(57)【要約】  ガラス製造方法。ガラスシート中の複数の応力値を、上記ガラスシートの複数の位置それぞれにおいて決定する。偏光式ディスプレイが光透過をブロックする状態にあるときに、上記ガラスシートを備える上記偏光式ディスプレイの上記複数の位置において、複数の光漏れ度合いを決定する。決定された上記複数の応力値を、決定された上記複数の光漏れ度合いに基づいて修正する。少なくとも１つの追加のガラスシートをガラスシート製造プロセスにおいて製造し、ここで、上記ガラスシート製造プロセスの少なくとも１つのプロセス条件は、修正された上記複数の応力値に基づいて調整される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）ガラスシートの複数の応力値を前記ガラスシートの複数の位置においてそれぞれ決定するステップ；
ｂ）前記ガラスシートを備える偏光式ディスプレイに関して、前記偏光式ディスプレイが光透過をブロックする状態にある場合に、前記複数の位置における複数の光漏れ度合いをそれぞれ決定するステップ；
ｃ）決定された前記複数の光漏れ度合いに基づいて決定された前記複数の応力値を修正するステップ；及び
ｄ）修正された前記複数の応力値に基づいてガラスシート製造プロセスの少なくとも１つのプロセス条件を調整しながら、前記ガラスシート製造プロセスにおいて少なくとも１つの追加のガラスシートを製造するステップ
を含む、ガラス製造方法。
【請求項２】
前記複数の位置は、位置の複数の集合を含み、前記位置の集合はそれぞれ、前記ガラスシートの長手方向に配設され、
前記決定された応力値は前記位置の集合それぞれにおいて同一である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ステップａ）は、前記位置の集合それぞれにおける前記応力値の平均を算出するステップを更に含み、
前記ステップｃ）は、前記位置の集合それぞれに関する前記平均を、前記位置の集合それぞれにおいて決定された前記応力値として用いて、前記修正を実施する、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記複数の応力値はそれぞれ、前記ガラスシートの長手方向に垂直な平面に対して、前記ガラスシートの長手方向に作用する応力成分の値を含む、請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記複数の位置は、位置の複数の集合を含み、前記位置の集合はそれぞれ、前記ガラスシートの長手方向に配設され、
前記ステップｃ）は：
前記位置の集合それぞれにおいて決定された前記応力値を、平均前の修正済み応力値へと修正するステップ；
前記位置の集合それぞれにおける前記平均前の修正済み応力値の平均を算出するステップ
を含み、
前記ステップｄ）は、前記位置の集合それぞれに関する前記平均を、前記位置の集合それぞれにおける前記修正済み応力値として用いて、前記調整を実施する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記ステップｂ）は、各前記位置及び各前記位置に隣接する少なくとも１つの隣接位置における、前記光漏れ度合いの平均を算出するステップを更に含み、
前記ステップｃ）は、各前記位置の前記平均を、各前記位置において決定された前記光漏れ度合いとして用いて、前記修正を実施する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記ステップａ）は：
ｂ１）前記ガラスシートの前記複数の位置における複屈折データを取得するステップ；及び
ｂ２）前記複屈折データから前記複数の応力値を決定するステップ
を含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記ステップｂ）は：
ｂ１）前記ガラスシートの前記複数の位置における複屈折データを取得するステップ；及び
ｂ２）前記複屈折データから前記複数の光漏れ度合いを決定するステップ
を含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記ステップｃ）は、決定された前記複数の応力値に重みをそれぞれ割り当てることにより、決定された前記複数の応力値を修正し、各前記位置に関する前記重みは、各前記位置において決定された前記光漏れ度合いに応じて変動する、請求項１〜８に記載の方法。
【請求項１０】
ガラスシート製造プロセスにおいてガラスリボンを成形し、その後前記ガラスリボンからガラスシートを分離するよう構成された、製造装置；
前記ガラス製造プロセスの少なくとも１つのプロセス条件を調整するよう構成された、調整装置；及び
制御デバイス
を備える、ガラス製造装置であって、
前記制御デバイスは：
前記ガラスシートの複数の応力値を前記ガラスシートの複数の位置においてそれぞれ決定し；
前記ガラスシートを備える偏光式ディスプレイに関して、前記偏光式ディスプレイが光透過をブロックする状態にある場合に、前記複数の位置における複数の光漏れ度合いをそれぞれ決定し；
決定された前記複数の光漏れ度合いに基づいて、決定された前記複数の応力値を修正し；
修正された前記複数の応力値に基づいて、前記少なくとも１つのプロセス条件を調整するように前記調整装置を制御するよう、構成される、ガラス製造装置。
【発明の詳細な説明】
【優先権】
【０００１】
本出願は、米国特許法第１１９条の下で、２０１６年５月２３日出願の韓国特許出願第１０／２０１６／００６３０４７号の優先権を主張するものであり、上記特許出願の内容は信頼できるものであり、参照によりその全体が本出願に援用される。
【技術分野】
【０００２】
本開示は、ガラスシート中の応力を制御することによりガラスシートの品質を効果的に改善するためのガラス製造方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００３】
液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）は、外部光源と共に使用される非発光ディスプレイデバイスである。ＬＣＤは、外部光源から放出された入射偏光ビームを変調するよう構成できるデバイスである。ＬＣＤ内の液晶（ＬＣ）材料は、入射偏光を光学的に回転させることにより、光を変調する。回転の程度は、ＬＣ材料中の個々のＬＣ分子の機械的配向に対応する。ＬＣ材料の機械的配向は、外部電場の印加により容易に制御される。この現象は、典型的なねじれネマティック（ｔｗｉｓｔｅｄ  ｎｅｍａｔｉｃ：ＴＮ）液晶セルを想定することにより、容易に理解される。
