(57)【要約】【課題】発熱源からの輻射熱を有効に遮断するようにして、シートフイルムの熱膨張を効果的に抑制することができ、シートフイルムへの例えば光学的な処理（例えば画像の光学的な転写や露光等）を高精度に行う。【解決手段】露光装置１０のワーク搬送装置１８は、シートフイルム３２が載置され、且つ、シートフイルム３２を位置決め保持するワーク載置面３４を有する露光ステージ３６と、該露光ステージ３６を上下方向に移動駆動する昇降機構３８と、定盤１４上に配設されたガイドレールに沿って移動駆動する移動ステージ４０と、該移動ステージ４０を移動駆動するための移動機構４２とを有する。そして、露光ステージ３６の下面（移動ステージ４０と対向する面）の一部に遮熱部材８０を取り付ける。本実施の形態では、露光ステージ３６の下面のうち、その周辺部分に遮熱部材８０を取り付けるようにしている。【選択図】図２
2006235335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク載置面を有し、駆動モータによって移動可能とされたワーク搬送用ステージにおいて、
前記駆動モータを含む発熱源からの熱の少なくとも前記ワーク載置面への伝達を阻止する遮熱部材を有することを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項２】
請求項１記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記遮熱部材は、前記発熱源と対向する部分に設けられていることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項３】
請求項２記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記遮熱部材は、前記ワーク載置面と反対の面に設けられていることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項４】
請求項２記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記遮熱部材は、前記駆動モータと対向する部分に設けられていることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項５】
請求項１記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記ワーク載置面を第１の往復方向に搬送する第１のステージと、
前記第１のステージを第２の往復方向に移動させる第２のステージとを具備し、
前記駆動モータを含む発熱源は、少なくとも前記第２のステージに設置され、
前記遮熱部材は、前記第１のステージのうち、前記第２のステージと対向する部分に設けられていることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項６】
請求項５記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記遮熱部材は、前記第１のステージのうち、前記ワーク載置面と反対の面に設けられていることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項７】
請求項５記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記遮熱部材は、前記第１のステージのうち、前記駆動モータと対向する部分に設けられていることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記遮熱部材は、前記発熱源からの輻射熱を反射する部材であることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項９】
請求項８記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記遮熱部材は、ステンレス板であることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１項に記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記遮熱部材は、前記ワーク載置面を有するステージ本体と前記発熱源との間に介在されたスペーサであることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項１１】
請求項１０記載のワーク搬送用ステージにおいて、
前記スペーサがセラミックシートであることを特徴とするワーク搬送用ステージ。
【請求項１２】
ワーク載置面を有するステージと、
前記ステージを移動駆動するための駆動モータを含む発熱源と、
前記発熱源からの熱の少なくとも前記ワーク載置面への伝達を阻止する遮熱部材とを有することを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項１３】
