(57)【要約】  処理システムの真空チャンバに複数の供給ラインをガイドするための供給ラインガイド（１００）について説明される。供給ラインガイドは、互いに対して角度調整可能な複数の接続された構成要素（１１５）を含む、ガイド装置（１１０）を含む。更に、供給ラインガイドはガイド装置（１１０）の周囲に提供されるフレキシブルチューブ（１２０）を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理システムの真空チャンバに複数の供給ラインをガイドするための供給ラインガイド（１００）であって、
−互いに対して角度調整可能な複数の接続された構成要素（１１５）を含むガイド装置（１１０）、及び
−前記ガイド装置（１１０）の周囲に提供されるフレキシブルチューブ（１２０）
を備える供給ラインガイド（１００）。
【請求項２】
前記フレキシブルチューブ（１２０）は、Ｒｂ≦５００ｍｍとなる曲げ半径Ｒｂをもたらす、請求項１に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項３】
前記フレキシブルチューブ（１２０）は金属又は金属合金を含む、請求項１又は２に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項４】
前記ガイド装置（１１０）は、供給ラインの第１の群（１３０Ａ）のための第１のガイドダクト（１１１）、及び供給ラインの第２の群（１３０Ｂ）をガイドするための第２のガイドダクト（１１２）を含む、請求項１から３のいずれか一項に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項５】
前記ガイド装置（１１０）は、前記第１のガイドダクト（１１１）の第１の空間を前記第２のガイドダクト（１１２）の第２の空間から分離する分離構成要素（１１８）を含む、請求項４に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項６】
前記ガイド装置（１１０）は、供給ラインの第３の群（１３０Ｃ）をガイドするための第３のガイドダクト（１１３）を含む、請求項１から５のいずれか一項に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項７】
前記ガイド装置（１１０）は、前記第１のガイドダクト（１１１）の第１の空間、前記第２のガイドダクト（１１２）の第２の空間、及び第３のガイドダクトの第３の空間を互いに分離する分離構成要素（１１８）を含む、請求項６に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項８】
前記ガイド装置（１１０）の第１端部（１１０Ａ）は前記フレキシブルチューブ（１２０）の第１端部（１２０Ａ）に接続され、前記ガイド装置（１１０）の第２端部（１１０Ｂ）は前記フレキシブルチューブ（１２０）の第２端部（１２０Ｂ）に接続される、請求項１から７のいずれか一項に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項９】
前記複数の接続された構成要素のうちの第１の構成要素の位置は前記フレキシブルチューブ（１２０）の壁に対して固定され、及び／又は、前記複数の接続された構成要素のうちの最終の構成要素の位置は前記フレキシブルチューブ（１２０）の壁に対して固定される、請求項１から８のいずれか一項に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項１０】
前記第１の構成要素は、第１の内側センタリング構成要素によって、前記フレキシブルチューブ（１２０）の前記壁に対して固定され、及び／又は、前記最終の構成要素は、第２の内側センタリング構成要素によって、前記フレキシブルチューブ（１２０）の前記壁に対して固定される、請求項９に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項１１】
前記フレキシブルチューブ（１２０）は接続フランジを備える、請求項１から１０のいずれか一項に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項１２】
前記複数の接続された構成要素（１１５）は、中央に配置されたジョイントによって相互に接続されたリング状の構成要素である、請求項１から１１のいずれか一項に記載の供給ラインガイド（１００）。
【請求項１３】
処理システムの真空チャンバに複数の供給ラインをガイドするための供給ラインガイド（１００）であって、
−接続されたリング状の構成要素が互いに対して角度調整可能になるように、中央に配置されたジョイントによって相互に接続された複数の前記接続されたリング状の構成要素を含むガイド装置（１１０）であって、前記接続されたリング状の構成要素は供給ラインの第１の群に対して第１のガイドダクト（１１１）を提供し、供給ラインの第２の群に対して第２のガイドダクト（１１２）を提供し、前記接続されたリング状の構成要素は前記第１のガイドダクト（１１１）の第１の空間を前記第２のガイドダクト（１１２）の第２の空間から分離する分離構成要素（１１８）を含む、ガイド装置（１１０）、及び
−前記ガイド装置（１１０）の周囲に提供されるフレキシブル金属チューブであって、前記複数の供給ラインに対して気密性の被覆をもたらし、Ｒｂ≦５００ｍｍとなる曲げ半径Ｒｂをもたらすフレキシブルチューブ（１２０）
を備える、供給ラインガイド（１００）。
【請求項１４】
処理システム（２００）の真空チャンバ（２１０）に提供される可動式デバイスに、複数の供給ラインをガイドするための、請求項１から１３のいずれか一項に記載の供給ラインガイド（１００）の使用。
【請求項１５】
−真空チャンバ（２１０）、
−前記真空チャンバ（２１０）に設けられた可動式デバイス（２２０）、及び
−前記可動式デバイス（２２０）に接続された請求項１から１３のいずれか一項に記載の供給ラインガイド（１００）
