(57)【要約】非接触支持プラットフォームはテーブルの表面に分散された複数の圧力孔を含み、各圧力孔は圧力源に接続される。複数の真空孔がテーブルの表面に分散され、各真空孔は真空源に接続される。圧力孔経由の流出量と真空孔経由の流入量とは、ワークをテーブルから非ゼロ距離に支持するための流体クッションを形成する。複数の流路の各々は、真空孔のうちの少なくとも２つを接続し、接続された真空孔間の流体の流れを可能にする。接続された真空孔の一方がワークの一端縁によって覆われ、もう一方が覆われていないときにこれら接続された真空孔によってその端縁に加えられる吸引力は、これら接続された両方の真空孔が覆われているときにワークの一部に加えられる吸引力より弱い。【選択図】図１Ａ
2019524590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非接触支持プラットフォームであって、
テーブルの表面に分散された複数の圧力孔であって、各圧力孔は流体を前記圧力孔経由で流出させるために圧力源に接続されるように構成される、複数の圧力孔と、
前記テーブルの前記表面に分散された複数の真空孔であって、各真空孔は流体を前記真空孔経由で流入させるために真空源に接続されるように構成され、前記圧力孔経由の前記流出量と前記真空孔経由の前記流入量とは、ワークを前記テーブルから非ゼロ距離に支持するための流体クッションを形成するように構成される、複数の真空孔と、
複数の流路であって、各流路は前記真空孔のうちの少なくとも２つを接続して前記接続された真空孔間の流体の流れを前記流路経由で可能にすることによって、前記接続された真空孔のうちの１つが前記ワークの端縁によって覆われ、前記接続されたその他の真空孔が前記ワークによって覆われていないときに前記接続された真空孔によって前記端縁に加えられる吸引力が、前記接続された両方の真空孔が覆われているときに前記接続された真空孔によって前記ワークの一部に加えられる前記吸引力より弱くなる、複数の流路と、
を備えた非接触支持プラットフォーム。
【請求項２】
前記複数の流路は、前記非接触支持プラットフォームに沿った前記ワークの搬送方向に対して非垂直に向けられる、請求項１に記載の非接触支持プラットフォーム。
【請求項３】
前記複数の流路は、前記テーブルの一辺に対して斜角に向けられる、請求項１または２に記載の非接触支持プラットフォーム。
【請求項４】
前記テーブルは矩形であり、前記複数の流路は前記テーブルの一辺に対して４５°の角度に向けられる、請求項１〜３のいずれか一項に記載の非接触支持プラットフォーム。
【請求項５】
前記複数の流路のうちの一流路がくびれを含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の非接触支持プラットフォーム。
【請求項６】
前記くびれは楔状、矩形、または迷路状である、請求項５に記載の非接触支持プラットフォーム。
【請求項７】
前記くびれは自己適応型セグメント化オリフィス（ＳＡＳＯ）迷路を備える、請求項６に記載の非接触支持プラットフォーム。
【請求項８】
同一線上の少なくとも３つの真空孔が少なくとも２つの流路によって互いに接続される、請求項１〜７のいずれか一項に記載の非接触支持プラットフォーム。
【請求項９】
前記複数の流路は、前記テーブルに組み付けられるように構成された層に組み込まれる、請求項１〜８のいずれか一項に記載の非接触支持プラットフォーム。
【請求項１０】
前記流体は空気を含む、請求項１〜９のいずれか一項に記載の非接触支持プラットフォーム。
【請求項１１】
非接触支持プラットフォームの流体クッションを生じさせるためのテーブルであって、
複数の圧力孔が分散されたテーブルトップであって、各圧力孔は流体を前記圧力孔経由で流出させるために圧力源に接続されるように構成される、テーブルトップと、
前記テーブルトップに前記圧力孔と共に散在する複数の真空孔であって、各真空孔は流体を前記真空孔経由で流入させるために真空源に接続されるように構成され、前記圧力孔経由の前記流出量と前記真空孔経由の前記流入量とは、ワークを前記テーブルから非ゼロ距離に支持するための前記流体クッションを形成するように構成される、複数の真空孔と、
複数の流路であって、各流路は前記真空孔のうちの少なくとも２つを接続して前記接続された真空孔間の流体の流れを前記流路経由で可能にすることによって、前記接続された真空孔のうちの１つが前記ワークの端縁によって覆われ、前記接続されたその他の真空孔が前記ワークによって覆われていないときに前記接続された真空孔によって前記端縁に加えられる吸引力が、前記接続された真空孔の両方が覆われているときに前記接続された真空孔によって前記ワークの一部に加えられる前記吸引力より弱くなる、複数の流路と、
を備えたテーブル。
【請求項１２】
前記複数の流路は、前記非接触支持プラットフォームに沿った前記ワークの搬送方向に対して非垂直に向けられる、請求項１１に記載のテーブル。
【請求項１３】
前記複数の流路は、前記テーブルトップの一端縁に対して斜角に向けられる、請求項１１または１２に記載のテーブル。
【請求項１４】
前記テーブルトップは矩形であり、前記複数の流路は前記テーブルトップの一端縁に対して４５°の角度に向けられる、請求項１１〜１３のいずれか一項に記載のテーブル。
【請求項１５】
前記複数の流路のうちの一流路はくびれを含む、請求項１１〜１４のいずれか一項に記載のテーブル。
【請求項１６】
前記くびれは楔状、矩形、または迷路状である、請求項１５に記載のテーブル。
【請求項１７】
前記くびれはＳＡＳＯ迷路を備える、請求項１６に記載のテーブル。
【請求項１８】
同一線上の少なくとも３つの真空孔が少なくとも２つの流路によって互いに接続される、請求項１１〜１７のいずれか一項に記載のテーブル。
【請求項１９】
前記複数の流路は、前記テーブルに組み付けられるように構成された層に組み込まれる、請求項１１〜１８のいずれか一項に記載のテーブル。
【請求項２０】
前記流体は空気を含む、請求項１１〜１９のいずれか一項に記載のテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触支持プラットフォームに関する。より具体的には、本発明は、ワークの端縁を押し上げるように構成された非接触支持プラットフォームに関する。
【背景技術】
【０００２】
