(57)【要約】  真空チャンバ（１２）のための閉鎖又はロックデバイスであって、  真空チャンバ（１２）に配置することができ、真空チャンバ（１２）の開口部（１４）を包囲するカウンタプレート  （１６）と、  カウンタプレート（１６）に対して移動できるように支持され、かつ閉鎖カバー（１８）が移動可能に配置されているフレーム（１５）であって、カウンタプレート（１６）に対する閉鎖位置（２８）で密閉するように、閉鎖カバー（１８）が開口部（１４）を閉鎖する、フレーム（１５）と、  カウンタプレート（１６）及び閉鎖カバー（１８）と係合する、カウンタプレート（１６）と閉鎖カバー（１８）との間で作用する閉鎖力（Ｃ）を発生させるための少なくとも１つの磁石デバイス  （３０）とを含む、閉鎖又はロックデバイス。【選択図】図２
2019502064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ（１２）のための閉鎖又はロックデバイスであって、
前記真空チャンバ（１２）に配置することができ、前記真空チャンバ（１２）の開口部（１４）を包囲するカウンタプレート（１６）と、
前記カウンタプレート（１６）に対して移動できるように支持され、かつ閉鎖カバー（１８）が移動可能に配置されているフレーム（１５）であって、前記カウンタプレート（１６）に対する閉鎖位置（２８）で密閉するように、前記閉鎖カバー（１８）が開口部（１４）を閉鎖する、フレーム（１５）と、
前記カウンタプレート（１６）及び前記閉鎖カバー（１８）と係合する、前記カウンタプレート（１６）と前記閉鎖カバー（１８）との間で作用する閉鎖力（Ｃ）を発生させるための少なくとも１つの磁石デバイス（３０）と
を含む、閉鎖又はロックデバイス。
【請求項２】
前記閉鎖カバー（１８）が平らな上面（８１）を有しており、前記閉鎖カバー（１８）を、前記フレーム（１５）の前記上面（８１）の面法線（Ｎ）に平行な方向にスライドさせることができる、請求項１に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項３】
前記閉鎖カバー（１８）が、少なくとも１つの復元要素（８２）を介して前記フレーム（１５）に結合されており、前記復元要素が、前記閉鎖力（Ｃ）に対して方向付けられた復元力（Ｒ）を前記閉鎖カバー（１８）の上に及ぼすように構成されている、請求項１又は２に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項４】
前記少なくとも１つの復元要素（８２）が、少なくとも１つの復元ばね（８３）を有する、請求項１から３の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項５】
前記閉鎖カバー（１８）が、互いに離間している前記フレーム上の複数の復元要素（８２）を介して配置されており、前記閉鎖カバー（１８）に作用する前記復元要素（８２）のすべてからの復元力（Ｒ）すべての合計が、前記閉鎖カバー（１８）の重力（Ｇ）より大きい、請求項１から４の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項６】
前記フレーム（１５）が、旋回方式又はスライド可能な方式で、前記カウンタプレート（１６）の上又は前記真空チャンバ（１２）の上での開放位置（Ｏ）と接触位置（Ｋ）との間に配置され、
前記開放位置（Ｏ）で、前記フレーム（１５）及び前記フレームに配置された  前記閉鎖カバー（１８）が、前記開口部（１４）を解放し、
前記フレーム（１６）が、前記カウンタプレート（１５）又は前記真空チャンバ（１２）に当接し、かつ前記閉鎖カバー（１８）が、前記接触位置で前記開口部（１４）全体を実質的に覆う、請求項１から５の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項７】
前記閉鎖カバー（１８）であって、前記接触位置（Ｋ）にある前記フレーム（１５）を、前記磁石デバイス（３０）によって、前記フレーム（１５）に対して静止位置（Ｕ）から密閉閉鎖位置（Ｓ）内に移送することができる、請求項６に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項８】
前記フレーム（１５）の接触位置（Ｋ）で、互いに向き合う前記フレーム（１５）及び前記カウンタプレート（１６）の面（１７、１９）に、少なくとも１つのスペーサ（２４）が配置され、前記フレーム（１５）の水平面に垂直な又は前記カウンタプレート（１６）の水平面に垂直な、前記スペーサの延長部分が、前記フレーム（１５）の静止位置（Ｕ）と前記閉鎖位置（Ｓ）との間の前記閉鎖カバー（１８）の調節範囲に、前記閉鎖カバー（１８）の厚さを加えた合計と少なくともちょうど同じ大きさである、請求項１から７の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項９】
前記磁石デバイス（３０）が、前記閉鎖カバー（１８）及び前記カウンタプレート（１６）のうちの１つに配置された少なくとも１つの電磁アクチュエータ（３２）と、前記電磁アクチュエータ（３２）と磁気的に相互作用する、他の前記閉鎖カバー（１８）及び他の前記カウンタプレート（１６）に配置された少なくとも１つの対応物（３４）とを有している、請求項１から８の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項１０】
弾性的に圧縮可能なシール（２０）が、前記開口部（１４）を包囲する、前記閉鎖カバー（１８）の閉鎖位置（２８）で互いに向き合う前記閉鎖カバー（１８）及び前記カウンタプレート（１６）の前記面（１７、１９）の間の中間スペース（２５）で前記閉鎖カバー（１８）又は前記カウンタプレート（１６）に配置されている、請求項１から９の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項１１】
前記閉鎖カバー（１８）と前記カウンタプレート（１６）との間の距離（４１）を測定するための少なくとも１つの距離測定デバイス（４０）
を更に含み、
前記距離測定デバイス（４０）によって測定された前記カウンタプレート（１６）と前記閉鎖カバー（１８）との間の前記距離（４１）に応じて、前記磁石デバイス（３０）を調整することができる、請求項１から１０の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項１２】
前記距離測定デバイス（４０）及び前記磁石デバイス（３０）に接続されており、前記カウンタプレート（１６）と前記閉鎖カバー（１８）との間に所定の距離（４１）を維持及び／又は設定するように構成されている、少なくとも１つの電子制御回路（４５）を更に含む、請求項１１に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項１３】
複数の磁石デバイス（３０）が分散して配置され、前記開口部（１４）の範囲にわたって、各々にそれ自身の距離測定デバイス（４０）が設けられる、請求項１から１２の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバに配置することができ、真空チャンバの開口部、及びカウンタプレートに対する閉鎖位置で、開口部を密閉状態で閉鎖する閉鎖カバーを包囲する、カウンタプレートを有する、真空チャンバのための閉鎖又はロックデバイスに関する。加えて、本発明は、そのような閉鎖又はロックデバイスによって真空チャンバの開口部を密閉するための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最新の背景技術から、真空チャンバのための閉鎖及びロックデバイスが十分に知られている。この点で、例えば、ＷＯ２００５／１２１６２１Ａ１には、第１及び第２の受容部の間の壁に配置されたロック開口部、更には第１の受容部の内部空間に配置された遮断デバイス及び遮断デバイスに割り当てられたカウンタプレートに対する本分野のロックデバイスが記載される。開口部を包囲するフランジのようなカウンタプレートには周方向シールが提供され、それに対して遮断デバイスが密閉状態で押圧される。
