(57)【要約】【課題】  赤外光等の不可視光の光路位置の検出が可能で、部材の組立て精度の自由度を向上させた光線検出装置を提供する。【解決手段】  赤外線検出装置１は、本体部２と先端部３ａ側を本体部２の左側面２ａから突出させた振動体としてのガラス製の導光体３とを備える。本体部２内部には、導光体３をＸ軸方向に駆動する回転スライダーステッピングモータ２１とＹ軸方向に振動させる駆動コイル３１とが設置されている。また、導光体３の振動方向が傾くのを調整する調整用永久磁石を備えている。そして、赤外光が先端部３ａに入射し受光素子に入射すると発光ダイオードが可視光を発光しその可視光は先端部３ａから放射される。このとき、調整用永久磁石により導光体３の振動方向がＸＹ平面内になるように規制されるので、導光体３を支持する各部材の組立て精度が緩和される。その結果、導光体３を支持する各部材選択の自由度を向上させることができる。【選択図】      図３
2006105873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部と、光入射部及び光放射部である先端部側を本体部の一側面から突出させた振動体としての導光体と、を備え、
前記本体部内に、
前記導光体をＸ軸方向に往復動させるＸ軸方向駆動手段と、
前記導光体をＹ軸方向に振動させるＹ軸方向駆動手段と、
前記導光体の前記先端部が移動する範囲であるＸＹ平面内の光線検出領域に照射される被検出光が前記先端部に入射し前記導光体によって伝搬されて受光手段に入射すると、発光手段から可視光を出射させ、前記可視光を前記導光体によって伝搬し前記先端部から放射させる可視光放射手段と、
前記Ｙ軸方向駆動手段による前記導光体の振動方向が前記Ｙ軸方向に対して傾くのを調整する調整手段と、
を備えることを特徴とする光線検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光線検出装置において、
前記導光体は、前記先端部に斜めの研磨面を有するガラス製の導光体であり、
前記先端部に入射する光は前記研磨面で反射されて前記導光体内に導入され伝搬されるとともに、前記導光体の基端部に入射する光は前記導光体によって伝搬されて前記研磨面で反射されて外部へ放射されるように構成されていることを特徴とする光線検出装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の光線検出装置において、
前記導光体は、その基端部側が前記本体部内で固定され、前記基端部側を支点にして揺動する片持ち梁式の振動系を構成し、
前記Ｙ軸方向駆動手段は、
Ｙ軸方向の一側がＮ極にその他側がＳ極になるように前記導光体に固定された駆動用永久磁石と、
前記駆動用永久磁石のＹ軸方向両側に配置された一対のコイルと、
を備え、
前記調整手段は、
前記駆動用永久磁石と同じ磁極同士が対向するように配置された調整用永久磁石を備えることを特徴とする光線検出装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一つに記載の光線検出装置において、
前記調整用永久磁石は、Ｙ軸方向に移動可能に設けられていることを特徴とする光線検出装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載の光線検出装置において、
前記Ｘ軸方向駆動手段は、前記導光体をＸ軸方向に往復動させるステッピングモータを備え、
前記ステッピングモータは、その回転を直線運動に変換して前記導光体に伝えるのに、ネジ機構を用いた回転スライダーステッピングモータであることを特徴とする光線検出装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一つに光線検出装置において、
前記可視光放射手段は、前記先端部に入射し前記導光体によって伝搬されて、前記導光体の前記基端部から出射する前記被検出光を前記受光手段に入射させるとともに、前記発光手段から出射される可視光を前記基端部に入射させる光学系と、前記被検出光を受光したときに前記受光手段から出力される検出信号に基づいて前記発光手段を発光させる光検出回路とを備えることを特徴とする光線検出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の光線検出装置において、
前記光学系及び前記光検出回路は、一体にモジュール化され、前記導光体と一緒に回転スライダーステッピングモータによりＸ軸方向に往復動されることを特徴とする光線検出装置。
【請求項８】
請求項６に記載の光線検出装置において、
前記導光体の基端部側は、前記光学系を保持する光学系用基板側に固定されたベースと、前記光検出回路を保持する回路基板側に固定されたベースとの間に挟持されることを特徴とする光線検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、赤外光等の不可視光を検出する光線検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光通信等に用いられる光信号の光源には、レーザ光源が用いられることが広く知られている。一般に、このレーザ光源から出力される光線は、その波長が可視光線の波長より長い不可視光（例えば、赤外光）である。このため、光ファイバケーブル等を用いて伝送される光信号を光線として、光ファイバケーブルの一端から外部に取り出しても、取り出した光線の光路位置を視認することはできない。
【０００３】
ところで、光通信用モジュール等に用いられている光学素子（例えば、回折格子、ミラー等）の検査を行う際には、サンプルステージに置いた被検査体である光学素子に対して、光ファイバケーブルの一端から検査光として赤外光を照射する。そして、光学素子によって反射された反射光に基づいて、その光学素子の評価を行う。このため、光学素子に対して、正しく赤外光を照射させるためには、赤外光の光路位置を検出して、光学素子に一致させる作業が必要となる。また、一般に光線として照射される赤外光においては、その強度は中心部で最大となり、中心部から離れるに従って徐々に弱くなる。そして、その強度分布は、ガウシャン分布と呼ばれ正規分布と同様の形状をとる。従って、光学素子に赤外光を照射する際には、赤外光の中心部からなる有効スポット径を認知し、最大となる強度で照射しなければならない。