請求項１２記載のワーク搬送装置において、
前記駆動モータを含む発熱源は、前記ステージの下方に設置され、
前記遮熱部材は、前記ステージのうち、前記発熱源と対向する部分に設けられていることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項１４】
請求項１３記載のワーク搬送装置において、
前記遮熱部材は、前記ステージのうち、前記ワーク載置面と反対の面に設けられていることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項１５】
請求項１３記載のワーク搬送装置において、
前記遮熱部材は、前記ステージのうち、前記駆動モータと対向する部分に設けられていることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項１６】
ワーク載置面を有し、該ワーク載置面を第１の往復方向に搬送する第１のステージと、
前記第１のステージを移動駆動するための第１の駆動モータと、
前記第１のステージを第２の往復方向に移動させる第２のステージと、
前記第２のステージを移動駆動するための第２の駆動モータと、
少なくとも前記第２の駆動モータを含む発熱源からの熱の少なくとも前記ワーク載置面への伝達を阻止する遮熱部材とを有することを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項１７】
請求項１６記載のワーク搬送装置において、
前記遮熱部材は、前記第１のステージのうち、前記ワーク載置面と反対の面に設けられていることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項１８】
請求項１６記載のワーク搬送装置において、
前記遮熱部材は、前記第１のステージのうち、前記駆動モータと対向する部分に設けられていることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項１９】
請求項１２〜１８のいずれか１項に記載のワーク搬送装置において、
前記遮熱部材は、前記発熱源からの輻射熱を反射する部材であることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２０】
請求項１９記載のワーク搬送装置において、
前記遮熱部材は、ステンレス板であることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２１】
請求項１２〜２０のいずれか１項に記載のワーク搬送装置において、
前記遮熱部材は、前記ワーク載置面を有するステージ本体と前記発熱源との間に介在されたスペーサであることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２２】
請求項２１記載のワーク搬送装置において、
前記スペーサがセラミックシートであることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２３】
請求項１２〜２２のいずれか１項に記載のワーク搬送装置にて搬送されるワークに対して画像を描画することを特徴とするワーク描画装置。
【請求項２４】
請求項１２〜２２のいずれか１項に記載のワーク搬送装置にて搬送されるワークに対して画像を光学的に転写するワーク光学処理装置。
【請求項２５】
請求項１２〜２２のいずれか１項に記載のワーク搬送装置にて搬送されるワークに対して画像を光学的に描画して露光処理を行うワーク露光描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造工程に投入されるワークを搬送するためのワーク搬送用ステージと、該ワーク搬送用ステージを有するワーク搬送装置と、該ワーク搬送装置を有するワーク描画装置、ワーク光学処理装置及びワーク露光描画装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、所望の画像パターンに従ってレーザビームを制御し、シート状の感光材料を露光走査することにより、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等のフィルタやプリント基板を製造する露光装置が開発されている。図１１は、このような露光装置２００の概略構成を示す（特許文献１参照）。
【０００３】
露光装置２００は、例えば６本の脚部２０２により支持される長方形状の定盤２０４と、定盤２０４上に配設された２本のガイドレール２０６ａ、２０６ｂに沿って移動可能な移動ステージ２０８と、定盤２０４上に配設される門型のコラム２１０と、コラム２１０に固定され、移動ステージ２０８に位置決めされた露光対象物２１２をレーザビームにより照射するスキャナ２１４とを備える。
【０００４】
