(57)【要約】  エチレン性二重結合を有しない撥インク成分でありながら、隔壁上部における良好な撥インク性、現像液に浸食されない現像液耐性、残膜発生を抑制する性質、隔壁間開口部への良好なインクの濡れ拡がり性を、得られる隔壁に付与することが可能な撥インク成分を含有する感光性組成物を提供する。  下記一般式（１）で表される基を有する側鎖とポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有しかつエチレン性二重結合を有する側鎖を有しない、質量平均分子量（Ｍｗ）が、２．６×１０４＜Ｍｗ≦２０×１０４である重合体と、光硬化開始剤と、バインダー樹脂とを含む感光性組成物。    −ＣＦＸＲｆ    …（１）（式中、Ｘは、水素原子、フッ素原子またはトリフルオロメチル基を表し、Ｒｆは、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１〜２０のフルオロアルキル基またはフッ素原子を表す。）【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（１）で表される基を有する側鎖およびポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有し、かつエチレン性二重結合を有する側鎖を有しない重合体（Ａ）と、光硬化開始剤（Ｂ）と、バインダー樹脂（Ｃ）とを含む感光性組成物であって、
−ＣＦＸＲｆ    …（１）
（式中、Ｘは、水素原子、フッ素原子またはトリフルオロメチル基を表し、Ｒｆは、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１以上２０以下のフルオロアルキル基またはフッ素原子を表す。）
前記重合体（Ａ）の質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ））が、２．６×１０４＜Ｍｗ（Ａ）≦２０×１０４であることを特徴とする感光性組成物。
【請求項２】
前記重合体（Ａ）におけるポリオキシアルキレン基の含有割合が５〜６０質量％であることを特徴とする請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】
前記重合体（Ａ）が、酸性基を有する請求項１または２に記載の感光性組成物。
【請求項４】
前記重合体（Ａ）におけるフッ素原子含有割合が、２０〜５０質量％である請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項５】
前記感光性組成物の全固形分における前記重合体（Ａ）の割合が、０．０７〜１質量％である請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項６】
前記重合体（Ａ）が、エポキシ基、メルカプト基および水酸基からなる群から選ばれる１種以上をさらに有する請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項７】
前記重合体（Ａ）が、さらに下記一般式（２）で表される基を有する側鎖を有する請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【化１】
2011081151.tif 000012
（式中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子、もしくは、フッ素原子で置換されていてもよいアルキル基、シクロアルキル基またはアリール基を、Ｒ３は、水素原子または炭素数が１以上１０以下の有機基を、ｎは、１以上２００以下の整数を、それぞれ表す。）
【請求項８】
下記一般式（２）で表される基を有する側鎖およびポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有し、かつ前記一般式（１）で表される基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖のいずれも有しない重合体（Ａ）’であって、質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ）’）が、２．６×１０４＜Ｍｗ（Ａ）’≦２０×１０４である重合体（Ａ）’を、さらに含有する請求項１〜７のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【化２】
2011081151.tif 000013
（式中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子、もしくは、フッ素原子で置換されていてもよいアルキル基、シクロアルキル基またはアリール基を、Ｒ３は、水素原子または炭素数が１以上１０以下の有機基を、ｎは、１以上２００以下の整数を、それぞれ表す。）
【請求項９】
前記光硬化開始剤（Ｂ）が光重合開始剤であり、前記バインダー樹脂（Ｃ）が酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂である請求項１〜８のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１０】
さらに、エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｄ）を含む請求項９に記載の感光性組成物。
【請求項１１】
さらに、黒色着色剤（Ｅ）を含む請求項１〜１０のいずれか１項に記載の感光性組成物。
【請求項１２】
基板上を画素形成用の複数の区画に仕切るかたちに形成された隔壁であって、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の感光性組成物の塗膜硬化物からなることを特徴とする隔壁。
【請求項１３】
基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有するカラーフィルタであって、前記隔壁が請求項１２に記載の隔壁で形成されており、前記画素がインクジェット法により形成されたものであることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項１４】
基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する有機ＥＬ素子であって、前記隔壁が請求項１２に記載の隔壁で形成されており、前記画素がインクジェット法により形成されたものであることを特徴とする有機ＥＬ素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性組成物、それを用いた隔壁、ならびにその隔壁を有するカラーフィルタおよび有機ＥＬ素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラーフィルタの画素間の隔壁、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示素子の画素間の隔壁、有機ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）アレイの各ＴＦＴを仕切る隔壁、液晶表示素子のＩＴＯ電極の隔壁、回路配線基板の隔壁等の永久膜を形成する材料として、感光性組成物が注目されている。例えば、カラーフィルタを製造する際に、フォトリソグラフィを用いて、隔壁パターン（ブラックマトリックスの役割を果たすこともある）を形成した後に、インクジェット法を用いて、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）およびＢ（ブルー）のインクを隔壁間の開口部に塗布し、画素を形成する。また、有機ＥＬ素子を製造する際に、フォトリソグラフィを用いて、隔壁パターンを形成した後に、インクジェット法を用いて、正孔輸送材料、発光材料等の溶液を隔壁間の開口部に塗布し、正孔輸送層、発光層等を有する画素を形成する。【０００３】
このようなカラーフィルタや有機ＥＬ素子の隣接する画素間における混色の発生を防ぐために、隔壁の上面は、インクをはじく性質、いわゆる撥液性を有する必要がある。また、カラーフィルタや有機ＥＬ素子の白抜けを防ぐために、隔壁間の開口部は、インクに対して濡れる性質、いわゆる親液性を有する必要がある。【０００４】
このような隔壁に求められる特性を得るために、隔壁形成用の感光性組成物に撥インク成分を添加することが提案されている。例えば、特許文献１には、少なくともフッ素原子を側鎖に有する繰り返し単位と、ポリエーテル構造を側鎖に有する繰り返し単位と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物が記載されている。特許文献１の実施例に記載されている含フッ素化合物の質量平均分子量は最大で、２６，０００である。【０００５】
特許文献２には、光重合性化合物と、含フッ素モノマーとエーテル性酸素原子を有するアルキレン基を含有するモノマーを少なくとも共重合させた共重合体である撥インク性化合物と、光重合開始剤と、着色剤と、を含有する着色感光性樹脂組成物が記載されている。特許文献２の実施例に記載されている含フッ素共重合体の質量平均分子量は最大で、１０，９００である。【０００６】
しかしながら、従来の撥インク成分においては、エチレン性二重結合を有する含フッ素樹脂を用いた場合には、得られる隔壁において上記求められる性能、すなわち隔壁上部における良好な撥インク性、現像液に浸食されない現像液耐性、隔壁間開口部への良好なインクの濡れ拡がり性、等の性能は十分に得られるものの、エチレン性二重結合を有しない含フッ素樹脂を用いた場合には、これら性能の全てを十分に満たす隔壁は得られていないのが現状であった。
また、撥インク成分として上記求められる性能を十分に備えたエチレン性二重結合を有する含フッ素樹脂においては、エチレン性二重結合を有する基を含フッ素樹脂に導入するために工程数が増える等製造面で不利な点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−３３２２９号公報
【特許文献２】特開２００９−１６８９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、従来技術が有する問題点を解決するためになされたものであり、エチレン性二重結合を有しない撥インク成分でありながら、隔壁上部における良好な撥インク性、現像液に浸食されない現像液耐性、現像されずに残留する残膜の発生を抑制する性質、および隔壁間開口部への良好なインクの濡れ拡がり性を、得られる隔壁に付与することが可能な撥インク成分を含有する感光性組成物を提供することを目的とする。本発明はまた、経済的に有利な材料で得られる性能の良好な隔壁ならびにこの隔壁を有するカラーフィルタおよび有機ＥＬ素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、以下の構成を有する感光性組成物、隔壁、カラーフィルタおよび有機ＥＬ素子を提供する。
［１］下記一般式（１）で表される基を有する側鎖およびポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有し、かつエチレン性二重結合を有する側鎖を有しない重合体（Ａ）と、光硬化開始剤（Ｂ）と、バインダー樹脂（Ｃ）とを含む感光性組成物であって、
−ＣＦＸＲｆ    …（１）
（式中、Ｘは、水素原子、フッ素原子またはトリフルオロメチル基を表し、Ｒｆは、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１以上２０以下のフルオロアルキル基またはフッ素原子を表す。）
前記重合体（Ａ）の質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ））が、２．６×１０４＜Ｍｗ（Ａ）≦２０×１０４であることを特徴とする感光性組成物。【００１０】
［２］前記重合体（Ａ）におけるポリオキシアルキレン基の含有割合が５〜６０質量％である［１］に記載の感光性組成物。
［３］前記重合体（Ａ）が、酸性基を有する［１］または［２］に記載の感光性組成物。
［４］前記重合体（Ａ）におけるフッ素原子含有割合が、２０〜５０質量％である［１］〜［３］のいずれかに記載の感光性組成物。
［５］前記感光性組成物の全固形分における前記重合体（Ａ）の割合が、０．０７〜１質量％である［１］〜［４］のいずれかに記載の感光性組成物。【００１１】
［６］前記重合体（Ａ）が、エポキシ基、メルカプト基および水酸基からなる群から選ばれる１種以上をさらに有する［１］〜［５］のいずれかに記載の感光性組成物。
［７］前記重合体（Ａ）が、さらに下記一般式（２）で表される基を有する側鎖を有する［１］〜［６］のいずれかに記載の感光性組成物。【００１２】
【化１】
2011081151.tif 000002
【００１３】
（式中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子、もしくは、フッ素原子で置換されていてもよいアルキル基、シクロアルキル基またはアリール基を、Ｒ３は、水素原子または炭素数が１以上１０以下の有機基を、ｎは、１以上２００以下の整数を、それぞれ表す。）【００１４】
［８］上記一般式（２）で表される基を有する側鎖およびポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有し、かつ前記一般式（１）で表される基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖のいずれも有しない重合体（Ａ）’であって、質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ）’）が、２．６×１０４＜Ｍｗ（Ａ）’≦２０×１０４である重合体（Ａ）’を、さらに含有する［１］〜［７］のいずれかに記載の感光性組成物。
［９］前記光硬化開始剤（Ｂ）が光重合開始剤であり、前記バインダー樹脂（Ｃ）が酸性基とエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂である［１］〜［８］のいずれかに記載の感光性組成物。【００１５】
［１０］さらに、エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｄ）を含む［９］に記載の感光性組成物。
［１１］さらに、黒色着色剤（Ｅ）を含む［１］〜［１０］のいずれかに記載の感光性組成物。
［１２］基板上を画素形成用の複数の区画に仕切るかたちに形成された隔壁であって、［１］〜［１１］のいずれかに記載の感光性組成物の塗膜硬化物からなることを特徴とする隔壁。【００１６】
［１３］基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有するカラーフィルタであって、前記隔壁が［１２］に記載の隔壁で形成されており、前記画素がインクジェット法により形成されたものであることを特徴とするカラーフィルタ。
［１４］基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する有機ＥＬ素子であって、前記隔壁が［１２］に記載の隔壁で形成されており、前記画素がインクジェット法により形成されたものであることを特徴とする有機ＥＬ素子。【００１７】
なお、本明細書において、「光硬化開始剤」の用語は、光照射により活性種を発生して上記バインダー樹脂（Ｃ）の硬化反応を開始させる化合物、の総称として用いる。
また、本明細書において、ポリオキシアルキレン基とは、−（ＲＯ）ｐ−で表わされる２価の基（Ｒはアルキレン基、ｐは２以上の整数を表す）である。ポリオキシアルキレン基の一方の端は末端基と結合し、もう一方の端は重合体の主鎖側に結合する結合手である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の感光性組成物によれば、経済的に有利な撥インク成分を用いて、得られる隔壁に、隔壁上部における良好な撥インク性、現像液に浸食されない現像液耐性、現像されずに残留する残膜の発生を抑制する性質、および隔壁間開口部への良好なインクの濡れ拡がり性を、付与することが可能である。本発明によれば、上記本発明の感光性組成物を用いて、経済的に有利でかつ性能が良好な隔壁ならびにこの隔壁を有するカラーフィルタおよび有機ＥＬ素子が得られる。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
本発明を実施するための形態を以下に説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
なお、本明細書において、特に説明のない限り、％は、質量％を表す。また、（メタ）アクリロイル基は、アクリロイル基とメタクリロイル基の両者を意味する総称として使用する。（メタ）アクリレートは、アクリレートとメタクリレートの両者を意味する総称として使用する。（メタ）アクリル酸は、アクリル酸とメタクリル酸の両者を意味する総称として使用する。（メタ）アクリルアミドは、アクリルアミドとメタクリルアミドの両者を意味する総称として使用する。（メタ）アリルは、アリルとメタリルの両者を意味する総称として使用する。一般式（１）で表される基を、基（１）ともいう。他の基も同様である。
【００２０】
＜１＞感光性組成物
本発明の感光性組成物は、下記一般式（１）で表される基を有する側鎖およびポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有し、かつエチレン性二重結合を有する側鎖を有しない、質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ））が、２．６×１０４＜Ｍｗ（Ａ）≦２０×１０４である重合体（Ａ）と、光硬化開始剤（Ｂ）と、バインダー樹脂（Ｃ）とを含む感光性組成物である。
−ＣＦＸＲｆ    …（１）
（式中、Ｘは、水素原子、フッ素原子またはトリフルオロメチル基を表し、Ｒｆは、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１以上２０以下のフルオロアルキル基またはフッ素原子を表す。）
【００２１】
本発明の感光性組成物は、上記重合体（Ａ）、光硬化開始剤（Ｂ）およびバインダー樹脂（Ｃ）を含む感光性組成物であって、フォトリソグラフィ等における露光に際して光照射部分においてバインダー樹脂（Ｃ）が光硬化開始剤（Ｂ）の作用により硬化するネガ型感光性組成物である。なお、フォトリソグラフィ等において、光照射がされない部分（未露光部分）は、露光に次いで行われるアルカリ現像に際して、選択的に除去され、その結果として、上記感光性組成物の硬化物からなる隔壁が形成される。
ネガ型感光性組成物は、硬化の種類により、例えば、ラジカル硬化型、酸硬化型等の幾つかのタイプに分類され、その硬化の種類により、用いる光硬化開始剤（Ｂ）およびバインダー樹脂（Ｃ）の組合せが選択される。本発明の感光性組成物は、ネガ型感光性組成物であれば、いずれの硬化のタイプにも適用可能であるが、特にラジカル硬化型の感光性組成物に好適である。以下、本発明の感光性組成物の実施の形態について、ラジカル硬化型感光性組成物および酸硬化型感光性組成物を例として説明する。
【００２２】
（１）ラジカル硬化型感光性組成物
本発明の感光性組成物がラジカル硬化型の場合、感光性組成物は、重合体（Ａ）、光硬化開始剤（Ｂ）としての光重合開始剤（Ｂ１）、およびバインダー樹脂（Ｃ）としての酸性基およびエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂（Ｃ１）を含有する。このようなラジカル硬化型感光性組成物は、フォトリソグラフィ等における露光に際して光照射部分では光重合開始剤（Ｂ１）の作用により感光性樹脂（Ｃ１）がラジカル重合し硬化が促進され塗膜硬化物を形成する。