【０００３】
必要とされる気密に応じるために、とりわけ、真空チャンバ内部の高い真空状態に応じるために、遮断デバイスは、分散して開口部の周りに位置するエリアでできるだけ均等に周方向に押圧することが望ましい。シール全体にわたって均等かつ均質な押圧力を加えることは、構造上及び製造技術上の観点から数デシメートル若しくは数メートルの範囲の遮断要素又は閉鎖カバーの寸法で数ミリメートルのシール直径を有するシールの場合には、特に難しい。
【０００４】
０．５〜５ｍ２の範囲で、例えばこれを超えて、密閉リングを圧縮する閉鎖カバーの表面上でおよそ０．５〜２ｍｍの上昇を実施することは、構造的及び技術的製造レベルで非常に高価であることが示された。加えて、典型的には金属製であるカウンタプレートと閉鎖カバーとの直接的な接触は、必要な洗浄室条件に関する理由、及びこれに関連する真空チャンバの必要なパーティクルフリーの環境に関する理由から、絶対に回避されなければならない。
【０００５】
加えて、必要な洗浄室条件に従い、パーティクル汚染がないようにする理由からも、典型的にはシールと閉鎖カバーとの間で、閉鎖又はロックデバイスを密閉するときに、シールと最終的にシールの上に静止する金属部品との間の任意の可能な剪断運動は、絶対に回避されるか又は最小限に維持されなければならない。
【０００６】
更に、典型的にはエラストマ材料、例えばゴム製のシールは、エージングプロセスを受ける可能性があり、その弾性特性は、閉鎖又はロックデバイスとして変化しうるという事実が使用され続けている。更に、真空チャンバが異なる真空又は圧力レベルで操作されることが考えられる。閉鎖又はロックデバイスが、大気又は別の周囲圧力に対して、例えば、隣接する真空チャンバの偏向圧力に対して、真空チャンバの内部空間を密閉するならば、シール上の接触圧力は、真空チャンバ内のそれぞれの主な圧力に応じて変化し、シールと閉鎖又はロックデバイスの金属部品との間での相対運動をもたらす可能性がある。
【０００７】
この点で、本発明の目的は、それによって、真空チャンバを閉鎖するときに、特に均一で可能な限り独占的に垂直な押圧力をシールに及ぼすことができる、真空チャンバのための改良された閉鎖又はロックデバイスを提供することである。とりわけ、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間の、典型的にはゴム弾性を有するシール上での任意の剪断運動又は摩擦を回避すること、又は剪断運動若しくは摩擦を絶対的必要最小限まで低下させることが目的である。このデバイスで、特に真空チャンバのエリア内での低レベルのパーティクル汚染及び高純度を実現することができるはずである。更に、閉鎖又はロックデバイスは、比較的軽量であること、並びに製造、組み立て及び長期運転に関してその個々の構成要素の容易かつ良好な管理性によって特徴づけられるべきである。
発明及び有利な実施形態
【０００８】
本対象は、独立特許請求項１による閉鎖又はロックデバイスによって解決される。好ましい実施形態は、それぞれ従属特許請求項の対象である。
【０００９】
この点で、真空チャンバのための閉鎖又はロックデバイスが提供される。閉鎖又はロックデバイスは、真空チャンバの開口部を取り囲み、真空チャンバに配置することができる若しくは真空チャンバに配置されている、又は適用可能であれば、真空チャンバ内に統合されている若しくはチャンバ壁に結合されている、カウンタプレートを有している。カウンタプレートは、典型的には、フランジのように形成される。カウンタプレートは、真空チャンバの壁から外側に向かって突出することができ、又は挿入方向におよそ垂直な真空チャンバの開口部を通って延びる接触面を有する又は形成する。
【００１０】
閉鎖又はロックデバイスは、更に、カウンタプレートに対して移動できるように装着されているフレームを有している。次いで、閉鎖カバーが移動できるように配置される。閉鎖カバーをカウンタプレートまで移動させ、閉鎖カバーがカウンタプレートの開口部を密閉状態で閉鎖する閉鎖位置内に置くことができる。それは、特に、フレームであり、開放位置と接触位置との間でカウンタプレートに移動可能に装着されている。開放位置では、真空チャンバの中での処理対象である基板を真空チャンバ内に導入し、真空チャンバから除去することができるように、フレーム及びフレームに配置されたカウンタプレートが、真空チャンバの開口部を解放する。
【００１１】
接触位置で、フレームは、カウンタプレートと機械的に接触している。フレームに移動可能に装着される閉鎖カバーは、その接触位置で、比較的緩やかにカウンタプレートに当接することができ、典型的には、カウンタプレートの開口部を包囲するシールに当接するが、注目に値する力がシールに及ぶことはない。また、カウンタプレート上のフレームの接触位置にある閉鎖カバーが、カウンタプレート又は典型的にはカウンタプレートに配置されたシールに対して接触しないとも考えられる。開口部、更には真空チャンバを密閉することは、既にカウンタプレートとの接触位置にある、フレームの接触位置からフレームに対して閉鎖位置を移動させることによって達成される。
【００１２】
更に、閉鎖又はロックデバイスは、カウンタプレート及び閉鎖カバーと動作可能に結合した、少なくとも１つの調節可能な及び／又は制御可能な磁石デバイス又は制御可能な磁石デバイスを有している。これは、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間で作用する閉鎖力（Ｃ）を生成するように構成される。調節可能な磁石デバイスによって、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間で作用する閉鎖力のレベル及び方向を変更することができる。磁石デバイスの特定の実施形態次第では、オプションで、真空チャンバ及び真空チャンバ環境における主な圧力レベルに応じて、閉鎖カバーによって真空チャンバの開口部を開閉するために、引力と反発力との両方が閉鎖カバーの上に及ぶ可能性がある。
【００１３】
これにより、閉鎖カバーは、フレームに対して比較的低レベルの上昇又は比較的短い若しくは小さい移動の対象となる可能性がある。そのような小さい又は短い移動は、別々に行うことができ、それゆえに、磁石デバイスによって特に上手く制御又は管理することができる。とりわけ、これにより、閉鎖カバーとカウンタプレートとの間の画定された及び特に変形さえされた弾性シールを実現することができる。
【００１４】
更なる実施形態では、閉鎖カバーは、平らな上面を有している。更に、閉鎖カバーは、フレームの上面の面法線（Ｎ）に平行な方向にスライドさせることができる。典型的には、閉鎖カバーは、静止位置（Ｕ）と閉鎖位置（Ｓ）との間でフレームに移動可能に装着される。閉鎖カバーは、典型的には、移動できるようにフレームに並進運動的に又は直線的に配置される。閉鎖カバーが上面にかなり垂直でありかつフレームの水平面にも垂直であるフレームに移動可能に装着されていることによって、閉鎖カバーは、シールの範囲全体にわたって均質な押圧力を、また磁石デバイスの影響下でシールに均質な圧縮を与えることができる。
【００１５】
とりわけ、接触位置にあり、フレーム上の静止位置から始動するフレーム場合、閉鎖カバーを、磁石デバイスによって、フレームに対して面法線の方向にだけに移動させると規定される。このようにして、閉鎖カバーとシールとの間でシールに沿って摩擦が生じる任意の剪断力又は相対運動をかなり回避することができる。閉鎖又はロックデバイスを閉鎖するとき、即ち、閉鎖カバーをフレームの静止位置からシールを圧縮する閉鎖位置内に移送するとき、シールは、単独で又は主として単独で、閉鎖カバーの水平面に垂直に又はシールの水平面に垂直に方向付けられる圧縮を受ける。シールの横方向の摩擦又は潰れは、フレームにおける閉鎖カバーの上記ガイドによってかなり回避することができる。
【００１６】
更なる実施形態では、閉鎖カバーは、少なくとも１つの復元要素を介して、フレームに結合される。復元要素は、磁石デバイスによって生成することができる、閉鎖力に逆らって方向付けられている、閉鎖カバー上に復元力を及ぼすように構成される。
