(57)【要約】  ポンプ軸受ホルダ（１４０）は、ポンプ磁気軸受の静止磁石セットを支えるように構成されたキャリア部（１４８）と、ポンプ軸受ホルダがポンプハウジングに形成された入口にかかるように、キャリア部の外側に延びてポンプケーシングと結合する支持部（１５０）とを有する。支持部（１５０）は、使用時に、入口を流れるガスが支持部を貫通して流れることを可能にする複数の内部貫通通路（１６３）を定める。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ磁気軸受の静止磁石セットを保持するためのポンプ軸受ホルダであって、前記ポンプ軸受ホルダは、前記磁気軸受の前記静止磁石セットを支えるように構成されたキャリア部と、前記ポンプ軸受ホルダがポンプケーシングに形成された入口にかかるように、前記キャリア部の外側に延びて前記ポンプケーシングと結合する支持部とを備え、前記支持部は、使用時に前記入口を流れるガスが前記支持部を貫通して流れることを可能にする複数の内部貫通通路を定めることを特徴とするポンプ軸受ホルダ。
【請求項２】
前記支持部は、使用時に、前記支持部と前記ポンプハウジングとの間に配置され、前記支持部を前記ポンプケーシングに押し付けるように配置された一体型弾性付勢手段を備える、請求項１に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項３】
前記支持部は環状であり、前記キャリア部を取り囲み、前記入口のためのフィルタースクリーンを定めるようになっている、請求項１または２に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項４】
前記支持部は、前記キャリア部から突出する複数の脚部を備える、請求項１または２に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項５】
隣接する前記脚部の間にそれぞれの間隙が定められ、前記間隙の中にそれぞれのフィルタースクリーン部材が配置されている、請求項４に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項６】
前記フィルタースクリーン部材は、前記脚部と一体である、請求項５に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項７】
前記支持部は、前記内部貫通通路を定める複数の穿孔を備える、請求項１から６のいずれかに記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項８】
前記支持部は、前記内部貫通通路を定めるハニカム構造を備える、請求項１から７のいずれかに記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項９】
ポンプ入口を定めるケーシングと、請求項１から８のいずれかに記載のポンプ軸受ホルダとを備えるポンプであって、前記支持部が前記ポンプケーシングに係合し、前記ポンプ軸受ホルダが前記ポンプ入口にかかることを特徴とするポンプ。
【請求項１０】
入口を定めるケーシングと、
ロータシャフトを有するポンピング機構と、
前記ロータシャフトを支持し、かつ、前記ロータシャフトによって支えられた回転磁石セット及び静止磁石セットを備える磁気軸受と、
前記静止磁石セットを保持するポンプ軸受ホルダと、
を備えるポンプであって、
前記ポンプ軸受ホルダは、前記静止磁石セットが嵌合するキャリア部と、前記キャリア部から延びて前記ケーシングと係合する支持部とを備え、前記ポンプ軸受ホルダが、前記入口に広がり、前記支持部が、使用時に、前記入口を流れるガスが前記ポンピング機構に向かって前記支持部を貫通して流れることを可能にする複数の内部貫通通路を定めるようになっていることを特徴とするポンプ。
【請求項１１】
前記支持部は、前記支持部と前記ケーシングとの間に配置され、前記支持部を前記ケーシングに押し付ける一体型弾性付勢手段を備える、請求項１０に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項１２】
