(57)【要約】  動作時に発熱を生じる半導体素子とこれを実装する基板とを備える半導体装置において、小型化および大電流化を可能とするとともに、半導体素子の、基板に向く下面を通しての電気的接続を可能にする。  両主面（８，１３）が電気絶縁体をもって構成され、かつ電気絶縁体上に外部導体（１４）が形成された、比較的高い熱伝導率を有する放熱用基板（４）と、この放熱用基板（４）の上方主面（８）上に実装され、放熱用基板（４）よりも低い熱伝導率を有し、かつ銀または銅を主成分とする配線導体（１８）が外部導体（１４）に電気的に接続された状態で内部に形成された、配線用基板（５）とに、基板としての機能を分担させる。放熱用基板（４）の上方主面（８）上であって、配線用基板（５）に設けられた貫通穴（６）内に、半導体素子（２）を実装する。半導体素子（２）は、配線導体（１８）に外部導体（１４）を介して電気的に接続される下面電極（１０）を有する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一方の主面が電気絶縁体をもって構成され、かつ前記電気絶縁体上に外部導体が形成された、比較的高い熱伝導率を有する放熱用基板と、
前記放熱用基板の前記一方の主面上に実装され、前記放熱用基板よりも低い熱伝導率を有し、かつ銀または銅を主成分とする配線導体が前記外部導体に電気的に接続された状態で内部に形成された、配線用基板と、
前記放熱用基板の前記一方の主面上に実装され、かつ前記配線導体に前記外部導体を介して電気的に接続された下面電極が前記放熱用基板の前記一方の主面に対向する実装面上に形成された、動作時に発熱を生じる半導体素子と
を備える、半導体装置。
【請求項２】
前記配線用基板は主面方向に直交する方向に貫通する貫通穴を有し、前記半導体素子は前記貫通穴内に収容されている、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
複数個の前記半導体素子を備え、前記配線用基板は複数個の前記貫通穴を有し、前記複数個の半導体素子の各々は前記複数個の貫通穴の各々内に収容されている、請求項２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記半導体素子は、前記実装面に対向する面に上面電極を有し、前記上面電極はワイヤを介して前記配線導体と電気的に接続されている、請求項１ないし３のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項５】
前記半導体素子は、耐熱温度が２００℃以上である、請求項１ないし４のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項６】
前記半導体素子は、ベアタイプのものである、請求項１ないし５のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項７】
前記放熱用基板は、窒化アルミニウム基板、アルミナ基板、窒化珪素基板、または金属板の少なくとも一方主面にセラミックまたは樹脂からなる絶縁層が形成された金属ベース基板のいずれかからなり、前記配線用基板は、低温焼結セラミック基板または樹脂基板からなる、請求項１ないし６のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項８】
前記配線用基板の主面に実装された電子部品をさらに備える、請求項１ないし７のいずれかに記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体装置に関するもので、特に、動作時に発熱を生じる半導体素子とこれを実装する基板とを備える半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置において、そこに備える半導体素子から発生する熱を効率良く逃がすため、半導体素子を実装するための基板として、熱抵抗の低い基板が用いられている。現在実用化されている熱抵抗の低い基板としては、たとえば、熱伝導率が高い金属板をもって構成される金属ベース基板や、窒化アルミニウム基板やアルミナ基板等のＨＴＣＣ（High Temperature Co-fired Ceramic）基板がある。【０００３】
たとえば特開昭６１−２１２０４５号公報（特許文献１）には、孔明けしたセラミック多層配線基板の孔に凸部を有する放熱フィン（金属板）を嵌合させた状態で一体化し、放熱フィン（金属板）の凸部に半導体素子を搭載することによって、半導体素子の放熱性を向上させることが記載されている。【０００４】
ところが、たとえばＦＥＴ（電界効果トランジスタ）のように、下面において信号の入出力を行なう必要のある半導体素子を実装する場合、特許文献１に記載の技術を適用することはできない。なぜなら、１個の放熱フィン（金属板）に複数個の半導体素子を直接搭載した場合には、各半導体素子の下面において信号の入出力を行なうことができないからである。【０００５】
