(57)【要約】  本発明は、特定のフッ素化硫黄を使用する電気活性部品の誘電絶縁化方法、並びにそのような化合物を含む組成物及び装置に関する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気活性部品の誘電絶縁化方法であって、前記電気活性部品が、一般式（Ｉ）：
ＳＦ（６−ｎ）（ＯＲ）ｎ              （Ｉ）
（式中、ｎは１、２、３、４、又は５であり；Ｒはアルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、フッ素置換アルキル、フッ素置換アルケニル、フッ素置換アルキニル、又はフッ素置換アリールである）
の化合物からなる、又はこれから本質的になる、又はこれを含有する絶縁媒体を含む気密ハウジングの中に配置される、方法。
【請求項２】
ｎが１である、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
Ｒがフッ素置換アルキル、好ましくは全フッ素化アルキルである、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
ＲがＣＦ３である、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記化合物がトリフルオロメトキシ五フッ素化硫黄ＳＦ５（ＯＣＦ３）である、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記絶縁媒体中の前記一般式（Ｉ）の化合物の濃度が、少なくとも１体積％、好ましくは少なくとも２．５体積％、より好ましくは少なくとも５体積％である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
少なくとも１種の一般式（Ｉ）：
ＳＦ（６−ｎ）（ＯＲ）ｎ                （Ｉ）
（式中、ｎは１、２、３、４、又は５であり；Ｒは、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、フッ素置換アルキル、フッ素置換アルケニル、フッ素置換アルキニル、又はフッ素置換アリールである）の化合物と；不活性ガス、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているケトン、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエーテル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエステル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているシアノ化合物、及び炭化水素化合物からなる群から選択される少なくとも１種の別の化合物と；からなる、又はこれらから本質的になる、又はこれらを含有する組成物であって、好ましくは前記組成物中の前記一般式（Ｉ）の化合物の濃度が少なくとも１体積％である、組成物。
【請求項８】
ＳＦ５（ＯＣＦ３）と；不活性ガス、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているケトン、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエーテル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエステル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているシアノ化合物、及び炭化水素化合物からなる群から選択される少なくとも１種の化合物と；からなる、又はこれらから本質的になる、又はこれらを含有する、請求項７に記載の組成物。
【請求項９】
ＳＦ５（ＯＣＦ３）と；空気、合成空気、空気成分、Ｎ２、Ｏ２、ＣＯ２、Ｎ２Ｏ、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｘｅ、又はＳＦ６からなる群から選択される少なくとも１種の化合物と；からなる、又はこれらから本質的になる、又はこれらを含有する、好ましくは、ＳＦ５（ＯＣＦ３）とＮ２とからなる、又はこれらから本質的になる、又はこれらを含有する、請求項８に記載の組成物。
【請求項１０】
電気エネルギーの発生、分配、及び／又は使用のための装置であって、前記装置が気密ハウジングの中に配置されている電気活性部品を含み、前記気密ハウジングが、少なくとも１種の一般式（Ｉ）：
ＳＦ（６−ｎ）（ＯＲ）ｎ              （Ｉ）
