(57)【要約】  個別の可撓性のスタンプによって硬化可能なラッカをインプリントし、インプリントされたラッカを硬化し、その結果、個別の基板に付加的な機能的なテクスチャード層を形成することによって、個別の基板にテクスチャを設ける、またはパターンを設ける装置が設けられており、少なくとも１つの第１のクランプおよび第２のクランプと、第１のローラと、第１のクランプおよび第２のクランプに接続されていて、クランプされた可撓性のスタンプを動かすことができる少なくとも１つの被駆動ベルトと、を有しており、ローラは、それ自体で回転することはできないが、スタンプによって駆動され、スタンプは、ベルト駆動装置によって駆動されるベルトによって駆動されているか、または、ローラは、マスタースレーブ構造でベルト駆動装置に従動するローラ駆動装置によって、ベルトと同じ速度で駆動される。
2019522368.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
個別の可撓性のスタンプによって個別の基板にインプリントするための装置であって、
ａ）長さＬと、幅Ｗと、スタンプ面積Ａｓｔａｍｐと、始端部と、終端部とを有した、少なくとも１つの第１の長方形の可撓性のスタンプ（１０４）であって、前記スタンプは、
・インプリント面積Ａｉｍｐｒｉｎｔ≦Ａｓｔａｍｐを有するインプリントテクスチャ（１０４Ａ）であって、開口と隆起部とを有しているインプリントテクスチャ（１０４Ａ）を有した前面と、
・背面と、
・前記可撓性のスタンプの前記幅Ｗ全体に沿って延在している始端領域セグメントおよび終端領域セグメントであって、前記スタンプの前記長さＬに沿って、
・始端部長さＬｏｎｓｅｔにわたって延在している始端領域セグメント、および
・終端部長さＬｅｎｄにわたって延在している終端領域セグメントと、
を有しているスタンプ（１０４）と、
ｂ）前記可撓性のスタンプ（１０４）の前記始端領域セグメントをクランプする少なくとも１つの第１のクランプ（１０５Ａ）、および前記可撓性のスタンプ（１０４）の前記終端領域セグメントをクランプする少なくとも１つの第２のクランプ（１０５Ｂ）と、
ｃ）第１のローラ（１０８Ａ）と、
ｄ）前記第１のクランプ（１０５Ａ）と前記第２のクランプ（１０５Ｂ）とに接続された少なくとも１つの被駆動ベルト（１０６）であって、前記基板（１０１）上に前記可撓性のスタンプ（１０４）の前記インプリントテクスチャ（１０４Ａ）をインプリントするために、前記可撓性のスタンプ（１０４）の前記前面と前記基板（１０１）とを間にラッカ（１０９）を挟んだ状態で互いに接触させて、前記ラッカ（１０９）により、前記基板（１０１）上にインプリントされる領域Ａ’を複製するインプリントされたテクスチャを設け、所定のインプリント距離Ｉｄにわたって、前記ローラ（１０８Ａ）上に前記背面を接触させた状態でその長さＬに沿って、クランプされた前記可撓性のスタンプ（１０４）を所定の移動方向で動かすことができる被駆動ベルト（１０６）と、
を有しており、
前記移動方向は、インプリント方向、または前記インプリント方向とは逆の方向である、
インプリントするための装置において、
前記ローラ（１０８Ａ）は、それ自体で回転することはできないが、前記スタンプ（１０４）によって駆動され、前記スタンプ（１０４）は、ベルト駆動装置によって駆動される前記ベルト（１０６）によって駆動されているか、
または、前記ローラ（１０８Ａ）は、マスタースレーブ構造で前記ベルト駆動装置に従動するローラ駆動装置によって、前記ベルト（１０６）と同じ速度で駆動される、
インプリントするための装置。
【請求項２】
前記装置は、第１のベルト対（１０６）に接続された第１のクランプ（１０５Ａ）と第２のクランプ（１０５Ｂ）との間にクランプされた少なくとも１つの第１の可撓性のスタンプ（１０４）を有しており、
前記装置はさらに、第２のベルト対に接続された第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第２の可撓性のスタンプを有しており、
前記第１のベルト対は、前記第２のベルト対とは独立的に操作することができる、
請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記装置は、第１のベルト対（１０６）に接続された第１のクランプ（１０５Ａ）と第２のクランプ（１０５Ｂ）との間にクランプされた少なくとも１つの第１のスタンプ（１０４）を有しており、
前記装置はさらに、同じ前記第１のベルト対（１０６）に接続された第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第２のスタンプを有しており、
２つ以上のスタンプが、同時に搬送される、
請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
少なくとも前記第２のクランプ（１０５）は、前記少なくとも１つの被駆動ベルト（１０６）上に前記クランプ（１０５）をピン留めするコネクタ（２０７）と、前記可撓性のスタンプ（１０４）を保持する可撓スタンプホルダ（２０６）とを有している、請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。
【請求項５】
前記クランプコネクタ（２０７）は、前記ベルトへの前記スタンプホルダ（２０６）の容易な配置、および前記ベルトからの前記スタンプホルダ（２０６）の容易な取り外しを保証する容易な取付け部を有している、請求項４記載の装置。
【請求項６】
前記第１のクランプ（１０５Ａ）および／または前記第２のクランプ（１０５Ｂ）は、前記スタンプホルダ（２０６）と前記ベルト（１０６）上の前記クランプコネクタ（２０７）の位置との間の距離を調節する、スタンプホルダ位置合わせピン（２１１）を有しており、前記スタンプホルダ（２０６）は、前記ベルト（１０６）の前記移動方向に対して垂直方向に動かされる、請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記スタンプホルダ（２０６）は１つ以上の可撓性のスタンプ（１０４）を保持し、前記１つ以上のスタンプ（１０４）は同じ長さ、および同じまたは異なる幅を有している、請求項１から６までのいずれか１項記載の装置。
【請求項８】
少なくとも前記第２のクランプ（１０５Ｂ）には、前記可撓性のスタンプの張力を制御および調節するための一体的な装置が設けられており、前記装置は、ばねとして機能することができ、かつ前記可撓性のスタンプの張力を制御および調節する材料または構成要素を有している、請求項１から７までのいずれか１項記載の装置。
【請求項９】
前記材料は１つ以上のばね（２０９）を含む、請求項８記載の装置。
【請求項１０】
前記１つ以上のばね（２０９）は、コイルばね、板ばね、ねじりばね、または引張りばねを含み、前記可撓性のスタンプ（１０４）の張力は、前記ばね（２０９）の長さ、および／または前記両クランプの距離の調節により、かつ／またはばね定数の調節により、前記ばね（２０９）の張力に基づいて制御可能である、請求項９記載の装置。
【請求項１１】
前記材料は１つ以上のゴムシートを含む、請求項８記載の装置。
【請求項１２】
少なくとも前記第２のクランプ（１０５Ｂ）が１つ以上の付加的なガイドピン（３０４）を有しており、前記ガイドピンは、前記ベルトの移動と同じ方向、または逆の方向で前記スタンプホルダ（２０６）の移動をガイドする、請求項１から１１までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１３】
前記スタンプホルダの取付け開口と、クランプの底面との間の距離ｄｃｖが５ｃｍ未満である、請求項１から１２までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１４】
前記スタンプホルダの取付け開口と、前記ベルト上の前記クランプの枢動点との間の距離ｄｃｈが５ｃｍ未満である、請求項１から１３までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１５】
前記スタンプは、
始端部長さＬｏｎｓｅｔ≧Ｌｃｍを有する始端領域セグメントであって、前記Ｌｃｍは、前記スタンプホルダの前記取付け開口内に前記スタンプを取り付けるために必要な最小限の長さである、始端領域セグメントと、
長さＬｍｉｄｄｌｅ≧Ｌｓを有する中間インプリント領域セグメントであって、前記Ｌｓは前記基板の長さである、中間インプリント領域セグメントと、
終端部長さＬｅｎｄ≧Ｌｃｍ＋（１／４）×ｒを有する終端領域セグメントであって、前記ｒは前記ローラの半径である、終端領域セグメントと、を有しており、
前記スタンプの最大長さはＬｍａｘ≦Ｌｂであって、前記Ｌｂは前記ベルトの長さである、
請求項１から１４までのいずれか１項記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可撓性のスタンプ若しくはモールドが基板上に硬化可能なラッカと共に積層され、次いで解放される間に、可撓性のスタンプによって硬化可能なラッカをインプリントし、インプリントされたラッカが硬化し、その結果、個別の基板に付加的な機能的なテクスチャード層を形成することによって、個別の基板にテクスチャを設ける、またはパターンを設ける装置に関する。この付加的な層の機能は、とりわけ、光マネージメント層から、疎水性層、装飾的用途、またはバイオセンサにおける用途まで様々であり得る。本発明はさらに、ラッカをインプリントして、個別の基板にテクスチャまたはパターンを形成する装置及び可撓性のスタンプに関する。
【０００２】
デバイス上の機能的なテクスチャード層の使用は重要なテーマである。このような層の賢明な利用により、パフォーマンスを向上させ、コストを削減し、製品の外観を改善することができる。例えば、ディスプレイにおいてはディフューザ層が使用されており、これはより薄いＬＥＤバックライトの構想の利用を可能にし、側方からディスプレイを照明する。新しい高度な技術の別の可能性は、機能的なテクスチャード層をソーラーパネルに組み込みその効率を改善すること、または有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）に照明パネルを組み込んで、より多くの光を取り出すことである。
【０００３】
機能的なテクスチャード層は、ＵＶインプリントを利用して形成することができる。この場合、基板、またはスタンプ、またはその両方には、ラッカ（樹脂またはレジスト）がコーティング（塗布）される。基板上にスタンプをこれらの間にラッカを挟んでプレスした後、テクスチャードラッカは硬化されて固相となる。硬化法は熱式、またはＵＶ光を使用したものであってよい。この技術は既に１９７８年に、米国特許第４１２８３６９号明細書（US Patent 4,128,369）において言及された。さらに、先駆的な研究が、１９９５年にＣｈｏｕによってなされた。Ｃｈｏｕは、剛性のスタンプを使用して、２５ｎｍ以下のテクスチャを大量生産のために高い処理量で複製できることを実証した（米国特許第５７７２９０５号（US Patent 5,772,905）、またはStephen Y. Chou、Peter R. Krauss、Preston J. Renstromによる論文（Applied Physics Letters誌第６７号、１９９５年、３１１４〜３１１６））。その後、テクスチャを複製するために、剛性のスタンプまたは曲げられた薄い金属層に圧力を加えるローラの使用が実証された（Hua Tan、Andrew Gilbertson、Stephen Y. Chouによる論文、Journal of Vacuum Science & Technology誌Ｂ１６、１９９８年、３９２６〜３９２８）。
【０００４】
多くの研究機関および会社がこの研究を続け、様々な技術が生まれた。米国特許第６３３４９６０号明細書（US Patent 6,334,960）、米国特許出願第２００４／００６５９７６号明細書（US Patent Application 2004/0065976）、および米国特許第８４３２５４８号明細書（US Patent 8,432,548）に記載されているように、半導体産業においては、搬送プロセス、材料、および精密な位置決めとの組み合わせで、剛性のスタンプを使用することにより、プレートトゥプレート（plate-to-plate）インプリントが適用されている。例えば米国特許第８０２７０８６号明細書（US Patent 8,027,086）に記載されているように、ロールトゥロール（roll-to-roll）インプリント技術は、可撓基板と組み合わせてテクスチャードローラを使用して、テクスチャフォイルまたはフィルムを連続工程で形成している。
【０００５】
上述のプレートトゥプレート技術は、均一な平坦なウェハ上に高い位置精度で小さなテクスチャ（１００ｎｍ以下の機構サイズ）を正確にウェハスケールでインプリントするために設計されている。しかしながら、中国特許出願第１０３２３５４８３号明細書（CN 103235483）に記載されたように、この技術は、より広い領域へと拡張するのは困難である。ロールトゥロール技術を利用することにより、テクスチャードフォイルを、連続的に高い生産速度で形成することができる。このテクスチャードフォイルは、可撓的な用途のための基板として使用することができ、または剛性の基板上に貼り付けることができる。しかしながら、後者の用途では、剛性的な基板または製品に可撓性のテクスチャードフォイルを付着させるための中間付着層の付加的なコストがかかる。したがって、第３の新規の技術が開発されている：直接ロールトゥプレート（roll-to-plate）インプリンティングである。この場合、１０〜１００ミクロンの厚さの付加的な中間付着層を有する支持フィルムを使用せずに、個別の基板上に直接に、機能的なテクスチャード層が設けられる。プレートトゥプレート技術とは対照的に、インプリントは、テクスチャを有するローラを使用して行われるか、または可撓性のスタンプとも呼ばれる、ローラの周りに巻き付けられたテクスチャードフォイルを使用して行われる。
【０００６】
先行技術では、様々な形式の開発されたロールトゥプレート設備が説明されている。
【０００７】
国際公開第２０１６／０１２１７４号（WO 2016/012174 A1）には、リソグラフィ装置が記載されていて、このリソグラフィ装置は：放射線を調整するように構成された照明システムと；直線部と曲線部とを有する閉ループ軌道に沿って可撓性のパターニングデバイスを移動させるようになっている回転駆動装置であって、前記可撓性のパターニングデバイスの曲率は、前記閉ループ軌道の曲率に実質的に対応している、回転駆動装置と；基板を保持するように構成された基板テーブルと；を有しており、回転駆動装置はプーリアッセンブリを有しており、このプーリアッセンブリは、使用中に可撓性のパターニングデバイスに係合し、かつ使用中に、可撓性のパターニングデバイスの一部を、軌道の直線部に沿って実質的に平坦の状態であるように維持するように構成されていて、パターニングデバイスの実質的に平坦な部分は、パターンを有する放射線を形成するように、放射線の横断面にパターンを与えるように構成されており；このリソグラフィ装置はさらに、パターンを備えた放射線を基板の目標部分に投影するように構成された投影システムを有している。
【０００８】
フランス特許第２８９３６１０号（French Patent 2,893,610）は、必要なテクスチャを複製するためのテクスチャードローラを使用している。米国特許第７８２４５１６号（US Patent 7,824,516）および米国特許出願第２０１３／２１４４５２号明細書（US Patent application 2013/214452）に開示されているように、取り外し可能な可撓性のスタンプも使用することができる。この場合、可撓性のスタンプは、２つのローラを使用して、繰り出される、または巻き取られる。第３の可能性は、米国特許第７２９６５１９号明細書（US 7,296,519 B2）および米国特許出願第２０１３／２１４４５２号明細書（US 2013/214452 A1）および中国特許出願第１０３２３５４８３号明細書（CN 103235483）に記載されており、型として、複数のローラに巻き付けられ、連続的に再利用できる、より短い可撓性のスタンプを使用することが提案されている。このようなより短い可撓性のスタンプは、可撓性のスタンプの再利用、ならびに異なるインプリントパターンへのより簡単な切り替えという利点を有することができる。
【０００９】
型としてより短い可撓性のスタンプを使用するためには、繰り出し供給ローラおよび巻取り捕集ローラの周りに巻き付けられたより大きなスタンプの取り扱いとは異なるスタンプの取り扱いが必要である。従来技術では、可撓性のスタンプが閉ループである構成が提案されている。この場合、米国特許第７２９６５１９号明細書（US 7,296,519 B2）に記載されたように、この可撓性のスタンプは、両端部を、２つ以上のローラの周りに接続して取り付けることができ、またはその周に沿って固定することができるテクスチャードシートであってよい。従来技術では、可撓性のスタンプはローラによって、ローラと可撓性のスタンプとの間の摩擦を利用して移動させられる。張力は、ローラ間の距離を制御することによって制御される。
【００１０】
ロールトゥプレートインプリント法でローラを利用してテクスチャを複製するために可撓性のスタンプを使用する欠点は、張力制御が困難な点にある。可撓性のスタンプに加えられる張力の変動は、スタンプの寸法に影響を与え、ひいては機構の分布またはテクスチャのトラックピッチに影響を与える。剛性のスタンプを使用するプレートトゥプレートの複製では、この点はそれほど問題ではない。しかしながら、可撓性のスタンプは、張力変動の際、ならびに温度および湿度の変動の際に、膨張または収縮する。複製テクスチャと製品との正確な一致が要求される用途では、このようなトラックピッチ変動は問題となるであろう。一例は、これに限定されるものではないが、レンズがディスプレイ画素アレイと一致しなければならない、３Ｄ用途のためのレンチキュラ−レンズの使用である。視覚的影響を与えないディスプレイ上でのトラックピッチ変動は最大で、レンチキュラアレイの１トラックピッチである。２４インチディスプレイおよび１００ミクロンの３Ｄレンチキュラトラックピッチの場合、最大変動は５００ｍｍの長さにつき１００ミクロンである。このスペックは、より高い解像度を持ち、したがってより小さい３Ｄ機構サイズを持つ同様のディスプレイではより厳しいものとなる。長さ０．５メートル、幅０．５メートル、および厚さ０．２５ｍｍのレンチキュラアレイテクスチャを有するポリカーボネート製可撓性のスタンプに１０Ｎの張力変動が生じた場合、レンチキュラのトラックピッチは、可撓性のスタンプの長さにわたって約１７ミクロン変化する。張力変動の他に、温度変動および湿度変動も、トラックピッチ変動に影響を与える。したがって、張力変動に基づくトラックピッチ変動は、制御され、最小限であるべきだと確信する。その他の用途にとって、突然の張力変動は視覚妨害となり得る。したがって、最高仕様の用途にとっては、インプリント中の可撓性のスタンプの張力変動は制御され、最小限にされるべきである。
【００１１】
インプリントプロセス中は、複製領域が、まっすぐで、曲がっていない面を有することを保証するために可撓性のスタンプには常に張力がかけられている。この張力が良好に制御され、したがって一定であるならば、インプリントテクスチャトラックピッチに加えられる張力の影響を、マスタを形成する間に補正することができる。シンガポール特許出願公開第１８４０３４号明細書（SG 1 84034 A1）または米国特許第８０２７０８６号明細書（US patent US 8,027,086 B2）で説明されているように、張力変動はしばしば、張力制御センサの使用により、かつローラの１つを外側／内側に動かすことにより制御される。この種の張力制御の欠点は、この張力制御にタイムラグがあることである。第２に、張力は、ローラの表面によって制御される。これらのローラは、可撓性のスタンプの移動を操作する。しかしながら、可撓性のスタンプと基板との適合性を要する良好なインプリント品質のためには、これらローラの表面は柔らかい場合がある。大きな面積のインプリントのためには、このような操作は、大きな可撓性のスタンプの局所的なしわまたは滑りが生じるかもしれないというさらなる問題を含む。
【００１２】
