(57)【要約】ばね金属層を含むディスクドライブヘッドサスペンションの実施形態が記載される。ばね金属層には、ベース領域と、ベース領域から延びる支持アームと、スライダ取付領域とを含む。スライダ取付領域は、近位部分と、遠位部分と、対のモータ開口部とを含む。モータ開口部は、モータの長手方向軸がスライダ取付領域の長手方向軸と非平行であるように、モータを受け入れるように構成される。サスペンションは、ばね金属層のベース領域におけるベース部分と、ベース領域からスライダ取付領域へと延びるばね金属不支持部分と、ばね金属不支持部分からスライダ取付領域に延びるスライダ取付部分とを含むトレースを包含する。また、サスペンションは、ばね金属層と導体層との部分同士の間に絶縁層を含む。【選択図】図５Ａ
2019519875.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
共同配置した２段作動式ディスクドライブヘッドサスペンションのフレクシャであって、
ばね金属層と、
導体層と、
前記ばね金属層と前記導体層との部分同士の間の絶縁層とを備え、
前記ばね金属層は、
中央長手方向フレクシャ軸を有するベース領域と、
前記ベース領域から遠位に延びるとともに横方向に離間した支持アーム部と、
前記フレクシャ軸と平行である長手方向軸を有するとともに、近位部分、遠位部分、前記近位部分と前記遠位部分との間の中間部分、前記中間部分における荷重点位置、及び、前記ばね金属層の縁部によって画定された前記近位部分と前記遠位部分との間のそれぞれが前記荷重点位置に対して互いに反対側に配置されて横方向に離間した対のモータ開口部を備え、前記モータ開口部は、長手方向軸を有するモータを、前記モータの前記長手方向軸がスライダ取付領域の前記長手方向軸と非平行であるように受け入れて構成された、スライダ取付領域と、
前記スライダ取付領域の前記近位部分を前記支持アーム部に連結する連結部材とを備え、
前記導体層は、少なくとも２つのトレースの群を備え、前記トレースの群のそれぞれは、
前記ばね金属層の前記ベース領域上において、前記フレクシャ軸に対して他方のベース部分の反対側に配置されたベース部分と、
前記ばね金属層の前記ベース領域から前記スライダ取付領域へと延びるとともに、前記フレクシャ軸に対して他方のばね金属不支持部分の反対側に配置されたばね金属不支持部分と、
前記ばね金属不支持部分から前記スライダ取付領域に延びるスライダ取付部分とを備え、
前記スライダ取付領域における前記トレースの１つ以上はそれぞれ、前記スライダ取付領域の端子パッドで終端する、フレクシャ。
【請求項２】
前記トレースの前記スライダ取付部分の少なくとも一部上において前記スライダ取付領域に取り付けられたスライダをさらに備えた、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項３】
それぞれ長手方向軸を有するとともに、前記スライダ取付領域の前記モータ開口部の１つにおいて前記スライダ取付領域の前記近位部分と前記遠位部分との間に連結された対のモータをさらに備え、前記モータの前記長手方向軸は前記スライダ取付領域の前記長手方向軸と非平行である、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項４】
前記フレクシャに取り付けられたロードビームをさらに備え、前記ロードビームは、少なくとも前記フレクシャの前記モータ開口部及び前記モータ程度の大きさのモータ開口部を備え、前記ロードビームの前記モータ開口部は、前記フレクシャの前記モータ開口部及び前記モータの位置に対応する位置に配置される、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項５】
前記ばね金属層は前記モータ開口部のそれぞれにモータアイランド部を備え、第１モータトレースは前記モータアイランド部のそれぞれの第１端子パッドで終端し、前記第１端子パッドは前記モータに接続するように構成される、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項６】
第２モータトレースは前記モータ開口部のそれぞれの第２端子パッドで終端し、前記第２端子パッドは前記モータに接続するように構成される、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項７】
前記ばね金属層は、前記支持アーム部に連結するとともに前記スライダ取付領域周囲に遠位に延びる端部分をさらに備えた、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項８】
前記端部分から前記連結部材に延びる１つ以上のポリマーテザー部をさらに備えた、請求項７に記載のフレクシャ。
