(57)【要約】【課題】クリーニングローラに対しメンテナンス作業を施すことなく、クリーニングローラによる異物の吸着動作を長期に亘って継続する。【解決手段】クリーニングローラ（１１）は、被クリーニング材（Ｓ）の表面に接触しつつ回転しながら相対移動するもので、被クリーニング材（Ｓ）の表面上に付着する塵挨などの異物を静電気力を利用して除去するものである。クリーニングローラ（１１）の表面に接触しながら転写ローラ（２１）が回転する。クリーニングローラ（１１）には、電圧安定化回路（１２）を介して接地され、前記静電気力により吸着するための電荷をローラ表面に安定して帯電し得る。転写ローラ（２１）は、クリーニングローラ（１１）の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るもので、外部電源（３１）が接続され、前記異物を前記静電気力により吸着するための帯電圧を一定に保つようになっている。
2011158504.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被クリーニング材の表面に接触しつつ回転しながら相対移動するクリーニングローラを備え、前記被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を前記クリーニングローラによって静電気力を利用して除去するクリーニングシステムであって、
前記クリーニングローラに対し、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転する転写ローラが設けられ、
前記クリーニングローラは、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、
前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、
前記クリーニングローラは、電圧安定化回路を介してアースされ、前記転写ローラには、外部電源が直接的または間接的に接続され、
前記電圧安定化回路は、前記転写ローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であることを特徴とするクリーニングシステム。
【請求項２】
前記電圧安定化回路は、固定抵抗器、可変抵抗器、または複数の固定抵抗器を有し使用する固定抵抗器を切り換えて抵抗値を変更する切替え式抵抗器であることを特徴とする請求項１記載のクリーニングシステム。
【請求項３】
前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転することで、前記クリーニングローラとの間で、前記転写ローラと前記クリーニングローラとの表面の帯電特性の違いに応じて電位差を生じるものであることを特徴とする請求項１記載のクリーニングシステム。
【請求項４】
前記転写ローラに対し、連れ回り方向または逆方向に回転するクリーニングブラシが設けられ、このクリーニングブラシに対し連れ回り方向または逆方向に回転するように金属ローラが設置され、
前記外部電源は、前記金属ローラに接続されて、前記転写ローラ、前記クリーニングブラシおよび前記金属ローラの間に電位差を生じさせるように構成されていることを特徴とする請求項１記載のクリーニングシステム。
【請求項５】
前記金属ローラの表面近傍に、前記金属ローラの表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングブレードが配置されていることを特徴とする請求項４に記載のクリーニングシステム。
【請求項６】
前記クリーニングブレード近傍に、異物を真空圧により吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口、またはクリーニングブレードによって掻き取られた異物を回収蓄積するための異物収容ボックスが配置されていることを特徴とする請求項５記載のクリーニングシステム。
【請求項７】
前記被クリーニング材を挟んで、前記クリーニングローラとは反対側にガイドローラが配置され、前記ガイドローラは、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着させるための電界強度を高めるものであることを
特徴とする請求項１記載のクリーニングシステム。
【請求項８】
被クリーニング材の表面に接触しつつ回転しながら相対移動するクリーニングローラを備え、前記被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を前記クリーニングローラによって静電気力を利用して除去するクリーニングシステムであって、
前記クリーニングローラに対し、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転する転写ローラが設けられ、
前記クリーニングローラは、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、
前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、
前記転写ローラには、外部電源の電圧が直接的または間接的に印加される構成とされ、
前記クリーニングローラが、前記クリーニングローラの帯電圧を設定電圧以下に制御する第１の電圧安定化回路を介して接地される一方、前記クリーニングローラと前記転写ローラとの間には、それらの間に電位差を生じさせる第２の電圧安定化回路が設けられていることを特徴とするクリーニングシステム。
【請求項９】
前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転することで、前記クリーニングローラとの間で、前記転写ローラと前記クリーニングローラとの表面の帯電特性の違いに応じて電位差を生じるものであることを特徴とする請求項８記載のクリーニングシステム。
【請求項１０】
前記転写ローラに対し、連れ回り方向または逆方向に回転するようにクリーニングブラシが設けられ、
このクリーニングブラシに対し連れ回り方向または逆方向に回転するように金属ローラが設けられ、
この金属ローラに前記外部電源が接続され、
前記転写ローラと前記クリーニングブラシとの間には、前記転写ローラと前記クリーニングブラシとの間に電位差を生じさせる第３の電圧安定化回路を、前記クリーニングブラシと前記金属ローラとの間には、前記クリーニングブラシと前記金属ローラとの間に電位差を生じさせる第４の電圧安定化回路が設けられていることを特徴とする請求項８記載のクリーニングシステム。
【請求項１１】
前記第１〜第４の電圧安定化回路は、それぞれ第１〜第４の抵抗器を有するものであり、
前記第１〜第４の抵抗器によって、互いに接触している前記ローラまたは前記ブラシ間に印加される電圧が分圧されることを特徴とする請求項１０記載のクリーニングシステム。
【請求項１２】
前記第１〜第４の抵抗器は、接触している前記ローラまたは前記ブラシ間の接触抵抗より小さい抵抗値に設定されることを特徴とする請求項１１記載のクリーニングシステム。
【請求項１３】
前記第１〜第３の電圧安定化回路は、定電圧ダイオード若しくはバリスタを有するものであり、
前記第４の電圧安定化回路は、固定抵抗器または可変抵抗器を有するものであることを特徴とする請求項１０記載のクリーニングシステム。
【請求項１４】
前記第１〜３の電圧安定化回路の前記定電圧ダイオードは、それらを直列に向かい合わせ、または背中合わせに接続していることを特徴とする請求項１３記載のクリーニングシステム。
【請求項１５】
前記外部電源により前記ローラまたは前記ブラシに印加される電圧の、正負の極性を切り換える手段を備えることを特徴とする請求項１４記載のクリーニングシステム。