を備える処理システム（２００）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［０００１］  本開示の実施形態は、真空環境を経由して供給ラインをガイドするための供給ラインガイドに関する。具体的には、本開示の実施形態は、供給ラインを大気環境から処理システムの真空チャンバを経由して可動式処理デバイスまでガイドするように構成されたフレキシブル供給ラインガイド、特に、ＯＬＥＤ製造のために構成された材料堆積源に関する。
【背景技術】
【０００２】
［０００２］  有機蒸発器は、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）の生産用ツールである。ＯＬＥＤは、特殊な発光ダイオードであり、その中で発光層がある有機化合物の薄膜を含んでいる。有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）は、情報を表示するためのテレビ画面、コンピュータモニタ、携帯電話、その他の携帯型デバイスなどの製造時に使用される。ＯＬＥＤは、一般的な空間照明にも使用することができる。ＯＬＥＤピクセルは直接発光し、バックライトを必要としないので、ＯＬＥＤディスプレイで可能な色、輝度、及び視野角の範囲は従来のＬＣＤディスプレイの範囲よりも広い。したがって、ＯＬＥＤディスプレイのエネルギー消費は、従来のＬＣＤディスプレイのエネルギー消費よりもかなり少ない。更に、実際、ＯＬＥＤは、フレキシブル基板上に製造することができ、更なる用途がもたらされる。
【０００３】
［０００３］  そのようなディスプレイデバイスの製造時に遭遇する多くの課題がある。具体的には、１つの課題は、真空環境内の可動式処理デバイスに、媒体と電力を途切れることなく確実に提供することである。例えば、従来の供給ラインガイドは耐久性に関する問題を示しており、特に従来の供給ラインガイドが、供給ライン間に摩擦とこすれを引き起こす可動式デバイスに接続されているときには、最終的には、供給ラインに損傷や不具合をもたらすことがある。
【０００４】
［０００４］  したがって、少なくとも従来の供給ラインガイドの幾つかの問題を克服する、供給ラインガイドの改良を行うことが引き続き求められている。
【発明の概要】
【０００５】
［０００５］  上記に照らして、独立請求項１に従う処理システムの真空チャンバに複数の供給ラインをガイドするための供給ラインガイドが提供される。本開示の更なる態様、利点、及び特徴は、特許請求の範囲、明細書、及び添付図面から明らかになる。
【０００６】
［０００６］  本開示の一態様によれば、処理システムの真空チャンバに複数の供給ラインをガイドするための供給ラインガイドが提供される。供給ラインガイドは、複数の接続された構成要素を含むガイド装置を含み、これらの構成要素は互いに対して角度調整可能である。更に、供給ラインガイドは、ガイド装置の周囲に提供されるフレキシブルチューブを含む。
【０００７】
［０００７］  本開示の別の態様によれば、処理システムの真空堆積チャンバに複数の供給ラインをガイドするための供給ラインガイドが提供される。供給ラインガイドは、接続されたリング状の構成要素が互いに対して角度調節可能になるように、中央に配置されたジョイントによって相互に接続された複数の接続されたリング状の構成要素を含むガイド装置を含む。接続されたリング状の構成要素は、供給ラインの第１の群に対して第１のガイドダクトを提供する。更に、接続されたリング状の構成要素は、供給ラインの第２の群に対して第２のガイドダクトを提供する。接続されたリング状の構成要素は、第１のガイドダクトの第１の空間を第２のガイドダクトの第２の空間から分離する分離構成要素を含む。供給ラインガイドは更に、ガイド装置の周囲に提供されるフレキシブル金属チューブを含む。フレキシブルチューブは、複数の供給ラインに対して気密性の被覆をもたらす。更に、フレキシブルチューブは、Ｒｂ≦５００ｍｍとなる曲げ半径Ｒｂをもたらす。
【０００８】
［０００８］  本開示の別の態様は、処理システムの真空チャンバに提供される可動式デバイスに複数の供給ラインをガイドするため、本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの使用に関する。
【０００９】
［０００９］  本開示の更に別の態様によれば、処理システムが提供される。処理システムは、本書に記載のいずれかの実施形態による真空処理チャンバ、真空処理チャンバに提供される可動式デバイス、及び供給ラインガイドを含み、供給ラインガイドは可動式デバイスに接続されている。
【００１０】
［００１０］  本開示の上述の特徴を細部まで理解しうるように、実施形態を参照することによって、上記に簡単に要約されている本開示のより詳細な説明を得ることができる。添付図面は、本開示の実施形態に関するものであり、下記で説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの一部の概略側面断面図である。
【図２Ａ】本書に記載の実施形態による曲げられた状態にある供給ラインガイドの一部の概略側面断面図である。
【図２Ｂ】本書に記載の実施形態による曲げられた状態にある供給ラインガイドの一部の概略側面断面図である。
【図３】本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの一部の概略側面断面図で、ガイド装置の接続された構成要素は等角図で概略的に示されている。
【図４Ａ】本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの概略正面図で、ガイド装置の構成要素で可能な種々の構成を示している。
【図４Ｂ】本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの概略正面図で、ガイド装置の構成要素で可能な種々の構成を示している。
【図４Ｃ】本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの概略正面図で、ガイド装置の構成要素で可能な種々の構成を示している。
