(57)【要約】  搬送時における薄膜ガラスの破損を抑制する。  長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、前記複数の搬送ロールは、当該搬送ロールの周面のうち、前記薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分よりも、前記幅方向両端部を除く前記薄膜ガラスの幅方向内側部と対向する第二周面部分の方が大きな接触圧で前記薄膜ガラスと接触するように構成されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
2011158594.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記複数の搬送ロールは、当該搬送ロールの周面のうち、前記薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分よりも、前記幅方向両端部を除く前記薄膜ガラスの幅方向内側部と対向する第二周面部分の方が大きな接触圧で前記薄膜ガラスと接触するように構成されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項２】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記複数の搬送ロールは、当該搬送ロールの周面のうち、前記薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分が当該薄膜ガラスと接触しないように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項３】
前記第一周面部分には、当該第一周面部分を前記第二周面部分よりも低硬度にする表面処理が施されていることを特徴とする請求項１に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
【請求項４】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記複数の搬送ロールは、当該搬送ロールの周面のうち、前記薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分よりも、前記幅方向両端部を除く前記薄膜ガラスの幅方向内側部と対向する第二周面部分の方が大きな接触圧で前記薄膜ガラスと接触するように構成されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項５】
長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
各搬送ロールの周面のうち、前記薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分が当該薄膜ガラスと接触しないように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項６】
前記薄膜ガラスとして、搬送時に前記複数の搬送ロールと接触する周面のうち幅方向両端部の方が当該幅方向両端部を除く幅方向内側部よりも低くなるように、前記周面が段付き状に形成されたものを用いることを特徴とする請求項５に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
【請求項７】
前記複数の搬送ロールとして、前記第一周面部分を前記第二周面部分よりも低硬度にする表面処理が当該第一周面部分に施されているものを用いることを特徴とする請求項４に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜ガラスの搬送装置、及び薄膜ガラスの搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、表示デバイス用の基板材料として、ガスバリア性や透光性などに優れる薄膜ガラスが好適に用いられている。この薄膜ガラスは、厚さが２００μｍ以下、好ましくは３０〜１５０μｍの極めて薄いガラスであり、この薄さによって可撓性を有し、例えばロール状に巻き取ることも可能となっている。【０００３】
そのため、この可撓性を利用して薄膜ガラスに効率的に各種処理を施す手法として、長尺な薄膜ガラスをロールツーロール方式でロール搬送しつつ、その表面に各種処理を施す技術が提案されている（例えば、特許文献１，２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−１０５９００号公報
