(57)【要約】本発明は、少なくとも１つのコイルキャリヤ（１２）により保持されかつ少なくとも１つの導電性材料からなる導体トラック（２２）を含む少なくとも１つのコイル巻線（１４）のホルダ（１０）を有し、この場合、少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つの第１部分セクション（１４ａ）は付属コイルキャリヤ（１２）に固定され、および調節可能部分（１６）を有し、この場合、少なくとも１つのコイルキャリヤ（１２）および調節可能部分（１６）は、相互に、かつ少なくとも１つのばね要素（１８）を介してホルダ（１０）と、調節可能部分（１６）がホルダ（１０）に関して少なくとも１つの回転軸（２０）の周りに調節可能なように結合されている、マイクロメカニカル部品に関し、およびこの場合、少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つの第１部分セクション（１４ａ）が付属コイルキャリヤ（１２）に固定されている一方で、同一コイル巻線（１４）の少なくとも１つの第２部分セクション（１４ｂ）は、自立支持部分セクション（１４ｂ）として、付属コイルキャリヤ（１２）内に形成された少なくとも１つの中間隙間（２４）を展張する。【選択図】図１ａ
2019532828.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つのコイルキャリヤ（１２）により保持されかつ少なくとも１つの導電性材料からなる導体トラック（２２）を含む少なくとも１つのコイル巻線（１４）のホルダ（１０）を有し、この場合、少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つの第１部分セクション（１４ａ）は付属コイルキャリヤ（１２）に固定され、および
調節可能部分（１６）を有し、この場合、少なくとも１つのコイルキャリヤ（１２）および調節可能部分（１６）は、相互に、かつ少なくとも１つのばね要素（１８）を介してホルダ（１０）と、調節可能部分（１６）がホルダ（１０）に関して少なくとも１つの回転軸（２０）の周りに調節可能なように結合されている、マイクロメカニカル部品において、
少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つの第１部分セクション（１４ａ）が付属コイルキャリヤ（１２）に固定されている一方で、同一コイル巻線（１４）の少なくとも１つの第２部分セクション（１４ｂ）は、自立支持部分セクション（１４ｂ）として、付属コイルキャリヤ（１２）内に形成された少なくとも１つの中間隙間（２４）を展張することを特徴とするマイクロメカニカル部品。
【請求項２】
少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つの自立支持部分セクション（１４ａ）は、導体トラック（２２）の導体トラック部分セクション（２２ｘ）が、同一コイル巻線（１４）の他の導体トラック部分セクション（２２ａ、２２ｂ）と比較して、回転軸（２０）に対して最大間隔を有する、少なくとも１つのコイル巻線部分セクション（１４ｘ）を含む、請求項１に記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項３】
少なくとも１つのコイル巻線（１４）の導体トラック（２２）は、少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つの第１部分セクション（１４ａ）が装着された少なくとも１つのコイルキャリヤ（１２）のキャリヤ面（２８）と、それぞれ隣接する、中間隙間（２４）の境界を形成する同一コイルキャリヤ（１２）の外面（３２）の間に形成された少なくとも１つの端縁（３０）を超えて垂直に伸長する、請求項１または２に記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項４】
同一コイル巻線（１４）の隣接する導体トラック（２２）の間の中間容積は少なくとも１つの電気絶縁材料（２６）で充填されている、請求項１〜３のいずれかに記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項５】
少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つのコイルキャリヤ（１２）に向けられた側において、少なくとも、少なくとも１つのコイル巻線（１４）の第１部分セクション（１４ａ）とそれぞれの付属コイルキャリヤ（１２）の間に、電気絶縁緩衝層（４０）が形成されている、請求項１〜４のいずれかに記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項６】
少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つの自立支持部分セクション（１４ｂ）における電気絶縁緩衝層（４０）の少なくとも１つの自立支持部分セクション（４０ｂ）は、少なくとも１つの中間隙間（２４）を共に展張する、請求項５に記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項７】
少なくとも１つのコイルキャリヤ（１２）は、回転軸（２０）に沿ってまたはそれに平行に伸長する少なくとも１つの第１キャリヤウェブ（３４ａ、４２ａ）、および回転軸（２０）に沿ってまたはそれに平行に伸長する少なくとも１つの第２キャリヤウェブ（３４ｂ、４２ｂ）を含み、およびこの場合、調節可能部分（１６）および調節可能部分（１６）の固定領域は、第１キャリヤウェブ（３４ａ、４２ａ）と第２キャリヤウェブ（３４ｂ、４２ｂ）の間に位置する、請求項１〜６のいずれかに記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項８】
マイクロメカニカル部品のただ１つのコイル巻線（１４）は、第１キャリヤウェブ（３４ａ）および第２キャリヤウェブ（３４ｂ）にのみ固定されている、請求項７に記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項９】
