(57)【要約】  抵抗器が電気活性レンズ内の数多くのリング電極を相対的に少ない数のバス線に接続できる。抵抗器は通常、過剰な電流消費量を防ぐほど大きい。従来、抵抗器はリング電極と同じ平面内に配置され、それは、抵抗器を収容するために、リング電極が更に離間して配置されるか、又は不連続にされることを意味する。しかし、リング電極を更に離間して配置すること又はリング電極を不連続にすることは、レンズの光学品質を劣化させる。リング電極及び抵抗器を絶縁体によって隔離された層上に配置することにより、リング電極が互いに近接して連続するようになり、抵抗は電流消費量を制限するほど十分に高い。それにより、レンズを作製するために使用されるプロセス中に、機構サイズ及び配置に関する制約が緩和される。抵抗器及び電極が異なる平面上にあるので、抵抗器及び電極は異なる抵抗率を有する材料から形成できる。【選択図】図１３
2019514070.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学レンズであって、
第１の実質的に透明な基板と、
前記第１の実質的に透明な基板の表面上に配置される複数の電極と、
前記複数の電極上に配置される絶縁層と、
前記絶縁層上に配置される抵抗性ブリッジであって、該抵抗性ブリッジは前記複数の電極内の第１の電極を、前記絶縁層の中にパターニングされた穴を介して前記複数の電極内の第２の電極に接続する、抵抗性ブリッジと
を備えてなる、電気光学レンズ。
【請求項２】
前記複数の電極は複数の同心リング電極を含み、前記第１の電極は第１の同心リング電極であり、前記第２の電極は第２の同心リング電極である、請求項１に記載の電気光学レンズ。
【請求項３】
前記第１の同心リング電極は一定の幅を有する、請求項２に記載の電気光学レンズ。
【請求項４】
前記複数の電極は第１のシート抵抗を有する第１の材料から形成され、前記抵抗性ブリッジは、前記第１のシート抵抗より高い第２のシート抵抗を有する第２の材料から形成される、請求項１に記載の電気光学レンズ。
【請求項５】
前記第１の電極と前記第２の電極との間に配置される絶縁材料を更に備え、該絶縁材料は、３マイクロメートル未満の前記第１の電極と前記第２の電極との間の間隙に広がっている、請求項１に記載の電気光学レンズ。
【請求項６】
前記抵抗性ブリッジは少なくとも２．５ＭΩの抵抗を有する、請求項１に記載の電気光学レンズ。
【請求項７】
前記抵抗性ブリッジは２５：１の長さ対幅比を有する、請求項１に記載の電気光学レンズ。
【請求項８】
前記抵抗性ブリッジは、ニッケル、クロム、酸化インジウムスズ又は抵抗性ポリマーのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の電気光学レンズ。
【請求項９】
前記抵抗性ブリッジは複数の抵抗性セグメントを備え、該複数の抵抗性セグメント内の各抵抗性セグメントは前記複数の電極内の対応する電極対と導通している、請求項１に記載の電気光学レンズ。
【請求項１０】
前記複数の抵抗性セグメントは、第１の幅を有する第１の抵抗性セグメントと、前記第１の幅より広い第２の幅を有する第２の抵抗性セグメントとを含む、請求項９に記載の電気光学レンズ。
【請求項１１】
前記複数の抵抗性セグメントは、第１の長さを有する第１の抵抗セグメントと、前記第１の長さより長い第２の長さを有する第２の抵抗性セグメントとを含む、請求項９に記載の電気光学レンズ。
【請求項１２】
前記複数の抵抗性セグメント内の少なくとも１つの抵抗性セグメントは、湾曲したエッジ又は曲がったエッジのうちの少なくとも一方を有する、請求項９に記載の電気光学レンズ。
【請求項１３】
基板上に配置される複数の電極と、該複数の電極上に配置される絶縁層と、該絶縁層上に配置され、該複数の電極内の第１の電極を該絶縁層の中にパターニングされる穴を介して該複数の電極内の第２の電極と接続する抵抗性ブリッジとを備える、電気光学レンズを動作させる方法であって、
前記抵抗性ブリッジを介して前記第１の電極に電圧を印加するステップ
を含む方法。
【請求項１４】
電気光学レンズを製造する方法であって、
基板上に複数の電極を形成するステップと、
前記複数の電極上に絶縁材料層を堆積するステップと、
前記絶縁材料層内に複数のスルーホールを形成するステップであって、該複数のスルーホール内の各スルーホールは前記複数の電極内の対応する電極に接続する、複数のスルーホールを形成するステップと、
前記絶縁材料層上に、かつ前記複数のスルーホール内に抵抗性材料を堆積するステップと、
前記抵抗性材料をパターニングして、複数の抵抗器を形成するステップであって、該複数の抵抗器内の各抵抗器は、前記複数の電極内の対応する電極に接続する、抵抗性材料をパターニングするステップと
を含んでなる方法。
【請求項１５】
前記複数の電極を形成するステップは、複数の同心リング電極を形成することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記複数の同心リング電極を形成することは、第２の同心リング電極から３マイクロメートル未満の間隙だけ離間された第１の同心リング電極を形成することを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記複数の同心リング電極を形成することは、一定の幅を有する同心リング電極を形成することを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記抵抗性材料を堆積するステップは、前記複数の電極のシート抵抗より高いシート抵抗を有する材料を堆積することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１９】
前記抵抗性材料をパターニングして、前記複数の抵抗器を形成するステップは、少なくとも２．５ＭΩの抵抗を有する少なくとも１つの抵抗器を形成することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２０】
前記抵抗性材料をパターニングして、前記複数の抵抗器を形成することは、２５：１の長さ対幅比を有する少なくとも１つの抵抗器を形成することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２１】
前記抵抗性材料をパターニングして、前記複数の抵抗器を形成するステップは、第１の幅を有する第１の抵抗器と、該第１の幅より広い第２の幅を有する第２の抵抗器セグメントとを形成することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２２】
前記抵抗性材料をパターニングして、前記複数の抵抗器を形成するステップは、第１の長さを有する第１の抵抗器と、該第１の長さより長い第２の長さを有する第２の抵抗器とを形成することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２３】
前記抵抗性材料をパターニングして、前記複数の抵抗器を形成するステップは、湾曲したエッジを有する少なくとも１つの抵抗器を形成することを含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２４】
前記複数の電極内の少なくとも１つの電極に接続されるバス線を形成するステップを更に含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項２５】
電気活性コンタクトレンズであって、
ベース光学要素と、
前記ベース光学要素内に埋め込まれる電気活性要素と
を備えてなり、
前記電気活性要素は、
複数の電極と、
前記複数の電極上に配置される絶縁層と、
前記絶縁層上に配置される抵抗性ブリッジであって、該抵抗性ブリッジは前記複数の電極内の第１の電極を前記絶縁層の中にパターニングされた穴を介して前記複数の電極内の第２の電極と接続する、抵抗性ブリッジと
を備える、電気活性コンタクトレンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願の相互参照］
