(57)【要約】  第１の電極、第２の電極および実証構造からなる、電位差の存在を実証するための電気機械部品および電気機械部品構成。実証構造は、電位差がある場合に偏向されるように構成されている。加えて、電気機械部品は、有用な効果を生成するように構成されている。  方法は、電位差の存在を実証するための電気機械部品の動作を実施し、他の方法は、電気機械部品に対する機能試験を実行するための動作を実施する。
2019511827.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）であって、
第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）と、
第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）と、
弾性的に変形可能な実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）と、を備え、
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０；１０２０）は、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）と前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０；１０２０）との間に電位差がある場合に有用な電界を生成するように配置され、
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）と前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）との間に電位差がある場合に偏向されるように構成されており、
前記電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）は、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の偏向とは異なる、前記有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成される、電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項２】
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、ベース面（１３１、２３１）を備え、
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、前記ベース面（１３１、２３１）に対して基本的に垂直であるさらなる表面（１３３、２３３）を備え、
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、前記ベース面（１３１、２３１）と基本的に平行である上面（１３５、２３５）を備える、請求項１に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項３】
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）が弾性材料を有する少なくとも１つの領域を含む、請求項１または２に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項４】
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）が、チタンまたはアルミニウムまたはチタン−アルミニウムまたはアルミニウム−シリコン−チタンから作成される少なくとも１つの領域を含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項５】
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の機械的取り付け領域から離間された前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の領域が前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）の領域に対向して配置されるように、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）に重なり合う、請求項１〜４のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項６】
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の偏向を容易にし、および／または、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の曲げ強度を低減する偏向促進構造（４３２、５３２、６３２）を備える、請求項１〜５のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項７】
前記偏向促進構造（４３２、５３２、６３２）が、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）が前記有用な場に対する遮蔽効果とは別に、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）から発する前記場に対して所望の遮蔽効果を達成するように構成され、
前記偏向促進構造（４３２、５３２、６３２）は、前記偏向促進構造（４３２、５３２、６３２）を有しない実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）と比較して、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の前記偏向を容易にするように構成されている、
請求項６に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項８】
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、少なくとも２つのスリット（４３２ａ、４３２ｂ、５３２ａ、５３２ｂ、６３２ａ、６３２ｂ）を含み、
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、自由端（４３４、５３４、６３４）を含み、
第１のスリット（４３２ａ、５３２ａ、６３２ａ）が前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の前記自由端（４３４、５３４、６３４）から前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の内側領域へと延伸し、
第２のスリット（４３２ｂ、５３２ｂ、６３２ｂ）が前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の前記自由端（４３４、５３４、６３４）から前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の内側領域へと延伸し、
前記第１のスリット（４３２ａ、５３２ａ、６３２ａ）と第２のスリット（４３２ｂ、５３２ｂ、６３２ｂ）とは互いに距離をおいて設けられている、請求項６または７に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項９】
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は少なくとも３つのスリット（４３２ａ、４３２ｂ、４３２ｃ、５３２ａ、５３２ｂ、５３２ｂ、６３２ａ、６３２ｂ、６３２ｃ）を備え、
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は自由端（４３４、５３４、６３４）を備え、
第１のスリット（４３２ａ、５３２ａ、６３２ａ）が、前記第１のスリット（４３２ａ、５３２ａ、６３２ａ）の第１の部分において、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の前記自由端（４３４、５３４、６３４）から、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の内側領域へと延伸し、これに続いて、前記第１のスリット（４３２ａ、５３２ａ、６３２ａ）の第２の部分において、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の内側領域内に延伸し、
第２のスリット（４３２ｂ、５３２ｂ、６３２ｂ）が、前記第２のスリット（４３２ｂ、５３２ｂ、６３２ｂ）の第１の部分において、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の前記自由端（４３４、５３４、６３４）から、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の前記内側領域へと延伸し、これに続いて、前記第２のスリット（４３２ｂ、５３２ｂ、６３２ｂ）の第２の部分において、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の内側領域内に延伸し、
第３のスリット（６３２ｃ）が前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）の前記内側領域内に延伸し、前記第３のスリット（６３２ｃ）は、前記第１のスリット（４３２ａ、５３２ａ、６３２ａ）の前記第２の部分および前記第２のスリット（４３２ｂ、５３２ｂ、６３２ｂ）の前記第２の部分に隣接し、
前記第１のスリット（４３２ａ、５３２ａ、６３２ａ）の前記第２の部分は、前記第３のスリット（６３２ｃ）の第１の部分に隣接する領域内で、前記第３のスリット（６３２ｃ）の前記第１の部分と基本的に平行に延伸し、
前記第２のスリット（４３２ｂ、５３２ｂ、６３２ｂ）の前記第２の部分は、前記第３のスリット（６３２ｃ）の第２の部分に隣接する領域内で、前記第３のスリット（６３２ｃ）の前記第２の部分と基本的に平行に延伸し、
前記第３のスリット（６３２ｃ）の前記第１の部分は、前記第３のスリット（６３２ｃ）の前記第２の部分に合流する、請求項６または７に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１０】
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、前記有用な場に対する遮蔽効果を除いて、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）から発する場に対して所望の遮蔽効果を達成するように構成されている、請求項１〜９のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１１】
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）は基板（２４０、７４０、８４０、９４０、１０４０）上に配置され、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、前記有用な場に対する遮蔽効果を除いて、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）から発する前記場に対する所望の遮蔽効果を達成するように、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）が少なくとも部分的に前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）と前記基板（２４０、７４０、８４０、９４０、１０４０）との間に位置するように、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）に重なり合う、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１２】
前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）を複数の方向に向かって遮蔽するように、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）のいくつかの側面に対向して配置されるいくつかの部分を含む、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１３】
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および／または前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）は、前記基板（２４０、７４０、８４０、９４０、１０４０）の主面と比較して持ち上げられる、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１４】
前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）は、前記基板（２４０、７４０、８４０、９４０、１０４０）の主表面に対して、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）よりも高い、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１５】
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）は互いに対向して配置される、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１６】
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）は、前記有用な場が、少なくとも１つの機械的構造に影響を及ぼすのに適するように構成され、
前記機械的構造は、前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）とは異なる、請求項１〜１５のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１７】
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）は、前記有用な場が、電磁放射および／または個々の光子に影響を及ぼすのに適するように構成される、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１８】
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）は、前記有用な場が、粒子ビームに影響を及ぼすのに適するように構成される、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項１９】
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）は、前記有用な場が、荷電粒子の粒子ビームを偏向させるかまたは影響を及ぼすのに適するように構成される、請求項１〜１８のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項２０】
前記電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）が基板（２４０、７４０、８４０、９４０、１０４０）を備え、
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）は、一定の距離をおいて互いに対向して配置され、
前記基板（２４０、７４０、８４０、９４０、１０４０）は、前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）と前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）との間の領域内に開口（２５０、７５０、８５０、９５０、１０５０）を含む、請求項１〜１９のいずれか一項に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項２１】
前記開口（２５０、７５０、８５０、９５０、１０５０）は、粒子ビームが前記電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）を通過することを可能にするように構成されており、
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）は、前記電気的に有用な場が粒子ビームに影響を及ぼすのに適するように構成されている、請求項２０に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項２２】
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）および前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）が、前記有用な場が粒子ビームに影響を及ぼすのに適するように構成されており、
前記開口（２５０、７５０、８５０、９５０、１０５０）は、粒子ビームが、第１の動作電位差において第１の軌道に沿って前記開口（２５０、７５０、８５０、９５０、１０５０）を通過するように構成されており、
前記電気機械部品は、前記粒子ビームが第２の動作電位差において第２の軌道に沿って延伸するように構成されている、請求項２０または２１に記載の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）。
【請求項２３】
前記第２の電極（１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０、７２０、８２０、９２０、１０２０）および前記実証構造（１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０、７３０、８３０、９３０、１０３０）は、回路の基準電位源に電気的に結合されており、
前記第１の電極（１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０、７１０、８１０、９１０、１０１０）は、前記回路の前記基準電位とは異なる電位を含むように構成されている、請求項１〜２２のいずれか一項に記載の電気機械部品。
【請求項２４】
電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）であって、前記電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）は、請求項１〜２３のいずれか一項に記載の複数の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）を備える、電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）。
【請求項２５】
前記電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）は基板（２４０、７４０、８４０、９４０、１０４０）上に配置され、
前記電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）は前記基板（２４０、７４０、８４０、９４０、１０４０）の表面の両方の空間方向において配置される、請求項２４に記載の電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）。
【請求項２６】
前記電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）は、行および／または列の構造を備え、
それぞれの行および／またはそれぞれの列は、複数の電気機械部品（１００、２００、３００、４００、５００、６００、７００、８００、９００、１０００）を備える、請求項２４または２５に記載の電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）。
【請求項２７】
前記電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）は少なくとも２つの電気機械部品（１０００ａ、１０００ｂ）を含み、
第１の電気機械部品（１０００ａ）は、第１の電極（１０１０ａ）および第２の電極（１０２０ａ）ならびに弾性変形可能な実証構造（１０３０ａ）を備え、
