(57)【要約】  【課題】  押圧力発生の弾性力を担う剛性の大きい弾性部材と，接触子及び被検査体の相対的な傾き誤差吸収のための自由度を担う小さい剛性の弾性部材とに夫々かかる力が互いに伝わらないような構成により，剛性の低い弾性部材の損傷や寿命の低下を防止することのできる電気的接続装置を提供する。  【解決手段】  接触子１ａ，１ｂに被検査体４０が傾いて接触した時，片持ち梁状部２０ａ，２０ｂが別々に撓んで，接触子１ａ，１ｂが被検査体４０に沿うように傾く。更にプローブカードＸ１が押圧方向に押し込まれると，片持ち梁状部２０ａ，２０ｂが夫々更に撓むことで，第２の板ばね２１と突起部材５との間の隙間５ａが狭くなっていく。また，第２の板ばね２１に突起部材５が当接すると，プローブカードＸ１が僅かに押し込まれただけで，接触子１ａ，１ｂに対して第２の板ばね２１の比較的大きい反力が作用する。【選択図】図９
2006105690.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の表面に向けて押圧されて該被検査体と電気的に接触可能な複数の接触子を有する接触子体と，
該接触子体を弾性的に支持する第１の支持部材と，
上記接触子体を上記被検査体に向けて押圧したときに，上記接触子体における上記被検査体と上記複数の接触子とが接触する側とは反対側で当接することで上記接触子体を弾性的に支持する第２の支持部材とを備えてなる電気的接続装置。
【請求項２】
上記接触子体と上記第２の支持部材とが点接触で当接するものである請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
上記接触子体における上記被検査体と上記複数の接触子とが接触する側とは反対側に突起部材を設けてなる請求項１或いは２のいずれかに記載の電気的接続装置。
【請求項４】
上記第２の支持部材が上記第１の支持部材の剛性よりも高い剛性を有するものである請求項１〜３のいずれかに記載の電気的接続装置。
【請求項５】
上記第１の支持部材及び／若しくは上記第２の支持部材が板状の弾性部材である請求項１〜４のいずれかに記載の電気的接続装置。
【請求項６】
上記接触子体を弾性的に支持する複数の板状部材を上記第１の支持部材の中心から放射状に形成するための開口部が上記第１の支持部材の中心から放射状に形成されてなる請求項５に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
上記第１の支持部材の中心部に上記複数の板状部材の上記中心部側の端部を切り離すための開口部が設けられてなる請求項６に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
上記第１の支持部材の中心部において相互に連結され，該連結部に開口部が設けられてなる請求項６に記載の電気的接続装置。
【請求項９】
上記第１の支持部材の中心点を中心とする環状の開口部と，該環状の開口部に隣接する環状の連結部とを備えてなり，上記放射状の板状部材が上記環状の連結部同士を連結するものである請求項６に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，集積回路や表示用基板等の被検査体と電気的に接触可能な複数の接触子と，該複数の接触子を弾性的に支持する支持部材とを備え，上記被検査体の通電試験に用いる電気的接続装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に，集積回路や表示用基板等の被検査体の通電試験は，プローブカードのような電気的接続装置を用いて行われる。プローブカードは，例えば電気的に接触可能な複数の接触子を備えたもので，これを上記被検査体に設けられた複数の電極に押圧し，これに通電しその導通性を確認することで通電試験がなされる。尚，電気的接続装置の具体例として，突起状電極列（ここでは複数の接触子と呼ぶ）と，該各電極に接続された配線のパターンとが一体で形成された電気絶縁性の固体またはフィルム基板を，電気絶縁性の支持体に組み付けたものがある。
一方，通電試験を行う際には，上述した被検査体の電極が存在する面（以下，電極面という），及び上記複数の接触子の先端を結んだ包絡面（以下，接触子列面という）はそれぞれ平面であるので，上記電極面と上記接触子列面とを平行に対向させた状態で，上記電極面或いは上記接触子列面のどちらか一方，或いはその双方を，互いの面の平行状態を保ったまま移動させることで，全ての接触子が電極面に接触するようにして通電試験を行う必要がある。この場合，上記電極面と上記接触子列面とが同時に同じ圧力で押圧されるため，安定した通電特性を得ることができる。
