【手続補正書】
【提出日】平成19年9月20日(2007.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  センサであって、
物理特性の変化に応答して変動する抵抗値をそれぞれ有する第１の抵抗および第２の抵抗と、
前記第１の抵抗に電気的に結合され、該第１の抵抗の抵抗値を設定する第１の回路と、
前記第２の抵抗に電気的に結合され、該第２の抵抗の抵抗値を前記第１の抵抗の抵抗値と等しくなるよう調整する第２の回路と、
を備えるセンサ。
【請求項２】  前記第１の回路および前記第２の回路に結合された処理回路であって、前記第１の抵抗に対し前記第１の回路により与えられるエネルギと前記第２の抵抗に対し前記第２の回路により与えられるエネルギとの量の差を計測する処理回路を更に備える、請求項１記載のセンサ。
【請求項３】  前記第２の回路が、前記第２の抵抗へ与えられる電流量を変化させることにより、前記第２の抵抗の抵抗値を調整する、請求項１記載のセンサ。
【請求項４】  前記第１の抵抗および前記第２の抵抗が配置される導管を流れる流体の質量流量を計測する質量流量センサである、請求項１記載のセンサ。
【請求項５】  前記第１の抵抗が設定される抵抗値が、前記導管に流入する流体の周囲温度より高い温度に対応するよう設定される、請求項４記載のセンサ。
【請求項６】  前記第１の抵抗が設定される抵抗値が、前記導管に流入する流体の周囲温度より約３０ないし１００°高い温度に対応するよう設定される、請求項４記載のセンサ。
【請求項７】  前記第１の抵抗および前記第２の抵抗の抵抗値が温度の変化に応じて変動する、請求項１記載のセンサ。
【請求項８】  前記第１の回路が、前記第１の抵抗の抵抗値を設定するプログラム可能な分圧器を含む、請求項１記載のセンサ。
【請求項９】  前記第１の回路が、前記第１の抵抗の抵抗値を設定するディジタル／アナログ・コンバータを含む、請求項１記載のセンサ。
【請求項１０】  前記第１の回路が、
第１の入力と第２の入力と出力とを持つ増幅器と、
前記増幅器の第１の入力に電気的に結合され、前記第１の抵抗が設定される抵抗値を決定する電圧基準と、
前記増幅器の前記第２の入力と該増幅器の前記出力との間に電気的に結合された第３の抵抗と、
を含み、前記第１の抵抗が、前記第２の抵抗および前記第３の抵抗との間に電気的に直列に結合される、請求項１記載のセンサ。
【請求項１１】  前記電圧基準がプログラム可能な分圧器を含む、請求項１０記載のセンサ。
【請求項１２】  前記増幅器が第１の増幅器であり、
前記第２の回路が、
第１の入力と第２の入力と出力とを持つ第２の増幅器であって、該第２の増幅器の前記第１の入力が基準電位端子に電気的に結合され、前記第２の入力が前記第１の抵抗および前記第２の抵抗に電気的に結合され、前記第２の抵抗が前記第２の増幅器の前記第２の入力と該第２の増幅器の前記出力との間に電気的に結合される第２の増幅器と、
前記第２の増幅器の前記第２の入力と前記第１の抵抗と前記第２の抵抗とに電気的に結合される電流源と、
を含む、請求項１０記載のセンサ。
【請求項１３】  前記電流源が、
出力を持つディジタル／アナログ・コンバータと、
前記ディジタル／アナログ・コンバータの出力と、前記第２の増幅器の前記第２の入力との間に電気的に結合された第４の抵抗と、
を含む、請求項１２記載のセンサ。
【請求項１４】  前記電流源が更に、
入力と出力とを持つアナログ／ディジタル・コンバータと、
前記アナログ／ディジタル・コンバータの前記出力に電気的に結合される入力を持ち、前記ディジタル／アナログ・コンバータの前記入力に電気的に結合される出力を持つ比例／積分／微分（ＰＩＤ）コントローラと、
を含む、請求項１３記載のセンサ。
【請求項１５】  前記第１の抵抗および前記第２の抵抗を前記第１の増幅器の前記第２の入力に電気的に結合するバッファと、