前記支持部は、環状であり、前記キャリア部を囲み、前記入口のためのフィルタースクリーンを定めるようになっている、請求項１０または１１に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項１３】
前記支持部は、前記キャリア部から突出する複数の脚部を備える、請求項１０または１１に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項１４】
隣接する前記脚部の間にそれぞれの間隙が定められ、前記間隙の中にそれぞれのフィルタースクリーン部材が配置されている、請求項１３に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項１５】
前記フィルタースクリーン部材は、前記脚部と一体である、請求項１４に記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項１６】
前記支持部は、前記内部貫通通路を定めるハニカム構造を備える、請求項１０から１５のいずれかに記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項１７】
前記支持部は、前記内部貫通通路を定めるハニカム構造を備える、請求項１０から１６のいずれかに記載のポンプ軸受ホルダ。
【請求項１８】
ポンプ軸受ホルダを製造する方法であって、
磁気軸受の静止磁石セットを支えるように構成されたキャリア部を準備する段階と、
前記ポンプ軸受ホルダがポンプハウジングに形成された入口にかかるように、前記キャリア部の外側に延びて前記ポンプハウジングと係合する支持部を準備する段階と、
使用時に前記入口に流入するガスが貫通して前記ポンプハウジングに入ることができる複数の内部通路を前記支持部に準備する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１９】
前記支持部を準備する段階は、前記キャリア部から突出して前記ポンプハウジングと係合する複数の脚部を形成する段階を含み、前記内部通路は、前記脚部を貫通する、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
隣接する前記脚部の間にそれぞれの間隙が定められ、前記間隙の中にそれぞれのフィルタースクリーン部材が提供される段階をさらに含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記支持部は、環状であり、前記キャリア部を取り囲み、前記入口のためのフィルタースクリーンを定めるようになっている、請求項１９に記載の方法。
【請求項２２】
前記支持体に複数の内部通路に準備する段階は、前記支持部の少なくとも一部をハニカム構造として形成する段階を含む、請求項１８から２１のいずれかに記載の方法。
【請求項２３】
前記支持部を前記ポンプハウジングに押し付けるように構成された少なくとも１つの一体型弾性付勢手段を前記支持部に提供する段階をさらに含む、請求項１８から２２のいずれかに記載の方法。
【請求項２４】
前記支持部を準備する段階が、
ｉ）付加機械加工、
ｉｉ）フォトエッチング、
ｉｉｉ）レーザー切断、
ｉｖ）ウォータージェット切断、
のうちの少なくとも１つによって前記支持部を形成する段階を含む、請求項１８から２３のいずれかに記載の方法。
【請求項２５】
前記キャリア部は前記支持部と一体である、請求項１８から２４のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ軸受ホルダに関し、詳細には、限定されるものではないが、ターボ分子真空ポンプ用のポンプ軸受ホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
ターボ分子真空ポンプのロータシャフトは、機械的（油またはグリース潤滑）軸受などの転がり軸受および受動磁気軸受を有するハイブリッド軸受システムを備えることができる。磁気軸受は、潤滑の必要がないので、真空環境を汚すことなくポンプの主入口領域に組み込むことができるクリーンな軸受である。磁気軸受は、ロータ組立体上に取り付けられ、向かい合って配置された回転磁石セットに磁気的に反発するように位置決めされた静止磁石セットを備えることができる。