【０００４】
典型的なＴＮ液晶セルは、２つの基板と、上記２つの基板の間に配置された液晶材料の層とを含む。互いに対して９０°に配向された偏光フィルムが、上記基板の外側表面に配置される。入射偏光は、偏光フィルムを通過する際、第１の方向（例えば水平又は垂直方向）に直線偏光される。電場が印加されない場合、ＬＣ分子は９０°のらせんを形成する。入射直線偏光が液晶セルを横断する際、光は液晶材料により９０°回転されて、第２の方向（例えば垂直又は水平方向）に偏光される。光の偏光は、上記螺旋によって回転することによって第２のフィルムの偏光に一致するため、第２の偏光フィルムは光を通過させることができる。電場を液晶層に印加すると、ＬＣ分子の整列が乱され、入射偏光は回転されない。従って、入射偏光は第２の偏光フィルムによってブロックされる。よって上述の液晶セルは、電場の印加により制御される光弁として機能する。当業者はまた、印加される電場の性質に応じて、ＬＣセルを可変光減衰器としても動作させることができることを理解するであろう。アクティブマトリクスＬＣＤ（ＡＭＬＣＤ）は典型的には、数百万の上述のＬＣセルをマトリクス中に含む。
【０００５】
ガラスシートは、溶融ガラスからガラスリボンを成形し、その後切断することによって製造される。このようにして生産されたガラスシートは一般に、例えば上述のようなＬＣＤの前部ガラス基板及び後部ガラス基板として使用するために、小型シートに切断される。残念ながら、親ガラスシートの製造中に親ガラスシートの中に固定され得る応力は、親ガラスシートの切断後に、上記小型シートのゆがみをもたらし得る。このゆがみは、シートのサイズが増大するにつれて悪化する。上記小型シートのこのようなゆがみは、上記小型シートから製作されたＬＣパネルにおいて光漏れを引き起こす場合があり、これは、例えばスクリーン上に無色又は白色が局所的に出現するといった、スクリーンの欠陥をもたらす。更に、残留応力は、ＬＣＤの前部ガラス基板と後部ガラス基板との間の寸法の差異を引き起こす場合がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って、ガラスシートの残留応力を低減する方法が必要である。
【０００７】
本開示の様々な態様は、ガラスシートの品質を効果的に改善することを意図したものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
ある態様によると、ガラス製造方法は：ａ）ガラスシートの複数の応力値を上記ガラスシートの複数の位置においてそれぞれ決定するステップ；ｂ）上記ガラスシートを備える偏光式ディスプレイに関して、上記偏光式ディスプレイが光透過をブロックする状態にある場合に、上記複数の位置における複数の光漏れ度合いをそれぞれ決定するステップ；ｃ）決定された上記複数の光漏れ度合いに基づいて、決定された上記複数の応力値を修正するステップ；及びｄ）修正された上記複数の応力値に基づいて、ガラスシート製造プロセスの少なくとも１つのプロセス条件を調整しながら、上記ガラスシート製造プロセスにおいて少なくとも１つの追加のガラスシートを製造するステップを含んでよい。
【０００９】
別の態様によると、ガラス製造装置は：ガラスシート製造プロセスにおいてガラスリボンを成形し、その後上記ガラスリボンからガラスシートを分離するよう構成された、製造装置；上記ガラス製造プロセスの少なくとも１つのプロセス条件を調整するよう構成された、調整装置；及び制御デバイスを含んでよい。上記制御デバイスは：上記ガラスシートの複数の応力値を上記ガラスシートの複数の位置においてそれぞれ決定し；上記ガラスシートを備える偏光式ディスプレイに関して、上記偏光式ディスプレイが光透過をブロックする状態にある場合に、上記複数の位置における複数の光漏れ度合いをそれぞれ決定し；決定された上記複数の光漏れ度合いに基づいて、決定された上記複数の応力値を修正し；修正された上記複数の応力値に基づいて、上記少なくとも１つのプロセス条件を調整するように上記調整装置を制御するよう、構成される。
【００１０】
本開示によると、ガラスシートの品質を効果的に改善できる。
【００１１】
本開示の方法及び装置は、本明細書に組み込まれた添付の図面及び以下の「発明を実施するための形態」から明らかとなるか、又はこれらに詳細に記載される、他の特徴及び利点を有し、上記図面及び「発明を実施するための形態」は合わせて、本開示の特定の原理を説明する役割を果たす。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本開示の態様による例示的なガラス製造装置の概略図
【図２】図１の線２−２に沿った、装置の成形用容器の断面図
【図３】図１の成形用容器から引き出されるガラスリボンの概略図
【図４】ガラスシートを通過する光の複屈折データを測定するためのデバイスの概念図
【図５】ガラスシートの光漏れ度合いを取得する方法の概略図
【図６】修正前のガラスシートの応力値のマップ及び光漏れ度合いのマップ
【図７】ガラスシート中の修正済み応力値を取得する方法の概略図
【図８】本開示のある実施形態における、修正済み応力値に基づいて温度分布を調整した結果の概略図
【図９】本開示のある実施形態における、修正済み応力値に基づいて温度分布を調整した結果と、従来の方法における、応力値に基づいて温度分布を調整した結果との比較
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本開示の例示的実施形態を詳細に説明する。これらの例示的実施形態の例は、本開示が関係する当業者が本開示を容易に実施できるように、添付の図面に示され、以下に説明される。
【００１４】
この文書全体を通して、図面を参照するものとし、上記図面では、同一の又は同様の構成要素を指すために、同一の参照番号及び記号を使用する。以下の説明において、本明細書に組み込まれる公知の機能及び構成要素の詳細な説明は、これを含めることにより本開示の主題が不明瞭になる場合は、省略する。
【００１５】
