【誤訳訂正書】
【提出日】平成18年10月25日(2006.10.25)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】発明の詳細な説明
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（説明）
半導体デバイスキャリアを半導体加工（ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）ツールに輸送するための車両。
【０００２】
本発明は、半導体デバイスキャリアを半導体加工ツールに輸送するための車両に関する。
【０００３】
半導体デバイス製造において、ウェハのような半導体デバイスを含む半導体キャリアの一般に用いられている輸送手段は、例えば、ウェハ製造場（ｆａｂｓ）のクリーンルーム領域中の、いわゆる、人ガイド車両（ｐｅｒｓｏｎ  ｇｕｉｄｅｄ  ｖｅｈｉｃｌｅ：ＰＧＶ）であり、これらの車両は、オペレーターの手によって押され、ウェハ加工順序に従って、１つの加工ツールから次の加工ツールに１つ以上のウェハキャリアを輸送する。
人ガイド車両の構造および形態は、製造場により、または、加工ツールの積荷ポートのタイプ、移送されるべきウェハキャリアの数およびサイズ、またはクリーンルーム領域中の積荷ポートにある通路および加工ツールの大きさのような、充足されなければならない局所的要求に依存して、一区画においてさえ、かなり変動し得る。２００ｍｍまたは３００ｍｍの直径を有するより大きなウェハサイズの出現とともに、充填されたウェハキャリアは、手動で取り扱うには重過ぎるようになった。それに代わる、車両の頂部にある機械的移送手段は、ウェハキャリアを、加工ツールの積荷ポートから、またはそこに配置もしくは吊り上げる仕事を行い、次に、それらは手動で操作される。
【０００４】
一般に用いられている移送手段は、持ち上げ腕木（ｌｉｆｔｅｒ  ｂｏｏｍ）を備えている。例えば、対応する積荷ステップにおいて、この車両は、最初に、高い配置精度を達成するために、目的地積荷ポートをもつ加工ツールに横付けされることが必要である。この横付け位置において、車両は、デバイスキャリアが積荷ポートの前の車両の頂部に位置した状態で、積荷ポートの前で静止する。次いで、ウェハキャリアは取り上げられ、持ち上げ腕木によって積荷ポートに向けられるかまたはそれに向かって押される。この目的のために、車両は、持ち上げ腕木が拡張するとき、ウェハキャリアの偏心重量より重いような構造である必要があり、より大きな総重量またはサイズになる。
【０００５】
クリーンルーム領域中の設備および通路のフットプリントは、ウェハ生産の価値のない付加コストに強く寄与する。従って、広い通路を必要とする積荷ポートの前の大きなサイズおよび周縁位置は、ウェハ製造コストを増加する。たとえ通路がビビクルで混んでいても、オペレーターが緊急出口に向かう自由な通路を保障するために、２つの対向する加工ツールを提供する２つの車両のサイズによって付加される、通路の２つの制限する側面間の最小限の幅が必要である。
【０００６】
さらに、積荷ポート上へのウェハキャリアの手動の移送または持ち上げ腕木を用いた移送は、操作スタッフの時間を必要とし、かつ振動に起因する粒子汚染を生じ得る。車両は、種々の異なって設計された積荷ポートに対処しなければならないので、それらは、通常、特有の移送取り扱いを欠いており、そしてそれ故、将来の標準に準拠する積荷ポートのような特定の積荷ポート設計には適合していない。
【０００７】
従って、本発明の主な目的は、必要なフットプリントの量が低減され、それによってコストを節約するような、半導体デバイスを半導体加工ツールに輸送するための車両を提供することにある。
【０００８】
この目的は、半導体デバイスキャリアを半導体加工ツールに輸送する車両によって解決され、このツールは、側面長さならびに側面深さおよび高さをもち上記半導体加工ツールに配置される半導体デバイスキャリアのための積荷ポートを有し、上記ツールは、積荷ポート上面の上に自由空間を提供し、上記積荷ポートは、上記積荷ポート表面の頂部上に配置され得、かつ持ち上げインターフェースが提供される上記半導体デバイスキャリアを受け入れるように設計されており、上記車両は、内部空間を取り囲む支持部材の骨格を備えるシャーシであって、これは、この骨格の任意の支持部材に拘束されず、かつ車両前側面から自由に接近され得、上記内部空間は、上記積荷ポートの側面長さより大きな長さを有し、そして上記内部空間は上記積荷ポートの側面深さより大きな深さを有する、シャーシ；上記車両を移動するために上記シャーシ上に取り付けられた１セットの車輪；上記半導体デバイスキャリアを配置または吊り上げるための、上記積荷ポートの自由空間の垂直高さ範囲内にある、車両のシャーシに取り付けられた持ち上げ手段；持ち上げのために上記インターフェースに接続する、上記持ち上げ手段に取り付けられる、垂直に配置可能な持ち上げ接続手段；およびこの持ち上げ手段を稼動するための上記シャーシ上に取り付けられたクランク機構を備える。
