(57)【要約】  本発明は、基板の効率的な放電を可能にするために特に既存のモジュールおよび処理装置の簡単かつフレキシブルなバージョンアップを実現する静電気放電ユニットに関する。さらに本発明は、上述の静電気放電ユニットの使用と、上述の静電気放電ユニットを使用して基板の放電を行う方法と、に関する。
2019519891.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの静電気放電サブユニットを備えた静電気放電ユニットであって、
前記少なくとも１つの静電気放電サブユニットは、少なくとも１つの搬送ローラシステム（１８）と少なくとも１つの放電経路とを備えており、
前記各搬送ローラシステム（１８）は、互いに依存せずに、１つの搬送ローラ（１）と、転がり要素軸受（２３）を備えた取付部（１３）および推進要素（２１）から成る群から選択された少なくとも１つの要素と、を備えており、
前記搬送ローラ（１）は、金属搬送ローラ（１）またはポリマーコーティングされた金属搬送ローラ（１）から選択されたものであり、
前記静電気放電サブユニットは、前記搬送ローラ（１）の表面から前記転がり要素軸受、前記推進要素（２１）または双方を介して前記放電経路へ電荷を伝導するために適している、
静電気放電ユニット。
【請求項２】
前記転がり要素軸受（２３）、前記推進要素（２１）または双方は、有機ポリマーを有し、
前記静電気放電ユニットは、前記搬送ローラ（１）の表面から前記転がり要素軸受（２３）の有機ポリマー、前記推進要素（２１）の有機ポリマーまたは双方を介して前記放電経路へ電荷を伝導するために適している、
請求項１記載の静電気放電ユニット。
【請求項３】
前記静電気放電ユニットは、少なくとも３つの静電気放電サブユニットを備えており、
前記静電気放電サブユニットの各々は、互いに依存せずにそれぞれ、１つ、２つ、３つ、４つ、５つまたは６つの搬送ローラシステム（１８）を備えている、
請求項１または２記載の静電気放電ユニット。
【請求項４】
電荷を接地部に向かって伝導するために適した前記取付部、前記推進要素または双方の電気抵抗は、１０３〜１０９Ωの範囲内である、
請求項１から３までのいずれか１項記載の静電気放電ユニット。
【請求項５】
前記静電気放電ユニットの前記静電気放電サブユニットの前記取付部（１３）のうち少なくとも１つは、導電レール（１１）、導電フレーム（１７）またはこれらの組み合わせに接続されており、
前記導電レール（１１）、導電フレーム（１７）またはこれらの組み合わせは、接地されている、
請求項１から４までのいずれか１項記載の静電気放電ユニット。
【請求項６】
前記導電レール（１１）、導電フレーム（１７）またはこれらの組み合わせは、金属から成る、
請求項５記載の静電気放電ユニット。
【請求項７】
前記転がり要素軸受（２３）の有機ポリマーは、自己潤滑性の有機ポリマーである、
請求項２から６までのいずれか１項記載の静電気放電ユニット。
【請求項８】
前記転がり要素軸受は、ボールベアリングである、
請求項１から７までのいずれか１項記載の静電気放電ユニット。
【請求項９】
前記搬送ローラシステム（１８）の数は、前記放電経路の数の少なくとも１．３倍である、
請求項１から８までのいずれか１項記載の静電気放電ユニット。
【請求項１０】
少なくとも３つの静電気放電サブユニットは、隣り合って配置されており、
静電気放電サブユニットの一部ではない最大１つの搬送ローラ（１）は、前記静電気放電サブユニットの搬送平面より下方の前記搬送ローラ（１）間に配置されている、
請求項１から９までのいずれか１項記載の静電気放電ユニット。
【請求項１１】
前記ポリマーコーティングされた金属搬送ローラ（１）の、基板に接触するために適した有機ポリマーコーティングの平均厚さは、５ｍｍ未満である、
請求項１から１０までのいずれか１項記載の静電気放電ユニット。
【請求項１２】
前記搬送ローラ（１）の周囲に少なくとも１つのガス供給要素（１６）が配置されている、
請求項１から１１までのいずれか１項記載の静電気放電ユニット。
【請求項１３】
基板（１５）を搬送するための水平方向搬送システムを備えた処理装置のモジュール（２０）であって、
前記水平方向搬送システムは、請求項１から１２までのいずれか１項記載の静電気放電ユニットを少なくとも１つ備えている、
モジュール（２０）。
【請求項１４】
請求項１から１２までのいずれか１項記載の少なくとも１つの静電気放電ユニット、または、請求項１３記載の少なくとも１つのモジュール（２０）を使用して基板（１５）を搬送して前記基板（１５）の放電を行うための方法。
【請求項１５】
プリント回路板、プリント回路膜、半導体ウェハ、太陽電池または光電セルの製造のための、請求項１から１２までのいずれか１項記載の少なくとも１つの放電ユニット、または、請求項１３記載の少なくとも１つのモジュール（２０）の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に基板を水平方向に搬送するために有用な種類の静電気放電ユニットに関する。さらに本発明は、水平方向の経路に沿って搬送される基板のために効率的な放電を行う方法にも関する。
【背景技術】
【０００２】
本産業は既に、例えば基板への金属成膜に使用される処理装置等において、水平方向搬送システムを利用している。この金属は例えば、銅、錫またはニッケルから選択される。かかる種類の成膜は、長年にわたって既に公知である。かかる成膜は、例えばプリント回路板の製造等において使用される、本質的な処理ステップとなっている。
【０００３】
数年にわたり、世界的な技術的小型化によって連続的な進歩がなされてきた。それは多くの利点をもたらす一方で、同時に製造者に対して新たな課題を課した。例えば上記の進歩により、既存の処理装置を新規の基板および新規の処理方式に対応して適合させる必要が恒常的に生じている。
【０００４】
例えば、処理装置の化学的安定性に関する要求が増加することにより、とりわけ基板の無電解化学コーティングの分野と電気コーティングの分野とでは、搬送ローラ用に全く異なる材料が使用されることとなる。例えば国際公開第２０１１／０９２１３１号に、かかる搬送ローラにガラスを用いることが開示されている。かかる搬送ローラは、例えば化学的安定性が非常に高い、製造精度が非常に高精度である等の、多くの利点を奏する。
【０００５】
しかし、基板および処理は常に変化しているが、処理装置をさらに改善して適合させたいとの強い要請が依然として存在する。例えば、基板の放電が可能であることが、ますます重要になっている。この点に関しては、多くの新規の基板が、当該基板の表面に蓄積した電荷に起因する損傷に対して特に敏感である点に留意すべきである。しかし、損傷に対して比較的敏感でない他の基板の放電を行うこと自体も有利となり得る。というのも、かかる基板が高レベルの特定の有機溶剤を含む環境内で搬送されるだけであっても、その表面に蓄積した静電荷が処理に影響を及ぼし、または爆発の原因にもなり得るからである。
【０００６】
さらに、現在使用されている処理装置および搬送システムは、有意な資産価値となっている点にも留意すべきである。実際、その受入コストは典型的には数年かけて償却し、または数十年に及ぶ場合もある。同時に、大規模な改造に基づく長期間のダウンタイムが現実的に生じる可能性がある場合には、かかるダウンタイムも製造者にとって有意な損失となる。よって、かかる処理装置および搬送システムの簡単かつフレキシブルなバージョンアップシステムを実現することが非常に好ましい。
【０００７】
また、基板の放電の信頼性を向上したいとの恒常的な要請も存在する。ユニットあたりの単価の上昇に基づき、損傷した基板の数が多いと有意な損失になる。さらに、複雑な基板の損傷を特定することはますます面倒になっており、これは、注目すべきさらなるコスト要因となっている。しかし、例えば損傷した基板を用いて製造されたプリント回路板等の複雑な部品の不具合の原因となる損傷した基板を特定数許容すると、その後のコストまたはその後の損傷にも繋がり、これは典型的には許容できないものとなる。よって、特に敏感な既存の基板および次世代の基板の処理を簡素化する、高信頼性の放電を保証する装置を実現することは、特に大きな課題であり、これを解決することが有利である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
したがって、既存の資産価値の利点を最大限にして、容易にカスタマイズ可能な新規の部品を供給するための、簡単かつフレキシブルなバージョンアップを実現する搬送装置および処理装置の需要が、依然として存在する。
【０００９】
さらに、対応する方法、および当該方法に対応する装置が、上述の静電荷の蓄積に対して特に敏感な基板の放電の改善を実現すると、これも好適となり得る。
【００１０】
また、対応する装置および方法が、敏感な基板の最適な処理を保証するために高信頼性かつ優しい放電を実現すると、これも有利となり得る。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題は、独立請求項および従属請求項および説明において開示された発明により解決される。以下の説明には他の課題およびさらなる利点も含まれるが、本願において明示的に記載されていない他の課題であって、本願にて記載されている文脈から直接導き出すことができ、または認識することができる他の課題も、本発明と、本願に開示されている本発明の実施形態と、によって解決される。
【００１２】
本発明は、少なくとも１つの静電気放電サブユニットを備えた静電気放電ユニットに関し、少なくとも１つの静電気放電サブユニットは、少なくとも１つの搬送ローラシステムと少なくとも１つの放電経路とを備えており、各搬送ローラシステムは互いに依存せずに、１つの搬送ローラと、転がり要素軸受を備えた取付部および推進要素から成る群から選択された少なくとも１つの要素と、を備えており、搬送ローラは、金属搬送ローラまたはポリマーコーティングされた金属搬送ローラから選択されたものであり、静電気放電サブユニットは、搬送ローラの表面から転がり要素軸受または推進要素または双方を介して放電経路へ電荷を伝導するために適している。
【００１３】
