(57)【要約】【課題】  クリーンルームの床面への製造装置の固定作業を容易にしたグレーチング及びクリーンルームを提供する。【解決手段】  クリーンルームの床面を構成するグレーチング１０であって、その表面に開口するネジ穴１２を有するものである。このような構成であれば、例えば、クリーンルームの床面に敷設されたグレーチングの表面上に製造装置を置く。次に、固定用金具の一端を製造装置に取り付ける。そして、この固定用金具の他端にある貫通穴とグレーチングのネジ穴とを平面視で重ね合わせる。さらに、固定用金具の上から、この固定用金具の他端にある貫通穴とグレーチングのネジ穴とにネジを通してネジ嵌めすることによって、この製造装置をクリーンルームの床面に固定することができる。【選択図】  図１
2006125095.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの床面を構成するグレーチングであって、
その表面に開口するネジ穴を有することを特徴とするグレーチング。
【請求項２】
前記表面に開口する前記ネジ穴を複数有することを特徴とする請求項１に記載のグレーチング。
【請求項３】
上側グレーチングと、
前記上側グレーチングの裏面と向い合って配置された下側グレーチングと、
前記上側グレーチングと前記下側グレーチングとの間に介在する振動吸収部材とを有し、
前記上側グレーチングに前記ネジ穴が設けられたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のグレーチング。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか一項に記載されたグレーチングを床面に有することを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グレーチング及びクリーンルームに関し、特に、クリーンルームの床面を構成するグレーチングに製造装置を固定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩやＴＦＴ等の電子デバイスは、空気中の塵や微粒子を極力排除したクリーンルーム内で製造される。このようなクリーンルームは、その天井と床面とが共に空気を流通できる構造となっており、フィルタを通した清浄なエアが天井から床面方向に供給される構造（即ち、ダウンフロー構造）となっている。また、空気流通用の貫通穴を多数備えたクリーンルームの床面はグレーチングと呼ばれている（例えば、特許文献１，２参照。）。このようなグレーチング上に、電子デバイスを製造するための装置（以下、「製造装置」という。）が配置される。
【０００３】
ところで、製造装置をグレーチングに固定せずただ置いたままにしておくと、大きな揺れを伴う地震等が発生した場合には、製造装置が倒れてしまう可能性があり、製造装置の近くで作業する者にとって危険である。また、ＣＶＤ装置やエッチング装置等の製造装置には、人体に対して極めて有毒なガスや薬液、引火性ガス等を供給するための配管が多数取り付けられているが、製造装置が転倒してしまうと、配管が壊れてこれらが外へ漏れてしまう危険性もある。そこで、このような危険性を無くすために、製造装置をグレーチングに固定する必要があった。
【０００４】
図８は、従来行っていた、製造装置９０のグレーチング９９への固定方法を示す概念図である。図８において、９０は製造装置、９１は製造装置の底面に取り付けられたアジャスタボルト、９３はアジャスタボルトのネジ棒に取り付けられた固定用金具、９５はボルト、９７はナットである。また、９９はグレーチングである。アジャスタボルト９１は、製造装置９０の高さを調整したり、水平にしたりするための調整具である。このアジャスタボルト９１は、通常、１台の製造装置９０に４個以上取り付けられている。また、固定用金具９３の一端はアジャスタボルト９１のネジ棒に固定することが可能となっており、その他端には貫通穴が形成されている。
【０００５】
グレーチング９９に対する製造装置９０の固定方法は以下の通りである。まず始めに、少なくともアジャスタボルト９１の個数だけ、固定用金具９３を用意する。次に、全てのアジャスタボルト９１のネジ棒に、固定用金具９３の一端をそれぞれ取り付ける。次に、固定用金具９３の他端にある貫通穴をグレーチング９９の貫通穴に重ね合わせる。また、固定用金具９３の貫通穴とグレーチング９９の貫通穴とがうまく重なりあわない場合には、ドリルを用いてグレーチング９９に貫通穴を形成することもある。
