【手続補正書】
【提出日】平成19年6月14日(2007.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を収容するように構成され、熱源の近傍に配置される蒸発端を有するヒートパイプに関する温度の制御方法であって、
前記ヒートパイプに関する前記温度を計測することと、
前記ヒートパイプに関する前記温度が所望レベルであるかどうかを判断することと、
前記ヒートパイプに関する前記温度が所望レベルでないと判断される場合に、前記ヒートパイプ内の圧力を変化させて、前記ヒートパイプに関する前記温度を変化させることとを含む方法。
【請求項２】
前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化させることは、前記ヒートパイプ内の前記圧力を増加させて、前記ヒートパイプに関する前記温度を上昇させることを含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ヒートパイプは圧力制御機構を含み、前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化させることは、前記圧力制御機構を動作させることを含む請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記圧力制御機構はピストンアセンブリを含み、前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化させることは、前記ピストンアセンブリを用いて制御された圧力を付与することを含む請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記ピストンアセンブリは電磁アクチュエータにより作動され、前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化させることは、前記電磁アクチュエータを用いて前記ピストンアセンブリに制御された力を付与することを含む請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記ピストンアセンブリは空気ベローズによって作動され、前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化させることは、前記空気ベローズを用いて前記ピストンアセンブリに制御された力を付与することを含む請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記ヒートパイプに関する前記温度を計測することは、前記蒸発端での温度を計測することを含む請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記蒸発端で計測される前記温度は前記流体の沸点である請求項７に記載の方法。
【請求項９】
請求項１に記載の前記温度の制御方法を含む露光装置の作動方法。
【請求項１０】
少なくともフォトリソグラフィ工程を含む物体の製造方法であって、前記フォトリソグラフィ工程が請求項９に記載の露光装置の作動方法を利用する、方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の露光装置の作動方法を利用するウエハの製造方法。
【請求項１２】
ヒートパイプであって、
蒸発端と、
流体と、
圧力制御機構とを備え、
前記圧力制御機構が、前記流体の沸点が変化されるように前記ヒートパイプ内の圧力を変化させるように構成されるヒートパイプ。
【請求項１３】
前記圧力制御機構は、前記流体の前記沸点が上昇されるように前記圧力を増加することにより、前記圧力を変化させるように構成される請求項１２に記載のヒートパイプ。
【請求項１４】
前記圧力制御機構はピストン装置を含み、前記ピストン装置は制御圧を付与して前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化するように構成される、請求項１２に記載のヒートパイプ。
【請求項１５】
前記圧力制御機構はアクチュエータを更に含み、該アクチュエータは、前記ピストン装置が前記制御圧を付与して前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化させるように、前記ピストン装置に制御力を付与するように構成される請求項１４に記載のヒートパイプ。
【請求項１６】
前記圧力制御機構は空気ベローズを更に含み、該空気ベローズは、前記ピストン装置に前記制御圧を付与させて前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化させるように構成される請求項１４に記載のヒートパイプ。
【請求項１７】
前記流体の前記沸点を計測するように配置される温度センサを更に含む請求項１４に記載のヒートパイプ。
【請求項１８】
