(57)【要約】  第１の時間ベース中の第１の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するための方法であって、方法は、クロック信号を発生させることと、クロック信号に基づいて、第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させることと、第２の時間ベース中の第２の同期値を決定することと、第２の時間ベース中の第２の同期値に対応する第１の時間ベース中の第１の同期値を決定することと、第１の時間ベース中の第１の同期値と開始時間値とに基づいて、第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定することと、第１のモジュール中の第２の時間ベースの開始トリガ値と現在の値とに基づいて、第１のモジュール中の第１の動作を初期化することと、を備える。【選択図】図５
2019506006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の時間ベース中の第１の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するための方法であって、
クロック信号を発生させることと、
前記クロック信号に基づいて、前記第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させることと、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値を決定することと、
前記第２の時間ベース中の前記第２の同期値に対応する前記第１の時間ベース中の第１の同期値を決定することと、
前記第１の時間ベース中の前記第１の同期値と前記開始時間値とに基づいて、前記第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定することと、
前記第１のモジュール中の前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第１のモジュール中の前記第１の動作を初期化することと、を備える方法。
【請求項２】
前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から発生したカウント値を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１の同期値を決定することは、同期信号を発生させることと、前記第１の時間ベース中の前記同期信号の受信の時間に応じて、前記第１の同期値を決定することとを備え、
前記第２の同期値は、同期信号の受信によって決定される前記第２の時間ベース中の値に対応する、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の同期値を決定し、前記第２の同期値を決定するために使用される単一の組み合わせ信号を形成するように、前記同期信号は、クロック信号と組み合わされる、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記開始トリガ値を決定することは、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定することを備え、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中の値である、請求項１から４のうちのいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中のカウント値に対応する、請求項２から５のうちのいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記カウント値が前記開始トリガ値に対応するとき、前記第１の動作は初期化される、請求項２から６のうちのいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記方法は、第２のモジュール中の第２の動作を開始することをさらに備え、
前記クロック信号に基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースを発生させることと、
前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の動作を初期化することとを備える、請求項１から７のうちのいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２の同期値は、前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおける前記カウント値のリセットに対応する、請求項８または９に記載の方法。
【請求項１１】
第１の時間ベース中の第１の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するためのシステムであって、
クロック信号を発生させるクロックと、
前記クロック信号に基づいて、前記第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させる手段と、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値に対応する前記第１の時間ベース中の第１の同期値を決定する手段と、
前記第１の時間ベース中の前記第１の同期値と前記開始時間値とに基づいて、前記第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定する手段とを備え、
前記第１のモジュールは、前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第１のモジュール中の前記第１の動作を初期化する手段を備える、システム。
【請求項１２】
前記第２の時間ベースを発生させる手段は、前記クロック信号からカウント値を発生させるためのカウント回路を備える、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記第１の同期値を決定する手段は、前記第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて、前記第１の同期値を決定するように適合され、
前記第２の同期値を決定する手段をさらに備え、前記第１のモジュールによって、同期信号の受信により決定される前記第２の時間ベース中の値に対応する前記第２の同期値を決定するように適合されている、請求項１１から１２のうちのいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１４】
前記第２の同期値は、前記カウント回路のリセット値に対応する、請求項１２から１３のうちのいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１５】
前記開始トリガ値を決定する手段は、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合され、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中の値である、請求項１１から１４のうちのいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１６】
前記開始トリガ値を決定する手段は、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合され、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中のカウント値に対応する、請求項１１から１５のうちのいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１７】
前記カウント値が前記開始トリガ値に対応するとき、前記第１の動作を初期化する手段は、前記第１の動作を初期化するように適合されている、請求項１１から１６のうちのいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１８】
前記システムは、第２のモジュール中の第２の動作を開始するようにさらに適合され、
前記システムは、前記クロック信号に基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースを発生させる手段をさらに備え、
前記第２のモジュールは、前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の動作を初期化する手段を備える、請求項１１から１７のうちのいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１９】
前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備える、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記第１のモジュールは、第１のネットワークを介して制御装置に接続されている複数のモジュールのうちの１つであり、前記制御装置は、前記第１のネットワークを介して前記第１の動作を識別する１つ以上の命令を前記第１のモジュールに送信する、請求項１１から１９のうちのいずれか１項に記載のシステム。
【請求項２１】
荷電粒子リソグラフィシステムであって、
荷電粒子ビームを生成するための荷電粒子ビーム源と、
前記荷電粒子ビームから複数の荷電粒子ビームレットを生成する開口アレイと、
前記荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするためのブランキング電極を備えるビームレットブランカアレイを含むビーム切り替えモジュールと、
パターンデータを前記ビーム切り替えモジュールに送信するためのパターンデータストリーミングモジュールと、
目標の表面にわたるブランキングされていないビームレットを走査するためのビーム偏向器アレイを含む投射光学モジュールと、
前記目標を運ぶための可動ステージと、
前記可動ステージの移動を制御するためのステージ制御モジュールとを備え、
前記システムは、請求項１１から２０のうちのいずれか１項にしたがうシステムをさらに備える、荷電粒子リソグラフィシステム。
【請求項２２】
前記第１のモジュールは、前記ステージ制御モジュールを備え、前記第１の動作は、走査の間、前記ステージの予め定められた移動を備え、
前記第２のモジュールは、前記投射光学モジュールを備え、前記第２の動作は、前記目標の表面にわたる前記ブランキングされていないビームレットの予め定められた走査偏向を備え、
第３のモジュールは、前記パターンデータストリーミングモジュールを備え、第３の動作は、前記荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするため、データの予め定められた一部分の前記ビーム切り替えモジュールへの送信を備える、請求項２１に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。
【発明の詳細な説明】
【発明の背景】
【０００１】
【発明の分野】
【０００２】
［０００１］
本発明は、一般的にシステムのモジュール中の動作を初期化するための方法およびシステムに関し、より具体的には、電荷粒子リソグラフィシステムのようなシステムの２つ以上のモジュール中の動作の初期化を同期するための方法およびシステムに関する。
【関連技術の説明】
【０００３】
［０００２］
荷電粒子リソグラフィ装置は、典型的に、それぞれの動作を実行するためのいくつかのモジュールを備えている。モジュールは、例えば、荷電粒子ビーム源を含む照明光学モジュールと、開口アレイモジュールと、ビームレットブランカアレイ（beamlet blanker array）を含むビーム切り替えモジュールと、パターンデータストリーミングモジュールと、ビーム偏向器アレイおよび投射レンズアレイを含むことができる投射光学モジュールと、ウェーハを運ぶ可動ウェーハステージを制御するためのステージ制御モジュールとを備えている。
【０００４】
［０００３］