【図５】本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの概略分解図を示す。
【図６】本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの概略正面図を示し、供給ラインの３つの群に対して、３つの分離されたガイドダクトが提供される。
【図７】本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの端部の概略正面図を示す。
【図８】本書に記載の更なる実施形態による供給ラインガイドの端部の概略側面図を示す。
【図９】本書に記載の実施形態による、例示的な第１の状態（実線）及び例示的な第２の状態（破線）にある供給ラインガイドの概略側面図を示す。
【図１０】本書に記載の実施形態による、供給ラインガイドを含む、本書に記載の実施形態による処理システムの概略図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
［００１１］  次に、各図面に一又は複数の実施例が示されている様々な実施形態を細部にわたり参照する。各実施例は、単なる説明として提示されており、限定を意味するものではない。例えば、一実施形態の一部として図示又は説明される特徴は、他のいずれかの実施形態において、又は、他のいずれかの実施形態と併せて使用して、さらに別の実施形態を生み出すことが可能である。本開示は、このような修正及び変形を含むことが意図される。
【００１３】
［００１２］  図面についての以下の説明の中で、同じ参照番号は同じ又は類似の構成要素を指す。概して、個々の実施形態に関して相違点のみが説明される。他に特に規定がない限り、一実施形態の部分又は態様の説明は、別の実施形態の対応する部分又は態様に適用されうる。
【００１４】
［００１３］  本開示の様々な実施形態を更に詳細に説明する前に、本書で使用する幾つかの用語及び表現に対する幾つかの態様を本書で説明する。
【００１５】
［００１４］  本開示では、「供給ラインガイド」は、少なくとも１つの供給ラインをガイドするように構成されるデバイスとして理解することができる。具体的には、本書に記載されている供給ラインガイドは、２つ以上の群の供給ラインをガイドするように構成されうる。例えば、供給ラインの第１の群はパワー（すなわち、電力）を供給するように構成可能であり、供給ラインの第２の群は液状媒体（例えば、水、オイルなど）を供給するように構成可能であり、また、供給ラインの第３の群はガス状媒体（例えば、圧搾空気、不活性ガスなど）を供給するように構成可能である。したがって、供給ラインの群は、前記群で提供される供給ラインのすべて又は大多数が実質的に同じもの（例えば、電力、液体、気体など）を供給するように構成されていると理解されうる。典型的には、本書で説明されている供給ラインガイドは、処理システムの真空チャンバに複数の供給ラインをガイドするように構成されている。具体的には、本書で説明されている供給ラインガイドは、ガイド装置の周囲に提供される複数の供給ライン及びフレキシブルチューブをガイドするように構成されるガイド装置を含む。
【００１６】
［００１５］  本開示において、「真空チャンバ」は、真空処理用に、特に真空堆積用に構成されたチャンバとして理解すべきである。本書で使用する「真空」という用語は、例えば１０ｍｂａｒ未満の真空圧を有する、工業的真空の意味として理解することができる。本書に記載される処理チャンバの圧力は、典型的には、約１０−５ｍｂａｒと約１０−８ｍｂａｒとの間、より典型的には、約１０−５ｍｂａｒと約１０−７ｍｂａｒとの間、更により典型的には、約１０−６ｍｂａｒと約１０−７ｍｂａｒとの間であってよい。幾つかの実施形態によれば、真空チャンバ内の圧力は、真空チャンバ内で蒸発させた材料の分圧、又は全圧のいずれかと見なしてもよい（分圧及び全圧は、真空チャンバ内で堆積させる構成要素として蒸発させた材料のみが存在する場合、おおよそ同じでありうる）。幾つかの実施形態では、真空チャンバ内の全圧は、特に真空チャンバ内に蒸発させた材料以外の第２の構成要素（例えばガス等）が存在する場合、約１０−４ｍｂａｒから約１０−７ｍｂａｒまでの範囲でありうる。
【００１７】
［００１６］  本開示では、「供給ライン」は、パワー（例えば、電力）又は媒体（例えば、液体材料又は気体材料）を供給するように構成されたラインとして理解することができる。したがって、電力を提供するように構成される供給ラインは、一又は複数の導線を含みうる。媒体（例えば、液体材料又は気体材料）を提供するように構成される供給ラインは一又は複数のパイプ又はチューブを含みうる。
【００１８】
［００１７］  本開示では、「ガイド装置」は、複数の供給ラインを、具体的には少なくとも供給ラインの第１の群及び供給ラインの第２の群をガイドするように構成される装置として理解することができる。具体的には、本書に記載のガイド装置は典型的に、相互に接続される複数の構成要素を含む。複数の構成要素の各々は、本書に記載のように供給ラインをガイドするように構成されうる。したがって、ガイド装置は、複数の接続された構成要素のチェーンとして理解されうる。典型的には、複数の連結された構成要素の各構成要素は、互いに対して角度調節可能であるように構成される。例えば、複数の連結された構成要素の第１の構成要素は、複数の構成要素の第２の構成要素などとは異なる配向を有しうる。したがって、ガイド装置は、構成要素の一部の配向又は各配向が異なるように構成される、接続された構成要素のチェーンとなりうる。
【００１９】
［００１８］  本開示では、「複数の接続された構成要素」は、構成要素の群が接続された構成要素のチェーンを形成するように、ラインに沿って相互に接続される構成要素の群として理解することができる。具体的には、本書に記載のように、接続された構成要素のチェーンは、フレキシブルになるように、すなわち、複数の接続された構成要素の個々の構成要素が互いに対して角度調節可能であるように構成可能であり、その結果、各構成要素の配向は構成要素のチェーン内で異なりうる。
【００２０】
