(57)【要約】  合金リボンの巻回体から合金リボンを巻き出す巻き出し装置と、前記巻き出し装置から巻き出された前記合金リボンが接触しながら走行する第１平面を含み、前記第１平面に接触しながら走行している前記合金リボンを、前記第１平面を介して加熱する加熱部材と、前記加熱部材によって加熱された前記合金リボンが接触しながら走行する第２平面を含み、前記第２平面に接触しながら走行している前記合金リボンを、前記第２平面を介して冷却する冷却部材と、前記冷却部材によって冷却された前記合金リボンを巻き取る巻き取り装置と、を備える合金リボンのアニール装置。
2019534942.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
合金リボンの巻回体から合金リボンを巻き出す巻き出し装置と、
前記巻き出し装置から巻き出された前記合金リボンが接触しながら走行する第１平面を含み、前記第１平面に接触しながら走行している前記合金リボンを、前記第１平面を介して加熱する加熱部材と、
前記加熱部材によって加熱された前記合金リボンが接触しながら走行する第２平面を含み、前記第２平面に接触しながら走行している前記合金リボンを、前記第２平面を介して冷却する冷却部材と、
前記冷却部材によって冷却された前記合金リボンを巻き取る巻き取り装置と、
を備える合金リボンのアニール装置。
【請求項２】
前記加熱部材が、加熱室に収容されている請求項１に記載の合金リボンのアニール装置。
【請求項３】
前記加熱部材の前記第１平面及び前記冷却部材の前記第２平面の少なくとも一方に、前記合金リボンを吸引するための吸引構造が設けられている請求項１又は請求項２に記載の合金リボンのアニール装置。
【請求項４】
前記吸引構造が、開口部を含む請求項３に記載の合金リボンのアニール装置。
【請求項５】
前記加熱部材及び前記冷却部材の少なくとも一方が、前記合金リボンの走行方向について複数の領域に分割されている請求項３又は請求項４に記載の合金リボンのアニール装置。
【請求項６】
更に、前記加熱部材による加熱中の前記合金リボンの張力を調整する張力調整装置を備える請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の合金リボンのアニール装置。
【請求項７】
合金リボンから切り出された平面形状の合金リボン片が積層された積層ブロックを複数備える積層ブロックコアの前記合金リボンの製造に用いられる請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の合金リボンのアニール装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の合金リボンのアニール装置が用いられ、
前記合金リボンの巻回体から前記合金リボンを前記巻き出し装置によって巻き出すことと、
前記巻き出し装置によって巻き出された前記合金リボンを、前記加熱部材の前記第１平面に接触させながら走行させることにより加熱することと、
加熱された前記合金リボンを、前記冷却部材の前記第２平面に接触させながら走行させることにより冷却することと、
冷却された前記合金リボンを、前記巻き取り装置によって巻き取ることと、
を含むアニールされた合金リボンの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、合金リボンのアニール装置、及び、アニールされた合金リボンの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、合金リボンをアニール（焼鈍）する技術が知られている。
例えば、特許文献１には、合金リボンの一例であるアモルファスストリップ（amorphous strip）をインラインアニールするための装置であって、アモルファスストリップを供給するための複数の供給ローラーと、複数の供給ローラーから供給された複数のアモルファスストリップを重ねて急速アニールして複合ストリップ（composite strip）とするための一対の加熱加圧ローラーと、得られた複合ストリップを更に加熱する加熱手段と、加熱後の複合ストリップを冷却する冷却手段（例えば圧縮エアジェット）と、冷却された複合ストリップを巻き取る巻き取りローラーと、を備える装置が開示されている（例えば、同文献の図１参照）。
また、特許文献２には、コアフォーム（core form）に巻き付けた状態のアモルファス金属リボンに対し、レーザービーム等を照射して加熱し、かつ、不活性ガス等を噴射して冷却することにより、アモルファス合金リボンをアニールする装置及び方法が開示されている（例えば、同文献の図５参照）。
また、特許文献３には、アモルファス合金リボンを処理するためのシステムであって、アモルファス合金リボンを、設定された送り速度で走行路に沿って前方に送り、ピンと張り、そして案内するための移動装置と；アモルファス合金リボンを前記走行路沿いの地点で１０３℃／秒を上回る速度で熱処理を開始するための温度に加熱するための加熱システム（具体的にはホットローラー）と；アモルファス合金リボンを１０３℃／秒を上回る速度で熱処理が終了するまで冷却するための第一の冷却システム（具体的にはコールドローラー）と；熱処理中、アモルファス合金リボンが、熱処理後、静止状態で特定形状を取るまで一連の機械的拘束をリボンに印加するための機械的拘束印加装置と；熱処理後、アモルファス合金リボンを、特定形状を保存する速度で冷却するための第二の冷却システムと；を含むシステムが開示されている（例えば、同文献の、請求項５９、並びに、図１、図６ａ及び図６ｂ参照）。
