(57)【要約】【課題】ＰＤＰのパネル内部に残留するＣＨ系の不純物ガスの影響を抑えて、高効率、高画質なＰＤＰを実現する。【解決手段】複数の表示電極６を形成するとともに表示電極６を誘電体層７および保護膜８で覆った前面板１と、放電空間が形成されるように前面板１に対向配置されかつ表示電極６と直交する方向に形成したアドレス電極１０を形成するとともに放電空間を区画する隔壁１２間に蛍光体層１３を形成した背面板２とを備え、放電空間に放電ガスが充填されたプラズマディスプレイパネル１００において、放電ガスにオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類のガスを含む構成とする。【選択図】図１
2006294541.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の表示電極を形成するとともに前記表示電極を誘電体層および保護膜で覆った前面板と、放電空間が形成されるように前記前面板に対向配置されかつ前記表示電極と直交する方向に形成したアドレス電極を形成するとともに前記放電空間を区画する隔壁間に蛍光体層を形成した背面板とを備え、前記放電空間に放電ガスが充填されたプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記放電ガスにオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類のガスが含まれていることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記放電ガスが少なくとも一種類の希ガスを含んでいることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記希ガスがＨｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅのいずれかであることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記放電ガスに含まれるオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類のガスの含有量が０．０１ｐｐｍから５％の範囲にあることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
複数の表示電極を形成するとともに前記表示電極を誘電体層および保護膜で覆った前面板と、放電空間が形成されるように前記前面板に対向配置されかつ前記表示電極と直交する方向に形成したアドレス電極を形成するとともに前記放電空間を区画する隔壁間に蛍光体層を形成した背面板とを備え、前記放電空間に放電ガスが充填されたプラズマディスプレイの製造方法において、
対向配置した前記前面板と前記背面板とからなるパネルを周辺部に形成した封着部材によって封止する封止工程と、封止したパネル内部のガスを排気する排気工程を備え、
前記封止工程または前記排気工程で、前記パネル内部の構成要素をオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスに曝す処理を行うことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
前記封止工程においてパネル内部にオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスを流しながらパネルを封止し、
次いで、前記排気工程においてパネル内部のガスを排気することを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】
封止したパネル内にオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスを導入して保持し、
前記排気工程においてパネル内部のガスを排気することを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
前記排気工程において、排気中にパネル内にオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスを導入してパネル内部の構成要素をオゾンが含まれるガスに曝し、その後前記パネル内部のガスを排気することを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
前記放電ガスが少なくとも一種類の希ガスを含むことを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
前記希ガスがＨｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅのいずれかであることを特徴とする請求項９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
