(57)【要約】半分法を用いたＬＭガイド組立方法、及びその方法を行うコンピュータ可読記録媒体を開示する。開示された半分法を用いたＬＭガイド組立方法は、長さ方向に沿って同一の間隔で複数の締結孔が形成されたＬＭレール、前記ＬＭレールと同一の間隔で複数の締結孔が形成された補助テーブル、および前記補助テーブルに締結され、締結孔が形成されたＬＭブロックを用いてＬＭガイドをベースに組み立てる方法において、ベースの上部にＬＭレールを配置する段階（Ｓ１００）と；前記ＬＭレール上に形成された複数の締結孔のうち、前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１１０）と；前記補助テーブルの上部に角度測定装置を装着する段階（Ｓ１２０）と；前記ＬＭレール上に形成された複数の締結孔のうち、前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１３０）と；前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にＬＭブロックをそれぞれ配置する段階（Ｓ１４０）と；前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にそれぞれ配置されたＬＭブロックの上部に一体に形成された前記補助テーブルを配置して締結手段で締結する段階（Ｓ１５０）と；前記補助テーブルの角度を前記角度測定装置に零度にセットする段階（Ｓ１６０）と；前記補助テーブルに結合された２つのＬＭブロックが、前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ＋１）番目の孔の上部に１つずつくるように配置した後、前記補助テーブルの角度を測定する段階（Ｓ１７０）と；前記Ｓ１７０段階で測定された補助テーブルの角度に応じた所定の真直度補正量を算出する段階（Ｓ１８０）と；前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の締結手段を緩めてレールの（２ｎ−１＋１）番目の孔部位を、前記Ｓ１８０段階で算出された真直度補正量だけ移動させた後、締結手段で締結する段階（Ｓ１９０）とを含んでなり、前記Ｓ１３０段階乃至Ｓ１９０段階を、ｎ＝１になるまでｎを１ずつ減少させながら繰り返し行い、前記ｎは自然数であることを特徴とする。【選択図】図１
2019534980.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長さ方向に沿って同一の間隔で複数の締結孔が形成されたＬＭレール、前記ＬＭレールと同一の間隔で複数の締結孔が形成された補助テーブル、および前記補助テーブルに締結され、締結孔が形成されたＬＭブロックを用いてＬＭガイドをベースに組み立てる方法において、
ベースの上部にＬＭレールを配置する段階（Ｓ１００）と；
前記ＬＭレール上に形成された複数の締結孔のうち、前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１１０）と；
前記補助テーブルの上部に角度測定装置を装着する段階（Ｓ１２０）と；
前記ＬＭレール上に形成された複数の締結孔のうち、前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１３０）と；
前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にＬＭブロックをそれぞれ配置する段階（Ｓ１４０）と；
前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にそれぞれ配置されたＬＭブロックの上部に一体に形成された前記補助テーブルを配置して締結手段で締結する段階（Ｓ１５０）と；
前記補助テーブルの角度を前記角度測定装置に零度にセットする段階（Ｓ１６０）と；
前記補助テーブルに結合された２つのＬＭブロックが、前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ＋１）番目の孔の上部に１つずつくるように配置した後、前記補助テーブルの角度を測定する段階（Ｓ１７０）と；
前記Ｓ１７０段階で測定された補助テーブルの角度に応じた所定の真直度補正量を算出する段階（Ｓ１８０）と；
前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の締結手段を緩めてレールの（２ｎ−１＋１）番目の孔部位を、前記Ｓ１８０段階で算出された真直度補正量だけ移動させた後、締結手段で締結する段階（Ｓ１９０）とを含んでなり、
