(57)【要約】【課題】  検出用液体の温度等により圧力伝達係数が変化して発生する温度ドリフトの影響を回避できる、耐腐食性に優れたダイヤフラム圧力センサおよびその製造方法を提供する。【解決手段】  フッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサは、サファイヤまたはアルミナセラミックのダイアフラムを対向配置させ、ダイアフラムのそれぞれ対向側に蒸着電極を形成した受圧部とダイアフラムの表面の一部に溶着部（１０Ａ、２０Ａ）とを備えた圧力検出部材（１０、２０）と、圧力検出部材の溶着部において圧力検出部材を固定するためのフッ素樹脂架台（４１、６１）と、を備える。圧力検出部材は、架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜によって皮膜され、圧力検出部材とフッ素樹脂架台とが、架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜を介して溶着される。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サファイヤまたはアルミナセラミックのダイアフラムを対向配置させ、該ダイアフラムのそれぞれ対向側に蒸着電極を形成した受圧部と、前記ダイアフラムの表面の一部に溶着部とを備えた圧力検出部材と、
前記圧力検出部材の溶着部において前記圧力検出部材を固定するためのフッ素樹脂架台と、
を備え、
前記圧力検出部材が、架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜によって皮膜され、前記圧力検出部材と前記フッ素樹脂架台とが、前記架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜を介して溶着されること、
検出されるべき媒体の圧力が、前記受圧部に伝達され、対向配置された前記ダイアフラムのそれぞれ対向側に形成された蒸着電極の間隙距離の変化による静電容量変化を生じさせるように構成されること、
を特徴とするフッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサ。
【請求項２】
前記架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜によって皮膜された圧力検出部材と前記フッ素樹脂架台とが、フッ素樹脂溶着剤を使用して高温溶着によって固定されることを特徴とする請求項１に記載のフッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサ。
【請求項３】
前記圧力検出部材が、短冊状の部材として形成されることを特徴とする請求項１に記載のフッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサ。
【請求項４】
前記圧力検出部材が、平板状の部材（２０）として形成されることを特徴とする請求項１に記載のフッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサ。
【請求項５】
前記圧力検出部材の受圧部に対して、圧力を検出すべき流体を導くためのフッ素樹脂外筒（５０、７０）を備えたことを特徴とする請求項１に記載のフッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサ。
【請求項６】
流体の圧力を検出するフッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサの製造方法において、
サファイヤまたはアルミナセラミックのダイアフラムを対向配置させ、該ダイアフラムのそれぞれ対向側に蒸着電極を有する受圧部と、前記ダイアフラムの表面の一部を構成する溶着部とを備えた圧力検出部材を形成する工程と、
前記圧力検出部材にフッ素樹脂薄膜を形成する工程と、
前記圧力検出部材に形成されたフッ素樹脂薄膜を高温下に維持して電子線を照射することによって、前記フッ素樹脂薄膜のフッ素樹脂の分子構造を架橋構造に変化させる工程と、
前記圧力検出部材を固定するためのフッ素樹脂架台を準備する工程と、
前記圧力検出部材の溶着部において、前記圧力検出部材と前記フッ素樹脂架台とを、前記圧力検出部材に形成された前記架橋構造を有する前記フッ素樹脂薄膜を介して固定する工程と、
を含むことを特徴とするフッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサの製造方法。