［００１９］  したがって、本開示では、「構成要素は互いに対して角度調節可能に構成される」という表現は、構成要素のうち一個の構成要素の配向は、構成要素のうちの別の一個に対して異なりうるような方法で、構成要素が相互に接続されることと理解することができる。言い換えるならば、個々の構成要素の配向は互いに対して変更可能で、その結果、複数の接続された構成要素のフレキシブルなチェーンが提供されうる。
【００２１】
［００２０］  本開示では、「フレキシブルチューブ」は、特に塑性変形を誘発することなく、屈曲可能に構成されるチューブとして理解することができる。したがって、本書に記載のフレキシブルチューブは、例えば、曲げ半径Ｒｂに関して、Ｒｂ≧１００ｍｍとなる曲げ角度まで弾性力を有するように構成されるチューブであってよい。例えば、フレキシブルチューブは柔軟性のある材料のホースであってよい。この点に関して、柔軟性のある材料のチューブ又はホースはＲｂ≧１００ｍｍとなる曲げ半径Ｒｂをもたらしうること、また、例えば、フレキシブルなホース又はチューブの内側と外側の間の１ｂａｒの圧力差によって、フレキシブルなホース又はチューブが膨張しないように、柔軟性のある材料はある程度の剛性をもたらすことを理解されたい。
【００２２】
［００２１］  曲げ半径（典型的には内側の湾曲で測定される）は、捩れや損傷を引き起こすことなくパイプ、チューブ、シート、ケーブル又はホースを人が曲げることができる最小半径であることを理解されたい。曲げ半径が小さくなるほど、材料の柔軟性は高まる（曲率半径が小さくなると、湾曲は増大する）。
【００２３】
［００２２］  図１は、本書に記載の実施形態による供給ラインガイド１００の一部の概略断面図を示す。具体的には、説明のため、図１は曲がっていない状態の供給ラインガイド１００の実施形態の一部の概略断面図を示しており、図２Ａ及び図２Ｂは曲がった状態の供給ラインガイド１００の一部の概略断面図を示している。よりわかりやすく示すため、図２Ａは供給ラインなしの供給ラインガイド１００を示しており、図２Ｂは複数の供給ライン１３０が破線で示された供給ラインガイドを示している。
【００２４】
［００２３］  本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、供給ラインガイド１００は、複数の供給ラインを処理システムの真空チャンバにガイドするように構成されている。図１に例示的に示したように、供給ラインガイド１００は、複数の接続された構成要素１１５を含むガイド装置１１０を含む。具体的には、複数の接続された構成要素は、複数の供給ライン１３０をガイドするように構成されうる。例えば、複数の接続された構成要素１１５の個々の構成要素は、図１、図２Ａ及び図２Ｂに概略的に示したように、接続構成要素１１７によって接続されうる。具体的には、接続構成要素は、回転運動を可能にするように構成されたジョイント１１６又はヒンジを含みうる。より具体的には、図１を例示的に参照して、本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、複数の接続された構成要素１１５は、中心に配置されたジョイントを介して相互に接続されるリング状の構成要素になりうる。
【００２５】
［００２４］  したがって、複数の構成要素の個々の構成要素は、ジョイント又はヒンジを介して相互に接続されてもよく、その結果、構成要素は互いに対して角度調整可能になる。よりわかりやすくするため、図２Ａは、構成要素が相互に異なる角度で調整される、供給ラインガイドの曲げられた構成を示している。具体的には、例示的に示したように、複数の構成要素の第２の構成要素１１５Ｂは第１の構成要素１１５Ａに対して第１の角度α１で配向され、第３の構成要素１１５Ｃは第２の構成要素１１５Ｂに対して第２の角度α１で配向され、第４の構成要素１１５Ｄは第３の構成要素１１５Ｃに対して第３の角度α３で配向され、以下同様に配向される。
【００２６】
［００２５］  したがって、ジョイント１１６又はヒンジは、少なくとも１つの回転自由度を、具体的には少なくとも２つの回転自由度を、より具体的には３つの回転自由度を、すなわち、ｘ座標の周りの回転自由度、ｙ座標の周りの回転自由度、及びｚ座標の周りの回転自由度をもたらすように構成されうることを理解されたい。したがって、図２Ａ及び図２Ｂに例示的に示したように、複数の接続された構成要素１１５の各構成要素は典型的に、互いに対して角度調整可能になるように構成される。更に、図１、図２Ａ及び図２Ｂに例示的に示したように、本書に記載の実施形態によれば、供給ラインガイド１００は典型的に、ガイド装置１１０の周囲に提供されるフレキシブルチューブ１２０を含む。
【００２７】
［００２６］  したがって、本書に記載の供給ラインガイド、具体的にはフレキシブルチューブ内に配置されるガイド装置を含む供給ラインガイドを提供することによって、処理システムの真空チャンバに複数の供給ラインをガイドするのに特に良く適した供給ラインガイドの改良がもたらされる。具体的には、本書に記載の供給ラインガイドの実施形態は有利には、供給ラインガイドの内側と供給ラインガイドの周囲にもたらされる真空との間の圧力差が、供給ラインガイド内にガイドされた供給ラインの圧力差によって引き起こされる膨張を低減するか、更には完全に排除するように構成される。したがって、本書に記載の実施形態により供給ラインガイドによってガイドされる供給ラインの膨張及び／又は伸張は、有利には低減されるか、更には完全に排除され、その結果、供給ラインの破損や過剰な応力は避けることができる。
【００２８】
［００２７］  更に、本書に記載の供給ラインガイドの実施形態は、真空チャンバに、例えば真空処理システムの真空堆積チャンバに設けられた可動式デバイスに供給ラインを提供するのに特に有用である。例えば、可動式デバイスは、基板上に材料を堆積するため、搬送軌道に沿って移動可能なように構成された堆積源になりうる。具体的には、本書に記載の実施形態は、供給ラインガイドが接続される可動式デバイスの移動中に、供給ラインガイドの曲げによって発生しうる隣接する供給ライン間の摩擦又はこすれを防止することに留意されたい。例えば、供給ラインガイド被覆、すなわち、フレキシブルチューブによる供給ラインの摩擦又はこすれでさえも回避される。具体的には、摩擦やこすれが回避される場合であっても、本書に記載の実施形態では、ガイド装置とフレキシブルチューブとの間の摩擦又は摺動は起こりうる。
