(57)【要約】  ターボポンプ通気組立体及び方法が開示される。ターボポンプ通気組立体は、初期空気容積をターボポンプに送給するように作動可能な一次手動アクチュエータと、初期空気容積よりも大きな二次空気容積をターボポンプに送給するように作動可能な二次手動アクチュエータとを含む。このように、最初に初期空気容積を送給してターボポンプを減速することができる単純で信頼性の高い通気手段が提供される。その後、二次空気容積が送給されて、初期空気容積だけをさらに用いて可能になるものよりも迅速にターボポンプを減速することができる。異なる空気容積を送給することができる装置を備えることで、単に同じ大きさの空気容積を送給することによって可能になるものよりも安全かつ迅速にターボポンプを減速することができる。【選択図】図１
2019525071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
初期空気容積をターボポンプに送給するように作動可能な一次手動アクチュエータと、
前記初期空気容積よりも大きな二次空気容積を前記ターボポンプに送給するように作動可能な二次手動アクチュエータと、
を含むターボポンプ通気組立体。
【請求項２】
前記初期空気容積は、前記二次空気容積よりも小さい、請求項１に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項３】
前記一次手動アクチュエータは、前記初期空気容積が前記ターボポンプに送給される通気位置と、前記初期空気容積が前記ターボポンプに送給されるのが阻止される分離位置とを有する、請求項１又は２に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項４】
前記一次手動アクチュエータは、手動で前記通気位置と前記分離位置との間に設定可能である、請求項３に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項５】
前記一次手動アクチュエータは、前記分離位置に向かって付勢される、請求項３又は４に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項６】
前記一次手動アクチュエータは、解除可能に前記通気位置に設定可能である、請求項３から５のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項７】
前記一次手動アクチュエータは、前記通気位置にある場合に前記初期空気容積の供給源を前記ターボポンプと流体的に結合し、かつ前記分離位置にある場合に前記初期空気容積の前記供給源を前記ターボポンプと流体的に分離するように作動可能なバルブ構成を有する、請求項３から６のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項８】
前記バルブ構成は、前記通気位置にある場合に前記初期空気容積の供給源を前記ターボポンプと流体的に結合するように手動で操作可能であり、前記分離位置にある場合に前記初期空気容積の前記供給源を前記ターボポンプと流体的に分離するように付勢される、請求項７に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項９】
前記一次手動アクチュエータは、前記初期空気容積の前記供給源を前記ターボポンプと流体的に結合する導管を有し、前記導管は、前記通気位置にある場合に前記導管を通る流れを制限するように構成された制限器を有する、請求項３から８のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１０】
前記初期空気容積の前記供給源は、前記分離位置にある場合に貯蔵空気容積を保持するように、及び前記通気位置にある場合に前記初期空気容積として前記貯蔵空気容積を前記ターボポンプに送給するように作動可能なリザーバを含む、請求項３から９のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１１】
前記一次手動アクチュエータは、前記分離位置にある場合に前記リザーバを充填するように外部空気供給源と前記リザーバを流体的に結合するように作動可能なバルブ構成を含む、請求項１０に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１２】