本発明により克服すべき課題は、装置が、インプリント中に、滑りやしわの形成なしに、可撓性のスタンプの直線移動を可能にし、かつタイムラグなしにスタンプ張力の直接制御を行えるように、短い可撓性のスタンプで個別にインプリントするための装置を提供することである。
【００１３】
この課題は、個別の可撓性のスタンプによって個別の基板にインプリントするための装置であって、
ａ）長さＬと、幅Ｗと、スタンプ面積Ａｓｔａｍｐと、始端部と、終端部とを有した、少なくとも１つの第１の長方形の可撓性のスタンプであって、このスタンプは、
・インプリント面積Ａｉｍｐｒｉｎｔ≦Ａｓｔａｍｐを有するインプリントテクスチャであって、開口と隆起部とを有しているインプリントテクスチャを有した前面と、
・背面と、
・可撓性のスタンプの幅Ｗ全体に沿って延在している始端領域セグメントおよび終端領域セグメントであって、スタンプの長さＬに沿って、
・始端部長さＬｏｎｓｅｔにわたって延在している始端領域セグメント、および
・終端部長さＬｅｎｄにわたって延在している終端領域セグメントと、
を有しているスタンプと、
ｂ）可撓性のスタンプの始端領域セグメントをクランプする少なくとも１つの第１のクランプ、および可撓性のスタンプの終端領域セグメントをクランプする少なくとも１つの第２のクランプと、
ｃ）第１のローラと、
ｄ）第１のクランプと第２のクランプとに接続された少なくとも１つの被駆動ベルトであって、可撓性のスタンプの前面と基板とを間にラッカを挟んだ状態で互いに接触させ、これによりラッカに、基板上にインプリントされる領域Ａ’を複製するインプリントテクスチャを設けることにより、基板上に可撓性のスタンプのインプリントテクスチャをインプリントするために、所定のインプリント距離Ｉｄにわたって、ローラ上にその背面を接触させた状態でその長さＬに沿って、クランプされた可撓性のスタンプを所定の移動方向で動かすことができる被駆動ベルトと、
を有しており、この移動方向は、インプリント方向、またはインプリント方向とは逆の方向であって、
ローラは、それ自体で回転することはできないが、スタンプによって駆動され、スタンプは、ベルト駆動装置によって駆動されるベルトによって駆動されているか、または、ローラは、マスタースレーブ構造でベルト駆動装置に従動するローラ駆動装置によって、ベルトと同じ速度で駆動される、装置によって解決される。
【００１４】
本発明による装置により、可撓性のスタンプの使用による基板の高精密なインプリントが可能である。スタンプは、その前面にインプリントテクスチャを有している。この装置は第１のローラを有しており、このローラはそれ自体で動くことはできないが、スタンプによって駆動されており、このスタンプはベルトによって駆動され、ベルトはベルト駆動装置によって駆動される、またはローラは、マスタースレーブ構造でベルト駆動装置に従動するローラ駆動装置によって、ベルトと同じ速度で駆動される。本発明の範囲では、これは、ローラではなくベルトが、可撓性のスタンプの移動を、したがって複製速度を決定していることを意味している。むしろ前記ローラは、ベルトによって駆動される少なくとも１つの可撓性のスタンプによって駆動される、またはマスタースレーブ構造で、ベルトのモータに従動する緩被駆動モータによって駆動される。少なくとも１つの被駆動ベルト自体は、適切なベルト駆動装置によって、例えば電気モータによって、駆動される。第１のクランプと第２のクランプとに接続されたベルトが、クランプされたスタンプをその長さＬに沿ってローラ上で移動させると、前記ローラは、受動的回転を行わせられる。したがって、従来技術のインプリント装置の場合のように、可撓性のスタンプと被駆動ローラとの間の摩擦が、ローラ上でスタンプを移動させるのではない。むしろ、被駆動ベルトが、クランプされたスタンプを、低摩擦ベアリングに取り付けることができるローラ上で移動させる。したがって、本発明の装置は、ローラ上でスタンプを移動させるための十分な摩擦力を発生させるために十分な粗さを有する表面を持ったローラを必要としない。むしろ、本発明による装置により、ローラに滑らかな表面を与えることができるにも関わらず、クランプされた可撓性のスタンプを、この可撓性のスタンプが大きな面積を有していたとしても、しわの形成や滑りなしにローラ上を移動させることができる。
【００１５】
クランプされたスタンプに対するローラの空間的配置と共にベルト上のクランプ間の所定の距離を利用して、第１および第２のクランプを、その間にクランプされる可撓性のスタンプに接続することにより、可撓性のスタンプに所定の張力を加えることができる。所望の前記張力は、可撓性のスタンプがローラ上を移動する場合でも、インプリントプロセスのコースにおけるスタンプの移動中、維持される。これは、上述したように、可撓性のスタンプには、ローラ上でしわも滑りも生じないからである。したがって、本発明による装置は、制御調節ループにおいてタイムラグなしに、インプリント中、スタンプ張力の直接制御を提供する。
【００１６】
タイムラグのないスタンプ張力の前記直接制御は、本発明による装置の好適な実施形態でより改善されており、可撓性のスタンプの容易な交換の操作的な柔軟性は維持しながら、少なくとも第１のクランプまたは少なくとも第２のクランプに、可撓性のスタンプの張力のさらなる制御および調節のための一体的な装置が設けられている。
【００１７】
本発明による装置のさらに別の利点は、同時に２つ以上の可撓性のスタンプを使用することができることであり、各スタンプは、そのテクスチャード面に異なるインプリントテクスチャを支持していてよい。
【００１８】
上述したように、本発明による装置は、第１のクランプおよび第２のクランプに接続された少なくとも１つの被駆動ベルトを有しており、この被駆動ベルトはその長さＬに沿って少なくとも第１のクランプされた可撓性のスタンプを移動させることができる。
【００１９】
好適には、少なくとも１つのベルトがモータによって駆動される。ベルトは、ガイドレールまたはプーリを使用してガイドされる。これらプーリまたはガイドレールは好適には、少なくとも第１のローラの側方に位置している。第２のローラ、第３のローラ、またはそれより多数のローラが使用されるならば、プーリまたはガイドレールも、好適には、これら追加的なローラの側方に配置される。ベルトは、可撓性のスタンプの回転を決定し、したがってインプリントの速度を決定する。ローラは、マスタースレーブ構造でベルトに従動して、ベルトと同じ速度で駆動されることができる。これは例えば、ローラが、プーリに摩擦により係止されている場合に達成することができる。ローラは、「非駆動」であってもよく、すなわち、それ自体回転することができず、クランプを使用してベルト上に取り付けられている可撓性のスタンプと摩擦係止されていてよい。ローラは、可撓性のスタンプに摩擦によって係止されていなくてもよい。
【００２０】
好適な実施形態では、装置はさらに、同じベルトに接続された、第３のクランプ、第４のクランプ、およびそれ以上のクランプを有していてよく、この場合、例えば、第１の可撓性のスタンプは、第１のクランプと第２のクランプとの間にクランプされてよく、第２の可撓性のスタンプは、第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされてよく、第３の可撓性のスタンプは、第５のクランプと第６のクランプとの間にクランプされてよい。これによりサイクル時間は減じられ、インプリント中により高い処理量を可能にする。上述した各実施形態では、１つよりも多い可撓性のスタンプを、必要数のクランプの間にクランプすることができる。これはさらに、装置の処理量を向上させることができる。
【００２１】
好適には、本発明による装置は、２つ、３つ、または４つ以上のベルトを有している。いずれの場合でも少なくとも１つの駆動ベルトが、クランプのためのガイド支持体として機能し、好適にはこのようなガイド支持体は、各クランプの両側に存在している。
【００２２】
別の好適な実施形態では、本発明による装置は、第１のベルト対、第２のベルト対、またはそれより多数のベルト対を有しており、第１の対、第２の対、第３の対、またはそれよりも多数のベルト対はそれぞれ、互いに独立的に操作される。例えば、一方のベルト対はクランプされた可撓性のスタンプを動かして、所望の工程ステップを、例えばインプリントを、またはラッカのコーティングを行わせてよく、別のクランプされた可撓性のスタンプを有する他方のベルト対は、移動を停止してよく、または移動方向を逆にしてよい。これにより、柔軟性を高めることができ、サイクル時間の削減およびインプリントプロセスの処理量の向上が可能となる。
【００２３】
別の好適な実施形態では、本発明による装置は第１のクランプと第２のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第１の可撓性のスタンプを有しており、第１のクランプと第２のクランプとは第１のベルト対に接続されており、この装置はさらに、第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第２の可撓性のスタンプを有しており、第３のクランプと第４のクランプとは、第２のベルト対に接続されており、第１のベルト対は、第２のベルト対とは独立的に操作することができる。
【００２４】
別の好適な実施形態では、本発明による装置は、同じベルトに接続された、第３のクランプ、第４のクランプ、およびそれより多数のクランプを有していてよく、この場合、例えば、第１の可撓性のスタンプは、第１のクランプと第２のクランプとの間にクランプされてよく、第２の可撓性のスタンプは、第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされてよく、第３のスタンプは、第５のクランプと第６のクランプとの間にクランプされてよい。これによりサイクル時間は減じられ、インプリント中により高い処理量を可能にする。
【００２５】
別の好適な実施形態では、本発明による装置は第１のクランプと第２のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第１の可撓性のスタンプを有しており、第１のクランプと第２のクランプとは第１のベルト対に接続されており、この装置はさらに、第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第２の可撓性のスタンプを有しており、第３のクランプと第４のクランプとは、同じ第１のベルト対に接続されており、２つ以上のスタンプが同時に搬送される。
【００２６】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプがクランプコネクタを有しており、好適にはこのクランプコネクタは、このクランプを少なくとも１つの被駆動ベルトに、クランプコネクタピンを利用してピン留めし、可撓性のスタンプを保持するスタンプホルダは好適には、その表面にまたはその内部にスタンプが固定されるシート、レール、バー、または円筒体である。
【００２７】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプが、このクランプを少なくとも１つの被駆動ベルトにピン留めするコネクタ、すなわちクランプコネクタと、可撓性のスタンプを保持する可撓スタンプホルダとを有している。
【００２８】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプは、可撓スタンプホルダを有しており、クランプは１つ以上の可撓性のスタンプを保持し、前記１つ以上のスタンプは同じ長さ、および同じまたは異なる幅を有している。この好適な実施形態で、スタンプホルダが、２つ、３つ、またはそれよりも多数の可撓性のスタンプを保持しているならば、異なる可撓性のスタンプが、そのテクスチャード面に同じまたは異なるインプリントテクスチャを、または同じまたは異なるインプリントテクスチャ領域寸法を有していてよい。いずれの場合でも、スタンプホルダは、１つ以上の可撓性のスタンプの容易な取り外しを可能にする。
【００２９】
本発明による装置の特に好適な実施形態では、クランプコネクタは、ベルトへのスタンプホルダの容易な配置、またはベルトからのスタンプホルダの容易な取り外しを保証する容易な取付け部を有しており、この取付け部は付加的に、クランプ底面と張力制御ばねとを有している。
【００３０】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、第１のクランプおよび／または第２のクランプは、ベルト上のクランプコネクタの位置に対して相対的に可撓性のスタンプおよびスタンプホルダの位置を調節することができる可撓性のスタンプ位置合わせピンを有している。
【００３１】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、第１のクランプおよび／または第２のクランプは、スタンプホルダとベルト上のクランプコネクタの位置との間の距離を調節する、スタンプホルダ位置合わせピンを有しており、これによりスタンプホルダは、ベルトの移動方向に対して垂直方向に動かされる。
【００３２】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプは、可撓スタンプホルダを有しており、クランプは１つ以上の可撓性のスタンプを保持し、前記１つ以上のスタンプは同じ長さ、および同じまたは異なる幅を有している。この好適な実施形態で、スタンプホルダが、２つ、３つ、またはそれよりも多数の可撓性のスタンプを保持しているならば、異なる可撓性のスタンプが、そのテクスチャード面に同じまたは異なるインプリントテクスチャを、または同じまたは異なるインプリントテクスチャ領域寸法を有していてよい。いずれの場合でも、スタンプホルダは、１つ以上の可撓性のスタンプの容易な取り外しを可能にする。
【００３３】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、スタンプホルダは１つ以上の可撓性のスタンプを保持し、前記１つ以上のスタンプは同じ長さ、および同じまたは異なる幅を有している。
【００３４】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプには、可撓性のスタンプの張力を制御および調節するための一体的な装置が設けられており、この装置は、ばねとして機能することができ、かつ可撓性のスタンプの張力を制御および調節する材料または構成要素を有しており、好適にはこの材料は可撓材料であって、この構成要素は可撓構成要素である。
【００３５】
好適には、付加的に可撓材料である材料は、１つ以上のばねを含む。
【００３６】
本発明による装置の好適な実施形態では、可撓性のスタンプの張力は、上述したばねの長さを調節することにより、または間に可撓性のスタンプを含む第１のクランプと第２のクランプとの間の距離を調節することにより、制御される。
【００３７】
１つ以上のばねは好適には、コイルばね、板ばね、ねじりばね、または引張りばねを含む。
【００３８】
本発明による装置の特に好適な実施形態では、１つ以上のばねは、コイルばね、板ばね、ねじりばね、または引張りばねを含み、可撓性のスタンプの張力は、ばねの長さおよび／または両クランプの距離の調節による、かつ／またはばね定数の調節による、ばねの張力により制御可能である。
【００３９】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、クランプは１つ以上のガイドピンを、スタンプホルダとクランプ底面との間に有しており、これにより、一体的な張力制御装置を有したスタンプホルダは、ベルトの動きと同じ方向または逆の方向でのみ移動できることが保証される。
【００４０】
別の好適な実施形態では、材料は１つ以上のゴムシートを含む。前記１つ以上のゴムシートは、ばねとして機能することができ、可撓性のスタンプ張力変動を制御および調節することができる。
【００４１】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプが１つ以上の付加的なガイドピンを有しており、ガイドピンは、ベルトの移動と同じ方向、または逆の方向でスタンプホルダの移動をガイドする。
【００４２】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、スタンプホルダの取付け開口とクランプ底面との間の距離ｄｃｖは５ｃｍ未満であって、好適には３ｃｍ未満、より好適には２ｃｍ未満、最も好適には０ｃｍである。
【００４３】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、スタンプホルダの取付け開口とベルト上のクランプの枢動点との間の距離ｄｃｈは５ｃｍ未満であって、好適には３ｃｍ未満、より好適には２ｃｍ未満、最も好適には０ｃｍである。
【００４４】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、スタンプは、
始端部長さＬｏｎｓｅｔ≧Ｌｃｍを有する始端領域セグメントであって、Ｌｃｍは、スタンプホルダの取付け開口内にスタンプを取り付けるために必要な最小限の長さである、始端領域セグメントと、
長さＬｍｉｄｄｌｅ≧Ｌｓを有する中間インプリント領域セグメントであって、Ｌｓは基板の長さである、中間インプリント領域セグメントと、
終端部長さＬｅｎｄ≧Ｌｃｍ＋１／４×ｒを有する終端領域セグメントであって、ｒはローラの半径である、終端領域セグメントと、を有しており、
スタンプの最大長さはＬｍａｘ≦Ｌｂであって、Ｌｂはベルトの長さである。
【００４５】
別の好適な実施形態では、この装置はさらに、支持体に配置された基板を有しており、この支持体は、ベルト上のクランプを使用して取り付けられた可撓性のスタンプを有する少なくとも１つの被駆動ベルトによってマスタースレーブ構造で駆動される。
【００４６】
好適には、支持体は、少なくとも１つの滑動エレメントと共に配置されていて、これにより支持体は、滑動エレメントに沿って滑動することができる。例えば、少なくとも１つの滑動エレメントは、支持体を軸受する２つのロッドを有していてよく、支持体がベルト上のクランプを使用して取り付けられた可撓性のスタンプによってマスタースレーブ構造で緩駆動され得るように、これらロッドに沿って支持体は滑動することができる。
【００４７】
好適には、可撓性のスタンプは、支持する可撓性のスタンプ底面と、外側のテクスチャード面とを有しており、可撓性のスタンプ底面と外側のテクスチャード面とは、１つの同じ材料から形成されてよく、例えば、これに限定されるものではないが、フライス加工法または加熱エンボス法によって形成された薄い金属シートまたはプラスチックシートから形成することができる。可撓性のスタンプは２つ以上の材料を使用して形成されてもよく、これらの材料は、ベースを形成する柔軟なシート、例えば、これに限定されるものではないが、ＰＥＴフォイル、ＰＣフォイル、ＰＥＮフォイル、ＰＭＭＡまたはその他のアクリルフォイル、または薄い金属シート、および付着するテクスチャード有機層、例えば、これに限定されるものではないが、アクリレート材料、ゾル・ゲル材料、エポキシ、または第２のテクスチャードプラスチックフォイル、を有している。可撓性のスタンプの堅牢性または機能性を高めるために、例えば抗付着層のようなさらに多くの層を追加することもできる。
【００４８】
好適には、可撓性のスタンプは、テクスチャード面積ＴＳＡを有したテクスチャード表面を有しており、ＴＳＡは、基板上の必要なインプリント面積Ａ’と等しい、またはそれよりも大きい。
【００４９】
本発明による装置によれば、インプリントプロセスを実施することができ、この場合、ラッカは、パネルとも呼ばれる基板上に、またはインプリントテクスチャを備えた可撓性のスタンプの表面にコーティングされてよい。これら基板またはパネルは、例えばガラス、プラスチック、または金属基板のような組立部品であってよく、またはディスプレイ、照明、またはソーラーパネルのような完成したデバイスであってもよい。
【００５０】
次いで、可撓性のスタンプの前面と、基板とを、これらの間にラッカを挟んで接触させることにより、基板はインプリントされる（複製またはテクスチャード加工とも呼ばれる）。ラッカは、インプリントされたパターンを保持するために硬化することができる。
【００５１】
