(57)【要約】本発明は、測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成された取得信号から、有用な信号を再構成する方法及び装置に関し、取得信号はノイズが加えられた前記有用な信号を含み、プログラマブル装置のプロセッサによって実現される。前記方法は、所与の数の分解レベルに従って、所定のウェーブレット分解基底で前記取得信号を分解し（３２）、前記取得信号を表す対応するウェーブレット係数を取得することと、前記ノイズの標準偏差を表す値を前記ウェーブレット係数の少なくとも一部分から推定すること（４２，４４）と、前記ウェーブレット分解基底から構成された辞書を用いて、前記取得信号について節減信号を再構成する反復方法を実現すること（３４）と、を含み、前記反復方法は関連する停止条件を有し、前記停止条件は推定された前記ノイズを表す前記値の関数として計算（５０）される。【選択図】図３
2019510209.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プログラマブル装置のプロセッサによって実現される、測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成された取得信号からの有用な信号の再構成方法であって、前記取得信号はノイズが加えられた前記有用な信号を含み、
所与の数の分解レベルに従って、所定のウェーブレット分解基底で前記取得信号を分解し（３２）、前記取得信号を表す対応するウェーブレット係数を取得することと、
前記ノイズの標準偏差を表す値を前記ウェーブレット係数の少なくとも一部分から推定すること（４０，４２，４４）と、
前記ウェーブレット分解基底から構成された辞書を用いて、前記取得信号について節減信号を再構成する反復方法であって、前記反復方法は関連する停止条件を有し、前記停止条件は前記ノイズを表す推定された前記値に従って計算（５０）される、反復方法を実現すること（３４）と、
を含む再構成方法。
【請求項２】
前記ノイズの標準偏差を表す値を推定することは、考慮された前記ウェーブレット係数の振幅の絶対値の中央値を推定すること（４２）を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の再構成方法。
【請求項３】
前記ノイズは、前記取得信号の各サンプルに対して独立して分布する標準正規分布によって特徴付けられたホワイトノイズであり、
前記ホワイトノイズの標準偏差を表す値を推定することは、１に等しい分散を有する標準正規分布の変位値によって、前記中央値を重み付けすることを含む
ことを特徴とする請求項２に記載の再構成方法。
【請求項４】
前記停止条件は、前記ノイズのノルムＬ２を推定すること（４４）から計算される
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の再構成方法。
【請求項５】
行うべきウェーブレット分解レベルの数を自動的に求めるステップ（３８）を含む
ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の再構成方法。
【請求項６】
使用すべきウェーブレット分解基底を規定することを可能にするマザーウェーブレットを選択するステップ（３６）を含む
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の再構成方法。
【請求項７】
前記取得信号は、テストされるべき電子部品によって反射された電気光学信号から得られる電気信号を表す
ことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の再構成方法。
【請求項８】
複数のデジタル信号の処理方法であって、各デジタル信号は測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成され、前記複数のデジタル信号を取得することを含み、各取得デジタル信号は２次元デジタル画像のサンプルに対応し、各取得デジタル信号はノイズが加えられた有用な信号を含み、各取得信号に対応する前記有用な信号を再構成する請求項１〜７のいずれか１項の方法を実現することを含む
処理方法。
【請求項９】
２次元デジタル画像の現在のピクセルのデジタル信号を取得するステップ（８２）と、
処理すべき次のピクセルを現在のピクセルとして選択するステップ（８４）とを含む
ことを特徴とする請求項８に記載の処理方法。
【請求項１０】
前記２次元デジタル画像のサンプルの少なくとも一部分について、各取得信号に対応する有用な信号を再構成（９２）した後、前記サンプルに関連する前記有用な信号から支配的な周波数を計算して前記２次元画像に関連する周波数マッピングを形成するステップ（９４）を含む
ことを特徴とする請求項９に記載の処理方法。
【請求項１１】
