(57)【要約】  真空チャンバ（１０１）内でキャリア（１０）を搬送するための装置（１００）が提供される。装置（１００）は、第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）にキャリアを非接触方式で搬送するように構成された第１の搬送システム（１１２）、及び第１の搬送経路（Ｔ１）から離れるように経路切り替え方向（Ｓ）へキャリアを移動させるためにキャリア（１０）と機械的に接触するように構成されたキャリア保持部分（１５１）を有する経路切り替えアセンブリ（１５０）を含む。更に、経路切り替えアセンブリを含むシステム、更には、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法が説明される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ（１０１）内でキャリア（１０）を搬送するための装置（１００）であって、
第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）に前記キャリアを非接触方式で搬送するように構成された第１の搬送システム（１１２）、及び
前記第１の搬送経路（Ｔ１）から離れるように経路切り替え方向（Ｓ）へ前記キャリアを移動させるために前記キャリア（１０）と機械的に接触するように構成されたキャリア保持部分（１５１）を備えた経路切り替えアセンブリ（１５０）を備える、装置。
【請求項２】
前記第１の搬送経路（Ｔ１）から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路（Ｔ２）に沿って前記キャリアを非接触方式で搬送するように構成された第２の搬送システム（１１４）を更に備え、前記キャリア保持部分（１５１）が、前記第１の搬送経路（Ｔ１）から前記第２の搬送経路（Ｔ２）と前記第１及び第２の搬送経路から水平方向にオフセットされた処理位置（Ｔ３）のうちの少なくとも一方へ前記キャリアを移動するために、前記経路切り替え方向（Ｓ）に可動である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記キャリア保持部分（１５１）が、垂直方向（Ｖ）に可動である、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記キャリア保持部分（１５１）が、前記キャリアの側面と係合するように構成されたマウント、前記キャリアの上面と係合するように構成されたマウント、及び前記キャリアの内面と係合するように構成されたマウント、のうちの少なくとも１つを備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項５】
前記キャリア保持部分（１５１）が、下方から前記キャリアを支持するための支持面を備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
前記キャリア保持部分（１５１）が、磁気チャックを備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記キャリア保持部分（１５１）が、機械的なマウント、特に、前記キャリア保持部分（１５１）に前記キャリアと吊り下げるためのフックを備える、請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記第１の搬送システム（１１２）が、下側トラックセクション（１２１）、上側トラックセクション（１２２）、及び前記下側トラックセクション（１２１）と前記上側トラックセクション（１２２）との間の距離を変更するように構成されたアクチュエータ（１２５）を備える、請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記第１の搬送システム（１１２）が、前記キャリア保持部分（１５１）上に前記キャリアを下げるために垂直方向に可動なキャリア支持体を有する下側トラックセクション（１２１）を備える、請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記経路切り替えアセンブリ（１５０）が、前記キャリア（１０）の上側部分を保持及び／又は安定化するように構成された上側保持デバイス（１５４）であって、前記経路切り替え方向（Ｓ）に可動である、上側保持デバイス（１５４）を更に備える、請求項１から９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
前記上側保持デバイス（１５４）が、前記キャリアの前記上側部分に反発する磁力を加えるための少なくとも１つの磁石ユニットを備える、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
真空チャンバ内でキャリア（１０）を搬送するための装置であって、
第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）に設けられた第１の磁気浮揚システム、及び
経路切り替え方向（Ｓ）に可動であり且つキャリア接触部分を備えたキャリア保持部分（１５１）を備える経路切り替えアセンブリ（１５０）を備える、装置。
【請求項１３】
基板を真空処理するためのシステムであって、
真空チャンバ（１０１）、
請求項１から１２のいずれか一項に記載の装置（１００）、並びに
前記真空チャンバ（１０１）内に配置され、堆積源、蒸発源、スパッタ源、表面処理ツール、加熱デバイス、洗浄デバイス、エッチングツール、及びそれらの組み合わせから成る群から選択された、１以上の処理ツール（１０５）を備える、システム。
【請求項１４】
真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法であって、
第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）にキャリア（１０）を非接触方式で搬送すること、
経路切り替えアセンブリ（１５０）のキャリア保持部分（１５１）と接触するように前記キャリアを運ぶこと、及び
前記第１の搬送経路（Ｔ１）から離れるように前記搬送方向（Ｔ）を横切る経路切り替え方向（Ｓ）へ前記キャリア保持部分（１５１）によって保持された前記キャリアを移動することを含む、方法。
【請求項１５】
前記キャリア（１０）が、前記キャリア保持部分（１５１）上に下げられ、前記経路切り替え方向（Ｓ）に移動され、前記キャリア保持部分（１５１）から持ち上げられる、請求項１４に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示の実施形態は、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置、基板を真空処理するためのシステム、及び真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法に関する。本開示の実施形態は、特に、堆積装置、及び真空チャンバ内で第１の搬送経路と第２の搬送経路との間でキャリアを移動させるように構成された経路切り替えアセンブリを有する、真空システムに関する。具体的には、真空チャンバ内でキャリアのトラックを変更するための方法が説明される。
【背景技術】
【０００２】
基板上での層堆積のための技術は、例えば、スパッタ堆積、蒸散（evaporation）、及び化学気相堆積（CVD）を含む。スパッタ堆積プロセスは、基板上に絶縁材料又は導電性材料の層などの材料層を堆積させるために使用され得る。
【０００３】
多重層スタックを堆積させるために、処理モジュールのインライン構成が使用され得る。インライン処理システムは、堆積モジュールなどの複数の後続の処理モジュール、任意選択的に、更なる処理モジュール、例えば、洗浄モジュール及び／又はエッチングモジュールを含む。複数の処理態様が、次から次へ処理モジュール内で行われる。それによって、複数の基板が、インライン処理システム内で連続的に又は準連続的に処理され得る。
【０００４】
基板は、キャリア、すなわち、基板を運搬するための運搬デバイスによって運搬され得る。キャリアは、通常、搬送システムを使用して真空システムを通して搬送される。搬送システムは、１以上の搬送経路に沿ってキャリア上に位置付けられた基板を有するキャリアを運ぶように構成され得る。真空システム内には、少なくとも２つの搬送経路が、互いの隣りに設けられ得る。例えば、キャリアを前方向へ搬送するための第１の搬送経路、及びキャリアを前方向とは反対の戻る方向へ搬送するための第２の搬送経路である。
【０００５】
搬送システムは、搬送経路に沿って且つ／又は（「経路切り替え」若しくは「トラック切り替え」とも称される）１つの搬送経路から別の１つの搬送経路へ、キャリアを支持し運ぶように構成されたローラ又は他の支持体を有し得る。キャリア搬送中のキャリアとキャリア支持体との間の摩擦は、真空システムの内側の真空状態に悪影響を与え得る粒子を生成し得る。粒子は、基板上に堆積した層を汚染し、堆積した層の品質が低減され得る。
【０００６】
上述した観点から、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための新しい装置、基板を真空処理するための新しいシステム、及び真空チャンバ内での粒子の生成を低減させる真空チャンバ内でキャリアを搬送するための新しい方法が必要である。真空チャンバ内の少なくとも２つの搬送経路の間の容易にされた経路切り替えを提供する、新しい装置、システム、及び方法も必要とされる。
【発明の概要】
【０００７】
上述のことに照らして、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置、基板を真空処理するためのシステム、及び真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法が提供される。本開示の更なる態様、利点、及び特徴は、特許請求の範囲、明細書の説明、及び添付図面から明らかになる。
【０００８】