【００１７】
閉鎖又はロックデバイスの密閉閉鎖中に、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間で作用する磁石デバイスは、少なくとも１つの復元要素の復元力に対抗する。これには、磁石デバイスが、単に単一方向に、即ち閉鎖方向に作用する力を生成しなければならないという利点がある。
【００１８】
これにより、磁石デバイスは、閉鎖カバーに作用する復元力より大きい閉鎖力を生成するように設計される。とりわけ、磁石デバイスによって閉鎖カバー上に及ぼすことができる閉鎖力は、閉鎖カバーがそれらを介してフレームに装着されるすべての復元要素の復元力の合計よりも大きい。磁石デバイスは、いわば、開口部を密閉するためのすべての復元要素の復元力に対抗して作用する。閉鎖力がすべての復元力の合計より大きいので、磁石デバイスが作動するとき、閉鎖カバーが閉鎖位置内に移動することになる。
【００１９】
対照的に、真空チャンバを開放するために、有効な閉鎖力がすべての復元要素のすべての復元力の合計よりも低くなるように、磁石デバイスによって生成される閉鎖力を少なくとも所定範囲まで低下させることが規定される。その結果、磁石デバイスの閉鎖力が対応して低いか又は完全に欠如している場合には、少なくとも１つの復元要素を介して、典型的には複数の復元要素を介して、閉鎖カバーが、フレームの静止位置内に設定される。ここでは、フレームが接触位置にある場合、静止位置にある閉鎖カバーが、カウンタプレート又はカウンタプレートに設けられたシールと接触しないように、閉鎖カバーが、カウンタプレートのシールとの緩い接触位置にあるか、又は閉鎖カバーとシールとの間の少なくとも１つの間隙が、カウンタプレート上で利用可能であるかのどちらかである。
【００２０】
更なる実施形態では、少なくとも１つの復元要素が弾性復元要素であることも規定される。この点で、復元要素は、弾性的に変形可能であり、その弾性に起因して必要とされる復元力を提供する。弾性復元要素は、とりわけ、その弾性変形は除き、フレーム又は閉鎖カバーの間のいかなる相対運動も受けない、単一の構成要素の形態で単一のピースとして設計することができる。弾性変形能を伴う復元要素のワンピース設計は、パーティクル汚染がないという要件を満たすために有利であることが判明している。とりわけ、閉鎖又はロックデバイスの他の構成要素との復元要素の摩擦は、少なくとも１つの復元要素の弾性変形能のため妨げられる。
【００２１】
更なる実施形態によれば、少なくとも１つの復元要素は、少なくとも１つの復元ばねを有している。復元ばねは、例えば、板ばねの形態で設計することができる。復元ばねは、例えば、フレームの対向するリムの間を延びることができる。復元ばねは、フレームリム同士の間のおよそ中心で閉鎖カバーに結合することができる。これにより、閉鎖カバーのフレームへの中心又は面心装着を実現することがで、フレームの直線的スライド性に有利な効果を有することができる。
【００２２】
別の実施形態によれば、閉鎖カバーは、互いに離間している複数の復元要素を介して、フレームに配置される。複数の等しく作用する復元要素及び／又は複数の復元ばねが、フレームの表面全域に分散して配置され、結果として、閉鎖カバーの表面全域に配置されている場合に有利であると証明されている。このように、均質であり、均質であり、可能な限り最大の範囲で画定される復元力は、フレームの表面又は閉鎖カバーの表面にわたって設けることができる。
【００２３】
この更なる実施形態によれば、すべての復元要素により閉鎖カバーに及ぶすべての復元力の合計は、閉鎖カバーの重力よりも大きい。このような復元要素のレイアウトにより、例えば、カウンタプレートの水平な位置合わせ、ひいてはリクライニング位置合わせが可能になるだけでなく、上方からの真空チャンバの装填も可能になる。閉鎖カバー上に及ぼすことができるすべての復元力の合計が閉鎖カバーの重力を上回る場合、閉鎖カバーを、復元要素によって、それ自身の重力に抗してキャリア上の静止位置内に引き上げることもできる。そのような復元力のレイアウトは、閉鎖又はロックデバイスをフレキシブルに使用するのに、とりわけ、閉鎖又はロックデバイスの様々な異なる形状寸法的な位置合わせに有利であることが分かった。
【００２４】
別の実施形態によれば、フレームは、旋回しながら又はスライド可能に、上記開放位置と上記接触位置との間のカウンタプレート又は真空チャンバに配置される。開放位置では、フレーム及びそれに配置された閉鎖カバーは、真空チャンバの開口部を解放する。
【００２５】
とりわけ、スライディングガイドは、省スペースの実施形態及び基板処理プロセスステーションのエリアでの閉鎖又はロックデバイスの配置に適している。旋回装着閉鎖カバーとは異なり、真空チャンバの開口部の外側にあるエリア、いわば、その開口部の延長部分内部にあるエリアは、処理ステーションの他の構成要素を配置するために使用することができ、閉鎖カバーの旋回装着の場合のように、自由を維持する必要はない。
【００２６】
閉鎖カバーは、一又は複数の磁気ベアリングによって、接触しないでガイドに装着することができる。これにより、非接触、ゆえに低摩耗かつ低保守の、カウンタプレートに対する閉鎖カバーのスライディングが可能である。閉鎖カバーのローラ−ベアリングガイドとは異なり、閉鎖カバーの磁気−ベアリングベースの装着の場合、摩耗は起こらない。したがって、閉鎖又はロックデバイスのエリアでの必要な洗浄室条件と必要なパーティクル汚染の自由度を容易に維持することができる。
【００２７】
閉鎖カバーがほとんど自由に吊るされた状態でガイドから所定の距離で装着され、一又は複数の磁気ベアリングによりガイドに沿って移動させることができるように、ガイドを目的とした磁気ベアリングは、閉鎖又はロックデバイスに設けられた磁石デバイス同様に、各々が電磁アクチュエータ、ひいては磁気的に相互作用する対応物、更には距離測定デバイス及び制御回路を有することができる。
【００２８】
更なる実施形態によれば、接触位置内のフレームの場合には、閉鎖カバーは、磁石デバイスによってフレームに対して、静止位置から密閉閉鎖位置内に移送することができる。接触位置で、フレームは、カウンタプレート又は真空チャンバに当接する。これにより、閉鎖カバーは、開口部全体を実質的に覆う。閉鎖カバーは、開口部を密閉するが、なおも気密ではない。これに関して、また閉鎖カバーと、典型的にはカウンタプレートに配置されるシールとの間に空隙が存在する可能性がある。
【００２９】
磁石デバイスが起動されるときのみ、磁石デバイスによって制御され管理される、閉鎖カバーの水平面に垂直な、又はキャリアの水平面に垂直な、よって典型的には開口部水平面にも垂直な閉鎖カバーのスライド移動によって、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間に位置するシールを、必要な方法で可能な限り均等に圧縮させることができる。
【００３０】
別の実施形態では、少なくとも１つのスペーサが、フレームとカウンタプレートとの間に配置される。カウンタプレート上のフレームの接触位置には、互いに向き合うフレームの面とカウンタプレートの面との間に少なくとも１つのスペーサが存在する。典型的には、複数のスペーサは、カウンタプレートの範囲にわたって設けられる。接触位置に達するとすぐに、一又は複数のスペーサを介して、フレームは、フレーム自体をカウンタプレート上で支える。好ましくは複数のスペーサのうちの少なくとも１つの形状寸法設計及び配置は、カウンタプレート上でのフレームの接触位置を画定する。
【００３１】
フレームの水平面に垂直な又はカウンタプレートの水平面に垂直な少なくとも１つの又は複数のスペーサの延長部分は、フレームの静止位置と閉鎖位置との間の閉鎖カバーの調節範囲に閉鎖カバーの厚さを加えた合計と少なくとも同じくらいの大きさである。そのように測定されたスペーサにより、フレームの上の閉鎖カバーが静止位置にあるフレームが開放位置から接触位置内に移送される場合、カウンタプレートと向き合うフレームの面に配置された閉鎖カバーは、例えば、カウンタプレート又はその上に提供されたシールと確実に接触しない。
