(57)【要約】  支持体（５）の一方の面、繊維基材（２）の一方の面の少なくともいずれかに液状の第１の樹脂組成物を供給する第１の工程と、支持体（５）の前記一方の面と繊維基材（２）の前記一方の面とを前記第１の樹脂組成物を介して圧着する第２の工程とを実施する。第１の工程では、液状の第１の樹脂組成物を供給する供給手段（６１１〜６１３）の供給位置を調整した後、支持体（５）の一方の面、繊維基材（２）の一方の面の少なくともいずれかに液状の第１の樹脂組成物を供給する。
2012029275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続的に送出される支持体と、連続的に送出される繊維基材との間に第１の樹脂組成物を供給し、前記支持体と前記繊維基材とを前記第１の樹脂組成物を介して圧着して積層シートを製造する積層シートの製造方法であって、
前記支持体の一方の面、前記繊維基材の一方の面の少なくともいずれかに液状の第１の樹脂組成物を供給する第１の工程と、
前記支持体の前記一方の面と前記繊維基材の前記一方の面とを前記第１の樹脂組成物を介して圧着する第２の工程とを含み、
前記第１の工程では、前記液状の第１の樹脂組成物を供給する供給手段の供給位置を調整した後、前記支持体の一方の面、前記繊維基材の一方の面の少なくともいずれかに液状の第１の樹脂組成物を供給する積層シートの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の積層シートの製造方法において、
前記第１の工程では、前記支持体の一方の面、前記繊維基材の一方の面の少なくともいずれかの面を選択し、選択した面に対し、液状の第１の樹脂組成物が供給されるように、前記供給手段の供給位置を調整する積層シートの製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の積層シートの製造方法において、
前記第１の工程では、前記供給手段は、前記支持体の前記一方の面に向って前記第１の樹脂組成物を吐出するノズルと、前記繊維基材の前記一方の面に向って前記第１の樹脂組成物を吐出するノズルと、対向する前記支持体の一方の面と前記繊維基材の一方の面との間に形成された空間に向けて吐出するとともに、前記支持体の一方の面および前記繊維基材の一方の面の双方に向けて前記第１の樹脂組成物を吐出するノズルとで構成され、前記複数のノズルのうちから、前記第１の樹脂組成物を吐出する少なくとも１つのノズルを選択することで、前記供給手段の供給位置を調整し、前記液状の第１の樹脂組成物を供給する積層シートの製造方法。
【請求項４】
請求項１または２に記載の積層シートの製造方法において、
前記第１の工程では、前記供給手段はノズルであり、このノズルの吐出口が、前記支持体の前記一方の面、前記繊維基材の前記一方の面の少なくとも１つに向くように、前記ノズルを変位させることで、前記供給手段の供給位置を調整し、前記第１の樹脂組成物を前記ノズルから吐出させる積層シートの製造方法。
【請求項５】
請求項１、２、４のいずれか１項に記載の積層シートの製造方法において、
前記第１の工程では、
前記供給手段であるノズルを変位させて、前記支持体の一方の面の支持体送出方向における前記供給手段の供給位置を調整し、もしくは、前記繊維基材の一方の面の繊維基材送出方向における前記供給手段の供給位置を調整した後、前記液状の第１の樹脂組成物を供給する積層シートの製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の積層シートの製造方法において、
前記第２の工程では、
前記支持体をラミネートロールの円周の１／４以上の範囲で面接触するように、前記支持体を前記ラミネートロールの外周面に沿って連続的に搬送し、
前記ラミネートロールと前記支持体とが接触している箇所で、前記支持体および前記第１の樹脂組成物を介して前記ラミネートロールに接触するように、前記繊維基材を前記ラミネートロールに向けて連続的に搬送することで、前記繊維基材と前記支持体とを前記第１の樹脂組成物を介して圧着する積層シートの製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１項に記載の積層シートの製造方法において、
前記繊維基材の前記第１の樹脂組成物と反対側の面に液状の第２の樹脂組成物を供給する第３の工程を有する積層シートの製造方法。
【請求項８】
前記第２の樹脂組成物の供給は、該第２の樹脂組成物をノズルから吐出して行う請求項７に記載の積層シートの製造方法。
【請求項９】
一方の面側に第２の樹脂組成物で構成されたシート状の樹脂層を有し、連続的に供給されるシートを、前記繊維基材の前記第１の樹脂組成物と反対側の面に、前記シートの前記樹脂層を介して圧着する第３の工程を有する請求項１乃至８のいずれか１項に記載の積層シートの製造方法。
【請求項１０】
前記第２の工程と前記第３の工程との間に、乾燥を行う工程を有する請求項９に記載の積層シートの製造方法。
【請求項１１】
前記第１の樹脂組成物と前記第２の樹脂組成物とは、互いに組成が異なる請求項７ないし１０のいずれか１項に記載の積層シートの製造方法。
【請求項１２】
前記支持体は、金属箔または樹脂フィルムである請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の積層シートの製造方法。
【請求項１３】
支持体を連続的に送出する手段と、
繊維基材を連続的に送出する手段と、
前記支持体と前記繊維基材との間に液状の第１の樹脂組成物を供給する供給手段と、
前記第１の樹脂組成物を介して、前記支持体と前記繊維基材とを圧着する圧着手段とを備える積層シートの製造装置であって、
前記供給手段による前記液状の第１の樹脂組成物の供給位置を調整する調整手段を備える積層シートの製造装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の積層シートの製造装置において、
前記供給手段は、前記支持体の一方の面に向って前記第１の樹脂組成物を吐出するノズルと、前記繊維基材の一方の面に向って前記第１の樹脂組成物を吐出するノズルと、対向する前記支持体の一方の面と前記繊維基材の一方の面との間に形成された空間に向けて吐出するとともに、前記支持体の一方の面および前記繊維基材の一方の面の双方に向けて前記第１の樹脂組成物を吐出するノズルとで構成され、
前記調整手段は、前記各ノズルに接続され、各ノズルの開閉を行なうバルブである積層シートの製造装置。
【請求項１５】
請求項１３に記載の積層シートの製造装置において、
前記供給手段は、ノズルであり、
前記調整手段は、ノズルを変位させることで、ノズルの吐出口が、前記支持体の前記一方の面、前記繊維基材の前記一方の面の少なくとも１つに向くように前記ノズルの吐出口を変位させる、あるいは、
ノズルを変位させることで、前記支持体の一方の面の支持体送出方向における前記液状の前記供給手段の供給位置を調整し、もしくは、前記繊維基材の一方の面の繊維基材送出方向における前記供給手段の供給位置を調整する積層シートの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層シートの製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、金属箔や、樹脂シートとプリプレグとを一体化させた積層シートが多層プリント配線板の製造に用いられるようになっている（例えば、特許文献１〜４参照）。
ここで、このような積層シートは、以下のようにして製造される。金属箔や、樹脂シート上に、樹脂ワニスを塗布し、その後、繊維基材を重ね、前記樹脂ワニスを含浸させる。
なお、本願の背景技術としては、特許文献５もある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１２６９１７号公報
【特許文献２】特開２０１０−４７７０６号公報
【特許文献３】特開２００４−８２６８７号公報
【特許文献４】特開２００３−２４９７３９号公報
【特許文献５】特開２００３−１４７１７２号公報
【発明の概要】
【０００４】
このような特許文献１〜４に開示された製造方法では、樹脂ワニスを、金属箔や樹脂シート上に塗布したのち、繊維基材を重ね、前記樹脂ワニスを含浸させているため、繊維基材への樹脂ワニスの含浸量を調整することが難しい。たとえば、特許文献３では、一対の圧着ロールで銅箔、樹脂および織布（あるいは不織布）を挟み込み、樹脂を一定量、織布（あるいは不織布）に含浸させている。特許文献３に開示された方法により、樹脂の含浸量を調整しようとした場合には、圧着ロールの圧着力を微調整しなければならず、樹脂の含浸量を調整することは非常に困難である。
【０００５】
本発明によれば、
連続的に送出される支持体と、連続的に送出される繊維基材との間に第１の樹脂組成物を供給し、前記支持体と前記繊維基材とを前記第１の樹脂組成物を介して圧着して積層シートを製造する積層シートの製造方法であって、
前記支持体の一方の面、前記繊維基材の一方の面の少なくともいずれかに液状の第１の樹脂組成物を供給する第１の工程と、
前記支持体の前記一方の面と前記繊維基材の前記一方の面とを前記第１の樹脂組成物を介して圧着する第２の工程とを含み、
前記第１の工程では、前記液状の第１の樹脂組成物を供給する供給手段の供給位置を調整した後、前記支持体の一方の面、前記繊維基材の一方の面の少なくともいずれかに液状の第１の樹脂組成物を供給する積層シートの製造方法が提供される。
【０００６】
