(57)【要約】偏向可能なスタイラスを有し、スタイラスの偏向の程度を示す少なくとも１つの信号を提供するように構成された、接触プローブを較正する方法であって、接触プローブは、少なくとも１つの軸の周りで接触プローブの再配向を容易にする、座標位置決め装置に取り付けられる。方法は、少なくとも１つの軸の周りで、複数の異なる向きに配置された接触プローブによって得られる測定データを取得するステップと、測定データから、少なくとも１つの軸の周りの接触プローブの向きに応じた、少なくとも１つのプローブ信号の利得における任意の見かけの変動をモデル化する、少なくとも１つの利得変動モデルを決定するステップを含む。
2019536032.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏向可能なスタイラスを有し、スタイラスの偏向の程度を示す少なくとも１つの信号を提供するように構成された接触プローブを較正する方法であって、前記接触プローブは、少なくとも１つの軸の周りで前記接触プローブの再配向を容易にする、座標位置決め装置に取り付けられており、前記方法は、
前記少なくとも１つの軸の周りで、複数の異なる向きに配置された前記接触プローブによって得られた測定データを取得するステップと、
前記測定データから、前記少なくとも１つの軸の周りの前記接触プローブの前記向きに応じた、少なくとも１つのプローブ信号の利得における、任意の見かけ上の変動をモデル化する、少なくとも１つの利得変動モデルを決定することを含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、前記測定データが、前記少なくとも１つの軸の周りの、少なくとも１つの向きに対する複数の異なるスタイラス偏向で得られることを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項２に記載の方法であって、複数の前記異なる向きに対して、前記測定データが、複数の異なるスタイラス偏向で得られることを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の方法であって、前記接触プローブは、少なくとも第１および第２のプローブ信号を提供するように構成され、前記少なくとも１つの利得変動モデルは、前記少なくとも１つの軸の周りの前記接触プローブの向きに依存する、前記少なくとも第１および第２のプローブ信号の利得における、任意の見かけの変動をモデル化することを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の方法であって、前記座標位置決め装置は、少なくとも２つの軸の周りで前記接触プローブの再配向を容易にし、前記方法は、
前記少なくとも２つの軸の周りで、複数の異なる向きに配置された前記接触プローブによって得られる前記測定データを取得するステップと、
前記測定データから、前記少なくとも２つの軸の周りの前記接触プローブの向きに応じた、前記少なくとも１つのプローブ信号の利得における任意の見かけ上の変動をモデル化する、少なくとも１つの利得変動モデルを決定するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の方法であって、前記測定データは、前記少なくとも１つの軸の周りの第１の向きで得られる、第１の測定データの組と、前記少なくとも１つの軸の周りの第２の向きで得られる、少なくとも１つの第２の測定データの組を含み、前記少なくとも１つの第２の測定データの組は、前記第１の測定データの組よりも包括的ではないことを特徴とする方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法であって、前記少なくとも１つの軸の周りの前記接触プローブの前記向きに応じて、前記１つまたは複数のプローブ信号の前記利得が、どのように変動するように見えるかを決定するため、少なくとも前記少なくとも１つの第２の測定データの組を用いるステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の方法であって、向きに依存しないプローブ信号変換モデルを決定するステップを、さらに含むことを特徴とする方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法であって、前記少なくとも１つの利得変動モデルは、前記向きに依存しないプローブ信号変換モデルを用いて行われる変換を補正するように構成されていることを特徴とする方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の方法であって、続いて、アーチファクトを測定するために前記接触プローブを使用するステップと、前記プローブの少なくとも１つのプローブ信号を、空間測定値に変換するために、前記少なくとも１つの利得変動モデルを使用するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の方法であって、前記座標位置決め装置は、前記少なくとも１つの軸を提供する、連続走査関節ヘッドを含み、前記関節ヘッドは、前記ヘッドの並進運動を容易にする、運動構造体に取り付けられることを特徴とする方法。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれかに記載の方法であって、前記少なくとも１つの利得変動モデルは、少なくとも１つの行列、少なくとも１つの関数、および／または、少なくとも１つのルックアップテーブルを含むことを特徴とする方法。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかに記載の方法であって、前記少なくとも１つの軸の周りの前記接触プローブの前記向きに応じた、前記少なくとも１つのプローブ信号の前記利得における見かけの対称的な変動をモデル化する、少なくとも第１の利得変動モデルと、前記少なくとも１つの軸の周りの前記接触プローブの前記向きに応じた、前記少なくとも１つのプローブ信号の前記利得における見かけの非対称変動をモデル化する、第２の利得変動モデルを決定するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１４】
接触プローブからの少なくとも１つのプローブ信号を、空間測定値に変換する方法であって、該接触プローブは、偏向可能なスタイラスを有し、前記少なくとも１つのプローブ信号が、前記スタイラスの偏向の程度を示し、前記接触プローブは、前記接触プローブを用いる測定値の収集中に、少なくとも１つの軸の周りで前記接触プローブの再配向を容易にする、座標位置決め装置の関節式連続走査ヘッドに取り付けられ、前記方法は、前記少なくとも１つの軸の周りの前記接触プローブの前記向きに依存する、少なくとも１つのプローブ信号利得変動補正因子を用いて、前記プローブ信号を空間値に変換するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１５】
スタイラスの偏向の程度を示す、少なくとも１つの信号を提供するように構成された、偏向可能なスタイラスを有する接触プローブを較正する方法であって、前記接触プローブは、少なくとも１つの軸の周りで前記接触プローブの再配向を容易にする、座標位置決め装置に取り付けられ、前記方法は、前記少なくとも１つの軸の周りで複数の異なる向きに配置された前記接触プローブで得られた測定データから、プローブ信号を空間測定値に変換するための共通プローブ信号変換モデルを決定するステップを含むことを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、座標位置決め装置に関し、特に座標位置決め装置を操作する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
座標測定機、工作機械、産業用ロボットなどの、様々な種類の座標位置決め装置が知られている。座標位置決め装置は、典型的には、いわゆる機械座標系（例えば、Ｃｘ、ＣY、ＣZ）における、可動プラットフォームまたはクイルの位置を測定する、トランスデューサを含む。対象の表面上の点の位置は、可動プラットフォームまたはクイルに取り付けられ、それらによって、あちこち移動されられる測定プローブを使用して測定される。また、測定プローブの向きが、プラットフォーム／クイルに対して調整されることを可能にする、プローブヘッドを介して、座標位置決め装置の可動プラットフォーム／クイルに、測定プローブを取り付けることが、しばしば望まれる。特に、そのようなプローブヘッドを使用して、プラットフォーム／クイルに対して測定プローブを再配向するための能力は、対象の異なる向きの表面の検査を可能にする。
【０００３】
