(57)【要約】  本発明はケーブル類保護装置用多重スリーブ及びこれを含むケーブル類保護装置に関する。具体的に，本発明は，工作機械，電子機器，産業用ロボット，運搬機械などの連続運動体に使われるケーブル類を保護すると共に，安定的に支持することによって前記ケーブル類の損傷を防止できるだけでなく，耐久性に優れて反復的な屈曲運動にも損傷しないため，信頼性が高く，結果的に粉塵による工程エラー及びケーブル類の損傷を抑制することができ，半導体ウエハーのような超精密及び高純度製品の生産工程に適したケーブル類保護装置用多重スリーブ及びこれを含むケーブル類保護装置に関する。【選択図】  図１
2019519183.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーブル，流体供給ホース又はガイドチェーンが挿入されて収容されることができる一つ以上のポッドを含むケーブル類保護装置用多重スリーブであって，
前記多重スリーブは上部可撓性部材及び下部可撓性部材の部分的接合によって形成され，
前記ポッドは前記上部可撓性部材と前記下部可撓性部材の接合部間の接合されていない部分によって形成され，
前記上部可撓性部材は，可撓性樹脂から成る伸縮層，
前記伸縮層の上面及び下面のそれぞれに配置され，低摩擦係数の樹脂から成る耐摩耗層，及び
前記伸縮層と前記耐摩耗層の間でこれらを互いに接合させる接着組成物から成る接着層を含み，
前記耐摩耗層のうち，前記伸縮層の下面に配置され，前記ポッドの内面を成す耐摩耗層は同じ又は違う寸法の間隔で離隔している複数の耐摩耗層カラムを含み，
前記複数の耐摩耗層カラムのうち左側及び右側の最外側耐摩耗層カラムは，これらの外側末端のそれぞれが前記多重スリーブの左側及び右側末端の外郭線から同じ又は違う寸法の間隔で離隔しており，
前記下部可撓性部材は前記上部可撓性部材と対称の積層構造を有し，
前記上部可撓性部材に含まれた耐摩耗層カラム間の間隔及び末端に形成された間隔と前記下部可撓性部材に含まれた耐摩耗層カラム間の間隔及び末端に形成された間隔を通じてそれぞれ流出する接着組成物が互いに接合することによって前記接合部が形成される，多重スリーブ。
【請求項２】
前記ポッドの内面を成す耐摩耗層は下記の式１の条件を満たすことを特徴とする請求項１記載の多重スリーブ。
（数１）
ｙ＝ａｘ＋０．１５［ｂｄ＋１］±０．１５
前記数学式１で，
ｄは任意のポッドに挿入されるケーブル類の最大断面積と同じ断面積を有する円の直径（mm），
ｘは前記ポッドを成す耐摩耗層カラムの幅（mm），
ｙは前記耐摩耗層カラムと隣接した他の耐摩耗層カラム間の間隔又は最外側耐摩耗層カラムの末端の間隔（mm），
ａは０．０８〜０．１２，
ｂは０．０９〜０．１０である。
【請求項３】
前記ポッドに挿入されるケーブル類の最大断面積と同じ断面積を有する円の直径（ｄ）は３．８〜１０．０mmであり，
前記ポッドを成す前記耐摩耗層カラムの幅（ｘ）は１５〜２３mmであり，
前記耐摩耗層カラムと隣接した前記他の耐摩耗層カラム間の間隔又は前記最外側耐摩耗層カラムの末端の間隔（ｙ）は１．５〜２．５mmであることを特徴とする請求項２記載の多重スリーブ。
【請求項４】
前記伸縮層の厚さは０．２〜０．４mm，耐摩耗層の厚さは０．０５〜０．１５mm，前記接着層の厚さは０．０２５〜０．０７５mmであることを特徴とする請求項３記載の多重スリーブ。
【請求項５】
前記伸縮層はポリウレタン樹脂を含むことを特徴とする請求項１記載の多重スリーブ。
【請求項６】
前記耐摩耗層は延伸ポリテトラフルオロエチレン（ｅＰＴＦＥ）樹脂を含むことを特徴とする請求項１記載の多重スリーブ。
【請求項７】
前記接着組成物はホットメルト接着剤を含むことを特徴とする請求項１記載の多重スリーブ。
【請求項８】
少なくとも一つの前記耐摩耗層は複数の微細気孔が形成された多孔性樹脂を含み，