【特許文献２】特開平８−２８３０４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、薄膜ガラスを単純にロール搬送した場合には、薄膜ガラスの幅方向両端部のエッジが搬送ロールと接触することにより、エッジの微細なクラックに応力が集中して当該クラックが進展する結果、薄膜ガラスが破損してしまう恐れがある。このようなエッジの接触による破損の抑制には、搬送ロールに柔らかい材質を用いることが好ましいが、薄膜ガラスの破損を大きく低減するには至っていない。【０００６】
また別の課題として、上記の薄膜ガラスは、可撓性を有しているとはいえ、そもそも脆性材料であるため、ロール搬送時における搬送ロールのロール軸平行度の不良によって長手方向の張力分布に不平衡を生じると、幅方向端部の微細なクラックが進展して破損してしまう場合がある。【０００７】
本発明の課題は、搬送時における薄膜ガラスの破損を抑制することのできる薄膜ガラスの搬送装置、及び薄膜ガラスの搬送方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の目的は、以下１〜７の手段によって達成される。【０００９】
１．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記複数の搬送ロールは、当該搬送ロールの周面のうち、前記薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分よりも、前記幅方向両端部を除く前記薄膜ガラスの幅方向内側部と対向する第二周面部分の方が大きな接触圧で前記薄膜ガラスと接触するように構成されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００１０】
２．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記複数の搬送ロールは、当該搬送ロールの周面のうち、前記薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分が当該薄膜ガラスと接触しないように構成されていることを特徴とする前記１に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００１１】
３．前記第一周面部分には、当該第一周面部分を前記第二周面部分よりも低硬度にする表面処理が施されていることを特徴とする前記１に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００１２】
４．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記複数の搬送ロールは、当該搬送ロールの周面のうち、前記薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分よりも、前記幅方向両端部を除く前記薄膜ガラスの幅方向内側部と対向する第二周面部分の方が大きな接触圧で前記薄膜ガラスと接触するように構成されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００１３】
５．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
各搬送ロールの周面のうち、前記薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分が当該薄膜ガラスと接触しないように構成されていることを特徴とする前記４に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００１４】
６．前記薄膜ガラスとして、搬送時に前記複数の搬送ロールと接触する周面のうち幅方向両端部の方が当該幅方向両端部を除く幅方向内側部よりも低くなるように、前記周面が段付き状に形成されたものを用いることを特徴とする前記５に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００１５】
７．前記複数の搬送ロールとして、前記第一周面部分を前記第二周面部分よりも低硬度にする表面処理が当該第一周面部分に施されているものを用いることを特徴とする前記４に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００１６】
また、前記課題は、以下８〜１５の手段によっても達成される。【００１７】