非接触支持プラットフォームは、平坦なワークをプラットフォームの連続したテーブル表面（ｓｏｌｉｄ  ｔａｂｌｅ  ｓｕｒｆａｃｅ）から一定の距離に保持できる。連続したテーブル表面は、ワークがその上に支持され得る空気クッションを形成するための空気がそこを通して形成され得る開口部を複数設けて構成される。支持されたワークは、さまざまな場所で点検され得る、または（例えば、処理のために、または追加の構成要素または構造を追加するために）さまざまな場所に搬送され得る。
【０００３】
一般に、テーブルは空気放出口を複数含み、そこから加圧空気が供給される。加圧空気は、連続したテーブル表面の上方にワークを支持する空気クッションを形成し得る。ガスまたは液体など、他の流体も使用され得る。
【０００４】
これら空気放出口の間に複数の空気吸込口を散在させ得る。この場合、空気は空気放出口と空気吸込口との間で循環し得る。例えば、空気を流入させるために吸引力が空気吸込口に加えられ得る、あるいは空気吸込口は大気圧または大気圧近くであり得る。場合によっては、空気放出口と共に空気吸込口を散在させると、流体ばね効果を示す空気クッションをもたらし得る。この流体ばね効果は、支持されているワークと連続したテーブル表面との間の距離の如何なる増減に対しても復元力を加え得る。したがって、この流体ばね効果は、ワークを連続したテーブル表面から一定の距離に保持し得る。
【０００５】
場合によっては、ワークは、空気クッションの如何なる変動もワークを曲げ得るほど肉薄であり得る。例えば、このような肉薄のワークは、例えば、（例えば、液晶ディスプレイ、発光ダイオード、プラズマスクリーン、またはその他に基づく）フラットディスプレイスクリーンの層を形成するためのガラス板を含み得る。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
したがって、本発明の一実施形態によると、非接触支持プラットフォームが提供される。この非接触支持プラットフォームは、テーブルの表面に分散された複数の圧力孔であって、各圧力孔は流体をその圧力孔経由で流出させるために圧力源に接続されるように構成される、複数の圧力孔と、テーブルの表面に分散された複数の真空孔であって、各真空孔は流体をその真空孔経由で流入させるために真空源に接続されるように構成され、圧力孔経由の流出量と真空孔経由の流入量とはワークをテーブルから非ゼロ距離に支持するための流体クッションを形成するように構成される、複数の真空孔と、複数の流路であって、各流路は真空孔のうちの少なくとも２つを接続し、接続された真空孔の間の流体の流れをその流路経由で可能にすることによって、接続された真空孔の一方がワークの一端縁によって覆われ、接続された真空孔のもう一方がワークによって覆われていないときにこれら接続された真空孔によって当該端縁に加えられる吸引力が、接続された両方の真空孔が覆われているときにこれら接続された真空孔によってワークの一部に加えられる吸引力より弱くなる、複数の真空孔と、を含む。
【０００７】
更に本発明の一実施形態によると、複数の流路は、非接触支持プラットフォームに沿ったワークの搬送方向に対して非垂直に向けられる。
【０００８】
更に本発明の一実施形態によると、複数の流路は、テーブルの一辺に対して斜角に向けられる。
【０００９】
更に本発明の一実施形態によると、テーブルは矩形であり、複数の流路はテーブルの一辺に対して４５°の角度に向けられる。
【００１０】
更に本発明の一実施形態によると、複数の流路のうちの一流路がくびれを含む。
【００１１】
更に本発明の一実施形態によると、このくびれは楔状、矩形、または迷路状である。
【００１２】
更に本発明の一実施形態によると、このくびれは、自己適応型セグメント化オリフィス（ＳＡＳＯ：ｓｅｌｆ  ａｄａｐｔｉｖｅ  ｓｅｇｍｅｎｔｅｄ  ｏｒｉｆｉｃｅ）迷路を含む。
【００１３】
更に本発明の一実施形態によると、同一線上にある少なくとも３つの真空孔が少なくとも２つの流路によって互いに接続される。
【００１４】
更に本発明の一実施形態によると、複数の流路は、テーブルに組み付けられるように構成された層に組み込まれる。
【００１５】
更に本発明の一実施形態によると、流体は空気を含む。
【００１６】
本発明の一実施形態によると、非接触支持プラットフォームの流体クッションを生じさせるためのテーブルが更に提供される。このテーブルは、複数の圧力孔が分散されたテーブルトップであって、各圧力孔は流体を圧力孔から流出させるために圧力源に接続されるように構成される、テーブルトップと、テーブルトップに圧力孔と共に散在する複数の真空孔であって、各真空孔は流体を真空孔経由で流入させるために真空源に接続されるように構成され、圧力孔経由の流出量と真空孔経由の流入量とは、ワークをテーブルから非ゼロ距離に支持するための流体クッションを形成するように構成される、複数の真空孔と、複数の流路であって、各流路は真空孔のうちの少なくとも２つを接続して接続された真空孔の間の流体の流れを流路経由で可能にすることによって、接続された真空孔の一方がワークの端縁によって覆われ、接続された真空孔のもう一方がワークによって覆われていないときにこれら接続された真空孔によって端縁に加えられる吸引力が、接続された両方の真空孔が覆われているときにこれら接続された真空孔によってワークの一部に加えられる吸引力より弱くなる、複数の流路と、を含む。
【００１７】
以下の図は、本発明をより深く理解させるために、およびその実際の応用例を理解させるために提供されており、以下において参照される。これらの図は例としてのみ与えられ、本発明の範囲を決して限定するものではないことに留意されたい。同様の構成要素は、同様の参照符号で示されている。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１Ａ】本発明の一実施形態による、端縁押し上げを伴う非接触支持テーブルを模式的に示す。
【図１Ｂ】図１Ａに示されている非接触支持プラットフォームの側面図を模式的に示す。
【図２Ａ】同一線上の各組の３つの真空孔が流路によって接続されている図１Ａに示されている非接触支持テーブルの一変形例を模式的に示す。
【図２Ｂ】同一線上の各組の４つの真空孔が流路によって接続されている図２Ａに示されている非接触支持テーブルの一変形例を模式的に示す。
