(57)【要約】  真空ポンプが制振コネクタシステムによって支持されるように真空チャンバと真空ポンプとの間を接続する制振コネクタシステム（１０）は、ガスが真空チャンバから真空ポンプまで流れることができる流路（１４、１８）をもたらす第１の円筒部材（１２）及び第２の円筒部材（１６）を含む。少なくとも１つの封止部材（２２、２４）は、ガスシールをもたらすために第１及び第２の円筒部材の中間に配置され、固定システム（２６）は、第１及び第２の円筒部材を固定接続する。少なくとも１つの弾性部材（２８、３０）は、固定システム及び円筒部材（１２、１６）の中間に配置され、少なくとも１つの弾性部材は、封止部材（２２、２４）が真空ポンプの作動によって使用中に生じる減圧によって圧縮される際に、固定システムが固定接続を維持することを可能にするように膨張することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバと真空ポンプとの間を接続する制振コネクタシステムであって、前記真空ポンプが前記制振コネクタシステムによって支持されるようになっており、
前記真空チャンバと接続する貫通通路を有する第１の円筒部材と、
前記第１の円筒部材の前記貫通通路を前記真空ポンプと接続する貫通通路を有する第２の円筒部材と、
ガスシールをもたらすために前記第１及び第２の円筒部材の中間に配置された少なくとも１つの封止部材と、
前記第１の円筒部材と前記第２の円筒部材との解放可能な固定接続をもたらす固定システムと、
前記少なくとも１つの封止部材が使用時に前記真空ポンプの作動によって引き起こされる減圧によって圧縮される際に、前記固定システムが前記固定接続を維持することを可能にするために前記少なくとも１つの弾性部材が膨張することができるように、前記固定システムと前記円筒部材との中間に配置される少なくとも１つの弾性部材と、
を備える、制振コネクタシステム。
【請求項２】
前記少なくとも１つの弾性部材及び前記少なくとも１つの封止部材は、所定の真空ポンプ重量に関して、非真空状態での前記少なくとも１つの弾性部材の百分率圧縮が、真空下での前記少なくとも１つの封止部材の百分率圧縮と等しいかこれよりも大きいように構成される、請求項１に記載の制振コネクタシステム。
【請求項３】
前記少なくとも１つの弾性部材及び前記少なくとも１つの封止部材は、非真空状態での前記少なくとも１つの弾性部材の百分率圧縮が、真空下での前記少なくとも１つの封止部材の百分率圧縮の１．２５〜１．５倍であるように構成される、請求項２に記載の制振コネクタシステム。
【請求項４】
真空下での前記の少なくとも１つの封止部材の前記百分率圧縮は、１０％〜２０％である、請求項３に記載の制振コネクタシステム。
【請求項５】
前記少なくとも１つの封止部材及び前記少なくとも１つの弾性部材は、粘弾性材料で作られている、請求項１から４のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項６】
前記少なくとも１つの封止部材は、ばね定数ｋSを有し、前記少なくとも１つの弾性部材は、前記ばね定数ｋS未満のばね定数ｋRを有する、請求項１から５のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項７】
前記少なくとも１つの封止部材は、０．４以下の損失係数ηを有する材料から作られる、請求項１から６のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項８】
前記第１及び第２の円筒部材と直列に接続され、少なくとも部分的に前記第１及び第２の円筒部材の間に配置された絶縁質量体をさらに備え、前記封止部材はそれぞれ、前記ガスシールをそれぞれもたらすために前記絶縁質量体と前記第１及び第２の円筒部材との間に配置される、請求項１から７のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項９】
前記絶縁質量体は、直列に配置された複数の別個の本体を含み、前記封止部材は、隣接した別個の本体の間の前記ガスシールをもたらすために、前記隣接した前記別個の本体の間に配置される、請求項８に記載の制振コネクタシステム。
【請求項１０】
前記第１及び第２の円筒部材の一方と一体の絶縁質量体をさらに備える、請求項１から７のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項１１】
前記固定システムは、前記第１及び第２の円筒部材を一緒に引き寄せるように作動可能な複数の細長いねじ付き部材を含む、請求項８、９、又は１０に記載の制振コネクタシステム。
【請求項１２】
前記封止部材は、それぞれの封止面を規定し、前記細長いねじ付き部材の各々は、少なくとも１つの前記封止面を貫通して延びる、請求項１１に記載の制振コネクタシステム。
【請求項１３】
前記固定システムは、前記第１の円筒部材を前記絶縁質量体に締め付けるように作動可能な複数の第１の細長いねじ付き部材と、前記第２の円筒部材を前記絶縁質量体に締め付けるように作動可能な複数の第２の細長いねじ付き部材を含む、請求項８又は９に記載の制振コネクタシステム。
【請求項１４】
前記絶縁質量体は、前記第１及び第２の細長いねじ付き部材を受け入れるためのそれぞれの孔を定め、それぞれ前記孔の所定長さは、ねじ付けされ、前記ねじ付き孔は、前記少なくとも１つの弾性部材及び前記封止部材を予圧するために、前記第１及び第２の細長いねじ付き部材によって前記第１及び第２の円筒部材に加えられる所望の締め付け圧を定めるための前記第１及び第２の細長いねじ付き部材の端部位置を定めるように構成される、請求項１３に記載の制振コネクタシステム。
【請求項１５】
前記固定システムは、前記第１及び第２の円筒部材を前記絶縁質量体に締め付けるために前記第１及び第２の円筒部材の周りにそれぞれ延びる第１及び第２のクランプを含み、第１の弾性部材は、前記第１のクランプを前記第１の円筒部材及び前記絶縁質量体から分離するために前記第１のクランプと前記第１の円筒部材との間に配置され、第２の弾性部材は、前記第２のクランプを前記第２の円筒部材及び前記絶縁質量体から分離するために前記第２のクランプと前記第２の円筒部材との間に配置される、請求項８、９、又は１０に記載の制振コネクタシステム。
【請求項１６】
所定の周波数を減衰させるように調整された同調ダンパー質量体をさらに備え、前記同調ダンパー質量体は、前記同調ダンパー質量体が少なくとも部分的に前記絶縁質量体の半径方向外側に配置される位置で前記絶縁質量体に固定可能である、請求項８から１５のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項１７】
前記第１及び第２の円筒部材に固定された同調ダンパー質量体をさらに備え、前記同調ダンパー質量体は、前記真空ポンプの所定の振動周波数を減衰させるように調整され、前記第１及び第２の円筒部材の半径方向外側に配置される、請求項１から７のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項１８】
前記同調ダンパー質量体は、長さＬ１を有し、前記第１及び第２の円筒部材及び前記絶縁質量体は、それぞれの長さを有し、前記それぞれの長さの総和Ｌ２は、前記長さＬ１よりも長い、請求項１６又は１７に記載の制振コネクタシステム。
【請求項１９】
前記固定システムは、前記真空ポンプの所定の振動周波数を減衰させるように調整された質量を有するクランプを含む、請求項１から７のいずれか一項に記載の制振コネクタシステム。
【請求項２０】
真空チャンバと真空ポンプとの間に接続される制振コネクタシステムであって、
前記真空チャンバと接続する貫通通路を有する第１の円筒部材と、
前記第１の円筒部材の前記貫通通路を前記真空ポンプと接続する貫通通路を有する第２の円筒部材と、
前記第１及び第２の円筒部材の間で、前記第１及び第２の円筒部材と直列にかつ少なくとも部分的に前記第１及び第２の円筒部の間に接続された絶縁質量体と、
それぞれのガスシールをもたらすために前記第１及び第２の円筒部材と前記絶縁質量体との間に配置されたそれぞれの封止部材と、
