(57)【要約】本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニットは、固体素材が提供される原料供給部、上記原料供給部と連結され、上記固体素材を溶融させて溶融素材に形成した後に外部に排出する溶融容器部、及び上記原料供給部と連結される上記溶融容器部の供給領域と、外部に溶融素材を排出する上記溶融容器部の排出領域との間に備えられ、上記溶融素材のみが上記排出領域に移動するように提供される隔壁部を含むことができる。また、本発明の他の実施形態による乾式コーティング装置は、上記溶融素材供給ユニット、被めっき部材が内部で移動するように備えられ、上記溶融素材供給ユニットの溶融容器部が内部に提供される真空チャンバユニット、及び上記真空チャンバユニットの内部に提供され、上記溶融容器部と連結され、上記溶融素材を加熱して形成された蒸気素材を上記被めっき部材に噴射してコーティングする蒸気噴射ユニットを含むことができる。
2019516863.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体素材が提供される原料供給部と、
前記原料供給部と連結され、前記固体素材を溶融させて溶融素材に形成した後に外部に排出する溶融容器部と、
前記原料供給部と連結される前記溶融容器部の供給領域と、外部に溶融素材を排出する前記溶融容器部の排出領域との間に備えられ、前記溶融素材のみが前記排出領域に移動するように提供される隔壁部と、を含む、溶融素材供給ユニット。
【請求項２】
前記隔壁部は、
前記溶融容器部の一側である前記供給領域と、前記溶融容器部の他側である前記排出領域との間に備えられ、前記供給領域と排出領域の上端部を隔離する壁部材と、
前記壁部材の下端部に備えられる貫通孔と、を含む、請求項１に記載の溶融素材供給ユニット。
【請求項３】
前記溶融容器部は、
一側には、前記原料供給部と連結される供給口が形成され、他側には、外部に溶融素材を排出する排出口が形成された容器部材と、
前記容器部材に備えられ、前記固体素材を溶融させる溶融加熱手段と、を含む、請求項１に記載の溶融素材供給ユニット。
【請求項４】
前記溶融容器部は、
前記容器部材に備えられ、前記供給口が備えられる前記容器部材の供給領域の内部圧力よりも、前記排出口が備えられる前記容器部材の排出領域の内部圧力を低圧に調整する圧力調整手段を含む、請求項３に記載の溶融素材供給ユニット。
【請求項５】
前記原料供給部は、
前記固体素材が提供される原料貯蔵所と、
前記原料貯蔵所と前記溶融容器部とを連結するように備えられ、前記固体素材を前記溶融容器部に伝達するゲート部材と、を含み、
前記ゲート部材は、
前記溶融容器部と連結される前記原料貯蔵所の下端部に備えられるゲートバルブと、
前記ゲートバルブと前記溶融容器部との間に備えられ、前記固体素材を伝達するスクリュームーバーと、を含む、請求項１に記載の溶融素材供給ユニット。
【請求項６】
前記原料供給部は、
前記固体素材が供給される前記原料貯蔵所の上端入口に備えられる入口バルブと、
前記原料貯蔵所に備えられ、前記原料貯蔵所の内部を真空環境に造成する圧力調節ポンプと、を含む、請求項５に記載の溶融素材供給ユニット。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の溶融素材供給ユニットと、
被めっき部材が内部で移動するように備えられ、前記溶融素材供給ユニットの溶融容器部が内部に提供される真空チャンバユニットと、
前記真空チャンバユニットの内部に提供され、前記溶融容器部と連結され、前記溶融素材を加熱して形成された蒸気素材を前記被めっき部材に噴射してコーティングする蒸気噴射ユニットと、を含む、乾式コーティング装置。
【請求項８】
前記蒸気噴射ユニットは、
前記真空チャンバユニットの内部に備えられる蒸発容器と、
前記蒸発容器に備えられ、前記溶融素材を加熱して蒸発させる蒸発加熱手段と、を含む、請求項７に記載の乾式コーティング装置。
【請求項９】
前記蒸気噴射ユニットは、
