(57)【要約】  本発明は、下記の工程(I)〜(III)を有する、モールドの製造方法に関する：(I)表面に微細凹凸構造が形成されたモールド本体を作製する工程；(II)有機系離型剤の性能評価方法によって有機系離型剤の性能を評価する工程；および(III)前記工程(I)で作製されたモールド本体の表面を、前記工程(II)により性能が良であると判定された有機系離型剤で処理する工程；ここで前記有機系離型剤の性能評価方法は、有機系離型剤と試験用有機溶媒とを混合し、試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否から有機系離型剤の性能の良否を判定する方法からなる。
2011078265.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の工程(I)〜(III)を有する、モールドの製造方法：
(I)表面に微細凹凸構造が形成されたモールド本体を作製する工程；
(II)下記に記載の有機系離型剤の性能評価方法によって有機系離型剤の性能を評価する工程；および
(III)前記工程(I)で作製されたモールド本体の表面を、前記工程(II)により性能が良であると判定された有機系離型剤で処理する工程；
ここで前記有機系離型剤の性能評価方法は、
有機系離型剤と試験用有機溶媒とを混合し、試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否から有機系離型剤の性能の良否を判定する方法からなる。
【請求項２】
前記工程(I)が、アルミニウム基材の表面に、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナを形成してモールド本体を作製する工程である、請求項１に記載のモールドの製造方法。
【請求項３】
前記有機系離型剤が、加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物である請求項１に記載のモールドの製造方法。
【請求項４】
前記試験用有機溶媒の誘電率が、22〜 40である、請求項１に記載のモールドの製造方法。
【請求項５】
前記試験用有機溶媒が、エタノールまたはN,N― ジメチルホルムアミドである、請求項１に記載のモールドの製造方法。
【請求項６】
前記試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否を、有機系離型剤と試験用有機溶媒との混合物の光透過率から判断する、請求項１に記載のモールドの製造方法。
【請求項７】
有機系離型剤と試験用有機溶媒とを混合し、試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否から有機系離型剤の性能の良否を判定する方法からなる有機系離型剤の性能評価方法。
【請求項８】
前記有機系離型剤をあらかじめ希釈用有機溶媒で希釈して前記離型剤溶液とする、請求項７に記載の有機系離型剤の性能評価方法。
【請求項９】
前記有機系離型剤が、表面に微細凹凸構造が形成されたモールド本体の表面を処理するためのものである、請求項８に記載の有機系離型剤の性能評価方法。
【請求項１０】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のモールドの製造方法で得られたモールドの表面の微細凹凸構造を、基材フィルムの表面に転写することを含む、微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機系離型剤の性能評価方法、モールドの製造方法および微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムの製造方法に関する。
本願は、２００９年１２月２４日に、日本に出願された特願２００９−２９１７７５号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
近年、可視光波長以下の周期の微細凹凸構造を表面に有する物品は、反射防止効果、ロータス効果等を発現することが知られている。特に、モスアイ構造と呼ばれる微細凹凸構造は、空気の屈折率から物品の材料の屈折率へと連続的に屈折率が増大していくことで有効な反射防止の手段となることが知られている。【０００３】
微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムの製造方法としては、光ナノインプリント法、熱ナノインプリント法等によって、モールドの表面の微細凹凸構造を、基材フィルムの表面に転写する方法が知られている。
光ナノインプリント法としては、例えば、下記の工程（Ｉ）〜（III）を有する方法が知られている（例えば、特許文献１）：
（Ｉ）表面に微細凹凸構造の反転構造を有するモールドと、透明フィルムの本体となる基材フィルムとの間に、紫外線硬化性樹脂組成物を挟持する工程；
（II）紫外線硬化性樹脂組成物に紫外線を照射し、前記紫外線硬化性樹脂組成物を硬化させて微細凹凸構造を有する硬化皮膜を形成し、透明フィルムを得る工程；および
（III）前記モールドと前記透明フィルムとを分離する工程。【０００４】
モールドの表面は、通常、有機系離型剤によって処理されている。しかし、モールドの表面の処理に用いられる有機系離型剤は、モールドの表面処理に繰り返し用いられたり、長期間放置されたりすることによって劣化することがある。劣化した有機系離型剤によって表面処理されたモールドは、表面の離型性が不十分となることがあり、その結果、透明フィルムを安定して製造できなくなることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３２６３６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、性能の良否を短時間で簡易に判定できる有機系離型剤の性能評価方法；表面の離型性が充分なモールドを製造できる方法；および、微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムを安定して製造できる方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第一の態様におけるモールドの製造方法は、下記の工程（Ｉ）〜（III）を有することを特徴とする：
（Ｉ）表面に微細凹凸構造が形成されたモールド本体を作製する工程；
（II）下記に記載の有機系離型剤の性能評価方法によって有機系離型剤の性能を評価する工程；および
（III）前記工程（Ｉ）で作製されたモールド本体の表面を、前記工程（II）により性能が良であると判定された有機系離型剤で処理する工程；
ここで前記有機系離型剤の性能評価方法は、有機系離型剤と試験用有機溶媒とを混合し、試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否から有機系離型剤の性能の良否を判定する方法からなる。【０００８】
前記工程（Ｉ）は、アルミニウム基材の表面に、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナを形成してモールド本体を作製する工程であることが好ましい。【０００９】
前記有機系離型剤は、加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物であることが好ましい。【００１０】
前記試験用有機溶媒の誘電率は、22〜 40であることが好ましい。【００１１】
前記試験用有機溶媒は、エタノールまたはN,N― ジメチルホルムアミドであることが好ましい。【００１２】
前記試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否を、有機系離型剤と試験用有機溶媒との混合物の光透過率から判断することが好ましい。【００１３】
本発明の第二の態様における有機系離型剤の性能評価方法は、有機系離型剤と試験用有機溶媒とを混合し、試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否から有機系離型剤の性能の良否を判定する方法である。【００１４】
前記有機系離型剤をあらかじめ希釈用有機溶媒で希釈して前記離型剤溶液とすることが好ましい。【００１５】
前記有機系離型剤が、表面に微細凹凸構造が形成されたモールド本体の表面を処理するためのものであることが好ましい。【００１６】
本発明の第三の態様における微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムの製造方法は、本発明の第一の態様に記載のモールドの製造方法で得られたモールドの表面の微細凹凸構造を、基材フィルムの表面に転写することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の第二の態様における有機系離型剤の性能評価方法によれば、有機系離型剤の性能の良否を短時間で簡易に判定できる。
