(57)【要約】【課題】異なるサイズの基本範囲を備えた対象物を確実に捕捉するために細かく段階的に真空テーブルの有効表面範囲を変更可能とする。【解決手段】第１真空室（１１）、第２真空室（１２）及びｘ方向にこれらを延在する第３真空室（１３）を並べてテーブル（１）が配置される、真空によって対象物を固定する装置において、第２真空室（１２）は多数の平行するライン形成の溝（１５）から成る構造を有し、これら溝はｘ方向に延び、第１接続路（２２）を介してｙ方向で互いに接続し、第１真空室（１１）に関するライン切替装置（２）によって次々に解放され、閉鎖され得、第３真空室（１２）は多数の平行するコラム形成の溝（１６）から成る構造を有し、これら溝はｙ方向に延び、第２接続路（４２）を介してｘ方向で互いに接続し、第１真空室（１１）に関するコラム切替装置（４）によって次々に解放され、閉鎖され得、第３真空室（１３）の或る部分は、第２真空室（１２）にしたがってライン切替装置（２）によって、同時に、且つライン形成溝（１５）の数と位置に対応するようにｙ方向で次々に解放され、閉鎖され得る。
2019511847.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ｘ，ｙの方向に延在するテーブル（１）を備え、該テーブル（１）に接続された真空をむらなく分配するために該テーブル（１）においてｚの方向に形成された複数の真空室を備え、前記テーブル（１）と真空室を覆うように配置され格子状に配された複数の穿孔（１４）を有する天板を備える、真空を用いて対象物を固定する装置であって、第１の真空室（１１）が前記天板（１０）のすぐ下に配置され、ｘ，ｙの方向において前記テーブル（１）の有効表面範囲（Ｗ）の最小フォーマット（Ｍ）を画定し、前記テーブル（１）の２つの隣接する側方表面に接し、前記テーブル（１）に接続された真空引き出し手段（５）に永続的に接続され、前記最小フォーマット（Ｍ）を超える有効表面範囲（Ｗ）の拡張を可能にする複数の他の真空室が前記第１の真空室（１１）の少なくとも１つの側面に、及び／又は前記他の真空室の側面の少なくとも１つに接して配置され、前記他の真空室のすべてが前記真空引き出し手段（５）に対する切り替え可能な接続部を有する、真空を用いて対象物を固定する装置において、
前記テーブル（１）に、前記第１の真空室（１１）のほかに、前記第１の真空室（１１）をｙの方向に全体に広げる第２の真空室（１２）と、前記第１の真空室（１１）と前記第２の真空室（１２）をｘの方向に全体に広げる第３の真空室（１３）とが配置されていて、前記第２の真空室（１２）がｘの方向に延在する複数の平行なライン形成溝（１５）から成る構造を有していて、該溝（１５）がｙの方向にて第１の接続路（２２）によって互いに接続され、ライン切替装置（２）によって前記第１の真空室（１１）に関して逐次的に解放され、あるいは閉じられ得、前記第３の真空室（１３）がｙの方向に延在する複数の平行なコラム形成溝（１６）から成る構造を有していて、該溝がｘの方向にて第２の接続路（４２）を介して互いに接続され、コラム切替装置（４）によって前記第１の真空室（１１）に関して逐次的に解放され、あるいは閉じられ得、ｘ及び／又はｙの方向にて前記テーブル（１）の有効表面範囲（Ｗ）のコラム的、ライン的なサイズの調整を達成するために前記第３の真空室（１３）が前記ライン切替装置（２）によって前記第２の真空室（１２）に一致して同時に分割されるように且つ前記ライン形成溝（１５）の数と位置にしたがってｙの方向にて逐次的に解放され、あるいは閉じられ得ることを特徴とする、真空を用いて対象物を固定する装置。
【請求項２】
前記真空引き出し手段（５）を前記テーブル（１）に接続する分配器ハウジング（３）が前記テーブル（１）に配置されることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記分配器ハウジング（３）に、前記コラム切替装置（４）と、前記コラム形成溝（１６）を互いに接続する、前記第３の真空室（１３）の前記第２の接続路（４２）とが配置されることを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記第１の真空室（１１）と前記第３の真空室（１３）とが、前記分配器ハウジング（３）への接続のための入口穴（１８）を有することを特徴とする、請求項２に記載の装置。
