(57)【要約】  コンタクトピンであって、検査対象の試験対象装置に配置された第１の電気的接触領域と、試験台内に配置された第２の電気的接触領域とを電気的に接続するために用いられ、上記試験台に機械的に接続されたに細長い中央領域と、第１の端部が上記中央領域の第１の端部に接続され、かつ第２の端部には上記第１の電気的接触領域に電気的に接触する第１の接触領域を有する第１のばねアームと、第１の端部が上記中央領域の第１又は第２の端部に接続され、かつ第２の端部には上記第２の電気的接触領域に電気的に接触する第２の接触領域を有する第２のばねアームとを備える。上記第１及び第２のばねアームは、その第１の端部の領域において上記中央領域の長手軸に対して角度で配向され、上記角度は９０°より小さい又はこれに等しい。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンタクトピンであって、
検査対象の試験対象装置に配置された第１の電気的接触領域と、試験台に配置された第２の電気的接触領域とを電気的に接続するために用いられ、
前記試験台に機械的に接続された細長い中央領域と、
第１の端部が前記中央領域の第１の端部に接続され、かつ第２の端部には前記第１の電気的接触領域に電気的に接触する第１の接触領域を有する第１のばねアームと、
第１の端部が前記中央領域の前記第１の端部又は第２の端部に接続され、かつ第２の端部には前記第２の電気的接触領域に電気的に接触する第２の接触領域を有する第２のばねアームとを備え、
前記第１及び第２のばねアームはそれらの第１の端部の領域において前記中央領域の長手軸に対して角度をつけてそれぞれ配向され、前記角度は９０°より小さい又はこれに等しい、コンタクトピン。
【請求項２】
前記第１のばねアームの前記第２の端部がプラグイン接続によって前記中央領域の前記第２の端部に接続され、及び／又は前記第２のばねアームの前記第２の端部がプラグイン接続によって前記中央領域の前記第２の端部又は前記第１の端部に接続される、請求項１に記載のコンタクトピン。
【請求項３】
前記第１のばねアームの前記第２の端部には、前記中央領域の前記第２の端部の対応する横方向拡幅部が挿入される凹部を有する横方向拡幅部を有し、前記第２のばねアームの前記第２の端部には、前記中央領域の前記第２の端部又は前記第１の端部の対応する横方向拡幅部が挿入される凹部を有する横方向拡幅部を有する、請求項２に記載のコンタクトピン。
【請求項４】
前記第１のばねアームの前記第２の端部には、前記中央領域の前記第２の端部の横方向拡幅部内の対応する凹部に挿入される横方向拡幅部を有し、前記第２のばねアームの前記第２の端部には、前記中央領域の前記第１又は第２の端部の横方向拡幅部内の対応する凹部に挿入される横方向拡幅部を有する、請求項２に記載のコンタクトピン。
【請求項５】
少なくとも１つの別の第１のばねアーム又は少なくとも１つの別の第２のばねアームは、その第１の端部によって前記中央領域に接続され、かつ、前記第１及び第２のばねアームと平行であり、前記別の第１及び第２のばねアームは、スロットによって互いに離間している、請求項２から請求項４のいずれか一項に記載のコンタクトピン。
【請求項６】
前記試験対象装置が試験台に押し込まれる場合に、前記別の第１のばねアームと前記別の第２のばねアームの第２の端部は、前記第１又は第２のばねアームにそれぞれ接続される、請求項５に記載のコンタクトピン。
【請求項７】
前記別の第１のばねアームと前記別の第２のばねアームの前記第２の端部は、前記第１のばねアームと前記第２のばねアームの前記第２の端部の横方向拡幅部にそれぞれ接続される、請求項５に記載のコンタクトピン。
【請求項８】
個々の別の第１のばねアームと個々の別の第２のばねアームの前記第２の端部は、前記第１のばねアーム又は前記第２のばねアームの前記第２の端部の前記横方向拡幅部内に形成された対応する凹部にそれぞれ挿入される、請求項７に記載のコンタクトピン。
【請求項９】
個々の別の第１のばねアーム及び個々の別の第２のばねアームの前記第２の端部にそれぞれ形成された凹部には、対応するピン状の拡幅部が挿入され、前記横方向拡幅部は前記第１のばねアーム又は前記第２のばねアームの前記第２の端部の前記横方向拡幅部上にそれぞれ追加形成されている、請求項７に記載のコンタクトピン。
【請求項１０】
個々の別の第１のばねアーム及び個々の別の第２のばねアームの前記第１の端部は、前記中央領域において形成された対応する凹部に挿入されるピン状の拡幅部を有する、請求項５から請求項９のいずれか一項に記載のコンタクトピン。
【請求項１１】
個々の別の第１のばねアーム及び個々の別の第２のばねアームの前記第１の端部には、凹部が形成され、前記中央領域の対応する横方向拡幅部は前記凹部に挿入される、請求項５から請求項９のいずれか一項に記載のコンタクトピン。
【請求項１２】
前記第１のばねアームの前記第１及び第２の端部の間に伸びる軸と前記中央領域の前記長手軸との間の角度は、前記第２のばねアームの前記第１及び第２の端部の間に伸びる軸と前記中央領域の前記長手軸との間の角度よりも少なくとも１．５倍大きい、請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のコンタクトピン。
【請求項１３】
前記第１のばねアーム及び／又は前記第２のばねアーム及び／又は前記別の第１のばねアーム及び／又は前記別の第２のばねアームは、それぞれ直線状に伸びる、請求項５から請求項１１のいずれか一項に記載のコンタクトピン。
【請求項１４】
前記第１のばねアーム及び／又は前記第２のばねアーム及び／又は前記別の第１のばねアーム及び／又は前記別の第２のばねアームは、前記中央領域の前記長手軸に対してそれぞれ凹状に湾曲して伸びる、請求項５から請求項１１のいずれか一項に記載のコンタクトピン。
【請求項１５】
前記第１のばねアーム及び／又は前記第２のばねアーム及び／又は前記別の第１のばねアーム及び／又は前記別の第２のばねアームは、前記中央領域の前記長手軸に対してそれぞれ凸状に湾曲して伸びる、請求項５から請求項１１のいずれか一項に記載のコンタクトピン。
【請求項１６】
前記第１のばねアーム及び／又は前記第２のばねアームが蛇行して伸びる、請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載のコンタクトピン。
【請求項１７】
試験台であって、試験対象装置と、請求項１から１６のいずれか一項に記載の特定数のコンタクトピンを有するプリント回路基板とを電気的に接続するために用いられ、
対応する前記コンタクトピンの前記第２の接触領域と前記プリント回路基板とに電気的に接続する対応する数の第２の電気的接触領域と、
それぞれの前記コンタクトピンを前記試験台に機械的に固定するための、前記コンタクトピンの数に対応する数の固定装置とを備える、試験台。
【請求項１８】
前記コンタクトピンは、対応する前記固定装置と、対応する前記第２の電気的接触領域と共に、前記試験台から着脱可能な単一のモジュールに配置されている、請求項１７に記載の試験台。
【請求項１９】