座標位置決め装置と共に使用される既知のタイプの接触式測定プローブは、プローブハウジングと偏向可能なスタイラスを含む。典型的には、プローブハウジングは、座標位置決め装置の可動プラットフォームまたはクイルに取り付けられ、スタイラスの先端が測定される対象と接触するように動かされる。対象に接触すると、スタイラスは、そのいわゆる「偏向のない」、「休止」または「中立」位置から離れるように偏向し、このスタイラスの偏向は、適切なセンサによって感知される。この種の測定プローブは、広くは、タッチトリガープローブまたはアナログプローブ（走査プローブとしても知られる）のいずれかに分類され得る。タッチトリガープローブ（また、デジタルプローブまたはスイッチングプローブとして知られる）は、スタイラスの偏向が、特定のしきい値を超えるたびに、トリガー信号を生成する。アナログプローブは、スタイラスの中立／休止位置から離れるスタイラスの偏向の大きさ／程度（および任意に方向）を示す、プローブ信号を生成する。例えば、走査／アナログプローブは、１つ以上のトランスデューサを含み得、スタイラスの偏向を示す１つ以上の信号を出力し得る。いくつかのプローブにおいて、プローブ信号は、集約された偏向値であり得、方向／次元と無関係であり得る。いくつかのプローブにおいて、プローブ信号は、方向／次元に依存する。２次元以上におけるスタイラスの偏向が可能である場合、各次元に対して別々の信号が提供され得る。例えば、プローブ信号は、少なくとも一次元、任意に二次元、例えば三次元における偏向を示し得る。それらの次元は、互いに直交し得る。理解されるように、用語「アナログ」は、プローブがスタイラスの偏向の程度を示す信号を提供するという事実を指すのに使用され、プローブの信号の種類／形式を説明するものではない。したがって、理解されるように、偏向の程度を示す信号は、アナログまたはデジタルの形態であり得る。
【０００４】
走査／アナログプローブでは、プローブ信号を空間測定値に変換／換算するために使用される、いわゆる変換モデルを決定するため、プローブを較正することが必要である。典型的には、これは、プローブ信号を、プローブの局所座標系（ＰX、ＰY、ＰZ）における空間測定値に変換することを含む。これは、また、例えば、プローブが、少なくとも１つの軸の周りにプローブが回転させられることを可能にする位置決め装置に取り付けられるとき、プローブ信号を、機械の座標系（Ｃｘ、ＣY、ＣZ）における空間測定値に変換することを含み得る。プローブ変換行列の計算を含む、走査プローブを較正する方法の例は、特許文献１、特許文献２および特許文献３、特許文献４に詳細に記載されている。
【０００５】
特許文献３に説明されているように、プローブが、関節ヘッドに取り付けられ、異なる向きで使用されることになっている場合、伝統的に、較正プロセスは各々の向きに対して実行される。これは、較正に必要な時間を、実質的に増加させる。例えば、英国、グロスターシャー、ワットン−アンダー−エッジのレニショウ  パブリック  リミテッド  カンパニーによって販売されているＰＨ１０プローブヘッドは、７２０の反復可能な向きにインデックスされ得、各向きについて較正データを収集することは、明らかに非常に時間のかかる作業であろう。
【０００６】
全ての可能な限りの方向に対して較正することは、プローブが、英国、グロスターシャー、ワットン−アンダー−エッジのレニショウ  パブリック  リミテッド  カンパニーによって販売されている、ＲＥＶＯプローブヘッドのような、連続ヘッドに取り付けられる場合に、連続ヘッドが、不連続の数の向きを提供することよりもむしろ、システムの解像度によってのみ制限される、いわゆる「無限に近い」数の向きを提供するので、また、非現実的である。したがって、特許文献３は、プローブ変換行列が１つの向きで決定され、次いでプローブの向きに応じて回転させられるという解決策を提供している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】国際公開第００／２５０８７号
【特許文献２】国際公開第０２／０７３１２８号
【特許文献３】国際公開第２００６／１１４６０３号
【特許文献４】国際公開第２０１２／００４５５５号
【特許文献５】米国特許第６６３３０５１号明細書
【特許文献６】国際公開第２００６／１１４６２７号
【特許文献７】欧州特許出願公開第０４０２４４０号明細書
【特許文献８】米国特許第７８４７９５５号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、接触プローブを較正するための改良された方法に関する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、偏向可能なスタイラスを有し、スタイラスの偏向の程度を示す少なくとも１つの信号を提供するように構成された、接触プローブを較正する方法が提供される。接触プローブは、少なくとも１つの軸の周りに接触プローブの再配向を容易にする、座標位置決め装置に取り付けられ得る。方法は、少なくとも１つの軸の周りに、複数の異なる向きに配置された接触プローブで得られた測定データを取得することを含み得る。方法は、測定データから、前記少なくとも１つの軸の周りでの、接触プローブの向きに応じた、少なくとも１つのプローブ信号の利得における、任意の見かけ上の変動をモデル化する、利得変動モデルを決定することを含み得る。理解されるように、１つまたは複数のプローブ信号の利得は、１つまたは複数のプローブ信号が、スタイラスの偏向に対して、どのように変動するか（例えば、１つまたは複数のプローブ信号のレベルが、スタイラスの偏向に対してどのように変動するか）（例えば、プローブの座標系において）を定量化する。言い換えれば、方法は、測定データから、プローブの向きに基づいて、少なくとも１つのプローブ信号とスタイラス先端の偏向（例えば、その休止／ゼロ力位置から離れる）との間の関係における変動をモデル化し／補正するモデルを決定することを含み得る。
【００１０】
本発明者らは、少なくとも１つのプローブ信号の実際の／見かけの利得が、少なくとも１つの軸の周りのプローブの向きに応じて変動し得ることを確認した。例えば、彼らは、所定のプローブ信号（例えば、所定のレベルのプローブ信号）が、少なくとも１つの軸の周りのプローブのすべての向きに対して、同じ量のスタイラス偏向および／または同じプローブの向きにおける偏向を、必ずしも表していないことを確認した。この偏差は、図２に関連して以下により詳細に説明される。本発明は、１つまたは複数のプローブ信号の利得の変動を決定し、モデル化するためのモデルを生成することによって、本発明者らによって確認されたこの偏差に対して補償する。そのようなモデルは、この見かけの変動に対して補正／補償するために使用され得る。
【００１１】
理解されるように、プローブは、スタイラスの偏向の程度を示す信号（例えば、そのレベル）を提供するので、それは、アナログプローブまたは走査プローブとして一般に知られているものである。理解されるように、これは、スタイラスの偏向（例えば閾値を超えた）が起こったことを示す信号を単に提供する、「タッチトリガー」、「デジタル」または「スイッチング型」プローブと、一般的に呼ばれるものとは対照的である。理解されるように、上述のように、「アナログプローブ」における用語「アナログ」は、プローブが、スタイラスの偏向の大きさ／程度を示す信号を提供するという事実に言及し、単にデジタルの「偏向／非偏向」信号を提供することに限定されない。したがって、用語「アナログ」は、プローブから出てくる信号の形態を記述しないことが理解されるであろう。例えば、偏向の程度を示すために使用される、プローブから出てくる信号は、アナログの形態でもデジタルの形態でもあり得る。
【００１２】
任意選択で、測定データは、少なくとも１つの軸の周りの少なくとも１つの向きに対して、複数の異なるスタイラス偏向で取得される。任意選択で、少なくとも１つの軸の周りの複数の異なる向きに対して、測定データは、複数の異なるスタイラス偏向で得られる。
【００１３】
接触プローブは、少なくとも第１および第２のプローブ信号を提供するように構成され得る。任意選択で、少なくとも１つの利得変動モデルは、前記少なくとも１つの軸の周りの接触プローブの向きに依存した、少なくとも第１および第２のプローブ信号の利得における任意の見かけ上の変動をモデル化する。接触プローブの向きに依存する第１プローブ信号の利得の見かけ上の変動は、第２プローブ信号のそれとは異なって変動し得る。
【００１４】
任意選択で、位置決め装置は、少なくとも２つの軸の周りで接触プローブの再配向を容易にする。任意選択で、少なくとも２つの軸は、互いに垂直である。方法は、少なくとも２つの軸の周りで、複数の異なる向きに配置された接触プローブで得られた測定データを取得することを含み得る。方法は、少なくとも２つの軸の周りの接触プローブの向きに応じた、少なくとも１つのプローブ信号の利得における、任意の見かけ上の変動をモデル化する、少なくとも１つの利得変動モデルを、測定データから決定することをさらに含み得る。
【００１５】
任意選択で、その周りに接触プローブが回転させられ得る、少なくとも１つの軸は、垂直に延びる。その周りに接触プローブが回転させられ得る少なくとも２つの軸が存在するとき、一方は垂直に延び、他方は水平に延び得る。
【００１６】
任意選択で、測定データは、少なくとも１つの軸の周りの第１の向きで得られた、測定データの第１の組と、少なくとも１つの軸の周りの第２の向きで得られた、少なくとも１つの測定データの第２の組を含む。任意選択で、少なくとも１つの測定データの第２の組は、測定データの第１の組よりも包括的ではない。任意選択で、少なくとも１つの測定データの第２の組は、測定データの第１の組よりも短い時間で取得された。任意選択で、少なくとも１つの測定データの第２の組の取得中に、測定データの第１の組と比較して、より少ない測定データ／点が収集された。任意選択で、少なくとも１つの測定値の第２の組は、少なくとも１つの軸の周りで接触プローブを回転して移動させる（すなわち再配向する）ことによって得られる。任意選択で、測定値の第１の組は、少なくとも１つの軸の周りに接触プローブの向きを一定に保ち、接触プローブおよび／またはアーチファクトを並進移動させることによって得られる。方法は、１つまたは複数のプローブ信号の利得が、少なくとも１つの軸の周りの接触プローブの向きに応じて、どのように変化するように見えるかを決定するために、少なくとも、少なくとも１つの測定データの第２の組を使用することを含む。
【００１７】
