(57)【要約】【解決手段】本発明は、支持チャンバ（１１）の内部に取り付けられた少なくとも１つのカメラ（１０）を含む少なくとも１つの検査装置（Ｉ）を通過するコンベア（５）を使用して、容器が移動する成形機械の出口で、成形機械によって製造される容器（２）を光学的に検査するための設備に関する。支持チャンバ（１１）がコンベアの一方の側に位置するように、本設備は、コンベア（５）に支持チャンバ（１１）を固定するためのシステム（１３）を含み、支持チャンバ（１１）は、カメラ（１０）が取り付けられた下部区画（１１ｂ）をコンベアの下方において有するとともに、観測ポート（１５）が設けられた上部区画（１１ｈ）をコンベアの上方において有し、光学偏向システム（１６）が支持チャンバ（１１）の内部に取り付けられている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形機械（３）によって製造され、少なくとも第１の検査装置（Ｉ）を通過する移送方向（Ｆ）において、前記機械からの出口で高速で移動している高温のガラス容器（２）を光学的に検査するための設備であって、高さ又は傾斜が可変であるコンベア（５）のコンベア平面（Ｐ）上に前記容器が連続して配置され、前記第１の検査装置（Ｉ）は、支持チャンバ（１１）の内部に取り付けられた少なくとも１つのカメラ（１０）を含み、前記支持チャンバ（１１）が前記コンベアの一方の側に位置するように、前記設備は、前記コンベア（５）に前記第１の検査装置の前記支持チャンバ（１１）を固定するためのシステム（１３）を含み、前記支持チャンバ（１１）は、前記容器からの放射に直接さらされないように前記カメラ（１０）が取り付けられた下部区画（１１ｂ）を前記コンベア平面（Ｐ）の下方において有するとともに、観測ポート（１５）が設けられた上部区画（１１ｈ）を前記コンベア平面（Ｐ）の上方において有し、移動する前記容器を検査するために前記カメラの観測視野が前記観測ポートを通り抜けるように光学偏向システム（１６）が前記支持チャンバ（１１）の内部に取り付けられている、設備。
【請求項２】
前記第１の検査装置（Ｉ）が位置する側と同じ側で前記コンベア（５）に固定された支持チャンバ（１１）の内部に取り付けられた少なくとも１つのカメラ（１０）を含む第２の検査装置を備え、前記第２の装置の前記支持チャンバ（１１）は、前記容器からの放射に直接さらされないように前記カメラ（１０）が取り付けられた下部区画（１１ｂ）を前記コンベア平面（Ｐ）の下方において有するとともに、観測ポート（１５）が設けられた上部区画（１１ｈ）を前記コンベア平面（Ｐ）の上方において有し、移動する前記容器を検査するために前記カメラの観測視野が前記観測ポートを通り抜けるように光学偏向システム（１６）が前記支持チャンバ（１１）の内部に取り付けられていることを特徴とする、請求項１に記載の検査設備。
【請求項３】
複数の前記カメラの視野方向（Ｄｖ）が、それらの間で２０°から９０°の角度（Ｂ）をなすように、前記検査装置（Ｉ，ＩＩ）が位置付けられていることを特徴とする、請求項２に記載の検査設備。
【請求項４】
カメラの前記視野方向（Ｄｖ）が、前記移送方向に直交する平面に対して、１０°から４５°の角度（Ａ）をなすように、前記検査装置（Ｉ，ＩＩ）が位置付けられていることを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載の検査設備。
【請求項５】
各検査装置（Ｉ，ＩＩ）は光学偏向システム（１６）として偏向ミラーを含み、前記カメラ（１０）にレンズが設けられていることを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載の検査設備。
【請求項６】
前記コンベア（５）に支持チャンバ（１１）を固定するための前記システム（１３）は、前記コンベア（５）によって支持され、かつ前記支持チャンバ（１１）の円筒形の部分を囲む締め環（２７）を含み、それによって前記カメラの前記視野方向（Ｄｖ）が調節可能となることを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項に記載の検査設備。
【請求項７】
前記コンベア（５）に支持チャンバ（１１）を固定するための前記システム（１３）は、前記チャンバと前記コンベアとの間の間隔及び／又は前記コンベアに沿った前記チャンバの位置を調節するための調節装置（２３ａ，２３ｂ，２３ｃ）を含むこと特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載の検査設備。