ガラス製造装置を、ガラスシートを製造するために提供できる。本開示におけるガラス製造装置は、製造装置、調整装置及び制御デバイスを含んでよい。上記製造装置は、ガラスシート製造プロセスにおいてガラスリボンを成形し、その後上記ガラスリボンから少なくとも１枚のガラスシートを分離するよう構成される。上記製造装置は、以下に図１〜３を参照しながら更に詳細に説明するフュージョンドロー装置１０１を含んでよい。上記調整装置は、ガラス製造プロセスの少なくとも１つのプロセス条件を調整するよう構成される。上記調整装置は、以下に図２及び３を参照しながら更に詳細に説明する温度調整装置２２１を含んでよい。
【００１６】
図１は、フュージョンドロー装置１０１を概略的に示しているが、更なる例では、アップドロー、スロットドロー又は他のガラス成形技法を、本開示の態様と共に用いてよい。このようなフュージョンドロープロセス技法を用い、本開示は、複数の温度調整要素の動作を独立して調整することにより、ガラスリボンの少なくとも周期的な、例えば連続的な熱応力補償を提供する。例えば、上記複数の温度調整要素に供給される動力の調整は、ガラスリボンが以下で更に詳細に説明される弾性領域に入る際に、応力プロファイルがリボンの中に固定される前にガラスリボン中の応力を制御するのを支援できる。従って、本開示の加工技法により、横方向応力プロファイルの微調整を達成して、応力集中及び／又は結果としてもたらされる光学的不連続を回避できる。
【００１７】
装置１０１は、貯蔵用蓋付き容器１０９からバッチ材料１０７を受け取るよう構成された溶融用容器１０５を含むことができる。バッチ材料１０７は、モータ１１３によって動力供給されるバッチ送達デバイス１１１によって導入できる。任意のコントローラ１１５は、矢印１１７で示すように、所望量のバッチ材料１０７を溶融用容器１０５に導入するためにモータ１１３を起動するよう構成できる。金属プローブ１１９を用いて、スタンドパイプ１２３内の溶融ガラス１２１の液位を測定して、測定した情報を、通信ライン１２５によってコントローラ１１５に通信できる。
【００１８】
フュージョンドロー装置１０１はまた、溶融用容器１０５の下流に配置され、第１の接続管１２９によって溶融用容器１０５に連結された、清澄用管等の清澄用容器１２７も含むことができる。撹拌チャンバ等の混合用容器１３１もまた、清澄用容器１２７の下流に配置でき、送達用容器１３３は混合用容器１３１の下流に配置してよい。図示されているように、第２の接続管１３５は清澄用容器１２７を混合用容器１３１に連結でき、第３の接続管１３７は混合用容器１３１を送達用容器１３３に連結できる。更に図示されているように、下降管１３９は、溶融ガラス１２１を送達用容器１３３からドロー装置に送達するよう位置決めできる。図示したフュージョンドロー機械１４０を含むフュージョンドロー装置１０１は、以下に更に詳細に説明するように、溶融ガラスをガラスリボンへとドロー加工するよう構成される。一例では、フュージョンドロー機械１４０は、溶融ガラスを下降管１３９から受け取るためのインレット１４１を備える成形用容器１４３を含むことができる。
【００１９】
図示されているように、溶融用容器１０５、清澄用容器１２７、混合用容器１３１、送達用容器１３３、及び成形用容器１４３は、フュージョンドロー装置１０１に沿って直列に配置してよい溶融ガラスステーションの例である。
【００２０】
図２は、図１の線２−２に沿った、フュージョンドロー装置１０１の断面斜視図である。図示されているように、成形用容器１４３は成形用ウェッジ２０１を含み、これは、成形用ウェッジ２０１の対向する端部間に延在する、下方に傾斜した成形用表面部分２０３、２０５のペアを備える。下方に傾斜した成形用表面部分２０３、２０５のペアは、ドロー方向２０７に集束して基部２０９を形成する。ドロー平面２１１は基部２０９を通って延在し、ガラスリボン１０３は、ドロー平面２１１に沿ってドロー方向２０７に引き出すことができる。図示されているように、ドロー平面２１１は基部２０９を二等分できるが、ドロー平面２１１は基部２０９に対して他の配向で延在してもよい。
【００２１】
ガラスリボンをフュージョンドロー加工するためのフュージョンドロー装置１０１はまた、少なくとも１つの縁部ローラ組立体を含んでよく、これは、リボンを成形用ウェッジ２０１の基部２０９から引き出す際に、ガラスリボン１０３の対応する縁部１０３ａ、１０３ｂを係合させるよう構成される。上記縁部ローラのペアにより、ガラスリボンの縁部の適切な仕上げが容易になる。縁部ローラ仕上げは、下方に傾斜した成形用表面部分２０３及び２０５のペアに関連する縁部配向器２１２の対向する表面から引き出される溶融ガラスの縁部部分の、所望の縁部特性及び適切な融合を提供する。図２に示すように、第１の縁部ローラ組立体２１３ａは第１の縁部１０３ａに関連する。図３は、ガラスリボン１０３の第２の縁部１０３ｂに関連する第２の縁部ローラ組立体２１３ｂを示す。各縁部ローラ組立体２１３ａ、２１３ｂは互いと略同一であってよいが、更なる例では縁部ローラの別の複数のペアは異なる特性を有してよい。図１に示すように、ガラスリボン１０３の縁部１０３ａ、１０３ｂが形成されると、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」が、縁部１０３ａと１０３ｂとの間に、ドロー方向２０７に対して略垂直な方向に画定される。
【００２２】
図３に示すように、フュージョンドロー装置１０１は更に、ガラスリボン１０３をドロー平面２１１のドロー方向２０７に引き出すのを容易にするために、各縁部１０３ａ、１０３ｂのための第１のプルロール組立体３０１ａ及び第２のプルロール組立体３０１ｂを含むことができる。
【００２３】
フュージョンドロー装置１０１は更に、ガラスリボン１０３を別個の複数のガラスシート３０５へと切断できる切断デバイス３０３を含むことができる。ガラスシート３０５を、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等の様々なディスプレイデバイスに組み込むために、個々のガラスシートへと細分化してよい。切断デバイスとしては、レーザデバイス、機械的スコーリングデバイス、移動式アンビル機械、及び／又はガラスリボン１０３を別個の複数のガラスシート３０５へと切断するよう構成された他のデバイスが挙げられる。
【００２４】