かかる静電気放電ユニットは、既存の処理装置および搬送システムに容易に導入することができる。さらに、新規の処理装置用の構成キットを提供するため、かかるユニットを容易に他の要素と組み合わせることもできる。驚くべきことに、かかるユニットは処理装置への導入が容易であり、なおかつ、転がり要素軸受および推進要素の接触面が制限されているにもかかわらず、基板の放電の可能性を改善することができる。
【００１４】
さらに本発明は、少なくとも２つ、好適には少なくとも３つ、より好適には少なくとも５つの静電気放電サブユニットを備えた静電気放電ユニットに関し、各静電気放電サブユニットは互いに依存せずに、１つ、２つ、３つ、４つ、５つまたは６つの搬送ローラシステムと少なくとも１つの放電経路とを備えており、各搬送ローラシステムは、１つの搬送ローラと、取付部および推進要素から成る群から選択された少なくとも１つの要素と、を備えており、搬送ローラは、例えばステンレス鋼ローラ等の金属搬送ローラ、または例えばポリマーコーティングされたステンレス鋼ローラ等のポリマーコーティングされた金属搬送ローラから選択されたものであり、静電気放電サブユニットは、搬送ローラの表面から取付部または推進要素または双方を介して放電経路へ電荷を伝導するために適している。
【００１５】
かかる静電気放電ユニットによって、例えば、効率的かつ高信頼性の静電気放電を実現し、なおかつ、個別の要請に応じて容易に交換できるサブモジュールを、構成することができる。かかるサブモジュールにより、良好かつ高信頼性の放電と、既存または将来の処理装置および／または搬送装置に容易に組み込める簡素な構成と、の優れたバランスが達成される。
【００１６】
電荷が転がり要素軸受内に通される搬送ローラシステムを使用することが特に有用であることが証明されている。かかるシステムは特に、長期間安定性の向上を達成した。
【００１７】
さらに本発明は、基板を搬送するための水平方向搬送システムを備えた処理装置のモジュールにも関し、水平方向搬送システムは、本発明の少なくとも１つの静電気放電ユニットを備えている。
【００１８】
さらに本発明は、本発明の少なくとも１つの放電ユニットまたは本発明の少なくとも１つのモジュールを備えた処理装置にも関する。
【００１９】
さらに本発明は、本発明の少なくとも１つの放電ユニットまたは本発明の少なくとも１つのモジュールを使用して基板を搬送して基板の放電を行うための方法にも関する。
【００２０】
さらに本発明は、基板の放電を行うための本発明の少なくとも１つの放電ユニットまたは本発明の少なくとも１つのモジュールの使用にも関する。
【００２１】
本発明をより完全に理解するため、添付の図面を参照して考察する以下の本発明の詳細な説明を参照する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】転がり要素軸受の概略図である。
【図２】転がり要素軸受の概略図である。
【図３】転がり要素軸受の概略図である。
【図４】ボールベアリング（２４）の概略図である。
【図５】複数の異なる種類の取付部（１３）の概略図である。
【図６】転がり要素軸受の概略的な断面図である。
【図７】図６の転がり要素軸受の概略的な側面図である。
【図８】転がり要素軸受の概略図である。
【図９】図６の取付部に類似する取付部の概略図である。
【図１０】静電気放電ユニットの概略図である。
【図１１】特定の方向からのモジュールの概略図である。
【図１２】別の方向からのモジュールの概略図である。
【図１３】別の方向からのモジュールの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明は、少なくとも１つの静電気放電サブユニットを備えた、上記にて開示されている静電気放電ユニットに関し、少なくとも１つの静電気放電サブユニットは、少なくとも１つの搬送ローラシステムと少なくとも１つの放電経路とを備えており、各搬送ローラシステムは互いに依存せずに、１つの搬送ローラと、転がり要素軸受を備えた取付部および推進要素から成る群から選択された少なくとも１つの要素と、を備えており、搬送ローラは、金属搬送ローラまたはポリマーコーティングされた金属搬送ローラから選択されたものであり、搬送ローラの表面から転がり要素軸受または推進要素または双方を介して放電経路へ電荷が伝導される。好適には、転がり要素軸受、推進要素または双方が有機ポリマーを有し、静電気放電サブユニットは、搬送ローラの表面から転がり要素軸受の有機ポリマー、推進要素の有機ポリマー、または双方を介して放電経路へ電荷を伝導するために適している。特に好適なのは、転がり要素軸受が、搬送ローラから放電経路へ電荷を伝導する上述の有機ポリマーを有することである。
【００２４】
滑り軸受を介して電荷を伝導すると、長期的な問題が生じることが認められた。その理由は、当該軸受が異常な損耗を生じ、これによって微粒子が放出されて、場合によっては処理装置を汚染すると考えられるからである。かかる滑り軸受に使用されるポリマーに導入された添加物が物質を弱化し、これによって当該軸受の剥離しやすさが増大すると考えられる。
【００２５】
典型的には、本発明の他の実施形態では、本発明の静電気放電ユニットが少なくとも２つ、好適には少なくとも３つ、より好適には少なくとも５つの静電気放電サブユニットを備えており、各静電気放電サブユニットが互いに依存せずにそれぞれ、１つ、２つ、３つ、４つ、５つまたは６つの搬送ローラシステムを備えていることが、特に有用であることが証明されている。
【００２６】
さらに本発明は、少なくとも２つ、好適には少なくとも３つ、さらにより好適には少なくとも５つの静電気放電サブユニットを備えた静電気放電ユニットに関し、各静電気放電サブユニットは互いに依存せずに、１つ、２つ、３つ、４つ、５つまたは６つの搬送ローラシステムと少なくとも１つの放電経路とを備えており、各搬送ローラシステムは、１つの搬送ローラと、取付部および推進要素から成る群から選択された少なくとも１つの要素と、を備えており、搬送ローラは、金属搬送ローラまたはポリマーコーティングされた金属搬送ローラから選択されたものであり、静電気放電サブユニットは、搬送ローラの表面から取付部、推進要素または双方を介して放電経路へ電荷を伝導するために適している。
【００２７】
特定の実施形態では、本発明の転がり要素軸受、推進要素または双方が有機ポリマーを有し、搬送ローラの表面から転がり要素軸受の有機ポリマー、推進要素の有機ポリマー、または双方を介して放電経路へ電荷を伝導するのが特に好適である。特に好適なのは、転がり要素軸受が、電荷を伝導する上述の有機ポリマーを有することである。驚くべきことに、多くの実施形態において、電荷を伝導する有機ポリマーを導入することが特に有利であることが認められた。かかる伝導路を使用することにより、スパーク放電の数が大幅に低減し、または完全に０まで減少することもあり得る。
【００２８】
本願にて開示されている実施形態は、基板を水平方向の搬送平面内において搬送する、基板を処理するための装置に基づいている。本願にて記載されている装置の要素および基板に関する方向および位置は、別段の指定がない限り、当該基板を搬送する方向を基準とする。例えば、上記基準における静電気放電ユニットの前部および終端部とは、当該ユニットの、基板が当該ユニットに入る要素（前部）と、基板が当該ユニットから出て行く要素（終端部）と、をいう。本発明の他の実施形態では、基板を搬送するための水平方向搬送システムは、搬送経路の方向に互いに平行に配置された搬送ローラに基づく。
【００２９】
本願にて使用されている「静電気放電ユニット」との文言は、自己と接触する基板の放電を行うための装置をいう。かかる静電気放電ユニットは、数多くの用途において使用することができるが、特に水平方向搬送装置において有用であることが証明されている。かかる水平方向搬送装置は、例えば、基板の無電解化学処理および／または電気処理を行える処理装置において使用することができる。かかる処理は例えば、銅、錫、金、銀、またはこれらの合金等の金属の成膜のために使用することができる。対応する処理は、本来の成膜と、その成膜物の改質ステップとの前、後および合間に配された数多くの前処理および後処理ステップを含む数多くの異なるステップを含んだ非常に複雑な手順である。前処理および後処理ステップの例は、リンジング、乾燥およびエッチングである。
【００３０】
本発明における「取付部」との用語は、例えば何らかの滑り軸受または転がり要素軸受、好適にはボールベアリング等の転がり要素軸受を含む前記搬送ローラの懸架部であって、回転を可能にしながら当該搬送ローラの締結を行う懸架部をいう。好適には、取付部は同時に、基板に蓄積した電荷の放電を実現するものである。
【００３１】
本発明における「放電経路」との文言は、取付部から接地部へ電荷を送ることができる、例えばワイヤ等の導電路をいう。好適には、かかる複数の放電経路は互いに電気絶縁されている。しかし、少なくとも接地において当該放電経路は接続されている。典型的には当該放電経路は、製造設備に存在する中央接地部に接続されている。しかし、処理装置におけるその接続点は、好適には複数の放電経路に分けられるので、電荷がこれら異なる放電経路に沿って互いに干渉することなく伝導されることが保証される。
【００３２】
本発明における「搬送ローラ」との用語は、処理対象の基板と接触し、または接触することができるローラをいう。例えば本用語は、基板と接触するローラであって、搬送平面の上下にあり、典型的には基板を送るために使用されるローラをいう。
【００３３】
本発明における「搬送平面」との文言は、基板が搬送されるときの当該基板の下表面を含む平面をいう。当該搬送平面は、幾何学的に完全な平面でなくても良いと解すべきである。というもの、搬送の経路上には幾らかの高さ差が存在することによって、当該搬送平面に凹凸が存在し得るからである。
【００３４】