【請求項１６】
前記金属ローラの表面近傍に、前記金属ローラの表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングブレードが配置されていることを特徴とする請求項１０記載のクリーニングシステム。
【請求項１７】
前記クリーニングブレード近傍に、異物を真空圧により吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口、またはクリーニングブレードによって掻き取られた異物を回収蓄積するための異物収容ボックスが配置されていることを特徴とする請求項１６記載のクリーニングシステム。
【請求項１８】
前記被クリーニング材を挟んで、前記クリーニングローラとは反対側にガイドローラが配置され、前記ガイドローラは、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着させるための電界強度を高めるものであることを特徴とする請求項８記載のクリーニングシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被クリーニング材の表面に静電気力により付着する異物（塵挨など）を除去するクリーニングシステムに関するものである。特に、被クリーニング材が、薄物（例えばガラス基板、プリント基板（ＰＣＢ，ＰＣＢＡなど）、フィルム、シート、プラスチック板などの比較的表面平滑性の高いもの）である場合に適する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のガラス基板や、貼り合わせフィルム、プリント基板などの薄い被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を除去するクリーニングシステムとしては、粘着ローラを用い、それの粘着力を利用して前記異物を除去するようにしたのものが知られている（例えば、特許文献１参照）。【０００３】
このような粘着ローラでは、微小異物（例えば、平均径１μｍ以下の異物）を除去することができず、また粘着ローラの表面（粘着層）に一且付着した塵挨などの異物を完全に除去するのが困難であり、メンテナンス性に劣る。また、被クリーニング材に粘着ローラをある程度圧力を加えて押し付け、異物を除去するようにしているので、被クリーニング材が、例えばフィルムであると、前記異物を除去するだけでなく、フィルムがローラ表面に張り付くおそれがある。【０００４】
そこで、発明者は、被クリーニング材から塵挨などの異物を除去する際に、印加電圧によりクリーニングローラの表面に前記異物を静電気力により吸着し得る電荷を帯電させておけば、前記クリーニングローラにより前記異物を、静電気力を利用して除去することができることに基づき、別途特許出願をしている（特願２００８−２７１７９７参照）。【０００５】
しかしながら、前述したものでは、クリーニングローラによって、被クリーニング材の表面から静電気力による吸着力を利用して除去された異物は、前記クリーニングローラのローラ表面（外周面）に順次蓄積されていくので、そのローラ表面より異物を除去するというメンテナンス作業を定期的に行う必要がある。【０００６】
ところで、粘着ローラの粘着力を利用したクリーニングシステムでは、クリーニングローラ（粘着ローラ）より強い粘着力を有する転写ローラ（粘着ローラ）を接触させることで、前記クリーニングローラから異物を転写ローラ側へ移行させる機構が一般的に用いられている。【０００７】
そこで、前述したクリーニングシステムに、前記強い粘着力を有する転写ローラを利用することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特許文献１：特開２００８−１６８１８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、そのように前記強い粘着力を有する転写ローラを用いると、クリーニングローラの表面に異物を静電気力により吸着し得る電荷を安定して帯電させることができない。よって、クリーニングローラに対しメンテナンス作業を施すことなく、クリーニングローラによる異物の吸着動作を長期に亘って継続することが困難になる。【００１０】
この発明は、クリーニングローラに対しメンテナンス作業を施すことなく、クリーニングローラによる異物の吸着動作を長期に亘って継続することができるクリーニングシステムを提供することを目的とする。【００１１】
また、静電気力（クーロン力）で異物を吸着する場合、ローラ表面に保持される電荷は多い方が吸着力は強くなるが、ローラ表面が過剰な帯電圧になると、クリーニングローラと相手材である被クリーニング材との間に火花放電が起こり、ローラ表面や被クリーニング材の帯電状態にムラが生じ、そのムラに異物が引き寄せられ、安定したクリーニング性能を発揮することができなくなるおそれがある。それに加えて、火花放電によって相手材を傷つけるおそれもある。さらに被クリーニング材が、静電気に弱い半導体などの電子部品の場合には、火花放電に至らない電荷の蓄積でも発生する静電気破壊が問題となる。【００１２】
そこで、本発明は、前記目的に加えて、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができるクリーニング装置を提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１の発明は、被クリーニング材の表面に接触しつつ回転しながら相対移動するクリーニングローラを備え、前記被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を前記クリーニングローラによって静電気力を利用して除去するクリーニングシステムであって、前記クリーニングローラに対し、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転する転写ローラが設けられ、前記クリーニングローラは、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、前記クリーニングローラは、電圧安定化回路を介してアースされ、前記転写ローラには、外部電源が直接的または間接的に接続され、前記電圧安定化回路は、前記転写ローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であることを特徴とする。【００１４】
このようにすれば、クリーニングローラは、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであるので、被クリーニング材の表面上の異物は前記クリーニングローラに吸着される。また、転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るので、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、クリーニングローラに対し、定期的に除去（清掃）したり定期的に交換したりするというメンテナンス作業を施す必要がなくなる。【００１５】
それに加えて、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができる。また、静電気に弱い半導体などの電子部品に対する静電気破壊も防止できる。【００１６】
この場合、請求項２に記載のように、前記電圧安定化回路は、固定抵抗器、可変抵抗器、または複数の固定抵抗器を有し使用する固定抵抗器を切り換えて抵抗値を変更する切替え式抵抗器を用いることができる。【００１７】
