(57)【要約】  本発明は、中間層を有する受動電気部品、特にコイルであって、中間層は、中間層で被覆される電気部品の表面よりも低い熱膨張係数を有し、その上にはプラズマポリマー炭素含有コーティングが配置されており、中間層に向いていないプラズマポリマーコーティングの側から８０ｎｍの深さで測定された炭素分率を有しており、ここで、プラズマポリマーコーティングは、いずれの場合にもＸＰＳで測定して、５０〜１００原子％、好ましくは５０〜９０原子％の炭素分率を含むか、有機金属コーティングの形態で２〜５０原子％の炭素分率を含む、中間層を有する受動電気部品に関する。
2019525997.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中間層を有する受動電気部品、特にコイルであって、
前記中間層は、前記中間層で被覆される電気部品の表面よりも低い熱膨張係数を有し、その上にはプラズマポリマー炭素含有コーティングが配置されており、前記プラズマポリマー炭素含有コーティングは、前記中間層からは遠い前記プラズマポリマーコーティングの側から８０ｎｍの深さで測定された炭素含有率を有しており、
ここで、前記プラズマポリマーコーティングは、いずれの場合にもＸＰＳで測定して、かつＸＰＳで検出された原子を基準として、５０〜１００原子％、好ましくは５０〜９０原子％の炭素含有率を含むか、２〜５０原子％の炭素含有率を含む有機金属コーティングとして構成されている、前記中間層を有する受動電気部品。
【請求項２】
前記中間層が、セラミック層、好ましくはＴｉＯ2、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉxＮyまたはＢＮをベースとするもの、さらに好ましくはアルマイト層の群から選択される、請求項１に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項３】
前記中間層が、架橋された油および／もしくは架橋されていない油、ならびに／または架橋されたシリコーン油および／もしくは架橋されていないシリコーン油を含み、かつ／または架橋された油もしくは架橋されたシリコーン油の帯域が前記中間層と前記プラズマポリマー層との間に存在する、請求項１または２に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項４】
前記プラズマポリマーコーティングがケイ素を含む、請求項１から３までのいずれか１項に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項５】
前記中間層で被覆される前記部品の前記表面が、銅、アルミニウム、または銅および／もしくはアルミニウムを含む合金からなる、請求項１から４までのいずれか１項に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項６】
前記プラズマポリマーコーティングが、
−  ２．５％以上のクラッキング前の伸張率、および／または
−  ２〜６ＧＰａ、好ましくは３．１〜６ＧＰａの範囲にある、ナノインデンテーションにより測定される硬度
を有する、請求項１から５までのいずれか１項に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項７】
前記プラズマポリマーコーティングが、前記コーティング中に存在する炭素原子、ケイ素原子および酸素原子の総数を基準として、５〜４０原子％、好ましくは２０〜３２原子％のケイ素および／または３０〜７０原子％、好ましくは４０〜６４原子％の酸素の割合を含み、この割合は、前記中間層からは遠い前記プラズマポリマーコーティングの側から８０ｎｍの深さで測定されるＸＰＳによる測定により求めることができる、請求項１から６までのいずれか１項に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項８】
前記プラズマポリマー層が、１００ｎｍ〜１００μｍ、好ましくは２００ｎｍ〜５０μｍ、さらに好ましくは５００ｎｍ〜１０μｍの厚さを有する、請求項１から７までのいずれか１項に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項９】
前記中間層および前記プラズマポリマー層が、一緒になった状態で、最大３ｍＡまでの電流について測定した、ＤＩＮ  ＥＮ  ６０２４３−１およびＤＩＮ  ＥＮ  ６０２４３−２に準拠して測定される破壊耐量が１００Ｖ以上である、請求項１から８までのいずれか１項に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項１０】
空気循環炉内で乾いた循環空気により３００℃で５００時間のエージングに続いて１時間以内に２０℃に冷却した後の受動電気部品の破壊耐量が、前記エージング前の破壊耐量の少なくとも８０％である、請求項１から９までのいずれか１項に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項１１】
室温で２０分の時間にわたり１ｍｏｌ／ＬのＮａＯＨ溶液に曝露された際に、前記プラズマポリマー層の領域に目視で検出可能ないかなるエッチング攻撃も受けない、請求項１から１１までのいずれか１項に記載の中間層を有する受動電気部品。
【請求項１２】
特に連続的なマイクロクラックの形成を防止することで、それぞれ請求項１から１１までのいずれか１項に記載の受動電気部品上の中間層の熱的および／もしくは機械的耐久性、ならびに／または媒体安定性を改善するための、請求項１から１１までのいずれか１項に記載のプラズマポリマーコーティングの使用。
【請求項１３】
それぞれ請求項１から１１までのいずれか１項に記載の受動電気部品上の請求項１から１１までのいずれか１項に記載の中間層の絶縁効果を修復するための、請求項１から１１までのいずれか１項に記載のプラズマポリマーコーティングの使用。
【請求項１４】
受動電気部品上に中間層とプラズマポリマーコーティングとが配置された受動電気部品を製造する方法であって、
ａ）  請求項１から１１までのいずれか１項に記載の受動電気部品を用意する工程、
ｂ）  請求項１から１１までのいずれか１項に記載の中間層を、好ましくは湿式化学法で基板上に配置する工程、
ｃ）  請求項１から１１までのいずれか１項に記載のプラズマポリマーコーティングを前記中間層上に堆積させる工程
を含む方法。
【請求項１５】
工程ｃ）を高周波プラズマ重合反応器内で低圧下で実施し、かつ前記基板をカソードとして接続する、請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、中間層を有する受動電気部品、特にコイルであって、中間層は、中間層で被覆される電気部品の表面よりも低い熱膨張係数有し、その上にはプラズマポリマー炭素含有コーティングがある、中間層を有する受動電気部品に関する。
