(57)【要約】本発明は、磁気カバー（１１０）及び少なくとも１つのコイルセット（１２０）を備える電磁誘導装置及びその製造方法を提供する。磁気カバー（１１０）は、２つ以上の磁気ユニット（１１１）から構成され、各磁気ユニット（１１１）は、閉鎖された磁束ループを形成することができる。すべての磁気ユニット（１１１）を組み合わせることで、内部に少なくとも１つのキャビティ（１１２）を有する実質的に閉鎖された統合体が形成される。磁気ユニット（１１１）の間の分割面は、磁束ループを切断することなく、磁束ループに実質的に沿って設けられている。コイル（１２０）は、磁気カバー（１１０）によって形成されたキャビティ（１１２）内に配置され、コイル（１２０）の電極が磁気カバー（１１０）の外側まで引き出され、磁気カバー（１１０）内の磁束ループは、コイル（１２０）に通電することによって形成される。本発明に係る電磁誘導装置は、コイルをほぼ完全に密封し、磁束漏れをできる限り回避することができるほか、磁気ユニットの間の分割面が磁束ループに沿っているため、磁束ループにおいてエアギャップが発生せず、磁気抵抗を効果的に減少させることができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つ以上の磁気ユニットから構成された磁気カバーと、少なくとも１つのコイルとを備え、
各磁気ユニットは、閉鎖された磁束ループを形成することができ、すべての前記磁気ユニットの組合せにより、内部に少なくとも１つのキャビティを有する実質的に閉鎖された統合体が形成され、
前記磁気ユニットの間の分割面は、前記磁束ループを切断することなく前記磁束ループに実質的に沿って設けられ、
前記少なくとも１つのコイルは、前記磁気カバーによって形成されたキャビティ内に位置し、前記少なくとも１つのコイルの電極が前記磁気カバーの外側まで引き出され、前記磁気カバー内の前記磁束ループは、前記少なくとも１つのコイルに通電することによって形成されることを特徴とする電磁誘導装置。
【請求項２】
前記分割面は、前記磁束ループを２つ以上の互いに平行となっている部分に分割する平面分割面、及び、前記磁束ループを２つ以上の互いにネスト構造となっている部分に分割する円筒状分割面、の少なくともいずれか一方を含むことを特徴とする請求項１に記載の電磁誘導装置。
【請求項３】
前記磁気カバー内部のキャビティは、環状キャビティであり、前記磁気カバーは、前記環状キャビティの中心線にほぼ垂直な分割面によって２つ以上の磁気ユニットに分割され、前記コイルは、ワイヤが前記環状キャビティの壁に巻き付くことによって形成され、前記ワイヤの延在方向と前記環状キャビティの延在方向とは、ほぼ同じであることを特徴とする請求項１に記載の電磁誘導装置。
【請求項４】
前記磁気カバーは、前記環状キャビティの延在方向に巻き付く円筒状の分割面によって、ネスト構造の複数の磁気ユニットにさらに分割されることを特徴とする請求項３に記載の電磁誘導装置。
【請求項５】
前記磁気カバー内部のキャビティは、環状キャビティであり、前記磁気カバーは、前記環状キャビティの環状面にほぼ平行な分割面によって２つ以上の磁気ユニットに分割され、前記コイルは、ワイヤがその軸線に巻き付くことによって形成され、前記コイルの軸線の延在方向と前記環状キャビティの延在方向とは、ほぼ同じであることを特徴とする請求項１に記載の電磁誘導装置。
【請求項６】
前記コイルに被覆された環状の磁心をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の電磁誘導装置。
【請求項７】
前記環状の磁心は、その環状面に平行な平面によって２つ以上の部分に分割され、及び／又は、前記環状の磁心と同軸の環状面によって２つ以上の部分に分割されることを特徴とする請求項６に記載の電磁誘導装置。
【請求項８】
前記磁気カバーが前記環状キャビティの環状面と同軸の円筒状分割面によってさらに分割されたネスト構造の磁気ユニットをさらに備えることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に記載の電磁誘導装置。
