(57)【要約】  本発明は、ロール状の薄膜ガラスに生じる応力偏在に起因する当該薄膜ガラスの破損を抑制する。本発明の搬送装置１は、長尺な薄膜ガラスＧを長手方向に沿って送込ロール４２で搬送し、当該送込ロール４２と隣り合う巻取ロール３でロール状に巻き取るものであって、送込ロール４２は、巻取ロール３に巻き取られたロール状の巻取りガラスと当該送込ロール４２との間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されている。
2011158584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールは、前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスと当該搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項２】
前記搬送ロールは、当該搬送ロールと、
前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが当該薄膜ガラスの幅の０．５倍以上となるように配設されていることを特徴とする請求項１に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項３】
前記搬送ロールと前記巻取軸との少なくとも一方は、当該搬送ロールと前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さを調整可能なように、移動可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項４】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールは、前記薄膜ガラスと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項５】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールと前記巻取軸との前記薄膜ガラスの幅方向両端部での各距離を調整可能な調整手段と、
前記搬送ロールを通過する前記薄膜ガラスの幅方向両側での搬送方向への各張力を検出可能な張力検出手段と、
前記張力検出手段が検出した前記各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が前記所定の閾値未満となるように前記調整手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項６】
繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールは、前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスと当該搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項７】
前記搬送ロールは、当該搬送ロールと前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが当該薄膜ガラスの幅の０．５倍以上となるように配設されていることを特徴とする請求項６に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項８】
前記搬送ロールと前記繰出軸との少なくとも一方は、当該搬送ロールと前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さを調整可能なように、移動可能に構成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項９】
繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールは、前記薄膜ガラスと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項１０】
繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールと前記繰出軸との前記薄膜ガラスの幅方向両端部での各距離を調整可能な調整手段と、
前記搬送ロールを通過する前記薄膜ガラスの幅方向両側での搬送方向への各張力を検出可能な張力検出手段と、
前記張力検出手段が検出した前記各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が前記所定の閾値未満となるように前記調整手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項１１】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールとして、前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスと当該搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項１２】
前記搬送ロールとして、当該搬送ロールと前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが当該薄膜ガラスの幅の０．５倍以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする請求項１１に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項１３】
前記搬送ロールと前記巻取軸との少なくとも一方として、当該搬送ロールと前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さを調整可能なように、移動可能に構成されているものを用いることを特徴とする請求項１１又は１２に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項１４】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールとして、前記薄膜ガラスと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されているものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項１５】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールと前記巻取軸との前記薄膜ガラスの幅方向両端部での各距離を調整可能な調整手段と、前記搬送ロールを通過する前記薄膜ガラスの幅方向両側での搬送方向への各張力を検出可能な張力検出手段と、を用い、
前記張力検出手段が検出した前記各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が前記所定の閾値未満となるように前記調整手段を制御することを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項１６】
繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールとして、前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスと当該搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項１７】
前記搬送ロールとして、当該搬送ロールと前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが当該薄膜ガラスの幅の０．５倍以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする請求項１６に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項１８】
前記搬送ロールと前記繰出軸との少なくとも一方として、当該搬送ロールと前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さを調整可能なように、移動可能に構成されているものを用いることを特徴とする請求項１６又は１７に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項１９】
繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールとして、前記薄膜ガラスと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されているものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項２０】
繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールと前記繰出軸との前記薄膜ガラスの幅方向両端部での各距離を調整可能な調整手段と、前記搬送ロールを通過する前記薄膜ガラスの幅方向両側での搬送方向への各張力を検出可能な張力検出手段と、を用い、