リソグラフィ装置のモジュールまたはサブシステムは、それぞれのモジュールに送信される命令にしたがうそれぞれの動作を実行する。これらの命令は、モジュールの識別子またはアドレスと、モジュールによって実行されることになる動作の表示と、モジュールが動作を実行することを開始する開始時間とを備えていてもよい。
【０００５】
［０００４］
異なるモジュールによって実行される動作は、互いに同期しなければならにことが多く、例えば、荷電粒子ビームレットの変調は、ウェーハの表面にわたるビームレットの走査と同期しなければならず、これらの動作は、ウェーハステージの移動と同期しなければならない。リソグラフィ装置のパターン解像度が増加し、荷電粒子ビームレットの数が増加するにつれて、動作のこの同期に必要とされる精度はより高くなる。
【０００６】
［０００５］
先行技術のシステムでは、制御装置とサブシステムはそれぞれ、同期されるクロック回路を含んでいる。例えば、特許公開ＵＳ２０１０／０００１７７０Ａ１は、マスタークロック１１２、１２２を有する第１のノード１０、１２と、スレーブクロック２２を有する第２のノード２０とを備えるシステムを開示している。マスタークロックとスレーブクロックの時間ベースは、第１のノード中の同期システム１３と第２のノード中のスレーブクロック時間ベース制御装置２１とを使用して同期される。第１のノードと第２のノードによって動作を開始することは、マスタークロックとスレーブクロックをそれぞれ参照することにより実行される。しかしながら、クロック回路の、および、これらの同期の精度要件の増加は、より複雑で、コストのかかる解決法を必要とする。
【発明の概要】
【０００７】
［０００６］
本発明は、リソグラフィ装置における１つ以上のモジュールによって、それぞれの１つ以上の動作を実行するために、特に開始するために、向上した精度を提供することを目的としている。
【０００８】
［０００７］
本発明の１つの態様にしたがって、リソグラフィデバイスにおける１つ以上のモジュール中の１つ以上の動作を開始することを制御するための方法およびシステムを提供する。１つ以上のモジュールは、ネットワークを通して制御装置に接続されることができる。
【０００９】
［０００８］
１つの態様において、本発明は、第１の時間ベース中の第１の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するための方法を備え、方法は、クロック信号を発生させることと、クロック信号に基づいて、第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させることと、第２の時間ベース中の第２の同期値を決定することと、第２の時間ベース中の第２の同期値に対応する第１の時間ベース中の第１の同期値を決定することと、第１の時間ベース中の第１の同期値と開始時間値とに基づいて、第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定することと、第１のモジュール中の第２の時間ベースの開始トリガ値と現在の値とに基づいて、第１のモジュール中の第１の動作を初期化することと、を備えている。
【００１０】
［０００９］
第１の時間ベースは、例えば、日および／または時間および／または分および／または秒およびその細区分で測定される、時間スケールを備えていてもよい。第１の時間ベースは、モジュールのそれぞれの中のクロック回路によって、あるいは、マスタークロックまたは制御装置またはモジュールと通信する他の回路中で、発生してもよい。第１の同期値を決定するステップは、同期信号を発生させることと、第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて、第１の同期値を決定することとを備えていてもよい。このステップは、同期信号がクロック回路を有するユニットによって受信されるとき、第１の時間ベースを発生させるクロック回路によって示される時間を記憶することを備えていてもよい。
【００１１】
［００１０］
第２の時間ベースは、第１の時間ベースと異なってもよいが、いくつかの実施形態では、これらは同じであってもよい。第１および第２の時間ベースは、共通の時間ベースから動作する必要はなく、これらは、互いに同期する必要ない。第１の時間ベース中の第１の開始時間は、第２の時間ベースを参照すること（または知ること）なく、設定されることができる。
【００１２】
［００１１］
第２の時間ベースは、クロック信号から発生したカウント値を備えていてもよい。各モジュールは、クロック信号に基づいてカウント値を発生させるためのカウント回路を含んでいてもよい。第２の同期値は、同期信号の受信によって決定される第２の時間ベース中の値と対応してもよい。第２の時間ベースがカウント値を備えるとき、第２の同期値は、カウント値のリセット値を備えていてもよく、例えば、第２の同期値を決定することは、カウント回路をリセットすることを備えていてもよく、これは、同期信号の受信に基づいて、カウント値を発生させる。第１および第２の同期値を決定するために使用される単一の組み合わせ信号を形成するように、同期信号は、クロック信号と組み合わされてもよい。
【００１３】
［００１２］
第１の同期値は同期信号の受信の時間を表す第１の時間ベース中の時間であり、第２の時間ベースは同期信号を受信するとリセットされるカウント値であるとき、第１の同期値は、第２の時間ベース（すなわち、カウント値）がリセットされる（第１の時間ベース中の）時間を示す。このような方法で、第１および第２の時間ベースを同期することができる。
【００１４】
［００１３］
開始トリガ値を決定するステップは、開始時間値と第１の同期値とに基づいて、第１の時間ベース中の相対開始時間を決定することを備えていてもよく、開始トリガ値は、第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する第２の時間ベース中の値である。相対開始時間を決定することは、例えば、開始時間値から第１の同期値を減算することにより、第１の時間ベース中の第１同期値と開始時間値との間の差を計算することを備えていてもよい。開始トリガ値を決定することは、開始時間値と第１の同期値とに基づいて、第１の時間ベース中の相対開始時間を決定することを備えていてもよく、開始トリガ値は、第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する第２の時間ベース中のカウント値に対応する。第２の時間ベースがカウント値であるとき、第２の時間ベースのリセットがカウント値であることから、相対開始時間は、第１の時間ベース中の時間量を表す。
【００１５】
［００１４］
第２の時間ベースがカウント値であるとき、カウント値が開始トリガ値に対応するときに第１の動作は初期化されてもよい。
【００１６】
［００１５］
方法は、第２のモジュール中の第２の動作を開始することをさらに備え、クロック信号に基づいて、第２のモジュール中の第２の時間ベースを発生させることと、第２のモジュール中の第２の時間ベースの開始トリガ値と現在の値とに基づいて、第２のモジュール中の第２の動作を初期化することとを備えている。第２の時間ベースは、クロック信号から第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備えていてもよい。第２の同期値は、第１および第２のモジュールのそれぞれにおけるカウント値のリセットに対応してもよい。方法は、第３のモジュール中の第３の動作を開始することをさらに備え、クロック信号に基づいて、第３のモジュール中の第２の時間ベースを発生させることと、第３のモジュール中の第２の時間ベースの開始トリガ値と現在の値とに基づいて、第３のモジュール中の第３の動作を初期化することと備えている。
【００１７】
［００１６］
リソグラフィシステムに適用されるとき、第１のモジュールは、ステージ制御モジュールを備えていてもよく、第１の動作は、走査の間、ステージの予め定められた移動を備えていてもよく、第２のモジュールは、投射光学モジュールを備えていてもよく、第２の動作は、目標の表面にわたるブランキングされていないビームレットの予め定められた走査偏向を備えていてもよく、第３のモジュールは、パターンデータストリーミングモジュールを備えていてもよく、第３の動作は、荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするために、データの予め定められた一部分のビーム切り替えモジュールへの送信を備えていてもよい。
【００１８】
［００１７］
第１のモジュールは、第１のネットワークを介して制御装置に接続されている複数のモジュールのうちの１つであってもよく、制御装置は、第１のネットワークを介して第１の動作を識別する１つ以上の命令を第１のモジュールに送信してもよい。
【００１９】
［００１８］
クロック信号は、第２のネットワークを介して複数のモジュールに送信されてもよく、第２の時間ベースは、カウント値を備えていてもよく、モジュールのそれぞれは、クロック信号からカウント値を別々に発生させてもよい。
【００２０】
［００１９］
第１の同期値は、第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて、制御装置によってまたはモジュールによって決定されてもよく、第２の同期値は、同期信号の受信によって決定された第２の時間ベース中の値で、第１のモジュール中に設定される。
【００２１】
［００２０］
第１の同期値は、第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて、第1のモジュールによって決定されてもよく、第２の同期値は、同期信号の受信によって決定される第２の時間ベース中の値で第１のモジュール中に設定されてもよい。このような方法で、同期信号は、第１および第２の時間ベースを同期させるために使用されることができる。クロック信号と同期信号とを組み合わせて、第２のネットワークを介して複数のモジュールに送信してもよい。クロック信号と組み合わせクロック信号（すなわち、同期信号を含む）の両方をモジュールに分散してもよく、または、組み合わせクロック信号のみをモジュールに分配してもよい。
【００２２】
［００２１］
制御装置は、開始時間値および開始トリガ値を決定し、第１のネットワークを介して開始トリガ値を第１のモジュールに送信してもよい。代替的に、制御装置は、開始時間値を決定し、開始時間値を第１のネットワークを介して第１のモジュールに送信してもよく、第１のモジュールは、開始トリガ値を決定する。代替的に、第１のモジュールは、開始時間値と開始トリガ値の両方を決定してもよい。別の代替例では、制御装置は、開始時間値と第１の同期値とに基づいて、第１の時間ベース中の相対開始時間を決定し、相対開始時間を第１のモジュールに送信してもよく、第１モジュールは、相対開始時間に基づいて開始トリガ値を決定してもよい。
【００２３】
［００２２］
第１および第２のモジュールは、第１のネットワークを介して制御装置に接続されてもよく、制御装置は、開始時間値および／または開始トリガ値を第１のモジュールに送信し、開始されることになる第１の動作を識別する１つ以上の命令を第１のネットワークを介して第１のモジュールに送信してもよく、制御装置は、開始時間値および／または開始トリガ値と、開始されることになる第２の動作を識別する１つ以上の命令を第１のネットワークを介して第２のモジュールにさらに送信してもよい。
【００２４】
［００２３］
別の態様では、本発明は、第１の時間ベース中の第１の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するためのシステムを備えている。システムは、クロック信号を発生させるためのクロックと、クロック信号に基づいて、第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させる手段と、第２の時間ベース中の第２の同期値に対応する第１の時間ベース中の第１の同期値を決定する手段と、第１の時間ベース中の第１の同期値と開始時間値とに基づいて、第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定する手段とを備えている。第１のモジュールは、第２の時間ベースの開始トリガ値と現在の値とに基づいて、第１のモジュール中の第１の動作を初期化する手段を備えている。
【００２５】
［００２４］
