(57)【要約】【課題】  表面が超平滑の磁気ディスクにおいても安定的なグライドハイトテストを実現でき、ディスクと吸着し難く、浮上量が正確に測定できるグライドヘッドを得る。【解決手段】  スライダー面に正の浮上圧力を発生させる空気導入領域と浮上領域、検出領域からなる浮上レールを形成し、浮上レールの流出端に接する検出領域の面粗さはＲａで１．２ｎｍ以下で、浮上領域の面粗さは検出領域より大きくＲａで８ｎｍ以下とする。また、浮上レールの浮上領域の面粗さを、連続的もしくは階段的に流出端側より流入端側に向かって大きくすることで、磁気ディスクとの吸着から脱し易くなる。【選択図】      図１
2006294122.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスクから所定量浮上するスライダーで、磁気ディスクの突起や異物との衝突を
圧電素子やＡＥセンサーで検出する磁気ディスク用グライドヘッドであって、磁気ディス
クに対向する側のスライダー面には正の浮上圧力を発生させる空気導入領域と浮上領域、
検出領域からなる浮上レールが形成されており、浮上レールの流出端に接する検出領域の
面粗さはＲａで１．２ｎｍ以下であり、浮上領域の面粗さは検出領域より大きくＲａで８
ｎｍ以下であることを特徴とする磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項２】
浮上レールの浮上領域の面粗さは、連続的もしくは階段的に流出端側より流入端側に向
かって大きくなることを特徴とする請求項１に記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【請求項３】
浮上レールの浮上領域と検出領域の面粗さの山の頂点位置が、同一線上にあることを特
徴とする請求項１および２に記載の磁気ディスク用グライドヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ディスクの製造検査等に使用されるグライドヘッドに係るものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置に使用される磁気ディスクは、円盤状のガラスあるいはアルミニウ
ム等の非磁性材基板を用いている。非磁性材基板の表面に磁性材料と主に炭素からなる保
護膜をスパッター等を用い成膜、さらにフルオロカーボン系の潤滑剤を塗布している。こ
のように作られた磁気ディスクは磁気ヘッドと組み合わせ、情報を記録あるいは再生する
記録装置として用いられている。磁気ディスク用グライドヘッド（以降、単にグライドヘ
ッドと呼称することもある）は、この磁気ディスクの表面に発生した微小な突起あるいは
異物等（以降、突起物と称する）を検出するためのセンサーとして、磁気ディスクの検査
工程で用いられている。グライドヘッドは数種実用化されているが、圧電素子を搭載した
ものとヘッド外部にＡＥ（Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）センサーを取り付けた
ものが主流となっている。圧電素子方式とＡＥ方式は、磁気ディスクの表面に発生した微
小な突起物とグライドヘッドのスライダーが衝突して生じる振動を電圧に変換する方法が
異なるだけなので、本願では圧電素子方式で説明を行なう。
【０００３】
圧電素子をスライダーに搭載したグライドヘッドは、特許文献１に記載されている。図
７に、圧電素子をスライダーに搭載したグライドヘッドの斜視図を示す。図７ａ）はスラ
イダーの側方に圧電素子を配した方式の背面側斜視図、図７ｂ）は浮上面側斜視図である
。スライダー１は、空気導入領域２１と浮上領域２２よりなる一対の浮上レール３を有す
る。スライダー１の側面に張り出し部４が設けられ、張り出し部４のスライダー背面側に
圧電素子９を固着している。圧電素子９の出力電圧は圧電素子を構成する結晶の分極方向
の両端からリード線１０により取り出され、サスペンション２に設けた絶縁性チューブ１
１を通じて外部に出力される。図７ｃ）はスライダーの流出側に圧電素子を配した方式の