【図３Ａ】楔状のくびれを有する空気流量を制限するための空気流路の一例を模式的に示す。
【図３Ｂ】単一の矩形くびれを有する空気流量を制限するための空気流路の一例を模式的に示す。
【図３Ｃ】二重の矩形くびれを有する空気流量を制限するための空気流路の一例を模式的に示す。
【図３Ｄ】迷路状くびれを有する空気流量を制限するための空気流路の一例を模式的に示す。
【図４】端縁押し上げを伴う非接触支持プラットフォームテーブルの流路層を模式的に示す。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下の詳細な説明においては、本発明の完全な理解をもたらすために、多くの具体的な詳細が述べられている。ただし、本発明はこれら具体的な詳細なしに実施され得ることを当業者によって理解されるであろう。また、本発明を曖昧にしないように、周知の方法、手順、構成要素、モジュール、ユニット、および／または回路は、詳細には説明されていない。
【００２０】
本発明の複数の実施形態はこの点に関して限定されないが、例えば、「処理」、「コンピューティング」、「計算」、「決定」、「確立」、「分析」、「チェック」、またはこれらに類するものなどの用語を使用する説明は、コンピュータのレジスタおよび／またはメモリ内の物理（電子）量として表されたデータを操作する、および／またはコンピュータのレジスタおよび／またはメモリ内の、または動作および／またはプロセスを実行するために命令を記憶し得るまたは他の非一時的情報記憶媒体（例えば、メモリ）内の、物理量として同様に表される他のデータに変換する、コンピュータ、コンピューティングプラットフォーム、コンピューティングシステム、または他の電子計算装置の動作（単数または複数）および／またはプロセス（単数または複数）に言及し得る。本発明の複数の実施形態はこの点に関して限定されないが、本明細書で使用されている用語「複数（ｐｌｕｒａｌｉｔｙ）」および「複数（ａ  ｐｌｕｒａｌｉｔｙ）」は、例えば「複数（ｍｕｌｔｉｐｌｅ）」または「２つ以上（ｔｗｏ  ｏｒ  ｍｏｒｅ）」を含み得る。用語「複数（ｐｌｕｒａｌｉｔｙ）」または「複数（ａ  ｐｌｕｒａｌｉｔｙ）」は、２つ以上の構成要素、装置、要素、ユニット、パラメータ、またはこれらに類するものを記述するために本明細書全体にわたって使用され得る。明示的に記載されていない限り、本明細書に記載の方法実施形態は、特定の順番またはシーケンスに限定されない。更に、記載の方法実施形態またはこれらの要素の一部は、同時に、同じ時点に、または並行して、発生し得る、または実施可能である。別様に示されていない限り、本明細書で使用されている接続詞「または」は包含的（記述されている選択肢の何れか、または全て）であると理解されるべきである。
【００２１】
本発明の一実施形態によると、非接触支持プラットフォームは、支持されている物体の端縁の下方への曲がりを防止または低減するように構成される。支持される物体は、例えば、ガラス、シリコン、プラスチック、または別の材料の肉薄の、ほぼ平坦な板または薄板の形態であり得る。このような肉薄の平坦な物体は、本明細書においてワークと称される。例えば、場合によっては、一般的なワークは、厚さが１ミリメートル未満、例えば約半ミリメートル、であるガラス薄板を含み得る。本明細書において、物体は、最小の湾曲、曲げ、または折り曲げが不要な用途のために提供または意図される場合は、ほぼ平坦であると見做される。ほぼ平坦な物体またはその端縁は、例えば、製造公差、取り扱い、処理、貯蔵、または他の原因の結果として、曲がる、反る、または湾曲することがある。
【００２２】
例えば、非接触支持プラットフォームは、複数の開口部をそのテーブルトップに含む非接触支持プラットフォームテーブルを含み得る。これら開口部は、テーブルトップ全体にわたって分散された圧力孔を含む。各圧力孔は、例えば、非接触支持プラットフォームテーブル内に封入されたマニホルドを介して、圧力源に接続され得る。例えば、この圧力源は、周囲空気（または別のガスまたは流体）を取り込んで空気を圧力孔経由で強制的に流出させるように構成されたブロワ、ポンプ、または他の装置を含み得る。一般的な非接触支持プラットフォームは周囲空気雰囲気の環境で使用されるが、場合によっては、非接触支持プラットフォームは別の流体、ガスまたは液体、が存在する環境で動作し得る。本明細書における空気および空気流への言及は、このような何れかの流体および流体流をそれぞれ含むものと理解されたい。同様に、本明細書における空気クッションへの言及は、このような何れかの流体の流れによって形成される流体クッションとして理解されたい。
【００２３】
複数の真空孔が複数の圧力孔の間に散在する。各真空孔は真空源に接続される。例えば、この真空源は、空気を周囲雰囲気から真空孔に引き込むように構成されたブロワ、ポンプ、または他の装置を含み得る。
【００２４】
ワークがテーブルトップの近くにテーブルトップにほぼ平行に置かれているときの圧力および真空孔の同時動作は、ワークを（平坦なワークの全ての部分について）テーブルトップからほぼ一定の非ゼロ距離に支持し得る。例えば、圧力および真空孔の動作は、テーブルトップからの平衡距離からの如何なる偏りにも抵抗する流体ばね効果を生じさせ得る。この場合、テーブルトップは、支持されているワークの下方または上方のどちらかに位置し得る。本明細書におけるテーブルトップへの言及は、非接触支持プラットフォームテーブルの表面が上向きであるか否かに関わらず、ワークに面するように構成された、圧力および真空孔を含む非接触支持プラットフォームテーブルの表面への言及であると理解されたい。
【００２５】
複数の真空孔は、接続された真空孔の間で空気が流れることを可能にする接続部によって互いに接続された複数対の真空孔を含む。真空孔間の接続部は、非接触支持プラットフォームのテーブルの内部にある流路またはノズルを含み得る。この接続部は、テーブルの外部に位置するチューブまたはホース、例えば、各々が真空孔のうちの１つに接続された連結金具、を含み得る。本明細書における流路、接続流路、または空気流路への言及は、内部または外部接続のどちらかを含むものと理解されたい。
【００２６】