【請求項９】
前記端部分から前記モータアイランド部に延びる１つ以上のポリマーテザー部をさらに備えた、請求項７に記載のフレクシャ。
【請求項１０】
前記ポリマーテザー部は蛇行形状である、請求項８に記載のフレクシャ。
【請求項１１】
前記ポリマーテザー部はポリマーのカバーコート層の一部である、請求項７に記載のフレクシャ。
【請求項１２】
前記スライダ取付部分の前記トレースは、前記モータ開口部又は前記モータの前記長手方向軸に対して８０度〜１００度の角度を有する、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項１３】
前記スライダ取付領域の前記軸と前記モータの前記長手方向軸との間の角度は５〜４０度である、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項１４】
前記ばね金属不支持部分は、内角を定める直線部分を含む、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項１５】
少なくとも一部又はすべての任意の非直線部分が、１３５度より大きい前記内角を定める、請求項１４に記載のフレクシャ。
【請求項１６】
少なくとも一部又はすべての任意の非直線部分が、１６０度より大きい前記内角を定める、請求項１４に記載のフレクシャ。
【請求項１７】
前記スライダ取付領域における前記トレースの１つ以上は、前記スライダ取付領域の前記中間部分に延びる、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項１８】
前記スライダ取付領域における前記トレースの１つ以上は、前記スライダ取付領域の前記中間部分を通って、前記スライダ取付領域の前記遠位部分の端子パッドに延びる、請求項１７に記載のフレクシャ。
【請求項１９】
前記トレースの少なくとも１つは、前記スライダ取付領域の前記遠位部分で前記モータに接続されるように構成された端子パッドで終端するモータ電源トレースである、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項２０】
前記トレースの少なくとも１つは、前記スライダ取付領域の前記近位部分で前記モータに接続されるように構成された端子パッドで終端するグランドトレースである、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項２１】
前記導体層の前記ばね金属不支持部分の少なくとも一部に配置される、請求項１に記載のフレクシャ。
【請求項２２】
前記モータアイランド部と前記第１端子パッドとは、前記スライダ取付領域の前記遠位部分に隣接する、請求項５に記載のフレクシャ。
【請求項２３】
導電性接着剤により、前記モータを前記第１端子パッドに機械的及び電気的に接続する、請求項２２に記載のフレクシャ。
【請求項２４】
前記第２端子パッドは前記ばね金属層に支持されず、任意的に、前記絶縁層は前記第２端子パッドに配置される、請求項６に記載のフレクシャ。
【請求項２５】
前記角度は９０度である、請求項１２に記載のフレクシャ。
【請求項２６】
前記スライダ取付領域の前記遠位部分に連結された前記モータの遠位端部同士の間の距離は、前記スライダ取付領域の前記近位部分に連結された前記モータの近位端部同士の間の距離より長い、請求項３に記載のフレクシャ。
【請求項２７】
前記モータのそれぞれの長さの少なくとも２５％が、前記荷重点位置の近位及び遠位に配置されている、請求項２６に記載のフレクシャ。
【請求項２８】
２つのフレクシャモータ開口部を備え、前記フレクシャモータ開口部のそれぞれは、モータ長手方向軸を有するモータを、前記モータのそれぞれの前記モータ長手方向軸がフレクシャ長手方向軸と非平行であるように受け入れて構成された、フレクシャと、
前記フレクシャに連結され、前記フレクシャの前記フレクシャモータ開口部の位置に対応するモータ開口部を備えたロードビームと、
前記ロードビームに連結され、モータを受け入れるように構成された少なくとも１つのモータマウント部を備えたベース板とを備えた、ディスクドライブヘッドサスペンション。
【請求項２９】
ばね金属層は、ベース領域と、前記ベース領域から遠位に延びるとともに横方向に離間した支持アーム部と、前記フレクシャ長手方向軸と平行である長手方向軸を有するスライダ取付領域とを備えた、請求項２８に記載のディスクドライブヘッドサスペンション。
【請求項３０】
前記スライダ取付領域は、近位部分と、遠位部分と、前記近位部分と前記遠位部分との間の中間部分と、前記中間部分における荷重点位置と、前記スライダ取付領域の前記近位部分を前記支持アーム部に連結する連結部材とを備え、前記２つのフレクシャモータ開口部は、前記ばね金属層の縁部によって画定された前記近位部分と前記遠位部分との間において横方向に離間している、請求項２９に記載のディスクドライブヘッドサスペンション。