前記Ｓ１３０段階乃至Ｓ１７０段階を、ｎ＝１になるまでｎを１ずつ減少させながら繰り返し行い、前記ｎは自然数であることを特徴とする、半分法によるＬＭガイド組立方法。
【請求項２】
前記Ｓ１８０段階における前記真直度補正量は下記の式によって計算されることを特徴とする、請求項１に記載の半分法によるＬＭガイド組立方法。
ｈ＝Ｐｓｉｎ（ｂ／２）
（式中、ｈ：真直度補正量、Ｐ：ＬＭレール上の隣接する締結孔間の距離、ｂ：Ｓ１７０段階で測定した補助テーブルの角度である。）
【請求項３】
前記角度測定装置はレーザー干渉計またはオートコリメータであることを特徴とする、請求項２に記載の半分法によるＬＭガイド組立方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載のＬＭガイド組立方法を行うプログラムが記録されたコンピュータ可読記録媒体。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載のＳ１８０段階を行うプログラムが格納されたコンピュータ可読記録媒体。
【請求項６】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載のＳ１８０段階を行うレーザー干渉計。
【請求項７】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載のＳ１８０段階を行うオートコリメータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＭガイド組立方法、及びその方法を行うプログラムが記録されたコンピュータ可読記録媒体に係り、より詳細には、ＬＭガイドをベースに組み立てるときに半分法を適用して、ＬＭガイド組立時の真直度を向上させ、角度測定装置で計測された角度値から真直度補正量を自動的に算出し、測定時間の短縮及び測定自動化を実現するＬＭガイド組立方法、及びその方法を行うプログラムが記録されたコンピュータ可読記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶ディスプレイ装置やプラズマディスプレイ装置などのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）を構成する基板にパターンを形成する方法は、まず、基板にパターン材料を塗布し、フォトマスクを用いてパターン材料に選択的に露光を施して、化学的性質の変わったパターン材料部分またはその他の部分を選択的に除去することにより、パターンを形成する。
【０００３】
基板が益々大型化され、露光面に形成されるパターンが精密化されるにつれて、フォトマスクを使用しないマスクレス露光装置が使用されている。マスクレス露光装置は、電子装置（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｄｅｖｉｃｅ）を用いて、電気的信号で作られたパターン情報をもって光ビームを基板に転写させる方式によってパターンを形成する。
【０００４】
このようなマスクレス露光装置は、基板を移動させながら露光面にパターンを形成するが、このとき、基板を移動させるリニアステージの精度が、露光面に形成されるパターンの品質に影響を及ぼす。特にリニアステージの真直度（ｓｔｒａｉｇｔｎｅｓｓ）は、露光面に形成されるパターンの品質に直接影響を及ぼす。
【０００５】
リニアステージはＬＭガイド上を走行するので、リニアステージの真直度を向上させるためにはＬＭガイドを高精度の真直度でベースに組み立てなければならない。
【０００６】
従来は、ＬＭガイドを組み立てる際に角度測定装置によってＬＭガイドの長さ方向に沿って順次ＬＭガイドの角度を測定した後、誤差を補正した。しかし、このような順次補正方法によれば、補正過程で取り込まれる誤差が後続の測定地点に増幅されるしかない方法上の先天的問題により、ＬＭガイドの端部では非常に大きな誤差が反映され、ＬＭガイドを高精度の真直度で組み立てることができなかった。
【０００７】