背面側斜視図、図７ｂ）は浮上面側斜視図である。以後、説明を判り易くするため、同一
の部品および部位には同じ符号を用いている。
【０００４】
グライドヘッドの動作原理を、図８を用いて簡単に説明する。スライダ−１の背面にサ
スペンション２に設けられたフレキシャー７が接着される。フレキシャー７に形成された
ピボット８の頂点にサスペンション２がスライダー１を磁気ディスク５５に押付ける力で
ある荷重を与えている。ピボット８を支点としてスライダー１が、僅かであるが上下左右
に動けるようになっている。ピボット８がスライダー１に荷重を与える位置が荷重点とな
る。図８では、圧電素子９やリード線１０等の図示は省略している。スライダー１は磁気
ディスク５５の回転に伴う空気流の作用により浮上する。空気流はスライダー１の流入端
１５から流出端１６に向かって流れる。グライドヘッドの浮上量ｈｇは種々の要素で決ま
るが、主に空気流の速度とスライダーのレール幅、荷重によって決まる。レール幅と荷重
はグライドヘッドによって決まっているため、磁気ディスク５５の回転数と磁気ディスク
上のグライドヘッド位置によって決まる線速度で浮上量が決まる。磁気ディスクの回転数
を変え、線速度を磁気ディスク面内で一定とすることで、磁気ディスク５５上を一定の浮
上量ｈｇで浮上させることができる。
【０００５】
一般に、グライドヘッドは、磁気ディスク面内を一定の条件、すなわち、突起物５６の
高さｎを検出する浮上量ｈｇを磁気ディスク面内で一定とし、かつ、突起とグライドヘッ
ドの衝突時に発生するエネルギーを揃える（突起とグライドヘッドの相対速度を一定にす
る）ために、線速度を磁気ディスク面内で一定としている。また、浮上量や飛行時の姿勢
を磁気ディスク面内で一定とするために、グライドヘッドのスライダーは磁気ディスク上
のいずれの位置においても、スライダーとスライダーが飛行する磁気ディスク上の円周の
接線とのなす角（ＹＡＷ角）は一定であり、グライドハイトテストでは、通常０度で用い
られる。スライダー１が磁気ディスク上の突起物５６に接触あるいは衝突すると、衝突に
より発生する振動がスライダー１を伝播して圧電素子９を振動変形させる。圧電素子９の
電極に電荷が誘起されるので、リード線１０から電極間電圧を取り出し測定することによ
り突起物の検出ができる。さらに、所定の浮上量ｈｇを持つスライダー１を磁気ディスク
の表面で移動すると、浮上量ｈｇより高い突起物にスライダーが接触（衝突）する。この
とき発生する圧電素子の電圧と磁気ディスクの位置を求めれば、磁気ディスク表面にある
規格外の突起物を検知することができる。
【０００６】
このような原理で動作するグライドヘッドは空気流入溝の両側に正の浮上圧力を発生さ
せる浮上レール３を２本突出形成するのが一般的である。２本の浮上レールを用いること
により、飛行時の姿勢を安定に保つことができる。また、２本の浮上レールからなるグラ
イドヘッドの浮上量は、グライドヘッドの浮揚力を生じさせているレールの幅を変えるこ
とで、比較的容易に制御できるので、検査する磁気ディスクの突起物の高さに応じ、必要
なグライドヘッドの浮上量設計が容易にできる。磁気ディスク表面の突起物は磁気ヘッド
のスライダーの浮上量より低くする必要がある。スライダーの浮上量が１２ｎｍ以下が要
求されるようになるに従い、磁気ディスクの突起物の許容される高さはますます低くなり
、要求は９ｎｍ以下になってきている。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−１６１６３号公報    図３
【０００８】
近年、一段の高記録密度化による低浮上量化で、磁気ディスクの表面は超平滑な状態に
仕上げられている。特に、ＬＵＬ（ロードアンロード）方式ハードディスクドライブに搭
載する用途の磁気ディスクでは、従来のＣＳＳ（コンタクトスタートストップ）方式用磁
気ディスクで必要とされていた吸着防止用のテクスチャー加工を、磁気ディスク表面に付
与する必要が無いため、Ｒａで０．５ｎｍ以下まで平滑化されるものもある。ＬＵＬ方式
の磁気ディスクは主に直径６５ｍｍ以下の小型で、携帯型のハードディスクドライブ用と
