【手続補正書】
【提出日】平成19年4月19日(2007.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１研磨面上側に位置した第１被研磨体キャリアと、
第２研磨面上側に位置した第２被研磨体キャリアと、
前記第１及び第２被研磨体キャリアの間に位置し、第１ロード／アンロードカップ及び第１ピボットメカニズムを備え、前記第１ピボットメカニズムは、被研磨体を第１被研磨体キャリアから第２被研磨体キャリアに伝達するために、第１ピボット軸の周囲で前記第１ロード／アンロードカップを、前記第１及び第２被研磨体キャリアに、そして前記第１及び第２被研磨体キャリアからピボットするように構成された第１被研磨体リレイデバイスと、
前記第１及び第２被研磨体キャリアの一つに隣接して位置し、第２ロード／アンロードカップ及び第２ピボットメカニズムを備え、前記第２ピボットメカニズムは、前記被研磨体を第１被研磨体キャリアに伝達するか、または第２被研磨体キャリアから伝達されるために、第２ピボット軸の周囲で前記第２ロード／アンロードカップを、前記第１及び第２被研磨体キャリアの一つに、そして前記第１及び第２被研磨体キャリアの一つからピボットするように構成された第２被研磨体リレイデバイスと、を備える研磨装置。
【請求項２】
前記第１及び第２被研磨体キャリアがパーキング位置に位置する前記第１及び第２ロード／アンロードカップと基本的に平行して配置されるように、前記第１及び第２被研磨体キャリアが第１直線方式で配置され、前記第１及び第２被研磨体リレイデバイスの前記第1及び第２ロード／アンロードカップのパーキング位置が第２直線方式で配置されたことを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記第１及び第２被研磨体キャリア間の距離が前記パーキング位置間の距離と基本的に同じであることを特徴とする請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
前記被研磨体を洗浄するための洗浄器をさらに備え、前記被研磨体洗浄器は、前記被研磨体洗浄器の長手側面が前記第１及び第２研磨面によって定義される領域の長手側面に隣接することを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項５】
前記被研磨体を前記第１被研磨体キャリアまたは前記第２被研磨体リレイデバイスの前記第２ロード／アンロードカップに伝達する第１被研磨体移送デバイスと、前記被研磨体を前記第２被研磨体キャリアまたは前記第２ロード／アンロードカップから伝達する第２被研磨体移送デバイスをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記第１被研磨体キャリアが前記第１及び第２被研磨体リレイデバイス間に位置するように、前記第２被研磨体リレイデバイスが前記第１被研磨体キャリアに隣接して位置し、前記第２被研磨体キャリアが前記第１被研磨体リレイデバイス及び第３被研磨体リレイデバイス間に位置するように、前記第２被研磨体キャリアに隣接して位置する前記第３被研磨体リレイデバイスをさらに備え、前記第３被研磨体リレイデバイスは、第３ロード／アンロードカップを備え、前記被研磨体を第２被研磨体キャリアから伝達するために、前記第３ロード／アンロードカップを第３ピボット軸の周囲で前記第２被研磨体キャリアに、そして前記第２被研磨体キャリアからピボットするように構成された第３ピボットメカニズムを備えることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項７】
被研磨体を第１研磨面上側に位置する第１被研磨体キャリアに伝達するステップと、
前記被研磨体を前記第１被研磨体キャリアを使用して前記第１研磨面上で研磨するステップと、
前記第１ロード／アンロードカップを第１ピボット軸の周囲でピボットして、前記被研磨体を前記第１被研磨体キャリアから第２研磨面上側に位置する第２被研磨体キャリアに伝達するステップと、
前記被研磨体を、前記第２被研磨体キャリアを使用して前記第２研磨面上で研磨するステップと、
前記被研磨体を前記第１被研磨体キャリアにロードするか、前記第２被研磨体キャリアからアンロードするために、前記第１及び第２被研磨体キャリアの一つに隣接して位置する第２ロード／アンロードカップに前記被研磨体を伝達するステップと、を含む研磨方法。
【請求項８】
前記被研磨体を、前記第１被研磨体キャリアまたは前記第２ロード／アンロードカップに伝達するステップと、
前記被研磨体を、前記第２ロード／アンロードカップまたは前記第２被研磨体キャリアから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の研磨方法。
【請求項９】
前記被研磨体を、前記第２被研磨体キャリアから前記第２被研磨体キャリアに隣接して位置する第３ロード／アンロードカップに伝達するステップをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の研磨方法。
【請求項１０】
複数の研磨面上側に位置する複数の被研磨体キャリアと、
少なくとも一つの被研磨体リレイデバイスが二つの隣接した被研磨体キャリア間に位置するように、前記被研磨体キャリア間に位置する複数の被研磨体リレイデバイスを備え、各被研磨体リレイデバイスは、ロード／アンロードカップ及びピボット駆動メカニズムを備え、前記ピボット駆動メカニズムは、前記二つの隣接した被研磨体キャリア間で前記被研磨体を伝達するように、前記ロード／アンロードカップをピボット軸の周囲で前記二つの隣接した被研磨体キャリアに、そして前記二つの隣接した被研磨体キャリアからピボットするように構成された、研磨装置。
【請求項１１】
前記被研磨体キャリアは直線方式で配置されたことを特徴とする請求項１０に記載の研磨装置。
【請求項１２】