【請求項８】
各支持チャンバ（１１）は、前記カメラ上に直接冷気流を生成する空冷システム（３０）を下部区画（１１ｂ）において含むこと特徴とする、請求項１から７のいずれか１項に記載の検査設備。
【請求項９】
前記空冷システム（３０）は、圧縮空気が供給されるボルテックスチューブであり、まず冷気流を前記カメラ（１０）に向かって送り、次にその内部に過圧を生成するために前記上部区画（１１ｈ）に熱気流を送ることを特徴とする、請求項８に記載の検査設備。
【請求項１０】
前記検査装置が位置する側とは反対側で前記コンベア（５）に固定された光源（１４）を備え、背面から光を当てつつ、各カメラ１０が前記容器を観測することを特徴とする、請求項１から９のいずれか１項に記載の検査設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高温状態にある半透明な又は透明な中空の容器又は対象物を光学的に検査する分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、特に、製造機械又は成形機械から出ていくガラスボトル又はフラスコのような対象物の高速での光学検査を提供することを目的とする。したがって、本発明は、製造設備の高温領域において、対象物を検査することを目的とする。
【０００３】
従来の方法では、成形機械は、種々のキャビティによって構成されており、各キャビティは、容器が高温で最終の形状を獲得する少なくとも１つの鋳型を有する。成形機械からの出口では、まだ高温である容器は、搬送コンベア上に列を形成するように移動させるために、それらの首部をつかまれる。複数の容器の間の間隔は、変更可能であり、複数の容器の中心間の距離及び容器の直径に応じて、成形機械によって課せられる。搬送コンベアは、吹き付け及び焼きなましのような処理のための様々なステーションに容器を連続して通過させる。重い部品が高速で急速に動くため、成形機械は、特に搬送コンベア上で振動を発生させることに留意すべきである。
【０００４】
成形機械上で、できるだけ早く欠陥を修正できるように、様々な処理ステーションを通過する前に、成形機械からの出口でできるだけ早く成形の欠陥を特定できることは有利であろう。特に、工程が変動しても、できるだけ迅速に工程を修正するために、成形工程の設定に直接関係する容器の寸法の偏差又は容器の変形を検出することが有利である。
【０００５】
従来の技術では、まだ高温の、すなわち３００℃から６００℃の範囲にある温度の容器を検査するために、成形機械からの出口に非接触の光学検査システムを設置することが知られている。例えば、特許EP1477797に記載されているように、そのような光学検査システムは、一般に、可視光線又は実際には容器によって放射される赤外線に感度を有する少なくとも１つのカメラを備える。
【０００６】
そのような光学検査システムは、工場の環境によって加えられるストレスに適合することを必要とする。特許EP0177004は、成形直後でまだ高温のガラス容器を検査するための非接触システムを提案している。そのシステムは、床に固定され、かつ「保護体」と呼ばれる囲いに取り付けられた光源及びリニアカメラを備える。カメラの視線を水平半径上で容器の口部の上部の中心に置くように、その囲いはコンベア平面の上方に位置している。１マイクロメートルの領域の波長で容器によって生成される放射が、光源から可視光で放射される光放射の受信を妨害しないように、カメラレンズの前に熱吸収フィルターが取り付けられている。囲いの前面には、除塵室もまた設置され、リニアカメラが容器を観測することを可能にする溝を有する壁によって閉じられている。冷却用の空気を除塵室に導くための流れ空間を定めるために、囲いは、筒状の部品によって少し離れて囲まれている。したがって、囲いには過剰な圧力がかかる。
【０００７】
そのような装置が外部環境からカメラを保護するための設備を有していたとしても、提案された適合案は、成形機械の工場の環境によって加えられる状況からカメラを保護するために十分でないことがわかる。さらに、そのようなシステムは、容器のサイズに応じてカメラの視野及び視野方向を調節するために、手動での調節を必要とする。特に、容器を搬送するコンベアの傾斜角及び／又は高さは、製造される容器のサイズに応じて変更される。そのような変更は、コンベアの高さ及び／又は傾斜角の変化に応じて位置を調節し、カメラの視野及び視野方向を容器と同じレベルに維持するために、囲い及びおそらくは囲いの中のカメラをも動かすことを要求する。