所定の振動周波数を減衰させるように調整され、前記絶縁質量体と接続されて前記絶縁質量体の半径方向外側に配置される同調ダンパー質量体と、
を備える、制振コネクタシステム。
【請求項２１】
前記第１の質量体と同調ダンパー質量体との間で、前記第１の質量体及び同調ダンパー質量体と係合して配置されたエラストマ防振装置をさらに備える、請求項２０に記載の制振コネクタシステム。
【請求項２２】
前記第１の絶縁質量体と前記第１及び第２の円筒部材との間で、前記第１の絶縁質量体と前記第１及び第２の円筒部材と係合して配置された、それぞれのエラストマ防振装置をさらに備える、請求項２０又は２１に記載の制振コネクタシステム。
【請求項２３】
真空チャンバと真空ポンプとの間を接続する制振コネクタシステムであって、
前記真空チャンバと接続する貫通通路を有する第１の円筒部材と、
前記第１の円筒部材の前記貫通通路を前記真空ポンプと接続する貫通通路を有する第２の円筒部材と、
ガスシールをもたらすために前記第１及び第２の円筒部材の中間に配置された少なくとも１つの封止部材と、
前記第１及び第２の円筒部材の間の解放可能な固定接続をもたらす固定システムと、
少なくとも１つのエラストマ防振装置と、
を備え、
前記少なくとも１つの封止部材及び前記少なくとも１つのエラストマ防振装置は、前記第１及び第２の円筒部材の間の電気的絶縁を行うように配置される、制振コネクタシステム。
【請求項２４】
前記固定システムは、第１のフランジを第２のフランジに固定する第１のクランプを含み、前記エラストマ防振装置は、前記第１のクランプを前記第１及び第２のフランジから分離する、請求項２３に記載の制振コネクタシステム。
【請求項２５】
前記第１及び第２の円筒部材と直列に接続されかつ少なくとも部分的に前記第１及び第２の円筒部材の間に接続される絶縁質量体をさらに備え、前記第１のフランジは、前記第１の円筒部材上に設けられ、前記第２のフランジは、前記第２の円筒部材上に設けられ、第３のフランジは、前記絶縁質量体上に設けられ、前記第３のフランジは、第２のクランプ装置によって前記第２の円筒部材上に設けられた第４のフランジに固定され、第２のエラストマ防振装置は、前記第２のクランプ装置を前記第３及び第４のフランジから分離する、請求項２４に記載の制振コネクタシステム、
【請求項２６】
前記第１及び第２のフランジの間と前記第３及び第４のフランジとの間を封止するそれぞれの前記封止部材がある、請求項２５に記載の制振コネクタシステム。
【請求項２７】
前記絶縁質量体に固定された前記真空ポンプの所定の振動周波数を減衰させるように調整された同調ダンパー質量体をさらに備え、前記同調ダンパー質量体は、前記絶縁質量体の周りに延び、前記絶縁質量体と前記同調ダンパー質量体との間に配置されかつ前記絶縁質量体及び前記同調ダンパー質量体に係合するエラストマ防振装置によって、前記絶縁質量体から分離される、請求項２５又は２６に記載の制振コネクタシステム、
【請求項２８】
前記第１のクランプ装置は、前記真空ポンプの所定の振動周波数を減衰させるように調整された質量を有する、請求項２４から２７のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項２９】
前記第１のクランプ装置は、少なくとも１つのねじ付き固定部材によって接合された少なくとも２つの分離可能なセクションを含む環状部材を含む、請求項２４から２８のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項３０】
真空チャンバと真空ポンプとの間を接続する制振コネクタシステムであって、
貫通通路と、第１の端部と、前記真空チャンバと接続する第２の端部とを有する第１の円筒部材と、
貫通通路と、第１の端部と、前記真空ポンプと接続する第２の端部とを有する第２の円筒部材であって、前記第１の端部は、前記第１の円筒部材の前記第１の端部と対向する関係で配置され、前記貫通通路は、前記第１の円筒部材の前記貫通通路と流れ連通する、第２の円筒部材と、
前記第１の端部どうしの間のガスシールをもたらすために前記第１の端部と係合する封止部材と、
前記第１の円筒部材を前記第２の円筒部材に解放可能に固定する固定デバイスと、
を備え、
前記封止部材は、封止面を規定し、前記固定デバイスは、前記封止面内で前記第１の端部の周りに延び、所定の振動周波数を減衰させるように調整された質量を有する、制振コネクタシステム。
【請求項３１】
前記固定デバイスは、端部と端部を接続する関係で配置された複数の弓形セクションを含む、請求項３０に記載の制振コネクタシステム。
【請求項３２】
前記固定デバイスは、前記端部の間に延びるそれぞれのねじ付き部材によって前記端部で固定された２つの前記弓形セクションを含む、請求項３１に記載の制振コネクタシステム。
【請求項３３】
前記第１の円筒部材は、前記真空チャンバを定める機器の一部と一体である、又は前記第２の円筒部材は、前記真空ポンプと一体である、請求項１から３２のいずれかに記載のポンピングシステム。
【請求項３４】
真空チャンバを定める機器の一部と、真空ポンプと、前記真空ポンプを前記機器の一部に接続する請求項１から３３のいずれかに記載の制振コネクタシステムを備え、前記真空ポンプは、前記制振コネクタシステムによって前記機器の一部から吊される、ポンピングシステム。
【請求項３５】
真空ポンプが制振コネクタシステムによって支持されるように、真空チャンバと真空ポンプとの間を接続する制振コネクタシステムを製造する方法であって、
前記制振コネクタシステムは、前記真空チャンバと接続する第１の円筒部材と、前記真空ポンプと接続する第２の円筒部材と、前記第１及び第２の円筒部材と直列であり、少なくとも部分的に前記第１及び第２の円筒部材の間に配置される絶縁質量体と、前記第１及び第２の円筒部材の解放可能な固定接続をもたらす固定システムと、前記固定システムと前記円筒部材との中間に配置された少なくとも１つの弾性部材と、前記第１及び第２の円筒部材と前記絶縁質量体との間を封止する複数の封止部材と、を備え、
前記方法は、前記真空ポンプの重量を決定するステップと、非真空状態での前記少なくとも１つの弾性部材の百分率圧縮が、真空下での前記封止部材の百分率圧縮と等しいかこれよりも大きいように、前記少なくとも１つの弾性部材及び前記封止部材を構成するステップと、を含む、方法。
【請求項３６】
前記非真空状態での前記少なくとも１つの弾性部材の前記百分率圧縮が、真空下での前記少なくとも１つの封止部材の前記百分率圧縮の１．２５〜１．５倍であるように、前記少なくとも１つの弾性部材及び前記封止部材を構成するステップをさらに含む、請求項３５に記載の制振コネクタシステム、
【請求項３７】
前記封止部材の前記百分率圧縮が真空下で１０％〜２０％であるように前記封止部材を構成するステップをさらに含む、請求項３６に記載の制振コネクタシステム。
【請求項３８】
前記封止部材及び前記少なくとも１つの弾性部材は、粘弾性材料で作製される、請求項３５、３６、又は３７に記載の制振コネクタシステム。
【請求項３９】
前記封止部材は、ばね定数ｋSを有し、前記少なくとも１つの弾性部材は、前記ばね定数ｋS未満のばね定数ｋRを有する、請求項３から３８のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【請求項４０】
前記封止部材は、０．４以下の損失係数ηを有する材料から作製される、請求項３５から３９のいずれかに記載の制振コネクタシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプと真空チャンバとの間に接続される制振コネクタシステムに関する
【背景技術】
【０００２】
