(57)【要約】  本発明は、高いガラス転移点温度を有し、低温（１５０〜３００℃）での熱処理においてコンパクション（Ｃ）が小さいガラス基板を提供する。本発明は、下記酸化物基準の質量百分率表示で、ＳｉＯ２を６８〜８１％、Ａｌ２Ｏ３を０．２〜１８％、Ｂ２Ｏ３を０〜３％、ＭｇＯを０．２〜１１％、ＣａＯを０〜３％、ＳｒＯを０〜３％、ＢａＯを０〜３％、ＺｒＯ２を０〜１％、Ｎａ２Ｏを１〜１８％、Ｋ２Ｏを０〜１５％、Ｌi２Ｏを０〜２％含有し、Ａｌ２Ｏ３＋Ｋ2Ｏが７〜２７％、Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏが１１．５〜２２％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯが０．２〜１４％、ＭｇＯ＋０．３５７Ａｌ２Ｏ３−０．２３９Ｋ２Ｏ−５．５８が−３．０〜１．５、Ｎａ２Ｏ＋０．２７２Ａｌ２Ｏ３＋０．８７６Ｋ２Ｏ−１６．７７が−２．５〜２．５であり、ガラス転移点温度が５００℃以上、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が１００×１０−７／℃以下である、ガラス基板に関する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記酸化物基準の質量百分率表示で、
ＳｉＯ２を６８〜８１％、
Ａｌ２Ｏ３を０．２〜１８％、
Ｂ２Ｏ３を０〜３％、
ＭｇＯを０．２〜１１％、
ＣａＯを０〜３％、
ＳｒＯを０〜３％、
ＢａＯを０〜３％、
ＺｒＯ２を０〜１％、
Ｎａ２Ｏを１〜１８％、
Ｋ２Ｏを０〜１５％、
Ｌi２Ｏを０〜２％含有し、
Ａｌ２Ｏ３＋Ｋ２Ｏが７〜２７％、
Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏが１１．５〜２２％、
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯが０．２〜１４％、
ＭｇＯ＋０．３５７Ａｌ２Ｏ３−０．２３９Ｋ２Ｏ−５．５８が−３．０〜１．５、
Ｎａ２Ｏ＋０．２７２Ａｌ２Ｏ３＋０．８７６Ｋ２Ｏ−１６．７７が−２．５〜２．５であり、
ガラス転移点温度が５００℃以上、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が１００×１０−７／℃以下であるガラス基板。
【請求項２】
粘度が１０４ｄＰａ・Ｓとなる温度（Ｔ４）とガラス表面失透温度（Ｔｃ）との関係が、Ｔ４−Ｔｃ≧０℃である請求項１に記載のガラス基板。
【請求項３】
粘度が１０４ｄＰａ・Ｓとなる温度（Ｔ４）とガラス内部失透温度（Ｔｄ）との関係が、Ｔ４−Ｔｄ≧１５０℃である請求項１に記載のガラス基板。
【請求項４】
原料を溶解して得た溶融ガラスをフロート法を用いて板ガラス成形し、請求項２に記載のガラス基板を得るガラス基板の製造方法。
【請求項５】
原料を溶解して得た溶融ガラスをフュージョン法を用いて板ガラス成形し、請求項３に記載のガラス基板を得るガラス基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板に関する。特に、ガラス基板の間に光電変換層が形成されている太陽電池、典型的にはガラス基板とカバーガラスとを有しガラス基板上に１１族、１３族、１６族元素を主成分とした光電変換層が形成されている薄膜太陽電池用ガラス基板に関するものである。また、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネル（特にＴＦＴパネル）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等、各種ディスプレイパネルに用いるディスプレイパネル用ガラス基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
カルコパイライト結晶構造を持つ１１−１３族、１１−１６族化合物半導体や立方晶系あるいは六方晶系の１２−１６族化合物半導体は可視から近赤外の波長範囲の光に対して大きな吸収係数を有しているために、高効率薄膜太陽電池の材料として期待されている。代表的な例としてＣｕ（Ｉｎ，Ｇａ）Ｓｅ２（以下、ＣＩＧＳと記述する。）やＣｄＴｅがあげられる。【０００３】
ＣＩＧＳ薄膜太陽電池では、安価であることと熱膨張係数がＣＩＧＳ化合物半導体のそれに近いこととから、ソーダライムガラスが基板として用いられ、太陽電池が得られている。
また、効率の良い太陽電池を得るため、高温の熱処理温度に耐えうるガラス材料の提案もされている（特許文献１参照）。【０００４】
また、ＴＦＴパネル用（「ａ−Ｓｉ  ＴＦＴパネル用」）のガラス基板として、アルカリ金属酸化物を含有するアルカリガラス基板を使用することも提案されている（特許文献１、２参照）。これはＴＦＴパネル製造工程における熱処理を、従来３５０〜４５０℃で行ってきたものを比較的低温（２５０〜３００℃程度）で行うことが可能になりつつあるためである。
アルカリ金属酸化物を含有するガラスは、一般的に熱膨張係数が高いため、ＴＦＴパネル用のガラス基板として好ましい熱膨張係数とする目的で、熱膨張係数を低減させる効果を有するＢ2Ｏ3が通常含有される（特許文献２、３）。【０００５】
しかしながら、Ｂ２Ｏ３を含有するガラス組成とした場合、ガラスを溶融した際に、特に溶解工程、清澄工程およびフロート成形工程において、Ｂ２Ｏ３が揮散するため、ガラス組成が不均質になりやすい。ガラス組成が不均質になると、板状に成形する際の平坦性に影響を与える。ＴＦＴパネル用のガラス基板は、表示品質確保のため、液晶を挟む２枚のガラス間隔、すなわちセルギャップを一定に保つために高度の平坦度が要求される。このため所定の平坦度を確保するために、フロート法で板ガラスに成形された後、板ガラスの表面の研磨を行うが、成形後の板ガラスで所定の平坦性が得られていないと、研磨工程に要する時間が長くなり生産性が低下する。また、前記Ｂ２Ｏ３の揮散による環境負荷を考慮すると、溶融ガラス中のＢ２Ｏ３の含有率はより低いことが好ましい。