個々の隣接しているコンタクトピンの複数のサブセットは、対応する前記固定装置及び対応する前記第２の電気的接触領域と共に、前記試験台から着脱可能なモジュールにそれぞれ配置されている、請求項１７に記載の試験台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンタクトピン、及び複数のコンタクトピンを含む試験台に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路を正しく機能させるか否かをチェックする自動試験装置（ＡＴＥ、Automatic Test Equipment）は、実質的に測定装置（例えば、ネットワークアナライザ）と、汎用の測定装置と専用の試験対象装置（ＤＵＴ、Device Under Test）として使用可能で、かつプリント回路基板を構成するいわゆるロードボードの集積回路の間の専用インターフェースと、ロードボードに取り付けられた試験台に集積回路を挿入し、それを試験台に押し込んで再び除去する自動ハンドリングマシンとからなる。
【０００３】
集積回路に対して完全かつ正確な試験を行うために、試験台は特定の数のコンタクトピンを有し、これらのコンタクトピンは、通常、２行又は４行にそれぞれ配置され、試験対象集積回路の接触領域（本文において、以下に第１の接触領域と呼ばれる）と、試験台上の関連する接触領域（以下に第２の接触領域と呼ばれる）との間で最適な電気的接続をそれぞれ形成する。
【０００４】
EP 0 906 007 B1は、試験対象集積回路の接触領域を試験台の接触領域に接続するコンタクトピンを開示する。
【０００５】
この種のコンタクトピンは２つの弾性領域を有し、この２つの弾性領域によってコンタクトピンと２つの接触領域のうちの一方との間で２つの電気的接続を互いに独立して実現可能である。
【０００６】
集積回路の接触領域はスズ又は他の導電性接触材料から製造されるので、例えば、時間の経過に伴う酸化が原因で層を形成するという欠点があり、当該層は、接触領域とコンタクトピンに対応する接触領域との間の電気的接触を損ねる。接触領域に対して平行に作用し、かつ、試験対象装置が試験台に挿入される場合に発生する、コンタクトピンの２つの接触領域の摩擦運動により、粒子は例えばスズ酸化物層から除去され、それにより、電気的接触が再度形成又は改善される。
【０００７】
ただし、EP 0 906 007 B1のコンタクトピンは、物理的範囲が比較的大きいという欠点がある。集積回路の小型化が進む中で、この種のコンタクトピンは適用できなくなる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
したがって、本発明の目的は、上記の欠点を解決するコンタクトピン及びそれを含む試験台を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的は、特許請求項１の特徴を有する本発明によるコンタクトピンと、特許請求項１７の特徴を有する本発明による試験台によって達成される。各従属特許項には、有利な技術的改良例が考慮されている。
【００１０】
請求項１に記載のコンタクトピンは、中央領域及び２つの弾性のあるばねアームを有する。第１及び第２のばねアームは、その第１の端部を介して中央領域にそれぞれ接続され、その第２の端部には、検査対象の試験対象装置の第１の接触領域と、試験台の第２の接触領域にそれぞれ電気的に接触接続する接触領域とが設けられる。以下には、第１のばねアームの接触領域は第１の接触領域と呼ばれ、第２のばねアームの接触領域は第２の接触領域と呼ばれる。
【００１１】
本発明によるコンタクトピンを可能な限り省スペースで構成するために、第１のばねアームの第１の端部は、略細長く設計されている中央領域の第１の端部に接続され、第２のばねアームの第１の端部は、中央領域の第１の端部又は第２の端部に接続される。なお、第１及び第２のばねアームは、第１の端部の領域において、９０°以下の角度で該中央領域の中心軸に対して配向されている。
【００１２】
上記の両方の技術的手段は、その長さがそれぞれの場合にコンタクトピンの長さに最も重要な影響を及ぼす２つのばねアームを介してコンタクトピンの幾何学的体積を最小にすることを有利に可能にする。さらに、小型化されたコンタクトピンは、より短い信号経路を有するため、コンタクトピンの高周波伝送特性をさらに最適化することができる。
【００１３】
好ましい変形例では、上記第１及び第２のばねアームは、その第１の端部を介して中央領域の異なる端部で該中央領域に接続される。代替手段として、第２の変形例では、該第１及び第２のばねアームはその第１の端部を介して該中央領域の同一端で該中央領域に接続される。
【００１４】
コンタクトピンの全弾性を維持しつつ、第１及び第２のばねアームの長さをさらに短くして、コンタクトピンのさらなる小型化を実現するために、本発明によるコンタクトピンの改良例では、別の第１のばねアーム及び／又は別の第２のばねアームは、好ましくは第１及び第２のばねアームに平行な状態で該中央領域に接続される。上記ばねアームは、接触領域の方向に先細りになる。ここで、第１のばねアーム及び第２のばねアーム、並びに別の第１及び第２のばねアームは、好ましくはスロットによって互いに離間しており、コンタクトピンに使用されるＬＩＧＡ（リソグラフィ、ドイツ語で電気メッキ及び成形の略語）プロセスを採用する場合には、該スロットは、一般にばねアームの平均幅と同程度の大きさを有する。また、他の製造プロセスを使用する場合は、ばねアームの平均幅よりもかなり小さいスロットを実現することもできる。
【００１５】
検査対象の試験対象装置が自動ハンドリングマシンのパンチにより試験台に押し込まれる場合に、別の第１及び第２のばねアームの第２の端部は、上記第１及び第２のばねアームにそれぞれ接続される。
【００１６】
本発明によるコンタクトピンの機械的安定性を高めるために、本発明の第２の改良例では、別の第１のばねアームと別の第２のばねアームの第２の端部は、プラグイン接続によって第１又は第２のばねアームの第２の端部の横方向拡幅部に接続される。
【００１７】
このため、本発明の第２の改良例の第１の下位変形例では、別の第１のばねアームと第２のばねアームの第２の端部には、第１のばねアーム又は第２のばねアームの横方向拡幅部に対応する凹部に導入され、かつ挿入されるピン状の拡幅部が形成される。
【００１８】
本発明の第２の改良例の第２の下位変形例では、別の第１のばねアーム及び別の第２のばねアームの第２の端部は、対応する付加的なピン状の拡幅部が導入及び挿入される凹部をそれぞれ有する。上記対応する付加的なピン状の拡幅部は、第１のばねアーム又は第２のばねアームの横方向拡幅部に形成される。
【００１９】
別の第１及び第２のばねアームの第１の端部と該中央領域との間の固定接続の代わりに、代替的に、また、本発明の第３の改良例では、別の第１及び第２のばねアームの第１の端部と中央領域との間でプラグイン接続を実現することができる。
【００２０】