前記計測された沸点は前記圧力制御機構に供給され、該圧力制御機構は前記計測された沸点を用いて決定される量によって前記圧力を変化させるように構成される請求項１７に記載のヒートパイプ。
【請求項１９】
前記温度センサは前記蒸発端に配置される請求項１７に記載のヒートパイプ。
【請求項２０】
凝縮端を更に備え、前記圧力制御機構は前記ヒートパイプの前記凝縮端の近傍に位置付けられる請求項１２に記載のヒートパイプ。
【請求項２１】
前記蒸発端は外部熱源の近傍に位置付けられるように配置される請求項１２に記載のヒートパイプ。
【請求項２２】
前記外部熱源はステージ装置内のリニアモータのコイルである請求項２１に記載のヒートパイプ。
【請求項２３】
請求項２２に記載の前記ヒートパイプを備える露光装置。
【請求項２４】
請求項２３に記載の露光装置で製造されるデバイス。
【請求項２５】
請求項２３に記載の露光装置によって像が形成されたウエハ。
【請求項２６】
ヒートパイプの蒸発端に連通したステージ装置内のアクチュエータの温度の制御方法であって、
前記アクチュエータに関する所望温度を決定することと、
前記ヒートパイプ内の機構を調整して、該ヒートパイプの一部分に関する対応所望温度を達成することを含み、前記機構の調整は、前記一部分の温度が調整されるように前記ヒートパイプ内の流体の沸点を調整させることとを含む方法。
【請求項２７】
前記アクチュエータに関する前記所望温度を用いて、前記一部分に関して前記対応所望温度を決定することを更に含む請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記ヒートパイプ内の前記圧力を調整することは、前記ヒートパイプのピストン装置に第１の量の制御力を付与することを含み、前記第１の量の前記制御力は前記ピストン装置に前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化させるように設定される請求項２６に記載の方法。
【請求項２９】
前記一部分の前記温度が前記一部分に関する前記所望温度であるかどうかを判断することを更に含み、前記一部分の前記温度が前記一部分に関する前記所望温度であると判断される場合に、前記制御力が前記第１の量で維持される請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
前記一部分の前記温度が前記一部分に関する前記所望温度でないと判断される場合に、前記一部分に関する前記所望温度を達成するために前記ヒートパイプ内の前記圧力を調整することは、前記ピストン装置に第２の量の制御力を付与することを更に含み、前記第２の量の前記制御力は前記ピストン装置に前記ヒートパイプ内の前記圧力を変化させるように設定され、前記第１の量とは異なる請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
前記一部分は前記蒸発端である請求項２６に記載の方法。
【請求項３２】
請求項２６に記載の温度の制御方法を含む露光装置の作動方法。
【請求項３３】
少なくともフォトリソグラフィ工程を含む物体の製造方法であって、前記フォトリソグラフィ工程が、請求項３２に記載の露光装置の作動方法を利用する方法。
【請求項３４】
請求項３２に記載の露光装置の作動方法を利用するウエハの製造方法。
【請求項３５】
ピストン装置を含むヒートパイプの蒸発端に連通したステージ装置内のアクチュエータの温度の制御方法であって、
前記アクチュエータに関する所望温度を決定することと、
前記ピストン装置を調整して前記ヒートパイプの一部分に関する対応所望温度を達成することを含み、前記ピストン装置の調整が、前記一部分の温度が変化されるように前記ヒートパイプ内の流体の沸点を変化させることとを含む方法。
【請求項３６】
前記アクチュエータに関する前記所望温度を用いて前記一部分について対応所望温度を決定することを更に含む請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記ピストン装置を調整することは、前記ヒートパイプの内部圧力を調整して前記一部分の前記温度を変えることを含む請求項３５に記載の方法。
【請求項３８】
前記ピストン装置を調整することは、前記ヒートパイプの内部容積を調整して前記一部分の前記温度を変えることを含む請求項３５に記載の方法。
【請求項３９】
前記ピストン装置を調整することは、前記ピストン装置に制御力を付与することを含む請求項３５に記載の方法。
【請求項４０】
前記ピストン装置に前記制御力を付与することは、制御圧を前記ピストン装置を用いて付与させ、前記制御圧は前記流体の前記沸点を変化させるように設定される請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記一部分は前記蒸発端である請求項３５に記載の方法。
【請求項４２】
請求項３５に記載の温度の制御方法を含む露光装置の作動方法。
【請求項４３】
