(57)【要約】ナノインプリントリソグラフィー方法は、前処理組成物をナノインプリントリソグラフィー基板上に配置することで、前処理コーティングを形成することと、インプリントレジストの複数の不連続部分を前処理コーティング上に配置することとを含むものであり、インプリントレジストの不連続部分はそれぞれ、ナノインプリントリソグラフィー基板の標的域を覆っている。インプリントレジストは、重合性組成物であり、重合開始剤を含む。複合重合性コーティングは、インプリントレジストの不連続部分がそれぞれその標的域を越えて広がることで、ナノインプリントリソグラフィー基板上に形成する。複合重合性コーティングとナノインプリントリソグラフィーテンプレートとを接触させる。重合開始剤を活性化させ、複合重合性コーティングを重合することで、ナノインプリントリソグラフィー基板上に複合重合体層と前処理コーティングの非硬化部分とを得る。複合重合性コーティングを重合し、複合重合体層を得た後に、前処理コーティングの非硬化部分を重合する。【選択図】図８Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前処理組成物をナノインプリントリソグラフィー基板上に配置することで、該ナノインプリントリソグラフィー基板上に前処理コーティングを形成することと、
なお、前記前処理組成物は重合性成分を含む；
インプリントレジストの複数の不連続部分を前記前処理コーティング上に配置することと、
なお、前記インプリントレジストの不連続部分がそれぞれ、前記ナノインプリントリソグラフィー基板の標的域を覆っており、該インプリントレジストは、重合性組成物であり、重合開始剤を含む；
前記インプリントレジストの不連続部分がそれぞれ、その標的域を越えて広がることで、前記ナノインプリントリソグラフィー基板上に複合重合性コーティングを形成することと、
なお、前記複合重合性コーティングは、前記前処理組成物と前記インプリントレジストとの混合物を含む；
前記複合重合性コーティングとナノインプリントリソグラフィーテンプレートとを接触させることと、
前記重合開始剤を活性化させることと、
前記複合重合性コーティングを重合することで、前記ナノインプリントリソグラフィー基板上に複合重合体層と前記前処理コーティングの非硬化部分とを得ることと、
前記複合重合性コーティングを重合し、複合重合体層を得た後に、前記前処理コーティングの非硬化部分を重合することと、
を含む、ナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項２】
前記重合開始剤が、第１の光重合開始剤を含み、前記複合重合性コーティングを重合することが、該複合重合性コーティングに、第１の波長、強度、エネルギー密度、及び期間のＵＶ放射線を照射することにより、前記複合重合性コーティングの重合を開始させることを含む、請求項１に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項３】
前記前処理組成物が重合開始剤を実質的に含まない、請求項１又は２に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項４】
前記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第１の波長、及び第２の強度、エネルギー密度、期間、又はそれらの組合せのＵＶ放射線を照射することを含み、該第２の強度、エネルギー密度、又は期間の少なくとも１つが、第１のものとは異なり、前記前処理組成物の非硬化部分の自己重合を開始させるのに十分なものである、請求項１〜３のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項５】
前記前処理組成物が熱重合開始剤を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項６】
前記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分の重合を開始させるのに十分な温度及び期間で該前処理コーティングの非硬化部分を加熱することを含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。 
【請求項７】
前記前処理組成物が前記第１の光重合開始剤を含む、請求項２〜６のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項８】
前記インプリントレジストが光増感剤を含む、請求項１〜７のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項９】
前記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第１の波長、及び第２の強度、エネルギー密度、期間、又はそれらの組合せのＵＶ放射線を照射することを含み、該第２の強度及びエネルギー密度の少なくとも一方が第１のものを上回る、請求項２〜８のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項１０】
前記前処理コーティングが第２の光重合開始剤を含み、該第２の光重合開始剤が前記第１の光重合開始剤とは異なる、請求項２〜９のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項１１】
前記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第２の波長のＵＶ放射線を照射することを含み、該第２の波長が前記第１の波長より短い、請求項１０に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項１２】
前記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第２の波長、及び第２の強度、エネルギー密度、又は期間のＵＶ放射線を照射することを含み、該第２の波長が前記第１の波長より短く、該第２の強度及びエネルギー密度の少なくとも一方が第１のものを上回る、請求項１０又は１１に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項１３】
前記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第２の強度、エネルギー密度、又は期間のＵＶ放射線を照射することを含み、該第２の強度又はエネルギー密度の少なくとも一方が第１のものを上回る、請求項１０〜１２のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項１４】
前記重合開始剤を活性化させることが、前記前処理組成物の重合を開始させない、請求項１〜１３のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の方法により形成されたナノインプリントリソグラフィー積層体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願の相互参照］
本出願は、２０１６年３月３１日に出願された「ナノインプリントリソグラフィーにおける基板前処理組成物の硬化（CURING SUBSTRATE PRETREATMENT COMPOSITIONS IN NANOIMPRINT LITHOGRAPHY）」と題される米国特許出願第６２／３１６，３７７号及び２０１７年３月２４日に出願された「ナノインプリントリソグラフィーにおける基板前処理組成物の硬化（CURING SUBSTRATE PRETREATMENT COMPOSITIONS IN NANOIMPRINT LITHOGRAPHY）」と題される米国特許出願第１５／４６９，２９８号の利益を主張するものであり、該出願はそれぞれ、その全体が引用することにより本明細書の一部をなす。
【０００２】
本発明は、ナノインプリントリソグラフィープロセスにおける基板前処理組成物の硬化、及びインプリントレジストと独立した硬化に適した前処理組成物に関する。
【背景技術】
【０００３】
半導体加工産業では単位面積当たりの回路数を増やしつつ生産効率を増大することに尽力されていることから、信頼性のある高解像度のパターニング技法の継続的な進展に注目が集まっている。今日用いられているこのような技法の一つは一般に、インプリントリソグラフィーと呼ばれている。インプリントリソグラフィープロセスは、米国特許出願公開第２００４／００６５２５２号及び米国特許第６，９３６，１９４号及び同第８，３４９，２４１号（いずれも引用することにより本明細書の一部をなす）等の多くの公報において詳細に記載されている。インプリントリソグラフィーが利用されている他の開発分野としては、バイオテクノロジー、光学技術及び機械系が挙げられる。
【０００４】
上述の特許文献のそれぞれに開示されているインプリントリソグラフィー技法は、インプリントレジストにおけるレリーフパターンの形成及びレリーフパターンに対応するパターンの下層基板への転写を含むものである。パターニングプロセスでは、基板から離間したテンプレート及びテンプレートと基板との間に配置された重合性組成物（「インプリントレジスト」）が使用される。場合によっては、インプリントレジストが離間した不連続な液滴の形で基板上に配置されることもある。液滴を広げた後、インプリントレジストをテンプレートと接触させる。インプリントレジストをテンプレートと接触させた後、基板とテンプレートとの間の空間にレジストが均一に充填され、次いでインプリントレジストを固化することで、テンプレートの表面の形状に適合するパターンを有する層が形成される。固化後、テンプレートと基板とが離間するように、テンプレートはパターニングされた層から分離される。
【０００５】
インプリントリソグラフィープロセスにおけるスループット（Throughput：処理能力）は一般に、多様な要素に左右される。インプリントレジストが離間した不連続な液滴の形で基板上に配置される場合、スループットの少なくとも一部は基板上での液滴の広がりの効率性及び均一性に左右される。インプリントレジストの広がりは液滴同士の間のガス空隙及び液滴による基板及び／又はテンプレートの不完全な濡れ等の要素により阻害され得る。
【０００６】
インプリントリソグラフィープロセスにおけるスループットは、インプリントレジストの広がりを促す前処理組成物で基板を前処理することにより改善させることができる。しかしながら、インプリントリソグラフィープロセスを終えた後に非硬化前処理組成物が存在していると、その前処理組成物がインプリントフィールド上に広がり、基板から蒸発してコンタミネーション（contamination）が起こることで、得られるパターニングされた層（patterned layer：パターン層）に欠陥が生じることがある。
【発明の概要】
【０００７】
第１の一般的態様では、ナノインプリントリソグラフィー方法は、前処理組成物をナノインプリントリソグラフィー基板上に配置することで、ナノインプリントリソグラフィー基板上に前処理コーティングを形成することと、インプリントレジストの複数の不連続部分を前処理コーティング上に配置することとを含むものであり、インプリントレジストの不連続部分はそれぞれ、ナノインプリントリソグラフィー基板の標的域を覆っている。前処理組成物は、重合性成分を含む。インプリントレジストは、重合性組成物であり、重合開始剤を含む。複合重合性コーティングは、インプリントレジストの不連続部分がそれぞれその標的域を越えて広がることで、ナノインプリントリソグラフィー基板上に形成する。複合重合性コーティングは、前処理組成物とインプリントレジストとの混合物を含む。複合重合性コーティングとナノインプリントリソグラフィーテンプレートとを接触させる。重合開始剤を活性化させ、複合重合性コーティングを重合することで、ナノインプリントリソグラフィー基板上に複合重合体層と前処理コーティングの非硬化部分とを得る。複合重合性コーティングを重合し、複合重合体層を得た後に、前処理コーティングの非硬化部分を重合する。
【０００８】
第２の一般的態様は、第１の一般的態様の方法により形成されるナノインプリントリソグラフィー積層体を含む。
【０００９】
第１及び第２の一般的態様の実施態様には下記特徴の１つ以上が含まれ得る。
【００１０】
いくつかの実施の形態では、前処理組成物は、重合開始剤を含まないか、又は実質的に含まない。
【００１１】
いくつかの場合、上記重合開始剤が、第１の光重合開始剤を含み、上記複合重合性コーティングを重合することが、該複合重合性コーティングに、第１の波長、強度、エネルギー密度、及び期間のＵＶ放射線を照射することにより、上記複合重合性コーティングの重合を開始させることを含む。上記前処理組成物が重合開始剤を含まなくてもよい。上記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第１の波長、及び第２の強度、エネルギー密度、期間、又はそれらの組合せのＵＶ放射線を照射することを含むことができ、該第２の強度、エネルギー密度、又は期間の少なくとも１つが、第１のものとは異なり、上記前処理組成物の非硬化部分の自己重合を開始させるのに十分なものである。