前記放電ガスに含まれるオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類のガスの含有量が０．０１ｐｐｍから５％の範囲にあることを特徴とする請求項５に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガス放電表示装置、特に、希ガス放電による紫外線で赤、緑、青各色の蛍光体を励起発光させて映像・画像を表示させる表示デバイスとして知られているプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、双方向情報端末として大画面で薄型のテレビ受像機や公衆表示装置への期待が高まっており、液晶表示パネル（ＬＣＤ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）ディスプレイ等の数多くの表示デバイスが提案されている。これらの表示デバイス中でもプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰとも略記する）は、自発光型で美しい画像表示ができ、大画面化が容易である等の理由から、視認性に優れた薄型の表示デバイスとして注目されており、高精細化および大画面化に向けた開発が進められている。
【０００３】
このＰＤＰには、大別すると、駆動方式からはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化への取り組みが比較的進め易いことおよび製造の簡便性により、現状では、ＡＣ型で面放電型のＰＤＰが主流を占めるようになってきている。
【０００４】
ＡＣ型で面放電型のＰＤＰは、透明基板に複数組の並行するストライプ状の維持電極と走査電極からなる表示電極、誘電体層、およびＭｇＯによる保護膜（保護層ともいう）等からなる構成物を形成した前面板と、別の基板に複数のストライプ状のアドレス電極（データ電極ともいう）、下地誘電体層、隔壁、蛍光体層等の構成物を形成した背面板とを、表示電極とデータ電極を直交させ、かつ内部に微小な空間（内部空間）を形成するように対向配置するとともに、周囲を封着部材により封止し、そして前記内部空間にネオンおよびキセノンなどを混合してなる放電ガスを例えば６６５００Ｐａ（約５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力で封入することにより構成したものである（例えば、非特許文献１参照）。
【０００５】
そして、ＰＤＰの一層の高効率化と高画質化を達成するのに、放電で発生する紫外線源であるＸｅガス圧を増加させるためのさらなる高Ｘｅ化等を含め、様々な手法により高効率化を図ることが検討されている。しかし、高効率化により放電自体のばらつきが生じ易いとか、ＰＤＰの動作寿命が低下するとか、保護膜のスパッタが進みＰＤＰの動作が不安定になるとかいった課題が従来よりもさらに顕著になる傾向がみられる。このような、放電のばらつき、寿命の低下、保護膜のスパッタによる動作不良等はＰＤＰのパネル内部の放電ガスに混入する不純物ガス（例えばＣＨ系のガス）の影響によると考えられているが、これらの不純物ガスの対策は容易ではなかった。そこで、ＰＤのＰパネル内部の放電ガスに不純物ガスを混入させないようにする各種の方法が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４参照）。
【０００６】
ここで、これらの方法の例をいくつか示す。上述のように、ＰＤＰは、前面ガラス基板上に表示電極と誘電体層と保護膜とが形成された前面板と、背面ガラス基板上にアドレス電極と下地誘電体層と隔壁と蛍光体層とが形成された背面基板とが放電空間を挟んで対向配置されて構成されており、ＰＤＰの各構成要素を形成する材料にはＣＨ系の原料が含まれるものが多い。これらの材料は工程中の焼成や形成後の洗浄により、ＣＨ系の残留物を除去しているが、完全に除去できずに、残留することがある。提案されている方法は、いずれも各構成要素を形成する工程後にさらなる洗浄を追加したり、特別の処理を追加実施したりするものである。
【０００７】
