(57)【要約】一実施形態に係る試料ステージは、試料を収容するための試料ホルダと、前記試料ホルダに放射状に連結されて前記試料ホルダが３方向の並進自由度と、少なくとも２方向の回転自由度を有するようにする第１駆動モジュールと、第２駆動モジュール及び第３駆動モジュールを含む。【選択図】図１
2019514188.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を収容するための試料ホルダと、
前記試料ホルダに放射状に連結され、前記試料ホルダが３方向の並進自由度と、少なくとも２方向の回転自由度を有する第１駆動モジュール、第２駆動モジュール、及び第３駆動モジュールを含む試料ステージ。
【請求項２】
前記第１駆動モジュール、第２駆動モジュール、及び第３駆動モジュールのそれぞれは、
前記試料ホルダの互いに異なる３つの部分にそれぞれボールジョイント結合される連結バーと、
前記連結バーの上側及び下側にそれぞれヒンジ結合され、前記連結バーを上下方向にチルティングさせるための上側リンクアセンブリ及び下側リンクアセンブリを含む、請求項１に記載の試料ステージ。
【請求項３】
前記上側リンクアセンブリ及び下側リンクアセンブリのいずれか１つのリンクアセンブリは、互いにヒンジ結合された２つの分離リンクから構成され、
前記上側リンクアセンブリ及び下側リンクアセンブリのうち、他方の１つのリンクアセンブリは、互いにヒンジ結合された３つの分離リンクから構成される、請求項２に記載の試料ステージ。
【請求項４】
前記５個の分離リンクは、全て同じ２次元平面上で動く、請求項３に記載の試料ステージ。
【請求項５】
前記試料ホルダを取り囲むチャンバーをさらに含み、
前記上側リンクアセンブリは、
前記チャンバーに対してスライド移動可能な上側スライドリンクと、
一側が前記連結バーにヒンジ結合され、他方が前記上側スライドリンクにヒンジ結合される上側連結リンクと、
を含み、
前記下側リンクアセンブリは、
前記チャンバーに対してスライド移動可能な下側スライドリンクと、
一側が前記連結バーの下側にヒンジ結合される下側連結リンクと、
一側が前記下側連結リンクにヒンジ結合され、他方が前記下側スライドリンクにヒンジ結合される中間リンクと、
を含む、請求項２に記載の試料ステージ。
【請求項６】
前記上側連結リンクと連結バーとの間の回転軸は、前記上側連結リンクと上側スライドリンクとの間の回転軸と互いに直交する、請求項５に記載の試料ステージ。
【請求項７】
前記下側連結リンクと連結バーとの間の回転軸は、
前記下側連結リンクと中間リンクとの間の回転軸と互いに直交し、
前記中間リンクと下側スライドリンクとの間の回転軸と互いに直交する、請求項５に記載の試料ステージ。
【請求項８】
試料を支持する試料ホルダを駆動するために前記試料ホルダに連結され、対にリンクアセンブリが複数設けられ、前記対に構成されているリンクアセンブリの同期化された運動又は前記対に構成されているリンクアセンブリ間の相対運動によって前記試料ホルダを駆動する電子顕微鏡用試料ホルダの駆動器。
【請求項９】
前記複数のリンクアセンブリは、前記試料ホルダに放射状に結合されることを特徴とする、請求項８に記載の試料ホルダの駆動器。
【請求項１０】
前記リンクアセンブリは６個に構成され、２個ずつ対をなすことを特徴とする、請求項８に記載の試料ホルダの駆動器。
【請求項１１】
前記対に構成されているリンクアセンブリの同期化された運動によって前記試料ホルダの位置を調整することを特徴とする、請求項８に記載の試料ホルダの駆動器。
【請求項１２】
前記対に構成されているリンクアセンブリの相対運動によって前記試料ホルダの姿勢を調整することを特徴とする、請求項８に記載の試料ホルダの駆動器。
【請求項１３】
前記対に構成されているリンクアセンブリは、相対的な回転が可能なように順次連結された４節リンクから構成され、
一端が前記４節リンクのうち中間に連結された２つのリンクのいずれか１つのリンクに回転自在に連結され、他端が前記試料ホルダにピボット運動可能に連結される連結バーをさらに含む、請求項８に記載の試料ホルダの駆動器。
【請求項１４】