【０００６】
そして、作業者は、固定用金具９３側から、固定用金具９３の貫通穴とグレーチング９９の貫通穴とにボルト９５を差し込み、グレーチング９９の裏側に出てきたボルト９５にナット９７をはめて締め付ける。このようにして、固定用金具９３の他端をグレーチング９９に固定する。
図９はグレーチング９９に固定用金具９３を取り付けた状態を示す平面図である。図９に示すように、グレーチング９９の貫通穴９２の平面視での形状は、多くの場合、一方向に細長い丸穴状である。このため、この貫通穴９２にボルト９５を差し込みナット９７で締め付けても、このボルト９５は貫通穴９２の長手方向にある空間部へ動いてしまい、固定用金具９３とグレーチング９９との固定が不十分なものとなってしまう可能性がある。
【０００７】
そこで、図９に示すように、貫通穴９２の形状が細長い丸穴状の場合には、ボルト９５による固定箇所を少なくとも２箇所以上とし、これらのボルト９５のうち、一方のボルト９５の遊びの方向（図の矢印で示す上方向）と、他のボルト９５の遊びの方向（図の矢印で示す下方向）とをそれぞれ異ならせることで、固定用金具９３とグレーチング９９との固定を確実なものとしていた。
【特許文献１】特開平０９−３０２８９４号公報
【特許文献２】特開２００１−１６４６８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
図８に示した従来の固定方法では、ナット９７を締め付けるために、作業者が床下に手を延ばしたり、又は、ナット９７を持って床下に潜り込んだりしなければならず、危険な作業であり作業性が悪いという問題があった。また、作業者が床下に手を延ばす場合には、手を入れるための空間を稼ぐために隣接するグレーチング９９を退かす必要があり、清浄度の維持・危険作業の増大という問題があった。
【０００９】
そこで、この発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、クリーンルームの床面への製造装置の固定作業を容易にしたグレーチング及びクリーンルームの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
〔発明１〕  上記目的を達成するために、発明１のグレーチングは、クリーンルームの床面を構成するグレーチングであって、その表面に開口するネジ穴を有することを特徴とするものである。
このような構成であれば、ネジ穴を利用して製造装置をグレーチング（即ち、クリーンルームの床面）に固定することができる。
【００１１】
例えば、クリーンルームの床面に敷設されたグレーチングの表面上に製造装置を置く。次に、固定用金具の一端を製造装置に取り付ける。そして、この固定用金具の他端にある貫通穴とグレーチングのネジ穴とを平面視で重ね合わせる。そして、固定用金具の上から、この固定用金具の他端にある貫通穴とグレーチングのネジ穴とにネジを通してネジ嵌めすることによって、この製造装置をグレーチングに固定することができる。
【００１２】
従来例と比べて、作業者が床下に手を延ばしたり、床下に潜り込んだりする必要がなく、製造装置を床面に容易に固定することができる。
〔発明２〕  発明２のグレーチングは、発明１のグレーチングにおいて、前記表面に開口する前記ネジ穴を複数有することを特徴とするものである。
ここで、グレーチングを平面から見たときのネジ穴の配置は、例えば、格子上の各交点位置に配置されている形状（以下、「格子状」という。）、又は複数本の放射線上に沿った位置に配置されている形状（以下、「放射状」という。）、或いは螺旋上に沿った位置に配置されている形状（以下、「螺旋状」という。）である。また、これ以外の配置でも構わない。
【００１３】
発明２のグレーチングによれば、複数のネジ穴の中から任意のネジ穴を選択して利用することができる。従って、例えば、固定用金具の取り付け位置や、その向きを比較的自由に選択することができる。また、グレーチング全体にネジ穴を、平面視で格子状、放射状、螺旋状等に分散して配置することで、グレーチングの強度をあまり落とさないようにすることができる。
〔発明３〕  発明３のグレーチングは、発明１又は発明２のグレーチングにおいて、上側グレーチングと、前記上側グレーチングの裏面と向い合って配置された下側グレーチングと、前記上側グレーチングと前記下側グレーチングとの間に介在する振動吸収部材とを有し、前記上側グレーチングに前記ネジ穴が設けられたことを特徴とするものである。