このようにすれば、固定抵抗器、可変抵抗器または切替え式抵抗器の抵抗値を変更することで、前記転写ローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能である電圧安定化回路を簡単に構成することができる。なお、固定抵抗器を用いる場合も
、固定抵抗器を交換して抵抗値を変更することができる。【００１８】
つまり、前記抵抗値を変更することで、前記クリーニングローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であるので、前記転写ローラに外部電源により電圧が印加されていても、その印加電圧を変更することなく、前記クリーニングローラについて、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を変化させることができる。例えば、前記クリーニングローラに対し接続された抵抗器の抵抗値を限りなく小さくすれば、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が減少し、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を前記クリーニングローラが失うようにすることができる。その結果、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。【００１９】
よって、粘着ローラの粘着力を利用する従来のクリーニングシステムのように、クリーニングローラのローラ表面に付着している異物を定期的に除去（清掃）したり、前記異物が付着しているクリーニングローラを定期的に交換するというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。また、転写ローラに印加される電圧をこまめに制御しなくてよいので、転写ローラに電圧を印加する外部電源の設計をコンパクトにできる。【００２０】
請求項３に記載のように、前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転することで、前記クリーニングローラとの間で、前記転写ローラと前記クリーニングローラとの表面特性の違い（例えば帯電序列）に応じて電位差を生じるものであることが望ましい。【００２１】
このようにすれば、クリーニングローラと転写ローラの回転による接触剥離により、前記転写ローラに、前記クリーニングローラとの表面特性（例えば、帯電序列）の違いに応じた電位差が生じ、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が帯電される。【００２２】
また、請求項４に記載のように、前記転写ローラに対し、連れ回り方向または逆方向に回転するクリーニングブラシが設けられ、このクリーニングブラシに対し連れ回り方向または逆方向に回転するように金属ローラが設置され、前記外部電源は、前記金属ローラに接続されて、前記転写ローラ、前記クリーニングブラシおよび前記金属ローラの間に電位差を生じさせるように構成されていることが望ましい。【００２３】
このようにすれば、クリーニングブラシによって転写ローラから異物が取り除かれ、静電気力により金属ローラに移り、前記転写ローラから異物がより効率よく除去される。特に、金属ローラに接続された外部電源により生じる、前記転写ローラとの間の電位差をも合わせて変更が可能であり、効果的に前記金属ローラに異物を搬送することができる。【００２４】
この場合、請求項５に記載のように、前記金属ローラの表面近傍に、前記金属ローラの表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングブレードが配置されているようにすることができる。【００２５】
このようにすれば、金属ローラの表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレードの先端掻き取り部によって掻き取られるため、前記金属ローラから異物が効率よく除去される。【００２６】
さらに、請求項６に記載のように、前記クリーニングブレード近傍に、異物を真空圧に
より吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口、またはクリーニングブレードによって掻き取られた異物を回収蓄積するための異物収容ボックスが配置されていることが望ましい。【００２７】
このようにすれば、前記金属ローラの表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレードの先端掻き取り部によって掻き取られ、エアバキューム手段の吸い込み口を通じて前記異物が負圧により吸引され、または異物収容ボックスに回収されるので、前記異物が前記金属ローラ周辺を汚すおそれがなくなる。特に、異物収容ボックスが配置される場合には、新たに動力を設けることなく、異物を異物収容ボックスに回収することができる。【００２８】
請求項７に記載のように、前記被クリーニング材を挟んで、前記クリーニングローラとは反対側にガイドローラが配置され、前記ガイドローラは、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着させるための電界強度を高めることも可能である。【００２９】
このようにすれば、２本のローラが被クリーニング材を挟んで対向しており、被クリーニング材がクリーニングローラ及びガイドローラが接触する位置において上下から支持され、安定性よく支持された状態で、被クリーニング材の表面上の異物の除去が行われる。【００３０】
また、クリーニングローラは、ガイドローラによって、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度が高められ、与えられた電界に応じて被クリーニング材上の帯電異物がクリーニングローラに吸着され、効率よく除去される。【００３１】
請求項８の発明は、被クリーニング材の表面に接触しつつ回転しながら相対移動するクリーニングローラを備え、前記被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を前記クリーニングローラによって静電気力を利用して除去するクリーニングシステムであって、前記クリーニングローラに対し、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転する転写ローラが設けられ、前記クリーニングローラは、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、前記転写ローラには、外部電源の電圧が直接的または間接的に印加される構成とされ、前記クリーニングローラが、前記クリーニングローラの帯電圧を設定電圧以下に制御する第１の電圧安定化回路を介して接地される一方、前記クリーニングローラと前記転写ローラと間には、それらの間に電位差を生じさせる第２の電圧安定化回路が設けられていることを特徴とする。【００３２】
このようにすれば、前述した発明と同様に、クリーニングローラは、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るので、被クリーニング材の表面上の異物は前記クリーニングローラに吸着される。また、転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るので、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、クリーニングローラに対し、定期的に除去（清掃）したり定期的に交換したりするというメンテナンス作業を施す必要がなくなる。よって、粘着ローラの粘着力を利用する従来のクリーニングシステムのように、クリーニングローラのローラ表面に付着している異物を定期的に除去（清掃）したり、前記異物が付着しているクリーニングローラを定期的に交換するというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。【００３３】