【００３２】
フレームの旋回又はスライド運動に起因した、シールのエリアでの閉鎖カバーに沿った早まった接触又はスライディングを、このように防止することができる。
【００３３】
実施形態によれば、磁石デバイスは、閉鎖カバー及びカウンタプレートのうちの１つに配置された少なくとも１つの電磁アクチュエータ、及び電磁アクチュエータと磁気的に相互作用する、他方の閉鎖カバー及びカウンタプレートに配置された少なくとも１つの対応物を有している。電磁アクチュエータを、例えば、カウンタプレートに配置することができ、又はカウンタプレート内に埋め込むことができる一方で、対応物を閉鎖カバーに配置することができる。これにより、対応物が閉鎖カバー内に統合されること、又は閉鎖カバー全体が対応物として作用することもまた考えられる。
【００３４】
対応物又は閉鎖カバーは、強磁性であるか又は永久磁気的であるかのどちらかであって、対応する制御電流が供給される電磁アクチュエータとの磁気的相互作用に関与するように設計される。カウンタプレート上の閉鎖カバーの閉鎖位置では、その位置で閉鎖カバーが真空チャンバの開口部断面を完全に覆うのだが、電磁アクチュエータ及びそれに割り当てられた対応物は、例えば、十分な閉鎖力又は開口力を生成することができるように、少なくとも部分的に覆うことが可能である。磁石デバイスの電磁アクチュエータが閉鎖カバーに配置される一方で、電磁アクチュエータと磁気的に相互作用する対応物は、カウンタプレートに配置される又はカウンタプレートに形成されることが一般的に考えられる。
【００３５】
電磁アクチュエータの配置が閉鎖カバー上かカウンタプレート上かに関わらず、更に、少なくとも１つの他の永久磁石をなおも電磁アクチュエータが配置される各構成要素に配置することができ、電磁アクチュエータによって生成される力に更なる支持を与えることができる。これにより、例えば、アクチュエータのコイルにかなり低いレベルの電流強度を供給することができるように、閉鎖カバーは、電力がなくても遮断状態を維持することができる。コイルの熱損失及び冷却又は熱膨張に関する問題は、これにより、低減する又は取り除くことさえできる。
【００３６】
別の実施形態によれば、開口部を包囲する弾性的に圧縮可能なシールは、閉鎖カバーの閉鎖位置で互いに向き合う閉鎖カバーの面とカウンタプレートの面との間の中間スペース内で、閉鎖カバー上又はカウンタプレートに配置することができる。シールは、例えば、カウンタプレートに、配置することができる。このため、カウンタプレートは、真空チャンバの開口部を包囲する溝を有することができ、その中に周方向シールが配置される。圧縮されていない最初の状態では、シールの一部が、閉鎖カバーに面するカウンタプレートの面から少なくともわずかに突出し、結果的に接触面がカウンタプレートにより形成されるように、シールセクションの厚さ又は直径は、シールを収容する溝の深さよりも大きい。この実施形態により、閉鎖カバーは、互いに接触するカウンタプレートと閉鎖カバーとの金属部品がなくても、シール上で密閉状態で静止することができる。
【００３７】
互いに向き合う閉鎖カバーの面とカウンタプレートの面は、典型的には、少なくとも部分的に接触面の水平面として設計され、閉鎖位置では、真空チャンバの開口部の形状寸法によって特定された方向（ｚ）に実質的に垂直に、又は磁石デバイスによって生成された閉鎖力が作用する閉鎖方向に垂直に延びる。
【００３８】
シールは、典型的には、エラストマから作られ、それぞれの目的のために適した弾性及び／又は圧縮性を有している。磁石デバイスの閉鎖力の距離に応じた調整により、それらの弾性又は機械的特性に対して異なるシールであって、各々が閉鎖又はロックデバイスの異なる用途に使用されているシールを使用することも考えられる。閉鎖力の距離に応じた調整によって、閉鎖又はロックデバイスは、提供されるシールの異なる又は変化する弾性特性に適合することができる。シールは、結果的に周方向に閉鎖される周方向密閉リングである、Ｏリングのようなシールとして設計することができる。
【００３９】
シールが、好ましくは、カウンタプレートの溝内部に配置され、カウンタプレートと相互作用する閉鎖カバーは、シールを含まずに設計されるが、反対の実施形態、即ち、シールが閉鎖カバーの内側、とりわけ閉鎖カバーの溝内部に配置され、カウンタプレートがシールを含まずに設計される実施形態も考えられる。
【００４０】
別の実施形態によれば、閉鎖又はロックデバイスは、閉鎖カバーとカウンタプレートとの間の距離を測定するための、少なくとも１つの距離測定デバイスを有する。距離測定デバイスによって、少なくともポイントにおいて、磁石デバイスによって生成された閉鎖力の方向に、閉鎖カバーとカウンタプレートとの間で、距離を測定することができる。閉鎖カバーとカウンタプレートとの間の距離は、  閉鎖カバーがカウンタプレートのシールの上方に静止するならば、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間に設けられたシールの現在の主な圧縮又は弾性変形のための測定値である。結果的に、シールの弾性変形の程度は、距離測定デバイスによって測定することができる。
【００４１】
更に、閉鎖又はロックデバイスについて、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間で測定される距離に応じて距離測定デバイスによって、磁石デバイスを調整することができると規定される。この点で設けられた磁石デバイスの距離に応じた調整によって、例えば、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間に設けられたシールを必要な程度まで圧縮することができるように、手近な距離に応じた異なる閉鎖力を生成することができる。距離測定デバイス及びこの点で設けられる少なくとも１つの磁石デバイスへの反結合によって、閉鎖又はロックデバイスの様々な異なる状態を検出することができる。
【００４２】
例えば、距離測定デバイスによって、カウンタプレートと閉鎖カバーが密閉方式で互いに当接しているか、かつそれらがどの程度当接しているかを測定することができる。距離が適切なシールに提供される最大値をおよそ上回る場合、調節可能な磁石デバイスによって、例えば、距離が最大許容距離を下回るまで、閉鎖力を徐々に増加させることができる。
【００４３】
反対の場合、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間の距離が小さすぎることを検出又は測定する場合に、典型的に金属製のカウンタプレートの閉鎖カバーとの直接的な接触を危惧しなければならないとも考えられる。とりわけ、真空チャンバの周囲環境におけるパーティクル汚染の必要な自由度の理由から、これは絶対に回避されなければならない。このような場合、閉鎖カバーとカウンタプレートとの間の最小許容距離を超過するまで、閉鎖力レベルを徐々に減少させることができる。
【００４４】
これにより、磁石デバイスの距離に応じた調整及び制御により、真空チャンバ内の異なる又は一時的に変化する圧力レベルにもまた応じることができる。真空チャンバの内部空間と周囲環境との間の圧力差によって、又は閉鎖カバーの面又は閉鎖カバーを越えた圧力差によって、閉鎖力又は開放力それ自体が、閉鎖カバー上に既に存在しうる。距離に応じた調節可能な磁石デバイスによって、閉鎖カバーの両側の変化する圧力差を補正することができる。
【００４５】
更に、更なる実施形態によれば、少なくとも１つの電子制御回路が設けられ、その電子制御回路は、距離測定デバイス及び少なくとも１つの磁石デバイスと接続され、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間の所定の距離を維持及び／又は設定するように構成されている。制御回路は、典型的には、設定値デバイスを有しており、それによって、距離センサにより生成することができる距離信号が、所定のターゲット値と比較される。ターゲット値と現在値を比較することによって、設定値デバイスから下流のコントローラは、磁石デバイスを制御するための、とりわけ、電磁アクチュエータを制御するための制御信号を生成することができる。
