(57)【要約】成膜開始前の不必要な成膜材料の飛散及び堆積を回避しつつ、ノズル方式の蒸発源を用いた安定した高効率の成膜を実現する薄膜の製造方法を提供する。成膜室１７と蒸発室１６を真空排気し、コンダクタンス可変構造３４により両室間で差圧が確保できる状態で、蒸発室１６に非反応ガスを導入して同室内の圧力を所定圧力以上に調整して前記成膜材料の蒸発を抑制し、同状態で、成膜室１７に非反応ガスを導入して同室内の圧力を所定圧力以上に調整し、コンダクタンス可変構造３４を動作させ同状態を解除した後、移動機構３５により蒸発源１９を移動させて開放面１４を基板２１に近接させ、両室内の圧力を所定圧力未満に低下させて、前記成膜材料の蒸発抑制を解除し成膜を開始する。
2011158453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜装置内で薄膜を製造する方法であって、
前記成膜装置は、
蒸発室と、
前記蒸発室に隣接して配置され、内部に基板を配置する成膜室と、
前記蒸発室及び前記成膜室のそれぞれに接続された真空ポンプと、
前記蒸発室及び前記成膜室のうち一方又は双方に接続された非反応ガス導入機構と、
前記蒸発室内に配置され、成膜材料を保持し、開放面を有する半密閉構造の蒸発源と、
前記開放面を前記基板に近接させることができるよう前記蒸発源を移動させる移動機構と、
前記蒸発室と前記成膜室との間に配置されたコンダクタンス可変構造と、を含み、
前記方法は、
前記成膜室と前記蒸発室を真空排気する第一工程と、
前記第一工程に次いで、前記コンダクタンス可変構造により前記蒸発室と前記成膜室との間で差圧が確保できる状態で、前記蒸発室に非反応ガスを導入して前記蒸発室内の圧力を所定圧力以上に調整し前記成膜材料の蒸発を抑制する第二工程と、
前記第一工程に次いで、前記コンダクタンス可変構造により前記蒸発室と前記成膜室との間で差圧が確保できる状態で、前記成膜室に非反応ガスを導入して前記成膜室内の圧力を前記所定圧力以上に調整する第三工程と、
第二工程及び第三工程の後、前記コンダクタンス可変構造を動作させ、前記蒸発室と前記成膜室との間で差圧が確保できる状態を解除する第四工程と、
第四工程の後、前記移動機構により前記蒸発源を移動させて前記開放面を前記基板に近接させる第五工程と、
第五工程の後、前記成膜室及び前記蒸発室内の前記圧力を前記所定圧力未満に低下させることにより、前記成膜材料の蒸発抑制を解除し前記基板上の成膜を開始する第六工程と、
を含む、薄膜の製造方法。
【請求項２】
前記第二工程で、前記蒸発源内の前記成膜材料を加熱しつつ前記蒸発室に非反応ガスを導入する、請求項１記載の薄膜の製造方法。
【請求項３】
前記所定圧力が、前記成膜材料が示す蒸気圧の２倍以上の圧力である、請求項１記載の薄膜の製造方法。
【請求項４】
前記第二工程で、前記蒸発源内の前記成膜材料を加熱する際に、前記成膜材料の温度上昇に応じて前記蒸発室への前記非反応ガスの導入量を増加させる、請求項２記載の薄膜の製造方法。
【請求項５】
第二工程及び第三工程を、第一工程における排気速度よりも低い排気速度で前記成膜室及び前記蒸発室を真空排気しながら実施する、請求項１記載の薄膜の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイスの小型化及び高性能化を目的として、薄膜技術が広く応用されている。薄膜の製造で用いる成膜方式には、蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ法、レーザーアブレーション法など様々な方法があり、これらは目的に応じて適用されている。その一つである蒸着法は比較的生産性に優れた方法である。蒸着法においては、成膜材料を加熱蒸発させるエネルギーの付与方法として、抵抗加熱、誘導加熱、電子ビーム加熱などが用いられている。【０００３】
蒸着法の課題のひとつに、成膜材料の利用効率がある。すなわち、蒸発飛散する成膜材料を如何に効率良く基板上に析出堆積させるかが、製造コストの観点から重要である。この課題を解決するためにノズル方式の蒸発源を使用することが有効である。ノズル方式の蒸発源を用いると成膜材料をノズルの開放面からのみ放出できるので、成膜材料の飛散を制限できる。開放面と基板を近接させることによって更に効率良く成膜材料を基板に付着させることができる。【０００４】
特許文献１には、合成樹脂被膜の形成装置において、２つの原料モノマーの蒸発源ノズルに、それぞれ開閉装置と真空排気装置を設置するとともに、この開閉装置の開閉に関わらず、蒸発源容器の内部を一定の真空度に保つことが開示されている。これにより、基板上に再現性及び安定性よく同質の合成樹脂被膜が得られると記載されている。【０００５】
特許文献２には、非水電解質二次電池用負極の製造方法において、集電体の表面から突出する複数の柱状体に対し乾式成膜法によってリチウムを供給することが開示されている。【０００６】
蒸着法では、成膜を開始する前の準備段階で、例えば成膜材料を加熱することで、成膜材料が成膜に必要な蒸気圧を持つように調整する必要がある。しかし、その加熱中に成膜材料が蒸発すると材料ロスが生じるので、これを防止することが製造コストの観点から重要である。【０００７】
特許文献３には有機薄膜材料を用いて蒸着を行う方法が開示されている。特許文献３によれば、蒸発源容器内に有機薄膜材料を納めた状態で、真空ポンプを動作させて蒸発源容器内を真空排気し、有機薄膜材料を昇温させて脱ガスを行う。その後、蒸発抑制用の不活性ガスを蒸発源容器に導入して、更に有機薄膜材料を昇温し、真空中での蒸発温度に達した後に、真空ポンプによって蒸発源容器内を真空排気することで有機薄膜材料の蒸気を発生させる。そして、蒸発源容器の放出口の上方に設けた蒸発源シャッターと基板シャッターを順次開いて、真空槽内に配置された成膜対象物表面への有機薄膜形成を開始する。特許文献３記載の方法によれば、不活性ガス雰囲気下では有機薄膜材料の蒸気の発生が抑えられるので、有機薄膜材料を有効活用できる。また、不活性ガスが熱媒体となるので、昇温速度が速く、均熱性もよいと記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平５−１７１４１５号公報