【請求項７】
前記フッ素樹脂薄膜のフッ素樹脂の分子構造を架橋構造に変化させる工程が、密封容器内にアルゴンガスまたは窒素ガスのような不活性ガスを充填して、前記フッ素樹脂薄膜を３３０°Ｃ〜３９０°Ｃの温度に維持し、全体が均等な温度分布に達するまで加熱する工程を含むことを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項８】
前記圧力検出部材にフッ素樹脂薄膜を形成する工程が、
前記圧力検出部材をフッ素樹脂溶液中に浸漬して、前記圧力検出部材にフッ素樹脂薄膜を塗布する工程と、
前記圧力検出部材に形成されたフッ素樹脂薄膜を均一化する工程と、
前記フッ素樹脂薄膜の所望の膜厚を得るために、前記塗布する工程と前記均一化する工程とを繰り返す工程と、
をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項９】
前記圧力検出部材と前記フッ素樹脂架台とを固定する工程が、フッ素樹脂溶着剤を使用して高温溶着によって前記圧力検出部材と前記フッ素樹脂架台とを固定する工程を含むことを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項１０】
前記圧力検出部材が、短冊状の部材として形成されることを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項１１】
前記圧力検出部材が、平板状の部材として形成されることを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項１２】
前記圧力検出部材の受圧部に対して、圧力を検出すべき流体を導くためのフッ素樹脂外筒を形成する工程を更に含むことを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラム圧力センサおよびその製造方法に関し、特に、例えば薬液容器、薬液用配管における液圧を検出するダイヤフラム圧力センサおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、薬液容器、薬液用配管における液圧を検出する圧力センサは、圧力感知部としてダイヤフラムを備え、加えられた圧力によるダイヤフラムの歪みを電気信号に変換して圧力を検出するように構成されている。
【０００３】
このようなダイヤフラム圧力センサの一例は、特願２００２−１３０４４２号に、発明の名称「静電容量型のダイヤフラム圧力センサ」として開示されている。
かかるダイヤフラム圧力センサは、例えば、対向配置された短冊状または矩形平板状に形成されたダイアフラムと、これらダイアフラムのそれぞれ対向側に形成された蒸着電極とを含む受圧部を備えた圧力検出部材と、検出用液体に対して耐腐食性の材料で製造された、圧力検出部材の受圧部を収納する収納部材と、ダイアフラム歪み検出用電子回路と、を備えている。
【０００４】
このようなダイヤフラム圧力センサは、収納部材を検出用液体に浸漬することによって、検出されるべき液圧が受圧部に伝達され、対向配置されたダイアフラムの間隙距離の変化による静電容量変化を生じさせるように構成されている。
【０００５】
前述のような従来のダイヤフラム圧力センサにおいて、測定精度を低下させる一つの大きな原因は、検出用液体の温度等により圧力伝達係数が変化して発生する温度ドリフト等の不安定要素である。ダイヤフラム圧力センサにおいて、温度ドリフトを発生させる最も大きな要因は、ダイヤフラム材質の熱膨張収縮率であることが知られている。
【０００６】
このような温度ドリフトの影響を回避するために、従来のダイヤフラム、特に金属ダイヤフラム圧力センサにおいては、ダイヤフラムの圧力歪みを検出する圧力検出回路に温度補償回路を設けたり、或いはダイヤフラム内に温度センサを設けてダイヤフラムの温度を測定し、その測定温度に対応した補償電気信号を圧力検出回路に与えることによって、温度ドリフト、即ちダイヤフラム材質の温度による膨張収縮率を補正している。
【０００７】
一方、圧力検出素子としてダイヤフラムをサファイヤ板で形成するサファイヤダイヤフラム圧力センサ、アルミナセラミック板で形成するセラミックダイヤフラム圧力センサが知られている。このようなサファイヤ、アルミナセラミックは金属材料に比べて熱膨張率が非常に小さいために、温度ドリフトを補償するのに有効であることが分かっている。しかしながら、サファイヤはアルミナの結晶体であり、アルミナセラミックもアルミナの焼結体で作られているために、強酸性の流体、例えばフッ酸や硝酸の高濃度溶液には徐々に浸食され、耐腐食性については問題がある。