前記複数の微細気孔の少なくとも一部に帯電防止粒子を含むことを特徴とする請求項１記載の多重スリーブ。
【請求項９】
前記帯電防止粒子は，導電性ナノカーボン，導電性ナノ金属，導電性ポリマー及びイオノマーから成る群から選択された１種以上の正電荷又は負電荷を帯びる粒子を含むことを特徴とする請求項８記載の多重スリーブ。
【請求項１０】
少なくとも一つの前記耐摩耗層は，小さな単位体が鎖状又は網状に結合されて微細網状に形成された高分子樹脂を含み，
前記微細網状の組職に帯電防止粒子が付着していることを特徴とする請求項１記載の多重スリーブ。
【請求項１１】
前記接合部で前記接着層と前記伸縮層が共に溶融して接合することを特徴とする請求項１記載の多重スリーブ。
【請求項１２】
請求項１の多重スリーブと，
前記多重スリーブの一つ以上のポッドに挿入されて収容されるガイドチェーン，及び
前記多重スリーブの両端に配置され，前記ポッドの両端を固定して封止するクランプを含む，ケーブル類保護装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はケーブル類保護装置用多重スリーブ及びこれを含むケーブル類保護装置に関する。より具体的には，本発明は，工作機械，電子機器，産業用ロボット，又は運搬機械などの連続運動体（continuously moving body）に使われるケーブル類を保護すると共に，より安定的に支持することによって前記ケーブル類の損傷を防止することができるだけではなく，耐久性に優れ，反復的な屈曲運動にも損傷しないので，信頼性が高く，結果として粉塵による工程エラー及びケーブル類の損傷を抑制することができ，半導体ウエハーのような超精密及び高純度製品の生産工程に適したケーブル類保護装置用多重スリーブ及びこれを含むケーブル類保護装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械，電子機器，産業用ロボット，運搬機械などの運動体に使われる電線ケーブル，光ファイバーケーブル，流体供給ホースなどの可撓性ケーブルやホースなど（以下，「ケーブル類」と称する）は前記運動体の運動による前記ケーブル類のねじれ，ケーブル類間の摩擦，前記ケーブル類にかかる引張力，曲げ力などによって損傷することがあるから，前記ケーブル類を保護すると共に，安定的に支持することによって前記運動体に使われるケーブル類の損傷を防止することができるケーブル類保護装置が使われている。
【０００３】
従来のケーブル類保護装置は，ケーブル類に相当する電線ケーブル，流体供給ホースなどがそれぞれ挿入される一つ以上のポッド（pod）を含む可撓性多重スリーブを含み，前記多重スリーブは可撓性を具現化するために，通常，高分子素材から成ることができ，前記多重スリーブを構成する上部可撓性部材と下部可撓性部材が部分的に接合することによって前記一つ以上のポッドを形成することができる。
【０００４】
しかし，従来のケーブル類保護装置に含まれる前記可撓性多重スリーブは，工作機械，電子機器，産業用ロボット，運搬機械などの運動体に適用される場合，繰り返し屈曲運動をするため，前記可撓性多重スリーブを構成する上部可撓性部材と下部可撓性部材の接合部が局部的に損傷することがあり，前記損傷した接合部で上部可撓性部材と下部可撓性部材の間に隙間が生じることがあり，このような隙間を通じて前記ポッド内部の粉塵などが外部に流出して超精密及び高純度製品の生産工程での工程エラーを引き起こす，或いは隣接したケーブル類が互いに摩擦して損傷することがある。
【０００５】