【０００３】
既知のターボ分子真空ポンプは、静止磁石セットを支持するためのスパイダと呼ばれる軸受ホルダを使用する。スパイダは、静止磁石セットのための中央に配置されたキャリア本体と、キャリア本体から半径方向外側に延びてポンプケーシングと係合する３つの脚部とを備えることができる。脚部は、静止磁石セットが回転磁石セットと相互作用できるように、ポンプ入口の近くにホルダを位置決めしかつポンプ入口にかかる。軸受ホルダは、磁気軸受が軸方向にオフセットすることによって生じる予荷重を支えるために、軸方向に剛とすることができる。理想的には、軸受ホルダは、共振点をポンプ動作周波数範囲の外側にするために十分に剛とする必要もある。
【０００４】
既知の軸受ホルダは、ポンプ内へのガスの流れを制限するものとして作用するので、ポンプの通過確率（実際にポンプに流入するガスがポンピング機構に到達する可能性）が低くなる。静止磁石セットを満足のいくように位置決めするために軸受ホルダが十分に剛となるニーズを満たすために、脚部は比較的広く作る必要があるので、望まれるものよりもガス流に対してより制限的である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ターボ分子ポンプは、スパイダスクリーンと呼ばれる場合が多いフィルタースクリーンを備えることができる。フィルタースクリーンの目的は、設置、出荷、または一般的使用の間にポンプの入口を通過する可能性がある部分品および他の物体の吸い込みを防ぐことである。フィルタースクリーンは、ポンプ入口にクリップ留めすることができ、スパイダの直上流に位置することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項１に記載のポンプ軸受ホルダを提供する。
本発明は、請求項１０に記載のポンプを含む。
本発明は、請求項１８に記載のポンプ軸受ホルダを製造する方法を含む。
以下の開示において図面に言及する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】ターボ分子真空ポンプの概略図である。
【図２】ターボ分子真空ポンプの部分的に切り取った斜視図である。
【図３】図３の一部の拡大図である。
【図４】ターボ分子真空ポンプのポンプ軸受ホルダの脚部の一部の概略平面図である。
【図５】ポンプ軸受ホルダの代替的な脚部構造を示す概略平面図である。
【図６】ポンプ軸受ホルダの別の代替的な脚部構造を示す概略平面図である。
【図７】フィルタースクリーン部材を備えるポンプ軸受ホルダの概略平面図である。
【図８】フィルタースクリーンを備えるポンプ軸受ホルダの概略平面図である。
【図９】フィルタースクリーンを備える他のポンプ軸受ホルダの概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図１は、ターボ分子ポンプ１０の概略図である。図２および図３は、図１に示すポンプの特徴を具体化し得るターボ分子ポンプ１０の実施例を示す。図１を参照すると、ターボ分子ポンプ１０は、ケーシングまたはハウジング１２と、ハウジング内に配置されたポンピング機構１４と、入口１６と、出口１８とを備えることができる。ポンピング機構１４は、複数の積み重ねられたステータディスク２２と交互的な関係で配置された複数のロータ翼２０を含むターボ分子ポンピング機構を備えることができる。ロータ翼２０は、長手方向軸（回転軸）２６を有するロータシャフト２４上に取り付けられるか、またはこれと一体となっている。ロータシャフト２４は、モータ２８によって回転軸２６の周りを回転するように駆動される。ポンピング機構１４は、追加的に、ＧＡＥＤＥ、ＨＯＬＷＥＣＫ、またはＳＩＥＧＢＡＨＮ機構とすることができる分子ドラッグポンピング機構３０を備えることができる。追加的にまたは代替的に、分子ドラッグポンピング機構３０の下流にポンピング機構が存在することができる。例えば、再生機構を備える空気力学的ポンピング機構が存在することができる。ターボ分子ポンプ１０は、封入物を約１０-3〜１０-10ｍｂａｒまで排気することができる。使用中、ロータシャフト２４は、毎分約２０，０００から９０，０００回転の間の速度で回転することができる。
