(57)【要約】本発明は、ＭＺＩ−ＡＷＧ特性を劣化させずに、取り数を確保することができるマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子及び平面光波回路チップを提供する。本発明の一実施形態に係るマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子（ＭＺＩ−ＡＷＧ）１０は、マッハツェンダー干渉計（ＭＺＩ）２０と、ＭＺＩ２０を入力導波路に用いたアレイ導波路格子（ＡＷＧ）３０とを備える。ＭＺＩ２０のＦＳＲをＡＷＧ３０のチャネル間隔と一致させた。ＭＺＩ２０の入力側カプラ２１と出力側カプラ２２が、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、この中心部ａ0から焦点距離Ｌｆを半径とする円弧状の端面である他方の端面３１ｂの中心部ｂ0とを結ぶ直線の延長線Ａ0上に配置されている。
2012026524.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子であって、
入力導波路と、該入力導波路に接続された入力側カプラと、出力側カプラと、該入力側カプラと該出力側カプラとの間に接続され光路長差を持たせた二つのアーム導波路とを有するマッハツェンダー干渉計と、
前記マッハツェンダー干渉計の出力側カプラが接続された入力スラブ導波路と、複数本の出力導波路と、該出力導波路が接続された出力スラブ導波路と、該入力スラブ導波路と該出力スラブ導波路との間に接続され複数本のチャネル導波路からなるアレイ導波路を有するアレイ導波路格子と、
を備え、
前記マッハツェンダー干渉計の自由スペクトル間隔と前記アレイ導波路格子のチャネル間隔とが一致するように構成され、
前記マッハツェンダー干渉計の二つのアーム導波路のうち、光路長の長い側のアーム導波路が、前記アレイ導波路における光路長の長い側のチャネル導波路と同じ側に配置されており、
前記入力側カプラが、前記入力スラブ導波路の前記アレイ導波路が形成されている一方の端面の中心部と、前記出力側カプラとを結ぶ直線上に配置されている
ことを特徴とするマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子。
【請求項２】
前記入力スラブ導波路の他方の端面は、前記一方の端面の中心部から焦点距離Ｌｆを半径とする円弧状の端面であり、該円弧状の端面に前記マッハツェンダー干渉計の出力側カプラが接続されていることを特徴とする請求項１に記載のマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子。
【請求項３】
前記マッハツェンダー干渉計の出力側カプラが、前記円弧状の端面の中心部に接続されていることを特徴とする請求項２に記載のマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子。
【請求項４】
前記マッハツェンダー干渉計の出力側カプラが、前記円弧状の端面の中心部からずれた位置に接続されていることを特徴とする請求項２に記載のマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子。
【請求項５】
前記マッハツェンダー干渉計の出力側カプラが３ｄＢ方向性結合器であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一つに記載のマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一つに記載されたマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子を備える平面光波回路チップであって、
前記アレイ導波路を有する湾曲した中央部と、
前記中央部の一方の端から延在し、前記入力スラブ導波路を有する第１の直線部と、
前記中央部の他方の端から前記第１の直線部と角度を成して延在し、前記出力スラブ導波路を有する第２の直線部と、
前記第１の直線部から延在し、前記マッハツェンダー干渉計を有する第1の側端部と、
前記第２の直線部から延在し、前記複数本の出力導波路を有する第２の側端部と、
を備えたブーメラン形状であることを特徴とする平面光波回路チップ。
【請求項７】
