【手続補正書】
【提出日】平成19年6月8日(2007.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）多数のガスパネルであって、そのそれぞれが、配分されたガスの流れのために減圧ガスソースに結合可能な生成ガスフローラインと、パージガスの流れのためにパージガスソースに結合可能なパージガスラインと、生成ガスフローライン内の圧力制御式流量調整器と、ガスの流れを防止するためにパネルのガスフロー回路内で生成ガスフローラインとパージガスラインのそれぞれを選択的にかつ独立に分離するための選択的に作動可能な弁と、を含むガスフロー回路を備える、多数のガスパネルと、
（ｂ）前記多数のガスパネルのうち活性化配分パネルの生成ガスフローラインから来た生成ガスの放出のために、ガスパネルのそれぞれの中の生成ガスフローラインを相互接続する生成ガス多岐管と、
（ｃ）ガスパネルのそれぞれの中の生成ガスフローラインおよびパージガスラインとの、ガスフロー連通状態で結合される、パージガス多岐管と、
（ｄ）前記パージガス多岐管を通して前記多数のガスパネルのうち非配分パネルのフロー回路からガスを排気するように配列される、選択的に作動可能な排出ドライバと、
（ｅ）中央処理装置（ＣＰＵ）であって、
（１）ガスパネルのそれぞれの中で、選択的に作動可能な弁と、
（３）選択的に作動可能な排出ドライバと、 を選択的に作動させ、その結果、ガスパネルのそれぞれが、（Ｉ）減圧ガスソースからのガスが生成ガスフローラインを通って生成ガス多岐管に流される、活性化配分稼動モードと、（ＩＩ）パージガスソースからのパージガスが、パージガスラインを通って、生成ガスフローラインおよびパージガス多岐管の中に流される、パージ稼動モードと、（ＩＩＩ）パージガスライン、生成ガスフローラインおよびパージガス多岐管が排出ドライバの作用を受けて排気される、排出稼動モードと、（ＩＶ）（Ｉ）の活性化配分稼動モードの再始動のために、生成ガスフローラインが生成ガス多岐管からの生成ガスで充填され、生成ガスフローライン内の圧力制御式流量調整器が、減圧ガスソースから生成ガスフローラインを通って生成ガス多岐管へ流れる生成ガスの流量を調節するために作動する、活性化ガス配分状態稼動モードへの充填遷移と、を含む稼動モードで、連続して、交互におよび反復して動作するように配列される中央処理装置（ＣＰＵ）と、を備える、自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項２】
少なくとも２枚のガスパネルを備える、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項３】
２枚のガスパネルを備える、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項４】
ガスパネルのそれぞれが、それぞれの別個のガス筐体内に封入される、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項５】
前記多数のガスパネルが、単一の中央処理装置（ＣＰＵ）と統合される、請求項４に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項６】
さらに、活性化配分稼動モード（Ｉ）でガスパネルの生成ガスフローラインに結合される減圧ガスソースを備える、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項７】
減圧ガスソースが、固相物理吸着剤が物理的に吸着性であるガスを吸着した固相物理吸着剤を含むガス貯蔵配分容器を備える、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項８】
前記ガスが、水素化物ガス、ハロゲン化物ガスおよび有機金属化合物ガスから成るグループから選択されるガス種を備える、請求項７に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項９】
生成ガス多岐管が、半導体製造機構のプロセスツールに結合される、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１０】
中央処理装置（ＣＰＵ）がプログラマブルロジックコントローラを備える、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１１】
パージガス多岐管が、そこに結合される排出ドライバを有するパージガス放出ラインとのガスフロー連通で接合される、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１２】
パージガス放出ラインが、そこを通って流れるパージガスの汚染物を除去するためにその中に配置されるガス清浄ユニットを有する、請求項１１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１３】
ガスフロー回路が、図１に図示されるように配列される、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１４】
パージガスラインが、そこに配置される流量制限オリフィスを有する、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１５】
パージガスラインがそこに配置される粒子フィルタを有する、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１６】
ガスパネルのそれぞれが、別個のそれぞれのガス筐体内に配置され、これらガス筐体が一体化した組立品としてともに結合される、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１７】
ガスフロー回路が、減圧ガスソースから生成ガスフローラインの中に流されるガスの圧力を監視するためにその中に配置される圧力変換器を有する、請求項１に記載の自動切換え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１８】
前記排出ドライバが真空ポンプを備える、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項１９】