８．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送方法において、
前記複数の搬送ロールのうち、４０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触する少なくとも１つの一の搬送ロール、及び当該一の搬送ロールに隣り合う他の搬送ロールとして、当該一の搬送ロールと当該他の搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの幅方向両端での搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差ΔＬと、当該搬送方向長さＬ１，Ｌ２の平均長さＬとの長さ比ΔＬ／Ｌが０．００５以下となるように配設されたものを用いることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。【００１８】
９．前記一の搬送ロール及び前記他の搬送ロールとして、前記長さ比ΔＬ／Ｌが０．００２以下となるように配設されたものを用いることを特徴とする前記８に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００１９】
１０．前記一の搬送ロール及び前記他の搬送ロールとして、前記搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差ΔＬが１．５ｍｍ以内となるように配設されたものを用いることを特徴とする前記８又は９に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００２０】
１１．前記一の搬送ロール及び前記他の搬送ロールの少なくとも一方として、アライメント調整が可能なように構成されたものを用いることを特徴とする前記８〜１０の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法。【００２１】
１２．長尺な薄膜ガラスを長手方向に沿って複数の搬送ロールで搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記複数の搬送ロールのうち、４０度以上の抱き角で前記薄膜ガラスと接触する少なくとも１つの一の搬送ロールと、当該一の搬送ロールに隣り合う他の搬送ロールとは、当該一の搬送ロールと当該他の搬送ロールとの間に張架される前記薄膜ガラスの幅方向両端での搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差ΔＬと、当該搬送方向長さＬ１，Ｌ２の平均長さＬとの長さ比ΔＬ／Ｌが０．００５以下となるように配設されていることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。【００２２】
１３．前記一の搬送ロールと前記他の搬送ロールとは、前記長さ比ΔＬ／Ｌが０．００２以下となるように配設されていることを特徴とする前記１２に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００２３】
１４．前記一の搬送ロールと前記他の搬送ロールとは、前記搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差ΔＬが１．５ｍｍ以内となるように配設されていることを特徴とする前記１２又は１３に記載の薄膜ガラスの搬送装置。【００２４】
１５．前記一の搬送ロールと前記他の搬送ロールとの少なくとも一方は、アライメント調整が可能なように構成されていることを特徴とする前記１２〜１４の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、搬送ロールの周面のうち薄膜ガラスの幅方向両端部と対向する第一周面部分が薄膜ガラスと接触しないか、もしくは、搬送ロールの周面のうち薄膜ガラスの幅方向内側部と対向する第二周面部分の方が、第一周面部分よりも大きな接触圧で薄膜ガラスと接触しているので、搬送力は主に第二周面部分によって薄膜ガラスの幅方向内側部へ伝達されることとなり、薄膜ガラスの幅方向両端部には幅方向内側部よりも小さな搬送負荷しか掛からない。したがって、薄膜ガラスの幅方向両端部でのクラックの進展を抑制することができ、ひいては、搬送時における薄膜ガラスの破損を抑制することができる。【００２６】
