(57)【要約】【課題】  樹脂材料からなる細胞観察用チップと、透明性を有する基板とを十分なシール性を確保して接合し、微細構造に潰れを起こさない細胞観察用ユニットを提供すること。【解決手段】  本発明にかかる細胞観察用ユニット１００の製造方法は、透明性を有する基板１０と、基板１０よりも柔らかい樹脂で形成された微細構造を持つ細胞観察用チップ１とが相互に固定された細胞観察用ユニット１００の製造方法であって、樹脂より成形された細胞観察用チップ１よりも更に柔らかい押圧ブロック６を用いて、細胞観察用チップ１を基板１０に押し付けることにより、細胞観察用チップ１と基板１０を固定したものである。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも透明性を有する基板と、前記基板よりも柔らかい樹脂材料で形成された微細構造を持つ細胞観察用チップとが相互に固定された細胞観察用ユニットの製造方法であって、
樹脂材料より成形された前記細胞観察用チップよりも更に柔らかい押圧ブロックを用いて、前記細胞観察用チップを前記基板に押し付けることにより、当該細胞観察用チップと前記基板を固定した、細胞観察用ユニットの製造方法。
【請求項２】
前記押圧ブロックは前記細胞観察用チップに設けられた穴に連結する貫通穴を有し、前記細胞観察用チップの穴と、前記押圧ブロックの穴が連結するように前記細胞観察用チップと前記押圧ブロックを固定し、前記押圧ブロックも前記細胞観察用ユニットの一部とする請求項１に記載の細胞観察用ユニットの製造方法。
【請求項３】
前記細胞観察用チップと前記基板との固定は、前記押圧ブロックで前記細胞観察用チップを前記基板に押し付けることによる直接接合によって成されることを特徴とする、請求項１又は請求項２記載の細胞観察用ユニットの製造方法。
【請求項４】
少なくとも透明性を有する基板と、前記基板よりも柔らかい樹脂材料で形成された微細構造を持つ細胞観察用チップとが固定された細胞観察用ユニットであって、前記細胞観察用チップよりも更に柔らかい押圧ブロックで前記細胞観察用チップを前記基板に押し付けることにより当該細胞観察用チップと当該基板とが固定された細胞観察用ユニット。
【請求項５】
少なくとも透明性を有する基板と、前記基板の上面に固定され、樹脂材料で成形された微細構造を持つ細胞観察用チップと、前記細胞観察用チップの更に上面に固定された弾性ブロックとを備えた細胞観察用ユニットであって、前記細胞観察用チップは前記基板よりも柔らかく、前記弾性ブロックは前記細胞観察用チップよりも更に柔らかい細胞観察用ユニット。
【請求項６】
前記弾性ブロックは前記細胞観察用チップに設けられた穴に連結する貫通穴を有し、前記細胞観察用チップの穴と、前記押圧ブロックの穴が連結するように前記細胞観察用チップと前記弾性ブロックを固定したことを特徴とする、請求項５に記載の細胞観察用ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、細胞を観察するための細胞観察用チップに関するものであり、特に前記細胞観察用チップを樹脂で製造する際の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より液体検体、例えば薬品や生体物質に対してミキシングや分析を行う技術が種々提案され、また実用化されている。例えば血液粘度計測や細胞状態観察の評価であり、細胞の走化性観察である。走化性とは、走化性因子と呼ばれる化学物質の濃度勾配に応じて細胞が移動する性質のことである。この細胞の走化性を利用して治療薬の開発に応用しようとする動きがある。特に、この走化性を利用することによって、各種の炎症やアレルギー、ガンに対する治療薬の開発に新しいアプローチが見出せるのではないかと考えられており、走化性研究の重要性は増している。このような液体検体に対するミキシングや分析を行う技術として、流通型のマイクロチップが注目されている（例えば特許文献１、非特許文献１を参照）。
【０００３】
ここでは、走化性を観察するためのチップについて説明する。走化性を観察するための細胞観察用チップは、走化性因子を充填するウエルと、走化性を有する細胞等を充填するウエルを有する。そして、これらのウエル間は流路によって連通されており、当該流路内には障壁によって隔てられた微細な通路を多数設けている。この隔てられた微細な通路を細胞が移動する。
【０００４】