【００１２】
或る特定の場合、上記前処理組成物が熱重合開始剤を含む。上記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分の重合を開始させるのに十分な温度及び期間で該前処理コーティングの非硬化部分を加熱することを含むことができる。
【００１３】
上記インプリントレジストが光増感剤を含むことができる。上記前処理組成物が上記第１の光重合開始剤を含むことができる。上記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第１の波長、及び第２の強度、エネルギー密度、期間、又はそれらの組合せのＵＶ放射線を照射することを含むことができ、該第２の強度及びエネルギー密度の少なくとも一方が第１のものを上回る。
【００１４】
いくつかの場合、上記前処理コーティングが第２の光重合開始剤を含む。該第２の光重合開始剤が上記第１の光重合開始剤とは異なっていてもよい。上記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第２の波長のＵＶ放射線を照射することを含むことができ、該第２の波長が上記第１の波長より短い。上記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第２の波長、及び第２の強度、エネルギー密度、又は期間のＵＶ放射線を照射することを含むことができ、該第２の波長が上記第１の波長より短く、該第２の強度及びエネルギー密度の少なくとも一方が第１のものを上回る。上記前処理コーティングの非硬化部分を重合することが、該前処理コーティングの非硬化部分に、第２の強度、エネルギー密度、又は期間のＵＶ放射線を照射することを含むことができ、該第２の強度又はエネルギー密度の少なくとも一方が第１のものを上回る。
【００１５】
或る特定の場合、上記重合開始剤を活性化させることが、上記前処理組成物の重合を開始させない。
【００１６】
本明細書に記載の主題の１つ以上の実施態様の詳細は添付の図面及び下記明細書に記載される。主題の他の特徴、態様及び有利な点は本明細書、図面及び特許請求の範囲から明らかとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】リソグラフィーシステムの簡略化側面図である。
【図２】基板上にパターニングされた層が形成された、図１に示される基板の簡略化側面図である。
【図３Ａ】第１液層上での第１液と第２液の液滴との広がり相互作用を示す図である。
【図３Ｂ】第１液層上での第１液と第２液の液滴との広がり相互作用を示す図である。
【図３Ｃ】第１液層上での第１液と第２液の液滴との広がり相互作用を示す図である。
【図３Ｄ】第１液層上での第１液と第２液の液滴との広がり相互作用を示す図である。
【図４】ナノインプリントリソグラフィースループットを促進するプロセスを示すフローチャート図である。
【図５Ａ】ナノインプリントリソグラフィー基板を示す図である。
【図５Ｂ】ナノインプリントリソグラフィー基板上に配置された前処理コーティングを示す図である。
【図６Ａ】前処理コーティングを備える基板上に配置されたインプリントレジスト滴からの複合コーティングの形成を示す図である。
【図６Ｂ】前処理コーティングを備える基板上に配置されたインプリントレジスト滴からの複合コーティングの形成を示す図である。
【図６Ｃ】前処理コーティングを備える基板上に配置されたインプリントレジスト滴からの複合コーティングの形成を示す図である。
【図６Ｄ】前処理コーティングを備える基板上に配置されたインプリントレジスト滴からの複合コーティングの形成を示す図である。
【図７Ａ】図６Ａのｗ−ｗ線に沿った断面図である。
【図７Ｂ】図６Ｂのｘ−ｘ線に沿った断面図である。
【図７Ｃ】図６Ｃのｙ−ｙ線に沿った断面図である。
【図７Ｄ】図６Ｄのｚ−ｚ線に沿った断面図である。
【図８Ａ】ナノインプリントリソグラフィー基板上の液滴に置き換えられた前処理コーティングの断面図である。
【図８Ｂ】ナノインプリントリソグラフィー基板上の液滴に置き換えられた前処理コーティングの断面図である。
【図９Ａ】均質複合コーティングと接触するテンプレートの断面図である。
【図９Ｂ】均質複合コーティングと接触するテンプレートの断面図である。
【図９Ｃ】得られるナノインプリントリソグラフィー積層体の断面図である。
【図１０Ａ】不均質な複合コーティングと接触するテンプレートの断面図である。
【図１０Ｂ】不均質な複合コーティングと接触するテンプレートの断面図である。
【図１０Ｃ】得られるナノインプリントリソグラフィー積層体の断面図である。
【図１１】複合重合体層と非硬化前処理コーティングとを含むナノインプリントリソグラフィー基板を示す図である。
【図１２Ａ】複合重合性コーティングと独立した非硬化前処理組成物を重合するプロセスを示すフローチャート図である。
【図１２Ｂ】複合重合性コーティングと独立した非硬化前処理組成物を重合するプロセスを示すフローチャート図である。
【図１２Ｃ】複合重合性コーティングと独立した非硬化前処理組成物を重合するプロセスを示すフローチャート図である。
【図１３】比較例１に対応する前処理コーティングのない基板の粘着層上に広げた後のインプリントレジスト滴の画像を示す図である。
【図１４】実施例１に記載の前処理コーティング上に広げた後のインプリントレジスト滴の画像を示す図である。
【図１５】実施例２に記載の前処理コーティング上に広げた後のインプリントレジスト滴の画像を示す図である。
【図１６】実施例３に記載の前処理コーティング上に広げた後のインプリントレジスト滴の画像を示す図である。
【図１７】実施例２のインプリントレジスト及び前処理組成物についての前広がり時間に応じた欠陥密度を示す図である。
【図１８】前処理組成物の広がる時間に対する液滴径を示す図である。
【図１９Ａ】二成分前処理組成物における１つの成分の部分組成に応じた粘度を示す図である。
【図１９Ｂ】二成分前処理組成物における様々な比率の成分についての時間に対する液滴径を示す図である。
【図１９Ｃ】二成分前処理組成物における１つの成分の画分に対する二成分前処理組成物の表面張力を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、基板１０２上のレリーフパターンの形成に用いられる種類のインプリントリソグラフィーシステム１００を示すものである。基板１０２には、基層と基層に接着する接着層とが含まれ得る。基板１０２は基板チャック１０４に連結することができる。図示されるように、基板チャック１０４は真空チャックである。しかしながら、基板チャック１０４は、真空、ピン型、グルーブ型、電磁、及び／又は同様のものを含むが、これらに限定されない任意のチャックとすることができる。チャックの例は、米国特許第６，８７３，０８７号（引用することにより本明細書の一部をなす）に記載されている。基板１０２及び基板チャック１０４はステージ１０６によって更に支持することができる。ステージ１０６により、ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸に対する動きが与えられ得る。ステージ１０６、基板１０２及び基板チャック１０４が基層上に置かれていてもよい。
【００１９】
テンプレート１０８は基板１０２と離間している。テンプレート１０８は一般にテンプレートの表面から基板１０２に向かっていくらか離れた矩形又は方形のメサ１１０を備える。メサ１１０の表面はパターニングすることができる。場合によっては、メサ１１０はモールド１１０又はマスク１１０と称されることもある。テンプレート１０８、モールド１１０又はその両方は、ヒュームドシリカ、石英、ケイ素、窒化ケイ素、有機ポリマー、シロキサンポリマー、ホウケイ酸ガラス、フッ化炭素ポリマー、金属（例えばクロム、タンタル）、硬化サファイア等、又はそれらの組合せを含むが、これらに限定されないこのような材料から形成することができる。図示されるように、表面１１２のパターニングは複数の離間した凹部１１４及び凸部１１６により規定された特徴を含むが、実施形態はこのような配置に限定されない。表面１１２のパターニングは基板１０２上に形成されるパターンの基となる任意のオリジナルパターンを規定し得る。
【００２０】
テンプレート１０８はチャック１１８に連結している。チャック１１８は通例、限定するものではないが、真空、ピン型、グルーブ型、電磁、又は他の同様のチャック型として構成されている。チャックの例は米国特許第６，８７３，０８７号（引用することにより本明細書の一部をなす）に更に記載されている。さらに、チャック１１８はインプリントヘッド１２０に連結することができ、このようにしてチャック１１８及び／又はインプリントヘッド１２０がテンプレート１０８の動きを円滑にするように構成され得る。
【００２１】
システム１００には流体ディスペンスシステム１２２が更に含まれ得る。流体ディスペンスシステム１２２を用いることで、インプリントレジスト１２４を基板１０２上に堆積させることができる。インプリントレジスト１２４は、ドロップディスペンス、スピンコート法、ディップコート法、化学蒸着（ＣＶＤ）、物理蒸着（ＰＶＤ）、薄膜堆積、厚膜堆積等の技法を用いて基板１０２上に吐出することができる。ドロップディスペンス法では、図１に示されるように、インプリントレジスト１２４は離間した不連続な液滴の形で基板１０２上に配置される。
【００２２】
システム１００にはパス１２８に沿ってエネルギーを指向させるように連結されたエネルギー源１２６が更に含まれ得る。インプリントヘッド１２０及びステージ１０６は、テンプレート１０８と基板１０２とがパス１２８と重なって位置付けられるように構成され得る。システム１００は、ステージ１０６、インプリントヘッド１２０、流体ディスペンスシステム１２２、及び／又はエネルギー源１２６に連通しているプロセッサ１３０により制御することができ、メモリ１３２に保存されたコンピュータ可読プログラムにて動作させることができる。
【００２３】
インプリントヘッド１２０は、モールド１１０がインプリントレジスト１２４と接触するようにテンプレート１０８に力を加えることができる。インプリントレジスト１２４が所望の量充填された後に、エネルギー源１２６からエネルギー（例えば、電磁放射エネルギー又は熱エネルギー）を生じさせ、インプリントレジスト１２４が固化（例えば、重合及び／又は架橋）することで、基板１０２の表面１３４及びパターニング表面１１２の形状に適合する。インプリントレジスト１２４を固化して、基板１０２上に重合体層を得た後に、重合体層からモールド１１０を分離する。
【００２４】
図２は、インプリントレジスト１２４を固化して、基板１０２上にパターニングした重合体層２０２を得ることにより形成されるナノインプリントリソグラフィー積層体２００を示すものである。パターニングした層２０２には、残膜２０４と凸部２０６及び凹部２０８として示される複数の特徴とが含まれ得る。凸部２０６の厚さはｔ１であり、残膜２０４の厚さはｔ２である。ナノインプリントリソグラフィーでは、基板１０２に対して平行な１つ以上の凸部２０６、凹部２０８又はその両方の長さは、１００ｎｍ未満、５０ｎｍ未満、又は２５ｎｍ未満である。場合によっては、１つ以上の凸部２０６、凹部２０８又はその両方の長さは、１ｎｍ〜２５ｎｍ又は１ｎｍ〜１０ｎｍである。
【００２５】
上記のシステム及びプロセスは、米国特許第６，９３２，９３４号、同第７，０７７，９９２号、同第７，１９７，３９６号及び同第７，３９６，４７５号（それらは全て引用することにより本明細書の一部をなす）に言及されるようなインプリントリソグラフィープロセス及びシステムにて更に実行することができる。
【００２６】
図１に示されるようなインプリントレジスト１２４が不連続部分（「液滴」）として基板１０２上に配置されるドロップオンデマンド又はドロップディスペンスナノインプリントリソグラフィープロセスでは、インプリントレジスト滴は通例、モールド１１０がインプリントレジストと接触する前後にて、基板１０２上に広がる。インプリントレジスト１２４の液滴の広がりが基板１０２を覆う又はモールド１１０の凹部１１４を満たすのに不十分である場合、重合体層２０２は空隙という形で欠陥を伴って形成される可能性がある。そのため、ドロップオンデマンドナノインプリントリソグラフィープロセスは通例、インプリントレジスト１２４の液滴の吐出を開始することと、基板１０２上のインプリントレジストに向けたモールド１１０の移動を開始することで基板とテンプレートとの間の空間を埋めることとの間に遅れを含むものである。そのことから、自動ナノインプリントリソグラフィープロセスのスループットは一般に、基板上でのインプリントレジストの広がり及びテンプレートの充填の速度により制限される。したがって、ドロップオンデマンド又はドロップディスペンスナノインプリントリソグラフィープロセスのスループットは、「充填時間」（すなわち、テンプレートと基板との間の空間を空隙なく完全に埋めるのに要する時間）を短縮することで改善することができる。充填時間を短縮する方法の一つは、基板に向けたモールドの移動を開始する前に、インプリントレジスト滴の広がり速度及びインプリントレジストによる基板の被覆を増大させることである。本明細書に記載のようにインプリントレジストの広がり速度及び基板の被覆の均一性は、インプリントレジストの不連続部分の迅速かつ均等な広がりを促し、パターニングされた層の形成中にインプリントレジストと重合する液体にて基板を前処理することにより改善することができる。