図２を参照すると、一例として、溶融ガラス１２１は、成形用容器１４３のトラフ２１５に流れ込むことができる。次に溶融ガラス１２１は、対応する堰２１７ａ、２１７ｂを同時に越えて流れ、対応する堰２１７ａ及び２１７ｂの外側表面２１９ａ、２１９ｂを下向きに流れ落ちることができる。続いて溶融ガラスの各流れは、下方に傾斜した成形用表面部分２０３及び２０５に沿って、成形用容器１４３の基部２０９へと流れ、ここで流れが集束し、融合してガラスリボン１０３となる。次にガラスリボン１０３は、ドロー方向２０７に沿ってドロー平面２１１の基部２０９から引き出される。
【００２５】
図３に移ると、ガラスリボン１０３は、基部２０９から、ドロー平面２１１のドロー方向２０７に、粘性ゾーン３０７から硬化ゾーン３０９へと引き出される。硬化ゾーン３０９では、ガラスリボン１０３は、粘性状態から、所望の断面プロファイルを有する弾性状態に硬化される。上記ガラスリボンは続いて、硬化ゾーン３０９から弾性ゾーン３１１へと引き出される。弾性ゾーン３１１では、粘性ゾーン３０７からのガラスリボンのプロファイルは、ガラスリボンの特性として固定される。硬化したリボンは、この構成から離れるように曲げてよいが、内部応力により、ガラスリボンは元の硬化済みプロファイルに戻るよう付勢され得る。
【００２６】
図２〜３に示すように、ガラスリボン１０３を生産するための装置のうちのいずれは、温度調整装置２２１を含むことができる。例えば、図２に示すように、温度調整装置２２１は、ドロー方向２０７を例えば垂直に横切って延在する少なくとも１つの温度調整軸に沿った各側方位置２２５に位置決めできる、複数の温度調整要素２２３を含むことができる。
【００２７】
図示されているように、温度調整装置２２１は、上記少なくとも１つの軸を、第１の温度調整軸２２７ａ及び第２の温度調整軸２２７ｂとして提供できるが、更なる例では単一の又は３つ以上の温度調整軸を提供してよい。図示されているように、第１の温度調整軸２２７ａ及び第２の温度調整軸２２７ｂはそれぞれ、略真っ直ぐな軸を含むことができるが、更なる例では湾曲した又は他の軸形状を提供してよい。なお更に、第１の軸２２７ａ及び第２の軸２２７ｂは、互いに対して略平行であるが、更なる例ではこれらの軸は互いに対して角度をなしていてもよい。
【００２８】
上記温度調整軸は、ガラスリボンに対して様々な高さで配置してよい。例えば、図２及び３に示すように、第１の温度調整軸２２７ａ及び第２の温度調整軸２２７ｂは、硬化ゾーン３０９内に配置される。更に又はあるいは、更なる例では、各温度調整軸又は少なくとも１つの温度調整軸を、粘性ゾーン３０７及び／又は弾性ゾーン３１１内に配置してよい。
【００２９】
上述したように、図２に示すように、複数の温度調整要素２２３を各側方位置２２５に配置でき、ここで上記温度調整要素は、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」に沿ったガラスリボン１０３の横方向温度プロファイルを調整するよう構成される。図２に示すように、各温度調整軸上の複数の温度調整要素２２３はそれぞれ、各温度調整軸に沿って直列に、互いから離間していてよい。例えば、図２に示すように、温度調整要素２２３のうちの１つを、ガラスリボン１０３の縁部１０３ａからの距離「Ｌ１」である側方位置２２５に配置してよく、隣接する温度調整要素２２３を距離「Ｌ１」より長い縁部１０３ａからの距離「Ｌ２」に配置してよい。いくつかの例では、温度調整要素２２３は、ガラスリボンの幅「Ｗ」に沿って、互いから等間隔に離間させて配置してよい。いくつかの例では、温度調整要素を、ガラスリボンの縁部１０３ａ、１０３ｂに対して異なる距離で配置してよい。例えば、温度調整要素２２３を共に、ガラスリボン１０３の中央領域よりも縁部１０３ａ及び１０３ｂにより近接させて配置してよく、これによりガラスリボンの縁部において、中央部分よりも良好な熱伝達が可能となる。
【００３０】
図示されているように、温度調整要素２２３を、一列に、互いから離間させて配置できるが、更なる例では温度調整要素のマトリクスを提供してよい。図示されているように、温度調整要素２２３を互いに略同一とすることもできるが、更なる例では、異なるサイズを有する要素又は異なるタイプの要素を用いてよい。例えば、一例では、温度調整要素のサイズ及び／又はタイプを、ガラスリボンの中央部分よりも縁部に対して良好な熱伝達を可能とするよう設計してよい。一例では、温度調整要素２２３は加熱コイルを備えることができ、上記加熱コイルを通過する電流からの電気抵抗によって熱が生成される。
【００３１】
これもまた図３に示すように、ガラス製造装置は更に、制御デバイス３２３を含むことができる。上記制御デバイスは、コントローラ３２５及び応力センサ装置３１３を含んでよい。制御デバイス３２３は、少なくとも１つのプロセス条件を調整するよう、調整デバイスを制御する。
【００３２】
応力センサ装置３１３は、ガラスシート３０５の応力特性を測定するよう構成される。センサ要素３１７は、ガラスシート３０５の複数の位置における応力を感知するよう適合された様々な構成を有することができる。一例では、応力センサ装置３１３は、偏光を用いて複数の位置における応力を決定するよう構成されたデバイスを含んでよい。このような例により、偏光を用いて、ガラスシートを破壊することなく応力特性を決定できる。
【００３３】
制御デバイス３２３は、以下で更に説明するような、ガラスの修正済み応力特性情報に基づいて温度調整要素２２３の動作を独立して調整することによる、ガラスリボン１０３の少なくとも周期的な、例えば連続的な熱応力補償のために構成される。
【００３４】
コントローラ３２５は、複数の温度調整要素２２３及び応力センサ装置３１３と通信できる。例えば、図示されているように、応力センサ装置３１３を、通信ライン３２９によってコントローラ３２５と通信できるよう配置できる。同様に、温度調整軸２２７ａ、２２７ｂに関連する複数の温度調整要素２２３を、それぞれの通信ライン３３１、３３３によってコントローラ３２５と通信できるよう配置できる。
【００３５】