（式中、ｎは１、２、３、４、又は５であり；Ｒは、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、フッ素置換アルキル、フッ素置換アルケニル、フッ素置換アルキニル、又はフッ素置換アリールである）の化合物からなる、又はこれから本質的になる、又はこれを含有する絶縁媒体を含む；又は、
請求項７〜９のいずれか１項に記載の組成物からなる、又はこれから本質的になる、又はこれを含有する絶縁媒体を含む；装置。
【請求項１１】
前記絶縁媒体が、ＳＦ５（ＯＣＦ３）からなる、又はこれから本質的になる、又はこれを含有する、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記絶縁媒体中の前記一般式（Ｉ）の化合物の濃度が少なくとも１体積％である、請求項１０又は１１に記載の装置。
【請求項１３】
電気活性部品を絶縁するための誘電媒体としての、一般式（Ｉ）：
ＳＦ（６−ｎ）（ＯＲ）ｎ          （Ｉ）
（式中、ｎは１、２、３、４、又は５であり；Ｒは、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、フッ素置換アルキル、フッ素置換アルケニル、フッ素置換アルキニル、又はフッ素置換アリールである）
の化合物の使用。
【請求項１４】
前記化合物がＳＦ５（ＯＣＦ３）である、請求項１３に記載の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２０１５年１２月４日に出願された欧州特許出願第１５１９８０６２．０号に基づく優先権を主張し、この出願の全内容は、あらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本発明は、特定のフッ素化硫黄を使用する電気活性部品の誘電絶縁化方法、並びにそのような化合物を含む組成物及び装置に関する。
【０００３】
液体又は気体状態の誘電絶縁媒体は、例えば開閉装置又は変圧器などの多種多様な電気装置における電気活性部品の絶縁のために利用されている。
【０００４】
誘電絶縁媒体としてはＳＦ６とＮ２との混合物が広く利用されている。これまでに、代替の誘電絶縁媒体を提供するために努力されてきた。
【０００５】
国際公開第２０１４／０９６４１４号明細書は、例えばフッ素化エーテル及び過酸化物などの特定のフッ素化化合物を使用する、電気活性部品の誘電絶縁化方法に関する。
【０００６】
本発明の目的は、電気活性部品の電気絶縁のための改善された方法及び／又は組成物を提供することである。
【０００７】
有利なことには、本発明の方法及び組成物は、改善された絶縁、アーク消滅及び／又はスイッチング性能を示す。同様に有利なことには、本発明の方法及び組成物は、例えば改善された地球温暖化係数（ＧＷＰ）及び／又は改善されたオゾン層破壊によって測定されるように、絶縁媒体が大気中へ放出された場合に有利な環境影響を示す。同様に有利なことには、本発明の方法及び組成物は、例えばより高いＬＣ５０及び／又はより高い職業暴露限度（Ｏｃｃｕｐａｔｉｏｎａｌ  Ｅｘｐｏｓｕｒｅ  Ｌｉｍｉｔ）によって測定される、改善された毒性学的挙動を示す。更に、この方法及び組成物は、有利なことには改善された露点、蒸気圧、沸点、絶縁耐力、及び／又は絶縁媒体の熱安定性を示す。加えて、本発明による組成物は、有利なことには、例えば電気活性部品のために使用される構成材料に対して改善された化学的不活性及び／又は改善された伝熱特性を示す。
【０００８】
これらの及び他の目的は、特許請求の範囲に概要が述べられる本発明によって解決される。
【０００９】
したがって、本発明の第１の態様は、電気活性部品の誘電絶縁化方法であって、電気活性部品が、一般式（Ｉ）の化合物：
ＳＦ（６−ｎ）（ＯＲ）ｎ（式中、ｎは１、２、３、４、又は５であり；Ｒはアルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、フッ素置換アルキル、フッ素置換アルケニル、フッ素置換アルキニル、又はフッ素置換アリールである）からなる、又はこれから本質的になる、又はこれを含有する絶縁媒体を含む気密ハウジングの中に配置される、方法に関する。
【００１０】
「フッ素置換」という用語は、少なくとも１つの水素原子が１つのフッ素原子によって置き換えられた基を意味することが意図されている。
【００１１】
「アリール」という用語は、芳香族核、特にはＣ６〜Ｃ１０の芳香族核、特にはフェニル又はナフチルなどから誘導される一価のラジカルを意味することが意図されている。アリール基は、任意選択的には置換されていてもよく、例えば少なくとも１つのアルキル基で置換されていてもよい。
【００１２】
