(57)【要約】ＭＬＣＣを製作するために積層される超薄膜シートの積層アレイが一律的に行われるようにするＭＬＣＣ積層用上部金型に関し、上面に形成されたエアー流路と連通した複数個の基礎孔と、前記基礎孔と下面間でエアーが流動するように下面と前記閣基礎孔とを連通して連結する貫通孔によって形成される所定の面積を有する第１領域と、少なくとも向い合う一対で前記第１領域の周りに隣接して形成されてエアーを吸入する複数個の吸着孔からなる第２領域とで構成されたバキュームヘッドと、前記第１領域と対応する大きさで前記バキュームヘッドの下面に固定され、前記第１領域の前記貫通孔を通じたエアーの流動時に吸入及び排気が均等に行われるようにする多孔質構造を有するメッシュプレートと、前記メッシュプレートと接触した状態で前記第２領域の吸着によって前記バキュームヘッドの下面に固定され、前記メッシュプレートを流動するエアーの流動方向によって前記薄膜シートを吸着及び脱着するコンタクトプレートとを含んで構成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超薄膜シートＣを吸着して下部金型に積層させるＭＬＣＣ積層用上部金型１００において、
上面に形成されたエアー流路１１１と連通した複数個の基礎孔１１２と、前記基礎孔１１２と下面間でエアーが流動するように下面と前記各基礎孔１１２とを連通して連結する貫通孔１１３によって形成される所定の面積を有する第１領域１１４と、少なくとも向い合う一対で前記第１領域１１４の周りに隣接して形成されてエアーを吸入する複数個の吸着孔２１１からなる第２領域２１２とで構成されたバキュームヘッド１１０と、
前記第１領域１１４と対応する大きさで前記バキュームヘッド１１０の下面に固定され、前記第１領域１１４の前記貫通孔１１３を通じたエアーの流動時に吸入及び排気が均等に行われるようにする多孔質構造を有するメッシュプレート１３０と、
前記メッシュプレート１３０と接触した状態で前記第２領域２１２の吸着によって前記バキュームヘッド１１０の下面に固定され、前記メッシュプレート１３０を流動するエアーの流動方向によって前記薄膜シートＣを吸着及び脱着するコンタクトプレート１４０とを含む
ことを特徴とするＭＬＣＣ積層用上部金型。
【請求項２】
前記コンタクトプレート１４０は、前記バキュームヘッド１１０の下面と対応する面積を有し、
板状の内側面には、前記メッシュプレート１３０を流動するエアーによって前記薄膜シートＣの吸着及び脱着が行われるように貫通した複数個の微細孔１４１からなる前記第１領域１１４と対応する第３領域１４２が形成され、前記バキュームヘッド１１０の前記第２領域２１２と対応する前記第３領域１４２の両側には、前記吸着孔２１１のエアー吸入によって前記第２領域２１２と緊密に密着固定する面状の吸着面部１４３が形成される
請求項１に記載のＭＬＣＣ積層用上部金型。
【請求項３】
前記バキュームヘッド１１０の内部には、前記第２領域２１２の吸着孔２１１を通じた吸入が行われるように前記吸着孔２１１と連通する吸入エアーライン２１３が形成され、前記吸入エアーライン２１３には、吸入力を提供する吸入ノズル２１４が連結される
請求項１に記載のＭＬＣＣ積層用上部金型。
【請求項４】
前記バキュームヘッド１１０の前記第１領域１１４には、複数個の垂れ防止孔１１５で構成される少なくとも一つの垂れ防止領域１１６が形成され、前記コンタクトプレート１４０には、前記垂れ防止領域１１６と対応する位置に面上の垂れ吸着面部１４４が形成され、前記バキュームヘッド１１０の下面に固定された前記コンタクトプレート１４０の中心部を吸着支持することで垂れを防止する
請求項２に記載のＭＬＣＣ積層用上部金型。
【請求項５】
前記垂れ防止領域１１６と前記垂れ吸着面部１４４は、前記第２領域２１２と前記吸着面部１４３に対して直交する方向に形成される
請求項４に記載のＭＬＣＣ積層用上部金型。
【請求項６】
前記垂れ防止領域１１６と前記垂れ吸着面部１４４は、前記第２領域２１２と前記吸着面部１４３に対して対角方向に形成される
請求項４に記載のＭＬＣＣ積層用上部金型。
【請求項７】
前記コンタクトプレート１４０の材質は、ステンレス、チタン及び炭素鋼のいずれか一つが選択される
請求項１ないし３のいずれかに記載のＭＬＣＣ積層用上部金型。
【請求項８】
前記コンタクトプレート１４０には、周面に沿って外側方向に突出延長して折り曲げられた複数個の折り曲げ片１４５が形成され、