露光対象物２１２は、移動ステージ２０８と共に矢印方向に移動される一方、スキャナ２１４から出力されるレーザビームが矢印方向と直交する方向に照射されることで、二次元画像が記録される。
【０００５】
ここで、スキャナ２１４は、例えば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子をパターンジェネレータとする複数の露光ヘッドからなり、各露光ヘッドにより二次元画像パターンを高精細且つ高速度に記録するように構成されている。
【０００６】
ＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーをシリコン等の半導体基板上に二次元的に配列したミラーデバイスであり、レーザ光源から出力されたレーザビームをコリメータレンズでコリメートした後、反射面の角度が制御されたＤＭＤによって選択的に反射させ、マイクロレンズアレーを介して露光対象物２１２上に集光させることにより、二次元画像パターンの記録が行われる。
【０００７】
つまり、露光対象物２１２に形成される二次元画像パターン（単に、画像パターンと記す）は、各露光ヘッドから出射されたレーザビームによる複数の画像の配列によって形成される。もちろん、複数の画像を直線上に配列して線状の画像パターンを形成することも可能である。
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−６２１５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、露光装置２００は、移動ステージ２０８の温度と、該移動ステージ２０８に載置された露光対象物２１２の温度が異なる場合がある。
【００１０】
その理由は、先ず、露光装置２００の移動ステージ２０８の下部には、該移動ステージ２０８を矢印方向に移動させるための駆動モータが設置されている。駆動モータとして、通常、リニアモータが用いられるが、該リニアモータを駆動して、移動ステージ２０８を移動させたとき、リニアモータコイルに電流が流れ、発熱することとなる。すなわち、駆動モータは発熱源となる。
【００１１】
そして、駆動モータから発する熱が移動ステージ２０８に輻射されることで、移動ステージ２０８が徐々に熱せられ、移動ステージ２０８と露光対象物２１２とで温度差が生じることとなる。その結果、移動ステージ２０８から露光対象物２１２への熱伝導によって露光対象物２１２が熱せられ、露光対象物２１２のうち、熱せられた部分が膨張していく。
【００１２】
従って、この発熱源からの輻射熱を局部的に受けると、移動ステージ２０８の例えば表面の温度分布が不均一となることから、時間の経過に伴って、露光対象物２１２も局部的に膨張、変形していくことになる。
【００１３】
また、たとえ移動ステージ２０８の表面の温度分布が均一であっても、時間の経過に伴って露光対象物２１２が蓄熱されていくことから、露光対象物２１２全体が徐々に膨張変形していくこととなる。
【００１４】
そのため、アライメント計測後に露光を行う方式、すなわち、移動ステージ２０８上に露光対象物２１２を載置した後、例えば移動ステージ２０８を一方向に移動させて、露光対象物２１２のアライメントを計測し、その後、移動ステージ２０８を逆方向に移動させて、露光対象物２１２に露光を行う方式においては、アライメント計測時と露光時に時間差があるため、露光対象物２１２の熱膨張の量だけ露光位置がずれるという問題がある。つまり、アライメント精度の向上が露光時に反映させることができないという問題がある。
【００１５】
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、発熱源からの輻射熱を有効に遮断することができ、これによって、ワークの熱膨張を効果的に抑制することができ、ワークへの例えば光学的な処理（例えば画像の光学的な転写や露光等）を高精度に行うことができるワーク搬送用ステージ、ワーク搬送装置、ワーク描画装置、ワーク光学処理装置及びワーク露光描画装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係るワーク搬送用ステージは、ワーク載置面を有し、駆動モータによって移動可能とされたワーク搬送用ステージにおいて、前記駆動モータを含む発熱源からの熱の少なくとも前記ワーク載置面への伝達を阻止する遮熱部材を有することを特徴とする。
【００１７】
これにより、発熱源からの輻射熱を有効に遮断することができ、これによって、ワークの熱膨張を効果的に抑制することができ、ワークへの例えば光学的な処理（例えば画像の光学的な転写や露光等）を高精度に行うことができる。
【００１８】
そして、前記構成において、前記遮熱部材は、前記発熱源と対向する部分に設けられていてもよいし、前記ワーク載置面と反対の面に設けられていてもよい。あるいは、前記駆動モータと対向する部分に設けられていてもよい。
【００１９】