したがって，工作機械，電子機器，産業用ロボット，又は運搬機械などの連続運動体に使われるケーブル類を保護すると共に，より安定的に支持することによって前記ケーブル類の損傷を防止することができるだけではなく，耐久性に優れ，反復的な屈曲運動にも損傷しないから，信頼性が高く，結果的に粉塵による工程エラー及びケーブル類の損傷を抑制することができ，半導体ウエハーのような超精密及び高純度製品の生産工程に適したケーブル類保護装置用多重スリーブ及びこれを含むケーブル類保護装置が切実に要求されているのが実情である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は，工作機械，電子機器，産業用ロボット，運搬機械などの運動体に使われるケーブル類を保護すると共に，より安定的に支持することによって前記ケーブル類の損傷を防止することができるケーブル類保護装置用多重スリーブ及びこれを含むケーブル類保護装置を提供することを目的とする。
【０００７】
また，本発明は，耐久性に優れ，反復的な屈曲運動にも損傷することなく，信頼性が高く，かつ，結果的に粉塵による工程エラー及びケーブル類の損傷を抑制することができ，半導体ウエハーのような超精密及び高純度製品の生産工程に適したケーブル類保護装置用多重スリーブ及びこれを含むケーブル類保護装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために，本発明は，
ケーブル，流体供給ホース又はガイドチェーンが挿入されて収容されることができる一つ以上のポッドを含むケーブル類保護装置用多重スリーブであって，前記多重スリーブは上部可撓性部材及び下部可撓性部材の部分的接合によって形成され，前記ポッドは前記上部可撓性部材と前記下部可撓性部材の接合部間の接合されていない部分によって形成され，前記上部可撓性部材は，可撓性樹脂から成る伸縮層，前記伸縮層の上面及び下面のそれぞれに配置され，低摩擦係数の樹脂から成る耐摩耗層，及び前記伸縮層と前記耐摩耗層の間でこれらを互いに接合させる接着組成物から成る接着層を含み，前記耐摩耗層のうち，前記伸縮層の下面に配置され，前記ポッドの内面を成す耐摩耗層は同じ又は違う寸法の間隔で離隔している複数の耐摩耗層カラムを含み，前記複数の耐摩耗層カラムのうち左側及び右側の最外側耐摩耗層カラムはこれらの外側末端のそれぞれが前記多重スリーブの左側及び右側末端の外郭線から同じ又は違う寸法の間隔で離隔しており，前記下部可撓性部材は前記上部可撓性部材と対称の積層構造を有し，前記上部可撓性部材に含まれた耐摩耗層カラム間の間隔及び末端に形成された間隔と前記下部可撓性部材に含まれた耐摩耗層カラム間の間隔及び末端に形成された間隔を通じてそれぞれ流出する接着組成物が互いに接合することによって前記接合部が形成される多重スリーブを提供する。
【０００９】
ここで，前記ポッドの内面を成す耐摩耗層は下記の式１の条件を満たすことを特徴とする多重スリーブを提供する。
（数１）
ｙ＝ａｘ＋０．１５［ｂｄ＋１］±０．１５
前記式１で，
ｄは任意のポッドに挿入されるケーブル類の最大断面積と同じ断面積を有する円の直径（mm），
ｘは前記ポッドを成す耐摩耗層カラムの幅（mm），
ｙは前記耐摩耗層カラムと隣接した他の耐摩耗層カラム間の間隔又は最外側耐摩耗層カラムの末端の間隔（mm），
ａは０．０８〜０．１２，
ｂは０．０９〜０．１０である。
【００１０】
また，前記ポッドに挿入されるケーブル類の最大断面積と同じ断面積を有する円の直径（ｄ）は３．８〜１０．０mm，前記ポッドを成す耐摩耗層カラムの幅（ｘ）は１５〜２３mm，前記耐摩耗層カラムと隣接した他の耐摩耗層カラム間の間隔又は最外側耐摩耗層カラムの末端の間隔（ｙ）は１．５〜２．５mmであることを特徴とする多重スリーブを提供する。
【００１１】
一方，前記伸縮層の厚さは０．２〜０．４mm，耐摩耗層の厚さは０．０５〜０．１５mm，前記接着層の厚さは０．０２５〜０．０７５mmであることを特徴とする多重スリーブを提供する。
【００１２】