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物が含有する各成分について以下に説明する。
【００２３】
（１−１）重合体（Ａ）
重合体（Ａ）は、上記一般式（１）で表される基を有する側鎖を有し、ポリオキシアルキレン基を有しかつエチレン性二重結合を有する側鎖を有しない含フッ素重合体であり、その質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ））は、２．６×１０４＜Ｍｗ（Ａ）≦２０×１０４である。
【００２４】
重合体（Ａ）は、上記フッ素原子含有の基（１）を有する側鎖を有し、さらに質量平均分子量が上記範囲で示されるような高い分子量を有するため、基板上に本発明の感光性組成物を塗布し形成される塗膜を乾燥する際に、塗膜の表面近傍に移行しやすい。また、重合体（Ａ）は、側鎖にエチレン性二重結合を有しないが、上記質量平均分子量範囲のように高分子量であることから、塗膜乾燥後の露光により感光性組成物の硬化が進行する際にも、上記塗膜乾燥時に移行した塗膜表面近傍にそのまま留まりその位置で固定化されやすい。さらに、重合体（Ａ）においては、質量平均分子量を上記範囲とすることで、現像液溶解性も十分に確保されている。その結果、露光後の塗膜を現像することにより形成される隔壁においては上面に撥液性を発現することが可能となり、さらに隔壁間の開口部においては、親液性を発現することが可能となる。また、現像後、加熱（ポストベイク）処理を行っても、重合体（Ａ）が開口部にマイグレートすることがなく、隔壁間の開口部においては、親液性を維持することが可能である。
【００２５】
さらに、重合体（Ａ）は、ポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有するため、現像工程の後の高圧水を使用したジェットリンス工程を行った場合でも撥液性を持続することができる。前記現象が観られる理由は、必ずしも定かではないが、以下のように考えられる。
ポリオキシアルキレン基と、他の成分、例えばバインダー樹脂（Ｃ）との相互作用、いわゆるアンカー効果により、重合体（Ａ）は、塗膜表面から脱離しにくくなる効果が考えられる。特に、現像工程の後の高圧水を使用したジェットリンス工程を行う場合、重合体（Ａ）は表層から脱離しやすい。しかしながら、重合体（Ａ）は、ポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有するため、前記アンカー効果により、塗膜表面に重合体（Ａ）が残りやすく、塗膜は撥液性を発現しやすい傾向がある。このため、インクジェット法を用いて、隔壁で囲まれた開口部にインクを塗布する際に、隣接する開口部間における混色の発生や開口部における白抜けの発生を抑制することができる。また、重合体（Ａ）は、ポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有することで、以下に説明する残膜の発生を抑制することができる。
【００２６】
すなわち、残膜が発生する現象は次のように考えられる。フォトリソグラフィ等により隔壁等を製造する際用いられるアルカリ現像液は一般的に界面活性剤を含んでいるため、現像処理において気泡を発生しやすい。また、この気泡が撥液性の表面に付着した場合、除去しにくい。したがって、本来アルカリ現像液によって溶解させて除去されるべき部分に、気泡が付着することにより、感光性組成物に含まれる撥インク成分が膜状に残存する傾向がある。ポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有する重合体（Ａ）は、このようにして発生する残膜の発生を抑制することができる。
ポリアルキレン鎖が残膜の発生を抑制する機構は定かではないが、現像液中の気泡が一旦、塗膜に付着したとしても、ポリアルキレン鎖が表面に存在することによって、容易に気泡が除去されるか、少なくとも同一箇所に気泡が留まりにくいことが考えられる。
【００２７】
本発明で用いる重合体（Ａ）の質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ））は、２．６×１０４＜Ｍｗ（Ａ）≦２０×１０４である。より好ましくは、３．０×１０４＜Ｍｗ（Ａ）≦１２×１０４であり、さらに好ましくは、３．５×１０４≦Ｍｗ（Ａ）≦１２×１０４であり、特に好ましくは、４．０×１０４≦Ｍｗ（Ａ）≦１０×１０４である。
重合体（Ａ）の質量平均分子量が２．６×１０４以下であると、隔壁間開口部の親液性が不十分であり、インクジェット法を用いてインクを塗布したときに開口部にインクが十分に濡れ拡がらない。また、質量平均分子量が２０×１０４を超えると、アルカリ溶解性、現像性が不十分となる。
質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ））が３．０×１０４超１２×１０４以下の範囲であると、さらにアルカリの種類や濃度、ジェットリンスの条件に因らず、撥液性が高く保たれやすく、製造マージンが広くなり好ましい。また、重合体（Ａ）の製造のしやすさからも好ましい。
【００２８】
重合体（Ａ）は、さらに数平均分子量（Ｍｎ（Ａ））が、１．０×１０４≦Ｍｎ（Ａ）≦１５．０×１０４であることが好ましく、１．５×１０４≦Ｍｎ（Ａ）≦１２．０×１０４であることがより好ましく、２．０×１０４≦Ｍｎ（Ａ）≦１０．０×１０４であることが特に好ましい。重合体（Ａ）の数平均分子量が１．０×１０４未満であると、隔壁間開口部の親液性が不十分であり、インクジェット法を用いてインクを塗布したとき、開口部にインクが十分に濡れ拡がらないおそれがあり、数平均分子量が１５．０×１０４を超えると、アルカリ溶解性、現像性が不十分となるおそれがある。
なお、本明細書において、質量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）とは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により、ポリスチレンを標準物質として測定した値をいう。
【００２９】
重合体（Ａ）の質量平均分子量や数平均分子量と、隔壁間の開口部における親液性との関係については定かではない。一般に、感光性組成物、特に黒色の着色剤を含む感光性組成物は、露光時の硬化反応が十分に進行しない場合があるところ、露光時に固定化されなかった重合体（Ａ）は、露光・現像後に通常行われるポストベイクと呼ばれる加熱処理（後述する）の際に、隔壁の側面へ移行したり、隔壁間の開口部へ流出したりすることがある。重合体（Ａ）の質量平均分子量が２．６×１０４を超え、さらに好ましくは数平均分子量が１．０×１０４以上であると、上記ポストベイク時における重合体（Ａ）の移行・流出現象が抑制されると考えられる。
【００３０】
なお、本発明に用いる重合体（Ａ）における、質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ））／数平均分子量（Ｍｎ（Ａ））で表される分子量分布は、１．２以上８以下であることが好ましく、１．３以上４以下がより好ましい。重合体（Ａ）における分子量分布が、この範囲であると、重合体（Ａ）の生産工程を簡略にできて経済的に有利であり、また現像性も良好である。
【００３１】
本発明に用いる重合体（Ａ）は、側鎖に上記一般式（１）で示されるフッ素原子を含有する基（１）を有する。基（１）において、Ｒｆがエーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１〜２０のフルオロアルキル基である場合、Ｒｆは、フッ素原子を除くハロゲン原子を有していてもよい。このようなハロゲン原子としては、塩素原子が好ましい。また、このフルオロアルキル基の構造としては、特に限定されず、直鎖構造、分岐構造、環構造、部分的に環を有する構造等が挙げられるが、直鎖構造が好ましい。さらに、Ｒｆがエーテル性酸素原子を有するフルオロアルキル基である場合、エーテル性酸素原子は、フルオロアルキル基の炭素−炭素結合間に存在してもよいし、フルオロアルキル基の末端に存在していてもよい。
基（１）におけるＲｆとしては、上記エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１〜２０のフルオロアルキル基が好ましい。また、Ｘは、フッ素原子であることが特に好ましい。
【００３２】
上記基（１）中、Ｒｆがエーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１以上２０以下のフルオロアルキル基である場合、Ｒｆとしては該構成を有していれば特に限定されない。Ｒｆとしては、具体的には、−ＣＦ３、−ＣＦ２ＣＦ３、−ＣＦ２ＣＨＦ２、−（ＣＦ２）２ＣＦ３、−（ＣＦ２）３ＣＦ３、−（ＣＦ２）４ＣＦ３、−（ＣＦ２）５ＣＦ３、−（ＣＦ２）６ＣＦ３、−（ＣＦ２）７ＣＦ３、−（ＣＦ２）８ＣＦ３、−（ＣＦ２）９ＣＦ３、−（ＣＦ２）１１ＣＦ３、−（ＣＦ２）１５ＣＦ３、−ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ（ＣＦ２）５ＣＦ３、−ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２ＣＦ２Ｏ）ｐＣＦ３（ｐは、１〜８の整数である。）、−ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ（ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ）ｑＣ６Ｆ１３（ｑは、１〜４の整数である。）、−ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ（ＣＦ２ＣＦ（ＣＦ３）Ｏ）ｒＣ３Ｆ７（ｒは、１〜５の整数である。）等が挙げられる。
Ｒｆがエーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１以上２０以下のフルオロアルキル基の場合、Ｒｆとしては、エーテル性酸素原子を有しないパーフルオロアルキル基とエーテル性酸素原子を有するパーフルオロアルキル基が好ましく、エーテル性酸素原子を有しないパーフルオロアルキル基がより好ましい。その炭素数は１〜１１が好ましく、３〜５が特に好ましい。
【００３３】
このような基（１）のなかでも、本発明においては、パーフルオロアルキル基または水素原子を１個有するポリフルオロアルキル基が好ましく、パーフルオロアルキル基が特に好ましい。なお、パーフルオロアルキル基およびポリフルオロアルキル基には、エーテル性酸素原子を有するものが含まれる。また、上記の水素原子を１個有するポリフルオロアルキル基としては、Ｘが水素原子である化合物が好ましい。これにより、本発明の感光性組成物を用いて形成される隔壁は、上面の撥液性が良好となる。
【００３４】
また、基（１）は、炭素数が４〜６であることが好ましい。このような基（１）として具体的には、−（ＣＦ２）３ＣＦ３、−（ＣＦ２）４ＣＦ３、−（ＣＦ２）５ＣＦ３、−ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）２ＯＣＦ３、−ＣＦ２Ｏ（ＣＦ２）２Ｏ（ＣＦ２）２ＯＣＦ３等が挙げられる。重合体（Ａ）が側鎖に有する基（１）の炭素数を４〜６のとすれば、重合体（Ａ）と感光性組成物を構成する他の成分との相溶性を向上させることができる。これにより、感光性組成物を塗布して形成される塗膜中における重合体（Ａ）の凝集を抑制することができ、その結果、外観が良好な隔壁を形成することができる。
【００３５】
なお、重合体（Ａ）において、基（１）を有する側鎖における基（１）の導入数は１である。重合体（Ａ）の基（１）を有する各側鎖において、基（１）は同一であってもよく、異なっていてもよい。つまり、重合体（Ａ）が側鎖に有する基（１）は、１種のみでもよく、２種以上の組合わせであってもよい。なお、本発明に用いる重合体（Ａ）においては、全ての側鎖に基（１）が導入されていてもよいが、好ましくは以下のフッ素原子含有量となるように、重合体（Ａ）全体に対して基（１）が導入される側鎖の割合が適宜調整される。具体的には、後述する通り原料単量体の重合により重合体（Ａ）を製造する際に、基（１）を有する単量体の原料単量体全体に対する配合量を調整する。
【００３６】
また、重合体（Ａ）における基（１）を有する側鎖の導入位置は、特に制限されず、好ましくは以下のフッ素原子含有量となるように、規則性をもって定間隔で、ブロック的に、または、ランダムに、重合体（Ａ）を構成する主鎖に基（１）を有する側鎖が導入可能である。このように、重合体（Ａ）は、上記本発明の質量平均分子量の範囲内であれば、基（１）を有する側鎖は、交互共重合体、ブロック共重合体、ランダム共重合体のかたちの何れで導入されていてもよい。重合体（Ａ）としては、製造効率や撥液成分の分子内均一性、撥液成分以外の成分との相溶性等の点からランダム共重合体であることが好ましい。なお、以下に説明する任意に導入する各種基を有する側鎖についても基（１）を有する側鎖の導入と同様に、ランダム共重合によってランダムに導入されることが好ましい。
【００３７】
本発明に用いる重合体（Ａ）において、主として基（１）を有する側鎖を有することによる、重合体（Ａ）中のフッ素原子の含有量は、２０〜５０質量％であることが好ましく、２５〜４２質量％であることがより好ましく、２５〜３５質量％であることが特に好ましい。この重合体（Ａ）におけるフッ素原子の含有量が２０質量％未満であると、十分な現像耐性が得られない傾向にあり、結果として隔壁の上面の撥液性が不十分となることがある。また、重合体（Ａ）におけるフッ素原子の含有量が、５０質量％を超えると、重合体（Ａ）どうしが自己凝集する傾向にあり、結果として隔壁の上面の撥液性が不十分となることがある。さらに隔壁と基板の密着性が低下することがある。
【００３８】
なお、重合体（Ａ）におけるフッ素原子含有量は、主として重合体（Ａ）が側鎖に有する上記基（１）が有するフッ素原子に由来する含有量である。ただし、例えば、重合体（Ａ）が主鎖の炭素に直接結合するフッ素原子のような上記基（１）に由来しないフッ素原子を有する場合は、上記基（１）が有するフッ素原子と基（１）以外に重合体（Ａ）が有するフッ素原子を合わせたフッ素原子の含有量をいう。
【００３９】
また、本発明に用いる重合体（Ａ）においては、ポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有する。このポリオキシアルキレン基は、炭素数２〜４のオキシアルキレン基を繰り返し単位とするポリオキシアルキレン基である。
本発明で用いる重合体（Ａ）におけるポリオキシアルキレン基の含有量は、５〜６０質量％が好ましい。より好ましくは、１０〜５５質量％であり、特に好ましくは、１５〜５０質量％である。重合体（Ａ）におけるポリオキシアルキレン基の含有量が５質量％未満であると、現像工程の後に高圧水を使用したジェットリンス工程を行った場合、撥液性が著しく低下することがある。さらに、最終的に得られる隔壁や隔壁開口部に多くの残膜が存在する状態となるおそれがある。また、ポリオキシアルキレン基の含有量が６０質量％を超えると、撥液性が低下することがある。
【００４０】
なお、本発明に用いるポリオキシアルキレン基は、具体的には、下記一般式（１１）で表す基（以下、基（１１）ということもある）である。
−（Ｒ１１Ｏ）ｍ（Ｒ１２Ｏ）ｊＲ１３      …（１１）
（式（１１）中、Ｒ１１はエチレン基を、Ｒ１２は炭素数３または４のアルキレン基を、Ｒ１３は、水素原子、または、置換基を有してもよい炭素数１〜１０のアルキル基を、ｍは４〜１００、ｊは０〜１００の整数をそれぞれ表し、ｍ＋ｊは４〜１００である。
【００４１】
上記基（１１）において、Ｒ１１はエチレン基（−ＣＨ２ＣＨ２−）、Ｒ１２は炭素数３または４のアルキレン基を表す。炭素数３または４のアルキレン基の構造は、直鎖構造であっても分岐構造であってもよい。Ｒ１２は、プロピレン基（−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）−）、トリメチレン基（−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−）、エチルエチレン基（−ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−）、１，２−ジメチルエチレン基（−ＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ（ＣＨ３）−）、テトラメチレン基（−（ＣＨ２）４−）などがあり、プロピレン基またはテトラメチレン基が好ましい。
基（１１）中、ｍは４〜１００、ｊは０〜１００の整数をそれぞれ表すが、それぞれ５０以下であることが好ましく、３０以下であることがより好ましい。また、ポリオキシアルキレン基中のＲ１１の数の割合であるｍ／（ｍ＋ｊ）は、５０〜１００％であることが好ましく、８０〜１００％であることがより好ましく、実質上１００％であることが特に好ましい。
また、ｍ＋ｊは、４〜１００であり、好ましくは６〜５０、より好ましくは８〜３０である。ｍ＋ｊが３以下であると、現像工程の後に高圧水を使用したジェットリンス工程を行った場合、撥液性が低下する傾向がある。さらに、残膜が多く発生する傾向がある。ｍ＋ｊが１０１以上であると、ポストベイク時に開口部に重合体（Ａ）がマイグレートし、隔壁間開口部の親液性が不十分になり、インクジェット法を用いてインクを塗布したとき、開口部にインクが十分に濡れ拡がらないおそれがある。なお、上記一般式（１１）において、（Ｒ１１Ｏ）ｍ（Ｒ１２Ｏ）ｊは、基（１１）が、ｍ個の（Ｒ１１Ｏ）単位とｊ個の（Ｒ１２Ｏ）単位を有することを表すものであって、（Ｒ１１Ｏ）単位と（Ｒ１２Ｏ）単位の結合の順番については特に制限されるものではない。つまり、基（１１）において、ｍ個の（Ｒ１１Ｏ）単位とｊ個の（Ｒ１２Ｏ）単位は、例えば、交互に、またはランダムに、もしくはブロックで結合していてもよい。
【００４２】
上記基（１１）において、Ｒ１３が、置換基を有してもよい炭素数１〜１０のアルキル基である場合、その構造は、直鎖構造、分岐構造、環構造、部分的に環を有する構造等であってもよい。また、置換基として具体的には、カルボキシル基、水酸基、炭素数１〜５のアルコキシ基等が挙げられる。本発明においては、基（１１）中のＲ１３として、炭素数１〜５の直鎖、非置換のアルキル基が好ましく、メチル基、エチル基がより好ましい。
【００４３】
なお、重合体（Ａ）が側鎖に有する上記基（１１）等のポリオキシアルキレン基は１種が単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。また、重合体（Ａ）への基（１１）を有する側鎖の導入は、後述の通り、原料単量体の重合により重合体（Ａ）を製造する際に、基（１１）を有する単量体の原料単量体全体に対する配合量を、本発明の効果を損なうことなく、重合体（Ａ）に上記現像性向上の効果を付与できる配合量となるように、適宜調整して行われる。
【００４４】
本発明の感光性組成物が含有する重合体（Ａ）は、本発明の効果を損なわない範囲において、上記基（１）を有する側鎖の他に、各種目的に応じた官能基を有する側鎖を有することが可能である。このような重合体（Ａ）側鎖への官能基導入の例として、例えば、インク転落性および耐ＵＶオゾン性を改善する目的で、下記一般式（２）で表されるシロキサン結合を有する基（以下、基（２）ということもある。）を、上記重合体（Ａ）の側鎖に導入することができる。
