(57)【要約】【課題】  基板の表面に成膜される多層膜の膜厚を一様な厚さにし、不良品となる光学素子を少なくすることができる光学素子の製造方法を提供する。【解決手段】  十分な強度を有する補強板１と光学素子の基板２とを、両面接着シート３により接着する（ａ）。その後、基板２に切り込み４を入れ、予め所望とする形状に切断しておく（ｂ）。切り込み４の深さは、基板２が切断され両面接着シート３に届くような深さであればよいが、両面接着シート３は薄いので、通常は、補強板１の一部まで切り込み４が達するような深さとする。その後、基板２の上に多層光学薄膜５を成膜する（ｃ）。このとき、上に多層光学薄膜５は、切り込み４によって分離されて形成され１枚の膜とならないので、膜応力が大きくなることがない。その後、補強板１と基板２とを剥離することにより、基板２の上に多層光学薄膜５が形成された所定形状の光学素子６が得られる（ｄ）。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に多層膜を成膜する工程を有する光学素子の製造方法であって、補強板に前記基板を貼り合わせ、前記補強板を完全に切断することなく前記基板を所定形状に切断し、その後前記基板上に多層膜を成膜し、成膜工程の完了後、前記補強板と前記基板を剥離する工程を有することを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項２】
前記補強板に前記基板を貼り合わせる方法が、粘着力のある両面接着シートにより貼り合わせる方法であることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の製造方法。
【請求項３】
前記両面接着シートが、加熱によって発泡し、粘着力が弱まる粘着シートであることを特徴とする請求項２に記載の光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信分野で使用されるフィルタ素子等、基板の上に多層膜が形成された光学素子の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光通信分野で使用されるフィルタ素子等の光学素子には、反射防止を行ったり、波長ごとの透過率や反射率を所定の特性にしたり、波長ごとの位相特性を所定の特性にしたりするために、基板の表面に多層膜を成膜し、膜間の干渉により所定の光学特性を持たせたものがある。
【０００３】
図２に、このような多層膜を成膜する方法の例を示す。図２において、(a)は回転テーブルを下から見た図、(b)はＡ−Ａ位置での装置の端面図を示す。真空チャンバ２１の中には基板ホルダ２２が設けられ、回転軸２３を中心として回転している。基板ホルダ２２の下面には、表面に成膜を施す基板２４が同心円状に取り付けられているが、基板２４を取り付ける場所の１ヶ所にはモニタ基板２５が取り付けられている。
【０００４】
真空チャンバ２１の下部にはターゲット２６が設けられ、そこから膜を構成するスパッタリング原子が飛び出して、基板２４とモニタ基板２５の表面に当たって膜を形成する。また、真空チャンバ２１の一部には、上下面に窓２７が設けられており、投光器２８より照射された光が、光学素子２４又はモニタ基板２５を透過して受光器２９で受光され、分光透過率が測定できるようになっている。この分光透過率の測定は、膜厚測定のために行なわれるものである。
【０００５】
図２に示すような装置を用いた多層膜の成膜は、以下のようにして行なわれる。まず、所定の光学特性（反射率、透過率、位相特性等）が得られるように、計算により膜の材質、層数、各層の厚さが決定される。このようにして設計が終了すると、まず、第１層の成膜が行なわれる。モニタ基板２５が投光器２８と受光器２９の位置を通り過ぎる毎に分光透過率の測定を行い、膜厚を測定する。
【０００６】
このようにして、膜厚を測定しながら成膜を続け、測定光学特性が参照光学特性に等しくなったところで第１層目の成膜を終了する。そして、スパッタリングに用いる材料を変更して、第２層目の成膜を行う。以下、同様にして最終膜までの成膜を行う。なお、一般には、その後、成膜が完了した基板２４を切断し、複数の光学素子を得る。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記のようにスパッタリングにより基板２４の表面に多層膜を形成する場合、成膜途中で、それまでに成膜された多層膜の膜応力により、基板２４が反るという問題点がある。通常の場合、この反りは、多層膜が形成された側に凸となるような反り方となる。
【０００８】
このような反りが発生すると、基板２４の成膜側の表面とターゲット２６との距離が、基板２４の成膜面内で異なるようになり、その結果、それ以後成膜される膜厚の分布が基板２４の成膜面内で不均一になる。そのため、多層膜とその多層膜が成膜された基板２４からなる光学素子の特性が、所定のものとならないという問題が発生する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、基板の表面に成膜される多層膜の膜厚を一様な厚さにし、不良品となる光学素子を少なくすることができる光学素子の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するための第１の手段は、基板上に多層膜を成膜する工程を有する光学素子の製造方法であって、補強板に前記基板を貼り合わせ、前記補強板を完全に切断することなく前記基板を所定形状に切断し、その後前記基板上に多層膜を成膜し、成膜工程の完了後、前記補強板と前記基板を剥離する工程を有することを特徴とする光学素子の製造方法である。