【００１４】
このような構成であれば、例えば地震によってクリーンルーム全体が揺れたような場合でも、下側グレーチングから上側グレーチングに伝わる揺れを振動吸収部材である程度吸収することができる。
〔発明４〕  発明４のクリーンルームは、発明１から発明３の何れか一項に記載されたグレーチングを床面に有することを特徴とするものである。
【００１５】
このような構成であれば、従来例と比べて、作業者が床下に手を延ばしたり、床下に潜り込んだりする必要がなく、製造装置を床面に容易に固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら、本発明に係るグレーチング及びクリーンルームについて説明する。
（１）第１実施形態
図１（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の第１実施形態に係るグレーチング１０の構成例を示す平面図と、Ａ−Ａ´矢視断面図である。図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すグレーチング１０は、クリーンルームの床面を構成するものである。
【００１７】
図１（Ａ）に示すように、このグレーチング１０には、空気流通用の貫通穴１１が一定間隔で複数形成されている。また、図１（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、このグレーチング１０には、その表面に開口するネジ穴１２が複数形成されている。これらのネジ穴１２の平面視での配置形状は、図１（Ａ）に示すように、例えば格子状である。
図示しないが、クリーンルームの床下には複数本の梁が一定の間隔で格子状に張り巡らされている。この梁とグレーチング１０とには、ボルトを通すための貫通した開口部がそれぞれ設けられており、これら開口部にボルトを通し、クリーンルームの床下でナットで締め付けることによって、グレーチング１０を梁に固定することが可能となっている。このグレーチング１０は、例えば鋳物で構成されている。
【００１８】
図２は、固定用金具６０の構成例を示す平面図である。図２に示すように、この固定用金具６０は、その一端にアジャスタボルト７０（図３参照。）のネジ棒７２を固定するための貫通した開口部６２を有し、その他端にネジを通すための複数の貫通穴６４を有する。
また、アジャスタボルト７０とは、電子デバイスを製造するための装置（製造装置）をグレーチング１０（図１参照。）上で支持して固定すると共に、この製造装置の底面からグレーチング１０表面までの高さを調整するためのものである。図２に示すように、この固定用金具６０の一端は、開口部６２を平面に垂直な面で分割することが可能となっている。
【００１９】
この固定用金具６０の一端をアジャスタボルト７０のネジ棒７２に固定する際には、図２に示すように、分割された開口部６２の側壁でネジ棒７２を挟み込み、その後、固定用金具６０の一端の側面に水平方向からネジ６６を嵌め、これらの開口部６２を一体化させる。図２に示すような固定用金具６０は、例えばサス等で構成されている。次に、この固定用金具６０を用いて、製造装置をグレーチング１０に固定する方法について説明する。
【００２０】
図３は、製造装置８０の固定例を示す概念図である。まず始めに、製造装置８０の底面にアジャスタボルト７０を取り付ける。例えば、製造装置８０の底面にはネジ穴が形成されている。ネジ棒７２のネジ溝が形成された方の端部をこのネジ穴にネジ嵌めし、回転させることによって、製造装置８０の底面から延び出るネジ棒７２の長さを調整する。
次に、このアジャスタボルト７０の台座７４をグレーチング１０上に置く。そして、このアジャスタボルト７０のネジ棒７２に、上記の固定用金具６０の一端を仮り止めする。次に、この固定用金具６０の他端をネジ棒７２を中心に回転させて、この固定用金具６０の他端に形成された貫通穴６４と、グレーチング１０に形成されたネジ穴１２とを平面視で重ね合わせる。ここでは、貫通穴６４の全てをネジ穴１２に重ね合わせるのではなく、複数の貫通穴６４の中から任意の貫通穴６４をネジ穴１２に重ね合わせる。
【００２１】
