(57)【要約】  本出願は、バイオセンサーに関し、本発明の一側面によるバイオセンサーは、印刷技法による製造が容易であり、大量生産が可能であり、一つの溶液内で多量の検出因子を個別的／連続的に測定することができる。
2019536259.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板；
基板上に設けられたゲート電極；
ゲート電極上に設けられた絶縁層；
絶縁層上に設けられたｎ−ｔｙｐｅチャンネル；
ｎ−ｔｙｐｅチャンネル上にソース電極及びドレイン電極をそれぞれ形成する第１電極層；
第１電極層を取り囲むように設けられた第２電極層；
基板上に位置し、第１電極層と同一の材質で形成された第３電極層；
第３電極層を取り囲むように設けられ、第２電極層と同一の材質で形成され、基準電極を提供する第４電極層；及び
第１電極層のソース電極とドレイン電極との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネルと基準電極の一部領域を共に取り囲む内周面を有し、ｎ−ｔｙｐｅチャンネルと内周面との間の空間及び基準電極と内周面との間の空間に流体が進入可能に設けられた流体チャンネルを形成するカバー部材を含む、バイオセンサー。
【請求項２】
第１電極層と第２電極層は、互いに異なる材質で形成される、請求項１に記載のバイオセンサー。
【請求項３】
第２電極層は、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｕ）、及びルテニウム（Ｒｕ）からなるグループより選択された一つ以上で形成される、請求項２に記載のバイオセンサー。
【請求項４】
前記ｎ−ｔｙｐｅチャンネルは、ＩＧＺＯ、ＺｎＯ、ＺＴＯ、ＩＺＯ、ＩＨＺＯ、ＡＩＮ、ＩｎＮ、ＧａＮ及びＩｎＧａＮで構成される群より選択されるいずれか一つのｎ−ｔｙｐｅ物質からなる、請求項１から３のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
【請求項５】
第１電極層であるソース電極及びドレイン電極は、流体チャンネルの外部に位置する、請求項１から４のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
【請求項６】
ゲート電極及び絶縁層は、基板と第３電極層との間に順に位置する、請求項１から４のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
【請求項７】
ｎ−ｔｙｐｅチャンネルは、絶縁層と第３電極層との間に位置する、請求項６に記載のバイオセンサー。
【請求項８】
基板；
基板上に第１方向に沿って長く延びるゲート電極；
ゲート電極上に設けられた絶縁層；
絶縁層上に設けられたｎ−ｔｙｐｅチャンネル；
ｎ−ｔｙｐｅチャンネル上に第１方向とは異なる第２方向に沿って離れて設けられた第１ソース電極及び第１ドレイン電極と、第１ソース電極及び第１ドレイン電極と第１方向に沿って離れて位置し、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル上に第２方向に沿って所定間隔で離れて設けられた第２ソース電極及び第２ドレイン電極と、をそれぞれ形成する第１電極層；
第１電極層を取り囲む第２電極層；
基板上に位置し、第１電極層と同一の材質で形成された第３電極層；
第１ソース電極及び第１ドレイン電極と第１方向に沿って離れて位置し、第２電極層と同一の材質で第３電極層を取り囲むように形成される第１基準電極と、第２ソース電極及び第２ドレイン電極と第１方向に沿って離れて位置し、第２電極層と同一の材質で第３電極層を取り囲むように形成される第２基準電極と、をそれぞれ提供する第４電極層；及び
第１ソース電極と第１ドレイン電極との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネルと、第２ソース電極と第２ドレイン電極との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネル及び第１及び第２基準電極のそれぞれの一部領域を共に取り囲む内周面を有し、露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネルと前記内周面との間の空間と、第１及び第２基準電極と前記内周面との間の空間に流体が進入可能に設けられた流体チャンネルを形成するカバー部材を含む、バイオセンサー。
【請求項９】
第１ソース電極と第１ドレイン電極及び第１基準電極は、第１感知部を構成するように設けられ、
第２ソース電極と第２ドレイン電極及び第２基準電極は、第２感知部を構成するように設けられる、請求項８に記載のバイオセンサー。
【請求項１０】
第１感知部と第２感知部は、独立的に駆動可能である、請求項９に記載のバイオセンサー。
【請求項１１】
第１電極層と第２電極層は、互いに異なる材質で形成される、請求項８から１０のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
【請求項１２】