本開示の一態様によれば、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置が提供される。該装置は、第１の搬送経路に沿って搬送方向にキャリアを非接触方式で搬送するように構成された、第１の搬送システムを含む。該装置は、第１の搬送経路から離れるように経路切り替え方向へキャリアを移動させるためにキャリアと機械的に接触するように構成されたキャリア保持部分を含む、経路切り替えアセンブリを更に含む。
【０００９】
本開示の一態様によれば、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置が提供される。該装置は、第１の搬送経路に沿って搬送方向に設けられた第１の磁気浮揚システム、及び経路切り替え方向に可動であり且つキャリア接触部分を含むキャリア保持部分を含む経路切り替えアセンブリを含む。
【００１０】
本開示の別の一態様によれば、基板を真空処理するためのシステムが提供される。該システムは、真空チャンバ、本明細書で説明される実施形態の何れかによる装置、並びに、真空チャンバ内に配置され、堆積源、蒸発源、スパッタ源、表面処理ツール、加熱デバイス、洗浄デバイス、エッチングツール、及びそれらの組み合わせから成る群から選択された、１以上の処理ツールを含む。該装置は、第１の搬送経路に沿って搬送方向にキャリアを非接触方式で搬送するように構成された第１の搬送システム、及び第１の搬送経路から離れるように経路切り替え方向へキャリアを移動させるためにキャリアと機械的に接触するように構成されたキャリア保持部分を含む経路切り替えアセンブリを含む。
【００１１】
本開示の更に別の一態様によれば、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法が提供される。該方法は、第１の搬送経路に沿って搬送方向にキャリアを非接触方式で搬送すること、経路切り替えアセンブリのキャリア保持部分と接触するようにキャリアを運ぶこと、及び第１の搬送経路から離れるように搬送方向を横切る経路切り替え方向へキャリア保持部分によって保持されたキャリアを移動することを含む。
【００１２】
実施形態は、本開示の方法を実行するための装置も対象としており、各説明される方法態様を実行するための装置部分を含む。これらの方法態様は、ハードウェア構成要素を用いて、適切なソフトウェアによってプログラミングされたコンピュータを用いて、これらの２つの任意の組合せによって、又はそれ以外の任意のやり方で実行され得る。更に、本開示による実施形態は、説明される装置を操作するための方法も対象とする。説明される装置を操作するための方法は、装置のあらゆる機能を実施するための方法態様を含む。
【００１３】
本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、実施形態を参照することによって、上で簡単に概説した本開示のより具体的な説明を得ることができる。添付の図面は本開示の実施形態に関連し、以下の記述において説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置の概略断面図を示す。
【図２】本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置を含むシステムの概略上面図を示す。
【図３Ａ】本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の段階のシーケンスを示す。
【図３Ｂ】本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の段階のシーケンスを示す。
【図３Ｃ】本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の段階のシーケンスを示す。
【図４】本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置の概略断面図を示す。
【図５】本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置の概略断面図を示す。
【図６】本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置の概略断面図を示す。
【図７】本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置の概略断面図を示す。
【図８】本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置の概略断面図を示す。
【図９Ａ】本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の段階のシーケンスを示す。
【図９Ｂ】本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の段階のシーケンスを示す。
【図９Ｃ】本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の段階のシーケンスを示す。
【図９Ｄ】本明細書で説明される実施形態による装置を用いてキャリアを搬送するための方法の段階のシーケンスを示す。
【図１０】本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための方法を示すためのフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
次に、本開示の様々な実施形態が詳細に参照されることになり、それらの１以上の実施例が図示される。図面に関する以下の説明の中で、同じ参照番号は同じ構成要素を指している。概して、個々の実施形態に対する相違のみが説明される。本開示の説明として各実施例が与えられているが、これは本開示を限定することを意図しているわけではない。更に、一実施形態の一部として図示且つ説明されている特徴を、他の実施形態で用いてもよく、或いは他の実施形態と併用してもよい。それにより、更に別の実施形態が生み出される。本説明には、このような修正例及び変形例が含まれることが意図されている。
【００１６】
キャリアは、真空チャンバ内で搬送経路に沿って基板を運搬するために使用され得る。キャリアは、搬送中及び／又は真空チャンバ内で基板上に被覆材料が堆積している間に基板を保持し得る。例えば、基板は、キャリアの基板保持面において本質的に垂直配向で保持され得る。そして、基板を保持しているキャリアは、真空チャンバを通して搬送され得る。本明細書で使用される際に、「キャリア」は、基板を運搬するように構成された基板キャリアであり得る。代替的に、キャリアは、異なる物体、例えば、マスク又はシールディングデバイスを運搬し搬送するように構成され得る。
【００１７】
真空チャンバ内でキャリアを搬送するための装置は、１つ、２つ、又はそれ以上の搬送経路を設けることができる。キャリアは、搬送経路に沿って移動され又は運ばれ得る。第１の搬送経路Ｔ１は、例えば、第１の搬送経路Ｔ１に本質的に平行な第２の搬送経路Ｔ２の隣りで延在し得る。第１の搬送経路Ｔ１及び／又は第２の搬送経路Ｔ２は、本質的に水平方向であり得る搬送方向Ｔに延在し得る。
【００１８】
第１の搬送経路Ｔ１と第２の搬送経路Ｔ２は、経路切り替え方向Ｓにおいて互いから水平方向にオフセットされ得る。経路切り替え方向Ｓにおける第１の搬送経路Ｔ１と第２の搬送経路Ｔ２との間の距離は、１０ｃｍ以上、特に、２０ｃｍ以上、且つ／又は、１００ｃｍ以下、特に、５０ｃｍ以下であり得る。
【００１９】
本明細書で説明される装置１００は、インライン処理システムなどの真空処理システムの一部分であり得る。それによって、基板は、連続的又は準連続的に処理され得る。装置は、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように、第２の搬送経路Ｔ２と基板が処理され得る処理位置Ｔ３のうちの少なくとも一方へ、キャリアを動かし又は移動させるように構成され得る。具体的には、装置が、第１の搬送経路Ｔ１上の第１の位置から、第１のトラックから離れた第２の位置へ、経路切り替え方向Ｓにキャリアを横に動かし得る。経路切り替え方向Ｓは、搬送方向Ｔを横切り、特に、搬送方向Ｔと本質的に垂直であり得る。１つの搬送経路から別の１つの搬送経路へ経路切り替え方向Ｓにキャリアが移動されたときに、前記移動は、「経路切り替え」又は「トラック切り替え」とも称され得る。
【００２０】
ある実施形態では、キャリアが、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔに搬送され、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向Ｓに、処理位置Ｔ３へ移動される。処理位置Ｔ３では、基板が処理され、キャリアは、経路切り替え方向Ｓに第２の搬送経路Ｔ２へ移動され、第２の搬送経路Ｔ２に沿って搬送される。
【００２１】
装置は、搬送システムを含み得る。搬送システムは、例えば、磁力を使用して、第１及び／又は第２の搬送経路に沿ってキャリアを非接触方式で搬送するように構成され得る。言い換えると、搬送システムは、キャリアを搬送するために機械的な力を使用し得ない。代わりに、搬送システムは、新しい位置に向けてキャリアを磁気的に押し又は引き付け得る。本開示の全体を通して使用される際に、「非接触方式」及び「非接触方式で移動させる」という用語は、キャリアが、キャリアと搬送システムとの間の機械的な接触を使用して移動しないが、反発する磁力及び／又は引き付ける磁力によって磁気的に移動するという意味において理解され得る。第１及び／又は第２の搬送経路に沿った搬送中に、装置とキャリアとの間に機械的な接触が全く存在し得ない。
【００２２】
ある実施形態では、搬送システムが、磁気浮揚システムであり得る。磁気浮揚システムは、上側トラックと下側トラックを含み得る。キャリアは、上側トラックと下側トラックとの間で本質的に垂直配向で搬送され得る。上側トラックは、下側トラックの上方に配置され得る。磁気浮揚システムの磁石及び／又は駆動ユニットは、上側トラック及び／又は下側トラックに配置され得る。例えば、上側トラックの下方にキャリアを非接触方式で保持するように構成されたアクティブ磁気ユニットが、上側トラックに配置され得る。そして、トラックに沿ってキャリアを移動させるように構成された駆動ユニット、例えば、リニアモータが下側トラックに配置され得る。