前記左側端部は、前記マッハツェンダー干渉計の入力側カプラに接続された前記入力導波路の端部が存在する直線状の入力側端面を有し、かつ前記右側端部は、前記複数の出力導波路の各端部が存在する直線状の出力側端面を有することを特徴とする請求項６に記載の平面光波回路チップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非対称マッハツェンダー干渉計を入力導波路に用いたマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子及び平面光波回路チップに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、二つのアーム導波路間に光路長差を持たせたマッハツェンダー干渉計を入力導波路に用いたマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子（ＭＺＩ−ＡＷＧ）が知られている（例えば、特許文献１参照）。このＭＺＩ−ＡＷＧ１００を図７に示す。ＭＺＩ−ＡＷＧ１００は、マッハツェンダー干渉計（ＭＺＩ）１０２と、ＭＺＩ０２を入力導波路に用いたアレイ導波路格子（ＡＷＧ）１０４とを備える。このＭＺＩ−ＡＷＧ１００では、交差部１１２で二つのアーム導波路１１０，１１０´を交差させた交差導波路を用いて、ＭＺＩ１０２の二つのアーム導波路１１０，１１０´を反転させたレイアウトとすることで、１枚のウエハからの取り数を増加させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】ＥＰ  １８５７８４６号公報
【発明の概要】
【０００４】
しかしながら、上記従来技術では、交差部１１２で損失が発生し、さらに、交差部１１２で発生した放射光が迷光になりＭＺＩ−ＡＷＧ特性の劣化につながる可能性がある。特に、交差部１１２で発生する損失（回折損失）は、平面光波回路をより小型化するために比屈折率差Δを小さくする程大きくなる。また、交差部１１２の交差角θが小さいと損出が発生するために、交差角θを６０度程度より大きくするのが望ましい。しかし、交差角θを大きくすると、アーム導波路１１０，１１０´の形成領域が大きくなり、平面光波回路を小型化するのが難しくなる。
【０００５】
本発明は、このような従来の問題点に鑑みて為されたもので、その目的は、ＭＺＩ−ＡＷＧ特性を劣化させずに、取り数を確保することができるマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子及び平面光波回路チップを提供することにある。
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様に係る発明は、マッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子であって、入力導波路と、該入力導波路に接続された入力側カプラと、出力側カプラと、該入力側カプラと該出力側カプラとの間に接続され光路長差を持たせた二つのアーム導波路とを有するマッハツェンダー干渉計と、前記マッハツェンダー干渉計の出力側カプラが接続された入力スラブ導波路と、複数本の出力導波路と、該出力導波路が接続された出力スラブ導波路と、該入力スラブ導波路と該出力スラブ導波路との間に接続され複数本のチャネル導波路からなるアレイ導波路を有するアレイ導波路格子と、を備え、前記マッハツェンダー干渉計の自由スペクトル間隔と前記アレイ導波路格子のチャネル間隔とが一致するように構成され、前記マッハツェンダー干渉計の二つのアーム導波路のうち、光路長の長い側のアーム導波路が、前記アレイ導波路における光路長の長い側のチャネル導波路と同じ側に配置されており、前記入力側カプラが、前記入力スラブ導波路の前記アレイ導波路が形成されている一方の端面の中心部と、前記出力側カプラとを結ぶ直線上に配置されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明の第２の態様に係る発明は、上記第１の態様に係るマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子を備える平面光波回路チップであって、前記アレイ導波路を有する湾曲した中央部と、前記中央部の一方の端から延在し、前記入力スラブ導波路を有する第１の直線部と、前記中央部の他方の端から前記第１の直線部と角度を成して延在し、前記出力スラブ導波路を有する第２の直線部と、前記第１の直線部から延在し、前記マッハツェンダー干渉計を有する第１の側端部と、前記第２の直線部から延在し、前記複数本の出力導波路を有する第２の側端部と、を備えたブーメラン形状であることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、マッハツェンダー干渉計の入力側カプラと出力側カプラを、入力スラブ導波路のアレイ導波路が形成されている一方の端面の中心部を中心とする、入力スラブ導波路の半径の延長線上に配置することで、ＭＺＩ−ＡＷＧの特性を劣化させずに、１枚のウエハからの取り数を確保できる。