また、前記８〜１５の手段によれば、４０度以上の抱き角で薄膜ガラスと接触する少なくとも１つの一の搬送ロールと、当該一の搬送ロールに隣り合う他の搬送ロールとは、これら２つの搬送ロール間に張架される薄膜ガラスの幅方向両端での搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差ΔＬと、当該搬送方向長さＬ１，Ｌ２の平均長さＬとの長さ比ΔＬ／Ｌが０．００５以下となるように配設されているので、これら２つの搬送ロールのロール軸平行度の不良に起因する薄膜ガラスの幅方向端部でのクラックの進展を抑制することができる。したがって、搬送時における薄膜ガラスの破損を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】薄膜ガラスの搬送装置の概略構成を示す図である。
【図２】適用可能な搬送ローラを説明するための図である。
【図３】適用可能な搬送ローラを説明するための図である。
【図４】段付き状に形成した薄膜ガラスを説明するための図である。
【図５】実施例１で用いた搬送系を説明するための図である。
【図６】実施例２の結果を示すグラフである。
【図７】実施例１で使用したロールの詳細を説明する図である。
【図８】実施例１で使用した別のロールの詳細を説明する図である。
【図９】実施例１で使用した別のロールの詳細を説明する図である。
【図１０】実施例１で使用した別のロールの詳細を説明する図である。
【図１１】薄膜ガラスの搬送装置の概略構成を示す図である。
【図１２】（ａ），（ｂ）搬送ロールの抱き角θを説明するための図であり、（ｃ）長さ比ΔＬ／Ｌを説明するための図である。
【図１３】搬送ロールのアライメント調整機構を説明するための図である。
【図１４】実施例３で用いた搬送系を説明するための図である。
【図１５】実施例３の結果をまとめたグラフである。
【図１６】実施例３の結果をまとめたグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、前記１〜７の手段で達成される本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
【００２９】
図１は、本実施形態における薄膜ガラスの搬送装置（以下、単に搬送装置という）１の概略構成を示す図である。
【００３０】
この図に示すように、搬送装置１は、長尺な薄膜ガラスＧを長手方向に沿ってロールツーロール方式でロール搬送しつつ、当該薄膜ガラスＧの表面に機能性膜を被膜する装置である。具体的には、搬送装置１は、繰出ロール２と、巻取ロール３と、複数の搬送ロール４，…と、被膜処理部５とを備えており、薄膜ガラスＧを繰出ロール２から繰り出して搬送ロール４，…で搬送しつつ巻取ロール３で巻き取る過程において、被膜処理部５によって薄膜ガラスＧ表面に機能性膜を被膜するように構成されている。
【００３１】
搬送ロール４，…は、図２（ａ）に示すように、搬送する薄膜ガラスＧのうち幅方向両端部（以下、単に両端部という）ａを除く幅方向内側部（以下、単に内側部という）ｂのみと接触するように構成されている。ここで、薄膜ガラスＧの「両端部」とは、搬送ロール４の幅方向両端エッジから１ｍｍの範囲をいい、より好ましくは、幅方向両端エッジから５ｍｍの範囲をいう。
【００３２】
この場合、搬送ロール４，…は、その周面のうち、薄膜ガラスＧの両端部ａと対向する第一周面部分が当該薄膜ガラスＧと接触しておらず、薄膜ガラスＧの内側部ｂと対向する第二周面部分のみが薄膜ガラスＧと接触するように構成されていればよい。このような搬送ロール４の他の例としては、図２（ｂ）に示すように、薄膜ガラスＧの両端部ａと対向する第一周面部分のみが小径に形成されたものでもよいし、図２（ｃ）に示すように、幅の小さな複数のリング状部分で薄膜ガラスＧと接触するものでもよい。更には、図３（ａ）に示すように、第一周面部分がテーパー状に形成された搬送ロール４としてもよいし、図３（ｂ）に示すように、クラウン形状の搬送ロール４としてもよい。
【００３３】
なお、搬送ロール４，…は、薄膜ガラスＧの両端部ａと非接触のものでなくともよく、薄膜ガラスＧの内側部ｂと対向する第二周面部分の方が、両端部ａと対向する第一周面部分よりも大きな接触圧で薄膜ガラスＧと接触するように構成されたものでもよい。具体的には、図３（ｃ）に示すように、周面のうちの第一周面部分４ａを第二周面部分４ｂよりも低硬度にする表面処理として、当該第一周面部分４ａにテフロン（登録商標）含浸型めっきやゴムライニング，樹脂ライニング等の処理を施してもよい。
【００３４】