真空ポンプは、例えば、電子顕微鏡検査、分光分析、又は集積回路の製造、補修、又は試験に使用される多くの形式の機器の中で又はこれに関連するチャンバ又は空間内で真空状態を確立するために使用することができる。真空ポンプは、チャンバを真空ポンプの吸込口と流れ連通させるコネクタシステムによって、１つの機器に直接接続することができる。真空ポンプが稼動しているとき、ポンプの回転部品又は他の可動部品によって引き起こされる振動は、付属機器にコネクタシステムを介して伝達される場合がある。例えば、真空ポンプは、例えば、６０，０００ｒｐｍの高速で回転するロータを有するターボ分子ポンプとすることができ、高周波数振動が生じる。ターボ分子真空ポンプは、異なる周波数の振動を規定する有意な振動の２つの発生源を含む場合がある。一方の振動発生源は、ポンプロータであり、他方はポンプロータを支持する転がり軸受の保持器である。真空ポンプから付属機器に伝達される振動をなくすこと又は少なくとも実質的に低減することが必要であろう。
【０００３】
可撓性鋼製ベローズを組み込むことによって、コネクタシステムで制振を行うことが知られている。２つの異なる振動周波数の制振は、直列に配置される２つの異なる可撓性ベローズを有することによって達成することができる。２つの可撓性ベローズの間に制振質量体を設けることでさらなる制振を行うことができる。制振質量体は、２つの可撓性ベローズの対向する端部が取り付けられる相当な質量の環状部材の形態とすることができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
これらの公知のコネクタシステムは、一般に小型ではなく、限定された空間で真空ポンプに適合させることを所望する場合、例えば、真空ポンプを機器の一部の下面に接続する際に問題となる可能性がある。さらに、コネクタシステムの１又は２以上の可撓性ベローズの使用に起因する真空ポンプと真空チャンバとの間の比較的長い流路は、真空チャンバ内で真空状態を確立するのに必要な時間を増大させる場合がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、請求項１に規定されるような制振コネクタシステムを提供する。
【０００６】
本発明は、請求項２０に規定されるような制振コネクタシステムを含む。
【０００７】
本発明は、請求項２３に規定されるような制振コネクタシステムも含む。
【０００８】
本発明は、請求項３０に規定されるような制振コネクタシステムも含む。
【０００９】
本発明は、請求項３５に規定されるような制振コネクタシステムを製造する方法も含む。
【００１０】
以下の開示は図面を参照する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】真空ポンプ、真空チャンバ、及び真空ポンプを真空チャンバと接続する制振コネクタシステムの概略図である。
【図２】図１の制振コネクタシステムの側面図である。
【図３】図２の線ＩＩＩ〜ＩＩＩの断面図である。
【図４】図３の右半分の拡大図である。
【図５】第２の制振コネクタシステムの断面の側面図である。
【図６】第３の制振コネクタシステムの斜視図である。
【図７】第４の制振コネクタシステムの概略的な側面図である。
【図８】第５の制振コネクタシステムの概略的な側面図である。
【図９】第６の制振コネクタシステムの概略的な側面図である。
【図１０】図９の線Ｘ〜Ｘの概略的な断面図である。
【図１１】真空ポンプを真空チャンバと接続する図２、図６、及び図７の制振コネクタシステムの概略図である。
【図１２】真空ポンプを真空チャンバと接続する図５の制振コネクタシステムの概略図である。
【図１３】真空ポンプを真空チャンバと接続する図８の制振コネクタシステムの概略図である。
【図１４】真空ポンプを真空チャンバと接続する図９及び図１０の制振コネクタシステムの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１を参照すると、真空ポンプ２は、制振コネクタシステム１０によって真空チャンバ４と接続される。真空ポンプ２は、少なくとも１つの転がり軸受を備える軸受システム７によって支持されたポンプロータ６を有するターボ分子真空ポンプとすることができる。軸受システム７は、転がり軸受の形の下部軸受、及び第２の転がり軸受の形の代替品と結合することができる磁気軸受の形の上部軸受を備えることができる。上部及び下部軸受への言及は、制限的であることが意図されておらず、単に図１に示す配向での真空ポンプ２に関することを理解されたい。真空ポンプ２の吸込口８は、真空状態を真空チャンバ内で確立するために真空ポンプを使用することができるように、制振コネクタシステム１０によって真空チャンバ４と流れ連通して置かれている。真空チャンバ４は、真空状態が確立されることになる、機器５の一部の中の又はこれに関連したチャンバ又は空間である。このような機器は、例えば、電子顕微鏡検査、分光分析、又は集積回路の製造、補修、又は試験で使用される機器とすることができる。真空チャンバ４を定めるか又は真空チャンバが関連する機器５の一部は、制振コネクタシステム１０を介して真空ポンプ２の重量を支える。従って、例えば、制振コネクタシステム１０によって、真空ポンプ２を機器５の一部から吊すことができる。
【００１３】
図２〜図４を参照すると、制振コネクタシステム１０は、貫通通路１４を有する第１の円筒部１２と貫通通路１８を有する第２の円筒部１６とを備える。使用時、図１に例示的に示すように、第１の円筒部材１２は真空チャンバ４に結合し、第２の円筒部材１６は真空ポンプ２に結合する。第１の円筒部材１２の貫通通路１４は、第２の円筒部材１６の貫通通路１８と流れ連通する。必須ではないが、貫通通路１４、１８の各々は、制振コネクタシステム１０の長手軸２０と軸方向に整列することができる。第１及び第２の封止部材２２、２４は、それぞれのガスシールをもたらすために、第１及び第２の円筒部材１２、１６に介在して配置される。固定システム２６は、第２の円筒部材１６に対する第１の円筒部材１２の解放可能な固定接続をもたらす。弾性部材２８、３０は、固定システム２６及び第１及び第２の円筒部材１２、１６に介在して配置され、封止部材２２、２４が使用時に真空ポンプ２の動作によって引き起こされる減圧によって圧縮される際に、弾性部材２８、３０は、固定システムが第１及び第２の円筒部材の間の固定接続を維持できるように膨張することができる。従って、真空ポンプ２が作動状態と非作動状態との間で切り替わる際に、第１及び第２の円筒部材１２、１６の間の固定接続の保全状態の実質的な変化はないはずである。
【００１４】
図２及び図３を参照すると、第１の円筒部材１２は、第１のフランジ３４の形の第１の（つまり内側）端部、フランジ３６の形の第２の（つまり外側）端部、及び２つのフランジの間に延在する管体３８を備えることができる。同様に、第２の円筒部材１６は、第１のフランジ４０の形の第１の（つまり内側）端部、第２のフランジ４２の形の第２の（つまり外側）端部、及び２つのフランジの間に延在する管体４４を備えることができる。それぞれの第１のフランジ３４、４０は、半径方向の範囲が２つの第２のフランジ３６、４２よりも大きいものとすることができる。第２のフランジ３６、４２は、標準ＩＳＯクランプ９（図１）を使用して真空ポンプ２及び真空チャンバ４上のそれぞれの取付け具に固定されるように、業界標準真空フランジとすることができる。第１及び第２の円筒部１２、１６は、アルミニウム合金などの金属製とすることができる。
【００１５】
図３及び図４を参照すると、振動減衰コネクタシステム１０は、第１及び第２の円筒部材１２、１６の間に直列に及び少なくとも部分的に配置された絶縁質量体５０をさらに備えることができる。絶縁質量体５０は、第２のフランジ３６、４２によって表すような、制振コネクタシステム１０の反対側の端部の間に延びる連続した流路を規定するために、貫通通路１４、１８と軸方向に整列することができる貫通通路５２を規定する環状体である。絶縁質量体５０は、第１及び第２の円筒部材１２、１６の質量と比較して相対的に大きい質量を有する。絶縁質量体は、ステンレス鋼などの金属製とすることができる。
【００１６】