【特許文献２】特開２００９−１５２１８９号公報
【特許文献３】特開平１０−１５８８２０号広報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
蒸着法において成膜材料の利用効率を高めるために、ノズル方式の蒸発源を基板に近接させて成膜することは有効である。しかしながら、この方式では蒸発源と基板との距離が極めて小さいために、蒸発源と基板との間に可動式の遮蔽部材（シャッター）を設けることができない。蒸発源と基板との間に遮蔽部材が配置されていない状態では、成膜を開始する前の準備段階で蒸発した成膜材料が、不必要に基板上に堆積することになる。これは材料ロスにつながり、材料の利用効率の観点で問題があった。【００１０】
特許文献３記載の方法によると、蒸発源容器内に不活性ガスを導入することで成膜開始まで材料蒸気の発生を抑制するので、材料ロスをある程度回避することができる。しかし、この方法では、不活性ガスの導入を停止して蒸発源内部を真空排気することで材料蒸気を蒸発源内部で発生させた後に、シャッターを開いて材料蒸気を真空槽内に放出し成膜を開始する。そのため、シャッターを開く前に当該シャッターに材料蒸気が付着して材料ロスにつながる問題があった。また、シャッターを開く時に、蒸発源内と真空槽内との間の圧力差に起因した急激な圧力変動、及び、それに伴う成膜材料の温度変化が生じ、それにより、材料の蒸発飛散を制御できず、想定以上の堆積が生じてしまう不具合があった。【００１１】
本発明の目的は、前記課題を解決するもので、成膜の準備段階及び開始時点での不必要な成膜材料の飛散及び堆積を回避しつつ、ノズル方式の蒸発源を用いた安定した高効率の成膜を実現する薄膜の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明の薄膜の製造方法は、成膜装置内で薄膜を製造する方法であって、
前記成膜装置は、蒸発室と、前記蒸発室に隣接して配置され、内部に基板を配置する成膜室と、前記蒸発室及び前記成膜室のそれぞれに接続された真空ポンプと、前記蒸発室及び前記成膜室のうち一方又は双方に接続された非反応ガス導入機構と、前記蒸発室内に配置され、成膜材料を保持し、開放面を有する半密閉構造の蒸発源と、前記開放面を前記基板に近接させることができるよう前記蒸発源を移動させる移動機構と、前記蒸発室と前記成膜室との間に配置されたコンダクタンス可変構造と、を含み、
前記方法は、前記成膜室と前記蒸発室を真空排気する第一工程と、前記第一工程に次いで、前記コンダクタンス可変構造により前記蒸発室と前記成膜室との間で差圧が確保できる状態で、前記蒸発室に非反応ガスを導入して前記蒸発室内の圧力を所定圧力以上に調整し前記成膜材料の蒸発を抑制する第二工程と、前記第一工程に次いで、前記コンダクタンス可変構造により前記蒸発室と前記成膜室との間で差圧が確保できる状態で、前記成膜室に非反応ガスを導入して前記成膜室内の圧力を前記所定圧力以上に調整する第三工程と、第二工程及び第三工程の後、前記コンダクタンス可変構造を動作させ、前記蒸発室と前記成膜室との間で差圧が確保できる状態を解除する第四工程と、第四工程の後、前記移動機構により前記蒸発源を移動させて前記開放面を前記基板に近接させる第五工程と、第五工程の後、前記成膜室及び前記蒸発室内の前記圧力を前記所定圧力未満に低下させることにより、前記成膜材料の蒸発抑制を解除し前記基板上の成膜を開始する第六工程と、を含む。【００１３】
以上の構成によって、成膜の準備段階で成膜材料の蒸発飛散を抑制しながら、基板と蒸発源を近接させた状態で成膜を行うことが可能になる。【００１４】
本発明では、前記第二工程で、前記蒸発源内の前記成膜材料を加熱しつつ前記蒸発室に非反応ガスを導入することが好ましい。これにより、容易に、成膜材料に所定蒸気圧、すなわち成膜に適した蒸気圧を持たせることができる。【００１５】
本発明では、前記所定圧力が、前記成膜材料が示す蒸気圧の２倍以上の圧力であることが好ましい。これにより、確実に成膜材料の蒸発を抑制することができる。【００１６】
本発明では、前記第二工程で、前記蒸発源内の前記成膜材料を加熱する際に、前記成膜材料の温度上昇に応じて前記蒸発室への前記非反応ガスの導入量を増加させることが好ましい。これにより、確実に成膜材料の蒸発を抑制することができると共に、非反応ガスの導入量を不必要に増加させることがないので、真空ポンプに過大な負荷をかけることを回避できる。【００１７】
第二工程及び第三工程を、第一工程における排気速度よりも低い排気速度で前記成膜室及び前記蒸発室を真空排気しながら実施することが好ましい。これにより、非反応ガスを導入している際に、各室内の圧力を所定圧力以上に調整することが容易になる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の薄膜の製造方法によれば、基板と蒸発源を近接させて成膜を行うことができるので、成膜材料の利用効率を高くすることができる。これと共に、成膜を開始する前の準備段階において、成膜材料の昇温途中に成膜材料が蒸発飛散するのを抑制できるので、成膜材料が基板及び成膜装置内部材に対し不必要に堆積することを回避でき、成膜材料のロスを防止することができる。また、成膜開始時点での急激な圧力変動及び成膜材料の温度変化によって、成膜材料が必要以上に蒸発飛散するのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１（ａ）】本発明の薄膜の製造方法に用いる装置（成膜準備中）の一例を模式的に示す図
【図１（ｂ）】本発明の薄膜の製造方法に用いる装置（成膜中）の一例を模式的に示す図
【図２】本発明の薄膜の製造方法に用いる装置の別例を模式的に示す図
【図３（ａ）】コンダクタンス可変構造の一例（差圧確保時）を模式的に示す図
【図３（ｂ）】コンダクタンス可変構造の一例（差圧解除時）を模式的に示す図
【図４（ａ）】コンダクタンス可変構造の別例（差圧確保時）を模式的に示す図
【図４（ｂ）】コンダクタンス可変構造の別例（差圧解除時）を模式的に示す図