用語「アルキル」は、特にはＣ１〜Ｃ６アルキルなどの、任意選択的に置換されていてもよい飽和の一価炭化水素ラジカルを意味することが意図されている。例としては、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、ｔ−ブチル、ペンチル、イソペンチル、及びヘキシルを挙げることができる。アルキルは、例えば、ハロゲン、アリール、又はヘテロアリールによって任意選択的に置換されていてもよい。好ましいアルキル基はメチルである。用語「アルキル」にはシクロアルキル基も包含される。シクロアルキル基は、任意選択的に置換されていてもよい飽和炭化水素を主体とする基の環である。例としては、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、及びシクロヘキシルを挙げることができる。
【００１３】
用語「アルケニル」は、Ｅ又はＺのいずれかの立体化学の（該当する場合）１つ以上の炭素−炭素二重結合を有する、直鎖又は分岐の非環状一価炭化水素ラジカルを意味することが意図されている。この用語には、例えばビニル、アリル、１−ブテニル、２−ブテニル、及び２−メチル−２−プロペニルが含まれる。
【００１４】
用語「アルキニル」は、２〜６個の炭素原子と、少なくとも１つの炭素−炭素三重結合とを有し、任意選択的には１つ以上の炭素−炭素二重結合を有していてもよい、直鎖又は分岐鎖の一価炭化水素ラジカルを意味することが意図されている。例としては、エチニル、プロピニル、及び３，４−ペンタジエン−１−イニルが挙げられる。
【００１５】
本明細書で用いられる用語「から本質的になる」は、明記されるような成分並びに微量での他の成分を含む組成物であって、他の成分の存在が明記される主題の本質的な特性を変えない組成物を意味することを意図する。
【００１６】
好ましくは、Ｒはアルキルである。より好ましくは、Ｒは全フッ素化されているアルキルである。そのため、Ｒ中の全ての水素原子がフッ素原子で置換されている。したがって、Ｒは、全フッ素化されているメチル、エチル、イソプロピル、ｎ−プロピル、イソブチル、ｎ−ブチル又はｔｅｒｔ−ブチル、ｎ−ペンチル又はイソペンチル基からなる群から選択することができ、最も好ましくは、トリフルオロメチル、ペンタフルオロエチル、及びへプタフルオロイソプロピルから選択することができる。特には、ＲはＣＦ３である。
【００１７】
あるいは、Ｒは部分フッ素化されている。この場合、Ｒは、部分フッ素化されているメチル、エチル、イソプロピル、ｎ−プロピル、イソブチル、ｎ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ｎ−ペンチル、及びイソペンチルからなる群から選択される。好ましくは、Ｒは、ジフルオロメチル、テトラフルオロエチル、ｎ−ヘキサフルオロプロピル、及びイソヘキサフルオロプロピルから独立して選択され、より好ましくはジフルオロメチルである。
【００１８】
カウンターｎは好ましくは１である。
【００１９】
最も好ましくは、一般式（Ｉ）の化合物は、トリフルオロメトキシ五フッ素化硫黄ＳＦ５（ＯＣＦ３）である。
【００２０】
好ましくは、絶縁媒体中の一般式（Ｉ）の化合物の濃度は、少なくとも１体積％、より好ましくは少なくとも２．５体積％、最も好ましくは少なくとも５体積％である。一般式（Ｉ）の化合物と他の成分との混合物が使用される場合、有利には、濃度は９５体積％以下、より好ましくは８５体積％以下、最も好ましくは７５体積％以下である。
【００２１】
本発明の枠組みの中では、単数形は複数形を含むことが意図されており、逆もまた同様である。
【００２２】
一般式（Ｉ）の化合物は、Ｄｕｎｃａｎ，Ｌ．Ｃ．；Ｃａｄｙ，Ｇ．Ｈ．，Ｉｎｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，１９６４，３（６），ｐｐ．８５０−８５２に記載の通りに合成することができる。例えば、ＳＦ５（ＯＣＦ３）はＣＦ３ＯＦとＳＦ４とから合成することができ、またＳＦ４（ＯＣＦ３）２はＳＦ４とＣＦ３−Ｏ−Ｏ−ＣＦ３とから合成することができる。
【００２３】
好ましくは、本発明の方法で使用される絶縁媒体は、式（Ｉ）の化合物と、不活性ガス、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているケトン、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエーテル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエステル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているシアノ化合物、及び炭化水素化合物からなるリストから選択される少なくとも１種の別の化合物と、を含有する。より好ましくは、少なくとも１種の化合物は、空気、合成空気、空気成分、Ｎ２、Ｏ２、ＣＯ２、Ｎ２Ｏ、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｘｅ、及びＳＦ６からなる群から選択される不活性ガスであり；好ましくは少なくとも１種の化合物はＮ２である。
