(57)【要約】【課題】外力に対し安定し、磁気センサーと磁気媒体間のギャップ変動が小さい磁気式エンコーダを提供する。【解決手段】互いに相対移動する第１、第２の部材のうち、第１の部材に配される磁気媒体と、第２の部材に配される磁気センサーとを含み、磁気センサーが、センサー基板と、センサー基板を保持するセンサー保持板と、磁気抵抗効果素子からの信号を外部に取り出す配線と、を具備し、センサー保持板は、センサー保持板を第２の部材に固定する固定部と、センサー基板を保持するセンサー保持体と、センサー保持体を挟んで、相対移動の方向に複数配され、固定部から伸びて片持ち梁となる腕部と、を含み、腕部の幅が、センサー保持体側より固定部側に向かって連続的または段階的に大きくなる部分を有する。
2011145563.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに相対移動する第１、第２の部材のうち、第１の部材に配される磁気媒体と、第２の部材に配される磁気センサーとを含み、
前記磁気センサーが、
前記磁気媒体に対して相対的に往復摺動し、当該磁気媒体から発生する磁界を検出する磁気抵抗効果素子を有するセンサー基板と、
当該センサー基板を保持するセンサー保持板と、
前記磁気抵抗効果素子からの信号を外部に取り出す配線と、を具備し、
前記センサー保持板は、
センサー保持板を前記第２の部材に固定する固定部と、
前記センサー基板を保持するセンサー保持体と、
前記センサー保持体を挟んで、前記相対移動の方向に複数配され、固定部から伸びて片持ち梁となる腕部と、
を含み、
前記腕部の幅が、前記センサー保持体側より固定部側に向かって連続的または段階的に大きくなる部分を有することを特徴とする磁気式エンコーダ。
【請求項２】
前記センサー保持体は、前記複数の腕部に対応して設けられ、各腕部と前記センサー基板を支持する部材との間に介在する複数の弾性変形部を備える請求項１記載の磁気式エンコーダ。
【請求項３】
前記腕部のうち、前記磁気媒体に交差する交差部での最大幅Ｍ２と、前記弾性変形部のピッチ方向の回転中心軸から固定部までの長さＬ４と、前記弾性変形部の長さの総和Ｌａｌｌと、幅Ｗａとが、
（Ｍ２／Ｌ４）＞（Ｗａ／Ｌａｌｌ）
の関係を満たすことを特徴とする請求項２に記載の磁気式エンコーダ。
【請求項４】
前記磁気媒体の前記固定部側の縁と前記弾性変形部のピッチ方向の回転中心軸との距離Ｌ１は、前記磁気媒体の幅Ｗｂを用いて、
Ｗｂ／３≦Ｌ１≦２Ｗｂ／３
の関係を満たすことを特徴とする請求項２に記載の磁気式エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気媒体から出ている磁気を磁気センサーで検出し、可動部材の変位あるいは速度を得る磁気式エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
可動部材の変位や速度を精密に検出し帰還制御を行う装置は、数多くある。そうした装置の一例に、オートフォーカスカメラ用のレンズ鏡筒がある。このレンズ鏡筒内には、電動モーターや超音波モーターで合焦用レンズを進退させるフォーカス機構が設けられている。そしてフォーカス機構を構成する回転筒の回転変位を検出するために、磁気式エンコーダが使われている。
特許文献１に、こうしたフォーカス機構に用いられている磁気式エンコーダが開示されており、その外観斜視図を図１７に示す。特許文献１に開示の技術では、鏡筒４１０に沿って設けられた曲率を有する磁気媒体４１５に、磁気センサー４０５”が押し当てられている。磁気センサー４０５”は、磁気センサー素子４０１と加圧ばね４０２から構成されている。図１７を見て判るように、磁気センサー４０５”は磁気媒体対向面の寸法に比べ、厚み方向の寸法は非常に薄くなっている。鏡筒内の限られたスペースでは、磁気センサーに薄さが求められるため、薄肉化が難しい光学式エンコーダより磁気式エンコーダが多用されているのである。このフォーカス機構では、磁気センサー素子４０１の出力を帰還させ、モーター４１１を駆動し焦点を合わせる。【０００３】
変位の検出を高精度にするため、磁気式エンコーダには高い分解能が要求される。分解能は磁気媒体の着磁ピッチで表すこともできる。着磁ピッチは従来３０〜５０μｍであったものが、近年では１０〜２０μｍ、さらには１０μｍ以下のものが求められて来ている。
しかしながら高分解能化を進めるに従い、磁気媒体と磁気センサー素子の間隔であるギャップの影響が大きくなっている。そこで、このギャップ変動を抑制することが必要となってきている。このために磁気媒体と磁気センサー素子を接触させて摺動させる方式が有利であり、多く採用されている。【０００４】
以下、磁気センサーと磁気媒体の位置関係の説明を解りやすくするため、磁気媒体と磁気センサーとの相対移動方向をＸ軸とする。磁気媒体が曲面である場合、Ｘ軸は磁気センサーが接触している点における磁気媒体の接線方向をＸ軸とする。
またこのＸ軸と垂直な方向のうち、磁気媒体の曲率中心と交わる方向（動径方向）をＺ軸、他方をＹ軸と定義する。また、磁気センサーを磁気媒体に押し当てる力が加わる点（加圧点）が、Ｚ軸上に位置するときをＸ軸の原点とし、Ｘ軸原点からＸ方向への位置ずれをＸオフセットと定義する。更に、磁気センサーの摺動面と磁気媒体の相対姿勢の説明を解りやすくするため、摺動面がＸ軸を回転軸として回転する角度をピッチ角と呼ぶ。またＹ軸を回転軸として回転する角度をロール角と呼ぶ。摺動面がＸ軸に平行なときのロール角を０度とする。また摺動面がＹ軸に平行なときのピッチ角を０度とする。【０００５】