図６は、従来の細胞観察用チップ１Bを含む細胞観察用ユニット１００の全体構成を説明するための断面図である。図において、細胞観察用チップ１Bには、細胞又は走化性因子を充填する領域であるウエル３１，３２が設けられている。それらウエル３１，３２には、貫通穴２１'、２２'がそれぞれ設けられている。貫通穴２１'、２２'は細胞観察用チップ１B上面に設けられたブロック５の貫通穴２１、２２に連結して細胞観察用ユニット１００上部へ通じている。図では細胞観察用チップ１Bとブロック５は別々に成形され組み合わされているが、一体に成形されていてもよい。
【０００５】
貫通穴２１，２２は、細胞あるいは走化性因子などの試料を注入・採取するための微細穴である。またウエル３１と３２の間には、それらの間を連通する流路部４が設けられている。流路部４には、障壁によって隔てられた微細な通路が形成されている。かかる通路の大きさは細胞の通常の大きさより多少小さく作られており、走化性因子の濃度勾配ができると細胞は通路を通って濃度の高い方へ移動するため、走化性の観察ができる。
【０００６】
この細胞観察用チップ１Bは、透明性を有する硬い基板１０と密着させて用いられる。基板１０側から流路部４の微細通路を通過する細胞を観察する。従来の細胞観察用チップ１Bは、主にシリコンウエハ（単結晶シリコン）を異方性ドライエッチング等のマイクロマシニング技術を用いて加工する方法や、シリコンゴムの一種であるＰＤＭＳ（Polydimethylsiloxane：ポリジメチルシロキサン）を成形する方法によって製作されていた。
【０００７】
しかし、シリコンウエハをマイクロマシニング技術を用いて加工する方法では細胞観察用チップ１Bの加工コストが高価となってしまう。また、シリコンゴムは加硫や架橋によって硬化する熱硬化性樹脂のためタクトタイムが長く、加工に要する工程数が多いために製造に時間がかかり量産に適さないといった課題があった。そのため、樹脂により形成し製造コストを低減すると共に量産性を高めることが試みられている。
【０００８】
図７に樹脂により細胞観察用チップ１Bを製造する場合の様子を示す。この場合には、第１の金型１１と第２の金型１２によって囲まれた領域中にピン１３、１４が突き当てられて形成された空間に熱可塑性の樹脂を射出し、冷却硬化させることによって、当該細胞観察用チップ１Bを製造することができる。第１の金型１１、第２の金型１２は、例えば電鋳により作製することができる。
【特許文献１】特開２００２−１５９２８７号公報
【非特許文献１】日経バイオビジネス２００１年１１月号、ｐ．４８−５０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記の様な細胞観察用チップ１Bは図８（a）に示すように、基板１０に樹脂で成形した細胞観察用チップ１Bを乗せ、場合によってはブロック５を乗せた上で、押圧治具５０で外側から締め付けることによって細胞観察用チップ１Bと基板１０を直接接合し、シール性を確保していた。
【００１０】
しかし実際には、樹脂による細胞観察用チップは図８（ｂ）に示す細胞観察用チップ１のように、ほとんどの場合歪みを持っている。この歪みは例えば細胞観察用チップ１の全体の幅が１４ｍｍだとすると、１００μｍ程度のオーダーで発現する。このままの状態で治具によって締め付けを行うと、細胞観察用チップ１に対して治具が片辺りをしてしまい、押圧の力が偏ってしまう。
【００１１】
すると図８（ｂ）に示すように基板１０と細胞観察用チップ１の直接接合に際して、P部分のように密着過多の部分とQ部分のように密着不足の部分ができる。これにより、両者の直接接合がうまくいかずシール性が確保できないといったことが起こる。また、流路部４において流路を形成する凹凸は１０μｍ以下の非常に微細な構造であるため、密着過多を原因とする不必要に大きな力によって、その構造がつぶれてしまい細胞観察用チップとして使用できなくなってしまうことも起こる。
【００１２】