【請求項９】
前記磁気ユニットが作製される材料は、四酸化三鉄及びその混合物、二酸化クロム、三酸化二鉄及びその混合物、炭素系強磁性粉末、樹脂炭素系強磁性粉末、パーマロイ粉末（ｐｅｒｍａｌｌｏｙ）、鉄シリコンアルミニウム粉末、鉄ニッケル粉末、ソフトフェライト（Ｆｅｒｒｉｔｅｓ）、ケイ素鋼、アモルファス合金及びナノ結晶軟磁性合金（Ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  ａｎｄ  Ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  ａｌｌｏｙｓ）、鉄系アモルファス合金（Ｆｅ−ｂａｓｅｄ  ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  ａｌｌｏｙｓ）、鉄ニッケル系・コバルト系アモルファス合金（Ｆｅ−Ｎｉ  ｂａｓｅｄ−ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  ａｌｌｏｙ）、鉄系ナノ結晶合金（Ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  ａｌｌｏｙ）、スーパーマロイ（Ｓｕｐｅｒｍａｌｌｏｙ）から選択されるという特徴、並びに、前記分割面箇所には、絶縁材料から作製されたスペーサが配置されているという特徴の少なくとも１つをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の電磁誘導装置。
【請求項１０】
前記電磁誘導装置がインダクタとして形成されるように、コイルは１つであり、或いは、
前記電磁誘導装置が単一の電圧出力又は複数の電圧出力を有する交流変圧器として形成されるように、コイルは、２つ又は３つ以上であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の電磁誘導装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の電磁誘導装置の構造を確定するステップと、確定された構造を重なり合った複数の層に分解するステップと、磁性材料の配置、導電性材料の配置、及び、絶縁材料の配置を含む各層の平面配置を確定するステップと、磁性材料の基層を生成するステップと、確定された各層の平面配置に従って、前記基層上に層を一つずつ生成するステップとを含むことを特徴とする電磁誘導装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器又は電気機器の技術分野に関し、特に電磁誘導装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、弱電（電圧及び電流の低いもの）機器は、電子機器と呼ばれ、強電（電圧及び電流の高いもの）機器は、電気機器と呼ばれる。インダクタや変圧器等のように、多くの電子機器及び電気機器は、電磁誘導効果に基づいて作動する。
【０００３】
電磁誘導装置は通常、磁心及びコイルを含む。例えば、図１に示された単相変圧器は、一次コイルＷ１及び二次コイルＷ２という２つのコイルを有する。Ｗ１の両端の電極に交番電流が流されると、コイルに巻かれた磁心には、交流磁界Фが発生し、磁界方向とＷ１の電流方向とは、右手回りの関係となっている。Ｗ２において交流磁界による誘導起電力が発生し、Ｗ２は通常、電圧変換を達成するためにＷ１と異なるターン数のコイルを有する。インダクタは、出力コイル（二次コイル）が開回路である変圧器の特例とみなされてよく、同様に電磁誘導装置に属する。
【０００４】