図４で最も良くわかるように、絶縁質量体５０は、第１のフランジ３４、４０の間に配置される比較的薄肉の内側環状部分５４と、第１のフランジのそれぞれの外周部の半径方向外向きに配置された比較的厚肉の外側環状部分５６とを備える。絶縁質量体５０の少なくとも一部分又は一部を第１及び第２の円筒部材１２、１６の半径方向外側に位置決めすると、質量体の第１及び第２の円筒部材との直列接続の結果として、制振コネクタシステム１０の長さを大幅に増大させることなく、所望の振動絶縁機能をもたらすために比較的大きな質量体の実現を可能にする潜在的な利点が得られる。これに関して、制振コネクタシステム１０の長さＬ並びに絶縁質量体５０の内側及び外側環状部分５４、５６の厚さは、制振コネクタシステム／貫通通路の軸方向又は縦方向に測定した寸法である。
【００１７】
絶縁質量体５０の内側環状部分５４は、逆方向に向いた環状溝５８を規定し、第１のフランジ３４、４０は、溝５８に対向しかつこれに向かい合って配置されたそれぞれの環状溝６０を規定する。向かい合った溝５８、６０の対は、第１及び第２の封止部材２２、２４のドーナツ形の着座部を規定する。溝５８、６０は、Ｏリングの形の無端の封止部材２２、２４を収容する略円形断面の環状着座部を規定するように半円形の断面とすることができる。封止部材２２、２４は、貫通通路１４、１８、５２によって規定された連続流路が気密性であるように、第１及び第２の円筒部材１２、１６と絶縁質量体５０の間にそれぞれのガスシールをもたらす。封止部材２２、２４及び着座部は、略円形断面をもつことが必須ではないことを理解されたい。例えば、溝５８、６０は、封止部材２２、２４の実質的に矩形断面の環状着座部を規定するように略矩形とすることができる。着座部のこの構成は、図５に示す別の振動コネクタシステムに示す。
【００１８】
さらに図４を参照すると、本実施例では、固定システムは、ボルト又はネジ２６の形の複数の細長いねじ付き部材を備える。絶縁質量体５０の内側環状部分５４は、ボルト２６を受け入れるためのそれぞれのねじ付き開口６２を規定する。ねじ付き開口６２は、部分的にねじ付けられた、ねじ付き貫通孔又は反対側に配置された盲孔を備えることができる。ねじ付き開口６２は、溝５８の半径方向外側に配置される。第１のフランジ３４、４０は、溝６０の半径方向外側に配置されたそれぞれの逃げ孔６４を備え、第１及び第２の円筒部材１２、１６及び絶縁質量体５０が組み立てられた場合に、ねじ付き開口６２と軸方向に整列するようになっている。貫通孔６４は、ねじ付き開口６２への挿入のためにボルト２６が貫通できるような大きさである。ねじ付き開口６２及び貫通孔６４は、ボルト２６の締結時に第１及び第２の円筒部材１２、１６の間での絶縁質量体５０の均一な締め付けを行うためにピッチ円径上で等間隔とすることができる。
【００１９】
さらに図４を参照すると、本実施例では、弾性部材２８、３０は、ボルト２６の頭部と、第１及び第２の円筒部材１２、１６のそれぞれの第２のフランジ３６、４２に向かい合う第１のフランジ３４、４０のそれぞれ反対側に向いた主面６６、６８との間に配置されたそれぞれのブッシュの形を取り、ボルト２６によって第１及び第２の円筒部材１２、１６に加えられる締め付け圧は、弾性部材２８、３０を介して加えられている。一部の実施例では、弾性部材２８、３０は、図３及び図４に示すように弾性座金と一緒にブッシュを備えることができ、弾性座金は、ブッシュと同じ材料で作ることができる。一部の実施例では、金属座金７０は、弾性部材２８、３０とボルト２６の頭部との間に配置することができ、ボルトによって付与された締め付け圧は、弾性部材の幅全体にわたって均一に分散されるようになっている。一部の実施例では、弾性部材２８、３０は、貫通孔６４内に係合するように構成されるノーズピース７２を備えることができる。ノーズピース７２は、制振コネクタシステム１０の組み立て時に弾性部材２８、３０を位置決め及び保持し、さらに第１及び第２の円筒部材１２、１６の電気的絶縁を行うことを助けることができる（以下でさらに詳細に説明する）。また、弾性部材２８、３０上にノーズピース７２を設けることによって、半径方向の防振が可能になりボルト２６と第１のフランジ１３４、１４０の間の金属間の接触を防止することもできる。
【００２０】
封止部材２２、２４及び弾性部材２８、３０は、電気絶縁性とすることができる弾性材料（単数又は複数）で作られており、さらに各々は、粘弾性材料、例えば、エラストマで作ることができる。例えば、封止部材は、ニトリルで作ることができ、弾性部材は、スーパーソフトウレタン（ＳＵ）で作ることができる。粘弾性封止部材及び弾性部材の材料の選定及びその構成は、以下でより詳細に説明する。
【００２１】
使用時、第１の円筒部材１２の第２のフランジ３６は、真空チャンバ４に固定され、第２の円筒部材１６の第２のフランジ４２は、真空ポンプ２に固定され、真空ポンプを真空チャンバにしっかりと接続するようになっている。第２のフランジ３６、４２は、標準ＩＳＯクランプ９によってそれぞれ真空チャンバ４及び真空ポンプ２に固定することができる。真空状態を真空チャンバ４内で確立するように真空ポンプ２を作動させると、貫通通路１４、１８、５２内の圧力と外部大気圧との間の大きな差圧によって、封止部材２２、２４が圧縮される。封止部材２２、２４は、圧縮されると、第１及び第２の円筒部材１２、１６間のガスシールを維持し、一方、弾性部材２８、３０は、封止部材の圧縮を補償するために膨張し、ボルト２６によって行われる第１及び第２の円筒部材の間の固定接続の緊密性を維持する。従って、第１及び第２の円筒部材１２、１６の間の接続に緩みがないことになる。弾性部材２８、３０の補償膨張がなければ、第１及び第２の円筒部材１２、１６間の接続は緩む可能性があり、これは真空ポンプ２の作動中に引き起こされる振動によって悪化する場合がある問題である。
【００２２】
非導電性の封止部材２２、２８及び弾性部材２８、３０は、第１の円筒部材１２及び第２の円筒部材１６が互いに電気的に絶縁されるように電気絶縁バリアをもたらすことができる。かくして、電気絶縁バリアは、真空ポンプの作動状態に関係なく、真空ポンプ２と、真空チャンバ４を規定するか又は真空チャンバが関連付けされる機器５の一部との間にもたらされる。
【００２３】
図３及び図４では、固定システム２６は、絶縁質量体５０内に設けられたそれぞれのねじ付き開口６２にねじ込まれた複数のボルト又はネジとして示されている。これは必須ではなく、その理由は、ボルトの対向する対は、ナットとボルトの組み合わせによって置き換えることができ、ねじ付き開口６２は、絶縁質量体５０内に設けられた逃げ孔に置き換えることができるからである。別の実施例では、ナット及びボルトの代わりに、ナットが各端部にあるねじ付きスタッドを使用することができる。さらに別の実施例では、ボルトは、第１のフランジ３４、４０の一方及び絶縁質量体５０に設けられた逃げ孔を貫通して、第１のフランジの他方に設けられたねじ付き開口にねじ込むことができる。しかしながら、ボルト又はネジが、ボルト又はネジの終了位置を規定する絶縁質量体５０内のねじ付き盲孔（又は部分的にねじ付けされた貫通孔）にねじ込まれる図３及び図４に示すような構成は、封止部材２２、２４及び弾性部材２８、３０の初期圧縮を盲孔の深さ又はネジが孔に延びる深さによって制御できるという潜在的な利点をもたらす。これによって、固定システム２６に関する特定の締め付けトルクを設定する必要性が取り除かれ、制振コネクタシステム１０は、基本工具を使用して現場で簡単に組み付けることができる。
【００２４】
図５は、第２の制振コネクタシステム１１０を示す。制振システム１１０は、制振システム１０の構成要素と同じか又はこの構成要素と類似した多くの構成要素を備え、説明の繰り返しを省くために、それらの部品は、同じ参照番号に１００を増分して参照し、繰り返して詳細に説明しない。
【００２５】
制振コネクタシステム１１０は、貫通通路１１４を有する第１の円筒部材１１２と貫通通路１１８を有する第２の円筒部材１１６とを備える。使用時、図１に示す制振接続システム１０と類似の方法で、第１の円筒部材１１２は真空チャンバ４に接続することができ、第２の円筒部材１１６は真空ポンプ２に接続することができる。制振コネクタシステム１１０は、第１及び第２の円筒部材１１２、１１６の間に配置された絶縁質量体１５０と、ガスシールを第１及び第２の円筒部材と絶縁質量体の間にもたらすそれぞれの封止部材１２２、１２４とを備える。