前記連結バーは、前記試料ホルダとボールジョイントに連結されたことを特徴とする、請求項１３に記載の試料ホルダの駆動器。
【請求項１５】
前記駆動器は、少なくとも並進運動３自由度及び回転運動２自由度を具現することを特徴とする、請求項８に記載の試料ホルダの駆動器。
【請求項１６】
請求項８に記載の駆動器を含むステージ。
【請求項１７】
請求項８に記載の駆動器を含む電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡用試料ホルダの駆動器及びこれを含むステージに関し、具体的には、試料を支持するホルダを５−自由度で駆動させて試料を多方向で容易に観察できるだけではなく、試料の出入り空間及び動きを妨害しないよう複雑なメカニズム、及び駆動器を試料の出入り空間の外部に配置されて狭い空間でも効率よく駆動させながらも製造原価が安価な電子顕微鏡を製造し得る電子顕微鏡用試料ホルダの駆動器及びこれを含むステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡は、光子に比べて波長が短い電子を試料に走査及び透過し、試料と相互作用した電子を検出器で測定又は透過した映像を介して試料の拡大映像を制作する。電子顕微鏡は、種類によってその動作原理が少しずつ異なるが、電子ビームが試料を透過したり、又は、試料表面の一点に焦点を合わせて走査し、これを検波器に収集して映像を取得する方法が挙げられる。
【０００３】
試料は、これを支持するステージに挿入及び固定されて観察されるが、電子顕微鏡用ステージは、電子顕微鏡で観察時に試料の数個の面又は様々な個所を観察するために試料をチルティングさせたり、並進移動させる必要に応じてステージ内の試料を支持する試料ホルダを駆動する駆動器を含んでいる。試料を支持している試料ホルダを駆動する駆動器は、試料のチルティング及び並進移動のために様々な自由度を具現するよう設計されなければならないが、これは試料の挿入及び引出時に妨害されないよう出入り空間の外部に具現することが理想的である。
【０００４】
上記に記載の多自由度動きを具現するために周知のスチュワートプラットフォーム（Ｓｔｅｗａｒｔ  Ｐｌａｔｆｏｒｍ）のように６−自由度（６−Ｄｅｇｒｅｅ  ｏｆ  ｆｒｅｅｄｏｍ）を具現する装置が考慮されるが、これは試料を回転及び並進運動させるための有効な道具であるものの、その体積が電子顕微鏡の内部に装着されるには極めて大きいため現実的に不可能であり、試料の出入りのための移動経路を占有するという問題が存在するため、その使用に不適である側面がある。また、製造原価が過度に費やされる問題も存在する。
【０００５】
従来の試料ホルダが有する他の問題を察すれば、従来におけるホルダは、試料を並進運動させるために、回転するモータ軸に試料ホルダを直ちに連結し、これを円弧状の経路に沿って移動させる方法が主に使用されたが、これは直線の並進運動ではないことから、直線と円弧の間隔だけ位置誤差が生じる。これによって、観察者が希望する正確な位置に試料を移動させることができないという問題が発生する。
【０００６】
更なる問題として、駆動メカニズムの設計を単純化するために、真空状態である電子顕微鏡筒内に複雑度の高い駆動メカニズムパートを設け、真空方式の駆動器を構成して試料を移動させる方式により製造されることも考慮できるが、これは製造原価上の不利な問題があり、駆動の完全性又は精密性を保障することが難しい側面がある。
【０００７】
したがって、試料ホルダが高い自由度を有するように駆動される、もっと簡潔な形態の駆動器に対する研究が急な実状であるが、このような駆動器は、そのメカニック及びセンサが試料の出入り空間を占有しない外部空間、例えば、試料ホルダを支持するカラムの外部空間に具現され得る試料ホルダの駆動器が求められる。また、このような駆動器は、電子顕微鏡筒の内部の狭い空間上で十分な移動及び回転が可能でなければならず、製造原価に対する悩みも必要であり、製造過程の過度な複雑性も回避しなければならない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一実施形態に係る目的は、試料の様々な側面を円滑に観察するために高い自由度で試料を支持するホルダを駆動させ得る電子顕微鏡用試料ホルダの駆動器及びこれを含むステージを提供することにある。