【０００３】
特許文献１：米国特許第４７８２９９４号明細書
特許文献２：米国特許第４４８２４０２号明細書
特許文献３：米国特許公開公報第２０１３／０１３９９２９号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
合金リボンの磁気特性の向上を目的として合金リボンをアニールした場合、アニールされた合金リボンは、アニール前の合金リボンと比較して、脆化する（脆くなる）傾向がある。従って、アニールによる脆化を極力抑制することが望ましい。
しかし、特許文献１に記載された技術では、アニールによる脆化を抑制できない場合がある（詳細は後述する）。
また、特許文献２に記載された技術では、合金リボンの磁気特性を十分に向上させることができない場合がある（詳細は後述する）。
【０００５】
また、アニールされた合金リボンとしては、曲面形状の合金リボンではなく平面形状の合金リボンが求められる場合がある。
例えば、平面形状の合金リボン片が積層された積層ブロックを複数備える積層ブロックコアの平面形状の合金リボン片を切り出すためのアニールされた合金リボンとして、平面形状の合金リボンが求められる場合がある。
【０００６】
従って、本発明の一態様の課題は、アニールによって磁気特性が向上され、かつ、アニールによる脆化が抑制された平面形状の合金リボンを製造できる合金リボンのアニール装置を提供することである。
また、本発明の別の一態様の課題は、アニールによって磁気特性が向上され、かつ、アニールによる脆化が抑制された平面形状の合金リボンを製造できる、アニールされた合金リボンの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための具体的手段には、以下の態様が含まれる。
＜１＞  合金リボンの巻回体から合金リボンを巻き出す巻き出し装置と、
前記巻き出し装置から巻き出された前記合金リボンが接触しながら走行する第１平面を含み、前記第１平面に接触しながら前記第１平面上を走行している前記合金リボンを、前記第１平面を介して加熱する加熱部材と、
前記加熱部材によって加熱された前記合金リボンが接触しながら走行する第２平面を含み、前記第２平面に接触しながら前記第２平面上を走行している前記合金リボンを、前記第２平面を介して冷却する冷却部材と、
前記冷却部材によって冷却された前記合金リボンを巻き取る巻き取り装置と、
を備える合金リボンのアニール装置。
＜２＞  前記加熱部材が、加熱室に収容されている＜１＞に記載の合金リボンのアニール装置。
＜３＞  前記加熱部材の前記第１平面及び前記冷却部材の前記第２平面の少なくとも一方に、前記合金リボンを吸引するための吸引構造が設けられている＜１＞又は＜２＞に記載の合金リボンのアニール装置。
＜４＞  前記吸引構造が、開口部を含む＜３＞に記載の合金リボンのアニール装置。
＜５＞  前記加熱部材及び前記冷却部材の少なくとも一方が、前記合金リボンの走行方向について複数の領域に分割されている＜３＞又は＜４＞に記載の合金リボンのアニール装置。
＜６＞  更に、前記加熱部材による加熱中の前記合金リボンの張力を調整する張力調整装置を備える＜１＞〜＜５＞のいずれか１つに記載の合金リボンのアニール装置。
＜７＞  合金リボンから切り出された平面形状の合金リボン片が積層された積層ブロックを複数備える積層ブロックコアの前記合金リボンの製造に用いられる＜１＞〜＜６＞のいずれか１つに記載の合金リボンのアニール装置。
＜８＞  ＜１＞〜＜７＞のいずれか１つに記載の合金リボンのアニール装置が用いられ、
前記合金リボンの巻回体から前記合金リボンを前記巻き出し装置によって巻き出すことと、
前記巻き出し装置によって巻き出された前記合金リボンを、前記加熱部材の前記第１平面に接触させながら前記第１平面上を走行させることにより加熱することと、
加熱された前記合金リボンを、前記冷却部材の前記第２平面に接触させながら前記第２平面上を走行させることにより冷却することと、
冷却された前記合金リボンを、前記巻き取り装置によって巻き取ることと、
を含むアニールされた合金リボンの製造方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の一態様によれば、アニールによって磁気特性が向上され、かつ、アニールによる脆化が抑制された平面形状の合金リボンを製造できる合金リボンのアニール装置が提供される。
また、本発明の別の一態様によれば、アニールによって磁気特性が向上され、かつ、アニールによる脆化が抑制された平面形状の合金リボンを製造できる、アニールされた合金リボンの製造方法を提供することである。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施形態の具体例であるインラインアニール装置を示す概略断面図である。
【図２】図１に示すインラインアニール装置の加熱部材を示す概略平面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】本発明の一実施形態の変形例における加熱部材を示す概略平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態（以下、「本実施形態」ともいう）について説明する。