前記張力検出手段が検出した前記各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が前記所定の閾値未満となるように前記調整手段を制御することを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜ガラスの搬送装置、及び薄膜ガラスの搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、表示デバイス用の基板材料として、ガスバリア性や透光性などに優れる薄膜ガラスが好適に用いられている。この薄膜ガラスは、厚さが２００μｍ以下、好ましくは３０〜１５０μｍの極めて薄いガラスであり、この薄さによって可撓性を有し、例えばロール状に巻き取ることも可能となっている。【０００３】
そのため、この可撓性を利用して薄膜ガラスに効率的に各種処理を施す手法として、長尺な薄膜ガラスを繰出軸から巻取軸へロールツーロール方式でロール搬送しつつ、その表面に各種処理を施す技術が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１０５９００号公報
【特許文献２】特開平８−２８３０４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、第一に、搬送される薄膜ガラスの厚さ分布や巻き取り時の張力分布を完全に均一にすることは困難であるため、図６に示すように、巻取軸でロール状に巻き取られる巻取りガラスには上記の厚さ分布や張力分布に起因する偏りが生じる。そのため、この偏りに基づく応力偏在によって、薄膜ガラス（巻取りガラス）が破損してしまう場合がある。【０００６】
また、同様の現象として、繰出軸にロール状に巻かれた元巻ガラスに上記の応力偏在が生じている場合に、繰出軸とその直後の搬送ロールとの間において上記の偏在した応力を更に偏らせるような張力分布を生じさせてしまうと、繰出軸から繰り出された薄膜ガラスが破損してしまう場合がある。【０００７】
本発明の第一の課題は、ロール状の薄膜ガラスに生じる応力偏在に起因する当該薄膜ガラスの破損を抑制することのできる薄膜ガラスの搬送装置、及び薄膜ガラスの搬送方法を提供することである。【０００８】
また、第二に、上記の薄膜ガラスは、可撓性を有しているとはいえ、そもそも脆性材料であるため、大きな抱き角の搬送ロールに連続通過させると、屈曲が繰り返されることにより破断してしまう場合がある。【０００９】
本発明の第二の課題は、搬送ロール通過時における薄膜ガラスの破断を抑制することのできる薄膜ガラスの搬送装置、及び薄膜ガラスの搬送方法を提供することである。【００１０】
更に第三として、薄膜ガラスの幅を所定の長さに揃える工程では、ＣＯ２レーザー等のレーザーによる切断が好適に用いられる。この切断工程では、薄膜ガラスの一方の主面にＣＯ２レーザーを照射し、その熱応力を利用した亀裂進展によって薄膜ガラスを切断する。【００１１】
一般に、ガラスの理論強度は非常に高いが、実質的に得られる引っ張り強度はその１／１００程度と言われている。これはガラス端面に生じる所謂マイクロクラックと言われる傷に、応力が集中作用することに起因する。ガラスの強度を維持するにはやはりエッジ部の品質が特に重要であり、実際に長尺の可撓性帯状物として扱う場合、特にその要求品質は高い。エッジの処理は熱応力を発生させ切断する亀裂進展側の切断技術が必須であり、熱応力発生の意味からガラスへの吸収特性が優れているＣＯ２レーザーが用いられる。この切断技術で切断処理されたものは、その切断断面のマイクロクラックが極小化でき、切断したガラス自体の破断強度をつよく維持できることは公知であり。通常２００μｍ程度の厚さであればレーザー照射、急冷の切断プロセスで膜厚方向全てを割断（所謂フルカット）することが可能である。【００１２】
しかしながら、レーザーによって切断された薄膜ガラスでは、レーザーが照射されていないレーザー非照射面に微細なクラックを生じることが分かってきた。これは、レーザーによる亀裂進展がレーザーの走査速度よりも早くなったときに、薄膜ガラスの裏面（レーザー非照射面）側が加熱過多となる結果、このレーザー非照射面に歪みが発生してクラックが生じるものと考えられる。【００１３】
そのため、レーザーによって切断された薄膜ガラスをロール搬送する場合に、レーザー非照射面を外側にして薄膜ガラスを大きく屈曲させると、この屈曲による曲率外側面に生じる引っ張り応力によりレーザー非照射面のクラックが進展して薄膜ガラスを破損させてしまう可能性が高い懸念がある。【００１４】
本発明の第三の課題は、レーザーの被照射（非照射面に発生するクラック）に起因する薄膜ガラスの搬送時での破損を抑制することのできる薄膜ガラスの搬送方法、及び薄膜ガラスの搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記第一の課題は以下１〜２０の手段によって達成される。【００１６】
１．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールは、前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスと当該搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００１７】
２．前記搬送ロールは、当該搬送ロールと、
前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが当該薄膜ガラスの幅の０．５倍以上となるように配設されていることを特徴とする前記１に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００１８】
３．前記搬送ロールと前記巻取軸との少なくとも一方は、当該搬送ロールと前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さを調整可能なように、移動可能に構成されていることを特徴とする前記１又は２に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００１９】
４．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールは、前記薄膜ガラスと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００２０】
５．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールと前記巻取軸との前記薄膜ガラスの幅方向両端部での各距離を調整可能な調整手段と、
前記搬送ロールを通過する前記薄膜ガラスの幅方向両側での搬送方向への各張力を検出可能な張力検出手段と、
前記張力検出手段が検出した前記各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が前記所定の閾値未満となるように前記調整手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００２１】
６．繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールは、前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスと当該搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００２２】
７．前記搬送ロールは、当該搬送ロールと前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが当該薄膜ガラスの幅の０．５倍以上となるように配設されていることを特徴とする前記６に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００２３】
８．前記搬送ロールと前記繰出軸との少なくとも一方は、当該搬送ロールと前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さを調整可能なように、移動可能に構成されていることを特徴とする前記６又は７に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００２４】
９．繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールは、前記薄膜ガラスと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００２５】
１０．繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールと前記繰出軸との前記薄膜ガラスの幅方向両端部での各距離を調整可能な調整手段と、
前記搬送ロールを通過する前記薄膜ガラスの幅方向両側での搬送方向への各張力を検出可能な張力検出手段と、
前記張力検出手段が検出した前記各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が前記所定の閾値未満となるように前記調整手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００２６】
