(57)【要約】  基板（例えば、ガラス基板）上の低放射率（低Ｅ）被膜は、接触層（例えば、ＮｉＣｒ系層）と、窒化ケイ素を含む層と、酸化物及び／又は窒化物であってもよいニオブジルコニウムのような材料の又はそれを含む吸収体層とにより離間された少なくとも第１及び第２の赤外線（ＩＲ）反射層（例えば、銀系層）を含む。吸収体層は、被覆物品がガラス側反射性（被膜がＩＧユニットの第２表面の上にあるときのＩＧ窓ユニットの外側反射に相当する）灰色着色を実現できるように設計されている。特定の例示的実施形態では、（一体型形態及び／又はＩＧ窓ユニット形態の）被覆物品は、低い可視光透過率（例えば、２０〜４５％、より好ましくは２２〜３９％、最も好ましくは２５〜３７％）を有する。特定の例示的実施形態では、被覆物品は、熱処理（例えば、熱強化処理及び／又は熱曲げ）されてもよい。【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板によって支持され、ガラス側反射性灰色着色を有する被膜を含む被覆物品であって、前記被膜が、
銀を含む第１及び第２の赤外線（ＩＲ）反射層であって、前記第１のＩＲ反射層は、前記第２のＩＲ反射層よりも前記ガラス基板の近くに配置された、第１及び第２のＩＲ反射層と、
銀を含む前記第１のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第１の接触層と、
前記第１の接触層の上に直接接触して配置された窒化ケイ素を含む誘電体層であって、窒化ケイ素を含む前記誘電体層は、Ｎｂ及びＺｒを含む分割吸収体層によって分割され、Ｎｂ及びＺｒを含む前記分割吸収体層は、窒化ケイ素を含む前記誘電体層の第１の部分と窒化ケイ素を含む前記誘電体層の第２の部分との間に接触して配置された、誘電体層と、
窒化ケイ素を含む前記層の上に配置された第２の接触層と、
前記第２の接触層の上に直接接触して配置された銀を含む前記第２のＩＲ反射層と、
前記第２のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第３の接触層と、
前記第３の接触層の上に配置された窒化ケイ素を含む別の誘電体層と、を含み、
前記被覆物品は、２０〜４５％の可視光透過率及び１０〜２４％のガラス側可視光反射率を有し、
前記被覆物品は、−４．０〜＋５．０のガラス側反射ａ＊値及び−１０．０〜＋２．０のガラス側反射ｂ＊値を有するようにガラス側反射性灰色着色を有する、被覆物品。
【請求項２】
前記吸収体層が、ＮｂＺｒの亜酸化物を含む、請求項１に記載の被覆物品。
【請求項３】
前記吸収体層が、ＮｂＺｒの亜窒化物を含む、請求項１又は２に記載の被覆物品。
【請求項４】
前記吸収体層が、ＮｂＺｒＯｘＮｙを含む、請求項１〜３のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項５】
前記第１及び第３の接触層が、Ｎｉ及び／又はＣｒを含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項６】
前記第２の接触層が、Ｎｉ及びＣｒを含む、請求項１〜５のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項７】
前記第１のＩＲ反射層の下に直接接触して配置されたＮｉＣｒを含む接触層をさらに含む、請求項１〜６のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項８】
前記被覆物品が、−３．５〜＋１．０のガラス側反射ａ＊値及び−９．０〜＋１．０のガラス側反射ｂ＊値を有するように、ガラス側反射性灰色着色を有する、請求項１〜７のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項９】
前記被覆物品が、−２．５〜０のガラス側反射ａ＊値及び−７．０〜−１．０のガラス側反射ｂ＊値を有するように、ガラス側反射性灰色着色を有する、請求項１〜８のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１０】
前記被覆物品が、−８．０〜−１．０の透過ａ＊値及び−８．０〜＋１．０の透過ｂ＊値を有する、請求項１〜９のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１１】
前記被覆物品が、２２〜３９％の可視光透過率を有する、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１２】
前記被膜が、７．０Ω／□以下のシート抵抗を有する、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１３】
銀を含む前記第１のＩＲ反射層の厚さが、同じ厚さ＋／−１０％である、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１４】
前記吸収体層が、Ｚｒよりも多くのＮｂを含有する、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１５】
前記吸収体層が、３〜３０％の酸素（原子％）を含む、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１６】
前記吸収体層の金属含有量が、７０〜９５％のＮｂである、請求項１〜１５のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１７】
前記ガラス基板と前記第１のＩＲ反射層との間に配置された窒化ケイ素を含む基層をさらに含む、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１８】
前記吸収体層が、１５〜１００Åの厚さを有する、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項１９】
前記吸収体層が、２０〜６０Åの厚さを有する、請求項１〜１８のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２０】
窒化ケイ素を含む前記誘電体層の前記第１及び第２の部分が、同じ厚さ±２０％である、請求項１〜１９のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２１】
前記吸収体層が、本質的にＮｂＺｒＯｘＮｙからなる、請求項１〜２０のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２２】
