(57)【要約】      （修正有）【課題】フィルム状のワークであっても乾燥工程による曲がりや波打ち等の変形を良好に防止できるハンガー、乾燥装置及びワークの保持方法を提供する。【解決手段】方形薄板状のワークを上方及び左右両側方から挟持して保持するハンガー１４であって、枠型本体１４ａと、ワークの上部を挟持可能に枠型本体１０ａの上部枠１４ｂに固定して設けられた上部固定挟持部と、枠型本体１４ａに設けられ、ワーク１０を左右方向に引っ張った状態に挟持する引っ張り挟持手段を備えることを特徴とする。【選択図】図１
2006342988.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
方形薄板状のワークを上方及び左右両側方から挟持して保持するハンガーであって、
枠型本体と、
ワークの上部を挟持可能に前記枠型本体の上部枠に固定して設けられた上部固定挟持部と、
前記枠型本体に設けられ、ワークを左右方向に引っ張った状態に挟持する引っ張り挟持手段を備えることを特徴とするハンガー。
【請求項２】
前記引っ張り挟持手段は、
ワークの両側部のうちの一方の側部を挟持可能に枠型本体の一方の側部枠に固定して設けられた側部固定挟持部と、  
ワークの両側部のうちの他方の側部を挟持可能に設けられると共に、枠型本体の他方の側部枠に前記左右方向に移動可能に設けられた可動挟持部と、
該可動挟持部を前記側部固定挟持部から遠ざける方向へ付勢する弾性部材とからなることを特徴とする請求項１記載のハンガー。
【請求項３】
請求項１または２記載のハンガーを用い、前記引っ張り挟持手段によってワークを左右方向に引っ張った状態に挟持させた後、前記上部固定挟持部によってワークの上部を挟持させることを特徴とするワークの保持方法。
【請求項４】
請求項１または２記載のハンガーと、
乾燥室と、
前記ハンガーにワークを保持させると共に、ワークを保持したハンガーを前記乾燥室へ送るワークの供給装置を具備することを特徴とする乾燥装置。
【請求項５】
前記ワークの供給装置は、
前記引っ張り挟持手段によってワークを左右方向に引っ張った状態に挟持させた後、前記上部固定挟持部によってワークの上部を挟持させてワークを前記ハンガーに保持させることを特徴とする請求項４記載の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハンガー、乾燥装置及びワークの保持方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄板状のワークである基板を乾燥させる乾燥装置として、例えば特許文献１記載のものがある。
この乾燥装置は、基板１０を１枚ずつ保持したハンガー９０を吊るした状態で、乾燥空気が導入された乾燥室内を移動、通過させることにより基板１０を乾燥させるものである。
図１２は、ハンガー９０の正面図である。ハンガー９０は基板１０の形状に対応した矩形の枠型本体からなり、枠型本体は吊るされた際に水平になる上辺９０ｂと鉛直な左右の２辺９０ｃ、９０ｄを有する。この３辺９０ｂ、９０ｃ、９０ｄの各々には、基板１０を挟んで保持するクリップ１５が２個ずつ固定されている。これにより、ハンガー９０は、基板１０を３方向からクリップ１５によって挟んで、張った状態に保持することができ、薄板状の基板１０が乾燥工程によって波打ったり、曲がったりしてしまうことを防止できる。
【０００３】
【特許文献１】特願２００１−００６８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記構成からなるハンガー９０は、ある程度剛性のある基板１０に対しては有効である。
しかしながら、最近はフィルム状の可撓性に富む、腰のない基板が多くあり、クリップ１５が枠型部材に固定されたハンガー９０では、乾燥工程による基板１０のカール等の変形を良好に防止することはできず、乾燥後の基板１０は寸法精度の悪いものとなってしまうことがあった。
【０００５】
そこで、本発明は上記課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、フィルム状で可撓性に富むワークであっても乾燥工程による曲がりや波打ち等の変形を良好に防止できるハンガー、乾燥装置及びワークの保持方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、本発明は、方形薄板状のワークを上方及び左右両側方から挟持して保持するハンガーであって、枠型本体と、ワークの上部を挟持可能に前記枠型本体の上部枠に固定して設けられた上部固定挟持部と、前記枠型本体に設けられ、ワークを左右方向に引っ張った状態に挟持する引っ張り挟持手段を備えることを特徴とする。これによれば、フィルム状のワークであっても良好に保持できる。