本発明によれば、第１の工程では、供給手段による液状の第１の樹脂組成物の供給位置を調整した後、前記支持体の一方の面、前記繊維基材の一方の面の少なくともいずれかに液状の第１の樹脂組成物を供給している。
これにより、第１の樹脂組成物の繊維基材への含浸量を調整することができる。これにより、所望の含浸量の積層シートを得ることができる。
【０００７】
さらに、本発明では、
支持体を連続的に送出する手段と、
繊維基材を連続的に送出する手段と、
前記支持体と前記繊維基材との間に液状の第１の樹脂組成物を供給する供給手段と、
前記第１の樹脂組成物を介して、前記支持体と前記繊維基材とを圧着する圧着手段とを備える積層シートの製造装置であって、
前記供給手段の供給位置を調整する調整手段を備える積層シートの製造装置も提供できる。
ここで、供給手段の供給位置を調整するとは、供給手段自体の位置を移動させて、供給位置を調整する場合や、供給手段自体は移動させずに、第１の樹脂組成物の供給口（吐出口）の位置を変更することで、供給手段の供給位置を調整する場合の両方を含む。
以上より、本発明によれば所望の積層シートを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
上述した目的、およびその他の目的、特徴および利点は、以下に述べる好適な実施の形態、およびそれに付随する以下の図面によってさらに明らかになる。【０００９】
【図１】積層シートの実施形態を示す断面図である。
【図２】積層シートの実施形態における他の構成例を摸式的に示す断面図である。
【図３】本発明の積層シートの製造方法の実施形態において用いる積層シート製造装置を示す図である。
【図４】本発明の積層シートの製造方法の実施形態において用いる積層シート製造装置を示す図である。
【図５】本発明の積層シートの製造方法の実施形態において用いる積層シート製造装置を示す図である。
【図６】基板を示す断面図である。
【図７】半導体装置の実施形態を示す断面図である。
【図８】本発明の変形例にかかる製造装置を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の積層シートの製造方法および積層シートを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１１】
図１は、本発明の積層シートの実施形態を示す断面図、図２は、本発明の積層シートの実施形態における他の構成例を摸式的に示す断面図、図３〜図５は、本発明の積層シートの製造方法の実施形態において用いる積層シート製造装置の構成例を示す図である。
【００１２】
<積層シート>
まず、本発明の積層シートの実施形態について説明する。なお、積層シートを所定の寸法に切断すると、プリプレグが得られる。
【００１３】
なお、以下の説明では、図１（以下の各図において同様）中の上側を「上」、下側を「下」として説明する。また、図１（以下の各図において同様）は、厚さ方向（図中の上下方向）に大きく誇張して示してある。
【００１４】
図１に示す積層シート１は、その全体形状が帯状をなし、薄板状（平板状）の支持体５と、薄板状（平板状）の繊維基材２と、繊維基材２の一方の面（上面）側を被覆し、第１の樹脂組成物で構成される第１の樹脂層３と、繊維基材２の他方の面（下面）側を被覆し、第２の樹脂組成物で構成される第２の樹脂層４とを有する。支持体５と繊維基材２とは、第１の樹脂層３（第１の樹脂組成物）を介して接合されている。なお、この積層シート１は、所定の寸法に切断されて使用される。
【００１５】
支持体５は、例えば、金属箔（金属層）または樹脂フィルムで構成されている。
金属箔は、例えば、後で配線部（回路）等に加工される部分である。この金属箔を構成する金属材料としては、例えば、銅または銅系合金、アルミニウムまたはアルミニウム系合金、鉄または鉄系合金、ステンレス鋼等が挙げられる。そして、金属箔を構成する金属材料としては、これらの中でも、導電性に優れ、エッチングによる回路形成が容易であり、また、安価であることから、銅または銅系合金が好ましい。また、支持体５として、極薄金属箔（たとえば、厚さ２〜５μｍ）を使用してもよい。ただし、ハンドリング性から支持体５として、前述した極薄金属箔をキャリア材上に設けたものを使用してもよい。
【００１６】
また、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、例えば、フッ素系樹脂、ポリイミド樹脂、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂等が挙げられる。そして、樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、これらの中でも、耐熱性に優れ、安価であることから、ポリエチレンテレフタレートが好ましい。また、樹脂フィルムは、その樹脂フィルムの第１の樹脂層３側の面に剥離可能な処理が施されたものであることが好ましい。これにより、後で、支持体５と第１の樹脂層３とを容易に分離することができる。
【００１７】
支持体５の平均厚さは、特に限定されないが、８〜７０μｍ程度であるのが好ましく、１２〜４０μｍ程度であるのがより好ましい。
【００１８】
繊維基材２は、積層シート１の機械的強度を向上する機能を有する。
この繊維基材２としては、例えば、ガラス織布、ガラス不織布等のガラス繊維基材、ポリアミド樹脂繊維、芳香族ポリアミド樹脂繊維、全芳香族ポリアミド樹脂繊維等のポリアミド系樹脂繊維、ポリエステル樹脂繊維、芳香族ポリエステル樹脂繊維、全芳香族ポリエステル樹脂繊維等のポリエステル系樹脂繊維、ポリイミド樹脂繊維、フッ素樹脂繊維等を主成分とする織布または不織布で構成される合成繊維基材、クラフト紙、コットンリンター紙、リンターとクラフトパルプの混抄紙等を主成分とする紙繊維基材等の有機繊維基材等の繊維基材等が挙げられる。
【００１９】
これらの中でも、繊維基材２は、ガラス繊維基材であるのが好ましい。かかるガラス繊維基材を用いることにより、積層シート１の機械的強度をより向上することができる。また、積層シート１の熱膨張係数を小さくすることもできるという効果もある。
【００２０】
このようなガラス繊維基材を構成するガラスとしては、例えば、Ｅガラス、Ｃガラス、Ａガラス、Ｓガラス、Ｄガラス、ＮＥガラス、Ｔガラス、Ｈガラス等が挙げられる。これらの中でも、ガラスは、Ｓガラス、または、Ｔガラスであるのが好ましい。これにより、ガラス繊維基材の熱膨張係数を比較的小さくすることができ、このため、積層シート１をその熱膨張係数ができる限り小さいものとすることができる。
【００２１】
繊維基材２の平均厚さは、特に限定されないが、１００μｍ以下であるのが好ましく、５０μｍ以下であるのがより好ましく、１０〜３０μｍ程度であるのがさらに好ましい。かかる厚さの繊維基材２を用いることにより、積層シート１の機械的強度を確保しつつ、その薄型化を図ることができる。さらには、積層シート１の加工性・寸法安定性を向上することもできる。
【００２２】
この繊維基材２の一方の面側には、第１の樹脂層３が設けられ、また、他方の面側には、第２の樹脂層４が設けられている。また、第１の樹脂層３は、第１の樹脂組成物で構成され、一方、第２の樹脂層４は、本実施形態では、前記第１の樹脂組成物と異なる組成の第２の樹脂組成物で構成されている。
【００２３】
かかる構成により、各樹脂層に要求される特性に応じて、樹脂組成物の組成を適宜設定することができるようになる。
【００２４】
なお、第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは、互いに組成が同一であってもよいことは、言うまでもない。
【００２５】
本実施形態では、第１の樹脂層３上に配線部（導体パターン）が形成されるために、第１の樹脂組成物は、金属との密着性に優れるような組成に設定されている。また、積層シート１から得られたプリプレグの第２の樹脂層４に積層シート１から得られた他のプリプレグの配線部や他の繊維基材を確実に埋め込むために、第２の樹脂組成物は、第２の樹脂層４が第１の樹脂層３より可撓性（柔軟性）が高くなるような組成に設定されている。このような各樹脂組成物については、後に詳述する。
【００２６】
図１に示すように、本実施形態では、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物（第１の樹脂層３）が含浸され（以下この部分を「第１の含浸部３１」と言う）、繊維基材２の第１の樹脂組成物が含浸されていない残り部分に、第２の樹脂組成物（第２の樹脂層４）が含浸されている（以下この部分を「第２の含浸部４１」と言う）。これにより、第１の樹脂層３の一部である第１の含浸部３１と第２の樹脂層４の一部である第２の含浸部４１とが繊維基材２内に位置する。そして、繊維基材２内において、第１の含浸部３１（第１の樹脂層３の下面）と第２の含浸部４１（第２の樹脂層４の上面）とが接触している。換言すれば、第１の樹脂組成物が、繊維基材２の上面側から、繊維基材２に含浸され、第２の樹脂組成物が、繊維基材２の下面側から、繊維基材２に含浸され、これらの樹脂組成物で繊維基材２内の空隙が充填されている。
【００２７】
かかる構成により、繊維基材２を第１の樹脂層３および第２の樹脂層４で保護することができる。その結果、積層シート１に外部からの衝撃が加わった場合でも、繊維基材２自体が破壊するのを防止することができ、繊維基材２による積層シート１の機械的強度を向上する効果を確実に発揮させることができる。
【００２８】