つまり、上記従来技術では、交差導波路を用いて，入力導波路となるマッハツェンダー干渉計のアーム導波路部分を反転させた配置とすることで、ウエハからの取り数を増加させているので、交差導波路で損失が発生し、その結果、発生した放射光が迷光になりＭＺＩ−ＡＷＧ特性の劣化につながる可能性があった。これに対して、本発明によれば、低損失でフラット型のマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子を実現するのに、交差導波路を用いていないので、ＭＺＩ−ＡＷＧ特性を劣化させずに、取り数を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係るマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子の概略構成を示す平面図。
【図２】図１に示すマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子の一部を拡大して示す説明図。
【図３】複数個のマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子が基板（ウエハ）の一部を示す平面図。
【図４】図３に示す基板から切り出された一つの平面光波回路チップを示す平面図。
【図５】本発明の第２実施形態に係るマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子の概略構成を示す平面図。
【図６】本発明の第３実施形態に係るマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子の概略構成を示す平面図。
【図７】従来のマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子の概略構成を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、本発明を具体化した各実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各実施形態の説明において、同様の部位には同一の符号を付して重複した説明を省略する。
（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態に係るマッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子（以下、ＭＺＩ−ＡＷＧという。）１０の概略構成を示している。
ＭＺＩ−ＡＷＧ１０は、図１に示すように、マッハツェンダー干渉計（以下、ＭＺＩという。）２０と、ＭＺＩ２０を入力導波路に用いたアレイ導波路格子（以下、ＡＷＧという。）３０と、を備えている。このＭＺＩ−ＡＷＧ１０では、ＭＺＩ２０の自由スペクトル間隔（ＦＳＲ）をＡＷＧ３０のチャネル間隔と一致させている。
【００１１】
ＭＺＩ２０は、入力導波路４０と、入力導波路４０に接続された入力側カプラ２１と、出力側カプラ２２と、入力側カプラ２１と出力側カプラ２２の間に接続され所定の光路長差ΔＬを持たせた二つのアーム導波路２３，２４とを有する非対称マッハツェンダー干渉計である。所定の光路長差ΔＬは、ＭＺＩ２０のＦＳＲをＡＷＧ３０のチャネル間隔と一致させるような値に設定される。
なお、入力側カプラ２１は例えばＹ分岐器で構成され、出力側カプラ２２は例えば３ｄＢ方向性結合器で構成されている。入力側カプラ２１には、入力導波路４０が接続されている。入力側カプラ２１は、３ｄＢ方向性結合器で構成しても良い。
【００１２】
ＡＷＧ３０は、ＭＺＩ２０の出力側カプラ２２が接続された入力スラブ導波路３１と、複数本の出力導波路３２と、出力導波路３２が接続された出力スラブ導波路３３と、入力スラブ導波路３１と出力スラブ導波路３３との間に接続された複数本のチャネル導波路３４ａからなるアレイ導波路３４とを備えている。複数のチャネル導波路３４ａは、その隣接するチャネル導波路３４ａ間の光路長差が一定値だけ異なるように配置されている。