【０００９】
ロータシャフト２４は、複数の軸受３２、３４によって支持される。複数の軸受は、図示のように、ロータシャフト２４のそれぞれの端部に位置するまたは隣接する２つの軸受３２、３４を備えることができる。あるいは、２つの軸受３２、３４は、ロータシャフト２４の端部の中間位置に配置することができる。図１で示す実施例では、転がり軸受３２がロータシャフト２４の第１の端部を支持し、磁気軸受３４がロータシャフト２４の第２の端部を支持する。磁気軸受３４は、ポンピング機構１４の上流に配置することができ、図示の例では入口１６に隣接して配置されている。バックアップ転がり軸受（図示せず）は、随意的に磁気軸受３４の近くに設けることができる。図３から良く分かるように、磁気軸受３４は、ロータシャフト２４によって支えられた回転磁石３６のセットと、反対側に配置されて、入口１６に広がってポンプハウジング１２と結合するようになったポンプ軸受ホルダ４０によって支えられた静止磁石３８のセットとを備えることができる。
【００１０】
ターボ分子ポンプ１０は、潤滑剤供給システム４２と、潤滑剤供給システムから転がり軸受３２に潤滑剤を移送するためにロータシャフト２４上に設けられた潤滑剤移送装置４４とをさらに備えることができる。潤滑剤移送装置４４は、ロータシャフト２４に嵌合したテーパ付きナットとすることができ、潤滑剤は、液体、例えば油とすることができる。
【００１１】
図２および図３を参照すると、ポンプ軸受ホルダ４０は、静止磁石３８のセットを支えるように構成されたキャリア部４８と支持部とを備え、支持部は、本実施例では、キャリア部に対して外側に延びてポンプハウジング１２と結合する複数の脚部５０を備え、ポンプ軸受ホルダ４０は入口１６に広がっている。本実施例では、支持部は、脚部５０の内側端部が取り付けられ、中央に配置されたハブ５４をさらに備える。キャリア部４８は、ハブ５４から突出する円筒体またはボスを備えることができる。キャリア部４８は、ハブ５４と少なくとも実質的に同軸に配置することができる。静止磁石３８のセットは、キャリア部４８の周囲に配置される。静止磁石３８のセットは、複数の環状磁石を備えることができる。環状磁石は、互いに積み重ねられてキャリア部４８を囲むことができる。積み重ねられた環状磁石は、調整リング５６と保持ユニット５８との間に保持することができる。保持ユニット５８は、１または２以上のワッシャと、波ワッシャなどの弾性付勢部材と、キャリア部４８に設けられた溝と係合して保持ユニットおよび静止磁石３８のセットをキャリア部に固定するためのサークリップとを備えることができる。調整リング５６は、キャリア部４８上に設けられたねじ（図示せず）と係合することができる。調整リング５６は、保持ユニット５８の弾性付勢部材に抗して前後にねじ締めされており、静止磁石３８のセットをキャリア部に沿って移動させて磁気軸受３４の予荷重を調整することができる。他の実施例では、静止磁石３８のセットは、キャリア部４８に嵌合することができる、サブユニットの一部または磁気軸受カートリッジとして設けることができる。キャリア部４８は、予荷重を調整するためにキャリア部上の磁気軸受カートリッジの位置調整を可能にする磁気軸受カートリッジの雌ねじに係合する雄ねじを備えることができる。
【００１２】
脚部５０は、ハブ５４の周りに等距離で離間して配置されるので、図示のように３本の脚部を有する実施例では、隣接する脚部の間に１２０°の間隙がある。脚部５０の半径方向外側または自由端は、脚部の上流側（図１〜図３で見て上側）に配置された第１の凹部６０を備えることができる。第１の凹部６０は、ポンプハウジング１２の環状壁６４の下面によって定められる肩部６２と嵌合するように構成される。環状壁６４は、入口１６を定める。脚部５０は、脚部の下流側上で第１の凹部６０とほぼ反対側に配置された第２の凹部６６を備えることができる。ポンプ軸受ホルダ４０は、環状体またはスパイダーリング６８と、環状体６８とポンプハウジング１２内に配置された固定肩部７２との間に閉じ込めた弾性体または本体７０とによって、ポンプハウジング１２の所定位置に固定することができる。弾性体７０は波ワッシャとすることができる。固定肩部７２は、積み重ねられたステータディスク２２の端面とすることができるので、弾性体または本体７０は、ポンプ軸受ホルダ１０及びステータディスク２２の両方を所定位置に保持する。