【００２６】
制振システム１１０と制振システム１０との主な違いは、固定システム１２６及び弾性部材１２８、１３０の構成である。本実施例では、固定システム１２６は、第１及び第２の円筒部材１１２、１１６に関連したそれぞれの締め付けリング１７４、１７６と、複数のボルト又はネジ１７８とを備える。長手軸１２０によって示すような制振コネクタシステム１１０の縦方向つまり軸方向では、締め付けリング１７４、１７６は、関連する円筒部材１１２、１１６の第１及び第２のフランジの中間に配置され、締め付けリング１７４、１７６がそれぞれの円筒部材の周りに延びるようになっている。締め付けリング１７４、１７６は、鋼などの比較的剛性が高い材料で作られた環状部材とすることができる。第１の円筒部材１１２に関連した締め付けリング１７４には、ボルト１７８のねじ付き端部をねじ込むことができる複数のねじ付き開口１８０を備えることができる。絶縁質量体１５０及び第２の円筒部材１１６に関連した締め付けリング１７６は、ボルト１７８用の逃げ孔１８２、１８４をそれぞれ有する。絶縁質量体１５０の逃げ孔１８２は、図示のように絶縁質量体の外周部に設けられた軸方向に延びる凹部又は切り欠き、又は外周部の半径方向内側に配置されたボアを備えることができる。
【００２７】
第１の円筒部材１１２に関連した締め付けリング１７４がねじ付き開口を有し、第２の円筒部材１１４に関連した締め付けリング１７６が逃げ孔を有することは必須ではないことを理解されたい。２つの締め付けリング１７４、１７６の配置は、逆にすることができる。さらに、両方の締め付けリング１７４、１７６は、ボルト１７８用の逃げ孔を有することができ、締め付け力を提供するために、それぞれのボルト１７８は、ナット（図示せず）を備えることができる。別の実施例では、締め付け力を提供するためにナット及びボルトを使用する代わりに、スタッドの形の複数の細長いねじ付き部材が、２つの締め付けリング１７４、１７６の間に延びることができ、ねじ付き部材のそれぞれは、端部に締め付け力を提供するためのナットを備える。さらに別の実施例では、細長いねじ付き部材は、溶接又は嫌気性結合剤などのエンジニアリング接着剤を使用して締め付けリング１７４、１７６の一方に固定することができる。
【００２８】
弾性部材１２８、１３０は、第２のフランジ１３６、１４２に向かい合う第１のフランジ１３４、１４０の主面１６６、１６８と、締め付けリング１７４、１７６の対向する主面１８６との間に配置され、固定システム１２６によって第１及び第２の円筒部材１１２、１１６に加えられた締め付け圧は、弾性部材１２８、１３０を介して加えられる。必須ではないが、図５に示す実施例では、弾性部材１２８、１３０は、それぞれの第１のフランジ１３４、１４０の外周部に隣接しかつボルト１７８の半径方向内側に配置することができる環状部材である。他の実施例では、弾性部材２８、３０は、第１のフランジ１３４、１４０と、対向する締め付けリング１７４、１７６との間に配置される弾性材料の部品の形を取ることができる。
【００２９】
図５に示す制振コネクタシステム１１０は、１つの締め付けリングのみを有するように変更することができる。例えば、締め付けリング１７４は、省略することができ、ボルト１７８は、第１の円筒部材１１２の第１のフランジ１３４に設けられたねじ付き開口にねじ込むことができる。さらなる変更例では、弾性部材１２８、１３０を省略して、図２〜図４に示すものと同じ又は類似のブッシュの形の弾性部材によって置き換えることができる。
【００３０】
図６は、図５に示す第２の制振コネクタシステム１１０の変更例である第３の制振コネクタシステム１１０（２）を示す。説明の繰り返しを避けるために、制振コネクタシステム１１０の部品と類似又は同じ制振コネクタシステム１１０（２）の部品は、同じ参照番号で参照するので改めて説明しない。
【００３１】
制振コネクタシステム１１０（２）は、以下の点で制振コネクタシステム１１０と異なる。
１）固定システム１２６は、図３に示すボルト２６と類似の方法で絶縁質量体１５０に設けられた複数のねじ付き開口（図示せず）を備え、
２）絶縁質量体１５０は、複数の別個の本体１５０（１）、１５０（２）を備え、
３）弾性部材１２８、１３０は、ボルト１７８の頭部と第１及び第２の締め付けリング１７４、１７６との間に配置されるブッシュである。
従って、本実施例では、固定システム１２６は、それぞれのボルト１７８の絶縁質量体１５０内のねじ付き開口への挿入を可能にするための逃げ孔が設けられた２つの締め付けリング１７４、１７６を備える。
【００３２】
絶縁質量体１５０を形成する別個の本体１５０（１）、１５０（２）は、図５に示す貫通通路１５２に対応する貫通通路を有する環状部材とすることができ、制振コネクタシステム１１０（２）が組み立てられた際に、第１及び第２の円筒部材１１２、１１６の第２のフランジ１３６、１４２によって示すような制振コネクタシステムの反対側の端部の間に延びる連続した流路が存在する。好都合には、別個の本体１５０（１）、１５０（２）は、同じ内側及び外側周辺寸法（部品が円形である実施例では内径及び外径）を有するが、厚さは異なることができる。必須ではないが、例示の実施例では、別個の本体１５０（２）は、別個の本体１５０（１）よりも肉薄であり、別個の本体１５０（１）よりも質量が小さい。別個の本体１５０（２）は、第１の締め付けリング１７４から延びるボルト１７８が貫通するそれぞれの逃げ孔１８４（２）を有する。逃げ孔１８４（２）は、図示するように別個の本体１５０（２）の外周部に設けられた凹部、又は外周部の半径方向内側に配置されたボアを備えることができる。本実施例では、ボルト１７８がねじ込まれるねじ付き開口は、別個の本体１５０（１）内に設けられ、盲孔又は部分的にねじ付けされた貫通孔とすることができる。
【００３３】
図５に示す封止部材１２２、１２３と同じ方法で第１及び第２の円筒部材１１２、１１６の第１のフランジ（図面では見えない）と絶縁質量体１５０のそれぞれの対向した主面との間を封止するそれぞれの封止部材に加えて、別個の本体の間でガスシールをもたらすために、封止部材が、２つの別個の本体１５０（１）、１５０（２）の対向する又は対面する主面１８８、１９０の間に配置される。かくして、制振コネクタシステム１１０（２）は、３つの封止部材を備え、このさらなる封止部材は、別個の本体１５０（１）、１５０（２）の間に配置される。図面に示されていないが、第１及び第２の円筒部材１１２、１１６の第１のフランジ及び２つの絶縁質量体１５０、１５０（２）のそれぞれの対向した主面には、それぞれの封止部材用の着座部を定めるために溝を図５に示す溝１５８、１６０と類似した方法で設けることができ、同様に、２つの絶縁質量体の間に配置された封止部材用の着座部をもたらすために、溝を２つの絶縁質量体の対向する又は対面する主面１８８、１９０に設けることができることを理解されたい。
【００３４】
図６に示す実施例では、絶縁質量体１５０は、２つの別個の本体１５０（１）、１５０（２）を備える。絶縁質量体１５０は、原理上、別個の本体のスタックを形成するために直列に配置された３又は４以上の別個の本体を備えることができ、第１及び第２の円筒部材１１２、１１６とスタックの端部を形成する別個の本体との間に配置されたそれぞれの封止部材と、スタック内の各々の隣接した１対の別個の本体の間の封止部材とを有することを理解されたい。制振コネクタシステム１０、１１０は、制振コネクタシステム１１０（２）と同様の方法で複数の別個の本体を備える絶縁質量体を含み得ることも理解されたい。
【００３５】