図１８に加圧ばね４０２の構造を示す。この加圧ばね４０２は、摺動時の磁気センサーのピッチ角を安定に保つため、組み立て時に、磁気媒体４１５に対して磁気センサー素子４０１を実質的に均一に押し当てる。磁気センサー素子４０１はホルダー４０６に取り付けられ、ホルダー４０６の背面の揺動中心軸を支点として、ホルダーは加圧ばね４０２に対し揺動可能となっている。これにより加圧ばね４０２の固定部と磁気媒体間の距離が変動しても、ホルダーが加圧ばね４０２に対して揺動することで、磁気センサー素子４０１がスペーサー４０７を介して磁気媒体４１５と密着した状態を維持できる。磁気センサー素子が磁気媒体の変位方向に対して実質的に平行な揺動中心軸を支点として揺動するため、磁気センサー素子と磁気媒体とがスペーサー等を挟んで密着し、磁気媒体の移動量（すなわち、合焦用レンズ群の進退量）を高精度に検出することができる。揺動中心が揺動時の支点となり、磁気センサー素子４０１を磁気媒体４１５に押付ける加圧点４０８となる。磁気センサー素子４０１の出力はＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）４１２によって取り出される。【０００６】
特許文献２には、一枚の板ばねに加圧機能とピッチ角を一定に保つための機能を持たせた構造が開示されている。図１９に示すように、板ばね５３１はセンサー保持部５２４で磁気センサー素子５０１を保持し、第一の腕部５５５と接続部５５６、更に第二の腕部５５７でセンサー保持部５２４を支持して、固定部５２６が取り付け台５２３に固定されている。磁気センサー素子５０１の出力はＦＰＣ５１２によって取り出している。図２０に示す様に、板ばね５３１の固定部５２６と磁気媒体５１５間の距離が変動しても、第一の腕部５５５と第二の腕部５５７は逆向きに撓み、ピッチ角を一定に保つことができる。しかし、より高精度化の要求が進むにつれ、磁気媒体５１５と磁気センサー素子５０１のＸオフセットとロール角によるギャップ変動が大きな問題となってきた。【０００７】
特許文献３には、磁気センサー素子６０１のＸオフセットとロール角よるギャップ変動を低減する方法が開示されている。図２１に示す様に、磁気センサー素子６０１の摺動方向の幅ｗが、着磁ピッチの２〜１５倍程度（０．０４〜０．３ｍｍ）と、非常に狭い磁気センサー素子６０１を提案している。この特許文献３の技術では、磁気媒体６１５と接する磁気センサー素子６０１の摺動方向幅を０．３ｍｍ以下と小さくすることで、Ｘオフセットやロール角変動によるギャップ変動を減らし、信号出力振幅の安定化を図っている。【０００８】
特許文献４には、固定部とセンサー固着部との間を連結し互いに折返し方向に伸長するばね性アーム部を有する板ばね部材と、それを用いたセンサー支持機構およびロータリエンコーダが開示されている。【０００９】
特許文献５には、図２２に示すように、２辺の固定部と４辺のセンサー保持部を４本の弾性アーム部で接続する磁気センサー保持機構部を備える磁気式エンコーダが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−２０５８０８号公報
【特許文献２】特開２００３−３４４１０５号公報
【特許文献３】特開２００６−６４３８１号公報
【特許文献４】特開２００６−３１７２５５号公報
【特許文献５】国際公開２００８／１１７５９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
図２１に示す特許文献３の様に摺動方向の幅を０．３ｍｍ以下と小さくすることで、Ｘオフセットやロール角の変動があっても、ギャップ変動を抑えることはできる。しかしながら、このような磁気式エンコーダは、実装する上で次の様な問題が発生している。すなわち摺動方向の幅ｗが小さいため、磁気センサー素子１の摺動方向の両端の稜部６1４が磁気媒体６１５と接触し易くなり、これより稜部６1４に曲面を形成する必要がある。従来の磁気センサー素子は、ウェファー上に素子を形成した後、砥石でウェファーを切断して得ていた。しかし、稜部に曲面形成を行うには磁気センサー素子を単体にして行う必要があり、製造コストの低減が難しい。【００１２】
図２１に示した特許文献３には、磁気センサー素子６０１の厚みｈ’に関して具体的な数値の記載はないが、磁気センサー素子６０１の周囲にＦＰＣ６１２が設けられており、磁気センサー素子６０１の厚みｈ’は、ＦＰＣ６１２の厚さより厚くする必要がある。一方ＦＰＣ６１２の厚さは少なくとも０．５ｍｍであるので、磁気センサー素子６０１の厚さｈ’もまた、少なくとも０．５ｍｍである。つまり、磁気センサー素子６０１の厚みｈ’は、少なくとも摺動方向の幅ｗの数倍になる。
ところがこのように、幅ｗより厚みｈ’の厚い素子を、サスペンション６１３上に垂直に固着することは難しい。また、磁気センサー素子６０１の摺動方向の幅ｗの中央部に加圧点が位置するように固着することも困難である。
磁気センサー素子は、加圧点を支点として、磁気媒体の移動方向に引き連れられる様に力を受ける。加圧点が、磁気センサー素子の上記中央部からずれると、磁気センサー素子は傾き易くなり、センサー素子端部の稜部６１４が磁気媒体６１５と接触する頻度が更に高くなり、耐摩耗性の低下を招く。また、摺動面積を小さくしたため、従来通りの磁気センサーを磁気媒体に押付ける荷重値では、単位面積当りの押付け力が大きくなり過ぎ、耐摩耗性の低下を招く。そのため、荷重を小さくする必要が出て来るが、荷重を小さくすると衝撃等で外部から磁気式エンコーダに力が加わった時に、磁気センサー素子６０１が傾き易くなることも考えられる。【００１３】
特許文献４の構成では、センサ固着部が固定部と平行な関係を保ちつつ上下移動し、センサの検出部のギャップ変動を減少させると説明されている。特許文献４では、Ｚ軸方向においても予め折り返し、平板ではなくなっているばね性アーム部を用いている。さらにこのばね性アーム部が長いため、反ったときに固定部から延伸した第１のばね性アーム部の端同士を結ぶ線が軸線となり、センサ固着部にピッチ方向の回転をもたらすため、特許文献２開示の技術と同様にギャップ変動が課題になる。また、細幅のまま、つづら折り形状で長く延伸している部分が有るため、ロール方向で傾いてしまう可能性がある。【００１４】
特許文献５の構成では、２つの固定部が用いられ、板ばねが両持ち梁構造である為、外部衝撃の影響は抑制される。しかし、両持梁を支える固定部が２箇所ある為、センサー保持板の更なる小型化を図ることは難しい。【００１５】