本発明の別の態様によると，前記伸縮層はポリウレタン樹脂を含むことを特徴とする多重スリーブを提供する。
【００１３】
さらに，前記耐摩耗層は延伸ポリテトラフルオロエチレン（ｅＰＴＦＥ）樹脂を含むことを特徴とする多重スリーブを提供する。
【００１４】
また，前記接着組成物はホットメルト接着剤を含むことを特徴とする多重スリーブを提供する。
【００１５】
そして，少なくとも一つの前記耐摩耗層は複数の微細気孔が形成された多孔性樹脂を含み，前記複数の微細気孔の少なくとも一部に帯電防止粒子を含むことを特徴とする多重スリーブを提供する。
【００１６】
ここで，前記帯電防止粒子は，導電性ナノカーボン，導電性ナノ金属，導電性ポリマー及びイオノマーから成る群から選択された１種以上の正電荷又は負電荷を帯びる粒子を含むことを特徴とする多重スリーブを提供する。
【００１７】
また，少なくとも一つの前記耐摩耗層は，小さな単位体が鎖状又は網状に結合されて微細網状に形成された高分子樹脂を含み，前記微細網状の組職に帯電防止粒子が付着していることを特徴とする多重スリーブを提供する。
【００１８】
さらに，前記接合部で前記接着層と前記伸縮層が共に溶融して接合することを特徴とする多重スリーブを提供する。
【００１９】
一方，前記多重スリーブ，前記多重スリーブの一つ以上のポッドに挿入されて収容されるガイドチェーン，及び前記多重スリーブの両端に配置され，前記ポッドの両端を固定して封止するクランプを含む，ケーブル類保護装置を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によるケーブル類保護装置用多重スリーブは，可撓性素材から成り，特定の設計形状の一つ以上のポッドにケーブル類が安定的に挿入されることで，前記ケーブル類を保護すると共に，安定的に支持することによって前記ケーブル類の損傷を防止することができる優れた効果を有する。
【００２１】
また，本発明によるケーブル類保護装置用多重スリーブは，特定の設計形状の一つ以上のポッドにより，耐久性に優れ，反復的な屈曲運動にも損傷しないから，信頼性が高く，結果的に粉塵による工程エラー及びケーブル類の損傷を抑制することができる優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明によるケーブル類保護装置の一実施例を概略的に示す図である。
【図２】図１に示すケーブル類保護装置において多重スリーブにケーブル類及びガイドチェーンが挿入された形態の一実施例を概略的に示す図である。
【図３】図１のＡ−Ａ’線についての断面の構造を概略的に示す図である。
【図４】本発明による多重スリーブが複層の場合のクランプの断面構造を概略的に示す図である。
【図５】本発明によるケーブル類保護装置用多重スリーブの一実施例の断面構造及び製造方法を概略的に示す図である。
【図６】図５に二点鎖線で区画した部分を拡大して示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下，本発明の好適な実施例を詳細に説明する。しかし，本発明はここで説明する実施例に限定されることなく，他の形態に具体化することもできる。むしろ，ここで紹介する実施例は，開示した内容が徹底的で完全になるように，かつ当業者に本発明の思想が充分に伝達されるようにするために提供するものである。明細書全般にわたって同じ参照番号は同じ構成要素を示す。
【００２４】
図１は，本発明によるケーブル類保護装置の一実施例を概略的に示す図，図２は，図１に示すケーブル類保護装置において多重スリーブにケーブル類及びガイドチェーンが挿入された形態の一実施例を概略的に示す図，図３は，図１のＡ−Ａ’線についての断面の構造を概略的に示す図，図４は，本発明による多重スリーブが複層の場合のクランプの断面構造を概略的に示す図である。