【００２３】
キャリアを非接触方式で搬送することは、有益である。何故ならば、キャリアの搬送中に、キャリアとローラなどの搬送システムのセクションとの間の機械的な接触により、生成される粒子の数が低減されるからである。したがって、真空チャンバ内の真空状態は、キャリアの搬送によって悪影響を受けない。基板上に堆積した層の純度が、改良され得る。何故ならば、とりわけ、非接触方式で搬送するように構成された搬送システムを使用するときに、粒子の生成が最小化され又は完全に避けられさえするからである。
【００２４】
図１は、本明細書で説明される実施形態による、真空チャンバ１０１内でキャリア１０を搬送するための装置１００の概略図である。ある実施形態では、装置１００が、真空処理システムの一部分、例えば、スパッタ堆積システム又は蒸発堆積システムであり得る。
【００２５】
キャリア１０は、基板１１を運搬するように構成された基板キャリアであり得る。例えば、キャリア１０は、チャッキングデバイス、例えば、基板１１をキャリア１０の保持面に向けて引き付けるための磁気チャック又は静電チャックを含み得る。他の実施形態では、キャリアが、異なる物体、例えば、マスク又はシールドを運搬するように構成され得る。キャリア１０は、基板１１を本質的に垂直配向で保持するように構成され得る。言い換えると、基板１１の主要面と重力ベクトルとの間の角度は、通常、キャリア１０の搬送中に２０度未満である。例えば、基板の主要面と重力ベクトルとの間の角度は、−１０度から＋１０度、特に、−１度から−５度であり得る。負の角度は、下向きに面する基板を示していることを意味する。
【００２６】
キャリアは、大面積基板、特に、ディスプレイ製造のための大面積基板を運搬するように構成され得る。実施形態では、基板が、１ｍ２以上、特に、５ｍ２以上、又は１０ｍ２以上でさえある処理されるべき表面積を有し得る。したがって、キャリアは、１ｍ２以上、特に、５ｍ２以上、又は１０ｍ２以上でさえあるサイズを有する基板保持表面を有し得る。例えば、キャリア１０の高さが、１ｍ以上、特に、２ｍ以上であってよく、且つ／又は、キャリアの幅が、１ｍ以上、特に、２ｍ以上であってもよい。キャリア１０は、基板を本質的に垂直配向で運搬するように構成され得る。
【００２７】
装置１００は、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向にキャリア１０を非接触方式で搬送するように構成された、第１の搬送システム１１２を含む。第１の搬送システム１１２は、第１の搬送経路Ｔ１に沿ってキャリアを非接触方式で搬送するように構成された第１の磁気浮揚システムであり得る。ある実施形態では、第１の搬送システム１１２が、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２を含む。キャリアは、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間のキャリア搬送スペース内で、特に、本質的に垂直配向で搬送され得る。したがって、上側トラックセクション１２２は、下側トラックセクション１２１の本質的に上方に配置され得る。第１の搬送システム１１２の磁気ユニットは、下側トラックセクション１２１及び／又は上側トラックセクション１２２に配置され得る。例えば、上側トラックセクション１２２の下方で、キャリア１０を非接触方式で保持するために、複数の動的に制御される磁気ユニットが、上側トラックセクション１２２に配置され得る。
【００２８】
上側トラックセクション１２２は、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔに延在する上側ガイディングレールとして構成された上側トラックの部分であり得る。磁気ベアリングを介して上側トラックセクション１２２の下方でキャリアを非接触方式で搬送する間に、上側トラックセクション１２２とキャリアとの間の間隙は、５ｍｍ以下、特に、約２ｍｍの幅を有し得る。第１の搬送システム１１２のアクティブ磁気ユニット及び／又はパッシブ磁気ユニットは、上側トラックセクション１２２に固定され得る。
【００２９】
下側トラックセクション１２１は、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔに延在する下側ガイディングレールとして構成された下側トラックの部分であり得る。第１の搬送システム１１２によって下側トラックセクション１２１の上方でキャリアを非接触方式で搬送する間に、下側トラックセクション１２１とキャリアとの間の間隙は、５ｍｍ以下、特に、約２ｍｍの幅を有し得る。搬送方向Ｔにキャリアを搬送するように構成された第１の搬送システムの駆動ユニットは、下側トラックセクション１２１に固定され得る。
【００３０】
装置１００は、経路切り替えアセンブリ１５０を更に含む。経路切り替えアセンブリ１５０は、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように搬送方向Ｔを横切る経路切り替え方向Ｓへ、キャリアを移動させるように構成され得る。例えば、経路切り替えアセンブリ１５０は、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２へ経路切り替え方向Ｓに、キャリアを移動させるように構成され得る。代替的に又は更に、経路切り替えアセンブリ１５０は、キャリアが処理される、例えば、被覆される処理位置Ｔ３へキャリアを移動させるように構成され得る。処理位置Ｔ３は、第１及び第２の搬送経路から水平方向にオフセットされ得る。
【００３１】
図１で概略的に描かれているように、キャリアが処理位置Ｔ３に配置されたときに、キャリア１０によって保持された基板１１を処理するために、真空チャンバ１０１内に処理ツール１０５が配置され得る。処理ツール１０５は、基板上に被覆材料を堆積させるように構成された堆積源であり得る。
【００３２】
経路切り替えアセンブリ１５０は、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向Ｓへキャリアを移動させるためにキャリア１０と機械的に接触するように構成されたキャリア保持部分１５１を含む。
【００３３】
言い換えると、キャリア保持部分１５１の少なくとも一部分は、キャリアと接触し、キャリアを経路切り替え方向Ｓに移動させる。他方で、第１の搬送システム１１２によるキャリアの搬送中に、キャリアは、機械的な接触なしに、特に、上側トラックセクション１２２と下側トラックセクション１２１との間で浮いた状態で搬送方向Ｔに移動される。
【００３４】
キャリアがキャリア保持部分１５１と接触している間に、キャリア保持部分１５１は、経路切り替え方向Ｓにキャリアを押し且つ／又は引き付けることができる。キャリアは、キャリア保持部分に保持され且つ／又はキャリア保持部分上に支持され得る。キャリア保持部分１５１は、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置Ｔ３に向けて、且つ／又はその逆方向に向けて、経路切り替え方向Ｓにキャリアを移動し得る。
【００３５】
キャリアを経路切り替え方向Ｓに移動するためにキャリアと機械的に接触するように運ばれるキャリア保持部分１５１の一部分は、「キャリア接触部分１５３」とも称され得る。すなわち、それは、キャリアを保持し且つ／又は支持するためにキャリアと機械的に接触するように構成されたマウントである。
【００３６】
本明細書で説明される実施形態は、搬送方向Ｔにキャリアを非接触方式で搬送するように構成された搬送システム、特に、磁気浮揚システムを提供することによって、真空チャンバ内での粒子の生成が低減され得るという知見に基づく。他方で、経路切り替え動作の間にキャリアと機械的に接触することは、大量の粒子が生成することをもたらし得ない。何故ならば、経路切り替え方向における２つの搬送経路の間の経路切り替え距離は、通常、小さい距離だからである。したがって、キャリア保持部分１５１は、本質的に、キャリアに対するキャリア保持部分１５１の摺動なしに、経路切り替え中にキャリアとの接触を維持し得る。粒子の生成は、低く維持されたままであり得る。更に、キャリア保持部分１５１は、処理されるべき物体が配置されている前側とは反対のキャリアの後ろ側と接触し得る。例えば、キャリア保持部分１５１は、キャリアの後ろ側の表面と係合し得る一方で、処理されるべき物体は、キャリアの前面に保持され得る。処理されるべき物体のエリア内での粒子の生成は、低く維持されたままであり得る。キャリアと接触している間にキャリアを移動させるように構成された経路切り替えアセンブリ１５０は、経路切り替え方向にキャリアを非接触方式で移動するように構成された経路切り替えアセンブリ１５０と比較して、よりエネルギー効率が高いのみならず、より費用を節約し空間を節約し得る。
【００３７】
図１で概略的に描かれているように、経路切り替えアセンブリ１５０は、キャリアの側面１５と接触し係合するように構成されたキャリア保持部分１５１を含み得る。キャリアの側面１５は、キャリアの本質的に垂直に方向付けられた表面であり得る。特に、キャリア保持部分１５１は、キャリアの後ろ側の表面、すなわち、物体が保持されている前側の表面とは反対側の側面と接触し得る。
【００３８】
特に、キャリア保持部分１５１は、処理ツール１０５が配置されている側とは反対の第１の搬送経路Ｔ１の側方に配置され得る。したがって、キャリア保持部分１５１は、処理ツール１０５から離れる方向に面するキャリアの後ろ側の表面に向けて移動され得る。
【００３９】