また、繊維基材２内部における第１の含浸部３１と第２の含浸部４１との界面２０を微視的に見た場合、この界面２０は、凹凸をなすのが好ましい（図１中の拡大詳細図参照）。これにより、各樹脂層の繊維基材２に対するアンカー効果のみならず、樹脂層同士の密着性が高まり、各樹脂層が繊維基材２から剥離するのをより確実に防止することができる。これにより、積層シート１の耐久性の向上を図ることができる。
【００２９】
前述したように、第２の樹脂層４の可撓性は、第１の樹脂層３よりも高くなっている。このような大小関係を得る場合、第１の含浸部３１の平均厚さｔａ１［μｍ］が、第２の含浸部４１の平均厚さｔｂ１［μｍ］より大きく（ｔａ１>ｔｂ１）設定するのが好ましい。これは、次のような理由による。
【００３０】
第２の樹脂層４の可撓性を、第１の樹脂層３より高く設定した場合、第２の樹脂層４の熱膨張率（線膨張係数）は、第１の樹脂層３より大きくなる傾向がある。このため、「ｔａ１>ｔｂ１」とは反対の大小関係である「ｔａ１<ｔｂ１」とすると、積層シート１が加熱されたとき、繊維基材２の内部では、第２の含浸部４１が第１の含浸部３１より大きく変形して、繊維基材２の部分で反りが生じるおそれがある。この繊維基材２の部分での反りは、積層シート１全体に大きく影響を与え、積層シート１自体が反ってしまうおそれがある。
【００３１】
これに対して、「ｔａ１>ｔｂ１」とすれば、上記の不都合が生じるのを解消して、積層シート１に反りが発生するのを防止または抑制することが可能である。
なお、第２の樹脂層４の線膨張係数が、第１の樹脂層３の線膨張係数よりも高いとは、２５℃〜３００℃における面方向および／または厚み方向の平均線膨張係数が高いことを意味する。
【００３２】
具体的には、繊維基材２の最大厚さをＴ［μｍ］としたとき、前記平均厚さｔａ１は、０．７Ｔ〜０．９５Ｔであるのが好ましく、０．８Ｔ〜０．９Ｔであるのがより好ましい。平均厚さｔａ１をかかる範囲に設定することにより、各樹脂層が繊維基材２から剥離するのを確実に防止しつつ、積層シート１に反りが発生するのをより確実に防止または抑制することができる。
【００３３】
また、第１の樹脂層３の第１の含浸部３１を除く部分（第１の非含浸部３２）の平均厚さをｔａ２［μｍ］とし、第２の樹脂層４の第２の含浸部４１を除く部分（第２の非含浸部４２）の平均厚さをｔｂ２［μｍ］としたとき、ｔａ２≦ｔｂ２なる関係を満足するのが好ましく、１．５×ｔａ２<ｔｂ２なる関係を満足するのがより好ましい。かかる関係を満足することにより、積層シート１の上面側の部分に比較的高い剛性を付与することができるため、当該積層シート１の上面（第１の非含浸部３２上の支持体５）に配線部を高い加工性で形成することができる。一方、第２の樹脂層４は、高い可撓性と十分な厚さを有することができるため、積層シート１から得られたプリプレグの第２の樹脂層４（第２の非含浸部４２）に積層シート１から得られた他のプリプレグの配線部や他の繊維基材を埋め込む際、当該埋め込みを確実に行なうことができる。すなわち、積層シート１から得られた他のプリプレグの配線部や他の繊維基材に対する埋め込み性が向上する。
【００３４】
具体的には、平均厚さｔａ２は、２〜１５μｍであるのが好ましく、３〜１０μｍであるのがより好ましい。一方、平均厚さｔｂ２は、３〜２０μｍであるのが好ましく、５〜１５μｍであるのがより好ましい。
【００３５】
なお、積層シート１は、図１に示す構成では平均厚さｔａ２と平均厚さｔｂ２との大小関係はｔａ２<ｔｂ２であるが、これに限定されず、例えば、ｔａ２>ｔｂ２であってもよいし、ｔａ２＝ｔｂ２であってもよい。
【００３６】
さて、上記の特性を有する第１の樹脂層３および第２の樹脂層４をそれぞれ得るために、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物は、次のような組成とするのが好ましい。
【００３７】
第１の樹脂組成物は、例えば、硬化性樹脂を含み、必要に応じて、硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）および無機充填材のうちの少なくとも１種を含んで構成される。
【００３８】
配線部を構成する金属（支持体５）との密着性を向上させるには、金属との密着性に優れる硬化性樹脂を使用する方法、金属との密着性を向上させる硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）を使用する方法、無機充填材として酸に可溶なものを用いる方法、無機充填材と有機充填材とを併用する方法等が挙げられる。
【００３９】
かかる硬化性樹脂には、例えば、ユリア（尿素）樹脂、メラミン樹脂、ビスマレイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ベンゾオキサジン環を有する樹脂、シアネートエステル樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂およびビスフェノールＳとビスフェノールＦとの共重合エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂が好適に用いられる。これらの中でも、硬化性樹脂には、特に、シアネート樹脂（シアネート樹脂のプレポリマーを含む）を用いるのが好ましい。
【００４０】
熱硬化性樹脂（特に、シアネート樹脂）を用いることにより、積層シート１の熱膨張係数を小さくすること（以下、「低熱膨張化」と言うこともある）ができる。さらに、積層シート１の電気特性（低誘電率、低誘電正接）等の向上を図ることもできる。
【００４１】
かかるシアネート樹脂は、例えば、ハロゲン化シアン化合物とフェノール類とを反応させ、必要に応じて、加熱等の方法でプレポリマー化することにより得ることができる。
【００４２】
具体的なシアネート樹脂としては、例えば、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールＡ型シアネート樹脂、ビスフェノールＥ型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールＦ型シアネート樹脂等のビスフェノール型シアネート樹脂等を挙げることができる。これらの中でも、シアネート樹脂は、ノボラック型シアネート樹脂であるのが好ましい。
【００４３】
ノボラック型シアネート樹脂を用いれば、後述する基板１０（図７参照）を作製した後において、硬化後の第１の樹脂層３中において架橋密度が増加するので、硬化後の第１の樹脂層３（得られる基板）の耐熱性および難燃性の向上を図ることができる。
【００４４】
ここで、耐熱性の向上は、ノボラック型シアネート樹脂が硬化反応後にトリアジン環を形成することに起因すると考えられる。また、難燃性の向上は、ノボラック型シアネート樹脂がその構造上ベンゼン環の割合が高いため、このベンゼン環が炭化（グラファイト化）し易く、硬化後の第１の樹脂層３中に炭化部分が生じることに起因すると考えられる。
【００４５】
さらに、ノボラック型シアネート樹脂を用いれば、積層シート１を薄型化（例えば、厚さ３５μｍ以下）した場合であっても、積層シート１に優れた剛性を付与することができる。また、その硬化物は、加熱時における剛性にも優れるので、得られる基板１０は、半導体素子５００（図８参照）を実装する際の信頼性にも優れる。
具体的には、式（Ｉ）で示されるノボラック型シアネート樹脂を用いることができる。  
【００４６】
【化１】
2012029275.tif 000003
【００４７】
式（Ｉ）で示されるノボラック型シアネート樹脂において、その平均繰り返し単位数「ｎ」は、特に限定されないが、１〜１０であるのが好ましく、２〜７であるのがより好ましい。平均繰り返し単位数「ｎ」が前記下限値未満であると、ノボラック型シアネート樹脂は、結晶化し易くなるため、汎用溶媒に対する溶解性が低下する。このため、ノボラック型シアネート樹脂の含有量等によっては、第１の樹脂組成物のワニスが取り扱い難くなる場合がある。また、積層シート１を作製した場合にタック性が生じ、積層シート１から得られたプリプレグ同士が接触したとき互いに付着したり、一方のプリプレグの第１の樹脂組成物が他方のプリプレグに移行する現象（転写）が生じたりする場合がある。一方、平均繰り返し単位数「ｎ」が前記上限値を超えると、第１の樹脂組成物のワニスの粘度が高くなりすぎ、積層シート１を作製する際の効率（第１の樹脂層３の成形性）が低下する場合がある。
【００４８】
また、後述する金属との密着性を向上させる硬化剤または硬化促進剤を併用する場合には、上述の硬化性樹脂以外に、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂等のノボラック型フェノール樹脂、未変性のレゾールフェノール樹脂、桐油、アマニ油、クルミ油等で変性した油変性レゾールフェノール樹脂等のレゾール型フェノール樹脂等のフェノール樹脂、ビスフェノールＡエポキシ樹脂、ビスフェノールＦエポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂、ノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、シリコーン樹脂等の他の熱硬化性樹脂を用いることもできる。
【００４９】
さらに、硬化性樹脂には、熱硬化性樹脂の他、例えば、紫外線硬化性樹脂、嫌気硬化性樹脂等を用いることもできる。
【００５０】
