(57)【要約】  本発明は、ヘキサポッド（２）の精度誤差を補償するための方法に関し、ヘキサポッド（２）は、ベース（３）と、６つの直動アクチュエータ（５）を有する駆動アセンブリ（４）と、制御ユニット（６）と、ベース（３）に駆動アセンブリ（４）によって接続されたプラットフォーム（８）を備える可動キャリッジ（７）とを備えている。この方法は、ヘキサポッド（２）の幾何学的および位置決め誤差を決定するための測定ステップを含み、測定ステップは、キャリッジ（７）上およびベース（３）上の枢動中心の位置決め誤差を決定するサブステップと、アクチュエータ（５）の長さ誤差を決定するサブステップと、アクチュエータ（５）の経路に沿ったアクチュエータ（５）の位置決め誤差を測定するサブステップを含み、この補償方法は、得られた測定値から誤差補償値を計算するステップと、前記誤差補償値を、ヘキサポッド（２）の制御ユニット（６）に、後のこのヘキサポッドの使用時に適用するステップとをさらに含む。
2019500581.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
・固定のベース（３）と、
・６つの独立した制御可能な直動アクチュエータ（５）を備えた駆動アセンブリ（４）と、
・前記駆動アセンブリ（４）のための制御ユニット（６）と、
・前記駆動アセンブリ（４）によって前記ベース（３）に接続されたプラットフォーム（８）を備える可動キャリッジ（７）と
を少なくとも備えており、
前記駆動アセンブリ（４）の前記アクチュエータ（５）の各々は、長手方向における第１の端部（５Ａ）によって前記ベース（２）に第１のヒンジ（９Ａ）によって連結され、長手方向における第２の端部（５Ｂ）によって前記キャリッジ（７）に第２のヒンジ（９Ｂ）によって連結され、前記６つのアクチュエータ（５）は、前記ベース（３）上の６つの枢動中心と、前記キャリッジ（７）上の６つの枢動中心とを定めているヘキサポッド（２）について、該ヘキサポッドの精度誤差を補償するための方法であって、
・前記ヘキサポッド（２）の幾何学的および位置決め誤差からなり、
前記キャリッジ（７）上の各々の枢動中心および前記ベース（３）上の各々の枢動中心の位置を測定し、前記枢動中心の位置決め誤差を決定することと、各々のアクチュエータ（５）の長さを測定し、前記アクチュエータ（５）の長さ誤差を決定することとからなる第１のサブステップと、
各々のアクチュエータ（５）のそれぞれの経路に沿った位置決め誤差を測定することからなる第２のサブステップと
を含む測定ステップと、
・前記側定ステップにおける測定値から誤差補償値を計算することからなる計算ステップと、
・前記ヘキサポッド（２）の使用時に前記ヘキサポッド（２）の前記制御ユニット（６）に前記誤差補償値を適用することからなる適用ステップと
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記第１の測定サブステップは、前記ベース（３）上の各々の枢動中心の位置を測定することからなる第１の個別サブステップを含み、前記第１の個別サブステップは、前記ベース（３）上の前記枢動中心の位置を測定するために、
・ボール（２３）を前記枢動中心の位置において前記ベース（３）に固定することと、
・前記ベース（３）を調整用プレート（２４）に固定することと、
・前記ボール（２３）の位置を３Ｄ測定装置の助けによって測定することと
からなる、ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記計算ステップは、前記枢動中心の位置の測定値を対応する理論値と比較することと、前記ベース（３）の幾何学的誤差の補償マトリクスを作成することとからなるサブステップを含む、ことを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の測定サブステップは、前記キャリッジ（７）上の各々の枢動中心の位置を測定することからなる第２の個別サブステップを含み、前記第２の個別サブステップは、前記キャリッジ（７）上の前記枢動中心の位置を測定するために、