特に、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができる。また、静電気に弱い半導体などの電子部品に対する静電気破壊も防止できる。【００３４】
また、前記第１の電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、前記クリーニングローラについて、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を弱めることができる。例えば、前記第１の電圧安定化回路の設定電圧値を正負逆の極性にすれば、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が反転し、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を前記クリーニングローラが失うようにすることができる。その結果、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。【００３５】
この場合、請求項９に記載のように、前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転することで、前記クリーニングローラとの間で、前記転写ローラと前記クリーニングローラとの表面特性の違い（例えば帯電序列）に応じて電位差を生じるものであることが望ましい。【００３６】
このようにすれば、クリーニングローラと転写ローラの回転による接触剥離により、前記転写ローラに、前記クリーニングローラとの表面特性（例えば、帯電序列）の違いに応じた電位差が生じ、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が帯電される。【００３７】
また、請求項１０に記載のように、前記転写ローラに対し、連れ回り方向または逆方向に回転するようにクリーニングブラシが設けられ、このクリーニングブラシに対し連れ回り方向または逆方向に回転するように金属ローラが設けられ、この金属ローラに前記外部電源が接続され、前記転写ローラと前記クリーニングブラシとの間には、前記転写ローラと前記クリーニングブラシとの間に電位差を生じさせる第３の電圧安定化回路を、前記クリーニングブラシと前記金属ローラとの間には、前記クリーニングブラシと前記金属ローラとの間に電位差を生じさせる第４の電圧安定化回路が設けられていることが望ましい。【００３８】
このようにすれば、クリーニングブラシによって転写ローラから異物が取り除かれ、静電気力により金属ローラに移り、第４の電圧安定化回路により前記金属ローラの帯電圧を変更して前記金属ローラがそれに吸着された異物に対する吸着力を失った際には、前記金属ローラから異物がより効率よく除去される。特に、前記金属ローラに接続された外部電源により生じる、前記転写ローラとの間の電位差をも合わせて変更が可能であり、効果的に前記金属ローラに異物を搬送することができる。【００３９】
また、請求項１１に記載のように、前記第１〜第４の電圧安定化回路は、それぞれ第１〜第４の抵抗器を有するものであり、前記第１〜第４の抵抗器によって、互いに接触している前記ローラまたは前記ブラシ間に印加される電圧が分圧される構成とすることができる。ここで、抵抗器は，固定抵抗器であっても可変抵抗器であってもよい。【００４０】
このようにすれば、第１〜第４の電圧安定化回路が、抵抗器による分圧された回路を構成することで、前記ローラまたは前記ブラシの間でそれぞれ所望の第１〜第４の電圧を得ることができる。【００４１】
請求項１２に記載のように、前記第１〜第４の抵抗器は、接触している前記ローラまたは前記ブラシ間の接触抵抗より小さい抵抗値に設定されることが望ましい。【００４２】
このようにすれば、接触しているローラまたはブラシ間の接触抵抗より小さい抵抗値の抵抗器で分圧されていることで、接触しているローラまたはクリーニングブラシ間の接触抵抗の誤差や変化に対して安定した電圧を得ることができる。【００４３】
請求項１３に記載のように、前記第１〜第３の電圧安定化回路は、定電圧ダイオード若しくはバリスタ（非直線性抵抗素子）を有するものであり、前記第４の電圧安定化回路は、固定抵抗器または可変抵抗器を有するものであることが望ましい。【００４４】
このようにすれば、第１〜第３の電圧安定化回路は定電圧ダイオード若しくはバリスタを有し、前記第４の電圧安定化回路は固定抵抗器または可変抵抗器を有することで、分圧により安定した電圧を得ることができる。【００４５】
請求項１４に記載のように、前記第１〜３の電圧安定化回路の前記定電圧ダイオードは、それらを直列に向かい合わせ、または背中合わせに接続していることが望ましい。【００４６】
このようにすれば、ツェナー効果を有する定電圧ダイオードを直列に向かい合わせ、または背中合わせに接続することで、極性にかかわりなく、一定の電位差を保持することができる。【００４７】
この場合、請求項１５に記載のように、前記外部電源により前記ローラまたは前記ブラシに印加される電圧の、正負の極性を切り換える手段を備えることが望ましい。【００４８】
このようにすれば、前記外部電源の正負の極性を自由に反転させることが可能になる。【００４９】
請求項１６に記載のように、前記金属ローラの表面近傍に、前記金属ローラの表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングブレードが配置されているようにすることができる。【００５０】
このようにすれば、金属ローラの表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレードの先端掻き取り部によって掻き取られるため、前記金属ローラから異物が効率よく除去される。【００５１】
その場合には、請求項１７に記載のように、前記クリーニングブレード近傍に、異物を真空圧により吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口、またはクリーニングブレードによって掻き取られた異物を回収蓄積するための異物収容ボックスが配置されていることが望ましい。【００５２】
このようにすれば、前記金属ローラの表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレードの先端掻き取り部によって掻き取られ、エアバキューム手段の吸い込み口を通じて前記異物が負圧により吸引され、または異物収容ボックスに回収されるので、前記異物が前記金属ローラ周辺を汚すおそれがなくなる。特に、異物収容ボックスが配置される場合には、新たに動力を設けることなく、異物を異物収容ボックスに回収することができる。【００５３】
請求項１８に記載のように、前記被クリーニング材を挟んで、前記クリーニングローラとは反対側にガイドローラが配置され、前記ガイドローラは、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着させるための電界強度を高めることも可能である。【００５４】
このようにすれば、２本のローラが被クリーニング材を挟んで対向しており、被クリーニング材がクリーニングローラ及びガイドローラが接触する位置において上下から支持され、安定性よく支持された状態で、被クリーニング材の表面上の異物の除去が行われる。【００５５】