方法は、向きに依存しないプローブ信号変換モデルを決定することを含み得る。少なくとも１つの利得変動モデルは、向きに依存しないプローブ信号変換モデルを使用してなされる変換を補正するように構成され得る。少なくとも１つの利得変動モデルは、向き依存型プローブ信号変換モデルとして説明され得る。向きに依存しないプローブ信号変換モデルは、前記少なくとも１つの軸のうちの第１の軸の周りの複数の異なる向きで、接触プローブを用いて得られた測定値から得られ得る。向きに依存しないプローブ信号変換モデルは、それが、前記少なくとも１つの軸のうちの第１の軸の周りの複数の異なる向きで得られた測定値から決定されるという点で、融合／統合プローブ信号変換モデルであり得る。任意選択的に、向きに依存しないプローブ信号変換モデルは、前述の、より包括的な測定から導き出され得る。少なくとも１つの利得変動モデルは、前記少なくとも１つの軸のうちの第２の軸の周りの少なくとも１つの他の向きで得られる測定値から得られ得る（したがって、この場合、関節ヘッドは、少なくとも２つの軸の周りで、接触プローブの回転を容易にする）。少なくとも１つの利得変動モデルを決定するための測定値は、向きに依存しないプローブ信号変換モデルについて得られるものよりも包括的ではないようになし得る。任意選択で、少なくとも１つの利得変動モデルは、前述のあまり包括的ではない測定値から決定される。任意選択で、少なくとも１つの利得変動モデルを決定するための測定値は、向きに依存しないプローブ信号変換モデルについて得られるそれらの測定値よりも、短い時間で得られる。任意選択で、向きに依存しないプローブ信号変換モデルを決定することと比較して、より少ない測定点が、少なくとも１つの利得変動モデルを決定するために、収集される。任意選択で、少なくとも１つの利得変動モデルを決定するための測定値は、少なくとも１つの軸の周りに接触プローブを回転させることによって得られる。任意選択的に、向きに依存しないプローブ信号変換モデルを決定するための測定値は、少なくとも１つの軸の周りで一定の角度方向で保持された接触プローブを用いて、接触プローブおよび加工品を、相対的に並進運動させることによって得られる。
【００１８】
理解されるように、測定データは、走査された測定データ（例えば、対象の表面に沿って接触プローブを走査することによって得られたデータ）であり得る。
【００１９】
少なくとも１つの利得変動モデルを決定することは、以下ｉ）を含み得る。
ｉ）少なくとも１つの軸の周りの複数の異なる向きで、接触プローブを用いて得られた測定値（例えば、走査）から、測定距離（例えば、測定位置、次元、直径、半径、楕円率など）を抽出すること。
少なくとも１つの利得変動モデルを決定することは、さらに、以下ｉｉ）を含み得る。
ｉｉ）その測定距離が、スタイラスの偏向によってどのように変動するかを決定すること。これは、少なくとも１つのスタイラスの偏向、または複数のスタイラスの偏向で得られた測定データから決定され得る。
少なくとも１つの利得変動モデルを決定することは、さらに、以下ｉｉｉ）を含み得る。
ｉｉｉ）その変動（ｉｉで決定される）が、少なくとも１つの軸の周りの異なる向きで、どのように変動するか（例えば、その勾配）を決定すること。
【００２０】
任意選択で、方法は、続いて、接触プローブを使用してアーチファクトを測定することを含み得る。少なくとも１つの利得変動モデルは、プローブの少なくとも１つのプローブ信号を、空間的／位置的値に変換するために使用され得る。これは、利得変動モデルから補正因子を決定することを含み得る。変動因子は、プローブの少なくとも１つの信号および／または信号から決定された（一時的な／仮の）空間測定値に適用され得る。空間的な値は相対的な値（例えば、座標位置決め装置の座標系における所定の点に対する位置）であり得る。空間測定値は、スタイラスの偏向の程度を表し得る。空間測定値は、偏向測定値であり得る。空間測定値は、絶対値（例えば、プローブ、または、座標位置決め装置の座標系内の絶対点）であり得る。利得変動モデルは、接触プローブによって得られるその後の測定値に対する、（向きに依存する少なくとも１つのプローブ信号の利得における）任意の見かけの変動を補償するために使用され得る。利得変動モデルは、変換モデルの一部として（例えば、プローブ信号を、プローブおよび／または座標位置決め装置の座標系における空間測定値に変換するために）、使用され得る。変換モデルは、包括的な変換モデルとして記述され得る。変換モデルは、（少なくとも１つの軸の周りの接触プローブの配向に応じて）回転を適用するように構成され得、決定された空間値は、座標位置決め装置の座標系にあるように配向される。
【００２１】
任意選択的に、決定された空間測定値は、座標位置決め装置の座標系における、スタイラス先端の絶対位置を決定するために、他の位置情報と組み合わされる。例えば、他の位置情報は、プローブが取り付けられた座標位置決め装置の１つまたは複数の相対可動部分の相対位置を決定するように設けられ、かつ、構成される、１つまたは複数の位置エンコーダ（例えば線形および／または回転式）から導出され得る。
【００２２】
座標位置決め装置は、前記少なくとも１つの回転軸を提供する関節ヘッドを備え得る。関節ヘッドは、連続走査式関節ヘッドを含み得る。理解されるように、連続走査多関節ヘッドは、なくとも１つの軸の周りで、任意選択的に少なくとも２つの軸の周りで、再配向（例えば、その上に取り付けられたプローブの）の間の位置測定を容易にする。理解されるように、これは、測定が行われる前に、ヘッドが固定または「割り出し」（例えば、ロック）されねばならない、規定された数の向きを有する、割り出しヘッドとは対照的である。関節ヘッドは、例えば、少なくとも１つ、任意選択的に少なくとも２つ、例えば、例えば互いに垂直であり得る、３つの直線次元において、ヘッドの並進移動を容易にする、移動構造体に取り付けられ得る。移動構造体は、少なくとも１つの線形案内路、任意選択で少なくとも２つの線形案内路、例えば、互いに直交し得、一連に配置され得る、３つの線形案内路を備え得る。
【００２３】
理解されるように、モデルは、数学的モデルを含み得る。モデルは、例えば、関数、行列、および／または、ルックアップテーブルを含み得る。したがって、例えば、少なくとも１つの利得変動モデルは、少なくとも１つの関数を含み得る。少なくとも１つの利得変動モデルは、少なくとも１つの行列を含み得る。少なくとも１つの利得変動モデルは、ルックアップテーブルを含み得る。少なくとも１つの利得変動モデルを使用することは、ルックアップテーブル内の値の間を補間することを含み得る。
【００２４】
方法は、少なくとも１つの軸の周りの接触プローブの向きに応じた、少なくとも１つのプローブ信号の利得における、見かけの対称的な変動をモデル化する、少なくとも第１の利得変動モデルを決定することを含み得る。方法は、少なくとも１つの軸の周りの接触プローブの向きに応じた、少なくとも１つのプローブ信号の利得における、見かけの非対称の変動をモデル化する、第２の利得変動モデルを決定することを含み得る。
【００２５】
理解されるように、そして以下により詳細に説明されるように、軸の周りの向きで行われる測定への言及は、実際の向き、または公称の向きに言及し得る。
【００２６】
理解されるように、測定データは、空間／位置測定データであり得る。測定データは、アーチファクト、例えば、較正アーチファクト、例えば、較正球体に関連し得る。測定データは、位置測定値（例えば、アーチファクトの表面に関する）を含み得る。測定データは、点位置データを含み得る。測定データは、アーチファクトに関する次元データを含み得る。測定データは、（例えば、複数の離散点で表面に触れることによって、複数の単一点測定値を得るのとは対照的に、アーチファクトの表面に沿って接触プローブのスタイラスを走査することによって）アーチファクトの走査から得られ得る。測定データは、少なくとも１つの単一点測定、任意選択で、複数の単一点測定を含み得る。
【００２７】
理解されるように、測定データを取得することは、（過去の）測定データ（例えば、以前に測定された）を、受信／検索することを含み得る。任意選択で、測定データを取得することは、接触プローブがアーチファクトを検査する（例えば、測定データを取得するためにアーチファクトと相互に作用する）ことを可能にするため、座標位置決め装置を操作することを含み得る。方法は、接触プローブの出力から測定データを導出することを含み得る。アーチファクトは、接触プローブを少なくとも１つの軸の周りに動かすことによって検査され得る。アーチファクトは、少なくとも１つの軸の周りで接触プローブの向きを一定に保ち、接触プローブおよび／またはアーチファクトを並進移動させることによって検査され得る。
【００２８】
座標位置決め装置は、座標測定装置（ＣＭＭ）であり得る。座標位置決め装置は、工作機械装置であり得る。座標位置決め装置は、デカルトまたは非デカルト位置決め装置を含み得る。
【００２９】
接触プローブは、先端感知プローブとして、当技術分野において知られているものであり得る。接触プローブは、スタイラスの傾斜を検出するように構成されているのと同時に、スタイラスの曲がりも検出し得る、トランスデューサを含み得る。これは、プローブ本体の遠位側、例えば、その相対位置が感知され得るスタイラス先端の近傍またはスタイラス先端に配置された、光学要素を介したものでもよい。例えば、接触プローブは、光学トランスデューサシステムを含み得る。前記光トランスデューサシステムは、スタイラスの先端に向けて、（例えば、スタイラスの内部に）指向される光のビームを生成するための光源と、ビームを受光して、スタイラス先端の横方向（および／または長手方向）の変位を示す信号を生成するためにビームに対して位置決めされた検出器とを備える（例えば、特許文献５および／または特許文献６に記載されているように）。