硬化性樹脂の含有量は、特に限定されないが、第１の樹脂組成物全体の５〜５０重量％であるのが好ましく、１０〜４０重量％であるのがより好ましい。硬化性樹脂の含有量が前記下限値未満であると、硬化性樹脂の種類等によっては、第１の樹脂組成物のワニスの粘度が低くなりすぎ、積層シート１を形成するのが困難となる場合がある。一方、硬化性樹脂の含有量が前記上限値を超えると、他の成分の量が少なくなり過ぎるため、硬化性樹脂の種類等によっては、積層シート１の機械的強度が低下する場合がある。
【００５１】
上述の硬化助剤（例えば硬化剤、硬化促進剤等）としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン、ジアザビシクロ［２，２，２］オクタン等の３級アミン類、２−エチル−４−エチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドルキシメチルイミダゾール、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾール、２，４−ジアミノ−６−〔２'−メチルイミダゾリル−（１'）〕−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−（２'−ウンデシルイミダゾリル）−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−〔２'−エチル−４−メチルイミダゾリル−（１'）〕−エチル−ｓ−トリアジン、１−ベンジル−２−フェニルイミダゾール等のイミダゾール化合物が挙げられる。
【００５２】
これらの中でも、硬化助剤は、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基、ヒドロキシアルキル基およびシアノアルキル基の中から選ばれる官能基を２個以上有しているイミダゾール化合物であるのが好ましく、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシメチルイミダゾールであるのがより好ましい。
【００５３】
また、第１の樹脂組成物には、例えば、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト（II）、トリスアセチルアセトナートコバルト（III）等の有機金属塩、フェノール、ビスフェノールＡ、ノニルフェノール等のフェノール化合物、酢酸、安息香酸、サリチル酸、パラトルエンスルホン酸等の有機酸等を組み合わせて用いることができる。
【００５４】
硬化助剤を用いる場合、その含有量は、第１の樹脂組成物全体の０．０１〜３重量％であるのが好ましく、０．１〜１重量％であるのがより好ましい。
【００５５】
また、第１の樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。これにより、積層シート１を薄型化（例えば、厚さ３５μｍ以下）にしても、機械的強度に優れる積層シート１を得ることができる。さらに、積層シート１の低熱膨張化を向上することもできる。
【００５６】
無機充填材としては、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、溶融シリカのようなシリカ、マイカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等を挙げることができる。また、無機充填材の使用目的に応じて、破砕状、球状のものが適宜選択される。これらの中でも、低熱膨張性に優れる観点からは、無機充填剤は、シリカであるのが好ましく、溶融シリカ（特に球状溶融シリカ）であるのがより好ましい。
【００５７】
無機充填材の平均粒径は、０．０１〜５．０μｍであるのが好ましく、０．２〜２．０μｍであるのがより好ましい。なお、この平均粒径は、例えば、粒度分布計（ＨＯＲＩＢＡ製「ＬＡ−５００」）により測定することができる。
【００５８】
特に、無機充填材としては、平均粒径５．０μｍ以下の球状溶融シリカが好ましく、平均粒子径０．０１〜２．０μｍ（特に、０．１〜０．５μｍ）の球状溶融シリカがより好ましい。これにより、第１の樹脂組成物のワニスを繊維基材２内により確実に含浸させることができ、また、形成された第１の樹脂層３（第１の含浸部３１）の繊維基材２の内部における面に凹凸をより確実に形成することができる。
【００５９】
また、第１の樹脂層３と配線部との密着性を向上するために、無機充填材として、酸に可溶な無機充填材を用いてもよい。これにより、配線部（導体層）を第１の樹脂層３上にメッキ法で形成した場合に、その配線部の第１の樹脂層３に対する密着性（メッキ密着性）を向上することができる。この酸に可溶な無機充填材としては、例えば、炭酸カルシウム、酸化亜鉛、酸化鉄等の金属酸化物等が挙げられる。
【００６０】
また、第１の樹脂層３と配線部との密着性を向上するために、無機充填材と有機充填材とを併用してもよい。この有機充填材としては、例えば、液晶ポリマー、ポリイミド等の樹脂系充填材が挙げられる。
【００６１】
無機充填材を用いる場合、その含有量は、特に限定されないが、第１の樹脂組成物全体の２０〜７０重量％であるのが好ましく、３０〜６０重量％であるのがより好ましい。
【００６２】
硬化性樹脂としてシアネート樹脂（特に、ノボラック型シアネート樹脂）を用いる場合には、エポキシ樹脂（実質的にハロゲン原子を含まない）を併用することが好ましい。このエポキシ樹脂としては、例えば、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アリールアルキレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。
【００６３】
これらの中でも、エポキシ樹脂は、アリールアルキレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。アリールアルキレン型エポキシ樹脂を用いることにより、硬化後の第１の樹脂層３（得られる基板）において、吸湿半田耐熱性（吸湿後の半田耐熱性）および難燃性を向上させることができる。
【００６４】
アリールアルキレン型エポキシ樹脂とは、繰り返し単位中に一つ以上のアリールアルキレン基を有するエポキシ樹脂をいい、例えば、キシリレン型エポキシ樹脂、ビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらの中でも、アリールアルキレン型エポキシ樹脂は、ビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂であるのが好ましい。
【００６５】
具体的には、式（II）で示されるビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂を用いることができる。
【００６６】
【化２】
2012029275.tif 000004
【００６７】
式（II）で示されるビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂の平均繰り返し単位数「ｎ」は、特に限定されないが、１〜１０であるのが好ましく、２〜５であるのがより好ましい。平均繰り返し単位数「ｎ」が前記下限値未満であると、ビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂は、結晶化し易くなるため、汎用溶媒に対する溶解性が低下する。このため、第１の樹脂層組成物のワニスが取り扱い難くなる場合がある。一方、平均繰り返し単位数「ｎ」が前記上限値を超えると、用いる溶媒によっては、第１の樹脂組成物のワニスの粘度が上昇する恐れがある。この場合、第１の樹脂組成物を繊維基材２に十分に含浸できず、結果として、積層シート１の成形不良や機械的強度の低下の原因となることがある。
【００６８】
エポキシ樹脂を併用する場合、その含有量は、特に限定されないが、第１の樹脂組成物全体の１〜５５重量％であるのが好ましく、２〜４０重量％であるのがより好ましい。
【００６９】
さらに、第１の樹脂組成物には、金属との密着性が向上するような成分（樹脂等を含む）を添加してもよい。かかる成分としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、カップリング剤等が挙げられる。
【００７０】
フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノール骨格を有するフェノキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するフェノキシ樹脂、ビフェニル骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。また、これらの骨格を複数種有した構造のフェノキシ樹脂を用いることもできる。
【００７１】
これらの中でも、フェノキシ樹脂には、ビフェニル骨格およびビスフェノールＳ骨格を有するフェノキシ樹脂を用いるのが好ましい。これにより、ビフェニル骨格が有する剛直性により、フェノキシ樹脂のガラス転移温度を高くすることができるとともに、ビスフェノールＳ骨格の存在により、フェノキシ樹脂の金属との密着性を向上させることができる。その結果、第１の樹脂層３の耐熱性の向上を図ることができるとともに、多層基板を製造する際に、第１の樹脂層３に対する配線部（金属）の密着性を向上させることができる。
【００７２】
また、フェノキシ樹脂には、ビスフェノールＡ骨格およびビスフェノールＦ骨格を有するフェノキシ樹脂を用いるのも好ましい。これにより、多層基板の製造時に、配線部の第１の樹脂層３への密着性をさらに向上させることができる。