前記バルブ構成は、前記分離位置にある場合に前記ターボポンプから前記リザーバを流体的に分離するように作動可能である、請求項１１に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１３】
前記バルブ構成は、前記通気位置にある場合に前記初期空気容積としての前記貯蔵空気容積を前記ターボポンプに送給するように前記リザーバを前記ターボポンプと流体的に結合するように作動可能である、請求項１１又は１２に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１４】
前記バルブ構成は、前記通気位置にある場合に前記外部空気供給源から前記リザーバを流体的に分離するように作動可能である、請求項１１から１３のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１５】
前記リザーバは、前記分離位置と前記通気位置との間で変位可能である、請求項１１から１４のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１６】
前記リザーバは、直線的及び回転的にのうちの１つで変位可能である、請求項１１から１５のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１７】
前記一次手動アクチュエータは複数の前記リザーバを有する、請求項１１から１６のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１８】
前記リザーバの各々は、関連する通気位置にある場合に前記第１の空気容積を前記ターボポンプに送給するように作動可能である、請求項１１から１７のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項１９】
前記二次手動アクチュエータは、前記第２の空気容積が前記ターボポンプに送給される通気位置と、前記第２の空気容積が前記ターボポンプに送給されるのが阻止される分離位置とを有する、請求項１から１８のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項２０】
前記二次手動アクチュエータは、手動で前記通気位置と前記分離位置との間に設定可能である、請求項１９に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項２１】
前記ターボポンプ通気組立体は、前記ターボポンプの相補的結合部に収容されるように作動可能な結合部を含み、前記二次手動アクチュエータは、前記第２の空気容積を前記ターボポンプに送給するために、前記分離位置において前記相補的結合部から前記結合部を引き離すように作動可能である、請求項１から２０のいずれか一項に記載のターボポンプ通気組立体。
【請求項２２】
一次手動アクチュエータを用いて初期空気容積をターボポンプに送給する段階と、
二次手動アクチュエータを用いて二次空気容積をターボポンプに送給する段階と、を含み、前記二次空気容積は、前記初期空気容積よりも大きい、
ことを特徴とするターボポンプ通気方法。
【請求項２３】
添付の図面を参照して上記に説明したターボポンプ通気組立体又は方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターボポンプ通気組立体及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造ステップにおいて高真空プロセスチャンバで行われる乾式エッチング、化学蒸着（ＣＶＤ）等のプロセスでは、例えば、特開２０００−２９１５８６に示されるように、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプは、プロセスチャンバからガスを排出することによってプロセスチャンバ内に高真空を生成するために用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２９１５８６