【０００９】
一実施形態に係るまた他の目的は、試料の出入りを妨害しないようにその出入り空間を占有しなくて、出入り空間の外部に具現されながらも狭い空間でも効率よく試料ホルダを駆動できる電子顕微鏡用試料ホルダの駆動器及びこれを含むステージを提供することにある。
【００１０】
一実施形態に係るまた他の目的は、製造原価が安いながらも正確かつ完全な駆動が可能な電子顕微鏡用試料ホルダの駆動器及びこれを含むステージを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
一実施形態に係る試料ステージは、試料を収容するための試料ホルダと、前記試料ホルダに放射状に連結され、前記試料ホルダが３方向の並進自由度と、少なくとも２方向の回転自由度を有する第１駆動モジュール、第２駆動モジュール、及び第３駆動モジュールを含む。
【００１２】
前記第１駆動モジュール、第２駆動モジュール、及び第３駆動モジュールのそれぞれは、前記試料ホルダの互いに異なる３つの部分にそれぞれボールジョイント結合される連結バーと、前記連結バーの上側及び下側にそれぞれヒンジ結合され、前記連結バーを上下方向にチルティングさせるための上側リンクアセンブリ及び下側リンクアセンブリを含み得る。
【００１３】
前記上側リンクアセンブリ及び下側リンクアセンブリのいずれか１つのリンクアセンブリは、互いにヒンジ結合された２つの分離リンクから構成され、前記上側リンクアセンブリ及び下側リンクアセンブリのうち、他方の１つのリンクアセンブリは、互いにヒンジ結合された３つの分離リンクから構成され得る。
【００１４】
前記５個の分離リンクは、全て同じ２次元平面上で動き得る。
【００１５】
前記試料ステージは、前記試料ホルダを取り囲むチャンバーをさらに含み、前記上側リンクアセンブリは、前記チャンバーに対してスライド移動可能な上側スライドリンクと、一側が前記連結バーにヒンジ結合され、他方が前記上側スライドリンクにヒンジ結合される上側連結リンクとを含み、前記下側リンクアセンブリは、前記チャンバーに対してスライド移動可能な下側スライドリンクと、一側が前記連結バーの下側にヒンジ結合される下側連結リンクと、一側が前記下側連結リンクにヒンジ結合され、他方が前記下側スライドリンクにヒンジ結合される中間リンクとを含み得る。
【００１６】
前記上側連結リンクと連結バーとの間の回転軸は、前記上側連結リンクと上側スライドリンクとの間の回転軸と互いに直交し得る。
【００１７】
前記下側連結リンクと連結バーとの間の回転軸は、前記下側連結リンクと中間リンクとの間の回転軸と互いに直交し、前記中間リンクと下側スライドリンクとの間の回転軸と互いに直交し得る。
【００１８】
一実施形態に係る電子顕微鏡用試料ホルダの駆動器は、試料を支持する試料ホルダを駆動するために前記試料ホルダに連結され、対にリンクアセンブリが複数設けられ、前記対に構成されているリンクアセンブリの同期化された運動又は前記対に構成されているリンクアセンブリ間の相対運動によって前記試料ホルダを駆動する。
【００１９】
前記複数のリンクアセンブリは、前記試料ホルダに放射状に結合され得る。
【００２０】
前記リンクアセンブリは６個に構成され、２個ずつ対をなし得る。
【００２１】
前記対に構成されているリンクアセンブリの同期化された運動によって前記試料ホルダの位置を調整し得る。
【００２２】
前記対に構成されているリンクアセンブリの相対運動によって前記試料ホルダの姿勢を調整し得る。
【００２３】
前記対に構成されているリンクアセンブリは、相対的な回転が可能なように順次連結された４節リンクから構成され、一端が前記４節リンクのうち中間に連結された２つのリンクのいずれか１つのリンクに回転自在に連結され、他端が前記試料ホルダにピボット運動可能に連結される連結バーをさらに含み得る。
【００２４】
前記連結バーは、前記試料ホルダとボールジョイントに連結され得る。
【００２５】
前記駆動器は、少なくとも並進運動３自由度及び回転運動２自由度を具現し得る。
【発明の効果】
【００２６】
試料の様々な側面を円滑に観察するために高い自由度で試料を支持するホルダを駆動させ得る効果がある。
