(57)【要約】【課題】流体サンプルから粒子を濾過及び／又は分離する手段の提供。【解決手段】例示的実施形態として、マイクロ流体濾過の方法は、マイクロ流体チャネル内の第１の流体ポンプを作動させ、マイクロ流体チャネルを通して、及びフィルタループのフィルタを通して順方向の流体の流れを引き起こすことを含む。フィルタループは、ループ入口及びループ出口においてマイクロ流体チャネルと交差している。この方法は、第２の流体ポンプを作動させ、前記フィルタを通る逆方向の流体の流れを引き起こすことを含む。【選択図】図１
2019514017.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ流体濾過の方法であって、
マイクロ流体チャネル内の第１の流体ポンプを作動させ、前記マイクロ流体チャネルを通して、及びフィルタループのフィルタを通して順方向の流体の流れを引き起こし、前記フィルタループが、ループ入口及びループ出口において前記マイクロ流体チャネルと交差しており、
第２の流体ポンプを作動させ、前記フィルタを通る逆方向の流体の流れを引き起こすこと
を含む方法。
【請求項２】
前記マイクロ流体チャネルは、第１のリザーバと第２のリザーバとの間に延在しており、
前記第１の流体ポンプを作動させることは、前記第１のリザーバに向かって前記マイクロ流体チャネル内に非対称に配置された前記第１の流体ポンプを作動させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第２の流体ポンプを作動させることは、前記第２のリザーバに向かって前記マイクロ流体チャネル内に非対称に配置された前記第２の流体ポンプを作動させることを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第２の流体ポンプを作動させることは、前記フィルタループの前記ループ出口内に配置された前記第２の流体ポンプを作動させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記第２の流体ポンプを作動させることは、前記フィルタループの空洞内に配置された前記第２の流体ポンプを作動させることを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記第２の流体ポンプを作動させることは、
前記第１の流体ポンプを作動させるときにタイマーを始動させ、
前記タイマーの始動から時間間隔が経過するたびに前記第２の流体ポンプを作動させ、定期的に前記フィルタを掃除すること
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記第２の流体ポンプを作動させることは、
前記フィルタループを通る前記順方向の流体の流れにおける前記流体の特性を検知し、
前記検知に基づいて、前記第２の流体ポンプを作動させること
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記フィルタループの空洞内に配置された第３の流体ポンプを作動させ、前記フィルタループを通る前記順方向の流体の流れを増加させること
をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
第１のリザーバと第２のリザーバとの間で流体を受け渡しするためのマイクロ流体チャネルと、
ループ入口において前記マイクロ流体チャネルに結合されたフィルタループと、
前記ループ入口において前記マイクロ流体チャネルから前記フィルタループに入る流体を濾過するためのフィルタと、
前記マイクロ流体チャネルから前記フィルタを通して前記フィルタループへと流体を順方向にポンプ輸送するための順方向ポンプと、
前記順方向とは反対の逆方向に流体をポンプ輸送し、前記フィルタを掃除するための逆方向ポンプと
を含む、マイクロ流体濾過装置。
【請求項１０】
前記フィルタループは、ループ出口において選別リザーバにさらに結合され、濾過された流体を受け取る、請求項９に記載のマイクロ流体濾過装置。
【請求項１１】
前記順方向ポンプは、前記フィルタループの前記ループ入口内に配置され、前記ループ入口からループ出口に向かって流体を順方向にポンプ輸送し、前記フィルタを通る順方向の流れを生成する流体ポンプを含み、
前記逆方向ポンプは、前記ループ出口内に配置され、前記ループ出口から前記ループ入口に向かって前記逆方向に流体をポンプ輸送し、前記フィルタを通る逆方向の流れを生成する流体ポンプを含む、請求項９に記載のマイクロ流体濾過装置。
【請求項１２】
前記フィルタループ内に埋め込まれ、前記フィルタループ内の流体の特性を検知し、前記検知された特性に基づいて前記逆方向ポンプを作動させるためのセンサをさらに含む、請求項９に記載のマイクロ流体濾過装置。
【請求項１３】
第１のリザーバと第２のリザーバとの間で流体を受け渡しするためのマイクロ流体チャネルと、
複数の入れ子型フィルタループであって、第１の入れ子型フィルタループが、前記マイクロ流体チャネルと直接連通しており、他のすべての入れ子型フィルタループが、別の入れ子型フィルタループを通して前記マイクロ流体チャネルと間接的に連通している、複数の入れ子型フィルタループと、
前記入れ子型フィルタループを通して順方向の流体の流れを誘発するための第１の流体ポンプと、
前記流体から粒子を濾過するための、各入れ子型フィルタループに関連する粒子フィルタと、
前記入れ子型フィルタループを通る逆方向の流体の流れを誘発し、前記粒子フィルタを掃除するための第２の流体ポンプと
を含む、マイクロ流体濾過装置。
【請求項１４】
前記粒子フィルタは、前記入れ子型フィルタループが前記マイクロ流体チャネルから遠ざかるにつれて減少するサイズのフィルタ隙間を有するアーキテクチャを含む、請求項１３に記載のマイクロ流体濾過装置。
【請求項１５】
関連する入れ子型フィルタループの粒子フィルタを通して濾過された流体を受け取るための、各入れ子型フィルタループに関連する選別リザーバを含む、請求項１３に記載のマイクロ流体濾過装置。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
マイクロ流体技術は、工学、化学、生化学、バイオテクノロジーなどの多くの分野に幅広く応用されている。マイクロ流体技術は、インクジェットプリントヘッド、ラボオンチップデバイス、及び他のタイプのマイクロ流体チップデバイスなどの様々なシステム及びデバイス内の少量の流体の操作及び制御を必要とすることがある。
