(57)【要約】【課題】  セラミックス等の被処理物を均一に、かつ効率よく加熱し得る回分式加熱炉を提供すること。【解決手段】  加熱手段２を備えた炉体３と、該炉体３内において回転駆動し得るように支持された炉芯管１と、該炉芯管１内部の均熱帯付近Ｘに内挿支持され、炉芯管１の回転に伴い回転する被処理物の収納容器２０とから成る回分式加熱炉とした。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱手段を備えた炉体と、該炉体内において回転駆動し得るように支持された炉芯管と、該炉芯管内部の均熱帯付近に内挿支持され、炉芯管の回転に伴い回転する被処理物の収納容器とから成ることを特徴とする、回分式加熱炉。
【請求項２】
上記収納容器が、上記炉芯管の内径寸法より僅かに小さい外径寸法の略円筒形状容器であることを特徴とする、請求項１に記載の回分式加熱炉。
【請求項３】
上記炉芯管および収納容器が、セラミックスで形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の回分式加熱炉。
【請求項４】
上記収納容器の内部に、被処理物の掻き上げ羽根が設けられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれかに記載の回分式加熱炉。
【請求項５】
上記収納容器が、その端壁に孔を有し、該孔を介してガス導入管が収納容器内部に挿入されることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の回分式加熱炉。
【請求項６】
上記ガス導入管の収納容器内部に挿入された部分に、スクレ パが取付けられているこ
とを特徴とする、請求項５に記載の回分式加熱炉。
【請求項７】
上記炉体と炉芯管との間に、ヒートラビリンスが設けられていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の回分式加熱炉。
【請求項８】
上記ヒートラビリンスが、炉芯管の外周面に取付けられたリング状の反射板と、該反射板の外周部に位置する炉体の側壁部に取付けられたリング状の断熱材と、前記反射板および断熱材を覆う炉体の側壁部に取付けられたリング状のプレートとから成ることを特徴とする、請求項７に記載の回分式加熱炉。
【請求項９】
上記反射板が白色のセラミックスで形成され、上記断熱材が黒色のセラミックスで形成され、上記プレートがアルミニウムによって形成されていることを特徴とする、請求項８に記載の回分式加熱炉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回分式加熱炉に関し、特に、セラミックス等の被処理物を均一に、かつ効率よく加熱し得る回分式加熱炉に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
誘電体材料や圧電体材料等のセラミックスの仮焼きや本焼成には、横型電気炉が広く用いられている。
かかる横型電気炉は、ヒーター等を設置した炉体内に、円筒状の炉芯管を横方向（水平方向）に挿通した構造のもので、被処理物を直接、或いは被処理物を入れた皿状容器を前記炉芯管内に入れ、一定時間加熱するものである。
【０００３】
しかしながら、上記した横型電気炉にあっては、小型で、少量サンプルの焼成等には適しているが、炉芯管内において被処理物が静置された状態で加熱されるため、被処理物の個々の粒子に均一に熱が伝わらず、品質のバラツキが生じ易いと言う欠点を有していた。また、各種ガスを導入して被処理物と反応させながら加熱処理する場合にも、被処理物が導入されたガスと均一に接触せず、反応ムラが生じる憂いがあった。
【０００４】
そこで、一端を蓋によって閉塞し、他端に着脱自在のキャップを装着した円筒状の炉芯管を、バーナー或いはヒーター等の加熱手段を備えた炉体内において回転駆動し得るように支持し、被処理物をキャップを外すことにより前記炉芯管内に所定量投入し、キャップを閉めて炉芯管を回転駆動させながら所定時間加熱処理を行うことにより、被処理物を焼成し、その後、キャップを開けて炉芯管内から焼成物を排出する構成のバッチ型ロータリーキルンが特許文献１に開示されている。
【０００５】