【００４６】
コントローラによって生成することができる各制御信号は、典型的には増幅器を介して、電磁アクチュエータに供給することができる。電子制御回路によって、閉鎖力の能動的かつ自動的な調整を実施することができる。このように、真空チャンバの内部空間と周囲環境との圧力差の変化などの、動作条件又は周囲条件の任意の突然の又は連続的な変化に対する動的かつ状況に関連した応答を実行することができる。距離測定デバイスと磁石デバイスを互いに接続する制御回路によって、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間で必要とされる距離、よって必要とされる閉鎖カバーの押圧力、更にはカウンタプレートとそれに関連する閉鎖カバーとの間に設けられたシールの圧縮が生じ、制御された状態で維持することができる。
【００４７】
別の実施形態によれば、それら自身の距離測定デバイスが各々設けられた複数の磁石デバイスは、例えば、開口部の範囲及びフランジのようなカウンタプレートの範囲にわたって、分散して配置される。開口部の範囲にわたって分散して配置された複数の磁石デバイスを設けることによって、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間に、特に均一な押圧閉鎖力を設定することができる。更に、これにより、システム制御方式でカウンタプレート及び／又は閉鎖カバーの変形又は製造の誤差を補正することが可能になる。
【００４８】
磁石デバイスに接続された距離測定デバイスの各々が、それぞれ、いわば自立して、対応する距離測定デバイス又は磁石デバイスの位置で、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間の所定の距離を維持及び設定することができる。そうでなければシールの均質でない押圧力又は閉鎖力につながるであろう、閉鎖カバーの圧力に応じた避けられない極小の変形を、これにより効果的に補正することができ、閉鎖カバーとカウンタプレートとの間の開口部の範囲にわたって変化する距離に対する均質でない間隙サイズに対抗することができる。
【００４９】
任意の負荷に応じた若しくは製造関連の変形又は部品公差は、システム制御された状態で補正することができる。各々がそれぞれそれ自身の距離測定デバイスを備えた複数の磁石デバイスによって、結果として、シールの均質な圧縮が可能な限り最大の範囲で達成され、制御された状態で設定することができ、閉鎖又はロックデバイスの必要な気密をもたらすように、開口部の範囲にわたって、又はカウンタプレートの範囲にわたって、異なる閉鎖力及び接触圧力を局所レベルで生成することができる。実際の適用の範囲内で、その実施形態は、特に、閉鎖カバー及びカウンタプレートのうちの少なくとも１つが絶対的に剛性であるように設計されておらず、及び／又は局所的な負荷に応じた変形を受ける場合に、特に有益である。
【００５０】
各々にそれぞれの距離測定デバイスが設けられた複数の磁石デバイスによって、システム制御方式で、そのような効果を除去及び補償することができる。閉鎖カバー及びカウンタプレートの比較的大規模な実施形態に関してでさえ、比較的細かい金銀線構造（ｆｉｌｉｇｒｅｅ  ｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ）を、比較的軽量で提供することができるように、閉鎖カバー及び／又は  カウンタプレートの構造のために、比較的大きな構成要素公差又は機械的変形でさえ受け入れることができる。
【００５１】
閉鎖又はロックデバイスの別の実施形態によれば、真空チャンバの開口部の範囲にわたって、カウンタプレートの範囲にわたって、又は閉鎖カバーの範囲にわたって、分散して配置された磁石デバイスが各々、それら自身の制御回路に接続されていると規定される。これにより、磁石デバイスの各々が、互いに独立して、  それらそれぞれの位置で閉鎖カバーとカウンタプレートとの間の現在の距離又は間隙サイズを設定及び調整することができる。
【００５２】
その結果、それぞれの距離測定デバイスから取得可能な距離信号の処理は、磁石デバイス及び制御回路のエリア内の局所レベルで行うことができる。これにより、任意のデータ及び信号ラインを最小限まで縮小することができ、真空部門の用途に特に有益であることが分かる。
【００５３】
別の実施形態によれば、開口部の範囲にわたって分散して配置される磁石デバイス及び／又は磁石デバイスに割り当てられた距離測定デバイスは、中央制御システムに接続される。しかしながら、ローカル制御回路の代わりに、又はそれぞれの磁石デバイスに及び距離センサに割り当てられた関連制御回路に加えて、中央制御システムを設けることができる。例えば、データ接続を有するすべての磁石デバイスのすべての制御回路に接続された中央制御システムによって、制御回路の同期制御を特に簡単に行うことができる。
【００５４】
例えば、中央制御システムにより、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間に維持されるべき距離をすべての制御回路に同時に伝達することができるように、中央制御システムは、個々の制御回路の設定値デバイスにそれぞれ接続することができる。中央制御システムによって、閉鎖又はロックデバイスのユーザは、特に操作しやすい操作要素を取得し、それにより、すべての制御回路及び磁石デバイスに対して、維持すべき距離又は閉鎖カバーとカウンタプレートとの間の対応する間隙サイズを同期して又は同時に設定することができる。
【００５５】
閉鎖又はロックデバイスの様々な実施形態毎に、多様な距離測定デバイスを設けることができる。距離測定デバイスは、例えば、光学的、磁気的又は容量性の測定原理に基づいて、一又は複数の距離センサを有することができる。とりわけ、誘導性測定原理又は渦電流に基づくセンサが使用される。より高い程度のコロケーションを可能な限り最大の範囲で実現できるように、距離センサは、特に、磁石デバイスに近接して、とりわけ電磁アクチュエータ又は磁石デバイスの対応物の直ぐ近くに配置される。距離測定デバイスと磁石デバイスの直接的に隣接した又は被覆さえしている配置は、測定及び制御精度の向上に寄与する。距離センサは、特に、カウンタプレートに配置することができ、したがって、距離、とりわけ、カウンタプレートと閉鎖カバーとの間の間隙サイズを測定することができる。カウンタプレートに配置された距離センサは、特に、規定された基準面又は閉鎖カバーの基準点から正確に、典型的にはサブミリメートル又はマイクロメートルの範囲内の精度で距離を測定するように構成される。
【００５６】
本発明の他の目的、特徴、更には好ましい実施形態は、図面を考慮した例示的な実施形態の以下の説明において説明される。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】フレームが閉鎖カバーを接触位置で、かつ閉鎖カバーをフレームの静止位置で支持している、閉鎖又はロックデバイスの簡略化した概略図である。
【図２】開放された閉鎖カバーを有する閉鎖又はロックデバイスの斜視図である。
【図３】閉鎖位置にある図２による閉鎖又はロックデバイスである。
【図４】スライド可能なフレームが、開放位置でカウンタプレート又は真空チャンバに装着されている、閉鎖又はロックデバイスの別の実施形態である。
【図５】フレーム及び閉鎖カバーが閉鎖位置にある、図４による閉鎖又はロックデバイスである。
【図６】開放位置にある図２による閉鎖又はロックデバイスの断面図である。
【図７】図６による図であるが、フレームが接触位置にあり、閉鎖カバーがフレームの静止位置にある図である。
【図８】図７による図であるが、閉鎖カバーがフレームに対する閉鎖位置にある図である。
【発明を実施するための形態】
【００５８】