【００２９】
［００２８］  したがって、従来の供給ラインガイドと比較して、本書に記載の供給ラインガイドの実施形態では、寿命が長く、設置プロセスが容易で、真空中での供給ラインガイドの膨張が少なく、供給ライン（例えば、ホースやケーブル）の設置が容易になり、供給ラインガイドにガイドされる供給ラインの張力が緩和され、また、異なる供給ライン間の（例えば、媒体ホースと電力ケーブルとの間の）滑り摩擦が少なくなり、更には、供給ラインと供給ラインガイド被覆、すなわち、フレキシブルチューブとの間の滑り摩擦も少なくなる。
【００３０】
［００２９］  本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、フレキシブルチューブ１２０はＲｂ≦５００ｍｍとなる曲げ半径Ｒｂをもたらす。言い換えるならば、フレキシブルチューブはＲｂ≦５００ｍｍとなる曲げ半径Ｒｂをもたらすように構成されうる。更に、フレキシブルチューブ１２０は、フレキシブルチューブの内側と外側との間の１ｂａｒの圧力差によって、フレキシブルチューブが特に半径方向に膨張しないように構成されうる。例えば、フレキシブルチューブ１２０は金属又は金属合金を含みうる。具体的には、フレキシブルチューブ１２０は、少なくとも５０％の金属又は金属合金を、具体的には少なくとも７０％の金属又は金属合金を、より具体的には少なくとも９０％の金属又は金属合金を含みうる。一実施例によれば、フレキシブルチューブ１２０は金属又は金属合金から構成されうる。
【００３１】
［００３０］  したがって、有利には、供給ラインガイドは、供給ラインガイドの内側と供給ラインガイドの周囲にもたらされる真空との間の圧力差が、供給ラインガイドにガイドされる供給ラインの圧力差による膨張を低減するか、更には完全に排除するように構成されている。
【００３２】
［００３１］  図３を例示的に参照すると、本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、ガイド装置１１０は、供給ラインの第１の群１３０Ａに対して第１のガイドダクト１１１を提供する。言い換えるならば、ガイド装置は、供給ラインの第１の群に対して第１のガイドダクトを提供するように構成されうる。加えて、ガイド装置１１０は、供給ラインの第２の群１３０Ｂをガイドするため、第２のガイドダクト１１２を提供することができる。言い換えるならば、ガイド装置は、供給ラインの第２の群をガイドするため、第２のガイドダクトを提供するように構成されうる。したがって、有利には、ガイド装置１１０は、第１のガイドダクト１１１にガイドされる供給ラインの第１の群と第２のガイドダクト１１２にガイドされる供給ラインの第２の群との間の接触を避けるように構成されうる。
【００３３】
［００３２］  本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、一又は複数のガイドダクトが提供されうる。例えば、ガイド装置１１０は、図３及び図４Ｂに例示的に示したように、供給ラインの第３の群をガイドするため、第３のガイドダクト１１３を提供するように構成されうる。したがって、ガイド装置１１０は、第３のガイドダクト１１３にガイドされる供給ラインの第３の群と第１のガイドダクト１１１にガイドされる供給ラインの第１の群との間の接触を避けるように構成されうる。加えて、ガイド装置１１０は、第３のガイドダクト１１３にガイドされる供給ラインの第３の群と第２のガイドダクト１１２にガイドされる供給ラインの第２の群との間の接触を避けるように構成されうることを理解されたい。
【００３４】
［００３３］  これにより、有利には、供給ラインの異なる群に対して、分離コンパートメント、すなわち、ガイドダクトが提供されうる。このような構成は、供給ラインの異なる群の間の滑り摩擦が低減されるか、更には完全に排除されうる点で有利である。これは、例えば、供給ラインの第１の群が金属の外面、例えば、金属の供給ライン被覆を含み、供給ラインの第２の群がポリマーの外面、例えば、ポリマーの供給ライン被覆を含む場合には、特に有利になりうる。したがって、供給ラインの異なる群に対して別々のガイドダクトを提供することによって、異なる材料の供給ライン被覆間の滑り摩擦を回避できることを理解されたい。このように、柔らかい供給ライン被覆と硬い供給ライン被覆（例えば、金属の供給ライン被覆）との間の滑り摩擦による、柔らかい供給ライン被覆（例えば、ポリマーの供給ライン被覆）の損傷は回避することができる。したがって、真空チャンバに提供される可動式デバイスに供給ラインを提供するための供給ラインガイドの改良が施されうる。
【００３５】
［００３４］  図４Ａから図４Ｃは、本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの概略正面図で、ガイド装置の構成要素で可能な種々の構成を示している。特に、図４Ａは、ガイド装置１１０の接続された構成要素１１５が、供給ラインの第１の群に対して第１のガイドダクトを、また、供給ラインの第２の群をガイドするため第２のガイドダクトを提供する構成を示している。例えば、ガイド装置１１０、特に接続された構成要素１１５は、図４Ａに例示的に示したように、第２のガイドダクト１１２の第２の空間から第１のガイドダクト１１１の第１の空間を分離する分離構成要素１１８を含んでもよい。
【００３６】