・ボール（２５）を前記枢動中心の位置において前記キャリッジ（７）に固定することと、
・前記キャリッジ（７）を調整用プレート（２６）に固定することと、
・前記ボール（２５）の位置を３Ｄ測定装置の助けによって測定することと
からなる、ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
前記計算ステップは、前記枢動中心の位置の測定値を対応する理論値と比較することと、前記キャリッジ（７）の幾何学的誤差の補償マトリクスを作成することとからなるサブステップを含む、ことを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記第１の測定サブステップは、各々のアクチュエータ（５）の長さを測定することからなる第３の個別サブステップを含み、前記第３の個別サブステップは、各々のアクチュエータ（５）について、３Ｄ測定装置（２７）で、前記アクチュエータ（５）のボールの中心の間の前記アクチュエータ（５）の長さを、元のアクチュエータ（５）において測定することからなる、ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
前記計算ステップは、前記アクチュエータ（５）の長さの測定値を対応する理論値と比較することと、前記アクチュエータ（５）の長さ誤差の補償マトリクスを作成することとからなるサブステップを含む、ことを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記第１のサブステップは、
・前記キャリッジ（７）上の各々の枢動中心および前記ベース（３）上の各々の枢動中心の位置を直接測定することと、
・前記アクチュエータ（５）の長さ誤差を決定するために各々のアクチュエータ（５）の長さを直接測定することと
を同時に行うことからなる、ことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記計算ステップは、前記アクチュエータ（５）の位置決め誤差の測定値を使用して位置決め誤差の補償マトリクスを作成することからなるサブステップを含む、ことを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
・固定のベース（３）と、
・６つの独立した制御可能な直動アクチュエータ（５）を備えた駆動アセンブリ（４）と、
・前記駆動アセンブリ（４）のための制御ユニット（６）と、
・前記駆動アセンブリによって前記ベース（３）に連結されたプラットフォーム（８）を備える可動キャリッジ（７）と
を少なくとも備えており、
前記駆動アセンブリ（４）の前記アクチュエータ（５）の各々は、長手方向における第１の端部（５Ａ）によって前記ベース（２）に第１のヒンジ（９Ａ）によって連結され、長手方向における第２の端部（５Ｂ）によって前記キャリッジ（７）に第２のヒンジ（９Ｂ）によって連結され、前記６つのアクチュエータ（５）は、前記ベース（３）上の６つの枢動中心と、前記キャリッジ（７）上の６つの枢動中心とを定めているヘキサポッド（２）について、該ヘキサポッドの精度誤差を補償するためのシステムであって、
・前記ヘキサポッド（２）の幾何学的および位置決め誤差を決定するように構成され、
前記枢動中心の位置決め誤差を決定するために、前記キャリッジ（７）上の各々の枢動中心および前記ベース（３）上の各々の枢動中心の位置を測定するとともに、前記アクチュエータ（５）の長さ誤差を決定するために、各々のアクチュエータ（５）の長さを測定するように構成された第１の測定アセンブリ（１１、１２）と、
各々のアクチュエータ（５）のそれぞれの経路に沿った位置決め誤差を測定するように構成された第２の測定アセンブリ（１３）と
を備えている測定システム（１０）と、
・前記測定から、前記ヘキサポッド（２）の使用時に前記ヘキサポッド（２）の前記制御ユニット（６）に適用される誤差補償値を計算するように構成された計算ユニット（１４）と
を備えることを特徴とするシステム（１）。
【請求項１１】
前記第１の測定システム（１１、１２）は、