【００２７】
第１液上での第２液の不連続部分の広がりは、図３Ａ〜図３Ｄを参照して理解することができる。図３Ａ〜図３Ｄは、基板３０４上にあり、ガス３０６（例えば、空気、ヘリウム若しくは窒素等の不活性ガス、又は不活性ガスの組合せ）に接している第１液３００及び第２液３０２を示している。第１液３００は本明細書にて区別なく使用されるコーティング又は層の形で基板３０４上に存在する。場合によっては、第１液３００は数ナノメートル（例えば、１ｎｍ〜１５ｎｍ又は５ｎｍ〜１０ｎｍ）の厚さの層として存在する。第２液３０２は不連続部分（「液滴」）の形で存在する。第１液３００及び第２液３０２の特性は互いに対して変化し得る。例えば場合によっては、第１液３００は第２液３０２よりも粘性かつ高密度であることもある。
【００２８】
第２液３０２と第１液３００との界面エネルギー又は表面張力をγＬ１Ｌ２と表す。第１液３００とガス３０６との界面エネルギーをγＬ１Ｇと表す。第２液３０２とガス３０６との界面エネルギーをγＬ２Ｇと表す。第１液３００と基板３０４との界面エネルギーをγＳＬ１と表す。第２液３０２と基板３０４との界面エネルギーをγＳＬ２と表す。
【００２９】
図３Ａは、第１液３００上に配置された液滴として第２液３０２を示している。第２液３０２は第１液３００を変形させておらず、基板３０４には触れていない。示されているように、第１液３００と第２液３０２とは混ざり合っておらず、第１液と第２液との界面は平らに描かれている。平衡状態では、第１液３００上の第２液３０２の接触角はθであり、接触角はヤング式：
【数１】
2019511123.tif 000003
により界面エネルギーγＬ１Ｇ、γＬ２Ｇ及びγＬ１Ｌ２と関連付けられている。
【数２】
2019511123.tif 000004
であり、θ＝０°である場合、第２液３０２は第１液３００上に完全に広がる。これらの液を混ぜ合わせることができる場合、或る程度時間が経過すると、
【数３】
2019511123.tif 000005
となる。この場合、第１液３００上に第２液３０２が完全に広がる条件は、
【数４】
2019511123.tif 000006
である。第１液３００の薄膜及び第２液３０２の小滴については、混ざり合いは拡散現象により制限され得る。そのため、第２液３０２が液滴の形で第１液３００上に配置されている場合に第２液３０２を第１液３００上に広げるには、不等式（２）を広がりの初期段階にてより適用可能である。
【００３０】
図３Ｂは、第１液３００の下層が厚い場合の第２液３０２の液滴についての接触角形成を示している。この場合、液滴は基板３０４には触れていない。第２液３０２の液滴と第１液３００の層とが角度α、β及びθにて交差し、
【数５】
2019511123.tif 000007
である。各界面に即した力平衡には、３つの条件がある：
【数６】
2019511123.tif 000008
【数７】
2019511123.tif 000009
【数８】
2019511123.tif 000010
第１液３００と第２液３０２とを混ぜ合わせることができる場合、
【数９】
2019511123.tif 000011
となり、方程式（６）〜（８）は、
【数１０】
2019511123.tif 000012
【数１１】
2019511123.tif 000013
【数１２】
2019511123.tif 000014
となる。方程式（１０）及び（１２）により、
【数１３】
2019511123.tif 000015
及び
【数１４】
2019511123.tif 000016
が与えられる。第２液３０２が第１液３００を湿らせる場合、
【数１５】
2019511123.tif 000017
【数１６】
2019511123.tif 000018
及び方程式（１１）により、
【数１７】
2019511123.tif 000019
が与えられる。この結果を方程式（５）及び（１５）と組み合わせることで、
【数１８】
2019511123.tif 000020
【数１９】
2019511123.tif 000021
が与えられる。このようにして、方程式（１５）、（１８）及び（１９）により、角度α、β及びθについて解法が得られる。
【数２０】
2019511123.tif 000022
である場合、界面間での平衡は起こらない。方程式（１２）はα＝πであっても不等式となり、第２液３０２は第１液３００上に広がり続ける。
【００３１】
図３Ｃは、基板３０４に触れながら、第１液３００との界面も保持している第２液３０２の液滴についてのより複雑な幾何学配置を示している。第１液３００と第２液３０２とガス３０６との界面領域（角度α、β及びθ１により規定される）及び第１液３００と第２液３０２と基板３０４との界面領域（θ２により規定される）を、第１液上での第２液の広がり挙動を求めるのに考慮しなければならない。
【００３２】
第１液３００と第２液３０２とガス３０６との界面領域は方程式（６）〜（８）に支配される。第１液３００と第２液３０２とを混ぜ合わせることができるため、
【数２１】
2019511123.tif 000023
となる。角度αについての解法は方程式（１４）により得られる。この場合、
【数２２】
2019511123.tif 000024
及び
【数２３】
2019511123.tif 000025
【数２４】
2019511123.tif 000026
となる。
【数２５】
2019511123.tif 000027
である場合、第２液３０２の液滴と第１液３００との間に平衡は起こらず、他の物理的制限（例えば、体積保存及び混ぜ合わせ）により制限されるまで、第２液とガスとの間の界面に沿って液滴が広がり続ける。
【００３３】
第１液３００と第２液３０２と基板３０４との界面領域については、方程式（１）と同様の方程式：
【数２６】
2019511123.tif 000028
を考える。
【数２７】
2019511123.tif 000029
である場合、液滴は完全に広がり、θ２＝０となる。さらに、混ぜ合わせることができる液については、第２項γＬ１Ｌ２＝０であり、不等式（２７）は、
【数２８】
2019511123.tif 000030
へと単純化される。液滴の広がりについての複合条件は、広がりの前後のエネルギーを考慮すると、
【数２９】
2019511123.tif 000031
と表される。エネルギー的に優位な遷移（すなわち、システムのエネルギーを最小限に抑える遷移）が起こるものとする。
【００３４】
不等式（２９）における４つの項間の異なる関係性から、液滴の広がり特性が求められる。不等式（２５）が有効であり、不等式（２８）が有効でない場合、第２液３０２の液滴は初めに第１液３００の表面に沿って広がることができる。代替的には不等式（２８）が保持され、不等式（２５）が保持されない場合、液滴が液固界面に沿って広がり始める場合がある。最終的に第１液３００と第２液３０２とが混ぜ合わされることにより、より大きな複雑性が導入される。
【００３５】
図３Ｄは、基板３０４に触れながら、第１液３００との界面も保持している第２液３０２の液滴についての幾何学配置を示している。図３Ｄに示されるように、第２液３０２の液滴の各側に対象となる界面領域が２つ存在する。第１界面領域は角度α、β及びθ１で示される、第１液３００と第２液３０２とガス３０６とが接する場所である。対象となる第２界面領域は角度θ２で示される、第１液３００と第２液３０２と基板３０４とが接する場所である。ここで、第２液３０２と基板３０４との界面の表面張力が第１液３００と基板との界面の表面張力より大きい（γＳＬ２≧γＳＬ１）場合、液滴が広がるにつれて、θ１が０°に近づき、θ２が１８０°に近付く。すなわち、第２液３０２の液滴が第１液３００と第２液との界面に沿って広がり、第２液と基板３０４との界面に沿っては広がらない。
【００３６】
第１液３００と第２液３０２とガス３０６との界面については、方程式（６）〜（８）が適用可能である。第１液３００と第２液３０２とを混ぜ合わせることができることから、
【数３０】
2019511123.tif 000032
となる。角度αについての解法は方程式（１４）により得られる。
【数３１】
2019511123.tif 000033
であれば、方程式（１１）により、
【数３２】
2019511123.tif 000034
及び
【数３３】
2019511123.tif 000035
【数３４】
2019511123.tif 000036
が与えられる。
【数３５】
2019511123.tif 000037
である場合、第２液３０２の液滴と液３００との間に平衡は起こらず、他の物理的制限（例えば、体積保存及び混ぜ合わせ）により制限されるまで、第２液とガスとの間の界面に沿って液滴が広がり続ける。
【００３７】
第２液３０２と基板３０４との界面領域では、
【数３６】
2019511123.tif 000038
【数３７】
2019511123.tif 000039
となる。
【数３８】
2019511123.tif 000040
であり、液を混ぜ合わせることができる場合、すなわち、
【数３９】
2019511123.tif 000041
【数４０】
2019511123.tif 000042
である場合、角度θ２は１８０°に近付いた後、未定となる。すなわち、第２液３０２は基板界面に沿って縮小し、第１液３００とガス３０６との界面に沿って広がる傾向がある。
【００３８】
第１液３００上での第２液３０２の広がりは、完全な広がりに関する表面エネルギーの関係性に併せて３つの異なる事例にまとめることができる。第１の事例では、第２液３０２の液滴が第１液３００の層上に配置され、第２液の液滴は基板３０４と接触していない。第１液３００の層は厚くても又は薄くてもよく、第１液３００と第２液３０２とを混ぜ合わせることができる。理想的な条件下において、ガス３０６中の第１液３００の表面エネルギーがガス中の第２液３０２の表面エネルギー以上である場合（γＬ１Ｇ≧γＬ２Ｇ）、第２液３０２の液滴の完全な広がりが第１液３００の層上で起こる。第２の事例では、第２液３０２の液滴が第１液３００の層上に配置されると同時に、基板３０４上にも触れており、広がっている。第１液と第２液３０２とを混ぜ合わせることができる。理想的な条件下において、（ｉ）ガス中の第１液３００の表面エネルギーがガス中の第２液３０２の表面エネルギー以上であり（γＬ１Ｇ≧γＬ２Ｇ）、（ｉｉ）第１液と基板３０４との界面の表面エネルギーが第２液と基板との界面の表面エネルギーより大きい（γＳＬ１≧γＳＬ２）場合に完全な広がりが起こる。第３の事例では、第２液３０２の液滴が、基板３０４に触れながら、第１液３００の層上に配置される。広がりは第２液３０２と第１液３００との界面又は第２液と基板３０４との界面に沿って起こり得る。第１液と第２液３０２とを混ぜ合わせることができる。理想的な条件下において、ガス中の第１液３００の表面エネルギーと第１液と基板３０４との界面の表面エネルギーとの合計が、ガス中の第２液３０２の表面エネルギーと第２液と基板との界面の表面エネルギーとの合計以上であり（γＬ１Ｇ＋γＳＬ１≧γＬ２Ｇ＋γＳＬ２）、ガス中の第１液３００の表面エネルギーがガス中の第２液３０２の表面エネルギー以上であるか（γＬ１Ｇ≧γＬ２Ｇ）、又は（ｉｉ）第１液と基板３０４との界面の表面エネルギーが第２液と基板との界面の表面エネルギーより大きい（γＳＬ１≧γＳＬ２）場合に完全な広がりが起こる。
【００３９】
周囲雰囲気（例えば、空気又は不活性ガス）において表面エネルギーがインプリントレジストの表面エネルギーより大きくなるように選択された液を用いてナノインプリントリソグラフィー基板を前処理することにより、ドロップオンデマンドナノインプリントリソグラフィープロセスにおいてインプリントレジストが基板上に広がる速度を増大させることができ、インプリントレジストをテンプレートと接触させる前に、基板上でのインプリントレジストのより均一な厚さを確保することができ、それによりナノインプリントリソグラフィープロセスにおけるスループットが促進される。前処理組成物がインプリントレジストと混ぜ合わせることが可能な重合性成分を含んでいる場合、このことが不要な成分を添加することなく得られる重合体層の形成に有益に寄与し、より均一な硬化がもたらされることにより、より均一な機械特性及びエッチング特性を得ることができる。
【００４０】