【００３０】
理解されるように、本発明の第１の態様に関連して上述した特徴は、本発明の以下に記載の他の態様に適用可能であり、逆もまた同様である。
【００３１】
本発明の他の態様によれば、接触プローブからの少なくとも１つのプローブ信号を空間測定値に変換する方法が提供される。接触プローブは、接触プローブを用いた測定値の収集中に、少なくとも１つの軸の周りで接触プローブの再配向を容易にする、座標位置決め装置の関節ヘッド（例えば、連続走査関節ヘッド）に取り付けられ得る。方法は、少なくとも１つの軸の周りの接触プローブの向きに依存する、少なくとも１つのプローブ信号利得変動補正因子を使用して、プローブ信号を空間測定値に変換することを含み得る。
【００３２】
変換ステップは、また、回転を適用することを含み得、決定された空間測定値は、位置決め装置の座標系にあるように配向される。
【００３３】
本発明の他の態様によれば、偏向可能なスタイラスを有し、スタイラスの偏向の程度を示す少なくとも１つの信号を提供するように構成された、接触（アナログ）プローブを較正する方法が提供される。接触プローブは、少なくとも１つの軸の周りで接触プローブの再配向を容易にする、座標位置決め装置に取り付けられ得る。方法は、少なくとも１つの軸の周りで複数の異なる向きに配置された接触プローブで得られた測定データから、プローブ信号を、（例えば、プローブ座標系における）空間測定値に変換するための、共通／融合／統合プローブ信号変換モデルを決定することを含み得る。これは、ただ１つの方向で得られた測定値からプローブ信号変換モデルを決定することとは対照的である。プローブ信号変換モデルは、向きに依存しないプローブ信号変換モデルであり得る（それにおいて、入力として、少なくとも１つの軸の周りの接触アナログプローブの向きを用いない）。方法は、少なくとも１つの軸の周りの接触プローブのある範囲の向きに対して、プローブ信号を空間測定値に変換するための、共通／融合／統合プローブ信号変換モデルを使用することを含み得る。例えば、方法は、第１および第２の異なる向きで、接触プローブを用いて、プローブ信号を受信すること、および、それらのプローブ信号を、空間測定値に変換するために、同じ共通／融合／統合プローブ信号変換モデルを使用することを含み得る。空間測定値は、プローブの座標系に存在し得る。（例えば上述のような）利得変動モデルは、接触プローブの向きに応じたプローブ信号の利得における、見かけの変動を補償するために使用され得る。
【００３４】
この出願はまた、偏向可能なスタイラスを有し、休止位置から離れるスタイラスの偏向に応答して１つ以上のプローブ信号を提供するように構成された、接触（アナログ）プローブを較正する方法であって、接触プローブは、少なくとも１つの軸の周りで、接触プローブの再配向を容易にする、座標位置決め装置に取り付けられた方法を記載し、方法は、少なくとも１つの軸の周りで第１の向きに対して、測定値の第１の組を取得するために、第１の測定手順を実行し、そして、少なくとも１つの他の向きに対して、他の、より包括的でない、または、より時間のかからない測定手順を実行することを含む。測定値は、プローブ利得変動モデルを決定するために使用され得る。例えば、測定値の第１の組は、向きに依存しないプローブ信号変換モデルを決定するために使用され得る。例えば、測定値の第２の組は、プローブ利得変動モデルを決定するために使用され得る。
【００３５】
本発明の別の態様によれば、接触（アナログ）プローブが取り付けられる関節ヘッドを含む、位置決め装置を含む装置が提供される。関節ヘッドは、少なくとも１つの軸の周りに接触プローブの再配向を容易にするように構成され得る。装置は、上述の方法のうちのいずれかに従って動作するように構成された、少なくとも１つのコントローラまたはプロセッサ装置を備え得る。コントローラ／プロセッサ装置は、上述の方法のうちのいずれかに従って動作するように構成された、少なくとも１つのモジュール（例えば、電子モジュールまたはソフトウェアモジュール）を備え得る。
【００３６】
本発明の別の態様によれば、少なくとも１つのプロセッサ装置によって実行されると、少なくとも１つのプロセッサ装置が、上述の方法のうちのいずれかを実行することをもたらす命令を含む、コンピュータプログラム（例えば、コンピュータプログラム製品）が提供される。本発明の別の態様によれば、少なくとも１つのプロセッサ装置によって実行されると、少なくとも１つのプロセッサ装置が、上述の方法のうちのいずれかを実行することをもたらす命令を含む、コンピュータ可読媒体またはデータキャリアが提供される。
【００３７】
本発明の実施形態が、次に、添付の図面を参照して、ただ単に例として、説明されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】接触プローブが取り付けられた、座標測定装置の概略等角図を示す。
【図２ａ】軸の周りの向きに応じた、所定のスタイラスの偏向に対するプローブ信号の変動を概略的に示す図である。
【図２ｂ】軸の周りの向きに応じた、所定のスタイラスの偏向に対するプローブ信号の変動を概略的に示す図である。
【図３】本発明による接触アナログプローブを較正するための例示的な手順を示す図である。
【図４】プローブ信号変換モデルを決定するための例示的な手順を示す図である。
【図５】軸の周りの向きに応じたプローブ信号の利得における任意の見かけ上の変動をモデル化するための、モデルを決定するための例示的な手順を示す図である。
【図６】本発明によるモデルが使用され得る、例示的な手順を示す図である。
【図７ａ】図４のステップ２０２から２０６に従って、較正アーチファクトを測定する接触アナログプローブを概略的に示す図である。
【図７ｂ】図４のステップ２０２から２０６に従って、較正アーチファクトを測定する接触アナログプローブを概略的に示す図である。
【図８ａ】測定値読み取りが行われた、Ｃｘ、ＣY位置を概略的に示すチャートを示す図である。
【図８ｂ】Ａ＝０°、および、Ｂ＝０°のときに、図８ａで同定された測定点のそれぞれにおいて記録された、プローブのスタイラス偏向信号（ｐ、ｑ）を示す図である。
【図８ｃ】Ａ＝０°、および、Ｂ＝９０°のときに、図８ａで同定された測定点のそれぞれにおいて記録された、プローブのスタイラス偏向信号（ｐ、ｑ）を示す図である。
【図９】異なる公称Ａヘッド角度および異なるスタイラス偏向に対して、スタイラスの偏向に対する較正球体の測定された直径を示す図である。
【図１０ａ】プローブ信号利得が、Ａ軸角度３０°、４５°、６０°および９０°に対して、どのように変化するかのプロットを概略的に示す図である。
【図１０ｂ】プローブ信号利得が、Ａ軸およびＢ軸角度と共に、どのように変化し得るかを概略的に示す図である。
【図１１】公称Ａ軸角度３０°（および、公称Ｂ軸角度０°）で行われる、較正球体の走査を概略的に示す図である。
【図１２】公称Ａ軸角度９０°（および、公称Ｂ軸角度０°）で行われる、較正球体の走査を概略的に示す図である。
【図１３】プローブ信号を、座標測定装置の座標系における、偏向した先端位置に変換するための例示的な関数を提供する図である。
【図１４】プローブ信号を、偏向した先端位置に変換するための別の例示的な関数を提供する図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
図１を参照すると、座標測定装置（ＣＭＭ）２の形態の移動構造を備える位置決め装置１が示される。ＣＭＭ２は、ベース１０を含み、ベース１０はフレーム１２を支持し、フレーム１２はクイル１４を保持する。モータ（図示せず）は、互いに直交する３つの軸Ｃｘ、ＣYおよびＣｚに沿ってクイル１４を移動させるために設けられる。クイル１４は、この実施形態では、レニショー  パブリック  リミテッド  カンパニーから入手可能な、ＲＥＶＯ関節ヘッドなどの連続走査関節ヘッドである、関節ヘッド１６を保持する。理解されるように、連続走査ヘッドは、少なくとも１つの軸の周りの実質的に任意の角度で、それに取り付けられた装置の配向を可能にし、そして、しばしば無限に近い数の角度配向を提供すると説明される。また、連続走査ヘッドの軸の周りの測定装置の配向は、測定中に変更され得る（例えば、接触プローブに対して変更され、一方で、接触プローブは、検査対象と接触し、スタイラス偏向信号などの測定情報を取得する。）。対照的に、割り出しヘッドは、それに取り付けられた測定装置がロックされ得る、不連続の数の画定された（「割り出し」された）位置を有する。割り出しヘッドを使用すると、測定装置の向きが変更され得るが、測定データの取得中にではない。
【００４０】
関節ヘッド１６は、クイル１４に取り付けられた基部２０、中間部２２、およびプローブ保持部２４を有する。基部２０は、第１の回転軸Ｂの周りに中間部２２を回転させるための第１のモータ（図示せず）を備える。中間部２２は、第１の回転軸に対して実質的に垂直である、第２の回転軸Ａ周りにプローブ保持部２４を回転させるための第２のモータ（図示せず）を備える。図示されていないが、関節ヘッド１６の可動部分間にベアリングが設けられ得る。さらに、図示されていないが、ベース１０、フレーム１２、クイル１４、および関節ヘッド１６の部分の相対位置を測定するための測定エンコーダが設けられ得、ベース１０に配置されたワークピース８に対する、測定プローブ４の位置が決定され得る。理解されるように、そのような測定値は、以下に、より詳細に説明される関数において使用される、偏向していないスタイラス先端９の位置を決定するために使用され得る。
【００４１】