また、前記引っ張り挟持手段は、ワークの両側部のうちの一方の側部を挟持可能に枠型本体の一方の側部枠に固定して設けられた側部固定挟持部と、ワークの両側部のうちの他方の側部を挟持可能に設けられると共に、枠型本体の他方の側部枠に前記左右方向に移動可能に設けられた可動挟持部と、該可動挟持部を前記側部固定挟持部から遠ざける方向へ付勢する弾性部材とからなることを特徴とする。これによれば、簡単な構成により、ワークを左右方向に引っ張った状態に保持できる。
【０００７】
また、本発明のワークの保持方法は、前記ハンガーを用い、前記引っ張り挟持手段によってワークを左右方向に引っ張った状態に挟持させた後、前記上部固定挟持部によってワークの上部を挟持させることを特徴とする。これによれば、ハンガーによってワークを確実かつ良好に左右方向に引っ張った状態に保持できる。
また、本発明の乾燥装置は、前記ハンガーと、乾燥室と、前記ハンガーにワークを保持させると共に、ワークを保持したハンガーを前記乾燥室へ送るワークの供給装置を具備することを特徴とする。これによれば、フィルム状のワークであっても乾燥工程による曲がりや波打ち等の変形を良好に防止できる乾燥装置を提供できる。
また、前記ワークの供給装置は、前記引っ張り挟持手段によってワークを左右方向に引っ張った状態に挟持させた後、前記上部固定挟持部によってワークの上部を挟持させてワークを前記ハンガーに保持させることを特徴とする。これによれば、ハンガーにワークを確実かつ良好に左右方向に引っ張った状態に自動的に保持させることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、フィルム状で可撓性に富むワークであっても良好に保持でき、乾燥工程におけるワークの曲がりや波打ち等の変形を良好に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
まず、本発明による乾燥装置の概略について説明し、次にハンガー等について詳しく説明する。
図４は、本発明の乾燥装置にかかる一実施例を模式的に説明する側面図である。この乾燥装置は、半導体装置用のパッケージに用いられる基板１０の乾燥工程に用いられ、基板（ワーク）１０を１枚ずつ保持したハンガー１４を吊るした状態で、乾燥空気が導入された乾燥室１２内を移動、通過させることにより基板１０を乾燥させるものである。図１においてハンガー１４の移動は、矢印Ｈ、Ｃ、Ｆ、Ｇ、で表され、ハンガー１４は循環して用いられる。これに対して基板１０の移動は、矢印Ａ、Ｃ、Ｄ、Ｅで表される。
【００１０】
まず、基板の供給装置１８では、矢印Ａで示されるように供給用コンベア等で前工程から水平に送られてきた基板１０を１枚ずつハンガー１４に保持させ、基板１０を保持したハンガー１４を順次、乾燥室１２へと送る動作が行われる。ハンガー１４は、方形薄板状の基板１０を３方向（基板１０を保持したハンガー１４が、乾燥室１２内で吊るされた際には上方及び左右両側方となる３方向）から挟持して保持する。
乾燥室１２には、隣接して設けられ、加熱されて乾燥された空気を発生できると共に、その空気を送風する装置（乾燥空気送風装置（図示せず））によって、乾燥空気が導入される。これにより、基板１０を加熱及び／又は乾燥する。乾燥空気送風装置による送風は、乾燥室１２に導入された空気を回収・循環し、一部は給排気されるが、循環送風になっており、エネルギーを節約できる。
【００１１】
また、乾燥室１２内には、基板１０を保持する複数のハンガー１４を吊るした状態で、乾燥室１２内を移動、通過させる送り装置２２が設けられている。
基板の排出装置３０では、送り装置２２によって乾燥室１２内を送られてきたハンガー１４から基板１０を分離する。ハンガー１４から取り外された基板１０は、排出用コンベアによって矢印Ｅ方向へと搬出される。
一方、排出装置３０において基板１０と分離されたハンガー１４は、戻し装置３２によって基板の供給装置１８へと戻され、再び基板１０が取り付けられた後、乾燥室１２内を移動する。
戻し装置３２は、無限軌道であるチェーン３３によって構成され、サーボモータ等によって駆動される。