【０００４】
この種の作業に用いられる赤外光を検出するための検出装置には、ＩＲカード、赤外ＣＣＤカメラ、光パワーメータ等がある。
ＩＲカードは、カードの表面に、赤外光を受光するとその強度に応じて可視光を放つ物質を塗布した発光領域が設けられていて、その発光領域に赤外光が照射されると、発光領域の受光した部分が可視光を発するものである。従って、その発光領域を視認することによって光路位置を検出することができる。
【０００５】
赤外ＣＣＤカメラは、赤外光を直接受光し表示部に出力表示する。そのため、赤外光の強度分布形状を観測でき、又感度が高いので、光路位置を容易に検出することができる。
光パワーメータは、受光素子を用いたセンサ部にて赤外光を受光し、その強度をメータに出力表示する。従って、センサ部を移動させて、出力表示される強度が最大になるときを知ることによって、光路位置を検出している。（例えば特許文献１）
特許文献１では、センサ部に４分割にした受光素子を用い、その２つずつの差動出力を２チャンネルのオシロスコープのＸ軸とＹ軸とに入力し、入力されると同オシロスコープのブラウン管上に表れる輝点の位置を見ることによって、光路位置を確認して、センサ部の位置決めを行っている。
【特許文献１】特開平６−２３６５７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、ＩＲカードは感度が低く、増感機能も備えていないので、微弱な強度の赤外光を検出する場合には、作業環境全体を暗くする必要がある。従って、部屋を暗くして光線の光路位置を検出した後に、部屋を明るくして光学素子の設置位置を調整する作業となるので、非常に実施しづらい。また、ＩＲカードは、強度に応じて可視光を発するが、感度が低くその発光部分と非発光部分との境界がはっきりしないので、ガウシャン分布を有する光線の有効スポット径の大きさはわからない。また、赤外ＣＣＤカメラは、本体
形状が大きいので、狭い空間における赤外光の検出には適していない。
【０００７】
さらに、特許文献１の光パワーメータでは、光路位置を探す際に、ブラウン管を見ながらセンサ部の位置決めを行うので、視線を頻繁に移すことになって、光路位置の検出に時間がかかった。
【０００８】
さらに又、上述したＩＲカード、赤外ＣＣＤカメラ、光パワーメータは、それぞれ光路位置を検出した後に、検出した光路位置に対して、被検査体である光学素子を配置し直さなければならないので、正確に光学素子に赤外光を照射させるのが困難であった。
【０００９】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたものである。その目的は、赤外光等の不可視光の光路位置の検出が可能で、部材の組立て精度を緩和させることができる光線検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、請求項１に係る発明は、本体部と、光入射部及び光放射部である先端部側を本体部の一側面から突出させた振動体としての導光体と、を備え、前記本体部内に、前記導光体をＸ軸方向に往復動させるＸ軸方向駆動手段と、前記導光体をＹ軸方向に振動させるＹ軸方向駆動手段と、前記導光体の前記先端部が移動する範囲であるＸＹ平面内の光線検出領域に照射される被検出光が前記先端部に入射し前記導光体によって伝搬されて受光手段に入射すると、発光手段から可視光を出射させ、前記可視光を前記導光体によって伝搬し前記先端部から放射させる可視光放射手段と、前記Ｙ軸方向駆動手段による前記導光体の振動方向が前記Ｙ軸方向に対して傾くのを調整する調整手段と、を備えることを要旨とする。
【００１１】
これによれば、導光体をＹ軸方向に振動させながらＸ軸方向に往復動させることで、導光体の先端部が光線検出領域内を繰り返し走査する。赤外光等の不可視光といった被検出光が導光体の先端部に入射し、その赤外光が導光体によって伝搬されて受光手段に入射すると、発光手段が可視光を発光する。その可視光は導光体によって伝搬され先端部から放射される。その結果、光線検出領域において、不可視光である赤外光の位置が、導光体の先端部から放射された可視光の発光残像として表示されるので、赤外光等の不可視光の光路位置及び光路径を作業者が視認することができる。
【００１２】
また、導光体を支持する各部材の組立て時においては、その組立て精度のばらつきによって、Ｙ軸方向駆動手段だけでは、導光体は必ずしもＹ軸方向に振動せずＹ軸方向に対して傾いて振動したり、Ｙ軸方向に楕円で振動したり、Ｙ軸方向に対して傾きを伴った楕円で振動したりする場合がある。しかし、この発明によれば、調整手段を設けたので、Ｙ軸駆動手段による導光体の振動方向がＹ軸方向になるように調整できる。従って、導光体を支持する各部材の組立て精度を緩和させることができる。その結果、導光体を支持する各部材選択の自由度を向上させることができる。
【００１３】
さらに、赤外光を光線検出領域内で走査して検出するための振動体として、導光体を用い、発光手段からの可視光を導光体によって伝搬し、その先端部から可視光を放射するようにしている。このため、拡散が少なく点光源に近い輝点の発光残像が得られ、さらに赤外光検出等の不可視光の分解能（表示分解能）が向上する。したがって、赤外光等の不可視光の光路位置を検出できるとともに、不可視光の光路位置検出の分解能を向上させることができる。
【００１４】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の光線検出装置において、前記導光体は、前記先端部に斜めの研磨面を有するガラス製の導光体であり、前記先端部に入射する光は前記
研磨面で反射されて前記導光体内に導入され伝搬されるとともに、前記導光体の基端部に入射する光は前記導光体によって伝搬されて前記研磨面で反射されて外部へ放射されるように構成されていることを要旨とする。
【００１５】