さらに、本発明は、特に連続的なマイクロクラックの形成を防止することで、受動電気部品上の中間層の熱的および／もしくは機械的耐久性、ならびに／または媒体安定性を改善するための相応するプラズマポリマーコーティングの使用に関する。
本発明はまた、受動電気部品上に中間層とプラズマポリマーコーティングとが配置された受動電気部品を製造する方法であって、どちらの層も好ましくは電気絶縁作用を有する、方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気産業における現在の傾向は、電気絶縁層またはコーティングの層厚をさらにいっそう減少させる方向に向かっている。その理由としては、より効率的な設計空間の利用が選ばれることのみならず、層厚がより減少すると耐熱性が低下すること、ならびに加熱および冷却特性における改善を得ることが挙げられる。ここでコーティングの原料には、または層厚がより大きい場合、シースの原料には、長期間で利用可能な温度範囲について制限がある。例えば、銅線エナメルまたはシリコーンシースからなるしばしば有機系の標準的なコーティングにより、約２００℃または約２３０℃まででの使用が可能になる。これらの最大値を一時的に超過すること（衝撃）は場合によってはあり得るが、長期間にわたり使用されると、通常、永久的な熱的損傷が絶縁材料に与えられるため、絶縁特性の著しい低下および欠陥リスクの明らかな上昇がもたらされる。さらに、従来のエナメルの場合、設置状況に基づく電気部品への機械的応力と併せて加熱されると、層厚が局所的に減少するリスクが存在する。この層厚の減少により、生じた箇所において、絶縁能力の低下がもたらされ、かつ同様に欠陥リスクが上昇する。
【０００３】
さらに、ほとんどの場合に不都合なのは、保護コーティングについて必要とされる厚さであり、これは常に０．１ｍｍ超である。これは特に、熱的加熱（弱い熱伝達）について、および最大限可能な設計空間の開発についても当てはまる。さらに、多くのコーティング材料では、増加した層厚により、電圧に対する必要な破壊耐量（breakdown resistance）しか達成されない（安全マージン、ＶＤＥにおける一般的な要求内容を含む：（使用電圧＋１０００Ｖ）*２）。
【０００４】
以下に、最も重要または最も一般的な絶縁材料の概要を記載する：
−  シリコーン（場合によっては、ガラス繊維織布）による電線のシース：
通常２００℃までの使用  −  ２３０℃までの衝撃、７００Ｖまでの電圧値  −  絶縁層の厚さ約１．５ｍｍで２．５ｋＶまで（コアの厚さに依存）のピーク電圧試験（３．５Ｖ／μｍ）。
−  銅線のエナメル絶縁膜  −  ベース：ポリエステルイミド  −  「ワイヤエナメルは、通常クレゾール系の溶媒混合物中のポリマーの溶液である。ワイヤエナメルはすべて、特定のワイヤエナメル加工機でコーティングされ、３００〜６００℃で焼成される。これにより、溶媒が蒸発し、触媒燃焼する。この熱は、プラントの加熱に用いられる。ポリマーは架橋し、不溶性膜が形成される。エナメル銅線のはんだ付けでは、たとえすでにブレードまたはエメリーペーパーで絶縁されていたとしても、少量の毒性が高いトルエン２，４−ジイソシアネートが放出されることがあるため、商業的な作業場では排気システムが必要とされる。平滑な同心円状の無孔膜を得るためには、エナメル加工される電線は、６〜２０回、エナメル加工されて焼成されることが一般的である。目安として、エナメル膜は、エナメル銅線の質量の約１０％を占める。それにより生じる直径の伸びは、「増加」と称される」  −  出典：https://de.wikipedia.org/wiki/Kupferlackdraht。
−  ポリエステルイミド  −  さらなる多様に変性されたポリイミドと同様に、Ｋａｐｔｏｎ（約４００℃までの応力の場合一時的に、それ以外は最大約２５０℃）も参照。これらのフィルムは、１８０Ｖ／μｍの領域にある破壊耐量を有する  −  フィルム厚は、一般的に約０．１ｍｍである。しかしながら、フィルムは、それらの相対剛性を理由に、かつ曲げ半径が大きい場合にはクラッキング前の伸張が制限されていることを理由に、多くの３Ｄ形状に適していない。
−  ファインマイカ（fine mica）：
例えばＫ−Ｔｈｅｒｍ  ＡＳ−Ｍ６００／８００：一時的には８００℃まで、長期間の場合７００℃、破壊耐量は約２０ｋＶ／ｍｍ（２０Ｖ／μｍ）  −  欠点は生産に関連する０．５〜７５ｍｍの大きな層厚  −  シリコーン樹脂含浸マイカペーパーから高圧および高温で製造される構造物→したがって、これらは、層厚が比較的大きな高温圧縮された積層体である。
−  ポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）：
「ポリエーテルケトン（略してＰＥＫ）は、分子の骨格においてケトンおよびエーテル官能基が交互に並んだポリマーである。（１，４）位に結合したアリール基がいずれの場合にも官能基の間にあるポリアリールエーテルケトン（ＰＡＥＫ）を使用することが最も一般的である」。これらは、多くの薬品に対して安定しており、約２５０℃までで、かつ約２０ｋＶ／ｍｍ（２０Ｖ／μｍ）までの破壊耐量で長期的に使用可能である。しかしながら、十分な絶縁値のためには、大きな層厚が必要とされる。
−  セラミックコーティング：
セラミック保護層（厚さ０．１〜５ｍｍ）の用途のための水プラズマ技術：破壊耐量は、セラミックに応じて、最大１４００℃までの温度で、約３〜４ｋＶ／ｍｍ（３〜４Ｖ／μｍ）までである  −  しかしながら、非常に脆く、特にこれらをコーティング作業（必要なギャップアクセス性（gap accessibility））のために伸張させて、それから圧縮して設置しなくてはならない場合、複雑な形状に適用するのが難しい。
コーティングとは異なるもの  −  埋込用樹脂：
セラミック充填埋込用樹脂によりカプセル化する手段  −  場合によって１０００℃超まで熱的に安定している  −  十分に小さなフィラー粒子による比較的良好なギャップアクセス性  −  より大きな層厚（１００μｍ超〜１５０μｍ）の用途において使用可能。
−セラミックテキスタイル（管状コーティング）：
多結晶金属酸化物繊維を加工して織布にしたもの  −  フィラメント直径は約１０〜１２μｍであり、耐熱性は３５ｋＶ／ｍｍまでの破壊耐量で約１２００℃までであり、織られたプライとして使用可能であるが、大きな厚さ（０．５〜１．２ｍｍ）を有し、もっぱら外装に適している  −  したがって、３Ｄ形状での利用が限定されている。
【０００５】
