(57)【要約】  閉鎖装置（１００、２００）、具体的には真空チャンバの開口を閉鎖するための閉鎖装置が設けられる。閉鎖装置は、真空チャンバに設けられ且つ開口（１１２）を含むフランジ（１１０）、開口（１１２）を閉鎖するように構成された封鎖装置（１２０、２２０）、封鎖装置の少なくとも一部を開放位置（Ｉ）から閉鎖位置（ＩＩ）へと移行させるため、フランジ（１１０）と封鎖装置（１２０）との間に磁気閉鎖力を生成するように構成された第１の磁気装置（１３０）、及び封鎖装置（１２０）をフランジ（１１０）と平行な第１の方向（Ｔ）にガイド構造に沿って非接触式で移送するように構成された磁気浮上システム（１５０）であって、第１の方向（Ｔ）を横切る第２の方向（Ｘ）に封鎖装置（１２０）を安定化するように構成された第２の磁気装置（１６０）を含む、磁気浮上システム（１５０）を含む。【選択図】図１Ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ（１０１）に設けられ且つ開口（１１２）を含むフランジ（１１０）、
前記開口（１１２）を閉鎖するように構成された封鎖装置（１２０、２２０）、
前記封鎖装置または前記封鎖装置の一部を開放位置（Ｉ）から閉鎖位置（ＩＩ）へと移行させるため、前記フランジ（１１０）と前記封鎖装置（１２０）との間に磁気閉鎖力を生成するように構成された第１の磁気装置（１３０）、及び
前記封鎖装置（１２０）を前記フランジ（１１０）と平行な第１の方向（Ｔ）にガイド構造に沿って非接触式で移送するように構成された磁気浮上システム（１５０）であって、前記第１の方向（Ｔ）を横切る第２の方向（Ｘ）に前記封鎖装置（１２０）を安定化するように構成された第２の磁気装置（１６０）を含む、磁気浮上システム（１５０）
を含む、閉鎖装置（１００、２００）。
【請求項２】
前記第２の磁気装置（１６０）はパッシブ磁気安定化装置を備える、請求項１に記載の閉鎖装置。
【請求項３】
前記第２の磁気装置（１６０）は、前記封鎖装置（１２０）の少なくとも１つの側面に固定された第１の複数の永久磁石（１６５）と、前記ガイド構造に固定された第２の複数の永久磁石（１６６）とを備える、請求項１または２に記載の閉鎖装置。
【請求項４】
前記第２の磁気装置（１６０）は、前記封鎖装置の上部を安定化するための上部磁気安定化装置（１６１）と、前記封鎖装置の下部を安定化するための下部磁気安定化装置（１６２）のうちの少なくとも１つを備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項５】
前記第２の磁気装置（１６０）は、前記封鎖装置を前記閉鎖位置（ＩＩ）から前記開放位置（Ｉ）へと移行するように構成される、請求項１から４のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項６】
前記磁気浮上システム（１５０）は、前記封鎖装置を前記ガイド構造において非接触式で保持するように構成された第３の磁気装置（１８０）を備え、具体的には前記第３の磁気装置（１８０）が複数のアクティブ磁気ベアリング（１８４）を備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項７】
前記第３の磁気装置（１８０）は、磁気アクチュエータ、及び前記封鎖装置（１２０）と前記ガイド構造との間の距離を測定するための距離センサを備え、前記磁気アクチュエータは制御ループで制御される、請求項６に記載の閉鎖装置。
【請求項８】
前記封鎖装置（１２０）は、前記ガイド構造の頂部レール（１８２）の下方に懸吊されるように構成され、前記頂部レール（１８２）に前記複数のアクティブ磁気ベアリング（１８４）が取り付けられている、請求項６または７に記載の閉鎖装置。
【請求項９】
前記複数のアクティブ磁気ベアリング（１８４）は、前記封鎖装置（２２０）、具体的には前記封鎖装置の頭部（２２２）に一体化されている、請求項６または７に記載の閉鎖装置。
【請求項１０】
前記磁気浮上システムは、前記封鎖装置（１２０）を前記ガイド構造に沿って前記第１の方向（Ｔ）に動かすための駆動装置（１７０）、具体的にはリニアモータをさらに備える、請求項１から９のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項１１】
前記第１の磁気装置（１６０）は、前記封鎖装置（１２０）全体を前記開放位置（Ｉ）から前記閉鎖位置（ＩＩ）へと移行するように構成され、具体的には前記封鎖装置（１２０）は１つの剛性部品として形成されている、請求項１から１０のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項１２】
前記封鎖装置（２２０）は、具体的には可撓接続部（２２５）を介して互いに対して可動な下部（２２１）と頭部（２２２）を備え、前記封鎖装置（２２０）を前記開放位置（Ｉ）から前記閉鎖位置（ＩＩ）に移行することは、前記頭部（２２２）なしで、前記下部（２２１）を前記フランジ（１１０）に向けて動かすことを含む、請求項１から１０のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項１３】
真空チャンバ（１０１）、
前記真空チャンバ（１０１）の内壁または外壁に設けられ且つ開口（１１２）を含むフランジ（１１０）、
前記開口（１１２）を閉鎖するように構成された封鎖装置（１２０）、
前記封鎖装置（１２０）または前記封鎖装置の一部を開放位置（Ｉ）から閉鎖位置（ＩＩ）へと移行させるため、前記フランジ（１１０）と前記封鎖装置（１２０）との間に磁気閉鎖力を生成するように構成された第１の磁気装置（１３０）、及び
前記封鎖装置（１２０）を前記フランジ（１１０）と平行な第１の方向（Ｔ）に非接触式で移送するように構成された磁気浮上システム（１５０）であって、前記第１の方向（Ｔ）を横切る第２の方向（Ｘ）に前記封鎖装置を安定化するように構成された第２の磁気装置（１６０）を備える、磁気浮上システム（１５０）
を備える、真空システム。
【請求項１４】
閉鎖装置（１００、２００）を操作する方法であって、
封鎖装置（１２０）を、真空チャンバ（１０１）に設けられ且つ開口（１１２）を含むフランジ（１１０）と平行な第１の方向（Ｔ）に非接触式で移送することと、
第２の磁気装置（１６０）によって、前記第１の方向（Ｔ）を横切る第２の方向（Ｘ）に前記封鎖装置（１２０）を磁気によって安定化させることと、
前記封鎖装置または前記封鎖装置の一部を、開放位置（Ｉ）から前記封鎖装置が前記開口を封止する閉鎖位置（ＩＩ）へと移行させるため、第１の磁気装置（１３０）によって前記フランジ（１１０）と前記封鎖装置（１２０）との間に磁気閉鎖力を生成することと、
を含む、方法。
【請求項１５】
封鎖装置を、前記第２の磁気装置（１６０）によって生成された磁力によって、閉鎖位置（ＩＩ）から開放位置（Ｉ）へと移行すること
をさらに含む、請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、閉鎖装置、具体的には第１の圧力領域と第２の圧力領域の間で、開口を真空気密に閉鎖するための閉鎖装置に関する。より具体的には、真空チャンバの開口を閉鎖するための閉鎖装置が記載される。実施形態はさらに、真空チャンバ及び、真空チャンバの開口を真空気密に閉鎖するための閉鎖装置を備える、真空システムに関する。実施形態はさらに、閉鎖装置を操作する方法、具体的には真空チャンバの開口を閉鎖する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空チャンバを大気環境に対して真空気密に閉鎖するため、または異なる圧力下にある真空システムの各領域を互いから分離するために、ロックバルブ、ゲートバルブ、ゲート、及び他の閉鎖装置が使用され得る。例えば、閉鎖装置が開放位置にあるときに、真空チャンバの中にか、真空チャンバから外にか、または真空システムの２つの領域間で、基板または他の物体を移送するために、ゲートバルブまたは別の閉鎖装置が、真空チャンバの閉鎖可能なドアとして、または２つの真空領域間の閉鎖可能な通路として使用され得る。この閉鎖装置の閉鎖位置では、異なる圧力下にある２つの領域が、蓋、パドル、または閉鎖装置の閉鎖プレートといった封鎖装置によって、互いから分離されている。
【０００３】
閉鎖装置は、典型的には真空チャンバの壁に接続されているかまたは真空チャンバの壁と一体的に形成されている固定構成要素であるフランジであって、フランジ壁に囲まれた開口が設けられている、フランジを含んでいてよい。閉鎖装置はさらに、フランジの開口を真空気密に閉鎖するように構成された蓋といった、可動の封鎖装置を含んでいてよい。蓋は、その閉鎖位置では、開口を取り囲んでいるフランジのシール面上に載っていてよく、それによってこの開口は封止される。蓋の開口位置では、開口は、その中を通って基板やマスクと言った構成要素を移送するために使用されてよい。