前記バキュームヘッド１１０の周面には、前記コンタクトプレート１４０の前記折り曲げ片１４５を支持する支持クランプ１１８が具備される
請求項１ないし３のいずれかに記載のＭＬＣＣ積層用上部金型。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＭＬＣＣ積層用上部金型に関し、さらに詳しくは、ＭＬＣＣを製作するために積層される超薄膜シートの積層アレイが正確でかつ確実に行われるようにするＭＬＣＣ積層用上部金型に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、多層セラミックキャパシタ（Ｍｕｌｔｉ−ｌａｙｅｒ  ｃｅｒａｍｉｃ  ｃａｐａｃｉｔｏｒ（ＭＬＣＣ））は、容量を大きくするために、対向電極面積を増やすか、電極間距離を小さくするか、比誘電率の大きい誘電材料を電極間に適用する方法が使用されるが、その大きさを小型を維持しながら容量を増大させるためには、主に電気回路が形成された薄膜シートの厚さを超薄膜に制作した後、数十〜数百層を積重して使用しており、このような積層のために、ＭＬＣＣ専用の積層機が使用される。
【０００３】
このような多層セラミックキャパシタ（以下、「ＭＬＣＣ」という）は、ＩＴ製品（携帯電話、ＰＣ、Ｄ−ＴＶなど）の他に、メモリモジュール、チューナーなどのモバイル機器、軍事用機器、医療機器、航空機、自動車などの特殊の目的としても適用され、小型のキャパシタが求められる多様な分野に広く使用される。特に、内部インダクタンス（Ｉｎｄｕｃｔａｎｃｅ）が低く、他のキャパシタに比べて高周波でノイズ除去の効果に優れるため、携帯電話、衛星などに適用され、超小型でも高容量を有しながら高い信頼性を有するキャパシタとしての役割を果たす。一般的に、ＭＬＣＣは、携帯電話に２５０個余り（スマートフォンは、一般携帯電話の２倍）、ノートパソコンに３００個余り、ＬＣＤテレビに７００個余りなどが所要される、汎用性の高い部品である。
【０００４】
このように汎用性の高いＭＬＣＣは、携帯電話に２５０個余り（スマートフォンは、一般携帯電話の２倍）、ノートパソコンに３００個余り、ＬＣＤテレビに７００個余りなどとして、適用対象によって異なって積層して使用される。
【０００５】
最近では、スマートフォン等の携帯用通信機器、タブレットＰＣ、ノートパソコン、スマートテレビなどの小型化及び電子機器の高性能のために、ＭＬＣＣを形成する薄膜シートの厚さを超薄膜の１．５μｍ以下まで製作して積層することでＭＬＣＣを生産する段階に達している。
【０００６】
このようなＭＬＣＣは、薄膜シートをテープキャスティングで形成し、形成された薄膜シートを積層、圧着、切断、仮焼、焼成、研磨などの加工を行った後、その上に電気回路を形成するためのメッキ層を形成して製造され、通常、ＭＬＣＣ専用の積層機を通じて行われる。
【０００７】
ＭＬＣＣを制作するための薄膜シートが積層される過程をみると、先ず、巻取ロールから供給される薄膜シートは、コンベアに乗って移動しながら設定された位置に到達すると、設定された大きさでカットされる。
【０００８】
コンベアの上側には、レールに乗って移動可能に設置された上部金型が設置され、上部金型は、下降してカットされた薄膜シートの表面と接触した状態で、真空圧を通じて薄膜シートを吸着し、吸着された薄膜シートを一側に配置された下部金型に移動させる。
【０００９】
上部金型は、下部金型の上部に位置した状態で下降し、この過程で薄膜シートが下部金型に隣接すると、真空圧を解除して薄膜シートを下部金型に下ろすことで積層が行われるようにする。このような過程は、薄膜シートの設定された枚数に到達するまで行われる。
【００１０】
この時、上部金型には、複数個の貫通孔が形成され、真空圧を利用して貫通孔を通じてエアーを吸い込みながら薄膜シートを吸着する。しかし、薄膜シートの厚さが超薄膜であるため、貫通孔を通じて直接薄膜シートを吸着する場合、薄膜シートが貫通孔に吸い込まれながら、薄膜シートの変形による歪み現象を発生させるため、これを防止するために、貫通孔が形成された面上に不織布（メッシュ）のような形態の多孔質を有するメッシュプレートを接着剤で付着してメッシュプレートを多孔質を通じて薄膜シートを吸着する。このようなメッシュプレートは、合成樹脂材で製作される。
【００１１】