これによれば、導光体を先端部に斜めの研磨面を有するガラス製の導光体として、先端部に入射する光は研磨面で反射されて導光体内に導入され伝搬されるとともに、導光体の基端部に入射する光は導光体によって伝搬されて研磨面で反射されて外部へ放射されるように構成している。ガラス製の導光体は質量が小さいため、振動周波数を大きくするのが容易である。これによって、分可能がさらに向上する。また、ガラス製の導光体上に受光素子や発光素子等の部品がないため、組立が容易で、量産化に適した構成を実現できる。さらに、導光体の先端部に別途発光素子や受光素子等を設ける必要がないため、振動部分に電気配線が不要となり、信頼性及び装置の寿命が向上する。さらにまた、金属に比べてガラスは振動させても疲労破断が起こりにくいので、これによっても信頼性及び装置の寿命が向上する。また、被検出光がＸＹ平面に対して垂直に入射するように、導光体のＹ軸方向の振動方向は調整可能にされるので、被検出光はその研磨面に対して垂直に入射される。従って、不可視光である被検出光の位置を導光体の先端部から放射された可視光の円形状の発光残像として表示させることができる。
【００１６】
請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の光線検出装置において、前記導光体は、その基端部側が前記本体部内で固定され、前記基端部側を支点にして揺動する片持ち梁式の振動系を構成し、前記Ｙ軸方向駆動手段は、Ｙ軸方向の一側がＮ極にその他側がＳ極になるように前記導光体に固定された駆動用永久磁石と、前記駆動用永久磁石のＹ軸方向両側に配置された一対のコイルと、を備え、前記調整手段は、前記駆動用永久磁石と同じ磁極同士が対向するように配置された調整用永久磁石を備えていることを要旨とする。
【００１７】
これによれば、振動系を構成する導光体を片持ち梁式としたため、長手方向が短くなり、装置の小型化を図ることができる。また、導光体が例えば円形の断面形状を有した光ファイバである場合では、導光体はどの方向にも振動し得る。従って、一対のコイルの（固定による）重量バランスの片寄り、導光体に対する同導光体を支持する部材の一様でない機械歪、導光体の支持力が不均一であることなどによって、導光体がＹ軸方向の振動に加えてＺ軸方向の振動成分を有するようになり、Ｙ軸方向に対して傾いて振動したり、Ｙ軸方向に楕円で振動したり、Ｙ軸方向に対して傾きを伴った楕円で振動したりする場合がある。このような不適切な振動を抑制するために、駆動用永久磁石と調整用永久磁石の位置を調整して両磁石により生じる反発磁界の分布を変えることで、前記Ｚ軸方向の振動成分を打ち消し、導光体の振動方向をＸＹ平面に規制することが可能となる。この結果、被検出光がＸＹ平面に対して垂直に入射するようになり、被検出光はその研磨面に対して垂直に入射される。これにより、不可視光である被検出光の位置を、導光体の先端部から放射された可視光の円形状の発光残像として表示させることができる。
【００１８】
請求項４に係る発明は、請求項１〜３のいずれか一つに記載の光線検出装置において、前記調整用永久磁石は、Ｙ軸方向に移動可能に設けられていることを要旨とする。
これによれば、駆動用永久磁石に対して調整用永久磁石の位置をＹ軸方向に調整することで、両磁石により生じる反発磁界の分布を容易に変えることができる。
【００１９】
請求項５に係る発明は、請求項１〜４のいずれか１つに記載の光線検出装置において、前記Ｘ軸方向駆動手段は、前記導光体をＸ軸方向に往復動させるステッピングモータを備え、前記ステッピングモータは、その回転を直線運動に変換して前記導光体に伝えるのに、ネジ機構を用いた回転スライダーステッピングモータであることを要旨とする。
【００２０】
これによれば、導光体は、Ｘ軸方向駆動手段のステッピングモータによりＸ軸方向に往
復動される。これにより、導光体をＹ軸方向に振動させながらＸ軸方向に往復動させることで、導光体の先端部を光線検出領域内を繰り返し走査させることができる。また、回転スライダーステッピングモータはリニアーステッピングモータに比べて駆動トルクが大きいので、Ｘ軸方向が上下方向であっても、その向きに関係なく導光体をＸ軸方向に駆動することができる。したがって、使用条件範囲が広がり、装置の汎用性が向上する。
【００２１】
請求項６に係る発明は、請求項１〜５のいずれか１つに記載の光線検出装置において、前記可視光放射手段は、前記先端部に入射し前記導光体によって伝搬されて、前記導光体の前記基端部から出射する前記被検出光を前記受光手段に入射させるとともに、前記発光手段から出射される可視光を前記基端部に入射させる光学系と、前記被検出光を受光したときに前記受光手段から出力される検出信号に基づいて前記発光手段を発光させる光検出回路とを備えることを要旨とする。
【００２２】
これによれば、先端部に入射し導光体によって伝搬されて、導光体の基端部から出射する被検出光を光学系により受光手段に入射させるとともに、発光手段から出射される可視光を光学系により導光体の基端部に入射させる。また、光検出回路により、被検出光を受光したときに受光手段から出力される検出信号に基づいて発光手段を発光させる。これにより、ガラス製の導光体上に受光素子や発光素子等の部品がないため、組立が容易で、量産化に適した構成を実現できる。さらに、導光体の先端部に別途発光素子や受光素子等を設ける必要がないため、振動部分である導光体に電気配線が不要となり、信頼性及び装置の寿命が向上する。
【００２３】
請求項７に係る発明は、請求項６に記載の光線検出装置において、前記光学系及び前記光検出回路は、一体にモジュール化され、前記導光体と一緒に回転スライダーステッピングモータによりＸ軸方向に往復動されることを要旨とする。
これによれば、装置の組立が容易で量産化に適した構成を実現できる。
【００２４】
請求項８に係る発明は、請求項６に記載の光線検出装置において、前記導光体の基端部側は、前記光学系を保持する光学系用基板側に固定されたベースと、前記光検出回路を保持する回路基板側に固定されたベースとの間に挟持されることを要旨とする。
【００２５】
これによれば、導光体の基端部側が、光学系を保持する光学系用基板側に固定されたベースと、光検出回路を保持する回路基板側に固定されたベースとの間に挟持される。これにより、光学系用基板側に固定されたベースと回路基板側に固定されたベースとを本体部に固定することで、これらのベース間に導光体の基端部側が挟持されるようになる。このため、導光体の基端部側を固定する部材の軽量化を図ることができ、導光体をＸ軸方向に駆動させる際の慣性質量を減少させることができる。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明によれば、赤外光等の不可視光の光路位置の検出が可能で、部材の組立て精度を緩和させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の光線検出装置を赤外線検出装置に具体化した一実施形態を図１〜図１０に従って説明する。