【００１３】
図４は、ポンプ軸受ホルダ４０の脚部５０の一部の概略平面図である。脚部５０は、脚部内に複数の内部貫通通路７６を定めるハニカム構造を有する。内部貫通通路７６は、入口１６を通って流れるガスがポンピング機構１４に向かって脚部５０を通過することを可能にする。貫通通路７６は、脚部５０の上流側から下流側（図１〜３に見られるような下側）に延びる。貫通通路７６は、ロータシャフト２４の長手方向軸線２６とほぼ平行に延びることができる。脚部５０に貫通通路７６を設けることによって、さもなければそれによって跳ね返されることになる、ポンプ軸受ホルダ４０を通るガスの移動の可能性が見込まれる。これは、ガスのスループット、ひいては通過確率を増大させ、それによってターボ分子ポンプ１０の有効なポンピング速度が高くなる。
【００１４】
ハニカム構造は、高い軸方向剛性を有する。従って、多孔性構造を有することによって、静止磁石３８のセットを所定位置に保持して磁気軸受３４によって設定された予荷重を支えるためのポンプ軸受ホルダ４０の能力は、悪影響を受けることはない。さらに、この多孔性構造は、同等の大きさの中実構造と比較すると、ポンプ軸受ホルダ４０の重量を低減することを可能にし、このことは高い共振周波数を維持するのを助ける。脚部５０が追加的な補強を必要とする場合、多孔性構造は、ポンピング速度に著しく悪影響を及ぼすことなく、脚の幅を増加させて剛性を高めることを可能にする。各々の脚部５０は、必要に応じて、その全長にわたってまたはその長さの一部にわたってハニカム構造を有することができる。例えば、ガスが第１の凹部６０と第２の凹部６６との間の脚部５０の一部を通って流れることは見込まれないので、凹部６０、６６の間に中実の脚構造を有することと、および凹部の内側端部とハブ５４との間の脚の長さの残りの部分にハニカム構造を有することを決めることができる。同様に、キャリア部４８およびハブ５４は、多孔性ではなく、少なくとも実質的に中実とすることができる。
【００１５】
図５は、ポンプ軸受ホルダ４０の脚部５０−１の代替構造を示す概略平面図である。脚部５０と脚部５０−１との違いは、脚部５０−１が、ハニカム構造を有する代わりに三角形断面を有する複数の穿孔を備える内部貫通通路７６−１を有することである。貫通通路７６−１は、脚部５０−１の長さに沿って延びる一連のものとして直列に配置することができる。貫通通路７６−１は、直角三角形断面を有し、隣接する貫通通路７６−１は、脚部５０−１の長さに沿って貫通通路をより密に詰め込むことが可能になるように、互いの鏡像として配置することができる。
【００１６】
図６は、ポンプ軸受ホルダ４０用の脚部５０−２の他の代替構造を示す概略平面図である。脚部５０と脚部５０−２との違いは、脚部５０−２が、ハニカム構造を有する代わりに複数のほぼ矩形断面の穿孔を備える内部貫通通路７６−２を有することである。貫通通路７６−２は、脚部５０−２の軸方向中心線に沿って延びる一連のものとして直列に配置することができる。貫通通路７６−１、７６−２は、脚部５０−１、５０−２の上流側から下流側に延び、ロータシャフト２４とほぼ平行に延びることができる。
【００１７】
図７は、図１〜図３で示されたターボ分子ポンプ１０などのポンプに使用することができる別のポンプ軸受ホルダ１４０を示す。ポンプ軸受ホルダ１４０は、キャリア部１４８（図示せず）と、キャリア部に対して半径方向外向きに延びる複数の脚部１５２を備える支持部とを備える。支持部は、キャリア部１４８に隣接して軸方向に整列することができるハブ１５４をさらに備えることができる。キャリア部１４８は、図３に示されるキャリア部４８と少なくとも実質的に同じ様式でハブ１５４から突出するほぼ円筒状の円筒体とすることができる。３本の脚部１５２が存在し、各々は、ハブ１５４に接合した内側端部１５３と、外側または自由端１５５とを有することができる。脚部１５２は、ハブ１５４の周りに等距離で離間して配置されるので、図示のように３本の脚部を有する実施例では、隣接する脚部の間に１２０°の間隙がある。脚部１５０は、図３から図５に示されているものと同一または類似の貫通通路７６、７６−１、７６−２とすることができる複数の内部貫通通路１６３を備える。
