(57)【要約】ワークテーブル搬入出装置において、ワークテーブルを支持するための底部フレーム（１）と、底部フレーム（１）の下面に設けられる空気ばね（２）と、ワークテーブルの移動時にワークテーブルを支持するための浮力を生成するエアクッションユニット（３）と、底部フレーム（１）上に設けられる搬入出ユニット（２００）とを含み、搬入出ユニット（２００）は、ワークテーブルを移動させるためのローラーユニット（４）と、一端は連結ブロック（５）に連結され、他端はローラーユニット（４）に連結される板ばね（６）と、板ばね（６）と連結され、ワークテーブルの移動時に板ばね（６）が変形するように駆動してローラーユニット（４）が地面と接触するようにする板ばね変形駆動ユニット（８）とを含む。板ばね変形駆動ユニット（８）を設置することによって板ばね（６）を変形させ、ワークテーブルの搬入出時にローラーユニット（４）を地面と接触させてワークテーブルを移動させ、トルクが大きすぎて作動できなくなる現象が発生しないので、ワークテーブルの搬入出過程における安定性を向上した。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークテーブルを支持するための底部フレームと、前記底部フレームの下面に設けられる空気ばねと、ワークテーブルの移動時にワークテーブルを支持するための浮力を生成するエアクッションユニットと、前記底部フレームに設けられる搬入出ユニットと、を含むワークテーブル搬入出装置であって、
前記搬入出ユニットは、
前記ワークテーブルを移動するためのローラーユニットと、
一端は前記底部フレームに連結され、他端は前記ローラーユニットに連結される板ばねと、
前記板ばねと連結され、前記ワークテーブルの移動時に前記板ばねが変形するように駆動して前記ローラーユニットが地面と接触するようにする板ばね変形駆動ユニットと、
を含むことを特徴とするワークテーブル搬入出装置。
【請求項２】
前記ローラーユニットは、前記板ばねの一端に連結される連結ホルダーと、前記連結ホルダー上に設けられる駆動ローラーと、前記駆動ローラーと連結されるモーターと、を含む、
ことを特徴とする請求項１に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項３】
前記底部フレーム上に設けられる連結ブロックをさらに含み、前記板ばねの一端は前記連結ブロックを通じて前記底部フレームに連結され、前記板ばねと前記連結ブロックとの間にフックブロックが設けられ、前記フックブロックの底部は前記板ばね上に固定され、上端にはフックが設けられ、前記フックは前記連結ブロック上に掛けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項４】
前記連結ブロック上に前記フックと結合される溝が設けられ、前記フックは前記溝に掛けられる、
ことを特徴とする請求項３に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項５】
前記板ばねは二段を含む二つに分けられる段式の構造とし、前記二つの部分の間は可撓性ヒンジによって連結される、
ことを特徴とする請求項１に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項６】
前記板ばね変形駆動ユニットの位置は前記ローラーユニットの位置と対応する、
ことを特徴とする請求項１に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項７】
前記板ばね変形駆動ユニットは前記板ばね上に固定設置されるシリンダー本体と、
前記シリンダー本体内に設けられ、伸縮可能なシリンダーピストン棒と、
前記シリンダー本体の内部と連通する空気管と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項８】
前記空気管に圧力調整器が設けられる、
ことを特徴とする請求項７に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項９】
前記シリンダーピストン棒の上端に付勢ローラーが連結される、
ことを特徴とする請求項７に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項１０】