また、クリーニングローラは、ガイドローラによって、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度が高められ、与えられた電界に応じて被クリーニング材上の帯電異物がクリーニングローラに吸着され、効率よく除去される。
【発明の効果】
【００５６】
本発明は、上記のように構成したから、クリーニングローラの表面上に吸着している異物についての吸着力を変更することが可能であり異物を転写ローラ側に安定して転写させることができるので、粘着ローラの粘着力を利用する従来のクリーニングシステムのように、クリーニングローラのローラ表面に付着している異物を定期的に除去（清掃）したり、前記異物が付着しているクリーニングローラを定期的に交換するというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。【００５７】
特に、請求項１の発明は、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、前記クリーニングローラについて、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を弱めることができ、クリーニングローラに吸着された異物を前記転写ローラに吸着させることが可能となる。【００５８】
それに加えて、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができる。また、静電気に弱い半導体などの電子部品に対する静電気破壊も防止できる。【００５９】
請求項８の発明は、前記クリーニングローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であるので、前記転写ローラに接続された外部電源による印加電圧を変更することなく、前記クリーニングローラについて、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を弱めることができる。その結果、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。【００６０】
この場合も、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができる。また、静電気に弱い半導体などの電子部品に対する静電気破壊も防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】（ａ）（ｂ）はそれぞれ本発明に係るクリーニングシステムの第１の実施の形態の動作原理の説明図である。
【図２】前記第１の実施の形態の一例を示す説明図である。
【図３】図２に示す実施の形態の第１の変形例を示す図である。
【図４】図２に示す実施の形態の第２の変形例を示す図である。
【図５】図２に示す実施の形態の第３の変形例を示す図である。
【図６】図２に示す実施の形態の第４の変形例を示す図である。
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は本発明に係るクリーニングシステムの第２の実施の形態の動作原理の説明図である。
【図８】（ａ）（ｂ）は前記第２の実施の形態の一例を示す説明図である。
【図９】図８に示す実施の形態の第１の変形例を示す図である。
【図１０】図８に示す実施の形態の第２の変形例を示す図である。
【図１１】図８に示す実施の形態の第３の変形例を示す図である。
【図１２】（ａ）（ｂ）は図８に示す実施の形態の第４の変形例を示す図である。
【図１３】図８に示す実施の形態の第５の変形例を示す図２と同様の図である。
【図１４】クリーニングユニットを２連配置した実施の形態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００６２】
以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
（第１の実施の形態）
図１（ａ）（ｂ）は本発明に係るクリーニングシステムの第１の実施の形態の動作原理の説明図である。
【００６３】
図１（ａ）に示すように、クリーニングシステム１は、クリーニングローラ１１と、このクリーニングローラ１１に対しクリーニングローラ１１の表面に接触しながら回転する転写ローラ２１とを備える。
【００６４】
クリーニングローラ１１は、被クリーニング材Ｓの表面に接触しつつ回転しながら相対移動するもので、被クリーニング材Ｓの表面上に付着する塵挨などの異物を静電気力を利用して除去することができるものである。このクリーニングローラ１１は、被クリーニング材Ｓの表面上に付着する異物を静電気力により吸着する電荷を外周面に帯電し得るもので、このクリーニングローラのローラ表面（外周面）の帯電性を利用して異物を吸着するものである。
【００６５】
転写ローラ２１は、クリーニングローラ１１の表面に接触しながら回転することで、クリーニングローラ１１との間で、転写ローラ２１とクリーニングローラ１１との表面特性の違い（例えば帯電序列）に応じて電位差を生じるものである。クリーニングローラ１１と転写ローラ２１の回転による接触剥離により、転写ローラ２１に、クリーニングローラ１１との表面特性（例えば、帯電序列）の違いに応じた電位差が生じ、被クリーニング材Ｓの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が帯電される。
【００６６】
このように、クリーニングローラ１１の、被クリーニング材Ｓと反対側には転写ローラ２１をクリーニングローラ１１と接触するように設けることで、クリーニングローラ１１に静電気力により付着した異物を、転写ローラ２１側に転写（移動）させることができる。これにより、クリーニングローラ１１の外周面に付着している異物が、転写ローラ２１に転写された状態で、クリーニングローラ１１は被クリーニング材Ｓに接触することになる。よって、クリーニングローラ１１の外周面上の異物は転写ローラ２１側に絶えず転写され、クリーニングローラ１１はいつでもクリーニング効果を発揮できる状態になるので、クリーニングローラ１１は、比較的長期間に亘って異物の吸着動作を継続して行うことができる。その結果、クリーニングローラ１１の外周面の異物を定期的に除去したりクリーニングローラ１１を交換したりするメンテナンス作業は必要なくなり、メンテナンス性の向上を図る上で有利となる。
【００６７】
転写ローラ２１の芯金には、外部電源３１により一定の電圧が印加されている。クリーニングローラ１１には、第１の電圧安定化回路１２を介して接地され、被クリーニング材Ｓの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷をローラ表面に安定して帯電し得るようになっている。第１の安定化回路１２は、可変抵抗器１２ａで構成される（図１（ａ）参照）。第１の安定化回路１２は、図１（ｂ）に示すように、固定抵抗器１２ｂであってもよいのはもちろんである（以下同様）。
【００６８】
このようにクリーニングローラ１１は、被クリーニング材Ｓの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るので、被クリーニング材Ｓの表面上の異物はクリーニングローラ１１の表面に吸着される。また、転写ローラ２１は、クリーニングローラ１１の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷をローラ表面に帯電し得るので、クリーニングローラ１１の表面に吸着された異物は転写ローラ２１の表面に吸着され、クリーニングローラ１１から転写ローラ２１に移動することになる。よって、クリーニングローラ１１に対し、定期的に除去（清掃）したり定期的に交換したりするというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。