してその需要が急速に伸びている。Ｒａで０．５ｎｍ程度まで平滑化された小型の磁気デ
ィスクをグライドハイトテストすると、安定的にテストが続行できないという問題が度々
発生した。例えばグライドハイトテスト中に突然に異常信号が連続して発生してテストが
継続できなくなったり、経時的に検査品質が変動してしまったりするものであった。
【０００９】
これらの問題の主な原因は、グライドハイトテスト中にグライドヘッドとディスクが吸
着する、フライスティクションによると考えられる。フライスティクションが発生すると
、正確なグライドハイトテストを行なうことが出来ず、ハードディスクドライブの信頼性
を高度に保つことが出来なくなる可能性がある。また、磁気ディスク製造においても、良
品レベルの磁気ディスクを誤って不良と判断し合格率の低下を招き、資源の無駄な消費と
なってしまっていた。特許文献２には、磁気ディスクの表面粗さよりもグライドヘッドの
浮上面の面粗さを大きくして、フライスティクションを防ぎ安定的にグライドハイトテス
トを行なう検査方法が開示されている。
【００１０】
【特許文献２】特開２００４−３０３２９４号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献２の方法で、吸着問題の多くは回避できたが吸着を完全に無くすまでには至っ
ていない。吸着を完全に無くすには、特許文献２の浮上面の面粗さ範囲では不充分である
ことも判ってきている。また、ディスク上の突起物とグライドヘッドとの衝突はグライド
ヘッドの流出端縁近傍で起こっている。これは、ヘッドの浮上姿勢から自明なことであり
、使用したグライドヘッドの磨耗個所からも確認できている。よって、高精度なグライド
ハイトテストを行なうためには、グライドヘッドの流出端縁近傍の表面形状が均一である
ことが望ましい。しかし、吸着防止のため浮上レール全面を粗くした場合、流出端縁近傍
の形状が凸凹となり、ディスク上の微細な突起物がその凸凹の間隙をすり抜けてしまい、
グライドハイトテストの結果に問題が発生した。
【００１２】
グライドヘッドはその浮上量特性を、光学的手法を用いて測定し管理しているが、浮上
浮上レール全表面に粗さを持たせた場合、その粗さから光の反射が散乱し、正確な浮上量
測定、安定な浮上量測定ができないという新たな課題が発生した。
【００１３】
本発明の目的は、表面が超平滑の磁気ディスクにおいても安定的なグライドハイトテス
トを実現でき、ディスクと吸着し難く、浮上量が正確に測定できるグライドヘッドを提供
することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の磁気ディスク用グライドヘッドは、磁気ディスクから所定量浮上するスライダ
ーで、磁気ディスクの突起や異物との衝突を圧電素子やＡＥセンサーで検出する磁気ディ
スク用グライドヘッドであり、磁気ディスクに対向する側のスライダー面には正の浮上圧
力を発生させる空気導入領域と浮上領域、検出領域からなる浮上レールが形成されており
、浮上レールの流出端に接する検出領域の面粗さはＲａで１．２ｎｍ以下であり、浮上領
域の面粗さは検出領域より大きく（粗く）Ｒａで８ｎｍ以下であることが好ましい。
【００１５】
スライダーに正の浮上圧力を発生させる浮上レールは、空気の流れを浮上領域や検出領
域に導く空気導入領域と、浮上力を発生する浮上領域、磁気ディスクの突起物を検出する
検出領域からなっている。空気導入領域は浮上領域より０．２μｍ程度凹んだ面か、浮上
領域から０．５度程度のテーパーを有する斜面となっている。空気導入領域は磁気ディス
ク面から離れており吸着現象への影響は小さいので、面粗さを特に規定する必要はなくＲ
ａで数ｎｍ程度で良い。浮上領域は吸着を防ぐため、検出領域より大きくＲａで８ｎｍ以
下の面粗さが良い。検出領域は、磁気ディスク上の突起の検出精度を上げるため、面粗さ
は小さい（細かい）方が良くＲａで１．２ｎｍ以下が好ましい。
【００１６】
検査する磁気ディスクの面粗さより、浮上領域の面粗さは大きいことが吸着を防ぐ上で