本発明の第３の改良例の第１の下位変形例では、別の第１及び第２のばねアームの第１の端部には、中央領域の対応する凹部に導入され、かつ挿入されるピン状の拡幅部が形成される。代替手段として、本発明の第３の変形例の第２の下位変形例では、中央領域には、上記ピン状の拡幅部は、別の第１及び第２のばねアームの第１の端部で関連する凹部に導入され、かつ挿入されるピン状の拡幅部が形成される。
【００２１】
本発明の第４の改良例では、スプリングピンのさらなる機械的安定化は、好ましくは、第１のばねアームの第２の端部の横方向拡幅部と中央領域の第２の端部との間及び／又は第２のばねアームの第２の端部の横方向拡幅部と中央領域の第２の端部又は第１の端部との間の付加的なプラグイン接続によって実現される。ここで、これらの２つのプラグイン接続を採用することによって追加の短縮信号経路を実現するので、コンタクトピンの高周波伝送特性を有利に向上させる。
【００２２】
本発明の第４の改良例の第１の下位変形例では、第１のばねアーム及び／又は第２のばねアームの第２の端部の横方向拡幅部には凹部があり、中央領域の第２の端部のピン状の横方向拡幅部が第１のばねアームの第２の端部で凹部に導入され、かつ挿入され、及び／又は中央領域の第２の端部又は第１の端部のピン状の横方向拡幅部が第２のばねアームの第２の端部で凹部に導入され、かつ挿入される。
【００２３】
代替手段として、本発明の第４の改良例の第２の下位変形例では、第１のばねアーム及び／又は第２のばねアームの第２の端部の横方向拡幅部がピン状に形成され、第１のばねアームの第２の端部のピン状の横方向拡幅部は、該中央領域の第２の端部で形成された対応する凹部に導入され、かつ挿入され、及び／又は第２のばねアームの第２の端部のピン状の横方向拡幅部は、中央領域の第２の端部又は第１の端部で形成された対応する凹部に導入され、かつ挿入される。
【００２４】
第１の実施形態では、第１及び第２のばねアームのそれぞれは、好ましくは直線状に伸び、この第１の実施形態では、別の第１及び第２のばねアームが設けられている場合に、最小化された体積と最大化された弾性との組み合わせが最適化される。
【００２５】
ばねアームの第２の実施形態では、第１及び第２のばねアームのそれぞれは、中央領域に対して凹状に湾曲するように伸びる。ここで、ばねアームが少し長くなるため、やや高い弾性を実現可能であるが、第１の実施形態に比べて、必要な体積がやや増加する。
【００２６】
ばねアームの第３の実施形態では、第１及び第２のばねアームのそれぞれは、中央領域に対して凸状に湾曲した形状を有する。この形状のコンタクトピンに必要な体積が最も低くなる。しかし、この形状の場合は、少数の別の第１及び第２のばねアームのみを実現可能であり、かつ、それらは著しく短くなるため、コンタクトピンの弾性はかなり低下する。
【００２７】
第４の実施形態の一部として、第１及び第２のばねアームは蛇行状に形成されている。蛇行形状のため、第１及び第２のばねアームはそれぞれの場合も最大の長さを有する。コンタクトピンの第４の実施形態は、高さに厳しく要求せず、かなり低い幅を必要とする応用例に適している。
【００２８】
コンタクトピンの第１の接触領域と試験対象装置上の第１の接触領域との間で良好な摩耗プロセスを可能な限り達成するとともに、該コンタクトピンの第２の接触領域と試験台上の第２の接触領域との間で可能な限り摩耗プロセスを達成するために、第１のばねアームの第１の端部と第２の端部の間に伸びる軸と中央領域の長手軸との間の角度が、第２のばねアームの第１の端部と第２の端部の間に伸びる軸と中央領域の長手軸との間の角度よりも顕著に大きくなるように設計されている。
【００２９】
第１のばねアームの第１の端部と第２の端部との間に伸びる軸と中央領域の長手軸との間の角度は、例えば、第２のばねアームの第１の端部と第２の端部と中央領域の長手軸との間の角度よりも１．５倍大きい。第１のばねアームの第１の端部と第２の端部との間に伸びる軸と中央領域の長手軸との間の角度は、好ましくは、第２のばねアームの第１の端部と第２の端部との間に伸びる軸と中央領域の長手軸との間の角度よりも２．０倍大きい。第１のばねアームの第１の端部と第２の端部との間に伸びる軸と中央領域の長手軸との間の角度は、特に好ましくは、第２のばねアームの第１の端部と第２の端部との間に伸びる軸と中央領域の長手軸との間の角度よりも２．５倍大きい。
【００３０】
第１のばねアームの長さが第２のばねアームの長さと略同じである場合は、第１のばねアームの第１の端部と第２の端部との間に伸びる軸と中央領域の長手軸との間の角度が、第２のばねアームの第１の端部と第２の端部との間に伸びる軸と中央領域の長手軸との間の角度よりも大きい。それにより、第１の接触面に平行な第１の接触領域の移動が第２の接触面に平行な第２の接触領域の移動より長い。
【００３１】
第１の接触面に平行な第１の接触領域の移動が第２の接触面に平行な第２の接触領域の移動より長いので、例えば、第１の接触面でより大きな面積の酸化スズ粒子を掻き取ることができ、特に、該接触領域の接触先端領域内の酸化スズ粒子などを掻き取り、該接触先端は第１の接触領域と電気的接触を形成する。
【００３２】
本発明による試験台には、本発明による多くのコンタクトピンが配置され、上記コンタクトピンの数量がＤＵＴの第１の接触領域の数量に対応する。本発明によるコンタクトピンの配置は、通常、集積回路の第１の接触領域の配置と同様に２行又は４行に設けられ、かつ、この２行又は４行のコンタクトピンは集積回路の矩形の基台領域の２辺又は４辺の位置に対してすこしずれて配置される。本発明による試験台内の本発明によるコンタクトピンの他の配置、例えば、グリッド又はマトリクス配置、並びに将来使用される本発明によるコンタクトピンの任意の配置が可能であり、かつ、本発明の範囲に属する。
【００３３】
本発明による個々のコンタクトピンは、少なくとも１つの固定装置によって試験台に機械的に接続され、本発明による試験台の第２の接触領域と電気的に接触する。
【００３４】
代替手段として、本発明による個々のコンタクトピンは、本発明の試験台から着脱可能なモジュールに統合することもできる。最後に、単一行にある個々のコンタクトピンも、本発明の試験台から着脱可能なモジュールに統合可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
本発明のコンタクトピン及び本発明による試験台の個々の実施形態、変形例、下位変形例、及び改良例については、図面を参照して、以下に詳細に説明される。図面は以下のとおりである。
【図１】各接触辺に直線的に伸びるばねアームを有する、本発明によるコンタクトピンを示す図である。
【図２Ａ】本発明によるコンタクトピンの第１の改良例の第１の変形例を示す図である。
【図２Ｂ】本発明によるコンタクトピンの第１の改良例の第２の変形例を示す図である。
【図３Ａ】本発明によるコンタクトピンの第２の改良例の第１の下位変形例を示す図である。
【図３Ｂ】本発明によるコンタクトピンの第２の改良例の第２の下位変形例を示す図である。
【図４Ａ】本発明によるコンタクトピンの第３の改良例の第１の下位変形例を示す図である。
【図４Ｂ】本発明によるコンタクトピンの第３の改良例の第２の下位変形例を示す図である。