【００６９】
また、クリーニングローラ１１に対し接続された第１の電圧安定化回路１２を備えるので、第１の電圧安定化回路１２（可変抵抗器１２ａ）の抵抗値を変更して、クリーニングローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であるので、クリーニングローラ１１について、クリーニングローラ１１に吸着している異物についての吸着力を変化させることができる。よって、転写ローラ２１に外部電源３１により電圧が印加されていてもその印加電圧を変更することなく、クリーニングローラ１１について、クリーニングローラ１１に吸着している異物についての吸着力を変化させることができる。例えば、クリーニングローラ１１に対し接続された可変抵抗器１２ａの抵抗値を限りなく小さくすれば、クリーニングローラ１１の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が減少し、クリーニングローラ１１に吸着している異物についての吸着力をクリーニングローラ１１が失うようにすることができる。その結果、クリーニングローラ１１に吸着された異物は転写ローラ２１に吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。
【００７０】
よって、粘着ローラの粘着力を利用する従来のクリーニングシステムのように、クリーニングローラのローラ表面に付着している異物を定期的に除去（清掃）したり、前記異物が付着しているクリーニングローラを定期的に交換するというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。また、転写ローラ２１に接続されたの外部電源３１による印加電圧をこまめに制御しなくてよくなるため、外部電源３１の設計をコンパクトにできる。
【００７１】
続いて、クリーニングローラ１１および転写ローラ２１について説明する。
【００７２】
クリーニングローラ１１は、導電性軸部材である芯金（芯棒）１１ａと、この芯金１１ａの外周部に設けられ導電性を有する内層部１１ｂと、その内層部１１ｂの外側に設けられ内層部１１ｂよりも高抵抗の材料からなる薄い円筒状の外層部１１ｃとを備え、二層構造となっている。
【００７３】
このようなクリーニングローラ１１の外層部１１ｃを形成する材料は、被クリーニング材Ｓの表面上に付着する塵埃などの異物を静電気力により吸着する電荷を帯電し得るものが選択される。
【００７４】
クリーニングローラ１１の外層部１１ｃの厚さとしては、２〜５００μｍ（より好ましくは、５〜５０μｍ）が好ましい。これは、外層部１１ｃの厚さが２μｍ未満ではローラ表面（外層部表面）に電荷が帯電しにくい傾向にある一方、５００μｍを超える厚さにするのは工業的に効率的でないからである。なお、芯金１１ａに代えて、導電性を有するカーボン材や合成樹脂複合材等からなる芯棒を用いることもできる。芯金（芯棒）１１ａは、芯金中腹部と芯金端部との間の抵抗値として、１０5Ω以下が望ましい。
【００７５】
内層部１１ｂには、導電性を有する弾性材料（例えば、カーボン（導電材）を含むポリエステル系ウレタン等）が用いられ、外層部１１ｃよりも低硬度あるいは略同一の硬度とされる。また、内層部１１ｂは、外層部１１ｃよりも低抵抗であれば特に限定されないが、体積抵抗率は１０4〜１０12Ωｃｍ程度であることが好ましい。
【００７６】
外層部１１ｃに用いる材料は、５０°以上（望ましくは５０°以上１００°未満、より望ましくは５５°以上１００°未満、さらに望ましくは６５°以上１００°未満）の硬度（ＪＩＳ−Ａ）を有する。また、外層部１１ｃは内層部１１ｂよりも体積抵抗率が高い。外層部１１ｃは、望ましくは１０8Ωｃｍ以上の体積抵抗率、より望ましくは１０10Ωｃ
ｍ以上の体積抵抗率を有する。
【００７７】
クリーニングローラ１１の外層部１１ｃを形成する材料の好ましい例としては、ウレタン樹脂が挙げられ、さらにはアクリル混合ウレタンあるいはフッ素混合ウレタンが挙げられる。ここで、「アクリル混合ウレタン」とは、ポリエステルポリウレタンまたはポリエーテルポリウレタンを主成分とし、(i)熱可塑性ウレタン樹脂とシリコン・アクリル共重
合樹脂の混合物、(ii)アクリル樹脂（例えば、メタクリル酸ーメタクリル酸メチル共重合体からなる主鎖にアミノエチル基がグラフトされてなるグラフト化合物）と熱可塑性ウレタン樹脂からなる混合物、(iii)アクリル樹脂・ウレタン樹脂・フッ素系表面コーティン
グ剤からなる混合物を意味し、「フッ素混合ウレタン」とは、ポリウレタンを主成分とするもので、熱可塑性ウレタン樹脂にウレタン・フッ素共重合体を混合したものを意味する。
【００７８】
転写ローラ２１は、クリーニングローラ１１と同様に、導電性を有する芯金２１ａと、この芯金２１ａの外側に設けられる円筒状の内層部２１ｂと、この内層部２１ｂの外側に設けられる外層部２１ｃ（弾性層部）とを備え、外層部２１ｃは内層部２１ｂよりも体積抵抗率が高くなっているものとすることができる。ただし、転写ローラ２１も、芯金２１ａに円筒状の外層部（弾性層部）を直接備える構造でもよい。また、転写ローラ２１の外層部２１ｃは、芯金２１ａよりも体積抵抗率が高く、クリーニングローラ１１の外周面に付着する異物を外周面に静電気力により吸着する電荷を帯電し得るものが選択される。
【００７９】
転写ローラ２１は、クリーニングローラ１１と連れ周りし、接触剥離により帯電して、転写ローラ２１の外周面と、クリーニングローラ１１の外周面との間には、クリーニングローラ１１の外周面に付着している異物を転写ローラ２１の外周面に静電気力により転写（移動）させ得る程度の電位差が生じるようになっている。つまり、転写ローラ２１は、ローラ表面特性（例えば帯電序列）の違いにより、クリーニングローラ１１に対し、ローラ１１に帯電される電荷（正電荷あるいは負電荷）と同一符号で、かつ帯電圧の絶対値がローラ１１よりも大きく、異物を吸着し得る電位差を有するようになっている。このことから、転写ローラ２１の外層部２１ｃを形成する素材としては、クリーニングローラ１１に対し同一極性で、安定した吸着性を損なわない範囲で、生じる電位差がなるべく大きくなるものが選定されていることが望ましい。
【００８０】
クリーニングローラ１１と転写ローラ２１との接触剥離により生じた電位差で転写ローラ２１側に転写された異物は、転写ローラ２１の回転を止めることにより、転写ローラ２１自体が、静電気力による吸着力を失うので、転写ローラ２１から比較的容易に除去することができる。
【００８１】
前述したほか、図２に示すように、転写ローラ２１に対し、連れ回り方向と逆方向に回転するクリーニングブラシ４１を設け、このクリーニングブラシ４１に対し連れ回り方向に回転するように金属ローラ４２を設置することもできる。この場合、外部電源３１は、金属ローラ４２に対し接続される。この場合、図３に示すように、可変抵抗器に代えて、
複数の固定抵抗器４３ａを有し切替スイッチ４３ｂによって使用する固定抵抗器４３ａを切り換えて抵抗値を変更する切替え式抵抗器４３を用い、第１の電圧安定化回路１２Ａとすることも可能である。
【００８２】
また、図４に示すように、金属ローラ４２の上側であって表面近傍に、金属ローラ４２の表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングフレート４４を配置し、そのクリーニングブレード４４近傍であって金属ローラ４２の上方に異物を負圧により吸引可能であるエアバキューム手段（図示せず）の吸い込み口４５が配置することもできる。これにより、クリーニングブレード４４の先端掻き取り部によって掻き取られた異物が、エアバキューム手段の吸い込み口４５を通じて負圧により吸引されるので、前記異物が金属ローラ４２周辺を汚すおそれがなくなる。