【００２４】
好ましくは、組成物中の一般式（Ｉ）の化合物の濃度は、少なくとも１体積％、より好ましくは少なくとも２．５体積％、最も好ましくは少なくとも５体積％である。一般式（Ｉ）の化合物と他の成分との混合物が使用される場合、有利には、その濃度は９５体積％以下、より好ましくは８５体積％以下、最も好ましくは７５体積％以下である。
【００２５】
用語「不活性ガス」は、本発明による化合物と反応しない気体を意味することを意図する。好ましくは、不活性ガスは、空気、合成空気、空気成分、Ｎ２、Ｏ２、ＣＯ２、Ｎ２Ｏ、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｘｅ、又はＳＦ６からなるリストから選ばれ；より好ましくは、不活性ガスはＮ２である。
【００２６】
好ましくは、少なくとも１つの化合物は、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているケトンである。用語「ケトン」は、２個の炭素原子がカルボニル基の炭素に結合した状態で少なくとも１つのカルボニル基を組み込んでいる化合物を意味することを意図する。それは、飽和化合物並びに二重結合及び／又は三重結合を含む不飽和化合物を包含するものとする。ケトンの少なくとも部分フッ素化されているアルキル鎖は、直鎖又は分岐であってもよい。用語「ケトン」はまた、環状炭素骨格を持った化合物も包含するものとする。用語「ケトン」は、追加の鎖中ヘテロ原子、例えば、炭素骨格の一部である及び／又は炭素骨格に結合している少なくとも１つのヘテロ原子を含んでもよい。より好ましくは、少なくとも１つの化合物は、全フッ素化ケトンである。好適な全フッ素化ケトンの例としては、１，１，１，３，４，４，４−ヘプタフルオロ−３−（トリフルオロメチル）−ブタン−２−オン；１，１，１，３，３，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン−２−オン；１，１，１，２，２，４，４，５，５，５−デカフルオロペンタン−３−オン、１，１，１，４，４，５，５，５，−オクタフルオロ−３−ビス−（トリフルオロメチル）−ペンタン−２−オン；最も好ましくはヘプタフルオロイソプロピル−トリフルオロメチル−ケトンが挙げられる。
【００２７】
同様に好ましくは、少なくとも１つの化合物は、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエーテルである。用語「エーテル」は、少なくとも１つの「−Ｃ−Ｏ−Ｃ−」部分を組み込んでいる化合物を意味することを意図する。とりわけ好適な例としては、ペンタフルオロ−エチル−メチルエーテル及び２，２，２−トリフルオロエチル−トリフルオロメチルエーテルが挙げられる。
【００２８】
同様に好ましくは、少なくとも１つの化合物は、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエステル、すなわち、少なくとも１つの「−Ｃ（Ｏ）Ｏ−」部分を組み込んでいる化合物である。好適な化合物は、当技術分野で公知であり、とりわけ好適な例としては、トリフルオロ酢酸のメチル、エチル、及びトリフルオロメチルエステルが挙げられる。
【００２９】
同様に好ましくは、少なくとも１つの化合物は、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているシアノ化合物、すなわち、構造「−Ｃ≡Ｎ」の少なくとも１つの部分を組み込んでいる化合物である。好ましくは、シアノ化合物は全フッ素化されており、より好ましくは、シアノ化合物は、全フッ素化メチル、エチル、イソプロピル、プロピル、ブチル、イソブチル及びｔｅｒｔブチルニトリルからなるリストから選ばれる。
【００３０】
同様に好ましくは、少なくとも１つの化合物は、全フッ素化若しくは部分フッ素化されている炭化水素化合物である。「炭化水素化合物」は、フッ素置換に加えて、他のハロゲン原子、例えばＣｌ、Ｂｒ、及び／又はＩでまた置換されていてもよい、飽和又は不飽和炭化水素を意味することを意図する。好適な例としては、ＣＨＦ３、Ｃ２Ｆ４、ＣＦ３ＣＦ２ＣＦ２ＣＦ２Ｉ、及びＣＦ２Ｃｌ２が挙げられる。
【００３１】
用語「電気活性部品」は、非常に幅広く理解されなければならない。好ましくは、これは、それが気密ハウジングを含むという条件で、電気エネルギーの発生、分配、又は使用のために使用されるいかなる部品も網羅し、ここで、誘電絶縁媒体は、電圧及び電流に耐える部品に誘電絶縁を付与する。好ましくは、電気活性部品は、中電圧又は高電圧部品である。用語「中電圧」は、１ｋＶ〜７２ｋＶの範囲の電圧に関し；用語「高電圧」は、７２ｋＶ超の電圧を意味する。これらが本発明の枠組みにおいて好ましい電気活性部品であるが、部品はまた、１ｋＶよりも下の電圧が関係している低電圧部品であってもよい。