本発明の他の実施形態では、静電気放電サブユニットの各搬送ローラシステムの平均電気抵抗は、１０４〜１０１０Ωの範囲内、好適には１０５〜５・１０９Ω、さらに好適には１０５〜１０８Ωの範囲内である。「搬送ローラシステムの平均電気抵抗」とは、基板と接触するために適した搬送ローラの表面と、取付部または推進要素の放電経路側の外部接点と、の間の平均抵抗をいう。搬送ローラシステムが、接地部に直接接続される取付部および推進要素を備えている場合には、これは、平均抵抗がより低い方の要素が上記の電気抵抗を有すると解される。推進要素の電気抵抗は、取付部に係る電気抵抗と同様に測定される。しかし、推進要素は種々の形態をとり得るものであり、また、当該要素はさらに搬送ローラを駆動するものでもあるので、推進要素の外部接点は例えば、搬送ローラに直接位置し、またはより距離をおいて位置し得る。推進要素の外部接点は、搬送ローラからの電荷の移動路上の点に位置するものとして規定され、接地部に向かう方向においてそれ以降の経路は、搬送ローラの推進に関連しない。好適には、当該それ以降の経路の抵抗は１０４Ω未満である。例えば、推進要素は導電性の駆動ベルトとすることができ、その際には、いずれかの点においてスライド接点が、何らかのケーブルを介して接地部に向かって電荷を伝導する。または例えば推進要素は、駆動軸によって回転される１つの歯車と機械的に結合される歯車列とすることができ、この駆動軸に、上述のスライド接点が接触する。これらの場合には、スライド接点の接点が外部接点となる。ここで好適なのは、当該抵抗の測定を少なくとも１０回、例えば１０回、より好適には少なくとも５０回、例えば５０回行って、その算術平均を計算することである。
【００３５】
推進要素として歯車機構を使用することは、処理の幅広い範囲に特に有用であることが証明されている。搬送ローラから、歯車を備えたかかる推進要素を介して電荷を伝導しようとする場合、歯車は好適には、導電性コーティングを備えているか、または例えば導電性有機ポリマー、金属、これらの混合物またはこれらの組み合わせ等の導電性材料から成り、好適には歯車は、導電性有機ポリマー、金属、これらの混合物またはこれらの組み合わせ等の導電性材料から成る。導電性有機ポリマーおよび金属から成る複数の歯車の組み合わせを使用することにより、例えば、これにより得られる電気抵抗を現在のニーズに応じた個々の歯車の交換に基づいて容易に調整できる歯車のキットを、実現できるという利点が奏される。かかる歯車に使用可能な金属は例えば、ステンレス鋼等の鋼材、チタンおよびアルミニウムである。
【００３６】
本発明の他の実施形態では、電荷を接地部に向かって伝導するために適した取付部、推進要素または双方の電気抵抗、好適には取付部の電気抵抗は、１０３〜１０９Ωの範囲内、より好適には１０４〜５・１０９Ω、さらに好適には５・１０４〜５・１０８Ωの範囲内である。当該電気抵抗は好適には、放電経路の方向において、搬送ローラと軸受との接点と、取付部の外部接点と、の間で測定され、または放電経路の方向において、搬送ローラと推進要素との接点と、推進要素の外部接点と、の間で測定される。搬送ローラシステムが、接地部に直接接続される推進要素および取付部を備えている場合には、これは好適には、平均抵抗がより低い方の要素に係るものである。
【００３７】
典型的には、取付部は少なくとも内側部分と外側部分とを備えており、内側部分と外側部分とはそれぞれ異なる材料から成る。好適には外側部分は、例えば鋼材、アルミニウムもしくはチタン等の金属、例えば鋼材もしくはハステロイ等の合金、導電性ポリマーまたは焼結炭素、より好適には金属または合金、さらに好適には合金から成る。特に好適な金属はチタンである。特に好適な合金は鋼材である。前記内側部分は好適には、例えば転がり要素軸受または滑り軸受等の軸受を備えており、より好適にはかかる軸受から成る。転がり要素軸受は典型的には、かかる内側部分に特に有用であることが証明されている。
【００３８】
本発明の他の実施形態では、本発明の静電気放電ユニットの少なくとも３つの静電気放電サブユニットがそれぞれ互いに依存せずに、少なくとも２つ、好適には少なくとも３つ、さらに好適には少なくとも４つの搬送ローラシステムを備えている。
【００３９】
さらに、多くの典型的な用途において、放電経路の数を考慮して特定の数の搬送ローラシステムを使用することが有利であることが認められた。具体的には他の実施形態では、搬送ローラシステムの数は、静電気放電ユニットの当該搬送ローラシステムおよび放電経路の総数を基準として、放電経路の数の少なくとも１．３倍、好適には少なくとも１．５倍、さらに好適には少なくとも１．９倍であるのが好適である。
【００４０】
本発明の他の実施形態では、静電気放電ユニットに含まれる静電気放電サブユニットの平均電気抵抗は、搬送ローラシステムの平均抵抗を基準として搬送ローラの長さ１ｍあたり５・１０３Ω〜５・１０８Ωの間、好適には１０４Ω〜７・１０７Ωの間、より好適には１０５Ω〜２・１０７Ωの間である。好適には、電気抵抗の上記範囲は、静電気放電ユニットに含まれる静電気放電サブユニットの全ての搬送ローラに適用される。ここで、上記比を計算するために搬送ローラの全長が使用される。驚くべきことに、上述の抵抗を有する静電気放電ユニットが、典型的には特に高信頼性の放電システムとなり、なおかつ、基板の蓄積された電荷の優しい放電を実現することが認められた。
【００４１】
本発明の他の実施形態では、静電気放電ユニットの２つ、好適には１つの静電気放電サブユニットのみがそれぞれ、搬送平面上に少なくとも４つ、好適には少なくとも３つの搬送ローラを有する。典型的には、少なくとも４つ、好適には少なくとも３つの搬送ローラを搬送平面上に備えた上記の静電気放電サブユニットが、静電気放電ユニットの前部および終端部に配置されるのが好適である。
【００４２】
本発明の他の実施形態では、静電気放電ユニットは少なくとも４つ、好適には少なくとも６つ、さらに好適には少なくとも８つの本発明の静電気放電サブユニットを備えている。より多くの静電気放電サブユニットを使用することにより、より長い搬送経路を実現することができ、なおかつ、効率的かつ高信頼性の放電を実現することができると考えられる。かかる実施形態は例えば、基板を乾燥する必要がある場合であって、その乾燥プロセスを完了するためにより長い搬送経路が必要である場合に、特に有用である。
【００４３】
さらに他の実施形態では、本発明の静電気放電ユニットの最大３つ、より好適には最大２つの静電気放電サブユニットが、当該静電気放電サブユニットの搬送平面より下方の搬送ローラ間に配置された静電気放電サブユニットの一部ではない１つの搬送ローラによって、分離されているのが好適である。特に、本発明の静電気放電ユニットの静電気放電サブユニットは、静電気放電サブユニットの一部ではない搬送ローラによって分離されていないことが好適である。本発明の多くないし大部分の実施形態では、本発明の搬送ローラの実質的に連続した列を設けることが有利であることが認められた。本発明の放電ユニットは他の実施形態においても利点を奏するが、典型的には、本発明の静電気放電サブユニットの上述の実質的に連続した配置を用いると、本発明の効果が大幅に増大する。
【００４４】
さらに他の実施形態では、典型的には、搬送平面より下方の搬送ローラが液体槽に接触しないことが好適であることが認められた。もちろん、例えば濡れた基板によって導入された液体が搬送ローラと接触することに基づいて、当該搬送ローラが液体と接触することはあり得るが、搬送平面より下方の搬送ローラが槽に接触した場合に、上述の有利な結果は典型的には減少すると考えられる。
【００４５】
本発明の他の実施形態では、少なくとも１つの静電気放電サブユニットの取付部は、導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせに接続されており、当該導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせは接地されている。好適には、当該導電レールおよび導電フレームは金属から成る。当該導電レールおよび導電フレームは典型的には、実質的な電気抵抗を有しない。例えば、静電気放電サブユニットの取付部と接地部との間における導電レールおよび導電フレームの最大電気抵抗は、好適には１Ω未満、好適には０．１Ω未満、さらに好適には０．０１Ω未満である。本発明の他の実施形態では、本発明の静電気放電サブユニットのうち大部分、より好適には少なくとも９０％、さらに好適には全ての静電気放電サブユニットの取付部が、上述の態様で接続されている。かかる配置によって驚くべきことに、当該配置を行わないと分離される搬送ローラシステムのグループ分けを非常に簡単かつ高信頼性で行うことができ、高い機械的安定性および良好な性能を実現できることが認められた。
【００４６】
本発明における「導電レール」との文言は、取付部の少なくとも片側に配置された導電性の要素であって、導電フレームではない要素をいう。例えば、かかる目的のために金属棒または金属板を用いることができる。かかる要素を放電経路の一部として使用するために用いられる必要な材料は導電フレームと比較して少なく、なおかつ、依然として高信頼性の放電を達成する。さらに、導電レールを用いることにより、多くの動きの可能性を有する簡単かつ効率的な構造が達成される。
【００４７】
例えば他の実施形態では、垂直方向の導電レールを用いて、または導電フレームと導電レールとの組み合わせの一部である垂直方向の導電レールを用いて、少なくとも３つ、より好適には少なくとも４つ、さらに好適には少なくとも６つの静電気放電サブユニットの搬送平面上の搬送ローラと、対応する放電経路と、を接続することが好適である。当該搬送ローラの上述の接続形式により、搬送平面上の搬送ローラの垂直方向の動きを可能にしながら当該搬送ローラを接続する簡単かつ高信頼性の手段が達成される。
【００４８】
本発明における「導電フレーム」との文言は、取付部の周囲に配置されている導電性の要素をいう。例えばかかる導電フレームは、金属棒または金属板を曲げることにより、または溶接することによって作製することができる。
【００４９】
本発明の他の実施形態では、取付部の軸受は自動潤滑性の有機ポリマーから成る。かかるシステムは、典型的には潤滑剤の使用を回避して処理領域のコンタミネーションのリスクを低減できるので、典型的な実施形態において特に有利であることが証明されている。取付部の当該軸受と搬送ローラの対応する部分とは、例えば滑り軸受のように互いに直接接触することができ、または転がり要素軸受のように軸受の他の部分と転がり要素とによって分離することができる。
【００５０】
「有機ポリマー」および「有機ポリマーコーティング」との文言は、当該分野において使用される有機ポリマー材料と、当該有機ポリマーから成るコーティングであって当該分野において使用されるコーティングと、をいう。当該有機ポリマーは、フィラー、潤滑剤、可塑剤、および当該分野において公知の他の典型的な添加物を含むことができる。かかる添加剤は、有機ポリマーの特性に影響を及ぼし、かつ例えばその結果得られる材料の導電性に影響を及ぼすものであることが多い。