一端部は、前記溶融容器部に形成された排出口と連通し、他端部は、前記蒸発容器の内部に延長されるように連結されて、前記溶融容器部から前記蒸発容器に伝達された前記溶融素材に浸漬されるように備えられる連結管と、を含む、請求項８に記載の乾式コーティング装置。
【請求項１０】
前記蒸気噴射ユニットは、
前記連結管を取り囲むように備えられ、前記連結管を加熱する管加熱手段を含む、請求項９に記載の乾式コーティング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、溶融素材供給ユニット及びそれを含む乾式コーティング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
連続的に鋼板を真空雰囲気下で蒸着する既知のいくつかの方式を利用して、金属蒸気などのコーティング物質を鋼板の表面にコーティングすることができる。このような乾式めっき方法による真空蒸着は、真空雰囲気下でいくつかの方法によって、固体又は液体のコーティング物質（金属又はコーティング物質）を加熱によって蒸発させて蒸気を形成し、それを用いて鋼板上に薄膜を形成させる。
【０００３】
より具体的に、従来の乾式コーティング方法は、鋼板などの被めっき部材が連続通過する真空チャンバ内に、コーティング物質を加熱するための電磁コイルが配置され、上記電磁コイルの内側で高周波電流の印加時に形成された電磁力によって供給された固体又は液体のコーティング物質を加熱しながらコーディング蒸気、つまり、金属蒸気を生成する。生成されたコーティング蒸気は、誘導手段と噴射手段を介して鋼板に蒸着されてコーティングが行われる。
【０００４】
このような乾式めっき技術は、湿式めっきに比べてめっき厚さが薄くても優れためっき層の特性を得ることができるため、様々な産業で多く活用されているが、真空を維持しなければならない特性のため、連続生産、大量生産には限界がある。
【０００５】
即ち、高速で生産される製品にめっき層を形成するためには、多量の蒸発源を単位時間内に溶かして蒸発させなければならず、大量生産のためには、連続的に長時間めっきを行わなければならないため、蒸発源となる原料も高速及び連続的に蒸発器に供給しなければならないという限界がある。
【０００６】
ここで、上記原料の連続供給という目的を達成するために、従来は線材形態の原料を供給したり、液状の原料を供給する方法などが提案された。しかし、線材形態の原料を用いる場合、原料の形態を線材状に加工するための加工費が追加されるので原価が上昇するという問題があった。また、液状の原料を用いる場合には、露出した液状の原料をすべて高温に維持しなければならず、高温の液体原料の供給量を制御するバルブの使用に限界があるため、運営費、設備費が大幅に増加するという問題があった。
【０００７】
特に、固体原料を用いてコーティング蒸気を形成してコーティング作業を行う場合、コーティング蒸気が固体原料の供給のための連結管に沿って逆流するという問題のため、固体原料の連続供給が困難であるという問題があった。
【０００８】
したがって、上述の問題を解決するための溶融素材供給ユニット及びそれを含む乾式コーティング装置に対する研究が必要となった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、めっき素材を線材に加工したり、液状にして投入しなくても、乾式めっきを行うためのめっき素材の連続的な投入が可能な溶融素材供給ユニット及びそれを含む乾式コーティング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニットは、固体素材が提供される原料供給部、上記原料供給部と連結され、上記固体素材を溶融させて溶融素材に形成した後に外部に排出する溶融容器部、及び上記原料供給部と連結される上記溶融容器部の供給領域と、外部に溶融素材を排出する上記溶融容器部の排出領域との間に備えられ、上記溶融素材のみが上記排出領域に移動するように提供される隔壁部を含むことができる。
【００１１】