前記被研磨体リレイデバイスのロード／アンロードカップのパーキング位置は、前記被研磨体キャリアが前記パーキング位置に位置する前記ロード／アンロードカップと基本的に平行して位置するように直線方式で配置されることを特徴とする請求項１１に記載の研磨装置。
【請求項１３】
前記被研磨体キャリアのうち隣接した被研磨体キャリア間の距離は、前記パーキング位置のうち隣接したパーキング位置間の距離と基本的に同じであることを特徴とする請求項１２に記載の研磨装置。
【請求項１４】
前記被研磨体リレイデバイスのロード／アンロードカップのパーキング位置は直線方式で配置されることを特徴とする請求項１０に記載の研磨装置。
【請求項１５】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第１終端被研磨体キャリアに伝達するための第１被研磨体移送デバイスと、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから伝達するための第２被研磨体移送デバイスと、をさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の研磨装置。
【請求項１６】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第１終端被研磨体キャリアに、または前記被研磨体キャリアの第１終端被研磨体キャリアから伝達するための、追加された被研磨体リレイデバイスをさらに備え、前記追加された被研磨体リレイデバイスはロード／アンロードカップ及びピボット駆動メカニズムを備えることを特徴とする請求項１０に記載の研磨装置。
【請求項１７】
前記被研磨体を前記追加された被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップに伝達するための第１被研磨体移送デバイスと、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから伝達するための第２被研磨体移送デバイスと、をさらに備えることを特徴とする請求項１６に記載の研磨装置。
【請求項１８】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに伝達するための第１被研磨体移送デバイスと、前記追加された被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップから前記被研磨体を伝達するための第２被研磨体移送デバイスと、をさらに備えることを特徴とする請求項１６に記載の研磨装置。
【請求項１９】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに伝達するために置かれた第２の追加された被研磨体リレイデバイスをさらに備え、前記第２の追加された被研磨体リレイデバイスは、ロード／アンロードカップ及びピボット駆動メカニズムを備えることを特徴とする請求項１６に記載の研磨装置。
【請求項２０】
前記被研磨体を前記追加された被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップに伝達するための第１被研磨体移送デバイスと、前記被研磨体を前記追加された第２被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップから伝達するための第２被研磨体移送デバイスと、をさらに備えることを特徴とする請求項１９に記載の研磨装置。
【請求項２１】
前記被研磨体キャリアは、隣接した被研磨体キャリア間の距離が基本的に同一になるように配置されることを特徴とする請求項１０に記載の研磨装置。
【請求項２２】
前記被研磨体リレイデバイスのロード／アンロードカップのパーキング位置が、前記ロード／アンロードカップが前記パーキング位置に位置する時に隣接したロード／アンロードカップとの距離が基本的に同一になるように配置されることを特徴とする請求項１０に記載の研磨装置。
【請求項２３】
前記被研磨体を洗浄するように構成された被研磨体洗浄器をさらに備え、前記被研磨体洗浄器は、前記被研磨体洗浄器の長手側面が前記研磨面によって定義される領域の長手側面に隣接するように配置されることを特徴とする請求項１０に記載の研磨装置。
【請求項２４】
被研磨体を、複数のロード／アンロードカップを使用して複数の研磨面上側に位置する複数の被研磨体キャリアに順次に伝達するステップであって、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの二つの隣接した被研磨体キャリア間で伝達するために、前記ロード／アンロードカップそれぞれをピボット軸の周囲でピボットすることを含むステップと、
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアを使用して前記研磨面上で順次に研磨するステップと、を含む研磨方法。
【請求項２５】
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアの第１終端被研磨体キャリアに伝達するステップと、
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項２４に記載の研磨方法。
【請求項２６】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの一終端被研磨体キャリアに隣接するように位置する、追加されたロード／アンロードカップに伝達するステップと、
前記被研磨体を前記一終端被研磨体キャリアに、または前記一終端被研磨体キャリアから伝達するために、前記追加されたロード／アンロードカップを第２ピボット軸の周囲でピボットするステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項２４に記載の研磨方法。
【請求項２７】
前記被研磨体を前記追加されたロード／アンロードカップに伝達するステップと、
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項２６に記載の研磨方法。