【００５１】
取付部は好適には、滑り軸受、転がり要素軸受、またはこれらの混成物を備えている。ここで、転がり要素軸受が典型的にはより長い寿命と損耗の減少とを達成し、これは多くの用途において非常に有利であるため、転がり要素軸受が特に有用であることが証明されている。転がり要素軸受の特に好適な種類は、ボールベアリングである。
【００５２】
上記の転がり要素軸受またはボールベアリングの転がり要素またはボールの材料は、当該分野において公知の材料であって、搬送ローラから放電経路へ電荷を伝導するために必要な導電性を達成するものから選択することができる。使用される材料の例は、金属および導電性ポリマーであり、好適には、例えば鋼材または炭化タングステン等の金属であり、より好適には鋼材である。かかる転がり要素またはボールは容易に入手可能であり、上述の取付部において使用されるために良好な特性を達成する。他の実施形態では、転がり要素軸受の転がり要素を介して電荷を接地部へ伝導するのが特に好適である。
【００５３】
滑り軸受、ボールベアリング等の転がり要素軸受、またはこれらの組み合わせの軸受表面は好適には、搬送ローラの軸から取付部の外側へ電荷を伝導するために適した有機ポリマー材料から成る。潤滑剤の使用を低減または回避するためには、有機ポリマー材料を自己潤滑性の有機ポリマーとするのが特に好適である。かかる取付部は非常に簡単かつ静かな動作を達成し、種々の重量の幅広い搬送ローラに適用することができるので、大部分の用途において種々の有利な特性を組み合わせたものとなる。
【００５４】
本発明の搬送ローラシステムが備える取付部を１つのみとすることも可能であると解すべきである。その際には、他方の側は例えば、搬送ローラを回転させる他の歯車に結合される歯車とすることができる。しかし典型的には、搬送ローラの簡単かつ強靱な取り付けを実現するため、かつ例えば歯車または駆動ベルト機構等の別個の手段を用いて運動エネルギーを導入するため、２つの取付部を設けるのが好適である。例えば、１つの搬送ローラが２つの取付部と、当該搬送ローラを回転させる歯車機構と、を有することができる。
【００５５】
本発明の他の実施形態では、ポリマーコーティングされた金属ローラ、好適にはステンレス鋼ローラの有機ポリマーコーティングは、導電性が低い有機ポリマー、または導電性を有しない有機ポリマーであり、好適にはその抵抗は少なくとも１０３Ω・ｍ、より好適には少なくとも１０６Ω・ｍ、さらに好適には少なくとも１０８Ω・ｍである。驚くべきことに、高い導電性を有する有機ポリマーを用いると、一部の特定の実施形態では、搬送される基板の損傷の減少があまり顕著でなくなることが認められた。搬送ローラに向かう方向の導電性が非常に低いことにより、電荷の非常に迅速な放出が可能となり、これによって、特定の処理中に特定の基板が損傷する、という理論である。
【００５６】
本発明の他の実施形態では、搬送ローラシステムの、接地部に直接接続されていない取付部は、接地部に直接接続されている反対側の取付部と同一または異なる材料から成る。使用される材料の例は、有機ポリマー材料、鋼材もしくはアルミニウム等の金属、セラミック材料、またはこれらの組み合わせであり、好適なのは、鋼材またはアルミニウム等の金属、有機ポリマー材料、またはこれらの組み合わせである。例えば、両側の取付部が、大部分が有機ポリマー材料から成る内側軸受、好適には全部が有機ポリマー材料から成る内側軸受と、金属を含む外側部分、好適にはステンレス鋼等の金属から成る外側部分と、を備えることができる。
【００５７】
本発明における「接地部に直接接続されている側」とは、放電経路に接触して搬送ローラから自己を介して接地部へ電荷が流れることを可能にする要素をいう。「接地部に直接接続されていない側」、「接地部に直接接続されている」、および「接地部に直接接続されていない」との文言も、同様の規定である。
【００５８】
本発明の他の実施形態では、ポリマーコーティングされた金属ローラ、好適にはステンレス鋼ローラの有機ポリマーコーティングに含まれる、例えばフィラーおよび可塑剤等の添加物は、当該有機ポリマーコーティングの総重量を基準として１０重量％未満である。驚くべきことに、かかるポリマーコーティングされた金属ローラ、好適にはステンレス鋼ローラの使用は、数多くの異なる種類の処理において使用できることが認められた。添加物は有機ポリマーから吸い出して、特定の種類の処理において問題を引き起こす可能性があり、または大量の例えばフィラー等によって損耗が増加し、これによってコンタミネーションが生じて、当該搬送ローラの電気抵抗が変化する、という理論である。
【００５９】
本発明の他の実施形態では、ポリマーコーティングされた金属ローラ、好適にはステンレス鋼ローラの有機ポリマーコーティングは、例えばカーボンブラック、グラファイト、グラフェン、カーボンナノチューブまたは金属粒子等の導電性粒子を実質的に含まない。例えば、有機ポリマーコーティングに含まれる導電性粒子は１０重量％未満、より好適には５重量％未満、さらに好適には１重量％未満である。特に、当該有機ポリマーがかかる導電性粒子を含まないのが好適である。驚くべきことに、かかる粒子の量を低減することにより、当該コーティング全体の寿命が改善し、損耗製品の量が低減するらしいと認められた。
【００６０】
本発明の他の実施形態では、ポリマーコーティングされた金属ローラ、好適にはステンレス鋼ローラの有機ポリマーコーティングに含まれる有機ポリマーは、当該有機ポリマーコーティングの総重量を基準として少なくとも９０重量％、より好適には少なくとも９５重量％、さらに好適には少なくとも９９重量％である。添加物量を大幅に低減した実質的に純粋なポリマーを使用することにより、幅広い化学物質を使用する種々の種類の処理で使用できる、より高信頼性のシステムが達成されたことが認められた。複数の有機ポリマーの混合物または組み合わせを使用する場合には、これらの有機ポリマーの総量を計算に使用する。
【００６１】
本発明の他の実施形態では、有機ポリマーの総量を基準として、少なくとも９０重量％、好適には少なくとも９５重量％、より好適には少なくとも９９重量％の有機ポリマーが、ＥＰＤＭ、ＮＢＲ、ＣＲ、フッ素ポリマーエラストマ、これらの混合物、またはこれらの組み合わせから成る群から選択されたものであり、好適にはＥＰＤＭ、ＮＢＲ、フッ素ポリマーエラストマ、これらの混合物、またはこれらの組み合わせであり、より好適にはＥＰＤＭである。特に好適なのは、少なくとも、搬送ローラにコーティングされた有機ポリマーが、上述のように選択されたものであることである。ここで留意すべき点は、「有機ポリマーの総量」とは、当該有機ポリマーにおいて使用されている有機ポリマーをいい、これに含まれ得るフィラーまたは可塑剤等の添加物を含まないことである。上記の用語は、当該分野において公知の、通常知られている意味を援用する。例えば「ＥＰＤＭ」とは、エチレンプロピレンジエンモノマーゴムをいう。「ＮＢＲ」とはニトリルゴムの略語であり、「ＣＲ」はポリクロロプレンを意味する。フッ素ポリマーエラストマの例には、ＶＩＴＯＮと称されるものがある。
【００６２】
本発明の他の実施形態では、本発明の静電気放電サブユニットの各放電経路がそれぞれ、搬送平面より下方の最大３つの搬送ローラに接続されており、かつ搬送平面上の最大３つの搬送ローラに接続されている。驚くべきことに、かかるシステムは既に、多くの処理について、特定の種類の処理および基板に合わせてシステムを個別に調整する必要なく大幅な改善を達成した。
【００６３】
本発明の他の実施形態では、ポリマーコーティングされた金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラの有機ポリマーコーティングの平均厚さは５ｍｍ未満、より好適には３．５ｍｍ未満、さらに好適には３ｍｍ未満である。搬送ローラ表面の有機ポリマー層の厚さは、標準的な手法を用いて測定される。例えば、有機ポリマー層を搬送ローラから切り出して、スライド式カリパスを用いて測定することができる。しかし当業者は、必要に応じて異なる測定手法を選択することができる。
【００６４】
特段の指定がない限り、本願にて使用されている「平均」値とは、特定の数の値の総和を当該数によって除算したものに基づいて計算される、当該値の算術平均をいう（平均値＝測定された値の総和／測定された値の数）。統計的に有意な値を得るためには、当該値を計算するために少なくとも特定の数の値を使用する必要があり、例えば少なくとも１０個、例えば１０個の値を使用する必要がある。しかし、値の変動が大きい場合には、測定結果の数を例えば少なくとも５０個、例えば５０個、または少なくとも１００個、例えば１００個に増加することができる。有機ポリマーコーティングの平均厚さに関しては、少なくとも１０回の測定を行い、その測定結果を無作為に選択し、またその位置を、基板に接触するために適した搬送ローラの領域内にする。
【００６５】
本発明の他の実施形態では、静電気放電ユニットの静電気放電サブユニットの取付部のうち少なくとも１つ、好適には大部分、より好適には少なくとも７５％、さらに好適には少なくとも９０％、さらに好適には全部が、導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせに接続されており、当該導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせは接地されている。好適には、当該導電レール、導電フレーム、およびこれらの組み合わせは金属から成る。導電レール、導電フレーム、およびこれらの組み合わせは典型的には、実質的に電気抵抗を有しない。例えば他の実施形態では、静電気放電サブユニットの取付部と接地部との間における最大電気抵抗は、１Ω未満、好適には０．１Ω未満、さらに好適には０．０１Ω未満である。
【００６６】
本発明の他の実施形態では、各搬送ローラシステムの電気抵抗は１０４〜１０１０Ωの範囲内、好適には５・１０４〜１０９Ωの範囲内、さらに好適には１０５〜１０８Ωの範囲内である。驚くべきことに、典型的には総電気抵抗を上述の範囲内に調整することは、典型的な用途において放電を改善するために有利であることが認められた。
【００６７】