前記吸収体層が、銀を含む前記ＩＲ反射層の両方よりも薄い、請求項１〜２１のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２３】
窒化ケイ素を含む前記別の誘電体層の上に直接接触して配置されたジルコニウム酸化物を含むオーバーコート層をさらに含む、請求項１〜２２のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２４】
前記第１の接触層が、ＮｉＣｒを含み、実質的に金属性又は金属性であり、５％（原子％）以下の酸素を含む、請求項１〜２３のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２５】
前記第１、第２、及び第３の接触層が、ＮｉＣｒを含み、実質的に金属性又は金属性であり、５％（原子％）以下の酸素を含む、請求項１〜２４のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２６】
前記被覆物品が、熱強化処理されている、請求項１〜２５のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２７】
前記被覆物品が、１２〜２０％のガラス側可視光反射率を有する、請求項１〜２６のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２８】
前記被覆物品が、−３〜＋７の膜側反射ｂ＊値を有する、請求項１〜２７のいずれか一項に記載の被覆物品。
【請求項２９】
請求項１〜２８のいずれか一項に記載の被覆物品と、前記被覆物品に結合された別のガラス基板とを含み、０．２８以下のＳＦ値及び０．２９以下のＳＨＧＣ値を有するＩＧ窓ユニット。
【請求項３０】
請求項１〜２８のいずれか一項に記載の被覆物品と、前記被覆物品に結合された別のガラス基板とを含み、０．２５以下のＳＦ値及び０．２５以下のＳＨＧＣ値を有するＩＧ窓ユニット。
【請求項３１】
請求項１〜２８のいずれか一項に記載の被覆物品と、前記被覆物品に結合された別のガラス基板とを含み、０．２３以下のＳＦ値及び０．２３以下のＳＨＧＣ値を有するＩＧ窓ユニット。
【請求項３２】
ガラス基板によって支持され、ガラス側反射性灰色着色を有する被膜を含む被覆物品であって、前記被膜が、
銀を含む第１及び第２の赤外線（ＩＲ）反射層であって、前記第１のＩＲ反射層は、前記第２のＩＲ反射層よりも前記ガラス基板の近くに配置された、第１及び第２のＩＲ反射層と、
銀を含む前記第１のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第１の接触層と、
前記第１の接触層の上に直接接触して配置された窒化ケイ素を含む誘電体層であって、窒化ケイ素を含む前記誘電体層が分割吸収体層によって分割され、前記分割吸収体層が窒化ケイ素を含む前記誘電体層の第１の部分と窒化ケイ素を含む前記誘電体層の第２の部分との間に接触して配置された、誘電体層と、
窒化ケイ素を含む前記層の上に配置された第２の接触層と、
前記第２の接触層の上に直接接触して配置された銀を含む前記第２のＩＲ反射層と、
前記第２のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第３の接触層と、
前記第３の接触層の上に配置された窒化ケイ素を含む別の誘電体層と、を含み、
前記被覆物品は、２０〜４５％の可視光透過率を有し、
前記被覆物品は、−４．０〜＋５．０のガラス側反射ａ＊値及び−１０．０〜＋２．０のガラス側反射ｂ＊値を有するように、ガラス側反射性灰色着色を有する、被覆物品。
【請求項３３】
ガラス基板によって支持された被膜を含む被覆物品であって、前記被膜が、
銀を含む第１及び第２の赤外線（ＩＲ）反射層であって、前記第１のＩＲ反射層は、前記第２のＩＲ反射層よりも前記ガラス基板の近くに配置された、第１及び第２のＩＲ反射層と、
銀を含む前記第１のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第１の接触層と、
前記第１の接触層の上に直接接触して配置された窒化ケイ素を含む誘電体層であって、窒化ケイ素を含む前記誘電体層は、ＮｂＺｒＯｘＮｙを含む分割層によって分割され、ＮｂＺｒＯｘＮｙを含む前記分割層は、窒化ケイ素を含む前記誘電体層の第１の部分と窒化ケイ素を含む前記誘電体層の第２の部分との間に接触して配置された、誘電体層と、
窒化ケイ素を含む前記層の上に配置された第２の接触層と、
前記第２の接触層の上に直接接触して配置された銀を含む前記第２のＩＲ反射層と、
前記第２のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第３の接触層と、を含み、
前記被覆物品は、２０〜４５％の可視光透過率を有する、被覆物品。
【請求項３４】
前記被覆物品が、−４．０〜＋５．０のガラス側反射ａ＊値及び−１０．０〜＋２．０のガラス側反射ｂ＊値を有するように、ガラス側反射性灰色着色を有する、請求項３３に記載の被覆物品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低放射率（低Ｅ）の被膜を含む被覆物品に関する。特定の例示的実施形態では、低Ｅ被膜は、基板（例えば、ガラス基板）上に設けられているものであり、接触層（例えば、ＮｉＣｒ系層）と、窒化ケイ素を含む層と、酸化物及び／又は窒化物であってもよいニオブジルコニウムのような材料の又はそれを含む吸収体層とにより離間された少なくとも第１及び第２の赤外線（ＩＲ）反射層（例えば、銀系層）を含む。吸収体層は、被覆物品がガラス側／外側の反射性灰色着色を実現できるように設計されている。特定の例示的実施形態では、（一体型形態及び／又はＩＧ窓ユニット形態の）被覆物品は、低い可視光透過率（例えば、２０〜４５％、より好ましくは２２〜３９％、最も好ましくは２５〜３７％）を有する。特定の例示的実施形態では、被覆物品は、熱処理（例えば、熱強化処理及び／又は熱曲げ）されてもよい。本発明の特定の例示的実施形態による被覆物品は、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニット、車両用窓、他の種類の窓、又は任意の他の適切な用途に使用してもよい。
【背景技術】
【０００２】