［００３５］  図４Ｂは、ガイド装置１１０の接続された構成要素１１５が、供給ラインの第１の群に対して第１のガイドダクト１１１を提供し、供給ラインの第２の群をガイドするため第２のガイドダクト１１２を提供し、また、供給ラインの第３の群をガイドするため第３のガイドダクト１１３を提供するように構成されている、例示的な構成を示している。したがって、ガイド装置１１０の接続された構成要素１１５は、図４Ｂに例示的に示したように、３つのガイドダクトの各々に対して３つの分離された空間を提供するように構成されている分離構成要素１１８を含みうる。図４Ｃを例示として参照すると、ガイド装置１１０は、３つ以上のガイドダクト、例えば、４つのガイドダクトを提供するように構成されうることを理解されたい。したがって、ガイド装置１１０の接続された構成要素１１５は、図４Ｃに例示的に示したように、対応する複数のガイドダクトに対して、例えば、第１のガイドダクト１１１、第２のガイドダクト１１２、第３のガイドダクト１１３及び第４のガイドダクト１１４に対して、あらかじめ選択された複数の分離された空間を提供するように構成された分離構成要素１１８を含みうる。
【００３７】
［００３６］  図５は、本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの概略分解図を示す。図５に例示的に示したように、供給ラインガイド１００は接続フランジを含むフレキシブルチューブ１２０を含みうる。例えば、フレキシブルチューブ１２０は、例えば、供給ラインガイドを真空チャンバの内壁に接続するための第１の接続フランジ１６０、及び、例えば、供給ラインガイドを真空チャンバの内部に提供される可動式デバイスに接続するための第２の接続フランジ１６１を含みうる。更に、供給ラインガイド１００は、ガイド装置１１０の第１端部１１０Ａをフレキシブルチューブ１２０の第１端部１２０Ａに固定するように構成された、第１の固定構成要素１５０Ａを含みうる。追加的に、又は代替的に、供給ラインガイド１００は、ガイド装置１１０の第２端部１１０Ｂをフレキシブルチューブ１２０の第２端部１２０Ｂに固定するように構成された、第２の固定構成要素１５０Ｂを含みうる。したがって、本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、ガイド装置１１０の第１端部１１０Ａは、フレキシブルチューブ１２０の第１端部１２０Ａに接続可能であり、及び／又はガイド装置１１０の第２端部１１０Ｂは、フレキシブルチューブ１２０の第２端部１２０Ｂに接続可能である。
【００３８】
［００３７］  より具体的には、本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、複数の接続された構成要素の第１の構成要素１１５Ａの位置は、フレキシブルチューブ１２０の壁に対して、具体的にはフレキシブルチューブ１２０の第１端部１２０Ａに対して固定することができる。したがって、追加的に、又は代替的に、複数の接続された構成要素の最後の構成要素１１５Ｚの位置は、フレキシブルチューブ１２０の壁に対して固定することができる。
【００３９】
［００３８］  図６は、本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる、本書に記載の実施形態による供給ラインガイドの概略正面図を示しており、供給ラインの３つの異なる群が３つの分離されたガイドダクトに提供されている。例えば、第１のガイドダクト１１１に提供されている供給ラインの第１の群１３０Ａは、パワー（すなわち、電力）を供給するように構成可能である。第２のガイドダクト１１２に提供されている供給ラインの第２の群１３０Ｂは、液状媒体（例えば、水、オイルなど）を供給するように構成可能であり、第３のガイドダクト１１３に提供されている供給ラインの第３の群１３０Ｃは、ガス状媒体（例えば、圧搾空気、不活性ガスなど）を供給するように構成可能である。
【００４０】
［００３９］  図７を例示的に参照すると、本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、複数の接続された構成要素の第１の構成要素１１５Ａは、第１の内側センタリング構成要素１７１によって、フレキシブルチューブ１２０の壁に対して固定可能である。したがって、明示的には示されていないが、追加的に、又は代替的に、複数の接続された構成要素の最後の構成要素は、第２の内側センタリング構成要素によって、フレキシブルチューブの壁に対して固定可能である。具体的には、第１及び第２の内側センタリング構成要素は、図７の第１の内側センタリング構成要素１７１に対して例示的に示されているように、フレキシブルチューブ１２０の内部に少なくとも部分的に設けられているリング状の構成要素として提供されうる。具体的には、本書に記載の内側センタリング構成要素は、本書に記載のように、フレキシブルチューブの内側端部に適合する形態を提供するように構成されうる。
【００４１】
［００４０］  更に、図７に例示的に示したように、ピン１７５は、フレキシブルチューブの壁との関連で、複数の接続された構成要素のうちの第１の構成要素１１５Ａの位置を固定するように提供されうる。例えば、図７に例示的に示したように、ピン１７５は、第１の構成要素１１５Ａの内部に提供される分離構成要素１１８の中央部分を通って延在しうる。更に、ピン１７５の対向端部は、図７に破線で例示的に示したように、内側センタリング構成要素へ延在しうる。
【００４２】
［００４１］  図５を参照して例示的に説明されるように、本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、フレキシブルチューブ１２０は、接続フランジ、例えば、供給ラインガイド１００を処理システムの壁に、更に接続構成要素に接続するように構成された第１の接続フランジを含みうる。例えば、更に接続構成要素は、図８に例示的に示すように、屈曲部（ｅｌｂｏｗ）構成要素１８０であってもよい。例えば、屈曲部構成要素１８０は、供給ラインを大気環境２５０から供給ラインガイドを経由して可動式デバイスまで提供するため、供給ラインガイド１００を真空チャンバ２１０の壁２２２に設けられた開口部に接続するように構成されうる。更に、図８に例示的に示すように、壁２２２の開口部を通って供給ラインガイド１００へ送り込まれる供給ラインの曲げによる歪みや張力を低減するように構成された歪み緩和構成要素１００が提供されうる。例えば。歪み緩和構成要素１９０は、歪みを緩和するためフレキシブルになりうる複数のピンを含みうる。歪み緩和構成要素１９０は、屈曲部構成要素１８０による、或いは屈曲部構成要素を用いない接続に利用されうる。