だが、Ｂ２Ｏ３含有率が低いと、ＴＦＴパネル用のガラス基板として好ましい熱膨張係数まで下げること、および粘性の上昇を抑えつつ所定のＴｇ等を得ることは困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】日本国特開平１１−１３５８１９号公報
【特許文献２】日本国特開２００６−１３７６３１号公報
【特許文献３】日本国特開２００６−１６９０２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ガラス基板にはＣＩＧＳ太陽電池の吸収層が形成されるが、特許文献１に開示されているように、発電効率の良い太陽電池を作製するにはより高温での熱処理が好ましく、ガラス基板にはそれに耐えうることが要求される。特許文献１では比較的徐冷点の高いガラス組成物が提案されているが、特許文献１に記載された発明が高い発電効率を有するとは必ずしもいえない。
本発明者等はガラス基板のアルカリを所定範囲で増やすことによって発電効率を高くすることができることを発見したが、アルカリの増量はガラス転移点温度（Ｔｇ）の低下を招くという問題があった。
このようにＣＩＧＳ太陽電池に使用されるガラス基板において高い発電効率と高いガラス転移点温度とを両立させることは困難であるという問題があった。【０００８】
本発明は、特に高い発電効率と高いガラス転移点温度とを両立させるＣＩＧＳ太陽電池に適したガラス基板を提供することを目的とする。
また、本発明は、前述の低温での熱処理において、低温でのガラスのコンパクション（熱収縮率）がガラス基板上の成膜品質（成膜パターン精度）に大きく影響し得ることを見出した。本発明は、アルカリ金属酸化物を含有し、Ｂ２Ｏ３が少なく、ＴＦＴパネル製造工程における低温（１５０〜３００℃）での熱処理においてコンパクション（Ｃ）が小さく、ガラス基板上の成膜パターニング時の位置ずれが生じ難いＴＦＴパネルに適したガラス基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、下記酸化物基準の質量百分率表示で、
ＳｉＯ２を６８〜８１％、
Ａｌ２Ｏ３を０．２〜１８％、
Ｂ２Ｏ３を０〜３％、
ＭｇＯを０．２〜１１％、
ＣａＯを０〜３％、
ＳｒＯを０〜３％、
ＢａＯを０〜３％、
ＺｒＯ２を０〜１％、
Ｎａ２Ｏを１〜１８％、
Ｋ２Ｏを０〜１５％、
Ｌi２Ｏを０〜２％含有し、
Ａｌ２Ｏ３＋Ｋ２Ｏが７〜２７％、
Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏが１１．５〜２２％、
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯが０．２〜１４％、
ＭｇＯ＋０．３５７Ａｌ２Ｏ３−０．２３９Ｋ２Ｏ−５．５８が−３．０〜１．５、
Ｎａ２Ｏ＋０．２７２Ａｌ２Ｏ３＋０．８７６Ｋ２Ｏ−１６．７７が−２．５〜２．５であり、
ガラス転移点温度が５００℃以上、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が１００×１０−７／℃以下であるガラス基板を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のガラス基板は高い発電効率と高いガラス転移点温度とを両立させることができ、低コストで高効率なＣｕ−Ｉｎ−Ｇａ−Ｓｅ太陽電池用ガラス基板として好適に用いることができる。
また、本発明のガラス基板は、ＴＦＴパネル製造工程における低温（１５０〜３００℃）での熱処理においてコンパクション（Ｃ）が小さく（４０ｐｐｍ以下、好ましくは２０ｐｐｍ以下）、ガラス基板上の成膜パターニング時の位置ずれが生じ難い。したがって、近年の熱処理の低温化に対応した、特に大型のＴＦＴパネル用のガラス基板、例えば、マザーガラスとして一辺が２ｍ以上のガラス基板として好適に用いることができる。
また、Ｂ２Ｏ３含有率が低いので、ガラス製造時におけるＢ２Ｏ３の揮散が少ないことから、ガラス基板の均質性に優れ、平坦性および生産性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は本発明の太陽電池の実施形態の一例を模式的に表す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
＜本発明のガラス基板＞
本発明のガラス基板は、下記酸化物基準の質量百分率表示で、
ＳｉＯ２を６８〜８１％、
Ａｌ２Ｏ３を０．２〜１８％、
Ｂ２Ｏ３を０〜３％、
ＭｇＯを０．２〜１１％、
ＣａＯを０〜３％、
ＳｒＯを０〜３％、
ＢａＯを０〜３％、
ＺｒＯ２を０〜１％、
Ｎａ２Ｏを１〜１８％、
Ｋ２Ｏを０〜１５％、
Ｌi２Ｏを０〜２％含有し、
Ａｌ２Ｏ３＋Ｋ２Ｏが７〜２７％、
Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏが１１．５〜２２％、
ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯが０．２〜１４％、
ＭｇＯ＋０．３５７Ａｌ２Ｏ３−０．２３９Ｋ２Ｏ−５．５８が−３．０〜１．５、
Ｎａ２Ｏ＋０．２７２Ａｌ２Ｏ３＋０．８７６Ｋ２Ｏ−１６．７７が−２．５〜２．５であり、
ガラス転移点温度が５００℃以上、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が１００×１０−７／℃以下であるガラス基板である。
【００１３】
なお、本発明のガラス基板のガラス転移点温度（Ｔｇ）は５００℃以上である。本発明のガラス基板のガラス転移点温度（Ｔｇ）は、ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板として用いる場合は、高温における光電変換層の形成を担保するため５２５℃以上であるのが好ましく、５５０℃以上であるのがより好ましく、５７５℃以上であるのがさらに好ましい。
