(57)【要約】  本願明細書において開示される技術は、高解像度フィーチャを生成するためにフィーチャ密度を正確に増加させるため、また、サブ解像度フィーチャのピッチでカットするための方法及び製造構造を提供する。技術は、フィーチャを選択的にエッチングし、画定の所でカット又はブロックを生成するための、異なるエッチング特性を有する複数の材料を用いることを含む。マルチライン層は、異なるエッチング特性を提供する３つ以上の異なる材料から形成される。混交エッチングマスクを含むエッチングマスクは、選択され露光された材料内の選択的エッチングカットに用いられる。構造はその後カットされ形成されることができる。構造及びカットを形成することは、エッチングマスクにも使用されることができる記憶層に記憶されることができる。
2019508889.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をパターン化する方法であって、当該方法は、
基板上の記憶層の上側にマルチライン層を形成するステップであって、前記マルチライン層は、相互に比較して異なるエッチング抵抗率を有することにより化学的に相互に異なる３つの材料の交互ラインのパターンを備える領域を含み、前記３つの材料は、材料Ａ、材料Ｂ及び材料Ｃを含み、前記３つの材料の交互ラインのパターンは、材料が前記基板の作業表面に平行な方向において切り換えられるＡ−Ｂ−Ｃ−Ｂ−Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｂの繰り返しシーケンスを含み、各材料のラインは前記マルチライン層の頂部表面から前記マルチライン層の底部表面まで延在する、ステップと、
前記マルチライン層の上側に第１エッチングマスクを形成するステップであって、前記第１エッチングマスクが前記マルチライン層の第１部分を露出する第１トレンチを画定することにより、画定された第１トレンチが前記交互ラインのパターンのうちの複数のラインと上方で交差する、ステップと、
前記第１エッチングマスクを用いて、前記材料Ａの露出部分と前記材料Ａの露出部分の直接下にある前記記憶層の部分とを貫通してエッチングするステップと、
前記マルチライン層の上側に第２エッチングマスクを形成するステップであって、前記第２エッチングマスクが前記マルチライン層の第２部分を露出する第２トレンチを画定することにより、画定された第２トレンチが前記交互ラインのパターンのうちの複数のラインと上方で交差する、ステップと、
前記第２エッチングマスクを用いて、前記材料Ｃの露出部分と前記材料Ｃの露出部分の直接下にある前記記憶層の部分とを貫通してエッチングするステップと、
前記マルチライン層が露出される間に、前記材料Ｂと前記材料Ｂの直接下にある前記記憶層の部分を貫通してエッチングするステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記材料Ａ、前記材料Ｂ及び前記材料Ｃを貫通するエッチングに基づくエッチング転写が完了した後、前記記憶層の上側の残余の材料を除去するステップであって、前記記憶層は平行なラインセグメントのアレイを有するレリーフパターンをもたらす、ステップ、
をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記アレイの平行なラインセグメントは４０ナノメートル未満のピッチを有する、
請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記記憶層内でラインを形成する前に、前記記憶層内でラインカットを形成し、前記記憶層はハードマスク材料を含む、
請求項２記載の方法。
【請求項５】
前記マルチライン層の１つ以上のラインは、自己整列２重パターン化又は自己整列４重パターン化によって形成される、
請求項２記載の方法。
【請求項６】
前記平行なラインセグメントのアレイを有する前記レリーフパターンを下地層に転写するステップであって、前記下地層にフィンのアレイが形成される、ステップ、
をさらに含む、請求項２記載の方法。
【請求項７】
前記材料Ｂを貫通してエッチングするステップは、前記材料Ａを貫通してエッチングするステップ及び前記材料Ｃを貫通してエッチングするステップの後に発生する、
請求項１記載の方法。
【請求項８】
材料Ｂを貫通してエッチングするステップは、材料Ａを貫通してエッチングするステップ及び材料Ｃを貫通してエッチングするステップの前に発生する、
請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記第１エッチングマスクを形成し前記第２エッチングマスクを形成する前に、前記マルチライン層の上側にハードマスク層を形成するステップと、
前記第１エッチングマスク及び前記第２エッチングマスクを用いて、前記ハードマスク層の対応する部分を貫通してエッチングするステップと、
をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項１０】
前記第１エッチングマスクを形成するステップは、
前記基板上に放射線感受性材料を堆積するステップと、
前記放射線感受性材料をフォトリソグラフィ露光後に現像するステップと、を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項１１】
前記第２エッチングマスクを形成するステップは、
前記基板上に第２放射線感受性材料を堆積するステップと、
前記第２放射線感受性材料をフォトリソグラフィ露光後に現像するステップと、を含み、
前記方法は、
前記第２放射線感受性材料を堆積するステップの前、且つ前記第１エッチングマスクを用いて、前記材料Ａの露出部分と前記材料Ａの露出部分の直接下にある前記記憶層の部分とを貫通してエッチングするステップの後に、前記記憶層及び前記マルチライン層内の開口を前記材料Ｃで充填するステップ、
をさらに含む、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
材料Ｂ及び材料Ｂの直接下の前記記憶層の部分を貫通してエッチングするステップの前に、前記記憶層及び前記マルチライン層内の開口を充填するステップ、
をさらに含む、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記第１エッチングマスクを形成するステップは、