【００４３】
［００４２］  したがって、本書に記載の実施形態は、複数の供給ラインを処理システムの真空チャンバにガイドするため、供給ラインガイド１００の改良をもたらす。本書に記載の他の構成及び実施形態と組み合わせることができる実施例として、供給ラインガイド１００は、複数の接続されたリング状の構成要素を含むガイド装置１１０を含む。例えば、複数の接続されたリング状の構成要素は、接続されたリング状の構成要素が互いに対して角度調節可能になるように、中央に配置されたジョイントによって相互に接続可能である。更に、接続されたリング状の構成要素は、供給ラインの第１の群をガイドするための第１のガイドダクト１１１を提供するように構成されうる。加えて、接続されたリング状の構成要素は、供給ラインの第２の群をガイドするための第２のガイドダクト１１２を提供するように構成されうる。したがって、接続されたリング状の構成要素は、第１のガイドダクト１１１にガイドされた供給ラインの第１の群と第２のガイドダクト１１２にガイドされた供給ラインの第２の群との間の接触を回避するように構成されうる。更に、典型的には、供給ラインガイド１００は、ガイド装置１１０の周囲に提供されるフレキシブル金属チューブを含む。具体的には、有利には、フレキシブルチューブは複数の供給ラインに対して気密性の被覆をもたらすように構成されている。有利には、フレキシブルチューブ１２０は、Ｒｂ≦５００ｍｍとなる曲げ半径Ｒｂをもたらすように構成されうる。
【００４４】
［００４３］  本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、ガイド装置は、例えば、６軸ロボットに対して使用されるように、３Ｄｅ−ｃｈａｉｎと同様に構成されうる。更に、ガイド装置は、摩擦軸受に使用される材料、すなわち、他のプラスチック部品及び金属部品に接触しても滑らかで、しかも伸張耐性があるように構成される材料を含みうる。したがって、有利には、本書に記載の供給ラインガイドの実施形態は、供給ライン（例えば、ケーブル及びホース）、並びにフレキシブルチューブ（フレキシブル金属チューブとも称される）の寿命を延ばす。
【００４５】
［００４４］  図９は、本書に記載の実施形態による、例示的な第１の状態（実線）及び例示的な第２の状態（破線）にある供給ラインガイドの概略側面図を示す。具体的には、図９は、供給ラインガイド１００の第１端部１０１が、例えば真空チャンバ２１０の壁に固定されることによって、固定位置Ｐ１を有しうること、また、供給ラインガイド１００の第１端部１０２が、例えば真空チャンバ２１０に提供される可動式デバイスに固定されることによって、第１の位置Ｐ２から第２の位置Ｐ２’まで可変な位置を有しうること、を示している。
【００４６】
［００４５］  本書に記載の実施形態を考慮すると、図１０に例示的に示したように、説明されている供給ラインガイドは、処理システム２００の真空チャンバ２１０で使用されるように十分に適合されていることを理解されたい。したがって、本開示の別の態様は、処理システムの真空チャンバに提供される可動式デバイスに複数の供給ラインをガイドするため、本書に記載の他のいずれかの実施形態による供給ラインガイドの使用に関する。
【００４７】
［００４６］  図１０は、本書に記載の実施形態による処理システム２００の概略図を示す。典型的には、処理システム２００は、本書に記載の実施形態による真空チャンバ２１０、真空チャンバ２１０に提供される可動式デバイス２２０、及び供給ラインガイド１００を含む。図１０に例示的に示されるように、供給ラインガイド１００は、可動式デバイス２２０に接続されている。具体的には、供給ラインガイド１００の第１端部１０１は可動式デバイス２２０に接続されてもよく、供給ラインガイド１００の第２端部１０２は真空チャンバ２１０の壁に接続されてもよい。例えば、可動式デバイス２２０は、材料堆積源などの処理デバイスであってもよい。更に、処理システム２００は、材料堆積中に基板１０５を支持するように構成された基板支持体２２５を含むことができる。
【００４８】
［００４７］  具体的には、可動式デバイス２２０は、図１０に例示的に示したように、軌道又はリニアガイド２２７に提供することができる。リニアガイド２２７は、材料堆積源を並進運動させるように構成されうる。更に、材料堆積源の並進運動を提供するためのドライバを提供することができる。具体的には、材料堆積装置の供給源を非接触搬送するための搬送装置を、真空堆積チャンバに提供することができる。図１０に例示的に示したように、真空堆積チャンバ２１０はゲートバルブ２１５を有し、ゲートバルブ２１５を介して真空堆積チャンバを隣接するルーティングモジュール又は隣接するサービスモジュールに接続させることができる。典型的には、ルーティングモジュールは、別の処理のために別の真空堆積チャンバへ基板を搬送するように構成され、サービスモジュールは、材料堆積源の維持管理を行うように構成される。具体的には、ゲートバルブにより、例えば隣接するルーティングモジュール又は隣接するサービスモジュールの隣接する真空チャンバに対する真空シールが可能になり、真空堆積システムから基板及び／又はマスクを出し入れするために開閉することができる。
【００４９】
［００４８］  図１０を例示的に参照すると、本書に記載の他のいずれかの実施形態とも組み合わされうる実施形態によれば、２つの基板、例えば第１の基板１０５Ａ及び第２の基板１０５Ｂを、真空堆積チャンバ２１０内でそれぞれの搬送軌道で支持することができる。更に、その上にマスク３３３を供給する２つの軌道を設けることができる。具体的には、キャリアを非接触搬送するための別の搬送装置に、基板キャリア及び／又はマスクキャリアの搬送軌道を設けることができる。
【００５０】