プローブ４は、（この実施形態においては関節ヘッド１６を介して）クイル１４に取り付けられる。記載された実施形態においては、プローブ４は接触プローブ（例えば、いわゆるアナログ／走査プローブ）である。それは、プローブ本体５と、（接触先端９を有する）偏向可能なスタイラス７を備える。記載される実施形態において、プローブ４は、プローブ保持部２４に、取り外し可能に、（例えば、キネマティックマウントを使用して）取り付けられる。記載される実施形態において、プローブ４は、プローブ本体５およびプローブ保持部２４の上または中に設けられた、対応する磁石（図示せず）を使用することにより、プローブ保持部２４によって保持され得る。プローブ４は、例えば、ＣＭＭの移動容積内に配置されるプローブ収納ラック（図示せず）から／へ、自動的に取り付け／取り外し可能であり得る。
【００４２】
関節ヘッド１６は、プローブ４が、クイル１４に対して回転させされることを可能にする。特に、記載される実施形態において、それは、プローブ４が、クイル１４に対して、２つの回転自由度の周りに位置決めされることを可能にする。関節ヘッド１６によって提供される２つの回転自由度と、ＣＭＭ２の３つの直線（Ｃｘ、ＣY、ＣZ）並進軸の組み合わせは、プローブ４が、５自由度で移動／位置決めされることを可能にする。
【００４３】
位置決め装置１は、また、（例えば、ジョイスティック６などの入力装置を介しての手動、または、例えば、検査プログラムの制御下での自動のいずれかで）ＣＭＭ２の動作を制御するためのコントローラ２６を備える。コントローラ２６とのユーザ対話を支援するために、表示装置１８が設けられ得る。コントローラ２６は、例えば、専用の電子制御システムであり得、および／または、パーソナルコンピュータを含み得る。
【００４４】
現行の実施形態において、プローブは、いわゆる「先端感知」プローブであり、スタイラス先端の偏向が直接検出される。そのようなプローブの例は、特許文献５および特許文献８に記載されており、その内容は、その参照により組み込まれる。これらの文献に記載されているように、先端感知プローブは、例えば、スタイラスの先端に向けて（例えば、スタイラスの内部で）指向される光のビームを生成する光源と、ビームを受信し、スタイラス先端の横方向の変位を示す信号を生成するように配置される検出器を備える、光トランスデューサシステムを有することによって実装され得る。ミラーまたは再帰反射装置などの反射要素は、１つまたは複数のセンサ（例えば、プローブ本体内またはプローブ本体に近接するスタイラスの端部に配置され得る。）に向けてビームを反射して戻すために、スタイラス先端の近位のスタイラスの端部またはその近くに（例えば、スタイラス先端またはスタイラスに近接して）配置され得る。先端感知プローブは、いかなる意図されない曲げも感知されるだろうから（例えば、重さ／たるみ／重力／慣性による）、プローブスタイラスの意図されない曲げによって引き起こされる誤差の影響を受けにくい。それにもかかわらず、理解されるように、本発明は、非先端部感知プローブを含む、他の種類のプローブに適用可能である。そのような場合、必要ならば、既知の手法を使用して、ドループなどの他の既知の因子が要因として考慮される必要があるかもしれない。
【００４５】
図１は、ＣＭＭ２の最上層の説明のみを提供することが、留意されるべきである。そのような装置のより完全な説明は、他の場所に、見い出され得、例えば、その全内容がその参照により本明細書に組み込まれる、特許文献７が参照される。
【００４６】
ワークピース８の測定中、プローブ４の接触先端９は、ＣＭＭのＸ、Ｙ、Ｚ軸（すなわち、Ｃｘ、ＣY、ＣZ）の動きによって、および／または、Ａ軸および／またはＢ軸周りの関節ヘッドの回転によって、ワークピース８と接触する。これは、プローブのスタイラス７および先端９が偏向することをもたらす。１つまたは複数のトランスデューサ（図示されないが、この実施形態においては、それらはプローブ本体５内にある）は、その休止位置から離れた、この偏向を検知し、偏向の程度を示す１つまたは複数の信号を提供する。例えば、電圧信号が提供され得る。この実施形態において、３つの別々の信号（例えば、ｐ、ｑ、ｒ）が提供され、それらは、異なる方向、例えば、必ずしもそうとは限らないが、ほぼ互いに直交する方向の偏向に応答する。理解されるように、プローブからの出力は、一般にＣＭＭの座標系と整列しないであろう。また理解されるように、信号は偏向に直線的に比例してもしなくてもよい。
【００４７】
プローブ信号（ｐ、ｑ、ｒ）を利用するためには、それらが空間測定値に変換される必要がある。これは、変換モデルの使用を含む。本実施形態において、これは、プローブ信号（ｐ、ｑ、ｒ）を、プローブの局所座標系（ＰX、ＰY、ＰZ）におけるプローブの偏向を表す、空間測定値に変換／換算することを含む。理解されるように、プローブからの出力は、プローブの局所座標系と整列しなくてもよく、それどころか、互いに直交しなくてもよい。また理解されるように、プローブの局所座標系（ＰX、ＰY、ＰZ）は、ＣＭＭの座標系（Ｃｘ、ＣY、ＣZ）とは無関係であり、プローブは、回転軸の周りに回転させられ得るので、プローブの局所座標系は、それと共に回転する。したがって、必要に応じて、ＣＭＭ２の座標系Ｃｘ、ＣY、ＣZ空間における偏向スタイラス先端９の位置の決定を可能にするために、測定値は、ＣＭＭ２の座標系（Ｃｘ、ＣY、ＣZ）に回転させられ得る。
【００４８】
例えば、ＣＭＭの座標系における偏向された先端位置は、以下の式（１）に示されるよう
に決定され得る。
【００４９】
【数１】
2019536032.tif 000003
【００５０】
ここで、（ＴX、ＴY、ＴZ）は、偏向された先端位置であり、（ＵX、ＵY、ＵZ）は、プローブの偏向されていない先端位置（システムおよびヘッドの幾何学的配置から知られる）であり、（ＤX、ＤY、ＤZ）は、決定されたスタイラスの偏向であり、これは、以下でより詳細に説明される。これらの値は、すべてＣＭＭの座標系（ＣX、ＣY、ＣZ）にある。
【００５１】
ＣＭＭの座標系（ＤX、ＤY、ＤZ）におけるスタイラスの偏向は、以下の式（２）に示されるように決定され得る。
【００５２】
【数２】
2019536032.tif 000004
【００５３】
ここで、（ＰX、ＰY、ＰZ）は、プローブの局所座標系における決定されたスタイラスの偏向であり、これは、以下でより詳細に説明される。式（２）に示される他の２つの行列は、決定されたスタイラス偏向を、Ａ軸およびＢ軸の周りのプローブの角度に基づいて、ＣＭＭの座標系に回転させる。
【００５４】
現在知られているように、例えば、以下の式（３）に示されるような変換モデルを使用して、プローブの局所座標系（ＰX、ＰY、ＰZ）におけるスタイラス偏向を決定するために、プローブの信号ｐ、ｑ、ｒを変換／変換することが必要である。
【００５５】
【数３】
2019536032.tif 000005
【００５６】
ここで、ｋPx1、ｋPy1などは、特定のヘッド角で実行される、標準の既知の較正ルーチンから決定される定数である（例えば、特許文献３に記載される。）。これは、線形変換モデルであるが、理解されるように、これは、必ずしもそうである必要はなく、例えば、非線形変換モデルが使用され得る。
【００５７】
しかしながら、上述のように、プローブ信号（ｐ、ｑ、ｒ）とスタイラス先端の偏向の間の関係は、Ａ軸およびＢ軸周りのプローブの向きに応じて変動することが分かった。この変動は、垂直軸（例えば、この実施形態においてＢ軸）の周りの回転によっても、またプローブが真下に向けられている場合でも存在すると見出された。
【００５８】
この偏差（すなわち、スタイラス偏向信号（ｐ、ｑ、ｒ）と、スタイラス先端の偏向の間の関係の変動）は、図２ａおよび図２ｂに示される。図２ａにおいて、プローブ４は、関節ヘッドのＡ軸およびＢ軸の周りの第１の角度方向、例えばＡ＝０°およびＢ＝０°に位置決めされる。次いで、スタイラス先端は、プローブの「ＰX」次元において、１ｍｍ偏向させられ、それは、示される例では、その時点で、ＣＭＭの「ＣX」次元と整列する。この偏向は、スタイラス先端９をワークピースに垂直に駆動するように、ＣＭＭのクイル１４（ひいては関節ヘッド１６およびプローブ４）を、ＣＭＭのＣX次元に沿って１ｍｍ動かすことによって達成され得る。したがって、スタイラス先端９は、ＣＭＭ運動の程度、すなわち１ｍｍに等しい量だけ偏向する。示されるように、これは、プローブ信号ｐ＝１Ｖ、ｑ＝０．１Ｖ、および、ｒ＝０．０５Ｖを生じさせる。ｑおよびｒの小さな読みは、プローブ設定における不完全性（例えば、トランスデューサのスタイラスとのわずかな位置合わせ不良）に起因し得、または、プローブが、ｐ、ｑ、および、ｒが、プローブのＰX、ＰY、および、ＰZ座標系と、完全に整列しないように構成されていることに起因し得る。
【００５９】
プローブは、次に、Ｂ軸の周りに９０°回転させられ（図２ｂを参照）、その後、同じプロセスが繰り返される。すなわち、スタイラス先端９は、プローブの「ＰX」次元において１ｍｍ偏向させられ、それは、その時点で、今のところＣＭＭの「ＣY」次元と整列する。これは、スタイラス先端９を、ワークピースに垂直に駆動するように、ＣＭＭのクイル１４（したがって、関節ヘッド１６およびプローブ４）を、ＣＭＭのＣY次元に沿って１ｍｍ動かすことによって達成され得る。示されるように、これは、スタイラス偏向信号ｐ＝０．９Ｖ、ｑ＝０．０７Ｖ、および、ｒ＝０．０４Ｖ（「Ｖ」＝ボルト）を生じさせる。
【００６０】
示されるように、同じスタイラス偏向に対して、同じプローブ次元において、異なるスタイラス偏向信号が提供される（すなわち、異なるｐ、ｑ、および／または、ｒ出力が経験される）。これは、ｐによる１Ｖ出力が、すべての向きに対して、プローブの「ＰX」次元における同量の偏向に関連していないことを意味する。
【００６１】