【請求項２８】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに伝達するステップと、
前記被研磨体を前記追加されたロード／アンロードカップから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項２６に記載の研磨方法。
【請求項２９】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに隣接して位置する第２の追加されたロード／アンロードカップに伝達するステップと、
前記被研磨体を前記第２終端被研磨体キャリアから伝達するために、前記追加された第２ロード／アンロードカップを第３ピボット軸の周囲でピボットするステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項２６に記載の研磨方法。
【請求項３０】
前記被研磨体を前記追加されたロード／アンロードカップに伝達するステップと、
前記被研磨体を前記第２の追加されたロード／アンロードカップから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項２９に記載の研磨方法。
【請求項３１】
第１研磨面上側に位置した第１被研磨体キャリアと、
第２研磨面上側に位置した第２被研磨体キャリアと、
前記第１及び第２被研磨体キャリア間に位置し、ロード／アンロードカップを備える被研磨体リレイデバイスと、
前記被研磨体リレイデバイスに連結され、被研磨体を前記第１被研磨体キャリアから前記第２被研磨体キャリアに伝達するために、基本的に直線往復方式で前記第１及び第２被研磨体キャリアに、そして前記第１及び第２被研磨体キャリアから、前記被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップを移動させるように構成された直線駆動メカニズムと、を備える研磨装置。
【請求項３２】
前記被研磨体を前記第１被研磨体キャリアに伝達するための第１被研磨体移送デバイスと、前記被研磨体を前記第２被研磨体キャリアから伝達するための第２被研磨体移送デバイスと、をさらに備えることを特徴とする請求項３１に記載の研磨装置。
【請求項３３】
前記第１研磨面上側に位置した第１の追加された被研磨体キャリアと、
前記第２研磨面上側に位置した第２の追加された被研磨体キャリアと、
前記第１及び第２の追加された被研磨体キャリア間に位置し、追加されたロード／アンロードカップを備える追加された被研磨体リレイデバイスと、をさらに備え、
前記被研磨体を前記第１の追加された被研磨体キャリアから前記第２の追加された被研磨体キャリアに伝達するために、前記追加されたロード／アンロードカップを相当な程度の直線往復方式で前記第１及び第２の追加された被研磨体キャリアに、そして前記第１及び第２の追加された被研磨体キャリアから移動させるように構成されることを特徴とする請求項３１に記載の研磨装置。
【請求項３４】
前記追加された被研磨体リレイデバイスは、前記追加されたロード／アンロードカップと前記ロード／アンロードカップが共に直線的に移動するように前記被研磨体リレイデバイスに連結されることを特徴とする請求項３３に記載の研磨装置。
【請求項３５】
複数の研磨面上側に位置し、前記第１及び第２被研磨体キャリアを備える複数の被研磨体キャリアと、
少なくとも一つの被研磨体リレイデバイスが、二つの隣接した被研磨体キャリア間に位置するように、前記被研磨体キャリア間に位置する複数の被研磨体リレイデバイスと、をさらに備え、
前記被研磨体リレイデバイスは、直線的に移動するために前記直線駆動メカニズムに連結され、それぞれの被研磨体リレイデバイスはロード／アンロードカップを備え、前記複数の被研磨体リレイデバイスは前記被研磨体リレイデバイスを備えることを特徴とする請求項３１に記載の研磨装置。
【請求項３６】
前記直線駆動メカニズムは、基本的に直線動作によって前記被研磨体リレイデバイスの一部を共に移動させるように構成されたことを特徴とする請求項３５に記載の研磨装置。
【請求項３７】
前記直線駆動メカニズムは、基本的に直線動作によって前記被研磨体リレイデバイスそれぞれを個別的に移動させるように構成されたことを特徴とする請求項３５に記載の研磨装置。
【請求項３８】
前記被研磨体キャリアは直線方式で配置されることを特徴とする請求項３５に記載の研磨装置
【請求項３９】
前記被研磨体キャリアが前記ロード／アンロードカップと基本的に平行して位置するように、前記被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップが直線方式で配置されることを特徴とする請求項３８に記載の研磨装置。
【請求項４０】
前記被研磨体キャリアの隣接した被研磨体キャリア間の距離は、前記隣接した被研磨体リレイデバイスのロード／アンロードカップ間の距離と基本的に同じであることを特徴とする請求項３９に記載の研磨装置。
【請求項４１】
前記被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップは直線方式で配置されることを特徴とする請求項３５に記載の研磨装置
【請求項４２】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第１終端被研磨体キャリアに伝達するための第１被研磨体移送デバイスと、
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから伝達するための第２被研磨体移送デバイスと、をさらに備えることを特徴とする請求項３５に記載の研磨装置。
【請求項４３】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの一終端被研磨体キャリアに、または前記被研磨体キャリアの一終端被研磨体キャリアから伝達するための、追加された被研磨体リレイデバイスをさらに備え、前記追加された被研磨体リレイデバイスは、ロード／アンロードカップを備えることを特徴とする請求項３５に記載の研磨装置。
