(57)【要約】  本明細書に記載の特定の実施形態は、プラズマを維持するために使用できるジェネレータに関する。一部の実施形態において、ジェネレータは、誘導装置に電気的に結合され、発振モードで誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成した発振回路を備え、本回路は、ジェネレータの発振モードでトーチ本体内の誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすように構成される。
2019519066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、
プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、
前記発振回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすように構成される、前記ジェネレータ。
【請求項２】
前記回路が、前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第１のトランジスタを備える、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第１の駆動回路をさらに含む、請求項２に記載のジェネレータ。
【請求項４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項３に記載のジェネレータ。
【請求項５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第２の駆動回路をさらに含む、請求項４に記載のジェネレータ。
【請求項６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項５に記載のジェネレータ。
【請求項７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項６に記載のジェネレータ。
【請求項８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項７に記載のジェネレータ。
【請求項９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項８に記載のジェネレータ。
【請求項１０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項１１に記載のジェネレータ。
【請求項１３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項１１に記載のジェネレータ。
【請求項１４】
前記発振回路が、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項２に記載のジェネレータ。
【請求項１６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項１５に記載のジェネレータ。
【請求項１７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項１６に記載のジェネレータ。
【請求項１８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項１７に記載のジェネレータ。
【請求項１９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１８に記載のジェネレータ。
【請求項２０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１９に記載のジェネレータ。
【請求項２１】
トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、
前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第１の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第２の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記ジェネレータの前記第１の状態において、前記誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第２の状態において、前記誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、前記第２の周波数が前記第１の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第１の状態から前記第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、前記発振ジェネレータ。
【請求項２２】
前記発振回路が、高調波放射制御をもたらすように構成される、請求項２１に記載のジェネレータ。
【請求項２３】
前記回路が、誘導装置に電気的に結合するように構成された第１のトランジスタを備える、請求項２２に記載のジェネレータ。
【請求項２４】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第１の駆動回路をさらに含む、請求項２３に記載のジェネレータ。
【請求項２５】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項２４に記載のジェネレータ。
【請求項２６】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第２の駆動回路をさらに含む、請求項２５に記載のジェネレータ。
【請求項２７】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項２６に記載のジェネレータ。
【請求項２８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項２６に記載のジェネレータ。
【請求項２９】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項２８に記載のジェネレータ。
【請求項３０】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項２９に記載のジェネレータ。
【請求項３１】
前記回路が、前記ジェネレータが前記第１の状態から前記第２の状態に切り替えられた後、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項２１に記載のジェネレータ。
【請求項３２】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項２１に記載のジェネレータ。
【請求項３３】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項３２に記載のジェネレータ。
【請求項３４】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項３２に記載のジェネレータ。
【請求項３５】
前記発振回路が、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項２１に記載のジェネレータ。
【請求項３６】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項２３に記載のジェネレータ。
【請求項３７】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項３６に記載のジェネレータ。
【請求項３８】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗と、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗とを含む、請求項３７に記載のジェネレータ。
【請求項３９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項３８に記載のジェネレータ。
【請求項４０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項３９に記載のジェネレータ。
【請求項４１】
誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備える、前記ジェネレータ。
【請求項４２】
前記回路が、前記誘導装置に電気的に結合して、前記誘導装置に電力を供給するように構成された第１のトランジスタを備える、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項４３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第１の駆動回路をさらに含む、請求項４２に記載のジェネレータ。
【請求項４４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項４３に記載のジェネレータ。
【請求項４５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第２の駆動回路をさらに含む、請求項４４に記載のジェネレータ。
【請求項４６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項４５に記載のジェネレータ。
【請求項４７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項４６に記載のジェネレータ。
【請求項４８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項４７に記載のジェネレータ。
【請求項４９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項４８に記載のジェネレータ。
【請求項５０】
前記回路が、前記ジェネレータが前記第１の状態から前記第２の状態に切り替えられた後、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項４１に記載のジェネレータ。
【請求項５１】
前記プラズマの点火を判断するように構成されたプロセッサに電気的に結合された検出器をさらに備える、請求項４１に記載のジェネレータ。
【請求項５２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項５１に記載のジェネレータ。
【請求項５３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項５１に記載のジェネレータ。
【請求項５４】
前記発振回路が、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項４１に記載のジェネレータ。
【請求項５５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項４２に記載のジェネレータ。
【請求項５６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項５５に記載のジェネレータ。
【請求項５７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項５６に記載のジェネレータ。
【請求項５８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項５７に記載のジェネレータ。
【請求項５９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項５８に記載のジェネレータ。
【請求項６０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項５９に記載のジェネレータ。
【請求項６１】
誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつトーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、前記発振回路が、発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、前記ジェネレータとを備えるシステム。
【請求項６２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項６１に記載のシステム。
【請求項６３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項６２に記載のシステム。
【請求項６４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項６３に記載のシステム。
【請求項６５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項６４に記載のシステム。
【請求項６６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項６５に記載のシステム。
【請求項６７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項６６に記載のシステム。
【請求項６８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項６７に記載のシステム。
【請求項６９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項６８に記載のシステム。
【請求項７０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項６１に記載のシステム。
【請求項７１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項６１に記載のシステム。
【請求項７２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項７１に記載のシステム。
【請求項７３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項７１に記載のシステム。
【請求項７４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項６１に記載のシステム。
【請求項７５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項６２に記載のシステム。
【請求項７６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項７５に記載のシステム。
【請求項７７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項７６に記載のシステム。
【請求項７８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項７７に記載のシステム。
【請求項７９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項７８に記載のシステム。
【請求項８０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項７９に記載のシステム。
【請求項８１】
誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつトーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第１の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第２の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成された前記発振ジェネレータとを備え、
前記発振ジェネレータが、
前記ジェネレータの前記第１の状態において、前記誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第２の状態において、前記誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、前記第２の周波数が前記第１の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第１の状態から前記第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、システム。
【請求項８２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項８１に記載のシステム。
【請求項８３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項８２に記載のシステム。
【請求項８４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項８３に記載のシステム。
【請求項８５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項８４に記載のシステム。
【請求項８６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項８５に記載のシステム。
【請求項８７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項８６に記載のシステム。
【請求項８８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項８７に記載のシステム。
【請求項８９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項８８に記載のシステム。
【請求項９０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項８１に記載のシステム。
【請求項９１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項８１に記載のシステム。
【請求項９２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項８１に記載のシステム。
【請求項９３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項８１に記載のシステム。
【請求項９４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項８１に記載のシステム。
【請求項９５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項８２に記載のシステム。
【請求項９６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項９５に記載のシステム。
【請求項９７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項９６に記載のシステム。
【請求項９８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項９７に記載のシステム。
【請求項９９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項９８に記載のシステム。
【請求項１００】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項９９に記載のシステム。
【請求項１０１】
誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた前記ジェネレータとを備える、システム。
【請求項１０２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項１０１に記載のシステム。
【請求項１０３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項１０２に記載のシステム。
【請求項１０４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１０３に記載のシステム。
【請求項１０５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項１０４に記載のシステム。
【請求項１０６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１０５に記載のシステム。
【請求項１０７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項１０６に記載のシステム。
【請求項１０８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項１０７に記載のシステム。
【請求項１０９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項１０８に記載のシステム。
【請求項１１０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項１０１に記載のシステム。
【請求項１１１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項１０１に記載のシステム。
【請求項１１２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項１０１に記載のシステム。
【請求項１１３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項１０１に記載のシステム。
【請求項１１４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項１０１に記載のシステム。
【請求項１１５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項１０２に記載のシステム。
【請求項１１６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項９５に記載のシステム。
【請求項１１７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項１１６に記載のシステム。
【請求項１１８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項１１７に記載のシステム。
【請求項１１９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１１８に記載のシステム。
【請求項１２０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１１９に記載のシステム。
【請求項１２１】
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、収容した前記トーチ部分に高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記トーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、前記発振回路が、発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、前記ジェネレータと、
前記トーチに流体的に結合された質量分析器とを備える、質量分析計システム。
【請求項１２２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項１２１に記載のシステム。
【請求項１２３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項１２２に記載のシステム。
【請求項１２４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１２３に記載のシステム。
【請求項１２５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項１２４に記載のシステム。
【請求項１２６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１２５に記載のシステム。
【請求項１２７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項１２６に記載のシステム。
【請求項１２８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項１２７に記載のシステム。
【請求項１２９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項１２８に記載のシステム。
【請求項１３０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項１２１に記載のシステム。
【請求項１３１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項１２１に記載のシステム。
【請求項１３２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項１２１に記載のシステム。
【請求項１３３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項１２１に記載のシステム。
【請求項１３４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項１２１に記載のシステム。
【請求項１３５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項１２２に記載のシステム。
【請求項１３６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項１３５に記載のシステム。
【請求項１３７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項１３６に記載のシステム。
【請求項１３８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項１３７に記載のシステム。
【請求項１３９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１３８に記載のシステム。
【請求項１４０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１３９に記載のシステム。
【請求項１４１】
質量分析計システムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、収容した前記トーチ部分に高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第１の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第２の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成された前記発振ジェネレータとを備え、
前記発振ジェネレータが、
前記ジェネレータの前記第１の状態において、前記誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第２の状態において、前記誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、前記第２の周波数が前記第１の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第１の状態から前記第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備え、
前記質量分析計システムはさらに、
前記トーチに流体的に結合された質量分析器を備える、前記質量分析計システム。
【請求項１４２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項１４１に記載のシステム。
【請求項１４３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項１４２に記載のシステム。