第１の同期値を決定する手段は、第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて、第１の同期値を決定するように適合され、第２の同期値を決定する手段をさらに備え、第１のモジュールによって、同期信号の受信により決定される第２の時間ベース中の値に対応する第２の同期値を決定するように適合されている。同期信号は、クロック信号と組み合わされてもよく、（同期信号を含む）組み合わせクロック信号は、第１のモジュールに送信されてもよい。
【００２６】
［００２５］
第２の時間ベースを発生させる手段は、クロック信号からカウント値を発生させるためのカウント回路を備えていてもよい。第２の同期値は、カウント回路のリセット値に対応してもよい。
【００２７】
［００２６］
開始トリガ値を決定する手段は、開始時間値と第１の同期値とに基づいて、第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合されてもよく、開始トリガ値は、第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する第２の時間ベース中の値である。特に、開始トリガ値を決定する手段は、第１の同基値と開始時間値との間の差を計算することにより、相対開始時間を決定するように適合されてもよい。開始トリガ値を決定する手段は、開始時間値と第１の同期値とに基づいて、第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合されてもよく、開始トリガ値は、第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する前第２の時間ベース中のカウント値に対応する。
【００２８】
［００２７］
カウント値が開始トリガ値に対応するとき、第１の動作を初期化する手段は、第１の動作を初期化するように適合されてもよい。
【００２９】
［００２８］
第１および第２の時間ベースは、互いに異なっていてもよく、または同じであってもよく、例えば、両方がカウント値であり、または、両方が同じ時間のユニットで測定される。第１の時間ベースは、日および／または時間および／または分および／または秒および／またはその細区分で測定されてもよい。
【００３０】
［００２９］
システムは、第２のモジュール中の第２の動作を開始するようにさらに適合されてもよく、システムは、クロック信号に基づいて、第２のモジュール中の第２の時間ベースを発生させる手段をさらに備え、第２のモジュールは、第２の時間ベースの開始トリガ値と現在の値とに基づいて、第２のモジュール中の第２の動作を初期化する手段を備える。このシステムに対して、第２の時間ベースは、クロック信号から第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備えていてもよい。第２の同期値は、第１および第２のモジュールのそれぞれにおけるカウント値のリセットに対応してもよい。第１のモジュールは、ステージ制御モジュールを備え、第１の動作は、ステージの予め定められた移動を備え、第２のモジュールは、ビームレット偏向モジュールを備えていてもよく、第２の動作は、ビームレットの予め定められた走査偏向を備えている。
【００３１】
［００３０］
システムは、第３のモジュール中の第３の動作を開始するようにさらに適合されてもよく、システムは、クロック信号に基づいて第３のモジュール中で第２の時間ベースを発生させる手段をさらに備え、第３のモジュールは、第２の時間ベース中の開始トリガ値と現在の値とに基づいて、第３のモジュール中の第３の動作を初期化する手段を備えている。第１のモジュールは、ステージ制御モジュールを備えていてもよく、第１の動作は、ステージの予め定められた移動を備え、第２のモジュールは、ビームレット偏向モジュールを備えていてもよく、第２の動作は、ビームレットの予め定められた走査偏向を備えていてもよく、第３の動作は、ビーム切り替えモジュールを備えていてもよく、第３の動作は、ビームレットをブランキングするための、データの予め定められた一部分の送信を備えている。
【００３２】
［００３１］
第１のモジュールは、第１のネットワークを介して制御装置に接続されている複数のモジュールのうちの１つであってもよく、制御装置は、第１のネットワークを介して第１の動作を識別する１つ以上の命令を第１のモジュールに送信する。制御装置は、第１のネットワークを介して、第２の動作を識別する１つ以上の命令を第２のモジュールにさらに送信してもよい。クロック信号は、第２のネットワークを介して複数のモジュールに送信されてもよい。第２の時間ベースは、カウント値を備えていてもよく、モジュールのそれぞれは、クロック信号からカウント値を別々に発生させてもよい。
【００３３】
［００３２］
第１の同期値は、第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて、制御装置によって決定されてもよく、第２の同期値は、同期信号の受信によって決定される第２の時間ベース中の値で第１のモジュール中に設定されてもよい。
【００３４】
［００３３］
第１の同期値は、第１のモジュールによって、または、第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて制御装置によって決定されてもよく、第２の同期値は、第１のモジュールによって同期信号の受信により決定される第２の時間ベース内の値で第１のモジュール中に設定されてもよい。第２の同期値は、それぞれのモジュールの各々によって、同期信号の受信により決定される第２の時間ベース内の値で、複数のモジュールのそれぞれにおいて設定されてもよい。
【００３５】
［００３４］
第１および第２のモジュールは、第１のネットワークを介して制御装置に接続されてもよく、制御装置は、開始時間値および／または開始トリガ値と、開始されることになる第１の動作を識別する１つ以上の命令とを、第１のネットワークを介して第１のモジュールに送信してもよい。制御装置は、開始時間値および／または開始トリガ値と、開始することになる第２の動作を識別する１つ以上の命令とを、第１のネットワークを介して第２のモジュールにさらに送信してもよい。
【００３６】
［００３５］
別の態様では、本発明は、荷電粒子リソグラフィシステムを含み、荷電粒子リソグラフィシステムは、荷電粒子ビームを生成するための荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビームから複数の荷電粒子ビームレットを生成するための開口アレイと、荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするためのブランキング電極を備えるビームレットブランカアレイを含むビーム切り替えモジュールと、パターンデータをビーム切り替えモジュールに送信するためのパターンデータストリーミングモジュールと、目標の表面にわたるブランキングされていないビームレットを走査するためのビーム偏向器アレイを含む投射光学モジュールと、目標を運ぶための可動ステージと、可動ステージの移動を制御するためのステージ制御モジュールとを備えている。リソグラフィシステムは、第１のモジュール中の第１の動作を上記で説明したように初期化するように適合されているシステムをさらに備えていてもよく、これは、第２のモジュール中の第２の動作を上記で説明したように、さらに、第３のモジュール中の第３の動作を上記で説明したように初期化するようにさらに適合されてもよい。第１のモジュールは、ステージ制御モジュールを備えていてもよく、第１の動作は、走査の間、ステージの予め定められた移動を備えていてもよい。第２のモジュールは、投射光学モジュールを備えていてもよく、第２の動作は、目標の表面にわたるブランキングされていないビームレットの予め定められた走査偏向を備えていてもよい。第３のモジュールは、パターンデータストリーミングモジュールを備えていてもよく、第３の動作は、荷電粒子ビームレットの選択されたものをブランキングするための、データの予め定められた一部分のビーム切り替えモジュールへの送信を備えていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
［００３６］
図中に示される実施形態を参照して、本発明のさまざまな態様をさらに説明する。
【図１】［００３７］  図１は、荷電粒子リソグラフィシステムの実施形態の簡略化された概略図である。
【図２】［００３８］  図２は、荷電粒子リソグラフィシステム中のモジュールの構成の簡略化された概略例である。
【図３】［００３９］  図３は、荷電粒子リソグラフィシステム中のモジュール間の通信の簡略化された概略例である。
【図４】［００４０］  図４は、本発明を実行するのに適したモジュールと通信する制御装置の簡略化された概略例である。
【図５】［００４１］  図５は、本発明の実施形態にしたがって、第１の時間ベース中の第１の開始時間値において、モジュール中の動作を初期化する方法を図示したフローチャートである。
【図６】［００４２］  図６は、本発明の別の実施形態にしたがって、第１の時間ベース中の第１の開始時間値において、モジュール中の動作を初期化する方法を図示したフローチャートである。
【図７】［００４３］  図７は、クロック信号と同期信号とを備える組み合わされたクロック信号の実施形態である。
【図８】［００４４］  図８は、本発明にしたがう制御システム中のシグナリングの例示的な例を示している。
【図９】［００４５］  図９は、本発明の実施形態にしたがって、マスタークロック信号をデコードし、カウントする、カウントおよびリセット回路の実施形態である。
【図１０】［００４６］  図１０は、本発明にしたがう制御システム中のシグナリングの別の例示的な例を示している。
【例示的な実施形態の説明】
【００３８】
［００４７］
以下は、単に例として、図を参照して挙げられる、本発明のいくつかの実施形態の説明である。
【００３９】
［００４８］
図１は、荷電粒子リソグラフィシステム１０００の実施形態の簡略化された概略図を示している。このようなリソグラフィシステムは、例えば、米国特許番号第６，８９７，４５８号、第６，９５８，８０４号、第７，０１９，９０８号、第７，０８４，４１４号、および第７，１２９，５０２号、米国特許公開番号第２００７／００６４２１３号、ならびに同時係属中の米国特許出願シリアル番号第６１／０３１，５７３号、第６１／０３１，５９４号、第６１／０４５，２４３号、第６１／０５５，８３９号、第６１／０５８，５９６号、および第６１／１０１，６８２号に記載されており、これらは、本発明の所有者にすべて譲渡され、その全体が参照によりすべてここに組み込まれている。
【００４０】
［００４９］
図１に示す実施形態では、リソグラフィシステムは、コリメータレンズシステム１０２０によって平行にされる拡大荷電粒子ビーム１２００を生成する荷電粒子源１０１０を備えている。平行荷電粒子ビーム１２１０は、開口アレイ１０３０上で衝突し、開口アレイ１０３０はビームの一部を遮断して複数のサブビーム１２２０を生成し、サブビーム１２２０は、（ビームレットブランカアレイ１０５０と一体化して形成される）第２の開口アレイ上で衝突し、非常に多くの荷電粒子ビームレット１２２０、好ましくは約１０，０００〜１，０００，０００個のビームレットを生成する。ビームレットは、代替的に、単一の開口アレイから、複数の荷電粒子源から、または、これらの組み合わせから、生成することができる。
【００４１】
［００５０］
荷電粒子ビームレット１２２０は、コンデンサレンズアレイ１０４０を通過し、個々のビームレットを偏向させるために第２の開口アレイの各開口に構成されている非常に多くのブランキング電極を備えているビームブランカアレイ１０５０の平面において、コンデンサレンズアレイ１０４０はビームレット１２２０を集束させる。偏向および非偏向ビームレット１２３０は、複数の開口を有するビーム停止アレイ１０８０到達する。ビームブランカアレイ１０５０とビーム停止アレイ１０８０は、ビームレット１２３０を遮断または通過させるように、ともに動作する。ビームレットブランカアレイ１０５０がビームレットを偏向させる場合、ビームレットはビーム停止アレイ１０８０中の対応する開口を通過せず、代わりに遮断されるだろう。しかしながら、ビームブランカアレイ１０５０がビームレットを偏向させない場合、ビームレットはビーム停止アレイ１０８０中の対応する開口を通過し、目標の表面１３００上のビーム偏向器アレイ１０９０と投射レンズアレイ１１００を通る。パターンデータストリーマは、パターンデータをビームレットブランカアレイ１０５０に送信し、パターンデータは、荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングすることを制御するために、ブランカ電極を通電するデータを備えている。