本発明の第一の態様におけるモールドの製造方法によれば、表面の離型性が充分なモールドを製造できる。
本発明の第三の態様における微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムの製造方法によれば、透明フィルムを安定して製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】陽極酸化アルミナの細孔の形成過程を示す断面図である。
【図２】微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムの製造装置の一例を示す構成図である。
【図３】微細凹凸構造を表面に有する透明フィルムの一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本明細書において、（メタ）アクリレートとは、アクリレートまたはメタクリレートを意味する。また、透明とは、少なくとも波長４００〜１１７０ｎｍの光を透過することを意味する。また、活性エネルギー線とは、可視光線、紫外線、電子線、プラズマ、熱線（赤外線等）等を意味する。
【００２０】
＜有機系離型剤の性能評価方法＞
本発明の第二の態様における有機系離型剤の性能評価方法は、有機系離型剤と試験用有機溶媒とを混合し、試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否から有機系離型剤の性能の良否を判定する方法である。
【００２１】
有機系離型剤は、モールドの表面処理に繰り返し用いられたり、長期間放置されたりすることによって劣化し、離型性を充分に発揮できないことがある。本発明者らは、この原因が、加水分解性シリル基を有する化合物の場合、分子間縮合が起こりモールド本体との反応性が低下し、密着性が低下していることにあることを見出した。しかし、有機系離型剤の劣化は、有機系離型剤の見た目だけでは判定できない。分子間縮合の有無は、核磁気共鳴スペクトル等で調べることもできるが、測定に手間と時間がかかり、また、高価な装置を必要とする。そこで、本発明者らは、有機系離型剤の劣化、すなわち分子間縮合による有機系離型剤の高分子量化によって、有機系離型剤の有機溶媒への溶解性が低下することに着目し、本発明を完成させるに至った。
【００２２】
（判定方法）
劣化した有機系離型剤は、試験用有機溶媒への溶解性が低下し、白濁する。白濁の有無ないし多少の確認方法としては、光透過率を測定する方法、光散乱を測定する方法等が挙げられ、短時間で簡便に測定できる点から、光透過率を測定する方法が好ましい。
【００２３】
試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否を、有機系離型剤と試験用有機溶媒との混合物の光透過率から判断する場合、判断基準となる光透過率の閾値は、例えば、下記のように決定する。
（１）モールド本体の表面処理に用いる前の有機系離型剤（未使用品）と試験用有機溶媒との混合物について分光光度計を用いて光透過率を測定する。ついで、有機系離型剤（未使用品）によって表面処理されたモールドを用いて後述する透明フィルムの製造を行い、離型性を評価する。
（２）モールド本体の表面処理を１〜数回行った有機系離型剤と試験用有機溶媒との混合物について分光光度計を用いて光透過率を測定する。ついで、前記有機系離型剤によって表面処理されたモールドについても、後述する透明フィルムの製造を行い、離型性を評価する。
（３）前記（２）の操作を、離型性の評価が不可と判定されるまで繰り返し行う。
（４）モールド本体の表面処理に用いる前の有機系離型剤（未使用品）と試験用有機溶媒との混合物の光透過率のスペクトルと、離型性の評価が不可と判定された有機系離型剤（劣化品）と試験用有機溶媒との混合物の光透過率のスペクトルとを比較し、最も光透過率の差が大きい波長における有機系離型剤（劣化品）と試験用有機溶媒との混合物の光透過率を、閾値とする。
【００２４】
光透過率の測定は、分光光度計により行う。具体的には、後述する離型剤溶液と試験用有機溶媒とを２／８〜８／２の体積比で混合したものを測定溶液とする。また、リファレンスには、離型剤溶液に用いた希釈溶媒と試験用有機溶媒とを前記体積比で混合したものを用いる。測定波長としては、紫外〜可視領域（例えば２００〜９００ｎｍ程度）を使用する。
【００２５】
（有機系離型剤）
有機系離型剤としては、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、フッ素化合物等が挙げられ、離型性に優れる点、モールドとの密着性に優れる点から、加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物が好ましく、加水分解性シリル基を有するフッ素化合物が特に好ましい。加水分解性シリル基を有するフッ素化合物の市販品としては、フルオロアルキルシラン、ＫＢＭ−７８０３（信越化学工業社製）、「オプツール」シリーズ（ダイキン工業社製）、ノベックＥＧＣ−１７２０（住友３Ｍ社製）等が挙げられる。
【００２６】
（試験用有機溶媒）
試験用有機溶媒としては、正常な有機系離型剤と、劣化した有機系離型剤との間で溶解性（混合物にしたときの光透過率）に差が見られるものを用いる。例えば、試験用有機溶媒の極性が低すぎると両者とも溶解しやすく、極性が高すぎると両者とも溶解しにくくなり、溶解性（混合物にしたときの光透過率）に差が見られなくなる。したがって、試験用有機溶媒としては、適度な極性（すなわち誘電率）を有する有機溶媒が好ましい。試験用有機溶媒の誘電率は、１０〜７０が好ましく、３０〜６０がより好ましく、２２〜４０がもっとも好ましい。
【００２７】
試験用有機溶媒としては、加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物において正常なものと劣化したものとの間での溶解性（混合物にしたときの光透過率）の差が大きくなる点から、エタノール〔誘電率：２３．８（２５℃）〕、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド〔誘電率：３６．７１（２５℃）〕が好ましく、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドが特に好ましい。
本発明における誘電率は、真空の誘電率を１としたときの比誘電率であり、文献値〔「溶剤ハンドブック」、講談社サイエンティフィク、１９７６年、ｐ．７３４〕を用いる。
【００２８】
（希釈用有機溶媒）
有機系離型剤は、通常、モールド本体の表面処理に用いる際には、モールド本体の表面を均一に処理できるように希釈用有機溶媒で希釈し、離型剤溶液として用いられる。よって、本発明の有機系離型剤の性能評価方法においても、有機系離型剤は、実際にモールド本体の表面処理に用いる状態である、希釈用有機溶媒で希釈した離型剤溶液の状態で評価されることが好ましい。希釈用有機溶媒としては、有機系離型剤が溶解すれば特に限定されないが、有機系離型剤に加水分解性シリル基またはシラノール基を有するフッ素化合物を用いた場合には誘電率の低い溶媒が好ましく、ヘキサン、クロロホルム、ジエチルエーテル、テトラヒドラフラン、塩化メチレン、アセトン、アセトニトリル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等が挙げられる。特に有機系離型剤として「オプツール」シリーズ（ダイキン工業社製）を用いた場合には、フッ素系有機溶媒「デュラサーフ」シリーズ（ハーベス社製）を用いることが好ましい。
【００２９】
（具体例）
以下、有機系離型剤が加水分解性シリル基を有するフッ素化合物〔「オプツール」シリーズ（ダイキン工業社製）〕である場合を例にとり、さらに詳しく説明する。
試験用有機溶媒としては、正常な「オプツール」シリーズと劣化した「オプツール」シリーズとの間での溶解性（混合物にしたときの光透過率）の差が大きくなる点から、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドが特に好ましい。
希釈用有機溶媒としては、有機系離型剤の溶解性の観点から、フッ素系の有機溶媒であるデュラサーフＨＤ−ＺＶ（ハーベス社製）が好ましい。
【００３０】