また、前記構成において、前記ワーク載置面を第１の往復方向に搬送する第１のステージと、前記第１のステージを第２の往復方向に移動させる第２のステージとを具備し、前記駆動モータを含む発熱源は、少なくとも前記第２のステージに設置され、前記遮熱部材は、前記第１のステージのうち、前記第２のステージと対向する部分に設けられていてもよい。
【００２０】
この場合、前記遮熱部材は、前記第１のステージのうち、前記ワーク載置面と反対の面に設けられていてもよいし、前記第１のステージのうち、前記駆動モータと対向する部分に設けられていてもよい。
【００２１】
また、本発明に係るワーク搬送装置は、ワーク載置面を有するステージと、
前記ステージを移動駆動するための駆動モータを含む発熱源と、前記発熱源からの熱の少なくとも前記ワーク載置面への伝達を阻止する遮熱部材とを有することを特徴とする。
【００２２】
これにより、発熱源からの輻射熱を有効に遮断することができ、これによって、ワークの熱膨張を効果的に抑制することができ、ワークへの例えば光学的な処理（例えば画像の光学的な転写や露光等）を高精度に行うことができる。
【００２３】
そして、前記構成において、前記駆動モータを含む発熱源は、前記ステージの下方に設置され、前記遮熱部材は、前記ステージのうち、前記発熱源と対向する部分に設けられていてもよい。あるいは、前記遮熱部材は、前記ステージのうち、前記ワーク載置面と反対の面に設けられていてもよいし、前記ステージのうち、前記駆動モータと対向する部分に設けられていてもよい。
【００２４】
また、前記構成において、前記第１のステージを移動駆動するための第１の駆動モータと、前記第１のステージを第２の往復方向に移動させる第２のステージと、前記第２のステージを移動駆動するための第２の駆動モータと、少なくとも前記第２の駆動モータを含む発熱源からの熱の少なくとも前記ワーク載置面への伝達を阻止する遮熱部材とを有するようにしてもよい。
【００２５】
この場合、前記遮熱部材は、前記第１のステージのうち、前記ワーク載置面と反対の面に設けられていてもよいし、前記第１のステージのうち、前記駆動モータと対向する部分に設けられていてもよい。
【００２６】
前記遮熱部材は、前記発熱源からの輻射熱を反射する部材であることが好ましく、例えばステンレス板を用いることができる。
【００２７】
そして、これらワーク搬送用ステージ並びにワーク搬送装置は、ワークに対して画像を描画するワーク描画装置、ワークに対して画像を光学的に転写するワーク光学処理装置、ワークに対して画像を光学的に描画して露光処理を行うワーク露光描画装置に適用することができる。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように、本発明に係るワーク搬送用ステージ、ワーク搬送装置、ワーク描画装置、ワーク光学処理装置及びワーク露光描画装置によれば、発熱源からの輻射熱を有効に遮断することができ、これによって、ワークの熱膨張を効果的に抑制することができ、ワークへの例えば光学的な処理（例えば画像の光学的な転写や露光等）を高精度に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明に係るワーク搬送用ステージ、ワーク搬送装置、ワーク描画装置、ワーク光学処理装置及びワーク露光描画装置を例えばＤＭＤを有する露光装置に適用した実施の形態例を図１〜図１０を参照しながら説明する。
【００３０】
本実施の形態に係る露光装置１０は、例えば６つの脚部１２により支持される長方形状の定盤（基台）１４と、該定盤１４上に配設される２本のガイドレール１６ａ、１６ｂに沿って矢印Ａ、Ｂ方向に移動可能なワーク搬送装置１８と、定盤１４上に配設されるコラム２０ａ、２０ｂと、コラム２０ａ、２０ｂ間に固定されるスキャナ定盤２２と、該スキャナ定盤２２に位置決め固定される８組の露光ヘッド２４ａ〜２４ｈと、コラム２０ａ、２０ｂ間に固定されるカメラ定盤２６と、該カメラ定盤２６に位置決め固定される２台のアラインメントカメラ２８ａ、２８ｂとから基本的に構成される。少なくとも２つのコラム２０ａ、２０ｂとスキャナ定盤２２にて門型のヘッド保持構成体３０が構成される。
【００３１】
ワーク搬送装置１８は、図２に示すように、シートフイルム３２が載置され、且つ、シートフイルム３２を位置決め保持するワーク載置面３４を有する露光ステージ３６と、該露光ステージ３６を上下方向に移動駆動する昇降機構３８と、定盤１４上に配設されたガイドレール１６ａ、１６ｂに沿って移動駆動する移動ステージ４０と、該移動ステージ４０を移動駆動するための移動機構４２とを有する。
【００３２】
昇降機構３８は、図３〜図５に示すように、移動ステージ４０上に互いに平行に配置された一対のガイドレール４４と、該一対のガイドレール４４上を摺動自在に装着されたくさび形部材４６と、これらくさび形部材４６上を摺動自在に装着された支持ブロック４８と、くさび形部材４６を横方向に一対のガイドレール４４に沿って移動駆動するリニア駆動機構５０と、くさび形部材４６の横方向の移動に伴う支持ブロック４８の移動を上下方向に案内する支持部材５２とを有する。