図１に断面図として示される閉鎖及びロックデバイス１０が、真空チャンバ１２の開口部１４に配置されるように設けられる。閉鎖又はロックデバイス１０は、典型的には図１に概略的に示される真空チャンバ１２の壁１１に結合される、カウンタプレート１６を有している。カウンタプレート１６は、壁１１に接触する真空チャンバ１２の開口部１４と同一平面状に、又は真空チャンバ１２の一体的構成要素として配置することができる。この点で、カウンタプレート１６はまた、典型的には真空チャンバ１２の開口部と一致しうる開口部１４を有することができる。
【００５９】
図２、図３、更には図６から図８までの外観図から明らかなように、本実施形態の相当なレベルの閉鎖カバー１８は、複数の復元要素８２によってスライド可能にフレーム１５に装着されている。これにより、復元要素８２のスライド性及び偏向が、図７及び図８の比較から生じる。フレーム１５それ自体は、例えば、カウンタプレート１６に旋回装着される。図２及び図３には、対応する旋回又はヒンジ軸８０が示される。図４及び図５の実施形態において、フレーム１５は、スライド式にカウンタプレート１６に直線的に装着される。
【００６０】
閉鎖カバーのカウンタプレート１６に面する面１９、従って内側上面８１は、実質的に水平である。図７に示す閉鎖カバー１８のフレーム１５に対する静止位置Ｕにおいて、フレーム１５がカウンタプレート１６に位置する接触位置Ｋにある場合、上面８１は、閉鎖カバー１８に向き合うカウンタプレート１６の面１７で溝２０内に位置するシール２２の水平面と実質的に平行に位置合わせされる。
【００６１】
図８に示す閉鎖位置２８において、閉鎖カバー１８は、開口部１４を気密かつ真空気密で密閉する。更に、カウンタプレート１６及び閉鎖カバー１８には、少なくとも１つの磁石デバイス３０が設けられ、それによって閉鎖力（Ｃ）が閉鎖カバー１８に及ぶ可能性がある。
【００６２】
カウンタプレート１６は、フランジのような形状寸法を有することができ、とりわけ、閉鎖カバー１８に向き合い、接触面として作用する面１７にシール２２を有することができ、典型的にはカウンタプレート１６の開口部境界のエリア内で、開口部１４周囲を延在する。本開示では、弾性で変形可能な材料から作られたシール２２が、カウンタプレート１６の周囲の溝２０の中に配置される。しかしながら、シール２２はまた、閉鎖カバー１８の対応する溝内に、又は閉鎖カバー１８とカウンタプレート１６との間の中間スペース２５の中に配置することもできる。
【００６３】
図８に示す閉鎖位置Ｓに達するとすぐに、シール２２を閉鎖カバー１８とカウンタプレート１６との間で変形させ、開口部１４が気密状態で密閉されるように押しつぶす。
【００６４】
磁石デバイス３０により、閉鎖カバー１８上の閉鎖力（Ｃ）は、挿入方向又は閉鎖方向（ｚ）に及ぼすことができる。閉鎖力（Ｃ）は、典型的には、水平面（ｘ、ｙ）に垂直に、又は接触面に若しくはカウンタプレート１６の面１７に垂直に、位置合わせされる。閉鎖カバー１８はまた、カウンタプレート１６に向き合う面１９も有しており、接触面としても作用する。カウンタプレート１８及び閉鎖カバー１９の閉鎖位置２８で互いに向き合う面１７、１９は、少なくとも部分的に、互いに平行に位置合わせされる。
【００６５】
互いに対応する面１７、１９のそれぞれの接触面は、ｘ−ｙ平面に延びる。本開示では、磁石デバイス３０は、少なくともカウンタプレート１６に配置された電磁アクチュエータ３２、更には電磁アクチュエータ３２と機械的に相互作用する、閉鎖カバー１８に配置された対応物３４を有している。対応物３４は、永久磁気又は強磁性構成要素として設計され、閉鎖カバー１８に配置されるか又は閉鎖カバー１８内に埋め込まれるかのどちらかである。また、閉鎖カバー１８それ自身が、少なくとも部分的に、又は少なくともエリアで永久磁気又は強磁性材料を含み、完全にそのような材料から作られると考えられる。
【００６６】
電力を電磁アクチュエータ３２のコイル３３に供給する又は印加することによって、引力又は反発力が閉鎖カバー１８に及ぶ可能性がある。電流強度を調整することによって、又は制御信号を変化させることによって、磁石デバイス３０により生成される閉鎖力（Ｃ）は、手近な要件にしたがって変化させることができる。
【００６７】
更に、閉鎖又はロックデバイス１０は、オプションで、距離測定デバイス４０を有し、これにより、閉鎖カバー１８とカウンタプレート１６との間の距離４１、とりわけ互いに向き合う閉鎖カバー１８の面１９とカウンタプレート１６の面１７との間の距離を決定可能かつ定量的に測定することができる。本開示において、距離測定デバイス４０は、カウンタプレート１６に配置された距離センサ４２を有し、これは、カウンタプレート１６と閉鎖カバー１８との間の閉鎖方向（ｚ）の距離４１を測定する。これにより、距離測定デバイス４０によって、距離に応じて、磁石デバイス３０を、とりわけ、それにより生成される閉鎖力（Ｃ）を、調整することができる。とりわけ、磁石デバイス３０の距離に応じた調整によって、閉鎖カバー１８とカウンタプレート１６との間の距離４１を正確に所定の範囲に設定することができると規定される。
【００６８】
距離に応じた調整に対して、とりわけ、制御回路４５が設けられ、磁石デバイス３０が距離測定デバイス４０に接続される。制御回路４５は、設定値デバイス４４を有し、データ／技法レベルで距離センサ４２に結合される。設定値デバイス４４は、距離センサ４２によって供給される距離信号を受信し、これらを中央制御システムからの所定の又は可変的に指定可能なターゲット値と比較する。実際のターゲット値は、設定値デバイス４４内で互いに比較される。ここから生じる比較信号は、次いで、コントローラ４６に供給され、電磁アクチュエータ３２を制御するために供給される制御信号を生成する。コントローラ４６によって生成することができるこの制御信号は、増幅器４８を介して、電磁アクチュエータ３２に供給することができる。
【００６９】
カウンタプレート１６と閉鎖カバー１８との間の所定の距離４１が維持され、必要な距離の偏差の場合、磁石デバイス３０によって生成される力は、距離４１を維持するように動的に適合させることができるように、電磁アクチュエータ３２のコイル３３に供給可能な増幅された制御信号が計算され、決定される。制御回路のすべての電子部品、即ち、増幅器４８、コントローラ４６、設定値デバイス  ４４、及び該当する場合には、距離センサ４２を、単一のＰＣＢ上に、例えば、集積化制御回路の形態で全体として収容することができる。この点に関して、対応する電子ユニットに必要なスペース及びこれに関連する配線作業を最小化することができる。
【００７０】
電気信号を印加することができるコイル３０に加え、電磁アクチュエータ３２は、典型的には、強磁性コア、例えば鉄心を有している。電磁アクチュエータ３２は、電磁石として設計することができるが、様々な異なる方法では、例えば、ローレンツ又はボイスコイルアクチュエータとしても設計することができる。電磁石とは対照的に、後者は、電磁アクチュエータと対応物との間に、引力だけではなく反発力も生成することができる。
【００７１】
電磁アクチュエータ３２又はそのコイル３３を保持することを目的とした溝３１は、真空適性に関する理由から、対応物３４に向き合って覆われ及び／又は密閉されなければならない。このために設けられるカバー２１は、典型的には、透磁性材料又は非磁性若しくは極弱磁性材料から作られている。カバー２１は、ほぼ溝３１の閉鎖部として作用し、そのようなものとして設計することができる。本開示で明確に示されていないが、別個のシールによって、カバー２１は、密閉状態で溝３１の上又は中に配置される。カバー２１は、とりわけ、同一平面状で対応物３４に向き合う面１７内に、結果的には、カウンタプレート１６又は閉鎖カバー１８の接触面内に統合することができる。はっきりと図示するために、図１のカバー２１は、カウンタプレート１６の右側だけを示している。同一に維持される又はわずかな公差内で維持される距離４１を、開口部１４の外側範囲全体にわたって設定することができるように、開口部１４の範囲にわたって分散して配置された磁石デバイス３０の各々を、カウンタプレート１６と閉鎖カバー１８との間のそれらの範囲内での主たる距離４１に従って調整することができる。
【００７２】