・前記枢動中心の位置決め誤差を決定するために、前記キャリッジ（７）上の各々の枢動中心および前記ベース（３）上の各々の枢動中心の位置を測定するように構成された測定アセンブリ（１１）と、
・各々のアクチュエータ（５）の長さを測定するように構成された第２の測定アセンブリ（１２）と
を備える、ことを特徴とする請求項１０に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘキサポッド（ｈｅｘａｐｏｄ）の精度誤差を補償するための方法およびシステムに関する。
【０００２】
ヘキサポッドが、２つのプラットフォーム、すなわちベースプラットフォームおよび上部プラットフォームと、６つのアクチュエータとで構成される運動学的構造を備えることが知られている。ベースプラットフォームが固定される一方で、上部プラットフォーム（または、可動キャリッジ）および６つのアクチュエータは、可動である。アクチュエータは、第１の端部によって上部プラットフォームにヒンジによって連結され、各々のアクチュエータの他端は、別のヒンジによってベースに連結される。すべてのアクチュエータは、互いに独立しており、上部プラットフォームの方向付けおよび位置付けを可能にする。
【０００３】
したがって、ヘキサポッドは、６つの自由度による空間内での物体の位置決めおよび移動を可能にする平行機械システムである。このシステムの構成ゆえに、このシステムを、きわめて正確な位置決め、位置測定、ならびに力学における試験の枠組みにおける運動の生成に使用することができる。
【０００４】
ヘキサポッドは、とりわけ、船舶、宇宙、航空、モータ、光学、医療、原子力、および電子などの産業において用いられている。
【０００５】
ヘキサポッドは、一般に、それらの軸について満足できる精度を有しているが、一定レベルの誤差が依然として存在する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、精度誤差の補償をもくろむことによって、この不都合を改善することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、
・固定のベースと、
・６つの独立した制御可能な直動アクチュエータを備えた駆動アセンブリと、
・駆動アセンブリの制御ユニットと、
・駆動アセンブリによってベースに連結されたプラットフォームを備える可動キャリッジと
を少なくとも備えており、
駆動アセンブリの前記アクチュエータの各々は、長手方向における第１の端部によってベースに第１のヒンジによって連結され、長手方向における第２の端部によってキャリッジに第２のヒンジによって連結され、前記６つのアクチュエータは、ベース上の６つの枢動中心（または、枢支点）と、キャリッジ上の６つの枢動中心（または、枢支点）とを定めているヘキサポッドについて、このヘキサポッドの精度誤差を補償するための方法に関する。
【０００８】
本発明によれば、この方法は、
・ヘキサポッドの幾何学的および位置決め誤差を決定することからなり、
キャリッジ上の各々の枢動中心およびベース上の各々の枢動中心の位置を測定し、枢動中心の位置決め誤差を決定することと、各々のアクチュエータの長さを測定し、これらのアクチュエータの長さ誤差を決定することとからなる第１のサブステップと、
各々のアクチュエータのそれぞれの経路に沿った位置決め誤差を測定することからなる第２のサブステップと
を含む測定ステップと、
・側定ステップにおける測定値から誤差補償値を計算する計算ステップと、
・ヘキサポッドの使用時にヘキサポッドの制御ユニットに誤差補償値を適用することからなる適用ステップと
を含むことを特徴とする。
【０００９】
このようにして、本発明によれば、ヘキサポッドに生じ易いさまざまな種類の（幾何学的形状および位置決めの）誤差を割り出して補償することができ、したがって後のヘキサポッドの使用において（固定のベースに関する可動キャリッジのきわめて正確な移動および制御が可能である）きわめて正確なヘキサポッドを有することができる。
【００１０】
第１の実施形態において、前記第１のサブステップは、特有のサブステップであり、
・キャリッジ上の各々の枢動中心およびベース上の各々の枢動中心の位置の直接測定と、