しかし、上記のような従来の上部金型は、薄膜シートを積層する時にメッシュプレートの多孔質形成による所定のクッションが保障されることにより、もし薄膜シートの厚さが０．００１ｍｍまたはそれ以下の超薄膜の場合は、その厚さが非常に薄いため、メッシュプレートを通じて薄膜シットを積層する過程でメッシュプレートが軽く押されるクッション現象によりスリップが起こりながら、薄膜シートの積層アレイがずれたり、または破れたりする致命的な問題を発生させる。
【００１２】
こうなると、薄膜シートの電気回路配列がずれることにより、数百枚余りが積層された薄膜シートの切断時にショートもしくは完成したＭＬＣＣの回路不良を招くという問題が発生し、何よりも問題が発生した製品は廃棄しなければならないため、正常に積層された数百枚余りの薄膜シートも共に廃棄されるため、金銭的損失が増加する。
【００１３】
また、メッシュプレートの積層が行われる過程で、押され続けることにより異形化するため、頻繁な交換が必要な問題があり、かつ、メッシュプレートが接着剤で付着した状態であるため、接着剤を除去し再び塗布するなどの煩雑な問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、上記のような問題点及び技術的偏見を解消するために案出されたもので、薄膜シートの積層によるメッシュプレートの押されを防止して、ＭＬＣＣを製作するために積層される超薄膜シートの積層アレイが正確でかつ確実に行われるようにし、メッシュプレートの押されによる異形が防止されることにより、メッシュプレートの交換周期を極大化するＭＬＣＣ積層用上部金型を提供することにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するための本発明のＭＬＣＣ積層用上部金型は、上面に形成されたエアー流路と連通した複数個の基礎孔と、前記基礎孔と下面間でエアーが流動するように下面と前記各基礎孔とを連通して連結する貫通孔によって形成される所定の面積を有する第１領域と、少なくとも向い合う一対で前記第１領域の周りに隣接して形成されてエアーを吸入する複数個の吸着孔からなる第２領域とで構成されたバキュームヘッドと、前記第１領域と対応する大きさで前記バキュームヘッドの下面に固定され、前記第１領域の前記貫通孔を通じたエアーの流動時に吸入及び排気が均等に行われるようにする多孔質構造を有するメッシュプレートと、前記メッシュプレートと接触した状態で前記第２領域の吸着によって前記バキュームヘッドの下面に固定され、前記メッシュプレートを流動するエアーの流動方向によって前記薄膜シートを吸着及び脱着するコンタクトプレートとを含んで構成される。
【００１６】
この時、前記コンタクトプレートは、前記バキュームヘッドの下面と対応する面積を有し、板状の内側面には、前記メッシュプレートを流動するエアーによって前記薄膜シートの吸着及び脱着が行われるように貫通した複数個の微細孔からなる前記第１領域と対応する第３領域が形成され、前記バキュームヘッドの前記第２領域と対応する前記第３領域の両側には、前記吸着孔のエアー吸入によって前記第２領域と緊密に密着固定する面状の吸着面部が形成されることが好ましい。
【００１７】
また、前記バキュームヘッドの内部には、前記第２領域の吸着孔を通じた吸入が行われるように前記吸着孔と連通する吸入エアーラインが形成され、前記吸入エアーラインには、吸入力を提供する吸入ノズルが連結されることが好ましい。
【００１８】
さらに、前記バキュームヘッドの前記第１領域には、複数個の垂れ防止孔で構成される少なくとも一つの垂れ防止領域が形成され、前記コンタクトプレートには、前記垂れ防止領域と対応する位置に面上の垂れ吸着面部が形成され、前記バキュームヘッドの下面に固定された前記コンタクトプレートの中心部を吸着支持することで垂れを防止することが好ましい。
【００１９】
そして、前記垂れ防止領域と前記垂れ吸着面部は、前記第２領域と前記吸着面部に対して直交する方向に形成されることが好ましい。
【００２０】
また、前記垂れ防止領域と前記垂れ吸着面部は、前記第２領域と前記吸着面部に対して対角方向に形成されることが好ましい。
【００２１】
この時、前記コンタクトプレートの材質は、ステンレス、チタン及び炭素鋼のいずれか一つが選択されることが好ましい。
【００２２】
最後に、前記コンタクトプレートには、周面に沿って外側方向に突出延長して折り曲げられた複数個の折り曲げ片が形成され、前記バキュームヘッドの周面には、前記コンタクトプレートの前記折り曲げ片を支持する支持クランプが具備されることが好ましい。
【発明の効果】
【００２３】