本発明は、センサー保持板を小型化しつつ、衝撃等の外力に対しても安定していて磁気センサー素子と磁気媒体間のギャップ変動を抑制できる磁気式エンコーダを提供することを、その目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の磁気式エンコーダは、互いに相対移動する第１、第２の部材のうち、第１の部材に配される磁気媒体と、第２の部材に配される磁気センサーとを含み、前記磁気センサーが、前記磁気媒体に対して相対的に往復摺動し、当該磁気媒体から発生する磁界を検出する磁気抵抗効果素子を有するセンサー基板と、当該センサー基板を保持するセンサー保持板と、前記磁気抵抗効果素子からの信号を外部に取り出す配線と、を具備し、前記センサー保持板は、センサー保持板を前記第２の部材に固定する固定部と、前記センサー基板を保持するセンサー保持体と、前記センサー保持体を挟んで、前記相対移動の方向に複数配され、固定部から伸びて片持ち梁となる腕部と、を含み、前記腕部の幅が、前記センサー保持体側より固定部側に向かって連続的または段階的に大きくなる部分を有することとしたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、センサー保持板を小型化し、衝撃等の外力に対しても安定していて、磁気センサー素子と磁気媒体間のギャップ変動が小さい磁気式エンコーダを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態に係る磁気式エンコーダの概略図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る磁気式エンコーダの側面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る磁気式エンコーダに用いたセンサー保持板の平面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るセンサー保持板の断面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るセンサー保持板のもう一つの断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るセンサー保持板の正面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るセンサー保持板の背面図である。
【図８】本発明の実施の形態に係るセンサー保持板の左側面図である。
【図９】本発明の実施の形態に係るセンサー保持板の右側面図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係るセンサー保持板の底面図である。
【図１１】本発明の実施の形態の一態様に係るセンサー保持板の平面図である。
【図１２】本発明の実施の形態の一態様に係るセンサー保持板の底面図である。
【図１３】本発明の実施の形態の一態様に係るセンサー保持板の平面図である。
【図１４】本発明の実施の形態のまた別の態様に係るセンサー保持板の平面図である
【図１５】本発明の一実施例に係る磁気式エンコーダにおいて、弾性変形部３２の腕部３３１側端部における幅方向の中心を通る線からＹ軸方向に押圧する荷重点を移動させたときの移動距離（ｍｍ）とピッチ角（初期ピッチ角（°））との関係例を示す説明図である。
【図１６】本発明一実施例に係る磁気式エンコーダにおけるピッチ角とエアギャップの関係の例を示す説明図である。
【図１７】従来のオートフォーカスカメラ用のレンズ鏡筒の斜視図である。
【図１８】従来のオートフォーカスカメラ用のレンズ鏡筒で用いる磁気センサーの概要図である。
【図１９】従来のピッチ角変動を低減する磁気センサーの斜視図である。
【図２０】従来のピッチ角変動を低減する磁気センサーの断面図である。
【図２１】従来の摺動方向位置ずれを低減する磁気センサーの概要図である。
【図２２】従来の磁気センサーの分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら実施形態を詳細に説明する。本発明は必ずしもこれらに限定されるものではない。判り易くするため、同一の部品又は部位には同じ符号を用いる。一対となっている部位には、左右のどちら側であるかを示す為に、符号の後にａ又はｂ等のアルファベットを付した。例えば符号５０であれば５０ａと５０ｂが対応する。
【００２０】
（実施形態１）
図１に本発明の実施の形態の一側面に係る磁気式エンコーダの概略図を示す。本実施の形態の磁気式エンコーダは、図１に示すように、磁気媒体である磁気シート６０、磁気センサー素子であるＧＭＲ（Giant Magneto Resistive effect）素子２ａを配したセンサー基板１０、ガラスエポキシ配線基板２０、及びセンサー保持板３０を備え、取り付け台５０に固定されてなる。図１は、本実施の形態の磁気式エンコーダを、磁気シート６０（図中、破線で示す）側から、磁気シート６０を透視して見た状態を表す。またセンサー保持板３０の背面に隠れている取り付け台５０を鎖線で示す。取り付け台５０は、例えば本実施の形態の磁気式エンコーダをカメラ用オートフォーカス機能のために用いる場合、カメラ用レンズ鏡筒の一部分に相当する。
【００２１】
図２は、図１に示した磁気式エンコーダを、磁気媒体である磁気シート６０側からＹ軸負の向きに見たときの側面図である。図２では、磁気媒体である磁気シート６０にセンサー基板１０を押し当てて、弾性変形部３２を撓ませた状態にある。また図３は、図１に示したセンサー保持板３０の平面図である。図４は図３のＡ−Ａ’断面、図５が図３のＢ−Ｂ’断面を示す。また図６はセンサー保持板３０の正面図、図７は背面図、図８は左側面図、図９は右側面図、図１０はセンサー保持板３０の底面図である。
【００２２】