【図面の簡単な説明】
【０００２】
以下、添付の図面を参照して、種々の例を説明する。
【０００３】
【図１】流体サンプルから粒子を濾過及び／又は分離するためのマイクロ流体濾過装置を含むマイクロ流体濾過システムの例を示す図である。
【図２ａ】単一の入れ子型フィルタループ１１２を含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図２ｂ】単一の入れ子型フィルタループ１１２を含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図２ｃ】単一の入れ子型フィルタループ１１２を含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図２ｄ】単一の入れ子型フィルタループ１１２を含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図３】様々な粒子サイズを濾過するための粒子耐性構造を含む粒子フィルタの例を示す図である。
【図４ａ】フィルタループチャネルが埋め込みセンサを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図４ｂ】フィルタループチャネルが埋め込みセンサを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図５ａ】フィルタループの空洞内に配置された流体ポンプ１１４を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図５ｂ】フィルタループの空洞内に配置された流体ポンプ１１４を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図５ｃ】フィルタループの空洞内に配置された流体ポンプ１１４を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図５ｄ】フィルタループの空洞内に配置された流体ポンプ１１４を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図６ａ】濾過された流体を選別リザーバに選別することを可能にする２つのループ出口を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図６ｂ】濾過された流体を選別リザーバに選別することを可能にする２つのループ出口を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図６ｃ】濾過された流体を選別リザーバに選別することを可能にする２つのループ出口を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図６ｄ】濾過された流体を選別リザーバに選別することを可能にする２つのループ出口を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図６ｅ】濾過された流体を選別リザーバに選別することを可能にする２つのループ出口を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図６ｆ】濾過された流体を選別リザーバに選別することを可能にする２つのループ出口を有する単一の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図７ａ】複数の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図７ｂ】複数の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図７ｃ】複数の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図７ｄ】複数の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図７ｅ】複数の入れ子型フィルタループを含むマイクロ流体濾過装置の例を示す図である。
【図８】マイクロ流体濾過装置におけるマイクロ流体濾過の例示的方法を示すフロー図である。
【図９】マイクロ流体濾過装置におけるマイクロ流体濾過の例示的方法を示すフロー図である。
【０００４】
全図面を通して、同一の参照符号は、類似しているが、必ずしも同一ではない要素を示している。
【発明を実施するための形態】
【０００５】
様々な生物学的、化学的、工学的及び他の応用形態は、微粒子の濾過及び分離を利用することがあり、それらに依存することがある。例えば、多くの生物学的応用形態におけるサンプルの調製は、流体サンプルから生物学的細胞を濾過することを必要とすることがある。特定の例では、白血球が、その後の分析のために、全血サンプルから濾過又は分離されることがある。
【０００６】
精密濾過システムには、特定サイズを超える粒子又は物体を濾過又は分離するように設計された隙間又は細孔サイズを有するメンブレン、又はポスト若しくは他の物理的構造のアレイなどのフィルタ構成要素が組み込まれることがある。したがって、フィルタ構成要素の隙間や細孔のサイズは、特定のフィルタ応用形態、及び／又は、流体サンプルから濾過されるべき粒子のサイズによって、異なることがある。多くの精密濾過システムでしばしば遭遇する１つの課題は、フィルタ部品の目詰まり又は詰まりである。フィルタシステムが動作するにつれて、濾過された粒子は、フィルタの孔又は隙間を詰まらせることがある。フィルタが粒子によって詰まるにつれて、システムを通過するサンプルの流速は、減少することがあり、フィルタの動作を継続するために必要な圧力は、増加することがある。フィルタの目詰まりによって、フィルタは最終的に、非効率又は動作不能になることがある。
【０００７】
したがって、本明細書に開示されたマイクロ流体濾過装置の種々の例によれば、フィルタの目詰まりを防止し、目詰まりしたフィルタの目詰まりを取り除くために役立つことがある能動的及び受動的自己クリーニング機能に加えて、流体サンプルの能動的濾過、及び、そのような流体サンプルの粒子選別が可能となる。マイクロ流体チャネル及びフィルタループチャネル内に組み込まれた種々のフィルタは、チャネル内に埋め込まれた作動中の慣性マイクロポンプを使用して管理されることができる。一体化された種々のフィルタ及びマイクロポンプを有するフィルタループチャネルは、主流体チャネルから入れ子にされてもよく、順方向及び逆方向の流体の流れを可能にすることで、様々なレベルの粒子の濾過及び選別、並びにフィルタ自己クリーニングを促進する。