前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第１の電極（１０１０ａ）および前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第２の電極（１０２０ａ）は、前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第１の電極（１０１０ａ）と前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第２の電極（１０２０ａ）との間に電位差が存在する場合に、第１の有用な電界を生成するように配置されており、
前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記実証構造（１０３０ａ）は、前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第１の電極（１０１０ａ）と前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第２の電極（１０２０ａ）との間に電位差がある場合に偏向されるように構成されており、
前記第１の電気機械部品（１０００ａ）は、前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記実証構造（１０３０ａ）の前記偏向とは異なる前記有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成されており、
第２の電気機械部品（１０００ｂ）は、第１の電極（１０１０ｂ）および第２の電極（１０２０ｂ）ならびに弾性変形可能な実証構造（１０３０ｂ）を備え、
前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記第１の電極（１０１０ｂ）および前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記第２の電極（１０２０ｂ）は、前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記第１の電極（１０１０ｂ）と前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記第２の電極（１０２０ｂ）との間に電位差が存在する場合に、第２の有用な電界を生成するように配置されており、
前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記実証構造（１０３０ｂ）は、前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記第１の電極（１０１０ｂ）と前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記第２の電極（１０２０ｂ）との間に電位差がある場合に偏向されるように構成されており、
前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）は、前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記実証構造（１０３０ｂ）の前記偏向とは異なる前記有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成されており、
前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第２の電極（１０２０ａ）は、前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記第１の電極（１０１０ｂ）に隣接して設けられる、請求項２４〜２６のいずれか一項に記載の電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）。
【請求項２８】
前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記実証構造（１０３０ｂ）が、前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第２の電極（１０２０ａ）上に設けられる、請求項２７に記載の電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）。
【請求項２９】
前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第２の電極（１０２０ａ）が、前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記第１の電極（１０１０ｂ）の３つの側面の各々に、前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第２の電極（１０２０ａ）の１つの側面が対向して配置されるように製造される、請求項２７または２８のいずれか一項に記載の電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）。
【請求項３０】
前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記実証構造（１０３０ｂ）は前記第１の電気機械部品（１０００ａ）の前記第２の電極（１０２０ａ）上に設けられ、
前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記第１の電極（１０１０ｂ）は少なくとも部分的に、前記第２の電気機械部品（１０００ｂ）の前記実証構造（１０３０ｂ）と前記基板（２４０、７４０、８４０、９４０、１０４０）との間に配置される、請求項２７〜２９のいずれか一項に記載の電気機械部品構成（２０１、７０１、８０１、９０１、１００１）。
【請求項３１】
電位差を検出するために電気機械部品を動作させる方法（１１００）であって、前記電気機械部品は、
第１の電極と、
第２の電極と、
弾性的に変形可能な実証構造と
を備え、
前記第１の電極および前記第２の電極は、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電位差が存在する場合に有用な電界を生成するように配置されており、
前記実証構造は、前記第１の電極と前記第２の電極との間に電位差が存在する場合に偏向されるように構成されており、
前記電気機械部品は、前記実証構造の前記偏向とは異なる、前記有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成されており、
前記方法は、電位差を得るように前記電気機械部品を制御するステップ（１１１０）を含み、
前記第１の電極と前記第２の電極との間の電位差の存在を検出するように、前記実証構造の偏向を検出するステップ（１１２０）を含む、方法（１１００）。
【請求項３２】
機能部品を用いて、前記有用な電界を生成するのに適した、前記第１の電極と前記第２の電極との間の電位差が生じるように、前記電気機械部品を制御するステップと、
前記実証構造の偏向を検出するステップと、
前記偏向の前記検出に応じて、前記電気機械部品が機能的であるか否かを決定するステップと、を含む、請求項１〜２３のいずれか一項に記載の電気機械部品に対して機能試験を実行する方法。
【請求項３３】
前記決定は、前記実証構造の前記偏向とは異なる前記有用な効果が存在するか否かにかかわらず行われる、請求項１〜２３のいずれか一項に記載の電気機械部品に対する、請求項３２に記載の機能試験を実行する方法。
【請求項３４】
前記実証構造の前記偏向が、光学的および／または電気的に検出される、請求項３１〜３３のいずれか一項に記載の電気機械部品を動作させる方法。
【請求項３５】
前記実証構造の前記偏向が、白色光干渉計または光学顕微鏡によって検出される、請求項３１〜３４のいずれか一項に記載の電気機械部品を動作させる方法。
【請求項３６】
前記第１の電極と前記第２の電極との間の前記電位差に起因する前記実証構造の前記偏向は、少なくとも３ｎｍ、好ましくは少なくとも５ｎｍ、最も好ましくは少なくとも２０ｎｍである、請求項３１〜３５のいずれか一項に記載の電気機械部品を動作させる方法。
【請求項３７】
最大５０Ｖ、好ましくは最大１０Ｖの前記第１の電極と前記第２の電極との間の電位差において、前記実証構造の前記偏向が所望の範囲内になる、請求項３１〜３６のいずれか一項に記載の電気機械部品を動作させる方法。
【請求項３８】
動作中、前記第１の電極と前記第２の電極との間の前記電位差が最大５０Ｖだけ変化する、請求項３１〜３７のいずれか一項に記載の電気機械部品を動作させる方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一実施形態は、電気機械部品に関する。さらなる実施形態は、電気機械部品構成に関する。さらなる実施形態は、電気機械部品に関する機能試験を実行する操作手順および方法に関する。本発明の一実施形態は、機械的に偏向可能なプレートによって電位を実証するデバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
集積化された部品のさらなる小型化を達成するために、例えばリソグラフィのような製造に使用される技術は絶えず改善されなければならない。とりわけ、電子ライティング技術（電子ビームリソグラフィ）は、非常に微細な構造化のために必要な非常に高い解像度を保証するため、非常に適していると考えることができる。ライティングプロセスを加速するために、別々に制御することができる複数の電子ビームを使用することが有用である。
【０００３】
任意の数の個々に制御可能な偏向セルを備えた荷電粒子ビームの偏向マトリクスの一般的な構成は、ＮｕＦｌａｒｅ特許（米国特許第９，０８２，５８１号明細書）にすでに記載されている。本明細書に記載されている偏向セルが配置されている部品のアーキテクチャは、ＮｕＦｌａｒｅ特許に記載されているものに相当する。この場合、部品の動作モードによる実証の可能性も欠落している。
【０００４】
偏向マトリクスの本明細書に記載された構成の主な問題は、クライアントに部品を送達する前に偏向マトリクスおよび／または個々のセルの機能的能力を試験および実証する可能性である。
【０００５】
一方では、偏向電極が制御されているときに電圧が実際に印加されること、および、他方では異なる偏向電極間で短絡が発生しないことを示すための実証方法が必要である。したがって、各個々の偏向セルのための電位実証方法が必要とされている。
【０００６】
部品の動作モードを試験する最もコストのかかる方法は、部品を構成し、部品をアプリケーションデバイスにインストールすることである。アプリケーションデバイスの単純化された構成も実現可能である。しかしながら、いずれの場合でも、複数の個々の電子ビームが生成され、穴／アパーチャを通って誘導されなければならない。その後、それらの電子ビームは、部品を制御することによって偏向されなければならない。ある種の検出器を装置の他の面に取り付けなければならず、当該検出器は、個々の電子ビームを実際に偏向させることができるか否かを実証することを可能にする。そのようなアプリケーションデバイスを構成することは、非常に多大な労力を必要とし、簡単な手段で実現可能な方法を提供しない。したがって、現場のクライアントにおいては、部品の送達後にのみ、このような試験を実行することが可能になる。
【０００７】
原理的には、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）は、電位のコントラストによって部品内の帯電した領域を視覚化することを可能性にする。しかし、それは同時に走査型電子顕微鏡を用いて検査しながら、十分な程度まで部品に電気的に接触し、または制御するために多大な労力を必要とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】米国特許第９，０８２，５８１号明細書
【特許文献２】米国特許第８，６１８，４９６号明細書
【特許文献３】米国特許第７，７２３，８１０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記の例示を鑑みて、すべて簡単な機能試験（例えば、偏向マトリクスおよび／または個々の偏向セルに対する）を行うことを可能にする、電気機械部品、電気機械部品構成、動作方法および機能試験を行う方法を提供することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一実施形態は、電気機械部品を提供する。電気機械部品は、第１の電極と、第２の電極と、弾性的に変形可能な実証構造とを備える。第１の電極および第２の電極は、第１の電極と第２の電極との間に電位差がある場合に有用な電界を生成するように配置される。実証構造は、第１の電極と第２の電極との間に電位差がある場合に偏向されるように構成されている。電気機械部品は、実証構造の偏向とは異なる有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成される。
【００１１】
したがって、本発明は、実証構造の偏向を検出することによって電位差の存在を直接的に実証することを可能にする。これに関連して、本発明の重要な特徴は、実証構造の偏向が、部品の有用な効果（正味効率）と異なることにある。したがって、本発明の利点は、原理的に、機能試験において有用な効果を再現する必要なく、有用な効果が達成され得ることを検証することが可能であることにある。
【００１２】
電気機械部品の一実施形態によれば、実証構造は、ベース面と、さらに、ベース面に基本的に垂直なさらなる表面と、ベース面と基本的に平行な上面とを備える。実証構造をこのように構成することにより、第１の電極と第２の電極との間の電位差が小さい場合であっても、実証構造が検出可能に偏向されることを達成することができる。さらに、上述の構成は、一方の電極に実証構造が取り付けられている場合に、他方の電極を高さを増して製造することを可能にすることができる。したがって、例えば、実証構造の上面と、実証構造を偏向させる役割を担う電界生成電極との間の距離を、より自由に選択することができる。したがって、例えば、より小さい電位差で、実証構造の偏向の増大が達成され得る。
【００１３】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、実証構造は、弾性材料を有する少なくとも１つの領域を備える。ここでも、実証構造をより容易に偏向させることができるという効果が生じ得る。また、実証構造の部分または実証構造全体の弾性に起因して、疲労強度が達成され、材料の疲労がまったく生じなくなるか、またはほんのわずかしか生じなくなるようにすることも可能である。
【００１４】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、実証構造は、チタンまたはアルミニウムまたはチタン−アルミニウムまたはアルミニウム−シリコン−チタンから成る少なくとも１つの領域を含む。言及された材料の利用は、いくつかの所望の特性を示すことができるため、有利であると考えられ得る。一方では、それらは所望の弾性度を有することができ、他方では、それらの導電率が電界に対する遮蔽効果を達成することができる。
【００１５】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、実証構造は、実証構造の機械的取り付け領域から離間された実証構造の領域が第１の電極の領域に対向して位置するように、第１の電極に重なり合う。これには、実証構造のより大きな有効面積が、例えば第１の電極などの電極の場の作用範囲内に位置することができるため、実証構造の偏向の程度が増加し得るという利点がある。
【００１６】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、実証構造は、実証構造の偏向を容易にし、および／または、実証構造の曲げ強度を低減する偏向促進構造を備える。これは、実証構造の偏向が所望の程度に調整され得るという利点をもたらす。
【００１７】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、偏向促進構造は、実証構造が、有用な場に対する遮蔽効果を除いて、第１の電極から発する場に対して所望の遮蔽効果を達成するように構成されている。加えて、偏向促進構造は、偏向促進構造を有しない実証構造と比較して、実証構造の偏向を容易にするように構成される。これは、実証構造の少なくとも２つの所望の特性を改善できるという利点をもたらす。したがって、一方では、第１の電極と第２の電極との間の所望の電位差において所望の程度の偏向が生じるように、実証構造を機械的に製造することができ、他方では、遮蔽効果も所望され得る。実証構造がそれに応じて製造されれば、これは妥協を意味する。他方、偏向を容易にする目的で標的化されるように導入される構造は、遮蔽効果をわずかしか低下させずに、十分な弾性または可塑性を提供することができる。
【００１８】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、偏向促進構造および／または偏向促進構造の部分は、（ａ）第１の電極と実証構造との間に位置する、電界強度が最大電界強度の領域内よりも少なくとも５０パーセント小さい実証構造の領域（複数可）内に配置される。これは、偏向促進構造が、実証構造によって引き起こされる遮蔽効果に対する寄与がより小さくなる、実証構造の領域内に設けられ得るという利点をもたらす。
【００１９】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、実証構造は、少なくとも２つのスリットを備え、さらに、実証構造は、自由端を備える。
【００２０】
第１のスリットは、実証構造の自由端から実証構造の内側領域まで延伸する。第２のスリットは、実証構造の自由端から実証構造の内側領域まで延伸する。第１のスリットと第２のスリットとは互いに距離をおいて設けられている。
【００２１】
この実施形態には、実証構造の所望の偏向可能性が達成され得るという利点がある。すでに述べたように、この文脈では、実証構造およびスリットの設計において遮蔽の影響を考慮し、肯定的な影響を与えることも可能である。このように少なくとも２つのスリットを備える実証構造を製造することにより、偏向が明らかに改善され得る。さらに、遮蔽効果が、所望の程度まで存在し、および／または、スリットの結果としてのみ、無視できる程度にしか低減されないことも可能である。
【００２２】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、実証構造は、少なくとも２つのスリットを備える。さらに、実証構造は自由端を備える。
【００２３】
これに関連して、第１のスリットは、第１のスリットの第１の部分において、実証構造の自由端から実証構造の内側領域まで延伸する。これに続いて、第１のスリットは、実証構造の内側領域内で、第１のスリットの第２の部分内に延伸し、第１のスリットの第１の部分および第１のスリットの第２の部分は、ある角度を含み、当該角度は、４５度よりも大きく、好ましくは７０度より大きい。
【００２４】
加えて、第２のスリットは、第２のスリットの第１の部分において、実証構造の自由端から実証構造の内側領域まで延伸する。これに続いて、第２のスリットは、実証構造の内側領域内で、第２のスリットの第２の部分内に延伸し、第２のスリットの第１の部分および第２のスリットの第２の部分は、ある角度を含み、当該角度は、４５度よりも大きく、好ましくは７０度より大きい。第１のスリットと第２のスリットとは互いに距離をおいて設けられている。
【００２５】
この実施形態には、実証構造の所望の、なおさらに改善された偏向可能性が達成され得るという利点がある。第１のスリットの第２の部分および第２のスリットの第２の部分は、実証構造のなおさらに改善された偏向可能性を提供し得る。上記部分は、実証構造を機械的に固定する領域をさらに縮小することができるため、偏向をさらに容易にする。すでに述べたように、遮蔽の効果は、実証構造およびスリットの設計においても考慮することができ、その結果、遮蔽効果の低減が無視できる範囲内にあることを達成することができる。
【００２６】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、実証構造は、少なくとも３つのスリットを備える。さらに、実証構造は自由端を備える。
【００２７】
これに関連して、第１のスリットは、第１のスリットの第１の部分において、実証構造の自由端から実証構造の内側領域まで基本的に直線的に延伸する。これに続いて、第１のスリットは、実証構造の内側領域内で、第１のスリットの第２の部分内に基本的に直線的に延伸し、第１のスリットの第１の部分および第１のスリットの第２の部分は、ある角度を含み、当該角度は、４５度よりも大きく、好ましくは７０度より大きい。