【請求項１４４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１４３に記載のシステム。
【請求項１４５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項１４４に記載のシステム。
【請求項１４６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１４５に記載のシステム。
【請求項１４７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項１４６に記載のシステム。
【請求項１４８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項１４７に記載のシステム。
【請求項１４９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項１４８に記載のシステム。
【請求項１５０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項１４１に記載のシステム。
【請求項１５１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項１４１に記載のシステム。
【請求項１５２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項１４１に記載のシステム。
【請求項１５３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項１４１に記載のシステム。
【請求項１５４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項１４１に記載のシステム。
【請求項１５５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項１４２に記載のシステム。
【請求項１５６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項１５５に記載のシステム。
【請求項１５７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項１５６に記載のシステム。
【請求項１５８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項１５７に記載のシステム。
【請求項１５９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１５８に記載のシステム。
【請求項１６０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１５９に記載のシステム。
【請求項１６１】
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた前記ジェネレータと、
前記トーチに流体的に結合された質量分析器とを備える、質量分析計システム。
【請求項１６２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項１６１に記載のシステム。
【請求項１６３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項１６２に記載のシステム。
【請求項１６４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１６３に記載のシステム。
【請求項１６５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項１６４に記載のシステム。
【請求項１６６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１６５に記載のシステム。
【請求項１６７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項１６６に記載のシステム。
【請求項１６８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項１６７に記載のシステム。
【請求項１６９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項１６８に記載のシステム。
【請求項１７０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項１６１に記載のシステム。
【請求項１７１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項１６１に記載のシステム。
【請求項１７２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項１６１に記載のシステム。
【請求項１７３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項１６１に記載のシステム。
【請求項１７４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項１６１に記載のシステム。
【請求項１７５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項１６２に記載のシステム。
【請求項１７６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項１７５に記載のシステム。
【請求項１７７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項１７６に記載のシステム。
【請求項１７８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項１７７に記載のシステム。
【請求項１７９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１７８に記載のシステム。
【請求項１８０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１７９に記載のシステム。
【請求項１８１】
光学発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記トーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、前記発振回路が、発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、前記ジェネレータと、
前記トーチ内の光学発光を検出するように構成された光検出器とを備える、前記システム。
【請求項１８２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項１８１に記載のシステム。
【請求項１８３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項１８２に記載のシステム。
【請求項１８４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１８３に記載のシステム。
【請求項１８５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項１８４に記載のシステム。
【請求項１８６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項１８５に記載のシステム。
【請求項１８７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項１８６に記載のシステム。
【請求項１８８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項１８７に記載のシステム。
【請求項１８９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項１８８に記載のシステム。
【請求項１９０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項１８１に記載のシステム。
【請求項１９１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項１８１に記載のシステム。
【請求項１９２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項１８１に記載のシステム。
【請求項１９３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項１８１に記載のシステム。
【請求項１９４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項１８１に記載のシステム。
【請求項１９５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項１８２に記載のシステム。
【請求項１９６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項１９５に記載のシステム。
【請求項１９７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項１９６に記載のシステム。
【請求項１９８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項１９７に記載のシステム。
【請求項１９９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１９８に記載のシステム。
【請求項２００】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１９９に記載のシステム。
【請求項２０１】
光学発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第１の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第２の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成された前記発振ジェネレータとを備え、
前記発振ジェネレータが、
前記ジェネレータの前記第１の状態において、前記誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第２の状態において、前記誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、前記第２の周波数が前記第１の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第１の状態から前記第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備え、
前記システムはさらに、
前記トーチ内の光学発光を検出するように構成された光検出器を備える、前記システム。
【請求項２０２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項２０１に記載のシステム。
【請求項２０３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項２０２に記載のシステム。
【請求項２０４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２０３に記載のシステム。
【請求項２０５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項２０４に記載のシステム。
【請求項２０６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２０５に記載のシステム。
【請求項２０７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項２０６に記載のシステム。
【請求項２０８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項２０７に記載のシステム。
【請求項２０９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項２０８に記載のシステム。
【請求項２１０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項２０１に記載のシステム。
【請求項２１１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項２０１に記載のシステム。
【請求項２１２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項２０１に記載のシステム。
【請求項２１３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項２０１に記載のシステム。
【請求項２１４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項２０１に記載のシステム。
【請求項２１５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項２０２に記載のシステム。
【請求項２１６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項２１５に記載のシステム。
【請求項２１７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項２１６に記載のシステム。
【請求項２１８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項２１７に記載のシステム。
【請求項２１９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２１８に記載のシステム。
【請求項２２０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２１９に記載のシステム。
【請求項２２１】
光学発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた前記高周波ジェネレータと、
前記トーチ内の光学発光を検出するように構成された光検出器とを備える、前記システム。
【請求項２２２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項２２１に記載のシステム。
【請求項２２３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項２２２に記載のシステム。
【請求項２２４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２２３に記載のシステム。
【請求項２２５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項２２４に記載のシステム。
【請求項２２６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２２５に記載のシステム。
【請求項２２７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項２２６に記載のシステム。
【請求項２２８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項２２７に記載のシステム。
【請求項２２９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項２２８に記載のシステム。
【請求項２３０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項２２１に記載のシステム。
【請求項２３１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項２２１に記載のシステム。
【請求項２３２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項２２１に記載のシステム。
【請求項２３３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項２２１に記載のシステム。
【請求項２３４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項２２１に記載のシステム。
【請求項２３５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項２２２に記載のシステム。
【請求項２３６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項２３５に記載のシステム。
【請求項２３７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項２３６に記載のシステム。
【請求項２３８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項２３７に記載のシステム。
【請求項２３９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２３８に記載のシステム。
【請求項２４０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２３９に記載のシステム。
【請求項２４１】
原子吸光発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記トーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、前記発振回路が、発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、前記ジェネレータと、
前記トーチに光を供給するように構成された光源と、
前記トーチを透過する前記供給光の量を測定するように構成された光検出器とを備える、前記システム。
【請求項２４２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項２４１に記載のシステム。
【請求項２４３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項２４２に記載のシステム。
【請求項２４４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２４３に記載のシステム。
【請求項２４５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項２４４に記載のシステム。
【請求項２４６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２４５に記載のシステム。
【請求項２４７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項２４６に記載のシステム。
【請求項２４８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項２４７に記載のシステム。
【請求項２４９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項２４８に記載のシステム。
【請求項２５０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項２４１に記載のシステム。
【請求項２５１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項２４１に記載のシステム。
【請求項２５２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項２４１に記載のシステム。
【請求項２５３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項２４１に記載のシステム。
【請求項２５４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項２４１に記載のシステム。
【請求項２５５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項２４２に記載のシステム。
【請求項２５６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項２５５に記載のシステム。
【請求項２５７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項２５６に記載のシステム。
【請求項２５８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項２５７に記載のシステム。
【請求項２５９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２５８に記載のシステム。
【請求項２６０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２５９に記載のシステム。
【請求項２６１】
原子吸光発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第１の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第２の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成された前記発振ジェネレータとを備え、
前記発振ジェネレータが、
前記ジェネレータの前記第１の状態において、前記誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第２の状態において、前記誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、前記第２の周波数が前記第１の周波数よりも高い、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第１の状態から前記第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備え、
前記システムはさらに、
前記トーチに光を供給するように構成された光源と、
前記トーチを透過する前記供給光の量を測定するように構成された光検出器とを備える、前記システム。
【請求項２６２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項２６１に記載のシステム。
【請求項２６３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項２６２に記載のシステム。
【請求項２６４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２６３に記載のシステム。
【請求項２６５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項２６４に記載のシステム。
【請求項２６６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２６５に記載のシステム。
【請求項２６７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項２６６に記載のシステム。
【請求項２６８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項２６７に記載のシステム。
【請求項２６９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項２６８に記載のシステム。
【請求項２７０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項２６１に記載のシステム。
【請求項２７１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項２６１に記載のシステム。
【請求項２７２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項２６１に記載のシステム。
【請求項２７３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項２６１に記載のシステム。
【請求項２７４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項２６１に記載のシステム。
【請求項２７５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項２６２に記載のシステム。
【請求項２７６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項２７５に記載のシステム。
【請求項２７７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項２７６に記載のシステム。
【請求項２７８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項２７７に記載のシステム。
【請求項２７９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２７８に記載のシステム。
【請求項２８０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２７９に記載のシステム。
【請求項２８１】
原子吸光発光を検出するシステムであって、
イオン化源を維持するように構成されたトーチと、
前記トーチの一部分を収容する開口部を備え、前記トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた前記高周波ジェネレータと、
前記トーチに光を供給するように構成された光源と、
前記トーチを透過する前記供給光の量を測定するように構成された光検出器とを備える、前記システム。
【請求項２８２】
前記回路が、前記誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む、請求項２８１に記載のシステム。
【請求項２８３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む、請求項２８２に記載のシステム。
【請求項２８４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２８３に記載のシステム。
【請求項２８５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む、請求項２８４に記載のシステム。
【請求項２８６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して前記誘導装置に電気的に結合される、請求項２８５に記載のシステム。
【請求項２８７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項２８６に記載のシステム。
【請求項２８８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項２８７に記載のシステム。
【請求項２８９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項２８８に記載のシステム。
【請求項２９０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項２８１に記載のシステム。
【請求項２９１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項２８１に記載のシステム。
【請求項２９２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項２８１に記載のシステム。
【請求項２９３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項２８１に記載のシステム。
【請求項２９４】
前記誘導装置が、誘導コイルまたは平板電極を備える、請求項２８１に記載のシステム。
【請求項２９５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項２８２に記載のシステム。