独国特許出願公開第１０１３１１５６号では、２５〜５０原子％の炭素含有率を有するポリマープラズマコーティングが記載されており、ごく一般的な用語ではあるが、基板とポリマープラズマコーティングとの間の可能な中間層が明記されている。しかしながら、この基板は受動電気部品に関してはおらず、独国特許出願公開第１０１３１１５６号は、可能とされている中間層の性質について言及してはいない。欧州特許出願公開第１２６０６０６号には、誘電率が低い材料およびＣＶＤ法が記載されているが、これも同様に受動電気部品に関するものではない。
【０００６】
独国特許出願公開第１０２０１４２２４７９８号には、特に耐クリープ性をもたらし、かつ機械的な摺動特性を改善するために、プラズマコーティング法により生成された誘電体外部層を有する電磁スイッチング装置の接点ユニットであって、電気機械的なスイッチング装置のための、特にパワースイッチング装置のための、およびパワースイッチまたは漏電遮断器のためであってもよい部品としての役割を果たすことを意図している接点ユニットが記載されている。１つまたは複数の機能層がスイッチング装置と外部層との間に考えられると、ごく一般的な用語で言及されているが、機能層に関するさらなる詳細は記載されていない。
【０００７】
独国特許出願公開第１０２０１３１１０３９４号には、耐電圧電気絶縁性多層コーティングを有する装置であって、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）の層またはＡｌ2Ｏ3、ＳｉＯx、ＳｉＮx、Ｔａ2Ｏ5、ＨｆＯ2、ＴｉＯ2またはＺｒＯ2の層を含む中間層（下層）が存在し、かつこれが層コンデンサのような電気部品を含む装置が開示されている。
コーティングの伸張性については記載されていない。
独国特許発明第１９６０８１５８号には、プラズマコーティングについての技術的背景が記載されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
記載した従来技術を背景として、本発明の課題は、上記の欠点の多くを克服する層系により保護された受動電気部品を特定することであった。より詳細には、層系は、電気部品の表面の慣用的な不動態化を含み、比較的安価であり、良好な熱伝導性を保証可能であり、それでいて比較的高温でも良好な破壊耐量を有し、かつ／または機械的、化学的および／もしくは物理的応力に対する良好な保護をもたらすことが望ましいものであった。さらに、受動電気部品は、層系の適用後に所望の効果を損失することなく特定の変形が可能であるように、その層系に関連して好ましくは柔軟であるべきである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この課題は、中間層を有する受動電気部品、特にコイルであって、中間層は、中間層で被覆される電気部品の表面よりも低い熱膨張係数を有し、その上にはプラズマポリマー炭素含有コーティングが配置されており、プラズマポリマー炭素含有コーティングは、中間層からは遠いプラズマポリマーコーティングの側から８０ｎｍの深さで測定された炭素含有率を有しており、ここで、プラズマポリマーコーティングは、いずれの場合にもＸＰＳで測定して、かつＸＰＳで検出された原子を基準として、５０〜１００原子％、好ましくは５０〜９０原子％の炭素含有率を含むか、２〜５０原子％の炭素含有率を含む有機金属コーティングとして構成されている、中間層を有する受動電気部品により達成される。
基本的に、コーティングされた表面よりも低い熱膨張係数を有する層により、受動電気部品を電気的に絶縁できることまたは多くの影響に対して保護できることは知られている。しかしながら、機械的および／または熱的応力がある場合には熱膨張係数が異なるため、被覆される層の幾つかの保護効果が高頻度で失われる。このような層の一般的な例は、アルマイト（エロクサール：eloxal）層またはセラミック層である。
驚くべきことに、記載したプラズマポリマー炭素含有コーティングと組み合わせることで、中間層と（さらなる）プラズマポリマーコーティングとを組み合わせたもの（付加物）により期待されていたよりも耐久性が改善された受動電気部品を提供する選択肢がもたらされることが分かった。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、いずれの場合も、高温（３００℃で５分）での、その後１０分にわたる空気冷却を伴うサイクル式エージング作業の結果を示す。
【図２】図２は、１８０℃で２４時間、その直後に−２０℃に冷却して１時間にわたり空気接触させ、１時間にわたり１８０℃に再加熱し、その後に空気接触により室温へと冷却する、５重のサイクル式エージング作業（極端な事例１および極端な事例２）を、５サイクル、１０サイクルおよび２０サイクル（５×、１０×および２０×）にわたる上記のサイクル式エージング（３００℃で５分、１０分にわたる空気冷却）と比較した結果を示す。
【図３】図３は、例１のようにコイルのコーティングを形成し、続いて測定例４にあるエージングを行ったときの結果を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
プラズマポリマーコーティングの製造またはプラズマ重合自体は、当業者に公知である。プラズマ重合は、化学気相蒸着をプラズマで補助した特定の変形形態（ＰＥ−ＣＶＤ）である。プラズマ重合では、プロセスチャンバ内の蒸気状の有機前駆体化合物（前駆体モノマー）をプラズマによりまず活性化させる。活性化により、イオン化分子、励起状態またはフリーラジカルが生じ、前駆体の分子片が、気相においてある程度まで形成される。それに続いて基板表面においてこれらの断片が縮合することで、基板温度、電子およびイオン衝撃の作用のもと重合が起こるため、連続的な層が形成される。得られるプラズマポリマーの構造体は、高度に架橋されており、大部分が統計的な共有結合による網目構造を形成する。よって、単結晶または多結晶の形態にある連鎖結合されたポリマーをプラズマ重合により蒸着させることは不可能である。使用される前駆体は、ＰＥ−ＣＶＤ条件下、プラズマプロセスにおける励起により反応種に変換される。よって、当業者は、プラズマ重合とその他の堆積プロセス、例えば原子層堆積（ＡＬＤ法）とを区別している。ＡＬＤ法は、周期的に実施される２回以上の自己制限的な表面反応によりＣＶＤ法を大幅に修正したものであり、結果として、層は通常、多結晶または非晶質の構造になる。
本発明により好ましく使用されるプラズマ重合は、化学気相蒸着のプラズマ活性化による特定の変形形態（ＰＥ−ＣＶＤ）、特にさらに以下で詳細に記載される変形形態である。
【００１２】