【００２８】
第２のスリットは、第２のスリットの第１の部分において、実証構造の自由端から実証構造の内側領域まで基本的に直線的に延伸する。これに続いて、第２のスリットは、実証構造の内側領域内で、第２のスリットの第２の部分内に基本的に直線的に延伸し、第２のスリットの第１の部分および第２のスリットの第２の部分は、ある角度を含み、当該角度は、４５度よりも大きく、好ましくは７０度より大きい。
【００２９】
さらに、第３のスリットは、実証構造の内側領域内に延伸し、上記第３のスリットは、第１のスリットの第２の部分および第２のスリットの第２の部分に隣接する。
【００３０】
この場合、第１のスリットの第２の部分は、第３のスリットの第１の部分に隣接する領域内で、第３のスリットの第１の部分と基本的に平行に延伸し、第２のスリットの第２の部分は、第３のスリットの第２の部分に隣接する領域内で、第３のスリットの第２の部分と基本的に平行に延伸する。第３のスリットの第１の部分は、第３のスリットの第２の部分に合流する。
【００３１】
この実施形態には、実証構造の所望の、なおさらに改善された偏向可能性が達成され得るという利点がある。結果として生じる構造は、回転ジョイントの効果を有することができ、当該効果は、偏向可能性のレベルを高めるために所望される。さらに、回転ジョイントを形成することができるスリットは非常に狭いスペース要件を有するため、上記明らかに改善された偏向可能性は、遮蔽面がごくわずかしか減少せずに達成され得ることが有利である。すでに述べたように、この文脈では、実証構造およびスリットの設計において遮蔽の影響を考慮することも可能である。
【００３２】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、実証構造は、有用な場に対する遮蔽効果を除いて、第１の電極から発する場に対して所望の遮蔽効果を達成するように構成されている。これは、有用な電界の存在または制御可能性に基づく有用な効果は制限されず、例えば第１の電極から発する場の望ましくない部分のみが遮蔽されるという利点をもたらす。
【００３３】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第１の電極は基板上に配置され、実証構造は、有用な場に対する遮蔽効果を除いて、第１の電極から発する場に対する所望の遮蔽効果が達成されるように、第１の電極が少なくとも部分的に実証構造と基板との間に位置するように、第１の電極に重なり合う。説明された実施形態には、有用な効果がわずかしか影響を受けず、同時に実証構造の偏向可能性を改善することができ、また、実証構造によって引き起こされる遮蔽効果も改善され得るように、実証構造、第１の電極および基板を相互に巧みに配置することが可能であるという利点があり得る。
【００３４】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、実証構造は、第１の電極を複数の方向に向かって遮蔽するように、第１の電極のいくつかの側面に対向して配置されるいくつかの部分を含む。これは、遮蔽効果がさらに改善され得るという利点をもたらし、また、実証構造の偏向も改善することができ、したがって、例えば、第１の電極と第２の電極との間の電位差の検出能力も向上させることができる。
【００３５】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第１の電極および／または第２の電極は、基板の主面と比較して持ち上げられる。これは、例えば、実証構造が、例外的に平坦な表面の形態で第２の電極に適用され得、したがって、生産可能性が単純化され得るという利点をもたらす。また、第２の電極への実証構造の適用に起因して、第２の電極の実証構造への電気的結合が改善され得ることも可能である。さらに、第１の電極と第２の電極との間の有用な電界が、より顕著になる可能性があり得る。
【００３６】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第２の電極は、基板の主表面に対して、第１の電極よりも高い。これは、実証構造が第２の電極上の基本的に平坦な表面として製造され得るというさらなる利点をもたらし得る。さらに、第１の電極は、第２の電極に隣接するように製造されてもよい。このようにして、実証構造が第１の電極と重なり合うことを達成することができ、高いレベルの偏向可能性を達成することができる。このようにして、実証構造によって引き起こされる遮蔽効果もまた増大され得る。
【００３７】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第１の電極および第２の電極は、互いに対向して配置される。これは、電位差が低くても有用な効果が所望の程度に達成され得るという利点をもたらす。
【００３８】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第１の電極および第２の電極は、有用な場が、少なくとも１つの機械的構造に影響を及ぼすのに適するように構成され、機械的構造は、実証構造とは異なる。これは、有用な効果が、実証構造の偏向と同様の機能を実現するという利点をもたらす。したがって、機械的要素の調整もまた実現可能である。
【００３９】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第１の電極および第２の電極は、有用な場が、電磁放射および／または個々の光子に影響を及ぼすのに適するように構成される。これは、電磁放射が影響を受けることを達成することができるという利点をもたらす。これにより、電気機械部品の多くのさらなる使用モードが可能になり得る。
【００４０】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第１の電極および第２の電極は、有用な場が、粒子ビームに影響を及ぼすのに適するように構成される。これに関して、例えば、荷電粒子と荷電していない粒子とを分離することが可能であり得ることが有利である。
【００４１】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第１の電極および第２の電極は、有用な場が、荷電粒子の粒子ビームを偏向させる、または当該ビームに影響を及ぼすのに適するように構成される。これは、例えば、粒子ビームが、さらなる材料を構造化するために当該さらなる材料上に誘導される使用モードが実現可能であるという利点をもたらす。
【００４２】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、電気機械部品は、基板を備える。第１の電極と第２の電極とは、互いにある距離をおいて対向して配置される。基板は、第１の電極と第２の電極との間の領域に開口を有する。これは、粒子ビームが開口を通過し、したがって、例えば基板をも通過することができるという利点をもたらす。
【００４３】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、開口は、粒子ビームが電気機械部品を通過することを可能にするように構成されている。第１の電極および第２の電極は、有用な電界が、粒子ビームに影響を及ぼすのに適するように構成される。これは、粒子ビームが第１の電極と第２の電極との間の有用な場によって影響され得、上記粒子ビームがその後、例えば開口を通過し、したがって基板全体を通過することができるという利点をもたらす。この実施形態によって、粒子ビームの軌道は、例えば、粒子ビームの供給源に直接影響を及ぼすことなく、任意の所望の方向に変更することができる。
【００４４】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第１の電極および第２の電極は、有用な場が粒子ビームを偏向するのに適するように構成されており、開口は、粒子ビームが、第１の動作電位差において開口を通過するように構成される。加えて、開口は、第２の動作電位差において粒子ビームが排除されるように構成される。第１の動作電位差は、第２の動作電位差とは異なる。これは、粒子ビームの供給源に影響を与える必要なしに、荷電粒子の粒子ビームが、第１の電極および第２の電極の影響によって、または類推により電気機械部品によって、「スイッチオン」および「スイッチオフ」され得るという利点をもたらす。
【００４５】
電気機械部品のさらなる実施形態によれば、第２の電極および実証構造は、回路の基準電位源に電気的に結合される。さらに、第１の電極は、回路の基準電位とは異なる電位を含むように構成されている。これは、実証構造の偏向が、第１の電極と第２の電極との間に電位差が存在することを実証することができるという可能性をもたらす。また、このデバイスは、実証構造が第１の電極の場に対する遮蔽効果の改善をもたらすことを可能にすることもできる。さらに、このデバイスによって、制御が明らかに単純化され得ることが達成され得る。
【００４６】
電気機械部品の一実施形態によれば、電気機械部品構成は、複数の電気機械部品を備える。これは、複数の電気機械部品が有用な効果を達成し得るという利点をもたらす。例えば、複数の電子ビームを、必要に応じて個別に「スイッチオン」または「スイッチオフ」することができる応用形態が実現可能である。
【００４７】
電気機械部品の一実施形態によれば、電気機械部品は基板上に配置され、電気機械部品は基板の表面の両方の空間方向において配置される。これは、例えば、電気機械部品のものに相当する分布で配置された電子ビームが影響を受け得るという利点をもたらす。
【００４８】
電気機械部品の一実施形態によれば、電気機械部品構成は、行および／または列の構造を備え、それぞれの行および／またはそれぞれの列は、複数の電気機械部品を備える。これは、例えば、何らかの種類のマトリクスに配置され得るいくつかの電子ビームが同時に影響を受け得るという利点をもたらす。これに関連して、適用は電子ビームのすべての同時作用に限定されず、本実施形態では、個々の電子ビームが標的化されるように影響を受け得ることも実現可能である。
【００４９】
電気機械部品の一実施形態によれば、電気機械部品構成は少なくとも２つの電気機械部品を含み、第１の電気機械部品は第１の電極、第２の電極および弾性的に変形可能な実証構造を備える。
【００５０】
第１の電気機械部品の第１の電極および第１の電気機械部品の第２の電極は、第１の電気機械部品の第１の電極と第１の電気機械部品の第２の電極との間に電位差がある場合に、第１の有用な電界を生成するように配置されている。
【００５１】
さらに、第１の電気機械部品の実証構造は、第１の電気機械部品の第１の電極と第１の電気機械部品の第２の電極との間に電位差がある場合に偏向されるように構成されており、第１の電気機械部品は、第１の電気機械部品の実証構造の偏向とは異なる、有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成されている。
【００５２】
第２の電気機械部品は、第１の電極と、第２の電極と、弾性的に変形可能な実証構造とを備える。
【００５３】
第２の電気機械部品の第１の電極および第２の電気機械部品の第２の電極は、第２の電気機械部品の第１の電極と第２の電気機械部品の第２の電極との間に電位差がある場合に、第２の有用な電界を生成するように配置されている。
【００５４】
さらに、第２の電気機械部品の実証構造は、第２の電気機械部品の第１の電極と第２の電気機械部品の第２の電極との間に電位差がある場合に、偏向されるように構成されている。加えて、第２の電気機械部品は、第２の電気機械部品の実証構造の偏向とは異なる有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成される。
【００５５】
さらに、第１の電気機械部品の第２の電極は、第２の電気機械部品の第１の電極に隣接して設けられている。
【００５６】
これは、第１の部品の第２の電極が第２の部品の第１の電極を遮蔽することができ、結果、他の領域への望ましくない電界のクロストークを遮蔽することができるという利点をもたらす。
【００５７】
電気機械部品の一実施形態によれば、第２の電気機械部品の実証構造は、第１の電気機械部品の第２の電極上に設けられる。これは、実証構造が隣接する電気機械部品の第２の電極上に配置され、例えば基板上に配置される必要がないため、省スペースが達成され得るという利点をもたらす。
【００５８】
電気機械部品の一実施形態によれば、第１の電気機械部品の第２の電極は、第２の電気機械部品の第１の電極の３つの側面の各々に、第１の電気機械部品の第２の電極の１つの側面が対向して配置されるように製造される。これは、第１の電極が、例えば部品構成全体の基準電位に切り替えることができる、隣接する電気機械部品の第２の電極によって、いくつかの側面に向かって取り囲まれているため、第１の電極の望ましくない場の非常に良好な遮蔽が達成され得るという利点をもたらす。
【００５９】
電気機械部品の一実施形態によれば、第２の電気機械部品の実証構造は、第１の電気機械部品の第２の電極上に設けられ、第２の電気機械部品の第１の電極は少なくとも部分的に、第２の電気機械部品の実証構造と基板との間に配置される。これは、実証構造が非常に高い遮蔽効果を達成することができ、同時に、第１の電極と第２の電極との間の低い電位差で実証構造の高度の偏向が達成され得るという利点をもたらす。
【００６０】
上述の方法は、上述の電気機械部品および／または電気機械部品構成を意図した動作を実施する。
【００６１】
一実施形態は、電位差を検出するための電気機械部品を動作させる方法を提供する。電気機械部品は、第１の電極と、第２の電極と、弾性的に変形可能な実証構造とを備える。
【００６２】
第１の電極および第２の電極は、第１の電極と第２の電極との間に電位差が存在する場合に有用な電界を生成するように配置され、実証構造は、第１の電極と第２の電極との間に電位が存在する場合に偏向されるように構成されている。加えて、電気機械部品は、実証構造の偏向とは異なる有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成される。
【００６３】
さらに、本方法は、電位差を得るように電気機械部品を駆動するステップを含み、第１の電極と第２の電極との間の電位差の存在を検出するように、実証構造の偏向が検出される。
【００６４】
この方法は、結果として、第１の電極と第２の電極との間の電位差の証拠を提供することができるという利点をもたらす。
【００６５】
さらなる実施形態は、電気機械部品に対して機能試験を実行する方法を提供し、この方法は、機能部品を用いて、有用な電界を生成するのに適した、第１の電極と第２の電極との間の電位差が生じるように、電気機械部品を制御するステップを含む。加えて、実証構造の偏向を検出するステップ、および、偏向の検出に応じて、電気機械部品が機能しているか否かを決定するステップを含む。
【００６６】
この方法は、電気機械部品の機能性が確認され得るという利点をもたらす。これに関連して、個々の実証構造の偏向が定量的に検出され、したがって、電気機械部品の可能性のある製造上の欠陥のタイプを推測することができることもまた実現可能である。例えば、実証構造の偏向が検出されないことによって、電極の接触不良または欠失を示すことが可能であることが実現可能である。
【００６７】
さらなる実施形態は、電気機械部品に対する機能試験を実行する方法を提供し、決定は、実証構造の偏向とは異なる有用な効果が存在するか否かにかかわらず行われる。これは、例えば試験装置の有用な効果を再現する必要なく最小限の支出で電気機械部品の機能性を確認できるという利点をもたらす。
【００６８】
さらなる実施形態は、電気機械部品を動作させる方法を提供し、実証構造の偏向が、光学的および／または電気的に検出される。この方法は、偏向が適用分野に応じて適切な方法で検出され得るという利点をもたらす。光学的または電気的な検出は、それぞれ他のタイプの検出にまさる利点を呈し得る。
【００６９】
さらなる実施形態は、電気機械部品を動作させる方法を提供し、実証構造の偏向が、白色光干渉計または光学顕微鏡によって検出される。この方法は、適用が容易な検出のタイプが、実証構造の偏向を実証するのに適するという利点をもたらす。
【００７０】
さらなる実施形態は、電気機械部品を動作させる方法を提供し、第１の電極と第２の電極との間の電位差に起因する実証構造の偏向は、少なくとも３ｎｍ、好ましくは５ｎｍ〜１００ｎｍ、最も好ましくは２０ｎｍ〜４０ｎｍである。この方法は、実証構造の著しい偏向に起因して、測定誤差の誤解釈が広範囲で除外され得るという利点をもたらす。
【００７１】
さらなる実施形態は、電気機械部品を動作させる方法を提供し、最大１０Ｖ、好ましくは最大５Ｖの第１の電極と第２の電極との間の電位差において、実証構造の偏向が所望の範囲内になる。この方法は、実証構造および／または電気機械部品の過度の応力が回避され得るという利点をもたらす。
【００７２】
さらなる実施形態は、電気機械部品を動作させる方法を提供し、動作中、第１の電極と第２の電極との間の電位差が０Ｖと５Ｖとの間で切り替わる。
【００７３】
本発明の実施形態について、添付の図面を参照して以下により詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の第１の実施形態による電気機械部品の概略断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態による電気機械部品の概略断面図である。
【図３】本発明の第３の実施形態による電気機械部品の概略上面図および２つの概略断面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態による電気機械部品の２つの概略上面図および２つの概略断面図である。
【図５】本発明の第５の実施形態による電気機械部品の２つの概略上面図および２つの概略断面図である。
【図６】本発明の第３の実施形態による電気機械部品の２つの概略上面図および２つの概略断面図である。
【図７】本発明の第７の実施形態による電気機械部品の概略断面図である。
【図８】本発明の第８の実施形態による電気機械部品の概略断面図である。
【図９】本発明の第９の実施形態による電気機械部品の概略断面図である。
【図１０】本発明の第１０の実施形態による電気機械部品構成の２つの概略断面図である。
【図１１】本発明の一実施形態による方法の流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００７５】
例えば、本発明の（偏向可能なクロストークシールドの）実証構造を実施することができる、本発明による様々な可能な実施形態を以下に列挙する。
【００７６】
（図１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態による電気機械部品１００の概略断面図を示す。電気機械部品１００は、第１の電極１１０と、第２の電極１２０と、弾性的に変形可能な実証構造１３０とを含む。第１の電極１１０および第２の電極１２０は、第１の電極１１０と第２の電極１２０との間に電位差がある場合に有用な電界を生成するように配置される。実証構造１３０は、第１の電極１１０と第２の電極１２０との間に電位差がある場合に、例えば静電気力によって偏向されるように構成されている。電気機械部品１００は、実証構造１３０の偏向とは異なる有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成される。
【００７７】
言い換えれば、上述の実証構造１３０によって、例えば第２の電極１２０などの電極に導電的に接続することができ、第１の電極１１０から所定の距離に配置されるプレート、すなわち実証構造１３０の機械的構成の説明が与えられると言うことができる。この構成は、２つの電極、すなわち第１の電極１１０と第２の電極１２０との間に特定の最小電位差があるとすぐにプレート１３０を偏向させることができるように選択することができる。
【００７８】
いくつかの電極がまた、プレート１３０を偏向させる役割を担い得る同等の部品を製造することも実現可能である。これは、例えば、いくつかの電極が第１の電極１１０の役割を果たすことを意味すると理解され得る。いわゆる電極１１０、１２０はまた、明らかに、導体トラックなどに置き換えられてもよい。
【００７９】
言い換えれば、測定可能な偏向が達成されるように、プレートとして参照される場合もある実証構造１３０を幾何学的に構築することができると述べることができる。したがって、実証構造１３０の偏向は、２つの電極、すなわち、第１の電極１１０と第２の電極１２０との間に電位差が存在することの証拠として使用することができる。