なお、ここでも磁気媒体と磁気センサーとの相対移動方向をＸ軸とする。磁気媒体が曲面である場合、Ｘ軸は磁気センサーが接触している点における磁気媒体の接線方向をＸ軸とする。またこのＸ軸と垂直な方向のうち、磁気媒体の曲率中心と交わる方向（動径方向）をＺ軸、他方をＹ軸と定義する。
【００２３】
センサー保持版３０はさらに、センサー保持部３１と、弾性変形部３２と、支持部３３と、固定部３７とを含む。固定部３７は、磁気媒体に重ならない位置に配され、取り付け台５０に固定される。
【００２４】
図１に示すセンサー保持板３０は、固定部３７に形成した孔３９ａ，３９ｂを用いて取り付け台５０ａ，５０ｂにねじ止めで固定されている。センサー保持板３０を取り付け台５０に固定することで、磁気シート６０に対してセンサー基板１０を所定の位置に所定の荷重で押付ける。またこのセンサー保持板３０のセンサー保持部３１と、２つの弾性変形部３２と、支持部３３と、固定部３７とは、一枚の金属薄板を加工して、一体的に形成されてもよい。これより、弾性変形部３２や支持部３３を剛性の高い別の部材で作製して組み立てる場合やセンサー保持板３０のほかにピボットを併用する場合に比べて、一体の板バネとしてセンサー保持板３０を形成し、薄型化を図ることができる。なお、以下では、弾性変形部３２及び支持部３３を、弾性アーム部と称する。
【００２５】
また一体の板バネとして形成したセンサー保持板３０は、センサー基板の姿勢角変動を低減し、部品点数の低減及び組立コストの低減にも寄与している。このセンサー保持板３０を磁気式エンコーダに使う際には、平板の状態で用いてもよい。
【００２６】
センサー保持部３１は、ガラスエポキシ配線基板２０を保持する。支持部３３は、複数の腕部３３１ａ，ｂを備える。またこの支持部３３には、切欠３３２が形成される。腕部３３１は、磁気センサーを配するべき位置を挟んで、磁気媒体との相対移動方向、つまりＸ軸方向（幅方向）に離隔して少なくとも一対設けられる。腕部３３１は、固定部３７に接続されており、固定部３７側ほど段階的、または連続的に幅が広くなるように構成される。
【００２７】
本実施の形態では、各腕部３３１は、磁気媒体に交差する交差部３４を備える。この交差部３４は、腕部３３１のうち、固定部３７とは反対側の端部から、弾性変形部３２のピッチ角方向への回転中心軸（Ｘ軸に平行な一点鎖線で示し、以下、弾性変形部３２のピッチ回転中心軸と呼ぶ）から固定部３７へ向かって距離Ｌ２までの範囲の部分である。また支持部３３の腕部３３１には、さらにこの交差部３４より幅方向に大きめに形成した太幅部３５（弾性変形部３２のピッチ回転中心軸（Ｘ軸に平行な一点鎖線で示す）から固定部３７へ向かって距離Ｌ２から距離Ｌ３までの範囲）と、太幅部３５の幅から連続的に幅広になるよう形成した広幅部３６（弾性変形部３２のピッチ回転中心軸（Ｘ軸に平行な一点鎖線で示す）から固定部３７へ向かって距離Ｌ３から距離Ｌ４までの範囲）を含む。図１では、固定部３７と接続される部分で広幅部３６の幅と、固定部３７の幅とが実質的に同じであるようにした例を示している。
【００２８】
切欠３３２は、支持部３３の幅方向の略中心部に、固定部３７の方向に向かって凹となるように形成されている。切欠３３２の幅は、ガラスエポキシ基板２０の幅より大きくしておく。腕部３３１ａ，ｂの交差部３４ａ，ｂには、それぞれ弾性変形部３２ａ，ｂを介して、磁気センサーを保持するセンサー保持部３１がその両側から接続される。図１において弾性変形部３２は、やや幅細に形成した部材をつづら折り状に折り返したものとしている。なお、センサー保持部３１と、弾性変形部３２とを、センサー保持体と呼ぶ。
【００２９】
つまり本実施の形態では、各腕部３３１が、弾性変形部３２のピッチ回転中心軸から磁気センサー素子であるＧＭＲ素子２ａの中心までの距離Ｌ０の位置から、固定部３７側に向かって、当該腕部３３１の幅が段階的または連続的に広げられる部分を有する。このように、支持部３３をその付け根に向って拡幅することで、剛性を高め、センサー基板１０がロール方向で傾くことを抑制する。この剛性向上により、平板の板バネの状態で用いても、薄型且つピボットレスで用いることができる。Ｙ軸方向に平行な一点鎖線は、センサー保持部３１の幅方向の中心と固定部３７の幅方向の中心を結ぶ中心線に相当する。図１では、弾性変形部３２が、この中心線に対して対称になるよう形成した例を示している。
【００３０】
弾性変形部３２は、センサー保持部３１の幅方向に延びており、つづら折り形状である。それらのピッチ方向の回転軸を一点鎖線で示す。この一点鎖線がセンサー保持部３１のピッチ方向の回転軸となるよう、センサー保持部３１の両側にはそれぞれ弾性変形部３２ａ，３２ｂが連なっている。それぞれの弾性変形部３２の他方の端は、片持ち梁として機能する支持部３３で支持され、支持部は固定部３７に接合するよう連なっている。
【００３１】
弾性変形部３２は、センサー基板を磁気シートに押し付ける際に、バネ荷重を発生する部位となり、磁気シートとセンサー基板の摺動を安定させる。また、弾性変形部３２は、ピッチ剛性を小さくすることが出来るので、ピッチ角変動に対して、エアギャップの広がりを抑えることができる。
【００３２】
センサー基板１０は、ガラスエポキシ基板２０に固定される。またガラスエポキシ基板２０は、Ｙ軸方向に長い矩形状をなし、その一方側端部においてセンサー保持部３１に固定され、他方側端部は、支持部３３の切欠３３２内に配され、また支持部３３に接触しない位置に配される。このガラスエポキシ基板２０上には、センサー基板１０に配されるＧＭＲ素子２ａの端子の数だけの配線が形成されている。
【００３３】
センサー基板１０中のＧＭＲ素子２ａの中心（中心線を表すＹ軸に平行な一点鎖線とＸ軸に平行な二点鎖線との交点）は、弾性変形部３２のピッチ方向の回転軸（弾性変形部３２のピッチ回転中心軸、Ｘ軸に平行な一点鎖線で示す）よりも、支持部３３側の磁気シートの縁６０ａに近接した位置に配される。この位置とすることで、ＧＭＲ素子２ａにおいてピッチ角変動の影響を抑制でき、そして、センサー基板を磁気シートに押し付ける際に支持部３３が変形することを抑制することができる。