【図５Ａ】本発明によるコンタクトピンの第４の改良例の第１の下位変形例を示す図である。
【図５Ｂ】本発明によるコンタクトピンの第４の改良例の第２の下位変形例を示す図である。
【図６Ａ】本発明によるコンタクトピンの第２の実施形態を示す図である。
【図６Ｂ】本発明によるコンタクトピンの第３の実施形態を示す図である。
【図６Ｃ】本発明によるコンタクトピンの第４の実施形態を示す図である。
【図７】個々の接触辺で摩耗経路の長さが異なる、本発明によるコンタクトピンを示す図である。
【図８Ａ】本発明による試験台の平面図である。
【図８Ｂ】本発明による試験台の横断面図である。
【図８Ｃ】組み込みモジュールを備えた本発明による試験台の三次元図である。
【図８Ｄ】除去されたモジュールを備えた本発明による試験台の三次元図である。
【図９】個々の信号経路を有する本発明によるコンタクトピンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
本発明によるコンタクトピンの個々の実施形態、変形例、下位変形例、及び改良例については、下記の図を参照して詳細に説明する。
【００３７】
本発明によるコンタクトピンは、マイクロメカニカル部品を構成する。本発明によるコンタクトピンは、ＬＩＧＡプロセスによって製造されることが好ましい。また、本発明によれば、他のマイクロメカニカルプロセスによってコンタクトピンを製造することも可能であり、かつ本発明の範囲に属する。
【００３８】
マイクロメカニカルプロセスの場合は、本発明によるコンタクトピンは、均一な厚さを有する概ね二次元形状（本発明によるコンタクトピンの高さと幅）を有する。本発明によるコンタクトピンの高さと幅は、それぞれ通常、１ｍｍ〜３ｍｍであり、厚さは通常、ミリメートルの約１０分の１である。
【００３９】
ＬＩＧＡプロセスの好ましい応用例では、本発明によるコンタクトピンは、一般には、金属、金属合金、又は金属及び非金属元素で構成された接続システム（例えばＮｉＰ）で構成されている。主に高さと幅に対して配向されている本発明によるコンタクトピンの上面と底面との間の移行部の側面には被膜、例えば金被膜が設けられている。
【００４０】
図１にコンタクトピンの高さ寸法と幅の二次元図を示す。図１に示される本発明によるコンタクトピン１００の第１の非常に単純化された形態では、本発明によるコンタクトピン１００は、細長い中央領域１と、第１のばねアーム２１と、第２のばねアーム３１とからなる。第１のばねアーム２１及び第２のばねアーム３１は、中央領域１の幅よりも小さい幅を有する細長い直線状部分をそれぞれ有する。
【００４１】
第１のばねアーム２１は、その第１の端部４１で中央領域１の第１の端部５に接続され、すなわち、図１の右側に図示されている上記中央領域１の端部に接続される。第２のばねアーム３１は、その第１の端部６１で中央領域１の第２の端部７に接続され、すなわち、図１の左側に図示されている中央領域１の第２の端部７に接続される。
【００４２】
第１のばねアーム２１及び第２のばねアーム３１は、その第１の端部４１及び６１の領域において、中央領域１に対して９０°以下の角度φ１と角度φ２でそれぞれ配向されている。ここで、第１の端部４１の領域における第１のばねアーム２１と中央領域１との間の配向角φ１は、第１の端部４１の領域における第１のばねアーム２１からの接線と長手軸９との間の角度として指定される。線形の第１のばねアーム２１を使用する場合は、該配向角は、第１のばねアーム２１の長手軸８（すなわち、第１のばねアーム３１の第１の端部４１と第２の端部１１１との間の軸）と中央領域１の中央領域１内に位置する長手軸９との間の角度に対応する。配向角２は、第１の端部６１の領域における第２のばねアーム３１からの接線と中心領域１の長手軸９との間の角度として指定される。線形の第２のばねアーム３１を使用する場合は、第２のばねアーム３１の長手軸１０（すなわち、第２のばねアーム３１の第１の端部６１と第２の端部１５１との間の軸）と中心領域１の長手軸９との間の角度に対応する。
【００４３】
第１のばねアーム２１の第２の端部１１１には第１の接触領域１２が形成され、検査対象の試験対象装置、つまり集積回路が試験台に押し込まれる場合に、第１の接触領域は、該試験対象装置に対応する第１の接触領域１３との電気的接触を形成する。
【００４４】
図１に示されるように、第１の接触領域１２は、第１の接触領域１３の方向に向け、かつ接触領域１４を有するビード状の拡幅部からなり、上記接触領域１４は、試験対象装置の第１の接触領域１３との実際の電気的接触を形成する。
【００４５】
なお、第１の接触領域１２は、図１に図示されていない隆起部又は先端部を有し、それは第１の接触領域１２と共に、検査対象の試験対象装置が試験台に挿入された場合に第１の接触領域１３上で僅かな並進運動を行う。第１のばねアーム２１のばね力と付加の隆起部又は先端の尖った形状により、第１の接触領域１３上の酸化物層の粒子は、第１の接触領域１２の並進運動のために掻き落とされる。時間の経過に伴って、第１の接触領域１３上で酸化のために形成された酸化物層は、電気的接触を損なう。該酸化物層の粒子を掻き取ることにより、第１のばねアーム２１の第１の接触領域１３と第１の接触領域１２との電気的接触が再び改善される。
【００４６】
第２のばねアーム３１の第２の端部１５１には第２の接触領域１６が形成され、この第２の接触領域は、試験台の第２の接触領域１７の方向に向け、かつ接触先端を有するビード状の拡幅部を構成する。該接触先端１８は、第２のばねアーム３１の第２の接触領域１６と試験台の第２の接触領域１７との間で実際の電気的接触を形成する。
【００４７】
コンタクトピン１００を試験台に機械的に固定するために、中央領域１に少なくとも１つの係止手段が設けられている。図１には、例えば中央領域１の両端部に係止手段１９１、１９２が設けられ、上記係止手段は、試験台の対応する係止手段との連動接続を形成する。連動接続の代替手段として、本発明は、コンタクトピンと試験台との間の力嵌合接続にも対応する。ここで、コンタクトピン１００又は試験台における接触手段は、試験台又はコンタクトピン１００の中の対応する接触領域との力嵌合接続を形成する。
【００４８】
本発明によるコンタクトピンが検査対象の試験対象装置の第１の接触領域１３に加えた弾力、及び第２のばねアーム３１が試験台の第２の接触領域１７に加えた弾力により、検査対象の試験対象装置の第１の接触領域１３と本発明によるコンタクトピン１００との間の適切な電気的接続、及び本発明によるコンタクトピン１００と試験台の第２の接触領域１７との間の適切な電気的接続が確保される。
【００４９】
第１のばねアーム２１及び第２のばねアーム３１の長さを短縮し、本発明によるコンタクトピン１００の小型化を図るために、第１の改良例では、本発明によるコンタクトピン１００は、第１のばねアーム２１に加えて、別の第１のばねアーム２２、２３を有し、第２のばねアーム３１に加えて、別の第２のばねアーム３２、３３を有する。
【００５０】
