【手続補正書】
【提出日】平成19年4月23日(2007.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線源であり：
ハウジングを備え；
荷電粒子のビームを加速するための、前記ハウジング内に設けられた第1加速チャンバをさらに備え、前記第1チャンバが出力部を有し；
前記ハウジング内に設けられた第2チャンバをさらに備え、前記第2チャンバが、加速した荷電粒子のビームを受けるための、第1チャンバの出力部と整列した入力部を有し、
第2チャンバ内に支持されているターゲット材料をさらに備え、この場合、加速された荷電粒子によるターゲット材料の衝突により放射線が生成され；さらに、
ターゲット材料への衝突前に加速した電荷粒子のビームの少なくとも一部を偏向するべく磁場を提供するために、第2チャンバ付近に、ハウジングによって支持されている磁石をさらに備えている放射線源。
【請求項２】
動作中に、前記磁石が、時間に対して変化する磁場を提供するように構成された電磁石を備える、請求項1に記載の放射線源。
【請求項３】
前記電磁石が：
第1、第2の対向する極面を画定するコアを備え、前記コアが、内部に磁場を誘発できる材料を備えており；
前記コアの少なくとも一部分に巻着したコイルをさらに備え；
前記コイルと接続した電流源をさらに備え；さらに、
前記電流源と接続した制御装置をさらに備えている、請求項2に記載の放射線源。
【請求項４】
前記コアが磁気材料を備えている、請求項3に記載の放射線源。
【請求項５】
前記制御装置が、ビームを第1軸に沿って偏向させるべく磁場を提供するために、少なくとも第1方向に向かう電流の流れを選択的に生じさせる、請求項3に記載の放射線源。
【請求項６】
前記制御装置が、ビームを第2軸に沿って偏向させるべく第2磁場を生成するために、第1方向と反対の第2方向に向かう電流の流れを選択的に生じさせる、請求項5に記載の放射線源。
【請求項７】
前記制御装置が、ビームが第3軸に沿って偏向されずに移動できるようにするために、電流の流れを選択的に生じさせない、請求項6に記載の放射線源。
【請求項８】
制御装置が、第1方向への電流の流れを生じるべく、第2方向への電流の流れを生じるべく、また電流の流れを生じないように繰り返し循環するようプログラムされている、請求項7に記載の放射線源。
【請求項９】
ビームが第2軸に沿って偏向されずに移動できるようにするため、前記制御装置が電流の流れを選択的に生じさせない、請求項5に記載の放射線源。
【請求項１０】
磁石が定常磁場を提供する、請求項1に記載の放射線源。
【請求項１１】
前記磁石が対向する極部分を有し；
前記荷電粒子のビームが対向する極部分間の経路に沿って移動し；
前記荷電粒子のビームが或る幅を有し；さらに、
前記極部分が、ビーム部分が、極部分間に提供された磁場を通る、ビーム幅にわたって異なる経路長を有するように構成されている、請求項10に記載の放射線源。
【請求項１２】
前記極部分が不整形形状を有する、請求項11に記載の放射線源。
【請求項１３】
前記極部分が三角形である、請求項12に記載の放射線源。
【請求項１４】
前記極部分が、異なる距離で離間している、請求項13に記載の放射線源。
【請求項１５】
第1チャンバ内へビームを発するために、ハウジングによって支持された荷電粒子のビームの源を備え；
荷電粒子の源が電子のビームの源であり；さらに、
ビームがターゲットに衝突することで、X線放射が生成される、請求項1に記載の放射線源。
【請求項１６】
ターゲットが、ビームの偏向の方向に沿った細長形状を有する、請求項1に記載の放射線源。
【請求項１７】
前記ハウジングが縦軸を有し；さらに、
縦軸を横切る中心光線に沿って放射線が発せられる、請求項1に記載の放射線源。
【請求項１８】
放射線源であり：
ハウジングを備え；
ビームを経路に沿って発するための、前記ハウジングによって支持された荷電粒子ビーム源をさらに備え；
前記ビームの経路に沿ってハウジングにより支持されたポイントターゲットをさらに備え、ビームがターゲットに衝突することで放射線が生成され；さらに、
前記源とポイントターゲットの間で前記ハウジングによって支持されて、前記ポイントターゲットにおけるビームの少なくとも一部の衝突の角度を変更する磁場を提供する磁石をさらに備えている放射線源。
【請求項１９】
前記磁石が定常磁場を提供する、請求項18に記載の放射線源。
【請求項２０】
前記磁場がビーム幅にわたって空間的に変化する、請求項19に記載の放射線源。
【請求項２１】
前記磁石が、時間に対して変化する磁場を提供する、請求項18に記載の放射線源。
【請求項２２】
対象物を検査するためのシステムであって：
前記システムにかけて前記対象物を移動させる搬送システムを備え；
放射線源をさらに備え、前記放射線源が；
ハウジングと；