【００１２】
次に、上記構成からなる乾燥装置に用いられるハンガー１４について詳しく説明する。
図１はハンガー１４の正面図であり、図２は図１のハンガーの右側面図、図３は平面図である。
ハンガー１４は、方形薄板状のワークである基板１０を１枚ずつ保持する。尚、基板１０は、半導体装置用のパッケージを形成すべく、積層されて使用されるものである。
図１に示されるようにハンガー１４は、方形薄板状の基板１０の形状に対応して、方形状の枠型本体１４ａを有する。ここで、ハンガー１４を吊るした際に水平となる枠型本体１４ａの上下の部位をそれぞれ上部枠１４ｂ、下部枠１４ｅ、鉛直となる左右の部位を左側部枠１４ｃ、右側部枠１４ｄとする。
【００１３】
詳細には枠型本体１４ａは、形状的安定性と構造的強度を確保しつつ、軽量化を図るため、棒体が連結されて構成されている。上部枠１４ｂは、第１上辺部９１ａと、第１上辺部９１ａより内側で第１上辺部９１ａに対して間隔をあけて平行に配置される第２上辺部９１ｂの２本の棒体から構成されている。左側部枠１４ｃは、第１左側辺部９２ａと、第１左側辺部９２ａより内側で第１左側辺部９２ａに対して間隔をあけて平行に配置される第２左側辺部９２ｂの２本の棒体から構成されている。右側部枠１４ｄも同様に、第１右側辺部９３ａと、第１右側辺部９３ａの内側で第１右側辺部９３ａに対して間隔をあけて平行に配置される第２右側辺部９３ｂの２本の棒体から構成されている。ちなみに、下部枠１４ｅは、１本の棒体から構成される。
第２左側辺部９２ｂと第２右側辺部９３ｂは各々、第１上辺部９１ａと下部枠１４ｅの間に掛け渡されて配置され、第２上辺部９１ｂはその第２左側辺部９２ｂと第２右側辺部９３ｂの間に掛け渡されて配置されている。
【００１４】
また、枠型本体１４ａには、その上部側の左右からそれぞれ左右方向へ突出する搬送用の耳部１４ｆ、１４ｇが形成されている。具体的には、第１上辺部９１ａの両端が両側部枠１４ｃ、１４ｄから突出して、耳部１４ｆ、１４ｇに形成されている。
さらに、枠型本体１４ａには、その下部側の左右からそれぞれ左右方向へ突出する突出部１４ｈ、１４ｉが形成されている。具体的には、下部枠１４ｅの両端が両側部枠１４ｃ、１４ｄから突出して、突出部１４ｈ、１４ｉが形成されている。
耳部１４ｆ、１４ｇと突出部１４ｈ、１４ｉは、ハンガー１４が搬送される際に運動体（送り用作動部２６、受け止め部３４等）に係合される部分であって、これによってハンガー１４が搬送（移動）されるようになっている。
【００１５】
また、ハンガー１４には、乾燥室１２内に設けられた載置部２４に支持されて隣合うハンガー１４同士に保持された基板１０同士（或いは基板と、その基板を保持していないハンガー）の接触を防止するように、左右に一対の間隔部材１４ｊ、１４ｋを下の隅部に設けている。
基板１０の大きさは、枠型本体１４ａの内周よりも一回り大きく設定されている。従って、基板１０は、その周縁部のみがハンガー１４に当接されて支持される。これにより、基板１０は内部の配線パターン等が損傷することなく、ハンガー１４によって好適に保持される。
【００１６】
また、ハンガー１４は、基板１０の上部を挟持可能に枠型本体１４ａの上部枠１４ｂに固定して設けられた上部固定挟持部と、枠型本体１４ａに設けられ基板１０を左右方向（矢印Ｘ方向）に引っ張った状態に挟持する引っ張り挟持手段を備えている。
引っ張り挟持手段は、基板１０の左側部を挟持可能に左側部枠１４ｃに固定して設けられた側部固定挟持部と、基板１０の右側部を挟持可能に右側部枠１４ｄに設けられると共に、左右方向（矢印Ｘ方向）に移動可能に設けられた可動挟持部と、可動挟持部を前記側部固定挟持部から遠ざける方向へ付勢する弾性部材とからなる。
具体的には、上部固定挟持部は、上部枠１４ｂに固定された２個のクリップ１５からなり、側部固定挟持部は左側部枠１４ｃに固定された２個のクリップ１５からなる。
可動挟持部は、右側部枠１４ｄで左右方向（矢印Ｘ方向：左側部枠１４ｃに対して遠ざかったり近づいたりする方向）に移動可能に設けられた支持部９４と、支持部９４上に固定された２個のクリップ１５からなる。
【００１７】
クリップ１５は、本体片１５ａと、本体片１５ａに回動可能に軸着されたクリップ片１５ｂ、そのクリップ１５ｂを常時閉じる方向へ付勢するスプリング１５ｃとからなる（図２参照）。