【００３２】
本発明の電気活性部品は「独立型」部品であってもよく、又はそれらは、部品のアセンブリの、例えば装置の部品であってもよいことに留意しなければならない。これは、以降で詳しく説明する。
【００３３】
電気活性部品は、開閉器、例えば、高速作動接地開閉器、断路器、負荷開閉器又はパッファ式回路遮断器、特に中電圧回路遮断器（ＧＩＳ−ＭＶ）、発電機回路遮断器（ＧＩＳ−ＨＶ）、高電圧回路遮断器、バスバー、ブッシング、ガス絶縁ケーブル、ガス絶縁伝送線、ケーブル・ジョイント、変流器、変圧器又はサージ避雷器であってもよい。
【００３４】
電気活性部品はまた、電気回転機械、発電機、モーター、駆動部、半導体デバイス、コンピューター、電力工学デバイス又は高周波部品、例えば、アンテナ又は点火コイルであってもよい。
【００３５】
本発明の方法は、中電圧開閉装置及び高電圧開閉装置にとりわけ好適である。
【００３６】
本発明の方法で使用される絶縁媒体は、好ましくは本発明の方法で使用される際には気体状態である。しかし、例えば温度及び圧力などの、方法が行われる条件次第で、絶縁媒体は少なくとも部分的に液体状態であってもよい。
【００３７】
電気活性部品において、絶縁媒体は、好ましくは０．１バール（絶対圧）以上の圧力にある。絶縁媒体は、好ましくは３０バール（絶対圧）以下の圧力にある。好ましい圧力範囲は、１〜２０バール（絶対圧）である。
【００３８】
気相の一般構造（Ｉ）の化合物の分圧は、特に絶縁媒体中でのその濃度に依存する。誘電絶縁媒体が一般構造（Ｉ）の化合物からなる場合、その分圧は全圧と等しく、上で示した範囲に対応する。媒体が不活性ガスを含む場合、一般構造（Ｉ）の化合物の分圧は、それに応じて低い。１０バール（絶対圧）以下である一般構造（Ｉ）の化合物の分圧が好ましい。
【００３９】
化合物又は混合物は、それぞれ、気候条件又は電気装置の雰囲気での温度下で、電気部品での圧力下で、本質的に誘電絶縁媒体中で成分の凝縮が起こらないようなものであることも好ましい。用語「本質的に凝縮がない」は、最大で５重量％、好ましくは最大で２重量％の、誘電絶縁媒体しか凝縮しないことを意味する。例えば、式（Ｉ）の化合物の量  不活性ガスの種類及び量は、式（Ｉ）の化合物の分圧が、式（Ｉ）の化合物の凝縮が−２０℃で観察される圧力よりも低いように選択される。
【００４０】
第２の態様においては、本発明は、少なくとも１種の一般式（Ｉ）の化合物：ＳＦ（６−ｎ）（ＯＲ）ｎ（式中、ｎは１、２、３、４、又は５であり；Ｒは、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、フッ素置換アルキル、フッ素置換アルケニル、フッ素置換アルキニル、又はフッ素置換アリールである）と；不活性ガス、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているケトン、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエーテル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエステル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているシアノ化合物、及び炭化水素化合物からなる群から選択される少なくとも１種の別の化合物とからなる、又はこれらから本質的になる、又はこれらを含有する、組成物に関する。
【００４１】
好ましくは、組成物中の一般式（Ｉ）の化合物の濃度は、少なくとも１体積％である。
【００４２】
好ましくは、組成物は、ＳＦ５（ＯＣＦ３）と、不活性ガス、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているケトン、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエーテル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているエステル、全フッ素化若しくは部分フッ素化されているシアノ化合物、及び炭化水素化合物からなる群から選択される少なくとも１種の化合物と、からなる、又はこれから本質的になる、又はこれらを含有する。
【００４３】
より好ましくは、組成物は、ＳＦ５（ＯＣＦ３）と、空気、合成空気、空気成分、Ｎ２、Ｏ２、ＣＯ２、Ｎ２Ｏ、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｘｅ、又はＳＦ６からなる群から選択される少なくとも１種の化合物と；からなる、又はこれらから本質的になる、又はこれらを含有する、又は、ＳＦ５（ＯＣＦ３）とＮ２とからなる、又はこれらから本質的になる、又はこれらを含有する。