【００７３】
フェノキシ樹脂の分子量は、特に限定されないが、重量平均分子量が５，０００〜７０，０００であるのが好ましく、１０，０００〜６０，０００であるのがより好ましい。
【００７４】
フェノキシ樹脂を用いる場合、その含有量は、特に限定されないが、第１の樹脂組成物全体の１〜４０重量％であるのが好ましく、５〜３０重量％であるのがより好ましい。
【００７５】
カップリング剤には、例えば、エポキシシランカップリング剤、チタネート系カップリング剤、アミノシランカップリング剤およびシリコーンオイル型カップリング剤の中から選ばれる１種以上を用いるのが好ましい。
【００７６】
カップリング剤を用いる場合、その含有量は、特に限定されないが、無機充填材１００重量部に対して０．０５〜３重量部であるのが好ましく、０．１〜２重量部であるのがより好ましい。
【００７７】
また、第１の樹脂組成物は、以上に説明した成分のほか、必要に応じて消泡剤、レベリング剤、顔料、酸化防止剤等の添加剤を含有することができる。
【００７８】
第２の樹脂組成物は、第１の樹脂組成物と異なる組成、具体的には、第２の樹脂層４が第１の樹脂層３より可撓性が高くなるような組成に設定されている。なお、組成が異なるとは、第１の樹脂組成物と、第２の樹脂組成物とが同じ樹脂組成物で構成されていないことをいい、たとえば、第１の樹脂組成物を構成する成分の少なくとも一つが、第２の樹脂組成物と異なる場合、第１の樹脂組成物を構成する成分の含有量が第２の樹脂組成物と異なる場合等がある。より具体的には、樹脂や充填材等の種類および含有量、樹脂の分子量（平均繰り返し単位数）等の少なくとも１つを異ならせることにより、第２の樹脂組成物の組成は、第１の樹脂組成物と異なっている。その結果、第２の樹脂層４は、第１の樹脂層３と異なる特性を有している。
【００７９】
この第２の樹脂層４の面方向、すなわち、積層シート１の長手方向（Ｘ方向）および幅方向（Ｙ方向）の熱膨張係数は、特に限定されないが、２０ｐｐｍ／℃以下であるのが好ましく、５〜１６ｐｐｍ／℃であるのがより好ましい。第２の樹脂層４の熱膨張係数が前記範囲内であると、積層シート１は、高い接続信頼性を有すことができ、得られる基板は、半導体素子等の実装信頼性に優れたものとなる。
【００８０】
また、積層シート１全体の面方向の熱膨張係数は、特に限定されないが、１６ｐｐｍ／℃以下であるのが好ましく、１２ｐｐｍ／℃以下であるのがより好ましく、５〜１０ｐｐｍ／℃であるのがさらに好ましい。積層シート１の熱膨張係数が前記範囲内であると、得られる基板において、繰り返しの熱衝撃に対する耐クラック性が向上する。
【００８１】
面方向の熱膨張係数は、例えば、ＴＭＡ装置（ＴＡインスツルメント社製）を用いて、１０℃／分で昇温して評価することができる。
【００８２】
なお、この積層シート１では、第２の樹脂層４の繊維基材２と反対側の面に、例えば、図示しない樹脂フィルム等が設けられていてもよい。この場合、積層シート１は、その樹脂フィルムを剥離して使用される。なお、樹脂フィルムとしては、支持体５の樹脂フィルムとして説明したものと同様のものを用いることができる。
【００８３】
次に、積層シートの他の構成例について説明する。なお、前述した積層シート１との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００８４】
図２（ａ）に示すように、積層シート１Ａでは、繊維基材２の厚さ方向に、第１の樹脂組成物（第１の樹脂層３）および第２の樹脂組成物（第２の樹脂層４）がいずれも含浸していない。たとえば、第１の樹脂組成物を供給する位置を調整することで、第１の樹脂組成物を乾燥させて、図２（ａ）のような第１の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることも可能である。また、ワニス状の第２の樹脂組成物の粘度を非常に高いものとする、あるいは、図５に示すように貼り合わせ装置６５で加熱した際の、シート状の第２の樹脂組成物の溶融粘度を非常に高いものとすることで、図２（ａ）のような第２の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることができる。
【００８５】
図２（ｂ）に示すように、積層シート１Ｂでは、繊維基材２の厚さ方向の全体に第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない。
【００８６】
図２（ｃ）に示すように、積層シート１Ｃでは、繊維基材２の厚さ方向の全体に第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない。
たとえば、第１の樹脂組成物を供給する位置を調整することで、第１の樹脂組成物を乾燥させて、図２（ｃ）のような第１の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることも可能である。
【００８７】
図２（ｄ）に示すように、積層シート１Ｄでは、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物が含浸し、第２の樹脂組成物は含浸していない。
【００８８】
図２（ｅ）に示すように、積層シート１Ｅでは、繊維基材２の厚さ方向の一部に第２の樹脂組成物が含浸し、第１の樹脂組成物は含浸していない。たとえば、第１の樹脂組成物を供給する位置を調整することで、第１の樹脂組成物を乾燥させて、図２（ｅ）のような第１の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることも可能である。
【００８９】
図２（ｆ）に示すように、積層シート１Ｆでは、第２の樹脂層（第２の樹脂組成物）が省略されている。また、図示の構成では、繊維基材２の厚さ方向に、第１の樹脂組成物は含浸していない。たとえば、第１の樹脂組成物を供給する位置を調整することで、第１の樹脂組成物を乾燥させて、図２（ｆ）のような第１の樹脂組成物がほとんど含浸しない構成とすることも可能である。
なお、この他、繊維基材２の厚さ方向の全体に第１の樹脂組成物が含浸しているものや、繊維基材２の厚さ方向の一部に第１の樹脂組成物が含浸しているもの等が挙げられる。
【００９０】
以上説明した積層シート１Ａ〜１Ｅでも前述した積層シート１と同様に、第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは、互いに組成が異なるものでもよく、また、互いに組成が同一のものでもよい。
【００９１】
<積層シート製造装置>
次に、本発明の積層シートの製造方法の実施形態において用いる積層シート製造装置、すなわち、積層シートの製造に用いる積層シート製造装置の構成例について説明する。図３〜図５を参照して説明する。
本発明の製造装置の概要は、以下の通りである。
製造装置は、支持体５を連続的に送出する手段６２１と、
繊維基材２を連続的に送出する手段６２３と、
前記支持体５と前記繊維基材２との間に液状の第１の樹脂組成物を供給する供給手段６１１〜６１３（あるいは６１１）と、
第１の樹脂組成物を介して、前記支持体５と前記繊維基材２とを圧着する圧着手段６２５とを備える。そして、製造装置は、前記供給手段による前記液状の第１の樹脂組成物の供給位置を調整する調整手段６６１〜６６３（あるいは供給手段６１１を変位させる手段）を備える。
【００９２】
図３に示す積層シート製造装置６、図４に示す積層シート製造装置６ａ、図５に示す積層シート製造装置６ｂは、それぞれ、積層シートを連続的に製造する装置である。そして、積層シート製造装置６および６ａは、後述する積層シートの製造方法の第１実施形態および第２実施形態に対応することができるものである。また、積層シート製造装置６ｂは、後述する積層シートの製造方法の第３実施形態および第４実施形態に対応することができるものである。
【００９３】
（積層シート製造装置６）
まず、積層シート製造装置６について説明する。
図３に示すように、積層シート製造装置６は、ローラ（ロール）６２１〜６２８と、ノズル（ダイコータ）６１１〜６１４と、乾燥装置６４とを有している。
【００９４】
ローラ６２１は、対象物を送り出す（巻き出す）手段であり、そのローラ６２１には、支持体５が巻き付けられている。ローラ６２１は、図示しないモータ（駆動源）により、回転するように構成されており、そのローラ６２１が回転すると、ローラ６２１から支持体５が送り出される（連続的に供給される）。
【００９５】
また、ローラ６２３は、対象物を送り出す手段であり、そのローラ６２３には、繊維基材２が巻き付けられている。ローラ６２３は、図示しないモータにより、回転するように構成されており、そのローラ６２３が回転すると、ローラ６２３から繊維基材２が送り出される（連続的に供給される）。
【００９６】
また、ローラ６２２は、支持体５の移動方向を規制する手段であり、ローラ６２１の後段に設置されている。
【００９７】
また、ローラ６２４は、繊維基材２の移動方向を規制する手段であり、ローラ６２２の後段に設置されている。
【００９８】
また、ローラ６２５は、対象物の移動方向を規制するとともに、対象物同士、すなわち、支持体５と繊維基材２とを貼り合せる手段であり、ローラ６２２および６２４の後段に設置されている。
このローラ６２５の外周面に沿って、前記外周面に直接接触するように、支持体５が搬送される。このとき、支持体５は、ローラ６２５の円周の１／４以上に面接触する。