【０００８】
このため、サファイヤダイヤフラム、セラミックダイヤフラムに耐腐食性を与えるために、従来以下のような方法が採用されている。
（１）ダイヤフラムの表面にフッ素樹脂を塗布してフッ素樹脂皮膜を形成して耐腐食性を向上させる。
（２）フッ素樹脂で比較的厚みのあるダイヤフラムを作り、さらにこのダイヤフラムにサファイヤ板やセラミック板のダイヤフラムを重ねて二重ダイヤフラムを形成して耐腐食性を向上させる。
【０００９】
しかしながら、このような方法によっても、以下のような問題が存在する。
（１）フッ素樹脂自体が、温度による膨張収縮が大きく、その作用によりダイヤフラムへの応力歪みが発生して、温度ドリフトの原因になる。
（２）フッ素樹脂をダイヤフラムの表面に単に塗布した場合、フッ素樹脂皮膜のダイヤフラムへの密着力が弱く、容易に剥離してしまう。
（３）二重ダイヤフラムの場合、フッ素樹脂自体が非接着性のためにアミン等を混入した接着剤を使用して、フッ素樹脂ダイヤフラムをサファイヤ板やセラミック板のダイヤフラムに接着しているが、フッ素樹脂ダイヤフラムが比較的厚くまた接着剤の使用にむらが発生しやすいために、フッ素樹脂ダイヤフラムとサファイヤ板やセラミック板のダイヤフラムとの間の圧力伝達が十分でない場合がある。
（４）二重ダイヤフラムの場合、フッ素樹脂ダイヤフラムが比較的厚いために、フッ素樹脂ダイヤフラム自体の熱膨張収縮により温度ドリフトが大きく、圧力センサの使用が一定の温度条件に限定される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、フッ素樹脂の使用により、強酸性、強アルカリ性の液体に対して優れた耐腐食性を有すると共に、機械的強度に優れたダイヤフラム圧力センサおよびその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のフッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサは、
サファイヤまたはアルミナセラミックのダイアフラムを対向配置させ、このダイアフラムのそれぞれ対向側に蒸着電極を形成した受圧部と、ダイアフラムの表面の一部に溶着部とを備えた圧力検出部材と、
圧力検出部材の溶着部において、圧力検出部材を固定するためのフッ素樹脂架台と、
を備えている。
【００１２】
圧力検出部材は、架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜によって皮膜され、圧力検出部材とフッ素樹脂架台とが、架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜を介して溶着される。
検出されるべき媒体の圧力は、受圧部に伝達され、対向配置されたダイアフラムのそれぞれ対向側に形成された蒸着電極の間隙距離の変化による静電容量変化を生じさせるように構成される。
【００１３】
また、本発明による、流体の圧力を検出するフッ素樹脂薄膜ダイヤフラム圧力センサの製造方法は、
サファイヤまたはアルミナセラミックのダイアフラムを対向配置させ、該ダイアフラムのそれぞれ対向側に蒸着電極を有する受圧部と、ダイアフラムの表面の一部を構成する溶着部とを備えた圧力検出部材を形成する工程と、
圧力検出部材にフッ素樹脂薄膜を形成する工程と、
圧力検出部材に形成されたフッ素樹脂薄膜を高温下に維持して電子線を照射することによって、フッ素樹脂薄膜のフッ素樹脂の分子構造を架橋構造に変化させる工程と、
圧力検出部材を固定するためのフッ素樹脂架台を準備する工程と、
圧力検出部材の溶着部において、圧力検出部材とフッ素樹脂架台とを、圧力検出部材に形成された架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜を介して固定する工程と、
を含む。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ダイヤフラム圧力センサの圧力検出部材が、分子が架橋的に連鎖して三次元構造になる架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜によって形成されている。このため、滑性、耐熱性、耐薬品性等のフッ素樹脂自体の特性を損なうことなく、強靱性、耐クリープ性等の機械的特性の向上したダイヤフラム圧力センサを提供することができる。