上部材料及び下部材料を有する２重層マンドレルを形成するステップであって、前記上部材料は前記下部材料とは異なるエッチング抵抗率を有する、ステップと、
前記２重層マンドレル上に側壁スペーサを形成するステップであって、前記２重層マンドレルのアレイ及び前記側壁スペーサは、隣り合う前記側壁スペーサの露出した側壁間でトレンチを画定する、ステップと、を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項１４】
前記第２エッチングマスクを形成するステップは、
前記第１エッチングマスクの隣り合う前記側壁スペーサの間で画定されるトレンチを充填するステップと、
前記２重層マンドレルの前記上部材料を、前記下部材料が露出するように除去するステップと、
前記２重層マンドレルの前記下部材料を除去するステップと、を含む、
請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記記憶層の上側に前記マルチライン層を形成するステップは、
前記材料Ａを用いてマンドレルを形成するステップと、
前記材料Ｂを用いてマンドレルの側壁上に側壁スペーサを形成するステップと、
前記材料Ｃを用いて充填構造を形成するステップであって、前記充填構造は隣り合うスペーサ間のトレンチを充填する、ステップと、を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項１６】
前記材料Ｂのライン間の第１ピッチは、４０ナノメートル未満であり、
前記マンドレルと前記充填構造との間の第２ピッチは４０ナノメートル未満である、
請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
前記材料Ａは、マンドレル材料であり、
前記材料Ｂは、スペーサ材料であり、
前記材料Ｃは、充填材料である、
請求項１記載の方法。
【請求項１８】
基板をパターン化する方法であって、当該方法は、
基板上の記憶層の上側にマルチライン層を形成するステップであって、前記マルチライン層は相互に比較して異なるエッチング抵抗率を有することにより化学的に相互に異なる３つの材料の交互ラインのパターンを備える領域を含み、前記交互ラインはマンドレル、側壁スペーサ及び充填構造を備え、前記３つの材料の交互ラインのパターンは、交互的な前記マンドレルのラインと前記充填構造のラインとを備え、前記マンドレルのラインと前記充填構造のラインとの間に位置する前記側壁スペーサを有し、各材料のラインは前記マルチライン層の頂部表面から前記マルチライン層の底部表面まで延在する、ステップと、
前記マルチライン層の上側に第１エッチングマスクを形成するステップであって、前記第１エッチングマスクが前記マルチライン層の第１部分を露出する第１トレンチを画定することにより、画定された第１トレンチが前記交互ラインのパターンのうちの複数のラインと上方で交差する、ステップと、
第１エッチングマスクを用いて、前記マンドレルの露出部分と前記マンドレルの露出部分の直接下にある前記記憶層の部分とを貫通してエッチングするステップと、
前記マルチライン層の上側に第２エッチングマスクを形成するステップであって、前記第２エッチングマスクが前記マルチライン層の第２部分を露出する第２トレンチを画定することにより、画定された第２トレンチが前記交互ラインのパターンのうちの複数のラインと上方で交差する、ステップと、
前記第２エッチングマスクを用いて、前記充填構造の露出部分と前記充填構造の前記露出部分の直接下にある前記記憶層の部分とを貫通してエッチングするステップと、
前記側壁スペーサと前記側壁スペーサの直接下にある前記記憶層の部分とを、露出する前記マルチライン層と共に貫通してエッチングするステップと、
を含む方法。
【請求項１９】
前記マンドレル、前記充填構造、及び前記側壁スペーサを貫通するエッチングに基づくエッチング転写が完了した後、前記記憶層の上側の残余の材料を除去するステップであって、前記記憶層は平行なラインセグメントのアレイを有するレリーフパターンである、ステップと、
前記平行なラインセグメントのアレイを有する前記レリーフパターンを下地層に転写するステップであって、前記下地層にフィンのアレイが形成される、ステップと、
をさらに含む、請求項１８記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
関連出願についてのクロス・リファレンス
本出願は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる、「メモリフィンパターンを形成するための方法及びシステム」と題する、２０１６年１月２９日に出願された米国仮特許出願第６２／２８８，８４６号の利益を主張する。
【背景技術】
【０００２】
本開示は、基板処理及びより詳しくは半導体ウエハをパターン化することを含む基板をパターン化することの技術に関する。
【０００３】
リソグラフィプロセスにおけるライン幅を縮小する方法は、歴史的に、より大きなＮＡ（開口数）光学、より短い露光波長、又は空気以外の界面媒体（例えば水浸漬）を使用することに関与してきた。従来のリソグラフィプロセスの解像度が理論上の限界に近づくにつれて、製造者は光学的限界を克服するためにダブルパターン化（ＤＰ）方法に目を向け始めている。
【０００４】
（フォトリソグラフィのような）材料処理方法において、パターン化された層を作成することは、フォトレジストのような放射線感受性材料の薄い層を基板の上部表面に塗布することを含む。この放射感応材料は、基板上の下地層にパターンを転写するためのエッチングマスクとして使用されうるレリーフパターンに変換される。放射線感受性材料のパターン化は、一般に、例えばフォトリソグラフィシステムを用いて、レチクル（及び関連する光学系）を介して、放射線感受性材料上に化学線を露光すること（exposure）を含む。この露光の後に、放射線感受性材料の照射領域（ポジティブフォトレジストの場合のように）又は非照射領域（ネガレジストの場合のように）を、現像溶媒を用いて除去することができる。
このマスク層は、複数のサブ層を含むことができる。
【０００５】
放射線又は光のパターンを基板上に露光するための従来のリソグラフィ技術は、露光されるフィーチャのサイズを制限し、露光されるフィーチャ間のピッチ又は間隔を制限する様々な課題を有する。露光限界を緩和する１つの従来技術は、従来のリソグラフィ技術で可能であったものよりも小さいピッチでより小さいフィーチャのパターン化を可能にするために、２重パターン化手法を使用する技術である。