ある実施形態では、キャリア保持部分１５１が、キャリア１０の側面１５と、特に、キャリアの後ろ側の表面と係合するように構成された少なくとも１つのマウントを含む。マウントは、「浮いている」キャリア、すなわち、第１の搬送システム１１２によって非接触方式で保持されているキャリアと機械的に接触するように構成され得る。例えば、キャリア保持部分１５１は、キャリアを掴み保持するために「浮いている」キャリアと接触するように構成された磁気チャックを含むマウント又は機械的なマウントを含み得る。他の実施形態では、第１の搬送システム１１２の磁気浮揚力が、先ず、下側トラックセクション１２１上にキャリアを配置するためにスイッチオフされ得る。その後に、キャリア保持部分１５１が、支持されたキャリアと接触するように運ばれ得る。
【００４０】
ある実施形態では、キャリア保持部分１５１が、キャリアを掴み保持するための磁気チャックを含み得る。例えば、１以上の磁石が、キャリア保持部分１５１の１以上のマウントに設けられ得る。１以上の磁石は、キャリアに設けられた磁気カウンターパート（磁気対極要素）を引き付け得る。それによって、キャリアは、磁気チャックに磁気的に引き付けられる。ある実施形態では、磁気チャックが、電気パルスによってチャッキング状態と解放状態との間で切り替えを行うように構成された電気永久磁気チャック（electropermanent magnetic chuck）を含む。
【００４１】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、キャリア保持部分１５１が、キャリアを保持するための機械的なマウントを含む。例えば、機械的なマウントは、キャリアを支持するためのキャリア支持体又はキャリア保持部分１５１にキャリアを吊り下げるためのフックであり得る。
【００４２】
キャリア保持部分１５１は、キャリアの側面１５、キャリアの底面、及び／又はキャリアの上面と接触するように構成され得る。ある実施形態では、キャリア保持部分１５１が、キャリアの上側部分と、キャリアの中心部分と、且つ／又はキャリアの下側部分と係合する。
【００４３】
図１で描かれている実施形態では、キャリア保持部分１５１が、２つ、３つ、又はそれ以上のマウントを含む。第１のマウントは、キャリアの上側部分と接触するように構成され、第２のマウントは、キャリアの中心部分と接触するように構成され、且つ／又は、第３のマウントは、キャリアの下側部分と接触するように構成され得る。したがって、キャリアは、キャリア保持部分１５１に確実に安定的に保持され得る。２つ、３つ、又はそれ以上のマウントが設けられ得る。各磁気的なマウントは、経路切り替えアセンブリ１５０の可動アームと連結され又はそれと一体的に形成され得る。
【００４４】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、キャリア保持部分１５１によって保持されたキャリア１０を経路切り替え方向Ｓへ移動するために、キャリア保持部分１５１が、経路切り替え方向Ｓに可動である。（本明細書で「交差駆動（cross drive）」とも称される）駆動デバイスは、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２と処理位置Ｔ３のうちの少なくとも一方にキャリアを移動するために、経路切り替え方向Ｓにキャリア保持部分１５１を移動させるように設けられ得る。（図面では描かれていない）駆動デバイスは、真空チャンバ１０１の外側に配置され得る。そして、キャリア保持部分１５１は、真空チャンバ１０１の壁を通って延在し得る。代替的に、駆動デバイスを含む経路切り替えアセンブリ１５０は、真空チャンバ１０１の内側に配置され得る。
【００４５】
駆動デバイスは、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２へ、１０ｃｍ以上、特に、２０ｃｍ以上の距離だけ、経路切り替え方向Ｓにキャリア保持部分１５１を移動させるように構成され得る。例えば、第１の搬送経路Ｔ１と第２の搬送経路Ｔ２との間の距離は、２５ｃｍ以上且つ１００ｃｍ以下であり得る。
【００４６】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、装置が、第１の搬送経路Ｔ１から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路Ｔ２に沿って、キャリアを非接触方式で搬送するように構成された、第２の搬送システム１１４を更に含む。第２の搬送システム１１４は、磁気浮揚システムであり得る。第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２と第１及び第２の搬送経路から水平方向にオフセットされた処理位置Ｔ３のうちの少なくとも一方へ、キャリアを移動するために、経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５１は、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。
【００４７】
第１の搬送システム１１２と同様に、第２の搬送システム１１４は、第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４を含み得る。キャリアは、第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間で、第２の搬送経路Ｔ２に沿って搬送され得る。第２の搬送システム１１４の複数の磁気ユニットは、第２の上側トラックセクション１２４及び／又は第２の下側トラックセクション１２３、例えば、動的に制御される磁気ベアリングに配置され得る。
【００４８】
図２は、本明細書で説明される実施形態による、キャリアを搬送するための装置を含むシステム２００の概略上面図を示している。該装置は、図１で描かれている装置１００に類似するか又は一致し得る。したがって、上述の説明を参照することができ、ここで上述の説明は繰り返されない。
【００４９】
本明細書で説明される実施形態による、基板を真空処理するためのシステム２００が、真空チャンバ１０１、及び真空チャンバ１０１内に配置された１以上の処理ツール１０５を含む。１以上の処理ツールは、堆積源、スパッタ源、蒸発源、表面処理ツール、加熱デバイス、洗浄デバイス、エッチングツール、及びそれらの任意の組み合わせから成る群から選択され得る。更に、システム２００は、本明細書で説明される実施形態の何れかによる装置を含む。
【００５０】
第１の搬送経路Ｔ１と、第１の搬送経路Ｔ１から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路Ｔ２とが、少なくとも部分的に真空チャンバ１０１を通って延在する。任意選択的に、第１の搬送経路Ｔ１と第２の搬送経路Ｔ２から水平方向にオフセットされた、基板が処理され得る処理位置Ｔ３が設けられる。ある実施形態では、キャリア１０の処理位置Ｔ３と処理ツール１０５との間に、マスク１２が設けられる。マスク１２は、例えば、端部除外マスク又はファインメタルマスクであり得る。例えば、マスク１２は、基板の一部分が被覆されることを妨げ、且つ／又は、マスクは、基板上に堆積されるべき材料パターンに対応した開口パターンを有し得る。
【００５１】
装置１００は、第１の搬送経路Ｔ１に沿ってキャリア１０を非接触方式で搬送するための第１の搬送システム１１２、第２の搬送経路Ｔ２に沿ってキャリア１０を非接触方式で搬送するための第２の搬送システム１１４、及び、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置Ｔ３へ、経路切り替え方向Ｓにキャリア１０を移動するように構成された経路切り替えアセンブリ１５０を含む。経路切り替えアセンブリ１５０は、キャリア１０に接触しキャリア１０を保持するように構成されたキャリア保持部分１５１を含む。キャリア保持部分１５１は、経路切り替え方向Ｓに可動である。図２で概略的に描かれているように、キャリア保持部分１５１が経路切り替え方向Ｓに移動するときに、キャリア接触部分１５３は、経路切り替え方向Ｓに、すなわち、本質的に水平方向に、第２の搬送経路Ｔ２に向けて、キャリア１０を押し得る。
【００５２】
搬送経路は、例えば、複数の真空チャンバを通って、数メートルに沿って搬送方向に延在し得る。他方で、経路切り替え距離は、例えば、５０ｃｍ以下の短い距離であり得る。
【００５３】
図３Ａから図３Ｃは、本明細書で説明される実施形態による装置を用いて真空チャンバ１０１内でキャリアを搬送するための方法の後続の段階を示している。該装置は、図１で描かれている装置１００に類似するか又は一致し得る。したがって、上述の説明を参照することができ、ここで上述の説明は繰り返されない。
【００５４】
基板１１を運搬するキャリア１０は、第１の搬送システム１１２を介して、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔに非接触方式で搬送され得る。キャリアは、経路切り替えアセンブリ１５０が配置されている位置において、第１の搬送システム１１２によって停止され非接触方式で保持され得る。
【００５５】
図３Ａで概略的に描かれているように、経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５１は、キャリア１０向かって経路切り替え方向Ｓに移動し得る。それによって、キャリアは、経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア接触部分によって接触され、第２の搬送経路Ｔ２に向けて経路切り替え方向Ｓに押される。キャリア保持部分１５１は、マウント、例えば、磁気的なマウントを含み得る。それによって、キャリアは、キャリア保持部分１５１に保持され得る。
【００５６】
キャリア保持部分１５１は、処理ツール１０５から離れる方向に面するキャリアの後ろ側の表面と接触し得る。基板１１のエリア内での粒子の生成は、低減され得る。
【００５７】
特に、キャリア保持部分１５１は、キャリア１０に向けて経路切り替え方向Ｓに可動であり、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように第２の搬送経路Ｔ２に向けて且つ／又は処理位置Ｔ３に向けてキャリアを押し得る。例えば、キャリア保持部分１５１による経路切り替え方向Ｓにおいてキャリアに加えられる機械的な押す力は、未だキャリアに作用し得る第１の搬送システム１１２による経路切り替え方向Ｓにおいてキャリアに加えられている磁気保持力よりも強くなり得る。言い換えると、キャリアは、第１の搬送システム１１２から経路切り替え方向Ｓに、経路切り替えアセンブリ１５０によって、強制的に押し離され得る。