【請求項２９６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項２９５に記載のシステム。
【請求項２９７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項２９６に記載のシステム。
【請求項２９８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項２９７に記載のシステム。
【請求項２９９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２９８に記載のシステム。
【請求項３００】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項２９９に記載のシステム。
【請求項３０１】
反応チャンバと、
前記反応チャンバの一部分を収容するように構成された開口部を含む誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置を使用して、前記反応チャンバの前記収容部分に電力を供給するように構成された、請求項１〜６０のいずれかに記載のジェネレータとを備える、化学反応器。
【請求項３０２】
原子化チャンバと、
前記原子化チャンバの一部分を収容するように構成された開口部を含む誘導装置と、
前記誘導装置に電気的に結合され、かつ前記誘導装置を使用して、前記原子化チャンバの前記収容部分に電力を供給するように構成された、請求項１〜６０のいずれかに記載のジェネレータと、
前記原子化チャンバに流体的に結合され、原子化された化学種を前記チャンバから受け入れ、受け入れた、原子化された前記化学種を基板に向けて供給するように構成されたノズルとを備える、材料堆積装置。
【請求項３０３】
トーチと、
前記トーチの一部分を収容するように構成された開口部を含む第１の誘導装置と、
前記トーチの別の部分を収容するように構成された開口部を含む第２の誘導装置と、
前記第１の誘導装置に電気的に結合された第１のジェネレータと、
前記第２の誘導装置に電気的に結合された第２のジェネレータとを備え、
前記第１のジェネレータ及び前記第２のジェネレータの少なくとも一方が、請求項１〜６０のいずれかに記載のジェネレータである、システム。
【請求項３０４】
前記第１のジェネレータ及び前記第２のジェネレータのそれぞれが、請求項１〜６０のいずれか１項に記載のジェネレータである、請求項３０３に記載のシステム。
【請求項３０５】
単一のジェネレータを用いてプラズマを点火して維持する方法であって、
第１の発振モードの前記ジェネレータから誘導装置に電力を供給することによって、トーチ本体内にプラズマを点火すること、及び、
前記プラズマが点火した後の任意の時点で、前記ジェネレータを、前記第１の発振モードから第２の発振モードに切り替えることを含む、前記方法。
【請求項３０６】
前記ジェネレータが、図３７または図３８または図４０に示す回路を備える、請求項３０５に記載の方法。
【請求項３０７】
単一のジェネレータを用いてプラズマを点火して維持する方法であって、
第１の発振モード及び第２の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成されたジェネレータから、前記誘導装置に電力を供給することによって、トーチ本体内にプラズマを点火すること、及び、
前記ジェネレータの前記第２の発振モードを用いて前記プラズマを維持することを含む、前記方法。
【請求項３０８】
前記第１の発振モードの前記ジェネレータから電力を供給することによって、前記プラズマを点火する、請求項３０７に記載の方法。
【請求項３０９】
前記第２の発振モードを用いて前記プラズマを一定期間維持した後に、前記ジェネレータを前記第１の発振モードに切り替えることをさらに含む、請求項３０８に記載の方法。
【請求項３１０】
図３７に示すジェネレータ回路。
【請求項３１１】
図３８に示すジェネレータ回路。
【請求項３１２】
図４０に示すジェネレータ回路。
【請求項３１３】
誘導結合プラズマを維持する方法であって、図３７に示すジェネレータ回路を使用して、発振モードでトーチに電力を供給することを含む、前記方法。
【請求項３１４】
誘導結合プラズマを維持する方法であって、図３８に示すジェネレータ回路を使用して、発振モードでトーチに電力を供給することを含む、前記方法。
【請求項３１５】
誘導結合プラズマを維持する方法であって、図４０に示すジェネレータ回路を使用して、発振モードでトーチに電力を供給することを含む、前記方法。
【請求項３１６】
トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、
プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、
前記発振回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記発振回路が、前記発振回路のトランジスタに供給される電圧と電流とを独立して制御するように構成される、前記ジェネレータ。
【請求項３１７】
トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、
前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第１の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第２の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記ジェネレータの前記第１の状態において、前記誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第２の状態において、前記誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、前記第２の周波数が前記第１の周波数よりも高く、前記発振回路が、前記発振回路のトランジスタに供給される電圧と電流とを独立して制御するようにさらに構成される、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第１の状態から前記第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、前記発振ジェネレータ。
【請求項３１８】
誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備え、
前記回路が、前記誘導装置に電力を供給する前記発振回路のトランジスタに供給される電圧と電流とを独立して制御するようにさらに構成される、前記ジェネレータ。
【請求項３１９】
トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、
プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された回路とを備え、
前記回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、前記回路が駆動モード回路を含まない、前記ジェネレータ。
【請求項３２０】
トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、前記発振ジェネレータが、前記発振ジェネレータの第１の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、前記発振ジェネレータの第２の状態において、前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記ジェネレータの前記第１の状態において、前記誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、前記発振回路が、前記第２の状態において、前記誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、前記第２の周波数が前記第１の周波数よりも高く、前記発振ジェネレータが駆動モード回路を含まない、前記発振回路と、
前記誘導結合プラズマの点火後に、前記ジェネレータを前記第１の状態から前記第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、前記発振ジェネレータ。
【請求項３２１】
誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで前記誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備え、前記回路が駆動モード回路を含まない、前記高周波ジェネレータ。
【請求項３２２】
前記回路が、図３７に示す回路を含む、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項３２３】
前記回路が、図３８に示す回路を含む、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項３２４】
前記回路が、図４０に示す回路を含む、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項３２５】
前記回路が、図３７または図３８または図４０に示される回路を含む、請求項２１に記載のジェネレータ。
【請求項３２６】
前記回路が、図３７または図３８または図４０に示される回路を含む、請求項４１に記載のジェネレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
優先権出願
本出願は、２０１６年４月２７日に出願された米国特許出願第１５／１４０，２９４号の関連出願であり、この関連出願に対する優先権を主張し、その利益を主張するものであり、その全開示内容はあらゆる目的のために参照することにより本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本出願は、ジェネレータ及びその使用方法に関する。特に、本明細書に記載される特定の実施形態は、１つ以上の発振モードで動作して、プラズマ装置または他の原子化／イオン化装置を維持するジェネレータを対象にしている。
【背景技術】
【０００３】
ジェネレータは、トーチ本体の内部にプラズマを維持するために一般的に使用される。プラズマには荷電粒子が含まれる。プラズマには、化学種の原子化及び／またはイオン化を含む、多くの用途がある。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
特定の態様、特質及び特徴は、１つ以上の発振モードで動作し得るジェネレータを対象にしている。ジェネレータは、誘導装置を含むがこれに限定されない、多数の様々な種類の装置に電力を供給するのに使用され得る。
【０００５】
第１の態様では、トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータが提供される。ある特定の構成では、ジェネレータは、プロセッサと、プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、発振回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成され、回路が、ジェネレータの発振モードでトーチ本体内の誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすように構成される、ジェネレータが提供される。
【０００６】
ある例では、回路は、誘導装置に電気的に結合するように構成された第１のトランジスタを備える。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合するように構成された第１の駆動回路をさらに含む。一部の実施形態において、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して、誘導装置に電気的に結合するように構成される。他の実施形態において、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合するように構成された第２の駆動回路をさらに含む。場合によっては、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して、誘導装置に電気的に結合するように構成される。他の例では、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる例では、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。一部の実施形態において、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。他の例では、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。場合によっては、ジェネレータは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備えてもよい。一部の例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。他の実施形態において、ジェネレータは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える場合がある。場合によっては、発振回路は、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される。一部の例では、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。他の例では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。ある特定の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。一部の例では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。ある特定の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。一部の例では、ジェネレータは、図３７、図３８または図４０に示される回路を含む。
【０００７】
別の態様では、トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータが記載される。例として、発振ジェネレータは、発振ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、発振ジェネレータの第２の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内の誘導結合プラズマを維持するように構成することができる。発振ジェネレータは、ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路を備える。ある特定の構成では、発振回路は、第２の状態において、誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、第２の周波数が第１の周波数よりも高く、プロセッサが、誘導結合プラズマの点火後に、ジェネレータを第１の状態から第２の状態に切り替えるように構成される。
【０００８】
一部の実施形態において、発振回路は、高調波放射制御をもたらすように構成される。他の実施形態において、回路は、誘導装置に電気的に結合するように構成された第１のトランジスタを備える。その他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合するように構成された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して、誘導装置に電気的に結合するように構成される。一部の実施形態において、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合するように構成された第２の駆動回路をさらに含む。他の例では、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して、誘導装置に電気的に結合するように構成される。場合によっては、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。一部の例では、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。他の例では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。ある特定の実施形態において、回路は、ジェネレータが第１の状態から第２の状態に切り替えられた後、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の実施形態において、ジェネレータは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備えることができる。場合によっては、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。ある例では、ジェネレータは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、発振回路は、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。さらなる例では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。一部の例では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗と、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗とを含む。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。一部の例では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。一部の例では、ジェネレータは、図３７、図３８または図４０に示される回路を含む。
【０００９】
その他の態様では、誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータが開示される。いくつかの構成では、ジェネレータは、第１の発振モードで誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備える。
【００１０】
場合によっては、回路は、誘導装置に電気的に結合して、誘導装置に電力を供給するように構成された第１のトランジスタを備える。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合するように構成された第１の駆動回路をさらに含む。いくつかの構成では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して、誘導装置に電気的に結合するように構成される。他の構成では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合するように構成された第２の駆動回路をさらに含む。一部の例では、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して、誘導装置に電気的に結合するように構成される。ある例では、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。ある例では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。一部の例では、回路は、ジェネレータが第１の状態から第２の状態に切り替えられた後、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。一部の例では、ジェネレータは、プラズマの点火を判断するように構成されたプロセッサに電気的に結合された検出器を備える。ある特定の実施形態において、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。他の実施形態において、ジェネレータは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。ある例では、発振回路は、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される。ある特定の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。一部の例では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の例では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。さらなる実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。一部の例では、ジェネレータは、図３７、図３８または図４０に示される回路を含む。
【００１１】
別の態様では、誘導装置を備えるシステムと、誘導装置に電気的に結合され、かつトーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、発振回路が、発振モードで誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成され、回路が、ジェネレータの発振モードでトーチ本体内の誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成されるジェネレータとが提供される。
【００１２】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００１３】
別の態様では、誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、発振ジェネレータが、発振ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、発振ジェネレータの第２の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内の誘導結合プラズマを維持するように構成され、ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、発振回路が、第２の状態において、誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、第２の周波数が第１の周波数よりも高い、発振回路と、誘導結合プラズマの点火後に、ジェネレータを第１の状態から第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、発振ジェネレータとを含むシステムが開示される。
【００１４】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００１５】
別の態様では、誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつ誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた高周波ジェネレータとを含むシステムが記載される。
【００１６】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００１７】
別の態様では、イオン化源を維持するように構成されたトーチと、トーチの一部分を収容する開口部を備え、収容したトーチ部分に高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつトーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、発振回路が、発振モードで誘導装置に電力を供給して、トーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成され、回路が、ジェネレータの発振モードでトーチ内の誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、ジェネレータと、トーチに流体的に結合された質量分析器とを備える、質量分析計システムが記載される。
【００１８】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００１９】
その他の態様では、質量分析計システムであって、イオン化源を維持するように構成されたトーチと、トーチの一部分を収容する開口部を備え、収容したトーチ部分に高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつ誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、発振ジェネレータが、発振ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、発振ジェネレータの第２の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ内の誘導結合プラズマを維持するように構成された発振ジェネレータとを備え、発振ジェネレータが、ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、発振回路が、第２の状態において、誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、第２の周波数が第１の周波数よりも高い、発振回路と、誘導結合プラズマの点火後に、ジェネレータを第１の状態から第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備え、質量分析計システムはさらにトーチに流体的に結合された質量分析器とを備える、質量分析計システムが提供される。
【００２０】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００２１】
別の態様では、イオン化源を維持するように構成されたトーチと、トーチの一部分を収容する開口部を備え、トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつ誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた高周波ジェネレータと、トーチに流体的に結合された質量分析器とを備える、質量分析計システムが記載される。
【００２２】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００２３】
その他の態様において、光学発光を検出するシステムは、イオン化源を維持するように構成されたトーチと、トーチの一部分を収容する開口部を備え、トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつトーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、発振回路が、発振モードで誘導装置に電力を供給して、トーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成され、回路が、ジェネレータの発振モードでトーチ内の誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、ジェネレータと、トーチ内の光学発光を検出するように構成された光検出器とを備える。
【００２４】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００２５】
別の態様において、光学発光を検出するシステムは、イオン化源を維持するように構成されたトーチと、トーチの一部分を収容する開口部を備え、トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつ誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、発振ジェネレータが、発振ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、発振ジェネレータの第２の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ内の誘導結合プラズマを維持するように構成された発振ジェネレータとを備え、発振ジェネレータが、ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、発振回路が、第２の状態において、誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、第２の周波数が第１の周波数よりも高い、発振回路と、誘導結合プラズマの点火後に、ジェネレータを第１の状態から第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備え、システムはさらにトーチ内の光学発光を検出するように構成された光検出器とを備える。
