(57)【要約】  移動ステージ装置、露光装置およびフォトリソグラフィ装置が開示され、移動ステージ装置は、Ｙ方向モータ（２０３）を有し、各Ｙ方向モータ（２０３）の可動子は、水平なＹ方向に沿って動くことが可能であり、さらにＸ方向ガイドレール（１０５）上に設けられるＸ方向モータを有し、Ｘ方向ガイドレール（１０５）は、Ｙ方向モータ（２０３）の可動子に接続され、Ｙ方向モータ（２０３）の駆動下で水平なＹ方向に沿って移動可能であり、Ｘ方向モータの可動子（１０７ｂ）は、水平なＸ方向に沿って動くことが可能であり、さらにＸ方向ガイドレール（１０５）を支持する内枠（１０２）と、Ｘ方向モータの可動子（１０７ｂ）上に設けられた移動ステージ（１０８、１０６）とを有することが開示される。上述した移動ステージ装置は、Ｙ方向モータ（２０３）の移動ユニットの合計重量を低減し、移動ステージ装置のモード特性および振動特性を向上させる。内枠（１０２）に対する非接触接続により、Ｘ方向ガイドレール（１０５）は、内枠（１０２）に対する振動衝撃をより小さくし、同時に、安定した移動制御が可能となり、移動制御の精度が向上する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平なＹ方向に動くことが可能な可動子を有するＹ方向モータと、
Ｘ方向ガイドレール上に設けられるＸ方向モータと、
前記Ｘ方向ガイドレールを支持するように構成される内枠と、
前記Ｘ方向モータの前記可動子上に配置される移動ステージとを有し、
前記Ｘ方向ガイドレールは、前記Ｙ方向モータの前記可動子と接続され、かつ前記Ｙ方向モータの駆動下で前記水平なＹ方向に移動可能であり、
前記Ｘ方向モータは、水平なＸ方向に動くことが可能な可動子を有する移動ステージ装置。
【請求項２】
前記Ｙ方向モータの数は、２つであり、前記Ｙ方向モータは、外枠上に配置されている請求項１に記載の移動ステージ装置。
【請求項３】
前記Ｙ方向モータの数は、２つであり、前記Ｙ方向モータは、前記内枠上に配置されている請求項１に記載の移動ステージ装置。
【請求項４】
前記Ｙ方向モータは、反力抑止部材によって外枠に接続される固定子を有する請求項３に記載の移動ステージ装置。
【請求項５】
前記反力抑止部材はそれぞれ、減衰要素および／またはばね要素を有する請求項４に記載の移動ステージ装置。
【請求項６】
Ｙ方向中間ガイドレールが前記内枠上に設けられ、空気サスペンション機構は、前記Ｘ方向ガイドレールの底面上に設けられ、前記Ｙ方向中間ガイドレールは、前記空気サスペンション機構に対するサスペンション面を設けている請求項１に記載の移動ステージ装置。
【請求項７】
前記Ｙ方向中間ガイドレールの数は、１つより多い請求項６に記載の移動ステージ装置。
【請求項８】
前記Ｘ方向ガイドレールは、前記Ｘ方向およびＹ方向よりもＺ方向において剛性が低い可撓部としてそれぞれ組み込まれたコネクタによって前記Ｙ方向モータの前記可動子に接続されている請求項１に記載の移動ステージ装置。
【請求項９】
前記Ｘ方向ガイドレールの数は、１つ以上である請求項１に記載の移動ステージ装置。
【請求項１０】
前記Ｘ方向ガイドレールの数は、２つであり、前記Ｘ方向ガイドレールは、接続機構によって相互接続されている請求項１に記載の移動ステージ装置。
【請求項１１】
前記Ｘ方向モータの数は、２つであり、前記Ｘ方向モータの前記可動子はいずれも前記移動ステージ上に配置され、前記Ｘ方向モータはそれぞれ、対応する１つの前記Ｘ方向ガイドレール上に配置された固定子をさらに有する請求項１０に記載の移動ステージ装置。
【請求項１２】
前記移動ステージは、Ｘ方向スライダおよび微動板を有し、前記Ｘ方向モータの前記可動子は、前記Ｘ方向スライダ上に配置され、Ｘ方向微動モータおよびＹ方向微動モータが、前記微動板と前記Ｘ方向スライダとの間に設けられている請求項１１に記載の移動ステージ装置。