【００１１】
本手段においては、成膜される前の基板が所定形状に切断された状態で、補強板に張り合わされており、その上に多層膜の成膜が行われる。よって、形成される多層膜が基板の切断面によって切られた状態、又は薄くつながったような状態となって成膜されることになり、大きな膜応力が発生しない。よって、成膜中に膜応力により基板が変形することがなく、成膜を一様な厚さで行うことができる。成膜の完了後、補強板と基板を剥離すれば、基板は切断面に沿ってバラバラになり、表面に形成された多層膜も、たとえつながっている場合でも、それと共に切断面に沿って破れるので、目的形状の光学素子を得ることができる。
【００１２】
前記課題を解決するための第２の手段は、前記第１の手段であって、前記補強板に前記基板を貼り合わせる方法が、粘着力のある両面接着シートにより貼り合わせる方法であることを特徴とするものである。
【００１３】
両面接着シートにより補強板と基板を貼り合わせることにより、両者を剥離するときに容易に剥離することが可能となり、基板表面を傷つけたり、接着剤が基板表面に残ったりすることを防止することができる。
【００１４】
前記課題を解決するための第３の手段は、前記第２の手段であって、前記両面接着シートが、加熱によって発泡し、粘着力が弱まる粘着シートであることを特徴とするものである。
【００１５】
本手段においては、成膜時には、強い背粘着力で補強板と基板を貼り合わせることができると共に、成膜の完了後、多層膜と基板を通して粘着テープを加熱することにより、補強板又は弾力性のあるシートと基板を容易に剥離することができ、基板表面を傷つけたり、接着剤が基板表面に残ったりすることを防止することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、基板の表面に成膜される多層膜の膜厚を一様な厚さにし、不良品となる光学素子を少なくすることができる光学素子の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態である光学素子の製造方法の例を示す図である。十分な強度を有する補強板１と光学素子の基板２とを、両面接着シート３により接着する（ａ）。基板２は、例えば、0.2mmのＢＫ７ガラスとする。その後、基板２に切り込み４を入れ、予め所望とする形状に切断しておく（ｂ）。切り込み４の深さは、基板２が切断され両面接着シート３に届くような深さであればよいが、両面接着シート３は薄いので、通常は、補強板１の一部まで切り込み４が達するような深さとする。
【００１８】
その後、従来技術の説明において説明したように、基板２の上に多層光学薄膜５を成膜する（ｃ）。このとき、上に多層光学薄膜５は、切り込み４によって分離されて形成され１枚の膜とならないので、膜応力が大きくなることがない。よって、成膜中の膜応力による反りが小さくなり、これにより、成膜される膜の厚さが均一となる。切り込み４の幅が狭いと多層光学薄膜５がつながる場合もあるが、切り込み４に対応する部分が凹部となり、かつ、薄くなるため、やはり膜応力が小さくなる。
【００１９】
多層光学薄膜５としては、例えば、100〜200nm程度の厚さのNb２Ｏ５と、50〜100nm程度の厚さのSiＯ２とを、交互に合計181層成膜する。この多層光学薄膜５に使用される物質と厚さ、膜数は、所望の光学特性が得られるように光学設計により決定される。
【００２０】
その後、補強板１と基板２とを剥離することにより、基板２の上に多層光学薄膜５が形成された所定形状の光学素子６が得られる（ｄ）。
【００２１】
両面接着シート３としては、成膜中には十分な接着力を発揮し、補強板１と基板２を剥離するときは容易に剥離が可能で接着剤が基板２の表面に残らないものが好ましい。このようなものとして、加熱により発泡して剥離するものを使用すれば、容易に補強板１と基板２を剥離することができる。このような接着シートとしては、例えば日東電工社製の熱剥離シート「リバアルファ」（表品名）を使用することができる。また、紫外線を当てると硬化して接着力が落ちるものを使用すれば、成膜の完了後、多層光学薄膜５と基板２を通して紫外線照射を行うことにより、容易に補強板１と基板２を剥離することができる。このようなものとして、たとえばリンテック社製の、シリコンウエハの研磨の際の固定に使用される接着シート「Adwill E-Series」（商品名）を使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態である光学素子の製造方法の例を示す図である。
【図２】多層膜を成膜する方法の例を示す図である。
【符号の説明】
【００２３】
１…補強板
２…基板
３…両面接着シート
４…切り込み
５…多層光学薄膜
６…光学素子
【図１】
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【図２】
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