【００４５】
【化２】
2011081151.tif 000003
【００４６】
（式中、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子、もしくは、フッ素原子で置換されていてもよいアルキル基、シクロアルキル基またはアリール基を、Ｒ３は、水素原子または炭素数が１以上１０以下の有機基を、ｎは、１以上２００以下の整数を、それぞれ表す。）
【００４７】
上記基（２）において、Ｒ１およびＲ２は、構成単位毎に同一であってもよいし、異なっていてもよい。Ｒ１、Ｒ２がアルキル基の場合、好ましい炭素数は１〜１０であり、より好ましい炭素数は１〜６である。これらは直鎖構造であっても分岐構造であってもよい。Ｒ１、Ｒ２がシクロアルキル基の場合、好ましい炭素数は３〜１０であり、より好ましい炭素数は５または６である。Ｒ１、Ｒ２がアリール基の場合、好ましい炭素数は６〜１５であり、より好ましい炭素数は６〜１０である。Ｒ１、Ｒ２の水素原子の一部またはすべてがフッ素原子に置換されていてもよい。
また、重合体（Ａ）を含有する感光性組成物を用いて形成される隔壁の撥液性を考慮すると、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立に、水素原子、メチル基、トリフルオロメチル基またはフェニル基であることが好ましく、全シロキサン単位のＲ１およびＲ２がメチル基であることが特に好ましい。
また、Ｒ３が、炭素数１以上１０以下の有機基である場合、Ｒ３は窒素原子、酸素原子、フッ素原子等を有していてもよい。本発明において、Ｒ３は、水素原子、炭素数が１〜５のアルキル基、またはフッ素原子で置換された炭素数１〜５のアルキル基であることが好ましく、より好ましくは、トリフルオロメチル基またはメチル基である。さらに、基（２）においてｎは、２〜１００の整数であることが好ましい。
【００４８】
重合体（Ａ）が基（２）を有する側鎖を有する場合、基（２）は１種が単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。また、重合体（Ａ）中の、基（２）由来のケイ素原子の含有量は、０．１〜２５質量％であることが好ましく、０．５〜２０質量％であることがより好ましい。ケイ素原子の含有量がこの範囲にあると、本発明の効果を損なうことなく、重合体（Ａ）に上記効果を付与することが可能となる。なお、重合体（Ａ）におけるケイ素原子含有量の調整は、後述する通り原料単量体の重合により重合体（Ａ）を製造する際に、基（２）を有する単量体の原料単量体全体に対する配合量を適宜調整することで行われる。
【００４９】
重合体（Ａ）は、酸性基を有する側鎖をさらに有することが好ましい。重合体（Ａ）における酸性基を有する側鎖の導入は現像性の向上を目的に行われる。現像感光性組成物に用いる現像液は、一般にアルカリ性現像液であり酸性基を導入することにより重合体（Ａ）の現像液溶解性が良好になる。塗膜未露光部に含まれる重合体（Ａ）は、現像液により除去される。重合体（Ａ）が酸性基を有する側鎖を有している場合、アルカリ溶解性が良好なので、重合体（Ａ）が再度開口部に付着する可能性が極めて少ない。したがって、開口部の親液性が良好である。なお、重合体（Ａ）が、側鎖に有する酸性基は、１種であっても、２種以上であってもよい。
【００５０】
重合体（Ａ）に導入する酸性基としては、特に限定されないが、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基等が挙げられる。ここで、重合体（Ａ）の側鎖への酸性基の導入は、上記ポリオキシアルキレン基（１１）の末端基Ｒ１３に導入することで行われてもよい。なお、本発明に用いる重合体（Ａ）においては、後述する通り、原料単量体の重合により重合体（Ａ）を製造する際に、酸性基を有する単量体の原料単量体全体に対する配合量を、得られる重合体（Ａ）が以下の好ましい酸価となるように、適宜調整することで行われる。
【００５１】
重合体（Ａ）は、酸価が１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、１０〜５０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。酸価がこの範囲であると、未露光部分の現像も良好に実行でき、露光部の隔壁上部における撥液性も良好である。なお、酸価は、試料１ｇを中和するのに必要な水酸化カリウムの質量［ｍｇ］であり、本明細書においては、単位をｍｇＫＯＨ／ｇと記載する。
【００５２】
重合体（Ａ）は、さらに、エポキシ基、メルカプト基、水酸基等の、熱や光により隔壁を構成するマトリックスが有する官能基と架橋反応可能な官能基を有する側鎖を有することが好ましい。重合体（Ａ）に導入されるこれらの官能基は、１種を単独で用いることも、２種以上を併用することも可能である。また、重合体（Ａ）の側鎖へのこれらの官能基の導入は、上記ポリオキシアルキレン基（１１）が有する末端基Ｒ１３に導入することで行われてもよい。なお、水酸基の導入については、Ｒ１３を水素原子とすることでも実行可能である。
【００５３】
本発明の感光性組成物は、重合体（Ａ）の他に、光硬化開始剤（Ｂ）とバインダー樹脂（Ｃ）を含有する。このバインダー樹脂（Ｃ）は、露光することで光硬化開始剤（Ｂ）の作用により硬化する。感光性組成物を用いて隔壁を作製する場合、パターン露光により硬化した部分以外の未露光部分は現像液で取り除かれる。本発明の感光性組成物のようなネガ型の感光性組成物を用いてフォトリソグラフィを行う際には、通常、酸性基を有するバインダー樹脂（Ｃ）とアルカリ性現像液の組合せが用いられる。
【００５４】
重合体（Ａ）がエポキシ基、水酸基等の酸性基と熱架橋可能な官能基を有する場合、露光・現像後のポストベーキング処理により、重合体（Ａ）のこれらの官能基が隔壁マトリックスが有するバインダー樹脂（Ｃ）由来の酸性基と熱架橋して、重合体（Ａ）が隔壁に十分に固定される。さらに、重合体（Ａ）が上記酸性基と熱架橋可能な官能基と酸性基を共に有する場合には、特に隔壁上面の重合体（Ａ）が高密度で存在する部分で重合体（Ａ）どうしが熱架橋反応してより高分子化され、隔壁に十分に固定された状態となる。また、重合体（Ａ）がメルカプト基を有する場合、上記と同様にして、ポストベーキング処理により、バインダー樹脂（Ｃ）由来のエチレン性不飽和二重結合基と架橋して隔壁に十分に固定される。これにより、その後、インクジェットによる隔壁開口部へのインク注入に際して懸念される、隔壁からの重合体（Ａ）のインクへの流出や溶出を防ぐことが可能となる。
【００５５】
なお、重合体（Ａ）への、隔壁マトリックスが有する官能基と架橋可能な官能基を有する側鎖の導入は、後述の通り、原料単量体の重合により重合体（Ａ）を製造する際に、隔壁マトリックスが有する官能基と架橋可能な官能基を有する単量体の原料単量体全体に対する配合量を、本発明の効果を損なうことなく、重合体（Ａ）に、上記インク注入時における重合体（Ａ）の流出・溶出を抑制する効果を付与できる配合量となるように、適宜調整して行われる。
【００５６】
（重合体（Ａ）の製造）
本発明に用いる重合体（Ａ）について、上記基（１）を有する側鎖および上記基（１１）等のポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有する構成とし、さらに任意に、上記基（２）を有する側鎖、酸性基を有する側鎖、隔壁マトリックスが有する官能基と熱または光により架橋可能な官能基を有する側鎖等を有する構成とするためには、これらの基を有する側鎖を重合反応によって直接形成する、または、重合反応後の化学変換によって形成する方法が挙げられる。
【００５７】
重合体（Ａ）が、必須に有する基（１）を有する側鎖および基（１１）等のポリオキシアルキレン基を有する側鎖、さらに任意に有する上記各基を有する側鎖を、重合反応によって直接形成するには、基（１）を有する単量体と、基（１１）等のポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有する単量体、必要に応じて、基（２）を有する単量体、酸性基を有する単量体、隔壁マトリックスが有する官能基と架橋可能な官能基を有する単量体、および／または、その他の単量体を適宜条件を選択して共重合させればよい。
なお、共重合の種類としては、交互共重合、ブロック共重合、ランダム共重合等が挙げられ、それぞれ従来公知の方法で共重合を実行することができるが、本発明において、重合体（Ａ）はランダム共重合により共重合して得られるランダム共重合体であることが好ましい。
【００５８】
重合体（Ａ）の製造に用いる上記基（１）を有する単量体としては、下記一般式（３）で表される化合物であることが好ましい。これらは１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
ＣＨ２＝ＣＲ４−ＣＯＯ−Ｙ−ＣＦＸＲｆ  …（３）
【００５９】
（式（３）中、Ｒ４は、水素原子、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、トリフルオロメチル基、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１〜２０のフルオロアルキル基、シアノ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数７〜２０のアリール基で置換されたアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、または炭素数３〜２０のシクロアルキル基、である。Ｙは、単結合または炭素数が１〜６のフッ素原子を有さない２価の有機基である。−ＣＦＸＲｆは上記基（１）に相当する基である。すなわち、Ｘは、水素原子、フッ素原子またはトリフルオロメチル基である。Ｒｆは、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数が１〜２０のフルオロアルキル基、またはフッ素原子である。）
【００６０】
上記化合物（３）における−ＣＦＸＲｆの好ましい態様は、上記基（１）に関して説明したのと同様である。
【００６１】
上記式（３）において、Ｙが示す基のうちでも、炭素数が１〜６のフッ素原子を有さない２価の有機基であるＹとしては、−Ｒ５−、−Ｒ５−ＮＲ６−ＳＯ２−、−Ｒ５−ＮＲ６−ＣＯ−、−ＣＨ２ＣＨ（ＯＨ）−Ｒ７−（Ｒ５は、炭素数が１〜６のアルキレン基であり、Ｒ６は、水素原子またはメチル基であり、Ｒ７は、単結合または炭素数が１〜４のアルキレン基である。ただし、Ｒ６がメチル基の場合、ＮＲ６に結合するＲ５の炭素数は１〜５である。）等が挙げられる。Ｒ５として具体的には、−ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ２（ＣＨ２）３ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）−等が挙げられる。Ｒ７として具体的には、−ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−等が挙げられる。
これらのうちでも、化合物（３）におけるＹとしては、入手の容易さから、炭素数が２〜４のアルキレン基が好ましい。
【００６２】
化合物（３）において上記Ｒ４が示す基のうちでも、水素原子、フッ素原子、塩素原子、メチル基、トリフルオロメチル基、フェニル基、ベンジル基等が好ましく、水素原子、フッ素原子、塩素原子、メチル基、またはトリフルオロメチル基がより好ましい。Ｒ４としては、水素原子またはメチル基が特に好ましい。すなわち、化合物（３）は（メタ）アクリレートであることが特に好ましい。
【００６３】
一般式（３）で表される化合物としては、−ＣＦＸＲｆが炭素数４〜６のパーフルオロアルキル基でＹが炭素数２〜４のアルキレン基である（メタ）アクリレートが特に好ましい。具体的には、２−（パーフルオロヘキシル）エチル（メタ）アクリレート、２−（パーフルオロブチル）エチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００６４】
重合体（Ａ）の製造に用いる上記基（１１）を有する単量体としては、下記一般式（１２）または（１３）で表される化合物であることが好ましい。これらは１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
ＣＨ２＝ＣＲ１４−ＣＯＯ−（Ｗ−Ｏ）ｑ−（Ｒ１１Ｏ）ｍ（Ｒ１２Ｏ）ｊＲ１３  …（１２）
ＣＨ２＝ＣＲ１４−Ｏ−（Ｗ−Ｏ）ｑ−（Ｒ１１Ｏ）ｍ（Ｒ１２Ｏ）ｊＲ１３      …（１３）
（式（１２）および（１３）中、Ｒ１４は、水素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、シアノ基、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数７〜２０のアリール基で置換されたアルキル基、炭素数６〜２０のアリール基、または炭素数３〜２０のシクロアルキル基、である。Ｗは、炭素数が１〜１０のフッ素原子を有さない２価の有機基である。ｑは０または１である。−（Ｒ１１Ｏ）ｍ（Ｒ１２Ｏ）ｊＲ１３は上記基（１１）に相当する基である。）
【００６５】
上記化合物（１２）および（１３）における−（Ｒ１１Ｏ）ｍ（Ｒ１２Ｏ）ｊＲ１３の好ましい態様は、上記基（１１）に関して説明したのと同様である。
化合物（１２）および（１３）における−（Ｗ−Ｏ）ｑ−は、ｑが０の場合は単結合を表す。ｑが１の場合、−（Ｗ−Ｏ）ｑ−はＲ１１側に酸素原子を有する有機基である。ｑが１の場合、Ｗは炭素数２〜１０の２価の炭化水素基が好ましく、炭素数２〜６のアルキレン基、炭素数５または６のシクロアルキレン基、炭素数５または６のシクロアルキレン基の両側または片側に炭素数１〜２のアルキレン基を有する合計炭素数６〜１０のシクロアルキレン基含有アルキレン基であることが好ましい。ただし、ＷがＲ１１と同一のアルキレン基である場合は（さらに、ｑが０でない場合にはＲ１２と同一のアルキレン基である場合も）、ｑが０とみなす。
また、上記化合物（１２）および（１３）におけるＲ１４としては、水素原子、フッ素原子、塩素原子、メチル基、またはトリフルオロメチル基が好ましく、水素原子またはメチル基が特に好ましい。
【００６６】
上記式（１２）および（１３）において、ｑが１の場合、−（Ｗ−Ｏ）−は、Ｒ１１Ｏ、Ｒ１２Ｏ以外の直鎖構造、分岐構造、環構造、部分的に環を有する構造の炭素数が１〜１０の酸素原子末端炭化水素基が好ましい。より好ましくは炭素数３〜８の酸素原子末端炭化水素基である。この酸素原子末端炭化水素基としては、具体的には、ＣＨ２Ｃ６Ｈ１０ＣＨ２Ｏ（式中Ｃ６Ｈ１０は、シクロヘキシレン基である。）、ＣＨ２Ｏ、ＣＨ（ＣＨ３）Ｏ、ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２Ｏ、Ｃ（ＣＨ３）２Ｏ、ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）Ｏ、ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２Ｏ、ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）Ｏ、ＣＨ２（ＣＨ２）３ＣＨ２Ｏ、ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）Ｏ等が挙げられる。これらのうちでも、化合物（１２）および（１３）におけるＷとしては、入手の容易さから、炭素数が３または４のオキシアルキレン基（ただし、ｊが０でない場合はＲ１２Ｏと同じオキシアルキレン基以外）が好ましい。
【００６７】
化合物（１２）および（１３）においては、上記Ｒ１４が示す基のうちでも、水素原子、塩素原子、メチル基、フェニル基、ベンジル基等が好ましく、水素原子、塩素原子、またはメチル基がより好ましい。
【００６８】
上記一般式（１２）、一般式（１３）で表される化合物としては、好ましい化合物として、以下に示す化合物等が挙げられる。
（一般式（１２）で表される化合物））
ＣＨ２＝ＣＨＯＣＨ２Ｃ６Ｈ１０ＣＨ２Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍＲ１３
ＣＨ２＝ＣＨＯ（ＣＨ２）４Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍＲ１３
【００６９】
（一般式（１３）で表される化合物）
ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍＲ１３、
ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍＲ１３、
ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍ（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｊＲ１３、
ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍ（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｊＲ１３、
ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｍ（Ｃ４Ｈ８Ｏ）ｊＲ１３、
（上記式中、ｍ、ｊは前記と同じ。Ｃ６Ｈ１０はシクロヘキシレン基、Ｃ３Ｈ６はプロピレン基、Ｃ４Ｈ８はテトラメチレン基である。式中のＲ１３は、炭素数１〜１０の直鎖、非置換のアルキル基、例えば、メチル基、水素原子等である。）
【００７０】
なお、重合体（Ａ）の作製において、基（１１）を側鎖に導入する目的で用いる上記化合物（１２）および（１３）としては、市販品を用いることが可能である。このような市販品として、例えば、以下のものが挙げられる。
ブレンマーＰＭＥ−４００（商品名、日本油脂社製、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｋＣＨ３：式中のｋは分子間の平均値を示し、ｋの値は約９である。以下、各市販品の分子式におけるｋ、ｍ、ｊは全て分子間の平均値を示す。）。
ＮＫエステルＭ−２３０Ｇ：（商品名、新中村化学社製、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｋＣＨ３：式中のｋは分子間の平均値を示し、ｋの値は約２３である。）。
ニューフロンティアＮＦバイソマーＰＥＭ６Ｅ（商品名、第一工業製薬社製、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｋＨ：式中、ｋは約６である。）。
ライトエステル１３０Ａ（商品名、共栄社化学社製、ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｋＣＨ３：式中、ｋは約９である。）。
ブレンマーＡＥ−４００（商品名、日本油脂社製、ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｋＨ：式中、ｋは約１０である。）。
ブレンマーＰＰ−８００（商品名、日本油脂社製、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｋＨ：式中、ｋは約１３である。）、
ブレンマーＡＰ−８００（商品名、日本油脂社製、ＣＨ２＝ＣＨＣＯＯ（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｋＨ：式中、ｋは約１３である。）。