本発明の他の実施形態では、ポリマーコーティングされた金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラの有機ポリマーコーティングの、基板と接触するために適した領域における厚さは、最大７ｍｍ、より好適には最大６．２ｍｍ、さらに好適には最大５．３ｍｍである。例えば本発明において有利に使用される低導電性を達成するポリマーコーティングによって、高度に均一なコーティングが達成されることが認められた。かかる場合には、過度に厚いコーティングを有する１つ１つのスポットでさえ、本発明によって奏される利点を減少させると考えられている。
【００６８】
「基板と接触するために適した」との文言は、例えば対応する搬送ローラを介して搬送されている間に基板と接触することができる、物の領域をいう。例えば、搬送対象または処理対象の基板の幅は典型的には、当該装置において可能な幅より小さいので、移動する複数の経路が可能であり、よって、１つの基板が上記領域全体と接触することはない。
【００６９】
本発明の他の実施形態では、ポリマーコーティングされた金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラの有機ポリマーコーティングの、基板と接触するために適した最大厚さは、当該コーティングの平均厚さの最大１５０％、より好適には最大１３０％、さらに好適には最大１２０％である。
【００７０】
本発明の他の実施形態では、ポリマーコーティングされた金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラの有機ポリマーコーティングの、基板と接触するために適した最小厚さは、当該有機ポリマーコーティングの平均厚さの少なくとも５０％、より好適には少なくとも６０％である。
【００７１】
本発明の他の実施形態では、ポリマーコーティングされた金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラの基板と接触するために適した有機ポリマーコーティングの平均厚さは少なくとも０．７ｍｍ、より好適には少なくとも０．８ｍｍ、さらに好適には少なくとも１ｍｍである。好適には当該厚さは、ポリマーコーティングされた搬送ローラの全てのポリマーコーティングに係る。本願にて開示されている、基板と接触する領域を有する有機ポリマーコーティングされた鋼材ローラであって、非常に薄いコーティングを有する鋼材ローラの有利な効果は、特定の用途ではその利点が比較的顕著でなくなると考えられる。
【００７２】
本発明の他の実施形態では、金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラ、またはポリマーコーティングされた金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラは、管である。かかる搬送ローラは典型的には、本発明の用途のために必要な安定性および導電性を達成し、なおかつ、重量および慣性の大幅な減少を達成することが認められている。
【００７３】
本発明の他の実施形態では、搬送ローラの周囲に少なくとも１つのガス供給要素が配置されている。ここで特に好適なのは、ガスが基板に直接的または間接的に送られることである。本発明における搬送ローラの「周囲」との用語は、ガス供給要素を搬送ローラの上方、下方または側方に配置する、当該ガス供給要素の配置をいう。複数の配置の組み合わせを使用することもできる。
【００７４】
本発明の他の実施形態では、少なくとも１つのガス供給要素は終端部分を有し、当該終端部分の最後の３０ｃｍの内側の表面のうち少なくとも９０％、好適には少なくとも９９％、さらに好適には全部が、導電性材料から成り、当該終端部分の内側の表面は接地されている。
【００７５】
その関連において「終端部分」との用語は、ガス供給要素の端部であって、ガスが当該ガス供給要素から流出するときに通過するガス出口を有する端部をいう。接地部は必ずしも、終端部分の最後の３０ｃｍに接続されるとは限らないと解すべきである。例えば、当該終端部分から処理装置の別の部分へ電荷を伝導するために、ガス供給要素全体に導電路を通すことが可能である。さらに、例えばガス供給要素の洗浄中または移動中の事故によって１つの接地部が遮断された場合にガス流を放出するための代替手段を提供するため、複数の接地部を使用することも可能である。典型的には少なくとも１つの接地部を使用するだけで十分であるが、特定の実施形態では、少なくとも２つまたは少なくとも３つの接地部を備えることが好適である。ガス供給要素に関連して使用される用語は、ガス流との関係において命名されている。例えば、ガス供給要素の「終端部分」および当該要素の「最後の部分」との用語は、ガス供給要素の出口に係るものである。本発明の他の実施形態では、少なくともガス供給要素の終端部分およびベースが接地されている。
【００７６】
本発明におけるガス供給要素の「ベース」との用語は、ガス供給要素と壁との接続部分、例えば処理装置のモジュールの壁との接続部分とをいう。
【００７７】
本発明の他の実施形態では、少なくとも１つのガス供給要素の、当該ガス供給要素のベースから当該ガス供給要素の出口までの内側のうち少なくとも９０％、好適には少なくとも９５％、より好適には少なくとも９９％、さらに好適には１００％が、導電性の材料から成り、ガス供給要素のベースは接地されており、少なくとも終端部分の最後の３０ｃｍはベースに電気的に接続されており、または終端部分の当該少なくとも３０ｃｍは別個になっている。
【００７８】
本発明の他の実施形態ではガス供給要素は、窒素を含むガスであって、１バールで当該ガスの総体積を基準として少なくとも５０体積％、好適には少なくとも７０体積％、より好適には少なくとも８０体積％、さらに好適には少なくとも９９体積％の窒素を含むガスに対して使用される。
【００７９】
他の実施形態では、電荷を放電経路に向かって伝導する取付部の外側部分の回転を低減または阻止するのが好適である。かかる実施形態は典型的には、基板の放電のより高い信頼性を達成する。回転の阻止は例えば、取付部の外側の適切な形状を選択することによって、または例えばねじ部品またはボルト等を用いて取付部の外側要素を固定することによって達成される。具体的には、取付部の外形を、モジュールの固定される要素と接触して当該取付部のさらなる回転を阻止する少なくとも１つの角部または突起部を成すように選択することができる。例えば、導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせを、固定される要素として使用することができる。典型的には、放電サブユニットの、接地部に直接接続される取付部のうち９０％、より好適には９５％、さらに好適には全部が、上述のように回転の可能性を低減することが好適である。
【００８０】
本発明の他の好適な実施形態では、上記の取付部の角部および／または突起部を用いて取付部の回転を低減または阻止する。かかるオプションにより、簡単な構造が達成されると同時に、取付部に接触する効率が驚くほど高くなった。他の実施形態では取付部は、角部、突起部、またはこれらの混合から成る群のうち少なくとも２つの要素を備えた形状を成して、当該取付部の可能性のある回転を、５０°未満、好適には３０°未満、さらに好適には２０°未満に制限する。回転をこのように阻止することにより、取付部を放電経路に接触させるために使用される接点およびケーブルの平均寿命が改善された。さらに、より短いケーブルを使用することが可能になり、これによって材料の削減が達成され、また、緩んだケーブルに人間が引っ掛かるリスクも低減した。
【００８１】
本発明の他の実施形態では、放電ユニットの、接地部に直接接続される取付部は、電荷を接地部に向かって流せるように、導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせに直接、その稜部または突起部を用いて接触する。驚くべきことにかかる実施形態によって、非常に高い信頼性が達成され、なおかつ、当該取付部におけるケーブルの使用を削減し、または回避することも可能になった。人間が引っ掛かることによる安全上のリスクとなる可能性のあるケーブルが削減することにより、事故率が低減し、負傷者の数が低減する。
【００８２】
該当する取付部の外形は、例えば直平行六面体または立方体から選択することができる。しかし、非対称の形状も使用することができる。例えば、楕円形または円形の底面を有する柱体を使用することができ、その際には、当該柱体の少なくとも１つの側において、曲面領域の一部を切断して、当該側に平面の表面であって、当該柱体の当該側の他の残りの湾曲部に相接する、当該平面の表面の辺に２つの稜部を成す平面の表面を生じさせる。かかる構造は、容易に入手可能な取付部から容易に作製することができ、また、個別の処理装置の要求に合わせて容易に調整して、既存の処理装置をバージョンアップするために特に有用にすることができる。
【００８３】
代替的または追加的に、例えばねじ部品またはボルト等を用いて、上記取付部を特定のポイントに固定することができる。かかる構造も上述の利点を奏し、回転をさらに低減することもできる。しかし、このように厳密に固定された取付部は、材料疲労が増大すると考えられる。
【００８４】
典型的には、接地部に直接接続されている放電ユニットの取付部のうち９０％、より好適には９５％、さらに好適には全部が、例えば角部、突起部、ねじ部品またはボルト等を用いて、上述のように回転の可能性を低減することが好適である。
【００８５】
さらに本発明は、基板を搬送するための水平方向搬送システムを備えた処理装置のモジュールにも関し、水平方向搬送システムは、本発明の少なくとも１つの静電気放電ユニットを備えている。
【００８６】
本願にて使用されている「モジュール」との用語は、処理装置または搬送装置のサブユニットであって、当該処理装置または搬送装置の他の部分からの区切りを有するサブユニットをいう。かかるモジュールを使用すると、顧客の個別の要求に応じて簡単に配置することができ、また、当該装置を後でバージョンアップまたは適合することができる。例えばモジュールは、隣のモジュールまたは処理装置もしくは搬送装置の始点もしくは終点に対する壁、堰または搬送ローラ配置等の特定の区切りを備えることができる。典型的には、モジュール間で流体またはガスの交換を低減または回避するため、基板は入口を介してモジュールに入り、何らかの出口を介して当該モジュールから出て行く。モジュールは物理的な区切りの他、処理装置内において特定の機能によって画定することもできる。好適には、本発明のモジュールの空間容積は、外部との交換が、例えば前記入口および出口等の指定された開口を介してしか行うことができないように閉鎖されている。