ビームを経路に沿って発するための、前記ハウジングによって支持された荷電粒子のビーム源と；
経路に沿って前記ハウジングにより支持されたターゲット材料とを備え、ビームがターゲットに衝突することで放射線が生成され；さらに、
ターゲットに衝突する前にビームの少なくとも一部を偏向させるべく磁場を提供するために、前記源とターゲットの間で前記ハウジングによって支持された磁石をさらに備えており；
前記システムがさらに、対象物との相互作用した後の放射線を受けるための検出器を備え；
ここで：
検査のために、放射線源から発せられた放射線が搬送システム上で対象物を照射するように、放射線源が前記搬送システムに対して位置決めされているシステム。
【請求項２３】
前記放射線源が搬送システムの第1サイドに設けられており、前記システムがさらに：
前記対象物を通過して伝播した放射線を検出するために、前記搬送システムの第2サイドに設けられた検出器を備えている、請求項22に記載のシステム。
【請求項２４】
前記磁石が、動作中に時間に対して変化する磁場を提供する、請求項22に記載のシステム。
【請求項２５】
前記磁石が定常磁場を提供する、請求項22に記載のシステム。
【請求項２６】
前記磁石が、ビーム幅にわたって空間的に変化する磁場を提供する、請求項22に記載のシステム。
【請求項２７】
前記放射線が、実質的に一様な強度で対象物を照射する、請求項26に記載のシステム。
【請求項２８】
前記荷電粒子源が電子源であり；さらに、
前記ターゲット材料が、電子によって衝突されるとX線放射を生成する、請求項22に記載のシステム。
【請求項２９】
放射線を生成する方法であり：
荷電粒子のビームをターゲットに向け；
前記ビームの少なくとも一部を磁場によって偏向し；さらに、
前記ターゲットに前記偏向されたビームを衝突させて放射線を発生する方法。
【請求項３０】
時間に対して変化する磁場を提供することにより前記ビームを偏向させる、請求項29に記載の方法。
【請求項３１】
定常磁場を提供することにより前記ビームを偏向させる、請求項29に記載の方法。
【請求項３２】
ビームに、ビームの幅に沿って空間的に変化する磁場を通過させることで前記ビームを偏向させる、請求項31に記載の方法。
【請求項３３】
前記電子ビームを軸に沿って偏向させ；
前記軸に沿って前記ターゲットに衝突させ；さらに、
前記軸に沿って中心光線を有する放射を生成する、請求項29に記載の方法。
【請求項３４】
放射線源によって対象物の内容を検査する方法であり、前記方法が：
荷電粒子のビームをポイントターゲットに向け；
前記ビームの少なくとも一部を偏向させて、前記ターゲットにおける前記ビームの少なくとも一部の衝突の角度を変更し；
前記ターゲットに偏向されたビームを衝突させて、発散する放射線ビームを発生し；
前記対象物を前記発散する放射線ビームで照射し；さらに、
前記対象物と相互作用する放射線を検出する方法。
【請求項３５】
時間に対して変化する磁場によって前記ビームを偏向させる、請求項34に記載の方法。
【請求項３６】
定常磁場によって前記ビームを偏向させる、請求項34に記載の方法。
【請求項３７】
前記ビーム幅にわたって空間的に変化する磁場によって前記ビームを偏向させる、請求項36に記載の方法。
【請求項３８】
前記ターゲット材料はポイントターゲットである、請求項1に記載の放射線源。
【請求項３９】
前記磁石は、前記ターゲット材料における前記ビームの少なくとも一部の衝突の角度を変更させるように構成されている、請求項1に記載の放射線源。
【請求項４０】
前記ビームはある幅を有し；
前記ビームの偏向は前記幅にわたって変化する、請求項1に記載の放射線源。
【請求項４１】
前記ターゲット材料はポイントターゲットの形状である、請求項4記載の放射線源。
【請求項４２】
前記ターゲット材料はポイントターゲットの形状である、請求項22記載のシステム。
【請求項４３】
前記磁石は、前記ターゲットポイントにおける前記ビームの少なくとも一部の衝突の角度を変化させ、前記源からの放射線に関する少なくとも１つの発散する放射線ビームを発生させる、請求項42記載のシステム。
【請求項４４】
前記検出器は、前記ポイントターゲットのサイズより大きいサイズを有する、請求項43に記載のシステム。
【請求項４５】
前記ターゲットはポイントターゲットを構成する、請求項29に記載の方法。
【請求項４６】
前記ターゲットにおける前記偏向されたビームの衝突から複数の第1の発散する放射線ビームを発生し、前記第1の発散する放射線ビームは、前記ターゲットに由来する各々の異なった光線に沿って最大強度を有し；
前記第1の発散する放射線ビームを複数の第2の発散する放射線ビームにコリメートし、前記複数の第2の発散する放射線ビームの各々は、予め決められた形状を有し、前記個々の異なった光線に沿って最大強度を有する、請求項45に記載の方法。