本願は、２０１６年４月１２日に出願され、引用することによりその全体が本明細書の一部をなすものとする米国特許出願第６２／３２１，５０１号の優先権の利益を主張する。
【背景技術】
【０００２】
電気活性レンズは、第１の基板上に導電性材料の一連の同心電極をパターニングし、その後、第１の基板と、第１の基板と向かい合う第２の基板との間に液晶層を挟持することを含む、いくつかの方法によって作製することができる。第２の基板は、その上にパターニングされた導電性材料の１つ以上の円形パターンを有することができるか、又はパターニングされた電極の面積以上の任意の他の形状を有することができ、それにより、２つの基板間に電圧場を生成する電気回路を形成できるようになる。それらの電極にわたって電場が印加されるとき、２つの基板間の液晶材料が、その屈折率を変更する。
【０００３】
レンズ上の異なる電極位置に電圧場勾配をかけることによって、屈折率の勾配を生成することができ、レンズを作り出すことができる。使用される電極の数が増えるほど、精細な屈折率勾配分解能を生み出すことができる。この結果として、波面曲率が滑らかになり、それゆえ、より良好な品質のレンズ（optic）が提供される。
【０００４】
しかしながら、電極の数が増えると、電極に電力を供給する遮光性要素が増えるだけでなく、電子回路も複雑になるので、少数の電源ラインによって多数の電極にわたって電圧勾配をかけることができるようにするために、複数の方法が開発されてきた。詳細には、電極間に抵抗性ブリッジを設けることにより、Ｎ本の電源ラインを用いて、Ｍ＞Ｎ個の電極にわたって電圧勾配をかけることができる。これらの電気活性レンズでは、Ｍ／Ｎごとの電極が電源ラインに接続され、他の電極は、抵抗性ブリッジを用いて互いに結合される。
【０００５】
抵抗性ブリッジを備える従来の電気活性レンズでは、電極リングがもはや連続しないようにして抵抗性ブリッジが作製されるので、光学品質が劣化する。その問題は、電極と同じ平面内に抵抗性ブリッジを作製し、隣接する電極間に抵抗器を配置することによって、部分的に解決することができる。いくつかの場合には、制御可能な方法で製造するのが難しい極めて高い抵抗性の材料を使用すること、及び電極間の間隙全体を満たす必要があり、大きい面積を満たす抵抗性材料が必要とされることを含む、更なる短所がある。一般に、光学的性能を改善するために電極間の間隙を小さくすることが望ましいが、これは抵抗性構成要素を製造するのを更に難しくする可能性がある。
【発明の概要】
【０００６】
本発明者らは、電気活性レンズ内のドライブチャネルの複雑さを緩和するという問題に対する従来技術の解決策が、電気活性レンズの過剰な電力消費量という新たな問題を導入したことを認識している。抵抗性ブリッジを備えない場合、通常のレンズ設計は、ナノアンペア単位の電流しか消費しない場合がある。しかしながら、抵抗性ブリッジは、１つのドライブチャネルから他のドライブチャネルに電流が流れる経路を与える。この余分な電流が流れる結果として、電気活性レンズの電力消費量が望ましくないほど増加する。
【０００７】
本発明者らは、抵抗性ブリッジの抵抗を大きくすることによって、この増加した電力消費量が削減されることを認識している。いくつかの場合には、抵抗器のサイズを大きくすることによって、抵抗を大きくすることができる。しかし、電極と同じ平面内により大きい抵抗器を組み込むことは、電極間の間隙を大きくしなければならないか、電極を中断しなければならないか、又は更に大きい抵抗器を組み込む場合にはその両方であることを意味する。
【０００８】
残念なことに、そのような小さい空間内に、より大きい高抵抗のブリッジを作製することは非常に難しい。さらに、電極の間隙による中断はレンズの光学的性能を劣化させる。すなわち、抵抗性ブリッジのための場所を設けるために電極の一部をエッチングにより除去することは、電極の完全性を、それゆえ、レンズの光学的性能を劣化させる。更に複雑なことに、光学的性能を劣化させる影響を低減し、抵抗ブリッジの抵抗を高めるという課題に更に対処するために、電極間の間隙はできる限り小さくすべき寸法である。
【０００９】
幸いにも、本技術は、レンズの光学的性能を劣化させない、より大きく、より高い抵抗性ブリッジを提供することによって、これらの問題に対処する。これらの設計において、電極は連続し、互いに近接したままにすることができる。さらに、抵抗性ブリッジの場所を設けるために、電極から表面積を除去するか、又は表面積を犠牲にする必要はない。本技術の実施形態は、第１の実質的に透明な基板と、第１の実質的に透明な基板の表面上に配置される複数の電極と、複数の電極上に配置される絶縁層と、絶縁層上に配置される抵抗性ブリッジとを備える、電気光学レンズを含む。抵抗性ブリッジは、複数の電極内の第１の電極を、絶縁層の中にパターニングされた穴を介して、複数の電極内の第２の電極と接続する。動作時に、抵抗性ブリッジを介して第１の電極に電圧を印加することによって、（双安定性）液晶等の電気活性材料が、その屈折率を変更する。
【００１０】
複数の電極は複数の同心リング電極を含むことがあり、第１の電極は第１の同心リング電極であり、第２の電極は第２の同心リング電極である。これらの場合に、第１の同心リング電極は一定の幅を有することができる。
【００１１】
複数の電極は、第１のシート抵抗を有する第１の材料から形成することができ、抵抗性ブリッジは、第１のシート抵抗より高い第２のシート抵抗を有する第２の材料から形成することができる。
【００１２】
第１の電極と第２の電極との間に配置される絶縁材料が存在する場合がある。この絶縁材料の層は、約３マイクロメートル未満の、第１の電極と第２の電極との間の間隙にわたる場合がある。
【００１３】
抵抗性ブリッジは、少なくとも約２．５ＭΩの抵抗と、約２５：１の長さ対幅比とを有することができる。抵抗性ブリッジは、ニッケル、クロム、酸化インジウムスズ、抵抗性ポリマー（例えば、ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ）、又はその任意の組み合わせ若しくは合金を含みうる。
【００１４】
抵抗性ブリッジは複数の抵抗性セグメントを備えることができ、複数の抵抗性セグメント内の各抵抗性セグメントは、複数の電極内の対応する電極対と導通している。複数の抵抗性セグメントは、第１の幅を有する第１の抵抗性セグメントと、第１の幅より広い第２の幅を有する第２の抵抗性セグメントとを含みうる。また、複数の抵抗性セグメントは、第１の長さを有する第１の抵抗性セグメントと、第１の長さより長い第２の長さを有する第２の抵抗性セグメントとを含みうる。そして、複数の抵抗性セグメント内の少なくとも１つの抵抗性セグメントは、湾曲した、又は曲がったエッジを有することができる。
【００１５】
また、本技術の実施形態は、電気光学レンズを製造する方法を含む。本方法の１つの例において、基板上に複数の電極が形成される。電極上に絶縁材料層が堆積される。次に、絶縁材料層内に複数のスルーホールが形成される。複数のスルーホール内の各スルーホールが、複数の電極内の対応する電極に接続する。絶縁材料層上、及び複数のスルーホール内に抵抗性材料が堆積される。そして、抵抗性材料がパターニングされ、複数の抵抗器が形成される。複数の抵抗器内の各抵抗器は、複数の電極内の対応する電極に接続する。任意選択的に、電極及び抵抗器と導通しているバス線（buss line：バスライン）を形成することができる。
【００１６】
いくつかの場合には、複数の電極を形成することは、複数の同心リング電極を形成することを含む。これらの場合に、複数の同心リング電極を形成することは、第２の同心リング電極から約３マイクロメートル未満の間隙だけ離間された第１の同心リング電極を形成することを含みうる。各同心リング電極は、一定の幅を有することができる（その幅は複数の同心リング電極の中で同じであるか、又は異なる）。
【００１７】