【００２６】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００２７】
別の態様において、光学発光を検出するシステムであって、イオン化源を維持するように構成されたトーチと、トーチの一部分を収容する開口部を備え、トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつ誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた高周波ジェネレータと、トーチ内の光学発光を検出するように構成された光検出器とを備える、システムが記載される。
【００２８】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００２９】
その他の態様では、原子吸光発光を検出するシステムであって、イオン化源を維持するように構成されたトーチと、トーチの一部分を収容する開口部を備え、トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつトーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、プロセッサと、プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、発振回路が、発振モードで誘導装置に電力を供給して、トーチ内に誘導結合プラズマを維持するように構成され、回路が、ジェネレータの発振モードでトーチ内の誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすようにさらに構成される、ジェネレータと、トーチに光を供給するように構成された光源と、トーチを透過する供給光の量を測定するように構成された光検出器とを備える、システムが記載される。
【００３０】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００３１】
別の態様において、原子吸光発光を検出するシステムであって、イオン化源を維持するように構成されたトーチと、トーチの一部分を収容する開口部を備え、トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつ誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、発振ジェネレータが、発振ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、発振ジェネレータの第２の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ内の誘導結合プラズマを維持するように構成された発振ジェネレータとを備え、発振ジェネレータが、ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、発振回路が、第２の状態において、誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、第２の周波数が第１の周波数よりも高い、発振回路と、誘導結合プラズマの点火後に、ジェネレータを第１の状態から第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備え、システムはさらにトーチに光を供給するように構成された光源と、トーチを透過する供給光の量を測定するように構成された光検出器とを備える、システムが開示される。
【００３２】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００３３】
別の態様において、原子吸光発光を検出するシステムであって、イオン化源を維持するように構成されたトーチと、トーチの一部分を収容する開口部を備え、トーチに高周波エネルギーを供給するように構成される誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつ誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータであって、第１の発振モードで誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備えた高周波ジェネレータと、トーチに光を供給するように構成された光源と、トーチを透過する供給光の量を測定するように構成された光検出器とを備える、システムが記載される。
【００３４】
ある例では、回路は、誘導装置にそれぞれが電気的に結合される第１のトランジスタ及び第２のトランジスタを含む。他の例では、回路は、第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第１の駆動回路をさらに含む。さらなる例では、第１の駆動回路は、第１のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の例では、回路は、第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに誘導装置に電気的に結合された第２の駆動回路をさらに含む。他の実施形態において、第２の駆動回路は、第２のローパスフィルタを介して誘導装置に電気的に結合される。一部の実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、第１のパワートランジスタ及び第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される。さらなる実施形態において、第１のローパスフィルタ及び第２のローパスフィルタのそれぞれは、高次のセラミックローパスフィルタを含む。いくつかの構成では、高次のセラミックローパスフィルタは、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される。場合によっては、回路は、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される。他の例では、本システムは、プロセッサに電気的に結合され、プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える。さらなる例では、プロセッサは、プラズマが消滅した場合に発振回路を無効にするように構成される。その他の例では、システムは、プロセッサと検出器との間に信号変換器をさらに備える。一部の実施形態において、誘導装置は、誘導コイルまたは平板電極を備える。他の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタと第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される。いくつかの構成では、発振回路は、誘導装置から第１のトランジスタ及び第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、電力を均等に分配するように構成される。他の構成では、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む。その他の構成では、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む。一部の実施形態において、発振回路は、第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む。ある特定の実施形態において、発振回路は、第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む。
【００３５】
別の態様において、反応チャンバと、反応チャンバの一部分を収容するように構成された開口部を含む誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつ誘導装置を使用して、反応チャンバの収容部分に電力を供給するように構成された、本明細書に記載されるいずれかのジェネレータとを備える、化学反応器が開示される。
【００３６】
その他の態様において、原子化チャンバと、原子化チャンバの一部分を収容するように構成された開口部を含む誘導装置と、誘導装置に電気的に結合され、かつ誘導装置を使用して、原子化チャンバの収容部分に電力を供給するように構成された、本明細書に記載されるいずれかのジェネレータと、原子化チャンバに流体的に結合され、原子化された化学種をチャンバから受け入れ、受け入れた、原子化された化学種を基板に向けて供給するように構成されたノズルとを備える、材料堆積装置が開示される。
【００３７】
別の態様において、システムは、トーチと、トーチの一部分を収容するように構成された開口部を含む第１の誘導装置と、トーチの別の部分を収容するように構成された開口部を含む第２の誘導装置と、第１の誘導装置に電気的に結合された第１のジェネレータと、第２の誘導装置に電気的に結合された第２のジェネレータとを備え、第１のジェネレータ及び第２のジェネレータの少なくとも一方が、本明細書に記載されるいずれか１つのジェネレータである。場合によっては、第１のジェネレータ及び第２のジェネレータのそれぞれが、本明細書に記載されるいずれか１つのジェネレータである。
【００３８】
その他の態様において、第１の発振モードのジェネレータから誘導装置に電力を供給することによって、トーチ本体内にプラズマを点火すること、及びプラズマが点火した後の任意の時点で、ジェネレータを、第１の発振モードから第２の発振モードに切り替えることを含む、単一のジェネレータを用いてプラズマを点火して維持する方法が提供される。本方法は、図３７または図３８または図４０の回路を含む発生器を使用することができる。
【００３９】
別の態様において、単一のジェネレータを用いてプラズマを点火して維持する方法は、第１の発振モード及び第２の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成されたジェネレータから、誘導装置に電力を供給することによって、トーチ本体内にプラズマを点火すること、及びジェネレータの第２の発振モードを用いてプラズマを維持することを含む。場合によっては、第１の発振モードのジェネレータから電力を供給することによって、プラズマを点火する。他の例では、本方法は、第２の発振モードを用いてプラズマを一定期間維持した後に、ジェネレータを第１の発振モードに切り替えることを含む。
【００４０】
その他の態様では、誘導結合プラズマを維持する方法であって、図３７、図３８及び図４０のうちの１つに示すジェネレータ回路を使用して、発振モードでトーチに電力を供給することを含む。
【００４１】
別の態様では、プロセッサと、プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、発振回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成され、発振回路が、発振回路のトランジスタに供給される電圧と電流とを独立して制御するように構成される、ジェネレータが提供される。
【００４２】
その他の態様では、トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、発振ジェネレータが、発振ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、発振ジェネレータの第２の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内の誘導結合プラズマを維持するように構成され、ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、発振回路が、第２の状態において、誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、第２の周波数が第１の周波数よりも高く、発振回路が、発振回路のトランジスタに供給される電圧と電流とを独立して制御するようにさらに構成される、発振回路と、誘導結合プラズマの点火後に、ジェネレータを第１の状態から第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える、発振ジェネレータが提供される。
【００４３】
別の態様では、誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータは、第１の発振モードで誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備え、回路が、誘導装置に電力を供給する発振回路のトランジスタに供給される電圧と電流とを独立して制御するようにさらに構成される。
【００４４】
その他の態様では、トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータは、プロセッサと、プロセッサに電気的に結合された回路とを備え、回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成され、回路が駆動モード回路を含まない。
【００４５】
別の態様では、トーチ本体の少なくとも一部を囲む誘導装置に電力を供給するように構成された発振ジェネレータであって、発振ジェネレータが、発振ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内で誘導結合プラズマを点火するように構成されるとともに、発振ジェネレータの第２の状態において、誘導装置に電力を供給して、トーチ本体内の誘導結合プラズマを維持するように構成され、ジェネレータの第１の状態において、誘導装置に第１の周波数を与えるように構成された発振回路であって、発振回路が、第２の状態において、誘導装置に第２の周波数を与えるように構成され、第２の周波数が第１の周波数よりも高く、発振ジェネレータが駆動モード回路を含まない、発振回路と、誘導結合プラズマの点火後に、ジェネレータを第１の状態から第２の状態に切り替えるように構成されたプロセッサとを備える。
【００４６】
別の態様では、誘導装置に電力を供給するように構成された高周波ジェネレータは、第１の発振モードで誘導装置に電力を供給するとともに、第２の発振モードで誘導装置に電力を供給するように構成された回路を備え、回路が駆動モード回路を含まない。
【００４７】
さらなる特徴、態様、例、構成及び実施形態につき、さらに詳細に以下に記載する。
添付の図面を参照して、本装置及び本システムの特定の実施形態を説明する。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】特定の例によるジェネレータのブロック図である。
【図２Ａ】特定の例による、駆動モードで誘導装置に電力を供給するのに好適な回路である。
【図２Ｂ】特定の例による、発振モードで誘導装置に電力を供給するのに好適な回路である。
【図２Ｃ】特定の例による、ハイブリッドモードで誘導装置に電力を供給するのに好適な回路である。
【図３】図３Ａ及び図３Ｂは、特定の構成による、図２Ａ〜図２Ｃの回路で使用する代替構成の例である。
【図４】図４Ａ及び図４Ｂは、特定の構成による、図２Ａ〜図２Ｃの回路で使用する代替構成のさらなる例である。
【図５】駆動モード、発振モード及びハイブリッドモードで、誘導装置に電力を供給する際に使用するのに適した、特定の構成による、例示的なジェネレータ回路の回路図である。
【図６】図６Ａは、特定の例による、誘導結合プラズマを維持するために使用することができるトーチ及び負荷コイル装置の例である。図６Ｂは、特定の例による、誘導結合プラズマを維持するために使用することができるトーチ及び平板電極の例である。
【図７】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される２つの負荷コイルのブロック図である。
【図８】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される２つの負荷コイルのブロック図である。
【図９】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される２つの負荷コイルのブロック図である。
【図１０】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される２つの平板電極のブロック図である。
【図１１】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される２つの平板電極のブロック図である。
【図１２】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される２つの平板電極のブロック図である。
【図１３】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される負荷コイル及び１組の平板電極のブロック図である。
【図１４】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される負荷コイル及び１組の平板電極のブロック図である。
【図１５】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される負荷コイル及び１組の平板電極のブロック図である。
【図１６】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される負荷コイル及び１組の平板電極のブロック図である。
【図１７】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される負荷コイル及び１組の平板電極のブロック図である。
【図１８】特定の例による、２つのジェネレータによって別々に給電される負荷コイル及び１組の平板電極のブロック図である。
【図１９】特定の例による、単一のジェネレータによって給電される２つの誘導装置のブロック図である。
【図２０】特定の例による、単一のジェネレータによって給電される２つの誘導装置のブロック図である。
【図２１】特定の例による、単一のジェネレータによって給電される２つの誘導装置のブロック図である。
【図２２】特定の例による、単一のジェネレータによって給電される２つの誘導装置のブロック図である。
【図２３】特定の例による光学発光システムのブロック図である。
【図２４】特定の例による原子吸光システムのブロック図である。
【図２５】特定の例による、別の原子吸光システムのブロック図である。
【図２６】特定の例による質量分析計のブロック図である。
【図２７】特定の例による、駆動モード及び発振モードでの動作に適し、駆動モードで動作するジェネレータの回路である。
【図２８】特定の例による、発振モードで動作する図２７の回路である。
【図２９】特定の例によるジェネレータ及び質量分析計を使用して得られたリチウム及びベリリウムのスペクトルを示す。
【図３０】特定の例によるジェネレータ及び質量分析計を使用して得られたマグネシウムのスペクトルを示す。
【図３１】特定の例によるジェネレータ及び質量分析計を使用して得られたインジウムのスペクトルを示す。
【図３２】特定の例によるジェネレータ及び質量分析計を使用して得られたウラン２３８のスペクトルを示す。
【図３３】特定の例によるハイブリッドジェネレータ（駆動モード及び発振モード）と標準的なＮｅｘＩＯＮ計器とを使用して得られた結果を比較した表である。
【図３４】特定の例による、差動位相が不均衡であるときのインジウム、セリウム、酸化セリウム及びウランの強度対時間のグラフである。
【図３５】特定の例による、標準的なＮｅｘＩＯＮ計器と、駆動モード及び発振モードの両方のハイブリッドジェネレータとを使用した、いくつかの元素の測定値を示す表である。
【図３６】特定の例による発振回路を示す図である。
【図３７】特定の構成による、例えば、フィードバック信号をフィルタ処理して、高調波を抑制するために使用できるローパスフィルタを示す図である。
【図３８】特定の実施形態による、高調波放射制御用の好適な回路を示す図である。
【図３９】特定の実施形態による、駆動回路としての使用に適した典型的な装置の出力容量を示すグラフである。
【図４０】特定の例による、パワー素子への入力電力を平衡化させる例示的な回路構成である。
【図４１】特定の構成による、３４ＭＨｚプラズマジェネレータの高調波（３４ＭＨｚの倍数）での放射を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
本開示の利益を受けて、当業者は、システムの構成部品の特定の寸法または特徴が、分かり易い図を提供するために、拡大され、歪曲され、または別の非慣習的もしくは非比例的な様式で示される場合があることを認識するであろう。さらに、本明細書におけるトーチ本体、生成されるプラズマ、及び他の構成部品の厳密な縦幅、横幅、幾何学的形状、開口部の大きさ等は、様々であり得る。
【００５０】
いくつかの実施形態を、本明細書に開示される技術を利用者に分かりやすく説明するために、単数形及び複数形の用語に関連して、以下に記載する。これらの用語は、便宜上の目的でのみ使用され、本明細書に記載の装置、方法及びシステムを限定する意図はない。例には、駆動モード及び発振モードという用語に関連して本明細書に記載されるものがある。駆動モードで及び発振モードで使われる正確なパラメータは異なる場合があるが、プラズマ発生用のＲＦジェネレータ周波数は、通常１０ＭＨｚから９０ＭＨｚであり、特に２０ＭＨｚと５０ＭＨｚとの間であり、例えば約４０ＭＨｚである。ＲＦジェネレータの出力電力は、一般に約５００ワットから５０ｋＷである。本明細書でさらに詳しく説明するように、駆動モードでは、フィードバックループを無効にし、かつ電圧を選択して、誘導装置に所望の電力を供給することができる。発振モードでは、フィードバックループを有効にして、インピーダンスを急速に変化させることができる。必要に応じて、ジェネレータを完全に駆動モードで動作させることができる。駆動モードは、発振モードに比べて、特定の用途で質量分析の感度を高くすることができる。一部の実施形態において、駆動＋発振のハイブリッドジェネレータは、ＩＣＰ−ＯＥＳもしくはＩＣＰ−ＭＳまたは本明細書に記載の他の類似の計器の一部であってもよい。特定の実施形態では、ジェネレータを制御するために、例えば、プラズマ発生を作動させる、または終了させるために、ジェネレータの動作をジェネレータの内部の、またはジェネレータに電気的に結合されたプロセッサまたは主コントローラで制御することができる。本明細書に記載されたジェネレータは２つのモードが可能だが、必要に応じて、ジェネレータは単一モードのみで、例えば、駆動モードのみで、または発振モードのみで動作させることができる。
【００５１】
ジェネレータを使用して、誘導結合プラズマを発生及び／または維持する特定の実施形態がまた、以下に記載される。ただし必要に応じて、例えば、化学種を原子化及び／またはイオン化するために使用することができる容量結合プラズマ、炎または他の原子化／イオン化装置を、同じジェネレータを使用して発生及び／または維持することができる。本明細書に記載される技術の様々な態様及び特質を説明するために、誘導結合プラズマを使用した特定の構成が以下に提供される。
【００５２】
ある例では、堆積または他の用途向けにイオンを提供する目的で、化学分析用の試料を原子化及び／またはイオン化するために、本明細書に記載されるジェネレータを使用して、高エネルギープラズマを維持することができる。プラズマを点火して維持するために、ＲＦジェネレータ（ＲＦＧ）からの通常は０．５ｋＷから１００ｋＷの範囲のＲＦ電力が、負荷コイル、平板電極、または他の好適な誘導装置によって、プラズマに誘導結合される。プラズマは、点火段階の間中、及びプラズマが種々の化学的試料にさらされるとき、異なるＲＦインピーダンスを示す。最適な電力伝達を促進するために、ＲＦジェネレータは、インピーダンス整合を変化するプラズマインピーダンスに適合させるように構成することができる。
【００５３】
ある特定の実施形態において、既存のＲＦジェネレータは、２つの方式のうちの一方のみを使用して動作するように構成される。発振方式（すなわち発振モード）か、駆動方式（すなわち駆動モード）か、である。これらの方式のそれぞれには利点と欠点がある。発振方式では、ＲＦジェネレータは電力発振回路である。発振周波数は、発振器の共振回路により決定される。多くの場合、プラズマインピーダンス及び誘導装置は、共振器及びフィードバック経路の一部であり、したがって、発振周波数は、変化するプラズマインピーダンスに適合するように急速に変えることができる。この特質は、高スループット率での様々な未知試料の分析を容易にする。プラズマ点火の間中、発振方式を実行する場合、誘導装置のＲＦインピーダンスは、プラズマがない状態から順調なプラズマ発生に至るまで、大幅かつ急峻に変化し得る。点火する前に、誘導装置は、インダクタに供給されるすべてのＲＦ電力が実質的には無効電力である（すなわち、有効電力ではない）ようなインダクタのように振る舞う。プラズマ点火が成功した後、誘導装置は、有効電力をプラズマに誘導結合させる。誘導装置から生じた、パワートランジスタを駆動する発振器のフィードバック信号も同様に、急峻に変化する。結果的に、プラズマ点火の間中、フィードバック信号は十分に制御されず、プラズマ点火のために発振方式を実行する場合、電力エレクトロニクスを損傷させる相当なリスクがある。前述の周波数範囲でＲＦ電力発生に通常使用されるシリコンパワートランジスタの降伏は、ゲート（入力）で約−６Ｖから＋１２Ｖ、ドレイン降伏が約＋１５０Ｖである。旧式の遅いシリコントランジスタのゲート降伏限界は、−４０Ｖから＋４０Ｖであり得る。半導体技術の進歩は多くの場合、装置の降伏電圧下限を犠牲にしてトランジスタ速度（例えば、ユニティゲイン周波数Ｆｔ、または最大発振周波数Ｆｍａｘ）を増加させるようなデバイススケーリング（例えば、ゲート長を小さくする）によって達成されるため、電子機器の損傷防止が特に望まれる。基本周波数よりも高い高調波の有能電力利得は、信号波形及び電流導通角を最適化するために使われ得るので、トランジスタ速度の向上が、高効率電力増幅器（例えばクラスＣ、クラスＤ、クラスＥ、クラスＦ等）の設計を容易にする。これらの高速、低降伏の装置の実装は、点火の間中に十分に制御されないフィードバック信号を踏まえて、慎重に検討され得る。フィードバック信号振幅が急増すると、制御されていない正のフィードバックループが急速に増強され、その結果、ジェネレータのトランジスタが破壊される可能性がある。過大な信号は、プラズマ点火用の発振器における高周波数、高電力、及び固有不安定性のために、抑制または制御をすることが難しい場合がある。トランジスタを保護するためにフィードバック信号が過度に抑制される場合には、プラズマを点火し損なう。さらに、発振器設計によって、さらなる高ＲＦスプリアス信号及び高位相ノイズが顕在化される場合がある。このような欠陥は、装置の感度を落とす可能性がある。これらの問題点を克服するために、発振方式のみを実行するように構成されたジェネレータは、一般に、回路部品への潜在的な損傷を回避するために、高価及び／または低速かつ低効率の高降伏トランジスタを備える。
【００５４】
駆動方式（すなわちモード）のみを実行するように構成されたジェネレータは、一般に例えば、調整可能なまたは固定された（ただし、変更できる）、所定のまたは事前選択の周波数である制御周波数及び制御振幅で動作する安定したＲＦ源を利用する。信号源の典型的な例は、高品質水晶振動子、ＲＬＣ共振器またはＲＣ共振器を含む、例えば１０ワット未満の小信号のＲＦシンセサイザまたは電圧制御発振器（ＶＣＯ）である。ＲＦ電力増幅器は、小さい制御ＲＦ信号をプラズマ発生用の高電力レベルに強める。駆動方式は、制御周波数及び制御信号振幅がトランジスタ降伏を回避するように選択できるため、プラズマ点火に好都合である。加えて、多くの場合、駆動方式は、スペクトル的に純粋なＲＦ信号、例えば、意図した信号周波数での信号音が強く、ＲＦスプリアス信号が少ない信号スペクトルを生成することができる。いくつかの構成では、質量分析の感度を高めるためには、発振モードのＲＦジェネレータと比較して、駆動モードのＲＦジェネレータを使用する方が容易である。しかしながら、駆動方式を実行するように構成されたジェネレータにおけるインピーダンス整合は、多くの場合、発振方式を実行するものよりもかなり低速である。駆動式ＲＦジェネレータは、ＲＦインピーダンス変化を監視することによって、制御周波数（または位相）及び／または振幅を調整し、したがって一般に位相ロックループ（ＰＬＬ）を用いて、フィードバック（またはエラー）信号を生成して、ＲＦ源の周波数または位相を調整することができる。発振方式では、当変更は多くの場合、２、３周期のＲＦ周期内で行われるが、駆動方式での当変更は、数十〜数千周期のＲＦ周期の割合で行われ、すなわち発振方式と比べて少なくとも１０〜１０００倍遅く行われる。結果として、高スループット質量分析用に駆動式ＲＦジェネレータを設計することは困難である。駆動方式で使用されるＲＦ電力増幅器は、多くの場合、標準的な５０オームまたは７５オームの負荷を駆動するように設計される。トランジスタへの５０オーム（または７５オーム）負荷の間の追加のインピーダンス整合は、設計をさらに複雑にし、構成部品とフットプリント面積とを増加させ、望ましくない電力損失を引き起こし得る。