【請求項３１】
少なくとも２つのトレースの群を含む導体層をさらに備え、前記トレースの群のそれぞれは、
前記ばね金属層の前記ベース領域上において、前記フレクシャ長手方向軸に対して他方のベース部分の反対側に配置されたベース部分と、
前記ばね金属層の前記ベース領域から前記スライダ取付領域へと延びるとともに、前記フレクシャ長手方向軸に対して他方のばね金属不支持部分の反対側に配置されたばね金属不支持部分と、
前記ばね金属不支持部分から前記スライダ取付領域に延びるスライダ取付部分とを備え、
前記スライダ取付領域における前記トレースの１つ以上はそれぞれ、前記スライダ取付領域の端子パッドで終端する、請求項２９に記載のディスクドライブヘッドサスペンション。
【請求項３２】
絶縁層が前記ばね金属層と前記導体層との部分同士の間に配置された、請求項３１に記載のディスクドライブヘッドサスペンション。
【請求項３３】
前記スライダ取付部分の前記トレースは、前記モータ長手方向軸に対して８０度〜１００度の角度を有する、請求項３１に記載のディスクドライブヘッドサスペンション。
【請求項３４】
前記ばね金属層は、前記支持アーム部に連結するとともに前記スライダ取付領域周囲に遠位に延びる端部分をさらに備えた、請求項３０に記載のディスクドライブヘッドサスペンション。
【請求項３５】
前記端部分から前記連結部材に延びる１つ以上のポリマーテザー部をさらに備えた、請求項３４に記載のディスクドライブヘッドサスペンション。
【請求項３６】
前記ポリマーテザー部は蛇行形状である、請求項３５に記載のディスクドライブヘッドサスペンション。
【請求項３７】
ディスクドライブサスペンションを製造する方法であって、
モータを受け入れるように構成された１つ以上のフレクシャモータ開口部を備えたフレクシャを、１つ以上のモータ開口部の１つ以上の位置が前記フレクシャの前記フレクシャモータ開口部の１つ以上の位置に対応するように前記１つ以上のモータ開口部を備えたロードビームに取り付けるステップと、
前記ロードビームの前記１つ以上のモータ開口部を通って前記フレクシャに１つ以上のフレクシャモータを配設するステップと、を含む方法。
【請求項３８】
ベース板モータを受け入れるように構成された１つ以上のモータマウント部を備えたベース板に前記ロードビームを配設することをさらに含む、請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
前記１つ以上のモータマウント部に１つ以上のベース板モータを配設することをさらに含む、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記ロードビームの前記１つ以上のモータ開口部を通って前記フレクシャに１つ以上のフレクシャモータを配設することと、前記１つ以上のモータマウント部に１つ以上のベース板モータを配設することとは、前記ディスクドライブサスペンションの同じ側において行われる、請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記ロードビームの前記１つ以上のモータ開口部を通って前記フレクシャに１つ以上のフレクシャモータを配設することと、前記１つ以上のモータマウント部に１つ以上のベース板モータを配設することとは、製造プロセスの同じ段階において行われる、請求項４０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
［関連出願の相互参照］
本願は、２０１７年６月２９日に出願の米国特許出願第１５／６３８，３０５号の優先権を主張し、さらに２０１６年６月３０日に出願の米国仮出願第６２／３５６，７０４号の優先権を主張し、そのそれぞれの全体が言及によって本明細書に援用される。
【０００２】
［技術分野］
本発明の実施形態は、一般にディスクドライブへッドサスペンションとフレクシャとに関する。
【背景技術】
【０００３】
共同配置されたジンバルベースの２段作動式（ＤＳＡ）サスペンションは一般に既知であり、例えばＨａｈｎ等の特許文献１、Ｈａｔｃｈの特許文献２、Ｈａｔｃｈの特許文献３、Ｗｒｉｇｈｔ等の特許文献４、Ｍｉｌｌｅｒ等の特許文献５、Ｍｉｌｌｅｒ等の特許文献６、Ｂｊｏｒｓｔｒｏｍ等の特許文献７、Ｍｉｌｌｅｒの特許文献８、Ｍｉｌｌｅｒ等の特許文献９、Ｏｋｕｎｏ等の特許文献１０、Ｍｉｌｌｅｒ等の特許文献１１、Ｆｕｊｉｍｕｒａの特許文献１２の米国特許及び公開特許出願にて公開されており、そのすべての全体が言及によってあらゆる目的で本明細書に援用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】米国特許第９，１１１，５５９号明細書