第２電極層は、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｕ）及びルテニウム（Ｒｕ）からなるグループより選択された一つ以上で形成される、請求項１１に記載のバイオセンサー。
【請求項１３】
第１電極層である第１及び第２ソース電極と第１及び第２ドレイン電極は、それぞれ流体チャンネルの外部に位置する、請求項８から１２のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願との相互引用
本出願は、２０１６年１１月２３日に出願された大韓民国特許出願第１０−２０１６−０１５６３７５号に基づく優先権の利益を主張し、該当大韓民国特許出願の文献に開示されたすべての内容は本明細書の一部として組み込まれる。
【０００２】
技術分野
本発明は、バイオセンサーに関する。
【背景技術】
【０００３】
バイオ物質を検出するバイオセンサーのうちトランジスターを基盤とするバイオセンサーに対する研究が活発に行われている。
【０００４】
一方、従来のトランジスターを利用して液状の分子を吸着／測定するバイオセンサーは、上部から液体を注いで作り、この溶液上に基準電極であるＡｇ／ＡｇＣｌをつけて用いているが、これは精緻な溶液の定量測定が難しいだけでなく、大量生産型の印刷電極基板に立体型基準電極を作りにくい問題を有する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、基準電極層を含んだ薄膜型バイオセンサー素子を印刷技法により容易に製作することができ、大量生産が可能であるバイオセンサーを提供することを、解決しようとする課題とする。
【０００６】
また、本発明は、一つの溶液内で多量の検出因子を個別的／連続的に測定することができるバイオセンサーを提供することを、解決しようとする課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するために、本発明の一側面に係るバイオセンサーは、感知部、及び前記感知部に装着され、その間の空間に流体チャンネルを形成するカバー部材を含む。
【０００８】
前記感知部は、基板と、基板上に設けられたゲート電極と、ゲート電極上に設けられた絶縁層と、絶縁層上に設けられたｎ−ｔｙｐｅチャンネルと、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル層上に互いに離れて位置するソース電極及びドレイン電極とをそれぞれ形成する第１電極層とを含む。
【０００９】
また、前記感知部は、第１電極層を取り囲むように設けられた第２電極層、及び基板上に位置し、第１電極層と同一の材質で形成された第３電極層を含む。
【００１０】
また、前記感知部は、第３電極層を取り囲むように設けられ、第２電極層と同一の材質で形成され、基準電極を提供する第４電極層を含む。
【００１１】
また、前記カバー部材は、第１電極層のソース電極とドレイン電極との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネルと基準電極の一部領域を共に取り囲む内周面を有する。
【００１２】
また、前記カバー部材は、ｎ−ｔｙｐｅチャンネルと内周面との間の空間、及び基準電極と内周面との間の空間に流体が進入可能に設けられた流体チャンネルを形成する。
【発明の効果】
【００１３】
以上で説明したように、本発明の少なくとも一実施例に係るバイオセンサーによると、基準電極層を含んだ薄膜型バイオセンサー素子を印刷技法により容易に製作することができ、大量生産が可能であり、且つ一つの溶液内で多量の検出因子を個別的／連続的に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施例に係るバイオセンサーの概念図である。
【図２】図１の線Ａ−Ａ'に沿って切り取った状態の断面図である。
【図３】図１の線Ｂ−Ｂ'に沿って切り取った状態の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施例によるバイオセンサーを添付の図面を参照して詳しく説明する。
【００１６】
また、図面符号に関係なく同一であるか対応する構成要素は、同一または類似の参照番号を付与し、これに対する重複説明は省略する。説明の便宜のため、図示された各構成部材のサイズ及び形状は誇張するか縮小することがある。
【００１７】
図１は、本発明の一実施例に係るバイオセンサーの概念図であり、図２は、図１の線Ａ−Ａ'に沿って切り取った状態の断面図であり、図３は、図１の線Ｂ−Ｂ'に沿って切り取った状態の断面図である。
【００１８】
図２及び図３を参照すると、バイオセンサー１００は、感知部、及び前記感知部に装着され、その間の空間に流体チャンネルＣを形成するカバー部材１９０を含む。
【００１９】
前記感知部は、基板１１０、ゲート電極１４０、絶縁層１５０、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０、第１電極層１７０、第２電極層１８０、第３電極層２００及び第４電極層２１０を含む。
【００２０】