なお、ＴＦＴパネル用ガラス基板として用いる場合は、上記範囲であることで、ガラス転移点温度（Ｔｇ）が高くなり、ＴＦＴパネル製造工程における低温熱処理（１５０℃〜３００℃）においてガラスの粘性が高くなるため、ガラス中のアルカリ成分のＴＦＴ素子への移動度が低くなり、ＴＦＴの性能劣化を抑えられる。
【００１４】
また、本発明のガラス基板の５０〜３５０℃における平均線膨張係数は１００×１０−７／℃以下である。１００×１０−７／℃超では、ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板として用いる場合は、ＣＩＧＳ膜との熱膨張差が大きくなりすぎ、剥がれ等の欠点が生じやすくなる。さらに、太陽電池を組立てる際（具体的にはＣＩＧＳの光電変換層を有するガラス基板とカバーガラスとを加熱して貼りあわせる際）ガラス基板が変形し易くなる恐れがある。また、ＴＦＴパネル用ガラス基板として用いる場合は、上記範囲であることで、パネルの製造工程での寸法変化が少なく、カラーフィルタを有する対向ガラス基板とＴＦＴを有するアレイガラス基板の合せ時のパターン合せが容易となる。さらに、パネル使用時の熱応力による品質への影響が少ないことから、特に表示品質面で好ましい。
なお、好ましくは９５×１０−７／℃以下、より好ましくは９０×１０−７／℃以下、さらに好ましくは８５×１０−７／℃以下である。ＣＩＧＳ膜との熱膨張差の点から、また対向ガラス基板に一般的なソーダライムガラスを用い、アレイガラス基板に本発明のガラス基板を用いる場合の両者の熱膨張差の点から、好ましくは６０×１０−７／℃以上、より好ましくは７０×１０−７／℃以上、さらに好ましくは７５×１０−７／℃以上である。
【００１５】
本発明のガラス基板はコンパクション（Ｃ）が４０ｐｐｍ以下が好ましく、３０ｐｐｍ以下がより好ましく、２０ｐｐｍ以下がより好ましい。また、より好ましくは１５ｐｐｍ以下であり、さらに好ましくは１０ｐｐｍ以下である。４０ｐｐｍ以下（好ましくは２０ｐｐｍ以下）であると、ＴＦＴパネル製造工程における低温（１５０〜３００℃）での熱処理において、アレイガラス基板上へのＴＦＴ成膜パターニング時の位置ずれが生じ難い。
【００１６】
本発明においてコンパクション（Ｃ）とは、次に説明する方法で測定した値を意味するものとする。
初めに、対象となるガラス基板を１６００℃で溶融した後、溶融ガラスを流し出し、板状に成形後冷却する。得られたガラス基板を研磨加工して１００ｍｍ×２０ｍｍ×２ｍｍの試料を得る。
次に、得られたガラス基板を転移点温度Ｔｇ＋５０℃まで加熱し、この温度で１分間保持した後、降温速度５０℃／分で室温まで冷却する。その後、ガラス基板の表面に圧痕を長辺方向に２箇所、間隔Ａ（Ａ＝９０ｍｍ）で打つ。
次にガラス基板を３００℃まで昇温速度１００℃／時（＝１．６℃／分）で加熱し、３００℃で１時間保持した後、降温速度１００℃／時で室温まで冷却する。そして、再度、圧痕間距離を測定し、その距離をＢとする。このようにして得たＡ、Ｂから下記式を用いてコンパクション（Ｃ）を算出する。なお、Ａ、Ｂは光学顕微鏡を用いて測定する。
【００１７】
Ｃ[ｐｐｍ]＝（Ａ−Ｂ）／Ａ×１０６
【００１８】
本発明のガラス基板は、ガラス表面失透温度（Ｔｃ）が１２００℃以下であることが好ましく、より好ましくは１１００℃以下であり、さらに好ましくは１０００℃以下である。
ガラス表面失透温度（Ｔｃ）とは、白金製の皿に粉砕されたガラス粒子を入れ、一定温度に制御された電気炉中で１７時間熱処理を行い、熱処理後の光学顕微鏡観察によって、ガラスの表面に結晶が析出する最高温度と結晶が析出しない最低温度との平均値である。
【００１９】
また、本発明のガラス基板は、ガラス内部失透温度（Ｔｄ）が１２００℃以下であることが好ましく、より好ましくは１１００℃以下であり、さらに好ましくは１０００℃以下である。
ガラス内部失透温度（Ｔｄ）とは、白金製の皿に粉砕されたガラス粒子を入れ、一定温度に制御された電気炉中で１７時間熱処理を行い、熱処理後の光学顕微鏡観察によって、ガラスの内部に結晶が析出する最高温度と結晶が析出しない最低温度との平均値である。
Ｔｄにおけるガラス粘度は、１０４．５ｄＰａ・ｓ以上であることが好ましく、より好ましくは１０５ｄＰａ・ｓ以上、さらに好ましくは１０５．５ｄＰａ・ｓ以上、特に好ましくは１０６ｄＰａ・ｓ以上である。
【００２０】
本発明のガラス基板は、粘度が１０２ｄＰａ・ｓとなる温度（Ｔ２）が、１８５０℃以下であることが好ましく、より好ましくは１７５０℃以下であり、さらに好ましくは１６５０℃以下である。
また、本発明のガラス基板は、粘度が１０４ｄＰａ・ｓとなる温度（Ｔ４）が、１３００℃以下であることが好ましく、より好ましくは１２５０℃以下であり、さらに好ましくは１２００℃以下である。
【００２１】
本発明のガラス基板は、密度が２．５０ｇ／ｃｍ３以下であることが好ましく、より好ましくは２．４５ｇ／ｃｍ３以下であり、さらに好ましくは２．４２ｇ／ｃｍ３以下である。
【００２２】
本発明のガラス基板において上記組成に限定する理由は以下のとおりである。
ＳｉＯ２：ガラスの骨格を形成する成分で、６８質量％（以下単に％と記載する）未満ではガラスの耐熱性および化学的耐久性が低下し、また、密度、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（ｃ）が増大するおそれがある。好ましくは６９％以上であり、より好ましくは７０％以上であり、さらに好ましくは７０．５％以上である。
しかし、８１％超ではガラスの高温粘度が上昇し、溶融性が悪化する問題が生じるおそれがある。好ましくは８０％以下であり、より好ましくは７８％以下であり、さらに好ましくは７７％以下であり、特に好ましくは７６％以下である。
【００２３】
Ａｌ２Ｏ３：ガラス転移点温度を上げ、耐候性（ソラリゼーション）、耐熱性および化学的耐久性を向上し、ヤング率を上げる。その含有量が０．２％未満だとガラス転移点温度が低下するおそれがある。また５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（ｃ）が増大するおそれがある。好ましくは１％以上であり、より好ましくは２％以上であり、さらに好ましくは４％以上である。