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の態様によれば、初期空気容積をターボポンプに送給するように作動可能な一次手動アクチュエータと、初期空気容積よりも大きな二次空気容積をターボポンプに送給するように作動可能な二次手動アクチュエータとを含むターボポンプ通気組立体が提供される。第１の態様は、ターボポンプ使用時の制限要因が、真空を生成して破壊するのに要する時間であることを認識している。ターボポンプによって生成された真空を破壊することに関する制限要因のうちの１つは、ターボポンプのロータを減速するのに要する時間である。真空破壊によってロータを減速するための装置が存在するが、これらの装置は複雑であり、信頼性が低いか又はそうでなければ問題のある可能性がある。それほど複雑でない手法としては、ポンプの環境側からポンプの真空側の中に空気を導入することによるターボポンプの通気が挙げられる。しかしながら、第１の態様は、従来の手動通気バルブを用いた急激な通気が、主軸受又は軸受ケージの高応力及び摩耗を引き起こし、従来の固定軸受式及び磁気浮上式ターボポンプの両方におけるロータ不安定につながる可能性があることも認識している。このような通気は、ターボポンプの作動寿命を短くする可能性があり、もしくはさらに深刻な場合には、急な軸受寿命の終了又はロータ／ステータ構成部品の衝突に起因してターボポンプの急停止につながる可能性がある。
【０００５】
従って、ターボポンプのための通気手段を提供することができる。通気手段は、一次、第１の又は初期アクチュエータを含むことができる。アクチュエータは、手動であり又はユーザが作動させる又は操作することができる。アクチュエータは、空気又は他のガスの一次、第１の又は初期容積、量又は分量をターボポンプに送給又は供給することができる。また、通気手段は、二次又は別のアクチュエータを含むことができる。二次アクチュエータは、手動であり又はユーザが作動させる又は操作することができ、空気又は他のガスの第２の又はさらなる容積又は量をターボポンプに送給又は供給することができる。第２の空気容積は、初期空気容積の量よりも大きいか又はそれ以上とすることができる。このようにして、最初に初期空気容積を送給してターボポンプを減速することができる、単純かつ信頼性の高い通気手段が提供される。その後、二次空気容積が送給されて、さらなる初期空気容積だけを用いて可能になるものよりも迅速にターボポンプを減速することができる。異なる空気容積を送給することができる装置を備えることで、単に同じ大きさの空気容積を送給することによって可能になるものよりも安全かつ迅速にターボポンプを減速することができる。
【０００６】
１つの実施形態において、初期空気容積は、二次空気容積よりも小さい。従って、初期空気容積はより小さくすること、又は二次空気容積ほど大きくしないことが可能である。
【０００７】
１つの実施形態において、一次手動アクチュエータは、初期空気容積がターボポンプに送給される通気位置と、初期空気容積がターボポンプに送給されるのが阻止される分離位置とを有する。従って、一次手動アクチュエータは、初期空気容積がターボポンプに送給又は供給される通気位置又は開放位置を有することができる。一次アクチュエータは、初期空気容積がターボポンプに送給されるのが阻止される又は妨害される分離位置又は閉鎖位置を有することができる。従って、初期空気容積の個々の噴出空気（burst）を、ターボポンプに送給することができる。
【０００８】
１つの実施形態において、一次手動アクチュエータは、手動で通気位置と分離位置との間に設定可能である。従って、アクチュエータは、ユーザが通気位置と分離位置との間で操作することができる。
【０００９】
１つの実施形態において、一次手動アクチュエータは、分離位置に向かって付勢される。従って、アクチュエータは、分離位置に事前配置することができる。
【００１０】
１つの実施形態において、一次手動アクチュエータは、解除可能に通気位置に設定可能である。従って、アクチュエータは、ユーザが通気位置に操作可能とすることができるが、その後、解除すると分離位置に戻ることができる。
【００１１】