被覆物品は、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニット、車両用窓などの窓の用途に使用することが当技術分野で知られている。特定の場合には、強化、曲げなどの目的のために、そのような被覆物品を熱処理（例えば、熱強化処理、熱曲げ及び／又は半強化処理）することが好ましいことが知られている。被覆物品の熱処理（ＨＴ）は、典型的には少なくとも５８０℃、より好ましくは少なくとも約６００℃、さらにより好ましくは少なくとも６２０℃の温度の使用を必要とする。そのような高温（例えば、５〜１０分間以上）処理は、被膜を破壊及び／又は劣化させるか、又は予測不可能に変化させることがよくある。従って、必要に応じて、被膜を著しく損傷させない予測可能な状態に、被膜がそのような熱処理（例えば、熱強化処理）に耐えることができることが好ましい。
【０００３】
特定の状況では、被覆物品の設計者は、好ましい可視光透過率、所望の色、低放射率（又は放射度）、及び低シート抵抗（Ｒｓ）の組み合わせを目指している。低放射率（低Ｅ）及び低シート抵抗の特徴により、このような被覆物品は、例えば車両又は建物の内部の好ましくない加熱を低減するように相当量のＩＲ放射を遮断することを可能にする。
【０００４】
灰色着色は、場合によっては、一体型窓、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニット、及び／又は他の適切な用途に関連して望まれている。一体型に及び／又はＩＧ窓ユニットで測定される場合、好ましい灰色着色（例えば、ガラス側又は外側の反射性）は、−１０．０〜＋２．０、より好ましくは−９．０〜＋１．０、最も好ましくは−７．０〜−１．０のｂ＊値と組み合わせて、かつ１０〜２４％、より好ましくは１２〜２０％、最も好ましくは１３〜１９％のガラス側可視光反射率（ＲＧＹ又はＲＯＵＴ）と、２０〜４５％、より好ましくは２２〜３９％、最も好ましくは２５〜３７％の可視光透過率（ＴＹ又はＴＶｉｓ）と組み合わせて、ａ＊値が−４．０〜＋５．０、より好ましくは−３．５〜＋１．０であり、最も好ましくは−２．５〜０であることを特徴とすることができる。本明細書における光学値（例えば、ａ＊、ｂ＊、ＴＶｉｓ、ＲＧＹ、ＲＦＩＬＭ）は、光源Ｃ、２度、規格に従って測定されることに留意すべきである。
【０００５】
いくつかの用途において、特に温暖な天気の気候では、低い太陽因子（ＳＦ）及び低い太陽熱利得係数（ＳＨＧＣ）値もまた望ましい。ＥＮ規格４１０に従って算出された太陽因子（ＳＦ）は、窓ガラスを通って部屋等に入る全エネルギーと、入射太陽エネルギーとの間の比に関する。従って、より低いＳＦ値は、窓／窓ガラスによって保護された部屋などの好ましくない加熱に対する良好な日射保護を示すことが理解されるであろう。低いＳＦ値とは、暑い周囲条件下で、夏季に部屋をかなり涼しく保つことができる被覆物品（例えば、ＩＧ窓ユニット）を示す。従って、暑い環境下では低いＳＦ値が好ましい場合がある。ＩＧ窓ユニットのような被覆物品には、低いＳＦ値が好ましい場合があるが、より低いＳＦ値を達成するには着色を犠牲することもある。ＩＧ窓ユニットなどのような被覆物品の低いＳＦ値、許容できる可視光透過率、及び好ましいガラス側反射性着色の組み合わせを達成することは、場合によっては好ましいが、困難である。ＳＦ（Ｇ−因子；  ＥＮ４１０−６７３  ２０１１）及びＳＨＧＣ（ＮＦＲＣ−２００１）値は、全スペクトル（Ｔ、Ｒｇ及びＲｉ）から算出され、典型的にはＰｅｒｋｉｎ  Ｅｌｍｅｒ  １０５０のような分光光度計を使用して測定される。ＳＦ測定値は一体型被覆ガラスで行われ、このような算出値は、一体型、ＩＧ及び積層用途に適用可能である。
【０００６】
特許文献１は、いくつかの異なる被膜を開示している。特許文献１の実施例１、４及び５（［００２６］段落、４頁）は、ガラス／ＳｉＮ／ＮｉＣｒＮｘ／ＳｉＮ／ＮｉＣｒＮｘ／ＳｉＮである。しかし、これらの実施例は、４０〜７５Ω／□の好ましくない高いシート抵抗値、及び好ましくないガラス側反射性緑色又は青銅色の着色を有する。残念なことに、特許文献１の全ての実施例は、４０〜７５Ω／□の好ましくないほど高いシート抵抗値、及び好ましくないほど高いＳＦ及びＳＨＧＣ値を有する。
【０００７】
参照により本明細書に組み込まれる特許文献２は、銀系ＩＲ反射層の下に酸化亜鉛（ＺｎＯ）接触層を使用し、下部銀（Ａｇ）系ＩＲ反射層の上にＮｉＣｒＯｘの接触層とそれに続く中央酸化錫（ＳｎＯ２）誘電体層を使用する低Ｅ被膜を開示する。銀ＩＲ反射層の下のＺｎＯ接触層は、銀の成長のために良好な構造特性を提供するが、ＺｎＯは、特定の場合において、被膜の化学的、環境的及び機械的耐久性を低下させることが分かった。さらに、厚いＳｎＯ２誘電体層は、熱処理時の応力及び微結晶化を示し、これはＳｎＯ２とＺｎＯとＡｇとの間の粗い界面を引き起こして、耐久性を低下しかつ透過着色に影響を及ぼす可能性があることが分かった。
【０００８】
特許文献３は、ＳｉＮ／ＮｉＣｒ／Ａｇ／ＮｉＣｒ／ＳｉＮ／ＮｉＣｒ／Ａｇ／ＮｉＣｒ／ＳｉＮの層積層体を有する低Ｅ被膜を開示する。しかし、特許文献３の被覆物品は、少なくとも６３％の好ましくない高い可視光透過率を有する。特許文献３（第３欄、第１２〜１５行）は、７０％未満（一体型被覆物品について）及び６３％未満（ＩＧ窓ユニットについて）の可視光透過率が好ましくないことを教示する。従って、特許文献３は、６３％未満の可視光透過率を有する被覆物品から直接離れていることを教示する。さらに、特許文献４に大部分説明されているように、特許文献３の被覆物品は、熱処理の際に、シート抵抗（Ｒｓ）が約３〜５から１０をはるかに超えるまで上昇するため、少なくとも合理的に熱処理可能ではない。
【０００９】
特許文献５は、ＳｉＮ／ＮｉＣｒ／Ａｇ／ＮｉＣｒ／ＳｉＮ／ＮｉＣｒ／Ａｇ／ＮｉＣｒ／ＳｉＮ／ＺｒＯの層積層体を有する低Ｅ被膜を開示する。しかし、この層積層体の耐久性を改良することができることが分かった。さらに、特許文献５（即ち、実施例１〜３）に記載された例示的被覆物品は、４７％を超える好ましくないほど高可視光透過率を有し、少なくとも１０％のガラス側／外側の可視光反射率（ＲＧＹ）と共に、好ましいガラス側／外側の灰色着色を満たすことができないことが多い。従って、特許文献５は、耐久性、可視光透過率、着色、及び／又はガラス側可視光反射率のうちの１つ以上について改善の余地がある。
【００１０】
従って、一体型に及び／又はＩＧ窓ユニットで測定される場合、良好な耐久性、低シート抵抗、低い可視光透過率、並びに低いＳＦ及び／又はＳＨＧＣ値と組み合わせて、ガラス側反射性灰色着色を達成できれば好ましいであろう。２つのペイン（ｐａｎｅ）を有する典型的な従来のＩＧ窓ユニットは、約０．７０のＳＨＧＣ値を有することに留意すべきである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】米国特許出願公開第２０１２／０１７７８９９号明細書