【請求項５】
前記コラム切替装置（４）が、回転駆動装置（４５）によって位置決め可能なように前記分配器ハウジング（３）に支持されている回転翼板（４０）であることを特徴とする、請求項２〜４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
前記第２の接続路（４２）が、前記回転翼板（４０）の回転軸（４１）に関して放射状に配置されている複数の入口（４４）を有することを特徴とする、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記第２の真空室（１２）の前記第１の接続路（２２）が、前記第３の真空室（１３）に向いた前記第２の真空室（１２）の側面に平行に配置されることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記ライン切替装置（２）が、ｘの方向に延在する複数の平行なシャッタ（２０）を有し、該シャッタ（２０）の数は前記ライン形成溝（１５）の数に対応し、これらシャッタ（２０）は、前記第２の真空室（１２）の前記第１の接続路（２２）を通って且つ前記第３の真空室（１３）を通って延在するように前記第２の真空室（１２）の範囲に配置されることを特徴とする、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記シャッタ（２０）が、前記第３の真空室（１３）の前記コラム形成溝（１６）の数と位置に一致し且つ前記第１の接続路（２２）の位置に対応するように前記シャッタ（２０）に配置された複数の突破口（２１）を有することを特徴とする、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記シャッタ（２０）の各々が、逐次的に作用するリニア駆動装置（２３）によって前記テーブル（１）にて個々に且つ逐次可動であるように支持されることを特徴とする、請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
ｘ及び／又はｙの方向にて前記第１の真空室（１１）の両側での前記有効表面範囲（Ｗ）の拡張が、前記第１の真空室（１１）に関してｘ軸で鏡反映された前記第２の真空室（１２）と前記ライン切替装置（２）の配置によって、及び／又はｙ軸で鏡反映された前記第３の真空室（１３）と前記コラム切替装置（４）の配置によって達成可能であることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空を用いて対象物を固定する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
幾つかのケースにおいて、機械による、特に非常にデリケートな対象物の処理加工、仕上げあるいは検査が真空テーブルの使用によってのみ可能となる。特に、例えばプリント回路基板、フラットスクリーン基板、半導体ウエハ若しくはプリンタ材料のような非常に薄く平坦な対象物の場合、主として局所的に作用する他の挟持装置の使用は、確実で損なうことのない固定のためにはとても可能であるとは言えない。真空テーブル上の固定は繊細な対象物にとって非常に穏やかな方法である。なぜならば、固定に要する力が大きな表面にわたり且つ対象物の基本範囲にわたってむらなく分配され得るからである。更に、他の挟持手段に比べて真空を用いた固定は非常に素早く簡単な作用である。
【０００３】
真空テーブルへの対象物の固定を確実にすべく真空を形成するために、まず対象物の基本範囲が真空テーブルの表面に比較的近く終端することが求められる。これによって、真空吸引が多量の周囲空気を吸い込んで、真空のために負圧を生じさせないことを防ぐ。更に、特に非常に薄い対象物にとって、固定が対象物の基本範囲の縁にまで全面的になされることが求められる。このため、真空テーブルの有効表面範囲は普通、対象物の基本範囲にしたがって寸法決めされ、真空テーブルは常に縁まで基本範囲全体をカバーする。この場合、異なる基本範囲を有した異なる寸法の対象物が、適合する真空テーブルを各対象物のために用意されることを求められよう。これは費用を要し、実用的でない。