【０００８】
マイクロ流体チャネル内に埋め込まれた種々の慣性マイクロポンプを制御することによって、選択されたフィルタループチャネルを通してサンプル流体の流れの速度及び方向を制御することができ、それによって、異なる粒子濾過及び分離結果を達成することができる。例えば、様々なサイズのフィルタを有する入れ子型ループチャネルを通してサンプル流体を導くことによって、粒子サイズの減少に基づく粒子の濾過及び分離が可能となる。したがって、粒子の能動的濾過及び分離が可能になる。同様に、埋め込まれた慣性マイクロポンプを制御することによって、マイクロ流体チャネル内の粒子フィルタを通る能動的（すなわち、検知に基づく）及び受動的（すなわち、時間に基づく）な逆向きの流体の流れを提供することによる、フィルタの能動的及び受動的自己クリーニングが可能になる。主流体チャネル及び入れ子型フィルタループチャネルを通る順方向及び逆方向の流体の流れを制御することによって、フィルタを目詰まりしていない状態に維持するのに役立つことがある平行かつ逆向きの流体の流れのパターンが可能になる。また、逆向きの流体の流れを使用して、目詰まりした粒子をフィルタの空隙及び孔から洗い流すことができる。フィルタを能動的に目詰まりのない状態に維持することによって、マイクロ流体濾過装置の速度、効率及び生産性を向上させることができる。
【０００９】
特定の例では、マイクロ流体濾過の方法は、マイクロ流体チャネル内の第１の流体ポンプを作動させることを含む。マイクロ流体チャネルは、第１のリザーバと第２のリザーバとの間に延在することがあり、第１の流体ポンプは、第１のリザーバに向かってマイクロ流体チャネル内に非対称に配置され、マイクロ流体チャネルを通して第１のリザーバから第２のリザーバへ向かって、及びフィルタループ内のフィルタを通して順方向の流体の流れを引き起こすことができる。この方法は、第２の流体ポンプを作動させ、フィルタを通る逆方向の流体の流れを引き起こすことをさらに含む。この逆方向の流れによれば、フィルタを詰まらせることがある粒子を取り除くことにより、フィルタを掃除することができる。一部の実施形態において、第２の流体ポンプを作動させることは、第２のリザーバに向かってマイクロ流体チャネル内に非対称に配置された第２の流体ポンプを作動させることを含む。フィルタループは、ループ入口及びループ出口においてマイクロ流体チャネルと交差しており、一部の実施形態において、第２の流体ポンプを作動させることは、ループ出口内に配置された第２流体ポンプを作動させることを含む。
【００１０】
他の例において、マイクロ流体濾過装置は、第１のリザーバと第２のリザーバとの間で流体を受け渡しするためのマイクロ流体チャネルを含む。フィルタループは、ループ入口においてマイクロ流体チャネルに結合され、マイクロ流体チャネルからフィルタループに入る流体を濾過するために、フィルタが、ループ入口に配置される。順方向ポンプは、流体をフィルタを通してマイクロ流体チャネルからフィルタループへ順方向にポンプ輸送するように構成され、逆方向ポンプは、流体を逆方向にポンプ輸送することにより、フィルタを掃除するように構成される。一部の実施形態において、フィルタループは、ループ出口においてマイクロ流体チャネルに結合され、濾過された流体が、マイクロ流体チャネルに再び入り、第２のリザーバに向かって流れることができるように構成される。一方、一部の他の実施形態において、フィルタループは、ループ出口において選別粒子リザーバに結合され、濾過された流体を、第２のリザーバ内の流体から分離することができるように構成される。
【００１１】
他の例において、マイクロ流体濾過装置は、第１のリザーバと第２のリザーバとの間で流体を受け渡しするためのマイクロ流体チャネルを含む。この装置は、複数の入れ子型フィルタループを含み、第１の入れ子型フィルタループは、マイクロ流体チャネルと直接的に連通しており、他の入れ子型フィルタループは、別の入れ子型フィルタループを通してマイクロ流体チャネルと間接的に連通している。第１の流体ポンプは、入れ子型フィルタループを通る順方向の流体の流れを誘発するように構成され、各入れ子型フィルタループに関連する粒子フィルタは、流体から粒子を濾過するように構成される。第２の流体ポンプは、入れ子型フィルタループを通る逆方向の流体の流れを誘発することにより、粒子フィルタを掃除するように構成される。
【００１２】
図１は、流体サンプルから粒子を濾過及び／又は分離するためのマイクロ流体濾過装置１０２を含むマイクロ流体濾過システム１００の例を示している。図２（すなわち、図２ａ、図２ｂ、図２ｃ、図２ｄ）は、単一の入れ子型フィルタループ１１２を含むマイクロ流体濾過装置１０２の例を示している。図２の装置１０２は、サンプル流体を第１の入口リザーバ１０６（すなわち、入口流体サンプル供給リザーバ１０６）と第２の出口リザーバ１０８との間でマイクロ流体チャネル１０４を通して移動させるとともに、フィルタループ１１２内の粒子フィルタ１１０（すなわち、粒子フィルタ１１０ａ、１１０ｂ）によりサンプル流体の一部を濾過する、種々の動作モードで示されている。図１及び図２を参照すると、例示的マイクロ流体濾過装置１０２は、マイクロ流体チャネル１０４と、第１の入口供給リザーバ１０６と、第２の出口リザーバ１０８と、フィルタループ１１２内に配置されたフィルタ１１０と、マイクロ流体チャネル１０４及びフィルタループ１１２内の様々な場所に配置された複数の流体ポンプ１１４（すなわち、ポンプ１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃ、１１４ｄ）とを含む。
【００１３】
マイクロ流体濾過システム１００、より具体的にはマイクロ流体濾過装置１０２の種々の構造及び構成要素は、電鋳、レーザアブレーション、異方性エッチング、スパッタリング、乾式及び湿式エッチング、フォトリソグラフィー、キャスチング、モールディング、スタンピング、スピンコーティング、積層、三次元印刷などの集積回路微細加工技術、及び／又は、それらの任意の組み合わせ、及び／又は、任意の他の微小電気機械システム（すなわち、ＭＥＭＳ）、チップ若しくは基板製造技術を用いて製造されることができる。したがって、マイクロ流体濾過装置１０２は、例えば、複数のリザーバ１０６及び１０８と、マイクロ流体チャネル１０４及びフィルタループ１１２のような複数の流体チャネル（１０４，１１２）と、これらのチャネルの中に埋め込まれ若しくは一体化された複数の慣性マイクロポンプ１１４（すなわち、流体ポンプ１１４）と、複数のフィルタ構造１１０（すなわち、粒子フィルタ１１０）とを含むことができ、これらが全て単一のチップ又は基板上にあってよい。また、マイクロ流体濾過システム１００は、１次元、２次元及び／又は３次元のトポロジーのような異なるトポロジーのマイクロ流体濾過装置１０２を含むことができる。
