(57)【要約】  本願発明は、光通信に基づくレーザレーダ（１００）を提供する。当該レーザレーダは距離測定モジュールと、信号伝送モジュールと、電力輸送モジュールと、機械的回転部品と、筐体（５０）とを備える。信号伝送モジュールは、光通信送信端子（６、８）および光通信受信端子（３、７）を少なくとも１対備え、信号伝送モジュールと電力輸送モジュールは、磁気リング（９）により結合されて無線で電力を輸送し、機械的回転部品は、距離測定モジュールを駆動して軸を中心に３６０°回転させる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
距離測定モジュールと、信号伝送モジュールと、電力輸送モジュールと、機械的回転部品と、筐体とを備え、前記距離測定モジュールおよび前記電力輸送モジュールは、筐体に内蔵され、前記機械的回転部品は、筐体の外部に設けられ、且つ前記距離測定モジュールに電気的に接続され、前記信号伝送モジュールは、光通信送信端子および光通信受信端子を少なくとも１対備え、前記信号伝送モジュールと前記電力輸送モジュールは、磁気リングにより結合されて無線で電力を輸送し、前記機械的回転部品は、前記距離測定モジュールを駆動して軸を中心に３６０°回転させることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザレーダにおいて、前記筐体の第１の部分に前記距離測定モジュールが内蔵され、前記距離測定モジュールはレーザと、送信レンズ群と、受信センサと、受信レンズとを備え、前記レーザは、前記送信レンズ群の収容スペースに設けられ、前記受信センサは、前記受信レンズの収容スペースに設けられ、前記レーザから発射されたレーザ光が前記送信レンズを通過して環境内の物体に入射し、反射されて前記受信レンズから前記受信センサに入射し、信号伝送モジュールの内部に１対として設けられる光通信受信端子および光通信送信端子は、光通信送信端子により送信される光信号を光通信受信端子が受信するように設けられ、
前記機械的回転部品にモータが設けられ、前記モータは、ベルトにより前記筐体の第１の部分に可動的に接続され、且つ、前記ベルトにより前記筐体の第１の部分および第２の部分を回転駆動すると同時に、前記距離測定モジュールが軸を中心に周辺環境を３６０°で走査し、前記電力輸送モジュールは、電磁誘導により電力を無線で輸送する第１の部分と、第２の部分とを備え、前記電力輸送モジュールの第１の部分は、前記筐体の第２の部分に設けられ、且つ軸を中心に３６０°回転し、前記電力輸送モジュールの第２の部分は、前記筐体の第３の部分に固定されることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザレーダにおいて、前記距離測定モジュールは、飛行時間法に基づくレーザ距離測定モジュールであることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【請求項４】
請求項２に記載のレーザレーダにおいて、パルス信号を生成する信号処理ボードと、
前記パルス信号を開始信号として受信し、前記受信センサにより出力される計時終了信号を受信することにより、レーザ光の飛行時間を算出する計時モジュールとをさらに備えることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【請求項５】
請求項１に記載のレーザレーダにおいて、前記信号伝送モジュールは、全二重通信または半二重通信モードを実現するために、前記光通信受信端子および前記光通信送信端子を２対備えることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【請求項６】
請求項５に記載のレーザレーダにおいて、光通信送信端子により送信される光信号および前記光通信受信端子により受信される光信号は、同一対の端子では同一の帯域にあり、各対の端子では異なる帯域にあることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【請求項７】
請求項１に記載のレーザレーダにおいて、前記信号伝送モジュールに、前記光通信送信端子および前記光通信受信端子が１対のみ設けられ、単方向通信モードで動作することを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【請求項８】