【０００８】
この問題を取り除くために、特許EP0540419は、高温で、自動的に、かつ非接触で容器を検査するように設計された装置を提案している。その装置は、少なくとも１つの光源及びカメラのための取り付けフレームを有する。フレームは、コンベアの構造体に連結されることなく、コンベアにまたがって置かれた非変形構造の形態である。フレームは、ジャッキで支えられることによって床に接続される。垂直平面において調節可能であるコンベアの傾斜角に応じて床に対してフレームを位置決めするようにジャッキが動かされる。詳細な説明で言及されているように、検査部材をコンベアベルトの構造体に直接取り付けることは、構造体が高レベルの振動を受けることから想定し得ないので、光源及びカメラは搬送コンベアの構造体とは独立したフレームに取り付けられる。それでもなお、そのような装置の費用は高く、設置面積も大きく、これらのことが成形機械の出口にそのような装置を設置することの可能性を制限している。
【０００９】
低温の領域で容器を検査する分野において、文献DE19920007は、コンベアの構造体に取り付けられた光学視覚システムを使用することによって、コンベアによって搬送される容器の口部を検査することを開示している。高温の間に容器を成形するための機械からの出口に位置し、その出口が高レベルの振動を受けるコンベアとは異なり、低温の領域に位置する視覚システムは、コンベアの構造体に取り付けることができる。
【００１０】
さらに、低温の領域で容器を検査する分野において、特許出願FR2712089には、コンベアによって移動させられる透明な製品の品質を検査するための光学装置が記載されている。その装置は、光源と、製品の移送方向に垂直な方向に向けられた直線状の測定帯を含むカメラとを有する。測定帯の視野平面で互いに平行な光線を生成するように構成された光学システムが、製品によって透過又は反射されるときの光の経路上に挿入される。カメラは、光ビームを受信するためにコンベアに対して様々な位置に配置されうる。
【００１１】
本発明は、高温のガラス容器を光学的に検査するための設備を提案することによって従来技術の欠点を取り除くことを目的とする。その設備は、容器のサイズに応じてカメラの視野及び視野方向を容易に調節する能力を示しながらも、外部環境からカメラを保護し、成形機械からの出口に設置することが容易であるように設計される。
【００１２】
そのような目的を達成するために、本発明の設備は、成形機械によって製造され、少なくとも第１の検査装置を通過する移送方向において、前記機械からの出口で高速で移動している高温のガラス容器を光学的に検査する役割を果たす。高さ又は傾斜が可変であるコンベアのコンベア平面上に前記容器が連続して配置され、前記第１の検査装置は、支持チャンバの内部に取り付けられた少なくとも１つのカメラを含む。
【００１３】
本発明によれば、前記支持チャンバが前記コンベアの一方の側に位置するように、前記設備は、前記コンベアに前記第１の検査装置の前記支持チャンバを固定するためのシステムを含み、前記支持チャンバは、前記容器からの放射に直接さらされないように前記カメラが取り付けられた下部区画を前記コンベア平面の下方において有するとともに、観測ポートが設けられた上部区画を前記コンベア平面の上方において有し、移動する前記容器を検査するために前記カメラの観測視野が前記観測ポートを通り抜けるように光学偏向システムが前記支持チャンバの内部に取り付けてられている。
【００１４】
さらに、本発明の設備は、また、少なくとも１つ又は複数の、以下の追加の特徴を組み合わせて備えていてもよい。
・前記第１の検査装置が位置する側と同じ側で前記コンベアに固定された支持チャンバの内部に取り付けられた少なくとも１つのカメラを第２の検査装置は備え、前記第２の装置の前記支持チャンバは、前記容器からの放射に直接さらされないように前記カメラが取り付けられた下部区画を前記コンベア平面の下方において有するとともに、観測ポートが設けられた上部区画を前記コンベア平面の上方において有し、移動する前記容器を検査するために前記カメラの観測視野が前記観測ポートを通り抜けるように光学偏向システムが前記支持チャンバの内部に取り付けられている。
