(57)【要約】  複数の信号用プローブと、上記検査回路に向かう下面及び上記被検査体に向かう上面、上記複数の信号用プローブの両端部が上記上面及び上記下面から露出されるように上記複数の信号用プローブを相互平行に収容する複数のプローブ孔、及び上記プローブ孔の周りの領域を除く上記上面及び上記下面の少なくとも一部の領域から陥没した収容陥没部を有するソケットブロックと、上記収容陥没部に収容されて上記被検査体及び上記検査回路のいずれか一つと接触する伝導性弾性素材で作られた弾性接地部材と、を含むテストソケット組立体。
2019510348.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の被検査接点と検査回路の検査接点とを電気的に連結するためのテストソケット組立体において、
複数の信号用プローブと、
上記検査回路に向かう下面及び上記被検査体に向かう上面、上記複数の信号用プローブの両端部が上記上面及び上記下面から露出されるように上記複数の信号用プローブを相互平行に収容する複数のプローブ孔、及び上記プローブ孔の周りの領域を除く上記上面及び上記下面の少なくとも一部の領域から陥没した収容陥没部を有するソケットブロックと、
上記収容陥没部に収容されて上記被検査体及び上記検査回路のいずれか一つと接触する、伝導性弾性素材で作られた弾性接地部材と、
を含むことを特徴とするテストソケット組立体。
【請求項２】
上記ソケットブロックは、上記プローブの上端領域を取り囲み、上記収容陥没部の底面から突出した隔離コラムを有することを特徴とする、請求項１に記載のテストソケット組立体。
【請求項３】
上記プローブと上記プローブ孔との間に少なくとも一部の長さ区間にわたって介在される絶縁部材をさらに含み、上記絶縁部材の端部は上記隔離コラムの端部から所定深さだけ低い位置に存在することを特徴とする、請求項１に記載のテストソケット組立体。
【請求項４】
接地ピンをさらに含み、
上記ソケットブロックの下面に上記接地ピンの下端部が露出されるように上記接地ピンを収容する接地ピン孔を有することを特徴とする、請求項１に記載のテストソケット組立体
【請求項５】
上記弾性接地部材は導電性物質でコートされたことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のテストソケット組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体の電気的特性の検査時に被検査端子の孤立特性を向上させることができるテストソケット組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＲＦ用回路装置などの電気的特性を検査するために、テストソケットが回路装置の被検査端子と検査回路の検査端子とを電気的に連結するために用いられる。
【０００３】
一般に、ＲＦ用回路装置の検査作業時にＲＦ用回路装置の被検査端子間のクロストーク（ｃｒｏｓｓ−ｔａｌｋ）を減少させるために、ＲＦ用回路装置の被検査端子の周りに、テストソケットの接地ピンから接地電圧を印加する。
【０００４】
ところが、ＲＦ用回路装置とテストソケットとが接する面は、加工による誤差から、その平坦度が一定でなく粗いことがある。このような平坦度における粗さは、ＲＦ用回路装置とテストソケットとを完全に密着させず、隙間を発生させる。このような隙間によって、ＲＦ用回路装置の被検査端子の隔離特性が減少し、これによって被検査端子間のクロストークが増加するという問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、本発明の目的は、被検査体の電気的特性の検査時に、被検査端子の隔離特性を改善して被検査端子間のクロストークを減少させるテストソケット組立体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的は、複数の信号用プローブと、上記検査回路に向かう下面及び上記被検査体に向かう上面、上記複数の信号用プローブの両端部が上記上面及び上記下面から露出されるように上記複数の信号用プローブを相互平行に収容する複数のプローブ、及び上記プローブ孔の周りの領域を除く上記上面及び上記下面の少なくとも一部の領域から陥没した収容陥没部を有するソケットブロックと、上記収容陥没部に収容されて上記被検査体及び上記検査回路の少なくともいずれか一つと接触する、伝導性弾性素材で作られた弾性接地部材と、を含むことから達成される。