【００８３】
図５に示すように、金属ローラ４２の表面上に設置されたクリーニングブレード４４で掻き取った異物を、回収・蓄積する異物収容ボックス４６を設けることができ、ブラシの回転で撒き散らした異物を、回収・蓄積する異物収容ボックスを設けることも可能である。
【００８４】
図６に示すように、被クリーニング材Ｓを挟んで、クリーニングローラ１１とは反対側にガイドローラ５１が配置され、ガイドローラ５１は、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度を高めるものとすることができる。
（方法）
図２に示すクリーニングシステムにおいて、絶縁性を有する部材（図示せず）で保持されたクリーニングローラ１１及び転写ローラ２１を接触させて５ｍ／ｍｉｎの周速で連れ回り回転させ，クリーニングローラ１１の芯金１１ａに可変抵抗器１２ａを介したアースを設置した。また転写ローラ２１に対しクリーニングブラシ４１を介して設ける金属ローラ４２に外部電源３１を接続した。クリーニングブラシ４１は、転写ローラ２１に対し連れ回り方向とは逆方向に回転するように設け、金属ローラ４２は、クリーニングブラシ４１に対し連れ回り方向に回転するように設置した。
【００８５】
上記状態にて、可変抵抗器１２ａの抵抗値の変化に対する各部材の表面電位を表面電位計（トレック社製 Mode1
341B）を用いて測定した。
【００８６】
【表１】
2011158504.tif 000003
この測定結果から、可変抵抗器１２ａの抵抗値を調整することで、クリーニングローラ１１の表面電位を調整することができ、クリーニングローラ１１に吸着している異物についての吸着力を変化させることができることがわかる。
（第２の実施の形態）
図７（ａ）に示すように、クリーニングローラ１１は、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであって、定電圧ダイオード１３ａを有する電圧安定化回路１３を介して接地されている。このクリーニングローラ１１に対し、クリーニングローラ１１の表面に接触しながら回転する転写ローラ２１が設けられ、転写ローラ２１には、外部電源３１が接続され、クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得る。
【００８７】
このように、第１及び第２の電圧安定化回路１３，１４が、可変抵抗器１４ａとツェナー効果を有する定電圧ダイオード１３ａで構成されていることで、安定した帯電圧を得ることができる。なお、可変抵抗器１４ａに代えて、図７（ｂ）に示すように、固定抵抗器１４ｂとしてもよいのはもちろんである。
【００８８】
第１の電圧安定化回路１３は、図７（ｃ）（ｄ）に示すように、向かい合わせ（あるいは背合わせ）に設けられた一対の定電圧ダイオード１３ａ，１３ａ（ツェナダイオード）を有する構造とすることも可能である。このようにツェナー効果を有する定電圧ダイオードを直列に向かい合わせ、または背中合わせに接続すると、極性にかかわりなく、安定した帯電圧を得ることができる。
【００８９】
クリーニングローラ１１と転写ローラ２１との間には第２の電圧安定化回路１４を設けることで、クリーニングローラ１１と転写ローラ２１との間に電位差を生じさせるように構成されている。この第２の安定化回路１４は、可変抵抗器１４ａを有するが、固定抵抗器１４ｂとすることができるのはもちろんである。
【００９０】
特に、定電圧ダイオード１３ａ（第１の電圧安定化回路１３）の設定電圧値を変更することで、クリーニングローラ１１について、クリーニングローラ１１に吸着している異物についての吸着力を弱めることができる。例えば、第１の電圧安定化回路１３の設定電圧値を正負逆の極性にすれば、クリーニングローラ１１の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が反転し、クリーニングローラ１１に吸着している異物についての吸着力をクリーニングローラ１１が失うようにすることができる。その結果、クリーニングローラ１１に吸着された異物は転写ローラ２１に吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。
【００９１】
よって、第１の実施の形態と同様に、クリーニングローラ１１に対し、定期的に除去（清掃）したり定期的に交換したりするというメンテナンス作業を施す必要がなくなる。
【００９２】
この第２の実施の形態の場合も、第１の実施の形態と同様に、図８（ａ）に示すように、転写ローラ２１に対し、連れ回り方向と逆方向に回転するクリーニングブラシ４１を設け、このクリーニングブラシ４１に対し連れ回り方向に回転するように金属ローラ４２を設置することもできる。
【００９３】
この場合、クリーニングローラ１１と転写ローラ２１との間には第２の電圧安定化回路１５（定電圧ダイオード１５ａ）が接続され、転写ローラ２１とクリーニングブラシ４１との間には第３の電圧安定化回路１６（定電圧ダイオード１６ａ）が接続され、クリーニングブラシ４１と金属ローラ４２と間には第４の電圧安定化回路１７（可変抵抗器１７ａ）が接続され、転写ローラ２１、クリーニングブラシ４１および金属ローラ４２の間に電位差を生じさせるように構成されている。なお、第４の電圧安定化回路１７は、図８（ｂ）に示すように、可変抵抗器１７ａに代えて，固定抵抗器１７ｂとすることもできる（以下同様）。
【００９４】
このようにすれば、クリーニングブラシ４１によって転写ローラ２１から異物が取り除かれ、静電気力により金属ローラ４２に移る。そして、第４の電圧安定化回路１７により金属ローラ４２の帯電圧を変更して金属ローラ４２がそれに吸着された異物に対する吸着力を失った際には、金属ローラ４２から異物がより効率よく除去されるようにすることができる。特に、金属ローラ４２に接続された外部電源３１により生じる、転写ローラ２１との間の電位差をも合わせて変更が可能であり、効果的に金属ローラ４２に異物を搬送することができる。
【００９５】
また、第１〜第４の電圧安定化回路１３，１５〜１７が、ツェナー効果を有する定電圧ダイオード１３ａ，１５ａ，１６ａと可変抵抗器１７ａとで構成されていることで、安定した電圧を得ることができる。
【００９６】
また、図９に示すように、金属ローラ４２の上側であって表面近傍に、金属ローラ４２の表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングフレート４４を配置し、そのクリーニングブレード４４近傍であって金属ローラ４２の上方に異物を負圧により吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口４５を配置することもできる。
【００９７】
このようにすれば、金属ローラ４２の表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレード４４の先端掻き取り部によって掻き取られる。このように、金属ローラ４２の表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレード４４の先端掻き取り部によって掻き取られるため、金属ローラ４２から異物が効率よく除去される。また、エアバキューム手段の吸い込み口４５を通じて前記異物が負圧により吸引されるので、前記異物が金属ローラ４５周辺を汚すおそれがなくなる。
【００９８】
図１０に示すように、金属ローラ４２の表面上であって側方に設置されたクリーニングブレード４４で掻き取った異物を、回収・蓄積する異物収容ボックス４６を設けることもできる。
【００９９】