クリップ１５は、上部枠１４ｂ、両側部枠１４ｃ、１４ｄで、基板１０を挟持する開閉部が枠型本体１４ａの内側で開閉可能に、内側を向いた状態で各々固定されている。上部枠１４ｂについては、第１上辺部９１ａと第２上辺部９１ｂの間に挟まれて固定された２枚の平板上に各々クリップ１５が固定されている。左側部枠１４ｃについても同様に、第１左側辺部９２ａと第２左側辺部９２ｂの間に挟まれて固定された２枚の平板上に各々クリップ１５が固定されている。
【００１８】
右側部枠１４ｄでは、第１右側辺部９３ａと第２右側辺部９３ｂとの間に、両者の間隔よりも小さい幅の支持部９４が、前記左右方向に移動可能に配置されており、この支持部９４上に２個のクリップ１５が間隔をあけて固定されている。支持部９４には２個の挿入穴が形成されており、この挿入穴内に第１右側辺部９３ａと第２右側辺部９３ｂとの間に固定される２本の支持棒体がそれぞれ挿入されることで、支持部９４は第１、第２右側辺部９３ａ、９３ｂの間で左右方向に移動可能に保持されている。
また、支持部９４と２個のクリップ１５からなる可動挟持部を左側部枠１４ｄから遠ざかる方向（右方向）へ常時付勢する弾性部材が設けられている。例えば、弾性部材は前記支持棒体に保持され、支持部９４と第２右側辺部９３ｂとの間に配設される圧縮コイルバネ９５からなる。
【００１９】
次に、基板の供給装置１８について詳しく説明する。
図６に示されるように基板の供給装置１８は、吊り下げられて鉛直な状態に支持されたハンガー１４に対して基板１０を保持させるように、ハンガー１４を吊り下げた鉛直な状態に支持するハンガーの支持手段７２と、基板１０をその基板の面が鉛直な状態にハンガーへ送るワークの送り手段である基板の送り手段７４と、基板１０が保持されたハンガー１４を乾燥室１２内へ送る機構とを備える。
【００２０】
ハンガーの支持手段７２は、戻し装置３２によって基板の供給装置１８の直下に送られてきたハンガー１４を掬い上げて、ハンガー１４に基板１０を保持させる高さ位置まで持ち上げる持ち上げ手段７６と、その持ち上げ手段７６によって持ち上げられたハンガー１４を、そのハンガー１４の上部で固定状態に保持する上部保持手段７７と、ハンガー１４の下部で保持する下部保持部７８とを備える。
【００２１】
持ち上げ手段７６は、ハンガー１４の両耳部１４ｆ、１４ｇを、下側から掬い取るように引っ掛けて支持し、直線状の上下ガイド７６ａに沿って上下動可能に左右に設けられた一対の上下動支持部７６ｂと、その上下動支持部７６ｂを上下駆動させる駆動機構とを構成要素とする。
前記駆動機構は、上下方向に長尺に配されたチェーン装置である無限軌道７６ｃと、その無限軌道７６ｃを駆動させる駆動手段である駆動モータ７６ｄとから構成され、無限軌道７６ｃに上下動支持部７６ｂが固定され、その上下動支持部７６ｂが上下駆動するようになっている。
また、斜面ガイド７９は、ハンガー１４の下辺が浮き上がらないようにガイドする面である。
【００２２】
上部保持手段７７は、ハンガーの両耳部１４ｆ、１４ｇを上下方向から挟み込んで強力に保持（一時固定）するものとなっている。
また、下部保持手段７８は、送り方向の前方側の規制部７８ａと、後方側の規制部７８ｂとによって、突出部１４ｈ、１４ｉの厚さに相当する間隔が設けられることで構成されている。これにより、ハンガー１４の突出部１４ｈ、１４ｉをハンガーの送り方向に移動しないように規制することができ、ハンガー１４の下部を好適に保持することができる。
【００２３】
また、基板の送り手段７４は、矢印Ａ（図４）に示すように供給用コンベア等で前工程から水平に送られてきた基板１０をハンガー１４へ供給すべく、複数の吸着パッド８０ａを備えて基板１０を吸着保持する吸着手段８０、その吸着手段８０を移動させる移動機構８１、吸着手段８０を水平方向へ往復動させてハンガー１４に接離させる接離動手段８２、クリップ１５を開くようにクリップ１５の外側（後端）を押圧する押圧装置８３、及び弾性部材の付勢力に抗して支持部９４（右側部枠１４ｄのクリップ）を左側部枠１４ｃに近づける方向（左方向）に移動させる移動装置９６（図７）を備える。
【００２４】
基板の送り手段７４の移動機構８１は、直線状の上下ガイド８１ａに沿って上下動可能に設けられた上下動体８１ｂと、その上下動体８１ｂを上下駆動させる駆動機構と、水平部、曲部、鉛直部が連続的に設けられた鉤状のガイド８１ｃとを構成要素とする。前記移動機構８１は、上下方向に長尺に配されたチェーン装置である無限軌道８１ｄと、その無限軌道８１ｄを駆動させる駆動手段である駆動モータ８１ｅとから構成され、無限軌道８１ｄに上下動体８１ｂが固定され、その上下動体８１ｂが上下駆動するようになっている。