したがって、ＬＭガイド組立過程で取り込まれる誤差が後続の測定地点に増幅されないようにするだけでなく、誤差を減らすことができる新しいＬＭガイド組立方法の開発が切実に求められる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上述した問題を解決するために提案されたもので、その目的は、ＬＭガイドを組み立てる際に取り込まれる誤差の増幅を遮断することができるＬＭガイド組立方法を提供することにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、ＬＭガイドを組み立てる際に取り込まれる誤差が後続の測定地点で減少するＬＭガイド組立方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、長さ方向に沿って同一の間隔で複数の締結孔が形成されたＬＭレール、前記ＬＭレールと同一の間隔で複数の締結孔が形成された補助テーブル、および前記補助テーブルに締結され、締結孔が形成されたＬＭブロックを用いてＬＭガイドをベースに組み立てる方法において、ベースの上部にＬＭレールを配置する段階（Ｓ１００）と；前記ＬＭレール上に形成された複数の締結孔のうち、前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１１０）と；前記補助テーブルの上部に角度測定装置を装着する段階（Ｓ１２０）と；前記ＬＭレール上に形成された複数の締結孔のうち、前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１３０）と；前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にＬＭブロックをそれぞれ配置する段階（Ｓ１４０）と；前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にそれぞれ配置されたＬＭブロックの上部に一体に形成された前記補助テーブルを配置して締結手段で締結する段階（Ｓ１５０）と；前記補助テーブルの角度を前記角度測定装置に零度にセットする段階（Ｓ１６０）と；前記補助テーブルに結合された２つのＬＭブロックが、前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ＋１）番目の孔の上部に１つずつくるように配置した後、前記補助テーブルの角度を測定する段階（Ｓ１７０）と；前記Ｓ１７０段階で測定された補助テーブルの角度に応じた所定の真直度補正量を算出する段階（Ｓ１８０）と；前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の締結手段を緩めてレールの（２ｎ−１＋１）番目の孔部位を、前記Ｓ１８０段階で算出された真直度補正量だけ移動させた後、締結手段で締結する段階（Ｓ１９０）とを含んでなり、前記Ｓ１３０段階乃至Ｓ１９０段階を、ｎ＝１になるまでｎを１ずつ減少させながら繰り返し行い、前記ｎは自然数であることを特徴とする、半分法によるＬＭガイド組立方法を提供する。
【００１１】
また、本発明は、前記Ｓ１８０段階における前記真直度補正量は、ｈ＝Ｐｓｉｎ（ｂ／２）によって計算されることを特徴とし、但し、ｈ：真直度補正量、Ｐ：ＬＭレール上の隣接する締結孔間の距離、ｂ：Ｓ１７０段階で測定した補助テーブルの角度である。
【００１２】
また、本発明の角度測定装置はレーザー干渉計またはオートコリメータであることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、前記ＬＭガイド組立方法を行うプログラムが記録されたコンピュータ可読記録媒体を提供する。
【００１４】
また、本発明は、Ｓ１８０段階を行うプログラムが格納されたコンピュータ可読記録媒体を提供する。
【００１５】
また、本発明は、Ｓ１８０段階を行うレーザー干渉計を提供する。
【００１６】
また、本発明は、Ｓ１８０段階を行うオートコリメータを提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る半分法を用いたＬＭガイド組立方法は、ＬＭガイドを組み立てる際に取り込まれる誤差の増幅を遮断するという効果がある。
【００１８】
また、本発明に係る半分法を用いたＬＭガイド組立方法は、ＬＭガイドを組み立てる際に取り込まれる誤差が後続の測定地点で減少するという効果がある。
【００１９】
また、本発明に係る半分法を用いたＬＭガイド組立方法は、角度測定装置で測定した角度から真直度補正量を提供するという効果がある。
【００２０】
上述した効果に加え、本発明の具体的な効果は、以下の発明を実施するための具体的な事項を説明しながら一緒に記述する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係るＬＭガイドの分解図である。
【図２】本発明に係るＬＭガイドが組み立てられた斜視図である。
【図３】順次法によるＬＭガイド組立の際に取り込まれた誤差が後続の地点に及ぼす影響を説明する図である。
【図４】半分法によるＬＭガイド組立の際に取り込まれた誤差が後続の地点に及ぼす影響を説明する図である。