本発明の過程において「ラッカ」という用語は、当業者に公知である方法によって、基板上にコーティングされ、テクスチャード加工（インプリント）され得る物質を意味する。このようなラッカは、コーティング、樹脂、レジスト等とも呼ばれる。ラッカは通常、場合によっては添加された光重合開始剤を含むモノマ、オリゴマ、および架橋結合アクリレート基を含む。その他の利用可能な材料は、硬化可能なゾル・ゲルおよびエポキシであるが、これに限定されるものではない。これらの硬化プロセスもまた公知であり、熱硬化、ＵＶ光による硬化、化学的に誘発される硬化、およびそれ自体公知の他の方法を包含する。
【００５２】
したがって、本発明による装置は好適には、例えば熱硬化、ＵＶ光による硬化、化学的に誘発される硬化を実施することができる硬化装置を有している。この硬化装置は、インプリントされたパターンを保持するためにインプリントされたラッカを硬化するために働く。
【００５３】
硬化後、可撓性のスタンプは基板から剥離され、反転したテクスチャが基板上に残される。
【００５４】
ラッカのコーティングは様々な方法で行うことができ、例えばこれに限定されるものではないが、分配、インクジェットプリント、スクリーンプリント、噴射、噴霧、スロット・ダイコーティング、またはロールコーティングにより、ラッカを基板上に、または可撓性のスタンプ上にコーティングすることができる。
【００５５】
好適には、本発明による装置は、インプリント実施前に、例えばラッカの粘性を所望の値へと高めるために、ラッカを予備硬化するための追加的な硬化装置を有している。前記の追加的な硬化装置は、所望の予備硬化程度のために、熱的な予備硬化、ＵＶ光による予備硬化、または化学的に誘発される予備硬化を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１Ａ】本発明によるロールトゥプレートインプリント装置の好適な実施形態を示す図である。
【図１Ｂ（１）】インプリントプロセスを示す図である。
【図１Ｂ（２）】インプリントプロセスを示す図である。
【図１Ｂ（３）】インプリントプロセスを示す図である。
【図１Ｂ（４）】インプリントプロセスを示す図である。
【図１Ｂ（５）】インプリントプロセスを示す図である。
【図２Ａ】インプリント装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図２Ｂ】インプリント装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図２Ｃ】インプリント装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図３Ａ】本発明による装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図３Ｂ】張力制御が行われるクランプを示す図である。
【図４Ａ】好適な実施形態を示す図である。
【図４Ｂ】別の実施形態を示す図である。
【図５】可撓性のスタンプの張力に対するクランプの重量の作用を示す図である。
【図６Ａ】本発明による装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図６Ｂ】本発明による装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図７Ａ（１）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント前の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ａ（２）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント後のＵＶバーを通過した直後の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ｂ（１）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント前の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ｂ（２）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント後のＵＶバーを通過した直後の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ｃ（１）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント前の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ｃ（２）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント後のＵＶバーを通過した直後の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図８（１）】好適な実施形態の可撓性のスタンプを示す図である。
【図８（２）】別の好適な実施形態の可撓性のスタンプを示す図である。
【００５７】
以下に、本発明による装置の別の好適な実施形態を図面につき説明する。
【００５８】
図１Ａには、本発明によるロールトゥプレートインプリント装置の好適な実施形態が示されており、この装置では、限定的なサイズの可撓性のスタンプが、２つのクランプを使用して保持されている。
【００５９】
この装置では基板１０１がインプリントされる。この基板は、キャリア１０２を使用して支持されている。図１Ａでは、このキャリア１０２は滑動基板テーブルである。別の支持手段、例えば、これに限定されるものではないが、コンベヤベルトまたは搬送ローラのようなものが使用されてもよい。このキャリア１０２は、２つの滑動装置１０３を使用することによって、インプリントローラ１０８Ａの下を滑動することができる。基板を備えたキャリア１０２が、図１Ａでインプリント方向を示す矢印によって示されたように右に向かって動かされると、基板１０１はインプリントされる。この基板１０１は、テクスチャードフォイル１０４を使用してインプリントされる。図１Ａに示されたように、テクスチャードフォイル１０４は、可撓性のスタンプ若しくはモールドとして働くので、これは可撓性のスタンプと呼ばれる。可撓性のスタンプ１０４は、支持している可撓スタンプベースと、「インプリントテクスチャ」または「インプリントパターン」とも呼ばれる、パターン加工されたフロント面１０４Ａとを有する。このインプリントテクスチャ１０４Ａは、当業者にはレリーフパターンとして公知である機能的な領域を有している。このレリーフパターン形成されたフロント面１０４Ａは、基板に形成したいテクスチャのネガ（または反転した）テクスチャである。可撓スタンプベース１０４とテクスチャードフロント面１０４Ａとは１つの同じ材料から形成することができ、例えば、これに限定されるものではないが、フライス加工法または加熱エンボス法によって形成された薄い金属シートまたはプラスチックシートから形成することができる。可撓性のスタンプ１０４は２つ以上の材料から成っていてもよく、この材料は、ベースとしての柔軟なシート、例えば、これに限定されるものではないが、ＰＥＴフォイル、ＰＣフォイル、またはＰＥＮフォイル、ＰＭＭＡまたはその他のアクリルフォイルと、付着されるテクスチャード有機層１０４Ａ、例えば、これに限定されるものではないが、アクリレート材料、ゾル・ゲル材料、エポキシ、例えばＰＤＭＳのようなシリコン材料、または第２のテクスチャードプラスチックフォイルと、を有している。可撓性のスタンプ１０４の堅牢性または機能性を高めるために、例えば抗付着層のようなさらに多くの層を追加することもできる。図１Ａでは、インプリントパターン領域１０４Ａは、可撓スタンプベース領域よりも小さい、すなわちスタンプ１０４の領域よりも小さい。しかしながら、可撓スタンプベース１０４の全領域が、すなわちスタンプ１０４の全領域が、レリーフパターン１０４Ａを有していることも可能である。
【００６０】
好適には、可撓性のスタンプ１０４は、０．１ギガパスカル（ＧＰａ）〜１０ギガパスカル（ＧＰａ）の、特に好適には、０．５ギガパスカル（ＧＰａ）〜５ギガパスカル（ＧＰａ）のヤング率を有している。このヤング率は、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１１により測定された。
【００６１】
この可撓性のスタンプ１０４は、図１Ａに示されたように、第１のクランプ１０５Ａと第２のクランプ１０５Ｂとを使用して位置保持されている。クランプ１０５Ａは前側クランプであって、この前側クランプには、インプリント方向で見て可撓性のスタンプの始端領域セグメントが取り付けられている。可撓性のスタンプの終端領域セグメントは、クランプ１０５Ｂに取り付けられている。これらクランプはベルト１０６に取り付けられている。ベルト１０６の材料は例えば、これに限定されるものではないが、ステンレス鋼テンション部材を含むポリウレタンである。実際には１つ以上のベルトを使用することができるが、各クランプ１０８Ａおよび１０８Ｂのためのガイド支持体として、好適には前記クランプの両側で２つのベルト１０６を使用するのが最も好適である。図１Ａでは、ベルト１０６はガイドエレメント１０７によってガイドされていて、これらガイドエレメントは、ローラ１０８の側方に位置している。これらガイドエレメント１０７は、図１Ａに示したようにプーリであってもよい。ベルト１０６は、プーリ１０７のうちの１つによって、またはローラの間に配置された付加的なモータを使用して駆動されてよい。ベルトの回転速度は０．０５ｍ／ｍｉｎ〜３０ｍ／ｍｉｎ以上であってよい。ベルトの張力は、プーリを内側へ、または外側へ動かすことにより制御することができる。好適には速度は、０．５ｍ／ｍｉｎ〜１５ｍ／ｍｉｎである。図１Ａには４つのローラ１０８が示されている。しかしながら、２つ、３つ、または４つ以上のローラを使用することもできる。図１Ａに示された４つのローラ１０８は、クランプされた可撓性のスタンプ１０４をガイドする。ローラ１０８Ａは、実際のインプリントプロセスを行うローラである。ローラ１０８Ｂは、硬化したテクスチャードラッカを有する基板１０１から、可撓性のスタンプを剥離するローラである。ローラ１０８は、例えばこれに限定されるものではないがステンレス鋼のような剛性材料から形成することができるが、好適にはローラはより弾性的な材料、例えばこれに限定されるものではないがポリクロロプレン、ポリウレタン、またはＥＰＤＭのような、ショアＡ硬度１０〜１００の、好適にはショアＡ硬度２０〜６０の材料から形成されている。
【００６２】
ローラ１０８は「駆動されない」、すなわちローラ１０８はそれ自体で動くことはできず、任意の方向に自由に回転可能であるが、スタンプ１０４によって駆動されており、スタンプはベルト１０６によって駆動され、ベルトはベルト駆動装置によって駆動される。またはローラ１０８は、マスタースレーブ構造でベルト駆動装置に従動するローラ駆動装置によって、ベルトと同じ速度で駆動される。このようにベルト１０６は駆動される。キャリア１０２は、マスタースレーブ構造でベルト１０６によって駆動される。インプリント中は、クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂと可撓性のスタンプ１０４とを含むベルト１０６は、基板１０１、および基板と可撓性のスタンプとの間にある硬化したラッカ１０９と接触する。したがって、インプリント中は、基板１０１を備えたキャリア１０２は、マスタースレーブ構造で被駆動ベルト１０６に従動する。インプリント中に、インプリントローラ１０８Ａが可撓性のスタンプ１０４に接触し、可撓性のスタンプ１０４を基板１０１へと押し付けることができるような場合、ローラ１０８とプーリ１０７の直径は同じである。
【００６３】
インプリントプロセスの前に、ガラス基板であってよい基板１０１、または可撓性のスタンプ１０４、またはこれら両方には、インプリントラッカ１０９がコーティングされる。図１Ａでは、可撓性のスタンプ１０４にインプリントラッカ１０９が分配手段１１０を用いてコーティングされる。既に述べたように、コーティングのために別の技術を使用することもできる。図１Ａは概略図であることに注意されたい。実際の操作では、ラッカは、インプリントテクスチャ領域１０４Ａにコーティングされる。付加的に、スタンプ１０４上に分配された後、ラッカ１０９は事前硬化されてもよい。
【００６４】
インプリントラッカ１０９のコーティング後、かつ場合によっては予備硬化後に、図１Ｂ（１）、図１Ｂ（２）、図１Ｂ（３）、図１Ｂ（４）、および図１Ｂ（５）に示されたように、インプリントプロセスが開始される。インプリントプロセス開始後、インプリントテクスチャ１０４Ａとインプリントラッカ１０９とをその上面に備えた可撓性のスタンプ１０４は、基板１０１に接触させられる。スタンプ１０４の動きは、プーリ１０７と、この可撓性のスタンプ１０４がクランプ１０５Ａおよび１０５Ｂを用いてその上に取り付けられているベルト１０６とによって操作される。図１Ｂ（１）に示したように、インプリントローラ１０８Ａの下方に基板１０１を摺動させることにより、可撓性のスタンプ１０４は、インプリントラッカ１０９を間に挟んで基板１０１上に積層される。インプリントテクスチャ１０４Ａを備えた可撓性のスタンプ１０４と基板１０１との間のインプリントラッカ１０９は、ＵＶ光源１１１によって硬化され、その結果、図１Ｂ（２）に示したように、インプリント領域Ａ’とも呼ばれる硬化したテクスチャ１１２が形成される。図１Ｂでは、ＵＶ光源１１１の位置は、ローラ１０８Ａと１０８Ｂとの間かつ基板の上方にある。ＵＶ光源１１１は、２つのローラ１０８Ａおよび１０８Ｂのうちの１つに配置されていてもよい。透過性の基板１０１およびＵＶ透過性のキャリア１０２の場合には、ＵＶ光源１１１は、キャリア１０２の下方に位置していてもよい。これは、可撓性のスタンプ１０４のために、例えば薄い金属シートのように、非透過性のスタンプを使用することができるという利点を有する。インプリントラッカ１０９の固化後、基板１０１上に硬化したテクスチャ１１２を残しつつ、基板１０１から可撓性のスタンプ１０４を剥離しなければならない。このような剥離は、硬化したテクスチャ１１２が、可撓性のスタンプ１０４よりも基板１０１に対してより良好に付着することにより行うことができる。硬化したテクスチャ１１２の剥離後は、インプリントテクスチャ１０４Ａに対して反転したレリーフテクスチャが基板１０１に残され、可撓性のスタンプ１０４は再利用できる。図１Ｂ（３）に示したように、剥離のためには、剥離ローラ１０８Ｂを使用して、ベルト１０６をさらに回転させて、基板１０１上の硬化したテクスチャ１１２から可撓性のスタンプ１０４を分離するのが最も簡単である。別の選択肢は、図１Ｂ（４）に示したように、ベルト１０６を後方に向かって動かすことである。この場合、ローラ１０８Ａが、逆方向の剥離のために利用される。この選択的なプロセスは、突出したエッジを有するクランプがコーティング機を通過する必要がないという利点を有することができる。別の利点は、剥離のために第２のローラが不要であることにある。これにより、図１Ｂ（５）に示したように、装置のコストは減じられる。
【００６５】
図１Ａおよび図１Ｂには、可撓性のスタンプ１０４を支持する２つのクランプ１０５Ａおよび１０５Ｂを備えた２つのベルト１０６を使用するロールトゥプレートインプリント装置が示されている。図１Ａに示された提案されたインプリント機器の欠点は、プロセス時間が、２つのステップの順序によって決定されることである。最初に、スタンプ１０４が分配手段１１０によってコーティングされて、次いで可撓性のスタンプ１０４はインプリントローラ１０８Ａの下方でインプリントのために使用される。処理量を向上させるために、図２Ａ、図２Ｂ、および図２Ｃに示したような装置に対するいくつかの修正が提案される。
【００６６】
より多くの基板が同じ単位時間でインプリントされるならば処理量は向上する。このことは、基板１０１をタイリング（tiling）し、即ち重ならないように複数個配置し、より広い可撓性のスタンプ１０４を使用することにより実現することができる。この場合、ガイドするインプリントローラ１０８もより広くなければならない。一例は、２つのインプリントテクスチャ領域１０４Ａを有した１つの広い可撓性のスタンプ１０４が、並んでいる２つの基板をインプリントするために使用されることである。図２Ａに示したように、同じ長さの２つ以上の可撓性のスタンプ１０４を保持する２つのクランプ１０５Ａおよび１０５Ｂによって、柔軟性が得られる。両可撓性のスタンプ１０４のインプリントテクスチャ１０４Ａは同じまたは異なっていてよい。２つのインプリントテクスチャ１０４Ａのうちの１つのために異なるインプリントラッカ１０９が必要な場合には、コーティングの手段１１０を調節することができる。
【００６７】
図２Ｂに示した好適な実施形態は、第１のクランプ１０５Ａと第２のクランプ１０５Ｂとの間にクランプされた第１の可撓性のスタンプ１０４、および第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた第２の可撓性のスタンプを使用する装置を示している。第１および第２のクランプ１０５Ａおよび１０５Ｂと、第３および第４のクランプとは両方とも、同じベルト１０６上に取り付けられていて、同じベルト１０６によって操作される。第２の可撓性のスタンプの分配手段１１０によるコーティングと、ローラ１０８Ａの下方で行われる第１の可撓性のスタンプ１０４のインプリントステップとは順次に行われるものではなく同時に適用することができるので、処理量が得られる。コーティングステップとインプリントステップとが、ベルト１０６の連続的な同じ速度を有している場合は、この提案された構成が最善の働きをする。ベルト１０６の回転を停止させなければならない場合には、第２の可撓性のスタンプがインプリントしないのが好適である。同じ装置を使用して、１つのベルトサイクルで２倍または３倍のインプリントを可能とするために、コーティング手順および／またはクランプ位置を最適化することができる。
【００６８】
図２Ｃに示した好適な実施形態は、互いに独立的に駆動される２つの異なるベルトに取り付けられ、これらベルトによって操作されるより多数のクランプを使用する装置が示されている。図２Ｃに示したように、ベルトは異なるプーリ１０７Ａおよび１０７Ｂによってガイドされている。分配手段１１０によって行われるコーティングと、ローラ１０８Ａの下方で行われるインプリントステップとが順次に行われるのではなく、同時に適用することができるので、既に図２Ｂにつき説明したのと同じ理由で、処理量が得られる。さらに、第１の対の内側ベルトがローラを介して第１のクランプされたスタンプ１０４を動かし、第２の対の外側ベルトが、ローラを介して第２のクランプされたスタンプを動かすために使用されるので、かつ内側の対のベルトが、外側の対のベルトとは独立的に操作されるので、コーティングステップとインプリントステップとは必ずしも相互依存的ではない。例えば、第１の対のベルトは、第１のクランプされたスタンプ１０４のコーティングのために停止することができ、この間、第２の対のベルトが、第２のクランプされたスタンプをインプリントし続けることができる。
【００６９】
可撓性のスタンプにかけられる張力は、インプリント中のスタンプの長さおよび幅を決定する。したがって張力の変動は、レリーフパターンのトラックピッチの変化となる。例えば、レンチキュラーアレイのトラックピッチは変化し、またはピラミッド形状またはレンズ形状はより広く／小さくなる。両場合において、張力変動は、これらテクスチャの高さにも影響を与える。さらに、スタンプの長さと幅の変更により、テクスチャイメージ全体が歪む。可撓性のスタンプにかけられる張力は、様々な理由のために変更される可能性がある。とりわけ、原因は、
・プーリ１０７またはローラ１０８が真円でないことにより、両クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂの間の距離が変化すること、
・剛性のクランプ１０５がローラ１０８を通過する際に生じる可撓性のスタンプ１０４への力、
・温度または湿度の変動。
【００７０】