【００１４】
流体ポンプ１１４は、例えば、熱バブル抵抗素子、圧電素子、音響アクチュエータ、圧電膜アクチュエータ、静電（ＭＥＭＳ）膜アクチュエータ、機械的／衝撃駆動膜アクチュエータ、ボイスコイルアクチュエータ、磁歪駆動アクチュエータ、機械的駆動装置、並びに／あるいは、任意の他の流体及び／又は機械的変位アクチュエータとして実施されることができる。流体ポンプ１１４がチャネル（例えば、１０４，１１２）内で作動されると、ポンプ１１４は、一時的に、又は短期間にわたって比較的高い圧力（例えば、慣性バブル駆動圧力）を生成し、チャネルを通る流体の流れを誘発する。チャネルを通る流体の流れは、チャネル内に非対称に配置された作動中の流体ポンプ１１４によって誘発することができる。例えば、図２ａに示されるように、作動中の流体ポンプ１１４ａ（濃い影付きのポンプ１１４ａとして示されている）は、順方向矢印１１６で示されるように、マイクロ流体チャネル１０４を通る順方向の流体の流れを誘発することができる。図２ａの例において、薄い影付きの流体ポンプ１１４ｂ、１１４ｃ及び１１４ｄは、これらのポンプが、作動していないポンプであることを示している。一部の例において、図２ａのポンプ１１４ｂ、１１４ｃ及び１１４ｄのような薄い影付きのポンプは、その場所にポンプが存在しないことを示している場合がある。一般に、マイクロ流体チャネル１０４内の流体ポンプの非対称配置によれば、作動中の流体ポンプ１１４ａに関して図２ａに示したように、チャネル１０４の短い側１１８（例えば、短いアーム）とチャネル１０４の長い側１２０（例えば、長いアーム）とが形成される。ポンプ１１４ａがチャネル１０４の中心１２２に対してこのように非対称位置にあることにより、チャネル１０４の長い側１２０へ向かう方向１１６の正味の流体の流れを駆動する慣性状態が生成される。すなわち、図２ａの例における流体ポンプ素子１１４ａは、ポンプ１１４ａが作動されたときに、第１のリザーバ１０６から第２のリザーバ１０８へ向かう単方向の流体の流れ（すなわち、一方向の流体の流れ）をチャネル１０４内に誘発する。この例において、方向１１６の流体の流れは、順方向１１６であるとみなされることがある。
【００１５】
引き続き図２ａを参照すると、第２の順方向矢印１２４は、作動中の流体ポンプ１１４ａにより、フィルタループ１１２を通るいくらかの流体の流れがさらに誘発されることを示すことを意図している。この例（すなわち、流体ポンプ１１４ａが作動中であり、流体ポンプ１１４ｂ、１１４ｃ、１１４ｄが非作動中であるか、又は存在しない例）では、フィルタループ１１２を通る流れが、マイクロ流体チャネル１０４を通る流れに比べていくらか少なく、及び／又は弱くてもよいことを示すために、順方向矢印１２４は、順方向矢印１１６よりも小さくなっている。流体がマイクロ流体チャネル１０４からフィルタループ１１２に押し込まれる際に、流体は、フィルタ１１０ａを通過する。一部の例において、フィルタループ１１２は、１１０ｂのような別のフィルタをさらに含むことがある。フィルタ１１０ａのようなフィルタ１１０は、例えば、特定サイズを超える粒子又は物体を濾過又は分離するように設計された隙間又は細孔サイズを有するポスト又は他の物理的構造のアレイを含む粒子耐性アーキテクチャとして実施されることができる。
【００１６】
図３は、様々な粒子サイズを濾過するための粒子耐性構造を含む粒子フィルタ１１０の例を示している。図３に示されるように、例示的粒子耐性アーキテクチャ１２６（１２６ａ、１２６ｂ、及び１２６ｃとして図示されている）は、様々な異なる隙間サイズを備えたポスト又はポストのアレイを含むことがあり、粒子は、その中を通過することができ、又はその中を通って濾過されることができる。このようなフィルタアーキテクチャを実施することが可能な多数の方法がある。一部の例では、図３に示されるように、このようなアーキテクチャは、Ｎ行×Ｍ列構成のポストを含むことがある。特定の例では、フィルタアーキテクチャ１２６ａは、異なる数の列を有する単一行のポストを含むことがある。別の例では、フィルタアーキテクチャ１２６ｂは、異なる数の列を有する２行のポストを含むことがある。別の例では、フィルタアーキテクチャ１２６ｃは、異なる数の列を有する３行のポストを含むことがある。
【００１７】
図２（すなわち、図２ａ、図２ｂ、図２ｃ、図２ｄ）を再び参照すると、上述のように、マイクロ流体濾過装置１０２は、マイクロ流体チャネル１０４を通して、及びフィルタループ１１２を通して、サンプル流体を移動させ、サンプル流体の一部をフィルタループ１１２内の粒子フィルタ１１０（すなわち、粒子フィルタ１１０ａ，１１０ｂ）によって濾過する種々の動作モードを有することができる。図２ａに関して上で説明したように、一つの例示的動作モードにおいて、作動中の流体ポンプ１１４ａは、マイクロ流体チャネル１０４を通る順方向１１６の流体の流れと、フィルタループ１１２及びフィルタ１１０ａを通る順方向１２４の流体の流れとを誘発することができる。図２ｂは、作動中の別の流体ポンプ１１４ｂにより、フィルタループ１１２及びフィルタ１１０ａを通る順方向１２４の流体の流れをさらに誘発することができる別の動作モードを示している。図２ｂに示されるように、流体ポンプ１１４ｂは、流体がフィルタ１１０ａを通過してマイクロ流体チャネル１０４からフィルタループ１１２に入る場所であるフィルタループ１１２内のループ入口１１１に配置されている。流体ポンプ１１４ｂは、それが作動中のポンプであることを示すために、図２ｂにおいて、濃い影が付されている。流体ポンプ１１４ｂの作動によって、図２ａに関して上で説明したものと同様の形で、フィルタループ１１２の長いアームに向かう流体の流れが誘発される。図２ａに示されている小さい方の順方向矢印１２４に比べて大きい図２ｂに示されている順方向矢印１２４は、流体ポンプ１１４ｂの作動により、フィルタループ１１２を通って、及びフィルタ１１０ａ，１１０ｂを通って流れる流体の量が増加することを示すことを意図している。このように、図２ａ及び図２ｂは、流体の流れが、マイクロ流体チャネルを通して順方向１１６に誘発されるとともに、フィルタループ１１２を通して順方向１２４に誘発される種々の動作モードを示している。