【０００９】
本発明によれば、加工ツールの積荷ポートを積み込むかまたはおろすために必要なフットプリントの量を有意に低減する車両が提供され、ここで、この積荷ポートは、この積荷ポート構造が積荷ステップの間に車両によって取り囲まれ得るようなスタイルで、加工ツールに取り付けられる。この目的のために、この車両は、この車両が加工ツールに接近かつ横付けするとき、任意のヒビクル支持構造に拘束されない内部空間、および加工ツールの任意の突出、すなわち、積荷ポートおよびその下の関連する支持部材、またはサービス車輪、内部空間への自由通路を可能にする開放前側面を備える。
【００１０】
従って、積荷ポートの前に横付けおよび積荷位置をとる代わりに、積荷ポートは、この車両によってカバーされる。従って、この車両は、加工ツールにより近接した位置決めを有し、ベース内の加工ツール間の通路上により大きな空間を残す。
【００１１】
本発明に従う積荷ポートの要件がこの一区画内で満たされ、そして本発明に従う車両のみが用いられる場合、クリーンルーム領域内の通路の最小幅を要求する、緊急出口に関する一般規制は、より小さな通路に起因する一区画内の加工ツールのより密なレイアウトを許容する。従って、高価なクリーンルーム領域中の低減された車両のフットプリントおよび通路に起因して、かなりの額のコストが節約され得る。
【００１２】
さらなる利点は、頂部からのデバイスキャリアを備えた積荷ポートを積み込む構成から生じる。持ち上げのための手段が、デバイスキャリアを保持する車両のシャーシ上に、デバイスキャリアの底面の高さを積荷ポート表面より高い位置にあるようにして取り付けられる。反対の場合、積荷表面より下のレベルを有するデバイスキャリアは排除されるものではないが、前者の位置が好適である。なぜなら、積荷ポートに横付けするときさらなる持ち上げが必要でないからである。
【００１３】
横付け位置においては、持ち上げ手段により保持されたデバイスキャリアは、積荷表面の上の自由空間内に位置し、その一方、この積荷ポートは、車両の内部空間に位置して車両によって取り囲まれる。積荷ポートを積み込むために、テバイスキャリアは、持ち上げ手段によって、積荷ポート表面上に丁度持ち下げられなければならない。従って、水平方向の動きは必要ではなく、そして高い精度の配置が容易に履行される。さらに、デバイスキャリアの偏心移動がないので、床に投影されるとき、車両の重力の中心が有意に変化せず、それ故、ビビクルの支持部材の構造を単純にし、その重量およびサイズを低減する。
【００１４】
持ち上げ手段は、デバイスキャリアを垂直方向に持ち上げるために車両のシャーシ上に取り付けられたクランク機構により稼動される。本発明によれば、移動の軸がただ１つであるので、デバイスキャリア中でデバイス上に作用する力および振動は、有利に低減される。少ない量の持ち上げ経路は、デバイスキャリアの積み込みまたは積み下ろしする時間をさらに節約する。
【００１５】
さらなる局面は、積荷ポートに横付けるための手段を考慮する。このような手段を取り付け、車両は、積荷ポートを取り囲む固定位置にあり、そしてデバイスキャリアは、この積荷ポートの上に直接位置する。従って、積荷ポート上へのデバイスキャリアの自動的な正確な配置が真っ直ぐ進んで履行される。
【００１６】
本発明のさらに有利な特徴、局面および詳細は、添付の請求項から明りょうである。
【００１７】
本発明の実施形態を、ここで図面を参照して記載する。
【００１８】
図１の（ａ）〜（ｅ）は、本発明による車両の好適な実施形態の異なる側面図を示し、平面図（ａ）、前面図（ｂ）、側面図（ｃ）、後面図（ｄ）および底面図（ｅ）を示す。
【００１９】
図２の（ａ）および（ｂ）は、平面図により、先行技術（ａ）および本発明の実施形態による、ベース内の加工ツール間の通路の最小幅の決定を示す。
【００２０】
本発明による実施形態では、人ガイド車両が提供され、これは、いわゆるバルコニー型積荷ポート２に適している。理想的には、このような積荷ポート２は、加工ツール１の前側面から直角に突出している。好ましくは、この積荷ポートは、ＳＥＭＩ−標準Ｅ１５．１．に準拠している。この標準に従う積荷ポートを有する加工ツールは、３００ｍｍ生産および方法ツールの場合に非常に一般的になってきた。少なくともこの実施形態による車両の高さまで伸びる積荷ポート表面の上にある加工ツール１の前の自由空間は、デハイスキャリア５が、図１（ｃ）で見られ得る、車両シャーシ３の頂部上の持ち上げ手段４により保持され、この自由空間中に運ばれ得ることを保証する。この図１において、積荷ポート２を供する車両が示されている。