１つの実施形態において、一次手動アクチュエータは、通気位置にある場合に初期空気容積の供給源をターボポンプと流体的に結合し、そして分離位置にある場合に初期空気容積の供給源をターボポンプと流体的に分離するように作動可能なバルブ構成を有する。従って、通気位置にある場合に初期空気容積の供給源をターボポンプと流体的に結合することができ、分離位置にある場合に初期空気容積の供給源をターボポンプと分離することができるバルブを設けることができる。
【００１２】
１つの実施形態において、バルブ構成は、通気位置にある場合に初期空気容積の供給源をターボポンプと流体的に結合するように手動で操作可能であり、分離位置にある場合に初期空気容積の供給源をターボポンプと流体的に分離するように付勢される。
【００１３】
１つの実施形態において、一次手動アクチュエータは、初期空気容積の供給源をターボポンプと流体的に結合する導管を有し、導管は、通気位置にある場合に導管を通る流れを制限するように構成された制限器を有する。従って、初期空気容積の流れは、ターボポンプに送給される際に制限器によって制限できる。
【００１４】
１つの実施形態において、初期空気容積の供給源は、分離位置にある場合に貯蔵空気容積を保持するように、及び通気位置にある場合に初期空気容積として貯蔵空気容積をターボポンプに送給するように作動可能なリザーバを含む。従って、貯蔵又は一定の空気容積として収容される初期空気容積を供給するリザーバを設けることができる。貯蔵空気容積は、分離位置にある場合に保持することができ、通気位置にある場合にターボポンプに送給することができる。
【００１５】
１つの実施形態において、一次手動アクチュエータは、分離位置にある場合にリザーバを満たすように外部空気供給源とリザーバを流体的に結合するように作動可能なバルブ構成を含む。従って、バルブは、分離位置にある場合にリザーバを満たす又は補充するように外部空気供給源とリザーバを結合することができる。
【００１６】
１つの実施形態において、バルブ構成は、分離位置にある場合にターボポンプからリザーバを流体的に分離するように作動可能である。従って、バルブは、分離位置にある場合にリザーバ及びターボポンプを分離又は流体的に分離することができる。
【００１７】
１つの実施形態において、バルブ構成は、通気位置にある場合に初期空気容積としての貯蔵空気容積をターボポンプに送給するようにリザーバをターボポンプと流体的に結合するように作動可能である。従って、バルブ構成は、通気位置にある場合にリザーバ及びターボポンプを結合又は流体的に接続することができる。
【００１８】
１つの実施形態において、バルブ構成は、通気位置にある場合に外部空気供給源からリザーバを流体的に分離するように作動可能である。
【００１９】
１つの実施形態において、リザーバは、分離位置と通気位置との間で変位可能である。従って、リザーバは、分離位置と通気位置との間で移動、平行移動、又は変位することができる。リザーバの移動により、リザーバを満たすこと又は放出させることができる。
【００２０】
１つの実施形態において、リザーバは、直線的及び回転的のうちの１つで変位可能である。
【００２１】
１つの実施形態において、一次手動アクチュエータは複数のリザーバを有する。従って、２以上のリザーバは、空気の個々の、複数の、初期容積の送給を容易にするために設けることができる。
【００２２】
１つの実施形態において、各リザーバは、関連する通気位置にある場合に、単独で第１の空気容積をターボポンプに送給するように作動可能である。従って、一度に１つのリザーバだけが所定の空気容積をターボポンプに送給することができる。
【００２３】
１つの実施形態において、二次手動アクチュエータは、第２の空気容積がターボポンプに送給される通気位置と、第２の空気容積がターボポンプに送給されるのが阻止される分離位置とを有する。従って、第２の空気容積をターボポンプに送給することができる、第２の又はさらなる手動アクチュエータを設けることができる。
【００２４】
１つの実施形態において、二次手動アクチュエータは、手動で通気位置と分離位置との間に設定可能である。
【００２５】
１つの実施形態において、ターボポンプ通気組立体は、ターボポンプの相補的結合部に収容されるように作動可能な結合部を含み、二次手動アクチュエータは、第２の空気容積をターボポンプに送給するために、分離位置において相補的結合部から結合部を引き離すように作動可能である。従って、二次手動アクチュエータは、ターボポンプ通気手段との間の結合部を含むことができる。
