(57)【要約】  本発明は、試料の研磨のための振動を発生させるための振動駆動装置（１）と、前記振動駆動装置（１）と連結され、これによって駆動可能な研磨盤（２）と、研磨媒体及び被研磨試料を受容するように形成されていると共に、追随のために前記研磨盤（２）と連結されている研磨ボウル（３）と、を含み、前記研磨ボウル（３）と前記研磨盤（２）の間の連結は、前記振動研磨機の作動中に、前記研磨盤（２）から前記研磨ボウル（３）へ振動を伝達し、それによって、前記研磨ボウル（３）内で前記被研磨試料（８）を運動させるために、クイックカップリングを介して行われる、振動研磨機に関する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動研磨機であって、
試料（８）の研磨のための振動を発生させるための振動駆動装置（１）と、
前記振動駆動装置（１）と連結され、これにより駆動可能な研磨盤（２）と、
研磨媒体及び被研磨試料を受容するように形成されていると共に、前記研磨盤（２）と連結されている研磨ボウル（３）と、を含み、
前記研磨ボウル（３）と前記研磨盤（２）の間の前記連結は、前記振動研磨機の作動中に、前記研磨盤（２）から前記研磨ボウル（３）へ振動を伝達し、それによって、前記研磨ボウル（３）内で前記被研磨試料（８）を運動させるために、クイックカップリングを介して行われる、振動研磨機。
【請求項２】
前記クイックカップリングは、磁気的な態様のものである、請求項１に記載の振動研磨機。
【請求項３】
前記研磨盤（２）は、その上面に第１強磁性部（２１）を備え、前記研磨ボウル（３）は、その下面に第２強磁性部（３１）を備え、
前記第１及び第２強磁性部（２１、３１）は協働して、前記研磨ボウル（３）を前記研磨盤（２）に吸着させる、請求項２に記載の振動研磨機。
【請求項４】
前記強磁性部の一方は、磁性板又は磁性箔（２１）の形態の強磁性層として形成され、及び／又は、前記強磁性部の他方は、金属プレート（３１）又は磁性箔プレートの形態の強磁性層として形成されている、請求項３に記載の振動研磨機。
【請求項５】
前記磁性板又は磁性箔（２１）は、前記研磨盤（２）の上面又は前記研磨ボウル（３）の下面に接着されている、請求項４に記載の振動研磨機。
【請求項６】
前記スチールプレート（３１）又は磁性箔プレートは、前記研磨ボウル（３）の下面又は前記研磨盤（２）の上面に接着されている、請求項４又は５に記載の振動研磨機。
【請求項７】
前記研磨盤（２）と前記研磨ボウル（３）の間に、センタリング及びインデックス手段（２２、３２；２３、３３）が配置されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の振動研磨機。
【請求項８】
前記研磨媒体は担持材及び研磨剤を含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載の振動研磨機。
【請求項９】
前記担持材は研磨布（６）であり、前記研磨剤は研磨剤懸濁液中に存在する、請求項８に記載の振動研磨機。
【請求項１０】
前記研磨ボウル（３）は、前記担持材の周縁を覆うと共に当該周縁に気密に接触するために、前記担持材のための受容空間を有する底壁と、ゴム弾性リング（３７）を受容するためのキー溝（３６）を備える円周側壁（３４）と、を備える、請求項８又は９に記載の振動研磨機。
【請求項１１】
前記研磨ボウル（３）は、前記担持材及び前記研磨剤懸濁液のためのプラスチック容器として形成されていると共に蓋によって閉鎖可能であり、全体として前記研磨盤（２）上に載置され或いは前記研磨盤（２）から持ち上げられ得るよう、運搬グリップ（３５）を備えている、請求項８〜１０のいずれか１項に記載の振動研磨機。
【請求項１２】
研磨ボウル（３）と研磨盤（２）の間に周縁ギャップ（２９）が存在し、前記周縁ギャップ（２９）には、前記研磨ボウル（３）を前記研磨盤（２）から穏やかに持ち上げるために、工具が差し込まれ得る、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の振動研磨機。
【請求項１３】