また、繊維基材２もローラ６２５の外周面に沿って、前記外周面に接触するように、搬送される。繊維基材２は、ローラ６２５が支持体５と接触している箇所で、支持体５を介してローラ６２５と接触することとなる。ただし、繊維基材２とローラ６２５との接触面積は、支持体５とローラ６２５との接触面積よりも小さい。具体的には支持体５は、ローラ６２５の円周の１／４〜１／２で面接触するのに対し、繊維基材２はローラ６２５の円周の１／６〜１／４で面接触している。これにより、繊維基材２にかかる張力を低くすることができ、繊維基材２の変形を抑制できる。
さらに、詳しくは後述するが、繊維基材２および支持体５は、送出方向に引っ張られ、これらには張力がかかっている。
このようにすることで、ローラ６２５の外周面を利用して、支持体５と繊維基材２とを第１の樹脂組成物を介して圧着することができる。なお、本実施形態では、ローラ６２５に対して対向配置され、支持体５と繊維基材２とを圧着するためのローラは配置されていない。
ここで、ローラ６２５は、少なくとも表面が金属で構成される金属ローラである。このような金属ローラは、表面の平滑性が高く、安定的に支持体５、第１の樹脂組成物および繊維基材２を支持できる。そのため、第１の樹脂組成物の繊維基材２幅方向の重量分布を均一なものとすることができる。
【００９９】
また、ローラ６２６およびローラ６２７は、それぞれ、対象物の移動方向を規制する手段であり、ローラ６２５の後段に、その順序で設置されている。
【０１００】
また、ローラ６２８は、対象物、すなわち、積層シート１を巻き取る手段である。ローラ６２８は、図示しないモータにより、回転するように構成されており、そのローラ６２８が回転すると、ローラ６２８に積層シート１が巻き取られる。
【０１０１】
ノズル６１１〜６１３は、それぞれ、常温（２５℃）で液状（ワニス状）の第１の樹脂組成物を吐出（供給）する手段（例えば、ダイコータ）である。この供給手段においては、液状の第１の樹脂組成物の供給位置を調整することができる。すなわち、この供給手段では、支持体５の一方の面、繊維基材２の一方の面、支持体５の一方の面と繊維基材２の一方の面との間のうち、少なくともいずれか１箇所を選択し、液状の第１の樹脂組成物を供給できる。より詳細に説明すると、供給手段は、ノズル６１１〜６１３を有し、ノズル６１１は、支持体５の一方の面に液状の第１の樹脂組成物を吐出し、ノズル６１２は、繊維基材２の一方の面に第１の樹脂組成物を吐出し、ノズル６１３は、支持体５の一方の面と繊維基材２の一方の面との間に液状の第１の樹脂組成物を吐出する。また、積層シート１の製造の際は、ノズル６１１〜６１３のうちから第１の樹脂組成物を吐出する少なくとも１つのノズルが選択される。これにより、供給手段の供給位置、すなわち、吐出口の位置が調整されることとなる。この選択は、ノズル６１１〜６１３の下流側の流路に設けられたそれぞれのバルブ（調整手段）６６１〜６６３を開閉することにより行われる。
【０１０２】
なお、液状とは、液体に限らず、流動性を有するものを含む概念である。
また、ノズル６１４は、支持体５の第１の樹脂組成物と反対側の面に、常温（２５℃）で液状（ワニス状）の第２の樹脂組成物を吐出（供給）する手段（例えば、ダイコータ）である。
【０１０３】
乾燥装置６４は、ノズル６１４（ローラ６２５）とローラ６２６との間に設置されている。乾燥装置６４としては、本実施形態では、対象物（第２の樹脂組成物、繊維基材２、第１の樹脂組成物、支持体５）を水平に搬送しながら乾燥を行うものが用いられている。これにより、繊維基材２へ加わる張力を比較的小さくすることができ、内部ひずみを防止または抑制することができる。
なお、乾燥装置６４は、前記対象物に対し、加熱を行なうことで、前記対象物を乾燥するものである。乾燥後の積層シートにおいて、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４はいずれもＢステージ状態であり、シート状となる。
【０１０４】
（積層シート製造装置６ａ）
次に、積層シート製造装置６ａについて説明する。なお、前述した積層シート製造装置６との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１０５】
図４に示すように、積層シート製造装置６ａでは、積層シート製造装置６に対して、ノズル６１２、６１３が省略され、液状の第１の樹脂組成物の供給手段であるノズル６１１が図示しないアクチュエータ（調整手段）により変位可能に設置されている。すなわち、ノズル６１１は、その吐出口が、支持体５の一方の面、繊維基材２の一方の面、支持体５と繊維基材２との間のうちのいずれか一か所に向くように、移動または姿勢変更ができるようになっている。積層シート１の製造の際は、前記ノズル６１１の吐出口の位置および向きが選択され、支持体５の一方の面、繊維基材２の一方の面、支持体５と繊維基材２との間のうちの少なくとも１つに第２の樹脂組成物が吐出される。
より具体的に説明すると、ノズル６１１からは、支持体５の一方の面に液状の第１の樹脂組成物が供給される。
さらに、ノズル６１１から、繊維基材２の一方の面に液状の第１の樹脂組成物を供給する際には、ローラ６２４に支持された箇所に向けて液状の第１の樹脂組成物が供給される。このようにすることで、繊維基材２への第１の樹脂組成物の含浸の程度を高めることができる。
また、ノズル６１１から、支持体５と繊維基材２との間に向けて、液状の第１の樹脂組成物を供給する際には、繊維基材２と支持体５とではさまれた空間に向けて第１の樹脂組成物が供給される。より詳細に説明すると、ローラ６２５に接触した支持体５と、この支持体５と対向するとともに、ローラ６２５に対し離間した状態の繊維基材２との間に向けてノズル６１１から液状の第１の樹脂組成物が供給され、本実施形態では、第１の樹脂組成物は、ローラ６２５に支持された支持体５に供給されることとなる。
また、ノズル６１１は、その位置を変位させることで、支持体５の一方の面における供給位置であり、支持体５の送出方向に沿った第１の樹脂組成物の供給位置を調整することができる。
同様に、ノズル６１１は、その位置を変位させることで、繊維基材２の一方の面における供給位置であり、繊維基材２の送出方向における第１の樹脂組成物の供給位置を調整することができる。
【０１０６】
（積層シート製造装置６ｂ）
次に、積層シート製造装置６ｂについて説明する。なお、前述した積層シート製造装置６との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１０７】
図５に示すように、積層シート製造装置６ｂでは、積層シート製造装置６に対して、ノズル６１４が省略され、貼り合せ装置６５およびローラ６２９が設けられている。
【０１０８】
貼り合せ装置６５は、ローラ６２７とローラ６２９との間に設置されている。貼り合せ装置６５は、対向配置された１対のローラ６５１および６５２と、ローラ６５１および６５２を加熱する図示しない加熱部とを有し、ローラ６５１とローラ６５２との間で対象物を挟み、その対象物を加圧するとともに加熱するように構成されている。
【０１０９】
ローラ６２９は、貼り合せ装置６５の前段に設置されている。ローラ６２９は、対象物を送り出す手段であり、そのローラ６２９には、後述するシート７が巻き付けられている。ローラ６２９は、図示しないモータにより、回転するように構成されており、そのローラ６２９が回転すると、ローラ６２９からシート７が送り出される（連続的に供給される）。
【０１１０】
<積層シートの製造方法>
はじめに、以下の実施形態の積層シートの製造方法の概要について説明する。
積層シート１の製造方法は、連続的に送出される支持体５と、連続的に送出される繊維基材２との間に第１の樹脂組成物を供給し、支持体５と繊維基材２とを前記第１の樹脂組成物を介して圧着して積層シートを製造する方法である。
そして、積層シートの製造方法は、支持体５の一方の面、繊維基材２の一方の面の少なくともいずれかに液状の第１の樹脂組成物を供給する第１の工程と、
支持体５の前記一方の面と前記繊維基材２の前記一方の面とを前記第１の樹脂組成物を介して圧着する第２の工程とを含む。第１の工程では、前記液状の第１の樹脂組成物を供給する供給手段の供給位置を調整した後、支持体５の一方の面、繊維基材２の一方の面の少なくともいずれかに液状の第１の樹脂組成物を供給する。
<第１実施形態>
次に、本発明の積層シートの製造方法の第１実施形態について説明する。なお、第１実施形態では、積層シート製造装置６を用いる。
【０１１１】
（第１の工程）
図３に示すように、積層シート製造装置６のローラ６２１を回転させ、そのローラ６２１から支持体５を送り出し（連続的に供給し）、また、ローラ６２３を回転させ、そのローラ６２３から繊維基材２を送り出す（連続的に供給する）とともに、ローラ６２８を回転させ、そのローラ６２８に支持体５および繊維基材２を含んだ積層シートを巻き取る。
ローラ６２１から送りだされる支持体５およびローラ６２３から送りだされる繊維基材２はローラ６２５の外周面に向けて供給され、繊維基材２および支持体５間の距離は、ローラ６２５に向けて狭まる。
【０１１２】
また、ノズル６１１〜６１３のうちから少なくとも１つのノズルを選択し、その選択したノズルから液状の第１の樹脂組成物を吐出する。これにより、供給手段の第１の樹脂組成物を供給する位置（吐出位置）が調整されることとなる。なお、このノズルの選択は、ノズル６１１〜６１３のうちのいずれか１つの場合と、２つの場合と、３つの場合とのいずれであってもよい。なお、第１の樹脂組成物を厚く塗布したい場合は、複数のノズルを選択することができる。
【０１１３】