この偏差を説明する別の方法は次のとおりである。第１の向きで（例えば、Ａ＝０°、および、Ｂ＝０°）、閾値ｐ信号レベルが出力されるまで（例えばｐ＝１Ｖ）、第１の軸に沿って（例えば、ＣX軸に沿って）、クイルを動かすことによって、スタイラス先端９をワークピースに垂直に駆動し、最初の接触点と閾値信号が達成された点の間の、ＣX軸に沿った、クイルにより移動させられた距離を記録する。次に、プローブは、新しい向き（例えば、Ａ＝０°、および、Ｂ＝９０°）に回転させられ、今度は、ＣY軸に沿ったクイルの動きによってであるが、プロセスが再び繰り返される。本発明者らは、閾値ｐ信号レベル（ｐ＝１Ｖ）に達する前に、クイルによって移動させられた距離が、向きに応じて変化することを確認した。したがって、例えば、ｐ＝１Ｖの前に、ＣX次元で移動させられた距離（したがって、Ｂ＝０°のときのプローブの「ＰX」次元におけるスタイラスの偏向）は、１ｍｍであり得、一方、ｐ＝１Ｖの前に、ＣY次元で移動させられた距離（したがって、Ｂ＝９０°のときのプローブの「ＰX」次元におけるスタイラスの偏向）は、１．１ｍｍであり得る。
【００６２】
いずれにせよ、理解されるように、プローブの向きに応じてプローブ信号に誤差があるように見え、それは、それらのプローブ信号から得られた空間測定値に至るであろう。そのような明白なプローブ誤差は、それから得られる空間測定値に誤差を生じさせるであろう。
【００６３】
上記の例は、Ｂ軸位置に関する明白なスタイラスの偏向挙動の変動を例示するが、明白なスタイラスの偏向挙動の変動は、また、Ａ軸位置によっても変動し得ることが見出された。
【００６４】
したがって、プローブ信号（ｐ、ｑ、ｒ）を、プローブの局所座標系（ＰX、ＰY、ＰZ）におけるプローブの偏向を表す空間測定値に変換／換算すること（および、任意で、結果をＣＭＭ２の座標系（ＣX、ＣY、ＣZ）に回転させること）に加えて、本実施形態の方法は、プローブの向きに基づいて、プローブ信号（ｐ、ｑ、ｒ）とスタイラス先端の偏向の間の関係における変動も補正する。
【００６５】
そのような変動は、主に、装置、例えば、ＣＭＭ２および／または関節ヘッド１６の剛性特性によると思われる。力がスタイラス先端９に印加されると、スタイラス７は、プローブ本体５に対して偏向し、それは、プローブのトランスデューサによって検出される。しかしながら、印加された力の方向および大きさに依存するであろう、関節ヘッド１６および／またはＣＭＭ２構造のいくらかの変換されない偏向もまた存在するであろう。この変換されない偏向は、スタイラスの偏向測定における同等の誤差と区別がつかない。
【００６６】
この誤差を克服するための例示的な技術が、図３から図１４を参照して説明されるであろう。この技術は、１つまたは複数のプローブ信号と、スタイラスの休止／ゼロ力位置からの偏向との間の関係における変動を決定し、モデル化するためのモデルを生成することを含む。この特定の例において、モデルは、それによって、関節ヘッド軸の周りの異なる向きで、スタイラス偏向信号とスタイラスの偏向との関係における相違を補償するために、包括的な変換モデル（プローブ信号を次元測定値に変換／換算するために使用される）に組み込まれる。
【００６７】
図３は、プローブ４についてそのような変換モデルを決定するプロセス１００のための最上位フローチャートを提供する。この方法は、プローブ４を中立にするオプションのステップ１０２で始まる。これは、アナログ／走査プローブのための標準的な周知のプロセスであり、それによって、プローブが自由空間にあるときに（すなわち、スタイラスが休止した／偏向されない位置にあるときに）、プローブのトランスデューサ信号が測定される。
【００６８】
ステップ１０３において、ＣＭＭの測定容積内に配置された較正アーチファクト３０が、プローブ４を用いて、それのいくつかの測定値を取得することによって検索される。この段階で、デフォルトの変換モデルが、プローブ信号を位置測定値に変換るために使用され得る。
【００６９】
ステップ１０４において、プローブ信号変換モデルが検索される。これは、図４を参照してより詳細に説明される。
【００７０】
次に、ステップ１０６において、プローブ信号とスタイラスの偏向の間の関係が、関節ヘッドの角度と共にどのように変化するかを記述する、補正モデルが決定される。これは、図５を参照してより詳細に説明される。
【００７１】
次いで、ステップ１０４で決定されたプローブ信号変換モデル、および、ステップ１０６で決定された補正モデル（本発明の目的のために、まとめて「変換モデル」として言及され得る）は、続いて、例えば、図６を参照して以下により詳細に説明するように、スタイラス偏向信号を正確な空間測定値に変換するために使用され得る。
【００７２】
図４を参照すると、プローブ信号変換モデルを検索するための例示的なプロセス２００が示される。プロセスは、物品、この場合には、較正アーチファクト３０が、第１の関節ヘッド角（例えば、この実施形態では、Ａ＝０°およびＢ＝０°）で測定される、ステップ２０２で始まる。この実施形態において、ステップ２０２における測定動作は、スタイラスの先端が球体３２に対して付勢された状態で、クイル１４を球体３２の周りの円の中で並進運動させることによって、較正アーチファクトの球体３２（図７ａ参照）の走査（例えば、赤道３４の周り）を実行することを含む。この走査は、異なるスタイラス偏向（異なる測定力）で繰り返される。また、走査は、例えば、特許文献２に記載されているように、複数の走査方向に実行され得る。
【００７３】
ステップ２０２における測定動作は、また、球体の周りで間隔をあけて、例えば、図７ａに示される点３６において、点測定（例えば、４点測定）を行うことを含む。各々の点測定は、スタイラスの偏向信号が、スタイラスの偏向のある範囲、例えば、名目上、５０μｍ（ミクロン）〜２００μｍ（ミクロン）の間にわたって得られることを可能にするために、スタイラスの尖端９を球体３２内に垂直に押すことを含む。
【００７４】
ステップ２０２で得られた測定結果の例は、図８ａ、８ｂ、および、８ｃに概略的に示される。図８ａは、測定値の読み取りが行われたＣX、ＣY位置を概略的に説明する、チャートを示す。各点は、１回の測定値の読み取りが行われた位置を表す。図から分かるように、走査は、ＣＭＭ２のクイル１４を、円の中で移動させることを含み、接触点（図８ａの領域３６‘で強調表示される）は、球体３２へと、および、球体３２から離れて、名目上真っ直ぐのライン内に移動させることを含んだ。図８ａのチャートは、Ｂ＝０°とＢ＝９０°の両方に有効である。
【００７５】
図８ｂは、Ａ＝０°およびＢ＝０°のときに、図８ａで識別された各測定点において記録された、プローブのスタイラス偏向信号（ｐ、ｑ）を示す。ＣＭＭ２のクイル１４は、円をなして動かされ、球体の赤道３４のプロファイルは円形であるので、プローブの「ｑ」信号に対してプロットされた「ｐ」信号のプロファイルは、また、円形であると期待される。しかしながら、図８ｂに示されるように、ｑに対するｐのプロファイルは楕円形であり、この場合、長軸はｐ軸に沿って延びる。これは、ｐとｑに対するプローブ信号の挙動の明らかな相違によるものである（例えば、この場合において、そして、示されるように、ｐは、所定の偏向に対して、ｑよりも、応答性が高い／より大きい信号を提供するように見える。
【００７６】
次に、ステップ２０４で、異なるヘッド角で、測定が必要とされるかどうかが決定される。この実施形態において、測定は、より多くのヘッド角で得られ得るが、測定は、２つの異なるヘッド角で得られるべきである（そして、ＡおよびＢ角度の任意の組み合わせが用いられ得る）。したがって、ステップ２０６において、関節ヘッド１６は、プローブを、第２の関節ヘッド角（例えば、この実施形態では、Ａ＝０°、Ｂ＝９０°）に向け直すように操作される。次いで、ステップ２０２が繰り返され、上述の測定（例えば、２回の走査および４点の測定）が、第２の関節ヘッド角（図７ｂに示される）で繰り返される。上述のように、図８ａのチャートは、測定が、走査および点測定中に行われる点での、クイル１４のＣX、ＣY位置を示すために等しく適用可能である。
【００７７】
図８ｃは、Ａ＝０°およびＢ＝９０°のときに、図８ａで識別された各々の測定点において記録された、プローブのスタイラス偏向信号（ｐ、ｑ）を示す。図からわかるように、ｑに対するｐのプロファイルは、図８ｂに示されるそれに似て楕円形であるが、図８ｂと比較してわかるように、主軸は、９０°回転している（この場合、主軸は、図８ｃのｑ軸に沿って延びる）。図示されるように、ＡおよびＢ＝０°のときの状況とは異なり、この場合、ｑは、所定の偏向に対して、ｐよりも、応答性が高い／より大きい信号を提供するように見える。
【００７８】
したがって、プローブによって得られた測定値には誤差であるように見えるものが存在することが分かる。プローブ信号の挙動は、プローブの向きに応じて異なるように見える。言い換えれば、向きに応じてプローブ信号の利得に変動があるように見える。しかしながら、また、分かるように、誤差は、プローブと共に回転しないので、誤差は機械の構造から生じる可能性が高いと推定され得る。
【００７９】
ステップ２０４で、この段階でそれ以上の測定は必要ないことが、その結果、決定され、プロセスは、ステップ２０８へ進む。ステップ２０８で、最小二乗最良適合最適化プロセスが、プローブ信号変換モデルを決定するために使用される。例えば、以下の式（４）を参照すると、偏向されていない先端位置Ｕｘ、Ｕｙ、Ｕｚ位置は既知であり、プローブ信号ｐ、ｑ、ｒは既知であり、ヘッド角ＡおよびＢは既知であり、スタイラス先端位置Ｔｘ、Ｔｙ、Ｔｚは、全て球体の表面上にあるべきことが既知である。したがって、最小二乗最良適合最適化プロセスなどの最適化プロセス（例えば反復プロセス）が、以下の式（４）に示されるブランク３×３行列の値を推定するために使用され得、これは、球体の表面にできるだけ近くなるように、Ｂ＝０°およびＢ＝９０°で得られる測定値をもたらすであろう。