【発明の概要】
【０００６】
半導体技術は、１４ナノメートル、７ｎｍ、５ｎｍ及びそれ以下のフィーチャサイズを含む、より小さいサイズへと継続的に進歩している。この、種々の要素が製造されるフィーチャのサイズの継続的な低減は、フィーチャを形成するために用いられる技術に対してより大きな要求をもたらす。「ピッチ」の概念は、これらのフィーチャのサイジングを説明するために用いることができる。ピッチは、隣り合う２つの反復フィーチャにおける同一の２つの位置の間の距離である。その場合、ハーフピッチは、アレイの同一のフィーチャの間の距離の半分である。
【０００７】
ピッチ低減技術は、しばしば多少誤って、もはやごく普通に、例えば「ピッチ倍加（pitch doubling）」などのように「ピッチ増倍（pitch
multiplication）」と呼ばれ、フィーチャサイズの限界（光学解像度の限界）を超えてフォトリソグラフィの能力を拡張することができる。すなわち、従来のピッチの増加（より正確には、ピッチの低減又はピッチ密度の増加）は、ある特定の要因による目標ピッチの低減を含む。１９３ｎｍの液浸リソグラフィで使用される２重パターン化技術は、２２ｎｍ以下のノードをパターン化する最も有望な技術の１つとして従来考えられている。注目すべきは、ピッチ密度倍化プロセスとしてすでに自己整列ダブルパターン化（ＳＡＤＰ）が確立されており、ＮＡＮＤ型フラッシュメモリデバイスの大量生産に適応していることである。さらに、ＳＡＤＰステップを繰り返すことで超微細な分解能が得られ、ピッチの４倍化をもたらす。
【０００８】
パターン密度又はピッチ密度を上昇させるための、既存のいくつかのパターン化技術が存在するにもかかわらず、従来のパターン化技術は、低い分解能又はエッチングされたフィーチャの粗い表面という欠点がある。従って、従来の技術は、非常に小さい寸法（２０ｎｍ以下）に対して所望されるレベルの均一性及び忠実度を提供することができない。確実なリソグラフィ技術は、約８０ｎｍのピッチを有するフィーチャを生成することができる。しかしながら、従来の及び新たな設計仕様は、約２０ｎｍ又は１０ｎｍ未満の限界寸法を有するフィーチャを製造することを要求する。さらに、ピッチ密度倍化及び４倍化技術では、サブ分解能ラインが生成されることができるが、これらのライン間の切断又は接続を行うことは困難である。特に、かかる切断に必要なピッチ及び寸法は、従来のフォトリソグラフィシステムの性能をはるかに下回るからである。
【０００９】
本明細書で開示される技法は、高分解能フィーチャを作成するためにピッチを低減する（ピッチ／フィーチャ密度を増加させる）ための方法、また、例えばメモリアレイ用の構造を生成する等のために、サブ分解能フィーチャのピッチを切断するための方法を提供する。本明細書における技術は、異なるエッチング抵抗率の材料のマルチライン層を形成することを含む。エッチングマスクの組み合わせは、まずカットを行うために用いられることができ、その後、フィン、ライン、セグメント又は他の構造の生成が続く。フォトマスクによって画定されるのに代えて、複数の異なる材料タイプによって画定されるカット及びフィンによって、従来のフィンを形成するための技術に比べてより良いプロセスマージンを有するフィンアレイ又は他の構造化アレイを生成するために、カットだけ（ｏｎｌｙ−ｃｕｔｓ）がフィンに自己整列化されることができる。
【００１０】
一実施形態は、例えばメモリアレイ用のフィンを製作するために、基板をパターン化する方法を含む。マルチライン層は基板上の記憶層の上側に形成される。マルチライン層は、相互に比較して異なるエッチング抵抗率を有することにより、化学的に相互に異なる３つの材料の交互ラインのパターンを備える領域を含む。３つの異なる材料は、材料Ａ、材料Ｂ及び材料Ｃを含む。３つの材料の交互ラインのパターンは、基板の作業表面に平行な方向において材料が切り換えられる、Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｂ−Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｂの繰り返しシーケンスを含む。材料の各ラインはマルチライン層の頂部表面からマルチライン層の底部表面まで延在する。
【００１１】
第１エッチングマスクは、マルチライン層の上側に（above）形成される。第１エッチングマスクは、マルチライン層の第１部分を露出する第１トレンチを画定することにより、画定された第１トレンチが交互ラインのパターンのうちの複数のラインと、上方で交差する又は階層状に交差する（elevationally intersect）。材料Ａの露出する部分と、材料Ａの露出部分の直接下にある記憶層の部分とは、第１エッチングマスクを用いて貫通エッチング（etched through）される。第２エッチングマスクはマルチライン層の上側に形成される。第２エッチングマスクがマルチライン層の第２部分を露出する第２トレンチを画定することにより、画定された第２トレンチが交互ラインのパターンから複数のラインと上方で交差する。材料Ｃの露出する部分と、材料Ｃの露出部分の直接下にある記憶層の部分とは、第２エッチングマスクを用いて、貫通エッチングされる。マルチライン層が露出される間に、材料Ｂと、材料Ｂの直接下にある記憶層の部分は貫通エッチングされる。
【００１２】
したがって、フィンは、正確なフォトリソグラフィ・レジストレーションに依存しない、自己整列されたカットによって生成される。フォトリソグラフィのアラインメントに頼る代わりに、カット配置は、堆積された材料の厚さ及び異なるエッチング抵抗率に基づくことができる。
【００１３】
当然のことながら、本明細書に記載される異なるステップの説明の順序は、明瞭化の目的で提示されている。一般に、これらのステップは、任意の適切な順序で実行されることができる。さらに、本明細書における異なる特徴、技術、構成などの各々は、本開示の異なる箇所で論じることができるが、それぞれの概念を互いに独立して、又は互いに組み合わせて実行することが意図される。従って、本発明は多くの異なる方法で具体化され及び考察されることができる。
【００１４】
