吸引力の影響を小さくできる。また、可動子の剛性も向上させることが可能である。【００５２】
図１１の（ａ），（ｂ），（ｃ）に本発明のリニアモータの構成について示す。図１１の各図は磁極や磁石の配置などが分かるようにＹ−Ｚ断面で切断した図を示している。【００５３】
図１１（ａ）は平板状の磁石固定部材６に磁石４を張り付けた構造をしている。この構成では平板状の鉄などの板に磁石を貼る構造であるので製作性が良い特徴がある。【００５４】
図１１（ｂ）は磁石固定部材６に磁石配置用の溝を加工したもので、Ｙ方向に並んだ磁石間に突起部９がある。この突起部９を磁性材料とした場合、巻線３に鎖交する磁束が増加する効果がある。【００５５】
また、磁石固定部材６と突起部９は一体で構成したり、別の部材で構成してもかまわない。突起部９を設けると磁石固定部材６の凹み部を磁石４の位置決めのための溝としても利用できる。【００５６】
図１１（ｃ）は、可動子を挟み込む磁極１と磁極をつなぐコア２を、可動子に対して上下のコアをずらし、また、可動子の磁石の位置を磁石固定部材６の表裏でずらした実施例を示している。このように、可動子の表裏で磁石位置をずらすことも可能である。【００５７】
図１２は、磁極１と磁極をつなぐコア２の構成が分かるように、リニアモータを部分的に切り取った図である。図１２は、本発明のリニアモータの磁極１と磁極をつなぐコア２を、積層鋼板を重ねて構成した例である。【００５８】
図１２（ａ）は可動子８に対して上下の磁極１を可動子８の進行方向に対してそろえて構成した図である。図１２（ｂ）は可動子８に対して上下の磁極１を可動子の進行方向にずらして構成した例である。図１２（ｃ）は磁極１の形状を矩形状に構成した例である。【００５９】
図１３は積層鋼板でリニアモータを構成した例である。リニアモータの内部が分かるように、可動子の進行方向でリニアモータを切り取った図を示す。図１３は磁極１、磁極をつなぐコア２および巻線３の固定子のみを示す。【００６０】
磁極１および磁極をつなぐコア２を積層鋼板で作成することにより、積層する枚数の調整で磁極１のピッチを任意に調整できる。積層枚数を変えることにより、磁極ピッチｂと磁極ピッチｃのように磁極１の位置を調整可能である。磁極ピッチｂは１２枚の積層鋼板で構成されており、磁極ピッチｃは１４枚の積層鋼板で構成される。
【実施例３】
【００６１】
図１４に本発明の実施例３の例を示す。【００６２】
図１４は、図４に示したリニアモータの間に図２のリニアモータを組み合わせた実施例を示す。図１４（ａ）はリニアモータをＹ−Ｚ平面で切り取った図を示す。図１４（ｂ）は図１４（ａ）の斜視図を示す。【００６３】
また、図１４（ｃ）はリニアモータの斜視図を示す。図１４の最上部のリニアモータと、最下部のリニアモータは発生するモーメントが互いに逆向きになるためモーメントを相殺し小さくすることが可能になる。【００６４】
また、中央部のリニアモータは、可動子に対して上下の磁極が対称であり、中央部の可動子に働くモーメントは小さい。これらの３つの可動子を連結することにより互いにモーメントやＹ方向への吸引力を低減することが可能になる。【００６５】
本実施例は３段の可動子構造を説明したが、モーメントや吸引力を低減するように配置することで、さらに可動子が増えた多段構成にしても構成可能である。【００６６】
また、図１４に示した最上部，中央部，最下部のリニアモータの間の磁極をつなぐコアは磁束の方向が逆になり、磁気飽和が緩和されるため細くできるため装置も小型になる。【００６７】
図１５は図１４のリニアモータの個々の可動子８を機械的に締結した図である。このように個々の可動子８を連結してもよい。図１６は図１５で示したリニアモータを３つ並べ３相のリニアモータとして構成した例である。
【実施例４】
【００６８】
図１７は、二段のリニアモータの正面図で、磁石によって生じる磁束１０を模式的に示している。図１７（ａ）は上下個々のリニアモータの正面図である。図１７（ｂ）は２つのリニアモータを合わせた場合の磁束１０の向きを示している。【００６９】