抵抗性材料は、複数の電極のシート抵抗より高いシート抵抗を有することができる。抵抗性材料をパターニングして、少なくとも約２．５ＭΩの抵抗を有する少なくとも１つの抵抗器を形成することができるか、約２５：１の長さ対幅比を有する少なくとも１つの抵抗器を形成することができるか、又はその両方を形成することができる。いくつかの場合には、第１の幅を有する第１の抵抗器と、第１の幅より広い第２の幅を有する第２の抵抗器セグメントとが存在する場合がある。同様に、第１の長さを有する第１の抵抗器と、第１の長さより長い第２の長さを有する第２の抵抗器とが存在する場合がある。抵抗性材料をパターニングして、湾曲したエッジを有する少なくとも１つの抵抗器を形成することができる。
【００１８】
別の実施形態は、ベース光学要素と、ベース光学要素内に埋め込まれた電気活性要素とを備える電気活性コンタクトレンズを含む。電気活性要素は、複数の電極と、複数の電極上に配置される絶縁層と、絶縁層上に配置される抵抗性ブリッジとを含む。抵抗性ブリッジは、複数の電極内の第１の電極を、絶縁層の中にパターニングされた穴を介して、複数の電極内の第２の電極と接続する。
【００１９】
上述した概念と後に更に詳細に論ずる更なる概念との全ての組み合わせ（このような概念が相互に矛盾しない場合）は、本明細書に開示する発明の主題の一部であるものとして企図されることが理解されるべきである。特に、本開示の最後に現れる請求項に係る主題の全ての組み合わせが、本明細書に開示する発明の主題の一部であるものとして企図される。また、引用することにより本明細書の一部をなすものとする任意の開示にも表れる可能性がある、本明細書において明示的に採用する用語は、本明細書に開示する特定の概念と最も一貫する意味が与えられるべきであることも理解されるべきである。
【００２０】
当業者であれば、図面が主として例示を目的としたものであり、本明細書に記載された本発明の主題の範囲を限定することを意図するものではないことを理解するであろう。図面は、必ずしも一律の縮尺ではない。いくつかの場合には、本明細書に開示された本発明の主題の様々な態様は、種々の特徴の理解を容易にするために、図面において誇張又は拡大されて示される場合がある。図面において、同様の参照符号は、一般に、同様の特徴部（例えば、機能的及び／又は構造的に類似した要素）を参照する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】電極間に抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズを示す図である。
【図２Ａ】電極に電力を供給する電気的接続を備えない、図１の電気活性レンズ内の電極を示す図である。
【図２Ｂ】バス線が追加された、図１及び図２Ａの電極を示す図である。
【図３】抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズの電気回路図である。
【図４】図３に示される電気活性レンズのためのドライブチャネルのそれぞれを通って流れる電流を示す図である。
【図５Ａ】面内抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズの平面図である。
【図５Ｂ】抵抗性ブリッジＲ１〜Ｒ９を備える電気活性レンズの回路図である。
【図６】図５に示される電気活性レンズのためのドライブチャネルのそれぞれを通って流れる典型的な電流を示す図である。
【図７】１００ｋΩ抵抗性ブリッジＲ１〜Ｒ９を備える電気活性レンズを示す図である。
【図８】図７に示される電気活性レンズの電流を示す図である。
【図９】２．５ＭΩ抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズを示す図である。
【図１０】図９に示される電気活性レンズのためのドライブチャネルのそれぞれを通って流れる典型的な電流を示す図である。
【図１１】高設抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズの断面図である。
【図１２Ａ】図１１の電気活性レンズの電極、抵抗器及びバス線の異なる図である。
【図１２Ｂ】図１１の電気活性レンズの電極、抵抗器及びバス線の異なる図である。
【図１２Ｃ】図１１の電気活性レンズの電極、抵抗器及びバス線の異なる図である。
【図１２Ｄ】湾曲したブリッジセグメントを備える高設抵抗性ブリッジを示す図である。
【図１２Ｅ】可変幅を有するブリッジセグメントを備える高設抵抗性ブリッジを示す図である。
【図１３】高設抵抗性ブリッジを備える電気活性コンタクトレンズを示す図である。
【図１４】電極層の上方の絶縁層上に配置される抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズを作製するプロセスを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本願は、高設抵抗性ブリッジと接続される電極を備える、電気活性コンタクトレンズ及び電気活性眼内レンズを含む、電気活性レンズを開示する。例えば、抵抗性ブリッジは、電極周囲の絶縁層上に配置することができる。絶縁層の反対側に抵抗性ブリッジ及び電極を配置することは、抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズ、及び従来の抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズより優れた数多くの利点を提供する。抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズに比べて、高設抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズは、少ないバス線で多くの電極に対応することができる。そして、従来の抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズに比べて、高設抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズは、抵抗器がリング電極間に配置されないので、連続しているだけでなく、互いに近接しているリング電極を提供することができる。連続しており、狭い間隔で配置される電極は、不連続であるか、又は広い間隔で配置される電極より、良好な光学的性能を提供する。
【００２３】
高設抵抗性ブリッジは大きくすることもでき、それは、より大きい表面積に起因して、曲げられるときに断線する可能性が小さいことを意味する。また、後に説明されるように、高設抵抗性ブリッジが大きいほど、抵抗が高くなり、電力消費量が低くなる。コンタクトレンズ又は眼内レンズの場合、そのような小さいデバイス内では利用可能な電力が限られること、それにより電力貯蔵デバイスの電池サイズが小さいことに起因して、低い電力消費量は特に有益である。これらの高設抵抗性ブリッジによって、そのデバイスの設計が提供する光学的能力を保持しながら、電力消費量を下げることができるようになる。
【００２４】
さらに、高設抵抗性ブリッジは、従来の抵抗性ブリッジのように正確な大きさにするか、正確な形状にするか、又は正確に位置決めする必要がないので、高設抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズは、従来の抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズより容易に作製することができる。別の言い方をすると、高設抵抗性ブリッジは、電極の上方に延在し、光学エリアの一部ではないので、より粗い分解能の機構を用いて作製することができる。結果として、高設抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズは、より簡単なリソグラフィ又はインクジェット印刷を用いて、フレキシブル基板上に作製することができる。そして、電極とは異なる高さにあるので、高設抵抗性ブリッジは、電極とは異なる材料から作製することもできる。例えば、電極は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の導電性の透明材料から作製することができ、高設抵抗性ブリッジは、ＩＴＯより高い抵抗率を有する材料から作製することができる。
【００２５】
抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズ
図１は、抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズ１００の組立分解斜視図を示す。電気活性レンズ１００は、同心リング電極の組２０５と、導電性接続パッド１１５とをパターニングした下側基板１１０を含む。導電性バス線２２０が、それぞれの電極２０５をそれぞれの導電性接続パッド１１５と接続する。電極２０５、バス線２２０、及び接続パッド１１５は、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の透明な導電性材料から形成することができ、すなわち、下側基板１１０上に堆積し、標準的なリソグラフィ技法を用いてパターニングすることができる。上側基板１３０が、レンズ１００の他の半分を形成する。上側基板１３０の底面は、別の電極（例えば、接地面１３５）としての役割を果たす透明な導電性材料層でコーティングされる。液晶材料１２０の層が、上側基板１３０と下側基板１１０との間に挟持され、レンズ１００が形成される。
【００２６】
動作時に、各バス線２２０において個々に制御可能な電圧を利用して、対応するリング電極２０５と接地面１３５との間の液晶材料１２０の屈折率を変調することができる。例えば、バス線２２０に印加される電圧は、レンズ１００が平面波の経路内に位置決めされるときに球面波を生成するように選択することができる。また、電圧は、球面のみ（sphere-only）の波面から逸脱するように選択することもできる。そのような逸脱は、より高次の収差を補正する際に有用な場合があり、１つの例が球面収差である。
【００２７】
図２Ａ及び図２Ｂは、図１の電気活性レンズ１００の同心円形電極２０５を更に詳細に示す。図２Ａは、電極２０５に電力を供給するために作製される電気的接続をまだ備えていないレンズ１００を示す。円形電極２０５は通常、ガラス又はプラスチック等の透明基板上にパターニングされる、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の、透明であるが、導電性の材料から作製される。各電極２０５間には、電極２０５間の電気的接続を防ぐために、導電性材料を備えない間隙２１０がある。間隙２１０（１９個が図示される）は、満たされないままにすることができるか、又は非導電性材料、例えば、二酸化シリコン（ＳｉＯ２）で満たすことができる。多くの場合に、１マイクロメートル〜３マイクロメートルの典型的な間隙サイズを有するように、この間隙をできる限り小さくすることが望ましい。また、間隙はそれより小さくすることも、大きくすることもできる。この例では、２０個の電極２０５が図示されるが、通常、更に多くの電極、おそらく数百又は数千の電極が使用される。
【００２８】
レンズ１００は、円形電極２０５及び間隙２１０の上に絶縁層（図示せず）を含みうる。この絶縁層は、電極２０５上にわたって堆積される、電気を通さないが、光学的に透明である材料、例えば、１２５ｎｍ厚のＳｉＯ２層から作製することができる。一連の穴２００（２０個が図示される）が、絶縁層内にパターニングされ、下層にある各電極２０５の一部を露出させる。これらの穴２００の目的は、図２Ｂに関して後に説明される。
【００２９】
図２Ｂは電極２０５を示しており、バス線２２０（２０本が図示される）がそれぞれの穴２００を介してそれぞれの電極２０５に接続されている。バス線２２０は導電性材料、例えば、ニッケルから作製される。それらのバス線は通常、約１０マイクロメートル幅であるが、空間が限られており、電力伝送量が少ない場合には細くすることができ（例えば、１マイクロメートル）、電力伝送量が多い場合には太くすることができる（例えば、１００マイクロメートル）。各バス線２２０は、回路設計に応じて、１０ｍｍまでの長さにすることができる。
【００３０】
動作時に、バス線２２０は、電極２０５に電力を与える。各バス線２２０は、その指定された電極２０５にのみ電力を送達し、他のいずれの電極２０５にも電力を送達しない。絶縁層は、バス線２２０がその下方にある他の電極に短絡するか、又は接続するのを防ぎ、バス線２２０を絶縁層内のビアホールである穴２００を通して所望の電極２０５にのみ接続できるようにする。
【００３１】
図１及び図２に示される例示的なレンズ１００は、電極当たり１つのバス線を使用する。２０個の電極のこの例示的な設計では、２０本のバス線及び２０個の電気的ドライブチャネルを設けることが扱いやすいが、レンズが更に多くの電極を有するときに、電極当たり１つのバス線を使用することは問題になる可能性がある。更なるバス線は、光を遮断し、望ましくない回折源を追加することによってレンズの光学品質を劣化させる可能性があり、電気的チャネルが増えるごとに複雑になり、電子回路にかかるコストが増加する。これらの問題は、電極間に抵抗器を追加し、それにより、電極のサブセットのみをバス線に接続できるようにすることによって緩和することができる。バス線に接続されない電極は、抵抗性ブリッジ及び隣接する電極を介して送達される電流によって電力を供給される。これはバス線及び電気的ドライブチャネルの数を削減するが、後に更に詳細に説明されるように、電力消費量が増加する可能性がある。
【００３２】
図３は、抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズ（例えば、図１及び図２のレンズ１００）の典型的な電気回路図を示す。アナログ出力電圧源５、１０、１５、２０、２５、３０、３５、４０、４５及び５０によってドライブ信号が与えられる。これらの電圧源は、電気活性レンズに埋め込まれるか、又は電気的に結合される特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）等のコントローラ（図示せず）によって供給される。図３の回路図の左側にあるキャパシタＣ１〜Ｃ１０は、電極によって変調される液晶層（図示せず）によって生成されるキャパシタンスを表す。接地記号は、電極をパターニングされた基板の反対に位置する基板であり、アナログ出力の反対の電位にある接地面を示す。
【００３３】
この例におけるドライブ信号は、１００Ｈｚにおいて振動する方形波であり、ピーク・トゥ・ピーク電圧振幅は、電圧源５から５０まで、それぞれ０．５７ボルト、０．６２ボルト、０．６９ボルト、０．７６ボルト、０．８３ボルト、０．９２ボルト、１．０３ボルト、１．１３ボルト、１．２７ボルト及び１．５ボルトである。これらの電圧は、所望の光学的効果を生み出すために、液晶内の遅延の所望の遅延勾配（gradient of retardation）によって決定される。液晶応答と閾値電圧と呼ばれる電圧との間には或る関係があり、通常、Ｖ１０−Ｖ９０仕様と呼ばれ、その範囲の８０％を通して液晶分子を動かすために必要とされる電圧範囲を示す。それらの電圧は、電極から液晶までの距離、液晶層厚等の他の設計変数を補償するように調整することができる。
【００３４】
図４は、図１〜図３に示されるような、抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズの場合のドライブチャネルのそれぞれを通って流れる典型的な電流を示す。図示される最大電流は１２０ナノアンペア（１２０×１０−９Ａ）である。電気活性レンズの制御回路が別の１３０ナノアンペアを引き込む場合には、この電流は、１０マイクロアンペアアワー電池を用いてレンズ１００が約４０時間にわたって動作できるほど十分に低く、その電池は、電気活性コンタクトレンズ又は電気活性眼内レンズ等の電気活性眼科用レンズ内に埋め込まれるほど十分に小さい。
【００３５】
面内抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズ
図５Ａは、引用することによりその全体が本明細書の一部をなすものとするＢｏｓらに対する米国特許第９，２８０，０２０号からの（従来技術の）電気活性レンズ内で面内抵抗性ブリッジ３８によって接続される電極３４の平面図を示す。電極３４、面内抵抗性ブリッジ３８及び中央円板電極３５は、基板２２上に電極層３０をパターニングすることによって形成される。拡大した領域２−２に示されるように、面内抵抗性ブリッジ３８は、隣接する電極３４間の間隙３６（例えば、空間）にわたり、電極３４と電圧源（図示せず）との間の入力接続７０の数を削減できるようにする。