図１は一実施形態に係る赤外線検出装置１の概略構成を示す斜視図であり、図２は同赤外線検出装置１を示す側面図である。図３は、赤外線検出装置１の本体部内部の構成を示す側面図である。
【００２８】
この赤外線検出装置１は、可視光より波長が長く不可視光となっている赤外光を検出す
るためのものである。この赤外線検出装置１の特徴は、被検出光としての赤外光をＸＹ平面内で走査して検出するための振動体として、ガラス製の導光体を用いている点にある。
【００２９】
（全体構成）
図１及び図２に示すように、光線検出装置としての赤外線検出装置１は、本体部２と、光入射部及び光放射部である先端部３ａ側を本体部２の左側面（一側面）２ａから突出させた振動体としてのガラス製の導光体３とを備える。
【００３０】
本体部２は直方体形状の筐体になっている。その本体部２は、例えば長さが９０ｍｍで、厚さが２３ｍｍで、高さが５８ｍｍの大きさを有し、手で把持できる程度に小型である。ガラス製の導光体３は、その断面形状が円形である例えば外径５００μｍの光ファイバである。
【００３１】
本体部２の上部には、導光体３の振動開始と、その振動停止と、その振動速度（Ｘ軸方向の振動周波数）とを切り替えるための切り替えスイッチ４が配置されている。導光体３の振動速度（Ｘ軸方向の振動周波数）は、切り替えスイッチ４により、低速、中速及び高速の３段階に切り替え可能である。
【００３２】
本体部２の左側面２ａからは、ガラス製の導光体３が突き出している。この導光体３は、図１に示すＸ軸方向とＹ軸方向の２方向に駆動されるようになっている。また、本体部２の左側面２ａには、導光体３の左側面２ａから突出している部分を保護するための保護ケース５が固定されている。この保護ケース５は四角形状の窓６を有する。この窓６には、例えば、硝子板が嵌め込まれ内部を密閉するとともに内部を視認できるようになっている。
【００３３】
本体部２の右側面２ｂには、光量に応じて感度を手動調節できる感度調節つまみ７が設けられている。なお、本体部２の一部の壁部２ｃは磁石８（図３参照）によって取り外し可能に固定されている。
【００３４】
本体部２内部には、図３に示すように、導光体３をＸ軸方向に駆動するＸ軸方向駆動手段としてのＸ軸駆動系の駆動源である回転スライダーステッピングモータ２１と、導光体３をＹ軸方向に電磁駆動により振動させるＹ軸方向駆動手段としてのＹ軸振動駆動系の駆動コイル３１とが設置されている。
【００３５】
本体部２の中央下部には、光検出回路としてのアナログ信号処理回路４１が回路基板４２上に実装されている。この回路基板４２の下側に光学系５０（図６参照）が配置されている。アナログ信号処理回路４１と光学系５０は、一体化されて１つのモジュール６０が構成されている。
【００３６】
また、本体部２内の上部左にＣＰＵ７０が配置されている。このＣＰＵ７０により、導光体３の振動速度（Ｘ軸方向の振動周波数）を、切り替えスイッチ４の切り替え操作に応じて上記３段階に切り替える速度可変制御と、振動開始／停止制御等を行うようになっている。
【００３７】
導光体３の振動が停止している状態で、切り替えスイッチ４を押すと、導光体３のその基端部側を支点にしたＹ軸方向の振動が開始され、その開始の１秒後に導光体３のＸ軸方向の往復動が開始されるようになっている。この状態で、切り替えスイッチ４を繰り返し押す毎に、導光体３のＸ軸方向の振動周波数（振動速度）が低速、中速、及び高速の３段階に切り替えられるようになっている。
【００３８】
このように導光体３のＸ軸方向の振動速度を３段階に切り替える機能を備えているので、光路径の小さい赤外光を検出する場合に、その振動速度を高速から中速へ、或いは中速から低速へ切り替えて遅くすることにより、分解能を上げて検出することができる。切り替えスイッチ４をさらに押すと、導光体３のＹ軸方向の振動が停止するとともに、Ｘ軸方向の振動も停止するようになっている。
【００３９】
下記の表１に、本実施形態に係る赤外線検出装置１において、導光体３のＸ軸方向の振動速度（振動周波数）を低速、中速、及び高速にそれぞれ切り替えたときの、導光体３の先端部３ａの走査性能（走査機能）を示す。ここで、導光体３の先端部３ａが移動する範囲であるＸＹ平面内の光線検出領域１０（図５参照）、つまり先端部３ａにより赤外光を走査する走査範囲は、例えば、Ｙ軸方向の振動幅（約１５ｍｍ）×Ｘ軸方向の移動距離（約１５ｍｍ）の範囲である。なお、表１に示す「速度切り替え」は、導光体３のＸ軸方向の振動速度を低速、中速、及び高速に３段階に切り替えることを意味する。
【００４０】
【表１】
2006105873.tif 000003
この表１から分かるように、導光体３のＸ軸方向の振動速度を遅くするほど、光線検出領域１０内で走査線ピッチのより小さい走査がなされるので、分解能が向上してより光路径の小さい赤外光を検出できるようになる。
【００４１】
上記表１では、導光体３のＸ軸方向の振動速度を低速、中速、及び高速に切り替えた場合における、１フレーム時間（ｍｓｅｃ）、走査線数（本）、及び走査線ピッチ（ｍｍ）をそれぞれ示してある。ここで、「１フレーム時間」は、導光体３をＹ軸方向に振動させながらＸ軸方向に往復動させることで、その先端部３ａが光線検出領域１０全体を１回走査するのに要する時間をいう。また、「走査線数」は、先端部３ａがＹ軸方向に１回移動する際におけるその移動軌跡を示す線を１本の走査線１１としたとき、光線検出領域１０内におけるその走査線１１の総数をいう。また、「走査線ピッチ」は、Ｘ軸方向の移動距離（約１５ｍｍ）を走査線数で割った値である。
【００４２】
（細部の説明）
ガラス製の導光体３は、図４（ａ），（ｂ）に示すような外径が５００μｍの光ファイバである。つまり、この光ファイバは、コアとクラッドからなる通常の光ファイバである。導光体３の先端部３ａには、光ファイバのコア中心軸（光軸）に対して４５度の角度で研磨した斜めの研磨面３Ａが形成されている。
【００４３】
これにより、図４（ａ）の実線矢印で示すように、導光体３の先端部３ａに光ファイバのコア中心軸（光軸）に対して４５度の角度で入射する赤外光は研磨面３Ａで反射されて導光体３内に導入され、導光体３によってその基端部３ｂ（図６参照）側へ伝搬される。また、基端部３ｂに入射する光（本例では橙色の可視光）は、導光体３によって先端部３ａ側へ伝搬され、研磨面３Ａで反射されて図４（ａ）の破線矢印で示すように、前記コア中心軸に対して４５度の角度で外部へ放射されるように構成されている。