離型剤溶液と試験用有機溶媒との混合物中の「オプツール」シリーズの濃度が高すぎたり、低すぎたりすると、劣化に応じた溶解性の差が現れにくい。よって、「オプツール」シリーズをデュラサーフＨＤ−ＺＶで希釈した０．１質量％の離型剤溶液とＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドとの混合比（離型剤溶液／Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド）は、２／８〜８／２（体積比）が好ましく、４／６〜６／４（体積比）がより好ましく、５／５（体積比）が特に好ましい。
【００３１】
「オプツール」シリーズをデュラサーフＨＤ−ＺＶで希釈した０．１質量％の離型剤溶液は、同体積のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドと混合した場合、未使用品でも若干白濁するが、離型性が低下した劣化品は著しく白濁する。前記離型剤溶液の性能の良否の判定は、後述する実施例の結果から、光透過率の減少が激しい波長４００ｎｍにおける混合物の光透過率が３６％以上であるものを性能が良であると判定することが好ましく、光透過率が４５％以上であるものを性能が良であると判定することがより好ましい。
【００３２】
（作用効果）
以上説明した本発明の第二の態様における有機系離型剤の性能評価方法にあっては、有機系離型剤と試験用有機溶媒とを混合し、試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否から有機系離型剤の性能の良否を判定するため、有機系離型剤の性能の良否を短時間で簡易に判定できる。
そして、事前に有機系離型剤の性能を判定できるため、透明フィルムの製造を開始した後に、有機系離型剤の劣化によるモールドの離型性の悪化に気付くといったトラブルを回避できる。また、有機系離型剤を限界まで効率的に使用できる。
【００３３】
本発明の第二の態様における性能評価方法は、後述するような平均間隔が２０〜４００ｎｍの細孔が形成された微細凹凸構造を有するモールドを使用して透明フィルムを製造する場合に用いられる有機系離型剤の評価に適している。特に細孔が陽極酸化によって形成されたものに適している。
【００３４】
＜モールドの製造方法＞
本発明の第一の態様におけるモールドの製造方法は、下記の工程（Ｉ）〜（III）を有する方法である：
（Ｉ）表面に微細凹凸構造が形成されたモールド本体を作製する工程；
（II）下記に記載の有機系離型剤の性能評価方法によって有機系離型剤の性能を評価する工程；および
（III）前記工程（Ｉ）で作製されたモールド本体の表面を前記工程（II）により性能が良であると判定された有機系離型剤で処理する工程；
ここで前記有機系離型剤の性能評価方法は、有機系離型剤と試験用有機溶媒とを混合し、試験用有機溶媒への有機系離型剤の溶解性の良否から有機系離型剤の性能の良否を判定する方法からなる。
【００３５】
なお、本発明の第二の態様における有機系離型剤の性能評価方法は、本発明の第一の態様における有機系離型剤の性能評価方法として用いることができる。
【００３６】
（工程（Ｉ））
工程（Ｉ）においては、基材の表面に微細凹凸構造を形成してモールド本体を作製する。
基材の材料としては、金属（表面に酸化皮膜が形成されたものを含む。）、石英、ガラス、樹脂、セラミックス等が挙げられる。
基材の形状としては、ロール状、円管状、平板状、シート状等が挙げられる。
【００３７】
モールド本体の製造方法としては、例えば、下記の方法（Ｉ−１）または（Ｉ−２）が挙げられ、大面積化が可能であり、かつ作製が簡便である点から、方法（Ｉ−１）が特に好ましい。
（Ｉ−１）アルミニウム基材の表面に、複数の細孔（凹部）を有する陽極酸化アルミナを形成する方法。
（Ｉ−２）基材の表面にリソグラフィ法によって微細凹凸構造を形成する方法。
【００３８】
方法（Ｉ−１）としては、下記の工程（ａ）〜（ｅ）を有する方法が好ましい。
（ａ）アルミニウム基材を電解液中、定電圧下で陽極酸化してアルミニウム基材の表面に酸化皮膜を形成する工程。
（ｂ）酸化皮膜を除去し、アルミニウム基材の表面に陽極酸化の細孔発生点を形成する工程。
（ｃ）アルミニウム基材を電解液中、再度陽極酸化し、細孔発生点に細孔を有する酸化皮膜を形成する工程。
（ｄ）細孔の径を拡大させる工程。
（ｅ）前記工程（ｄ）の後、電解液中、再度陽極酸化する工程。
（ｆ）前記工程（ｄ）と工程（ｅ）を繰り返し行い、複数の細孔を有する陽極酸化アルミナがアルミニウムの表面に形成されたモールド本体を得る工程。
【００３９】
工程（ａ）：
図１に示すように、アルミニウム基材１０を陽極酸化すると、細孔１２を有する酸化皮膜１４が形成される。
アルミニウム基材の形状としては、ロール状、円管状、平板状、シート状等が挙げられる。
アルミニウム基材は、表面状態を平滑化にするために、機械研磨、羽布研磨、化学的研磨、電解研磨（エッチング処理）等で研磨されることが好ましい。また、アルミニウム基材は、所定の形状に加工する際に用いた油が付着していることがあるため、陽極酸化の前にあらかじめ脱脂処理されることが好ましい。
【００４０】
アルミニウムの純度は、９９％以上が好ましく、９９．５％以上がより好ましく、９９．８％以上が特に好ましい。アルミニウムの純度が低いと、陽極酸化した時に、不純物の偏析により可視光を散乱する大きさの凹凸構造が形成されたり、陽極酸化で得られる細孔の規則性が低下したりすることがある。
電解液としては、硫酸、シュウ酸、リン酸等が挙げられる。
【００４１】
シュウ酸を電解液として用いる場合：
シュウ酸の濃度は、０．７Ｍ以下が好ましい。シュウ酸の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて酸化皮膜の表面が粗くなることがある。
化成電圧が３０〜６０Ｖの時、周期が１００ｎｍ程度の規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向にある。
電解液の温度は、６０℃以下が好ましく、４５℃以下がより好ましい。電解液の温度が６０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
【００４２】
硫酸を電解液として用いる場合：
硫酸の濃度は０．７Ｍ以下が好ましい。硫酸の濃度が０．７Ｍを超えると、電流値が高くなりすぎて定電圧を維持できなくなることがある。
化成電圧が２５〜３０Ｖの時、周期が６３ｎｍ程度の規則性の高い細孔を有する陽極酸化アルミナを得ることができる。化成電圧がこの範囲より高くても低くても規則性が低下する傾向がある。
電解液の温度は、３０℃以下が好ましく、２０℃以下がより好ましい。電解液の温度が３０℃を超えると、いわゆる「ヤケ」といわれる現象がおこり、細孔が壊れたり、表面が溶けて細孔の規則性が乱れたりすることがある。
【００４３】
工程（ｂ）：
図１に示すように、酸化皮膜１４を一旦除去し、これを陽極酸化の細孔発生点１６にすることで細孔の規則性を向上することができる。
酸化皮膜を除去する方法としては、アルミニウムを溶解せず、酸化皮膜を選択的に溶解する溶液に溶解させて除去する方法が挙げられる。このような溶液としては、例えば、クロム酸／リン酸混合液等が挙げられる。
【００４４】
工程（ｃ）：
図１に示すように、酸化皮膜を除去したアルミニウム基材１０を再度、陽極酸化すると、円柱状の細孔１２を有する酸化皮膜１４が形成される。
陽極酸化は、工程（ａ）と同様な条件で行えばよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。
【００４５】
工程（ｄ）：
図１に示すように、細孔１２の径を拡大させる処理（以下、細孔径拡大処理と記す。）を行う。細孔径拡大処理は、酸化皮膜を溶解する溶液に浸漬して陽極酸化で得られた細孔の径を拡大させる処理である。このような溶液としては、例えば、５質量％程度のリン酸水溶液等が挙げられる。
細孔径拡大処理の時間を長くするほど、細孔径は大きくなる。
【００４６】
工程（ｅ）：
図１に示すように、再度、陽極酸化すると、円柱状の細孔１２の底部から下に延びる、直径の小さい円柱状の細孔１２がさらに形成される。
陽極酸化は、工程（ａ）と同様な条件で行えばよい。陽極酸化の時間を長くするほど深い細孔を得ることができる。
【００４７】
工程（ｆ）：
図１に示すように、工程（ｄ）の細孔径拡大処理と、工程（ｅ）の陽極酸化を繰り返すと、直径が開口部から深さ方向に連続的に減少する形状の細孔１２を有する酸化皮膜１４が形成され、アルミニウム基材１０の表面に陽極酸化アルミナ（アルミニウムの多孔質の酸化皮膜（アルマイト））が形成されたモールド本体１８が得られる。最後は工程（ｄ）で終わることが好ましい。
【００４８】
繰り返し回数は、合計で３回以上が好ましく、５回以上がより好ましい。繰り返し回数が２回以下では、非連続的に細孔の直径が減少するため、このような細孔を有する陽極酸化アルミナを用いて形成されたモスアイ構造の反射率低減効果は不十分である。