しかしながら，実際には，上記電極面と上記接触子列面とを完全に平行に対向させることは難しく，一方或いは双方の平面が微に傾いてしまう。従来は，上記電極面と上記接触子列面とを平行に対向させるために，特許文献１に示されるような技術が用いられていた。
【０００３】
先ず，図１３〜図１７を用いて，特許文献１に挙げられる従来の技術について説明する。
図１３は特許文献１に示される従来の電気的接続装置１００の底面図，図１４は電気的接続装置１００におけるフィルム状基板１０５及び押え板（不図示）を除去した状態の底面図である。また，図１５は図１４における１１０線に沿って得た断面図，図１６は図１５における主要部の拡大図，図１７は台１０２の頂部及び接触子１０４の配置領域の拡大図である。
上記特許文献１では，夫々の接触子１０４が不図示の被検査体の電極へ（即ち矢印Ａ方向へ）押圧されたとき，フィルム状基板１０５に設けられた接触子ユニット１０６を構成する板ばねからなる板状部材１０３或いはこれを支持する板ばね１０１が撓むことによって板状部材１０３に設けられた接触子１０４と被検査体の電極との高さ方向の不揃いが吸収されている。
【特許文献１】特開２００２−３１１０４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで，上記した電気的接続装置１００が備える板状部材１０３のストローク（弾性変形できる距離）は短く，また板状部材１０３は通常高硬度を有するもので構成されている。このため板状部材１０３は，接触子１０４と上記被検査体の電極との高さの不揃いを吸収することはできても，接触子１０４の上記電極に対する傾きを補正するまでに至らない。このことから，板ばね１０１の弾性変形が，上記被検査体への電気的接続装置１００の押圧力発生の並進自由度と，接触子１０４及び上記被検査体の相対的な傾き誤差吸収の首振り２自由度とを担っていることになる。そのため，接触子１０４に十分な電気的接触を得るために矢印Ａ方向へと電気的接続装置１００を押圧すると，上記した傾き補正時に過大な応力を与えてしまい，接触子１０４や板状部材１０３が破損する可能性がある。また，接触子１０４や板状部材１０３を破損させないように押圧力を加減すると，上記被検査体の電極への接触子１０４の押圧力が不均一になり，正確な通電試験が実行できない問題がある。
従って，本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり，その目的とするところは，簡単な構成であると共に，上記被検査体への電気的接続装置１００の押圧力発生の並進自由度と，接触子及び上記被検査体の相対的な傾き誤差吸収の首振り２自由度とを担う押圧機構を分離することにより，接触子と被検査体の間に横滑りを発生させることなく軽い応力で傾きを補正し，かつ接触子に十分な電気的接触を得るために必要な与圧を与える電気的接続装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために本発明は，被検査体の表面に向けて押圧されて該被検査体と電気的に接触可能な複数の接触子を有する接触子体と，該接触子体を弾性的に支持する第１の支持部材と，上記接触子体を上記被検査体に向けて押圧したときに，上記接触子体における上記被検査体と上記複数の接触子とが接触する側とは反対側で当接することで上記接触子体を弾性的に支持する第２の支持部材とを備えてなる電気的接続装置として構成される。
この場合，上記接触子体と上記第２の支持部材とが点接触で当接するものであることが望ましい。また上記接触子体における上記被検査体と上記複数の接触子とが接触する側とは反対側に突起部材が設けられている場合がある。
尚，上記第２の支持部材については，上記第１の支持部材の剛性よりも高い剛性を有するものであることが望ましい。
【０００６】