【請求項４４】
前記被研磨体を前記追加されたウェーハリレイデバイスの前記ロード／アンロードカップに伝達するための第１被研磨体移送デバイスと、
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから伝達するための第２被研磨体移送デバイスと、をさらに備えることを特徴とする請求項４３に記載の研磨装置。
【請求項４５】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに伝達するための第１被研磨体移送デバイスと、
前記被研磨体を前記追加された被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップから伝達するための第２被研磨体移送デバイスと、をさらに備えることを特徴とする請求項４３に記載の研磨装置。
【請求項４６】
前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに伝達するための第２の追加された被研磨体リレイデバイスをさらに備え、前記第２の追加された被研磨体リレイデバイスは、ロード／アンロードカップを備えることを特徴とする請求項４３に記載の研磨装置。
【請求項４７】
前記被研磨体を前記追加された被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップに伝達するための第１被研磨体移送デバイスと、
前記被研磨体を前記第２の追加された被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップから伝達するための第２被研磨体移送デバイスと、をさらに備えることを特徴とする請求項４６に記載の研磨装置。
【請求項４８】
隣接した被研磨体キャリア間の距離が基本的に同一になるように前記被研磨体キャリアが配置されることを特徴とする請求項３５に記載の研磨装置。
【請求項４９】
前記ロード／アンロードカップがそれぞれのパーキング位置に位置する時、隣接したロード／アンロードカップとの距離が基本的に同一になるように、前記被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップが配置されることを特徴とする請求項３５に記載の研磨装置。
【請求項５０】
前記被研磨体キャリアの少なくとも一つ及び前記追加された被研磨体キャリアの少なくとも一つが前記研磨面のそれぞれ上側に位置するように、前記複数の研磨面上側に位置する複数の追加された被研磨体キャリアと、
少なくとも一つの追加された被研磨体リレイデバイスが二つの隣接した追加された被研磨体キャリア間に位置するように、前記追加された被研磨体キャリア間に位置する複数の追加された被研磨体リレイデバイスと、をさらに備え、
前記追加された被研磨体リレイデバイスのそれぞれが追加されたロード／アンロードカップを備え、前記追加された被研磨体リレイデバイスのそれぞれの追加されたロード／アンロードカップは、前記被研磨体を二つの隣接して追加された被研磨体キャリア間で伝達できるように基本的に直線往復方式で動くことを特徴とする請求項３５に記載の研磨装置。
【請求項５１】
前記追加された被研磨体リレイデバイスの前記少なくとも一つの追加された被研磨体リレイデバイスの前記追加されたロード／アンロードカップと前記被研磨体リレイデバイスの前記少なくとも一つの被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップとが共に直線的に移動するように、前記追加された被研磨体リレイデバイスの少なくとも一つが前記被研磨体リレイデバイスの少なくとも一つと連結されることを特徴とする請求項５０に記載の研磨装置。
【請求項５２】
前記被研磨体を洗浄するように構成された被研磨体洗浄器をさらに備え、前記被研磨体洗浄器の長手側面が前記第１及び第２研磨面によって定義される領域の長手側面に隣接するように、前記被研磨体洗浄器が位置することを特徴とする請求項３１に記載の研磨装置。
【請求項５３】
第１研磨面上側に位置する第１被研磨体キャリアに被研磨体を伝達するステップと、
前記第１被研磨体キャリアを利用して前記第１研磨面上で前記被研磨体を研磨するステップと、
前記被研磨体を前記第１被研磨体キャリアから、ロード／アンロードカップを使用して第２被研磨面上側に位置する第２被研磨体キャリアに伝達するステップであり、前記第１被研磨体キャリアから前記第２被研磨体キャリアに前記ロード／アンロードカップを直線的に移動することを含むステップと、
前記第２被研磨体キャリアを利用して前記第２研磨面上で前記被研磨体を研磨するステップと、を含む研磨方法。
【請求項５４】
第１被研磨体移送デバイスを使用して、前記被研磨体を前記第１被研磨体キャリアに伝達するステップと、
第２被研磨体移送デバイスを使用して、前記被研磨体を前記第２被研磨体キャリアから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項５３に記載の研磨方法。
【請求項５５】
前記第１研磨面上側に位置する第１の追加された被研磨体キャリアに第２被研磨体を伝達するステップと、
前記第１の追加された被研磨体キャリアを利用して、前記第１研磨面上で前記第２被研磨体を研磨するステップと、
前記第２被研磨体を前記第１の追加された被研磨体キャリアから、追加されたロード／アンロードカップを使用して第２被研磨面上側に位置する第２の追加された被研磨体キャリアに伝達するステップであり、前記第１の追加された被研磨体キャリアから前記第２の追加された被研磨体キャリアに前記追加されたロード／アンロードカップを直線的に移動することを含むステップと、
前記第２の追加された被研磨体キャリアを利用して、前記第２研磨面上で前記第２被研磨体を研磨するステップと、を含む請求項５３に記載の研磨方法。
【請求項５６】