理論に縛られることを望むものではないが、プラズマポリマー炭素含有層は、中間層におけるマイクロクラックの形成を効果的に防止または少なくとも大幅に制限して、応力がある場合に、受動電気部品上の層系の保護効果に対する性能の大幅な上昇を達成することができると思われる。
プラズマポリマー層における炭素含有率は、表面効果、例えば酸素による飽和を排除するために、８０ｎｍの深さで測定される。ここで測定は、測定例１に記載のように行われることが好ましい。
【００１３】
本発明の部品は受動電気部品である。本文脈において「受動部品」とは、これが、巻き線を含み、かつ特にコイル、コンデンサまたは抵抗器であることを意味する。部品は、受動電力部品であることがより好ましい。電力部品は、ある形態のエネルギーを別の形態のエネルギーに変換することを特徴とし、例えば変圧器である。変圧器における使用と同様に、このようなコイルのさらなる可能な使用分野は、例えばモータ、発電機において、または誘導コイルとしてであり得る。
本発明の好ましい受動電気部品は、中間層で被覆される表面（当然のことながら、基板の相応する部品）を電流が流れる受動電気部品であるか、または電流が流れることが意図された受動電気部品である。
本発明の文脈における特に好ましい受動電気部品は、コイル、コンデンサ、抵抗器または電線である。
中間層が、ＤＬＣ層、セラミック層、好ましくはＴｉＯ2、ＳｉＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＴｉxＮyまたはＢＮをベースとするもの、さらに好ましくはアルマイト層の群から選択される、中間層を有する本発明の受動電気部品が好ましい。
【００１４】
アルマイト層およびセラミック層は、従来技術において使用される一般的な絶縁層であるか、または保護層である。これらは、比較的低い熱膨張係数を有するため、下にある金属と組み合わさると、熱的および機械的応力下で高頻度でそれらの保護作用を失う。このタイプの層の場合、この効果を、本発明により使用するためのプラズマポリマー層により特に効率的に相殺または減少させることができるのは驚くべきことである。
本発明の文脈における特に好ましい中間層は、特に受動電気部品においてアルミニウム表面が中間層でコーティングされている場合、アルマイト層である。中間層の好ましい層厚は、０．２〜３０μｍ、さらに好ましくは１〜２０μｍ、特に２〜１０μｍである。
【００１５】
さらに、多くの場合、特にアルマイト中間層の場合、中間層は、閉孔のみがＳＥＭ部分においてプラズマポリマー炭素含有コーティングに向かって少なくとも上部領域に存在するように形成されることが好ましいであろう。半結晶状態は、アルマイト層の表面領域に存在することがさらに好ましいであろう。アルマイト層の場合、この形成は、例えば湯の中で事後的に圧縮することで達成可能である。
中間層が、架橋された油および／もしくは架橋されていない油、ならびに／または架橋されたシリコーン油および／もしくは架橋されていないシリコーン油を含み、かつ／または架橋された油および／もしくは架橋されたシリコーン油の帯域が中間層とプラズマポリマー層との間に存在する、中間層を有する本発明の受動電気部品が好ましい。
【００１６】
油とは、２０℃で液体である蒸気圧が比較的低い水溶性有機化合物であって、化学構造が対応していることではなく物理的粘稠度が類似していることをその共通する特徴とする水溶性有機化合物についてのラテン語の用語「オレウム（oleum）」から派生した総称を意味すると当業者により理解される。油は、粘度が比較的高い；油は、実質的にすべての有機溶媒に可溶である。油は、天然油、野菜油または動物油、変性されていてもよい野菜油または動物油、鉱油（石油から得られたもの）、全合成油、例えばシリコーン油であってもよい。非シリコーン油は、炭化水素、脂肪酸、トリグリセリド、鉱油およびポリエーテルからなる群より選択されるハロゲン不含有機液体を特に含む。
【００１７】
シリコーン油とは、ケイ素原子が酸素原子により鎖状または網目状に結合されており、かつケイ素の残りの結合価が、ヒドロカルビル基、通常メチル基、それほど一般的ではないが、特にエチル基、プロピル基、フェニル基により満たされている合成油を意味するものと当業者に理解される。あるいは、残りの結合価は、ハロ炭化水素基、特にフルオロ炭化水素基により部分的または完全に満たされていてもよく、ここで水素はすべて、ハロゲン原子、特にフッ素原子により置き換えられていてもよい。相応するシリコーン油は、６００ｇ／ｍｏｌ超の分子量を有することが好ましい。
【００１８】
架橋された油または架橋されたシリコーン油は、プラズマポリマー層と中間層との間の結合を安定化させることができ、かつ例えば、中間層における凹凸を相殺することも、中間層における細孔を充填することもできる。同時に、架橋は、プラズマ重合プロセスの過程で進行することが好ましく、これは、層の堆積前に架橋条件が存在するように調整される。本発明の文脈において、架橋されていないと称される領域は、それでもなお低水準の架橋成分を有し、これは基本的に、部分的な架橋に相当する。さらに、油／シリコーン油は、アルマイト層の細孔の開放された側においてより架橋する傾向にあり、そこに存在する架橋度により、アルマイト材料に対する良好な接着ももたらす。反対側（基板材料に向かう閉孔側）では、架橋度はより低くなる傾向にあり、上記の架橋されていない油の形態で存在していてもよい。細孔充填の代替として、またはこれに加えて、中間層を圧縮すること、例えば１時間にわたり脱イオン水中において摂氏９０〜１００度で熱間圧縮することも可能である。
細孔が中間層においてなおも存在する場合、これらの細孔は、サイズが、走査型電子顕微鏡で測定して、いずれの場合にも中間層の表面に対して直角に見た最大細孔径を基準として、１〜２００ｎｍ、好ましくは１〜１００ｎｍ、さらに好ましくは１〜３０ｎｍであることが好ましい。
【００１９】
しかしながら、多くの場合、中間層の細孔は充填されていることが好ましい。例えば熱架橋性シリコーンが、この目的に適している。「ＨＴＡ」（製造会社：ＡＺ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  ＧｍｂＨ、Ｗｉｅｓｂａｄｅｎ）と呼ばれる材料が非常に特に好ましい。細孔充填の代替として、またはこれに加えて、中間層を圧縮すること、例えば１時間にわたり摂氏９０〜１００度で熱間圧縮することも可能である。
本発明の文脈において、プラズマポリマーコーティングがケイ素を含む、中間層を有する受動電気部品が好ましい。
特にケイ素と炭素含有プラズマポリマーコーティングとの組み合わせが電気部品の保護作用に対して特に良好な効果を有することが分かった。
本発明により使用するためのプラズマポリマーコーティングは、１００ｎｍ〜１００μｍ、好ましくは２００ｎｍ〜５０μｍ、さらに好ましくは５００ｎｍ〜１０μｍの平均層厚を有することが好ましい。