【図５（１）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態１（第一工程）を模式的に示す図
【図５（２）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態１（第二工程）を模式的に示す図
【図５（３）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態１（第三工程）を模式的に示す図
【図５（４）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態１（第四工程）を模式的に示す図
【図５（５）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態１（第五工程）を模式的に示す図
【図５（６）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態１（第六工程）を模式的に示す図
【図６（１）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態２（第一工程）を模式的に示す図
【図６（２）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態２（第二工程）を模式的に示す図
【図６（３）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態２（第三工程）を模式的に示す図
【図６（４）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態２（第四工程）を模式的に示す図
【図６（５）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態２（第五工程）を模式的に示す図
【図６（６）】本発明の薄膜の製造方法の実施形態２（第六工程）を模式的に示す図
【図７】本発明の薄膜の製造方法を説明するフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２１】
本発明の薄膜の製造方法は、図１に模式的に示すところの、以下の成膜装置を用いて実施することができる。図１（ａ）は成膜準備中の成膜装置を模式的に示す図、図１（ｂ）は成膜中の成膜装置を模式的に示す図である。
【００２２】
成膜装置２０は真空槽２２を含み、真空槽２２は、成膜準備中、内部に蒸発源１９が配置される蒸発室１６と、蒸発室１６に隣接して配置され、内部に基板２１が配置される成膜室１７とに区画される。蒸発室１６及び成膜室１７のそれぞれに、各室を真空排気するための真空ポンプ３７，３８が接続されている。蒸発室１６及び成膜室１７のそれぞれに、各室に非反応ガスを導入するための非反応ガス導入機構１８が接続されている。蒸発室１６の内部には、成膜材料１５を保持し、開放面１４を有する半密閉構造の、加熱可能な蒸発源１９が配置されている。成膜室１７の内部には、成膜対象物たる基板２１が配置されている。蒸発源１９は、移動機構３５によって移動可能に配置されている。これによって、蒸発源１９は、図１（ｂ）に示すように開放面１４を基板２１に接近させることや、逆に図１（ａ）に示すように基板２１から遠ざけることができる。蒸発室１６と成膜室１７との間にはコンダクタンス可変構造３４が配置されており、これによって蒸発室１６と成膜室１７が区分けされている。コンダクタンス可変構造３４を動かすことにより、成膜室１６と蒸発室１７との間の空間的連続性を完全に遮断若しくはほぼ遮断して両室の間に差圧を確保したり、又は、両室の空間を連続させて両室を同圧下に置くことができる。
【００２３】
蒸発室及び成膜室を構成する真空槽２２は耐圧性の金属製容器であり、真空槽２２と真空ポンプ３７，３８は真空バルブ（図示せず）を介して接続されている。真空ポンプ３７，３８には各種真空ポンプが適用可能であり、一般に、主ポンプと、油回転ポンプ等からなる補助ポンプとから構成される。主ポンプとしては、油拡散ポンプ、クライオポンプ、又は、ターボ分子ポンプを用いるのが好ましい。主ポンプの開閉を行う主バルブ３２を設けることが望ましい。また、主ポンプと蒸発室及び成膜室との間に排気速度の調整を行うコンダクタンスバルブ２９を設けることが望ましい。
【００２４】
非反応ガス導入機構１８は、蒸発室１６及び成膜室１７に接続され、各室に非反応ガスを導入する。図１では蒸発室１６及び成膜室１７それぞれに非反応ガス導入機構１８が接続されているが、これに限定されず、蒸発室１６及び成膜室１７のいずれか一方のみに非反応ガス導入機構１８が接続されていてもよい。非反応ガス導入機構１８は、例えば、ガスボンベ等からなるガス源（図示せず）、配管によってガス源と接続された流量コントローラ（図示せず）、真空槽と流量コントローラの間の配管、及び、ガス導入又はガス遮断を選択するためのガスバルブからなる。流量コントローラにはマスフローコントローラ等が用いられる。
【００２５】
半密閉構造の蒸発源１９は、内部に成膜材料１５を収納し、蒸発材料の蒸散を可能にする開放面１４を有する。蒸発源の形状は、例えば、上面に開口部を有する円柱形、又は、上面に開口部を有する直方体であってよい。蒸発源の上部に設けられた開口部を基板に近接させると、成膜材料の蒸気が周囲に飛散せず、基板２１のみに堆積することになるので、成膜材料を効率良く利用できる。しかし、開口部が上方を向いていることは必ずしも必要でなく、例えば図６に示すように、側面に開口部を有する蒸発源を用いることも可能である。この時は、基板を垂直に配置すればよい。蒸発源を構成する材料としては、例えば、成膜材料との反応性の低い金属材料、炭素材料、又は、耐火物材料が用いられる。必要に応じてこれら材料の組合せによって蒸発源を構成することもできる。蒸発源１９は、成膜準備段階では図１（ａ）に示すように全体が蒸発室１６内に配置されているが、成膜時には図１（ｂ）に示すように、少なくとも開放面１４が成膜室１７内部に突出して基板２１と近接するような位置に配置される。
【００２６】