【００２６】
第２の態様によれば、一次手動アクチュエータを用いてターボポンプを減速するために初期空気容積を送給する段階と、二次手動アクチュエータを用いてターボポンプを減速する二次空気容積を送給する段階と、を含み、二次空気容積は、初期空気容積よりも大きい、ターボポンプ通気方法が提供される。
【００２７】
１つの実施形態において、初期空気容積は、二次空気容積よりも小さい。
【００２８】
１つの実施形態において、本方法は、初期空気容積がターボポンプに送給されるのが阻止される分離位置から初期空気容積を送給する通気位置へ一次手動アクチュエータを手動で作動させる段階を含む。
【００２９】
１つの実施形態において、本方法は、通気位置と分離位置との間に一次手動アクチュエータを手動で作動させる段階を含む。
【００３０】
１つの実施形態において、本方法は、一次手動アクチュエータを分離位置に付勢する段階を含む。
【００３１】
１つの実施形態において、本方法は、一次手動アクチュエータを通気位置に手動で作動させる段階を含む。
【００３２】
１つの実施形態において、本方法は、バルブを用いて、通気位置にある場合に空気の供給源をターボポンプに流体的に結合する段階と、分離位置にある場合に空気の供給源をターボポンプから流体的に分離する段階とを含む。
【００３３】
１つの実施形態において、本方法は、通気位置にある場合に付勢に抗して手動で空気の供給源をターボポンプと流体的に結合する段階と、分離位置にある場合に付勢によって空気の供給源をターボポンプと流体的に分離する段階とを含む。
【００３４】
１つの実施形態において、本方法は、通気位置にある場合に一次手動アクチュエータを通る流れを制限する段階を含む。
【００３５】
１つの実施形態において、本方法は、分離位置にある場合に貯蔵空気容積をリザーバに保持する段階と、通気位置にある場合に第１の空気容積として貯蔵空気容積をターボポンプに送給する段階とを含む。
【００３６】
１つの実施形態において、本方法は、分離位置にある場合にリザーバを満たすようにリザーバを外部空気供給源と流体的に結合する段階を含む。
【００３７】
１つの実施形態において、本方法は、分離位置にある場合にリザーバをターボポンプから流体的に分離する段階を含む。
【００３８】
１つの実施形態において、本方法は、通気位置にある場合に第１の空気容積として貯蔵空気容積をターボポンプに送給するようにリザーバをターボポンプに流体的に結合する段階を含む。
【００３９】
１つの実施形態において、本方法は、通気位置にある場合にリザーバを外部空気供給源から流体的に分離する段階を含む。
【００４０】
１つの実施形態において、本方法は、分離位置と通気位置との間でリザーバを手動で変位させる段階を含む。
【００４１】
１つの実施形態において、本方法は、直線的及び回転的のうちの１つでリザーバを変位させる段階を含む。
【００４２】
１つの実施形態において、本方法は複数のリザーバを提供する段階を含む。
【００４３】
１つの実施形態において、本方法は、関連する通気位置にある場合に各リザーバからターボポンプに第１の容積を送給する段階を含む。
【００４４】
１つの実施形態において、本方法は、第２の容積をターボポンプに送給するために、二次手動アクチュエータを通気位置に作動させる段階を含む。
【００４５】
１つの実施形態において、本方法は、第２の容積がターボポンプに送給されるのを阻止するために、二次手動アクチュエータを分離位置に作動させる段階を含む。
【００４６】
１つの実施形態において、本方法は、手動で二次手動アクチュエータを通気位置と分離位置との間に設定する段階を含む。
【００４７】
１つの実施形態において、本方法は、第２の空気容積をターボポンプに送給するために、ターボポンプ通気組立体の結合部をターボポンプの相補的結合部から引き離す段階を含む。
【００４８】
第３の態様によれば、添付の図面を参照して上記に説明したようなターボポンプ通気組立体又は方法が提供される。
【００４９】
さらなる特定の及び好ましい態様は、添付の独立及び従属クレームで提示される。従属クレームの特徴部は、必要に応じて独立クレームの特徴部と組み合わせることができ、それ以外の組み合わせはクレームに明示的に提示されている。
【００５０】