したがって、相互接続された真空孔の一方から取り込まれる吸気流量は、この対のもう一方の真空孔から取り込まれる吸気流量によって影響され得る。一対の真空孔同士を接続する流路は、非接触支持プラットフォームに沿った予想される長手方向のワーク搬送方向に対して非垂直な方向に向けられる。例えば、流路は、予想される搬送方向に対して平行または斜角に向けられ得る。換言すると、流路によって接続される２つの真空穴の相対（ベクトル）変位は、予想される搬送方向に平行な非ゼロ成分を有する。
【００２７】
例えば、流路は、矩形の非接触支持プラットフォームテーブルの一辺に対して斜角に向けられ得る。場合によっては、流路は、矩形の非接触支持プラットフォームテーブルの各辺に対して４５°の角度に向けられ得る。
【００２８】
ワークの搬送は、非接触支持プラットフォームを含むシステムの推進用構成要素によって行われ得る。例えば、この推進用構成要素は、機械式または空気圧式手法の適用によってワークを前進させるように構成され得る。ワークの搬送は、単一の直線方向または２つ以上の（例えば直交する、または別様に非平行な）直線方向に限定され得る、あるいは二次元に可能にされ得る。後者の場合、さまざまな対の真空孔同士を接続する流路は、少なくとも一部の流路が特定のワークの搬送方向に垂直でないことを保証するように、いくつかの方向に向けられ得る。
【００２９】
流路の向きが搬送方向に対して非垂直であるため、ワークの各端縁における圧力に対する吸引力の比は、ワークの内側における比とは異なり得る。各端縁から離れたワークの内側において、何れかの真空孔経由の吸気流量は、その他の何れかの真空孔経由の吸気流量にほぼ等しくなり得る。同様に、各圧力孔経由の空気流出量は、その他の何れかの圧力孔経由の流出量にほぼ等しくなり得る。したがって、ワークの内側全体に対する支持力は、内側全体にわたってほぼ一定であり得るので、ワークは非接触支持プラットフォームのテーブルトップから一定距離に支持され得る。
【００３０】
吸気流のパターンおよび真空孔経由の吸気流量と圧力孔経由の流出量との間の均衡は、ワークの端縁の近傍で変化し得る。特に、非接触支持プラットフォームのテーブルトップから搬送されているワークの前縁までの距離は、ワークの内側の一点とテーブルトップとの間の距離より大きくなり得る。
【００３１】
例えば、ワークの前縁において、接続された一対の真空孔の一方がワークによって覆われている場合がある。前縁の前方にある非接触支持プラットフォームの部分に位置するその対のもう一方の真空孔は、ワークによって覆われていない場合がある。したがって、その対の覆われていない真空孔は、周囲雰囲気にさらされ得る。この場合、空気吸込口からの吸気流量は、その対の覆われている真空孔に比べ、その対の露出されている真空孔の方が大きくなり得る。その結果、前縁に加わる吸引力は、ワークの内側の一点に加わる吸引力より弱くなり得る。他方、前縁近くの相互接続されていない圧力孔経由の空気流出量は、ワークの内側の圧力孔からの流出量にほぼ等しくなり得る。したがって、ワークの端縁に加わる空気クッションの（例えば、正味圧力流出量によって生じる押す力と真空流入量によって生じる引く力とによってもたらされる）正味押し上げ力は、接続された両方の真空孔がワークによって覆われているときにワークの内側の一点または領域に対して空気クッションによって加えられる正味押し上げ力より大きくなり得る。したがって、前縁と非接触支持プラットフォームのテーブルトップとの間の距離は、接続流路がない場合の距離より大きくなり得る。
【００３２】
本明細書で使用されている正味押し上げ力とは、その力が上向きであるか、例えばテーブルトップがワークの下方に位置するか、または下向きであるか、例えばテーブルトップがワークの上方に位置するか、に関わらず、非接触支持プラットフォームのテーブルトップから離れる方向にワークの一領域を押そうとする、ワークの単位面積当たりの、またはその領域における、正味の力を指す。正味押し上げ力は、（例えば、特定の時点において、またはワークがテーブルトップに対して特定の位置にあるときに）ワークの一領域を支持するテーブルトップの対応領域の単位面積当たりの正味流出量からもたらされる。正味流出量は、非接触支持プラットフォームテーブルの圧力孔による（例えば、テーブルトップの単位面積当たりの、または一領域における）圧力流出量と、ワークの一領域を支持する非接触支持プラットフォームテーブルの対応領域における非接触支持プラットフォームテーブルの真空孔経由の（例えば、テーブルトップの単位面積当たりの、または一領域における）真空流入量との間の差として定義され得る。
【００３３】
非接触支持プラットフォームの端縁まで延在していないワークの他の端縁における同様のプロセスは、接続流路に非平行なそれら他の端縁の押し上げを増大させ得る。例えば、その他の端縁は、ワークの後縁または側縁（例えば、移動方向にほぼ平行な、または前縁または後縁以外の、ワークの辺）を含み得る。
【００３４】
ワークの端縁の押し上げの増大は、有利であり得る。例えば、工程によっては、ワークの各端縁が非接触支持プラットフォームのテーブルトップに向かって曲がろうとするように、ワークが反る場合がある。例えば、工程として、テーブルトップとは反対側に面するワークの側におけるワークの加熱が挙げられ得る。この場合、この加熱は、加熱された面をテーブルトップに面するワークの面より拡張させ得る。したがって、ワークは、ワークの各端縁がテーブルトップ側に曲がった（テーブルトップの方向から見て）略凹状の形状を取り得る。この場合、接続流路によってもたらされ得る端縁の押し上げの増大は、この処理に起因する反りを打ち消し得る。例えば、押し上げの増大は、ワークを平坦化するように、反りを相殺するように構成され得る。したがって、ワークの平坦化は、非接触支持プラットフォームのテーブルトップとのワークの端縁の物理的接触を防止し得る。ワークとテーブルトップとの間のこのような接触が万一発生すると、ワークまたはテーブルトップ、あるいはこの両方、が損傷され得る。
【００３５】
ワークの平坦化は、ワークの処理または点検を容易にし得る。例えば、処理として、マスキング工程、点検工程、硬化工程、印刷工程（例えばインクジェット印刷）、レーザ切断工程、レーザアニーリング工程、レーザスクライビング工程が挙げられ得る。
【００３６】