また、被処理物の加熱を、不活性ガス雰囲気中や還元ガス雰囲気中で行ないたい場合には、炉芯管の一方端から窒素ガス等の不活性ガスや水素等の還元性ガスを炉芯管内に供給し、炉芯管の他方端から供給したガスを排出することが一般的に成されていた。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２９７９８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献１に開示されたバッチ型ロータリーキルンによれば、被処理物が粉体の場合でも、炉芯管の回転により攪拌作用を受けるため、上記した横型電気炉に比して、処理物の品質のバラツキは改善できると考えられるが、まだ下記の欠点を有していた。
【０００８】
すなわち、上記特許文献１に示す加熱炉では、炉体の全幅にわたって炉芯管を設置し、該炉芯管の全域を使用して被処理物を加熱する構造となっているが、炉芯管には温度分布、すなわち被処理物に対する温度ムラがあり、一般的に炉芯管の中央部の温度は高く、炉芯管の両端部ほど温度が低い傾向にある。そのため、被処理物が炉芯管のどの位置において多くの時間滞留していたかにより、被処理物が受ける熱量は大きく相違したものとなり、このことによる処理物の品質のバラツキ（焼成ムラ）が生じる憂いがあった。
【０００９】
また、上記特許文献１に示す加熱炉では、炉芯管を容易に取り外せる構造のものではないため、その炉芯管内部を充分に洗浄することは困難であり、また、炉芯管内壁への被処理物の付着に対し、有効な予防或いは緩和手段もないことから、これらも被処理物の均一な加熱を妨げる要因となり、これによっても得られる処理物の品質にバラツキが生じる憂いがあった。
【００１０】
さらに、一般的に成されている、被処理物の加熱を不活性ガス雰囲気中や還元ガス雰囲気中で行う場合おける不活性ガスや還元性ガスを単に炉芯管内を一方向に流すだけの、いわゆるワンウェイフロー方式では、内部の空気と充分な置換が行われず、また被処理物との接触も充分ではないため、やはり得られる処理物の品質にバラツキが生じる憂いがあった。
【００１１】
本発明は、上記した背景技術が有する課題に鑑み成されたものであって、セラミックス等の被処理物を均一に、かつ効率よく加熱し得る回分式加熱炉を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記した目的を達成するため、本発明は、加熱手段を備えた炉体と、該炉体内において回転駆動し得るように支持された炉芯管と、該炉芯管内部の均熱帯付近に内挿支持され、炉芯管の回転に伴い回転する被処理物の収納容器とから成る回分式加熱炉とした。
【００１３】
ここで、上記本発明の好ましい実施の形態としては、上記収納容器を、炉芯管の内径寸法より僅かに小さい外径寸法の略円筒形状容器とする。また、上記炉芯管および収納容器を、セラミックスで形成する。さらに、上記収納容器の内部に、被処理物の掻き上げ羽根を設ける。
【００１４】
また、上記収納容器の端壁に、孔を形成し、該孔を介してガス導入管を収納容器内部に
挿入する。また、上記ガス導入管の収納容器内部に挿入された部分に、スクレ パを取付
ける。
【００１５】
また、上記炉体と炉芯管との間に、ヒートラビリンスを設ける。また、前記ヒートラビリンスを、炉芯管の外周面に取付けられたリング状の反射板と、該反射板の外周部に位置する炉体の側壁部に取付けられたリング状の断熱材と、前記反射板および断熱材を覆う炉体の側壁部に取付けられたリング状のプレートとから構成する。さらに、前記反射板を白色のセラミックスで形成し、前記断熱材を黒色のセラミックスで形成し、前記プレートをアルミニウムによって形成する。
【発明の効果】
【００１６】
上記した本発明に係る回分式加熱炉によれば、収納容器は、炉芯管内部の均熱帯付近において炉芯管の回転に伴い回転するため、該収納容器内に入れられた被処理物は、回転による攪拌作用を受けると共に均一に加熱され、バラツキのない良好な品質の処理物が得られる。また、本発明によれば、洗浄が困難な炉芯管ではなく、取り出して容易に洗浄が可能な収納容器に被処理物を入れて加熱するため、被処理物の均一な加熱が可能であり、また処理物に不純物が混入する憂いもない。
【００１７】