【００４４】
なお、導光体３として使用した光ファイバはヤング率が大きく、許容曲げ半径は３３ｍｍである。例えば、その光ファイバは、長さ５５ｍｍで最大たわみを１０ｍｍとした。
（光学系）
本例で用いる光学系５０は、先端部３ａに入射し導光体３によって伝搬されて、導光体の基端部３ｂから出射する不可視光である被検出光としての赤外光を受光手段に入射させるとともに、発光手段から出射される可視光を導光体３の基端部３ｂに入射させるようになっている。
【００４５】
光学系５０の主な構成は、図６に示すように、基端部３ｂ側が固定された光ファイバである導光体３、赤外透過フィルタの役割をする鏡面Ｓｉ基板５１、鏡面Ｓｉ基板５１を透過した赤外光を集光する球レンズ５２、受光手段としての受光素子５３、発光手段としての発光ダイオード５４、及び集光レンズ５５等を備えている。また、光学系５０を構成する鏡面Ｓｉ基板５１等の各光学要素は、前記回路基板４２と一体に固定された光学系用基板５６上に配置されている。
【００４６】
鏡面Ｓｉ基板５１は、例えば、波長１５５０ｎｍにおける透過率が７０％の透過特性を有する。球レンズ５２は例えばφ７ｍｍの球レンズであり、受光素子５３はφ１ｍｍのＩｎＧａＡｓ受光素子である。また、発光ダイオード５４は橙色発光ダイオードである。
【００４７】
導光体３の基端部３ｂ側は、図７及び図８に示すように、光学系５０を保持する光学系用基板５６側に固定されたベース７１の段差部７１ａと、アナログ信号処理回路４１等の回路素子を保持する回路基板４２側に固定されたベース７２の段差部７２ａとの間に挟持される。ベース７１，７２を、導光体３の基端部３ｂ側を挟持した状態で、貫通孔７３，７４に挿通したボルトとナットにより締結することにより、光学系５０の光学系用基板５６とアナログ信号処理回路４１等の回路素子が実装された回路基板４２とがベース７１，７２を介して一体化されている。これにより、アナログ信号処理回路４１等の回路素子及び光学系５０が一体化された１つのモジュール６０が、導光体３と一緒にＸ軸方向に往復動するようになっている。なお、ベース７１，７２は、アルミニウムの削り出しとして、軽量化してその慣性質量の減少を図っている。
【００４８】
このような構成の光学系５０においては、導光体３の基端部３ｂから出射される赤外光は、鏡面Ｓｉ基板５１を透過した後、球レンズ５２で集光されて受光素子５３に入射し、受光素子５３で光電変換される。受光素子５３の検出信号（出力電流）は、増幅され発光ダイオード５４を駆動する。これにより、発光ダイオード５４は、可視光（橙色）を発光し、その可視光は集光レンズ５５で集光されて鏡面Ｓｉ基板５１に入射し、鏡面Ｓｉ基板５１で反射されて導光体３の基端部３ｂに導入される。さらに、その可視光は導光体３によって伝搬されてその先端部３ａ側へ進み、研磨面３Ａで反射されて、先端部３ａからコア中心軸に対して垂直方向に放射されるようになっている。
【００４９】
また、アナログ信号処理回路４１は、例えば、受光素子５３の出力電流に基づいて比較電圧を生成すると共に比較電圧のピーク電圧を保持し、そのピーク電圧に基づいて基準電圧を生成し、さらに、比較電圧が基準電圧を超えたときに発光信号を生成し出力するような回路構成になっている。この発光信号が生成されると、発光ダイオード５４に直列接続されたトランジスタが導通状態となって、発光ダイオード５４に駆動電流が流れ、発光ダイオード５４が橙色の可視光を発光するようになっている。
【００５０】
なお、図６における各部の寸法Ａ〜Ｈは、例えば次の通りである。
寸法Ａは２８．５ｍｍ、寸法Ｂは３４ｍｍ、寸法Ｃは１０ｍｍ、寸法Ｄは５．５ｍｍ、寸法Ｅは５．５ｍｍ、寸法Ｆは１５ｍｍ、寸法Ｇは８．５ｍｍ、そして、寸法Ｈは８．５
ｍｍである。
【００５１】
（Ｙ軸振動駆動系）
導光体３をその基端部３ｂ側を支点にしてＹ軸方向に振動（揺動）させてその先端部３ａをＹ軸方向に走査するＹ軸振動駆動系は、一対のコイルとしての駆動コイル３１及びフィードバックコイル３２と、駆動用永久磁石３３と、調整手段としての調整用永久磁石３４とによる電磁駆動を使用した。このＹ軸振動駆動系によりＹ軸方向に振動する振動体である導光体３は、上述したようにその基端部３ｂ側がベース７１，７２に固定された片持ち梁式の振動系を構成している。
【００５２】
詳述すると、図８（ａ）に示すように、駆動用永久磁石３３は、Ｙ軸方向の一側（上面側）がＮ極にその他側（下面側）がＳ極になるように導光体３に固定されている。
駆動コイル３１及びフィードバックコイル３２は、光学系用基板５６上に取り付けされている。詳しくは、光学系用基板５６の先端部３ａ側は、図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、コの字型の形状を成し、その側面Ｈｏ上には前記駆動用永久磁石３３とＹ軸方向上に相対向する位置に一対のＵ字型のコイル支持金具３５が取り付けられている。そして、駆動コイル３１及びフィードバックコイル３２は、その一対のコイル支持金具３５によって前記駆動用永久磁石３３とＹ軸方向上に相対向する位置にそれぞれ支持固定されている。
【００５３】
そして、駆動コイル３１に流す駆動電流の向きを変えることによって、駆動用永久磁石３３の上面と対向する側の磁極が切り替わり、導光体３が基端部３ｂ側を支点にしてＹ軸方向に振動（揺動）するようになっている。
【００５４】
駆動コイル３１は、例えば、磁石駆動作用が十分に得られると共に、５Ｖ電源の駆動電流が過大にならないようにするために、φ０．１ｍｍのエナメル線を１２００回巻きにしてある。また、フィードバックコイル３２は、振動周波数追従用のコイルとして作用し、φ０．０５ｍｍのエナメル線を１３００回巻きにしてある。このＹ軸振動駆動系によりＹ軸方向に振動する導光体３の振動周波数は、例えば１００Ｈｚである。フィードバックコイル３２は、温度や固定方法によって変動する共振周波数を検出し電子回路等で周波数制御を行っている。
【００５５】