マイクロメカニカル部品が正確に２つのコイル巻線（１４）を有し、および２つのコイル巻線（１４）の第１コイル巻線（１４）は第１キャリヤウェブ（４２ａ）にのみ、および２つのコイル巻線（１４）の第２コイル巻線（１４）は第２キャリヤウェブ（４２ｂ）にのみ固定されている、請求項７に記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項１０】
少なくとも１つのコイルキャリヤ（１２）は、さらに、回転軸（２０）に垂直に伸長する少なくとも１つのクロスビーム（３６）を含む、請求項７に記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項１１】
マイクロメカニカル部品のただ１つのコイル巻線（１４）は、第１キャリヤウェブ（３４ａ）、第２キャリヤウェブ（３４ｂ）および少なくとも１つのクロスビーム（３６）にのみ固定されている、請求項１０に記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項１２】
マイクロメカニカル部品が正確に２つのコイル巻線（１４）を有し、および２つのコイル巻線（１４）の第１コイル巻線（１４）は、第１キャリヤウェブ（４２ａ）および少なくとも１つの配置されたクロスビーム（３６）にのみ、および２つのコイル巻線（１４）の第２コイル巻線（１４）は、第２キャリヤウェブおよび少なくとも１つの配置されたクロスビーム（３６）にのみ固定されている、請求項１０に記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項１３】
マイクロメカニカル部品が正確に２つのコイル巻線（１４）を有し、第１および第２キャリヤウェブ（４２ａ、４２ｂ）のそれぞれ１つの第１端部にそれぞれ１つの第１支持ウェブ（４４ａ、４４ｂ）が、および第１および第２キャリヤウェブ（４２ａ、４２ｂ）のそれぞれ１つの第２端部にそれぞれ１つの第２支持ウェブ（４６ａ、４６ｂ）が配置され、および２つのコイル巻線（１４）の第１コイル巻線（１４）は、第１キャリヤウェブ（４２ａ）、配置された第１支持ウェブ（４４ａ）および配置された第２支持ウェブ（４６ａ）にのみ、および２つのコイル巻線（１４）の第２コイル巻線（１４）は、第２キャリヤウェブ（４２ａ）、配置された第１支持ウェブ（４４ｂ）および配置された第２支持ウェブ（４６ｂ）にのみ固定されている、請求項７に記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項１４】
マイクロメカニカル部品は、調節可能部分（１６）として調節可能ミラープレート（１６）を有するマイクロミラーである、請求項１〜１３のいずれかに記載のマイクロメカニカル部品。
【請求項１５】
少なくとも１つのコイルキャリヤ（１２）により保持されかつ少なくとも１つの導電性材料からなる導体トラック（２２）を含む少なくとも１つのコイル巻線（１４）および調節可能部分（１６）の、ホルダ（１０）への配置ステップを有し、この場合、少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つの第１部分セクション（１４ａ）は付属コイルキャリヤ（１２）に固定され、およびコイルキャリヤ（１２）および調節可能部分（１６）は、相互に、かつ少なくとも１つのばね要素（１８）を介してホルダ（１０）と、調節可能部分（１６）がホルダ（１０）に関して少なくとも１つの回転軸（２０）の周りに調節可能にホルダ（１０）に懸架されるように結合される（Ｓ１）、マイクロメカニカル部品の製造方法において、
少なくとも１つのコイル巻線（１４）の少なくとも１つの第１部分セクション（１４ａ）が付属コイルキャリヤ（１２）に固定された一方で、付属コイルキャリヤ（１２）内に形成された中間隙間（２４）が、同一コイル巻線（１４）の少なくとも１つの第２部分セクション（１４ｂ）により、自立支持部分セクション（１４ｂ）として展張される（Ｓ２）ことを特徴とするマイクロメカニカル部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロメカニカル部品に関する。同様に、本発明は、マイクロメカニカル部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
独国特許出願公開第１０２０１００６４２１８号明細書に、磁気駆動可能マイクロミラーが記載されている。マイクロミラーは、それぞれ１つのコイルキャリヤにより保持された２つのコイル巻線および両方のコイル巻線と結合されたミラーを含み、この場合、コイル巻線およびミラーは、２つのばねを介して、ミラーがコイル巻線の通電および外部磁界の作用によりホルダに関して回転軸の周りに調節されるようにホルダと結合されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】独国特許出願公開第１０２０１００６４２１８号明細書
【発明の概要】
【０００４】
本発明は、請求項１の特徴を有するマイクロメカニカル部品および請求項１５の特徴を有するマイクロメカニカル部品の製造方法を提供する。
それぞれ少なくとも１つの自立支持部分セクションを有するコイル巻線としての少なくとも１つのコイル巻線の形成、ないしは少なくとも１つの付属コイルキャリヤ内における、少なくとも１つの自立支持部分セクションによって展張された中間隙間の形成により、（回転軸に関する）少なくとも１つのコイルキャリヤの慣性モーメントが低減可能である。それに対応して、マイクロメカニカル部品の、回転軸周りの回転運動に調節可能な／調節される質量の（全）慣性モーメントが低減される。（全）慣性モーメントの低減は、本発明によるマイクロメカニカル部品のエネルギー消費／エネルギー需要を低減させ、およびこれにより、そのエネルギー供給の軽減およびその利用可能性の拡大に寄与する。さらに、（全）慣性モーメントの低減は、調節可能部分の回転軸周りの共振揺動運動の固有周波数を上昇させ、このことは、しばしば、（好ましくない揺動モードの同伴励起なしに）共振揺動運動の適切な励起を支援する。以下に詳細に説明されるように、（全）慣性モーメントの低減は、本発明によるマイクロ部品の落下抵抗の上昇にも寄与する。