しかし、１８％超では、ガラスの高温粘度が上昇し、溶融性が悪くなるおそれがある。また、失透温度（ガラス表面における表面失透温度（Ｔｃ）およびガラス内部における内部失透温度（Ｔｄ））が上昇し、成形性が悪くなるおそれがある。また発電効率が低下、すなわち後述するアルカリ溶出量が低下するおそれがある。好ましくは１６％以下であり、より好ましくは１４％以下であり、さらに好ましくは１２％以下である。
【００２４】
Ｂ２Ｏ３は、溶融性を向上させる等のために３％まで含有してもよい。含有量が３％を超えるとガラス転移点温度が下がる、または５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が小さくなり、ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板として用いる場合は、ＣＩＧＳ膜を形成するプロセスにとって好ましくない。好ましくは含有量が２％以下である。含有量が１％以下であるとより好ましく、実質的に含有しないことがさらに好ましい。
なお、「実質的に含有しない」とは、原料等から混入する不可避的不純物以外には含有しないこと、すなわち、意図的に含有させないことを意味する。
ＴＦＴパネル用ガラス基板として用いる場合、Ｂ２Ｏ３含有率が低いと、ガラス基板製造時にガラスを溶融する際の、溶解工程、清澄工程および成形工程での、Ｂ２Ｏ３の揮散量が少なく、製造されるガラス基板が均質性および平坦性に優れる。その結果、高度の平坦性が要求されるＴＦＴパネル用ガラス基板として使用する場合に、従来のＴＦＴパネル用ガラス基板に比べて、表示品質に優れる。
また、Ｂ２Ｏ３の揮散による環境負荷を考慮しても、Ｂ２Ｏ３の含有率はより低いことが好ましい。
【００２５】
ＭｇＯ：ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるので含有させるが、０．２％未満だとガラスの高温粘度が上昇し溶融性が悪化するおそれがある。また発電効率が低下、すなわち後述するアルカリ溶出量が低下するおそれがある。より好ましくは０．５％以上であり、より好ましくは１％以上であり、さらに好ましくは２％以上である。
しかし、１１％超では、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（ｃ）が増大するおそれがある。また失透温度（Ｔｃ）が上昇するおそれがある。好ましくは１０％以下であり、より好ましくは９％以下であり、さらに好ましくは８％以下である。
【００２６】
ＣａＯ：ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるので含有させることができる。しかし、３％超ではガラスの５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（ｃ）が増大するおそれがある。好ましくは２％以下であり、より好ましくは１％以下であり、さらに好ましくは実質的に含有しない。
【００２７】
ＳｒＯ：ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるので含有させることができる。しかし、３％超含有すると発電効率が低下、すなわち後述するアルカリ溶出量が低下し、またガラス基板の５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（ｃ）が増大するおそれがある。好ましくは２％以下であり、より好ましくは１％以下であり、さらに好ましくは実質的に含有しない。
【００２８】
ＢａＯ：ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるので含有させることができる。しかし、３％超含有すると発電効率が低下、すなわち後述するアルカリ溶出量が低下し、またガラス基板の５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（ｃ）が大きくなるおそれがある。好ましくは２％以下であり、より好ましくは１％以下であり、さらに好ましくは実質的に含有しない。
【００２９】
ＺｒＯ2：ガラスの溶解時の粘性を下げ、溶解を促進する効果があるので含有させることができる。しかし、１％超含有すると発電効率が低下、すなわち後述するアルカリ溶出量が低下し、またガラス基板の密度、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（ｃ）が増大するおそれがある。０．５％以下が好ましく、実質的に含有しないことがより好ましい。
【００３０】
ＳｒＯ、ＢａＯ、ＺｒＯ２はガラスの溶解時の粘性を下げ溶解しやすくなるため、合量で３％まで含有できる。しかし３％を超えると、ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板として用いる場合の発電効率の低下や、ＴＦＴパネル用ガラス基板として用いる場合に重要なコンパクション（Ｃ）が増大するおそれがある。より好ましくは２％以下、さらに好ましくは１％以下、特に好ましくは実質的に含有しない。
【００３１】
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯは、ガラスの溶解温度での粘性を下げ、溶解しやすくするため、合量で０．２％以上とする。しかし、合量で１４％超ではガラスの５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（Ｃ）が増大するおそれがある。
また、密度や５０〜３５０℃における平均熱膨張係数の点から、０．５％以上が好ましく、１％以上がより好ましく、２％以上がさらに好ましい。また、１２％以下が好ましく、１０％以下がより好ましく、８％以下がさらに好ましい。
また、Ａｌ２Ｏ３とＭｇＯとの合量は、コンパクション（Ｃ）低減を考慮すると、８％以上が好ましく、１０％以上がより好ましく、１１％以上がさらに好ましい。