封止部材１２２、１２４及び制振コネクタシステム１１０、１１０（２）の弾性部材１２８、１３０は、電気絶縁とすることができる弾性材料（単数又は複数）で作製され、各々はエラストマで作ることができる。非導電性の封止部材１２２、１２４及び弾性部材１２８、１３０は、第１の円筒部材２１２及び第２の円筒部材２１６が互いから電気的に絶縁されるように電気絶縁バリアをもたらすことができる。従って、電気絶縁バリアは、真空ポンプの作動状態に関係なく、真空ポンプと、真空チャンバを規定するか又は真空チャンバが関連付けされる機器の一部との間にもたらされる。さらに、真空ポンプの作動中に封止部材１２２、１２４が圧縮されると、封止部材１２２、１２４は、第１及び第２の円筒部材１１２、１１６の間のガスシールを維持し、一方、弾性部材１２８、１３０は、封止部材の圧縮を補償するために膨張し、ボルト１７８によって行われる第１及び第２の円筒部材の間の固定接続の緊密性を維持する。従って、第１及び第２の円筒部材１１２、１１６の間の接続に緩みがないことになる。弾性部材１２８、１３０の補償膨張がなければ、第１及び第２の円筒部材１１２、１１６の間の接続は緩む可能性があり、これは真空ポンプの作動中に引き起こされる振動によって悪化する場合がある問題である。
【００３６】
図７は、第４の制振コネクタシステム２１０を示す。説明の繰り返しを避けるために、制振システム１０の構成要素と同じか又はこの構成要素と類似の多くの構成要素を備える制振システム２１０の部品は、同じ参照番号を２００だけ増分して参照し、改めて詳細に説明しない。
【００３７】
制振コネクタシステム２１０は、図１に示す制振接続システム１０の第１及び第２の円筒部材と同様の方法で真空ポンプ２及び真空４と接続される第１及び第２の円筒部材２１２、２１６を備える。第１及び第２の円筒部材２１４、２１６は、それぞれの貫通通路２１４、２１８を規定する。第１の円筒部材２１２は、第１の（内側）フランジ２３４、第２の（外側）フランジ２３６、及び２つのフランジ間に延びる管体２３８を備える。第２の円筒部材２１６は、第１の（内側）フランジ２４０、第２の（外側）フランジ２４２、及び２つのフランジ間に延びる管体２４４を備える。制振コネクタシステム２１０は、第１及び第２の円筒部材２１２、２１６と直列に配置されかつ第１及び第２の円筒部材２１２、２１６の間に少なくとも部分的に配置された絶縁質量体５０をさらに備える。
【００３８】
絶縁質量体２５０は、貫通通路２５２を規定する内側環状部分２５４、内側環状部分と接触している外側質量体２５６、及び内側環状部分の端部でのそれぞれのフランジ２９２、２９４を備える。第１及び第２の円筒部材の第２のフランジ２３６、２４２によって示すような制振コネクタシステム２１０の各端部の間に延びる連続した流路を規定するために、貫通通路２５２は貫通通路２１４、２１６と整列する。絶縁質量体２５０の上部フランジ２９２（図面で見たときに）は、第１の円筒部材２１２の第１のフランジ２３４と略平行で対向しかつ離間した関係で配置され、下部フランジ２９４は、第２の円筒部材２１６の第１のフランジ２４０と略平行で対向しかつ離間した関係で配置される。第１の円筒部材２１２と絶縁質量体２５０との間にガスシールを形成するために、第１の封止部材２２２はフランジ２３４、２９２の間に配置され、第２の円筒部材２１６と絶縁質量体との間にガスシールを形成するために、第２の封止部材２２４は、フランジ２４０、２９４の間に配置され、貫通通路２１４、２１６、２５２によって規定された流路は、その長さにわたって気密性である。
【００３９】
本実施例では、固定システム２２６は、第１及び第２のクランプ２９６、２９８を備える。第１のクランプ２９６は、第１の円筒部材２１２の周りに延び、第１のフランジ２３４を絶縁質量体２５０の上部フランジ２９２に締め付けるように構成され、一方、第２のクランプ２９８は、第２の円筒部材２１６の周りに延び、第１のフランジ２４０を絶縁質量体の下部フランジ２９４に締め付けるように構成される。第１の弾性部材２２８は、第１のクランプ２９６と第１の円筒部材２１２との間に配置され、第１のクランプを第１の円筒部材及び絶縁質量体２５０から分離する。同様に、第２の弾性部材２３０は、第２のクランプ２９８と第２の円筒部材２１６との間に配置され、第２のクランプを第２の円筒部材及び絶縁質量体２５０から分離する。弾性部材２２８、２３０の各々は、それぞれの円筒部材２１２、２１６とクランプ２９６、２９８との間に配置される別個の弾性部品を備えることができるが、好都合には、弾性部材は、環状体又はリングを備える。
【００４０】
第１及び第２のクランプ２９６、２９８は、第１及び第２の円筒部材２１２、２１６を絶縁質量体２５０に締め付けることを可能にする任意の適切な形をとることができる。第１及び第２のクランプ２９６、２９８は、爪状クランプの形態又は当業者によく知られることになる真空及びポンプ技術の分野で使用される他の形態のクランプとすることができる。
【００４１】
原理上、絶縁質量体２５０は、図６に示す制振コネクタシステム１１０（２）の絶縁質量体１５０と同様の方法方で複数の別個の本体を備えることができ、このような絶縁質量体の別個の本体は、クランプ及び介在された弾性部材を使用して、弾性部材２２８、２３０及びクランプ２９６、２９８と少なくとも同様の方法で互いに固定することができることを理解されたい。
【００４２】
図８は、図７に示す第４の制振コネクタシステム２１０の変更例である第５の制振コネクタシステム２１０（２）を示す。説明の繰り返しを避けるために、制振コネクタシステム２１０の部品と類似又は同じ制振コネクタシステム２１０（２）の部品は、同じ参照番号で参照され、改めて説明しない。
【００４３】
制振コネクタシステム２１０（２）は、同調ダンパー質量体３００を備え、絶縁質量体２５０は、円筒部材２１２、２１６の一方と、本実施例では第２の円筒部材２１６と一体である点で制振コネクタシステム２１０と異なる。
【００４４】
同調ダンパー質量体３００は、所定の振動周波数、例えば、真空ポンプのポンプロータ又は転がり軸受の保持器の振動周波数を減衰させるように調整される。同調ダンパー質量体３００は絶縁質量体２５０に結合し、少なくとも部分的に絶縁質量体２５０の半径方向外側に配置される。同調ダンパー質量体３００は、絶縁質量体２５０を取り囲む環状体とすることができる。弾性部材３０２は、絶縁質量体２５０と同調ダンパー質量体３００との間に配置することができる。弾性部材３０２は、絶縁質量体２５０と係合し、絶縁質量体２５０を同調ダンパー質量体３００から分離する。弾性部材３０２は、複数の別個の弾性部品又は絶縁質量体２５０を完全に取り囲む環状体を備えることができる。同調ダンパー質量体３００は、クランプによって絶縁質量体２５０に固定することができ、クランプは、クイック作動式クランプ又は他の適切な固定手段とすることができる。他の実施例では、同調ダンパー質量体３００は、クランプとして構成することができる。例えば、同調ダンパー質量体３００は、図９及び図１０に一例として示すように、自由端に固定機器を備えた２つの弓形部材、もしくはボルト又はねじなどによって互いに固定された２つの本体を備えるヒンジ体とすることができる。
【００４５】
同調ダンパー質量体３００は、その最長箇所で制振コネクタシステム２１０（２）の長さＬ２を超えない長さＬ１を有することができる。例示の実施例では、長さＬ１は、第２の円筒部材の第１及び第２のフランジ２４０、２４２の間の距離を下回る。同調ダンパー質量体３００を少なくとも部分的に絶縁質量体２５０の半径方向外側に配置することによって、制振コネクタシステムの全長を増大させることなく制振コネクタシステムに複数の防振及び制振能力をもたらすという潜在的な利点が得られる。また、絶縁質量体２５０を円筒部材２１６の１つと一体とすることによって、例えば、図７の制振コネクタシステム２１０と比較すると、制振コネクタシステム２１０（２）の長さＬ２が低減するという潜在的な利点が得られる。これは、制振コネクタシステムのスペース節約及びコンダクタンス向上の両方の観点から好都合であろう。絶縁質量体を円筒部材２１２、２１６の１つと一体とするさらなる潜在的な利点は、１つの封止部材のみを有する制振コネクタシステムを提供することが可能であり、その結果、ガス抜け及び潜在的な漏出の問題が低減され、制振コネクタシステムを構成する部品数が減ることである。
【００４６】