前記板ばね変形駆動ユニットは前記底部フレームに固定されるブラケットをさらに含み、
前記ブラケットは前記付勢ローラーを支持する、
ことを特徴とする請求項９に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項１１】
前記搬入出ユニットは二組設けられ、同一水平線上に位置し、前記ワークテーブル搬入出装置に沿って前記底部フレームの底部に対称的に分布される、
ことを特徴とする請求項１に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項１２】
前記搬入出ユニットは前記ワークテーブル搬入出装置に沿って前記底部フレームの側辺上に設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のワークテーブル搬入出装置。
【請求項１３】
前記搬入出ユニットは四組設けられ、それぞれ前記ワークテーブルの搬入出方向に沿って前記底部フレームの底面の四つの隅に対称的に分布される、
ことを特徴とする請求項１に記載のワークテーブル搬入出装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はリソグラフィマシンの技術分野に関し、特に、ワークテーブル搬入出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種リソグラフィマシンのワークテーブルは一定期間稼働したり、あるいは故障が発生すると、ワークテーブルをリソグラフィマシンの外に搬出してメンテナンスをする必要があり、メンテナンスが終われば再びワークテーブル搬入しなげればならない。メンテナンスの時間を節約し、搬入出時の設備の安全性を保証するために、搬入出作業を自動に行うことが要求される。
【０００３】
従来の一部の搬入出機構は、通常クランクスライド機構であり、スペースの制約により、クランクスライド機構の各ヒンジは同一平面上にないため、ヒンジの箇所でトルクが大きすぎて容易に作動できなくなる現象が発生する。また、従来の搬入出機構は通常一つが用いられ、地面に過度に大きい圧力を加えやすいため、ワークテーブルが転倒し、搬入出が失敗に至ることになる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は従来技術に存在する問題を解決するためにワークテーブル搬入出装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前述の技術問題を解決するために、本発明の技術的方案は、ワークテーブル搬入出装置において、ワークテーブルを支持するための底部フレームと、前記底部フレームの下面に設けられる空気ばねと、ワークテーブルの移動時にワークテーブルを支持するための浮力を生成するエアクッションユニットと、前記底部フレームに設けられる搬入出ユニットとを含み、前記搬入出ユニットは、
前記ワークテーブルを移動するためのローラーユニットと、
一端は前記底部フレームに連結され、他端は前記ローラーユニットに連結される板ばねと、
前記板ばねと連結され、前記ワークテーブルの移動時に前記板ばねが変形するように駆動して前記ローラーユニットが地面と接触するようにする板ばね変形駆動ユニットとを含む。
【０００６】
さらに、前記ローラーユニットは、前記板ばねの一端に連結される連結ホルダーと、前記連結ホルダー上に設けられる駆動ローラーと、前記駆動ローラーと連結されるモーターとを含む。
【０００７】
さらに、前記ワークテーブル搬入出装置は、前記底部フレーム上に設けられる連結ブロックをさらに含み、前記板ばねの一端は前記連結ブロックを通じて前記底部フレームに連結され、前記板ばねと前記連結ブロックとの間にフックブロックが設けられ、前記フックブロックの底部は前記板ばね上に固定され、上端にはフックが設けられ、前記フックは前記連結ブロック上に掛けられる。
【０００８】
さらに、前記連結ブロック上に前記フックと結合される溝が設けられ、前記フックは前記溝に掛けられる。
【０００９】
さらに、前記板ばねは二段を含む二つに分けられる段式の構造とし、前記二つの部分の間は可撓性ヒンジによって連結される。
【００１０】
さらに、前記板ばね変形駆動ユニットの位置は前記ローラーユニットの位置と対応する。
【００１１】