【０００４】
ディスプレイ、及び／またはＯＬＥＤ装置といった、例えば光学用途、電子用途、または光電子用途用の基板のサイズは、持続的に大きくなってきている。したがって、開放位置では大面積基板が中を通って移送されるように構成された、大きな開口部を有する閉鎖装置を設けることが、有益であるだろう。例えば、閉鎖装置の開口部は、０．５ｍ２以上の面積を有していてよい。
【０００５】
閉鎖装置の関連要因の一つは、例えば閉鎖装置の閉鎖状態にあるフランジのシール面に対して蓋が押し付けられたときの、蓋及びフランジの変形である。変形の結果、蓋とフランジの間に不均一な圧力が、具体的には封止要素上に不均一な圧力が、生じ得る。その結果高い閉鎖力が必要とされ得るが、これは例えばフランジと蓋との間の摩擦力によって、真空システム内に粒子が生成されることにつながり得る。粒子の生成は、真空の質に負の影響を与え得る。さらに、真空堆積システム内の小さい粒子によって、堆積結果に負の影響が生じ得る。なぜならば、粒子のうちの一部が、基板に付着し得るからである。
【０００６】
同様に、蓋の閉鎖動作中の弾性封止要素と蓋との間の相対的な動きも、粒子の生成につながり得る。
【０００７】
したがって、大型の開口をも確実に閉鎖する一方で、真空チャンバ内の摩擦力による粒子の生成を低減するように構成された真空チャンバ用の閉鎖装置を設けることが、有益であるだろう。
【発明の概要】
【０００８】
上記の観点から、閉鎖装置、真空システム、及び閉鎖装置の操作方法が、提供される。
【０００９】
本開示の一態様に従って、閉鎖装置が設けられる。閉鎖装置は、真空チャンバに設けられ且つ開口を含むフランジ、開口を閉鎖するように構成された封鎖装置、封鎖装置または封鎖装置の一部を開放位置から閉鎖位置へと移行させるため、フランジと封鎖装置との間に磁気閉鎖力を生成するように構成された第１の磁気装置、及び封鎖装置をフランジと平行な第１の方向にガイド構造に沿って非接触式で移送するように構成された磁気浮上システムであって、第１の方向を横切る第２の方向に封鎖装置を安定化するように構成された第２の磁気装置を含む、磁気浮上システムを含む。
【００１０】
ある実施形態では、開口付きフランジは、真空チャンバと一体的に形成されているか、または真空チャンバに接続されていてよい。したがって、フランジの開口部は真空チャンバの内壁または外壁内の開口を構成していてよい。
【００１１】
本開示のさらなる一態様に従って、真空システムが設けられる。真空システムは、真空チャンバ、真空チャンバの内壁または外壁に設けられ且つ開口を含むフランジ、開口を閉鎖するように構成された封鎖装置、封鎖装置または封鎖装置の一部を開放位置から閉鎖位置へと移行させるため、フランジと封鎖装置との間に磁気閉鎖力を生成するように構成された第１の磁気装置、及び封鎖装置をフランジと平行な第１の方向に非接触式で移送するように構成された磁気浮上システムであって、第１の方向を横切る第２の方向に封鎖装置を安定化するように構成された第２の磁気装置を含む、磁気浮上システムを含む。
【００１２】
ある実施形態では、真空システムは、真空システム内で大気圧より低い状態で１つ以上の層を基板上に堆積するように構成された、蒸気源といった少なくとも１つの堆積源を含んでいてよい。
【００１３】
本明細書に記載のさらなる態様にしたがって、閉鎖装置の操作方法が提供される。方法は、封鎖装置を、真空チャンバに設けられ且つ開口を含むフランジと平行な第１の方向に非接触式で移送することと、第２の磁気装置で、封鎖装置を第１の方向を横切る第２の方向に磁気によって安定化させることと、封鎖装置または封鎖装置の一部を、開放位置から封鎖装置が開口を封止する閉鎖位置へと移行するため、第１の磁気装置によってフランジと封鎖装置との間に磁気閉鎖力を生成することと、を含む。
【００１４】
本開示のさらなる態様、利点及び特徴は、明細書、及び添付の図面から明らかとなる。
【００１５】
本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、実施形態を参照することで、上で簡単に概説した本開示のより具体的な説明が得られてよい。添付の図面は、本開示の実施形態に関するものであり、以下で説明される。典型的な実施形態を図面に示し、以下の記載で詳説する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１Ａ】開放位置（Ｉ）にある、本明細書に記載の実施形態による閉鎖装置の概略断面図である。
【図１Ｂ】封鎖装置がフランジの開口を封止する閉鎖位置（ＩＩ）にある、図１Ａの閉鎖装置の概略断面図である。
【図２Ａ】封鎖装置が開口から離れた位置に移送されている、図１Ａの閉鎖装置の概略正面図である。
【図２Ｂ】封鎖装置が開口の前に配設されている、図１Ａの閉鎖装置の概略正面図である。
【図３Ａ】閉鎖位置（ＩＩ）にある、本明細書に記載の実施形態による閉鎖装置の概略正面図である。
【図３Ｂ】封鎖装置が開口から離れて移送されている、図３Ａの閉鎖装置の概略正面図である。
【図４】頭部と底部が追加で拡大図で描かれている、図３Ａの閉鎖装置の概略断面図である。
【図５】本明細書に記載の実施形態による閉鎖装置の概略断面図である。
【図６】本明細書に記載の実施形態による閉鎖装置の操作方法を示すフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
ここで、様々な実施形態を詳細に参照し、それらの１つ以上の実施例を図面に示す。各実施例は説明用として提示されており、限定を意味するものではない。例えば、一実施形態の一部として図示または説明される特徴は、他の任意の実施形態で使用して、または他の任意の実施形態と併せて使用して、さらに別の実施形態を生み出すことが可能である。本開示は、こうした修正形態及び変形形態を含むことが意図されている。
【００１８】
図面に関する以下の説明中、同じ参照番号は、同一または同様の構成要素を指している。個々の実施形態に関しては、相違点のみが説明される。別様に明記されていない限り、一実施形態の一部分または一態様の説明は、別の実施形態の対応する一部分または一態様にも当てはまる。
【００１９】
図１Ａは、開放位置（Ｉ）にある、本明細書に記載の実施形態による閉鎖装置１００の概略断面図である。開放位置（Ｉ）では、閉鎖装置１２０はフランジ１１０の開口１１２の前に配設されているが、開口１１２を真空気密に閉鎖してはいない。図１Ｂは、閉鎖位置（ＩＩ）にある、図１Ａの閉鎖装置１００の概略断面図である。閉鎖位置（ＩＩ）では、封鎖装置１２０が開口１１２を真空気密に封止している。
【００２０】
「閉鎖装置」とは、本明細書で使用する場合、例えば真空チャンバの内部空間と周囲環境といった、異なる圧力に維持される２つの領域間の開口を、開放及び閉鎖するように構成された設備、即ち限定しないが例として、真空システムのゲートバルブ、ロックバルブ、ゲートロック、またはスライドドアといったドアといった設備として理解されてよい。
【００２１】
「封鎖装置」とは、本明細書で使用する場合、開口を真空気密に閉鎖するために使用される、可動構成要素として理解されてよい。例えば、封鎖装置は、可動プレート、蓋、またはパドルとして構成されていてよいか、またはこれらを含んでいてよい。
【００２２】
フランジ１１０は、封鎖装置１２０用の相手プレート（ｃｏｕｎｔｅｒｐｌａｔｅ）を含んでいてよい。具体的には、フランジ１１０は、開口１１２を取り囲むシール面を有していてよく、封鎖装置１２０は、閉鎖装置の閉鎖位置（ＩＩ）で、フランジ１１０のシール面に向かって引き寄せられ得る。閉鎖位置（ＩＩ）では、弾性封止材といった封止要素が、封鎖装置１２０とフランジ１１０の間で作用し得る。
【００２３】
例えば、フランジ１１０のシール面に、少なくとも１つの封止要素が設けられていてよく、少なくとも１つの封止要素は、開口１１２を取り囲む封止リングを含んでいてよい。封鎖要素１２０がフランジのシール面に向かって動かされるとき、少なくとも１つの封止要素は、封鎖要素１２０の表面に対して押し付けられてよく、それによって開口１１２が封止される（図１Ｂ参照）。ある実施形態では、フランジのシール面の方を向いている封鎖装置のシール面内に、少なくとも１つの封止要素が設けられてよい。
【００２４】