上記のような構成を持った本発明のＭＬＣＣ積層用上部金型によると、薄膜シートの積層時にメッシュプレートに加えられる加圧力がコンタクトプレートによって遮断されるため、メッシュプレートの押されが根本的に防止されることで、ＭＬＣＣを製作するために積層される超薄膜シートの積層アレイが一律的に行われるという優れた効果がある。
【００２４】
また、メッシュプレートの押されが防止されることによって、メッシュプレートの異形が防止され、これによりメッシュプレートの交換周期を極大化することができるという効果もある。
【００２５】
また、コンタクトプレートが上部金型に垂れなく偏平な状態で安定して配置されるようにすることで、メッシュプレートの機能が円滑に発揮できるようにするさらに強化された機能を有するという効果がある。
【００２６】
さらに、コンタクトプレートに形成された微細孔によって薄膜シートが吸着されることにより、薄膜シート表面の損傷が完璧に防止されるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明によるＭＬＣＣ積層用上部金型を示す底面分解斜視図
【図２】図１の結合された底面斜視図
【図３】本発明によるＭＬＣＣ積層用上部金型の構成のうちバキュームヘッドの底面図
【図４】図３のＩ−Ｉ線要部断面図
【図５】図３のＩＩ−ＩＩ線要部断面図
【図６】本発明によるＭＬＣＣ積層用上部金型の構成のうち垂れ防止領域と垂れ吸着面部の他の実施例を示す参考説明図
【図７】本発明によるＭＬＣＣ積層用上部金型の構成のうち垂れ防止領域と垂れ吸着面部のまた他の実施例を示す参考説明図
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の好ましい実施例を添付の図面を参考してさらに詳しく説明する。
【００２９】
図１は、本発明によるＭＬＣＣ積層用上部金型を示す底面分解斜視図であり、図２は、図１の結合された底面斜視図であり、図３は、本発明によるＭＬＣＣ積層用上部金型の構成のうちバキュームヘッドの底面図であり、図４は、図３のＩ−Ｉ線要部断面図であり、図５は、図３のＩＩ−ＩＩ線要部断面図であり、図６は、本発明によるＭＬＣＣ積層用上部金型の構成のうち垂れ防止領域と垂れ吸着面部の他の実施例を示す参考図であり、図７は、本発明によるＭＬＣＣ積層用上部金型の構成のうち垂れ防止領域と垂れ吸着面部のまた他の実施例を示す参考図である。
【００３０】
図１〜図５に示すように、本発明のＭＬＣＣ積層用上部金型１００は、上面に形成されたエアー流路１１１と連通した複数個の基礎孔１１２と、前記基礎孔１１２と下面間でエアーが流動するように下面と前記各基礎孔１１２とを連通して連結する貫通孔１１３によって形成される所定の面積を有する第１領域１１４と、少なくとも向い合う一対で前記第１領域１１４の周りに隣接して形成されてエアーを吸入する複数個の吸着孔２１１からなる第２領域２１２とで構成されたバキュームヘッド１１０と、前記第１領域１１４と対応する大きさで前記バキュームヘッド１１０の下面に固定され、前記第１領域１１４の前記貫通孔１１３を通じたエアーの流動時に吸入及び排気が均等に行われるようにする多孔質構造を有するメッシュプレート１３０と、前記メッシュプレート１３０と接触した状態で前記第２領域２１２の吸着によって前記バキュームヘッド１１０の下面に固定され、前記メッシュプレート１３０を流動するエアーの流動方向によって前記薄膜シートＣを吸着及び脱着するコンタクトプレート１４０とを含んで構成される。
【００３１】
説明に先立ち、本発明のＭＬＣＣ積層用上部金型１００は、薄膜シートＣを吸着して図示しない別途の移送部材によって下部金型の上部に移動した状態で、下降を通じて前記下部金型（図示せず）に複数枚を積層させるものであり、０．００１ｍｍの厚さを有する超薄膜シートＣを下部金型に積層する時に、積層される瞬間メッシュプレート１３０に伝達される加圧力（押され）を遮断することで、積層される薄膜シートＣの積層アレイがずれることなく一律的に行われるようにすることに最大の特徴がある。
【００３２】
図１〜図５のように、バキュームヘッド１１０は、所定の広さを有する四角のブロック形態を維持し、両側には、バキュームヘッド１１０を通じた薄膜シートＣの吸着及び積層のためにバキュームヘッド１１０を昇降及び移動させるための図示しない移送部材と連結するブラケット１１７が形成されている。
【００３３】
バキュームヘッド１１０の上面には、図４のように、内側、即ち、図面上で下側方向に凹んで上面と段差を有するエアー流路１１１が形成され、このエアー流路１１１は、図示しないエアー供給装置と連結されている。