本明細書において、「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、「合金リボン片」とは、合金リボンから短冊状に切り出された部材を意味する。
本明細書において、「アニール（焼鈍）」とは、加熱及び冷却（即ち、加熱開始から冷却終了までの過程）を意味する。
【００１１】
〔合金リボンのアニール装置〕
本実施形態の合金リボンのアニール装置（以下、「本実施形態のアニール装置」ともいう）は、
合金リボンの巻回体から合金リボンを巻き出す巻き出し装置と、
巻き出し装置から巻き出された合金リボンが接触しながら走行する第１平面を含み、上記第１平面に接触しながら走行している合金リボンを、上記第１平面を介して加熱する合金リボンを加熱する加熱部材と、
加熱部材によって加熱された合金リボンが接触しながら走行する第２平面を含み、上記第２平面に接触しながら走行している合金リボンを、上記第２平面を介して冷却する合金リボンを冷却する冷却部材と、
冷却部材によって冷却された合金リボンを巻き取る巻き取り装置と、
を備える。
【００１２】
本実施形態のアニール装置によれば、アニールによる脆化が抑制され、アニールによって磁気特性が向上された平面形状の合金リボンを製造できる。
換言すれば、本実施形態のアニール装置によれば、合金リボンを実質的に曲面状の癖が残らないようにアニールすることができ、このアニールにより、磁気特性が向上された平面形状の合金リボンを製造でき、しかもアニールによる合金リボンの脆化を抑制できる。
【００１３】
本実施形態により、アニールによる脆化抑制の効果が奏される理由は、以下のように推測される。
本実施形態における加熱部材は、上述したとおり、合金リボンが接触しながら走行する第１平面を含む。
加熱部材は、この加熱部材の第１平面に接触しながら走行している合金リボンを、上記第１平面を介して加熱する。これにより、合金リボンの安定的な急速加熱が可能となる。
アニールによる脆化抑制の効果には、主として、この安定的な急速加熱が寄与していると考えられる。ここで、「安定的な急速加熱」とは、加熱速度の面内バラつきが抑制され、かつ、連続処理時の加熱速度の変動が抑制された急速加熱を指す（以下、同様である）。
【００１４】
本実施形態に対し、特許文献１に記載された、一対の加熱加圧ローラーを用いて合金リボンを加熱する技術では、一対の加熱加圧ローラーの熱変形、偏摩耗等の影響により、リボン幅方向全体に渡って定常的に密着させることが困難であり、このため、リボン幅方向全体をバラつきなく加熱することが困難である場合がある。このため、特許文献１に記載された技術では、アニール（主に加熱）によって合金リボンが脆化する場合がある。
【００１５】
また、本実施形態に対し、非接触の加熱方式によって合金リボンを加熱する技術（例えば、特許文献２に記載された、レーザービーム等の照射によって加熱する技術）では、合金リボンの温度を十分に上昇させることができない場合がある。
例えば、特許文献２に記載された、レーザービーム等の照射によって加熱する技術では、同文献の図８の温度プロファイルに示されるように、最高温度での保持時間をほとんど確保できない。従って、非接触の加熱方式によって合金リボンを加熱することによりアニールする技術では、合金リボンの磁気特性を十分に向上させることができない場合がある。
【００１６】
また、本実施形態により、アニールによって磁気特性が向上された平面形状の合金リボンが得られる理由は、以下のように推測される。
本実施形態における冷却部材は、上述した加熱部材と同様に、合金リボンが接触しながら走行する第２平面を含む。冷却部材は、この冷却部材の第２平面に接触しながら走行している合金リボンを、上記第２平面を介して冷却する。
即ち、本実施形態のアニール装置では、合金リボンが、加熱部材の第１平面との接触によって平面形状を保持した状態で加熱され、次いで、冷却部材の第２平面との接触によって平面形状を保持した状態で冷却される。かかる態様の加熱及び冷却により、合金リボンを、実質的に曲面状の癖が残らないようにアニールすることができ、このアニールにより、磁気特性が向上された平面形状の合金リボンが得られると考えられる。
冷却後（即ちアニール後）の合金リボンは、巻き取り装置によって巻き取られる。巻き取られた合金リボンを巻き出し、平面形状に戻すことにより、アニールによって磁気特性が向上された平面形状の合金リボンが得られると考えられる。
【００１７】
本実施形態のアニール装置は、例えば、積層ブロックコア（即ち、平面形状の合金リボン片が積層された積層ブロックを複数備えるコア）の一部材である合金リボン片を切り出すための合金リボンの製造に好適である。
この場合、積層ブロックコアを製造する際には、原料として、本実施形態のアニール装置によって製造され、アニールによって磁気特性が向上され、アニールによる脆化が抑制された平面形状の合金リボンを用いる。この合金リボンを原料として、アニールによって磁気特性が向上された平面形状の合金リボン片を容易に製造することができる。得られた平面形状の合金リボン片を積層することにより、大きな歪みを導入することなく積層ブロックコアを製造できる。このため、磁気特性に優れた積層ブロックコアが得られる。