移動機構３５は、図１に示すように、例えば蒸発源１９を載せるステージ３３を有する昇降機構である。昇降機構は、例えば、油圧シリンダ、ボールネジ、及び、ギアによって構成することができる。昇降機構によってステージを上下させることで、成膜源１９の上部に設けた開放面１４が、蒸発源の上方に配置された基板に接近又は後退することができる。移動機構はこれに限らず、例えば、開口部を側面に有する蒸発源を、水平方向に移動させる機構であってもよいし、垂直又は水平方向の直線運動に回転運動を組み合わせて開口部を基板に接近又は後退させる機構であってもよい。
【００２７】
蒸発室１６と成膜室１７との境界にはコンダクタンス可変構造３４が配置されている。コンダクタンス可変構造３４を動作させることで、蒸発室１６と成膜室１７との間に差圧を確保したり、両室を同圧下に置いたりすることができる。コンダクタンス可変構造は例えば板状の可動隔壁であり、蒸発室１６と成膜室１７との連通路を完全に遮断若しくはほぼ遮断することで蒸発室と成膜室の間の連通状態を遮断し、両室間の差圧を確保することができる。これと共に、可動隔壁の一部又は全部を移動させることによって蒸発室と成膜室との連通路を形成することで両室の間の連通状態を拡大し、両室をほぼ同圧下に置くことができる。図３及び図４はコンダクタンス可変構造の動作例を模式的に示す。図３は可動隔壁がスライド方式のものを示し、図４は可動隔壁が両開き式のものを示す。図３及び図４において、（ａ）は連通路を遮断して差圧を確保している状態（差圧構造）、（ｂ）は連通路を形成して前記差圧構造を解除している状態を示している。なお、蒸発源の加熱中に微量の蒸気が発生する場合、コンダクタンス可変構造を構成する部材によって防着を行うこともできるが、コンダクタンス可変構造と蒸発源との間に、軽度の防着用シャッター機構を別途設けてもよい。
【００２８】
コンダクタンス可変構造が連通路を形成している状態（図３（ｂ）及び図４（ｂ））において、連通路の下方には、成膜源１９の開放面１４が配置され、その上方には、基板２１が配置されている。成膜源１９が移動機構３５によって上方向に移動し、その開放面１４が前記連通路を通過することで、開放面１４を基板２１に近接させることができる。従って、コンダクタンス可変構造が開くことによって形成される連通路は、成膜源１９の開放面１４を通過させる程度の大きさを有することが好ましい。
【００２９】
本発明の薄膜の製造方法は、以上説明した成膜装置内で薄膜を製造するものであり、以下の（ａ）〜（ｆ）の工程を有する。
（ａ）前記成膜室と前記蒸発室を真空排気する第一工程。
（ｂ）前記第一工程に次いで、前記コンダクタンス可変構造により前記蒸発室と前記成膜室との間で差圧が確保できる状態で、前記蒸発室に非反応ガスを導入して前記蒸発室内の圧力を所定圧力以上に調整し前記成膜材料の蒸発を抑制する第二工程。
（ｃ）前記第一工程に次いで、前記コンダクタンス可変構造により前記蒸発室と前記成膜室との間で差圧が確保できる状態で、前記成膜室に非反応ガスを導入して前記成膜室内の圧力を前記所定圧力以上に調整する第三工程。
（ｄ）第二工程及び第三工程の後、前記コンダクタンス可変構造を動作させ、前記蒸発室と前記成膜室との間で差圧が確保できる状態を解除する第四工程。
（ｅ）第四工程の後、前記移動機構により前記蒸発源を移動させて前記開放面を前記基板に近接させる第五工程。
（ｆ）第五工程の後、前記成膜室及び前記蒸発室内の前記圧力を前記所定圧力未満に低下させることにより、前記成膜材料の蒸発抑制を解除し前記基板上の成膜を開始する第六工程。
【００３０】
図７は本発明の薄膜の製造方法のフローチャートを示す。
【００３１】
（ａ）の第一工程では、成膜装置内に基板及び成膜材料を所定の位置に配した後、蒸発室と成膜室の真空排気を行う。この工程では、蒸発室と成膜室を、蒸着に必要な程度まで高真空に排気することが望ましい。第一工程で予め高真空に排気しておくことによって、真空槽の内壁等の部材に付着している吸着ガス等を除去できるので、第六工程で成膜に適した高真空まで減圧する際に、当該高真空への到達が早くなる。高真空の程度は、成膜材料や要求される膜質によって異なるが、例えば０．０１Ｐａ以下、望ましくは０．００１Ｐａ以下である。この第一工程では、コンダクタンス可変構造３４により連通路を遮断して成膜室と蒸発室の間に差圧が確保できる状態であってもよいし、両室を連続させた状態でもよい。この第一工程では、成膜材料は所定の蒸気圧を持つまでには至っていない。
【００３２】
第一工程に続く（ｂ）の第二工程では、蒸発室と成膜室との間の連通路を完全に遮断又はほぼ遮断することで、蒸発室と成膜室との間で差圧が確保できる状態としている（図１（ａ））。
【００３３】
蒸発室１６内に設置されている蒸発源１９には、例えば固体の成膜材料１５が保持されており、この第二工程で成膜材料は加熱されることで、溶融し、やがて有意の蒸気圧（成膜に適した蒸気圧）を有するようになる。成膜材料の加熱方式としては、例えば抵抗加熱法又は誘導加熱法を用いることが好ましい。抵抗加熱の場合には、例えば蒸発源の周囲にヒーター線を巻き付けて蒸発源を加熱することができる。また、蒸発源の壁面に棒状ヒーターの差し込み口を設けておき、棒状ヒーターを用いて蒸発源を加熱することもできる。誘導加熱の場合、蒸発源の周囲にコイルが巻かれ、コイルに高周波電力を印加することで蒸発源が加熱される。
【００３４】
成膜材料の加熱により生じた成膜材料の蒸気圧に抗して、成膜材料の蒸発を抑制するために、差圧を確保できる状態で、蒸発室１６に非反応ガスが導入される。この導入によって、前記蒸発室内の圧力を所定圧力以上に調整する。ここで、所定圧力以上に調整するとは、成膜材料が示す蒸気圧を超える圧力に調整することが好ましく、成膜材料が示す蒸気圧の２倍以上の圧力に調整することがより好ましい。蒸発室１６での非反応ガスの圧力が成膜材料の蒸気圧を上回ることで、成膜材料の蒸発は抑制されることになる。この非反応ガス導入は、成膜材料の蒸発を確実に抑制するため、成膜材料の昇温と並行して行うことが好ましい。使用する非反応ガスの種類は、溶融した成膜材料との反応を回避する観点から適宜選択できるが、アルゴン又はネオンが望ましい。
【００３５】