【００４２】
［００５１］
ビーム偏向器アレイ１０９０は、目標の表面１３００にわたるビームレットを走査するように、非偏向ビームレットの方向と実質的に垂直であるＸおよび／またはＹ方向に、各非ブランクビームレット１２４０の偏向を提供する。ビームレット１２４０は、次に、投射レンズアレイ１１００を通過し、目標１３００に投射される。投射レンズ構成は、好ましくは、約１００から５００倍の縮小を提供する。ビームレット１２４０は、目標を運ぶために可動ステージ１３２０上に位置付けられている目標１３００の表面で衝突し、可動ステージ（１３２０）の移動は、ステージ制御モジュールによって制御される。
【００４３】
［００５２］
リソグラフィアプリケーションのために、荷電粒子ビームは、通常電子ビームであり、目標は、通常荷電粒子敏感層または抵抗層が設けられたウェーハを備えている。
【００４４】
［００５３］
図２は、モジュールリソグラフィシステムの主な要素を図示する簡略化されたブロックダイヤグラムを示している。このアプリケーションにおいて、「モジュール」は、リソグラフィシステムのようなより大きなシステム内で協調して動作を実行できる、任意のサブシステムまたはユニットを指す。
【００４５】
［００５４］
図２中に示す実施形態において、サブシステムは、以下を含む。  
・荷電粒子ビーム源１０１０を含み、オプション的にビーム平行システム１０２０も含む照明光学モジュール２０１０  
・開口アレイ１０３０を含み、オプション的に、コンデンサレンズアレイ１０４０も含む開口アレイモジュール２０２０  
・ビームレットブランカアレイ１０５０を含むビーム切り替えモジュール２０３０  
・ビーム偏向器アレイ１０９０を含み、オプション的に、ビーム停止アレイ１０８０と投射レンズアレイ１１００も含む投射光学モジュール２０４０
【００４６】
［００５５］
図２中に示す実施形態において、上記のサブシステムは、アラインメント内部サブフレーム２０５０とアラインメント外部サブフレーム２０６０とを備えるアラインメントフレームから、スラインドインおよびスライドアウトするように設計されている。フレーム２０８０は、振動減衰マウント２０７０を介して、アラインメントサブフレーム２０５０および２０６０をサポートする。ウェーハ１３００は、ウェーハテーブル２０９０上に置かれ、ウェーハテーブル２０９０は、チャック２１００上に据え付けられている。チャック２１００は、短ストローク２１１０と長ストローク２１２０のステージ上に位置している。短ストロークと長ストロークステージのそれぞれは、モジュールを形成する。各ステージ２１１０、２１２０は、移動動作を実行できる。
【００４７】
［００５６］
リソグラフィ機は、ミューメタル遮蔽層２１５０を含む、真空室４０００で囲まれている。機械は、フレーム部材２２１０によってサポートされるベース底板２２００上に置かれている。
【００４８】
［００５７］
図３は、図１および２にしたがうシステムのような、荷電粒子リソグラフィシステム中のモジュール間の通信の簡略化された概略例である。
【００４９】
［００５８］
制御装置１０５は、第１の通信ネットワーク１１０を介して、モジュール１２０、１３０、１４０に接続される。モジュール１２０、１３０、１４０は、リソグラフィシステム中のある動作を実行または制御するために、第１の通信ネットワーク１１０を介して、制御１００から命令を受信し、実行できる。
【００５０】
［００５９］
モジュール１２０、１３０、１４０のうちの１つ以上によって実行されることになる１つ以上の動作をスケジューリングするように制御装置１０５は構成され、モジュールのうちの１つ以上によって所望の開始時間に動作が開始できる。特に、例えば、複数のモジュールにおいて動作が同時に開始されるように、または、互いに予め定められた一時的な関連を有する異なる時間で、複数のモジュールにおいて動作が開始されるように、動作の開始の時間を複数のモジュールにおいて調整してもよい。さらに、例えば、第２の動作が第２のモジュールによって開始されると同時に第１のモジュールによって第１の動作が開始されるように、または、互いに予め定められた一時的な関連を有する異なる時間で、第１および第２の動作が第１および第２のモジュールによって開始されるように、異なるモジュールにおける異なる動作の開始の時間を調整してもよい。
【００５１】
［００６０］
この実施形態では、モジュール１２０は、パターンデータをビームレットブランカアレイ１０５０に送信するように適合されているパターンデータストリーマである。ブランカアレイ１０５０の非常に多くのブランキング電極を切り替えて、各ビームレットをブランキングするまたは通過させるための高周波数直列信号であるブランカ信号１０５１を、モジュール１２０からの出力は備えている。モジュール１３０は、ビーム偏向器アレイ１０９０の制御のためのモジュールである。モジュール１３０からの出力は、偏向電圧信号１０９１を備えており、偏向電圧信号１０９１は、ブランキングされていないビームレットの偏向を制御して、点線２０４３、２０４４によって示される偏向領域を通して、ウェーハ２０４６の表面にわたるビームレットを走査し、露光パターン２０４５がウェーハ２０４６上に形成される。モジュール１４０は、ウェーハ２０４６が位置付けられるステージ２０４７の移動を制御するためのモジュールである。各走査の間に、ウェーハ２０４６は、偏向方向２０３９に（おおよそ）垂直な方向２０４９に継続的に移動してもよい（さらなる偏向器がこの連続的な移動を補うように動作することができる）。モジュール１４０からの出力は、ステージ２０４７を移動するためのステージ駆動システムをアクティブ化するための信号を出力する制御装置２０５１への移動信号１３２１を備えている。
【００５２】
［００６１］
ビームレットを偏向させる、ブランキングされていないビームレットを偏向させる、および、ステージを移動する動作は、オーバーレイエラーを最小化するために正確に調整する必要がある。モジュール１２０からのブランカ信号１０５１は、モジュール１３０からの偏向電圧信号１０９１およびモジュール１４０からの移動信号１３２１と正確に合わせなければならない。各走査の間に、ウェーハ上に所望のパターンを形成するために、各ビームレットはブランキングされなければならず、または、まさに走査偏向およびステージ移動がウェーハ上の特定の位置にビームレットを配置するとき、各ビームレットはブランキングされてはならない。非常に多くのビームレットがあるとき、必要とされる精度はより厳しくなる。例えば、百万個のビームレットがある場合、ブランカ信号１０５１は、百万個のパルスを送信して、短い時間期間で百万個のビームレットのブランキングを制御しなければならならず、すべて、偏向電圧信号１０９１および移動信号１３２１と正確に調整される。各走査の間に、ウェーハ上に所望のパターンを形成するために、各ビームレットは、走査偏向およびステージ移動がウェーハ上の特定の位置にビームレットを配置するときの正確な時間において、ブランキングされなければならない、あるいはされてはならない。これは、モジュール１２０、１３０、１４０の間の正確な調整を必要とする。走査の開始において、モジュール１２０におけるビームレットブランキング動作とモジュール１３０におけるビームレット偏向動作とモジュール１４０におけるステージ移動動作はすべて、ブランカ信号１０５１を偏向電圧信号１０９１と移動信号１３２１と合わせるように正確に調整されたタイミングで開始されなければならない。
【００５３】
［００６２］
図４は、本発明を実現するのに適切なモジュール１２０、１３０、１４０と通信する制御装置１０５を有するシステム１００の簡略化された概略例である。モジュール１２０、１３０、１４０と通信する制御装置１０５は、図３を参照して上記で説明した動作を実行してもよいが、これらは、代わりに、または追加的に、リソグラフィシステム中の他の動作を実行してもよい、または、完全に異なる動作を行うために、リソグラフィシステム以外のシステムに適用されてもよい。
【００５４】
［００６３］
制御装置１０５は、第１の通信ネットワーク１１０を介して、１つ以上のモジュール１５０に接続される。制御装置１０５は、個々のモジュール１２０、１３０、１４０（集合的に１５０）によって実行または制御される動作を制御してスケジューリングするように構成され、モジュール１５０は、第１の通信ネットワーク１１０を介して制御装置１０５からの命令を受信して実行できる。この文脈では、動作をスケジューリングすることは、動作の実行を開始するためにモジュールの開始時間を指定することを備えている。示した実施形態は、３つのモジュール１２０、１３０、１４０を含むが、より少ないまたはより多い数のモジュールを制御装置に接続してもよい。
【００５５】
［００６４］
制御装置１０５は、マイクロプロセッサ、マイクロ制御装置、ＡＳＩＣ、フィールドプログラマブルゲートアレイ、あるいは、ソフトウェア、ファームウェアまたはプログラマブルロジックを実行するための類似物のようなプロセッサ１０１、ソフトウェア、ファームウェアまたはプログラマブルロジックおよび／またはデータを記憶するためのメモリ１０２を備えている。制御装置１０５は、第１の通信ネットワーク１１０を通してメッセージおよびデータを送受信するためのネットワーク通信ユニット１０４も備え、（以下でさらに詳細に説明する）クロックユニット１０３も備えてもよい。
【００５６】
［００６５］
モジュール１５０は、同様にそれぞれ、マイクロプロセッサ、マイクロ制御装置、ＡＳＩＣ、フィールドプログラマブルゲートアレイ、あるいは、ソフトウェア、ファームウェアまたはプログラマブルロジックを実行するための類似物のようなプロセッサプロセッサ１２１、１３１、１４１、ソフトウェア、ファームウェアまたはプログラマブルロジックおよび／またはデータを記憶するためのメモリ１２２、１３２、１４２、ならびに、第１の通信ネットワーク１１０を通してメッセージおよびデータを送受信するためのネットワーク通信ユニット１２４、１３４、１４４を備え、（以下でさらに詳細に説明する）クロックユニット１２３、１３３、１４３も備えてもよい。
【００５７】
［００６６］
制御装置１０５は、オペレータ、ホストコンピュータ、または類似物からの入力にしたがって、制御およびスケジューリングを実行してもよい。制御装置に、ディスプレイを含む入力／出力ユニットが接続されてもよい。ネットワーク１１０は、モジュール１５０を有する制御装置１０５と接続する。制御装置１０５は、ネットワーク１１０を通してそれぞれのモジュール１５０に命令を送ることができ、モジュール１５０からネットワーク１１０を通して肯定応答およびログ記録メッセージのようなメッセージを受信することができる。ネットワーク１１０は、ワイヤードまたはワイヤレスネットワークであることができ、双方向性であることができ、または、制御装置１０５とモジュール１５０との間で双方向通信を達成するために２つの一方向ネットワークを備えていてもよい。
【００５８】
［００６７］
システム１００は、２つの時間ベースを使用して動作する。第１の時間ベースは、相対的または絶対的な時間値あるいは第１の時間ベースにしたがう周期的な時間の表示を提供する。第１の時間ベースは、好ましくは、モジュール中の動作をスケジューリングするために使用されるスケジューリングシステムに適した時間スケールに基づいており、日および／または時間および／または分および／または秒および／またはその細区分、あるいは、これらの組み合わせのような、人間のオペレータが容易に理解可能な時間スケールとして都合よく選択されてもよい。例えば、第１の時間ベースは、時間、分、秒、および、秒の細区分で時間を表すために、ｈｈ：ｍｍ：ｓｓ．ｓｓｓｓの形態をとってもよい。第１の時間ベースは、動作を実行するための時間の正確な定義を可能にするように設計される。第１の時間ベースはまた、好ましくは、他の関連するおよび／または関連しないシステム中で実行される動作とシステム１００中で実行される動作の間の調整を可能にする。例えば、第１の時間ベースは、機械をロードおよびアンロードするウェーハおよびウェーハ上の他の動作を実行する機械を有するリソグラフィツールの動作を調整するために、製造工場全体にわたって使用される同じ時間ベースであってもよい。