【００３４】
腕部３３１の交差部３４において、弾性変形部３２と接続する箇所の両側にはＸ軸方向にスリット３３３を形成する。スリット３３３を形成した領域の交差部３４の幅Ｍ１は、交差部３４の残りの部分における幅Ｍ２よりも小さい。スリット３３３を形成することで、衝撃等の外力が加わっても、弾性変形部３２と交差部３４の接続箇所に応力が集中することが抑制される。応力集中は、材料の降伏応力を超えて作用して変形が回復しなくなることがあるので、避けるべきである。
【００３５】
また本実施の形態では交差部３４の大部分において幅を太くしてＭ２としているので、支持部の幅をＭ１として、そのまま延伸する場合に比べて、剛性が高められている。太幅部３６の幅Ｍ３は、次のようにして定める。すなわち太幅部３６には、衝撃等の外力で配線基板２０が傾いたときに、配線基板２０が太幅部３６に干渉することを避けるために、切欠３３２を形成している。従って、腕部３３１の交差部３４よりも中心線側に拡幅して太幅部３６を形成するが、外力により配線基板２０が傾いても接触しない程度に、切欠３３２の幅を置く。このようにして太幅部３６の幅Ｍ３が定められる。これにより支持部３３の剛性が高められる。
【００３６】
広幅部３７においては、この太幅部３６よりさらに外側に向けて幅をＭ４だけ拡幅しており（切欠３３２の端からはＭ３＋Ｍ４の長さとなる）、剛性の向上に寄与している。またこの広幅部３７には、孔３８を形成して、センサー保持板の仮止めに利用することとしてもよい。
【００３７】
このように支持部３３を全体として、その付け根に向って拡幅することで、剛性を高め、センサー基板１０がロール方向で傾くことを抑制する。この剛性向上により、平板の板バネの状態で用いても、薄型且つピボットレスで用いることができる。Ｙ軸方向に平行な一点鎖線は、センサー保持部３１の中心と固定部３７の中心を結ぶ中心線に相当する。またここでは腕部３３１は中心線に対して対称に形成している。
【００３８】
図１において、センサー基板１０の図中下方（Ｙ軸負の方向）の端近傍には電極パッドを配し、配線基板であるガラスエポキシ基板２０とはワイヤー配線を介して導通する。ガラスエポキシ基板２０は無鉛はんだを介してＦＰＣ４０と導通させている（図示を省略する）。ＦＰＣ４０は樹脂５１等によって、固定部３７の端部（Ｙ軸負側の端部）に固定してもよい。つまり、ＧＭＲ素子２ａからの電気信号は、ガラスエポキシ基板２０上の配線及びＦＰＣ４０を介して、外部に取り出される。ＦＰＣ４０はガラスエポキシ基板２０上の配線に接触する部位における幅よりも、当該部位から樹脂５１で固定した位置までの間での幅が細くなるようにしている。この細幅化によって、ピッチ方向におけるセンサー保持板の動作を妨げないようにしているのである。幅太のＦＰＣを用いると、センサー保持板３１を磁気シートと平行に対面させる弾性変形部３２の作用が妨げられる場合があるためである。
【００３９】
図１においてＬ０は、弾性変形部３２のピッチ方向の回転軸とＧＭＲ素子２ａの中心との距離であり、Ｘ方向に沿った１点鎖線と２点鎖線の間隔に相当する。またＬ１は、弾性変形部３２のピッチ方向の回転軸（Ｘ軸に沿った向きの１点鎖線）から磁気シートの縁６０ａ（固定部３７に近い側の縁）までの距離である。さらにＬ２は弾性変形部３２のピッチ方向の回転軸（Ｘ軸に沿った向きの１点鎖線）から腕部３３１の交差部３４と太幅部３５との境界までの寸法に相当する。Ｌ３は弾性変形部３２のピッチ方向の回転軸（Ｘ軸に沿った向きの１点鎖線）から太幅部３５と広幅部３６との境界までの寸法に相当する。Ｌ４は弾性変形部３２のピッチ方向の回転軸（Ｘ軸に沿った向きの１点鎖線）から広幅部３６と固定部３７との境界までの寸法に相当する。なお、図１においては交差部３４，太幅部３５，広幅部３６の各境界を破線で示しているが、既に述べたように、センサー保持部３１と、２つの弾性変形部３２と、支持部３３と、固定部３７とは、一枚の金属薄板を加工して、一体的に形成されてもよく、この破線は説明のためのものに過ぎない。
【００４０】
弾性変形部３２の幅はＷａであり、センサー保持部３１と支持部３３とを接続する。この弾性変形部３２の長さをＬａ１１とするとき、
（Ｍ２／Ｌ４）＞（Ｗａ／Ｌａｌｌ）
を満たすことが好ましい。
【００４１】
Ｗａを小さくすることで、弾性変形部３２の剛性を小さくして、ピッチ方向においてセンサー保持部３１が磁気媒体と平行に対面しようとすることを、支持部３３が妨げないようにする。さらに支持部３３の幅を固定部３７側で大きくしていく。このようにすることで、後述する「弾性変形部３２と支持部３３の役割分担」を図る。
【００４２】
磁気媒体の固定部３７側の縁と弾性変形部３２のピッチ回転中心軸との距離Ｌ１は、磁気媒体の幅Ｗｂに対して、Ｗｂ／３≦Ｌ１≦２Ｗｂ／３の関係を満たすことが好ましい。この距離Ｌ１が２Ｗｂ／３より大きくなると、磁気媒体よりＹ軸正の方向にセンサー保持部３１が更に突出し、センサー保持部３１が大きくなり過ぎるので、小型化の観点から望ましくない。一方、Ｌ１がＷｂ／３より小さくなると、次に説明する（１）式の関係を満たせなくなり、磁気媒体とセンサー基板１０とを離隔させる力が働くこととなるので好ましくない。
【００４３】
弾性変形部３２のピッチ方向の回転軸と、センサー基板１０中のＧＭＲ素子２ａのＹ軸方向の中心との距離をＬ０とすると、Ｌ０を「０」より大きくすることが好ましい。
Ｌ１は、弾性変形部３２のピッチ回転中心軸から磁気媒体の固定部３７側の縁までの距離に相当する。センサー基板１０は、磁気媒体の固定部３７側の縁に接触し、センサー基板１０自体がわずかな傾きをもっていることから、ピッチ回転中心軸位置ではエアギャップを生じている。ピッチ回転中心軸は、弾性変形部３２の幅Ｗａの付け根同士を結ぶ線（Ｗａの中心線）よりも、固定部３７側とは反対側に位置していることが好ましい。
【００４４】