前記第１被研磨体キャリアから前記第２被研磨体キャリアに前記被研磨体を伝達するステップと、前記第１の追加された被研磨体キャリアから前記第２の追加された被研磨体キャリアに前記第２被研磨体を伝達するステップとは、前記ロード／アンロードカップと前記追加されたロード／アンロードカップとを同時に直線的に移動させるステップを含むことを特徴とする請求項５５に記載の研磨方法。
【請求項５７】
前記第１及び第２被研磨体キャリアは、複数の研磨面上側に位置する複数の被研磨体キャリアの一部であり、前記ロード／アンロードカップは、少なくとも一つのロード／アンロードカップが二つの隣接した被研磨体キャリア間に位置するように、前記被研磨体キャリア間に位置できる複数のロード／アンロードカップの一部であることを特徴とする請求項５３に記載の研磨方法。
【請求項５８】
前記ロード／アンロードカップを直線的に移動させるステップは、前記ロード／アンロードカップの一部を基本的に直線動作によって共に移動させるステップを含むことを特徴とする請求項５７に記載の研磨方法。
【請求項５９】
前記ロード／アンロードカップを直線的に移動させるステップは、前記ロード／アンロードカップを基本的に直線動作によって個別的に移動させるステップを含むことを特徴とする請求項５７に記載の研磨方法。
【請求項６０】
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアの第１終端被研磨体キャリアに隣接して位置する第１被研磨体移送デバイスに伝達するステップと、
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに隣接して位置する第２被研磨体移送デバイスに伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項５７に記載の研磨方法。
【請求項６１】
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアの一終端被研磨体キャリアに隣接して位置する追加されたロード／アンロードカップに伝達するステップと、
前記被研磨体を、前記追加されたロード／アンロードカップを使用して前記終端被研磨体キャリアに、または前記終端被研磨体キャリアから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項５７に記載の研磨方法。
【請求項６２】
前記被研磨体を、第１被研磨体移送デバイスを使用して前記追加されたロード／アンロードカップに伝達するステップと、
前記被研磨体を、第２被研磨体移送デバイスを使用して前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項６１に記載の研磨方法。
【請求項６３】
前記被研磨体を、第１被研磨体移送デバイスを使用して前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに伝達するステップと、
前記被研磨体を、第２被研磨体移送デバイスを使用して前記追加されたロード／アンロードカップから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項６１に記載の研磨方法。
【請求項６４】
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに隣接して位置する第２の追加されたロード／アンロードカップに伝達するステップと、
前記被研磨体を、前記第２の追加されたロード／アンロードカップを使用して前記第２終端被研磨体キャリアから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項６１に記載の研磨方法。
【請求項６５】
前記被研磨体を、第１被研磨体移送デバイスを使用して前記追加されたロード／アンロードカップに伝達するステップと、
前記被研磨体を、第２被研磨体移送デバイスを使用して前記第２の追加されたロード／アンロードカップから伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項６４に記載の研磨方法。
【請求項６６】
第２被研磨体を複数の追加された被研磨体キャリアに順次に伝達するステップであり、前記追加された被研磨体キャリアは、少なくとも一つの前記被研磨体キャリア及び少なくとも一つの前記追加された被研磨体キャリアが前記研磨面のそれぞれ上側に位置するように、前記複数の研磨面上側に位置することを特徴とするステップと、
前記追加された被研磨体キャリアを使用して前記研磨面上で順次に前記第２被研磨体を研磨するステップと、
前記追加された被研磨体キャリア間で前記追加されたロード／アンロードカップを直線的に移動させるステップを含み、複数の追加されたロード／アンロードカップを使用して、前記追加された被研磨体キャリア間で前記第２被研磨体を伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項５７に記載の研磨方法。
【請求項６７】
前記追加された被研磨体キャリア間で前記第２被研磨体を伝達するステップは、前記追加されたロード／アンロードカップの少なくとも一つ及び前記ロード／アンロードカップの少なくとも一つを共に直線的に移動させるステップを含むことを特徴とする請求項６６に記載の研磨方法。
【請求項６８】
被研磨体を収容する入力端及び前記被研磨体を出力する出力端を持ち、複数の研磨面、前記研磨面の二つの隣接した研磨面間に位置する被研磨体伝達ステーション、それぞれの被研磨体キャリアが前記被研磨体の一つを取るように構成された複数の被研磨体キャリア、前記被研磨体キャリアの少なくとも一つを前記被研磨体伝達ステーション及び前記二つの隣接した研磨面の一つに、そして前記被研磨体伝達ステーション及び前記二つの隣接した研磨面の一つから移動するように構成され、前記被研磨体キャリアの少なくとも一つに連結されて動作する少なくとも一つの駆動メカニズムを備える被研磨体研磨ステーションと、