第一周面部と第二周面部分の接触圧の差は、例えば富士フイルム社製プレススケールで確認することが可能である。プレスケールは、加えた圧力に応じて赤く発色するフィルムであり、赤色の濃度差による接触圧の差を把握することができ、圧力画像解析システムによりデータ変換することも可能である。
【００３５】
また、搬送ロール４，…は、図３（ｄ）に示すように、第一周面部分をテーパー状に形成しつつ、軸芯部の外周を低硬度ゴム（柔らかいゴム）で覆い、更にその外表面をフッ素系の熱収縮チューブで覆ったものとしてもよい。このような搬送ロール４によれば、高弾性ゴムによる弾性機能と、熱収縮チューブによる薄膜ガラスＧへの良好な横滑り性とを兼ね備えることができる。
【００３６】
搬送装置１が搬送する薄膜ガラスＧは、特に限定はされないが、厚さが２００μｍ以下、好ましくは３０〜１５０μｍの極めて薄いガラスである。
【００３７】
また、薄膜ガラスＧとして、図４（ａ）に示すように、両端部ａが内側部ｂよりも低く（薄く）なるように段付き状に形成されたものを用いてもよい。この場合には、搬送ロール４として、第一周面部分と第二周面部分とが同一径に形成されたものを用いてもよい。このような薄膜ガラスＧとしては、両端部ａが内側部ｂよりも低くなるように形成されていればよく、例えば図４（ｂ）〜（ｄ）に示す形状であってもよい。なお、この薄膜ガラスＧの形状は、搬送時に搬送ロール４，…と接触する主面のうちの両端部ａの方が内側部ｂよりも低く（薄く）なっていればよく、例えば搬送ラインにおいて薄膜ガラスＧの一方の主面のみが搬送ロール４，…と接触する場合には、当該一方の主面の両端部ａのみを内側部ｂよりも低く（薄く）すればよい。
【００３８】
以上のように、搬送ロール４の周面のうち薄膜ガラスＧの両端部ａと対向する第一周面部分が薄膜ガラスＧと接触しないか、もしくは、搬送ロール４の周面のうち薄膜ガラスＧの内側部ｂと対向する第二周面部分の方が第一周面部分よりも大きな接触圧で薄膜ガラスＧと接触しているので、搬送力は主に第二周面部分によって薄膜ガラスＧの内側部ｂへ伝達されることとなり、薄膜ガラスＧの両端部ａには内側部ｂよりも小さな搬送負荷しか掛からない。したがって、薄膜ガラスＧの両端部ａでのクラックの進展を抑制することができ、ひいては、搬送時における薄膜ガラスＧの破損を抑制することができる。
【００３９】
なお、本発明を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００４０】
本発明は、また、薄膜ガラスの搬送を枚様で行う場合においても適用することができる。
【００４１】
次いで、前記８〜１５の手段について、その実施形態を、図を参照して説明する。
【００４２】
図１１は、本実施形態における薄膜ガラスの搬送装置（以下、単に搬送装置という）１Ａの概略構成を示す図である。
【００４３】
この図に示すように、搬送装置１Ａは、長尺な薄膜ガラスＧを長手方向に沿ってロールツーロール方式でロール搬送しつつ、当該薄膜ガラスＧの表面に機能性膜を被膜する装置である。具体的には、搬送装置１Ａは、繰出ロール２と、巻取ロール３と、複数の搬送ロール４，…と、被膜処理部５とを備えており、薄膜ガラスＧを繰出ロール２から繰り出して搬送ロール４，…で搬送しつつ巻取ロール３で巻き取る過程において、被膜処理部５によって薄膜ガラスＧ表面に機能性膜を被膜するように構成されている。
【００４４】
搬送装置１Ａが搬送する薄膜ガラスＧは、特に限定はされないが、厚さが２００μｍ以下、好ましくは３０〜１５０μｍの極めて薄いガラスである。
【００４５】
複数の搬送ロール４，…のうちの少なくとも１つ（本実施形態では３つ）は、４０度以上の抱き角θで薄膜ガラスＧと接触する高抱き角ロール４１となっている。ここで、抱き角θとは、図１２（ａ），（ｂ）に示すように、搬送ロール４の周面のうち薄膜ガラスＧと接触する円弧部分の中心角である。
【００４６】
通常の搬送工程では、搬送の工程をコンパクトに設計する必要性から（省スペース）、抱き角４０度以上の高抱き角ロールの配置が必須となるケースが圧倒的に多い。
【００４７】
この高抱き角ロール４１と当該高抱き角ロール４１に隣り合う搬送ロール４とは、図１２（ｃ）に示すように、これらの間に張架される薄膜ガラスＧの幅方向両端での搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差ΔＬと、当該搬送方向長さＬ１，Ｌ２の平均長さＬとの長さ比ΔＬ／Ｌが０．００５以下、好ましくは０．００２以下となるように配設されている。また、高抱き角ロール４１と当該高抱き角ロール４１に隣り合う搬送ロール４とは、搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差ΔＬが１．５ｍｍ以内となるように配設されている。