一例では、制御デバイス３２３は、動力調整と、これに対応するガラスシートの修正済み応力特性に対する影響との関係をリスト化したデータベースを含むことができる。例えば、上記データベースは、以前の動力調整、及びこれに対応する修正済み応力特性に対して観察された影響の固定リストに基づくことができる。一例では、データベースは固定されており、このデータベースを今後の動力調整のために用いて、ガラスリボン内の修正済み応力を補償してよい。更なる例では、データベースは動的であってよく、データベースを経時的にアップデートして新しいデータを含めてよい。例えば、温度調整要素の動作の調整後の修正済み応力特性情報に基づいて、動力調整と、これに対応するガラスシートの修正済み応力特性に対する影響との関係を適合させるよう、データベースを構成してよい。
【００３６】
他の例では、制御デバイス３２３は、動力調整を論理的に実施して、ガラスリボン１０３の修正済み応力特性を最小化できる。例えば、温度調整要素の動力の変化と、結果として得られるガラスリボン内の修正済み応力との関係の数理モデルを用いて、動力調整を実施できる。
【００３７】
更なる例では、制御デバイス３２３は任意に、ファジー論理コントローラを組み込むことができるが、更なる例では他の制御デバイスを使用してよい。
【００３８】
いくつかの例では、応力センサ装置３１３を、全てではないガラスシート３０５の応力特性情報を周期的に測定するよう設計してよい。例えば、測定プロセスがガラスシートを損傷又は破壊する場合は、全てではないガラスシート３０５の応力特性情報を周期的に測定することは望ましい場合がある。このような例では、十分な枚数のシートを上述のように周期的に検査して、ガラスシートの破壊的試験による材料の浪費を最小化しながら、応力特性情報の変化に対応できる。一例では、少なくとも１枚のガラスシートを、２４時間毎、例えば４時間毎、例えば１時間毎に測定してよい。更なる例では、６０枚のガラスシートから少なくとも１枚のガラスシート、例えば２４０枚のガラスシートから少なくとも１枚のガラスシート、例えば１４４０枚のガラスシートから少なくとも１枚のガラスシートを測定してよい。更なる例では、ガラスシートの他のパーセンテージ、又はガラスシートの測定と測定との間の他の時間を、特定の用途に基づいて選択してよい。
【００３９】
これより、ガラスシートの修正済み応力値を得るための方法について、図４〜７を参照しながら十分に説明する。上記方法は：ａ）ガラスシートの複数の応力値をガラスシートの複数の位置においてそれぞれ決定するステップ；ｂ）上記ガラスシートを備える偏光式ディスプレイに関して、上記偏光式ディスプレイが光透過をブロックする状態にある場合に、上記各複数の位置における複数の光漏れ度合いを決定するステップ；及びｃ）決定された上記複数の光漏れ度合いに基づいて決定された上記複数の応力値を修正するステップを含んでよい。
【００４０】
図４は、ガラスシートを通過する光の複屈折データを測定するためのデバイスの概念図である。図４に示すように、光源１１が放出する光は、４５°直線偏光子１２を通過し、続いて０°光弾性変調器１３を通過する。０°光弾性変調器１３を通過する間、光の位相は光の周波数に応じて変化する。位相が変化した光はガラス試料１４を通過し、その間に光の偏光はガラス試料１４の内部応力に応じて変化する。偏光が変化した光の一部分は鏡１５及び−４５°直線偏光子１６を通過し、その後その輝度が第１の輝度センサ（光ダイオード）１７によって測定される。上記偏光が変化した光の他の部分は、鏡１５から反射されて０°直線偏光子１８を通過し、その後その輝度が第２の輝度センサ（光ダイオード）１９によって測定される。上記光の遅延及び方位角は、測定された上記輝度値から、ミュラー行列を用いて算出される。当業者には、本実施形態による光の遅延及び方位角を、図４に示したデバイスのみを用いて測定する必要はないことが明らかであろう。寧ろ図４は、ガラスシートの光の遅延及び方位角を測定するための例示的な方法を示す例にすぎず、遅延及び方位角は他の公知の方法を用いて測定してよい。
【００４１】
ガラスシートの応力値は、光がガラスシートを通過する際に応力により生じる透過光の遅延及び方位角を測定し、上記遅延及び上記方位角を応力値に変換することによって得ることができる。
【００４２】
まず、ガラスシートを通過する光の遅延及び方位角θを、ガラスシートの複数の位置において取得する。
【００４３】
以下の式１は、光の遅延と主応力との関係を表す。複数の主応力値間の差異は、以下の式１を用いて算出できる。
【００４４】
【数１】
2019522612.tif 000003
【００４５】
応力成分τｘｙは以下の式２を用いて算出される。
【００４６】
【数２】
2019522612.tif 000004
【００４７】
応力成分σｘｘ及びσｙｙは、以下の式３の偏微分方程式からτｘｙを用いて算出できる。
【００４８】
【数３】
2019522612.tif 000005
【００４９】
温度差によって形成されるほとんどの残留応力は、ｙ方向に垂直な平面に対してｙ方向に作用するσｙｙであり、応力制御は主にσｙｙに対して実施してよい。
【００５０】
本実施形態によるガラスシートは、ドロープロセス（ダウンドロープロセス、アップドロープロセス等）によって製作できる。ここで、上記ガラスシートの長手方向（ｙ方向）は単純に垂直方向を指すのではなく、ドロープロセスにおけるドロー方向を指す。例えば、ダウンドロー又はフュージョンプロセスでは、上記ガラスシートの長手方向（ｙ方向）は垂直方向であり、上記ガラスシートの横方向（ｘ方向）は水平方向である。更に、フロートプロセスでは、上記ガラスシートの長手方向は水平方向である。
【００５１】
図５は、ガラスシートの複数の光漏れ度合いＬ２を取得する方法を概略的に示す。図５を参照すると、上述したように電場をＬＣ層に印加した場合、理論的には、バックライトからの光はＬＣパネルを通過できない。しかしながら実際には、比較的小さい切断済みシートはガラスシートの応力によるゆがみを受ける場合があり、このゆがみによって光漏れが生じ得る。
【００５２】
「光漏れ度合い（ｌｉｇｈｔ  ｌｅａｋａｇｅ  ｄｅｇｒｅｅ）」は、ＬＣパネルが光透過がブロックされた状態にあるときの、ＬＣパネルを通過する光の量を示す。この光漏れ度合いは、物理的に、又は遅延データＲ１及び方位角データを光漏れ度合いに変換することにより、決定できる。
【００５３】
ＴＮパネルの偏光条件における光漏れ度合いは、以下の式４で表現される。
【００５４】
光漏れ度合い＝２ｓｉｎ２（θ）ｃｏｓ２（θ）（１−ｃｏｓ（遅延））（４）