前記被研磨体を、前記被研磨体それぞれが前記研磨面上で研磨されるように、前記被研磨体それぞれが前記入力端から前記被研磨体研磨ステーションの前記研磨面を通じて前記出力端に伝達される前記被研磨体研磨ステーションの入力端に伝達し、及び出力端から伝達する少なくとも一つの被研磨体移送デバイスと、を備える研磨装置。
【請求項６９】
前記少なくとも一つの被研磨体移送デバイスは、前記被研磨体研磨ステーションの前記被研磨体キャリアの第１終端被研磨体キャリアに前記被研磨体を直接伝達し、前記少なくとも一つの被研磨体移送デバイスは、前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから前記被研磨体を直接伝達されることを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項７０】
前記被研磨体研磨ステーションの前記駆動メカニズムは、前記被研磨体キャリアの一部を基本的に直線方式によって共に移動させるように構成されることを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項７１】
前記被研磨体研磨ステーションの前記駆動メカニズムは、前記被研磨体キャリアそれぞれを基本的に直線方式によって個別的に移動させるように構成されることを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項７２】
前記被研磨体研磨ステーションは複数の駆動メカニズムをさらに備え、前記複数の駆動メカニズムが前記駆動メカニズムを備え、前記駆動メカニズムそれぞれは、前記被研磨体キャリアそれぞれをピボット方式によって個別的に移動させるように構成されることを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項７３】
前記被研磨体研磨ステーションの前記被研磨体キャリアは直線方式で配置されることを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項７４】
前記被研磨体研磨ステーションは、少なくとも一つの被研磨体伝達ステーションが二つの隣接した被研磨面間に位置するように、前記被研磨面間に位置する複数の被研磨体伝達ステーションを備え、前記複数の被研磨体伝達ステーションは前記被研磨体伝達ステーションを備え、前記被研磨体伝達ステーションは、前記被研磨体伝達ステーションが基本的に前記被研磨体キャリアと平行して位置するように直線方式で配置されることを特徴とする請求項７３に記載の研磨装置。
【請求項７５】
前記被研磨体研磨ステーションの隣接した被研磨体キャリア間の距離は、前記被研磨体研磨ステーションの隣接した被研磨体伝達ステーション間の距離と基本的に同じであることを特徴とする請求項７４に記載の研磨装置。
【請求項７６】
前記被研磨体研磨ステーションは、少なくとも一つの被研磨体伝達ステーションが二つの隣接した研磨面間に位置するように、前記研磨面間に位置する複数の被研磨体伝達ステーションをさらに備え、前記複数の被研磨体伝達ステーションは前記被研磨体伝達ステーションを備え、前記被研磨体伝達ステーションは直線方式で配置されることを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項７７】
前記被研磨体研磨ステーションは、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの一終端被研磨体キャリアに、または前記被研磨体キャリアの一終端被研磨体キャリアから伝達するように位置した、追加された被研磨体伝達ステーションを備えることを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項７８】
前記少なくとも一つの移送デバイスは、前記被研磨体を前記被研磨体研磨ステーションの前記追加された被研磨体伝達ステーションに伝達するように構成され、それに加えて、前記少なくとも一つの被研磨体移送デバイスは、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから伝達するように構成されることを特徴とする請求項７７に記載の研磨装置。
【請求項７９】
前記少なくとも一つの被研磨体移送デバイスは、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに伝達するように構成され、それに加えて、前記少なくとも一つの被研磨体移送デバイスは、前記被研磨体を前記追加された被研磨体伝達ステーションから伝達されるように構成されることを特徴とする請求項７８に記載の研磨装置。
【請求項８０】
前記被研磨体研磨ステーションは、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに伝達するように位置した、第２の追加された被研磨体伝達ステーションをさらに備えることを特徴とする請求項７７に記載の研磨装置。
【請求項８１】
前記少なくとも一つの被研磨体移送デバイスは、前記被研磨体を前記追加された被研磨体伝達ステーションに伝達するように構成され、それに加えて、前記少なくとも一つの被研磨体移送デバイスは、前記被研磨体を前記第２の追加された被研磨体伝達ステーションから伝達されるように構成されることを特徴とする請求項８０に記載の研磨装置。
【請求項８２】
前記被研磨体研磨ステーションの前記被研磨体キャリアは、隣接した被研磨体キャリアとの距離が基本的に同じくなるように配置されることを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項８３】
前記被研磨体研磨ステーションは、前記追加された被研磨体伝達ステーションの少なくとも一つが二つの隣接した研磨面間に位置するように、前記研磨面間に位置する複数の追加された被研磨体伝達ステーションと、
そのそれぞれが、前記被研磨体を前記追加された被研磨体伝達ステーションの一つと前記被研磨面の一つとの間で伝達するように、基本的に直線往復方式によって移動する複数の追加された被研磨体キャリアと、を備えることを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項８４】