【０００５】
マイクロメカニカル部品の有利な実施形態において、少なくとも１つのコイル巻線の少なくとも１つの自立支持部分セクションは、導体トラックの導体トラック部分セクションが、同一コイル巻線の他の導体トラック部分セクションと比較して、回転軸に対して最大間隔を有する、少なくとも１つのコイル巻線部分セクションを含む。これにより、回転軸に対する比較的大きな間隔に基づいて（全）慣性モーメントの上昇に著しく寄与するであろう少なくとも１つのコイルキャリヤの部分領域は、「節約され」または「省略され」ている。
【０００６】
少なくとも１つのコイル巻線の導体トラックは、少なくとも１つのコイル巻線の少なくとも１つの第１部分セクションが装着された少なくとも１つのコイルキャリヤのキャリヤ面と、それぞれ隣接する、中間隙間の境界を形成する同一コイルキャリヤの外面の間に形成された少なくとも１つの端縁を超えて垂直に伸長することが好ましい。少なくとも１つのそれぞれの端縁上における垂直な導体トラックのこの伸長は、少なくとも１つのコイル巻線の安定性の上昇に寄与する。したがって、本発明により提供可能な（回転軸に関する）（全）慣性モーメントの低減は、少なくともこの実施形態において、少なくとも１つのコイル巻線の安定性の低下がもたらされることはない。
【０００７】
例えば、同一コイル巻線の隣接する導体トラックの間の中間容積は少なくとも１つの電気絶縁材料で充填されていてもよい。隣接導体トラック間に充填された少なくとも１つの電気絶縁材料によってもまた、コイル巻線の安定性は上昇可能である。
【０００８】
その代わりとしてまたはその補足として、少なくとも１つのコイル巻線の少なくとも１つのコイルキャリヤに向けられた側において、少なくとも、少なくとも１つのコイル巻線の第１部分セクションとそれぞれの付属コイルキャリヤの間に、電気絶縁緩衝層が形成されていてもよい。少なくとも１つのコイル巻線の少なくとも１つの自立支持部分セクションにおける電気絶縁緩衝層の少なくとも１つの自立支持部分セクションは、少なくとも１つの中間隙間を共に展張することが好ましい。これもまた、それぞれのコイル巻線の安定性の向上に寄与する。
【０００９】
他の有利な実施形態において、少なくとも１つのコイルキャリヤは、回転軸に沿ってまたはそれに平行に伸長する少なくとも１つの第１キャリヤウェブ、および回転軸に沿ってまたはそれに平行に伸長する少なくとも１つの第２キャリヤウェブを含み、およびこの場合、調節可能部分および調節可能部分の固定領域は、第１キャリヤウェブと第２キャリヤウェブの間に位置する。特に、マイクロメカニカル部品のただ１つのコイル巻線は、第１キャリヤウェブおよび第２キャリヤウェブにのみ固定されていてもよい。同様に、マイクロメカニカル部品が正確に２つのコイル巻線を有し、および２つのコイル巻線の第１コイル巻線は第１キャリヤウェブにのみ、および２つのコイル巻線の第２コイル巻線は第２キャリヤウェブにのみ固定されていてもよい。両方の場合において、コイルキャリヤは、回転軸に関して比較的小さい慣性モーメントを有するにすぎない。
【００１０】
少なくとも１つのコイルキャリヤは、さらに、回転軸に垂直に伸長する少なくとも１つのクロスビームを含んでもよいことは任意である。マイクロメカニカル部品のただ１つのコイル巻線は、第１キャリヤウェブ、第２キャリヤウェブおよび少なくとも１つのクロスビームにのみ固定されていてもよい。マイクロメカニカル部品が正確に２つのコイル巻線を有するとき、２つのコイル巻線の第１コイル巻線は、第１キャリヤウェブおよび少なくとも１つのそれに配置されたクロスビームにのみ、および２つのコイル巻線の第２コイル巻線は、第２キャリヤウェブおよび少なくとも１つのそれに配置されたクロスビームにのみ固定されていてもよい。この場合においてもまた、コイルキャリヤの慣性モーメントは比較的低い。
【００１１】
マイクロメカニカル部品が正確に２つのコイル巻線を有するとき、第１および第２キャリヤウェブ（４２ａ、４２ｂ）のそれぞれ１つの第１端部にそれぞれ１つの第１支持ウェブ（４４ａ、４４ｂ）が、および第１および第２キャリヤウェブ（４２ａ、４２ｂ）のそれぞれ１つの第２端部にそれぞれ１つの第２支持ウェブ（４６ａ、４６ｂ）が配置され、および２つのコイル巻線の第１コイル巻線は、第１キャリヤウェブ、配置された第１支持ウェブおよび配置された第２支持ウェブにのみ、および２つのコイル巻線の第２コイル巻線は、第２キャリヤウェブ、配置された第１支持ウェブおよび配置された第２支持ウェブにのみ固定されていてもよい。これにより、この実施形態においてもまた、マイクロメカニカル部品の、回転軸周りの回転運動に調節可能な／調節される質量の低い（全）慣性モーメントが保証されている。
【００１２】
例えば、マイクロメカニカル部品は、調節可能部分として調節可能ミラープレートを有するマイクロミラーであってもよい。マイクロミラーとして形成されたマイクロメカニカル部品は多方面で使用可能である。しかしながら、マイクロメカニカル部品はマイクロミラーに限定しての形成されるのではないことを指摘しておく。
【００１３】
上記の利点は、マイクロメカニカル部品の対応製造方法の実行においてもまた保証されている。マイクロメカニカル部品の上記の実施形態による製造方法は拡張可能であることを指摘しておく。
【００１４】
本発明の他の特徴および利点が以下に図面により説明される。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】図１ａ〜図１ｄは、マイクロメカニカル部品の第１実施形態の略図を示す。
【図２】図２ａ〜図２ｃは、マイクロメカニカル部品の第２実施形態の略図を示す。
【図３】図３ａ〜図３ｃは、マイクロメカニカル部品の第３実施形態の略図を示す。
【図４】図４ａ，図４ｂは、マイクロメカニカル部品の第４実施形態の略図を示す。