請求項１に記載のレーザレーダにおいて、前記モータには内蔵式の中空軸モータを用いることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【請求項９】
請求項１に記載のレーザレーダにおいて、前記光通信送信端子および前記光通信受信端子はダイオードであることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、レーザレーダ技術の分野に係り、詳しく言えば、光通信に基づくレーザレーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術によるレーザレーダは、図１に示すように構成される。図１によれば、レーザレーダ２００が２７０°ミラーを用いる構成であり、その光通信としては、レーザ２１１の発射した光が非球面レンズ２０５に設けられたコリメータ２０４により細径の光ビームに整形され、次いでミラー２０８および導光管２１０を通過して光学フィルタ管２０９から出射され、周辺環境に入射する。符号板２０３の近くのモータ２０１がミラー２０８および導光管２１０を回転駆動し、光電スイッチ２０７に制御されることで、レーザ光が光学フィルタ２０９に入射し、受信部２１２で受信されることにより、レーザ光ビームによる周囲環境の走査を実現する。このような構成においては、モータの電力および速度制御信号がトラフ２０２に収容されたリード線により伝達され、レーザ光駆動信号が信号処理部２０６により発信されるが、トラフ２０２に遮蔽されるため、レーザ光ビームは、周辺環境に対する３６０°の全角度走査を実現できず、実際の走査角度が一般的に２７０°以下にとどまる。また、導電性スリップリングを用いる構成である場合は、レーザレーダの回転距離測定部と固定されたレーダベースは、導電性スリップリングにより電気的に接続され、電力および信号がスリップリングに内蔵される摩擦接触式の部品により伝達される。よって、従来技術では、２７０°ミラーによる構成は可能であるが、３６０°の全角度走査は実現できない。また、摩擦によって接触を実現するスリップリングを用いる構成では、製品の耐用年数が短いという問題点があった。
【０００３】
上記から分かるように、従来技術によるレーザレーダは、使用する時に不便と欠点が認められているため、改良する余地がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願発明は、３６０°の走査による測定を実現でき、安定性および信頼性に優れた構造を備え、耐用年数を引き伸ばせる光通信に基づくレーザレーダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本実施例は、光通信に基づくレーザレーダを提供する。距離測定モジュールと、信号伝送モジュールと、電力輸送モジュールと、機械的回転部品と、筐体とを備えてもよい。前記距離測定モジュールおよび前記電力輸送モジュールは、筐体に内蔵される。前記機械的回転部品は、筐体の外部に設けられ、且つ前記距離測定モジュールに電気的に接続される。前記信号伝送モジュールは、光通信送信端子および光通信受信端子を少なくとも１対備えてもよい。前記信号伝送モジュールと前記電力輸送モジュールは、磁気リングにより結合されて無線で電力を輸送する。前記機械的回転部品は、前記距離測定モジュールを駆動して軸を中心に３６０°回転させる。
【０００６】
好ましくは、前記筐体の第１の部分に前記距離測定モジュールが内蔵され、前記距離測定モジュールはレーザと、送信レンズ群と、受信センサと、受信レンズとを備えてもよい。前記レーザは、前記送信レンズ群の収容スペースに設けられ、前記受信センサは、前記受信レンズの収容スペースに設けられる。前記レーザから発射されたレーザ光は、前記送信レンズ群を通過して環境内の物体に入射し、反射されて前記受信レンズから前記受信センサに入射する。信号伝送モジュールの内部に１対として設けられる光通信送信端子および光通信受信端子は、光通信送信端子により送信される光信号を光通信受信端子が受信するように設けられる。
【０００７】
前記機械的回転部品にモータが設けられ、前記モータは、ベルトにより前記筐体の第１の部分に可動的に接続される。前記モータは、前記ベルトにより前記筐体の第１の部分および第２の部分を回転駆動すると同時に、前記距離測定モジュールが軸を中心に周辺環境を３６０°で走査する。前記電力輸送モジュールは、電磁誘導により電力を無線で輸送する第１の部分と、第２の部分とを備えてもよい。前記電力輸送モジュールの第１の部分は、前記筐体の第２の部分に設けられ、且つ軸を中心に３６０°回転し、前記電力輸送モジュールの第２の部分は、前記筐体の第３の部分に固定される。