フランジ１１０は、フランジ１１０の開口によって真空チャンバの外壁または内壁に開口が設けられるようにして、真空チャンバ（図１Ａでは図示せず）に取り付けられていてよい。ある実施形態では、フランジ１１０は、真空チャンバと一体的に形成されていてよい。例えば、フランジは、真空チャンバ内の開口を取り囲む、真空チャンバの壁部分であってよい。
【００２５】
閉鎖装置１００は、フランジ１１０に対して可動である封鎖装置１２０を含む。具体的には、封鎖装置１２０は、図１Ａに示す開放位置（Ｉ）と図１Ｂに示す閉鎖位置（ＩＩ）との間で移送され得る。閉鎖位置（ＩＩ）では、封鎖装置は開口を真空気密に封止する。開放位置から閉鎖位置への封鎖装置の動きは、フランジと垂直の方向、例えばフランジのシール面と垂直な方向であってよい。具体的には、封鎖装置はシール面に向かって閉鎖位置へと動き得るが、一方で封鎖装置とフランジは互いに平行に配向されている。その結果、封止要素はフランジと垂直な方向に均等に押圧されることができ、それによって、フランジと封鎖装置との間の摩擦接触の下での相対的な動きによる粒子の生成が、削減または防止され得る。
【００２６】
封鎖装置１２０は、基本的に垂直に配向されていてよい。言い換えれば、封鎖装置１２０の主な方向は、基本的に垂直の方向であってよい。「基本的に垂直」は、重力軸から＋／−２０°の逸脱を含んでいてよい。したがって、フランジ１１０もまた基本的に垂直に配向されていてよい。例えば、開口１１２は、真空チャンバの側壁内の開口であってよい。他の実施形態では、封鎖装置１２０及びフランジ１１０は、基本的に水平に配向されていてよい。例えば、開口１１２は、真空チャンバの頂壁内の開口であってよい。
【００２７】
閉鎖装置１００はさらに、封鎖装置１２０（または封鎖装置の少なくとも一部）を図１Ａの開放位置から図１Ｂの閉鎖位置へと移行するため、フランジ１１０と封鎖装置１２０との間に磁力を生成するように構成された、第１の磁気装置１３０を含む。フランジ１１０と封鎖装置１２０との間の磁力は、封鎖装置をフランジのシール面に向かって引き寄せる、磁気吸引力であってよい。
【００２８】
ある実施形態では、第１の磁気装置１３０は、１つ以上の磁石、具体的には電磁石を含む。この磁石は、この１つ以上の磁石が生成し得る磁気閉鎖力によって、封鎖装置１２０がフランジのシール面に向かって引き寄せられ得るようにして、フランジ１１０に設けられていてよい。磁気閉鎖力の方向は、図１Ｂの２本の左向きの矢印によって表されている。具体的には、第１の磁気装置１３０は、フランジ１１０に配設され、開口の周囲に分布する位置に設けられた、複数の磁石を含んでいてよい。例えば、開口に近接したフランジに、それぞれ、４つ以上の磁石が配設されてよい。
【００２９】
第１の磁気装置１３０は、制御可能な磁気閉鎖力を生成するように構成された、制御可能な磁気装置であってよい。例えば、アクティブ制御される磁気装置が設けられてよい。具体的には、第１の磁気装置によって生成される磁場の強さは、例えば、封鎖装置とフランジの間の距離に応じて、及び／または封鎖装置の両側の圧力差に応じて、可変であってよい。ある実施形態では、第１の磁気装置１３０は、封鎖装置とフランジの間に吸引力または反発力を選択的に生成し、それによって封鎖装置が第１の磁気装置１３０によって選択的に開放及び閉鎖され得るように構成されていてよい。他の実施形態では、第１の磁気装置１３０は、封鎖装置とフランジの間に、封鎖装置を閉鎖するための吸引力のみを提供するように構成されていてよい。
【００３０】
磁気閉鎖力は、フランジに対して基本的に垂直な方向、即ちフランジのシール面に対して垂直な方向に作用し得る。この方向は、以下では第２の方向（Ｘ）とも呼ばれている。図１Ａに示す開放位置（Ｉ）では、封鎖装置とフランジの間の距離は、例えば１ｃｍ以下、具体的には５ｍｍ以下といった、小さい距離であってよい。第１の磁気装置１３０は、封鎖装置または封鎖装置の一部を、１ｃｍ以下、具体的には５ｍｍ以下といった前記の距離にわたって、開放位置から閉鎖位置へと移行させるように構成されていてよい。封鎖装置とフランジの間に作用し得る封止要素の均一な変形が実現され得、摩擦力による粒子の生成が低減され得る。
【００３１】
第２の方向（Ｘ）は、典型的には水平方向であり、フランジは、典型的には基本的に垂直に配向されている。しかし、水平に配向されたフランジを、開放位置と閉鎖位置との間で基本的に垂直な方向に動く封鎖装置によって閉鎖することも、また可能である。
【００３２】
封鎖装置１２０は、フランジのシール面に対して押圧するように構成された閉鎖プレートを含んでいてよい。閉鎖プレートは、少なくとも部分的には、鉄、特に鋼を含む金属といった、磁性材料でできていてよい。さらに、閉鎖プレートは、閉鎖位置（ＩＩ）における封鎖装置の変形を低減するため、剛性で剛直な構成要素であってよい。
【００３３】
閉鎖装置１００は、封鎖装置１２０をフランジ１１０と平行な第１の方向（Ｔ）にガイド構造に沿って非接触式で移送するように構成された、磁気浮上システム１５０をさらに含む。磁気浮上システムは、封鎖装置１２０を、第１の方向（Ｔ）を横切る、具体的には第１の方向（Ｔ）と垂直な、第２の方向（Ｘ）に安定化するように構成された、第２の磁気装置１６０を含む。第１の方向（Ｘ）及び第２の方向（Ｔ）は、典型的には、どちらも基本的に水平な方向である。しかし、他の実施形態も可能である。
【００３４】
したがって、封鎖装置１２０は少なくとも２つの方向に可動である。封鎖装置は、フランジから遠ざかる方向、即ちフランジと垂直な方向に、閉鎖位置（ＩＩ）と開放位置（Ｉ）との間で移行することができ、また封鎖装置は、基本的にフランジと平行な第２の方向に、磁気浮上システムによって非接触式で移送することができる。封鎖装置の第２の方向（Ｔ）への移送は、スライドドア状の態様で実施されてよい。
【００３５】
図２Ａ及び図２Ｂは、図１Ａ及び図１Ｂの閉鎖装置１００の、右側から見た概略正面図を示す。図２Ａでは、封鎖装置１２０が、磁気浮上システム１５０によって、側方に向けて第１の方向（Ｔ）に、フランジ１１０に対して移送されている。その結果、フランジ１１０の開口１１２はもはや封鎖装置１２０によって覆われておらず、それによって、開口１１２を通って物体が邪魔されることなく移動し得る。例えば、基板またはマスクといった物体が、開口１１２を通って真空チャンバの内部に、または真空チャンバの外部へ、搬入出され得る。したがって、図２Ａに示す位置は、「搬入出位置」とも呼ばれ得る。
【００３６】
図２Ｂでは、封鎖装置１２０は、開口１１２の前に配設されており、開口を封鎖している。したがって、図２Ｂに示す位置は、「封鎖位置」と呼ばれ得る。図１Ａ及び図１Ｂの断面図は、封鎖位置にある閉鎖装置１００を示している。
【００３７】
ガイド構造は、封鎖装置１２０を第１の方向（Ｔ）に非接触式でガイドするための、いくつかの軌道またはレールを含んでいてよい。第１の方向（Ｔ）は、図１Ａの紙面に垂直な方向であり、図２Ａの紙面に平行な方向である。例えば、封鎖装置１２０の上方に、少なくとも部分的に、頂部レール１８２が設けられていてよく、封鎖装置の両側面に、少なくとも１つの側面ガイドレール、例えば上部側面ガイドレール及び下部側面ガイドレールが設けられていてよい。少なくとも１つの側面ガイドレールに沿って、第２の磁気装置１６０が設けられていてよく、封鎖装置を保持するため、頂部レールに第３の磁気装置が設けられていてよい。頂部レール１８２及び／または少なくとも１つの側面ガイドレールは、第１の方向（Ｔ）に、第１の方向（Ｔ）への開口１１２の幅よりも長い、具体的には５０ｃｍよりも長い、さらに具体的には７５ｃｍよりも長い、長さを有していてよい。例えば、封鎖装置１２０は、第１の方向（Ｔ）に、ガイド構造に沿って、２０ｃｍ以上、具体的には３０ｃｍ以上の距離を移送され得る。図２Ｂに示す位置では、開口１１２は完全に封鎖解除されていてよい。
【００３８】
磁気浮上システム１５０は、ガイド構造において封鎖装置を非接触式で保持し、封鎖装置をガイド構造に沿って第２の方向（Ｔ）、即ちフランジ１１０と平行に非接触式で移送するように構成されている。例えば、図１Ａでは、封鎖装置１２０はガイド構造において、即ち頂部レール１８２の下方、且つ側面ガイドレール間で、非接触式で保持されている。したがって、封鎖装置１２０が第２の方向（Ｔ）に移送されているとき、封鎖装置は、ガイド構造及び／または真空チャンバの別の固定構成要素と機械的接触を全く有しておらず、それによって、封鎖装置の摩擦接触による粒子の生成は、さらに低減され得る。封鎖装置の非接触式による移送は、封鎖装置が真空システム内部の通路、例えば２つの真空チャンバ間の通路を閉鎖するように構成されている場合に、特に有益である。
【００３９】