【００３４】
エアー流路１１１上には、エアー流路１１１と連通した状態でバキュームヘッド１１０の下面に向かう所定の深さを有する複数個の基礎孔１１２が形成されている。
【００３５】
ここで、基礎孔１１２は、ドリリングとミーリングによって加工され、円形及び楕円形などのように多様な形状をなすことができ、基礎孔１１２の直径は、後述する貫通孔１１３の個数によって異なるため、限定されない。
【００３６】
各基礎孔１１２の底面には、図４の拡大図のように、基礎孔１１２とバキュームヘッド１１０の下面間でエアーが流動するように下面と各基礎孔１１２とを連通して連結する少なくとも一つの貫通孔１１３が形成され、この貫通孔１１３によってバキュームヘッド１１０の下面には、図１及び図３のように複数個の貫通孔１１３からなる所定の面積を有する第１領域１１４が形成される。
【００３７】
この時、第１領域１１４は、バキュームヘッド１１０に供給されるエアーが下面に吸入または排気が行われるようにするもので、その面積の大きさは、薄膜シートＣの大きさによって異なって形成されてもよい。
【００３８】
第１領域１１４の両側には、第２領域２１２が形成される。
【００３９】
第２領域２１２は、図１及び図３のように、バキュームヘッド１１０の下面に少なくとも向い合う一対で第１領域１１４の周りに隣接して形成され、エアーを吸入する複数個の吸着孔２１１によって形成される。
【００４０】
即ち、第２領域２１２は、複数個の吸着孔２１１でエアーが吸入されることで、第２領域２１２に密着する後述するコンタクトプレート１４０の両側を吸着した状態で支持するものである（図５参照）。
【００４１】
そのため、バキュームヘッド１１０の内部には、第２領域２１２の吸着孔２１１を通じた吸入が行われるように、第２領域２１２の長さに沿って内部を貫通しながら吸着孔２１１と連通する吸入エアーライン２１３が形成されることが好ましい。
【００４２】
そして、吸入エアーライン２１３には、吸入力を提供するための吸入ノズル２１４が連結され、この吸入ノズル２１４は、図示しないエアー供給装置と連結される。
【００４３】
さらに、吸入エアーライン２１３がバキュームヘッド１１０の内部を貫通して形成することは、吸入ノズル２１４が装置の構造及び作業環境によって適切に対応して設置できるようにするためであり、吸入ノズル２１４が連結された吸入エアーライン２１３の他側は、必ず閉鎖部材（符号なし）を利用して閉鎖する。
【００４４】
本実施例では、第２領域２１２が図面上の左右側に向い合って配置されたものと図示しているが、第１領域１１４の周りに沿って４面に隣接して形成されることもできるため、その位置を限定しない。
【００４５】
従って、バキュームヘッド１１０は、下面の中央部位に形成された第１領域１１４の貫通孔１１３を通じてエアーの吸入または排気のような流動が行われるようにすることで、エアーの流動を通じて後述するコンタクトプレート１４０の表面に薄膜シートＣが吸着または脱着されるようにし、第２領域２１２の吸着孔２１１の吸着を通じてコンタクトプレート１４０がバキュームヘッド１１０の下面に固定されるように支持する。
【００４６】
メッシュプレート１３０は、バキュームヘッド１１０の下面の第１領域１１４と対応する大きさを維持した状態で下面に固定され、第１領域１１４の貫通孔１１３を通じたエアーの流動時に吸入または排気が下面の第１領域１１４で全体的に均等に行われるようにする。
【００４７】
この場合、メッシュプレート１３０は、上面と下面が偏平な面状態で不織布タイプの微細な多孔質構造をなし、０．１５〜０．２ｍｍの厚さを有する合成樹脂材質からなる。
【００４８】
メッシュプレート１３０が０．１５〜０．２ｍｍの厚さで形成されなければならないことは、厚さ間におけるエアーの流動が円滑に行われるようにするためである。
【００４９】
また、メッシュプレート１３０は、通常接着剤を通じてバキュームヘッド１１０の下面の第１領域１１４に固定される。
【００５０】
従って、メッシュプレート１３０は、下面の第１領域１１４をカバーした状態で下面に固定され、第１領域１１４の貫通孔１１３を流動するエアーの吸入または排気が第１領域１１４の全体的な面積で均等に行われるようにする。
【００５１】
コンタクトプレート１４０は、図１〜図５のように、バキュームヘッド１１０の第１領域１１４に固定されたメッシュプレート１３０と接触した状態で、第２領域２１２の吸着孔２１１の吸着によってバキュームヘッド１１０の下面に固定され、第１領域１１４の貫通孔１１３を通じてメッシュプレート１３０の内部を流動するエアーの流動方向によって薄膜シートＣを吸着及び脱着する役割を果たす。