【００１８】
脚部１５０の間の間隙は、隣接する脚部１５０の対向する面と、ハブ１５４の外周面と、外周が脚部の自由端１５５と一致する仮想円とによって境界付けされた扇形に近似することができる。本実施例では、間隙はそれぞれのフィルタースクリーン部材１５９によって占められる。フィルタースクリーン部材１５９は、脚部１５０と一体であるか、または脚部の間にはめ合わされて固定された別部材とすることができる。フィルタースクリーン部材１５９は、入口１６を通ってポンピング機構１４へのガスの通過を可能にするために複数の内部貫通通路１６１を備えることができる。貫通通路１６１は、図７に示すようにハニカム構造によって定めることができる。
【００１９】
他の実施例では、穿孔構造は、ほぼ円形または他の多角形の断面形状を有することができる貫通通路１６１を備えることができる。
【００２０】
脚部１５０の間にフィルタースクリーン部材１５９を設けると、ポンプ軸受ホルダ１４０の全体的剛性が高くなり、単に脚部の間に隙間を有するポンプ軸受ホルダ４０のようなポンプ軸受ホルダと比較して、ポンプ軸受ホルダの脚部の幅Ｗを相対的に減少させることが可能になる。
【００２１】
図８は、図１〜図３で示すターボ分子ポンプ１０のようなポンプに使用することができる別のポンプ軸受ホルダ２４０の概略平面図である。ポンプ軸受ホルダ２４０は、ほぼ平面状とすることができる。ポンプ軸受ホルダ２４０は、ほぼ環状の円板状体とすることができる。ポンプ軸受ホルダ２４０は、ポンプ軸受ホルダの内周２５１から外周２５３まで延びる複数の細長い部材２５０を備えることができる。表現が難しいので図８には示されていないが、細長い部材２５０は、十分な数で提供され、ポンプ軸受ホルダ２４０の主面をカバーする網状構造または織物を定めるように構成される。細長い部材２５０は、ポンプ軸受ホルダ２４０の主面の少なくとも実質的に全体を通るガスの流れを可能にするのに十分な多孔性をもたらす複数の内部貫通通路２５５を定めるように構成される。一部の実施例では、細長い部材２５０の構成は、磁気軸受３４を支持するのに十分な剛性と、比較的高いガスのスループット値を提供するように設計された比較的粗い織物を提供するようなものとすることができる。他の実施例では、細長い部材２５０の構成は、比較的低いガスのスループットを可能にする比較的密な織物を提供するようなものとすることができるが、比較的大きな剛性またはより良好な濾過能力を提供することができる。
【００２２】
細長い部材２５０の構成は、内周２５１および外周２５３に隣接する細長い部材の接合が、比較的わずかな空孔を有するまたは全く空孔がない比較的強固な内輪要素および外輪要素を形成するようなものとすることができる。内輪要素は、静止磁石セットを含む磁気軸受カートリッジを収容するように構成された開口部を備えるキャリア部２５７を定める。外輪要素は剛性をもたらし、ポンプハウジング１２との係合を助けることができる。ポンプ軸受ホルダ２４０の内外周２５１、２５３での比較的低いまたは存在しない多孔性は、ガス通路が磁気軸受カートリッジおよびポンプハウジングとのそれぞれ境界面で妨げられるので、ガスのスループットにはほとんどまたは全く影響を与えないことを理解されたい。
【００２３】
一部の実施例では、細長い部材２５０の構成は、ポンプ軸受ホルダ２４０の内外周２５１と２５３との間により大きな多孔性およびより小さな多孔性の領域を提供するようなものとすることができる。従って、細長い部材２５０は、例えば疑似脚部に相当するするかまたは定めることができる比較的大きな剛性を提供するために、複数の比較的小さな多孔性の領域を提供するように配置することができる。これは、異なる厚さの細長い部材を有すること、それらの長さに沿って幅が変化する細長い部材を有すること、及び細長い部材の間の間隔を変化させることのうちの１または２以上によって達成することができる。