・前記アクチュエータの長さ誤差を決定するための各々のアクチュエータの長さの直接測定と
で構成される。
【００１１】
この第１の実施形態において、ヘキサポッドは、このような直接測定を可能にする幾何学的形状を有さなければならない。
【００１２】
さらに、第２の実施形態において、前記第１のサブステップは、以下に詳述される複数の個別のサブステップを含む。
【００１３】
好都合には、第１の測定サブステップは、ベース上の各々の枢動中心の位置を測定することからなる第１の個別サブステップを含み、前記第１の個別サブステップは、ベースの枢動中心の位置を測定するために、
・ボールを枢動中心の位置においてベースに固定することと、
・ベースを調整用プレートに固定することと、
・ボールの位置を３Ｄ測定装置の助けによって測定することと
からなる。
【００１４】
さらに、好都合には、計算ステップは、（ベース上の）枢動中心の位置の測定値を対応する理論値と比較することと、ベースの幾何学的誤差の補償マトリクスを作成することとからなるサブステップを含む。
【００１５】
加えて、好都合には、第１の測定サブステップは、キャリッジ上の各々の枢動中心の位置を測定することからなる第２の個別サブステップを含み、前記第２の個別サブステップは、キャリッジの枢動中心の位置を測定するために、
・ボールを枢動中心の位置においてキャリッジに固定することと、
・キャリッジを調整用プレートに固定することと、
・ボールの位置を３Ｄ測定装置の助けによって測定することと
からなる。
【００１６】
さらに、好都合には、計算ステップは、（キャリッジ上の）枢動中心の位置の測定値を対応する理論値と比較することと、キャリッジの幾何学的誤差の補償マトリクスを作成することとからなるサブステップを含む。
【００１７】
さらに、好都合には、第１の測定サブステップは、各々のアクチュエータの長さを測定することからなる第３の個別サブステップを含み、この第３の個別サブステップは、各々のアクチュエータについて、３Ｄ測定装置で、アクチュエータの中心のボールの間のアクチュエータの長さを、元のアクチュエータにおいて測定することからなる。
【００１８】
加えて、好都合には、計算ステップは、アクチュエータの長さの測定値を対応する理論値と比較することと、アクチュエータの長さ誤差の補償マトリクスを作成することとからなるサブステップを含む。
【００１９】
加えて、好都合には、計算ステップは、位置決め誤差の測定値を使用して位置決め誤差の補償マトリクスを作成することからなるサブステップを含む。
【００２０】
さらに、本発明は、上述のようにヘキサポッドの精度誤差を補償するためのシステムに関する。
【００２１】
本発明によれば、この補償システムは、
・ヘキサポッドの幾何学的および位置決め誤差を決定するように構成され、
枢動中心の位置決め誤差を決定するために、キャリッジ上の各々の枢動中心およびベース上の各々の枢動中心の位置を測定するとともに、前記アクチュエータの長さ誤差を決定するために、各々のアクチュエータの長さを測定するように構成された第１の測定アセンブリと、
各々のアクチュエータのそれぞれの経路に沿った位置決め誤差を測定するように構成された第２の測定アセンブリと
を備えている測定システムと、
・これらの測定に基づき、（後の）ヘキサポッドの使用時にヘキサポッドの制御ユニットに適用される誤差補償値を計算するように構成された計算ユニットと
を備える。
【００２２】
特定の実施形態において、前記第１の測定アセンブリは、
・枢動中心の位置決め誤差を決定するために、キャリッジ上の各々の枢動中心およびベース上の各々の枢動中心の位置を測定するように構成された測定アセンブリと、
・各々のアクチュエータの長さを測定するように構成された第２の測定アセンブリと
を備える。
【００２３】
添付の図面が、本発明をどのように実施できるのかを、分かり易く説明する。これらの図において、同一の参照符号は同様の要素を示している。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】精度誤差を補償するためのシステムの特定の実施形態の概略の計画である。