【００２７】
また、試料の出入りを妨害しないよう、その出入り空間を占有しないように出入り空間の外部に具現されつつ、狭い空間でも効率よく試料ホルダを駆動することができる。
【００２８】
また、製造原価が安いながらも正確かつ完全な駆動が可能な効果がある。
【００２９】
本発明の効果は、上記したものなどに限定されず、言及されない異なる効果は下記の記載によって当業者にとって明確に理解されるのである。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施形態に係る電子顕微鏡用ステージを示した斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る駆動器の形状を示した斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る位置の具現原理を説明するための概念図である。
【図４】本発明の一実施形態に係る姿勢具現の原理を説明するための概念図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る駆動器を上側から見た構造図であって、座標を表示した構造図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るリンクアセンブリを側面から見た構造図である。
【図７】本発明の一実施形態に係る試料ホルダの並進及び回転運動を説明するための構造図である。
【図８】本発明の一実施形態に係るｉ番目のリンクアセンブリのローカル座標系から見たｉ番目の連結バーのボールジョイントの位置を表示した構造図である。
【図９】本発明の一実施形態に係るｉ番目のリンクアセンブリのローカル座標系から見たｉ番目の連結バーの傾きを算出するための構造図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る最終の逆運動学算出のための２次元平面上のロード構造図である。
【図１１】リンクのエンドポイントが目標地点に達した時の関係を示した関係図である。
【図１２】本発明の他の実施形態に係る駆動モジュールの形状を示した斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、実施形態を例示的な図面によって詳細に説明する。各図面の構成要素に参照符号を付加することにおいて、同じ構成要素に対して、たとえ他の図面上に表示されていても、可能な限り同じ符号にすることを留意しなければならない。また、実施形態の説明において、関連する公知構成又は機能に対する具体的な説明が実施形態に対する理解を妨害するものと判断される場合は、その詳細な説明は省略する。
【００３２】
また、実施形態の構成要素を説明することにおいて、第１、第２、Ａ、Ｂ、（ａ）、（ｂ）などの用語を使用してもよい。このような用語は、その構成要素を他の構成要素と区別するだけのものであり、その用語によって当該の構成要素の本質や順序などが限定されることはない。いずれかの構成要素が他の構成要素に「連結」、「結合」、又は「接続」されと記載された場合、その構成要素はその他の構成要素に直接的に「連結」、「結合」、又は「接続」されてもよいが、各構成要素の間に更なる構成要素が「連結」、「結合」、又は「接続」され得ることを理解しなければならないのであろう。
【００３３】
図１は、本発明の一実施形態に係る電子顕微鏡用ステージを示した斜視図である。
【００３４】
図１を参照すれば、本発明に係るステージ１０は、チャンバー２００の内部に位置する試料ホルダ４００（図２参照）を５自由度（Ｄ．Ｏ．Ｆ）で駆動させるが、並進運動３自由度及び回転運動２自由度から構成され、その詳細は後述することにする。実施形態に係るステージ１０によると、試料の観測地点を中心にして、全ての方向のチルティングモーションが可能であり、上下の高さが狭い空間でも５自由度を具現できる。例えば、通常、１５ｍｍ内である２つのポールピース間の空間に設置された状態であっても、ユーザが所望する試料上の観察地点を中心に全ての方向の傾斜が可能であるため、従来のシングルチルトローテーション（ｓｉｎｇｌｅ  ｔｉｌｔ−ｒｏｔａｔｉｏｎ）及びダブルチルトホルダ（ｄｏｕｂｌｅ−ｔｉｌｔ  ｈｏｌｄｅｒ）と比較して試料を傾斜してみるとき観察地点がビーム軸から離れてしまう問題を解消できる。