前記振動駆動装置（１）は振動板（１３）を備え、前記振動板（１３）に前記研磨盤（２）が固定されると共に、前記振動板（１３）は中心軸（１０）の周りにねじり振動を行うことができる、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の振動研磨機。
【請求項１４】
前記振動駆動装置（１）は、前記振動板（１３）に加えて、環状のベース部（１１）及び環状の逆振動部（１２）を備え、これらは、前記中心軸（１０）の周りに延びると共に、螺旋回転面に従って延びる第１板バネ（１６）を介して連結されており、その結果、ベース部と逆振動部の間の逆方向の相対的なねじり振動運動が可能である、請求項１３に記載の振動研磨機。
【請求項１５】
前記振動板（１３）は、螺旋回転面に従って径方向に且つ前記中心軸（１０）の周りで延びる第２板バネ（１７）を介して前記ベース部（１１）と連結されており、さらに、作動中に、逆振動部（１２）と振動板（１３）の間に逆向きのねじり振動運動を生成するために、前記逆振動部（１２）に第１駆動部（１４）を、前記振動板（１３）に第２駆動部（１５）を、それぞれ備える電動の駆動装置が配置されている、請求項１４に記載の振動研磨機。
【請求項１６】
さらに、前記第１及び第２駆動部（１４、１５）を、逆方向に且つ外乱力を補償すべく制御する制御部（４）を含んでいる、請求項１５に記載の振動研磨機。
【請求項１７】
前記振動駆動装置（１）、前記研磨盤（２）及び前記研磨ボウル（３）は第１ユニットを形成し、当該第１ユニットは、第２ユニットとしての前記制御部（４）に隣接して保護ハウジング（５）内に配置されている、請求項１６に記載の振動研磨機。
【請求項１８】
前記保護ハウジング（５）は、切頭くさび形先端（５１）を有するくさび形の全体形状を有し、その内部には前記制御部（４）が収容されており、その外部には制御パネルを備えている、請求項１７に記載の振動研磨機。
【請求項１９】
振動研磨機であって、
試料（８）の研磨のための振動を発生させるための振動駆動装置（１）と、
前記振動駆動装置（１）と連結され、これにより駆動可能な研磨盤（２）と、
研磨媒体及び被研磨試料（８）を受容するように形成されていると共に、追随のために前記研磨盤（２）と連結されている研磨ボウル（３）と、を含み、
前記研磨ボウル（３）は、前記研磨盤（２）に取り外し可能に固定されており、当該取り外し可能な固定は、磁気的な吸着力によって達成される、振動研磨機。
【請求項２０】
振動研磨機であって、
試料（８）の研磨のための振動を発生させるための振動駆動装置（１）と、
前記振動駆動装置（１）と連結され、これにより駆動可能な研磨盤（２）と、
研磨媒体及び被研磨試料を受容するように形成されていると共に、追随のために前記研磨盤（２）と連結されている研磨ボウル（３）と、を含み、
前記研磨媒体は研磨布（６）を含み、その上部周縁は、前記研磨ボウル（３）の溝（３６）の中に締め付けられている弾性リング（３７）によって覆われている、振動研磨機。
【請求項２１】
前記研磨ボウル（３）は、別の閉鎖可能な容器と積み重ねることができる閉鎖可能な容器を生成するために、蓋（７）を備えている、請求項２０に記載の振動研磨機。
【請求項２２】
前記研磨ボウル（３）は、前記研磨盤（２）上で前記研磨ボウル（３）をセンタリングすると共に、前記研磨ボウル（３）が積み重ね可能であるという意味において前記蓋（７）の中央突起（７２）と協働することに寄与する中央凹部（３２）を備えている、請求項２１に記載の振動研磨機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被研磨試料の回転搬送運動のための振動を発生させるための振動研磨機であって、振動駆動装置と強固に連結され、これによって駆動可能な研磨盤と、研磨媒体及び被研磨試料の受容のために形成されていると共に、追随（Mitnahme）のために研磨盤と連結されている研磨ボウルと、を備えるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