【０００８】
好ましくは、前記距離測定モジュールが飛行時間法に基づくレーザ光距離測定モジュールである。
【０００９】
好ましくは、前記レーザレーダが、パルス信号を生成する信号処理ボードと、前記パルス信号を開始信号として受信し、前記受信センサにより出力される計時終了信号を受信することにより、レーザ光の飛行時間を算出する計時モジュールとをさらに備える。
【００１０】
好ましくは、前記信号伝送モジュールが、全二重通信または半二重通信モードを実現するために、前記光通信受信端子および前記光通信送信端子を２対備える。
【００１１】
好ましくは、光通信送信端子により送信される光信号および前記光通信受信端子により受信される光信号は、同一対の端子では同一の帯域にあり、各対の端子では異なる帯域にある。
【００１２】
好ましくは、前記信号伝送モジュールに、前記光通信送信端子および前記光通信受信端子が１対のみ設けられ、単方向通信モードで動作する。
【００１３】
好ましくは、前記モータは内蔵式の中空軸モータを用いる。
【００１４】
好ましくは、前記光通信送信端子および前記光通信受信端子がダイオードである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、機械的回転部品および光路上の構成要素を改良し、摩擦接触式の部品の使用を避けることにより、レーザレーダの動作中の安定性および信頼性を向上させ、耐用年数を引き伸ばすことができ、３６０°の走査による測定を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】従来技術によるレーザレーダの概略構造図である。
【図２】本発明の実施例による光通信に基づく３６０°走査式のレーザレーダにおける距離測定モジュールに関連する構造の概略図である。
【図３】本発明の実施例による光通信に基づく３６０°走査式のレーザレーダの概略構造図である。
【図４】本発明の実施例による光通信に基づく３６０°走査式のレーザレーダの動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
課題を解決するための手段および利点をより明確にするために、以下、図面および実施例を用いて本願発明を詳しく説明する。なお、本明細書に記載される実施例は、本願発明を限定するものではなく、説明目的のためのものに過ぎない。矛盾がない限り、下記の実施例および実施例に言及される特徴を互いに組み合わせることができる。
【００１８】
図２および図３に示すように、従来技術における問題点を解決するために、本実施例に係る光通信に基づく３６０°走査式のレーザレーダ１００は、距離測定モジュールと、信号伝送モジュールと、電力輸送モジュールと、機械的回転部品と、筐体とを備える。前記距離測定モジュールは距離計とも呼ばれ、信号伝送モジュールは信号伝送器とも呼ばれ、電力輸送モジュールは電力伝送器とも呼ばれる。前記信号伝送モジュールは、光通信送信端子および光通信受信端子を少なくとも１対備えてもよい。前記信号伝送モジュールと電力輸送モジュールは、磁気リングにより結合されて無線で電力を輸送する。前記機械的回転部品は、前記距離測定モジュールを駆動して軸を中心に３６０°回転させる。無線電力伝送により、筐体を分離させて全角度の回転を可能にするだけでなく、光通信により送受信を行うことにより、ケーブルの配置形態を変更し、移動中に絡み合うことで全角度での動作に支障をきたすことを回避する。
【００１９】
好ましくは、レーザレーダ１００の筐体５０が筐体５０の第１の部分５０１（筐体の上部）と、筐体５０の第２の部分５０２（筐体の中部）と、筐体５０の第３の部分５０３（筐体の底部）とを備え、前記筐体の上部（第１の部分５０１とも呼ばれる）に前記距離測定モジュールが内蔵される。前記距離測定モジュールはレーザ１と、送信レンズ群２と、受信センサ５と、受信レンズ４とを備えてもよい。レーザ１は、送信レンズ群２の収容スペースに設けられる。受信センサ５は、受信レンズ４の収容スペースに設けられる。レーザ１から発射されたレーザ光が前記送信レンズ群を通過して環境内の物体に入射し、反射されて受信レンズ４を通過して受信センサ５に入射する。前記レーザレーダは、１対として設けられる前記光通信受信端子および前記光通信送信端子を備えてもよい。図３に示すように、レーザレーダの信号伝送モジュールは、光通信受信端子および光通信送信端子を２対備え、そのうち１対は光通信送信端子６および光通信受信端子７で構成され、他方は、光通信送信端子８および光通信受信端子３で構成されてもよい。前記筐体が回転する間に、光信号が光通信送信端子６から光通信受信端子７に、また光通信送信端子８から光通信受信端子３に伝送される。送信レンズ群２は、少なくとも１枚のレンズを備える。