この概略セクションは、本開示又は請求項に記載された発明の全ての実施態様及び／又は逐次の新規な態様を特定するものではないことに留意されたい。その代わりに、この概要は、異なる実施形態の予備的説明、及び従来技術に対する新規性の対応する箇所を提供するのみである。本発明及び実施形態の付加的詳細及び／又は可能な展望のために、読者は、以下でさらに述べられるように、本開示の詳細な説明のセクション及び対応する図面へと導かれる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
本発明の様々な実施形態のより完全な理解及びそれらによる効果の多数は、添付の図面と併せて考慮される以下の詳細な説明を参照することによって容易に明らかになるであろう。図面は必ずしも縮尺通りではなく、その代わりに特徴、原理及び概念を説明することに重点が置かれている。
【図１Ａ】図１Ａは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面を模式的に示す図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの平面を模式的に示す図である。
【図２】図２Ａ及び図２Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図３Ａ】図３Ａは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面を模式的に示す図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの平面を模式的に示す図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの断面平面を模式的に示す図である。
【図４】図４Ａ及び図４Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図５】図５Ａ及び図５Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図６】図６Ａ乃至図６Ｃは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面、平面及び断面平面を模式的に示す図である。
【図７】図７Ａ及び図７Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図８】図８Ａ及び図８Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図９】図９Ａ及び図９Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面を模式的に示す図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの平面を模式的に示す図である。
【図１０Ｃ】図１０Ｃは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの例示的斜視図を示す図である。
【図１１】図１１Ａ及び図１１Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図１２】図１２Ａ及び１２Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図１３】図１３Ａ及び１３Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図１４】図１４Ａ及び１４Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図１５】図１５Ａ及び１５Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図１６】図１６Ａ及び１６Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図１７】図１７Ａ及び１７Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図１８】図１８Ａ及び１８Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図１９】図１９Ａ及び１９Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【図２０】図２０Ａ及び２０Ｂは、本明細書において開示される実施形態によるプロセスフローを示す例示的基板セグメントの横断面及び平面を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本願明細書において開示される技術は、高解像度フィーチャを生成するためにフィーチャ密度を正確に増加させるため、また、サブ解像度フィーチャのピッチでカットするための方法及び製造構造を提供する。技術は、フィーチャを選択的にエッチングし、所定の所でカット又はブロックを生成するために、異なるエッチング特性を有する複数の材料を用いることを含む。通常は、マルチライン層は、異なるエッチング特性を提供する３つ以上の異なる材料から形成される。その後、選択され、露出した材料内の選択的エッチングカットのために、混交エッチングマスクを含むエッチングマスクが用いられることができる。構造はその後カットされ形成されることができる。構造及びカットの成形は、記憶層に記録されることができ、（コンポーネントパターンが記録されるときに）下地層に構造を形成するためのエッチングマスクとして使用されることができる。
【００１７】