・複数の前記カメラの視野方向が、それらの間で２０°から９０°の角度をなすように、前記検査装置が位置付けられている。
・カメラの前記視野方向が、前記移送方向に直交する平面に対して、１０°から４５°の角度をなすように、前記検査装置が位置付けられている。
・各検査装置は光学偏向システムとして偏向ミラーを含み、前記カメラにレンズが設けられている。
・前記コンベアに支持チャンバを固定するための前記システムは、前記コンベアによって支持され、かつ前記支持チャンバの円筒形の部分を囲む締め環を含み、それによって前記カメラの前記視野方向が調節可能となる。
・前記コンベアに支持チャンバを固定するための前記システムは、前記チャンバと前記コンベアとの間の間隔及び／又は前記コンベアに沿った前記支持チャンバの位置を調節するための調節装置を含む。
・各支持チャンバは、前記カメラ上に直接冷気流を生成する空冷システムを下部区画において含む。
・前記空冷システムは、圧縮空気が供給されるボルテックスチューブであり、まず冷気流を前記カメラに向かって送り、次にその内部に過圧を生成するために前記上部区画に熱気流を送る。
・前記検査装置が位置する側とは反対側で前記コンベアに光源が固定され、背面から光を当てつつ、各カメラが前記容器を観測する。
【００１５】
他の様々な特徴は、非限定的な例として本発明の実施形態を示す添付の図面を参照して、以下に与えられる説明から明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は、容器を成形するための機器からの出口に位置する本発明による検査設備を示す概略的な平面図である。
【図２】図２は、図１に示される本発明による検査設備を示す概略的な側面図である。
【図３】図３は、図１に示される本発明による検査設備を示す概略的な側面図である。
【図４】図４は、図２と同様、本発明による検査設備を示す部分切り欠き図である。
【図５】図５は、本発明による検査設備の他の実施形態を示す概略的な平面図である。
【００１７】
図１により明確に示されるように、本発明は、例えば、ガラスボトル又はフラスコのような透明又は半透明の容器２を、それらが高温の間に検査されることを可能にする設備１を提供する。設備１は、任意の既知の種類の製造機械又は成形機械３から出ていく容器２を検査できるように配置される。成形機械からの出口では、容器２は高温であり、典型的には３００℃から６００℃の範囲にある。
【００１８】
通常の方法では、成形機械３は、一連のキャビティ４を有し、各キャビティは、容器２を成形するために使用される。既知の方法では、成形機械３によって成形されたばかりの容器２は、容器の列を形成するように、出口コンベア５上に連続して配置される。様々な処理ステーションを連続して通過するように、容器２は、コンベア５によって移送方向Ｆに列をなして搬送される。通常、コンベア５は、地面Ｓ上に立ち、かつ容器２が位置するコンベア平面Ｐを定める可動ベルト５ｂを支持する固定構造５ａを有する。コンベア５は、高さを変えることができる。すなわち、コンベア平面Ｐと地面Ｓとの間の距離は、地面に対し平行を維持しながら、又は地面と移送方向Ｆとの間で傾斜角を伴って変化しうる。
【００１９】
可動ベルト５ｂは、コンベア平面Ｐの下方で互いに実質的に平行に延びる２つの側壁５ｃ及び５ｄを有する固定構造５ａ上を動く。これら２つの固定壁５ｃ及び５ｄは、固定構造５ａの２つの対向する側面、すなわち人が行動できる領域から見てコンベアの前側及びコンベアの後側のそれぞれを定める。壁５ｃ及び５ｄは、したがって、それぞれ、コンベアの「前方の」壁、及びコンベアの「後方の」壁と呼ばれる。これらの壁５ｃ及び５ｄは、どのような形状を有していてもよく、固定構造５ａに、長方形、Ｘ型、Ｈ型、逆Ｕ字、オメガ型などでありうる断面を与える。
【００２０】
本発明によれば、出口コンベア５が検査設備１の前で高温の容器２を連続して通過させるように、本発明の設備１は、可能な限り成形機械３の近くに配置されている。したがって、これにより、容器２の良否状態のインライン検査を実施できる。典型的に、設備１は、成形機械３の出口と焼きなまし炉６との間に位置しており、好ましくは、一般的に、成形後に処理ステーションの第１を構成する表面処理フード７の前に位置している。
【００２１】