調整用永久磁石３４は、導光体３の振動方向がＹ軸方向に対して傾くのを調整する調整手段である。調整用永久磁石３４は、図８（ａ）に示すように、Ｙ軸方向の一側（上面側）がＮ極にその他側（下面側）がＳ極になるように、つまり、駆動用永久磁石３３と同じ磁極同士が対向するように光学系用基板５６上の後記する所定の位置に配置されている。調整用永久磁石３４は、コの字状に屈曲形成された板状の固定部材３６に挟み込むように光学系用基板５６の側面Ｈｏ上に固定されている。固定部材３６は、例えばアルミニウムといった非磁性材料で構成されている。従って、調整用永久磁石３４は、固定部材３６をずらすことでＹ軸方向に移動可能に固定されている。
【００５６】
そして、導光体３は、円形状の光ファイバであり、その基端部３ｂのみが固定され先端部３ａは固定されていないため、どの方向にも振動し得る。例えばベース７１，７２といった各部材の組立時の組立て精度のばらつきや、各コイル３１，３２の接着による重量バランスに片寄りが生じたりする。また、導光体３に対する同導光体３を支持するベース７１，７２の一様でない機械歪、導光体３の支持力が不均一である場合がある。このような場合、導光体３がＹ軸方向の振動に加えてＺ軸方向の振動成分を有するようになり、Ｙ軸方向に対して傾いて振動したり、Ｙ軸方向に楕円で振動したり、Ｙ軸方向に対して傾きを伴った楕円で振動したりする場合がある。
【００５７】
このような不適切な振動を抑制するために、調整用永久磁石３４を、駆動用永久磁石３
３と同じ磁極同士が対向するように設け、さらに、その駆動用永久磁石３３との相対位置を調整して両磁石３３，３４により生じる反発磁界の分布を変えることで、前記Ｚ軸方向の振動成分を打ち消して導光体３の振動方向を前記ＸＹ平面内に規制するためのものである。
【００５８】
具体的には、例えば、図１０に示すように、導光体３の振動方向がＸＹ平面のＸ軸まわりに楕円軌道上で振動する場合は、まず、駆動用永久磁石３３と同じ磁極同士が対向するように調整用永久磁石３４を設ける。これにより、駆動用永久磁石３３のＳ極と調整用永久磁石３４のＳ極との間の反発磁界の分布、及び駆動用永久磁石３３のＮ極と調整用永久磁石３４のＮ極との間の反発磁界の分布が変化し、導光体３の楕円の振動が抑制され導光体３の振動方向が前記ＸＹ平面内に規制される。
【００５９】
また、調整用永久磁石３４を設けただけでは、導光体３の楕円の振動が抑制されるだけであって前記ＸＹ平面内に規制されず、導光体３の振動方向がＹ軸方向に対して傾いて振動する場合がある。このとき、例えば、図９（ａ）に示すように、導光体３がＸＹ平面のＸ軸まわりに図９（ａ）中反Ｚ矢印方向に傾きθをもって振動する場合は、さらに、調整用永久磁石３４をＹ矢印方向に移動する。そして、Ｙ矢印方向側の導光体３の電磁振動が反Ｚ矢印方向に押し上げられるように駆動用永久磁石３３のＳ極と調整用永久磁石３４のＳ極との間の反発磁界の分布を調整する。これにより、導光体３の電磁振動のＺ軸方向の振動成分が打ち消され、導光体３は前記ＸＹ平面内で振動する。また、例えば、図９（ｂ）に示すように、導光体３が前記ＸＹ平面の前記Ｘ軸まわりに図９（ｂ）中Ｚ矢印方向に傾きθをもって振動する場合は、調整用永久磁石３４を反Ｙ矢印方向に移動する。そして、反Ｙ矢印方向側の導光体３の電磁振動が反Ｚ矢印方向に押し上げられるように駆動用永久磁石３３のＮ極と調整用永久磁石３４のＮ極との間の反発磁界の分布を調整する。これにより、導光体３の電磁振動のＺ軸方向の振動成分が打ち消され、導光体３は前記ＸＹ平面内で振動する。
【００６０】
また、Ｙ軸振動駆動系は、前記したように、導光体３をその基端部３ｂ側を支点にした片持ち梁式としたため、長手方向が短くなり、装置の小型化を図ることができる。
（Ｘ軸駆動系）
前記モジュール６０を導光体３と一緒にＸ軸方向に往復動（振動）させるためのＸ軸駆動系は、ネジ式スライダーを採用し、回転スライダーステッピングモータ２１を使用した。つまり、図３に示すように、回転スライダーステッピングモータ２１により回転するネジ軸８０には、モジュール６０に固定されたスライダー８１内部の雌ネジ部が螺合している。これにより、ネジ軸８０を回転スライダーステッピングモータ２１により回転させると、スライダー８１がＸ軸方向に往復直線運動をするので、モジュール６０が導光体３と一緒にＸ軸方向に往復直線運動（往復動）をするようになっている。
【００６１】
このようなＸ軸駆動系では、回転スライダーステッピングモータ２１の回転を直線運動に変換するのに、ネジ軸８０とスライダー８１からなるネジ機構を利用しているため、大きなトルクが得られるのが特徴である。その反面、導光体３のＸ軸方向における所望の振動速度（振動周波数）を得るために回転スライダーステッピングモータ２１の回転速度が上昇するため、回転トルクに対しては不利であるが、設定最高パルスレート８８９ＰＰＳに対して最大発生トルクの１／４の回転トルク０．２ｍＮ・ｍが得られた。また、回転スライダーステッピングモータ２１は、加減速制御（台形駆動）を行うことで脱調は見られず、安定な駆動が得られた。
【００６２】
次に、以上のように構成された赤外線検出装置１の使用方法について説明する。
例えば、レーザ光源から出力される赤外光を用いて、光ファイバコリメータや合波／分波器等の光通信用モジュールを組み立てる際の調芯作業等を行う際に、その赤外光の光路
位置を検出する場合について説明する。この場合、レーザ光源と調芯される光通信用モジュールとの間に、保護ケース５の窓６、つまり前記光線検出領域１０を位置させる。この状態で、切り替えスイッチ４を操作して導光体３をＹ軸方向に振動させるとともに、Ｘ軸方向に往復動させる。これにより、導光体３の先端部３ａが、上記表１に示す１フレーム時間で光線検出領域１０内を繰り返し走査する。
【００６３】
このようにして導光体３の先端部３ａにより光線検出領域１０内を走査している間に、図４（ａ）の実線矢印で示すように、赤外光が先端部３ａに入射すると、その赤外光は研磨面３Ａで反射され、導光体３によってその基端部３ｂへ伝搬される。導光体３の基端部３ｂから出射される赤外光は、鏡面Ｓｉ基板５１を透過した後、球レンズ５２で集光されて受光素子５３に入射し、受光素子５３で光電変換される。受光素子５３の検出信号（出力電流）は、増幅され発光ダイオード５４を駆動する。これにより、発光ダイオード５４は、可視光（橙色）を発光し、その可視光は集光レンズ５５で集光されて鏡面Ｓｉ基板５１に入射し、鏡面Ｓｉ基板５１で反射されて導光体３の基端部３ｂに導入される。さらに、その可視光は導光体３によって伝搬されてその先端部３ａ側へ進み、研磨面３Ａで反射されて、先端部３ａからコア中心軸に対して垂直方向に放射される。その結果、光線検出領域１０において、不可視光である赤外光の位置が、先端部３ａから放射された可視光の発光残像として表示されるので、その赤外光の光路位置及び光路径を作業者が視認することができる。