ブレンマー７０ＰＥＰ−３５０Ｂ（商品名、日本油脂社製、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｍ（Ｃ３Ｈ６Ｏ）ｊＨ：式中、ｍは約５、ｊは約２である。）。
ブレンマー５５ＰＥＴ−８００（商品名、日本油脂社製、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（Ｃ２Ｈ４Ｏ）ｍ（Ｃ４Ｈ８Ｏ）ｊＨ：式中、ｍは約１０、ｊは約５である。）。
【００７１】
重合体（Ａ）の製造に、必要に応じて用いる上記基（２）を有する単量体としては、下記一般式（４）で表される化合物であることが好ましい。これらは１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００７２】
【化３】
2011081151.tif 000004
【００７３】
（式（４）中、Ｒ８は、水素原子またはメチル基であり、Ｚは、単結合または炭素数が１〜６の２価の有機基である。また、Ｚに結合するシロキサン結合を有する基は、上記基（２）に相当する基である。すなわち、Ｒ１およびＲ２は、それぞれ独立して、水素原子、もしくは、フッ素原子で置換されていてもよいアルキル基、シクロアルキル基またはアリール基であり、Ｒ３は、水素原子または炭素数が１〜１０の有機基であり、ｎは、１〜２００の整数である。）
【００７４】
上記化合物（４）におけるＲ１、Ｒ２、Ｒ３およびｎの好ましい態様は、上記基（２）に関して説明したのと同様である。
上記Ｚが示す基のうちでも、化合物（４）が有するＺとしては、炭素数が１〜６の２価の炭化水素基が好ましく、具体的には、−ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ３）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−Ｃ（ＣＨ３）２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）−、−ＣＨ２（ＣＨ２）３ＣＨ２−、−ＣＨ（ＣＨ２ＣＨ（ＣＨ３）２）−等が挙げられる。特に、−ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−、−ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２−が好ましい。
【００７５】
重合体（Ａ）の製造に、必要に応じて用いる上記酸性基を有する単量体としては、酸性基を有していれば特に制限されず、カルボキシル基を有する単量体、フェノール性水酸基を有する単量体、スルホン酸基を有する単量体等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００７６】
カルボキシ基を有する単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸およびこれらの塩等が挙げられる。
【００７７】
フェノール性水酸基を有する単量体としては、ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレンおよびこれらのベンゼン環の１個以上の水素原子が、メチル基、エチル基、ｎ−ブチル基等のアルキル基、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−ブトキシ基等のアルコキシ基、ハロゲン原子、１個以上のハロゲン原子を有するハロアルキル基、ニトロ基、シアノ基、アミド基に置換された化合物等が挙げられる。
【００７８】
スルホン酸基を有する単量体としては、ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、（メタ）アリルスルホン酸、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アリルオキシプロパンスルホン酸、（メタ）アクリル酸２−スルホエチル、（メタ）アクリル酸２−スルホプロピル、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイルオキシプロパンスルホン酸、２−（メタ）アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸等が挙げられる。
【００７９】
重合体（Ａ）の製造に、必要に応じて用いる上記隔壁マトリックスが有する官能基と熱または光により架橋可能な官能基（以下、「架橋性官能基」ということもある）を有する単量体としては、架橋性官能基を有していれば特に限定されない。具体的には、エポキシ基を有する単量体、水酸基を有する単量体等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。なお、架橋性官能基を有する単量体は、基（１）および基（２）を実質的に有しないことが好ましい。
【００８０】
エポキシ基を有する単量体としては、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート等が挙げられる。
【００８１】
水酸基を有する単量体としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールモノ（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセリンモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチルビニルエーテル、４−ヒドロキシブチルビニルエーテル、シクロヘキサンジオールモノビニルエーテル、２−ヒドロキシエチルアリルエーテル、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ビス（ヒドロキシメチル）（メタ）アクリルアミド等が挙げられる。
【００８２】
なお、架橋性官能基として上に例示したメルカプト基を有する側鎖については、チオカルボン酸エステル化合物を連鎖移動剤として用いることによって、重合体末端にチオカルボン酸エステルを導入することができる。さらに当該重合体を酸またはアルカリで処理することによって、チオカルボン酸エステルを分解し、末端にメルカプト基を有する重合体を得ることができる。チオカルボン酸エステル化合物とは、例えばチオ酢酸、チオプロピオン酸、チオ酪酸、チオ安息香酸のカルボキシル基を−ＣＯＳＨ基に置換した化合物である。
【００８３】
重合体（Ａ）の製造に任意に用いることが可能な、上記以外の単量体としては、炭化水素系オレフィン類、ビニルエーテル類、イソプロペニルエーテル類、アリルエーテル類、ビニルエステル類、アリルエステル類、（メタ）アクリル酸エステル類、（メタ）アクリルアミド類、芳香族ビニル化合物、クロロオレフィン類、共役ジエン類等が挙げられ、隔壁の耐熱性を考慮すると、（メタ）アクリル酸エステル類、または（メタ）アクリルアミド類が好ましい。なお、これらの化合物は、カルボニル基、アルコキシ基等の官能基を有していてもよい。
【００８４】
本発明に用いる重合体（Ａ）を製造するには、上記説明した単量体から重合に供する単量体を適宜選択し適当な割合で共重合させる。なお、重合体（Ａ）を製造する際に用いる各種単量体の好ましい配合割合は以下の通りである。
【００８５】
共重合させる単量体の全質量に対する基（１）を有する単量体質量の割合は、重合体（Ａ）におけるフッ素原子含有量が上記好ましい範囲、具体的には、２０〜５０質量％、より好ましくは２５〜４２質量％、特に好ましくは２５〜３５質量％となるような割合とすることが好ましい。このような割合として、基（１）を有する単量体の種類にもよるが、具体的には、２０〜８０質量％であることが好ましく、３０〜７０質量％であることがより好ましく、４０〜６０質量％であることが特に好ましい。この割合が低すぎると、十分なフッ素原子含有量が確保できず、十分な現像耐性が得られない傾向にあり、また、本発明の感光性組成物を用いて形成される隔壁の上面近傍に重合体（Ａ）が移行しにくくなり、結果として隔壁の上面の撥液性が不十分となることがある。また、この割合が高すぎると、フッ素原子含有量が好ましい範囲を超え、重合体（Ａ）どうしが自己凝集する傾向にあり、結果として隔壁の上面の撥液性が不十分となることがある。さらに隔壁と基板の密着性が低下することがある。
なお、重合体（Ａ）の製造に際して、原料単量体として、基（１）を有する単量体以外にフッ素原子を含有する単量体を用いる場合には、得られる重合体（Ａ）におけるフッ素原子含有量が上記好ましい範囲となるように、各原料単量体の割合を適宜調整すればよい。
【００８６】
共重合させる単量体の全質量に対する基（１１）を有する単量体質量の割合は、重合体（Ａ）における基（１１）の含有量が、５〜６０質量％となるような割合とすることが好ましい。１０〜５５質量％となるような割合とすることがより好ましく、１５〜５０質量％となるような割合とすることが特に好ましい。この範囲であると、重合体（Ａ）における基（１１）の含有量が概ね上記好ましい範囲となり、現像工程の後の高圧水を使用したジェットリンス工程を行った場合でも撥液性を持続することができる。さらに、残膜の発生を防止することができる。
【００８７】
重合体（Ａ）の重合に際して、必要に応じて基（２）を有する単量体を用いる場合、共重合させる単量体の全質量に対する基（２）を有する単量体質量の割合は、重合体（Ａ）におけるケイ素原子含有量が上記好ましい範囲、具体的には、０．１〜２５質量％、より好ましくは０．５〜２０質量％となるような割合とすることが好ましい。このような割合として、基（２）を有する単量体の種類にもよるが、具体的には、０．５〜３０質量％であることが好ましく、２〜２０質量％がより好ましい。共重合させる全単量体における基（２）を有する単量体の割合がこの範囲であると、重合体（Ａ）におけるケイ素原子含有量が概ね上記好ましい範囲となり、インク転落性および耐ＵＶオゾン性等が良好となる。
【００８８】
重合体（Ａ）の重合に際して、必要に応じて酸性基を有する単量体を用いる場合、共重合させる単量体の全質量に対する酸性基を有する単量体の質量の割合は、重合体（Ａ）の酸価が上記好ましい範囲、具体的には、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、より好ましくは１０〜５０ｍｇＫＯＨ／ｇとなるような割合とすることが好ましい。このような割合として、酸性基を有する単量体の種類にもよるが、具体的には、２〜２０質量％であることが好ましく、４〜１２質量％がより好ましい。共重合させる全単量体における酸性基を有する単量体の割合がこの範囲であると、本発明の効果を損なうことなく、未露光部分の現像も良好に実行でき、また、開口部の親液性を向上させることができるが良好である。
【００８９】
重合体（Ａ）の重合に際して、必要に応じて上記架橋性官能基を有する単量体を用いる場合、共重合させる単量体の全質量に対する、架橋性官能基を有する単量体質量の割合は、１〜４０質量％であることが好ましく、５〜２０質量％がより好ましい。共重合させる全単量体における架橋性官能基を有する単量体の割合がこの範囲であると、本発明の効果を損なうことなく、重合体（Ａ）の隔壁への固定化が可能となり、また現像性が良好となる。
【００９０】
重合体（Ａ）の重合に際して、必要に応じて上記以外のその他の単量体を用いる場合、共重合させる単量体の全質量に対する、その他の単量体質量の割合は７０質量％以下であることが好ましく、５０質量％以下がより好ましい。この質量の割合が７０質量％を超えると、アルカリ現像性が低下することがある。
【００９１】
本発明に用いる重合体（Ａ）は、上記基（１）を有する側鎖および上記基（１１）等のポリオキシアルキレン基を有する側鎖、を必須の構成として有し、さらに任意に、上記基（２）を有する側鎖、酸性基を有する側鎖、熱架橋性官能基を有する側鎖等を有する共重合体であって、基（１）を有する単量体と上記基（１１）等のポリオキシアルキレン基を有する単量体、さらに必要に応じて、基（２）を有する単量体、酸性基を有する単量体、熱架橋性官能基を有する単量体、および／またはその他の単量体を溶媒に溶解させて加熱し、重合開始剤を加えて共重合させることにより合成することができる。なお、共重合させる際には、必要に応じて、連鎖移動剤を添加することが好ましい。また、単量体、重合開始剤、溶媒および連鎖移動剤を連続して添加してもよい。ここで、重合体（Ａ）の質量平均分子量の調整は、重合温度、時間等の条件や、重合開始剤量、連鎖移動剤の添加量等の調整により行うことができる。
このようにして製造される重合体（Ａ）はランダム共重合であるが、共重合反応系へ原料単量体の導入時期を単量体の種類により変える等の通常の方法を用いてブロック共重合体を製造することも可能である。
【００９２】
上記重合体（Ａ）の重合に用いる溶媒としては、例えばエタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類；アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール等のセルソルブ類；２−（２−メトキシエトキシ）エタノール、２−（２−エトキシエトキシ）エタノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール等のカルビトール類；メチルアセテート、エチルアセテート、ｎ−ブチルアセテート、エチルラクテート、ｎ−ブチルラクテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、グリセリントリアセテート等のエステル類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等が挙げられる。
【００９３】
重合開始剤としては、公知の有機過酸化物、無機過酸化物、アゾ化合物等が挙げられる。有機過酸化物、無機過酸化物は、還元剤と組み合わせて、レドックス系触媒として使用することもできる。これらの重合開始剤は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００９４】
有機過酸化物としては、ベンゾイルパーオキシド、ラウロイルパーオキシド、イソブチリルパーオキシド、ｔ−ブチルヒドロパーオキシド、ｔ−ブチル−α−クミルパーオキシド等が挙げられる。無機過酸化物としては、過硫酸アンモニウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム、過酸化水素、過炭酸塩等が挙げられる。アゾ化合物としては、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、１，１’−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビスイソ酪酸ジメチル、２，２’−アゾビス（２−アミジノプロパン）二塩酸塩等が挙げられる。
【００９５】
連鎖移動剤としては、ｎ−ブチルメルカプタン、ｎ−ドデシルメルカプタン、ｔ−ブチルメルカプタン、チオグリコール酸エチル、チオグリコール酸２−エチルヘキシル、２−メルカプトエタノール等のメルカプタン類；クロロホルム、四塩化炭素、四臭化炭素等のハロゲン化アルキル、重合体（Ａ）へのメルカプト基導入の際に挙げたチオカルボン酸エステル化合物が挙げられる。
【００９６】
ここで、本発明に用いる重合体（Ａ）における上記各種基を有する側鎖、特に酸性基を有する側鎖や熱架橋性官能基を有する側鎖等は、重合反応後の化学変換によっても形成可能である。例えば、上記重合によって基（１）を有する側鎖と水酸基を有する側鎖を有する共重合体を製造し、この共重合体の水酸基に多塩基酸無水物（無水マレイン酸等）を反応させることで、酸性基としてカルボキシル基を有する側鎖を有する重合体（Ａ）を製造することができる。
【００９７】
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物においては、上記重合体（Ａ）を組成物の全固形分に対して、０．０７〜１質量％の割合で含有することが好ましく、０．１〜０．５質量％の割合で含有することがより好ましい。この含有量が少なすぎると、本発明の感光性組成物を用いて形成される隔壁の上面の撥液性が不十分となることがあり、含有量が多すぎると、隔壁と基板の密着性が低下することがある。
【００９８】
また、本発明に係るラジカル硬化型の感光性組成物においては、上記重合体（Ａ）以外に隔壁に撥液作用を付与できる成分を含有することが可能である。このような成分として、具体的には、上記一般式（２）で表される基を有する側鎖およびポリオキシアルキレン基を有する側鎖を有し、かつ前記一般式（１）で表される基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖のいずれも有しない重合体（Ａ）’であり、その質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ）’）が、２．６×１０４＜Ｍｗ（Ａ）’≦２０×１０４である重合体（Ａ）’が挙げられる。
重合体（Ａ）’は、言い換えれば、重合体（Ａ）において基（１）を有する側鎖に替えて基（２）を有する側鎖を必須に有する重合体である。また、上記重合体（Ａ）において、基（１）を有する側鎖に加えて、基（２）を有する側鎖を有する重合体（Ａ）について構成を記載したが、重合体（Ａ）’は、基（１）を有する側鎖を有しないことを除いて、その構成と同様の構成とすることができる。
【００９９】
具体的には、重合体（Ａ）’における、ケイ素原子含有量は、好ましくは０．１〜２５質量％であり、０．５〜２０質量％であることがより好ましい。ケイ素原子の含有量がこの範囲にあると、本発明の効果を損なうことなく、本発明の感光性組成物に、これを用いて得られる隔壁表面の撥液性を高める効果を付与することが可能となる。
重合体（Ａ）’は、重合体（Ａ）と同様、基（１１）を有する側鎖を、好ましくは重合体（Ａ）’に対する基（１１）の含有量として５〜６０重量％となるような割合で、有する。さらに重合体（Ａ）’は任意に、酸性基を有する側鎖、隔壁マトリックスが有する官能基と熱または光により架橋可能な官能基を有する側鎖等を有することが可能であり、このような側鎖を有する構成とするための重合反応についても、基（１）を有する単量体を原料単量体として用いず、必須の原料単量体として基（２）を有する単量体を用いる以外は、上記重合体（Ａ）と同様とすることができる。
【０１００】
なお、本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物において、上記重合体（Ａ）’を用いる場合には、組成物の全固形分に対して、０．５〜３０質量％の割合で含有することが好ましく、２〜２０質量％の割合で含有することがより好ましい。この含有量で用いることにより、本発明の効果を損なうことなく、本発明の感光性組成物に、これを用いて得られる隔壁表面の撥液性を高める効果を付与することが可能となる。また、重合体（Ａ）’を用いる場合には、それと併用される重合体（Ａ）として基（２）を有する側鎖を有しない重合体（Ａ）を使用しても、上記と同様の効果を発揮させることができる。
【０１０１】
（１−２）光硬化開始剤（Ｂ）（光重合開始剤（Ｂ１））
本発明の感光性組成物がラジカル硬化型の場合、光硬化開始剤（Ｂ）としては、光の照射によりラジカルを発生する光重合開始剤（Ｂ１）が用いられる。
【０１０２】