図１に更に示すように、互いに向き合うカウンタプレート１６の面１７と閉鎖カバー１８の面１９との間に少なくとも１つのスペーサ２４が存在し、フレーム１５の端部停止部分として作用する。
【００７３】
シール２２が圧縮されていない状態では、図７に示すように、シール２２は、カウンタプレート１６の面１７から少なくともわずかに突出する。
【００７４】
図７に示すフレーム１５に対する閉鎖カバー１８の静止位置Ｕ及びカウンタプレート１６に対するフレーム１５の接触位置Ｋにおいて、閉鎖カバー１８とカウンタプレート１６との間に、又は閉鎖カバー１８とシール２２との間に、空隙が存在する。閉鎖カバー１８が、圧縮されずに、したがって比較的緩やかに、その静止位置Ｕでシール２２に当接すると規定することもできる。
【００７５】
その構成要素が図１による図と比較して図６から図８に概略的に示されるのみである磁石デバイス３０を起動させるとすぐに、閉鎖カバー１８は、シール２２に作用する閉鎖力Ｃによりシール２２を圧縮するシフト移動を受ける。圧縮されたシール２２’が図８に示される。本実施形態では、閉鎖力Ｃが閉鎖カバー１８の重力Ｇと相互作用する。閉鎖力Ｃは、個々の復元要素８２の復元力Ｒと反対に作用する。復元要素８２は、図３で明らかなように、本開示の板ばね８３として設計される。
【００７６】
フレーム１５は、周方向に閉鎖したフレームとして設計される。フレーム１５は、実質的に平行に延び、端部側のヘッドセクション８７、８８を介して、それらの長手方向の端部で互いに結合されている、２つの長手方向に延びるリム８５、８６を有している。ヘッドセクション８７と８８との間におおよそセンタリングされた状態で、結合ブリッジ８９が設けられ、リム８５と８６との両方を構造レベルで再び結合し、この点で、フレーム１５の安定性及び剛性を増加させる。板ばね８３は、対で配置される。板ばね８２の対向する端部は、対向するリム８５、８６に配置される。板ばね８３は、リム８５と８６との間のおよそ中央で閉鎖カバー１８に結合される。フレーム１５の水平面に垂直であり、結果的に磁石デバイス３０によって閉鎖カバー１８の面法線Ｎに平行になる閉鎖カバー１８の偏向は、復元ばね８３によって生成される復元力Ｒに抗して起こる。
【００７７】
図６及び図７から最もよく分かるように、複数のスペーサ２４は、閉鎖カバー１８と向き合うカウンタプレート１６の面１７で開口部１４の範囲にわたって分散して配置される。スペーサ２４は、典型的には、プラスチックで作られており、とりわけ、真空条件下でさえも、わずかに又は目立たないほどしかアウトガスしない傾向の、例えばポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）のような耐高温プラスチックで作られている。
【００７８】
カウンタプレート１６の上のフレーム１５の接触位置  Ｋにおいて、フレーム１５は、その下側が開口部１４と向き合った状態で、スペーサ２４の上に静止する。これにより、スペーサ２４は、フレーム１５の旋回運動に対するある種の端部停止部分を形成する。
閉鎖カバー１８の外縁にあるカウンタプレート１６上のスペーサ２４の配置に対応して、対応する凹部２３が設けられ、接触位置Ｋを想定するとき、スペーサ２４が点在する。凹部２３は、開口１４又はカウンタプレート１６で静止するフレーム１５に可能な限り近接して配置されたフレーム支持体を邪魔せずに、閉鎖カバー１８による開口部１４の大規模な被覆を可能にする。
【００７９】
図７から明らかであるように、フレーム１５の接触位置におけるシール２２内の閉鎖カバー１８と、ここに示される閉鎖カバー１８の静止位置Ｕとの間に、画定された間隙が存在する。磁石デバイス３０を起動することによって、閉鎖カバー１８は、閉鎖力Ｃに応じて、カウンタプレート１６に向かって引っ張られる。その結果、復元要素８２は、カウンタプレート１６に向かって偏向される。復元要素８２は、復元力Ｒを提供し、この復元力Ｒは、閉鎖カバー１８に永久的に作用する。閉鎖力を低下させる場合、又は磁石デバイス３０を起動解除する場合、復元要素８２及び復元ばね８３は、図８に示すように、閉鎖カバー１８を密閉閉鎖位置Ｓから引き出し、これによりシール２２を圧縮し、再び静止位置Ｕ内に戻す。
【００８０】
閉鎖カバー１８をフレーム１５に移動可能に装着することは、この点で有利であり、これにより、比較的高い閉鎖力を閉鎖カバー１８の上に及ぼすことが可能になる。しかしながら、閉鎖カバー１８をフレーム１５に対して移動可能に装着するため、これらの力は、フレーム１５に伝達されない。結果として、旋回アクセス８０によって形成されるヒンジ９０は、磁石デバイス３０によって生成される閉鎖力を吸収可能とする必要は全くない。フレーム１５における機械的ストレスは、主に、閉鎖位置Ｓの閉鎖カバー１８とフレーム１５との間で、偏向した復元要素８２から伝達される復元力Ｒに起因して存在しているだけである。閉鎖カバー１８が図８に示す閉鎖位置Ｓにいったん到達すると、増加した閉鎖力Ｃは、フレーム１５にわずかしか又は全く機械的影響を与えない。
【００８１】
図４及び図５では、本発明の代替的な実施形態が示される。図２、図３及び図６による実施形態とは対照的に、ここでフレーム１５は、カウンタプレート１６及び真空チャンバ１２に対してスライド可能に装着される。図４は、閉鎖カバー１８が開放位置でフレーム１５に配置されているフレーム１５を示しており、その一方で、図５は、接触位置Ｋ又は閉鎖位置Ｓにあるフレーム１５及び閉鎖カバー１８を示している。フレーム１５は、上下の延長ガイド６２、６４に沿って、又は対向するヘッドセクション８７、８８に、スライド可能に装着される。
【００８２】
直線的にスライドするガイドとして設計されるガイド６２、６４は、フレーム１５のカウンタプレート１６の水平面及び／又は閉鎖カバー１８の水平面に平行に延びる。閉鎖カバー１８の閉鎖移動により、カウンタプレート１６に対して、とりわけ、カウンタプレート１６に設けられ、カウンタプレート１６の水平面から少なくともわずかに突出するシール２２に対しても、閉鎖カバー１８を接触せずにスライド可能とするために、ガイド６２、６４は、カウンタプレート１６から十分に離れた距離に配置される。
【００８３】
直線的ガイド６２、６４は、非接触ガイドとして設計することができる。複数の磁気ベアリング６０は、ガイド６２、６４のエリアに配置することができる。
【００８４】
磁石デバイス３０と同様に、個々の磁気ベアリング６０は各々、距離センサ（本開示で別個に図示されず）、制御回路、更には、対応物６３と磁気的に相互作用する距離センサ及び制御回路を介して制御することができる、電磁アクチュエータ６１を有することができる。こうして、必要とされるガイド６２、６４に閉鎖カバー１８を吊るした状態を実現することができる。閉鎖カバー１８のガイド６２、６４への非接触装着は、真空チャンバ１２のエリアでの汚染及び摩耗を回避する際にとりわけ有利である。
【００８５】
この場合、複数の電磁アクチュエータ６１が、フレーム１５をスライドさせる場合にフレーム１５に配置される対応物６３と連続的に係合するガイド６２に沿って設けられる。
【００８６】
これにより、逆の構成が、両方とも本発明の範囲内に等しく含まれる。例えば、一又は複数のアクチュエータ６２をフレーム１５又は閉鎖カバー１８に配置することができるのに対して、それらと磁気的に相互作用する対応物６３は、ガイドレールとして設計された直線的ガイド６２、６４に静止した状態で配置される。
【００８７】
図４では、閉鎖カバー１８がカウンタプレート１６の開口部１４のエリアの外側にある開放位置Ｏにあるフレーム１５及び閉鎖カバー１８が示されている。
【００８８】
これにより、閉鎖カバー１８及びシール２２の相対運動が、閉鎖カバー（Ｘ、Ｙ）の平面で可能な限り最大の範囲で発生しないように、閉鎖カバー１８のフレーム１５への装着は、静止位置Ｕから閉鎖位置Ｓ内への閉鎖カバー１８のある種の平行移動のための支持を提供する効果がある。そうでなければ、そのような剪断運動は、シール２２の摩耗と真空チャンバ１２の周囲環境の少なくとも軽微な汚染につながることになろう。
【００８９】