また、上記収納容器を炉芯管の内径寸法より僅かに小さい外径寸法の略円筒形状容器とすると、炉芯管の回転に追随して容易に回転することができ、かつ均一に加熱される容器となるため、より被処理物を均一に、かつ効率よく加熱することができる。また、上記炉芯管および収納容器をセラミックスで形成すると、耐熱性が高く、かつ高強度な炉芯管および収納容器となるため、被処理物の高温（例えば、１０００〜１４００℃）焼成が可能となる。さらに、上記収納容器の内部に被処理物の掻き上げ羽根を設けると、掻き上げ羽根により被処理物が繰り返し撹拌混合されるため、より均一に加熱される。
【００１８】
また、上記収納容器の端壁に孔を形成し、該孔を介してガス導入管を収納容器内部に挿入すると、該導入管を介して不活性ガスや還元性ガスを収納容器内部に直接供給することができ、極めて短時間に収納容器内を供給したガスで満たすことができると共に、ガスを効率よく被処理物に接触させることができるため、反応ムラのない均質な処理物を得るこ
とができる。さらに、上記ガス導入管の収納容器内部に挿入された部分にスクレ パを取
付けることとすると、該スクレーパにより収納容器内壁に被処理物が付着するのを防止し、また付着してもすぐに掻き取ることができるため、被処理物をムラなく焼成することができる。
【００１９】
また、上記炉体と炉芯管との間にヒートラビリンスを設けると、炉体と炉芯管との隙間から熱が放出されることを防止でき、また炉芯管の温度分布を抑制することができる。また、前記ヒートラビリンスを、炉芯管の外周面に取付けられたリング状の反射板と、該反射板の外周部に位置する炉体の側壁部に取付けられたリング状の断熱材と、前記反射板および断熱材を覆う炉体の側壁部に取付けられたリング状のプレートとから構成すると、簡易な構造にもかかわらず、熱、特に輻射熱を主とする放熱を有効に防止することができる。さらに、前記反射板を白色のセラミックスで形成し、前記断熱材を黒色のセラミックスで形成し、前記プレートをアルミニウムによって形成すると、耐熱性が高く、且つ、さらに遮蔽効果の高い放熱防止構造となり、熱の有効利用が図れると共に、炉外の構造物と雰囲気の温度上昇を抑えることができ、安全性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、上記した本発明に係る回分式加熱炉の実施の形態を、図面を示して詳細に説明する。
ここで、図１は本発明に係る回分式加熱炉の全体を概念的に示した縦断面図である。図２は炉芯管の両端部を各々拡大して示した断面図であって、（ａ）は反駆動側、（ｂ）は駆動側を示した図である。図３は被処理物の収納容器を示した分解斜視図である。図４は図３のＡ−Ａ線に沿う部分の断面図である。図５は被処理物の収納容器の他の実施の形態を示した縦断面図である。図６は収納容器内にガス導入管を挿入した状態を示した縦断面図である。図７はガス導入管にスクレーパを取付けた状態を示した収納容器の横断面図である。図８は炉体と炉芯管との間のヒートラビリンスを示した部分的な拡大縦断面図である。図９は炉芯管への反射板の取付け構造を示した横断面図である。
【００２１】
図１中、１は円筒形状のセラミックス製炉芯管であって、該炉芯管１は、内部にヒーター２を備えた炉体３内に挿通されている。そして、炉芯管１は、その両端部において、各々ブラケット４，５の上部に回転自在に取付けられた２個一組のローラー６，７によって、回転自在に支持されている。
【００２２】
８はモーターであり、該モーター８の軸に取付けられたスプロケット９と、上記一方のローラー７の回転軸に取付けられたスプロケット１０との間に、チェーン１１が掛け渡され、モーター８を駆動することによって、上記炉芯管１は、その軸芯周りに回転駆動するように構成されている。
【００２３】
また、炉芯管１の両端部には、図２（ａ），（ｂ）に詳細に示したように、各々肉厚の回転サポート１２，１３が取付けられている。この回転サポート１２，１３は、一方の端部内面に炉芯管１の外径寸法に合わせた切り欠き部１２ａ，１３ａが形成され、該切り欠き部１２ａ，１３ａに、炉芯管１の端部を各々嵌合する、或いは接着することにより固定されている。
【００２４】
また、回転サポート１２，１３の他方端部の内面には、雌ネジ１２ｂ，１３ｂが各々形成され、該雌ネジ１２ｂ，１３ｂに螺合する雄ネジ１４ａ，１５ａが各々突設された鍔付きのエンドプレート１４，１５を、各々回転サポート１２，１３の端部に螺合することによって、炉芯管１の両端部が閉塞されるように構成されている。