【００８０】
【数４】
2019536032.tif 000006
【００８１】
その行列は、その後、プローブ信号変換モデルとして使用され得る。例示的な行列は、例えば、上記の式（３）に示されるもの、例えば、以下のものと同様であり得る。
【００８２】
【数５】
2019536032.tif 000007
【００８３】
しかしながら、この場合、プローブ信号変換モデルは、多くの異なる方向で得られた測定値から決定されるので、プローブ信号変換モデルは、「平均化」、「結合化」「統合化」または「最適化」プローブ信号変換モデルとして記述され得る（それに対して、式（３）では、行列は、ただ１つのヘッド方向で得られた測定値から決定されたであろう）。任意選択で、プローブ信号変換モデルは、複数の異なる向きから決定され、その後、複数の異なる向きに対する共通の変換モデルとして使用されるので、「共通の」プローブ信号変換モデルとして記述され得る。理解されるように、このプローブ信号変換モデルは、向き非依存の信号変換モデルの一例である。入力パラメータとして、どの軸についてのプローブの向きも使用しない。
【００８４】
理解されるように、適切な異なるヘッド角で測定を行うことによって、プローブ座標系において、ＣＭＭの影響は、ゼロに平均化され得る。
【００８５】
理解されるように、測定が行われる順序は、本発明にとって重要ではない。例えば、全ての測定を第１の関節ヘッド角で行い、次いで第２の関節ヘッド角で全ての測定を行うのではなく、第１及び第２の関節ヘッド角で（または３つ以上のヘッド角度が存在する場合は全てで）測定を得ることが、交互に行われ得る。
【００８６】
さらに、異なる関節ヘッド角のそれぞれで同じ測定値が得られることは必要ない。例えば、４つの異なる関節ヘッド角に対してデータが得られるべきということがあるかもしれないし（例えば、Ａ＝０°およびＢ＝０°、４５°、９０°および１３５°）、各々の関節ヘッド角に対して走査測定を実行するのではなく、４つの関節ヘッド角のうちの２つのみに対して走査測定が実行され得る（一方で、例えば、４つの全ての関節ヘッド角に対して点測定が依然として行われる）。
【００８７】
理解されるように、他の種類の測定値が、上記のそれの代わりに、または、上記のそれと共に得られ得る。例えば、較正用アーチファクトの表面のスパイラル走査が実行され得る。また、記載された実施形態において、異なるスタイラスの偏向／力で測定値が得られるが、異なるスタイラスの偏向／プローブ力で測定値が得られることは必要ない。例えば、各ヘッド角で実行されるただ一回の走査であり得る。この場合、利得の形は、例えば、線形で、０を横切ると仮定され得、または、例えば、仮定の非線形を有すると仮定され得る。プローブ信号の利得誤差がマッピングされると確信することは不可能であろうが、これは、いくつかの誤差が識別されることを可能にするだろう。あるいは、複数のスタイラスの偏向／プローブ力での測定値は、ある（例えば、１つの）ヘッド角では得られ得るが、他のヘッド角では得られ得ない。
【００８８】
図５を参照すると、ヘッド角に依存するプローブ信号とスタイラス偏向の間の関係における変動を記述する補正モデルを決定するための例示的なプロセス３００が示される。プロセスは、ステップ３０２で、ＣＭＭ２を作動させることにより開始し、較正球体３２を（所定のヘッド角度で）、多数の異なるスタイラス偏向で走査する。例えば、これは、所定の公称Ａヘッド角、例えば、Ａ＝３０°（図１１参照）で、球体３２の表面の周りに円を走査することを含み得る。この実施形態において、走査は、関節ヘッドの回転軸の周りにプローブを回転させることによって行われる。示されるように、球体３２およびスタイラス先端９が半径を有するため、プローブはＡ軸の周りに回転させられる必要があり、したがって、Ａは実際には３０°ではない。しかしながら、線３８が、関節ヘッドの回転点と、その周りに走査が行われる円４０の中心との間に延びる、Ａ軸の周りの角度は３０°であり、したがって、Ａは公称３０°であると記述される。また、理解されるように、プローブがＡの周りに回転させられるように示される量は、プローブと較正アーチファクトとの相対的な縮尺のために、図面において大きく誇張されている。さらに、理解されるように、走査が、関節ヘッドの１つまたは複数の軸の周りにプローブを回転させることによって行われるのではなく、走査は、ＣＭＭのＸ、Ｙ、および、Ｚ軸を用いてクイル１４を並進移動させることによって行われ得る。この場合、ヘッドのＡ軸は本当に３０°であり得る。
【００８９】
同じ走査が、少なくとも２つの異なるスタイラス偏向（例えば、２つの異なるプローブ力）で実行され、この場合は、４つの異なるスタイラス偏向で実行される。理解されるように、これは、必ずしもそうである必要はない。例えば、測定は、ただ１つのスタイラスの偏向で実行され得る。これは、例えば、将来の測定値がそのスタイラスの偏向で得られさえすればよい場合、および／または、利得における変動について仮定が立てられ得る場合（例えば、ゼロに戻る線形変動）に、特に当てはまる。
【００９０】
次にステップ３０４で、異なるヘッド角で測定が必要であるかが判定される。この実施形態において、測定値は、４つの異なる公称Ａ軸角度（３０°、４５°、６０°および９０°；Ａ＝９０°については図１２参照）で得られることになる。したがって、ステップ３０６において、関節ヘッド１６は、プローブを次の公称Ａ軸ヘッド角に再配向するように操作される。次いで、ステップ３０２が、新しい公称ヘッド角について上記のように繰り返される。このループは、ステップ３０４で、異なるヘッド角でのそれ以上の測定が必要とされないと決定されるまで続く。
【００９１】
プロセス３００の制御は、次にステップ３０８に進み、そこでスタイラス偏向信号ゲインがヘッド角度と共にどのように変動するように見えるかが決定される。ステップ３０８（そのための例示的な方法が以下により詳細に説明される）は、概略的に、以下ｉ）〜ｉｉｉ）のように要約され得る。ｉ）各走査から測定距離（測定された直径、半径、楕円率など）を抽出する、ｉｉ）その測定距離がスタイラスの偏向／力によってどのように変化するかを決定する、ｉｉｉ）次に、その変化（（ｉｉ）で決定される）の傾きが、いかにヘッド角について変動するかを決定する。
【００９２】
例えば、式（４）の行列を用いて、図５のプロセスの走査中に得られたプローブ信号は、位置測定値に変換される。次に、各走査からの位置測定値は、球体３２の測定された直径を決定するために分析される。これは、各ヘッド角での各スタイラスの偏向に対して行われる。説明の目的のために、異なる公称Ａヘッド角および異なるスタイラス偏向に対し、スタイラス偏向に対する球の測定された直径が、図９に示される。分かるように、この例では、任意の所定のヘッド角に対して、測定された球体３２の直径は、スタイラスの偏向と共に増加する。理解されるように、点に当てはめられた各線の勾配は、各ヘッド角に対する見かけのプローブ信号利得を表す。図示のように、各ヘッド角度は異なる勾配を有し、したがって、異なる見かけ上の利得を有する。これは、プローブ信号の利得がヘッド角度と共に変化するように見えることを示す。言い換えれば、この例によって例示されるように、プローブ信号とスタイラスの偏向の程度との間の関係はヘッド角度と共に変化する。
【００９３】
図１０ａは、Ａヘッド角度３０°、４５°、６０°および９０°に対する傾斜度／利得値のプロットを概略的に示す。見かけの利得変動は関数で表され得る。例えば、Ａ軸周りのヘッドの角度に依存する見かけの利得変動は、以下の式（５）に示される関数によってモデル化され得る。
【００９４】
【数６】
2019536032.tif 000008
【００９５】
ここで、ｋ1、ｋ2およびｋ3は、測定された利得に適合するように選択された定数である（例えば、関数が、測定された利得に適合する、図１０ａに示される線を記述するように）。
【００９６】
次に、これは、測定中に利得における見かけの変動を補正するために使用され得る行列に組み込まれ得る。例えば、以下の式（６）は、式（３）に示される変換モデルに加えて、異なるヘッド角度での、プローブ信号の利得における見かけ上の変動をモデル化し、それを補償するために使用され得る行列を含む、変換モデルの例を示す。
【００９７】
【数７】
2019536032.tif 000009
【００９８】
理解されるように、Ｇxyが関数であるのとは対照的に、それは代わりにルックアップテーブルであり得る。したがって、見かけの利得変動は、ルックアップテーブルによってモデル化され得る。必要であれば、直接測定されない値を入力／決定するために、ルックアップテーブルの補間が使用され得る。
【００９９】
参照を容易にするために、異なるヘッド角での、プローブ信号とスタイラスの偏向の間の関係における変動を補償するように、見かけの利得変動をモデル化する上述の行列を組み込むための、拡大された形での式（１）が、図１３に示される。図１３は、また、理解を助けるために、それらの目的が何のためであるのかを説明するために、様々な行列を細分化してラベル付けしている。
【０１００】
上述の実施形態において、利得は、線形であると仮定される（したがって、例えば、図９の点にフィットするような直線が示される）。しかし、理解されるように、これは必ずしもそうである必要はなく、利得は非線形であり得る（この場合、点にフィットする線は、湾曲し得る）。
【０１０１】