一方，上記第１の支持部材及び／若しくは上記第２の支持部材については例えば板状の弾性部材から構成される。尚，この場合，上記接触子体を弾性的に支持する複数の板状部材を上記第１の支持部材の中心から放射状に形成するための開口部が上記第１の支持部材の中心から放射状に形成されることが望ましい。また，上記第１の支持部材の中心部に上記複数の板状部材の上記中心部側の端部を切り離すための開口部が設けられてもよいし，上記第１の支持部材の中心部において相互に連結され，該連結部に開口部が設けられてもよい。更に，上記第１の支持部材の中心点を中心とする環状の開口部と，該環状の開口部に隣接する環状の連結部とを備えてなり，上記放射状の板状部材が上記環状の連結部同士を連結するものであってもよい。
【発明の効果】
【０００７】
以上のように，本発明によれば，上記電気的接続装置において，上記複数の接触子の傾きを補正するのに必要な押圧力が上記支持部材にかかっている間は，上記第３の支持手段と上記第２の支持手段との間の隙間により，上記第２の支持手段に力が伝わらない構成になっている。また，上記支持部材に対し更に押圧力がかけられ，上記隙間がなくなった後，即ち，上記複数の接触子に十分な電気的接触を得るために，上記被検査体状の適宜の場所に上記複数の接触子が夫々押し付けられたときには，上記第３の支持手段が上記第２の支持手段に当接し，上記第２の支持手段が直接上記複数の接触子を押圧することにより，上記第１の支持手段に無用な押圧力がかからない構成になっている。
【０００８】
本発明にかかる上記電気的接続装置が上記被検査体に押圧された時の作用は以下のようになる。
上記接触子体と上記被検査体とが平行でない状態で，上記接触子体が上記被検査体に近づいた場合を考える。この場合，上記接触子体と一体の上記複数の接触子の一部が上記被検査体と接触する，即ち，片当たりとなることにより，上記接触子体に回転モーメントが作用する。
ここで，上記接触子体を支持する上記第１の支持部材は，前記したように上記第２の支持部材よりは低い剛性を有し，小さな力で変形することができるので，上記複数の接触子の一部が上記被検査体に対して接触した時に変形を開始し，上記第１の支持部材の変形により発生する抗力と上述した圧力とがつりあい状態を保つところまで，或いは，上記接触子体に設けられた例えば上記突起部材が上記第２の支持部材に当接するまで変形する。その結果，上記第１の支持部材の変形により上記接触子体に設けられる全ての接触子が，上記被検査体に接触することになる。そして，上記突起部材が上記第２の支持部材に当接した後にも，上記第２の支持部材が上記被検査体の方向に押圧されることにより，上記複数の接触子と上記被検査体とが接触状態を保ったまま，上記第１の支持部材よりも高い剛性を持った上記第２の支持部材を介して上記複数の接触子が上記被検査体に押し付けられることになる。このとき，上記突起部材が上記第２の支持部材に当接していることにより，上記第１の支持部材はそれ以上変形することはない。これにより，それ以上の外力が作用しても上記第１の支持部材が破損するような不都合は回避される。その後，更に，上記第２の支持部材が上記被検査体の方向に押圧されることにより，剛性の高い上記第２の支持部材による押圧力が上記複数の接触子全てに作用し，上記複数の接触子の全部が上記被検査体に強く押し付けられ，電気的に安定して接触することになる。
このとき，上記第１の支持部材の弾性機能により上記接触子体が円滑に回転できるようにするために，上記接触子体と上記第２の支持部材との接触は点接触であることが望ましい。
以上のことにより，本発明にかかる上記電気的接続装置は，簡単な構成を有すると共に，上記被検査体への押圧力を均一にするときに生じる力が上記第１の支持部材にかからないようにすることができる。このことにより，正確な通電試験を実施が可能であると共に，上記電気的接続装置の損傷を防止し，寿命をのばす効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下添付図面を参照しながら，本発明の実施の形態について説明し，本発明の理解に供する。尚，以下の実施の形態は，本発明を具体化した一例であって，本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