さらに、磁気媒体とＧＭＲ素子２ａを搭載したセンサー基板１０とのエアギャップの発生を抑制し、センサー基板１０を磁気媒体に摺動させるために、本実施形態の構成において次の（１）式を満たすよう、Ｌ１を定めることが望ましい。
Ｆ・Ｌ１＞ｋｐ・θ      （１）
ここで、Ｆはセンサー保持部のピッチ回転中心軸位置において加える荷重であり、センサー保持部３１のピッチ回転中心軸位置におけるセンサー保持部３１のバネ定数ｋと、押圧高さｔとの積で求めることができる。つまり、Ｆ＝ｋ・ｔである。センサー保持部３１のピッチ回転中心軸位置において、ｔは初期状態におけるセンサー基板１０及び磁気媒体間のエアギャップに相当する。このＦとＬ１の積であるＦ・Ｌ１はモーメントを表している。またｋｐは、センサー保持板のピッチ剛性に相当し、θは、初期状態における、ピッチ角に相当する。初期状態とは、センサー保持板を取り付け部に固定し、センサー基板が磁気シートを押圧している最初の状態に相当する。
【００４５】
すなわち、ｋｐとθとの積が、ＦとＬ１との積よりも大きいという条件下で、本実施の形態の磁気式エンコーダを構成することが望ましい。ピッチ剛性はピッチ角を１°つけるのに必要な力（単位：ｇｆ・ｍｍ／°）である。測定方法は、センサー保持部３１におけるピッチ回転中心軸位置から１ｍｍ離れた位置（Ｙ方向に離れた位置）に１ｇｆを加えたときに、荷重位置での変位（高さの変位：Ｚ方向変位）を変位計で測定し、ピッチ角θを計算して求める。本実施の形態のセンサー保持部３１では、ｋｐを０．４〜０．９（ｇｆ・ｍｍ／°）程度としている。より望ましくはｋｐ（ｇｆ・ｍｍ／°）は０．４以上、０．６以下とする。１ｇｆは１０ｍＮに相当する。
【００４６】
弾性変形部３２としては、つづら折り型、つづら折り型を曲線状に変形した蛇行型、矩形状のリング型、円或いは楕円のリング型などの形状を用いることができる。リング型は複数のリングを連結したタイプを用いることもできる。弾性変形部の梁の長さＬａｌｌは、つづら折型であれば、屈曲している経路の中心をなぞった長さがＬａｌｌに相当する。リング型であれば、枝分かれした経路の分も長さを加算してＬａｌｌを求める。Ｗａは、経路の幅に相当する。なお、幅が途中で変動する場合、全長に亘る幅の積分値を全長で除した平均値をＷａとすればよい。
【００４７】
センサー保持部３１と固定部３７との間には、弾性アーム部と配線基板であるガラスエポキシ基板２０とが接触することを避けるためのスペースとして、支持部３３に凹部である切欠３３２を形成する。このスペースによって、衝撃等の外力によって弾性アーム部が撓んでも、弾性アーム部が配線基板に接触することが避けられる。
【００４８】
センサー保持部３１は、磁気センサーであるＧＭＲ素子２ａ等が磁気媒体に対して摺動する方向を回転軸とする回転に対する弾性と、この摺動方向に垂直で且つ磁気媒体表面に平行な方向を回転軸とする回転に対する弾性を有し、さらに、センサー保持部３１の平面に垂直な方向に対し弾性を有することが好ましい。
【００４９】
センサー保持部３１は、一対の弾性アーム部を介して１つの固定部３７に接続される。そしてこの固定部３７が、取り付け台に固定されることで、センサー保持部３１が弾性アームと固定部３７とを介して、取り付け台に支持される。弾性アーム部は弾性変形部３２と支持部３３とを含んで構成されている。この支持部３３は、いわゆる、片持ち梁（片持ちばねとも称する）の構造となっている。支持部３３の端近傍（交差部３４）と磁気媒体のＺ軸方向の距離が変動しても、センサー保持部３１が固定部３７に対して平行状態を保ちながらＺ軸方向に上下移動するよう、弾性変形部３２が作用する。これにより磁気センサーと磁気媒体とのギャップ変動を著しく低減できる。弾性変形部３２は、その幅Ｗａを支持部３３の腕部３３１の交差部３４の最大幅Ｍ１よりも小さく、またＸ軸方向をピッチ方向の回転軸とするよう支持されている。支持部３３の腕部３３１は、固定部３７側に向かうほど幅を広くしていくことで、剛性を高め、センサー保持部３１に設けられるセンサー基板１０がロール方向に傾くことを抑制している。このように、弾性変形部３２と支持３３部とがそれぞれの役割を分担している。
【００５０】
さらに本実施の形態の磁気式エンコーダでは、１つの固定部３７と一対の弾性アーム部、並びにセンサー保持部３１が略同一平面内にある。
【００５１】
センサー保持板３０を構成するセンサー保持部３１、弾性アーム部及び固定部３７は、同一の材料で、均一の厚みとしておく。この厚みは、５０μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましい。５０μｍ未満ではセンサー保持板の剛性が低下してハンドリングすることが難くなり、また２００μｍより厚いとセンサー保持板の剛性が大きいので磁気媒体に押し当てる力も大きくすることになり、耐摩耗性を損なうことが懸念される。
センサー保持板３０のセンサー保持部３１、弾性アーム部及び固定部３７は一体的に作製される。具体的には、１枚の金属板をエッチングや打抜きプレスで、センサー保持板３０全体の平面形状を作製できる。用いる金属材質により、好適な厚みは異なるが、ロール方向やピッチ方向、磁気媒体に押付ける方向の弾性から、５０μｍから２００μｍの金属板を使用することが好ましい。取り付け部５０に固定される前に、センサー保持板３０はＺ軸方向に曲げられてはおらず、平板として用いる。
【００５２】
磁気媒体からの磁界を乱さないためにも、センサー保持板３０は非磁性材で作製されることが好ましい。すなわち、ばね性を有する非磁性金属で、化学エッチングができる材質で作製されるものを選択すればよい。弾性アーム部の複雑な形状を打抜きプレスで加工する場合には、プレス金型のコストや、形状修正の困難さが生じることを考慮して、化学エッチングできる材質を選ぶこととしてもよい。このような化学エッチングが容易で折り曲げ加工ができる材料の例としては、非磁性ステンレス（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ）や燐青銅材（Ｃｕ−Ｓｎ−Ｐ）、洋白（Ｃｕ−Ｎｉ−Ｚｎ）、黄銅（Ｃｕ−Ｚｎ）等がある。また銅合金を用いることもできる。例えば上記の洋白は洋銀と称されることもある銅系合金である。