１１．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールとして、前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスと当該搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００２７】
１２．前記搬送ロールとして、当該搬送ロールと前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが当該薄膜ガラスの幅の０．５倍以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする前記１１に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００２８】
１３．前記搬送ロールと前記巻取軸との少なくとも一方として、当該搬送ロールと前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さを調整可能なように、移動可能に構成されているものを用いることを特徴とする前記１１又は１２に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００２９】
１４．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールとして、前記薄膜ガラスと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されているものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００３０】
１５．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送し、当該搬送ロールと隣り合う巻取軸でロール状に巻き取る薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールと前記巻取軸との前記薄膜ガラスの幅方向両端部での各距離を調整可能な調整手段と、前記搬送ロールを通過する前記薄膜ガラスの幅方向両側での搬送方向への各張力を検出可能な張力検出手段と、を用い、
前記張力検出手段が検出した前記各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が前記所定の閾値未満となるように前記調整手段を制御することを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００３１】
１６．繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールとして、前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスと当該搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００３２】
１７．前記搬送ロールとして、当該搬送ロールと前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが当該薄膜ガラスの幅の０．５倍以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする前記１６に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００３３】
１８．前記搬送ロールと前記繰出軸との少なくとも一方として、当該搬送ロールと前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスとの間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さを調整可能なように、移動可能に構成されているものを用いることを特徴とする前記１６又は１７に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００３４】
１９．繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールとして、前記薄膜ガラスと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されているものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００３５】
２０．繰出軸にロール状に巻かれた長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って前記繰出軸から繰り出して、当該繰出軸と隣り合う搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールと前記繰出軸との前記薄膜ガラスの幅方向両端部での各距離を調整可能な調整手段と、前記搬送ロールを通過する前記薄膜ガラスの幅方向両側での搬送方向への各張力を検出可能な張力検出手段と、を用い、
前記張力検出手段が検出した前記各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が前記所定の閾値未満となるように前記調整手段を制御することを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００３６】
また、前記第二の課題は以下の手段２１〜２８により達成され、第三の課題は手段２９〜３６により達成される。【００３７】
２１．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記複数の搬送ロールのうち４０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触する搬送ロールは、搬送方向に４つ以下だけ連続して並設されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００３８】
２２．前記複数の搬送ロールのうち９０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触する搬送ロールは、搬送方向に２つ以下だけ連続して並設されていることを特徴とする前記２１に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００３９】
２３．それぞれ９０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触するとともに、搬送方向に連続して並設された２つの搬送ロールは、当該２つの搬送ロール間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが１００ｍｍ以上となるように配設されていることを特徴とする前記２１又は２２に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００４０】
２４．それぞれ１２０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触するとともに、搬送方向に連続して並設された２つの搬送ロールは、当該２つの搬送ロール間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが１００ｍｍ以上となるように配設されていることを特徴とする前記２１〜２３の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００４１】
２５．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記複数の搬送ロールとして、当該複数の搬送ロールのうち４０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触する搬送ロールが搬送方向に４つ以下だけ連続して並設されているものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００４２】
２６．前記複数の搬送ロールとして、当該複数の搬送ロールのうち９０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触する搬送ロールが搬送方向に２つ以下だけ連続して並設されているものを用いることを特徴とする前記２５に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００４３】
２７．それぞれ９０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触するとともに、搬送方向に連続して並設された２つの搬送ロールとして、当該２つの搬送ロール間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが１００ｍｍ以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする前記２５又は２６に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００４４】