【００２１】
図１（ａ）から明りょうであるように、デバイスキャリア５は、積荷ポートの直接上に保持され、そして運動学的ピン２１上へのまさに垂直運動で放出される必要がある。このピンは、高い精度の配置を達成するために、デバイスキャリア５の底部プレートにある対応するグローブ（ｇｒｏｖｅ）に適合している。この平面図では、車両のフットプリントが、積荷ポートのフットプリントを覆い、それ故、先行技術では付加されなければならない空間を節約することが容易に認識される。
【００２２】
図１（ｂ）は、内部空間１０がどのようにシャーシ３内に埋まるのかを示している。内部空間１０は、持ち上げ手段の下に保持されるデバイスキャリア５により、および床により、シャーシ３の左側面支持部材および右側面支持部材により制限されている。それによって、内部空間１０の幅は、積荷ポート２の側面長さ２３より大きく、そして内部空間１０の深さは、積荷ポート２の側面深さ２２より大きい。従って、正確な積荷位置では、積荷ポート２は、シャーシ３により妨害されない。
【００２３】
この実施形態によれば、デバイスキャリア５は、前面開放一体化ポッド（ｐｏｄ）（ＦＯＵＰ）であって、個々のデバイスの取り扱いが、加工ツール１によって実施され、そして持ち上げ手段のために必要な持ち上げ経路長さが約１ｃｍで済むという利点があり、これは、図１（ｃ）から明らかとなる。持ち上げ手段４のデバイスキャリア５の持ち上げインターフェース５１は、マッシュルーム頂部の形態を有し、デバイスキャリア５を持ち上げ、または下げるための適切な相当物として持ち上げコネクター手段４２のようなフォークリフトを備えているが、任意のその他の接続手段（ぶら下げまたは吊り下げる）が同様に利用され得る。
【００２４】
積荷ポートへの正確な位置が見出されるか、または車両を横付けすると、オペレーター９は、デバイスキャリア５を持ち上げるか、または下げるために、クランク４１を手動で操作し得る。このデバイスキャリアは、頂部から積荷ポート表面に下げられ、そしてこの持ち上げ手段がシャーシ３の左右側面支持部材におけるその支持を有しているので、持ち上げ手段４は、本質的に、入口ホイストである。この実施形態によれば、配置特徴を改良するために、入口ホイスト４上のフォークリフト４２の水平方向動きも同様に可能である。
【００２５】
図１（ｃ）と１（ｄ）とを比較すると、車両を押すための手段として主要斜め支持部材３２の使用が示される。車両を反転する必要なくして、クランク４１および車両を押す手段３２の両方を、車両の後側面から操作することは、デバイスキャリア５を上昇させるか、または離脱させるプロセスを顕著に単純化する。さらに、前車輪３１としての固定軸車輪の使用が可能であり、その一方垂直軸の回りに回転可能である後車輪３１を用いて車両を操縦する。従って、積荷手順の時間が最小にされ、そして構造の複雑さがなお低減される。
【００２６】
シャーシ３の保護の底面図を図１（ｅ）に示す。シャーシ３が単に「Ｕ」字の形態であることが示される。従って、積荷ポート２の下に、たとえ、サービス車輪などの突出部材があっても、それらは、車両が積荷位置にある場合、内部空間１０の内側に位置し、そしてそれ故、車両を妨害しない。
【００２７】
本発明の実施形態により、クリーンルーム領域において節約される空間の量は、図２（ａ）と（ｂ）の比較から明りょうになる。各々が通路８を取り囲む２つの積荷ポート２を有するいくつかの加工ツール１が示される。緊急の場合の規制を固守するため、互いに対向して存在する車両（そのうちの１つは積荷ポート２に役立ち、他方は対向する積荷ポート２’の丁度前にある）を通過するために、通路８中のオペレーター９に十分な空間が存在しなければならない。先行技術の場合には、通路８の代表的な幅は２．２００ｍｍであり、これは、図２（ａ）に観察され得る。その一方、本発明の実施形態によれば、この幅は、１．６００ｍｍまで低減される。なぜなら、図２（ｂ）に見られるように、車両のフットプリントが、積荷ポートのフットプリントの上に置かれ得るからである。代表的な数の積荷ポート２および加工ツール１を製造場で用いることにより、２５０ｍ２の空間が、約５，０００，０００ユーロの相当するコストで節約され得る。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】図面の簡単な説明
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１（ａ）〜（ｅ）は、本発明による車両の好適な実施形態の異なる側面からの図である。平面図（ａ）、前面図（ｂ）、側面図（ｃ）、後面図（ｄ）および底面図（ｅ）をそれぞれ示す。
【図２】
図２（ａ）および（ｂ）は、先行技術（ａ）および本発明の実施形態（ｂ）による、ベース内の加工ツール間の通路の最小幅の決定を示す平面図である。