各取得デジタル信号は、テストされるべき電子部品によって反射された電気光学信号から得られた電気信号を表し、前記方法は前記部品の分析を可能にする
ことを特徴とする請求項８〜１０のいずれか１項に記載の処理方法。
【請求項１２】
プログラマブル装置のプロセッサによって実現される、測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成された取得信号からの有用な信号の再構成装置であって、前記取得信号はノイズが加えられた前記有用な信号を含み、
所与の数の分解レベルに従って、所定のウェーブレット分解基底で前記取得信号を分解し、前記取得信号を表す対応するウェーブレット係数を取得することと、
前記ノイズの標準偏差を表す値を前記ウェーブレット係数の少なくとも一部分から推定することと、
前記ウェーブレット分解基底から構成された辞書を用いて、前記取得信号について節減信号を再構成する反復方法であり、前記反復方法は関連する停止条件を有し、前記停止条件は前記ノイズを表す推定された前記値に従って計算される、反復方法を実現することと、
を実現するように構成されたモジュールを含む再構成装置。
【請求項１３】
プログラマブル装置によって実現されるときに、取得信号から有用な信号を再構成する請求項１〜７のいずれか１項の方法を実現するソフトウェア命令を含む、
コンピュータプログラム。
【請求項１４】
複数のデジタル信号の処理装置であって、各デジタル信号は測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成され、前記複数のデジタル信号を取得することを含み、
各取得信号は２次元デジタル画像のサンプルに対応し、各取得デジタル信号はノイズが加えられた有用な信号を含み、測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成された取得信号から有用な信号を再構成する請求項１２の装置を含む、
処理装置。
【請求項１５】
プログラマブル装置によって実現されるときに、複数のデジタル信号を処理する請求項８〜１１のいずれか１項の方法を実現するソフトウェア命令を含む、
コンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成された取得信号から、有用な信号を再構成する方法に関し、取得信号は、ノイズのある有用な信号を含む。本発明は、関連する信号再構成装置にも関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、ノイズに埋もれた低振幅信号の再構成の分野、特に過渡信号の再構成において応用される。
【０００３】
特に応用される分野は、電子部品の電気光学プロービングの分野である。
【０００４】
この分野において、電子部品、例えばトランジスタが、例えば部品の固定点に向けて又は部品の複数の点に向けてスキャンすることによって、レーザーによって送信された電磁波にさらされる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
反射された電磁波は、例えば時間的な信号の形で表され、取得され、各サンプルは反射された電磁信号の電圧値を表す。提起される問題は、この信号を分析することにあり、それによってテストされる電子部品の状態を推定するためである。
【０００６】
しかし、取得された電気信号は、ノイズが多く、直接利用することができない。ノイズはさまざまなノイズ源、すなわち、熱的、電子的ノイズ源のためであり、ノイズの振幅レベルが有用な信号の振幅レベルより高いことが観測されており、言い換えると、信号対雑音比が非常に低いためである。
【０００７】
テストされる電子部品の状態を特徴付けるように有用な信号を抽出するために、取得信号に処理をする必要がある。
【０００８】
ノイズの特性が正確に知られていて、ノイズのある信号から有用な信号を再構成することが可能な信号処理方法が存在する。
【０００９】
それにもかかわらず、実際の応用のためには、ノイズ振幅レベルは予め知られていない。
【００１０】
既知の方法は、いくつかの取得を行うこと、よりよい信号対雑音比を有する信号を取得するために、これらの取得に平均化を行うことに本質がある。しかし、電子部品テストの特定の場合には、電子部品を長時間レーザービームにさらすと、その電子部品の動作特性の劣化を引き起こすことが観察されている。
【００１１】
よって、反射された電磁波を表す、有利な信号対雑音比を有する電気信号を取得する方法を創り出すことが望まれており、それは高速で、ノイズパラメータを事前に知ることなく使用可能なものである。
【００１２】
電子部品の電気光学プロービングの分野以外の分野において、類似の問題が生じるということに注意すべきである。一般的に、ノイズが非常に多い過渡信号の取得を含む如何なる技術分野においてもこの問題は生じる。
【００１３】