【００５３】
本実施の形態の磁気式エンコーダでは、センサー保持部３１の平面に垂直な方向において、磁気媒体に対して５０ｍＮ（５ｇｆ）以上８００ｍＮ（８２ｇｆ）以下の押し付け荷重を与えることが好ましい。５０ｍＮ未満では、磁気媒体への磁気センサー素子の押付け荷重力が小さ過ぎるため、摺動時に磁気センサー素子面が磁気媒体面から離れ、出力電圧が変動する可能性が大きくなる。これは、磁気媒体の表面の僅かなうねりや腕部での飛び跳ね、外力による離れ等で起こるものである。一方、押し付け荷重が、８００ｍＮを超えると磁気センサー素子の飛び跳ねや、外力による離れは押させることできるが、耐磨耗性の問題が発生する。例えばプラスチックフィルム上に磁性体をコーティングした磁気媒体では、荷重を上げすぎると磁気媒体表面が変形し、磁気センサー素子の幅が小さい場合、磁気センサー素子の摺動方向側の端部（稜部）で、磁性体を削る現象が起こり、耐摩耗性が急激に悪化する。
【００５４】
磁気媒体表面が変形する荷重値は次のようにして求めることができる。曲率半径２５ｍｍの磁気媒体表面に透明ガラス板を押し当て、透明ガラスと磁気媒体の接触幅が０．５ｍｍになる荷重を求める。ここで接触幅が０．５ｍｍで、磁気媒体表面が変形するとし、磁気媒体の幅方向は３ｍｍとし、磁気媒体の表面の平均面粗さＲａは約１μｍであるとする。また磁気媒体のプラスチックフィルムはＰＥＴで２００μｍ厚、磁性体は平均粒径１μｍから１０μｍのストロンチュームフェライト粉末を、３０μｍ厚に塗布したものであるとする。すると、変形が始まる荷重は１１３６ｍＮ（１１６ｇｆ）であり、接触している面積から磁気媒体が変形を起こす単位面積当たりの荷重は、７５７ｍＮ／ｍｍ2である。安全率を考慮して、押し当て荷重を８００ｍＮ（８２ｇｆ）以下とすれば、単位面積あたりの荷重は約５３０ｍＮ／ｍｍ2以下となる。このように単位当たりの荷重値を５３０ｍＮ／ｍｍ2以下とすることで、磁気センサー素子を有するセンサー基板１０による磁気媒体表面の変形が起こらない。また単位当たりの荷重値を５３０ｍＮ／ｍｍ2以下とした場合、センサー基板１０の摺動方向の幅は０．５ｍｍ以上とする必要がある。センサー基板１０は略長方形状とすることができる。
【００５５】
センサー保持部３１の中心が、磁気媒体に押し付け荷重を与える荷重点になる。この荷重点に磁気センサー素子である磁気抵抗効果素子（例えばＧＭＲ素子２ａ）を配することで、磁気媒体との間で相対的な往復移動をしたときに、移動方向による磁気センサー素子の出力の差を最小限にすることができる。
【００５６】
本実施の形態の磁気式エンコーダのセンサー保持板は図１に例示したものに限られない。図１１は、本実施の形態の別の態様に係るセンサー保持板３０’の正面図である。この態様では、図１に例示したセンサー保持板３０の弾性変形部３２ｂの形状を変更し、図１１に弾性変形部３２ｄとして示したようにしている。その他の部分は、図１のセンサー保持板３０と同様である。
【００５７】
すなわち、図１のセンサー保持板３０では、センサー保持部３１の両側にある弾性変形部３２ａ，３２ｂは、センサー保持部３１のＹ軸に平行な中心軸に対して線対称であった。それに対して図１１に示す例では、弾性変形部３２ａと弾性変形部３２ｄとは互いにＸ軸に平行な回転軸に対して折り返した関係にある。具体的に、この弾性変形部３２ｄは、図１１中に、Ｘ軸に平行に引いた１点鎖線を軸として、図１の弾性変形部３２ｂとは上下反転した形状となっている。
【００５８】
この図１１の例では、交差部３４ａ，ｂにおける各弾性変形部３２ａ，ｄの付け根（２箇所）と、センサー保持部３１側における各弾性変形部３２ａ，ｄの付け根（２箇所）の幅方向中心を結ぶ線を一点鎖線（Ｘ軸に平行）で表している。弾性変形部３２ａと弾性変形部３２ｄが点対称の形状になっているため、ピッチ回転中心軸位置は、交差部３４ａ，ｂにおける各弾性変形部３２ａ，ｄの付け根（２箇所）と、センサー保持部３１側における各弾性変形部３２ａ，ｄの付け根（２箇所）の幅方向中心を結ぶ線（１点鎖線）上に近づく。つまり図１１の例では、実質的に交差部３４ａ，ｂにおける各弾性変形部３２ａ，ｄの付け根（２箇所）と、センサー保持部３１側における各弾性変形部３２ａ，ｄの付け根（２箇所）の幅方向中心を結ぶ線（一点鎖線）上に弾性変形部３２のピッチ回転中心軸位置がある。ただし、このように近づけていくと、弾性変形部のねじれを抑制し難くなる傾向がある。なお、図１２は図１１のセンサー保持板３０’の底面図である。なお、このセンサー保持板３０’の断面は図４，図５に図示した例と同様になるので、図示は省略する。
【００５９】
また本実施の形態のまた別の態様に係るセンサー保持板の平面図を図１３に示す。図１３に例示するセンサー保持板３０’’では、図１における一対の弾性変形部３２ａ，３２ｂを、他の形状の一対の弾性変形部３２ｅ，３２ｆに変更した以外は、図１のセンサー保持板３０と同様である。弾性変形部３２ｅ，３２ｆは、それぞれ外周が矩形のＯ字状リングを２個連結した形状をなしている。なお、Ｙ軸を軸線として左右に鏡像反転させると背面図を得られる。
【００６０】
本実施の形態の磁気式エンコーダでは、以上のようにセンサー保持板３０を構成しており、次のように動作する。ここでは一例としてカメラのレンズを回転させてピントを合わせるピント合わせ機構において、レンズの回転位置を検出する例について説明する。
【００６１】
この例ではレンズの回転可能部に磁気媒体としての磁気シート６０を配する。また、レンズの回転させない部分にセンサー保持板３０の固定部３７を固定し、磁気シート６０上にセンサー保持板３０に搭載したセンサー基板１０が摺動するように配しておく。こうして磁気シート６０がセンサー保持板３０を相対移動できるようにする。また、磁気シート６０は、センサー保持板３０との相対移動方向に、予め定めた間隔ごとに着磁方向を互いに異ならせている。