この点、特開平５−３１５４６７号公報（特許文献２）には、第１絶縁基板に設けた穴部または切り欠き部に熱伝導率の高い第２基板を収容し、第２基板上に半導体素子を実装することによって放熱性を向上させることが記載されている。この特許文献２に記載の技術によれば、第２基板として絶縁基板を用いた場合には、下面において信号の入出力を行なう必要のある半導体素子を実装することができる。【０００６】
しかし、特許文献２に記載の技術では、近年要求されている大電流化には十分に対応できない。すなわち、近年、ＳｉＣ半導体やＧａＮ半導体をもって構成されたＦＥＴの場合、その耐熱温度が３００℃あるいは５００℃にまで達するため、大電流を供給することができるにも関わらず、特許文献２に記載のものでは、これには十分に対応できない。その理由は以下のとおりである。【０００７】
特許文献２で用いられている絶縁基板は、焼結温度が約１６００℃である窒化アルミニウムやアルミナ等を材料とするＨＴＣＣ基板であり、そこに設けられる配線導体の材料としては、同時焼成を可能とするためには、タングステンやモリブデン等の比較的高い融点を有する金属を用いなければならない。しかし、これらタングステンやモリブデン等の比較的高い融点を有する金属は電気抵抗率が高く、大電流化には適していない。【０００８】
なお、電気抵抗率の高い金属によって、大電流の供給を実現するためには、配線導体の断面積を大きくしなければならず、この場合には、半導体装置の小型化を阻害してしまう。【０００９】
他方、たとえば銀や銅等の比較的低い電気抵抗率を有する金属の場合には、比較的小さい断面積で大電流の供給が可能であるが、ＨＴＣＣ基板の焼結可能温度よりも融点が低いため、ＨＴＣＣ基板との同時焼成は不可能である。なお、基板表面に後付けする配線導体であれば、その材料として銀や銅等の金属を用いることができる。しかしながら、銀や銅等の金属を用いて、基板表面のみで配線導体を形成した場合、基板面積が大きくなってしまい、半導体装置の大型化を招いてしまう。【００１０】
上述の点は、特許文献１に記載のものでも同様である。特許文献１に記載のセラミック多層配線基板ではアルミナ基板が用いられているため、内部の配線導体において、銀や銅等の低抵抗金属を用いることはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開昭６１−２１２０４５号公報
【特許文献２】特開平５−３１５４６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
そこで、この発明の目的は、放熱性が高く、かつ、大電流化や小型化に対応できる半導体装置を提供しようとすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明に係る半導体装置は、上述した技術的課題を解決するため、少なくとも一方の主面が電気絶縁体をもって構成され、かつ電気絶縁体上に外部導体が形成された、比較的高い熱伝導率を有する放熱用基板と、この放熱用基板の上記一方の主面上に実装され、放熱用基板よりも低い熱伝導率を有し、かつ銀または銅を主成分とする配線導体が上記外部導体に電気的に接続された状態で内部に形成された、配線用基板と、放熱用基板の上記一方の主面上に実装され、かつ配線導体に外部導体を介して電気的に接続された下面電極が放熱用基板の上記一方の主面に対向する実装面上に形成された、動作時に発熱を生じる半導体素子とを備えることを特徴としている。【００１４】
上記のように、この発明は、簡単に言えば、基板としての機能を放熱用基板と配線用基板とに分担させることによって、放熱用基板と配線用基板とのそれぞれに適した材料を用いることを可能にし、前述した課題を解決しようとするものである。【００１５】
放熱用基板は、たとえば、窒化アルミニウム基板、アルミナ基板、窒化珪素基板、または金属板の少なくとも一方主面にセラミックまたは樹脂からなる絶縁層が形成された金属ベース基板のいずれかから構成される。他方、配線用基板は、たとえば、低温焼結セラミック（Low Temperature Co-fired Ceramic: ＬＴＣＣ）基板または樹脂基板から構成される。【００１６】
この発明において、放熱用基板上に、配線用基板と半導体素子とが別々に配置されていてもよいが、好ましくは、配線用基板は主面方向に直交する方向に貫通する貫通穴を有し、半導体素子は貫通穴内に収容される。この場合、複数個の半導体素子および複数個の貫通穴を有し、複数個の半導体素子の各々は複数個の貫通穴の各々内に収容されていることがより好ましい。【００１７】
また、半導体素子は、上記実装面に対向する面に上面電極を有し、上面電極はワイヤを介して配線導体と電気的に接続されていることが好ましい。【００１８】
半導体素子の耐熱温度が２００℃以上であるとき、この発明がより有利に適用される。【００１９】
また、半導体素子がベアタイプのものであるとき、この発明がより有利に適用される。【００２０】
また、配線用基板の主面に電子部品が実装されているとき、この発明がより有利に適用される。
【発明の効果】
【００２１】