このような振動研磨機は、特許文献１を通じて知られており、偏心錘を駆動し、それによってそのハウジングを振動させる回転モータを含んでいる。ハウジングは、ゴム弾性要素を介してボウル状の部材と恒久的に連結された駆動板と連結されており、ボウル状の部材は、ベースハウジングを介してテーブルトップなどに支持される。振動板が、分解不能に装置内で一体化されており、駆動板の振動に追随すべく、グリップを介して当該駆動板と摩擦結合され得る。振動板は、研磨剤又は研磨布を備え、環状の周縁を有する。その結果、当該振動板は、研磨ボウルと見なし得る。被研磨試料は、試料ホルダを用いて研磨ボウル内に装入され、作動中のアンバランス駆動による振動の結果として、軌道運動及び同時に回転運動の影響を受ける。しかしながら、そのようなアンバランス駆動は、振動研磨機の支持環境に対して、強く有害な振動を放出する。さらに、研磨ボウルを形成する研磨盤の交換は、機械の分解を通じて、手間と時間をかけてのみ可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第３１３７９７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の根底にある課題は、研磨媒体及び被研磨試料の受容のために形成されている研磨ボウルが、研磨ボウルが振動研磨機から容易に取り外され、別の研磨ボウルと、場合によっては別の研磨媒体と、容易に交換できるように構成された、振動研磨機を創作することである。
【０００５】
本発明の別の観点は、従来技術の場合ほど強い振動が周囲に放出されない振動研磨機が創作されることである。
【０００６】
本発明の別の観点は、特に研磨媒体が研磨布及び研磨剤懸濁液を含む場合に、研磨ボウル内に研磨媒体を気密に固定することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の課題は、独立請求項の主題によって解決される。本発明の有利な展開は、従属請求項において定義される。
【０００８】
具体的には、被研磨試料の回転運動のための振動を発生させることを目的とする振動駆動装置があり、当該振動駆動装置は、１つのユニットとして、それに強固に連結されている追加の研磨盤を駆動する。研磨盤の上には、研磨ボウルが、追随のために結合されて載置される。研磨ボウルは、研磨媒体及び被研磨試料の受容のために形成されている。通常どおり、被研磨試料は、試料ホルダに組み込まれていることができる。研磨盤と研磨ボウルの結合、特に垂直又は軸方向の結合は、研磨ボウルの迅速な取り外し及び交換を可能にし、例えばバヨネット結合等の機械的保持手段又は磁気的な態様のものであり得るクイックカップリングを介して行われる。
【０００９】
クイックカップリングの形成のために、研磨ボウルの研磨盤への磁気的な吸着を引き起こす強磁性部、特に強磁性層が好ましい。換言すれば、特に第１又は第２強磁性層として形成されている第１及び第２強磁性部は、振動研磨機の作動中に振動を研磨盤から研磨ボウルへ伝達し、それによって被研磨試料を研磨ボウル内で運動させるために、研磨ボウルの振動駆動装置への、特に研磨盤への磁気的な吸着を引き起こす。これは、有利には、研磨ボウルの確実な固定、振動運動の良好な伝達、及び、それにもかかわらず容易な交換可能性及び良好な取り扱いに起因する相乗効果を可能とする。
【００１０】
好ましくは、更に、研磨ボウルの研磨盤へのセンタリング、及び／又は、水平若しくは横方向の形状結合をもたらし、それによって研磨ボウルを研磨盤の振動運動に追随させることに寄与し得る形状結合差し込み部が含まれている。
【００１１】
換言すれば、磁気的な吸着力は、特に水平方向又は横方向に形状結合的に作用する形状結合差し込み部と協働して、一方では、研磨盤の振動運動が研磨ボウルに伝達され得るよう研磨ボウルを研磨盤に固定するために十分に強く、他方では、研磨ボウルを容易に交換し得るよう、使用者によって、特に手動で、磁気的な吸着力に打ち勝つことによって取り外すことができるような、研磨ボウルの研磨盤への３次元的な結合を引き起こすよう、大きさが定められている。
【００１２】
振動は、好ましくは、研磨ボウル内での試料の回転に関して少しずつ斜め上方を向いた被研磨試料の接線方向運動を、したがって、特に研磨媒体上での試料の跳躍及びスリップを、そして、研磨ボウル内での被研磨試料の研磨媒体に対して相対的な回転搬送を引き起こし、その結果、試料の下面における研磨が行われる。