【００４９】
細孔１２の形状としては、略円錐形状、角錐形状、円柱形状等が挙げられ、円錐形状、角錐形状等のように、深さ方向と直交する方向の細孔断面積が最表面から深さ方向に連続的に減少する形状が好ましい。
細孔１２間の平均間隔は、可視光の波長以下、すなわち４００ｎｍ以下である。細孔１２間の平均間隔は、２０ｎｍ以上が好ましい。
細孔１２間の平均間隔は、電子顕微鏡観察によって隣接する細孔１２間の間隔（細孔１２の中心から隣接する細孔１２の中心までの距離）を５０点測定し、これらの値を平均したものである。
【００５０】
細孔１２の深さは、平均間隔が１００ｎｍの場合は、８０〜５００ｎｍが好ましく、１２０〜４００ｎｍがより好ましく、１５０〜３００ｎｍが特に好ましい。
細孔１２の深さは、電子顕微鏡観察によって倍率３００００倍で観察したときにおける、細孔１２の最底部と、細孔１２間に存在する凸部の最頂部との間の距離を測定した値である。
細孔１２のアスペクト比（細孔の深さ／細孔間の平均間隔）は、０．８〜５が好ましく、１．２〜４がより好ましく、１．５〜３が特に好ましい。
【００５１】
（工程（II）および（III））
モールド本体の表面を有機系離型剤で処理する方法としては、下記の方法（II−１）、（II−２）が挙げられ、モールド本体の微細凹凸構造が形成された側の表面をムラなく有機系離型剤で処理できる点から、方法（II−１）が特に好ましい。
（II−１）有機系離型剤を希釈用有機溶媒で希釈した離型剤溶液にモールド本体を浸漬する方法。
（II−２）有機系離型剤または離型剤溶液を、モールド本体の微細凹凸構造が形成された側の表面に塗布する方法。
【００５２】
方法（II−１）としては、例えば、下記の工程（ｇ）〜（ｋ）を有する方法が挙げられる。
（ｇ）モールド本体を水洗する工程。
（ｈ）モールド本体にエアーを吹き付け、モールド本体の表面に付着した水滴を除去する工程。
（ｉ）離型剤溶液にモールド本体を浸漬する工程。
（ｊ）浸漬したモールド本体をゆっくりと溶液から引き上げる工程。
（ｋ）モールドを乾燥させる工程。
【００５３】
（作用効果）
以上説明した本発明の第一の態様におけるモールドの製造方法にあっては、モールド本体の表面を、有機系離型剤の性能評価方法によって性能が良であると判定された有機系離型剤で処理するため、表面の離型性が充分なモールドを製造できる。
【００５４】
＜透明フィルムの製造方法＞
本発明の第三の態様における微細凹凸構造を表面に有する透明フィルム（以下、「微細凹凸構造を表面に有する透明フィルム」を単に「透明フィルム」と記す。）の製造方法は、本発明のモールドの製造方法で得られたモールドの表面の微細凹凸構造を、基材フィルムの表面に転写する、いわゆるナノインプリント法による製造方法である。
【００５５】
ナノインプリント法とは、ナノレベルの微細な凹凸を表面に有するモールドを、樹脂等の基材に押し付けてモールドの微細な凹凸を転写する微細成形加工法であり、主に熱転写方式による熱ナノインプリント法と、光硬化方式による光ナノインプリント法とに分類されるが、本発明においてはどちらを用いてもよい。
熱ナノインプリント法とは、基材（熱可塑性材料）をガラス転移温度以上に加熱して（すなわち、樹脂の流動性を高めて）モールドを押し付け、基材を冷却した後にモールドを離型する方法である。
光ナノインプリント法とは、基材表面の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物にモールドを押し付けた状態で、紫外線等の活性エネルギー線を照射し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化させた後にモールドを離型する方法である。
【００５６】
本発明の透明フィルムの製造方法としては、下記の工程（Ａ）〜（Ｃ）を有する方法が好ましい。
（Ａ）基材フィルムの表面と、表面に微細凹凸構造の反転構造を有し、かつ該表面が有機系離型剤によって処理されたモールドとの間に、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を挟持する工程。
（Ｂ）活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に、基材フィルム側から活性エネルギー線を照射し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化させて硬化皮膜を形成し、透明フィルムを得る工程。
（Ｃ）透明フィルムとモールドとを分離する工程。
【００５７】
（製造装置）
工程（Ａ）〜（Ｃ）を有する方法による透明フィルムの製造は、例えば、図２に示す製造装置を用いて、下記のように行われる。
表面に微細凹凸構造（図示略）を有するロール状のモールド２０と、モールド２０の表面に沿って移動する帯状の基材フィルム４２との間に、タンク２２から活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を供給する。
【００５８】
モールド２０と、空気圧シリンダ２４によってニップ圧が調整されたニップロール２６との間で、基材フィルム４２および活性エネルギー線硬化性樹脂組成物をニップし、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を、基材フィルム４２とモールド２０との間に均一に行き渡らせると同時に、モールド２０の微細凹凸構造の凹部内に充填する。
【００５９】
モールド２０の下方に設置された活性エネルギー線照射装置２８から、基材フィルム４２を通して活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に活性エネルギー線を照射し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化させることによって、モールド２０の表面の微細凹凸構造が転写された硬化皮膜４４を形成する。
剥離ロール３０により、表面に硬化皮膜４４が形成された基材フィルム４２をモールド２０から剥離することによって、図３に示すような透明フィルム４０を得る。
【００６０】
活性エネルギー線照射装置２８としては、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等が好ましく、この場合の光照射エネルギー量は、１００〜１００００ｍＪ／ｃｍ２が好ましい。
【００６１】
（基材フィルム）
基材フィルム４２としては、基材フィルム４２を通して活性エネルギー線の照射を行う点から、透明性の高いフィルムが好ましい。前記フィルムの材料としては、例えば、アクリル系樹脂、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース等が挙げられる。
【００６２】
（硬化皮膜）
硬化皮膜４４は、後述の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物からなる膜であり、表面に微細凹凸構造を有する。
陽極酸化アルミナのモールドを用いた場合の透明フィルム４０の表面の微細凹凸構造は、陽極酸化アルミナの表面の微細凹凸構造を転写して形成されたものであり、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物からなる複数の凸部４６を有する。
【００６３】
微細凹凸構造としては、略円錐形状、角錐形状等の突起（凸部）が複数並んだ、いわゆるモスアイ構造が好ましい。突起間の間隔が可視光の波長以下であるモスアイ構造は、空気の屈折率から材料の屈折率へと連続的に屈折率が増大していくことで有効な反射防止の手段となることが知られている。
【００６４】
凸部間の平均間隔は、可視光の波長以下、すなわち４００ｎｍ以下が好ましい。陽極酸化アルミナのモールドを用いて凸部を形成した場合、凸部間の平均間隔は１００ｎｍ程度となることから、２００ｎｍ以下がより好ましく、１５０ｎｍ以下が特に好ましい。
凸部間の平均間隔は、凸部の形成のしやすさの点から、２０ｎｍ以上が好ましい。
凸部間の平均間隔は、電子顕微鏡観察によって隣接する凸部間の間隔（凸部の中心から隣接する凸部の中心までの距離）を５０点測定し、これらの値を平均したものである。
【００６５】
凸部の高さは、平均間隔が１００ｎｍの場合は、８０〜５００ｎｍが好ましく、１２０〜４００ｎｍがより好ましく、１５０〜３００ｎｍが特に好ましい。凸部の高さが８０ｎｍ以上であれば、反射率が十分低くなり、かつ反射率の波長依存性が少ない。凸部の高さが５００ｎｍ以下であれば、凸部の耐擦傷性が良好となる。
凸部の高さは、電子顕微鏡によって倍率３００００倍で観察したときにおける、凸部の最頂部と、凸部間に存在する凹部の最低部との間の距離を測定した値である。