【００５８】
実施形態では、キャリアが、垂直方向ではなく水平方向のみに移動されることによって、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように移動され得る。第１の搬送システム１１２の上側及び下側トラックの垂直高さは、第２の搬送システム１１４の第２の上側及び下側トラックの垂直高さと本質的に一致し得る。それによって、キャリアの純粋に水平方向への動きが、切り替え経路に対して適切であり得る。以下でより詳細に説明される他の実施形態では、経路切り替えが、上向き及び／又は下向きの方向のキャリアの動きも含み得る。
【００５９】
図３Ｂで概略的に描かれているように、キャリアは、第２の搬送経路Ｔ２を横断して処理位置Ｔ３へ、経路切り替え方向Ｓに、経路切り替えアセンブリ１５０によって移動され得る。基板１１は、処理ツール１０５によって処理され得る。処理中に、キャリアは、経路切り替えアセンブリ１５０に保持され得る。キャリアは、任意選択的に、マスク１２の後ろに保持され得る。それによって、堆積から排除されるべき基板１１及び／又はキャリア１０の表面部分がマスクされ得る。
【００６０】
処理後に、キャリア１０は、処理部分Ｔ３と第１の搬送経路との間に配置され得る、第２の搬送経路Ｔ２に戻るように移動され得る。キャリア保持部分１５１は、第１の搬送経路Ｔ１に向けて経路切り替え方向Ｓに後退され得る。言い換えると、経路切り替えアセンブリ１５０の駆動デバイスは、経路切り替え方向Ｓにキャリア保持部分１５１を前後移動させるように構成され得る。
【００６１】
図３Ｃでは、キャリア１０が、第２の搬送経路Ｔ２上に移動されている。キャリア保持部分１５１は、例えば、キャリア保持部分に設けられた磁気的なマウントを起動解除することによって、キャリア１０を解放し、第１の搬送経路Ｔ１に向かって戻るように移動し得る。キャリアは、浮いた状態に直接的に解放され、第２の搬送システム１１４によって非接触方式で保持され得る。代替的に、キャリアは、先ず、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３上に配置され、その後に、第２の搬送システム１１４が、キャリアを浮いた状態に持ち上げるために起動され得る。
【００６２】
その後、キャリア１０は、例えば、積み出しチャンバに向けて戻すために、又は更なる処理モジュールに向けて継続するために、第２の搬送システム１１４によって搬送経路Ｔに非接触方式で搬送され得る。
【００６３】
図４は、本明細書で説明される実施形態による、装置４００の概略的な断面図を示している。装置４００は、図１の装置１００に類似している。したがって、上述の説明を参照することができ、ここで上述の説明は繰り返されない。
【００６４】
装置４００の経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５１は、下方からキャリアを支持するように構成されたキャリア支持体として構成されている。キャリア保持部分１５１は、下方からキャリアを支持するための支持面を含み得る。
【００６５】
キャリア１０は、キャリア保持部分１５１上に支持され得る。それによって、キャリア１０の底面は、キャリア保持部分１５１の支持面上に配置され、且つ、その支持面と接触する。キャリア保持部分１５１は、キャリア保持部分１５１上に支持されたキャリアと共に、経路切り替え方向Ｓに可動である。
【００６６】
例えば、第１の搬送システム１１２の磁気浮揚をスイッチオフすることによって、且つ／又は、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１を下向きの方向へ移動させることによって、キャリア１０は、キャリア保持部分１５１上に下げられ、続いて、第２の搬送経路Ｔ２に向けて且つ／又は（図４では示されていない）処理位置に向けて経路切り替え方向Ｓに移動され得る。
【００６７】
図５は、本明細書で説明される実施形態による、装置５００の概略的な断面図を示している。装置５００は、図１の装置１００に類似している。したがって、上述の説明を参照することができ、ここで上述の説明は繰り返されない。
【００６８】
装置５００の経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５１は、キャリアの側面、特に、処理ツール１０５から離れる方向に面するキャリアの後ろ側の表面と接触するように構成されている。基板のエリア内での粒子の生成は、低減され得る。
【００６９】
キャリア保持部分１５１は、キャリアの下側部分と機械的に又は磁気的に係合するように構成され得る。キャリアの「下側部分」は、下側の半分、特に、垂直に方向付けられたキャリアの底部分２０％として理解され得る。例えば、キャリア保持部分１５１は、下側トラックセクション１２１の第１の垂直高さのわずかに上方の第２の垂直高さに配置され得る。第１の垂直高さと第２の垂直高さとの間の距離は、２ｃｍ以上、且つ、５０ｃｍ以下、特に３０ｃｍ以下であり得る。基板のエリア内での粒子の生成は、低減され得る。何故ならば、粒子は床に落ちる傾向があるからである。
【００７０】
キャリア保持部分１５１は、マウント、特に、キャリアを保持するための磁気的又は機械的なマウントを含み得る。キャリア保持部分１５１は、キャリア保持部分１５１上に支持されたキャリアと共に、経路切り替え方向Ｓに可動である。
【００７１】
図６は、本明細書で説明される実施形態による、装置６００の概略的な断面図を示している。装置６００は、図１の装置１００に類似している。したがって、上述の説明を参照することができ、ここで上述の説明は繰り返されない。
【００７２】
装置６００の経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５１は、キャリアの側面、特に、処理ツール１０５から離れる方向に面するキャリアの後ろ側の表面と接触するように構成されている。基板のエリア内での粒子の生成は、低減され得る。
【００７３】
キャリア保持部分１５１は、キャリアの上側部分と機械的に又は磁気的に係合するように構成され得る。キャリアの「上側部分」は、上側の半分、特に、垂直に方向付けられたキャリアの上部分２０％として理解され得る。例えば、キャリア保持部分１５１は、上側トラックセクション１２２の第１の垂直高さのわずかに下方の第２の垂直高さに配置され得る。第１の垂直高さと第２の垂直高さとの間の距離は、２ｃｍ以上、且つ、５０ｃｍ以下、特に３０ｃｍ以下であり得る。
【００７４】
代替的に又は更に、キャリア保持部分１５１は、（図６において破線で概略的に描かれている）キャリアの中心部分と接触し、その中心部分を保持するように構成され得る。実施態様では、キャリア保持部分１５１が、例えば、互いから５０ｃｍ以上の垂直距離をおいて異なる垂直高さに設けられた２つ以上のマウントを含み得る。経路切り替えアセンブリからキャリアが傾く又は偶発的に落ちる危険性は、低減され得る。
【００７５】
キャリア保持部分１５１は、マウント、特に、キャリアを保持するための磁気的又は機械的なマウントを含み得る。キャリア保持部分１５１は、キャリア保持部分１５１上に支持されたキャリアと共に、経路切り替え方向Ｓに可動である。
【００７６】
図７は、本明細書で説明される実施形態による、装置７００の概略的な断面図を示している。装置７００は、図１の装置１００に類似している。したがって、上述の説明を参照することができ、ここで上述の説明は繰り返されない。
【００７７】
装置７００の経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５１は、キャリアの内面と係合するように構成され得る。キャリアの内面は、キャリア内の凹部、開口部、溝、窪み、又は刻み、例えば、キャリアの後ろ側の表面内の凹部として理解され得る。基板のエリア内での粒子の生成は、低減され得る。
【００７８】
例えば、キャリア保持部分１５１は、機械的なマウント、例えば、キャリアの内面と係合するように構成されたフックを含み得る。キャリアは、フックに吊り下げられ得る。任意選択的に、更なるマウント、例えば、更なる機械的なマウント及び／又は磁気的なマウントが設けられ得る。経路切り替えアセンブリ１５０からキャリアが傾く又は偶発的に落ちる危険性は、低減され又は避けられ得る。
【００７９】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、キャリア保持部分１５１が、アームの遠位端にそれぞれのマウントを有する１つ、２つ、又はそれ以上のアームを含む。アームは、経路切り替え方向に可動であり得る。少なくとも１つのアームの主要な延伸方向は、（図７では連続的な線で描かれている）本質的に水平方向であり、且つ／又は、少なくとも１つのアームの主要な延伸方向は、（図７では破線で描かれている）本質的に垂直方向であり得る。
【００８０】
また更なる実施形態では、キャリア保持部分１５１が、キャリアを保持し経路切り替え方向Ｓにキャリアを移動させるために、キャリアの上面と接触し得る。
【００８１】
図８は、本明細書で説明される実施形態による、装置８００の概略的な断面図を示している。装置８００は、図１の装置１００に類似している。したがって、上述の説明を参照することができ、ここで上述の説明は繰り返されない。
【００８２】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、キャリア保持部分１５１が、垂直方向Ｖに可動であり得る。特に、キャリア保持部分１５１は、垂直方向Ｖと経路切り替え方向Ｓの両方に可動であり得る。したがって、経路切り替えアセンブリ１５０は、垂直方向と経路切り替え方向Ｓの両方にキャリアを移動させるように構成され得る。
【００８３】