本発明は、前述の問題を克服することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この目的のため、本発明は、測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成された取得信号から、有用な信号を再構成する方法を提案し、取得信号はノイズが加えられた前記有用な信号を含み、この方法はプログラマブル装置のプロセッサによって実現される。
【００１５】
この方法は、
・所与の数の分解レベルに従って、所定のウェーブレット分解基底で前記取得信号を分解し、前記取得信号を表す対応するウェーブレット係数を取得することと、
・前記ノイズの標準偏差を表す値を前記ウェーブレット係数の少なくとも一部分から推定することと、
・前記ウェーブレット分解基底から構成された辞書を用いて、前記取得信号について節減信号を再構成する反復方法であって、前記反復方法は関連する停止条件を有し、前記停止条件は前記ノイズを表す推定された前記値に従って計算される、反復方法を実現することと、
を含む。
【００１６】
有利なことに、本発明の方法によると、ノイズのある取得信号から有用な信号を、ノイズレベルを事前に知ることなしに再構成することが可能になる。
【００１７】
有利なことに、ウェーブレット分解を使用することにより、取得信号の時空間的特性を得ることがその有用な信号の基礎的な特性に関係なく可能になる。
【００１８】
本発明による方法は、独立して考慮されて、又は技術的に実現可能な如何なる組合せにも従って、以下の、１つ以上の特徴を示す。
【００１９】
前記ノイズの標準偏差を表す値を推定することは、考慮された前記ウェーブレット係数の振幅の絶対値の中央値を推定することを含む。
【００２０】
前記ノイズが、前記取得信号の各サンプルに対して独立して分布する標準正規分布によって特徴付けられたホワイトノイズであるときに、前記ホワイトノイズの標準偏差を表す値を推定することは、１に等しい分散を有する標準正規分布の変位値によって、前記中央値を重み付けすることを含む。
【００２１】
前記停止条件は、前記ホワイトノイズのノルムＬ２を推定することから計算される。
【００２２】
前記方法は、行うべきウェーブレット分解レベルの数を自動的に求めるステップを含む。
【００２３】
前記方法は、使用すべきウェーブレット分解基底を規定することを可能にするマザーウェーブレットを選択するステップを含む。
【００２４】
前記取得信号は、テストされるべき電子部品によって反射された電気光学信号から得られる電気信号を表す。
【００２５】
他の局面によると、本発明は、プログラマブル装置のプロセッサによって実現される、測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成された取得信号からの有用な信号の再構成装置に関し、前記取得信号はノイズが加えられた前記有用な信号を含む。この装置は、
・所与の数の分解レベルに従って、所定のウェーブレット分解基底で前記取得信号を分解し、前記取得信号を表す対応するウェーブレット係数を取得することと、
・前記ノイズの標準偏差を表す値を前記ウェーブレット係数の少なくとも一部分から推定することと、
・前記ウェーブレット分解基底から構成された辞書を用いて、前記取得信号について節減信号を再構成する反復方法であり、前記反復方法は関連する停止条件を有し、前記停止条件は前記ノイズを表す推定された前記値に従って計算される、反復方法を実現することと、
を実現するように構成されたモジュールを含む。
【００２６】
他の局面によると、本発明は、プログラマブル装置によって実現されるときに、取得信号から有用な信号を再構成する簡潔に上述された方法を実現するソフトウェア命令を含むコンピュータプログラムに関する。
【００２７】
他の局面によると、複数のデジタル信号の処理方法であって、各デジタル信号は測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成され、前記複数のデジタル信号を取得することを含み、各取得デジタル信号は２次元デジタル画像のサンプルに対応し、各取得デジタル信号はノイズが加えられた有用な信号を含み、各取得信号に対応する前記有用な信号を再構成する簡潔に上述された方法を実現することを含む、処理方法に、本発明は関する。
【００２８】
一実施形態によると、前記方法は、２次元デジタル画像の現在のピクセルのデジタル信号を取得するステップと、処理すべき次のピクセルを現在のピクセルとして選択するステップとを含む。
【００２９】
一実施形態によると、各取得信号に対応する有用な信号を再構成した後、前記方法は、前記２次元デジタル画像のサンプルの少なくとも一部分について、前記サンプルに関連する前記有用な信号から支配的な周波数を計算して前記２次元画像に関連する周波数マッピングを形成するステップを含む。
【００３０】