また、鉤状のガイド８１ｃには、吸着手段８０の基部８０ｂに固定されたローラ８０ｃが嵌っている。これにより、吸着手段８０が、その吸着面が水平の状態から上昇して鉛直の状態になるように、案内される。
【００２５】
基板の送り手段７４をハンガー１４に対して接離動させる接離動手段８２は、基板８０ｂに対して吸着手段８０を接離動させるシリンダ装置８２ａと、その接離動を案内する直線動ガイド８２ｂとを構成要素とする。これにより、吸着手段８０で鉛直な状態に吸着・保持した基板１０を、ハンガー１４に接触するまで水平方向へ移動させることができる。
【００２６】
押圧装置８３は、基部８０ｂに固定され、複数のクリップ１５の数に対応して設けられた複数のシリンダ装置によって構成されている。シリンダ装置のロッドの伸長によりクリップ１５の後端を押圧してクリップ１５を開かせることができる。すなわち、クリップ１５のスプリング１５ｃの付勢力に抗して、先端が開くようにクリップ１５を回動させる。この状態からロッドを収縮させることによりクリップ１５を閉じることができる。説明上、ハンガー１４の上部枠１４ｂの２個のクリップ１５を押圧するシリンダ装置を第１、第２シリンダ装置、左側部枠１４ｃの２個のクリップ用のシリンダ装置を第３、第４シリンダ装置、右側部枠１４ｄの２個のクリップ用シリンダ装置を第５、第６シリンダ装置８３ａ、８３ｂ（図９）とする。
【００２７】
移動装置９６はシリンダ装置９７を有し、シリンダ装置９７のロッド９７ａの伸長により、支持部９４を押圧して圧縮コイルバネ９５の付勢力に抗して支持部９４を左側部枠１４ｃへ近づける方向（左方向）に移動させる。
図８は、移動装置９６の正面図であり、図９は側面図、図１０は移動装置９６の動作を説明する平面図である。移動装置９６のシリンダ装置９７は基部８０ｂに固定されており、ロッド９７ａに連結されたクランク機構９８を介して支持部９４を押圧する。クランク機構９８について説明する。上下方向に伸びる回転部材９９は、基部８０ｂの２箇所から水平方向に延設された突設部１００、１００の間で回転可能に軸支されている。回転部材９９は、その長手方向の中央部でシリンダ装置９７のロッド９７ａの先端と、ロッド９７ａに対して回転可能に連結されている。また、２個のＬ字型部材１０１がそれぞれ、突設部１００に回転可能に軸支されている。Ｌ字型部材１０１は、一端部側で突設部１００に軸支され、他端部側で引っ張りバネ１０２を介して回転部材９９の端部側と連結されている。このクランク機構９８によれば、図１０の矢印に示されるようにシリンダ装置９７のロッド９７ａが伸長すると回転部材９９が回動し、これに伴って２個のＬ字型部材１０１が支持部９４側へ近づく方へ回動する。そして、Ｌ字型部材１０１が回動することによって、Ｌ字型部材１０１の背面が、枠型本体１４ａの正面側で突出する支持部９４の突出部分９４ａに当接し、さらにこれを押圧して圧縮コイルバネ９５の付勢力に抗して支持部９４が左側部枠１４ｃに近づく方向へ移動する。こうして、支持部９４は、２個のＬ字型部材１０１によって２箇所で押圧されて移動することになる。
【００２８】
前記押圧装置８３と移動装置９６の動作は次の通りである。
押圧装置８３の６個のシリンダ装置は、前記接離動手段８２が作動する前に伸長させ、全てのクリップ１５を開かせる。このとき、移動装置９６のロッド９７ａは収縮した状態で待機している。そして、接離動手段８２が作動して基板１０をハンガー１４に接触させた後に、まず第３、第４シリンダ装置のロッドを収縮させて基板１０の左側部をクリップ１５によって挟持させる。その後、移動装置９６のロッド９７ａを伸長させ、支持部９４（すなわち右側部枠１４ｄのクリップ１５）を圧縮コイルバネ９５の付勢力に抗して左側部枠１４ｃに近づく方向へ移動させる。支持部９４を移動させた状態で第５、第６シリンダ装置８３ａ、８３ｂのロッドを収縮させて基板１０の右側部をクリップ１５によって挟持させる。それから、移動装置９６のロッド９７ａを収縮させて支持部９４への押圧を解除し、支持部９４を左右方向に移動自在の状態とする。すると、圧縮コイルバネ９５が支持部９４を左側部枠１４ｃから遠ざかる方向へと付勢し、移動させる。これにより、基板１０は、左右方向に引っ張られた状態となる。この状態で、第１、第２シリンダ装置のロッドを収縮させて基板１０の上部をクリップ１５によって挟持させる。こうして、基板１０は一定のテンションを加えられて、引っ張られた状態でハンガー１４に保持されることとなる。