可撓性のスタンプ１０４の長さに対する張力変動の影響は、次の式を用いて計算することができる：ΔＬ＝ＬＯ×１／Ｅ×σ。この式において、ΔＬはかけられた負荷による可撓性のスタンプ１０４の変位長さであり、ＬＯは、可撓性のスタンプの元の長さであり、Ｅは弾性係数であり、σは可撓性のスタンプ１０４にかかる応力である。この応力は、可撓性のスタンプの横断面積（可撓性のスタンプの幅×厚さ）に対する、加えられる負荷（または力）の比として規定される。張力がスタンプに加えられると、可撓性のスタンプの幅も変化する。可撓性のスタンプの幅における変化は、ポアソン比を利用して計算することができる。
【００７１】
クランプの設計、可撓性のスタンプの設計、および／または装置の設計は、張力変動を減じるために最適化することができる。以下では、本発明による装置に別個に適用することができる、または一緒に適用することができる様々な変形例を説明する。
【００７２】
図３Ａは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、装置のクランプは概略的に示されている。図３Ａは、クランプ１０５に取り付けられた可撓性のスタンプ１０４を示している。クランプ１０５は、図１Ａに示されたような前側クランプ１０５Ａまたは後側クランプ１０５Ｂであってよい。クランプ１０５は様々な部品から成っている。
【００７３】
クランプ１０５のコネクタ２０７、すなわちクランプコネクタ２０７は、ベルトコネクタピン２１０を用いてクランプ１０５をベルト１０６にピン留めする。このクランプコネクタ２０７は、ベルト１０６に永続的に固定されていてよい。選択的に、クランプコネクタ２０７は、ベルト１０６へのスタンプホルダ２０６の簡単な取り付け、およびベルト１０６からの簡単な取り外しが可能であるように設計されていてもよい。ベルトコネクタピン２１０は、ねじ、または任意の別のコネクタピンであってよい。１つのピンが、ベルトにクランプを接続するために使用される場合、このベルトコネクタピン２１０の位置は、ローラを通過する間のクランプ１０５の枢動点となる。したがって、クランプホルダ２０６に対して相対的なこのベルトコネクタピン２１０の位置は、クランプ１０５と可撓性のスタンプ１０４とがローラ１０８の周りをどのように回転するかを決定する。スタンプホルダ２０６は可撓性のスタンプ１０４を保持する。このスタンプホルダ２０６は、可撓性のスタンプ１０４を保持する任意のホルダであってよい。例えばスタンプホルダ２０６は、可撓性のスタンプ１０４がその表面にまたはその内部に取り付けられるシート、レール、バー、または円筒体であってよいが、これに限定されるものではない。
【００７４】
好適な実施形態では、スタンプホルダ２０６とクランプコネクタ２０７との間の距離を調節することができる。この距離を調節することにより、スタンプホルダ２０６の位置は、ベルト１０６の周回方向に対して垂直に動かされる。このことは、スタンプホルダ位置合わせピン２１１を使用して行うことができる。このスタンプホルダ位置合わせピン２１１は一例として、ガイドと組み合わせることができるねじまたはねじ山であってよいが、これに限定されるものではない。スタンプホルダ２０６の位置を調節することにより、基板１０１に対するスタンプ１０４の位置が変えられる。これにより、基板１０１上の硬化したテクスチャ１１２の位置を、基板１０１の幅に沿って垂直方向で微調整することができる。
【００７５】
スタンプホルダ２０６に可撓性のスタンプ１０４を取り付ける様々な方法がある。１つの例は、スタンプ取付け開口２０５を設けることであり、このスタンプ取付け開口では、可撓性のスタンプ１０４の始端領域セグメントまたは終端領域セグメントがスライドすることができ、この場合、スタンプ１０４の前記セグメントを、例えばねじ２０４によってクランプすることができる。
【００７６】
別の方法は、スタンプホルダ２０６を２つの部分から形成し、これらの部分が、これらの部分の間にスタンプを挟んでプレスされる、というものである。このスタンプホルダ２０６は、１つの可撓性のスタンプ１０４を保持することができる。可撓性のスタンプ１０４の幅は変化することができる。クランプ１０５は、同じ幅または異なる幅を有する２つ以上の可撓性のスタンプ１０４を保持することもでき、これらのスタンプ１０４は全て互いに同じ長さを有している。さらに、例えばねじまたはクランプ２０４のような単純な保持機構によって、可撓性のスタンプ１０４の取り付けまたは交換が最短時間で行われる。さらに、このスタンプホルダ２０６は、可撓性のスタンプ１０４を位置決めする位置合わせ機構を有していてよい。
【００７７】
図３Ａに示された基本的なクランプ設計は、簡単なスタンプ交換と共に小さなスタンプを使用することを可能にする。しかしながらこの基本的なクランプ設計では、張力制御が行われない。
【００７８】
図３Ｂは、張力制御が行われるクランプ１０５を示している。この場合、クランプベース２０８が、張力制御ばね２０９と共に追加されている。クランプベース２０８は、クランプ１０５の堅牢性と剛性のために利用される。さらに、本発明による装置によってスタンプ張力制御が必要とされる場合には、クランプベース２０８とスタンプホルダ２０６とを、張力制御ばね２０９を利用して接続することが提案される。このばねは、例えばこれに限定されるわけではないが、コイルばね、板ばね、ねじりばね、引張りばねのような１つ以上のばね、またはばね２０９として機能するその他任意の可撓性の材料、例えばこれに限定されるわけではないが、ゴムシートまたは穴あきゴムシートのような材料であってよい。好適には、ばね２０９の張力は、可撓性のスタンプ１０４の長さの差を補償するために制御することができる。
【００７９】
図４Ａに示したように、張力は、張力制御ばね２０９の長さを変更することができるねじ３０３を利用して手動で調節することができる。制御するための別の可能性は、例えば、これに限定されるものではないが、ベルト１０６上のベルトコネクタピン２１０を有するクランプコネクタ２０７の位置の変更、またはばね定数の調節による、ばね２０９の巻き付け／巻き戻しである。適用される張力は、力測定器を利用して、オフラインまたはインラインで決定されてよい。
【００８０】
ばね２０９は、例えば下方または横方向など、あらゆる方向に曲がる可能性があるので、付加的なガイドピン３０４を追加することができ、これによりスタンプホルダ２０６が、ベルト１０６の動きと同じ方向または逆の方向にのみ移動できることが保証される。滑り止め作用を防ぐために、このピンを低摩擦ベアリングでガイドすることが重要である。
【００８１】
図４Ａは好適な実施形態を示しており、この実施形態では、クランプコネクタ２０７は、ベルト１０６へのスタンプホルダ２０６の簡単な取り付け、およびベルト１０６からの簡単な取り外しが可能であるように設計されている。クランプベース２０８と張力制御ばね２０９とが、クランプに一体に形成されているならば、クランプベース２０８と張力制御ばね２０９とはスタンプホルダ２０６と共に、ベルト１０６に対して取り付け、取り外しされる。例えば、これに限定されるものではないが、好適にはクランプコネクタ２０７は、クランプベース２０８を保持することができ、これにより図４Ａに示したように、クランプ２０７Ａを使用してスタンプホルダ２０６を保持することができる。これらのクランプ２０７Ａは、クランプベース２０８、およびスタンプを保持しているスタンプホルダ２０６の容易な取り付けおよび取り外しのために、側方へ動かすことができる。別の例では、これに限定されるものではないが、クランプコネクタ２０７は２つの部分に分割されていて、そのうちの一方は、ベルトに固定されていて、他方は永続的にスタンプホルダ２０６またはスタンプベース２０８に固定されている。クランプコネクタ２０７の両部分は、一方の部分を、他方の部分に取り付けられたフックの下方に摺動させることにより接続することができる。
【００８２】
スタンプホルダ位置合わせピン２１１によって、クランプコネクタ２０７に対するスタンプホルダ２０６の距離を調節することができる。図４Ａに示したように、クランプベース２０８と張力制御ばね２０９とがクランプ１０５に一体に形成されている場合には、スタンプホルダ位置合わせピン２１１を利用してクランプベース２０８のクランプコネクタ２０７に対する距離を変更することにより、スタンプホルダ２０６の位置を変更することができる。両方の場合において、スタンプホルダ２０６の位置は、ベルト１０６の周回方向に対して垂直に変更される。この場合、基板１０１に対して相対的な可撓性のスタンプ１０４の位置を、これにより、基板１０１上のインプリント領域Ａｉｍｐｒｉｎｔの位置を、最適にすることができる。
【００８３】
可撓性のスタンプ１０４を保持するスタンプホルダ２０６を、これらの間に張力制御ばね２０９を含んだベルト１０６に接続する別の可能性がある。さまざまな選択肢の中で１つの例は、図４Ｂに示したように、クランプコネクタ２０７とベルト１０６との間にばね２０９を配置することである。この場合、スタンプホルダ２０６とクランプベース２０８とは同じであってよい。
【００８４】
スタンプ張力のさらなる制御のためには、図１Ａに示したような前側クランプ１０５Ａと後側クランプ１０５Ｂの両方が、図３Ｂに示したような張力制御ばね２０９を有することができる。前側クランプ１０５Ａおよび後側クランプ１０５Ｂの両方のうち、後側クランプ１０５Ｂの張力制御が最も効果的である。硬化性ラッカ１０９を間に挟んだ基板１０１と可撓性のスタンプ１０４との最初の接触時における、テクスチャ１０４Ａの第１の部分の硬化後は、前側クランプ１０５Ａの張力制御はもはや効果的ではない。さらに、前側クランプ１０５Ａにおけるばねの長さの変化により、インプリント開始位置の規定が明確でなくなる。したがって好適には、前側クランプ１０５Ａは、図３Ａに示したような基本的なクランプ設計を有しており、図３Ｂに示したような張力制御ばねを有していない。
【００８５】
図５は、可撓性のスタンプの張力に対するクランプ１０５Ｂの重量の作用を示している。インプリント中の、後側クランプ１０５Ｂおよび／または前側クランプ１０５Ａの位置に応じて、クランプ１０５の重量は、可撓性のスタンプ１０４に加えられる張力の変動に影響を与える場合がある。
【００８６】
図５に示したように、クランプ１０５Ｂが、水平位置から垂直位置へと回転されると、可撓性のスタンプ１０４に作用する力が変化する。図５の左側に示されたような水平位置では、張力制御ばね２０９は、例えば１００Ｎの力で、後側クランプ１０５Ｂの可撓スタンプホルダ２０６を引っ張る。同じ後側クランプ１０５Ｂが、図５の右側に示されたような垂直位置へと回転された場合、ばね２０９は同じ１００Ｎの力で引っ張る。しかしながら、重力が可撓スタンプホルダ２０６を、重力の作用に沿って下方に引っ張る。３キログラムの重量を有する可撓スタンプホルダ２０６の場合、可撓性のスタンプへの張力は３０Ｎ分減じられる。可撓性のスタンプ１０４の寸法に応じて、インプリント中に、３０Ｎの張力変動が可撓性のスタンプ１０４にはかけられ、前記張力変動は、インプリントテクスチャの品質に影響を与える。このような影響を減じるために、可撓スタンプホルダ２０６の重量は最小限であるのが望ましい。一例としては、６００ｍｍの幅を有するクランプ１０５について、クランプ１０５の重量は好適には５ｋｇ未満である。
【００８７】
図６Ａは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、クランプ１０５Ｂはローラ１０８Ａの周りを回転させられる。クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂの最小幅は、図１Ａに示された２つのベルト１０６の距離によって決定される。クランプ１０５Ｂの長さと高さは、クランプ１０５Ｂがローラ１０８Ａの周りを回転するときのスタンプ張力変動に対する影響を制限するために最小にされているのが望ましい。図６Ａに示したように、可撓性のスタンプ１０４への張力は、クランプ１０５Ｂがローラ１０８Ａの周りを回転すると、インプリント中に変化する。図１Ａのように、前側クランプ１０５Ａがローラ１０８Ｂの周りを回転する場合に同じ作用が存在していることに注意されたい。この作用を制限するために、制限されたクランプ寸法を有することが提案される。ローラ１０８の周りを回転するクランプ１０５に基づく張力変動は、スタンプホルダ２０６に設けられたスタンプ取付け開口２０５と、１つのコネクタピンを使用する場合、このベルトコネクタピン２１０の位置である、ベルト上のクランプの枢動点との間の距離によって決定される。この距離は、最小であるのが望ましく、好適にはゼロであるのが望ましい。クランプ設計に関して、この好適性は、図６Ｂに示したように２つの寸法に分割することができる。
−クランプホルダ２０６におけるスタンプ取付け開口２０５と、クランプ１０５の底面との間の鉛直方向の距離ｄｃｖ：クランプの底面は、ベルトに接触するクランプの面である。粗計算で、１メートルの長さの伸長しているスタンプについて、クランプの底面に対するスタンプ２０５の取付け開口の距離ｄｃｖが１ｃｍの場合、可撓性のスタンプは５０ミクロン伸長する。精密用途のために影響を最小限するために、距離ｄｃｖは、好適には２ｃｍ未満、最も好適には０ｃｍであることが提案される。
−クランプホルダ２０６におけるスタンプ取付け開口２０５と、１つのピンが使用される場合には、コネクタピン２１０の枢動点と同じ位置である、ベルトの枢動点との間の水平方向の距離ｄｃｈ：クランプがローラの周りを回転する場合、張力変動に対する距離ｄｃｈの影響は、ローラの直径や、ローラの周りを動くクランプの位置、伸長するスタンプの長さといった様々な変数に依存している。クランプ２１０の枢動点と、スタンプ取付け開口２０５との間の２ｃｍの距離ｄｃｈは、半径１１０ｍｍのローラでは１ｍｍ以上の伸長をもたらす。精密用途にとってはこの張力変動は大きすぎる。クランプの枢動位置２１０と、クランプにおけるスタンプ取付け開口２０５との間の水平方向の距離ｄｃｈは、好適には１ｃｍ未満、最も好適には０ｃｍであることが提案される。
【００８８】
図７は、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、クランプ１０５Ａおよびクランプ１０５Ｂは、インプリント中、ローラを通過しない。図７Ａおよび図７Ｂに示したように、クランプを水平位置に維持することが、最も簡単である。この場合、重力に基づくスタンプへの力は、一定に維持される。本発明による装置構成のさらに好適な実施形態が図７Ｃに示されており、この場合、後側クランプ１０５Ｂは、ほぼ垂直の角度で配置されている。クランプの動きが、図７Ｃに示されたものと異なる角度であってもよいことに注意されたい。クランプ移動の角度は一定であるという状態である。図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃに示された様々な実施形態は、左側に、すなわち図７Ａ（１）、図７Ｂ（１）、および図７Ｃ（１）に、インプリント前の可撓性のスタンプの状態を示しており、右側に、すなわち図７Ａ（２）、図７Ｂ（２）、および図７Ｃ（２）に、インプリント後の、ＵＶバー１１１を通過した直後の可撓性のスタンプの状態を示している。これら全ての場合、重力によりスタンプにかけられる力は、インプリント中は一定に維持され、張力の変動を最小限にしている。
【００８９】
図７Ａは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、基板１０１のインプリント中、２つのローラ１０８Ａおよび１０８Ｂが使用され、両クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂは、水平方向で移動する。
【００９０】
図７Ｂは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、基板１０１のインプリント中、４つのローラが使用され、両クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂは、水平方向で移動する。
【００９１】
図７Ｃは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、基板１０１のインプリントは、図７Ｃ（１）および図７Ｃ（２）に示されたように、後側クランプ１０５Ｂの垂直方向での移動中に行われる。このような好適な装置および可撓性のスタンプ設計により、可撓性のスタンプの長さＬはより短くなる。しかしながら、ローラを通過することなく鉛直方向の移動を可能とするために、上側のローラ１０８とインプリントローラ１０８Ａとの鉛直方向の距離ｄｒｖは、図７Ｂと比較して長くしなければならず、その結果より大きな装置となり、原則的にサイクル時間はより長くなる。これは、ローラの位置を変更することにより補償することができる。
【００９２】
本発明による装置では、４つのローラよりも多くのローラを使用することができる。ローラの数量は、処理量に影響を与える。張力の変動を最小にする好適な要件は、インプリント中のクランプ移動の角度を一定に保つことである。このような制約により、インプリント中にクランプはローラを通過すべきではない。この要件により、インプリント装置ならびに可撓性のスタンプ１０４の長さに制約が与えられる。複数のローラは、好適には、インプリント中、クランプがローラを通過しないように配置されるのが望ましい。このような好適な場合、インプリントローラ１０８Ａと剥離ローラ１０８Ｂとの間の最小ローラ距離は、基板テーブル１０１の長さＬｓｔと、基板テーブルの前方に配置されたクランプ１０５Ａの長さＬｃと、ローラ１０８Ａおよび１０８Ｂの半径ｒとによって規定される。ローラ１０８Ａの中心とローラ１０８Ｂの中心との間の最小ローラ距離ｄｒは、≧（Ｌｃ＋Ｌｓｔ）である。ローラ間の同じ垂直方向距離がこの場合、求められ、この場合複数のローラが使用される：ｄｒｖ≧（Ｌｃ＋Ｌｓｔ）。
【００９３】
特別な装置設計の選択は、可撓性のスタンプの設計に影響を与える。図２Ｂに示されたように、スタンプ１０４の長さＬは、基板１０１で複製されるインプリントパターン１１２の長さよりも大きい。基板上に複製されたインプリントテクスチャ１１２を得るためには、テクスチャード面領域１０４Ａを有するスタンプ１０４が必要であり、この場合、テクスチャード面領域１０４Ａは、インプリントテクスチャ１１２と同じ、またはより大きな領域寸法を有している。基板１０１はインプリントテクスチャ１１２と同じ寸法、またはより大きな寸法を有している。基板テーブル１０３は、基板１０１と同じ寸法、またはより大きな寸法を有している。テクスチャード面領域１０４Ａを有する可撓性のスタンプ１０４は、基板テーブル１０３よりも大きくなければならない。最小長さＬｃｍを有した始端領域セグメントは、図４Ａに示したように、前側クランプ１０５Ａのスタンプホルダ２０６の取付け開口２０５におけるスタンプ１０４の取付けのために必要とされる。後側では、終端領域セグメントが、後側クランプ１０５Ｂのスタンプホルダ２０６の取付け開口２０５におけるスタンプの取付けのために必要である。さらに、インプリント中１０８にクランプ１０５がローラを通過しないという要件を満たすために、（１／４）×ｒの付加的な長さが求められる。その結果、スタンプの総最小長さＬは、Ｌ≧２×Ｌｃｍ＋Ｌｓｔ＋（１／４）×ｒとなる。この場合、クランプが、図７Ａおよび図７Ｂに示したように、インプリント中、水平位置に保たれるならば、スタンプの最小長さはより大きくなり、Ｌ≧２×Ｌｃｍ＋Ｌｓｔ＋（１／２）×ｒとなる。スタンプの最大の長さは、ベルト１０６の長さによって決定される。
【００９４】
好適な実施形態が、図８（１）および図８（２）に示されている。可撓性のスタンプ１０４は部分的に必要なインプリント領域１０４Ａでテクスチャを有していてよく、または図８（２）に示されたように必要なインプリントテクスチャの反転のテクスチャによって完全に覆われていてよい。図８（１）に示されたように、可撓性のスタンプが部分的にしかテクスチャを有していない場合、スタンプにおけるテクスチャ領域ＴＳＡの位置は規定されており、クランプの取付けのための最小始端セグメントＬｃｍおよび後側クランプの取付けのための最小終端領域セグメントＬｃｍ＋（１／４）×ｒを有しており、インプリント中にローラの周りをクランプが回転するのを阻止している。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ（１）】
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【図１Ｂ（２）】
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【図１Ｂ（３）】