さらに、前記板ばね変形駆動ユニットは、前記板ばね上に固定設置されるシリンダー本体と、前記シリンダー本体内に設けられ、伸縮可能なシリンダーピストン棒と、前記シリンダー本体の内部と連通する空気管とを含む。
【００１２】
さらに、前記空気管に圧力調整器が設けられている。
【００１３】
さらに、前記シリンダーピストン棒の上端に付勢ローラーが連結されている。
【００１４】
さらに、前記板ばね変形駆動ユニットは前記底部フレームに固定されるブラケットをさらに含み、前記ブラケットは前記付勢ローラーを支持する。
【００１５】
さらに、前記搬入出ユニットは二組設けられ、同一水平線上に位置し、前記ワークテーブルの搬入出方向に沿って前記底部フレームの底部に対称的に分布される。
【００１６】
さらに、前記搬入出ユニットは前記ワークテーブルの搬入出方向に沿って前記底部フレームの側辺上に設けられる。
【００１７】
さらに、前記搬入出ユニットは四組設けられ、それぞれ前記ワークテーブルの搬入出方向に沿って前記底部フレームの底面の四つの隅に対称的に分布される。
【発明の効果】
【００１８】
本発明で提供するワークテーブル搬入出装置は、
ワークテーブルを支持するための底部フレームと、
前記底部フレームの下面に設けられる空気ばねと、
ワークテーブルの移動時にワークテーブルを支持するための浮力を生成するエアクッションユニットと、
前記底部フレームに設けられる搬入出ユニットとを含み、
前記搬入出ユニットは、
前記ワークテーブルを移動するためのローラーユニットと、
前記底部フレーム上に固定設置される連結ブロックと、
一端は前記連結ブロックに連結され、他端は前記ローラーユニットに連結される板ばねと、
前記板ばねと連結され、前記ワークテーブルの移動時に前記板ばねが変形するように駆動して前記ローラーユニットが地面と接触するようにする板ばね変形駆動ユニットと、
を含む。搬入出ユニットに板ばね変形駆動ユニットを設けて板ばねを変形させることによって、ワークテーブルの搬入出時に、ローラーユニットを地面と接触させてワークテーブルを移動させ、移動が終わると、ローラーユニットを地面と分離させてワークテーブルの作業に影響を与えないようにし、またトルクが大きすぎて作動できなくなる現象が発生しない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】は本発明の実施例１によるワークテーブル搬入出装置の構造を示す図面である。
【図２】は本発明の実施例１における連結ブロックと板ばねとの連結を示す正面図である。
【図３】は本発明の実施例１における連結ブロックと板ばねとの連結を示す側面図である。
【図４】は本発明の実施例１における可撓性ヒンジの具体的な構造を示す図である。
【図５】は本発明の実施例１における２組の搬入出ユニットの分布を示す図である。
【図６】は本発明の実施例１におけるワークテーブル搬入出装置の空気ばねの収縮時の図である。
【図７】は本発明の実施例１におけるワークテーブル搬入出装置のエアクッションユニットの浮上時の図である。
【図８】は本発明の実施例２における搬入出ユニットの分布を示す図である。
【図９】は本発明の実施例３における搬入出ユニットの分布を示す図である。
【図１０】は本発明の実施例４におけるワークテーブル搬入出装置の構造を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を結合して本発明について詳しく説明する。
【実施例１】
【００２１】
図１に示すように、本発明はワークテーブルを支持するための底部フレーム１と、前記底部フレーム１の下面に設けられる空気ばね２と、ワークテーブルの移動時にワークテーブルを支持するための浮力を生成するエアクッションユニット３と、前記底部フレーム１に設けられる搬入出ユニット２００とを含むワークテーブル搬入出装置を提供し、前記搬入出ユニット２００はローラーユニット４、連結ブロック５、板ばね６、板ばね変形駆動ユニット８を含む。
【００２２】
ローラーユニット４は前記ワークテーブルを移動させるものであり、本実施例において、ローラーユニット４は前記底部フレーム１の下方に設けられ、メンテナンスのためにワークテーブルを搬出させ、ワークテーブルのメンテナンスが終わるとワークテーブルをリソグラフィマシンの全体フレームの中に搬入させる。
【００２３】
連結ブロック５は前記底部フレーム１上に固定設置されて板ばね６を装着するのに用いられる。
【００２４】
