【手続補正書】
【提出日】平成19年4月26日(2007.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ボール受容要素中のアパーチャのアレイにボールを充填するための充填デバイスであって、該充填デバイスは、以下：
下方表面に開口部を含み、そして供給用のボールを収容するためのチャンバを部分的に規定するハウジングであって、該ハウジングは、使用時に、アパーチャのアレイを含むボール受容要素の上に移動可能に配置されている、ハウジング；
および、
少なくとも該ハウジングの該開口部の領域にわたってボールの限られた数の層を維持するように、チャンバ中に収容されたボールを分配するための、該ハウジング内に配置された分配手段、
を備える、充填デバイス。
【請求項２】  請求項１に記載の充填デバイスであって、ここで、前記分配手段が、少なくとも前記ハウジングの前記開口部の領域にわたって実質的にボールの単一層を提供するように構成されている、充填デバイス。
【請求項３】  請求項１または２に記載の充填デバイスであって、ここで、前記分配手段が、前記ボール受容要素の上に配置された場合にその下に制限された高さの軌道を規定するように、前記ハウジングの下方表面と間隔を空けた関係で作動可能に配置された下方表面を有する、軌道規定部材を備える、充填デバイス。
【請求項４】  請求項３に記載の充填デバイスであって、ここで、前記軌道規定部材の下方表面が実質的に平面である、充填デバイス。
【請求項５】  請求項３または４に記載の充填デバイスであって、ここで、少なくとも前記軌道規定部材の下方表面が弾性材料で形成されている、充填デバイス。
【請求項６】  請求項３から５のいずれかに記載の充填デバイスであって、ここで、前記軌道規定部材が、その下にボールの単一層のための軌道を規定するように、前記ハウジングの下方表面に対して間隔を空けている、充填デバイス。
【請求項７】  請求項６に記載の充填デバイスであって、ここで、前記軌道規定部材が、前記ボールの直径に実質的に等しい高さを有するチャネルを規定するように、前記ハウジングの下方表面に対して間隔を空けている、充填デバイス。
【請求項８】  請求項６に記載の充填デバイスであって、ここで、少なくとも前記軌道規定部材の下方表面が弾性材料で形成され、そして該軌道規定部材の下方表面が、前記ボールの直径未満の高さを有するチャネルを規定するように前記ハウジングの下方表面に対して間隔を空けており、それによって該ボールが該軌道規定部材の下に位置する場合に下向きに偏倚する、充填デバイス。
【請求項９】  請求項３〜８のいずれかに記載の充填デバイスであって、ここで、前記軌道規定部材が、前記ハウジングに対して移動可能に配置され、そして以下：
該軌道規定部材を該ハウジングの下方表面に対して下向きに偏倚させるための装填要素、
をさらに備える、充填デバイス。
【請求項１０】  請求項９に記載の充填デバイスであって、ここで、前記装填要素の偏倚力がその下のボールの単一層を維持するようなものである、充填デバイス。
【請求項１１】  請求項１〜１０のいずれかに記載の充填デバイスであって、以下：
供給用のボールを収容するためのリザーバ；および
該リザーバを前記チャンバに接続する少なくとも１つのチャネル、
をさらに備える、充填デバイス。
【請求項１２】  請求項１１に記載の充填デバイスであって、ここで、前記少なくとも１つのチャネルの下端が、前記チャンバ中のボールの充填レベルを制限するように、前記ハウジングの下方表面から間隔を空けている、充填デバイス。
【請求項１３】  請求項１１または１２に記載の充填デバイスであって、ここで、前記分配手段が、前記ボール受容要素の上に配置された場合にその下に制限された高さの軌道を規定するように、前記ハウジングの下方表面と間隔を空けた関係で作動可能に配置される下方表面を有し、そして前記軌道規定部材の前方縁部に運動の方向に隣接した少なくとも１つのチャネルを備える、軌道規定部材を備える、充填デバイス。
【請求項１４】  請求項１３に記載の充填デバイスであって、前記軌道規定部材の前方縁部および後方縁部の各々に運動の方向に隣接した少なくとも１つのチャネルを備える、充填デバイス。
【請求項１５】  複数のチャネルを備える、請求項１１から１４のいずれかに記載の充填デバイス。
【請求項１６】  請求項１または２に記載の充填デバイスであって、ここで、前記分配手段が、使用時にボールを通して前記チャンバへ供給する少なくとも１つのチャネルを備え、該少なくとも１つのチャネルの下端が、ボールの充填レベルを少なくとも前記ハウジングの開口部の領域で制限するように、該ハウジングの下方表面から間隔を空けている、充填デバイス。
【請求項１７】  複数のチャネルを含む、請求項１６に記載の充填デバイス。
【請求項１８】  請求項１または２に記載の充填デバイスであって、ここで、前記分配手段が、その下の閉鎖された空間を規定する第１および第２の下方延長部材を備え、該下方延長部材が、ボールの限られた数の層のみをその下に通すように構成されている、充填デバイス。
【請求項１９】  請求項１８に記載の充填デバイスであって、ここで、前記第１および第２の下方延長部材が、横方向に間隔が空けられている、充填デバイス。
【請求項２０】  請求項１８に記載の充填デバイスであって、ここで、前記第１および第２の下方延長部材が、下向きにかつ外向きにフレアー状である、充填デバイス。