本明細書の技術で形成されることができる構造の種々のタイプがある。実施形態を説明する上での便宜のために、主に、メモリフィンパターン又はフィンアレイを形成することを説明することに焦点を当てる。本明細書の技術は、例えば、より良いプロセスマージンを有するＤＲＡＭ（ダイナミックランダムアクセスメモリ）フィンパターンを作成することを可能にする。ＤＲＡＭフィンパターン化において、ラインカットは、極めて困難である。例えば、フィーチャスケーリング又はサイズ縮小の進行に伴って、マンドレル及びラインを形成するために自己整列４重パターン化技術を使用することなどにより、かかるフィンパターンのためのラインがサブ分解能の寸法で形成される。従来のフィン製造フローでは、フィン又はラインが、ハードマスク層のような記憶層に形成される。このハードマスク層は、その後１つ以上の材料で平坦化され、その後その頂部にエッチングマスクがフォトリソグラフィパターン化技術によって形成される。カットのフォトマスクに露光されたフォトレジスト層を現像した後、結果として、フォトレジスト層は比較的小さな孔のアレイのように見える。これらの孔は、ハードマスク層内の埋設ラインを特定の位置において切断するために、パターンがいくつかの層を介して転写（エッチング）されるときに、これらのラインのカットを行うために、サブ分解能の形成されたラインにわたって直接整列するように（to align directly over sub-resolution formed lines）設計される。問題は、オーバレイ又はフォトリソグラフィのミスアライメントによって、隣り合う２つのラインの間にカットが位置づけられると（lands）と、ラインが部分的にしか又は全くカットされないことであり、デバイス故障に導くか又はデバイスの故障を引き起こす。サブ分解能カットのために、所望の位置の埋設ラインを切断するために異なる２つのカットマスクがあってもようい。
【００１８】
したがって、本明細書の実施形態は、基板をパターン化するために用いられることができる。これは、フィンアレイのようなサブ分解能パターンを転写するための複合エッチングマスクを作成することを含むことができる。ここで、図１Ａ及び１Ｂを参照すると、マルチライン層１５０は、基板上の記憶層１４０の上側に形成される。下地層１３５は、記憶層１４０の下側に配置されることができる。この基板スタックは、製造を支援するための追加の中間層又は膜を含むことができることに留意されたい。図１Ａは、例示的基板セグメントの側面の断面図を示し、図１Ｂは、対応する基板セグメントの上面図を示す。この図番のナンバリングは、文字「Ａ」を有する図形番号が側面図を示し、文字「Ｂ」を有する図形番号が上面図を示すという点において、以降の図について繰り返されることに留意されたい。マルチライン層１５０は、相互に比較して異なるエッチング抵抗率を有することにより、化学的に相互に異なる３つの材料の交互ラインのパターンを備える領域を含む。３つの異なる材料は、材料Ａ、材料Ｂ及び材料Ｃを含む。マルチライン層の１つ以上のラインは、自己整列２重パターン化又は自己整列４重パターン化又は異なるピッチ多重化技術によって形成されることができる。
【００１９】
３つの材料の交互ラインのパターンは、基板の作業表面に平行な方向において材料が切り換えられる、Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｂ−Ａ−Ｂ−Ｃ−Ｂの繰り返しシーケンスを含む。換言すれば、３つの材料の交互ラインパターンは、基板の作業面が水平に配向されている仮定すると、基板を横切って水平に交互になる又は交代する。括弧１５１は、反復シーケンスの例を示す。一実施形態において、反復パターンの最も短いセグメントはＡ−Ｂ−Ｃ−Ｂであり、それはその場合繰り返す。図１Ａ及び図１Ｂは、各ライン又は材料タイプの上側に文字Ａ、Ｂ及びＣを示す。材料の各ラインはマルチライン層の頂部表面からマルチライン層の底部表面まで延在する。換言すれば、材料の各ラインは、上からのエッチャントにアクセス可能であり、記憶層１４０及び介在膜にアクセスするために、マルチライン層１５０は完全に貫通してエッチングされることができる。
【００２０】
本明細書で使用されるように、互いに異なるエッチング抵抗率を有するとは、所与の１つの材料を他の材料よりも大きい速度（rate）でエッチングする少なくとも１つのエッチャント（又はエッチャントの組み合わせ）があることを意味する。２つ以上の所与の材料を同じ速度でエッチングする特定のエッチャントが存在し得るが、含有される材料を他の材料に対してより速くエッチングする少なくとも１つのエッチャントが存在することに留意されたい。１つの材料を別の材料に対してエッチングすることは、他方の材料を実質的にエッチングすることなく一方の材料をエッチングすることを含むか、又は、一方の材料を他方の材料を比較して実質的により大きな速度、例えば３：１、４：１、１０：１などのエッチング速度比を有する速度でエッチングすることを含む。２つの材料について異なるエッチング抵抗率を有するために、これは、概して、例えば特定の原子要素を含むこと等によって、２つの材料が化学的に相互に異なることを意味する。２つの材料のうちの１つがドーパントを含むことを除いて、ほとんど同じ２つの材料は、それにもかかわらず、異なるエッチング抵抗率を有することができる。さらに、同じ原子要素を有するが、異なる分子又は結晶構造を有する材料は、同様に、エッチング抵抗率の差異を提供することができる。
【００２１】
ここで、図２Ａ及び２Ｂを参照すると、第１のエッチングマスク１６１は、マルチライン層１５０の上側に形成される。第１エッチングマスクは、マルチライン層の第１部分を露出する第１トレンチを画定することにより、画定された第１トレンチが交互ラインのパターンのうちの複数のラインと上方で交差する。換言すれば、第１エッチングマスク１６１によって画定されたトレンチは、誘導エッチング（a directional etch）の観点から又は基板の作業表面に対する法線のように、交互ラインの下地パターンを横切る。図２Ｂにおいて、（画定されたトレンチ間に見られる）ラインセグメント及び反復パターンを見ることができる。ラインの交点又は交差は、垂直である必要はなく、鋭角／傾角でも交差することができることに留意されたい。説明の便宜上、第１エッチングマスク１６１はマルチライン層１５０上に直接配置された単一層として例示される。第１エッチングマスク１６１は従来のフォトリソグラフィ技術を介して形成されることができ、基板上に、まず平坦化層、その後反射防止コーティング、その後フォトレジストのような放射線感受性材料を堆積することと、その後露光し、可溶性の又は可溶性になる部分を現像することを含む。代替的実施形態において、ハードマスク層は、平坦化層の前にマルチライン層１５０上に堆積されることができ、又は、平坦化層上に堆積されることができる。マルチライン層１５０の上側、且つ第１エッチングマスク１６１の下側に堆積されたハードマスク層を有することは、いくつかのプロセスフローにおいて有利であり得る。
【００２２】