図４は、ドロップオンデマンドナノインプリントリソグラフィーにおけるスループットを促進するプロセス４００を示すフローチャート図である。プロセス４００は操作４０２〜４１０を含む。操作４０２では、前処理組成物をナノインプリントリソグラフィー基板上に配置し、基板上に前処理コーティングを形成する。操作４０４では、インプリントレジストの不連続部分（「液滴」）を前処理コーティング上に配置し、各液滴で基板の標的域を覆う。前処理組成物と空気との界面エネルギーがインプリントレジストと空気との界面エネルギーより大きくなるように、前処理組成物及びインプリントレジストを選択する。
【００４１】
操作４０６では、インプリントレジストの各液滴がその標的域を越えて広がることで、複合重合性コーティング（「複合コーティング」）を基板上に形成する。複合コーティングには前処理組成物とインプリントレジストとの均質又は不均質混合物が含まれる。操作４０８では、複合コーティングをナノインプリントリソグラフィーテンプレート（「テンプレート」）と接触させ、広げて、テンプレートと基板との間の全体積に充填させる。操作４１０では、複合コーティングを重合して、基板上に重合体層を得る。複合コーティングの重合後、テンプレートを重合体層から分離し、ナノインプリントリソグラフィー積層体とする。本明細書で使用される場合、「ナノインプリントリソグラフィー積層体」は概して、基板及び基板に接着する重合体層を表し、それらのそれぞれ又は両方が、１つ以上の更なる（例えば、介在）層を含んでいてもよい。一例では、基板には、基層と基層に接着する接着層とが含まれ得る。
【００４２】
プロセス４００では、前処理組成物及びインプリントレジストは、例えば米国特許第７，１５７，０３６号及び米国特許第８，０７６，３８６号、並びにChou et al. 1995, Imprint of sub-25 nm vias and trenches in polymers. Applied Physics Letters 67(21):3114-3116、Chou et al. 1996, Nanoimprint lithography. Journal of Vacuum Science Technology B 14(6): 4129-4133、及びLong et al. 2007, Materials for step and flash imprint lithography (S-FIL（商標）). Journal of Materials Chemistry 17:3575-3580（それらは全て引用することにより本明細書の一部をなす）に記載される成分の混合物を含んでいてもよい。好適な組成物としては、重合性単量体（「単量体」）、架橋剤、樹脂、光重合開始剤、界面活性剤、又はそれらの任意の組合せが挙げられる。単量体の種類としては、アクリレート、メタクリレート、ビニルエーテル及びエポキシド、並びにそれらの多官能性誘導体が挙げられる。場合によっては、前処理組成物、インプリントレジスト又はその両方は実質的にケイ素を含まない。他の場合、前処理組成物、インプリントレジスト、又はその両方はケイ素を含有している。ケイ素含有単量体としては例えば、シロキサン及びジシロキサンが挙げられる。樹脂はケイ素含有（例えば、シルセスキオキサン）及びケイ素非含有（例えば、ノボラック樹脂）とすることができる。前処理組成物、インプリントレジスト又はその両方は１つ以上の重合開始剤又はフリーラジカル発生剤を含んでいてもよい。重合開始剤の種類としては例えば、光重合開始剤（例えば、アシロイン、キサントン及びフェノン）、光酸発生剤（例えば、スルホン酸塩及びオニウム塩）、及び光塩基発生剤（例えば、オルト−ニトロベンジルカルバメート、オキシムウレタン及びＯ−アシルオキシム）が挙げられる。いくつかの場合、前処理組成物は、重合開始剤、フリーラジカル発生剤、又はその両方を含まないか、又は実質的に含まない。
【００４３】
好適な単量体としては、単官能性、二官能性又は多官能性アクリレート、メタクリレート、ビニルエーテル及びエポキシドが挙げられ、ここで単−、二−及び多−はそれぞれ指定の官能基が１つ、２つ及び３つ以上であることを指す。単量体の一部又は全てがフッ素化（例えば、全フッ素化）されていてもよい。アクリレートの場合、例えば前処理組成物、インプリントレジスト又はその両方は１つ以上の単官能性アクリレート、１つ以上の二官能性アクリレート、１つ以上の多官能性アクリレート、又はそれらの組合せを含み得る。
【００４４】
好適な単官能性アクリレートの例としては、イソボルニルアクリレート、３，３，５−トリメチルシクロヘキシルアクリレート、ジシクロペンテニルアクリレート、ベンジルアクリレート、１−ナフチルアクリレート、４−シアノベンジルアクリレート、ペンタフルオロベンジルアクリレート、２−フェニルエチルアクリレート、フェニルアクリレート、（２−エチル−２−メチル−１，３−ジオキソラン−４−イル）メチルアクリレート、ｎ−ヘキシルアクリレート、４−ｔｅｒｔ−ブチルシクロヘキシルアクリレート、メトキシポリエチレングリコール（３５０）モノアクリレート、及びメトキシポリエチレングリコール（５５０）モノアクリレートが挙げられる。
【００４５】
好適なジアクリレートの例としては、エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート（例えば、平均Ｍｎ＝５７５）、１，２−プロパンジオールジアクリレート、ジプロピレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、１，３−プロパンジオールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、２−ブテン−１，４−ジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジアクリレート、３−メチル−１，３−ブタンジオールジアクリレート、１，５−ペンタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１Ｈ，１Ｈ，６Ｈ，６Ｈ−ペルフルオロ−１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、１，９−ノナンジオールジアクリレート、１，１０−デカンジオールジアクリレート、１，１２−ドデカンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、シクロヘキサンジメタノールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、ビスフェノールＡジアクリレート、エトキシル化ビスフェノールＡジアクリレート、ｍ−キシリレンジアクリレート、エトキシル化（３）ビスフェノールＡジアクリレート、エトキシル化（４）ビスフェノールＡジアクリレート、エトキシル化（１０）ビスフェノールＡジアクリレート、ジシクロペンタニルジアクリレート、１，２−アダマンタンジオールジアクリレート、２，４−ジエチルペンタン−１，５−ジオールジアクリレート、ポリ（エチレングリコール）（４００）ジアクリレート、ポリ（エチレングリコール）（３００）ジアクリレート、１，６−ヘキサンジオール（ＥＯ）２ジアクリレート、１，６−ヘキサンジオール（ＥＯ）５ジアクリレート及びアルコキシル化脂肪族ジアクリレートエステルが挙げられる。
【００４６】
好適な多官能性アクリレートの例としては、トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシル化トリメチロールプロパントリアクリレート（例えば、プロポキシル化（３）トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシル化（６）トリメチロールプロパントリアクリレート）、トリメチロールプロパンエトキシレートトリアクリレート（例えば、ｎ  約１．３、３、５）、ジ（トリメチロールプロパン）テトラアクリレート、プロポキシル化グリセリルトリアクリレート（例えば、プロポキシル化（３）グリセリルトリアクリレート）、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、エトキシル化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、及びトリペンタエリスリトールオクタアクリレートが挙げられる。
【００４７】
好適な架橋剤の例としては、本明細書に記載されるような二官能性アクリレート及び多官能性アクリレートが挙げられる。
【００４８】
好適な光重合開始剤の例としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ４２６５、６５１、１１７３、８１９、ＴＰＯ及びＴＰＯ−Ｌが挙げられる。
【００４９】
界面活性剤は、インプリントリソグラフィーテンプレートのパターニングされた表面に塗布するか、インプリントリソグラフィーレジストに加えるか、又はその両方により、固化レジストとテンプレートとの間の分離力を低減することで、インプリントリソグラフィープロセスにおいて形成されたインプリントパターンの分離欠陥を減らし、インプリントリソグラフィーテンプレートを用いて作製することができる連続インプリントの数を増やすことができる。インプリントレジスト用の界面活性剤を選択する際の要素としては例えば、表面との親和性及び処理表面の所望の表面特性が挙げられる。
【００５０】
好適な界面活性剤の例としては、フッ素化界面活性剤及び非フッ素化界面活性剤が挙げられる。フッ素化界面活性剤及び非フッ素化界面活性剤はイオン性界面活性剤又は非イオン性界面活性剤であってもよい。好適な非イオン性のフッ素化界面活性剤としては、フルオロ脂肪族ポリマーエステル、ペルフルオロエーテル界面活性剤、ポリオキシエチレンのフッ素系界面活性剤、ポリアルキルエーテルのフッ素系界面活性剤、フルオロアルキルポリエーテル等が挙げられる。好適な非イオン性の非フッ素化界面活性剤としては、エトキシル化アルコール、エトキシル化アルキルフェノール及びポリエチレンオキシド−ポリプロピレンオキシドブロックコポリマーが挙げられる。
【００５１】
例示的な市販の界面活性剤成分としては、デラウェア州ウィルミントン所在のE.I. du Pont de Nemours and Company製のＺＯＮＹＬ（商標）  ＦＳＯ及びＺＯＮＹＬ（商標）  ＦＳ−３００；ミネソタ州メープルウッド所在の3M製のＦＣ−４４３２及びＦＣ−４４３０；オハイオ州シンシナティ所在のPilot Chemical Company製のＭＡＳＵＲＦ（商標）  ＦＳ−１７００、ＦＳ−２０００及びＦＳ−２８００；テキサス州マンスフィールド所在のChemguard製のＳ−１０７Ｂ；株式会社ネオス（日本国神戸市中央区）製のＦＴＥＲＧＥＮＴ  ２２２Ｆ、ＦＴＥＲＧＥＮＴ  ２５０、ＦＴＥＲＧＥＮＴ  ２５１；オハイオ州アクロン所在のOMNOVA Solutions Inc.製のＰｏｌｙＦｏｘ  ＰＦ−６５６；ニュージャージー州フローラムパーク所在のBASF製のＰｌｕｒｏｎｉｃ  Ｌ３５、Ｌ４２、Ｌ４３、Ｌ４４、Ｌ６３、Ｌ６４等；並びにニュージャージー州エジソン所在のCroda Inc.製のＢｒｉｊ  ３５、５８、７８等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００５２】
いくつかの例では、インプリントレジストは、０重量％〜８０重量％（例えば、２０重量％〜８０重量％又は４０重量％〜８０重量％）の１つ以上の単官能性アクリレートと、９０重量％〜９８重量％の１つ以上の二官能性若しくは多官能性アクリレート（例えば、インプリントレジストは単官能性アクリレートを実質的に含んでいなくてもよい）又は２０重量％〜７５重量％の１つ以上の二官能性若しくは多官能性アクリレート（例えば、１つ以上の単官能性アクリレートが存在する場合）と、１重量％〜１０重量％の１つ以上の光重合開始剤と、１重量％〜１０重量％の１つ以上の界面活性剤とを含む。一例では、インプリントレジストは、約４０重量％〜約５０重量％の１つ以上の単官能性アクリレートと、約４５重量％〜約５５重量％の１つ以上の二官能性アクリレートと、約４重量％〜約６重量％の１つ以上の光重合開始剤と、約３重量％の界面活性剤とを含む。別の例では、インプリントレジストは、約４４重量％の１つ以上の単官能性アクリレートと、約４８重量％の１つ以上の二官能性アクリレートと、約５重量％の１つ以上の光重合開始剤と、約３重量％の界面活性剤とを含む。更に別の例では、インプリントレジストは、約１０重量％の第１の単官能性アクリレート（例えば、イソボルニルアクリレート）と、約３４重量％の第２の単官能性アクリレート（例えば、ベンジルアクリレート）と、約４８重量％の二官能性アクリレート（例えば、ネオペンチルグリコールジアクリレート）と、約２重量％の第１の光重合開始剤（例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ  ＴＰＯ）と、約３重量％の第２の光重合開始剤（例えば、ＤＡＲＯＣＵＲ  ４２６５）と、約３重量％の界面活性剤とを含む。好適な界面活性剤の例としては、Ｘ−Ｒ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｎＯＨ（式中、Ｒはアルキル、アリール、又はポリ（プロピレングリコール）であり、ＸはＨ又は−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｎＯＨであり、ｎは整数（例えば、２〜２０、５〜１５、又は１０〜１２）である（例えば、Ｘは−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｎＯＨであり、Ｒはポリ（プロピレングリコール）であり、ｎは１０〜１２である））；Ｙ−Ｒ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｎＯＨ（式中、Ｒはアルキル、アリール、又はポリ（プロピレングリコール）であり、Ｙはフッ素化部分（例えば、全フッ素化アルキル又は全フッ素化エーテル）、又はフッ素化部分でキャッピングされたポリ（エチレングリコール）であり、ｎは整数（例えば、２〜２０、５〜１５、又は１０〜１２）である（例えば、Ｙは全フッ素化アルキル基でキャッピングされたポリ（エチレングリコール）であり、Ｒはポリ（プロピレングリコール）であり、ｎ＝１０〜１２である））；及びそれらの組合せが挙げられる。インプリントレジストの粘度は通例、２３℃で０．１ｃＰ〜２５ｃＰ又は５ｃＰ〜１５ｃＰである。インプリントレジストと空気との界面エネルギーは通例、２０ｍＮ／ｍ〜３６ｍＮ／ｍである。