【００２４】
例えば、付加機械加工プロセスでの製造を容易にするために、複数の比較的薄い層から構成される積層体が図８に示されるものと同じまたは類似の構造を有するように、ポンプ軸受ホルダ２４０を形成することが望ましい。キャリア部を別々に形成した後にそれを支持部に接合することも望ましい。
【００２５】
図９は、図１〜図３で示したターボ分子ポンプ１０のようなポンプに使用することができる別のポンプ軸受ホルダ３４０の概略図である。ポンプ軸受ホルダ３４０は、貫通孔３４４を定める壁３４２によって画定される内周を備えた環状体とすることができる。磁気軸受カートリッジ３４６は、貫通孔３４４内に嵌合させることができる。ポンプ軸受ホルダ３４０は、壁３４２に設けられた雌ねじ３４８の形態のキャリア部を備える。磁気軸受カートリッジ３４６は、ポンプ軸受ホルダ３４０とねじ嵌合することができるように雄ねじ３５０を有し、磁気軸受カートリッジの軸方向位置は、磁気軸受の予荷重を設定するために調整することができる。
【００２６】
ポンプ軸受ホルダ３４０は、ポンプ入口１６を通って流れるガスがポンプ軸受ホルダを通ってポンピング機構１４内を通過するのを可能にするように構成された複数の貫通通路３５２を備える。一部の実施例では、貫通通路３５２は、ガスの高スループットを助長するために、ポンプ軸受ホルダ３４０の主面３５４、３５６の全体にわたって分散させることができる。貫通通路３５２は、ガスの高スループットと、ポンプ軸受ホルダ３４０が別個のフィルタースクリーンを必要としないようにポンプ入口１６用のフィルタースクリーンとして機能することを可能にすることの両方をもたらすように構成することができる。
【００２７】
ポンプ軸受ホルダ３４０は、リム３５８を定めるためにその外周でより厚くすることができる。リム３５８は、ハウジング１２内でのポンプ軸受ホルダ３４０の配置を容易にするために付加的な剛性を与えることができる。また、ポンプ軸受ホルダ３４０は、ポンプ軸受ホルダの内周と外周との間に選択的な剛性を与えるために、１または２以上の増厚領域３６０を備えることができる。増厚領域３６０は、貫通孔３４４の外側にかかる比較的狭い帯とすることができる。増厚領域３６０は、複数の半径方向に延びる擬似的な脚部またはリブを定めることができる。増厚領域は、ポンプ軸受ホルダ３４０の軸方向の剛性を調整するために使用することができるが、材料の使用量を低減して、比較的高いガススループットを維持するためには、脚部５０、１５０などの脚部よりも相対的により狭いことになる。
【００２８】
貫通通路３５２の大きさは様々とすることができる。例えば、図９に示されるように、少なくとも１つの第１の複数の比較的より大きな直径でより小さい密度の離間した貫通通路と、少なくとも１つの第２の複数の比較的より小さな直径でより密に詰め込まれた貫通通路とが存在することができる。ポンプ軸受ホルダは、支持部の中心の方の比較的小さな内部貫通通路と、外周の方の比較的大きな内部貫通通路とを備える。
【００２９】
図３に示す波ワッシャ７０などの別個の弾性体を有する代わりに、ポンプ軸受ホルダ３４０は、波ワッシャ７０などの別個の弾性体がもたらす付勢力に少なくとも実質的に対応する付勢力を提供する、１または２以上の一体型弾性体３６２を備えることができる。一体型弾性体３６２は、ポンプ軸受ホルダ３４０の外周の周りに間隔を置いて配置され、肩部６２、７２の間で圧縮された際に、ポンプ軸受ホルダ３４０の主面３５６に向かって曲がるように構成された複数の略Ｃ字形部材を備えることができる。弾性部材３６２は、長円形またはほぼ楕円形の断面を有することができる。
【００３０】
図示されていないが、ポンプ軸受ホルダ４０、１４０は、ポンプ軸受ホルダ３４０と類似の方法で一体型弾性部材を備えることができることを理解されたい。一体型弾性部材は、一体型環状体６８と組み合わせることができる。一体型環状体または弾性部材は、それらの自由端または半径方向外側端に隣り合った隣接する脚部５０、１５０の間に延びることができる。