【請求項１３】
前記Ｘ方向スライダの両端部は、逆Ｕ形構造を規定し、それぞれは、対応する１つの前記Ｘ方向ガイドレールを上面および２つの側面から覆い、前記Ｘ方向モータの前記固定子は、前記Ｘ方向ガイドレールの内側面上に配置され、前記Ｘ方向モータの前記可動子は、前記逆Ｕ形構造の内壁上に配置されている請求項１２に記載の移動ステージ装置。
【請求項１４】
前記Ｘ方向スライダを支持する空気サスペンション機構は、前記Ｘ方向ガイドレールの前記上面および外側面に対向する前記逆Ｕ形チャネルの前記内壁上に設けられている請求項１３に記載の移動ステージ装置。
【請求項１５】
前記Ｘ方向微動モータの数は、２つであり、前記Ｙ方向微動モータの数は、２つであり、前記Ｘ方向微動モータおよび前記Ｙ方向微動モータはそれぞれ、前記Ｘ方向およびＹ方向において対称に配置されている請求項１２に記載の移動ステージ装置。
【請求項１６】
前記Ｘ方向スライダは、前記Ｘ方向微動モータの固定子または前記Ｙ方向微動モータの固定子が配置された４つの内壁を有する凹溝を規定し、前記微動板の底面から突出する突起部は、前記凹溝内へ延び、前記Ｘ方向微動モータの可動子または前記Ｙ方向微動モータの可動子は、前記突起部上に配置されている請求項１５に記載の移動ステージ装置。
【請求項１７】
空気サスペンション機構が前記微動板の底面上に設けられ、前記Ｘ方向スライダは、前記空気サスペンション機構に対してサスペンション面を設けている請求項１２に記載の移動ステージ装置。
【請求項１８】
基板が保持される基板ホルダは、前記微動板の上面に固定して取り付けられている請求項１２に記載の移動ステージ装置。
【請求項１９】
前記内枠は、非接触で前記Ｘ方向ガイドレールを支持するように構成されている請求項１、９または１０に記載の移動ステージ装置。
【請求項２０】
請求項１〜１９のうちのいずれか１つに記載される移動ステージ装置を有する露光装置。
【請求項２１】
請求項２０に記載される露光装置を有するフォトリソグラフィ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路（ＩＣ）の製造に用いられる移動ステージ装置、露光装置およびフォトリソグラフィ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトリソグラフィは、露光によりパターンをフォトマスクから基板に転写する工程である。この工程中、基板は、工作物ステージ上に支持され、フォトリソグラフィ装置に組み込まれた露光装置は、基板の表面上にフォトマスクパターンの画像を投射する。フォトリソグラフィ装置によって行われるフォトリソグラフィ工程は、半導体装置の製造にとって重要である。フォトリソグラフィ装置において、工作物ステージは、基板またはウェハが投射対物レンズからの光によって希望通りに露光されるようにマスクステージと連携して基板またはウェハを搬送しつつ、投射対物レンズ下を移動するように動作する。したがって、工作物ステージの制御精度は、フォトリソグラフィ工程がどれほど上手く行われるかを直接決定するので、工作物ステージには、良好な制御精度が必要とされる。工作物ステージが移動していると、工作物ステージは、フォトリソグラフィ装置の内枠に直接反力を加えるであろう。この衝撃は、内枠およびその付近に搬送された種々の構成部品の振動の増幅につながることがあり、これは、露光工程に問題を起こし、あるいは露光工程が行えなくなる可能性すらある。
【０００３】