また、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニットの上記隔壁部は、上記溶融容器部の一側である上記供給領域と、上記溶融容器部の他側である上記排出領域との間に備えられ、上記供給領域と排出領域の上端部を隔離する壁部材、及び上記壁部材の下端部に備えられる貫通孔を含むことができる。
【００１２】
また、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニットの上記溶融容器部は、一側には、上記原料供給部と連結される供給口が形成され、他側には、外部に溶融素材を排出する排出口が形成された容器部材、及び上記容器部材に備えられ、上記固体素材を溶融させる溶融加熱手段を含むことができる。
【００１３】
また、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニットの上記溶融容器部は、上記容器部材に備えられ、上記供給口が備えられる上記容器部材の供給領域の内部圧力よりも、上記排出口が備えられる上記容器部材の排出領域の内部圧力を低圧に調整する圧力調整手段を含むことができる。
【００１４】
また、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニットの上記原料供給部は、上記固体素材が提供される原料貯蔵所、及び上記原料貯蔵所と上記溶融容器部とを連結するように備えられ、上記固体素材を上記溶融容器部に伝達するゲート部材を含み、上記ゲート部材は、上記溶融容器部と連結される上記原料貯蔵所の下端部に備えられるゲートバルブ、及び上記ゲートバルブと上記溶融容器部との間に備えられ、上記固体素材を伝達するスクリュームーバーを含むことができる。
【００１５】
また、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニットの上記原料供給部は、上記固体素材が供給される上記原料貯蔵所の上端入口に備えられる入口バルブ、及び上記原料貯蔵所に備えられ、上記原料貯蔵所の内部を真空環境に造成する圧力調節ポンプを含むことができる。
【００１６】
また、本発明の他の実施形態による乾式コーティング装置は、上記溶融素材供給ユニット、被めっき部材が内部で移動するように備えられ、上記溶融素材供給ユニットの溶融容器部が内部に提供される真空チャンバユニット、及び上記真空チャンバユニットの内部に提供され、上記溶融容器部と連結され、上記溶融素材を加熱して形成された蒸気素材を上記被めっき部材に噴射してコーティングする蒸気噴射ユニットを含むことができる。
【００１７】
また、本発明の他の実施形態による乾式コーティング装置の上記蒸気噴射ユニットは、上記真空チャンバユニットの内部に備えられる蒸発容器、及び上記蒸発容器に備えられ、上記溶融素材を加熱して蒸発させる蒸発加熱手段を含むことができる。
【００１８】
また、本発明の他の実施形態による乾式コーティング装置の上記蒸気噴射ユニットは、一端部は、上記溶融容器部に形成された排出口と連通し、他端部は、上記蒸発容器の内部に延長されるように連結されて、上記溶融容器部から上記蒸発容器に伝達された上記溶融素材に浸漬されるように備えられる連結管を含むことができる。
【００１９】
また、本発明の他の実施形態による乾式コーティング装置の上記蒸気噴射ユニットは、上記連結管を取り囲むように備えられ、上記連結管を加熱する管加熱手段を含むことができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の溶融素材供給ユニット及びそれを含む乾式コーティング装置は、めっき素材を線材に加工したり、液状にして投入しなくても、乾式めっきを行うためのめっき素材の連続的な投入が可能であるという利点がある。
【００２１】
特に、上記めっき素材として固体素材を使用する際に、上記固体素材が溶融素材に形成された後に再び加熱されて形成された蒸気素材が、固体素材が供給される原料供給部に逆流することを防止することができ、安定的に連続して固体素材を供給することができるという利点を有することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の溶融素材供給ユニットを示す正面図である。