このように、押圧装置８３と移動装置９６は、基板１０をハンガー１４によって左右方向に引っ張った状態に挟持させた後、上部固定挟持部によって基板１０の上部を挟持させる。
【００２９】
以上の構成によって、保持面が鉛直な状態に保持されたハンガー１４に、基板１０を保持させることができる。つまり、ハンガー１４の鉛直な保持面に基板面が平行な状態、すなわち鉛直な状態で、基板１０をハンガー１４に保持させることができる。
【００３０】
基板１０を保持したハンガー１４を乾燥室１２内へ送る機構は、ハンガー１４を載置部２４の高さに上部保持手段７７を介して上昇させる上昇装置８４と、ハンガー１４を載置部２４の上へスライドさせて移動させるように押圧するシリンダ装置８６とから構成されている。これによれば、ハンガー１４で基板面が鉛直になるように保持された基板１０を、乾燥室１２の入口へ搬入することができる。すなわち、基板１０にかかる加工工程を、前工程から乾燥工程へ好適に移行できる。
【００３１】
次に、図４、図７を用いて送り装置２２について詳しく説明する。
送り装置２２は、載置部２４と送り用作動部２６とを備える。
載置部２４には、複数のハンガー１４が基板１０を保持した状態で所定の間隔をおいて一列に載置される。
送り用作動部２６は、複数のハンガー１４を送り方向へ１ピッチ分ずつ間欠的に送る作用をする。送り用作動部２６は、ハンガー１４を載せるための上昇移動、ハンガー１４を載せて送り方向への１ピッチ分の水平移動、ハンガー１４を降ろすための下降移動、送り方向とは反対方向への１ピッチ分の水平移動の順に作動する。
【００３２】
詳しくは、載置部２４が乾燥装置の基体１１に固定されており、送り用作動部２６が、吊下部材２６ａを介して上方から保持されると共に、上下動手段２７によって上下方向に往復動Ｃ１され、水平動手段２８によって水平方向に往復動Ｃ２される。その上下方向の往復動Ｃ１、及び水平方向の往復動Ｃ２の合成によって、前記のような送り用作動部２６の送り動作（いわゆるボックス送り）がなされ、複数のハンガー１４を同時に送り方向（矢印Ｃ）へ、１ピッチ分ずつ送ることができる。尚、送り用作動部２６を上下方向、水平方向へ駆動する駆動装置としては、カム機構、直動ガイド機構、螺子式の駆動機構、ラック・ピニオン、チェーン或いはタイミングベルト等を用いた同期機構、動力としての電動モータ或いはシリンダ装置等、既知の運動機構を選択的に用いて構成すればよい。
図７に示すように、ハンガー１４は、一対の耳部１４ｆ、１４ｇで載置部２４に載り、送り用作動部２６に支持されて送られる。また、載置部２４及び送り用作動部２６のハンガー１４が載せられる上面には、耳部１４ｆ、１４ｇが好適に位置して横滑りしないように、Ｖ字状の凹部が、一定間隔に載置されるハンガー１４の数に対応して形成されている。
【００３３】
次に、図１１に基づいて基板の排出装置３０について説明する。
基板の排出装置３０は、載置部２４上で間欠的に搬送されてきた基板１０を保持したハンガー１４を受け取って、基板１０とハンガー１４を分離させると共に、基板１０を水平方向へ排出する。
チャック移送装置４０は、ハンガー１４をチャックし、そのハンガー１４と基板１０とを保持した状態で、下降しながら９０度回動して、基板１０を水平状態に位置させる。
かき寄せ装置３８は、その爪部３８ａがシリンダ装置３９によって往復動可能に設けられており、載置部２４上を搬送されて前記乾燥室１２の出口まで送られてきたハンガー１４を、チャック移送装置４０のチャック４２まで、かき寄せて位置させる。爪部３８ａの先端は、ラチェット機構になっており、ハンガー１４をかき寄せる際にロックされ、かき寄せ方向と反対方向へ移動する際には回動できるように構成されている。
前記チャック移送装置４０は、上下方向に延びるガイドポール４４と、中途部に斜面４６ａを有するガイド溝４６と、ガイドポール４４に嵌められて上下動する移動本体部４５と、ハンガー１４を把持するチャック４２と、基板１０を、保持爪４８ａ等を介して保持するために基板１０に対応して設けられた保持板４８と、その保持板４８に取り付けられてガイド溝４６に沿って移動可能な移動ローラ４９等の構成を備える。
【００３４】