【００１５】
また、本発明によれば、ダイヤフラム圧力センサの圧力検出部材を形成する、架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜は、ダイヤフラムを構成するサファイアやセラミックの表面、或いは金属表面と、極めて強固な密着性が得られる。従って、サファイアやセラミックの表面に形成されるフッ素樹脂薄膜が薄い、例えば数十ミクロンという厚さであっても、十分な機械的強度が得られ、サファイアやセラミックの本来のダイヤフラム自体の歪み特性を損なうことなく、測定精度の優れたダイヤフラム圧力センサを提供することができる。
【００１６】
また、本発明によれば、前述のように、架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜は、ダイヤフラムを構成するサファイアやセラミックの表面と極めて強固な密着性が得られる。従って、従来のように、耐腐食性を向上させるためにサファイアやセラミックの表面と単なるフッ素樹脂とをフッ素樹脂用接着剤等によって接着する場合に比べて、本発明は、受圧伝達物質としてフッ素樹脂用接着剤等の介在物が存在しないので、温度変化による接着剤の性質変化に起因する温度ドリフトによる測定精度の低下がなく、測定精度の優れたダイヤフラム圧力センサを提供することができる。
【００１７】
また、本発明によれば、ダイヤフラム圧力センサの圧力検出部材が、架橋構造を有するフッ素樹脂薄膜によって形成されるだけでなく、圧力検出部材を固定するための架台をフッ素樹脂架台とし、さらに圧力を検出すべき流体を導くための外筒もフッ素樹脂として形成することができ、従って、ダイヤフラム圧力センサ全体をフッ素樹脂で製造することができる。このため、耐腐食性、機械的強度に優れたダイヤフラム圧力センサを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１および図２は、ダイヤフラム圧力センサの主要部を構成する圧力検出部材を示しており、特に図１は、ダイヤフラムにサファイヤ板やセラミック板を使用した短冊状の圧力検出部材１０を示し、圧力検出部材１０には、後述のように、溶着部１０Ａとフッ素樹脂薄膜部１０Ｂとが形成される。同様に、図２は、ダイヤフラムにサファイヤ板やセラミック板を使用した平板状の圧力検出部材２０を示し、圧力検出部材２０にも、溶着部２０Ａとフッ素樹脂薄膜部２０Ｂとが形成される。
【００１９】
図１において、圧力検出部材１０は、説明を簡単にするために、短冊状の部材として図示され詳細は示されていないが、実際には、サファイヤまたはアルミナセラミックで短冊状に形成された二枚のダイアフラムを、スペーサを介して対向配置させ、二枚のダイアフラムのそれぞれ対向側に蒸着電極を形成して、一体的に構成されている。対向する蒸着電極はそれぞれ、検出信号を出力するために、リード線を介して、圧力検出部材１０の端部に形成される電極出力端子に接続される。
【００２０】
また、図２において、圧力検出部材２０も同様に、説明を簡単にするために、円形の平板状の部材として図示され詳細は示されていないが、実際には、サファイヤまたはアルミナセラミックで平板状に形成された二枚のダイアフラムを、スペーサを介して対向配置させ、二枚のダイアフラムのそれぞれ対向側に蒸着電極を形成して、一体的に構成されている。対向する蒸着電極はそれぞれ、検出信号を出力するために、リード線を介して、圧力検出部材２０の一部に形成される電極出力端子に接続される。
【００２１】
図３は、短冊状の圧力検出部材１０および平板状の圧力検出部材２０に、それぞれフッ素樹脂薄膜部１０Ｂおよび２０Ｂを形成するための簡略な工程を示している。
図３Ａおよび図３Ｂに示されたように、容器３０内に２種類のフッ素樹脂ＰＴＦＥ（Polytetrafluoroethylene）とＰＦＡ(登録商標：Tetrafluoroehylene Perflouroalkoxy vinyl ether copolymer)の溶液を１：１の割合で混入して乳化させる。この割合を適用することによって、フッ素樹脂ＰＴＦＥの剛性と、ＰＦＡの熱溶解性とが接着に有効に作用することが経験的に判明している。次いで、短冊状の圧力検出部材１０にフッ素樹脂薄膜部１０Ｂを、また平板状の圧力検出部材２０にフッ素樹脂薄膜部２０Ｂを形成するために、圧力検出部材１０、２０をそれぞれフッ素樹脂溶液中に浸漬してフッ素樹脂を塗布する。さらに、フッ素樹脂が塗布された圧力検出部材１０、２０を、薄膜形成機器により、例えば高速回転するスピンコーター３１上で回転させることによって、ダイアフラム表面のフッ素樹脂の薄膜を形成し且つ均一化させる。ダイアフラム表面上に所望のフッ素樹脂薄膜の膜厚を得るには、上述の工程を必要に応じて繰り返せばよい。