図１から４に示す実施形態では、本発明の設備１は、第１の検査装置Ｉを有し、一方、図５に示す例では、本発明の設備１は、第１の検査装置Ｉ及び第１の検査装置Ｉと同様の第２の検査装置ＩＩの両方を有する。各検査装置Ｉ及びＩＩは、支持チャンバ、囲い、又は箱１１の内部に取り付けられた少なくとも１つのカメラ１０を備える。
【００２２】
各検査システムＩ及びＩＩは、レンズを有する少なくとも１つのカメラ１０を備える。典型的には、カメラ１０は、デジタル形式又はアナログ形式でありうる電子画像を、画像を分析及び／又は格納及び／又は表示するためのシステムに供給する電子イメージセンサを備える。イメージセンサは線状又はマトリクスの形態でありうる。どのような種類の光に対して感度を有していてもよい。ただし、高温の容器の検査に適用するために、容器を照らす光源によって放射される可視光又は容器によって放射される赤外線のいずれかに感度を有するセンサを使用することが知られている。カメラに取り付けられたレンズは、容器又は容器の一部の光学画像をイメージセンサ上に集束させる。言い換えれば、イメージセンサが電子画像に変換する光学画像をレンズは生成する。
【００２３】
本発明によれば、各検査装置Ｉ及びＩＩごとに、支持チャンバ１１がコンベア５の一方の側に位置するように、本発明の設備１は、コンベア５に支持チャンバ１１を固定するための固定システム１３を備える。図１から４に示す実施形態では、支持チャンバ１１は、前面、すなわちコンベア５の前壁５ｃに固定されている。図５に示す例では、第１の検査装置の支持チャンバ１１及び第２の検査装置の支持チャンバ１１は、両方ともコンベア５の同じ側、すなわち正面側、すなわち前壁５ｃに固定されている。
【００２４】
設備１は、また、検査装置が位置する側とは反対側でコンベア５に固定された光源１４を備え、背面から容器に光を当てつつ、各カメラ１０が容器を観測する。この光源１４は、既知のどのようなものであってもよく、したがって、示される例では、コンベアの後側に位置し、後壁５ｄに固定される。光源１４は、任意には振動減衰システムと関連付けられていてもよい、あらゆる種類の固定システム１３1によってコンベアシステムに固定される。
【００２５】
各支持チャンバ１１は、コンベア５に固定され、容器２からの放射に直接さらされないようにカメラ１０が取り付けられた下部分又は下部区画１１ｂをコンベア平面Ｐの下方において有する。同様に、各支持チャンバ１１は、コンベア５に固定され、観測ポート１５が設けられている上部分又は上部区画１１ｈをコンベア平面Ｐの上方において有する。各支持チャンバ１１は、コンベア平面Ｐの上方に立ち上がる上部区画１１ｈと、コンベア平面Ｐの下方に延びる下部区画１１ｂとを有することを理解すべきである。
【００２６】
支持チャンバが単一の内部容積を定め、それによって下部区画の高温の空気が上部区画に上昇できるように、好ましくは、支持チャンバ１１の上部区画１１ｈ及び下部区画１１ｂは互いに分離していない。
【００２７】
各支持チャンバ１１は様々な方法で構成されうる。示される例では、各支持チャンバ１１は、その両端が閉じられ、かつ垂直に延びるように取り付けられた円筒形の箱の形態で構成される。
【００２８】
移動する容器を検査するために、カメラ１０の観測視野が観測ポート１５を通り抜けるように、上部区画１１ｈは、光学画像偏向システム１６を収容している。示される実施形態では、各検査装置Ｉ及びＩＩは、光学偏向システム１６として偏向ミラー１６を有する。図４に示されるように、カメラは、偏向ミラーによって向きが変えられるように、その観測視野が上部区画１１ｈを向いた状態にて実質的に垂直に位置付けられている。カメラの観測視野は、容器をその全体の高さにわたって観測できる。図５に示すように、向きが変えられたカメラの観測視野は、コンベア平面Ｐ上に垂直に投影されたときの光軸の方向として定義される視野方向Ｄｖを有すると考えられる。
【００２９】
有利には、各カメラ１０の視野方向が、移送方向Ｆに直交する平面Ｔに対して、１０°から４５°の角度Ａをなすように、検査装置Ｉ及びＩＩが位置付けられている。
【００３０】
２つの検査装置Ｉ及びＩＩを有する図５に示される実施形態では、複数の光学センサ１０の視野方向Ｄｖがそれらの間で２０°から９０°の角度Ｂをなすように、複数の検査装置が位置付けられている。
【００３１】