図８で概略的に描かれているように、上側トラックセクション１２２から離れるようにキャリアを移動させるために、キャリアを保持しているキャリア保持部分１５１は、先ず、垂直方向Ｖに移動され得る。その後、キャリア保持部分１５１は、例えば、第２の搬送経路Ｔ２又は処理位置Ｔ３に向けて、経路切り替え方向Ｓに移動され得る。
【００８４】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態によれば、第１の搬送システム１１２は、下側トラックセクション１２１、上側トラックセクション１２２、及び下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の垂直方向Ｖにおける距離を変更するように構成されたアクチュエータ１２５を含み得る。
【００８５】
例えば、図８で概略的に描かれているように、上側トラックセクション１２２から離れるように下側トラックセクション１２１を移動させるためのアクチュエータ１２５が設けられ得る。下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離を増加させることによって、経路切り替えスペースが拡大され得る。したがって、経路切り替えが容易にされ、経路切り替え中のキャリアと搬送システムとの間の偶発的な接触が避けられ得る。
【００８６】
図８では、キャリアが経路切り替えアセンブリ１５０によって保持されている間に、下側トラックセクション１２１は、キャリア１０から離れるように下向きの方向へ移動された。その後、キャリア保持部分１５１は、上側トラックセクション１２２から離れるように、例えば、上側トラックセクション１２２と下側トラックセクション１２１との間の中央領域まで、下向きの方向へ移動され得る。その後、キャリア１０は、例えば、第２の搬送システム１１４の磁気サイドガイドと衝突する危険性なしに、第２の搬送経路Ｔ２に向けて移動され得る。
【００８７】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態によれば、装置８００は、上側トラックセクション１２２と下側トラックセクション１２１との間の距離を増加させる且つ／又は低減させるためのアクチュエータ１２５を含む。下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間で搬送方向Ｔにキャリアを非接触方式で搬送するために、より小さい第１の距離が適切であり得る。他方で、下側及び上側トラックセクションが、より小さい第１の距離で設けられているときに、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向へキャリアを移動させることは困難であり得る。下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間のより大きい第２の距離は、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように経路切り替え方向Ｓへ、すなわち、第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置Ｔ３へ、キャリアを移動させるために適切であり得る。
【００８８】
ある実施形態では、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間のより小さい第１の距離が、１ｍ以上、特に、２ｍ以上であり得る。例えば、より小さい第１の距離は、キャリアの垂直寸法よりもわずかに大きくなり得る。それによって、キャリアは、下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間で、非接触方式で搬送され得る。より大きい第２の距離は、より小さい第１の距離よりも数ミリメートル又は数センチメートルほど大きくなり得る。特に、より小さい第１の距離とより大きい第２の距離との間の差は、５ｍｍ以上、２０ｍｍ以上、４０ｍｍ以上、又は１００ｍｍ以上でさえあり得る。言い換えると、アクチュエータ１２５は、下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間の距離を、５ｍｍ以上、２０ｍｍ以上、４０ｍｍ以上、又は更に１００ｍｍ以上だけ変更するように構成され得る。
【００８９】
アクチュエータ１２５は、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離を増加させるための駆動デバイス、例えば、モータ、液圧デバイス、又は空気圧デバイスを含み得る。ある実施形態では、上側トラックセクション１２２と下側トラックセクション１２１との間の距離を増加させるために、アクチュエータ１２５が、上側トラックセクション１２２から離れるように、例えば、垂直方向へ、特に、下向きの方向へ下側トラックセクション１２１を移動させるように構成され得る。ある実施形態では、上側トラックセクション１２２と下側トラックセクション１２１との間の距離を増加させるために、アクチュエータ１２５が、下側トラックセクション１２１から離れるように、例えば、垂直方向へ、特に、上向きの方向へ上側トラックセクション１２２を移動させるように構成され得る。例えば、下側トラックセクション１２１は、２０ｍｍ以上、特に、４０ｍｍ以上、更に特に、８０ｍｍ以上の距離だけ、下向きの方向へ移動され得る。下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の垂直スペースは、経路切り替え動作を容易にするために増加され得る。
【００９０】
ある実施形態では、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離、及び、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間の距離、の両方を増加させ且つ／又は低減させるために、１つの単一のアクチュエータ（例えば、アクチュエータ１２５）が設けられ得る。ある実施形態では、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離を増加させ且つ／又は低減させるために、第１のアクチュエータが設けられ、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間の距離を増加させ且つ／又は低減させるために、第２のアクチュエータが設けられ得る。
【００９１】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３が、例えば、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１と共に、垂直方向Ｖに可動であり得る。例えば、アクチュエータ１２５は、第２の下側トラックセクション１２３と同調して且つ／又は第２の下側トラックセクション１２３から独立して、下向きの方向へ且つ／又は上向きの方向へ、下側トラックセクション１２１を移動させるように構成され得る。
【００９２】
図９Ａから図９Ｄは、本明細書で説明される実施形態による、装置９００を用いて真空チャンバ内でキャリアを搬送する方法の後続の段階を示している。装置９００は、図１で描かれている装置１００に類似し得る。したがって、上述の説明が参照され、ここで上述の説明は繰り返されない。
【００９３】
装置９００は、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向にキャリア１０を非接触方式で搬送するための第１の搬送システム１１２、及び第１の搬送経路Ｔ１から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路Ｔ２に沿ってキャリア１０を非接触方式で搬送するための第２の搬送システム１１４を含む。更に、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置Ｔ３へ、キャリア１０を移動するための経路切り替えアセンブリ１５０が設けられている。
【００９４】
経路切り替えアセンブリ１５０は、キャリアを保持及び／又は支持するように構成されたキャリア保持部分151を含み得る。キャリア保持部分151は、キャリアと共に経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。経路切り替えアセンブリ１５０は、経路切り替え方向Ｓにキャリアを移動させるように構成されている。キャリア保持部分１５１は、下方からキャリアを支持するための支持面又はキャリアの側面と接触するための機械的な又は磁気的なマウントを含み得る。キャリア保持部分１５１は、本明細書で説明される実施形態の何れかに従って構成され得る。
【００９５】
第１の搬送システム１１２は、垂直方向Ｖに可動であり得る下側トラックセクション１２１を含み、且つ／又は、第２の搬送システム１１４は、垂直方向Ｖに可動であり得る第２の下側トラックセクション１２３を含み得る。下側トラックセクション１２１と第２の下側トラックセクション１２３は、互いに対して隣りに且つ平行に配置され得る。それによって、キャリアは、特に、キャリア１０の配向を変更することなしに、下側トラックセクション１２１と第２の下側トラックセクション１２３との間で経路切り替え方向Ｓに移動され得る。言い換えると、経路切り替え中に、キャリアは、搬送方向Ｔに沿って整列した本質的に垂直配向を維持し得る。
【００９６】
図９Ａでは、第１の搬送システム１１２によって、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔにキャリアが非接触方式で搬送される。キャリアは、経路切り替えアセンブリ１５０が配置されている所定の位置で停止される。
【００９７】
他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、経路切り替えアセンブリ１５０が、キャリア１０の上側部分を保持及び／又は安定化するように構成された、上側保持デバイス１５４を更に含む。上側保持デバイス１５４は、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。上側保持デバイス１５４は、任意選択的に、垂直方向Ｖにも可動であり得る。上側保持デバイス１５４は、磁気浮揚がスイッチオフされたときに、キャリアが傾くように動くことを妨げるように構成され得る。