【００１３】
また、図１及び図２に示すように、入力スラブ導波路３１の両端面のうち、ＭＺＩ２０の出力側カプラ２２が接続された他方の端面３１ｂは、アレイ導波路３４が形成されている一方の端面３１ａの中心部ａ0から焦点距離Ｌｆを半径とする円弧状の端面である。
【００１４】
このＭＺＩ−ＡＷＧ１０の特徴は、図１及び図２に示すように、以下の構成を有する点にある。
（１）ＭＺＩ２０の光路長の長い側のアーム導波路２３がアレイ導波路３４における光路長の長い側のチャネル導波路３４ａと同じ側にある。
（２）ＭＺＩ２０の入力側カプラ２１と出力側カプラ２２が、入力スラブ導波路３１のアレイ導波路３４が形成されている一方の端面３１ａの中心部ａ0を中心とする、入力スラブ導波路３１の半径（焦点距離Ｌｆの半径）の延長線上に配置されている。
つまり、入力側カプラ２１と出力側カプラ２２が、入力スラブ導波路３１の両端面のうち、アレイ導波路３４が形成されている一方の端面３１ａの中心部ａ0と、中心部ａ0から入力スラブ導波路３１の半径の位置にある点とを結ぶ直線の延長線上に配置されている。
本実施形態では、一例として、ＭＺＩ２０の入力側カプラ２１と出力側カプラ２２が、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、この中心部ａ0から焦点距離Ｌｆを半径とする円弧状の端面である他方の端面３１ｂの中心部ｂ0とを結ぶ直線の延長線Ａ0上に配置されている。
【００１５】
（３）ＭＺＩ２０の出力側カプラ２２が入力スラブ導波路３１の他方の端面３１ｂに接続されている。
本実施形態では、出力側カプラ２２が、他方の端面３１ｂの中心部ｂ0で、入力スラブ導波路３１に接続されている。
具体的には、３ｄＢ方向性結合器で構成された出力側カプラ２２の二つの出力端が、中心部ｂ0に関して対称となる位置で、入力スラブ導波路３１に接続されている。
【００１６】
このように、ＭＺＩ−ＡＷＧ１０では、アーム導波路２３，２４に光路長差ΔＬを持たせたＭＺＩ２０をＡＷＧ３０の入力導波路に用い、ＭＺＩ２０のＦＳＲをＡＷＧ３０のチャネル間隔と一致させ、ＭＺＩ２０の光路長の長い側のアーム導波路２３がアレイ導波路３４における光路長の長い側のチャネル導波路３４ａと同じ側になるレイアウトにしている。そして、ＭＺＩ２０の入力側カプラ２１と出力側カプラ２２が、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0を中心とする、入力スラブ導波路３１の焦点距離Ｌｆの半径の延長線上に配置されている。
【００１７】
以上の構成を有するＭＺＩ−ＡＷＧ１０は、通常のＡＷＧと同様に、各出力導波路３２から所望の波長を取り出す波長分波機能と、その逆の光路を辿る波長合波機能とを果たすことができる。
ＭＺＩ−ＡＷＧ１０では、ＭＺＩ２０の入力導波路４０に複数の波長（λ１〜λｎ）が多重された光が入射すると、ＡＷＧ３０の入力スラブ導波路３１の光入射部（光入射面）では、ＡＷＧ３０のチャネル間隔とＦＳＲを一致させたＭＺＩ２０の波長特性により、各チャネルの所定の波長域において、波長によって光電界分布の位置がＭＺＩ２０のＦＳＲの周期で変化する。
一方、ＡＷＧ３０の出力スラブ導波路３３の光出射部（集光面）では、各チャネルの所定の波長域において、集光する位置が波長によって異なる。
【００１８】
このように出力スラブ導波路３３の集光面において、波長によって集光する位置が動くのを、入力スラブ導波路３１の光入射面において、ＭＺＩ２０の波長特性により、波長によって光電界分布（光フィールド）の位置をＦＳＲの周期で変化させることでキャンセルする。
このようにすることで、見かけ上、各チャネルの所定の波長域で、出力スラブ導波路３３の集光面における波長に対する光フィールドの動きを停止させてフラット化を行っている。
【００１９】
上記構成を有するＭＺＩ−ＡＷＧ１０によれば、以下の作用効果を奏する。
各チャネルにおいて、光周波数変化に対して中心光周波数付近で光電界分布の動きを停滞させて、各チャネルにおける所定の帯域で低損失かつフラットな透過スペクトル特性のＭＺＩ−ＡＷＧを実現することができる。
【００２０】