【０００４】
すべてに関わる真空テーブルを用いることがより道理に適う。これは、可能であれば様々な対象物のすべてが該テーブル上に固定され得るように寸法決めされる。対象物が真空テーブルの有効表面範囲よりも小さい場合には、対象物によって覆われない表面は真空を維持するためにシールされなければならない。この問題に対する解決法は従来技術から既に知られている。
【０００５】
回転対称な基本範囲のための解決法は、特許文献１に開示されている。該文献は、互いに同軸に接するように置かれた天板を備えたテーブルから基本的に成る円形の真空テーブルを記載する。その端面の一方において、テーブルは、テーブルの中心から縁領域まで直線状に延びて放射状に延在する真空室を備えて構成される。テーブルの中央において、真空室は縁領域よりも遥かに幅広い。真空室は真空引き出し手段への連結部を有し、天板によって覆われている。好ましくは円形の基本範囲を有する対象物は天板上で中央に置かれ、真空を用いて固定される。このために、天板の表面には多数の同心の環状溝が備えられている。環状溝は各々、経路穴を有し、これらは天板の下面に通じていて、放射状に延びる直線に沿って配置されている。天板はテーブルに関して共通の回転軸回りに回転可能であり、経路穴が真空室に対して移動される。真空室に関する経路穴の位置に応じて、最も外側の経路穴から始まり、個々の経路穴を真空室の領域の外側に置いて、真空室の外側に位置した経路穴をテーブルによって閉じることが可能である。外側から始まり、個々の環状溝をそれゆえ、逐次、真空供給部から分離することが可能である。真空テーブルの有効表面範囲はそれによって、異なる径の複数の対象物（該径の調整増分は天板に形成された多数の環状溝の数に依存する）に環状に合わせることが可能である。
【０００６】
しかしながら、そのような解決法の適用は、回転対称な基本範囲か等辺の基本範囲を有した対象物にとってのみ道理に適うものである。この解決法は、等しくない縦横比を有する矩形の基本範囲には適さない。
【０００７】
特許文献２は、異なるサイズの特定フォーマットに存する平坦で矩形の対象物を吸引するための真空テーブルを開示する。異なる対象物フォーマットをそれらの縁領域まで全面的に固定するために、真空テーブルの有効表面範囲が、真空空間に個々に接続可能である複数の矩形域に分割されている。該矩形域を形成するため、真空テーブルはテーブルを自由に使用できる。該テーブルにおいて、前記矩形域に対応するために、片側だけ互いに分離した複数の真空室が形成される。テーブルの真空室は、格子状に穴を開けられた天板によって覆われる。平坦な対象物が天板上に置かれ、真空空間によって固定され得る。第１の真空室は、想定される最も小さな対象物フォーマットの基本範囲に対応する。第１の真空室の２つの側面に、次に大きな対象物フォーマットに対するサイズ相違にしたがって寸法決めされた夫々別の真空室が配置される。前記別の真空室は真空テーブルの有効表面範囲を拡大する。最大の対象物フォーマットに達するまで、前記他の真空室に隣接するなお別の真空室が、各大き目の対象物フォーマットのためにテーブルに形成される。各真空室に個々に真空を供給するために、真空室は各々、制御装置によって切り替えられるスイッチ弁に接続される。
【０００８】
真空室の所定の寸法のために、この解決法は比較的柔軟性がない。なぜならば、対象物フォーマットの予想増分に対応しない対象物を縁領域に確実に固定することができないからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平04-159043号公報
【特許文献２】DE 37 10 404 A1