図２Ａに示される本発明によるコンタクトピン１００の第１の改良例の第１の下位変形例では、これらの別の第１のばねアーム２２及び２３は、第１のばねアーム２１に対して平行に伸び、第１の端部４２、４３を介して中央領域１の第１の端部５で中心領域１に接続され、かつ中央領域１の第１の端部５にそれぞれ隣接する。個々の第１のばねアーム２１、２２、２３は、それぞれスロットによって互いに離間しており、上記スロットの平均幅は、通常、個々の第１のばねアーム２１、２２、２３の平均幅と同等である。
【００５１】
第２のばねアーム３１及び別の第２のばねアーム３２、３３も互いに平行に伸び、第１の端部６２、６３を介して中央領域１の第２の端部７で中央領域１に接続され、中央領域１の第２の端部７にそれぞれ隣接する。個々の第２のばねアーム６１、６２、６３は、それぞれスロットによって互いに離間しており、上記スロットの平均幅は、通常、個々の第２のばねアーム３１、３２、３３の平均幅と同等である。
【００５２】
図２Ａのように、平行な第１及び第２のばねアームの数は制限されていない。本発明はさらに、他の任意の所望数の平行な第１及び第２のばねアームを含んでもよく、中心領域１の長さに沿って中央領域１に接続し、かつスロットを有するという条件を満たせばよい。
【００５３】
図２Ｂに図示されている本発明のコンタクトピン１００の第１の改良例の第２の下位変形例では、第２のばねアーム３１及び別の第２のばねアーム３２、３３のすべては、同じ端部で中央領域１に接続され、特に第１の端部５で中央領域１の同じ端部と中央領域１の第１の端部５にそれぞれ隣接し、上記第１の端部５には、第１のばねアーム２１と別の第１のばねアーム２２、２３のすべては中央領域１に接続される。
【００５４】
図２Ｂに図示されるように、本発明によるコンタクトピン１００の第１の改良例では、別の第１のばねアーム２２、２３のすべてと別の第２のばねアーム３２、３３のすべては、検査対象の試験対象装置が試験台に押し込まれた状態で第１のばねアーム２１と第２のばねアーム３１に接触する第２の端部１１２、１１３及び１５２、１５３をそれぞれ有する。これにより、別の第１のばねアーム２２、２３及び別の第２のばねアーム３２、３３により、本発明によるコンタクトピン１００の高周波伝達動作をさらに改善する付加の信号経路を生成する。
【００５５】
本発明によるコンタクトピン１００の第２の改良例では、別の第１のばねアーム２２、２３、及び別の第２のばねアーム３２、３３の第２の端部１１２、１１３、及び１５２、１５３は、第１のばねアーム２１の第２の端部１１１の横方向拡幅部にそれぞれ接続され、さらに第１のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部にそれぞれ接続される。
【００５６】
このため、図３Ａに示される本発明によるコンタクトピン１００の第２の改良例の第１の変形例では、第１のばねアーム２１の第２の端部１１１の横方向拡幅部２０のそれぞれは、複数の凹部２１２、２１３を有し、別の第１のばねアーム２２、２３の第２の端部１１２、１１３が凹部２１２、２１３にそれぞれ導入され、かつ挿入される。別の第１のばねアーム２２、２３の第２の端部１１２、１１３は、それぞれ第１のばねアーム２１の第２の端部１１１の横方向拡幅部２０の関連する凹部２１２、２１３とプラグイン接続されている。このプラグイン接続により、別の第１のばねアーム２２及び２３の個々の第２の端部１１２及び１１３は、対応する凹部２１２及び２１３に対して軸方向及び半径方向にある程度摺動可能である。しかし、対応する凹部２１２及び２１３に対する軸方向及び半径方向の相対運動は制限される。
【００５７】
これと同様に、別の第２のばねアーム３２、３３の第２の端部１５２、１５３は、第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向幅広部２３の対応する凹部２２２、２２３にそれぞれ導入され、かつ挿入される。別の第２のばねアーム３２、３３の第２の端部１５２、１５３は、それぞれ第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部２３の対応する凹部２２２及び２２３とプラグイン接続されている。
【００５８】
図３Ｂに示される本発明によるコンタクトピン１００の第２の改良例の第２の下位変形例では、別の第１のばねアーム３２、３３の第２の端部１１２、１１３にはそれぞれ凹部２４２及び２４３を有する。第１のばねアーム２１の第２の端部１１１の横方向拡幅部２０の対応するピン状の拡幅部分２５２、２５３がそれぞれ凹部２４２及び２４３に導入され、かつ挿入される。ピン状の拡幅部分２５２、２５３は、第１のばねアーム２１の第２の端部１１１の横方向拡幅部２０に対して約９０°の角度で略横方向に配向されている。ピン状の拡幅部２５２及び２５３は、それぞれ別の第１のばねアーム２２、２３の第２の端部１１２、１１３の内の対応する凹部２４２、２４３とプラグイン接続されている。
【００５９】
これと同様に、第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部２３上のピン状の拡幅部２６２、２６３は、別の第２のばねアーム３２、３３の第２の端部１５２又は１５３の対応する凹部２７２、２７３に導入され、かつ挿入される。これらのピン状拡幅部２６２、２６３は、同様に第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部２３に対して約９０°の角度で略横方向に配向されている。同様に、ピン状の拡幅部２６２、２６３は、それぞれ別の第２のばねアーム３２、３３の第２の端部１５２、１５３の対応する凹部２７２、２７３にプラグイン接続されている。
【００６０】
図４Ａに示される本発明によるコンタクトピン１００の第３の改良例では、別の第１及び第２のばねアームの第１の端部は、それぞれ中央領域１とプラグイン接続され、別の第１及び第２のばねアームの第２の端部は、それぞれ第１及び第２のばねアームの第２の端部の各横方向拡幅部に固定的に接続される。
【００６１】
ここで、本発明によるコンタクトピン１００の第３改良例の第１の下位変形例では、別の第１のばねアーム２２の第１の端部４２、４３は、それぞれ凹部２７２、２７３を有し、別の第１のばねアーム２２の第２の端部１１２、１１３は、第１のばねアーム２１の第１の端部１１１の横方向拡幅部２０に固定的に接続される。
【００６２】
中央領域１の対応する横方向拡幅部２８２、２８３は、別の第１のばねアーム２２、２３の第１の端部４２、４３の凹部２７２、２７３にそれぞれ導入され、かつ挿入される。これらの横方向拡幅部２８２、２８３は、別の第１のばねアーム２２、２３と同じ向きを有し、かつ中央領域１の第１の端部５に隣接する中央領域１の適切な位置で中央領域１から突出している。これにより、別の第１のばねアーム２２、２３が第１のばねアーム２１に対して平行に配置され、それぞれの場合にスロットによって互いに離間することが確保され、上記スロットの平均幅が個々の第１のばねアーム２１、２２、２３の平均幅に略一致している。中央領域１の横方向拡幅部２８２、２８３は、それぞれ別の第１のばねアーム２２、２３の第１の端部４２、４３にある係合凹部２７２、２７３にプラグイン接続されている。