図１は、照明システム１１と、マスクステージ１２と、投影光学システム１３と、工作物ステージ２０とを含む従来の露光装置を示す。工作物ステージ２０は、外枠上に平行に配置された２つのＹ方向モータを含む。中間ガイドレール２１は、その２つの端部において、Ｙ方向モータの可動子を接続しており、その結果、Ｙ方向モータの両方に直交し、それらと共にＨ形構造を形成している。工作物ステージ２０は、Ｙ方向モータによって駆動されると、Ｙ方向において長い距離を移動することができる。Ｘ方向モータ２２は、中間ガイドレール２１上に配置される。Ｘ方向モータ２２は、粗動ステージ２４が配置される取付板３４を支持する可動子を有する。粗動ステージ２４は、Ｘスライダ２３を介して中間ガイドレール２１に摺動可能に接続される。Ｘ方向モータ２２は、粗動ステージ２４がＸ方向に移動するように粗動ステージ２４を駆動するように動作する。微動ステージ２５は、非接触方式で粗動ステージ２４の上方に設けられる。微動ステージ２５は、粗動ステージ２４と微動ステージ２５との間に配置される複数のボイスコイルモータ３３によって微調節可能である。微動ステージ２５の下において、その両端部には補強部材２６が取り付けられ、空気軸受２７は、各補強部材２６の下に設けられる。これに応じて、中間ガイドレート２１の両側に２つのステップガイド２８が存在し、これらは、同じ距離だけ互いに離れている。ステップガイド２８は、微動ステージ２５を両端にて支持するための空気膜を空気軸受２７が生成することができる面を設けている。ステップガイド２８は、接続機構２９を介して中間ガイドレール２１に機械的に接続され、Ｙスライダ３０を介して内枠３１に摺動可能に接続される。基板ホルダ３２は、微動ステージ２５に取り付けられ、基板Ｐは、基板ホルダ３２上に保持される。
【０００４】
中間ガイドレール２１は、この従来の装置においてＹ方向モータ上に配置されるので、Ｙ方向モータは、中間ガイドレール２１上の全ての構成部品並びにステップガイド２８によって課される大きな負荷を直接受けなければならない。その結果、工作物ステージは、劣悪なモード特性および振動特性を示す。また、スライダを介して内枠３１と摺動可能に接続されるステップガイド２８は、振動による衝撃を内枠３１に与えるおそれがあり、摺動可能に接続されることで起こる可能性のある摩擦は、制御精度に影響を及ぼす。
【発明の概要】
【０００５】
発明の概要
本発明が解決しようとする技術的課題は、モータへの負荷がより低くなり、内部衝撃が低減され、モード特性が向上し、かつ制御精度がより高い移動ステージ装置、露光装置およびフォトリソグラフィ装置を提供することである。
【０００６】
この目的のために、本発明の主題は、
水平なＹ方向に動くことが可能な可動子を含むＹ方向モータと、
Ｘ方向ガイドレール上に設けられるＸ方向モータと、
Ｘ方向ガイドレールを支持するように構成される内枠と、
Ｘ方向モータの可動子上に配置される移動ステージとを含む移動ステージ装置であって、
Ｘ方向ガイドレールは、Ｙ方向モータの可動子と接続され、かつＹ方向モータの駆動下で水平なＹ方向に移動可能であり、
Ｘ方向モータは、水平なＸ方向に移動可能である可動子を有する移動ステージ装置にある。
【０００７】
好ましくは、Ｙ方向モータの数は、２つであり、Ｙ方向モータは、外枠上に配置されている。
【０００８】
好ましくは、Ｙ方向モータの数は、２つであり、Ｙ方向モータは、内枠上に配置される。
【０００９】
好ましくは、Ｙ方向モータの固定子は、反力抑止部材によって外枠に接続される。
【００１０】
好ましくは、反力抑止部材はそれぞれ、減衰要素および／またはばね要素を含む。
【００１１】
好ましくは、Ｙ方向中間ガイドレールが内枠上に設けられ、空気サスペンション機構は、Ｘ方向ガイドレールの底面上に設けられ、Ｙ方向中間ガイドレールは、空気サスペンション機構に対するサスペンション面を設けている。