【００２５】
なお、図２（ａ），（ｂ）において、１６，１７は、前記回転サポート１２，１３とエンドプレート１４，１５の密閉性を確保するための耐熱性のあるＯリングである。また、図２（ａ）に示した反駆動側の上記回転サポート１２のローラー６が当接する面には、その全周にわたってローラー６の幅よりも若干広い幅の溝１８が設けられ、これによって、運転中に炉芯管１がその軸芯方向にズレるのを防止している。一方、図２（ｂ）に示した駆動側の回転サポート１３には、上記のような溝は設けられていない。これは熱膨張により炉芯管１が長手方向に延びるのを許容するためである。また、上記炉体３、ブラケット４，５およびモーター８は、共にベース１９に固定されている。
【００２６】
また、図１中、２０は収納容器であり、該収納容器２０は、被処理物Ｐが入れられた状態で、上記炉芯管１の均熱帯、例えば炉芯管１の長手方向中央付近Ｘに内挿支持される。この収納容器２０は、図３に示したように、両端部の内面に雌ネジ２１ａが形成された円筒状本体２１と、該円筒状本体２１の両端部に各々螺合する雄ネジ２２ａが突設された略円板状の蓋体２２によって構成されている。収納容器２０を構成する前記円筒状本体２１および蓋体２２は、共にセラミックス、例えばムライトやアルミナ等のセラミックスで形成され、その外径寸法は、上記炉芯管１の内径寸法より僅かに（２〜５ｍｍ）小さく設計されている。また、その長さは、炉芯管１の有効寸法Ｌの１／５〜１／２の長さに設計されていることが、炉芯管１の均熱帯の幅との関係から好ましい。
【００２７】
上記蓋体２２の中心部には、貫通孔２３が各々設けられている。また、上記円筒状本体２１の内面には、掻き上げ羽根２４が設けられている。この掻き上げ羽根２４は、円筒状本体２１の内面に、その軸芯方向全幅にわたって３ヶ所、図４に示したように等間隔（等角度）に取付けられている。この掻き上げ羽根２４は、炉芯管１の回転に伴って該収納容器２０が回転しても、被処理物Ｐが収納容器２０の内面を滑って混合されない場合や、積極的に被処理物Ｐを撹拌混合したい場合等に効果的である。
【００２８】
図５は、上記収納容器２０の他の実施の形態を示した縦断面図である。この収納容器２０は、図示したように、一方の蓋体２２の内部側と、他方の蓋体２２の外部側に、各々貫通孔２３に連通するロート状の切り欠き部２５を形成したものである。このようなロート状の切り欠き部２５を形成にすることにより、円筒状本体２１から蓋体２２を外すことなく、被処理物Ｐの入れ出しが容易に行えるものとなる。
【００２９】
上記収納容器２０は、炉芯管１の長手方向中央部付近（均熱帯付近）Ｘに、スペーサー２６によって支持される。このスペーサー２６は、具体的には細長い円柱状部材である。しかし、この形状に限定されるものではなく、例えば収納容器２０の円筒状本体２１と同径で長さの長い円筒状部材であってもよい。また、一方のスペーサー２６の代わりに、炉芯管１の内面の所定位置に突起を設けてもよい。
【００３０】
上記した炉芯管１の両端部を閉塞するエンドプレート１４，１５の中心部には、各々貫通孔２７，２８が設けられている。そして、図１に示したように、一方のエンドプレート１５の貫通孔２８を介して、ガス導入管２９が炉芯管１の内部に挿入されている。このガス導入管２９は、エンドプレート１５に取付けられたロータリージョイント３０によって回転自在に支持され、炉芯管１の回転に関わらず、静止状態を保持し得るように構成されている。
【００３１】
上記ガス導入管２９には、図６に示したように、多数の孔３１が等間隔で複数列、かつ千鳥配列で設けられている。そして、このガス導入管２９は、上記した蓋体２２の貫通孔２３を介して、収納容器２０内に、その軸方向全域にわたって挿入されている。また、このガス導入管２９の収納容器２０内に存在する部分には、図７に示したように、スクレーパ３２を設けることができる。このスクレーパ３２は、被処理物Ｐの付着性が強く、焼成時に収納容器２０の内壁に融着したり、被処理物同士が融着したりするのを防止し、また融着した場合に掻き取り、またはほぐすのに有効に使用される。なお、このスクレーパ３２を取付けた場合には、被処理物の掻き上げ羽根２４は取付けることはできない。また、スクレーパ３２は、例えば図７に示すように、任意の位置に固定されていた方が掻き取り効果の点から好ましいため、ガス導入管２９は回転させない方がよい。