【００６３】
これと同様に、別の第２のばねアーム３２、３３の第１の端部６２、６３は、それぞれ凹部２９２、２９３を有し、別の第２のばねアーム３２の第２の端部１５２、１５３は、それぞれ第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部２３に固定的に接続される。
【００６４】
別の第２のばねアーム３２、３３の第１の端部６２、６３の凹部２９２、２９３には、中央領域の対応する横方向拡幅部３０２、３０３が導入され、かつ挿入されている。これらの横方向拡幅部３０２、３０３は、別の第２のばねアーム３２、３３と同じ向きを有し、中央領域１の第２の端部７に隣接する中央領域１の適切な位置で中央領域１から突出している。中央領域１の横方向拡幅部３０２、３０３は、それぞれ別の第２のばねアーム３２、３３の第１の端部６２、６３にある対応する凹部２９２、２９３にプラグイン接続されている。
【００６５】
図４Ｂに示される本発明によるコンタクトピン１００の第４の改良例の第２の下位変形例では、別の第１のばねアーム２２、２３の第２の端部１１２、１１３は、第１のばねアーム２１の第２の端部１１１の横方向拡幅部２０に固定的に接続され、別の第１のばねアーム２２、２３の第１の端部４２、４３は、中央領域１の横方向拡幅部３０２、３０３に形成された対応する凹部３１２、３１３にそれぞれ導入され、かつ挿入される。中央領域１の横方向拡幅部３０２、３０３は、凹部３１２及び３１３を介して、対応する別の第１のばねアーム２２、２３と略同一の向きを有し、かつ中心領域１の第１の端部５に隣接する中心領域１の適切な位置で中央領域１から突出している。これにより、別の第１のばねアーム２１、２３が第１のばねアーム２１に対して平行に配置され、かつスロットによって互いに離間することが確保され、上記スロットの平均幅が第１のばねアーム２１、２２、２３のそれぞれの平均幅に略一致している。
【００６６】
本発明によるコンタクトピン１００の第４の改良例では、弾性設計の本発明によるコンタクトピンの付加的な機械的安定化は、検査対象の試験対象装置が試験台に横方向に挿入された状態で実現される。第１のばねアーム２１の第２の端部１１１の横方向拡幅部２０は中央領域１の第２の端部７とプラグイン接続され、第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部２３は中央領域１の第１の端部５とプラグイン接続されている。
【００６７】
図５Ａに示される本発明によるコンタクトピン１００の第４の改良例の第１の下位変形例では、その第１の下位変形例は、図２Ａに示される本発明によるコンタクトピンの第１の下位変形例に基づくものであり、第１のばねアーム２１の第２の第１の横方向拡幅部２０には凹部３４が設けられている。この凹部３４には、中央領域１の第２の端部７にある横方向拡幅部３５が導入され、かつ挿入されている。中央領域１の横方向拡幅部３５と第１のばねアーム２１の第２の端１１１の横方向拡幅部２０の凹部３４との間にプラグイン接続を形成するために、中央領域１の横方向拡幅部３５と第１の接触領域１２の横方向拡幅部２０の凹部３４とは、挿入状態で略同一の向きと、略互いに一致する形状を有する。
【００６８】
これと同様に、第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部２３には凹部３６が設けられ、中央領域１の第１の端部５にある横方向拡幅部３７が上記凹部に導入され、かつ挿入される。第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部２３の凹部３６と中央領域１の横方向拡幅部３７とは略同一の向きと、略互いに一致する形状とを有しており、その結果、中央領域１の横方向拡幅部３７と第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部２３の凹部３６との間にプラグイン接続が確実に確立される。
【００６９】
図５Ｂに示される本発明によるコンタクトピン１００の第４の改良例の第２の下位変形例では、第１のばねアーム２１の第２の端部１１１の横方向拡幅部２０は、中央領域１の第２の端部７にある横方向拡幅部３５に形成された凹部３８に導入され、かつ挿入される。第１のばねアーム２１の横方向拡幅部２０と中央領域１の横方向拡幅部３５の中の凹部３８との間に確実なプラグイン接続が確立されるように、横方向拡幅部２０と凹部３８とは、挿入状態で略同一の向きと、略互いに一致する形状を有する。
【００７０】
これと同様に、中央領域１の第１の端部５の横方向拡幅部３７に形成された凹部３９には、第２のばねアーム３１の第２の端部１５１の横方向拡幅部２３が導入され、かつ挿入される。また、略同一の向きと、略互いに一致する形状とを有する横方向拡幅部２３と凹部３９との間のプラグイン接続の場合も同様であり、方向拡幅部２３と凹部３９の向きが略同じで、かつ、方向拡幅部２３と凹部３９の形状が略互いに一致する。
【００７１】
一方、本発明によるコンタクトピン１００の第１の実施形態では、個々の第１及び第２のばねアームは、線形プロファイル、すなわち、直線プロファイルを有し、図６Ａに示される本発明によるコンタクトピン１００の第２の実施形態では、第１のばねアーム２１、２２、２３のすべてと第２のばねアーム３１、３２、３３のすべては、中央領域１に対してそれぞれ凹状に湾曲する。対応する第１の第１の端部４１、４２、４３及び６１、６２、６３の領域における中央領域１の長手軸９に対する個々の第１のばねアーム２１、２２、２３と個々の第２のばねアーム３１、３２、３３の向きは、対応する第１の端部４１、４２、４３及び６１、６２、６３の領域における個々の第１のばねアーム２１、２２、２３と個々の第２のばねアーム３１、３２、３３から引いた接線と中央領域１の長手軸９との間の角度φ１と角度φ２によって与えられる。本発明によるコンタクトピン１００の第１の実施形態では、角度φ１及び角度φ２はそれぞれ９０°より小さい又はこれに等しい。
【００７２】
本発明によるコンタクトピン１００において実現可能な任意の所望数の第１及び第２のばねアームの設置、特に単一の第１のばねアームと単一の第２のばねアームの設置は、また本発明によるコンタクトピン１００の第２の実施形態に含まれる。
【００７３】
図６Ｂに示される本発明によるコンタクトピン１００の第３の実施形態では、個々の第１のばねアーム２１、２２、２３及び個々の第２のばねアーム３１、３２、３３は、中央領域１に対して凸状に湾曲する。対応する第１のばねアーム２１、２２、２３又は第２のばねアーム３１、３２、３３の第１の端部４１、４２、４３及び６１、６２、６３の領域における中央領域１に対する個々の第１のばねアーム２１、２２、２３と個々の第２のばねアーム３１、３２、３３の向きは、対応する第１の端部４１、４２、４３及び６１、６２、６３の領域における個々の第１のばねアーム２１、２２、２３と個々の第２のばねアーム３１、３２、３３から引いた接線と中央領域１の長手軸９との間の角度φ１と角度φ２によって与えられる。本発明によるコンタクトピン１００の第１の実施形態では、角度φ１及び角度φ２はそれぞれ９０°より小さい又はこれに等しい。