【特許文献２】米国特許第７，５２１，０９６号明細書
【特許文献３】米国特許第５，５５７，４６２号明細書
【特許文献４】米国特許第８，１７３，２６３号明細書
【特許文献５】米国特許出願公開第２０１６／０１８５６６０号明細書
【特許文献６】米国特許出願公開第２００４／０００５４６７号明細書
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の例示的実施形態は、低放射率（低Ｅ）被膜を含む被覆物品に関する。特定の例示的実施形態では、低Ｅ被膜は、基板（例えば、ガラス基板）上に設けられているものであり、接触層（例えば、ＮｉＣｒ系層）と、窒化ケイ素のような材料の又はそれを含む誘電体層と、酸化物（例えば、ＮｂＺｒＯｘ）及び／又は窒化物（例えば、ＮｂＺｒＯｘＮｙ）であってもよいニオブジルコニウムのような材料の又はそれを含む吸収体層とにより離間された少なくとも第１及び第２の赤外線（ＩＲ）反射層（例えば、銀系層）を含む。酸化される場合には、亜酸化物（部分酸化物）であることが好ましく、窒化される場合には、亜窒化物（かなり少量の窒素を含む部分窒化物）であることが好ましい吸収体層の追加は、耐久性を高めることが見出され、好ましいガラス側／外側の反射性灰色着色、低い可視光透過率、好ましいガラス側反射率値、好ましい透過着色及びより好ましい膜側反射ｂ＊値、並びに低いＳＦ及びＳＨＧＣ値を提供するために利用できる。特定の例示的実施形態では、（一体型形態及び／又はＩＧ窓ユニット形態の）被覆物品は、低い可視光透過率（例えば、２０〜４５％、より好ましくは２２〜３９％、最も好ましくは２５〜３７％）を有する。特定の例示的実施形態では、被覆物品は熱処理（例えば、熱強化処理及び／又は熱曲げ）されてもよい。本発明の特定の例示的実施形態による被覆物品は、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニット、車両用窓、他の種類の窓、又は任意の他の適切な用途に使用してもよい。
【００１３】
本発明の特定の例示的実施形態では、ガラス基板によって支持され、ガラス側反射性灰色着色を有する被膜を含む被覆物品が提供され、該被膜は、銀を含む第１及び第２の赤外線（ＩＲ）反射層であって、第１のＩＲ反射層は、第２のＩＲ反射層よりもガラス基板の近くに配置された、第１及び第２のＩＲ反射層と、銀を含む第１のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第１の接触層と、第１の接触層の上に直接接触して配置された窒化ケイ素を含む誘電体層であって、窒化ケイ素を含む誘電体層は、Ｎｂ及びＺｒを含む分割吸収体層によって分割され、Ｎｂ及びＺｒを含む分割吸収体層は、窒化ケイ素を含む誘電体層の第１の部分と窒化ケイ素を含む誘電体層の第２の部分との間に接触して配置された、誘電体層と、窒化ケイ素を含む層の上に配置された第２の接触層と、第２の接触層の上に直接接触して配置された銀を含む第２のＩＲ反射層と、第２のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第３の接触層と、第３の接触層の上に配置された窒化ケイ素を含む別の誘電体層と、を含み、被覆物品は、２０〜４５％の可視光透過率及び１０〜２４％のガラス側可視光反射率を有し、被覆物品は、−４．０〜＋５．０のガラス側反射ａ＊値及び−１０．０〜＋２．０のガラス側反射ｂ＊値を有するように、ガラス側反射性灰色着色を有する。
【００１４】
本発明の特定の例示的実施形態では、ガラス基板によって支持された被膜を含む被覆物品が提供され、該被膜は、銀を含む第１及び第２の赤外線（ＩＲ）反射層であって、第１のＩＲ反射層は、第２のＩＲ反射層よりもガラス基板の近くに配置された、第１及び第２のＩＲ反射層と、銀を含む第１のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第１の接触層と、第１の接触層の上に直接接触して配置された窒化ケイ素を含む誘電体層であって、窒化ケイ素を含む誘電体層は、ＮｂＺｒＯｘＮｙを含む分割層によって分割され、ＮｂＺｒＯｘＮｙを含む分割層は、窒化ケイ素を含む誘電体層の第１の部分と窒化ケイ素を含む誘電体層の第２の部分との間に接触して配置された、誘電体層と、窒化ケイ素を含む層の上に配置された第２の接触層と、第２の接触層の上に直接接触して配置された銀を含む第２のＩＲ反射層と、第２のＩＲ反射層の上に直接接触して配置された第３の接触層と、を含み、被覆物品は、２０〜４５％の可視光透過率を有する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の例示的実施形態による被覆物品の断面図である。
【図２】本発明の例示的実施形態によるＩＧ窓ユニット内に設けられた図１の被覆物品を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本明細書の被覆物品は、ＩＧ窓ユニット、（例えば、車両又は建築用途に使用するための）積層窓ユニット、車両用窓、一体型建築窓、住宅用窓、及び／又は単一又は複数のガラス基板を含む他の任意の適切な用途に使用されてもよい。
【００１７】
本発明の特定の実施形態は、低放射率（低Ｅ）被膜３０を含む被覆物品に関する。特定の実施形態では、低Ｅ被膜３０は、基板（例えば、ガラス基板）１の上に（直接的又は間接的に）設けられているものであり、接触層（例えば、ＮｉＣｒ系層）１１、１７と、窒化ケイ素のような材料の又はそれを含む誘電体層１４と、化学量論的の酸化物（例えば、ＮｂＺｒＯｘ）及び／又は窒化物（例えば、ＮｂＺｒＯｘＮｙ）であってもよいニオブジルコニウムのような材料の又はそれを含む吸収体層１５とにより離間された少なくとも第１及び第２の赤外線（ＩＲ）反射層（例えば、銀系層）９、１９を含む。酸化される場合には、亜酸化物（部分酸化物）であることが好ましく、窒化される場合には、亜窒化物（かなり少量の窒素を含む部分窒化物）であることが好ましい吸収体層１５の追加は、耐久性を高めることが見出され、好ましいガラス側／外側の反射性灰色着色、低い可視光透過率、好ましいガラス側反射率値、好ましい透過着色及びより好ましい膜側反射ｂ＊値、並びに低いＳＦ及びＳＨＧＣ値を提供するために利用できる。従って、吸収体層１５は、好ましい屋内及び屋外の透過性着色及び／又は反射性着色と組み合わせて許容可能な熱性能を有利に提供することが分かった。特定の例示的実施形態では、（一体型形態及び／又はＩＧ窓ユニット形態の）被覆物品は、低い可視光透過率（例えば、２０〜４５％、より好ましくは２２〜３９％、最も好ましくは２５〜３７％）を有する。特定の例示的実施形態では、被覆物品は熱処理（例えば、熱強化処理及び／又は熱曲げ）されてもよい。本発明の例示的実施形態において、断熱ガラス（ＩＧ）窓ユニットが２つのガラス基板を有する場合、その被覆物品は、０．２８以下（より好ましくは０．２５以下、最も好ましくは０．２３以下）のＳＦ値、及び／又は０．２９以下（より好ましくは０．２５以下、最も好ましくは０．２３以下）のＳＨＧＣ値を有する。従って、そのような被膜は、必要に応じて改善された色制御及び／又は色範囲、良好な耐久性及び好ましい可視光透過率値、並びに暖かい環境下で部屋を冷たく保つ能力を示す、好ましい低いＳＦ及び／又はＳＨＧＣ値を提供する。