【００２５】
図１及び図２に示すように，本発明によるケーブル類保護装置は，１本以上のケーブル類２００，ガイドチェーン１００，流体供給ホース（図示せず）などが挿入されて収容される一つ以上のポッド５３０を含む可撓性多重スリーブ５００，前記可撓性多重スリーブ５００の一つ以上のポッド５３０，好ましくは最外側に配置された一つ以上のポッド５３０に挿入されて収容されるガイドチェーン１００，及び前記可撓性多重スリーブ５００の両端に配置され，前記ポッド５３０の両端を固定して封止するクランプ６００を含むことができる。
【００２６】
前記ガイドチェーン１００は，前記可撓性多重スリーブの一つ以上のポッド５３０，好ましくは，最外側ポッド５３０に挿入され，前記可撓性多重スリーブの直線部分で自重による下垂を防止し，屈曲部分での一定の曲率半径を維持する機能をすることができ，金属，プラスチックなどの素材から成ることができる。
【００２７】
そして，前記クランプ６００は，前記ポッド５３０の内面とこれに挿入されるケーブル類２００間の摩擦によって発生する粉塵が，外部に排出されることを抑制することができ，半導体ウエハーのような超精密及び高純度製品の生産工程に使うのに相応しい。
【００２８】
また，図３に示すように，前記クランプ６００は，ガイドチェーン１００を前記クランプに連結し，ガイドチェーン１００が挿入されたポッド５３０の末端を封止するエンドキャップ６１０，多重スリーブ５００がクランプ６００の内部から意図せず抜け出ることを防止するために多重スリーブ５００の滑りを防止するスリップ防止パッド６２０などをさらに含むことができる。ここで，スリップ防止パッド６２０はケーブルを保護するために軟質ゴム素材から成ることができ，滑り防止のために，底面は，ローレット（knurling）処理することができる。
【００２９】
また，図４に示すように，本発明の一実施例による多重スリーブは，ポッド５３０の数が同じ又は違う２個以上の多重スリーブが積層された複層の構造を使用できる。この場合，複層の多重スリーブの末端に適用されるクランプ６００も複層に形成されることができる。複層の多重スリーブに適用されるクランプ６００は，ポッド５３０の数が相対的に小さい多重スリーブの側面空間を埋めるインナーブロック６３０，多重スリーブが挿入される空間を確保するために下層クランプと上層クランプの間に挿入されるスペーサー６４０などをさらに含むことができる。
【００３０】
図５は，本発明によるケーブル類保護装置用多重スリーブの一実施例の断面構造及び製造方法を概略的に示す図，図６は，図５に二点鎖線で区画した部分を拡大して示す図である。
【００３１】
図５に示すように，本発明による多重スリーブ５００は上部可撓性部材５１０及び下部可撓性部材５２０の部分的接合によって形成することができ，前記上部可撓性部材５１０及び前記下部可撓性部材５２０の接合部間の接合されていない部分によってポッド５３０が形成することができる。ここで，前記上部可撓性部材５１０はポリウレタンなどの可撓性樹脂から成り，前記多重スリーブの反復的な屈曲運動時に作用する応力を緩和させる伸縮層５１１の上面及び下面のそれぞれに，フッ素樹脂などの耐磨耗性，潤滑性などに優れた低摩擦係数の樹脂から成る耐摩耗層５１２，５１２’がホットメルト接着剤などの接着組成物から形成された接着層５１３によって接合することによって形成することができ，前記下部可撓性部材５２０は前記上部可撓性部材５１０と対称の構造に積層することができる。
【００３２】
また，前記可撓性部材５１０，５２０のそれぞれに含まれた耐摩耗層５１２，５１２’，５２２，５２２’のうち，ポッド５３０の内面を成す耐摩耗層５１２’，５２２’は同じ又は違う寸法の間隔で離隔した複数の耐摩耗層カラムを含むことができ，前記複数の耐摩耗層５１２’，５２２’の耐摩耗層カラムのうち左側及び右側の最外側耐摩耗層カラムはこれらの外側末端のそれぞれが前記多重スリーブ５００の左側及び右側末端の外郭線から同じ又は違う寸法の間隔で離隔していてもよい。