【図５】本発明に係るＬＭガイド組立段階を説明する図である。
【図６】本発明に係るＬＭガイドの真直度補正量の算出を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面によってさらに詳細に説明する。ところが、これは、本発明に記載された特定の実施形態に対して限定しようとするものではなく、本発明の実施形態の多様な変更（ｍｏｄｉｆｉｃａｔｉｏｎｓ）、均等物（ｅｑｕｉｖａｌｅｎｔｓ）、および／または代替物（ａｌｔｅｒｎａｔｉｖｅｓ）を含むものと理解されるべきである。図面の説明に関連して、類似の構成要素については類似の参照符号が使用できる。
【００２３】
また、本発明で使用された「第１」、「第２」などの表現は、多様な構成要素を順序および／または重要度に関係なく修飾することができ、ある構成要素を他の構成要素と区分するためのものに過ぎず、当該構成要素を限定しない。たとえば、「第１部分」と「第２部分」は、順序または重要度に関係なく、互いに異なる部分を示すことができる。例えば、本発明に記載された権利範囲から外れることなく、第１構成要素は第２構成要素と命名することが可能であり、同様に第２構成要素も第１構成要素と命名することが可能である。
【００２４】
また、本発明で使用された用語は、単に特定の実施形態を説明するためのものであって、他の実施形態の範囲を限定しようとする意図ではない。単数の表現は、文脈上、明白に別の意味を記載しない限り、複数の表現を含むことができる。技術的や科学的な用語を含めてここで使用される用語は、本発明の技術分野における通常の知識を有する者によって一般に理解されるのと同一の意味を持つことができる。本発明で使用された用語のうち、一般的な辞典に定義された用語は、関連技術の文脈上持つ意味と同一または類似する意味で解釈でき、本発明で明白に定義されない限り、理想的または過度に形式的な意味で解釈されない。場合によって、本発明で定義された用語であっても本発明の実施形態を排除するように解釈できない。
【００２５】
図１は本発明に係るＬＭガイドの分解図であり、図２は本発明に係るＬＭガイドが組み立てられた斜視図である。
【００２６】
次に、図１及び図２を参照して説明する。
【００２７】
ＬＭガイドはＬＭレール２００とＬＭブロック４００とを含んでなる。
【００２８】
ＬＭレール２００は、ＬＭブロック４００が走行するレールである。ＬＭレール２００はベース１００上に組み立てられる。ＬＭレール２００が高精度の真直度で組み立てられなければ、ＬＭレール２００に結合されて走行する装置も精密な作業が不可能である。よって、ＬＭレール２００をベース１００に高精度の真直度で組み立てることが工程の精度に非常に重要である。
【００２９】
ＬＭレール２００には、締結孔２０１が長さ方向に沿って同一の間隔で形成される。前記締結孔２０１は、ＬＭレール２００をベース１００に組み立てたときに締結手段が挿入される孔である。締結手段は、一般にボルトが使用されるが、これに限定されず、様々な締結手段を採用できる。
【００３０】
ベース１００にはＬＭレール２００が組み立てられる。ＬＭレール２００の組立のために、ベース１００にはＬＭレール取付部１１０が形成される。ＬＭレール取付部１１０は、ＬＭレール２００の長さ方向に沿って平行な側壁１１１が形成され、両側壁１１１の間にＬＭレール２００が組み立てられる。
【００３１】
ベース１００には、ＬＭレール２００を締結するために、ＬＭレール取付部１１０に締結孔１０１が同一の間隔で長さ方向に沿って形成される。ＬＭレール取付部１１０に形成された締結孔１０１間の間隔は、ＬＭレール２００上の締結孔２０１間の間隔と同一である。
【００３２】
ＬＭブロック４００は、ＬＭレール２００に結合されて走行し、後述の補助テーブル３００との組立のために締結孔４０１が形成される。締結孔４０１は、通常、２つまたは４つが形成される。このように締結孔４０１を偶数個にすることは、締結力がバランスをとるようにするためである。
【００３３】
ＬＭブロック４００の形状は、ＬＭレール２００を覆うように「コ」の字状に形成される。
【００３４】
本発明に係る半分法によるＬＭガイド組立方法を行うために、補助テーブル３００が提供される。
【００３５】
補助テーブル３００はＬＭブロック４００に結合される。このため、補助テーブル３００には長さ方向に沿って締結孔３０１が形成される。図１に示すように、１つのＬＭブロック４００には２つの締結孔４０１が形成されており、ＬＭブロック４００を締結するために、補助テーブル３００には前記ＬＭブロック４００の締結孔４０１に対応する締結孔３０１が両側に長さ方向に沿って形成されている。