【００５３】
一例では、前処理組成物は、０重量％〜８０重量％（例えば、２０重量％〜８０重量％又は４０重量％〜８０重量％）の１つ以上の単官能性アクリレートと、９０重量％〜１００重量％の１つ以上の二官能性若しくは多官能性アクリレート（例えば、前処理組成物は単官能性アクリレートを実質的に含まない）又は２０重量％〜７５重量％の１つ以上の二官能性若しくは多官能性アクリレート（例えば、１つ以上の単官能性アクリレートが存在する場合）と、０重量％〜１０重量％の１つ以上の光重合開始剤と、０重量％〜１０重量％の１つ以上の界面活性剤とを含む。
【００５４】
前処理組成物は通例、インプリントレジストと相溶性である。前処理組成物は通例、蒸気圧が低く、そのため複合コーティングが重合されるまで、基板上に薄膜として残存する。一例では、前処理組成物の蒸気圧は２５℃で１×１０−４ｍｍＨｇ未満である。前処理組成物は通例、粘度も低く、基板上での前処理組成物の急速な広がりを促進する。一例では、前処理組成物の粘度は２５℃で９０ｃＰ未満である。前処理組成物と空気との界面エネルギーは通例、３０ｍＮ／ｍ〜４５ｍＮ／ｍである。前処理組成物は通例、使用中に分解が起こらず化学的に安定するように選択される。
【００５５】
前処理組成物は、単一の重合性成分（例えば、単官能性アクリレート、二官能性アクリレート又は多官能性アクリレート等の単量体）、２つ以上の重合性成分の混合物（例えば、２つ以上の単量体の混合物）、又は１つ以上の重合性成分と１つ以上の他の成分との混合物（例えば、単量体の混合物；２つ以上の単量体と界面活性剤、光重合開始剤又はその両方との混合物等）とすることができる。いくつかの例では、前処理組成物としては、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンエトキシレートトリアクリレート、１，１２−ドデカンジオールジアクリレート、ポリ（エチレングリコール）ジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、１，３−アダマンタンジオールジアクリレート、ノナンジオールジアクリレート、ｍ−キシリレンジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート又はそれらの任意の組合せが挙げられる。
【００５６】
重合性成分の混合物が相乗効果を生み、単一の重合性成分を含む前処理組成物よりも有益に特性（例えば、低粘度、良好なエッチング耐性及び膜安定性）を兼ね備えた前処理組成物が得られる可能性がある。一例では、前処理組成物は１，１２−ドデカンジオールジアクリレートとトリシクロデカンジメタノールジアクリレートとの混合物である。別の例では、前処理組成物はトリシクロデカンジメタノールジアクリレートとテトラエチレングリコールジアクリレートとの混合物である。前処理組成物は概して、複合重合性コーティングの重合中に、前処理組成物の１つ以上の成分がインプリントレジストの１つ以上の成分と重合する（例えば、共有結合する）ように選択される。場合によっては、前処理組成物はインプリントレジストと同じ（also in）重合性成分又はインプリントレジストの１つ以上の重合性成分と共通する官能基（例えば、アクリレート基）を有する重合性成分を含む。前処理組成物の好適な例としては、プロポキシル化（３）トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート及びジペンタエリスリトールペンタアクリレートを含む、本明細書に記載されるような多官能性アクリレートが挙げられる。
【００５７】
前処理組成物は、エッチング耐性がインプリントレジストのエッチング耐性に概ね同等となるように選択することができ、それによりエッチング均一性が促される。或る特定の場合、前処理組成物は、前処理組成物と空気との界面での界面エネルギーが前処理組成物とともに用いられるインプリントレジストと空気との界面エネルギーより大きくすることで、液体前処理組成物上での液体インプリントレジストの急速な広がりを促し、複合コーティングをテンプレートと接触させる前に基板上に均一な複合コーティングを形成するように選択される。前処理組成物と空気との界面エネルギーは通例、インプリントレジストと空気との間又はインプリントレジストの少なくとも１つの成分と空気との間の界面エネルギーよりも１ｍＮ／ｍ〜２５ｍＮ／ｍ、１ｍＮ／ｍ〜１５ｍＮ／ｍ又は１ｍＮ／ｍ〜７ｍＮ／ｍ大きいが、これらの範囲は、前処理組成物及びインプリントレジストの化学的特性及び物理的特性、並びにこれら２つの液体間で得られる相互作用に基づき変動し得る。表面エネルギー間の差が小さすぎると、インプリントレジストの広がりが制限され、液滴が球冠状の形状を保持し、前処理組成物により隔てられたままとなる。表面エネルギー間の差が大きすぎると、インプリントレジストが過度に広がり、インプリントレジストのほとんどが隣接滴に向かって移動し、液滴の中心が空となり、それにより複合コーティングが液滴の中心の上に凸領域を備えることとなる。そのため、表面エネルギー間の差が小さすぎたり又は大きすぎたりすると、得られる複合コーティングは顕著な凸凹領域のある不均一なものとなる。表面エネルギーの差を適切に選択することで、インプリントレジストが急速に広がり、実質的に均一な複合コーティングが得られる。前処理組成物及びインプリントレジストの有益な選択により、充填時間を５０％〜９０％短縮することが可能となり、そうすることで充填を僅か１秒ほどで又は場合によっては僅か０．１秒足らずで達成することができる。
【００５８】
プロセス４００の操作４０２を参照して、図５Ａは、基層５００と接着層５０２とを備える基板１０２を示している。基層５００は通例シリコンウエハである。基層５００に適した他の材料としては、フュームドシリカ、石英、シリコンゲルマニウム、ガリウムヒ素及びリン化インジウムが挙げられる。接着層５０２は、重合体層と基層５００との密着性を向上させることにより、複合コーティングの重合後、テンプレートを重合体層から分離する際の重合体層の欠陥の形成を低減する働きがある。接着層５０２の厚さは通例、１ｎｍ〜１０ｎｍである。接着層５０２に適した材料の例としては、米国特許第７，７５９，４０７号、同第８，３６１，５４６号、同第８，５５７，３５１号、同第８，８０８，８０８号、及び同第８，８４６，１９５号（それらは全て引用することにより本明細書の一部をなす）に開示されるものが挙げられる。一例では、接着層は、ＩＳＯＲＡＤ  ５０１、ＣＹＭＥＬ  ３０３ＵＬＦ、ＣＹＣＡＴ  ４０４０又はＴＡＧ  ２６７８（第四級アンモニウムによってブロックされたトリフルオロメタンスルホン酸）と、ＰＭアセテート（テネシー州キングスポートのEastman Chemical Companyから入手可能な２−（１−メトキシ）プロピルアセテートからなる溶媒）とを含む組成物から形成される。場合によっては、基板１０２は、基層５００と接着層５０２との間に１つ以上の更なる層を備える。いくつかの場合では、基板１０２は接着層５０２上に１つ以上の更なる層を備える。簡略化のために、基板１０２は基層５００及び接着層５０２のみを備えるものとして示している。
【００５９】
図５Ｂは、前処理組成物を基板１０２上に配置し、前処理コーティング５０６を形成した後の前処理組成物５０４を示している。図５Ｂに示されるように、前処理コーティング５０６は基板１０２の接着層５０２上に直接形成される。場合によっては、前処理コーティング５０６は基板１０２の別の表面上に（例えば、基層５００上に直接）形成される。前処理コーティング５０６は、スピンコート法、ディップコート法、化学蒸着（ＣＶＤ）、物理蒸着（ＰＶＤ）等の技法を用いて基板１０２上に形成される。例えば、スピンコート法又はディップコート法等の場合、前処理組成物を１つ以上の溶媒（例えば、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、プロピレングリコールモノメチルエーテル（ＰＧＭＥ）等）に溶解して、基板に塗布した後、溶媒を蒸発させることで、前処理コーティングを残すことができる。前処理コーティング５０６の厚さｔｐは通例、１ｎｍ〜１００ｎｍ（例えば、１ｎｍ〜５０ｎｍ、１ｎｍ〜２５ｎｍ又は１ｎｍ〜１０ｎｍ）である。
【００６０】
さらに図４を参照して、プロセス４００の操作４０４は、インプリントレジストの各液滴が基板の標的域を覆うように、インプリントレジスト滴を前処理コーティング上に配置することを含む。インプリントレジスト滴の体積は通例、０．６ｐＬ〜３０ｐＬであり、液滴の中心間の距離は通例、３５μｍ〜３５０μｍである。場合によっては、インプリントレジストと前処理コーティングとの体積比は１：１〜１５：１である。操作４０６では、インプリントレジストの各液滴がその標的域を越えて広がることで、複合コーティングが形成されるように、複合コーティングを基板上に形成する。本明細書で使用される場合、「前広がり（prespreading）」は液滴が初めに前処理コーティングと接触し、標的域を越えて広がる時点と、テンプレートが複合コーティングと接触する時点との間に起こるインプリントレジスト滴の自然な広がりを指す。
【００６１】
図６Ａ〜図６Ｄは、液滴を標的域上に配置した時点での前処理コーティング上でのインプリントレジスト滴、並びに液滴が広がる前、広がっている最中、及び広がりきった後での複合コーティングを上から見た図を示している。液滴は正方格子に示されているが、液滴パターンは正方又は幾何学パターンに限定されない。
【００６２】
図６Ａに、液滴が標的域６０２を覆うが、標的域６０２を越えて広がらないような、液滴を初めに前処理コーティング上に配置した時点での前処理コーティング５０６上の液滴６００を上から見た図を示す。液滴６００を前処理コーティング５０６上に配置した後、標的域よりも大きい基板の表面積を覆うように、液滴が自然に広がることにより、基板上に複合コーティングが形成される。図６Ｂに、前広がり中（標的域６０２を越えて液滴６００がいくらか広がった後）、通例インプリントレジストと前処理コーティングとがいくらか混ぜ合わされた後の複合コーティング６０４を上から見た図を示す。図示されるように、複合コーティング６０４は液体前処理組成物と液体インプリントレジストとの混合物であり、領域６０６はインプリントレジストの大部分を含み（インプリントレジストに「富んでおり」）、領域６０８は前処理組成物の大部分を含んでいる（前処理組成物に「富んでいる」）。前広がりが進行するにつれて、複合コーティング６０４は前処理組成物とインプリントレジストとのより均質な混合物を形成することができる。
【００６３】
１つ以上の領域６０６が１つ以上の隣接する領域６０６と接触するまで、広がりを進行させることができる。図６Ｃ及び図６Ｄに、広がりきった後の複合コーティング６０４を示す。図６Ｃに示されるように、領域６０６のそれぞれが互いに隣接する領域６０６に境界６１０で接触するように広がっており、領域６０８は領域６０６間の不連続（非連続）部分まで縮小している。他の場合、図６Ｄに示されるように、領域６０８が識別不能となるように、領域６０６が広がり、連続層を形成している。図６Ｄでは、複合コーティング６０４は前処理組成物とインプリントレジストとの均質混合物とすることができる。
【００６４】