【００１８】
次に、図２ｃ及び図２ｄを参照すると、流体の流れが逆方向に誘発される種々の動作モードが示されている。後述するように、一部の例では、フィルタ１１０ａ及び１１０ｂからの粒子の掃除を助けるために、流体の流れが、逆方向に誘発されることがある。図２ｃに示されるように、流体ポンプ１１４ｄは、それが作動中のポンプであることを示すために、濃い影が付されている。流体ポンプ１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃは、それらの薄い影で示されているように、作動していない。作動中の流体ポンプ１１４ｄは、第２のリザーバ１０８から遠ざかり、第１のリザーバ１０６に向かって戻る逆方向１２８の流体の流れを誘発する。フィルタループ１１２内の第２の逆方向矢印１３０は、作動中の流体ポンプ１１４ｄが、フィルタループ１１２を通るいくらかの流体の流れをさらに誘発することを示すことを意図している。この例（すなわち、流体ポンプ１１４ｄが作動中であり、流体ポンプ１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃが非作動中であるか、又は存在しない例）では、フィルタループ１１２を通る逆方向の流れが、マイクロ流体チャネル１０４を通る逆方向の流れに比べていくらか少なく、及び／又は弱くてもよいことを示すために、逆方向矢印１３０は、逆方向矢印１２８よりも小さくなっている。
【００１９】
図２ｄは、作動中の別の流体ポンプ１１４ｃにより、フィルタループ１１２を通る逆方向１３０の流体の流れをさらに誘発することが可能な別の動作モードを示している。図２ｄに示されるように、流体ポンプ１１４ｃは、流体がフィルタ１１０ｂを通過してフィルタループ１１２を出てマイクロ流体チャネル１０４に戻る場所であるフィルタループ１１２内のループ出口１１３に配置されている。図２ｄに示されるように、流体ポンプ１１４ｃは、それが作動中のポンプであることを示すために、濃い影が付されている。流体ポンプ１１４ｃの作動により、図２ａに関して上で説明したものと同様の形で、フィルタループ１１２の長いアームに向かう逆方向１３０の流体の流れが誘発される。図２ｃに示されている小さい方の逆方向矢印１３０に比べて大きい図２ｄに示されている逆方向矢印１３０は、流体ポンプ１１４ｃの作動により、フィルタループ１１２を通って、及びフィルタ１１０ａ，１１０ｂを通って逆方向１３０に流れる流体の量が増加することを示すことを意図している。このように、図２ｃ及び図２ｄは、流体の流れが、マイクロ流体チャネル１０４を通って逆方向１２８に誘発されるとともに、フィルタループ１１２を通って逆方向１３０に誘発される種々の動作モードを示している。
【００２０】
フィルタループ１１２及びフィルタ１１０を通って流れる流体の方向を反転させることは、フィルタ１１０内に閉じ込められた濾過された粒子であって、フィルタを詰まらせ、フィルタループ１１２内への流体の流れを減少させることがある粒子を除去するのに役立つことがある。図１及び図２（すなわち、図２ａ、図２ｂ、図２ｃ、図２ｄ）を再び参照すると、例示的マイクロ流体濾過システム１００は、図２ａ、図２ｂ、図２ｃ、図２ｄの例に関して上で説明したような様々な動作モードを実施するために、マイクロ流体濾過デバイス１０２の種々の構成要素の機能を制御するコントローラ１３２を含む。したがって、コントローラ１３２は、例えば流体ポンプ１１４のような種々のシステム構成要素を制御することにより、種々の動作モードを実現し、かかる動作モードにおいて、第１のリザーバ１０６からマイクロ流体チャネル１０４、フィルタループ１１２及び粒子フィルタ１１０を通る流体の流れの量及び方向を制御することにより、異なるレベルの濾過及び／又は粒子分離、並びに能動的及び受動的なフィルタ自己クリーニングを達成することができる。
【００２１】
図１に示さているように、例示的コントローラ１３２は、プロセッサ（ＣＰＵ）１３４及びメモリ１３６を含むことができる。コントローラ１３２は、別個の電子部品及びＡＳＩＣ（特定用途向け集積回路）のような、マイクロ流体濾過システム１００の種々の構成要素と通信し、それらを制御する他の電子回路（図示せず）をさらに含むことができる。メモリ１３６は、揮発性メモリ部品（すなわち、ＲＡＭ）と不揮発性メモリ部品（例えば、ＲＯＭ、ハードディスク、光ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、フラッシュメモリなど）との両方を含むことができる。メモリ１３６の種々の構成要素は、システム１００のプロセッサ１３４によって実行可能な機械読み取り可能なコード化プログラム命令、データ構造、プログラム命令モジュール、及び他のデータ及び／又は命令の記憶を提供する非一時的な機械読み取り可能媒体（例えば、コンピュータ／プロセッサ可読媒体）を含む。
【００２２】
メモリ１３６に記憶される命令の例としては、モジュール１３８及び１４０に関連する命令が挙げられ、記憶されるデータの例としては、制御データ１４２が挙げられる。一部の例において、コントローラ１３２は、コンピュータなどのホストシステムからデータ１４２を受信することができる。データ１４２は、例えば、システム１００を通る流体の移動の制御に関連するポンプ周波数データ及びポンプタイミングデータなどのデータを表している。プロセッサ１３４は、制御データ１４２を使用して、種々の命令（例えば、モジュール１３８，１４０からの命令）を実行することにより、流体ポンプ１１４のようなシステム１００の種々の構成要素を制御することにより、マイクロ流体チャネル１０４及びフィルタループ１１２を通る流体の流れの量及び方向を変化させることができる。モジュール１３８及び１４０は、マイクロ流体濾過システム１００に、例えば図８及び図９のフロー図をそれぞれ参照して以下に説明される方法８００及び９００の種々の動作のような、タイマー１４４からのタイミング情報及び／又はフィルタループ内に埋め込まれたセンサ１４６からの情報に応答して流体ポンプを作動させることに関連する種々の動作を実施させるために、プロセッサ１３４によって実行可能なプログラミング命令を含む。