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【図１Ｂ（４）】
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【図１Ｂ（５）】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ（１）】
2019522368.tif 000019
【図７（Ａ２）】
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【図７Ｂ（１）】
2019522368.tif 000021
【図７Ｂ（２）】
2019522368.tif 000022
【図７Ｃ（１）】
2019522368.tif 000023
【図７Ｃ（２）】
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【図８（１）】
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【図８（２）】
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【手続補正書】
【提出日】平成31年3月11日(2019.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可撓性のスタンプ若しくはモールドが基板上に硬化可能なラッカと共に積層され、次いで解放される間に、可撓性のスタンプによって硬化可能なラッカをインプリントし、インプリントされたラッカが硬化し、その結果、個別の基板に付加的な機能的なテクスチャード層を形成することによって、個別の基板にテクスチャを設ける、またはパターンを設ける装置に関する。この付加的な層の機能は、とりわけ、光マネージメント層から、疎水性層、装飾的用途、またはバイオセンサにおける用途まで様々であり得る。本発明はさらに、ラッカをインプリントして、個別の基板にテクスチャまたはパターンを形成する装置及び可撓性のスタンプに関する。
【０００２】
デバイス上の機能的なテクスチャード層の使用は重要なテーマである。このような層の賢明な利用により、パフォーマンスを向上させ、コストを削減し、製品の外観を改善することができる。例えば、ディスプレイにおいてはディフューザ層が使用されており、これはより薄いＬＥＤバックライトの構想の利用を可能にし、側方からディスプレイを照明する。新しい高度な技術の別の可能性は、機能的なテクスチャード層をソーラーパネルに組み込みその効率を改善すること、または有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）に照明パネルを組み込んで、より多くの光を取り出すことである。
【０００３】
機能的なテクスチャード層は、ＵＶインプリントを利用して形成することができる。この場合、基板、またはスタンプ、またはその両方には、ラッカ（樹脂またはレジスト）がコーティング（塗布）される。基板上にスタンプをこれらの間にラッカを挟んでプレスした後、テクスチャードラッカは硬化されて固相となる。硬化法は熱式、またはＵＶ光を使用したものであってよい。この技術は既に１９７８年に、米国特許第４１２８３６９号明細書（US Patent 4,128,369）において言及された。さらに、先駆的な研究が、１９９５年にＣｈｏｕによってなされた。Ｃｈｏｕは、剛性のスタンプを使用して、２５ｎｍ以下のテクスチャを大量生産のために高い処理量で複製できることを実証した（米国特許第５７７２９０５号（US Patent 5,772,905）、またはStephen Y. Chou、Peter R. Krauss、Preston J. Renstromによる論文（Applied Physics Letters誌第６７号、１９９５年、３１１４〜３１１６））。その後、テクスチャを複製するために、剛性のスタンプまたは曲げられた薄い金属層に圧力を加えるローラの使用が実証された（Hua Tan、Andrew Gilbertson、Stephen Y. Chouによる論文、Journal of Vacuum Science & Technology誌Ｂ１６、１９９８年、３９２６〜３９２８）。
【０００４】
多くの研究機関および会社がこの研究を続け、様々な技術が生まれた。米国特許第６３３４９６０号明細書（US Patent 6,334,960）、米国特許出願第２００４／００６５９７６号明細書（US Patent Application 2004/0065976）、および米国特許第８４３２５４８号明細書（US Patent 8,432,548）に記載されているように、半導体産業においては、搬送プロセス、材料、および精密な位置決めとの組み合わせで、剛性のスタンプを使用することにより、プレートトゥプレート（plate-to-plate）インプリントが適用されている。例えば米国特許第８０２７０８６号明細書（US Patent 8,027,086）に記載されているように、ロールトゥロール（roll-to-roll）インプリント技術は、可撓基板と組み合わせてテクスチャードローラを使用して、テクスチャフォイルまたはフィルムを連続工程で形成している。
【０００５】
上述のプレートトゥプレート技術は、均一な平坦なウェハ上に高い位置精度で小さなテクスチャ（１００ｎｍ以下の機構サイズ）を正確にウェハスケールでインプリントするために設計されている。しかしながら、中国特許出願第１０３２３５４８３号明細書（CN 103235483）に記載されたように、この技術は、より広い領域へと拡張するのは困難である。ロールトゥロール技術を利用することにより、テクスチャードフォイルを、連続的に高い生産速度で形成することができる。このテクスチャードフォイルは、可撓的な用途のための基板として使用することができ、または剛性の基板上に貼り付けることができる。しかしながら、後者の用途では、剛性的な基板または製品に可撓性のテクスチャードフォイルを付着させるための中間付着層の付加的なコストがかかる。したがって、第３の新規の技術が開発されている：直接ロールトゥプレート（roll-to-plate）インプリンティングである。この場合、１０〜１００ミクロンの厚さの付加的な中間付着層を有する支持フィルムを使用せずに、個別の基板上に直接に、機能的なテクスチャード層が設けられる。プレートトゥプレート技術とは対照的に、インプリントは、テクスチャを有するローラを使用して行われるか、または可撓性のスタンプとも呼ばれる、ローラの周りに巻き付けられたテクスチャードフォイルを使用して行われる。
【０００６】
先行技術では、様々な形式の開発されたロールトゥプレート設備が説明されている。
【０００７】
国際公開第２０１６／０１２１７４号（WO 2016/012174 A1）には、リソグラフィ装置が記載されていて、このリソグラフィ装置は：放射線を調整するように構成された照明システムと；直線部と曲線部とを有する閉ループ軌道に沿って可撓性のパターニングデバイスを移動させるようになっている回転駆動装置であって、前記可撓性のパターニングデバイスの曲率は、前記閉ループ軌道の曲率に実質的に対応している、回転駆動装置と；基板を保持するように構成された基板テーブルと；を有しており、回転駆動装置はプーリアッセンブリを有しており、このプーリアッセンブリは、使用中に可撓性のパターニングデバイスに係合し、かつ使用中に、可撓性のパターニングデバイスの一部を、軌道の直線部に沿って実質的に平坦の状態であるように維持するように構成されていて、パターニングデバイスの実質的に平坦な部分は、パターンを有する放射線を形成するように、放射線の横断面にパターンを与えるように構成されており；このリソグラフィ装置はさらに、パターンを備えた放射線を基板の目標部分に投影するように構成された投影システムを有している。
【０００８】
フランス特許第２８９３６１０号（French Patent 2,893,610）は、必要なテクスチャを複製するためのテクスチャードローラを使用している。米国特許第７８２４５１６号（US Patent 7,824,516）および米国特許出願第２０１３／２１４４５２号明細書（US Patent application 2013/214452）に開示されているように、取り外し可能な可撓性のスタンプも使用することができる。この場合、可撓性のスタンプは、２つのローラを使用して、繰り出される、または巻き取られる。第３の可能性は、米国特許第７２９６５１９号明細書（US 7,296,519 B2）および米国特許出願第２０１３／２１４４５２号明細書（US 2013/214452 A1）および中国特許出願第１０３２３５４８３号明細書（CN 103235483）に記載されており、型として、複数のローラに巻き付けられ、連続的に再利用できる、より短い可撓性のスタンプを使用することが提案されている。このようなより短い可撓性のスタンプは、可撓性のスタンプの再利用、ならびに異なるインプリントパターンへのより簡単な切り替えという利点を有することができる。
【０００９】
型としてより短い可撓性のスタンプを使用するためには、繰り出し供給ローラおよび巻取り捕集ローラの周りに巻き付けられたより大きなスタンプの取り扱いとは異なるスタンプの取り扱いが必要である。従来技術では、可撓性のスタンプが閉ループである構成が提案されている。この場合、米国特許第７２９６５１９号明細書（US 7,296,519 B2）に記載されたように、この可撓性のスタンプは、両端部を、２つ以上のローラの周りに接続して取り付けることができ、またはその周に沿って固定することができるテクスチャードシートであってよい。従来技術では、可撓性のスタンプはローラによって、ローラと可撓性のスタンプとの間の摩擦を利用して移動させられる。張力は、ローラ間の距離を制御することによって制御される。
【００１０】
ロールトゥプレートインプリント法でローラを利用してテクスチャを複製するために可撓性のスタンプを使用する欠点は、張力制御が困難な点にある。可撓性のスタンプに加えられる張力の変動は、スタンプの寸法に影響を与え、ひいては機構の分布またはテクスチャのトラックピッチに影響を与える。剛性のスタンプを使用するプレートトゥプレートの複製では、この点はそれほど問題ではない。しかしながら、可撓性のスタンプは、張力変動の際、ならびに温度および湿度の変動の際に、膨張または収縮する。複製テクスチャと製品との正確な一致が要求される用途では、このようなトラックピッチ変動は問題となるであろう。一例は、これに限定されるものではないが、レンズがディスプレイ画素アレイと一致しなければならない、３Ｄ用途のためのレンチキュラ−レンズの使用である。視覚的影響を与えないディスプレイ上でのトラックピッチ変動は最大で、レンチキュラアレイの１トラックピッチである。２４インチディスプレイおよび１００ミクロンの３Ｄレンチキュラトラックピッチの場合、最大変動は５００ｍｍの長さにつき１００ミクロンである。このスペックは、より高い解像度を持ち、したがってより小さい３Ｄ機構サイズを持つ同様のディスプレイではより厳しいものとなる。長さ０．５メートル、幅０．５メートル、および厚さ０．２５ｍｍのレンチキュラアレイテクスチャを有するポリカーボネート製可撓性のスタンプに１０Ｎの張力変動が生じた場合、レンチキュラのトラックピッチは、可撓性のスタンプの長さにわたって約１７ミクロン変化する。張力変動の他に、温度変動および湿度変動も、トラックピッチ変動に影響を与える。したがって、張力変動に基づくトラックピッチ変動は、制御され、最小限であるべきだと確信する。その他の用途にとって、突然の張力変動は視覚妨害となり得る。したがって、最高仕様の用途にとっては、インプリント中の可撓性のスタンプの張力変動は制御され、最小限にされるべきである。
【００１１】
インプリントプロセス中は、複製領域が、まっすぐで、曲がっていない面を有することを保証するために可撓性のスタンプには常に張力がかけられている。この張力が良好に制御され、したがって一定であるならば、インプリントテクスチャトラックピッチに加えられる張力の影響を、マスタを形成する間に補正することができる。シンガポール特許出願公開第１８４０３４号明細書（SG 1 84034 A1）または米国特許第８０２７０８６号明細書（US patent US 8,027,086 B2）で説明されているように、張力変動はしばしば、張力制御センサの使用により、かつローラの１つを外側／内側に動かすことにより制御される。この種の張力制御の欠点は、この張力制御にタイムラグがあることである。第２に、張力は、ローラの表面によって制御される。これらのローラは、可撓性のスタンプの移動を操作する。しかしながら、可撓性のスタンプと基板との適合性を要する良好なインプリント品質のためには、これらローラの表面は柔らかい場合がある。大きな面積のインプリントのためには、このような操作は、大きな可撓性のスタンプの局所的なしわまたは滑りが生じるかもしれないというさらなる問題を含む。
【００１２】
本発明により克服すべき課題は、装置が、インプリント中に、滑りやしわの形成なしに、可撓性のスタンプの直線移動を可能にし、かつタイムラグなしにスタンプ張力の直接制御を行えるように、短い可撓性のスタンプで個別にインプリントするための装置を提供することである。
【００１３】
この課題は、個別の可撓性のスタンプによって個別の基板にインプリントするための装置であって、
ａ）長さＬと、幅Ｗと、スタンプ面積Ａｓｔａｍｐと、始端部と、終端部とを有した、少なくとも１つの第１の長方形の可撓性のスタンプであって、このスタンプは、
・インプリント面積Ａｉｍｐｒｉｎｔ≦Ａｓｔａｍｐを有するインプリントテクスチャであって、開口と隆起部とを有しているインプリントテクスチャを有した前面と、
・背面と、
・可撓性のスタンプの幅Ｗ全体に沿って延在している始端領域セグメントおよび終端領域セグメントであって、スタンプの長さＬに沿って、
・始端部長さＬｏｎｓｅｔにわたって延在している始端領域セグメント、および
・終端部長さＬｅｎｄにわたって延在している終端領域セグメントと、
を有しているスタンプと、
ｂ）可撓性のスタンプの始端領域セグメントをクランプする少なくとも１つの第１のクランプ、および可撓性のスタンプの終端領域セグメントをクランプする少なくとも１つの第２のクランプと、
ｃ）インプリントローラである第１のローラと、
ｄ）第１のクランプと第２のクランプとに接続された少なくとも１つの被駆動ベルトであって、可撓性のスタンプの前面と基板とを間にラッカを挟んだ状態で互いに接触させ、これによりラッカに、基板上にインプリントされる領域Ａ’を複製するインプリントテクスチャを設けることにより、基板上に可撓性のスタンプのインプリントテクスチャをインプリントするために、所定のインプリント距離Ｉｄにわたって、インプリントローラ上にその背面を接触させた状態でその長さＬに沿って、クランプされた可撓性のスタンプを所定の移動方向で動かすことができる被駆動ベルトと、
を有しており、この移動方向は、インプリント方向、またはインプリント方向とは逆の方向であって、
インプリントローラは、それ自体で回転することはできないが、スタンプによって駆動され、スタンプは、ベルト駆動装置によって駆動されるベルトによって駆動されているか、または、インプリントローラは、マスタースレーブ構造でベルト駆動装置に従動するローラ駆動装置によって、ベルトと同じ速度で駆動される、装置によって解決される。
【００１４】
本発明による装置により、可撓性のスタンプの使用による基板の高精密なインプリントが可能である。スタンプは、その前面にインプリントテクスチャを有している。この装置はインプリントローラである第１のローラを有しており、このローラはそれ自体で動くことはできないが、スタンプによって駆動されており、このスタンプはベルトによって駆動され、ベルトはベルト駆動装置によって駆動される、またはローラは、マスタースレーブ構造でベルト駆動装置に従動するローラ駆動装置によって、ベルトと同じ速度で駆動される。本発明の範囲では、これは、ローラではなくベルトが、可撓性のスタンプの移動を、したがって複製速度を決定していることを意味している。むしろ前記ローラは、ベルトによって駆動される少なくとも１つの可撓性のスタンプによって駆動される、またはマスタースレーブ構造で、ベルトのモータに従動する緩被駆動モータによって駆動される。少なくとも１つの被駆動ベルト自体は、適切なベルト駆動装置によって、例えば電気モータによって、駆動される。第１のクランプと第２のクランプとに接続されたベルトが、クランプされたスタンプをその長さＬに沿ってローラ上で移動させると、前記ローラは、受動的回転を行わせられる。したがって、従来技術のインプリント装置の場合のように、可撓性のスタンプと被駆動ローラとの間の摩擦が、ローラ上でスタンプを移動させるのではない。むしろ、被駆動ベルトが、クランプされたスタンプを、低摩擦ベアリングに取り付けることができるローラ上で移動させる。したがって、本発明の装置は、ローラ上でスタンプを移動させるための十分な摩擦力を発生させるために十分な粗さを有する表面を持ったローラを必要としない。むしろ、本発明による装置により、ローラに滑らかな表面を与えることができるにも関わらず、クランプされた可撓性のスタンプを、この可撓性のスタンプが大きな面積を有していたとしても、しわの形成や滑りなしにローラ上を移動させることができる。
【００１５】
クランプされたスタンプに対するローラの空間的配置と共にベルト上のクランプ間の所定の距離を利用して、第１および第２のクランプを、その間にクランプされる可撓性のスタンプに接続することにより、可撓性のスタンプに所定の張力を加えることができる。所望の前記張力は、可撓性のスタンプがローラ上を移動する場合でも、インプリントプロセスのコースにおけるスタンプの移動中、維持される。これは、上述したように、可撓性のスタンプには、ローラ上でしわも滑りも生じないからである。したがって、本発明による装置は、制御調節ループにおいてタイムラグなしに、インプリント中、スタンプ張力の直接制御を提供する。
【００１６】
タイムラグのないスタンプ張力の前記直接制御は、本発明による装置の好適な実施形態でより改善されており、可撓性のスタンプの容易な交換の操作的な柔軟性は維持しながら、少なくとも第１のクランプまたは少なくとも第２のクランプに、可撓性のスタンプの張力のさらなる制御および調節のための一体的な装置が設けられている。
【００１７】
本発明による装置のさらに別の利点は、同時に２つ以上の可撓性のスタンプを使用することができることであり、各スタンプは、そのテクスチャード面に異なるインプリントテクスチャを支持していてよい。
【００１８】
上述したように、本発明による装置は、第１のクランプおよび第２のクランプに接続された少なくとも１つの被駆動ベルトを有しており、この被駆動ベルトはその長さＬに沿って少なくとも第１のクランプされた可撓性のスタンプを移動させることができる。
【００１９】
好適には、少なくとも１つのベルトがモータによって駆動される。ベルトは、ガイドレールまたはプーリを使用してガイドされる。これらプーリまたはガイドレールは好適には、少なくともインプリントローラである第１のローラの側方に位置している。第２のローラ、第３のローラ、またはそれより多数のローラが使用されるならば、プーリまたはガイドレールも、好適には、これら追加的なローラの側方に配置される。ベルトは、可撓性のスタンプの回転を決定し、したがってインプリントの速度を決定する。ローラは、マスタースレーブ構造でベルトに従動して、ベルトと同じ速度で駆動されることができる。これは例えば、ローラが、プーリに摩擦により係止されている場合に達成することができる。ローラは、「非駆動」であってもよく、すなわち、それ自体回転することができず、クランプを使用してベルト上に取り付けられている可撓性のスタンプと摩擦係止されていてよい。ローラは、可撓性のスタンプに摩擦によって係止されていなくてもよい。
【００２０】
好適な実施形態では、装置はさらに、同じベルトに接続された、第３のクランプ、第４のクランプ、およびそれ以上のクランプを有していてよく、この場合、例えば、第１の可撓性のスタンプは、第１のクランプと第２のクランプとの間にクランプされてよく、第２の可撓性のスタンプは、第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされてよく、第３の可撓性のスタンプは、第５のクランプと第６のクランプとの間にクランプされてよい。これによりサイクル時間は減じられ、インプリント中により高い処理量を可能にする。上述した各実施形態では、１つよりも多い可撓性のスタンプを、必要数のクランプの間にクランプすることができる。これはさらに、装置の処理量を向上させることができる。