【００１３】
研磨媒体としては、研磨布及び懸濁液中の研磨剤が好ましい。例えば微細な研磨剤又は微細な研磨紙のような他の研磨媒体も使用可能である。
【００１４】
一方の強磁性層としては、磁性板又は磁性箔を用いることができ、他方の強磁性層としては、金属／スチールプレート又は磁性箔プレートを用いることができる。両方の場合において、研磨ボウルの研磨盤への磁気的な吸着、したがって、研磨ボウルの研磨盤への好ましくは容易に取り外し可能な垂直の又は軸方向の磁気による固定が達成される。
【００１５】
磁性板又は磁性箔は、研磨盤の上面又は研磨ボウルの下面に接着され得る。スチールプレート又は磁性箔プレートは、研磨ボウルの下面又は研磨盤の上面に接着され得る。これは、容易ではあるが効果的な固定方法を具現する。
【００１６】
第１形状結合差し込み部としてヘッドボルトを用いることができ、第２形状結合差し込み部として差し込み開口を用いることができる。ヘッドボルトの頭部がこの差し込み開口に差し込まれることにより、研磨盤と研磨ボウルの間の相対運動が阻止される。換言すれば、形状結合差し込み部は、研磨盤の振動運動を研磨ボウルに伝達するために、研磨ボウルの振動駆動装置への、特に研磨盤への、水平方向又は横方向の固定をもたらす。さらに、横方向に形状結合的に作用する形状結合差し込み部は、好ましくは、研磨ボウルのセンタリングおよびインデキシングをもたらすために、更に１つのセンタリングハブを含み得る。換言すれば、特に、垂直又は軸方向に作用する磁気的な吸着と水平又は横方向に作用する形状結合との好ましい組み合わせは、振動駆動装置又は研磨盤の振動運動を研磨ボウルに伝達するために、安定していながら容易に取り外すことができ且つ実用的に取り扱うことができる研磨ボウルの振動駆動装置又は研磨盤への固定をもたらす。しかしながら、例えば磁気的な吸着力が水平又は横方向の移動を阻止するために十分に強い場合に、水平又は横方向に作用する形状結合を排除し得ること、或いは、研磨ボウルの研磨盤への水平又は横方向の固定のための他の手段を用い得ることが、排除されるべきではない。
【００１７】
研磨ボウルを、底部内面上の別個に取り扱い可能な研磨剤用担持材を備えるプラスチック材料から構成することが好ましいであろう。担持材は、特に磁気によって研磨ボウルに吸着する研磨布であり得る。研磨布は、この目的のために、その下面に、磁化された強磁性の媒体を備え得る。研磨ボウルは、リング又はキー溝を備える円周側壁を有し、リング又はキー溝は、研磨ボウルの底壁の上で担持材の厚さに応じた高さまで延びると共に、担持材の周縁を挟んで覆い、それによって研磨布が剥がれ落ち得ることを阻止するゴム弾性リングを受容する。ゴム弾性リングは容易に取り外すことができ、その結果、研磨布又は研磨剤の他の担持材は容易に交換可能である。
【００１８】
有利には、研磨ボウルは研磨布及び研磨剤懸濁液のための容器として形成されており、蓋によって気密に閉鎖可能であると共に、全体として研磨盤上に載置され、或いは、研磨盤から持ち上げられるよう、運搬グリップを備えて構成されている。振動研磨機においては、それによって、研磨機において容易に交換され得ると共に、その仕様がラベルを通じて容易に認識可能となる多数の研磨ボウルを利用することができる。研磨ボウルは、実用的には、積み重ね可能に構成されている。実施される研磨作業においては、被研磨試料の処理において複雑さを引き起こすことなく、研磨剤の粒度が異なる様々な研磨ボウルを連続して使用することができる。すなわち、試料は、個々の容器間で研磨剤の異なる粒度の持ち越しを回避するために、個々の処理工程間で取り除かれ得る。それとは別に、容器は容易に洗浄可能である。
【００１９】
振動研磨機は、研磨ボウルを研磨盤から穏やかに取り外すために、実用的には、その中に工具を嵌め込むことができる周縁ギャップが、研磨ボウルと研磨盤の間に存在するように構成されている。取り外し工具はギャップに置かれることができるが、取り外し工具を振動研磨機の一部として形成することも可能である。そのような一体化された取り外し工具は、周縁ギャップ内への差し込み部及び周縁ギャップの外部の把持部を備えており、例えばグリップ部での回転を通じて周縁ギャップを徐々に拡大させ、結果として、研磨ボウルの研磨盤からの穏やかな取り外しが可能となる。それによって、研磨剤懸濁液が交換される必要がある場合に、研磨ボウル内での当該研磨剤懸濁液のスロッシングが回避される。