【００３５】
チャンバー２００は、その内部に試料ホルダ４００を備え、ここで、放射状に連結された３つの駆動モジュールが試料ホルダ４００を駆動させる。３つの駆動モジュールは、３つの連結バー３０１，３０２，３０３と、６個のリンクアセンブリ３１０，３２０，３３０，３４０，３５０，３６０を含み、リンクアセンブリの一端は、チャンバー２００を貫通して連結バーを通じて試料ホルダ４００と連結され、他端は、リンクを往復運動させるためのモータと連結されている。
【００３６】
リンクアセンブリ３１０，３２０，３３０，３４０，３５０，３６０にはこれらの動きを測定できる位置センサが備えられ、センサ及びリンク、モータなどは、チャンバー内部の試料ホルダの下方部分などではなく、外部に装着されるため試料の出入りを妨害しない。
【００３７】
駆動器を説明するために図２を提示する。図２は、本発明の一実施形態に係る駆動器の形状を示した斜視図である。これを参照すれば、試料ホルダ（ｓａｍｐｌｅ  ｈｏｌｄｅｒ）４００は、３つの連結バー３０１，３０２，３０３と、ここに連結された６個のリンクアセンブリ３１０，３２０，３３０，３４０，３５０，３６０に連結される。
【００３８】
連結バー３０１，３０２，３０３のそれぞれの一端は、試料ホルダ４００に対してピボット（ｐｉｖｏｔ）運動される。連結バー３０１，３０２，３０３のそれぞれの一端は、例えば、試料ホルダ４００にボールジョイント方式で連結され、試料ホルダ４００に対して少なくとも２つの方向にチルティング（ｔｉｌｔｉｎｇ）される。
【００３９】
連結バー３０１，３０２，３０３のそれぞれの他端は、該当の連結バーの上側及び下側にそれぞれ連結された２つのリンクアセンブリに対して左右方向に回動自在にヒンジ方式で連結される。ここで、それぞれの連結バーの上側及び下側にそれぞれ連結されて対をなしている対から構成されたリンクアセンブリのうち、上側に連結されたリンクアセンブリを上側リンクアセンブリ３１０，３３０，３５０といい、下側に連結されたリンクアセンブリを下側リンクアセンブリ３２０，３４０，３６０という。
【００４０】
上記に説明したように、６個のリンクアセンブリ３１０，３２０，３３０，３４０，３５０，３６０は、モータに連結されてリンクアセンブリの並進運動を具現する。また、上下に対をなして、１つの連結バーに連結される一対のリンクアセンブリの相対的な動気に応じて、それに連結された連結バーは上下方向に回動される。
【００４１】
駆動器３００の６個のリンクアセンブリ３１０，３２０，３３０，３４０，３５０，３６０は、チャンバー２００を貫通して試料ホルダ４００を支持し、位置及び姿勢を制御する５自由度を具現するが、これについて説明すれば次の通りである。
【００４２】
駆動器３００の運動についてより詳しい説明のために図３及び図４を提示する。図３は、本発明の一実施形態に係る位置の具現原理を説明するための概念図であり、図４は、本発明の一実施形態に係る姿勢具現の原理を説明するための概念図である。
【００４３】
まず、図３を参照して位置の具現原理について説明すれば、６個のリンクアセンブリ３１０，３２０，３３０，３４０，３５０，３６０が並進運動しながら、これに連結された試料ホルダ４００の位置を変化させ得る。例えば、対に構成されている第１及び２リンクアセンブリ３１０，３２０、第３及び４リンクアセンブリ３３０，３４０、第５及び６リンクアセンブリ３５０，３６０がそれぞれ同期化されて並進運動すれば、これにより試料ホルダ４００が平面上で動いて所望する位置にポジショニングする。言い換えれば、対に構成されているリンクアセンブリが同期化されて動きながら、これらの間の位置差による並進運動が生じて試料ホルダ４００の位置を変化させ得る。
【００４４】
次に、図４を参照して姿勢具現の原理を説明すれば、いずれか１つの対のリンクアセンブリ３１０−３２０が相対的な位置差を発生させながら動けば、該当のリンク対３１０−３２０に連結された連結バー３０１が上下に動く運動を発生させ得る。同様に、それぞれのリンク対３３０−３４０、３５０−３６０でもこのような運動を発生させれば、試料ホルダ４００に連結された連結バー３０２，３０３の運動が生じて試料ホルダ４００の姿勢を決定する。ここで、連結バー３０１，３０２，３０３は、試料ホルダ４００とボールジョイントに連結される。