【００３３】
一対のガイドレール４４は、それぞれ走査方向（移動ステージ４０の移動方向である矢印Ａ方向及び矢印Ｂ方向）に直交する方向（矢印Ｘ方向）に沿って配置されている。なお、ガイドレール４４は、凸状のレール又はガイド溝状にしてもよい。
【００３４】
くさび形部材４６は、ほぼ直角三角形状に形成されており、そのうち、斜辺部分が上方を向いて配置され、下部（長辺部分）がガイドブロック５４を介してガイドレール４４に摺動自在に装着されている。
【００３５】
支持ブロック４８もほぼ直角三角形状に形成されており、そのうち、上部（長辺部分）が上方を向き、斜辺部分がくさび形部材４６の斜辺部分に対向して配置され、さらに、該斜辺部分がガイドブロック５６を介して摺動自在に装着されている。
【００３６】
支持部材５２は、移動ステージ４０の上面から直角に起立する垂直ガイド面５８を有する。この垂直ガイド面５８には支持ブロック４８の短辺部分がガイドブロック６０を介して摺動自在に装着される。なお、支持部材５２は、各くさび形部材４６の斜辺部分に摺動自在に装着されている各支持ブロック４８が、重力によって、前記斜辺部分から外方に滑り落ちないように制動する機能も有する。
【００３７】
リニア駆動機構５０は、駆動モータ６２と、該駆動モータ６２の回転運動を直動運動に変換する操作軸６４と、一対のくさび形部材４６を下部で接続する板部材６６と、該板部材６６の中央部上に設けられ、操作軸６４によって送られるねじ送り部６８と、操作軸６４の軸受け部７０とを有し、該操作軸６４による直動駆動によってくさび形部材４６をガイドレール４４に沿って移動するように構成されている。
【００３８】
このように構成した昇降機構３８で露光ステージ３６の高さを調整する場合には、リニア駆動機構５０を駆動制御することによって各くさび形部材４６をガイドレール４４に沿って精密に移動させる。
【００３９】
これにより、各支持ブロック４８は、各くさび形部材４６の斜辺部分上を摺動すると共に、支持部材５２の案内によって上下方向に移動する。つまり、例えば図４に示す状態から、図５に示す状態まで上昇し、又はその逆に下降する。
【００４０】
従って、昇降機構３８の駆動によって、一対の支持ブロック４８の上部に配置されている露光ステージ３６が昇降動作することにより、露光ステージ３６のワーク載置面３４に保持されたシートフイルム３２（図１参照）と、複数の露光ヘッド２４ａ〜２４ｈを備えたスキャナ定盤２２との間の距離を高精度に調整することができる。
【００４１】
一方、移動機構４２は、図１及び図２に示すように、定盤１４の上面において一対のガイドレール１６ａ及び１６ｂに沿って延びる操作軸７２と、通電によって操作軸７２に沿って移動する自走式のリニアモータ７４とを有する。リニアモータ７４は、移動ステージ４０の下面（定盤１４と対向する面）に位置し、操作軸７２が挿通するように設けられている。
【００４２】
このリニアモータ７４に通電して移動ステージ４０を移動駆動したとき、リニアモータ７４の構成部材の１つであるリニアモータコイル７６に電流が流れ、該リニアモータコイル７６から発熱することとなる。この熱は、リニアモータコイル７６の上部にある移動ステージ４０に伝わり、時間の経過と共に蓄熱され、該移動ステージ４０からも発熱が生じることになる。すなわち、リニアモータコイル７６や移動ステージ４０は発熱源となる。
【００４３】
そして、移動ステージ４０での蓄熱に伴って、その熱が露光ステージ３６に輻射されることで、露光ステージ３６が徐々に熱せられ、露光ステージ３６と、該露光ステージ３６上に保持されているシートフイルム３２とで温度差が生じることとなる。その結果、露光ステージ３６からシートフイルム３２への熱伝導によってシートフイルム３２が熱せられ、シートフイルム３２のうち、熱せられた部分が膨張していくこととなる。
【００４４】
従って、この発熱源からの輻射熱を局部的に受けると、露光ステージ３６の例えば表面の温度分布が不均一となることから、時間の経過に伴って、シートフイルム３２も局部的に膨張、変形していくことになる。
【００４５】
また、たとえ露光ステージ３６の表面の温度分布が均一であっても、時間の経過に伴ってシートフイルム３２が蓄熱されていくことから、シートフイルム３２全体が徐々に膨張変形していくこととなる。
【００４６】
このシートフイルム３２の膨張変形は、シートフイルム３２に対する露光精度を著しく劣化させるおそれがある。
【００４７】