【００８７】
本発明の他の実施形態では、モジュールの搬送ローラのうち５０％超、より好適には７０％超、さらに好適には９０％超が、本発明の静電気放電ユニットの一部である。本発明の搬送ローラの比率をより高くすることにより、静電気損傷を特に受けやすい基板にて生じる損傷が有意に低減することが認められた。
【００８８】
取付部は例えば、モジュール内部、モジュールの壁内、またはモジュールの外側に配置することができる。典型的には、接地部に直接接続される取付部をモジュールの壁内に配置すること、または少なくとも一部をモジュールの外側に配置することが好適であり、より好適なのは、取付部の少なくとも一部をモジュールの外側に配置することである。かかる実施形態は典型的には、該当する装置の構造および保守を格段に簡単にすることができる。
【００８９】
多くの事例では、本発明の静電気放電サブユニットのうち少なくとも１つ、より好適には全ての静電気放電サブユニットの、搬送ローラから放電経路へ電荷を伝導するために適した取付部が、モジュールの外側に配置されるのが好適である。
【００９０】
典型的には、静電気放電ユニットの接地部に直接接続される取付部のうち少なくとも９０％、好適には少なくとも９５％、さらに好適には全てが、モジュールの内部まで達しないのが好適であることが多い。
【００９１】
取付部の上述のような指定の局在化を、接地部に直接接続されない取付部にも当てはめた場合、上述の追加の利点の顕著性は典型的には小さくなる。しかし典型的には、上記の局在化を、接地部に直接接続されない取付部にも適用することも好適である。好適には、本発明の搬送ローラシステムの全ての取付部に対して同一の局在化を使用する。驚くべきことに、かかる構造を使用した場合、典型的には延長する寿命と、同一の保守間隔と、が、典型的には、追加の要求と、これにより生じるコストと、を上回ることが認められた。
【００９２】
典型的には、接地部に直接接続されるか否かにかかわらず、搬送ローラの両側において同一の取付部を使用することが、さらに好適である。同一または類似の外観を有するが異なる電気抵抗を有する複数の取付部を使用すると、取付部の不適正な配置がなされ、本発明の放電ユニットの有利な効果が低減し、または無効になることもあり得ることが認められている。
【００９３】
本発明の他の実施形態では、本発明のモジュールの少なくとも１つの静電気放電ユニットは、上記にて特定されたガス供給要素を備えている。例えば、かかる少なくとも１つの静電気放電ユニットを使用することにより、乾燥したモジュールにおける本発明の利点が大幅に向上し、また、爆発性または引火性のガスを取り扱う場合の安全性も向上することが認められている。
【００９４】
本発明の他の実施形態では、モジュールは２つのみ、好適には１つのみの本発明の静電気放電サブユニットを備えている。典型的には、当該モジュールの個別要求に基づいて、特定の種類の上述の静電気放電ユニットを使用することが好適であることが認められた。幅広い種類を備えることは可能であるが、大抵の場合にはこのことによっては、複雑性の増大を相殺する利点は奏しない。
【００９５】
さらに典型的には、本発明のモジュールの動作中に当該モジュールの搬送ローラが液体と接触しない事例では、より大きな利点を期待できることが認められている。
【００９６】
また、基板が乾燥される間、または乾燥状態にあるときに、本発明の少なくとも１つの放電ユニットと接触し、または本発明のモジュール内を通過するモジュールの場合、最大の利点が達成できると考えられる。かかる場合には、静電気損傷のおそれが最大になると考えられ、本発明の静電気放電ユニットを使用することによって最大の利点が奏された。
【００９７】
本発明はさらに、少なくとも１つ、好適には少なくとも２つ、さらに好適には少なくとも３つの本発明の放電ユニットおよび／または少なくとも１つ、好適には少なくとも２つの本発明のモジュールを備えた処理装置にも関する。
【００９８】
かかる処理装置は例えば、無電解化学処理、電気処理、またはこれらの組み合わせのために使用される装置から選択される。かかる処理装置は例えば、基板およびその処理に関して常に新規の要請を提示するプリント回路板の製造において使用される。
【００９９】
さらに本発明は、本発明の少なくとも１つの放電ユニットまたは本発明の少なくとも１つのモジュールを使用して基板を搬送して基板の静電気放電を行うための方法にも関する。
【０１００】
本発明の他の実施形態では、基板は乾燥状態にある間に搬送される。本発明の方法は特に、乾燥状態にある基板に適用することが有利であり、これによって、当該基板の処理中に生じる処理後の損傷した基板の数が非常に有意に低減することが認められた。
【０１０１】
本発明の他の実施形態では、基板は、当該基板の少なくとも１つの側、好適には少なくとも２つの側に配置されたガイド要素を備えており、当該ガイド要素が基板の表面を覆う率は１０％未満である。驚くべきことに、上記ガイド要素の厚さにより、接地された搬送ローラと基板との距離が生じるにもかかわらず、非常にフレキシブルな基板の処理が改善されたことが認められた。当該ガイド要素は例えば、基板の少なくとも１つの側に取り付けられるプレートまたはロッドの形状とすることができる。基板への上記取り付けは例えば、フック機構、クランプ機構、ガイド要素への基板のグルー接着またはテープ接着に基づくことができる。
【０１０２】
さらに本発明は、基板の放電を行うための本発明の少なくとも１つの放電ユニットまたは本発明の少なくとも１つのモジュールの使用にも関する。
【０１０３】
さらに本発明は、プリント回路板、プリント回路膜、半導体ウェハ、太陽電池または光電セルの製造のための、少なくとも１つの本発明の放電ユニットまたは少なくとも１つの本発明のモジュールの使用にも関する。
【０１０４】
側面１によれば、本発明は好適には、少なくとも１つの静電気放電サブユニットを備えた静電気放電ユニットであって、前記少なくとも１つの静電気放電サブユニットは、少なくとも１つの搬送ローラシステムと少なくとも１つの放電経路とを備えており、前記各搬送ローラシステムは互いに依存せずに、１つの搬送ローラと、転がり要素軸受を備えた取付部および推進要素から成る群から選択された少なくとも１つの要素と、を備えており、前記搬送ローラは、金属搬送ローラまたはポリマーコーティングされた金属搬送ローラから選択されたものであり、前記静電気放電サブユニットは、前記搬送ローラの表面から前記転がり要素軸受、前記推進要素または双方を介して前記放電経路へ電荷を伝導するために適している、静電気放電ユニットに関する。
【０１０５】
側面２によれば、本発明は好適には、前記転がり要素軸受、前記推進要素または双方が有機ポリマーを有し、前記搬送ローラの表面から前記転がり要素軸受の有機ポリマー、前記推進要素の有機ポリマー、または双方を介して前記放電経路へ電荷が伝導される、側面１の静電気放電ユニットに関する。
【０１０６】
側面３によれば、本発明は好適には、前記静電気放電ユニットは少なくとも３つ、好適には少なくとも４つ、より好適には少なくとも５つの静電気放電サブユニットを備えており、各静電気放電サブユニットが互いに依存せずにそれぞれ、１つ、２つ、３つ、４つ、５つまたは６つの搬送ローラシステムを備えている、側面１または２の静電気放電ユニットに関する。
【０１０７】
側面４によれば、本発明は好適には、少なくとも２つ、好適には少なくとも３つ、さらに好適には少なくとも５つの静電気放電サブユニットを備えた静電気放電ユニットであって、各静電気放電サブユニットは互いに依存せずに、１つ、２つ、３つ、４つ、５つまたは６つの搬送ローラシステムと少なくとも１つの放電経路とを備えており、各搬送ローラシステムは、１つの搬送ローラと、取付部および推進要素から成る群から選択された少なくとも１つの要素と、を備えており、前記搬送ローラは、金属搬送ローラまたはポリマーコーティングされた金属搬送ローラから選択されたものであり、前記静電気放電サブユニットは、前記搬送ローラの表面から前記取付部または前記推進要素または双方を介して前記放電経路へ電荷を伝導するために適している、静電気放電ユニットに関する。
【０１０８】
側面５によれば、本発明は好適には、前記取付部は転がり要素軸受を備えている、側面４の静電気放電ユニットに関する。
【０１０９】
側面６によれば、本発明は好適には、前記取付部、前記推進要素または双方、好適には前記取付部が、有機ポリマーを有し、前記静電気放電サブユニットは、前記搬送ローラの表面から前記取付部の有機ポリマー、前記推進要素の有機ポリマー、または双方を介して、前記放電経路へ電荷を伝導するために適している、側面１から５までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１１０】
側面７によれば、本発明は好適には、電荷を前記接地部に向かって伝導するために適した前記取付部、前記推進要素または双方の電気抵抗、好適には前記取付部の電気抵抗は、１０３〜１０９Ωの範囲内、より好適には１０４〜５・１０９Ωの範囲内、さらに好適には５・１０４〜５・１０８Ωの範囲内である、側面１から６までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１１１】
側面８によれば、本発明は好適には、前記静電気放電ユニットの前記静電気放電サブユニットの取付部のうち少なくとも１つ、好適には大部分、より好適には少なくとも７５％、さらに好適には少なくとも９０％、さらに好適には全部が、導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせに接続されており、当該導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせは接地されている、側面１から７までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１１２】