例えば、フォトリソグラフィーにより隔壁や電極の形成を行う場合、フォトレジスト剤を使用するので、隔壁や電極の形成時のレジストが残留するとパネル内で不純物ガスの原因となり、また、電極間にレジスト残さ等があると、誘電体中に不純物や気泡の発生原因となるので、隔壁材を埋め込む前や、電極を焼成する前等にオゾン水、イオン水を用いて洗浄することによりレジスト除去性を高め、電極間の絶縁性を向上させるとともに、ＰＤＰのパネル内にＣＨ系の化合物からなるレジストの残留をなくして不純物ガスの発生を抑えようとする方法がある。また、ＰＤＰの前面板を形成する際において基板上に透明電極を形成した後に、そして、ＰＤＰの背面板を製造する際において基板を受け入れたときや基板上にアドレス電極を形成した後等に、密閉雰囲気中でオゾンを含む溶液を用いて基板上に付着した有機物を洗浄あるいは処理反応させ、ＣＨ系の化合物である有機物を残留させないで、ＣＨ系も含めた不純物ガスの発生を防止する方法がある。さらに、ＰＤＰの前面板の形成工程において誘電体層を形成する前に、また、ＰＤＰの背面板の形成工程において基板を受け入れたときに、隔壁を形成する前や蛍光体層を形成する前にそれぞれの工程に際して、付着あるいは残留する有機物の除去をオゾンを含んだ溶液あるいは炭酸エチレンを含んだ溶液によって効果的に行うことで、ＣＨ系の化合物である有機物を残留させないで、不純物ガス（ＣＨ系ガス）の発生を抑止しようとする方法もある。
【非特許文献１】内池平樹、御子柴茂生共著、「プラズマディスプレイのすべて」（株）工業調査会、１９９７年５月１日、ｐ７９−ｐ８０
【特許文献１】特開２００２−７５１７４号公報
【特許文献２】特開２００４−６１７４号公報
【特許文献３】特開２００４−６１７７号公報
【特許文献４】特開２００４−６１８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、前述した従来の方法は、いずれも各構成要素を形成する工程後にさらなる洗浄を追加したり、特別の処理を追加実施したりするものであるので、ＣＨ系の残留物を非常に少ない状態にすることは可能であるが、極微量の有機物等のＣＨ系の不純物を完全に除去することは不可能である。特に、ＰＤＰの各構成要素で緻密で表面が平坦なものは、不純物の除去率が比較的高いが、多孔質の性状を有するものは、構成材料の内部にＣＨ系の不純物が浸透するので除去は極めて困難になる。また、ＭｇＯの保護膜や蛍光体層等の構成要素にいたっては、洗浄や処理によりそれらの特性が変化してしまうおそれがあるので、前述の例に示したようなＣＨ系の不純物の除去方法により処理することができず、課題として残されていた。
【０００９】
また、放電のばらつきや寿命の低下、保護膜のスパッタ等が生じる等の問題の原因であるＰＤＰのパネル内に存在する不純物ガスを除去したり、不純物ガスの影響を抑えたりするという観点で考えると、実際のＰＤＰを製造する場合の排気・ガス封入工程における相対的に低い排気温度では不純物ガスを十分に除去することができないし、排気工程までにパネルの各構成要素である隔壁、蛍光体、ＭｇＯ、誘電体等に物理吸着、あるいは化学吸着したＣＨ系の不純物ガスを含めて吸着ガスの除去が非常に困難であるという問題もあり、新たな方法を開発することが課題となっていた。
【００１０】
本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、ＰＤＰのパネル内部に残留するＣＨ系の不純物ガスの影響を抑えて、高効率、高画質なＰＤＰを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明のプラズマディスプレイパネルは、複数の表示電極を形成するとともに前記表示電極を誘電体層および保護膜で覆った前面板と、放電空間が形成されるように前記前面板に対向配置されかつ前記表示電極と直交する方向に形成したアドレス電極を形成するとともに前記放電空間を区画する隔壁間に蛍光体層を形成した背面板とを備え、前記放電空間に放電ガスが充填されたプラズマディスプレイパネルにおいて、前記放電ガスにオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類のガスが含まれている構成を有している。また、本発明のプラズマディスプレイパネルは、放電ガスが少なくとも一種類の希ガスを含んでいる構成、また、希ガスがＨｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅのいずれかである構成に加えて、前記放電ガスに含まれるオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類のガスの含有量が０．０１ｐｐｍから５％の範囲にある構成を有していてもよい。
【００１２】
これらの構成により、パネルの内部に残留するＣＨ系不純物ガスが除去されたＰＤＰが得られるので、放電のばらつきや寿命の低下、保護膜のスパッタ等が生じず、併せて不純物ガスの表示品質や寿命特性への影響が抑えられて高効率、高画質なＰＤＰを提供することができる。
【００１３】