【００３２】
また、図１において、３３は炉体３と炉芯管１との間のヒートラビリンスである。該ヒートラビリンス３３は、炉体３と炉芯管１との隙間から遠赤外線を主とする輻射熱による放熱を防止し、熱効率を向上させるためのものである。このヒートラビリンス３３は、図８に示したように、炉体３より飛び出した炉芯管１の端部において、その外周面に取付けられたリング状の反射板３４と、該反射板３４の外周部に位置する炉体３の側壁部に取付けられたリング状の断熱材３５と、前記反射板３４および断熱材３５を、その外側から覆う炉体３の側壁部に取付けられた断面Ｌ字形でリング状のプレート３６とで構成されている。
【００３３】
上記反射板３４と断熱材３５は、共にセラミックス製であることが好ましく、特に、反射板３４は、白色のセラミックスで形成されていることが、反射効率の点から好ましく、また断熱材３５は、黒色のセラミックスで形成されていることが、乱反射した遠赤外線を吸収し、遮蔽効果をさらに向上させることができるために好ましい。また、ヒートラビリンス３３の一番外側に位置するプレート３６には、輻射放熱が少ないアルミニウム板を用いることが、炉体３外への遠赤外線の放射をさらに減少させることができ、また炉体３外の構造物と雰囲気の温度上昇を抑えることができるために好ましい。
【００３４】
なお、上記リング状の反射板３４を炉芯管１の外周面に取付け方法としては、例えば図９に示したように、反射板３４を二つ割り（略半円状）にし、外側から炉芯管１を挟み付け、ボルト３７で締め付ける方法が採用される。
また、図１において、３８は装置全体を覆う安全カバー、３９は前記安全カバー３８のセーフティードアスイッチである。
【００３５】
次に、上記のように構成された本発明に係る回分式加熱炉の運転方法を説明する。
先ず、収納容器２０の一方の蓋体２２を開け、一定量の被処理物Ｐを該収納容器２０内に投入し、蓋体２２を閉める。ここで、投入量の目安は、収納容器２０の容積の２５％程度である。これ以上投入すると、加熱時に被処理物Ｐが混合され難く、均一に加熱されない憂いがある。また、ガス導入管２９から収納容器２０内に各種ガスを供給する場合、該ガスの供給速度にもよるが、ガスの噴出によって被処理物Ｐが吹き飛ばされ、蓋体２２に形成された貫通孔２３を介して、被処理物Ｐが炉芯管１内に排出される憂いもある。
【００３６】
次に、一方のエンドプレート１４を外し、スペーサー２６、収納容器２０、スペーサー２６の順番で炉芯管１内に挿入し、エンドプレート１４を締め付け、安全カバー３８を閉め、セーフティードアスイッチ３９を作動させる。
【００３７】
続いて、図示しない操作盤に、昇温速度、焼成時間、降温速度および炉芯管１（モーター８）の回転速度等を入力し、また、必要に応じて、昇温操作の前に、ガス導入管２９を介して炉芯管１および収納容器２０内に各種ガス（不活性ガス、還元性ガス等）を供給し、内部の空気と置換する。この場合、炉芯管１を回転させると、被処理物Ｐ内の空気との置換も効率よく行われる。
【００３８】
次に、操作盤に入力されたプログラムに基づいて、焼成を開始する。すると、収納容器２０は、ほとんど炉芯管１内を滑ることなく、該炉芯管１の回転に追随し、同方向に回転する。そして、収納容器２０の内面に取付けられている掻き上げ羽根２４によって、被処理物Ｐは撹拌混合され、均一に加熱されながら焼成が進行する。また、各種反応ガスが供給されている場合は、ガス導入管２９の多数の孔３１を介して、上記撹拌混合されて入れ替わっている被処理物Ｐの表面に各種反応ガスが噴出されるので、該被処理物Ｐにまんべんなく混合され、やはり均一に各種反応ガスと反応しながら焼成が進む。
【００３９】
プログラムに基づく焼成工程が終了し、炉芯管１内の温度が安全温度（例えば４０℃）以下に下がると、セーフティードアスイッチ３９が解除される。そこで、安全カバー３８を開け、上記と反対の順番で収納容器２０を炉芯管１内から取り出し、収納容器２０から処理物を取り出す。
【００４０】
以上、本発明に係る回分式加熱炉の実施の形態を説明したが、本発明は、何ら既述の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の技術的思想の範囲内において、種々の変形および変更が可能であることは当然である。