【００７４】
本発明によるコンタクトピン１００の第３の実施形態では、本発明によるコンタクトピン１００において実現可能な任意の所望数の第１及び第２のばねアームの設置、特に単一の第１のばねアームと単一の第２のばねアームの設置も、同様に本発明に含まれる。
【００７５】
本発明によるコンタクトピン１００の第４の実施形態では、図６Ｃに示されるように、第１のばねアーム２１及び第２のばねアーム３１はそれぞれ蛇行状に形成される。
【００７６】
図６Ｃに示されるように、中央領域１の第２の端部７における第１のばねアーム２１の第１の端部４１と、中央領域１の第１の端部５における第２のばねアーム３１の第１の端部６１とは、中央領域１に接続される。代替手段として、第１のばねアーム２１と第２のばねアーム３１の第１の端部４１及び６１は対向端５、７で中央領域１にそれぞれ接続可能である。
【００７７】
第１及び第２の蛇行ばねアーム２１、３１に加えて、図６Ｃに図示されていない別の第１及び第２のばねアームを設けることができ、上記別の第１及び第２のばねアームは、第１のばねアーム２１又は第２のばねアーム３１と並列関係で、それぞれの場合にスロットによって互いに離間し、かつ中央領域１にそれぞれ接続される。これらの別の第１及び第２のばねアームは、完全には蛇行して延在せず、それぞれ第１のばねアーム２１又は第２のばねアーム３１に沿って、第１のばねアーム２１の第１のターンと第２のばねアーム３１の第２のターンとの間の領域までだけ伸びる。
【００７８】
第１のばねアーム２１又は第２のばねアーム３１の第１の端部４１又は６１の領域における中央領域１に対する第１のばねアーム２１と第２のばねアーム３１の配向は、対応する第１の端部４１、４２、４３又は６１、６２、６３の領域におけるそれぞれの第１のばねアーム２１、２２、２３及び個々の第２のばねアーム３１、３２、３３から引いた接線と中心領域１の長手軸９との間の角度φ１と角度φ２によって与えられる。本発明によるコンタクトピン１００の第４の実施形態では、角度φ１及び角度φ２はそれぞれ９０°より小さい又はこれに等しい。
【００７９】
検査対象の試験対象装置が試験台に押し込まれると、第１のばねアーム２１の第１の接触領域１２及び第２のばねアーム３１の第２の接触領域１６のそれぞれは、その回転の中心の周りに回転運動を行い、回転の中心は第１のばねアーム２１の長手軸８に沿って移動し、すなわち第１のばねアーム２１の第１端部４１と第２の端部１１１との間の軸に沿って移動し、または第２のばねアーム３１の長手軸１０に沿って移動し、すなわち第２のばねアーム３１の第１の端部６１と第２の端部１５１との間の軸に沿って移動する。
【００８０】
図７に示されるように、第１のばねアーム２１の第１の接触領域１２と第２のばねアーム３１の第２の接触領域１６との回転移動は、２つの並進運動成分、具体的には第１の接触領域１３又は第２の接触領域１７に平行な並進運動成分と、第１の接触領域１３又は第２の接触領域１７に垂直な並進運動成分とに分解される。
【００８１】
第１の接触領域１３に平行な第１の接触領域１２の並進運動は、第１の接触領域１３上の被膜の対応する有利な掻き落としのために完全に望ましい。しかし、第２の接触領域１７に平行な第２の接触領域１６の並進運動については、第２の接触領域１７上の干渉被膜の摩耗にもかかわらず、それほど望ましくない。
【００８２】
一方、検査対象の試験対象装置が試験台に押し込まれる場合に、試験台に押し込まれた検査対象の試験対象装置の第１の接触領域１３は、この種の摩耗過程を受けるが、試験台がロードボードに取り付けられている場合にのみ、試験台の第２の接触領域１７がこの種の摩耗過程を受ける。
【００８３】
したがって、図７に示されるように、第１の接触領域１２の接触端１４における水平矢印の長さがかなり大きくなる第１の接触領域１３の領域に比べて、図７に示されるように、第２の接触領域１６の接触エリア１８における水平矢印の長さがかなり短くなる第２の接触エリア１７の領域では、かなり小さい摩耗運動が望まれる。
【００８４】
第１の接触領域１３に平行な第１の接触領域１２の並進摩耗運動よりかなり短い第２の接触面１６に平行な第２の接触領域１６の並進摩耗運動を実現するために、第２のばねアーム３１の長手軸１０と中心領域１の長手軸９との間の配向角φ２'が、第１のばねアーム２１の長手軸８と中心領域１の長手軸９との間の配向角φ１'よりもかなり小さく設計されている。
【００８５】
第１のばねアーム２１又は第２のばねアーム３１の配向角φ１'、φ２'をそれぞれ指定するために、以下のパラメタリゼーション演算を行うことが好ましい。
【００８６】
ばねアーム２１の長手軸８と中央領域１の長手軸９との間の角度φ１'は、例えば、第２のばねアーム３１の長手軸１０と中央領域の長手軸との間の角度φ２'よりも１．５倍大きい。好ましくは、ばねアーム２１の長手軸８と中央領域１の長手軸９との間の角度φ１'は、第２のばねアーム３１の長手軸１０と中央領域１の長手軸９との間の角度φ２'よりも２．０倍大きい。さらに好ましくは、ばねアーム２１の長手軸８と中央領域１の長手軸９との間の角度φ１'は、第２のばねアーム３１の長手軸１０と中央領域１の長手軸９との間の角度φ２'よりも２．５倍大きい。
【００８７】
図７に示されるように、上記で推奨されているパラメタリゼーション演算では、ばねアーム２１の長手軸８と中央領域１の長手軸９との間の配向角φ１'、及びばねアーム２１の長手軸８と中央領域１の長手軸９との間の配向角φ２'については、第１の接触領域１３及び第２の接触領域１７にそれぞれ垂直な第１の接触領域１２又は第２の接触領域１６の運動成分は略同じである。
【００８８】
本発明によるコンタクトピンの第１の実施形態では、すなわち、第１のばねアーム２１及び第２のばねアームび２２の概ね線形なプロファイルにより、第１のばねアーム２１の長手軸８と中央領域１の長手軸９との間の配向角φ１'及び第１のばねアーム２１の長手軸８と中央領域１の長手軸９との間の配向角φ２'は、第１のばねアーム２１の第１の端部６１の領域における第１のばねアーム２１の対応する配向角φ１、及び第２のばねアーム３１の第１の端部６１の領域における第２のばねアーム３１の対応する配向角φ２に対応する。
【００８９】
第２の実施形態（凹状に湾曲したばねアーム）、第３の実施形態（凸状に湾曲したばねアーム）及び第４の実施形態（蛇行型ばねアーム）では、この種の関係はもはや存在しない。第１のばねアーム２１の長手軸８と第２のばねアーム３１の長手軸１０との間の配向角φ１'と、第１のばねアーム２１の長手軸８と中央領域１の長手軸９との間の配向角φ２'は、第１のばねアーム２１の第１の端部４１の領域における第１のばねアーム２１の対応する配向角φ１と、第２のばねアーム３１の第１の端部６１の領域における第２のばねアーム３１の対応する配向角φ２とは別個に設定する必要がある。
【００９０】