光重合開始剤（Ｂ１）としては、光の照射によりラジカルを発生する化合物であれば、特に限定されない。具体的には、ベンジル、ジアセチル、メチルフェニルグリオキシレート、９，１０−フェナンスレンキノン等のα−ジケトン類；ベンゾイン等のアシロイン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類；チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、チオキサントン−４−スルホン酸等のチオキサントン類；ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４'−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；アセトフェノン、２−（４−トルエンスルホニルオキシ）−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、２，２'−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキシアセトフェノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のアセトフェノン類；アントラキノン、２−エチルアントラキノン、カンファーキノン、１，４−ナフトキノン等のキノン類；２−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸（ｎ−ブトキシ）エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル等のアミノ安息香酸類；フェナシルクロライド、トリハロメチルフェニルスルホン等のハロゲン化合物；アシルホスフィンオキシド類；ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等の過酸化物；１，２−オクタンジオン、１−［４−（フェニルチオ）−，２−（O−ベンゾイルオキシム）］、エタノン  １−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾイル−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）等のオキシムエステル類等が挙げられ、２種以上を併用してもよい。
【０１０３】
これらのうちでも、本発明に用いる光重合開始剤（Ｂ１）としては、下記一般式（５）で表される化合物が好ましい。
【０１０４】
【化４】
2011081151.tif 000005
【０１０５】
（式中、Ｒ２１は、水素原子、炭素数が１〜１２のアルキル基、炭素数が３〜８のシクロアルキル基、炭素数が２〜５のアルケニル基、アルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が６〜２０のフェニル基またはアルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が６〜２０のフェノキシ基であり、Ｒ２２は、水素原子、炭素数が１〜２０のアルキル基、炭素数が３〜８のシクロアルキル基、アルキル基で置換もしくは置換の炭素数が６〜２０のフェニル基、炭素数が２〜２０のアルカノイル基、アルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が７〜２０のベンゾイル基、炭素数が２〜１２のアルコキシカルボニル基またはアルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が７〜２０のフェノキシカルボニル基であり、Ｒ２３は、炭素数が１〜１２のアルキル基であり、Ｒ２４、Ｒ２５、Ｒ２６およびＲ２７は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数が１〜１２のアルキル基、アルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が３〜８のシクロヘキシル基、アルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が６〜２０のフェニル基、炭素数が２〜２０のアルカノイル基、アルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が７〜２０のベンゾイル基、アルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が７〜２０のベンジルカルボニル基、炭素数が２〜１２のアルコキシカルボニル基、アルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が７〜２０のフェノキシカルボニル基、炭素数が１〜２０のアミド基またはニトロ基である。）
【０１０６】
一般式（５）で表される化合物において、Ｒ２１としては、炭素数が１〜１０のアルキル基またはアルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が６〜１２のフェニル基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、フェニル基等が挙げられる。これらのなかでも、炭素数が１〜４のアルキル基が好ましく、炭素数が１または２のアルキル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。
【０１０７】
一般式（５）で表される化合物において、Ｒ２２としては、炭素数が１〜１０のアルキル基または炭素数が２〜５のアルコキシカルボニル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基等が挙げられる。中でも、炭素数が１〜６のアルキル基が好ましく、炭素数が１〜３のアルキル基がより好ましく、メチル基が特に好ましい。
【０１０８】
一般式（５）で表される化合物において、Ｒ２３が示す炭素数が１〜１２のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等が挙げられる。これらのなかでも、炭素数が１〜８のアルキル基が好ましく、炭素数が２〜６のアルキル基がより好ましく、エチル基が特に好ましい。
【０１０９】
一般式（５）で表される化合物において、Ｒ２４、Ｒ２６およびＲ２７としては、水素原子が好ましい。
【０１１０】
一般式（５）で表される化合物において、Ｒ２５としては、アルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が７〜２０のベンゾイル基またはアルキル基で置換もしくは非置換の炭素数が７〜２０のベンジルカルボニル基が好ましく、２−メチルベンゾイル基、ベンジルカルボニル基、または１，３，５−トリメチルベンジルカルボニル基が特に好ましい。
【０１１１】
一般式（５）で表される化合物（Ｏ−アシルオキシム系化合物）としては、特に限定されないが、一般式（５）において、Ｒ２１がフェニル基、Ｒ２２がオクチル基、Ｒ２３がエチル基、Ｒ２４、Ｒ２６およびＲ２７が水素原子、Ｒ２５がベンゾイル基である化合物；Ｒ２１がメチル基、Ｒ２２がブチル基、ヘプチル基またはオクチル基、Ｒ２３がエチル基、Ｒ２４、Ｒ２６およびＲ２７が水素原子、Ｒ２５がベンゾイル基である化合物；Ｒ２１がフェニル基、Ｒ２２がオクチル基、Ｒ２３がエチル基、Ｒ２４、Ｒ２６およびＲ２７が水素原子、Ｒ２５が２−メチルベンゾイル基である化合物；Ｒ２１がメチル基、Ｒ２２がメチル基またはオクチル基、Ｒ２３がエチル基、Ｒ２４、Ｒ２６およびＲ２７が水素原子、Ｒ２５が２−メチルベンゾイル基である化合物；Ｒ２１およびＲ２２がメチル基、Ｒ２３がエチル基、Ｒ２４、Ｒ２６およびＲ２７が水素原子、Ｒ２５が２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル基、２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル基または２−メチル−５−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル基である化合物等が挙げられる。
【０１１２】
光重合開始剤（Ｂ１）としては、市販品を用いることが可能である。市販品としては、例えば、ＯＸＥ０２（商品名、チバスペシャルティケミカルズ社製、エタノン  １−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾイル−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）：上記一般式（５）において、Ｒ２１およびＲ２２がメチル基、Ｒ２３がエチル基、Ｒ２４、Ｒ２６およびＲ２７が水素原子、Ｒ２５が２−メチルベンゾイル基である化合物）が挙げられる。
【０１１３】
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物における光重合開始剤（Ｂ１）の含有量は、組成物の全固形分に対して、１〜１５質量％であることが好ましく、２〜７質量％がより好ましい。１〜１５質量％であると、硬化性が良好で、露光、現像によってマスクパターンに近いパターンや線幅を形成することができる。
【０１１４】
なお、光重合開始剤（Ｂ１）と共に、２−メルカプトベンズイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、１，４−ブタノールビス（３−メルカプトブチレート）、トリス（２−メルカプトプロパノイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）等のチオール化合物を用いると、増感効果を発現することがある。
【０１１５】
（１−３）バインダー樹脂（Ｃ）（感光性樹脂（Ｃ１））
本発明の感光性組成物がラジカル硬化型の場合、バインダー樹脂（Ｃ）としては、上記光重合開始剤（Ｂ１）が発生したラジカルにより重合する、酸性基およびエチレン性二重結合を有する感光性樹脂（Ｃ１）が用いられる。
感光性樹脂（Ｃ１）は、１分子内に上記光重合に関与するエチレン性二重結合を有し、さらに酸性基を有するため、アルカリ現像液を用いて、硬化されていない感光性組成物の未露光部を選択的に除去することができ、その結果、隔壁を形成することができる。なお、感光性樹脂（Ｃ１）は、基（１）および基（２）を実質的に有しないことが好ましい。
【０１１６】
感光性樹脂（Ｃ１）が有する酸性基としては、特に限定されないが、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられ、２種以上を併用してもよい。
【０１１７】
感光性樹脂（Ｃ１）が有するエチレン性二重結合としては、特に限定されないが、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルオキシ基等の付加重合性基が有する二重結合が挙げられ、２種以上を併用してもよい。なお、これらの付加重合性基が有する水素原子の一部または全てが、炭化水素基、好ましくはメチル基で置換されていてもよい。
【０１１８】
感光性樹脂（Ｃ１）としては、特に限定されないが、具体的には、酸性基を有する側鎖とエチレン性二重結合を有する側鎖とを有する樹脂（Ｃ１−１）、エポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂（Ｃ１−２）等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【０１１９】
樹脂（Ｃ１−１）は、例えば、水酸基、カルボキシル基、エポキシ基等の反応性基を有する単量体と酸性基を有する単量体を共重合して得られる、反応性基を有する側鎖と、酸性基を有する側鎖を有する共重合体と、反応性基に対して結合し得る官能基とエチレン性二重結合とを有する化合物を溶媒に溶解させて反応させることにより合成することができる。なお、酸性基としてリン酸基を有する単量体としては、特に限定されないが、２−（メタ）アクリロイルオキシエタンリン酸等が挙げられる。
【０１２０】
樹脂（Ｃ１−２）は、例えば、エポキシ樹脂と、カルボキシル基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させた後に、多塩基性カルボン酸またはその無水物とを反応させることにより合成することができる。具体的には、エポキシ樹脂と、カルボキシル基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させることにより、カルボキシル基とエポキシ樹脂のエポキシ基とが反応してエチレン性二重結合が導入される。次に、エチレン性二重結合が導入された樹脂の水酸基にに多塩基性カルボン酸またはその無水物を反応させることにより、カルボキシル基を導入することができる。
【０１２１】
エポキシ樹脂としては、特に限定されないが、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、下記一般式（６）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂、下記一般式（７）で表されるエポキシ樹脂、下記一般式（８）で表されるエポキシ樹脂等が挙げられる。
【０１２２】
【化５】
2011081151.tif 000006
（式（６）中、ｓは、１〜５０であり、２〜１０が好ましい。またベンゼン環の水素原子はそれぞれ独立に、炭素数１ 〜 １ ２ のアルキル基、ハロゲン原子、または、置換基を有してもよいフェニル基で置換されていても良い。）
【０１２３】
【化６】
2011081151.tif 000007
（式（７）中、Ｒ３１、Ｒ３２、Ｒ３３およびＲ３４は、それぞれ独立に、水素原子、塩素原子または炭素数が１〜５のアルキル基であり、ｔは、０〜１０である。）
【０１２４】
【化７】
2011081151.tif 000008
（式（８）中、ベンゼン環の水素原子はそれぞれ独立に炭素数１〜１２のアルキル基、ハロゲン原子、または、置換基を有してもよいフェニル基で置換されていてもよい。ｕは、０〜１０である。）
【０１２５】
なお、一般式（６）、一般式（７）または一般式（８）で表されるエポキシ樹脂と、カルボキシル基とエチレン性二重結合を有する化合物とを反応させた後に、多塩基性カルボン酸無水物を反応させる場合、多塩基性カルボン酸無水物として、ジカルボン酸無水物およびテトラカルボン酸二無水物の混合物を用いることが好ましい。このとき、ジカルボン酸無水物とテトラカルボン酸二無水物の比率を変化させることにより、分子量を制御することができる。
【０１２６】
エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂（Ｃ１−２）として、市販品を使用することが可能である。このような市販品としては、いずれも商品名で、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＰＣＲ−１０６９、Ｋ−４８Ｃ、ＣＣＲ−１１０５、ＣＣＲ−１１１５、ＣＣＲ−１１６３Ｈ、ＣＣＲ−１１６６Ｈ、ＣＣＲ−１１５９Ｈ、ＴＣＲ−１０２５、ＴＣＲ−１０６４Ｈ、ＴＣＲ−１２８６Ｈ、ＺＡＲ−１５３５Ｈ、ＺＦＲ−１１２２Ｈ、ＺＦＲ−１１２４Ｈ、ＺＦＲ−１１８５Ｈ、ＺＦＲ−１４９２Ｈ、ＺＣＲ−１５７１Ｈ、ＺＣＲ−１５６９Ｈ、ＺＣＲ−１５８０Ｈ、ＺＣＲ−１５８１Ｈ、ＺＣＲ−１５８８Ｈ、ＺＣＲ−１６２９Ｈ（以上、日本化薬社製）、ＥＸ１０１０（ナガセケムテックス社製）等が挙げられる。
エポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂（Ｃ１−２）としては、式（６）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂、式（７）で表されるエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂または式（８）で表されるエポキシ樹脂に酸性基とエチレン性二重結合とを導入した樹脂が好ましい。当該樹脂を使用することにより、黒色着色剤を組成物中により多く配合でき、遮光性、光学濃度を高くすることが可能となる。また、現像時の塗膜剥離が抑制されて、高解像度のパターンを得ることができる。一方で、ラインの直線性が良好であり好ましい。さらに、ポストベーク工程後の外観が維持され、平滑な塗膜表面が得られやすく、好ましい。
【０１２７】
本発明に用いる上記感光性樹脂（Ｃ１）は、質量平均分子量が１．５×１０３〜３０×１０３であることが好ましく、２．０×１０３〜１５×１０３がより好ましい。この質量平均分子量が１．５×１０３未満であると、露光時の硬化が不十分となることがあり、３０×１０３を超えると、現像性が低下することがある。
【０１２８】
感光性樹脂（Ｃ１）が有するエチレン性二重結合の数は、平均して１分子内に３個以上であることが好ましく、６個以上がより好ましい。このエチレン性二重結合の数が３個以上であると、露光部分と未露光部分とのアルカリ溶解度に差がつきやすく、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。
【０１２９】
感光性樹脂（Ｃ１）は、酸価が１０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、３０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。１０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇであると、感光性組成物の現像性が良好である。
【０１３０】
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物における上記感光性樹脂（Ｃ１）の含有量は、組成物の全固形分に対して、５〜８０質量％であることが好ましく、１０〜６０質量％がより好ましい。５〜８０質量％であると、感光性組成物の現像性が良好である。
【０１３１】
（１−３）任意成分
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、上記重合体（Ａ）、光硬化開始剤（Ｂ）としての光重合開始剤（Ｂ１）、およびバインダー樹脂（Ｃ）としての酸性基およびエチレン性二重結合とを有する感光性樹脂（Ｃ１）を必須成分として含有するが、本発明の効果を損なわない範囲において、各種機能の向上等を目的として以下に説明する任意成分を含有することが可能である。
（エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｄ））
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、ラジカル硬化を促進する任意成分として、エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｄ）を含むことが好ましい。これにより、露光時における上記感光性樹脂（Ｃ１）の硬化性が向上し、隔壁を形成する際の露光量を低減することができる。なお、上記架橋剤（Ｄ）は、酸性基を実質的に有しないことが好ましい。
【０１３２】
エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｄ）としては、特に限定されないが、（メタ）アクリロイルオキシ基を２〜１０個有する化合物が好ましい。具体的には、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ウレタンアクリレート等が挙げられる。これらは１種を単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【０１３３】