【図２】本発明の溶融素材供給ユニットにおいて溶融容器部を示す正面図である。
【図３】本発明の溶融素材供給ユニットにおいて原料供給部を示す正面図である。
【図４】本発明の乾式コーティング装置を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下では、図面を参照して本発明の具体的な実施形態について詳細に説明する。但し、本発明の思想は提示される実施形態に制限されず、本発明の思想を理解する当業者は、同一の思想の範囲内で、他の構成要素を追加、変更、削除するなど、退歩的な他の発明や本発明の思想の範囲内に含まれる他の実施形態を容易に提案することができるが、これも本発明の思想の範囲内に含まれるといえる。
【００２４】
また、各実施形態の図面に示される、同一の思想の範囲内における機能が同一の構成要素は、同一の参照符号を用いて説明する。
【００２５】
本発明は、溶融素材供給ユニット１００及びそれを含む乾式コーティング装置に関するものであり、めっき素材を線材に加工したり、液状にして投入しなくても、乾式めっきを行うためのめっき素材の連続的な投入が可能である。
【００２６】
特に、本発明の溶融素材供給ユニット１００及びそれを含む乾式コーティング装置は、上記めっき素材として固体素材ＳＭを使用する際に、上記固体素材ＳＭが溶融素材ＬＭに形成された後に再び加熱されて形成された蒸気素材ＧＭが、固体素材ＳＭが供給される原料供給部１１０に逆流することを防止することができるため、安定的に連続して固体素材ＳＭを供給することができる。
【００２７】
ここで、上記蒸気素材ＧＭを形成する固体素材ＳＭは、鋼板などにめっきするための亜鉛などの金属素材であることができる。
【００２８】
より具体的に、図１は本発明の溶融素材供給ユニット１００を示す正面図である。これを参照すると、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニット１００は、固体素材ＳＭが提供される原料供給部１１０、上記原料供給部１１０と連結され、上記固体素材ＳＭを溶融させて溶融素材ＬＭに形成した後に外部に排出する溶融容器部１２０、及び上記原料供給部１１０と連結される上記溶融容器部１２０の供給領域ＳＡと、外部に溶融素材ＬＭを排出する上記溶融容器部１２０の排出領域ＥＡとの間に備えられ、上記溶融素材ＬＭのみが排出領域ＥＡに移動するように提供される隔壁部１３０を含むことができる。
【００２９】
即ち、上記隔壁部１３０が提供されることにより、上記固体素材ＳＭが貯蔵された上記原料供給部１１０に蒸気素材ＧＭが逆流することを防止することができる。
【００３０】
つまり、上記溶融素材供給ユニット１００が、後述する蒸気噴射ユニット３００と連結されると、上記蒸気噴射ユニット３００で形成された蒸気素材ＧＭが上記溶融素材供給ユニット１００の溶融容器部１２０に逆流することがあるが、このとき、上記溶融容器部１２０に逆流した蒸気素材ＧＭは、上記隔壁部１３０によって遮蔽されることにより、上記原料供給部１１０まで逆流できなくなる。
【００３１】
したがって、上記原料供給部１１０は、上記蒸気素材ＧＭの逆流を考慮することなく、上記溶融容器部１２０に連続して上記固体素材ＳＭを供給することができるようになる。
【００３２】
ここで、上記原料供給部１１０は、外部から提供された上記固体素材ＳＭを貯蔵し、上記溶融容器部１２０に固体素材ＳＭを供給する役割を果たす。そのために、上記原料供給部１１０は、原料貯蔵所１１１、ゲート部材１１２、入口バルブ１１３、圧力調節ポンプ１１４などを含むことができる。これに対する詳細な説明は、図３を参照して後述する。
【００３３】