［００４９］  典型的には、基板のコーティングには、それぞれのマスクによって、例えばエッジ除外マスクによって、又はシャドウマスクによって基板を遮蔽することが含まれうる。典型的な実施形態によれば、図１０に例示的に示したように、マスク、例えば第１の基板１０５Ａに対応する第１のマスク３３３Ａ、及び第２の基板１０５Ｂに対応する第２のマスク３３３Ｂがマスクフレーム３３１に提供され、所定の位置でそれぞれのマスクを保持する。
【００５１】
［００５０］  図１０に示したように、リニアガイド２２７は、可動式デバイス２２０の、具体的には堆積源の並進運動の方向を提供する。材料堆積装置の両側には、マスク３３３、例えば第１の基板１０５Ａを遮蔽するための第１のマスク３３３Ａと、第２の基板１０５Ｂを遮蔽するための第２のマスク３３３Ｂを提供することができる。マスクは、材料堆積源の並進運動の方向に基本的に平行して延在しうる。更に、蒸発源の対向する側面における基板はまた、並進運動の方向に対して基本的に平行に延在していてよい。
【００５２】
［００５１］  図１０を例示的に参照すると、リニアガイド２２７に沿って材料堆積源を並進運動させるように構成された供給源支持体２３１が提供されうる。典型的には、供給源支持体２３１は、図１０に概略的に示したように、るつぼ２４０と、蒸発るつぼの上に設けられた分配アセンブリ２４５とを支持する。これにより、蒸発るつぼで生成された蒸気は、上に向かって、分配アセンブリの一又は複数の排出口から移動することができる。従って、分配アセンブリは、蒸発させた材料、特に蒸発した有機材料のプルームを分配アセンブリ２４５から基板１０５へ供給するように構成される。図１０には、供給ラインガイド１００の概略図のみを示したが、真空堆積システム２００の真空チャンバ２１０に提供される供給ラインガイド１００は、図１〜図９を参照して例示的に記載されるように、本書に記載される実施形態のいずれかの構成を有しうることを理解されたい。
【００５３】
［００５２］  したがって、上記に鑑みて、本書に記載の実施形態は、真空環境に提供される可動式デバイスに複数の供給ラインをガイドするため、供給ラインガイドを改良することを理解されたい。言い換えるならば、本書に記載の実施形態は、真空内の可動式デバイスに媒体を供給するため、通過するフレキシブル媒体を改良する。更に、本書に記載の供給ラインガイドは、図１０に関して例示的に説明したように、堆積源に供給ラインをガイドするために使用されるだけではなく、電力、圧搾空気、冷却水などの媒体供給に必要となる他の任意の可動式デバイスに供給ラインをガイドするためにも使用できることを理解されたい。具体的には、本書に記載の実施形態は、大気環境から長い距離にわたる真空環境を経由して可動式デバイスまで媒体を供給するためのソリューションを改良する。例えば、可動式デバイスは、可動式シャッタ、可動式マスク、可動式媒体アーム、可動式基板キャリア、或いは電力や媒体が供給されるその他の可動式デバイスになりうる。
【００５４】
［００５３］  更に、本書に記載の実施形態は、供給ラインガイドにガイドされる供給ライン（例えば、ケーブルやホース）に対して、伸張によって発生しうる張力を緩和することを理解されたい。これに加えて、本書に記載の実施形態は、供給ラインガイドが接続される可動式デバイスの移動中に、供給ラインガイドの曲げによって発生しうる隣接する供給ライン間の摩擦又はこすれを防止する。具体的には、金属ホースなどの供給ラインに対して、伸張防止が施されうる。例えば、従来の供給ラインガイドでは、供給ラインは、（例えば、大気条件を有する）供給ラインガイドの内側と（例えば、真空条件を有する）供給ラインガイドの外側との間の圧力差によって、伸張する。このような伸張は、本書に記載の実施形態によって、実質的に回避することができる。
【００５５】
［００５４］  更に、本書に記載の実施形態は、特に供給ラインガイドがコイル状になっている、或いは巻かれた状態になっているときには、可動式デバイスの可動範囲が大きいため、小さな曲げ半径が起こりうるため、長い距離を経由して可動式デバイスに媒体を供給するためのソリューションを改善する。したがって、本書に記載の実施形態は有利には、寿命を延ばし、設置プロセスを容易にし、真空中での供給ラインガイドの膨張を抑制し、供給ライン（例えば、ホースやケーブル）の設置を容易にし、供給ラインガイドにガイドされる供給ラインの張力を緩和し、これに加えて、異なる供給ライン間の（例えば、媒体ホースと電力ケーブルとの間の）滑り摩擦を軽減する。
【００５６】
［００５５］  以上の記述は本開示の実施形態を対象としているが、本開示の基本的な範囲から逸脱せずに本開示の他の実施形態及び更なる実施形態が考案されてよく、本開示の範囲は、以下の特許請求の範囲によって決定される。
【００５７】
［００５６］  具体的には、本明細書では実施例を用いて、ベストモードを含めて本開示を開示し、また当業者が記載される主題を実施することを、任意のデバイスまたはシステムを作製および使用すること、および組み込まれる任意の方法を実施することを含めて可能にしている。前述において様々な特定の実施形態を開示してきたが、上述した実施形態の相互に非排他的な特徴は、互いに組み合わせることが可能である。特許性のある範囲は特許請求の範囲によって規定され、その他の実施例は、それが特許請求の範囲の文字通りの言葉と相違しない構造要素を有する場合、または特許請求の範囲の文字通りの言葉とは実質的な違いがない等価の構造要素を含む場合には、特許請求の範囲内にあるものとする。
【図１】
2019512593.tif 000003
【図２Ａ】
2019512593.tif 000004
【図２Ｂ】
2019512593.tif 000005
【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2019512593.tif 000008
【図４Ｃ】
2019512593.tif 000009
【図５】
2019512593.tif 000010
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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