一実施形態によると、各取得デジタル信号は、テストされるべき電子部品によって反射された電気光学信号から得られた電気信号を表し、前記方法は前記部品の分析を可能にする。
【００３１】
他の局面によると、複数のデジタル信号の処理装置であって、各デジタル信号は測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成され、前記複数のデジタル信号を取得することを含み、各取得信号は２次元デジタル画像のサンプルに対応し、各取得デジタル信号はノイズが加えられた有用な信号を含み、測定された物理量を表す複数のサンプルによって構成された取得信号から有用な信号を再構成する簡潔に上述された装置を、本発明は含む。
【００３２】
他の局面によると、本発明は、プログラマブル装置によって実現されるときに、複数のデジタル信号を処理する簡潔に上述された方法を実現するソフトウェア命令を含むコンピュータプログラムに関する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
本発明の他の特徴及び利点は、表示すること及び制限しないことを目的として、添付の図面を参照して以下に与えられた記載から明らかになる。
【図１】図１は、本発明が応用される電子部品を分析する電気光学システムを図示する。
【図２】図２は、取得信号の例及び対応する有用な信号の推定を示す。
【図３】図３は、本発明の実施形態による有用な信号を再構成する方法の主なステップのフローチャートである。
【図４】図４は、本発明を実現可能なプログラマブル装置の機能ブロックを示す図である。
【図５】図５は、本発明による有用な信号を再構成する方法を実現する信号を処理する方法の主なステップのフローチャートである。
【図６】図６は、対象領域に対応する２次元画像及び再構成前の対応する信号を図示する。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
本発明は、電子部品の電気光学プロービングへの応用という状況において、以下に説明される。
【００３５】
それにもかかわらず、本発明は、ノイズの振幅に比べて小さな振幅を有する有用な信号を含む、ノイズが非常に多い取得信号（signal acquis）の分析を含む如何なる分野においても、他の応用がなされるということは言うまでもなく、取得信号は過渡的なものである。
【００３６】
図１は、「電圧レーザープロービング」システムとも呼ばれる、電子部品を分析する電気光学システムを図示する。
【００３７】
システム１は、テストされるべき電子部品２、例えばトランジスタを含む。
【００３８】
レーザー源４は、電気光学信号６を、テストされるべき部品２の所定の固定点の方向に放出する。
【００３９】
代替として、レーザー源４は、スキャンを行い、よって各方向がテストされるべき部品又は電子回路の空間的な点に対応する方向の光線で、電気光学信号を放出するように構成されている。
【００４０】
レーザーの励起が所定の期間にわたって各対象点に与えられ、これにより、テストされるべき電子部品２によって、つまり、レーザー源をスキャンする場合には各方向の光線によって決まる各空間点によって、反射された電気光学信号８を、反射素子７を経由して所与の期間にわたって取得することを可能にする。
【００４１】
反射された電気光学信号８は、フォトダイオード及びプリアンプを含む回路１０に送られ、この電気光学信号を、アンプ１２に送信される電気信号に変換することを可能にする。
【００４２】
取得電気信号１４は、処理されるべき信号であり、アンプ１２の出力において得られる。
【００４３】
レーザー源によって放出された電気光学信号６によって到達される空間点のために、プログラマブル処理装置１８に供給される電気信号１４が、コンバータ１６によるアナログ−デジタル変換後に得られる。
【００４４】
一実施形態において、モジュール１６及び１８は、デジタルシグナルプロセッサ、すなわちＤＳＰ内で一体化されている。
【００４５】
プログラマブル処理装置１８は、プログラマブル装置の電源がオンであるときに計算を行うためのプログラムコード命令を実行可能なプロセッサを有する。プログラマブル処理装置１８は、パラメータ、変数及びコード命令を記憶可能な１つ又はいくつかのメモリも有する。プログラマブル処理装置の例が、図４を参照して以下に説明される。
【００４６】
図２は、取得電気信号ＳＡを示し、その各点は与えられた時点における電気的な電圧値を表す。
【００４７】
観察され得るように、そのような取得信号は特にノイズが多く、したがってそのまま利用することはできない。
【００４８】
取得電気信号ＳＡは、有用な信号を加えることによって形成されており、それは、テストされる電子部品の放出された電気光学信号６に対する応答、及び大振幅ノイズを表す。
【００４９】