【００３３】
図３及び図４に示すように，前記複数の耐摩耗層（５１２’，５２２’）の耐摩耗層カラム間の間隔及び末端に形成された間隔を通じて溶出するホットメルト接着剤などの接着組成物が互いに熱融着などによって接合することによって上部可撓性部材５１０と下部可撓性部材５２０が局部的に接合され，接合部間の接合されていない部分によってケーブル類が挿入可能な一つ以上のポッド５３０を形成することができる。
【００３４】
前記ポッド５３０の内面は耐磨耗性，潤滑性などに優れた低摩擦係数の樹脂から成る耐摩耗層５１２’，５２２’から成るので，前記ポッド５３０に挿入されて収容されるケーブル類などとの摩擦によって前記ケーブル類が損傷することを回避ないし，最小化することができ，ケーブル類がポッドに容易に挿入できるようにすることによって前記ケーブル類を保護することができる。
【００３５】
具体的に，それぞれ積層された上部可撓性部材５１０及び下部可撓性部材５２０をそれぞれの接着層５１３，５２３に含まれたホットメルト接着剤などの接着組成物の熱融着によって局部的に接合させるとき，接合部分は高温及び高圧で前記ホットメルト接着剤などの接着組成物が熱融着することができ，好ましくは前記接合部分で前記接着組成物から形成される接着層５１３，５２３と共に前記伸縮層５１１，５２１も溶融して接合されることによって接合強度をさらに向上することができ，前記接着層５１３，５２３及び前記伸縮層５１１，５２１がいずれも同じウレタン系素材から成る場合は接合力をさらに向上することができる。
【００３６】
前記接合部分は，例えば１２０〜１９０℃に加熱された一対のローラーの間を通過しながら２〜５MPaの圧力を受ける状態で前記ホットメルト接着剤などの接着組成物が１次熱融着した後，７０〜１１０℃に加熱された一対のローラーの間を通過しながら２〜５MPaの圧力を受ける状態で前記ホットメルト接着剤などの接着組成物が２次熱融着することができる。ここで，前記２次熱融着は１次熱融着によって接合された部分の接合強度を向上させ，１次熱融着時に発生した表面のしわなどを除去するために追加として行うことができるものである。
【００３７】
特に，前記耐摩耗層５１２’，５２２’は下記の式１の条件を満たすことができる。
（数１）
ｙ＝ａｘ＋０．１５［ｂｄ＋１］±０．１５
前記式１で，
ｄは任意のポッド５３０に挿入されるケーブル類の最大断面積と同じ断面積を有する円の直径（mm），
ｘは前記ポッドを形成する耐摩耗層５１２’，５２２’カラムの幅（mm），
ｙは前記耐摩耗層カラムと隣接した他の耐摩耗層カラム間の間隔又は最外側耐摩耗層カラムの末端の間隔（mm），
ａは０．０８〜０．１２，
ｂは０．０９〜０．１０である。
【００３８】
参考までに，前記式１で，［ｂｄ＋１］はガウス関数で，ｂｄ＋１の小数を捨てた整数を意味する。
【００３９】
本発明者らは，前記耐摩耗層５１２’，５２２’が前記式１の条件を外れる場合，すなわち任意のポッド５３０に挿入されるケーブル類の断面積による前記ポッドを成す一つの耐摩耗層５１２’，５２２’カラムの幅（ｘ）及び／又は前記耐摩耗層カラムと隣接した他の耐摩耗層カラム間の間隔又は最外側耐摩耗層カラムの末端の間隔（ｙ）が基準値に至らない場合，本発明によるケーブル類保護装置用多重スリーブは耐久性が大きく低下し，特に上部可撓性部材と下部可撓性部材の接合部の耐久性が大きく低下するため，繰り返し屈曲運動すると，前記接合部が局部的に損傷することがあり，前記損傷した接合部で上部可撓性部材と下部可撓性部材の間に隙間が形成されることがあることを実験的に確認することによって本発明を完成し，前記隙間を通じて前記ポッド５３０の内部の粉塵などが外部に流出して超精密及び高純度製品の生産工程での工程エラーを引き起こす，或いは複数のポッド５３０にそれぞれ挿入された隣接したケーブル類が互いに摩擦によって損傷することがある。