【００１２】
好ましくは、Ｙ方向中間ガイドレールの数は、１つより多い。
【００１３】
好ましくは、Ｘ方向ガイドレールは、Ｘ方向およびＹ方向よりもＺ方向において剛性が低い可撓部としてそれぞれ組み込まれたコネクタによってＹ方向モータの可動子に接続されている。
【００１４】
好ましくは、Ｘ方向ガイドレールの数は、１つ以上である。
【００１５】
好ましくは、Ｘ方向ガイドレールの数は、２つであり、Ｘ方向ガイドレールは、接続機構によって相互接続される。
【００１６】
好ましくは、Ｘ方向モータの数は、２つであり、Ｘ方向モータの可動子はいずれも、移動ステージ上に配置され、Ｘ方向モータはそれぞれ、対応する１つのＸ方向ガイドレール上に配置された固定子をさらに有する。
【００１７】
好ましくは、移動ステージは、Ｘ方向スライダおよび微動板を有し、Ｘ方向モータの可動子は、Ｘ方向スライダ上に配置され、Ｘ方向微動モータおよびＹ方向微動モータが、微動板とＸ方向スライダとの間に設けられている。
【００１８】
好ましくは、Ｘ方向スライダの両端部は、逆Ｕ形構造を規定し、それぞれは、対応する１つのＸ方向ガイドレールを上面および２つの側面から覆い、Ｘ方向モータの固定子は、Ｘ方向ガイドレールの内側面上に配置され、Ｘ方向モータの可動子は、逆Ｕ形構造の内壁上に配置されている。
【００１９】
好ましくは、Ｘ方向スライダを支持する空気サスペンション機構は、Ｘ方向ガイドレールの上面および外側面に対向する逆Ｕ形構造の内壁上に設けられている。
【００２０】
好ましくは、Ｘ方向微動モータの数は、２つであり、Ｙ方向微動モータの数は、２つであり、Ｘ方向微動モータおよびＹ方向微動モータはそれぞれ、Ｘ方向およびＹ方向において対称に配置されている。
【００２１】
好ましくは、Ｘ方向スライダは、Ｘ方向微動モータの固定子またはＹ方向微動モータの固定子が配置される４つの内壁を有する凹溝を規定し、微動板の底面から突出する突起部は、凹溝内へ延び、Ｘ方向微動モータの可動子またはＹ方向微動モータの可動子は、突起部上に配置されている。
【００２２】
好ましくは、空気サスペンション機構は、微動板の底面上に設けられ、Ｘ方向スライダは、サスペンション機構に対してサスペンション面を設けている。
【００２３】
好ましくは、基板が保持される基板ホルダは、微動板の上面に固定して取り付けられている。
【００２４】
好ましくは、内枠は、接触することなくＸ方向ガイドレールを支持するように構成されている。
【００２５】
露光装置は、上記で定義された移動ステージ装置を含む。
【００２６】
フォトリソグラフィ装置は、上記で定義された露光装置を含む。
【００２７】
従来の装置と比較して、本発明は、Ｙ方向モータによって支持される従来の中間ガイドレールおよびこの中間ガイドレールに接続される２つのステップガイドに代わって、内枠に接触することなく内枠により支持されるＸ方向ガイドレールを用いることで最適化される。その結果、Ｙ方向モータによって搬送される構成部品の合計重量が低減され、移動ステージ装置のモード特性および振動特性が改善される。さらに、内枠と非接触に接続されるＸ方向ガイドレールは、それに対して振動による大きな衝撃を与えることなく、それにより、安定した移動および向上した制御精度を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
図面の簡単な説明
【図１】図１は、従来の露光装置の構造概略図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態による移動ステージ装置の構造概略図である。
【図３】図３は、図２の線Ａ−Ａに沿った移動ステージ装置の断面図である。
【図４】図４は、本発明の実施形態による移動ステージ装置の構造概略図である。