【００２０】
好ましくは、前記光通信送信端子が発光ダイオード（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ、ＬＥＤ）光源で、光通信受信端子が受信センサである。
【００２１】
前記機械的回転部品にモータが設けられ、モータ１０は、ベルト１１により筐体５０の上部（筐体５０の第１の部分５０１とも呼ばれる）に可動的に接続される。モータ１０は、ベルト１１により筐体５０の上部および中部（筐体５０の第１の部分５０１および筐体５０の第２の部分５０２とも呼ばれる）を回転駆動すると同時に、前記距離測定モジュールが軸を中心に周辺環境を３６０°で走査する。前記電力輸送モジュールは、電磁誘導により電力を無線で輸送する第１の部分と、第２の部分とを備えてもよい。前記電力輸送モジュールの第１の部分は、筐体５０の中部（筐体５０の第２の部分５０２とも呼ばれる）に設けられ、且つ軸を中心に３６０°回転する。前記電力輸送モジュールの第２の部分は、筐体５０の底部（筐体５０の第３の部分５０３とも呼ばれる）に固定される。
【００２２】
図３に示すように、前記電力輸送モジュールの前記第１の部分および前記第２の部分は、それぞれコイルが巻回された磁気リング９で構成され、磁気リング９は互いに回転可能に接続される。好ましくは、第１の部分および第２の部分の磁気リング９が、第１の部分および第２の部分の磁気リング９が接触しないように異なる構成とされる。電力の輸送は、結合された磁気リング９により実現され、無線輸送には、携帯電話の無線充電に一般的に用いる電磁誘導方式を採用する。
【００２３】
好ましくは、前記距離測定モジュールが飛行時間法に基づくレーザ距離測定モジュールである。例えば、飛行時間（Ｔｉｍｅ−ｏｆ−Ｆｌｉｇｈｔ、ＴＯＦ）に基づく前記距離測定モジュールは、レーザ１が変調されたパルスレーザ光信号を発射し、送信レンズ群２を通過して出射し、物体により反射されて受信レンズ４を通過して受信センサ５に集光される。時間−デジタル変換器（Ｔｉｍｅ−ｔｏ−Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ、ＴＤＣ）は、光信号の送受信における時間差を取得することで光路長を求め、物体との距離値を算出する。なお、ＴＤＣは、光の飛行時間を計算するために用いるチップである。その他に、ＴＤＣの代わりに、フィールドプログラマブルゲートアレイ（Ｆｉｅｌｄ  Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ  Ｇａｔｅ  Ａｒｒａｙ、ＦＰＧＡ）などのチップを利用して時間差を計算してもよい。図３に示す例では、外部のモータがベルト１１により距離測定モジュールを回転駆動することで、周辺環境に対する３６０°の走査を実現するが、内蔵式の中空軸モータに取り替えて回転による走査を実現してもよい。全二重光通信モードで信号を送信する。前記レーザレーダは、パルス信号を生成する信号処理ボード２０と、パルス信号を開始信号として受信し、受信センサ５により出力される計時終了信号を受信することにより、レーザ光の飛行時間を計算する計時モジュール３０（タイマ３０とも呼ばれる）とを備えてもよい。
【００２４】
実際には、信号処理ボード２０が計時モジュールの計時開始信号としてのパルス信号を生成し、前記パルス信号がレーザ１を駆動して発光させる。レーザ光は、送信レンズ群２を通過して外部に出射し、反射される光信号が受信レンズ４を通過して受信センサ５に計時モジュールの計時終了信号としての電気信号を生成する。計時モジュール３０がレーザ光の飛行時間を取得し、信号処理ボード２０が計時モジュール３０により取得される時間差に基づいて距離データに換算し、そして光電スイッチにより生成される位置情報と組み合わせることにより、レーザレーダデータを取得する（１件のレーザレーダデータは、位置情報および距離情報を含む）。発射から受信までの周期において、十分に広い角度で反射光を受信するために、受信センサ５の位置および向きを限定せず、システムに設定される回転速度および回転モードを用いる。
【００２５】