このようにすることで、新たに動力を設けることなく、異物を異物収容ボックス４６に回収することができる。異物収容ボックス４６は、ブラシ４１の回転で撒き散らした異物を回収・蓄積できる位置に設けることも可能である。
【０１００】
図１１に示すように、被クリーニング材Ｓを挟んで、クリーニングローラ１１とは反対側にガイドローラ５１を配置することもできる。このガイドローラ５１は、クリーニングローラ１１が被クリーニング材Ｓの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度を高めるものである。
【０１０１】
このようにすれば、２本のローラ１１，５１が被クリーニング材Ｓを挟んで対向しており、被クリーニング材Ｓがクリーニングローラ１１及びガイドローラ５１が接触する位置において上下から支持され、安定性よく支持された状態で、被クリーニング材Ｓ表面上の異物の除去が行われる。
【０１０２】
また、クリーニングローラ１１は、ガイドローラ５１によって、被クリーニング材Ｓの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度が高められ、与えられた電界に応じて被クリーニング材Ｓ上の帯電異物がクリーニングローラ１１に吸着され、効率よく除去される。
【０１０３】
また、図１２（ａ）に示すように、第１、第２、第３及び第４の電圧安定化回路１３Ｂ，１５Ｂ，１６Ｂ，１７も、可変抵抗器１３ｂ，１５ｂ，１６ｂ，１７ａで構成し、それらの可変抵抗器１３ｂ，１５ｂ，１６ｂ，１７ａによる分圧された回路を構成することで、第１〜第４の電圧を安定して得ることも可能である。この場合も、図１２（ｂ）に示すように、第１、第２、第３及び第４の電圧安定化回路１３Ｂ，１５Ｂ，１６Ｂ，１７として、固定抵抗器１３ｃ，１５ｃ，１６ｃ，１７ｂを用いることも可能である。
【０１０４】
この場合、接触しているローラ１１，２１，４２またはブラシ４１間の接触抵抗より小さい抵抗値となる可変抵抗器１３ｂ、１５ｂ、１６ｂ，１７ａで分圧されていることで、接触しているローラ１１，２１，４２またはクリーニングブラシ４１間の接触抵抗の誤差
や変化にかかわりなく、安定した電圧を得ることができる。
【０１０５】
図１３に示すように、外部電源３１による印加電圧の正負の極性を切り替えることができる極性切替回路６１を設けると、簡単に前記極性の切り替えができる。この場合は、第１〜第３の電圧安定化回路１３Ａ，１５Ａ，１６Ａを、向かい合わせに接した２つの定電圧ダイオード１３ａ，１５ａ，１６ａでもって構成し、極性にかかわりなく、安定した電圧を得ることができるようにしている。
【０１０６】
次いで、図１３に示すクリーニングシステムにおいて、絶縁性を有する部材（図示せず）で保持されたクリーニングローラ１１及び転写ローラ２１を接触させ、５ｍ／ｍｉｎの周速で連れまわり回転させ、クリーニングローラ１１の芯金に定電圧ダイオード１３ａ（ツェナダイオード）からなる第１の電圧安定化回路１３（定電圧ダイオード１３ａ）を介したアースを設置した。また、転写ローラ２１に対しクリーニングブラシ４１および金属ローラ４２を設置し、クリーニングローラ１１と転写ローラ２１との芯金の間に第２の電圧安定化回路１５（定電圧ダイオード１５ａ）を、転写ローラ２１とクリーニングブラシ４１との芯金の間に第３の電圧安定化回路１６（定電圧ダイオード１６ａ）を、クリーニングブラシ４１と金属ローラ４２との芯金の間に第４の電圧安定化回路１７（可変抵抗器１７ａ）をそれぞれ設置した。クリーニングブラシ４１は、転写ローラ２１に対し連れ回り方向とは逆方向に回転するように設け、金属ローラ４２は、クリーニングブラシ４１に対し連れ回り方向に回転するように設置した。
【０１０７】
上記状態にて、電圧安定化回路１３，１５〜１７によるクリーニングローラ１１、転写ローラ２１、クリーニングブラシ４１、金属ローラ４２の表面電位を表面電位計（トレック社製  Model 341B）を用いて測定した。
【０１０８】
【表２】
2011158504.tif 000004
この結果から、クリーニングローラ１１、転写ローラ２１、クリーニングブラシ４１、金属ローラ４２の電位を、絶縁破壊することなく、任意の値に保つことができることがわかる。よって、クリーニングローラ１１の表面上に吸着している異物についての吸着力を安定させ、異物を、転写ローラ２１、クリーニングブラシ４１、金属ローラ４２側に安定して転写させることができる。
【０１０９】
本発明は，前述したほか、次のように変更して実施することも可能である。
【０１１０】
(i)図１４に示すように、クリーニングユニットＵ１（クリーニングローラ１１、転写
ローラ２１、クリーニングブラシ４１、金属ローラ４２）とクリーニングユニットＵ２（クリーニングローラ１１’、転写ローラ２１’、クリーニングブラシ４１’、金属ローラ４２’）を２連配置し、各ユニットＵ１，Ｕ２において、クリーニングローラ１１，１１’に対し、クリーニングローラ１１，１１’の外周面に帯電される電荷の符号を逆とすることもできる。このようにすれば、被クリーニング材Ｓの表面上に付着するプラス帯電性の異物をマイナス帯電したクリーニングローラ１１（クリーニングユニットＵ１）で、マイナス帯電性の異物をプラス帯電したクリーニングローラ１１’（クリーニングユニットＵ２）でそれぞれ除去することができ、除去できる異物の範囲が大きくなる。なお、図１４には図２に示すものを２連配置したものを図示しているが、そのほかの実施の形態につ
いても同様に２連配置して、除去できる異物の範囲を大きくできるのはいうまでもない。
【０１１１】
(ii)本発明は、被クリーニング材が、特にフィルム、シート、プリント基板（ＰＣＢ，ＰＣＢＡ）などの薄物である場合に適するが、それに制限されるものではない。
【符号の説明】
【０１１２】
Ｓ    被クリーニング材
１１    クリーニングローラ
１２，１２Ａ    電圧安定化回路
１２ａ    可変抵抗器
１２ｂ    固定抵抗器
１３，１３Ａ，１３Ｂ    第１の電圧安定化回路
１３ａ，１５ａ，１６ａ    定電圧ダイオード
１４，１５，１５Ａ，１５Ｂ    第２の電圧安定化回路
１４ａ，１７ａ，１３ｂ，１５ｂ，１６ｂ    可変抵抗器
１４ｂ，１７ｂ，１３ｃ，１５ｃ，１６ｃ    固定抵抗器
１６，１６Ａ，１６Ｂ    第３の電圧安定化回路
１７    第４の電圧安定化回路
２１    転写ローラ
３１    外部電源
４１    クリーニングブラシ
４２    金属ローラ
４３    切替え式抵抗器
４４    クリーニングブレード
４５    吸い込み口
４６    異物収容ボックス
５１    ガイドローラ
６１    極性切替回路
【図１】
2011158504.tif 000005
【図２】
2011158504.tif 000006
【図３】
2011158504.tif 000007
【図４】
2011158504.tif 000008
【図５】
2011158504.tif 000009
【図６】
2011158504.tif 000010
【図７】
2011158504.tif 000011
【図８】
2011158504.tif 000012
【図９】
2011158504.tif 000013
【図１０】
2011158504.tif 000014
【図１１】
2011158504.tif 000015
【図１２】
2011158504.tif 000016
【図１３】
2011158504.tif 000017
【図１４】
2011158504.tif 000018
【国際調査報告】
2011158504.tif 000019
2011158504.tif 000020
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