側面９によれば、本発明は好適には、前記転がり要素軸受の有機ポリマーは自己潤滑性の有機ポリマーである、側面１から８までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１１３】
側面１０によれば、本発明は好適には、前記転がり要素軸受の転がり要素は金属から成り、好適には鋼材から成る、側面１から９までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。例えば、前記転がり要素軸受がボールベアリングである場合、鋼ボールを使用することができる。
【０１１４】
側面１１によれば、本発明は好適には、前記ポリマーコーティングされた金属ローラ、好適にはステンレス鋼ローラの有機ポリマーコーティングは、導電性が低い有機ポリマー、または導電性を有しない有機ポリマーであり、好適には少なくとも１０３Ω・ｍの抵抗、より好適には少なくとも１０６Ω・ｍ、さらに好適には少なくとも１０８Ω・ｍの抵抗を有する有機ポリマーである、側面１から１０までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１１５】
側面１２によれば、本発明は好適には、前記搬送ローラシステムの、接地部に直接接続されていない取付部は、接地部に直接接続されている反対側の取付部と同一または異なる材料から成る、側面１から１１までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。使用される材料の例は、有機ポリマー材料、鋼材もしくはアルミニウム等の金属、またはセラミック材料であり、好適なのは、有機ポリマー材料または金属であり、さらに好適なのは有機ポリマー材料である。
【０１１６】
側面１３によれば、本発明は好適には、前記転がり要素軸受はボールベアリングである、側面１から１２までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１１７】
側面１４によれば、本発明は好適には、少なくとも１つの静電気放電サブユニットの前記取付部は、導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせに接続されており、当該導電レール、導電フレーム、またはこれらの組み合わせは接地されている、側面１から１３までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１１８】
側面１５によれば、本発明は好適には、前記静電気放電ユニットに含まれる前記静電気放電サブユニットの平均電気抵抗は、前記搬送ローラシステムの平均抵抗を基準として前記搬送ローラの長さ１ｍあたり５・１０３〜５・１０８Ωの間である、側面１から１４までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１１９】
側面１６によれば、本発明は好適には、前記取付部は少なくとも内側部分と外側部分とを備えており、前記内側部分と前記外側部分とはそれぞれ異なる材料から成る、側面１から１５までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２０】
側面１７によれば、本発明は好適には、少なくとも３つの静電気放電サブユニットが互いに依存せずに、搬送平面より下方に、最大４つ、好適には最大３つの搬送ローラを備えている、側面１から１６までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２１】
側面１８によれば、本発明は好適には、少なくとも３つの静電気放電サブユニットがそれぞれ互いに依存せずに、少なくとも２つ、好適には少なくとも３つ、さらに好適には少なくとも４つの前記搬送ローラシステムを備えている、側面１から１７までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２２】
側面１９によれば、本発明は好適には、搬送ローラシステムの数が前記放電経路の数の少なくとも１．３倍、好適には少なくとも１．５倍、さらに好適には少なくとも１．９倍である、側面１から１８までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２３】
側面２０によれば、本発明は好適には、少なくとも３つの静電気放電サブユニットが隣り合って配置されており、静電気放電サブユニットの一部ではない最大１つの搬送ローラが、前記静電気放電サブユニットの搬送平面より下方の前記搬送ローラ間に配置されている、側面１から２１までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２４】
側面２１によれば、本発明は好適には、前記ポリマーコーティングされた金属ローラ、好適にはステンレス鋼ローラの有機ポリマーコーティングに含まれる、例えばフィラーおよび可塑剤等の添加物は、当該有機ポリマーコーティングの総重量を基準として１０重量％未満である、側面１から２０までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２５】
側面２２によれば、本発明は好適には、前記ポリマーコーティングされた金属ローラ、好適にはステンレス鋼ローラの有機ポリマーコーティングに含まれる有機ポリマーは、当該有機ポリマーコーティングの総重量を基準として少なくとも９０重量％、より好適には少なくとも９５重量％、さらに好適には少なくとも９９重量％である、側面１から２１までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２６】
側面２３によれば、本発明は好適には、前記有機ポリマーのうち当該有機ポリマーの総量を基準として少なくとも９０重量％、好適には少なくとも９５重量％、さらに好適には少なくとも９９重量％が、ＥＰＤＭ、ＮＢＲ、ＣＲ、ＶＩＴＯＮ、これらの混合物、またはこれらの組み合わせから成る群から選択されている、側面１から２２までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２７】
側面２４によれば、本発明は好適には、各放電経路が、搬送方向において互いに整列した最大３つ、好適には最大２つの搬送ローラに接続されている、側面１から２３までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２８】
側面２５によれば、本発明は好適には、前記ポリマーコーティングされた金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラの、前記基板に接触するために適した有機ポリマーコーティングの平均厚さは、５ｍｍ未満である、側面１から２４までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１２９】
側面２６によれば、本発明は好適には、前記ポリマーコーティングされた金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラの、前記基板に接触するために適した有機ポリマーコーティングの平均厚さは、少なくとも１ｍｍである、側面１から２５までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１３０】
側面２７によれば、本発明は好適には、前記金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラ、または前記ポリマーコーティングされた金属搬送ローラ、好適にはステンレス鋼搬送ローラは、管である、側面１から２６までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１３１】
側面２８によれば、本発明は好適には、前記搬送ローラの周囲に少なくとも１つのガス供給要素が配置されている、側面１から２７までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１３２】
側面２９によれば、本発明は好適には、前記少なくとも１つのガス供給要素は終端部分を有し、前記終端部分の最後の３０ｃｍの内側の表面のうち少なくとも９０％が、導電性材料から成り、前記終端部分の内側の前記表面は接地されている、側面１から２８までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１３３】
側面３０によれば、本発明は好適には、前記少なくとも１つのガス供給要素の、当該ガス供給要素のベースから当該ガス供給要素の出口までの内側のうち少なくとも９０％、好適には少なくとも９５％、より好適には少なくとも９９％、さらに好適には１００％が、導電性の材料から成り、前記ガス供給要素のベースは接地されており、
・前記終端部分の少なくとも最後の３０ｃｍは前記ベースに電気的に接続されており、または
・前記終端部分の当該少なくとも３０ｃｍは別個に接地されている、
側面１から２９までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットに関する。
【０１３４】
側面３１によれば、本発明は好適には、基板を搬送するための水平方向搬送システムを備えた処理装置のモジュールであって、前記水平方向搬送システムは、側面１から３０までのいずれか１つの側面の少なくとも１つの静電気放電ユニットを備えているモジュールに関する。
【０１３５】
側面３２によれば、本発明は好適には、基板を搬送するための前記水平方向搬送システムは、搬送経路の方向に互いに平行に配置された搬送ローラに基づく、側面３１のモジュールに関する。
【０１３６】
側面３３によれば、本発明は好適には、前記モジュールは側面１から３０のいずれか１つの側面の２つのみ、好適には１つのみの、静電気放電ユニットを備えている、側面３１または３２のモジュールに関する。
【０１３７】
側面３４によれば、本発明は好適には、前記搬送ローラのうち５０％超、より好適には７０％超、さらに好適には９０％超が、側面１から３０までのいずれか１つの側面の静電気放電ユニットの一部である、側面３１から３３までのいずれか１つの側面のモジュールに関する。
【０１３８】
側面３５によれば、本発明は好適には、前記搬送ローラは前記モジュールの動作中、液体と接触しない、側面３１から３４までのいずれか１つの側面のモジュールに関する。