前記第１の増幅器の前記第２の入力と前記第２の増幅器の前記出力との間に電気的に直列に結合される第４の抵抗および第５の抵抗と、
を更に備える、請求項１２記載のセンサ。
【請求項１６】  前記基準電位端子が第１の基準電位端子であり、
前記電流源が、
第１の入力と第２の入力と出力とを持つ第３の増幅器であって、該第３の増幅器の前記第１の入力が、前記第１の基準電位端子と同じ基準電位を持つ第２の基準電位端子に電気的に結合された第３の増幅器と、
前記第３の増幅器の前記出力と前記第１の抵抗と前記第２の抵抗と前記第２の増幅器の前記第２の入力との間に電気的に結合された第６の抵抗と、
前記第３の増幅器と前記第４の抵抗と前記第５の抵抗との間に電気的に結合される第７の抵抗と、
を含む、請求項１５記載のセンサ。
【請求項１７】  前記増幅器が第１の増幅器であり、
前記第２の回路が、
第１の入力と第２の入力と出力とを持つ第２の増幅器であって、該第２の増幅器の前記第１の入力が基準電位端子に電気的に結合された第２の増幅器と、
前記第１の増幅器の前記第２の入力と前記第２の増幅器の前記出力との間に電気的に直列に結合され、且つ、前記第２の増幅器の前記第２の入力が電気的に結合された前記第４および第５の抵抗と、
前記第１の抵抗と前記第２の抵抗とに電気的に結合された電流源と、
を含む、請求項１０記載のセンサ。
【請求項１８】  前記基準電位端子が第１の基準電位端子であり、
前記電流源が、
第１の入力と第２の入力と出力とを持つ第３の増幅器であって、該第３の増幅器の前記第１の入力が、前記第１の基準電位端子と同じ基準電位を持つ第２の基準電位端子に電気的に結合された第３の増幅器と、
前記第３の増幅器の前記出力と該第３の増幅器の前記第２の入力との間に電気的に結合され、且つ、前記第１の抵抗と前記第２の抵抗とに電気的に結合された第６の抵抗と、
前記第３の増幅器の前記出力と前記第２の増幅器の前記第２の入力との間に電気的に結合され、且つ、前記第４の抵抗および前記第５の抵抗に電気的に結合される第７の抵抗と、
を含む、請求項１７記載のセンサ。
【請求項１９】  第１の抵抗の抵抗値と第２の抵抗の抵抗値とを平衡させる方法であって、前記第１の抵抗および前記第２の抵抗の抵抗値が温度と共に変化する方法であって、
（ａ）前記第１の抵抗の抵抗値を第１の値に設定するステップと、
（ｂ）前記第２の抵抗の抵抗値が前記第１の抵抗の前記第１の値と整合するように、前記第２の抵抗に対し電流量を与えるステップと、
を含む方法。
【請求項２０】  前記ステップ（ａ）が、
（ｃ）前記第１の抵抗が設定されるべき温度を決定するステップと、
（ｄ）前記ステップ（ｃ）において決定される温度に対応する抵抗値へ前記第１の抵抗の抵抗値を設定するステップと、
を含む、請求項１９記載の方法。
【請求項２１】  前記ステップ（ｃ）が、
（ｅ）前記第１の抵抗と前記第２の抵抗とが配置される導管へ流入する流体の周囲温度を計測するステップと、
（ｆ）前記ステップ（ｅ）において計測された周囲温度を所定の量だけ増分するステップと、
を含む、請求項２０記載の方法。
【請求項２２】  前記ステップ（ｄ）が、
（ｇ）前記第１の抵抗の抵抗値を前記第１の値にするため、プログラム可能な分圧器により与えられるべき分割比を決定するステップと、
（ｈ）決定された前記分割比を与えるように、プログラム可能な前記分圧器を構成するステップと、
を含む、請求項２１記載の方法。
【請求項２３】
前記第１の抵抗および前記第２に抵抗が、温度と共に変化する抵抗値を有する感熱コイルである、請求項４〜６のうちのいずれか一つに記載のセンサ。
【請求項２４】
前記第１の抵抗および前記第２に抵抗が、温度と共に変化する抵抗値を有する感熱コイルであり、質量コントローラ内に含まれる質量流量センサである、請求項１〜３および７〜１８のうちのいずれか一つに記載のセンサ。
【請求項２５】
前記第１の抵抗および前記第２の抵抗が、流体が流れる管路の周りに且つ離れた位置に配置される、請求項２４記載のセンサ。