【００８０】
図１に示すように、実証構造１３０は、いくつかの領域または部分に細分することができる。これに関連して、示されている実施態様は必須ではなく、電極１１０、１２０の配置または他の要件に依存して、実証構造１３０の異なる構成が有利であり得る。図１において、実証構造１３０は、例えば、下にある構造との機械的固定を表すことができるベース面１３１を含む。例えば、ベース面１３１を基板などに取り付けることが可能である。他の実施形態、例えば。図２、図３、図４の実施形態は、実証構造が電極１１０、１２０のいずれかに取り付けられる可能性を示している。さらに、実証構造は、ベース面に基本的に垂直なさらなる面１３３を含み、これは、さらなる面がベース面１３１に対する垂線から最大２０度だけ逸脱していることを意味する。さらに、実証構造は、ベース面１３１と基本的に平行な上面１３５を含み、これは、上面１３５が、ベース面１３１に対して正確な平行から１０度まで逸脱し得ることを意味する。
【００８１】
この実施形態では、実証構造１３０は、実証構造１３０の上面１３５が第１の電極１１０と部分的に重なるように、第１の電極１１０に隣接して配置される。これは、上面１３５が突出する場合に、上面１３５の表面に対する適切な法線に対応して、突出した面と第１の電極１１０の表面との少なくとも部分的な整合が見出され得ることを意味する。さらに、実証構造１３０は、実証構造１３０の所望の偏向領域において、実証構造１３０と第１の電極１１０との一部分または複数の部分の間に接触点が生じないように配置され得る。第２の電極１２０は、第１の電極１１０に隣接して配置され、結果、例えば、有用な電界が、適切な程度まで、電極１１０，１２０間の電位差に起因して第１の電極１１０と第２の電極１２０との間に形成し得る。
【００８２】
これまで説明されていないが、実証構造１３０はまた、遮蔽のための構造として使用されてもよい。このため、実証構造１３０は、下記においてクロストークシールドとして参照される場合もある。実証構造１３０のこの役割はまた、電気機械部品１００の設計においても考慮され得る。基本的には、遮蔽効果と実証構造機能との間の妥協点を見出そうと試行され得ると述べることができる。この妥協点は、とりわけ、実証構造１３０の幾何学的実施態様に関係する。例えば、容易に偏向することができる実証構造１３０は、狭く、弾性で、したがって容易に変形可能な表面からなる構成によって達成することができる。しかしながら、狭い表面の利用は、結果として遮蔽効果を低下させる可能性がある。実証構造１３０の配置に関して、実証構造１３０の遮蔽効果は、原理的には非常に良好であると言及することができる。なぜなら、実証構造１３０は、大きな偏向を達成するために、いずれにしても比較的高い電界強度を有する領域に配置されるべきであるためである。したがって、提示された本発明によって、偏向および遮蔽効果の２つの上述の目的は、互いに相当程度まで組み合わせることができる。
【００８３】
同時に、実証構造１３０はまた、クロストークシールドの機能も実行することができる。これらの実証構造およびそれらの遮蔽効果は、例えばマルチビームリソグラフィシステムに関する米国特許第８，６１８，４９６号明細書に記載されているような領域において利用することができる。
【００８４】
例えば、本発明の構造１３０は、静電微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）内での実証構造（クロストークシールド）として作用することができ、実証構造は、接地平面が電極の対向する側面を覆うという点において、２つの隣接する電極間のクロストークを低減することができる。遮蔽効果は、例えば米国特許第７，７２３，８１０号明細書に記載されているものと同様の方法で設計することができる。
【００８５】
本明細書に示される本発明は、例えば、クロストークシールドによって電位実証方法、したがって機能実証方法を実施すること、および／または、実証構造１３０が遮蔽の役割も果たすようにすることを可能にする。
【００８６】
図１では、有用な効果は、第１の電極１１０から第２の電極１２０に向かう３つの矢印１９０によって示されている。上記矢印１９０は、有用な電界の力線と考えることもできる。矢印１９０の分布は、実際に形成されている電界に関して定性的または定量的な結論を出すことを可能にするものではない。実証構造１３０に関連するさらなる個別の矢印１９２は、実証構造１３０の起こり得る偏向を示すものである。
【００８７】
電気機械部品１００によって達成され得る有用な効果は、例えば、電子ビームなどの荷電粒子の粒子ビームの偏向であり得る。同じく達成され得る有用な効果は、例えば、微小電気機械構造（ＭＥＭＳ）の偏向である。電気機械部品１００は、有用な電界を介して有用な効果を発揮するため、原則として、電界の存在または制御可能性の基本的前提条件に基づく応用が実現可能になる。
【００８８】
（図２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態による電気機械部品構成２０１の概略断面図を示す。
【００８９】
この実施形態は、複数の第１の電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄと、複数の第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃと、複数の実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄとを備える。それぞれの実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄは、ベース面２３１ｂ、２３１ｃ、２３１ｄと、ベース面２３１ｂ、２３１ｃ、２３１ｄに基本的に垂直なさらなる面２３３ｂ、２３３ｃ、２３３ｄと、ベース面２３１ｂ、２３１ｃ、２３１ｄと基本的に平行である上面２３５ｂ，２３５ｃ，２３５ｄとを備える。
【００９０】
図２には、断面図の表現において、２つの開口２５０ｂ、２５０ｃの存在に起因して３つの部分２４０ｂ、２４０ｃ、２４０ｄに細分された基板（バルク）２４０が示されている。第１の電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄおよび第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃはそれぞれ、３つの部分の各々に配置されている。それぞれの第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃは、実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄをその上に取り付けられており、実証構造は、ベース面２３１ｂ、２３１ｃ、２３１ｄと、さらなる面２３３ｂ、２３３ｃ、２３３ｄと、上面２３５ｂ，２３５ｃ，２３５ｄとを備える。
【００９１】
また、図２では、第１の電気機械部品２００ｂが破線で示されており、第２の電気機械部品２００ｃが点線で示されている。
【００９２】
要素と電気機械部品２００ｂとの関連は、以下のように定義することができる。すなわち、実証構造２３０ｂが第２の電極２２０ａ上に機械的に提供され、当該第２の電極２２０ａは電気機械部品２００ｂに属せず、左に隣接し得る電気機械部品に属する。それにもかかわらず、実証構造２３０ｂは、第２の電極２２０ａに電気的に結合することができ、第２の電極２２０ａは、基準電位供給源に結合することができる。実証構造２３０ｂは、基板２４０ｂと実証構造２３０ｂの上面２３５ｂとの間に位置する第１の電極２１０ｂに関連付けられている。有用な効果は、２つの電極２１０ｂ、２２０ｂの間の電位差に起因して、信号と記載されている第１の電極２１０ｂと、右側に隣接し、開口２５０ｂの他方の側に位置し、接地と記載されている第２の電極２２０ｂとの間に形成することができる有用な電界から生じ得る。
【００９３】
図２はまた、２つの電極２１０ｂ、２２０ｂの間に配置された開口２５０ｂを示す。有用な電界の影響を受け得る粒子ビームは、この開口２５０ｂを通過し、したがって基板２４０をも通過することができる。
【００９４】
本実施形態において、第２の電極２２０ａは、クロストークを低減するように、第１の電極２１０ｂの電界の望ましくない部分に対する遮蔽効果を有することができる。実証構造２３０ｂはまた、同等の効果を有することができ、第１の電極２１０ｂの電界のクロストークを低減することができる。この実施形態では、第２の電極２２０ｂは、電気機械部品２００ｃに関連するさらなる実証構造２３０ｃを機械的に固定するために使用される。
【００９５】
要素と電気機械部品２００ｃとの関連は、以下のように定義することができる。すなわち、実証構造２３０ｃが第２の電極２２０ｂ上に機械的に提供され、当該第２の電極２２０ｂは電気機械部品２００ｃに属せず、左に隣接する電気機械部品２００ｂに属する。それにもかかわらず、実証構造２３０ｃは、第２の電極２２０ｂに電気的に結合することができ、第２の電極２２０ｂは、基準電位供給源に結合することができる。実証構造２３０ｃは、基板２４０ｃと実証構造２３０ｃの上面２３５ｃとの間に位置する第１の電極２１０ｃに関連付けられている。有用な効果は、２つの電極２１０ｃ、２２０ｃの間の電位差に起因して、第１の電極２１０ｃと、右側に隣接し、開口２５０ｃの他方の側に位置する  第２の電極２２０ｃとの間に形成することができる有用な電界から生じ得る。
【００９６】
図２はまた、２つの電極２１０ｃ、２２０ｃの間に配置された開口２５０ｃを示す。有用な電界の影響を受け得る粒子ビームは、この開口２５０ｃを通過し、したがって基板２４０をも通過することができる。
【００９７】
本実施形態において、第２の電極２２０ｂは、クロストークを低減するように、第１の電極２１０ｃの電界の望ましくない部分に対する遮蔽効果を有することができる。実証構造２３０ｃはまた、同等の効果を有することができ、例えば、電気機械部品２００ｂに対する、第１の電極２１０ｃの電界のクロストークを低減することができる。この実施形態では、第２の電極２２０ｃは、例えば、図示されていない電気機械部品２００ｄに関連し得るさらなる実証構造２３０ｄを機械的に固定するために使用される。
【００９８】
電気機械部品２００ｂ、２００ｃを複数隣接させて配置することによって、たとえば、実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄを隣接する第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃに取り付けることができるため、構成全体のサイズを低減することができる。実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄの動作モードに関して、この文脈では、実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄが第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃと同じ電位を有することが有用であり、これは、機械的接続によって容易に達成することができる。
【００９９】
さらに、電気機械部品２００ｂ、２００ｃは、実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄが第１の電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄと重なり、結果、機械的取付け領域から、例えば実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄのベース面２３１ｂ、２３１ｃ、２３１ｄから離間された実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄの領域、例えば上面２３５ｂ、２３５ｃ、２３５ｄが、第１の電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄのそれぞれの領域に対向して配置され、例えば、平行になるか、または、１０度以下の小さい角度を形成するように、製造される。
【０１００】
これに関連して、それぞれの実証構造２３０ｂ、２３０ｃの間、および／またはそれぞれの上面２３５ｂ、２３５ｃとそれぞれの第１の電極２１０ｂ、２１０ｃとの間の距離は、第１の電極２１０ｂ、２１０ｃと第２の電極２２０ｂ、２２０ｃとの間の動作電位差が存在する場合に、実証構造２３０ｂ、２３０ｃに作用する静電気力が、実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、または例えば実証構造２３０ｂ、２３０ｃのある領域、例えば上面２３５ｂ、２３５ｃの、１０ｎｍを超える偏向を達成するのに十分大きくなるように選択することができる。
【０１０１】
換言すれば、図２は、例えば電子ビームを偏向させるための電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄ、２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃの構成を示す。第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃ（代替的に接地電極とも呼ばれる）は、それぞれその上に配置された実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄ（代替的に、クロストークシールドとも呼ばれる）を有することができる。ここで、実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄは、第１の電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄと関連し得る。第１の電極２１０ｂ、２１０ｃは、第２の電極２２０ｂ、２２０ｃとともに偏向セルを形成することができる。実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄは、それぞれの第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃに取り付けることができる。ただし、これは必須ではない。この実施形態では、実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄが、隣接する偏向セルの第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃに取り付けられていることが分かる。第１の電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄは、対応する実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄによって少なくとも部分的に覆われている。第１の電極２１０ｂ、２１０ｃとともに有用な電界を生成し得る第２の電極２２０ｂ、２２０ｃは、隣接する偏向セルに関連付けられる実証構造２３０ｃ、２３０ｄの機械的取り付け位置として利用可能である。この配置も必須ではない。有用な電界の有用な効果に依存して、上記と比較して異なる配置が有利であり得る。
【０１０２】
これに関連して、プレートとして参照される場合もある実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄがその上に導電可能に固定され得る第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃが、動作中に基準電位、すなわち接地電位に恒久的に切り替えられ得るという可能性にも言及すべきである。したがって、実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄと第２の電極２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃの両方は、共通の基準電位を有するものとして規定することができる。これは、任意の第１の電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄが、基準電位に対する電位差に起因して、関連する実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄの偏向を引き起こすことができるという利点を、上記効果にもたらすことができる。
【０１０３】
それぞれの実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄは、クロストークシールドとして使用することもできる。注記として、電界のクロストークは、いわゆるクロストークシールドによって防止されるべきであることが示され得る。図２は、可能なクロストークシールド２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄを有する電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄ、２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃの構成を示す。クロストークシールド２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄは、基準電位に導電可能に接続することができ、それ自体導電性材料から構成することができる。クロストークシールドを実施するために、チタン、アルミニウムまたはそれらの合金（例えば、チタン−アルミニウム、ＴｉＡｌまたはＡｌＳｉＴｉ）を使用することができる。
【０１０４】
記載されている実施態様では、電極２１０ｂ、２１０ｃ、２１０ｄは、クロストークシールド２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄのアーキテクチャによって覆われ、その結果、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の電位コントラストによって荷電領域の証拠を提供することはもはや不可能であることに留意されたい。したがって、（例えば、同じくこの目的のために設計されたクロストークシールドによって）実証構造２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄによる電位差の検出は、合理的な代替案を提示することができる。
【０１０５】
図２において、点線および／または破線は、それぞれ「セル」または電気機械部品２００ｂ、２００ｃを特徴づけており、その可能な機能を再び簡単に説明する。選択された実施形態では、有用な場によって達成される有用な機能は、電子ビームに影響を及ぼすことを表すことができる。上記電子ビームは、第１の電極２１０ｂ、２１０ｃと第２の電極２２０ｂ、２２０ｃとの間に位置する矢印によって表される。したがって、それぞれの第１の電極２１０ｂ、２１０ｃは、基板２４０内で、それぞれの第２の電極２２０ｂ、２２０ｃおよびそれぞれの開口２５０ｂ、２５０ｃとともに「偏向セル」を表すことができ、「偏向セル」は例えば、粒子ビームを偏向させる機能を実施する。無論、有用な機能は、粒子ビームを偏向させることに限定されない。むしろ、この構成は、電界の存在および／または制御可能性を必要とする効果を達成することができ、この電界は、本発明では有用な（電気的）電界と呼ばれる。
【０１０６】
（図３の実施形態）
下記において上面図に記載された電気機械部品（偏向セル）は、図７の本発明の例に示されているような実証構造の構成のような、実証構造の構成に関するものであるが、類推によって、図８の本発明の例にも転換することができる。
【０１０７】
図３は、本発明の第３の実施形態による電気機械部品３００またはその部分の概略上面図および２つの概略断面図である。上部領域には、個々の、例えば偏向セルが上面図で示されている。下部領域には、対応する断面図が断面ＡおよびＢに沿って示されている。
【０１０８】
これに関連して、上面図は、第１の電極３１０、および、実証構造３３０を取り付ける働きもする第２の電極３２０の可能な具現化を示す。この実施形態では、第２の電極３２０は上面図において楕円形で描かれている。第２の電極３２０をπの形状に製造することも可能であり、両方とも第２の電極３２０によって及ぼされる所望の遮蔽効果を向上させることができる。πの形状は、対応する要素が３つの構造要素を含み、第１の基本的に直線的な構造が、それぞれの端部に、第１の構造に対して基本的に垂直に配置される２つの基本的に直線的な構造を含むことを意味する。この第２の構造および第３の構造は、基本的に、第１の構造の片側のみに延伸する。さらに、この第２の構造および第３の構造は、第１の構造の対称軸に対して基本的に対称に配置される。