【００３２】
Ｎａ２Ｏ：Ｎａ２Ｏはガラス溶解温度での粘性を下げ、溶解しやすくする効果があるので１〜１８％含有させる。なお、ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板として用いる場合、Ｎａ２ＯはＣＩＧＳの太陽電池の変換効率向上に寄与するための成分であり、必須成分である。Ｎａはガラス上に構成されたＣＩＧＳの太陽電池の吸収層中に拡散し、変換効率を高めるが、含有量が１％未満ではガラス上のＣＩＧＳの太陽電池吸収層へのＮａ拡散が不十分となり、変換効率も不十分となるおそれがある。含有量が２％以上であると好ましく、３％以上であるとより好ましい。４％以上であるとさらに好ましい。
Ｎａ２Ｏ含有量が１８％を超えると５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（ｃ）が大きくなり、または化学的耐久性が劣化する。含有量が１７％以下であると好ましく、１６％以下であるとより好ましい。１５％以下であるとさらに好ましい。
【００３３】
Ｋ２Ｏ：Ｎａ２Ｏと同様の効果があるため、０〜１５％含有させる。しかし、１５％超では、ガラス転移点温度が低下し５０〜３５０℃における平均熱膨張係数およびコンパクション（ｃ）が大きくなるおそれがある。ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板として用いる場合は、Ｋ２Ｏの含有量が１５％超では、発電効率が低下、すなわち後述するアルカリ溶出量が低下するおそれがある。含有する場合は１％以上であるのが好ましい。１４％以下が好ましく、１３％以下であることがより好ましく、１２．５％以下であるのがさらに好ましい。
【００３４】
Ｌｉ２Ｏ：ガラス溶解温度での粘性を下げ、溶解しやすくするため０〜２％含有させることができる。しかし、２％超含有するとガラス転移点の低下をもたらすおそれがある。また、５０〜３５０℃の平均熱膨張係数が１００×１０-7／℃以下とするためにも２％以下が好ましい。
Ｌｉ２Ｏの含有率は１％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましく、実質的に含有しないことがさらに好ましい。
【００３５】
Ａｌ２Ｏ３およびＫ２Ｏ：５０〜３５０℃における平均熱膨張係数を下げるため、またＴｇを上げるために、Ａｌ２Ｏ３およびＫ２Ｏの合量の含有量は、７〜２７％とする。７％未満では、Ｔｇが下がり、またＴｃおよびＴｄが上がりすぎるおそれがある。好ましくは８％以上であり、より好ましくは９％以上であり、さらに好ましくは１０％以上である。
しかし、２７％超ではＴ２、Ｔ４、密度が上がりすぎるおそれがある。好ましくは２４％以下であり、より好ましくは２０％以下であり、さらに好ましくは１８％以下である。
【００３６】
Ｎａ２ＯおよびＫ２Ｏ：ガラス溶解温度での粘性を十分に下げるために、またＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板として用いた場合のＣＩＧＳ太陽電池の変換効率向上のために、Ｎａ２ＯおよびＫ２Ｏの合量の含有量は、１１．５〜２２％とする。好ましくは１２％以上であり、より好ましくは１３％以上であり、さらに好ましくは１４％以上である。
しかし、２２％超ではＴｇが下がりすぎ、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が上がりすぎるおそれがある。好ましくは２０％以下であり、より好ましくは１９％以下であり、さらに好ましくは１８％以下である。
【００３７】
ＭｇＯ、Ａｌ２Ｏ３およびＫ２Ｏ：ＭｇＯ、Ａｌ２Ｏ３およびＫ２Ｏは、下記式１が−３．０〜１．５を満たすように含有する。
ＭｇＯ＋０．３５７Ａｌ２Ｏ３−０．２３９Ｋ２Ｏ−５．５８  （式１）
上記式は、後述するＴ４−Ｔｃ≧０℃、またはＴ４−Ｔｄ≧１５０℃を満たすための指標となる。本発明者等は、実験および試行錯誤の結果から、上記の各成分が本願の範囲を満たし、且つ、上記式で得られる値が−３．０〜１．５となる場合に、Ｔｇ５００℃以上および５０〜３５０℃における平均熱膨張係数１００×１０−７以下を満足させつつ、Ｔ４−Ｔｃ≧０℃、またはＴ４−Ｔｄ≧１５０℃を満たすことを見出した。好ましくは−２．０以上であり、より好ましくは−１．５以上であり、さらに好ましくは−１．０以上である。また、好ましくは１．０以下である。
【００３８】
Ｎａ２Ｏ、Ａｌ２Ｏ３およびＫ２Ｏ：Ｎａ２Ｏ、Ａｌ２Ｏ３およびＫ２Ｏは、下記式２が−２．５〜２．５となるように含有する。
Ｎａ２Ｏ＋０．２７２Ａｌ２Ｏ３＋０．８７６Ｋ２Ｏ−１６．７７  （式２）
上記式は、後述するＴ４−Ｔｃ≧０℃、またはＴ４−Ｔｄ≧１５０℃を満たすための指標となる。本発明者等は、実験および試行錯誤の結果から、上記の各成分が本願の範囲を満たし、且つ、上記式で得られる値が−２．５〜２．５となる場合に、Ｔｇ５００℃以上および５０〜３５０℃における平均熱膨張係数１００×１０−７以下を満足させつつ、Ｔ４−Ｔｃ≧０℃、またはＴ４−Ｔｄ≧１５０℃を満たすことを見出した。好ましくは−２．０以上であり、より好ましくは−１．５以上であり、さらに好ましくは−１．０以上である。好ましくは２．０以下であり、より好ましくは１．５以下であり、さらに好ましくは１．０以下である。
【００３９】
本発明のガラス基板は、好ましくは本質的に上記母組成からなるが、本発明の目的を損なわない範囲でその他の成分を含有しても良い。ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板として用いる場合は、その他の成分を典型的には合計で５％以下含有してもよい。たとえば、耐候性、溶融性、失透性、紫外線遮蔽等の改善を目的に、ＺｎＯ、Ｌｉ２Ｏ、ＷＯ３、Ｎｂ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５、Ｂｉ２Ｏ３、ＭｏＯ３、Ｐ２Ｏ５等を含有してもよい場合がある。