封止部材２２２、２２４及び制振コネクタシステム２１０、２１０（２）の弾性部材２２８、２３０は、電気絶縁とすることができる弾性材料（単数又は複数）で作製され、各々、エラストマで作ることができる。非導電性の封止部材２２２、２２４及び弾性部材２２８、２３０は、第１の円筒部材２１２及び第２の円筒部材２１６が互いから電気的に絶縁されるように電気絶縁バリアをもたらすことができる。かくして、電気絶縁バリアが、真空ポンプの作動状態に関係なく、真空ポンプと、真空チャンバを規定するか又は真空チャンバが関連付けされる機器の一部との間にもたらされる。さらに、真空ポンプの作動中に封止部材２２２、２２４が圧縮されると、封止部材２２２、２２４は、第１及び第２の円筒部材２１２、２１６の間のガスシールを維持し、一方、弾性部材２２８、２３０は、封止部材の圧縮を補償するために膨張し、クランプ２９６、２９８によって行われる第１及び第２の円筒部材の間の固定接続の緊密性を維持する。従って、第１及び第２の円筒部材２１２、２１６の間の接続に緩みがないことになる。弾性部材２２８、２３０の補償膨張がなければ、第１及び第２の円筒部材２１２、２１６の間の接続は緩む可能性があり、これは真空ポンプの作動中に引き起こされる振動によって悪化する場合がある問題である。
【００４７】
制振コネクタシステム１０、１１０、及び２１０の全ては、絶縁質量体が円筒部材の１つと一体であるように変更することができることを理解されたい。また、制振コネクタシステム１０、１１０、２１０、２１０（２）の各々は、同調ダンパー質量体３００と同様の方法で絶縁質量体に固定される同調ダンパー質量体を備えることができる。
【００４８】
図９及び図１０は、制振コネクタシステム３１０の第６の実施例を示す。制振コネクタシステム３１０は、貫通通路３１４を有する第１の円筒部材３１２と、貫通通路３１８を有する第２の円筒部材３１６とを備える。使用時、図１に示す制振コネクタシステムと同じ方法で、第１の円筒部材３１２は真空チャンバ４に接続され、第２の円筒部材３１６は真空ポンプ２に接続される。第１の円筒部材３１２の貫通通路３１４は、第２の円筒部材３１６の貫通通路３１８と流れ連通する。必須ではないが、貫通通路３１４、３１８の各々は、制振コネクタシステム３１０の長手軸と軸方向に整列することができる。封止部材３２２は、ガスシールをもたらすために第１及び第２の円筒部材３１２、３１６の中間に配置される。固定システム３２６は、第１の円筒部材３１２と第２の円筒部材３１６との解放可能な固定接続をもたらす。弾性部材３２８は、固定システム３２６と第１及び第２の円筒部材３１２、３１６の中間に配置され、封止部材３２２が真空ポンプ２の動作によって使用中に引き起こされる減圧によって圧縮されると、弾性部材３２８は膨張することができ、固定システムが第１及び第２の円筒部材の間の固定接続の保全状態を維持できるようにする。
【００４９】
第１の円筒部材３１２は、第１のフランジ３３４の形の第１の（つまり内側）端部、フランジ３３６の形の第２の（つまり外側）端部、及び２つのフランジ間に延在する管体３３８を備えることができる。同様に、第２の円筒部材３１６は、第１のフランジ３４０の形の第１の（つまり内側）端部、第２のフランジ３４２の形の第２の（つまり外側）端部、及び２つのフランジ間に延在する管体３４４を備えることができる。それぞれの第１のフランジ３３４、３４０は、その半径方向の範囲が２つの第２のフランジ３３６、３４２よりも大きい場合がある。第２のフランジ３３６、３４２は、図１に示す制振コネクタシステム１０と同じ又は類似の方法で標準的なＩＳＯクランプ９を使用して真空ポンプ２及び真空チャンバ４上のそれぞれの取付け具に固定するために、業界標準真空フランジとすることができる。
【００５０】
固定システム３２６は、所定の振動周波数、例えば、真空ポンプのポンプロータ又は転がり軸受の保持器の振動周波数を減衰させるように調整される同調ダンパー質量体として構成される。固定システム３２６は、第１及び第２の円筒部材３１２、３１６の第１のフランジ３３４、３４０を取り囲むように構成された２つの弓形体４０３、４０４を備える。各弓形体４０３、４０４は、一端にねじ付き開口４０５を備え、他端に逃げ孔４０６を備える。ボルト又はねじ４０８の収容部を規定する凹部４０７は、各逃げ孔４０６の外側端部に設けられる。弓形体４０３、４０４は、第１及び第２のフランジ３３４、３４０の周りに取り付ける際に、各々のねじ付き開口４０５が他方の逃げ孔４０６に対向しかつ一直線で配置されるように位置決めすることができ、ボルト４０８は、対向して配置された逃げ孔を貫通してねじ付き開口４０５へ挿入することができる。その後、ボルト４０８は、弓形体４０３、４０４を互いに引き寄せて第１のフランジ３３４、３４０を一緒に緩みなく固定するように締結することができる。弾性部材３２８は、第１のフランジ３３４、３４０と弓形体４０３、４０４との間に配置されるので、フランジは弾性部材によって弓形体から分離又は絶縁される。弾性部材３２８は、第１のフランジ３３４、３４０の外周部の周りで離間する複数の別個の弾性部品又はフランジを完全に取り囲む環状部材を備えることができる。２つの弓形体４０３、４０４の質量は、固定システム３２６が所定の振動周波数又は複数の振動周波数を減衰させるように調整される制振質量体として機能できるように選択される。
【００５１】
例示の実施例では、２つの弓形体４０３、４０４は、ボルト４０８によって互いに固定され、第１及び第２の円筒部材３１２、３１６を一緒に固定するよう動作可能なクランプを形成するようになっている。固定システムと同調制振質量体の組み合わせは、他の形を取ることができることを理解されたい。例えば、ねじ付き開口を有する代わりに、弓形体４０３、４０４には、ナットとボルトの組み合わせによる固定を可能にする逃げ孔４０６及び収容部形成凹部４０７を両端に設けること、又は各端部にナットを備える所定長のスタッドの形の細長いねじ付き部材を設けることができる。代替的に、各弓形体は、一端に設けられた固定された細長いねじ付き部材及び他端に設けられた逃げ孔を有することができる。細長いねじ付き部材は、例えば、溶接、又は嫌気性結合剤などのエンジニアリング接着剤によって弓形体４０３、４０４に固定することができる。他の実施例では、弓形体４０３、４０４は、一端がヒンジ接続され、クイッククランプ作動をもたらすために２つの弓形体を一緒に引き寄せるよう動作することができる協動可能な固定要素を自由（他）端に設けることができる。
【００５２】
原理上、さらなる同調ダンパー質量体及び介在式の弾性部材は、少なくとも部分的に固定システム３２６の半径方向外側に配置されるように、固定システム３２６に取り付けることができることを理解されたい。このようにして、一連の同調ダンパー質量体を設けて異なる振動周波数を減衰させることができる。第１のフランジ３３４、３４０の半径方向外側に連続して配置され、各々が制振コネクタシステム３１０の全長Ｌ２を下回る長さＬ１を有する複数の同調ダンパー質量体を設けることによって、制振コネクタシステムの長さを増大させることのない小型の構成で複数の制振能力を付与することができる。さらに、１つの封止部材３２４だけが必要なので、ガス抜け問題が低減され、第１及び第２の円筒部材３１２、３１６の周りに延びる同調ダンパー質量体を有することによって、制振コネクタシステムの比較的短い全長が可能になり、コンダクタンス向上が可能になる。
【００５３】
封止部材３２２及び制振コネクタシステム３１０の弾性部材３２８は、電気絶縁とすることができる弾性材料（単数又は複数）で作製され、各々はエラストマで作ことができる。非導電性の封止部材３２２及び弾性部材３２８は、第１の円筒部材３１２及び第２の円筒部材３１６が互いから電気的に絶縁されるように電気絶縁バリアをもたらすことができる。従って、電気絶縁バリアが、真空ポンプの作動状態に関係なく、真空ポンプと、真空チャンバを規定するか又は真空チャンバが関連付けされる機器の一部との間にもたらされる。さらに、真空ポンプの作動中に封止部材３２２が圧縮されると、封止部材３２２は、第１及び第２の円筒部材３１２、３１６の間のガスシールを維持し、一方、弾性部材３２８は、封止部材の圧縮を補償するために膨張し、固定システム３２６によって行われる第１及び第２の円筒部材の間の固定接続の緊密性を維持するようになっている。従って、第１及び第２の円筒部材３１２、３１６との間の接続に緩みがないことになる。弾性部材３２８の補償膨張がなければ、第１及び第２の円筒部材３１２、３１６の間の接続は緩む可能性があり、これは真空ポンプの作動中に引き起こされる振動によって悪化する場合がある問題である。
