【手続補正書】
【提出日】平成19年9月6日(2007.9.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  故障検出制御を用いて半導体製造プロセスにおいてトレースデータ報告を動的に発生する方法であって、
トレースデータ報告のための特定されたデータを受取るステップを含み、前記特定されたデータは前記トレースデータ報告のための、パラメータ、トリガおよび頻度のうち少なくとも１つを含み、前記方法はさらに
故障検出コントローラから、前記トレースデータ報告のための報告発生器に対する要求を自動的に発生するステップを含み、前記要求は前記特定されたデータを含み、前記方法はさらに
前記要求に応答して前記トレースデータ報告を作成するステップと、
前記要求に基づき前記報告発生器から前記作成されたトレースデータ報告を戻すステップとを含む、方法。
【請求項２】  前記トレースデータ報告のための前記特定されたデータを受取る前記ステップは、手動入力によって前記特定されたデータを受取るステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】  前記トレースデータ報告を要求する前記ステップは、利用可能なパラメータのデータ記憶装置を調べるステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】  前記データ記憶装置は、データベース、リスト、ファイルのうち少なくとも１つを含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】  前記報告発生器は前記利用可能なパラメータを前記データ記憶装置に取込む、請求項３に記載の方法。
【請求項６】  前記要求に応答して前記トレースデータ報告を作成する前記ステップは、製造ツールからの特定されたデータを集めるステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】  高度プロセス制御、半導体製造処理においてデータ報告を作成するための方法を行うようプログラムされたコンピュータであって、前記方法は
トレースデータ報告のための特定されたデータを受取るステップを含み、前記特定されたデータは、前記トレースデータ報告のための、パラメータ、トリガおよび頻度のうち少なくとも１つを含み、前記方法はさらに
故障検出コントローラから、前記トレースデータ報告のための報告発生器に対する要求を自動的に発生するステップを含み、前記要求は前記特定されたデータを含み、前記方法
はさらに
前記要求に応答して前記トレースデータ報告を作成するステップと、
前記要求に基づき前記報告発生器から前記作成されたトレースデータ報告を戻すステップとを含む、プログラムされたコンピュータ。
【請求項８】  前記プログラムされた方法において前記トレースデータ報告のための前記特定されたデータを受取る前記ステップは、手動入力によって前記特定されたデータを受取るステップを含む、請求項７に記載のプログラムされたコンピュータ。
【請求項９】  前記プログラムされた方法において前記トレースデータ報告を要求するステップは利用可能なパラメータのデータ記憶装置を調べるステップを含む、請求項７に記載のプログラムされたコンピュータ。
【請求項１０】  前記データ記憶装置は、データベース、リスト、ファイルのうち少なくとも１つを含む、請求項９に記載のプログラムされたコンピュータ。
【請求項１１】  前記報告発生器は前記利用可能なパラメータを前記データ記憶装置に取込む、請求項９に記載のプログラムされたコンピュータ。
【請求項１２】  前記故障検出コントローラおよび前記報告発生器は単一のコンピュータに常駐する、請求項７に記載のプログラムされたコンピュータ。
【請求項１３】  前記故障検出コントローラおよび前記報告発生器は異なるコンピュータに常駐する、請求項７に記載のプログラムされたコンピュータ。
【請求項１４】  前記プログラムされた方法において前記要求に応答して前記トレースデータ報告を作成する前記ステップは、製造ツールからの特定されたデータを集めるステップを含む、請求項７に記載のプログラムされたコンピュータ。
【請求項１５】  コンピュータによって実行されると、高度プロセス制御、半導体製造処理においてデータ報告を作成するための方法を行う命令でコード化されるコンピュータ読取可能なプログラム記憶媒体であって、前記プログラムされた方法は、
トレースデータ報告のための特定されたデータを受取るステップを含み、前記特定されたデータは、前記トレースデータ報告のための、パラメータ、トリガおよび頻度のうち少なくとも１つを含み、前記方法はさらに
故障検出コントローラから、前記トレースデータ報告のための報告発生器に対する要求を自動的に発生するステップを含み、前記要求は前記特定されたデータを含み、前記方法はさらに
前記要求に応答して前記トレースデータ報告を作成するステップと、
前記要求に基づき前記報告発生器から前記作成されたトレースデータ報告を戻すステップとを含む、コンピュータ読取可能なプログラム記憶媒体。
【請求項１６】  前記プログラムされた方法においてトレースデータ報告のためにデータを特定するステップは、手動入力によって前記特定されたデータを受取るステップを含む、請求項１５に記載のコンピュータ読取可能なプログラム記憶媒体。
