【手続補正書】
【提出日】令和3年11月30日(2021.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カンフルスルホン酸、及び構造（Ｉ）（式中、ＲはＨまたはＣ１〜Ｃ１８ｎ−アルキルである）のベンゼンスルホン酸、
【化１】
2021511419.tif 000001
からなる群から選択されるスルホン酸成分；及び
構造（ＩＩ）を有するジカルボン酸、
【化２】
2021511419.tif 000002
有機溶剤成分から、または有機溶剤成分と水との混合物からなる溶剤成分、
を含むかまたはからなるフォトレジストリムーバ組成物であって、
前記有機溶剤成分が、１００重量％〜８５重量％の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤（ＩＩＩ）、（ＩＶ）、（Ｖ）、（ＶＩ）（式中、Ｒは、−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｎ’−ＯＨ、−ＯＨ、及び−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ３からなる群から選択され、ここでｎ’は１、２、３または４に等しい）、（ＶＩＩ）（式中、ＲａはＨまたはＣ１〜Ｃ４アルキル部分である）、（ＶＩＩＩ）、（ＩＸ）（式中、ＲｂはＣ１〜Ｃ１８アルキル部分である）、（Ｘ）、及び（ＸＩ）からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも溶剤の混合物である、前記フォトレジストリムーバ組成物：
【化３】
2021511419.tif 000003
【請求項２】
カンフルスルホン酸、及び構造（Ｉ）（式中、ＲはＨまたはＣ１〜Ｃ１８ｎ−アルキルである）のベンゼンスルホン酸、
【化４】
2021511419.tif 000004
からなる群から選択されるスルホン酸成分；及び
構造（ＩＩ）を有するジカルボン酸、
【化５】
2021511419.tif 000005
有機溶剤成分、または有機溶剤成分と水との混合物を含むかまたはからなる溶剤成分、
及び界面活性剤、
を含むかまたはからなるフォトレジストリムーバ組成物であって、
前記有機溶剤成分が、１００重量％〜８５重量％の前記溶剤成分からなり、更に、前記有機溶剤成分が、溶剤（ＩＩＩ）、（ＩＶ）、（Ｖ）、（ＶＩ）（式中、Ｒは、−（−Ｏ−ＣＨ２−ＣＨ２−）ｎ’−ＯＨ、−ＯＨ及び−Ｏ−Ｃ（＝Ｏ）−ＣＨ３からなる群から選択され、ここでｎ’は１、２、３または４に等しい）、（ＶＩＩ）（式中、ＲａはＨまたはＣ１〜Ｃ４アルキル部分である）、（ＶＩＩＩ）、（ＩＸ）（式中、ＲｂはＣ１〜Ｃ１８アルキル部分である）、（Ｘ）、及び（ＸＩ）からなる群から選択されるか、またはこの群から選択される少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、前記フォトレジストリムーバ組成物：
【化６】
2021511419.tif 000006
【請求項３】
前記界面活性剤が、構造（ＸＩＩ）を有するポリマー型界面活性剤であり、ここでｎ’’’はポリマー繰り返し単位の数であり、そしてｎａはＣＨ２スペーサ部分の数であり、８〜１４の整数であり、
【化７】
2021511419.tif 000007
好ましくは、構造（ＸＩＩａ）を有し、
【化８】
2021511419.tif 000008
または、前記界面活性剤が、構造（ＸＩＩＩ）
【化９】
2021511419.tif 000009
を有するものである、請求項２に記載の組成物。
【請求項４】
前記界面活性剤が、０．００５重量％〜３重量％で存在する、請求項２または３に記載の組成物。
【請求項５】
前記スルホン酸成分がカンフルスルホン酸、
またはベンゼンスルホン酸、
またはトルエンスルホン酸、
または構造（Ｉ）のベンゼンスルホン酸、
または構造（Ｉａ）のアルキルベンゼンスルホン酸（ここでｎは０〜１６、好ましくは８〜１６、より好ましくは８〜１４、最も好ましくは８〜１０の整数である）
【化１０】
2021511419.tif 000010
であり、好ましくは構造（Ｉｂ）
【化１１】
2021511419.tif 000011
を有する、請求項１〜４のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項６】
前記アルキルベンゼンスルホン酸（Ｉａ）に関して、ｎが０〜１０の整数、好ましくは０〜５の整数、より好ましくは０〜２の整数であり、最も好ましくは、前記アルキルベンゼンスルホン酸が、構造（Ｉｃ）
【化１２】
2021511419.tif 000012
を有する、請求項５に記載の組成物。
【請求項７】
前記アルキルベンゼンスルホン酸が構造（Ｉｄ）を有し、ここでｎｂは０〜１６の整数、好ましくは１０〜１４の整数、より好ましくは８〜１０の整数であり、
【化１３】
2021511419.tif 000013
最も好ましくは、前記アルキルベンゼンスルホン酸が構造（Ｉｅ）
【化１４】
2021511419.tif 000014
を有する、請求項１〜５のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項８】
ｎｂが０〜１０の整数、好ましくは０〜５の整数であり、より好ましくは、前記アルキルベンゼンスルホン酸が構造（Ｉｆ）
【化１５】
2021511419.tif 000015
を有する、請求項７に記載の組成物。
【請求項９】
前記スルホン酸が、前記組成物の０．１重量％〜１０重量％、好ましくは前記組成物の０．５重量％〜２．５重量％で存在する、請求項１〜８のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１０】
構造（ＩＩ）の前記ジカルボン酸であるシュウ酸が、全組成物の１重量％〜１０重量％で、好ましくは全組成物の２重量％〜５重量％で存在する、請求項１〜９のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１１】
前記ジカルボン酸に対する前記スルホン酸のモル比が０．０１〜０．６、好ましくは０．０１〜０．５５、より好ましくは０．０１〜０．３、最も好ましくは０．１〜０．２、特に０．１〜０．１５である、請求項１〜１０のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１２】
前記溶剤成分において、前記有機溶剤成分が溶剤（ＩＩＩ）である、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＩＶ）を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が溶剤（Ｖ）である、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩ）を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩ）の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、
または前記有機溶剤が、構造（ＶＩａ）を有するものから選択される有機溶剤であり、ここでｎ’は１、２、３または４である、
【化１６】
2021511419.tif 000016
または前記有機溶剤が、１、２、３または４のｎ’の異なる値を有する構造（ＶＩａ）を有する少なくとも二種の有機溶剤の混合物である、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｂ）を有する単一の有機溶剤である、
【化１７】
2021511419.tif 000017