即ち、積層ブロックコアを製造するための加工時に、過度な応力を加える必要がないので、磁気特性の劣化が抑制され、磁気特性に優れた積層ブロックコアが得られる。
【００１８】
本実施形態の効果をより効果的に得る観点から、加熱部材は、加熱室に収容されていることが好ましい。
これにより、合金リボンをより安定的に急速加熱できるので、アニールによる合金リボンの脆化がより抑制される。
【００１９】
また、本実施形態の効果をより効果的に得る観点から、加熱部材の第１平面及び冷却部材の第２平面の少なくとも一方に、合金リボンを吸引するための吸引構造が設けられていることが好ましい。
本実施形態の効果をより効果的に得る観点から、少なくとも加熱部材の第１平面に吸引構造が設けられていることがより好ましく、加熱部材の第１平面及び冷却部材の第２平面の両方に吸引構造が設けられていることが特に好ましい。
吸引構造によって合金リボンを吸引することにより、合金リボンと加熱部材の第１平面及び／又は冷却部材の第２平面とをより安定的に接触させることができるので、合金リボンをより安定的に加熱及び／又は冷却できる。従って、本実施形態の効果がより効果的に奏される。
ここで、「より安定的に接触させることができる」とは、面内で非接触部分の発生をより抑制し、かつ、一時的な非接触状態の発生をより抑制しながら、接触させることができることを指す（以下、同様である）。
【００２０】
吸引構造は、開口部を含むことが好ましい。
この開口部を一端とする空間（例えば貫通孔）を排気することにより、合金リボンを加熱部材の第１平面及び／又は冷却部材の第２平面に吸引することができるので、合金リボンと加熱部材の第１平面及び／又は冷却部材の第２平面とをより安定的に接触させることができる。
【００２１】
吸引構造は、第１平面及び／又は第２平面に設けられた開口部であることには限定されず、例えば、第１平面及び／又は第２平面のうち、合金リボンとの接触面に設けられた溝であってもよい。この溝の内部を、横方向（即ち、第１平面及び／又は第２平面と平行な方向。例えば、第１平面及び／又は第２平面と平行であり、かつ、合金リボンの走行方向に対して直交する方向。）から排気することによっても、合金リボンと第１平面及び／又は第２平面とをより効果的に接触させることができる。
【００２２】
加熱部材の第１平面及び冷却部材の第２平面の少なくとも一方（好ましくは、少なくとも加熱部材の第１平面）に吸引構造が設けられている場合、加熱部材及び冷却部材の少なくとも一方は、合金リボンの走行方向について複数の領域に分割されていることが好ましい。
これにより、合金リボンを複数の領域の各々に吸引できるので、合金リボンと加熱部材の第１平面及び／又は冷却部材の第２平面とをより安定的に接触させることができる。
【００２３】
本実施形態のアニール装置は、更に、加熱部材による加熱中（即ち、加熱部材の平面上を走行中）の合金リボンの張力を調整する張力調整装置を備えることが好ましい。
これにより、走行中の合金リボンの張力を調整できるので、合金リボンの破断を抑制しつつ、合金リボンをより安定的に走行させ、これにより、合金リボンの磁気特性を向上させることができる。
また、加熱部材の表面に上記吸引構造が設けられている場合には、吸引の強さを考慮して合金リボンの張力を調整することにより、合金リボンをより安定的に走行させることができる。
【００２４】
張力調整装置は、走行中の合金リボンのうち、加熱部材の合金リボン走行方向上流側から冷却部材の合金リボン走行方向下流側までの領域の張力を調整する装置であってもよい。
また、本実施形態のアニール装置は、張力調整装置を、１個のみ備えていてもよいし、複数備えていてもよい。
【００２５】
また、本実施形態のアニール装置は、上述の吸引構造に代えて、または、上述の吸引構造に加えて、合金リボンの幅方向の一部分または全体を加熱部材の第１平面及び冷却部材の第２平面の少なくとも一方に押し付ける押し付け構造を備えていてもよい。本実施形態のアニール装置が、上記押し付け構造を備える場合にも、本実施形態の効果がより効果的に奏される。
押し付け構造の例としては、押し付けローラー等の押し付け部材を備える押し付け構造；加熱室内及び／又は冷却室内に気体を供給し、気流によって合金リボンを押し付けるための気体供給構造；等が挙げられる。
【００２６】
＜具体例＞
以下、図面を参照し、本実施形態のアニール装置の具体例について説明する。
なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面を通して同じ符合を付与し、その説明を省略することがある。
【００２７】
図１は、本実施形態のアニール装置の具体例である、インラインアニール装置１００を示す概略断面図である。図１は、加熱プレート２２の丸で囲った部分の部分拡大図及び冷却プレート３２の丸で囲った部分の部分拡大図を含む。
図１に示されるように、インラインアニール装置１００は、合金リボンの巻回体１１から合金リボン１０を巻き出す巻き出しローラー１２（巻き出し装置）と、巻き出しローラー１２から巻き出された合金リボン１０を加熱する加熱プレート２２（加熱部材）と、加熱プレート２２によって加熱された合金リボン１０を冷却する冷却プレート３２（冷却部材）と、冷却プレート３２によって冷却された合金リボン１０を巻き取る巻き取りローラー１４（巻き取り装置）と、を備える。
図１では、合金リボン１０の走行方向を、矢印Ｒで示している。
【００２８】
巻き出しローラー１２には、合金リボンの巻回体１１がセットされている。