ここに，図１は本発明の第１の実施形態にかかるプローブカードＸ２の断面図，図２は実施形態例にかかるプローブカードＸ２のばねによる支持構造部の底面図，図３は図２に示したばねによる支持構造に用いる第１の板ばね２０Ａの形状例を示す図，図４は本発明の第２の実施形態にかかるプローブカードのばねによる支持構造部の底面図，図５は上記第２の実施形態にかかる第１の板ばね２０Ｂの形状例を示す図，図６は本発明の第３の実施形態にかかるプローブカードのばねによる支持構造部の底面図，図７は上記第３の実施形態にかかる第１の板ばね２０Ｃの形状例を示す図，図８は上記プローブカードＸ２のばねによる支持構造に用いることのできる第２の板ばね２１の形状例を示す図，図９は本発明の第１の実施形態にかかるプローブカードＸ２の作用を示す図１相当図，図１０は同第１の実施形態にかかるプローブカードＸ２の作用を示す図１相当図，図１１は同第１の実施形態における荷重変位特性を示すグラフ，図１２は本発明にかかるプローブカードＸ１，プローブカードＸ２の原理を示す模式図である。
【００１０】
先ず，図１２の模式図を用いて，本発明における電気的接続装置の原理をプローブカードＸ１及びＸ２の場合について説明する。
プローブカードＸ１及びＸ２には，複数の接触子６３と一体の接触子体Ｎ（或いはＮ１）を介して，複数の接触子６３が該接触子６３の先端部方向に押圧されたとき，被検査体上の適宜の場所（不図示）に全ての接触子６３が同時に接触するように全接触子６３を弾性的に支持する第１の支持部材６０と，上記のように複数の接触子６３が上記被検査体に押圧された状態で更に押圧されたとき，上記複数の接触子６３を該被検査体上に強く押し付ける第２の支持部材６１と，複数の接触子６３と一体の接触子体Ｎ（或いはＮ１）とが夫々設けられている。尚，第１の支持部材６０については，第２の支持部材６１よりも剛性が低く設定されている。
ここで，図１２からも分かるように，プローブカードＸ１及びＸ２には，複数の接触子６３に対する押圧力が解除された状態（図中の状態）では，接触子体Ｎ（或いはＮ１）と第２の支持部材６１との間に隙間が形成されている。
この隙間が設けられることにより，例えばプローブカードＸ１では，複数の接触子６３が接触子６３の先端部方向に押圧されたときに，先ず，第１の支持部材６０が弾性変形することで上記隙間が狭まると共に，第１の支持部材６０が撓むことで全ての接触子６３の傾きが補正され，更に接触子６３が押圧されたときに，第２の支持部材６１の先端部Ｍにて接触子体Ｎと第２の支持部材６１とが当接することで，第２の支持部材６１が直接複数の接触子６３を押圧する仕組みになっている。またプローブカードＸ２の場合も同様に，第１の支持部材６０が弾性変形することで上記隙間が狭まると共に，第１の支持部材６０が撓むことで全ての接触子６３の傾きが補正され，更に接触子６３が押圧されたときに，第２の支持部材６１の先端部Ｍと接触子Ｎに設けられた突起部材Ｐとが当接することで，第２の支持部材６１が直接複数の接触子６３を押圧する仕組みになっている。
尚，プローブカードＸ１及びＸ２は，あくまで例として挙げており，特許請求の範囲に記載した構成の電気的接続装置であれば，本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
以下，上記のように概念で示したプローブカードＸ２の具体例について，図１〜図１１を用いて説明し，本発明の実施形態とする。
【００１１】
図１及び図２を用いて，プローブカードＸ２の内部構成について説明する。尚，図１はプローブカードＸ２を側面から見たときの断面図，図２はプローブカードＸ２を上面から見たときの断面図である。
プローブカードＸ２が備える接触子１ａ，１ｂ（接触子６３に該当）は，不図示の被検査体上の電極配置に合わせて列状に配列されている。この接触子１ａ，１ｂは，ポリイミド等の柔軟な材料を主構造材料とする配線フィルム２に接続されており，この配線フィルム２は，接触子１ａ，１ｂに給電して接触状態を確認するためのものである。尚，接触子１ａ，１ｂと配線フィルム２との接続構造，及び配線フィルム２の内部構造については，ここでは説明を省略する。
上記配線フィルム２の接触子１ａ，１ｂが設けられた側とは反対の側には，支持板３が配線フィルム２及び接触子１ａ，１ｂに一体的に設けられている。支持板３と配線フィルム２及び接触子１ａ，１ｂとの接続構造については，図では省略しているが，例えば接着剤を用いて接続固定することが可能である。この平面状の支持板３に接触子１ａ，１ｂが固定されることによって，接触子１ａ，１ｂの先端を結んだ包絡面は略平面を形成する。  また，配線フィルム２の両端部は，クランプ台１０と配線基板３０の間にクランプねじ６で挟着され，配線基板３０と配線フィルム２と間が電気的に接続される。
【００１２】