【００６６】
凸部のアスペクト比（凸部の高さ／凸部間の平均間隔）は、０．８〜５．０が好ましく、１．２〜４．０がより好ましく、１．５〜３．０が特に好ましい。凸部のアスペクト比が１．０以上であれば、反射率が十分に低くなる。凸部のアスペクト比が５．０以下であれば、凸部の耐擦傷性が良好となる。
【００６７】
凸部の形状は、高さ方向と直交する方向の凸部断面積が最表面から深さ方向に連続的に増加する形状、すなわち、凸部の高さ方向の断面形状が、三角形、台形、釣鐘型等の形状が好ましい。
【００６８】
硬化皮膜４４の屈折率と基材フィルム４２の屈折率との差は、０．２以下が好ましく、０．１以下がより好ましく、０．０５以下が特に好ましい。屈折率差が０．２以下であれば、硬化皮膜４４と基材フィルム４２との界面における反射が抑えられる。
【００６９】
表面に微細凹凸構造を有する場合、その表面が疎水性の材料から形成されていればロータス効果により超撥水性が得られ、その表面が親水性の材料から形成されていれば超親水性が得られることが知られている。
【００７０】
硬化皮膜４４の材料が疎水性の場合の微細凹凸構造の表面の水接触角は、９０゜以上が好ましく、１１０゜以上がより好ましく、１２０゜以上が特に好ましい。水接触角が９０゜以上であれば、水汚れが付着しにくくなるため、十分な防汚性が発揮される。また、水が付着しにくいため、着氷防止を期待できる。
【００７１】
硬化皮膜４４の材料が親水性の場合の微細凹凸構造の表面の水接触角は、２５゜以下が好ましく、２３゜以下がより好ましく、２１゜以下が特に好ましい。水接触角が２５゜以下であれば、表面に付着した汚れが水で洗い流され、また油汚れが付着しにくくなるため、十分な防汚性が発揮される。前記水接触角は、硬化皮膜４４の吸水による微細凹凸構造の変形、それに伴う反射率の上昇を抑える点から、３゜以上が好ましい。
【００７２】
（活性エネルギー線硬化性樹脂組成物）
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、重合性化合物および重合開始剤を含む。
重合性化合物としては、分子中にラジカル重合性結合および／またはカチオン重合性結合を有するモノマー、オリゴマー、反応性ポリマー等が挙げられる。
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、非反応性のポリマー、活性エネルギー線ゾルゲル反応性組成物を含んでいてもよい。
【００７３】
ラジカル重合性結合を有するモノマーとしては、単官能モノマー、多官能モノマーが挙げられる。
単官能モノマーとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、アルキル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレート誘導体；（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリロニトリル；スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン誘導体；（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ジエチル（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド等の（メタ）アクリルアミド誘導体等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種類以上を併用してもよい。
【００７４】
多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性ジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，５−ペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシエトキシフェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（３−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル）プロパン、１，２−ビス（３−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）エタン、１，４−ビス（３−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）ブタン、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド付加物ジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのプロピレンオキサイド付加物ジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジビニルベンゼン、メチレンビスアクリルアミド等の二官能性モノマー；ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシド変性トリアクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート等の三官能モノマー；コハク酸／トリメチロールエタン／アクリル酸の縮合反応混合物、ジペンタエリストールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールペンタ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート等の四官能以上のモノマー；二官能以上のウレタンアクリレート、二官能以上のポリエステルアクリレート等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種類以上を併用してもよい。
【００７５】
カチオン重合性結合を有するモノマーとしては、エポキシ基、オキセタニル基、オキサゾリル基、ビニルオキシ基等を有するモノマーが挙げられ、エポキシ基を有するモノマーが特に好ましい。
【００７６】
オリゴマーまたは反応性ポリマーとしては、不飽和ジカルボン酸と多価アルコールとの縮合物等の不飽和ポリエステル類；ポリエステル（メタ）アクリレート、ポリエーテル（メタ）アクリレート、ポリオール（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、カチオン重合型エポキシ化合物、側鎖にラジカル重合性結合を有する上述のモノマーの単独または共重合ポリマー等が挙げられる。
【００７７】
非反応性のポリマーとしては、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリウレタン、セルロース系樹脂、ポリビニルブチラール、ポリエステル、熱可塑性エラストマー等が挙げられる。
活性エネルギー線ゾルゲル反応性組成物としては、アルコキシシラン化合物、アルキルシリケート化合物等が挙げられる。
【００７８】
アルコキシシラン化合物としては、下記式（１）の化合物が挙げられる。
Ｒ１１ｘＳｉ（ＯＲ１２）ｙ  ・・・（１）。
ただし、Ｒ１１、Ｒ１２は、それぞれ炭素数１〜１０のアルキル基を表し、ｘ、ｙは、ｘ＋ｙ＝４の関係を満たす整数を表す。
【００７９】
アルコキシシラン化合物としては、テトラメトキシシラン、テトラ−ｉ−プロポキシシラン、テトラ−ｎ−プロポキシシラン、テトラ−ｎ−ブトキシシラン、テトラ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、テトラ−ｔ−ブトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチルメトキシシラン、トリメチルプロポキシシラン、トリメチルブトキシシラン等が挙げられる。
【００８０】
アルキルシリケート化合物としては、下記式（２）の化合物が挙げられる。
Ｒ２１Ｏ［Ｓｉ（ＯＲ２３）（ＯＲ２４）Ｏ］ｚＲ２２  ・・・（２）。
ただし、Ｒ２１〜Ｒ２４は、それぞれ炭素数１〜５のアルキル基を表し、ｚは、３〜２０の整数を表す。
【００８１】
アルキルシリケート化合物としては、メチルシリケート、エチルシリケート、イソプロピルシリケート、ｎ−プロピルシリケート、ｎ−ブチルシリケート、ｎ−ペンチルシリケート、アセチルシリケート等が挙げられる。
【００８２】