【図２】本発明を使用したヘキサポッドの斜視図である。
【図３】誤差を補償するための測定システムの斜視図である。
【図４】誤差を補償するための測定システムの斜視図である。
【図５】誤差を補償するための測定システムの斜視図である。
【図６】誤差を補償するための測定システムの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１に概略的に示され、本発明の例示を可能にするシステム１（以下では、「補償システム１」）は、図２に例として示されるように、ヘキサポッド２の精度誤差を補償するためのシステムである。
【００２６】
標準的なように、ヘキサポッド２は、
・固定のベース３と、
・互いに独立しており、長さが可変かつ制御可能である６つの直動アクチュエータ５を備えた駆動アセンブリ４と、
・駆動アセンブリ４を制御するための制御ユニット６（とくには図示せず）と、
・駆動アセンブリ４によってベース３に接続されたプラットフォーム８を備える可動キャリッジ７と
を備える。
【００２７】
駆動アセンブリ４の６つのアクチュエータ５の各々は、長手方向における第１の端部５Ａによってベース３に第１のヒンジ９Ａによって連結され、長手方向における第２の端部５Ｂによって可動キャリッジ７のプラットフォーム８に第２のヒンジ９Ｂによって連結される。ヒンジ９Ａおよび９Ｂは、２つまたは３つの自由度を有するボールを呈する。さらに、６つのアクチュエータ５は、ベース３上の６つの枢動中心（または、枢支点）と、プラットフォーム８上の６つの枢動中心（または、枢支点）とを定める。
【００２８】
このように、ヘキサポッド２は、６つの脚を備え、各々の脚は、アクチュエータ５を備えており、アクチュエータ５を延ばすことで、脚の長さを変えることができる。
【００２９】
２つのプレート（ベースプレート３およびプラットフォーム８）は、Ｘと称される方向とＹと称される方向とによって定められるＸＹ平面（水平）に対して実質的に平行に配置される。前記プレート３および８の中立位置において、プレート３および８は、両方ともＸＹ平面に完全に平行である。
【００３０】
これらのＸおよびＹ方向は、図２に示されている基準点Ｒ（または、ＸＹＺ）の一部を形成する。理解を容易にするように意図されたこの基準点Ｒは、ＸＹ平面を形成する方向（または、軸）ＸおよびＹに加えて、このＸＹ平面に直交する方向（または、軸）Ｚと、軸Ｘ、Ｙ、およびＺのそれぞれに沿った回転を表す角度θＸ、θＹ、およびθＺ（両矢印によって示される）とを含む。
【００３１】
ベース３を、標準的なように、ねじなどの取り付け手段によって支持要素（図示せず）に固定することができる。
【００３２】
可動キャリッジ７に関しては、標準的なように、可動キャリッジ７が、ねじなどの取り付け手段によって可動キャリッジ７に固定されてよい特定の要素（図示せず）を支持することができる。
【００３３】
ヘキサポッド２は、とくには、分光法において試料を位置決めし、光電子工学においてファイバ光学系を整列させ、あるいは光学系を整列させるために、６つの自由度における機械または光学部品の位置決めまたは移動に、きわめて良好に適合する。
【００３４】
したがって、駆動アセンブリ４は、可動キャリッジ７をベース３に対して動かすことができるように構成される。より正確には、駆動アセンブリは、
・Ｘ軸に従った相対運動および／またはＸ軸に沿った相対運動（θＸ）、ならびに／あるいは
・Ｙ軸に従った相対運動および／またはＹ軸に沿った相対運動（θＹ）、ならびに／あるいは
・Ｚ軸に従った相対運動および／またはＺ軸に沿った相対運動（θＺ）
を生じさせることができる。
【００３５】
また、ヘキサポッド２は、６つの自由度、すなわち（軸Ｘ、Ｙ、およびＺに従った）並進の３つの自由度および（角度θＸ、θＹ、およびθＺに従った）回転の３つの自由度を有する。
【００３６】
６つのアクチュエータ５が、長さを変化させ、さらには（固定のベース３に対する）可動キャリッジ７の向きを変更するために、（制御ユニット６によって）作動させられる。可動キャリッジ７の所与の位置は、６つのアクチュエータ５の６つの長さの特有の組み合わせに対応する。
【００３７】