本発明においては、エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｄ）として、市販品を使用することが可能である。このような市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（商品名、日本化薬社製、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物）、ＮＫエステル  Ａ−９３００（商品名、新中村化学工業社製、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート）、ＮＫエステル  Ａ−９３００−１ＣＬ（商品名、新中村化学工業社製、ε−カプロラクトン変性トリス−（２−アクリロキシエチル）イソシアヌレート）、ＢＡＮＩ−Ｍ（商品名、丸善石油化学社製、ビス｛４−（アリルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド）フェニル｝メタン）、ＢＡＮＩ−Ｘ（商品名、丸善石油化学社製、Ｎ，Ｎ’−ｍ−キシリレン−ビス（アリルビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボキシイミド））等が挙げられる。
ウレタンアクリレートとしては、日本化薬社製のＫＡＹＡＲＡＤ  ＵＸシリーズが挙げられ、具体的商品名としては、ＵＸ−３２０４、ＵＸ−６１０１、ＵＸ−０９３７、ＤＰＨＡ−４０Ｈ、ＵＸ−５０００、ＵＸ−５００２Ｄ−Ｐ２０などが挙げられる。
Ａ−９３００、ＢＡＮＩ−ＭおよびＢＡＮＩ−Ｘは塗膜に硬さを付与し、熱垂れを抑制する観点から好ましい。Ａ−９３００−１ＣＬは塗膜に柔軟性を付与する観点から好ましい。ウレタンアクリレートは、適度な現像時間が実現可能となり、現像性が良好になるので好ましい。
【０１３４】
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物における上記架橋剤（Ｄ）の含有量は、組成物の全固形分に対して、１〜５０質量％であることが好ましく、５〜３０質量％がより好ましい。１〜５０質量％であると、感光性組成物の現像性が良好となる。
【０１３５】
（黒色着色剤（Ｅ））
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、この硬化物がブラックマトリックスのように遮光性を求められる用途に用いられる場合には、求められる隔壁の光学濃度に応じて黒色着色剤（Ｅ）を含有することが好ましい。
【０１３６】
黒色着色剤（Ｅ）としては、特に限定されないが、カーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料、チタンブラック等の金属酸化物、銀スズ合金等の金属粒子、ペリレン系黒色顔料等が挙げられる。具体的には、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、６、７、１２、２０、３１等が挙げられる。また、黒色着色剤（Ｅ）は、赤色顔料、青色顔料、緑色顔料等の有機顔料や無機顔料の混合物であってもよい。これらのなかでも、遮光性の大きさを考慮すると、カーボンブラックが好ましい。なお、カーボンブラックは、樹脂等で表面処理されていてもよい。また、黒色着色剤（Ｅ）の色調を調整するために、カーボンブラックを、青色顔料や紫色顔料と併用することができる。
【０１３７】
また、黒色着色剤（Ｅ）として使用するカーボンブラックは、ＢＥＴ法による比表面積が５０〜２００ｍ２／ｇであることが好ましい。この比表面積が小さすぎると、隔壁の形状の劣化を引き起こすことがあり、比表面積が大きすぎると、後述する分散助剤が黒色着色剤（Ｅ）に過度に吸着してしまい、多量の分散助剤を添加する必要が生じることがある。
【０１３８】
さらに、感光性組成物の露光感度を考慮すると、黒色着色剤（Ｅ）として使用するカーボンブラックは、フタル酸ジブチルの吸油量が１２０ｃｃ／１００ｇ以下であることが好ましく、少ないものほどより好ましい。
【０１３９】
また、黒色着色剤（Ｅ）として使用するカーボンブラックは、平均一次粒子径が２０〜５０ｎｍであることが好ましい。この平均一次粒子径が小さすぎると、高濃度で分散させることが困難になって、経時安定性が良好な感光性組成物が得られにくくなることがあり、平均一次粒子径が大きすぎると、隔壁の形状の劣化を引き起こすことがある。また、このカーボンブラックは、平均二次粒子径が８０〜２００ｎｍであることが好ましい。なお、カーボンブラックの粒子径は、透過型電子顕微鏡を用いて測定することができる。
【０１４０】
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物において、この塗膜硬化物にブラックマトリックスのような遮光性を付与するために黒色着色剤（Ｅ）を配合する場合の、黒色着色剤（Ｅ）の含有量は、求められる遮光性、光学濃度にもよるが、組成物の全固形分に対して、１５〜６０質量％であることが好ましく、２０〜５０質量％がより好ましく、２５〜４０質量％が特に好ましい。この含有量が少なすぎると、ブラックマトリックス等とした場合に隔壁の光学濃度が不足することがあり、含有量が多すぎると、感光性組成物の硬化性が低下し、隔壁の外観が低下し、撥液性が低下することがある。
【０１４１】
（高分子分散剤・分散助剤）
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物が、上記黒色着色剤（Ｅ）等の分散性材料を含有する場合、その分散性を向上させるために、高分子分散剤を含有することが好ましい。高分子分散剤としては、特に限定されず、ウレタン系、ポリイミド系、アルキッド系、エポキシ系、ポリエステル系、メラミン系、フェノール系、アクリル系、ポリエーテル系、塩化ビニル系、塩化ビニル酢酸ビニル系共重合体系、ポリアミド系、ポリカーボネート系等が挙げられる。その中でも、ウレタン系、またはポリエステル系が好ましい。また、高分子分散剤は、ポリオキシエチレン基および／またはポリオキシプロピレン基を有していてもよい。
【０１４２】
高分子分散剤を黒色着色剤（Ｅ）の分散のために用いる場合には、黒色着色剤（Ｅ）に対する親和性を考慮して塩基性基を有する高分子分散剤を用いることが好ましい。塩基性基としては、特に限定されないが、１級、２級または３級のアミノ基が挙げられる。
【０１４３】
このような高分子分散剤としては市販品を用いることが可能であり、市販品としては、例えば、ディスパロンＤＡ−７３０１（商品名、楠本化成社製）、ＢＹＫ１６１、ＢＹＫ１６２、ＢＹＫ１６３、ＢＹＫ１８２（以上全て商品名、ＢＹＫ−Ｃｈｅｍｉｅ社製）、ソルスパーズ５０００、ソルスパーズ１７０００（以上全て商品名、ゼネカ社製）等が挙げられる。
【０１４４】
高分子分散剤の添加量は、黒色着色剤（Ｅ）等の分散性材料に対して、５〜３０質量％であることが好ましく、１０〜２５質量％がより好ましい。この添加量が少なすぎると、分散性を向上させる効果が不十分となることがあり、添加量が多すぎると、感光性組成物の現像性が低下することがある。
【０１４５】
また、本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、分散助剤として、フタロシアニン系顔料誘導体や金属フタロシアニンスルホンアミド化合物を含有してもよい。分散助剤は、黒色着色剤（Ｅ）等の分散性材料と高分子分散剤に吸着して、分散安定性を向上させる機能を有すると考えられる。
【０１４６】
（微粒子）
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、必要に応じて、微粒子を含んでいてもよい。これにより、後述するポストベイク時に隔壁の形状が変化することを抑制することができる。
【０１４７】
微粒子としては、特に限定されず、シリカ、ジルコニア、フッ化マグネシウム、スズドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）、アンチモンドープ酸化スズ（ＡＴＯ）等の無機系微粒子；ポリエチレン、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）等の有機系微粒子が挙げられる。微粒子としては、耐熱性を考慮すると、無機系微粒子が好ましく、入手の容易性や分散安定性を考慮すると、シリカ、またはジルコニアが好ましい。また、感光性組成物が、黒色着色剤（Ｅ）およびその分散性を向上させるために高分子分散剤を含有する場合には、この高分子分散剤の吸着能を考慮すれば、微粒子は、負に帯電していることが好ましい。さらに、感光性組成物の露光感度を考慮すると、微粒子は、露光時に照射される光を吸収しないことが好ましく、超高圧水銀灯の主発光波長であるｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｇ線（４３６ｎｍ）を吸収しないことが特に好ましい。
【０１４８】
微粒子の粒子径は、隔壁の表面平滑性が良好となることから、平均粒子径が１μｍ以下であることが好ましく、２００ｎｍ以下がより好ましい。
【０１４９】
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物における微粒子の含有量は、組成物の全固形分に対して、３〜３０質量％であることが好ましく、５〜２０質量％がより好ましい。この含有量が少なすぎると、ポストベイク時に隔壁の形状が変化することがあり、含有量が多すぎると、感光性組成物の分散安定性が低下することがある。
【０１５０】
（シランカップリング剤）
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、必要に応じて、シランカップリング剤を含んでいてもよい。これにより、隔壁と基板との密着性を向上させることができる。
【０１５１】
シランカップリング剤としては、特に限定されない。具体的には、テトラエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ヘプタデカフルオロオクチルエチルトリメトキシシラン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、トリエトキシシリル基を有するポリオキシアルキレン、イミダゾールシラン等が挙げられ、２種以上を併用してもよい。
【０１５２】
（熱硬化剤）
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、必要に応じて、熱硬化剤を含んでいてもよい。これにより、隔壁の耐熱性、耐透水性を向上させることができる。また、上記重合体（Ａ）が熱架橋性官能基を有する場合には、重合体（Ａ）と熱硬化剤が化学結合し、それにより重合体（Ａ）を隔壁に固定化する効果も得られる。
【０１５３】
熱硬化剤としては、特に限定されないが、アミノ樹脂（ヘキサメトキシメチロールメラミンなどのメラミン化合物など）、エポキシ基を２個以上有する化合物、ヒドラジノ基を２個以上有する化合物、ポリカルボジイミド化合物、オキサゾリン基を２個以上有する化合物、アジリジン基を２個以上有する化合物、多価金属類、メルカプト基を２個以上有する化合物、ポリイソシアネート化合物等が挙げられ、２種以上を併用してもよい。これらのなかでも、隔壁の耐薬品性を考慮すると、アミノ樹脂、エポキシ基を２個以上有する化合物またはオキサゾリン基を２個以上有する化合物が好ましい。
（リン酸化合物）
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、必要に応じて、リン酸化合物を含んでいてもよい。これにより、基板との密着性を向上させることができるので好ましい。リン酸化合物しては、モノ（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート、ジ（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート、トリス（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェートなどが挙げられる。
【０１５４】
（その他任意成分）
また、本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、上記以外の各種成分に加えて必要に応じて、硬化促進剤、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、ハジキ防止剤、紫外線吸収剤等を含んでいてもよい。
本発明に係るラジカル硬化型感光性組成物は、上記説明した各種必須成分と、必要に応じて添加される任意成分を、上記配合量に合わせて、通常の方法で均一に混合することにより調製することができる。
【０１５５】
（２）酸硬化型感光性組成物
本発明の感光性組成物が酸硬化型の場合、感光性組成物は、重合体（Ａ）、光硬化開始剤（Ｂ）としての光酸発生剤（Ｂ２）、およびバインダー樹脂（Ｃ）としてのカルボキシル基および／またはフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）と、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基と反応し得る基を２個以上有する化合物である架橋性樹脂（Ｃ２２）を含有する。このような酸硬化型の感光性組成物は、フォトリソグラフィ等における露光に際して光照射部分では光酸発生剤（Ｂ２）から酸が発生し、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）と、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基と反応し得る基を２個以上有する化合物である架橋性樹脂（Ｃ２２）とが架橋反応することにより塗膜硬化物を形成する。
【０１５６】
本発明に係る酸硬化型感光性組成物が含有する各成分について以下に説明する。
（２−１）重合体（Ａ）
本発明に係る酸硬化型感光性組成物が含有する重合体（Ａ）は、本発明の感光性組成物における特徴的な成分であり、その好ましい態様も含めて、上記ラジカル硬化型感光性組成物において説明した重合体（Ａ）が、酸硬化型感光性組成物において適用可能である。
また、重合体（Ａ）の感光性組成物における含有量も上記同様とすることができる。さらに、上記重合体（Ａ）以外に隔壁に撥液作用を付与できる成分として上で説明した重合体（Ａ）’をラジカル硬化型感光性組成物の場合と同様に用いることが可能である。
【０１５７】
（２−２）光硬化開始剤（Ｂ）（光酸発生剤（Ｂ２））
本発明の感光性組成物が酸硬化型の場合、光硬化開始剤（Ｂ）としては、光により酸を発生する化合物である光酸発生剤（Ｂ２）が用いられる。光酸発生剤（Ｂ２）としては、例えば、ジアリールヨードニウム塩、トリアリールスルホニウム塩、トリアジン系化合物、スルホニル化合物、スルホン酸エステル類等が挙げられる。
【０１５８】
ジアリールヨードニウム塩のカチオン部分の具体例としては、ジフェニルヨードニウム、４−メトキシフェニルフェニルヨードニウム、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム等が挙げられる。ジアリールヨードニウム塩のアニオン部分の具体例としては、トリフルオロメタンスルホネート、ノナフルオロブタンスルホネート、ｐ−トルエンスルホネート、ペンタフルオロベンゼンスルホネート、ヘキサフルオロホスフェート、テトラフルオロボレート、ヘキサフルオロアンチモネート、（Ｒｆ）ｋＰＦ（６−ｋ）−（ただし、ｋは１〜６の整数）等が挙げられる。ジアリールヨードニウム塩は、前記カチオン部分の１種と前記アニオン部分の１種との組み合わせからなる。例えば、ビス（４−ｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム  トリフルオロメタンスルホネートが挙げられる。
【０１５９】
トリアリールスルホニウム塩のカチオン部分の具体例としては、トリフェニルスルホニウム、ジフェニル−４−メチルフェニルスルホニウム、ジフェニル−２，４，６−トリメチルフェニルスルホニウム等が挙げられる。トリアリールスルホニウム塩のアニオン部分の具体例としては、前記ジアリールヨードニウム塩のアニオン部分の具体例が挙げられる。トリアリールスルホニウム塩は、前記カチオン部分の１種と前記アニオン部分の１種との組み合わせからなる。例えば、トリフェニルスルホニウム  トリフルオロメタンスルホネートが挙げられる。
【０１６０】
トリアジン系化合物の具体例としては、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（２−フリル）エテニル−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（５−メチル−２−フリル）エテニル−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン等が挙げられる。
【０１６１】
スルホニル化合物の具体例としては、ビス（フェニルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｔ−ブチルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（シクロヘキシルスルホニル）ジアゾメタン、ビス（ｐ−トルエンスルホニル）ジアゾメタン等が挙げられる。
【０１６２】
スルホン酸エステル類の具体例としては、２−ニトロベンジルｐ−トルエンスルホネート、α−（ｐ−トルエンスルホニルオキシイミノ）−フェニルアセトニトリル等が挙げられる。
【０１６３】
本発明に係る酸硬化型感光性組成物における光酸発生剤（Ｂ２）の含有量は、組成物の全固形分に対して、０．１〜３０質量％ が好ましく、１〜２０質量％がより好ましい。当該範囲であると感光性組成物の現像性が良好となる。
【０１６４】
（２−２）バインダー樹脂（Ｃ）（アルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）・架橋性樹脂（Ｃ２２））
本発明の感光性組成物が酸硬化型の場合、バインダー樹脂（Ｃ）としては、上記光酸発生剤（Ｂ２）が発生した酸の作用により架橋重合する、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）と、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基と反応し得る基を２個以上有する化合物である架橋性樹脂（Ｃ２２）の組合せが挙げられる。
【０１６５】
（アルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１））
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）は、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基を有する。カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基を有することによりアルカリ性溶液に可溶であり、また、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基と反応し得る基を２個以上有する化合物である架橋性樹脂（Ｃ２２）と架橋し塗膜硬化物を形成し得る。アルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）は、感光性組成物のフォトリソグラフィ等において使用する現像液を構成するアルカリ性溶液に対して可溶の樹脂であれば何等制限なく使用することが可能であり、例えば、カルボキシル基とエチレン性二重結合を有する単量体および／またはフェノール性水酸基とエチレン性二重結合を有する単量体を必須として重合させて得られる樹脂（Ｃ２１−１）、フェノール樹脂等が挙げられる。これらの樹脂は、基（１）および基（２）を実質的に有しないことが好ましい。