【００２２】
次に、図３Ｅに示されたように、均一で且つ所望の膜厚が形成された圧力検出部材１０、２０は電子線照射システム３２によって処理される。電子線照射システム３２は、当該技術分野において既知であるように、直流高圧電源３３、および、密閉容器３４に収納された、電子線発射カソード３５、電子線加速度３６、走査偏向コイル３７、照射台３８から構成されている。
【００２３】
電子線照射システム３２による、具体的なフッ素樹脂薄膜の処理工程は以下のように説明される。
先ず、照射台３８上にフッ素樹脂薄膜が形成された圧力検出部材１０、２０を載置してから、吸入弁３９Ａを介して、密封容器３４内にアルゴンガスまたは窒素ガスのような不活性ガスを充填し、さらに密封容器３４内を、フッ素樹脂の融点３３０°Ｃ〜３９０°Ｃの高温で、圧力検出部材１０、２０全体が均等な温度分布に達するまで加熱する。
【００２４】
次いで、圧力検出部材１０、２０のフッ素樹脂薄膜に対して電子線の照射が行われる。
即ち、直流高圧電源３３によって励起された電子線は、電子線発射カソード３５から発射され、電子線加速度３６によって加速された後、走査偏向コイル３７の方向制御を受けて、圧力検出部材１０、２０のフッ素樹脂薄膜の全体にわたって照射される。圧力検出部材１０、２０は、密封容器３４内に設けられた回転機構を備えた適当な機器（図示せず）により移動させて、その表裏に電子線を照射することができる。
【００２５】
圧力検出部材１０、２０のフッ素樹脂薄膜への電子線の照射終了後、密封容器３４内の温度を室温まで徐々に低下させ、密封容器３４内の不活性ガスを、排気弁３９Ｂを介して放出する。その後、フッ素樹脂薄膜に電子線（放射線）処理された圧力検出部材１０、２０を密封容器３４から取り出す。
【００２６】
このように、フッ素樹脂を高温下に維持して電子線を照射すると、フッ素樹脂の分子構造が変化して共有結合となり、分子が架橋的に連鎖して三次元構造になる。このような構造はフッ素樹脂の架橋構造と呼ばれ、またこのような変化は架橋反応と呼ばれる。フッ素樹脂の組成が架橋構造となることによって、接着剤を使用すること無く、サファイヤまたはアルミナセラミックで形成されたダイアフラムの表面とフッ素樹脂薄膜との密着性と接着性が強化され、さらに、フッ素樹脂薄膜の表面の耐摩耗性、剛性、機械的強度が増加するという利点が得られる。
【００２７】
フッ素樹脂薄膜は通常、白く不透明な結晶膜であるが、高温下に維持して電子線処理することによって架橋構造に変性すると、結晶構造が無くなり無色透明になり、これにより電子線処理の完了を確認することができる。
【００２８】
図４は、上述のように、フッ素樹脂薄膜を高温下に維持して電子線処理した短冊状の圧力検出部材１０（図４Ａ）を使用して、ダイヤフラム圧力センサを製造するための基本的な工程を示している。
【００２９】
図４Ｂはダイアフラム固定用のフッ素樹脂架台４１の平面図を示し、図４Ｃはその中央断面図を示している。図示のように、フッ素樹脂架台４１の中央部には、短冊状の圧力検出部材１０を挿通可能な矩形の孔４１Ａと、圧力検出部材１０を固定するために孔４１Ａを包囲するほぼ矩形状の溝に形成された接着しろ４１Ｂが設けられている。また、フッ素樹脂架台４１の底面には、圧力検出部材１０の受圧部であるフッ素樹脂薄膜部１０Ｂを収容する金属外筒（図６、６０）を固定するための環状突起４１Ｃが設けられている。
【００３０】
図４Ｄは、短冊状の圧力検出部材１０とフッ素樹脂架台４１の組み立て図であり、図４Ｅは、その側部断面図である。圧力検出部材１０は、その溶着部１０Ａ付近にまでフッ素樹脂架台４１の孔４１Ａに差し込まれ、接着しろ４１Ｂにフッ素樹脂溶着剤４２、４３を注入し、これによって架橋構造のフッ素樹脂薄膜部１０Ｂを有する圧力検出部材１０をフッ素樹脂架台４１に高温溶着によって固定し、圧力検出部材１０の受圧部を画定する。
【００３１】