【図５】図５ａ〜図５ｄは、マイクロメカニカル部品の第５実施形態の略図を示す。
【図６】図６は、マイクロメカニカル部品の製造方法の一実施形態を説明するための流れ図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図１ａ〜図１ｄは、マイクロメカニカル部品の第１実施形態の略図を示し、この場合、図１ａは平面図を、図１ｂは図１ａの線Ａ−Ａ´に沿った断面図を、図１ｃは図１ａの線Ｂ−Ｂ´に沿った断面図を、および図１ｄは図１ａの拡大部分切取図を示す。
【００１７】
図１ａ〜図１ｄに略図で示したマイクロメカニカル部品は、（部分的に示した）ホルダ１０（例えばハウジングまたはハウジング部分１０）、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２により保持された少なくとも１つのコイル巻線１４および調節可能部分１６を有する。少なくとも１つのコイルキャリヤ１２および調節可能部分１６は相互に結合されている。さらに、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２および調節可能部分１６は、少なくとも１つのばね要素１８を介して、調節可能部分１６がホルダ１０に関して少なくとも１つの回転軸２０の周りに調節可能なようにホルダ１０と結合されている。
【００１８】
図１ａ〜図１ｄの実施形態において、マイクロメカニカル部品は、例えば調節可能部分１６として調節可能なミラープレート１６を有するマイクロミラーである。しかしながら、マイクロメカニカル部品のこのような形成は単なる一例と解釈されるべきであることを指摘しておく。
【００１９】
少なくとも１つのコイル巻線１４は、それぞれ、少なくとも１つの導電性材料からなる導体トラック２２を含む。例えば、導体トラック２２は、少なくとも１つの導電性材料として銅（Ｃｕ）から形成されていてもよい。しかしながら、少なくとも１つのコイル巻線１４／導体トラック２２の形成可能性は、少なくとも１つの導電性材料として銅の使用に限定されないことを指摘しておく。例えば、導体トラック２２は（ドーピングされた）ポリケイ素からなるものであってもよい。
【００２０】
少なくとも１つのコイル巻線１４は、（マイクロメカニカル部品の操作の間に）少なくとも１つのコイル巻線１４の導体トラック２２の導通および外部磁界の作用により、調節可能部分１６が回転軸２０の周りに調節されるようにローレンツ力が調節可能部分１６に伝達可能な、マイクロメカニカル構造部品の磁気アクチュエータ装置の一部であることが好ましい。特に、調節可能部分１６は回転軸２０の周りに共振揺動運動を実行可能である。導体トラック２２を通電させるために適した電流および電圧信号および外部磁界を作用させるように設計された磁気装置は従来技術から既知であるので、ここでは詳細に説明しない。
【００２１】
少なくとも１つのコイル巻線１４の少なくとも１つの第１部分セクション１４ａは、（少なくとも１つの固定部分セクション１４ａとして）付属コイルキャリヤ１２に固定されている（図１ｂ参照）。これは、少なくとも１つのコイル巻線１４の固定部分セクション１４ａは、付属コイルキャリヤ１２に（直接または間接的に）接触すると言い換えられてもよい。特に、少なくとも１つのコイル巻線１４の少なくとも１つの固定部分セクション１４ａ内に位置する（少なくとも１つの導電性材料からなる）導体トラック２２の固定導体トラック部分セクション２２ａは、付属コイルキャリヤ１２と直接接触可能である（図１ｂ参照）。しかしながら、少なくとも１つのコイル巻線１４の少なくとも１つの第１部分セクション／固定部分セクション１４ａが付属コイルキャリヤ１２に固定されている一方で、同一コイル巻線１４の少なくとも１つの第２部分セクション１４ｂは、自立支持部分セクション１４ｂとして、付属コイルキャリヤ１２内に形成された少なくとも１つの中間隙間２４を展張する（図１ｃ参照）。したがって、少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂは、付属コイルキャリヤ１２と（直接）接触することなく、同一コイル巻線１４の少なくとも１つの固定部分セクション１４ａを介してのみ付属コイルキャリヤ１２と結合されている。少なくとも１つの固定部分セクション１４ａ内に位置する導体トラック２２の固定導体トラック部分セクション２２ａが付属コイルキャリヤ１２と直接接触した場合、同一コイル巻線１４の少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂ内に位置する（少なくとも１つの導電性材料からなる）導体トラック２２の自立支持導体トラック部分セクション２２ｂと付属コイルキャリヤ１２の間の接触は存在しない（図１ｃ参照）。
【００２２】
少なくとも１つのコイル巻線１４における少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂの形成、ないしは少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂにより展張された少なくとも１つの付属コイルキャリヤ１２内の中間隙間２４の形成により、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２における質量は「節約」可能である。（例えば、材料分離において、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の「節約された」質量は省略可能である。同様に、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の「節約された」質量とは、除去された質量と理解されてもよい。）したがって、（回転軸２０に関して）より小さい慣性モーメントを有する少なくとも１つのコイルキャリヤ１２が形成可能である。それに対応して、マイクロメカニカル部品の、回転軸２０周りの回転運動に調節可能な／調節される質量１２、１４および１６の（回転軸２０に関する）（全）慣性モーメントは低減可能である。