【００３６】
このとき、締結孔３０１間の間隔は、ＬＭレール２００上の締結孔２０１間の間隔と同一である。これは、ＬＭレール２００をベース１００に組み立てるとき、ＬＭブロック４００をＬＭレール２００に形成された締結孔２０１上に配置しなければならないためである。
【００３７】
補助テーブル３００には、両側の締結孔３０１の間に貫通孔３０２が長さ方向に形成される。これは、ＬＭレール２００に締結されたボルトを緩めるためにドライバが挿入される孔である。
【００３８】
図３は順次法によるＬＭガイド組立の際に取り込まれた誤差が後続の地点に及ぼす影響を説明する図である。
【００３９】
次に、図３を参照して、従来技術の順次法を用いたＬＭガイド組立方法を説明する。
【００４０】
図３に示された直線は、理想的な真直度で組み立てられたＬＭレール２００を示すものであり、直線上に表示された数字０〜８は、レール上の締結ボルトを表示する。
【００４１】
図３に示された曲線は、補正過程で取り込まれた誤差を表示するものである。
【００４２】
順次法による従来の補正方法は、角度測定装置を用いて順次各ボルトにおける角度を測定し、ボルトを緩めて誤差を補正した後、ボルトを再び締結する方式を取っている。
【００４３】
０−１区間でレールの角度を基準にして角度測定装置を零度にセットする。そして、角度測定装置を１−２区間のレールに移動させて角度を測定した後、誤差を補正する。このとき、補正過程で人が補正する限り、誤差を取り込むおそれがあり、１−２区間で取り込まれた誤差は３〜８番ボルトに影響を及ぼし、３番ボルトから８番ボルトに行くほど、誤差はさらに大きくなる。
【００４４】
また、２−３区間で取り込まれた誤差は４〜８番ボルトに影響を及ぼす。このような方式によれば、８番ボルトでは、先行する２〜７番ボルトによって影響を累積的に受けて非常に大きな誤差が発生する。
【００４５】
図４は半分法によるＬＭガイド組立の際に取り込まれた誤差が後続の地点に及ぼす影響を説明する図である。
【００４６】
次に、図４を参照して、半分法によるＬＭガイド組立方法を説明する。
【００４７】
図４に示された直線は、理想的な真直度で組み立てられたＬＭレール２００を示すものであり、直線上に表示された数字０〜８は、レール上の締結ボルトを表示する。
【００４８】
図４に示された曲線は、補正過程で取り込まれた誤差を表示するものである。
【００４９】
半分法による補正方法は、まず、補正するＬＭレール２００の両端のボルト、すなわち０番ボルトと８番ボルトを固定した後、角度測定装置で０番ボルトと８番ボルトとを結ぶ直線の角度を零度にセットする。
【００５０】
その後、０−８区間の半分点である４番ボルトでの角度を測定し、誤差を補正する。このときも、人が補正するため、誤差が取り込まれることがある。しかし、４番ボルトから誤差が取り込まれるとき、それにより１、２、３、５、６、７番ボルトから影響を受ける誤差は、４番ボルトにより取り込まれた誤差に比べてその大きさが減少する。
【００５１】
その次は、０−４区間の半分点である２番ボルトの角度を測定した後、誤差を補正する。このような方式で誤差を補正すると、誤差補正過程で取り込まれる誤差が漸次減少して、ＬＭガイド組立の真直度を向上させることができる。
【００５２】
図５は本発明に係るＬＭガイド組立段階を説明する図であり、図５（ａ）、図５（ｄ）及び図５（ｇ）は平面図であり、図５（ｂ）、図５（ｃ）、図５（ｅ）、図５（ｆ）、図５（ｈ）及び図５（ｉ）は側面図である。図６は本発明に係るＬＭガイドの真直度補正量の算出を説明する図である。
【００５３】
次に、図５及び図６を参照して、半分法を用いたＬＭガイド組立工程を詳細に説明する。
【００５４】
半分法を説明しながら、ボルトの数が（２ｎ＋１）個である一般な過程を説明する。図５ではｎ＝３の場合を例示的に示すものである。すなわち、図５に示されたＬＭレール２００における０番と８番の間の区間に対して補正を行う場合である。
【００５５】
まず、ベース１００の上部にＬＭレール２００を配置する段階（Ｓ１００）を行う。
【００５６】
前記ＬＭレール２００上に形成された複数の締結孔２０１のうち、前記ＬＭレール２００の一端からの１番目の孔と前記ＬＭレール２００の一端からの（２ｎ＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１１０）を行う。すなわち、０番孔と８番孔を締結手段で締結する。
【００５７】
半分法の適用のために使用される補助テーブル３００の上部に角度測定装置を装着する段階（Ｓ１２０）を行う。
【００５８】