【０００７】
上記ソケットブロックは、上記プローブの上端領域を取り囲み、上記収容陥没部の底面から突出した隔離コラムを有することができる。
【０００８】
上記テストソケット組立体は、上記プローブと上記プローブ孔との間に少なくとも一部の長さ区間にわたって介在される絶縁部材をさらに含み、上記絶縁部材の端部は上記隔離コラムの端部から所定深さだけ低い位置に存在し得る。
【０００９】
上記テストソケット組立体は、接地ピンをさらに含み、上記ソケットブロックの下面に上記接地ピンの下端部が露出されるように
上記接地ピンを収容する接地ピン孔を有することができる。
上記弾性接地部材は導電性物質でコートされ得る。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、被検査体の検査動作時に被検査端子の隔離特性が向上し、被検査体の電気的特性をより信頼性高く検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施例に係るテストソケット組立体の結合斜視図である。
【図２】本発明の一実施例に係るテストソケット組立体の分解斜視図である。
【図３】本発明の一実施例に係るテストソケット組立体の断面図である。
【図４】本発明の他の実施例に係るテストソケット組立体の断面図である。
【図５】弾性接地部材の例示的な形状を示す平面図である。
【図６】弾性接地部材の例示的な形状を示す平面図である。
【図７】本発明に係るテストソケット組立体によるクロストーク特性をシミュレーションした結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、添付の図面を参照して本発明の実施例について詳しく説明する。説明の便宜上、明細書全体を通じて同一又は類似の構成要素には同一の参照符号を付し、説明でいう上側は被検査体に向かう方向であり、下側は検査回路に向かう方向を意味する。
【００１３】
図１は、本発明の一実施例に係るテストソケット組立体の結合斜視図である。本発明の一実施例に係るテストソケット組立体１は、ソケットブロック１００及び弾性接地部材２００を含む。
【００１４】
ソケットブロック１００は、導電性ブロック、例えば、黄銅ブロックで製造される。ソケットブロック１００は、被検査体１０の被検査接点と検査回路２０の検査接点とを電気的に連結する少なくとも一つの信号用プローブ３００を含む。このとき、信号用プローブ３００は導電性ソケットブロック１００に電気的に接触してはならない。弾性接地部材２００は、被検査体に向かうソケットブロック１００の上面に形成された収容陥没部１２０に収容される。被検査体１０の電気的特性を検査するために被検査体をソケットブロック２００の上面に向かって加圧する場合、弾性接地部材２００は被検査体１０の接地端子１２と接触する。この時、弾性接地部材２００は被検査体の被検査接点以外の領域において被検査体１０の底面に密着して接触し、したがって、被検査体１０の被検査接点（以下“信号端子”という。）１１以外の領域とソケットブロック１００とが隙間なく面接触し得る。被検査体１０の被検査接点１１以外の領域において被検査体１０の底面とソケットブロック１００とが隙間なく接触することによって信号端子１１の隔離特性が改善し、信号端子１１の間に発生するクロストークを減少させることができる。したがって、被検査体１０の電気的特性の検査を正確で且つ信頼性高く行うことができる。
【００１５】
図２は、本発明の一実施例に係るテストソケット組立体の分解斜視図であり、図３は、本発明の一実施例に係るテストソケット組立体の断面図である。本発明の一実施例に係るテストソケット組立体１は、検査回路２０上に設置されるソケットブロック１００、ソケットブロック１００の収容陥没部１２０に収容される弾性接地部材２００、ソケットブロック１００によって支持される複数の信号用プローブ３００、及び少なくとも一つの接地ピン５００を含む。