そして、固定用金具６０の上から、この固定用金具６０の他端にある貫通穴６４とグレーチング１０のネジ穴１２とにネジ６８を通してネジ嵌めする。これにより、この製造装置８０はクリーンルームの床面に固定される。
このように、本発明の第１実施形態に係るグレーチング１０によれば、ネジ穴１２を利用して製造装置８０をクリーンルームの床面に固定することができる。従来例と比べて、作業者が床下に手を延ばしたり、床下に潜り込んだりする必要がない。
【００２２】
また、このグレーチング１０は、その表面に開口するネジ穴１２を複数有する。従って、複数のネジ穴１２の中から任意のネジ穴１２を選択して利用することができるので、固定用金具６０の取り付け位置や、その向きを比較的自由に選択することができる。従来例と比べて、グレーチング１０のネジ穴１２に遊びがないので、固定用金具６０の他端とグレーチング１０との固定箇所は少なくとも１箇所以上あれば良い。従って、固定用金具６０の貫通穴６４とグレーチング１０のネジ穴１２との位置合わせが容易である。また、このようなネジ穴１２を平面視で格子状に配置することによって、グレーチング１０の強度をあまり落とさないようにすることができる。
【００２３】
この第１実施形態では、ネジ穴１２を有するグレーチング１０が本発明の「グレーチング」に対応している。
なお、この第１実施形態では、図１（Ａ）に示したように、複数のネジ穴１２が平面視で格子状に配置されている場合について説明したが、ネジ穴１２の配置形状はこれに限られることはない。例えば、図４に示すように、ネジ穴１２の配置形状はグレーチング１０の中心部を中心とする螺旋状でも良い。また、図５に示すように、ネジ穴１２の配置形状はグレーチング１０の中心部から延びる放射状でも良い（作図の都合上から、図４及び図５においては、空気流通用の貫通穴１１の図示を省略している。）。
【００２４】
図４又は図５に示すように、ネジ穴１２を配置した場合でも、複数のネジ穴１２の中から任意のネジ穴１２を選択して利用することができるので、固定用金具６０の取り付け位置や、その向きを比較的自由に選択することができる。また、その一方で、グレーチング１０の強度をあまり落とさないようにすることができる。
（２）第２実施形態
図６は、第２実施形態に係るグレーチング１００の構成例を示す断面図である。この図６において、図１及び図３と同一の構成を有する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００２５】
図６に示すように、このグレーチング１００は、上側のグレーチング１０と、下側のグレーチング２０と、振動吸収部材３０とを有する。これらの中で、下側のグレーチング２０は、上側のグレーチング１０の裏面と向い合って配置されている。この下側のグレーチング２０には、空気流通用の貫通穴（図示せず）が一定間隔で複数形成されているものの、上側のグレーチング１０のようなネジ穴１２は形成されていない。
【００２６】
また、振動吸収部材３０は、一端が下側のグレーチング２０の表面に取り付けられ、他端が上側のグレーチング１０の裏面に取り付けられたものである。この振動吸収部材３０は、例えば弾性体であり、水平方向や垂直方向へ伸縮することが可能となっている。この振動吸収部材３０と上側のグレーチング１０との間及び、この振動吸収部材３０と下側のグレーチング２０との間は、例えば接着剤によってそれぞれ接合されている。
【００２７】
このように、本発明の第２実施形態に係るグレーチング１００によれば、第１実施形態と同様に、ネジ穴１２を利用して製造装置８０をクリーンルームの床面に固定することができる。従来例と比べて、作業者が床下に手を延ばしたり、床下に潜り込んだりする必要がない。
また、上側のグレーチング１０と下側のグレーチング２０とを振動吸収部材３０を間に挟んで積層した構造となっている。従って、例えば地震によってクリーンルーム全体が揺れたような場合でも、下側のグレーチング２０から上側のグレーチング１０に伝わる揺れを振動吸収部材３０である程度吸収することができる。それゆえ、第１実施形態と比べて、クリーンルーム内での地震対策をさらに促進させることができる。
【００２８】
ところで、クリーンルーム内での地震対策として、その床面の全てに第２実施形態で説明したグレーチング１００を敷設しても良いが、このグレーチング１００は振動吸収部材３０を間に挟んだ２重構造となっているため、従来のグレーチング９９（図８参照。）と比べて、コスト高となってしまう可能性がある。そこで、図６に示すように、このグレーチング１００は、クリーンルームの床面の中でもアジャスタボルト７０の台座７４が直接置かれる特定の領域だけに敷設することとし、それ以外の領域には従来のグレーチング９９を敷設しても良い。