【００１８】
本明細書で使用される「熱処理」及び「熱処理すること」という用語は、ガラス含有物品の熱強化、熱曲げ、及び／又は半強化を達成するために十分な温度に物品を加熱することを意味する。この定義は、例えば強化、曲げ、及び／又は半強化を可能にするのに十分な期間の間、オーブン又は炉内で少なくとも約５８０℃、より好ましくは少なくとも約６００℃の温度で被覆物品を加熱することを含む。特定の場合において、熱処理は、少なくとも約４又は５分間であってもよい。被覆物品は、本発明の異なる実施形態では、熱処理されても、又は熱処理されなくてもよい。
【００１９】
本発明の特定の例示的実施形態では、被膜が２つの銀積層体を含む。本発明の特定の例示的実施形態では、例えば、図１を参照すると、ガラス基板によって支持された被膜を含む被覆物品が提供され、該被膜は、銀を含むか又は本質的に銀からなる第１の及び第２のＩＲ反射層９及び１９であって、第１のＩＲ反射層９が、第２のＩＲ反射層１９よりもガラス基板１に近く配置された、ＩＲ反射層と、銀を含む第１のＩＲ反射層９の下に直接接触して配置されたＮｉＣｒを含む第１の接触層７と、銀を含む第１のＩＲ反射層９の上に直接接触して配置された第２の接触層１１と、ＮｉＣｒを含む第２の接触層１１の上に直接接触して配置された窒化ケイ素を含む誘電体層１４（層１４は下層部分１４ａ及び上層部分１４ｂからなる）であって、窒化ケイ素を含む誘電体層１４は、亜酸化物及び／又は亜窒化物であってもよいニオブジルコニウムの又はそれを含む吸収体層１５によって分割され、吸収体層１５は、窒化ケイ素を含む誘電体層の下部１４ａと窒化ケイ素を含む誘電体層の上部１４ｂとの間に接触して配置された、誘電体層１４と、窒化ケイ素を含む層１４の上部１４ｂの上に直接接触して配置されたＮｉＣｒを含む第３の接触層１７と、ＮｉＣｒを含む第３の接触層１７の上に直接接触して配置された銀を含む第２のＩＲ反射層１９と、第２のＩＲ反射層１９の上に直接接触して配置されたＮｉＣｒを含む第４の接触層２１と、を含む。銀を含む第１及び第２のＩＲ反射層９及び１９は、本発明の特定の例示的実施形態において、実質的に同じ厚さ（同じ厚さ±１０％）であってもよく、これは、驚くべきことに、低い可視光透過率及び他の好ましい光学的特性及び／又は太陽光特性と組み合わせて達成されるべき好ましいガラス側／外側の反射性灰色着色をもたらすことが見出された。窒化ケイ素系層１４を２つの均衡な部分又は不均衡な部分に分割する、吸収体層１５を設けることにより、耐久性が向上することが分かった。図１に示されるように、被膜３０は、窒化ケイ素の又はそれを含む３つの誘電体層３、１４及び２４を含んでもよい。さらに、被膜３０は、特定の例示的実施形態において、ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はそれらを含む層（例えば、オーバーコート）２７を含んでもよい。特定の例示的実施形態では、ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はそれらを含むこの層２７は、被膜中に銀を含むＩＲ反射層９、１９の一方又は両方よりも薄い。本発明の特定の例示的実施形態では、銀を含むＩＲ反射層９及び１９は、各々、ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はそれらを含む層２７の厚さの少なくとも２倍、より好ましくは少なくとも３倍である。本発明の特定の例示的実施形態では、被膜は、銀などの又はそれを含む２つのＩＲ反射層９、１９のみを含む。
【００２０】
光学特性及び熱特性と共に、低シート抵抗及び好ましい光学／太陽光の特徴と組み合わせて好ましいガラス側／外側の灰色着色を提供しかつ耐久性を高めるために、本発明の特定の例示的実施形態による被覆物品は、ニオブジルコニウム含む吸収体層１５によって分割された窒化ケイ素の又はそれを含む中央誘電体層１４を有し、下部接触層７、１７は、（ＺｎＯとは対照的に）ＮｉＣｒを基づいている。層７、１１、１７及び／又は２１に金属性又は実質的に金属性のＮｉＣｒ（場合によっては部分的に窒化されたもの）を使用することにより、（銀の下にＺｎＯの下部接触層及び／又は銀の上に高度に酸化されたＮｉＣｒの上部接触層を使用することと比較して）化学的、機械的及び環境的耐久性が改善されることが分かった。しかし、代替実施形態では、依然として、ＺｎＯが使用されてもよい。また、被覆されたままの状態と熱処理状態の両方で非晶質であるように、非晶質状態で窒化ケイ素含有層１４をスパッタ蒸着することは、被膜の全体的な安定性を助けることが分かった。例えば、特許文献２の被膜は、５％ＨＣｌ試験（６５℃、１時間）に除去されるであろうが、本明細書中の実施例及び図１に示される被膜は、このＨＣｌ試験に耐えるであろう。そして高温高湿環境下では、２日間暴露された特許文献２の被膜よりも、１０日間暴露された本明細書中の実施例及び図１の被膜に対する損傷が少ない。そして、「レンガ洗浄（ｂｒｉｃｋ  ｗａｓｈ）」に使用されるもののような高腐食性化学物質に関しては、耐食性は、特定の例示のＩＧ及び積層実施形態において、縁部除去（ｅｄｇｅ  ｄｅｌｅｔｉｏｎ）が行われる必要がないようなものである。同様に、機械的摩耗試験、熱サイクル試験及び塩水噴霧試験について、本明細書の例示的被膜は、特許文献１のものよりも優れていることが分かった。
【００２１】
図１のような本発明の特定の例示的実施形態では、複数のＩＲ反射層（例えば、２つの離間した銀系層）を有する熱処理又は非熱処理の被覆物品は、７．０以下（より好ましくは６．０以下、さらにより好ましくは５．０以下）のシート抵抗（Ｒｓ）を実現することができる。本明細書で使用される「熱処理」及び「熱処理すること」という用語は、ガラス含有物品の熱強化、熱曲げ、及び／又は半強化を達成するために十分な温度に物品を加熱することを意味する。この定義は、例えば、強化、曲げ、及び／又は半強化を可能にするのに十分な期間の間、オーブン又は炉内で少なくとも約５８０℃、より好ましくは少なくとも約６００℃の温度で被覆物品を加熱することを含む。特定の場合において、熱処理は、少なくとも約４又は５分間であってもよい。被覆物品は、本発明の異なる実施形態では、熱処理されても、又は熱処理なくてもよい。