板ばね６は、一端が前記連結ブロック５に連結され、図２〜３に示すように、前記板ばね６と前記連結ブロック５との間にフックブロック７が設けられ、前記フックブロック７の底部は前記板ばね６上に固定され、上端にはフック７１が設けられ、前記フック７１は前記連結ブロック５に掛けられる。前記連結ブロック５には前記フック７１と結合される溝が設けられ、前記フック７１は前記溝に掛けられ、両者の間を固定する。板ばね６の他端は前記ローラーユニット４に連結される。
【００２５】
板ばね変形駆動ユニット８は前記板ばね６と連結されて、前記ワークテーブルが移動するときには、前記板ばね６を変形させるように駆動して前記ローラーユニット４が地面と接触するようにする。具体的には、ワークテーブルを搬入出する際には、ローラーユニット４を地面９と接触させてワークテーブルを移動させ、移動が終わると、ローラーユニット４を地面９と分離させてワークテーブルの作業に影響を与えないようにし、ワークテーブルの搬入出過程ではトルクが大きすぎて作動できなくなる現象が発生しないようにする。
【００２６】
続いて、図１に参照されるように、前記ローラーユニット４は、前記板ばね６の一端に連結される連結ホルダー４１と、前記連結ホルダー４１上に設けられる駆動ローラー４２と、前記駆動ローラー４２に連結されるモーター（図示せず）とを含む。連結ホルダー４１は板ばね６の連結ブロック５から離れた一端に設けられて、駆動ローラー４２を板ばね６に固定する。モーターは駆動ローラー４２が地面９と接触して十分な摩擦力を発生した時に駆動ローラー４２を回転させてワークテーブルを搬入出させる。
【００２７】
好ましくは、前記板ばね６は二つに分けられる段式の構造とし、板ばね６の二つの部分の間は可撓性ヒンジ６１によって連結され、可撓性ヒンジ６１の具体的構造は図４に示す通りである。この構造は板ばね６を下へ曲げる過程で可撓性の回動を実現し、弾力を提供して板ばね６を復元させ、上部のフック状の構造によって板ばね６が過度に弯曲されて降伏破壊されることを防止する。なお、可撓性ヒンジ６１はベアリング、回転軸などのヒンジ形式で代替することもでき、前述した機能を実現することができればよい。
【００２８】
続いて、図１に示すように、前記板ばね変形駆動ユニット８の位置は前記ローラーユニット４の位置と対応する。前記板ばね変形駆動ユニット８は前記板ばね６上に固定設置されるシリンダー本体８１と、前記シリンダー本体８１内に設けられ、伸縮可能なシリンダーピストン棒８２と、前記シリンダーピストン棒８２の上端に設けられる付勢ローラー８３と、前記シリンダー本体８１の内部と連通する空気管であって収縮空気管８４及び押上空気管８５と、を含む。前記付勢ローラー８３は前記底部フレーム１と接触してシリンダー本体８１の作用力を底部フレーム１に印加し、それにより、底部フレーム１において板ばね変形駆動ユニット８に印加する反作用力で板ばね６が変形して弯曲されるようにし、同時に、前記付勢ローラー８３は、シリンダーピストン棒８２が底部フレーム１と当接した時の摩擦力及び付勢ローラー８３の回動によってシリンダーピストン棒８２が伸縮する時の振動も低減することができる。押上空気管８５内に空気が入ると、シリンダーピストン棒８２は上方に伸長して付勢ローラー８３を上方へ押し上げ、底部フレーム１に力を加えて板ばね６を反作用力で下方へ弯曲させ、駆動ローラー４２は地面９と接触して地面９に対して圧力を発生し、さらに静止摩擦力を発生させる。収縮空気管８４内に空気が入ると、シリンダーピストン棒８２が収縮し、付勢ローラー８３は底部フレーム１に力を加えないので、板ばね６が復元され、駆動ローラー４２は地面９から離れる。前記空気管には圧力調整器８６がさらに設けられ、前記圧力調整器８６上には吸気管８７がさらに連結され、駆動ローラー４２が地面９と接触すると、駆動ローラー４２が地面９に対して十分な圧力を発生するように圧力調整器８６によって駆動ローラー４２が地面９に対して発生する圧力を調整し、続いてワークテーブルを移動させるのに十分な静止摩擦力を発生させるようにする。同時に、圧力調整器８６により駆動ローラー４２が地面９に対して発生する圧力が大きすぎてワークテーブルが転倒されることを防止することができる。前記板ばね変形駆動ユニット８は前記付勢ローラー８３を支持するために前記底部フレーム１に固定されるブラケット８８をさらに含む。シリンダーピストン棒８２が押し上げられると、ブラケット８８によって付勢ローラー８３を支えて底部フレーム１に力を加え、それにより、力の作用面積が増大し、安定性が良好になる。本実施例において、重力方向に沿って下方向に見ると、可撓性ヒンジ６１、付勢ローラー８３及び駆動ローラー４２の作用点または力の中心が略同一直線上にあるので、均一に力を受けることを保証することができ、さらに作動できなくなる現象を避けることができる。