【００５５】
本明細書に記載されるジェネレータのある特定の構成では、ジェネレータは、駆動モード及び発振モードでの動作を可能にする適切な構成部品を備えることができる。ジェネレータを、プラズマ動作の各種の期間中に、２つのモードの間で（必要に応じて）切り替えて、それぞれの期間に最適な電力をプラズマに供給することができる。例えば、プラズマの点火中に、ジェネレータを駆動モードで動作させて、トランジスタの降伏を回避するように、周波数及び信号振幅を良好に制御することができる。プラズマの点火後、ジェネレータは、必要に応じて駆動モードに保つことができ、または試料の導入中に起こり得るプラズマの変化に合わせた迅速なインピーダンス整合を可能にするように、発振モードに切り替えることができる。単一のジェネレータを使用して、駆動モード及び発振モードの両方を実行できることによって、安価であり、及び／または高速で効率が高い、低降伏トランジスタの使用が可能になる。様々な実施形態は、プラズマを点火するためにハイブリッドジェネレータを駆動モードで使用するものとして説明されるが、必要に応じて、ジェネレータを、プラズマ点火中及び／またはプラズマ点火後に発振モードで動作させてもよい。
【００５６】
ある例では、本明細書に記載されたジェネレータは、駆動モード及び発振モードの両方での動作を可能にするとともに、２つのモード間の迅速な切り替えを可能にする適切な構成部品及び回路を備え得る。例えば、ジェネレータは、パワートランジスタ、駆動増幅器、例えばＲＦスイッチといった様々なスイッチ、及びインピーダンス整合回路網を備え得る。誘導装置の出力から得られるフィードバック信号は、スイッチ（または可変利得回路）によってパワートランジスタを駆動するために使用することができる。フィードバック信号は、一般に、調整可能な利得回路素子（例えば、単段トランジスタ、多段増幅器、可変利得増幅器、可変デジタル減衰器または可変アナログ減衰器、可変コンデンサまたは他の調整可能な結合装置等）で実装されるスイッチによって、有効化、無効化、または振幅調整され得る。スイッチまたは「スイッチング」回路の飽和出力電力を選択して、フィードバック信号の物理的出力を制限または制御することができる。例えば、単段トランジスタをスイッチとして使用する場合、電源、例えば、ＶＤＤ電源を低減し、その結果、スイッチの飽和（最大）出力電力を、パワートランジスタによって許容される最大入力電力よりも常に低くすることができる。この構成のために、トランジスタは、発振モード動作中に保護される。さらに、ＲＦ源を増幅して、パワートランジスタを駆動するために、ＲＦ駆動増幅器を使用することができる。これらの構成部品が合わせて実装されると、ＲＦジェネレータは、駆動モード、発振モード及び注入同期モードで動作することができる。注入同期モードは、駆動モード及び発振モードの両方の特性を有したハイブリッドモードであり、駆動モードから発振モードへの移行時に、またはその逆の移行時に存在する。特定の実施形態では、駆動モードが実行されるとき、フィードバック信号がスイッチによって無効化され、かつＲＦ駆動増幅器が有効化される。駆動モードから発振モードに切り替わると、フィードバック信号スイッチが有効化され、かつＲＦ駆動増幅器が無効化される。ＲＦジェネレータは、例えばフィードバック信号及びＲＦ駆動増幅器の両方が有効化されているとき、注入同期モードにあってもよい。この場合、ＲＦジェネレータは発振モードで動作しているが、その動作周波数は駆動モードのＲＦ源周波数に同期している。単一のジェネレータを使用して様々なモードの間で切り替えできることによって、以下に限定されないが、点火中に駆動モードでトランジスタ降伏を最小限に抑えること、試料導入中及び／または試料分析中に発振モードでインピーダンスを迅速に変更できること、及びトランジスタが故障する可能性を低減しながら、安価で高速なトランジスタを使用できることを含む望ましい特質が提供される。必要に応じて、ジェネレータは、駆動モードと発振モードとの間で迅速に切り替わり、ほぼ連続的な注入同期モードを使用して、プラズマを維持するように、駆動モードに戻ることができる。
【００５７】
ある例では、図１を参照すると、ジェネレータの簡略化されたブロック図が示されている。ジェネレータ１００は、駆動モードでジェネレータ１００の動作中に有効化されるように構成された駆動回路１１０を備える。駆動回路１１０は、負荷コイル１３０に電気的に結合されるものとして示されているが、本明細書で説明するように、負荷コイル１３０は、例えば、平板電極を含む他の誘導装置と置き換えることができる。ジェネレータ１００はまた、負荷コイル１３０に電気的に結合された発振回路１２０を備える。回路１１０、１２０のそれぞれは、電源（図示せず）に電気的に結合されている。駆動回路１１０及び発振回路１２０は、それぞれコントローラまたはプロセッサ１４０に電気的に結合されて、選ばれた期間におけるそれぞれの回路１１０、１２０の動作を可能にすることができる。ジェネレータ１００を動作させる１つの方法では、負荷コイル１３０によって囲まれたトーチ本体１３５の中にガスを導入することによってプラズマを点火する。プラズマは、スパークまたはアークを伴って点火され、駆動回路１１０を有効化して、制御された駆動ＲＦ信号を駆動モードでプラズマに供給することにより、維持することができる。プラズマインピーダンスが安定すると（または所望の時間の後もしくは選ばれた時間の後）、ジェネレータを駆動モードから発振モードに切り替えることができる。スイッチ切替え処理の間に、駆動回路１１０及び発振回路１２０の両方をある期間有効にしてもよく、注入同期モードがもたらされる。駆動回路１１０を無効にする一方で、発振回路１２０を有効に保って、ジェネレータ１００を発振モードに切り替えることができる。次いで試料をプラズマ中に導入してもよく、プラズマが試料／溶媒で装填されるときに、発振モードにより、インピーダンスを迅速に調整することが可能になる。必要に応じて、特定の試料については、ジェネレータ１００を分析のためにもう一度駆動モードに切り替えることができる。本明細書に記載されるように、特定の分析については、駆動モードは、発振モードに比べて高い感度を提供することができる。回路１１０、１２０は、説明のために図１では別個の回路として示しているが、駆動回路１１０及び発振回路１２０の構成部品は、以下に詳細に述べるように、合わせて統合させてもよい。
【００５８】
特定の実施形態では、図２Ａを参照すると、駆動モード及び発振モードを実装するのに好適な回路の特定の能動部品の回路図が示されている。図２Ａに示す回路図では、様々な構成部品が能動的であって、駆動モードでの回路動作を可能にする。回路２００は、一対の増幅器２１２、２１４に電気的に結合された信号源２１０、例えば、周波数シンセサイザ、または本明細書に記載される他の適切な構成部品を備える。増幅器２１２、２１４はそれぞれ、別の増幅器２２２、２２４のセットに別々に電気的に結合され、かつコンデンサ２３２、２３４を介して負荷コイル２６０に別々に電気的に結合される。追加の構成部品、例えば抵抗器、増幅器等があってもよいが、本例を簡略化するために示していない。ジェネレータを駆動モードで使用する際に、フィードバックループ（例えば、後述する図２Ｂ参照）が無効化され、負荷コイルに供給される電力は、トランジスタが故障する閾値よりも低くなるように選択される。負荷コイル２６０に供給される周波数は、走査されて、プラズマ点火を成功させる周波数、例えば必要ならコイル電圧を最大にすることができる周波数に合わせられる。検出器２７０は、信号変換器２８２、２８４を介してプロセッサ２８０に電気的に結合されており、検出器２７０を使用して、プラズマを監視することができる。例えば、検出器２７０は、負荷コイル２６０に供給されるＲＦ信号を監視するのに使用できるＲＦ検出器として構成してもよい。他の構成では、検出器２７０は、例えば、プラズマの点火後にプラズマから光放射を受け取ることができる光センサ、光ファイバセンサ、または他の装置といった光検出器として構成してもよい。一部の実施形態において、検出器２７０を省き、個別の負荷コイル（または他の誘導装置）に対して電力レベルを固定して、トランジスタの降伏を回避するレベルに設定することができる。増幅器２５２、２５４は、駆動モードでは無効化される。動作中、決定された電力レベルが、トーチ本体（図示せず）の一部を囲む負荷コイル２６０に供給され、電力が供給されている間に、トーチ本体に供給されるプラズマガスが点火される。プラズマは、負荷コイル２６０から継続的に印加されるＲＦ電力によって、生成され、かつ維持される。ある特定の実施形態において、ジェネレータを駆動モードに保つことができ、試料をプラズマ中に導入することができる。試料導入中、試料は、典型的には、溶媒などの担体と共に、プラズマ中に散布または噴霧される。プラズマは、試料を脱溶媒和して、プラズマ中の化学種を原子化及び／またはイオン化する働きをする。
【００５９】
ある例では、プラズマが点火して安定化すると、発振回路を有効化して駆動回路を無効化することによって、発振モードに切り替えることが望ましい場合がある。本明細書で述べるように、発振モードではフィードバックが提供される。このフィードバックを、回路のインピーダンスを迅速に調整するために使用して、トーチ内のインピーダンス整合と一層安定したプラズマとをもたらすことができる。図２Ｂには、発振モードを実装するのに好適な回路の特定の能動部品の回路図が示される。類似の参照符号を持つ図２Ｂの構成部品は、図２Ａの構成部品と同じものである。駆動モードから発振モードに切り替えるには、コンデンサ２４２、２４４を介して負荷コイル２６０に電気的に結合された増幅器２５２、２５４を有効化して、フィードバックを与える。ある期間、増幅器２１２、２１４、２５２、２５４及び周波数シンセサイザ２１０は全て有効化され、この状態を本明細書では、場合によっては、注入同期モードまたはハイブリッドモードと称している（図２Ｃ及び以下参照）。次に、増幅器２１２、２１４及び周波数シンセサイザ２１０（図２Ａ参照）をオフにして、ジェネレータを駆動モードから発振モードに切り替える。発振モードに入ると、試料をプラズマ中に導入することができる。試料導入中、発振モードは、駆動モードと比較して望ましい特質を提供することができる。試料が導入されると、溶媒がプラズマを冷却して、プラズマインピーダンスを急速に変化させることがある。プラズマの消滅を避けるために、インピーダンスを望ましくは迅速に調整する。増幅器２５２、２５４によって提供されるフィードバックは、インピーダンスの迅速な調整を可能にして、試料が導入された時、試料が脱溶媒和された時、及び試料が原子化／イオン化された時から存在する様々な条件下でプラズマを維持する。記載していないが、本明細書に記載される発振モードを用いてプラズマを点火することが可能である。例えば、プラズマが消滅した場合、回路を切り替えて駆動モードに戻す必要なしに、プラズマを再点火することができる（ただし、プラズマを再点火するために必要ならば、回路をもう一度駆動モードに切り替えることができる）。
【００６０】
ある特定の構成では、駆動モードから発振モードへの移行の間に、両方のモードの構成部品をある期間にわたって使用可能にして、ハイブリッドモードを提供することができる。図２Ｃを参照すると、フィードバックループが有効化され、同時に駆動モードの構成部品も有効化される。具体的には、増幅器２１２、２１４、２２２、２２４、２５２及び２５４は全てハイブリッドモードで有効化される。したがって、誘導装置２６０に供給される電力は、駆動モードと発振モードとの組合せすなわちハイブリッドである。このハイブリッドモードは、駆動モードから発振モードへのもしくは発振モードから駆動モードへの移行の間に生じさせてもよく、または他の構成において、特定の分析もしくは試験のためにハイブリッドモードでジェネレータを動作させることが望ましい場合がある。例えば、ハイブリッドモードでは、プラズマ安定性が高まるように、プラズマ位相雑音を低減することができる。いずれか１つの特定の理論に拘束されることを望まないが、ハイブリッドモードでは、プラズマジェネレータは発振モードにあるが、周波数はもはやプラズマインピーダンスに応じた自走周波数ではない。代わりに、発振器は、制御周波数で発振器に注入される比較的小さい信号に従う。結果として、プラズマ周波数の位相雑音は低くなり、プラズマ周波数を要望通り、コントローラまたはプロセッサによって制御して（必要に応じて）最適化することができる。制御周波数の注入信号は小信号に過ぎないため、プラズマ振幅は、概して発振器の正のフィードバック経路に依然として依存する。例えば、メタノールがプラズマ中に装填されると、プラズマインピーダンスが変化する。メタノールはプラズマから大量のエネルギーを吸収するので、プラズマは薄暗く見えるようになる。このような理由で、負荷コイルへのプラズマが少なくなるため、プラズマ負荷コイルの電圧が上昇する。この結果は、さらに大きなフィードバック信号をもたらし、この信号は、発振モード用駆動増幅器を駆動して、プラズマを維持しにくくする。結果として、ハイブリッドモードでは、プラズマエネルギーは、溶媒及び高濃度マトリックスを有する種々の試料に対してなおも迅速に反応することができるが、周波数はコントローラの最適化アルゴリズムによって制御することができ、試料に影響されない。
【００６１】
ある特定の実施形態において、増幅器２１２、２１４を他の構成部品と置き換えて、駆動モードから発振モードへの切替え、またはハイブリッドモードでのジェネレータ動作を可能にすることができる。図３Ａを参照すると、スイッチ式信号源３１０、例えば、ＲＦ源、ＶＣＯ、位相ロックループまたは他の構成部品は、駆動増幅器３２０に電気的に結合され得る。電源３１０をオンに切り替えて作動させて、例えば、ジェネレータの駆動モードを使用して電力を供給することができ、または電源３１０をオフに切り替えて、駆動回路をジェネレータから切り離すことができる。図３Ｂには、信号源３５０、例えば、ＲＦ信号源、ＶＣＯ等がスイッチ３６０に電気的に結合された代替の実施形態が示されている。信号源３５０は、ジェネレータがオンに切り替えられて作動されたときに、連続的に「オン」状態で動作することができ、スイッチ３６０は、スイッチ３６０の状態に応じて、信号源３５０をジェネレータの他の構成部品に電気的に接続することができ、または信号源３５０をジェネレータの他の構成部品から電気的に切り離すことができる。その他の構成（図４Ａ参照）では、信号源４１０を電圧制御発振器４２０に電気的に結合して、システムの他の構成部品に信号を供給する（または供給しないようにする）ことができる。例えば、ＶＣＯに印加される電圧に応じて、測定可能な信号をジェネレータの他の構成部品に供給してもよく、または供給しないようにする。必要に応じて、増幅器を完全に省いてもよく、その代わりに切替え可能な信号源４５０（図４Ｂ参照）を使用することができる。信号源４５０は、信号の増幅が必要とされないような高電力信号源であってもよい。信号源が誘導装置に電気的に結合される追加の構成は、本開示の利益を受けて、当業者によって容易に選択されるはずである。
【００６２】
ある例では、図５に、ジェネレータの特定の構成部品の簡易化された回路図を示す。誘導コイルは、インダクタＬ２によって表される。第１のフィードバック経路は、コンデンサＣ５、Ｃ６、Ｃ７、Ｃ９、抵抗Ｒ９、コンデンサＣ１１、抵抗Ｒ３、コンデンサＣ８、及びローパスフィルタＬ１０を含む。第２のフィードバック経路は、コンデンサＣ２６、Ｃ２７、Ｃ２８、及びＣ３０、抵抗Ｒ１０、コンデンサＣ３１、抵抗Ｒ６、コンデンサＣ２９、ならびにローパスフィルタＬ２０を含む。フィードバック経路は、誘導装置（Ｌ２）電圧（すなわち、ジェネレータ出力）を発振モード用駆動増幅器Ｍ４、Ｍ６の入力コンデンサＣ２５、Ｃ４６に返して結合する。コンデンサＣ１１、Ｃ８、Ｃ３１及びＣ２９は、例えば、固定値のセラミックコンデンサと電気的に同調可能なバラクタダイオードとの組合せであってもよい。発振モードの自走周波数はまた、プロセッサまたはコントローラ（図示せず）によって調整可能である。インピーダンス整合用に、コンデンサＣ１及びＣ３がある。トランジスタＭ１及びＭ２（ならびにＭ５及びＭ７）は、それぞれ単一の集積回路パッケージ、例えば、パワー電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）もしくはＬＤＭＯＳトランジスタ、バイポーラトランジスタ、ダーリントンペア、または他の商用のトランジスタもしくはトランジスタを含む構成部品の中にあってもよい。Ｍ１＋Ｍ２、Ｍ５＋Ｍ７は、誘導装置Ｌ２用にＲＦ電力を生成するための主要な１キロワットのパワーＭＯＳＦＥＴである。Ｍ３、Ｍ４、Ｍ６、Ｍ８は、例えば、２５ワット（１キロワットよりも低い電力）のパワーＦＥＴであってもよい。Ｍ３及びＭ８は駆動モード用駆動増幅器であり、Ｍ４及びＭ６は発振モード用駆動増幅器である。図５の回路を駆動モードで使用する際には、ＤＣ電圧源Ｖ８をオンに切り替えて、Ｍ３及びＭ８のゲートバイアスをオンに（例えば、２．７Ｖに）するとともに、ＤＣ電圧Ｖ７を０Ｖに設定して、Ｍ４及びＭ６を無効にする。発振モードでは、ＤＣ電圧源Ｖ７をオンに切り替えて、Ｍ４及びＭ６のゲートバイアスをオンに（例えば、２．７Ｖに）するとともに、直流電圧Ｖ８を０Ｖに設定して、Ｍ３及びＭ８を無効にする。ハイブリッドモードの間、電圧源Ｖ７及びＶ８にＤＣ電圧（例えば、２．７Ｖ）を設定して、Ｍ３、Ｍ４、Ｍ６及びＭ８のゲートバイアスをオンにする。Ｖ５及びＶ６は、（駆動、発振または注入同期モードに関係なく）パワーＦＥＴ  Ｍ１、Ｍ２、Ｍ５及びＭ７のゲートバイアスをオンにするためのＤＣ電圧源である。Ｖ５、Ｖ６、Ｖ７及びＶ８は、プロセッサまたはコントローラ（図示せず）によって制御されるＡＤＣ（アナログデジタル変換器）によって生成される。Ｔ１、Ｔ２は、フェライトコア巻数比３：１の降圧トランスであってよい。Ｃ１３及びＣ３２は、トランスＴ１及びＴ２の周波数応答を調整するためのコンデンサであってよい。Ｔ１、Ｔ２、Ｃ１３及びＣ３２は、必要に応じて省いてもよい。Ｃ２及びＣ４は、高電圧、高出力コンデンサである。Ｌ３、Ｌ５、Ｌ１５、Ｌ１３、Ｌ９、Ｌ１９は、パワーＭＯＳＦＥＴのＶＤＤ供給用のＲＦチョークである。Ｌ１４、Ｌ１６、Ｌ１７、Ｌ１８は、パワーＭＯＳＦＥＴのゲート（ＶＧＧ）供給用のＲＦ���ョークである。Ｍ１、Ｍ２、Ｍ５及びＭ７用のゲート保護ダイオードは図示されていないが、必要に応じてあってもよい。Ｖ１、Ｖ３は、１キロワットパワーＦＥＴ  Ｍ１、Ｍ２、Ｍ５及びＭ７用のＶＤＤＤＣ電源である。Ｖ２は、駆動モード用駆動増幅器及び発振モード用駆動増幅器Ｍ３、Ｍ４、Ｍ６及びＭ８のためのＶＤＤＤＣ電源である。図５に示す構成部品は例示のために提供されているが、回路内の他の構成部品を省き、または置換し、依然として駆動モード、発振モード及びハイブリッドモードで動作することができる使用可能なジェネレータを提供することが可能である。さらに、駆動モード、発振モード及びハイブリッドモードでジェネレータを動作させるために、少ないトランジスタ、例えば、１つまたは２つのトランジスタを含む適切な回路を提供することができる。
【００６３】
いくつかの例では、本明細書に記載されたジェネレータと共に使用するのに適した誘導装置は、様々であってもよい。一部の実施形態において、誘導装置は、選択されたターン数、例えば３〜１０ターン、巻かれたワイヤを含む負荷コイルを含むことができる。コイル状ワイヤは、トーチにＲＦエネルギーを供給して、プラズマを維持する。例えば、図６Ａを参照すると、トーチ５１４及び負荷コイル５１２が示されており、このコイルは、本明細書に記載されたジェネレータの１つに電気的に結合され、例えば、負荷コイル５１２は、図５の回路図ではＬ２である。トーチ５１４は、３つの概して同心のチューブ５１４、５５０、及び５４８を含む。最も内側のチューブ５４８は、霧状にされた試料の流れ５４６をプラズマ５１６の中に供給する。中間のチューブ５５０は、補助ガス流５４４をプラズマ５１６に供給する。最も外側のチューブ５１４は、プラズマを維持するためのキャリアガス流５２８を供給する。キャリアガス流５２８は、中間チューブ５５０の周囲に層流の状態でプラズマ５１６に送られ得る。補助ガス流５４４は、中間チューブ５５０内に収まってプラズマ５１６に送られ得る。試料の流れ５４６は、噴霧室（図示せず）または他の試料導入装置から、最も内側のチューブ５４８を伝わって、プラズマ５１６に送られ得る。ジェネレータから負荷コイル５１２に供給されるＲＦ電流は、負荷コイル５１２の内部にプラズマ５１６を閉じ込めるように、その内部に磁場を形成し得る。トーチ５１４を出るプラズマテール５９８が示されている。ある例では、プラズマ５１６は、予熱ゾーン５９０、誘導ゾーン５９２、初期放射ゾーン５９４、分析ゾーン５９６及びプラズマテール５９８を含む。負荷コイル５１２の動作中に、プラズマガスをトーチ５１２の中に導入し、点火することができる。負荷コイル５１２に電気的に結合されたジェネレータからのＲＦ電力を、駆動モードで供給して、点火中にプラズマ５１６を維持することができる。典型的なプラズマでは、アルゴンガスが約１５〜２０リットル／分の流速でトーチに導入され得る。プラズマ５１６は、スパークまたはアークを用いて発生して、アルゴンガスを点火することができる。誘導コイル５１２からのトロイダル磁場は、アルゴン原子及びアルゴンイオンを衝突させ、これがプラズマ５１６を形成する、例えば約５，０００〜１０，０００Ｋ以上といった過熱状態の環境をもたらす。プラズマ５１６が安定した時点で、ジェネレータを駆動モードから発振モードに切り替えて、チューブ５４６を介した試料導入の間にプラズマ５１６のインピーダンスが変化するときに、インピーダンスの迅速な調整を可能にすることができる。必要に応じて、ジェネレータを、特定の試料の分析のために、もう一度駆動モードにまたはハイブリッドモードに切り替えることができる。図６Ａには負荷コイル５１２がおよそ３ターンを含むものとして示されているが、当業者であれば、本開示の利益を受けて、負荷コイル５１２に３回未満のまたは３回より多い巻き数が存在してもよいことが認識されるはずである。
【００６４】
一部の実施形態において、１つ以上の平板電極を、本明細書に記載のジェネレータに電気的に結合することができる。ある例では、平板電極の平面的性質により、トーチ本体内に、トーチ本体の長手方向軸にほぼ垂直なループ電流が生成される。平板電極は、３つ以上の平板電極がある場合、互いから対称に間隔をおいて配置させてもよいし、または必要であれば、平板電極を互いから非対称的に間隔をおいて配置させてもよい。図６Ｂには、ジェネレータが駆動モード及び発振モードにあるときに、平板電極が動作可能なように、ジェネレータに電気的に結合され得る２つの平板電極が示される。電極６５２は、互いから『Ｌ』の距離で配置されたほぼ平行な２つの平板６５２ａ、６５２ｂを含む。平行平板６５２ａ、６５２ｂのそれぞれは開口部６５４を含み、トーチ５１４、最も内側のチューブ５４８、中間チューブ５５０及び開口部６５４が、トーチ５１４の長手方向軸におおむね平行な長手方向軸６２６に沿って整列するように、開口部６５４を通してトーチ５１４が配置され得る。開口部の正確な寸法及び形状は様々であってよく、トーチを受け入れることができる任意の適切な寸法及び形状とすることができる。例えば、開口部６５４は、概して円形であってもよく、正方形もしくは長方形であってもよく、または例えば三角形、楕円形、卵形、もしくは他の適切な幾何学的形状であり得る、他の形状であってもよい。ある例では、開口部は、トーチ５１４の外径よりも約０〜５０％、または典型的には約３％大きいサイズにすることができるが、他の例では、トーチ５１４は、平板６５２ａ、６５２ｂと接触してもよく、例えば、トーチのある部分を、実質的な動作上の問題なしに、平板の表面に接触させることができる。電極５５２の開口部６５４には、開口部５５４がその周囲と連通するようなスロット５６４を含めることもできる。平板６５２ａ、６５２ｂを使用する際には、本明細書に記載されるジェネレータを平板６５２ａ、６５２ｂに電気的に結合させる。ＲＦ電流が駆動モード、発振モードまたは注入同期モードで平板６５２ａ、６５２ｂに供給されて、平面ループ電流が形成され、この電流が、開口部６５４を通るトロイダル磁場を生成する。プラズマを点火するため、ジェネレータは駆動モードに設定されることが望ましく（ただし、発振モードまたはハイブリッドモードを使用してプラズマを点火することもできる）、トーチ５１４の長手方向軸にほぼ垂直な、半径方向平面にほぼ平行な平面電流ループを生成するＲＦ電流が供給される。プラズマ５１６の点火後、ジェネレータは、トーチ５１４への試料の導入に先立って、駆動モードから発振モードに切り替えることができる。必要に応じて、ジェネレータを、特定の試料の分析のために、もう一度駆動モードまたはハイブリッドモードに切り替えることができる。図６Ｂには、２つの平板電極６５２ａ、６５２ｂが示されているが、単一の平板電極を使用してもよく、３つの平板電極を使用してもよく、または３つより多い平板電極を使用してもよい。さらに詳しく以下に説明するように、平板の各々は、必要に応じて、同じジェネレータに電気的に結合されてもよく、または異なるジェネレータに電気的に結合されてもよい。
【００６５】
ある特定の実施形態において、本明細書に記載のジェネレータは、同じであっても異なっていてもよい、別のジェネレータと組み合わせて使用することができる。説明を簡単にするために、いくつかの構成のブロック図が本明細書に含まれる。「単一モードジェネレータ」という用語は、駆動モードまたは発振モードで動作することができるが、一般にはモード間で切り替え可能ではないジェネレータを指す。図７を参照すると、本明細書に記載のハイブリッドジェネレータ７１０と単一モードジェネレータ７２０とを含む、それぞれが負荷コイル７３０、７４０に別々に結合された、システム７００が示される。トーチ７５０は、負荷コイル７３０、７４０の各々の開口部内に配置される。システム７００の動作中に、ジェネレータ７１０を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードでコイル７３０に電力を供給することができる。プラズマガスは、チューブ７５０の左側に入って、軸方向に先ずコイル７３０に到達する。ジェネレータ７２０は、駆動モードジェネレータかそれとも発振モードジェネレータとして構成され得る。一部の実施形態において、ジェネレータ７１０を駆動モードで動作させて、トーチ７５０内にプラズマを点火し、次いでジェネレータ７２０をプラズマ点火の後でオンに切り替えて作動させる。他の実施形態において、ジェネレータ７１０、７２０の両方を、プラズマ点火中にオンに切り替えて作動させてもよい。場合によっては、ジェネレータ７１０が駆動モードから発振モードに切り替わるまで、ジェネレータ７２０をオンに切り替えないようにする。例えば、ジェネレータ７２０は、ジェネレータ７１０が駆動モードから発振モードに切り替えられると同時にオンに切り替えられる発振ジェネレータとして構成されてもよい。一部の実施形態において、ジェネレータ７１０は、試料を脱溶媒和するために発振モードで使用されてもよく、ジェネレータ７２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される駆動モードジェネレータであってもよい。他の実施形態において、ジェネレータ７１０は、試料を脱溶媒和するために発振モードで使用されてもよく、ジェネレータ７２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される発振ジェネレータであってもよい。さらなる実施形態において、ジェネレータ７１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードで使用されてもよく、ジェネレータ７２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される駆動モードジェネレータであってもよい。ある特定の実施形態において、ジェネレータ７１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードで使用されてもよく、ジェネレータ７２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される発振ジェネレータであってもよい。必要に応じて、負荷コイル７３０、７４０内のコイルの数は異なっていてもよく、同じであってもよい。