従来の変圧器に用いられるコイルは、磁心を被覆する構成であり、これにより、装置の磁束漏れが大きく、エネルギーの損失だけでなく放射線による被害ももたらされる。磁束漏れを低減するために、コイルで被覆されていない磁心の部分（ヨーク）を使用してコイルを被覆するというようなシェルタイプ変圧器を用いた構成もある。図２に示すように、シェルタイプ変圧器は通常、２つの「Ｅ」字型磁性体であり、上下を嵌合することによって完全な「ＥＥ」型磁心が形成される。コイルは、中央のコア柱体に巻き付き、外周のヨークは、コイルを被覆している。このような構造は、依然として両端に磁束漏れが存在し、磁束ループにエアギャップが存在するため、磁気抵抗が増加する。従って、既存の電磁誘導装置を改善する余地がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明に係る１つの態様として、電磁誘導装置が提供される。前記装置は、２つ以上の磁気ユニットから構成された磁気カバーと、少なくとも１つのコイルとを備えている。各磁気ユニットは、閉鎖された磁束ループを形成することができる。すべての前記磁気ユニットの組合せにより、内部に少なくとも１つのキャビティを有する実質的に閉鎖された統合体（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｂｏｄｙ）が形成される。前記磁気ユニットの間の分割面は、磁束ループを切断することなく磁束ループに実質的に沿って設けられている。前記コイルは、前記磁気カバーによって形成されたキャビティ内に位置し、前記コイルの電極が前記磁気カバーの外側まで引き出され、前記磁気カバー内の磁束ループは、前記コイルに通電することによって形成される。
【０００６】
本発明に係るもう１つの態様にとして、電磁誘導装置の製造方法が提供される。前記方法は、本発明に係る電磁誘導装置の構造を確定するステップと、確定された構造を重なり合った複数の層に分解するステップと、磁性材料の配置、導電性材料の配置、及び、絶縁材料の配置を含む各層の平面配置を確定するステップと、磁性材料の基層を生成するステップと、確定された各層の平面配置に従って、前記基層上に層を一つずつ生成するステップとを含む。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る電磁誘導装置において、複数の磁気ユニットから構成された磁気カバーでコイルを被覆している。一方では、コイルをほぼ完全に密封することにより、磁束漏れをできる限り回避することができる。他方では、磁気ユニットの間の分割面が磁束ループに沿っているため、磁束ループにおいてエアギャップが発生せず、磁気抵抗を効果的に減少させることができる。本発明に係る製造方法によれば、半導体集積回路の加工方法に類似する、本発明に係る電磁誘導装置の製造方法が提供されることにより、本発明に係る電磁誘導装置を大規模に製造し、製造効率を向上させ、コストを削減することができる。
【０００８】
以下、図面と併せて、本発明に係る具体的な実施形態について詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】従来の単相変圧器の原理の概略図である。
【図２】既存のＥＥ型磁心の構成概略図である。
【図３】実施形態１における電磁誘導装置の構成概略図である。
【図４】実施形態２における電磁誘導装置の構成概略図である。
【図５】実施形態３における電磁誘導装置の構成概略図である。
【図６】実施形態３における１つの磁気ユニットのさらなる分割概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明に係る電磁誘導装置は、磁気カバーと、少なくとも１つのコイルとを備えている。
【００１１】
いわゆる磁気カバーとは、装置の外側を被覆する磁性材料の筐体であり、２つ以上の磁気ユニットから組み合わさることによって形成されている。すべての磁気ユニットの組合せにより、内部に少なくとも１つのキャビティが存在する、実質的に閉鎖された統合体が形成される。ここで、実質的に閉鎖されたとは、キャビティの内外を連通させる必要な通路（例えば、コイルの電極）、及び設計上や加工上に必要な隙間以外に、キャビティが外部に対して密封されていることである。
【００１２】