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、真空テーブルの有効表面範囲を細かな増分で変更することができ、サイズ的に異なる基本範囲を有する対象物を確実に捉えることができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の目的は、ｘ，ｙの方向に延在するテーブルを備え、該テーブルに接続された真空をむらなく分配するために該テーブルにおいてｚの方向に形成された複数の真空室を備え、テーブルと真空室を覆うように配置され格子状に配置された複数の穿孔を有する天板を備える、真空を用いて対象物を固定する装置によって達成される。複数の真空室のうち第１の真空室は天板のすぐ下に配置され、ｘ，ｙの方向においてテーブルの有効表面範囲の最小フォーマットを画定し、テーブルの２つの隣接する側方表面に接し、テーブルに接続された真空引き出し手段に永続的に接続され、最小フォーマットを超える有効表面範囲の拡張を可能にする複数の他の真空室が第１の真空室の少なくとも１つの側面に、及び／又は他の真空室の側面の少なくとも１つに接して配置され、前記他の真空室のすべてが真空引き出し手段に対する切り替え可能な接続部を有している。本発明の目的は、テーブルに、第１の真空室のほかに、第１の真空室をｙの方向に全体に広げる第２の真空室と、第１の真空室と第２の真空室をｘの方向に全体に広げる第３の真空室とが配置されていて、第２の真空室がｘの方向に延在する複数の平行なライン形成溝から成る構造を有していて、該溝がｙの方向にて第１の接続路によって互いに接続され、ライン切替装置によって第１の真空室に関して逐次的に解放され、あるいは閉じられ得、第３の真空室がｙの方向に延在する複数の平行なコラム形成溝から成る構造を有していて、該溝がｘの方向にて第２の接続路を介して互いに接続され、コラム切替装置によって第１の真空室に関して逐次的に解放され、あるいは閉じられ得、ｘ及び／又はｙの方向においてテーブルの有効表面範囲のコラム的、ライン的なサイズの調整を達成するために第３の真空室がライン切替装置によって第２の真空室に一致して同時に分割されるように且つライン形成溝の数と位置にしたがってｙの方向にて逐次的に解放され、あるいは閉じられ得る点で達成される。
【００１２】
本発明を、例示的な実施形態に関して以下でより詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】真空を用いて対象物を固定する装置の基本的な構成の斜視図である。
【図２】概略的な形状での真空室を備えたテーブルの他の例示的な実施形態の上面図である。
【図３ａ】コラム切替装置が十分に閉じた状態での分配器ハウジングの基本的な構成を示す図である。
【図３ｂ】コラム切替装置が十分に開いた状態での分配器ハウジングの基本的な構成を示す図である。
【図４】最小フォーマットより大きな有効表面範囲での、ターブルの他の例示的な実施形態の上面図である。
【図５】リニア駆動装置とシャッタを備えたリニア切替装置の基本的な構成をテーブルの部分的な断面図で示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
真空を用いて対象物を固定する装置は、基本的に図１に示されるように構成される。これは、ｘ，ｙの方向に延在するテーブル１を備えて構成され、テーブル１に接続した真空のむらのない分配のため、ｚ方向にてテーブル１に真空室１１，１２，１３が形成されている。真空室１１，１２，１３は天板１０によって覆われている。複数の穿孔１４が格子状に天板１０に配置されている。
【００１５】
天板１０のすぐ下で、第１の真空室１１はターブル１の２つの隣接する側方表面と接して配置されている。第１の真空室１１は、テーブル１に接続した真空引き出し手段５に永続的に接続されている。これはｘ，ｙの方向においてテーブル１の有効表面範囲Ｗの最小フォーマットＭを決定する。
【００１６】
第２の真空室１２と第３の真空室１３は、第１の真空室１１の最小フォーマットＭを超えるテーブル１の有効表面範囲Ｗの拡張を可能とする。第２の真空室１２は、第１の真空室１１の一つの側面に接して配置されている。第３の真空室１３は、第１の真空室１１と第２の真空室１２の夫々一つの側面に接して配置されている。第２の真空室１２と第３の真空室１３は夫々、真空引き出し手段５に対して切り替え可能な接続部を備えて構成されている。
【００１７】
図１に示された装置の実施形態では、天板１０は、真空室１１，１２，１３をより良好に見ることができるように、テーブル１から持ち上げられた位置において示されている。明瞭さのために、真空室１１，１２，１３の、及び最小フォーマットＭの形状が破線形状で天板１０上での投影として示されている。