重要である。浮上領域の面粗さを大きくすることで、磁気ディスクとの接触面積を減らす
ことになり、吸着を防ぐことができるものである。空気導入領域の面粗さと磁気ディスク
の面粗さの関係は、特に規定する必要はないものである。検出領域の面粗さは、磁気ディ
スクの面粗さと同等レベルとすることで、突起の検出精度を上げることができる。
【００１７】
浮上レールの流入端幅と流出端幅は異なっていても良い。機械加工で浮上レールを形成
した場合は、流入端幅と流出端幅が同じか、流入端から流出端にかけて、一定の角度で広
がるか狭まる形状となる。フォトリソグラフィー技術を用いると、浮上レールの形状を自
由に形成できる。浮上レールは、流入端から流出端間で分断されていても良く、空気導入
領域と浮上領域、浮上領域と検出領域に二分割されていても構わないものである。
【００１８】
Ｒａが小さい検出領域の面積が大きくなるに従い、磁気ディスクとの吸着現象は起こり
易くなるため、検出領域は小さいことが好ましい。しかし、磁気ディスクの突起物との接
触で検出領域も磨耗してしまうため、検出領域を小さくするとグライドヘッドの寿命が短
くなる。グライドヘッドの寿命の点から、検出領域は流出端幅で、流出端から８０μｍ以
上の長さであることが好ましい。グライドヘッドの浮上量を検出領域で安定に測るために
は、測定用レーザースポット径の少なくとも２倍以上の長さが好ましく、浮上量測定と吸
着から１８０μｍ以下とすることが好ましい。
【００１９】
表面粗さは、レーザーを使った非接触型表面粗さ計や原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等の測
定器を用いて測定することができる。ＪＩＳに準拠してＲａを求めることが好ましい。
【００２０】
グライドヘッドの浮上量は検出領域で測定することが好ましい。検出領域は面粗さが小
さいため測定精度が確保できるものである。グライドヘッド浮上量で重要なのは、左右の
浮上レールの浮上高さｈｇと左右の浮上量差Δｈｇである。これらの値を正確に測定し、
磁気ディスクの検査を行うことで、突起物の検査が精度良くできるものである。グライド
ヘッドの浮上ピッチ角は、流入端側の浮上領域の面粗さが大きいため測定精度が低くなる
ことは避けられない。検出領域の浮上高さｈｇが所望の値となっていれば、浮上ピッチ角
が突起の検出精度に与える影響は小さいので、流入側の浮上量の測定精度は低くても構わ
ないものである。
【００２１】
本発明の磁気ディスク用グライドヘッドは、浮上レールの浮上領域の表面粗さは、連続
的もしくは階段的に流出端側より流入端側に向かって大きくなることが好ましい。
【００２２】
浮上領域の面粗さは、流出端側より流入端側に向かって大きくことが好ましい。大きく
なって行くとは、面粗さが連続に変化すれば良く、変化率が一定である必要はない。また
、所定の範囲で面粗さは略同じで、階段状に面粗さを変えても良いものである。
【００２３】
浮上領域の面粗さを、流出端側より流入端側に向かって大きくことで、次のような効果
が得られる。流入端側の面粗さを大きくすることで、空気導入領域から空気が入り易く、
流出端側は面粗さが小さいためより浮上し易くなるので、磁気ディスクとの吸着から脱す
ることが容易になる。
【００２４】
空気導入領域から流入した細かな塵埃は、浮上領域の流入端側の面粗さの大きな部位で
捕獲され、塵埃が流出端側まで流れて来ることを防ぐことができる。流出端側に塵埃が溜
まり実質的に面粗さが小さくなると吸着が起こり易くなるためである。また、空気導入領
域から流入した大きな塵埃は、磁気ディスクと浮上領域と検出領域で粉砕される。流出端
側の面粗さは小さいため、粉砕された塵埃の大部分は流出端から排出され、流出端側の浮
上領域や検出領域に溜まることが少なく、吸着を起こし難くする効果がある。
【００２５】
本発明の磁気ディスク用グライドヘッドは、浮上レールの浮上領域と検出領域の面粗さ
の山の頂点位置が、同一線上であることが好ましい。同一線上に無いと、検出領域の浮上
高さｈｇが制御できなくなるばかりでなく、塵埃排出能力減による吸着問題が起きること