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、樹脂材料によって成形された歪みを持つ細胞観察用チップと、透明性を有する基板とを十分なシール性を確保して直接接合によって接合し、尚且つ微細構造に潰れを起こさない細胞観察用ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明にかかる細胞観察用ユニットの製造方法は、少なくとも透明性を有する基板と、前記基板よりも柔らかい樹脂材料で形成された微細構造を持つ細胞観察用チップとが相互に固定された細胞観察用ユニットの製造方法であって、樹脂材料より成形された前記細胞観察用チップよりも更に柔らかい押圧ブロックを用いて、前記細胞観察用チップを前記基板に押し付けることにより、当該細胞観察用チップと前記基板を固定したものである。このような構成により、樹脂材料によって成形された歪みを持つ細胞観察用チップと、透明性を有する基板とを十分なシール性を確保して直接接合によって接合し、尚且つ微細構造に潰れを起こさない細胞観察用ユニットを提供することができる。
【００１４】
ここで、前記押圧ブロックは前記細胞観察用チップに設けられた穴に連結する貫通穴を有し、前記細胞観察用チップの穴と、前記押圧ブロックの穴が連結するように前記細胞観察用チップと前記押圧ブロックを固定し、前記押圧ブロックも前記細胞観察用ユニットの一部としてもよい。
【００１５】
また、前記細胞観察用チップと前記基板との固定は、前記押圧ブロックで前記細胞観察用チップを前記基板に押し付けることによる直接接合によって成されることが好ましい。これにより、前記細胞観察用チップ１と前記基板とを接着するための接着部材が不要となり、コストの低減を図ることができる。また、少なくとも接着部材を塗る工程と、接着部材の効果を待つ工程とが不要となるので、量産性を向上させることができる。
【００１６】
本発明にかかる細胞観察用ユニットは、少なくとも透明性を有する基板と、前記基板よりも柔らかい樹脂材料で形成された微細構造を持つ細胞観察用チップとが固定された細胞観察用ユニットであって、前記細胞観察用チップよりも更に柔らかい押圧ブロックによって、前記細胞観察用チップを前記基板に押し付けることによって当該細胞観察用チップと当該基板とが固定されたものである。このような構成により、樹脂材料によって成形された歪みを持つ細胞観察用チップと、透明性を有する基板とを十分なシール性を確保して直接接合によって接合し、尚且つ微細構造に潰れを起こさない細胞観察用ユニットを提供することができる。
【００１７】
他方、本発明にかかる細胞観察用チップは、少なくとも透明性を有する基板と、前記基板の上面に固定され、樹脂材料で成形された微細構造を持つ細胞観察用チップと、前記細胞観察用チップの更に上面に固定された弾性ブロックとを備えた細胞観察用ユニットであって、前記細胞観察用ユニットは前記基板よりも柔らかく、前記弾性ブロックは前記細胞観察用ユニットよりも更に柔らかいものである。このような構成により、樹脂材料によって成形された歪みを持つ細胞観察用チップと、透明性を有する基板とを十分なシール性を確保して直接接合によって接合し、尚且つ微細構造に潰れを起こさない細胞観察用ユニットを提供することができる。
【００１８】
ここで、前記弾性ブロックは前記細胞観察用チップに設けられた穴に連結する貫通穴を有し、前記細胞観察用チップの穴と、前記押圧ブロックの穴が連結するように前記細胞観察用チップと前記弾性ブロックを固定することが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明により、樹脂材料によって成形された歪みを持つ細胞観察用チップと、透明性を有する基板とを十分なシール性を確保して直接接合によって接合し、尚且つ微細構造に潰れを起こさない細胞観察用ユニットを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明を適用可能な実施の形態が説明される。以下の説明は、本発明の実施形態を説明するものであり、本発明が以下の実施形態に限定されるものではない。また、説明の明確化のため、以下の記載は、適宜、省略及び簡略化がなされている。又、当業者であれば、以下の実施形態の各要素を、本発明の範囲において容易に変更、追加、変換することが可能である。また、以下の各実施形態では、具体化のために細胞の走化性観察用にチップを使用する場合について説明するが、液体検体としてはこれに限定されず、例えば、たんぱく質、核酸、ＤＮＡ、ＲＮＡ、ペプチド、ホルモン、抗原、抗体、リガンド、レセプタ、酵素、基質、低分子有機化合物、細胞、イオン等の測定対象物を含む液体であり、サスペンション、コロイド等の分散系も含む。すなわち本発明にかかるマイクロチップは上記のような液体検体のミキシング及び分析についても使用可能なものである。