少なくともフォトリソグラフィ工程を含む物体の製造方法であって、前記フォトリソグラフィ工程が請求項４２に記載の露光装置の作動方法を利用する方法。
【請求項４４】
請求項４２に記載の露光装置の作動方法を利用する、ウエハの製造方法。
【請求項４５】
冷却装置であって、
熱源の近傍に配置される端部を有するヒートパイプと、
前記ヒートパイプ内に収容される流体と、
前記ヒートパイプに接続され、前記ヒートパイプ内の圧力を変更して前記流体の沸点が変更されるように構成される圧力制御機構とを備える冷却装置。
【請求項４６】
前記ヒートパイプは、蒸発端と凝縮端を有し、前記蒸発端は前記端部に位置される請求項４５に記載の冷却装置。
【請求項４７】
熱輸送装置であって、
流路と、
熱源から熱が伝達され、前記流路の途中に配置される少なくとも一つの受熱部と、
前記流路内に充填され、該流路内で循環される熱輸送媒体と、
前記流路に接続され、前記熱輸送媒体の状態遷移温度を変化させる温度設定装置とを備える熱輸送装置。
【請求項４８】
前記温度設定装置は前記熱輸送媒体の沸点を変化させる請求項４７に記載の熱輸送装置。
【請求項４９】
前記温度設定装置は前記流路内の圧力を変化させる請求項４７に記載の熱輸送装置。
【請求項５０】
前記熱源はステージ装置内のアクチュエータの一部である請求項４７に記載の熱輸送装置。
【請求項５１】
請求項５０に記載の前記熱輸送装置を備える露光装置。
【請求項５２】
熱輸送装置であって、
流路と、
前記流路内に配置される熱源から熱が伝達され、前記流路の途中に配置される少なくとも一つの受熱部と、
前記流路内に充填され、該流路内で循環される熱輸送媒体と備える熱輸送装置。
【請求項５３】
前記流路に接続され、前記熱輸送媒体の状態遷移温度を変化させる温度設定装置を更に備える請求項５２に記載の熱輸送装置。
【請求項５４】
前記温度設定装置は前記熱輸送媒体の沸点を変化させる請求項５２に記載の熱輸送装置。
【請求項５５】
前記温度設定装置は前記流路内の圧力を変化させる請求項５２に記載の熱輸送装置。
【請求項５６】
前記熱源はステージ装置内のアクチュエータの一部である請求項５５に記載の熱輸送装置。
【請求項５７】
請求項５６に記載の前記熱輸送装置を備える露光装置。
【請求項５８】
熱輸送装置に関する温度の制御方法であって、
熱源から熱が伝達される少なくとも一つの受熱部を含む流路内で、熱輸送媒体を循環することと、
前記流路内で循環している前記熱輸送媒体の状態遷移温度を変化させることとを含む方法。
【請求項５９】
状態遷移温度を変化させることは、前記熱輸送媒体の沸点を変化させることを含む請求項５８に記載の方法。
【請求項６０】
状態遷移温度を変化させることは、前記流路内の圧力を変化させることを含む請求項５８に記載の方法。
【請求項６１】
請求項５８に記載の前記温度の制御方法を備えるステージ装置の作動方法。
【請求項６２】
請求項５８に記載の前記温度の制御方法を備える露光装置の作動方法。
【請求項６３】
少なくともフォトリソグラフィ工程を含む物体の製造方法であって、前記フォトリソグラフィ工程が請求項６２に記載の露光装置の作動方法を利用する方法。
【請求項６４】
請求項６２に記載の露光装置の作動方法を利用するウエハの製造方法。
【請求項６５】
熱輸送装置に関する温度の制御方法であって、
熱源を含む流路内に熱輸送媒体を充填することと、
前記流路内で前記熱輸送媒体を循環することとを含む方法。
【請求項６６】
前記流路内で循環する前記熱輸送媒体の状態遷移温度を変化させることを更に備える請求項６５に記載の方法。
【請求項６７】
状態遷移温度を変化させることは、前記熱輸送媒体の沸点を変化させることを含む請求項６６に記載の方法。
【請求項６８】
状態遷移温度を変化させることは、前記流路内の圧力を変化させることを含む請求項６６に記載の方法。
【請求項６９】
請求項６５に記載の前記温度の制御方法を含むステージ装置の作動方法。
【請求項７０】
請求項６５に記載の前記温度の制御方法を含む露光装置の作動方法。
【請求項７１】
少なくともフォトリソグラフィ工程を含む物体の製造方法であって、前記フォトリソグラフィ工程が請求項７０に記載の露光装置の作動方法を利用する方法。
【請求項７２】
請求項７０に記載の露光装置の作動方法を利用するウエハの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
第１干渉計５６は投影光学フレーム５０に支持されており、ウエハテーブル５１の位置を検出するように機能する。干渉計５６はウエハテーブルの位置に関する情報をシステムコントローラ６２に出力する。一実施形態では、ウエハテーブル５１は、干渉計５６がウエハテーブル５１の位置を正確に検出し得るように、ウエハテーブル５１に生じる振動を低減する力ダンパを有している。第２干渉計５８は光学フレーム４８に支持され、レチクル６８を支持するレチクルステージ４４の位置を検出する。干渉計５８もまた位置情報をシステムコントローラ６２に出力する。