【００２２】
図１は、本発明の例示的で非限定的な実施形態による被覆物品の側面断面図である。被覆物品は、基板１（例えば、厚さ約１．０〜１０．０ｍｍ、より好ましくは約１．０ｍｍ〜３．５ｍｍの透明、緑色、青銅色、又は青緑色のガラス基板）と、直接的又は間接的に基板１の上に設けられた低Ｅ被膜（又は層系）３０とを含む。被膜（又は層系）３０は、例えば、Ｓｉ３Ｎ４であっても、又は曇り低減のためのＳｉリッチ型窒化ケイ素、又は本発明の異なる実施形態における任意の他の適切な化学量論的窒化ケイ素であってもよい下部誘電体の窒化ケイ素層３と、下部接触層７（これは下部ＩＲ反射層９と接触する）と、第１の導電性、好ましくは金属性又は実質的に金属性の赤外線（ＩＲ）反射層９と、上部接触層１１（これはＩＲ反射層９と接触する）と、吸収体層１５によって２つの部分１４ａ、１４ｂに分割される誘電体の窒化ケイ素系及び／又はそれを含む層１４と、下部接触層１７（これはＩＲ反射層１９と接触する）と、第２の導電性、好ましくは金属性又は実質的に金属性のＩＲ反射層１９と、上部接触層２１（これは層１９と接触する）と、Ｓｉ３Ｎ４であっても、又は曇り低減のためのＳｉリッチ型窒化ケイ素、又は本発明の異なる実施形態における任意の他の適切な化学量論的窒化ケイ素であってもよい誘電体窒化ケイ素層２４と、ジルコニウム酸化物（例えば、ＺｒＯ２）及び／又は酸窒化ジルコニウムのような材料の又はそれを含むオーバーコート層２７とを含む。「接触」層７、１１、１７及び２１は各々、ＩＲ反射層（例えば、Ａｇに基づく層）と接触する。前述の層３〜２７は、ガラス又はプラスチック基板１の上に設けられた低Ｅ（即ち、低放射率）被膜３０を構成する。本発明の特定の例示的実施形態では、層３〜２７は基板１の上にスパッタ蒸着され、各層は、必要に応じて、１つ以上のターゲットを使用して真空中でスパッタ蒸着されてもよい（スパッタリングターゲットはセラミック又は金属性であってもよい）。金属層又は実質的に金属層（例えば、層７、９、１１、１７、１９及び２１）は、アルゴンガスを含有する雰囲気中でスパッタリングされてもよく、一方、窒化層（例えば、層３、７、１１、１４、１７、２１及び／又は２４）は、窒素とアルゴンガスとの混合物を含む雰囲気中でスパッタリングされてもよい。吸収体層１５は、アルゴン（Ａｒ）と少量の酸素（及び場合によっては窒素）ガスとの混合物を有する雰囲気中で、ＮｂＺｒターゲットからスパッタ蒸着されることが好ましい。本発明の異なる例示的実施形態では、接触層７、１１、１７、２１は、窒化物であっても、窒化物でなくてもよい。
【００２３】
被覆物品は、一体型の場合には、図１に示されるように、１つのガラス基板１のみを含む。しかし、本明細書における一体型の被覆物品は、積層車両フロントガラス、ＩＧ窓ユニット等のような装置に使用されてもよい。ＩＧ窓ユニットに関しては、ＩＧ窓ユニットは、２つの離間したガラス基板を含んでもよい。例示的なＩＧ窓ユニットは、例えば、その開示が参照により本明細書に組み込まれる特許文献６に図示及び説明されている。図２は、間隙が間に画定されているように、スペーサ、シール材４０等を介して別のガラス基板２に結合された図１に示される被覆ガラス基板１を含む例示的なＩＧ窓ユニットを示す。ＩＧ窓ユニットの実施形態における基板間のこの間隙は、特定の場合にはアルゴン（Ａｒ）のようなガスで充填されてもよい。例示的なＩＧユニットは、特定の場合には、艶消しガラスであり、それぞれの厚さ約３〜７ｍｍ（例えば、６ｍｍ）の一対の離間した透明ガラス基板を含んでもよく（そのうちの１つは、本明細書では、特定の場合に被膜３０で被覆される）、基板間の間隙は、約５〜３０ｍｍ、より好ましくは約１０〜２０ｍｍ、最も好ましくは約１６ｍｍであってもよい。特定の例の場合において、低Ｅ被膜３０は、間隙に面する基板のいずれかの内面に設けられてもよい（被膜は、図２において、間隙に面する基板１の内主面に示されているが、その代わりに間隙に面する基板２の内主面上にあってもよい）。基板１又は基板２のいずれかが、建物の外部におけるＩＧ窓ユニットの最も外側の基板であってもよい（例えば、図２において、基板１は建物の外部に最も近い基板であり、被膜３０は、ＩＧ窓ユニットの第２表面に設けられる）。図２は、（ガラス側の反射性着色が建物の外部から見られるように）ＩＧ窓ユニットの第２表面上の被膜３０を示しているが、他の実施形態では、ガラス側反射性着色が建物の内部から見られるように被膜３０がＩＧ窓ユニットの第３表面の上に設けられてもよい。
【００２４】
本発明の特定の例示的実施形態では、接触層７、１１、１７、２１のうちの１つ、２つ、３つ、又は４つ全てが、ＮｉＣｒ（Ｎｉ：Ｃｒの任意の適切な比）からなるか又はそれらを含んでもよく、窒化物（ＮｉＣｒＮｘ）であっても、窒化物でなくてもよい。特定の例示的実施形態では、これらのＮｉＣｒ含有層７、１１、１７、２１のうちの１つ、２つ、３つ、又は４つ全てが実質的に又は全体的に非酸化物である。特定の例示的実施形態では、層７、１１、１７及び２１は全て金属性ＮｉＣｒ又は実質的に金属性ＮｉＣｒであってもよい（但し、微量の他の元素が存在してもよい）。特定の例示的実施形態では、ＮｉＣｒ系層７、１１、１７、２１のうちの１つ、２つ、３つ、又は４つ全てが、０〜１０％の酸素、より好ましくは０〜５％の酸素、最も好ましくは０〜２％の酸素（原子％）を含んでもよい。特定の例示的実施形態では、これらの層７、１１、１７、２１のうちの１、２、３、又は４つ全てが、０〜２０％の窒素、より好ましくは１〜１５％の窒素、最も好ましくは約１〜１２％の窒素（原子％）を含有してもよい。ＮｉＣｒ系層７、１１、１７及び／又は２１は、ステンレス鋼、Ｍｏなどの他の材料でドープされてもドープされなくてもよい。銀系ＩＲ反射層９、１９の下にＮｉＣｒ系接触層７及び／又は１７を使用することにより、（層７及び１７がＺｎＯの代わりにであった場合と比較して）被覆物品の耐久性が向上される。
【００２５】