成膜材料としては液体の成膜材料を用いることもできる。この場合、成膜材料を加熱しなくとも、蒸発室内の圧力低下により有意の蒸気圧を持つ場合があるので、第二工程で成膜材料の加熱は必ずしも必要ではない。しかし、成膜時に所望する蒸発速度に応じて、液体の成膜材料を適宜加熱してもよい。液体の成膜材料を用いる場合にも、成膜材料の有意の蒸気圧に抗するため非反応ガスを蒸発室１６に導入する。いずれにしろ、第二工程では、非反応ガスを導入して蒸発室内の圧力を所定圧力以上とすることで、有意の蒸気圧を示す成膜材料の蒸発を抑制する。これにより、成膜開始前に成膜材料が蒸発飛散し、コンダクタンス可変構造等の部材に付着して材料ロスが生じるのを回避できる。
【００３６】
次に説明する第三工程を実施する前に第二工程を実施する場合には、第二工程で蒸発室に非反応ガスを導入するのと並行して、成膜室では、第一工程から継続して真空排気を実施していることが好ましい。これによって、成膜室は高真空状態が維持され、内壁の吸着ガスは更に減少するので、プロセス全体における排気時間の短縮、及び、膜質の確保に有利である。
【００３７】
第一工程に続く（ｃ）の第三工程では、第二工程と同じく、蒸発室と成膜室との間の連通路を完全に遮断又はほぼ遮断することで、蒸発室と成膜室との間で差圧が確保できる状態としている（図１（ａ））。この状態で、成膜室にも非反応ガスを導入して、成膜室の圧力も、前述した所定圧力以上に調整する。成膜室と蒸発室との間に大きな圧力差が存在すると、成膜を開始する前に第四工程で差圧構造を解除する際に、蒸発室での急激な圧力低下、及び、蒸発源の温度変化が生じ、それによって成膜材料の飛散が生じることになる。本発明では、成膜室の圧力を、成膜材料が示す蒸気圧を超える圧力に予め調整しておくことで、第四工程での差圧構造解除時において、蒸発室での急激な圧力低下、及び、蒸発源の温度変化が生じるのを回避し、これによって成膜材料の不必要な飛散を防止する。
【００３８】
第三工程では、成膜室１７の圧力を、第二工程で調整された蒸発室１６の圧力とほぼ同じか、又は当該圧力よりも高くすることが望ましい。より望ましくは、蒸発室と成膜室の圧力をほぼ等しくする。これにより、差圧構造解除時の成膜材料の飛散を確実に防止することができる。
【００３９】
第二工程と第三工程の順序は限定されず、第二工程実施後に第三工程を実施してもよく、第三工程実施後に第二工程を実施してもよい。しかし、第二工程実施後に第三工程を実施することが、第二工程実施中に成膜室をより高真空にすることができ、また、非反応ガスの消費量を抑制できるので望ましい。第二工程実施後に第三工程を実施する場合には、第二工程で、蒸発源中の成膜材料が成膜に適した蒸気圧を持つようになった時点で、第三工程を開始することが望ましい。
【００４０】
第三工程での成膜室への非反応ガス導入は、成膜室に接続された非反応ガス導入機構を経由した導入であってもよいし、蒸発室を経由した導入であってもよい。後者の導入を採用する場合、成膜装置に、例えば、蒸発室と成膜室を接続する配管と、その配管経路に設置した開閉バルブとを設ければよい。この場合、例えば開閉バルブを閉じた状態で第二工程の蒸発室へのガス導入を行った後、開閉バルブを開くことにより、第三工程の成膜室へのガス導入を行うことができる。開閉バルブを開くことによる蒸発室の圧力低下を防ぐために、開閉バルブが開いている際には蒸発室に導入する非反応ガスの流量を増やすことが好ましい。同様に、第三工程実施後に第二工程を実施する場合には、第二工程での蒸発室への非反応ガス導入は、成膜室を経由した導入とすることができる。これらの場合には、蒸発室又は成膜室のいずれかに、非反応ガス導入機構が接続されていればよい。
【００４１】
（ｄ）の第四工程では、第二工程及び第三工程で設けていたコンダクタンス可変構造による差圧構造を解除する。差圧構造がコンダクタンス可変構造の一例である板状の可動隔壁によって達成されている場合、可動隔壁を移動させることによって蒸発室と成膜室の間の連通路を拡大することによって差圧構造を解除することができる。第四工程では、蒸発室と成膜室との間の差圧構造が解除されるが、成膜室と蒸発室双方の圧力が所定圧力以上であるので、急激な圧力変化や成膜材料の温度変化が生じるのを回避できる。第四工程においても、第二工程と同様、成膜材料は、有意の蒸気圧（成膜に適した蒸気圧）を有しながらも、非反応ガスによる圧力によって蒸発が抑制された状態にある。
【００４２】
第二工程〜第四工程では、蒸着源の開放面と基板は、その間にコンダクタンス可変構造が配されており、ある程度の距離を以て離れている。第四工程に続く（ｅ）の第五工程では、移動機構を動作させることで蒸発源を移動させ、蒸発源の開放面を基板に近接させる。これによって、蒸着源と基板を、成膜に適した位置に配置する。この場合、蒸発源の上部を、蒸発室と成膜室との間の連通路（コンダクタンス可変構造が開くことによって形成された連通路）を通過させることによって、開放面と基板をより近づけることができる。
【００４３】
蒸発源の移動は、例えば、油圧シリンダに接続されたステージを上昇させることによって、ステージ上に配置された蒸発源を上昇させ、蒸発源上部に設けられた開放面を、蒸発源上方に配置されている基板に近づけることによって行われる。第五工程によって、成膜に適した蒸気圧を有した成膜材料を保持した蒸発源を基板に近接させ、成膜準備を整えることができる。第五工程においても、真空槽内の圧力は所定圧力以上に保持されており、蒸発源内の成膜材料は、成膜に適した蒸気圧を有しながらも、その蒸発が抑制された状態にある。
【００４４】
第五工程に続く（ｆ）の第六工程では、真空槽内の圧力を前記所定圧力未満に低下させる。これにより、蒸発源内の成膜材料の蒸発抑制が解除され、基板への成膜が開始される。真空槽内の圧力低下は、成膜室と蒸発室への反応ガス導入量を低減したり、真空ポンプの排気速度を上げたりすることで達成できる。真空槽内の圧力が成膜材料の蒸気圧未満に低下することで、非反応ガスによる圧力によって蒸発が抑えられていた成膜材料が蒸発を始めることになり、これにより、基板上への成膜を開始することができる。
【００４５】