前記第１電極層１７０は、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０上にソース電極１２０及びドレイン電極１３０をそれぞれ形成する。
【００２１】
図２を参照すると、第２電極層１８０は、第１電極層１７０を取り囲むように設けられる。具体的に、第２電極層１８０は、第１電極層１７０であるソース電極１２０とドレイン電極１３０をそれぞれ取り囲むように設けられる。
【００２２】
図３を参照すると、バイオセンサー１００は、基板１１０上に位置し、第１電極層１７０と同一の材質で形成された第３電極層２００、及び第３電極層２００を取り囲むように設けられ、第２電極層１８０と同一の材質で形成され、基準電極を提供する第４電極層180を含む。
【００２３】
具体的に、バイオセンサー１００は、基板１１０、基板１１０上に設けられたゲート電極１４０、ゲート電極１４０上に設けられた絶縁層１５０、及び前記絶縁層１５０上に設けられたｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０を含む。
【００２４】
前記基板１１０としては、ガラス基板やプラスチック基板が用いられ、バイオセンサー１００に適用されるものであれば、特に制限されない。
【００２５】
前記ゲート電極１４０は、金属で形成してもよく、例えば、クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、チタン／銀（Ｔｉ／Ａｕ）、金（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、及び白金（Ｐｔ）で構成されるグループより選択してもよい。
【００２６】
また、前記絶縁層１５０は、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＨｆＯ２、またはＳｉＮｘなどで形成されてもよい。
【００２７】
本発明で使用可能であるｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０は、ＩＧＺＯ、ＺｎＯ、ＺＴＯ、ＩＺＯ、ＩＨＺＯ、ＡＩＮ、ＩｎＮ、ＧａＮ及びＩｎＧａＮで構成されるグループより選択されるいずれか一つのｎ−ｔｙｐｅ物質からなってもよい。
【００２８】
特に、ＩＧＺＯからなるｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０が好ましいが、これは、優れた光学透明性、非結晶構造、高い電子移動性を有しており、さらに、ＩＧＺＯチャンネルは、直接ａｃｔｉｖｅ  ｍａｔｒｉｘ  ｂａｃｋｐｌａｎｅとして機能することが可能であるので、別途の集積化工程を省略できる長所がある。
【００２９】
また、バイオセンサー１００は、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０上に所定間隔で離れて設けられたソース電極１２０及びドレイン電極１３０を含む。また、バイオセンサー１００は、第１電極層１７０であるソース電極１２０及びドレイン電極１３０をそれぞれ取り囲むように設けられた第２電極層１８０、及びソース電極１２０及びドレイン電極１３０から離れて位置し、第２電極層１８０と同一の材質で形成され、基準電極を提供する第４電極層２１０を含む。
【００３０】
前記第１電極層１７０であるソース電極１２０及びドレイン電極１３０は、例えば、それぞれ金属で形成してもよく、例えば、クロム（Ｃｒ）、チタン／金（Ｔｉ／Ａｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）及びタングステン（Ｗ）で構成されるグループより選択してもよい。
【００３１】
また、バイオセンサー１００は、ソース電極１２０とドレイン電極１３０との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネル層１６０と基準電極の一部領域を共に取り囲む内周面１９１を有するカバー部材１９０を含む。前記カバー部材１９０は、露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０と内周面１９１との間の空間及び第４電極層２００である基準電極と内周面１９１との間の空間に流体（例えば、サンプル溶液）が進入可能に設けられた流体チャンネルＣを形成する。前記カバー部材１９０は、シリコンなどで形成可能であり、例えば、ＰＤＭＳで形成してもよい。また、流体チャンネルＣの内部に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０上には捕集部Ｒが設けられてもよい。
【００３２】
第１電極層１７０であるソース電極１２０及びドレイン電極１３０は、流体チャンネルＣの外部に位置する。すなわち、ソース電極１２０及びドレイン電極１３０は、直接サンプル溶液と接触しないように設けられる。また、第４電極層２００である基準電極は、直接サンプル溶液と接触するように流体チャンネルＣの内部に露出する。
【００３３】