【図５】図５は、図４の線Ｂ−Ｂに沿った移動ステージ装置の断面図である。  図１において：１１−照明システム；１２−マスクステージ；１３−投影光学システム；２０−工作物ステージ；２１−中間ガイドレール；２２−Ｘ方向モータ；２３−Ｘスライダ；２４−粗動ステージ；２５−微動ステージ；２６−補強部材；２７−空気軸受；２８−ステップガイド；２９−接続機構；３０−Ｙスライダ；３１−内枠；３２−基板ホルダ；３３−ボイスコイルモータ；３４−取付板；Ｐ−基板。  図２〜３において：１０１−緩衝装置；１０２−内枠；１０３−Ｙ方向中間ガイドレール；１０４−空気サスペンション機構；１０５−Ｘ方向ガイドレール；１０６−微動板；１０７ａ−Ｘ方向モータの固定子；１０７ｂ−Ｘ方向モータの可動子；１０８−Ｘ方向スライダ；１０９−基板ホルダ；１１０ａ−Ｘ方向微動モータの固定子；１１０ｂ−Ｘ方向微動モータの可動子；２０１−外枠；２０２−Ｙ方向ガイドレール；２０３−Ｙ方向モータ；２０４−Ｙ方向レールブラケット；２０５−Ｙ方向スライダ；２０６−接続機構；２０７−コネクタ；２０８ａ−Ｙ方向微動モータの固定子；２０８ｂ−Ｙ方向微動モータの可動子；３０１−ミラーマウント；３０２−長尺ミラー。  図４〜５において：４０１−内枠；４０２−Ｙ方向レールブラケット；４０３−Ｙ方向スライダ；４０４−Ｘ方向ガイドレール；４０５−コネクタ；４０６−Ｙ方向中間ガイドレール；４０７ａ−Ｙ方向モータの固定子；４０７ｂ−Ｙ方向モータの可動子；４０８−Ｙ方向ガイドレール；４０９−接続機構；５０１−緩衝装置；５０２−減衰要素；５０３−Ｙ方向摺動要素；５０４−ばね要素；５０５−外枠。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
好適な実施形態の詳細な説明
添付の図面を参照しながら、本発明をより詳細に説明する。
【００３０】
実施形態１
図２および図３は、本発明の１つの実施形態による露光装置における移動ステージ装置を示す。露光装置はさらに、照明システムと、マスクステージシステムと、投射光学システムと、干渉計に基づく測定システムと、上記構成部品の各々に対する制御システムとを含んでいる。ここで、移動ステージ装置上の基板に対するマスクステージシステム上のフォトマスクの移動の方向を水平なＹ方向（つまり、ステッピング方向）と定義し、移動ステージ装置上の基板の露光時の走査方向を水平なＸ方向と定義する。
【００３１】
移動ステージ装置は、外枠２０１と、内枠１０３と、Ｙ方向モータ２０３と、Ｘ方向ガイドレール１０５と、Ｘ方向モータと、Ｘ方向スライダ１０８と、微動板１０６とを含む。
【００３２】
Ｙ方向モータ２０３は、外枠２０１上に配置され、モータの数は２つである。具体的には、Ｙ方向レールブラケット２０４は、外枠２０１上に搭載され、Ｙ方向ガイドレール２０２は、Ｙ方向レールブラケット２０４に固定されている。Ｙ方向スライダ２０５は、各Ｙ方向ガイドレール２０２に沿って摺動可能である。Ｙ方向モータ２０３は、各Ｙ方向スライダ２０５に取り付けられる可動子と、外枠２０１に固定される固定子とを有する。Ｙ方向モータ２０３は、Ｙ方向スライダ２０５が水平なＹ方向に移動するようにＹ方向スライダ２０５を駆動するように動作する。
【００３３】