巻き出しローラー１２が矢印Ｕの方向に軸回転することにより、合金リボンの巻回体１１から合金リボン１０が巻き出される。
この一例では、巻き出しローラー１２自体が回転機構（例えばモーター）を備えていてもよいし、巻き出しローラー１２自体は回転機構を備えていなくてもよい。
巻き出しローラー１２自体は回転機構を備えていない場合でも、後述の巻き取りローラー１４による合金リボン１０の巻き取り動作に連動し、巻き出しローラー１２にセットされた合金リボンの巻回体１１から合金リボン１０が巻き出される。
【００２９】
図１中、丸で囲った拡大部分に示すように、加熱プレート２２は、巻き出しローラー１２から巻き出された合金リボン１０が接触しながら走行する第１平面２２Ｓを含む。この加熱プレート２２は、第１平面２２Ｓに接触しながら第１平面２２Ｓ上を走行している合金リボン１０を、第１平面２２Ｓを介して加熱する。これにより、走行中の合金リボン１０が、安定的に急速加熱される。
【００３０】
加熱プレート２２は、不図示の熱源に接続されており、この熱源から供給された熱によって所望とする温度に加熱されている。
加熱プレート２２は、熱源に接続されることに代えて、又は、熱源に接続されることに加えて、加熱プレート２２自身の内部に熱源を備えていてもよい。
加熱プレート２２の材質としては、ステンレス、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｌ合金、等が挙げられる。
【００３１】
加熱プレート２２は、加熱室２０に収容されている。
加熱室２０は、加熱プレート２２に対する熱源とは別に、加熱室の温度を制御するための熱源を備えていてもよい。
加熱室２０は、合金リボン１０の走行方向（矢印Ｒ）の上流側及び下流側のそれぞれに、開口部（不図示）を有している。合金リボン１０は上流側の開口部を通って加熱室２０内に進入し、下流側の開口部を通って加熱室２０内から退出する。
【００３２】
また、図１中、丸で囲った拡大部分に示すように、冷却プレート３２は、合金リボン１０が接触しながら走行する第２平面３２Ｓを含む。この冷却プレート３２は、第２平面３２Ｓに接触しながら第２平面３２Ｓ上を走行している合金リボン１０を、第２平面３２Ｓを介して冷却する。
【００３３】
冷却プレート３２は、冷却機構（例えば水冷機構）を有していてもよいし、特段の冷却機構を有していなくてもよい。
冷却プレート３２の材質としては、ステンレス、Ｃｕ、Ｃｕ合金、Ａｌ合金、等が挙げられる。
【００３４】
冷却プレート３２は、冷却室３０に収容されている。
冷却室３０は、冷却機構（例えば水冷機構）を有していてもよいが、特段の冷却機構を有していなくてもよい。即ち、冷却室３０による冷却の態様は、水冷であってもよいし、空冷であってもよい。
冷却室３０は、合金リボン１０の走行方向（矢印Ｒ）の上流側及び下流側のそれぞれに、開口部（不図示）を有している。合金リボン１０は上流側の開口部を通って冷却室３０内に進入し、下流側の開口部を通って冷却室３０内から退出する。
【００３５】
巻き取りローラー１４は、矢印Ｗの方向に軸回転する回転機構（例えばモーター）を備えている。巻き取りローラー１４の回転により、合金リボン１０が所望とする速度で巻き取られる。
【００３６】
インラインアニール装置１００は、巻き出しローラー１２と加熱室２０との間に、合金リボン１０の走行経路に沿って、ガイドローラー４１、ダンサーローラー６０（張力調整装置）、ガイドローラー４２、並びに、一対のガイドローラー４３Ａ及び４３Ｂを備えている。
ダンサーローラー６０は、鉛直方向（図１中の両側矢印の方向）に移動可能に設けられている。このダンサーローラー６０の鉛直方向の位置を調整することにより、合金リボン１０の張力を調整できる。ダンサーローラー６２についても同様である。
巻き出しローラー１２から巻き出された合金リボン１０は、これらのガイドローラー及びダンサーローラーを経由して、加熱室２０内に導かれる。
【００３７】
インラインアニール装置１００は、加熱室２０と冷却室３０との間に、一対のガイドローラー４４Ａ及び４４Ｂ、並びに、一対のガイドローラー４５Ａ及び４５Ｂを備えている。
加熱室２０から退出した合金リボン１０は、これらのガイドローラーを経由して冷却室３０内に導かれる。
【００３８】
インラインアニール装置１００は、冷却室３０と巻き取りローラー１４との間に、合金リボン１０の走行経路に沿って、一対のガイドローラー４６Ａ及び４６Ｂ、ガイドローラー４７、ダンサーローラー６２、ガイドローラー４８、ガイドローラー４９、並びに、ガイドローラー５０を備えている。
ダンサーローラー６２は、鉛直方向（図１中の両側矢印の方向）に移動可能に設けられている。このダンサーローラー６２の鉛直方向の位置を調節することにより、合金リボン１０の張力を調整できる。
冷却室３０から退出した合金リボン１０は、これらのガイドローラー及びダンサーローラーを経由して、巻き取りローラー１４に導かれる。
【００３９】
インラインアニール装置１００において、加熱室２０の上流側及び下流側に配置されたガイドローラーは、合金リボン１０と加熱プレート２２の第１平面とを全面的に接触させるために、合金リボン１０の位置を調整する機能を有する。
インラインアニール装置１００において、冷却室３０の上流側及び下流側に配置されたガイドローラーは、合金リボン１０と冷却プレート３２の第２平面とを全面的に接触させるために、合金リボン１０の位置を調整する機能を有する。