【００２０】
基板においてバイアス電圧が確立されるようにプラズマポリマー層を堆積させることが好ましい。これを行う最も良好な手法は、コーティングする基板をカソードで接続することによる。これにより、得られるコーティングのイオン衝撃が生じ、その結果、理論に縛られることを望むものではないが、硬度および柔軟性の特性の良好な組み合わせを有する層が形成され、この柔軟性は、２．５％以上、好ましくは３％以上の、クラッキング前の伸張率により表される。
このような柔軟性は、コーティングされた後にもう一度成形される必要のある受動電気部品にとって特に重要であり、例えばコーティングプロセス後のコイルの場合が該当し得る。
ここで特に良好な層特性は、堆積プロセスの間に（プラズマ発生装置の）アースに対して、５０〜３００ボルト、好ましくは１００〜２００ボルトのバイアス電圧が確立される場合に達成される。
プラズマポリマーコーティングは、１．５〜６ＧＰａ、好ましくは２．４〜５ＧＰａ、さらに好ましくは３．１〜４ＧＰａの範囲にある、ナノインデンテーションにより測定される硬度を有することが好ましい。
【００２１】
このナノインデンテーション硬度は、２．５％以上のクラッキング前の伸張率と組み合わされることがより好ましく、３．０％以上のクラッキング前の伸張率と組み合わされることがさらに好ましい。このようにして、硬度および柔軟性の特に良好な組み合わせを有する層が、受動電気部品において存在している。
本発明の文脈において、中間層で被覆される部品の表面が、銅、アルミニウム、または銅および／もしくはアルミニウムを含む合金からなる、中間層を有する受動電気部品が好ましい。
このような表面は、本発明により使用するための層系により特に効率的に保護可能である。
本発明の受動電気部品、特に本発明により使用するためのプラズマポリマー層でコーティングする前の中間層は、ＲA≦４μｍ、好ましくはＲA≦２μｍ、さらに好ましくはＲA≦１μｍの粗さ値を有することが好ましい。
ＲAは、ＤＩＮ  ＥＮ  ＩＳＯ  ４２８８：１９９８−０４に準拠して測定される。
【００２２】
この目的のために、本発明のコイルを製造する間に、すなわちプラズマポリマー層でのコーティング前に、中間層の表面の洗浄または平滑化が行われることが好ましいであろう。これはまず、すでに先に記載した中間層の細孔の充填により、または中間層の圧縮により達成可能である。代替的な方法は、洗浄浴における洗浄（例えば超音波によるもの、好ましくは洗剤を使用するもの）、プラズマ研磨、電解研磨および／または中間層の各表面に適したさらなる洗浄方法である。
当然のことながら、平滑化が生じるように（受動電気部品の）基板の相応する表面を前処理することも好ましいであろう。
【００２３】
プラズマポリマーコーティングが、コーティング中に存在する炭素原子、ケイ素原子および酸素原子の総数を基準として、５〜４０原子％、好ましくは２０〜３２原子％のケイ素および／または３０〜７０原子％、好ましくは４０〜６４原子％の酸素を含み、好ましくはこれらからなり、これは、中間層からは遠いプラズマポリマーコーティングの側から８０ｎｍの深さで測定されるＸＰＳによる測定によるものである、中間層を有する本発明の受動電気部品が好ましい。
好ましい原子組成の層が、本発明に特に適していると分かった。
プラズマポリマー層が、層の個々の領域において、平均層厚を基準として、−６０％〜＋１０００％、好ましくは−５０％〜＋５００％、さらに好ましくは−５５％〜＋２５０％のずれを有する、中間層を有する本発明の受動電気部品が好ましい。
【００２４】
このコーティングプロセスを用いると、例えばアルマイト中間層を備えたアルミニウムコイルをコーティングする場合、コイルの真ん中におけるプラズマポリマー層の層厚が特に小さく、それでいて外側では層厚が平均的であり、それでいて内側では層厚が大きくなるようにコーティングプロセスを実施することが可能である。内側とは、モータまたは積層鉄心の歯に面したコイル側である。よって、外部とは、その反対側であり、真ん中とは、これらの間の位置である。
中間層およびプラズマポリマー層が、一緒になった状態で、最大３ｍＡの電流について測定した、ＤＩＮ  ＥＮ  ６０２４３−１およびＤＩＮ  ＥＮ  ６０２４３−２に準拠して測定される破壊耐量が１００Ｖ以上である、本発明により使用するための中間層を有する本発明の受動電気部品が好ましい。
【００２５】
破壊耐量は、受動電気部品、特にコイル、コンデンサおよび抵抗器にとって重要な指標である。ここで、プラズマポリマーコーティングされた表面の粗さが低下し、それ以外のパラメーター（層厚、堆積条件など）が同一であることで、電気的な破壊耐量が上昇することが分かった。
基板について先に示した粗さ値を超過する場合、同じ電気絶縁特性および値を得るのを可能にするためには、プラズマポリマー層の層厚を２〜１０倍増加すべきであることが好ましいことも分かった。
空気循環炉内で乾いた循環空気により３００℃で５００時間のエージングに続いて１時間以内に２０℃に冷却した後の破壊耐量が、エージング前の少なくとも８０％である、中間層を有する本発明の受動電気部品が好ましい。
受動電気部品において本発明により使用するためのコーティング系では、破壊耐量について驚くほど良好かつ長く持続する値を達成することができる。破壊耐量は、測定例２に記載の破壊耐量であることが好ましい。
【００２６】
ここで、部品が（もはや）最低限の要求を満たさない場合、プラズマポリマーコーティングされた本発明の部品を、別の相応するコーティング作業により修理することも可能であることが分かった。さらに、例えば破壊耐量に対する要求を満たさない、またはもはや満たさない部品を、本発明により使用するためのプラズマポリマー層での（事後的な）コーティング作業により修復することは、これらの部品がこのような層を事前に有していない場合でさえ可能である。
事実上、このコーティング作業により本発明の受動電気部品が生じ、破壊耐量のような特性の修復および／または改善は、特に上記の好ましい変形形態においてプラズマポリマーコーティングにより達成可能な驚くべき効果である。
室温で２０分の時間にわたり１ｍｏｌ／ＬのＮａＯＨ溶液に曝露された際に、プラズマポリマー層の領域に目視で検出可能ないかなるエッチング攻撃も受けない、中間層を有する本発明の受動電気部品が好ましい。
ＮａＯＨ溶液に対する安定性の試験は、測定例３に記載されている。
中間層とプラズマポリマー外部層とから構成される、本発明により使用するための層系により、単に受動電気部品を電気的に絶縁することのみならず、適切な構成の場合に、同様にアルカリによる腐食攻撃またはエッチング攻撃に対して受動電気部品を保護することも可能になる。
【００２７】