【特許文献２】米国特許出願公開第２００９／０２４４７８６号明細書
【特許文献３】米国特許出願公開第２０１４／０１３９９５３号明細書
【特許文献４】米国特許出願公開第２０１４／０１０４７２２号明細書
【特許文献５】米国特許出願公開第２０１４／０１９８４１２号明細書
【特許文献６】米国特許出願公開第２０１４／０３６２４７６号明細書
【特許文献７】米国特許出願公開第２０１５／００５５２５４号明細書
【特許文献８】米国特許出願公開第２０１５／００５５２５６号明細書
【特許文献９】米国特許出願公開第２０１５／００６２７５８号明細書
【特許文献１０】米国特許出願公開第２０１５／０１７９１９６号明細書
【特許文献１１】米国特許出願公開第２０１５／０１８７３７６号明細書
【特許文献１２】米国特許出願公開第２０１５／０１８７３７７号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
改良されたＤＳＡサスペンションが依然として必要とされている。高性能ＤＳＡサスペンションが期待されている。サスペンションは効率的に製造可能である必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ばね金属層を含むディスクドライブヘッドサスペンションの実施形態が記載される。ばね金属層には、ベース領域と、ベース領域から延びる支持アームと、スライダ取付領域とを含む。スライダ取付領域は、近位部分と、遠位部分と、対のモータ開口部とを含む。モータ開口部は、モータの長手方向軸がスライダ取付領域の長手方向軸と非平行であるように、モータを受け入れるように構成される。サスペンションは、ばね金属層のベース領域におけるベース部分と、ベース領域からスライダ取付領域へと延びるばね金属不支持部分と、ばね金属不支持部分からスライダ取付領域に延びるスライダ取付部分とを含むトレースを包含する。また、サスペンションは、ばね金属層と導体層との部分同士の間に絶縁層を含む。
【０００７】
本発明の実施形態の他の特徴及び有利性は、添付の図面及び以下の詳細な説明によって明らかになる。
【０００８】
本発明の実施形態は一例として示され、同様の参照符号が類似する構成要素を表す添付の図面の図において限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１において、図１Ａと図１Ｂとはそれぞれ、圧電（「ＰＺＴ」）モータを含む、本発明の実施形態における一体型リードの共同配置された２段作動式（「ＤＳＡ」）ディスクドライブヘッドサスペンションのフレクシャのステンレス鋼側とトレース側との平面図である。
【図２】図２において、図２Ａと図２Ｂとはそれぞれ、圧電モータを含まない、図１Ａ及び図１Ｂに示すＤＳＡフレクシャのステンレス鋼側とトレース側との平面図である。
【図３】図３において、図３Ａと図３Ｂとはそれぞれ、圧電モータを含まない、図１Ａ及び図１Ｂに示すＤＳＡフレクシャに取り付けられたロードビームを含むサスペンションのロードビーム側とフレクシャ側との平面図である。
【図４】図４において、図４Ａと図４Ｂとはそれぞれ、圧電モータを含む、図３Ａ及び図３Ｂに示すサスペンションのロードビーム側とフレクシャ側との平面図である。
【図５】図５において、図５Ａと図５Ｂとはそれぞれ、ヘッドスライダが取り付けられた、図４Ａと図４Ｂとに示すサスペンションのロードビーム側とフレクシャ側との等角図である。
【図６】図６において、図６Ａと図６Ｂとはそれぞれ、実施形態における非平行モータを備えた３段作動式ディスクドライブヘッドサスペンションのロードビーム側とフレクシャ側との等角図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
実施形態におけるロードビームとフレクシャとを含む、非平行モータを備えたディスクドライブへッドサスペンションが、添付の図面に示され、本明細書に記載される。実施形態には、モータ端子をステンレス鋼層構造に（例えば導電性接着剤によって）導電的に接触させるために電源トレース及び端子は遠位モータ端部に配置でき、グランドトレース及び端子は近位モータ端部に配置できること、モータのフレクシャへの取り付けに使用され、（例えばモータの近位側近傍の）トレースのポリイミドバッキングに吸い上げられる又は広がる接着剤は、トレースに抑制作用を与えて性能特性を向上させることができること（例えばヨー周波数）、ディンプルの側部においてロードビームに比較的大きく計画的に孔を設けて、随時モータ（例えばＰＺＴモータ）を配置可能にすること、角度をなすモータ（例えば５〜４０度）により、設置面積、接着剤接合性、及びトレース配線の最適化可能にして、設計融通性を受け入れること、荷重点位置（例えばディンプルの位置）の前側及び遠位側のモータ、組立て及び操作のクリアランスのためにモータを完全に通過させるようにロードビームの穴を伴う、スライダのロードビーム側に配置されたモータ、モータはスライダの接地面積内にあること、回転の固定中心が荷重点位置に比較的近接すること、質量／慣性バランスのためにトレースはスライダ領域の中心を通って配線されること、並びに、角度をなすモータは回転中心をディンプルに近接させること、である特徴のうちの１つ以上を含む。