【００６４】
また、ベース７１，７２や、各コイル３１，３２といった各部材の組立て時において、その組立て精度がばらついても、組立て後に調整用永久磁石３４と駆動用永久磁石３３との相対位置を調整することで導光体３の振動方向が前記ＸＹ平面内になるように規制することができる。従って、導光体３を支持する例えばベース７１，７２といった各部材の組立て精度を緩和させることができる。その結果、導光体３を支持する各部材選択の自由度を向上させることができる。さらに、調整用永久磁石３４によって導光体３のＸＹ平面のＸ軸まわりの振動方向の傾きがＸＹ平面内になるように調整されているので、赤外光がＸＹ平面に対して垂直に入射する。従って、赤外光は導光体３の研磨面３Ａに対して垂直に入射される。その結果、不可視光である赤外光の位置を、導光体３の先端部３ａから放射された可視光の円形状の発光残像として表示させることができる。
【００６５】
なお、上記一実施形態において、回転スライダーステッピングモータ２１を駆動源とする上記Ｘ軸駆動系と、駆動コイル３１等を有するＹ軸振動駆動系とにより、導光体３をＹ軸方向に振動させながらＸ軸方向に往復動させる駆動手段が構成されている。また、この駆動手段と、上記光学系５０とにより、光線検出領域１０に照射される被検出光が先端部３ａに入射し導光体３によって伝搬されて受光素子（受光手段）５３に入射すると、発光ダイオード（発光手段）５４から可視光を出射させ、可視光を導光体３によって伝搬し先端部３ａから放射させる可視光放射手段が構成されている。
【００６６】
以上のように構成された一実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
○導光体３の先端部３ａにより光線検出領域１０内を繰り返し走査する間に、赤外光が先端部３ａに入射し、その赤外光が導光体３によって伝搬されて受光素子５３に入射すると、発光ダイオード５４が可視光（橙色）を発光する。その可視光は導光体３によって伝搬され先端部３ａから放射される。その結果、光線検出領域１０において、不可視光である赤外光の位置が、先端部３ａから放射された可視光（橙色）の発光残像として表示されるので、不可視光である赤外光の光路位置及び光路径を作業者が視認することができる。したがって、赤外光等の不可視光の光路位置を検出することができる。
【００６７】
○赤外光等の不可視光の光路位置を検出することができるので、上述したようにレーザ光源から出力される赤外光を用いて、光ファイバコリメータや合波／分波器等の光通信用
モジュールを組み立てる際の調芯作業等を効率良く行うことができる。
【００６８】
○被検出光としての赤外光を光線検出領域１０内で走査して検出するための振動体として、光ファイバで構成したガラス製の導光体３を用いている。発光ダイオード５４からの可視光を導光体３によって伝搬し、その先端部３ａから可視光を放射するため、拡散が少なく点光源に近い輝点の発光残像が得られ、赤外光検出の分解能（表示分解能）が向上する。したがって、赤外光等の不可視光の光路位置検出の分解能を向上させることができる。
【００６９】
○振動体である導光体を先端部３ａに斜めの研磨面３Ａを有するガラス製の導光体３として、先端部３ａに入射する光は研磨面３Ａで反射されて導光体３内に導入され伝搬されるとともに、導光体３の基端部３ｂに入射する光は導光体３によって伝搬されて研磨面３Ａで反射されて外部へ放射されるようになっている。ガラス製の導光体３は質量が小さいため、振動周波数（Ｙ軸方向の振動周波数）を大きくするのが容易である。これによっても赤外光検出の分解能（表示分解能）が向上する。
【００７０】
○上記振動体としてガラス製の導光体３を用いているので、導光体３の先端部に別途光源や受光部を設ける必要がなく、導光体３に電気配線が不要となる。その結果、信頼性が向上し、装置寿命が向上する。
【００７１】
○金属に比べてガラスは振動させても疲労破断が起こりにくい。そのため、光ファイバで構成したガラス製の導光体３の疲労破断が起こりにくく、この点でも信頼性が向上し、装置寿命が向上する。
【００７２】
○振動体であるガラス製の導光体３上には、受光素子、発光素子、電気配線等の部品がないため、組立が容易である。したがって、装置の組立が容易で、量産化に適した構成を実現できる。
【００７３】
○振動系を構成する導光体３を片持ち梁式としたため、長手方向が短くなり、装置の小型化を図れる。
○導光体３は、駆動コイル３１による電磁駆動を使用したＹ軸振動駆動系によりＹ軸方向に電磁駆動により振動されるとともに、Ｘ軸駆動系によりＸ軸方向に往復動される。これにより、導光体３をＹ軸方向に振動させながらＸ軸方向に往復動させることで、導光体３の先端部３ａを光線検出領域１０内を繰り返し走査させることができる。
【００７４】
○光ファイバで構成したガラス製の導光体３をＸ軸方向に振動させるためのＸ軸駆動系に、回転スライダーステッピングモータ２１を使用し、ネジ軸８０をそのステッピングモータにより回転させてモジュール６０を導光体３と一緒にＸ軸方向に往復動させるようにしている。このため、リニアーステッピングモータに比べて大きい駆動トルクが得られ、そのＸ軸方向が上下方向であっても、その向きに関係なく導光体３をＸ軸方向に振動させることができる。したがって、使用条件範囲が広がり、装置の汎用性が向上する。
【００７５】
○先端部３ａに入射し導光体３によって伝搬されて、導光体３の基端部３ｂから出射する赤外光を光学系５０により受光素子５３に入射させるとともに、発光ダイオード５４から出射される可視光（橙色）を光学系５０により基端部３ｂに入射させる。また、アナログ信号処理回路４１により、赤外光を受光したときに受光素子５３から出力される検出信号に基づいて発光ダイオード５４を発光させる。これにより、ガラス製の導光体３上に受光素子や発光素子等の部品がないため、組立が容易で、量産化に適した構成を実現できる。さらに、導光体３の先端部３ａに別途発光素子や受光素子等を設ける必要がないため、振動部分である導光体３に電気配線が不要となり、信頼性及び装置の寿命が向上する。
【００７６】