になる。
【００２６】
浮上レールの浮上領域と検出領域の面粗さの山の頂点位置が同一線上であり、検出領域
と浮上領域で面粗さが異なる浮上レールを得るには、機械加工とフォトリソグラフィー技
術を組み合わせることが好ましい。浮上領域と検出領域が同一面で検出領域が必要とする
面粗さになるように研磨加工を行う。研磨加工した後、機械加工もしくはフォトリソグラ
フィーで浮上レール幅や形状を形成する。浮上レール面にフォトレジストパターンを形成
し、イオンミリング等を用い浮上領域の面を荒らすことで、浮上領域と検出領域の面粗さ
を変えることができる。面粗さの山と山の距離や、山の形状等は、フォトレジストパター
ンを変えることで実現できる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明により、磁気ディスクの表面粗さよりも、面粗さの大きなグライドヘッドで吸着
を回避して安定的なグライドハイトテストを高精度に行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を詳細に説明する。説明を判り易くするため、
同じ部品、部位には同一の符号を用いている。
【実施例１】
【００２９】
図１に本発明の、グライドヘッドの斜視図を示す。基本的な構造としては、図７に示し
た従来のグライドヘッドと同一であるので、浮上レールを上面にして図示している。従来
のグライドヘッドのスライダーと大きく異なるのは、浮上レールが空気導入領域２１と面
粗さの異なる浮上領域２２、検出領域２３に分かれている点である。図２を用いてスライ
ダーの各部名称、実施例で用いた寸法関係を詳細に記載する。スライダー全体の大きさで
あるスライダー長Ｌ１１は１．２５ｍｍ、スライダー幅Ｌ９は０．９５ｍｍ、スライダー
全幅Ｌ１０は１．９０ｍｍ、図１に記載のスライダー高さＬ１２は０．４３ｍｍである。
スライダーの材質は、アルミチタンカーバイト（ＡＴＣ）である。浮上力を与える浮上レ
ール３の長さＬ２は１．２０ｍｍ、レールの幅Ｌ８は０．１６ｍｍである。浮上レール３
の長さＬ２は、空気導入領域２１の長さＬ３の０．２ｍｍと浮上領域２２の長さＬ４の０
．８８ｍｍ、検出領域２３の長さＬ５の０．１２ｍｍよりなっている。空気導入領域２１
は、０．５度の斜面としている。流出端１６に設けられた流出端角部長Ｌ６は０．０５ｍ
ｍとした。流出端角部の面取り角度を２０度としたので、流出端角部長Ｌ６は浮上力を生
じない。左右のレールの外側端の間隔がスライダー幅Ｌ９で、０．９５ｍｍとしている。
スライダー全幅Ｌ１０からスライダー幅Ｌ９を差引いた長さ０．９５ｍｍが、張り出し部
４の幅の長さＬ１３となる。
【００３０】
スライダー１の製造方法に付いて簡単に述べる。アルミチタンカーバイトの素材を、図
２の形状に機械加工を行うのは、従来のグライドヘッドと同様である。従来と異なるのは
浮上レール３を空気導入領域と浮上領域、検出領域で面粗さを変える加工を行うことであ
り、特に浮上領域の面粗さを大きくすることである。浮上領域の面を大きくする方法とし
て用いたのは、フォトッリソグラフィー技術とイオンミリングである。浮上レール面にフ
ォトレジストパターンを形成し、イオンミリングで浮上領域の面を荒らした。面粗さはイ
オンミリングのイオン濃度勾配やスライダーを回転させる速度、イオンミリングとスライ
ダーの角度等を変えて、異なる面粗さと面粗さの分布を持つスライダーを得た。
【００３１】
図３に実施した浮上領域の面粗さの形状パターンを示す。図３ａ）からｃ）に、検出領
域２３の面粗さＲａｔと浮上領域２２の面粗さＲａｆの模式を示す。図３ａ）のａタイプ
は、浮上領域の面粗さＲａｆが流出端側から流入端側に向かって略連続的に大きくなって
いる。浮上領域の流出端側の検出領域と接する部位の面粗さＲａｆは、検出領域の面粗さ
Ｒａｔと同じとしている。図３ｂ）のｂタイプは、浮上領域の面粗さＲａｆが流出端側か
ら流入端側に向かって階段的に大きくなるように変化している。本実施例では階段の数は
、３から１０とした。浮上領域の流出端側の検出領域と接する部位の面粗さＲａｆは、検