また、上記の目的を達成するために、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、複数の表示電極を形成するとともに前記表示電極を誘電体層および保護膜で覆った前面板と、放電空間が形成されるように前記前面板に対向配置されかつ前記表示電極と直交する方向に形成したアドレス電極を形成するとともに前記放電空間を区画する隔壁間に蛍光体層を形成した背面板とを備え、前記放電空間に放電ガスが充填されたプラズマディスプレイの製造方法において、対向配置した前記前面板と前記背面板とからなるパネルを周辺部に形成した封着部材によって封止する封止工程と、封止したパネル内部のガスを排気する排気工程を備え、前記封止工程または前記排気工程で、前記パネル内部の構成要素をオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスに曝す処理を行う構成を備えている。
【００１４】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、前記封止工程においてパネル内部にオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスを流しながらパネルを封止し、次いで、前記排気工程においてパネル内部のガスを排気することを特徴とする。さらに、封止したパネル内にオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスを導入して保持し、前記排気工程においてパネル内部のガスを排気することを特徴とする。さらに、前記排気工程において、排気中にパネル内にオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスを導入してパネル内部の構成要素をオゾンが含まれるガスに曝し、その後前記パネル内部のガスを排気することを特徴とする。
【００１５】
これらの工程・手順を有する製造方法により、従来の排気・ガス封入工程における相対的に低い排気温度では十分に除去することができず、また、排気工程までにパネルの各構成要素である隔壁、蛍光体、ＭｇＯ、誘電体等に物理吸着、あるいは化学吸着したＣＨ系を含めて不純物ガスの除去が非常に困難であったのを解決でき、パネルの内部に残留するＣＨ系不純物ガスが除去されたＰＤＰが得られるので、放電のばらつきや寿命の低下、保護膜のスパッタ等が生じず、併せて不純物ガスの表示品質への影響が抑えられて高効率、高画質なＰＤＰを実現することが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のＰＤＰによれば、不純物ガスによる放電のばらつきや保護膜のスパッタ等の表示品質や寿命特性への影響を抑制することが可能になり、高画質で長寿命のＰＤＰを実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明のＰＤＰについて、図面を参照しながら説明する。
【００１８】
（実施の形態）
以下、本発明の実施の形態におけるＰＤＰについて、図１、図２を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの概略構成を示す分解斜視図であり、図２は本発明の実施の形態におけるＰＤＰの画像表示部の概略構成を示す平面図である。図１、図２において同じ構成要素には同一符号を付している。
【００１９】
図１において、ＰＤＰ１００は、前面板１と背面板２とから構成されている。前面板１は、フロート法による硼珪素ナトリウム系ガラス等からなるガラス基板等の透明な前面側の基板３上に、ＰＤＰ１００の構成物として走査電極４と維持電極５とで対をなすストライプ状の表示電極６を有する。また、コントラストを向上させる目的でブラックストライプ（図示せず）を有することもある。表示電極６群を覆う誘電体層７と、さらにその誘電体層７上にＭｇＯからなる保護膜８とを有する。なお、走査電極４および維持電極５は、それぞれ透明電極４ａ、５ａ、およびこの透明電極４ａ、５ａに電気的に接続されたＣｒ／Ｃｕ／ＣｒまたはＡｇ等からなるバス電極４ｂ、５ｂとから構成されている。
【００２０】
また、背面板２は、基板３に対向配置される背面側の基板９上に、ＰＤＰ１００の構成物として、表示電極６と直交する方向に形成したアドレス電極（データ電極ともいう）１０と、そのアドレス電極１０を覆う下地層である下地誘電体層１１と、この下地誘電体層１１上の例えばストライプ状の隔壁１２と、各隔壁１２間の側面および下地誘電体層１１の表面上にカラー表示のために通常、赤、緑、青の３色が順次に繰り返し配置された蛍光体層１３とを有している。
【００２１】
上記構成の前面板１と背面板２とを、表示電極６とアドレス電極１０とが直交し、内部に微小な内部空間を形成するように隔壁１２を挟んで対向配置するとともに、周囲を封着部材により封止してＰＤＰを組み立ててから、パネル内のガスが排気されることになる。
【００２２】