【００１８】
図１に示されるように、第１の真空室１１は、テーブル１のコーナーに接して、ｘ，ｙの方向において矩形形状に延在する。第１の真空室１１の寸法は通常、テーブル１の寸法よりもかなり小さく、例えば規格によって特定され得る受け入れ対象物の最も小さいものの寸法に適合しているのが有利である。したがって、第１の真空室１１の寸法はテーブル１の最小フォーマットＭを決定する。対象物の寸法は、本装置によって対象物を確実に固定するために、少なくとも最小フォーマットＭに対応しなければならない。第１の真空室１１全体が真空引き出し手段５に永続的に接続されているので、テーブル１の最小の有効表面範囲Ｗも最小フォーマットＭによって画定される。
【００１９】
第１の真空室１１の範囲内に、支持構造１７が規則的な間隔で配置されている。装着の際、天板１０は第１の真空室１１の範囲において支持構造１７上に載せられる。これは、真空の作用下で、あるいは支持された対象物の重量の力の下で、天板１０の平坦さを保証する。第１の真空室１１での支持構造１７は、天板１０の穿孔１４が塞がれず第１の真空室１１全体での真空の一様で妨げられない供給が保証される限り、所望の形状を有し得る。
【００２０】
真空との関連で、ｚの方向に延在する入口穴１８が第１の真空室１１に配置されている。入口穴１８は天板１０と反対側のテーブル１の下面Ｕでテーブル１を出る。入口穴１８の数とサイズは変更でき、支持構造１７の間のスペースにしたがって適合される。
【００２１】
最小フォーマットＭを超えてｘ，ｙの方向でのテーブル１の拡張部分全体に有効表面範囲Ｗを広げるために、第２の真空室１２と第３の真空室１３が備えられている。
【００２２】
第２の真空室１２は第１の真空室１１のすぐ隣に隣接する。またｘ，ｙの方向において矩形形状に延在し、ｘの方向において第１の真空室１１と同じ寸法を有する。ｙの方向において、第１の真空室に続いてｙの方向でのテーブル１の残り拡張部分にわたって延在する。
【００２３】
ｘ−ｙ拡張部分の範囲内で、第２の真空室１２は、ｘの方向に延在する複数の平行なライン形成溝１５に構造付与されている。第１の真空室１１に関して記載したように、ライン形成溝１５の間に残る空間は天板１０のための支持構造１７として用いられる。ライン形成溝１５の寸法と空間を構造的に画定することによって、ｘ，ｙの方向におけるテーブル１の最大拡張部分と最小フォーマットＭの間の範囲で、所望の増分で有効表面範囲Ｗをサイズ調整することが可能である。
【００２４】
ライン形成溝１５は互いに、ｙの方向に延在する第１の接続路２２を介して接続している。第１の接続路２２は、第２の真空室１２の範囲内で、第３の真空室１３に隣接する側に配置されている。この接続路２２は、第１の真空室１１に続いていて、それで第２の真空室１２が第１の接続路２２を介して第１の真空室１１の真空空間に接続する。
【００２５】
第３の真空室はテーブル１上で第１の真空室１１と第２の真空室１２に隣接して配置されている。これは矩形で、第１、第２の真空室１１、１２に続いて残るｘ，ｙの方向におけるテーブル１の拡張部分にわたって延在する。
【００２６】
そのｘ，ｙ拡張部分の範囲内で、第３の真空室１３は、ｙの方向に延在する複数の平行なコラム形成溝１６に構造付与されている。コラム形成溝１６はｘの方向において第３の真空室１３を分割する。コラム形成溝１６の寸法と空間を構造的に画定することによって、所望の増分において有効表面範囲Ｗをサイズ調整することが可能である。コラム形成溝１６の間に残る空間は、第１の真空室１１に関して記載したように、天板１０のための支持構造１７として用いられる。
【００２７】
コラム形成溝１６へのアクセスは、ｚの方向において形成されテーブル１の下面Ｕから発するそれぞれ１つの入口穴１８によって可能とされる。第３の真空室１３の外側でのコラム形成溝１６の接続は、入口穴１８が終端する第２の接続路４２によってもたらされる。第２の接続路４２は、以下で記載される分配器ハウジングの一部である。
【００２８】
