【手続補正書】
【提出日】平成19年9月14日(2007.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  定在マイクロ波エネルギー波を維持することができる長さ方向に延在するマイクロ波チャンバと、
前記マイクロ波チャンバ内に取り付けられた長さ方向に延在するプラズマ・バルブと、
前記マイクロ波チャンバに結合され、前記プラズマ・バルブを励起させるために前記チャンバ内に１対の定在マイクロ波エネルギー波を生成して、前記チャンバからの紫外線を放射させることができる１対のマイクロ波発生器と、
を含む装置。
【請求項２】  前記プラズマ・バルブの両側に位置決めされ、前記プラズマ・バルブのほぼ長さ方向に沿って前記チャンバ内で前記１対の定在マイクロ波エネルギー波を部分的に重ねることができる１対の長さ方向に延在する同調壁をさらに含む請求項１に記載の装置。
【請求項３】  前記マイクロ波チャンバが、
１対の端壁と、
前記１対の端壁の間に長さ方向に延在する１対の側壁と、
上壁とを含み、
前記１対の同調壁が、前記１対の側壁から前記上壁に向かって上方向内側に延在する請求項２に記載の装置。
【請求項４】  前記同調壁がそれぞれ、前記側壁のうちの１つから前記上壁に向かって上方向内側に延在するほぼ平面の壁を含む請求項３に記載の装置。
【請求項５】  前記同調壁がそれぞれ、前記側壁のうちの１つから前記上壁に向かって上方向内側に延在する少なくとも２つのほぼ平面の壁を含む請求項３に記載の装置。
【請求項６】  前記マイクロ波チャンバ内に取り付けられ、前記プラズマ・バルブによって放射された紫外線を反射することができる、長さ方向に延在するマイクロ波透過リフレクタと、
前記１対のマグネトロンを前記マイクロ波チャンバに直接結合する１対の導波管とをさらに含み、前記マイクロ波チャンバが、中に１対の開口部が形成され、前記導波管がそれぞれ、前記マイクロ波チャンバの前記開口部のうちの１つと直接連通する出口を有する請求項１に記載の装置。
【請求項７】  前記開口部がそれぞれ、前記出口のうちの１つの断面積と実質的に等しい断面積を有する請求項６に記載の装置。
【請求項８】  前記プラズマ・バルブの両側に位置決めされ、ほぼ前記プラズマ・バルブの長さ方向に沿って前記チャンバ内で前記１対の定在マイクロ波エネルギー波を部分的に重ねることができる、１対の長さ方向に延在する同調壁をさらに含む請求項６に記載の装置。
【請求項９】  １対の端壁と、
前記１対の端壁の間に長さ方向に延在する１対の側壁と、
上壁とを含み、
前記１対の同調壁が、前記１対の側壁から前記上壁に向かって上方向内側に延在する請求項８に記載の装置。
【請求項１０】  前記同調壁がそれぞれ、前記側壁のうちの１つから前記上壁に向かって上方向内側に延在するほぼ平面の壁を含む請求項９に記載の装置。
【請求項１１】  前記同調壁がそれぞれ、前記側壁のうちの１つから前記上壁に向かって上方向内側に延在する少なくとも２つのほぼ平面の壁を含む請求項９に記載の装置。
【請求項１２】  紫外線放射を生成する装置であって、
長さ方向に延在するマイクロ波チャンバと、
前記マイクロ波チャンバ内に取り付けられた長さ方向に延在するプラズマ・バルブと、
前記マイクロ波チャンバに結合され、前記プラズマ・バルブを励起するために前記チャンバ内でマイクロ波エネルギー波を生成して前記チャンバから紫外線を放射することができる１対のマイクロ波発生器と、
前記プラズマ・バルブの両側に位置決めされ、前記マイクロ波チャンバを同調して、前記プラズマ・バルブへの前記マイクロ波エネルギー波の結合を最適化することができる１対の長さ方向に延在する同調壁と、
を含む装置。
【請求項１３】  前記マイクロ波チャンバが、
１対の端壁と、
前記１対の端壁の間に長さ方向に延在する１対の側壁と、
上壁とを含み、