【００４０】
図２は、図１に示すインラインアニール装置１００の加熱プレート２２を示す概略平面図であり、図３は、図２のIII−III線断面図である。
図２及び図３に示すように、加熱プレート２２の第１平面（即ち、合金リボン１０との接触面）には、複数の開口部２４（吸引構造）が設けられている。各開口部２４は、それぞれ、加熱プレート２２を貫通する貫通孔２５の一端を構成している。
【００４１】
この一例では、複数の開口部２４が、合金リボン１０との接触領域全体に渡り、二次元状に配置されている。
複数の開口部２４の具体的な配置は、図２に示される配置には限定されない。複数の開口部２４は、図２に示されるように、合金リボン１０との接触領域全体に渡り、二次元状に配置されていることが好ましい。
また、開口部２４の形状は、平行部（平行な２辺）を有する長尺形状となっている。開口部２４の長さ方向は、合金リボン１０の進行方向に対して直角な方向となっている。
開口部２４の形状は、図２に示される形状には限定されず、図２に示される形状以外の長尺形状、楕円形状（円形状を含む）、多角形状（例えば長方形）、等のあらゆる形状を適用できる。
また、前述のとおり、開口部に代えて、又は、開口部に加えて、吸引構造としての溝が設けられていてもよい。
【００４２】
インラインアニール装置１００では、不図示の吸引装置（例えば、真空ポンプ）によって貫通孔２５の内部空間を排気することにより（矢印Ｓ参照）、走行中の合金リボン１０を加熱プレート２２の開口部２４が設けられた第１平面２２Ｓに吸引することができる。これにより、走行中の合金リボン１０を、より安定的に加熱プレート２２の第１平面２２Ｓに接触させることができる。
なお、この一例では、貫通孔２５が、加熱プレート２２の、第１平面２２Ｓから第１平面２２Ｓとは反対側の平面までを貫通している。貫通孔は、第１平面２２Ｓから加熱プレート２２の側面までを貫通していてもよい。
【００４３】
図４は、本実施形態における加熱プレートの変形例（加熱プレート１２２）を示す概略平面図である。
図４に示されるように、この変形例では、加熱プレート１２２が、合金リボン１０の走行方向（矢印Ｒ）について、３つの領域（領域１２２Ａ〜１２２Ｃ）に分割されている。
領域１２２Ａには複数の開口部１２４Ａが設けられ、領域１２２Ｂには複数の開口部１２４Ｂが設けられ、領域１２２Ｃには複数の開口部１２４Ｃが設けられている。複数の開口部１２４Ａ、複数の開口部１２４Ｂ、及び複数の開口部１２４Ｃは、それぞれ、貫通孔２５と同様の貫通孔（不図示）の一端を構成している。
即ち、領域１２２Ａ〜１２２Ｃは、それぞれが、加熱プレート２２における吸引構造と同様の吸引構造を有している。領域１２２Ａ〜１２２Ｃの貫通孔は、それぞれ、吸引用配管１２６Ａ〜１２６Ｃに連通されている。これらの構造により、各領域ごとに独立して吸引（排気）を行えるようになっている（矢印Ｓ参照）。
加熱プレート１２２は、これらの構造を有することにより、領域１２２Ａ〜１２２Ｃの各々において合金リボン１０を吸引できる。これにより、走行中の合金リボン１０を加熱プレート２２の第１平面２２Ｓに、より安定的に接触させることができる。
なお、加熱プレートを分割する数は、３つには限定されず、加熱プレートの合金リボン走行方向の長さ等を考慮し、適宜設定できる。
【００４４】
次に、図１〜図３に戻り、インラインアニール装置１００による合金リボン１０のアニールの動作の一例について説明する。
【００４５】
まず、巻き出しローラー１２の回転により、巻き出しローラー１２に巻回されている合金リボン１０が巻き出される。
巻き出された合金リボン１０は、ガイドローラー４１、ダンサーローラー６０（張力調整装置）、ガイドローラー４２、並びに、一対のガイドローラー４３Ａ及び４３Ｂを順次経由して加熱室２０内に進入する。
【００４６】
加熱室２０内に進入した合金リボン１０は、加熱プレート２２の第１平面２２Ｓに接触しながら第１平面２２Ｓ上を走行する。これにより、合金リボン１０が第１平面２２Ｓを介して急速加熱される。合金リボン１０の走行中において、不図示の吸引装置（例えば、真空ポンプ）によって加熱プレート２２の貫通孔２５の内部空間を排気することにより（矢印Ｓ参照）、合金リボン１０と第１平面２２Ｓとをより安定的に接触させることできる。
【００４７】
加熱プレート２２の第１平面２２Ｓの温度（即ち、合金リボン１０の加熱温度）は、例えば３００℃〜６５０℃とする。
加熱室２０内の雰囲気温度は、加熱プレート２２の第１平面２２Ｓの温度と同程度とする。
第１平面２２Ｓ上を走行する合金リボン１０の走行速度は、例えば０．０５ｍ／ｓ〜１０ｍ／ｓ（好ましくは０．１ｍ／ｓ〜７．０ｍ／ｓ、より好ましくは０．５ｍ／ｓ〜５．０ｍ／ｓ）とする。
この走行速度の調整は、例えば、巻き取りローラー１４の回転速度（即ち、合金リボン１０の巻き取り速度）を調整することによって行う。
【００４８】
また、これらの少なくとも１つを調整することによって、加熱中の合金リボン１０の張力も調整する。加熱中の合金リボン１０の張力は、アニールの目的に応じて適宜調整され得る。加熱中の合金リボン１０の張力は、例えば１ＭＰａ〜８００ＭＰａの範囲に調整する。
【００４９】
加熱プレート２２の第１平面の温度、加熱室２０内の雰囲気温度、及び合金リボン１０の走行速度の関係を調整することにより、合金リボン１０の加熱速度を調整することもできる。