【００４５】
例えば、上側リンクアセンブリ３１０及び下側リンクアセンブリ３２０のいずれか１つのリンクアセンブリ３１０は、２つの分離リンク３１１，３１５から構成され、他の１つのリンクアセンブリ３２０は、３つの分離リンク３２１，３２３，３２５から構成される。前記５個の分離リンク３１１，３１５，３２１，３２３，３２５は全て同じ２次元平面（図４に示された平面）上に動くことができる。
【００４６】
より具体的な例として、上側リンクアセンブリ３１０は、チャンバー２００に対してスライド移動可能な上側スライドリンク３１５と、一側が連結バー３０１にヒンジ結合して他方が上側スライドリンク３１５にヒンジ結合される上側連結リンク３１１を含む。下側リンクアセンブリ３２０は、チャンバー２００に対してスライド移動可能な下側スライドリンク３２５と、一側が連結バー３０１の下側にヒンジ結合される下側連結リンク３２１と、一側が下側連結リンク３２１にヒンジ結合して他方が下側スライドリンク３２５にヒンジ結合される中間リンク３２３を含む。そして、上側連結リンク３１１及び連結バー３０１間の回転軸は、上側連結リンク３１１及び上側スライドリンク３１５間の回転軸と互いに直交する。また、下側連結リンク３２１及び連結バー３０１間の回転軸は、下側連結リンク３２１及び中間リンク３２３間の回転軸と互いに直交し、中間リンク３２３及び下側スライドリンク３２５間の回転軸と互いに直交する。以上のような構造によれば、前記５個の分離リンク３１１，３１５，３２１，３２３，３２５は、全て同じ２次元平面（図４に示された平面）上に動き、図５〜図１１を参照して後述するような逆運動学の解釈に応じて試料ホルダ４００の位置及び姿勢を調整できることが確認される。
【００４７】
一方、上側連結リンク３１１及び下側連結リンク３２１は、実質的に相対的な動きが発生しないため１つのリンクであるものと理解されてもよい。このような観点から見れば、対に構成されているリンクアセンブリ３１０−３２０は、相対的な回転が可能なように順次連結された４節リンク３１５、３１１−３２１、３２３、３２５から構成されるものとして理解されてもよい。この場合、連結バー３０１の一端、前記４節リンク３１５、３１１−３２１、３２３、３２５のうち中間に連結されている２つのリンク３１１−３２１、３２３のいずれか１つのリンク３１１−３２１に回転自在に連結され、他端は、試料ホルダ４００にピボット（ｐｉｖｏｔ）運動可能に連結されるものとして理解されてもよい。
【００４８】
図５〜図１１は、逆運動学に対して説明しながら、本発明の一実施形態に係る駆動器の運動に対して詳しく説明する。
【００４９】
図５は、本発明の一実施形態に係る駆動器を上側から見た構造図であって、座標を表示した構造図である。図５に使用されたシンボルは次のように定義する。
【００５０】
【数１】
2019514188.tif 000003
【００５１】
【数２】
2019514188.tif 000004
【００５２】
【数３】
2019514188.tif 000005
【００５３】
上記の説明では、試料ホルダが希望する位置及び姿勢で存在するため、連結バーのボールジョイントがグローバル座標系上のどこに位置しなければならないかを算出した。しかし、ボールジョイントの位置は、結局、上下に一対をなしているリンクアセンブリの位置に応じて決定されなければならないため、グローバル座標系上におけるボールジョイントの位置をリンクアセンブリのローカル座標系上でどこに位置するかに変換しなければならない。この変換は、次のような座標変換を介して取得され、図８を参照して説明する。
【００５４】
【数４】
2019514188.tif 000006
【００５５】
【数５】
2019514188.tif 000007
【００５６】
【数６】
2019514188.tif 000008
【００５７】
【数７】
2019514188.tif 000009
【００５８】
【数８】