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｃ）を有する単一の有機溶剤である、
【化１８】
2021511419.tif 000018
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｄ）を有する単一の有機溶剤である、
【化１９】
2021511419.tif 000019
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｅ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２０】
2021511419.tif 000020
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｆ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２１】
2021511419.tif 000021
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩｇ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２２】
2021511419.tif 000022
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩ）の範囲に該当する構造を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩ）の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩａ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２３】
2021511419.tif 000023
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩｂ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２４】
2021511419.tif 000024
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩｃ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２５】
2021511419.tif 000025
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩｄ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２６】
2021511419.tif 000026
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩｅ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２７】
2021511419.tif 000027
または前記有機溶剤成分が、構造（ＶＩＩＩ）を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸ）の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物である、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸ）の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物であり、ここでＲｂはＣ１〜Ｃ１２アルキルであり、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸ）の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物であり、ここでＲｂはＣ１〜Ｃ８アルキルであり、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸ）の範囲に該当する構造を有する少なくとも二つの異なる有機溶剤の混合物であり、ここでＲｂはＣ１〜Ｃ４アルキルであり、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸａ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２８】
2021511419.tif 000028
または前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸｂ）を有する単一の有機溶剤である、
【化２９】
2021511419.tif 000029
または前記有機溶剤成分が、構造（ＩＸｃ）を有する単一の有機溶剤である、
【化３０】
2021511419.tif 000030
または前記有機溶剤が、構造（ＩＸｄ）を有する単一の有機溶剤である、
【化３１】
2021511419.tif 000031
または前記有機溶剤成分が、構造（Ｘ）を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、構造（ＸＩ）を有する単一の有機溶剤である、
または前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤（ＩＩＩ）と有機溶剤（ＩＶ）との混合物のみからなり；ここで前記混合物において、前記有機溶剤（ＩＩＩ）は、有機溶剤の前記混合物の９０重量％〜５０重量％の範囲である、
または前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤（ＩＩＩ）と有機溶剤（ＩＶ）との混合物のみからなり；ここで前記混合物において、前記有機溶剤（ＩＩＩ）は、有機溶剤の前記混合物の７０重量％〜５０重量％の範囲である、
または前記有機溶剤成分が、有機溶剤の混合物であり、ここで前記混合物は、有機溶剤（ＩＩＩ）と有機溶剤（ＩＶ）との混合物のみからなり；ここで前記混合物において、前記有機溶剤（ＩＩＩ）は、有機溶剤の前記混合物の６０重量％〜５０重量％の範囲である、
請求項１〜１１のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１３】
前記溶剤成分において、水が０〜１５重量％の範囲、好ましくは３〜８重量％の範囲である、請求項１〜１２のいずれか一つに記載の組成物。
【請求項１４】
次のステップ：
ｉ）おおよそ室温から約１００℃までである温度で請求項１〜１３のいずれか一つに記載の組成物を加熱するステップ；
ｉｉ）パターン化されたフォトレジストフィルムでコーティングされた基材を、前記の加熱された組成物中に約１分間〜約６０分間の時間、浸漬した基材からフォトレジストフィルムが除去されるまで、浸漬するステップ；
ｉｉｉ）浸漬ステップｉｉ）の後、フォトレジストフィルムが除去された前記の浸漬した基材を、イソプロピルアルコール、水、またはイソプロプルアルコールと水との混合物のいずれかですすいで、浸漬ステップｉｉ）からの残留組成物を除去して、クリーンな基材を生成するステップ；
ｉｖ）上記のクリーンな基材を、それを空気中でスピン乾燥するか、またはそれを乾燥するために窒素もしくは空気の流れを用いて乾燥するステップ；
を含む、方法。
【請求項１５】
ステップｉ）において、前記組成物を約４０℃〜約８０℃に加熱する、
及び／またはステップｉｉ）において、基材が金属、好ましくは銅である、
及び／またはステップｉｉ）において、基材を約５分間〜約３０分間浸漬する、
及び／またはステップｉｉｉ）において、すすぎを水で行う、
請求項１４に記載の方法。