図２および図３を続けて参照すると、Ｘ方向ガイドレール１０５は、コネクタ２０７によってＹ方向スライダ２０５に接続されている。Ｘ方向ガイドレール１０５は、その底面に取り付けられた空気サスペンション機構１０４の補助により、Ｙ方向中間ガイドレール１０３上に浮動支持される。Ｙ方向中間ガイドレール１０３は、内枠１０２に固定されている。内枠１０２は、緩衝装置１０１によって地面上に支持される。好ましくは、Ｙ方向スライダ２０５を介して外枠２０１からＸ方向ガイドレール１０５に伝達される外乱を減らすために、コネクタ２０７は、Ｘ方向およびＹ方向よりもＺ方向において剛性が低い可撓部として実装されてもよい。Ｙ方向中間ガイドレール１０３の数は、１つ、または２つ以上であってもよく、Ｘ方向ガイドレール１０５の数もまた、１つ、または２つ以上であってもよい。この実施形態において、Ｘ方向ガイドレール１０５の数は２つであり、この２つのＸ方向ガイドレール１０５は、接続機構２０６によって相互接続されている。Ｘ方向ガイドレール１０５は、浮上時には、水平Ｙ方向に移動する際に、他の構成部品と接触することなく、よって、それらとの摩擦が最小化されて、Ｙ方向スライダ２０５の駆動下で水平なＹ方向に平行移動してもよい。Ｘ方向モータは、Ｘ方向ガイドレール１０５上に設けられ、モータの数もまた、２つであってもよい。具体的には、Ｘ方向ガイドレール１０５の１つを例として説明すると、対応する１つのＸ方向モータは、Ｘ方向ガイドレール１０５の内側面に固定された固定子１０７ａと、Ｘ方向スライダ１０８上に配置された可動子１０７ｂとを有する。
【００３４】
さらに、Ｘ方向スライダ１０８の両端部は、逆Ｕ形構造を規定し、それぞれは、対応する１つのＸ方向ガイドレール１０５を上部および２つの側面から覆う。Ｘ方向モータの可動子１０７ｂは、Ｘ方向ガイドレール１０５の内側面に対向する逆Ｕ形構造の内壁上に配置されている。空気サスペンション機構１０４は、Ｘ方向ガイドレール１０５の上部および外側面に対向する逆Ｕ形構造の内壁上に配置されている。空気サスペンション機構１０４は、Ｘ方向スライダ１０８を支持するように設けられている。Ｘ方向スライダ１０８は、Ｘ方向モータの駆動下で、摩擦が最小化されて水平なＸ方向を移動することができる。
【００３５】
Ｘ方向スライダ１０８と微動板１０６との間には、Ｘ方向微動モータおよびＹ方向微動モータが設けられている。微動板１０６は、Ｘ方向スライダ１０８の駆動下でＸおよびＹ方向において長ストローク移動を行うことが可能であり、Ｘ方向微動モータおよびＹ方向微動モータの駆動下でＸおよびＹ方向においてＸ方向スライダ１０８に対して短ストローク移動を行うことが可能である。
【００３６】
具体的には、Ｘ方向微動モータの数は２つであり、Ｙ方向微動モータの数もまた２つである。Ｘ方向スライダ１０８は、Ｘ方向微動モータの固定子１１０ａが配置されるＸ方向に延びる２つの内壁を有する凹溝を規定している。この凹溝は、Ｙ方向微動モータの固定子２０８ａが配置されるＹ方向に延びるさらなる２つの内壁を有する。微動板１０６の底面から突出する突起部は、凹溝中に延び、Ｘ方向微動モータの可動子１１０ｂまたはＹ方向微動モータの可動子２０８ｂは、突起部上に配置されている。微動板１０６の底面上にはさらに、空気サスペンション機構１０４が設けられている。空気サスペンション機構１０４は、それらが直接対向するＸ方向スライダ１０８の表面部分と相互作用すること可能であり、それによって、微動板１０６の浮上を可能にし、よって、その短ストローク移動における摩擦を最小化することが可能である。
【００３７】
基板ホルダ１０９は、微動板１０６の上面に固定して取り付けられている。基板は、基板ホルダ１０９上に保持されている。微動板１０６の側面上には、干渉計の測定軸に沿って測定を補助することができるミラーマウント３０１および長尺ミラー３０２が配置されている。基板ホルダ１０９、ミラーマウント３０１および長尺ミラー３０２は、微動板１０６と共に移動し、微動板１０６上のＸ方向微動モータおよびＹ方向微動モータは、内枠１０２上に設けられた干渉計の測定に基づいて直接的に動作する。このようにして、ＸおよびＹ方向における外乱は、移動ステージ装置のサーボ精度にほとんど影響を及ぼさない。