図４に示された短冊形のダイヤフラム圧力センサは、図５に示されたように、例えば薬液用配管（図示せず）に取り付けて、その圧力検出部材１０の受圧部と共にフッ素樹脂外筒５０を薬液に直接浸漬し、フッ素樹脂外筒５０に取り込まれた薬液の圧力を検出することができる。即ち、検出されるべき液圧が圧力検出部材１０の受圧部に伝達され、対向配置されたダイアフラムの間隙距離の変化による静電容量変化が、圧力検出回路５１から検出信号として出力される。このように、ダイヤフラム圧力センサは、検出用の液体に対して接液部全体をフッ素樹脂で構成することができる。また、フッ素樹脂外筒５０の代わりに金属外筒が使用されていても、フッ素樹脂の皮膜加工をすることによって、ダイヤフラム圧力センサの接液部全体をフッ素樹脂で構成することは容易である。
【００３２】
図６は、フッ素樹脂薄膜を高温下に維持して電子線処理した円形の平板状の圧力検出部材２０（図６Ａ）を使用して、ダイヤフラム圧力センサを製造するための基本的な工程を示している。
【００３３】
図６Ｂはダイアフラム固定用の環状のフッ素樹脂架台６１の平面図を示し、図６Ｃはその中央断面図を示している。図示のように、環状のフッ素樹脂架台６１には、内径の異なる第一の環状部６１Ａと第二の環状部６１Ｂとが形成され、第二の環状部６１Ｂの内径は、第一の環状部６１Ａの内径より大きく形成される。次いで、図６Ｄに示されたように、圧力検出部材２０を、第一の環状部６１Ａ上に載置して、圧力検出部材２０の周辺部に形成された溶着部２０Ａと第一の環状部６１Ａの頂部との間を、フッ素樹脂溶着剤６２を使用して、高温溶着によって固定し、それによって圧力検出部材２０の受圧部を画定する。
【００３４】
図７に示された平板型のダイヤフラム圧力センサは、例えば薬液用配管（図示せず）に取り付けて、その圧力検出部材２０の受圧部と共にフッ素樹脂外筒７０を薬液に直接浸漬し、フッ素樹脂外筒７０に取り込まれた薬液の圧力を検出することができる。即ち、検出されるべき液圧が圧力検出部材２０の受圧部に伝達され、対向配置されたダイアフラムの間隙距離の変化による静電容量変化が、圧力検出回路７１から検出信号として出力される。このように、ダイヤフラム圧力センサは、検出用の液体に対して接液部全体をフッ素樹脂で構成することができる。また、フッ素樹脂外筒７０の代わりに金属外筒が使用されていても、フッ素樹脂の皮膜加工をすることによって、ダイヤフラム圧力センサの接液部全体をフッ素樹脂で構成することは容易である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は、本発明のダイヤフラム圧力センサの主要部を構成する短冊状の圧力検出部材を示す。と共に、その製造のための基本的な工程を示す。
【図２】図２は、本発明のダイヤフラム圧力センサの主要部を構成する平板状の圧力検出部材を示す。
【図３】図３Ａないし図３Ｅは、短冊状の圧力検出部材および平板状の圧力検出部材に、それぞれフッ素樹脂薄膜部を形成するための簡略な工程を示す。
【図４】図４Ａないし図４Ｅは、本発明のダイヤフラム圧力センサの主要部を構成する短冊状の圧力検出部材とその固定用のフッ素樹脂架台を示すと共に、その製造のための基本的な工程を示す。
【図５】図５は、図４に示されたダイヤフラム圧力センサの完成された概略の実用形態を示す。
【図６】図６Ａないし図６Ｄは、本発明のダイヤフラム圧力センサの主要部を構成する平板状の圧力検出部材とその固定用のフッ素樹脂架台を示すと共に、その製造のための基本的な工程を示す。
【図７】図７は、図６に示されたダイヤフラム圧力センサの完成された概略の実用形態を示す。
【符号の説明】
【００３６】
１０、２０  圧力検出部材（サファイヤ板、アルミナセラミック板）
１０Ａ、２０Ａ  溶着部
１０Ｂ、２０Ｂ  フッ素樹脂薄膜部（受圧部）
３０  容器
３１  スピンコーター
３２  電子線照射システム
３３  直流高圧電源
３４  密閉容器
３５  電子線発射カソード
３６  電子線加速度
３７  走査偏向コイル
３８  照射台
３９Ａ  吸入弁
３９Ｂ  排気弁
４１、６１  フッ素樹脂架台
４１Ａ  孔
４１Ｂ  接着しろ
４１Ｃ  環状突起
４２、４３、６２  フッ素樹脂溶着剤
５０、７０  フッ素樹脂外筒
５１、７１  圧力検出回路
６１Ａ  第一の環状部
６１Ｂ  第二の環状部
【図１】
2006105859.tif 000003
【図２】
2006105859.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006105859.tif 000006
【図５】
2006105859.tif 000007
【図６】
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【図７】
2006105859.tif 000009