【００５２】
コンタクトプレート１４０は、板状で、図２のようにバキュームヘッド１１０の下面と対応する面積を有し、板状の内側面には、メッシュプレート１３０を流動するエアーによって薄膜シートＣの吸着及び脱着が行われるように貫通した複数個の微細孔１４１からなる第１領域１１４と対応する第３領域１４２が形成され、バキュームヘッド１１０の第２領域２１２と対応する第３領域１４２の両側には、吸着孔２１１のエアー吸入によって第２領域２１２と緊密に密着固定する面状の吸着面部１４３が形成されている。
【００５３】
ここで、コンタクトプレート１４０は、メッシュプレート１３０より大きい面積をなしている。
【００５４】
コンタクトプレート１４０の材質は、ステンレス、チタン及び炭素鋼のいずれか一つが選択されることが好ましく、その中でステンレス材質であるサスＳＵＳ３０４が最も理想的である。
【００５５】
そして、コンタクトプレート１４０の第３領域１４２には、直径が０．１５ｍｍ以下の微細孔１４１が２０〜３０万個程度でエッチング工程によって微細に形成されている。
【００５６】
前記微細孔１４１を微細に形成することは、吸入力が発生した時に第３領域１４２の複数個の微細孔１４１を通じて同時にエアーがメッシュプレート１３０に供給されるようにすることで、吸入力が第３領域１４２の全面で細かく形成されることにより薄膜シートＣの吸着が堅固に行われるようにすると同時に、０．００１ｍｍの厚さまたはそれ以下の厚さを有する超薄膜シートＣの表面が過度に吸着することを防止するためである。
【００５７】
また、薄膜シートＣと接触する下面は、薄膜シートＣと接触する時にポリッシング処理（鏡面処理）することが好ましく、この時、表面粗さは、Ｒａ０．０２μｍ〜０．０６μｍの範囲内でまとまることが好ましい。これは、表面粗さがＲａ０．０２μｍより小さければ形成される凹凸が殆ど存在しないため、薄膜シートＣの円滑な分離が難しく、一方、表面粗さがＲａ０．０６μｍより大きければ形成される凹凸によって薄膜シートＣ１０の電気回路が損傷し得るからである。その中で最も理想的な表面粗さは、Ｒａ０．０４μｍ程度である。
【００５８】
吸着面部１４３は、図１及び図２のように、第３領域１４２の両側にそれぞれ位置し、第２領域２１２の吸着孔２１１のエアー吸着によって第２領域２１２と密着できるように偏平な面をなし、その表面は、第２領域２１２と共にポリッシング処理されている。
【００５９】
両側の吸着面部１４３が第２領域２１２の吸入力の発生により吸着した状態で支持されることで、コンタクトプレート１４０はバキュームヘッド１１０の下面に固定される（図５参照）。
【００６０】
コンタクトプレート１４０は、吸着面部１４３が両側に形成されることにより形成されただけに、メッシュプレート１３０よりさらに大きい面積を有することは言うまでもない。
【００６１】
一方、図１及び図２のように、コンタクトプレート１４０には、周面に沿って外側方向に突出延長して折り曲げられた複数個の折り曲げ片１４５が形成され、バキュームヘッド１１０の周面には、コンタクトプレート１４０の折り曲げ片１４５を支持する複数個の支持クランプ１１８が具備されることが好ましい。
【００６２】
折り曲げ片１４５は、コンタクトプレート１４０と一体をなした状態で突出して形成されてバキュームヘッド１１０方向に折り曲げられている。
【００６３】
支持クランプ１１８は、所定の厚さを有する板状の形態をなし、折り曲げ片１４５が挿入して固定できるように、折り曲げ片１４５と対応する個数でバキュームヘッド１１０の周面に具備されている。
【００６４】
この時、バキュームヘッド１１０の周面と向い合う支持クランプ１１８の一面には、折り曲げ片１４５が挿入されるように係止部（符号なし）が形成されることは勿論である。
【００６５】
これにより、支持クランプ１１８は、支持クランプ１１８とバキュームヘッド１１０の周面間に挿入される折り曲げ片１４５を別途の支持部材を通じて折り曲げ片１４５がコンタクトプレート１４０方向に微細な移動が行われるように伸縮可能に支持する。
【００６６】
コンタクトプレート１４０を伸縮可能に支持することは、コンタクトプレート１４０が支持クランプ１１８にあまりにも堅固に固定された場合、エアーの流動による薄膜シートＣの吸着及び脱着の際に、折り曲げ片１４５の折り曲げ部位に疲労荷重が加えられるため、これを事前に防止するためである。