【００６２】
ＧＭＲ素子２ａは、磁気シート６０の、当該ＧＭＲ素子２ａに近接する範囲の着磁方向を検出して、当該検出の結果を電気的信号として出力する。カメラのレンズを回転させ、磁気シート６０がセンサー保持板３０に対して相対移動すると、センサー保持板３０のＧＭＲ素子２ａが近接する磁気シート６０の部分の着磁方向が変化し、ＧＭＲ素子２ａが出力する電気的信号もそれに応じて変化する。本実施の形態の磁気式エンコーダは、この電気的信号の変化から、レンズの回転位置を検出する。
【００６３】
図１４は、本発明の実施の形態のさらに別の態様に係るセンサー保持板の例を表す平面図である。図１４に例示するセンサー保持板では、交差部３４から太幅部３５の範囲で、外周を連続的に拡幅している。また、切欠部３３２の切り欠き形状を、略矩形状ではなく、交差部３４側で切り欠きの幅を拡幅した形状をなすように（Ｐ）、加工している。また、本実施の形態では、この外周の拡幅と、切り欠き幅の拡幅は、いずれか一方のみを行うこととしてもよい。
【実施例】
【００６４】
図１に例示したセンサー保持板３０を、８０μｍ厚の非磁性ステンレスＳＵＳ３０４の薄板を打ち抜くことで作製した例を以下に説明する。屈曲している弾性変形部３２の直線状部分の幅は、基本寸法を０．８ｍｍとし、部分的に応力集中を緩和するため変更している（これらの平均（直線状部分の全長に亘って幅を積分し、全長長さの値で除した値）がＷａとなるようにしている）。このセンサー保持板３０は、最大寸法で縦１０ｍｍ、横１５ｍｍである。ＧＭＲ素子２ａには、複数のスピンバルブ素子をブリッジ接続し、各スピンバルブ素子の長手方向をセンサー基板３０の長手方向（Ｙ軸方向）と平行とし、各スピンバルブ素子同士を平行に配置した。【００６５】
センサー基板１０は、次のようにして作製する。まずシリコンウェハ上に、フォトリソ技術と真空成膜技術、エッチング技術を用い、スピンバルブ型磁気抵抗効果素子と配線を形成する。そして磁気抵抗効果素子の上には約２μｍ厚で酸化シリコンの被膜を被覆する。こうして磁気抵抗効果素子等の形成が終了したウェハを、ダイヤモンド砥石で幅ｗ０．５ｍｍ、長さ３．０ｍｍに切断し、センサー基板１０を得る。磁気抵抗効果素子や配線、磁気抵抗効果素子上の酸化シリコン被膜の厚みは、各々数μｍであり、ウェハ厚は、磁気センサー素子を含むセンサー基板厚ｈ’と同じと見なしても差し支えない。磁気抵抗効果素子上の酸化シリコン被膜の膜厚が、磁気抵抗効果素子と磁気シート６０の表面との磁気的なギャップとなっている。磁気式エンコーダにおいて、磁気抵抗効果素子は、磁気シートの固定部３７側の縁６０ａよりＹ軸正側の部分に配置した。得られたガラスエポキシ配線基板２０上にセンサー基板１０を固着し、ガラスエポキシ配線基板２０とセンサー基板１０との配線を導通させる。【００６６】
磁気シート６０は、テープ状のプラスチックフィルム上に磁性体をコーティングしたものを、所定の曲率を有する非磁性面に接着剤で固着して作製する。非磁性面の移動や回転に伴って、センサー基板１０に対して摺動する方向における磁気シートの幅Ｗｂは３ｍｍ、磁気シート表面の曲率半径は２７．５ｍｍとした。【００６７】
図２において、磁気シート６０に代えてピンを用い、センサー保持部３１の幅方向の中心と固定部３７の幅方向の中心を結ぶ中心線上を押すように、ピンでセンサー基板１０をＺ軸のマイナスの向きに押圧し、ＸＹ平面に対してセンサー基板がどのように傾くかをみた。このピンでセンサー基板を押したときに、センサー基板の面がＸＹ平面に対して平行を保った状態でＺ軸のマイナスの向きに移動したとき、その押圧点で前記中心線と直交する線を”ピッチ回転中心軸”と定義する。ピッチ回転中心軸よりも固定部３７側にずれた位置をピンで押すとセンサー基板がピッチ回転してＸＹ平面に対して傾き、固定部３７側とは反対側にずれた位置でピンを押すとセンサー基板が逆にピッチ回転してＸＹ平面に対して傾く。【００６８】
図１５のグラフに、弾性変形部３２の腕部３３１側端部における幅方向の中心を通る線（Ｗａ中心軸と呼ぶ）上からＹ軸方向に押圧する荷重点を移動させたときのピッチ角（初期ピッチ角（°））と、Ｗａ中心軸からの距離（ｍｍ）との関係を示す。荷重点には１ｇｆの荷重を加えた。横軸の符号は、荷重点を固定部３７側に移動したときをプラスとし、固定部３７側とは反対側に移動したときをマイナスとする。【００６９】
このセンサー保持板３０については、ｋｐ＝０．５（ｇｆ・ｍｍ／°）、Ｌ１＝１．３７ｍｍとした。図１６のグラフに、磁気式エンコーダで荷重Ｆ＝２．１２ｇｆとしたときのピッチ角とエアギャップの関係を示す。ピッチ角が小さいとエアギャップの増大は抑えられてセンサー基板を磁気シートに摺動させることが出来た。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
磁気媒体から出ている磁気を磁気センサーで検出し、可動部材の変位あるいは速度を求めることができる磁気式エンコーダとして、本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００７１】
２ａ：ＧＭＲ素子、
１０：センサー基板、
２０：配線基板、
３０：センサー保持板、
３０’：センサー保持板、
３０’’：センサー保持板、
３１：センサー保持部、
３２ａ，３２ｂ：弾性変形部、
３２ｅ，３２ｆ：弾性変形部、
３２ｄ：弾性変形部、
３３ａ，３３ｂ：支持部、
３４ａ，３４ｂ：交差部、
３５ａ，３５ｂ：太幅部、
３６ａ，３６ｂ：広幅部、
３７：固定部、
３８：孔、
３９ａ，３９ｂ：孔、
４０：ＦＰＣ、
５１：樹脂、
５０ａ、５０ｂ：取り付け台、
６０：磁気シート、
６０ａ：磁気シートの縁、
３３１：腕部
３３２：切り欠き
３３３：スリット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【国際調査報告】
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