好ましくは、前記信号伝送モジュールが前記光通信受信端子および前記光通信送信端子を２対備える。図３に示すように、光通信受信端子７および光通信送信端子８、光通信受信端子３および光通信送信端子６を備えることで、全二重通信または半二重通信モードを実現する。また、３対以上を設けて二重通信を行ってもよい。好ましくは、光通信送信端子により送信される光信号および前記光通信受信端子により受信される光信号は、同一対の端子では同一の帯域にあり、各対の端子では異なる帯域にある。あるいは、同一の帯域にある２対の送受信端子を用いる半二重通信モードと置き換えてもよい。
【００２６】
また、好ましくは、前記信号伝送モジュールに、光通信送信端子および光通信受信端子を１対のみ設け、単方向通信モードで動作し、光通信部に送受信モジュールを１対のみ設け、単方向通信モードで動作し、前記距離測定モジュールの測定情報を一方向に送信するだけでよい。好ましくは、信号伝送モジュールに光通信送信端子および光通信受信端子が１対のみ設けられる場合、光通信送信端子および光通信受信端子のうち一方がレーザレーダの筐体の内部に設けられ、他端はレーザレーダの筐体の外部に設けられる。例えば、光通信送信端子が筐体の内部に設けられ、光通信受信端子が筐体の外部に設けられる。これにより、筐体が回転する間に、光通信送信端子により送信される光信号が光通信受信端子により確実に受信される。
【００２７】
レーザレーダ１００で、モータ１、ベルト１１および駆動ホイール１２が筐体５０の上部および中部（筐体５０の第１の部分５０１および第２の部分５０２とも呼ばれる）を駆動し、軸受１４は補助部品として機能する。好ましくは、モータ１には内蔵式の中空軸モータを用いる。
【００２８】
好ましくは、光通信送信端子６、８および光通信受信端子３、７はダイオードである。
【００２９】
好ましくは、レーザレーダ１００により実現され、電源を投入した後に、図４のフローチャートに示すようにＳ４０１〜Ｓ４０６を含む。
【００３０】
Ｓ４０１では、パルスレーザ光駆動信号を送信する。当該ステップは、信号処理ボード６により実現され、且つ該信号を計時開始信号とする。
【００３１】
Ｓ４０２では、レーザ１が狭パルスレーザ光を計時開始信号として送信する。
【００３２】
Ｓ４０３では、物体により反射される反射光信号を受信する。当該ステップでは、レーザ光が物体により反射され、レンズとして構成される筐体５０に入射し、反射光が受信センサ５に入射する。
【００３３】
Ｓ４０４では、計時終了信号として受信パルスを生成し、受信センサが終了信号を計時モジュールに出力する。
【００３４】
Ｓ４０５では、計時モジュールがレーザ光の飛行時間を取得する。
【００３５】
Ｓ４０６では、位置情報と組み合わせてレーダ測定データを取得し、取得されるデータに対して総合的な演算処理を行った後、データを出力する。
【００３６】
上記実施例では、いくつかの好ましい実施形態を挙げているが、レーザおよび受信センサの相対的な位置を変更してもよい。例えば、水平に並設される方式から、互いに直交する方式、または所定の角度で設けられる方式に変更してもよい。
【００３７】
無線電力輸送では、その他方式での結合を採用してもよい。従来技術では、２７０°前後の走査しか実現できないが、本実施例が３６０°の走査を実現できる。また、導電性のスリップリングにより電力と信号を伝送する従来技術と比較すると、本実施例では摩擦式の伝動部品が設けられないため、レーザレーダの耐用年数を引き伸ばすことができる。
【００３８】
上記から分かるように、本実施例は、摩擦接触式の部品の使用を避けて、光路上の構成要素を最適化することにより、装置の安定性および信頼性を向上させ、耐用年数を引き伸ばすことができ、３６０°の走査による測定を実現できる。
【００３９】
（付記）
（付記１）
距離測定モジュールと、信号伝送モジュールと、電力輸送モジュールと、機械的回転部品と、筐体とを備え、前記距離測定モジュールおよび前記電力輸送モジュールは、筐体に内蔵され、前記機械的回転部品は、筐体の外部に設けられ、且つ前記距離測定モジュールに電気的に接続され、前記信号伝送モジュールは、光通信送信端子および光通信受信端子を少なくとも１対備え、前記信号伝送モジュールと前記電力輸送モジュールは、磁気リングにより結合されて無線で電力を輸送し、前記機械的回転部品は、前記距離測定モジュールを駆動して軸を中心に３６０°回転させることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【００４０】