ライン形成溝１５の配置にしたがって第２の真空室１２を分割するために、ライン切替装置２がテーブル１に配置されている。ライン切替装置２は、逐次的に作用するリニア駆動装置２３と複数のシャッタ２０とを備えて構成される。シャッタ２０の数はライン形成溝１５の数に対応する。ライン切替装置２を用いて、個々のライン形成溝１５の間と第１、第２の真空室１１，１２の間の第１の接続路２２によって確定される接続は、逐次的に解放され、また閉鎖され得る。ライン切替装置２は、リニア駆動装置２３に接続した制御装置６によって制御される。
【００２９】
シャッタ２０は金属シート細片で、ｘ−ｚ面に平行に且つｘの方向に延在するようにテーブル１に収容されている。シャッタ２０は、テーブル１内でｘの方向に可動なように収容されている。第２の真空室１２において、シャッタ２０は各々、ライン形成溝１５の間に残る空間、即ち、支持構造１７に関して中心に延在する空間において、正確に中央に配置されている。それゆえ、これらシャッタは第１の接続路２２の横断面を横断するので、各シャッタ２０は、シャッタ２０とそれぞれのライン形成溝１５の間に位置する第１の接続路２２の一部を解放し、閉じることが可能である。
【００３０】
ライン形成溝１５を解放するために、シャッタ２０は第２の真空室１２の範囲内でｙの方向において突破口２１を備えて構成される。閉じた状態において、シャッタ２０の突破口２１は支持構造１７の範囲内に位置する。突破口２１は支持構造１７によって覆われ、シールされている。作動を解放するために、シャッタ２０はリニア駆動装置２３によって、突破口２１が第１の接続路２２の横断面に位置するまで、ｘの方向に動かされる。これを明確にするため、図１は、第１の真空室１１に続くシャッタ２０の最初の７つを開いた状態で、更なる他のシャッタ２０のすべてを閉じた状態で示す。
【００３１】
第２の真空室１２から始まって、シャッタ２０は第３の真空室１３を通ってｘの方向に延び、第３の真空室１３の側面で側方にテーブル１を出る。シャッタ２０の出口端部は、そこに配置されたリニア駆動装置２３に接続されている。逐次的に作用するリニア駆動装置２３を用いて、第１の真空室１１で始まりｙの方向に連続するシャッタ２０は、次々と開かれ、あるいは反対方向に再び閉じられ得る。
【００３２】
第３の真空室１３を通って延在するシャッタ２０を用いて、第３の真空室１３はまた、第２の真空室１２のライン形成溝１５にしたがって、ｙの方向において分割され得る。第３の真空室１３の範囲内で、シャッタ２０の可動支持が支持構造１７においてもたらされる。それゆえシャッタ２０はコラム形成溝１６の横断面を横断する。各シャッタ２０の範囲内で、シャッタ２０間に位置する各コラム形成溝１６の部分は、第２の真空室１２のライン形成溝１５の１つと平行に解放され、あるいは閉鎖される。
【００３３】
コラム形成溝１６の部分を解放するために、シャッタ２０における更なる突破口２１が第３の真空室１３の範囲に配置されている。突破口２１の数と位置はコラム形成溝１６の数と位置に対応する。閉じた状態において、突破口２１は支持構造１７の範囲に位置している。突破口２１は支持構造１７によって覆われ、シールされている。突破口２１のサイズと、コラム形成溝１６若しくは支持構造１７の横断面の間の空間は、シャッタ２０の閉じた状態で突破口２１を完全に覆ってシールするように、互いに適合する。図１が最初の７つのシャッタ２０を示すように、シャッタ２０は、突破口２１がコラム形成溝１６の横断面に位置するまで、解放のためにリニア駆動装置２３によってｘの方向に動かされる。
【００３４】
図３ａと図３ｂは、第３の真空室１３に関連して既に上述したプレート形状の分配器ハウジング３を示す。これはテーブル１の下面Ｕに接続し、真空の接続と分配のために備えられている。これは、真空引き出し手段５のための接続フランジ３０と、第３の真空室１３のためのコラム切替装置４とを有する。プレート形状の分配器ハウジング３は少なくとも、ｘ，ｙの方向において第１、第３の真空室１１，１３の入口穴１８すべてがテーブル１の下面Ｕで分配器ハウジング３にて終端し得るように、寸法決めされている。
【００３５】
図１に既に示したように、接続フランジ３０は第１の真空室１１の下の範囲で分配器ハウジング３を出る。真空引き出し手段５は接続フランジ３０に接続している。接続フランジ３０は分配器ハウジング３の内側で凹部３１において終端する。凹部３１の範囲において、テーブル１での第１の真空室１１の入口穴１８すべてが配置されている。