【０１０９】
さらに、上面図は、機械的接合面、場合によってはまた第２の電極３２０と実証構造３３０との間の電気的結合に向けられる面と考えることができる接合面３２５を示す。この接合面３２５はまた、図１のベース面１３１および／または図２のベース面２３１、および／または他の実施形態の実証構造のベース面によるベース面に対応してもよい。この文脈では、実証構造３３０は、さらなる表面１３３が無限小となる、例えば実証構造１３０の特別な事例に対応する。さらに、上面図は、例えば、静電気力の結果として、実証構造３３０が、実証構造３３０の偏向を容易にすることができる偏向促進構造３３２を備えることができることを示している。
【０１１０】
図３の２つの下部断面図は、断面ＡおよびＢに対応する電気機械部品３００の断面図を示す。断面図は各々また、この実施形態では、第２の電極３２０よりも低くなるように製造され、第２の電極３２０によって３つの側面を囲まれた第１の電極３１０をも示している。この選択の結果として、基本的に平坦な表面として、すなわち平坦な表面から１０％未満の偏差を有する実証構造３３０を生成することが可能であり得る。この結果として、例えば、ベース面２３１と、ベース面に基本的に垂直なさらなる面２３３と、ベース面に基本的に平行な上面２３５とを備える図２の実証構造２３０と比較して、実証構造３３０の製造を明らかに単純化することができる。
【０１１１】
実証構造３３０は、本実施形態では、表面３２５を介して第２の電極３２０に接続することができる。図３の上面図に示されているように、これは第２の電極３２０のいくつかの表面部分にわたって広がっていてもよいが、必須ではない。反例が図１に示され得る。図１では、実証構造１３０と第２の電極１２０との間の電気的結合が意味をなし得る場合であっても、実証構造１３０またはベース面１３１は、第２の電極１２０に機械的に接続されていない。実証構造３３０を第２の電極３２０上に設けることにより、電気機械部品３００のサイズの望ましい減少を達成することができ、これは、実証構造が第２の電極上に設けられていない異なる実施形態と比較した、図３の図示された実施形態の利点を表すことができる。
【０１１２】
電気機械部品３００は、実証構造３３０が弾性材料を有する少なくとも１つの領域を含むように製造することができる。実証構造３３０が、チタンまたはアルミニウムまたはチタン−アルミニウムまたはアルミニウム−シリコン−チタンから成る少なくとも１つの領域を含むように、電気機械部品３００が製造されることも可能である。
【０１１３】
換言すれば、プレート３３０が、導電性材料から構成され得ると言うことができる。また、プレート３３０が、チタン、アルミニウムまたはその合金（例えば、チタン−アルミニウム、ＴｉＡｌまたはＡｌＳｉＴｉ）などの金属から製造されることも可能である。これに関連して、非晶質金属（例えば、ＴｉＡｌなど）からプレート３３０を製造することが有用であり得ることも言及され得る。
【０１１４】
これらのデバイス、すなわち、上記の段落で言及した弾性領域および材料は、実証構造３３０が、実証構造３３０の偏向を容易にし、および／または、実証構造３３０の曲げ強度を低下させる偏向促進構造３３２を備えるように、電気機械部品３００を製造することができるようなものと考えることができる。
【０１１５】
この文脈では、設計において様々な重要な特性を考慮に入れることができる。電気機械部品３００は、偏向促進構造３３２が、実証構造３３０が、有効な場に対する遮蔽効果とは別に、第１の電極３１０から発する場に対して所望の遮蔽効果を達成するように構成されるように製造することができ、促進構造３３２は、偏向促進構造３３２を備えない実証構造３３０と比較して、実証構造３３０の偏向を容易にするように構成することができる。
【０１１６】
偏向促進構造３３２および／または偏向促進構造３３２の部分が、第１の電極３１０と実証構造３３０との間に位置する、電界強度が最大電界強度の領域内よりも少なくとも５０パーセント小さい実証構造３３０の１つまたは複数の領域内に配置されるように、電気機械部品３００が設計されることも有用であり得る。
【０１１７】
図３の本発明の例では、上部領域には、例えば、偏向セルとして使用される単純化された電気機械部品３００またはその一部が示されている。簡略化のために、偏向電極３１０および基板（アパーチャ）内の可能な開口は省略されている。さらに、２つの断面ＡおよびＢが示されている。図３の下側領域には、対応する断面の断面図ＡおよびＢが示されている。図３の断面図Ａは、より高い基準電位電極（接地電極）３２０によって両側が囲まれた偏向電極３１０を示している。基準電位電極（接地電極）３２０には、クロストークシールド３３０が接触領域／取り付け面３２５を横切って取り付けられており、クロストークシールド３３０は、所定の距離をおいて、偏向電極３１０を覆う。図３の断面図Ｂでは、図７と同等の構成が再び示されている。基準電位電極（接地電極）３２０には、クロストークシールド３３０が接触領域３２５に取り付けられており、クロストークシールド３３０は、所定の距離をおいて、偏向電極３１０を覆う。
【０１１８】
図示された実施形態において基準電位電極（接地電極）３２０上に位置するように示されているクロストークシールド３３０が、形状、機械的サスペンション、厚さなどに起因して、動作のために慣習的な電圧を印加することによって十分にまたはまったく偏向され得ないほどに機械的に十分に安定している場合、クロストークシールド３３０における機械的安定性は、偏向促進構造４３２と考えることができるスリットによって低減することができる。
【０１１９】
（図４の実施形態）
図４は、本発明の第４の実施形態による電気機械部品４００の概略上面図および２つの概略断面図を示す。上部領域において、例えば、偏向セルとして使用される個々の電気機械部品４００またはその一部が上の図に示されている。下側領域には、ＡおよびＢの断面に沿った対応する断面図が示されている。この実施形態では、クロストークシールドとしても使用され得る実証構造４３０の機械的安定性は、偏向促進構造４３２と考えることができる２つのスリット４３２ａ、４３２ｂによって低減され得る。
【０１２０】
図４の表現は、図３の選択される表現と同じ向きである。これに関連して、上面図は、この実施形態において実証構造４３０を取り付ける働きもする第２の電極４２０の可能な具現化を示す。図４ａの実施形態では、第２の電極４２０は、楕円形または楕円形構造の一部であるように示されており、これは、第２の電極４２０によって生じる所望の遮蔽効果を改善することができる。図４ｂにおいて、第２の電極４２０は、第２の電極４２０が第１の電極４１０と開口４５０とからなる構成を囲み、したがって、同じく第２の電極４２０によって生じる所望の遮蔽効果を改善するように示されている。さらに、上面図は、機械的接合面、場合によってはまた第２の電極４２０と実証構造４３０との間の電気的結合に向けられる面と考えることができる接合面４２５を示す。この接合面４２５はまた、図１のベース面１３１および／または図２のベース面２３１、および／または他の実施形態の実証構造のベース面によるベース面に対応してもよい。この文脈では、実証構造４３０は、さらなる表面１３３が無限小となる、例えば実証構造１３０の特別な事例に対応する。さらに、上面図は、例えば、静電気力の結果として、実証構造４３０の偏向を容易にすることができる偏向促進構造４３２を示す。実証構造４３０は、取り付け面４２５から離間した自由端４３４をさらに備える。
【０１２１】
図４の２つの下部断面図は、断面ＡおよびＢに対応する電気機械部品４００の断面図を示す。断面図は各々また、この実施形態では、第２の電極４２０よりも低くなるように製造される第１の電極４１０をも示している。この選択の結果として、基本的に平坦な表面として、すなわち平坦な表面から１０％未満の偏差を有する実証構造４３０を生成することが可能であり得る。この結果として、例えば、ベース面２３１と、ベース面に基本的に垂直なさらなる面２３３と、ベース面に基本的に平行な上面２３５とを備える図２の実証構造２３０と比較して、実証構造４３０の製造を明らかに単純化することができる。
【０１２２】
図４は、２つのスリットを有するクロストークシールド４３０を示す。その結果、安定性、ひいては偏向は、両方の外側のプレート４３０の接触領域４２５とは無関係になり得る。ここで図４に示す例では、接触領域４２５は、例えば、実証構造４３０内の可動部分から、右側および左側で機械的に切り離されている。
【０１２３】
電気機械部品４００は、実証構造４３０が少なくとも２つのスリット４３２ａ、４３２ｂを備え、実証構造４３０が自由な、すなわち取り付けられていない端部４３４を備えるように製造される。第１のスリット４３２ａは、実証構造４３０の自由端４３４から実証構造４３０の内側領域まで、例えば基本的に直線的に、すなわち、平均方向から最大１０°の逸脱で延伸する。
【０１２４】
第２のスリット４３２ｂもまた、実証構造４３０の自由端４３４から実証構造４３０の内側領域まで、例えば基本的に直線的に延伸する。
【０１２５】
第１のスリット４３２ａおよび第２のスリット４３２ｂは、本実施形態では相互に距離をおいて設けられており、結果、例えば第１のスリット４３２ａと第２のスリット４３２ｂとの間の領域は、この層の取り付けられた領域によって少なくとも３つの側面が囲まれる可撓性構造４３２を表すことができる。
【０１２６】
言い換えれば、プレートとも呼ばれる、実証構造４３０のスリット４３２ａ、４３２ｂが、スリット４３２ａ、４３２ｂを有していないが他の点では設計上同一であるプレートよりも低い電圧（電位差）を受けて、プレートがさらに偏向され得るような設計をもたらすと述べることができる。
【０１２７】
図４ａと図４ｂとの間に見られる差異は、図４ａのスリット４３２ａ、４３２ｂが基本的に直線的に延伸するのに対し、図４ｂのスリット４３２ａ、４３２ｂが円弧の形状を呈しているという点にある。しかし、基本的な動作モードおよび作用モードは、この様々な実施態様の影響を受けない。
【０１２８】
それにもかかわらず、これによって機械的安定性が十分に低下しない場合は、図５に示すように、複数のスリットを配置することによってプレートを構築することができる。
【０１２９】
（図５の実施形態）
図５は、本発明の第５の実施形態による電気機械部品５００の概略上面図および２つの概略断面図を示す。上部領域において、例えば、偏向セルとして使用される個々の電気機械部品５００またはその一部が上の図に示されている。下側領域には、ＡおよびＢの断面に沿った対応する断面図が示されている。クロストークシールド、または実証構造５３０の機械的安定性は、偏向促進構造５３２と考えることができるスリット５３２ａ、５３２ｂを配置することによって低減され得る。
【０１３０】
図５の表現は、図３の選択される表現と同じ向きである。これに関連して、上面図は、実証構造５３０を取り付ける働きもする第２の電極５２０の可能な具現化を示す。図５ａの実施形態では、第２の電極５２０は、楕円形または楕円形構造の一部であるように示されており、これは、第２の電極５２０によって生じる所望の遮蔽効果を改善することができる。図５ｂにおいて、第２の電極５２０は、第２の電極５２０が第１の電極５１０と開口５５０とからなる構成を囲み、したがって、同じく第２の電極５２０によって生じる所望の遮蔽効果を改善するように示されている。さらに、上面図は、機械的接合面、場合によってはまた第２の電極５２０と実証構造５３０との間の電気的結合に向けられる面と考えることができる接合面５２５を示す。この接合面５２５はまた、図１のベース面１３１および／または図２のベース面２３１、および／または他の実施形態の実証構造のベース面によるベース面に対応してもよい。この文脈では、実証構造５３０は、さらなる表面１３３が無限小となる、例えば実証構造１３０の特別な事例に対応する。さらに、上面図は、例えば、静電気力の結果として、実証構造５３０の偏向を容易にすることができる偏向促進構造５３２を示す。実証構造５３０は、取り付け面５２５から離間した自由端５３４をさらに備える。
【０１３１】
図５の２つの下部断面図は、断面ＡおよびＢに対応する電気機械部品５００の断面図を示す。断面図は各々また、この実施形態では、第２の電極５２０よりも低くなるように製造される第１の電極５１０をも示している。この選択の結果として、基本的に平坦な表面として、すなわち平坦な表面から１０％未満の偏差を有する実証構造５３０を生成することが可能であり得る。この結果として、例えば、ベース面２３１と、ベース面に基本的に垂直なさらなる面２３３と、ベース面に基本的に平行な上面２３５とを備える図２の実証構造２３０と比較して、実証構造５３０の製造を明らかに単純化することができる。
【０１３２】
電気機械部品５００は、実証構造５３０が少なくとも２つのスリット５３２ａ、５３２ｂを備え、実証構造５３０が自由端５３４を備えるように製造される。
【０１３３】
第１のスリット５３２ａは、第１のスリット５３２ａの第１の部分において、実証構造５３０の自由端５３４から実証構造５３０の内側領域まで、例えば基本的に直線的に、すなわち、平均方向から最大１０°の逸脱で延伸する。これに続いて、ここでは、第１のスリット５３２ａはまた、例えば、第１のスリット５３２ａの第２の部分において、基本的に直線的に、実証構造５３０の内側領域内に延伸する。この実施形態では、第１のスリット５３２ａの第１の部分および第１のスリット５３２ａの第２の部分は、約９０度の角度を形成する。角度が４５度よりも大きく、好ましくは７０度よりも大きい他の実施形態も可能である。
【０１３４】
第２のスリット５３２ｂは、第２のスリット５３２ｂの第１の部分において、実証構造５３０の自由端５３４から実証構造５３０の内側領域まで、例えば基本的に直線的に延伸する。これに続いて、スリット５３２ｂは、第２のスリット５３２ｂの第２の部分において、例えば基本的に直線的に、実証構造５３０の内側領域内に延伸する。この実施形態では、第２のスリット５３２ｂの第１の部分および第２のスリット５３２ｂの第２の部分は、約９０度の角度を形成する。角度が４５度よりも大きく、好ましくは７０度よりも大きい他の実施形態も可能である。また、スリット５３２ａ、５３２ｂの各々が円弧の形状を有する図５ｂの表現によってそれら自体を方向付ける実施形態も実現可能である。
【０１３５】
加えて、上述した実施態様では、第１のスリット５３２ａと第２のスリット５３２ｂとが互いに距離をおいて設けられている。
【０１３６】
さらに、実証構造５３０またはいわゆるプレートの幾何学的設計が、プレート内のスリット５３２ａ、５３２ｂによっても予め規定され得るような構成もまた考えられる。
【０１３７】
この実施形態では、それぞれのスリット５３２ａ、５３２ｂの両部分の間の角度は、約９０度を有するように示されている。これは、例えば７０度の角度にまさる基本的な利点を示すものではない。むしろ、実証構造５３０の機械的安定性は、スリット５３２ａ、５３２ｂの間の最小距離によって予め規定することができる。
【０１３８】
例えば、スリットが、それぞれの第１の部分において互いに向かって延伸し、それぞれの第２の部分において互いから外方に延伸するスリット５３２ａ、５３２ｂを具現化することも実現可能である。これは、実証構造の偏向可能な領域を標的化された様式で異なる領域に細分する偏向促進構造を表すことができる。
【０１３９】
図５ａと図５ｂとの間に見られる差異は、図５ａのスリット５３２ａ、５３２ｂが基本的に直線的に延伸するのに対し、図５ｂのスリット５３２ａ、５３２ｂが円弧を示すという点にある。しかし、基本的な動作モードおよび作用モードは、この様々な実施態様の影響を受けない。
【０１４０】
記載された実施形態による偏向促進構造が十分な偏向可能性を達成しない場合、図６に示すような代替的な構成のスリットも実現可能である。ここでは、一種の回転ジョイントを機械的に形成することができ、これは、クロストークシールドの偏向を容易にすることができる。
【０１４１】
（図６の実施形態）
図６は、本発明の第６の実施形態による電気機械部品６００の概略上面図および２つの概略断面図を示す。上部領域において、例えば、偏向セルとして使用される個々の電気機械部品６００が上の図に示されている。下側領域には、ＡおよびＢの断面に沿った対応する断面図が示されている。クロストークシールド、または実証構造６３０の機械的安定性は、偏向促進構造６３２と考えることができるスリット６３２ａ、６３２ｂ、６３２ｃを配置することによって低減され得る。
【０１４２】
図６の表現は、図３の選択される表現と同じ向きである。これに関連して、上面図は、実証構造６３０を取り付ける働きもする第２の電極６２０の可能な具現化を示す。図６ａの実施形態では、第２の電極６２０は、楕円形または楕円形構造の一部であるように示されており、これは、第２の電極６２０によって生じる所望の遮蔽効果を改善することができる。図６ｂにおいて、第２の電極６２０は、第２の電極６２０が第１の電極６１０と開口６５０とからなる構成を囲み、したがって、同じく第２の電極６２０によって生じる所望の遮蔽効果を改善するように示されている。さらに、上面図は、第２の電極６２０と実証構造６３０との間の機械的接続、場合によってはまた電気的接続のための表面を提示することができる接合面６２５を示す。この接合面６２５はまた、図１のベース面１３１および／または図２のベース面２３１、および／または他の実施形態の実証構造のベース面によるベース面と考えることもできる。したがって、平坦な実証構造６３０は、例えば図１の実証構造１３０の特別な事例を表す。このようにして、この平面は、類推によって、さらなる表面１３３が無限小である、実証構造１３０と考えることができる。さらに、上面図は、例えば、静電気力の結果として、実証構造６３０の偏向を容易にすることができる偏向促進構造６３２を示す。実証構造６３０は、取り付け面６２５から離間した自由端６３４をさらに備える。
【０１４３】
図６の２つの下部断面図は、断面ＡおよびＢに対応する電気機械部品６００を示す。断面図は各々また、この実施形態では、第２の電極６２０よりも低くなるように製造される第１の電極６１０をも示している。この選択の結果として、基本的に平坦な表面として、すなわち平坦な表面から１０％未満の偏差を有する実証構造６３０を生成することが可能であり得る。この結果として、例えば、ベース面２３１と、ベース面に基本的に垂直なさらなる面２３３と、ベース面に基本的に平行な上面２３６とを備える図２の実証構造２３０と比較して、実証構造６３０の製造を明らかに単純化することができる。
【０１４４】
電気機械部品６００は、実証構造６３０が少なくとも３つのスリット６３２ａ、６３２ｂ、６３２ｃを備え、実証構造６３０が自由端６３４をさらに備えるように製造される。
【０１４５】
第１のスリット６３２ａは、第１のスリット６３２ａの第１の部分において、実証構造６３０の自由端６３４から実証構造６３０の内側領域まで基本的に直線的に延伸し、これに続いて、例えば第１のスリット６３２ａの第２の部分において、基本的に直線的に、実証構造６３０の内側領域内に延伸する。これに関連して、第１のスリット６３２ａの第１の部分および第１のスリット６３２ａの第２の部分は、約９０度の角度を形成する。角度が４６度よりも大きく、好ましくは７０度よりも大きい他の実施形態も可能である。図示の実施形態では、角度の方向は、第１のスリット６３２ａの第２の部分が、より近接して配置された取り付け面６２５を指すように選択される。
【０１４６】
第２のスリット６３２ｂは、第２のスリット６３２ｂの第１の部分において、実証構造６３０の自由端６３４から実証構造６３０の内側領域まで基本的に直線的に延伸し、これに続いて、第２のスリット６３２ｂの第２の部分において、基本的に直線的に、実証構造６３０の内側領域内に延伸する。これに関連して、第２のスリット６３２ｂの第１の部分および第２のスリット６３２ｂの第２の部分は、約９０度の角度を形成する。角度が４６度よりも大きく、好ましくは７０度よりも大きい他の実施形態も可能である。図示の実施形態では、角度の方向は、第２のスリット６３２ｂの第２の部分が、より近接して配置された取り付け面６２５を指すように選択される。
【０１４７】
第３のスリット６３２ｃは、実証構造６３０の内側領域内に延伸し、第３のスリット６３２ｃは、第１のスリット６３２ａの第２の部分および第２のスリット６３２ｂの第２の部分に隣接する。図示の実施形態では、スリット６３２ｃは、それぞれスリット６３２ａ、６３２ｂの第２の部分と取り付け面６２５との間に配置されている。
【０１４８】
第１のスリット６３２ａの第２の部分は、第３のスリット６３２ｃの第１の部分に隣接する領域において、第３のスリット６３２ｃの第１の部分と基本的に平行に延伸する。第３のスリット６３２ｃの第２の部分に隣接する領域において、第２のスリット６３２ｂの第２の部分は、第３のスリット６３２ｃの第２の部分と基本的に平行に延伸する。ここで、基本的に平行であることは、スリット６３２ａ、６３２ｂ、６３２ｃの考慮される部分の平均方向が平行から最大１０度ずれ得ることを意味する。