【００９８】
図９Ａ〜図９Ｄで描かれている実施形態では、キャリアの傾き動作を妨げるために、上側保持デバイス１５４が、キャリアの上側部分を非接触方式で安定化するように構成され得る。特に、上側保持デバイス１５４は、キャリアを経路切り替え方向に安定化するために、キャリアの上側部分と磁気的に相互作用し得る。
【００９９】
他の実施形態では、上側保持デバイス１５４は、キャリア１０の上側端部分と接触するように構成され得る。例えば、上側保持デバイス１５４は、上方からキャリアと接触しキャリアを掴むように構成された、フィンガ（指部）又は他の保持デバイスを含み得る。特に、上側保持デバイス１５４は、搬送システムによって提供される磁気浮揚がスイッチオフされたときに、キャリアを保持及び／又は安定化するように構成された、バネが取り付けられたフィンガを含み得る。
【０１００】
ある実施形態では、第１の搬送システム１１２によって提供される磁気浮揚力が、低減又はスイッチオフされ得る。それによって、キャリア１０は、下側トラックセクション１２１と機械的に接触するようになり、下側トラックセクション１２１上に支持される。例えば、キャリアは、第１の磁気浮揚システムの磁気浮揚力を徐々に低減させることによって、下側トラックセクション１２１上に滑らかに配置され得る。これは、図９Ｂで概略的に示されている。磁気浮揚がスイッチオフされたときに、キャリアの上側部分は、上側保持デバイス１５４によって安定化され得る。
【０１０１】
本開示の更なる一態様によれば、第１の搬送システムの下側トラックセクション１２１は、キャリア支持体を含み、キャリア保持部分１５１上にキャリアを下げるために、下向きの方向へ移動され得る。したがって、下側トラックセクション１２１上に支持されたキャリアを下げることによって、キャリアは、経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５１上に配置され得る。
【０１０２】
図９Ｃで描かれているように、下側トラックセクション１２１は、上側トラックセクション１２２から離れるように下向きの方向へ移動され得る。それによって、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離が増加される。下側トラックセクション１２１上に支持されたキャリア１０は、キャリア保持部分１５１上に下げられ配置される。
【０１０３】
下側トラック１２１上に支持されたキャリア１０の下向きの動きのおかげで、キャリア１０と上側トラックセクション１２２との間の距離は増加される。キャリア保持部分１５１によって支持されたキャリア１０に対する下側トラックセクション１２１の下向きの動きのおかげで、キャリアと下側トラックセクション１２１との間の距離は増加され得る。したがって、経路切り替え中のキャリア１０の上方及びキャリア１０の下方の自由スペースが増加されるので、経路切り替え方向Ｓにおけるキャリアの移動が容易にされ得る。
【０１０４】
図９Ｄで概略的に描かれているように、キャリア保持部分１５１上に支持されたキャリア１０を有するキャリア保持部分１５１は、第１の搬送経路Ｔ１から第２の搬送経路Ｔ２及び／又は処理位置へ、経路切り替え方向Sに移動され得る。処理位置では、基板が、（描かれていない）処理ツールによって処理され得る。
【０１０５】
第２の搬送経路Ｔ２に沿って設けられた第２の搬送システム１１４が、垂直方向に可動な第２の下側トラックセクション１２３を含み得る。第２の下側トラックセクション１２３は、キャリアが、第２の下側トラックセクション１２３と接触し、第２の下側トラックセクション１２３によってキャリア保持部分１５１から持ち上げられるまで、上向きの方向へ移動され得る。例えば、第２の下側トラックセクション１２３は、キャリア保持部分１５１の下方の高さからキャリア保持部分１５１の（描かれていない）上方の高さまで、上向きの方向へ移動され得る。
【０１０６】
その後、第２の搬送システム１１４の磁気浮揚がスイッチオンされ、第２の下側トラックセクション１２３と第２の上側トラックセクション１２４との間で、キャリアが非接触方式で保持され得る。その後、キャリアは、第２の搬送経路Ｔ２に沿って、例えば、搬送方向Ｔに非接触方式で搬送され得る。
【０１０７】
その後、経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５１は、第１の搬送経路Ｔ１へ向けて戻るように経路切り替え方向Ｓへ移動され、その後、後続のキャリアに対して経路切り替えが実行され得る。
【０１０８】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、第１及び第２の磁気浮揚システムの磁気浮揚力が低減され又はスイッチオフされたときに、上側保持デバイス１５４が、キャリア１０の上側部分を保持及び／又は安定化するように構成され得る。「キャリアの上側部分」は、上側５０％を含む垂直配向のキャリアの上側部分として、特に、垂直配向のキャリアの上側２０％として理解され得る。特に、上側保持デバイス１５４は、キャリアの上側端を安定化し得る。
【０１０９】
上側保持デバイス１５４は、例えば、キャリアの両側に、反対向きの安定化のための力を加えることによって、経路切り替え方向Ｓにおいてキャリアを安定化し得る。
【０１１０】
上側保持デバイス１５４は、キャリアの上側部分に反発する磁力を加えるための少なくとも１つの磁石ユニットを含み得る。本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態では、上側保持デバイス１５４が、第１のサイドからキャリア１０の上側部分に反発する磁力を加えるための第１の磁石ユニット３０２、及び第１のサイドとは反対側の第２のサイドからキャリア１０の上側部分に反発する磁力を加えるための第２の磁石ユニット３０４を含む。これは、図９Ｂで概略的に示されている。
【０１１１】
それぞれ、第１の磁石ユニット３０２及び第２の磁石ユニット３０４と磁気的に相互作用するためなどに、キャリア１０の上側部分に、磁気カウンターユニット（対応する磁気ユニット）が固定され得る。特に、上側保持デバイス１５４の第１の磁石ユニット３０２は、キャリアの第１のサイドに固定された第１の磁気カウンターユニットに反発する磁力を加え得る。且つ／又は、上側保持デバイス１５４の第２の磁石ユニット３０４は、第１のサイドとは反対側のキャリアの第２のサイドに固定された第２の磁気カウンターユニットに反発する磁力を加え得る。キャリアは、第１の磁石ユニット３０２と第２の磁石ユニット３０４との間の中央エリア内で非接触方式で安定化され得る。
【０１１２】
上側保持デバイス１５４は、例えば、搬送経路の間でキャリアを移動するために、キャリア保持部分１５１と共に且つキャリア保持部分１５１と同調して、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。
【０１１３】
図９Ａで例示的に描かれているように、上側保持デバイス１５４は、第１のアーム３１１と第２のアーム３１２を含み得る。第１のアーム３１１は、第２のアーム３１２から独立して、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。例えば、第１の磁石ユニット３０２などの第１のサイドの安定化ユニットが、第１のアーム３１１に固定され得る。そして、第２の磁石ユニット３０４などの第２のサイドの安定化ユニットが、第２のアーム３１２に固定され得る。磁気浮揚をスイッチオフする前に、第１のアーム３１１と第２のアーム３１２との間でキャリアを安定化させるために、第１のアーム３１１が、第１のサイドからキャリアに向けて移動され、第２のアーム３１２が、第２のサイドからキャリアに向けて移動され得る。
【０１１４】
特に、上側保持デバイス１５４は、経路切り替え方向Ｓに可動であり得る。それによって、キャリアの上側部分は、キャリアの経路切り替え中に非接触方式で保持され安定化され得る。
【０１１５】
ある実施形態では、上側保持デバイス１５４が、経路切り替え方向Ｓに可動であるが、垂直方向Ｖに可動ではない。他の実施形態では、上側保持デバイス１５４が、経路切り替え方向Ｓと垂直方向Ｖに可動である。
【０１１６】
本明細書で説明される他の実施形態と組み合され得る、ある実施形態によれば、上側保持デバイス１５４は、上側保持デバイス１５４に対するキャリアの垂直方向の動きの間に、キャリアの側方安定化を提供するように構成され得る。例えば、上側保持デバイス１５４は、（図９Ｂで示されている）上側保持デバイス１５４に対する第１の垂直方向位置と（図９Ｃで示されている）上側保持デバイス１５４に対する第２の垂直方向位置に配置されたキャリアの側方安定化を提供し得る。第１の垂直方向位置と第２の垂直方向位置は、例えば、３０ｍｍ以上、特に、５０ｍｍ以上の距離だけ互いから垂直方向にオフセットされ得る。特に、上側保持デバイスは、上側保持デバイスを垂直方向に動かすことなしに、第１の垂直高さと第２の垂直高さに設けられたキャリアのための側方安定化を提供し得る。
【０１１７】
ある実施形態では、上側保持デバイス１５４の少なくとも１つの磁石ユニット及び／又はキャリア１０に設けられた少なくとも１つの磁気カウンターユニットが、３０ｍｍ以上、特に、４０ｍｍ以上、更に特に、５０ｍｍ以上の垂直方向の寸法を有し得る。したがって、磁気カウンターユニットが、磁石ユニットに対して、例えば、３０ｍｍ以上の距離だけ垂直方向にシフトされたときに、少なくとも１つの磁石ユニットは、キャリアの少なくとも１つの磁気カウンターユニットと磁気的に相互作用し得る。
【０１１８】
本明細書で説明される更なる一態様によれば、真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法が説明される。
【０１１９】
図１０は、本発明で説明される実施形態による第１の方法を示しているフロー図である。
【０１２０】