【００１６】
ソケットブロック１００は、複数の信号用プローブ３００を収容するための複数のプローブ孔１４０、少なくとも一つの接地ピン５００を収容するための接地ピン孔１５０、弾性接地部材２００を収容するための収容陥没部１２０、及び信号用プローブ３００の上端領域を取り囲み、収容陥没部１２０の底面１２１から突出する隔離コラム１３０を有する。
【００１７】
プローブ孔１４０は、ソケットブロック１００の検査回路１２０に向かう下面１６０と、被検査体１０に向かう上面１１０の間を貫通して形成され、信号用プローブ３００の数に対応して相互平行に形成される。プローブ孔１４０は絶縁部材４００に取り囲まれた信号用プローブ３００を収容する。
【００１８】
接地ピン孔１５０は、ソケットブロック１００の下面１６０に下方が開放された形態で形成されて接地ピン５００を収容する。勿論、必要によって、接地ピン孔１５０は上面１１０が開放された形態で形成されてもよい。
【００１９】
収容陥没部１２０は、プローブ孔１３０の周りの領域を除く少なくとも一部の上面１１０の領域において上面１１０から陥没して形成される。収容陥没部１２０は弾性接地部材２００を収容する。
【００２０】
隔離コラム１３０は、収容陥没部１２０とプローブ孔１４０との間において突出して形成される。隔離コラム１３０は、プローブ孔１４０内に挿入された信号用プローブ３００と導電性の弾性接地部材２００とを安定して隔離させる。したがって、隔離コラム１３０は弾性接地部材２００と絶縁部材４００又は信号用プローブ３００との直接的な接触を防止する。
【００２１】
弾性接地部材２００はソケットブロック１００の収容陥没部１２０に収容される。弾性接地部材２００は隔離コラム１３０を収容するための隔離コラム貫通孔２１０を有する。弾性接地部材２００は、弾性材質に導電性粒子を含めた、例えば伝導性ゴムで形成することができる。伝導性を向上させるために弾性接地部材２００の表面には伝導性物質をコートすることができる。弾性接地部材２００は、例えば、金、銀、銅などでコートすることができる。弾性接地部材２００が収容陥没部１２０に収容される場合、弾性接地部材２００の上面２２０はソケットブロック１００の上面１１０よりも突出する。被検査体１０の検査動作時に、被検査体１０はソケットブロック１００の上面１１０に向かって下方加圧される。被検査体１０の下方加圧によって、弾性接地部材２００は被検査体１０の接地端子１２及び被検査体１０の下面と接触する。弾性を持つ弾性接地部材２００によって被検査体１０の下面と弾性接地部材２２０の上面とが隙間なく密着し得る。したがって、被検査体１０の被検査接点、例えば信号端子１１の隔離特性を向上させることができる。
【００２２】
信号用プローブ３００はソケットブロック１００との電気的絶縁のために絶縁部材４００に収容されてソケットブロック１００のプローブ孔１４０に挿入装着される。信号用プローブ３００は、上下端が突出した状態でソケットブロック１００に支持される。信号用プローブ３００の上端は被検査体１０の被検査接点、例えば信号端子１１に接触する。信号用プローブ３００の下端は検査回路２０の検査接点（以下、“信号パッド”という。）２１に接触する。信号用プローブ３００の上端及び下端のうち少なくとも一つは弾性的に長さ方向に沿って伸縮可能である。図３では、例示として、信号用プローブ３００が上端の第１プランジャー３１０、下端の第２プランジャー３２０、第１プランジャー３１０と第２プランジャー３２０との間に介在されるスプリング３４０、及び第１プランジャー３１０、第２プランジャー３２０及びスプリング３４０を収容する円筒状のバレル３３０を有するとしているが、信号用プローブ３００の構造はこれに限定されるものではなく、様々な形態の構造を有することができる。
【００２３】