上記溶融容器部１２０は、上記原料供給部１１０から固体素材ＳＭの供給を受けると、加熱して溶融素材ＬＭを形成し、上記溶融素材を蒸気噴射ユニット３００などの外部構成に排出する役割を果たす。そのために、上記溶融容器部１２０は、容器部材１２１、溶融加熱手段１２２、圧力調整手段１２３を含むことができる。これに対する詳細な説明は、図２を参照して後述する。
【００３４】
上記隔壁部１３０は、上記溶融容器部１２０の供給領域ＳＡと排出領域ＥＡとを分離する役割を果たす。これにより、上記原料供給部１１０から供給された固体素材ＳＭは、上記供給領域ＳＡから上記排出領域ＥＡに移動できないように遮蔽されることができる。これによって、未溶融固体素材ＳＭ又は上記供給領域ＳＡで形成され得る酸化物が上記排出領域ＥＡを介して蒸気噴射ユニット３００などの外部に排出されることを防止することができるようになる。
【００３５】
そのために、上記隔壁部１３０は、固体素材ＳＭを供給する上記原料供給部１１０に連結される供給領域ＳＡと、外部に溶融素材ＬＭを排出する排出領域ＥＡとの間に備えられ、且つ上記溶融素材ＬＭが上記供給領域ＳＡから排出領域ＥＡに移動できるように構成される。
【００３６】
即ち、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニット１００の上記隔壁部１３０は、上記溶融容器部１２０の一側である上記供給領域ＳＡと、上記溶融容器部１２０の他側である上記排出領域ＥＡとの間に備えられ、上記供給領域ＳＡと排出領域ＥＡの上端部を隔離する壁部材１３１、及び上記壁部材１３１の下端部に備えられる貫通孔１３２を含むことができる。
【００３７】
ここで、上記貫通孔１３２は、壁部材１３１を構成する板材の下端部に孔を形成することで形成されることもできるが、上記壁部材１３１を形成する板材を上記供給領域ＳＡと排出領域ＥＡとの間に備え、且つ下端部には備えられないように構成して提供されることもできる。
【００３８】
図２は本発明の溶融素材供給ユニット１００における溶融容器部１２０を示す正面図である。これを参照すると、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニット１００の上記溶融容器部１２０は、一側には、上記原料供給部１１０と連結される供給口１２１ａが形成され、他側には、外部に溶融素材ＬＭを排出する排出口１２１ｂが形成された容器部材１２１、及び上記容器部材１２１に備えられ、上記固体素材ＳＭを溶融させる溶融加熱手段１２２を含むことができる。
【００３９】
即ち、上記溶融容器部１２０は上記原料供給部１１０から固体素材ＳＭの供給を受けると、加熱して溶融素材ＬＭを形成する。上記溶融容器部１２０は、上記溶融素材を蒸気噴射ユニット３００などの外部構成に排出することができるように、上記容器部材１２１、溶融加熱手段１２２などを含むことができる。
【００４０】
ここで、上記容器部材１２１は、上記原料供給部１１０から固体素材ＳＭの供給を受ける構成であって、上記隔壁部１３０によって供給領域ＳＡと排出領域ＥＡとに分離されることができる。そして、上記容器部材１２１には、上記原料供給部１１０から固体素材ＳＭの供給を受けるための供給口１２１ａが形成され、溶融した溶融素材ＬＭを蒸気噴射ユニット３００などの外部に排出するための排出口１２１ｂが形成されることができる。
【００４１】
そして、上記容器部材１２１には、上記固体素材ＳＭを加熱するための溶融加熱手段１２２が備えられることができ、上記供給領域ＳＡと排出領域ＥＡの圧力を異ならせて形成するための圧力調整手段１２３などが備えられることができる。
【００４２】
上記溶融加熱手段１２２は、上記容器部材１２１に供給された固体素材ＳＭを加熱して溶融素材ＬＭを形成するための構成である。一例として、上記溶融加熱手段１２２は、電磁誘導による発熱を利用して上記固体素材ＳＭを加熱する構成として提供されることができ、上記容器部材１２１の周辺に電流を印加することができる電磁コイルなどとして備えられることができる。そして、上記電磁コイルなどは、制御部Ｃと連結されて加熱温度を制御することもできる。
【００４３】
但し、上記溶融加熱手段１２２は、電磁誘導加熱の構成だけでなく、ガスバーナーによる加熱、又は熱線による加熱などの構成で備えられることもできる。