【００４０】
また、ガラスの溶解性、清澄性を改善するため、ガラス中にＳＯ３、Ｆ、Ｃｌ、ＳｎＯ２を合量で２％以下含有するように、これらの原料を母組成原料に添加してもよい。ＴＦＴパネル用ガラス基板として用いる場合は、これらの添加はより好ましい。
また、ガラスの化学的耐久性向上のため、ガラス中にＺｒＯ２、Ｙ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2を合量で５％以下含有させてもよい。これらのうちＹ2Ｏ3、Ｌａ2Ｏ3およびＴｉＯ２は、ガラスのヤング率向上にも寄与する。
また、ガラスの色調を調整するため、ガラス中にＦｅ２Ｏ３、ＣｅＯ２等の着色剤を含有してもよい。このような着色剤の含有量は、合量で１％以下が好ましい。
また、本発明のガラス基板は、環境負荷を考慮すると、Ａｓ２Ｏ３、Ｓｂ２Ｏ３を実質的に含有しないことが好ましい。また、安定してフロート成形することを考慮すると、ＺｎＯを実質的に含有しないことが好ましい。しかし、本発明のガラス基板は、フロート法による成形に限らず、フュージョン法による成形により製造してもよい。
【００４１】
＜本発明のガラス基板の製造方法および用途＞
本発明のガラス基板は、ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板やＴＦＴパネル用ガラス基板として好適に用いることができる。以下、詳しく説明する。
【００４２】
（１）ガラス基板の製造方法
本発明におけるガラス基板を製造する場合、従来の太陽電池用またはＴＦＴパネル用ガラス基板を製造する際と同様に、溶解・清澄工程および成形工程を実施する。なお、本発明におけるガラス基板は、アルカリ金属酸化物（Ｎａ２Ｏ、Ｋ２Ｏ）を含有するアルカリガラス基板であるため、清澄剤としてＳＯ３を効果的に用いることができ、成形方法としてフロート法およびフュージョン法（ダウンロード法）に適している。
太陽電池用またはＴＦＴパネル用ガラス基板の製造工程において、太陽電池やＴＦＴパネルの大型化に伴い、大面積のガラス基板を容易に、安定して成形できるフロート法を用いることが特に好ましい。
なお、本発明のガラス基板の成形方法として、フロート法およびフュージョン法（ダウンロード法）が適用できるが、板ガラス成形時の失透防止を考慮すると、ガラス基板の物性としてフュージョン法のときはＴ４−Ｔｄ≧１５０℃、さらにはＴ４−Ｔｄ≧２００℃を満たすことが好ましい。また、フロート法のときはＴ４−Ｔｃ≧０℃、さらにはＴ４−Ｔｃ≧５０℃を満たすことが好ましい。
【００４３】
本発明におけるガラス基板の製造方法の好ましい態様について説明する。
初めに、原料を溶解して得た溶融ガラスを板状に成形する。例えば、得られるガラス基板の組成となるように原料を調製し、前記原料を溶解炉に連続的に投入し、１４５０〜１６５０℃程度に加熱して溶融ガラスを得る。そしてこの溶融ガラスを例えばフロート法を適用してリボン状のガラス基板に成形する。
次に、リボン状のガラス基板を成形炉から引出した後に、冷却手段によって室温状態まで冷却し、切断後、ガラス基板を得る。
【００４４】
ここで冷却手段は、前記成形炉から引出されたリボン状のガラス基板の表面温度をＴＨ（℃）、室温をＴＬ（℃）とし、さらに前記リボン状ガラス基板の表面温度がＴＨからＴＬに冷却されるまでの時間をｔ（分）とした場合に、（ＴＨ−ＴＬ）／ｔで示される平均冷却速度を１０〜３００℃／分とする冷却手段である。具体的な冷却手段は特に限定されず、従来公知の冷却方法であってよい。例えば温度勾配を持った加熱炉を用いる方法が挙げられる。
ＴＨは、ガラス転移点温度Ｔｇ＋２０℃、具体的には５４０〜７３０℃が好ましい。
前記平均冷却速度は１５〜１５０℃／分であることが好ましく、２０〜８０℃／分であることがより好ましく、４０〜６０℃／分であることがさらに好ましい。上記のガラス基板製造方法により、コンパクション（Ｃ）が４０ｐｐｍ以下、好ましくは２０ｐｐｍ以下のガラス基板が容易に得られる。
【００４５】
（２）ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板
本発明のガラス基板は、ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板に好適に用いることができる。
本発明におけるＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板はアルカリ溶出量（後述のＮａ／Ｉｎの強度比）が０．１５以上であることが好ましい。より好ましくは０．２以上である。
【００４６】
本発明におけるＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板は、ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板、およびカバーガラスとして好適である。
ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板に適用する場合、ガラス基板の厚さは３ｍｍ以下とするのが好ましく、より好ましくは２ｍｍ以下である。またガラス基板にＣＩＧＳの光電変換層を付与する方法は特に制限されない。光電変換層を形成する際の加熱温度を５００〜６５０℃とすることができる。
【００４７】
本発明におけるＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板をカバーガラスとして使用する場合、カバーガラスの厚さは３ｍｍ以下とするのが好ましく、より好ましくは２ｍｍ以下である。また光電変換層を有するガラス基板にカバーガラスを組立てる方法は特に制限されない。加熱して組立てる場合その加熱温度を５００〜６５０℃とすることができる。
【００４８】
本発明のガラス基板をＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板およびカバーガラスに併用すると、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が同等であるため太陽電池組立時の熱変形等が発生せず好ましい。