【実施例】
【００４１】
次に、上記した本発明の回分式加熱炉を用いた焼成処理の実施例を、比較例と共に記載する。
【００４２】
−被処理物−
炭酸リチウム[Li2CO3]と、水酸化酸化鉄 [FeOOH]と、酸化マンガン [Mn2O3]を、鉄マンガン酸リチウム[Li(Fe1/2Mn1/2)O2]の配合比となるように各々秤量し、摩砕機（株式会社奈良機械製作所製：メカノマイクロス）を用いて、混合・摩砕処理を行った。
なお、摩砕機による処理条件は、処理時間：９０ｍｉｎ、ベッセル回転速度：２００ｍｉｎ-1、ローター回転速度：１０００ｍｉｎ-1で行った。
【００４３】
−実施例−
上記の方法で調製された被処理物を、図１に示した本発明の回分式加熱炉を用いて焼成処理した。
運転条件は、焼成温度：８００℃、焼成時間：１時間、炉芯管の回転速度：５ｍｉｎ-1、被処理物の仕込量：１０ｍｌ、雰囲気ガス：アルゴン２００ｍｌ／ｍｉｎで行った。
【００４４】
−比較例−
比較例として、横型加熱炉（株式会社アサヒ理化製作所製：ＡＲＦ−５０Ｍ）を用いて、上記実施例と同一の被処理物を、上記実施例と同一の運転条件で焼成処理を行った。
【００４５】
−評  価−
実施例および比較例で得られた焼成物のＸ線回折パターンを、図１０に示す。
同図から、本発明の回分式加熱炉から得られた焼成物は、その全てが立方晶の単相の粒子であることが分かる。これに対し、従来の横型加熱炉から得られた焼成物は、立方晶と六方晶とが混在した粒子であることが分かる。
上記のことから、本発明の回分式加熱炉は、被処理物を均一に、かつ効率よく加熱し得ることが分かった。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る回分式加熱炉の全体を概念的に示した縦断面図である。
【図２】図２は炉芯管の両端部を各々拡大して示した断面図であって、（ａ）は反駆動側、（ｂ）は駆動側を示した図である。
【図３】図３は被処理物の収納容器を示した分解斜視図である。
【図４】図４は図３のＡ−Ａ線に沿う部分の断面図である。
【図５】図５は被処理物の収納容器の他の実施の形態を示した縦断面図である。
【図６】図６は収納容器内にガス導入管を挿入した状態を示した縦断面図である。
【図７】図７はガス導入管にスクレーパを取付けた状態を示した収納容器の横断面図である。
【図８】図８は炉体と炉芯管との間のヒートラビリンスを示した部分的な拡大縦断面図である。
【図９】図９は炉芯管への反射板の取付け構造を示した横断面図である。
【図１０】本発明の装置および比較例の装置で処理して得られた鉄マンガン酸リチウム[Li(Fe1/2Mn1/2)O2]粉体のＸ線回折図である。
【符号の説明】
【００４７】
１      炉心管
２      ヒーター
３      炉体
４      ブラケット
５      ブラケット
６      ローラー
７      ローラー
８      モーター
９      スプロケット
１０    スプロケット
１１    チェーン
１２    回転サポート
１２ａ  切り欠き部
１２ｂ  雌ネジ
１３    回転サポート
１３ａ  切り欠き部
１４ｂ  雌ネジ
１４    エンドプレート
１４ａ  雄ネジ
１５    エンドプレート
１５ａ  雄ネジ
１６    Ｏリング
１７    Ｏリング
１８    溝
１９    ベース
２０    収納容器
２１    円筒状本体
２１ａ  雌ネジ
２２    蓋体
２２ａ  雄ネジ
２３    貫通孔
２４    掻き上げ羽根
２５    切り欠き部
２６    スペーサー
２７    貫通孔
２８    貫通孔
２９    ガス導入管
３０    ロータリージョイント
３１    孔
３２    スクレーパ
３３    ヒートラビリンス
３４    反射板
３５    断熱材
３６    プレート
３７    ボルト
３８    安全カバー
３９    セーフティードアスイッチ
Ｘ      均熱帯
Ｌ      炉芯管の有効長さ
Ｐ      被処理物
【図１】
2006125799.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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