前記コイルは、前記磁気カバーによって形成されたキャビティ内に位置し、前記コイルの電極が前記磁気カバーの外側まで引き出され、前記磁気カバー内の磁束ループは、前記コイルに通電することによって形成される。当該電磁誘導装置がインダクタとして形成されるように、コイルは１つであってよい。或いは、当該電磁誘導装置が単一の電圧出力又は複数の電圧出力を有する交流変圧器として形成されるように、コイルは、２つ又は３つ以上であってよい。
【００１３】
単一の磁気ユニットのそれぞれは、ブロック状、片状、帯状又はフィルム状等であってよい。各磁気ユニットは、閉鎖された磁束ループを形成することができる。即ち、コイルは、それぞれの磁気ユニットにおいて磁束ループを形成し、且つエアギャップが実質的に生じない。ここで、エアギャップが実質的に生じないとは、磁気ユニットの主部分を占める磁束が、エアギャップのない回路を形成できることである。たとえ理論上の設計と実際の製品との間の精度の違いや生産工程の制限等の原因によって、少量の磁束が１つの磁気ユニット内において閉鎖することができない場合であっても、本発明の範囲外であるとみなされるべきではない。
【００１４】
複数の磁気ユニットの間の分割面は、磁束ループを切断することなく実質的に磁束ループに沿って設けられている。本発明によれば、磁気ユニット又は分割面は、以下の方法で設定されてよい。まず、磁気カバーの完全な構造を確定する。次に、巻線方式、磁気カバーのキャビティ内に置く方式等のように、コイルの分布方式に従って、磁気カバー内におけるコイルによって形成された磁束ループの構造を確定する。次に、磁束ループに沿って分割面を設け、磁気カバーを複数の磁気ユニットに分割する。即ち、全ての磁束ループを互いに交差（ｉｎｔｅｒｓｅｃｔ）しない複数の部分に分割する。ここで「互いに交差しない」とは、互いに平行（同じ経路曲率を有する）であること、及び、互いにネスト構造（曲率の大きい経路が曲率の小さい経路内にネスティングされている）であることの両方を含む。
【００１５】
従って、好ましい実施形態として、分割面は、磁束ループを２つ以上の互いに平行となっている部分に分割する平面分割面、及び、磁束ループを２つ以上の互いにネスト構造となっている部分に分割する円筒状分割面、の少なくともいずれか一方を含む。例えば、まず、平面分割面を用いて磁気カバーをブロック又は片に分割し、次に、円筒状分割面を用いてブロック又は片を複数層に分割して、複数ブロックの並列且つ多層入れ子となる磁気カバー構造を形成させる。円筒状分割面の形状は、例えば、円形、楕円形、多角形等であってよく、磁束ループの経路曲率や形状に応じて具体的に決定することができる。
【００１６】
磁気カバーを分割し、特に多片や多層になるように、ひいては同時に多片及び多層になるように分割することにより、渦電流が効果的に減少し、エネルギー消費が低減され、装置の作動温度が低下する。
【００１７】
磁気カバー又は磁気ユニットは、磁性材料から製造され、導電性を有してもよいが、好ましくは、非導電性である。例えば、材料として、四酸化三鉄及びその混合物（例えば、コバルトが混ざった四酸化三鉄）、二酸化クロム、三酸化二鉄及びその混合物、炭素系強磁性粉末、樹脂炭素系強磁性粉末、パーマロイ粉末（ｐｅｒｍａｌｌｏｙ）、鉄シリコンアルミニウム粉末、鉄ニッケル粉末、ソフトフェライト（Ｆｅｒｒｉｔｅｓ）、ケイ素鋼、アモルファス合金及びナノ結晶軟磁性合金（Ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  ａｎｄ  Ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  ａｌｌｏｙｓ）、鉄系アモルファス合金（Ｆｅ−ｂａｓｅｄ  ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  ａｌｌｏｙｓ）、鉄ニッケル系・コバルト系アモルファス合金（Ｆｅ−Ｎｉ  ｂａｓｅｄ−ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  ａｌｌｏｙ）、鉄系ナノ結晶合金（Ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ  ａｌｌｏｙ）、スーパーマロイ（Ｓｕｐｅｒｍａｌｌｏｙ）等から選択してよい。
