【手続補正書】
【提出日】平成19年3月12日(2007.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  音叉ジャイロスコープのバランスをとる方法であって：
プルーフ質量および少なくとも一つの支持ビームを有し、かつ前記ジャイロスコープ・プルーフ質量および支持ビームの運動力学においてアンバランスを反映する直交相バイアスをさらに有する音叉ジャイロスコープを設ける段階；
前記直交相バイアスを低減するために、プルーフ質量とフレームとの間に延在する少なくとも一つの前記支持ビームを修正する段階；
からなることを特徴とする方法。
【請求項２】  前記修正する段階は、支持ビームの一方側上で支持ビームを修正する段階を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】  前記修正する段階は、前記ビームをアブレーションする段階を含むことを特徴とする請求項１または請求項２記載の方法。
【請求項４】  前記アブレーションする段階は、前記ビームに対してレーザ放射を適用する段階を含むことを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項５】  前記ジャイロスコープを設ける段階は、前記ビームをレーザ放射に晒すレーザ貫通可能な窓を有する封入パッケージで、ジャイロスコープを設ける段階を含むことを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項６】  請求項３記載の方法であって： 前記設ける段階は、前記ジャイロスコープを通常状態で動作することを含み；
前記修正する段階は、前記ジャイロスコープの動作中にレーザ放射を適用することをさらに含む；
ことを特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項７】  前記修正する段階は、前記少なくとも一つのビームに被着を適用する段階を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項８】  前記修正する段階は、前記少なくとも一つのビームに被着を適用する段階を含むことを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項９】  前記修正する段階は、ジャイロスコープの動作中にビームを修正する段階を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１０】  前記修正する段階は、前記フレーム付近の前記ビーム上で行われることを特徴とする請求項９記載の方法。
【請求項１１】  前記修正する段階は、前記ビームの一部を溶融することを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１２】  前記修正する段階は、前記ビームの熱時定数よりも高い反復レートで、放射を前記ビームに適用して、それにより前記ビームの修正領域における滑らかさを得る段階を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１３】  前記修正する段階は、ＹＡＧレーザからの緑色レーザ光を前記支持ビームに適用する段階を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項１４】  請求項１の方法に従って作製された音叉ジャイロスコープ。
【請求項１５】  音叉ジャイロスコープを動的にバランスをとる装置であって：
音叉ジャイロスコープを励起する手段；
前記ジャイロスコープの慣性要素の支持体；
レーザ光源；
一つの前記慣性要素を支持するために適応された前記支持体の領域に前記レーザ光源からの放射を配向する光経路；
前記レーザ光源からのレーザ放射の入射点をオペレータが目視することを可能にするビューアを含む前記光経路；および 配向された放射の領域に対して前記支持体を移動する載置装置；
からなることを特徴とする装置。
【請求項１６】  前記レーザ光源は、ＹＡＧレーザを含むことを特徴とする請求項１５記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
入力レートに比例するジャイロスコープ出力信号は、プルーフ質量の速度と同相である。ωが入力回転レートであり、ｖが速度としたときのコリオリ加速度、ひいてはコリオリ力は、速度が最大のときに最大値となる。動作中の最大速度位置は、非励起状態における歯のニュートラルな静止位置(at-rest position)に一致する。歯が共振していると、角速度入力からの面外変位(out-of plane displacements)はこの位置で最大値となる。入力速度が一定になると、駆動速度と同相の駆動周波数にて垂直プルーフ質量運動およびセンス軸微分キャパシタンスが得られる。また、微分キャパシタンスおよび出力電圧は、駆動位置と同相であり、また所望の入力レート情報と直交相である信号を含む。直交信号の主な源は、駆動力と整合していない懸垂ビームの主面慣性モーメントによって生じるプルーフ質量垂直運動である。一般にジャイロスコープは真空中の共振にて動作するので、ばね力および直交信号は、プルーフ質量を駆動するための力よりも大きい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
ジャイロスコープ・エレクトロニクス８７は、通常動作状態でジャイロスコープを動作する。エレクトロニクスは真空室内であっても、真空フィードスルーおよび／またはプローブ・カードを介して外部接続してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2002540406.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１’
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１’】
2002540406.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１ａ】
2002540406.tif 000003
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１ｂ】
2002540406.tif 000004
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１ｃ】
2002540406.tif 000005
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１ｄ】
2002540406.tif 000006
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２ａ】
2002540406.tif 000007
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２ｂ】
2002540406.tif 000008
【手続補正１２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２ｃ】
2002540406.tif 000009
【手続補正１３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２ｄ】
2002540406.tif 000010
【手続補正１４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2002540406.tif 000011
【手続補正１５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2002540406.tif 000012
【手続補正１６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
2002540406.tif 000013
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2002540406.tif 000014