このように、ベース３、可動キャリッジ７、およびアクチュエータ５は、１２個の枢動中心（ベース上に６つ、可動キャリッジ７上に６つ）によって連結され、各々のアクチュエータ５の長さの制御によって、ヘキサポッド２の可動キャリッジ７を軸Ｘ、Ｙ、およびＺに沿って移動させることができ、あるいは軸Ｘ、Ｙ、およびＺに従って移動させることができる。
【００３８】
本発明によれば、補償システム１は、図１に示されるように、
・ヘキサポッド２の幾何学的および位置決め誤差を決定するように構成され、
ベース３上の各々の枢動中心９Ａおよびキャリッジ７上の各々の枢動中心９Ｂの位置を測定し、枢動中心９Ａおよび９Ｂの位置決め誤差を決定するように構成された測定アセンブリ１１と、
各々のアクチュエータ５の長さを測定し、これらアクチュエータ５の長さ誤差を決定するように構成された測定アセンブリ１２と、
各々のアクチュエータ５のそれぞれの経路に沿った位置決め誤差を測定するように構成された測定アセンブリ１３と
を備えている測定システム１０と、
・測定アセンブリ１１〜１３にそれぞれボンド１５〜１７によって接続され、これらの測定アセンブリ１１〜１３による測定値から誤差補償値を計算するように構成された計算ユニットと
を備える。
【００３９】
誤差補償値は、図１の点線による矢印１９によって示されるように、ヘキサポッド２の使用時にヘキサポッド２の制御ユニット６に適用される。
【００４０】
軸Ｘ、Ｙ、Ｚ、Ｕ、Ｖ、およびＷに従うキャリッジ７の位置決め精度は、以下の３つの要素、すなわち
・図２において矢印２０Ａおよび２０Ｂによって示されるとおりの各々の枢動中心９Ａおよび９Ｂの位置の精度、
・図２において矢印２１によって示されるとおりの各々のアクチュエータ５（または、脚）の初期の（元の）長さの測定の精度、および
・図２において矢印２２によって示されるとおりの各々のアクチュエータ５の位置決めの精度
に大きく依存する。
【００４１】
補償システム１は、上述した３つの種類の誤差を補償することによって、ヘキサポッド２の位置決めの精度の改善を可能にする。
【００４２】
補償は、数学的な種類の補償であり、ヘキサポッド２の管理を可能にする制御ユニット６（または、コントローラ）によってサポートされる。これにより、
・理論幾何学の定義に関するベース３およびキャリッジ７の枢動中心９Ａおよび９Ｂの位置決め誤差の補償、
・各々のアクチュエータ５の元の長さの補償、および
・各々のアクチュエータ５の位置決め誤差の補償
が達成される。
【００４３】
補正を適用するために、測定ユニット１０は、計算ユニット１４によって実施される計算のデータを入力する測定を実施し、計算ユニット１４によって実施される計算の結果が、制御ユニット６に伝えられる。
【００４４】
ヘキサポッド２において使用される枢支の実装の技術により、これらの測定を実施することができる。
【００４５】
典型的な実施形態においては、ベース３上の枢動中心の位置を測定するために、以下の作業が実施され、すなわち
・図３に示されるように、ボール２３（例えば、セラミックまたは他の材料）が、例えば接着または他の方法を使用して、枢動中心の位置においてベース３に固定され、
・ベース３が、調整用プレート２４に固定され、
・ボール２３の位置が、３Ｄ測定装置（図示せず）の助けによって測定される。
【００４６】
調整用プレート２４および測定装置は、測定アセンブリ１１の一部を形成する。
【００４７】
一実施形態の一変形例において、測定システム１０は、ベース上の枢動中心の直接測定を実施する。
【００４８】
この場合、計算ユニット１４は、上述のやり方で測定され、測定アセンブリ１１から受け取られる枢動中心の位置の値を、保存済みの対応する理論値と比較し、ベース３の幾何学誤差の補償マトリクスを作成する。
【００４９】
このマトリクスが、制御ユニット６に伝えられる。
【００５０】
加えて、キャリッジ７上の枢動中心の位置を測定するために、以下の作業が実施され、すなわち
・図４に示されるように、ボール２５（例えば、セラミックまたは他の材料）が、枢動中心の位置においてキャリッジ７に固定され、
・キャリッジ７が、調整用プレート２６に固定され、