チャック４２と保持板４８は、一体的に設けられると共に移動本体部４５に回動可能に装着されている。これにより、移動本体部４５が下降するときに移動ローラ４９がガイド溝４６に案内されて好適に移動でき、チャック４２及び保持板４８が９０度回動して、保持板４８が水平に保持される。このように保持板４８を水平にすると共に、その保持板４８に装着された保持爪４８ａによって支持することで、２点鎖線で示したように、基板１０を水平に保持できる。
移動本体部４５を上下動させる駆動手段としては、チェーン機構を用いている。５０はチェーンであり、移動本体部４５に連結されている。５１はスプロケットであり、チェーン５０が掛け回されるよう、上下に一対が配設されている。５２は電動モータであり、チェーンによって上側のスプロケット５１を回転駆動するように連繋されている。
チャック４２及び保持爪４８ａを開閉する駆動手段は、シリンダ装置、ソレノイド装置等の既知の駆動装置を選択的に用いればよい。
また、保持手段としては、本実施例のようなチャック４２及び保持爪に限らず、真空（減圧）による吸着手段を利用してもよいのは勿論である。
【００３５】
次に、ハンガー１４と基板１０とを分離して、それぞれを移送する機構について説明する。
チャック移送装置４０によって、下降すると共に９０度旋回された基板１０は、昇降装置であるシリンダ装置５３によって上昇されたコンベア５４の上面によって受けられる。
この状態でハンガー１４の下方に位置する解除用押圧装置（図示せず）と解除用移動装置（図示せず）が作動する。これにより、クリップ１５による基板１０の挟持が解除されてハンガー１４から基板１０が取り外され、基板１０はコンベア５４のみに支持された状態になる。解除用押圧装置は、ハンガー１４の複数のクリップ１５の数に対応して設けられた複数のシリンダ装置によって構成されている。シリンダ装置のロッドの伸長によりクリップ１５の後端を押圧してクリップ１５を開かせることができる。説明上、ハンガー１４の上部枠１４ｂの２個のクリップ１５を押圧するシリンダ装置を第７、第８シリンダ装置、左側部枠１４ｃの２個のクリップ用のシリンダ装置を第９、第１０シリンダ装置、右側部枠１４ｄの２個のクリップ用シリンダ装置を第１１、第１２シリンダ装置とする。
また、解除用移動装置は、シリンダ装置を有し、シリンダ装置のロッドの伸長により、ハンガー１４の支持部９４を押圧して圧縮コイルバネ９５の付勢力に抗して支持部９４を左側部枠１４ｃへ近づける方向に移動させる。
【００３６】
解除用押圧装置と解除用移動装置の動作は次の通りである。
解除用押圧装置と解除用移動装置のシリンダ装置は、待機状態でロッドが収縮している。
チャック移送装置４０によって水平な姿勢となっている基板１０とハンガー１４に対し、まず第７、第８シリンダ装置の各ロッドが伸長し、上部枠１４ｂの２個のクリップ１５が開く。これによりクリップ１５による基板１０の上部の挟持が解除される。次に解除用移動装置のシリンダ装置のロッドが伸長して、支持部９４が押圧され、左側部枠１４ｃに近づく方向へ移動する。この状態で、第９、第１０、第１１及び第１２シリンダ装置の各ロッドが伸長して基板１０の左右両側の４個のクリップ１５が開き、基板１０の両側部の挟持が解除される。これにより、基板１０がハンガー１４から取り外され、基板１０はコンベア５４のみに支持された状態となる。
すると、コンベア５４のローラ５４ａが回転して、基板１０が排出される。その後、解除用押圧装置と解除用移動装置の各シリンダ装置は、待機状態に戻る。
このように、左右方向に引っ張られた状態でハンガー１４に保持されていた基板１０を、左右のテンションを弛めてから左右のクリップ１５による挟持を解除する方法を採用している。
【００３７】
一方、チャック移送装置４０によって、下降すると共に９０度旋回されたハンガー１４は、上下動できる上下移動体５６によって、受けられると共に把持される。この状態で、ハンガー１４から基板１０が取り外された後、ハンガー１４は、伏せた姿勢でシリンダ装置５７の駆動による上下移動体５６の下降動に伴って下降する。
これにより、ハンガー１４は、戻し装置３２のチェーン３３に固定されたハンガー１４用の受け止め部３４へ受け渡されることになる。受け止め部３４へ受け渡されたハンガー１４は、戻し装置３２が駆動することで、前記基板の供給装置１８側へ搬送される。
【００３８】
図５は、以上に説明した実施例にかかるハンガー１４の移動工程を示している。
先ず、基板の供給装置１８では、矢印Ａ方向に供給された基板１０は矢印Ｂ方向に移動されて立てられ、ハンガー１４は矢印Ｈ方向に持ち上げられて立てられた状態に保持される。そして、基板１０がＢ１方向に移動され、ハンガー１４に押し当てられる。