出領域の面粗さＲａｔより大きくして階段を設けた状態とした。図３ｃ）のｃタイプは、
浮上領域の全域で面粗さＲａｆは略同じ値を有しており、検出領域と浮上領域の境界部は
階段状に面粗さを変化させている。面粗さＲａｔ，Ｒａｆは、１０から１００μｍの範囲
で測定した値で示している。Ｒａｆは、浮上領域の流入端側１０から１００μｍの範囲で
測定した値を持って表している。
【００３２】
図４に、ａタイプからｃタイプの浮上領域の面粗さ形状パターンと、磁気ディスクの検
査結果に付いて示す。比較のため、浮上領域と検出領域の面粗さが同じである従来品も面
粗さを変えて同時に試験した。Ｒａｆは図３に示すように、４．９〜７．８ｎｍの範囲で
変化させている。検出領域の面粗さＲａｔは、０．６〜１．２ｎｍの範囲で変化させてい
る。グライドヘッドの評価は、吸着や突起等でエラーが出て検査不良となった磁気ディス
ク枚数と、検査不良となった磁気ディスクを、ｃタイプの＃１０のヘッドを用い再検査し
、再度不良品と判断された磁気ディスク数である。浮上量ｈｇを９ｎｍに調整した各グラ
イドヘッドで、面粗さ０．５〜０．７ｎｍの磁気ディスク１０００枚を連続で測定した。
【００３３】
図４の結果から、浮上領域の面粗さを大きくすることで、検査不良と判定される磁気デ
ィスクが大幅に減少した。＃１〜＃１２、＃１４、＃１５のグライドヘッドでは、吸着に
よる検査不良の発生はなかった。これは、不良と判定された磁気ディスクを他のグライド
ヘッドで再検査しても、同じ様に不良と判定されたことから、不良は磁気ディスクの突起
物に起因するものと考えられる。浮上領域の面粗さを大きくすることで吸着による検査不
良を防ぐことができ、面粗さの小さい検出領域を設けることで突起検出精度を上げられる
ことは、従来品の結果からも明確であると言える。＃１３は浮上領域と検出領域とも、０
．８ｎｍと面粗さは非常に小さくなっており、検査不良と判定された磁気ディスク枚数は
６２枚である。＃１０のグライドヘッドを用い、６２枚を再検査したところ５枚だけが再
度不良と判定された。再検査で不良と判定されたのは突起物が原因であった。再検査で良
品と判定された磁気ディスクは、＃１３のグライドヘッドの吸着現象が不良判定の原因で
あった。＃１４と１５の浮上領域と検出領域の面粗さが大きいグライドヘッドでは、不良
と判定される磁気ディスクの枚数が、＃１３に比べ約１桁少なくなっている。これは、浮
上領域の面粗さが大きいため吸着現象が発生しなかったためと考えられる。再検査の結果
からも、不良と判定されたのは突起物が原因であった。
【００３４】
＃１４と＃１５の結果から、＃１〜＃１２が有する検出領域は不要ではないかとも考え
られるので、＃１４と＃１５で良品と判定された磁気ディスクを各１００枚、＃１０のグ
ライドヘッドを用いて測定した。＃１４で２枚、＃１５で３枚の磁気ディスクが不良と判
定された。これらは何れも突起高さが高いため不良となったものであった。検出領域に当
る部位の面粗さが大きいため、検出されるべき突起と接触しなかったのか、もしくは接触
しても衝撃力が弱く圧電素子から閾値以上の電圧が発生しなかったためと考えられる。確
認のため、＃１３で良品とされた磁気ディスクも同様に再検査したところ、突起高さに起
因する不良はなかった。以上の結果から、浮上領域の面粗さＲａｆを大きくすることで吸
着現象が防止でき、検出領域の面粗さＲａｔを小さくすることで突起検出精度が上がるこ
とが確認できた。
【実施例２】
【００３５】
図５に、検出領域の長さＬ５と吸着や突起等でエラーが出て検査不良となった磁気ディ
スク枚数、グライドヘッドの寿命枚数の関係を示す。Ｌ５は３０〜５００μｍの範囲で変
化させた。浮上領域の面粗さ形状は、ｂパターンで浮上領域の面粗さＲａｆは６．６ｎｍ
、検出領域の面粗さＲａｔは１．０ｎｍとした。浮上高さｈｇを９ｎｍに調整した各グラ
イドヘッドで、面粗さ０．５〜０．７ｎｍの磁気ディスクを測定した。１０００枚を連続
で測定した時に、吸着や突起等でエラーが出て検査不良となった磁気ディスク枚数で評価
した。また、グライドヘッドが磨耗等で交換が必要になった時点までに測定した磁気ディ