上述した支持板３は，例えば接着剤等により押さえ部材４に固定される。また，押さえ部材４は，接触子１ａ，１ｂが設けられる側とは反対側にて，クランプねじ等によって，第１の板ばね２０（２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ。本発明における第１の支持部材の一例）に固定されている。また，押さえ部材４における，接触子１ａ，１ｂが設けられる側とは反対側，即ち，後述する第２の板ばね２１と対向する側の中央部に，後述する第２の板ばね２１との間に隙間５ａを介して突起部材５が設けられている。尚，上記突起部材５を設けずとも，上記接触子１ａ，１ｂが，該接触子の尖端方向に押圧された際に，後述するように第２の板ばね２１と第１の板ばね２０とが，点接触するような構成でもよい。
【００１３】
一方，突起部材５とこれに対向する第２の板ばね２１との間には，ごく僅か（５０ミクロン程度）の上記隙間５ａを介して，上記第１の板ばね２０よりは剛性の高い前記第２の板ばね２１（本発明における第２の支持部材の一例）が配置されている。
また，配線基板３０の中空部２５は，その下部が前記配線フィルム２によって覆われ，その上部が配線基板３０に一体のカバー部材３１によって覆われることにより密封されている。前記支持板３，押さえ部材４，第１の板ばね２０，及び第２の板ばね２１については上記密封された中空部２５内に収納されている。
上記カバー部材３１には，引きねじ２３によって上記中空部２５内に設けられた円筒形状の上部補強板２２ａが固定され，この上部補強板２２ａに，ねじ２３ａによって同じく中空部２５内に収納された第２の板ばね２１，該第２の板ばね２１と第１の板ばね２０（２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ）との間に介在する中部補強板２２ｂ，上記第１の板ばね２０，及び下部補強板２２ｃがこの順に固定されている。尚，上部補強板２２ａについては，上記引きねじ２３及び押しねじ２４を用いて，配線基板３０に対する傾きの調整がなされ，これによって接触子１ａ，１ｂの無負荷時（被接触部材に接触する前）における配線基板３０に対する傾きが自在に調整される。
このことから，プローブカードＸ２では，第１の板ばね２０（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ）が，被検査体上の電極の傾きに応じて接触子１ａ，１ｂを自在に傾かせており，第２の板ばね２１が，上記突起部材５を介して被検査体上の電極に傾きが補正された状態の接触子１ａ，１ｂを押さえつけている。
尚，上述した接触子１ａ，１ｂ，支持板３，及び押さえ部材４が本発明における接触子体の一例である。
【００１４】
次に，図２及び図３を用いて，上記第１の板ばね２０，第２の板ばねの構造及びその支持構造の詳細を説明する。
ここで，図を見やすくするために，接触子１ａ，１ｂや配線フィルム２については図示していない。また，支持板３及び押さえ部材４は点線で記載している。尚，支持板３の形状については，例として矩形状としているが，これに限るものではない。
一般に，プローブカードＸ２の接触子１ａ，１ｂと被検査体とを適当な接触圧をもって接触させると，接触荷重は，上記接触子と被検査体の電極との接触部分に集中する。このことから，プローブカードＸ２では，例えば接触子が支持板３の四辺に沿うようにして設けられている場合には，該四辺に沿って分布荷重が発生する。また，接触子と被検査体の電極面との間に傾きがある場合，その傾きは，支持板３の長軸方向と短軸方向（図２に示すＸ軸方向とＹ軸方向）に直角の面に沿った２自由度に分解することができる。このことから，第１の板ばね２０を，上記支持板３の長軸方向と短軸方向とに，それぞれ別々に撓ませると，接触子と被検査体の電極面との傾きを吸収することができる。
【００１５】
以上のことを踏まえると，第１の板ばね２０については，例えば，図３に２０Ａで示されるような構造が望ましい。
