【手続補正書】
【提出日】平成19年8月3日(2007.8.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体金属組成物を製造するための方法であって、
（ａ）気体状金属ハロゲン化物と還元剤とを、非固体状反応生成物を形成するために有効な様式で反応させる工程であって、
該金属ハロゲン化物は、式
ＭＸｉ
を有し、
Ｍは、周期律表の遷移金属、アルミニウム、ケイ素、ホウ素、およびこれらの組合せより選択される金属であり、
Ｘは、ハロゲンであり、
ｉは、０より大きく、
該還元剤は、水素、水素を放出する化合物、およびこれらの組合せより選択される気体状還元剤であり、そして該反応は、合金化剤またはその前駆体の存在下で行なわれる、工程；ならびに
（ｂ）該反応生成物を固化させ、それによってハロゲン化物を実質的に含まないＭを含む金属合金組成物を形成する、工程、
を包含する、方法。
【請求項２】
Ｍが、周期律表の４〜７族より選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
Ｍが、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、ＷおよびＲｅより選択される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
Ｍが、Ｔｉである、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
Ｘが、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉおよびこれらの組合せより選択される、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
ＸがＣｌである、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記還元剤が、Ｈ２である、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記還元剤が、水素を放出する化合物である、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記水素を放出する化合物が、ＮａＨ、ＭｇＨ２、ＡｌＨ３およびこれらの組合せより選択される、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記形成される金属組成物が、Ｔｉの合金である、請求項１の記載の方法。
【請求項１１】
前記合金が、遷移金属、Ａｌ、Ｂ、またはこれらの組合せを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記合金化剤またはその前駆体が、ＭＸｉとは異なる蒸発可能な金属ハロゲン化物である、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記金属ハロゲン化物が、同じハロゲン化物を含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記工程（ａ）が、
（ａ’）ＴｉＸ４と前記還元剤とを反応させて、チタンサブハライドを形成する工程；および
（ａ’’）工程（ａ’）で形成された該チタンサブハライドを、前記反応生成物を形成するために有効な様式で、還元する工程、
から構成される、請求項４に記載の方法。
【請求項１５】
前記工程（ａ）が、ＴｉＸ３と前記還元剤とを、前記反応生成物を形成するために有効な様式で、反応させることにより行なわれる、請求項４に記載の方法。
【請求項１６】
前記工程（ａ）が、少なくともＴｉＸ２と前記還元剤とを、前記反応生成物を形成するために有効な様式で、反応させることにより行なわれる、請求項４に記載の方法。
【請求項１７】
前記工程（ａ’’）が、合金化剤の存在下で行なわれる、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記工程（ａ）が、約１５００℃未満の温度で行なわれる、請求項４に記載の方法。
【請求項１９】
前記工程（ａ）が、約１３００℃未満の温度で行なわれる、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記工程（ａ）が、約１１００℃未満の温度で行なわれる、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
前記反応生成物が、工程（ｂ）の間に基質の表面上に沈着される、請求項１に記載の方法。
【請求項２２】
前記基質が、複数の粒子から構成される、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記粒子が、凝集している、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記基質が、前記反応生成物とは組成的に異なる物質から構成されている、請求項２１に記載の方法。
【請求項２５】
前記基質が、前記反応生成物よりも高い融点を有する物質から構成されている、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記基質が、前記反応生成物から構成されている、請求項２４に記載の方法。
【請求項２７】
前記金属組成物が、約０．１原子％以下のハロゲン化物を含有する、請求項１に記載の方法。
【請求項２８】
前記金属組成物が、約０．０１原子％以下のハロゲン化物を含有する、請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記金属組成物が、約０．００１原子％以下のハロゲン化物を含有する、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記金属組成物が、酸素、窒素、および炭素を実質的に含まない、請求項１に記載の方法。
【請求項３１】
前記金属組成物が、前記還元剤およびそれに由来するいかなる元素をも実質的に含まない、請求項１に記載の方法。
【請求項３２】
前記形成される固体組成物が、複数の粒子から構成される、請求項１に記載の方法。
【請求項３３】
前記工程（ａ）の前に、
前記金属ハロゲン化物を非気体状形態で提供し、そして該金属ハロゲン化物を工程（ａ）の反応を行なうために蒸発させる工程、
をさらに包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項３４】
前記金属ハロゲン化物が、蒸発前に液体または固体として提供される、請求項３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記液体が、蒸発前に液滴形態で提供される、請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