この発明によれば、半導体素子は、比較的高い熱伝導率を有する放熱用基板上に実装されるので、高い放熱性を確保することができる。【００２２】
また、放熱用基板に設けられる外部導体は、電気絶縁体上に形成され、また、配線用基板に設けられた配線導体に電気的に接続されるので、半導体素子の下面電極からの信号または下面電極への信号は、上記外部導体を通して、引き出しまたは送り込むことができる。【００２３】
また、上記外部導体は配線用基板の配線導体に電気的に接続され、配線導体が銀または銅を主成分としているので、低抵抗配線を実現でき、大電流化に十分に対応することが可能となる。【００２４】
また、上記配線導体は、配線用基板の内部に形成されるので、表面に配置されなければならない配線導体を減じることができ、小型化に十分対応することができる。【００２５】
また、半導体素子からの熱は、放熱用基板から実質的に放熱されるので、配線用基板には伝わりにくく、しかも、配線用基板は放熱用基板よりも低い熱伝導率を有している。このようなことから、配線用基板の外表面では温度上昇があまり生じない。したがって、配線用基板の外表面上には、熱に弱い電子部品を問題なく搭載することができる。【００２６】
この発明において、配線用基板が主面方向に直交する方向に貫通する貫通穴を有し、半導体素子が貫通穴内に収容されていると、配線用基板における貫通穴の全周囲領域を半導体素子に対する配線のために用いることができ、効率的な配線を配線用基板において形成することができる。また、半導体素子の横のスペースを有効利用することができるため、半導体素子を小型化することができる。【００２７】
上述の場合であって、複数個の半導体素子および複数個の貫通穴を有し、複数個の半導体素子の各々が複数個の貫通穴の各々内に収容される場合には、複数個の半導体素子相互の配線を配線用基板において効率的に実現することができる。【００２８】
半導体素子が、実装面に対向する面に上面電極を有し、上面電極はワイヤを介して配線導体と電気的に接続されるようにされると、半導体装置の大型化を招くことなく、上面電極と配線導体との接続をも達成することができる。【００２９】
半導体素子がたとえばＳｉＣ半導体またはＧａＮ半導体をもって構成されるＦＥＴである場合のように、半導体素子の耐熱温度が２００℃以上である場合には、半導体素子に特に大電流を供給することができるが、このような場合においても、配線用基板は、比較的低い電気抵抗率を示す銀または銅を主成分とする配線導体を有しているので、大電流化に十分対応でき、また、配線導体を配線用基板の内部に配置できることから、小型化にも十分対応できる。【００３０】
また、配線用基板の主面に電子部品が実装されている場合、比較的熱伝導率の低い配線用基板によって半導体素子から生じる熱の伝導を抑えることができる。そのため、耐熱温度の低い電子部品を半導体素子の近くに配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】この発明の第１の実施形態による半導体装置を示す断面図である。
【図２】図１に示した半導体装置に備える放熱用基板を示す上面図である。
【図３】図２に示した放熱用基板の下面図である。
【図４】図１に示した半導体装置に備える配線用基板を示す下面図である。
【図５】この発明の第２の実施形態による半導体装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
図１ないし図４を参照して、この発明の第１の実施形態による半導体装置１について説明する。なお、図１は、図２ないし図４と比較して、拡大されて図示されている。また、図１が示す断面は、図２の線Ａ−Ａに沿う断面に相当している。
【００３３】
図１に示すように、半導体装置１は、複数個の半導体素子２と、半導体素子２を実装するための基板３とを備えている。基板３は、放熱用基板４と配線用基板５とを複合一体化した構造を有している。
【００３４】
配線用基板５には、その主面方向に直交する方向に貫通する複数個の貫通穴６が設けられ、これら複数個の貫通穴６の各々内には、複数個の半導体素子２の各々が収容されている。なお、図示の実施形態では、図４からわかるように、配線用基板５に４つの貫通穴６が設けられている。たとえば、半導体素子２の平面寸法が１０ｍｍ×１０ｍｍであるとき、貫通穴６の平面寸法が１１ｍｍ×１１ｍｍとされるというように、貫通穴６は半導体素子２より大きくされ、貫通穴６を規定する内周面と半導体素子２の外周面との間には、所定の隙間７が形成される。
【００３５】
半導体素子２は、動作時に発熱を生じるもので、たとえば、ベアタイプの電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）である。放熱用基板４の上方主面８に対向する実装面９、すなわち下面には、ドレイン電極となる下面電極１０が形成され、実装面９に対向する面、すなわち上面には、それぞれソース電極およびゲート電極となる２つの上面電極１１および１２が形成されている。
【００３６】