本発明の薄膜の製造方法は巻き取り式の成膜装置にも適用できる。巻き取り式成膜装置全体の構成の一例を、図２に模式的に示す。図１と同じ構成については説明を省略する。成膜室１７の内部空間に、巻き芯ローラＡ２３、複数の搬送ローラ２４、キャン２７、及び巻き芯ローラＢ２６が収容され、蒸発室１６の内部空間に、蒸発源１９、移動機構３５、及び成膜反応用ガス導入管３０が収容されている。巻き芯ローラＡ２３は、軸心回りに回転自在に設けられているローラ状部材であり、その表面に帯状で長尺の基板２１が捲回され、最も近接する搬送ローラ２４に向けて基板２１を供給する。
【００４６】
基板２１には、各種高分子フィルム、各種金属箔、高分子フィルムと金属箔の複合体、又は、その他の上記材料に限定されない長尺基板を用いることができる。高分子フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミドが挙げられる。金属箔としては、例えば、アルミ箔、銅箔、ニッケル箔、チタニウム箔、ステンレス箔が挙げられる。基板の幅は例えば５０〜１０００ｍｍであり、基板の望ましい厚みは例えば３〜１５０μｍである。基板の幅が５０ｍｍ未満では生産性に劣るが、本発明を適用できないということではない。基板の厚みが３μｍ未満では基板の熱容量が極めて小さいために基板に熱変形が発生しやすいが、本発明が適用不可であることを示すものではない。成膜中の基板の搬送速度は作成する薄膜の種類や成膜条件によって異なるが、例えば０．１〜５００ｍ／分である。搬送中の基板走行方向に印加される張力は、基板の材質若しくは厚み、又は成膜レートなどのプロセス条件によって適宜選択される。
【００４７】
搬送ローラ２４は軸心回りに回転自在に設けられているローラ状部材であり、巻き芯ローラＡ２３から供給される基板２１を成膜領域３１に誘導し、最終的に巻き芯ローラＢ２６に導く。成膜領域３１を基板２１がキャン２７に沿って走行する際に、蒸発源から飛来した材料粒子が堆積し、基板２１表面に薄膜が形成される。巻き芯ローラＢ２６は、図示しない駆動手段によって回転駆動可能に設けられているローラ状部材であり、薄膜が形成された基板２１を巻き取って保持する。
【００４８】
本発明の薄膜の製造方法に用いる成膜装置は、さらに、反応成膜用の成膜ガスを導入する手段を設けても良い。この成膜ガス導入手段としては、例えば、図１及び図２の成膜反応用ガス導入管３０である。成膜反応用ガス導入管３０は、例えば一端が蒸発源１９の内部に導かれ、他端が真空槽２２の外部に設けられる図示しない成膜反応用ガス供給手段に接続される管状部材である。成膜反応用ガス導入管３０を通じて、成膜材料の蒸気に対し、例えば酸素、窒素等の成膜ガスを供給する。これによって、蒸発源から飛来した成膜材料の酸化物、窒化物又は酸窒化物を主成分とする薄膜が基板２１表面に形成される。成膜反応用ガス供給手段には、ガスボンベ、ガス発生装置などがある。
【００４９】
基板２１は、成膜領域３１において、蒸発源から飛来した蒸気及び必要に応じて酸素、窒素などの成膜ガスの供給を受け、表面に薄膜が形成される。薄膜が形成された基板２１は、別の搬送ローラ２４を経由して巻き芯ローラＢ２６に巻き取られる。
【００５０】
以上のように、図２の成膜装置２０によれば、巻き芯ローラＡ２３から送り出された基板２１が、搬送ローラ２４を経由して走行し、巻き芯ローラＢ２６に巻き取られる。その途上において、成膜領域３１において、蒸発源から飛来した蒸気及び必要に応じて酸素、窒素の成膜ガスの供給を受けて基板上に薄膜が形成される。これらの動作によって、成膜装置２０はノズル方式の蒸発源１９を用いた巻き取り成膜を行うことができる。
【００５１】
図２の成膜装置２０では、２つのキャン２７及び２つの蒸発源１９を設け、さらに２つのキャンの間に反転構造を設けている。これによって、基板の表面と裏面双方に薄膜を形成することを可能とする。しかし、本発明で使用できる巻き取り式成膜装置はこの態様に限定されず、１つのキャン２７及び１つの蒸発源１９を設けて基板の片面のみに薄膜を形成する装置であってもよい。
【００５２】
（実施の形態１）
本発明の薄膜の製造方法の実施形態の一例を説明する。この実施形態では、シリコン薄膜からなるリチウムイオン二次電池用負極上にリチウム膜を形成する。以下に説明する各数値は一例にすぎず、本発明を限定するものではない。
【００５３】
古河サーキットフォイル（株）製の粗面化銅箔（厚さ１８ミクロン、幅１００ｍｍ）を集電体として用い、集電体の両面上にそれぞれシリコン多層薄膜を厚さ８μｍに、真空蒸着法によって予め形成したものを、本発明の基板として用いる。
【００５４】
まず、前記シリコン多層薄膜を、巻き取り式の蒸着装置（図示しない）を用いて以下の手順で形成する。排気手段として口径１４インチの油拡散ポンプを２台備えた、容積０．４立方メートルの真空槽を０．００２パスカルまで排気した後に、成膜材料であるシリコンを溶解する。シリコンの溶解は日本電子（株）製の２７０度偏向型電子ビーム蒸発源を用いて行う。加速電圧−１０ｋＶ、エミッション電流６００ｍＡの電子ビームを溶融シリコンに照射し、発生する蒸気を、キャンに沿って走行中の銅箔に差し向ける。集電体の搬送速度は１ｍ／分、平均成膜速度は８０ｎｍ／秒とする。
【００５５】
シリコン薄膜の成膜幅が８５ｍｍとなるように、メタルマスク（開口長は各１００ｍｍ）を銅箔集電体に約２ｍｍの距離で近接して設置する。銅箔集電体の搬送機構は往復走行が可能であり、一回の走行で集電体の両面に膜厚０．５ミクロン程度のシリコン薄膜が一層ずつ形成される。往復走行しながら成膜を１６回繰り返すことによって、膜厚が約８ミクロンのシリコン多層薄膜を形成する。
【００５６】
次に、シリコン薄膜が形成された集電体を基板として、本発明の薄膜の製造方法により、基板の両面にリチウム膜を形成する。図５（１）〜（６）は、この実施形態１を工程を追って示す図である。図５において、図２と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。なおリチウムの融点は１８０℃である。
【００５７】
（第一の工程）