図７Ａ〜図７Ｄは、図６Ａ〜図６Ｄのｗ−ｗ、ｘ−ｘ、ｙ−ｙ及びｚ−ｚ線それぞれに沿った断面図である。図７Ａは、標的域６０２に対応する基板１０２の表面積を覆うインプリントレジスト６００の液滴を示す、図６Ａのｗ−ｗ線に沿った断面図である。各標的域（及び初めに配置された各液滴）にはｃ−ｃ線に示されるように中心があり、ｂ−ｂ線は２つの標的域６０２の中心から等しく離れた位置を示す。簡略化のために、液滴６００は基板１０２の接着層５０２に接するように示されており、インプリントレジストと前処理組成物との混ざり合いは示されていない。図７Ｂは、領域６０６が標的域６０２を越えて広がった後の領域６０８が領域６０６間に露出している複合コーティング６０４を示す、図６Ｂのｘ−ｘ線に沿った断面図である。図７Ｃは、前処理組成物とインプリントレジストとの均質混合物として複合コーティング６０４を示す、前広がり終了時の図６Ｃのｙ−ｙ線に沿った断面図である。図示されるように、領域６０６は図７Ｂより広い基板表面を覆うように広がっており、それに応じて領域６０８は縮小している。液滴６００を基とする領域６０６は凸部として示されているが、複合コーティング６０４は略平板であるか、又は凹部領域を含み得る。或る特定の場合、前広がりが図７Ｃに示されるものを越えて続いて、インプリントレジストが前処理コーティング上に連続層を形成することがある（混ざり合わないか、又は完全に若しくは部分的に混ざり合う）。図７Ｄは、広がりきった後の前処理組成物とインプリントレジストとの均質混合物として複合コーティング６０４を示す、図６Ｄのｚ−ｚ線に沿った断面図であり、液滴の中心ｃ−ｃについての複合コーティングの凹部領域同士が境界６１０で接しており、そのため液滴境界での重合性コーティングの厚さは液滴の中心の複合コーティングの厚さより大きい。図７Ｃ及び図７Ｄに示されるように、複合コーティングをナノインプリントリソグラフィーテンプレートと接触させる際、２つの標的域の中心から等しく離れた位置にある複合コーティング６０４の厚さは２つの標的域の一方の中心の複合コーティングの厚さとは異なり得る。
【００６５】
さらに図４を参照して、プロセス４００の操作４０８及び４１０は、ナノインプリントリソグラフィー基板上に複合重合体層を備えるナノインプリントリソグラフィー積層体を得るために、複合コーティングをテンプレートと接触させること及び複合コーティングを重合することをそれぞれ含む。
【００６６】
場合によっては、図７Ｃ及び図７Ｄに示されるように、複合コーティング６０４は、前広がり終了時の（すなわち、複合コーティングをテンプレートと接触させる直前の）均質混合物又は実質的に均質な混合物（例えば、空気−複合コーティング界面での）である。このようにして、テンプレートは均質混合物と接触して、混合物の大部分は通例、インプリントレジストに由来したものとなる。そのため、インプリントレジストの剥離特性は概して、複合コーティングとテンプレートとの相互作用と、テンプレートと重合体層との間の分離力に起因する欠陥の形成（又は欠陥がないこと）を含むテンプレートからの重合体層の分離とに影響を及ぼすことになる。
【００６７】
しかしながら、図８Ａ及び図８Ｂに示されるように、複合コーティング６０４は、テンプレート１１０が物理的特性及び化学的特性が異なる複合コーティング６０４の領域と接触するように、それぞれ前処理組成物に富む領域６０８とインプリントレジストに富む領域６０６とを備えていてもよい。簡略化のために、領域６０６におけるインプリントレジストは前処理コーティングに置き換えて示されており、そのため領域６０６は基板と直接接しており、混ざり合いは示されていない。したがって、領域６０８における前処理組成物は厚さが不均一である。図８Ａでは、テンプレート１１０が主に領域６０６と接するように、領域６０６の最大高さｐは前処理組成物の最大高さｉよりも大きい。図８Ｂでは、テンプレート１１０が主に領域６０８と接するように、領域６０８の最大高さｉはインプリントレジストの最大高さｐよりも大きい。したがって、得られた複合重合体層からのテンプレート１１０の分離及びそれに伴う欠陥密度は不均一であり、これはテンプレートとインプリントレジストとの相互作用とテンプレートと前処理組成物との相互作用とが異なることに基づいている。そのため、或る特定の前処理組成物（例えば、単一の単量体又は２つ以上の単量体の混合物を含むが、界面活性剤は含まない前処理組成物）では、複合コーティングによって、テンプレートが複合コーティングと接する気液界面にて均質混合物又は少なくとも実質的に均質な混合物が形成されることが有益な場合がある。
【００６８】
図９Ａ〜図９Ｃ及び図１０Ａ〜図１０Ｃは、複合コーティングをテンプレートと接触させる前、接触させている最中、及び複合重合体層からテンプレートを分離し、ナノインプリントリソグラフィー積層体を得た後の基層５００と接着層５０２とを備える基板１０２上にあるテンプレート１１０及び複合コーティング６０４を示す断面図である。図９Ａ〜図９Ｃでは、複合コーティング６０４は前処理組成物とインプリントレジストとの均質混合物として示されている。図１０Ａ〜図１０Ｃでは、複合コーティング６０４は前処理組成物とインプリントレジストとの不均質混合物として示されている。
【００６９】
図９Ａに、基板１０２上でのテンプレート１１０と均質複合コーティング９００との初期接触の断面図を示す。図９Ｂでは、テンプレート１１０は、複合コーティング９００がテンプレート１１０の凹部に充填されるように基板１０２に向かって前進している。複合コーティング９００を重合して、基板１０２上に均質な重合体層を得た後、重合体層からテンプレート１１０を分離する。図９Ｃに、均質な複合重合体層９０４を備えるナノインプリントリソグラフィー積層体９０２の断面図を示す。
【００７０】
図１０Ａに、基板１０２上でのテンプレート１１０と複合コーティング６０４との初期接触の断面図を示す。不均質な複合コーティング１０００は領域６０６と領域６０８とを備える。図示されるように、領域６０６のインプリントレジストと領域６０８の前処理組成物との間で混ざり合いはほとんど又は全く起こっていない。図１０Ｂでは、テンプレート１１０は、複合コーティング１０００がテンプレート１１０の凹部に充填されるように基板１０２に向かって前進している。複合コーティング１０００を重合して、基板１０２上に不均質な重合体層を得た後、重合体層からテンプレート１１０を分離する。図１０Ｃに、不均一な複合コーティング１０００の領域６０６及び領域６０８にそれぞれ対応する領域１００６及び領域１００８を含む不均質な重合体層１００４を備えるナノインプリントリソグラフィー積層体１００２の断面図を示す。そのため、複合重合体層１００２は化学組成が不均質又は不均一であり、インプリントレジストに富んだ混合物に由来する組成を有する領域１００６と、前処理組成物に富む混合物に由来する組成を有する領域１００８とを備える。領域１００６及び領域１００８の相対サイズ（例えば、露出する表面積、覆われるテンプレートの表面積、又は体積）は、複合コーティングとテンプレートとの接触前の前広がり又はテンプレートとの接触に起因する広がりの程度に少なくとも一部応じて変動し得る。場合によっては、複合重合体層１００２が境界によって隔てられた複数の中心領域を備えるように、領域１００６は領域１００８によって隔てられていても又は境界を定められていてもよく、境界での複合重合体層１００４の化学組成は中心領域の内部での複合重合体層の化学組成とは異なる。
【００７１】
いくつかの場合、インプリントリソグラフィープロセスにおける複合コーティングの重合後、一部の前処理組成物（例えば、インプリントフィールドの境界を越える前処理組成物）が非硬化のままであることがある。非硬化前処理コーティングの存在は、様々な理由から不利益となり得る。一例として、非硬化前処理コーティングにより、その前処理組成物が複合（composited）重合体層（インプリントフィールド）上に広がることで、インプリントリソグラフィープロセスにおいて欠陥が生じることがある。別の例として、非硬化前処理コーティングが蒸発することで、ナノインプリントリソグラフィー基板の一部、又はインプリントを行う機器の一部がコンタミネーションを起こすことがある。インプリントレジスト中の重合開始剤とは独立して活性化する重合開始剤を前処理組成物に含ませることにより、複合重合性層を重合し、複合重合体層を得た後に、非硬化前処理コーティングを、（例えば、ナノインプリントリソグラフィー基板の非インプリント域にて）重合することができ、それにより複合重合性コーティングの重合後の非硬化前処理コーティングの存在に伴う不利点が避けられる。独立した前処理組成物中の重合開始剤の活性化は、インプリントレジスト中の光重合開始剤とは異なる波長、強度、エネルギー密度、期間、又はそれらの組合せで活性化する熱重合開始剤又は光重合開始剤を含ませることにより達成することができ、そのようにして、複合重合性コーティングの重合後に存在する前処理コーティングの非硬化部分を、別々のプロセス、例えば複合重合性コーティングの重合開始に用いられる以外の波長、強度、エネルギー密度、期間、又はそれらの組合せでの加熱又は照射にて重合することができる。本明細書で使用される場合、「波長」は、概して電磁スペクトルの一部（例えば、単波長又は波長帯）を指す。
【００７２】
本明細書に記載のように、基板への前処理組成物の塗布は通例、インプリントされる基板の表面をスピンコーティング法にて前処理組成物で覆うことで、基板上に非硬化前処理コーティングを得ることを含む。このため、基板は、後にインプリントレジストで覆われない区域があれば、複合重合性コーティングの重合後も非硬化前処理コーティングで覆われたままとなり得る。ナノインプリントリソグラフィー基板１１００について図１１に示されるように、非硬化前処理コーティング１１０２は、隣接するインプリント１１０４の間の比較的小さい隙間（「路部（street）」）、又は基板の縁にある比較的大きな非インプリント域１１０６（例えば、いくつかの最小値未満の区域を有する部分フィールド）に見ることができる。非硬化前処理コーティングは、例えば、後に広がるか又は蒸発する場合に問題となり得る。一例として、非硬化前処理コーティングは、基板１１００のインプリント域１１０４上に広がり、線形崩壊（line collapse）等の欠陥を引き起こすことがある。別の例として、非硬化前処理コーティングは、保管中、又は後のプロセス工程の間に蒸発することがある。保管中の蒸発により、保管容器、他の基板、又はその両方がコンタミネーションを起こすことがある。後のプロセス工程の間、蒸発するか又は広がる任意の前処理コーティングにより、基板取扱機器又はプロセス環境がコンタミネーションを起こすことがある。プロセスチャンバに蒸発された前処理コーティングが存在することで、エッチング速度、層均一性、又はその両方が変わることにより、エッチング工程又は堆積プロセス等の続くプロセス工程に負の影響が生じ得る。
【００７３】
インプリントレジスト中の重合開始剤とは独立して活性化する重合開始剤を前処理組成物に含ませることで、後にインプリントを受ける区域にて、前処理コーティングが意図せず硬化することがなくなる。例えば、光重合開始剤を含むインプリントレジストで形成された複合重合性コーティングの重合中に、インプリントフィールドを越えた区域に迷光した（stray）ＵＶ放射線が達するのを防ぐことが難しいことがある。このような迷光したＵＶ放射線が隣接フィールドの一部において前処理コーティングの重合を開始させ、続いて硬化した又は部分的に硬化した前処理組成物上にインプリントレジストが配置される場合、硬化した又は部分的に硬化した前処理組成物が、インプリントレジストの広がりを抑えることで、より低いスループット、欠陥性の増大、又はその両方が起こり得る。
【００７４】
図１２Ａは、インプリントレジストに光重合開始剤を含ませるとともに、前処理組成物に、インプリントレジスト中の光重合開始剤の開始に用いられるＵＶ放射線との感受性がない熱重合開始剤を含ませることにより、前処理コーティングの非硬化部分の独立した又は「直交（orthogonal：オルトゴナル）」重合を達成するプロセス１２００を示すフローチャート図である。１２０２では、複合重合性コーティングにＵＶ放射線を照射し、インプリントレジスト中の光重合開始剤によって複合重合性コーティングの重合を開始させることで、複合重合体層と前処理コーティングの非硬化部分とを得る。１２０４では、基板の一部又は全体をインプリントした後、前処理コーティングの非硬化部分を、熱重合開始剤によって、前処理コーティングの非硬化部分を重合するのに十分な温度及び期間で加熱する。前処理コーティングの非硬化部分を重合するのに必要とされる温度は、前処理コーティングの非硬化部分の重合に必要とされる条件により複合重合体層が損傷を受けないように、インプリントレジストのガラス転移温度未満であるのが通例である。熱重合開始剤によっては、ＵＶ照射に感受性のものもあるが、光重合開始剤の硬化に用いられる波長は、ＵＶ照射に応じた前処理組成物中の熱重合開始剤の反応を回避するように選択することができる。
【００７５】