【００６６】
ある例では、図８には、本明細書に記載のハイブリッドジェネレータ、例えば、駆動モード、発振モード及び／またはハイブリッドモードで動作することができるジェネレータの上流に、単一モードジェネレータが配置された別のシステムが示される。システム８００は、単一モードジェネレータ８１０及びハイブリッドジェネレータ８２０を含み、それぞれが負荷コイル８３０、８４０に別々に結合される。トーチ８５０は、負荷コイル８３０、８４０の各々の開口部内に配置される。システム８００の動作中に、ジェネレータ８２０を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードでコイル８４０に電力を供給することができる。プラズマガスは、チューブ８５０の左側に入って、軸方向に先ずコイル８３０に到達する。ジェネレータ８１０は、駆動モードジェネレータかそれとも発振モードジェネレータとして構成され得る。一部の実施形態において、ジェネレータ８２０を駆動モードで動作させて、トーチ８５０内にプラズマを点火し、次いでジェネレータ８１０をプラズマ点火の後でオンに切り替えて作動させる。他の実施形態において、ジェネレータ８１０、８２０の両方を、プラズマ点火中にオンに切り替えて作動させてもよい。場合によっては、ジェネレータ８２０が駆動モードから発振モードに切り替わるまで、ジェネレータ８１０をオンに切り替えないようにする。例えば、ジェネレータ８１０は、ジェネレータ８２０が駆動モードから発振モードに切り替えられると同時にオンに切り替えられる発振ジェネレータとして構成されてもよい。一部の実施形態において、ジェネレータ８１０は、試料を脱溶媒和するために発振ジェネレータであってもよく、ジェネレータ８２０は、試料を原子化／イオン化するために駆動モードで動作させることができる。ある特定の実施形態において、ジェネレータ８１０は、試料を脱溶媒和するために発振ジェネレータであってもよく、ジェネレータ８２０は、試料を原子化／イオン化するために発振モードで動作させることができる。他の実施形態において、ジェネレータ８１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードジェネレータであってもよく、ジェネレータ８２０は、試料を原子化／イオン化するために駆動モードで動作させることができる。さらなる実施形態において、ジェネレータ８１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードジェネレータであってもよく、ジェネレータ８２０は、試料を原子化／イオン化するために発振モードで動作させることができる。必要に応じて、負荷コイル８３０、８４０内のコイルの数は異なっていてもよく、同じであってもよい。
【００６７】
ある例では、図９には、本明細書に記載の２つのハイブリッドジェネレータが存在する別のシステムが示される。システム９００は、第１のハイブリッドジェネレータ９１０と第２のハイブリッドジェネレータ９２０とを含み、それぞれが負荷コイル９３０、９４０に別々に結合される。トーチ９５０は、負荷コイル９３０、９４０の各々の開口部内に配置される。システム９００の動作中に、ジェネレータ９１０、９２０の各々を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードで、コイル９３０、９４０にそれぞれ電力を供給することができる。プラズマガスは、チューブ９５０の左側に入って、軸方向に先ずコイル９３０に到達する。一部の実施形態において、ジェネレータ９１０、９２０の各々を、プラズマ点火中に駆動モードで動作させる。他の実施形態において、ジェネレータ９１０、９２０の一方のみをプラズマ点火中に駆動モードで動作させ、他方のジェネレータはオフにしてもよく、または発振モードで動作させてもよい。プラズマ点火の後で、ジェネレータ９１０、９２０の一方または両方を駆動モードから発振モードに切り替えることができる。例えば、ジェネレータ９１０を駆動モードで動作させたままにして、ジェネレータ９２０を発振モードに切り替えることができる。異なる構成では、ジェネレータ９１０を発振モードに切り替え、ジェネレータ９２０を駆動モードにしておく。別の構成では、ジェネレータ９１０、９２０をそれぞれ発振モードに切り替えるが、それらを同時に切り替えてもよいし、またはジェネレータ９１０を最初に発振モードに切り替えてから、ジェネレータ９２０の発振モードへの切替えを続けて行ってもよい（またはその逆に行ってもよい）。
【００６８】
１つよりも多くのジェネレータが存在する特定の実施形態では、各ジェネレータは個別に、１つ、２つ、３つまたはそれ以上の平板電極に電気的に結合され得る。便宜上の目的で２つの平板電極を使用した図を、図１０〜図１２に示す。図１０を参照すると、本明細書に記載のハイブリッドジェネレータ１０１０と単一モードジェネレータ１０２０とを含む、それぞれが平板電極１０３０、１０４０の対に別々に結合された、システム１０００が示される。平板電極１０３０、１０４０は、それぞれの取付板１０３５、１０４５に結合された状態で示される。トーチ１０５０は、平板１０３０、１０４０の各々の開口部内に配置される。システム１０００の動作中に、ジェネレータ１０１０を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードで平板１０３０に電力を供給することができる。プラズマガスは、チューブ１０５０の左側に入って、軸方向に先ず平板１０３０に到達する。ジェネレータ１０２０は、駆動モードジェネレータかそれとも発振モードジェネレータとして構成され得る。一部の実施形態において、ジェネレータ１０１０を駆動モードで動作させて、トーチ１０５０内にプラズマを点火し、次いでジェネレータ１０２０をプラズマ点火の後でオンに切り替えて作動させる。他の実施形態において、ジェネレータ１０１０、１０２０の両方を、プラズマ点火中にオンに切り替えて作動させてもよい。場合によっては、ジェネレータ１０１０が駆動モードから発振モードに切り替わるまで、ジェネレータ１０２０をオンに切り替えないようにする。例えば、ジェネレータ１０２０は、ジェネレータ１０１０が駆動モードから発振モードに切り替えられると同時にオンに切り替えられる発振ジェネレータとして構成されてもよい。一部の実施形態において、ジェネレータ１０１０は、試料を脱溶媒和するために発振モードで使用されてもよく、ジェネレータ１０２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される駆動モードジェネレータであってもよい。他の実施形態において、ジェネレータ１０１０は、試料を脱溶媒和するために発振モードで使用されてもよく、ジェネレータ１０２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される発振ジェネレータであってもよい。さらなる実施形態において、ジェネレータ１０１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードで使用されてもよく、ジェネレータ１０２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される駆動モードジェネレータであってもよい。ある特定の実施形態において、ジェネレータ１０１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードで使用されてもよく、ジェネレータ１０２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される発振ジェネレータであってもよい。
【００６９】
ある特定の実施形態において、図１１には、本明細書に記載のハイブリッドジェネレータの上流に、単一モードジェネレータが配置された別のシステムが示される。システム１１００は、単一モードジェネレータ１１１０及びハイブリッドジェネレータ１１２０を含み、それぞれが平板電極１１３０、１１４０の対に別々に結合される。平板電極１１３０、１１４０は、取付板１１３５、１１４５にそれぞれ結合された状態で示される。トーチ１１５０は、平板電極１１３０、１１４０の各々の開口部内に配置される。システム１１００の動作中に、ジェネレータ１１２０を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードで平板１１４０に電力を供給することができる。プラズマガスは、チューブ１１５０の左側に入って、軸方向に先ず平板１１３０に到達する。ジェネレータ１１１０は、駆動モードジェネレータかそれとも発振モードジェネレータとして構成され得る。一部の実施形態において、ジェネレータ１１２０を駆動モードで動作させて、トーチ１１５０内にプラズマを点火し、次いでジェネレータ１１１０をプラズマ点火の後でオンに切り替えて作動させる。他の実施形態において、ジェネレータ１１１０、１１２０の両方を、プラズマ点火中にオンに切り替えて作動させてもよい。場合によっては、ジェネレータ１１２０が駆動モードから発振モードに切り替わるまで、ジェネレータ１１１０をオンに切り替えないようにする。例えば、ジェネレータ１１１０は、ジェネレータ１１２０が駆動モードから発振モードに切り替えられると同時にオンに切り替えられる発振ジェネレータとして構成されてもよい。一部の実施形態において、ジェネレータ１１１０は、試料を脱溶媒和するために発振ジェネレータであってもよく、ジェネレータ１１２０は、試料を原子化／イオン化するために駆動モードで動作させることができる。ある特定の実施形態において、ジェネレータ１１１０は、試料を脱溶媒和するために発振ジェネレータであってもよく、ジェネレータ１１２０は、試料を原子化／イオン化するために発振モードで動作させることができる。他の実施形態において、ジェネレータ１１１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードジェネレータであってもよく、ジェネレータ１１２０は、試料を原子化／イオン化するために駆動モードで動作させることができる。さらなる実施形態において、ジェネレータ１１１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードジェネレータであってもよく、ジェネレータ１１２０は、試料を原子化／イオン化するために発振モードで動作させることができる。
【００７０】
ある例では、図１２には、本明細書に記載の２つのハイブリッドジェネレータが存在する別のシステムが示される。システム１２００は、第１のハイブリッドジェネレータ１２１０と第２のハイブリッドジェネレータ１２２０とを含み、それぞれが平板電極１２３０、１２４０の対に別々に結合される。平板電極１２３０、１２４０は、それぞれの取付板１２３５、１２４５に結合された状態で示される。トーチ１２５０は、平板電極１２３０、１２４０の各々の開口部内に配置される。システム１２００の動作中に、ジェネレータ１２１０、１２２０の各々を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードで、平板１２３０、１２４０にそれぞれ電力を供給することができる。プラズマガスは、トーチ１２５０の左側に入って、軸方向に先ずコイル１２３０に到達する。一部の実施形態において、ジェネレータ１２１０、１２２０の各々を、プラズマ点火中に駆動モードで動作させる。他の実施形態において、ジェネレータ１２１０、１２２０の一方のみをプラズマ点火中に駆動モードで動作させ、他方のジェネレータはオフにしてもよく、または発振モードで動作させてもよい。プラズマ点火の後で、ジェネレータ１２１０、１２２０の一方または両方を駆動モードから発振モードに切り替えることができる。例えば、ジェネレータ１２１０を駆動モードで動作させたままにして、ジェネレータ１２２０を発振モードに切り替えることができる。異なる構成では、ジェネレータ１２１０を発振モードに切り替え、ジェネレータ１２２０を駆動モードにしておく。別の構成では、ジェネレータ１２１０、１２２０をそれぞれ発振モードに切り替えるが、それらを同時に切り替えてもよいし、またはジェネレータ１２１０を最初に発振モードに切り替えてから、ジェネレータ１２２０の発振モードへの切替えを続けて行ってもよい（またはその逆に行ってもよい）。
【００７１】
１つよりも多くのジェネレータが存在する特定の実施形態では、一方のジェネレータが個別に、１つ、２つ、３つまたはそれ以上の平板電極に電気的に結合されてもよいし、他方のジェネレータが負荷コイルに電気的に結合されてもよい。便宜上の目的で２つの平板電極を使用した図を、図１３〜図１８に示す。図１３を参照すると、システム１３００は、本明細書に記載のハイブリッドジェネレータ１３１０と単一モードジェネレータ１３２０とを含む。ジェネレータ１３１０は、負荷コイル１３３０に電気的に結合され、ジェネレータ１３２０は、平板電極１３４０に電気的に結合される。平板電極１３４０は、取付板１３４５に結合された状態で示される。トーチ１３５０は、負荷コイル１３３０及び平板１３４０の開口部内に配置される。システム１３００の動作中に、ジェネレータ１３１０を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードでコイル１３３０に電力を供給することができる。プラズマガスは、チューブ１３５０の左側に入って、軸方向に先ずコイル１３３０に到達する。ジェネレータ１３２０は、駆動モードジェネレータかそれとも発振モードジェネレータとして構成され得る。一部の実施形態において、ジェネレータ１３１０を駆動モードで動作させて、トーチ１３５０内にプラズマを点火し、次いでジェネレータ１３２０をプラズマ点火の後でオンに切り替えて作動させる。他の実施形態において、ジェネレータ１３１０、１３２０の両方を、プラズマ点火中にオンに切り替えて作動させてもよい。場合によっては、ジェネレータ１３１０が駆動モードから発振モードに切り替わるまで、ジェネレータ１３２０をオンに切り替えないようにする。例えば、ジェネレータ１３２０は、ジェネレータ１３１０が駆動モードから発振モードに切り替えられると同時にオンに切り替えられる発振ジェネレータとして構成されてもよい。一部の実施形態において、ジェネレータ１３１０は、試料を脱溶媒和するために発振モードで使用されてもよく、ジェネレータ１３２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される駆動モードジェネレータであってもよい。他の実施形態において、ジェネレータ１３１０は、試料を脱溶媒和するために発振モードで使用されてもよく、ジェネレータ１３２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される発振ジェネレータであってもよい。さらなる実施形態において、ジェネレータ１３１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードで使用されてもよく、ジェネレータ１３２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される駆動モードジェネレータであってもよい。ある特定の実施形態において、ジェネレータ１３１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードで使用されてもよく、ジェネレータ１３２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される発振ジェネレータであってもよい。
【００７２】
ある例では、図１４には、本明細書に記載のハイブリッドジェネレータの上流に、単一モードジェネレータが配置された別のシステムが示される。システム１４００は、単一モードジェネレータ１４１０及びハイブリッドジェネレータ１４２０を含む。ジェネレータ１４１０は、負荷コイル１４３０に電気的に結合され、ジェネレータ１４２０は、平板電極１４４０に電気的に結合される。平板電極１４４０は、取付板１４４５に結合された状態で示される。トーチ１１５０は、負荷コイル１４３０及び平板電極１４４０の各々の開口部内に配置される。システム１４００の動作中に、ジェネレータ１４２０を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードで平板１４４０に電力を供給することができる。プラズマガスは、チューブ１４５０の左側に入って、軸方向に先ずコイル１４３０に到達する。ジェネレータ１４１０は、駆動モードジェネレータかそれとも発振モードジェネレータとして構成され得る。一部の実施形態において、ジェネレータ１４２０を駆動モードで動作させて、トーチ１４５０内にプラズマを点火し、次いでジェネレータ１４１０をプラズマ点火の後でオンに切り替えて作動させる。他の実施形態において、ジェネレータ１４１０、１４２０の両方を、プラズマ点火中にオンに切り替えて作動させてもよい。場合によっては、ジェネレータ１４２０が駆動モードから発振モードに切り替わるまで、ジェネレータ１４１０をオンに切り替えないようにする。例えば、ジェネレータ１４１０は、ジェネレータ１４２０が駆動モードから発振モードに切り替えられると同時にオンに切り替えられる発振ジェネレータとして構成されてもよい。一部の実施形態において、ジェネレータ１４１０は、試料を脱溶媒和するために発振ジェネレータであってもよく、ジェネレータ１４２０は、試料を原子化／イオン化するために駆動モードで動作させることができる。ある特定の実施形態において、ジェネレータ１４１０は、試料を脱溶媒和するために発振ジェネレータであってもよく、ジェネレータ１４２０は、試料を原子化／イオン化するために発振モードで動作させることができる。他の実施形態において、ジェネレータ１４１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードジェネレータであってもよく、ジェネレータ１４２０は、試料を原子化／イオン化するために駆動モードで動作させることができる。さらなる実施形態において、ジェネレータ１４１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードジェネレータであってもよく、ジェネレータ１４２０は、試料を原子化／イオン化するために発振モードで動作させることができる。
【００７３】
ある例では、図１５には、本明細書に記載の２つのハイブリッドジェネレータが存在する別のシステムが示される。システム１５００は、第１のハイブリッドジェネレータ１５１０と第２のハイブリッドジェネレータ１５２０とを含む。ジェネレータ１５１０は、負荷コイル１５３０に電気的に結合され、ジェネレータ１５２０は、平板電極１５４０に電気的に結合される。平板電極１５４０は、取付板１５４５に結合された状態で示される。トーチ１５５０は、負荷コイル１５３０及び平板電極１５４０の各々の開口部内に配置される。システム１５００の動作中に、ジェネレータ１５１０、１５２０の各々を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードで、平板１５３０、１５４０にそれぞれ電力を供給することができる。プラズマガスは、トーチ１５５０の左側に入って、先ずコイル１５３０の内側に到達する。一部の実施形態において、ジェネレータ１５１０、１５２０の各々を、プラズマ点火中に駆動モードで動作させる。他の実施形態において、ジェネレータ１５１０、１５２０の一方のみをプラズマ点火中に駆動モードで動作させ、他方のジェネレータはオフにしてもよく、または発振モードで動作させてもよい。プラズマ点火の後で、ジェネレータ１５１０、１５２０の一方または両方を駆動モードから発振モードに切り替えることができる。例えば、ジェネレータ１５１０を駆動モードで動作させたままにして、ジェネレータ１５２０を発振モードに切り替えることができる。異なる構成では、ジェネレータ１５１０を発振モードに切り替え、ジェネレータ１５２０を駆動モードにしておく。別の構成では、ジェネレータ１５１０、１５２０をそれぞれ発振モードに切り替えるが、それらを同時に切り替えてもよいし、またはジェネレータ１５１０を最初に発振モードに切り替えてから、ジェネレータ１５２０の発振モードへの切替えを続けて行ってもよい（またはその逆に行ってもよい）。
【００７４】
図１６を参照すると、本明細書に記載のハイブリッドジェネレータ１６１０と単一モードジェネレータ１６２０とを含むシステム１６００が示される。ジェネレータ１６１０は、平板電極１６３０に電気的に結合され、ジェネレータ１６２０は、負荷コイル１６４０に電気的に結合される。平板電極１６３０は、取付板１６４５に結合された状態で示される。トーチ１６５０は、負荷コイル１６４０及び平板１６３０の開口部内に配置される。システム１６００の動作中に、ジェネレータ１６１０を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードで平板１６３０に電力を供給することができる。プラズマガスは、チューブ１６５０の左側に入って、軸方向に先ず平板１６３０に到達する。ジェネレータ１６２０は、駆動モードジェネレータかそれとも発振モードジェネレータとして構成され得る。一部の実施形態において、ジェネレータ１６１０を駆動モードで動作させて、トーチ１６５０内にプラズマを点火し、次いでジェネレータ１６２０をプラズマ点火の後でオンに切り替えて作動させる。他の実施形態において、ジェネレータ１６１０、１６２０の両方を、プラズマ点火中にオンに切り替えて作動させてもよい。場合によっては、ジェネレータ１６１０が駆動モードから発振モードに切り替わるまで、ジェネレータ１６２０をオンに切り替えないようにする。例えば、ジェネレータ１６２０は、ジェネレータ１６１０が駆動モードから発振モードに切り替えられると同時にオンに切り替えられる発振ジェネレータとして構成されてもよい。一部の実施形態において、ジェネレータ１６１０は、試料を脱溶媒和するために発振モードで使用されてもよく、ジェネレータ１６２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される駆動モードジェネレータであってもよい。他の実施形態において、ジェネレータ１６１０は、試料を脱溶媒和するために発振モードで使用されてもよく、ジェネレータ１６２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される発振ジェネレータであってもよい。さらなる実施形態において、ジェネレータ１６１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードで使用されてもよく、ジェネレータ１６２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される駆動モードジェネレータであってもよい。ある特定の実施形態において、ジェネレータ１６１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードで使用されてもよく、ジェネレータ１６２０は、試料を原子化／イオン化するために使用される発振ジェネレータであってもよい。
【００７５】
ある例では、図１７には、本明細書に記載のハイブリッドジェネレータの上流に、単一モードジェネレータが配置された別のシステムが示される。システム１７００は、単一モードジェネレータ１７１０及びハイブリッドジェネレータ１７２０を含む。ジェネレータ１７１０は、平板電極１７３０に電気的に結合され、ジェネレータ１７２０は、負荷コイル１７４０に電気的に結合される。平板電極１７３０は、取付板１７４５に結合された状態で示される。トーチ１７５０は、負荷コイル１７４０及び平板電極１７３０の各々の開口部内に配置される。システム１７００の動作中に、ジェネレータ１７２０を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードで負荷コイル１７４０に電力を供給することができる。プラズマガスは、チューブ１７５０の左側に入って、軸方向に先ず平板１７３０に到達する。ジェネレータ１７１０は、駆動モードジェネレータかそれとも発振モードジェネレータとして構成され得る。一部の実施形態において、ジェネレータ１７２０を駆動モードで動作させて、トーチ１７５０内にプラズマを点火し、次いでジェネレータ１７１０をプラズマ点火の後でオンに切り替えて作動させる。他の実施形態において、ジェネレータ１７１０、１７２０の両方を、プラズマ点火中にオンに切り替えて作動させてもよい。場合によっては、ジェネレータ１７２０が駆動モードから発振モードに切り替わるまで、ジェネレータ１７１０をオンに切り替えないようにする。例えば、ジェネレータ１７１０は、ジェネレータ１７２０が駆動モードから発振モードに切り替えられると同時にオンに切り替えられる発振ジェネレータとして構成されてもよい。一部の実施形態において、ジェネレータ１７１０は、試料を脱溶媒和するために発振ジェネレータであってもよく、ジェネレータ１７２０は、試料を原子化／イオン化するために駆動モードで動作させることができる。ある特定の実施形態において、ジェネレータ１７１０は、試料を脱溶媒和するために発振ジェネレータであってもよく、ジェネレータ１７２０は、試料を原子化／イオン化するために発振モードで動作させることができる。他の実施形態において、ジェネレータ１７１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードジェネレータであってもよく、ジェネレータ１７２０は、試料を原子化／イオン化するために駆動モードで動作させることができる。さらなる実施形態において、ジェネレータ１７１０は、試料を脱溶媒和するために駆動モードジェネレータであってもよく、ジェネレータ１７２０は、試料を原子化／イオン化するために発振モードで動作させることができる。
【００７６】
ある例では、図１８には、本明細書に記載の２つのハイブリッドジェネレータが存在する別のシステムが示される。システム１８００は、第１のハイブリッドジェネレータ１８１０と第２のハイブリッドジェネレータ１８２０とを含む。ジェネレータ１８１０は、平板電極１８３０に電気的に結合され、ジェネレータ１８２０は、負荷コイル１８４０に電気的に結合される。平板電極１８３０は、取付板１８４５に結合された状態で示される。トーチ１８５０は、負荷コイル１８４０及び平板電極１８３０の各々の開口部内に配置される。システム１８００の動作中に、ジェネレータ１８１０、１８２０の各々を使用して、駆動モード、発振モードまたはハイブリッドモードで、平板１８３０、及び負荷コイル１８４０にそれぞれ電力を供給することができる。プラズマガスは、トーチ１８５０の左側に入って、軸方向に先ず平板１８３０に到達する。一部の実施形態において、ジェネレータ１８１０、１８２０の各々を、プラズマ点火中に駆動モードで動作させる。他の実施形態において、ジェネレータ１８１０、１８２０の一方のみをプラズマ点火中に駆動モードで動作させ、他方のジェネレータはオフにしてもよく、または発振モードで動作させてもよい。プラズマ点火の後で、ジェネレータ１８１０、１８２０の一方または両方を駆動モードから発振モードに切り替えることができる。例えば、ジェネレータ１８１０を駆動モードで動作させたままにして、ジェネレータ１８２０を発振モードに切り替えることができる。異なる構成では、ジェネレータ１８１０を発振モードに切り替え、ジェネレータ１８２０を駆動モードにしておく。別の構成では、ジェネレータ１８１０、１８２０をそれぞれ発振モードに切り替えるが、それらを同時に切り替えてもよいし、またはジェネレータ１８１０を最初に発振モードに切り替えてから、ジェネレータ１８２０の発振モードへの切替えを続けて行ってもよい（またはその逆に行ってもよい）。
【００７７】
特定の例では、本明細書に記載される単一のハイブリッドジェネレータを使用して、同時に２つ以上の誘導装置に電力を供給することができる。図１９を参照すると、システム１９００は、負荷コイル１９３０、１９４０に電気的に結合されたジェネレータ１９１０を含む。トーチ１９５０は、負荷コイル１９３０、１９４０の開口部内に配置される。システム１９００の動作中、負荷コイル１９３０、１９４０の一方または両方に、駆動モードか発振モード、または両方で電力を供給することができる。一部の例では、ジェネレータ１９１０が駆動モードにあるとき、負荷コイル１９３０のみを作動させることによって、プラズマを点火することが望ましい場合がある。ジェネレータ１９１０を発振モードに切り替えるとき、負荷コイル１９４０に給電して、トーチ１９５０内のプラズマの全長を増加させることもできる。あるいは、ジェネレータ１９１０が駆動モードにあるとき、両方の負荷コイル１９３０、１９４０を作動させることによって、プラズマを点火することが望ましい場合がある。プラズマが点火されると、ジェネレータ１９１０は発振モードに切り替えられ、負荷コイル１９３０、１９４０の両方は動作状態であってもよく、または必要に応じて負荷コイル１９３０、１９４０の一方は給電を止められてもよい。ジェネレータ１９１０から負荷コイル１９３０、１９４０に種々の電力が供給されるような、適切な回路が、ジェネレータに含まれ得る。例えば、負荷コイル１９４０よりも多くの電力を負荷コイル１９３０に供給すること（またはその逆）が望ましい場合がある。一部の実施形態において、負荷コイル１９４０が負荷コイル１９３０とは異なる巻数を含む場合があるが、他の例では、負荷コイル１９３０、１９４０のそれぞれの巻数が同じであってもよい。