【００３６】
また、拡大図２−２は、面内抵抗性ブリッジ３８が、電極３４が完全なリングになるのを妨げる、幅及び（鋭い）角の変動等の不連続を引き起こすことも示す。抵抗性ブリッジ３８が十分に大きい場合には、これらの欠損又は不連続は、電気活性レンズの光学的性能及び電極の電気的性能を劣化させる可能性がある。典型的には、良好な光学的性能をもたらす面内抵抗性ブリッジは通常、２マイクロメートル幅及び４マイクロメートル長である。しかしながら、このサイズの抵抗器はわずか約２平方（squares）の抵抗性材料であり、後に説明されるように、電力消費量を低く抑えるために、所望の抵抗を与えるほど十分に高い抵抗率又はシート抵抗を有する材料を使用するのを難しくする。面積を増やすと抵抗が増加するが、必然的に電極３４間の間隙も大きくなるか、各抵抗性ブリッジ３８内の不連続も大きくなるか、又はその両方を伴う。図５Ａに示されるように、抵抗器３８を長くするために電極３４の中に入り込むことにより、抵抗器の長さ対幅比を大きくするだけの面積を与えることができるので、より多くの量の抵抗性材料を使用できるようになり、結果として抵抗が高くなるが、その際、電極３４の完全性及び性能が低下する。図５Ａに示される電極３４は通常、３０マイクロメートル長及び３マイクロメートル幅（約１０平方）であり、それは適正な抵抗を与えるが、光学的性能を劣化させる。
【００３７】
図５Ｂは、面内抵抗性ブリッジＲ１〜Ｒ９を備える電気活性レンズの電気回路図を示す。これらの抵抗器はそれぞれ、２０００オームの抵抗値を有する。これらの抵抗性ブリッジは、隣接する電極間に、電極と同じ平面内に形成される。この抵抗値において、それらの抵抗性ブリッジは、電気活性レンズの光学品質を劣化させないほど十分に小さい寸法を有することができる。すなわち、それらの抵抗性ブリッジは、電極間の間隙内に収まるほど十分に小さく、レンズを通して使用者がはっきりと見ることができるのを妨害又は遮断するほど大きく入射光を回折又は散乱させない。しかし、それらの抵抗器は、レンズの電流消費量を著しく増加させる。
【００３８】
図６は、図５に示される電気活性レンズのためのドライブチャネルのそれぞれを通って流れる典型的な電流を示す。最大電流は１１７マイクロアンペア（１１７×１０−６Ａ）である。この電流消費量では、電気活性レンズは約５分間で１０マイクロアンペアアワー電池を使い果たすことになり、それは短すぎて、大部分の眼科用として実用的ではない。
【００３９】
図７は、それぞれが１０００００オームの抵抗値を有する面内抵抗性ブリッジＲ１〜Ｒ９を備える電気活性レンズの電気回路図を示す。これらの抵抗性ブリッジはより大きく、それゆえ、レンズの光学的性能を劣化させる可能性が高い。抵抗値が増えることによって、レンズの電流消費量は削減されるが、レンズを眼科用として実用するには不十分である。
【００４０】
図８は、図７に示されるレンズの電流を示す。抵抗値はかなり大きいが、ピーク電流消費量はほぼ２．５マイクロアンペア（２．５×１０−６Ａ）であり、それは、図３に示される抵抗性ブリッジを備えないレンズによって消費される電流より２０倍よりも高い。この電流消費量レベルであっても、この電極／抵抗器構成は、コンタクトレンズ又は眼内レンズにおいて使用するには短すぎる電池寿命を有することになる。
【００４１】
図９は、それぞれが２５０００００オーム（２．５ＭΩ）の抵抗を有するように変更された抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズの電気回路図を示す。これらの抵抗性ブリッジは約５０マイクロメートル長×２マイクロメートル幅であり、それは、電気活性レンズ光学的性能を劣化させるほど大きい。この抵抗において、電流は、回路内に抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズ内の電極間の抵抗に接近し始める。しかし、その抵抗性ブリッジはまた、抵抗性ブリッジが電極間に収まるために、電極が更に離間されなければならないか、又は曲げられるか、若しくは湾曲させなければならないほど大きい。電極を更に押し広げるか、又はその形状を変更することは、レンズの光学品質を劣化させ、数多くの眼科用として、そのレンズを不適切にする。
【００４２】
図１０は、図９において説明された電気活性レンズのためのドライブチャネルのそれぞれを通って流れる典型的な電流を示す。最大電流は２００ナノアンペア（２００×１０−９Ａ）であり、抵抗性ブリッジを備えないレンズの消費電力量のレベルに接近する。電流消費量は、レンズの電池寿命が抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズの電池寿命に概ね一致するほど十分に低いが、レンズの光学品質は、抵抗性ブリッジを備えない電気活性レンズの光学品質より悪い。結果として、２．５ＭΩ面内抵抗性ブリッジを備えるレンズが、コンタクトレンズ又は眼内レンズとして使用するのに十分に長い電池寿命を有する場合であっても、それは実用的なコンタクトレンズ又は眼内レンズとして使用することはできない。
【００４３】
高設抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズ
図１１及び図１２は、高設抵抗性ブリッジを備える、電気活性レンズ及び同心リング電極を示し、高設抵抗性ブリッジが電気活性レンズ内でいかに使用される場合があるかを示す。抵抗器が電極間の間隙内にあるか、又は各電極内の欠損箇所に接続されるのではなく、抵抗器と電極との間の絶縁層が存在し、絶縁層内のビアを通してそれらが接続される。抵抗器の場所を設けるために電極から表面積を除去する必要がないので、これは連続した電極リングをもたらす。また、それは、より大きい長さ対幅比を有する抵抗器を可能にする。このように長さ対幅比が大きいことによって、全抵抗が非常に高く、かつシート抵抗がより小さい抵抗器を作製できるようになる。例えば、一般的であり、容易に作製されるタイプの材料である、１００ｋΩ／□のシート抵抗を有する材料の場合に、バス線接続点間の抵抗器は、２．５ＭΩの抵抗を有し、２５：１の長さ対幅比を有することができる。抵抗性ブリッジ材料、及び所望の電池寿命を含む場合があるレンズ設計基準に応じて、他の抵抗及び長さ対幅比も可能である。
【００４４】
抵抗性ブリッジを電極の上方（又は下方）の高さまで持ち上げる１つの他の利点は、抵抗性ブリッジ材料が電極の材料と異なることができることである。これにより、所望の光学品質を有するが、恐らく低い抵抗を有する電極用の材料を選択できるようになり、高い抵抗を有するが、恐らく低い光学品質を有する抵抗器用の異なる材料を選択できるようになる。抵抗器はレンズのそのような極めて小さいエリアを構成するので、レンズの光学品質に大きな影響を及ぼすことなく、抵抗器を不透明材料から作製することもできる。
【００４５】
図１１は、高設抵抗性ブリッジ（抵抗器）３５０を備える電気活性レンズの一部の断面図を示す。この抵抗性ブリッジ３５０は、基板３１０上にパターニングされるいくつかの電極３０５ａ〜３０５ｅ（まとめて、電極３０５）に電気的に接続される。コンタクトレンズ等の眼科用レンズでは、約１０ｍｍ〜２０ｍｍの幅にわたる数十〜数百の電極３０５が存在する場合があり、各電極３０５は、数マイクロメートル〜数ミリメートル程度（例えば、０．５μｍ、１μｍ、２μｍ、２．５μｍ、３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍ、１００μｍ、２５０μｍ、５００μｍ、１ｍｍ、１．５ｍｍ、２ｍｍ、又は約０．５μｍ〜約２ｍｍの任意の他の値若しくは範囲）の幅を有する。実施態様に応じて、電極３０５は、同一の幅又は異なる幅のものとすることができ、場合によってはレンズの中心において円板形の電極を有する。
【００４６】