ノズル６１１を選択した場合は、そのノズル６１１から支持体５の一方の面に向って第１の樹脂組成物が吐出される（供給される）。ここでは、支持体５のうち、ローラ６２５に接触していない箇所に向けてノズル６１１から液状の第１の樹脂組成物が供給される。
【０１１４】
また、ノズル６１２を選択した場合は、そのノズル６１２から繊維基材２の一方の面に向って第１の樹脂組成物が吐出される。ここでは、繊維基材２のうち、ローラ６２４に支持された箇所に向けてノズル６１２から液状の第１の樹脂組成物が供給される。このようにすることで、繊維基材２への第１の樹脂組成物の含浸の程度を高めることができる。
【０１１５】
また、ノズル６１３を選択した場合は、そのノズル６１３から支持体５と繊維基材２との間に向って第１の樹脂組成物が吐出される。繊維基材２と支持体５とではさまれた空間に向けてノズル６１３からは、第１の樹脂組成物が供給される。より詳細に説明すると、ローラ６２５に接触した支持体５と、この支持体５と対向するとともにローラ６２５に対し離間した状態の繊維基材２との間に形成される空間に向けてノズル６１３から液状の第１の樹脂組成物が供給される。ノズル６１３からの液状の第１の樹脂組成物は、支持体５と繊維基材２との双方に供給されることとなる。ノズル６１３からの支持体５への液状の第１の樹脂組成物の供給箇所は、ノズル６１１から供給される液状の第１の樹脂組成物の供給箇所よりも、支持体５供給方向（ローラ６２１からの送出方向）先端側にある。同様に、ノズル６１３からの繊維基材２への液状の第１の樹脂組成物の供給箇所は、ノズル６１２から供給される液状の第１の樹脂組成物の供給箇所よりも、繊維基材２供給方向（ローラ６２３からの送出方向）先端側にある。
【０１１６】
なお、ノズル６１１〜６１３から吐出する第１の樹脂組成物の組成は、本実施形態では、互いに同一であるが、これに限らず、異なっていてもよい。
【０１１７】
（第２の工程）
次に、ローラ６２５において、支持体５と繊維基材２とが第１の樹脂組成物を介して圧着される。
【０１１８】
はじめに、ローラ６２５の外周面に支持体５が接触する。このとき、繊維基材２は支持体５の外周面には接触しておらず、繊維基材２と支持体５との間に空間が形成される。その後、繊維基材２は支持体５および液状の第１の樹脂組成物を介して、ローラ６２５の外周面に接触し、これにより、繊維基材２と支持体５とが圧着されることとなる。このときの支持体５と繊維基材２とのなす角の角度（貼り合わせ角度：ローラ６２５に接した支持体５と、この支持体５と対向し支持体５から離間している繊維基材２とがなす角度）θは、鋭角であることが好ましい。これにより、繊維基材２に歪みが生じることを防止または抑制することができる。
【０１１９】
また、繊維基材２側の張力は、支持体５側の張力よりも小さいことが好ましい。具体的には、繊維基材２側の張力は、３０Ｎ以下であることが好ましく、１５〜２５Ｎ程度であることがより好ましい。これにより、繊維基材２の寸法変化や内部歪を防止または抑制することができる。
【０１２０】
（第３の工程）
次に、ノズル６１４から液状の第２の樹脂組成物を吐出し、繊維基材２の第１の樹脂組成物と反対側の面にその第２の樹脂組成物を供給する。
【０１２１】
第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは、互いに組成が異なる。これにより、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４に要求される特性に応じて、それぞれ、樹脂組成物の組成を適宜設定することができる。
【０１２２】
なお、第２の樹脂組成物を厚く塗布したい場合は、例えば、第２の樹脂組成物を吐出するノズルを複数箇所に設けることができる。
【０１２３】
（第４の工程（乾燥工程））
次に、乾燥装置６４により、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物を乾燥させる。これにより、積層シート１が得られる。その積層シート１は、ローラ６２８に巻き取られる。
【０１２４】
乾燥条件としては、特に限定されず、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物の組成や諸条件に応じて適宜設定されるが、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物中の揮発成分が樹脂に対してそれぞれ１．５ｗｔ％以下になるように設定することが好ましく、０．８〜１．０ｗｔ％程度になるように設定することがより好ましい。具体的には、乾燥温度は、６０〜１８０℃程度であることが好ましく、８０〜１５０℃程度であることがより好ましい。また、乾燥時間は、２〜１０分程度であることが好ましく、２〜５分程度であることがより好ましい。
【０１２５】
以上のような本実施形態によれば、以下の効果を奏することができる。
本実施形態では、液状の第１の樹脂組成物を供給する際、ノズル６１１〜６１３の少なくともいずれかを選択している。たとえば、ノズル６１３から支持体５の一方の面に液状の第１の樹脂組成物を供給した場合、繊維基材２と支持体５とが圧着されるまでに、液状の第１の樹脂組成物を乾燥させて、繊維基材２への含浸の程度を比較的少ないものとすることができる。一方で、ノズル６１２から繊維基材２の一方の面に液状の第１の樹脂組成物を供給した場合、繊維基材２と支持体５とが圧着されるまでに、液状の第１の樹脂組成物を含浸させて、繊維基材２への含浸の程度を比較的大きいものとすることができる。
さらに、ノズル６１１から液状の第１の樹脂組成物を繊維基材２および支持体５へ供給した場合には、ノズル６１３から供給した場合と、ノズル６１２から供給した場合の間の繊維基材２への含浸の程度とすることが可能となる。
このように、繊維基材２への第１の樹脂組成物の含浸の程度を調整することができる。そのため、第２の樹脂組成物と、第１の樹脂組成物との含浸の割合を調整することができ、所望のプリプレグを製造することができる。
【０１２６】
さらに、本実施形態では、ローラ６２５を使用して、繊維基材２と支持体５との圧着を行なっている。一対のローラにより、繊維基材２および支持体５を挟圧する場合には、繊維基材２から第１の樹脂組成物が染み出してしまう可能性があるが、本実施形態のように、ローラ６２５を使用するとともに、繊維基材２がローラ６２５に接触する面積を調整し、比較的小さくすることで、繊維基材２から第１の樹脂組成物が染み出してしまうことを抑制できる。
【０１２７】
この第１実施形態では、前述した積層シート１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅのいずれも製造することができる。後述する第２実施形態〜第４実施形態でも同様である。
【０１２８】
<第２実施形態>
本実施形態では、図４に示す積層シート製造装置６ａを用いる。この場合は、ノズル６１１を変位させ、ノズル６１１が第１の樹脂組成物を供給する位置（吐出位置）を調整し、そのノズル６１１から、支持体５の一方の面、繊維基材２の一方の面、支持体５と繊維基材２との間のうちの少なくとも１つに第１の樹脂組成物を吐出する。このようにすることで、ノズルの数を低減させることができる。また、後述する第３実施形態においても、図５に示す積層シート製造装置６ｂのノズルの構成を変更して、同様に行なってもよい。
まず、第一実施形態と同様に、ローラ６２１から支持体５を送り出し、ローラ６２３から繊維基材２を送り出す。
次に、ノズル６１１の位置を調整して、ノズル６１１からの第１の樹脂組成物の供給位置を調整する。たとえば、ノズル６１１を図４右側に変位させて、ローラ６２２に支持された支持体５上に液状の第１の樹脂組成物を供給する。また、ノズル６１１を図４左側に変位させて、ローラ６２４に支持された繊維基材２上に液状の第１の樹脂組成物を供給してもよい。さらには、ローラ６２５に支持された支持体５上に液状の第１の樹脂組成物を供給してもよい。
また、ノズルの位置を調整して、支持体５の一方の面における供給箇所であり、支持体５の送出方向に沿った第１の樹脂組成物の供給箇所を調整してもよい。
同様に、ノズル６１１の位置を調整して、繊維基材２の一方の面における供給位置であり、繊維基材２の送出方向における第１の樹脂組成物の供給位置を調整してもよい。
このようにすることで、繊維基材２への第１の樹脂組成物の含浸の程度を高度に制御することができる。
その後の工程は、第一実施形態と同様である。具体的には、ローラ６２５において、支持体５と繊維基材２とを液状の第１の樹脂組成物を介して圧着し、ノズル６１４から液状の第２の樹脂組成物を吐出し、乾燥装置６４により、第１の樹脂組成物および第２の樹脂組成物を乾燥させる。さらに、積層シート１をローラ６２８に巻き取る。
このような本実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１２９】
<第３実施形態>
次に、本発明の積層シートの製造方法の第３実施形態について説明する。なお、第３実施形態については、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１３０】
第３実施形態では、積層シート製造装置６または６ａを用いる。そして、第２実施形態では、第１の樹脂組成物と第２の樹脂組成物とは、互いに組成が同一であること以外は前記第１実施形態と同様である。
【０１３１】
<第４実施形態>
次に、本発明の積層シートの製造方法の第４実施形態について説明する。なお、第４実施形態については、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１３２】