次に、基板１０を保持したハンガー１４は、吊り下げられた方向（以下、「吊り下げ向き」という）を向いて、矢印Ｃ方向に載置部２４上を移動する。
【００３９】
そして、矢印Ｄ方向へ、基板１０を保持したハンガー１４を移動させ、ハンガー１４が９０度回動されることで、ハンガー１４及び基板１０が水平にされる。そこで、ハンガー１４から基板１０が離れ（矢印Ｄ１）、基板１０は矢印Ｅ方向へ排出される。このとき、基板１０は、基板の供給装置１８に供給された状態から反転された状態になって排出される。
次に、ハンガー１４は、矢印Ｆに示すように下降されて、戻し装置３２へ受け渡される。戻し装置３２では、ハンガー１４を、矢印Ｇ方向へ移動させて基板の供給装置１８側へ搬送する。そして、ハンガー１４は前述したようにさらに矢印Ｈに示すように上昇されて、基板１０を保持する高さ位置に保持される。これにより、一つのハンガー１４の搬送にかかる工程の１サイクルが完了する。このサイクルを順次繰り返すことで多数の基板１０を効率良く搬送して乾燥することができる。
【００４０】
この実施形態では次のような効果を得ることができる。
基板１０は、ハンガー１４によって引っ張られた状態で保持されるので、柔軟性のあるフィルム状のものであっても良好に保持できる。これにより、乾燥工程による基板の変形を防止することができ、寸法精度の良い基板を提供できる。
また、ハンガー１４は、基板１０を上、左右方向の３方向から挟んで保持する構成なので、重力に逆らうことなく重力を有効に使って、左右を引っ張ることができ、効率良く撓みを防止して基板を良好に保持できる。
また、ハンガー１４によって基板１０を左右方向に引っ張った状態に挟持させた後、基板の上部を挟持させる方法なので、上部の挟持によって妨げられることなく基板を確実かつ良好に引っ張った状態に保持できる。
また、ハンガー１４から基板１０を取り外す際に、一旦支持部９４を移動させて基板１０のテンションを弛めることで、基板１０に無理な引っ張り力を掛けることなく円滑に基板１０を取り外すことができる。
【００４１】
以上、本発明につき好適な実施形態を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのは勿論である。例えば、次のように変更してもよい。
ハンガーの弾性部材は、圧縮コイルバネに限らず、引っ張りバネ等であってもよい。
また、コンベア５４に代えて、基板１０を上下動して受け、送り方向に直線往復動して基板１０を排出する排出用往復動装置を設けてもよい。
また、基板の送り手段７４としては、複数の吸着パッド８０ａを備える吸着手段８０と、基板１０が波打ったり曲がることを防止すべく基板１０を張った状態でハンガー１４へ保持させるように、複数の吸着パッド８０ａを、基板１０を吸着した状態で外方へ変位させるように付勢する変位付勢手段とを備えても良い。この変位付勢手段によれば、基板１０が好適に平坦に張られた状態で、その基板１０をハンガー１４で好適に保持でき、基板１０の精度をより高めることができる。
また、乾燥装置の基板（ワーク）搬送方向上流側若しくは下流側にＵＶ乾燥装置が一体に組み付けられていてもよい。  
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】ハンガーの正面図である。
【図２】ハンガーの右側面図である。
【図３】ハンガーの平面図である。
【図４】乾燥装置を模式的に示す側面図である。
【図５】ハンガーと基板の移動を説明する側面図である。
【図６】基板の供給装置の側面図である。
【図７】乾燥装置の部分正面図である。
【図８】移動装置の正面図である。
【図９】移動装置の側面図である。
【図１０】移動装置の動作を説明する平面図である。
【図１１】基板の排出装置の側面図である。
【図１２】従来のハンガーの正面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  基板
１２  乾燥室
１４  ハンガー
１４ａ  枠型本体
１４ｂ  上部枠
１４ｃ  左側部枠
１４ｄ  右側部枠
１４ｅ  下部枠
１５  クリップ
１８  基板の供給装置
９４  支持部
９５  圧縮コイルバネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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