ここで、ＬＭガイド組立の際に使用される角度測定装置を紹介する。
通常使用される角度測定装置は、レーザー干渉計とオートコリメータなどを使用できる。
【００５９】
レーザー干渉計は干渉計本体と反射鏡からなり、オートコリメータもオートコリメータ本体と反射鏡からなる。
【００６０】
ＬＭガイドを組み立てるために、レーザー干渉計本体またはオートコリメータ本体をＬＭレール２００から離隔させてＬＭレール２００の長さ方向に配置し、反射鏡は補助テーブル３００の上部に装着する。
【００６１】
反射鏡に向かって照射されたレーザーが反射鏡に反射されて戻ってくるとき、角度測定装置の本体で回帰光線を感知して角度を算出する。
【００６２】
これに関する部分は、当該技術分野における公知の技術であるため、詳細な説明を省略し、レーザー測定装置については図示しなかった。
【００６３】
次に、ＬＭレール２００上に形成された複数の締結孔２０１のうち、前記ＬＭレール２００の一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１３０）を行う。すなわち、図５では４番孔にボルトを締結する。
【００６４】
ＬＭレール２００の一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレール２００の一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にＬＭブロック４００をそれぞれ配置する段階（Ｓ１４０）を行う。
【００６５】
図５（ａ）に示すように、０番孔の上部と４番孔の上部にＬＭブロック４００をそれぞれ配置する。
【００６６】
前記ＬＭレール２００の一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレール２００の一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にそれぞれ配置されたＬＭブロック４００の上部に一体に形成された前記補助テーブル３００を配置して締結手段で締結する段階（Ｓ１５０）を行う。
【００６７】
すなわち、図５（ａ）に示すように、０番孔の上部と４番孔の上部にそれぞれ配置されたＬＭブロック４００の上部に一体に形成された補助テーブル３００を配置して締結手段で締結する。
【００６８】
補助テーブル３００の角度を角度測定装置に零度にセットする段階（Ｓ１６０）を行う。
【００６９】
前記補助テーブル３００に結合された２つのＬＭブロック４００が、前記ＬＭレール２００の一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部と前記ＬＭレール２００の一端からの（２ｎ＋１）番目の孔の上部に１つずつ来るように配置した後、前記補助テーブル３００の角度を測定する段階（Ｓ１７０）を行う。
【００７０】
すなわち、図５（ｃ）に示すように、補助テーブル３００に結合された２つのＬＭブロック４００が４番孔の上部と８番孔の上部に１つずつ来るように配置した後、前記補助テーブル３００の角度を測定する。
【００７１】
前記Ｓ１７０段階で測定された補助テーブル３００の角度に応じた所定の真直度補正量を算出する段階（Ｓ１８０）を行う。
【００７２】
次に、図６を参照して、真直度補正量を算出する過程を説明する。
【００７３】
図６に示されたＡ−Ｂ区間とＢ−Ｃ区間からなるＬＭレール２００において、Ｂ−Ｃ区間の角度ｂ及び隣接するボルト間の距離Ｐが与えられると、Ｂ点の真直度補正量ｈは、次の式で与えられる。
【００７４】
ＢＢ’＝Ｈ＝Ｐｓｉｎ（ａ）＝Ｐｓｉｎ（ｂ／２）
【００７５】
したがって、上記式においてＰと角度ｂが与えられると、真直度補正量ｈは簡単に算出可能である。
【００７６】
次に、ＬＭレール２００の一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の締結手段を緩めてレールの（２ｎ−１＋１）番目の孔部位を、前記Ｓ１８０段階で算出された真直度補正量だけ移動させた後、締結手段で締結する段階（Ｓ１９０）を行う。
【００７７】
このとき、レールの（２ｎ−１＋１）番目の孔部位を真直度補正量だけ移動させる方向は、ＬＭレールの長さ方向に対して垂直な方向であって、前記Ｓ１７０段階で測定された補助テーブル３００の角度がＬＭレールの長さ方向を基準に左方向または右方向であるかによって、それに対応する方向に移動する。
【００７８】
すなわち、４番ボルトを緩めて、４番ボルトの孔部位を算出した真直度補正量だけ移動させた後、締結手段で締結するのである。
【００７９】