【００４８】
また、高抱き角ロール４１は、アライメント調整が可能なように構成されている。具体的には、高抱き角ロール４１は、図１３に示すように、幅方向一端側の軸支部４１１がリニアモーションガイド（以下、ＬＭガイドという）４１２に支持されており、軸支部４１１が当該ＬＭガイド４１２上を搬送方向に沿って移動可能なように構成されている。但し、このアライメント調整が可能な構成は、高抱き角ロール４１と当該高抱き角ロール４１に隣り合う搬送ロール４との少なくとも一方に設けられていればよい。また、ＬＭガイド４１２が微調整可能であるとともに調整後ずれなく固定できる構造であることは言うまでもない。
【００４９】
以上のように、４０度以上の抱き角θで薄膜ガラスＧと接触する少なくとも１つの高抱き角ロール４１と、当該高抱き角ロール４１に隣り合う他の搬送ロール４とは、これら２つの搬送ロール４間に張架される薄膜ガラスＧの幅方向両端での搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差ΔＬと、当該搬送方向長さＬ１，Ｌ２の平均長さＬとの長さ比ΔＬ／Ｌが０．００５以下となるように配設されているので、これら２つの搬送ロール４のロール軸平行度の不良に起因する薄膜ガラスＧの幅方向端部でのクラックの進展を抑制することができる。したがって、搬送時における薄膜ガラスＧの破損を抑制することができる。
【００５０】
また、高抱き角ロール４１と当該高抱き角ロール４１に隣り合う搬送ロール４との少なくとも一方はアライメント調整が可能なように構成されているので、これらの搬送ロール４間でのロール軸平行度のずれが大きい場合であっても、長さ比ΔＬ／Ｌが０．００５以下となるように当該少なくとも一方の搬送ロール４をアライメント調整することができる。
【００５１】
なお、前記８〜１５の手段を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
【００５２】
例えば、上記実施形態では、薄膜ガラスＧの幅方向両端での搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差としてΔＬを求めることとしたが、図１２（ｃ）に示すように、薄膜ガラスＧの搬送ロール４両端部での搬送方向長さＬ３，Ｌ４に基づいて、下式によりΔＬを求めてもよい。
【００５３】
ΔＬ＝｜Ｌ３−Ｌ４｜×Ｌｗ／Ｌｒ
但し、Ｌｗは薄膜ガラスＧの幅、Ｌｒは搬送ロール４の長さである。
【００５４】
また、搬送ロール４の外径は、特に限定はされないが、１００ｍｍ以上であることが好ましい。搬送ロール４の外径が１００ｍｍ以上であれば、当該搬送ロール４での屈曲が及ぼす薄膜ガラスＧの破損への影響は、当該搬送ロール４の抱き角θの大きさだけで議論することができる。
【００５５】
また、薄膜ガラスＧの搬送をより安定化させるために、薄膜ガラスＧの搬送方向張力を検出可能な張力検出手段を設け、この張力検出手段が所定の張力を検出した場合に、薄膜ガラスＧの搬送を停止、又は搬送ロール４の位置を調整することで、薄膜ガラスＧの破断を未然に防げるように構成することが好ましい。また、この張力検出手段は、薄膜ガラスＧの幅方向両端での張力差を検出できることがより好ましい。なお、このような張力検出手段としては、従来から公知のもの、例えば搬送ロール４に設けた歪ゲージによるもの等を用いることができる。
【実施例】
【００５６】
以下に、実施例を挙げることにより、本発明をさらに具体的に説明する。但し、本発明はこの実施例に限定されるものではない。【００５７】
先ず、前記１〜７の手段で構成される発明について以下実施例を挙げて説明する（実施例１、２）。【００５８】
実施例１
実施例１では、図５に示すように、５つの搬送ロール４（以下、第１ロール４ａ〜第５ロール４ｅとする）が薄膜ガラスＧの両主面と交互に接触するように配設された搬送系において、この搬送ロール４を上記実施形態で説明したものを含む各種のものに変更しつつ、薄膜ガラスＧの繰り出し及び巻き取りを繰り返したときの薄膜ガラスＧの破損（破断）状況を確認した。【００５９】
＜搬送条件＞
各搬送ロール４は、外径２００ｍｍのものとし、抱き角が９０度となるよう配置した。また、搬送速度は５ｍ／ｍｉｎ一定とした。また、各搬送ロールは、形状の他、薄膜ガラス幅に対する関係を考慮して、表１に示したロールをそれぞれ用いた。【００６０】