合金リボン１０の加熱速度は、好ましくは２００℃／ｓ以上（より好ましくは４００℃／ｓ以上、特に好ましくは５００℃／ｓ以上）に調整する。
【００５０】
加熱プレート２２によって加熱された合金リボン１０は、加熱プレート２２の第１平面２２Ｓから離れ、次いで加熱室２０から退出する。
退出した合金リボン１０は、一対のガイドローラー４４Ａ及び４４Ｂ、並びに、一対のガイドローラー４５Ａ及び４５Ｂを順次経由して、冷却室３０内に進入する。
【００５１】
冷却室３０内に進入した合金リボン１０は、冷却プレート３２の第２平面３２Ｓに接触しながらこの第２平面３２Ｓ上を走行する。これにより、合金リボン１０が第２平面３２Ｓを介して冷却される。
冷却プレート３２の第２平面３２Ｓの温度（即ち、合金リボン１０の冷却温度）は、例えば２００℃以下（好ましくは１５０℃以下、より好ましくは１００℃以下）である。冷却室３０内の雰囲気温度は、例えば、冷却プレート３２の平面の温度と同程度である。
冷却プレート３２の第２平面３２Ｓ上を走行する合金リボン１０の走行速度は、例えば、加熱プレート２２の第１平面２２Ｓ上を走行する合金リボン１０の走行速度と同程度である。
冷却中の合金リボン１０の張力は、例えば、加熱中の合金リボン１０の張力と同程度とする。
【００５２】
冷却プレート３２によって冷却された合金リボン１０は、冷却プレート３２の第２平面３２Ｓから離れ、次いで冷却室３０から退出する。冷却室３０から退出した直後の合金リボン１０の温度は、例えば２００℃以下である。
その後、合金リボン１０は、一対のガイドローラー４６Ａ及び４６Ｂ、ガイドローラー４７、ダンサーローラー６２、ガイドローラー４８、ガイドローラー４９、並びに、ガイドローラー５０を順次経由して、巻き取りローラー１４によって巻き取られる。
【００５３】
以上、インラインアニール装置１００及びその変形例について説明したが、本実施形態のアニール装置はインラインアニール装置１００及びその変形例に限定されることはない。
【００５４】
例えば、冷却プレート３２の平面３２Ｓも、加熱プレート２２の平面２２Ｓと同様に、貫通孔の一端を構成する開口部を有していてもよい。この貫通孔の内部空間を排気することにより、合金リボン１０と平面３２Ｓとをより安定的に接触させることができる。
更に、この場合、冷却プレート３２は、加熱プレート１２２と同様に、合金リボンの走行方向について、複数の領域に分割されていてもよい。
【００５５】
また、加熱室２０は、前述の押し付け構造として、気流によって合金リボン１０を第１平面２２Ｓに押し付けるための気体供給口を有していてもよい。気流のための気体としては、空気、Ｎ２、ＣＯ２等が挙げられる。
気流によって合金リボン１０を第１平面２２Ｓに押し付けることにより、合金リボン１０と第１平面２２Ｓとをより安定的に接触させることができる。
また、加熱室２０は、前述の押し付け構造として、合金リボン１０の幅方向の一部分又は全体を第１平面２２Ｓに押し付けるための押し付け部材（例えば押し付けローラー）を備えていてもよい。押し付け部材による押し付けにより、合金リボン１０と第１平面２２Ｓとをより安定的に接触させることができる。
また、冷却室３０も同様に、気体供給口及び／又は押し付け部材を有していてもよい。
【００５６】
また、本実施形態における加熱部材の形状としては、合金リボンが接触しながら走行する第１平面を含んでいればよく、加熱プレート２２の形状のようなプレート形状には限定されない。
また、本実施形態における冷却部材の形状としては、合金リボンが接触しながら走行する第２平面を含んでいればよく、冷却プレート３２の形状のようなプレート形状には限定されない。
【００５７】
加熱部材の第１平面（例えば加熱プレート２２の第１平面２２Ｓ）の合金リボン走行方向の長さは、好ましくは０．３ｍ以上、より好ましくは０．５ｍ以上、特に好ましくは１．０ｍ以上である。
加熱部材の第１平面の合金リボン走行方向の長さは、好ましくは１０ｍ以下、より好ましくは３．０ｍ以下、特に好ましくは２．０ｍ以下である。
冷却部材の第２平面（例えば冷却プレート３２の第２平面３２Ｓ）の合金リボン走行方向の長さは、好ましくは０．３ｍ以上、より好ましくは０．５ｍ以上、特に好ましくは１．０ｍ以上である。
冷却部材の第２平面の合金リボン走行方向の長さは、好ましくは１０ｍ以下、より好ましくは３．０ｍ以下、特に好ましくは２．０ｍ以下である。
【００５８】
本実施形態のアニール装置（例えばインラインアニール装置１００）によるアニールの対象となる合金リボン（例えば、巻回体１１中の合金リボン１０）としては特に限定はないが、アモルファス合金リボンが好ましい。
アモルファス合金リボンについては、国際公開第２０１３／１３７１１７号公報、国際公開第２０１３／１３７１１８号公報、国際公開第２０１６／０８４７４１号公報等の記載を適宜参照できる。
アモルファス合金リボンの中でも、Ｆｅ基アモルファス合金リボンが好ましい。
Ｆｅ基アモルファス合金リボンとしては、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢを含み、Ｆｅ、Ｓｉ及びＢの総含有量を１００原子％とした場合に、Ｆｅの含有量が５０原子％以上（好ましくは６０原子％以上、より好ましくは７０原子％以上）であるＦｅ基アモルファス合金リボンが特に好ましい。
【００５９】