【０１３９】
側面３６によれば、本発明は好適には、側面１から３０までのいずれか１つの側面の少なくとも１つの放電ユニット、または側面３１から３５までのいずれか１つの側面の少なくとも１つのモジュールを備えた処理装置に関する。
【０１４０】
側面３７によれば、本発明は好適には、側面１から３０までのいずれか１つの側面の少なくとも１つの放電ユニット、または側面３１から３５までのいずれか１つの側面の少なくとも１つのモジュールを使用して基板を搬送して当該基板の放電を行うための方法に関する。
【０１４１】
側面３８によれば、本発明は好適には、前記基板は乾燥状態にある間に搬送される、側面３７の方法に関する。
【０１４２】
側面３９によれば、本発明は好適には、前記基板は、当該基板の少なくとも１つの側、好適には少なくとも２つの側に配置されたガイド要素を備えており、前記ガイド要素が前記基板の表面を覆う率は１０％未満である、側面３７または３８の方法に関する。
【０１４３】
側面４０によれば、本発明は好適には、基板の放電のための、側面１から３０までのいずれか１つの側面の少なくとも１つの放電ユニット、または側面３１から３５までのいずれか１つの側面の少なくとも１つのモジュールの使用に関する。
【０１４４】
側面４１によれば、本発明は好適には、プリント回路板、プリント回路膜、半導体ウェハ、太陽電池または光電セルの製造のための、側面１から３０までのいずれか１つの側面の少なくとも１つの放電ユニット、または側面３１から３５までのいずれか１つの側面の少なくとも１つのモジュールの使用にも関する。
【０１４５】
以下の非限定的な実施例は、本発明の好適な実施形態を詳解して本発明の理解を容易にするために提供するものであるが、本発明の範囲を限定することを意図したものではなく、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって定まる。
【０１４６】
図１は、転がり要素軸受の概略図であり、当該転がり要素軸受は、搬送ローラの軸（２）を包囲する当該転がり要素軸受の内側部分の内側軸受（５）および外側軸受（６）を備えている。転がり要素軸受（２３）のこの内側部分の周囲に、外側部分（７）が配置されている。転がり要素軸受（２３）のこの外側部分（７）に、接地部（４）が取り付けられている。
【０１４７】
図２は、転がり要素軸受（２３）の概略図であり、当該転がり要素軸受（２３）は、搬送ローラの軸（２）を包囲する内側軸受（５）と、外側軸受（６）と、外側部分（７）と、接地部（４）と、を備えている。転がり要素軸受（２３）の内側部分に接地部（４）が取り付けられている。
【０１４８】
図３は、図１および図２に類する転がり要素軸受（２３）の概略図であり、当該転がり要素軸受（２３）は、搬送ローラの軸（２）を包囲する内側軸受（５）と、外側軸受（６）と、外側部分（７）と、接地部（４）と、を備えている。同図では、接地部（４）は導電性の要素（８）に接続されている。当該導電性の要素（８）は、外側層（９）を介して外側部分（７）と接地部（４）とを接続し、当該外側層（９）は、転がり要素軸受（２３）の内側部分および外側部分（７）を包囲する。
【０１４９】
図４は、搬送ローラ（１）の軸（２）を包囲するボールベアリング（２４）の概略図である。例えば図１の転がり要素軸受と同様、このボールベアリングは、ボール（２５）を包囲する当該ベアリングの内側部分の内側軸受（５）および外側軸受（６）を備えている。さらにボールベアリングは、当該内側部分（１４）を包囲する当該ボールベアリング（２４）の外側部分（７）も備えている。その接地部との接続は明示的に開示されていないが、例えば、図１から図３までの転がり要素軸受について開示したのと同様に実施することができる。
【０１５０】
図５は、複数の搬送ローラの軸（２）を包囲する複数の異なる種類の取付部（１３）の概略図である。同図では取付部の回転が、当該取付部（１３）を固定することによって、または当該取付部（１３）の特定の外形を選択することによって低減または阻止される。左上の取付部は丸形の形状を有する。この取付部（１３）の回転は固定（１２）によって阻止される。当該取付部（１３）はケーブル（１０）を用いて導電レール（１１）に接続されており、ケーブル（１０）は接地部（４）に接続されている。他の３つの取付部（１３）（左下、右下および右上）は、稜部で導電レール（１１）に接触することによって取付部（１３）の回転を止める別の種類の外形を例示するものである。それと同時に、軸（２）から導電レール（１１）へ電荷を伝導することができる導電路も確立する。
【０１５１】
図６は、転がり要素（３）を有する内側部分（１４）と外側部分（７）とを備えた転がり要素軸受の概略的な断面図である。同図では、内側部分（１４）が搬送ローラの軸（２）を包囲している。
【０１５２】
図７は、図６の転がり要素軸受の概略的な側面図であり、当該転がり要素軸受は、転がり要素（３）と、内側部分（１４）の内側軸受（５）および外側軸受（６）と、外側部分（７）と、を備えており、これらは、搬送ローラの軸（２）を包囲している。同図では、転がり要素（３）のうちのいくつかのみを破線によって示している。
【０１５３】
図８は、転がり要素軸受の一例の概略図であり、当該転がり要素軸受は、転がり要素（３）と、搬送ローラの軸（２）を包囲する内側部分（１４）および外側部分（７）と、を備えている。
【０１５４】
図９は、図６の取付部に類する取付部の他の一実施形態の概略図であり、同図は、転がり要素（３）と、搬送ローラの軸（２）を包囲する内側部分（１４）と、を示している。本実施例では、取付部は外側部分を有しない。
【０１５５】
図１０は、複数の搬送ローラ（１）と、基板（１５）と、ガス供給要素（１６）と、を備えた静電気放電ユニットの概略図である。簡素化のため、１つの搬送ローラにのみ符号を付している。同図では、基板は搬送平面の上下に配置された搬送ローラ（１）間で搬送される。中央領域では、搬送ローラ（１）は基板（１５）の下方にのみ配置されており、ガス供給要素（１６）はガス流を当該基板（１５）の表面に送る。
【０１５６】
図１１は、本発明のモジュール（２０）の概略図であり、当該モジュール（２０）は、当該モジュール（２０）を介して基板（１５）を搬送するための搬送ローラシステム（１８）を備えている。同図では簡素化のため、１つの搬送ローラシステム（１８）にのみ符号を付しており、またこの搬送ローラシステム（１８）は、前側の取付部（１３）とその後方の搬送ローラ（１）とを表す円に単純化している。基板（１５）は、搬送平面の上下に配置された搬送ローラ（１）間で搬送され、その表面に蓄積された電荷は、対応する搬送ローラシステム（１８）の取付部（１３）から、導電レール（１１）、導電フレーム（１７）、または導電レールと導電フレームとの組み合わせ（１９）へ伝導されて、接地部（４）へ伝導される。
【０１５７】
図１２は、図１１に示されたものと同様のモジュール（２０）を反対側から見た概略図である。同図では、搬送ローラ（１）を回転させるために使用される歯車（２２）が示されている。簡素化のため、１つの歯車と２つの搬送ローラとにのみ符号を付している。当該歯車は、直接的に動かされる、または、図１２に示されているような推進要素（２１）によって間接的に動かされる。図１２において塗りつぶさない（白抜きの）歯車で描かれている推進要素（２１）は、歯車（２２）の列に運動を導入し、歯車（２２）の列は、基板（１５）を搬送する搬送ローラ（１）を回転させる。図１２では、搬送平面の上下の歯車（２２）がそれぞれ別個の推進要素（２１）を備えているが、全ての歯車（２２）の推進が１つの推進要素（２１）から生じることも可能である。
【０１５８】
図１３は、図１１および図１２に示されたものと同様の一例のモジュール（２０）を上方から見た概略図である。簡素化のため、１つの搬送ローラ（１）にのみ符号を付している。基板（１５）はモジュール（２０）内を通過し、図１３では、当該基板（１５）の一部が一部の搬送ローラ（１）によって覆われているのが示されている。基板（１５）の隣に配置されているのは、当該基板（１５）の表面にガス流を送るためのガス供給要素（１６）である。
【０１５９】
本発明の原理を、例示のために特定の具体的な実施形態との関連において説明して提示したが、当業者が本願明細書を読めば、本発明の種々の態様が明らかであると解すべきである。よって、本願にて開示されている発明は、添付の特許請求の範囲に属するかかる態様を包含することを意図したものであると解すべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によってのみ限定されるものである。
【符号の説明】
【０１６０】
１    搬送ローラ
２    搬送ローラの軸
３    転がり要素
４    接地部
５    転がり要素軸受の内側部分の内側軸受
６    転がり要素軸受の内側部分の外側軸受
７    転がり要素軸受の外側部分
８    外側部分と接地部とを接触させるための導電性の要素
９    外側層
１０  ケーブル
１１  導電レール
１２  取付部の固定
１３  取付部
１４  転がり要素軸受の内側部分
１５  基板
１６  ガス供給要素
１７  導電フレーム
１８  搬送ローラシステム
１９  導電レールと導電フレームとの組み合わせ
２０  モジュール
２１  推進要素
２２  搬送ローラを回転させるために使用される歯車
２３  転がり要素軸受
２４  ボールベアリング
２５  ボール
【図１】
2019519891.tif 000003
【図２】
2019519891.tif 000004
【図３】
2019519891.tif 000005
【図４】
2019519891.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2019519891.tif 000010
【図９】
2019519891.tif 000011
【図１０】
2019519891.tif 000012
【図１１】
2019519891.tif 000013
【図１２】
2019519891.tif 000014
【図１３】
2019519891.tif 000015
【国際調査報告】
2019519891.tif 000016
2019519891.tif 000017
2019519891.tif 000018