【００４４】
さらに、上記溶融容器部１２０は、上記供給領域ＳＡと排出領域ＥＡの圧力を異ならせて形成するために、圧力調整手段１２３を含むこともできる。
【００４５】
即ち、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニット１００の上記溶融容器部１２０は、上記容器部材１２１に備えられ、上記供給口１２１ａが備えられる上記容器部材１２１の供給領域ＳＡの内部圧力よりも、上記排出口１２１ｂが備えられる上記容器部材１２１の排出領域ＥＡの内部圧力を低圧に調整する圧力調整手段１２３を含むことができる。
【００４６】
このように、上記圧力調整手段１２３によって、上記供給領域ＳＡと排出領域ＥＡの圧力を異ならせて形成すると、上記溶融素材ＬＭの移動、すなわち、上記溶融素材ＬＭが上記容器部材１２１の内部で蒸発して上記原料供給部１１０に離脱するという問題を防止することができるようになる。
【００４７】
つまり、上記供給領域ＳＡの圧力を上記排出領域ＥＡの圧力よりも高く形成すると、圧力差によって、上記供給領域ＳＡに存在していた溶融素材ＬＭが上記隔壁部１３０を介して上記排出領域ＥＡにより多く移動できるようになる。さらに、上記供給領域ＳＡの圧力を高めると、上記供給領域ＳＡに存在する溶融素材ＬＭが低圧によって蒸発するという問題を防止することができるという利点も有することができるようになる。
【００４８】
そして、上記圧力調整手段１２３は、上記供給領域ＳＡと排出領域ＥＡの圧力を調整するために、制御部Ｃに連結されることができる。
【００４９】
図３は本発明の溶融素材供給ユニット１００において原料供給部１１０を示す正面図である。これを参照すると、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニット１００の上記原料供給部１１０は、上記固体素材ＳＭが提供される原料貯蔵所、及び上記原料貯蔵所１１１と上記溶融容器部１２０とを連結するように備えられ、上記固体素材ＳＭを上記溶融容器部１２０に伝達するゲート部材１１２を含み、上記ゲート部材１１２は、上記溶融容器部１２０と連結される上記原料貯蔵所１１１の下端部に備えられるゲートバルブ１１２ａ、及び上記ゲートバルブ１１２ａと上記溶融容器部１２０との間に備えられ、上記固体素材ＳＭを伝達するスクリュームーバー１１２ｂを含むことができる。
【００５０】
即ち、上記原料供給部１１０は、上記溶融容器部１２０に固体素材ＳＭを供給する役割を果たすために、上記原料貯蔵所１１１、ゲート部材１１２などを含むことができる。
【００５１】
ここで、上記原料貯蔵所１１１は、上記溶融容器部１２０に上記固体素材ＳＭを伝達する前に上記固体素材ＳＭが外部から供給されて貯蔵される構成である。特に、上記溶融容器部１２０が、後述する真空チャンバなどに備えられる場合には、外気との圧力差によって上記固体素材ＳＭの供給が円滑に行われないことがあるため、上記原料貯蔵所１１１には、後述する入口バルブ１１３、圧力調節ポンプ１１４などが備えられることができる。
【００５２】
そして、上記原料貯蔵所１１１は、上記溶融容器部１２０に供給される固体素材ＳＭの供給量を制御するために、ゲート部材１１２などが備えられることもできる。
【００５３】
上記ゲート部材１１２は、上記固体素材ＳＭを上記原料貯蔵所１１１から上記溶融容器部１２０に伝達する構成であって、特に、上記固体素材ＳＭが上記溶融容器部１２０に伝達される量を調整することができる構成である。そのために、上記ゲート部材１１２は、ゲートバルブ１１２ａ、スクリュームーバー１１２ｂなどを含むことができる。
【００５４】
ここで、上記ゲートバルブ１１２ａは、上記原料貯蔵所１１１の下端部を開閉する役割を果たし、後述する圧力調節ポンプ１１４などによって、上記原料貯蔵所１１１の内部圧力を調整するときは閉鎖されており、上記原料貯蔵所１１１の内部圧力が調整された後に上記溶融容器部１２０に固体素材ＳＭを供給するときは開放されるように備えられる。