第４実施形態では、積層シート製造装置６ｂを用いる。この積層シート製造装置６ｂにおける第１の工程および第２の工程は、第１実施形態と同様である。また、乾燥工程は、第２の工程と後述する第３の工程との間に行う他は、第１実施形態と同様である。
【０１３３】
（第３の工程）
積層シート製造装置６ｂのローラ６２９を回転させ、そのローラ６２９からシート７を送り出す（連続的に供給する）。
【０１３４】
シート７は、図５に示すように、樹脂フィルム８と、この樹脂フィルム８の一方の面に設けられ、固形または半固形の第２の樹脂組成物で構成された第２の樹脂層（樹脂層）４とを有している。第２の樹脂層４は、シート状に加工された状態となっており、Ｂステージ状態となっている。
【０１３５】
樹脂フィルム８としては、支持体５の樹脂フィルムとして説明したものと同様のものを用いることができる。
【０１３６】
本工程では、シート７と、繊維基材２と支持体５との積層体とが、貼り合せ装置６５のローラ６５１とローラ６５２との間を通過し、その際、シート７と、繊維基材２と支持体５との積層体とは、その貼り合せ装置６５により、加圧されるとともに加熱される。これにより、シート７は、繊維基材２の第１の樹脂組成物と反対側の面に、第２の樹脂層４を介して圧着され、積層シート１が得られる。その積層シート１は、ローラ６２８に巻き取られる。
【０１３７】
前記圧着時の条件としては、特に限定されず、第２の樹脂層４の第２の樹脂組成物の組成や諸条件に応じて適宜設定されるが、圧力は、０．１〜１．０ＭＰａ／ｃｍ２程度であることが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａ／ｃｍ２程度であることがより好ましい。また、加熱温度は、４０〜１００℃程度であることが好ましく、６０〜８０℃程度であることがより好ましい。
【０１３８】
この第４実施形態では、一方の面側に固形または半固形の第２の樹脂組成物で構成された第２の樹脂層４を有するシート７を用いるので、繊維基材２の厚さ方向に、第２の樹脂組成物を含浸させない場合に適している。
このような第４実施形態では、第１実施形態と同様の効果を奏することができるうえ、以下の効果を奏することができる。
シート状に加工された第２の樹脂層４を有するシート７を用いることで、繊維基材２内部で第１の樹脂組成物と、第２の樹脂組成物とが混合してしまうことが防止される。これにより、所望の特性を有するプリプレグを確実に得ることができる。
特に、第１の樹脂組成物を乾燥装置６４により乾燥した後に、第２の樹脂層４をはり合わせているので、第１の樹脂組成物と、第２の樹脂組成物とが混合してしまうことが確実に防止される。
【０１３９】
<基板>
次に、本発明の積層シートを用いて製造した基板について、図６を参照しつつ説明する。この図６に示す基板１０は、第２の樹脂層４同士を内側にして配置された２つのプリプレグ１ｇと、第２の樹脂層４同士間で挟持された内層回路基板１３とを備える。なお、プリプレグ１ｇは、積層シート１を所定の寸法に切断したものである。
【０１４０】
内層回路基板１３には、前述した繊維基材２と同様のものを用いることができる。また、本実施形態では、第２の樹脂層４は、前述したような特性（可撓性）を有するため、内層回路基板１３の少なくとも一部は、第２の樹脂層４に確実に埋め込まれる（埋設される）。
一対の第２の樹脂層４は、繊維基材１３の表裏面をそれぞれ被覆するとともに、一対の第２の樹脂層４が繊維基材１３内部で互いに接触し、繊維基材１３内部が一対の第２の樹脂層４により完全に埋め込まれていてもよい。また、一対の第２の樹脂層４は、繊維基材２の表裏面をそれぞれ被覆するとともに、一対の第２の樹脂層４間に隙間が形成され、繊維基材１３内部に空隙が形成されていてもよい。
【０１４１】
各第１の樹脂層３の繊維基材２と反対側の面に設けられた金属層１２は、それぞれ、支持体５を金属箔で構成した場合のものである。本実施形態では、第１の樹脂層３は、前述したような特性を有するため、高い密着性で金属層１２を保持することができるとともに、高い加工精度で金属層１２を配線部に形成することができるようになっている。
【０１４２】
金属層１２と第１の樹脂層３とのピール強度は、０．５ｋＮ／ｍ以上であるのが好ましく、０．６ｋＮ／ｍ以上であるのがより好ましい。これにより、金属層１２を配線部に加工し、得られる半導体装置１００（図７参照）における接続信頼性をより向上させることができる。
【０１４３】
このような基板１０は、プリプレグ１ｇを２つ用意し、これらのプリプレグ１ｇで内層回路基板１３を挟持した状態で、例えば、真空ラミネート法、真空プレス法等を用いて製造することができる。
【０１４４】
なお、基板１０は、内層回路基板１３が省略され、２つのプリプレグ１ｇが第２の樹脂層４同士を直接接合してなる積層体を含むものであってもよく、金属層１２が省略されたものであってもよい。
【０１４５】
<半導体装置>
次に、本発明の積層シートを用いて製造した半導体装置について、図７を参照しつつ説明する。なお、図７中では、繊維基材２、１３を省略して示し、第１の樹脂層３および第２の樹脂層４を一体として示してある。
【０１４６】
図７に示す半導体装置１００は、上面にパッド部３００を有し、下面に配線部４００を有する多層基板２００と、パッド部３００にバンプ５０１を接続することにより、多層基板２００上に搭載された半導体素子５００とを備えている。
【０１４７】
多層基板２００は、コア基板として設けられた基板１０と、この基板１０の上側に設けられた３つのプリプレグ１ａ、１ｂ、１ｃと、基板１０の下側に設けられた３つのプリプレグ１ｄ、１ｅ、１ｆとを備えている。プリプレグ１ａ〜１ｆは、それぞれ、積層シート１を所定の寸法に切断したものである。また、プリプレグ１ａ〜１ｃをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番と、プリプレグ１ｄ〜１ｆをそれぞれ構成する繊維基材２、第１の樹脂層３、第２の樹脂層４の基板１０からの配置順番とは、同じとなっている。すなわち、プリプレグ１ａ〜１ｃとプリプレグ１ｄ〜１ｆとは、互いに上下反転したもの同士となっている。
【０１４８】
なお、前記パッド部３００は、プリプレグ１ｃの金属箔で構成された支持体５を所定のパターンに加工したものであり、また、前記配線部４００は、プリプレグ１ｆの金属箔で構成された支持体５を所定のパターンに加工したものである。
【０１４９】
また、プリプレグ１ａ、１ｂの上面側に配置された回路部２０１ａ、２０１ｂは、それぞれ、金属箔で構成された支持体５を所定のパターンに加工したものであり、また、プリプレグ１ｄ、１ｅの下面側に配置された回路部２０１ｄ、２０１ｅは、それぞれ、金属箔で構成された支持体５を所定のパターンに加工したものである。
【０１５０】
また、多層基板２００は、各プリプレグ１ａ〜１ｆをそれぞれ貫通して設けられ、隣接する回路部同士や、回路部とパッド部とを電気的に接続する導体部２０２とを備えている。
【０１５１】
また、基板１０の各金属層１２は、それぞれ、所定のパターンに加工され、当該加工された金属層１２同士は、基板１０を貫通して設けられた導体部２０３により電気的に接続されている。
【０１５２】
なお、半導体装置１００（多層基板２００）は、基板１０の片面側に、４つ以上のプリプレグを設けるようにしてもよい。さらに、半導体装置１００は、前述した積層シートから得られたプリプレグ以外のプリプレグを含んでいてもよい。
【０１５３】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
以上、本発明の積層シートの製造方法および積層シートを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物や工程が付加されていてもよい。
【０１５４】
たとえば、図８に示すように、装置６において、吸引手段６７を設けてもよい。
この吸引手段６７は、繊維基材２に第１の樹脂組成物を含浸させるためのものである。吸引手段６７で空気を吸引することで、第１の樹脂組成物が引っ張られ、繊維基材２への含浸の程度を確実に調整することができる。装置６ａ、６ｂにおいても、同様に吸引手段６７を設けてもよい。
また、第二実施形態においては、ノズル６１１からの第１の樹脂組成物の供給位置を、支持体５や繊維基材２の送出方向に沿って調整したが、これに限られるものではない。たとえば、支持体５や繊維基材２の幅方向（送り出し方向と直交する方向）における供給位置を調整してもよい。これによれば、繊維基材２の幅方向における第１の樹脂組成物の含浸量を調整することが可能となる。
この出願は、２０１０年９月１日に出願された日本特許出願特願２０１０−１９５４９４を基礎とする優先権を主張し、その開示をすべてここに取り込む。
【図１】
2012029275.tif 000005
【図２】
2012029275.tif 000006
【図３】
2012029275.tif 000007
【図４】
2012029275.tif 000008
【図５】
2012029275.tif 000009
【図６】
2012029275.tif 000010
【図７】
2012029275.tif 000011
【図８】
2012029275.tif 000012
【国際調査報告】
2012029275.tif 000013
2012029275.tif 000014
2012029275.tif 000015
2012029275.tif 000016