第２の磁気装置１６０は、第１の方向（Ｔ）に垂直に延びていてよい第２の方向（Ｘ）に、封鎖装置１２０を安定化するように構成されていてよい。言い換えれば、第２の磁気装置１６０は、封鎖装置１２０の移送方向に垂直な方向に、封鎖装置１２０を安定化するように構成されていてよい。
【００４０】
封鎖装置を、第２の磁気装置１６０によって移送方向に垂直な第２の方向（Ｘ）に安定化することは、いくつかの利点を提供し得る。例えば、封鎖装置の移送中、非接触式の搬送を可能にする一方で、封鎖装置とフランジの間の距離が、適切に維持され得る。さらに、封鎖装置の側面を安定化することによって、フランジのシール面に対する、封鎖装置の平行な配向が得られてよく、維持されてよい。封鎖装置の側面を非接触式で磁気によって安定化することは、さらに有益である。なぜならば、粒子の生成が低減され得るし、位置決めの高度な正確性が実現し得るからである。
【００４１】
ある実施形態では、第２の磁気装置１６０は、第１の方向（Ｔ）への移送中、フランジから所定の距離のところで封鎖装置を保持するように構成されていてよい。例えば、第２の磁気装置１６０は、２側面における安定化を提供してよい。言い換えれば、封鎖装置が移送中にフランジから離れる傾向がある場合には、第２の磁気装置は封鎖装置がフランジの方向に戻るように促してよく、封鎖装置が移送中にフランジに接近しすぎる傾向がある場合には、第２の磁気装置は、封鎖装置が図１Ａに示す均衡位置に向かってフランジから離れるように促してよい。第２の磁気装置１６０は、磁力を介して封鎖装置に作用するように構成されていてよい。
【００４２】
ある実施形態では、第２の磁気装置１６０は、複数の磁石、例えば電磁石、及び／または永久磁石を含む。永久磁石が便利であり得る。なぜならば、電力が一切必要とされないからである。例えば、永久磁石は、ガイド構造に沿った移送中に、封鎖装置を図１Ａに示す均衡位置で安定化するため、２つの対向する側面から封鎖装置に作用し得る。
【００４３】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わされてよいある実施形態では、第２の磁気装置１６０はパッシブ（ｐａｓｓｉｖｅ：受動的な）磁気安定化装置を含む。パッシブ磁気安定化装置は、アクティブ制御を受けない磁気装置であるとして理解されてよい。例えば、距離といった入力パラメータに応じて制御される、電流といった出力パラメータは、全く存在しない。むしろ、パッシブ磁気安定化装置は、フィードバック制御を全く受けることなしに、封鎖装置を所定の位置で安定化してよい。
【００４４】
ある実施形態では、第２の磁気装置１６０は、封鎖装置１２０の少なくとも１つの側面に固定された第１の複数の永久磁石１６５と、ガイド構造、例えばガイド構造の側面ガイド部分に固定された第２の複数の永久磁石１６６とを含んでいてよい。封鎖装置上の第１の複数の永久磁石１６５は、側面ガイド部分上の第２の複数の永久磁石１６６の方に面していてよく、その結果、例えば第１の複数の永久磁石１６５と第２の複数の永久磁石１６６との間に反発力が生成される。具体的には、第１の複数の永久磁石及び第２の複数の永久磁石の、同じ極性を持つ極（Ｎ極またはＳ極）同士は、互いに向き合っていてよく、それによって例えば反発力が生じる。
【００４５】
ある実施形態では、ガイド構造は、封鎖装置１２０の第１の側面上に配設された第１の側面ガイド部１６８と、封鎖装置の、第１の側面とは反対側の第２の側面上に配設された第２の側面ガイド部１６９とを備えていてよく、第２の複数の永久磁石１６６の永久磁石は、第１の側面ガイド部１６８と第２の側面ガイド部１６９の両方に取り付けられている。さらに、第１の複数の永久磁石１６５の永久磁石は、封鎖装置１２０の背向する両面に取り付けられていてよい。その結果、封鎖装置１２０は、封鎖装置の両面に作用する対向する磁力によって、第１の側面ガイド部１６８と第２の側面ガイド部１６９の間の均衡位置へと促されてよい。
【００４６】
図１Ａでは、１つの極性を持つ極（例えばＳ極）が横線の網掛けで表され、反対の極性を持つ極（例えばＮ極）が縦線の網掛けで表されている。図１Ａから分かるように、封鎖装置の第１の側面では同じ極性の極同士が互いに向き合っており、それによって、封鎖装置が第１の側面ガイド部１６８から離れるように促され、封鎖装置の第２面でも同じ極性の極同士が互いに向き合っており、それによって、封鎖装置が第２の側面ガイド部１６９からも離れるように促される。その結果、封鎖部は、第１の側面ガイド部と第２の側面ガイド部との間の中央位置で安定化されてよい。
【００４７】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わされてよいある実施形態では、第２の磁気装置１６０は、封鎖装置１２０の下部を安定化するための下部磁気安定化装置１６２を含み得る。例えば、封鎖装置１２０の底部端は、図１Ａに概略的に示されているように、ガイド構造のＵ字形のガイドレール１６７内に突き出していてよい。Ｕ字形のガイドレールは、封鎖装置の第１面に面する永久磁石を有する第１の側面ガイド部１６８と、封鎖装置の第２面に面する永久磁石を有する第２の側面ガイド部１６９を含んでいてよい。封鎖装置の両面に配設された永久磁石によって、封鎖装置は均衡位置へと促される。均衡位置は、第１の側面ガイド部１６８と第２の側面ガイド部１６９との間の、Ｕ字形ガイドレール１６７の中央位置に相当し得る。
【００４８】
代わりに、またはさらに、封鎖装置１２０の上部を第２の方向（Ｘ）に安定化するための上部磁気安定化装置１６１が設けられてもよい。下部磁気安定化装置１６２と同様に、上部磁気安定化装置１６１は、第１の側面ガイド部１６８及び第２の側面ガイド部１６９を含んでいてよく、封鎖装置１２０は、第１の側面ガイド部１６８と第２の側面ガイド部１６９の間に配設されて、両面からの磁力が封鎖装置１２０に作用することによって、均衡位置へと促されてよい。
【００４９】
上部磁気安定化装置と下部磁気安定化装置を設けることによって、封鎖装置１２０の配向が必要に応じて正確にセットされ得る。例えば、封鎖装置の垂直の配向が確保され得る。
【００５０】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わされてよいある実施形態では、第１の複数の永久磁石１６５及び第２の複数の永久磁石１６６は、封鎖装置１２０の両面上に配置されていてよく、その結果、例えば垂直上方に作用する磁力効果が生成されてよい。前記磁力効果は、封鎖装置１２０の重量の一部が第２の磁力装置１６０によって担われ得るように、封鎖装置１２０を上方に促してよい。簡潔に言うと、両側から第１の側面ガイド部１６８と第２の側面ガイド部１６９との間の均衡位置に促される封鎖装置１２０は、垂直方向上方に上がることによって、上記の対向して作用する磁力から逃れようと試みるのである。
【００５１】
第２の磁力装置１６０の垂直に作用する力の効果は、ガイド構造に固定された第２の永久磁石の第２の高さとは異なる第１の高さで、封鎖装置１２０に固定された第１の永久磁石を設けることによって、増大されてよい。例えば、図１Ａに概略的に示されているとおり、封鎖装置１２０に固定された第１の永久磁石は、垂直方向上方に作用する磁力を得るために、ガイド構造に固定された第２の永久磁石よりもわずかに高い位置に配設されている。
【００５２】
ある実施形態では、下部磁気安定化装置１６２と上部磁気安定化装置１６１の両方が、図１Ａに概略的に示されているとおり、垂直力効果を提供してよい。
【００５３】
ある実施形態では、第２の磁力装置１６０は、封鎖装置１２０に作用する垂直磁力を生成するように構成されていてよい。この力は、封鎖装置１２０の重量の１０％以上、具体的には２０％以上、より具体的には５０％以上を担い得る。例えば、第２の磁気装置１６０は、封鎖装置１２０の重量のうちの２０ｋｇ以上、具体的には５０ｋｇ以上を担うように構成されていてよい。封鎖装置の重量の少なくとも一部を担う永久磁石を設けることは、有益であり得る。なぜならば、この永久磁石には、電力の供給が全く不要であるからである。
【００５４】
第１の磁力装置１３０の磁気閉鎖力は、封鎖装置１２０を図１Ａに示す均衡位置から、フランジ１１０に向かって引き離し、図１Ｂに示す閉鎖位置（ＩＩ）へと引き寄せ得る。
【００５５】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わされてよいある実施形態では、第２の磁気装置１６０は、封鎖装置を閉鎖位置（ＩＩ）から開放位置（Ｉ）へと移行させるように構成されていてよい。具体的には、第１の磁気装置１３０は、封鎖装置を閉鎖するための磁気閉鎖力を生成するように構成されていてよく、第２の磁気装置１６０は、封鎖装置を開放するための磁力を生成するように構成されていてよい。封鎖装置１２０を閉鎖位置（ＩＩ）から開放位置（Ｉ）へと移行させるために、第１の磁気装置１３０の磁気閉鎖力が低減されるかスイッチオフされてよく、それによって、第２の磁気装置１６０の磁気安定化力が封鎖装置をフランジ１１０から離して、図１Ａに示す均衡位置へと動かしてよい。図１Ａに示す均衡位置は、開放位置（Ｉ）に相当する。