【００５５】
そして、上記スクリュームーバー１１２ｂは、上記ゲートバルブ１１２ａが開放されて上記原料貯蔵所１１１から上記溶融容器部１２０に固体素材ＳＭを供給するときに上記固体素材ＳＭの供給量を制御する役割を果たす。即ち、上記スクリュームーバー１１２ｂは、モーターに連結されたスクリュー形状のスクリューバーを回転させながら上記固体素材ＳＭの供給量を上記モーターの回転量で制御することができる。
【００５６】
そのために、上記ゲートバルブ１１２ａとスクリュームーバー１１２ｂは制御部Ｃに連結される。これにより、上記ゲートバルブ１１２ａの開閉又は上記スクリュームーバー１１２ｂのモーター回転量を調整することができるようになる。
【００５７】
さらに、上記原料供給部１１０は、上記原料貯蔵所１１１の内部圧力を調整するために、入口バルブ１１３、圧力調節ポンプ１１４などを備えることができる。
【００５８】
即ち、本発明の一実施形態による溶融素材供給ユニット１００の上記原料供給部１１０は、上記固体素材ＳＭが供給される上記原料貯蔵所１１１の上端入口１１１ａに備えられる入口バルブ１１３、及び上記原料貯蔵所１１１に備えられ、上記原料貯蔵所１１１の内部を真空環境に造成する圧力調節ポンプ１１４を含むことができる。
【００５９】
ここで、上記入口バルブ１１３は、外部から上記原料貯蔵所１１１に固体素材ＳＭを供給するために開閉される構成である。そして、上記原料貯蔵所１１１の内部圧力を調整するために、上記原料貯蔵所１１１の上端入口１１１ａを密閉する役割も果たす。一例として、上記入口バルブ１１３は、インターロックバルブ（ｉｎｔｅｒ−ｌｏｃｋ  ｖａｌｖｅ）として提供されることができる。
【００６０】
上記圧力調節ポンプ１１４は、上記原料貯蔵所１１１の内部圧力を調整する役割を果たす。即ち、上記原料貯蔵所１１１と連結された溶融容器部１２０が、後述する真空チャンバユニット２００の内部に備えられると、上記溶融容器部１２０との圧力差によって上記溶融容器部１２０の内部の溶融素材ＬＭなどが急に蒸気噴射ユニット３００などに供給され得るという問題を防止するために、上記圧力調節ポンプ１１４が上記原料貯蔵所１１１の内部圧力を調整するように構成されたものである。かかる圧力調節ポンプ１１４は、制御部Ｃと連結されて上記原料貯蔵所１１１の内部圧力を調整するようになる。
【００６１】
図４は本発明の乾式コーティング装置を示す正面図である。これを参照すると、本発明の他の実施形態による乾式コーティング装置は、上記溶融素材供給ユニット１００、被めっき部材ｍが内部で移動するように備えられ、上記溶融素材供給ユニット１００の溶融容器部１２０が内部に提供される真空チャンバユニット２００、及び上記真空チャンバユニット２００の内部に提供され、上記溶融容器部１２０と連結され、上記溶融素材ＬＭを加熱して形成された蒸気素材ＧＭを上記被めっき部材ｍに噴射してコーティングする蒸気噴射ユニット３００を含むことができる。
【００６２】
即ち、上記乾式コーティング装置は、上述の溶融素材供給ユニット１００を含むことにより、固体素材ＳＭを連続して供給しながら、蒸気素材ＧＭを形成して被めっき部材ｍをコーティングすることができる。
【００６３】
上記真空チャンバユニット２００は、上記被めっき部材ｍに対する乾式めっきを行うために、上記蒸気噴射ユニット３００、溶融素材供給ユニット１００などが備えられる本体の役割を果たすようになる。
【００６４】
また、上記被めっき部材ｍに対する乾式めっきのための内部真空環境を形成するために、圧力調整手段１２３などが備えられることができ、上記被めっき部材ｍが内部に移動するように備えられるガイドローラーなどが備えられることもできる。
【００６５】
上記蒸気噴射ユニット３００は、上記溶融素材供給ユニット１００から溶融素材ＬＭの伝達を受け、上記溶融素材ＬＭを加熱して蒸気素材ＧＭを形成した後に上記被めっき部材ｍに噴射してコーティングを行う役割を果たす。
【００６６】
そのために、上記蒸気噴射ユニット３００は、蒸発容器３１０、蒸発加熱手段３２０などを含むことができる。