【００７８】
ある特定の実施形態において、図２０には、２組の平板電極を含むことを除いて図１９に示すものと同様のシステムが示される。システム２０００は、平板電極２０３０、２０４０に電気的に結合されたジェネレータ２０１０を含む。トーチ２０５０は、平板電極２０３０、２０４０の開口部内に配置される。システム２０００の動作中、平板電極２０３０、２０４０の対の一方または両方に、駆動モードか発振モード、または両方で電力を供給することができる。一部の例では、ジェネレータ２０１０が駆動モードにあるとき、平板電極２０３０のみを作動させることによって、プラズマを点火することが望ましい場合がある。ジェネレータ２０１０を発振モードに切り替えるとき、電極２０４０に給電して、トーチ２０５０内のプラズマの全長を増加させることもできる。あるいは、ジェネレータ２０１０が駆動モードにあるとき、両方の平板電極２０３０、２０４０のセットを作動させることによって、プラズマを点火することが望ましい場合がある。プラズマが点火されると、ジェネレータ２０１０は発振モードに切り替えられ、平板電極２０３０、２０４０のセットの両方は動作状態であってもよく、または必要に応じて平板電極２０３０、２０４０のセットの一方は給電を止められてもよい。ジェネレータ２０１０から平板電極２０３０、２０４０のセットに種々の電力が供給されるような、適切な回路が、ジェネレータに含まれ得る。例えば、電極２０４０よりも多くの電力を電極２０３０に供給すること（またはその逆）が望ましい場合がある。ある例では、電極２０４０が電極２０３０とは異なる枚数の板を含む場合があるが、他の例では、電極２０３０、２０４０のそれぞれの板の枚数が同じであってもよい。
【００７９】
ある例では、図２１には、１組の負荷コイルと１組の平板電極とを含むことを除いて図１９及び図２０に示すものと同様のシステムが示される。システム２１００は、負荷コイル２１３０及び平板電極２１４０に電気的に結合されたジェネレータ２１１０を含む。トーチ２１５０は、負荷コイル２１３０及び平板電極２１４０の開口部内に配置される。システム２１００の動作中、負荷コイル２１３０及び平板電極２１４０の一方または両方に、駆動モードか発振モード、または両方で電力を供給することができる。一部の例では、ジェネレータ２１１０が駆動モードにあるとき、負荷コイル２１３０のみを作動させることによって、プラズマを点火することが望ましい場合がある。ジェネレータ２１１０を発振モードに切り替えるとき、平板電極２１４０に給電して、トーチ２１５０内のプラズマの全長を増加させることもできる。あるいは、ジェネレータ２１１０が駆動モードにあるとき、負荷コイル２１３０及び平板電極２１４０の両方を作動させることによって、プラズマを点火することが望ましい場合がある。プラズマが点火されると、ジェネレータ２１１０は発振モードに切り替えられ、負荷コイル２１３０及び平板電極２１４０の両方は動作状態であってもよく、または必要に応じて負荷コイル２１３０もしくは平板電極２１４０の一方は給電を止められてもよい。ジェネレータ２１１０から負荷コイル２１３０及び平板電極２１４０に種々の電力が供給されるような、適切な回路が、ジェネレータに含まれ得る。例えば、平板電極２１４０よりも多くの電力を誘導コイル２１３０に供給すること（またはその逆）が望ましい場合がある。
【００８０】
ある例では、図２２には、負荷コイルの上流に平板電極のセットを含むことを除いて図１９〜図２１に示すものと同様のシステムが示される。システム２２００は、平板電極２２３０及び負荷コイル２２４０に電気的に結合されたジェネレータ２２１０を含む。トーチ２２５０は、平板電極２２３０及び負荷コイル２２４０の開口部内に配置される。システム２２００の動作中、平板電極２２３０及び負荷コイル２２４０の一方または両方に、駆動モードか発振モード、または両方で電力を供給することができる。一部の例では、ジェネレータ２２１０が駆動モードにあるとき、平板電極２２３０のみを作動させることによって、プラズマを点火することが望ましい場合がある。ジェネレータ２２１０を発振モードに切り替えるとき、負荷コイル２２４０に給電して、トーチ２２５０内のプラズマの全長を増加させることもできる。あるいは、ジェネレータ２２１０が駆動モードにあるとき、平板電極２２３０及び負荷コイル２２４０の両方を作動させることによって、プラズマを点火することが望ましい場合がある。プラズマが点火されると、ジェネレータ２２１０は発振モードに切り替えられ、平板電極２２３０及び負荷コイル２２４０の両方は動作状態であってもよく、または必要に応じて平板電極２２３０もしくは負荷コイル２２４０の一方は給電を止められてもよい。ジェネレータ２２１０から平板電極２２３０及び負荷コイル２２４０に種々の電力が供給されるような、適切な回路が、ジェネレータに含まれ得る。例えば、負荷コイル２２４０よりも多くの電力を平板電極２２３０に供給すること（またはその逆）が望ましい場合がある。
【００８１】
特定の例では、本明細書に記載のハイブリッドジェネレータを使用して、光学発光システム（ＯＥＳ）に関わる誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）に電力を供給することができる。ＯＥＳの例示的な構成要素を図２３に示す。装置２３００は、ＩＣＰ２３４０に流体的に結合された試料導入システム２３３０を含む。ＩＣＰ２３４０は、ジェネレータ２３３５に電気的に結合され、トーチ、負荷コイル（または平板）または他の誘導装置を使用して生成することができる。ジェネレータ２３３５は、本明細書で説明されるハイブリッドジェネレータのいずれかであってよい。ＩＣＰ２３４０は、検出器２３５０に流体的に（または光学的にもしくは両方で）結合されている。試料導入装置２３３０は、試料の性質に応じて変更することができる。ある例では、試料導入装置２３３０は、液体試料をエアロゾル化してＩＣＰ２３４０中に導入するように構成されたネブライザであってもよい。他の例では、試料導入装置２３３０は、試料をＩＣＰ２３４０中に直接注入するように構成されてもよい。試料を導入するための他の適切な装置及び方法は、本開示の利益を受けて、当業者によって容易に選択されるはずである。検出器２３５０は、様々な形を取ることができ、光学発光２３５５などの光学発光を検出することができる任意の適切な装置であってよい。例えば、検出器２３５０は、レンズ、ミラー、プリズム、窓、バンドパスフィルタなどの適切な光学部品を含むことができる。検出器２３５０は、多重チャンネルＯＥＳ装置を提供するために、エシェル格子などの回折格子を含むこともできる。エシェル格子などの回折格子は、複数の発光波長の同時検出を可能にすることができる。回折格子は、観測する１つ以上の特定の波長を選択するために、単色光分光器または他の適切な装置の内部に配置されてもよい。ある例では、検出器２３５０は、電荷結合素子（ＣＣＤ）を含むことができる。他の例において、ＯＥＳ装置は、フーリエ変換を実行して複数の発光波長の同時検出を提供するように構成してもよい。検出器２３５０は、紫外、可視、近赤外及び遠赤外等を含むがこれに限定されない、広い波長範囲にわたって発光波長を観測するように構成することができる。ＯＥＳ装置２３００は、所望の信号を提供するために、及び／またはデータ収集用に、マイクロプロセッサ及び／またはコンピュータなどの適切な電子機器と、適切な回路とをさらに含むことができる。適切なさらなる装置及び回路は、当技術分野において周知であり、例えば、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ  Ｈｅａｌｔｈ  Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，Ｉｎｃ．（Ｗａｌｔｈａｍ，ＭＡ）から市販されているＯｐｔｉｍａ  ２１００ＤＶシリーズ、Ｏｐｔｉｍａ  ５０００  ＤＶシリーズ及びＯｐｔｉｍａ  ７０００シリーズのＯＥＳ装置など、市販のＯＥＳ装置に見出すことができる。オプションの増幅器２３６０は、例えば、検出された光子に由来する信号を増幅するなど、信号２３５５を増大させるよう作動することができ、この信号を、表示器、コンピュータ等であり得るオプションのディスプレイ２３７０に与えることができる。信号２３５５が表示または検出のために十分に大きい例では、増幅器２３６０を省いてもよい。ある例では、増幅器２３６０は、検出器２３５０から信号を受け取るように構成された光電子増倍管である。ただし、信号を増幅するための他の適切な装置は、本開示の利益を受けて、当業者によって選択されるはずである。また、既存のＯＥＳ装置にジェネレータ２３３５を後付けすること、及び本明細書に開示されたジェネレータを使用して新たなＯＥＳ装置を設計することは、本開示の利益を受けて、当業者の能力の範囲内にあるはずである。ＯＥＳ装置２３００には、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ  Ｈｅａｌｔｈ  Ｓｃｉｅｎｃｅｓから市販されているＡＳ９０オートサンプラー及びＡＳ９３オートサンプラーなどのオートサンプラー、または他の供給業者から入手可能な類似の装置をさらに含めることができる。
【００８２】
ある特定の実施形態において、本明細書に記載のジェネレータは、吸収分光法（ＡＳ）用に設計された計器で使用することができる。原子及びイオンは、特定の波長の光を吸収して、低エネルギー準位から高エネルギー準位への遷移にエネルギーを供給することができる。原子またはイオンは、基底状態から高エネルギー準位への遷移に起因する複数の共鳴線を含み得る。そのような遷移を促進させるのに必要なエネルギーは、以下にさらに説明するように、例えば、熱、炎、プラズマ、アーク、スパーク、陰極線ランプ、レーザ等、多数の供給源を用いて供給することができる。一部の例では、本明細書に記載されるジェネレータは、ＩＣＰに電力を供給するために使用されて、原子またはイオンによって吸収されるエネルギーまたは光を供給することができる。ある例において、図２４に単一ビームＡＳ装置を示す。単一ビームＡＳ装置２４００は、電源２４１０、ランプ２４２０、試料導入装置２４２５、ハイブリッドジェネレータ２４３５に電気的に結合されたＩＣＰ装置２４３０、検出器２４４０、オプションの増幅器２４５０及びオプションのディスプレイ２４６０を含む。電源２４１０は、ランプ２４２０に電力を供給するように構成することができる。ランプ２４２０は、原子及びイオンによって吸収される１つ以上の波長の光２４２２を供給する。必要に応じて、電源２４１０は、ジェネレータ２４３５に電気的に結合させることもできる。好適なランプには、水銀ランプ、陰極線ランプ、レーザなどが含まれるが、これらに限定されない。ランプは、適切なチョッパまたはパルス電源を使用してパルス化されてもよく、またはレーザが組み込まれる例では、レーザを、選択した周波数、例えば５、１０、または２０回／秒でパルス発光させてもよい。ランプ２４２０の細かい構成は様々であってよい。例えば、ランプ２４２０は、ＩＣＰ２４３０に沿って軸方向に光を供給してもよく、またはＩＣＰ装置２４３０に沿って放射状に光を供給してもよい。図２４に示す例では、ランプ２４２０からの光を軸方向に供給できるように構成している。信号の軸方向観察を用いると、信号対雑音に有利であり得る。ＩＣＰ２４３０は、本明細書に記載される誘導装置及びトーチのいずれか、または本開示の利益を受けて、当業者によって容易に選択もしくは設計がなされ得る他の適切な誘導装置及びトーチを使用して維持することができる。ＩＣＰ２４３０内で試料の原子化及び／またはイオン化が行われると、ランプ２４２０からの入射光２４２２が原子を励起することができる。すなわち、ランプ２４２０によって供給される光２４２２の何割かが、ＩＣＰ２４３０内の原子及びイオンによって吸収され得る。残りの割合の光２４３５が検出器２４４０に伝送され得る。検出器２４４０は、例えば、プリズム、レンズ、回折格子、及び他の適切な装置（例えば、ＯＥＳ装置に関して上に述べたものなど）を使用して、１つ以上の適切な波長を確保することができる。信号は、ディスプレイ２４６０に与える信号を増大させるために、オプションの増幅器２４５０に供給され得る。ＩＣＰ２４３０における試料による吸収量を明らかにするために、試料導入の前に水などのブランクを導入して、１００％透過率の基準値を提供することができる。ＩＣＰに導入され、またはＩＣＰから出た、一度試料を透過した光の量を測定することができ、試料で伝送された光の量を基準値で除算して、透過率を求めることができる。透過率の負のｌｏｇ１０は吸光度に等しい。ＡＳ装置２４００は、所望の信号を提供するために、及び／またはデータ収集用に、マイクロプロセッサ及び／またはコンピュータなどの適切な電子機器と、適切な回路とをさらに含むことができる。適切なさらなる装置及び回路は、例えば、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ  Ｈｅａｌｔｈ  Ｓｃｉｅｎｃｅｓから市販されているＡＡｎａｌｙｓｔシリーズ分光計など、市販のＡＳ装置に見出すことができる。また、既存のＡＳ装置に、本明細書に開示されたジェネレータを後付けすること、及び本明細書に開示されたジェネレータを使用して新たなＡＳ装置を設計することは、本開示の利益を受けて、当業者の能力の範囲内にあるはずである。ＡＳ装置には、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ  Ｈｅａｌｔｈ  Ｓｃｉｅｎｃｅｓから市販されているＡＳ−９０Ａ、ＡＳ−９０ｐｌｕｓ及びＡＳ−９３ｐｌｕｓといったオートサンプラーなど、当技術分野で周知のオートサンプラーをさらに含めることができる。
【００８３】
ある特定の実施形態において、図２５を参照すると、本明細書に記載されたジェネレータは、デュアルビームＡＳ装置２５００で使用することができる。デュアルビームＡＳ装置２５００は、電源２５１０、ランプ２５２０、ＩＣＰ２５６５、ＩＣＰ２５６５の誘導装置（図示せず）に電気的に結合されたジェネレータ２５６６、検出器２５８０、オプションの増幅器２５９０、及びオプションのディスプレイ２５９５を含む。電源２５１０は、ランプ２５２０に電力を供給するように構成することができる。ランプ２５２０は、原子及びイオンによって吸収される１つ以上の波長の光２５２５を供給する。好適なランプには、水銀ランプ、陰極線ランプ、レーザなどが含まれるが、これらに限定されない。ランプは、適切なチョッパまたはパルス電源を使用してパルス化されてもよく、またはレーザが組み込まれる例では、レーザを、選択した周波数、例えば５、１０、または２０回／秒でパルス発光させてもよい。ランプ２５２０の構成は様々であってよい。例えば、ランプ２５２０は、ＩＣＰ２５６５に沿って軸方向に光を供給してもよく、またはＩＣＰ２５６５に沿って放射状に光を供給してもよい。図２５に示す例では、ランプ２５２０からの光を軸方向に供給できるように構成している。信号の軸方向観察を用いると、信号対雑音に有利であり得る。ＩＣＰ２５６５は、本明細書で説明されるＩＣＰのいずれか、または本開示の利益を受けて、当業者によって容易に選択もしくは設計がなされ得る他の適切なＩＣＰであってよい。ＩＣＰ２５６５内で試料の原子化及び／またはイオン化が行われると、ランプ２５２０からの入射光２５２５が原子を励起することができる。すなわち、ランプ２５２０によって供給される光２５２５の何割かが、ＩＣＰ２５６５内の原子及びイオンによって吸収され得る。残りの割合の光２５６７が検出器２５８０に伝送される。デュアルビームを使用する例では、入射光２５２５は、ビームスプリッタ２５３０を用いて分割することができ、したがって、光の何割か（例えば約１０％〜約９０％）を光ビーム２５３５としてＩＣＰ２５６５へ伝送し、残りの割合の光を光ビーム２５４０として、ミラーまたはレンズ２５５０及び２５５５へ伝送することができる。光ビームは、ハーフミラーなどの結合器２５７０を使用して再結合させることができ、結合信号２５７５を検出装置２５８０に与えることができる。それから基準値と試料の値との比を決定して、試料の吸光度を計算することができる。検出装置２５８０は、例えば、当技術分野で周知のプリズム、レンズ、回折格子、及び他の適切な装置（例えば、ＯＥＳ装置に関して上に述べたものなど）を使用して、１つ以上の適切な波長を確保することができる。信号２５８５は、信号を増大させてディスプレイ２５９５に与えるために、オプションの増幅器２５９０に供給され得る。ＡＳ装置２５００は、所望の信号を提供するために、及び／またはデータ収集用に、マイクロプロセッサ及び／またはコンピュータなどの、当技術分野で周知の適切な電子機器と、適切な回路とをさらに含むことができる。適切なさらなる装置及び回路は、例えば、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ  Ｈｅａｌｔｈ  Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，Ｉｎｃ．から市販され��いるＡＡｎａｌｙｓｔシリーズ分光計など、市販のＡＳ装置に見出すことができる。既存のデュアルビームＡＳ装置に、本明細書に開示されたジェネレータを後付けすること、及び本明細書に開示されたジェネレータを使用して新たなデュアルビームＡＳ装置を設計することは、本開示の利益を受けて、当業者の能力の範囲内にあるはずである。ＡＳ装置には、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ  Ｈｅａｌｔｈ  Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，Ｉｎｃ．から市販されているＡＳ−９０Ａ、ＡＳ−９０ｐｌｕｓ及びＡＳ−９３ｐｌｕｓといったオートサンプラーなど、当技術分野で周知のオートサンプラーをさらに含めることができる。
【００８４】
ある特定の実施形態において、本明細書に記載のジェネレータは、質量分析計で使用することができる。例示的なＭＳ装置を図２６に示す。ＭＳ装置２６００は、試料導入装置２６１０、ジェネレータ２６２５に電気的に結合された（ＩＣＰと表示される）イオン化装置２６２０、質量分析器２６３０、検出装置２６４０、処理装置２６５０、及びオプションのディスプレイ２６６０を含む。試料導入装置２６１０、イオン化装置２６２０、質量分析器２６３０及び検出装置２６４０は、１つ以上の真空ポンプを使用して、減圧下で動作させることができる。しかしながら、ある例では、質量分析器２６３０及び検出装置２６４０のみを減圧で動作させてもよい。試料導入装置２６１０は、試料をイオン化装置２６２０に供給するように構成された注入口システムを含むことができる。注入口システムは、１つ以上の一括注入口、直接プローブ注入口及び／またはクロマトグラフ注入口を含むことができる。試料導入装置２６１０は、固体、液体または気体の試料をイオン化装置２６２０に送り出すことができる注入器、ネブライザまたは他の適切な装置であり得る。イオン化装置２６２０は、ジェネレータ２６２５を使用して（例えば、本明細書で説明されるハイブリッドジェネレータを使用して）生成及び／または維持される誘導結合プラズマであり得る。必要に応じて、イオン化装置は、別のイオン化装置、例えば、試料を原子化及び／またはイオン化することができる別の装置に結合することができる。別の装置には、例えば、プラズマ（誘導結合プラズマ、容量結合プラズマ、マイクロ波誘導プラズマ等）、アーク、スパーク、ドリフトイオン装置、気相イオン化（電子イオン化、化学イオン化、脱離化学イオン化、負イオン化学イオン化）を用いて試料をイオン化することができる装置、電界脱離装置、電界イオン化装置、高速原子衝撃装置、二次イオン質量分析法装置、エレクトロスプレーイオン化装置、プローブエレクトロスプレーイオン化装置、ソニックスプレーイオン化装置、大気圧化学イオン化装置、大気圧光イオン化装置、大気圧レーザイオン化装置、マトリックス支援レーザ脱離イオン化装置、エアロゾルレーザ脱離イオン化装置、表面増強レーザ脱離イオン化装置、グロー放電、共鳴イオン化、熱イオン化、サーモスプレーイオン化、放射線イオン化、イオン付着イオン化、液体金属イオン装置、レーザアブレーションエレクトロスプレーイオン化、またはこれらの例示的なイオン化装置のうちのいずれか２つ以上の組合せが含まれる。質量分析器２６３０は、一般に試料の性質、所望の分解能などに応じて様々な形を取ることができ、例示的な質量分析器は、１つ以上の衝突セル、反応セル、または他の構成部品を要望通り含むことができる。検出装置２６４０は、既存の質量分析計と共に使用することができる任意の適切な検出装置、例えば、電子増倍管、ファラデーカップ、被覆感光板、シンチレーション検出器等であってもよいし、本開示の利益を受けて、当業者によって選択されるはずの他の適切な装置であってもよい。処理装置２６５０は、典型的には、マイクロプロセッサ及び／またはコンピュータと、ＭＳ装置２６００に導入された試料を分析するための適切なソフトウェアとを含む。１つ以上のデータベースが、ＭＳ装置２６００に導入される化学種の化学的同一性の判定のために、処理装置２６５０によってアクセスされ得る。当技術分野で周知の他の適切な追加装置を、限定はしないが、例えば、ＰｅｒｋｉｎＥｌｍｅｒ  Ｈｅａｌｔｈ  Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，Ｉｎｃ．から市販されているＡＳ−９０ｐｌｕｓオートサンプラー及びＡＳ−９３ｐｌｕｓオートサンプラー等のオートサンプラーを含むＭＳ装置２６００と共に使用することもできる。
【００８５】
ある特定の実施形態において、ＭＳ装置２６００の質量分析器２６３０は、所望の分解能及び導入試料の性質に応じて、様々な形を取ることができる。ある例では、質量分析器は、走査型質量分析器、磁気セクタ分析器（例えば、単集束型及び二重集束型ＭＳ装置に使用される）、四重極質量分析器、イオントラップ分析器（例えば、サイクロトロン、四重極イオントラップ）、飛行時間分析器（例えば、マトリックス支援レーザ脱離イオン化飛行時間分析器）、及び質量対電荷比が異なる化学種を分離することができる他の適切な質量分析器である。一部の例では、本明細書に開示されるＭＳ装置を、１つ以上の他の分析技法と組み合わせてもよい。例えば、ＭＳ装置を、液体クロマトグラフィ、ガスクロマトグラフィ、キャピラリ電気泳動、及び他の適切な分離技法を実行できる装置と組み合わせてもよい。ＭＳ装置をガスクロマトグラフと連結する場合、ガスクロマトグラフからＭＳ装置に試料を導入するのに適したインタフェース、例えばトラップ、ジェットセパレータ等を備えることが望ましい場合がある。ＭＳ装置を液体クロマトグラフに連結する場合、液体クロマトグラフィ及び質量分析に使用される体積の差異を明らかにするのに適したインタフェースを含むことが望ましい場合もある。例えば、液体クロマトグラフから出る少量の試料のみがＭＳ装置中に導入されるように、分割インタフェースを使用することができる。液体クロマトグラフから出る試料を、ＭＳ装置のイオン化装置へ輸送するのに適切なワイヤ、カップまたはチャンバに堆積させてもよい。ある例では、液体クロマトグラフは、加熱された毛細管を試料が通過する際に、試料を気化させてエアロゾル化するように構成したサーモスプレーを含むことができる。液体クロマトグラフからＭＳ装置に液体試料を導入するのに適した他の装置は、本開示の利益を受けて、当業者によって容易に選択されるはずである。ある例では、ＭＳ装置を、タンデム質量分光分析のために、相互に組み合わせることができる。
【００８６】
ある特定の実施形態において、本明細書に記載されるシステム及び装置は、必要に応じて追加の構成要素を含むことができる。例えば、プラズマが点火されたときにシステムが検出できるように、プラズマの光路に光センサを含めることが望ましい場合がある。プラズマの存在が光センサによって検出されるとすぐに、駆動モードから発振モードに切り替えることが望ましい場合がある。ある例では、本明細書に記載されるジェネレータの構成部品を、空気冷却、液体冷却、またはペルチェ冷却器などの熱電装置で冷却することができる。空冷の場合、１つ以上のファンが存在してもよい。システム中に流体を循環させて、電子部品から熱を吸収するために、冷却機または循環装置があってもよい。
【００８７】
一部の例では、本明細書に記載されるジェネレータは、蒸着装置、イオン注入装置、溶接トーチ、分子線エピタキシ装置、または原子化源及び／またはイオン化源を使用して、所望の出力、例えば、イオン、原子または熱を提供し、本明細書に記載のジェネレータと共に使用することができる他の装置もしくはシステムを含むがこれに限定されない、非計器用途に用いることができる。加えて、本明細書に記載されるジェネレータを化学反応器に使用して、高温での特定の化学種の生成を促進することができる。例えば、本明細書に記載されるジェネレータを含む装置を用いて、放射性廃棄物を処理することができる。
【００８８】
ある例では、本明細書に記載されるジェネレータを使用して、駆動モードでジェネレータから誘導装置に電力を供給することによって、トーチ本体内にプラズマを点火し、プラズマが点火されるとジェネレータを駆動モードから発振モードに切り替えることができる。場合によっては、ジェネレータは、誘導装置に電力を供給するために、ある期間、駆動モードのままにすることがある。
【００８９】
ある特定の実施形態において、本明細書に記載されるジェネレータは、システムの様々な構成部品に関する情報を提供するために、品質管理用途または現場サービス用途に使用され得る。例えば、技術者は、システムのどの部品（複数可）を交換する必要があるのかを判断する手段として、ジェネレータを使用することができる。動作中、トーチ及び誘導装置は、継続的な熱への曝露がもとで故障する可能性があり、または電子部品が、過熱、過度の使用、もしくは他の理由がもとで故障することがある。場合によっては、制御信号（または既知の振幅、形状、波形等の信号）が、ジェネレータの駆動モード時に提供され、ジェネレータの電子機器がシステムの性能低下の原因であるかどうかを判断するために使用される。検出された制御信号が、予期された制御信号を表す場合、その時は電子機器を、システム性能の低下の原因として除去することができる。必要に応じて、技術者が遠隔から制御信号を送ることができるので、技術者は、システムのどの部品を交換する必要があるかについて、遠隔フィードバックを提供することができる。例えば、制御信号を使用して、技術者に電子機器の忠実度に関する情報を提供することができるので、技術者は、システムを修理するためのサービス依頼があった時に、必要な部品を持参することができる。
【００９０】
ある特定の構成において、本明細書に記載されたハイブリッドジェネレータは、駆動モード、発振モード及びハイブリッドモードで動作することができるにもかかわらず、エンドユーザは、これらのモードのうちの１つのみでジェネレータを動作させることができる。例えば、ユーザは、駆動モードを無効にして、発振モードに限ってジェネレータを動作させることができる。同様に、ユーザは、必要に応じて、駆動モードまたはハイブリッドモードに限ってジェネレータを動作させることができる。ハイブリッドジェネレータを使用して維持される誘導結合プラズマまたは他の適切な原子化／イオン化装置の妥当な動作のために、モード間の切替えは必要とされないが、モード間の切替えに使用する条件によっては性能を向上させることができる。
【００９１】
場合によっては、本明細書に記載されるジェネレータを使用して、誘導装置、例えば、負荷コイルまたは他の誘導装置を一端で駆動するためのＲＦ電力を供給することができる。例えば、シングルエンド型トランジスタ（例えば、同相のパワートランジスタ）を使用して、負荷コイルの一端で負荷コイルを駆動することができ、負荷コイルの他端を接地することができる。２つ以上の誘導装置が存在する場合、一方は、反対の極性（例えば、逆位相）の一対のトランジスタによって差動的に駆動することができ、他方はパワートランジスタによって駆動されて、負荷コイルを一端で駆動することができる。本明細書に記載される様々な誘導装置及び構成のいずれも、負荷コイルがジェネレータによって一端で駆動されるシングルエンド設計を使用することができる。
【００９２】