そこで、本実施の形態に係る露光装置１０においては、図２及び図３に示すように、露光ステージ３６の下面（移動ステージ４０と対向する面）の一部に遮熱部材８０を取り付けるようにしている。本実施の形態では、露光ステージ３６の下面のうち、中央部８２には遮熱部材８０を取り付けずに、その周辺部分に遮熱部材８０を取り付けるようにしている。これは、移動ステージ４０の中央部に昇降機構３８が存在することに起因する。すなわち、リニアモータコイル７６から移動ステージ４０に伝達してきた熱のうち、移動ステージ４０の中央部に伝わった熱は昇降機構３８によって吸収されるため、露光ステージ３６への輻射熱として機能しない。反対に、移動ステージ４０の周辺部には何も存在しないことから、移動ステージ４０の周辺部に伝わったリニアモータコイル７６からの熱は、露光ステージ３６に対する輻射熱となり、特に、露光ステージ３６の下面のうち、周辺部に熱が輻射される。従って、本実施の形態では、露光ステージ３６の下面のうち、その周辺部に遮熱部材８０を取り付けることで、リニアモータコイル７６からの輻射熱を、低コストで、かつ、効率的に遮断することができる。
【００４８】
遮熱部材８０としては、発熱源からの輻射熱を反射する部材であればよく、本実施の形態では、ステンレス板を用いた。もちろん、ステンレス板以外の部材も使用することができる。ステンレス板やそれ以外の部材の表面を鏡面に処理すれば、前記輻射熱を反射する上で好ましい。
【００４９】
他方、図６に示すように、露光装置１０を制御する制御ユニット９０は、昇降機構３８の駆動モータ６２と移動機構４２のリニアモータ７４を制御してワーク搬送装置１８の移動ステージ４０と露光ステージ３６とを移動駆動させると共に、アラインメントカメラ２８ａ、２８ｂにより撮影したシートフイルム３２のアラインメントマークに基づいて画像の記録位置を調整し、光源ユニット９２及び露光ヘッド２４ａ〜２４ｈを制御して、シートフイルム３２に所望の画像パターン（二次元画像の組み合わせ）を露光記録する。この場合、図７に示すように、２列の千鳥状に配設された各露光ヘッド２４ａ〜２４ｈは、各露光エリア９４ａ〜９４ｈに対して複数の画素からなる二次元画像を同時に記録する。
【００５０】
図８に示すように、露光ヘッド２４ａ〜２４ｈには、例えば光源ユニット９２を構成する複数の半導体レーザから出力されたレーザビームＬａが合波され、光ファイバ９５を介して導入される。レーザビームＬａが導入された光ファイバ９５の出射端には、ロッドレンズ９６、反射ミラー９８及びデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）１００が順に配列される。ＤＭＤ１００は、レーザビームＬａを反射する多数のマイクロミラーを備えた空間光変調素子であり、制御ユニット９０からの駆動信号により各マイクロミラーが画像情報に応じて駆動制御される。
【００５１】
ＤＭＤ１００によるレーザビームＬａの反射側には、拡大光学系である第１結像光学レンズ１０２、１０４、ＤＭＤ１００の各マイクロミラーに対応して多数のレンズを配設したマイクロレンズアレー１０６、等倍光学系である第２結像光学レンズ１０８、１１０及び焦点微調整機構であるプリズムペア１１２が順に配列される。なお、マイクロレンズアレー１０６の前後には、迷光を除去すると共に、レーザビームＬａを所定の径に調整するためのマイクロアパーチャアレー１１４、１１６が配設される。
【００５２】
ここで、この実施の形態に係る露光装置１０の動作について図１等を参照しながら説明する。
【００５３】
先ず、制御ユニット９０は、移動機構４２のリニアモータ７４を制御して移動ステージ４０を移動駆動することにより、シートフイルム３２が位置決め固定された露光ステージ３６を、定盤１４のガイドレール１６ａ、１６ｂに沿って矢印Ａ方向に移動させる。露光ステージ３６がコラム２０ａ、２０ｂ間を通過する際、カメラ定盤２６に固定されたアラインメントカメラ２８ａ、２８ｂは、シートフイルム３２の所定位置に予め記録されているアラインメントマークを撮影する。
【００５４】
制御ユニット９０は、撮影したアラインメントマークの画像から、シートフイルム３２の位置ずれや変形等を検出し、シートフイルム３２に記録する画像情報に対する補正データを作成する。また、制御ユニット９０は、昇降機構３８におけるリニア駆動機構５０の駆動モータ６２を駆動して露光ステージ３６を昇降させると共に、露光ヘッド２４ａ〜２４ｈを構成するプリズムペア１１２（図８参照）を制御し、露光ヘッド２４ａ〜２４ｈに対するシートフイルム３２の焦点調整処理を行う。
【００５５】
次に、移動ステージ４０は、リニアモータ７４によって矢印Ｂ方向に移動し、露光ヘッド２４ａ〜２４ｈによる二次元画像パターン（単に、画像パターンと記す）の記録処理が行われる。すなわち、光源ユニット９２から出力されたレーザビームＬａは、光ファイバ９５を介して各露光ヘッド２４ａ〜２４ｈに導かれる。レーザビームＬａは、ロッドレンズ９６から反射ミラー９８を介してＤＭＤ１００に入射する。ＤＭＤ１００に入射したレーザビームＬａは、画像パターンの情報に応じて制御された複数のマイクロミラーにより選択的に反射され、第１結像光学レンズ１０２、１０４により拡大された後、マイクロアパーチャアレー１１４を介してマイクロレンズアレー１０６に導かれる。マイクロレンズアレー１０６は、各レーザビームＬａを第２結像光学レンズ１０８、１１０及びプリズムペア１１２を介してシートフイルム３２上に結像する。
【００５６】