放熱用基板４は、たとえば、窒化アルミニウム基板、アルミナ基板、または窒化珪素基板のようなＨＴＣＣ基板から構成され、好ましくは、１０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上の熱伝導率を有するようにされる。放熱用基板４は、上述のようにＨＴＣＣ基板から構成されることから、その上方主面８および下方主面１３が電気絶縁体をもって構成される。
【００３７】
放熱用基板４の上方主面８上には、図１および図２に示されているように、４つの外部導体１４が形成され、また、配線用基板５との接合のための４つの接合用パッド１５が形成されている。４つの外部導体１４は互いに電気的に絶縁された状態となっている。下方主面１３上には、図１および図３に示すように、ほぼ全面にわたって、図示しないマザーボードまたはシャーシ上への接合のための接合用パッド１６が形成されている。
【００３８】
一例として、放熱用基板４の厚みは０．６３５ｍｍとされ、外部導体１４ならびに接合用パッド１５および１６の各厚みは０．３ｍｍとされる。また、外部導体１４ならびに接合用パッド１５および１６は、たとえば銅またはアルミニウムを主成分としている。
【００３９】
半導体素子２は、放熱用基板４の上方主面８上に実装されている。より詳細には、４つの半導体素子２の各々について、その下面電極１０が、たとえばはんだのような導電性接合材１７を介して放熱用基板４の対応の外部導体１４に電気的に接続されている。
【００４０】
配線用基板５は、放熱用基板４の上方主面８上に実装される。配線用基板５は、たとえば、ＬＴＣＣ基板または樹脂基板から構成され、放熱用基板４よりも低い、たとえば５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下、好ましくは３Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下の熱伝導率を有するようにされる。配線用基板５には、銀または銅を主成分とする配線導体１８が形成される。配線用基板５は、好ましくは積層構造を有していて、配線導体１８の多くの部分は配線用基板５の内部に配置される。
【００４１】
また、配線導体１８は、図１および図４に示すように、配線用基板５の下方主面１９上であって貫通穴６の各々の近傍に引出し部２０を形成しており、たとえばはんだのような導電性接合材２１を介して、放熱用基板４にある外部導体１４に電気的に接続される。
【００４２】
まや、配線用基板５の下方主面１９上には、前述した放熱用基板４上の４つの接合用パッド１５と対をなす４つの接合用パッド２２が形成されている。接合用パッド２２は、たとえば銅または銀を主成分としている。図１に示すように、接合用パッド２２は、たとえばはんだのような導電性接合材２３を介して、接合用パッド１５と接合され、それによって、配線用基板５が放熱用基板４と機械的に固定される。
【００４３】
配線導体１８は、配線用基板５の上方主面２４上であって貫通穴６の各々の近傍に引出し部２５および２６を有している。半導体素子２のソース電極およびゲート電極のいずれか一方となる上面電極１１は、ワイヤ２７を介して配線導体１８の引出し部２５と電気的に接続され、いずれか他方となる上面電極１２は、ワイヤ２８を介して配線導体１８の引出し部２６と電気的に接続される。
【００４４】
配線用基板５の上方主面２４上には、複数個の電子部品２９が実装される。図示しないが、これら電子部品２９は配線導体１８と電気的に接続される。電子部品２９は、たとえば、コンデンサ、抵抗器、ＩＣなどである。
【００４５】
以上説明した半導体装置１を製造するため、たとえば、次のような工程が実施される。
【００４６】
まず、放熱用基板４上に、半導体素子２が実装される。そのためには、放熱用基板４上の外部導体１４上に、はんだペーストが付与され、次いで、放熱用基板４上の所定の位置に、半導体素子２が配置される。上記はんだペーストとしては、たとえばＢｉ−０．１５Ｃｕはんだ等の高温はんだペーストが用いられる。そして、たとえば３２０℃の温度でリフロー処理される。半導体素子２として耐熱温度が３００℃にまで達するＳｉＣ半導体やＧａＮ半導体を用いる場合には、上記のように、半導体素子２の実装に高温はんだを用いることが好ましい。
【００４７】
次に、放熱用基板４上に、配線用基板５が搭載されるとともに、配線用基板５の上方主面２４上に電子部品２９が実装される。そのためには、放熱用基板４上の外部導体１４および接合用パッド１５上ならびに配線用基板５の上方主面２４上の所定の導電パッド上に、はんだペーストが付与される。次いで、配線用基板５および電子部品２９がその上に配置される。上記はんだペーストとしては、たとえばＭ７０５はんだ等の低温はんだペーストが用いられる。そして、たとえば２４０℃の温度でリフロー処理される。このように配線用基板５と電子部品２９の実装に低温はんだを用いると、リフロー時に半導体素子２の実装に用いた高温はんだが再溶融して流れ出すことを防止することができる。また、配線用基板５と電子部品２９とを低温はんだで同時にリフロー処理すると、別々にリフロー処理した場合に先に用いた低温はんだが再溶融して流れ出すことを防止することができる。さらに、低温はんだであれば、配線用基板５として樹脂基板を用いた場合にも基板の劣化を抑制できる。