絶縁部材４００は、信号用プローブ３００及びソケットブロック１００間の電気的絶縁及び一定のインピーダンス特性のために信号用プローブ３００とプローブ孔１４０との間に介在される。絶縁部材４００の上端部４１０は隔離コラム１３０の上端から所定深さだけ低い位置に存在し得る。すなわち、絶縁部材４００の上端部４１０は、収容陥没部１２０の底面１２１と同一の位置又はより低い位置にすることができる。絶縁部材４００の上端部４１０と隔離コラム１３０の上端との間に形成される溝に、被検査体１０の検査動作時に被検査体１０の信号端子１１が収容され得る。この場合、信号端子１１は隔離コラム１３０には接触しなく、信号端子１１が絶縁部材４００の上端部４１０と隔離コラム１３０の上端との間に形成される溝に収容され、信号端子１１の隔離特性がさらに向上し得る。したがって、信号端子１１間のクロストーク発生をより一層減少させることができる。
【００２４】
接地ピン５００は、ソケットブロック１００の接地ピン孔１５０に、ソケットブロック１００の下面から下端部が露出されるように収容される。接地ピン５００の下端部は、検査回路２０とソケットブロック１００とが固定結合される場合、検査回路２０の接地パッド２２と接触する。接地ピン５００の上端部は接地ピン孔１５０の上端と接触する。検査回路２０とソケットブロック１００とが固定結合される場合、接地ピン５００に接地パッド２２から接地電圧、例えば０Ｖ以下の電圧が印加される。印加された接地電圧は、接地ピン５００の上端部を通じてソケットブロック１００に印加される。伝導性金属材質又は伝導性被覆のソケットブロック１００は、接地ピン５００を通じて印加された接地電圧によってソケットブロック１００全体が接地状態となる。
【００２５】
結合部材６００は導電性材料で作製される。結合部材６００は、複数の信号用プローブ貫通孔６１０及び複数の接地ピン貫通孔６２０が形成されている板状であり、ソケットブロック１００に信号用プローブ３００と接地ピン５００が挿入された後にソケットブロック１００の下面に結合される。結合部材６００は、信号用プローブ３００と接地ピン５００がそれぞれソケットブロック１００のプローブ孔１４０と接地ピン孔５００の下側に挿入された後、ソケットブロック１００に固定支持される。
【００２６】
上述した本発明の実施例に係るテストソケット組立体１は、弾性を持つ弾性接地部材２００が、被検査体１０の信号端子１１とソケットブロック１００の信号用プローブ３００とが接触する領域を除く領域において、被検査体１０とソケットブロック１００とを隙間なく接触させる。このような接触によって、被検査体１０の信号端子１１とソケットブロック１００の信号用プローブ３００とが接触する領域の隔離特性が向上する。したがって、被検査体１０の検査動作時に、被検査体１０とソケットブロック１００との間の隙間から発生するＲＦ信号の漏れなどによるクロストークを減少させることができる。結果的に、信号端子１１間のクロストークが減少し、被検査体１０の電気的特性をより信頼性高く検査することができる。
【００２７】
また、接地ピン５００は、上端部かソケットブロック１００の接地ピン孔１５０の内部に固定されて被検査体１０の検査動作による上下運動をしないように構成することができるので、接地ピン５００の耐久性が向上し、交換が不要である。
【００２８】
図４は、本発明の他の実施例に係るテストソケット組立体の断面図である。説明を明瞭且つ簡潔にするために、図３に示したテストソケット組立体１と同じ構成に関する説明は省略し、異なる構成についてのみ説明する。
【００２９】
本発明の他の実施例に係るテストソケット組立体２は、ソケットブロック１００の上面から陥没形成された第１収容陥没部１２０、及びソケットブロック１００の下面１７０から陥没形成された第２収容陥没部１７０を有する。第１収容陥没部１２０には第１弾性接地部材２００が収容され、第２収容陥没部１７０には第２弾性接地部材７００が収容される。
【００３０】
第２収容陥没部１７０及び第２弾性接地部材７００はそれぞれ、図２及び図３に示した収容陥没部１２０及び弾性接地部材２００とその形状及び機能が類似する。すなわち、第２弾性接地部材７００は、検査回路２０の信号用パッド２１（図３参照）とソケットブロック１００の信号用プローブ３００とが接触する領域以外の領域において検査回路２０とソケットブロック１００とを隙間なく接触させる。このような接触によって検査回路２０の信号パッド２１とソケットブロック１００の信号用プローブ３００とが接触する領域の隔離特性が向上する。したがって、ＲＦ信号の漏れなどによる信号用パッド２１間のクロストークが減少し、被検査体１０の電気的特性をより正確に検査することができる。