【００６７】
本実施例では、バキュームヘッド１１０とコンタクトプレート１４０にそれぞれ総６個の折り曲げ片１４５と支持クランプ１１８が形成されたものと図示しているが、バキュームヘッド１１０とコンタクトプレート１４０の大きさによって折り曲げ片１４５と支持クランプ１１８の個数が異なるため、個数を限定しない。
【００６８】
従って、コンタクトプレート１４０は、吸着面部１４３が第２領域２１２のエアー吸入によってメッシュプレート１３０をカバーした状態でバキュームヘッド１１０の下面に配置されると同時に、支持クランプ１１８を通じて伸縮可能に支持され、また、ハードな材質で形成されることにより、薄膜シートＣの積層時にメッシュプレート１３０が押される問題を根本的に防止し、さらに、第３領域１４２の微細に形成された複数個の微細孔１４１を利用して吸着が行われるため、薄膜シートＣの吸着による安全性を保障する。
【００６９】
一方、コンタクトプレート１４０が第２領域２１２と吸着面部１４３を形成せず、接着剤を通じてメッシュプレート１３０に相互接着させることで、バキュームヘッド１１０の下面に配置可能にし、この場合、薄膜シートＣの積層による加熱によって接着剤が溶けてコンタクトプレート１４０の微細孔１４１に染み込み微細孔１４１が塞がるという問題が発生する。何よりもコンタクトプレート１４０がメッシュプレート１３０のみに接着剤を通じて支持された状態であるため、従来の問題として指摘された積層時に発生するメッシュプレート１３０の押され現象を克服することができない。
【００７０】
一方、図１のように、バキュームヘッド１１０の第１領域１１４には、第２領域２１２の方向に沿って複数個の垂れ防止孔１１５で構成される少なくとも一つの垂れ防止領域１１６が形成され、これに対応して、コンタクトプレート１４０には垂れ防止領域１１６と対応する位置に面状の垂れ吸着面部１４４が形成されることが好ましい。
【００７１】
これは、コンタクトプレート１４０が第２領域２１２によってバキュームヘッド１１０の下面に両側のみが固定された状態であり、中心部が自重による垂れを防止するために、垂れ防止孔１１５のエアーの吸入力によって垂れ吸着面部１４４が吸着されて支持されるようにするためである。
【００７２】
この時、垂れ防止領域１１６に吸入力を発生させるために、上述した第２領域２１２の構造と同様に、バキュームヘッド１１０には垂れ防止領域１１６の垂れ防止孔１１５と連通する吸入エアーライン２１３が形成され、吸入ノズル２１４が連結される。
【００７３】
本実施例では、垂れ防止領域１１６と垂れ吸着面部１４４が対応して二つが形成されたものと図示しているが、コンタクトプレート１４０の大きさによって一つまたは複数個が形成されることができるため、その個数を限定しない。
【００７４】
一方、垂れ防止領域１１６と垂れ吸着面部１４４は、図６及び図７に示すように、それぞれ異なる方向でバキュームヘッド１１０とコンタクトプレート１４０に形成されることができる。
【００７５】
図６は、垂れ防止領域１１６と垂れ吸着面部１４４がそれぞれ第２領域２１２と吸着面部１４３に対して直交する方向に形成されたものと図示している。
【００７６】
図７は、垂れ防止領域１１６と垂れ吸着面部１４４が第２領域２１２と吸着面部１４３に対して対角方向に形成されたものと図示している。
【００７７】
上記のように垂れ防止領域１１６と垂れ吸着面部１４４は、選択によって直交する方向と対角方向にそれぞれ配置されることができる。
【００７８】
この場合、各方向による垂れ防止領域１１６は、第２領域２１２の構造と同一の構造をなすことは言うまでもなく、垂れ防止領域１１６の吸入エアーライン２１３の両端部は、第２領域２１２の吸入エアーライン２１３と連通して連結される。
【００７９】
以下、添付の図面を参照して、本発明によるＭＬＣＣ積層用上部金型１００の作用を説明すると、下記の通りである。
【００８０】
先ず、巻取ロール（図示せず）からコンベアに乗って供給される薄膜シートＣ紙をホイールカッターを利用して設定された大きさでカットする。
【００８１】
カットされた薄膜シートＣの上部には、移送部材（図示せず）によって移送された上部金型１００が位置し、上部金型１００を下降させてコンタクトプレート１４０の下面にカットされた薄膜シートＣの表面を吸着させる。
【００８２】
この時、バキュームヘッド１１０のエアー流路１１１には、エアー供給装置によって吸入力が発生し、吸入力によって図４に示した矢印方向にエアーの流動が行われる。