図８Ａ〜８Ｄは、検査対象の試験対象装置が試験台に押し込まれ、本発明によるコンタクトピンが圧縮状態にある場合に、本発明によるコンタクトピンにおける個々の信号経路を破線で示している。図９には、本発明によるコンタクトピンの第１の改良例（複数の平行な第１及び第２のばねアーム）と、本発明によるコンタクトピンの第４の改良例（第１及び第２のばねアームの第２の端部と、中央領域の第２の端部又は第１の端部との個々の追加の接続）との組み合わせ、及び本発明によるコンタクトピンの第２の実施形態（凹状に湾曲した第１及び第２のばねアーム）の応用を示す。
【００９１】
並列信号経路は、まず第１の接触領域と第２の接触領域との間の高周波信号の信号経路を短くし、次にコンタクトピン内のオーミック損失を低減する。したがって、本発明によるコンタクトピンの高周波伝送特性は全体的に大幅に改善される。
【００９２】
本発明による試験台については、図８Ａ〜８Ｄを参照して詳細に説明する。
【００９３】
図８Ａの平面図には、本発明による試験台２００を示し、その中央部には、試験対象装置、特に検査対象となる集積回路用の挿入口２０１を示す。図８Ａに図示されていない集積回路は、実質的に正方形のベース面を有し、それぞれの場合に所定数の第１の接触領域１３は、４辺の領域における上記ベース面の底面側に設けられている。代替手段として、任意の寸法の矩形状のベース領域もあり、それぞれの場合に所定数の第１の接触領域１３は、２辺又は４辺の領域における上記ベース面の底面側に設けられている。本発明による試験台２００の挿入口２０１に集積回路が挿入された場合、集積回路の底部側に設けられた第１の接触領域１３は、本発明による対応するコンタクトピン１００とそれぞれ電気的に接触する。
【００９４】
このため、図８Ａに示されるように、本発明による特定数Ｎのコンタクトピン１００１１、１００１２、…１００１Ｎ、１００２１、１００２２、…１００２Ｎ、１００３１、１００３２、…、１００３Ｎ、１００４１、１００４２、…、１００４Ｎは、それぞれ合計４辺に配置されている。集積回路が試験台２００に挿入される場合は、試験台２００には、合計４辺にそれぞれ配置されたコンタクトピンは、それぞれの場合に検査対象となる集積回路の４辺の底側に設けられた４列の第１の接触領域１３の下方に位置する。なお、対応する第１の接触領域と電気的に接触するコンタクトピンを、この４列の領域、特に中心部に分布することも可能である。
【００９５】
図８Ｂに示される本発明による試験台２００の横断面図では、試験対象装置３００、すなわち試験対象集積回路３００が挿入口２０１に挿入される。この図では、一例として、本発明による２つのコンタクトピン１００１２、１００３２の側面図が示され、本発明によるコンタクトピン１００４１、１００４２、１００４Ｎの正面図が示される。
【００９６】
本発明によるコンタクトピン１００１２は、試験台２００内にその第１の接触領域１２を介して試験対象集積回路３００の第１の接触領域１３１２と電気的に接触し、第２の接触領域１６を介して第２の接触領域１７１２と電気的に接触し、それぞれの場合には、本発明によるコンタクトピン１００３２の第１の接触領域１２と試験対象集積回路３００の第１の接触領域１３３２との間に電気的接触があり、本発明によるコンタクトピン１００３２の第２の接触領域１６と試験台２００内の第２の接触領域１７３２との間に電気的接触がある。
【００９７】
理想的には、第２の接触領域１７のそれぞれは、本発明による試験台２００の底面まで伸び、かつその箇所でロードボード（ロードボードと呼ばれるプリント回路基板）にそれぞれ電気的に接続する電気接点を形成する。上記ロードボードは、本発明による試験台に機械的又は電気的に接続され、または試験台及び測定装置に対して互いに離間しており、かつ電線を介して試験台と測定装置にそれぞれ接続される。
【００９８】
代替手段として、図８Ｂに示されるように、電気接点は、対応する第２の接触領域から少し離れて本発明による試験台に配置可能である。この場合、上記２つの第２の接触領域１７１２、１７３２は、電気信号線２０４１２及び２０４３２を介して電気接点２０３１２、２０３３２に電気的に接続される。これらの電気接点２０３１２、２０３３２により、試験信号又は測定信号は、試験の目的で、試験対象となる集積回路３００の「ロードボード」と第１の接触領域１３１２、１３３２との間でそれぞれ交換される。
【００９９】
本発明によるコンタクトピン１００１２を例として、試験台２００への本発明によるコンタクトピン１００１２の機械的固定を説明する。本発明によるコンタクトピン１００１２の一部を形成する中央領域１の第１の端部５及び第２の端部７にあるそれぞれ設けられた係止手段１９１、１９２は、それぞれの場合に試験台２００の対応する係止手段２０２１、２０２２と連動して機械的に接続される。
【０１００】
図８Ｃ及び８Ｄは、本発明による試験台２００'の実施形態を示し、そのうち、１列に配置された本発明による個々のコンタクトピンが分離可能モジュール２０５１、２０５２、２０５３、２０５４に統合され、そのモジュールは、本発明による試験台２００'に埋め込むことができ、それにより本発明による試験台２００（図８Ｃを参照）に機械的に接続可能であり、かつ、本発明による試験台２００から再び除去可能であり、それにより本発明（図８Ｄを参照）による試験台２００'から機械的に取り外すことができる。
【０１０１】
１列に配置された本発明による個々のコンタクトピンに加えて、この種の分離可能なモジュール２０５１、２０５２、２０５３、２０５４は、さらに個々のコンタクトピン１００にそれぞれ対応する第２の接触領域１３と、係止手段２０２１、２０２２と、オプションの電気信号線２０４と電気接点２０５とを含む。
【０１０２】
全てのコンタクトピンに対して最適で、特に均一な温度制御を行うために、好ましくは本発明による試験台内に空気流路が設けられ、該空気流路は試験台に適切位置決めされた接点を介して適切な温度で個々のコンタクトピンに洗浄空気を供給する。
【０１０３】
分離可能なモジュール２０５１、２０５２、２０５３、２０５４による１列に配置されたコンタクトピンの除去に加えて、単一の分離可能なモジュールによる全４列に配置されたコンタクトピンの除去もまた、本発明の範囲に属する。
【０１０４】
最後に、例えば行列状又はグリッドで本発明による個々のコンタクトピンの異なる配置を備えた試験台も、本発明の範囲に属する。この場合、本発明によるすべてのコンタクトピンを単一の分離可能なモジュールに統合するオプション、または本発明による隣接しているコンタクトピンのサブ領域を分離可能なモジュールに統合するオプションもまた、本発明の範囲に属する。
【０１０５】
本発明は、図示された実施形態、変形例及び下位変形例に限定されるものではない。特に、特許請求の範囲にそれぞれ記載されている特徴の説明及び図面の各図に示されている特徴の全ての組み合わせは、技術的に実現可能な限り、本発明の範囲に属する。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図９】
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【国際調査報告】
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