実施形態の利点には、モータの堅牢性向上、つまり片持ち状でなくロードビームポケット内にあること、により取扱性及び衝撃耐性を向上させ、モータ割れの問題を軽減可能であること、モータ回転は直接的に荷重点周囲で行われて荷重点の両側でバランスを取ることができることから、さらなる質量を追加することなく揺動するための慣性バランスを得ること、荷重点前方のモータ部分が量バランスを与え、フレクシャのロードビーム側においてスライダ接地面積内にあって性能を向上させる（例えばヨー周波数の増大）こと、小型設計により回転慣性を低減可能であること、ディンプルに対するモータ位置のため、リミッタ使用を向上させること、輪状ジンバルを使用する必要がないこと、ロードビーム孔は、種々のモータの厚みや随時のモータ取り付けに対するクリアランス融通性を可能にすること、モータインターフェイスに対するフレクシャの複数の選択肢を可能にすること（例えば、導電性、非導電性、粘弾性、低弾性の接着剤、制動のための機械的インターフェイス）、比較的直線的なトレース部分によりヨーなどの性能を向上させること、より薄いステンレス鋼を使用可能であること、のうちの１つ以上を含む。
【００１１】
図１Ａは、圧電（「ＰＺＴ」）モータを含む、実施形態における一体型リードの共同配置された２段作動式（「ＤＳＡ」）ディスクドライブヘッドサスペンションのフレクシャのステンレス鋼側トレース側平面図を示す。フレクシャ１２は、フレクシャ１２の主構造支持体を形成するばね金属層１４を含む。種々の実施形態では、ばね金属層１４は、ステンレス鋼を含むがこれに限定されない１つ以上の金属から形成することができる。ばね金属層１４は、ロードビームに（例えば溶接によって）取り付け可能なベース領域１６を含む。ベース領域１６は中央長手方向フレクシャ軸１７を有する。ばね金属層１４は、対の支持アーム部１８、１９、スライダ取付領域２０、及び連結部材２２、２４をさらに含む。支持アーム部１８、１９は横方向に離間し、ベース領域１６から遠位に延びている。スライダ取付領域２０は、スライダ取付長手方向軸２８を有する。種々の実施形態では、スライダ取付領域２０のスライダ取付長手方向軸２８は、中央長手方向フレクシャ軸１７と平行である。スライダ取付領域２０は、近位部分３０と、遠位部分３２と、中間部分３４とを含む。スライダ取付領域２０の中間部分３４は、近位部分３０と遠位部分３２との間に配置される。種々の実施形態では、スライダ取付領域２０は、中間部分３４における荷重点位置３６を含む。ばね金属層１４は、支持アーム部１８、１９に連結された端部分３３をさらに含む。一部の実施形態において、端部分３３は、スライダ取付領域２０周囲に遠位に延びるように構成されている。
【００１２】
スライダ取付領域２０は、ばね金属層１４の縁部によって画定された近位部分３０と遠位部分３２との間の横方向に離間した対のモータ開口部８０、８２を画定する。種々の実施形態では、各モータ開口部８０、８２は、荷重点位置３６に対して互いに反対側に配置されている。さらに、モータ開口部８０、８２は、各フレクシャモータ４０の長手方向軸がスライダ取付領域２０の長手方向軸と非平行であるように、フレクシャモータ４０を受け入れるように構成されている。
【００１３】
フレクシャモータ４０はそれぞれ、種々の実施形態において、電圧を圧電素子に印加したときに作動して微細作動する圧電素子である。各モータ４０は、フレクシャモータ４０の第１の主面にアノード端子を含み、フレクシャモータ４０の反対の主面にカソード端子を含むことができる。導体層５０のトレースとフレクシャモータ４０のアノード端子又はカソード端子との間に第１の電気接続がなされ、ばね金属層１４（例えばグランドとして）とフレクシャモータ４０のアノード端子又はカソード端子の他方との間に第２の電気接続がなされることができる。
【００１４】
種々の実施形態では、スライダ取付領域２０の長手方向軸と各フレクシャモータ４０の長手方向軸との角度４６が５〜４０度を含む範囲にある。連結部材２２、２４は、スライダ取付領域２０の近位部分３０を支持アーム部１８に連結する。一部の実施形態において、スライダ取付領域２０の遠位部分３２に連結されたフレクシャモータ４０の遠位端部の距離は、スライダ取付領域２０の近位部分３０に連結されたフレクシャモータ４０の近位端部の距離より長い。さらに、一部の実施形態では、フレクシャモータ４０の長さの少なくとも２５％が、荷重点位置３６の近位及び遠位に配置されている。