光硬化反応を利用する場合、光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジル、ベンゾフェノン、ｐ−メトキシベンゾフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、α，α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノン、メチルフェニルグリオキシレート、エチルフェニルグリオキシレート、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン等のカルボニル化合物；テトラメチルチウラムモノスルフィド、テトラメチルチウラムジスルフィド等の硫黄化合物；２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ベンゾイルジエトキシフォスフィンオキサイド等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００８３】
電子線硬化反応を利用する場合、重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、４，４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン、メチルオルソベンゾイルベンゾエート、４−フェニルベンゾフェノン、ｔ−ブチルアントラキノン、２−エチルアントラキノン、２，４−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン等のチオキサントン；ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、１−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、２−メチル−２−モルホリノ（４−チオメチルフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン等のアセトフェノン；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル；２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド；メチルベンゾイルホルメート、１，７−ビスアクリジニルヘプタン、９−フェニルアクリジン等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００８４】
熱硬化反応を利用する場合、熱重合開始剤としては、例えば、メチルエチルケトンパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシオクトエート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ラウロイルパーオキサイド等の有機過酸化物；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系化合物；前記有機過酸化物にＮ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−ｐ−トルイジン等のアミンを組み合わせたレドックス重合開始剤等が挙げられる。
【００８５】
重合開始剤の量は、重合性化合物１００質量部に対して、０．１〜１０質量部が好ましい。重合開始剤の量が０．１質量部未満では、重合が進行しにくい。重合開始剤の量が１０質量部を超えると、硬化膜が着色したり、機械強度が低下したりすることがある。
【００８６】
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、帯電防止剤、離型剤、防汚性を向上させるためのフッ素化合物等の添加剤；微粒子、少量の溶媒を含んでいてもよい。
【００８７】
（疎水性材料）
硬化皮膜４４の微細凹凸構造の表面の水接触角を９０°以上にするためには、疎水性の材料を形成し得る活性エネルギー線硬化性樹脂組成物として、フッ素含有化合物またはシリコーン系化合物を含む組成物を用いることが好ましい。
【００８８】
フッ素含有化合物：
フッ素含有化合物としては、下記式（３）で表されるフルオロアルキル基を有する化合物が好ましい。
−（ＣＦ２）ｎ−Ｘ    ・・・（３）。
ただし、Ｘは、フッ素原子または水素原子を表し、ｎは、１以上の整数を表し、１〜２０が好ましく、３〜１０がより好ましく、４〜８が特に好ましい。
【００８９】
フッ素含有化合物としては、フッ素含有モノマー、フッ素含有シランカップリング剤、フッ素含有界面活性剤、フッ素含有ポリマー等が挙げられる。
フッ素含有モノマーとしては、フルオロアルキル基置換ビニルモノマー、フルオロアルキル基置換開環重合性モノマー等が挙げられる。
【００９０】
フルオロアルキル基置換ビニルモノマーとしては、フルオロアルキル基置換（メタ）アクリレート、フルオロアルキル基置換（メタ）アクリルアミド、フルオロアルキル基置換ビニルエーテル、フルオロアルキル基置換スチレン等が挙げられる。
【００９１】
フルオロアルキル基置換開環重合性モノマーとしては、フルオロアルキル基置換エポキシ化合物、フルオロアルキル基置換オキセタン化合物、フルオロアルキル基置換オキサゾリン化合物等が挙げられる。
【００９２】
フッ素含有モノマーとしては、フルオロアルキル基置換（メタ）アクリレートが好ましく、下記式（４）の化合物が特に好ましい。
ＣＨ２＝Ｃ（Ｒ４１）Ｃ（Ｏ）Ｏ−（ＣＨ２）ｍ−（ＣＦ２）ｎ−Ｘ  ・・・（４）。
ただし、Ｒ４１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｘは、水素原子またはフッ素原子を表し、ｍは、１〜６の整数を表し、１〜３が好ましく、１または２がより好ましく、ｎは、１〜２０の整数を表し、３〜１０が好ましく、４〜８がより好ましい。
【００９３】
フッ素含有シランカップリング剤としては、フルオロアルキル基置換シランカップリング剤が好ましく、下記式（５）の化合物が特に好ましい。
（Ｒｆ）ａＲ５１ｂＳｉＹｃ  ・・・（５）。
【００９４】
Ｒｆは、エーテル結合またはエステル結合を１個以上含んでいてもよい炭素数１〜２０のフッ素置換アルキル基を表す。Ｒｆとしては、３，３，３−トリフルオロプロピル基、トリデカフルオロ−１，１，２，２−テトラヒドロオクチル基、３−トリフルオロメトキシプロピル基、３−トリフルオロアセトキシプロピル基等が挙げられる。
Ｒ５１は、炭素数１〜１０のアルキル基を表す。Ｒ５１としては、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。
【００９５】
Ｙは、水酸基または加水分解性基を表す。
加水分解性基としては、アルコキシ基、ハロゲン原子、Ｒ５２Ｃ（Ｏ）Ｏ（ただし、Ｒ５２は、水素原子または炭素数１〜１０のアルキル基を表す。）等が挙げられる。
アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロピルオキシ基、ｉ−プロピルオキシ基、ブトキシ基、ｉ−ブトキシ基、ｔ−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、２−エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基、３，７−ジメチルオクチルオキシ基、ラウリルオキシ基等が挙げられる。
ハロゲン原子としては、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ等が挙げられる。
Ｒ５２Ｃ（Ｏ）Ｏとしては、ＣＨ３Ｃ（Ｏ）Ｏ、Ｃ２Ｈ５Ｃ（Ｏ）Ｏ等が挙げられる。
【００９６】
ａ、ｂ、ｃは、ａ＋ｂ＋ｃ＝４であり、かつａ≧１、ｃ≧１を満たす整数を表し、ａ＝１、ｂ＝０、ｃ＝３が好ましい。
【００９７】
フッ素含有シランカップリング剤としては、３，３，３−トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、３，３，３−トリフルオロプロピルトリアセトキシシラン、ジメチル−３，３，３−トリフルオロプロピルメトキシシラン、トリデカフルオロ−１，１，２，２−テトラヒドロオクチルトリエトキシシラン等が挙げられる。
【００９８】
フッ素含有界面活性剤としては、フルオロアルキル基含有アニオン系界面活性剤、フルオロアルキル基含有カチオン系界面活性剤等が挙げられる。
【００９９】