２８．それぞれ１２０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触するとともに、搬送方向に連続して並設された２つの搬送ロールとして、当該２つの搬送ロール間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さが１００ｍｍ以上となるように配設されているものを用いることを特徴とする前記２５〜２７の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００４５】
２９．幅方向両端がレーザーの照射によって切断された長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記薄膜ガラスの両主面のうち前記レーザーが照射されたレーザー照射面とは反対側のレーザー非照射面を前記搬送ロールと接触させつつ当該薄膜ガラスを搬送することを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００４６】
３０．幅方向両端がレーザーの照射によって切断された長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記薄膜ガラスの両主面のうち前記レーザーが照射されたレーザー照射面と９０度未満の抱き角で接触しつつ当該薄膜ガラスを搬送する少なくとも１つの他の搬送ロールを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００４７】
３１．幅方向両端がレーザーの照射によって切断された長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記搬送ロールによって搬送された前記薄膜ガラスを、前記薄膜ガラスの両主面のうち前記レーザーが照射されたレーザー照射面とは反対側のレーザー非照射面が内周側に位置するようにロール状に巻き取ることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００４８】
３２．前記レーザーはＣＯ２レーザーであることを特徴とする前記２９〜３１の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００４９】
３３．幅方向両端がレーザーの照射によって切断された長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールは、前記薄膜ガラスの両主面のうち前記レーザーが照射されたレーザー照射面とは反対側のレーザー非照射面と接触しつつ当該薄膜ガラスを搬送することを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００５０】
３４．幅方向両端がレーザーの照射によって切断された長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記薄膜ガラスの両主面のうち前記レーザーが照射されたレーザー照射面と接触しつつ当該薄膜ガラスを搬送する少なくとも１つの他の搬送ロールを備え、
前記他の搬送ロールは、９０度未満の抱き角で前記薄膜ガラスの前記レーザー照射面と接触することを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００５１】
３５．幅方向両端がレーザーの照射によって切断された長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記搬送ロールによって搬送された前記薄膜ガラスをロール状に巻き取る巻取軸を備え、
前記巻取軸は、前記薄膜ガラスの両主面のうち前記レーザーが照射されたレーザー照射面とは反対側のレーザー非照射面が内周側に位置するように前記薄膜ガラスを巻き取ることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００５２】
３６．前記レーザーはＣＯ２レーザーであることを特徴とする前記３３〜３５の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
【発明の効果】
【００５３】
前記１，１１に記載の発明によれば、巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスと搬送ロールとの間に張架される薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上あるので、当該張架される薄膜ガラスの幅方向での張力分布に多少の不平衡が存在する場合であっても、当該張力分布の不平衡をこのロール間において緩和させつつ巻取軸で巻き取ることができる。したがって、薄膜ガラスの張力分布の不平衡による巻き取り時の応力偏在を低減することができ、ひいては、この応力偏在に起因する薄膜ガラスの破損を抑制することができる。【００５４】
前記１，７，１２，１７に記載の発明によれば、前記搬送ロールは、当該搬送ロールと、前記巻取軸に巻き取られたロール状の巻取りガラスまたは前記繰出軸に巻かれたロール状の元巻きガラス、との間に張架される薄膜ガラスの搬送方向長さが当該薄膜ガラスの幅の０．５倍以上となるように配設されていることで、当該張架される薄膜ガラスの幅方向での張力分布に多少の不平衡が存在する場合であっても、当該張力分布の不平衡をこのロール間において緩和させつつ巻取軸で巻き取ることができる。したがって、薄膜ガラスの張力分布の不平衡による巻き取り時の応力偏在を低減することができ、ひいては、この応力偏在に起因する薄膜ガラスの破損を抑制することができる。【００５５】
前記４，９，１４，１９に記載の発明によれば、薄膜ガラスと接触する搬送ロールのロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されているので、当該搬送ロールによって張力分布の不平衡を緩和させることができる。したがって、薄膜ガラスの張力分布の不平衡による巻き取り時の応力偏在を低減することができ、ひいては、この応力偏在に起因する薄膜ガラスの破損を抑制することができる。【００５６】
前記５，１０，１５，２０に記載の発明によれば、薄膜ガラスの幅方向両側での搬送方向への各張力の張力差が所定の閾値未満となるように制御されるので、薄膜ガラスの幅方向での張力分布の不平衡を一定水準未満に抑えることができる。したがって、薄膜ガラスの張力分布の不平衡による巻き取り時の応力偏在を低減することができ、ひいては、この応力偏在に起因する薄膜ガラスの破損を抑制することができる。【００５７】
前記６，１６に記載の発明によれば、繰出軸に巻かれたロール状の元巻ガラスと搬送ロールとの間に張架される薄膜ガラスの搬送方向長さが２００ｍｍ以上あるので、当該張架される薄膜ガラスの幅方向での張力分布に多少の不平衡が存在する場合であっても、当該張力分布の不平衡をこのロール間において緩和させつつ搬送ロールで搬送することができる。したがって、元巻ガラスに応力偏在がある場合であっても、この応力偏在を更に偏らせることなく薄膜ガラスを繰り出すことができ、ひいては、この応力偏在に起因する薄膜ガラスの破損を抑制することができる。【００５８】
前記２１〜２８に記載された発明によれば、４０度以上の大きな抱き角で薄膜ガラスと接触する搬送ロールがある場合であっても、当該搬送ロールは搬送方向に４つ以下だけしか連続していないので、このような抱き角の大きな搬送ロールを連続通過することによる薄膜ガラスの破断を抑制することができる。【００５９】
前記２９，３３に記載の発明によれば、搬送ロールが薄膜ガラスの両主面のうちのレーザー非照射面と接触しつつ当該薄膜ガラスを搬送するので、レーザーの照射によってレーザー非照射面に微細なクラックが生じていた場合であっても、搬送ロール通過時において当該クラックが進展しやすい方向へ薄膜ガラスを屈曲させることがない。したがって、クラックの進展を抑制することができ、レーザーの被照射に起因する薄膜ガラスの搬送時での破損を抑制することができる。【００６０】
前記３０，３４に記載の発明によれば、薄膜ガラスのレーザー照射面と接触しつつ当該薄膜ガラスを搬送する他の搬送ロールがある場合であっても、当該他の搬送ロールが９０度未満の抱き角で薄膜ガラスのレーザー照射面と接触するので、搬送ロール通過時においてレーザー非照射面のクラックが進展しやすい方向へ薄膜ガラスを過度に屈曲させることがない。したがって、クラックの進展を抑制することができ、レーザーの被照射に起因する薄膜ガラスの搬送時での破損を抑制することができる。【００６１】
前記３１，３５に記載の発明によれば、薄膜ガラスの両主面のうちのレーザー非照射面を内周側に位置させつつ当該薄膜ガラスをロール状に巻き取るので、レーザーの照射によってレーザー非照射面に微細なクラックが生じていた場合であっても、巻き取り時において当該クラックが進展しやすい方向へ薄膜ガラスを屈曲させることがない。したがって、クラックの進展を抑制することができ、レーザーの被照射に起因する薄膜ガラスの搬送時での破損を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】薄膜ガラスの搬送装置の概略構成を示す図である。
【図２】張力計とＬＭガイドを説明するための図である。
【図３】引出ロール及び送込ロールの構造を説明するための図である。
【図４】空気吹き出し式無接触搬送手段による幅手の張力分布イメージを示した図である。
【図５】実施例での巻取りの張力条件を説明するための図である。