【００２９】
このようにグレーチング１００を選択的に敷設する場合には、このグレーチング１００を、従来のグレーチング９９と共に、クリーンルームの床下の梁１２０に固定する。また、このグレーチング１００の表面の高さを、従来のグレーチング９９の表面の高さに合わせることが好ましい。このように表面の高さを合わせて段差を無くすことで、作業者の躓き等を防止する。
【００３０】
また、上記の第２実施形態では、振動吸収部材３０と上側のグレーチング１０との間及び、この振動吸収部材３０と下側のグレーチング２０との間を、例えば接着剤によってそれぞれ接合することについて説明した。しかしながら、上側のグレーチング１０には固定用金具６０やアジャスタボルト７０を介して、製造装置８０が固定される。これらの製造装置８０は、一般的にかなりの重量がある。そのため、製造装置８０が倒れる程の大きな揺れが伝わってきた場合には、接着剤による接合部分に大きな力が加わって、上側のグレーチング１０と振動吸収部材３０とが離れてしまう可能性も考えられる。
【００３１】
そこで、第２実施形態で説明したグレーチング１００に、図７に示すような、断面視での形状がコの字型の金具３５を取り付けても良い。即ち、上側のグレーチング１０の側面に水平方向に延びる凹部を設け、この凹部内に例えば弾性体３３を介して金具３５の一端を嵌合する。また、この金具３５の他端を下側のグレーチング２０の裏面に引っ掛ける。このような構成であれば、振動吸収部材３０の水平方向や垂直方向への伸縮性をあまり損なうことなく、上側のグレーチング１０と振動吸収部材３０との分離を防ぐことができる。
【００３２】
この第２実施形態では、上側のグレーチング１０が本発明の「上側グレーチング」に対応し、下側のグレーチング２０が本発明の「下側グレーチング」に対応している。また、振動吸収部材３０を介してこれらを積層した構造のグレーチング１００が、本発明の「グレーチング」に対応している。
また、本発明の実施形態に係るクリーンルームは、例えば、図１に示したグレーチング１０又は図６に示したグレーチング１００の少なくとも一方を床面に有するものである。このような構成であれば、従来例と比べて、作業者が床下に手を延ばしたり、床下に潜り込んだりする必要がなく、製造装置８０をクリーンルームの床面に容易に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】第１実施形態に係るグレーチング１０の構成例を示す図。
【図２】固定用金具６０の構成例を示す図。
【図３】製造装置８０の固定例を示す図。
【図４】ネジ穴１２の平面視での配置形状の一例（螺旋状）を示す図。
【図５】ネジ穴１２の平面視での配置形状の一例（放射状）を示す図。
【図６】第２実施形態に係るグレーチング１００の構成例を示す図。
【図７】グレーチング１０と振動吸収部材３０との固定方法の一例を示す図。
【図８】従来例に係る製造装置９０のグレーチング９９への固定方法を示す図。
【図９】従来例に係る固定用金具９３の取り付け状態を示す図。
【符号の説明】
【００３４】
１０  （上側の）グレーチング、１１  空気流通用の貫通穴、１２  ネジ穴、２０  下側のグレーチング、３０  振動吸収部材、３３  弾性体、３５  金具、６０  固定用金具、６２  開口部、６４  貫通穴、６６，６８  ネジ、７０  アジャスタボルト、７２  ネジ棒、８０  製造装置、９０  製造装置、９１  アジャスタボルト、９２  グレーチングの貫通穴、９３  アジャスタボルトのネジ棒、９５  ボルト、９７  ナット  ９９  グレーチング（従来品）、１００  （積層構造の）グレーチング、１２０  梁
【図１】
2006125095.tif 000003
【図２】
2006125095.tif 000004
【図３】
2006125095.tif 000005
【図４】
2006125095.tif 000006
【図５】
2006125095.tif 000007
【図６】
2006125095.tif 000008
【図７】
2006125095.tif 000009
【図８】
2006125095.tif 000010
【図９】
2006125095.tif 000011