【００２１】
実施の形態１
まず図１を用いて細胞観察用ユニット１００について説明する。図１は細胞観察用ユニット１００の断面図である。細胞観察用チップ１には、ウエル３１、３２が設けられている。この例では、ウエル３１、３２は、細胞観察用チップ１の観察面上の窪みとして成形されている。ウエル３１、３２は当該細胞観察用チップ１と透明性を有する基板１０とが密着された状態においてそれぞれ空間を形成し、当該空間に細胞又は走化性因子が充填される。この例にかかるウエル３１、３２は、細胞観察用チップ１の一方の面から約１００μｍ窪んで形成されている。尚、ウエル３１、３２の容積に特別な制限は無く、試料を充填する際の必要最小限の容積を持てばよい。例えば深さは１００μｍ程度、幅・奥行きはそれぞれ１〜２．５ｍｍ程度で良い。
【００２２】
ウエル３１、３２には、貫通穴２１'、２２'がそれぞれ設けられており、貫通穴２１'、２２'は細胞観察用チップ１上面に設けられた押圧ブロック６の貫通穴２３，２４に連結して細胞観察用ユニット１００上部へ通じている。貫通穴２３、２４は、試料を注入・採取するための微細穴である。この貫通穴２３、２４および貫通穴２１'、２２'の断面形状・大きさは特に限定されるものではなく、例えば、直径０．５ｍｍのマイクロシリンジを用いて試料の注入が可能であれば良い。このため、貫通穴２１、２２の断面形状が円形であれば直径１ｍｍ程度、正方形であれば一辺の長さが１ｍｍ程度である。
【００２３】
ウエル３１とウエル３２との間には、両者を連通する流路部４が設けられている。図２は図１の流路部４を上下逆にして拡大した斜視図である。図１の矢印が指す方向と、図２の矢印が指す方向は一致する。図２に示すように流路部４には、障壁４１によって隔てられた微細な通路４２が形成されており、走化性因子の濃度勾配ができると細胞は通路４２を通って濃度の高い方へ移動するため、走化性の観察ができる。なお、このような微細な通路４２が形成された細胞観察用チップ１は走化性の観察のみならず、細胞状態観察の評価用および血液粘度計測にも使用できる。
【００２４】
この通路４２は、細胞観察用チップ１の一方の面より約５μｍ窪んで形成されている。すなわち凸部である障壁４１の高さは約５μｍである。また、微細な通路４２の幅は２〜１０μｍ程度である。
【００２５】
当該細胞観察用チップ１は、熱可塑性エラストマーにより形成されており、例えばオレフィン系エラストマーにより形成されている。オレフィン系エラストマーを用いて製作すれば、流路部４の障壁４１や通路４２のような微細な加工も射出成形にての製作が可能である。樹脂の射出成形による製法は、金型を製作すれば安価に大量生産することができるため、従来のシリコンウエハをマイクロマシニング技術によって加工する製法やＰＤＭＳを成形する製法に比べて低コストかつ短時間で製作でき量産に適しているが、出来上がった成形物は歪みを持ってしまう。
【００２６】
では次に、図３を用いて細胞観察用チップ１と基板１０との接合方法について説明する。図３（ａ）は図１に示した細胞観察用ユニット１００の、それぞれの部材が接合される前の状態を押圧治具５０へ収納した状態を表しており、同様の記号については説明を省略する。押圧ブロック６は細胞観察用チップを基板１０に押し付けるために押圧治具５０の締め付け部５１と細胞観察用チップ１との間に設けられる。押圧ブロック６は、細胞観察用チップ１よりも更に柔らかい材料でできている。押圧ブロック６には細胞観察用チップ１の貫通穴２１’，２２’と連結し、押圧ブロック６の上面にまで貫通する貫通穴２３，２４が設けられている。
【００２７】
押圧ブロック６は細胞観察用チップ１よりも十分に厚いことが好ましい。押圧ブロック６は細胞観察用チップ１よりも柔らかい素材であるが、上記の通り細胞観察用チップ１に設けられた貫通穴２１’，２２’と連結する貫通穴２３，２４が設けられているので、あまり柔らかいと貫通穴２３，２４が押圧ブロック自身の潰れによって塞がれてしまう。よって押圧ブロック６自身の潰れによって貫通穴２３，２４が塞がれない程度の最低限の硬さが要求される。
【００２８】