【００２０】
振動駆動装置は、実用的には、研磨盤が固定された振動板を備えるように構成される。有利な固定方法は、振動駆動装置の振動板における研磨盤のインデキシングと関連したネジ締結である。
【００２１】
有利な振動駆動装置は、振動板の他に、環状又は円板状のベース部と、環状又は円板状の逆振動部とを含み、これらは第１板バネを介して連結されている。これらの第１板バネは、機械の中心軸に関して螺旋回転面（Schraubwendelflache）に従って延び、ベース部と逆振動部の間の逆方向の相対的なねじり振動運動を可能とする。
【００２２】
振動駆動装置の振動板は、第１板バネのように機械の中心軸に関して螺旋回転面に従って延びる第２板バネを介して、ベース部と連結されている。電動の駆動装置が、逆振動部と振動板の間に配置されており、電磁石がオン／オフされ、その際、磁気アンカー（Magnetanker）が第２板バネに張力を負荷し或いは弛緩させることによって、作動中に、この逆振動部と振動板の間に逆方向のねじり振動運動を発生させるために、好ましくは、逆振動部に磁気コイル又は電磁石を、及び、振動板に磁気アンカーを、それぞれ含んでいる。その際、振動板は、板バネが駆動装置によって張力を負荷されると、逆振動部から少し持ち上がり、駆動装置が一時的にオフにされると、再び逆振動部の上へ戻る。したがって、駆動装置の周期的なオン／オフによって、機械の中心軸の周りに、振動板の逆振動部に対するねじれ振動運動が生成され得る。
【００２３】
第１及び第２板バネを介して対になって互いに連結されたベース部、逆振動部及び振動板を備える振動駆動装置によって、慣性力バランス、及び、それによって、従来の振動研磨機におけるアンバランス駆動と比較して少ない振動エネルギーが周囲に放出される振動力バランスが可能となる。
【００２４】
新規な振動研磨機において、振動駆動装置、研磨盤及び研磨ボウルは第１ユニットを形成し、この第１ユニットは、保護ハウジング内に振動が減衰される態様で支持されており、第２ユニットとしての制御部に隣接して配置されている。保護ハウジングは、段付きのくさび形先端を有する全体としてくさび状の形態を備えている。切頭くさび形先端の領域における保護ハウジングの内部に振動研磨機の制御部が収容される一方、保護ハウジングの外部に制御パネルがある。制御パネルにはタッチスクリーンが好ましい。全体として、研磨ボウルが部分的に、特にハウジング内に半ば埋没して配置されている、スリムな振動研磨機が達成される。
【００２５】
振動研磨機は、通常、その内部に被研磨試料が嵌り込む試料ホルダと共に使用される。本発明による振動研磨機のために、異なる寸法及び重量の試料ホルダのセットが準備される。第１駆動部及び逆振動部は一方向に振動し、振動板を備える第２駆動部及びこれと連結された全ての部分は他方向に振動する。試料、試料ホルダ、研磨ボウル、研磨盤、振動板及び電動の駆動装置の第２駆動部の慣性質量は、逆振動部及び電動の駆動装置の第１駆動部の慣性質量の移動方向とは逆に振動するので、慣性質量補償が行われ、この慣性質量補償の結果、理想的な場合には、重心はほぼ静止したままであり、その結果、振動研磨機の設置場所における支持力はほぼ一定に維持され、周囲に殆ど振動が放出されない。外乱力は、機械の制御部の適切な制御によって補償される。
【００２６】
したがって、本発明による振動研磨機によって、非常に静粛な作動が達成される。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】振動研磨機の概略的な縦断面図である。
【図２】振動研磨機の概略的な断面図である。
【図３】図２の拡大詳細図である。
【図４】振動駆動装置を、部分的に破断した側面図で示している。
【図５】研磨ボウルを上から見た斜視図である。
【図６】研磨ボウルを下から見た斜視図である。