この場合、移動ステージ４０は、矢印Ｂ方向に移動しており、各露光ヘッド２４ａ〜２４ｈが移動ステージ４０の移動方向と直交する方向に配列される露光エリア９４ａ〜９４ｈ（図７参照）に対して、それぞれ複数の画素からなる二次元画像を形成する。つまり、画像パターンは、各露光ヘッド２４ａ〜２４ｈから出射されたレーザビームＬａによる複数の二次元画像の配列によって形づくられる。
【００５７】
このように、本実施の形態においては、露光ステージ３６の下面のうち、周辺部に遮熱部材８０を取り付けるようにしたので、リニアモータコイル７６等の発熱源からの輻射熱を有効に遮断することができ、これによって、ワークであるシートフイルム３２の熱膨張を効果的に抑制することができ、シートフイルム３２への例えば光学的な処理（例えば画像の光学的な転写や露光等）を高精度に行うことができる。
【００５８】
なお、図９に示す第１の変形例に係る露光装置１０ａのように、移動ステージ４０の上面のうち、周辺部分に放熱フィン１２０を設けるようにしてもよい。もちろん、移動ステージ４０の側面にも放熱フィン１２０を設けるようにしてもよい。
【００５９】
この場合、移動ステージ４０に伝達してきた熱が放熱フィン１２０を通じて効率的に放熱されることから、移動ステージ４０で蓄熱することがなくなり、移動ステージ４０が発熱源になるということが防止される。従って、移動ステージ４０から露光ステージ３６への熱の輻射が有効に阻止され、露光ステージ３６の温度上昇を低減することができる。
【００６０】
また、図１０に示す第２の変形例に係る露光装置１０ｂのように、リニアモータコイル７６と移動ステージ４０との間にスペーサ１３０を介在させてもよい。スペーサ１３０として、例えばセラミックシートを用いることが好ましい。スペーサ１３０を介在させることで、リニアモータコイル７６で発生した熱が移動ステージ４０に伝わりにくくなり、移動ステージ４０から発する輻射熱を大幅に低減させることができる。もちろん、この第２の変形例に係る露光装置１０ｂを、上述した実施の形態に係る露光装置１０や第１の変形例に係る露光装置１０ａと組み合わせるようにしてもい。
【００６１】
なお、上述の実施の形態では、露光装置１０、１０ａ及び１０ｂに適用した例を示したが、その他、ワーク搬送装置１８のワーク載置面３４上に保持されたシートフイルム３２に対して画像を描画するワーク描画装置や、前記シートフイルム３２に対して画像を光学的に転写するワーク光学処理装置等にも適用が可能である。
【００６２】
すなわち、本発明に係るワーク搬送用ステージ、ワーク搬送装置、ワーク描画装置、ワーク光学処理装置及びワーク露光描画装置は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本実施の形態に係る露光装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本実施の形態に係る露光装置のワーク搬送装置を示す構成図である。
【図３】本実施の形態に係る露光装置のワーク搬送装置の構成を示すものであって、特に、露光ステージを取り外して該露光ステージの下面と、昇降機構の構成を示す斜視図である。
【図４】ワーク搬送装置の昇降機構の作用を示すものであって、特に、支持ブロックが初期状態である場合を示す説明図である。
【図５】ワーク搬送装置の昇降機構の作用を示すものであって、特に、支持ブロックが上昇している状態を示す説明図である。
【図６】本実施の形態に係る露光装置の制御系を示すブロック図である。
【図７】本実施の形態に係る露光装置を構成する露光ヘッドによる二次元画像形成処理の説明図である。
【図８】本実施の形態に係る露光装置を構成する露光ヘッドの構成図である。
【図９】本実施の形態に係る露光装置の第１の変形例を示す構成図である。
【図１０】本実施の形態に係る露光装置の第２の変形例を示す構成図である。
【図１１】従来技術に係る露光装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０、１０ａ、１０ｂ…露光装置          １４…定盤
１８…ワーク搬送装置                    ２４ａ〜２４ｈ…露光ヘッド
３２…シートフイルム                    ３４…ワーク載置面
３６…露光ステージ                      ３８…昇降機構
４０…移動ステージ                      ４２…移動機構
６２…駆動モータ                        ７４…リニアモータ
７６…リニアモータコイル                ８０…遮熱部材
１２０…放熱フィン                      １３０…スペーサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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