本発明の特定の実施形態では、誘電体層３、１４（１４ａ及び１４ｂを含む）、及び２４は、窒化ケイ素からなるか、又はそれを含んでもよい。窒化ケイ素層３、１４及び２４は、とりわけ、被覆物品の熱処理性を改善し、そして例えば、熱強化処理などの任意の熱処理中に他の層を保護し得る。本発明の異なる実施形態では、層３、１４、２４の窒化ケイ素層のうちの１つ以上は、化学量論的タイプ（即ち、Ｓｉ３Ｎ４）であってもよいか、又は本発明の異なる実施形態におけるＳｉリッチ型窒化ケイ素であってもよい。Ｓｉリッチ型窒化ケイ素含有層３及び／又は１４中に遊離Ｓｉが存在することにより、例えば、熱処理中にガラス１から外側に移動するナトリウム（Ｎａ）などの特定の原子が、銀に到達しそして銀を損傷することがある前に、Ｓｉリッチ型窒化ケイ素含有層によってより効率的に停止されることができる。従って、本発明の特定の例示的実施形態では、Ｓｉリッチ型ＳｉｘＮｙは、熱処理中に銀層に与えられる損傷の量を減らすことができ、それによってシート抵抗（Ｒｓ）を満足のいく方法で減少させるか又は略同じままにすることを可能にすると考えられる。さらに、層３、１４及び／又は２４中のＳｉリッチ型ＳｉｘＮｙは、本発明の特定の例示的な任意の実施形態において、熱処理中に銀及び／又はＮｉＣｒに与えられる損傷（例えば、酸化）の量を減らすことができると考えられる。特定の例示的実施形態では、Ｓｉリッチ型窒化ケイ素が使用されるとき、蒸着されるＳｉリッチ型窒化ケイ素層（３、１４、及び／又は２４）は、ＳｉｘＮｙ層を特徴とすることができ、ここで、ｘ／ｙは、０．７６〜１．５であり、好ましくは０．８〜１．４、さらに好ましくは０．８２〜１．２である。本明細書で論じられる窒化ケイ素層のいずれか及び／又は全ては、本発明の特定の例示的実施形態において、ステンレス鋼又はアルミニウムなどの他の材料でドープしてもよい。例えば、本明細書で論じる窒化ケイ素層３、１４、２４のいずれか及び／又は全ては、本発明の特定の例示的実施形態において、任意に約０〜１５％のアルミニウム、より好ましくは約１〜１０％のアルミニウムを含んでもよい。本発明の特定の実施形態では、層３、１４、２４の窒化ケイ素は、アルゴン及び窒素ガスを有する雰囲気中で、Ｓｉ又はＳｉＡｌのターゲットをスパッタリングすることによって蒸着されてもよい。特定の場合には、少量の酸素を窒化ケイ素層３、１４、２４のいずれか又は全てに供給してもよい。
【００２６】
吸収体層１５は、好ましくは、ニオブジルコニウムからなるか又はそれを含み、特定の例示的実施形態では、亜酸化物及び／又は亜窒化物であってもよい。ニオブジルコニウム系吸収体層１５を、窒化ケイ素系層１４を２つの部分１４ａ及び１４ｂに分割する位置に設けることにより、耐久性が改善され、他の好ましい光学／太陽光特性と組み合わせて、好ましいガラス側／外側の灰色着色を達成できることが分かった。例えば、吸収体層１５にＮｂＺｒ（又はその酸化物）を使用する場合、層中のＺｒに対するＮｂの様々な比として、５０／５０比、８５／１５比、又は９０／１０比を使用してもよいが、これらに限定されない。本発明の特定の例示的実施形態では、吸収体層１５中のＮｂ／Ｚｒ比は、本発明の様々な例示的実施形態において、１／１〜９．５／１（より好ましくは２／１〜９／１）であってもよく、層１５は、Ｚｒよりも多くのＮｂを含むことが好ましい。特定の例示的実施形態では、吸収体層の金属含有量は、５０〜９５％のＮｂ、より好ましくは６０〜９５％のＮｂ、さらにより好ましくは７０〜９５％のＮｂである（例えば、残りの金属含有量は特定の実施形態においてＺｒからなる）。本発明の好ましい実施形態では、層１５が、ＮｂＺｒ、ＮｂＺｒＯｘ、又はＮｂＺｒＯｘＮｙからなるか、又は本質的にからなるが、層中に他の材料が存在している可能性がある。例えば、層１５は、特定の例示的な場合において他の材料でドープされてもよい。特定の実施形態では、吸収体層１５は、約０〜１０％の窒素、より好ましくは約１〜７％の窒素を含有してもよい。本明細書で述べたように、吸収体層１５は、完全に酸化されているのではなく、本発明の特定の例示的実施形態では部分的に酸化（亜酸化）されていることが好ましい。特定の例示的実施形態では、吸収体層１５は、約０〜４０％の酸素、より好ましくは１〜３５％の酸素、さらにより好ましくは３〜３０％の酸素、さらにより好ましくは５〜２０％の酸素（原子％）を含有する。層１５の酸素含有量は、特定の例示的な場合において可視光透過率を調整するために調整されてもよい。特定の例示的実施形態では、吸収体層１５には（原子％として）窒素よりも多い酸素がある。
【００２７】
本発明の好ましい実施形態では、吸収体層１５は、ＮｂＺｒ、ＮｂＺｒＯｘ、又はＮｂＺｒＯｘＮｙからなるが、他の実施形態では、他の材料も可能である。例えば、本発明の他の実施形態では、吸収体層１５は、ＮｉＣｒ、ＮｉＣｒＯｘ、又はＮｉＣｒＯｘＮｙからなるか又はそれらを含んでもよい。
【００２８】
赤外線（ＩＲ）反射層９及び１９は、実質的に又は全体的に金属性及び／又は導電性であることが好ましく、銀（Ａｇ）、金、又は他の任意の適切なＩＲ反射性材料を含むか又は本質的にからなってもよい。ＩＲ反射層９及び１９は、被膜が、低Ｅ及び／又は良好な太陽光制御特性を有することを可能にするのを助ける。
【００２９】
例示された被膜の下又は上に他の層もまた設けられてもよい。従って、層系又は被膜が（直接的又は間接的に）基板１の「上」にあるか、又はそれによって「支持されている」間に、それの間に他の層が設けられてもよい。従って、例えば、図１の被膜は、たとえ他の層が層３と基板１との間に設けられても、基板１の「上」にありかつそれによって「支持されている」と見なすことができる。本発明の特定の実施形態では、図示の被膜中の特定の層が除去されてもよいが、本発明の他の実施形態では、本発明の特定の実施形態の全体的な精神から逸脱することなく、様々な層の間に他の層を追加してもよく、又は様々な層が、分割セクションの間に追加される他の層で分割されてもよい。
【００３０】
本発明の異なる実施形態における層には様々な厚さ及び材料を使用してもよいが、図１の実施形態におけるガラス基板１の上の各層の例示的な厚さ及び材料は、ガラス基板から外側に向かって以下の通りである（物理的厚さが記載されている）。
【００３１】
【表１】
2019536083.tif 000002
【００３２】
窒化ケイ素系層１４の下部１４ａ及び上部１４ｂは、本発明の特定の例示的実施形態において、実質的に同じ物理的厚さ（同じ厚さ±２０％）であるが、本発明の代替実施形態ではそうである必要はない。２つのＩＲ反射層９及び１９は、特定の実施形態においても実質的に同じ物理的厚さ（同じ厚さ±２０％）である。さらに、本発明の特定の例示的実施形態では、吸収体層１５は、銀層９、１９の両方よりも（例えば、少なくとも２０オングストローム（Å））薄く、本発明の特定の実施形態では、窒化ケイ素層１４ａ、１４ｂの両方よりも薄い。本発明の特定の例示的実施形態では、吸収体層１５は、銀層９、１９の両方よりも少なくとも２０Å薄く、及び／又は本発明の特定の例示的実施形態では、窒化ケイ素層１４ａ、１４ｂの両方よりも少なくとも１００Å（より好ましくは少なくとも２００Å、最も好ましくは少なくとも２５０Å）薄い。