ＭＺＩ２０の出力側カプラ２２が入力スラブ導波路３１の一方の端面３１の中心部ａ0から焦点距離Ｌｆの位置にある点（円弧状の端面である他方の端面３１ｂの中心部ｂ0）で、入力スラブ導波路３１に接続されている。このため、交差導波路を用いた上記従来技術のように、交差部１１２で損失が発生したりせず、また、交差部１１２で発生した放射光が迷光になりＭＺＩ−ＡＷＧ特性の劣化につながる可能性も無くなる。
【００２１】
また、交差導波路を用いていないため、比屈折率差Δを小さくして平面光波回路を小型化するのが容易になる。
さらに、ＭＺＩ２０の入力側カプラ２１と出力側カプラ２２が、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、この中心部ａ0から焦点距離Ｌｆを半径とする円弧状の端面である他方の端面３１ｂの中心部ｂ0とを結ぶ直線の延長線Ａ0上に配置されている。この構成により、ＭＺＩ２０の一部（アーム導波路２３，２４の一部、入力側のカプラ２１）及びカプラ２１に接続された入力導波路４０が、入力スラブ導波路３１の内側側面３１ｃよりも内方（図１で右側）へ突出しない。
これにより、図３に示すように、複数個のＭＺＩ−ＡＷＧ１０を１枚のウエハ（例えば、直径４インチのシリコン基板等のウエハ）５０上に、隣接するＭＺＩ−ＡＷＧ１０同士が互いに交差しないように近接させて形成する際に、ＭＺＩ−ＡＷＧ１０の取り数を確保することができる。
【００２２】
また、比屈折率差Δを小さくしてＭＺＩ−ＡＷＧ１０自体を小さくすることで、１枚のウエハ当たりのＭＺＩ−ＡＷＧ１０の取り数を更に増やすことができる。これに対して、上記従来技術では、比屈折率差Δを小さくしてＭＺＩ−ＡＷＧ回路自体を小さくしようとすると、上記交差部１１２（図７参照）での回折損失が大きくなるので、交差角θを大きくする必要がある。これにより、ＭＺＩ−ＡＷＧ回路自体が大きくなり、１枚のウエハ当たりのＭＺＩ−ＡＷＧ回路の取り数が減ってしまう。
このように、本実施形態に係るＭＺＩ−ＡＷＧ１０によれば、ＭＺＩ−ＡＷＧ特性を劣化させずに、取り数を確保することができる。
【００２３】
図４は、図３に示すウエハ５０から切り出された一つの平面光波回路チップ（以下、ＰＬＣチップという。）６０を示している。図３において、符号「５１」は、一つ一つのＰＬＣチップ６０をウエハ５０から切り出す際の、炭酸ガスレーザ等のレーザによる切断線である。
図４に示すＰＬＣチップ６０は、図１に示すＭＺＩ−ＡＷＧ（ＭＺＩ−ＡＷＧ回路）１０が基板５０Ａ上に形成されている。
ＭＺＩ−ＡＷＧ１０を有するＰＬＣチップ６０は、図３に示すように複数個のＭＺＩ−ＡＷＧ１０が互いに交差しないように近接させて形成された一枚のウエハ５０から、切断線５１に沿ってレーザにより切断されたものである。
【００２４】
このように１枚のウエハ５０から切断された一つのＰＬＣチップ６０全体の輪郭が、次のような構成ａ乃至ｄを有するブーメラン形状である。
（ａ）アレイ導波路３４が形成された湾曲した中央部６０ａを有する。
（ｂ）中央部６０ａの両側から互いに角度を成すように延び、入力スラブ導波路３１及び出力スラブ導波路３３がそれぞれ形成された左右の直線部６０ｂ、６０ｃを有する。
（ｃ）ＭＺＩ２０が形成された左側端部６０ｄを有する。
（ｄ）複数本の出力導波路３２が形成された右側端部６０ｅを有する。
【００２５】
さらに、左側端部６０ｄには、入力導波路４０の端部である入射ポート７１が存在する直線状の入力側端面６１が形成されている。右側端部６０ｅには、複数の出力導波路３２の各端部である出射ポート７２が存在する直線状の出力側端面６２が形成されている。入力側端面６１と出力側端面６２は略平行である。
【００２６】
図４に示すＰＬＣチップ６０は、次のようにして作製される。
まず、図３に示すように、石英基板或いはシリコン基板などのウエハ５０上に、光ファイバ製造技術と半導体微細加工技術を組み合わせて、コアとクラッドからなる光導波路をそれぞれ含む複数個のＭＺＩ−ＡＷＧ１０を形成する。
次に、図３に示すウエハ５０を切断線５１に沿って切断することにより、複数個のＰＬＣチップ６０が作製される。
このように全体の輪郭がブーメラン形状でＭＺＩ−ＡＷＧ１０を有するＰＬＣチップ６０は、小型化が可能で、かつ製造コストを低減することができる。
また、ＰＬＣチップ６０には直線状の入力側端面６１及び直線状の出力側端面６２が設けられているので、信号光の伝送線路となる光ファイバ、シリカ系材料をベースとした光導波路を有する別のＰＬＣチップ、半導体レーザ素子や半導体受光素子等の光能動部品との接続が容易になる。
【００２７】