【００１８】
コイルは、絶縁層で被覆されたワイヤが巻き付くことによって製作されてよい。ワイヤの製作で用いられた導電性材料は、例えば、銅、アルミニウム、マグネシウム、金、銀、及び導電のための合金材料等であってよい。
【００１９】
好ましい実施形態として、磁気ユニットの分離を維持し、渦電流を低減するために、分割面には、絶縁材料から構成された、スペーサ、隔膜、又は絶縁ラッカ層等のようなスペーサが配置されてよい。
【００２０】
以下、本発明に係る電磁誘導装置の具体的な使用形式について例を挙げつつ説明する。全体的な内容についての上記説明は、以下の例に適用することができる。
【００２１】
＜実施形態１＞
図３に示すように、本発明の１つの実施形態として、電磁誘導装置は、磁気カバー１１０とコイル１２０とを備えている。
【００２２】
磁気カバー内部のキャビティは、環状キャビティ１１２である。その全体の形状は、円形環状、楕円環状、長方形又は多辺形等であってよい。キャビティ１１２の中空部分の法線方向の断面は、コイル１２０を被覆することができれば、矩形又は円形であってもよく、比較的自由な形状であってもよい。好ましくは、キャビティ１１２ができるだけコイル１２０を緊密に被覆するべきであるため、その形状は、コイル１２０の断面の形状とほぼ一致してよい。
【００２３】
実施形態１において、磁気カバーは、環状キャビティ１１２の中心線に実質的に垂直な分割面によって形状が同じである２つの磁気ユニットに分割されている。表示の都合上、図３に１つの磁気ユニット１１１のみ示されているため、図３には、磁気カバーの分割面に沿った断面構成も示されている。環状キャビティの中心線とは、キャビティの中空部の法線方向の断面の中心から構成された線であり、中心線の延在方向が環状キャビティの延在方向であり、中心線の形状が環状キャビティの全体的形状を表している。実際の状況を考慮すると、キャビティの法線方向の断面の形状について、幾何中心を確定しないほうがよいかもしれない。環状キャビティの全体的形状に従って中心線を概略的に決定してよく、本発明の範囲から逸脱することはない。
【００２４】
分割面と中心線との垂直とは、分割面と中心線との交差箇所において、分割面の法線と中心線の接線とが一致することを示す。例えば、実施形態１において、中心線は円形リングであり、分割面は、当該円形リングの径方向に沿った、当該円形リングが位置する平面に垂直な面である。
【００２５】
コイル１２０は、ワイヤが環状キャビティ１１２の壁に巻き付くことによって形成され、ワイヤの延在方向と環状キャビティの延在方向とは、実質的に同じである。図において、「×」は、電流が紙面へ流れ込むことを示し、
[式１]
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は、電流が紙面から流れ出ることを示す。分割面における矢印は、電流によって生成される磁束ループの方向を示す。明らかに、分割面に沿って磁気カバーを分割することは、磁束ループを切断することはなく、これにより、装置の性能に大きな影響を与えない。コイル１２０は、１つのコイルを含んでもよく、互いに絶縁された複数個のコイルを含んでもよい。好ましい実施形態として、コイルの電極又はリードワイヤは、分割面箇所から磁気カバーの外側まで引き出されてよい（不図示）。
【００２６】
他の実施形態において、図３の点線に示すように、磁気カバーは、環状キャビティの中心線に実質的に垂直な分割面によってより多くの磁気ユニットに分割されてもよい。各磁気ユニットは、中空部分を有する環状又は管状であり、すべての磁気ユニットの組合せによって磁気カバーが形成される場合には、その中空部分は、組み合わさって始点と終点が接続された環状キャビティを形成する。
【００２７】
他の実施形態において、上述のように磁束ループを２つ以上の互いに平行な部分に分割する平面分割面を採用するほか、渦電流をさらに低減するために、代替的又は追加的に、各磁気ユニットをネスト構造の複数層に分割してもよい。ネスティングされた磁気ユニットの分割に用いられた円筒状分割面は、磁束ループの形状に従って設計する必要がある。