（付記２）
付記１に記載のレーザレーダにおいて、前記筐体の第１の部分に前記距離測定モジュールが内蔵され、前記距離測定モジュールはレーザと、送信レンズ群と、受信センサと、受信レンズとを備え、前記レーザは、前記送信レンズ群の収容スペースに設けられ、前記受信センサは、前記受信レンズの収容スペースに設けられ、前記レーザから発射されたレーザ光が前記送信レンズを通過して環境内の物体に入射し、反射されて前記受信レンズから前記受信センサに入射し、信号伝送モジュールの内部に１対として設けられる光通信受信端子および光通信送信端子は、光通信送信端子により送信される光信号を光通信受信端子が受信するように設けられ、
前記機械的回転部品にモータが設けられ、前記モータは、ベルトにより前記筐体の第１の部分に可動的に接続され、且つ、前記ベルトにより前記筐体の第１の部分および第２の部分を回転駆動すると同時に、前記距離測定モジュールが軸を中心に周辺環境を３６０°で走査し、前記電力輸送モジュールは、電磁誘導により電力を無線で輸送する第１の部分と、第２の部分とを備え、前記電力輸送モジュールの第１の部分は、前記筐体の第２の部分に設けられ、且つ軸を中心に３６０°回転し、前記電力輸送モジュールの第２の部分は、前記筐体の第３の部分に固定されることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【００４１】
（付記３）
付記２に記載のレーザレーダにおいて、前記距離測定モジュールは、飛行時間法に基づくレーザ距離測定モジュールであることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【００４２】
（付記４）
付記２に記載のレーザレーダにおいて、パルス信号を生成する信号処理ボードと、
前記パルス信号を開始信号として受信し、前記受信センサにより出力される計時終了信号を受信することにより、レーザ光の飛行時間を算出する計時モジュールとをさらに備えることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【００４３】
（付記５）
付記１に記載のレーザレーダにおいて、前記信号伝送モジュールは、全二重通信または半二重通信モードを実現するために、前記光通信受信端子および前記光通信送信端子を２対備えることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【００４４】
（付記６）
付記５に記載のレーザレーダにおいて、光通信送信端子により送信される光信号および前記光通信受信端子により受信される光信号は、同一対の端子では同一の帯域にあり、各対の端子では異なる帯域にあることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【００４５】
（付記７）
付記１に記載のレーザレーダにおいて、前記信号伝送モジュールに、前記光通信送信端子および前記光通信受信端子が１対のみ設けられ、単方向通信モードで動作することを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【００４６】
（付記８）
付記１に記載のレーザレーダにおいて、前記モータには内蔵式の中空軸モータを用いることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【００４７】
（付記９）
付記１に記載のレーザレーダにおいて、前記光通信送信端子および前記光通信受信端子はダイオードであることを特徴とする光通信に基づくレーザレーダ。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本願発明は、光通信に基づくレーザレーダを提供する。当該レーザレーダは、摩擦接触式の部品の使用を避け、レーザレーダが動作する間に、その安定性および信頼性を向上させ、耐用年数を引き伸ばすことができ、３６０°の走査による測定を実現できる。
【図１】
2019531491.tif 000003
【図２】
2019531491.tif 000004
【図３】
2019531491.tif 000005
【図４】
2019531491.tif 000006
【国際調査報告】
2019531491.tif 000007
2019531491.tif 000008
2019531491.tif 000009
2019531491.tif 000010