【００３６】
コラム切替装置４は第２の接続路４２と回転翼板４０によって形成されている。回転翼板はｚの方向に向いた回転軸４１回りに回転可能である。第２の接続路４２は凹部３１に直接接続しており、凹部３１に永続的に存する真空との第２の接続路４２の分離は回転翼板４０によってもたらされる。第２の接続路４２は、回転軸４１回りに配置され回転翼板４０を可動に収容するよう構成されたほぼ半円形の室４３を備えて成る。該室４３から、個々の経路形状の入口４４が第３の真空室１３のコラム形成溝１６の入口穴１８にまで至る。入口４４は回転軸４１に関して放射状に配置され、各々、室４３に開口する開口部を有し、この開口部は回転翼板４０によって閉じられシールされ得る。
【００３７】
回転翼板４０の使用は、コラム切替装置４の構造設計を限定するものと解釈されるべきではない。原則として、切り替え可能な翼板の他のいかなる配置もコラム切替装置４に適する。回転翼板４０と入口４４の放射状配置とは、特定の利点、本例の場合、ｘの方向での第２の接続路の最大広がりを達成すると同時にコラム切替装置４のコンパクトな構成を達成してシールされるべき表面のサイズを最小に減らすことができるという利点を与える。
【００３８】
回転軸４１回りの回転翼板４０の回転動作によって、入口４４の開口部が次々と解放され、あるいは閉じられ、それにより第３の真空室１３のコラム形成溝１６は逐次的に第１の真空室１１の真空に接続し、あるいは真空から分離される。図３ａは、完全に閉じた状態における回転翼板４０を示す。閉じた状態において、第２の接続路４２、したがって第３の真空室１３も完全に真空空間から分離される。図３ｂは、完全に開いた状態における回転翼板４０を示す。この状態において、第２の接続路４２の入口４４すべては解放され、それにより第３の真空室１３のすべてのコラム形成溝１６は真空空間に接続される。図４に示されるように、閉じた状態と開いた状態の間の、回転翼板４０の中間状態もまた可能である。
【００３９】
回転翼板４０の回転動作は、図１に示された回転駆動装置４５によってもたらさせる。回転駆動装置４５は、コラム切替装置４の動作を制御する制御装置６に接続されている。回転駆動装置４５は、例えば真空引き出し手段５の力で生じる回転翼板４０の動きを阻止するセルフロック伝動装置（図示せず）を備えて構成される。
【００４０】
ライン切替装置２とコラム切替装置４の組み合わせ使用によって、真空を用いて対象物を固定する装置を用いて、ｘ及び／又はｙの方向におけるテーブル１の有効表面範囲Ｗの非常に分化されたサイズ調整を行うことが可能となり、その際、両方向での拡張若しくは減少が独立して行われ得る。これによって、最小フォーマットＭとテーブル１の最大ｘ−ｙ拡張の間で、所望の対象物フォーマットを確実に固定することが可能である。
【００４１】
図２は、テーブル１の他の実施形態を示す。図１に示した例示的な実施形態に比べて、ここでは第２、第３の真空室１２，１３がより多く細かく分けられている。より細かな分割は、より狭いライン形成溝１５若しくはコラム形成溝１６と、対応してそれらの間のより小さな空間とによって達成される。真空室１１，１２，１３と最小フォーマットＭの輪郭は破線で示される。第２の真空室１２に十分に真空を供給するために、第１の接続路２２はより広い。ｙの方向に延在する支持構造１７は第１の接続路２２の範囲内に幅にわたって配置され、支持構造１７は交差結線１９によってｘの方向にて一定の間隔で中断されている。より細かな分割によって、対象物フォーマットの寸法に対するテーブル１の有効表面範囲Ｗのより多くの分化されたサイズ調整が可能である。
【００４２】
図４に示された例示的な実施形態において、有効表面範囲Ｗのサイズは、ｘ，ｙの方向での最小フォーマットＭとテーブル１の最大拡張の間の中間サイズに設定されている。有効表面範囲Ｗは１点鎖線で示されている。有効表面範囲Ｗにおける個々の真空室１１，１２，１３の比率は破線で示されている。テーブルの下面Ｕに取り付けられた分配器ハウジング３は点線によって表されている。
【００４３】