既に述べたように、一般にＰＤＰの各構成要素はＣＨ系の原料が含まれる材料で形成されることが多いので、ＣＨ系の不純物として残留しないように焼成や洗浄処理がされている。残留不純物をさらに少なくするために、本発明の実施の形態におけるＰＤＰは、以下に述べる３種類の方法のいずれかの処理を実施して製造される。一つ目の方法は、オゾンを含むガスを流しながらパネルを封止した上で、パネル内部のガスを排気する方法である。二番目の方法は、従来の方法でパネルを封止し、次いで封止したパネル内にオゾンを含むガスを導入して保持し、その後にパネル内部のガスを排気する方法である。また、三番目の方法は、従来の方法でパネルを封止した上で、排気処理に入り、排気処理の途中でパネル内にオゾンを含むガスを導入する処理を追加し、パネル内部の構成要素をオゾン含有ガスに曝しておいてから、最後にパネル内部のガスを排気する方法である。上記の３種類のいずれの方法でも、ＰＤＰの構成要素に残留するＣＨ系の不純物の量を大幅に減少させる効果が認められている。
【００２３】
続いて、上述したように封止および排気されたＰＤＰのパネル内部空間に例えばＮｅ（ネオン）、Ｘｅ（キセノン）などの希ガスを混合して準備した放電ガスを例えば６６５００Ｐａ（５００Ｔｏｒｒ）程度の圧力で封入することによりＰＤＰ１００パネルを完成させている。既に述べたように、本発明の実施の形態におけるＰＤＰは、封止および排気するときにオゾンを含むガスでパネル内部の構成要素を曝す処理を行っているので、パネル内の構成要素に残留するＣＨ系の不純物の量は非常に少なくなっている。しかし、完全に除去することは不可能であるので、上記放電ガスにオゾンを微量混合させて、オゾンによりパネル内に残留するＣＨ系の不純物ガスの影響を抑えるようにしている。具体的に説明すると、放電ガスを構成するガスの少なくとも一種に所定の圧力でオゾンを混合させた混合ガスを準備し、この混合ガスを用いてＰＤＰのパネル内に微量のオゾンを含む放電ガスを導入（封入）している。すなわち、本発明の実施の形態におけるＰＤＰは放電ガスが希ガスのうち少なくとも一種とオゾンとの混合ガスとなっている。また、後述するように、放電ガスが希ガスのうち少なくとも一種とオゾンおよび酸素ガス（Ｏ２）を含んでいてもよいし、放電ガスが希ガスのうち少なくとも一種と酸素ガス（Ｏ２）を含んでいてもよい。放電ガスに用いる希ガスはＨｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｋｒ、Ｘｅのうちから選ばれる少なくとも一種類であり、望ましくはＮｅとＸｅの混合ガスであることが好ましい。
【００２４】
なお、図１では内部の構成が判り易いように、前面板１と背面板２とは両基板間を離して描いているが、実際には、前面板１と背面板２とは隔壁１２を挟んだ状態で、背面板２の隔壁１２が前面板１に接するように対向配置している。
【００２５】
上述したような構成で形成されたＰＤＰ１００のアドレス電極１０、表示電極６に印加する周期的な電圧によって放電を発生させ、この放電により発光する紫外線を蛍光体層１３に照射し、蛍光体を励起させて可視光に変換させることにより、画像表示を行う。
【００２６】
一方、図２において、走査電極４と維持電極５は、マトリクス表示の各ラインにおいてＡで示した位置の放電ギャップ１４を挟んで隣接するように列方向に交互に配列されている様子を示している。ここで、ＰＤＰの内部空間が隔壁１２によって区画されて、表示電極６とアドレス電極１０（図示せず）とが直交する部分が単位発光領域である放電セル１５として機能する。また、非発光領域１６には、コントラストを向上させる目的でブラックストライプ（図示せず）を形成することがある。さらに、図２中には見えていないが、誘電体、ＭｇＯからなる保護膜、蛍光体を有している。
【００２７】
ここで、本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法において、オゾンを利用する工程について今一度説明する。本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法は、基板間に隔壁により仕切られた放電空間が形成されるように対向配置した一対の前面側および背面側の基板をそれぞれの周辺部に形成した封着部材によって封止する封止工程、両基板内のガスを排気する排気工程、放電ガスを導入（封入）する工程を有している。
【００２８】
既に、発明が解決すべき課題において述べたように、ＰＤＰのパネル内に不純物ガスが存在することにより放電のばらつきや寿命の低下、保護膜のスパッタ等が生じるおそれがあることが知られているが、しかし、実際のＰＤＰを製造する場合の相対的に低い排気温度では不純物ガスを十分に除去することができなかったし、排気工程までにパネルの各構成要素である隔壁、蛍光体、ＭｇＯ、誘電体等に物理吸着、または化学吸着したガスの除去は非常に困難であった。一方、これらの物理吸着、または化学吸着した不純物ガスはＰＤＰの排気工程における処理温度では除去できないが、放電によるエネルギーでは不純物ガスがＰＤＰの構成要素からパネル内に放出されると考えられるので、ＰＤＰの動作時には放出されるＣＨ系ガスによってパネルの特性に悪影響を与えるおそれがある。この観点から、排気工程で十分に不純物ガスを取り除く方法と、各構成要素に吸着した不純物ガスを減らすまたは悪影響の少ないガスに変換することが重要になる。