フルオロアルキル基含有アニオン系界面活性剤としては、炭素数２〜１０のフルオロアルキルカルボン酸またはその金属塩、パーフルオロオクタンスルホニルグルタミン酸ジナトリウム、３−［オメガ−フルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１１）オキシ］−１−アルキル（Ｃ３〜Ｃ４）スルホン酸ナトリウム、３−［オメガ−フルオロアルカノイル（Ｃ６〜Ｃ８）−Ｎ−エチルアミノ］−１−プロパンスルホン酸ナトリウム、フルオロアルキル（Ｃ１１〜Ｃ２０）カルボン酸またはその金属塩、パーフルオロアルキルカルボン酸（Ｃ７〜Ｃ１３）またはその金属塩、パーフルオロアルキル（Ｃ４〜Ｃ１２）スルホン酸またはその金属塩、パーフルオロオクタンスルホン酸ジエタノールアミド、Ｎ−プロピル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）パーフルオロオクタンスルホンアミド、パーフルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１０）スルホンアミドプロピルトリメチルアンモニウム塩、パーフルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１０）−Ｎ−エチルスルホニルグリシン塩、モノパーフルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１６）エチルリン酸エステル等が挙げられる。
【０１００】
フルオロアルキル基含有カチオン系界面活性剤としては、フルオロアルキル基含有脂肪族一級、二級または三級アミン酸、パーフルオロアルキル（Ｃ６〜Ｃ１０）スルホンアミドプロピルトリメチルアンモニウム塩等の脂肪族４級アンモニウム塩、ベンザルコニウム塩、塩化ベンゼトニウム、ピリジニウム塩、イミダゾリニウム塩等が挙げられる。
【０１０１】
フッ素含有ポリマーとしては、フルオロアルキル基含有モノマーの重合体、フルオロアルキル基含有モノマーとポリ（オキシアルキレン）基含有モノマーとの共重合体、フルオロアルキル基含有モノマーと架橋反応性基含有モノマーとの共重合体等が挙げられる。フッ素含有ポリマーは、共重合可能な他のモノマーとの共重合体であってもよい。
【０１０２】
フッ素含有ポリマーとしては、フルオロアルキル基含有モノマーとポリ（オキシアルキレン）基含有モノマーとの共重合体が好ましい。
ポリ（オキシアルキレン）基としては、下記式（６）で表される基が好ましい。
−（ＯＲ６１）ｐ−  ・・・（６）。
ただし、Ｒ６１は、炭素数２〜４のアルキレン基を表し、ｐは、２以上の整数を表す。Ｒ６１としては、−ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ（ＣＨ３）−等が挙げられる。
【０１０３】
ポリ（オキシアルキレン）基は、同一のオキシアルキレン単位（ＯＲ６１）からなるものであってもよく、２種以上のオキシアルキレン単位（ＯＲ６１）からなるものであってもよい。２種以上のオキシアルキレン単位（ＯＲ６１）の配列は、ブロックであってもよく、ランダムであってもよい。
【０１０４】
シリコーン系化合物：
シリコーン系化合物としては、（メタ）アクリル酸変性シリコーン、シリコーン樹脂、シリコーン系シランカップリング剤等が挙げられる。
（メタ）アクリル酸変性シリコーンとしては、シリコーン（ジ）（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【０１０５】
（親水性材料）
硬化皮膜４４の微細凹凸構造の表面の水接触角を２５°以下にするためには、親水性の材料を形成し得る活性エネルギー線硬化性樹脂組成物として、少なくとも親水性モノマーを含む組成物を用いることが好ましい。また、耐擦傷性や耐水性付与の観点からは、架橋可能な多官能モノマーを含むものがより好ましい。なお、親水性モノマーと架橋可能な多官能モノマーは、同一（すなわち、親水性多官能モノマー）であってもよい。さらに、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、その他のモノマーを含んでいてもよい。
【０１０６】
親水性の材料を形成し得る活性エネルギー線硬化性樹脂組成物としては、下記の重合性化合物に由来する構成単位を含む組成物を用いることがより好ましい。重合性化合物を構成する構成単位の合計１００質量に対し、それぞれ４官能以上の多官能（メタ）アクリレート由来の構成単位が１０〜５０質量％、２官能以上の親水性（メタ）アクリレート由来の構成単位が３０〜８０質量％、および単官能モノマー由来の構成単位が０〜２０質量％からなる重合性化合物に由来する構成単位を含む組成物を用いることが好ましい。
【０１０７】
４官能以上の多官能（メタ）アクリレートとしては、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールエトキシテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、コハク酸／トリメチロールエタン／アクリル酸のモル比１：２：４の縮合反応混合物、ウレタンアクリレート類（ダイセル・サイテック社製：ＥＢＥＣＲＹＬ２２０、ＥＢＥＣＲＹＬ１２９０、ＥＢＥＣＲＹＬ１２９０Ｋ、ＥＢＥＣＲＹＬ５１２９、ＥＢＥＣＲＹＬ８２１０、ＥＢＥＣＲＹＬ８３０１、ＫＲＭ８２００）、ポリエーテルアクリレート類（ダイセル・サイテック社製：ＥＢＥＣＲＹＬ８１）、変性エポキシアクリレート類（ダイセル・サイテック社製：ＥＢＥＣＲＹＬ３４１６）、ポリエステルアクリレート類（ダイセル・サイテック社製：ＥＢＥＣＲＹＬ４５０、ＥＢＥＣＲＹＬ６５７、ＥＢＥＣＲＹＬ８００、ＥＢＥＣＲＹＬ８１０、ＥＢＥＣＲＹＬ８１１、ＥＢＥＣＲＹＬ８１２、ＥＢＥＣＲＹＬ１８３０、ＥＢＥＣＲＹＬ８４５、ＥＢＥＣＲＹＬ８４６、ＥＢＥＣＲＹＬ１８７０）等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
４官能以上の多官能（メタ）アクリレートとしては、５官能以上の多官能（メタ）アクリレートがより好ましい。
【０１０８】
４官能以上の多官能（メタ）アクリレート由来の構成単位の割合は、１０〜５０質量％が好ましく、耐水性、耐薬品性の点から、２０〜５０質量％がより好ましく、３０〜５０質量％が特に好ましい。４官能以上の多官能（メタ）アクリレート由来の構成単位の割合が１０質量％以上であれば、弾性率が高くなって耐擦傷性が向上する。４官能以上の多官能（メタ）アクリレート由来の構成単位の割合が５０質量％以下であれば、表面に小さな亀裂が入りにくく、外観不良となりにくい。
【０１０９】
２官能以上の親水性（メタ）アクリレートとしては、アロニックスＭ−２４０、アロニックスＭ２６０（東亞合成社製）、ＮＫエステルＡＴ−２０Ｅ、ＮＫエステルＡＴＭ−３５Ｅ（新中村化学社製）等の長鎖ポリエチレングリコールを有する多官能アクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート等が挙げられる。これらは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【０１１０】
ポリエチレングリコールジメタクリレートにおいて、一分子内に存在するポリエチレングリコール鎖の平均繰り返し単位の合計は、６〜４０が好ましく、９〜３０がより好ましく、１２〜２０が特に好ましい。ポリエチレングリコール鎖の平均繰り返し単位が６以上であれば、親水性が十分となり、防汚性が向上する。ポリエチレングリコール鎖の平均繰り返し単位が４０以下であれば、４官能以上の多官能（メタ）アクリレートとの相溶性が良好となり、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物が分離しにくい。
【０１１１】
２官能以上の親水性（メタ）アクリレート由来の構成単位の割合は、３０〜８０質量％が好ましく、４０〜７０質量％がより好ましい。２官能以上の親水性（メタ）アクリレート由来の構成単位の割合が３０質量％以上であれば、親水性が十分となり、防汚性が向上する。２官能以上の親水性（メタ）アクリレート由来の構成単位の割合が８０質量％以下であれば、弾性率が高くなって耐擦傷性が向上する。
【０１１２】
単官能モノマーとしては、親水性単官能モノマーが好ましい。
親水性単官能モノマーとしては、Ｍ−２０Ｇ、Ｍ−９０Ｇ、Ｍ−２３０Ｇ（新中村化学社製）等のエステル基にポリエチレングリコール鎖を有する単官能（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等のエステル基に水酸基を有する単官能（メタ）アクリレート、単官能アクリルアミド類、メタクリルアミドプロピルトリメチルアンモニウムメチルサルフェート、メタクリロイルオキシエチルトリメチルアンモニウムメチルサルフェート等のカチオン性モノマー類等が挙げられる。
また、単官能モノマーとして、アクリロイルモルホリン、ビニルピロリドン等の粘度調整剤、物品本体への密着性を向上させるアクリロイルイソシアネート類等の密着性向上剤等を用いてもよい。
【０１１３】