【図７】研磨ボウルの蓋を上から見た斜視図である。
【図８】載置された研磨ボウルを備える振動駆動装置を下から見た斜視図である。
【図９】試料ホルダの断面図である。
【図１０】振動研磨機の全体斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、実施例が、図面に基づいて説明される。
【００２９】
振動研磨機の主要部は、振動駆動装置１、研磨盤２及び研磨ボウル３である。さらに、この機械は、制御部４及び保護ハウジング５を含んでいる。
【００３０】
電動の振動駆動装置１（図４）は、環状又は円板状のベース部１１、環状又は円板状の逆振動部１２、振動板１３、並びに、第１駆動部１４及び第２駆動部１５を備える電動の駆動装置を含んでいる。ベース部１１は、第１板バネ１６を介して逆振動部１２と連結されている。さらに、ベース部１１は、第２板バネ１７を介して振動板１３と連結されている。板バネ１６及び１７は、それぞれ、機械の周囲に分散して配置された３つのバネセット（Federpaket）を形成する。振動駆動装置１には、中心軸又は対称軸１０が帰属することができ、当該軸１０に対して、板バネ１６及び１７は、多段の非常に急勾配に延びるネジのピッチ（Gangstuck）のように、中心軸１０に対して径方向に延びると共に中心軸１０に対して１８°の傾斜角度を成す螺旋回転面を形成する。振動駆動装置１の構造は、独国特許発明第１０２００４０３４４８１号明細書又は米国特許第７１４３８９１号明細書に詳細に記載されており、これに関してここで引き合いに出すと共に、参照を通じてここで本開示の主題とされる。
【００３１】
図１及び２に示されるように、研磨盤２は振動駆動装置１と強固に連結されており、厳密には、ネジ２４で振動板１３にネジ止めされ、インデックスピン２５でインデックスされている。研磨盤２は、研磨盤２の上面に固定され、この例では接着されている磁性板又は磁性箔２１（図３）を、第１強磁性層として、その上面に備えている。研磨ボウル３の差し込み開口３３に嵌り込むヘッドボルト２３は、クイックカップリングの形状結合嵌め込み部と見なされ得る。
【００３２】
好ましくはプラスチックから成る研磨ボウル３は、追随のために研磨盤２と結合されており、この目的のために、第２強磁性層としての磁性箔プレート又はスチールプレート３１をその下面に備え、これらは研磨ボウル３の下面に接着され得る。研磨ボウル３が研磨盤２の上にセットされると、研磨ボウル３の研磨盤２との結合のための強磁性層が作用し、それによって、研磨ボウル３は研磨盤２の振動に追随する。
【００３３】
研磨盤２は、中央ネジ２４及びセンタリングプレート２２によって振動板１３の上面に固定され、偏心配置されたインデックスピン２５によってインデックスされる。
【００３４】
センタリングプレート２２は、研磨ボウル３をセンタリングするために、研磨ボウル３の底壁の中央凹部３２に嵌り込む。同様に、ヘッドボルト２３は、振動駆動装置１又は研磨盤２と研磨ボウル３との間の相対回転に対抗する形状結合を生成するために、研磨ボウル３の対応する底部凹部３３に嵌り込む。
【００３５】
研磨ボウル３は、図５及び６において斜視図で示されており、底壁の下面のスチールプレート３１を示している。研磨ボウル３は、運搬グリップ３５が取り付けられた側壁３４を備えている。図３及び５から分かるように、側壁３４は周方向に延びるキー溝３６を備え、その下には研磨布６（図３）のための収容空間がある。研磨布６の縁部は、キー溝３６に嵌り込むと共に研磨布６の縁部を押さえ付けるゴム弾性リング３７によって締め付けられている。側壁３４のフィンガー開口部３８によって、キー溝３６から弾性リング３７を取り外すことが容易となり、それによって、良好な接触及び付着のために磁化された強磁性の媒体をその下面に備える研磨布６の交換が容易となる。研磨ボウルがプラスチック材料から製作されていることが好ましい。研磨布６は、研磨剤懸濁液が塗布された担持材である。
【００３６】