【００２１】
好適には、本発明による装置は、２つ、３つ、または４つ以上のベルトを有している。いずれの場合でも少なくとも１つの駆動ベルトが、クランプのためのガイド支持体として機能し、好適にはこのようなガイド支持体は、各クランプの両側に存在している。
【００２２】
別の好適な実施形態では、本発明による装置は、第１のベルト対、第２のベルト対、またはそれより多数のベルト対を有しており、第１の対、第２の対、第３の対、またはそれよりも多数のベルト対はそれぞれ、互いに独立的に操作される。例えば、一方のベルト対はクランプされた可撓性のスタンプを動かして、所望の工程ステップを、例えばインプリントを、またはラッカのコーティングを行わせてよく、別のクランプされた可撓性のスタンプを有する他方のベルト対は、移動を停止してよく、または移動方向を逆にしてよい。これにより、柔軟性を高めることができ、サイクル時間の削減およびインプリントプロセスの処理量の向上が可能となる。
【００２３】
別の好適な実施形態では、本発明による装置は第１のクランプと第２のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第１の可撓性のスタンプを有しており、第１のクランプと第２のクランプとは第１のベルト対に接続されており、この装置はさらに、第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第２の可撓性のスタンプを有しており、第３のクランプと第４のクランプとは、第２のベルト対に接続されており、第１のベルト対は、第２のベルト対とは独立的に操作することができる。
【００２４】
別の好適な実施形態では、本発明による装置は、同じベルトに接続された、第３のクランプ、第４のクランプ、およびそれより多数のクランプを有していてよく、この場合、例えば、第１の可撓性のスタンプは、第１のクランプと第２のクランプとの間にクランプされてよく、第２の可撓性のスタンプは、第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされてよく、第３のスタンプは、第５のクランプと第６のクランプとの間にクランプされてよい。これによりサイクル時間は減じられ、インプリント中により高い処理量を可能にする。
【００２５】
別の好適な実施形態では、本発明による装置は第１のクランプと第２のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第１の可撓性のスタンプを有しており、第１のクランプと第２のクランプとは第１のベルト対に接続されており、この装置はさらに、第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第２の可撓性のスタンプを有しており、第３のクランプと第４のクランプとは、同じ第１のベルト対に接続されており、２つ以上のスタンプが同時に搬送される。
【００２６】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプがクランプコネクタを有しており、好適にはこのクランプコネクタは、このクランプを少なくとも１つの被駆動ベルトに、クランプコネクタピンを利用してピン留めし、可撓性のスタンプを保持するスタンプホルダは好適には、その表面にまたはその内部にスタンプが固定されるシート、レール、バー、または円筒体である。
【００２７】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプが、このクランプを少なくとも１つの被駆動ベルトにピン留めするコネクタ、すなわちクランプコネクタと、可撓性のスタンプを保持する可撓スタンプホルダとを有している。
【００２８】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプは、可撓スタンプホルダを有しており、クランプは１つ以上の可撓性のスタンプを保持し、前記１つ以上のスタンプは同じ長さ、および同じまたは異なる幅を有している。この好適な実施形態で、スタンプホルダが、２つ、３つ、またはそれよりも多数の可撓性のスタンプを保持しているならば、異なる可撓性のスタンプが、そのテクスチャード面に同じまたは異なるインプリントテクスチャを、または同じまたは異なるインプリントテクスチャ領域寸法を有していてよい。いずれの場合でも、スタンプホルダは、１つ以上の可撓性のスタンプの容易な取り外しを可能にする。
【００２９】
本発明による装置の特に好適な実施形態では、クランプコネクタは、ベルトへのスタンプホルダの容易な配置、またはベルトからのスタンプホルダの容易な取り外しを保証する容易な取付け部を有しており、この取付け部は付加的に、クランプ底面と張力制御ばねとを有している。
【００３０】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、第１のクランプおよび／または第２のクランプは、ベルト上のクランプコネクタの位置に対して相対的に可撓性のスタンプおよびスタンプホルダの位置を調節することができる可撓性のスタンプ位置合わせピンを有している。
【００３１】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、第１のクランプおよび／または第２のクランプは、スタンプホルダとベルト上のクランプコネクタの位置との間の距離を調節する、スタンプホルダ位置合わせピンを有しており、これによりスタンプホルダは、ベルトの移動方向に対して垂直方向に動かされる。
【００３２】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプは、可撓スタンプホルダを有しており、クランプは１つ以上の可撓性のスタンプを保持し、前記１つ以上のスタンプは同じ長さ、および同じまたは異なる幅を有している。この好適な実施形態で、スタンプホルダが、２つ、３つ、またはそれよりも多数の可撓性のスタンプを保持しているならば、異なる可撓性のスタンプが、そのテクスチャード面に同じまたは異なるインプリントテクスチャを、または同じまたは異なるインプリントテクスチャ領域寸法を有していてよい。いずれの場合でも、スタンプホルダは、１つ以上の可撓性のスタンプの容易な取り外しを可能にする。
【００３３】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、スタンプホルダは１つ以上の可撓性のスタンプを保持し、前記１つ以上のスタンプは同じ長さ、および同じまたは異なる幅を有している。
【００３４】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプには、可撓性のスタンプの張力を制御および調節するための一体的な装置が設けられており、この装置は、ばねとして機能することができ、かつ可撓性のスタンプの張力を制御および調節する材料または構成要素を有しており、好適にはこの材料は可撓材料であって、この構成要素は可撓構成要素である。
【００３５】
好適には、付加的に可撓材料である材料は、１つ以上のばねを含む。
【００３６】
本発明による装置の好適な実施形態では、可撓性のスタンプの張力は、上述したばねの長さを調節することにより、または間に可撓性のスタンプを含む第１のクランプと第２のクランプとの間の距離を調節することにより、制御される。
【００３７】
１つ以上のばねは好適には、コイルばね、板ばね、ねじりばね、または引張りばねを含む。
【００３８】
本発明による装置の特に好適な実施形態では、１つ以上のばねは、コイルばね、板ばね、ねじりばね、または引張りばねを含み、可撓性のスタンプの張力は、ばねの長さおよび／または両クランプの距離の調節による、かつ／またはばね定数の調節による、ばねの張力により制御可能である。
【００３９】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、クランプは１つ以上のガイドピンを、スタンプホルダとクランプ底面との間に有しており、これにより、一体的な張力制御装置を有したスタンプホルダは、ベルトの動きと同じ方向または逆の方向でのみ移動できることが保証される。
【００４０】
別の好適な実施形態では、材料は１つ以上のゴムシートを含む。前記１つ以上のゴムシートは、ばねとして機能することができ、可撓性のスタンプ張力変動を制御および調節することができる。
【００４１】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、少なくとも第２のクランプが１つ以上の付加的なガイドピンを有しており、ガイドピンは、ベルトの移動と同じ方向、または逆の方向でスタンプホルダの移動をガイドする。
【００４２】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、スタンプホルダの取付け開口とクランプ底面との間の距離ｄｃｖは５ｃｍ未満であって、好適には３ｃｍ未満、より好適には２ｃｍ未満、最も好適には０ｃｍである。
【００４３】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、スタンプホルダの取付け開口とベルト上のクランプの枢動点との間の距離ｄｃｈは５ｃｍ未満であって、好適には３ｃｍ未満、より好適には２ｃｍ未満、最も好適には０ｃｍである。
【００４４】
本発明による装置の別の好適な実施形態では、スタンプは、
始端部長さＬｏｎｓｅｔ≧Ｌｃｍを有する始端領域セグメントであって、Ｌｃｍは、スタンプホルダの取付け開口内にスタンプを取り付けるために必要な最小限の長さである、始端領域セグメントと、
長さＬｍｉｄｄｌｅ≧Ｌｓを有する中間インプリント領域セグメントであって、Ｌｓは基板の長さである、中間インプリント領域セグメントと、
終端部長さＬｅｎｄ≧Ｌｃｍ＋１／４×ｒを有する終端領域セグメントであって、ｒはインプリントローラの半径である、終端領域セグメントと、を有しており、
スタンプの最大長さはＬｍａｘ≦Ｌｂであって、Ｌｂはベルトの長さである。
【００４５】
別の好適な実施形態では、この装置はさらに、支持体に配置された基板を有しており、この支持体は、ベルト上のクランプを使用して取り付けられた可撓性のスタンプを有する少なくとも１つの被駆動ベルトによってマスタースレーブ構造で駆動される。
【００４６】
好適には、支持体は、少なくとも１つの滑動エレメントと共に配置されていて、これにより支持体は、滑動エレメントに沿って滑動することができる。例えば、少なくとも１つの滑動エレメントは、支持体を軸受する２つのロッドを有していてよく、支持体がベルト上のクランプを使用して取り付けられた可撓性のスタンプによってマスタースレーブ構造で緩駆動され得るように、これらロッドに沿って支持体は滑動することができる。
【００４７】
好適には、可撓性のスタンプは、支持する可撓性のスタンプ底面と、外側のテクスチャード面とを有しており、可撓性のスタンプ底面と外側のテクスチャード面とは、１つの同じ材料から形成されてよく、例えば、これに限定されるものではないが、フライス加工法または加熱エンボス法によって形成された薄い金属シートまたはプラスチックシートから形成することができる。可撓性のスタンプは２つ以上の材料を使用して形成されてもよく、これらの材料は、ベースを形成する柔軟なシート、例えば、これに限定されるものではないが、ＰＥＴフォイル、ＰＣフォイル、ＰＥＮフォイル、ＰＭＭＡまたはその他のアクリルフォイル、または薄い金属シート、および付着するテクスチャード有機層、例えば、これに限定されるものではないが、アクリレート材料、ゾル・ゲル材料、エポキシ、または第２のテクスチャードプラスチックフォイル、を有している。可撓性のスタンプの堅牢性または機能性を高めるために、例えば抗付着層のようなさらに多くの層を追加することもできる。
【００４８】
好適には、可撓性のスタンプは、テクスチャード面積ＴＳＡを有したテクスチャード表面を有しており、ＴＳＡは、基板上の必要なインプリント面積Ａ’と等しい、またはそれよりも大きい。
【００４９】
本発明による装置によれば、インプリントプロセスを実施することができ、この場合、ラッカは、パネルとも呼ばれる基板上に、またはインプリントテクスチャを備えた可撓性のスタンプの表面にコーティングされてよい。これら基板またはパネルは、例えばガラス、プラスチック、または金属基板のような組立部品であってよく、またはディスプレイ、照明、またはソーラーパネルのような完成したデバイスであってもよい。
【００５０】
次いで、可撓性のスタンプの前面と、基板とを、これらの間にラッカを挟んで接触させることにより、基板はインプリントされる（複製またはテクスチャード加工とも呼ばれる）。ラッカは、インプリントされたパターンを保持するために硬化することができる。
【００５１】
本発明の過程において「ラッカ」という用語は、当業者に公知である方法によって、基板上にコーティングされ、テクスチャード加工（インプリント）され得る物質を意味する。このようなラッカは、コーティング、樹脂、レジスト等とも呼ばれる。ラッカは通常、場合によっては添加された光重合開始剤を含むモノマ、オリゴマ、および架橋結合アクリレート基を含む。その他の利用可能な材料は、硬化可能なゾル・ゲルおよびエポキシであるが、これに限定されるものではない。これらの硬化プロセスもまた公知であり、熱硬化、ＵＶ光による硬化、化学的に誘発される硬化、およびそれ自体公知の他の方法を包含する。
【００５２】
したがって、本発明による装置は好適には、例えば熱硬化、ＵＶ光による硬化、化学的に誘発される硬化を実施することができる硬化装置を有している。この硬化装置は、インプリントされたパターンを保持するためにインプリントされたラッカを硬化するために働く。
【００５３】
硬化後、可撓性のスタンプは基板から剥離され、反転したテクスチャが基板上に残される。
【００５４】
ラッカのコーティングは様々な方法で行うことができ、例えばこれに限定されるものではないが、分配、インクジェットプリント、スクリーンプリント、噴射、噴霧、スロット・ダイコーティング、またはロールコーティングにより、ラッカを基板上に、または可撓性のスタンプ上にコーティングすることができる。
【００５５】
好適には、本発明による装置は、インプリント実施前に、例えばラッカの粘性を所望の値へと高めるために、ラッカを予備硬化するための追加的な硬化装置を有している。前記の追加的な硬化装置は、所望の予備硬化程度のために、熱的な予備硬化、ＵＶ光による予備硬化、または化学的に誘発される予備硬化を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１Ａ】本発明によるロールトゥプレートインプリント装置の好適な実施形態を示す図である。
【図１Ｂ（１）】インプリントプロセスを示す図である。
【図１Ｂ（２）】インプリントプロセスを示す図である。
【図１Ｂ（３）】インプリントプロセスを示す図である。
【図１Ｂ（４）】インプリントプロセスを示す図である。
【図１Ｂ（５）】インプリントプロセスを示す図である。
【図２Ａ】インプリント装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図２Ｂ】インプリント装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図２Ｃ】インプリント装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図３Ａ】本発明による装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図３Ｂ】張力制御が行われるクランプを示す図である。
【図４Ａ】好適な実施形態を示す図である。
【図４Ｂ】別の実施形態を示す図である。
【図５】可撓性のスタンプの張力に対するクランプの重量の作用を示す図である。
【図６Ａ】本発明による装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図６Ｂ】本発明による装置のさらに好適な実施形態を示す図である。
【図７Ａ（１）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント前の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ａ（２）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント後のＵＶバーを通過した直後の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ｂ（１）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント前の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ｂ（２）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント後のＵＶバーを通過した直後の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ｃ（１）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント前の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図７Ｃ（２）】本発明による装置のさらに好適な実施形態のインプリント後のＵＶバーを通過した直後の可撓性のスタンプの状態を示す図である。
【図８（１）】好適な実施形態の可撓性のスタンプを示す図である。
【図８（２）】別の好適な実施形態の可撓性のスタンプを示す図である。
【００５７】
以下に、本発明による装置の別の好適な実施形態を図面につき説明する。
【００５８】
図１Ａには、本発明によるロールトゥプレートインプリント装置の好適な実施形態が示されており、この装置では、限定的なサイズの可撓性のスタンプが、２つのクランプを使用して保持されている。
【００５９】
この装置では基板１０１がインプリントされる。この基板は、キャリア１０２を使用して支持されている。図１Ａでは、このキャリア１０２は滑動基板テーブルである。別の支持手段、例えば、これに限定されるものではないが、コンベヤベルトまたは搬送ローラのようなものが使用されてもよい。このキャリア１０２は、２つの滑動装置１０３を使用することによって、インプリントローラ１０８Ａの下を滑動することができる。基板を備えたキャリア１０２が、図１Ａでインプリント方向を示す矢印によって示されたように右に向かって動かされると、基板１０１はインプリントされる。この基板１０１は、テクスチャードフォイル１０４を使用してインプリントされる。図１Ａに示されたように、テクスチャードフォイル１０４は、可撓性のスタンプ若しくはモールドとして働くので、これは可撓性のスタンプと呼ばれる。可撓性のスタンプ１０４は、支持している可撓スタンプベースと、「インプリントテクスチャ」または「インプリントパターン」とも呼ばれる、パターン加工されたフロント面１０４Ａとを有する。このインプリントテクスチャ１０４Ａは、当業者にはレリーフパターンとして公知である機能的な領域を有している。このレリーフパターン形成されたフロント面１０４Ａは、基板に形成したいテクスチャのネガ（または反転した）テクスチャである。可撓スタンプベース１０４とテクスチャードフロント面１０４Ａとは１つの同じ材料から形成することができ、例えば、これに限定されるものではないが、フライス加工法または加熱エンボス法によって形成された薄い金属シートまたはプラスチックシートから形成することができる。可撓性のスタンプ１０４は２つ以上の材料から成っていてもよく、この材料は、ベースとしての柔軟なシート、例えば、これに限定されるものではないが、ＰＥＴフォイル、ＰＣフォイル、またはＰＥＮフォイル、ＰＭＭＡまたはその他のアクリルフォイルと、付着されるテクスチャード有機層１０４Ａ、例えば、これに限定されるものではないが、アクリレート材料、ゾル・ゲル材料、エポキシ、例えばＰＤＭＳのようなシリコン材料、または第２のテクスチャードプラスチックフォイルと、を有している。可撓性のスタンプ１０４の堅牢性または機能性を高めるために、例えば抗付着層のようなさらに多くの層を追加することもできる。図１Ａでは、インプリントパターン領域１０４Ａは、可撓スタンプベース領域よりも小さい、すなわちスタンプ１０４の領域よりも小さい。しかしながら、可撓スタンプベース１０４の全領域が、すなわちスタンプ１０４の全領域が、レリーフパターン１０４Ａを有していることも可能である。