【図６】巻取軸での巻取りガラスの偏りを説明するための図である。
【図７】実施例で用いた送り込みロールと巻き取りロールの配置を示す図である。
【図８】薄膜ガラスの搬送装置の要部を示す図である。
【図９】実施例で用いた搬送系を説明するための図である。
【図１０】第１の実施形態における薄膜ガラスの搬送装置の概略構成を示す図である。
【図１１】第２の実施形態における薄膜ガラスの搬送装置の概略構成を示す図である。
【図１２】実施形態の別例における薄膜ガラスの搬送装置の概略構成を示す図である。
【図１３】実施例９で用いた搬送系を説明するための図である。
【図１４】実施例９の結果をまとめたグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００６３】
以下、本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
【００６４】
図１は、前記１〜２０に記載の発明の実施形態における薄膜ガラスの搬送装置（以下、単に搬送装置という）１の概略構成を示す図である。
【００６５】
この図に示すように、搬送装置１は、長尺な薄膜ガラスＧを長手方向に沿ってロールツーロール方式でロール搬送しつつ、当該薄膜ガラスＧの表面に機能性膜を被膜する装置である。具体的には、搬送装置１は、繰出ロール（繰出軸）２と、巻取ロール（巻取軸）３と、複数の搬送ロール４，…と、被膜処理部５とを備えており、薄膜ガラスＧを繰出ロール２から繰り出して搬送ロール４，…で搬送しつつ巻取ロール３でロール状に巻き取る過程において、被膜処理部５によって薄膜ガラスＧ表面に機能性膜を被膜するように構成されている。
【００６６】
搬送ロール４，…のうち繰出ロール２と隣り合うものは、引出ロール４１とされている。この引出ロール４１は、繰出ロール２に巻かれたロール状の薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）と当該引出ロール４１との間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されている。このとき、引出ロール４１は、当該引出ロール４１と元巻ガラスとの間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さが当該薄膜ガラスＧの幅の０．５倍以上となるように配設されていることがより好ましい。
【００６７】
また、搬送ロール４，…のうち巻取ロール３と隣り合うものは、送込ロール４２とされている。この送込ロール４２は、引出ロール４１と同様に、巻取ロール３に巻き取られたロール状の薄膜ガラスＧ（巻取りガラス）と当該送込ロール４２との間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さが２００ｍｍ以上となるように配設されている。このとき、送込ロール４２は、当該送込ロール４２と巻取りガラスとの間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さが当該薄膜ガラスＧの幅の０．５倍以上となるように配設されていることがより好ましい。
【００６８】
これらの引出ロール４１及び送込ロール４２には、当該引出ロール４１又は送込ロール４２を通過する薄膜ガラスＧの幅方向両側での搬送方向への各張力を検出可能な張力計６１がそれぞれ設けられている。この張力計６１は、図２（ａ）（ｂ）に示すように、引出ロール４１及び送込ロール４２の幅方向両端を軸支する部分に設けられ、内部の歪ゲージによって薄膜ガラスＧの搬送方向張力を検出できるように構成されている。
【００６９】
また、引出ロール４１及び送込ロール４２には、当該引出ロール４１又は送込ロール４２を搬送方向へ移動可能なリニアモーションガイド（以下、ＬＭガイドという）７１がそれぞれ設けられている。このＬＭガイド７１は、引出ロール４１及び送込ロール４２の両端の軸支部分のうちの一方を搬送方向に沿って移動可能なように支持している。このようなＬＭガイド７１により、引出ロール４１と繰出ロール２との薄膜ガラスＧの幅方向両端部での各距離が調整可能となるとともに、送込ロール４２と巻取ロール３との薄膜ガラスＧの幅方向両端部での各距離が調整可能となっている。同時に、このＬＭガイド７１は、引出ロール４１と元巻ガラスとの間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さを調整可能とするとともに、送込ロール４２と巻取りガラスとの間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さを調整可能としている。
【００７０】
また、引出ロール４１及び送込ロール４２は、薄膜ガラスＧと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されている。このような引出ロール４１及び送込ロール４２としては、例えば、ロール部分に高弾性のゴムを用いたゴムロールでもよい。但し、この場合には、薄膜ガラスＧに対する滑り性が悪くなるため、これに起因する薄膜ガラスＧの接触応力増加が懸念される。そこで、図３（断面図）に示すように、内部に高弾性体を有しつつ、薄膜ガラスＧと接触する外表面に滑り性のよい皮膜（例えばフッ素系樹脂）を被せたロールとするのが好ましい。
【００７１】
搬送装置１は制御部１０を備えている。この制御部１０は、繰出ロール２及び巻取ロール３を駆動する駆動モータ２１及び駆動モータ３１と接続され、これら駆動モータ２１及び駆動モータ３１の駆動を制御して繰出ロール２及び巻取ロール３を所定の速度で回転させることが可能となっている。また、制御部１０は、各張力計６１及び各ＬＭガイド７１と接続されている。そして、制御部１０は、引出ロール４１及び送込ロール４２のそれぞれにおいて、張力計６１が検出した薄膜ガラスＧの幅方向両側での各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が所定の閾値未満となるようにＬＭガイド７１を制御する。
【００７２】
搬送装置１が搬送する薄膜ガラスＧは、特に限定はされないが、厚さが２００μｍ以下、好ましくは３０〜１５０μｍの極めて薄いガラスである。
【００７３】
以上のように、巻取ロール３に巻き取られたロール状の巻取りガラスと送込ロール４２との間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さが２００ｍｍ以上あるので、当該張架される薄膜ガラスＧの幅方向での張力分布に多少の不平衡が存在する場合であっても、当該張力分布の不平衡をこのロール間において緩和させつつ巻取ロール３で巻き取ることができる。したがって、薄膜ガラスＧの張力分布の不平衡による巻き取り時の応力偏在を低減することができ、ひいては、この応力偏在に起因する薄膜ガラスＧの破損を抑制することができる。
【００７４】
また、繰出ロール２に巻かれたロール状の元巻ガラスと引出ロール４１との間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さが２００ｍｍ以上あるので、当該張架される薄膜ガラスＧの幅方向での張力分布に多少の不平衡が存在する場合であっても、当該張力分布の不平衡をこのロール間において緩和させつつ引出ロール４１で搬送することができる。したがって、元巻ガラスに応力偏在がある場合であっても、この応力偏在を更に偏らせることなく薄膜ガラスＧを繰り出すことができ、ひいては、この応力偏在に起因する薄膜ガラスＧの破損を抑制することができる。
【００７５】
また、引出ロール４１及び送込ロール４２は、薄膜ガラスＧと接触するロール部分が径方向に弾性変形可能に構成されているので、当該引出ロール４１又は送込ロール４２に亘って張架される薄膜ガラスＧの張力分布の不平衡を更に緩和させることができる。
【００７６】
また、引出ロール４１及び送込ロール４２のそれぞれにおいて、張力計６１が検出した薄膜ガラスＧの幅方向両側での各張力の張力差が所定の閾値以上となった場合に、当該張力差が所定の閾値未満となるようにＬＭガイド７１が制御されるので、引出ロール４１又は送込ロール４２に亘って張架される薄膜ガラスＧの張力分布の不平衡を更に緩和させることができる。
【００７７】
なお、前記１〜２０に記載の発明を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００７８】
例えば、上記実施形態では、ＬＭガイド７１は、引出ロール４１及び送込ロール４２に設けることとしたが、更に繰出ロール２及び巻取ロール３に設けてもよいし、繰出ロール２及び巻取ロール３だけに設けてもよい。また、ＬＭガイド７１は、引出ロール４１及び送込ロール４２それぞれにおいて、一端側のみに設けられることとしたが、両端に設けることとしてもよい。
【００７９】
また、巻取ロール３は、合紙を挟みつつ薄膜ガラスＧを巻き取ることとしてもよい。この合紙として、厚さ方向に弾性を有するものを用いることで、上述した薄膜ガラスＧの破損抑制効果を更に向上させることができる。
【００８０】