装置特徴部が機能を提供するように作動可能であると説明されている場合、このことは、その機能を提供する、又はその機能を提供するようになっている又はそのように構成された装置特徴部を含むことを理解されたい。
【００５１】
本発明の実施形態は、添付の図面を参照して以下に詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】１つの実施形態による通気組立体を示す。
【図２】１つの実施形態による通気組立体を示す。
【図３】１つの実施形態による通気組立体を示す。
【発明を実施するための形態】
【００５３】
実施形態をより詳細に検討する前にまず概略を提示する。半導体製作設備などの処理設備において、各処理ステージの間を迅速に切り替える能力の１つの制限要因は、処理設備内で真空を生成して解放する能力である。詳細には、ターボポンプが真空の生成に利用される場合、ターボポンプが動作停止後も長期間回転し続けるという結果となるようなターボポンプの回転速度、運動量、及び低いロスを考慮に入れると、ターボポンプを減速させることができる速度は制限要因である。
【００５４】
実施形態は、ターボポンプ室へのガス流の導入がターボポンプを減速するための簡単な機構であることを認識している。ターボポンプ室に導入されるガス流の摩擦作用は、ターボポンプロータの減速に役立つ。しかしながら、ターボポンプの中へのガスの導入は、ロータ及びロータを支持する軸受に応力をもたらす。従って、導入することができるガスの量又は分量は、ロータの速度によって異なる。詳細には、最初に導入されるガス量は、ターボポンプの損傷を防ぐために慎重に制御する必要がある。しかしながら、初期ガス流を送給し続けるとロータの減速に必要以上に時間がかかってしまう。これは、より多くの量のガスを導入しても安全なようにロータ速度が十分に減速したのなら、より多くの量のガスを導入することができるからである。ターボポンプを迅速に減速するために用いることができる電気機械的構成が存在するが、これらは複雑で多くの構成部品で構成される。
【００５５】
従って、実施形態は、ターボポンプを迅速に減速させるための簡単な機械的構成を提供する。実施形態は、既存のターボポンプに後付けすることができるターボポンプ通気組立体を提供する。ターボポンプ通気組立体は、使用時、最初にターボポンプを減速する１又は２以上の空気初期流、容積、又は噴出流を送給する一次、初期、又は第１のアクチュエータ又はデバイスを有する手動作動式機械的構成である。また、通気組立体は、使用時、空気の第２の流量又は容積をターボポンプに送給する、別の、第２の、又はさらなる手動操作式アクチュエータ又はデバイスを含む。二次手動アクチュエータによって供給される空気量は、一次手動アクチュエータによって供給される空気量よりも大きい。従って、簡単なユーザ操作によって、ターボポンプは、最初に一次アクチュエータを用いて減速し、次に、ユーザが二次アクチュエータを操作することによって完全に停止させることができる。これは、ターボポンプを迅速に停止するための簡単で信頼性が高くかつ有効な機構を提供する。典型的には、一次手動アクチュエータは、制御された一定のガス容積量を送給してターボポンプを段階的に減速する。典型的には、二次アクチュエータは、制限された連続ガス流をターボポンプ組立体に提供してロータが完全に停止するまで減速させる。
【００５６】
通気組立体−第１の実施形態
図１は、１つの実施形態による通気組立体１０Ａを示す。通気組立体は、典型的には、ターボポンプ３０のハウジング２０に形成された導管４０の中に後付けされる。導管４０は、ロータ、軸受、及び関連の構造体が設けられているターボポンプ３０の内部の真空側５０から大気圧の環境側６０に延びる。一次手動アクチュエータ７０Ａが設けられている。一次手動アクチュエータは、ばね８０Ａによって図１に示す分離位置に付勢されているピストン装置を含む。
【００５７】