ある特定の構成では、駆動モードに切り替えずに、発振モードでジェネレータを動作させることが望ましい場合がある。場合によっては、この発振動作は、本明細書に記載されるように、駆動モード回路構成要素を無効にすることによって実行することができる。他の構成では、ジェネレータ自体は、発振回路構成要素のみを含む場合があり、例えば、駆動モード回路をジェネレータから完全に省くことができる。例えば、本明細書に記載される様々な回路図の駆動モード回路を、完全に省くことができ、したがって、駆動モード回路抜きで、発振専用モードで使用される回路が構成される。いずれかの特定の理論に拘束されることを望まないが、ジェネレータ回路内のパワートランジスタは、それらの出力電力がその最大定格出力に近いため、降伏限界に近づく可能性がある。トランジスタの入力における電圧スパイクは、トランジスタ自体を損傷させる場合がある。発振設計において、フィードバックは、プラズマ負荷コイル端子から直接得られる（例えば、フィードバックコンデンサ２４２及び２４４を介した、図２Ｂの２６０と２３２との間、及び２６０と２３４との間を参照）。この構成により、最適なインピーダンス整合のために周波数を迅速に、例えばおよそ３ＲＦサイクル以内に、調整することが可能になり、プラズマ負荷共振周波数が液体試料（試料には土壌、固体、粗い元素混合物などがある）によって変化する場合に有利である。プラズマ負荷コイル端子は、装填試料に依存するので、電圧フリッカ及び周波数不安定性（高位相ノイズ）を有する。発振器に正のフィードバックがあると、プラズマ出力端子から生じる電圧フリッカが、破壊的な電圧スパイクにまで高まっていく可能性がある。コンデンサ２４２及び２４４からのフィードバック信号は、保護なしでパワートランジスタ２２２及び２２４に供給される場合、降伏限界付近で動作する装置２２２及び２２４を損傷させる可能性がある。
【００９３】
トランジスタの損傷を抑えるために、いくつかの実現可能な発振回路または回路構成が使用され得る。発振専用回路３６００（例えば、駆動モード回路を持たないもの）を示す図３６を参照すると、負荷コイル３６６０に供給される周波数は、走査されて、プラズマ点火を成功させる周波数、例えば必要ならコイル電圧を最大にすることができる周波数に合わせられる。あるいは、発振のみの動作モードでの点火期間中の周波数を低下させるために、より大きいトランジスタのドレイン容量に対して、固定の、より低い電源電圧ＶＤＤ（例えば、９Ｖ）を選択することができる。検出器３６７０は、信号変換器３６８２、３６８４を介してプロセッサ３６８０に電気的に結合されており、検出器３６７０を使用して、プラズマを監視することができる。例えば、検出器３６７０は、負荷コイル３６６０に供給されるＲＦ信号を監視するのに使用できるＲＦ検出器として構成してもよい。他の構成では、検出器３６７０は、例えば、プラズマの点火後にプラズマから光放射を受け取ることができる光センサ、光ファイバセンサ、または他の装置といった光検出器として構成してもよい。一部の実施形態において、検出器３６７０を省き、個別の負荷コイル（または他の誘導装置）に対して電力レベルを固定して、トランジスタの降伏を回避するレベルに設定することができる。動作中、決定された電力レベルが、トーチ本体（図示せず）の一部を囲む負荷コイル３６６０に供給され、電力が供給されている間に、トーチ本体に供給されるプラズマガスが点火される。プラズマは、負荷コイル３６６０から継続的に印加されるＲＦ電力によって、生成され、かつ維持される。試料導入中、試料は、典型的には、溶媒などの担体と共に、プラズマ中に散布または噴霧される。プラズマは、試料を脱溶媒和して、プラズマ中の化学種を原子化及び／またはイオン化する働きをする。
【００９４】
駆動回路３６５２、３６５４の電力利得は、駆動回路３６５２、３６５４の入力におけるフィードバック信号の必要とされる振幅を低減する（すなわち小さくする）ことができる。駆動回路３６５２、３６５４がなければ、パワー素子３６２２、３６２４を駆動するために、より大きいフィードバック信号が必要とされ得る。パワートランジスタ３６２２及び３６２４と同様の入力降伏限界を有した装置３６５２及び３６５４を選択することによって、低減済みのフィードバック信号における高電圧スパイクは、３６５２及び３６５４を損傷させる可能性が低い。例えば、パワー素子３６２２及び３６２４は、＋６Ｖから−１１Ｖまでのゲート降伏限界を有するように選択することができる。保護素子３６５２及び３６５４は、同じゲート降伏限界（＋６Ｖ〜−１１Ｖ）を有するように選択することもできるが、入力フィードバック信号は今や小さい。装置３６２２、３６２４、３６５２及び３６５４の降伏限界を選定し、または整合させることによって、過度に高い入力電力に起因してパワートランジスタ３６２２、３６２４を損傷させるリスクが低減される。必要に応じて、高速の過渡的なスパイクからさらに保護するために、装置３６５２及び３６５４は、それらの小さい定格出力電力にもかかわらず、高出力降伏限界を有するように選択することができる（例えば、パワートランジスタ３６２２及び３６２４と同様に、１１０Ｖの最大降伏限界でのＤＣ電力供給ＶＤＤ＝５０Ｖ動作を定格とする）。しかし、実際の動作では、３６５２及び３６５４のＶＤＤ供給が低減され（例えば、５０Ｖ動作を定格とするが、実際にはＶＤＤ＝１５Ｖを用いる）、その結果、フィードバック信号における高速の過渡電圧スパイクが、駆動回路３６５２、３６５４の出力で、大幅に低減された電圧供給レールによってクリップされ、パワートランジスタ３６２２、３６２４を過励振しない。また、駆動回路３６５２、３６５４は、ＶＤＤの大きな裕度のために（例えば、５０Ｖ可能装置を１５Ｖ動作でなど）、出力降伏を来すことがない。
【００９５】
ジェネレータが発振モード専用のジェネレータである他の構成では、ジェネレータが、高調波放射制御をもたらすための適切な回路を備えてもよい。現代のパワートランジスタは、多くの場合、高周波数（例えば、数百ＭＨｚ）において実質的な電力利得を有し、そこでは基本プラズマ周波数が典型的には低周波数（例えば、数十ＭＨｚ）である。高調波（ＲＦ周波数の倍数）でのＲＦ放出を除去するために、１つ以上のローパスフィルタを含めることが望ましい場合がある。高出力発振器（キロワット電力）では、フィードバック信号は、しばしば、５ワットから１００ワットの範囲の中程度に大きな電力である。結果として、ローパスフィルタを用いてフィードバック信号をフィルタ処理し、パワートランジスタの入力における高調波を抑制することができる。例として図３７を参照すると、ローパスフィルタ３６５７、３６５９を用いてフィードバック信号をフィルタ処理し、パワートランジスタ３６２２及び３６２４の入力における高調波を、それぞれ抑制することができる。フィードバック信号が大きいため、高電力定格を持つ嵩のある受動素子が必要となる場合がある。物理的なサイズが大きいため、必要な部品のスペースと効率とが損なわれる。駆動回路３６５２及び３６５４を挿入することによって、フィードバック信号増幅器が低減され、その結果、小さな表面実装受動素子（例えば、１２０６パッケージ）を使用して、効率的な高次ローパスフィルタを作成し、高調波周波数の放出を効果的に遮断することができる。この構成は、発振モード動作を可能にしながら、パワートランジスタ３６２２、３６２４を保護する。
【００９６】
高調波放射制御のための適切な回路の一例を図３８に示す。Ｌ−Ｒ−Ｃ構成部品Ｒ９、Ｃ１１、Ｒ３、Ｃ８、Ｌ１０（点線のボックス３８１０で示される）は、高調波を抑制するための高次ローパスフィルタを形成する。これらの構成部品の全ては、小さな表面実装素子（例えば、１２０６パッケージ）であり得る。Ｌ１０は、２００ＭＨｚ以上の周波数で２０ｄＢの遮断を提供する、小型１２０６パッケージの高次セラミックローパスフィルタに置き換えることもできる。
【００９７】
場合によっては、発振器のフィードバックは、開ループ利得＞１、閉ループ利得＝１、及び位相シフトがゼロまたは３６０度の整数倍になるように、設計または選定することができる。（すなわち、信号位相に変化はない）。フィードバック発振器は、１つの主周波数において良好な安定性で発振するように設計することができる。実際には、上記の位相シフト基準を満たす限り、発振器は、任意の周波数で、もしくは複数の周波数で、または多くの周波数変動（高位相ノイズ）を伴って、動作することができる。本明細書に記載される設計では、フィードバックループの位相シフトは、プラズマ負荷コイル及びローパスフィルタ位相シフトの両方によって与えられている。その結果、発振器の自走周波数は、部分的に（すなわち、完全にではない）プラズマ試料負荷によって、かつ部分的にローパスフィルタによって、決定される。安定したパッシブＲ−Ｌ−Ｃ部品で構成されたローパスフィルタの固定位相シフトは、高位相ノイズでのプラズマの、試料負荷に依存する位相シフトを鈍感にする。これにより、効果的に、プラズマ発振器の位相ノイズを低減することができ、その安定性を改善することができる。
【００９８】
ある場合には、自走周波数発振器を使用する代わりに、精密な周波数制御を提供して、ジェネレータ周波数の調整を可能にすることが望ましい場合がある。例えば、プラズマ点火中、プラズマ負荷コイルが（プラズマ点灯前に）低周波数で発振することが分かっている場合、発振器を更に低い周波数に選択的に調整することができる。典型的にはＭＯＳＦＥＴまたはＬＤＭＯＳ装置である装置３６５２及び３６５４の出力寄生容量は、電圧依存性である（すなわち、容量が、ＶＤＤ  ＤＣ供給電圧、またはドレイン−ソース電圧ＶＤＳによって変化する）。駆動回路３６５２、３６５４として使用するのに適した典型的な装置の出力容量を、図３９のプロットに、ラベル「ＣＯＳＳ」によって印を付けて示してある。これらの装置のＶＤＤは保護用に限られるため、これらの装置に供給されるＶＤＤの高低は、出力電圧過渡現象をクリップオフするのに十分なリミットを提供する限り、あまり重要ではない。したがって、ＶＤＤを調整して周波数を微調整することができる（例えば、プラズマ点火時の低発振周波数に対して高容量を得るためにＶＤＤを９Ｖに下げ、プラズマが点灯した後に高ＶＤＤ＝１３Ｖを使用する）。この周波数調整は、例えば、駆動モードを使用する必要もなく、または任意の駆動モード回路を含むジェネレータ回路を使用する必要もなく、発振専用モードでプラズマを点灯させること、及びプラズマを稼働させることの両方を可能にする。
【００９９】
ある特定の構成において、図３７を再参照すると、中性点電圧電位を最大にし、かつトランジスタの寿命を最大にするために、プラズマ負荷コイル３６６０からの一対のフィードバック信号は、駆動増幅器３６５２、３６５４からの電力に起因して種々の電圧振幅を有し、プッシュプルパワートランジスタ３６２２、３６２４の間で均等に分配することができる。対照的に、１つのトランジスタ（例えば、３６２２）が他のトランジスタ（例えば、３６２４）に比べて大きな入力信号で駆動される場合、トランジスタ３６２２には３６２４よりも多くの電流が導通し、その寿命が短縮される。フィードバック信号電力をプッシュプルトランジスタ３６２２、３６２４に均等に分配して、それらの寿命をほぼ同じにすることが望ましい場合がある。このような均等分配は、多数の方法で達成することができる。例えば、駆動増幅器３６５２及び３６５４からのフィードバック信号電力がパワートランジスタ３６２２及び３６２４の間で均等に分配されることを確実にするために、フィードバック信号を交差結合し、その結果、パワートランジスタ３６２２から得られるフィードバックが最終的に３６２４を駆動し、かつパワートランジスタ３６２４から得られるフィードバック信号が最終的に３６２２を駆動することができる。駆動増幅器３６５２及び３６５４は、トランス（図示せず）の１次コイルをプッシュプル方式で駆動する。トランスの２次コイルはパワートランジスタ３６２２及び３６２４を駆動する。２次コイルの中心タップはオプションとして接地することができる。必要に応じて、負帰還抵抗を使用して、増幅器３６５２及び３６５４の出力インピーダンスを下げることができる。帰還抵抗（出力から入力まで）は、いくらかの利得低減を犠牲にして、増幅器の出力インピーダンスを下げる。閉ループ利得が発振のために十分に大きくなければならないため、これらの装置が高い開ループ利得を有する場合、低い装置利得（負帰還抵抗の追加に起因する）は重要ではない。駆動回路３６５２または３６５４の出力からのフィードバック信号対が等しくない場合、この回路方式は実質的に等しい電力でパワートランジスタ３６２２及び３６２４を駆動するように、電力の不均衡を充分に低減させる。一方のフィードバック信号（例えば、３６５２）に電圧がないが、他方の側に大きなフィードバック信号（例えば３６５４）がある極端な不平衡の場合、駆動回路３６５２の出力の低インピーダンスは、低インピーダンスの接地に類似する。大きな出力フィードバックを提供する駆動回路３６５４は、トランスの１次コイルを一方の側で駆動し、１次コイルの他方の側は、３６５２での低インピーダンスの接地によって終端される。１次コイルの全電流は、２次コイルによって共有される磁束を生成し、パワートランジスタ３６２２、３６２４を均等に駆動する。
【０１００】
パワー素子への入力電力を平衡化させる１つの回路構成を図４０に示す。回路４０００は、それぞれ増幅器４０２２、４０２４と、コンデンサ４０３２、４０３４を介して増幅器４０２２、４０２４にそれぞれ結合された負荷コイル４０６０とを備える。追加の構成部品、例えば抵抗器、増幅器等があってもよいが、本例を簡略化するために示していない。負荷コイル４０６０に供給される周波数は、走査されて、プラズマ点火を成功させる周波数、例えば必要ならコイル電圧を最大にすることができる周波数に合わせられ得る。あるいは、発振のみの動作モードのための点火期間中の周波数を低下させるために、より大きいトランジスタのドレイン容量に対して、固定の、より低いＶＤＤ（例えば、９Ｖ）を選択することができる。検出器４０７０は、信号変換器４０８２、４０８４を介してプロセッサ４０８０に電気的に結合されており、検出器４０７０を使用して、プラズマを監視することができる。例えば、検出器４０７０は、負荷コイル４０６０に供給されるＲＦ信号を監視するのに使用できるＲＦ検出器として構成してもよい。他の構成では、検出器４０７０は、例えば、プラズマの点火後にプラズマから光放射を受け取ることができる光センサ、光ファイバセンサ、または他の装置といった光検出器として構成してもよい。一部の実施形態において、検出器４０７０を省き、個別の負荷コイル（または他の誘導装置）に対して電力レベルを固定して、トランジスタの降伏を回避するレベルに設定することができる。ＤＣブロックコンデンサ４０５３、４０５５は、出力ＶＤＤ電圧をゲート入力バイアス電圧から絶縁するためにあってもよい。ＤＣブロックコンデンサ４０５３、４０５５は、それぞれコンデンサ４０４２、４０４４を介して、負荷コイル４０６０に電気的に結合され得る。ＤＣブロックコンデンサ４０５３、４０５５はまた、それぞれローパスフィルタ４０５７、４０５９を介して、負荷コイル４０６０に電気的に結合され得る。駆動回路４０５２及び４０５４はトランジスタで構築され、トランジスタ出力はトランジスタ入力から反転される（例えば、約１８０度の位相シフト）。駆動回路４０５２、４０５４の入力と出力との間に抵抗４０９２、４０９４をそれぞれ電気的に結合して、出力インピーダンスを負帰還によって低下させるとともに、トランス４０９９と一緒にパワートランジスタ４０２２、４０２４の入力電力を平衡させることができる。本明細書で述べるように、この平衡化により、中性点電圧電位が最大化され、トランジスタの寿命を長くすることができる。例えば、フェライト磁針トランスを含む多くの種類のトランスを使用することができる。
【０１０１】
ある特定の構成では、パワートランジスタの出力電力は、通常、ＤＣ供給電圧（ＶＤＤ）とＤＣドレイン電流（ＩＤ）との積に、効率を乗じたものである。高い電圧と低い電流との組合せ、または低い電圧と高い電流との組合せによって、同じ量の出力電力を生成することができる。過度に高い電圧は、トランジスタの絶縁破壊故障を引き起こす可能性があり、過度に高い電流は、トランジスタの破壊を引き起こす可能性がある。場合によっては、パワー素子の電圧と電流とを独立して調整して、電圧破壊または電流メルトダウンからの安全裕度を最大にすることができる。必須ではないが、電流は、試料、パワー素子への入力電力、及び装置バイアス電圧（例えば、入力におけるゲートバイアス電圧）に依存する可変プラズマインピーダンスに依存するので、電流を変化させるよりも電圧を変化させる方が簡単である。本明細書で説明する回路では、駆動回路装置のバイアス電流及び電圧をそれぞれ調整して、フィードバック信号振幅（すなわち、パワー素子への入力電力）を増加または減少させることができる。結果として、ＲＦジェネレータ内のパワートランジスタの電圧及び電流の両方を制御することによって、電圧及び電流を最適に動作するように制御すること、及び／またはプラズマインピーダンスの変化による過電圧動作または過電流動作を補償することを含むがこれに限定されない、望ましい特質が達成され得る。多くの構成において、駆動回路装置は、パワー素子と比較してはるかに小さい信号レベルで動作しているので、駆動回路装置の電流及び電圧を変化させることは、７５％以上にもなるプラズマジェネレータの全体効率に、多くの場合、影響を及ぼすことがない。
【０１０２】
本明細書に記載される新規な態様、実施形態及び特徴のうちのいくつかをさらに例示するために、ある特定の具体的な実施例を以下に記載する。
【０１０３】
実施例１
図２７に示すような回路を組み立てて、駆動モード及び発振モードを試験した。回路２７００は、信号源２７１０、例えば、周波数シンセサイザ、ＶＣＯ、位相ロックループ、数値制御発振器（ＮＣＯ）、または位相ロックループの一部であるＮＣＯを含む。信号源２７１０は、一対の増幅器２７１２、２７１４に電気的に結合される。増幅器２７１２、２７１４はそれぞれ、別の電力増幅器２７２２、２７２４のセットに別々に電気的に結合され、かつコンデンサ２７３２、２７３４を介して負荷コイル２７６０に別々に電気的に結合される。電力増幅器２７２２、２７４４は、プラズマの生成／維持に十分なＲＦ出力電力を考慮して設計した。制御信号は、プロセッサ２７８０と増幅器２７２２、２７２４との間に存在する。周波数シンセサイザ２７１０から負荷コイル２７６０に供給される周波数を走査して、コイル電圧を最大にする周波数に同調させた。ＲＦ検出器２７７０は、信号変換器２７８２、２７８４を介してプロセッサ２７８０に電気的に結合され、ＲＦ検出器２７７０を使用して、負荷コイル２７６０に供給されるＲＦ信号を監視することができる。本明細書で述べるように、ＲＦ検出器２７７０は、プラズマ点火を監視するための光センサで置き換えることができる。駆動モードでコイル２７６０に電力を供給するように、信号源２７１０及び増幅器２７１２、２７１４、２７２２及び２７２４を有効化することによって、プラズマを点火した。ＲＦ検出器２７７０を用いてプラズマを監視した。マイクロコントローラ２７８０（ＭＣＵ  ＡＲＭ  Ｃｏｒｔｅｘ−Ｍ３）を使用して、アナログデジタル変換器２７８４を介してＲＦ検出器から信号を受け取り、デジタルアナログ変換器２７８２を介して増幅器２７１２、２７１２、２７２２及び２７４４に制御信号を送る。
【０１０４】
プラズマが点火され、ＲＦ検出器２７７０を用いて所望の電圧レベルが検出された後、図２８に示すように、ジェネレータは、駆動モードから発振モードに切り替えられた。プロセッサ２７８０は、増幅器２７１２、２７１４を無効にし、かつフィードバック増幅器２７８２、２７８４を有効にして、駆動モードから発振モードに切り替えた。ある期間（ハイブリッドモード）において、駆動モードから発振モードへの移行中に、全ての増幅器が有効にされた。発振モードに入ると、回路のインピーダンスは、サンプル及び溶媒がプラズマに導入されるときに、回路の一部となるプラズマのインピーダンス変化に整合するように迅速に調整され得る。
【０１０５】
実施例２
実施例１のジェネレータを、単一の四重極質量フィルタ分析計と組み合わせて使用して、様々な元素のピーク形状を測定した。ＮｅｘＩＯＮ計器が提供している銅の負荷コイルを誘導装置として使用した。また、ＮｅｘＩＯＮシステムの他の構成品を使用して、測定を行った。４０ＭＨｚの周波数を使用した。
【０１０６】
図２９は、リチウムスタンダード及びベリリウムスタンダードを用いるジェネレータ及び質量分析計を使用して得られたリチウム及びベリリウムのスペクトルを示す。
【０１０７】
図３０は、マグネシウムスタンダードを用いるジェネレータ及び質量分析計を使用して得られたマグネシウムのスペクトルを示す。
【０１０８】
図３１は、インジウムスタンダードを用いるジェネレータ及び質量分析計を使用して得られたインジウムのスペクトルを示す。
【０１０９】
図３２は、Ｕ−２３８スタンダードを用いるジェネレータ及び質量分析計を使用して得られたウラン２３８のスペクトルを示す。
【０１１０】
図３３は、標準的なＮｅｘＩＯＮ計器を使用した元素の測定値を、ハイブリッドジェネレータの駆動モード及び発振モードのものと比較した表を含む。ハイブリッドジェネレータを使用した発振測定値は、ＮｅｘＩＯＮジェネレータで得られるものとほぼ同じであるか、またはそれより良好であった。特定の元素（Ｂｅ、Ｍｇ）については、ハイブリッドジェネレータを用いた駆動モードが、発振モードよりも良好な結果をもたらした。
【０１１１】
実施例３
ハイブリッドジェネレータを、その安定性を試験するために不均衡にした。プロセッサを使用して、駆動される差動信号の振幅及び位相を３４．４４ＭＨｚで不平衡にすることによって、中立点（仮想接地）を負荷コイルに沿って電子的に移動させた。位相平衡は、酸化物比を含む感度に影響を与える可能性があり、振幅平衡も感度に影響を与える可能性がある。別々の時期に使用される種々の位相を図３４に示す。
【０１１２】
最良の信号は、ジェネレータを、位相鏡を用いて約５度以内で差動駆動（０度、１８０度）させたときに観測された（Ｃｅ信号（上部曲線）及びＩｎ信号（上部曲線の下の曲線）を表す図３４の上２つの曲線を参照）。約２０度の位相誤差は、大幅に酸化物の割合を増加させた（チャート下方のｘ軸の上のＣｅＯ曲線を参照）。
【０１１３】
実施例４
実施例２で行った測定を、わずかに異なる周波数を用いて繰り返した。その結果を図３５の表に示す。ハイブリッドジェネレータの発振モードは、標準のＮｅｘＩＯＮジェネレータとほぼ同じ結果をもたらす。図３３の測定値を得るために使用した周波数（３４．７ＭＨｚ）と比べると、発振モードで使用する周波数（３５．９６ＭＨｚ）のわずかな増加が、測定した全ての元素について、駆動モードより良好な結果を提供する発振モードをもたらす。
【０１１４】
実施例５
図３７及び図３８に示す発振回路を備えたジェネレータを試験した。ジェネレータには、全く駆動モード回路が含まれていない。２３０ＭＨｚで１Ｋｗの出力が可能なパワートランジスタを使用した。図４１に示すように、３４ＭＨｚプラズマジェネレータの高調波（３４ＭＨｚの倍数）での放射は、１ＧＨｚまでの広域スペクトルにわたって比較的明瞭である。
【０１１５】
実施例６
実施例５のジェネレータを試験にかけて、電力の平衡をとる能力を検証した。フィードバック信号の１つを、コンデンサ３６４２を回路から取り外すことによって完全に除去した。両方のパワートランジスタ３６２２、３６２４は、電力平衡化に起因して依然として駆動され、プラズマを引き続き持続させることができた。本回路は、典型的には約４％の電流差の範囲内となる、優れた電力整合を提供することができる。
【０１１６】
本明細書に開示された実施例の要素を案内する際に、冠詞「ａ」、「ａｎ」、「ｔｈｅ」及び「ｓａｉｄ」は、１つ以上の要素が存在することを意味することを意図している。「備える」、「含む」及び「有する」という用語は、非制限的であることを意図しており、記載された要素以外の追加の要素が存在し得ることを意味する。本開示の利益を受けて、実施例の様々な構成要素が、他の例において様々な部品と交換または置換できることを、当業者は認識されるであろう。
【０１１７】
特定の態様、実施例及び実施形態について上に説明したが、開示された例示的な態様、実施例、及び実施形態の追加、置換、修正、及び変更が可能であることを、本開示の利益を受けて、当業者は認識されるであろう。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年12月25日(2018.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トーチ本体内に誘導結合プラズマを維持するように構成されたジェネレータであって、
プロセッサと、前記プロセッサに電気的に結合された発振回路とを備え、
前記発振回路が、誘導装置に電気的に結合され、かつ発振モードで前記誘導装置に電力を供給して、前記トーチ本体内に前記誘導結合プラズマを維持するように構成され、
前記回路が、前記ジェネレータの前記発振モードで前記トーチ本体内の前記誘導結合プラズマを維持する間に、高調波放射制御をもたらすように構成される、前記ジェネレータ。
【請求項２】
前記回路が、前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第１のトランジスタを備える、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項３】
前記回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第１の駆動回路をさらに含む、請求項２に記載のジェネレータ。
【請求項４】
前記第１の駆動回路が、第１のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項３に記載のジェネレータ。
【請求項５】
前記回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合されるとともに前記誘導装置に電気的に結合するように構成された第２の駆動回路をさらに含む、請求項４に記載のジェネレータ。
【請求項６】
前記第２の駆動回路が、第２のローパスフィルタを介して、前記誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項５に記載のジェネレータ。
【請求項７】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、前記第１のパワートランジスタ及び前記第２のパワートランジスタに供給されるフィードバック信号をフィルタ処理するように構成される、請求項６に記載のジェネレータ。
【請求項８】
前記第１のローパスフィルタ及び前記第２のローパスフィルタのそれぞれが、高次のセラミックローパスフィルタを含む、請求項７に記載のジェネレータ。
【請求項９】
前記高次のセラミックローパスフィルタが、２００ＭＨｚ以上の周波数で少なくとも２０ｄＢの遮断をもたらすように構成される、請求項８に記載のジェネレータ。
【請求項１０】
前記回路が、およそ３ＲＦサイクル以内にインピーダンス整合をもたらすように構成される、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１１】
前記プロセッサに電気的に結合され、前記プラズマの点火を測定するように構成された検出器をさらに備える、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１２】
前記プロセッサが、前記プラズマが消滅した場合に前記発振回路を無効にするように構成される、請求項１１に記載のジェネレータ。
【請求項１３】
前記プロセッサと前記検出器との間に信号変換器をさらに備える、請求項１１に記載のジェネレータ。
【請求項１４】
前記発振回路が、誘導コイルまたは平板電極を含む誘導装置に電気的に結合するように構成される、請求項１に記載のジェネレータ。
【請求項１５】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタと前記第２のトランジスタとに均等に電力を分配するように構成される、請求項２に記載のジェネレータ。
【請求項１６】
前記発振回路が、前記誘導装置から前記第１のトランジスタ及び前記第２のトランジスタにフィードバック信号を交差結合して、前記電力を均等に分配するように構成される、請求項１５に記載のジェネレータ。
【請求項１７】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１の帰還抵抗を含む、請求項１６に記載のジェネレータ。
【請求項１８】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２の帰還抵抗を含む、請求項１７に記載のジェネレータ。
【請求項１９】
前記発振回路が、前記第１のトランジスタに電気的に結合された第１のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１８に記載のジェネレータ。
【請求項２０】
前記発振回路が、前記第２のトランジスタに電気的に結合された第２のＤＣブロックコンデンサを含む、請求項１９に記載のジェネレータ。
【国際調査報告】
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