【００５９】
［００６８］
第２の時間ベースはまた、相対的または絶対的な時間値あるいは周期的な時間の表示を提供するが、好ましくは、第１の時間ベースとは異なる。第２の時間ベースは、モジュールによって実行される動作の正確な調整を可能にするために、時間ベースの複数のモジュールへの分配を可能にするように設計されている。第２の時間ベースは、第１の時間ベースで規定された動作を実行する時間にしたがって、複数のモジュール間の正確な調整を可能にするように設計されている。１つの実施形態では、第２の時間ベースは、高周波数クロック信号から導出されるカウント値である。
【００６０】
［００６９］
１つの実施形態では、制御装置１０５およびモジュール１２０、１３０、１４０はそれぞれ、クロックユニット１３０、１２３、１３３、１４３を有している。クロックユニットは、第１の時間ベースにしたがって、相対的または絶対的な時間値あるいは周期的な表示を提供する。制御装置１０５およびモジュールのクロックユニットは、例えば、同期のための、ＮＴＰプロトコルまたは他の適切なプロトコルあるいはアルゴリズムを使用して、互いに同期してもよい。
【００６１】
［００７０］
制御装置１０５は、それぞれの時間でモジュール１５０のうちの１つ以上によって実行されることになる１つ以上の動作をスケジューリングできる。第１の時間ベースにしたがって提供される第１の開始時間値によって、動作の開始時間を表示することができる。例えば、第１の開始時間値ｔ１＝１ｈ２３ｍ４５ｓ６７８ｍｓで、モジュール１２０の動作ＹＹＹは、開始することになり、制御装置１０５は、ネットワーク１１０を通してモジュール１２０へのスケジューリング命令として、開始時間ｔ１の表示と組み合わせて、動作ＹＹＹの表示を備える命令を送る。レガシーシステムにおいて、そのクロックユニット１２３が開始時間ｔ１に対応する時間を示すとき、モジュール１２０は、動作ＹＹＹを実行することを開始する。
【００６２】
［００７１］
１つの実施形態では、システム１００は、それぞれの周期信号１１６を発生させるマスタークロック１１５を含んでいる。周期信号１１６は、第１の時間ベースとは異なっているか、または、第１の時間ベースと同じ第２の時間ベースにしたがって発生する。周期信号１１６は、周波数、位相または振幅変調された高周波信号、デジタルカウント、マルチレベル信号等のような他の形態をとってもよいが、ここではマスタークロックパルス１１６と呼ばれる。動作は、受信したマスタークロック信号１１６にしたがう時間で、モジュール１２０のうちの１つで開始してもよい。１つの実施形態では、マスタークロック信号１１６は、少なくとも１０ＭＨｚ、好ましくは少なくとも２４ＭＨｚ、より好ましくは少なくとも４９Ｍｈｚの周波数を有するクロックである。クロック信号１１６は、方形波、三角波、正弦波、パルス、または高周波反復信号を送信するのに適した他の何らかの信号であってもよい。マスタークロック１１５は、信号１１６を発生させるための発振器回路または同様の回路を備えていてもよく、図４の実施形態中のように別個のユニットであってもよく、または、制御装置１０５中に組み込まれてもよい。
【００６３】
［００７２］
マスタークロック１１５は、好ましくは、第１のネットワーク１１０とは異なる第２のネットワーク１１２を通して、マスタークロック信号１１６をモジュール１５０に分配する。実施形態では、マスタークロック信号１１６は、第２のネットワーク１１２を通して制御装置１０５にも提供される。第２のネットワーク１１２は、好ましくは、マスタークロック信号１１６のモジュール１２０へのいつも再生可能で実質的に等しい分配遅延を提供するように設計される。マスタークロック１１５とモジュール１５０との間のネットワーク１１２を通した伝播遅延は、好ましくは、最小で、一定であり（経時的に変化しないか、ネットワークトラフィック等のような変数に依存する）、すべてのモジュール１５０に対して実質的に同じである（すなわち、異なるモジュールは、実質的に同時にクロック信号１１６を受信する）。第２のネットワーク１１２は、ワイヤケーブル、光ファイバ、ワイヤレスリンク、またはこれらの組み合わせによって具現化されてもよい。
【００６４】
［００７３］
１つの実施形態では、マスタークロック１１５によって、２つのマスタークロック信号１１６を提供することができる。
【００６５】
［００７４］
モジュール１５０に分配されたマスタークロック信号１１６を使用することにより、分配は再生可能であり、経時的に一定であり、各モジュールは、マスタークロック信号１１６を受信し、受信したマスタークロック信号１１６にしたがって、すなわち、第２の時間ベースにしたがって決定された瞬間に各モジュールで動作を開始することができる。それぞれのモジュールにおいてマスタークロック信号１１６を受信し処理する時間の差により、または、（結果として、マスタークロック信号１１６のモジュールへのより長い伝播時間となる）より長い接続ワイヤの結果として、マスタークロック信号１１６によって提供されるトリガ時間は正確に同じ時間でなくてもよい。各モジュールにおける受信および処理の差は、結果として、各モジュールにおいて、相対的であるが、一定の偏差となる。その後トリガされる動作の開始は、同じ（再生可能な）偏差を有し、結果として、一定の偏差となる。このような一定の偏差は、例えばオーバーレイエラーに影響を与えない。このような一定の偏差はまた、測定され、補われてもよい。
【００６６】
［００７５］
方形波を備える例示的なマスタークロック信号１１６を図７に示す。マスタークロック信号１１６に対して、モジュール１５０によって動作を開始するためのトリガとして使用されてもよいトリガ特性が規定される。例えば、方形波マスタークロック信号のトリガ特性は、クロックエッジ、すなわち、立ち上がりエッジ、立ち下がりエッジ、または立ち上がりエッジおよび立ち下がりエッジの両方であってもよい。例えば、信号の期間毎に一度発生するトリガ特性を有する１０ＭＨｚクロック信号は、結果として、連続するトリガ特性を受信する間の１００ナノ秒の期間となる。高精度方形波信号の立ち上がりエッジは、非常に正確なトリガポイントを提供することができ、これは、約１０００倍の係数で１０ＭＨｚクロック信号から導出されるトリガの解像度を増加させることができ、結果として、トリガ特性のサブナノ秒精度をもたらす。
【００６７】
［００７６］
１つの実施形態では、トリガ特性は、各モジュール、例えばメモリ１２２、１３２、１４２中に提供される。別の実施形態では、トリガ特性は、制御装置１０５またはマスタークロック１１５からモジュール１５０に送られる。さらに別の実施形態では、トリガ特性は制御装置１０５に提供される。ナノ秒の精度を可能にすることもできる他の異なるトリガ特性を使用してもよい。
【００６８】
［００７７］
トリガ特性と組み合わせたマスタークロック信号１１６は、第２の時間ベースを提供する。第２の時間ベースは、好ましくは、モジュール１５０中の動作を開始するための所望の精度と少なくとも同じ時間精度を有する高精度の時間ベースである。マスタークロック信号１１６およびトリガ特性は、モジュール１５０中の動作の、好ましくはナノ秒、好ましくはサブナノ秒の、（相対）同期を可能にする。トリガ特性およびマスタークロック１１５を、レガシーシステムに追加することができ、結果として、好ましくはモジュールのみにおける、いくつかの余分な接続といくつかの小さなソフトウェア適合のみをもたらし、結果として、リソグラフィ装置中の動作の同期化における精度の増加をもたらすことに留意すべきである。
【００６９】
［００７８］
例えば、適切なカウント回路を使用して、マスタークロック信号１１６中のトリガ特性のすべての発生がカウントされる場合、カウント数が第２の時間ベースとなることができる。各モジュール１５０には、カウント回路１３５、１３５、１４５、が設けられてもよい。本発明の範囲内で明らかに、第２の時間ベースを提供する多くの異なる形態を提供することができる。
【００７０】
［００７９］
さらなる実施形態では、トリガ特性は、マスタークロック信号１１６の周波数も備えている。マスタークロック信号１１６の周波数が既知であるとき、モジュール１５０は、第１の時間ベース中の開始時間を、第２の時間ベース中の開始時間に変換できる。
【００７１】
［００８０］
さらなる実施形態では、モジュール１５０中の第２の時間ベースの同期化は、モジュール１５０に分配される同期化（「同期」）信号を使用して達成することができる。１つの実施形態では、同期信号を検出し、各モジュール中の第２の時間ベースをリセットするために、リセットユニット１２６、１３６、１４６が各モジュール中に設けられている。１つの実施形態では、各モジュール中のリセットユニットは、同期信号の検出の際に、各モジュール中で、それぞれのカウント回路１２５、１３５、１４５をリセットするように構成されている。
【００７２】
［００８１］
１つの実施形態では、マスタークロック回路１１５によって同期信号が発生し、第２の通信ネットワーク１１２を介して各モジュールに分配される。代替的に、同期信号は、別個のユニットによって発生してもよい。同期信号は、マスタークロック信号１１６中で偏差（deviation）の形をとってもよい。偏差は、第２のネットワーク１１２を通してクロック信号１１６と共に送られ、各モジュール中のリセットユニット１２６、１３６、１４６によって、偏差が受信され認識されるとき、各モジュール中のリセットカウント回路１２５、１３５、１４５は、ゼロ値にリセットされてもよい。
【００７３】
［００８２］
システム１００の動作を、図５および６で描いた実施形態に関連してさらに説明する。第１の時間ベース中の第１の開始時間値で、モジュール１５０の１つ以上における第１の動作を初期化するための１つの方法を図５中に図示し、以下で説明する。方法は、クロック信号１１６を発生させることを備えている（図５中のステップ４０２）。上記で説明したように、クロック信号は、マスタークロック回路１１５によって発生し、モジュール１５０に分配され、これは、第２の通信ネットワーク１１２を介して達成されてもよい。クロック信号１１６に基づいて、ここでは第２の時間ベースとして呼ばれる時間ベースがモジュール１５０中で発生する（ステップ４０３）。例えば、第２の時間ベースは、モジュール１２０、１３０、１４０のそれぞれのカウント回路１２５、１３５、１４５中のクロック信号から発生するカウント値であってもよい。
【００７４】
［００８３］
（「同期値」と呼ばれる）同期化値を発生し、モジュール１５０に分配する（ステップ４０４)。上記で説明したように、同期信号はまた、マスタークロック回路１１５によって発生してもよく、第２の通信ネットワーク１１２を介してモジュール１５０に分配されてもよい。
【００７５】
［００８４］
同期信号は、組み合わせ信号１１８を形成するために、図７中に示す例によって図示するように、クロック信号１１６と組み合わされてもよい。この例では、方形波クロック信号１１６がマスタークロック１１５によって提供され、第２のネットワーク１１２を通してモジュール１５０に送られる。n番目のサイクルの後、信号中に偏差１１７が生じ、このケースでは、クロック信号１１６は、完全なクロックサイクルに対して「低い」ままである。この偏差は、同期信号１１７であり、これは、クロック信号１１６の一部として現れ、したがって、組み合わせ信号１１８中のクロック信号とともにモジュール１５０に分配される。
【００７６】
［００８５］
第１の同期値および第２の同期値が決定される。第２の同期値は、第２の時間ベース中で決定される（ステップ４０５）。１つの実施形態において、第２の同期値は、第２の時間ベースのリセット値である。第２の時間ベースがカウント値である場合、第２の同期値は、予め定められたカウント値、例えばゼロカウント値であってもよい。これは、各モジュール１２０、１３０、１４０に対するリセット回路１２６、１３６、１４６を構成して同期信号１１７を検出し、同期信号１１７を検出する結果としてモジュールのカウント回路１２５、１３５、１４５をリセットすることによって達成することができる。図７中に例が図示されている。第２の時間ベースに対するトリガ値が、クロック信号の立ち上がりエッジである、例えば、各モジュールのカウンタ１２５、１３５、１４５が、立ち上がりエッジをカウントする場合、カウント値（第２の時間ベース）は、示すように、同期信号１１７が受信されるときに各クロックサイクルをＮまで１つずつ増加させるだろう。次に、カウンタは、リセットし、同期信号を受信した後に初期値から再びカウントアップし始める。このような方法で、第２の同期値は、同期信号１１７を受信することによって決定される第２の時間ベース中の値に対応する。