【００２９】
図５に示すように、前記搬入出ユニット２００は二組設けられ、同一水平線上に位置し、前記ワークテーブル搬入出装置に沿って前記底部フレーム１の底部に対称的に分布される。図面において、二組の搬入出ユニット２００はＸ軸方向に沿って対称的に分布されて地面に必要な圧力を効果的に分散させることができ、ワークテーブルの支持安定性及びＸ正負方向に沿った搬入出時の安定性を向上させることができる。
【００３０】
本実施例で提供する前述したワークテーブル搬入出装置を用いてワークテーブルの搬入出を実現する過程では、前記空気ばね２、エアクッションユニット３、及びローラーユニット４は異なるタイミングで底部フレーム１を支持する。前記方法は具体的には以下のステップを含む。
【００３１】
ステップＳ１：空気ばね２が収縮すると、エアクッションユニット３が浮上し始め（この時、エアクッションユニット３により底部フレーム１を支持する）、板ばね変形駆動ユニット８は底部フレーム１に対して力を加えて板ばね６を下方へ弯曲させ、ローラーユニット４は地面９と接触する。具体的には、図６に示すように、前記板ばね変形駆動ユニット８の押上空気管８５に空気が入ると、シリンダーピストン棒８２が上方へ押し上げられ、付勢ローラー８３が底部フレーム１に力を加えるようにし、同時に、底部フレーム１の反作用力により板ばね６を下方へ弯曲させ、ローラーユニット４の駆動ローラー４２を地面９と接触させて静止摩擦力を発生する（この過程で、エアクッションユニット３は底部フレーム１を支持し続け、ローラーユニット４が地面と接触すると、ローラーユニット４も底部フレーム１に対して部分的に支持する作用をする）。
【００３２】
ステップＳ２：板ばね６が下方へ弯曲されるにつれて、エアクッションユニット３が浮上し（この時、続いてエアクッションユニット３は主支持部材、ローラーユニット４は補助支持部材として用いられて、共に底部フレーム１を支持する）、ローラーユニット４は前記ワークテーブルを搬出させる。即ち、モーターが駆動ローラー４２を回動させることによってワークテーブルが搬出される（図７参照）。ワークテーブルの搬出過程において、駆動ローラー４２が地面９に対して十分な圧力を発生するように圧力調整器８６によって駆動ローラー４２が地面９に対して発生する圧力を調整し、続いてワークテーブルを移動させるのに十分な静止摩擦力を発生させるようにする。同時に、圧力調整器８６も駆動ローラー４２が地面９に対して発生する圧力が大きすぎてワークテーブルが転倒されることを防止することができる。
【００３３】
Ｓ３ステップ：ワークテーブルに対するメンテナンスが終わると、ローラーユニット４は前記ワークテーブルを搬入させる。同様に、ワークテーブルの搬入過程で、駆動ローラー４２が地面９に対して十分な圧力を発生させるように圧力調整器８６は駆動ローラー４２が地面９に対して発生する圧力を調整し、続いてワークテーブルを移動させるのに十分な静止摩擦力を発生させるようにする。同時に、圧力調整器８６も駆動ローラー４２が地面９に対して発生する圧力が大きすぎてワークテーブルが転倒されることを防止することができる。
【００３４】
ステップＳ４：ワークテーブルの移動が終わると、空気ばね２が膨張し、板ばね変形駆動ユニット８は底部フレーム１に対して力を加えないので、板ばね６は復元されて（この時、空気ばね２により底部フレーム１を支持する）、底部フレーム１上のワークテーブルは正常に作動する。具体的には、前記板ばね変形駆動ユニット８の収縮空気管８４に空気が入ると、シリンダーピストン棒８２が収縮して底部フレーム１に対して力を加えない。即ち、ワークテーブルが正常に作動する時には、搬入出ユニット２００は収容されて不作動状態になる。
【実施例２】
【００３５】