いずれの場合にも上記のように、特に連続的なマイクロクラックの形成を防止することで受動電気部品上の中間層の熱的および／もしくは機械的耐久性、ならびに／または媒体安定性を改善するための、好ましくは好ましい変形形態の１つにおける上記のプラズマポリマーコーティングの使用は、本発明の一部である。
【００２８】
本願の文脈において、「媒体」安定性とは特に、酸化性物質、特に酸素および水、ならびに／または酸および塩基、特に塩基に対する安定性を意味する。不確かな場合、「媒体安定性」は、１ＭのＮａＯＨ溶液に対する安定性として求められるものとする。すでに先に記載されているように、基板に対してクラックを生じやすい中間層とプラズマポリマー層とを組み合わせることで中間層の保護特性において明らかな改善が達成可能であることは本発明の核である。
受動電気部品上の上記の中間層の絶縁効果を修復するための、特に好ましい変形形態の１つにおける中間層および受動電気部品の双方のためのプラズマポリマーコーティングの使用は、本発明の一部でもある。
したがって、損傷した受動電気部品を修復することも、または使用するためにこれらを根本的に製造することもできる。
【００２９】
受動電気部品上に中間層とプラズマポリマーコーティングとが配置された受動電気部品を製造する方法であって、
ａ）  上記の受動電気部品を用意する工程、
ｂ）  上記の中間層を、好ましくは湿式化学法で基板上に配置する工程、
ｃ）  上記のプラズマポリマーコーティングを中間層上に堆積させる工程
を含む方法は、本発明の一部でもある。
本発明の方法により、上記の有利な特性を有する受動電気部品を製造することができる。
工程ｃ）を高周波プラズマ重合反応器内で低圧下で実施し、かつ基板をカソードとして接続する、本発明の方法が好ましい。
基板をカソードとして接続することで、すでに先に記載したように、イオンがプラズマポリマーコーティングへと加速する。これにより、イオンの衝撃で層を内側で再構成または変化させることができるため、層は、本発明により使用するための中間層との組み合わせにおいて、驚くほど良好な層特性をもたらす。
【００３０】
通常、プラズマポリマーコーティングは、有機ケイ素前駆体（好ましくはＨＭＤＳＯ）または純粋な有機前駆体（好ましくはアセチレン）のいずれかから生成可能である。この場合、プラズマポリマーの無機骨格（好ましくはケイ素系）を生成するための前駆体、または適合した網目構造の形成（ＤＬＣ層の方向）を伴った純粋な有機前駆体のいずれかを使用することができる。
構成物の必要な層厚は実質的に、機械的安定性、または破壊耐量に対する要求に適合しているべきである。ここでさらに考慮すべきことは、例えば被覆する材料において存在する表面欠陥を補う許容性が十分であることである。有利なことに、この許容性は、層厚の選択により非常に単純に実現される。
【００３１】
受動電気部品において本発明により使用する層によって、使用における温度上限が３００℃以上にうまく上昇することが好ましい。これについての実験例は、図１の基礎となるデータにより与えられる：
図１は、いずれの場合も、高温（３００℃で５分）での、その後１０分にわたる空気冷却を伴うサイクル式エージング作業の結果を示す。使用したコーティングは、アルミニウムコイル上の実施例１からの層であった。測定はそれぞれ、エージング前後のコイルを用いて実施した（左側および右側の棒）。各回の測定におけるコイルの開始値のずれの原因は、異なるコイルが使用されたことである。
層厚は、いずれの場合にも約５μｍであった。
ここで破壊耐量は、層について適用される組み合わせと、層の構成要素の層厚とに応じ、２ｋＶ超（約６０μｍの層厚、約３３Ｖ／μｍ）までになり得る。５分にわたる金属ブロック上での直接冷却を含む１０分にわたる約１８０℃へのサイクル式の加熱（開始温度は室温であった）は、破壊耐量の大幅な減少を示さなかった。
上記のようなコーティングされたコイルの「極端な」エージングも同様に、類似した効果を示した：
図２は、１８０℃で２４時間、その直後に−２０℃に冷却して１時間にわたり空気接触させ、１時間にわたり１８０℃に再加熱し、その後に空気接触により室温へと冷却する、５重のサイクル式エージング作業（極端な事例１および極端な事例２）を、５サイクル、１０サイクルおよび２０サイクル（５×、１０×および２０×）にわたる上記のサイクル式エージング（３００℃で５分、１０分にわたる空気冷却）と比較した結果を示す。ここで、左側の棒は、いずれの場合も、各エージングを連続する前の値であり、右側の棒にある値は、いずれの場合も、記載したエージング後の値である。
【００３２】
例
測定例
測定例１
８０ｎｍの層深さでのＸＰＳ測定の性能
光電子分光法（ＸＰＳ）による表面分析は、固体表面の最も外側の約１０ｎｍをカバーしている。ＸＰＳにより８０ｎｍの深さで試料材料の化学組成を分析可能にするために、イオンビーム衝撃により表面を除去する。この原子化プロセスのために、３ｋｅＶのエネルギーを有するアルゴンイオンが一般的に使用される。試料表面の最上部８０ｎｍ分を除去するために必要な時間は、設備固有の原子化速度に依存する。この時間は、いずれの場合にも、相応する参照試料について比較測定することで実験的に求められる。この種類のスパッタリングプロセスについての一般的な圧力範囲は、１*１０-5〜１*１０-6ｍｂａｒの範囲にある。
【００３３】
測定例２
電気絶縁特性の試験：
部分放電測定技術：
→コーティングの電気絶縁効果を求めるための非破壊的な試験方法（例示的には、ＤＷＸ−０５の設備の場合、好ましくはコイル形状物または電動モータにおいて）
【００３４】
技術：
使用される設備（ＤＷＸ−０５）は、実質的に、非常に短時間（１ミリ秒より短い  −  大きなフランクを伴う）で高電圧パルスを生み出すことが可能な、または高電圧パルスを部品に「印加」することが可能な高電圧源である。これには、調べる部品（好ましくは、コイルまたはモータ部品）を、まず電源に、次に測定電子機器に接続することが含まれる。さらに、この設備に接続されたＲＦアンテナ（バンドフィルタを含む）は、印加された電圧パルスにより、ＲＦ放電の発生（時間と相関関係にある）を測定する。ここで重要なのは、アンテナおよびコイルが互いに導電接触していないことである。事前設定された電圧から測定を開始し、ＴＥ放電が検出されるか、または必要な目的電圧が達成されるまで、電圧を特定の値へと連続的に増加させる。使用される測定としては、第一に、システム（コイル）自体の応答（ケースＡ）があり、第二に、２本の巻き線の間または歯に破壊が発生する直前に観察される特徴的なＲＦ放電の検出（ケースＢ）がある。各電圧値に対して少なくとも３回測定を実施し、最終的な値を使用して平均値を求め、統計的に保証された結果を得る。最終的な測定値において変動が大きい場合、必要であれば、均質性について試料を制御すべきであり、または求められた測定値を制限付きでのみ使用すべきである。