場合によっては、ワークの前縁の押し上げが増大すると、非接触支持プラットフォームの隙間（例えば、隣接する２つの非接触支持プラットフォームテーブルトップ間の隙間、単一の非接触支持プラットフォームテーブルトップに存在する隙間、または非接触支持プラットフォームに存在する他の隙間、に起因する隙間）を跨いだ前縁の搬送を可能または容易にし得る。したがって、端縁押し上げを伴う非接触支持プラットフォームは、端縁押し上げがない場合に安全または効率的に支持および搬送され得るワークより肉薄の、またはより可撓性の、ワークの支持を可能または容易にし得る。
【００３７】
場合によっては、流路は、非接触支持プラットフォームに沿ったワークの一般的な搬送方向に対して４５°の角度に向けられ得る。したがって、流路は、直交する２つの方向のどちらかに沿って搬送されるワークの移動方向に非垂直である。したがって、矩形ワークの場合、流路による真空孔の接続によってもたらされる端縁押し上げは、ワークの全ての端縁（例えば、前縁、後縁、および両側縁）の押し上げを増大し得る。場合によっては、角度は、４５°と異なり得る。本明細書においては、簡潔化のために、矩形ワークが記載されているが、ワークは多角形、円形、長円形または楕円形、あるいはその他の形状でもよい。
【００３８】
場合によっては、２より多い数の真空孔が流路によって接続され得る。例えば、同一線上にある３つまたは４つの真空孔がほぼ同一線上にある流路によって接続され得る。他の数および他のパターンの３つ以上の真空孔が流路によって相互接続され得る。
【００３９】
流路は、空気流量を制限するような形状を有し得る。例えば、流路はその長さに沿って（例えば、流路の中間近くに）くびれを有し得る。場合によっては、自己適応型セグメント化オリフィス（ＳＡＳＯ）迷路を形成するために、交互に配置された障害物を流路に設け得る。
【００４０】
流路の形態は、非接触支持プラットフォームの予定される用途に応じて選択され得る。例えば、非接触支持プラットフォームのテーブルは、特定の処理（例えば、加熱の種類または程度、あるいはワークの曲がりまたは反りに影響し得る他の処理）にかけられる特定種別の（例えば、組成、厚さ、または他の特性を特徴とする）ワークに使用されるように構成され得る。
【００４１】
例えば、ワークの曲がりまたは反りが相対的に大きいと予想される場合は、接続された真空孔間の空気流量が相対的に無制限になるように、流路が構成され得る。この場合、例えば、各流路はその長さに沿って一様な幅を有し得る。したがって、ワークを平坦化するために相対的に大きな曲がりまたは反りに対抗するように、ワークの各端縁における正味押し上げ力は、ワークの内側に対する正味押し上げより十分に大きくなり得る。
【００４２】
他方、曲がりまたは反りが相対的に小さいと予想される場合は、接続された真空孔間の空気流量の相対的な制限を可能にするように、流路が構成され得る。例えば、流路は、狭い一様な幅を設けて構築され得る、または１つ以上の狭窄構造が流路内に導入され得る。この場合、ワークの各端縁における正味押し上げ力は、ワークの内側における押し上げ力より僅かだけ大きくなり得る。
【００４３】
場合によっては、端縁押し上げを伴う非接触支持プラットフォームのテーブルは、複数の層で構築され得る。例えば、最外層は、ワークを支持するための非接触支持プラットフォームを形成する圧力および真空孔として機能する孔の配列を含み得る。最内層は、圧力孔および真空孔を圧力源および真空源にそれぞれ接続する接続部を含み得る。例えば、最内および最外層に設けられた穴は、圧力および真空孔を形成するために、テーブルの組み立て時に互いに位置合わせされ得る。例えば、これら異なる層は、これらの層が互いに位置合わせされるときにボルト、ロッド、または支柱を収容するように構成された穴を複数含み得る。
【００４４】
１つ以上の中間層は、真空孔を互いに接続するための流路を複数含み得る。例えば、これら流路は、金属、プラスチック、または別の適した材料の薄板に流路の形態のスロットを機械加工することによって（例えば、レーザ切断またはその他を行うことによって）形成され得る。流路の両端は、テーブルの組み立て時に最内および最外層に真空孔を形成する穴の間に挟まれるように構成され得る。したがって、テーブルの組み立て時、真空孔は、中間層に形成された流路によって接続され得る。
【００４５】
テーブルのこのような層状構造は、特定の目的へのテーブルの適合化を容易にし得る。例えば、最外および最内層は大量生産され得る。中間層は、大量生産された（例えば、流路構成がそれぞれ異なる）一連の中間層から選択され得る、または特定の目的のためにカスタマイズされ得る。本来１つの目的のために組み立てられた非接触支持プラットフォームシステムのテーブルは、元のテーブルの層を分解し、中間層を交換してテーブルを組み立て直すことによって、異なる目的のために再構成され得る。
【００４６】
図１Ａは、本発明の一実施形態による端縁押し上げを伴う非接触支持プラットフォームを模式的に示す。図１Ｂは、図１Ａに示されている非接触支持プラットフォームの側面図を模式的に示す。
【００４７】
非接触支持プラットフォームテーブル１０は、ワーク１８を空気クッション１１上に支持するように構成される。例えば、ワーク１８が空気クッション１１によって支持されているとき、ワーク１８は搬送方向２０に搬送され得る。この場合、ワーク１８が矩形であり、搬送方向２０に搬送される場合、ワーク１８は前縁２２と、後縁２１と、側縁２３とを含む。
【００４８】
空気クッション１１は、空気流によって非接触支持プラットフォームテーブル１０のテーブルトップ１０ａとワーク１８との間に形成され得る。例えば、空気は、圧力流出量２４によって示されているように、圧力孔１２から流出し得る。この空気は、外向きの力をワーク１８に（例えば、非接触支持プラットフォームテーブル１０から離れる方向に）加え得る。圧力流出量２４は、例えば、圧力孔１２がワーク１８の内側の一点によって覆われているか否かに関わらず、全ての圧力孔１２においてほぼ同じであり得る。
【００４９】
各真空孔１４は真空源に接続され得る。隣り合う、または隣接する、真空孔１４同士が空気流路１６によって接続される。図示の例では、隣接する真空孔１４の各対のみが空気流路１６によって接続されている。空気流路１６は、互い違いまたは交互パターンに位置付けられ得る。例えば、列１５（例えば、図示の例においては、搬送方向２０に垂直な、または前縁２２に平行な、列１５）など、単一の真空孔１４列において、この列に沿った真空孔１４は空気流路１６によって列１５の両側の列の真空孔１４に交互に接続されている。