閉鎖カバー１８のガイド６２、６４への非接触装着は、スライドのように設計され閉鎖カバー１８に結合されたフレーム１５を介して、行われる。それぞれの磁気ベアリング６０の構成要素のうちの１つ、即ち、電磁アクチュエータ６１及び対応物６３の構成要素が、ガイド６２、６４に静止して配置される一方で、アクチュエータ６１及び対応物６３の他の構成要素がフレーム１５に配置される。例えば、リニアモータ６８が、閉鎖カバー１８及びフレーム１５をガイド６２、６４に沿ってシフトするために設けられ、これにより、閉鎖カバー１８をカウンタプレート１６に対して開放位置Ｏと接触位置Ｋとの間で移動させることができる。
【図１】
2019502064.tif 000003
【図２】
2019502064.tif 000004
【図３】
2019502064.tif 000005
【図４】
2019502064.tif 000006
【図５】
2019502064.tif 000007
【図６】
2019502064.tif 000008
【図７】
2019502064.tif 000009
【図８】
2019502064.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月27日(2018.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ（１２）のための閉鎖又はロックデバイスであって、
前記真空チャンバ（１２）に配置することができ、前記真空チャンバ（１２）の開口部（１４）を包囲するカウンタプレート（１６）と、
前記カウンタプレート（１６）に対して移動できるように支持され、かつ閉鎖カバー（１８）が移動可能に配置されているフレーム（１５）であって、前記カウンタプレート（１６）に対する閉鎖位置（２８）で密閉するように、前記閉鎖カバー（１８）が開口部（１４）を閉鎖する、フレーム（１５）と、
前記カウンタプレート（１６）及び前記閉鎖カバー（１８）と係合する、前記カウンタプレート（１６）と前記閉鎖カバー（１８）との間で作用する閉鎖力（Ｃ）を発生させるための少なくとも１つの磁石デバイス（３０）と
を含む、閉鎖又はロックデバイス。
【請求項２】
前記開口部（１４）の範囲にわたって、自身の距離測定デバイス（４０）が各々に設けられている、複数の磁石デバイス（３０）が分散して配置されている、請求項１に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項３】
前記閉鎖カバーは、一又は複数の磁気ベアリングによって、接触しないでガイドに装着することができる、請求項１又は２に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項４】
前記フレーム（１５）の接触位置（Ｋ）で、互いに向き合う前記フレーム（１５）及び前記カウンタプレート（１６）の面（１７、１９）に、少なくとも１つのスペーサ（２４）が配置され、前記フレーム（１５）の水平面に垂直な又は前記カウンタプレート（１６）の水平面に垂直な、前記スペーサの延長部分が、前記フレーム（１５）の静止位置（Ｕ）と閉鎖位置（Ｓ）との間の前記閉鎖カバー（１８）の調節範囲に、前記閉鎖カバー（１８）の厚さを加えた合計と少なくともちょうど同じ大きさである、請求項１から３の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項５】
前記閉鎖カバー（１８）が平らな上面（８１）を有しており、前記閉鎖カバー（１８）を、前記フレーム（１５）の前記上面（８１）の面法線（Ｎ）に平行な方向にスライドさせることができる、請求項１から４の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項６】
前記閉鎖カバー（１８）が、少なくとも１つの復元要素（８２）を介して前記フレーム（１５）に結合されており、前記復元要素が、前記閉鎖力（Ｃ）に対して方向付けられた復元力（Ｒ）を前記閉鎖カバー（１８）の上に及ぼすように構成されている、請求項１から５の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項７】
前記少なくとも１つの復元要素（８２）が、少なくとも１つの復元ばね（８３）を有する、請求項１から６の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項８】
前記閉鎖カバー（１８）が、互いに離間している前記フレーム（１５）上の複数の復元要素（８２）を介して配置されており、前記閉鎖カバー（１８）に作用する前記復元要素（８２）のすべてからの復元力（Ｒ）すべての合計が、前記閉鎖カバー（１８）の重力（Ｇ）より大きい、請求項１から７の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項９】
前記フレーム（１５）が、旋回方式又はスライド可能な方式で、前記カウンタプレート（１６）の上又は前記真空チャンバ（１２）の上での開放位置（Ｏ）と接触位置（Ｋ）との間に配置され、
前記開放位置（Ｏ）で、前記フレーム（１５）及び前記フレームに配置された前記閉鎖カバー（１８）が、前記開口部（１４）を解放し、
前記フレーム（１５）が、前記カウンタプレート（１６）又は前記真空チャンバ（１２）に当接し、かつ前記閉鎖カバー（１８）が、前記接触位置（Ｋ）で前記開口部（１４）全体を実質的に覆う、請求項１から８の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項１０】
前記閉鎖カバー（１８）であって、前記接触位置（Ｋ）にある前記フレーム（１５）を、前記磁石デバイス（３０）によって、前記フレーム（１５）に対して静止位置（Ｕ）から密閉閉鎖位置（Ｓ）内に移送することができる、請求項９に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項１１】
前記磁石デバイス（３０）が、前記閉鎖カバー（１８）及び前記カウンタプレート（１６）のうちの１つに配置された少なくとも１つの電磁アクチュエータ（３２）と、前記電磁アクチュエータ（３２）と磁気的に相互作用する、他の前記閉鎖カバー（１８）及び他の前記カウンタプレート（１６）に配置された少なくとも１つの対応物（３４）とを有している、請求項１から１０の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項１２】
弾性的に圧縮可能なシール（２０）が、前記開口部（１４）を包囲する、前記閉鎖カバー（１８）の閉鎖位置（２８）で互いに向き合う前記閉鎖カバー（１８）及び前記カウンタプレート（１６）の面（１７、１９）の間の中間スペース（２５）で前記閉鎖カバー（１８）又は前記カウンタプレート（１６）に配置されている、請求項１から１１の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項１３】
前記閉鎖カバー（１８）と前記カウンタプレート（１６）との間の距離（４１）を測定するための少なくとも１つの距離測定デバイス（４０）
を更に含み、
前記距離測定デバイス（４０）によって測定された前記カウンタプレート（１６）と前記閉鎖カバー（１８）との間の前記距離（４１）に応じて、前記磁石デバイス（３０）を調整することができる、請求項１から１２の何れか一項に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【請求項１４】
前記距離測定デバイス（４０）及び前記磁石デバイス（３０）に接続されており、前記カウンタプレート（１６）と前記閉鎖カバー（１８）との間に所定の距離（４１）を維持すること及び設定することの少なくとも１つを行うように構成されている、少なくとも１つの電子制御回路（４５）を更に含む、請求項１３に記載の閉鎖又はロックデバイス。
【国際調査報告】
2019502064.tif 000011
2019502064.tif 000012
2019502064.tif 000013
2019502064.tif 000014
2019502064.tif 000015
2019502064.tif 000016