【００４４】
第３の目的においては、本発明は、電気エネルギーの発生、分配、及び／又は使用のための装置であって、装置が気密ハウジングの中に配置されている電気活性部品を含み、前記気密ハウジングが、少なくとも１種の一般式（Ｉ）の化合物：ＳＦ（６−ｎ）（ＯＲ）ｎ（式中、ｎは１、２、３、４、又は５であり；Ｒは、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、フッ素置換アルキル、フッ素置換アルケニル、フッ素置換アルキニル、又はフッ素置換アリールである）からなる、又はこれから本質的になる、又はこれを含有する、絶縁媒体を含む；又は、上で定義した本発明の組成物からなる、又はこれから本質的になる、又はこれを含有する絶縁媒体を含む；装置に関する。好ましくは、絶縁媒体は、ＳＦ５（ＯＣＦ３）からなる、又はこれから本質的になる、又はこれを含有する。同様に好ましくは、装置は、中電圧又は高電圧の開閉装置である。
【００４５】
本発明の別の目的は、本明細書に記載の本発明の化合物又は混合物の、誘電絶縁媒体としての、又は誘電絶縁媒体の成分としての使用、並びに、例えばチャンバー洗浄剤などのドライエッチング剤としての、特にはＮＦ３の代替としてのプラズマ強化チャンバー洗浄のための、使用に関する。
【００４６】
本発明の別の目的は、独立気泡ポリウレタン、フェノール系及び熱可塑性樹脂フォームの製造における発泡剤としてのフルオロカーボン又はハイドロフルオロカーボンの代替品として、エアゾールにおける噴射剤として、伝熱媒体として、消火剤として、ヒートポンプ用などの電力サイクル作動流体として、重合反応用の不活性媒体として、金属表面から微粒子を除去するための流体として、例えば、滑剤の微細フィルムを金属部上に置くために使用され得るキャリア流体として、金属などの研磨面からバフ研磨剤を除去するためのバフ研磨剤として、宝石類又は金属部品からなど、水を除去するための置換乾燥剤として、塩素型現像剤を含む従来型回路製造技術におけるレジスト現像剤として、又は、例えば、１，１，１−トリクロロエタン若しくはトリクロロエチレンなどのクロロハイドロカーボンと一緒に使用される場合のフォトレジスト用の剥離液としての一般式（Ｉ）の化合物の使用である。
【００４７】
本発明の別の目的は、一般式（Ｉ）の化合物：ＳＦ（６−ｎ）（ＯＲ）ｎ（式中、ｎは１、２、３、４、又は５であり；Ｒは、アルキル、アルケニル、アルキニル、アリール、フッ素置換アルキル、フッ素置換アルケニル、フッ素置換アルキニル、又はフッ素置換アリールである）の、電気活性部品を絶縁するための誘電媒体としての使用である。好ましい電気活性部品は、開閉器、例えば、高速作動接地開閉器、断路器、負荷開閉器又はパッファ式回路遮断器、特に中電圧回路遮断器（ＧＩＳ−ＭＶ）、発電機回路遮断器（ＧＩＳ−ＨＶ）、高電圧回路遮断器、バスバー、ブッシング、ガス絶縁ケーブル、ガス絶縁伝送線、ケーブル・ジョイント、変流器、変圧器又はサージ避雷器であってもよい。
【００４８】
参照により本明細書に組み込まれる特許、特許出願、及び刊行物のいずれかの開示が用語を不明瞭にさせ得る程度まで本出願の記載と矛盾する場合、本記載が優先するものとする。
【００４９】
以下の実施例は、本発明を限定する意図なしに本発明を更に説明する。
【実施例】
【００５０】
実施例１ａ：ＳＦ５（ＯＣＦ３）の製造
ＳＦ５（ＯＣＦ３）は、Ｄｕｎｃａｎ，Ｌ．Ｃ．；Ｃａｄｙ，Ｇ．Ｈ．，Ｉｎｏｒｇａｎｉｃ  Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，１９６４，３（６），ｐｐ．８５０−８５２に従って合成する。
【００５１】
実施例１ｂ：組成物の製造
国際特許出願公開第９８／２３３６３号明細書に記載の通り、１：４の体積比のＳＦ５（ＯＣＦ３）とＮ２とからなる均質な混合物は、スタティックミキサーとコンプレッサーとを含む装置の中で製造する。
【００５２】
実施例２：実施例１の誘電絶縁媒体を含有するアースケーブルの提供
ケーブルの中の全圧が１０バール（絶対圧）に達するまで、実施例１ｂの組成物を高電圧用アースケーブルに直接供給する。
【００５３】
実施例３：１：４の体積比でＳＦ５（ＯＣＦ３）とＮ２とを含有する開閉装置
気密金属ケースで取り囲まれた開閉器を含む開閉装置が使用される。実施例１ｂの組成物を、１８バール（絶対圧）の圧力に達するまでバルブを通して気密金属ケースに注入する。
【国際調査報告】
2019508998.tif 000002
2019508998.tif 000003
2019508998.tif 000004