【００５０】
空気流路１６は、真空孔１４同士を直接接続する直線セグメントの形態で模式的に示されているが、空気流路１６は１つ以上の屈曲部または湾曲部を含み得る。
【００５１】
ワーク１８の内側においては、内側の真空流入量２６は、全ての真空孔１４についてほぼ同じである。したがって、空気クッション１１の正味流出量（例えば、ワーク１８の一領域における、非接触支持プラットフォームテーブル１０の圧力孔１２からの単位面積当たりの圧力流出量と非接触支持プラットフォームテーブル１０の真空孔１４経由の単位面積当たりの真空流入量との間の差として定義される流出量、または別様に定義される流出量）は、ワーク１８の内側の全ての点の近くでほぼ一定であり得る。
【００５２】
前縁２２など、ワーク１８の一端縁における空気クッション１１の正味流出量は、ワーク１８の内側の一点の近くより大きくなり得る。ワーク１８の一端縁（例えば、非接触支持プラットフォームテーブル１０がワーク１８の端縁を越えて延在している端縁）においては、接続された一対の真空孔１４の一方が覆われず（例えば、周囲雰囲気に開口し）、接続されたもう一方の真空孔１４がワーク１８によって覆われている場合がある。図示の例では、覆われていない真空孔１４ａはワーク１８によって覆われておらず（例えば、搬送方向２０に搬送されているワーク１８の前縁２２の前方に位置し）、覆われている真空孔１４ｂはワーク１８の前縁２２近くの部分によって覆われている。
【００５３】
接続された一対の真空孔１４の一方が覆われ、もう一方が覆われていないときの真空流入量は、内側の真空流入量２６と著しく異なり得る。図示の例では、覆われていない真空孔１４ａ経由の覆われていない真空流入量２８ａは、内側の真空流入量２６に比べ、増加する。覆われている真空孔１４ｂ経由の覆われている真空流入量２８ｂは、内側の真空流入量２６に比べ、減少する。その結果、前縁２２および覆われている真空孔１４ｂの近傍における空気クッション１１の正味流出量は、ワーク１８の内側の一点における正味流出量より大きくなり得る。
【００５４】
ワーク１８の前縁２２近くの（図示の例では、同様に後縁２１近くの）正味空気流量の増加（例えば、より弱い吸引力）の結果として、空気クッション１１は外向きの（例えば、非接触支持プラットフォームテーブル１０のテーブルトップ１０ａから外向きの）曲げ力を前縁２２に加え得る。この曲げ力は、本明細書において端縁押し上げと称される。例えば、この外向きの曲げ力は、前縁２２が内向きに曲がろうとする傾向に逆らうように構成され得る。前縁２２のこのような内向きに曲がろうとする傾向は、例えば、ワーク１８の反り（例えば、ワーク１８の外面を加熱する処理または別様に引き起こされる反り）または他の曲がりによって引き起こされ得る。ワーク１８の端縁の内向きの曲がりに逆らう外向きの曲げ力は、ワーク１８の平坦化をもたらし得る（例えば、ワーク１８の全ての部分が非接触支持プラットフォームテーブル１０のテーブルトップ１０ａからほぼ同じ距離に保持されるようになる）。
【００５５】
図示の例において、各空気流路１６は、搬送方向２０に対して（ひいては、図示の例では、テーブルトップ１０ａの端縁に対して）斜角（例えば、４５°）に向けられている。したがって、各空気流路１６は、搬送方向２０に対しても、搬送方向２０に直交する方向に対しても、非垂直である。したがって、前縁２２および後縁２１は、外向きの曲げを受け得る。矩形ワーク１８の場合、（例えば、図１Ａに示されている例と異なり）側縁２３が非接触支持プラットフォームテーブル１０のテーブルトップ１０ａを越えて延在していない場合は、両側縁２３も端縁押し上げを受け得る。
【００５６】
図１Ａに示されているように、および上記のように、真空孔１４が空気流路１６によって互い違いまたは交互パターンで接続されている場合、列１５上の真空孔１４からその列１５の両側の真空孔１４への接続の数は、全ての列１５についてほぼ同じであり得る。（場合によっては、例えば、列１５が奇数の真空孔１４を含む場合、またはネジ、ボルト、アクセス孔などの構造または他の構造の存在が真空孔１４のパターンを中断している場合、接続の数は少なくとも一部の列１５の間で変動し得る。）その結果、ワーク１８の一端縁が何れかの列１５にあるときの正味流出量は、その端縁が他の何れかの列１５にあるときとほぼ同じになり得る。したがって、前縁２２または後縁２１などの端縁が非接触支持プラットフォームテーブル１０に沿って搬送方向２０に搬送されるとき、前縁２２または後縁２１にもたらされる曲げ（およびワーク１８の平坦化）はほぼ一定に維持され得る。
【００５７】
図示の例において、圧力孔１２はテーブルトップ１０ａ上に一様な矩形配列に配置されて示されている。真空孔１４は、圧力孔１２の配列に対して変位された同様に一様な矩形配列に配置されて示されている。圧力孔１２および真空孔１４の他の配置も使用され得る。場合によっては、圧力孔１２および真空孔１４の配置は、１つ以上の設計配慮によって影響され得る。同様に、空気流路１６の形状または配置もさまざまな設計配慮によって影響され得る。例えば、設計配慮として、さまざまな処理および点検装置の配置、さまざまな処理または点検装置によるワーク１８へのアクセスを可能にするための孔、非接触支持プラットフォームテーブル１０の構築または組み立てのために必要な構成要素（例えば、ネジ、ナット、ボルト、ロッド、または他の構成要素）の配置、または他の設計配慮が挙げられ得る。
【００５８】
場合によっては、２より多い数の真空孔１４が空気流路１６によって接続され得る。例えば、同一線上の３つ以上の真空孔を接続すると、各端縁において端縁押し上げが加えられる領域の幅が増大し得る。
【００５９】
図２Ａは、同一線上の各組の３つの真空孔が流路によって接続されている、図１Ａに示されている非接触支持テーブルの一変形例を模式的に示す。
【００６０】
非接触支持プラットフォームテーブル３０では、同一線上の各組の３つの真空孔３３が空気流路３２によって接続されている。例えば、第１の真空孔３３ａと、第２の真空孔３３ｂと、第３の真空孔３３ｃとを含む同一線上の一群の３つの真空孔３３が空気流路３２によって接続され得る。
【００６１】