前記工程（ａ）の前に、
前記還元剤を非気体状形態で提供し、そして該還元剤を蒸発させて気体状還元剤を形成し、そして前記反応を、前記気体状金属ハロゲン化物と該気体状還元剤との間で起こるように行なう工程、
をさらに包含する、請求項１に記載の方法。
【請求項３７】
前記金属ハロゲン化物が、蒸発前に、固体粒子または液体の液滴として提供される、請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
化学的気相成長反応器、移動床反応器、ロータリーキルン反応器、振動反応器、浮遊層反応器、流下壁式反応器、流動床反応器、および固定床反応器より選択される反応器を含む装置を使用して行なわれる、請求項１に記載の方法。
【請求項３９】
前記反応器が、金属ハロゲン化物の供給源と流体連通している第１の反応ゾーン、および該第１の反応ゾーンから下流の第２の反応ゾーンから構成され、該第１の反応ゾーンおよび第２の反応ゾーンが、異なる反応温度に維持される、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記第１の反応ゾーンが、前記第２の反応ゾーンの下方に位置している、請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記第１の反応ゾーンが、前記第２の反応ゾーンと並んで位置している、請求項３９に記載の方法。
【請求項４２】
前記反応ゾーンが、単一のチャンバ中に位置している、請求項３９に記載の方法。
【請求項４３】
各反応ゾーンが、異なるチャンバ中に位置している、請求項３９に記載の方法。
【請求項４４】
工程（ａ）の間に形成される副生成物が集められる、請求項１に記載の方法。
【請求項４５】
前記副生成物が、ハロゲン化物から構成される、請求項４４に記載の方法。
【請求項４６】
前記副生成物が、ハロゲン気体を回収するために処理される、請求項４５に記載の方法。
【請求項４７】
前記副生成物が、前記還元剤に由来する元素から構成される、請求項４４に記載の方法。
【請求項４８】
前記副生成物が、前記還元剤を回収するために処理される、請求項４４に記載の方法。
【請求項４９】
前記還元剤が、Ｈ２である、請求項４４に記載の方法。
【請求項５０】
前記回収された還元剤が、前記方法を行なうために再使用される、請求項４８に記載の方法。
【請求項５１】
固体金属組成物を製造するための方法であって、
（ａ）Ｈ２、水素を放出する化合物、およびこれらの組合せより選択される気体状還元剤との反応により、合金化剤またはその前駆体の存在下で金属サブハライドを還元して、非固体反応生成物を形成する工程；ならびに
（ｂ）該反応生成物を固化させ、それによってハロゲン化物、酸素、窒素、および炭素を実質的に含まない金属を含有する金属組成物を形成する工程、
を包含する、方法。
【請求項５２】
前記金属が、周期律表の４〜７族より選択される、請求項５１に記載の方法。
【請求項５３】
前記金属が、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、ＷおよびＲｅより選択される元素である、請求項５２に記載の方法。
【請求項５４】
前記金属がＴｉである、請求項５３に記載の方法。
【請求項５５】
前記ハロゲン化物が、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉおよびこれらの組合せより選択される、請求項５１に記載の方法。
【請求項５６】
前記ハロゲン化物がＣｌである、請求項５５に記載の方法。
【請求項５７】
前記気体状還元剤が、Ｈ２を含有する、請求項５１に記載の方法。
【請求項５８】
前記金属組成物が、本質的にＴｉからなる、請求項５１に記載の方法。
【請求項５９】
前記金属組成物が、Ｔｉ合金である、請求項５１の記載の方法。
【請求項６０】
前記工程（ａ）が、Ｈ２、水素を放出する化合物、およびこれらの組合せより選択される還元剤を用いてＴｉＣｌ３を還元することにより行なわれる、請求項５４に記載の方法。
【請求項６１】
固体金属組成物を生成するための方法であって、
（ａ）Ｔｉハロゲン化物とＨ２とを、、合金化剤またはその前駆体の存在下で、非固体反応生成物を形成するために有効な様式で反応させる工程；ならびに
（ｂ）該反応生成物を固化させ、それによってハロゲン化物、酸素、および炭素を実質的に含まないＴｉを含有する金属組成物を形成する工程、
を包含する、方法。
【請求項６２】
前記金属組成物が、本質的に純粋なＴｉからなる、請求項６１に記載の方法。
【請求項６３】
前記金属組成物が、Ｔｉ合金である、請求項６１の記載の方法。
【請求項６４】
固体金属組成物を製造するための方法であって、
（ａ）気体状金属ハロゲン化物と還元剤とを、非固体反応生成物を形成するために有効な様式で反応させる工程であって、
該金属ハロゲン化物は、式
ＭＸｉ、
を有し、
Ｍは、周期律表の遷移金属、アルミニウム、ケイ素、ホウ素、およびこれらの組合せより選択され、
Ｘは、ハロゲンであり、
ｉは、０より大きく、そして
該還元剤は、水素、水素を放出する化合物、およびこれらの組合せより選択され、そして該反応は、合金化剤またはその前駆体の存在下で行なわれる、工程；ならびに
（ｂ）該反応生成物を固化させ、それによってハロゲン化物、酸素、窒素、および炭素を実質的に含まず、還元元素であるＭを含み、そしてハロゲン化物、酸素、窒素、および炭素を実質的に含まない金属組成物を形成する工程、
を包含する、方法。
【請求項６５】
金属固体組成物を製造するための装置であって、
式ＭＸｉを有する金属ハロゲン化物の供給源であって、ここでＭは、周期律表の遷移金属、アルミニウム、ケイ素、ホウ素、およびこれらの組合せより選択される金属であり、Ｘは、ハロゲンであり、そしてｉは、０より大きい、金属ハロゲン化物の供給源；
還元剤の供給源であって、ここで該還元剤は、水素、水素を放出する化合物、およびこれらの組合せより選択される気体状還元剤である、還元剤の供給源；
該金属ハロゲン化物および該還元剤と連通している反応器であって、該金属ハロゲン化物と該還元剤との間の気体状反応を行なって非固体反応生成物を形成するために有効な条件を提供する反応器；ならびに
該反応生成物を固化させて、実質的にハロゲン化物を含まないＭを含有する金属組成物を形成するための手段、
を備える、装置。
【請求項６６】
前記反応器が、前記金属ハロゲン化物の供給源と流体連通している第１の反応ゾーン、および該第１の反応ゾーンから下流の第２の反応ゾーンから構成され、該第１の反応ゾーンおよび第２のゾーンが、異なる反応温度に維持される、請求項６５に記載の装置。
【請求項６７】
請求項１に記載の方法により製造される固体金属組成物。
【請求項６８】
請求項５１に記載の方法により製造される固体金属組成物。
【請求項６９】
請求項６１に記載の方法により製造される固体金属組成物。
【請求項７０】
請求項６４に記載の方法により製造される固体金属組成物。