前記追加された被研磨体キャリアの少なくとも一つは、前記追加された被研磨体キャリアの前記少なくとも一つ及び前記被研磨体キャリアの前記少なくとも一つが共に移動するように、前記被研磨体キャリアの少なくとも一つと連結されることを特徴とする請求項８３に記載の研磨装置。
【請求項８５】
前記被研磨体を洗浄するように構成される被研磨体洗浄器をさらに備え、前記被研磨体洗浄器は、前記被研磨体の長手側面は、前記被研磨面により定義される領域の長手側面に隣接して位置することを特徴とする請求項６８に記載の研磨装置。
【請求項８６】
被研磨体研磨ステーションの入力端で被研磨体を受けるステップと、
前記被研磨体を、前記被研磨体研磨ステーションの複数の被研磨体キャリアを使用して前記被研磨体研磨ステーションの複数の研磨面に順次に伝達するステップと、
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアを使用して前記研磨面上で順次に研磨するステップと、
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアの第１被研磨体キャリアを使用して前記研磨面の第１近接研磨面から前記被研磨体研磨ステーションの被研磨体伝達ステーションに伝達するステップと、
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアの第２被研磨体キャリアを使用して前記被研磨体伝達ステーションから前記研磨面の第２近接研磨面に伝達するステップと、
前記被研磨体は、前記被研磨面上で研磨された後に前記被研磨体研磨ステーションの出力端から前記被研磨体を出力するステップと、を含む研磨方法。
【請求項８７】
前記受けるステップは、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第１終端被研磨体キャリアに直接伝達することを含み、前記出力ステップは、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから直接伝達することを含むことを特徴とする請求項８６に記載の研磨方法。
【請求項８８】
前記被研磨体伝達ステーションに前記被研磨体を伝達する前記伝達ステップ、及び前記被研磨体を前記被研磨体伝達ステーションから伝達する前記伝達ステップは、基本的に直線方式によって前記第１及び第２被研磨体キャリアを共に移動させるステップを含むことを特徴とする請求項８６に記載の研磨方法。
【請求項８９】
前記被研磨体伝達ステーションに前記被研磨体を伝達する前記伝達ステップ、及び前記被研磨体を前記被研磨体伝達ステーションから伝達する前記伝達ステップは、基本的に直線方式によって前記第１及び第２被研磨体キャリアを個別的に移動させるステップを含むことを特徴とする請求項８６に記載の研磨方法。
【請求項９０】
前記被研磨体伝達ステーションに前記被研磨体を伝達する前記伝達ステップ、及び前記被研磨体を前記被研磨体伝達ステーションから伝達する前記伝達ステップは、ピボット方式によって前記第１及び第２被研磨体キャリアそれぞれを個別的に移動させるステップを含むことを特徴とする請求項８６に記載の研磨方法。
【請求項９１】
前記被研磨体を、前記被研磨体キャリアの一終端被研磨体キャリアが追加された被研磨体伝達ステーションに伝達するか、追加された被研磨体伝達ステーションから伝達できるように、前記被研磨体キャリアの前記第１終端被研磨体キャリアに隣接して位置する前記被研磨体研磨ステーションの前記追加された被研磨体伝達ステーションに前記被研磨体を伝達するステップをさらに含むことを特徴とする請求項８６に記載の研磨方法。
【請求項９２】
前記受けるステップは、前記被研磨体を前記追加された被研磨体伝達ステーションに直接伝達するステップを含み、前記出力ステップは、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアから直接伝達するステップを含むことを特徴とする請求項９１に記載の研磨方法。
【請求項９３】
前記受けるステップは、前記被研磨体を前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに直接伝達するステップを含み、前記出力ステップは、前記被研磨体を前記追加された被研磨体伝達ステーションから直接伝達するステップを含むことを特徴とする請求項９１に記載の研磨方法。
【請求項９４】
前記伝達ステップは、前記被研磨体を前記第２被研磨体キャリアが前記第２の追加された被研磨体伝達ステーションに伝達できるように、前記被研磨体キャリアの第２終端被研磨体キャリアに隣接して位置する前記被研磨体研磨ステーションの第２の追加された被研磨体伝達ステーションに伝達するステップを含むことを特徴とする請求項９１に記載の研磨方法。
【請求項９５】
前記受けるステップは、前記被研磨体を前記追加された被研磨体伝達ステーションに直接伝達するステップを含み、前記出力ステップは、前記被研磨体を前記第２の追加された被研磨体伝達ステーションから直接伝達するステップを含むことを特徴とする請求項９４に記載の研磨方法。
【請求項９６】
第２被研磨体を、前記被研磨体研磨ステーションの複数の追加された被研磨体キャリアを使用して前記被研磨体研磨ステーションの前記研磨面に順次に伝達するステップと、
前記第２被研磨体を、前記追加された被研磨体キャリアを使用して前記研磨面上で順次に研磨するステップと、
前記第２被研磨体を、前記追加された被研磨体キャリアの第１の追加された被研磨体キャリアを使用して、前記研磨面の前記第１近接研磨面から前記被研磨体研磨ステーションの追加された被研磨体伝達ステーションに伝達するステップと、
前記第２被研磨体を、前記追加された被研磨体キャリアの第２の追加された被研磨体キャリアを使用して前記追加された被研磨体伝達ステーションから前記第２近接研磨面に伝達するステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項８６に記載の研磨方法。