このような構成で、従来と同じように締め付け部５１で締め付けることにより細胞観察用チップ１を基板１０に押し付ける。図３（ｂ）の矢印は実際の締め付けの様子である。押圧ブロック６は細胞観察用チップ１よりも柔らかい材料でできているので、図３（ｂ）のように細胞観察用チップ１の歪みにあわせて変形し片辺りがなくなる。更に押し付けていくと、細胞観察用チップ１の歪みによって押圧力の偏りができた部分は矢印のように歪み部分の力が逃げ、全体的に均一に力が加えられる。この効果により細胞観察用チップ１は基板１０に均一に押し当てられる。直接接合の面は均等な圧力で押し付けられるので、シール性が確実に確保される。また余分な押圧力は図に示される矢印のように押圧力の足りない部分へと逃げるので、チップ材料に施された微細な構造を潰してしまうこともなくなる。
【００２９】
当然、細胞観察用チップ１と基板１０とのシール性を確保しつつ、流路部４の微細構造を潰さない程度に押圧力を調整する事は必須となるが、それは押圧治具５０の押圧力の調整ではなく、押圧ブロック６の素材の硬さおよび、厚さで調整できるので、押圧治具５０の押圧力を調整することよりも、より精密な調整が可能となり、その点でも当該方法は有効である。
【００３０】
更に、押圧ブロック６は上述の通り細胞観察用チップ１に設けられた貫通穴２１’，２２’に連結する貫通穴２３，２４を有しているので、細胞観察用チップ１と接合されることにより、ウエル３１，３２へとつながる流路を形成する。この流路は細胞あるいは走化性因子などの試料を注入・採取するための微細穴となる。押圧ブロック６と細胞観察用チップ１を直接接合によって接合すれば、接着剤等の接着媒体が不要となるので製造コストの低減が可能となるが、これに限定されるものではない。また細胞観察用チップ１と押圧ブロック６との接合を直接接合にて行うのであれば、細胞観察用チップ１と基板１０との直接接合時に同時に行われるのが、製造工程の簡略化としては好ましいが、別々の工程であってもよい。
【００３１】
尚、本実施の形態では押圧治具５０は押圧完了後取り外すことを前提としているが、取り外さず細胞観察用ユニットの一部分としてしまってもよい。図４は押圧治具７０も細胞観察用ユニットの一部とする場合の、細胞観察用ユニット１０１の一例の断面図である。図４（a）に示す通り、押圧治具７０は少なくとも締め付け部７１と観察部７２とを備えている。締め付け部７１と押圧治具７０は特に限定されないが、一例として本実施の形態ではネジ締め式になっており、締め付け部７１を回転させることによって締め付けられるものとする。
【００３２】
締め付け部７１は押圧ブロック６に設けられた貫通穴２３，２４に連結する貫通穴２５，２６を有する。貫通穴２５，２６は細胞あるいは走化性因子等の試料を注入・採取するための役割を果たす。締め付け部７１は貫通穴２３，２４と貫通穴２５，２６が連結するように位置調整され締め付けられる。
【００３３】
走化性の観察は観察部７２から行う。観察部７２は透明性を有する基板１０を通して流路部４の状態を観察できるようになっていればよい。特に限定されないが切り欠きが設けてあっても良いし、透明性を有する材料で成形されていてもよい。また観察部７２を透明性を有する材料で成形する場合、観察部７２だけではなく押圧治具７０全体が透明性を有する材料で成形されていても良い。
【００３４】
上記の様な押圧治具７０を押圧治具５０の代わりに用い、先述のように締め付けを行う。図４（ｂ）は締め付けた状態の断面図である。押圧ブロック６が押圧によって変形し、細胞観察用チップ１の歪みによる片辺りを解消する効果については図３（ｂ）と同様である。このような構成を用いれば、押圧ブロック７０で締め付けた後、細胞観察用ユニットを取り出す工程を省くことができるので、量産性を高めるという目的に合致する。本発明にかかる細胞観察用ユニットは例えば１４ｍｍ角の微細なものなので、押圧治具７０の材料費は細胞観察用ユニット１００を押圧治具から取り出す工程の省略により低減できるコストよりも安価であることも十分考えられ、生産コストの低減も可能である。
【００３５】
片辺りを起こさずに細胞観察用チップ１と基板１０を直接接合する他の方法として、図９に示されるような真空吸引による方法が考えられる。図９（ａ）において、細胞観察用チップ１および基板１０は、ビニール袋などの袋状の吸引袋６０に封入されている。吸引袋６０は吸引口６１以外は完全に密閉されている。この状態で吸引口６１から吸引袋６０内の空気を吸引すると、図９（ｂ）に示されるように吸引袋６０は細胞観察用チップ１および基板１０に密着し、細胞観察用チップ１は押圧力が偏ることなく均等に基板１０に押し当てられるので、直接接合によるシール性は確保され微細構造が潰れてしまうことも起こらない。しかし、この方法では少なくとも細胞観察用チップ１と基板１０を吸引袋６０へ封入し、真空吸引し、吸引袋から取り出すといった作業が必要になり、コストを下げ、量産性を高めるために細胞観察用チップ１の材料に樹脂材料を使用した意味が薄らいでしまう。よって、真空吸引による方法よりも本発明にかかる方法の方が、より目的達成のために適した方法である。