例えば、第１の真空孔３３ａがワーク１８によって覆われず、第２の真空孔３３ｂおよび第３の真空孔３３ｃが覆われている場合がある。この場合、第１の真空孔３３ａ経由の真空流入量が（例えば、ワーク１８の内側にある相互接続された一群の真空孔３３経由の流入量に比べ）増加し、第２の真空孔３３ｂおよび第３の真空孔３３ｃ経由の流入量が減少し得る。別の時点において、または別の位置において、例えば、真空孔３３の列１５に沿って、第１の真空孔３３ａおよび第２の真空孔３３ｂがワーク１８によって覆われず、第３の真空孔３３ｃが覆われている場合がある。この場合、（例えば、第１の真空孔３３ａのみが覆われていない場合に比べ）第１の真空孔３３ａおよび第２の真空孔３３ｂ経由の流入量が増加し得る一方で、第３の真空孔３３ｃ経由の流入量は減少し得る。したがって、正味流出量は、ワーク１８の前縁２２（または別の端縁）からの距離の増加に伴い、端縁近くの最大正味流出量（および外向きの最大の曲げ）から端縁から遠い（例えば、２つの列１５の間の距離の２倍超の）位置における最小正味流出量まで（例えば、ワーク１８の内側の複数の点における一般的な正味流出量まで）漸減し得る。あるいは、これは、前縁２２からの距離の増加に伴う吸引力の漸次強化と表現され得る。
【００６２】
空気流路３２は、接続された真空孔３３の全体構成が何れの列１５においても同様または同一になるように、互い違いに位置付けられ得る。例えば、特定の列１５に沿って連続する真空孔３３は、第１の真空孔３３ａ、第２の真空孔３３ｂ、および第３の真空孔３３ｃとして位置付けられ得る。このパターンは、その列１５の末端まで繰り返され得る。このようにして、ワーク１８の一端縁が真空孔３３の何れかの列１５またはその近くにあるときの正味流出量は、その端縁が他の何れかの列１５またはその近くにあるときとほぼ同じになり得る。
【００６３】
図２Ｂは、同一線上の各組の４つの真空孔が流路によって接続されている、図２Ａに示されている非接触支持テーブルの一変形例を模式的に示す。
【００６４】
非接触支持プラットフォームテーブル３４では、同一線上の各組の４つの真空孔３５が空気流路３６によって接続されている。例えば、第１の真空孔３５ａと、第２の真空孔３５ｂと、第３の真空孔３５ｃと、第４の真空孔３５ｄとを含む同一線上の一群の４つの真空孔３５が空気流路３６によって接続され得る。
【００６５】
例えば、第１の真空孔３５ａがワーク１８によって覆われず、第２の真空孔３５ｂ、第３の真空孔３５ｃ、および第４の真空孔３５ｄが覆われている場合がある。この場合、第１の真空孔３５ａ経由の真空流入量が（例えば、ワーク１８の内側にある相互接続された一群の真空孔３５経由の流入量に比べ）増加し得る一方で、第２の真空孔３５ｂ、第３の真空孔３５ｃ、および第４の真空孔３５ｄ経由の流入量が減少し得る。別の時点において、または別の位置において、例えば、真空孔３５の列１５に沿って、第１の真空孔３５ａおよび第２の真空孔３５ｂがワーク１８によって覆われず、第３の真空孔３５ｃおよび第４の真空孔３５ｄが覆われている場合がある。この場合、（例えば、第１の真空孔３５ａのみが覆われていない場合に比べ）第１の真空孔３５ａおよび第２の真空孔３５ｂ経由の流入量が増加し得る一方で、第３の真空孔３５ｃおよび第４の真空孔３５ｄ経由の流入量が減少し得る。別の時点において、または別の位置において、例えば、真空孔３５の列１５に沿って、第１の真空孔３５ａ、第２の真空孔３５ｂ、および第３の真空孔３５ｃがワーク１８によって覆われず、第４の真空孔３５ｄが覆われている場合がある。この場合、（例えば、第１の真空孔３５ａおよび第２の真空孔３５ｂのみが覆われていない場合に比べ）第１の真空孔３５ａ、第２の真空孔３５ｂ、および第３の真空孔３５ｃ経由の流入量が増加し得る一方で、第４の真空孔３５ｄ経由の流入量が減少し得る。したがって、正味流出量は、ワーク１８の前縁２２（または別の端縁）からの距離の増加に伴い、端縁近くの最大正味流出量（および外向きの最大曲げ）からその端縁から（例えば、２つの列１５の間の距離の３倍超）離れた位置における最小正味流出量まで（例えば、ワーク１８の内側の複数の点における一般的な正味流出量まで）漸減し得る。あるいは、これは、前縁２２からの距離の増加に伴う吸引力の漸次強化と表現され得る。
【００６６】
空気流路３６は、何れの列１５においても接続された真空孔３５の全体構成が同様または同一になるように、互い違いに位置付けられ得る。例えば、特定の列１５に沿って連続する真空孔３５は、第１の真空孔３５ａ、第２の真空孔３５ｂ、第３の真空孔３５ｃ、および第４の真空孔３５ｄとして位置付けられ得る。このパターンは、その列１５の末端まで繰り返され得る。このようにして、ワーク１８の端縁が真空孔３５の何れかの列１５またはその近くにあるときの正味流出量は、その端縁が他の何れかの列１５またはその近くにあるときとほぼ同じになり得る。
【００６７】
空気流路１６、３２、または３６の構成は、ワーク１８の端縁の近くに所望される正味流出量に応じて決まり得る。端縁近くに所望される正味流出量は、その端縁において所望されるワーク１８の曲げによって決まり得る。所望される曲げは、ワーク１８の端縁の予想される内向きの反りまたは曲がりによって決まり得る。
【００６８】
例えば、正味流出量の相対的に大きな増加が端縁近くに所望される場合は、空気流路１６は（空気流路３２または３６についても同様に）相対的に無制限の空気流量を可能にするように構成され得る。このようにして、接続された真空孔１４（または接続された真空孔３３または３５）の覆われている孔と覆われていない孔と間の結合が相対的に大きくなり得る。したがって、ワーク１８の端縁における端縁押し上げが相対的に大きくなり得る。他方、正味流出量の相対的に小さな増加が端縁近くに所望される場合は、空気流量を制限して、覆われている真空孔１４と覆われていない真空孔１４との間の結合を低下させるように（例えば、各真空孔１４経由の真空流入量が接続された真空孔１４経由の流入量から相対的に独立するように）、空気流路が構成され得る。
【００６９】
空気流路１６経由の空気流量は、その空気流路１６の横サイズ（例えば、幅または直径）によって決まり得る。空気流路１６経由の空気流量は、空気流路１６内の１つ以上のくびれによって影響され得る。くびれた空気流路のさまざまな構成のうちの１つ以上が非接触支持プラットフォームテーブル１０（または非接触支持プラットフォームテーブル３０または３４）に組み込まれ得る。例えば、くびれは楔状、矩形、迷路状、または別様の形状であり得る。
【００７０】