【００２３】
マイクロメカニカル部品の調節可能な質量１２、１４および１６の（回転軸２０に関する）（全）慣性モーメントの低減により、回転軸２０の周りに調節可能部分１６を調節するために供給されるエネルギーは低減可能である。さらに、（全）慣性モーメントの低減は、調節可能部分１６の回転軸２０周りの共振揺動運動の固有周波数を上昇させる。調節可能部分１６の好ましくない揺動モードの周波数もまた（全）慣性モーメントの低減により上昇可能である。ここに記載の周波数上昇の利点については、以下にさらに説明される。
【００２４】
少なくとも１つの中間隙間２４は、空気、ガスまたは（完全）真空で充填されていることが好ましい。少なくともコイルキャリヤ１２内に形成された少なくとも１つの中間隙間２４とは、例えばそれぞれのコイルキャリヤ１２の下側の部品により展張された中間容積と理解されてもよい。少なくとも１つの中間隙間２４は、例えば少なくとも１つのコイルキャリヤ１２内に、例えば少なくとも１つのエッチング工程により形成されていてもよい。この場合、少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂは、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の少なくとも１つの材料の（部分的）除去／エッチング除去により形成されている。少なくとも１つのコイルキャリヤ１２は、例えばケイ素のような半導体材料から形成されていることが好ましい。これは、それにより保持された少なくとも１つのコイル巻線１４が（付属コイルキャリヤ１２に固定された少なくとも１つの部分セクション１４ａに追加して）少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂを有するように、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の構造を軽量化する。しかしながら、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の軽量化形成可能性は、ケイ素の代わりにまたはその補足として、他の半導体材料の使用においてもまた保証されていることを指摘しておく。
【００２５】
少なくとも１つのコイル巻線１４の少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ａは、そこにおいて、導体トラック２２の（自立支持）導体トラック部分セクション２２ｘが同一コイル巻線１４の他の導体トラック部分セクション２２ａまたは２２ｂと比較して回転軸２０に対して最大間隔を有する、少なくとも１つのコイル巻線部分セクション１４ｘを含むことが好ましい。これは、その（自立支持）導体トラック部分セクション２２ｘが（同一コイル巻線１４の他の導体トラック部分セクション２２ａまたは２２ｂと比較して）回転軸２０に対して最大間隔を有する、少なくとも１つのコイル巻線部分セクション１４ｘが、付属コイルキャリヤ１２の一部分の省略または除去により、コイルキャリヤなしに形成されていると言い換えられてもよい。これにより、それぞれのコイルキャリヤ１２は、付属コイル巻線の少なくとも１つの（回転軸２０に関して）軸から離れた領域に比較的少ない／小さい質量を有する。これは、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の（回転軸２０に関する）慣性モーメントの追加低減に寄与し、したがって、マイクロメカニカル部品の調節可能な質量１２、１４および１６の（回転軸２０に関する）（全）慣性モーメントのさらなる低減に寄与する。
【００２６】
図１ａ〜図１ｄのマイクロメカニカル部品において、同一コイル巻線１４の隣接する２つの導体トラック２２の間の中間容積は少なくとも１つの電気絶縁材料２６で充填されている。少なくとも１つの電気絶縁材料として、例えば酸化ケイ素および／または窒化ケイ素が使用されていてもよい。これにより、比較的コスト的に有利でかつ容易に加工可能な材料が使用可能である。しかしながら、ここに記載の材料は単なる一例として解釈されるべきであることを指摘しておく。隣接導体トラック２２の間の中間容積を少なくとも１つの電気絶縁材料２６で充填することにより、少なくとも１つのコイル巻線１４は、（その少なくとも１つの固定部分セクション１４ａのみならず、その少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂもまた）比較的コンパクトに形成されている。したがって、少なくとも１つのコイル巻線１４は、少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂの形成にも関わらず、高い安定性を有する。そのために、少なくとも１つのコイル巻線１４は、磁気アクチュエータ装置の一部として、さらに信頼して使用可能である。しかしながら、代替態様として、同一コイル巻線１４の２つの隣接導体トラック２２の間の中間容積内に、少なくとも１つのコイル巻線１４に対する「絶縁体」として使用される空気、ガスまたは真空が存在してもよい。
【００２７】
図１ｄは、少なくとも１つのコイル巻線１４の少なくとも１つの固定部分セクション１４ａが装着された付属コイルキャリヤ１２のキャリヤ面２８（の一部）を示す。キャリヤ面２８と、隣接する、中間隙間２４の境界を形成する同一コイルキャリヤ１２の外面３２の間に形成された、同一コイルキャリヤ１２に形成された端縁３０もまた示されている。（隣接する、中間隙間２４の境界を形成する外面３２は、特にコイルキャリヤ１２により構成されていてもよい。）図１ｄにおいて、それぞれのコイル巻線１４の導体トラック２２は端縁３０を超えて垂直に伸長することがわかる。これは、それぞれのコイル巻線１４の導体トラック２２は端縁３０を超えて端縁３０に垂直に配向されていると言い換えられてもよい。端縁３０における導体トラック２２の垂直配向は導体トラック２２の局部安定性を上昇させる。それに対応して、少なくとも１つのコイル巻線１４の導体トラック２２は、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の少なくとも１つのキャリヤ面２８と、それぞれ隣接する、中間隙間２４の境界を形成する少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の他の外面３２の間に形成された他の（図示されていない）端縁上においてもまた垂直に伸長可能である。（この場合、少なくとも１つのコイル巻線１４の導体トラック２２は、少なくとも１つの他の端縁上においてもまたそれぞれの端縁に垂直に配向されている。）これは、少なくとも１つのコイル巻線１４の安定性の追加上昇に寄与する。