【００２３】
一部の例において、タイミング・周波数モジュール１３８からの命令は、プロセッサ１３４上で様々な実施形態で実行可能であり、異なる流体ポンプ１１４の作動のタイミング及び周波数を制御することにより、マイクロ流体濾過装置１０２のマイクロ流体チャネル１０４及び／又はフィルタループ１１２を通る流体の流れを誘発する。一部の例において、流体ポンプ１１４の作動のタイミングは、タイマー１４４の開始後に経過する時間間隔に基づくことがある。このような適時の流体ポンプの作動を実施することにより、例えば、粒子フィルタ１１０に対する受動的自己クリーニング動作を実施することができる。図２ｂ及び図２ｄを参照すると、例えば、流体ポンプ１１４ｂが図２ｂに示されるようにフィルタループ１１２を通して流体を順方向１２４にポンプ輸送し始めたときに、タイマー１４４を開始することができる。タイマー１４４から判断して一定の時間間隔が経過した後、流体ポンプ１１４ｄを作動させ、図２ｄに示されるように流体をフィルタループ１１２を通して逆方向１３０にポンプ輸送することができる。フィルタ１１０ａから粒子を洗い流す、すなわちフィルタ１１０ａを掃除するのに十分な所定量の時間（タイマー１４４から測定されるように）にわたって流体を逆方向１３０にポンプ輸送するように、流体ポンプ１１４ｄは、作動状態に維持されることができる。
【００２４】
一部の例において、検出モジュール１４０からの命令は、プロセッサ１３４上で様々な実施形態で実行可能であり、フィルタループ１１２チャネルのような流体チャネル内に埋め込まれたセンサ１４６からの検知情報に基づいて、マイクロ流体濾過装置１０２内の種々の流体ポンプ１１４の作動を制御する。このようなセンサに基づく流体ポンプの作動を実施することにより、例えば、粒子フィルタ１１０に対する能動的自己クリーニング動作を実施することができる。図４ａ及び図４ｂは、図２に示した装置１０２のようなマイクロ流体濾過装置１０２の一例を示している。ここで、フィルタループ１１２チャネルは、埋め込みセンサ１４８を含む。別の例において、センサ１４８は、例えば、内部光学センサ、外部光学撮像システム、マイクロコールター／インピーダンスセンサ、フローセンサ、圧力センサ、及びそれらの組み合わせのような、種々のセンサデバイスとして実施される場合がある。このようなセンサは、フィルタループ１１２内の流体の種々の特性を検知することができ、例えば、かかる流体内の粒子のサイズ、流体の流量、ループ内の流体の圧力などを検知することができる。
【００２５】
図４ａを参照すると、一部の例において、流体ポンプ１１４ａ及び１１４ｂのような１以上の流体ポンプは、マイクロ流体チャネル１０４を通して順方向１１６に、及びフィルタループ１１２チャネルを通して順方向１２４に流体をポンプ輸送するように作動されることができる（濃い影で示されるように）。センサ１４８は、フィルタループ１１２を通って流れる流体、及び又はかかる流体内の粒子に関する特性又は他の情報を検知し、検知された情報を、分析のために検出モジュール１４０を実行しているプロセッサ１３４に提供することができる。センサ１４８からの検知された情報に応答して、プロセッサ１３４は、流体ポンプ１１４のいずれかを制御し、マイクロ流体チャネル１０４及び／又はフィルタループ１１２チャネル内の流体の流れを変更することができる。例えば、ある状況において、センサ１４８は、フィルタループ１１２を通る流体の流れの速度が特定の流速閾値未満に低下したことを検知することができる。一部の例において、このような状況は、粒子フィルタ１１０ａが粒子で目詰まりしてしまい、フィルタループ１１２を通る順方向１２４の流体の流れの一部又は全部を遮断しているときに発生することがある。プロセッサ１３４は、センサ１４８からの検知された低い流速に応答し、図４ｂに示されるように流体ポンプ１１４ｃを一時的に作動させるとともに流体ポンプ１１４ｂを一時的に停止させ、流体がフィルタループ１１２を通って逆方向１３０に流れるようにすることができる。このような逆方向１３０の流れによれば、粒子を粒子フィルタ１１０ａからマイクロ流体チャネル１０４の中へ洗い流すことができ、それらを第２のリザーバ１０８へ輸送することができる。このように、能動的センサに基づくプロセスによれば、マイクロ流体濾過装置１０２内の粒子フィルタの能動的自己クリーニングが可能になる。
【００２６】
図５（図５ａ、図５ｂ、図５ｃ及び図５ｄ）、図６（図６ａ、図６ｂ、図６ｃ、図６ｄ、図６ｅ及び図６ｆ）、図７（図７ａ、図７ｂ、図７ｃ、図７ｄ及び図７ｅ）は、代替の幾何形状及び構成を有するマイクロ流体濾過装置１０２のさらに別の例を示している。図２の例示的マイクロ流体濾過装置１０２に関して上で説明した概念は、図５、図６及び図７に示した代替例にも同様の形で適用される。したがって、図５、図６及び図７の例示的マイクロ流体濾過装置１０２の種々の動作モードは、図２ａ、図２ｂ、図２ｃ及び図２ｄに関して上で説明したものと同様の形で、コントローラ１３２によって制御されることができ、装置１０２の種々の構成要素によって実施されることができる。
【００２７】
図５を参照すると、単一の入れ子型フィルタループ１１２をそれぞれ有する例示的マイクロ流体濾過装置１０２は、フィルタループ１１２の空洞１５０内に配置された流体ポンプ１１４（流体ポンプ１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃ及び１１４ｄとして示されている）を含む。空洞１５０は、フィルタループ１１２を通る流体の流れに沿っていないフィルタループの補助的部分を含む。空洞１５０は、フィルタループ１１２の上側部分と同一直線上にあり、フィルタループ１１２の上側部分のいずれかの端にあるものとして図示されているが、他の実施形態も可能である。例えば、空洞は、フィルタループに対してある角度で配置されることがあり、フィルタループ１１２に沿って様々な場所に配置されることがある。流体ポンプ１１４をフィルタループ１１２内に直接設けるのではなく、このような空洞１５０内に設けることは、フィルタループ１１２を通って流れる流体サンプル内に含まれることがある壊れやすい細胞又は他の粒子に損傷を与えることを回避するのに役立つ。熱バブル抵抗器ポンプのような流体ポンプ１１４の作動によって、壊れやすい細胞又は他の壊れやすい粒子に損傷を与えることがある高圧領域が、ポンプ１１４の周囲に生成されることがある。流体ポンプ１１４を空洞１５０内に配置すれば、フィルタループ１１２を流れる流体内の壊れやすい細胞又は他の粒子に損傷を及ぼす可能性が低減される。