上記で紹介した前記Ｓ１３０段階乃至Ｓ１９０段階を、ｎ＝１になるまでｎを１ずつ減少させながら繰り返し行う。但し、前記ｎは自然数である。
【００８０】
図５（ｄ）乃至（ｉ）はその反復的な過程を示す図である。
このような過程を介して、本発明に係る半分法を用いたＬＭガイド組立方法は、補正過程で取り込まれる誤差が増幅されず、むしろ減少する。よって、従前の順次法によってＬＭガイドを組み立てた場合に比べて、非常に高い真直度を実現することができる。
【００８１】
また、本発明に係る半分法を用いたＬＭガイド組立方法を行うプログラムを、ハードディスクなどのコンピュータ可読記録媒体に格納することができる。
【００８２】
さらに、本発明に係る半分法を用いたＬＭガイド組立方法を行うプログラムを、レーザー干渉計またはオートコリメータに搭載して実行することができる。
【００８３】
ＬＭガイド組立の際に半分法を用いたＬＭガイド組立方法を行うプログラムが搭載されたレーザー干渉計またはオートコリメータを使用することにより、ユーザーは、半分法を用いたＬＭガイド組立方法の実行中に、ボルト孔間の距離と測定された角度をレーザー干渉計またはオートコリメータに入力して真直度補正量ｈを簡便に算出し、これを便利に補正に反映することができる。
【００８４】
このような真直度補正量はレーザー干渉計またはオートコリメータの制御部で算出することができる。
【００８５】
以上では、本発明の好適な実施形態について図示及び説明したが、本発明は、上述した特定の実施形態に限定されず、請求の範囲で請求する本発明の要旨を逸脱することなく、当該発明の属する技術分野における通常の知識を有する者によって多様な変形実施が可能であるのはもとより、それらの変形実施も本発明の技術的思想または展望から個別的に理解されてはならないだろう。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【手続補正書】
【提出日】平成31年2月5日(2019.2.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
長さ方向に沿って同一の間隔で複数の締結孔が形成されたＬＭレール、前記ＬＭレールと同一の間隔で複数の締結孔が形成された補助テーブル、および前記補助テーブルに締結され、締結孔が形成されたＬＭブロックを用いてＬＭガイドをベースに組み立てる方法において、
ベースの上部にＬＭレールを配置する段階（Ｓ１００）と；
前記ＬＭレール上に形成された複数の締結孔のうち、前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１１０）と；
前記補助テーブルの上部に角度測定装置を装着する段階（Ｓ１２０）と；
前記ＬＭレール上に形成された複数の締結孔のうち、前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔を締結手段で締結する段階（Ｓ１３０）と；
前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にＬＭブロックをそれぞれ配置する段階（Ｓ１４０）と；
前記ＬＭレールの一端からの１番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部にそれぞれ配置されたＬＭブロックの上部に一体に形成された前記補助テーブルを配置して締結手段で締結する段階（Ｓ１５０）と；
前記補助テーブルの角度を前記角度測定装置に零度にセットする段階（Ｓ１６０）と；
前記補助テーブルに結合された２つのＬＭブロックが、前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の上部と前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ＋１）番目の孔の上部に１つずつくるように配置した後、前記補助テーブルの角度を測定する段階（Ｓ１７０）と；
前記Ｓ１７０段階で測定された補助テーブルの角度に応じた所定の真直度補正量を算出する段階（Ｓ１８０）と；
前記ＬＭレールの一端からの（２ｎ−１＋１）番目の孔の締結手段を緩めてレールの（２ｎ−１＋１）番目の孔部位を、前記Ｓ１８０段階で算出された真直度補正量だけ移動させた後、締結手段で締結する段階（Ｓ１９０）とを含んでなり、
前記Ｓ１３０段階乃至Ｓ１９０段階を、ｎ＝１になるまでｎを１ずつ減少させながら繰り返し行い、前記ｎは自然数であることを特徴とする、半分法によるＬＭガイド組立方法。
【国際調査報告】
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