【００２８】
＜実施形態２＞
もう１つの実施形態について、図４を参照されたい。本発明に係る電磁誘導装置は、磁気カバー２１０とコイル２２０とを備えている。
【００２９】
実施形態２における構造は、実施形態１に類似する。磁気カバー２１０内は、環状キャビティ２１２を有し、環状キャビティ２１２の中心線に垂直な分割面によって形状が同じである２つの磁気ユニットに分割されている。表示の都合上、図４には、１つの磁気ユニット２１１のみ示されている。実施形態２と実施形態１との相違点として、実施形態１における磁気カバーは、中空円柱形である一方で、実施形態２における磁気カバーは、中実（環状キャビティ２１２を除く）円柱形である。磁気カバーの分割方法及びコイル構造については、ここでは説明を省略するので、実施形態１を参照されたい。
【００３０】
他の実施形態において、図４の点線に示すように、磁気カバー２１０は、環状キャビティの中心線に実質的に垂直な分割面によってより多くの磁気ユニットに分割されてもよい。さらに、代替的又は追加的に、磁気カバーは、ネスト構造の複数層に分割されてもよい。
【００３１】
＜実施形態３＞
もう１つの実施形態について、図５を参照されたい。本発明に係る電磁誘導装置は、磁気カバー３１０とコイル３２０とを備えている。
【００３２】
磁気カバー３１０内部のキャビティは、環状キャビティである。磁気カバー３１０は、当該環状キャビティのループに実質的に平行な分割面によって２つ以上の磁気ユニットに分割される。
【００３３】
実施形態３において、磁気カバー３１０は、トップキャップとしての磁気ユニット３１１ａ、環状キャビティの内壁としての磁気ユニット３１１ｂ（中空円筒体又は中実柱状体であってよい）、環状キャビティの外壁としての磁気ユニット３１１ｃ、及びボトムキャップとしての磁気ユニット３１１ｄという４つの磁気ユニットに分割されている。図５における破線は、磁束ループを示している。
【００３４】
コイル３２０は、ワイヤがその軸線に巻き付くことによって形成され、コイル３２０の軸線の延在方向と環状キャビティの延在方向とは、実質的に同じである。コイルによって形成される磁界の方向とその軸線の延在方向とが一致するため、キャビティの環状面に平行な分割面は、主磁束ループにおいてエアギャップが生じない。
【００３５】
好ましい実施形態として、実施形態３は、コイル３２０に被覆された環状の磁心３３０をさらに備えている。コイル３２０は、磁心３３０に巻き付いている。磁心の追加は、コイルによって生成された磁界を増大させることができ、装置の効果の向上に寄与する。磁心を形成する材料の選択可能な範囲は、磁気カバーと同様である。磁気カバーと磁心とは、同一の装置において同一の材料又は異なる材料で構成されてよい。明らかに、実施形態３における磁気カバーと磁心とは、互いに接続されておらず、磁束ループも互いに交差していない。磁気カバー（磁気ユニット）及び磁心は、それぞれ閉鎖された磁束ループを担持する。
【００３６】
上述した実施形態と同様に、磁気カバーは、平面分割面を用いてより多くの磁気ユニットにさらに分割されてもよく、代替的又は追加的に、環状キャビティの環状面と同軸の円筒状分割面によってネスト構造の複数層に分割されてもよい。例えば、図６に示すように、内壁としての磁気ユニット３１１ｂは、複数の円形片に水平分割されてもよく、内部から外部へネスト構造の複数の円筒に分割されてもよい。或いは、当該２つの分割方法を同時に用いて内外にネスト構造となり、上下に重なり合った複数のリング帯状に分割されてもよい。
【００３７】
好ましい実施形態として、磁心は、渦電流を低減するために、磁気カバーと同様の分割方法で分割されてよい。例えば、環状の磁心３３０は、その環状面に平行な平面によって２つ以上の部分に分割されてもよく、及び／又は、環状の磁心３３０と同軸の環状面によって２つ以上の部分に分割されてもよい（図６を参照）。
【００３８】
以下、本発明に係る電磁誘導装置の製造方法について説明する。
【００３９】
本発明に係る電磁誘導装置について、様々な製造方法で得ることができる。例えば、