【００４９】
（３）ＣＩＧＳ太陽電池
次に、本発明に係る太陽電池について説明する。
本発明に係る太陽電池は、Ｃｕ−Ｉｎ−Ｇａ−Ｓｅの光電変換層を有するガラス基板と前記ガラス基板上に配置されたカバーガラスとを有し、前記ガラス基板および前記カバーガラスのうちの一方または両方が本発明のガラス基板である。
【００５０】
以下添付の図面を使用して本発明に係る太陽電池を詳細に説明する。なお本発明は添付の図面に限定されない。
図１は本発明に係る太陽電池の実施形態の一例を模式的に表す断面図である。
図１において、本発明に係る太陽電池（ＣＩＧＳ太陽電池）１は、ガラス基板５、カバーバラス１９、およびガラス基板５とカバーガラス１９との間にＣＩＧＳ層９を有する。ガラス基板５は上記で説明した本発明のガラス基板からなるのが好ましい。
【００５１】
太陽電池１はガラス基板５上にプラス電極７であるＭｏ膜の裏面電極層を有しその上にＣＩＧＳ層９である光吸収層（光電変換層）を有する。ＣＩＧＳ層の組成はＣｕ（Ｉｎ１−XＧａX）Ｓｅ２が例示できる。ｘはＩｎとＧａの組成比を示すもので０＜ｎ＜１である。ＣＩＧＳ層９上にはバッファ層１１として、ＣｄＳ（硫化カドミウム）またはＺｎＳ（亜鉛硫化物）層を介してＺｎＯまたはＩＴＯの透明導電膜１３を有し、さらにその上にマイナス電極１５であるＡｌ電極（アルミニウム電極）等の取出し電極を有する。これらの層の間の必要な場所には反射防止膜を設けてもよい。図１においては透明導電膜１３とマイナス電極１５との間に反射防止膜１７が設けられている。
またマイナス電極１５上にカバーガラス１９を設けてもよく、必要な場合はマイナス電極とカバーガラスとの間は樹脂封止したり接着用の透明樹脂で接着される。カバーガラスは本発明に係るＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板を用いてもよい。
本発明において光電変換層の端部または太陽電池の端部は封止されていてもよい。封止するための材料としては例えば本発明のＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板と同じ材料、その他のガラス、樹脂が挙げられる。
なお添付の図面に示す太陽電池の各層の厚さは図面に限定されない。
【００５２】
（４）ＴＦＴパネル
本発明のガラス基板は、ＴＦＴパネル用ガラス基板に好適に用いることができる。
本発明のガラス基板の表面に、アレイ基板におけるゲート絶縁膜を成膜する成膜工程を具備するＴＦＴパネルの製造方法について説明する。
本発明のガラス基板を用いたＴＦＴパネルの製造方法は、本発明のガラス基板の表面の成膜領域を１５０〜３００℃の範囲内の温度（以下、成膜温度という）まで昇温した後、前記成膜温度で５〜６０分間保持して、前記成膜領域に前記アレイ基板ゲート絶縁膜を成膜する成膜工程を具備するものであれば特に限定されない。ここで成膜温度は１５０〜２５０℃であることが好ましく、１５０〜２３０℃であることがより好ましく、１５０〜２００℃であることがさらに好ましい。また、この成膜温度に保持する時間は５〜３０分間であることが好ましく、５〜２０分間であることがより好ましく、５〜１５分間であることがさらに好ましい。
ゲート絶縁膜の成膜は上記のような成膜温度および保持時間の範囲内で行われるので、この間にガラス基板が熱収縮する。なお、一度ガラス基板が熱収縮した後は、その後の冷却条件（冷却速度等）によっては、上記の熱収縮の結果に大きな影響を及ぼさない。本発明におけるＴＦＴパネル用ガラス基板はコンパクション（Ｃ）が小さいので、ガラス基板の前記熱収縮が小さく、成膜パターンのずれが生じ難い。
【００５３】
成膜工程における成膜は、例えば従来公知のＣＶＤ法によって達成することができる。
【００５４】
本発明に係るＴＦＴパネルの製造方法では、公知の方法によってアレイ基板を得ることができる。そして、該アレイ基板を用いて以下のような公知の工程によりＴＦＴパネルを製造することができる。
すなわち、前記アレイ基板、カラーフィルタ基板各々に配向膜を形成し、ラビングを行う配向処理工程、ＴＦＴアレイ基板とカラーフィルタ基板を所定のギャップを保持して高精度で貼り合せる貼り合せ工程、基板よりセルを所定サイズに分断する分断工程、分断されたセルに液晶を注入する注入工程、セルに偏光板を貼り付ける偏光板貼り付け工程からなる一連の工程によりＴＦＴパネルを製造することができる。
なお、本発明のガラス基板をＴＦＴパネル用ガラス基板として用いる場合、ＴＦＴパネルの製造が低温での熱処理であればアルカリ溶出が抑制されるので大きく影響を与えるものではない。
また、本発明のガラス基板は、周知の方法で化学強化して用いることができるが、ＴＦＴパネルの表示品質向上や太陽電池パネルの電池効率向上のために、ガラス基板の平坦性を考慮すると化学強化しないことが好ましい。
【実施例】
【００５５】
以下、実施例および製造例により本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例および製造例に限定されない。
本発明のガラス基板の実施例（例１〜１３）および比較例（例１４〜１６）を示す。なお表中のかっこは、計算値である。
表１〜３で表示した組成になるように、ガラス基板用の各成分の原料を調合し、該ガラス基板用成分の原料１００質量部に対し、硫酸塩をＳＯ３換算で０．１質量部原料に添加し、白金坩堝を用いて１６００℃の温度で３時間加熱し溶融した。溶融にあたっては、白金スターラーを挿入し１時間攪拌しガラスの均質化を行った。次いで溶融ガラスを流し出し、板状に成形後冷却した。【００５６】
こうして得られたガラスの５０〜３５０℃における平均熱膨張係数（単位：×１０-7／℃）、ガラス転移点温度（Ｔｇ）（単位：℃）、密度、粘度、コンパクション（Ｃ）、下記アルカリ溶出量、失透温度（ガラス表面失透温度（Ｔｃ）、ガラス内部失透温度（Ｔｄ））を測定し、また、Ｔ４−ＴｃとＴ４−Ｔｄを算出し、表１および３に示した。以下に各物性の測定方法を示す。