【０１６６】
カルボキシル基とエチレン性二重結合を有する単量体および／またはフェノール性水酸基とエチレン性二重結合を有する単量体を必須として重合させて得られる樹脂（Ｃ２１−１）は、カルボキシル基とエチレン性二重結合を有する単量体および／またはフェノール性水酸基とエチレン性二重結合を有する単量体を必要に応じてその他の単量体と共重合させることにより得ることができる。また、このアルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１−１）において、その他の単量体に基づく単量体単位の割合は３０〜９５質量％以下が好ましく、５０〜９０質量％以下がより好ましい。この範囲であると感光性組成物のアルカリ溶解性、現像性が良好である。
【０１６７】
なお、上記アルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１−１）を作製する際に用いる、カルボキシル基とエチレン性二重結合を有する単量体としては、アクリル酸、メタクリル酸、ビニル酢酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、ケイ皮酸、もしくはそれらの塩が挙げられる。フェノール性水酸基とエチレン性二重結合を有する単量体としては、ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレン等、これらのベンゼン環の１個以上の水素原子が、メチル、エチル、ｎ−ブチル等のアルキル基、メトキシ、エトキシ、ｎ−ブトキシ等のアルコキシ基、ハロゲン原子、アルキル基の１個以上の水素原子がハロゲン原子に置換されたハロアルキル基、ニトロ基、シアノ基、アミド基に置換された化合物等が挙げられる。その他の単量体としては、上記重合体（Ａ）の製造に用いるその他単量体と同様の単量体を用いることができる。
【０１６８】
フェノール樹脂としては、フェノール、クレゾール、キシレノール、レゾルシノール、ハイドロキノン等の芳香族ヒドロキシ化合物およびこれらのアルキル置換またはハロゲン置換芳香族化合物から選ばれる少なくとも１種であるフェノール類をホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド等のアルデヒド化合物と重縮合して得られるものであり、例えば、フェノール・ホルムアルデヒド樹脂、クレゾール・ホルムアルデヒド樹脂、フェノール・クレゾール・ホルムアルデヒド共縮合樹脂等が挙げられる。
【０１６９】
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）の酸価は、１０〜６００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。当該範囲であると感光性組成物の現像性が良好となる。
【０１７０】
アルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）の数平均分子量は、２００〜２００００が好ましく、２０００〜１５０００がより好ましい。当該範囲であると感光性組成物のアルカリ溶解性、現像性が良好となる。また、質量平均分子量は、１．５×１０３〜３０×１０３であることが好ましく、２．０×１０３〜１５×１０３がより好ましい。この質量平均分子量が１．５×１０３未満であると、露光時の硬化が不十分となることがあり、３０×１０３を超えると、現像性が低下することがある。
【０１７１】
本発明に係る酸硬化型感光性組成物における、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）の含有量は、組成物の全固形分に対して、１０〜９０質量％が好ましく、３０〜８０質量％がより好ましい。当該範囲であると本発明の感光性組成物の現像性が良好である。
【０１７２】
（架橋性樹脂（Ｃ２２））
架橋性樹脂（Ｃ２２）は、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基と反応し得る基を２個以上有する化合物である。カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基と反応し得る基を２個以上有することにより、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）と架橋し塗膜硬化物を形成し得る。また、上記重合体（Ａ）がカルボキシル基および／または水酸基を有する場合には重合体（Ａ）とも架橋し塗膜硬化物を形成し得る。架橋性樹脂（Ｃ２２）は、基（１）および基（２）を実質的に有しない化合物であることが好ましい。
【０１７３】
架橋性樹脂（Ｃ２２）としては、アミノ樹脂、エポキシ化合物、オキサゾリン化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【０１７４】
アミノ樹脂としては、メラミン系化合物、グアナミン系化合物、尿素系化合物等のアミノ基の一部もしくはすべてをヒドロキシメチル化した化合物、または該ヒドロキシメチル化した化合物の水酸基の一部もしくはすべてをメタノール、エタノール、ｎ−ブチルアルコール、２−メチル−１−プロパノール等でエーテル化した化合物、例えば、ヘキサメトキシメチルメラミン等が挙げられる。
【０１７５】
エポキシ化合物としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノール・ノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール・ノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂等のグリシジルエーテル類、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス（２，３−エポキシシクロペンチル）エーテルなどの脂環式エポキシ樹脂、ジグリシジルヘキサヒドロフタレート、ジグリシジルテトラヒドロフタレート、ジグリシジルフタレート等のグリシジルエステル類、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルパラアミノフェノール等のグリシジルアミン類、トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂などが挙げられる。
【０１７６】
オキサゾリン化合物としては、２−ビニル−２−オキサゾリン、２−ビニル−４−メチル−２−オキサゾリン、２−ビニル−５−メチル−２−オキサゾリン、２−イソプロペニル−２−オキサゾリン、２−イソプロペニル−４−メチル−２−オキサゾリン等の重合性単量体の共重合体を挙げることができる。
【０１７７】
本発明に係る酸硬化型感光性組成物における、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基と反応し得る基を２個以上有する化合物である架橋性樹脂（Ｃ２２）の含有量は、組成物の全固形分に対して、１〜５０質量％が好ましく、５〜３０質量％がより好ましい。当該範囲であると感光性組成物の現像性が良好となる。
【０１７８】
（２−３）任意成分
本発明に係る酸硬化型感光性組成物は、上記重合体（Ａ）、光硬化開始剤（Ｂ）としての光酸発生剤（Ｂ２）、およびバインダー樹脂（Ｃ）としてのカルボキシル基および／またはフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂（Ｃ２１）と、カルボキシル基および／またはフェノール性水酸基と反応し得る基を２個以上有する化合物である架橋性樹脂（Ｃ２２）を含有するが、本発明の効果を損なわない範囲において、各種機能の向上等を目的として各種任意成分を含有することが可能である。
このような任意成分としては、上記ラジカル硬化型感光性組成物で説明した任意成分のうちの、エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤（Ｄ）以外の全ての成分を、ラジカル硬化型感光性組成物の場合と同様に、酸硬化型感光性組成物に用いることが可能である。
【０１７９】
本発明に係る酸硬化型感光性組成物は、上記説明した各種必須成分と、必要に応じて添加される任意成分を、上記配合量に合わせて、通常の方法で均一に混合することにより調製することができる。
【０１８０】
［希釈用溶媒］
上記説明したラジカル硬化型感光性組成物や酸硬化型感光性組成物等の本発明の感光性組成物を用いて隔壁を形成する際には、感光性組成物を溶媒で希釈した希釈液を用いて塗膜（湿潤膜）を形成した後に、溶媒を揮発除去し、感光性組成物の塗膜を形成することが好ましい。
【０１８１】
感光性組成物を希釈する溶媒としては、特に限定されない。具体的には、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類；アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール、２−プロポキシエタノール等のセルソルブ類；２−（２−メトキシエトキシ）エタノール、２−（２−エトキシエトキシ）エタノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール等のカルビトール類；メチルアセテート、エチルアセテート、ｎ−ブチルアセテート、エチルラクテート、ｎ−ブチルラクテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、３−エトキシプロピオン酸エチル、シクロヘキサノールアセテート、乳酸エチル、乳酸ｎ−ブチル、γ−ブチロラクトン、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、グリセリントリアセテート等のエステル類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル等のエーテル類、シクロヘキサノン、４−ブチロラクトン等が挙げられ、２種以上を併用してもよい。
【０１８２】
なお、上記感光性組成物を溶媒で希釈した希釈液は、感光性組成物濃度すなわち固形分濃度が５〜４０質量％となるように調製することが好ましく、１０〜２５質量％となるように調製することがより好ましい。
【０１８３】
＜２＞隔壁
本発明の隔壁は、上記本発明の感光性組成物の塗膜硬化物により、基板上を画素形成用の複数の区画に仕切るかたちに形成された隔壁であって、カラーフィルタや有機ＥＬ素子のブラックマトリックス等に適用することができる。
【０１８４】
以下、本発明の隔壁を製造する方法の一例として、本発明の感光性組成物を用いて、フォトリソグラフィ工程により隔壁を製造する方法について説明する。
【０１８５】
（塗布工程）
まず、本発明の感光性組成物の希釈液を基板に塗布する。基板としては、特に限定されず、各種ガラス板；ＳｉＣ基板、シリコン等の無機基板；ＩＴＯ等の無機酸化物基板；ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート等）、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルホン、ポリイミド、ポリ（メタ）アクリル樹脂等の熱可塑性樹脂シート；エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル等の熱硬化性樹脂の硬化シート等が挙げられる。耐熱性を考慮すると、基板としては、ガラス板とポリイミド等の耐熱性樹脂が好ましい。また、基板の隔壁が形成されていない側の面からの露光が可能であることから、基板は、透明であることが好ましい。さらに、基板は、ガラス基板等の透明基板上に、有機膜またはＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）、ＩＴＯ、ＳｉＯ２等の無機酸化物膜が形成された基板またはパターニングされた基板、シリコンナイトライドやポリイミドなどの絶縁膜を形成させた基板、これらの基板が積層されている積層基板であってもよい。
【０１８６】
塗布方法としては、特に限定されないが、スピンコート法、スプレー法、スリットコート法、ロールコート法、回転塗布法、バー塗布法等が挙げられる。
【０１８７】
（乾燥工程）
次に、基板に形成された塗膜を乾燥する。これにより、溶媒が揮発するため、粘着性のない感光性組成物の塗膜が得られる。乾燥方法としては、特に限定されず、真空乾燥、加熱乾燥が挙げられる。塗膜の外観のムラを発生させず、効率よく乾燥させるために、真空乾燥と加熱乾燥を併用することが好ましい。乾燥条件は、感光性組成物に含まれる成分の種類、組成等により異なるが、真空乾燥は、１０〜５００Ｐａ（絶対圧）で１０〜３００秒間であることが好ましく、加熱乾燥は、５０〜１２０℃で１０〜２０００秒間であることが好ましい。
【０１８８】
（露光工程）
次に、所定パターンのマスクを介して、塗膜を露光する。露光時に照射される光としては、特に限定されず、可視光、紫外線、遠紫外線、ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ２エキシマレーザー、Ｋｒ２エキシマレーザー、ＫｒＡｒエキシマレーザー、Ａｒ２エキシマレーザー等のエキシマレーザー、Ｘ線、電子線等が挙げられる。波長が１００〜６００ｎｍの光が好ましく、波長が３００〜５００ｎｍの光がより好ましく、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｇ線（４３６ｎｍ）が特に好ましい。なお、光源としては、公知の超高圧水銀灯等を用いることができる。
【０１８９】
露光量は、通常、ｉ線基準で５〜１０００ｍＪ／ｃｍ２であり、１０〜４００ｍＪ／ｃｍ２が好ましく、２０〜２００ｍＪ／ｃｍ２がより好ましく、５０〜１００ｍＪ／ｃｍ２が特に好ましい。露光量が５ｍＪ／ｃｍ２未満であると、塗膜の硬化が不十分となって、現像性が低下することがあり、１０００ｍＪ／ｃｍ２を超えると、高い解像度が得られないことがある。
【０１９０】
（現像工程）
次に、現像液を用いて、塗膜の未露光部を除去し、現像する。現像液としては、特に限定されないが、無機アルカリ類、アミン類、アルカノールアミン類、第４級アンモニウム塩等のアルカリの水溶液が挙げられる。現像時間、すなわち、現像液に接触させる時間は、５〜１８０秒間であることが好ましい。現像方法としては、特に限定されないが、液盛り法、ディッピング法、シャワー法等が挙げられる。
【０１９１】
（ジェットリンス工程）
さらに、ジェットリンスを行うことが好ましい。ジェットリンスとは、隔壁が形成された基板に対し、水を圧縮、または水および空気を圧縮し、噴霧する工程である。圧力は２〜２０ＭＰａであることが好ましい。ジェットリンスを行うことによって、現像工程にて溶け残った残渣や、現像中に溶解した感光性組成物の成分の一部が、基板に再付着したものを除去することが可能である。
なお、ジェットリンス後に、圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることにより、基板上の水分を除去することができる。
【０１９２】
（ポスト露光工程）
次に、現像された隔壁に対してポスト露光を行ってもよい。このとき、隔壁が形成されている側の面および隔壁が形成されていない側の面のいずれから露光してもよいし、両面から露光してもよい。露光時に照射される光は、紫外線であることが好ましい。
【０１９３】
光源としては、公知の超高圧水銀灯、高圧水銀灯等を用いることができる。これらの光源は、一般的に、隔壁の硬化に寄与する波長６００ｎｍ以下の光を発光し、隔壁の酸化分解の原因となる波長が２００ｎｍ以下の光の発光が少ないものである。さらに、光源に用いられている石英管ガラスが、波長が２００ｎｍ以下の光をカットする光学フィルタの機能を有することが好ましい。
【０１９４】
露光量は、通常、５０ｍＪ／ｃｍ２以上であり、２００ｍＪ／ｃｍ２以上が好ましく、１０００ｍＪ／ｃｍ２以上がより好ましく、２０００ｍＪ／ｃｍ２以上が特に好ましい。
【０１９５】
また、光源として、低圧水銀灯を用いてもよいが、低圧水銀灯は、波長が２００ｎｍ以下の光の発光が多いため、露光量は、５００ｍＪ／ｃｍ２以下であることが好ましく、３００ｍＪ／ｃｍ２以下がより好ましい。
【０１９６】
（ポストベイク工程）
現像後（ポスト露光を行う際は、ポスト露光後）に、隔壁を加熱することが好ましい。加熱条件は、１５０〜２５０℃で５〜９０分間であることが好ましく、加熱温度は、１８０℃以上がより好ましい。加熱温度が低すぎると、耐薬品性が不十分となることがあり、隔壁にインクを塗布した場合に、隔壁が膨潤したり、インクが滲んだりすることがある。
一方、加熱温度が高すぎると、隔壁が熱分解することがある。
【０１９７】
加熱装置としては、ホットプレート、オーブン等を用いることができる。
【０１９８】
以上のようなフォトリソグラフィ工程を経て、本発明の感光性組成物を硬化することにより、本発明の隔壁が形成される。本発明の隔壁においては、必要に応じて、その作製に用いる感光性組成物に黒色着色剤（Ｅ）を配合することにより、黒色を呈するブラックマトリックスを構成することができる。この場合、感光性組成物を用いて隔壁を形成することにより、ブラックマトリックスが形成されることとなる。
【０１９９】
本発明の隔壁は、幅（平均値）が１００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下がより好ましい。また、隣接する隔壁間の距離、すなわち、開口部の幅（平均値）が３００μｍ以下であることが好ましく、１００μｍ以下がより好ましい。さらに、隔壁は、高さ（平均値）が０．０５〜５０μｍであることが好ましく、０．２〜１０μｍがより好ましい。
【０２００】
一般に、感光性組成物の塗膜硬化物からなる隔壁の撥液性（撥インク性）としては、撥水性および撥油性が挙げられ、それぞれ水およびＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート：インクの溶媒として多く使用されている有機溶媒）の接触角で評価することができる。本発明の隔壁の上面は、水の接触角が９０°〜１５０°であることが好ましく、９５°〜１２０°であることがより好ましい。また、隔壁の上面は、ＰＧＭＥＡの接触角が３５°〜５５°であることが好ましく、４０°〜５０°であることがより好ましい。
【０２０１】
＜３＞カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有するカラーフィルタであって、前記隔壁が上記本発明の隔壁で形成されており、前記画素がインクジェット法により形成されたものであることを特徴とする。なお、本発明のカラーフィルタにおいて、隔壁は光学濃度が２〜７程度のブラックマトリックスであることが好ましい。
本発明のカラーフィルタは、前述のように、基板上に、隔壁、例えば、ブラックマトリックスを形成した後、インクジェット法を用いて、隔壁の開口部にインクを塗布して画素を形成することにより製造することができる。
【０２０２】
インクジェット法としては、特に限定されないが、帯電したインクを連続的に噴射し磁場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的インクを噴射する方法、インクを加熱し、その発泡を利用して間欠的に噴射する方法等が挙げられる。
【０２０３】