【００７７】
［００８６］
第１の同期値は、第１の時間ベース中で決定される（ステップ４０６）。第１の時間ベースは、第２の時間ベースとは異なり、上記で説明したように、第１の時間ベースは、時間および／または分および／または秒および／またはその細区分部分で測定されてもよい。第１の時間ベース中の第１の同期値は、第２の時間ベース中の第２の同期値に対応し、すなわち、これらは、同じ事例を表す。第１の同期値は、第１の時間ベース中の同期信号１１７の受信時間に応じて決定されてもよい。
【００７８】
［００８７］
次に、第１の時間ベース中の第１の同期値と開始時間値とに基づいて、第２の時間ベース中の開始トリガ値が決定される（ステップ４１０）。開始トリガ値は、開始時間値と第１の同期値とに基づいて、第１の時間ベース中の相対開始時間を決定することによって決定されてもよい。例えば、相対開始時間は、第１の時間ベース中の第１の同期値と開始時間値との間の差として計算されてもよい。したがって、同期事例は第１の同期値によって表されることから、相対開始時間は、経過した時間として表される開始時間を表す。この例では、開始トリガ値は、第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する第２の時間ベース中の値である。
【００７９】
［００８８］
第２の時間ベースがカウント値を備える場合には、開始トリガ値は、第１の時間ベース中の相対開始時間に対応するカウント値に対応する。例えば、相対開始時間が第１の時間ベースで１０．５秒であり、第２の時間ベースは、１０ＭＨｚクロック信号の立ち上がりエッジを使用するカウント値である場合、相対開始時間は、１０，５００，０００のカウント値に対応し、このカウントは、開始トリガ値を形成する。
【００８０】
［００８９］
次に、関連モジュール中の第２の時間ベースの開始トリガ値と現在の値とに基づいて、モジュール１５０のうちの１つ以上において、第１の動作が初期化される（ステップ４１１）。例えば、関連モジュール内のカウント回路のカウント値が、開始トリガ値と同じであるとき、第１の動作は、初期化されてもよい。
【００８１】
［００９０］
第１の時間ベース中の第１の開始時間値で、モジュール１５０のうちの１つ以上における第１の動作を初期化するための別の方法を図６中に図示し、以下に説明する。この第２の方法は、図５に関して上記で説明した方法と同じ一般的な手順にしたがっており、上記の説明は、図６の方法に対しても適用されるが、以下に説明するようないくつかのバリエーションを有する。ステップ５２０は、制御装置１０５によって実行され、ステップ５２２は、関連するモジュールによって実行されるが、以下に説明するように、いくつかのバリエーションがあってもよい。
【００８２】
［００９１］
クロック信号１１６が発生され、第２のネットワーク１１２を介してモジュール１５０に分配される（図６中のステップ５０２、図５中のステップ４０２と同等）。リセット（同期）信号１１７を発生し、モジュール１５０に分配する（ステップ５０４、ステップ４０４と同等）。
【００８３】
［００９２］
リセット信号１１７を受信すると、制御装置１０５は、リセット時間ｔ０を決定し（ステップ５０６、ステップ４０６と同等）、リセット時間ｔ０は、第１の時間ベースにしたがうリセット時間を示す値または信号である。例えば、第１の時間ベースが標準２４時間のクロック時間である場合、リセット時間ｔ０は、第１の時間ベース中の時間、分、および、秒で、１２：００：００．００００に対応してもよい。制御装置１０５は、例えば、制御装置１０５によってリセット信号１１７が検出されたとき、時間値を記憶することによって、第１の時間ベースにしたがうリセット時間ｔ０への（第２の時間ベースにしたがう信号または値である）リセット信号１１７を検出してもよい。代替的に、リセット時間ｔ０は、最初に決定されることができ、リセット信号１１７は、リセット時間ｔ０に対応するときに、マスタークロック１１５によって（または制御装置１０５によって）送られる。
【００８４】
［００９３］
制御装置１０５は、リセット時間ｔ０をモジュール１５０に送り（ステップ５０７）、モジュール１５０は、リセット時間ｔ０をこれらのメモリに記憶してもよい。代替的に、制御装置１０５は、以下で説明するように、リセット時間ｔ０の代わりに（またはリセット時間ｔ０に加えて）トリガ値を決定して、モジュール１５０のうちの１つ以上に送ってもよい。リセット時間ｔ０は、すべてのモジュール１５０にまたはモジュールのサブセットに送られてもよく、例えば、以下で説明する動作をスケジューリングするために、別々のメッセージとして、または、命令の一部として、送られてもよい。
【００８５】
［００９４］
制御装置１０５は、開始時間ｔ１を決定し、開始時間ｔ１は、モジュール１５０のうちの１つ以上で動作を開始するための、第１の時間ベースにしたがう値または信号である（ステップ５０８、ステップ４０８と同等）。例えば、第１の時間ベースが標準２４時間のクロック時間である場合、開始時間ｔ１は、第１の時間ベース中の１２：００：０８．５０００、例えば、正確には、１２：００：００．００００のリセット時間ｔ０の後の８．５秒に対応してもよい。制御装置は、予め定められた動作スケジュールから、ホストコンピュータシステムの入力から、オペレータの入力から、または、別のソースから、開始時間ｔ１を決定してもよい。
【００８６】
［００９５］
制御装置１０５は、命令を送り（ステップ５０９）、命令は、開始時間ｔ１で動作を開始するようにこれらのモジュールに命令するように、モジュール１５０のうちの１つ以上の関連サブセットにアドレス指定されてもよい。制御装置１０５は、それぞれ同じ開始時間ｔ１を示す異なる命令を送ってもよく、異なるモジュールが同じ開始時間ｔ１で異なる動作を開始するように命令されることができるように、命令は異なるモジュール１５０に送られる。このような方法で、同じ開始時間から開始するように、異なる動作を異なるモジュール１５０で開始できる。モジュール１５０は、これらのメモリ中に開始時間ｔ１を記憶してもよい。
【００８７】
［００９６］
モジュール１５０は、クロック信号１１６を受信し、各モジュール中のカウント回路１２５、１３５、１４５は、クロック信号と関連トリガ特性にしたがってこれらのカウント値をインクリメントする（ステップ５０３、ステップ４０３と同等）。モジュール１５０は、リセット信号１１７も受信し、各モジュール中のリセット回路１２６、１３６、１４６は、各モジュール中のカウント値のリセットをもたらす（ステップ５０５、ステップ４０５と同等）。第１および第２の時間ベースが互いに同期され、第１の時間ベース中の開始時間を第２の時間ベース中のトリガ値に変換できるように、制御装置１０５中の第１の時間ベースをリセットするために使用される同じリセット信号に基づいて、これは、各モジュール１０中の第２の時間ベース（すなわち、各モジュール中のカウント値）をリセットする。
【００８８】
［００９７］
モジュール１５０は、第１の時間ベースにしたがう受信した開始時間ｔ１を、開始トリガとして動作する第２の時間ベースにしたがう値または信号に変換する（ステップ５１０、ステップ４１０と同等）。開始トリガは、好ましくは、リセット信号１１７またはリセット時間ｔ０に関連して決定される。例えば、第１の時間ベースが標準２４時間であり、第２の時間ベースがカウント値である場合、および、開始時間ｔ１はリセット時間ｔ０の後の８．５秒の時間を示す場合、開始時間ｔ１を示す命令によって指定される各モジュールは、リセット時間ｔ０から８．５秒経過したとき、モジュールのカウンタによって蓄積されるであろうカウント値を計算する。
【００８９】
［００９８］
１つの代替実施形態では、制御装置１０５自体は、第１の時間ベース中の開始時間ｔ１に対応する第２の時間ベース中の開始トリガ値ｔ２を決定し、命令中の開始トリガを関連モジュール１２０に送る。この実施形態では、第１の時間ベースから第２の時間ベースへの変換は、制御装置１０５において実行され、モジュールには、第２の時間ベースにしたがう開始トリガ値ｔ２のみが提供される。
【００９０】
［００９９］
関連する１つ以上のモジュール１５０（すなわち、開始時間ｔ１において動作を開始するように命令が指定されたこれらのモジュール）は、開始トリガ値ｔ２に対応するカウント値を累積するようにカウント回路を待ち、制御装置１０５から受信した命令にしたがう関連動作を開始する（ステップ５１１、ステップ４１１と同等）。
【００９１】
［００１００］
リセット時間ｔ０、開始時間ｔ１、および／または開始トリガｔ２は、１つ以上のモジュール中で動作をスケジューリングまたは実行するように、命令の一部としてまたは命令とは別々に送られることができる。
【００９２】
［００１０１］
組み合わせクロックおよび同期信号１１８の別の実施形態が、図８中に図示されている。パルスの形態のクロック信号１１６および同期（リセット）信号１１７は、組み合わせクロック／同期信号１１８を発生させるために、ＸＯＲ演算を使用して組み合わされる。ＸＯＲ組み合わせは、結果として２０１および２０２における反復クロック信号の偏差となる。信号１１８は、点線で概略的に示すように、ネットワーク１１２を通して送信される。モジュール１２０で受信したようなコード化された同期／リセット信号を含む、クロック信号１１６ａおよびコード化された組み合わせ信号１１８ａは、処理および／または送信遅延により、相対的な量シフトされる。しかしながら、この遅延は、大部分は相対的で再現可能である。さらに、第２のネットワーク１１２は、クロック信号のモジュール１５０への送信遅延がモジュール間で類似するように設計されることが好ましく、モジュールは類似クロック処理遅延を経験するように類似して設計されることが好ましい。
【００９３】
［００１０２］
１つの実施形態では、クロック信号１１６と組み合わせクロック／同期信号１１８の両方が、第２のネットワーク１１２を通してモジュール１５０に提供される。組み合わせカウントおよびリセット回路２３５の１つの実施形態が図９中に示されている。この回路２３５は、モジュール１５０についてのカウント回路１２５、１３５、１４５、および、リセット回路１２６、１３６、１４６を形成してもよく、制御装置１０５中にも含まれてもよい。回路２３５は、Ｄ−フリップフロップ２４２とカウンタ２４５とを備えている。カウンタ２４５は、クロック信号１１６を受信し、カウント値２５０を発生させ、カウント値２５０は、それぞれのモジュール１５０のプロセッサ１２１、１３１、１４１への入力であってもよい。Ｄ−フリップフロップ２４２は、（アクティブロー入力に接続されている）クロック信号１１６と組み合わせクロック／同期信号１１８の両方を受信し、信号２４３とカウントリセット信号２４４とを発生させ、これは、ログ記録のために使用されてもよい。カウンタリセット信号２４４は、カウンタ２４５の入力に接続され、結果として、クロック信号１１６中で偏差が発生する場合にカウンタのリセットをもたらす。
【００９４】
［００１０３］
図６中に示すように、ティック数（tick number）２２０は、メトロノーム信号２１０の例示的な番号付けを示す。
【００９５】
［００１０４］
１つの実施形態では、制御装置１０５は、マスタークロック１１５にリセット命令を送るように構成され、これは、以下で説明されるが、図１０中に図示するようなリセット手順を実行する。
【００９６】
［００１０５］
１つの実施形態では、マスタークロック１１５は、第１の時間ベースにしたがうクロック回路１１８を有している。これは、マスタークロック１１５が、第１の時間ベース中のリセット時間ｔ０を計算し、これをモジュール１２０、１３０に送り、第１の時間ベース中のどの時間にリセットが実行されたか示すことができるようにする。
【００９７】
［００１０６］
時間３０２において、リセット要求が送られ、リセット手順３０３が実行される。マスタークロック１１５は、第１の時間ベース中のリセット時間ｔ０＝１３：００：０１．３２６（時間：分：秒）で、リセット信号をモジュール１２０、１３０に送る。リセット手順３０３の一部として、リセット時間がログ記録され、モジュール１２０、１３０に提供されてもよい。それぞれのモジュール１２０、１３０中のカウント回路１２５、１３５は、リセット信号を受信するとリセットされる。
【００９８】
［００１０７］