一方、第２電極層１８０と第１電極層１７０は、互いに異なる材質（例えば、互いに異なる金属材質）で形成されてもよい。また、第２電極層１８０及び第４電極層２１０は、例えば、貴金属（ｎｏｂｌｅ  ｍｅｔａｌ）で形成してもよく、具体的に、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｕ）、及びルテニウム（Ｒｕ）からなるグループより選択された一つ以上で形成してもよい。
【００３４】
図３を参照すると、ゲート電極１４０及び絶縁層１５０は、基板１１０と第３電極層２００との間に順に位置するこができる。また、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０は、絶縁層１５０と第３電極層２００との間に順に位置することができる。
【００３５】
これは、製造工程の単純化のためであり、第４電極層２１０がｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０上にまたは第３電極層２００上に必ず形成される必要はない。すなわち、基準電極を提供する第４電極層２１０は、基板１１０上に配置され、一部領域が流体チャンネルＣの内に位置するように形成してもよい。
【００３６】
ただし、バイオセンサー１００の製造過程を説明すると、第３電極層２００と共に第１電極層１７０であるソース電極１２０とドレイン電極１３０を形成する際に、第４電極層２１０の下部にも第３電極層２００を形成することができる。また、第１電極層１７０と第３電極層２００を形成した後、同一のマスク（ｍａｓｋ）で第２電極層１８０と第４電極層２１０を共に形成してもよい。すなわち、印刷技法を利用して製造工程を簡素化することができる。
【００３７】
ＴＦＴにおいてソース電極１２０とゲート電極１４０との間に一定の電圧が印加されると、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０で伝導チャンネル（ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  ｃｈａｎｎｅｌ）が形成され、これを通じて、ソース電極１２０とドレイン電極１３０との間に電子が移動することができる。そして、サンプル溶液のターゲットバイオ分子が吸着されて表面のポテンシャル（ｐｏｔｅｎｔｉａｌ）エネルギーが変わるようになると、ｎ−ｔｙｐｅの伝導チャンネル１６０に流れる電流の量が変わるようになり、結局、このような電流の変化からターゲットバイオ分子の有無または濃度を算出するようになる。
【００３８】
図１を参照すると、バイオセンサー１００は、一つの溶液内で多量の検出因子を個別的／連続的に測定可能に設けられてもよい。
【００３９】
そのため、バイオセンサー１００は、基板１１０と、基板１１０上に第１方向に沿って長く延びるゲート電極１４０と、ゲート電極１４０上に設けられた絶縁層１５０と、絶縁層１５０上に設けられたｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０とを含む。
【００４０】
また、前記バイオセンサー１００は、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０上に第１方向とは異なる第２方向に沿って所定間隔で離れて設けられた第１ソース電極１２０−１及び第１ドレイン電極１３０−１と、第１ソース電極１２０−１と第１ドレイン電極１３０−１と第１方向に沿って離れて位置し、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０上に第２方向に沿って所定間隔で離れて設けられた第２ソース電極１２０−２及び第２ドレイン電極１３０−２とをそれぞれ形成する第１電極層１７０を含む。前記第１方向は、流体チャンネルで流体が流れる方向を示し、第２方向は、ソース電極とドレイン電極の連結線方向を示すことができる。また、第１方向と第２方向は、実質的に直交する方向であってもよい。
【００４１】
図２を参照すると、バイオセンサー１００は、第１電極層１７０であるソース電極１２０及びドレイン電極１３０をそれぞれ取り囲むように設けられた第２電極層１８０を含む。
【００４２】
図３を参照すると、バイオセンサー１００は、基板１１０上に位置し、第１電極層１７０と同一の材質で形成された第３電極層２００を含む。また、前記バイオセンサー１００は、第３電極層２００上に設けられた第４電極層２１０を含み、第４電極層２１０は、第１基準電極及び第２基準電極をそれぞれ提供する。このとき、第１基準電極２１０−１は、第１ソース／ドレイン電極１２０−１、１３０−１と第１感知部とを構成し、第２基準電極２１０−２は、第２ソース／ドレイン電極１２０−２、１３０−２と第２感知部とを構成する。
【００４３】
具体的に、第４電極層２１０は、第１ソース電極１２０−１及び第１ドレイン電極１３０−１と第１方向に沿って離れて位置し、第２電極層１８０と同一の材質で第３電極層２００を取り囲むように形成された第１基準電極２１０−１、及び第２ソース電極１２０−２及び第２ドレイン電極１３０−２と第１方向に沿って離れて位置し、第２電極層１８０と同一の材質で第３電極層２００を取り囲むように形成された第２基準電極を含む。