また、引出ロール４１及び送込ロール４２それぞれの両端に張力計６１を設けることとしたが、より詳細に幅方向の張力分布を計測可能な手段として、図４に示すように、空気を噴出して非接触で薄膜ガラスＧを搬送可能な引出ロール４１Ａ及び送込ロール４２Ａを用いることができる。具体的には、引出ロール４１Ａ（送込ロール４２Ａ）表面と薄膜ガラスＧとの間に生じる圧力（背圧）を計測することにより、薄膜ガラスＧの幅方向の張力分布を詳細に計測することができる。このような引出ロール４１Ａ及び送込ロール４２Ａとしては、例えば、特開平１−２０９２５６号公報や特許第２５９７１２９号公報等に記載のものを用いることができる。なお、この手法による張力分布計測を引出ロール４１及び送込ロール４２以外の他の搬送ロール４にも適用し、これらの搬送ロール４において張力分布の均一化を図ることが好ましいのは勿論である。
【００８１】
また、巻取ガラスの巻径によらず当該巻取りガラスと送込ロール４２との最短距離を常に２００ｍｍ以上確保できるような距離調整機構を用いてもよい。巻取りガラスと送込ロール４２との最短距離（両者の表面間の最短距離）を２００ｍｍ以上とすることにより、上述した本願発明の効果を得られることは言うまでもない。また、同様の機構を繰り出し側に適用してもよい。
【００８２】
後述の実施例１〜６において、本発明をさらに具体的に説明する。
【００８３】
以下、前記２１〜２８に記載の発明の実施形態について、図を参照して説明する。
【００８４】
図８は、本実施形態における薄膜ガラスの搬送装置（以下、単に搬送装置という）１ａの要部を示す図である。
【００８５】
この図に示すように、搬送装置１ａは、複数の搬送ロール４，…を備えており、長尺な薄膜ガラスＧを長手方向に沿ってロールツーロール方式で搬送ロール４，…によってロール搬送しつつ、当該薄膜ガラスＧの表面に機能性膜を被膜する装置である。具体的には、搬送装置１ａは、搬送ロール４，…の他に、繰出ロール，巻取ロール及び被膜処理部（何れも図示せず）を備えており、薄膜ガラスＧを繰出ロールから繰り出して搬送ロール４，…で搬送しつつ巻取ロールで巻き取る過程において、被膜処理部によって薄膜ガラスＧ表面に機能性膜を被膜するように構成されている。
【００８６】
搬送装置１ａが搬送する薄膜ガラスＧは、特に限定はされないが、厚さが２００μｍ以下、好ましくは３０〜１５０μｍの極めて薄いガラスである。
【００８７】
搬送ロール４，…は、当該搬送ロール４，…のうち４０度以上の抱き角θで薄膜ガラスＧと接触するものが搬送方向に４つ以下だけ連続するように並設されている。つまり、４０度以上の抱き角θとなる搬送ロール４は、搬送方向に４つまでしか連続していない。ここで、抱き角θとは、搬送ロール４の周面のうち薄膜ガラスＧと接触する円弧部分の中心角である。
【００８８】
但し、搬送ロール４，…のうち、９０度以上の抱き角θで薄膜ガラスＧと接触する搬送ロール４がある場合には、当該搬送ロール４は搬送方向に２つ以下だけ連続するように並設されていることが好ましい。つまり、９０度以上の抱き角θとなる搬送ロール４は、搬送方向に２つまでしか連続していないことが好ましい。
【００８９】
また、搬送ロール４，…のうち、それぞれ９０度以上の抱き角θで薄膜ガラスＧと接触するとともに、搬送方向に連続して並設された２つの搬送ロール４は、当該２つの搬送ロール４間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さ（２つの搬送ロール４間のパス長さ）が１００ｍｍ以上となるように配設されている。
【００９０】
但し、搬送ロール４，…のうち、それぞれ１２０度以上の抱き角θで薄膜ガラスＧと接触するとともに、搬送方向に連続して並設された２つの搬送ロール４がある場合には、これら２つの搬送ロール４は、当該２つの搬送ロール４間に張架される薄膜ガラスＧの搬送方向長さが１００ｍｍ以上となるように配設されていることが好ましい。
【００９１】
以上のように、４０度以上の大きな抱き角θで薄膜ガラスＧと接触する搬送ロール４がある場合であっても、当該搬送ロール４は搬送方向に４つ以下だけしか連続していないので、このような抱き角θの大きな搬送ロール４を連続通過することによる薄膜ガラスＧの破断を抑制することができる。
【００９２】
なお、前記２１〜２８に記載の発明を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００９３】
例えば、上記実施形態では特に限定していないが、搬送ロール４の外径は１００ｍｍ以上であることが好ましい。搬送ロール４の外径が１００ｍｍ以上であれば、当該搬送ロール４での屈曲が及ぼす薄膜ガラスＧの破断への影響は、当該搬送ロール４の抱き角θの大きさだけで議論することができる。
【００９４】
また、薄膜ガラスＧの搬送をより安定化させるために、薄膜ガラスＧの搬送方向張力を検出可能な張力検出手段を設け、この張力検出手段が所定の張力を検出した場合に、薄膜ガラスＧの搬送を停止、又は搬送ロール４の位置を調整することで、薄膜ガラスＧの破断を未然に防げるように構成することが好ましい。また、この張力検出手段は、薄膜ガラスＧの幅方向両端での張力差を検出できることがより好ましい。なお、このような張力検出手段としては、従来より公知のもの、例えば搬送ロール４の支持手段に設けた歪ゲージによるもの等を用いることができる。
【００９５】
後述の実施例７により、これらの発明についてはさらに具体的に説明する。
【００９６】
次に、前記２９〜３６に記載の発明の実施形態について、図を参照して説明する。
［第１の実施形態］
まず、前記２９〜３６に記載の発明の第１の実施形態について説明する。
【００９７】
図１０は、本第１の実施形態における薄膜ガラスの搬送装置（以下、単に搬送装置という）１ｂの概略構成を示す図である。
【００９８】
この図に示すように、搬送装置１ｂは、長尺な薄膜ガラスＧを長手方向に沿ってロールツーロール方式でロール搬送しつつ、当該薄膜ガラスＧの表面に機能性膜を被膜する装置である。具体的には、搬送装置１ｂは、繰出ロール２と、巻取ロール（巻取軸）３と、複数の搬送ロール４，…と、被膜処理部５とを備えており、薄膜ガラスＧを繰出ロール２から繰り出して搬送ロール４，…で搬送しつつ巻取ロール３でロール状に巻き取る過程において、被膜処理部５によって薄膜ガラスＧ表面に機能性膜を被膜するように構成されている。
【００９９】
搬送装置１ｂが搬送する薄膜ガラスＧは、特に限定はされないが、厚さが２００μｍ以下、好ましくは３０〜１５０μｍの極めて薄いガラスである。また、この薄膜ガラスＧは、幅方向両端がレーザーの照射によって予め切断されており、図１０の拡大図に示すように、両主面のうちの一方が切断時にレーザーを照射されたレーザー照射面ａであり、他方がレーザーを照射されていないレーザー非照射面ｂとなっている。なお、薄膜ガラスＧの切断に用いたレーザーは、本実施形態ではＣＯ２レーザーである。
【０１００】
複数の搬送ロール４，…は、薄膜ガラスＧの両主面のうちのレーザー非照射面ｂと接触しつつ、当該薄膜ガラスＧを搬送するように配設されている。
【０１０１】
巻取ロール３は、搬送ロール４，…によって搬送された薄膜ガラスＧを、レーザー非照射面ｂが内周側に位置するように巻き取る。
【０１０２】
以上のように、搬送ロール４が薄膜ガラスＧの両主面のうちのレーザー非照射面ｂと接触しつつ当該薄膜ガラスＧを搬送するので、レーザーの照射によってレーザー非照射面ｂに微細なクラックが生じていた場合であっても、搬送ロール４通過時において当該クラックが進展しやすい方向へ薄膜ガラスＧを屈曲させることがない。したがって、クラックの進展を抑制することができ、レーザーの被照射に起因する薄膜ガラスＧの搬送時での破損を抑制することができる。
【０１０３】
また、巻取ロール３がレーザー非照射面ｂを内周側に位置させつつ薄膜ガラスＧを巻き取るので、レーザーの照射によってレーザー非照射面ｂに微細なクラックが生じていた場合であっても、巻き取り時において当該クラックが進展しやすい方向へ薄膜ガラスＧを屈曲させることがない。したがって、クラックの進展を抑制することができ、レーザーの被照射に起因する薄膜ガラスＧの巻き取り時での破損を抑制することができる。
［第２の実施形態］
続いて、前記２９〜３６に記載の発明の第２の実施形態について説明する。なお、上記第１の実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【０１０４】
図１１は、本第２の実施形態における搬送装置１Ａの概略構成を示す図である。
【０１０５】
この図に示すように、搬送装置１Ａは、複数の搬送ロール４，…のうち、他の搬送ロール４とは薄膜ガラスＧを屈曲させる方向が異なる逆曲げロール４１を備えている。つまり、この逆曲げロール４１は、他の搬送ロール４とは異なり、薄膜ガラスＧのレーザー照射面ａと接触しつつ当該薄膜ガラスＧを搬送する。また、この逆曲げロール４１は、９０度未満の抱き角θで薄膜ガラスＧのレーザー照射面ａと接触するように配設されている。ここで、抱き角θとは、逆曲げロール４１（搬送ロール４）の周面のうち薄膜ガラスＧと接触する円弧部分の中心角である。
【０１０６】
以上のように、薄膜ガラスＧのレーザー照射面ａと接触しつつ当該薄膜ガラスＧを搬送する逆曲げロール４１がある場合であっても、当該逆曲げロール４１が９０度未満の抱き角θで薄膜ガラスＧのレーザー照射面ａと接触するので、逆曲げロール４１通過時においてレーザー非照射面ｂのクラックが進展しやすい方向へ薄膜ガラスＧを過度に屈曲させることがない。したがって、クラックの進展を抑制することができ、レーザーの被照射に起因する薄膜ガラスＧの搬送時での破損を抑制することができる。
【０１０７】