図３Ａは、楔状のくびれを有する空気流量を制限するための空気流路の一例を模式的に示す。
【００７１】
くびれた空気流路４０は、三角形の凹みによって形成された漸次先細の非対称的な楔状のくびれ４１を含む。場合によっては、楔状のくびれは、両側の三角形の凹みによって対称的に形成され得る。場合によっては、流路は一端から他端まで単調に先細になり得る。
【００７２】
図３Ｂは、単一の矩形のくびれを有する空気流量を制限するための空気流路の一例を模式的に示す。
【００７３】
くびれた空気流路４２は、単一の非対称的な矩形の凹みによって形成された矩形のくびれ４３を含む。
【００７４】
図３Ｃは、二重の矩形くびれを有する空気流量を制限するための空気流路の一例を模式的に示す。
【００７５】
くびれた空気流路４４は、両側の対称的な矩形の凹みによって形成された矩形のくびれ４５を含む。
【００７６】
図３Ｄは、迷路状のくびれを有する空気流量を制限するための空気流路の一例を模式的に示す。
【００７７】
くびれた空気流路４６は、迷路状のくびれ４８を含む。例えば、迷路状くびれの幅、あるいは迷路状くびれ内の屈曲部の長さまたは数は、変化させ得る。迷路状くびれは、流路の両側から突起を交互に突出させた単一の直線流路によって形成され得る。
【００７８】
場合によっては、非接触支持プラットフォームテーブル１０（または非接触支持プラットフォームテーブル３０または３４）などの非接触支持プラットフォームテーブルは、２つ以上の層から組み立てられ得る。例えば、真空孔１４（または真空孔３３または３５）を接続する流路が流路層内に組み込まれ得る、または流路層上に形成され得る、または流路層内に閉じ込められ得る。したがって、非接触支持プラットフォームテーブル１０における空気流路１６のパターンまたは構成は、流路層の選択またはカスタマイズによって構成され得る。同様に、非接触支持プラットフォームテーブル１０における空気流路１６のパターンまたは構成は、流路層の交換によって変更され得る。
【００７９】
図４は、端縁押し上げを伴う非接触支持プラットフォームテーブルの流路層を模式的に示す。
【００８０】
流路層５０は非接触支持プラットフォームテーブルの最外層の下に組み付けられるように構成される。流路層５０は、流路層５０が非接触支持プラットフォームテーブル１０に組み付けられたときに非接触支持プラットフォームテーブル１０の空気流路を形成するためのスロットを複数含む。
【００８１】
例えば、最外層は、例えば図１Ａに示されているように、圧力孔１２と真空孔１４とを含み得る。流路層５０のさまざまな開口部および流路スロットは、金属またはプラスチックの薄板を機械加工することによって形成され得る。
【００８２】
例えば、流路層５０の孔用開口部６０は、最外層の対応する圧力孔１２および真空孔１４（例えば、相互接続されていない真空孔１４）に位置合わせされ得る。開口部６２は、流路層５０を非接触支持プラットフォームテーブルに組み付けるときに、さまざまな（例えば、処理または点検）装置または構造を非接触支持プラットフォームテーブルに取り付けるために、または他の目的のために、使用され得る。
【００８３】
流路スロット５２および狭められた流路スロット５４の端部は、最外層の真空孔１４に位置合わせされ得る。したがって、流路層５０が非接触支持プラットフォームテーブルに組み付けられると、流路スロット５２は空気流路１６として機能し得る。同様に、図示の例において、狭められた流路スロット５４は狭められた空気流路４６として機能し得る。
【００８４】
一般に、流路層５０の複数の流路スロットは、全て同様の特性（例えば、くびれの幅、存在、不在、または種類、あるいは別の特性）を有し得る。異なる種類の流路スロット５２または狭められた流路スロット５４がそれぞれ設けられた既知のさまざまな領域を含む図示のような流路層５０は、ワークの特定の用途または種類のためにそれぞれ異なる特性を有する流路スロットの適合性を決めるうえで利用され得る。例えば、複数の異なる種類の流路スロット５２および狭められた流路スロット５４を有する流路層５０は、非接触支持プラットフォームテーブルをさまざまなエンドユーザのために製造、製作、またはカスタマイズする施設によって利用され得る。
【００８５】
場合によっては、１つ以上の設計配慮によって（直線）流路スロット５２による２つの真空孔１４間の直接接続が可能にならない場合がある。このような場合、曲がった流路スロット５８は、空気流路１６が直接通ることができない構造または領域を空気流路１６が迂回できるようにする。
【００８６】
複数の異なる実施形態が本明細書に開示されている。いくつかの実施形態の特徴は、他の実施形態の特徴と組み合わされ得る。したがって、いくつかの実施形態は、複数の実施形態の特徴の組み合わせであり得る。本発明の各実施形態の上記説明は、例示および説明を目的として提示されている。上記説明は、網羅的であろうとするものでも、本発明を開示されている厳密な形態に限定しようとするものでもない。当業者は、上記教示を踏まえて、多くの改造例、変形例、置換例、変更例、および均等物が可能であることを理解するはずである。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明の真の精神に属するような改造例および変更例の全てを網羅しようとするものであることを理解されたい。
【００８７】
本明細書には本発明のいくつかの特徴が例示および説明されているが、当業者には多くの改造例、置換例、変更例、および均等物が想起されるであろう。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明の真の精神に属するような改造例および変更例の全てを網羅しようとするものであることを理解されたい。
【図１Ａ】
2019524590.tif 000003
【図１Ｂ】
2019524590.tif 000004
【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図４】
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【国際調査報告】
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2019524590.tif 000013
2019524590.tif 000014