研磨ボウル３は、ロック可能な蓋７（図６、７）によって閉じられることができ、その結果、研磨布及び研磨剤懸濁液のための閉鎖可能な容器が生成される。蓋７は、研磨ボウルの底部凹部３２及び３３に適合する突起７２及び７３を備え、その結果、閉鎖された研磨ボウル３（図６、７）は互いに積み重ねが可能である。異なる粒度の研磨剤懸濁液を保持することができる特定の数のこのような研磨ボウル（図６、７）を、振動研磨機に設けることが企図される。このようにして、振動研磨機を、先ず被研磨試料の微細研削装置として、次いで仕上げ研磨装置として、使用することが可能となる。
【００３７】
図３から最もよく分かるように、研磨盤２と研磨ボウル３の間には、研磨ボウル３を研磨盤２から穏やかに取り外すために、工具が嵌まり込み得る周縁ギャップ２９が存在する。穏やかな取り外しは、例えば、前端にカムを備えるグリップがギャップ２９に嵌り込み（図示せず）、工具の回転によってカムがギャップ２９を広げ、それによって研磨ボウル３を磁気的な吸着力に抗して研磨盤２から穏やかに持ち上げるという形で、機械化することができる。研磨ボウルをグリップ３５で穏やかに持ち上げることでも足りる。
【００３８】
図１によって分かるように、振動駆動装置１、研磨盤２及び研磨ボウル３は第１ユニットを形成し、当該第１ユニットは、第２ユニットとしての制御部４に隣接して保護ハウジング５内に配置されている。保護ハウジング５は、切頭くさび形先端５１を有するくさび形の全体形状を有し、その内部に制御部４が収容されている。切頭くさび形先端５１の領域における保護ハウジング５の上面は、制御パネルとして構成されており、タッチスクリーン５２を備え得る。ハウジングカバー５３は、振動研磨機を覆うために用いられる。
【００３９】
図８は、載置された研磨ボウル３と、研磨盤２と研磨ボウル３の間の加速度を測定し、そこから加速度信号を生成することができる加速度センサ１８と、を備えた振動駆動装置１を示している。これらの信号は、振動駆動装置に印加される電圧、電流強度及びインパルスに制御的に介入するために、制御部４にフィードバックされる。
【００４０】
図９は、試料８及び試料ホルダ９の断面図を示しており、試料８は、その下面８１が研磨布６の上に載置されるよう、試料ホルダ９によってぴったりと締め付けられ得る。
【００４１】
振動研磨機の作動は次のとおりである。
【００４２】
先ず、研磨工程のために複数の被研磨試料８が準備される。これは、大抵の場合、被研磨面８１が試料ホルダから突出するように、試料が試料ホルダ９内に位置付けられることを意味する。
【００４３】
制御装置４は、振動駆動装置１を始動させるために、予め定められた周波数および強度の電流を出力するようオンにされる。振動板１３で生成された振動によって、研磨ボウル上の被研磨試料８は、少しずつ跳躍運動に移行し、その際、研磨ボウル３内で回転するように駆動される。それぞれの電圧ショックにおいて、第１又は第２駆動部１４、１５は互いに対して移動し、それによって逆振動部１２も振動板１３に対して移動し、その結果、板バネ１６及び１７は引っ張られる。電圧インパルスが低下すると、板バネ１６及び１７は装置部品をその初期位置に戻す。研磨盤２は振動板１３と強固に連結されており、それと共に運動する。しかしながら、これは研磨ボウル３にも当てはまる。なぜなら、研磨ボウル３は、機械的及び／又は磁気的に追随するからである。インデックスピン２５は、研磨盤２に対する研磨ボウル３の望ましくない回転運動を阻止する。
【００４４】
上述の実施形態は、例として評価されるべきである。多様なバリエーションが可能である。運動は、周知のごとく、重ね合わされ得る。２つの第１駆動部及び２つの第２駆動部が設けられ、鉢状の研磨ボウル内での被研磨試料の回転を容易とするために、生成された運動が重ね合わされてもよい。３つの第１及び第２駆動部によって、さらにより好ましい結果を達成することができる。
【００４５】
当業者には明らかなように、特徴は、明細書、特許請求の範囲、図面又は他の方法で開示されているか否かにかかわらず、たとえ他の特徴と共に記載されていても、本発明の本質的な構成要素を個々に定義する。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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