なお、前記２９〜３６に記載の発明を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【０１０８】
例えば、上記実施形態では、薄膜ガラスＧの幅方向両端がレーザーによって予め切断されているものとしたが、図１２に搬送装置１Ｂとして示すように、ライン内にレーザーによる切断工程を組み込んでもよい。具体的には、この搬送装置１Ｂは、搬送ロール４の近傍に配置されたレーザー発振部８１及び冷却部８２と、その下流の搬送ロール４の近傍に配置された端材除去部８３及び端材回収部８４とを、それぞれ薄膜ガラスＧの幅方向両端に一組ずつ備えている。
【０１０９】
この搬送装置１Ｂでは、薄膜ガラスＧを搬送しつつ、レーザー発振部８１でレーザー（例えばＣＯ２レーザー）を照射し、且つ冷却部８２で冷却することにより、薄膜ガラスＧの幅方向両端に所定深さの切欠きが連続的に形成される。そして、その下流において、薄膜ガラスＧのうち切欠きよりも端部側の端材ｃが端材除去部８３により薄膜ガラスＧから分離され、端材回収部８４内に収容される。
【０１１０】
また、搬送装置１Ｂでは、繰出ロール２から繰り出される元巻きガラスに、いわゆる合紙としての樹脂フィルムＦ１が挟み込まれており、この樹脂フィルムＦ１を巻き取るための合紙巻取ロール７１が繰出ロール２の近傍に設けられている。同様に、巻取ロール３の近傍にも合紙としての樹脂フィルムＦ２を繰り出す合紙繰出ロール７２が設けられ、巻取ロール３が当該樹脂フィルムＦ２を挟みつつ薄膜ガラスＧを巻き取るように構成されている。
【０１１１】
また、搬送ロール４の外径は、特に限定はされないが、薄膜ガラスＧの破損を抑制する点において、１００ｍｍ以上であることが好ましい。
【０１１２】
後述の実施例８、９により、これらの発明についてさらに具体的に説明する。
【実施例】
【０１１３】
以下に、実施例１〜６を挙げることにより、前記２１〜２８に記載の発明をさらに具体的に説明する。但し、本発明はこの実施例に限定されるものではない。【０１１４】
〈実施例１〉
実施例１では、巻き取りロールで巻き取るときの薄膜ガラスＧ（巻取りガラス）の破損（破断）状況について確認した。
＜薄膜ガラス＞
薄膜ガラスＧとして、ＣＯ２レーザーにて予め幅方向両端を切断済みのホウケイ酸ガラスを用いた。また、薄膜ガラスＧの厚さ及び幅は、結果と併せて表１に示す。
＜搬送条件＞
搬送は、図１の装置において送り込みロール４２巻き取りロール３の配置を、図７に示すように送り込みロール４２′で搬送し、隣り合う巻き取りロール３（それぞれロール径は２００ｍｍ）で巻き取るように変更して試験を行った。薄膜ガラスを巻き取るに従って、張架された薄膜ガラスの長さが減少してゆき、巻取ロールに巻き取られたロール状の巻取りガラスと送り込みロール４２′との間に張架される前記薄膜ガラスの搬送方向長さＬは短くなり（減少してゆき）、一定長さ以下になった時点で破断する。何処で破断が起こったか前記Ｌと破断との関係を観察した。【０１１５】
搬送実験は、各薄膜ガラスについてそれぞれ１５０回行い、巻き取るとき何処（Ｌ）で破断が起きるかについて観察した。【０１１６】
なお、送込ロール４２′は、平型（薄膜ガラスＧの全幅に亘って外径が均一なタイプ）の塩化ビニル製ロールとした。また、搬送速度は５ｍ／ｍｉｎ一定とした。巻取り条件は、ガラス幅によってそれぞれ以下の様に設定した。【０１１７】
ガラス幅３００ｍｍ：初期張力４０Ｎ／幅、テーパー：４０％
ガラス幅４００ｍｍ：初期張力５０Ｎ／幅、テーパー：４０％
ガラス幅６００ｍｍ：初期張力６０Ｎ／幅、テーパー：４０％
ガラス幅８００ｍｍ：初期張力８５Ｎ／幅、テーパー：４０％
なお、巻取り条件に示した「テーパー」とは、図５に示すように、薄膜ガラスＧに作用させる搬送方向張力を巻き取り中に直線的に低下させることを意味しており、この「テーパー」の値は、巻き取り完了時の搬送方向張力を初期張力の何％まで低下させるかを意味している。【０１１８】
各薄膜ガラスについて、巻き取りを行って、巻取ロールに巻き取られたロール状の巻取りガラスと送り込みロール４２′との間に張架される前記薄膜ガラスの長さＬが変わったとき、各薄膜ガラスについてそれぞれ１５０回の試験から搬送方向長さＬのそれぞれの段階での破損率を算出した。【０１１９】
○：破損率が０％
△：破損率が０％より大きく５％未満
×：破損率が５％以上１００％未満
××：破損率１００％以上
なお、試験における破断時の最長薄膜ガラス長さを表に付記した。
＜結果＞
結果を表１に示す。【０１２０】
【表１】
2011158584.tif 000003
【０１２１】
＜まとめ＞
表１から、破断が、「破断時の張架された薄膜ガラスの長さＬ」でみたとき、巻き取りの段階で、短くなったとき、どの長さにおいて破損が起こるか、破損率でわかる。【０１２２】
５％未満の破損率であれば可とした。それには、「破断時の張架された薄膜ガラスの長さＬ」は、少なくとも２００ｍｍを確保すべきであることが分かる。また、「送込ロール内面と巻取りガラス表面との距離」の値を薄膜ガラスＧの幅で除した値は概ね０．５となるため、当該距離は薄膜ガラスＧの幅の０．５倍以上あることが好ましい（破損率は０％となる）。【０１２３】
〈実施例２〉
実施例２では、送込ロール４２′として図３に示したものを用いたときの薄膜ガラスＧ（巻取りガラス）の破損（破断）状況を確認した。
＜評価条件＞
送込ロール４２′として、主軸の回りに片肉４０ｍｍのゴム（硬さ：ＪＩＳ Ａ ４０度）を取り付け、その外表面をフッ素系の熱収縮チューブで覆った後、その表面を表面粗さＲａ１．０μｍ（ＪＩＳ Ｂ ０６０１−１９９４）まで研磨したものを用いた。また、薄膜ガラスＧまた搬送条件は上記実施例１と同様のものとし、搬送速度は５ｍ／ｍｉｎ一定とした。
＜結果とまとめ＞
結果を表２に示す。この表２を表１と対比すると、送込ロール４２′として３に示したような二重構造ロールを用いることにより、薄膜ガラスＧ（巻取りガラス）の破損を抑制できることが分かる。【０１２４】
【表２】
2011158584.tif 000004
【０１２５】
〈実施例３〉
実施例３では、送込ロール４２′において、図２に示したようなＬＭガイド７１を設け、張力計６１により薄膜ガラスＧの幅方向両端での各張力を計測し、当該各張力の張力差が閾値以上となった場合にＬＭガイド７１により送込ロール４２のアライメント調整を行った。そして、このときの薄膜ガラスＧ（巻取りガラス）の破損（破断）状況を確認した。
＜評価条件＞
送込ロール４２及び薄膜ガラスＧまた搬送条件は上記実施例１と同様のものとし、搬送速度は５ｍ／ｍｉｎ一定とした。張力値については、搬送による変動もあることから、１０秒間毎の移動平均処理値を用いた。幅方向両端での張力差については、２０Ｎで制御が入る設定値とした。また、各薄膜ガラス所定の巻取り条件とするための張力設定は、駆動モータ３１の制御によるものとした。
＜結果とまとめ＞
結果を表３に示す。この表３を表１と対比すると、上記張力差に基づくアライメント調整制御を行うことにより、破断なく巻き取り可能な巻取りガラスの径を大きくできることが分かる。【０１２６】
【表３】
2011158584.tif 000005
【０１２７】
〈実施例４〉
実施例４では、元巻きロールから繰り出すときの薄膜ガラスＧの破損（破断）状況について確認した。【０１２８】
即ち、図１の装置において、引出ロール４１の位置を変化させて張架された薄膜ガラス長さを変えたときの、繰り出し直後の（巻出しガラス）の破損状況を確認した。張架された薄膜ガラス長さを表に示す６段階で実施した。なお、各長さ毎に１５０回の試験を行い、破損率については実施例１と同様に評価した。
＜評価条件＞
薄膜ガラスＧは上記実施例１と同様のものとした。元巻ガラスは、この薄膜ガラスＧを外径４００ｍｍまで合紙を用いずに巻いたものとした。また、引出ロール４１は、平型（薄膜ガラスＧの全幅に亘って外径が均一なタイプ）の塩化ビニル製ロールとした。また、搬送速度は５ｍ／ｍｉｎ一定とし、繰り出し時の薄膜ガラスＧの張力は７０Ｎ／幅とした。
＜結果とまとめ＞
結果を表４に示す。この表から、引出ロール４１及び元巻きガラスロール間の張架された薄膜ガラスの長さＬを２００ｍｍ以上取ることにより、薄膜ガラスＧの繰り出し直後の破断を抑制できることが分かる。【０１２９】
【表４】
2011158584.tif 000006
【０１３０】
〈実施例５〉
実施例５では、実施例４と同様の方法で、引出ロール４１として図３に示したものを用いたときの薄膜ガラスＧ（巻取りガラス）の破損（破断）状況を確認した。
＜評価条件＞
引出ロール４１として、上記実施例２で送込ロール４２として用いたものを使用した。薄膜ガラスＧは上記実施例１と同様のものとした。また、搬送速度は５ｍ／ｍｉｎ一定とし、繰り出し時の薄膜ガラスＧの張力は７０Ｎ／幅とした。
＜結果とまとめ＞
結果を表５に示す。この表５を表４と対比すると、引出ロール４１として図３に示したような二重構造ロールを用いることにより、破断なく当該引出ロール４１と元巻ガラスとの距離を短くできることが分かる。【０１３１】
【表５】
2011158584.tif 000007
【０１３２】
〈実施例６〉
実施例６では、実施例４と同様の方法で、但し、引出ロール４１において上記実施例３と同様のアライメント調整制御を行ったときの、繰り出し直後の薄膜ガラスＧの破損（破断）状況を確認した。
＜評価条件＞
評価条件は、上記実施例３と同様のものとした。
＜結果とまとめ＞