【００４０】
一方，本発明によるケーブル類保護装置用多重スリーブにおいて，複数のポッド５３０のそれぞれは互いに違う断面積のケーブル類を挿入することができるので，式１の条件を満たすことを前提としてそれぞれのポッド５３０に挿入されるケーブル類の断面積によって違うｘ及び／又はｙ，すなわち前記ポッドを形成する耐摩耗層５１２’，５２２’のカラムの幅（ｘ）及び／又は前記耐摩耗層カラムと隣接した他の耐摩耗層カラム間の間隔又は最外側耐摩耗層カラムの末端の間隔（ｙ）を保有することができる。
【００４１】
例えば，任意のポッド５３０に挿入されるケーブル類の最大断面積と同じ断面積を有する円の直径（ｄ）は３．８〜１０．０mm，前記ポッドを形成する耐摩耗層５１２’，５２２’のカラムの幅（ｘ）は１５〜２３mm，前記耐摩耗層カラムと隣接した他の耐摩耗層カラム間の間隔又は最外側耐摩耗層カラムの末端の間隔（ｙ）は１．５〜２．５mmであってもよく，ひいては前記伸縮層５１１，５２１の厚さは０．２〜０．４mm，耐摩耗層５１２，５１２’，５２２，５２２’の厚さは０．０５〜０．１５mm，前記接着層５１３，５２３の厚さは０．０２５〜０．０７５mmであってもよい。
【００４２】
前記耐摩耗層５１２，５１２’，５２２，５２２’は，耐磨耗性，潤滑性などに優れ，摩擦係数が低いので，前記ポッド５３０の内面に配置される場合，前記ポッド５３０に挿入されて収容されるケーブル類などとの摩擦によって損傷することを回避ないし抑制すると共に，前記摩擦による粉塵の発生を抑制することができ，さらに前記ポッド５３０の外面に配置される場合，前記可撓性多重スリーブ５００間の摩擦によって損傷することを回避ないし抑制すると共に，前記摩擦による粉塵の発生を抑制することができる。
【００４３】
前記耐摩耗層５１２，５１２’，５２２，５２２’を形成する樹脂は，例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ），フルオロエチレンプロピレン（ＦＥＰ），ポリフルオロアルコキシ（ＰＦＡ）などから選択することができ，好ましくはポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ），より好ましくは延伸ポリテトラフルオロエチレン（ｅＰＴＦＥ）である。
【００４４】
前記延伸ポリテトラフルオロエチレン（ｅＰＴＦＥ）は小さな単位体を鎖状又は網状に化学結合して作った高分子素材であり，微細気孔が形成されている多孔性構造になっており，耐熱性及び耐化学性に優れ，摩擦係数が非常に低い。特に，全ての化学薬品に対して耐化学性があり，表面が滑らかで，広い温度範囲で物理的特性を維持することができる。
【００４５】
しかし，前記延伸ポリテトラフルオロエチレン（ｅＰＴＦＥ）は負の（−）電荷で帯電されようとする傾向が強く，静電気が発生しやすいので，空気中の粉塵が前記耐摩耗層５１２，５２２に付着する，或いは発生した静電気が空気中に放電されて工程エラーなどを引き起こす，或いは前記ポッド５３０に挿入されるケーブルの信号又は制御のエラーを引き起こすことがある。
【００４６】
したがって，前記耐摩耗層５１２，５１２’，５２２，５２２’，特に前記ポッド５３０の外面に配置された耐摩耗層５１２，５２２は帯電防止処理されることができる。前記帯電防止処理は，前記可撓性多重スリーブ５００の素材を帯電防止剤に浸漬する，或いは前記可撓性多重スリーブ５００の表面に帯電防止剤を噴霧する方式で遂行することができる。
【００４７】