動作３１６は、モジュール１２０によって実行されることになり、異なる動作３２６は、モジュール１３０によって実行されることになり、両方の動作は第１の時間ベース中の時間ｔ１＝１３：００：０５．０００の時間で開始する。この第１の開始時間は、それぞれの時間ｔｐｒｅｐを消費する、それぞれのモジュール１２０、１３０中のそれぞれの準備動作３１５、３２５を実行するのに必要とされる時間を考慮して、制御装置１０５によって計算され、提供されることができる。
【００９９】
［００１０８］
この例では、マスタークロック信号１１６は、１／１４ＧＨｚの周波数を有する。開始時間ｔ１は、リセット時間ｔ０の３．６７４秒後であることから、カウント回路１１８はマスタークロック信号１１６の周期毎にカウントし、第２の時間ベース中の開始トリガ値ｔ２を計算して、モジュール１２０、１３０に送ることができる。
【０１００】
［００１０９］
１つの実施形態において、開始トリガ値は、ある制約によって制限される。１つの例では、開始トリガ値は、５で割ることができるカウントのみをとることができる。この例では、開始時間ｔ１−リセット時間ｔ０＝３．６７４秒であり、これは、時間ｔ２の開始トリガ値＝２６２，４２８，５７５カウントに対応する。開始トリガ値ｔ２は、第１時間ベース中の開始時間ｔ１と同じ瞬間に対応する。モジュール１２０のカウント回路１２５のカウント値３１９が、リセット時間ｔ０の後、２６２，４２８，５７５（開始時間ｔ１の後の最初のこのようなカウント）に達するとき、動作３１６は、モジュール１２０中で開始する。モジュール１３０のカウント回路１３５のカウント値３２９が、リセット時間ｔ０の後２６２，４２８，５７５に達するとき、動作３２６は、モジュール１３０中で開始される。
【０１０１】
［００１１０］
動作３１６および３２６は、システム中の遅延により正確に同じ瞬間に開始されないかもしれないが、それぞれの動作３１６および３２６を開始する際のこのような遅延は、再現可能であり、これは、例えば、リソグラフィプロセス中のオーバーレイエラーを１．５ｎｍ以下に、好ましくは１ｎｍ以下に低減させるだろう。
【０１０２】
［００１１１］
この実施形態では、マスタークロック１１５または各モジュール１２０、１３０のいずれかは、第１の時間ベース中の開始時間ｔ１を第２の時間ベース中の開始トリガ値ｔ２に変換してもよい。１つの実施形態では、例えば、トリガ（例えば、クロック信号の各立ち上がりエッジ）と組み合わせて、リセット時間および／またはマスタークロック信号１１６の周波数を考慮することによって、各モジュール１２０、１３０中のプロセッサ１２１、１３１は、開始時間を開始トリガ値に変換してもよい。この変換を実行するためのプロセッサは、代替的に、制御装置１０５中にまたはシステムの他の場所に設けられてもよい。１つの実施形態では、リセット時間ｔ０と開始時間ｔ１（ならびにオプション的にマスタークロック信号１１６の周波数および／またはトリガ特性も）を含む変換命令は、モジュールに送信される命令中に含まれる。１つの実施形態では、各モジュール中のプロセッサは、各モジュールによって必要とされるそれぞれの準備時間開始時間ｔｐｒｅｐをさらに考慮して、そのモジュールによって実行されるそれぞれの動作を準備する。
【０１０３】
［００１１２］
図１０の実施形態では、それぞれの動作３１６、３２６の後に各モジュール中のそれぞれのまとめ動作（wrap-up operation）３１７、３２７が続く。図１０の例は、リソグラフィシステムの制御装置１０５に対する変更をせずに、別個のモジュール１２０、１３０における動作３１６、３２６の同期化の精度を増加させる手段を図示している。したがって、先行技術デバイス中のビーム偏向速度が約３８０ｍｍ／ｓであり、これは、結果として０．５／０．３８０ｎｓ＝１．３ｎｓの最大タイミングエラーをもたらすから、０．５ｎｍより低い同期化の結果としてオーバーレイエラーを低減させることが可能である。トリガ特性として立ち上がりエッジを有する１／１４ＧＨｚのクロック信号を使用して、このような精度を得ることができる。
【０１０４】
［００１１３］
本発明の精神および範囲から逸脱することなく、上述したものに加えて、さらなる修正がここで説明した構造および技術になされてもよい。したがって、特定の実施形態について説明してきたが、これらは例にすぎず、本発明の範囲を限定するものではない。
【図１】
2019506006.tif 000003
【図２】
2019506006.tif 000004
【図３】
2019506006.tif 000005
【図４】
2019506006.tif 000006
【図５】
2019506006.tif 000007
【図６】
2019506006.tif 000008
【図７】
2019506006.tif 000009
【図８】
2019506006.tif 000010
【図９】
2019506006.tif 000011
【図１０】
2019506006.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月22日(2018.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の時間ベース中の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するための方法であって、
クロック信号を発生させることと、
前記クロック信号に基づいて、前記第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させることと、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値を決定することと、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値に対応する前記第１の時間ベース中の第１の同期値を決定することと、
前記第１の時間ベース中の前記第１の同期値と前記開始時間値とに基づいて、前記第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定することと、
前記第１のモジュール中の前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第１のモジュール中の前記第１の動作を初期化することと、を備え、
前記第２の時間ベースは、前記第１の時間ベースとは異なる、方法。
【請求項２】
前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から発生したカウント値を備える、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第１の同期値を決定することは、同期信号を発生させることと、前記第１の時間ベース中の前記同期信号の受信の時間に応じて、前記第１の同期値を決定することとを備え、
前記第２の同期値は、前記同期信号の受信によって決定される前記第２の時間ベース中の値に対応する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の同期値を決定し、前記第２の同期値を決定するために使用される単一の組み合わせ信号を形成するように、前記同期信号は、クロック信号と組み合わされる、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記開始トリガ値を決定することは、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定することを備え、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中の値である、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中のカウント値に対応する、請求項２に記載の方法。
【請求項７】
前記カウント値が前記開始トリガ値に対応するとき、前記第１の動作は初期化される、請求項２に記載の方法。
【請求項８】
前記方法は、第２のモジュール中の第２の動作を開始することをさらに備え、
前記クロック信号に基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースを発生させることと、
前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の動作を初期化することとを備える、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備える、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第２の同期値は、前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおけるカウント値のリセットに対応する、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
第１の時間ベース中の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するためのシステムであって、
クロック信号を発生させるクロックと、
前記クロック信号に基づいて、前記第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させるカウント回路と、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値に対応する前記第１の時間ベース中の第１の同期値を決定する第１の回路と、
前記第１の時間ベース中の前記第１の同期値と前記開始時間値とに基づいて、前記第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定する第２の回路とを備え、
前記第１のモジュールは、前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第１のモジュール中の前記第１の動作を初期化する第３の回路を備え、
前記第２の時間ベースは、前記第１の時間ベースとは異なる、システム。
【請求項１２】
前記第２の時間ベースを発生させる回路は、前記クロック信号からカウント値を発生させるためのカウント回路を備える、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記第１の同期値を決定する第１の回路は、前記第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて、前記第１の同期値を決定するように適合され、
前記第２の同期値を決定する第４の回路をさらに備え、前記第１のモジュールによって、前記同期信号の受信により決定される前記第２の時間ベース中の値に対応する前記第２の同期値を決定するように適合されている、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記第２の同期値は、前記カウント回路のリセット値に対応する、請求項１２に記載のシステム。
【請求項１５】
前記開始トリガ値を決定する第２の回路は、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合され、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中の値である、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記開始トリガ値を決定する第２の回路は、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合され、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中のカウント値に対応する、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１７】
カウント値が前記開始トリガ値に対応するとき、前記第１の動作を初期化する第３の回路は、前記第１の動作を初期化するように適合されている、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１８】
前記システムは、第２のモジュール中の第２の動作を開始するようにさらに適合され、