画素の配列としては、特に限定されないが、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知の配列が挙げられる。
【０２０４】
インクは、主に着色成分とバインダー樹脂成分と溶剤とを含み、水性インクおよび油性インクのいずれであってもよい。着色成分としては、耐熱性、耐光性等に優れた顔料および／または染料が好ましい。バインダー樹脂成分としては、透明で耐熱性に優れた樹脂が好ましく、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。水性インクは、溶剤として、水、必要に応じて、水溶性有機溶媒を含み、バインダー樹脂成分として、水溶性樹脂および／または水分散性樹脂を含む。また、油性インクは、溶剤として、有機溶剤を含み、バインダー樹脂成分として、有機溶剤に可溶な樹脂を含む。
【０２０５】
なお、インクジェット法を用いて、隔壁、例えば、ブラックマトリックスの開口部にインクを塗布した後、必要に応じて、乾燥、加熱硬化、紫外線硬化等を行うことにより画素を形成することができる。
【０２０６】
また、隔壁の開口部に画素を形成した後、必要に応じて、保護膜を形成することができる。これにより、カラーフィルタの表面平滑性を向上させると共に、隔壁や画素からの溶出物が保護膜に隣接する液晶層に到達するのを遮断することができる。
【０２０７】
このとき、保護膜を形成する前に、隔壁の上面の撥液性を除去することが好ましい。これにより、隔壁の上面が保護膜用の塗布液をはじくことを抑制することができる。隔壁の上面の撥液性を除去する方法としては、特に限定されないが、プラズマアッシング処理、光アッシング処理等が挙げられる。
【０２０８】
さらに、本発明のカラーフィルタを用いて製造される液晶パネルを高品位化するために、必要に応じて、隔壁、例えば、ブラックマトリックス上にフォトスペーサーを形成してもよい。
【０２０９】
＜４＞有機ＥＬ素子
本発明の有機ＥＬ素子は、基板上に複数の画素と隣接する画素間に位置する隔壁とを有する有機ＥＬ素子であって、前記隔壁が上記本発明の隔壁で形成されており、前記画素がインクジェット法により形成されたものであることを特徴とする。
本発明の有機ＥＬ素子は、以下のようにして、製造することができる。まず、スパッタ法等を用いて、ガラス基板等の透明基板にＩＴＯ等の透明電極を形成し、必要に応じて、透明電極を所望のパターンにエッチングする。次に、カラーフィルタの場合と同様にして、基板上に、隔壁、例えば、ブラックマトリックスを形成した後、インクジェット法を用いて、隔壁（ブラックマトリックス）の開口部に、インクとして、正孔輸送材料の溶液および発光材料の溶液を順次塗布、乾燥して、正孔輸送層および発光層を形成する。さらに、蒸着法等を用いて、アルミニウム等の電極を形成して画素を形成することにより、有機ＥＬ素子が得られる。
【実施例】
【０２１０】
以下に、実施例に基づいて、本発明について説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、部は、質量部を意味する。
以下の各例において用いた化合物の略号を以下に示す。【０２１１】
［１］重合体（Ａ）および重合体（Ｒ）の製造に用いた化合物
（単量体）
Ｃ６ＦＭＡ：ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）６Ｆ
Ｘ−２４−８２０１：ジメチルシリコーン鎖含有メタクリレートＸ−２４−８２０１（信越化学工業社製）（一般式（４）において、Ｒ８がメチル基、Ｚがトリメチレン基、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３がそれぞれメチル基、ｎが分子間の平均値として２４である化合物）
ＭＡＡ：メタクリル酸
２−ＨＥＭＡ：２−ヒドロキシエチルメタクリレート
ＰＭＥ４００：ブレンマーＰＭＥ−４００（日本油脂社製、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｋＣＨ３：式中のｋは分子間の平均値を示し、ｋの値は約９である。）
ＰＭＥ１０００：ブレンマーＰＭＥ−１０００（日本油脂社製、ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯ（ＣＨ２ＣＨ２Ｏ）ｋＣＨ３：式中のｋは分子間の平均値を示し、ｋの値は約２３である。）
ＧＭＡ：グリシジルメタクリレート
ＭＭＡ：メタクリル酸メチル【０２１２】
（重合開始剤）
Ｖ−６５：Ｖ−６５（和光純薬社製、２，２'−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル））
（連鎖移動剤）
ｎ−ＤＭ：ｎ−ドデシルメルカプタン
（溶媒）
ＭＥＫ：２−ブタノン【０２１３】
［２］感光性組成物成分
（光硬化開始剤（Ｂ）：光重合開始剤（Ｂ１)）
ＯＸＥ０２：ＯＸＥ０２（チバスペシャルティケミカルズ社製、エタノン  １−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾイル−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）（一般式（５）において、Ｒ２１およびＲ２２がメチル基、Ｒ２３がエチル基、Ｒ２４、Ｒ２６およびＲ２７が水素原子、Ｒ２５が２−メチルベンゾイル基である化合物）
（バインダー樹脂（Ｃ）：感光性樹脂（Ｃ１)）
ＥＸ１０１０：ＥＸ−１０１０（ナガセケムテックス社製、一般式（７）で表されるエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂の溶液、固形分７０質量％、質量平均分子量：３，０２０）
ＺＣＲ１５６９Ｈ：ＺＣＲ−１５６９Ｈ（日本化薬社製、一般式（６）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性二重結合と酸性基とを導入した樹脂の溶液；固形分７０質量％、質量平均分子量：４，７１０）【０２１４】
（架橋剤（Ｄ））
ＤＰＨＡ：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（日本化薬社製、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物）
Ａ９３００：ＮＫエステル  Ａ−９３００（新中村化学工業社製、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート）
（溶媒）
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
（黒色着色剤（Ｅ）、微粒子）
ＣＢ：カーボンブラック分散液（平均二次粒径１２０ｎｍ、分散媒：ＰＧＭＥＡ、カーボンブラック２０質量％、アミン価が１８ｍｇＫＯＨ／ｇのポリウレタン系高分子分散剤５質量％）
シリカ：シリカ分散液（平均粒径２０ｎｍ、分散媒ＰＧＭＥＡ、固形分３０質量％）【０２１５】
［重合体（Ａ）の合成例１］
撹拌機を備えた内容積１Ｌのオートクレーブに、ＭＥＫ（４２０．０ｇ）、Ｃ６ＦＭＡ（９０．０ｇ）、ＭＡＡ（９．０ｇ）、ＰＭＥ１０００（８１．０ｇ）、および重合開始剤Ｖ−６５（０．５ｇ）を仕込み、窒素雰囲気下で撹拌しながら、５０℃で２４時間重合させ、粗共重合体を合成した。得られた粗共重合体の溶液にヘキサンを加えて再沈精製した後、真空乾燥し、重合体（Ａ）に相当する重合体（Ａ−１）（１６２．４ｇ）を得た。
重合体（Ａ−１）は、数平均分子量が３７，８００、質量平均分子量が５８，７３０であった。【０２１６】
［重合体（Ａ）の合成例２〜４］
上記重合体（Ａ−１）の合成において、原料の配合を表１のように変更した他は同様の反応により、重合体（Ａ）に相当する重合体（Ａ−２）〜（Ａ−４）を得た。【０２１７】
［比較合成例１、２］：重合体（Ａ）に適合しない比較例重合体（Ｒ）の合成
上記重合体（Ａ−１）の合成において、原料の配合を表１のように変更した他は同様の反応により、本発明における重合体（Ａ）に適合しない重合体（Ｒ−１）、（Ｒ−２）を得た。【０２１８】
上記で得られた各重合体（Ａ）および比較例重合体（Ｒ）について、以下の方法で測定した数平均分子量（Ｍｎ）、質量平均分子量（Ｍｗ）、Ｍｗ／Ｍｎ、フッ素原子（Ｆ）の含有量、ポリオキシアルキレン基の含有割合、ケイ素原子（Ｓｉ）の含有量、酸価、現像液溶解性を、重合体収量とともに表１に示す。【０２１９】
＜分子量＞
数平均分子量（Ｍｎ）および質量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により、ポリスチレンを標準物質として測定した。ゲルパーミエーションクロマトグラフィーとしては、ＨＰＬＣ−８２２０ＧＰＣ（東ソー社製）を使用した。カラムとしては、ｓｈｏｄｅｘ  ＬＦ−６０４を３本接続したものを使用した。検出器としては、ＲＩ検出器を使用した。標準物質としては、ＥａｓｉＣａｌ  ＰＳ１（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓ社製）を使用した。さらに、数平均分子量および質量平均分子量を測定する際は、カラムを３７℃で保持し、溶離液としてはテトラヒドロフランを用い、流速を０．２ｍＬ／分とし、測定サンプルの０．５質量％テトラヒドロフラン溶液４０μＬを注入した。【０２２０】
＜フッ素原子含有量＞
重合体中のフッ素原子の含有量は、重合反応の仕込み値から算出した。
＜ポリオキシアルキレン基の含有割合＞
重合体中のポリオキシアルキレン基の含有割合は、重合反応の仕込み値から算出した。
＜ケイ素原子含有量＞
重合体中のケイ素原子の含有量は、重合反応の仕込み値から算出した。【０２２１】
＜酸価＞
酸価は、原料である単量体の配合割合から算出した理論値である。【０２２２】
＜現像液溶解性＞
上記で得られた各重合体を、０．１％のＮａＣＯ３水溶液（ｐＨ１１、温度２３℃）に添加し、撹拌条件：５０ｒｐｍで溶解した重合体の割合（質量％）を求め、重合体のアルカリ水溶液に対する溶解性の指標とした。【０２２３】
【表１】
2011081151.tif 000009
【０２２４】
［実施例１］
上記合成例で得られた重合体（Ａ−１）（０．０３部）、黒色着色剤（Ｅ）の分散液としてのＣＢ（３１．６部）、光重合開始剤（Ｂ１）としてのＯＸＥ０２（０．７６部）、感光性樹脂（Ｃ１）の分散液としてのＥＸ１０１０（６．３部）、架橋剤（Ｄ）としてのＤＰＨＡ（１．９部）および溶媒としてのＰＧＭＥＡ（３４．４部）、シクロヘキサノン（２５．０部）を混合して、感光性組成物の希釈液を得た。感光性組成物の希釈液の全固形分中の重合体（Ａ−１）の含有量は、０．２０質量％であった。【０２２５】
スピンナーを用いて、ガラス基板上に感光性組成物の希釈液を塗布した後、ホットプレート上で、１００℃で２分間乾燥させ、膜厚が２．０μｍの感光性組成物の塗膜を形成した。次に、超高圧水銀灯を用いて、露光量がｉ線（３６５ｎｍ）基準で１００ｍＪ／ｃｍ２の光を、マスクを通して塗膜に照射し、露光した。なお、マスクは、遮光部が１５０μｍ×４００μｍ、光透過部２０μｍの格子状パターンであり、形成される開口部の容積は１２０ｐＬである。また、パターンの面積は１０ｃｍ２であった。次に、現像機を用いて現像を行った。現像液はセミクリーンＤＬ−Ａ４（商品名、横浜油脂工業社製）の１０倍希釈水溶液を用いた。ノズルとしては基板への照射角を８度以下に絞ったものを用いて、０．１５ＭＰaの圧力をかけて基板に現像液を吐出することで気泡を発生させスピン現像を行った。その後、未露光部を水により洗い流し、乾燥させた。次に、オーブン中、２２０℃で３０分間、ガラス板を加熱（ポストベイク）することにより、隔壁が形成された実施例１のガラス基板サンプル（１）を得た。【０２２６】
マスクを用いずに露光した以外は上記と同様にして、感光性組成物の塗膜の硬化物が形成された実施例１のガラス基板サンプル（２）を得た。さらに、４．０ＭＰａの高圧ジェット水によるジェットリンスを１０秒間行った実施例１のガラス基板サンプル（３）を得た。【０２２７】
［実施例２〜５］
各成分の配合を表２に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして、上記合成例で得られた重合体（Ａ−２）〜（Ａ−５）をそれぞれ含有する感光性組成物の塗膜硬化物からなる隔壁が形成された実施例２〜５のガラス基板サンプル（１）、および、該感光性組成物の塗膜の硬化物が形成された実施例２〜５のガラス基板サンプル（２）およびジェットリンスをさらに行ったガラス基板サンプル（３）を得た。【０２２８】
［比較例１、２］
各成分の配合を表２に示すように変更した以外は、実施例１と同様にして、上記比較合成例で得られた重合体（Ｒ−１）、（Ｒ−２）をそれぞれ含有する感光性組成物の塗膜硬化物からなる隔壁が形成された比較例１、２のガラス基板サンプル（１）、および、該感光性組成物の塗膜の硬化物が形成された比較例１、２のガラス基板サンプル（２）およびジェットリンスをさらに行ったガラス基板サンプル（３）を得た。【０２２９】
【表２】
2011081151.tif 000010
【０２３０】
［評価方法および評価結果］
以下に説明する方法で、上記各実施例および比較例で作製したガラス基板サンプル（２）およびガラス基板サンプル（３）を用いて撥液性を評価した。また上記各実施例および比較例で作製したガラス基板サンプル（１）を用いて、隔壁間開口部内のインクの濡れ拡がり性、残膜発生の状態を評価した。評価結果を、感光性組成物の全固形成分における各成分の含有質量％とともに表３に示す。
表中、◎は最良、○は良、△は可、×は不可を示す。本発明は、全ての評価が◎または○であるものが良い。【０２３１】
＜撥液性＞
ガラス基板サンプル（２）の塗膜硬化物の表面のＰＧＭＥＡの接触角を測定することにより、撥液性を評価した。また、ガラス基板サンプル（３）の塗膜硬化物の表面のＰＧＭＥＡの接触角を測定することにより、ジェットリンスによる撥液性耐性を評価した。
接触角とは、固体と液体が接触する点における液体表面に対する接線と固体表面がなす角であり、液体を含む側の角度で定義する。このため、接触角が大きい程、塗膜硬化物の撥液性が優れることを意味する。ＰＧＭＥＡの接触角が４０°以上５０°以下のものを○、３５°以上４０°未満のものを△、３５°未満のものを×として、判定した。【０２３２】
＜残膜発生の状態＞
ガラス基板サンプル（１）において、現像欠陥数を目視により計測することにより残膜発生の状態を評価した。面積あたりの現像欠陥数が１００個未満のものを○、１００個以上２００個未満のものを△、２００個以上のものを×として、判定した。【０２３３】
＜隔壁間開口部内のインクの濡れ拡がり性＞
液状エポキシＭＥ−５６２（日本ペルノックス社製）（６．２５ｇ）、硬化剤ＨＶ−５６２（日本ペルノックス社製）（６．２５ｇ）、アジピン酸ジエチル（１２．５ｇ）およびマロン酸ジエチル（２５．０ｇ）を、スターラーを用いて１時間攪拌混合し、インクを調製した。
インクジェット法を用いて、ガラス基板サンプル（１）の隔壁間開口部に上記で調製したインク約１０ｐＬまたは、約２０ｐＬを塗布し、超深度形状測定顕微鏡ＶＫ−８５００（キーエンス社製）を用いて撮影した写真を観察することにより、隔壁間開口部内のインクの濡れ拡がり性を評価した。【０２３４】
上記得られた写真において隔壁間開口部１０か所につき、インクがはじかれている部分が０か所だったものを◎、１〜２か所だったものを○、３〜５か所だったものを△、５〜１０か所だったものを×として判定した。【０２３５】
【表３】
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【０２３６】
表３からわかるように、ジェットリンスを行った場合でも、質量平均分子量（Ｍｗ（Ａ））が、２．６×１０４＜Ｍｗ（Ａ）≦２０×１０４の範囲にあり、ポリオキシアルキレン基を含有する重合体（Ａ）に相当する重合体（Ａ−１）〜（Ａ−５）（重合体におけるポリオキシアルキレン基の含有割合は、いずれも本発明において好ましい５〜６０質量％の範囲である。）をそれぞれ含有する本発明の感光性組成物を用いて得られた隔壁を有する実施例１〜５のガラス基板サンプル（３）においては、撥液性が良好であった。これは、実施例１〜５の感光性組成物を用いて得られた隔壁において、ジェットリンスという高圧水洗浄を行った場合でも、重合体（Ａ）が表層から剥がれ落ちずに、撥液性が維持されたことを示すものである。【０２３７】
重合体（Ａ）に相当する重合体（Ａ−１）〜（Ａ−５）をそれぞれ含有する本発明の感光性組成物を用いて得られた隔壁を有する実施例１〜５のガラス基板サンプル（１）においては、残膜の発生が少なかった。これは、実施例１〜５の感光性組成物を用いて得られた隔壁の表面に、十分な量のポリオキシアルキレン基が存在していたため、残膜の発生が抑えられていたことを示すものである。【０２３８】
容積が１２０ｐＬの隔壁間開口部に約２０ｐＬのインクを塗布した場合、すなわち、開口部の容積に対しインクの塗布量が少ない場合でも、重合体（Ａ）に相当する重合体（Ａ−１）〜（Ａ−５）をそれぞれ含有する本発明の感光性組成物を用いて得られた隔壁を有する実施例１〜５のガラス基板サンプル（１）においては、インクが隔壁間の開口部内に濡れ拡がり、白抜けがなかった。これは、実施例１〜５の感光性組成物から得られる塗膜において、現像性が良好であり、隔壁表面から隔壁間開口部への重合体（Ａ）成分の移動もなかったことを示すものである。
更に、より少ない約１０ｐLのインクを塗布した場合でも、重合体（Ａ）の質量平均分子量が４００００以上である、実施例１〜４はインクが隔壁間の開口部内に濡れ拡がり、白抜けがなかった。【０２３９】
一方、本発明に係る重合体（Ａ）の質量平均分子量Ｍｗ（Ａ）の範囲外、具体的には、質量平均分子量Ｍｗが２．６×１０４より小さい、重合体（Ｒ−１）を含有する感光性組成物を用いて得られた隔壁を有する比較例１のガラス基板サンプル（３）は、ジェットリンス後の撥液性が著しく低下した。また、容積が１２０ｐＬの隔壁間開口部に約２０ｐＬのインクを塗布した場合、すなわち、開口部の容積に対しインクの塗布量が少ない場合、インクが開口部内に濡れ拡がらない部分が存在した。これは、ポストベイクの際に、重合体（Ｒ−１）が開口部内にマイグレートし、開口部の親液性が低下したことを示すものである。
ポリオキシアルキレン基を有さない重合体（Ｒ−２）を含有する感光性組成物を用いて得られた隔壁を有する比較例２のガラス基板サンプル（１）は、残膜が多数の発生していた。
【産業上の利用可能性】
【０２４０】
本発明の感光性組成物は、エチレン性二重結合を有しない撥インク成分でありながら、隔壁上部における良好な撥インク性、現像液に浸食されない現像液耐性、現像されずに残留する残膜の発生を抑制する性質、および隔壁間開口部への良好なインクの濡れ拡がり性を、得られる隔壁に付与することが可能な撥インク成分を含有する感光性組成物である。
このような本発明の感光性組成物は、例えば、インクジェット記録技術法を利用したカラーフィルタ製造用、有機ＥＬ表示素子製造用として隔壁の形成に好適に用いられる。さらには、有機ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）アレイの各ＴＦＴを仕切る隔壁、液晶表示素子のＩＴＯ電極の隔壁、回路配線基板の隔壁等の永久膜を形成する材料として好適に用いられる。
なお、２００９年１２月２８日に出願された日本特許出願２００９−２９８９６１号の明細書、特許請求の範囲及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
【国際調査報告】
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