【０１４９】
その上、第３のスリット６３２ｃの第１の部分は、第３のスリット６３２ｃの第２の部分に合流する。図示の実施形態では、第３のスリット６３２ｃは、基本的に直線的であるように構成される。したがって、この実施形態では、第３のスリット６３２ｃの第１の部分と第３のスリット６３２ｃの第２の部分との間で光学的な区別を行うことができない。
【０１５０】
また、スリット６３２ａ、６３２ｂ、６３２ｃの各々が円弧の形状を有する図６ｂの表現によってそれら自体を方向付ける実施形態も実現可能である。
【０１５１】
図６ａと図６ｂとの間に見られる差異は、図６ａのスリット６３２ａ、６３２ｂ、６３２ｃが基本的に直線的に延伸するのに対し、図６ｂのスリット６３２ａ、６３２ｂ、６３２ｃが円弧を示すという点にある。しかし、基本的な動作モードおよび作用モードは、この様々な実施態様の影響を受けない。
【０１５２】
（図７の実施形態）
図７は、本発明の第７の実施形態による電気機械部品構成７０１の概略断面図を示す。ここにも、特に、例えば電子ビームを偏向させるための電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄ、７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃの構成が示されている。クロストークシールドであるとも考えられる実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄは、より高い接地電極、すなわち第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃに配置される。第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃ（接地電極）は、実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄ（クロストークシールド）が偏向電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄから十分に大きな距離を有することができるように、十分に高くなるように選択される。これに関連して、実証構造７３０ｂ，７３０ｃ，７３０ｄは、有用な場に対する遮蔽効果を除いて、第１の電極７１０ｂ，７１０ｃ，７１０ｄから発する場に対して所望の遮蔽効果を達成するように構成されている。
【０１５３】
図７に示される実施形態の表現は、図２の描写によって方向付けて示される。この実施形態は、複数の第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄと、複数の第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃと、複数の実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄとを備える。
【０１５４】
図７は、断面図の表現において、２つの開口７５０ｂ、７５０ｃの存在によって３つの部分７４０ｂ、７４０ｃ、７４０ｄに細分された基板７４０を示す。第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄおよび第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃはそれぞれ、３つの部分の各々に配置されている。実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄは、それぞれの第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃに取り付けられている。
【０１５５】
図７では、その上、第１の電気機械部品７００ｂが破線で示されており、第２の電気機械部品７００ｃが点線で示されている。
【０１５６】
要素と電気機械部品７００ｂとの関連は、以下のように指定することができる。すなわち、実証構造７３０ｂが第２の電極７２０ａ上に機械的に提供され、当該第２の電極７２０ａは電気機械部品７００ｂに属せず、左に隣接し得る電気機械部品に属する。それにもかかわらず、実証構造７３０ｂは、第２の電極７２０ａに電気的に結合することができ、第２の電極７２０ａは、基準電位供給源に結合することができる。実証構造７３０ｂは、基板７４０ｂと実証構造７３０ｂとの間に位置する第１の電極７１０ｂに関連付けられている。有用な効果は、２つの電極７１０ｂ、７２０ｂの間に存在する電位差に起因して、第１の電極７１０ｂと、右側に隣接し、開口７５０ｂの他方の側に位置する第２の電極７２０との間に形成することができる有用な電界から生じ得る。
【０１５７】
２つの電極７１０ｂ、７２０ｂの間に配置された開口７５０ｂは、電気機械部品７００ｂの構成部分として示されている。粒子ビームは、上記開口７５０ｂを通過し、したがって基板７４０をも通過することができ、粒子ビームは有用な電界の影響を受け得る。
【０１５８】
本実施形態において、第２の電極７２０ａは、クロストークを低減するように、第１の電極７１０ｂの電界の望ましくない部分に対する遮蔽効果を有することができる。実証構造７３０ｂはまた、同等の効果を有することができ、第１の電極７１０ｂの電界のクロストークを低減することができる。この実施形態では、第２の電極７２０ｂは、電気機械部品７００ｃに関連するさらなる実証構造７３０ｃを機械的に取り付けるために使用される。
【０１５９】
要素と電気機械部品７００ｃとの関連は、以下のように指定することができる。すなわち、実証構造７３０ｃが第２の電極７２０ｂ上に機械的に提供され、当該第２の電極７２０ｂは電気機械部品７００ｃに属せず、左向きに続く／接合する電気機械部品７００ｂに属する。それにもかかわらず、実証構造７３０ｃは、第２の電極７２０ｂに電気的に結合することができ、第２の電極７２０ｂは、基準電位供給源に結合することができる。実証構造７３０ｃは、基板７４０ｃと実証構造７３０ｃとの間に位置する第１の電極７１０ｃに関連付けられている。有用な効果は、２つの電極７１０ｃ、７２０ｃの間に存在する電位差に起因して、第１の電極７１０ｃと、右側に隣接し、開口７５０ｃの他方の側に位置する第２の電極７２０ｃとの間に形成することができる有用な電界から生じ得る。
【０１６０】
図７は、さらに、両方の電極７１０ｃ、７２０ｃの間に配置された開口７５０ｃを示す。粒子ビームは、上記開口７５０ｃを通過し、したがって基板７４０をも通過することができ、粒子ビームは有用な電界の影響を受け得る。
【０１６１】
本実施形態において、第２の電極７２０ｂは、クロストークを低減するように、第１の電極７１０ｃの電界の望ましくない部分に対する遮蔽効果を有することができる。実証構造７３０ｃはまた、同等の効果を有することができ、例えば、電気機械部品７００ｂに対する、第１の電極７１０ｃの電界のクロストークを低減することができる。この実施形態では、第２の電極７２０ｃは、例えば、図示されていない電気機械部品７００ｄおよび第１の電極７１０ｄに関連し得るさらなる実証構造７３０ｄを機械的に取り付けるために使用される。
【０１６２】
図７は、２つの開口７５０ｂ、７５０ｃの存在によって３つの部分７４０ｂ、７４０ｃ、７４０ｄに細分された基板７４０を示す。第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄおよび第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃは、３つの部分の各々に配置されている。実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄは、第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃに取り付けられている。これによれば、電気機械部品構成７０１は、複数の第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄ、複数の第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃ、および複数の実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄを備え、それぞれの実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄは基本的に平坦な表面として構成されている。これに関連して、実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄと第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄとの間の十分に大きい距離を保証するように、第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃを、第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄよりも高くなるように構成することが有用であり得る。
【０１６３】
さらに、電気機械部品７００ｂ、７００ｃは、第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄが基板７４０上に配置されるように記載され得る。それぞれの第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄが、それぞれの実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄと基板７４０またはそれぞれの基板部分７４０ｂ、７４０ｃ、７４０ｄとの間に少なくとも部分的に位置するように、実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄは各々、それぞれの第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄと重なり合う。これは、有用な場に対する遮蔽効果を除いて、それぞれの第１の電極７１０ｂ，７１０ｃ，７１０ｄから発する場に対して所望の遮蔽効果を達成するように行うことができる。
【０１６４】
断面表示のために、それぞれの実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄが、電極７１０ｂ，７１０ｃ，７１０ｄを複数の方向に対して遮蔽するように、それぞれの第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄのいくつかの側面に対向して配置されたいくつかの部分を備えることができることは、直接的には明らかでない。
【０１６５】
しかしながら、第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄおよび第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃが基板７４０の主面に対して持ち上げられるように、電気機械部品７００ｂ、７００ｃが製造されることが分かる。主面とは、基板７４０の中央面を意味する。
【０１６６】
この例においては、それぞれの第２の電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃが、基板７４０の主面に対して、それぞれの第１の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄよりも高くなるように、電気機械部品７００ｂ、７００ｃが製造されることが分かる。このようにして、それぞれの実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄが、加工しやすいほぼ平坦な表面として製造することが可能であり得る。図８は、同じく可能である実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄの異なる実施態様を示している。これに関連して、実証構造は、ベース面と、ベース面に垂直なさらなる面と、ベース面と基本的に平行な上面とを備える。両方の実施態様は、それぞれ他の実施態様にまさる利点を有し得る。さらに、実証構造の言及されていない実施態様も実現可能であり、したがって排除されないものとする。
【０１６７】
両方の第１の電極７１０ｂ、７１０ｃと関連する第２の電極７２０ｂ、７２０ｃとの間の電位差に起因して形成し得る有用な電界を形成するために、第１の電極７１０ｂ、７１０ｃおよび第２の電極７２０ｂ、７２０ｃが、互いに対向して配置されることが有用であり得、または両方の電極が所定の領域内で互いに対向して配置されてもよい。
【０１６８】
これに関連して、それぞれの第１の電極７１０ｂ、７１０ｃおよびそれぞれの第２の電極７２０ｂ、７２０ｃが、有用な場が少なくとも機械的構造に影響を及ぼすのに適するように構成することも可能であり、当該機械的構造は、実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄとは異なる。この実施形態もまた、図７においては直接的には明らかではないが、上記図によって良好に説明することができる。他の機械的構造の取り付け位置は、可能な限り高い電界強度の領域内に位置するように有用に選択されることがあり得る。例えば、上記領域は、それぞれの第１の電極７１０ｂ、７１０ｃとそれぞれの第２の電極７２０ｂ、７２０ｃとの間に位置する領域であってもよい。したがって、ＭＥＭＳ構造（微小電気機械システム構造）のような小さな機械的構造に機械的に影響を及ぼすように、１つまたは複数の電極７１０ｂ、７１０ｃ、７２０ｂ、７２０ｃが使用されることも実現可能である。選択された表示において、それぞれの相補的な電極、すなわち、可能な電極７１０ａおよび７２０ｄは示されていないため、電極７２０ａおよび７１０ｄは、この部分では記載されていない。原理的には、それらは存在し得、電気機械部品構成７０１は、さらなる電気機械部品を備えてもよい。
【０１６９】
図示されている電気機械部品７００ｂ、７００ｃはまた、第１の電極７１０ｂ、７１０ｃおよび第２の電極７２０ｂ、７２０ｃが、有用な場が、電磁放射および／または個々の光子に影響を及ぼすのに適するように構成されるように製造することもできる。これは、直接的に可能であってもよいし、または、例えば、第１の電極７１０ｂ、７１０ｃと第２の電極７２０ｂ、７２０ｃとの間に存在し得る電界に挿入される「仲介」構造を介して可能であってもよい。したがって、例えば、電界の結果として屈折率が変化し得る電気光学的構造を利用することも実現可能である。これはさらなる様々な可能性を開くことができる。無論、電磁放射への影響は上記の例に限定されない。むしろ、電気機械部品７００ｂ、７００ｃまたはそれらの有用な場を利用することによって、光子にまで影響を与えることによって、複数の異なる可能性を開くことができる。換言すれば、電極は、電磁放射またはさらには個々の光子に影響を及ぼすために使用されてもよい。
【０１７０】
図７に示すものと同様の構成が、図８の本発明の例に示されている。両構成の相違は、図７においては、基準電位電極（接地電極）７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃが偏向電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄよりも高くなるように設置されており、結果、クロストークシールド７３０ｂ、７３０ｃ、  ７３０ｄが、偏向の結果として偏向電極７１０ｂ、７１０ｃ、７１０ｄに接触することなく、基準電位電極（接地電極）７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃ上に平坦な平面プレートとして取り付けられ得ることにある。
【０１７１】
（図８の実施形態）
図８は、本発明の第８の実施形態による電気機械部品構成８０１の概略断面図を示す。ここにも、特に、例えば電子ビームを偏向させる電極８１０、８２０の構成が示されている。クロストークシールドの機能を実行することもでき、偏向電極８１０から十分に大きな距離を有するように設計することができる実証構造８３０は、その利用に応じて、接地電極としても参照され得る第２の電極８２０上に配置される。
【０１７２】
図８に示される実施形態の表現は、図２の表現によって方向付けて示される。
【０１７３】
この実施形態は、複数の第１の電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄと、複数の第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃと、複数の実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄとを備える。それぞれの実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄは、ベース面８３１ｂ、８３１ｃ、８３１ｄと、ベース面８３１ｂ、８３１ｃ、８３１ｄに基本的に垂直なさらなる面８３３ｂ、８３３ｃ、８３３ｄと、ベース面８３１ｂ、８３１ｃ、８３１ｄと基本的に平行である上面８３５ｂ、８３５ｃ、８３５ｄとを備える。
【０１７４】
図８は、断面図の表現において、２つの開口８５０ｂ、８５０ｃの存在によって３つの部分８４０ｂ、８４０ｃ、８４０ｄに細分された基板８４０を示す。第１の電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄおよび第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃはそれぞれ、３つの部分の各々に配置されている。それぞれの第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃは、実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄをその上に取り付けられており、実証構造は、ベース面８３１ｂ、８３１ｃ、８３１ｄと、さらなる面８３３ｂ、８３３ｃ、８３３ｄと、上面８３５ｂ、８３５ｃ、８３５ｄとを備える。
【０１７５】
図８では、その上、第１の電気機械部品８００ｂが破線で示されており、第２の電気機械部品８００ｃが点線で示されている。
【０１７６】
要素と電気機械部品８００ｂとの関連は、以下のように指定することができる。すなわち、実証構造８３０ｂが第２の電極８２０ａ上に機械的に提供され、当該第２の電極８２０ａは電気機械部品８００ｂに属せず、左に隣接し得る電気機械部品に属する。それにもかかわらず、実証構造８３０ｂは、第２の電極８２０ａに電気的に結合することができ、第２の電極８２０ａは、基準電位供給源に結合することができる。実証構造８３０ｂは、基板８４０ｂと実証構造８３０ｂの上面８３５ｂとの間に位置する第１の電極８１０ｂに関連付けられている。有用な効果は、２つの電極８１０ｂ、８２０ｂの間に存在する電位差に起因して、第１の電極８１０ｂと、右側に隣接し、開口８５０ｂの他方の側に位置する第２の電極８２０ｂとの間に形成することができる有用な電界から生じ得る。
【０１７７】
図８は、さらに、両方の電極８１０ｂ、８２０ｂの間に配置された開口８５０ｂを示す。粒子ビームは、上記開口８５０ｂを通過し、したがって基板８４０をも通過することができ、粒子ビームは有用な電界の影響を受け得る。
【０１７８】
本実施形態において、第２の電極８２０ａは、クロストークを低減するように、第１の電極８１０ｂの電界の望ましくない部分に対する遮蔽効果を有することができる。実証構造８３０ｂはまた、同等の効果を有することができ、第１の電極８１０ｂの電界のクロストークを低減することができる。この実施形態では、第２の電極８２０ｂは、電気機械部品８００ｃに関連するさらなる実証構造８３０ｃを機械的に取り付けるために使用される。
【０１７９】
要素と電気機械部品８００ｃとの関連は、以下のように指定することができる。すなわち、実証構造８３０ｃが第２の電極８２０ｂ上に機械的に提供され、当該第２の電極８２０ｂは電気機械部品８００ｃに属せず、左に隣接する電気機械部品８００ｂに属する。それにもかかわらず、実証構造８３０ｃは、第２の電極８２０ｂに電気的に結合することができ、第２の電極８２０ｂは、基準電位供給源に結合することができる。実証構造８３０ｃは、基板８４０ｃと実証構造８３０ｃの上面８３５ｃとの間に位置する第１の電極８１０ｃに関連付けられている。有用な効果は、２つの電極８１０ｃ、８２０ｃの間に存在する電位差に起因して、第１の電極８１０ｃと、右側に隣接し、開口８５０ｃの他方の側に位置する第２の電極８２０ｃとの間に形成することができる有用な電界から生じ得る。