【００６７】
即ち、本発明の他の実施形態による乾式コーティング装置の上記蒸気噴射ユニット３００は、上記真空チャンバユニット２００の内部に備えられる蒸発容器３１０、及び上記蒸発容器３１０に備えられ、上記溶融素材ＬＭを加熱して蒸発させる蒸発加熱手段３２０を含むことができる。
【００６８】
上記蒸発容器３１０は、上記溶融容器部１２０と連結されて上記溶融素材ＬＭの伝達を受け、上記蒸発加熱手段３２０は、上記蒸発容器３１０の内部の溶融素材ＬＭを加熱して蒸気素材ＧＭを形成する役割を果たす。
【００６９】
そのために、上記蒸発容器３１０は、上記真空チャンバユニット２００の内部に備えられ、上記蒸発加熱手段３２０は、電磁誘導加熱の構成などを含むことができる。ここで、上記蒸発加熱手段３２０は、上記溶融素材ＬＭを電磁誘導加熱するために、上記蒸発容器３１０の周辺に電流を印加することができる電磁コイルなどを備えることができる。そして、上記電磁コイルなどは、制御部Ｃと連結されて加熱温度を制御することもできる。
【００７０】
但し、上記蒸発加熱手段３２０は、電磁誘導加熱の構成だけでなく、ガスバーナーによる加熱、又は熱線による加熱などの構成で備えられることもできる。
【００７１】
そして、上記蒸発容器３１０は、上記蒸気加熱手段によって形成された蒸気素材ＧＭを上記被めっき部材ｍに噴射するために、上記被めっき部材ｍに向かう方向に噴射ノズルが形成されて備えられることができる。
【００７２】
また、上記蒸気噴射ユニット３００は、上記蒸発容器３１０と上記溶融容器部１２０とを連結するために、連結管３３０、管加熱手段３４０などを含むことができる。
【００７３】
即ち、本発明の他の実施形態による乾式コーティング装置の上記蒸気噴射ユニット３００は、一端部は、上記溶融容器部１２０に形成された排出口１２１ｂと連通し、他端部は、上記蒸発容器３１０の内部に延長されるように連結され、上記溶融容器部１２０から上記蒸発容器３１０に伝達された上記溶融素材ＬＭに浸漬されるように備えられる連結管３３０を含むことができる。
【００７４】
また、本発明の他の実施形態による乾式コーティング装置の上記蒸気噴射ユニット３００は、上記連結管３３０を取り囲むように備えられ、上記連結管３３０を加熱する管加熱手段３４０を含むことができる。
【００７５】
ここで、上記連結管３３０は、上記溶融容器部１２０と上記蒸発容器３１０とを連結すると共に、上記溶融容器部１２０の内部の溶融素材ＬＭを上記蒸発容器３１０に伝達するために、一端部は、上記溶融容器部１２０の排出口１２１ｂに連通し、他端部は、上記蒸発容器３１０の溶融素材ＬＭの内部に浸漬されて提供され、上記蒸発容器３１０の内部で形成された蒸気素材ＧＭが上記溶融容器部１２０に逆流することを防止することができる。
【００７６】
そして、上記溶融容器部１２０から上記蒸発容器３１０に上記溶融素材ＬＭが伝達されるために、上記連結管３３０は、上記蒸発容器３１０よりも上部に備えられた上記溶融容器部１２０に連結されて提供されることができる。
【００７７】
そして、上記連結管３３０には、溶融した上記溶融素材ＬＭが伝達されながら凝固することを防止するために、上記管加熱手段３４０が備えられて提供されることができる。
【００７８】
ここで、上記管加熱手段３４０は、上記連結管３３０の内部の溶融素材ＬＭを加熱するために、上記管加熱手段３４０は、電磁誘導による発熱を利用した構成で提供されることができ、上記連結管３３０の周辺に電流を印加することができる電磁コイルなどが備えられることができる。そして、上記電磁コイルなどは、制御部Ｃと連結されて加熱温度を制御することもできる。
【００７９】
但し、上記管加熱手段３４０は、電磁誘導加熱の構成だけでなく、ガスバーナーによる加熱、又は熱線による加熱などの構成で備えられることもできる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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