【００２９】
このために、本発明の実施の形態のＰＤＰの製造方法においては、封止および排気工程においてオゾンを含むガスでパネル内部の構成要素を曝す処理を行って、パネル内の構成要素に残留するＣＨ系の不純物の量を減少させておいて、さらに放電ガスにオゾンを微量混合させて、オゾンによりパネル内にわずかに残留するＣＨ系の不純物ガスの影響を抑えるようにしている。
【００３０】
ここで、オゾン（Ｏ３）は三個の酸素原子（Ｏ）からなり、このうちの一個の酸素原子を周囲に存在する他の物質に与えて酸素分子（Ｏ２）に戻ろうとする性質がある。このことは、オゾンが強い酸化作用を有することを示している。このため、ほとんどの有機物や金属がオゾンによって酸化されることはよく知られている。例えば、ＣＨ系ガスが最終的にオゾンによって二酸化炭素と水にまで分解、酸化される反応が知られている。また、金属においても白金族を除く全ての金属がオゾンにより酸化されることは、よく知られている。したがって、放電ガス構成するガスにオゾンを混合させることにより、ＰＤＰのパネル内に残留するＣＨ系ガスからなる不純物ガスを分解、除去することができることになる。
【００３１】
また、ＰＤＰにおいて高効率化を図るための手法の一つとして高Ｘｅ圧化が知られているが、この高Ｘｅ圧化を行うと保護膜のＭｇＯのスパッタレートが上昇するおそれがあり、また、このＭｇＯのスパッタリングに不純物ガスが影響を与えることも知られている。すなわち、ＭｇＯのスパッタリングのメカニズムの一つとして、ＭｇＯが放電によりＭｇとＯに分解するが、分解した酸素（Ｏ）からの酸素イオン等が再度Ｍｇと反応しＭｇＯに戻るという反応を繰り返すと推定され、この推定に基づいて、オゾンを含む雰囲気中ではＭｇＯは耐スパッタ性に優れるという説が知られている。この説の観点にしたがえば、微量のオゾンを放電ガスに混合させることで、放電による保護膜のＭｇＯのスパッタリングによって分解形成されたＭｇがオゾンによって速やかに酸化されてＭｇＯに戻るので、ＭｇＯのスパッタリングを抑制することができると考えられる。
【００３２】
一方、本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法では、放電ガスにオゾン、酸素ガス、またはオゾンと酸素ガスの両方をそれぞれ微量混合させている。このことは以下に述べる理由に基づいている。すなわち、前述したようにオゾン（Ｏ３）は常温で酸素分子（Ｏ２）に戻ろうとする性質があるため、パネルを長期間放置した場合はほとんどのオゾンが酸素分子に戻ると考えられる。また、オゾンは２２０ｎｍより短い波長の紫外線の存在により酸素（分子）から形成されることが知られている。それ故、ＰＤＰのパネル内に微量封入されたオゾンから変化した酸素ガスがＰＤＰの動作時の放電でＸｅから発生した紫外線によって、再びオゾンを生成する反応が起こる可能性があり、ＰＤＰの動作状態によってオゾンと酸素ガスの存在は随時変化すると考えられるからである。
【００３３】
本発明のＰＤＰの製造方法における放電ガスの封入工程においては、上述したように希ガスの少なくとも一種にオゾンを混合させた放電ガスを導入する工程を実施して製造される。実際には、放電ガスの導入には、希ガスの少なくとも一種に所定の圧力でオゾンを混合させた混合ガスをあらかじめ準備しておいて放電ガスとしてＰＤＰのパネル内に導入してもよいし、オゾンのみを別の配管を用い、希ガスの少なくとも一種からなる放電ガスとともにＰＤＰのパネル内に導入してもよく、ＰＤＰのパネル内へのオゾンの導入は異なる形態を利用できる。ただ、上述したように、ＰＤＰのパネル内に導入（封入）されたオゾンは可逆的に酸素ガスに変化し、オゾンが検出されない可能性があるが、本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法としては、積極的にオゾンを導入していることが重要である。
【００３４】
また、オゾンは紫外線を吸収することが知られており、オゾンによる紫外線の吸収波長は２００ｎｍから３００ｎｍの範囲である。ＰＤＰのパネル内に封入されているＸｅを含む放電ガスからは波長１４７ｎｍや１７３ｎｍの紫外線を発光するが、これらの発光紫外線がオゾンにより吸収されることはほとんど起こらないと考えられ、ＰＤＰのパネル輝度の低下等への影響も小さい。また、上述したように本発明の実施の形態におけるＰＤＰはオゾンを含む雰囲気を利用して封止（封着）、排気工程を実施していることもあって、ＰＤＰのパネル内の不純物ガスの濃度は非常に少ないと考えられることと、大気中にはオゾンが０．００５ｐｐｍ含有されていることから、本発明の実施の形態においては、オゾンの含有量は０．０１ｐｐｍから５％が好ましいと考えている。