前記システムは、前記クロック信号に基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースを発生させる第５の回路をさらに備え、
前記第２のモジュールは、前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の動作を初期化する第６の回路を備える、請求項１１に記載のシステム。
【請求項１９】
前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備える、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
前記第１のモジュールは、第１のネットワークを介して制御装置に接続されている複数のモジュールのうちの１つであり、前記制御装置は、前記第１のネットワークを介して前記第１の動作を識別する１つ以上の命令を前記第１のモジュールに送信する、請求項１１に記載のシステム。
【請求項２１】
荷電粒子リソグラフィシステムであって、
荷電粒子ビームを生成するための荷電粒子ビーム源と、
前記荷電粒子ビームから複数の荷電粒子ビームレットを生成する開口アレイと、
前記荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするためのブランキング電極を備えるビームレットブランカアレイを含むビーム切り替えモジュールと、
パターンデータを前記ビーム切り替えモジュールに送信するためのパターンデータストリーミングモジュールと、
目標の表面にわたるブランキングされていないビームレットを走査するためのビーム偏向器アレイを含む投射光学モジュールと、
前記目標を運ぶための可動ステージと、
前記可動ステージの移動を制御するためのステージ制御モジュールとを備え、
前記システムは、請求項１１にしたがうシステムをさらに備える、荷電粒子リソグラフィシステム。
【請求項２２】
前記第１のモジュールは、前記ステージ制御モジュールを備え、前記第１の動作は、走査の間、前記ステージの予め定められた移動を備え、
第２のモジュールは、前記投射光学モジュールを備え、第２の動作は、前記目標の表面にわたる前記ブランキングされていないビームレットの予め定められた走査偏向を備え、
第３のモジュールは、前記パターンデータストリーミングモジュールを備え、第３の動作は、前記荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするため、データの予め定められた一部分の前記ビーム切り替えモジュールへの送信を備える、請求項２１に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。
【請求項２３】
前記第１および第２の同期値は、時間的に同じ事例を表す、請求項１に記載の方法。
【請求項２４】
前記第１および第２の同期値は、時間的に同じ事例を表す、請求項１１に記載のシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０４】
［００１１３］
本発明の精神および範囲から逸脱することなく、上述したものに加えて、さらなる修正がここで説明した構造および技術になされてもよい。したがって、特定の実施形態について説明してきたが、これらは例にすぎず、本発明の範囲を限定するものではない。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］  第１の時間ベース中の第１の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するための方法であって、
クロック信号を発生させることと、
前記クロック信号に基づいて、前記第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させることと、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値を決定することと、
前記第２の時間ベース中の前記第２の同期値に対応する前記第１の時間ベース中の第１の同期値を決定することと、
前記第１の時間ベース中の前記第１の同期値と前記開始時間値とに基づいて、前記第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定することと、
前記第１のモジュール中の前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第１のモジュール中の前記第１の動作を初期化することと、を備える方法。
［２］  前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から発生したカウント値を備える、［１］に記載の方法。
［３］  前記第１の同期値を決定することは、同期信号を発生させることと、前記第１の時間ベース中の前記同期信号の受信の時間に応じて、前記第１の同期値を決定することとを備え、
前記第２の同期値は、同期信号の受信によって決定される前記第２の時間ベース中の値に対応する、［１］または［２］に記載の方法。
［４］  前記第１の同期値を決定し、前記第２の同期値を決定するために使用される単一の組み合わせ信号を形成するように、前記同期信号は、クロック信号と組み合わされる、［３］に記載の方法。
［５］  前記開始トリガ値を決定することは、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定することを備え、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中の値である、［１］から［４］のうちのいずれか１項に記載の方法。
［６］  前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中のカウント値に対応する、［２］から［５］のうちのいずれか１項に記載の方法。
［７］  前記カウント値が前記開始トリガ値に対応するとき、前記第１の動作は初期化される、［２］から［６］のうちのいずれか１項に記載の方法。
［８］  前記方法は、第２のモジュール中の第２の動作を開始することをさらに備え、
前記クロック信号に基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースを発生させることと、
前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の動作を初期化することとを備える、［１］から［７］のうちのいずれか１項に記載の方法。
［９］  前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備える、［８］に記載の方法。
［１０］  前記第２の同期値は、前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおける前記カウント値のリセットに対応する、［８］または［９］に記載の方法。
［１１］  第１の時間ベース中の第１の開始時間値で、第１のモジュール中の第１の動作を初期化するためのシステムであって、
クロック信号を発生させるクロックと、
前記クロック信号に基づいて、前記第１のモジュール中で第２の時間ベースを発生させる手段と、
前記第２の時間ベース中の第２の同期値に対応する前記第１の時間ベース中の第１の同期値を決定する手段と、
前記第１の時間ベース中の前記第１の同期値と前記開始時間値とに基づいて、前記第２の時間ベース中の開始トリガ値を決定する手段とを備え、
前記第１のモジュールは、前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第１のモジュール中の前記第１の動作を初期化する手段を備える、システム。
［１２］  前記第２の時間ベースを発生させる手段は、前記クロック信号からカウント値を発生させるためのカウント回路を備える、［１１］に記載のシステム。
［１３］  前記第１の同期値を決定する手段は、前記第１の時間ベース中の同期信号の受信の時間に応じて、前記第１の同期値を決定するように適合され、
前記第２の同期値を決定する手段をさらに備え、前記第１のモジュールによって、同期信号の受信により決定される前記第２の時間ベース中の値に対応する前記第２の同期値を決定するように適合されている、［１１］から［１２］のうちのいずれか１項に記載のシステム。
［１４］  前記第２の同期値は、前記カウント回路のリセット値に対応する、［１２］から［１３］のうちのいずれか１項に記載のシステム。
［１５］  前記開始トリガ値を決定する手段は、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合され、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の前記相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中の値である、［１１］から［１４］のうちのいずれか１項に記載のシステム。
［１６］  前記開始トリガ値を決定する手段は、前記開始時間値と前記第１の同期値とに基づいて、前記第１の時間ベース中の相対開始時間を決定するように適合され、
前記開始トリガ値は、前記第１の時間ベース中の相対開始時間に対応する前記第２の時間ベース中のカウント値に対応する、［１１］から［１５］のうちのいずれか１項に記載のシステム。
［１７］  前記カウント値が前記開始トリガ値に対応するとき、前記第１の動作を初期化する手段は、前記第１の動作を初期化するように適合されている、［１１］から［１６］のうちのいずれか１項に記載のシステム。
［１８］  前記システムは、第２のモジュール中の第２の動作を開始するようにさらに適合され、
前記システムは、前記クロック信号に基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の時間ベースを発生させる手段をさらに備え、
前記第２のモジュールは、前記第２の時間ベースの前記開始トリガ値と現在の値とに基づいて、前記第２のモジュール中の前記第２の動作を初期化する手段を備える、［１１］から［１７］のうちのいずれか１項に記載のシステム。
［１９］  前記第２の時間ベースは、前記クロック信号から前記第１および第２のモジュールのそれぞれにおいて発生したカウント値を備える、［１８］に記載のシステム。
［２０］  前記第１のモジュールは、第１のネットワークを介して制御装置に接続されている複数のモジュールのうちの１つであり、前記制御装置は、前記第１のネットワークを介して前記第１の動作を識別する１つ以上の命令を前記第１のモジュールに送信する、［１１］から［１９］のうちのいずれか１項に記載のシステム。
［２１］  荷電粒子リソグラフィシステムであって、
荷電粒子ビームを生成するための荷電粒子ビーム源と、
前記荷電粒子ビームから複数の荷電粒子ビームレットを生成する開口アレイと、
前記荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするためのブランキング電極を備えるビームレットブランカアレイを含むビーム切り替えモジュールと、
パターンデータを前記ビーム切り替えモジュールに送信するためのパターンデータストリーミングモジュールと、
目標の表面にわたるブランキングされていないビームレットを走査するためのビーム偏向器アレイを含む投射光学モジュールと、
前記目標を運ぶための可動ステージと、
前記可動ステージの移動を制御するためのステージ制御モジュールとを備え、
前記システムは、［１１］から［２０］のうちのいずれか１項にしたがうシステムをさらに備える、荷電粒子リソグラフィシステム。
［２２］  前記第１のモジュールは、前記ステージ制御モジュールを備え、前記第１の動作は、走査の間、前記ステージの予め定められた移動を備え、
前記第２のモジュールは、前記投射光学モジュールを備え、前記第２の動作は、前記目標の表面にわたる前記ブランキングされていないビームレットの予め定められた走査偏向を備え、
第３のモジュールは、前記パターンデータストリーミングモジュールを備え、第３の動作は、前記荷電粒子ビームレットのうちの選択されたものをブランキングするため、データの予め定められた一部分の前記ビーム切り替えモジュールへの送信を備える、［２１］に記載の荷電粒子リソグラフィシステム。
【国際調査報告】
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