【００５６】
第２の磁力装置１６０は永久磁石を含むパッシブ磁気装置であり得るので、封鎖装置を開放するためにさらなる力は不要であってよい。むしろ、封鎖装置を開放するためには、磁気閉鎖装置を低減するか、スイッチオフすれば十分であり得る。
【００５７】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わされてよいある実施形態では、磁気浮上システム１５０は、ガイド構造において封鎖装置を非接触式で保持するように構成された、第３の磁気装置１８０を含んでいてよい。第３の磁気装置１８０は、少なくとも部分的に、封鎖装置１２０の上に配設されていてよく、封鎖装置１２０を上方に吸引し得る垂直磁力を生成してよい。具体的には、封鎖装置１２０は、ガイド構造の頂部レール１８２の下に、第３の磁気装置１８０によって生成された磁気吸引力で懸吊されていてよい。
【００５８】
第３の磁気装置１８０は、複数のアクティブ（ａｃｔｉｖｅ：能動的な）磁気ベアリング１８４を含んでいてよい。例えば、アクティブ磁気ベアリング１８４のコイルが封鎖装置１２０に一体化されているか、及び／または、アクティブ磁気ベアリング１８４のコイルがガイド構造、例えばガイド構造の頂部レール１８２内に一体化されていてよい。
【００５９】
図１Ａ及び図１Ｂの実施形態では、アクティブ磁気ベアリング１８４は、ガイド構造に一体化されている。アクティブ磁気ベアリング１８４の下方に配設されている封鎖装置１２０の頭部が、アクティブ磁気ベアリング１８４に向かって引き寄せられてよい。第３の磁気装置１８０は、封鎖装置の重量の少なくとも一部を担ってよい。既に上記したとおり、封鎖装置の重量のさらなる部分が、第２の磁気装置１６０によって生成される垂直磁力効果によって担われてよい。他の実施形態では、封鎖装置１２０の全重量が、第３の磁気装置１８０によって担われてよい。
【００６０】
アクティブ磁気ベアリング１８４は、アクティブ制御される磁気アクチュエータであるとして理解されてよい。例えば、アクティブ磁気ベアリングに印加される電流といった出力パラメータは、距離、例えば封鎖装置１２０とガイド構造との間の距離といった、入力パラメータに応じて制御され得る。具体的には、頂部レール１８２と封鎖装置１２０との間の距離は、距離センサによって測定されてよく、アクティブ磁気ベアリングの磁場強度は、測定された距離に応じてセットされてよい。磁場強度は、所定の閾値を上回る距離の場合には増大されてよく、所定の閾値を下回る距離の場合には低減されてよい。アクティブ磁気ベアリング１８４は、閉ループ制御またはフィードバック制御で制御されてよい。封鎖装置１２０の上部に、頂部レール１８２内のアクティブ磁気ベアリング１８４によって引き寄せられる、対応するこちら側の磁石（ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｃｏｕｎｔｅｒｐａｒｔ）が取り付けられてよい。
【００６１】
こうして、封鎖装置１２０は、非接触式の浮上状態でガイド装置に保持され移送されることができ、これは有益なことである。なぜならば、真空システム内で、粒子生成といった汚染が低減され得るか、回避され得るからである。
【００６２】
ある実施形態では、各アクティブ磁気ベアリング１８４は、磁気アクチュエータ、及び、封鎖装置とガイド構造との間の距離を測定するための距離センサを含んでいてよく、磁気アクチュエータは、具体的には制御ループまたはフィードバックループで、測定された距離に応じて制御されてよい。
【００６３】
封鎖装置１２０が極端に硬い方向、具体的には基本的に垂直の方向に、アクティブ磁気ベアリング１８４が作用するときには、アクティブ制御によって誘発され得るブロック装置１２０の振動は低減され得る。一方で、封鎖装置は、第２の方向（Ｘ）、即ち横方向にもっと可撓性があってよい。しかし、横方向への振動の誘発は、封鎖装置の側面安定化を提供する第２の磁気装置１６０がパッシブ磁気安定化装置として構成されているときに、低減され得るかまたは回避され得る。その結果として、振動誘発のリスクがない、正確な非接触式の封鎖装置の移送が可能になる。
【００６４】
図２Ａ及び図２Ｂに概略的に示すように、第１の方向（Ｔ）にガイド構造に沿って、複数のアクティブ磁気ベアリング１８４が設けられてよい。例えば、３個、５個、１０個、またはそれよりも多くのアクティブ磁気ベアリングが設けられてよい。ある実施形態では、２つの隣接するアクティブ磁気ベアリングの間の距離は、封鎖装置１２０の第１の方向（Ｔ）の幅の寸法よりも小さくてよい。それによって、少なくとも２つのアクティブ磁気ベアリングが、移送中の任意の時点で封鎖装置と係合していてよい。
【００６５】
ある実施形態では、封鎖装置１２０は、ガイド構造の頂部レール１８２から下方に非接触式に懸吊されている閉鎖プレートとして構成されている。頂部レール１８２には、複数のアクティブ磁気ベアリング１８４が取り付けられている。具体的には、封鎖装置１２０自体は、純粋にパッシブな構成要素であってよく、即ち、封鎖装置１２０への電気といった媒体の供給なしに、移送可能であってよい。例えば、図１Ａに示すように、第１の磁気装置１３０と第３の磁気装置１８０のアクティブ構成要素は、それぞれフランジ１１０内とガイド構造内に一体化されていてよく、封鎖装置１２０は、第１の複数の永久磁石１６５といった、純粋にパッシブな構成要素を含んでいてよい。可動の封鎖装置をパッシブ構成要素として設けることは、有益である。なぜならば、制動チェーンといった、封鎖装置用の可動の媒体供給装置が一切不要であり得るからである。
【００６６】
磁気浮上システム１５０は、封鎖装置全体を開放位置（Ｉ）から閉鎖位置（ＩＩ）へと移行するように構成されていてよい。具体的には、封鎖装置１２０は、開放位置（Ｉ）と閉鎖位置（ＩＩ）の間をまとまって移行し得る、また磁気浮上システム１５０によって第１の方向（Ｔ）にまとまって移送され得る、金属プレートまたは金属パドルといった、１つのモノリシックなまたは剛性の部品として形成されてよい。
【００６７】
他の実施形態では、封鎖装置１２０は、互いに対して可動であってよい、いくつかの部品を含み得る。これらの部品のうちの一部は、封鎖装置１２０の一部が開放位置と閉鎖位置の間を動いている間、静止したままであってよい。例えば、封鎖装置は、フレームまたはカートといったキャリアに対して可動に保持されている、閉鎖プレートを含んでいてよい。キャリアと閉鎖プレートは、磁気浮上システム１５０によって、組み合わされて第１の方向（Ｔ）に移送されてよいが、閉鎖プレートは、第１の磁気装置１３０によって、キャリアなしで第２の方向（Ｘ）に移送されてもよい。
【００６８】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わされてよいある実施形態では、磁気浮上システム１５０は、ガイド構造に沿って第１の方向（Ｔ）に封鎖装置１２０を動かすための、駆動装置（ｄｒｉｖｅ）１７０をさらに含んでいてよい。駆動装置は、封鎖装置１２０を駆動構造に沿って非接触式に移動させ得る、リニアモータであってよい。さらに、または代わりに、他の非接触式駆動装置を設けることもできる。
【００６９】
図２Ａは、図１Ａの閉鎖装置１００を概略正面図で示す。封鎖装置１２０は、スライドドアの態様で、フランジ１１０の開口１１２に対して左側に移送されており、それによって開口１１２が、物体が開口１１２を通って搬入出され得る搬入出位置になっている。図２Ｂは、図１Ａの閉鎖装置１００を示す。閉鎖装置１００は開口１１２の前に配設されており、開口を覆っている。
【００７０】
封鎖装置１２０を第１の方向（Ｔ）に非接触式で搬送するために、磁気浮上システムが設けられる。磁気浮上システムは、第３の磁気装置１８０、及び第２の磁気装置１６０を含む。第２の磁気装置１６０は、封鎖装置１２０を第２の方向（Ｘ）に安定化するための、パッシブ磁気安定化装置を含んでいてよい。第２の磁気装置１６０は、オプションで、上部磁気安定化装置１６１及び下部磁気安定化装置１６２を含んでいてよい。第３の磁気装置１８０は、封鎖装置１２０の垂直位置をアクティブに安定化させるように構成されていてよい。第３の磁気装置は、少なくとも部分的に、封鎖装置の上方に配列されていてよい。第３の磁気装置１８０は、封鎖装置１２０の重量の少なくとも一部を担い、且つ封鎖装置１２０の所定の垂直位置を維持するように構成されていてよい。