第１の板ばね２０Ａは，上記長軸方向と短軸方向に直角の面内で揺動自在の４つの片持ち梁状部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄを備えると共に，その中心部に上記４つの片持ち梁状部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄの先端を分断して各片持ち梁状部が自在に撓みうるようにするための矩形状の開口部が形成されている。そのため，接触子と被検査体の電極とが傾いて接触した場合，第１の板ばね２０Ａが備える４つの片持ち梁状構造２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，及び２０ｄが別々に変形する。即ち，分布荷重の大きい辺に最も近い片持ち梁状構造部分が大きく変形すると共に，分布荷重の小さい辺に最も近い片持ち梁状構造部分が小さく変形する。このことによって，これらの片持ち梁状部に支持された全ての接触子が被検査体の電極面に沿って柔軟に傾き，接触子と被検査体の電極との傾きを吸収することができる。
第１の板ばね２０Ａは，上述したように，接触子と被検査体の電極との傾きを吸収すると共に，プローブカードＸ２と被検査体とが離れたとき，上記支持構造部分の傾きが元に戻るだけの機能を有すればよい。このことから，第１の板ばね２０Ａは，接触子と被検査体の電極とが電気的に安定して接触するための圧力を加えるのに十分な剛性（即ちばね定数）を備えるものでなくともよい。それのみか，上記電気的に安定して接触するための圧力を加えるのに十分な大きい剛性を持つと，上記のような接触子と被検査体の電極との傾きを柔軟に吸収することができなくなるので，そういった大きい剛性を持たないことが望ましい。
後述するように，本発明では，接触子を支持する構造を，このような接触子と被検査体の電極とが電気的に安定して接触するための圧力を加えるのに必要な十分な剛性を生じる部分（即ち第２の板ばね２１）と，接触子と被検査体の電極との初期的傾きを吸収すると共に，接触が離れればもとの位置に復帰するのに必要な小さい剛性を生じる部分（即ち第１の板ばね２０）に分けてそれぞれ独立して接触子に作用されることで，両方の合成が接触子に適切に作用できるようにしたものである。
【００１６】
第１の板ばね２０の形状については，図４及び図５に示されるような第２の実施形態にかかる板ばね２０Ｂのような形状も考えられる。
上記第１の板ばね２０Ｂは，上記第１の板ばね２０Ａとは異なり，４枚の片持ち梁状部２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄが，第１の板ばね２０Ｂの中央部で連結されている。そして該連結部にて，押さえ部材４に固定されている（４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ）。この構成は，第１の板ばね２０Ｂが左右上下に独立して動きにくい構成であると言える。そのため，図示のように各肩持ち梁状部の根元部分に半円形の切り欠き穴２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを形成することにより，第１の板ばね２０Ｂに柔軟性を持たせている。
【００１７】
更に，第１の板ばね２０の形状を，図６及び図７に示されるような第１の板ばね２０Ｃのような形状にしてもよい。上述した第１の板ばね２０Ａ及び２０Ｂでは，板ばねの梁の曲げを利用して，接触子と被検査体の電極との傾きの補正を行っていたが，第１の板ばね２０Ｃの構造では，梁のねじりを上記傾きの補正に利用している。これは，一般に，梁状部材は曲げ剛性よりもねじり剛性の方が低いという性質を利用することにより，第１の板ばね２０Ｃに，より高い柔軟性を持たせている。
第１の板ばね２０Ｃは二重のリング構造（内側リング２０ｅ，外側リング２０ｆ）を備えてなり，内側リング２０ｅには，接触子からの圧力が加わる際の力点となると共に，押さえ部材４を第１の板ばね２０Ｃに固定する固定部４ａ及び４ｂが設けられている。また，外側リング２０ｆにも，接触子からの圧力が加わる際の力点となると共に，上部補強板２２ａに第１の板ばね２０Ｃを固定する固定部４ｃ及び４ｄが設けられている。更に，内側リング２０ｅと外側リング２０ｆとは片持ち梁状部２０ｃ及び２０ｄで連結され，外側リング２０ｆは片持ち梁状部２０ａ及び２０ｂで上部補強板２２ａに固定される最外周部２０ｘにねじり自在に連結されている。
第１の板ばね２０Ｃは，このような構造を有することにより，接触子と被検査体の電極との図７中の一点鎖線Ｊ周りの柔軟なねじりを片持ち梁状部２０ｃ及び２０ｄで，また，一点鎖線Ｌ周りの柔軟なねじりを片持ち梁状部２０ａ及び２０ｂで可能とし，前記軸Ｘ，Ｙ方向の接触子の傾きを吸収可能としている。
【００１８】