（ｃ）多数のガスパネルであって、そのそれぞれが、配分されたガスの流れのために減圧ガスソースに結合可能な生成ガスフローラインと、パージガスの流れのためにパージガスソースに結合可能なパージガスラインと、生成ガスフローライン内の圧力制御式流量調整器と、ガスの流れを防止するためにパネルのガスフロー回路内の生成ガスフローラインとパージガスラインのそれぞれを選択的にかつ独立に分離するための選択的に作動可能な弁と、を含むガスフロー回路を備える、多数のガスパネルと、前記多数のガスパネルのうち活性化配分パネルの生成ガスフローラインから来た生成ガスの放出のために、ガスパネルのそれぞれの中の生成ガスフローラインを相互接続する生成ガス多岐管と、ガスパネルのそれぞれの中の生成ガスフローラインおよびパージガスラインとの、ガスフロー連通状態で結合される、パージガス多岐管と、前記パージガス多岐管を通して前記多数のガスパネルのうち非配分パネルのフロー回路からガスを排気するように配列される、選択的に作動可能な排出ドライバと、を提供することと、
（ｄ）
（３）ガスパネルのそれぞれの中で、選択的に作動可能な弁と、
（４）選択的に作動可能な排出ドライバと、を選択的に作動させて、（Ｉ）減圧ガスソースからのガスが生成ガスフローラインを通して生成ガス多岐管に流される、活性化配分稼動モードと、（ＩＩ）パージガスソースからのパージガスが、パージガスラインを通って、生成ガスフローラインおよびパージガス多岐管の中に流される、パージ稼動モードと、（ＩＩＩ）パージガスライン、生成ガスフローラインおよびパージガス多岐管が排出ドライバの作用を受けて排気される、排出稼動モードと、（ＩＶ）（Ｉ）の活性化配分稼動モードの再始動のために、生成ガスフローラインが生成ガス多岐管からの生成ガスで充填され、生成ガスフローライン内の圧力制御式流量調整器が、減圧ガスソースから生成ガスフローラインを通って生成ガス多岐管へ流れる生成ガスの流量を調整するために作動する、活性化ガス配分状態運転モードへの充填遷移と、を含む稼動モードで、ガスパネルのそれぞれを連続して、交互におよび反復して動作させることと、を備える、自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２０】
少なくとも２枚のガスパネルを動作させることを備える、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２１】
２枚のガスパネルを動作させることを備える、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２２】
活性化配分稼動モード（Ｉ）でガスパネルの生成ガスフローラインに結合される減圧ガスソースからガスを配分することを備える、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２３】
減圧ガスソースが、固相物理吸着剤が物理的に吸着性であるガスを吸着した固相物理吸着剤を含むガス貯蔵配分容器を備える、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２４】
前記ガスが、水素化物ガス、ハロゲン化物ガスおよび有機金属化合物ガスから成るグループから選択されるガス種を備える、請求項２３に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２５】
生成ガス多岐管から半導体製造機構のプロセスツールに生成ガスを流すことを備える、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２６】
ガスパネルのそれぞれが、別個のそれぞれのガス筐体内に配置され、これらガス筐体が一体化した組立品としてまとめて結合される、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２７】
さらに、そこから汚染物を除去するためにパージガスを洗浄することを備える、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２８】
さらに、減圧ガスソースから生成ガスフローラインの中に流されるガスの圧力を監視することを備える、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項２９】
ステップ（ＩＩＩ）で生成ガスフローラインおよびパージガスフローラインを真空排気することを備える、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項３０】
さらに、半導体素子構造を製造する際に生成ガスを使用することを備える、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項３１】
複数のガスパネル内に配列される多岐管状のガス筐体フロー回路による、減圧生成ガスソースからの生成ガスのデリバリー方法であって、複数のガスパネルのそれぞれが、それぞれの減圧生成ガスソース容器に結合可能であり、
（ａ）活性化生成ガス配分モードで第１パネルを動作させ、前記第１パネルのフロー回路に結合される減圧ガスソースから生成ガスを供給することと、
（ｂ）前記第１パネル内の活性化ガス配分モード中に、前記複数のガスパネルの第２のパネルをパージガスでパージし、前記第２パネルのフロー回路を排気し、前記第２パネルのフロー回路を、前記第１パネルから引き出される生成ガスおよび前記第２パネルのフロー回路に結合される減圧ガスソースからの生成ガスで充填して、前記第２パネルを活性化ガス配分状態にすることと、
（ｃ）圧力スパイクまたは流量摂動の発生を回避するために、第２パネルのフロー回路からの生成ガスの流れを制御する一方で、第１ガスパネルに結合される減圧ガスソースの排出時に活性化生成ガス配分モードに第２パネルを切り替えることと、を備える、方法。
【請求項３２】
前記充填遷移（ＩＶ）が、前記生成ガス多岐管からの前記生成ガスフローラインを、活性化配分稼動モードで別のガスパネルから来た生成ガスで充填することを含み、前記別のガスパネルの活性化配分稼動モードが終了して、前記充填遷移が、生成ガス圧力スパイクの発生を回避する速度で行われるように、ＣＰＵが構成される、請求項１に記載の自動切替え減圧ガスデリバリーシステム。
【請求項３３】
前記充填遷移（ＩＶ）が、前記生成ガスフローラインを、活性化配分稼動モードで別のガスパネルから来た前記生成ガス多岐管からの生成ガスで充填することを含み、前記別のガスパネルの活性化配分稼動モードが終了して、前記充填遷移が、生成ガス圧力スパイクの発生を回避する速度で行われる、請求項１９に記載の自動切替え減圧ガスデリバリー方法。
【請求項３４】
切替中に生成ガスが連続して供給されるように、前記切替（ｃ）が行われる、請求項３１に記載の生成ガスのデリバリー方法。