好適な熱重合開始剤としては、アゾ化合物及び有機過酸化物が挙げられる。熱フリーラジカル開始剤に適したアゾ化合物の例としては、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）及び１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカルボニトリル）が挙げられる。好適な有機過酸化物の例としては、ベンゾイルペルオキシド、ジクミルペルオキシド、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシベンゾエート、ｔｅｒｔ−アミルペルオキシベンゾエート、ラウロイルペルオキシド、１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシ）シクロヘキサン、２，５−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシ）−２，５−ジメチルヘキサン、ビス［１−（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシ）−１−メチルエチル］ベンゼン、及び１，１−ビス（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシ）−３，３，５−トリメチルシクロヘキサンが挙げられる。
【００７６】
図１２Ｂは、インプリントレジストに第１の光重合開始剤、及び前処理組成物に第２の光重合開始剤を含ませることにより、前処理コーティングの非硬化部分の独立した又は直交重合を達成するプロセス１２１０を示すフローチャート図である。場合によっては、第１の光重合開始剤と第２の光重合開始剤とは同じである（すなわち、同じ化学構造を有する）。第１の光重合開始剤と第２の光重合開始剤とが同じである場合、第１の光重合開始剤及び第２の光重合開始剤の濃度は、同じであっても又は異なっていてもよい。第１の光重合開始剤と第２の光重合開始剤とが同じである場合の前処理コーティングの非硬化部分とインプリントレジストとの独立した又は直交重合は、ＵＶ放射の空間制御、強度差、エネルギー密度、若しくはＵＶ放射の期間、又はそれらの組合せによって達成され得る。或る特定の場合、第１の光重合開始剤と第２の光重合開始剤とが異なる（すなわち、異なる化学構造を有する）。第１の光重合開始剤と第２の光重合開始剤とが異なる場合、第１の光重合開始剤及び第２の光重合開始剤の濃度は、同じであっても又は異なっていてもよい。第１の光重合開始剤と第２の光重合開始剤とが異なる場合の前処理コーティングの非硬化部分とインプリントレジストとの独立した又は直交重合も、ＵＶ放射の空間制御、強度差、エネルギー密度、ＵＶ放射の期間、又はそれらの組合せによって達成され得る。
【００７７】
１２１２では、複合重合性コーティングに、第１の波長、第１の強度、第１のエネルギー密度、期間、又はそれらの組合せでＵＶ放射線を照射して、第１の光重合開始剤によって複合重合性コーティングの重合を開始させることで、複合重合体層と前処理コーティングの非硬化部分とを得る。１２１４では、基板の一部又は全体をインプリントした後、前処理コーティングの非硬化部分に、第２の活性化波長、第２の強度、第２のエネルギー密度、期間、又はそれらの組合せでＵＶ放射線を照射して、第２の光重合開始剤によって前処理コーティングの非硬化部分を重合する。場合によっては、第２の光重合開始剤の活性化には、第１の光重合開始剤よりも短い波長、高い強度、高いエネルギー密度、及び長い期間の少なくとも１つが必要となることがある。
【００７８】
プロセス１２１０の一例では、インプリントレジストは第１の光重合開始剤を含み、前処理組成物は第２の光重合開始剤を含む。第１の光重合開始剤は、第２の光重合開始剤よりも低いエネルギー（長い波長）閾値を有する。より長い波長で複合重合性コーティングに照射することで、複合重合体層と前処理コーティングの非硬化部分とを得る（すなわち、複合重合性コーティングの重合に由来する迷光したＵＶ放射線は、複合重合性コーティングの一部をなさない前処理コーティングの重合を開始させない）。基板の一部又は全体をインプリントした後、前処理コーティングの非硬化部分をより短い波長のＵＶ放射線に曝すことにより、前処理コーティングの非硬化部分を重合し、それにより、複合重合性コーティングとは独立して、前処理コーティングの非硬化部分が硬化する。
【００７９】
好適な光重合開始剤の例としては、α−ヒドロキシケトン型光重合開始剤、例えばＩｒｇａｃｕｒｅ  １８４、２９５９、１２７、及びＤａｒｏｃｕｒ  １１７３；α−アミノケトン型光重合開始剤、例えばＩｒｇａｃｕｒｅ  ３６９及び９０７；フェニルグリオキシレート型光重合開始剤、例えばＩｒｇａｃｕｒｅ  ７５４及びＤａｒｏｃｕｒ  ＭＢＦ；ベンジルジメチル−ケタール型光重合開始剤、例えばＩｒｇａｃｕｒｅ  ６５１；モノアシルホスフィンオキシド（ＭＡＰＯ）型光重合開始剤、例えばＬｕｃｉｒｉｎ  ＴＰＯ及びＬｕｃｉｒｉｎ  ＴＰＯ−Ｌ；並びにビスアシルホスフィンオキシド（ＢＡＰＯ）型光重合開始剤、例えばＩｒｇａｃｕｒｅ  ８１９が挙げられる。
【００８０】
独立した又は直交重合を達成するのに適した開始剤の組合せ（pair）の例としては、Ｉｒｇａｃｕｒｅ  ８１９とＩｒｇａｃｕｒｅ  １８４とが挙げられる。ビスアシルホスフィンオキシド（ＢＡＰＯ）型光重合開始剤であるＩｒｇａｃｕｒｅ  ８１９は、α−ヒドロキシケトン型光重合開始剤であるＩｒｇａｃｕｒｅ  １８４よりも相対的に低いエネルギー（長い波長）で活性化することができる。Ｉｒｇａｃｕｒｅ  ８１９を、複合重合性コーティングの重合を活性化するのにインプリントレジストにて使用することができ、Ｉｒｇａｃｕｒｅ  １８４を、インプリントプロセスが基板上で完了した後に任意の非硬化材料を重合するのに前処理組成物にて使用することができる。一例としては、複合重合性組成物を約３８０ｎｍより大きい波長で硬化し、非硬化前処理コーティングを、インプリントした後に、約３６０ｎｍ未満の波長で（例えば、約２４６ｎｍ、２８０ｎｍ、及び／又は３３３ｎｍの吸収極大で）硬化する。
【００８１】
プロセス１２１０の別の例では、複合重合性コーティングの重合を開始させるのに十分な第１の波長、第１の強度、第１のエネルギー密度、第１の期間、又はそれらの組合せのＵＶ放射線が、前処理コーティングの非硬化部分を重合するには不十分であるように、インプリントレジストは、第１の光重合開始剤を含み、前処理組成物は、第２のより感受性の低い光重合開始剤を含む。基板の一部又は全体をインプリントした後、前処理コーティングの非硬化部分を、第１の波長、及び第２の強度、第２のエネルギー密度、第２の期間、又はそれらの組合せのＵＶ放射線に曝すことにより、前処理コーティングの非硬化部分を重合する。ここで、第２の強度、エネルギー密度、及び期間の少なくとも１つは、第１の強度、エネルギー密度、及び期間の少なくとも１つを上回り、複合重合体層を傷つけることなく第２の光重合開始剤によって前処理コーティングの非硬化部分を重合するのに十分なものである。
【００８２】
プロセス１２１０の更に別の例では、インプリントレジストと前処理組成物とが同じ光重合開始剤を含み、インプリントレジストは、前処理組成物に対して複合重合性コーティングにおける光重合開始剤の感受性を高める光増感剤を含むが、前処理組成物は光増感剤を含まない。複合重合性コーティングの重合を開始させる、第１の波長及び第１の強度又は第１のエネルギー密度のＵＶ放射線は、前処理コーティングの非硬化部分を重合するには不十分である。基板の一部又は全体をインプリントした後、前処理コーティングの非硬化部分を、第１の波長及び第２の強度又はエネルギー密度のＵＶ放射線に曝すことにより、前処理コーティングの非硬化部分を重合する。ここで、第２の強度又はエネルギー密度は、第１の強度又はエネルギー密度を上回り、前処理コーティングの非硬化部分の重合を開始させるのに十分なものである。
【００８３】
好適な光増感剤の例としては、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−イソプロピルチオキサントン、ベンゾフェノン、フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルスルフィド、メチル２−ベンゾイルベンゾエート、キサントン、ｔ−ブチルアントラキノン、フェノチアジン、及び７−ジエチルアミノ−４−メチルクマリンが挙げられる。好適な光重合開始剤の例は、インプリントレジストとの使用について本明細書で記載されている。
【００８４】
図１２Ｃは、高い強度、高いエネルギー密度、又はそれらの組合せを有する照射によって、重合開始剤を含まない前処理組成物の自己重合を誘導することにより、前処理組成物の独立した又は直交重合を達成するプロセス１２２０を示すフローチャート図である。インプリントレジストは第１の光重合開始剤を含み、前処理組成物は重合開始剤を含まない。１２２２では、複合重合性コーティングに、第１の波長、第１の強度、第１のエネルギー密度、第１の期間、又はそれらの組合せでＵＶ放射線を照射し、第１の光重合開始剤によって複合重合性コーティングの重合を開始させることで、複合重合体層と前処理コーティングの非硬化部分とを得る。１２２４では、基板の一部又は全体をインプリントした後、前処理コーティングの非硬化部分に、第１の波長若しくは異なる波長、及び第２の強度、エネルギー密度、期間、又はそれらの組合せでＵＶ放射線を照射し、前処理コーティングの非硬化部分を自己重合させる。一例として、前処理組成物の自己重合を達成するために、前処理コーティングの非硬化部分を、第１の波長、及び第１の強度、エネルギー密度、又は期間を上回る第２の強度、エネルギー密度、又は期間にてＵＶ放射線に曝すことで、前処理コーティングの非硬化部分を重合する。自己重合の停止（Quenching）は、前処理コーティングの非硬化部分を重合する環境から酸素を取り除くことで回避することができる。
【実施例】
【００８５】
下記実施例において、インプリントレジストと空気との界面にて報告された界面エネルギーを最大泡圧法により測定した。測定はドイツのハンブルグにあるKruess GmbH製のＢＰ２泡圧張力計を用いて行った。最大泡圧法では、毛細管を用いて液中に形成される気泡の最大内圧を測定する。径が既知の毛細管を用いて、表面張力をヤング−ラプラスの式から算出することができる。前処理組成物のいくつかには、前処理組成物と空気との界面での界面エネルギーについて製造業者からの報告値が与えられる。
【００８６】
粘度は２３℃に設定した温度制御浴を用いて小型サンプルアダプタを備えるBrookfieldのＤＶ−ＩＩ＋  Ｐｒｏを使用して測定した。報告される粘度値は５つの測定値の平均である。
【００８７】
接着層は、約７７ｇのＩＳＯＲＡＤ  ５０１と、約２２ｇのＣＹＭＥＬ  ３０３ＵＬＦと、約１ｇのＴＡＧ  ２６７８とを合わせて、この混合物をおよそ１９００グラムのＰＭアセテートに入れることにより作製された接着組成物を硬化することで形成し、基板上に調製した。厚さが均一な平板層とはいかないまでも、実質的に平滑となるように、接着組成物を毎分５００回転〜４０００回転の回転速度にて基板（例えば、シリコンウエハ）上にスピンオンした。スピンオン組成物を１６０℃の熱化学線エネルギーにおよそ２分間曝した。得られた接着層は約３ｎｍ〜約４ｎｍの厚さであった。
【００８８】
比較例１及び実施例１〜実施例３では、空気／インプリントレジスト界面での表面張力が３３ｍＮ／ｍであるインプリントレジストを用いて、様々な表面上でのインプリントレジストの広がりを明らかにした。インプリントレジストは、約４５重量％の単官能性アクリレート（例えば、イソボルニルアクリレート及びベンジルアクリレート）と、約４８重量％の二官能性アクリレート（例えば、ネオペンチルグリコールジアクリレート）と、約５重量％の光重合開始剤（例えば、ＴＰＯ及び４２６５）と、約３重量％の界面活性剤（例えば、Ｘ−Ｒ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｎＯＨ（ここで、Ｒはアルキル、アリール、又はポリ（プロピレングリコール）であり、ＸはＨ又は−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｎＯＨであり、ｎは整数（例えば、２〜２０、５〜１５、又は１０〜１２）である（例えば、Ｘは−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｎＯＨであり、Ｒはポリ（プロピレングリコール）であり、ｎは１０〜１２である））と、Ｙ−Ｒ−（ＯＣＨ２ＣＨ２）ｎＯＨ（ここで、Ｒはアルキル、アリール、又はポリ（プロピレングリコール）であり、Ｙはフッ素化部分（全フッ素化アルキル又は全フッ素化エーテル）又はフッ素化部分でキャップされたポリ（エチレングリコール）であり、ｎは整数（例えば、２〜２０、５〜１５、又は１０〜１２）である（例えば、Ｙは全フッ素化アルキル基でキャップされたポリ（エチレングリコール）であり、Ｒはポリ（プロピレングリコール）であり、ｎは１０〜１２である））との混合物）とを含む重合性組成物とした。
【００８９】