【００１５】
図１Ｂは、圧電（「ＰＺＴ」）モータを含む、実施形態における一体型リードの共同配置された２段作動式（「ＤＳＡ」）ディスクドライブヘッドサスペンションのフレクシャのトレース側平面図を示す。一部の実施形態において、フレクシャ１２の導体（例えば銅又は銅合金）層５０は、１つ以上のトレースの群を含む。２つのトレースの群を含む実施形態では、トレースの各群は、各群が中央長手方向フレクシャ軸１７の反対側にあるように配置されている。トレースの各群は、一部の実施形態において、ばね金属層１４のベース領域１６上のベース部分５２と、ばね金属層１４のベース領域１６からスライダ取付領域２０に延びるばね金属不支持部分５４とを含む。一部の実施形態では、ばね金属不支持部分５４は、内角６０を定める直線部分５６と非直線部分５８とを含む。種々の実施形態において、内角６０は、１３５度〜１６０度を含む範囲にあるように構成される。他の実施形態では、内角６０は１６０度より大きい。
【００１６】
一部の実施形態において、トレースの群は、ばね金属不支持部分５４からスライダ取付領域２０に延びるスライダ取付部分６２を含む。種々の実施形態において、スライダ取付部分６２のトレースは、モータの長手方向軸４２又はモータ開口部に対して８０度〜１００度を含む範囲の角度を有するように構成される。特定の実施形態において、スライダ取付部分６２は、モータの長手方向軸４２又はモータ開口部に対して９０度の角度を有するように構成される。スライダ取付領域２０におけるトレースの群の１つ以上のトレースは、一部の実施形態においてスライダ取付領域２０の中間部分３４に延びる。例えば、スライダ取付領域２０における１つ以上のトレースは、スライダ取付領域２０の端子パッド６４で終端するトレース６６を含む。１つ以上のトレースは、例えば、スライダ取付領域２０の遠位部分の端子パッドで終端する、スライダ取付領域２０におけるトレース６８を含む。１つ以上のトレースは、スライダ取付領域の遠位部分でモータに接続されるように構成された端子パッドで終端するモータ電源トレースを少なくとも含むことができ、少なくとも１つのトレースは、スライダ取付領域の近位部分でモータに接続されるように構成された端子パッドで終端するグランドトレースである。
【００１７】
また、フレクシャ１２は、ばね金属層１４と導体層５０との部分同士の間に絶縁層７０を含む。絶縁層７０は、一部の実施形態において、ポリイミド層である。一部の実施形態において、絶縁層７０は、導体層５０のばね金属不支持部分５４の少なくとも一部に配置される。
【００１８】
一部の実施形態では、フレクシャ１２は、端部分３３から連結部材２２、２４に延びる１つ以上のポリマーテザー部を含む。テザー部は、衝撃制限器として作用するように構成されてサスペンションの性能を向上させる。テザー部は、一部の実施形態において、非作動衝撃制限器として作用するように構成される。種々の実施形態において、テザー部は、ディスクドライブサスペンションの１つ以上の共振モードを抑えるように配置及び構成される。
【００１９】
１つ以上のポリマーテザー部３５、３７は、一部の実施形態において、ポリイミド又は当該技術分野において既知のものを含む他の絶縁材料から形成される。１つ以上のポリマーテザー部３５、３７は、一部の実施形態において、端部分３３からモータアイランド部８４、８６に延びるように構成される。ポリマーテザー部３５、３７は、種々の実施形態では蛇行形状である。１つ以上のポリマーテザー部３５、３７は、種々の実施形態では、ポリマーのカバーコート層の一部として形成される。
【００２０】
図２Ａと図２Ｂとはそれぞれ、圧電モータを含まない、図１Ａ及び図１Ｂに示すＤＳＡフレクシャのステンレス鋼側とトレース側との平面図である。フレクシャ１２は、一部の実施形態において、各モータ開口部８０、８２にモータアイランド部８４、８６を含むばね金属層１４を含む。種々の実施形態において、電源トレースなどの第１モータトレースは、各モータアイランド部の第１端子パッド８８、９０で終端し、グランドトレースなどの第２モータトレースは、第２端子パッド９２、９４で終端する。他の実施形態において、電源トレースは第２端子パッド９２、９４で終端し、グランドトレースは第１端子パッド８８、９０で終端する。第１端子パッド８８、９０は、端子パッドにフレクシャモータ４０を機械的かつ電気的に接続するために、導電性接着剤、はんだ、及び当該技術分野で既知のものを含むがこれらに限定されない技術を使用して、第１端子パッドにフレクシャモータ４０を接続させるように構成される。一部の実施形態では、モータアイランド部８４、８６と第１端子パッド８８、９０とは、スライダ取付領域２０の遠位部分３２に隣接している。