【００３１】
また、本発明の他の実施例に係るテストソケット組立体２は、その内部に、検査回路２０から接地電圧が印加されるための接地ピンを含んでいない。テストソケット組立体２は、導電性の弾性接地部材７００の下面が検査回路２０の接地パッド２２（図３参照）と直接接触して接地電圧が印加される。弾性接地部材７００が接地パッド２２と直接接触する場合にも、弾性接地部材７００の弾性によってソケットブロック１００と検査回路２０との密着は維持されるはずだろう。
【００３２】
上述した本発明の他の実施例に係るテストソケット組立体２は、ソケットブロック１００と被検査装置１０との間、及びソケットブロック１００と検査回路２０との間に弾性接地部材を介在し、ＲＦ信号伝送ラインの隔離特性を向上させることができる。これによって、被検査装置の電気的特性検査の信頼性をさらに改善することができる。
【００３３】
また、接地電圧を検査装置２０の接地用パッド２２からソケットブロック１００に印加するための接地ピンが存在せず、テストソケット組立体の製造コストを低減させることができる。また、テストソケット組立体のメンテナンスコストも低減させることができる。
【００３４】
図５及び図６は、弾性接地部材の例示的な形状を示す平面図であり、図７は、本発明に係るテストソケット組立体のクロストーク特性をシミュレーションした結果を示す図である。
【００３５】
図５は、隔離コラム１３０の周りの一部を囲んでいる本発明に係る弾性接地部材２００を示しており、図６は、隔離コラム１３０の周りを全部囲んでいる本発明に係る弾性接地部材２００を示している。図７の（ａ）は、本発明に係る弾性接地部材２００が存在しない場合に発生する被検査接点のクロストークを示すグラフであり、図７の（ｂ）は、図５に示した弾性接地部材２００が存在する場合に発生する被検査接点のクロストークを示すグラフであり、図７の（ｃ）は、図６に示した弾性接地部材２００が存在する場合に発生する被検査接点のクロストークを示すグラフである。
【００３６】
図７を参照すると、弾性接地部材を有しないテストソケットを使って被検査体を検査する場合に発生するクロストークに比べて、本発明に係る、弾性接地部材２００を有するテストソケットを使って被検査体を検査する場合に発生するクロストークが大幅に減少したことが確認できる。弾性接地部材２００は被検査体の検査時に、被検査体の信号端子を除く被検査体の底面の一部又は全部と密着する。本発明に係る弾性接地部材２００を有するテストソケットは、弾性接地部材を有しないテストソケットに比べて被検査体の被検査接点間の隔離特性が向上し得る。
【００３７】
結果的に、本発明の実施例に係るテストソケット組立体は、弾性接地部材２００を用いて被検査体の被検査接点の隔離特性を向上させ、被検査接点間に発生するクロストークを大幅に減少させることができる。したがって、被検査体の電気的特性の検査信頼性が改善し得る。
【００３８】
以上、限定された例示的な実施例と図面を挙げて本発明を説明してきたが、本発明はこのような例示的な実施例に限定されるものではなく、本発明の属する分野における通常の知識を有する者であれば、以上のような記載から様々な修正及び変形が可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１，２: テストソケット組立体
１０: 被検査体
２０: 検査回路
１００: ソケットブロック
２００: 弾性接地部材
３００: 信号用プローブ
４００: 接地部材
５００: 接地ピン
６００: 結合部材
【図１】
2019510348.tif 000003
【図２】
2019510348.tif 000004
【図３】
2019510348.tif 000005
【図４】
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【図５】
2019510348.tif 000007
【図６】
2019510348.tif 000008
【図７】
2019510348.tif 000009
【国際調査報告】
2019510348.tif 000010
2019510348.tif 000011