【００８３】
即ち、コンタクトプレート１４０の第３領域１４２の全体面積で微細孔１４１を通じてエアーが吸入され、吸入されたエアーは、メッシュプレート１３０の多孔質間を通りながら各貫通孔１１３を通じて基礎孔１１２を介してエアー流路１１１に抜け出す。
【００８４】
上記のようにエアーが吸入される過程で、コンタクトプレート１４０の第３領域１４２に薄膜シートＣが吸着される。
【００８５】
一方、コンタクトプレート１４０は、バキュームヘッド１１０の各吸入エアーライン２１３に連結された４個の吸入ノズル２１４を通じて薄膜シートＣの吸着が行われる前に、既にエアー供給装置から吸入力が同時に提供された状態であるため、一対の垂れ吸着面部１４４が一対の第２領域２１２に図５のように吸着されることで、バキュームヘッド１１０の下面に堅固に支持された状態である。
【００８６】
上記過程を通じて薄膜シートＣが吸着されれば、上部金型１００は、上昇と同時にレールに乗って移動しながら所定の位置に固定された下部金型の上側に位置する。
【００８７】
下部金型の上側に位置した上部金型１００は、下降を通じて吸着された薄膜シートＣを下部金型の上面に積層させる。
【００８８】
この時、薄膜シートＣが下部金型に積層される時、薄膜シートＣがコンタクトプレート１４０から脱着できるように、エアー供給装置では、吸入力の解除と同時にエアーをブロー（ｂｌｏｗ）する。
【００８９】
このなると、エアーが第３領域１４２の微細孔１４１を通じて排出されることによって、薄膜シートＣが瞬間的に第３領域１４２から脱着される。
【００９０】
さらに、エアーのブローが発生すると同時に、吸入ノズル２１４の吸入力も瞬間停止するが、これは、エアーブロー時に吹き出すエアーが第２領域２１２の吸入力に干渉されず、全量がコンタクトプレート１４０の第３領域１４２を通じて排出できるようにするためである。
【００９１】
上記のように上部金型１００は、薄膜シートＣがコンタクトプレートから脱着すると同時に、さらに下降しながら下部金型に積層される薄膜シートＣを積層すると同時に軽く押しながら積層を完了する。
【００９２】
この時、コンタクトプレート１４０が薄膜シートＣを押すため、コンタクトプレート１４０の材質がステンレスである点を勘案すると、メッシュプレート１３０の押されが根本的に遮断されることは理解可能であろう。
【００９３】
一方、一つの薄膜シートＣの積層が完了すると、上部金型１００は、レールに乗って移動しながらカットされた薄膜シートＣが位置する場所に復帰し、上述した過程を繰り返しながら下部金型に設定された枚数の薄膜シートＣを積層する。
【００９４】
その後、後工程を通じて積層された薄膜シートＣをＭＬＣＣで製作し、後工程は通常の事項であるので、詳しい説明は省略する。
【００９５】
これまで述べたように、本発明のＭＬＣＣ積層用上部金型は、薄膜シートの積層時にメッシュプレートに加えられる加圧力がコンタクトプレートによって遮断されるため、メッシュプレートの押されが根本的に防止されることで、ＭＬＣＣを製作するために積層される超薄膜シートの積層アレイが一律的に行われるという優れた効果がある。
【００９６】
また、メッシュプレートの押されが防止されることにより、メッシュプレートの異形が防止され、これにより、メッシュプレートの交換周期を極大化することができるという効果もある。
【００９７】
また、コンタクトプレートが上部金型に垂れなく偏平な状態で安定して配置されることで、メッシュプレートの機能が円滑に発揮できるようにする一層強化された機能を有するという効果がある。
【００９８】
さらに、コンタクトプレートに形成された微細孔によって薄膜シートが吸着されることで、薄膜シート表面の損傷が完璧に防止されるという効果がある。
【００９９】
以上、本発明のＭＬＣＣ積層用上部金型を好ましい実施例及び添付の図面によって説明したが、これは、発明の理解を助けるためのものであり、発明の技術的範囲をこれに限定しようとするものではない。
即ち、本発明の技術的要旨から逸脱せずとも当該発明が属する技術分野で通常の知識を持った者であれば、多様な変形や改造が可能なことは勿論であり、そのような変更や改造は、請求の範囲の解釈上、本発明の技術的範囲内にある。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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