【００７１】
さらに、封鎖装置１２０を移送方向（Ｔ）に移動するための駆動装置１７０が、図２Ａ及び図２Ｂに示されている。駆動装置１７０は、封鎖装置１２０の一側面に配置されていてよい。代わりに、駆動装置１７０は、封鎖装置１２０の上方または下方に配設されていてもよい。例えば、頂部レール１８２か、またはガイド構造の底部レールと一体化されていてよい。
【００７２】
図３Ａは、本明細書に記載の実施形態による閉鎖装置２００の概略前面図であり、封鎖装置２２０が閉鎖されてフランジ１１０の開口１１２（図３Ａでは破線で示す）を封止している、閉鎖位置にある。図３Ｂは、図３Ａの閉鎖装置２００の概略正面図である。封鎖装置２２０は、開口１１２を通って物体が搬入出され得る、搬入出位置へと移送されている。
【００７３】
図４は、図３Ａの閉鎖装置２００の断面図である。閉鎖装置２００の上部と閉鎖装置２００の下部が、それぞれ拡大図で示されている。
【００７４】
閉鎖装置２００は、図１Ａ及び１Ｂに示す閉鎖装置１００と同様であり、それによって上記の説明（ここでは繰り返さない）を参照することが可能である。
【００７５】
具体的には、封鎖装置２２０は、磁気浮上システムによって図３Ａの位置と図３Ｂの位置の間を第１の方向（Ｔ）に移送されるように構成されている。磁気浮上システムは、封鎖装置２２０を、第１の方向（Ｔ）を横切る第２の方向（Ｘ）に安定化するように構成された第２の磁気装置１６０と、封鎖装置を保持するように構成された第３の磁気装置１８０とを含む。ある実施形態では、第３の磁気装置１８０は、少なくとも部分的に、封鎖装置２２０の上方に配設されており、それによって封鎖装置が、第３の磁気装置１８０の下で磁気保持力によって非接触式に保持され得る。ある実施形態では、第２の磁気装置１６０は、封鎖装置２２０の背向する両面上に配設されている。その結果、例えば第２の方向（Ｘ）への、磁気による封鎖装置の側面安定化がもたらされる。第２の方向（Ｘ）は、第１の方向（Ｔ）に垂直な水平方向であってよい。
【００７６】
第３の磁気装置１８０は、アクティブ制御装置として構成されていてよく、具体的には、フィードバックループで制御されるアクティブ磁気ベアリング１８４を含んでいてよい。それによって、封鎖装置２２０の所定の垂直位置が維持され得る。
【００７７】
第２の磁気装置１６０は、パッシブ磁気安定化装置としてか、アクティブ磁気安定化装置としてか、またはアクティブとパッシブ混合式の磁気安定化装置として構成されていてよい。例えば、封鎖装置１２０の下部を安定化するためにパッシブ磁気安定化装置が設けられてよく、封鎖装置１２０の頭部を第２の方向（Ｘ）に安定化するためにアクティブ磁気安定化装置が設けられてよく、この逆でもよい。他の実施形態では、例えば、封鎖装置１２０の下部を安定化するためにパッシブ磁気安定化装置が設けられてよく、図１Ａに示す実施形態と同様に、封鎖装置１２０の頭部を第２の方向（Ｘ）に安定化するためにさらなるパッシブ磁気安定化装置が設けられてよい。
【００７８】
ある実施形態では、第３の磁気装置１８０のアクティブ磁気ベアリング１８４は、封鎖装置と、具体的には封鎖装置２２０の頭部２２２と一体化されていてよい。頂部レール１８２は、アクティブ制御される磁気アクチュエータなしの単純な金属の軌道といった、純粋にパッシブな軌道として構成されていてよい。具体的には、第３の磁気装置１８０のアクティブ構成要素は、封鎖装置２２０と、具体的には封鎖装置の頭部２２２と一体化されていてよい。
【００７９】
封鎖装置の頭部２２２に、電気、制御信号、及び／または冷却流体といった供給媒体を供給するための媒体供給装置が設けられてよい。媒体供給装置は、制動チェーンとして構成されていてよい。
【００８０】
ある実施形態では、封鎖装置は、第１の方向（Ｔ）に、２０ｃｍ以上、または１ｍ以下の距離を移送され得る。移送経路の長さが制限されているため、移送中に封鎖装置に供給媒体を供給するための制動チェーンといった媒体供給装置を設けることは可能であり得、その複雑さは許容可能なものである。
【００８１】
ある実施形態では、アクティブ磁気側面安定化装置のアクティブ磁気ベアリング２２８は、封鎖装置と、具体的には封鎖装置２２０の頭部２２２と、一体化されていてよい。例えば、図４に概略的に示されているように、封鎖装置の頭部２２２は、垂直方向の保持力を提供する第３の磁気装置のアクティブ磁気ベアリング１８４と、水平方向のアクティブ側面安定化を提供する第２の磁気装置１６０のアクティブ磁気ベアリング２２８を含んでいてよい。
【００８２】
ある実施形態では、封鎖装置２２０の頭部２２２は、頭部２２２が誘発された振動の影響を受ける受けやすさが、複数の方向で軽減されるような形状をしていてよい。例えば、頭部は、例えば垂直方向と少なくとも１つの横方向といった少なくとも２つの方向に５ｃｍ以上、具体的には１０ｃｍ以上の厚さを有する、大きな金属の構成要素であってよい。例えば、頭部２２２の断面形状は、最低５ｃｍの厚さを有する、長方形または基本的に正方形の形状であってよい。
【００８３】
具体的には、頭部２２２の位置は、アクティブ磁気ベアリング１８４によって垂直方向に、且つアクティブ磁気ベアリング２２８によって第２の方向（Ｘ）に、アクティブに安定化されてよい。頭部２２２の厚さは、垂直方向と第２の方向のどちらにも、５ｃｍ以上であってよい。前記アクティブな安定化による振動の誘発は、低減され得る。
【００８４】
ある実施形態では、封鎖装置を第１の方向（Ｔ）に移動するためのアクティブ磁気ベアリング１８４の駆動用電子装置といった駆動用電子装置、及び／または駆動装置１７０の駆動用電子装置は、封鎖装置、具体的には封鎖装置の頭部２２２に一体化されていてよい。頂部レール１８２は、例えば単純な金属レールといったパッシブ構成要素であってよい。
【００８５】
具体的には、図４に示すように、ガイド構造に沿って第１の方向（Ｔ）に封鎖装置２２０を移動するために、直線駆動装置１７０が設けられていてよい。駆動装置１７０のコイルユニットは頭部２２２に一体化されていてよく、頂部レール１８２の磁気レール内でガイドされていてよい。具体的には、磁気レールが、第１の方向（Ｔ）に沿って配設された永久磁石を含んでいてよい。
【００８６】
本明細書に記載の他の実施形態と組み合わされてよいある実施形態では、封鎖装置２２０は、下部２２１と頭部２２２を含んでいてよく、これらは互いに対して可動であってよい。下部２２１は、頭部２２２の下方に配設されてよく、機械的接続によって頭部２２２から懸吊されていてよい。頭部２２２と下部２２１は、例えばヒンジ接続といった可撓接続部２２５を介して接続されていてよい。その結果、頭部２２２は下部２２１から振動的に切り離されていてよく、それによって、頭部のアクティブな安定化による頭部の振動の可能性が下部に与える影響は、低減され得る。
【００８７】
磁気浮上システムは、図３Ａ及び図３Ｂに示すように、頭部２２２と下部２２１の両方を揃って第１の方向（Ｔ）に移送するように構成されていてよい。一方で、封鎖装置２２０をフランジ１１０に向けて開放位置（Ｉ）から閉鎖位置（ＩＩ）へと移行させることは、封鎖装置の下部２２１を頭部２２２なしでフランジ１１０に向けて動かすことを含んでいてよい。例えば、頭部が元の位置に留まり、下部２２１のみが第１の磁気装置１３０によってフランジ１１０に向けて吸引されてよい。頭部２２２と下部２２１の間の可撓接続部２２５によって、下部２２１のフランジに向けた開放位置（Ｉ）と閉鎖位置（ＩＩ）の間の移行が可能になってよい。
【００８８】
図４に示す第２の磁気装置１６０は、図１Ａの下部磁気安定化装置１６２と同様であってよい下部磁気安定化装置１６２を含んでいてよく、それによって上記の実施形態（ここでは繰り返さない）を参照することが可能である。
【００８９】
本明細書に記載のさらなる実施形態によれば、真空システム３００が設けられる。本明細書に記載の実施形態による真空システム３００が、図５に概略的に示されている。真空システム３００は、真空チャンバ１０１（部分的に示されている）、具体的には、互いに接続されていてよい複数の真空チャンバまたは真空モジュールを含んでいる。いくつかの真空チャンバ間に、または真空チャンバと大気環境との間に、閉鎖可能な通路またはゲートロック通路が設けられていてよい。本明細書に示すあらゆる実施形態による閉鎖装置は、真空システムの前記通路、運送路（ｔｒａｎｓｉｔ）、ゲートロック、または他の開口のうちの１つ以上を閉鎖するために設けられていてよい。図５は、例示的な真空システムの真空チャンバ１０１の壁の一部を概略的に示す。
【００９０】