【請求項２１】  請求項１８〜２０のいずれかに記載の充填デバイスであって、ここで、前記下方延長部材が弾性材料で形成される、充填デバイス。
【請求項２２】  請求項１または２に記載の充填デバイスであって、ここで、前記分配手段が、前記ハウジングの内部へ延び、そして運動の方向に前方構成要素および下方構成要素を有する表面を含む、少なくとも１つの突出部を備える、充填デバイス。
【請求項２３】  請求項２２に記載の充填デバイスであって、ここで、前記少なくとも１つの表面が実質的に平面である、充填デバイス。
【請求項２４】  請求項２２に記載の充填デバイスであって、ここで、前記少なくとも１つの表面が湾曲した表面である、充填デバイス。
【請求項２５】  請求項２２〜２４のいずれかに記載の充填デバイスであって、ここで、前記分配手段が第１および第２の突出部を備え、各々が、内側に延び、そして運動のそれぞれの方向に前方構成要素および下方構成要素を有する表面を含む、充填デバイス。
【請求項２６】  請求項１〜２５のいずれかに記載の充填デバイスであって、ここで、前記ハウジングが、運動の方向におけるその１つの後方縁部に沿って内部に配置されたワイパーを含む、充填デバイス。
【請求項２７】  請求項２６に記載の充填デバイスであって、ここで、前記ハウジングが、運動の各々の方向におけるその縁部の各々に沿って内部に配置されたワイパーを含む、充填デバイス。
【請求項２８】  請求項１〜２７のいずれかに記載の充填デバイスであって、ここで、前記ボールがはんだボールを含む、充填デバイス。
【請求項２９】  ボールバンピング装置であって、以下：
請求項１〜２８のいずれかに記載の充填デバイスを備えるボールバンピングステーション；および
アパーチャのアレイを含むボール受容要素であって、該ボール受容要素の上には、使用時に、該充填デバイスが移動可能に配置されている、ボール受容要素、
を備える、ボールバンピング装置。
【請求項３０】  請求項２９に記載のボールバンピング装置であって、ここで、前記ボール受容要素は、アパーチャのアレイを含むマスクを備える、ボールバンピング装置。
【請求項３１】  請求項２９に記載のボールバンピング装置であって、ここで、前記ボール受容要素が、アパーチャのアレイを含むテンプレートを備える、ボールバンピング装置。
【請求項３２】  請求項２９〜３１のいずれかに記載のボールバンピング装置であって、以下：
ボール保持被覆物のアレイを基板上に印刷するためのステンシル印刷ステーションであって、該ステンシル印刷ステーションが、前記ボール受容要素中のアパーチャのアレイと同じパターンを有する、アパーチャのアレイを含むステンシルを備える、ステンシル印刷ステーション、および
該ステンシルの表面に、ボール受容材料を送達するための印字ヘッド、
をさらに備える、ボールバンピング装置。
【請求項３３】  請求項３２に記載のボールバンピング装置であって、ここで、前記充填デバイスおよび前記印字ヘッドが、ボール保持被覆物を一方の基板上に印刷すると同時に、他方の基板上にボールグリッドアレイを提供するように、一度に移動するように構成されている、ボールバンピング装置。
【請求項３４】  ボール受容要素中のアパーチャのアレイにボールを充填する方法であって、該方法は、以下：
複数のアパーチャを含むボール受容要素の上に充填デバイスを提供する工程であって、該充填デバイスは、その下方表面に開口部を含みそして供給用のボールを収容するチャンバを部分的に規定するハウジング、および少なくとも該ハウジングの開口部の領域にわたって該ボールの限られた数の層を維持するように、該チャンバ内に収容されたボールを分配するために該ハウジング内に配置された分配手段を備える、工程；ならびに、
該ボール受容要素中のアパーチャの充填を引き起こすように、該充填デバイスを該ボール受容要素に対して移動する工程、
を包含する、方法。
【請求項３５】  ボール受容要素中のアパーチャのアレイにボールを充填するための充填デバイスであって、該充填デバイスは、以下：
下方表面に開口部を含み、そして供給用のボールを収容するためのチャンバを部分的に規定するハウジングであって、該ハウジングは、使用時に、アパーチャのアレイを含むボール受容要素の上に移動可能に配置されている、ハウジング；および、
少なくとも該ハウジングの該開口部の領域にわたって該チャンバ中に収容された該ボールの循環を引き起こすための、該ハウジング内に配置された分配手段、
を備える、充填デバイス。
【請求項３６】  ボール受容要素中のアパーチャのアレイにボールを充填するための充填デバイスであって、該充填デバイスは、使用時に、アパーチャのアレイを含むボール受容要素の上に移動可能に配置されたハウジングを含み、ここで、該ハウジングは、供給用のボールを収容するためのチャンバを少なくとも部分的に規定し、そして該チャンバと連絡する開口部が該ハウジングの下方表面に規定される第１の開放配置と該チャンバが閉鎖されている第２の閉鎖配置との間で移動可能な、少なくとも第１および第２の相対的に移動可能な部分を含む、充填デバイス。
【請求項３７】  請求項３６に記載の充填デバイスであって、ここで、前記第１および第２の可動部分はネジ式構成要素によって結合され、該構成要素は回転時に該部分の相対運動を生じる、充填デバイス。
【請求項３８】  請求項３６または３７に記載の充填デバイスであって、ここで、前記第１および第２の可動部分が、運動の方向に前記ハウジング前方縁部および後方縁部を備える、充填デバイス。