2019514188.tif 000010
【００５９】
【数９】
2019514188.tif 000011
【００６０】
【数１０】
2019514188.tif 000012
【００６１】
【数１１】
2019514188.tif 000013
【００６２】
以下、いずれか１つの実施形態に含まれた構成要素、共通の機能を含む構成要素は、他の実施形態で同じ名称を使用して説明することにする。反対となる記載がない以上、いずれか１つの実施形態に記載した説明は他の実施形態にも適用され、重複する範囲で具体的な説明は省略することにする。
【００６３】
図１２は、本発明の他の実施形態に係る駆動モジュールの形状を示した斜視図である。
【００６４】
図１２を参照すれば、本発明の他の実施形態に係る駆動モジュールは、連結バー３０１と、連結バー３０１の上側及び下側にそれぞれ連結される２つのリンクアセンブリ３１０，３２０を含む。
【００６５】
上側リンクアセンブリ３１０は、上側連結リンク３１１及び上側スライドリンク３１５を含み、下側リンクアセンブリ３２０は、下側連結リンク３２１、中間リンク３２３、及び下側スライドリンク３２５を含む。
【００６６】
上側連結リンク３１１は、上側スライドリンク３１５を中心に左右で結合される第１分離リンク３１１１及び第２分離リンク３１１２を含む。また、上側連結リンク３１１は、第１分離リンク３１１１の少なくとも一部、及び第２分離リンク３１１２の少なくとも一部の間に互いに離隔した空間が形成されるよう、第１分離リンク３１１１及び第２分離リンク３１１２の間に配置される第１支持部３１１ａを含む。例えば、図１２に示すように、第１支持部３１１ａは、第１分離リンク３１１１から第２分離リンク３１１２に向かって突出するよう形成される突出部であり得る。ただし、第１支持部３１１ａは、第２分離リンク３１１２に形成されたり、第１分離リンク３１１１及び第２分離リンク３１１２と別個の部品で備えられてもよい。上側連結リンク３１１は、２つの分離リンク３１１１，３１１２を貫通しながら第１支持部３１１ａを貫通しない第１ホール３１１ｂと、２つの分離リンク３１１１，３１１２を貫通しながら第１支持部３１１ａを貫通する第２ホール３１１ｃを含む。第１ホール３１１ｂ及び第２ホール３１１ｃにはそれぞれネジが締結されている。第２ホール３１１ｃに締結されたネジは、２つの分離リンク３１１１，３１１２が互いに離脱することを防止する。第１ホール３１１ｂに締結されたネジは、２つの分離リンク３１１１，３１１２の間で離隔した空間を調整することにより、その結果、上側連結リンク３１１及び上側スライドリンク３１５の間の締結力を調整し得る。
【００６７】
中間リンク３２３は、下側連結リンク３２１及び下側スライドリンク３２５を中心に左右で結合される第３分離リンク３２３１及び第４分離リンク３２３２を含む。また、中間リンク３２３は、第３分離リンク３２３１の少なくとも一部、及び第４分離リンク３２３２の少なくとも一部の間に互いに離隔した空間が形成されるよう、第３分離リンク３２３１及び第４分離リンク３２３２の間に配置される第２支持部３２３ａを含む。例えば、図１２に示すように、第２支持部３２３ａは、第３分離リンク３２３１から第４分離リンク３２３２に向かって突出するよう形成される突出部であり得る。ただし、第２支持部３２３ａは、第４分離リンク３２３２に形成されたり、第３分離リンク３２３１及び第４分離リンク３２３２と別個の部品から備えられてもよい。中間リンク３２３は、２つの分離リンク３２３１，３２３２を貫通しながら第２支持部３２３ａの後方に配置される第３ホール３２３ｂと、２つの分離リンク３２３１，３２３２を貫通しながら第２支持部３２３ａの前方に配置される第４ホール３２３ｃと、２つの分離リンク３２３１，３２３２を貫通しながら第２支持部３２３ａを貫通する第５ホール３２３ｄを含む。第３ホール３２３ｂ、第４ホール３２３ｃ、及び第５ホール３２３ｄにはそれぞれネジが締結されている。第３ホール３２３ｂに締結されたネジは、支持部３２３ａの後方の離隔した空間を調整することにより、その結果、中間リンク３２３及び下側スライドリンク３１５の間の締結力を調整し得る。同様に、第４ホール３２３ｃに締結されたネジは、支持部３２３ａの前方の離隔した空間を調整することにより、その結果、中間リンク３２３及び下側連結リンク３２１の間の締結力を調整し得る。