前記１対の同調壁が、前記１対の側壁から前記上壁に向かって上方向内側に延在する請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】  前記同調壁がそれぞれ、前記側壁のうちの１つから前記上壁に向かって上方向内側に延在するほぼ平面の壁を含む請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】  前記同調壁がそれぞれ、前記側壁のうちの１つから前記上壁に向かって上方向内側に延在する少なくとも２つのほぼ平面の壁を含む請求項１３に記載の装置。
【請求項１６】  前記マイクロ波チャンバ内に取り付けられ、前記プラズマ・バルブから放射された紫外線を反射することができる、長さ方向に延在するマイクロ波透過リフレクタと、
前記１対のマグネトロンを前記マイクロ波チャンバに直接結合する１対の導波管とをさらに含み、前記マイクロ波チャンバが、中に１対の開口部が形成され、前記導波管がそれぞれ、前記マイクロ波チャンバ内の前記開口部のうちの１つと直接連通する出口を有する請求項１２に記載の装置。
【請求項１７】  前記開口部がそれぞれ、前記出口のうちの１つの断面積と実質的に等しい断面積を有する請求項１６に記載の装置。
【請求項１８】  前記マイクロ波チャンバが、
１対の端壁と、
前記１対の端壁の間に長さ方向に延在する１対の側壁と、
上壁とを含み、
前記１対の同調壁が、前記１対の側壁から前記上壁に向かって上方向内側に延在する請求項１６に記載の装置。
【請求項１９】  前記同調壁がそれぞれ、前記側壁のうちの１つから前記上壁に向かって上方向内側に延在するほぼ平面の壁を含む請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】  前記同調壁がそれぞれ、前記側壁のうちの１つから前記上壁に向って上方向内側に延在する少なくとも２つのほぼ平面の壁を含む請求項１８に記載の装置。
【請求項２１】  マイクロ波チャンバ内に長さ方向に取り付けられたプラズマ・バルブから紫外線を生成する方法であって、
少なくとも２つのソースからマイクロ波エネルギー波を生成する段階と、
マイクロ波エネルギー波をマイクロ波チャンバに結合して、プラズマ・バルブを励起するマイクロ波チャンバ内で長さ方向に定在マイクロ波エネルギー波を作り出してチャンバから紫外線を放射する段階とを含む方法。
【請求項２２】  前記結合する段階が、マイクロ波エネルギー波をマイクロ波チャンバに直接結合する段階をさらに含む請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】  ほぼプラズマ・バルブの長さ方向に沿ってチャンバ内で定在マイクロ波エネルギー波を部分的重ねる段階をさらに含む請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】  マイクロ波チャンバ内の定在マイクロ波エネルギー波の位相関係を調整する段階をさらに含む請求項２２に記載の方法。
【請求項２５】  マイクロ波チャンバ内の定在マイクロ波エネルギー波の位相関係を調整する段階をさらに含む請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】  ほぼプラズマ・バルブの長さ方向に沿ってチャンバ内で定在マイクロ波エネルギー波を部分的に重ねる段階をさらに含む請求項２１に記載の方法。
【請求項２７】  マイクロ波チャンバ内の定在マイクロ波エネルギー波の位相関係を調整する段階をさらに含む請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】  マイクロ波チャンバ内の定在マイクロ波エネルギー波の位相関係を調整する段階をさらに含む請求項２１に記載の方法。
【請求項２９】  マイクロ波チャンバ内に長さ方向に取り付けられたプラズマ・バルブから紫外線を生成する方法であって、
少なくとも２つのソースからマイクロ波エネルギー波を生成する段階と、
マイクロ波エネルギー波をマイクロ波チャンバに直接結合し、プラズマ・バルブを励起するマイクロ波チャンバ内で長さ方向にマイクロ波エネルギー波を作り出してチャンバから紫外線を放射させる段階と、
を含む方法。