【００２８】
図５を引き続き参照すると、図２に関して上で説明したものに類似する種々の例示的動作モードが示されている。例えば、図５ａに示した動作モードの一例において、作動中の流体ポンプ１１４ａは、マイクロ流体チャネル１０４を通して順方向１１６に、及びフィルタループ１１２及びフィルタ１１０ａを通して順方向１２４に流体の流れを誘発することができる。図５ｂは、作動中の別の流体ポンプ１１４ｂにより、フィルタループ１１２及びフィルタ１１０ａを通る順方向１２４の流体の流れをさらに誘発することができる、別の例示的動作モードを示している。
【００２９】
図５ｃ及び図５ｄには、流体の流れが逆方向に誘発される動作モードが示されている。一部の例では、フィルタ１１０から粒子を掃除するのを助けるために、流体の流れが、逆方向に誘発されることがある。図５ｃに示されるように、作動中の流体ポンプ１１４ｄは、第２のリザーバ１０８から遠ざかり、第１のリザーバ１０６に向かって戻る逆方向１２８の流体の流れを誘発する。フィルタループ１１２内の第２の逆方向矢印１３０は、作動中の流体ポンプ１１４ｄが、フィルタループ１１２を通るいくらかの流体の流れをさらに誘発することを示すことを意図している。この例（すなわち、流体ポンプ１１４ｄが作動中であり、流体ポンプ１１４ａ、１１４ｂ、１１４ｃが非作動中であるか、又は存在しない例）では、フィルタループ１１２を通る逆方向の流れが、マイクロ流体チャネル１０４を通る逆方向の流れよりもいくらか少なく、及び／又は弱くてもよいことを示すために、逆方向矢印１３０は、逆方向矢印１２８よりも小さくなっている。図５ｄは、作動中の別の流体ポンプ１１４ｃにより、フィルタループ１１２を通る逆方向１３０の流体の流れをさらに誘発することができる、例示的動作モードを示している。図５ｃに示した小さい方の逆方向矢印１３０に比べて大きい図５ｄに示した逆方向矢印１３０は、流体ポンプ１１４ｃの作動により、フィルタループ１１２及びフィルタ１１０ａ，１１０ｂを通って逆方向１３０に流れる流体の量が増加することを示すことを意図している。このように、図５ｃ及び図５ｄは、流体の流れが、マイクロ流体チャネル１０４を通して逆方向１２８に、及びフィルタループ１１２を通して逆方向１３０に誘発される種々の動作モードを示している。
【００３０】
図６（図６ａ、図６ｂ、図６ｃ、図６ｄ、図６ｅ及び図６ｆ）を参照すると、例示的マイクロ流体濾過装置１０２はそれぞれ、濾過された流体を選別リザーバに選別することを可能にする２つのループ出口を有する単一の入れ子型フィルタループ１１２を含む。図６の各例に示されるように、マイクロ流体濾過装置１０２は、第２の出口リザーバ１０８に加えて、選別リザーバ１５２を含む。選別リザーバ１５２は、フィルタループ１１２の追加の出口１５４を通って流れる濾過された流体を受け取るように構成される。図６の種々の例における濾過装置１０２は、フィルタループ１１２内の追加の出口１５４に配置された追加の流体ポンプ１１４ｅを含むことができる。したがって、これらの追加の動作モードは、コントローラ１３２によって実施及び制御されることができ、追加の動作モードでは、例えば、サンプル流体が、マイクロ流体チャネル１０４を通して、及びフィルタループ１１２を通して移動され、流体が、様々な粒子フィルタ１１０を通して様々な形で濾過される。
【００３１】
図６ａに示されるように、例えば、作動中の流体ポンプ１１４ａは、マイクロ流体チャネル１０４を通して順方向１１６に、並びにフィルタループ１１２及びフィルタ１１０ａを通して順方向１２４に流体の流れを誘発することができる。図６ｃは、作動中の別の流体ポンプ１１４ｂにより、フィルタループ１１２及びフィルタ１１０ａを通して順方向１２４の流体の流れをさらに誘発することができる、別の例示的動作モードを示している。図６ｅは、作動中の流体ポンプ１１４ｂが、フィルタループ１１２を通して順方向１２４に流体の流れを誘発するとともに、作動中のフィルタ１１４ｄが、マイクロ流体チャネル１０４を通して逆方向１２８に流体の流れを誘発する、例示的装置１０２を示している。図６ｂは、作動中の流体ポンプ１１４ｄが、フィルタループ１１２を通して逆方向１３０に、及びマイクロ流体チャネル１０４を通して逆方向１２８に流体の流れを誘発する、例示的装置１０２を示している。図６ｄは、作動中の流体ポンプ１１４ａが、マイクロ流体チャネル１０４を通して順方向１１６に流体の流れを誘発するとともに、作動中のフィルタ１１４ｃが、フィルタループ１１２を通して逆方向１３０に流体の流れを誘発する、例示的装置１０２を示している。図６ｆは、追加の出口１５４に配置された作動中の流体ポンプ１１４ｅが、フィルタループ１１２を通して逆方向１３０に流体の流れを誘発するとともに、作動中のフィルタ１１４ｄが、マイクロ流体チャネル１０４を通して逆方向１３８に流体の流れを誘発する、例示的装置１０２を示している。記載した種々の動作モードは、上で概ね説明したようにプロセッサにより能動的及び／又は受動的に制御されることができ、例えば、種々の流体濾過及び／又は粒子選別結果、並びに粒子フィルタ１１０の能動的及び受動的自己クリーニングを達成する。
【００３２】
図７（図７ａ、図７ｂ、図７ｃ、図７ｄ及び図７ｅ）を参照すると、例示的マイクロ流体濾過装置１０２はそれぞれ、濾過された流体を種々の選別リザーバに選別することを可能にする複数の入れ子型フィルタループ１１２を含む。対応する流体ポンプ１１４ｘ、粒子フィルタ１１０ｘ及び選別リザーバ１５２ｘをさらに有する複数の入れ子型フィルタループ１１２によれば、流体を濾過装置１０２のあらゆる場所に導くことが可能な種々の動作モードが可能となり、それによって、種々の濾過及び／又は粒子選別結果、並びに粒子フィルタ１１０の能動的受動的自己クリーニングが達成される。図７ａに示されるように、種々の例示的粒子フィルタ１１０は、種々の粒子サイズを濾過するための粒子耐性アーキテクチャ１２６を備えることができる。図３に関して上で説明したように、例示的粒子耐性アーキテクチャ１２６（１２６ａ、１２６ｂ、及び１２６ｃとして示されている）は、様々な異なる隙間サイズを備えたポストの様々なアレイを含むことがあり、粒子は、その中を通過することができ、又はその中を通って濾過されることができる。図７ｂを参照すると、マイクロ流体濾過装置１０２は、流体ポンプ１１４が配置された種々の空洞１５０を含む複数の入れ子型フィルタループ１１２を含む。