従来の抵抗性ブリッジを備える電気活性レンズの場合とは異なり、図１１に示される電極３０５はそれぞれ均一な幅であり、不連続は存在しない。さらに、隣接する電極間の間隙も相対的に小さい。例えば、これらの間隙は、数ナノメートルから数マイクロメートル（例えば、１００ｎｍ、２００ｎｍ、２５０ｎｍ、３００ｎｍ、４００ｎｍ、５００ｎｍ、１μｍ、２μｍ、２．５μｍ、３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ若しくは１０μｍ、又は約１０μｍまでの任意の他の値若しくは範囲）の大きさに及ぶ場合がある。電極３０５は相対的に薄くすることができ、例えば、２００ナノメートル（ｎｍ）未満、好ましくは４０ｎｍ未満とすることができる。
【００４７】
絶縁層３００が電極３０５上に被着され、絶縁層３００の中にバス線ビアホール３３０ａ及び３３０ｂ（まとめて、バス線ビアホール３３０）がパターニングされる。例えば、絶縁層３００は１２０ｎｍ厚の二酸化シリコン層、又は０．５μｍ厚のＳＵ−８層とすることができる。抵抗器ビアホール３４０ａ〜３４０ｃ（まとめて、抵抗器ビアホール３４０）も絶縁層３００の中にパターニングされる。その後、下層にある電極３０５がビアホール３３０及び３４０を通して、抵抗性ブリッジ３５０を通じて接続されるように、抵抗性ブリッジ３５０が形成される。バス線３１５ａ及び３１５ｂ（まとめて、バス線３１５）が、ビアホール３３０ａ及び３３０ｂを通してそれぞれ、抵抗性ブリッジ３５０と、電極３０５ａ及び３０５ｅとの両方に接続する。電極３０５ａ及び３０５ｅはバス線３１５ａ及び３１５ｂによって直接電力を供給され、一方、電極３０５ｂ〜３０５ｄは抵抗性ブリッジ３５０を通じて間接的に電力を供給される。
【００４８】
抵抗性ブリッジ３５０のシート抵抗は、約０．１ＭΩ／□〜約１００ＭΩ／□又はそれ以上の範囲に及ぶ場合がある。絶縁層３００のシート抵抗は、約１０１８Ω／メートルより大きく、理想的には無限である。電極３０５の抵抗は約２００Ω／□未満である。達成しようとする光学的効果に応じて、抵抗の他の指標が使用される場合がある。抵抗性層は相対的に薄くすることができ、例えば、２００ナノメートル（ｎｍ）未満、好ましくは、４０ｎｍ未満にすることができる。
【００４９】
図１１は、電極３０５と共有するようにして、バス線ビアホール３３０の内部で抵抗性ブリッジ３５０に接続するバス線３１５を示すが、ビアホール設計の当業者によれば、他の構成を行うことができる。例えば、抵抗性ブリッジが、ビアホールの底面全体を占有することができ、バス線が抵抗性ブリッジ材料の上に存在することができる。また、バス線が、ビアホールの底面全体を占有することができ、抵抗性ブリッジがバス線材料の上に存在することができる。同様に、抵抗性ブリッジは、それより多くの、又は少ない電極に接続することができる。
【００５０】
絶縁層３００の上方に抵抗性ブリッジ３５０を有することにより、抵抗器を構成するためにより広い場所が設けられるので、電極３０５の完全性を低下させることなく、又は中断することなく、より高い長さ対幅比を使用できるようになる。他の全てのことが同じであるなら、抵抗器の長さ対幅比を高めると、その抵抗が増加する。そして、抵抗が高くなるほど、電流消費量が少なくなり、電池寿命が長くなる。抵抗器が電極の平面において電極間の間隙内にとどまらなければならなかった場合では、長さ対幅比をより高くできないこともあり得た。
【００５１】
また、絶縁層３００及び電極の上方に抵抗性ブリッジ３５０を配置することは、抵抗器を構成するための材料選択においてより大きい自由度を与え、高い抵抗を有する抵抗器を構成するときに、より安定し、より広範な誤差許容範囲を与える。例えば、抵抗性ブリッジ３５０は、酸化インジウムスズ等の透明な導電性材料から作製することができるか、又はマイクロメートル単位の厚さであるニッケル層等の、光を通すほど十分に薄い材料層から作製することができる。反射配置において抵抗性ブリッジ３５０が使用される場合には、又は抵抗性ブリッジ３５０が相対的に小さい場合には、不透明な材料（例えば、より厚い金属層）から作製することができる。
【００５２】
図１２Ａ及び図１２Ｂは、電極３０５、バス線３１５、バス線ビアホール３３０、抵抗器ビアホール３４０及び抵抗性ブリッジ３５０の平面図を示す（図１２Ｂは拡大図である）。（６本が図示される）バス線３１５は、６つの場所にあるバス線ビアホール３３０において絶縁層を貫通し、電極３０５との電気的接続を形成する。また、抵抗性ブリッジ３５０がバス線ビアホール３３０において接続される。抵抗性ブリッジ３５０は、（１４個が図示される）抵抗器専用ビアホール３４０を通して、電力供給されない電極３０５に接続する。
【００５３】
図１２Ｃは、電極３０５を備えない場合の、バス線３１５、バス線ビアホール３３０、抵抗器ビアホール３４０及び抵抗性ブリッジ３５０を示す。抵抗性ブリッジ３５０は、直線セグメントの組として示されるが（各セグメントは、個々の抵抗性ブリッジとみなすことができる）、それらのセグメントは、所望の抵抗のより良好な制御を与えるために、他の形状及びサイズにすることもできる。
【００５４】
例えば、図１２Ｄは、隣接するビアホール３３０及び３４０を接続する湾曲したブリッジセグメント３５２ａ〜３５２ｄ（まとめて、湾曲したブリッジセグメント３５２）を備える高設抵抗性ブリッジ３５０’を示す。この場合、湾曲したブリッジセグメント３５２は、一対のバス線ビアホール３３０間に波状の、又は正弦波状の経路を形成する。他の場合には、抵抗性ブリッジセグメントは、１つのビアホールから次のビアホールまで異なる非直線（例えば、湾曲した、捩じれた、又は鋸歯状の）経路をとることができる。さらに、各ブリッジセグメントは、異なる曲率又は経路を有することができ、いくつかのセグメントが他のセグメントより大きい曲率半径を有することができるか、又は異なる形状の経路をとることができる。これは、各セグメント、そして全体として抵抗性ブリッジを長くし、その抵抗を高めることになる。また、曲率は、そのインダクタンス、キャパシタンス又はその両方を含む、抵抗性ブリッジの他の電気的特性に影響を及ぼす場合がある。
【００５５】
同様に、図１２Ｅは、その幅がセグメントによって異なる、セグメント３５４ａ〜３５４ｄ（まとめて、可変幅ブリッジセグメント３５４）を備える高設抵抗性ブリッジ３５０’’を示す。この場合、セグメント３５４は中央において膨らんでいるが、他の形状を使用することもできる。この変動を用いて、抵抗性ブリッジのセグメント間で長さが異なることに起因する抵抗変動を補償する抵抗器を与えることができる。また、各セグメントの幅を意図的に変更して、セグメントごとに不均一な抵抗値を生成することができる。例えば、セグメント幅を変更して、放物線状の抵抗勾配等の非線形抵抗勾配を生成することができる。この放物線状の抵抗勾配を用いて、電場の放物線状の勾配を生成することができ、結果として、より少ないバス線（そして、より良好な光学品質）を有するレンズがもたらされる。
【００５６】
高設抵抗性ブリッジを備える電気活性コンタクトレンズ
図１３は、高設抵抗性ブリッジ１３５０を備える電気活性コンタクトレンズ１３００を示す。電気活性コンタクトレンズ１３００は、図１に示されるレンズ１００と同様に、一対の透明基板間にネマティック又はコレステリック液晶等の電気活性材料が挟持されている、電気活性レンズ要素１３０２を含む。また、液晶は、単一の基板を折り返すことによって画定される空洞内に収容することもできる。液晶材料と向かい合う表面のうちの一方は、図１１及び図１２Ａに示されるように、透明な導電性材料から作製される複数の同心リング電極を含むようにパターニングされる。
【００５７】