本発明の方法の目的は、取得信号ＳＡから有用な信号ＳＵを再構成（reconstruction）することである。図２は、一実施形態において、本発明の有用な信号を再構成する方法を適用することによって信号ＳＡから抽出された信号ＳＵを示す。
【００５０】
図３は、本発明の第１実施形態による、ノイズのある信号から有用な信号を再構成する方法の主なステップのフローチャートである。
【００５１】
信号を取得する最初のステップ３０において、信号ＳＡが取得され、デジタル化される。
【００５２】
一実施形態において、取得信号ＳＡは、測定された電圧値を表すサンプルを含む時間的な信号である。
【００５３】
上述のように、取得信号ＳＡは、大振幅ノイズに埋もれた有用な信号を含む。
【００５４】
それは、節減信号（signaux parcimonieux）を再構成する反復方法を利用するステップ３４の入力のみではなく、取得信号を所定のウェーブレット分解基底（base de decomposition en ondelettes）で分解するステップ３２の入力にも供給され、その技術は「圧縮センシング」としても知られており、それは所定の分解基底における少数の非零の代表的なサンプルから信号を再現することを目的とする。
【００５５】
取得信号のウェーブレット分解基底での分解を利用するステップ３２は、ステップ３６によって供給される初期ウェーブレットすなわちマザーウェーブレットを用いること、及び、ステップ３８によって供給される、Ｌ個の分解レベルにわたるウェーブレット分解を利用することに本質がある。これらの２つのパラメータ、すなわち、マザーウェーブレットの形及び分解レベルの数は、使用すべきウェーブレット分解基底の完全な規定を可能にする。
【００５６】
一実施形態において、ステップ３６及び３８は、本発明を実現するように構成された装置のメモリ内のこれらのパラメータを読み出すことに、その本質がある。
【００５７】
これらのパラメータの値は、本発明の方法を実現する装置のヒューマンマシンインタフェースを介してユーザによって供給され得る。
【００５８】
好ましくは、マザーウェーブレットはシムレット（Symmlet）と呼ばれるウェーブレットである。
【００５９】
代替として、ドブシー（Daubechies）、ハール（Haar）、メイヤー（Meyer）、又はコイフレット（Coiflet）ウェーブレットが使用される。
【００６０】
適用され得る分解レベルの最大の数Ｌｍａｘは、分解のための取得信号ＳＡのサンプル数によって決まる。
【００６１】
例えば、もし信号ＳＡが５１２サンプルを含むなら、分解レベルの最大の数はＬｍａｘ＝９である。より一般的には、ｎサンプルの信号に対して、Ｌｍａｘ＝log2（ｎ）である。
【００６２】
実際には、ＬはＬｍａｘより小さく選ばれ得る。
【００６３】
分解レベルの数Ｌは、２とＬｍａｘとの間で、ノイズの考慮と生じ得る情報の喪失との間の良好なトレードオフを得るように、好ましくは中間値に選ばれる。
【００６４】
代替として、分解レベルの数Ｌは、ステップ３８で自動的に計算される。この場合、ステップ３２及び３８は、条件、例えば分解係数に基づいて計算されたエントロピー条件に適合するまで、分解レベルを増加させることによって反復される。
【００６５】
例えば、この方法は、Ｙ．Ｆ．サン（Sang）他、「ウェーブレット閾値のノイズ除去における分解レベルを選択する、エントロピーに基づく方法」、2010年出版、Entropy journal, vol. 12, No. 6, pages 1499-1513に開示されている。
【００６６】
選択されたウェーブレット基底での分解の適用３２の後、この分解基底についての取得信号の一組の代表的な係数又はウェーブレット係数が得られる。
【００６７】
取得信号ＳＡの表現は、もし、いくつかの得られた係数が、ゼロに等しい、又は絶対値若しくは大きさが０に近い、すなわち、所定の閾値εより小さいなら、節減的なものである。
【００６８】
計算された係数のサブセットが、係数選択ステップ４０において選択される。
【００６９】
係数を選ぶこのステップのために、例えば、本発明の方法を実現する装置のヒューマンマシンインタフェースを経由してユーザによって予め規定されたサブサンプリング行列によって、選択が行われる。取得信号が図２に示されているような１次元信号で構成されているときには、この行列のサイズは［ｍ，ｎ］であり、ｍは選択される係数の数であり、ｎは取得信号のサイズである。この行列は、新たな基底におけるサブサンプルに役立ち、これは圧縮に等しい。
【００７０】
最初の取得信号であるｎサンプルの信号ｘ∈Ｒｎ、及び、信号ｘが最良の節減表現、例えば離散ウェーブレット基底となっている行列Ψ∈Ｒｎｘｎを考える。基底Ψ∈Ｒｎｘｎにおけるｘの最良の節減表現Ｓ∈Ｒｎを考える。
【００７１】
すると、ｘ＝Ψ・Ｓ、
ただし、サブサンプリング行列φ∈Ｒｍｘｎが、ベクトルｙを構成するｍ回の観測を選択することを可能にし、ｍ＜＜ｎである。