【請求項１７】  前記プログラムされた方法において前記トレースデータ報告を要求するステップは利用可能なパラメータのデータ記憶装置を調べるステップを含む、請求項１５に記載のコンピュータ読取可能なプログラム記憶媒体。
【請求項１８】  前記データ記憶装置は、データベース、リスト、ファイルのうち少なくとも１つを含む、請求項１７に記載のコンピュータ読取可能なプログラム記憶媒体。
【請求項１９】  前記報告発生器は前記利用可能なパラメータを前記データ記憶装置に取込む、請求項１７に記載のコンピュータ読取可能なプログラム記憶媒体。
【請求項２０】  前記故障検出コントローラおよび前記報告発生器は単一のコンピュータに常駐する、請求項１５に記載のコンピュータ読取可能なプログラム記憶媒体。
【請求項２１】  前記故障検出コントローラおよび前記報告発生器は異なるコンピュータに常駐する、請求項１５に記載のコンピュータ読取可能なプログラム記憶媒体。
【請求項２２】  前記プログラムされた方法において前記要求に応答して前記トレースデータ報告を作成する前記ステップは、製造ツールからの特定されたデータを集めるス
テップを含む、請求項１５に記載のコンピュータ読取可能なプログラム記憶媒体。
【請求項２３】  半導体製造処理システムであって、前記システムは
特定されたデータおよびトレースデータ報告のうち少なくとも１つを与えることができる製造ツールと、
故障検出制御を実現する故障検出コントローラとを含み、前記故障検出コントローラは前記トレースデータ報告への要求を自動的に発生することができ、前記要求は前記特定されたデータを含み、前記システムはさらに、
前記製造ツールから、前記特定されたデータおよび前記トレースデータ報告のうち少なくとも１つを要求することができ、かつ、前記特定されたデータが前記製造ツールから要求されると、前記トレースデータ報告を与えることができる、報告発生器と、
前記トレースデータ報告のための特定されたデータを受取るためのオペレータインターフェイスとを含み、前記特定されたデータは前記トレースデータ報告のための、パラメータ、トリガおよび頻度のうち少なくとも１つを含み、前記オペレータインターフェイスには、前記報告発生器および前記製造ツールのうち少なくとも１つから前記トレースデータ報告が戻され得る、システム。
【請求項２４】  前記オペレータインターフェイスはグラフィカルユーザインターフェイスを含む、請求項２３に記載の半導体製造処理システム。
【請求項２５】  前記特定されたデータとして受取られ得る使用可能なパラメータのデータ記憶装置をさらに含む、請求項２３に記載の半導体製造処理システム。
【請求項２６】  前記データ記憶装置は、データベース、リスト、ファイルのうち少なくとも１つを含む、請求項２５に記載の半導体製造処理システム。
【請求項２７】  前記報告発生器は前記利用可能なパラメータを前記データ記憶装置に取込むことができる、請求項２５に記載の半導体製造処理システム。
【請求項２８】  故障検出コントローラ、オペレータインターフェイス、および報告発生器のうち少なくとも２つは同じコンピュータに常駐する、請求項２３に記載の半導体製造処理システム。
【請求項２９】  故障検出コントローラおよび報告発生器は異なるコンピュータに常駐する、請求項２３に記載の半導体製造処理システム。
【請求項３０】  高度プロセス制御、半導体製造処理システムであって、
ウェハを製造するための手段を含み、前記製造手段は特定されたデータおよびトレースデータ報告のうち少なくとも１つを与えることができ、前記システムはさらに
故障検出制御を実現するための手段を含み、前記故障検出制御手段は、前記トレースデータ報告への要求を自動的に発生することができ、前記要求は前記特定されたデータを含み、前記システムはさらに
報告を発生するための手段を含み、前記報告発生手段は、前記特定されたデータおよび前記トレースデータ報告のうち少なくとも１つを前記製造手段から要求することができ、かつ、前記特定されたデータが前記製造手段から要求されると、前記トレースデータ報告を与えることができ、前記システムはさらに
オペレータが前記トレースデータ報告のための前記データを特定し得る、オペレータとインターフェイスする手段を含み、前記特定されたデータは前記トレースデータ報告のための、パラメータ、トリガおよび頻度のうち少なくとも１つを含み、前記インターフェイス手段には、前記報告発生手段および前記製造手段のうち少なくとも１つから前記トレースデータ報告が戻され得る、システム。
【請求項３１】  前記インターフェイス手段はグラフィカルユーザインターフェイスを含む、請求項３０に記載の半導体製造処理システム。
【請求項３２】  特定され得る利用可能なパラメータの識別を記憶するための手段をさらに含む、請求項３０に記載の半導体製造処理システム。
【請求項３３】  前記記憶装置は、データベース、リスト、ファイルのうち少なくとも１つを含む、請求項３２に記載の半導体製造処理システム。
【請求項３４】  前記報告発生器は前記利用可能なパラメータを前記記憶手段に取込
むことができる、請求項３２に記載の半導体製造処理システム。
【請求項３５】  前記故障検出制御手段、前記インターフェイス手段、および前記報告発生手段のうち少なくとも２つは同じコンピュータに常駐する、請求項３０に記載の半導体製造処理システム。
【請求項３６】  前記故障検出コントローラおよび前記報告発生器は異なるコンピュータに常駐する、請求項３０に記載の半導体製造処理システム。