・ボール２５の位置が、３Ｄ測定装置（図示せず）の助けによって測定される。
【００５１】
調整用プレート２６および測定装置は、測定アセンブリ１２の一部を形成する。
【００５２】
一実施形態の一変形例において、測定システム１０は、ベース上の枢動中心の方向の測定を実施する。
【００５３】
この場合、計算ユニット１４は、上述のやり方で測定され、測定アセンブリ１２から受け取られる枢動中心の位置の値を、保存済みの対応する理論値と比較し、キャリッジの幾何学誤差の補償マトリクスを作成する。
【００５４】
このマトリクスが、制御ユニット６に伝えられる。
【００５５】
好ましくは、計算ユニット１４は、１２個の枢動中心のすべてについて２つの以前のマトリクスから単一の補償マトリクスを決定する。したがって、この補償マトリクスも、１２個のＸＹＺ座標を含む。
【００５６】
一実施形態の一変形例において、枢動中心およびアクチュエータの長さは、組み立てられたヘキサポッドにおいて単一の工程にて測定され、ヘキサポッドは、この直接測定を可能にするように設計されている。
【００５７】
さらに、各々のアクチュエータ５の長さを測定するために、アクチュエータの長さが、各々のアクチュエータ５について、アクチュエータ５の枢動中心の間で、アクチュエータ５が最小長さの初期位置にある状態で、３Ｄ測定装置を使用して測定される。
【００５８】
より具体的には、図５に示されるように、２つのボール（例えば、セラミックまたは他の材料）の中心の間の距離が、アクチュエータ５が原点（脚の長さ）にあるときに、３Ｄ測定装置２７を使用して測定される。
【００５９】
この設備の下側の枢支は、ヘキサポッドのベースおよびキャリッジに取り付けられる枢支と同一のやり方で維持される。ボールは、例えば接着によって固定される。アクチュエータの先端の軸は、３つの中心に維持され、アクチュエータに、その初期位置において、並進ステージによって定められる軸に従うばねによって加えられる２０Ｎの力が加えられる。上側の枢支ボールは、アクチュエータの先端の枢支カップに配置される。これは、測定段階における固定を保証するばねシステムによって維持される。
【００６０】
測定は、４つの連続するステップ、すなわち
・下側のボール（アクチュエータは組み立てられていない）の中心位置を測定し、支持プレートの角部の位置を追跡するステップ、
・アクチュエータを組み立て、上側のボールを位置決めするステップ、
・上側のボールの中心位置を測定するステップ、および
・（設備へのアクチュエータの配置の際に移動していないことを確認するために）プレートの角部の位置を検証するステップ
にて実施される。
【００６１】
この場合において、計算ユニット１４は、アクチュエータ５の長さの位置の測定値を対応する理論値と比較し、アクチュエータの長さ誤差の補償マトリクスを作成する。
【００６２】
さらに、各々のアクチュエータ５のそれぞれの経路に沿った位置決め誤差を測定するために、図６に示される装置２８を使用することが好ましい。
【００６３】
この場合、計算ユニット１４は、アクチュエータの位置決め誤差の測定値を用いて、位置決め誤差の補償マトリクスを作成する。
【００６４】
したがって、本発明の実施は、２つの段階、すなわち
・上述のとおりの種々の測定が実施され、次いで好ましくは補償マトリクスの形態の誤差（または、相違）の計算が実行される第１の段階と、
・ヘキサポッド２が通常どおりに使用されて標準的な動作を実行する第２の段階と
を有する。この場合において、計算された誤差（または、相違）は、これらの誤差を補償する目的において、これらの誤差を固定のベース３に関する可動キャリッジ７の移動を決定するときに考慮する制御ユニット６（または、コントローラ）に、１つ以上の標準的なアルゴリズムにて前もって統合される。
【００６５】
これにより、可動キャリッジ７とベース３との間のきわめて正確な制御された移動を有するヘキサポッド２がもたらされる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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