図３Ａ及び図３Ｂを参照すると、第１エッチングマスク１６１を用いて、材料Ａの露出部分を貫通してエッチングし、その後材料Ａの露出部分の直接下にある、記憶層１４０の露出部分を貫通してエッチングするエッチング動作が行われる。ハードマスク層がマルチライン層１５０上に堆積されたとき、ハードマスク層は第１エッチマスク１６１に対応して貫通エッチングされる。図３Ｂにおいて、材料Ａはトレンチの間でもはや視認することはできないが、下地層１３５の部分は今や視認可能である。より良い理解のために、図３Ｃは、もし上にある層が記憶層１４０から除去されたときに、プロセスのこの段階で、記憶層１４０がどのように見えるかの平面図を示す。
【００２３】
ここで図４Ａ及び４Ｂを参照すると、マルチライン層１５０及び記憶層１４０のスペースは、その後、特定の材料で充填されることができる。例えば、材料Ｃは、開口を充填するために、基板上に堆積されることができる。図４Ｂに示されるように、かかる充填は、先ず、材料Ｃの過充填（overburden）をもたらし、その後、基板はマルチライン層１５０の頂部へ戻るように（back
to）平坦化されることができる。かかる充填の前に、第１エッチングマスク１６１、及び付随する層は除去されることができる。ハードマスク層がマルチライン層１５０の頂部上に組み込まれる場合、このハードマスク層は、基板上に残ることができる。また、マルチライン層１５０の頂部表面へ戻る平坦化が必要でないことに留意されたい。その代わりに、１つの選択肢は、後続のエッチングマスクを堆積するための平坦化層として材料Ｃ（又は他の材料）の充填層を使用することである。
【００２４】
ここで、図５Ａ及び５Ｂを参照すると、第２エッチングマスク１６２は、マルチライン層１５０の上側に形成される。第２エッチングマスクはマルチライン層の第２部分を露出する第２トレンチを画定することにより、画定された第２トレンチが交互ラインのパターンのうちの複数のラインと上方で交差する。図５Ｂにおいて、画定された第２トレンチ間で、ラインセグメント及び反復パターンを見ることができる。第２のエッチマスク１６２は、基板上にまず平坦化層を、その後反射防止コーティングを、その後フォトレジスト層を堆積することを含む、従来のフォトリソグラフィ技術を介して形成されることができる。第２エッチングマスク１６２は、トレンチ位置が、第１エッチングマスク１６１のトレンチ位置の間に配置されるようにシフトされていることを除いて、第１エッチングマスク１６１と類似することに留意されたい。
【００２５】
ここで図６Ａ及び図６Ｂを参照すると、第２エッチングマスク１６２を用いて、材料Ｃの露出部分を貫通してエッチングし、その後、材料Ｃの露出部分の直接下にある、記憶層１４０の露出部分を貫通してエッチングする、エッチング動作が行われる。ハードマスク層がマルチライン層１５０の上側で用いられる場合、ハードマスク層は第２エッチングマスク１６２に対応するように貫通エッチングされる。図６Ｂにおいて、材料Ｃはトレンチの間でもはや視認することはできないが、下地層１３５の部分は今や視認可能である。より良い視覚化のために、図６Ｃは、もし上にある層が記憶層１４０から除去されたときに、プロセスのこの段階で、記憶層１４０がどのように見えるかの平面図を示す。
【００２６】
ここで、第２エッチングマスク１６２（及び関連する層）は、除去されることができる。図７Ａ及び図７Ｂを参照すると、マルチライン層１５０及び記憶層１４０内のスペースは、その後、特定の材料で充填されることができる。例えば、材料Ｃは、これらの開口を充填するために、基板上に堆積されることができる。かかる充填は、先ず、材料Ｃの過充填をもたらす。図７Ｂに示すように、基板がマルチライン層１５０の頂部へ戻るように平坦化されるにつれて、この過充填は取り除かれることができる。ハードマスク層がマルチライン層１５０の頂部上に任意に組み込まれる場合、このハードマスク層は、スペースを充填してマルチライン層１５０の頂部表面まで下がる（down to）平坦化の前又は後に、取り除かれることができ、従って、全ての材料Ｂ（材料Ｂのライン）は、露出される。
【００２７】
ここで図８Ａ及び図８Ｂを参照すると、材料Ｂの露出部分を貫通してエッチングし、その後、材料Ｂの露出部分の直接下にある、記憶層１４０の露出部分を貫通してエッチングする、エッチング動作が行われる。材料Ｂのエッチングのために別個のエッチングマスクは必要とされないことに留意されたい。その代り、材料Ａ及びＣ（及びスペースを充填するために用いられる材料）が、材料Ｂと比較して、特定のエッチャントに対する異なるエッチング抵抗率を有するエッチングマスクとして機能する。図８Ｂにおいて、材料Ｂはもはや視認されず、トレンチは記憶層１４０内へとエッチングされており、従って、下地層１３５の部分は今や視認される。
【００２８】
図９Ａ及び９Ｂを参照すると、材料Ａ、材料Ｂ及び材料Ｃを貫通するエッチングに基づくエッチング転写が完了した後、記憶層の上側の残余の材料が除去されることができる。記憶層は平行なラインセグメントのアレイを有するレリーフパターンをもたらす。いくつかの実施形態において、ラインセグメントのアレイの平行なラインセグメントは４０ナノメートル未満のピッチを有する。例えば、材料Ｂの隣り合うライン間のピッチは、４０ナノメートル未満であり、材料Ａ及び材料Ｃの隣り合うライン間のピッチは、４０ナノメートル未満である。図１０Ａ及び１０Ｂに示すように、（窒化チタンのようなハードマスク材料からなることができる）記憶層１４０は、その後フィンのアレイを生成するために、下地層１３５内にラインセグメントのパターンを転写するためのエッチングマスクとして用いられることができる。図１０Ｃは、未だ基板上にある記憶層１４０を有する製造されたラインセグメントを示す基板セグメントの斜視図である。追加のプロセスは、記憶層１４０を除去すること、及び／又は、さらにブロッキングし、カットし、ドーピングすることなどを含む。
【００２９】
本実施形態において、カットは、切断されるべきラインを生成する前に生成される。例えば、材料Ｂを貫通してエッチングするステップは、材料Ａを貫通してエッチングするステップ及び材料Ｃを貫通してエッチングするステップの後に発生する。したがって、記憶層１４０からのカット（除去材料）は、切断されるべき記憶層１４０内にラインが生成される前に生成されることができる。他の実施形態においては、しかしながら、材料Ｂを貫通してエッチングするステップは、材料Ａを貫通してエッチングするステップ及び材料Ｃを貫通してエッチングするステップの前に発生する。
【００３０】