結果を表６に示す。この表６を表４と対比すると、引出ロール４１に対し薄膜ガラスＧの張力差に基づくアライメント調整制御を行うことにより、破断なく当該引出ロール４１と元巻ガラスとの距離を短くできることが分かる。【０１３３】
【表６】
2011158584.tif 000008
【０１３４】
以下に、実施例７を挙げることにより、前記２１〜２８に記載の発明をさらに具体的に説明する。但し、本発明はこの実施例に限定されるものではない。【０１３５】
〈実施例７〉
本実施例では、図９に示すように、６つの搬送ロール４（以下、上流側から第１ロール４ａ〜第６ロール４ｆとする）で薄膜ガラスＧを搬送する搬送系において、これらの搬送ロール４の抱き角θ１〜θ５とロール間スパンＬ１〜Ｌ５を変化させたときの薄膜ガラスＧの破断状況を確認した。ここで、ロール間スパンとは、搬送ロール４間に張架された薄膜ガラスＧの搬送方向長さのことである。なお搬送ロール４ｆでの抱き角θ６は略３８度とした。
＜薄膜ガラス＞
薄膜ガラスＧとして、長手方向先端にポリエステル樹脂フィルムが繋げられたものを用い、このフィルム部分により安定した搬送状態となった後にガラス部分が各搬送ロール４を通過するようにした。また、薄膜ガラスＧとして、ＣＯ２レーザーにて予め幅方向両端を切断済みの、幅４００ｍｍのホウケイ酸ガラスを用いた。なお、薄膜ガラスＧの厚さ及び搬送方向張力は、結果と併せて表１〜表３に示す。
＜搬送条件＞
全ての搬送ロール４は、塩化ビニル製のものとし、それぞれ隣り合うロールの「幅方向のロール両端の軸間距離差」を「その平均軸間距離」で除した値が０．００１（０．１％）以下となるまで芯出しした。また、搬送速度は５ｍ／ｍｉｎ一定とし、試験毎に薄膜ガラスＧを２５ｍ（５ｍｉｎ間）搬送して破断の有無を確認した。
＜結果＞
各搬送ロール４の抱き角θ１〜θ５を、４０度前後で変化させたときの結果を表７に、９０度前後で変化させたときの結果を表８に、１２０度前後で変化させたときの結果を表９に、それぞれ示す。【０１３６】
【表７】
2011158584.tif 000009
【０１３７】
【表８】
2011158584.tif 000010
【０１３８】
【表９】
2011158584.tif 000011
【０１３９】
＜まとめ＞
表７の結果から、４０度以上の抱き角θの搬送ロール４が５つ連続すると、薄膜ガラスＧが破断しやすくなることが分かる。また、搬送ロール４の外径やロール間スパンＬが薄膜ガラスＧの破断に及ぼす影響は、さほど大きくないといえる。【０１４０】
表８の結果から、９０度以上の抱き角θの搬送ロール４が３つ連続すると、薄膜ガラスＧが破断しやすくなることが分かる。また、９０度以上の抱き角θの搬送ロール４が２つしか連続していない場合であっても、この２つの搬送ロール４間でのロール間スパンＬが１００ｍｍ未満であると、薄膜ガラスＧが破断しやすくなることが分かる。搬送ロール４の外径については、１００ｍｍ以上の場合には安全と言え、１００ｍｍ未満では大きいほど好ましいと言える。【０１４１】
表９の結果から、１２０度以上の抱き角θの搬送ロール４があるときには、当該搬送ロールが２つしか連続していない場合であっても、この２つの搬送ロール４間でのロール間スパンＬが１００ｍｍ未満であると、薄膜ガラスＧが破断しやすくなることが分かる。【０１４２】
次に、実施例８〜９により、前記２９〜３６に記載の発明をさらに具体的に説明する。但し、本発明はこの実施例に限定されるものではない。【０１４３】
〈実施例８〉
実施例８では、巻取ロール３での薄膜ガラスＧの巻き取り時において、内周側に巻き込む面をレーザー照射面ａとレーザー非照射面ｂとで変化させたときに、薄膜ガラスＧを全長に亘って破損（破断）無く巻き取り可能か否かを確認した。（図１０の装置にあたる、ただし被膜処理部５による処理は行わず、巻き取り試験を行った。なお、図では、図１２に示すような繰出ロール近傍の合紙巻取ロール、同様に、巻取ロール近傍の合紙繰出ロールについては省略されている。）
＜薄膜ガラス＞
薄膜ガラスＧとして、ＣＯ２レーザーにて予め幅方向両端を切断済みの、全長２００ｍのホウケイ酸ガラスを用いた。また、薄膜ガラスＧの厚さ及び幅は、結果と併せて表１に示す。
＜搬送条件＞
薄膜ガラスＧの巻き取り速度は５ｍ／ｍｉｎ一定とした。また、巻取ローラ３（コア）の外径は２００ｍｍとし、巻き取りには合紙を用いた。その他の条件は、結果と併せて表１０に示す。
＜結果＞
結果を表１０に示す。なお、表中の巻取り条件に示した「テーパー」とは、薄膜ガラスＧに作用させる搬送方向張力を巻き取り中に直線的に低下させることを意味しており、この「テーパー」欄の値は、巻き取り完了時の搬送方向張力を初期張力の何％まで低下させるかを意味している。この値は、厳密には巻径変化に対する張力変化率であり、本実施例８では巻径２００〜４００ｍｍを０〜１００％とした（２００〜４００ｍｍのときに何％低下させたか）。また、表中の「端面エッジ安定性」とは、巻き取った薄膜ガラスＧの幅方向両端面の状態を評価したものであり、この欄の各記号はそれぞれ以下の内容を示している。【０１４４】
また巻き取り結果については破断なく巻き取れたものを○で表示した。【０１４５】
【表１０】
2011158584.tif 000012
【０１４６】
◎：巻取ロールのコア端と両端面とがほぼ揃っている。【０１４７】
○：巻取ロールのコア端に対する両端面のずれが０．５〜１．０ｍｍの範囲内である。【０１４８】
△：巻取ロールのコア端に対する両端面のずれが１．０ｍｍ以上である。
＜まとめ＞
表１０の結果から、レーザー非照射面ｂを内周側に位置させつつ薄膜ガラスＧを巻き取ることにより、薄膜ガラスＧの巻き取り時での破損を抑制できていることが分かる。【０１４９】
〈実施例９〉
実施例９では、図１３に示すように、抱き角θ１〜θ３を変更可能な３つの搬送ロール４，…（以下、第１ロール４ａ〜第３ロール４ｃとする）を含む搬送系において、以下の条件で各ロールにおける薄膜ガラスの抱き角θ１〜θ３を変化させたときの薄膜ガラスＧの破損（破断）状況を確認した。また第３ロール４ｃに接触する薄膜ガラス面も変化させた。
＜薄膜ガラス＞
薄膜ガラスＧとして、長手方向先端にポリエステル樹脂フィルムが繋げられたものを用い、このフィルム部分により安定した搬送状態となった後にガラス部分が各搬送ロール４を通過するようにした。また、薄膜ガラスＧとして、ＣＯ２レーザーにて予め幅方向両端を切断済みのホウケイ酸ガラスを用いた。その他、薄膜ガラスＧの厚さ及び幅は、結果と併せて表１１に示す。
＜搬送条件＞
薄膜ガラスＧの巻き取り速度は５ｍ／ｍｉｎ一定とした。そして、試験毎に薄膜ガラスＧを２５ｍ（５ｍｉｎ間）搬送して破損の有無を確認した。その他の条件は、結果と併せて表１１に示す。
＜結果＞
結果を表１１に示す。なお、表中の「破損有無」の欄の記号は、それぞれ以下の内容を示している。【０１５０】
【表１１】
2011158584.tif 000013
【０１５１】
○：薄膜ガラスに破損は確認されなかった。【０１５２】
△：薄膜ガラスが搬送ロール４を通過した後しばらくして破損した。【０１５３】
×：薄膜ガラスが搬送ロール４を通過した直後に破損した。
＜まとめ＞
表１１の結果から、抱き角θ３と破損発生率の関係をまとめたものを図１４に示す。この図から、薄膜ガラスＧのレーザー照射面ａを搬送ロール４（逆曲げロール４１）と接触させた場合であっても、当該搬送ロール４（逆曲げロール４１）の抱き角θを９０度未満とすることにより、薄膜ガラスＧの搬送時での破損を好適に抑制できることが分かる。
【符号の説明】
【０１５４】
１、１ａ、１ｂ、１Ａ、１Ｂ  搬送装置
２  繰出ロール（繰出軸）
３  巻取ロール（巻取軸）
４  搬送ロール
４１ａ  逆曲げロール（他の搬送ロール）
４１，４１Ａ  引出ロール（搬送ロール）
４２，４２Ａ  送込ロール（搬送ロール）
５  被膜処理部
１０  制御部（制御手段）
２１  駆動モータ
３１  駆動モータ
６１  張力計（張力検出手段）
７１  ＬＭガイド（調整手段）
Ｇ  薄膜ガラス
θ  抱き角
７１  合紙巻取ロール
７２  合紙繰出ロール
８１  レーザー発振部
８２  冷却部
８３  端材除去部
８４  端材回収部
Ｆ１  樹脂フィルム
Ｆ２  樹脂フィルム
ａ  レーザー照射面
ｂ  レーザー非照射面
ｃ  端材
【図７】
2011158584.tif 000014
【図１４】
2011158584.tif 000015
【図１】
2011158584.tif 000016
【図２】
2011158584.tif 000017
【図３】
2011158584.tif 000018
【図４】
2011158584.tif 000019
【図５】
2011158584.tif 000020
【図６】
2011158584.tif 000021
【図８】
2011158584.tif 000022
【図９】
2011158584.tif 000023
【図１０】
2011158584.tif 000024
【図１１】
2011158584.tif 000025
【図１２】
2011158584.tif 000026
【図１３】
2011158584.tif 000027
【国際調査報告】
2011158584.tif 000028
2011158584.tif 000029
2011158584.tif 000030
2011158584.tif 000031