【００４４】
前記バイオセンサー１００において、第１基準電極２１０−１を反応の基準電位として設定し、第１ソース電極１２０−１と第１ドレイン電極１３０−１との間の電流を測定することで、一つのセンサー（第１感知部）の機能を行う。また、第２基準電極２１０−２を反応の基準電位として設定し、第２ソース電極１２０−２と第２ドレイン電極１３０−２との間の電流を測定することで、また他のセンサー（第２感知部）の機能を行う。このような方式で一つの流体チャンネルＣに複数の感知部を形成することができる。
【００４５】
また、バイオセンサー１００は、カバー部材１９０を含み、前記カバー部材１９０は、第１ソース電極１２０−１と第１ドレイン電極１３０−１との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネルと、第２ソース電極１２０−２と第２ドレイン電極１３０−２との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネル、及び第１及び第２基準電極のそれぞれの一部領域を共に取り囲む内周面１９１を有する。また、前記カバー部材１９０は、露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネルと内周面との間の空間と、第１及び第２基準電極と内周面との間の空間に流体が進入可能に設けられた流体チャンネルＣを形成する。
【００４６】
上述のように、前記流体チャンネルＣは、第１方向に沿って長く形成される。また、第１方向に沿って、第１ソース及びドレイン電極１２０−１、１３０−１、第１基準電極２１０−１、第２ソース及びドレイン電極１２０−２、１３０−２、第２基準電極２１０−２が順に位置する。
【００４７】
第１ソース及び第１ドレイン電極１２０−１、１３０−１と第２ソース及び第２ドレイン電極１２０−２、１３０−２は、上述のソース電極及びドレイン電極１２０、１３０とそれぞれ同一であり、ただし、ゲート電極上で第１方向に沿って形成された位置のみが異なる。また、第１及び第２基準電極２１０−１、２１０−２は、上述の基準電極と同一である。
【００４８】
一方、第１感知部と第２感知部は、独立的に駆動可能に設けられる。すなわち、前記バイオセンサー１００は、複数の感知部を含んでいてもよく、それぞれの感知部は、独立的に駆動可能に設けられていてもよい。また、バイオセンサー１００は、流体チャンネルＣにサンプル溶液を流すようになると、流体チャンネルＣに沿って複数の感知部が配列された構造を有する。
【００４９】
第１及び第２基準電極２１０−１、２１０−２がｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０上にまたは第３電極層２００上に必ず形成される必要はない。すなわち、各々の基準電極２１０−１、２１０−２は、基板１１０上に配置され、一部の領域が流体チャンネルＣの内に位置するように形成してもよい。
【００５０】
上述のように、バイオセンサー１００の製造過程によると、第１電極層１７０を形成する際に、該当基準電極２００−１、２００−２の下部にも第３電極層２００が形成されていてもよい。
【００５１】
図３を参照すると、基板１１０と、ゲート電極１４０、絶縁層１５０、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル１６０、第３電極層２００及び第４電極層２１０が順に設けられていてもよい。また、第１電極層１７０と第３電極層２００を形成するときに使用した同一のマスク（ｍａｓｋ）で、第２電極層１８０と第４電極層２１０を同時に形成することができ、このように印刷技法を利用して製造工程を簡素化することができる。
【００５２】
また、本発明の一実施例に係るバイオセンサー１００は、Ｎ（Ｎ＞１）個の感知部を含んでいてもよく、例えば、第３ソース電極１２０−３と第３ドレイン電極１３０−３及び第３基準電極２１０−３を含む第３感知部をさらに含んでいてもよい。
【００５３】
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、これは例示的なものに過ぎず、本発明が属する技術の分野における通常の知識を有する当業者であれば、本発明の思想と範囲内で、多様な修正、変更、付加が可能である。このような修正、変更及び付加は、下記の特許請求の範囲に含まれるものと解釈すべきである。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の少なくとも一実施例に係るバイオセンサーによると、基準電極層を含んだ薄膜型バイオセンサー素子を印刷技法により容易に製作することができ、大量生産が可能であり、一つの溶液内で多量の検出因子を個別的／連続的に測定することができる。
【００５５】
［項目１］
基板；
基板上に設けられたゲート電極；
ゲート電極上に設けられた絶縁層；
絶縁層上に設けられたｎ−ｔｙｐｅチャンネル；
ｎ−ｔｙｐｅチャンネル上にソース電極及びドレイン電極をそれぞれ形成する第１電極層；