図１に示す位置にある場合、ピストン装置内に定められた容積９０Ａは、ギャラリー１１０Ａ及び入口１２０Ａを介して環境側６０の空気と流体連通状態にある。この位置では、空気は容積９０Ａの中に流入することができる。典型的にはユーザがピストン装置の端部１３０Ａに力が付与すると、力は、ばね８０Ａの付勢力に打ち勝ち、ピストン装置は、通気位置（図示せず）に向かって方向Ａに長手方向に平行移動する。ピストン装置が方向Ａに移動すると、ピストン装置の表面上の溝１５０Ａ内に保持されたＯリングシール１４０Ａは、ギャラリー１１０Ａの中を方向Ａに移動し、入口１２０Ａと容積９０Ａを流体的に分離する。ピストン装置の方向Ａの連続した押圧は、容積９０Ａが通気組立体の内面に設けられた溝１７０Ａに保持されたＯリングシール１６０Ａを通過するようにさせる。トラップ容積９０ＡがＯリングシール１６０Ａ及び通気位置を通過すると、容積９０Ａは結果的に真空側５０と流体連通状態になり、トラップ容積９０Ａの中に蓄えられた空気は、蓄えられた空気容積の真空側５０の中への流れを制限する制限器アパーチャ２００Ａを介して、ターボポンプ３０のロータを減速するために真空側５０Ａに送給される。
【００５８】
ユーザが端部１３０Ａに圧力を加えるのを止めると、ピストン装置は、方向Ｂのばね８０Ａの動作によって変位して図１に示す位置に戻り、ここでトラップ容積９０Ａに空気が補給される。
【００５９】
端部１３０Ａの各押圧は、一定容積の空気をターボポンプ３０の真空側５０に送給させる。これらの一定容積の空気の送給は、ターボポンプ３０内のロータを順次的に減速させる。
【００６０】
ピストン装置を保持するハウジング１９０Ａは、二次手動アクチュエータとして設けられる。ハウジング１９０Ａの外側表面１８０Ａには、ハウジング１９０Ａの把持及び回動を容易にするギザギザ又は隆起部があり、これはハウジング１９０Ａを部分的に又は完全に取り外すことを可能にする。これは、制限器アパーチャ２００を環境側６０と流体的に結合して真空側５０に第２の空気流が入ることを可能にし、結果的にターボポンプ３０内のロータを停止させる、ターボポンプを再始動させたい場合、ハウジング１９０を再装備して、環境側６０から制限器アパーチャ２００Ａを流体的に分離する。
【００６１】
通気組立体−第２の実施形態
図２は、１つの実施形態による通気組立体１０Ｂを示す。通気組立体１０Ｂは、典型的には、ターボポンプ３０のハウジング２０に形成された導管４０の中に後付けされる。導管４０は、ロータ、軸受及び関連の構造体が設けられているターボポンプ３０の内部の真空側５０から大気圧の環境側６０に延びる。制限器アパーチャ２００Ｂは、通気組立体１０Ｂから供給された何らかの空気の真空側５０への流量を制限する。通気組立体１０Ｂは、上述の実施形態と同様であるが、一次手動アクチュエータ７０Ｂとして双投式ピストン装置を使用しており、それを通して延びる１対のトラップ容積９０Ｂ１、９０Ｂ２を有する。
【００６２】
端部１３０Ｂ１、１０３Ｂ２は、ユーザによって交互に押し下げられる。一方の端部１３０Ｂ１を押圧すると方向Ｃの変位が生じ、これによりトラップ容積９０Ｂ１内に貯留された空気は真空側と流体連通状態になり制限器アパーチャ２００Ｂを介して送給される。この位置では、トラップ容積９０Ｂ２は、空気で満たされた入口１２０Ｂ２を介して流体連通状態にある。トラップ容積９０Ｂ２内の空気は、１対のＯリングシール１４０Ｂ２によって貯留される。端部１３０Ｂ２を押すと、方向Ｄのピストン装置の変位が生じ、トラップ容積９０Ｂ２は真空側５０と流体連通状態になり、トラップ容積９０Ｂ２内の空気は制限器アパーチャ２００Ｂを介して送給される。この位置にある場合、トラップ容積９０Ｂ１は、入口１２０Ｂ１を介して環境側６０と流体連通状態にあり、空気が補給される。トラップ容積９０Ｂ１内の空気は、１対のＯリングシール１４０Ｂ１によって貯留される。
【００６３】
端部１３０Ｂ１及び１３０Ｂ２上の連続した交互の押圧は、ターボポンプ３０のロータを最初に減速させるために、制限器アパーチャ２００Ｂを介して一定の容積の空気を真空側５０に送給させる。
【００６４】
プラグ２１０Ｂは、二次手動アクチュエータとして設けられており、ハウジング１９０Ｂからプラグ２１０Ｂの部分的な又は完全な取り外しのための回動を容易にするギザギザ又は隆起部を有する表面２２０Ｂを備えている。プラグ２１０Ｂを取り外すと、環境側６０は、制限器アパーチャ２００Ｂを介して真空側５０と流体的に結合し、空気は、制限器アパーチャ２００Ｂを介して真空側５０に送給され、ターボポンプ３０内のロータは減速して停止する。次に、プラグ２１０Ｂは、ターボポンプ３０を再始動する前に、真空側５０を環境側６０から流体的に分離するために再装着することができる。