一方，プローブカードＸ２における第２の板ばね２１は，接触子の押圧方向にのみの変形の自由度を有しており，電気的に安定な接触が得られる十分な圧力（即ち，接触子と被検査体の電極との傾きの補正時の圧力よりも大きな圧力）で接触子を電極に押し当てるために使用される。このため，第２の板ばね２１には，上述した第１の板ばね２０（２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ）よりも高い剛性（即ち大きなばね定数）を有する板ばねを用いる必要がある。
図８に，第２の板ばね２１の形状の一例を示す。上述したように，第２の板ばね２１の自由度は接触子の押圧方向のみであることから，変形時の作用点を中心部に設けることが望ましい。このことから，第２の板ばね２１は，図８に示されるように，中心点Ｏに対して点対象の形状を有していればよい。尚，図８に示される第２の板ばね２１は十文字形状であるが，これに限定されるものではない。
【００１９】
次に，図９及び図１０を用いて，プローブカードＸ２における，接触子と被検査体の電極との傾きの吸収機能，及び上記接触子を上記電極に押し付けるときの，支持構造部分の動作について説明する。
図９に示されるように，接触子１ａ及び１ｂに，被検査体４０が傾いて接触したとき，前記したように，第１の板ばね２０が備える片持ち梁状部２０ａ及び２０ｂが別々に撓んで，接触子１ａ及び１ｂが被検査体４０に沿うように傾く。またこのとき，突起部材５と第２の板ばね２１との間に隙間５ａが形成されているため，上記片持ち梁状部のたわみやねじりに対する反力は最小限に規制されると共に，この時点では第２の板ばね２１を撓ませることなく，第１の板ばね２０のみが撓んでいる。ここで，更に，プローブカードＸ２が押圧方向に押し込まれると，第１の板ばね２０が備える片持ち梁状部２０ａ及び２０ｂがそれぞれ更に撓むことにより，第２の板ばね２１と突起部材５との間の隙間５ａが狭くなっていく。尚，この隙間５ａが狭くなっていく間も，第１の板ばね２０によって接触子１ａ及び１ｂの被検査体４０に対する傾きの補正がなされる。
第２の板ばね２１は，剛性が高い（即ちばね定数が大きい）ため，やがて図１０に示されるように，第２の板ばね２１に突起部材５が当接したときに，プローブカードＸ２をわずかに押し込んだだけで，接触子１ａ，１ｂには上記第２の板ばね２１の比較的大きい反力が作用する。このことにより，被検査体４０と接触子１ａ及び１ｂとの間で発生する圧力を，通電試験を行うのに適した圧力にすることが可能になる。またこの場合，上記したように第２の板ばね２１の変形は小さく設定されている（即ち剛性が高い）ので，第１の板ばね２０は突起部材５が第２の板ばね２１に当接した状態からほとんど大きく変形することがない。そのため，接触子１ａ及び１ｂに十分な電気的接触を得るためにプローブカードＸ２を押圧した際に，接触子１ａ及び１ｂの被検査体４０に対する傾き補正時に過大な圧力を与えることがなく，被検査体４０への接触子１ａ及び１ｂの押圧力を均一にすることができる。また第１の板ばね２０を必要以上に大きく撓まされることがないので，プローブカードＸ２における損傷の防止，或いは寿命を短くさせられることもない。
【００２０】
接触子１ａ及び１ｂと被検査体４０とが接触を開始してから電気的に安定した接触を確立するまでの，プローブカードＸ２及び被検査体の相対位置変位量と接触荷重との関係を表す荷重変位特性グラフの例を図１１に示す。横軸が変位量，縦軸が荷重を夫々示しているが，図中の具体的な数値はあくまで一例であり，この数値に限定されるものではない。
図１１からも分かるように，上記実施形態にかかるプローブカードＸ２では，傾き吸収のフェーズと接触圧印加のフェーズとが明らかに分離した荷重変位特性となっている。これは，上述したように，プローブカードＸへの押圧力が解除された状態で，第２の板ばね２１と突起部材５との間に隙間が設けられていることと，突起部材５が第２の板ばね２１に当接した後は接触子に作用する反力はもっぱら第２の板ばね２１によって生じさせられることとに起因している。即ち，この隙間が設けられることによって，第１の板ばね２０が弾性変形して接触子１ａ及び１ｂと被検査体４０との傾きを吸収していく間（即ち上記傾き吸収のフェーズ）は，第２の板ばね２１による接触子１ａ及び１ｂと被検査体とに対する圧力は発生しない。また，第２の板ばね２１に突起部材５が当接した後は，直接接触子１ａ及び１ｂは，もっぱら第２の板ばね２１によって被検査体４０に押圧される。このとき，第２の板ばね２１の変形は少ないことにより，剛性の低い第１の板ばね２０が破損するような不都合は回避される。