真空システム３００の真空チャンバのうちの少なくとも１つの中に、堆積源、具体的には、蒸気源、スパッタ源、及びＣＶＤ源のうちの１つ以上が、配設されていてよい。被覆される基板は、例えば堆積源を収容しているある真空チャンバと隣接する真空チャンバとの間を、真空システムを通って移送されてよい。本明細書に記載の実施形態による１つ以上の閉鎖装置を有する真空システムを設けることによって、真空システム内の粒子生成を低減することができ、堆積結果を向上することができる。
【００９１】
真空チャンバ１０１の内壁または外壁に、開口１１２付きのフランジ１１０が設けられる。フランジ１１０は、真空チャンバに固定されていてよい。さらに、開口１１２を閉鎖するように構成された、蓋またはパドルといった封鎖装置１２０が設けられる。封鎖装置１２０は、図５に示す開放位置と、封鎖装置が開口を封止する閉鎖位置との間を、第１の磁気装置１３０によって移行され得る。第１の磁気装置１３０は、封鎖装置または封鎖装置の一部を開放位置から閉鎖位置へと移行させるため、フランジ１１０と封鎖装置１２０との間に磁気閉鎖力を生成するように構成されている。さらに、封鎖装置１２０を、フランジ１１０と平行な第１の方向（Ｔ）に非接触式で移送するように構成された、磁気浮上システム１５０が設けられる。第１の方向（Ｔ）は、図５の紙面と垂直な方向であってよい。磁気浮上システムは、封鎖装置を、磁気浮上システムによる移送中に第１の方向（Ｔ）を横切る第２の方向（Ｘ）に安定化するように構成された、第２の磁気装置１６０を含む。
【００９２】
図５に示す実施形態の閉鎖装置は、図１Ａの閉鎖装置１００及び／または図３Ａの閉鎖装置２００の、いくつかの特徴または全ての特徴を含んでいてよく、それによって上記の実施形態（ここでは繰り返さない）を参照することが可能である。
【００９３】
図５は、第１の磁気装置１３０及びフランジ１１０をより詳細に示す。フランジ１１０は、シール面１１４を含んでいてよい。シール面１１４には、弾性封止要素１１５が設けられていてよい。例えば、弾性封止要素１１５は、シール面１１４内に形成された溝の中に設けられた封止リングであってよい。封鎖装置１２０は、閉鎖位置では、開口１１２を取り囲んでいてよい弾性封止要素１１５に押圧されている。
【００９４】
シール面１１４は、基本的に平坦な面であってよい。開放位置では、基本的に平坦な封鎖装置１２０の対向面は、シール面１１４に接近した距離に配設されていてよい。第２の方向（Ｘ）は、シール面１１４に基本的に垂直であってよい。封鎖装置１２０の対向面内に弾性封止要素を設けることも、また可能である。
【００９５】
第１の磁気装置１３０の複数の磁石１３１によって生成される磁気閉鎖力は、第２の方向（Ｘ）、即ちシール面１１４と垂直な方向に作用してよい。封鎖要素１２０は、対応するこちら側の磁気部品（ｍａｇｎｅｔｉｃ  ｃｏｕｎｔｅｒｐａｒｔ）１３２、例えば、鉄もしくは鋼の部分、または永久磁石の部分を含んでいてよく、この対応するこちら側の磁気部品１３２は、磁気閉鎖力によってフランジ１１０に向かって引き寄せられてよい。代わりに、封鎖装置１２０の閉鎖プレート全体が、鋼といった磁気材料からできていてもよい。複数の磁石１３１は、電磁石、具体的にはコイルを含んでいてよい。必要に応じて、即ち測定された圧力差に応じて、または測定された距離に応じて、コイルを通って流れる電流を調整することで、磁気閉鎖力を適合させ得る。
【００９６】
ある実施形態では、第１の磁気装置１３０は、フランジ１１０と封鎖装置１２０の間の距離を測定する距離センサ１３５を含む。その結果、磁気閉鎖力は、距離センサ１３５によって測定された距離に応じて制御され得る。フランジ１１０のシール面１１４と、閉鎖位置にある封鎖装置１２０との間の距離は、例えば、真空チャンバの排気中などの、フランジと閉鎖位置にある封鎖装置との間の直接的な金属接触を回避するために、正確に制御され得る。
【００９７】
複数の磁石１３１と１つ以上の距離センサとを連結する、１つ以上の制御ループ１３６が設けられてよい。制御ループ１３６は、距離センサ１３５に接続された、設定点生成器１３７を含んでいてよい。設定点生成器１３７は、測定された距離を、中央制御装置によってセットされていてよい所定の距離設定点と比較する。制御装置１３９に、増幅器１３８経由で複数の磁石１３１に対して供給される制御信号を生成する、各比較信号が供給されてよい。増幅された制御信号は、封鎖装置１２０とフランジ１１０の間の所定の距離が、複数の磁石１３１によって生成された磁気閉鎖力によって維持されるようにして、構成されている。制御ループ１３６の電子素子は、例えば単一のボード上に設けられた集積回路として構成されていてよい。第１の磁気装置１３０の空間要件が、削減され得る。
【００９８】
封鎖装置１２０とフランジ１１０との間の距離が、開口１１２の周囲の複数の位置において正確にセットされ得るように、複数の制御ループ１３６が設けられてよい。粒子の生成を低減し、弾性封止要素１１５の均一な押圧を実現することができる。
【００９９】
ある実施形態では、電磁石としてフランジに設けられた複数の磁石１３１が、封鎖装置１２０とフランジ１１０の間に可変吸引力を生成するように構成されてよい。封鎖装置１２０とフランジ１１０の間の反発力は、第２の磁気装置１６０によって生成された磁気安定化力であってよい。第２の磁気装置１６０は、各側部ガイドレールに沿って、第１の搬送方向（Ｔ）に沿って配設された永久磁石を含む、パッシブな磁気安定化装置であってよい。第２の磁気装置１６０の永久磁石が、封鎖装置を２つの対向する側から図５に示す均衡位置へと促してよい。第２の磁気装置１６０は、封鎖装置を均衡位置に促すように構成された、上部磁気安定化装置１６１及び下部磁気安定化装置１６２を含んでいてよい。
【０１００】
図６は、本明細書に記載の実施形態による閉鎖装置の操作方法を示すフロー図である。
【０１０１】
ボックス６１０では、封鎖装置１２０はフランジ１１０と平行な第１の方向（Ｔ）に非接触式で移送されている。フランジは、真空チャンバに設けられており、開口を含んでいる。封鎖装置１２０は移送中、第２の磁気装置１６０で、第１の方向（Ｔ）を横切る、具体的には第１の方向（Ｔ）に垂直な第２の方向（Ｘ）に、磁気によって安定化されている。移送中、封鎖装置は基本的に垂直の配向を有していてよい。
【０１０２】
封鎖装置１２０は、封鎖装置１２０が開口を封鎖しない搬入出位置から、封鎖装置が開口の前に、フランジのシール面から接近した距離で配設される封鎖位置まで、スライドドア状の態様で移送されてよい。搬入出位置では、基板といった物体が開口を通って搬入出されてよい。封止位置では、封止装置は、フランジの配向に平行な配向、具体的には垂直な配向で、開口の前に１ｍｍ以下の接近した距離で配設されていてよい。
【０１０３】
ボックス６２０では、第１の磁気装置１３０によってフランジ１１０と封鎖装置１２０の間に、封鎖装置または封鎖装置の一部を開放位置（Ｉ）から封鎖装置が開口を封止する閉鎖位置（ＩＩ）まで移行する、磁気閉鎖力が生成される。
【０１０４】
具体的には、封鎖装置１２０が開口の前の封鎖位置に移送されているときには、第１の磁気装置１３０が作動していてよく、それによって封鎖装置がフランジのシール面に向かって引き寄せられて、開口を真空気密に封止していてよい。
【０１０５】
オプションのボックス６３０では、封鎖装置を閉鎖位置（ＩＩ）から元の開放位置（Ｉ）へと移行することによって、閉鎖装置が開放される。封鎖装置１２０は、第２の磁気装置１６０によって生成された磁気安定化力によって、開放位置へと移行されてよい。
【０１０６】
具体的には、封鎖装置１２０は、第１の磁気装置１３０の磁気閉鎖力を低減するかスイッチオフし、それによって第２の磁気装置１６０の磁気安定化力が、フランジに垂直な方向に、封鎖装置が第２の磁気装置１６０によって保持される均衡位置へと、封鎖装置を移動し得ることによって、閉鎖位置から開放位置へと動かされてよい。
【０１０７】
次に、封鎖装置１２０はオプションで、フランジに平行な第１の方向（Ｔ）に、物体が開口を通って供給され得る搬入出位置へと、磁気浮上システムによって非接触式で移送されてよい。
【０１０８】
第２の磁気装置１６０は、アクティブ制御及び／または電力がまったく不要であり得る、パッシブ磁気安定化装置であってよいか、パッシブ磁気安定化装置を含んでいてよい。
【０１０９】
その結果、本明細書に記載の実施形態に従って磁気ゲートバルブが設けられる。バルブの封鎖装置の、第１の方向（Ｔ）及び第２の方向（Ｘ）への動きはどちらも、完全に非接触式であってよく、したがって無摩擦であってよい。封鎖装置の固定構造物との唯一の接点は、閉鎖位置におけるフランジ、具体的にはフランジの弾性封止要素との接点であってよい。
【０１１０】