好適な測定を用いて、複数の光漏れ度合いＬ２に含まれ得るノイズを除去してよい。例えば、まず、一連の複数の位置における複数の光漏れ度合いＬ１を、遅延データＲ１及び方位角データを光漏れ度合いＬ１に変換することにより決定する。次に、各位置における及び隣接する位置におけるガラスシートの光漏れ度合いの平均値を決定し、この平均値を各位置に関する光漏れ度合いＬ２と呼ぶ。例えば、図２に示すように、９点移動ウィンドウ２１内の中心点における光漏れ度合いＬ１と、上記中心点と取り囲む隣接する８点における光漏れ度合いＬ１との平均値を、上記中心点における光漏れ度合いＬ２として決定してよい。
【００５５】
図６は、修正前のガラスシートの応力値Ｓ２のマップ及び光漏れ度合いＬ２のマップを示す。
【００５６】
図６を参照すると、単一の長手方向ラインに沿った複数の位置の集合それぞれにおける応力値Ｓ２は同一であると想定してよく、上記長手方向ラインは、ガラスシートの長手方向に延在する概念上のラインである。いくつかの実施形態では、上記長手方向ライン上の複数の位置の集合それぞれにおけるガラスシートの応力値を得ることができ、その後これらの応力値の平均値を、複数の位置の集合それぞれに関する応力値Ｓ２として相関させることができる。
【００５７】
いくつかの実施形態では、ある特定の位置における光漏れの度合いは、上記特定の位置における応力の値に比例しない場合がある。よって、光漏れにかかわらず、ガラスシートにおける応力の全ての値を単純に制御することは効果的でない場合がある。寧ろ、多量の光漏れを誘発する応力の量を選択的に制御することが、ガラスシートの品質の改善においてより効果的となり得る。いくつかの実施形態では、上述したように、ガラスリボンの幅に沿った横方向温度プロファイルを選択的に制御することによって、少量の光漏れしか誘発しない他の応力を制御することなく、このような多量の光漏れを誘発する応力の量を低減してよい。
【００５８】
ダウンドロー、フロート又は他のガラス加工によって製造されたガラスシートにおける光漏れのいくつかの原因としては、場合によって水平方向又は垂直方向の温度差による応力の生成、及び外力によって物理的に誘発された温度差による応力の生成が挙げられる。例えばダウンドロー加工において、熱履歴は理論上、垂直方向（ガラスシートの長手方向）又はドロー方向において同一であるはずである。よって、本明細書に記載のいくつかの実施形態は、シート成形ゾーンにおける水平温度プロファイルを自動的に制御することにより、水平方向（ガラスシートの横方向）の温度差による応力を制御できる。しかしながら実際の製作現場では、設備内でのシートの移動及び流れの変化によって局所的な温度差が引き起こされ得る。よって、垂直方向の応力の値は均一でない場合があり、島の形態の高い値の応力が局所的な領域に集中し得る。
【００５９】
従来、ガラスシートを製作するプロセスでは、水平温度を応力（σｙｙ）プロファイルＳ２に基づいて調整できる。しかしながら、図６に点線で描かれた楕円を比べると、低い値のσｙｙは高い度合いの光漏れを示す位置に出現し得ることが観察できる。よって、従来の方法を用いると、光漏れ度合いの改善の効果はわずかなものとなり得る。
【００６０】
いくつかの実施形態では、局所的な高い度合いの光漏れに対処するために、σｙｙプロファイルを、光漏れの度合いに応じてσｙｙプロファイルに重みを割り当てることにより修正してよく、その後、修正された上記σｙｙプロファイルを制御してよく、これによって光漏れの度合いを低減する効果を改善できる。
【００６１】
図７は、ガラスシートにおける平均修正済み応力値ＭＳ２を得る方法を概略的に示す。図７を参照すると、いくつかの実施形態は、外的影響及びダウンドロー加工におけるプロセスの変更によって引き起こされる島形状の局所的な光漏れの集中を低減するために、データフィルタリング及び処理スキームを提供できる。
【００６２】
例として、平均前の修正済み応力値ＭＳ１を、光漏れの度合いＬ２に応じて異なる重みＷを応力の値Ｓ２に割り当てることにより取得できる。例えば、複数の光漏れの度合いＬ２のうちの、ある特定の光漏れの度合いを、閾値として設定できる。光漏れの度合いＬ２が上記閾値より低い位置は０の重みＷを割り当てられることになり、光漏れの度合いＬ２が上記閾値以上である位置は１の重みＷを割り当てられることになる。続いて、応力の値Ｓ２に適切な重みＷを乗じることによって、平均前の修正済み応力値ＭＳ１を取得できる。
【００６３】
いくつかの実施形態では、光漏れの度合いＬ２が上記閾値より低い位置には０の重みＷを割り当てることができ、光漏れの度合いＬ２が上記閾値以上である位置には、光漏れの度合いＬ２に比例する重みＷを割り当てることができる。続いて、平均前の修正済み応力値ＭＳ１を、応力の値Ｓ２に適切な重みＷを乗じることによって取得できる。
【００６４】
ガラスシートのこれらの平均前の修正済み応力値ＭＳ１を取得した後、各長手方向ライン上の複数の位置における平均前の修正済み応力の値ＭＳ１の平均値を算出することによって、平均修正済み応力値ＭＳ２を取得できる。修正済み応力ＭＳ２の値に基づいて、ガラスシートを製作するプロセスを修正すると、高い度合いの光漏れを有する領域における応力制御をより効果的に実施できる。これを用いて光漏れの集中を低減できる。
【００６５】
これより、図８及び９を参照して、修正済み応力値に基づいて温度分布を調整する方法を説明する。
【００６６】
図８は、本開示のある実施形態における、修正済み応力値ＭＳ２に基づいて温度分布を調整した結果を概略的に示し、修正済み応力は、図７の上述の方法を用いて取得したものである。図８を参照すると、本明細書に記載の実施形態に従って製作されたガラスシートにおいて、左の画像は応力Ｓ２のマップ及び修正前の光漏れの度合いＬ２のマップを示し、中央の画像は修正済み応力ＭＳ２のマップを示し、右の画像は応力Ｓ１２のマップ及び光漏れの度合いＬ１２のマップを概略的に示す。
【００６７】
図８において観察できるように、高い度合いの光漏れに関連する応力ＭＳ２を適切に制御した後、応力プロファイルＳ１２を高い度合いの光漏れＬ１２を示す位置において有意に減少させることができる。
【実施例】
【００６８】