ボックス９１０では、キャリア１０が、特に、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間で、第１の搬送経路Ｔ１に沿って搬送方向Ｔに非接触方式で搬送される。キャリアは、下側トラックセクションと上側トラックセクションとの間で、磁気浮揚システムによって非接触方式で搬送され得る。
【０１２１】
ボックス９２０では、例えば、キャリア保持部分上にキャリアを支持することによって、又は別のやり方でキャリアをキャリア保持部分１５１に吊り下げる若しくは取り付けることによって、経路切り替えアセンブリのキャリア保持部分１５１と接触するようにキャリアが運ばれる。
【０１２２】
ボックス９３０では、キャリア保持部分によって保持されたキャリアが、第１の搬送経路Ｔ１から離れるように、搬送経路Ｔを横切る、特に、搬送経路Ｔと本質的に垂直な経路切り替え方向Ｓへ移動される。特に、キャリアは、キャリア保持部分によって経路切り替え方向に押され又は引き付けられ得る。
【０１２３】
ある実施形態では、キャリアの経路切り替えは、キャリア保持部分１５１上にキャリアを下げること、経路切り替え方向Ｓにキャリアを移動させること、及びキャリア保持部分１５１からキャリアを持ち上げることを含み得る。
【０１２４】
例えば、特に、第１の搬送システムによって提供される磁気浮揚力を低減させ又はスイッチオフすることによって、第１の搬送システム１１２の下側トラックセクション１２１上にキャリアが配置され得る。
【０１２５】
その後、下側トラックセクション１２１上に支持されたキャリアを有する下側トラックセクション１２１は、下向きの方向へ移動され得る。特に、第１の搬送システムの上側トラックセクション１２２から離れるように、下側トラックセクション１２１を垂直方向に移動させるための、アクチュエータが設けられ得る。したがって、下側トラックセクション１２１と上側トラックセクション１２２との間の距離は、アクチュエータを介して増加され得る。
【０１２６】
キャリアが、経路切り替えアセンブリ１５０のキャリア保持部分１５１上に下げられ得る。経路切り替えアセンブリ１５０は、キャリア保持部分１５１上に支持されたキャリアを、経路切り替え方向Ｓに移動させる。キャリア保持部分１５１を経路切り替え方向Ｓに移動させるための駆動デバイス、特に、交差駆動が設けられ得る。
【０１２７】
第２の搬送経路Ｔ２に沿って設けられた第２の搬送システム１１４の第２の下側トラックセクション１２３が、上向きの方向に移動され得る。第２の下側トラックセクション１２３は、キャリアが、キャリア保持部分１５１から持ち上げられ、キャリア保持部分１５１の上方の所定の高さに配置されるまで、上向きの方向へ移動され得る。特に、第２の下側トラックセクション１２３は、第２の搬送システムの第２の上側トラックセクションに向けて移動され得る。したがって、第２の下側トラックセクションと第２の上側トラックセクションとの間の距離は、第２の搬送システム１１４によってキャリアを非接触方式で搬送することを可能にするために低減され得る。
【０１２８】
その後、キャリアは、第２の搬送システム１１４を用いて、第２の搬送経路Ｔ２に沿って非接触方式で搬送され得る。
【０１２９】
以上の説明は本開示の実施形態を対象としているが、本開示の基本的な範囲を逸脱することなく本開示の他の更なる実施形態を考案することができ、本開示の範囲は、以下の特許請求の範囲によって定められる。
【図１】
2019532485.tif 000003
【図２】
2019532485.tif 000004
【図３Ａ】
2019532485.tif 000005
【図３Ｂ】
2019532485.tif 000006
【図３Ｃ】
2019532485.tif 000007
【図４】
2019532485.tif 000008
【図５】
2019532485.tif 000009
【図６】
2019532485.tif 000010
【図７】
2019532485.tif 000011
【図８】
2019532485.tif 000012
【図９Ａ】
2019532485.tif 000013
【図９Ｂ】
2019532485.tif 000014
【図９Ｃ】
2019532485.tif 000015
【図９Ｄ】
2019532485.tif 000016
【図１０】
2019532485.tif 000017
【手続補正書】
【提出日】平成30年9月28日(2018.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空チャンバ（１０１）内でキャリア（１０）を搬送するための装置（１００）であって、
第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）に前記キャリアを非接触方式で搬送するように構成された第１の搬送システム（１１２）、及び
前記第１の搬送経路（Ｔ１）から離れるように経路切り替え方向（Ｓ）へ前記キャリアを移動させるために前記キャリア（１０）と機械的に接触するように構成されたキャリア保持部分（１５１）を備えた経路切り替えアセンブリ（１５０）を備える、装置。
【請求項２】
前記第１の搬送経路（Ｔ１）から水平方向にオフセットされた第２の搬送経路（Ｔ２）に沿って前記キャリアを非接触方式で搬送するように構成された第２の搬送システム（１１４）を更に備え、前記キャリア保持部分（１５１）が、前記第１の搬送経路（Ｔ１）から前記第２の搬送経路（Ｔ２）と前記第１及び第２の搬送経路から水平方向にオフセットされた処理位置（Ｔ３）のうちの少なくとも一方へ前記キャリアを移動するために、前記経路切り替え方向（Ｓ）に可動である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記キャリア保持部分（１５１）が、垂直方向（Ｖ）に可動である、請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記キャリア保持部分（１５１）が、前記キャリアの側面と係合するように構成されたマウント、前記キャリアの上面と係合するように構成されたマウント、及び前記キャリアの内面と係合するように構成されたマウント、のうちの少なくとも１つを備える、請求項１から３のいずれか一項に記載の装置。
【請求項５】
前記キャリア保持部分（１５１）が、下方から前記キャリアを支持するための支持面を備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
前記キャリア保持部分（１５１）が、磁気チャックを備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記キャリア保持部分（１５１）が、機械的なマウント、特に、前記キャリア保持部分（１５１）に前記キャリアと吊り下げるためのフックを備える、請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記第１の搬送システム（１１２）が、下側トラックセクション（１２１）、上側トラックセクション（１２２）、及び前記下側トラックセクション（１２１）と前記上側トラックセクション（１２２）との間の距離を変更するように構成されたアクチュエータ（１２５）を備える、請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記第１の搬送システム（１１２）が、前記キャリア保持部分（１５１）上に前記キャリアを下げるために垂直方向に可動なキャリア支持体を有する下側トラックセクション（１２１）を備える、請求項１から７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記経路切り替えアセンブリ（１５０）が、前記キャリア（１０）の上側部分を保持すること及び安定化することから成る群のうちの少なくとも一方を行うように構成された上側保持デバイス（１５４）であって、前記経路切り替え方向（Ｓ）に可動である、上側保持デバイス（１５４）を更に備える、請求項１から９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
前記上側保持デバイス（１５４）が、前記キャリアの前記上側部分に反発する磁力を加えるための少なくとも１つの磁石ユニットを備える、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
真空チャンバ内でキャリア（１０）を搬送するための装置であって、
第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）に設けられた第１の磁気浮揚システムであって、前記搬送方向（Ｔ）に前記キャリアを非接触方式で搬送するように構成された、第１の磁気浮揚システム、及び
経路切り替え方向（Ｓ）に可動であり且つキャリア接触部分を備えたキャリア保持部分（１５１）を備える経路切り替えアセンブリ（１５０）を備える、装置。
【請求項１３】
基板を真空処理するためのシステムであって、
真空チャンバ（１０１）、
請求項１から１２のいずれか一項に記載の装置（１００）、並びに
前記真空チャンバ（１０１）内に配置され、堆積源、蒸発源、スパッタ源、表面処理ツール、加熱デバイス、洗浄デバイス、エッチングツール、及びそれらの組み合わせから成る群から選択された、１以上の処理ツール（１０５）を備える、システム。
【請求項１４】
真空チャンバ内でキャリアを搬送するための方法であって、
第１の搬送経路（Ｔ１）に沿って搬送方向（Ｔ）にキャリア（１０）を非接触方式で搬送すること、
経路切り替えアセンブリ（１５０）のキャリア保持部分（１５１）と接触するように前記キャリアを運ぶこと、及び
前記第１の搬送経路（Ｔ１）から離れるように前記搬送方向（Ｔ）を横切る経路切り替え方向（Ｓ）へ前記キャリア保持部分（１５１）によって保持された前記キャリアを移動することを含む、方法。
【請求項１５】
前記キャリア（１０）が、前記キャリア保持部分（１５１）上に下げられ、前記経路切り替え方向（Ｓ）に移動され、前記キャリア保持部分（１５１）から持ち上げられる、請求項１４に記載の方法。
【国際調査報告】
2019532485.tif 000018
2019532485.tif 000019