最小フォーマットＭを超えるもっぱらｙの方向での有効表面範囲Ｗの拡張は、ライン切替装置２のシャッタ２０によって第２の真空室１２において実行される。調整される有効表面範囲Ｗの範囲内で第１の真空室１１に隣接して位置するシャッタ２０は開いた状態にある。開いた状態において、それぞれのシャッタ２０によって解放されたライン形成溝１５は、第１の接続路２２を介して、真空に接続される。調整される有効表面範囲Ｗの外側のすべてのシャッタ２０は閉じた状態にある。
【００４４】
最小フォーマットＭを超えるもっぱらｘの方向での有効表面範囲Ｗの拡張は、コラム切替装置４の回転翼板４０によって第３の真空室１３において実行される。図４に示された回転翼板４０の中間状態において、第１真空室１１に近接する、第３の真空室１３のコラム形成溝１６のほぼ最初の３分の１だけが真空に接続している。
【００４５】
最小フォーマットＭを超えるｘ，ｙの方向での有効表面範囲Ｗの同時拡張は、ｘの方向において第２の真空室１２に隣接する第３の真空室１２の部分において実行される。テーブル１のこの範囲は、ライン切替装置２とコラム切替装置４が同時に解放される場合に、真空を単純に供給され得る。ラインとコラムによる有効表面範囲Ｗのサイズ調整は、この範囲においてライン切替装置２とコラム切替装置４の重複作用を用いる。
【００４６】
図５は、ターブル１と天板１０を、第３の真空室１３を通る部分断面Ａ−Ａで示す。ここで示された実施形態において、逐次的に作用するリニア駆動装置２３はテーブル１の下面Ｕに取り付けられている。シャッタ２０は、テーブル１を通ってｚの方向にガイドされリニア駆動装置２３に作動接続された部分を有する。リニア駆動装置２３と作動接続はここではより詳細に説明しない。リニア駆動装置２３として、シャッタ２０を個々に且つｘの方向に相前後して逐次的に動かし得る駆動装置であれば、いかなる形態のものも適している。シャッタ２０は開いた状態で示されている。開いた状態において、突破口２１は、コラム切替装置４の状態に応じて、真空空間に接続されるように、第３の真空室１３のコラム形成溝１６の横断面に位置する。
【００４７】
閉じた状態をとるために、シャッタ２０は、突破口２１が完全に支持構造１７の横断面の範囲内に位置するまで、リニア駆動装置２３によってｘの方向にテーブル１内で動かされる。
【００４８】
複数のシャッタ２０を逐次的に開き、あるいは閉じることによって、コラム切替装置４によって解放されていた第３の真空室１３のコラム形成溝１６は、各シャッタ２０によってｙの方向に、１つのライン形成溝１５の幅だけ、各々サイズを拡張され、あるいは減少される。
【００４９】
図示しない他の例示的な実施形態において、有効表面範囲Ｗは、第１の真空室１１の両側でｘの方向及び／又はｙの方向において拡張可能である。このために、先に記載した例示的な実施形態から知られた第１、第２及び第３の真空室１１，１２，１３の配置は、テーブル１の中心に第１の真空室１１を動かして、配列される。その場合、第１の真空室１１の両側に、ライン切替装置２を備えた第２の真空室１２とコラム切替装置４を備えた第３の真空室１３とが２度配置され、即ち、テーブル１上でそれぞれ第１の真空室１１に対して鏡面対称に配置される。
【符号の説明】
【００５０】
１    テーブル
１０  天板
１１  第１の真空室
１２  第２の真空室
１３  第３の真空室
１４  穿孔
１５  ライン形成溝
１６  コラム形成溝
１７  支持構造
１８  入口穴
１９  （第１の接続路２２の支持構造１７における）交差結線
２  ライン切替装置
２０  シャッタ
２１  突破口
２２  第１の接続路
２３  リニア駆動装置
３  分配器ハウジング
３０  接続フランジ
３１  凹部
４  コラム切替装置
４０  回転翼板
４１  回転軸
４２  第２の接続路
４３  室
４４  入口
４５  回転駆動装置
５  真空引き出し手段
６  制御装置
Ｍ  最小フォーマット
Ｕ  （テーブル１の）下面
Ｗ  有効表面範囲
【図１】
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【図２】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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