（実施例）
実施例として、比屈折率差Δ＝１．２％の石英系ＰＬＣを用いて、チャネル間隔１００ＧＨｚ、チャネル数４０ｃｈのＭＺＩ−ＡＷＧ１０を有するＰＬＣチップ６０を作製した。
【００２８】
また、１枚のウエハ５０から作製できたＰＬＣチップ６０の数については、以下のような結果が得られた。
比屈折率差Δ＝１．２％の石英系ＰＬＣを用いて、チャネル間隔１００ＧＨｚ、チャネル数４０ｃｈのＭＺＩ−ＡＷＧを作製した場合：
本実施形態では、４インチのウエハ１枚から１０個のＰＬＣチップ６０を作製することができた。これに対して、上記従来技術を用いた場合、４インチのウエハ１枚から作製できたＰＬＣチップは４個であった。
【００２９】
（第２実施形態）
図５は本発明の第２実施形態に係るＭＺＩ−ＡＷＧ１０Ａの概略構成を示している。  このＭＺＩ−ＡＷＧ１０Ａでは、図２及び図５に示すように、ＭＺＩ２０の二つのカプラ２１，２２が、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、その他方の端面（円弧状の端面）３１ｂの中心部ｂ0から左方へずれた点（中心部ａ0から焦点距離Ｌｆの位置にある点）ｂ1を結ぶ直線の延長線Ａ1上に配置されている。ＭＺＩ−ＡＷＧ１０Ａのその他の構成は、図１に示すＭＺＩ−ＡＷＧ１０と同様である。
【００３０】
（第３実施形態）
図６は本発明の第２実施形態に係るＭＺＩ−ＡＷＧ１０Ｂの概略構成を示している。  このＭＺＩ−ＡＷＧ１０Ｂでは、図２及び図６に示すように、ＭＺＩ２０の二つのカプラ２１，２２が、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、その他方の端面（円弧状の端面）３１ｂの中心部ｂ0から右方へずれた点（中心部ａ0から焦点距離Ｌｆの位置にある点）ｂ2を結ぶ直線の延長線Ａ2上に配置されている。ＭＺＩ−ＡＷＧ１０Ｂのその他の構成は、図１に示すＭＺＩ−ＡＷＧ１０と同様である。
【００３１】
なお、第２実施形態、および第３実施形態に示すように、ＭＺＩ２０の二つのカプラ２１，２２を、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、その他方の端面（円弧状の端面）３１ｂの中心部ｂ0からずれた点ｂ1またはｂ2とを結ぶ直線の延長線上に配置することで、中心波長の補正することができる。
通常、第１実施形態に示すように、ＭＺＩ２０の二つのカプラ２１，２２を、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、その他方の端面（円弧状の端面）３１ｂの中心部ｂ0とを結ぶ直線の延長線上に配置した場合に設定された中心波長となるように設計を行うが、製造上のウエハ面内のプロセス誤差の分布等で各チップの中心波長が異なってしまう場合がある。
【００３２】
このような場合、第２実施形態、および第３実施形態に示すように、カプラ２１，２２を、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、その他方の端面（円弧状の端面）３１ｂの中心部ｂ0からずれた点ｂ1またはｂ2とを結ぶ直線の延長線上に配置し、中心部ｂ0からのずらし量を調整することで任意に中心波長の補正を行うことができる。
【００３３】
なお、この発明は以下のように変更して具体化することもできる。
本発明は、上記第１乃至第３実施形態の構成に限らず、ＭＺＩ２０の二つのカプラ２１，２２が、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、この中心部ａ0から入力スラブ導波路３１の焦点距離Ｌｆの位置にある点とを結ぶ直線の延長線上に配置されている場合にも適用される。
例えば、ＭＺＩ２０の二つのカプラ２１，２２が、入力スラブ導波路３１の一方の端面３１ａの中心部ａ0と、円弧状の端面である他方の端面３１ｂ上の上記各点ｂ0、ｂ1、ｂ2以外の任意の点を結ぶ直線の延長線上に配置されている場合にも本発明は適用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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2012026524.tif 000011
2012026524.tif 000012
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