【０１８０】
図８は、さらに、両方の電極８１０ｃ、８２０ｃの間に配置された開口８５０ｃを示す。粒子ビームは、上記開口８５０ｃを通過し、したがって基板８４０をも通過することができ、粒子ビームは有用な電界の影響を受け得る。
【０１８１】
本実施形態において、第２の電極８２０ｂは、クロストークを低減するように、第１の電極８１０ｃの電界の望ましくない部分に対する遮蔽効果を有することができる。実証構造８３０ｃはまた、同等の効果を有することができ、例えば、電気機械部品８００ｂに対する、第１の電極８１０ｃの電界のクロストークを低減することができる。この実施形態では、第２の電極８２０ｃは、例えば、ここでは図示されていない電気機械部品８００ｄおよび第１の電極８１０ｄに関連し得るさらなる実証構造８３０ｄを機械的に取り付けるために使用される。
【０１８２】
要約すると、図８は、２つの開口８５０ｂ、８５０ｃの存在によって３つの部分８４０ｂ、８４０ｃ、８４０ｄに細分された基板８４０を示すと言うことができる。第１の電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄおよび第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃはそれぞれ、３つの部分の各々に配置されている。実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄは、第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃに取り付けられている。これによれば、電気機械部品構成８０１は、複数の第１の電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄと、複数の第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃと、複数の実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄとを備え、それぞれの実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄは、ベース面８３１ｂ、８３１ｃ、８３１ｄと、ベース面８３１ｂ、８３１ｃ、８３１ｄに基本的に垂直なさらなる表面８３３ｂ、８３３ｃ、８３３ｄと、ベース面８３１ｂ、８３１ｃ、８３１ｄに基本的に平行な上面８３５ｂ、８３５ｃ、８３５ｄとを備える。この実施形態では、第１の電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄおよび第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃは、基本的に同じ高さを有するように描かれている。これは、実証構造７３０ｂ、７３０ｃ、７３０ｄと同様に、基本的に平坦な表面からなる実証構造の利用を排除することができる。
【０１８３】
電気機械部品８００ｂ、８００ｃは、それぞれの第１の電極８１０ｂ、８１０ｃおよびそれぞれの第２の電極８２０ｂ、８２０ｃが、有用な場が例えば荷電粒子の粒子ビームに影響を及ぼすのに適するように構成されるように、製造することができる。これは、粒子ビームの偏向にも反映され得る。
【０１８４】
したがって、この構成は、第１の電極８１０ｂ、８１０ｃおよび第２の電極８２０ｂ、８２０ｃが、有用な場が、荷電粒子の粒子ビームを偏向させるのに適するように構成される、電気機械部品８００ｂ、８００ｃを意味するものとして理解することができる。したがって、本発明によって、荷電粒子ビームのある角度による偏向が達成され得、この角度は、とりわけ、電界の強度、ひいては第１の電極８１０ｂ、８１０ｃと第２の電極８２０ｂ、８２０ｃとの間の電位差の程度に依存し得る。このため、部品の機能を可能な限り容易に確認できることが有用である。すでに述べたように、これは、実証構造８３０ｂ、８３０ｃによって達成することができる。実証構造８３０ｂ、８３０ｃは、所望の電界の、他の構造および／または電気機械部品へのクロストークを低減するように、遮蔽デバイスとして使用することもできる。これらの相補電極８１０ａおよび８２０ｄは図示されていないため、電極８２０ａおよび８１０ｄはここでは言及されていない。しかし、これは、上記電極が存在し得ることを排除するものではなく、したがって、さらなる電気機械部品８００ａおよび８００ｄが存在してもよく、したがって、同じ現象を受ける可能性がある。
【０１８５】
さらに、電気機械部品８００ｂ、８００ｃは、電気機械部品８００ｂ、８００ｃが基板８４０を含むことが記述され得る。後者は、第１の電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄと第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃとがある距離をおいて対向して配置されることを可能にするために使用することができる。基板８４０は、第１の電極８１０ｂ、８１０ｃと第２の電極８２０ｂ、８２０ｃとの間に位置する領域内に開口８５０ｂ、８５０ｃを含むことができる。
【０１８６】
開口８５０ｂ、８５０ｃは、電気機械部品８００ｂ、８００ｃを通る粒子ビームの通過を可能にするように構成することができる。この開口は、アパーチャとも呼ばれる。基本的に、アパーチャおよび開口８５０ｂ、８５０ｃは同じタスクを実行することができる。したがって、所定の領域内で電極８１０ｂ、８１０ｃ、８２０ｂ、８２０ｃの間に開口８５０ｂ、８５０ｃ（アパーチャ）を配置することができ、当該開口はそれぞれの電気機械部品８００ｂ、８００ｃを通る通路を表す。
【０１８７】
論理的な理由から、この場合も、それぞれの第１の電極８１０ｂ、８１０ｃおよびそれぞれの第２の電極８２０ｂ、８２０ｃは、有用な電界が粒子ビームに影響を及ぼすかまたは偏向させるのに適するように構成することができる。
【０１８８】
開口８５０ｂ、８５０ｃは、例えば電子ビームが部品全体および／または基板８４０を通過することを可能にし得るように製造することができ、これは、電子ビームが電気機械部品８００ｂ、８００ｃの後側または底側に出て、ほとんど影響を受けないようにその経路を継続することを意味し得る。
【０１８９】
この実施形態では、第１の電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄおよび第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃの高さはほぼ同一である。この理由のために、選択された実施態様において、すなわち、ベース面８３１ｂ、８３１ｃ、８３１ｄ、さらなる面８３３ｂ、８３３ｃ、８３３ｄおよび上面８３５ｂ、８３５ｃ、８３５ｄを有する実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄを製造することが有用であり得る。示された実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄは、その構成に起因して高いレベルの偏向可能性を有することができる。
【０１９０】
この実施形態では、クロストーク効果の問題もまた生じ得る。電気機械部品に関して、電極に電位差（電圧）を印加すると、隣接するセルへ、例えば、電気機械部品８００ｃから電気機械部品８００ｂへ電界がクロストークすることがあることが問題である。いわゆるクロストーク現象が発生する。その結果、電子ビームは、例えば、影響を受けるべきではない軌道が影響を受け得る。これに関連して、クロストークシールドとも呼ばれる場合がある実証構造、言及されている例においては実証構造８３０ｃが、クロストークを低減することができる。
【０１９１】
換言すれば、この構成は、それぞれの実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄ、すなわちプレートが所定の距離をおいてそれぞれの第１の電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄの上に配置され、当該第１の電極をほぼ完全に覆うことができることが記述され得る。したがって、例えば、それぞれの第２の電極８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃなどの電極に導電可能に接続することができる実証構造８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄ、すなわちプレートは、同時にクロストークシールドとして使用することができる。
【０１９２】
図８の本発明の例では、可能な構成の断面図が示されている。個々の偏向セルには、チップのバルクシリコン８４０を通じてアパーチャ８５０ｂ、８５０ｃを通る電子ビームが示されている。偏向電極８１０ｂ、８１０ｃは、アパーチャ８５０ｂ、８５０ｃの一方の側の基板８４０（チップ）上に設置される。偏向電極８１０ｂ、８１０ｃに対向する開口８５０ｂ、８５０ｃの他方の側には、基準電位電極（接地電極）８２０ｂ、８２０ｃが配置されている。ここに示すように、それぞれの偏向電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄおよびそれぞれの基準電位電極（接地電極）８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃは、高さが等しくなるように設置されている。クロストークシールド８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄは、基準電位電極（接地電極）８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃ上に固定具によって取り付けられ、基準電位電極（接地電極）８２０ａ、８２０ｂ、８２０ｃに導電可能に接続することもできる。クロストークシールド８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄは、偏向のために十分なスペースが得られ、偏向の結果として、クロストークシールド８３０ｂ、８３０ｃ、８３０ｄと偏向電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄとの間に短絡が生じ得ないように、偏向電極８１０ｂ、８１０ｃ、８１０ｄから所定の距離を有するように成形および設置される。
【０１９３】
電気機械部品８００ｂ、８００ｃ（偏向セル）は、基板８４０（チップ）の表面上に任意の数および両方の空間方向（ＸおよびＹ）において配置することができる。
【０１９４】
（図９の実施形態）
図９は、本発明の第９の実施形態による電気機械部品構成９０１の概略断面図を示す。ここにも、特に、例えば電子ビームを偏向させる電極９１０，９２０の構成または配置が示されている。ここに示された事例は、本発明の実現可能な利用と考えることができる。左側の偏向電極、すなわち第１の電極９１０ｂが制御され、これは電極上の「５Ｖ」によって特徴付けられる。このようにして、太い矢印で特徴づけられた電子ビームが偏向され得る。同時に、クロストークシールドとも呼ばれる場合がある実証構造９３０ｂが、電極９１０ｂの上に偏向され得る。
【０１９５】
図９に示される実施形態の表現は、図２の表現によって方向付けて示される。この実施形態は、複数の第１の電極９１０ｂ、９１０ｃ、９１０ｄと、複数の第２の電極９２０ａ、９２０ｂ、９２０ｃと、複数の実証構造９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄとを備える。それぞれの実証構造９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄは、ベース面９３１ｂ、９３１ｃ、９３１ｄと、ベース面９３１ｂ、９３１ｃ、９３１ｄに基本的に垂直なさらなる面９３３ｂ、９３３ｃ、９３３ｄと、ベース面９３１ｂ、９３１ｃ、９３１ｄと基本的に平行である上面９３５ｂ，９３５ｃ，９３５ｄとを備える。
【０１９６】
図９は、断面図の表現において、２つの開口９５０ｂ、９５０ｃの存在によって３つの部分９４０ｂ、９４０ｃ、９４０ｄに細分された基板９４０を示す。第１の電極９１０ｂ、９１０ｃ、９１０ｄおよび第２の電極９２０ａ、９２０ｂ、９２０ｃはそれぞれ、３つの部分の各々に配置されている。それぞれの第２の電極９２０ａ、９２０ｂ、９２０ｃは、実証構造９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄをその上に取り付けられており、実証構造は、ベース面９３１ｂ、９３１ｃ、９３１ｄと、さらなる面９３３ｂ、９３３ｃ、９３３ｄと、上面９３５ｂ，９３５ｃ，９３５ｄとを備える。
【０１９７】
図９では、その上、第１の電気機械部品９００ｂが破線で示されており、第２の電気機械部品９００ｃが点線で示されている。
【０１９８】
要素と電気機械部品９００ｂとの関連は、以下のように指定することができる。すなわち、実証構造９３０ｂが第２の電極９２０ａ上に機械的に提供され、当該第２の電極９２０ａは電気機械部品９００ｂに属せず、左に隣接し得る電気機械部品に属する。それにもかかわらず、実証構造９３０ｂは、第２の電極９２０ａに電気的に結合することができ、第２の電極９２０ａは、基準電位供給源に結合することができる。実証構造９３０ｂは、基板９４０ｂと実証構造９３０ｂの上面９３５ｂとの間に位置する第１の電極９１０ｂに関連付けられている。有用な効果は、２つの電極９１０ｂ、９２０ｂの間の電位差に起因して、５Ｖと記載されている第１の電極９１０ｂと、右側に隣接し、開口９５０ｂの他方の側に位置し、０Ｖと記載されている第２の電極９２０ｂとの間に形成することができる有用な電界から生じ得る。
【０１９９】
図９は、さらに、両方の電極９１０ｂ、９２０ｂの間に配置された開口９５０ｂを示す。粒子ビームは、上記開口９５０ｂを通過し、したがって基板９４０をも通過することができ、粒子ビームは有用な電界の影響を受け得る。
【０２００】
本実施形態において、第２の電極９２０ａは、クロストークを低減するように、第１の電極９１０ｂの電界の望ましくない部分に対する遮蔽効果を有することができる。実証構造９３０ｂはまた、同等の効果を有することができ、第１の電極９１０ｂの電界のクロストークを低減することができる。この実施形態では、第２の電極９２０ｂは、電気機械部品９００ｃに関連するさらなる実証構造９３０ｃを機械的に取り付けるために使用される。
【０２０１】
要素と電気機械部品９００ｃとの関連は、以下のように指定することができる。すなわち、実証構造９３０ｃが第２の電極９２０ｂ上に機械的に提供され、当該第２の電極９２０ｂは電気機械部品９００ｃに属せず、左に隣接する電気機械部品９００ｂに属する。それにもかかわらず、実証構造９３０ｃは、第２の電極９２０ｂに電気的に結合することができ、第２の電極９２０ｂは、基準電位供給源に結合することができる。実証構造９３０ｃは、基板９４０ｃと実証構造９３０ｃの上面９３５ｃとの間に位置する第１の電極９１０ｃに関連付けられている。有用な効果は、２つの電極９１０ｃ、９２０ｃの間の電位差に起因して、０Ｖと記載されている第１の電極９１０ｃと、右側に隣接し、開口９５０ｃの他方の側に位置し、同じく０Ｖと記載されている第２の電極９２０ｃとの間に形成することができる有用な電界から生じ得る。
【０２０２】
図９は、さらに、両方の電極９１０ｃ、９２０ｃの間に配置された開口９５０ｃを示す。粒子ビームは、上記開口９５０ｃを通過し、したがって基板９４０をも通過することができ、粒子ビームは有用な電界の影響を受け得る。
【０２０３】
本実施形態において、第２の電極９２０ｂは、クロストークを低減するように、第１の電極９１０ｃの電界の望ましくない部分に対する遮蔽効果を有することができる。実証構造９３０ｃはまた、同等の効果を有することができ、例えば、電気機械部品９００ｂに対する、第１の電極９１０ｃの電界のクロストークを低減することができる。この実施形態では、第２の電極９２０ｃは、例えば、図示されていない電気機械部品９００ｄに関連し得るさらなる実証構造９３０ｄを機械的に取り付けるために使用される。
【０２０４】
これに関連して、図９は、２つの開口９５０ｂ、９５０ｃの存在によって３つの部分９４０ｂ、９４０ｃ、９４０ｄに細分された基板９４０を示す。第１の電極９１０ｂ、９１０ｃ、９１０ｄおよび第２の電極９２０ａ、９２０ｂ、９２０ｃはそれぞれ、３つの部分の各々に配置されている。それぞれの第２の電極９２０ａ、９２０ｂ、９２０ｃは、実証構造９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄをその上に取り付けられており、実証構造は、ベース面９３１ｂ、９３１ｃ、９３１ｄと、さらなる面９３３ｂ、９３３ｃ、９３３ｄと、上面９３５ｂ，９３５ｃ，９３５ｄとを備える。
【０２０５】
図９では、電位差または有用な電界の結果として偏向された粒子ビームが、５Ｖと記載されている第１の電極９１０ｂおよび右側に隣接する第２の電極９２０ｂから形成される左側の「偏向セル」９００ｂに示されている。さらに、例えば、他の実証構造９３０ｃ、９３０ｄと比較して、実証構造９３０ｂの偏向が矢印で示されている。さらに、偏向を生じさせる電界は、第１の電極９１０ｂから実証構造９３０ｂに向いた４つの矢印によって示されるものとする。上記４つの矢印は、第１の電極９１０ｂと実証構造９３０ｂとの間に形成される電界を示す。第１の電極９１０ｃと第２の電極９２０ｃによって形成される右側の「偏向セル」において、電極９１０ｃ、９２０ｃの間に電位差は存在しない。その結果、実証構造９３０ｃの偏向はなく、粒子ビームの偏向は生じない。
【０２０６】
この実施形態では、２つの電極９１０ｂ、９１０ｃ、９２０ｂ、９２０ｃの間に配置された２つの開口９５０ｂ、９５０ｃが示されている。有用な電界の影響を受け得る粒子ビームは、上記開口９５０ｂ、９５０ｃを通過し、したがって基板９４０をも通過することができる。したがって、電気機械部品９００ｂ、９００ｃの実施形態では、それぞれの第１の電極９１０ｂ、９１０ｃが、それぞれの第２の電極９２０ｂ、９２０ｃとともに、それぞれの有用な電界が粒子ビームに影響を及ぼすかまたは偏向させるのに適するように構成され得る可能性がある。開口９５０ｂ、９５０ｃは、粒子ビームが第１の動作電位差において開口９５０ｂ、９５０ｃを通過するように構成することができる。例えば、この事例が０Ｖの電位差で生じるように電気機械部品を設計することができる。
【０２０７】
相補的な効果を達成するために、開口９５０ｂ、９５０ｃは、第２の動作電位差において粒子ビームが除去されるようにさらに構成することができる。この動作電位差は、例えば、５Ｖになるように選択することができ、他の可能性のある差も実現可能である。粒子ビームのタイプに依存して、上記の５Ｖの電位差と比較して、より高いまたはより低い電位差が有利であり得る。
【０２０８】
基本的に、第１の動作電位差は、第２の動作電位差とは異なる。このようにして、間に開口９５０ｂ、９５０ｃ（アパーチャ）が配置されているそれぞれの２つの電極９１０ｂ、９１０ｃ、９２０ｂ、９２０ｃは、偏向セルを形成することができる。したがって、上述したように、電極９１０ｂ、９１０ｃ、９２０ｂ、９２０ｃは、例えば荷電粒子の粒子ビームを偏向させるために使用されるだけでなく、粒子ビームを除去するためにも使用され得る。
【０２０９】
電極９１０ｂ、９１０ｃ、９２０ｂ、９２０ｃは、荷電したまたは荷電していない粒子または粒子ビームに影響を及ぼすために使用することもできる。粒子ビーム（光子、イオン、荷電粒子または非荷電粒子）が開口９５０ｂ、９５０ｃを通過し、電極９１０ｂ、９１０ｃ、９２０ｂ、９２０ｃによって影響を受けることも可能である。これらの相補電極９１０ａおよび９２０ｄは図示されていないため、電極９２０ａおよび９１０ｄはここでは言及されていない。電気機械部品構成９０１は、一般に、偏向セル９００ａおよび９００ｄも存在するように製造することができる。無論、言及されていないさらなる偏向セル９００も実現可能である。
【０２１０】
この実施形態はまた、第２の電極９２０ａ、９２０ｂ、９２０ｃおよび実証構造９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄが回路の基準電位源に電気的に結合されるように、電気機械部品が製造される可能性をも含むことができる。例えば、これは、第２の電極９２０ａ、９２０ｂ、９２０ｃおよび実証構造９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄが例えば０Ｖと定義され得る基準電位を常に有するように実施されてもよい。これに関連して、第１の電極９１０ｂ、９１０ｃ、９１０ｄが、回路の電位とは異なる電位を含むように構成されることが有用であり得る。これは、動作中に第１の電極９１０ｂ、９１０ｃ、９１０ｄの電位が所望の範囲内になるように設定され得るように回路が構成されるように実施することができる。