○光学系５０とアナログ信号処理回路４１等の電子回路とを一体化したモジュール６０としているため、この点でも、組立が容易である。したがって、装置の組立が容易で、量産化に適した構成を実現できる。
【００７７】
○導光体３の基端部３ｂ側は、光学系５０を保持する光学系用基板５６側に固定されたベース７１の段差部７１ａと、アナログ信号処理回路４１等を保持する回路基板４２側に固定されたベース７２の段差部７２ａとの間に挟持される。ベース７１，７２を、導光体３の基端部３ｂ側を挟持した状態で、ボルトとナットにより本体部２に固定することで、これらのベース７１，７２間に導光体３の基端部３ｂ側が挟持されるようになる。このため、導光体３の基端部３ｂ側を固定する部材の軽量化を図ることができ、導光体３をＸ軸方向に駆動させる際の慣性質量を減少させることができる。
【００７８】
○本体部２は、前記Ｘ軸駆動系とＹ軸振動駆動系を含む駆動手段、及び、光学系５０とアナログ信号処理回路４１を含む可視光放射手段を内部に有する筐体で構成され、筐体の一部の壁部２ｃは磁石８によって取り外し可能に固定されている。これにより、狭い場所にも本体部２の挿入が可能になる。
【００７９】
○光学系用基板５６の側面Ｈｏ上に、駆動用永久磁石３３との相対位置をＹ軸方向に調整することで調整用永久磁石３４との反発磁界の分布を変える調整用永久磁石３４を設けた。そして、導光体３を支持するベース７１，７２の組立て精度のばらつき等によって同導光体３の振動がＹ軸方向の振動に加えてＺ軸方向の振動成分を有するようになり不適切な振動をする場合は、駆動用永久磁石３３との相対位置を調整して両磁石３３，３４により生じる反発磁界の分布を変えることで、導光体３の振動方向をＸＹ平面内に規制した。従って、ベース７１，７２や、各コイル３１，３２といった各部材の組立て時において、その組立て精度がばらついても、組立て後に調整用永久磁石３４と駆動用永久磁石３３との相対位置を調整することで導光体３の振動方向が前記ＸＹ平面内になるように規制することができるので、導光体３を支持する各部材の組立て精度を緩和させることができる。その結果、導光体３を支持する各部材選択の自由度を向上させることができる。
【００８０】
なお、この発明は以下のように変更して具体化することもできる。
・上記一実施形態では、切り替えスイッチ４を押しボタン式スイッチとしているが、切り替えスイッチ４を押しボタン式スイッチに代えて、回転式など他の方式の切り替えスイッチを使用することもできる。
【００８１】
・上記一実施形態では、ガラス製の導光体３をコアとクラッドとからなる光ファイバで構成したが、ガラス製の導光体３は中空構造の導光体であっても良い。この場合、使用波長域が大きく拡大するという利点が得られる。
【００８２】
・上記一実施形態では、振動系を構成する導光体としてガラス製の導光体３を用いているが、導光体として透明な樹脂製の導光体を用いても良い。
・上記一実施形態では、導光体３をＸ軸方向に往復動させるためのＸ軸駆動系に、ネジ式スライダーを採用し、回転スライダーステッピングモータ２１を使用したが、本発明はこれに限定されない。そのＸ軸駆動系の駆動源としてリニアーステッピングモータを用いる構成にも本発明は適用可能である。
【００８３】
・上記一実施形態では、調整用永久磁石３４は、コの字状に屈曲形成された板状の固定部材３６によって光学系用基板５６の側面Ｈｏ上に固定されていたが、そうではなく、固定部材３６を使用せずに側面Ｈｏ上に接着剤によって固定されていてもよい。要は、導光体３の振動方向をＸＹ平面内に規制するように駆動用永久磁石３３との反発磁界の分布を
調整可能となるような位置に調整用永久磁石３４を固定されていればよい。
【００８４】
・上記一実施形態では、光学系用基板５６の先端部３ａ側は、コの字型の形状を成し、その側面Ｈｏ上に調整用永久磁石３４を固定した。これを、光学系用基板５６の先端部３ａ側は前記側面Ｈｏに対向する側にも側面を有した筒状の形状を成し、その両側面にそれぞれ駆動用永久磁石３３との反発磁界の分布を調整可能とする調整用永久磁石を固定してもよい。また、調整用永久磁石３４を前記側面Ｈｏに対向する側の側面にのみに設けられていてもよい。このようにすることで、上記実施形態と同様な効果を得ることができる。
【００８５】
・上記一実施形態では、駆動用永久磁石３３は、Ｙ軸方向の上面側がＮ極に、その下面側がＳ極になるように導光体３に固定したが、そうではなく、Ｙ軸方向の下面側がＮ極にその上面側がＳ極になるように固定してもよい。この場合、調整用永久磁石３４は、Ｙ軸方向の一側（上面側）がＳ極にその他側（下面側）がＮ極になるように配置する。要は、調整用永久磁石３４は、駆動用永久磁石３３と同じ磁極同士が対向するように配置されていればよい。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】一実施形態に係る赤外線検出装置の概略構成を示す斜視図。
【図２】同赤外線検出装置の側面図。
【図３】同赤外線検出装置の本体部内部の構成を示す側面図。
【図４】（ａ）は第１実施形態で用いる導光体を示す平面図、（ｂ）は同導光体を研磨面側から見た側面図。
【図５】導光体先端部で走査する光線検出領域を示す説明図。
【図６】一実施形態に係る光学系の概略構成を示す平面図。
【図７】図６における導光体固定部の断面図。
【図８】（ａ）はＹ軸振動駆動系の概略構成を示す平面図、（ｂ）はＹ軸振動駆動系の正面図、（ｃ）はＹ軸振動駆動系の概略構成の断面図。
【図９】（ａ），（ｂ）は、それぞれ調整用磁石の作用を説明するための図である。
【図１０】導光体の不適切な振動の様子を示す図。
【符号の説明】
【００８７】
１…光線検出装置としての赤外線検出装置、２…本体部、２ｃ…壁部、３…導光体、３ａ…先端部、３ｂ…基端部、３Ａ…研磨面、８…磁石、１０…光線検出領域、２１…回転スライダーステッピングモータ、３１…コイルとしての駆動コイル、３２…コイルとしてのフィードバックコイル、３３…駆動用磁石、３４…調整手段としての調整用永久磁石、４１…光検出回路としてのアナログ信号処理回路、４２…回路基板、５０…光学系、５３…受光手段としての受光素子、５４…発光手段としての発光ダイオード、５６…光学系用基板、７１，７２…ベース。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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