【００２８】
図１ａ〜図１ｄの実施形態は、例としてただ１つのコイル巻線１４のみを有する。ただ１つのコイル巻線１４の（ただ１つの）コイルキャリヤ１２は、回転軸２０に沿って伸長する第１キャリヤウェブ３４ａおよび回転軸２０に沿って伸長する第２キャリヤウェブ３４ｂを含み、この場合、調節可能部分１６または（図示されていない）調節可能部分１６の固定領域は、第１キャリヤウェブ３４ａと第２キャリヤウェブ３４ｂの間に位置する。特に、（ただ１つの）コイル巻線１４は、（少なくとも１つの固定部分セクション１４ａにより）第１キャリヤウェブ３４ａおよび第２キャリヤウェブ３４ｂにのみ固定されていてもよい。この場合、（ただ１つの）コイルキャリヤ１２は、第１キャリヤウェブ３４ａおよび第２キャリヤウェブ３４ｂからのみ構成され／形成されている。したがって、（ただ１つの）コイルキャリヤ１２は、（回転軸２０に関して）比較的低い慣性モーメントにより形成可能である。
【００２９】
例として、図１ａ〜図１ｄのマイクロメカニカル部品の（ただ１つの）コイルキャリヤ１２は、さらに、回転軸２０に垂直に伸長する少なくとも１つの（任意の）クロスビーム３６を含み、クロスビームに、ただ１つのコイル巻線１４が、セクションにより（すなわち、少なくとも１つの固定部分セクション１４ａにより）固定されている。少なくとも１つのクロスビーム３６は、第１キャリヤウェブ３４ａ、第２キャリヤウェブ３４ｂ、調節可能部分１６および／または調節可能部分１６の固定領域に固く結合されていてもよい。少なくとも１つのクロスビーム３６は、回転軸２０を含む鏡像対称平面に関して鏡像対称に形成されていることが好ましい。少なくとも１つのクロスビーム３６は、さらに、回転軸２０に垂直に配向されかつ調節可能部分１６を中央で切断する他の鏡像対称平面に関して鏡像対称に形成されているように位置決めされていてもよい。（図１ａ〜図１ｄの実施形態において、さらに、第１キャリヤウェブ３４ａは、他の鏡像対称平面に関して第２キャリヤウェブ３４ｂに鏡像対称である。）
図１ａ〜図１ｄの実施形態において、（ただ１つの）コイル巻線１４は、第１キャリヤウェブ３４ａ、第２キャリヤウェブ３４ｂおよび少なくとも１つの（任意の）クロスビーム３６にのみ固定されていることが有利である。これは、（ただ１つの）コイルキャリヤ１２は、第１キャリヤウェブ３４ａ、第２キャリヤウェブ３４ｂおよび少なくとも１つのクロスビーム３６から構成され／形成されていると言い換えられてもよい。この場合においてもまた、（ただ１つの）コイルキャリヤは比較的低い慣性モーメントを有する。
【００３０】
図２ａ〜図２ｃは、マイクロメカニカル部品の第２実施形態の略図を示し、この場合、図２ａは平面図を、図２ｂは図２ａの線Ａ−Ａ´に沿った断面図を、および図２ｃは図２ａの線Ｂ−Ｂ´に沿った断面図を示す。
【００３１】
図２ａ〜図２ｃに略図で示した実施形態は、第１キャリヤウェブ３４ａおよび第２キャリヤウェブ３４ｂが（回転軸２０に垂直な方向に）より大きい幅を有し、および第１キャリヤウェブ３４ａおよび第２キャリヤウェブ３４ｂに、（回転軸２０に沿って伸長しかつ回転軸２０を含む鏡像対称平面に関して鏡像対称の）それぞれ２つの支持リブ３８が形成されていることにおいてのみ、前に記載のマイクロメカニカル部品とは異なっている。図２ａ〜図２ｃの実施形態の他の特徴に関しては、前に記載のマイクロメカニカル部品が参照される。
【００３２】
図３ａ〜図３ｃは、マイクロメカニカル部品の第３実施形態の略図を示し、この場合、図３ａは平面図を、図３ｂは図３ａの線Ａ−Ａ´に沿った断面図を、および図３ｃは図３ａの線Ｂ−Ｂ´に沿った断面図を示す。
【００３３】
前に記載の実施形態に対する変更態様として、図３ａ〜図３ｃのマイクロメカニカル部品は、さらに、少なくとも１つのコイル巻線１４の少なくとも１つのコイルキャリヤ１２に向けられた側に形成された電気絶縁緩衝層４０を有する。電気絶縁緩衝層４０は、少なくとも１つのコイル巻線１４の少なくとも１つの第１／固定部分セクション１４ａとそれぞれの付属コイルキャリヤ１２の間（図３ｂ参照）のみならず、少なくとも１つのコイル巻線１４の少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂにもまた存在し、これにより、電気絶縁緩衝層４０の少なくとも１つの自立支持部分セクション４０ｂは、少なくとも１つの中間隙間２４を共に展張する（図３ｃ）。（少なくとも１つの固定部分セクション１４ａと接触する電気絶縁緩衝層４０の少なくとも１つの固定部分セクション４０ａは、付属コイルキャリヤ１２と直接接触する一方で、少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂと接触する電気絶縁緩衝層４０の少なくとも１つの自立支持部分セクション４０ｂは、コイルキャリヤ１２に直接接触することなく存在する。）これにより、電気絶縁緩衝層４０は、導体トラック２２と、これが装着されたコイルキャリヤ１２の間の電気絶縁を改善するのみならず、それぞれのコイル巻線１４の少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ｂの安定性もまた上昇させる。
【００３４】
電気絶縁緩衝層４０は、例えば酸化ケイ素および／または窒化ケイ素から形成されていてもよい。これにより、電気絶縁緩衝層４０に対して、比較的コスト的に有利でかつ容易に加工可能な材料が使用可能である。しかしながら、電気絶縁緩衝層４０の形成可能性は、特定の材料または材料混合物の使用に限定されないことを指摘しておく。電気絶縁緩衝層４０は多層構造を有してもよい。