【０２１１】
隣接する電極への電界のクロストークは、上記の事例において、クロストークシールド９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄによって防止または低減されるべきである。図９は、可能なクロストークシールド９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄを有する電極の構成を示す。クロストークシールド９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄは、基準電位に導電可能に接続することができ、それ自体導電性材料から構成することができる。クロストークシールド９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄを実施するために、チタン、アルミニウムまたはそれらの合金（例えば、チタン−アルミニウム、ＴｉＡｌまたはＡｌＳｉＴｉ）を使用することができる。例えば、実証構造９３０ｃは、電気機械部品９００ｂに対する、第１の電極９１０ｃから発する場のクロストークを低減することができる。
【０２１２】
したがって、本発明は、偏向電極９１０ｂ、９１０ｃ、９１０ｄの上に配置されたプレート９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄ（同時にクロストークシールドとして使用することができる）を含み、偏向電極９１０ｂ、９１０ｃ、９１０ｄにおける電圧の印加を受けて偏向され得るように設計することができる。ここでの偏向は、制御された偏向電極９１０ｂ、９１０ｃ、９１０ｄと、基準電位（接地電位）にあるプレート９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄとの間の静電引力によって達成され得る。偏向電極９１０ｂ、９１０ｃ、９１０ｄの上方の配置、周囲の基準電位電極９２０ａ、９２０ｂ、９２０ｃ（接地電極）との堅固な接続、および弾性材料（ＴｉＡｌ、ＡｌＳｉＴｉなど）の選択に起因して、このような設計を容易に実施することができる。プレート９３０ｂ、９３０ｃ、９３０ｄは、５Ｖの偏向電圧の印加を受けて、約２０&#12316;４０ｎｍだけ大きく偏向することができるように構成することができる。この偏向は、その後、例えば、白色光干渉計（ＷＬＩ）によってまたは光学顕微鏡内で測定することができる。
【０２１３】
（図１０の実施形態）
図１０は、本発明の第１０の実施形態による電気機械部品構成１００１の概略上面図を示す。これに関連して、電気機械部品構成１００１は、複数の電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、１０００ｃ、１０００ｄまたは電気機械部品の部分を備える。上面図は、２×２偏向セルまたは電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、１０００ｃ、１０００ｄの構成を示す。
【０２１４】
電気機械部品構成１００１は、電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、１０００ｃ、１０００ｄが基板１０４０上に配置されるように製造することができ、図１０に示す場合、基板１０４０は、電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、１０００ｃ、１０００ｄの下の表面全体であると考えることができる。
【０２１５】
幾何学的順序を有することなく、基板１０４０の表面の両方の空間方向に電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、１０００ｃ、１０００ｄを配置することが可能である。むしろ、電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、１０００ｃ、１０００ｄの順序は、例えば電子ビームの順序によって指定することができ、電子ビームの順序が適用の事例によって予め規定されることが可能である。しかし、用途に応じて、図１０に示すように、電気機械部品構成１００１が行および／または列構造を含むように、電気機械部品構成１００１が製造されることも有用であり得る。ここで、それぞれの列および／またはそれぞれの列は、複数の電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、１０００ｃ、１０００ｄを含む。したがって、例えば、偏向セルとして使用される任意の数の電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、１０００ｃ、１０００ｄが、両方の空間方向において表面（チップ、基板など）上で所望される任意の構成で配置され得る。この場合、偏向マトリクスについても言及することができる。
【０２１６】
当該偏向マトリクスは、例えば、複数の電子ビームを偏向させることができる。電子ビームの数が多いため、このとき、単一の電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、１０００ｃ、１０００ｄの機能を実証する簡単な方法を有することが有用である。これは、機能試験を実行するための精巧で有用な効果を再現する必要なく、実証構造１０３０によって可能になる。
【０２１７】
以下では、最初に２つの電気機械部品１０００ａ、１０００ｂ、または２つの電気機械部品１０００ａ、１０００ｂの部分の相互作用のみが考慮される。関連する電気機械部品のすべての部分は、電気機械部品と同じ最後の文字、すなわちａまたはｂを有する。以下の実施形態では、電気機械部品１０００ａの第２の電極１０２０ａは、電気機械部品１０００ｂの実証構造１０３０ｂを取り付ける役割を果たす。これに関連して、実証構造１０３０ｂは、第１の電極１０１０ｂから発し、例えば電気機械部品１０００ａにクロストークすることになる場を遮断することもできる。第２の電極１０２０ａは、第１の電極１０１０ｂの場に対する、相当の、同じく遮蔽する効果を有することができる。実証構造１０３０ｂおよび第２の電極１０２０ａは、電気的に結合することができ、また共通電位、例えば、電気機械部品構成１００１の基準電位を有することもできる。
【０２１８】
電気機械部品１０００ｂの第１の電極１０１０ｂと第２の電極１０２０ｂとの間の電位差に起因して、有用な電界が存在し得る。両方の電極１０１０ｂおよび１０２０ｂは、それらの間に位置し、例えば、第１の電極１０１０ｂと第２の電極１０２０ｂとの間の有用な場によって影響され得る粒子ビームのための基板１０４０を通る通路としての役割を果たすことができる開口１０５０ｂを有する。第２の電極１０２０ｂは、このとき、図示されていない電気機械部品１０００ｃに関連付けられ、例えば、図１０には示されていない第１の電極１０１０ｃと第２の電極１０２０ｃとの間の電位差の存在を実証するために使用することができる実証構造１０３０ｃをその上に取り付けることができる。類推によって、２つの電気機械部品１０００ｃ、１０００ｄの相互作用も説明することができる。
【０２１９】
さらに、第２の電極１０２０ａおよび第２の電極１０２０ｃは、電気機械部品１０００ｃの第１の電極１０１０ｃから発する場から遮蔽することもできる。２つの電極１０２０ａおよび１０２０ｄは、第１の電極１０１０ｄの場に対して同様の効果を有する。これは、電気機械部品構成の１つの列内の遮蔽効果、および、互いに斜めに位置する２つの電気機械部品の遮蔽効果を簡単に説明する。これは、拡張されたマトリクスにおいても同様に継続することができる。
【０２２０】
電気機械部品構成１００１の実施形態は、電気機械部品構成１００１が少なくとも２つの電気機械部品１０００ａ、１０００ｂを含むようなものと考えることができる。このとき、第１の電気機械部品１０００ａは、第１の電極１０１０ａと、第２の電極１０２０ａと、弾性的に変形可能な実証構造１０３０ａとを備える。
【０２２１】
第１の電気機械部品１０００ａの第１の電極１０１０ａおよび第１の電気機械部品１０００ａの第２の電極１０２０ａは、第１の電気機械部品１０００ａの第１の電極１０１０ａと第１の電気機械部品１０００ａの第２の電極１０２０ａとの間に電位差がある場合に、第１の有用な電界を生成するように配置されている。第１の電気機械部品１０００ａの実証構造１０３０ａは、第１の電気機械部品１０００ａの第１の電極１０１０ａと第１の電気機械部品１０００ａの第２の電極１０２０ａとの間に電位差がある場合に、偏向されるように構成されている。
【０２２２】
第１の電気機械部品１０００ａは、有用な場に起因して有用な効果を有するようにさらに構成され、当該有用な効果は、第１の電気機械部品１０００ａの実証構造１０３０ａの偏向とは異なる。
【０２２３】
第２の電気機械部品１０００ｂは、第１の電極１０１０ｂと、第２の電極１０２０ｂと、弾性的に変形可能な実証構造１０３０ｂとをさらに備える。
【０２２４】
第２の電気機械部品１０００ｂの第１の電極１０１０ｂおよび第２の電気機械部品１０００ｂの第２の電極１０２０ｂは、第２の電気機械部品１０００ｂの第１の電極１０１０ｂと第２の電気機械部品１０００ｂの第２の電極１０２０ｂとの間に電位差がある場合に、第２の有用な電界を生成するように配置されている。第２の電気機械部品１０００ｂの実証構造１０３０ｂは、第２の電気機械部品１０００ｂの第１の電極１０１０ｂと第２の電気機械部品１０００ｂの第２の電極１０２０ｂとの間に電位差がある場合に、偏向されるように構成されている。
【０２２５】
第２の電気機械部品１０００ｂは、有用な場に起因して有用な効果を有するようにさらに構成され、当該有用な効果は、第２の電気機械部品１０００ｂの実証構造１０３０ｂｃの偏向とは異なる。
【０２２６】
第１の電気機械部品１０００ａの第２の電極１０２０ａの部分は、第２の電気機械部品１０００ｃの第１の電極１０１０ｂに隣接して設けられている。
【０２２７】
加えて、電気機械部品構成１００１は、第１の電気機械部品１０００ａの第２の電極１０２０ａが、第１の電気機械部品１０００ａの第１の電極１０１０ａの３つの側面の少なくとも各々に、第１の電気機械部品１０００ａの第２の電極１０２０ａの１つの側面が対向して配置されるように製造されるように構成されるものとして示されている。
【０２２８】
加えて、図１０の下部は、第２の電気機械部品１０００ｂの実証構造１０３０ｂが、第１の電気機械部品１０００ａの第２の電極１０２０ａ上に設けられるような、電気機械部品１００１を示している。本実施形態において、第１の電気機械部品１０００ａの第２の電極１０２０ａ、第２の電気機械部品１０００ｂの実証構造１０３０ｂおよび第２の電気機械部品１０００ｂの第１の電極１０１０ｂは、第１の電極１０１０ｂが、第２の電気機械部品１０００ｂの実証構造１０３０ｂと基板１０４０との間に配置されるように構成される。
【０２２９】
以下では、最後の文字を有しない参照符号は、対応する電気機械部品またはその部分の有用な実施態様の例示であると考えられ得る。例えば、第２の電極１０２０などの電極に導電可能に接続することができるそれぞれの実証構造１０３０、すなわちいわゆるプレートは、第２の電極１０２０は、例えば、第１の電極１０１０などの他の電極の側、上または下に配置されてもよいことに、再び言及すべきである。実証構造１０３０が、例えば、第１の電極１０１０などの他の電極のいくつかの側面を囲むことも可能である。
【０２３０】
また、実証構造１０３０（プレート）は、例えば偏向セルとして使用することができる電気機械部品１０００内の対向する電極、すなわち例えば第２の電極１０２０だけでなく、例えば、第１の電極１０１０などの一方の電極の上に設置することができ、ただし、上記実証構造１０３０（プレート）はまた、例えば、同じく偏向セルとしても使用され得る、隣接する電気機械部品１０００の、例えば第２の電極１０２０などの電極上に設置することもできる。実証構造１０３０（プレート）は、偏向セル１０００自体内に、または隣接する偏向セル１０００内に、またはその第２の電極１０２０上だけでなく、偏向セルの外側にも設置することができる。これは、例えば、偏向マトリクスのマージンに関係し得る。
【０２３１】
要約すると、図１０は、偏向セルの上面図を示すと述べることができる。半透明であるように示されているクロストークシールド１０３０は、基準電位電極（接地電極）１０２０の上に位置し、偏向電極１０１０を覆うＴｉＡｌプレート（またはＡｌＳｉＴｉのような同様の材料）からなることができる。固定具／接触領域を介して、クロストークシールド１０３０は、基準電位電極（接地電極）１０２０に導電可能に接続することができる。この実施形態では、アパーチャ１０５０は、クロストークシールド１０３０によって覆われず、結果、電子ビームは、例えば妨害を受けずに通過することができる。上面図で示される偏向セル１０００は、両方の空間方向（ＸおよびＹ）に任意の数で配置されてもよい。
【０２３２】
（偏向マトリクスの実施形態）
さらなる本発明の実施形態によれば、例えば、各々が電子ビームを偏向させることができる５１２×５１２個の個別に制御可能なセルを有する電子偏向マトリクスを開発することができる。偏向は、他の実施形態の通知によれば、第１の電極および第２の電極である、２つの対向して位置する電極を介して行われる。電極は、各事例において個々の電子ビームが導かれる開口（アパーチャ）をその間に有する。
【０２３３】
また、オン状態の間に電子ビームが偏向されず、穴／アパーチャを妨害されずに通過する偏向マトリクスの動作タイプが実現可能である。ここでは、両電極に０Ｖ（基準電位）の電圧が印加される。両方の電極に０Ｖとは異なる電位を印加することも実現可能である。
【０２３４】
オフ状態では、上記の実施形態の通知によれば、第１の電極である２つの電極（偏向電極）のうちの一方に、５Ｖの電圧が印加される。対向する（第２の）電極はいつでも０Ｖ（基準電位）に切り替えられる。これにより両電極間に電界が生じ、これによって電子ビームは偏向され、光路内に配置された絞りによって除去される。
【０２３５】
５１２ｘ５１２の電子ビームの各々を、個々のセルを通過するときに偏向よび除去することが可能であることが意図される。これは、例えば、合計５１２列の各々に、５１２個の行を形成する電気機械部品が配置されるように、図１０の実施形態を拡張することによって可能である。
【０２３６】
（図１１の実施形態）
以下の特徴を有する電位差を検出するために電気機械部品を動作させる方法１１００を、図１１を参照して以下に説明する。電気機械部品は、第１の電極、第２の電極、および弾性変形可能な実証構造を含む。第１の電極および第２の電極は、第１の電極と第２の電極との間に電位差がある場合に有用な電界を生成するように配置される。
【０２３７】
実証構造は、例えば、導電性構造を含み、第１の電極と第２の電極との間に電位差がある場合に、例えば静電気力によって偏向されるように構成されている。加えて、電気機械部品は、実証構造の偏向とは異なる有用な場によって引き起こされる有用な効果を有するように構成される。
【０２３８】
方法１１００自体は、電位差を得るように電気機械部品を制御することを含む第１のステップ１１１０を含む。さらに、この方法は、第１の電極と第２の電極との間の電位差の存在を検出するように、実証構造の偏向を検出することを含む第２のステップ１１２０を含む。電気機械部品の制御は、例えば、例として従属回路の論理信号によって制御される集積回路を介して行うことができる。したがって、機能に影響を与える全体的なシステムのそれらの要素の大部分は、説明された動作によって使用され得る。第２のステップ、したがって検出は、例えば、光学顕微鏡の下で、または白色光干渉計を用いて行うことができる。この操作全体は、高度に自動化することができる。
【０２３９】
この動作方法１１００によって、原則的に、電気機械部品の可能な動作が実行され得る。いくつかのさらなる動作方法／機能試験方法を以下に説明する。
【０２４０】
（機能試験方法）
これに関連して、電気機械部品の機能を試験する方法も実現可能である。そのような方法はまた、有用な拡張の場合に電気機械部品構成の機能試験を行うこともできる。機能試験方法は、以下のステップを含む。
【０２４１】
最初に、機能部品を用いて、有用な電界を生成するのに適した、第１の電極と第２の電極との間の電位差が生じるように、電気機械部品を制御すること。その結果、実証構造の偏向が検出される。機能的能力を確認するために、偏向の検出に応じて、電気機械部品が機能的であるか否かを決定すること。この文脈では、定性的および定量的の両方で決定を行うことが適切であり得る。定量的な決定の場合、偏向の強度は、実証構造の曲げ強度について結論を引き出すことを可能にし、したがって、遮蔽効果を実行するように意図することもできる、実証構造の正確な製造を検証することができる。
【０２４２】
無論、偏向を定性的に検出することによって、有効フィールドが明らかになるか否かを検証することもでき、とりわけ、存在する可能性のある論理回路の正確な製造および／または電気的接続の正確な製造を検証することもできる。
【０２４３】
電気機械部品に対する機能試験を実施する方法の決定特性は、実証構造の偏向とは異なる有用な効果が存在するか否かにかかわらず決定が行われることに存し得る。これは、機能試験を行うために、例えば、電子ビームの偏向を検出する必要がないことを意味する。これは、機能試験に含まれる支出のレベルが明らかに低減することを意味することができる。
【０２４４】
（動作方法）
電気機械部品を動作させる方法において、実証構造の偏向が、光学的および／または電気的に検出され得る。電気的な検出によって、偏向可能な実証構造から生じる変化するキャパシタンスが検出されることが実現可能である。これは、最初に、例えば、電位差の高周波変化を介して測定される小さい信号キャパシタンスが測定されることによって達成され得る。その後、さらなる小さい信号キャパシタンスが測定されるが、この場合には、電位差の高周波変化に直流電圧部分が同時に重畳される。この直流電圧部分は、機能的な実証構造を偏向することができ、したがって、電気機械部品の幾何形状を変化させることができる。その結果、測定可能な小さい信号キャパシタンスも変化する。
【０２４５】
実証構造の偏向が、白色光干渉計または光学顕微鏡によって検出される、電気機械部品を動作させる方法も実現可能である。したがって、実証構造の偏向を検出する少なくとも２つの異なる可能性が利用可能である。適用の事例および電気機械部品の製造に応じて、様々な可能性が、それぞれおよび他の可能性にまさる利点を提供し得る。
【０２４６】
検出を単純化するために、電気機械部品を動作させる方法が、  第１の電極と第２の電極との間の電位差の結果としての実証構造の偏向が、少なくとも３ｎｍ、好ましくは５ｎｍ〜１００ｎｍ、最も好ましくは２０ｎｍ〜４０ｎｍであるように構成されることが有用であり得る。言い換えれば、実証構造、いわゆるプレートは、動作中に使用される電圧によって約２０〜４０ｎｍだけ偏向可能であるように設計することができる。これは、多数の電気機械部品が試験される場合に、検出を著しく単純化し、加速させることができる。
【０２４７】
また、最大１０Ｖ、好ましくは最大５Ｖの第１の電極と第２の電極との間の電位差において、実証構造の偏向が所望の範囲内になる、電気機械部品を動作させる方法を見出すこともできる。この電位差の、例えば動作中に有用な値に対するこのような制限は、例えば機能試験中の電気機械部品の過負荷を回避することもできる。
【０２４８】
これに関連して、動作中、第１の電極と第２の電極との間の電位差が０Ｖと５Ｖとの間で切り替わる、電気機械部品を動作させる方法も有用である。この場合にも、例えば、動作中の電気機械部品の過負荷がないことを保証するように注意が払われ得る。言い換えれば、動作中、接地に接続された第２の電極に対向して位置する第１の電極が０Ｖと５Ｖとの間で切り換えられると述べることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４ａ】
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【図４ｂ】
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【図５ａ】
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【図５ｂ】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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