【００５４】
真空ポンプは、ポンプの何れか１つの部品に起因しないと考えられる比較的広い周波数範囲にわたって広がる暗振動と、特定の構成要素、例えば、ポンプロータ又は転がり軸受の保持器に起因する比較的狭い周波数範囲を有する特定の振動とを発生する傾向がある。また、特定の機器要素、例えば、顕微鏡は、特定の周波数の振動の影響を受けやすい可能性がある。上述した制振コネクタシステムは、共鳴振動数以上の振動の伝達を低減することによって真空ポンプに取り付けられた機器を暗振動から絶縁すること、及び振動エネルギーを放散させることによって目標とする比較的狭い周波数の振動を減衰させることの一方又は両方を行う防振又は制振機能性をもたらすことができる。
【００５５】
図１１〜図１４は、使用時に真空チャンバを規定するか又は真空チャンバに関連する機器５の一部に真空ポンプ２を接続する図２〜１０の制振コネクタシステム構造と同じか又は類似の制振コネクタシステム構造の概略図である。図１１及び図１２は、第１及び第２の円筒部材と直列に配置された絶縁質量体を有する図２〜図７によって示す制振コネクタシステム１０、１１０、１１０（２）、２１０のような制振コネクタシステム構造を示す。図１３は、第１及び第２の円筒部材に直列に配置された絶縁質量体と、この絶縁質量体に固定された同調ダンパー質量体とを有する、図８の制振コネクタシステム２０１（２）のような制振コネクタシステム構造を示す。各々の場合、ばね定数ｋS及び減衰比ｃSを有する少なくとも１つの封止部材と、ばね定数ｋR及び減衰比ｃRを有する少なくとも１つの弾性部材とが存在する。絶縁質量体、少なくとも１つの弾性部材、及び少なくとも１つの封止部材は、機器５の一部を真空ポンプ２から発生した暗振動から絶縁するように構成された防振システムを構成する。絶縁質量体は、第１及び第２の円筒部材の質量よりも相対的に十分大きな質量を有する。
【００５６】
制振コネクタシステムに組み込まれた防振システムの効果を最大にするために、共鳴振動数は、共鳴振動数を超える振動周波数の伝達を低減するようできるだけ低く設定するべきである。従って、防振システムは、共鳴振動数を真空ポンプから放出された暗振動の周波数範囲内で支配的な振動周波数より少なくとも低く設定するように構成するべきである。絶縁質量体に対して適切な質量を選択することに加えて、防振システムの性能は、封止部材の又は各封止部材のばね定数ｋS及び減衰比ｃSを最小化し、少なくとも１つの弾性部材及び固定システムを通る伝達経路が、封止部材又は各封止部材並びに絶縁質量体を通る経路よりも機械エネルギーの伝達に対して低い抵抗を示すように、弾性封止部材又は各弾性封止部材を構成することで最適化することができる。このようにして、振動エネルギーの大部分は、絶縁質量体を介して伝達されるので絶縁質量体及び／又は各封止部材の特性が防振性能を支配する。
【００５７】
実際には、弾性部材又は各弾性部材の特性は、圧縮設定なしで真空ポンプの重量を支えるのに十分な圧縮耐性を、しかし封止部材又は各封止部材によってもたらされるよりも小さな圧縮耐性をもたらすように設定する必要がある。このために、弾性部材又は各弾性部材、及び封止部材又は各封止部材は、所定のポンプ重量に関して、非真空状態での弾性部材又は各弾性部材の１つの百分率圧縮（percentage squeeze）は、真空下での封止部材又は各封止部材の百分率圧縮よりも大きいか又は等しいように構成される。一部の実施例では、弾性部材又は各弾性部材及び封止部材又は各封止部材は、所定のポンプ重量に関して、非真空状態において、弾性部材又は各弾性部材の百分率圧縮は、真空下での封止部材又は各封止部材の百分率圧縮の１．２５〜１．５倍であるように構成される。現在のところ好ましい実施例では、真空下での封止部材又は各封止部材の百分率圧縮は、１０％〜２０％である。さらに、弾性部材又は各弾性部材を、弾性部材又は各弾性部材のばね定数ｋRが封止部材又は各封止部材のばね定数ｋSを下回るような弾性率を有する材料から作ることによって、振動絶縁系の有効性を最適化する。
【００５８】
真空下での封止部材又は各封止部材の百分率圧縮は、差圧と、封止部材又は各封止部材のばね定数ｋSに起因するガス負荷とよって決まる。防振システムの性能を最適化するために、ばね定数ｋSを最小化することが必要である。百分率圧縮が真空下で１０％〜２０％であるように封止部材材料を選択する場合、ばね定数ｋSを最小化しながら良好なガスシールを得るべきである。例えば、１００ｍｍ（すなわちＩＳＯ１００）以下のフランジ内径を有する真空ポンプの制振コネクタシステムでの使用に適切な７５ｍｍ〜１１０ｍｍの内径を有する封止部材に関して、ガス負荷は、４４０Ｎ〜９５０Ｎである。直径１２ｍｍの封止部材に関しては、１０％〜２０％の百分率圧縮には、３６０Ｎ／ｍｍ〜７９０Ｎ／ｍｍのばね定数ｋSが必要である。封止部材のばね定数ｋSは、封止部材の断面直径、封止部材の円周部、及び封止部材が作製される材料の弾性率によって決定することができる。ショア硬さは、材料の弾性率の関数である。本明細書で論じる直径１２ｍｍの封止部材については、ばね定数ｋS要件は、５０ショア硬さのエラストマによって満たされる。
【００５９】
上記のように、振動絶縁系の有効性は、封止部材又は各封止部材が作製される材料の減衰比ｃSを最小化することによって最適化することができる。現在のところ好ましい材料は、０．２以下の減衰比ξ（０．４以下の損失係数η）を有することができ、０．１以下のξ（０．２以下のη）の値が好適である。適切な機械的真空特性とともにこれらの要件を満たす材料の例は、ニトリルブタジエンゴム（別名ニトリル、ＮＢＲ、ブナＮ、ペルブナン、アクリロニトリルブタジエンゴム）である。
【００６０】
図１４は、ある程度の防振をもたらす図９及び図１０に示すような制振コネクタシステムを示す。この制振コネクタシステムは、第１及び第２の円筒部材に平行に取り付けられる同調ダンパー質量体を有する。実際には、同調ダンパー質量体は、第１及び第２の円筒部材から宙づりになっている。同調ダンパー質量体の重量は、懸案の特定の周波数、例えば、軸受保持器周波数又はロータ周波数の高調波を目標とするよう選択する。図１４に示すような同調ダンパー質量体を有する制振コネクタシステムは、何らかの有用な防振をもたらすことができるが、図１１〜図１３に示す直列絶縁質量体を有する制振コネクタシステムよりも効果の点で限りがある。２つの技術を組み合わせて、暗振動を防振するように構成された直列絶縁質量体と、懸案の特定の振動を目標とする１又は２以上の同調ダンパー質量体とを有する制振コネクタシステムを提供することが望ましい場合がある。この可能性は、図８及び図１３に示されており、図８及び図１３は、直列絶縁質量体に取り付けられた同調ダンパー質量体を示す。
【００６１】
材料のこれらの組み合わせに限定されないが、封止部材又は各封止部材は、ニトリルブタジエンゴム（別名ニトリル、ＮＢＲ、ブナＮ、ペルブナン、アクリロニトリルブタジエンゴム）で作製することができ、一方、弾性部材又は各弾性部材は、スーパーソフトウレタン（ＳＵ）、ネオプレン、天然ゴム、ニトリル、又はフルオロエラストマーで作製することができる。一部の実施例では、弾性部材又は各弾性部材は、適切な１又は複数のばねを備えることができる。１又は複数のばねの使用は現在のところ好適でないが（ばねによって、小型コネクタシステムを製作する余地が潜在的に狭まり、電気絶縁材料で作られた少なくとも１つの弾性部材がなければ、電気絶縁バリアを第１及び第２の円筒部材の間に有する利点が失われる可能性がある）、ばねを使用することによって、弾性部材がより低いばね定数ｋS及び減衰比ｃSを有する可能性がもたらされる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際調査報告】
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