ある実施形態では、封鎖装置は、垂直方向に１ｍ以上、具体的には１．５ｍ以上の高さを有していてよい。ある実施形態では、遮断装置は、第１の方向（Ｔ）に、３０ｃｍ以上、具体的には４０ｃｍ以上の幅を有していてよい。フランジの開口は、０．５ｍ２以上、具体的には１ｍ２以上の断面積を有していてよい。
【０１１１】
封鎖装置１２０は、少なくとも部分的に金属でできている、閉鎖プレートを含んでいてよい。閉鎖プレートの重量を削減するため、閉鎖プレートは少なくとも部分的にアルミニウムでできていてよい。閉鎖プレートは、磁気装置のうちの１つ以上と相互作用する磁性材料として、鉄、具体的には鋼を含んでいてよい。例えば、閉鎖装置は、第１の磁気装置１３０、第２の磁気装置１６０、第３の磁気装置１８０、及び／または駆動装置１７０と相互作用する鋼の部分を有する、アルミニウムプレートであってよい。
【０１１２】
第２の磁気装置１６０が永久磁石ベースのパッシブ磁気ガイドを含んでいるときには特に、次の目的のうちの１つ以上のために、第２の磁気装置１６０が利用されてよい。（ｉ）移送方向と垂直の第２の方向への、封鎖装置の側面の安定化（ｉｉ）封鎖装置が潜在的に多数の固有振動数を有している方向への、封鎖装置の振動誘発の低減（ｉｉｉ）垂直方向への磁力効果を生成することによる、封鎖装置の重量の部分的な補償（ｉｖ）第２の磁気装置によって生成された、封鎖装置を開放するための磁気安定化力の使用。
【０１１３】
封鎖装置を第１の方向（Ｔ）にガイド構造に沿って滑り運動で移動するために、直線駆動装置が設けられていてよい。直線駆動装置は、ガイド構造に取り付けられた駆動用コイル（ｄｒｉｖｉｎｇ  ｃｏｉｌ）と、封鎖装置と共に移動する永久磁石とを含んでいてよい。
【０１１４】
以上の説明は本開示の実施形態を対象としているが、本開示の基本的な範囲を逸脱することなく本開示の他のさらなる実施形態を考案することができ、本開示の範囲は、以下の特許請求の範囲によって定められる。
【図１Ａ】
2019523367.tif 000003
【図１Ｂ】
2019523367.tif 000004
【図２Ａ】
2019523367.tif 000005
【図２Ｂ】
2019523367.tif 000006
【図３Ａ】
2019523367.tif 000007
【図３Ｂ】
2019523367.tif 000008
【図４】
2019523367.tif 000009
【図５】
2019523367.tif 000010
【図６】
2019523367.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成30年8月7日(2018.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ（１０１）に設けられ且つ開口（１１２）を含むフランジ（１１０）、
前記開口（１１２）を閉鎖するように構成された封鎖装置（１２０、２２０）、
前記封鎖装置または前記封鎖装置の一部を開放位置（Ｉ）から閉鎖位置（ＩＩ）へと移行させるため、前記フランジ（１１０）と前記封鎖装置（１２０）との間に磁気閉鎖力を生成するように構成された第１の磁気装置（１３０）、及び
前記封鎖装置（１２０）を前記フランジ（１１０）と平行な第１の方向（Ｔ）にガイド構造に沿って非接触式で移送するように構成された磁気浮上システム（１５０）であって、前記第１の方向（Ｔ）を横切る第２の方向（Ｘ）に前記封鎖装置（１２０）を安定化するように構成された第２の磁気装置（１６０）を含む、磁気浮上システム（１５０）
を含む、閉鎖装置（１００、２００）。
【請求項２】
前記第２の磁気装置（１６０）はパッシブ磁気安定化装置を備える、請求項１に記載の閉鎖装置。
【請求項３】
前記第２の磁気装置（１６０）は、前記封鎖装置（１２０）の少なくとも１つの側面に固定された第１の複数の永久磁石（１６５）と、前記ガイド構造に固定された第２の複数の永久磁石（１６６）とを備える、請求項１または２に記載の閉鎖装置。
【請求項４】
前記第２の磁気装置（１６０）は、前記封鎖装置の上部を安定化するための上部磁気安定化装置（１６１）と、前記封鎖装置の下部を安定化するための下部磁気安定化装置（１６２）のうちの少なくとも１つを備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項５】
前記第２の磁気装置（１６０）は、前記封鎖装置を前記閉鎖位置（ＩＩ）から前記開放位置（Ｉ）へと移行するように構成される、請求項１から４のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項６】
前記磁気浮上システム（１５０）は、前記封鎖装置を前記ガイド構造において非接触式で保持するように構成された、複数のアクティブ磁気ベアリング（１８４）を備える第３の磁気装置（１８０）を備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項７】
前記第３の磁気装置（１８０）は、磁気アクチュエータ、及び前記封鎖装置（１２０）と前記ガイド構造との間の距離を測定するための距離センサを備え、前記磁気アクチュエータは制御ループで制御される、請求項６に記載の閉鎖装置。
【請求項８】
前記封鎖装置（１２０）は、前記ガイド構造の頂部レール（１８２）の下方に懸吊されるように構成され、前記頂部レール（１８２）に前記複数のアクティブ磁気ベアリング（１８４）が取り付けられている、請求項６または７に記載の閉鎖装置。
【請求項９】
前記複数のアクティブ磁気ベアリング（１８４）は、前記封鎖装置の頭部（２２２）に一体化されている、請求項６または７に記載の閉鎖装置。
【請求項１０】
前記磁気浮上システムは、前記封鎖装置（１２０）を前記ガイド構造に沿って前記第１の方向（Ｔ）に動かすための駆動装置（１７０）、具体的にはリニアモータをさらに備える、請求項１から９のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項１１】
前記第１の磁気装置（１６０）は、前記封鎖装置（１２０）全体を前記開放位置（Ｉ）から前記閉鎖位置（ＩＩ）へと移行するように構成され、具体的には前記封鎖装置（１２０）は１つの剛性部品として形成されている、請求項１から１０のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項１２】
前記封鎖装置（２２０）は、具体的には可撓接続部（２２５）を介して互いに対して可動な下部（２２１）と頭部（２２２）を備え、前記封鎖装置（２２０）を前記開放位置（Ｉ）から前記閉鎖位置（ＩＩ）に移行することは、前記頭部（２２２）なしで、前記下部（２２１）を前記フランジ（１１０）に向けて動かすことを含む、請求項１から１０のいずれか一項に記載の閉鎖装置。
【請求項１３】
真空チャンバ（１０１）、
前記真空チャンバ（１０１）の内壁または外壁に設けられ且つ開口（１１２）を含むフランジ（１１０）、
前記開口（１１２）を閉鎖するように構成された封鎖装置（１２０）、
前記封鎖装置（１２０）または前記封鎖装置の一部を開放位置（Ｉ）から閉鎖位置（ＩＩ）へと移行させるため、前記フランジ（１１０）と前記封鎖装置（１２０）との間に磁気閉鎖力を生成するように構成された第１の磁気装置（１３０）、及び
前記封鎖装置（１２０）を前記フランジ（１１０）と平行な第１の方向（Ｔ）に非接触式で移送するように構成された磁気浮上システム（１５０）であって、前記第１の方向（Ｔ）を横切る第２の方向（Ｘ）に前記封鎖装置を安定化するように構成された第２の磁気装置（１６０）を備える、磁気浮上システム（１５０）
を備える、真空システム。
【請求項１４】
閉鎖装置（１００、２００）を操作する方法であって、
封鎖装置（１２０）を、真空チャンバ（１０１）に設けられ且つ開口（１１２）を含むフランジ（１１０）と平行な第１の方向（Ｔ）に非接触式で移送することと、
第２の磁気装置（１６０）によって、前記第１の方向（Ｔ）を横切る第２の方向（Ｘ）に前記封鎖装置（１２０）を磁気によって安定化させることと、
前記封鎖装置または前記封鎖装置の一部を、開放位置（Ｉ）から前記封鎖装置が前記開口を封止する閉鎖位置（ＩＩ）へと移行させるため、第１の磁気装置（１３０）によって前記フランジ（１１０）と前記封鎖装置（１２０）との間に磁気閉鎖力を生成することと、
を含む、方法。
【請求項１５】
封鎖装置を、前記第２の磁気装置（１６０）によって生成された磁力によって、閉鎖位置（ＩＩ）から開放位置（Ｉ）へと移行すること
をさらに含む、請求項１４に記載の方法。
【国際調査報告】
2019523367.tif 000012
2019523367.tif 000013
2019523367.tif 000014