光漏れの度合いを低減するいくつかの実施形態を試験するために、評価を実施した。以下の表１から明らかとなるように、本明細書に記載の例示的な方法の応用により、数週間にわたり２つのガラスシート製作ラインで製作されるガラスシートの光漏れＬ１２の最大度合いの平均及び分布を有意に低減できるが、従来の応力制御方法は、光漏れＬ２２の島形状の局所的な集中を低減する能力が限られていた。例示的実施形態を用いると、発生した光漏れＬ１２の度合いに基づいて応力プロファイルＭＳ２を得て、この応力プロファイルＭＳ２を光漏れの制御に応用することにより、光漏れＬ１２の集中を有意に低減できた。
【００６９】
【表１】
2019522612.tif 000006
【００７０】
図９は、本開示のある実施形態における、修正済み応力値ＭＳ２に基づいて温度分布を調整した結果と、従来の方法で応力値Ｓ２に基づいて温度分布を調整した結果との比較の図示である。図９に示すように、従来技術の応力制御方法で製造されたガラス基板の光遅延マップＲ２２（光の最大遅延：１．２６）及び光漏れ度合いマップＬ２２（最大光漏れ度合い：２．９１＊１０−５）と、本実施形態による応力制御方法を表１の加工ライン１に適用することにより製造された試料ガラス基板の光遅延マップＲ１２（光の最大遅延：０．８４）及び光漏れ度合いマップＬ１２（最大光漏れ度合い：０．８０＊１０−５）とを比較する。従来の応力制御方法の、島形状の局所的な光漏れの集中を低減する能力は限られているが、例示的実施形態は、島形状の局所的な光漏れの集中を有意に低減できた。
【００７１】
本開示において言及した方法は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）及び有機発光ダイオード（ｏｒｇａｎｉｃ  ｌｉｇｈｔ‐ｅｍｉｔｔｉｎｇ  ｄｉｏｄｅ：ＯＬＥＤ）といったディスプレイデバイス用のガラスシートのみならず、種々の他のガラスシートにも応用できる。上記方法は、そのゆがみが最終製品の品質に影響を及ぼし得るガラスシートに有用となり得る。以上の言及は液晶（ＬＣ）パネルにおける光漏れに関するものであるが、本開示の目的はこのような光漏れの度合いの改善に限定されないことを理解されたい。というのは、光漏れの度合いは単にガラスシートの品質を視覚的に表すための指標として使用されているためである。
【００７２】
本開示の具体的な例示的実施形態に関する以上の説明は、図面を参照して提示されている。以上の説明は、網羅的なものであること、又は本開示をここで開示された形態に正確に限定することを意図したものではなく、当業者には、以上の教示に照らして多数の修正及び変更が明らかに可能である。
【００７３】
従って、本開示の範囲は以上の実施形態に限定されず、本明細書に添付される請求項及びその均等物により定義されることを意図している。
【００７４】
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
【００７５】
実施形態１
ａ）ガラスシートの複数の応力値を上記ガラスシートの複数の位置においてそれぞれ決定するステップ；
ｂ）上記ガラスシートを備える偏光式ディスプレイに関して、上記偏光式ディスプレイが光透過をブロックする状態にある場合に、上記複数の位置における複数の光漏れ度合いをそれぞれ決定するステップ；
ｃ）決定された上記複数の光漏れ度合いに基づいて決定された上記複数の応力値を修正するステップ；及び
ｄ）修正された上記複数の応力値に基づいてガラスシート製造プロセスの少なくとも１つのプロセス条件を調整しながら、上記ガラスシート製造プロセスにおいて少なくとも１つの追加のガラスシートを製造するステップ
を含む、ガラス製造方法。
【００７６】
実施形態２
上記複数の位置は、位置の複数の集合を含み、上記位置の集合はそれぞれ、上記ガラスシートの長手方向に配設され、
上記決定された応力値は上記位置の集合それぞれにおいて同一である、実施形態１に記載の方法。
【００７７】
実施形態３
上記ステップａ）は、上記位置の集合それぞれにおける上記応力値の平均を算出するステップを更に含み、
上記ステップｃ）は、上記位置の集合それぞれに関する上記平均を、上記位置の集合それぞれにおいて決定された上記応力値として用いて、上記修正を実施する、実施形態２に記載の方法。
【００７８】
実施形態４
上記複数の応力値はそれぞれ、上記ガラスシートの長手方向に垂直な平面に対して、上記ガラスシートの長手方向に作用する応力成分の値を含む、実施形態１に記載の方法。
【００７９】
実施形態５
上記複数の位置は、位置の複数の集合を含み、上記位置の集合はそれぞれ、上記ガラスシートの長手方向に配設され、
上記ステップｃ）は：
上記位置の集合それぞれにおいて決定された上記応力値を、平均前の修正済み応力値へと修正するステップ；
上記位置の集合それぞれにおける上記平均前の修正済み応力値の平均を算出するステップ
を含み、
上記ステップｄ）は、上記位置の集合それぞれに関する上記平均を、上記位置の集合それぞれにおける上記修正済み応力値として用いて、上記調整を実施する、実施形態１に記載の方法。
【００８０】
実施形態６
上記ガラスシート製造プロセスはドロープロセスを含み、
上記ガラスシートの上記長手方向は、上記ドロープロセスにおけるドロー方向である、実施形態２、４及び５のいずれか１つに記載の方法。
【００８１】
実施形態７
上記ステップｂ）は、各上記位置及び各上記位置に隣接する少なくとも１つの隣接位置における、上記光漏れ度合いの平均を算出するステップを更に含み、
上記ステップｃ）は、各上記位置の上記平均を、各上記位置において決定された上記光漏れ度合いとして用いて、上記修正を実施する、実施形態１に記載の方法。
【００８２】
実施形態８
上記ステップａ）は：
ｂ１）上記ガラスシートの上記複数の位置における複屈折データを取得するステップ；及び
ｂ２）上記複屈折データから上記複数の応力値を決定するステップ
を含む、実施形態１に記載の方法。
【００８３】
実施形態９
上記ステップｂ）は：
ｂ１）上記ガラスシートの上記複数の位置における複屈折データを取得するステップ；及び
ｂ２）上記複屈折データから上記複数の光漏れ度合いを決定するステップ
を含む、実施形態１に記載の方法。
【００８４】
実施形態１０
上記複屈折データは、上記ガラスシートの上記複数の位置における遅延データ及び方位角データを含む、実施形態８又は９に記載の方法。
【００８５】
実施形態１１
上記偏光式ディスプレイは、ねじれネマティックディスプレイである、実施形態１に記載の方法。
【００８６】
実施形態１２