【００７２】
ｙ＝φ・ｘ＝φ・Ψ・Ｓが得られ、
サブサンプリング行列φは、制限等長性すなわちＲＩＰを有するランダム行列である。
【００７３】
特に、サブガウシアンランダム行列はＲＩＰ特性に適合し、その要素は正規分布に従って疑似ランダムに生成され、０と１との間の絶対値に制限される。
【００７４】
一実施形態においては、５０００×１００００のサイズのサブガウシアンランダムサブサンプリング行列が、１００００サンプルの信号のために生成される。
【００７５】
他の実施形態においては、分解レベルＩｉの係数の半分が選択される。
【００７６】
有利なことに、サブサンプリングステップ４０は、圧縮ステップに吸収され得、信号を表す係数の数が大きく減少する。節減表現の使用により、信号の処理時間を大幅に減少させることができる。
【００７７】
ステップ４２において、取得信号に存在するノイズの標準偏差を表す値の推定が実現される。
【００７８】
観測されるノイズはホワイトノイズであると考えられ、観測される信号の各サンプルにわたって全く同様にかつ独立して分布している、と仮定される。
【００７９】
一実施形態において、観測されるノイズが物理現象の総和の結果として生じる場合に対応して、ノイズは標準正規分布（distribution gaussienne centree）しており、分布の分散又は標準偏差の値によって完全に特徴付けられている。
【００８０】
考慮される応用において、ガウシアンホワイトノイズの分散σ２は未知であるが、サブサンプリングステップ４０で選択されるウェーブレット分解係数から推定される。
【００８１】
好ましい実施形態によると、ステップ４２において、ウェーブレット分解係数の、これらは取得信号の分解の後に得られるのであるが、一部の平均絶対偏差すなわちＭＡＤ（mean absolute deviation）が、推定される。
【００８２】
この好ましい実施形態においては、第１分解レベルのウェーブレット分解係数
2019510209.tif 000003
を考慮し、これは主にノイズによって構成されているのであるが、かつ、これらの係数の絶対値の中央値を、
2019510209.tif 000004
…（式１）
によって計算する。
【００８３】
一実施形態において、信号に存在するガウシアンホワイトノイズの分散が、次の推定法則によって推定される。
2019510209.tif 000005
…（式２）
値0.6745は、１に等しい分散を有する標準正規分布の0.75分位値である。
【００８４】
公式（式２）によって与えられる推定法則は、図２に示されているように、更なる加法性白色ガウス雑音（bruit additionnel blanc gaussien centre）を有する１次元の取得信号に特に適合する。実際に、そのようなノイズが例えば電子部品の電気光学プロービングの場合に存在することが観測されている。
【００８５】
ノイズ推定ステップ４２の次は、取得信号ＳＡに存在するノイズのノルムＬ２を推定するステップ４４である。
【００８６】
上述の実施形態において、ノイズのノルムＬ２は推定された標準偏差σに等しい。
【００８７】
推定されたノルムＬ２は、その後、ステップ３４で実現される節減信号を再構成する反復方法の停止条件として使用される。
【００８８】
一実施形態において、使用される圧縮取得方法は、直交マッチング追跡すなわちＯＭＰと呼ばれる方法である。
【００８９】
この方法は、ステップ３６で前に得られたウェーブレット分解基底から、基底関数の辞書を選択する、第１サブステップ４６を有する。その後、ＯＭＰアルゴリズムがステップ４８で実現される。
【００９０】
ステップ５０は反復再構成方法の自動停止条件を実現し、この停止条件は、ステップ４４において、前に推定されたノイズのノルムＬ２から計算される。ＯＭＰ条件において、前記アルゴリズムの残差のノルムが前に推定されたノイズのノルム以上になるとすぐに、反復が停止される。
【００９１】
もし停止条件が適合しなければ、ステップ５０の次にステップ４８が行われる。
【００９２】
もし停止条件が適合すれば、有用な信号ＳＵがステップ５２において得られる。
【００９３】
上述の方法は、プログラマブル処理装置、例えば図４に図示されているようなコンピュータによって実現される。
【００９４】
本発明を実現可能なプログラマブル装置１８、典型的にはコンピュータは、装置１８の電源がオンになっているときにコンピュータプログラム命令を実行可能な中央処理装置６８、すなわちＣＰＵを有する。装置１８は、本発明による方法を実現可能なコード命令を含むプログラムの実現を可能にする実行可能なコード命令を格納することが可能な、情報を格納するための手段７０、例えばレジスタ又はメモリも有する。
【００９５】
オプションとして、プログラマブル装置１８は、画面６２と、オペレータのコマンドを入力するための手段６４、例えばキーボードとを有し、画面６２に表示されたグラフィック要素を選択することを可能にする、マウスのような更なるポインティング手段６６をオプションとして有する。