図１１乃至図２０は、マルチライン層を横切るエッチングマスクを形成するために２重層マンドレルを用いる他の例示的プロセスフローを図示する。図１１Ａ及び図１１Ｂは図１Ａ及び図１Ｂに類似し、マルチライン層１５０上側のマスキング層の横断面をよりよく示すために基板セグメントが９０度回転されているという差異を有する。
【００３１】
ここで図１２Ａ及び１２Ｂを参照すると、第１エッチングマスク１６１を形成することは、上部材料１６６及び下部材料１６７を有する２重層マンドレル１６５を形成することを含む。上部材料１６６は下部材料１６７とは異なるエッチング抵抗率を有する。側壁スペーサ１７１は、２重層マンドレル１７１上に形成される。図１２Ａは形成された状態の側壁スペーサ１７１を示すが、形成は、２重層マンドレルをおおって（over）コンフォーマル膜を堆積し、その後、側壁スペーサ１７１間のマルチライン層１５０上及び２重層マンドレル上からコンフォーマル材料を除去するために、スペーサオープンエッチングを行うことを含むことができる。第１エッチングマスク１６１は、隣り合う側壁スペーサの露出した側壁間のトレンチを画定する複数の２重層マンドレル１６５及び側壁スペーサ１７１を含む。
【００３２】
図１３Ａ及び１３Ｂは、図３Ａ及び３Ｂと類似している。第１エッチングマスク１６１を用いて、材料Ｃの露出部分を貫通してエッチングし、その後、材料Ｃの露出部分の直接下にある記憶層１４０の露出部分を貫通してエッチングする、エッチング動作が行われる。このエッチング動作の後、充填層１６８は、図１４Ａ及び１４Ｂに示すように基板上に堆積される。これは、第１エッチングマスクの隣り合う側壁スペーサの間に画定されたトレンチを充填することを含む。充填層１６８は、上部材料１６６と同一材料であることができる。その後、基板は、２重層マンドレル１６５の下部材料１６７の上部表面まで下がって平坦化される。したがって、２重層マンドレル１６５の下部部分は、化学的機械研磨などの平坦化停止材料として機能することができる。そのような平坦化ステップの結果は、図１５Ａ及び１５Ｂに示される。
【００３３】
図１６Ａに示すように、第２エッチングマスクを生じさせるために、２重層マンドレル１６５の下部材料１６７が露出した状態で、２重層マンドレル１６５を完全に除去することができる。第２エッチングマスクはマルチライン層の第２部分を露出する第２トレンチを画定することにより、画定された第２トレンチが交互ラインのパターンのうちの複数のラインと上方で交差する。第２エッチングマスク１６２を用いて、材料Ａの露出部分を貫通してエッチングし、その後材料Ａの露出部分の直接下にある、記憶層１４０の露出部分を貫通してエッチングするエッチング動作が行われる。かかるエッチング転写の結果は、図１６Ｂの上面図から下地層１３５が視認可能であるように、図１６Ａ及び図１６Ｂにおいて示される。
【００３４】
第２エッチングマスク１６２（及び関連する膜）は、除去されることができる。ここで図１７Ａ及び１７Ｂを参照すると、マルチライン層１５０及び記憶層１４０のスペースは、特定の材料で充填されることができる。例えば、材料Ｃは、開口を充填するために、基板上に堆積されることができる。図１７Ｂに示すように、かかる充填は、先ず、材料Ｃの過充填をもたらし、その後、基板はマルチライン層１５０の頂部へ戻るように平坦化されることができる。ハードマスク層がマルチライン層１５０の頂部上に組み込まれる場合、このハードマスク層は、スペースを充填してマルチライン層１５０の頂部表面まで下がる平坦化の前又は後に、取り除かれることができ、従って、全ての材料Ｂ（材料Ｂのライン）は、露出される。
【００３５】
図１８Ａ及び１８Ｂを次に参照すると、材料Ｂの露出部分を貫通してエッチングし、その後、材料Ｂの露出部分の直接下にある記憶層１４０の露出部分を貫通してエッチングする、エッチング動作が行われる。材料Ｂのエッチングのために別個のエッチングマスクは必要とされないことに留意されたい。その代り、材料Ａ及びＣ及び充填材料が、材料Ｂと比較して、特定のエッチャントに対する異なるエッチング抵抗率を有するエッチングマスクとして機能する。図１８Ｂにおいて、材料Ｂはもはや視認されず、トレンチは記憶層１４０内にエッチングされており、ここで、下地層１３５の部分が視認される。
【００３６】
図１９Ａ及び１９Ｂを次に参照すると、記憶層の上側の残余の材料は、材料Ａ、材料Ｂ及び材料Ｃを貫通するエッチングに基づくエッチング転写が完了した後、除去されることができ、記憶層は平行なラインセグメントのアレイを有するレリーフパターンをもたらす。図２０Ａ及び２０Ｂに示すように、（ハードマスク材料に含まれ又はハードマスク材料である）記憶層１４０は、フィンのアレイを生成するために、下地層１３５内にラインセグメントのパターンを転写するためのエッチングマスクとして用いられることができる。追加のプロセスは、記憶層１４０、さらにブロッキング、カット、ド−ピングなどを取り除くことを含むことができる。
【００３７】
マルチライン層１５０は、種々の技術で形成されることができる。１つの技術は、図１５Ａの第２のエッチングマスク１６２が形成される方法と、類似している。例えば、マルチライン層を形成することは、材料Ａを用いてマンドレルを形成すること含むことができる。マンドレルは、自己整列４重パターン化又は他のピッチ増倍パターン化の結果であることができる。側壁スペーサはその後、材料Ｂを用いてマンドレルの側壁上に、形成される。充填構造は、材料Ｃを用いて形成され、隣り合うスペーサ間のトレンチを充填する充填構造を有する。異なる材料のラインの交互パターンは、他の材料に対するエッチングのために各材料が選択的にアクセスされることができる。
【００３８】
他の実施形態では、マスクをパターン化する方法は、基板上の記憶層の上側にマルチライン層を形成することを含む。マルチライン層は、相互に比較して異なるエッチング抵抗率を有することにより、化学的に相互に異なる３つの材料の交互ラインのパターンを備える領域を含む。全てのマルチライン層が交互ラインのパターンを有する必要はないが、少なくとも一部は有することに留意されたい。交互ラインはマンドレル、側壁、スペーサ及び充填構造を備える。３つの材料の交互ラインのパターンは、交互になったマンドレルのラインと充填構造のラインとを含み、マンドレルのラインと充填構造のラインとの間に配置された側壁スペーサを有し、マルチライン層の頂部表面からマルチライン層の底部表面まで延在する材料の各ラインを有する。
【００３９】