図１７（ｂ）の磁極をつなぐコア２ｆは、図１７（ａ）に示した２つのリニアモータにおいて、上側リニアモータの下側の磁極をつなぐコア２と、下側リニアモータの上側の磁極をつなぐコア２を共通化することによりリニアモータの小型化が可能になる。
【実施例５】
【００７０】
図１８は、２段の可動子８を組み込んだリニアモータである。巻線３を上側の可動子８の上と、下側の可動子８の下に配置した例である。このように巻線３の位置や個数は本実施例に記載されるものに限定されるわけではない。
【実施例６】
【００７１】
図１９および図２０は本発明の可動子の実施形態を示す例である。図１９（ａ）は平板の磁石固定部材６に溝を作成し磁石４を接着した例である。図１９（ｂ）は磁石固定部材６に窪みを設けて磁石４を配置した例である。【００７２】
図２０（ａ）は磁石４とポールピース５のみで可動子を構成した例である。図２０（ｂ）は図２０（ａ）の可動子をフレーム１１で囲み強度を増した実施例である。フレーム１１は磁性材料および非磁性材料でも構成可能である。
【実施例７】
【００７３】
図２１に本発明の実施の形態の模式図を示す。ステージ１１０にＹ軸リニアモータ１０４が二軸設置され、２台のＹ軸リニアモータ１０４上にＸ軸リニアモータ１０３が配置されている。そのＸ軸リニアモータ１０３にＺ軸リニアモータ１０５が取り付けられている。【００７４】
本発明のリニアモータを用いることにより、リニアモータの小型軽量化が可能になり、各軸のリニアモータが移動する際の慣性力を低減でき、各軸のリニアモータを支持する支持機構への負担が低減するとともに、位置決め精度の向上や応答時間を短縮できる特徴がある。【００７５】
図２２はＸ軸にＸ軸リニアモータ１０３を３機配置した例である。図２３は１機のＸ軸リニアモータ１０３にＺ軸リニアモータ１０５を３機配置した例である。本発明のリニアモータを用いることにより、多軸構成にした場合でも、各軸の重量が低減でき、慣性による支持機構への負担や応答性の低下を防げるため、リニアモータを多軸に配置することにより生産性の向上が見込める。【００７６】
本発明のリニアモータは可動子が軽量に製作できるため、Ｚ軸にリニアモータを配置した場合に重力による影響を小さくすることが可能になり、Ｚ軸の位置決め精度を向上できる。【００７７】
本発明の実施例では複数軸のリニアモータを用いた位置決め装置の例を示したが、示した軸の構成に限られるものではない。【００７８】
本発明の実施例では磁極および磁極をつなぐコアおよび可動子の形状を変えた場合の一例を示したが、同様の効果が得られれば、それに限定されるものではない。【００７９】
本実施例で記載の磁性体にはＳＳ４００やＳ４５Ｃなどの鉄系材料やケイ素鋼板などの高磁率部材が利用可能である。【００８０】
本発明の実施例で示した可動子はスラストベアリングやＬＭガイド，ローラなどで支持し、磁極と可動子の空隙を保持することが可能である。【００８１】
本発明の磁極と磁極をつなぐコアは一体で構成してもよい。
【符号の説明】
【００８２】
１  磁極
２  磁極をつなぐコア
２ａ  上側分割コア
２ｂ  中央分割コア
２ｃ  下側分割コア
２ｄ  積層コア
２ｅ  積層分割コア
３  巻線
４  磁石
４ａ  右向き磁石
４ｂ  左向き磁石
５  ポールピース
６  磁石固定部材
７  連結部材
８  可動子
９  突起部
１０  磁束
１１  フレーム
１０１  駆動ユニット
１０２  リニアモータ
１０３  Ｘ軸リニアモータ
１０４  Ｙ軸リニアモータ
１０５  Ｚ軸リニアモータ
１１０  ステージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【国際調査報告】
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