前記帯電防止剤は，導電性（conductive）ナノカーボン又は金属あるいは導電性ポリマー又はイオノマーなどの正電荷又は負電荷を帯びる帯電防止粒子，前記帯電防止粒子が分散された溶媒，前記粒子が容易に分散されるようにする界面活性剤などを含むことができる。
【００４８】
ここで，前記導電性ポリマー又はイオノマーは，ポリアセチレン，ポリピロール，ポリチオフェン，ポリフェニレン，ポリフェニレンスルフィド，ポリアニリンなどから選択することができ，好ましくはフッ素化粒子を含む導電性ポリマー又はイオノマーであってもよい。また，前記溶媒はアクリレートのようなアクリル系溶媒，イソプロピルアルコールのようなアルコール系溶媒などの溶媒であってもよい。
【００４９】
前記帯電防止剤が前記耐摩耗層の微細気孔に染み込んだ後，前記帯電防止剤内の溶媒は揮発し，前記正電荷又は負電荷を帯びる帯電防止粒子は前記耐摩耗層５１２，５１２’，５２２，５２２’を構成する延伸ポリテトラフルオロエチレン（ｅＰＴＦＥ）の微細気孔に残留することによって前記延伸ポリテトラフルオロエチレン（ｅＰＴＦＥ）の帯電性を著しく低下することができる。
【００５０】
また，前記正電荷又は負電荷を帯びる粒子は前記耐摩耗層５１２，５１２’，５２２，５２２’の表面ではなく内部の微細網状の組職に蒸着されるため，前記耐摩耗層５１２，５１２’，５２２，５２２’間の摩擦によって除去されず，前記耐摩耗層５１２，５１２’，５２２，５２２’の物性を低下させることなく安定的に帯電防止機能を果たすことができる。
【００５１】
前記接着層５１３，５２３に含まれるホットメルト接着剤は，前述した条件の熱融着によって前記接着層５１３，５２３が接合できれば，特に限定されず，例えばポリウレタン系，熱可塑性ポリウレタン系，ポリエーテルスルホン系，ポリアミド系，エチレンビニルアセテート系ホットメルト接着剤を適用することができる。
【実施例】
【００５２】
下記の表１に示すような仕様の多重スリーブを製造した後，その一末端をクランプで封止し，他の末端を通じて全てのポッド内に同時に空気を注入するとき，上部可撓性部材と下部可撓性部材の接合部が局部的に裂ける時点の空気圧を測定した。測定結果は下記の表１に示す通りである。
【００５３】
【表１】
2019519183.tif 000003
【００５４】
前記表１に示すように，本発明によるケーブル類保護装置用多重スリーブは，上部可撓性部材と下部可撓性部材の接合部が耐久性に優れて高い内部圧力によっても前記接合部が損傷しないことが確認された。よって，１０００回以上の屈曲運動時にも前記接合部が損傷しないので，前記接合部の損傷によって発生した隙間を通じてポッド内部の粉塵が外部に流出して超精密及び高純度の製品の生産工程での工程エラーを引き起こす，或いは複数のポッドにそれぞれ挿入された隣接したケーブル類が互いに摩擦によって損傷することを防止することができる。
【００５５】
本明細書は本発明の好適な実施例に基づいて説明したが，当該技術分野の当業者は以下で開示する特許請求範囲に記載された本発明の思想及び領域から逸脱しない範疇内で本発明を多様に修正及び変更して実施することが可能であろう。したがって，変形された実施例が基本的に本発明の特許請求範囲の構成要素を含むならばいずれも本発明の技術的範疇に含まれるものと看做されなければならない。
【図１】
2019519183.tif 000004
【図２】
2019519183.tif 000005
【図３】
2019519183.tif 000006
【図４】
2019519183.tif 000007
【図５】
2019519183.tif 000008
【図６】
2019519183.tif 000009
【国際調査報告】
2019519183.tif 000010
2019519183.tif 000011
2019519183.tif 000012
2019519183.tif 000013