したがって、目標状態からの測定信号のずれを事前に考慮することにより、試験基準が効果的に形成される。この設備における最大可能電圧値は、５ｋＶである。
【００３５】
この試験方法の場合、測定信号を２つの手法で分析する（必要であれば、同時に双方の基準）：
１．  参照信号との比較（損傷していない部品において、または絶縁が確実に損なわれていない比較的低い電圧範囲において記録  −  曲線のプロファイルに基づき評価）  −  検出された応答信号が参照信号のスケーリングされた曲線から＋２０％または−４％を上回ってずれると、それぞれの場合で試験された電圧値に関して「欠陥的」絶縁と判断されるか、または応答信号の崩壊（短絡による）と判断される。
→まとめてケース（Ａ）とする。
２．  ＲＦ放電の測定、およびＲＦ信号の「ベースノイズ（base noise）」との比較  −  ずれにおいて、または明らかなＲＦ信号の発生（印加された信号の電圧プロファイルと時間的に相関関係にある）において、部分放電が検出されるため、コーティングは、この電圧値を超えると不十分であると判断される  −  さらに、自動評価ではＬａＰｌａｃｅ１５／０基準を使用することが望ましい。
→まとめてケース（Ｂ）とする。
【００３６】
試料についての要件：
−  コイル（金属基板）形態での形状
誘導性についての最低限の要求  −  現在、少なくとも１０回巻き、設備固有値
−  １つの部品について、または「バッチ制御」でまとめて個々の部品について、品質均一な全面コーティング
−  接触部、ならびに歯（設置された状態）、またはコーティングなしで接触し得る歯およびコイルの領域のアクセス性
→この試験方法により、１００％の部品について、大量生産に適した方式で試験が可能。
【００３７】
この試験方法についてのさらなる情報は、ドイツのデュッセルドルフで２００９年１０月２７日〜２００９年１０月２８日に開催された会議Internationaler ETG-Kongress 2009 - Symposium 3: Direktantriebe in Produktionsmaschinen und Industrieanlagen - Generatoren und Antriebe in regenerativen Kraftwerken [Direct Drives in Production Machines and Industrial Plants - Generators and Drives in Renewable Power Plants] / Symposium 4: Diagnostik elektrischer Betriebsmittel [Diagnostics of Electrical Equipment]からの、Ein neues Verfahren zur automatischen Gewinnung der Teilentladungseinsetz- und Aussetzspannung an elektrischen Wicklungen nach IEC TS 60034-18-41 und IEC TS 61934 [A New Method of Automatically Obtaining the Partial Discharge Inception and Extinction Voltage of Electrical Windings According to IEC TS 60034-18-41 and IEC TS 61934]に見られる。
【００３８】
測定例３
水酸化ナトリウム溶液に対する安定性（媒体安定性）についての試験手順
本発明の好ましい構成の変形形態について、水酸化ナトリウム溶液に対する安定性の試験を以下のように実施する。
【００３９】
本発明により形成されるコーティングを、２０分の時間にわたり室温で１ｍｏｌ／ＬのＮａＯＨ溶液と接触させる。これは、水酸化ナトリウム溶液の液滴を表面に塗布することで達成可能である。引き続き、水酸化ナトリウム溶液を、試験表面に残渣が残留しないように除去および洗浄する。最後に、エッチング攻撃が生じたかどうかについて、目視で、すなわち肉眼で（視覚補助具なしに）検査を行う。調べる表面が変化していない場合、応力試験は合格となる。
測定例４
破壊耐量についての応力試験
コイル／試料を実施例１の通り製造した。炉を３００℃に加熱し、その中にコイルを置き、その中で５００時間にわたり貯蔵した。エージング後に、試料を取り出し、１時間以内に室温に冷却した。その後、測定例２に従って試料を試験した。エージング前の開始状態と比較して、最大１５％の破壊耐量の低下が観察された。実施例２に従った変形形態により、ここに記載した実施例１に従った変形形態と類似した値が達成される。
【００４０】
測定例５
ナノインデンテーション測定
ナノインデンテーションは、細いダイヤモンドチップ（三角錐［バーコビッチ型の形状］、半径は数百ｎｍ）で表面コーティングの硬度を求めることが可能な試験技術である。この場合、硬度（例えばビッカース硬度）の巨視的な特定とは対照的に、垂直力で生じた残留しているインデンテーションくぼみについて測定は行われず、その代わりに、侵入深さに依存したナノインデンターの断面積が推定される。この深さに依存した断面積は、公知の硬度を有する参照試料（通常、高純度の石英ガラス）を介して求められる。
【００４１】
垂直力を適用する間、ナノインデンテーションには、高感度の操舵式電子装置（容量板（capacitative plate））が使用され、この電子装置により、垂直力が増加して再び減少しても正確に侵入深さを測定することができ、このことは、従来の方法とは大きく異なる。その場で荷重を取り除く初期段階の間に、標準的な力での侵入深さ曲線は、試料が剛性であることを示す。参照試料から公知のナノインデンターの断面積を用いて、試料の弾性係数および硬度を求めることができる。ナノインデンテーションの最大試験力は、通常１５ｍＮ未満である。
基板による影響のないコーティングの純粋な特性を測定するために、目安として層厚の１０％を使用する。それより下の侵入曲線は、使用される基板による影響を含む。侵入深さが層厚の１０％超に増加すると、弾性係数および硬度の測定値は、基板の測定値に連続的に近づく。この試験方法による記載された評価は、Ｏｌｉｖｅｒ＆Ｐｈａｒｒ［Ｏｌｉｖｅｒ］に由来して命名されている。
【００４２】