【００３３】
特定の例示的実施形態では、ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はそれらを含むオーバーコート層２７は、被膜３０中に銀を含むＩＲ反射層９、１９の各々よりも薄い。本発明の特定の例示的実施形態では、銀を含むＩＲ反射層９及び１９は、各々、ジルコニウム酸化物及び／又は酸窒化ジルコニウムの又はそれを含むオーバーコート層２７の厚さの少なくとも２倍である。
【００３４】
特定の例示的実施形態では、中央の窒化ケイ素系層１４（１４ａ＋１４ｂ）の合計の厚さは、窒化ケイ素層２４の厚さよりも厚く、好ましくは少なくとも１００Å、より好ましくは少なくとも３００Å、最も好ましくは４００Å厚い。特定の例示的実施形態では、窒化ケイ素層３は、窒化ケイ素系層１４ａ及び１４ｂの各々よりも少なくとも５０Å厚い（より好ましくは少なくとも１００Å厚い）。さらに、特定の例示的実施形態では、窒化ケイ素系層３、１４及び２４は、各々、ジルコニウム酸化物含有層２７の厚さの少なくとも２倍、より好ましくは少なくとも３倍、最も好ましくは少なくとも４倍又は５倍である。
【００３５】
本発明の特定の実施形態では、熱強化処理のような任意の選択的な熱処理（ＨＴ）の前及び／又は後に、（一体型に及び／又はＩＧユニットで測定される場合）図１の実施形態による被覆物品は、表２に示される色／光学の特性を有する。下付き文字「Ｇ」はガラス側反射を表し、下付き文字「Ｔ」は透過を表し、下付き文字「Ｆ」は膜側反射を表すことに留意すべきである。当技術分野で知られているように、ガラス側（Ｇ）は、被覆物品の（層／膜側とは反対の）ガラス側から見たとき、即ち、例えば、図２に示されるように、被膜が外側ガラス基板１の内側にある場合、建物外部から見たときに窓の外側から見たときを意味する。膜側（Ｆ）は、被膜が設けられている被覆物品の側面から見たときと同じ意味である。以下の表２の特徴は、本明細書の熱処理の被覆物品及び／又は非熱処理の被覆物品に適用可能である。しかし、熱処理は、可視光透過率の増加及びシート抵抗の低下などの特定のパラメータの変化を起こす（熱処理により色値もまた変化する）。
【００３６】
【表２】
2019536083.tif 000003
【００３７】
例示のみを目的として、以下の実施例１〜２は、本発明の異なる例示的実施形態を表す。
［実施例］
【００３８】
実施例１及び２は、図１に示されるように、厚さ５．９ｍｍ、７５ｍｍ×７５ｍｍの透明な艶消しガラス基板１の上に下記の層積層体を有する。このような実施例の層積層体は一体的に測定され、熱処理されそして熱処理後に再び測定された。また、これらの層積層体は、熱処理後に、図２に示されるようにＩＧ窓ユニットに入れて、測定した。各実施例における窒化ケイ素層３、１４、２４は、アルゴン及び窒素ガスを含む雰囲気中でケイ素ターゲット（約８％のＡｌでドープされたもの）をスパッタリングすることによって蒸着させた。ＩＧ窓ユニットは、艶消しガラス基板１及び２が透明で５．９ｍｍの厚さであり、ＩＧ窓ユニットにおける基板間のエア間隙が１３ｍｍの厚さであった。各実施例におけるＮｂＺｒ系吸収体層は、アルゴンと少量の窒素及び酸素ガス（１．２ｍｌ／ｋＷの酸素ガスを使用した）とを含む雰囲気中で、約９０／１０Ｎｂ／Ｚｒマグネトロンスパッタリングターゲットをスパッタリングすることによって蒸着させた。従って、これらの実施例では、吸収体層１５はＮｂＺｒＯｘＮｙからなった。実施例１〜２の層厚はオングストローム（Å）単位であり、ガラス基板１から外側に向かって、次の通りである。
【００３９】
【表３】
2019536083.tif 000004
【００４０】
強化処理（熱処理）前に、一体型に測定される場合、本発明の実施形態による実施例１〜２は、以下の特性を有し、その測定値は被覆ガラス物品の中央からとられた（一体型の場合、焼き鈍し及び非熱処理）（１１１．Ｃ、２度観察者）。
【００４１】
【表４】
2019536083.tif 000005
【００４２】
上記の表４から、一体型に測定される場合、任意の選択的な熱強化処理の前に実施例１〜２は、（ｉ）好ましいガラス側反射性可視灰色着色、（ｉｉ）低シート抵抗、（ｉｉｉ）好ましい可視光透過率、及び（ｉｖ）好ましいガラス側可視光反射率（ＲＧＹ）の組み合わせを実現することができることが分かる。
【００４３】
一体型に測定される場合、強化処理（熱処理）後に、本発明の実施形態による実施例１〜２は、以下の特性を有していた（一体型の場合、熱処理）（１１１．Ｃ、２度観察者）。
【００４４】
【表５】
2019536083.tif 000006
【００４５】
上記の表５から、熱強化処理（熱処理）後に、実施例１〜２は、（ｉ）好ましいガラス側反射性可視灰色着色、（ｉｉ）低シート抵抗、（ｉｉｉ）好ましい可視光透過率値、及び（ｉｖ）好ましいガラス側可視光反射率（ＲＧＹ）の組み合わせを有することが分かる。
【００４６】
図２に示されるような、（第２表面の上に被膜３０を有する）ＩＧ窓ユニットで測定される場合、熱処理後に、実施例１〜２は、以下の特性を有する（ＩＧユニットの場合、強化処理）（１１１．Ｃ、２度観察者）。
【００４７】
【表６】
2019536083.tif 000007
【００４８】
上記の表から、熱強化処理（ＨＴ）の後に実施例１及び２を各々含むＩＧ窓ユニットは、（ｉ）好ましいガラス側／外側の反射性可視灰色着色、（ｉｉ）低シート抵抗、（ｉｉｉ）好ましい可視光透過率値、（ｉｖ）好ましいガラス側／外側の可視光反射率（ＲＧＹ）、及び（ｖ）好ましい低いＳＦ及びＳＨＧＣ値の組み合わせを有していたことが再び分かる。
【００４９】
本発明は、現在最も実用的かつ好ましい実施形態であると考えられているものに関連して説明されているが、本発明は開示された実施形態に限定されるべきではなく、反対に、添付の特許請求の範囲の趣旨及び範囲内に含まれる様々な修正及び等価な構成を網羅することが理解されるべきである。
【図１】
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【図２】
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【国際調査報告】
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