【００３１】
本発明によるポンプ軸受ホルダは、金属射出成形（ＭＩＭ）、プラスチック成形、鋳造、または固体からの機械加工で製造することができる。ポンプ軸受ホルダ４０、１４０、２４０、３４０は、付加機械加工（ａｄｄｉｔｉｖｅ  ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）または生成機械加工（ｇｅｎｅｒａｔｉｖｅ  ｍａｃｈｉｎｉｎｇ）、フォトエッチング、レーザー切断、およびウォータージェット切断のうちの１または２以上の技法を使用して製造することができる。付加機械加工には、３Ｄプリンティング、融合凝結溶融、レーザー溶融、電子ビーム溶融、選択的レーザー焼結（ＳＬＳ）、金属焼結、層ラミネート押出法を含む層ラミネート製造、ステレオリソグラフィー、および融合層モデリング（ＦＬＭ）が含まれる。
【００３２】
既知のスパイダは、ガス透過率を約１０％程度まで制限すると考えられている。図示のポンプホルダは、その数値の半分程度の回復を可能にすることができる。
【００３３】
既知のターボ分子ポンプは、スパイダの上流に配置された別個のフィルタースクリーンを有する。スクリーニング機能をポンプ軸受ホルダに組み込むことによって、別個のフィルタースクリーンを省くことが可能である。これは、ポンプ全体の高さ（図１に示す）を低減する可能性をもたらす。
【００３４】
幅または脚部を増やすことなく、従ってポンプへのガスの流れを制限することなく、十分な剛性を既知のスパイダに提供するために、脚部の深さを増大させることができる。ポンプ軸受ホルダの脚部の間にフィルタースクリーン部材を提供すると、剛性がもたらされ、脚部の深さを増大させることなく比較的狭い脚部を使用することができる。これも同様に、ポンプの全高を低減する可能性をもたらす。
【００３５】
ポンプ軸受ホルダおよびフィルタースクリーン部材は、何らかの適切な材料で、例えば、アルミニウム、ステンレス鋼、チタン、およびＰＥＥＫなどのエンジニアリングプラスチックで作ることができる。
【００３６】
本発明は、これらの実施例に限定されないが、内部貫通通路は、５〜２０ｍｍの範囲の幅を有することができ、ポンプ軸受ホルダの深さは、１〜１０ｍｍの範囲とすることができる。内部貫通通路の間の間隔は、１〜２ｍｍの範囲とすることができる。
【００３７】
図１〜図７に示されるような脚部を備えるポンプ軸受ホルダの実施例では、脚部とハブは、キャリア部とは別個に形成して、その後、キャリア部に固定することができる。これは、形成される部品の全体の深さを低減し、それによって製造時間を短縮することができるので、脚部およびハブが、付加機械加工、フォトエッチング、レーザー切断、またはウォータージェット切断によって形成される場合には望ましいであろう。この理由から、図８および図９で示されるようなポンプ軸受ホルダは、比較的薄いので好都合であることが分かっており、製造時間は比較的短くなるはずである。
【００３８】
本発明は、ターボ分子ポンプのポンプ軸受ホルダに関連して説明され示されている。これは限定的に解釈されないことを理解されたい。本発明の実施形態は、例えば、ポンピング機構へのガス流路内に配置されたポンプ軸受ホルダのガススループットに対する悪影響を低減すること、ポンプ高さを低減すること、または構成部品の総数を低減することのうちの１または２以上を行うことが望ましい他のポンプに適用することができる。
【符号の説明】
【００３９】
１０  ターボ分子ポンプ
１２  ハウジング
１６  入口
２４  ロータシャフト
３６  回転磁石
３８  静止磁石
４０  ポンプ軸受ホルダ
４８  キャリア部
５０  脚部
５４  ハブ
５６  調整リング
５８  保持ユニット
６０  第１の凹部
６２  肩部
６４  環状壁
６６  第２の凹部
６８  一体型環状体
７０  弾性体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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