（１）Ｔｇ：ＴｇはＴＭＡを用いて測定した値であり、ＪＩＳ  Ｒ３１０３−３（２００１年度）により求めた。
（２）密度：泡を含まない約２０ｇのガラス塊をアルキメデス法によって測定した。【００５７】
（３）粘度：回転粘度計を用いて粘度を測定し、粘度が１０２ｄＰａ・ｓとなるときの温度Ｔ２（℃）と、１０４ｄＰａ・ｓとなるときの温度Ｔ４（℃）を測定した。
また、溶融ガラスの高温（１０００〜１６００℃）におけるガラス粘度の測定結果から、フルチャーの式の係数を求め、該係数を用いたフルチャーの式により、ガラス内部失透温度（Ｔｄ）におけるガラス粘度を求めた。
（４）コンパクション（Ｃ）：前述のコンパクション（Ｃ）の測定方法により測定した。【００５８】
（５）アルカリ溶出量：ガラス基板（縦４０ｍｍ、横４０ｍｍの角型、厚さ２ｍｍ）上にスパッタ法にて厚さ１００ｎｍのＩＴＯを成膜する。つづいて電気炉で５５０℃にて大気雰囲気下でサンプルを３０分間保持して熱処理を行う。試料を二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）にてＩＴＯ膜中の全Ｉｎと全Ｎａの積分強度を測定する。アルカリの浸み出し量をＮａ／Ｉｎの強度比で評価する。【００５９】
（６）５０〜３５０℃の平均熱膨張係数：示差熱膨張計（ＴＭＡ）を用いて測定し、ＪＩＳ  Ｒ３１０２（１９９５年度）より求めた。
（７）失透温度（ガラス表面失透温度（Ｔｃ）及びガラス内部失透温度（Ｔｄ））：白金製皿に粉砕されたガラス粒子を入れ、一定温度に制御された電気炉中で１７時間熱処理を行い、熱処理後の光学顕微鏡観察によって、ガラスの表面に結晶が析出する最高温度と結晶が析出しない最低温度との平均値をガラス表面失透温度Ｔｃ（℃）、またガラスの内部に結晶が析出する最高温度と結晶が析出しない最低温度との平均値をガラス内部失透温度Ｔｄ（℃）とする。
ガラス中のＳＯ３残存量は１００〜５００ｐｐｍであった。【００６０】
【表１】
2011152414.tif 000002
【００６１】
【表２】
2011152414.tif 000003
【００６２】
【表３】
2011152414.tif 000004
【００６３】
表１より明らかなように、実施例（例１〜４）のガラスは、アルカリ溶出量が高く、ガラス転移点温度Ｔｇが高く、したがって高い発電効率と高いガラス転移点温度とを両立させることできる。また、実施例のガラスは５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が１００×１０−７／℃以下であるので、ＣＩＧＳ太陽電池用ガラス基板として用いる場合、ＣＩＧＳ膜との熱膨張差が大きくなりすぎ、剥がれ等の欠点が生じにくい。
さらに、太陽電池を組立てる際（具体的にはＣＩＧＳの光電変換層を有するガラス基板とカバーガラスとを加熱して貼りあわせる際）ガラス基板が変形しにくいため好ましい。また、ＴＦＴパネル用ガラス基板として用いる場合は、パネルの製造工程での寸法変化が少なく、カラーフィルタとアレイ板の合せ時のパターン合せが容易となる。さらに、パネル使用時の熱応力による品質への影響が少ないことから、特に表示品質面で好ましい。【００６４】
また、コンパクション（Ｃ）が４０ｐｐｍ以下であるため、ガラス基板上の成膜パターニング時の位置ずれが生じにくい。したがって、近年の熱処理の低温化に対応した、特に大型のＴＦＴパネル用ガラス基板、例えば、マザーガラスとして一辺が２ｍ以上のガラス基板として好適に用いることができる。
また、例１〜４は、Ｔｇ５００℃以上および５０〜３５０℃における平均熱膨張係数１００×１０−７以下を満足させつつ、Ｔ４−Ｔｃ≧０℃、またはＴ４−Ｔｄ≧１５０℃を満たしており、板ガラス成形時の失透が抑えられる。
表２に記載の組成を有する、実施例（例５〜１３）のガラスも、アルカリ溶出量が高く、ガラス転移点温度Ｔｇが５００℃以上、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が１００×１０−７／℃以下で、且つコンパクション（ｃ）が４０ｐｐｍ以下のガラスが得られる。【００６５】
例１４は、上記Ｔ４−Ｔｄが−４５℃であり、板ガラス成形時に失透が起こり易い。
例１５は、Ａｌ２Ｏ３＋Ｋ２Ｏが４．９％と少ないためＴｇが４７７℃程度と低い。また、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数も１０２×１０−７／℃と大きい。例１６は、ＳｉＯ２が少なく、５０〜３５０℃における平均熱膨張係数が１０６×１０−７／℃と大きい。【００６６】
本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本出願は、２０１０年６月３日出願の日本特許出願２０１０−１２７７０９に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明のガラス基板は、ＣＩＧＳの太陽電池用のガラス基板、カバーガラスとして好適であるが、他の太陽電池用基板やカバーガラスに使用することもできる。
また、本発明のガラス基板は、ＴＦＴパネル用ガラス基板として好適であるが、他のディスプレイ用基板、例えば、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、無機エレクトロ・ルミネッセンス・ディスプレイ等に使用することができる。
【符号の説明】
【００６８】
１  太陽電池
５  ガラス基板
７  プラス電極
９  ＣＩＧＳ層
１１  バッファ層
１３  透明導電膜
１５  マイナス電極
１７  反射防止膜
１９  カバーガラス
【図１】
2011152414.tif 000005
【国際調査報告】
2011152414.tif 000006
2011152414.tif 000007
2011152414.tif 000008
2011152414.tif 000009
2011152414.tif 000010
2011152414.tif 000011