第１エッチングマスクは、マルチライン層の上側に形成される。第１エッチングマスクがマルチライン層の第１部分を露出する第１トレンチを画定することにより、画定された第１トレンチが交互ラインのパターンのうちの複数のラインと上方で交差する。第１エッチングマスクを用いて、マンドレルの露出部分及びマンドレルの露出部分の直接下にある、記憶層の部分を貫通してエッチングするエッチング動作が行われる。
【００４０】
第２エッチングマスクはマルチライン層の上側に形成される。第２エッチングマスクはマルチライン層の第２部分を露出する第２トレンチを画定することにより、画定された第２トレンチが交互ラインのパターンのうちの複数のラインと上方で交差する。第２エッチングマスクを用いて、充填構造の露出部分及び充填構造の露出部分の直接下にある、記憶層の部分を貫通してエッチングする他のエッチング動作が行われる。マルチライン層はその後露出され、側壁スペーサ及び側壁スペーサの直接下にある記憶層の部分は、このパターンを記憶層に転写するために、エッチング除去され、従って、記憶層内に自己整列するラインセグメントのアレイが生成される。
【００４１】
前述の説明では、プロセスシステムの特定の幾何学的形状、及びそこで使用される様々なコンポーネント及びプロセスの説明などの特定の詳細が示されている。しかしながら、本明細書における技術は、これらの特定の詳細から逸脱する他の実施形態において実施されてもよく、そのような詳細は、説明の目的であって限定ではないことを理解されたい。明細書に開示された実施形態は、添付の図面を参照して説明されている。同様に、説明のために、本発明の完全な理解を提供するために、特定の数、材料、及び構成が示されている。にもかかわらず、そのような具体的な詳細なしに実施形態を実施することができる。なお、実質的に同一の機能構成を有するコンポーネントについては、同様の符号によって示され、従って説明を省略されることができる。
【００４２】
様々な技術を、様々な実施形態の理解を助けるための複数の離散的な動作として説明した。説明の順序は、これらの操作が必然的に順序に依存することを意味すると解釈されるべきではない。実際に、これらの操作は、提示順に実行される必要はない。説明された動作は、記載された実施形態とは異なる順序で実行されてもよい。様々な追加の動作が実行されてもよく、及び／又は記載された動作が追加の実施形態で省略されてもよい。
【００４３】
本明細書で使用する「基板」又は「ターゲット基板」は、一般に、本発明に従ってプロセスされる物体を指す。基板は、デバイス、特に半導体又は他のエレクトロニクスデバイスの、いかなる材料部分又は構造をも含むことができ、例えば、半導体ウエハ、レチクルのようなベース基板構造であるか、又は、ベース基板構造上の若しくはベース基板構造を覆う薄膜のような層でありうる。したがって、基板は、パターン化された又はパターン化されていない、任意の特定のベース構造、下地層又はオーバレイ層に限定されず、むしろ任意のそのような層又はベース構造、及び、層及び／又はベース構造の任意の組み合わせを含むことが意図される。説明では、特定のタイプの基板を参照することができるが、説明の目的のみである。
【００４４】
当業者であれば、本発明の同じ目的を依然として達成しつつ、上述した技術の動作に多くの変形を加えることができることを理解するであろう。そのような変形は、本開示の範囲によって網羅されることが意図される。このように、本発明の実施形態の前述の説明は、限定を意図するものではない。むしろ、本発明の実施形態に対する制限は、添付の特許請求の範囲に示されている。
【図１Ａ】
2019508889.tif 000003
【図１Ｂ】
2019508889.tif 000004
【図２Ａ】
2019508889.tif 000005
【図２Ｂ】
2019508889.tif 000006
【図３Ａ】
2019508889.tif 000007
【図３Ｂ】
2019508889.tif 000008
【図３Ｃ】
2019508889.tif 000009
【図４Ａ】
2019508889.tif 000010
【図４Ｂ】
2019508889.tif 000011
【図５Ａ】
2019508889.tif 000012
【図５Ｂ】
2019508889.tif 000013
【図６Ａ】
2019508889.tif 000014
【図６Ｂ】
2019508889.tif 000015
【図６Ｃ】
2019508889.tif 000016
【図７Ａ】
2019508889.tif 000017
【図７Ｂ】
2019508889.tif 000018
【図８Ａ】
2019508889.tif 000019
【図８Ｂ】
2019508889.tif 000020
【図９Ａ−９Ｂ】
2019508889.tif 000021
【図１０Ａ】
2019508889.tif 000022
【図１０Ｂ】
2019508889.tif 000023
【図１０Ｃ】
2019508889.tif 000024
【図１１Ａ】
2019508889.tif 000025
【図１１Ｂ】
2019508889.tif 000026
【図１２Ａ】
2019508889.tif 000027
【図１２Ｂ】
2019508889.tif 000028
【図１３Ａ】
2019508889.tif 000029
【図１３Ｂ】
2019508889.tif 000030
【図１４Ａ】
2019508889.tif 000031
【図１４Ｂ】
2019508889.tif 000032
【図１５Ａ】
2019508889.tif 000033
【図１５Ｂ】
2019508889.tif 000034
【図１６Ａ】
2019508889.tif 000035
【図１６Ｂ】
2019508889.tif 000036
【図１７Ａ】
2019508889.tif 000037
【図１７Ｂ】
2019508889.tif 000038
【図１８Ａ】
2019508889.tif 000039
【図１８Ｂ】
2019508889.tif 000040
【図１９Ａ−１９Ｂ】
2019508889.tif 000041
【図２０Ａ】
2019508889.tif 000042
【図２０Ｂ】
2019508889.tif 000043
【国際調査報告】
2019508889.tif 000044
2019508889.tif 000045