逆に、オゾンの量が多すぎると放電に悪影響を与えるおそれがあることと、可逆反応でオゾンから変化した酸素ガスが紫外線を吸収するおそれがあることから、好ましくは０．０１ｐｐｍから１０００ｐｐｍが望ましい。また、オゾンはその強力な酸化力から濃度が高い場合は人体に悪影響をおよぼすおそれがあり、日本産業衛生学会（ＡＣＧＩＨ）ではオゾンの許容濃度を０．１ｐｐｍとしている。しかし、前述したようにオゾンは不純物ガスとの反応により、無害なガスに変換されるとともに、オゾン自体が時間とともに酸素に戻るため不純物ガスの濃度にもよるが、影響は小さくなると考えられる。但し、前述のようにオゾンの量は不純物と相殺される程度の量が最も好ましく、５％程度はあることが望ましい。また、実際にオゾンを取り扱う場合、幸いなことにオゾンが毒性を発揮する濃度では強烈な臭気があるため、不本意に人体に悪影響をおよぼすような状態に長時間曝される危険性は極めて少ないと考えられている。
【００３５】
また、オゾンはシリカ、アルミナ、酸化第二鉄などの表面で接触分解することが知られているため、これらをＰＤＰのパネル内でオゾンと接触する構成要素に含まないように設計することが好ましい。
【００３６】
以上説明したように、本発明の実施の形態のＰＤＰの製造方法では、前面板および背面板を封着部材によって封止する封止工程と封止したパネル内のガスを排気する排気工程において、封着時、排気前、排気途中のいずれかの時点でオゾン、酸素ガス、オゾンと酸素ガスとの混合ガスのいずれか、すなわち、オゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスを導入または流して処理を行って製造されることを既に述べた。そして、従来の封着、排気時にただ単に温度を上昇させることだけで吸着ガスを取り除く手法では、その封着、排気温度では完全に取り除けない不純物ガスが多く存在していたのに対し、上述したようなオゾンを利用する本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法では、封止工程においてオゾンによりＣＨ系ガスを分解、除去することができる。また、オゾンによるＣＨ系ガスの除去能力は封止工程、排気工程の影響によらず効果を発揮できるので、封止工程後にオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスを一旦、導入または流してから排気を行ってもよい。また、排気工程においてＰＤＰのパネル内のガスを排気しつつ、同時にオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスをＰＤＰのパネル内に導入、または流して同様の処理を行うこともできる。また、封止と排気の工程を連続して行う場合においても、封止または排気のいずれかの工程においてオゾン、酸素ガスの中から選ばれた少なくとも一種類を含むガスを流しつつ処理することもできる。
【００３７】
さらに、本発明の実施の形態におけるＰＤＰの製造方法では排気工程の後の放電ガス封入工程において放電ガスにオゾン、酸素ガス、オゾンと酸素ガスとの混合ガスのいずれかを含むガスを導入（封入）することを特徴としており、また、放電ガスが希ガスのうち少なくとも一種とオゾン、酸素ガス、オゾンと酸素ガスとの混合ガスのいずれかを含む混合ガスであることを特徴としているので、パネル内の強い放電により放出されたＣＨ系の不純物ガスに対してもオゾンによる分解、除去反応が利用でき、さらに管内不純物ガス削減効果を発揮することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明に係るＰＤＰは、表示品質や寿命特性に影響する不純物ガスの影響を抑制することができるので、高効率、高画質のＰＤＰを提供することができて、大型・薄型のフラットパネルディスプレイ装置として大型テレビジョン受像機や公衆表示用モニタに適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの概略構成を示す分解斜視図
【図２】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの画像表示部の概略構成を示す平面図
【符号の説明】
【００４０】
１    前面板
２    背面板
４    走査電極
４ａ，５ａ    透明電極
４ｂ，５ｂ    バス電極
５    維持電極
６    表示電極
７    誘電体層
８    保護膜
１０    アドレス電極（データ電極）
１１    下地誘電体層
１２    隔壁
１３    蛍光体層
１４    放電ギャップ
１５    放電セル
１６    非発光領域
１００    ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）
【図１】
2006294541.tif 000003
【図２】
2006294541.tif 000004