式（５）の関数は、異なるＡ角度で実行される走査が測定された、Ｂ角度を真に代表するだけである。Ａ角度に依存する見かけの利得変動は、全てのＢ角度で同じであると仮定することができ、あるいは、見かけの利得変動がＢ角度に対してどのように変動するかを予測することが可能である。しかしながら、仮定／予測がなされないことが好ましいなら、そのときには、Ｂ角度周りの変動に対して考慮し、モデル化することが可能である。この場合、上述した図５、１１、１２のプロセスは、異なる（公称）Ｂ角度で繰り返され得、それによって、異なるＡおよびＢ角度に対する利得が見出される。図１０ｂは、傾斜角／利得が、ＡおよびＢの角度に対してどのように変動し得るかを概略的に示し、ドットは、異なるＡおよびＢの角度に対して決定された利得を表す。この変動は、関数で表され得る。例えば、ＡおよびＢ角度に依存する見かけの利得変動は、以下の式（７）に示される関数によってモデル化され得る。
【０１０２】
【数８】
2019536032.tif 000010
【０１０３】
ここで、
【０１０４】
【数９】
2019536032.tif 000011
【０１０５】
であり、ｋBijは、測定された利得に適合するように選択された定数（例えば、測定された利得に適合される図１０ｂに示される表面を記述する関数）である。
【０１０６】
理解されるように、上記のＧｘｙ関数は、単なる例示的な関数である。理解されるように、他の関数が使用され得る。
【０１０７】
上記の技法は、見かけの利得変動が対称的であると仮定している（例えば、ＰｘおよびＰｙにおいて）。方法は、利得変動における任意の見かけの非対称性（例えば、ＰｘおよびＰｙにおける任意の非対称性）を記述するモデルを含むように拡張され得る。たとえば、非対称性が存在すする場合、走査は円形でないだろう。例えば、それらはほぼ楕円形であり得、その場合、見かけの利得変動の楕円形の性質をモデル化することを試みることが有利であり得る。したがって、単純に直径を決定することの代わりに、走査の楕円率が決定され、モデル化され得る。図１４は、追加の行列が、任意の見かけの非対称（例えば楕円形）利得変動を補正するために使用され得ることを示す。
【０１０８】
この場合、多数のスタイラスの偏向に対しての走査の直径（または半径）を決定し、それがスタイラスの偏向によってどのように変化するかを決定するのと同時に、他の測定距離が、また、決定され得る。例えば、測定距離は、走査の楕円形（これはパラメータによって記述され得る）であり得、そして、上述の実施形態と同様の方法で、楕円形が偏向に対してどのように変化するかを決定することが必要であり、その変動の傾斜が、所定のヘッド角での（図１４に示される非対称利得変動モデルの）楕円利得Ｅｃ  Ｅｓを決定するために使用され得る。
【０１０９】
ヘッド角に対するＥｃ  Ｅｓの変動は、以前と同様にモデル化され得る。したがって、理解されるように、図１４に示される、非対称利得変動モデルのＥｃおよびＥｓは、それぞれ、入力／変数としてヘッド角Ａおよび／またはＢを有する関数であり得る。例えば、ＥｃおよびＥｓは、以下の式（８）および（９）に示されるような関数を含み得る。
【０１１０】
【数１０】
2019536032.tif 000012
【０１１１】
ここで、
【０１１２】
【数１１】
2019536032.tif 000013
【０１１３】
であり、そして、
【０１１４】
【数１２】
2019536032.tif 000014
【０１１５】
ここで、
【０１１６】
【数１３】
2019536032.tif 000015
【０１１７】
であり、そしてｃBijおよびｓBijは、楕円利得における測定された変動に適合するように選択された定数である。
【０１１８】
理解されるように、他の形状の変動が存在し得（例えば、変動が厳密に楕円形ではないような）、その場合、わずかに異なるモデルが必要とされるかもしれない。
【０１１９】
理解されるように、図１３の利得変動モデル、および、図１４の非対称および対称利得変動モデルは、向き依存型プローブ信号変換モデルであると説明され得る。それらは、入力パラメータとして、関節ヘッドの少なくとも１つの軸（この場合においては両方の軸）の周りの接触アナログプローブの向きをとる。
【０１２０】
図６は、接触アナログプローブ４を使用して、その後の測定点の収集中に、利得変動モデルが、実際に、どのように使用され得るかの例示的なプロセス４００を示す。プロセスはステップ４０２で始まり、その間に、スタイラス７（特にスタイラス先端９）を、対象に接触させるように、対象８および／または接触アナログプローブ４が動かされ、それによって、スタイラスが偏向することをもたらす。接触アナログプローブは、偏向に応答して、信号（この場合はｐ、ｑ、ｒ信号）を提供し、信号のレベルは、偏向の程度を示す。理解されるように、信号は、形式がデジタルまたはアナログであり得る。ステップ４０４において、共通プローブ信号変換モデルは、信号を、プローブ座標系（Ｐｘ，Ｐｙ，Ｐｚ）における空間測定値に変換するために使用される。ステップ４０６で、関節ヘッドのＡ軸およびＢ軸周りの接触式アナログプローブの向きに応じて、利得変動補正因子を適用するために、プローブ信号利得変動モデルが使用される。したがって、これは、接触アナログプローブが、プローブ信号が提供された点に向けられた、Ａ軸およびＢ軸周りの角度を、モデルに供給することを含む。これは、次に、プローブ信号の利得の見かけ上の変動に対して補正された、プローブの座標系（Ｐｘ、Ｐｙ、Ｐｚ）における空間測定値が与える。ステップ４０８において、（例えば、図１３および図１４に示される行列を使用して）、空間測定値は、ＣＭＭの座標系に回転させられる。次に、これは、偏向されない先端位置（システムとヘッドの幾何学的配置から知られ得、例えば、ＣＭＭのＸ、Ｙ、Ｚ軸に取り付けられたリニア位置エンコーダと、関節ヘッドに取り付けられた回転位置エンコーダから推定され、その結果、関節ヘッドの位置と向きが決定され得る）に加えられ得る。
【０１２１】
したがって、測定値が、対象の表面に沿って接触式アナログプローブを走査することによって得られ、その間に、接触式アナログプローブ４の向きが、関節式プローブヘッドの１つ以上の軸の周りで連続的に変化する実施形態において、利得変動モデルによって適用される利得補正因子は、１つまたは複数の軸の角度に応じて連続的に変化する（例えば、軸周りの向きの連続的な変化に伴って連続的に変化する）。
【０１２２】
上記の実施形態は、初期プローブ信号変換（「共通」プローブ信号変換モデル）および（非対称および対称）利得変動モデルに対して、別々の行列を有することによって説明されるが、理解されるように、必ずしもそうである必要はなく、それらは、１つの共通の行列によって提供され得る。また上記で説明したように、１つまたは複数の行列を使用するのではなく、代わりに、関数またはルックアップテーブルが使用され得る。
【０１２３】
上述の実施形態において、共通のプローブ信号変換モデルは、いくつかの異なる向きで得られた測定値から決定される。理解されるように、この共通プローブ信号変換モデルは、追加の利得変動モデルなしに、自身の能力において使用され得る。そうすることは、挙動における変動が、平滑化／平均化され得るので、ただ１つの向きで得られた測定値からプローブ信号変換モデルを決定し、次に同じプローブ信号変換モデルが他の向きにも適用されると仮定する（そして、単に、空間測定値をＣＭＭの座標系に回転させる）ことより有利であり得る。
【０１２４】
上記の実施形態は、ＰｘおよびＰｙを補正する。理解されるように、同じ技術は、Ｐｚを補正するために使用され得る。この場合、プローブＰｚ軸に沿った測定が、異なるスタイラスの偏向で（例えば、プローブ「端部」で較正アーチファクトに触れることによって）行われ得る。
【０１２５】
記載の実施形態において、座標位置決め装置は、直列ＣＭＭ（すなわち、３つの線形自由度が３つの独立した直交運動軸によって提供される）である。しかし、理解されるように、本発明は、平行ＣＭＭ、ロボットアーム、またはそれに類するもののような、他の種類の座標位置決め装置の移動を制御するためにも使用され得る。本発明は、専用のＣＭＭだけでなく、工作機械のような他の種類の座標位置決め装置とも、使用され得る。さらに、理解されるように、本発明は、極座標および球面座標位置決め装置のような、デカルトおよび非デカルト位置決め装置と共に使用するのにも適している。
【図１】
2019536032.tif 000016
【図２ａ】
2019536032.tif 000017
【図２ｂ】
2019536032.tif 000018
【図３】
2019536032.tif 000019
【図４】
2019536032.tif 000020
【図５】
2019536032.tif 000021
【図６】
2019536032.tif 000022
【図７ａ】
2019536032.tif 000023
【図７ｂ】
2019536032.tif 000024
【図８ａ】
2019536032.tif 000025
【図８ｂ】
2019536032.tif 000026
【図８ｃ】
2019536032.tif 000027
【図９】
2019536032.tif 000028
【図１０ａ】
2019536032.tif 000029
【図１０ｂ】
2019536032.tif 000030
【図１１】
2019536032.tif 000031
【図１２】
2019536032.tif 000032
【図１３】
2019536032.tif 000033
【図１４】
2019536032.tif 000034
【国際調査報告】
2019536032.tif 000035
2019536032.tif 000036
2019536032.tif 000037