図５を参照して上で説明したように、空洞１５０は、ループを通る流体の一般的流れから流体ポンプ１１４を分離するのに役立つフィルタループの種々の補助的部分を含み、それによって、流体ポンプの作動による高圧が、フィルタループ１１２を通って流れる流体サンプル内に含まれることがある壊れやすい細胞又は他の粒子に損傷を与えないようにする。図７ｃ、図７ｄ及び図７ｅは、複数の入れ子型フィルタループ１１２がマイクロ流体チャネル１０４の上に互いにカスケード接続された、マイクロ流体濾過装置１０２の種々の変形を示している。図７ｃの例では、選別リザーバ１５２ｘにより、それぞれのフィルタループ１１２及び粒子フィルタ１１０ｘを通って流れる濾過された流体の選別が可能である。図７ｄ及び図７ｅに示した例示的装置１０２において、フィルタループ１１２の各々は、センサ１４８を含む。図４ａ及び図４ｂを参照して上述したように、センサ１４８は、フィルタループ１１２を通って流れる流体及び粒子に関する検知情報であって、濾過装置１０２の流体ポンプ１１４及び他の構成要素の制御に使用可能な検知情報を提供することができる。
【００３３】
図８及び図９は、図１〜図７に関して上で説明したようなマイクロ流体濾過装置１０２及びシステム１００におけるマイクロ流体濾過の例示的方法８００及び９００を示すフロー図である。方法９００は、マイクロ流体濾過方法の詳細がさらに組み込まれた方法８００の拡張である。これらの方法は、マイクロ流体濾過装置１０２及びシステム１００において、図１に示したコントローラ１３２のような、種々の制御命令を実行するプロセッサを有するコントローラの制御下で実施されることができる。
【００３４】
次に、図８の方法８００を参照すると、ブロック８０２に示されるように、マイクロ流体濾過の例示的方法は、マイクロ流体チャネル内の第１の流体ポンプを作動させ、マイクロ流体チャネルを通して、及びフィルタループのフィルタを通して順方向の流体の流れを引き起こすことを含む。フィルタループは、ループ入口及びループ出口においてマイクロ流体チャネルと交差している。方法８００は、続いて、ブロック８０４に示されるように、第２の流体ポンプを作動させ、フィルタを通る逆方向の逆方向の流体の流れを引き起こす。
【００３５】
上記のように、方法９００は、マイクロ流体濾過方法の詳細がさらに組み込まれた方法８００の拡張である。したがって、方法９００は、ブロック９０２に示されるように、マイクロ流体チャネル内の第１の流体ポンプを作動させ、マイクロ流体チャネルを通して、及びフィルタループのフィルタを通して順方向の流体の流れを引き起こすことを含む。フィルタループは、ループ入口及びループ出口においてマイクロ流体チャネルと交差している。一部の例では、ブロック９０４に示されるように、マイクロ流体チャネルは、第１のリザーバと第２のリザーバとの間に延在しており、第１の流体ポンプを作動させることは、第１のリザーバに向かってマイクロ流体チャネル内に非対称に配置された第１の流体ポンプを作動させることを含む。
【００３６】
方法９００は、続いて、ブロック９０６において、第２の流体ポンプを作動させ、フィルタを通る逆方向の流体の流れを引き起こす。一部の例では、ブロック９０８に示されるように、第２の流体ポンプを作動させることは、第２のリザーバに向かってマイクロ流体チャネル内に非対称に配置された第２の流体ポンプを作動させることを含むことができる。一部の例では、ブロック９１０に示されるように、第２の流体ポンプを作動させることは、フィルタループのループ出口内に配置された第２の流体ポンプを作動させることを含むことができる。ブロック９１２に示されるように、一部の例では、第２の流体ポンプを作動させることは、フィルタループの空洞内に配置された第２の流体ポンプを作動させることを含む。ブロック９１４に示されるように、一部の例では、第２の流体ポンプを作動させることは、第１の流体ポンプを作動させるときにタイマーを始動させ、タイマーの始動からある時間間隔が経過するたびに第２の流体ポンプを作動させることにより、フィルタを定期的に掃除することを含むことができる。一部の例では、ブロック９１６に示されるように、第２の流体ポンプを作動させることは、フィルタループを通る順方向の流体の流れにおける流体の特性を検知し、検知に基づいて第２の流体ポンプを作動させることを含む。
【００３７】
ブロック９１８に示されるように、方法９００は、ループ入口内に配置された第３の流体ポンプを作動させ、フィルタループを通る順方向の流体の流れを増加させることをさらに含むことができる。一部の例では、ブロック９２０に示されるように、第３の流体ポンプを作動させることは、フィルタループの空洞内に配置された第３の流体ポンプを作動させることを含む。
【図１】
2019514017.tif 000003
【図２ａ】
2019514017.tif 000004
【図２ｂ】
2019514017.tif 000005
【図２ｃ】
2019514017.tif 000006
【図２ｄ】
2019514017.tif 000007
【図３】
2019514017.tif 000008
【図４ａ】
2019514017.tif 000009
【図４ｂ】
2019514017.tif 000010
【図５ａ】
2019514017.tif 000011
【図５ｂ】
2019514017.tif 000012
【図５ｃ】
2019514017.tif 000013
【図５ｄ】
2019514017.tif 000014
【図６ａ】
2019514017.tif 000015
【図６ｂ】
2019514017.tif 000016
【図６ｃ】
2019514017.tif 000017
【図６ｄ】
2019514017.tif 000018
【図６ｅ】
2019514017.tif 000019
【図６ｆ】
2019514017.tif 000020
【図７ａ】
2019514017.tif 000021
【図７ｂ】
2019514017.tif 000022
【図７ｃ】
2019514017.tif 000023
【図７ｄ】
2019514017.tif 000024
【図７ｅ】
2019514017.tif 000025
【図８】
2019514017.tif 000026
【図９】
2019514017.tif 000027
【国際調査報告】
2019514017.tif 000028
2019514017.tif 000029
2019514017.tif 000030