【００６０】
好適には、可撓性のスタンプ１０４は、０．１ギガパスカル（ＧＰａ）〜１０ギガパスカル（ＧＰａ）の、特に好適には、０．５ギガパスカル（ＧＰａ）〜５ギガパスカル（ＧＰａ）のヤング率を有している。このヤング率は、ＡＳＴＭ規格Ｅ１１１により測定された。
【００６１】
この可撓性のスタンプ１０４は、図１Ａに示されたように、第１のクランプ１０５Ａと第２のクランプ１０５Ｂとを使用して位置保持されている。クランプ１０５Ａは前側クランプであって、この前側クランプには、インプリント方向で見て可撓性のスタンプの始端領域セグメントが取り付けられている。可撓性のスタンプの終端領域セグメントは、クランプ１０５Ｂに取り付けられている。これらクランプはベルト１０６に取り付けられている。ベルト１０６の材料は例えば、これに限定されるものではないが、ステンレス鋼テンション部材を含むポリウレタンである。実際には１つ以上のベルトを使用することができるが、各クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂのためのガイド支持体として、好適には前記クランプの両側で２つのベルト１０６を使用するのが最も好適である。図１Ａでは、ベルト１０６はガイドエレメント１０７によってガイドされていて、これらガイドエレメントは、ローラ１０８の側方に位置している。これらガイドエレメント１０７は、図１Ａに示したようにプーリであってもよい。ベルト１０６は、プーリ１０７のうちの１つによって、またはローラの間に配置された付加的なモータを使用して駆動されてよい。ベルトの回転速度は０．０５ｍ／ｍｉｎ〜３０ｍ／ｍｉｎ以上であってよい。ベルトの張力は、プーリを内側へ、または外側へ動かすことにより制御することができる。好適には速度は、０．５ｍ／ｍｉｎ〜１５ｍ／ｍｉｎである。図１Ａには４つのローラ１０８が示されている。しかしながら、２つ、３つ、または４つ以上のローラを使用することもできる。図１Ａに示された４つのローラ１０８は、クランプされた可撓性のスタンプ１０４をガイドする。インプリントローラ１０８Ａは、実際のインプリントプロセスを行うローラである。ローラ１０８Ｂは、硬化したテクスチャードラッカを有する基板１０１から、可撓性のスタンプを剥離するローラである。ローラ１０８は、例えばこれに限定されるものではないがステンレス鋼のような剛性材料から形成することができるが、好適にはローラはより弾性的な材料、例えばこれに限定されるものではないがポリクロロプレン、ポリウレタン、またはＥＰＤＭのような、ショアＡ硬度１０〜１００の、好適にはショアＡ硬度２０〜６０の材料から形成されている。
【００６２】
ローラ１０８は「駆動されない」、すなわちローラ１０８はそれ自体で動くことはできず、任意の方向に自由に回転可能であるが、スタンプ１０４によって駆動されており、スタンプはベルト１０６によって駆動され、ベルトはベルト駆動装置によって駆動される。またはローラ１０８は、マスタースレーブ構造でベルト駆動装置に従動するローラ駆動装置によって、ベルトと同じ速度で駆動される。このようにベルト１０６は駆動される。キャリア１０２は、マスタースレーブ構造でベルト１０６によって駆動される。インプリント中は、クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂと可撓性のスタンプ１０４とを含むベルト１０６は、基板１０１、および基板と可撓性のスタンプとの間にある硬化したラッカ１０９と接触する。したがって、インプリント中は、基板１０１を備えたキャリア１０２は、マスタースレーブ構造で被駆動ベルト１０６に従動する。インプリント中に、インプリントローラ１０８Ａが可撓性のスタンプ１０４に接触し、可撓性のスタンプ１０４を基板１０１へと押し付けることができるような場合、ローラ１０８とプーリ１０７の直径は同じである。
【００６３】
インプリントプロセスの前に、ガラス基板であってよい基板１０１、または可撓性のスタンプ１０４、またはこれら両方には、インプリントラッカ１０９がコーティングされる。図１Ａでは、可撓性のスタンプ１０４にインプリントラッカ１０９が分配手段１１０を用いてコーティングされる。既に述べたように、コーティングのために別の技術を使用することもできる。図１Ａは概略図であることに注意されたい。実際の操作では、ラッカは、インプリントテクスチャ領域１０４Ａにコーティングされる。付加的に、スタンプ１０４上に分配された後、ラッカ１０９は事前硬化されてもよい。
【００６４】
インプリントラッカ１０９のコーティング後、かつ場合によっては予備硬化後に、図１Ｂ（１）、図１Ｂ（２）、図１Ｂ（３）、図１Ｂ（４）、および図１Ｂ（５）に示されたように、インプリントプロセスが開始される。インプリントプロセス開始後、インプリントテクスチャ１０４Ａとインプリントラッカ１０９とをその上面に備えた可撓性のスタンプ１０４は、基板１０１に接触させられる。スタンプ１０４の動きは、プーリ１０７と、この可撓性のスタンプ１０４がクランプ１０５Ａおよび１０５Ｂを用いてその上に取り付けられているベルト１０６とによって操作される。図１Ｂ（１）に示したように、インプリントローラ１０８Ａの下方に基板１０１を摺動させることにより、可撓性のスタンプ１０４は、インプリントラッカ１０９を間に挟んで基板１０１上に積層される。インプリントテクスチャ１０４Ａを備えた可撓性のスタンプ１０４と基板１０１との間のインプリントラッカ１０９は、ＵＶ光源１１１によって硬化され、その結果、図１Ｂ（２）に示したように、インプリント領域Ａ’とも呼ばれる硬化したテクスチャ１１２が形成される。図１Ｂでは、ＵＶ光源１１１の位置は、インプリントローラ１０８Ａとローラ１０８Ｂとの間かつ基板の上方にある。ＵＶ光源１１１は、２つのローラ１０８Ａおよび１０８Ｂのうちの１つに配置されていてもよい。透過性の基板１０１およびＵＶ透過性のキャリア１０２の場合には、ＵＶ光源１１１は、キャリア１０２の下方に位置していてもよい。これは、可撓性のスタンプ１０４のために、例えば薄い金属シートのように、非透過性のスタンプを使用することができるという利点を有する。インプリントラッカ１０９の固化後、基板１０１上に硬化したテクスチャ１１２を残しつつ、基板１０１から可撓性のスタンプ１０４を剥離しなければならない。このような剥離は、硬化したテクスチャ１１２が、可撓性のスタンプ１０４よりも基板１０１に対してより良好に付着することにより行うことができる。硬化したテクスチャ１１２の剥離後は、インプリントテクスチャ１０４Ａに対して反転したレリーフテクスチャが基板１０１に残され、可撓性のスタンプ１０４は再利用できる。図１Ｂ（３）に示したように、剥離のためには、剥離ローラ１０８Ｂを使用して、ベルト１０６をさらに回転させて、基板１０１上の硬化したテクスチャ１１２から可撓性のスタンプ１０４を分離するのが最も簡単である。別の選択肢は、図１Ｂ（４）に示したように、ベルト１０６を後方に向かって動かすことである。この場合、ローラ１０８Ａが、逆方向の剥離のために利用される。この選択的なプロセスは、突出したエッジを有するクランプがコーティング機を通過する必要がないという利点を有することができる。別の利点は、剥離のために第２のローラが不要であることにある。これにより、図１Ｂ（５）に示したように、装置のコストは減じられる。
【００６５】
図１Ａおよび図１Ｂには、可撓性のスタンプ１０４を支持する２つのクランプ１０５Ａおよび１０５Ｂを備えた２つのベルト１０６を使用するロールトゥプレートインプリント装置が示されている。図１Ａに示された提案されたインプリント機器の欠点は、プロセス時間が、２つのステップの順序によって決定されることである。最初に、スタンプ１０４が分配手段１１０によってコーティングされて、次いで可撓性のスタンプ１０４はインプリントローラ１０８Ａの下方でインプリントのために使用される。処理量を向上させるために、図２Ａ、図２Ｂ、および図２Ｃに示したような装置に対するいくつかの修正が提案される。
【００６６】
より多くの基板が同じ単位時間でインプリントされるならば処理量は向上する。このことは、基板１０１をタイリング（tiling）し、即ち重ならないように複数個配置し、より広い可撓性のスタンプ１０４を使用することにより実現することができる。この場合、ガイドするインプリントローラ１０８Ａもより広くなければならない。一例は、２つのインプリントテクスチャ領域１０４Ａを有した１つの広い可撓性のスタンプ１０４が、並んでいる２つの基板をインプリントするために使用されることである。図２Ａに示したように、同じ長さの２つ以上の可撓性のスタンプ１０４を保持する２つのクランプ１０５Ａおよび１０５Ｂによって、柔軟性が得られる。両可撓性のスタンプ１０４のインプリントテクスチャ１０４Ａは同じまたは異なっていてよい。２つのインプリントテクスチャ１０４Ａのうちの１つのために異なるインプリントラッカ１０９が必要な場合には、コーティングの手段１１０を調節することができる。
【００６７】
図２Ｂに示した好適な実施形態は、第１のクランプ１０５Ａと第２のクランプ１０５Ｂとの間にクランプされた第１の可撓性のスタンプ１０４、および第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた第２の可撓性のスタンプを使用する装置を示している。第１および第２のクランプ１０５Ａおよび１０５Ｂと、第３および第４のクランプとは両方とも、同じベルト１０６上に取り付けられていて、同じベルト１０６によって操作される。第２の可撓性のスタンプの分配手段１１０によるコーティングと、インプリントローラ１０８Ａの下方で行われる第１の可撓性のスタンプ１０４のインプリントステップとは順次に行われるものではなく同時に適用することができるので、処理量が得られる。コーティングステップとインプリントステップとが、ベルト１０６の連続的な同じ速度を有している場合は、この提案された構成が最善の働きをする。ベルト１０６の回転を停止させなければならない場合には、第２の可撓性のスタンプがインプリントしないのが好適である。同じ装置を使用して、１つのベルトサイクルで２倍または３倍のインプリントを可能とするために、コーティング手順および／またはクランプ位置を最適化することができる。
【００６８】
図２Ｃに示した好適な実施形態は、互いに独立的に駆動される２つの異なるベルトに取り付けられ、これらベルトによって操作されるより多数のクランプを使用する装置が示されている。図２Ｃに示したように、ベルトは異なるプーリ１０７Ａおよび１０７Ｂによってガイドされている。分配手段１１０によって行われるコーティングと、インプリントローラ１０８Ａの下方で行われるインプリントステップとが順次に行われるのではなく、同時に適用することができるので、既に図２Ｂにつき説明したのと同じ理由で、処理量が得られる。さらに、第１の対の内側ベルトがローラを介して第１のクランプされたスタンプ１０４を動かし、第２の対の外側ベルトが、ローラを介して第２のクランプされたスタンプを動かすために使用されるので、かつ内側の対のベルトが、外側の対のベルトとは独立的に操作されるので、コーティングステップとインプリントステップとは必ずしも相互依存的ではない。例えば、第１の対のベルトは、第１のクランプされたスタンプ１０４のコーティングのために停止することができ、この間、第２の対のベルトが、第２のクランプされたスタンプをインプリントし続けることができる。
【００６９】
可撓性のスタンプにかけられる張力は、インプリント中のスタンプの長さおよび幅を決定する。したがって張力の変動は、レリーフパターンのトラックピッチの変化となる。例えば、レンチキュラーアレイのトラックピッチは変化し、またはピラミッド形状またはレンズ形状はより広く／小さくなる。両場合において、張力変動は、これらテクスチャの高さにも影響を与える。さらに、スタンプの長さと幅の変更により、テクスチャイメージ全体が歪む。可撓性のスタンプにかけられる張力は、様々な理由のために変更される可能性がある。とりわけ、原因は、
・プーリ１０７またはローラ１０８が真円でないことにより、両クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂの間の距離が変化すること、
・剛性のクランプ１０５がローラ１０８を通過する際に生じる可撓性のスタンプ１０４への力、
・温度または湿度の変動。
【００７０】
可撓性のスタンプ１０４の長さに対する張力変動の影響は、次の式を用いて計算することができる：ΔＬ＝ＬＯ×１／Ｅ×σ。この式において、ΔＬはかけられた負荷による可撓性のスタンプ１０４の変位長さであり、ＬＯは、可撓性のスタンプの元の長さであり、Ｅは弾性係数であり、σは可撓性のスタンプ１０４にかかる応力である。この応力は、可撓性のスタンプの横断面積（可撓性のスタンプの幅×厚さ）に対する、加えられる負荷（または力）の比として規定される。張力がスタンプに加えられると、可撓性のスタンプの幅も変化する。可撓性のスタンプの幅における変化は、ポアソン比を利用して計算することができる。
【００７１】
クランプの設計、可撓性のスタンプの設計、および／または装置の設計は、張力変動を減じるために最適化することができる。以下では、本発明による装置に別個に適用することができる、または一緒に適用することができる様々な変形例を説明する。
【００７２】
図３Ａは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、装置のクランプは概略的に示されている。図３Ａは、クランプ１０５に取り付けられた可撓性のスタンプ１０４を示している。クランプ１０５は、図１Ａに示されたような前側クランプ１０５Ａまたは後側クランプ１０５Ｂであってよい。クランプ１０５は様々な部品から成っている。
【００７３】
クランプ１０５のコネクタ２０７、すなわちクランプコネクタ２０７は、ベルトコネクタピン２１０を用いてクランプ１０５をベルト１０６にピン留めする。このクランプコネクタ２０７は、ベルト１０６に永続的に固定されていてよい。選択的に、クランプコネクタ２０７は、ベルト１０６へのスタンプホルダ２０６の簡単な取り付け、およびベルト１０６からの簡単な取り外しが可能であるように設計されていてもよい。ベルトコネクタピン２１０は、ねじ、または任意の別のコネクタピンであってよい。１つのピンが、ベルトにクランプを接続するために使用される場合、このベルトコネクタピン２１０の位置は、ローラを通過する間のクランプ１０５の枢動点となる。したがって、クランプホルダ２０６に対して相対的なこのベルトコネクタピン２１０の位置は、クランプ１０５と可撓性のスタンプ１０４とがローラ１０８の周りをどのように回転するかを決定する。スタンプホルダ２０６は可撓性のスタンプ１０４を保持する。このスタンプホルダ２０６は、可撓性のスタンプ１０４を保持する任意のホルダであってよい。例えばスタンプホルダ２０６は、可撓性のスタンプ１０４がその表面にまたはその内部に取り付けられるシート、レール、バー、または円筒体であってよいが、これに限定されるものではない。
【００７４】
好適な実施形態では、スタンプホルダ２０６とクランプコネクタ２０７との間の距離を調節することができる。この距離を調節することにより、スタンプホルダ２０６の位置は、ベルト１０６の周回方向に対して垂直に動かされる。このことは、スタンプホルダ位置合わせピン２１１を使用して行うことができる。このスタンプホルダ位置合わせピン２１１は一例として、ガイドと組み合わせることができるねじまたはねじ山であってよいが、これに限定されるものではない。スタンプホルダ２０６の位置を調節することにより、基板１０１に対するスタンプ１０４の位置が変えられる。これにより、基板１０１上の硬化したテクスチャ１１２の位置を、基板１０１の幅に沿って垂直方向で微調整することができる。
【００７５】
スタンプホルダ２０６に可撓性のスタンプ１０４を取り付ける様々な方法がある。１つの例は、スタンプ取付け開口２０５を設けることであり、このスタンプ取付け開口では、可撓性のスタンプ１０４の始端領域セグメントまたは終端領域セグメントがスライドすることができ、この場合、スタンプ１０４の前記セグメントを、例えばねじ２０４によってクランプすることができる。
【００７６】
別の方法は、スタンプホルダ２０６を２つの部分から形成し、これらの部分が、これらの部分の間にスタンプを挟んでプレスされる、というものである。このスタンプホルダ２０６は、１つの可撓性のスタンプ１０４を保持することができる。可撓性のスタンプ１０４の幅は変化することができる。クランプ１０５は、同じ幅または異なる幅を有する２つ以上の可撓性のスタンプ１０４を保持することもでき、これらのスタンプ１０４は全て互いに同じ長さを有している。さらに、例えばねじまたはクランプ２０４のような単純な保持機構によって、可撓性のスタンプ１０４の取り付けまたは交換が最短時間で行われる。さらに、このスタンプホルダ２０６は、可撓性のスタンプ１０４を位置決めする位置合わせ機構を有していてよい。
【００７７】
図３Ａに示された基本的なクランプ設計は、簡単なスタンプ交換と共に小さなスタンプを使用することを可能にする。しかしながらこの基本的なクランプ設計では、張力制御が行われない。
【００７８】
図３Ｂは、張力制御が行われるクランプ１０５を示している。この場合、クランプベース２０８が、張力制御ばね２０９と共に追加されている。クランプベース２０８は、クランプ１０５の堅牢性と剛性のために利用される。さらに、本発明による装置によってスタンプ張力制御が必要とされる場合には、クランプベース２０８とスタンプホルダ２０６とを、張力制御ばね２０９を利用して接続することが提案される。このばねは、例えばこれに限定されるわけではないが、コイルばね、板ばね、ねじりばね、引張りばねのような１つ以上のばね、またはばね２０９として機能するその他任意の可撓性の材料、例えばこれに限定されるわけではないが、ゴムシートまたは穴あきゴムシートのような材料であってよい。好適には、ばね２０９の張力は、可撓性のスタンプ１０４の長さの差を補償するために制御することができる。
【００７９】
図４Ａに示したように、張力は、張力制御ばね２０９の長さを変更することができるねじ３０３を利用して手動で調節することができる。制御するための別の可能性は、例えば、これに限定されるものではないが、ベルト１０６上のベルトコネクタピン２１０を有するクランプコネクタ２０７の位置の変更、またはばね定数の調節による、ばね２０９の巻き付け／巻き戻しである。適用される張力は、力測定器を利用して、オフラインまたはインラインで決定されてよい。
【００８０】
ばね２０９は、例えば下方または横方向など、あらゆる方向に曲がる可能性があるので、付加的なガイドピン３０４を追加することができ、これによりスタンプホルダ２０６が、ベルト１０６の動きと同じ方向または逆の方向にのみ移動できることが保証される。滑り止め作用を防ぐために、このピンを低摩擦ベアリングでガイドすることが重要である。
【００８１】
図４Ａは好適な実施形態を示しており、この実施形態では、クランプコネクタ２０７は、ベルト１０６へのスタンプホルダ２０６の簡単な取り付け、およびベルト１０６からの簡単な取り外しが可能であるように設計されている。クランプベース２０８と張力制御ばね２０９とが、クランプに一体に形成されているならば、クランプベース２０８と張力制御ばね２０９とはスタンプホルダ２０６と共に、ベルト１０６に対して取り付け、取り外しされる。例えば、これに限定されるものではないが、好適にはクランプコネクタ２０７は、クランプベース２０８を保持することができ、これにより図４Ａに示したように、クランプ２０７Ａを使用してスタンプホルダ２０６を保持することができる。これらのクランプ２０７Ａは、クランプベース２０８、およびスタンプを保持しているスタンプホルダ２０６の容易な取り付けおよび取り外しのために、側方へ動かすことができる。別の例では、これに限定されるものではないが、クランプコネクタ２０７は２つの部分に分割されていて、そのうちの一方は、ベルトに固定されていて、他方は永続的にスタンプホルダ２０６またはスタンプベース２０８に固定されている。クランプコネクタ２０７の両部分は、一方の部分を、他方の部分に取り付けられたフックの下方に摺動させることにより接続することができる。