以上のことにより，本発明にかかるプローブカードＸ２は，簡単な構成を有すると共に，被検査体４０への押圧力を均一にするときに生じる力が，過剰に第１の板ばね２０にかからないように構成されているので，正確な通電試験が行なえると共に，プローブカードＸ２の損傷を防止し寿命をのばすことができる。
【００２１】
尚，本発明にかかるプローブカードＸ２おける，突起部材５と第２の板ばね２１との間に設けられた隙間については，押さえ部材４が，接触子１ａ及び１ｂと被検査体４０との傾き補正時に回転運動した際に，第２の板ばね２１の突起部材５と対向する面に突起部材５をスイング運動させることで，接触子１ａ及び１ｂと被検査体４０との間の横滑りの防止をおこなっている。
上記実施形態は図１２において模式的に示したプローブカードＸ２の場合についてのみ説明したものであるが，プローブカードＸ１についても同様である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかるプローブカードＸ２の断面図。
【図２】本発明の第１の実施形態にかかるプローブカードＸ２のばねによる支持構造部の底面図。
【図３】本発明の第１の実施形態にかかる第１の板ばね２０Ａの形状例を示す図。
【図４】本発明の第２の実施形態にかかるプローブカードのばねによる支持構造部の底面図。
【図５】本発明の第２の実施形態にかかる第１の板ばね２０Ｂの形状例を示す図。
【図６】本発明の第３の実施形態にかかるプローブカードのばねによる支持構造部の底面図。
【図７】本発明の第３の実施形態にかかる第１の板ばね２０Ｃの形状例を示す図。
【図８】本発明の第１の実施形態にかかる上記プローブカードのばねによる支持構造に用いることのできる第２の板ばね２１の形状例を示す図。
【図９】本発明の第１の実施形態にかかるプローブカードＸ２の作用を示す図１相当図。
【図１０】本発明の第１の実施形態にかかるプローブカードＸ２の作用を示す図１相当図。
【図１１】本発明の第１の実施形態における荷重変位特性を示すグラフ。
【図１２】本発明にかかるプローブカードＸ１及びＸ２の原理を示す模式図。
【図１３】従来技術（特許文献１）に示される電気的接続装置１００の底面図。
【図１４】従来技術（特許文献１）に示される電気的接続装置１００におけるフィルム状基板１０５及び押え板（不図示）を除去した状態の底面図。
【図１５】図１４における１１０線に沿って得た断面図。
【図１６】図１５における主要部の拡大図。
【図１７】従来技術（特許文献１）に示される電気的接続装置１００における台１０２の頂部及び接触子１０４の配置領域の拡大図。
【図１８】従来技術（特許文献１）に示される電気的接続装置１００の構造を模式的に表した図。
【符号の説明】
【００２３】
１ａ，１ｂ…接触子
２…配線フィルム
３…支持板
４…押さえ部材
４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ…固定部
５，Ｐ…突起部材
５ａ…隙間
６…クランプねじ
１０…クランプ台
２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ…第１の板ばね
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ…片持ち梁状部
２０ｅ…内側リング
２０ｆ…外側リング
２０ｘ…最外周部
２１…第２の板ばね
２２ａ…上部補強板
２２ｂ…中部補強板
２２ｃ…下部補強板
２３…引きねじ
２３ａ…ねじ
２４…押しねじ
２５…中空部
２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ…切り欠き穴
３０…配線基板
３１…カバー部材
４０…被検査体
６０…第１の支持部材
６１…第２の支持部材
６３…接触子
１００…従来の電気的接続装置
１０１…板ばね
１０２…台
１０３…板状部材
１０４…接触子
１０５…フィルム状基板
１０６…接触子ユニット
１１０…切断線
Ａ…押圧方向
Ｊ，Ｌ…一点鎖線
Ｍ…第２の支持部材の先端部
Ｎ，Ｎ１…接触子体
０…中心点
Ｘ１, Ｘ２…プローブカード
Ｘ，Ｙ…軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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