【請求項９７】
前記第２被研磨体を順次に伝達する前記伝達ステップは、前記追加された被研磨体キャリアの少なくとも一つ及び前記被研磨体キャリアの少なくとも一つを共に移動させるステップを含むことを特徴とする請求項９６に記載の研磨方法。
【請求項９８】
第１被研磨体移送デバイスと、
第２被研磨体移送デバイスと、
少なくとも一つの研磨面及び被研磨体を前記研磨面上で研磨するために、前記研磨面上側に位置する第１及び第２被研磨体キャリアを備え、前記被研磨体それぞれが、前記第１被研磨体移送デバイスから前記第１及び第２被研磨体キャリアの一つを経て前記第２被研磨体移送デバイスに伝達される前記第１及び第２被研磨体移送デバイス間に位置する被研磨体研磨ユニットと、を備える研磨装置。
【請求項９９】
前記被研磨体研磨ユニットは、前記第１被研磨体キャリアが前記被研磨体の一部を第１研磨面上で研磨し、前記第２被研磨体キャリアが前記被研磨体の一部を第２研磨面上で研磨できるように、前記第１及び第２研磨面をさらに備えることを特徴とする請求項９８に記載の研磨装置。
【請求項１００】
前記被研磨体研磨ユニットは、前記第１及び第２被研磨体移送デバイス間に位置する被研磨体リレイデバイスをさらに備え、前記被研磨体リレイデバイスは、ロード／アンロードカップ及びピボット駆動メカニズムを備え、前記ピボット駆動メカニズムは、前記被研磨体を前記第１及び第２被研磨体キャリアに、または前記第１及び第２被研磨体キャリアから伝達するために、前記ロード／アンロードカップをピボット軸の周囲でピボットするように構成されることを特徴とする請求項９８に記載の研磨装置。
【請求項１０１】
前記被研磨体研磨ユニットは、前記被研磨体リレイデバイスと前記第２被研磨体移送デバイスとの間に位置する追加された被研磨体リレイデバイスをさらに備え、前記追加された被研磨体リレイデバイスが追加されたロード／アンロードカップ及び追加されたピボット駆動メカニズムを備え、前記追加されたピボット駆動メカニズムは、前記被研磨体を前記第１及び第２被研磨体キャリアから伝達するために、前記追加されたロード／アンロードカップを第２ピボット軸の周囲でピボットするように構成されることを特徴とする請求項１００に記載の研磨装置。
【請求項１０２】
前記被研磨体研磨ユニットは、前記第１及び第２被研磨体移送デバイスの間に位置する第１及び第２被研磨体リレイデバイスをさらに備え、前記第１及び第２被研磨体リレイデバイスそれぞれはロード／アンロードカップ及びピボット駆動メカニズムを備え、前記第１被研磨体リレイデバイスの前記ピボット駆動メカニズムは、前記被研磨体の一部を前記第１被研磨体キャリアに、または前記第１被研磨体キャリアから伝達するために、前記第１被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップを第１ピボット軸の周囲でピボットするように構成され、前記第２被研磨体リレイデバイスの前記ピボット駆動メカニズムは、前記被研磨体の一部を前記第２被研磨体キャリアに、または前記第２被研磨体キャリアから伝達するために、前記第２被研磨体リレイデバイスの前記ロード／アンロードカップを第２ピボット軸の周囲でピボットするように構成されることを特徴とする請求項９８に記載の研磨装置。
【請求項１０３】
第１被研磨体移送デバイスを使用して、第１及び第２被研磨体を被研磨体研磨ユニットの第１終端に伝達するステップと、
前記被研磨体研磨ユニットの第１被研磨体キャリアを使用して、前記被研磨体研磨ユニットの少なくとも一つの研磨面上で前記第１被研磨体を研磨するステップと、
前記被研磨体研磨ユニットの第２被研磨体キャリアを使用して、前記被研磨体研磨ユニットの少なくとも一つの研磨面上で前記第２被研磨体を研磨するステップと、
第２被研磨体移送デバイスを使用して、前記第１及び第２被研磨体を前記被研磨体研磨ユニットの第２終端から伝達するステップと、を含み、前記第１及び第２終端は前記被研磨体研磨ユニットの反対側終端に位置することを特徴とする研磨方法。
【請求項１０４】
前記第１被研磨体を研磨する前記ステップは、前記被研磨体研磨ユニットの第１研磨面上で前記第１被研磨体を研磨するステップを含み、前記第２被研磨体を研磨する前記ステップは、前記被研磨体研磨ユニットの第２研磨面上で前記第２被研磨体を研磨するステップを含むことを特徴とする請求項１０３に記載の研磨方法。
【請求項１０５】
前記被研磨体研磨ユニットのロード／アンロードカップを使用して、前記第１及び第２被研磨体キャリアと前記第１及び第２被研磨体移送デバイスの１つとの間で前記第１及び第２被研磨体を伝達するステップをさらに備え、前記伝達するステップは、前記ロード／アンロードカップをピボット軸の周囲でピボットするステップを含むことを特徴とする請求項１０３に記載の研磨方法。
【請求項１０６】
前記被研磨体研磨ユニットの追加されたロード／アンロードカップを使用して、前記第１及び第２被研磨体キャリアと前記第２被研磨体移送デバイスとの間で前記第１及び第２被研磨体を伝達するステップをさらに備え、前記伝達するステップは、前記追加されたロード／アンロードカップを第２ピボット軸の周囲でピボットするステップを含むことを特徴とする請求項１０５に記載の研磨方法。
【請求項１０７】
前記被研磨体研磨ユニットの第１ロード／アンロードカップを使用して、前記第１被研磨体キャリアと前記第１及び第２被研磨体移送デバイスの一つとの間で前記第１被研磨体を伝達するステップであり、前記伝達するステップは、前記第１ロード／アンロードカップを第１ピボット軸の周囲でピボットするステップと、
前記被研磨体研磨ユニットの第２ロード／アンロードカップを使用して、前記第２被研磨体キャリアと前記第１及び第２被研磨体移送デバイスの一つとの間で前記第２被研磨体を伝達するステップであり、前記伝達するステップは、前記第２ロード／アンロードカップを第２ピボット軸の周囲でピボットするステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項１０３に記載の研磨方法。