１、磁性材料粉末のダイカスト方法
コイルを作製（磁心有り又は無し、以下同様）し、コイルを保護するために適切に包む。コイルを磁気カバーの金型内に入れ、分割面として設計された箇所に絶縁性スペーサを配置する。金型内に磁性材料の粉末を充填してから、コイルと一体化されるようにプレスすれば、密封性の良い電磁誘導装置を得ることができる。
【００４０】
２、磁性材料粉末の噴霧塗布方法
コイルを作製した後、コイルに絶縁接着剤を噴霧塗布し、次に、設計した分割方法に従って磁性粉をコイルに層毎に吹き付け、各層間の分割面に絶縁膜を噴霧塗布すれば、絶縁層を有する多層磁気カバーを得ることができる。
【００４１】
コイルの作製方法として、従来の巻線方法を採用してもよく、例えば、ＦＰＣＢの両端を溶接して所望のコイルを得る等して、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣＢ）を用いて導電性コイルを作製してもよい。
【００４２】
好ましい実施例として、半導体集積回路の加工方法に類似する方法で本発明に係る電磁誘導装置を製造してよい。具体的には、以下のステップを含む。
【００４３】
Ｓ１  本発明に係る電磁誘導装置の所望の構造を確定する。例えば、上述した様々な実施形態又は類似する実施形態における構造のように、実際のニーズに応じてデバイスの具体的な形状、コイルの個数、巻線のターン数、磁気カバーの分割方法等を設計する。
【００４４】
Ｓ２  確定された構造を重なり合った複数の層に分解し、磁性材料の配置、導電性材料の配置、及び、絶縁材料の配置を含む各層の平面配置を確定する。当該ステップは、電磁誘導装置全体をスライスする場合と同様である。製造を容易にするために、成層する際に、各層の平面配置を、コーティングやエッチング等のように、一貫した操作プロセスによって完成することが好ましい。
【００４５】
Ｓ３  磁性材料の基層を生成する。デバイス全体が磁気カバーによって被覆されているため、第１層は、磁気カバーを含む層でなければならず、従って、磁性材料の基層から製造し始めてよい。
【００４６】
Ｓ４  各層の所定の平面配置に従って、基層上に層を一つずつ生成する。具体的な生成方法について、ニーズ及び処理能力に応じて確定すればよい。例えば、射出、スパッタリング、コーティング、化学析出等を含むことができる。半導体集積回路の処理過程を参照されたい。
【００４７】
例示として、上記の製造過程の１つの例は、以下の通りである。まず、１つの磁性基層を作製する。次に、当該層に設計されたコイル配置に従って、コイル形状の絶縁層を射出又はコーティングする。コイル形状の絶縁層において導電性材料を射出、スパッタリング又は化学析出して、一周分又は多周分の導電層を形成する。当該導電層を絶縁材料で被覆させて保護し、次に、コイルと同じ高さになるように且つコイルを密封するように磁性材料を射出する。コイルが所望の高さ及びターン数に達するまで上記のプロセスを繰り返して行う。最後に、全ての導電層を、電極リードワイヤを保持する少なくとも１つの導電コイルに接続し、磁性材料は、導電コイルを緊密に被覆する磁気カバーを形成する。
【００４８】
この好ましい製造方法は、半導体集積回路の処理と同様の利点を有する。処理対象の電磁誘導装置の各層を複製することにより、複数の装置を同時に処理することができ、生産効率を大幅に向上させ、製造コストを大幅に低減することができる。
【００４９】
以上、具体的な例を用いて本発明の原理及び実施形態について詳述したが、上記の実施形態は、本発明の理解を深めるためのものにすぎず、本発明を限定するものではない。当業者は、本発明の思想に基づいて、上記の具体的な実施形態を変更することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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2019510371.tif 000011
2019510371.tif 000012
2019510371.tif 000013