また、電気活性レンズ要素１３０２は、図１１に示されるように、絶縁層上に配置される高設抵抗性ブリッジ１３５０を含む。この高設抵抗性ブリッジ１３５０は、同じく図１１及び図１２Ａに示されるように、電極を互いに、そしてバス線１３２０に接続するセグメントを含む。バス線１３２０は次にバス１３２２に接続し、バスはフレキシブルプリント回路基板（ＰＣＢ）１３２６を介してプロセッサ（ここでは、ＡＳＩＣ１３２４）に接続する。また、フレキシブルＰＣＢ１３２６は、ＡＳＩＣ１３２４をリング状電源電池１３２８及びリング状アンテナ１３３０に接続し、それらはいずれも、図１３に示されるように、電気活性レンズ要素１３０２と同心である。これらの構成要素は全て、ベース光学要素１３０４に完全に、又は部分的に埋め込まれる。このベース光学要素１３０４は更なる光学的能力を与えることができ、すなわち、ベース光学要素は固定レンズとして機能することができ、ソフトコンタクトレンズにおいて使用されるようなソフトヒドロゲルを含む、任意の適切な材料から形成することができる。
【００５８】
動作時に、ＡＳＩＣ１３２４は、アンテナ１３３０によって受信されるか、又は電気活性コンタクトレンズ１３００内に埋め込まれた１つ以上のセンサ（図示せず）によって生成される信号に応答して、電気活性レンズ要素１３０２を作動させる。ＡＳＩＣ１３２４は、バス１３２６、バス線１３２０及び高設抵抗性ブリッジ１３５０を介して電極に印加される電圧を変調することによって、電気活性レンズ要素１３０２によって与えられる光電力を制御する。高設抵抗性ブリッジ１３５０は電極とは異なる平面内にあるので、高設抵抗性ブリッジは、レンズの光学的性能を劣化させることなく、相対的に大きく（例えば、２．５ＭΩに）することができる。このサイズにおいて、高設抵抗性ブリッジはまた、電流消費量を適切な割合（例えば、１００ｎＡ〜２００ｎＡ程度）に制限し、それにより、（例えば、コイル状アンテナ１３３０を介して）次に再充電するまで、又は電気活性コンタクトレンズ１３００が捨てられる前に、電池１３２８が長時間（例えば、４０時間以上）にわたって動作できるようにする。
【００５９】
高設抵抗性ブリッジを備える電気活性眼内レンズの作製
図１４は、高設抵抗性ブリッジを備える電気活性眼内レンズを作製するプロセス１４００を示す。ステップ１４０２において、導電性材料（例えば、ＩＴＯ）が、１枚の可撓性ポリマー等の透明基板上に堆積される。ステップ１４０４において、電極材料がリソグラフィによってパターニングされ、電極（例えば、同心リング状電極）が形成される。次に、ステップ１４０６において、パターニングされた電極上に二酸化シリコン等の絶縁材料層が堆積される。ステップ１４０８において、絶縁層の中にリソグラフィによってスルーホールがパターニングされる。ステップ１４１０において、絶縁層上、及びスルーホール内に抵抗性材料が配置され、電極への電気的接続が形成される。適切な抵抗性材料は、限定はしないが、ニッケル及びクロムの合金、酸素をドープしたＩＴＯ、金属と酸化物との組み合わせ、ポリ（３，４−エチレンジオキシチオフェン）ポリ（スチレンスルホン酸）（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ）等の抵抗性ポリマーを含む。ステップ１４１２において、抵抗性材料がリソグラフィによってパターニングされ、高設抵抗性ブリッジが形成される。ステップ１４１４において、抵抗性ブリッジ及び露出した絶縁層上に導電性材料層が配置され、ステップ１４１６において、パターニングされ、バス線が形成される。
【００６０】
結論
本明細書において様々な本発明の実施形態を説明及び図示してきたが、当業者であれば、本明細書において説明した機能を実行し、及び／又は本明細書において説明した結果及び／又は利点のうちの１つ以上を捕捉する様々な他の手段及び／又は構造を容易に想像するであろう。そのような変形形態及び／又は変更形態のそれぞれは、本明細書において説明した本発明の実施形態の範囲内にあるとみなされる。より一般的には、当業者であれば、本明細書において説明した全てのパラメータ、寸法、材料、及び構成は例示であることが意図され、実際のパラメータ、寸法、材料、及び／又は構成は、本発明の教示が用いられる特定の単数又は複数の用途に依存することを容易に理解するであろう。当業者であれば、本明細書において説明した特定の本発明の実施形態の多くの均等物を認識し、又は日常的な実験にすぎないものを用いて確かめることができるであろう。したがって、上記実施形態は、例として提示されたものにすぎず、添付の特許請求の範囲及びその均等物の範囲内で、具体的に説明したもの及び特許請求の範囲に記載したものとは別の方法で本発明の実施形態を実施することができることが理解されるであろう。本開示の本発明の実施形態は、本明細書において説明した個々の各特徴、システム、物品、材料、キット、及び／又は方法を対象としている。加えて、２つ以上のそのような特徴、システム、物品、材料、キット、及び／又は方法が相互に不整合でない場合には、そのような特徴、システム、物品、材料、キット、及び／又は方法の任意の組み合わせは、本開示の本発明の範囲内に含まれる。
【００６１】
上記で説明した実施形態は、非常に多くの方法のうちの任意のもので実施することができる。例えば、本明細書において開示した技術を設計及び実現する実施形態は、ハードウェア、ソフトウェア又はそれらの組み合わせを用いて実施することができる。ソフトウェアで実施されるとき、そのソフトウェアコードは、単一のコンピュータに設けられているか又は複数のコンピュータ間に分散されているかを問わず、任意の適したプロセッサ又はプロセッサの集合体において実行することができる。
【００６２】
さらに、コンピュータが、ラックマウント式コンピュータ、デスクトップコンピュータ、ラップトップコンピュータ又はタブレットコンピュータ等の任意の複数の形において具現される場合があることは理解されたい。さらに、コンピュータは、携帯情報端末（ＰＤＡ）、スマートフォン又は任意の他の適切なポータブル若しくは固定電子デバイスを含む、一般にコンピュータとはみなされないが、適切な処理能力を有するデバイスにおいて具現される場合がある。
【００６３】
また、コンピュータは、１つ以上の入力デバイス及び出力デバイスを有することができる。これらのデバイスは、とりわけ、ユーザインタフェースを提示するのに用いることができる。ユーザインタフェースを提供するのに用いることができる出力デバイスの例には、出力の視覚的提示のためのプリンター又はディスプレイスクリーンと、出力の可聴提示のためのスピーカ又は他の音発生デバイスとが含まれる。ユーザインタフェースに用いることができる入力デバイスの例には、キーボードと、マウス、タッチパッド、及び離散化タブレット等のポインティングデバイスとが含まれる。別の例として、コンピュータは、音声認識を通じて又は他の可聴フォーマットで入力情報を受信することができる。
【００６４】
そのようなコンピュータは、エンタープライズネットワーク及びインテリジェントネットワーク（ＩＮ）又はインターネット等のローカルエリアネットワーク又はワイドエリアネットワークを含む任意の適した形態の１つ以上のネットワークによって相互接続することができる。そのようなネットワークは、任意の適した技術に基づくことができ、任意の適したプロトコルに従って動作することができ、無線ネットワーク、有線ネットワーク、又は光ファイバネットワークを含みうる。
【００６５】
本明細書において略述した（例えば、上記で開示した技術を設計及び実現する）様々な方法又はプロセスは、様々なオペレーティングシステム又はプラットホームのうちの任意の１つを用いる１つ以上のプロセッサ上で実行可能なソフトウェアとしてコード化することができる。加えて、そのようなソフトウェアは、多くの適したプログラミング言語及び／又はプログラミングツール若しくはスクリプティングツールのうちの任意のものを用いて記述することができ、フレームワーク又は仮想機械上で実行される実行可能な機械語コード又は中間コードとしてコンパイルすることもできる。
【００６６】
この点において、種々の発明の概念は、１つ以上のコンピュータ又は他のプロセッサ上で実行されるときに、上記で論じられた本発明の種々の実施形態を実施する方法を実行する１つ以上のプログラムで符号化されたコンピュータ可読記憶媒体（又は複数のコンピュータ可読記憶媒体）（例えば、コンピュータメモリ、１つ以上のフロッピーディスク、コンパクトディスク、光ディスク、磁気テープ、フラッシュメモリ、フィールドプログラマブルゲートアレイ若しくは他の半導体デバイス内の回路構成、又は他の非一時的媒体又は有形コンピュータ記憶媒体）として具現される場合がある。単数又は複数のコンピュータ可読媒体は、そこに記憶された単数又は複数のプログラムを１つ以上の異なるコンピュータ又は他のプロセッサにロードして、上記で論じられたような本発明の種々の態様を実施することができるように、輸送可能とすることができる。