比較例１では、インプリントレジストをナノインプリントリソグラフィー基板の接着層上に直接配置した。図１３は、格子パターンでの液滴の吐出を開始して１．７秒後における基板の接着層１３０２上でのインプリントレジスト滴１３００の画像である。画像に見られるように、液滴１３００は基板上の標的域から外側に向かって広がっている。しかしながら、標的域を越えた広がりは制限され、露出接着層１３０２の面積は液滴１３００の面積を超えていた。この及び他の画像に見ることができるリング、例えばリング１３０４はニュートン干渉リングであり、ニュートン干渉リングは液滴の様々な領域における厚さの差を示すものである。レジスト滴のサイズはおよそ２．５ｐＬであった。図１３では、液滴の２×７（ピッチ）２インターリーブ格子（例えば、水平方向に２単位、ライン間３．５単位）である。次のラインをそれぞれ水平方向に１単位動かした。
【００９０】
実施例１〜実施例３では、前処理組成物Ａ〜前処理組成物Ｃをそれぞれナノインプリントリソグラフィー基板上に配置し、前処理コーティングを形成した。インプリントレジスト滴を前処理コーティング上に配置した。図１４〜図１６は、インプリントレジスト滴の吐出を開始した後の複合コーティングの画像を示している。これらの実施例では前処理組成物とインプリントレジストとの間で混ざり合いが起こるが、簡略化のために、混ざり合いは全く考慮せずにインプリントレジスト滴及び前処理コーティングを以下に記載する。前処理組成物はスピンオンコート法を介してウエハ基板上に配置した。より具体的には、前処理組成物はＰＧＭＥＡ（０．３重量％の前処理組成物／９９．７重量％のＰＧＭＥＡ）に溶解し、ウエハ基板上にスピンオンした。溶媒を蒸発させるにあたり基板上で得られる前処理コーティングの典型厚さは５ｎｍ〜１０ｎｍの範囲（例えば、８ｎｍ）であった。レジスト滴のサイズは図１４〜図１６でおよそ２．５ｐＬであった。図１４及び図１６は、液滴の２×７（ピッチ）２インターリーブ格子（例えば、水平方向に２単位、ライン間３．５単位）である。次のラインをそれぞれ水平方向に１単位動かした。図１５は、液滴の２×６（ピッチ）２インターリーブ格子を示している。ピッチ値は８４．５μｍであった。レジストと前処理層との体積比は１〜１５（例えば、６〜７）の範囲であった。
【００９１】
表１に実施例１〜実施例３に用いられる前処理組成物Ａ〜前処理組成物Ｃ及びインプリントレジストについての表面張力（気液界面）を挙げている。
【表１】
2019511123.tif 000043
【００９２】
実施例１では、インプリントレジスト滴を前処理組成物Ａ（Ｓａｒｔｏｍｅｒ  ４９２又は「ＳＲ４９２」）のコーティングを備える基板上に配置した。Sartomer, Inc.（米国、ペンシルバニア州）から入手可能なＳＲ４９２はプロポキシル化（３）トリメチロールプロパントリアクリレート（多官能性アクリレート）である。図１４は、インターリーブ格子パターンでの不連続部分の吐出を開始して１．７秒後における前処理コーティング１４０２及び得られた複合コーティング１４０４上でのインプリントレジスト滴１４００の画像を示している。本実施例では、液滴が球冠状の形状を保持し、インプリントレジストの広がりは制限される。図１４に見られるように、液滴１４００は比較例１での接着層上でのインプリントレジストを越えて広がるが、液滴は前処理コーティング１４０２により隔てられたままとなり、液滴周りに境界１４０６を形成する。インプリントレジストの或る特定の成分が液滴の中心を越えて広がり、液滴１４００周りに領域１４０８を形成する。領域１４０８は前処理コーティング１４０２により隔てられている。広がりの制限は前処理組成物Ａとインプリントレジストとの間の表面張力の差が小さいこと（１ｍＮ／ｍ）に少なくとも一部寄与するものであり、そのため液滴の広がりには顕著なエネルギーの利点はない。摩擦等の他の要素も広がりの程度に影響を及ぼすことが理解される。
【００９３】
実施例２では、インプリントレジスト滴を前処理組成物Ｂ（Ｓａｒｔｏｍｅｒ  ３５１ＨＰ又は「ＳＲ３５１ＨＰ」）のコーティングを備える基板上に配置した。Sartomer, Inc.（米国、ペンシルバニア州）から入手可能なＳＲ３５１ＨＰはトリメチロールプロパントリアクリレート（多官能性アクリレート）である。図１５は、正方格子パターンでの液滴の吐出を開始して１．７秒後における前処理コーティング１５０２及び得られた複合コーティング１５０４上でのインプリントレジスト滴１５００の画像を示している。１．７秒後、液滴１５００が基板の表面積の大部分を覆い、前処理コーティング１５０２により隔てられ、液滴周りに境界１５０６を形成する。液滴１５００は実施例１の液滴１４００よりも均一であるため、実施例１の広がりに対する顕著な改善が観察される。より大きい広がりの程度は実施例１の前処理組成物Ａとインプリントレジストとの間の表面張力の差よりも前処理組成物Ｂとインプリントレジストとの間の表面張力の差が大きいこと（３．１ｍＮ／ｍ）に少なくとも一部寄与する。
【００９４】
実施例３では、インプリントレジスト滴を前処理組成物Ｃ（Ｓａｒｔｏｍｅｒ  ３９９ＬＶ又は「ＳＲ３９９ＬＶ」）のコーティングを備える基板上に配置した。Sartomer, Inc.（米国、ペンシルバニア州）から入手可能なＳＲ３９９ＬＶはジペンタエリスリトールペンタアクリレート（多官能性アクリレート）である。図１６は、三角格子パターンでの液滴の吐出を開始して１．７秒後における前処理コーティング１６０２及び得られた複合コーティング１６０４上でのインプリントレジスト滴１６００の画像を示している。図１６に見られるように、液滴１６００は前処理コーティング１６０２により境界１６０６にて隔てられている。しかしながら、インプリントレジストのほとんどが液滴境界に集積し、そのため重合性材料のほとんどが液滴境界にあり、液滴の中心は実質的に空となる。広がりの程度は前処理組成物Ｃとインプリントレジストとの間の表面張力の差が大きいこと（６．９ｍＮ／ｍ）に少なくとも一部寄与する。
【００９５】
欠陥密度は実施例１〜実施例３のインプリントレジスト及び実施例２の前処理組成物Ｂについての前広がり時間に応じて測定した。図１７は、テンプレートの非充填に起因する欠陥密度（空隙）を示している。プロット１７００にて、２８ｎｍのライン／スペースパターン領域（line/space pattern regions）についての広がり時間（秒）に応じた欠陥密度（１ｃｍ２当たりの欠陥数）を示す。欠陥密度は０．９秒で０．１／ｃｍ２近くになる。プロット１７０２にて、特徴のサイズが或る範囲にあるフィールド全体に亘る広がり時間（秒）に応じた欠陥密度（１ｃｍ２当たりの欠陥数）を示す。欠陥密度は１秒で０．１／ｃｍ２近くになる。比較として、前処理を行わないと、通例０．１／ｃｍ２に近い欠陥密度は、２．５秒〜３．０秒の広がり時間にてフィールド全体で達成される。
【００９６】
前処理組成物ＰＣ１〜ＰＣ９の特性を表２に示す。ＰＣ１〜ＰＣ９の重要な特性（key）を以下に示す。粘度は２３℃の温度にて本明細書に記載のように測定した。表２に示されるように５００ミリ秒での直径比（Ｄｉａｍ．Ｒａｔｉｏ）を算出するために、インプリントレジスト滴（液滴サイズ約２５ｐＬ）を、接着層の最上部に前処理組成物（約８ｎｍ〜１０ｎｍの厚さ）がコートされた基板上に広げ、液滴径を５００ミリ秒の経過時間にて記録した。５００ミリ秒にて各前処理組成物を用いたインプリントレジスト滴径を、前処理組成物を用いない接着層上でのインプリントレジスト滴径で除算した。表２に示されるように、５００ミリ秒におけるＰＣ１上でのインプリントレジスト滴径は前処理コーティングを用いない接着層上でのインプリントレジスト滴径よりも６０％大きかった。図１８は、前処理組成物ＰＣ１〜ＰＣ９についての時間（ミリ秒）に応じた液滴径（μｍ）を示すものである。相対エッチング耐性は各前処理組成物の大西パラメータをインプリントレジストの大西パラメータで除算したものである。ＰＣ１〜ＰＣ９の相対エッチング耐性（前処理組成物のエッチング耐性とインプリントレジストのエッチング耐性との比）を表２に示す。
【表２】
2019511123.tif 000044
ＰＣ１：トリメチロールプロパントリアクリレート（Sartomer）
ＰＣ２：トリメチロールプロパンエトキシレートトリアクリレート、ｎ  約１．３（大阪有機化学工業株式会社）
ＰＣ３：１，１２−ドデカンジオールジアクリレート
ＰＣ４：ポリ（エチレングリコール）ジアクリレート、平均Ｍｎ＝５７５（Sigma-Aldrich）
ＰＣ５：テトラエチレングリコールジアクリレート（Sartomer）
ＰＣ６：１，３−アダマンタンジオールジアクリレート
ＰＣ７：ノナンジオールジアクリレート
ＰＣ８：ｍ−キシリレンジアクリレート
ＰＣ９：トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（Sartomer）
【００９７】
前処理組成物ＰＣ３と前処理組成物ＰＣ９とを様々な重量比にて合わせて、表３に示される重量比の前処理組成物ＰＣ１０〜前処理組成物ＰＣ１３を得た。ＰＣ３及びＰＣ９とそれらから形成される混合物との特性の比較から相乗効果が明らかとなった。例えば、ＰＣ３は粘度が比較的低く、比較的早いテンプレートの充填が可能であるが、エッチング耐性が比較的低い。これに対して、ＰＣ９はエッチング耐性及び膜安定性が比較的良好である（蒸発損失が低い）が、比較的粘性であり、比較的遅いテンプレートの充填を呈する。しかしながら、ＰＣ３とＰＣ９とを合わせることで、比較的低い粘性、比較的早いテンプレートの充填及び比較的良好なエッチング耐性を含む有益な特性を兼ね備えた前処理組成物が得られた。例えば、３０重量％のＰＣ３と７０重量％のＰＣ９とを含む前処理組成物は表面張力が３７．２ｍＮ／ｍであり、直径比が１．６１であり、大西パラメータが３．５であることが見出された。
【表３】
2019511123.tif 000045
【００９８】
図１９Ａに、様々な比のＰＣ３及びＰＣ９（すなわち、１００重量％のＰＣ３から１００重量％のＰＣ９まで）を含む前処理組成物についての粘度のプロットを示している。図１９Ｂに、ＰＣ３、ＰＣ１３、ＰＣ１２、ＰＣ１１、ＰＣ１０及びＰＣ９についての液滴径（表２に関して記載されているように測定）を示す。図１９Ｃに、ＰＣ３及びＰＣ９の画分に対する表面張力（ｍＮ／ｍ）を示す。
【００９９】
多くの実施形態が記載されている。それでも、様々な変更を本開示の趣旨及び範囲から逸脱することなく行うことができることが理解される。したがって、他の実施形態も添付の特許請求の範囲内である。
【図１】
2019511123.tif 000046
【図２】
2019511123.tif 000047
【図３Ａ】
2019511123.tif 000048
【図３Ｂ】
2019511123.tif 000049
【図３Ｃ】
2019511123.tif 000050
【図３Ｄ】
2019511123.tif 000051
【図４】
2019511123.tif 000052
【図５Ａ】
2019511123.tif 000053
【図５Ｂ】
2019511123.tif 000054
【図６Ａ】
2019511123.tif 000055
【図６Ｂ】
2019511123.tif 000056
【図６Ｃ】
2019511123.tif 000057
【図６Ｄ】
2019511123.tif 000058
【図７Ａ】
2019511123.tif 000059
【図７Ｂ】
2019511123.tif 000060
【図７Ｃ】
2019511123.tif 000061
【図７Ｄ】
2019511123.tif 000062
【図８Ａ】
2019511123.tif 000063
【図８Ｂ】
2019511123.tif 000064
【図９Ａ】
2019511123.tif 000065
【図９Ｂ】
2019511123.tif 000066
【図９Ｃ】
2019511123.tif 000067
【図１０Ａ】
2019511123.tif 000068
【図１０Ｂ】
2019511123.tif 000069
【図１０Ｃ】
2019511123.tif 000070
【図１１】
2019511123.tif 000071
【図１２Ａ】
2019511123.tif 000072
【図１２Ｂ】
2019511123.tif 000073
【図１２Ｃ】
2019511123.tif 000074
【図１３】
2019511123.tif 000075
【図１４】
2019511123.tif 000076
【図１５】
2019511123.tif 000077
【図１６】
2019511123.tif 000078
【図１７】
2019511123.tif 000079
【図１８】
2019511123.tif 000080
【図１９Ａ】
2019511123.tif 000081
【図１９Ｂ】
2019511123.tif 000082
【図１９Ｃ】
2019511123.tif 000083
【国際調査報告】
2019511123.tif 000084
2019511123.tif 000085