【００３６】
実施の形態２
次に本発明の実施の形態２にかかる細胞観察用ユニットの製造方法について図５を用いて説明する。同様の記号を付した部分については実施の形態１と同様であり、説明を省略する。図５（ａ）において押圧ブロック７は細胞観察用チップを基板１０に押し付けるために治具５０の締め付け部５１と細胞観察用チップ１との間に設けられる。押圧ブロック７は細胞観察用チップ１よりも十分に厚いことが好ましい。また、押圧ブロック７は細胞観察用チップ１よりも更に柔らかい材料でできている。ここで、実施の形態１において押圧ブロック６には貫通穴２３，２４が設けられており、自身の潰れによってその貫通穴２３，２４が潰れてしまわない程度の硬さが必要であったが、本実施の形態については押圧ブロック７には貫通穴は設けられておらず、直接接合が完了次第取り除いてもかまわないので、ある程度の硬さを有する必要はなく細胞観察用チップ１よりも柔らかい素材でだけあればよい。
【００３７】
このような構成で、従来と同じように締め付け部５１で締め付けることにより細胞観察用チップ１を基板１０に押し付ける。図５（ｂ）は実際の締め付けの様子である。押圧ブロック７は細胞観察用チップ１よりも柔らかい材料でできているので、図５（ｂ）のように細胞観察用チップ１の歪みにあわせて変形し片辺りがなくなる。更に押し付けていくと、細胞観察用チップ１の歪みによって押圧力の偏りができた部分は矢印のように歪み部分の力が逃げ、全体的に均一に力が加えられる。この効果により細胞観察用チップ１は基板１０に均一に押し当てられる。直接接合の面は均等な圧力で押し付けられるので、シール性が確実に確保される。また余分な押圧力は図に示される矢印のように押圧力の足りない部分へと逃げるので、チップ材料に施された微細な構造を潰してしまうこともなくなる。
【００３８】
押圧ブロック７は細胞観察用チップ１と基板１０の直接接合が完了し、接合の強度が十分に用途の要求を満たしているならば必ずしも必要なくなるので、取り除いてしまっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明にかかる細胞観察用ユニットを表す断面図である。
【図２】本発明にかかる細胞観察用チップの流路部分を表す拡大斜視図である。
【図３】本発明の実施の形態１にかかる細胞観察用ユニットの製造方法を表す断面図である。
【図４】本発明の実施の形態１にかかる細胞観察用ユニットの製造方法を表す断面図である。
【図５】本発明の実施の形態２にかかる細胞観察用ユニットの製造方法を表す断面図である。
【図６】従来技術にかかる細胞観察用ユニットを表す断面図である。
【図７】従来技術にかかる細胞観察用チップの製造方法を表す断面図である。
【図８】従来技術にかかる細胞観察用ユニットの製造方法を表す断面図である。
【図９】本発明の実施の形態と比較される方法にかかる細胞観察用ユニットの製造方法を表す断面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  細胞観察用チップ、２１，２２，２１’，２２’，２３，２４  貫通穴、
３１，３２  ウエル、４  流路部、４１  障壁、４２  通路、５  ブロック、
６，７  押圧ブロック、１０  基板、１１，１２  金型、１３，１４  ピン、
５０  押圧治具、５１  締め付け部、６０  吸引袋、６１  吸引口、
７０  押圧治具、７１  締め付け部、７２  観察部
１００，１０１  細胞観察用ユニット、Ｐ  密着過多部分、Ｑ  密着不足部分、
【図１】
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【図２】
2006010656.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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