【００６７】
用語「プログラム」又は「ソフトウェア」は、本明細書では、上記で論述したような実施形態の様々な態様を実施するようにコンピュータ又は他のプロセッサをプログラミングするのに用いることができる任意のタイプのコンピュータコード又は一組のコンピュータ実行可能命令を指す一般的な意味に用いられる。加えて、１つの態様によれば、実行されると、本発明の方法を実行する１つ以上のコンピュータプログラムは、単一のコンピュータ又はプロセッサ上に存在する必要はなく、複数の異なるコンピュータ又はプロセッサ間にモジュール形式で分散されて本発明の様々な態様を実施することができることが理解されるであろう。
【００６８】
コンピュータ実行可能命令は、１つ以上のコンピュータ又は他のデバイスによって実行されるプログラムモジュール等の多くの形態で存在することができる。一般に、プログラムモジュールは、特定のタスクを実行するか又は特定の抽象データタイプを実施するルーチン、プログラム、オブジェクト、構成要素、データ構造体等を含む。通常、プログラムモジュールの機能は、様々な実施形態において所望されるとおりに組み合わせることもできるし、分散させることもできる。
【００６９】
また、データ構造体は、任意の適した形態でコンピュータ可読媒体に記憶することができる。説明を簡単にするために、データ構造体は、当該データ構造体におけるロケーションを通じて関係付けられたフィールドを有するように示すことができる。そのような関係は、フィールドの記憶領域に、フィールド間の関係を伝達するコンピュータ可読媒体内のロケーションを割り当てることによって同様に実現することができる。一方、データ要素間の関係を確立するポインタ、タグ又は他のメカニズムの使用を含む任意の適したメカニズムを用いて、データ構造体のフィールド内の情報間の関係を確立することができる。
【００７０】
また、様々な本発明の概念は、１つ以上の方法として具現化することができ、その一例は既に提供されている。この方法の一部として実行される動作は、任意の適した方法で順序付けることができる。したがって、例示したものとは異なる順序で動作が実行される実施形態を構築することができ、この順序は、いくつかの動作が例示の実施形態では順次的な動作として示されていても、それらの動作を同時に実行することを含みうる。
【００７１】
本明細書において定義されて用いられているような全ての定義は、辞書の定義、引用によって組み込まれた文書内の定義、及び／又は定義された用語の通常の意味を支配するものと解釈される。
【００７２】
本明細書及び特許請求の範囲において用いられている不定冠詞「一（a、an）」は、逆のことが明らかに示されていない限り、「少なくとも１つ」を意味するものと解釈される。
【００７３】
本明細書及び特許請求の範囲において用いられる語句「及び／又は」は、そのように接続された要素の「いずれか又は双方」、すなわち、いくつかの場合には連言的に存在する要素、及びそれ以外の場合には選言的に存在する要素を意味するものと解釈される。「及び／又は」を用いて列挙された複数の要素は、同様に、すなわち、そのように接続された要素の「１つ以上」と解釈される。「及び／又は」節によって具体的に特定された要素以外の他の要素が、具体的に特定された要素との関係の有無を問わず、任意選択的に存在してもよい。したがって、非限定的な例として、「Ａ及び／又はＢ」というとき、これは、「〜を備える／含む（comprising）」等の非限定的（open-ended：開放型）な文言とともに用いられる場合に、１つの実施形態では、Ａのみ（任意選択的にＢ以外の要素を含む）、別の実施形態では、Ｂのみ（任意選択的にＡ以外の要素を含む）、更に別の実施形態では、Ａ及びＢ（任意選択的に他の要素を含む）の双方等を指すことができる。
【００７４】
本明細書及び特許請求の範囲に用いられる「又は」は、上記で定義したような「及び／又は」と同じ意味を有すると解釈される。例えば、一覧の項目を分離するとき、「又は」又は「及び／又は」は、包含的であると解釈される。すなわち、複数の要素又は要素の一覧のうちの少なくとも１つを含むが、２つ以上も含み、任意選択的に、一覧にない追加の項目も含むものと解釈される。「〜のうちの１つ／一方のみ」若しくは「〜のうちの厳密に１つ／一方」、又は特許請求の範囲において用いられるときは「〜からなる（consisting of）」等の明らかに逆のことを示す用語のみが、複数の要素又は要素の一覧のうちの厳密に１つ／一方の要素を含むことを指す。一般に、本明細書において用いられる用語「又は」は、「いずれか」、「〜のうちの１つ／一方」、「〜のうちの１つ／一方のみ」、又は「〜のうちの厳密に１つ／一方」等の排他的な用語が後に置かれているときにのみ排他的な二者択一（すなわち「一方又は他方であって、双方ではない」）を示すものと解釈される。「本質的に〜からなる（consisting essentially of）」は、特許請求の範囲において用いられるとき、特許法の分野において用いられるその通常の意味を有する。
【００７５】
１つ以上の要素の一覧に関して、本明細書及び特許請求の範囲に用いられる語句「少なくとも１つ／一方」は、要素の一覧内の要素のうちの任意の１つ以上から選択された少なくとも１つ／一方の要素を意味するが、要素の一覧内に具体的に挙げられたありとあらゆる要素のうちの少なくとも１つ／一方を必ずしも含むものではなく、要素の一覧内の要素の任意の組み合わせを除外しないものと解釈される。この定義も、具体的に特定された要素との関係の有無を問わず、語句「少なくとも１つ／一方」が指す要素の一覧内で具体的に特定される要素以外の要素が任意選択的に存在してもよいことを可能にする。したがって、非限定的な例として、「Ａ及びＢのうちの少なくとも一方」（又は同様の意味として「Ａ又はＢのうちの少なくとも一方」、又は同様の意味として「Ａ及び／又はＢのうちの少なくとも一方」）は、１つの実施形態では、少なくとも一方であるＡ（任意選択的に２つ以上を含む）を指すとともにＢが存在しない（任意選択的にＢ以外の要素を含む）ことを指し、別の実施形態では、少なくとも一方であるＢ（任意選択的に２つ以上を含む）を指すとともにＡが存在しない（任意選択的にＡ以外の要素を含む）ことを指し、更に別の実施形態では、少なくとも一方であるＡ（任意選択的に２つ以上を含む）及び少なくとも一方であるＢ（任意選択的に２つ以上を含む）（任意選択的に他の要素を含む）を指す等とすることができる。
【００７６】
特許請求の範囲及び上記明細書において、「〜を備える／含む（comprising）」、「〜を含む／備える（including）」、「〜を担持する（carrying）」、「〜を有する（having）」、「〜を含む／包含する（containing）」、「〜を伴う（involving）」、「〜を保持する（holding）」、「〜から構成される（composed of）」等の全ての移行句は、非限定的（open-ended：開放型）である、すなわち、〜を含むが、それらに限定されるものではない、と解釈される。移行句「〜からなる（consisting of）」及び「本質的に〜からなる（consisting essentially of）」のみが、米国特許商標庁特許審査便覧のセクション２１１１．０３に規定されているように、それぞれ限定的（closed：閉鎖型）又は半限定的（semi-closed）な移行句である。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１２Ｄ】
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【図１２Ｅ】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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