【００２１】
図３Ａと図３Ｂとはそれぞれ、圧電モータを含まない、図１Ａ及び図１Ｂに示すＤＳＡフレクシャに取り付けられたロードビームを含むサスペンションのロードビーム側とフレクシャ側との平面図である。ロードビーム１００はフレクシャ１２に取り付けられる。種々の実施形態では、ロードビーム１００は、溶接を用いてばね金属層１４のベース領域１６においてフレクシャに取り付けられる。ロードビーム１００は、実施形態において、少なくともフレクシャ１２のモータ開口部８０、８２及びフレクシャモータ４０ほどの大きさのモータ開口部１０２、１０４を含み、ロードビーム１００のモータ開口部１０２、１０４は、フレクシャ１２のモータ開口部８０、８２及びフレクシャモータ４０の位置に対応する位置に配置される。モータ開口部１０２、１０４によって、ロードビーム１００を介して、フレクシャモータ４０をフレクシャ１２に取り付けることができる。このため、ディスクドライブヘッドサスペンション組立ての任意の段階で、モータを取り付けることができる。
【００２２】
図４Ａと図４Ｂとはそれぞれ、圧電モータを含む、図３Ａ及び図３Ｂに示すサスペンションのロードビーム側とフレクシャ側との平面図である。サスペンションは、トレースのスライダ取付部分６２の少なくとも一部がばね金属層１４とスライダ１０８との間に配置されるように、（例えば接着剤によって）スライダ取付領域２０に取り付けられたスライダ１０８を含む。一部の実施形態では、スライダ１０８は、スライダ取付領域２０及びトレースのスライダ取付部分６２の少なくとも一部に取り付けられる。スライダ１０８は、接着剤を使用して、又は当該技術分野において既知の技術を使用して取り付けられる。
【００２３】
図５Ａと図５Ｂとはそれぞれ、ヘッドスライダが取り付けられた、図４Ａ及び図４Ｂに示すサスペンションのロードビーム側とフレクシャ側との等角図である。
【００２４】
図６Ａと図６Ｂとはそれぞれ、実施形態における非平行モータを備えた３段作動式ディスクドライブヘッドサスペンションのロードビーム側とフレクシャ側との等角図である。３段作動式ディスクドライブヘッドサスペンションは、ロードビーム１００と、フレクシャ１２と、ベース板２１４と、任意の構成の１つ以上のベース板モータ２４０とを含む。ロードビーム１００は、溶接などの本明細書に記載されるものを含む取り付け技術を用いてベース板２１４に取り付けられる。ベース板２１４とロードビーム１００のそれぞれは、ステンレス鋼などの金属から形成されることができる。一部の実施形態において、３段サスペンションはまた、ベース板モータ２４０と疑似形体２１６とを有するベース板２１４を含む。また、ベース板は、非作動衝撃制限器として作用するともに、ベース板モータ２４０又は疑似形体２１６を受け入れるように構成されたベース板モータ２４０のモータ開口部をつなぐために配置されるように構成された、１つ以上のＴ字状バー制限器２０２、２０３を含むことができる。一部の実施形態において、Ｔ字状バー制限器２０２、２０３とフレクシャ１２のテザー部３５、３７とは、非作動衝撃制限器として作用するようにサスペンションにおいてともに使用される。Ｔ字状バー制限器２０２、２０３は、一部の実施形態において、溶接、接着剤、及び当該技術分野において既知のものなどの他の取り付け技術を含むがこれらに限定されない技術を用いて、ベース板２１４に取り付けられる。一部の実施形態において、Ｔ字状バー制限器２０２、２０３はベース板２１４と一体的に形成される。
【００２５】
ベース板２１４は、第１の対の取付パッド２１８、２２０と、第２の対の取付パッド２２２、２２４とを含む。各対の取付パッドは、ベース板モータ２４０及び疑似形体２１６を受け入れるように構成されている。種々の実施形態では、第１の対の取付パッド２１８、２２０は、ベース板２１４の長手方向軸に対して第２の対の取付パッド２２２、２２４とは反対側に配置されている。取付パッド２１８、２２０、２２２、２２４は、一部の実施形態において、サスペンションのフレクシャモータ４０と同じ側において、ベース板モータ２４０を取り付けるように構成される。このため、ベース板とフレクシャモータとを、ディスクドライブヘッドサスペンションの組立て時の任意の時点であり得るサスペンションの製造プロセス時の同じ段階で取り付けることができる。このため、モータへの損傷を極力少なくして、サスペンション製造の歩留まりを高めることができる。
【００２６】