合金リボンの幅は、好ましくは５０ｍｍ以上、より好ましくは１００ｍｍ以上である。
合金リボンの幅は、好ましくは５００ｍｍ以下、より好ましくは３００ｍｍ以下である。
合金リボンの厚さは、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは１５μｍ以上である。
合金リボンの厚さは、好ましくは３０μｍ以下である。
合金リボンの長さは、好ましくは１０ｍ以上、より好ましくは１００ｍ以上、更に好ましくは１０００ｍ以上、特に好ましくは３０００ｍ以上である。
合金リボンの長さは、好ましくは４０ｋｍ以下である。
【００６０】
本実施形態のアニール装置によるアニールの対象となる合金リボンがＦｅ基アモルファス合金リボンである場合、本実施形態のアニール装置によるアニール（即ち、加熱及び冷却）は、Ｆｅ基アモルファス合金リボンのアモルファス組織を結晶化させないアニールであってもよいし、Ｆｅ基アモルファス合金リボンのアモルファス組織の少なくとも一部をナノ結晶化させるアニールであってもよい。
本実施形態のアニール装置によるアニールの対象となる合金リボンがＦｅ基アモルファス合金リボンである場合において、「アニールされた合金リボン」の概念には、Ｆｅ基アモルファス合金リボンのアモルファス組織が結晶化されていないリボン（即ち、Ｆｅ基アモルファス合金リボン）、及び、Ｆｅ基アモルファス合金リボンのアモルファス組織の少なくとも一部がナノ結晶化されたリボン（即ち、Ｆｅ基ナノ結晶合金リボン）の両方が包含される。
Ｆｅ基ナノ結晶合金リボンの組成については、国際公開第２０１５／０４６１５０号を適宜参照してもよい。Ｆｅ基ナノ結晶合金リボンの組成としては、一般式（Ｆｅ１−ａＭａ）１００−ｘ−ｙ−ｚ−α−β−γＣｕｘＳｉｙＢｚＭ’αＭ”βＸγ（ここで、Ｍは、Ｃｏ及び／又はＮｉであり、Ｍ’は、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ及びＷからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、Ｍ”は、Ａｌ、白金族元素、Ｓｃ、希土類元素、Ｚｎ、Ｓｎ及びＲｅからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、Ｘは、Ｃ、Ｇｅ、Ｐ、Ｇａ、Ｓｂ、Ｉｎ、Ｂｅ及びＡｓからなる群から選ばれた少なくとも１種の元素であり、ａ、ｘ、ｙ、ｚ、α、β及びγは、いずれも原子％であり、それぞれ、０≦ａ≦０．５、０．１≦ｘ≦３、０≦ｙ≦３０、０≦ｚ≦２５、５≦ｙ＋ｚ≦３０、０≦α≦２０、０≦β≦２０及び０≦γ≦２０を満たす。）により表される組成が好ましい。この組成の中でも、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｓｉ、Ｂ及びＮｂからなる組成が特に好ましい。
【００６１】
Ｆｅ基アモルファス合金リボンのアモルファス組織を結晶化させないアニールにおいて、加熱プレート２２の第１平面２２Ｓの温度（即ち、合金リボン１０の加熱温度）は、好ましくは３５０℃〜６００℃であり、より好ましくは４００℃〜５５０℃である。
Ｆｅ基アモルファス合金リボンのアモルファス組織を結晶化させないアニールにおいて、加熱中の合金リボン１０の張力は、好ましくは１ＭＰａ〜１００ＭＰａである。
【００６２】
Ｆｅ基アモルファス合金リボンのアモルファス組織の少なくとも一部をナノ結晶化させるアニールにおいて、加熱プレート２２の第１平面２２Ｓの温度（即ち、合金リボン１０の加熱温度）は、好ましくは５５０℃〜６５０℃である。
Ｆｅ基アモルファス合金リボンのアモルファス組織の少なくとも一部をナノ結晶化させるアニールにおいて、加熱中の合金リボン１０の張力は、好ましくは５０ＭＰａ〜８００ＭＰａである。
【００６３】
〔アニールされた合金リボンの製造方法〕
本実施形態のアニールされた合金リボンの製造方法（以下、「本実施形態の製法」ともいう）は、上述した本実施形態のアニール装置が用いられ、
合金リボンの巻回体から合金リボンを巻き出し装置によって巻き出すことと、
巻き出し装置によって巻き出された前記合金リボンを、加熱部材の第１平面に接触させながら走行させることにより加熱することと、
加熱された合金リボンを、冷却部材の第２平面に接触させながら走行させることにより冷却することと、
冷却された合金リボンを、巻き取り装置によって巻き取ることと、
を含む。
【００６４】
本実施形態の製法は、言い換えれば、合金リボンのアニール方法である。
本実施形態の製法によれば、アニールによって磁気特性が向上され、アニールによる脆化が抑制された平面形状の合金リボンを製造できる。
本実施形態の製法の具体例については、前述した、インラインアニール装置１００による合金リボン１０のアニールの一例を参照できる。
【００６５】
米国特許出願番号１５／３４３，２１９の開示はその全体が参照により本明細書に取り込まれる。
本明細書に記載された全ての文献、特許出願、及び技術規格は、個々の文献、特許出願、及び技術規格が参照により取り込まれることが具体的かつ個々に記された場合と同程度に、本明細書中に参照により取り込まれる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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