第１電極層を取り囲むように設けられた第２電極層；
基板上に位置し、第１電極層と同一の材質で形成された第３電極層；
第３電極層を取り囲むように設けられ、第２電極層と同一の材質で形成され、基準電極を提供する第４電極層；及び
第１電極層のソース電極とドレイン電極との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネルと基準電極の一部領域を共に取り囲む内周面を有し、ｎ−ｔｙｐｅチャンネルと内周面との間の空間及び基準電極と内周面との間の空間に流体が進入可能に設けられた流体チャンネルを形成するカバー部材を含む、バイオセンサー。
［項目２］
第１電極層と第２電極層は、互いに異なる材質で形成される、項目１に記載のバイオセンサー。
［項目３］
第２電極層は、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｕ）、及びルテニウム（Ｒｕ）からなるグループより選択された一つ以上で形成される、項目２に記載のバイオセンサー。
［項目４］
ｎ−ｔｙｐｅチャンネルは、ＩＧＺＯ、ＺｎＯ、ＺＴＯ、ＩＺＯ、ＩＨＺＯ、ＡＩＮ、ＩｎＮ、ＧａＮ及びＩｎＧａＮで構成される群より選択されるいずれか一つのｎ−ｔｙｐｅ物質からなる、項目１から３のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
［項目５］
第１電極層であるソース電極及びドレイン電極は、流体チャンネルの外部に位置する、項目１から４のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
［項目６］
ゲート電極及び絶縁層は、基板と第３電極層との間に順に位置する、項目１から４のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
［項目７］
ｎ−ｔｙｐｅチャンネルは、絶縁層と第３電極層との間に位置する、項目６に記載のバイオセンサー。
［項目８］
基板；
基板上に第１方向に沿って長く延びるゲート電極；
ゲート電極上に設けられた絶縁層；
絶縁層上に設けられたｎ−ｔｙｐｅチャンネル；
ｎ−ｔｙｐｅチャンネル上に第１方向とは異なる第２方向に沿って離れて設けられた第１ソース電極及び第１ドレイン電極と、第１ソース電極及び第１ドレイン電極と第１方向に沿って離れて位置し、ｎ−ｔｙｐｅチャンネル上に第２方向に沿って所定間隔で離れて設けられた第２ソース電極及び第２ドレイン電極と、をそれぞれ形成する第１電極層；
第１電極層を取り囲む第２電極層；
基板上に位置し、第１電極層と同一の材質で形成された第３電極層；
第１ソース電極及び第１ドレイン電極と第１方向に沿って離れて位置し、第２電極層と同一の材質で第３電極層を取り囲むように形成される第１基準電極と、第２ソース電極及び第２ドレイン電極と第１方向に沿って離れて位置し、第２電極層と同一の材質で第３電極層を取り囲むように形成される第２基準電極と、をそれぞれ提供する第４電極層；及び
第１ソース電極と第１ドレイン電極との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネルと、第２ソース電極と第２ドレイン電極との間に露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネル及び第１及び第２基準電極のそれぞれの一部領域を共に取り囲む内周面を有し、露出したｎ−ｔｙｐｅチャンネルと内周面との間の空間と、第１及び第２基準電極と内周面との間の空間に流体が進入可能に設けられた流体チャンネルを形成するカバー部材を含む、バイオセンサー。
［項目９］
第１ソース電極と第１ドレイン電極及び第１基準電極は、第１感知部を構成するように設けられ、
第２ソース電極と第２ドレイン電極及び第２基準電極は、第２感知部を構成するように設けられる、項目８に記載のバイオセンサー。
［項目１０］
第１感知部と第２感知部は、独立的に駆動可能である、項目９に記載のバイオセンサー。
［項目１１］
第１電極層と第２電極層は、互いに異なる材質で形成される、項目８から１０のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
［項目１２］
第２電極層は、金（Ａｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｕ）及びルテニウム（Ｒｕ）からなるグループより選択された一つ以上で形成される、項目１１に記載のバイオセンサー。
［項目１３］
第１電極層である第１及び第２ソース電極と第１及び第２ドレイン電極は、それぞれ流体チャンネルの外部に位置する、項目８から１２のいずれか一項に記載のバイオセンサー。
【図１】
2019536259.tif 000003
【図２】
2019536259.tif 000004
【図３】
2019536259.tif 000005
【国際調査報告】
2019536259.tif 000006
2019536259.tif 000007
2019536259.tif 000008
2019536259.tif 000009