【００３５】
図３ａ〜図３ｃの実施形態の他の特徴に関しては、前に記載のマイクロメカニカル部品の説明が参照される。さらに、図１ａ〜図１ｄの実施形態においてと同様に、第１キャリヤウェブ３４ａおよび第２キャリヤウェブ３４ｂは、（回転軸２０に垂直な方向に）より狭くおよび／または支持リブ３８なしに形成されてもよい。
【００３６】
図４ａ，図４ｂは、マイクロメカニカル部品の第４実施形態の略図を示し、この場合、図４ａは、その静止位置におけるマイクロメカニカル部品の調節可能部分を、および図４ｂは、その共振揺動運動におけるマイクロメカニカル部品の調節可能部分を示す。
【００３７】
前に記載の実施形態とは異なり、図４ａ，図４ｂのマイクロメカニカル部品は２つのコイル巻線１４を有し、２つのコイル巻線は、回転軸２０を含む鏡像対称平面に関して鏡像対称に形成されている。２つのコイル巻線１４の各々に固有のコイルキャリヤ１２が付属され、この場合、２つのコイルキャリヤ１２もまた、回転軸２０を含む鏡像対称平面に関して鏡像対称に形成されている。２つのコイルキャリヤ１２の第１コイルキャリヤ１２は回転軸２０に平行に伸長する第１キャリヤウェブ４２ａを含み、一方、２つのコイルキャリヤ１２の第２コイルキャリヤ１２は回転軸２０に平行に伸長する第２キャリヤウェブ４２ｂを有し、この場合、調節可能部分１６または調節可能部分１６の固定領域は、第１キャリヤウェブ４２ａと第２キャリヤウェブ４２ｂの間に位置する。第１キャリヤウェブ４２ａは回転軸２０の第１側に位置しかつ２つのコイル巻線１４の第１コイル巻線１４に付属され、一方、第２キャリヤウェブ４２ｂは回転軸２０の第２側に形成されかつ２つのコイル巻線１４の第２コイル巻線１４に付属されている。特に、第１コイル巻線１４は（その少なくとも１つの固定部分セクション１４ａにより）第１キャリヤウェブ４２ａにのみ、および第２コイル巻線１４は（その少なくとも１つの固定部分セクション１４ａにより）第２キャリヤウェブ４２ｂにのみ固定されていてもよい。この場合、第１コイルキャリヤ１２は第１キャリヤウェブ４２ａからのみ、および第２コイルキャリヤ１２は第２キャリヤウェブ４２ｂからのみ形成されかつ構成されている。したがって、２つのキャリヤウェブは（回転軸２０に関して）比較的小さい慣性モーメントを有して形成可能である。
【００３８】
図４ａ，図４ｂの実施形態において、それぞれ１つの支持ウェブ４４ａまたは４４ｂが第１および第２キャリヤウェブ４２ａおよび４２ｂのそれぞれ１つの第１端部に、およびそれぞれ１つの第２支持ウェブ４６ａまたは４６ｂが第１および第２キャリヤウェブ４２ａおよび４２ｂのそれぞれ１つの第２端部に懸架され、この場合、支持ウェブ４４ａ、４４ｂ、４６ａおよび４６ｂは回転軸２０から垂直に離れるように伸長する。第１コイル巻線１４は、（その少なくとも１つの固定部分セクション１４ａにより）第１キャリヤウェブ４２ａ、結合された第１支持ウェブ４４ａおよび結合された第２支持ウェブ４６ａにのみ、および第２コイル巻線１４は、（その少なくとも１つの固定部分セクション１４ａにより）第２キャリヤウェブ４２ｂ、結合された第１支持ウェブ４４ｂおよび結合された第２支持ウェブ４６ｂにのみ固定されていることが有利である。したがって、第１コイルキャリヤ１２は、第１キャリヤウェブ４２ａ、結合された第１支持ウェブ４４ａおよび結合された第２支持ウェブ４６ａからのみ、および第２コイルキャリヤ１２は、第２キャリヤウェブ４２ｂ、結合された第１支持ウェブ４４ｂおよび結合された第２支持ウェブ４６ｂからのみ形成され／構成されている。（このために、コイルキャリヤ１２の形状は「クランプ形状」と言い換えられてもよい。）したがって、両方のコイルキャリヤ１２は（回転軸２０に関して）低い慣性モーメントを有する。（さらに、この実施形態においてもまた、少なくとも１つのコイル巻線１４の少なくとも１つの自立支持部分セクション１４ａは、その中において、導体トラック２２の（自立支持）導体トラック部分セクション２２ｘが同一コイル巻線１４の他の導体トラック部分セクション２２ａまたは２２ｂと比較して回転軸２０に対して最大間隔を有する少なくとも１つのコイル巻線部分セクション１４ｘを含む。）
図５ａ〜図５ｄは、マイクロメカニカル部品の第５実施形態の略図を示し、この場合、図５ａはコイルが装着されたマイクロメカニカル部品の第１側を、図５ｂは図５ａの拡大部分図を、図５ｃはマイクロメカニカル部品の第１側とは反対の方向に向けられた第２側を、および図５ｄは図５ｃの拡大部分図を示す。
【００３９】
図５ａ〜図５ｄの実施形態においては、前に記載のマイクロメカニカル部品とは異なり、（支持ウェブ４４ａ、４４ｂ、４６ａおよび４６ｂの代わりに）回転軸２０から垂直に離れるように伸長するクロスビーム４８ａまたは４８ｂが第１キャリヤウェブ４２ａおよび第２キャリヤウェブ４２ｂに固定されている。第１コイルキャリヤ１２のクロスビーム４８ａは、回転軸２０を含む鏡像対称平面に関して、第２コイルキャリヤ１２のクロスビーム４８ｂに対して鏡像対称に形成されている。第１コイル巻線１４は、（その少なくとも１つの固定部分セクション１４ａにより）第１キャリヤウェブ４２ａおよび少なくとも１つの固定クロスビーム４８ａにのみ、および第２コイル巻線１４は、（その少なくとも１つの固定部分セクション１４ａにより）第２キャリヤウェブ４２ｂおよび少なくとも１つの固定クロスビーム４８ａにのみ固定されていることが有利である。そのために、第１コイルキャリヤ１２は、第１キャリヤウェブ４２ａおよび少なくとも１つの固定クロスビーム４８ａからのみ、および第２コイルキャリヤ１２は、第２キャリヤウェブ４２ｂおよび少なくとも１つの固定クロスビーム４８ｂからのみ形成され／構成されている。これにより、両方のコイルキャリヤ１２は（回転軸２０に関して）低い慣性モーメントを有する。図５ａ〜図５ｄのマイクロメカニカル部品の他の特徴に関しては、前に記載の実施形態が参照される。
【００４０】