また、繰出ロール２は５つの搬送ロール４の直前に配置し、巻取ロール３は５つの搬送ロール４の直後に配置した。薄膜ガラスＧの巻き取りには、合紙として厚さ３８μｍのＰＥＴを用いた。【００６１】
＜薄膜ガラス＞
薄膜ガラスＧとして、ＣＯ２レーザーにて予め幅方向両端を切断済みのホウケイ酸ガラスを用いた。また、薄膜ガラスＧの形状は、全長５０ｍ、厚さ７０μｍ、幅４００ｍｍとした。但し、一部の試験（表１の試験１６）では、両端部（両端エッジから７ｍｍの範囲）をフッ酸でエッチング（サイドエッジを１５％濃度フッ酸によりエッチング処理）したものを用いた。エッチング量としてガラス厚み方向（上下）とも約５μｍずつをエッチングした。【００６２】
フッ酸によるエッチング処理のメリットは、その処理面に新たなマイクロクラックを増加させることがなく、ガラス本来の強度維持が可能な点である。なお、ガラス端部の厚みを薄くする他の手段として機械研磨が挙げられるが、研磨処理面に新たにマイクロクラックが増加しやすく、ガラス本来の強度が大幅に低下することから、余り望ましい処理手段とは云えない。【００６３】
＜結果とまとめ＞
結果を表１に示す。この表から、上記実施形態で説明した各種の搬送ロール４を使用するか、或いは両端部ａにエッチングを施した薄膜ガラスＧを用いることにより、搬送時における薄膜ガラスＧの破損を好適に抑制できることが分かる。【００６４】
【表１】
2011158594.tif 000003
【００６５】
なお、前記図３（ｄ）のロールの具体的なロール形態として示した図６（ｄ）において、Ａはステンレスの芯金部を、Ｂは低弾性ゴム（ＮＢＲ製  ＪＩＳ  Ａ  ４０度）（肉厚７４ｍｍ）からなる弾性機能を持たせるための層で、表面を更にフッ素系熱収縮チューブ（仕上げ研磨あり：肉厚１ｍｍ）Ｃでガラスの横滑り性も持たせたものである。【００６６】
実施例２
実施例２では、上記実施例１の結果を別の角度から検証するために、ＣＯ２レーザーで両端エッジを切断したガラスピース（薄膜ガラスＧ）に対し、そのエッジを塩化ビニル樹脂やガラスと物理的接触させる代用評価方法を実施し、薄膜ガラスＧの強度の低下挙動を測定した。【００６７】
具体的には、強度評価するガラスピース（薄膜ガラスＧ）を接触物（塩化ビニル板又はガラス板）で挟んだ状態で、その上に重さ１ｋｇのロールを片道操作処理し、均等荷重処理を行った。この方法をもって、ガラスと接触物が面接触する状態を想定した代用評価とした。破断強度を把握する手段としては、セラミック樹脂等の強度を測定する３点曲げ評価法を用いた。【００６８】
＜結果とまとめ＞
ガラスピースの破断時の曲率半径から破断強度を算出した結果を図６に示す。この図から、ガラスは、塩化ビニル板のような自身よりも硬度の低いものと平面接触するだけでも強度が低下することが分かる。また、ガラスは、塩化ビニル板よりも硬度の高いガラス板と平面接触した場合には、より大きく強度が低下する。したがって、薄膜ガラスＧの強度低下を防止して破損の発生を抑制するためには、薄膜ガラスＧを極力硬度の低い搬送ロール４と接触させることが好ましく、搬送ロール４と接触させないことがより好ましいと言える。【００６９】
以下に、前記８〜１５の手段で構成される発明についても実施例を挙げることにより具体的に説明する。【００７０】
実施例３
実施例３では、図１４に示すように、高抱き角ロール４１を２つの搬送ロール４で挟んだ搬送系において、以下の条件で長さ比ΔＬ／Ｌを変化させたときの薄膜ガラスＧの破損（破断）状況を確認した。【００７１】
＜搬送ロール＞
高抱き角ロール４１を含む全ての搬送ロール４は、外径１８０ｍｍの塩化ビニル製のものとした。また、高抱き角ロール４１の上流側及び下流側の各搬送ロール４の抱き角θ１及びθ２は３８°とし、高抱き角ロール４１の抱き角θ３は１８０°の割れやすい系とした。【００７２】
＜薄膜ガラス＞
薄膜ガラスＧとして、長手方向先端にポリエステル樹脂フィルムが繋げられたものを用い、このフィルム部分により安定した搬送状態となった後にガラス部分が各搬送ロール４を通過するようにした。また、薄膜ガラスＧの搬送方向張力は、１ｍ幅の換算値で３２Ｎ／ｍに保持した。また、薄膜ガラスＧの厚さ及び幅は、結果と併せて表２に示す。【００７３】
＜結果＞
結果を表２に示す。なお、表中の「破損有無」の欄の記号は、それぞれ以下の内容を示している。また、破損が確認された全ての薄膜ガラスＧは、幅方向両端のうち搬送方向長さの長い長スパン側で破損していた。【００７４】
【表２】
2011158594.tif 000004
【００７５】
破損発生率は、薄膜ガラスが高抱き角ロール４１を通過直後に破損した×のケースのみを破損とカウントし、各６水準での発生率を％標記した。【００７６】