【００６５】
通気組立体−第３の実施形態
図３は、１つの実施形態による通気組立体１０Ｃを示す。通気組立体１０Ｃは、典型的には、ターボポンプ３０のハウジング２０に形成された導管４０の中に後付けされる。導管４０は、ロータ、軸受及び関連の構造体が設けられているターボポンプ３０の内部の真空側５０から大気圧の環境側６０に延びる。制限器アパーチャ２００Ｃは、通気組立体１０Ｃから供給された何らかの空気の真空側５０への流量を制限する。通気組立体１０Ｃは、上述の実施形態と同様であるが、一次手動アクチュエータ７０Ｃとして、内部に１又２以上のトラップ容積９０Ｃを有する回転部材を使用する。
【００６６】
この装置において、一次手動アクチュエータ７０Ｃは、保持ばね８０Ｃで同心円状に取り囲まれたシャフト２３０Ｃを用いてハウジング１９０Ｃによって保持される。一次手動アクチュエータ７０Ｃは、ハウジング１９０Ｃの周りで方向Ｅに自由に回転する。
【００６７】
図３に示す位置にある場合、本体１３０Ｃ内のトラップ容積９０Ｃは、トラップ容積９０内の空気の真空側への送給のために導管２４０Ｃを介して真空側５０と流体的に結合され、最初にターボポンプ３０のロータを減速させる。
【００６８】
一次手動アクチュエータ７０Ｃの連続的な回動は、トラップ容積９０Ｃを導管２４０Ｃから分離する。連続的な回動はトラップ容積９０Ｃを入口１２０Ｃと整列させて、トラップ容積９０Ｃを環境側６０と流体的に結合するので、空気がトラップ容積９０Ｃに再充填される。Ｏリングシート１４０Ｃは、空気をトラップ容積９０Ｃ内に貯留する。
【００６９】
部材１３０Ｃの連続的な可動は、トラップ容積９０Ｃを導管２４０Ｃと流体的に再結合させ、制限器２００Ｃを介してさらなる空気容積を真空側５０に送給して、ターボポンプ３０のロータをさらに減速する。
【００７０】
一次手動アクチュエータ７０Ｃは、二重の用途を有し、さらに二次手動アクチュエータの機能をもたらす。ターボポンプ３０のロータ速度が十分に減速すると、一次手動アクチュエータ７０Ｃは、把持してばね８０Ｃの付勢に抗して方向Ｆに引くことができる。これは、制限器２００Ｃを介して真空側５０を環境側６０と流体的に結合し、空気が環境側６０から真空側５０に入り、ターボポンプ３０のロータがさらに減速して停止することを可能にする。
【００７１】
本実施形態において、唯一のトラップ容積９０Ｃが示されているが、このようなトラップ容積を複数設けることができ、トラップ容積は、一次手動アクチュエータ７０Ｃの完全な回転未満で補給され送給されることができることが理解されよう。
【００７２】
本発明の例示の実施形態は、添付の図面を参照して本明細書で詳細に開示されているが、本発明は、正確な実施形態に限定されず、種々の変更を修正は、添付の特許請求の範囲及びこれらの均等手段によって定めるように、本発明の範囲から逸脱することなく当業者によってその中で達成することができることは理解される。
【符号の説明】
【００７３】
１０Ａ  通気組立体
１０Ｂ  通気組立体
１０Ｃ  通気組立体
２０  ハウジング
３０  ターボポンプ
４０  導管
５０  真空側
６０  環境側
７０Ａ  一次手動アクチュエータ
７０Ｂ  一次手動アクチュエータ
７０Ｃ  一次手動アクチュエータ
８０Ａ  ばね
８０Ｃ  ばね
９０Ａ  容積
９０Ｂ１  容積
９０Ｂ２  容積
９０Ｃ  容積
１１０Ａ  ギャラリー
１２０Ａ  入口
１２０Ｂ１  入口
１２０Ｂ２  入口
１２０Ｃ  入口
１３０Ａ  端部
１３０Ｂ１  端部
１３０Ｂ２  端部
１４０Ａ  Ｏリングシール
１４０Ｂ１  Ｏリングシール
１４０Ｂ２  Ｏリングシール
１４０Ｃ  Ｏリングシール
１５０Ａ  溝
１６０Ａ  Ｏリングシール
１７０Ａ  溝
１８０Ａ  表面
１９０Ａ  ハウジング
１９０Ｂ  ハウジング
１９０Ｃ  ハウジング
２００Ａ  制限器アパーチャ
２００Ｂ  制限器アパーチャ
２００Ｃ  制限器アパーチャ
２１０Ｂ  プラグ
２２０Ｂ  表面
２３０Ｃ  シャフト
２４０Ｃ  導管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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