上記の全てのマイクロメカニカル部品において、コイルキャリヤ１２は（回転軸２０に関して）比較的低い慣性モーメントを有する。それに対応して、上記のメカニカル部品の、回転軸２０周りの回転運動に調節可能な／調節される質量１２、１４および１６の（回転軸２０に関する）（全）慣性モーメントは比較的小さい。そのために、ホルダ１０に関する調節可能部分１６の回転軸２０周りの共振揺動運動の固有周波数は比較的高い。（例えば、図４ａ，図４ｂの実施形態において、固有周波数は０．７６ｋＨｚから１．１ｋＨｚに上昇されている。）それに対応して、（例えば少なくとも１つのコイル巻線１４により展張された平面内の調節可能部分１６の「横方向」揺動モードおよび少なくとも１つのコイル巻線１４により展張された平面から垂直な調節可能部分１６の「垂直方向」揺動モードのような）好ましくない揺動モードの周波数もまた上昇されている。したがって、（回転軸２０に関する）（全）慣性モーメントの低減は、調節可能部分１６の回転軸２０周りの共振揺動運動の好ましい固有周波数の決定に対してのみならず、好ましくない揺動モードの回避／抑制のためにもまた利用可能である。
【００４１】
上記の全てのマイクロメカニカル部品において、さらに、バイメタル効果ないしはそれから得られる固有電圧が回避されている。特に、少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の変形は、それぞれのマイクロメカニカル部品の周辺内の著しい温度変化においてさえも懸念される必要はない。
【００４２】
上記のマイクロメカニカル部品は比較的高い剛性もまた有する。少なくとも１つのコイルキャリヤ１２の（回転軸２０に関する）慣性モーメントの達成された低減により、それぞれのマイクロメカニカル部品の衝突／反発における少なくとも１つのばね１８の負荷は低減される。
【００４３】
図６は、マイクロメカニカル部品の製造方法の一実施形態の説明のための流れ図を示す。
方法ステップＳ１において、少なくとも１つのコイルキャリヤおよび調節可能部分がホルダに配置される。コイルキャリヤおよび調節可能部分は、相互に、および少なくとも１つのばね要素を介してホルダと、調節可能部分がホルダに関して少なくとも１つの回転軸周りに調節可能にホルダに懸架されるように結合される。
【００４４】
他の方法ステップＳ２において、少なくとも１つのコイルキャリヤにより保持されかつ少なくとも１つの導電性材料からなる導体トラックを含む少なくとも１つのコイル巻線もまた（後の）ホルダに配置される。このために、少なくとも１つのコイル巻線の少なくとも１つの第１部分セクションが付属コイルキャリヤに固定される。しかしながら、少なくとも１つのコイル巻線の少なくとも１つの第１部分セクションが付属コイルキャリヤに固定される一方で、付属コイルキャリヤ内に形成された少なくとも１つの中間隙間が、同一コイル巻線の少なくとも１つの第２部分セクションにより、自立支持部分セクションとして展張される。
【００４５】
ここに記載の製造方法もまた上記の利点を提供する。方法ステップＳ１およびＳ２は、任意の順序で、一部重なり合ってまたは同時に実行されてもよい。さらに、上記の実施形態による製造方法は拡張可能である。
【００４６】
少なくとも１つのコイルキャリヤは、例えば３５μｍないし５０μｍの厚さの半導体層から構成されてもよい。少なくとも１つのコイル巻線を形成するために、はじめに、（例えば３ないし８μｍの高さを有する）少なくとも１つの電気絶縁材料からなる層が分離されてもよい。それに続いて、層内に溝が構成され、その後に、溝は導体トラックの、例えば銅のような少なくとも１つの導電性材料で充填される。
【符号の説明】
【００４７】
１０  ホルダ
１２  コイルキャリヤ
１４  コイル巻線
１４ａ  第１部分セクション、固定部分セクション
１４ｂ  第２部分セクション、自立支持部分セクション
１４ｘ  コイル巻線部分セクション  
１６  調節可能部分、調節可能ミラープレート
１８  ばね要素
２０  回転軸
２２  導体トラック
２２ａ、２２ｂ、２２ｘ  導体トラック部分セクション
２４  中間隙間
２６  電気絶縁材料
２８  キャリヤ面
３０  端縁
３２  外面
３４ａ  第１キャリヤウェブ
３４ｂ  第２キャリヤウェブ
３６  クロスビーム
３８  支持リブ
４０  電気絶縁緩衝層
４０ａ  固定部分セクション
４０ｂ  自立支持部分セクション
４２ａ  第１キャリヤウェブ
４２ｂ  第２キャリヤウェブ
４４ａ，４４ｂ  第１支持ウェブ
４６ａ，４６ｂ  第２支持ウェブ
４８ａ，４８ｂ  クロスビーム
Ｓ１，Ｓ２  方法ステップ
【図１ａ】
2019532828.tif 000003
【図１ｂ】
2019532828.tif 000004
【図１ｃ】
2019532828.tif 000005
【図１ｄ】
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【図２ａ】
2019532828.tif 000007
【図２ｂ】
2019532828.tif 000008
【図２ｃ】
2019532828.tif 000009
【図３ａ】
2019532828.tif 000010
【図３ｂ】
2019532828.tif 000011
【図３ｃ】
2019532828.tif 000012
【図４ａ】
2019532828.tif 000013
【図４ｂ】
2019532828.tif 000014
【図５ａ】
2019532828.tif 000015
【図５ｂ】
2019532828.tif 000016
【図５ｃ】
2019532828.tif 000017
【図５ｄ】
2019532828.tif 000018
【図６】
2019532828.tif 000019
【国際調査報告】
2019532828.tif 000020
2019532828.tif 000021
2019532828.tif 000022
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