【００４８】
次に、半導体素子２と配線用基板５との間で、ワイヤボンディングが実施され、ワイヤ２７および２８による接続が達成される。
【００４９】
以上のようにして、半導体装置１が製造される。
【００５０】
上述した半導体装置１によれば、以下のような作用効果が奏される。
【００５１】
まず、半導体素子２の温度上昇が抑えられる。半導体素子２は、熱抵抗の低い放熱用基板４上に実装されるので、動作時に生じる熱が放熱用基板４へと効率良く伝えられ、半導体素子２の温度上昇が抑えられ、この温度上昇に伴う特性低下が抑えられる。
【００５２】
また、大電流化に対応でき、小型化も可能である。半導体素子２がたとえばＳｉＣ半導体またはＧａＮ半導体をもって構成されるＦＥＴである場合、耐熱温度が２００℃以上、さらには３００℃あるいは５００℃にも達することがある。このように耐熱温度が高いということは、半導体素子２に大電流を供給できることを意味する。この半導体装置１は配線用基板５を備え、配線用基板５は、ＬＴＣＣ基板または樹脂基板から構成され得るので、比較的低い電気抵抗率を示すものの融点が比較的低い銀または銅を主成分とする配線導体１８を内部に配置することができる。よって、大電流化に対応でき、また、配線導体１８を配線用基板５の内部に配置できることから、小型化が可能である。なお、配線導体１８において、特に大電流を流す必要がある箇所では、たとえば１００μｍ以上といった厚みの配線が形成される。
【００５３】
また、半導体装置１によれば、半導体素子２のように、その下面である実装面９上に下面電極１０が形成され、当該下面にも電気的な流れがあるものにも対応することができる。なぜなら、半導体素子２を実装する放熱用基板４は、少なくとも一方の主面が電気絶縁体をもって構成され、この電気絶縁体上に、複数個の半導体素子２の各々の下面電極１０と接続される外部導体１４が互いに電気的に絶縁された状態で形成されているからである。
【００５４】
次に、図５を参照して、この発明の第２の実施形態による半導体装置３１について説明する。図５において、図１に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
【００５５】
図５に示した半導体装置３１は、基板３を構成する放熱用基板３４および配線用基板５のうち、放熱用基板３４の構成が第１の実施形態のものと異なっている。その他の構成は第１の実施形態の場合と同様である。
【００５６】
放熱用基板３４は、たとえば銀または銅のような熱伝導率の比較的高い金属からなる金属板３５を備え、この金属板３５の両主面にセラミック絶縁層３６および３７が形成された金属ベース基板から構成される。放熱用基板３４は、好ましくは、５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上の熱伝導率を有するようにされる。放熱用基板３４は、第１の実施形態における放熱用基板４に比べて、より高い熱伝導率を実現することが容易である。
【００５７】
放熱用基板３４の上方主面８を構成するセラミック絶縁層３６上には、外部導体１４および接合用パッド１５が形成され、下方主面１３を構成するセラミック絶縁層３７上には、接合用パッド１６が形成される。
【００５８】
一例として、放熱用基板３４は、厚み０．８０ｍｍの銅板からなる金属板３５の両主面に、厚み１００μｍのＬＴＣＣからなるセラミック絶縁層３６および３７を形成し、さらに、セラミック絶縁層３６および３７上に、厚み０．３ｍｍの銅からなる外部導体１４および接合用パッド１５ならびに接合用パッド１６を形成した構造とされる。
【００５９】
なお、放熱用基板３４において、上述したセラミック絶縁層３７および接合用パッド１６が省略され、金属板３５の下方主面が露出した構造が採用されてもよい。また、金属板３５の主面に形成される絶縁層として、セラミック絶縁層に代えて樹脂絶縁層を用いてもよい。その場合に用いる樹脂としては、ポリイミドのように高耐熱性を備えるものが好ましく、また、樹脂中に高熱伝導率のフィラーを含有させることが好ましい。
【符号の説明】
【００６０】
１，３１  半導体装置
２  半導体素子
４，３４  放熱用基板
５  配線用基板
６  貫通孔
９  実装面
１０  下面電極
１１，１２  上面電極
１４  外部導体
１５，１６，２２  接合用パッド
１７，２１，２３  導電性接合材
２７，２８  ワイヤ
２９  電子部品
３５  金属板
３６，３７  セラミック絶縁層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2012026418.tif 000009
2012026418.tif 000010
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