異なる荷重で侵入深さをより単純に変えるためには、いわゆる多重荷重および荷重緩和法、略してマルチインデンテーション法を使用する。この場合、固定点においてセグメントで荷重を適用および緩和する。局所荷重最大値が連続的に上昇する。したがって、固定点において、弾性係数および硬度の深さに依存した値を求めることが可能である。さらに、統計的な目的のために、測定領域内で、試料における影響を受けていない様々な箇所に同様にアプローチして試験を行う。シングルインデンテーション法とマルチインデンテーション法とを比較することで、Ｓｃｈｉｆｆｍａｎｎ＆Ｋｕｅｓｔｅｒは、２つの方法において求められた値の間に非常に小さなずれしか存在しないことを示した［Ｓｃｈｉｆｆｍａｎｎ］。補正に際して、ピエゾスキャナーのクリープ効果を防止するために、より長い保持時間が提案されている［Ｓｃｈｉｆｆｍａｎｎ］。
【００４３】
本文書に記載の実施例の試料を測定する場合、測定を、１箇所あたり１０回のマルチインデンテーションにより、好ましくは最大５ｍＮ、さらに好ましくは２ｍＮ未満、それよりもさらに好ましくは１ｍＮ未満で行った。マルチインデンテーションは、２０％の力に低減された局所力最大値を有する。これらの荷重緩和曲線は、９８％〜４０％で接線の形態において評価された。
統計および均質性のために、試料１個あたり１０個の測定点を試験した。測定点の間の距離は、例えば事前測定を原因とした調べる層の塑性変形などの効果を防止するために、５０μｍであった。
層の硬度を求めるために使用した試料の層厚は、いずれの場合にも１μｍ超であった。層厚の最大１０％の侵入深さについての実験式に応じるためには、５ｍＮ以下、さらに好ましくは２ｍＮ未満、それよりもさらに好ましくは１ｍＮ未満の最大力まででのマルチインデンテーションの荷重緩和曲線が、評価のために許容可能である。層厚がより小さい場合、相応する最大局所力は、１０％ルールを超えないように注意すべきである。
したがって、侵入深さおよび相応する荷重緩和曲線についての最大力は、好ましくは５ｍＮ以下、さらに好ましくは２ｍＮ未満であり、約１０００ｎｍの層厚に応じて、さらに好ましくは１ｍＮ未満である。
【００４４】
使用設備：
例（実施例、例１）のナノインデンテーションのために、相応する振動減衰技術（ｍｉｎｕｓ  ｋ）によるＣＥＴＲ（現在はＢｒｕｋｅｒ  ＡＸＳ  Ｓ．Ａ．Ｓ．の一部）のナノヘッドナノインデンテーションモジュール（ＮＨ２）を有する万能材料試験機（ＵＭＴ）を断熱および防音室内で使用した。
【００４５】
標準的な教示内容を記載した参照：
−  [Oliver]: W.C. Oliver et al., J. Mater. Res. Vol. 7, No. 6. (1992), 1564
−  [Schiffmann]: K.I. Schiffmann et al., Z. Metallkunde 95, No. 5 (2004), 311
【実施例】
【００４６】
（例１）
低圧プラズマコーティングプロセス
無機マトリックス構造（好ましくはケイ素系）をベースとする堆積したプラズマ層は、有機的な特徴が比較的高く、ＳｉＯx層と比較すると、クラック発生歪み（crack onset strain）がより高い。プラズマ層を、減圧下、約１０-2ｍｂａｒで、高周波プラズマ放電（ＰＥ−ＣＶＤ）により堆積させることが好ましい。この場合、ケイ素含有作動ガスはフラグメント化される。生じたフラグメントは、薄層として基板に堆積する。層の密度を増加させるために、イオンアシスト法を用い、これは、部分的にイオン化したフラグメントを電界の影響下で成長層に照射することを意味する。この技術を使用することで、複雑なコイルの形状へのコーティングの適用性が保証される。
【００４７】
低圧プラズマコーティングプロセス
・  ３６０Ｌのサイズの反応器を用いて、減圧下、約１０-2ｍｂａｒでプラズマコーティングを実施する。１４回巻きのアルミニウムコイルを１８ｃｍの長さに広げ、２枚の結合したシート（２００ｍｍ×２５ｍｍ×１ｍｍ）に置く。これらのシートは、実際のプラズマ電極に載った絶縁板（０．２ｍｍ）に載っている。この組み立てにより、プラズマコーティングの間に生じるアーク放電が防止される。結合したシートの容量は、いずれの場合にも約６８ｐＦである。用いられる高周波の周波数が１３．５６ＭＨｚであると、結合したシート１枚あたり１７１オームの抵抗が生じる。
・  コーティングプロセスの開始時に、酸素によるプラズマ活性化を３分にわたり実施する。この工程により、層の接着が改善される。第２の工程において、プライマー層を堆積させる。この目的について、酸素のために、流速５ｓｃｃｍのヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）を反応器に導入する。処理時間は１分である。絶縁コーティングの実際の堆積プロセスをＨＭＤＳＯ流速２０ｓｃｃｍで実施する。処理時間は２時間である。被覆されるコイルの表面を親水化するために、引き続き、酸素によるさらなるプラズマ活性化を実施することができる。全方法工程におけるプラズマの出力および酸素の流速は、一定であり、それぞれ４５Ｗおよび６０ｓｃｃｍである。
・  被覆されるコイルは、層厚および絶縁効果を特徴としていた。これらは以下の値である：
【表１】
2019525997.tif 000003
あるいは、いわゆるバイアス電圧を適用することで、プラズマによるコーティングプロセスを補助することもできる。ここで、層の堆積速度が上昇し得ること、およびより稠密なプラズマポリマーマトリックスが生成され得ることが利点である。
【００４８】
（例２）
陽極酸化の処理プロセス＋ＮＤプラズマコーティング
Ａｌシート／Ａｌコイルを、湿式化学洗浄し、酸洗いし、硫酸系電解質中で５〜６０分にわたり陽極酸化させる。９０℃〜１００℃での１０〜６０分にわたる引き続く熱間圧縮処理は、任意である。したがって、アルミニウムコイル上に生成される陽極酸化層は、１μｍ〜２５μｍの層厚を有する。続いて、例１のスキームによるコーティング処理を行う。
【００４９】
（例３）
陽極酸化の処理プロセス＋陽極酸化層の細孔の充填＋ＮＤプラズマコーティング
Ａｌシートを、湿式化学洗浄し、酸洗いし、硫酸系電解質中で１０〜６０分にわたり陽極酸化させる。熱間圧縮は行われない。引き続き、ＨＴＡ油を有するＵＳ浴中でシートをエージングさせる（５分、１５分、３０分）。油を架橋するための最後の熱処理を行う（室温で７日または１００℃で３０分）。続いて、例１のスキームによるコーティング処理を行う。
結果として、例２と比較して、破壊耐量を最高２０％上昇させることができる。
【００５０】
（例４）
エージング
例１のようにコイルのコーティングを形成  −  続いて測定例４にあるエージングを行う。これらの結果は、図３に示される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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