破損発生率＝発生回数／６×１００（％）
○：薄膜ガラスに破損は確認されなかった。【００７７】
△：薄膜ガラスが高抱き角ロール４１を通過した後しばらくして破損した。【００７８】
×：薄膜ガラスが高抱き角ロール４１を通過した直後に破損した。【００７９】
＜まとめ＞
表２の結果から、破損有無の状況をまとめたものを図１５に、長さ比ΔＬ／Ｌと破損発生率の関係をまとめたものを図１６に、それぞれ示す。これらの図から、長さ比ΔＬ／Ｌを０．００５以下、また、表２から、より好ましくは０．００２以下とすることにより、薄膜ガラスＧの破損を好適に抑制できることが分かる。また同図から、ΔＬを１．５ｍｍ以下とすることにより、より確実に薄膜ガラスＧの破損を抑制できることが分かる。【００８０】
実施例４
実施例４では、図１４の搬送系を用い、長さ比ΔＬ／Ｌ一定の条件下で、抱き角θ１，θ２を３８度で固定し、抱き角θ３を変化させたときの薄膜ガラスＧの破損（破断）状況を確認した。【００８１】
＜搬送ロール＞
高抱き角ロール４１を含む全ての搬送ロール４は、上記実施例３と同様のものとした。また、これらの各搬送ロール４をアライメント調整し、平均長さＬを６００ｍｍ、ΔＬを３．０ｍｍとして、ΔＬ／Ｌが０．００５と０．００６の二水準でそれぞれ一定となるようにして試験を行った。【００８２】
＜薄膜ガラス＞
薄膜ガラスＧとして、上記実施例３と同様のものを用い、搬送方向張力も同様の値とした。また、薄膜ガラスＧの厚さ及び幅は、結果と併せて表３に示す。【００８３】
＜結果＞
結果を、表３（ΔＬ／Ｌ＝０．００５）、表４（ΔＬ／Ｌ＝０．００６）に示す。なお、表中の「破損有無」の欄の記号は、表２における同欄と同様の内容を示している。また、破損が確認された全ての薄膜ガラスＧは、幅方向両端のうち搬送方向長さの長い長スパン側で破損していた。【００８４】
【表３】
2011158594.tif 000005
【００８５】
【表４】
2011158594.tif 000006
【００８６】
破損発生率は、薄膜ガラスが高抱き角ロール４１を通過直後に破損した×のケースのみを破損とカウントし、各２水準の発生率を％標記した。【００８７】
＜まとめ＞
表４、３の結果から、前後の搬送ロール４の抱き角θを３８度に固定し、長さ比ΔＬ／Ｌを０．００６に設定した場合の破損レベルの結果（表４）から、連続的に搬送ロール４が配された搬送系を形成する場合、その各抱き角θが、４０度未満の場合には、全く破損が起こらないが、抱き角θが、４０度以上の領域では、薄膜ガラスが高抱き角ロール４１を通過直後に破損したものの他、通過した後しばらくして破損するものも含め破損が起こっているが、一方、長さ比ΔＬ／Ｌを０．００５に設定した場合（表３）には、高抱き角ロール４１の抱き角θが、４０度以上の領域でも、破損が起こらないかまたは軽減されることが分かる。
【符号の説明】
【００８８】
１，１Ａ  搬送装置
２  繰出ロール
３  巻取ロール
４  搬送ロール
４ａ  第一周面部分
４ｂ  第二周面部分
４１  高抱き角ロール（一の搬送ロール）
４１２  ＬＭガイド
５  被膜処理部
Ｇ  薄膜ガラス
ａ  両端部（幅方向両端部）
ｂ  内側部（幅方向内側部）
Ｌ１，Ｌ２  薄膜ガラスの幅方向両端での搬送方向長さ
Ｌ  搬送方向長さＬ１，Ｌ２の平均長さ
ΔＬ  搬送方向長さＬ１，Ｌ２の差
ΔＬ／Ｌ  長さ比
θ  抱き角
【図７】
2011158594.tif 000007
【図８】
2011158594.tif 000008
【図９】
2011158594.tif 000009
【図１０】
2011158594.tif 000010
【図１５】
2011158594.tif 000011
【図１６】
2011158594.tif 000012
【図１】
2011158594.tif 000013
【図２】
2011158594.tif 000014
【図３】
2011158594.tif 000015
【図４】
2011158594.tif 000016
【図５】
2011158594.tif 000017
【図６】
2011158594.tif 000018
【図１１】
2011158594.tif 000019
【図１２】
2011158594.tif 000020
【図１３】
2011158594.tif 000021
【図１４】
2011158594.tif 000022
【国際調査報告】
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