スク枚数で、グライドヘッドの寿命とした。
【００３６】
検出領域が大きくなるに従い、不良と判定される磁気ディスク枚数が増えている。検出
領域の長さＬ５が１８０μｍ未満のグライドヘッドで、不良と判定された原因を突起高さ
によると考えると、検出領域の長さＬ５が２００μｍ以上のグライドヘッドで増加した不
良と判定された分は、グライドヘッドと磁気ディスクの吸着が原因と考えられる。検出領
域の長さＬ５が８０μｍ以下では、Ｌ５が長くなるに従いグライドヘッドの寿命も伸びて
行き、Ｌ５が１００μｍ以上では寿命は略同じとなった。検出領域の長さＬ５が小さ過ぎ
ると、最も突起との衝突回数が多い流出端に近い検出領域の磨耗や傷付きにより、所定の
浮上量ｈｇが得られなくなったか、磁気ディスクへのスクラッチ傷を与えるようになり、
短寿命になったと考えられる。吸着は検出領域の長さＬ５とスライダー幅Ｌ８の積で、寿
命は検出領域の長さＬ５で決まるため、浮上量ｈｇや磁気ディスクの径、回転数等から最
適な検出領域の長さＬ５を求めることができる。なお、グライドヘッドの寿命としては、
少なくとも１０００枚以上測定できれば経験的に充分と判断できる。このことから、Ｌ５
が８０μｍ以上であれば寿命的には満足できると判断できる。
【実施例３】
【００３７】
図６に浮上レール形状が異なるグライドヘッドを示す。図６ａ）と図６ｂ）は、浮上領
域が分断され空気導入領域２１と浮上領域２２、浮上領域２２と検出領域２３に浮上レー
ルが二分割されたものである。浮上量ｈｇを下げるにはスライダー幅Ｌ８を小さくすれば
良いが、突起検出幅も小さくなり磁気ディスクの検査時間が長くなってしまう。突起検出
幅を小さくせず浮上量ｈｇを下げる方策として、浮上領域を二分割しているものである。
図６ａ）は、実施例１のスライダーの浮上領域にスリット２４を追加工で設けたものであ
る。浮上領域の面粗さ形状パターンは、図３の  ａタイプからｃタイプを適用した。図６
ｂ）は、フォトリソグラフィー技術を用いて、浮上レールを形成したものである。機械加
工と異なり浮上レール形状の自由度は高く、浮上領域幅より検出領域幅を大きくすること
も容易であり、検査時間短縮に効果がある。空気導入領域２１は、浮上領域より０．２μ
ｍ凹んだ面とした。
【００３８】
図６ａ）と図６ｂ）の浮上レール形状で、実施例１と同様の効果確認を行うため、浮上
領域の面粗さ形状パターンや浮上領域の面粗さＲａｆ、検出領域の面粗さＲａｔを変えて
磁気ディスクを検査した。結果は図３と略同様であったので省略するが、浮上領域の面粗
さＲａｆを大きくすることで吸着現象が防止でき、検出領域の面粗さＲａｔを小さくする
ことで突起検出精度が上がることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明実施例１のグライドヘッドの斜視図である。
【図２】本発明のスライダーの各部名称や寸法関係を説明する図である。
【図３】本発明実施例１の浮上領域の面粗さの形状パターンを説明する図である。
【図４】本発明実施例１の磁気ディスクの検査結果を説明する図である。
【図５】本発明実施例２の磁気ディスクの検査結果を説明する図である。
【図６】本発明実施例３の浮上レール形状を示す図である。
【図７】従来品のグライドヘッドの斜視図である。
【図８】グライドヘッドの動作原理を説明する図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  スライダー、２  サスペンション、３  浮上レール、４  張り出し部、
７  フレキシャー、８  ピボット、９  圧電素子、１０  リード線、
１１  絶縁チューブ、１５  流入端、１６  流出端、２１  空気導入領域、
２２  浮上領域、２３  検出領域、２４  スリット、５５  磁気ディスク、
５６  突起物。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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