【００８２】
スタンプホルダ位置合わせピン２１１によって、クランプコネクタ２０７に対するスタンプホルダ２０６の距離を調節することができる。図４Ａに示したように、クランプベース２０８と張力制御ばね２０９とがクランプ１０５に一体に形成されている場合には、スタンプホルダ位置合わせピン２１１を利用してクランプベース２０８のクランプコネクタ２０７に対する距離を変更することにより、スタンプホルダ２０６の位置を変更することができる。両方の場合において、スタンプホルダ２０６の位置は、ベルト１０６の周回方向に対して垂直に変更される。この場合、基板１０１に対して相対的な可撓性のスタンプ１０４の位置を、これにより、基板１０１上のインプリント領域Ａｉｍｐｒｉｎｔの位置を、最適にすることができる。
【００８３】
可撓性のスタンプ１０４を保持するスタンプホルダ２０６を、これらの間に張力制御ばね２０９を含んだベルト１０６に接続する別の可能性がある。さまざまな選択肢の中で１つの例は、図４Ｂに示したように、クランプコネクタ２０７とベルト１０６との間にばね２０９を配置することである。この場合、スタンプホルダ２０６とクランプベース２０８とは同じであってよい。
【００８４】
スタンプ張力のさらなる制御のためには、図１Ａに示したような前側クランプ１０５Ａと後側クランプ１０５Ｂの両方が、図３Ｂに示したような張力制御ばね２０９を有することができる。前側クランプ１０５Ａおよび後側クランプ１０５Ｂの両方のうち、後側クランプ１０５Ｂの張力制御が最も効果的である。硬化性ラッカ１０９を間に挟んだ基板１０１と可撓性のスタンプ１０４との最初の接触時における、テクスチャ１０４Ａの第１の部分の硬化後は、前側クランプ１０５Ａの張力制御はもはや効果的ではない。さらに、前側クランプ１０５Ａにおけるばねの長さの変化により、インプリント開始位置の規定が明確でなくなる。したがって好適には、前側クランプ１０５Ａは、図３Ａに示したような基本的なクランプ設計を有しており、図３Ｂに示したような張力制御ばねを有していない。
【００８５】
図５は、可撓性のスタンプの張力に対するクランプ１０５Ｂの重量の作用を示している。インプリント中の、後側クランプ１０５Ｂおよび／または前側クランプ１０５Ａの位置に応じて、クランプ１０５の重量は、可撓性のスタンプ１０４に加えられる張力の変動に影響を与える場合がある。
【００８６】
図５に示したように、クランプ１０５Ｂが、水平位置から垂直位置へと回転されると、可撓性のスタンプ１０４に作用する力が変化する。図５の左側に示されたような水平位置では、張力制御ばね２０９は、例えば１００Ｎの力で、後側クランプ１０５Ｂの可撓スタンプホルダ２０６を引っ張る。同じ後側クランプ１０５Ｂが、図５の右側に示されたような垂直位置へと回転された場合、ばね２０９は同じ１００Ｎの力で引っ張る。しかしながら、重力が可撓スタンプホルダ２０６を、重力の作用に沿って下方に引っ張る。３キログラムの重量を有する可撓スタンプホルダ２０６の場合、可撓性のスタンプへの張力は３０Ｎ分減じられる。可撓性のスタンプ１０４の寸法に応じて、インプリント中に、３０Ｎの張力変動が可撓性のスタンプ１０４にはかけられ、前記張力変動は、インプリントテクスチャの品質に影響を与える。このような影響を減じるために、可撓スタンプホルダ２０６の重量は最小限であるのが望ましい。一例としては、６００ｍｍの幅を有するクランプ１０５について、クランプ１０５の重量は好適には５ｋｇ未満である。
【００８７】
図６Ａは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、クランプ１０５Ｂはローラ１０８Ａの周りを回転させられる。クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂの最小幅は、図１Ａに示された２つのベルト１０６の距離によって決定される。クランプ１０５Ｂの長さと高さは、クランプ１０５Ｂがローラ１０８Ａの周りを回転するときのスタンプ張力変動に対する影響を制限するために最小にされているのが望ましい。図６Ａに示したように、可撓性のスタンプ１０４への張力は、クランプ１０５Ｂがローラ１０８Ａの周りを回転すると、インプリント中に変化する。図１Ａのように、前側クランプ１０５Ａがローラ１０８Ｂの周りを回転する場合に同じ作用が存在していることに注意されたい。この作用を制限するために、制限されたクランプ寸法を有することが提案される。ローラ１０８の周りを回転するクランプ１０５に基づく張力変動は、スタンプホルダ２０６に設けられたスタンプ取付け開口２０５と、１つのコネクタピンを使用する場合、このベルトコネクタピン２１０の位置である、ベルト上のクランプの枢動点との間の距離によって決定される。この距離は、最小であるのが望ましく、好適にはゼロであるのが望ましい。クランプ設計に関して、この好適性は、図６Ｂに示したように２つの寸法に分割することができる。
−クランプホルダ２０６におけるスタンプ取付け開口２０５と、クランプ１０５の底面との間の鉛直方向の距離ｄｃｖ：クランプの底面は、ベルトに接触するクランプの面である。粗計算で、１メートルの長さの伸長しているスタンプについて、クランプの底面に対するスタンプ２０５の取付け開口の距離ｄｃｖが１ｃｍの場合、可撓性のスタンプは５０ミクロン伸長する。精密用途のために影響を最小限するために、距離ｄｃｖは、好適には２ｃｍ未満、最も好適には０ｃｍであることが提案される。
−クランプホルダ２０６におけるスタンプ取付け開口２０５と、１つのピンが使用される場合には、コネクタピン２１０の枢動点と同じ位置である、ベルトの枢動点との間の水平方向の距離ｄｃｈ：クランプがローラの周りを回転する場合、張力変動に対する距離ｄｃｈの影響は、ローラの直径や、ローラの周りを動くクランプの位置、伸長するスタンプの長さといった様々な変数に依存している。クランプ２１０の枢動点と、スタンプ取付け開口２０５との間の２ｃｍの距離ｄｃｈは、半径１１０ｍｍのローラでは１ｍｍ以上の伸長をもたらす。精密用途にとってはこの張力変動は大きすぎる。クランプの枢動位置２１０と、クランプにおけるスタンプ取付け開口２０５との間の水平方向の距離ｄｃｈは、好適には１ｃｍ未満、最も好適には０ｃｍであることが提案される。
【００８８】
図７は、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、クランプ１０５Ａおよびクランプ１０５Ｂは、インプリント中、ローラを通過しない。図７Ａおよび図７Ｂに示したように、クランプを水平位置に維持することが、最も簡単である。この場合、重力に基づくスタンプへの力は、一定に維持される。本発明による装置構成のさらに好適な実施形態が図７Ｃに示されており、この場合、後側クランプ１０５Ｂは、ほぼ垂直の角度で配置されている。クランプの動きが、図７Ｃに示されたものと異なる角度であってもよいことに注意されたい。クランプ移動の角度は一定であるという状態である。図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃに示された様々な実施形態は、左側に、すなわち図７Ａ（１）、図７Ｂ（１）、および図７Ｃ（１）に、インプリント前の可撓性のスタンプの状態を示しており、右側に、すなわち図７Ａ（２）、図７Ｂ（２）、および図７Ｃ（２）に、インプリント後の、ＵＶバー１１１を通過した直後の可撓性のスタンプの状態を示している。これら全ての場合、重力によりスタンプにかけられる力は、インプリント中は一定に維持され、張力の変動を最小限にしている。
【００８９】
図７Ａは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、基板１０１のインプリント中、２つのローラ１０８Ａおよび１０８Ｂが使用され、両クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂは、水平方向で移動する。
【００９０】
図７Ｂは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、基板１０１のインプリント中、４つのローラが使用され、両クランプ１０５Ａおよび１０５Ｂは、水平方向で移動する。
【００９１】
図７Ｃは、本発明による装置のさらに好適な実施形態を示しており、この場合、基板１０１のインプリントは、図７Ｃ（１）および図７Ｃ（２）に示されたように、後側クランプ１０５Ｂの垂直方向での移動中に行われる。このような好適な装置および可撓性のスタンプ設計により、可撓性のスタンプの長さＬはより短くなる。しかしながら、ローラを通過することなく鉛直方向の移動を可能とするために、上側のローラ１０８とインプリントローラ１０８Ａとの鉛直方向の距離ｄｒｖは、図７Ｂと比較して長くしなければならず、その結果より大きな装置となり、原則的にサイクル時間はより長くなる。これは、ローラの位置を変更することにより補償することができる。
【００９２】
本発明による装置では、４つのローラよりも多くのローラを使用することができる。ローラの数量は、処理量に影響を与える。張力の変動を最小にする好適な要件は、インプリント中のクランプ移動の角度を一定に保つことである。このような制約により、インプリント中にクランプはローラを通過すべきではない。この要件により、インプリント装置ならびに可撓性のスタンプ１０４の長さに制約が与えられる。複数のローラは、好適には、インプリント中、クランプがローラを通過しないように配置されるのが望ましい。このような好適な場合、インプリントローラ１０８Ａと剥離ローラ１０８Ｂとの間の最小ローラ距離は、基板テーブル１０１の長さＬｓｔと、基板テーブルの前方に配置されたクランプ１０５Ａの長さＬｃと、ローラ１０８Ａおよび１０８Ｂの半径ｒとによって規定される。インプリントローラ１０８Ａの中心とローラ１０８Ｂの中心との間の最小ローラ距離ｄｒは、≧（Ｌｃ＋Ｌｓｔ）である。ローラ間の同じ垂直方向距離がこの場合、求められ、この場合複数のローラが使用される：ｄｒｖ≧（Ｌｃ＋Ｌｓｔ）。
【００９３】
特別な装置設計の選択は、可撓性のスタンプの設計に影響を与える。図２Ｂに示されたように、スタンプ１０４の長さＬは、基板１０１で複製されるインプリントパターン１１２の長さよりも大きい。基板上に複製されたインプリントテクスチャ１１２を得るためには、テクスチャード面領域１０４Ａを有するスタンプ１０４が必要であり、この場合、テクスチャード面領域１０４Ａは、インプリントテクスチャ１１２と同じ、またはより大きな領域寸法を有している。基板１０１はインプリントテクスチャ１１２と同じ寸法、またはより大きな寸法を有している。基板テーブル１０３は、基板１０１と同じ寸法、またはより大きな寸法を有している。テクスチャード面領域１０４Ａを有する可撓性のスタンプ１０４は、基板テーブル１０３よりも大きくなければならない。最小長さＬｃｍを有した始端領域セグメントは、図４Ａに示したように、前側クランプ１０５Ａのスタンプホルダ２０６の取付け開口２０５におけるスタンプ１０４の取付けのために必要とされる。後側では、終端領域セグメントが、後側クランプ１０５Ｂのスタンプホルダ２０６の取付け開口２０５におけるスタンプの取付けのために必要である。さらに、インプリント中にクランプ１０５がローラ１０８を通過しないという要件を満たすために、（１／４）×ｒの付加的な長さが求められる。その結果、スタンプの総最小長さＬは、Ｌ≧２×Ｌｃｍ＋Ｌｓｔ＋（１／４）×ｒとなる。この場合、クランプが、図７Ａおよび図７Ｂに示したように、インプリント中、水平位置に保たれるならば、スタンプの最小長さはより大きくなり、Ｌ≧２×Ｌｃｍ＋Ｌｓｔ＋（１／２）×ｒとなる。スタンプの最大の長さは、ベルト１０６の長さによって決定される。
【００９４】
好適な実施形態が、図８（１）および図８（２）に示されている。可撓性のスタンプ１０４は部分的に必要なインプリント領域１０４Ａでテクスチャを有していてよく、または図８（２）に示されたように必要なインプリントテクスチャの反転のテクスチャによって完全に覆われていてよい。図８（１）に示されたように、可撓性のスタンプが部分的にしかテクスチャを有していない場合、スタンプにおけるテクスチャ領域ＴＳＡの位置は規定されており、クランプの取付けのための最小始端セグメントＬｃｍおよび後側クランプの取付けのための最小終端領域セグメントＬｃｍ＋（１／４）×ｒを有しており、インプリント中にローラの周りをクランプが回転するのを阻止している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
個別の可撓性のスタンプによって個別の基板にインプリントするための装置であって、
ａ）長さＬと、幅Ｗと、スタンプ面積Ａｓｔａｍｐと、始端部と、終端部とを有した、少なくとも１つの第１の長方形の可撓性のスタンプ（１０４）であって、前記スタンプは、
・インプリント面積Ａｉｍｐｒｉｎｔ≦Ａｓｔａｍｐを有するインプリントテクスチャ（１０４Ａ）であって、開口と隆起部とを有しているインプリントテクスチャ（１０４Ａ）を有した前面と、
・背面と、
・前記可撓性のスタンプの前記幅Ｗ全体に沿って延在している始端領域セグメントおよび終端領域セグメントであって、前記スタンプの前記長さＬに沿って、
・始端部長さＬｏｎｓｅｔにわたって延在している始端領域セグメント、および
・終端部長さＬｅｎｄにわたって延在している終端領域セグメントと、
を有しているスタンプ（１０４）と、
ｂ）前記可撓性のスタンプ（１０４）の前記始端領域セグメントをクランプする少なくとも１つの第１のクランプ（１０５Ａ）、および前記可撓性のスタンプ（１０４）の前記終端領域セグメントをクランプする少なくとも１つの第２のクランプ（１０５Ｂ）と、
ｃ）インプリントローラである第１のローラ（１０８Ａ）と、
ｄ）前記第１のクランプ（１０５Ａ）と前記第２のクランプ（１０５Ｂ）とに接続された少なくとも１つの被駆動ベルト（１０６）であって、前記基板（１０１）上に前記可撓性のスタンプ（１０４）の前記インプリントテクスチャ（１０４Ａ）をインプリントするために、前記可撓性のスタンプ（１０４）の前記前面と前記基板（１０１）とを間にラッカ（１０９）を挟んだ状態で互いに接触させて、前記ラッカ（１０９）により、前記基板（１０１）上にインプリントされる領域Ａ’を複製するインプリントされたテクスチャを設け、所定のインプリント距離Ｉｄにわたって、前記インプリントローラ（１０８Ａ）上に前記背面を接触させた状態でその長さＬに沿って、クランプされた前記可撓性のスタンプ（１０４）を所定の移動方向で動かすことができる被駆動ベルト（１０６）と、
を有しており、
前記移動方向は、インプリント方向、または前記インプリント方向とは逆の方向である、
インプリントするための装置において、
前記インプリントローラ（１０８Ａ）は、それ自体で回転することはできないが、前記スタンプ（１０４）によって駆動され、前記スタンプ（１０４）は、ベルト駆動装置によって駆動される前記ベルト（１０６）によって駆動されているか、
または、前記インプリントローラ（１０８Ａ）は、マスタースレーブ構造で前記ベルト駆動装置に従動するローラ駆動装置によって、前記ベルト（１０６）と同じ速度で駆動される、
インプリントするための装置。
【請求項２】
前記装置は、第１のベルト対（１０６）に接続された第１のクランプ（１０５Ａ）と第２のクランプ（１０５Ｂ）との間にクランプされた少なくとも１つの第１の可撓性のスタンプ（１０４）を有しており、
前記装置はさらに、第２のベルト対に接続された第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第２の可撓性のスタンプを有しており、
前記第１のベルト対は、前記第２のベルト対とは独立的に操作することができる、
請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記装置は、第１のベルト対（１０６）に接続された第１のクランプ（１０５Ａ）と第２のクランプ（１０５Ｂ）との間にクランプされた少なくとも１つの第１のスタンプ（１０４）を有しており、
前記装置はさらに、同じ前記第１のベルト対（１０６）に接続された第３のクランプと第４のクランプとの間にクランプされた少なくとも１つの第２のスタンプを有しており、
２つ以上のスタンプが、同時に搬送される、
請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
少なくとも前記第２のクランプ（１０５）は、前記少なくとも１つの被駆動ベルト（１０６）上に前記クランプ（１０５）をピン留めするコネクタ（２０７）と、前記可撓性のスタンプ（１０４）を保持する可撓スタンプホルダ（２０６）とを有している、請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。
【請求項５】
前記クランプコネクタ（２０７）は、前記ベルトへの前記スタンプホルダ（２０６）の容易な配置、および前記ベルトからの前記スタンプホルダ（２０６）の容易な取り外しを保証する容易な取付け部を有している、請求項４記載の装置。
【請求項６】
前記第１のクランプ（１０５Ａ）および／または前記第２のクランプ（１０５Ｂ）は、前記スタンプホルダ（２０６）と前記ベルト（１０６）上の前記クランプコネクタ（２０７）の位置との間の距離を調節する、スタンプホルダ位置合わせピン（２１１）を有しており、前記スタンプホルダ（２０６）は、前記ベルト（１０６）の前記移動方向に対して垂直方向に動かされる、請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記スタンプホルダ（２０６）は１つ以上の可撓性のスタンプ（１０４）を保持し、前記１つ以上のスタンプ（１０４）は同じ長さ、および同じまたは異なる幅を有している、請求項１から６までのいずれか１項記載の装置。
【請求項８】
少なくとも前記第２のクランプ（１０５Ｂ）には、前記可撓性のスタンプの張力を制御および調節するための一体的な装置が設けられており、前記装置は、ばねとして機能することができ、かつ前記可撓性のスタンプの張力を制御および調節する材料または構成要素を有している、請求項１から７までのいずれか１項記載の装置。
【請求項９】
前記材料は１つ以上のばね（２０９）を含む、請求項８記載の装置。
【請求項１０】
前記１つ以上のばね（２０９）は、コイルばね、板ばね、ねじりばね、または引張りばねを含み、前記可撓性のスタンプ（１０４）の張力は、前記ばね（２０９）の長さ、および／または前記両クランプの距離の調節により、かつ／またはばね定数の調節により、前記ばね（２０９）の張力に基づいて制御可能である、請求項９記載の装置。
【請求項１１】
前記材料は１つ以上のゴムシートを含む、請求項８記載の装置。
【請求項１２】
少なくとも前記第２のクランプ（１０５Ｂ）が１つ以上の付加的なガイドピン（３０４）を有しており、前記ガイドピンは、前記ベルトの移動と同じ方向、または逆の方向で前記スタンプホルダ（２０６）の移動をガイドする、請求項１から１１までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１３】
前記スタンプホルダの取付け開口と、クランプの底面との間の距離ｄｃｖが５ｃｍ未満である、請求項１から１２までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１４】
前記スタンプホルダの取付け開口と、前記ベルト上の前記クランプの枢動点との間の距離ｄｃｈが５ｃｍ未満である、請求項１から１３までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１５】
前記スタンプは、
始端部長さＬｏｎｓｅｔ≧Ｌｃｍを有する始端領域セグメントであって、前記Ｌｃｍは、前記スタンプホルダの前記取付け開口内に前記スタンプを取り付けるために必要な最小限の長さである、始端領域セグメントと、
長さＬｍｉｄｄｌｅ≧Ｌｓを有する中間インプリント領域セグメントであって、前記Ｌｓは前記基板の長さである、中間インプリント領域セグメントと、
終端部長さＬｅｎｄ≧Ｌｃｍ＋（１／４）×ｒを有する終端領域セグメントであって、前記ｒは前記インプリントローラの半径である、終端領域セグメントと、を有しており、
前記スタンプの最大長さはＬｍａｘ≦Ｌｂであって、前記Ｌｂは前記ベルトの長さである、
請求項１から１４までのいずれか１項記載の装置。
【国際調査報告】
2019522368.tif 000027
2019522368.tif 000028
2019522368.tif 000029