図８に示すように、本実施例では、前記搬入出ユニット２００が前記ワークテーブル搬入出装置に沿って前記底部フレーム１の両側の辺に設置される点で実施例１と異なる。前記付勢ローラー８３はリソグラフィマシンの全体フレームと接触する。本実施例で、搬入出ユニット２００は２組が設けられ、各組の搬入出ユニット２００はＸ軸の一側辺に沿って底部フレーム１と対応するので、駆動ローラー４２が地面９に印加する圧力が大きすぎてワークテーブルが転倒されることを完全に回避して安定性が向上される。搬入出ユニット２００の数は２組に制限されず、底部フレーム１の両側辺と対応すればよい。
【実施例３】
【００３６】
図９に示すように、本実施例では、前記搬入出ユニット２００が４組設けられ、それぞれワークテーブル搬入出装置に沿って前記底部フレーム１の底面の四つの隅に対称的に分布される点で実施例１と異なる。これにより、ワークテーブルを搬入出する時には、より円滑安全になり、各駆動ローラー４２が地面９に印加する圧力がさらに低減されるので、ワークテーブルの転倒がさらに回避され、ワークテーブルの搬入出過程における安全性を確保した。
【実施例４】
【００３７】
図１０に示すように、本実施例では、前記付勢ローラー８３の底部にブラケット８８が設けられていない点で実施例１と異なる。即ち、ブラケット８８を無くした構成であり、全過程において押上空気管８５が継続的に吸気状態を保持して、付勢ローラー８３が常に底部フレーム１に圧力を加え、板ばね６が常に下方へ曲がる傾向にあるようにすることにより、シリンダー本体８１は単動シリンダーに替えることができ、吸気路は一つに減少されるので、装置の構造が簡略される。
【００３８】
前述したように、本発明で提供するワークテーブル搬入出装置は、ワークテーブルを支持するための底部フレーム１と、前記底部フレーム１の下面に設けられる空気ばね２と、ワークテーブルの移動時にワークテーブルを支持するための浮力を生成するエアクッションユニット３と、前記底部フレーム１上に設けられる搬入出ユニット２００とを含み、前記搬入出ユニット２００は、前記ワークテーブルを移動させるためのローラーユニット４と、前記底部フレーム１上に固定設置される連結ブロック５と、一端は前記連結ブロック５に連結され、他端は前記ローラーユニット４に連結される板ばね６と、前記板ばね６と連結され、前記ワークテーブルの移動時に前記板ばね６が変形するように駆動して前記ローラーユニット４が地面と接触するようにする板ばね変形駆動ユニット８とを含む。搬入出ユニット２００に板ばね変形駆動ユニット８を設置することによって板ばね６を変形させ、ワークテーブルの搬入出時にローラーユニット４を地面９と接触させてワークテーブルを移動させ、移動が終わると、ローラーユニットを地面９と分離させてワークテーブルの作業に影響を与えないようにしトルクが大きすぎて作動できなくなる現象が発生しないので、ワークテーブルの搬入出過程における安定性が向上される。
【００３９】
明細書で本発明の実施方式について説明したが、これらの実施方式は例示に過ぎず、本発明の保護範囲を限定するものではない。本発明の宗旨を逸脱しない範囲内で行う様々な省略、置換及び変更は何れも本発明の保護範囲内に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００４０】
１、底部フレーム；２００、搬入出ユニット；２、空気ばね；３、エアクッションユニット；４、ローラーユニット；４１、連結ホルダー；４２、駆動ローラー；５、連結ブロック；６、板ばね；６１、可撓性ヒンジ；７、フックブロック；７１、フック；８、板ばね変形駆動ユニット；８１、シリンダー本体；８２、シリンダーピストン棒；８３、付勢ローラー；８４、収縮空気管；８５、押上空気管；８６、圧力調整器；８７、吸気管；８８、ブラケット；９、地面。
【図１】
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【図２】
2019537834.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2019537834.tif 000009
【図８】
2019537834.tif 000010
【図９】
2019537834.tif 000011
【図１０】
2019537834.tif 000012
【国際調査報告】
2019537834.tif 000013
2019537834.tif 000014
2019537834.tif 000015
2019537834.tif 000016
2019537834.tif 000017