単官能モノマー由来の構成単位の割合は、０〜２０質量％が好ましく、５〜１５質量％がより好ましい。単官能モノマー由来の構成単位を用いることにより、物品本体と硬化樹脂との密着性が向上する。単官能モノマー由来の構成単位の割合が２０質量％以下であれば、４官能以上の多官能（メタ）アクリレート由来の構成単位または２官能以上の親水性（メタ）アクリレート由来の構成単位が不足することなく、防汚性または耐擦傷性が十分に発現する。
【０１１４】
単官能モノマーは、１種または２種以上を（共）重合した低重合度の重合体として活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に０〜３５質量部配合してもよい。低重合度の重合体としては、Ｍ−２３０Ｇ（新中村化学社製）等のエステル基にポリエチレングリコール鎖を有する単官能（メタ）アクリレート類と、メタクリルアミドプロピルトリメチルアンモニウムメチルサルフェートとの４０／６０共重合オリゴマー（ＭＲＣユニテック社製、ＭＧポリマー）等が挙げられる。
【０１１５】
（用途）
透明フィルム４０の用途としては、反射防止フィルム、防曇性フィルム、防汚性フィルム、撥水性フィルム、より具体的にはディスプレー用反射防止フィルム、自動車メーターカバー、自動車ミラー、自動車窓、有機または無機エレクトロルミネッセンスの光取り出し効率向上部材、太陽電池部材等が挙げられる。
なお、透明フィルムは、図示例の透明フィルム４０に限定はされない。例えば、微細凹凸構造は、硬化皮膜４４を設けることなく基材フィルム４２の表面に直接形成されていてもよい。ただし、ロール状のモールド２０を用いて効率よく微細凹凸構造を形成できる点から、硬化皮膜４４の表面に微細凹凸構造が形成されていることが好ましい。
【０１１６】
（作用効果）
以上説明した本発明の第三の態様における透明フィルムの製造方法にあっては、本発明のモールドの製造方法によって得られた、表面の離型性が充分なモールドを用いているため、透明フィルムを安定して製造できる。
【実施例】
【０１１７】
以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。【０１１８】
〔実施例１〕
（離型剤溶液の調製）
有機系離型剤としてオプツールＤＳＸ（ダイキン工業社製）、希釈用有機溶媒としてデュラサーフＨＤ−ＺＶ（ハーベス社製）を用いて、離型剤濃度が０．１質量％である離型剤溶液を調製した。【０１１９】
（離型剤の性能評価）
調製した離型剤溶液とＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド〔和光純薬工業社製、特級、誘電率（２５℃）：３６．７１〕を１：１の体積比で混合し、混合物とした。混合物の光透過率を分光光度計（日立製作所社製、Ｕ−３３００）で測定した。リファレンスとしては、デュラサーフＨＤ−ＺＶとＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドを１：１の体積比で混合したものを用いた。測定の結果、波長４００ｎｍにおける光透過率は９３％であった。【０１２０】
（モールドの製造）
５０ｍｍ×５０ｍｍ×厚さ０．３ｍｍのアルミニウム板（純度９９．９９％）を、過塩素酸／エタノール混合溶液（１／４体積比）中で電解研磨した。
工程（ａ）：
前記アルミニウム板について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中で、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で６時間陽極酸化を行った
工程（ｂ）：
酸化皮膜が形成されたアルミニウム板を、６質量％リン酸／１．８質量％クロム酸混合水溶液に３時間浸漬して、酸化皮膜を除去した。
工程（ｃ）：
前記アルミニウム板について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で３０秒間陽極酸化を行った。【０１２１】
工程（ｄ）：
酸化皮膜が形成されたアルミニウム板を、３２℃の５質量％リン酸水溶液に８分間浸漬して、細孔径拡大処理を行った。
工程（ｅ）：
前記アルミニウム板について、０．３Ｍシュウ酸水溶液中、直流４０Ｖ、温度１６℃の条件で３０秒間陽極酸化を行った。
工程（ｆ）：
前記工程（ｄ）および工程（ｅ）を合計で４回繰り返し、最後に工程（ｄ）を行い、平均周期：約１００ｎｍ、深さ：約２４０ｎｍの略円錐形状の細孔を有する陽極酸化アルミナが表面に形成されたモールド本体ａを得た。【０１２２】
工程（ｇ）：
シャワーを用いてモールド本体ａの表面のリン酸水溶液を軽く洗い流した後、モールド本体ａを流水中に１０分間浸漬した。
工程（ｈ）：
モールド本体ａにエアーガンからエアーを吹き付け、モールド本体ａの表面に付着した水滴を除去した。【０１２３】
工程（ｉ）：
モールド本体ａを、前記離型剤溶液に室温で１０分間浸漬した。
工程（ｊ）：
モールド本体ａを、離型剤溶液から３ｍｍ／ｓｅｃでゆっくりと引き上げた。
工程（ｋ）：
モールド本体ａを１５分間風乾して、離型剤で処理されたモールドを得た。【０１２４】
（活性エネルギー線硬化性樹脂組成物）
活性エネルギー線硬化樹脂組成物として、下記の組成のものを用意した。
コハク酸／トリメチロールエタン／アクリル酸のモル比１：２：４の縮合反応混合物；４５質量部、
１，６−ヘキサンジオールジアクリレート（大阪有機化学工業社製）；４５質量部、
ラジカル重合性シリコーンオイル（信越化学工業社製、Ｘ−２２−１６０２）；１０質量部、
１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（チバ・スペシャリティーケミカルズ社製、イルガキュア１８４）；３質量部。【０１２５】
（透明フィルムの製造）
モールドの微細凹凸構造が形成された側に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を流し込み、基材フィルムであるアクリルフィルムを被せた後、紫外線照射機（高圧水銀ランプ、積算光量：４００ｍＪ／ｃｍ２）によって硬化を行った。ついで、基材フィルムごと硬化皮膜をモールドから離型することにより、アクリルフィルム上にモールドの微細凹凸構造を転写した。離型はスムーズに行うことができた。【０１２６】
〔実施例２〕
実施例１の離型剤溶液を交換することなく、同じ離型剤溶液によるモールド本体ａの表面処理を、合計１０回繰り返し行った。離型剤溶液と実施例１と同様のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドの１：１体積比の混合物の光透過率を測定したところ、波長４００ｎｍにおける光透過率は８０％であった。
前記離型剤溶液を用いた以外は、実施例１と同様にしてアクリルフィルム上にモールドの微細凹凸構造を転写した。離型はスムーズに行うことができた。【０１２７】
〔実施例３〕
実施例１の離型剤溶液を交換することなく、同じ離型剤溶液によるモールド本体ａの表面処理を、合計２０回繰り返し行った。離型剤溶液と実施例１と同様のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドの１：１体積比の混合物の光透過率を測定したところ、波長４００ｎｍにおける光透過率は６４％であった。
前記離型剤溶液を用いた以外は、実施例１と同様にしてアクリルフィルム上にモールドの微細凹凸構造を転写した。離型はスムーズに行うことができた。【０１２８】
〔比較例１〕
実施例２の離型剤溶液を交換することなく、同じ離型剤溶液によるモールド本体ａの表面処理を、さらに５回以上行った。離型剤溶液と実施例１と同様のＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミドの１：１体積比の混合物の光透過率を測定したところ、波長４００ｎｍにおける光透過率は３５％であった。
前記離型剤溶液を用いた以外は、実施例１と同様にしてアクリルフィルム上にモールドの微細凹凸構造を転写しようとしたところ、モールドからアクリルフィルムを１回目の転写から離型できなかった。
【産業上の利用可能性】
【０１２９】
本発明の製造方法で得られモールドは、モスアイ構造と呼ばれる微細凹凸構造を表面に有する光学フィルムの製造に有用である。
【符号の説明】
【０１３０】
１０  アルミニウム基材
１２  細孔
１４  酸化皮膜
１８  モールド本体
２０  モールド
４０  透明フィルム
４２  基材フィルム
４４  硬化皮膜
４６  凸部
【図１】
2011078265.tif 000003
【図２】
2011078265.tif 000004
【図３】
2011078265.tif 000005
【国際調査報告】
2011078265.tif 000006
2011078265.tif 000007
2011078265.tif 000008
2011078265.tif 000009