【００６８】
一方、図１２に示すように、互いに隣接するリンクどうし長手方向に接している部分はそれぞれ円弧（ａｒｃ）状の凸部又は凹部を有し、上記のような形状によると、互いに隣接するリンクが相対的に回転しても、相対リンクによって干渉されることなく、スムーズに回転できる。
【００６９】
上述したように実施形態がたとえ限定された実施形態及び図面によって説明されているが、当技術分野で通常の知識を有する者であれば、前記の記載から様々な修正及び変形が可能である。例えば、説明された技術が説明された方法と異なる順で実行されたり、及び／又は説明されたシステム、構造、装置、回路などの構成要素が説明された方法と異なる形態で結合又は組合わせられたり、他の構成要素又は均等物によって置換されても適切な結果が達成することができる。したがって、他の具現、他の実施形態、及び請求範囲と均等なものなども後述する請求の範囲の範囲に属する。
【図１】
2019514188.tif 000014
【図２】
2019514188.tif 000015
【図３】
2019514188.tif 000016
【図４】
2019514188.tif 000017
【図５】
2019514188.tif 000018
【図６】
2019514188.tif 000019
【図７】
2019514188.tif 000020
【図８】
2019514188.tif 000021
【図９】
2019514188.tif 000022
【図１０】
2019514188.tif 000023
【図１１】
2019514188.tif 000024
【図１２】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年10月24日(2018.10.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
【数１】
2019514188.tif 000026
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
【数２】
2019514188.tif 000027
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５２】
【数３】
2019514188.tif 000028
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
【数４】
2019514188.tif 000029
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
【数５】
2019514188.tif 000030
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
【数６】
2019514188.tif 000031
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
【数７】
2019514188.tif 000032
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
【数８】
2019514188.tif 000033
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
【数９】
2019514188.tif 000034
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
【数１０】
2019514188.tif 000035
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
【数１１】
2019514188.tif 000036
【国際調査報告】
2019514188.tif 000037
2019514188.tif 000038
2019514188.tif 000039
2019514188.tif 000040