上記ステップｃ）は、決定された上記複数の応力値に重みをそれぞれ割り当てることにより、決定された上記複数の応力値を修正し、各上記位置に関する上記重みは、各上記位置において決定された上記光漏れ度合いに応じて変動する、実施形態１に記載の方法。
【００８７】
実施形態１３
上記割り当ては、各上記位置における上記応力値に、各上記位置に関する上記重みを乗じることを含む、実施形態１２に記載の方法。
【００８８】
実施形態１４
上記複数の位置のうちのいずれの２つの位置であって、上記いずれの２つの位置のうちの一方の位置における上記光漏れ度合いが上記いずれの２つの位置のうちのもう一方の位置における上記光漏れ度合いよりも高くなるように、上記光漏れ度合が異なる、いずれの２つの位置を比較した場合に、上記一方の位置に関する重みは、上記もう一方の位置に関する重み以上である、実施形態１２に記載の方法。
【００８９】
実施形態１５
上記一方の位置における上記光漏れ度合いが所定の閾値以上であり、上記もう一方の位置における上記光漏れ度合いが上記所定の閾値より低い場合、上記一方の位置における上記重みは、上記もう一方の位置に関する上記重みより大きい、実施形態１４に記載の方法。
【００９０】
実施形態１６
上記一方の位置における上記重みは、上記一方の位置における上記光漏れ度合いに比例し、上記もう一方の位置に関する上記重みは０である、実施形態１５に記載の方法。
【００９１】
実施形態１７
上記ガラスシート製造プロセスは、ガラスリボンをドロー加工した後、少なくとも１つの追加のガラスシートへと切断する、ドロープロセスを含み、
上記少なくとも１つのプロセス条件は、上記ガラスリボンの幅に沿った横方向温度プロファイルを含み、上記幅は、上記ドロープロセスにおけるドロー方向を横切るように延在する、実施形態１に記載の方法。
【００９２】
実施形態１８
上記ステップｄ）は、上記ガラスリボンの上記幅に沿って位置決めされた複数の温度調整要素の動作を独立して調整することにより、上記横方向温度プロファイルを調整する、実施形態１７に記載の方法。
【００９３】
実施形態１９
上記ステップｄ）は、上記複数の温度調整要素に供給される動力をそれぞれ独立して調整する、実施形態１８に記載の方法。
【００９４】
実施形態２０
上記ステップｄ）は、上記少なくとも１つの追加のガラスシートに関する上記少なくとも１つのプロセス条件を調整することにより、上記少なくとも１つの追加のガラスシート中の複数の修正済み応力値を制御する、実施形態１に記載の方法。
【００９５】
実施形態２１
上記ステップａ）〜ｄ）を繰り返すステップｅ）を更に含む、実施形態１に記載の方法。
【００９６】
実施形態２２
ガラスシート製造プロセスにおいてガラスリボンを成形し、その後上記ガラスリボンからガラスシートを分離するよう構成された、製造装置；
上記ガラス製造プロセスの少なくとも１つのプロセス条件を調整するよう構成された、調整装置；及び
制御デバイス
を備える、ガラス製造装置であって、
上記制御デバイスは：
上記ガラスシートの複数の応力値を上記ガラスシートの複数の位置においてそれぞれ決定し；
上記ガラスシートを備える偏光式ディスプレイに関して、上記偏光式ディスプレイが光透過をブロックする状態にある場合に、上記複数の位置における複数の光漏れ度合いをそれぞれ決定し；
決定された上記複数の光漏れ度合いに基づいて、決定された上記複数の応力値を修正し；
修正された上記複数の応力値に基づいて、上記少なくとも１つのプロセス条件を調整するように上記調整装置を制御するよう、構成される、ガラス製造装置。
【符号の説明】
【００９７】
１１      光源
１２      直線偏光子
１３      光弾性変調器
１４      ガラス試料
１５      鏡
１６      −４５°直線偏光子
１７      第１の輝度センサ
１９      第２の輝度センサ
１０１    フュージョンドロー装置
１０５    溶融用容器
１０７    バッチ材料
１０１    フュージョンドロー装置
１０３    ガラスリボン
１０３ａ  縁部
１０３ｂ  縁部
１０５    溶融用容器
１０７    バッチ材料
１０９    貯蔵用蓋付き容器
１１１    バッチ送達デバイス
１１３    モータ
１１５    コントローラ
１１７    矢印
１１９    金属プローブ
１２１    溶融ガラス
１２３    スタンドパイプ
１２５    通信ライン
１２７    清澄用容器
１２９    第１の接続管
１３１    混合チャンバ
１３３    送達用容器
１３５    第２の接続管
１３７    第３の接続管
１３９    下降管
１４０    フュージョンドロー機械
１４１    インレット
１４３    成形用容器
２０１    成形用ウェッジ
２０３    下方に傾斜した成形用表面部分
２０５    下方に傾斜した成形用表面部分
２０７    ドロー方向
２０９    基部
２１１    ドロー平面
２１２    縁部配向器
２１３ａ  第１の縁部ローラ組立体
２１３ｂ  第２の縁部ローラ組立体
２１５    トラフ
２１７ａ  堰
２１７ｂ  堰
２１９ａ  堰２１７ａの外側表面
２１９ｂ  堰２１７ｂの外側表面
２２１  温度調整装置
２２３  温度調整要素
２２５  側方位置
２２７ａ  第１の温度調整軸
２２７ｂ  第２の温度調整軸
３０３  切断デバイス
３０５    ガラスシート
３０７    粘性ゾーン
３０９    硬化ゾーン
３１１    弾性ゾーン
３１３    応力センサ装置
３１７    センサ要素
３２３    制御デバイス
３２５    コントローラ
【図１】
2019522612.tif 000007
【図２】
2019522612.tif 000008
【図３】
2019522612.tif 000009
【図４】
2019522612.tif 000010
【図５】
2019522612.tif 000011
【図６】
2019522612.tif 000012
【図７】
2019522612.tif 000013
【図８】
2019522612.tif 000014
【図９】
2019522612.tif 000015
【国際調査報告】
2019522612.tif 000016
2019522612.tif 000017
2019522612.tif 000018