図５（１）で示すとおり、シリコン薄膜が予め形成されている基板２１を巻き芯ローラＡ２３に取付け、巻き芯ローラＡ２３から搬送ローラ２４、キャン２７を経て巻き芯ローラＢ２６に至る搬送経路に巡らせる。その後、真空粗引きを経て、蒸発室及び成膜室を１４インチの油拡散ポンプ３７，３８によって高真空排気する。この時コンダクタンス可変構造３４は、蒸発室１６と成膜室１７間のコンダクタンスが最大になるような連通の状態（差圧構造解除）とする。蒸発源１９の上部には開放面１４を設け、当該開放面は、キャン上の基板と近接できるよう、キャンの形状に合わせて湾曲させている。蒸発源は、ステンレス鋼壁面とヒーター加熱源を備えたノズル方式の蒸発源であり、その内部空間に２０ｇの金属リチウムを収納している。移動機構を用いて蒸発源は下降させておき、基板から最も遠い位置に配置しておく。この状態で、３０分間程度の真空排気を行い、蒸発室及び成膜室の圧力を０．００５Ｐａに調節する。
【００５８】
（第二の工程）
第一工程で蒸発室の圧力が０．００５Ｐａとなった時点で、図５（２）で示すとおり、コンダクタンス可変構造を動作させ、蒸発室１６と成膜室１７間のコンダクタンスが最小になるように、両室間の連通をほぼ遮断する。この状態で蒸発室及び成膜室共に真空排気を続行すると共に、蒸発室に５０ｓｃｃｍのアルゴン（非反応ガス）を導入する。これにより蒸発室の圧力を約０．０５Ｐａに調整する。目標温度を４８０℃としてノズル方式蒸発源の加熱を開始し、蒸発源の温度が３００℃となったところで蒸発室へのアルゴン導入量を１００ｓｃｃｍに増加すると共に、蒸発室と主バルブの間のコンダクタンスバルブ２９を半閉状態にして、主ポンプへの負荷が過大にならないようにしつつ蒸発室の圧力を０．２Ｐａまで上昇させる。この蒸発室の圧力により、加熱により溶融し蒸気圧を持ち始めたリチウムの蒸発が抑制される。
【００５９】
（第三の工程）
図５（３）で示すように、コンダクタンス可変構造の状態は維持したまま、蒸発源の温度が目標温度の４８０℃で安定した時点で成膜室へのアルゴン導入を開始する。成膜室にも１００ｓｃｃｍでアルゴンを導入し、成膜室と主バルブの間のコンダクタンスバルブの開度を調整して成膜室の圧力を０．２Ｐａまで上昇させる。
【００６０】
（第四の工程）
図５（４）で示すように、コンダクタンス可変構造の可動隔壁を移動し、蒸発室と成膜室間のコンダクタンスが最大になるような連通の状態にする。成膜室、蒸発室共に圧力は０．２Ｐａを維持する。
【００６１】
（第五の工程）
成膜室及び蒸発室の圧力を維持したまま、図５（５）で示すように、移動機構により蒸発源の位置を上昇させ、蒸発源の開放面を基板に近接させる。これにより、キャンと蒸発源の開放面との距離を３ｍｍ程度とする。また、基板の巻き取り走行を速度２ｍ／ｍｉｎで開始する。
【００６２】
（第六の工程）
図５（６）で示すように、蒸発室及び成膜室共に、コンダクタンスバルブを全開とするとともに、非反応ガスの導入を停止することで、蒸発室及び成膜室の圧力を０．００５Ｐａまで低下させる。これによってリチウムの蒸発抑制が解除され、リチウムが蒸発して基板に付着し、膜厚１．５ミクロン相当のリチウム膜が基板上に形成される。リチウム膜は、成膜後直ちにシリコン薄膜中に反応吸収される。
【００６３】
（実施の形態２）
本発明の薄膜の製造方法の実施形態の別の一例を説明する。この実施形態では、シリコン酸化物薄膜からなるリチウムイオン二次電池用負極上にリチウム膜を形成する。以下に説明する各数値は一例にすぎず、本発明を限定するものではない。
【００６４】
古河サーキットフォイル（株）製の粗面化銅箔（厚さ１８ミクロン、幅１００ｍｍ）を集電体として用い、集電体の両面上にそれぞれシリコン酸化物多層薄膜を厚さ１５μｍに、真空蒸着法によって予め形成したものを、本発明の基板として用いる。
【００６５】
まず、前記シリコン酸化物多層薄膜を、巻き取り式の蒸着装置（図示しない）を用いて以下の手順で形成する。排気手段として口径１４インチの油拡散ポンプを２台備えた、容積０．４立方メートルの真空槽を０．００２パスカルまで排気した後に、成膜材料であるシリコンを溶解する。シリコンの溶解は日本電子（株）製の２７０度偏向型電子ビーム蒸発源を用いて行う。加速電圧−１０ｋＶ、エミッション電流９５０ｍＡの電子ビームを溶融シリコンに照射し、発生する蒸気を、キャンに沿って走行中の銅箔に差し向ける。集電体の搬送速度は１ｍ／分、平均成膜速度は１６０ｎｍ／秒とする。
【００６６】
シリコン薄膜の成膜幅が８５ｍｍとなるように、メタルマスク（開口長は各１００ｍｍ）を銅箔基板に約２ｍｍの距離で近接して設置する。また、銅箔集電体の成膜面側に設置した反応ガスノズルからメタルマスクの開口部に酸素ガスを６０ｓｃｃｍ差し向ける。これによって銅箔基板上にシリコン酸化物薄膜が形成される。銅箔集電体の搬送機構は往復走行が可能であり、一回の走行で集電体の両面に膜厚１ミクロン程度のシリコン薄膜が一層ずつ形成される。往復走行しながら成膜を１５回繰り返すことによって、膜厚が約１５ミクロンのシリコン酸化物多層薄膜を形成する。
【００６７】
次に、シリコン酸化物薄膜が形成された集電体を基板として、本発明の薄膜の製造方法により、基板の両面にリチウム膜を形成する。図６（１）〜（６）は、この実施形態２を工程を追って示す図である。図６において、図２と同じ構成要素については同じ符号を用い、説明を省略する。図６では、成膜室と蒸発室は水平方向に並列しており、蒸発源１９は側面に開放面を有する。移動機構は蒸発源１９を水平方向に移動させる。
【００６８】
（第一の工程）
図６（１）で示すとおり、シリコン酸化物薄膜が予め形成されている基板２１を巻き芯ローラＡ２３に取付け、巻き芯ローラＡ２３から搬送ローラ２４、キャン２７を経て巻き芯ローラＢ２６に至る搬送経路に巡らせる。その後、真空粗引きを経て、蒸発室及び成膜室を１４インチの油拡散ポンプ３７，３８によって高真空排気する。この時コンダクタンス可変構造３４は、蒸発室１６と成膜室１７間のコンダクタンスが最小になるようほぼ遮断の状態（差圧構造）とする。蒸発源１９の上部には開放面１４を設け、当該開放面は、キャン上の基板と近接できるよう、キャンの形状に合わせて湾曲させている。蒸発源は、ステンレス鋼壁面とヒーター加熱源を備えたノズル方式の蒸発源であり、その内部空間に２０ｇの金属リチウムを収納している。移動機構を用いて蒸発源は図６中の右側に移動させておき、基板から最も遠い位置に配置しておく。この状態で、３０分間程度の真空排気を行い、蒸発室及び成膜室の圧力を０．００５Ｐａに調節する。