コンベアに確実に固定されていない従来のシステムとは異なり、コンベア５に検査装置Ｉ及びＩＩを確実に取り付けるための固定システム１３及び１３1を使用することは、如何なる調節を行う必要もなく、コンベアの位置の変更及びコンベアの傾斜の変更に従うこと及び適合することを可能にする。さらに、驚くことに、この解決策はまた、拡張工事の影響下にあるコンベアの振動及びコンベアのねじれに従うこと及び適合することを可能にし、検査装置に影響も与えない。この適合案は、したがって、コンベアの平面Ｐに対する、カメラの視野及びカメラの観測方向の恒久的な固定を維持することを可能にする。各固定システム１３及び１３1は、強固な結合を得るために適切な方法で構成され、任意には、振動減衰システムと関連付けられていてもよい。
【００３２】
有利な実施形態の特徴によれば、コンベア５に支持チャンバ１１を固定するための固定システム１３は、チャンバ１１とコンベア５との間の間隔及び／又はチャンバのコンベアに沿った位置を調節するための調節装置２３を含む。言い換えれば、調節装置２３は、各チャンバを移送方向Ｆに平行である横方向に動かすこと及び移送方向Ｆに垂直に動かすことを可能にする。例えば、移送方向に垂直な平面Ｔ内でチャンバが動くことを可能にするように、第１の摺動路２３ｂに摺動するように取り付けられた支持ブロック２３ａによって支持チャンバ１１が支持されている。この第１の摺動路２３ｂは、第１の摺動路に垂直、すなわち移送方向に平行に延びる第２の摺動路２３ｃにスライド可能に取り付けられている。第２の摺動路２３ｃはコンベア５、特に前壁５ｃに強固に取り付けられている。
【００３３】
有利な実施形態の特徴によれば、コンベア５に支持チャンバ１１を固定するための固定システム１３は、コンベアによって支持され、かつカメラの視野方向Ｄｖを調節することを可能にする支持チャンバ１１の円筒形の部分を囲む締め環２７を含む。この例では、固定システム１３は、移送方向Ｆに直交する平面Ｔに対してカメラが定める角度Ａ及び視野方向Ｄｖの両方を調節する役割を果たす装置を含む。
【００３４】
示された例では、締め環２７は、支持ブロック２３ａによって支持されている。垂直軸の周りでチャンバ１１を回転させることができ、かつ固定された角度位置において支持チャンバ１１を動かないようにすることが可能となるように、支持ブロック２３ａに対して支持チャンバ１１を締め付けたり、又は緩めたりできるシステムが締め環２７に設けられる。したがって、カメラの角度及びカメラの方向を調節するための装置２７は、チャンバ１１とコンベア５との間の間隔及び／又はコンベアに沿ったチャンバの位置を調節するための装置２３と組み合わされる。もちろん、コンベア上でカメラの角度及びカメラの方向を直接調節するための装置２７を取り付けることも想定しうる。
【００３５】
別の有利な特徴によれば、本発明の設備は、調節装置２３及び２７を使用して、複数の容器の間の間隔に応じて視野角を容易に変更することを可能にする。コンベアベルト上を移動する複数の容器の間隔は、製造機械の中心間の距離、区画の数及び区画当たりのキャビティの数、製造速度、容器の本体の直径、並びにコンベアの速度に依存する。したがって、カメラの前を通過する個々の容器を最適化された条件で観察するために、各カメラは容易に調整されうる。
【００３６】
有利な実施形態の特徴によれば、各支持チャンバ１１は、カメラ１０上に直接冷気流を生成する空冷システム３０をその下部区画１１ｂにおいて含む。有利には、空冷システム３０は、圧縮空気を供給するための管３１に接続されたボルテックスチューブ又はランク・ヒルシュ管であり、まずノズル３２を通じて、カメラ１０の方に向けられた冷気流を送り、次に管３３を通じて、その内部に過圧を生成するために上部区画１１ｈに熱気流を送る。熱気流は、好ましくは、結露の発生を防止するために偏向ミラー及びポート１５を加熱するように上部区画１１ｈの方に向けられる。チャンバ１１の上端部１１ｈに空気の排出口が設けられている。
【００３７】
本発明は、その範囲から逸脱することなく様々な変更を加えることができるため、記載され、示された例に限定されない。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2019529915.tif 000009
2019529915.tif 000010
2019529915.tif 000011
2019529915.tif 000012
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