ベース板２１４に取り付けられたベース板モータ２４０は、ロードビーム１００を移動させるように構成される。種々の実施形態では、ベース板モータ２４０は、本明細書に記載されるものを含む技術を用いて適用される。疑似形体２１６は、一部の実施形態において、質量分布のバランスをとるとともに、ベース板２１４の堅牢性のために構成される。疑似構造２１６は別個に製造され、その後ベース板２１４に取り付けられることができる。一部の実施形態では、疑似形体２１６は、溶接、接着剤、及び当該技術分野において既知のものなどの他の取り付け技術を含むがこれらに限定されない技術を用いて、ベース板２１４に取り付けられる。一部の実施形態において、疑似形体２１６はベース板２１４と一体的に形成される。
【００２７】
ベース板２１４と疑似形体２１６とは、例えばステンレス鋼からなど、金属から形成される。疑似形体２１６がベース板２１４と一体的に形成された実施形態において、疑似形体２１６は、エッチング及びレーザアブレーションを含むがこれらに限定されない技術を用いて形成して、疑似形体２１６内により大きい又は小さい厚み及び幅の領域を作製することができる。さらに、レーザ処理は、局所的に柔らかい領域を作製するなど、疑似形体２１６における部分の機械的特性を局所的に変更することができ、疑似形体２１６の特性を微調整するのに役立つ。一部の実施形態において、疑似形体２１６に代えて、第２のベース板モータがベース板２１４に取り付られる。
【００２８】
ベース板モータ２４０の第１端部は、ベース板２１４の第１取付パッド２１８の第１端子に接続され、ベース板モータ２４０の第２端部は、ベース板２１４の第２取付パッド２２０の第２端子に接続される。本明細書に記載の導電層に類似する導電層５０は、トレースを含む。導電層５０の少なくとも第１のトレースは第１端子で終端し、少なくとも第２のトレースは第２端子で終端する。本明細書に記載されるとき、第１のトレースと第２のトレースとは、他のモータについて本明細書に記載したものを含む技術を用いて、ベース板モータ２４０に、電源又はグランドなどの制御信号を与えるように構成される。一部の実施形態では、第１端子はベース板モータ２４０に電源信号を与えて、第２端子はグランドを与える。他の実施形態には、電源信号を与える第２端子と、グランドを与える第１端子とを含む。一部の実施形態において、第１端子と第２端子のうちの１つは、ベース板２１４に電気的に接続されてグランドを与える。
【００２９】
実施形態は部分的に図面を参照して記載されているが、図面は限定するものではない。本発明の他の実施形態は、さらなる又はより少ない特徴を含むことができる。例えば、支持されていないというように記載されているトレースの全体又は部分をステンレス鋼によって支持することができる。他の例として、ステンレス鋼層は、他の構造から（例えばスライダ取付領域から）モータの近位及び／又は遠位端部の下に延びる部分（例えばタブ）を含むことができる。
【００３０】
文脈において明白に要求されない限り、詳細な説明及び特許請求の範囲において、「含む」、「含んで」などの文言は、排他的又は網羅的な、すなわち「含むが、これに限定されない」という意味とは反対に、含める意味として解釈される。「連結される」という文言は、本明細書で一般に使用されるとき、直接接続されるか、又は１つ以上の中間構成要素によって接続されることのできる２つ以上の構成要素を指す。同様に、「接続される」という文言は、本明細書で一般に使用されるとき、直接接続されるか、又は１つ以上の中間構成要素によって接続されることのできる２つ以上の構成要素を指す。文脈が許すなら、単数又は複数を使用する上述の詳細な説明の文言もまた、それぞれ複数又は単数を含むことができる。２つ以上の事項のリストに関する「又は」という文言は、リストの事項のいずれか、リストの事項のすべて、及びリストの事項の任意の組合せである、該文言の解釈のすべてを包含する。
【００３１】
さらに、とりわけ、「できる」、「できた」、「し得る」、「可能である」、「例えば」、「例として」、「など」等の本明細書に使用される条件的言語は、具体的に明示されない限り、又は使用される文脈内で理解されない限り、一般に、所定の実施形態が所定の特徴、構成要素、及び／又は状態を含む一方で、他の実施形態はこれらを含まないということを意味すると意図する。このように、そうした条件的言語は、特徴、構成要素、及び／若しくは状態が１つ以上の実施形態に何らかの形で要求されるか、又は１つ以上の実施形態が、著者の情報提供若しくは指示の有無で、これらの特徴、構成要素、及び／若しくは状態が任意の特定の実施形態に含まれるか若しくは実施されるかどうかを決定するロジックを必ず含む、ということの示唆を通常意図しない。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【国際調査報告】
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