【００６９】
（第二の工程）
第一工程で蒸発室の圧力が０．００５Ｐａとなった時点で、図６（２）で示すとおり、差圧構造を維持し、蒸発室及び成膜室共に真空排気を続行するとともに、蒸発室に５０ｓｃｃｍのアルゴン（非反応ガス）を導入する。これにより、蒸発室の圧力を約０．０５Ｐａに調整する。目標温度を５００℃としてノズル方式蒸発源の加熱を開始し、蒸発源の温度が３００℃となったところで蒸発室へのアルゴン導入量を１００ｓｃｃｍに増加すると共に、蒸発室と主バルブの間のコンダクタンスバルブ２９を半閉状態にして、主ポンプへの負荷が過大にならないようにしつつ蒸発室の圧力を０．２Ｐａまで上昇させる。更に、蒸発源の温度が４５０℃となったところで蒸発室へのアルゴン導入量を１５０ｓｃｃｍにさらに増加すると共に、蒸発室と主バルブの間のコンダクタンスバルブ２９を調整して蒸発室の圧力を０．４Ｐａまで上昇させる。この蒸発室の圧力により、加熱により溶融し蒸気圧を持ち始めたリチウムの蒸発が抑制される。
【００７０】
（第三の工程）
図６（３）で示すように、コンダクタンス可変構造の状態は維持したまま、蒸発源の温度が目標温度の５００℃で安定した時点で成膜室へのアルゴン導入を開始する。成膜室にも１５０ｓｃｃｍでアルゴンを導入し、成膜室と主バルブの間のコンダクタンスバルブの開度を調整して成膜室の圧力を０．４Ｐａまで上昇させる。
【００７１】
（第四の工程）
図６（４）で示すように、コンダクタンス可変構造の可動隔壁を移動し、蒸発室と成膜室間のコンダクタンスが最大になるような連通の状態にする。成膜室、蒸発室共に圧力は０．４Ｐａを維持する。
【００７２】
（第五の工程）
成膜室及び蒸発室の圧力を維持したまま、図６（５）で示すように、移動機構により蒸発源を左側に移動させ、蒸発源の開放面を基板に近接させる。これにより、キャンと蒸発源の開放面との距離を３ｍｍ程度とする。また、基板の巻き取り走行を速度１ｍ／ｍｉｎで開始する。
【００７３】
（第六の工程）
図６（６）で示すように、蒸発室及び成膜室共に、コンダクタンスバルブを全開とするとともに、非反応ガスの導入を停止することで、蒸発室及び成膜室の圧力を０．００５Ｐａまで低下させる。これによってリチウムの蒸発抑制が解除され、リチウムが蒸発して基板に付着し、膜厚６ミクロン相当のリチウム膜が基板上に形成される。リチウム膜は、成膜後直ちにシリコン酸化物薄膜中に反応吸収される。
【００７４】
以上、発明を実施するための形態を具体的に述べたが、本発明はこれらに限定されるものではない。成膜材料としては、各種金属や、加熱蒸発可能な有機材料など、リチウム以外の各種成膜材料を用いることができる。その際、所望の蒸気圧が達成される温度において当該成膜材料と蒸発源構成材が溶融や合金化等の反応をしないように、蒸発源の構成材料を適宜選ぶことができる。
【００７５】
以上では、具体的な適用例として、リチウムイオン二次電池用負極を形成する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明によれば、例えば、電気化学キャパシタ用の極板を形成することもできる。また、有機物薄膜、装飾フィルム、太陽電池、ガスバリア膜、各種センサ、各種光学膜等をはじめとする、高効率安定成膜が要求される様々な用途に適用することができる。さらに、各種デバイスの形成を行う際の薄膜の製造方法にも応用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明に係る薄膜の製造方法は、ノズル方式の蒸発源を用いた成膜において、成膜前に必要な真空排気時間を短縮し、膜質を高め、材料利用効率を高め、材料飛散による真空槽の汚染を防止することができる。また、各種基板搬送系と組み合わせることもできるので、高効率で安定した成膜を達成する薄膜の製造方法を実現することができる。
【符号の説明】
【００７７】
１４  開放面
１５  成膜材料
１６  蒸発室
１７  成膜室
１８  非反応ガス導入機構
１９  蒸発源
２０  成膜装置
２１  基板
２２  真空槽
２３  巻き芯ローラＡ
２４  搬送ローラ
２６  巻き芯ローラＢ
２７  キャン
２９  コンダクタンスバルブ
３０  成膜反応用ガス導入管
３１  成膜領域
３２  主バルブ
３３  ステージ
３４  コンダクタンス可変構造
３５  移動機構
３７  真空ポンプ
３８  真空ポンプ
【図１（ａ）】
2011158453.tif 000003
【図１（ｂ）】
2011158453.tif 000004
【図２】
2011158453.tif 000005
【図３（ａ）】
2011158453.tif 000006
【図３（ｂ）】
2011158453.tif 000007
【図４（ａ）】
2011158453.tif 000008
【図４（ｂ）】
2011158453.tif 000009
【図５（１）】
2011158453.tif 000010
【図５（２）】
2011158453.tif 000011
【図５（３）】
2011158453.tif 000012
【図５（４）】
2011158453.tif 000013
【図５（５）】
2011158453.tif 000014
【図５（６）】
2011158453.tif 000015
【図６（１）】
2011158453.tif 000016
【図６（２）】
2011158453.tif 000017
【図６（３）】
2011158453.tif 000018
【図６（４）】
2011158453.tif 000019
【図６（５）】
2011158453.tif 000020
【図６（６）】
2011158453.tif 000021
【図７】
2011158453.tif 000022
【国際調査報告】
2011158453.tif 000023
2011158453.tif 000024