【００３８】
従来の装置と比較すると、本発明は、Ｙ方向モータによって支持される従来の中間ガイドレールおよびこの中間ガイドレールと関連した２つの従来のステップガイドの代わりに、接触することなく内枠１０２に支持されるＸ方向ガイドレール１０５を用いることで最適化される。その結果、Ｙ方向モータ２０３によって搬送される構成部品の全体重量が低減される。構成部品が同じ材料であり、かつその間の接続剛性が同じ場合に、系の運動微分方程式の偏差、つまり、
2019502266.tif 000003
（ωが角速度、ｋが係数およびｍが系の重量を表す）からわかるように、全体重量が低減されることで、系のモード特性の改善につながる。したがって、本発明の移動ステージ装置は、向上したモード特性および振動特性を有する。さらに、非接触で内枠１０２に接続されるＸ方向ガイドレール１０５は、それに対して振動による大きな衝撃を与えることなく、それによって、安定した移動および向上した制御精度を可能にする。
【００３９】
実施形態２
図４および５は、本発明の別の実施形態による移動ステージ装置を示し、移動ステージ装置上の基板のステッピング方向を、水平なＹ方向と定義し、移動ステージ装置上の基板の露光時の走査方向を、水平なＹ方向と定義する。
【００４０】
移動ステージ装置は、内枠４０１上に配置される２つのＹ方向モータを含む。具体的には、Ｙ方向レールブラケット４０２は、内枠４０１上に搭載され、Ｙ方向ガイドレール４０８は、Ｙ方向レールブラケット４０２に固定されている。Ｙ方向スライダ４０３は、各Ｙ方向ガイドレール４０８に沿って摺動可能である。Ｙ方向モータは、各Ｙ方向スライダ４０３に取り付けられる可動子４０７ｂと、内枠４０１に固定される固定子４０７ａとを有する。Ｙ方向モータは、Ｙ方向スライダ４０３が水平なＹ方向に移動するようにＹ方向スライダ４０３を駆動するように動作する。
【００４１】
Ｘ方向ガイドレール４０４は、コネクタ４０５によってＹ方向スライダ４０３に接続される。Ｘ方向ガイドレール１０５は、その底面に取り付けられた空気サスペンション機構の補助により、内枠４０１に固定されるＹ方向中間ガイドレール４０６上に浮動支持され得る。この実施形態においては、Ｘ方向ガイドレール４０４の数は、２つであり、これら２つのＸ方向ガイドレール４０４は、接続機構４０９によって相互接続されている。Ｘ方向ガイドレール４０４は、浮上時には、他の構成部品と接触することなく、よって、それらとの摩擦が最小化され、Ｙ方向スライダ４０３の駆動下で水平なＹ方向に平行移動してもよい。
【００４２】
図５を特に参照すると、Ｙ方向モータの固定子４０７ａは、反力抑止部材を介して外枠５０５に接続され、各反力抑止部材は、特に、減衰要素５０２およびばね要素５０４を含む。つまり、Ｙ方向モータの固定子４０７ａは、減衰要素５０２およびばね要素５０４を介して外枠５０５に接続される。また、固定子４０７ａはさらに、Ｙ方向摺動要素５０３を介して内枠４０１と接続される。このようにして、Ｙ方向モータからのいかなる衝撃も内枠４０１および内枠４０１に接続される全ての構成部品に対して減衰させることが可能となる。
【００４３】
本発明はまた、上記で定義した露光装置を組み込んだフォトリソグラフィ装置を提供する。露光装置は、フォトリソグラフィ工程における基板の露光に適している。
【図１】
2019502266.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2019502266.tif 000010
2019502266.tif 000011
2019502266.tif 000012
2019502266.tif 000013
2019502266.tif 000014