【００９６】
以上で説明された装置１８のさまざまな機能ブロック６２〜７０は、通信バス７２によって接続されている。
【００９７】
示されていない変形例において、プログラマブル装置１８は、１つ又はいくつかのＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）のようなプログラマブルな論理コンポーネントの形で、又は未だにＡＳＩＣ（Application-Specific Integrated Circuit）タイプの専用集積回路の形で、作成されている。
【００９８】
図５は、本発明の実施形態による、ノイズのある信号からの有用な信号の再構成を実現する信号を処理する方法の主なステップのフローチャートである。
【００９９】
そのような処理方法は、図４を参照して以上で説明されたようなプログラマブル装置によっても実現される。
【０１００】
この実施形態において、２Ｄ＋ｔ信号とも呼ばれる時空間的信号が処理される。
【０１０１】
時間的な信号の２次元画像が形成される。２Ｄ画像の各サンプルに、テストされるべき部品２の所定の固定点が対応する。
【０１０２】
よって、テストされるべき部品の全範囲が分析される。
【０１０３】
第１の信号取得段階８０において、レーザービームが、対応する信号を取得するように、テストされるべき部品のさまざまな点に連続的に向けられる。
【０１０４】
段階８０は、現在のピクセルのためにデジタル信号を取得する第１サブステップ８２を含む。
【０１０５】
レーザーは、現在のピクセルに対応する、テストされるべき部品の点に、決定される期間の間、焦点が合わせられる。
【０１０６】
この実施形態において、レーザーは、信号対雑音比が所定値より低い限り保持され、ノイズは、上述のようにウェーブレット変換の適用によって取得信号において推定される。
【０１０７】
好ましくは、ノイズの標準偏差を表す値は、上述のように第１ウェーブレット係数から推定される。
【０１０８】
サブステップ８４は、現在のピクセルに関連する取得信号の信号対雑音比の値の検査を実現する。
【０１０９】
現在の取得信号の信号対雑音比が所定のレベルに達するときには、処理すべき次のピクセルを現在のピクセルとして選択するサブステップ８６が、サブステップ８４の次に行われる。
【０１１０】
現在のピクセルのそれぞれについて、取得信号は同じ数のサンプルを有する。
【０１１１】
処理すべき次のピクセルの選択は、埋め尽くすべき２次元画像の系統立った経路順序に従って、例えば通常の行−列ルーティングに従って、又は処理すべきピクセルの疑似ランダム選択によって、行われ得る。
【０１１２】
他の変形例によると、例えばトランジスタが置かれている場所のみがテストされ、よって２次元画像の部分のみが分析の対象領域に対応して形成される。
【０１１３】
埋め尽くすべき２次元画像の全てのピクセルに関連する信号を完全に取得するまで、サブステップ８６の次に、前に説明したサブステップ８２が行われる。
【０１１４】
図６は、２次元画像及び現在のピクセルＰｃに関連する取得信号Ｓｃを、疑似ランダムに選ばれた次のピクセルＰｓに加えて図示する。
【０１１５】
取得８０の後、処理ステップ９０が実現される。
【０１１６】
各ピクセルの取得信号は、上述の、サブステップ９２における再構成方法に従って再構成される。
【０１１７】
その後、サブステップ９４において、離散フーリエ変換が、取得され再構成によって簡単化された各信号に適用され、よって各ピクセル対して支配的な周波数が推定される。
【０１１８】
そして分析された対象領域の周波数マッピングが得られる。
【０１１９】
代替として、他の更なる処理が取得信号のそれぞれに対して適用され得、他の条件に対する、分析された対象領域の周波数マッピングを得ることが可能になる。
【０１２０】
有利なことに、提案された方法によって、最初の取得信号の大幅に減少された数のサンプルから、ノイズが減少した信号を推定することが可能になり、その結果、行われるべき計算を最適化することが可能になる。加えて、同一の信号の時間に沿った取得から生じる使用サンプル、信号の取得時間が大幅に減少し、その結果、信号の総処理時間もが大幅に減少する。
【図１】
2019510209.tif 000006
【図２】
2019510209.tif 000007
【図３】
2019510209.tif 000008
【図４】
2019510209.tif 000009
【図５】
2019510209.tif 000010
【図６】
2019510209.tif 000011
【国際調査報告】
2019510209.tif 000012
2019510209.tif 000013
2019510209.tif 000014
2019510209.tif 000015