(57)【要約】【課題】光ファイバアレイとマイクロレンズアレイとを三次元的に簡単に精度良く位置合せして結合できる低コストの光コリメータアレイを提供する。【解決手段】光ファイバアレイ２０において、光ファイバ２６を保持する光ファイバホルダ２２には、光ファイバ端露出側の端面２２Ａに位置決めピン挿通孔２８ａ，２８ｂを設ける。マクロレンズアレイ３０において、レンズ３４を有するレンズ基板３２には、孔２８ａ，２８ｂに対応する位置決めピン挿通孔３６ａ，３６ｂを設ける。スペーサ４０において、透光窓４４を有するスペーサ部材４２には、孔２８ａ，２８ｂに対応する位置決めピン挿通孔４６ａ，４６ｂを設ける。ホルダ２２の端面２２Ａにスペーサ４０を介してレンズアレイ３０を結合する際には、位置決めピン５０ａ及び５０ｂをそれぞれ孔３６ａ，４６ａ，２８ａ及び孔３６ｂ，４６ｂ，２８ｂに挿通して位置合せした状態で接着等により固定する。【選択図】図１
2006235262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバホルダと、この光ファイバホルダの端面に各々の一端を露出するように該光ファイバホルダに整列状態で保持された複数の光ファイバとを有し、前記光ファイバホルダの光ファイバ端露出側の端面には複数の第１の位置決めピン挿通孔が設けられている光ファイバアレイと、
レンズ基板と、前記複数の光ファイバにそれぞれ対応して該レンズ基板に形成された複数のレンズとを有し、前記レンズ基板には前記複数の第１の位置決めピン挿通孔にそれぞれ対応して複数の第２の位置決めピン挿通孔が設けられているマイクロレンズアレイと、
前記複数の光ファイバと前記複数のレンズとの間の光通路となる透光窓を有する偏平状のスペーサ部材からなり、該スペーサ部材には前記複数の第１の位置決めピン挿通孔にそれぞれ対応して複数の位置決めピン係合部が設けられているスペーサと、
前記複数の第１の位置決めピン挿通孔にそれぞれ対応する複数の位置決めピンと
を備え、前記光ファイバホルダの光ファイバ端露出側の端面に前記スペーサを介して前記マイクロレンズアレイを配置すると共に前記複数の第１の位置決めピン挿通孔のうちの各第１の位置決めピン挿通孔毎に対応する位置決めピンを該第１の位置決めピン挿通孔と該第１の位置決めピン挿通孔に対応する第２の位置決めピン挿通孔とに挿通し且つ該位置決めピンを該第１の位置決めピン挿通孔に対応する位置決めピン係合部に係合させて前記光ファイバアレイ、前記スペーサ及び前記マイクロレンズアレイを位置合せした状態で前記光ファイバアレイに前記スペーサを介して前記マイクロレンズアレイを結合した光コリメータアレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光ファイバアレイとマイクロレンズアレイとを組合せた光コリメータアレイの改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光コリメータアレイとしては、図８に示すように光ファイバアレイとマイクロレンズアレイとの間にスペーサを介在配置したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図８に示す光コリメータアレイにおいて、光ファイバホルダ１は、複数の光ファイバ２を保持するもので、複数の光ファイバ２を挟む位置にて基準光ファイバ２ａ，２ｂを保持している。スペーサ３は、ホルダ１と結合する側に光通過用の窓部３Ａが設けられると共に、窓部３Ａ側とは反対側から窓部３Ａに達するように凹状溝３Ｂが設けられたもので、凹状溝３Ｂには、複数のレンズ５を有するマイクロレンズアレイ４が嵌合され、固定されるようになっている。スペーサ３は、凹状溝３Ｂの底部の厚さｄがレンズ５の焦点距離に等しくなるように作製される。
【０００４】
光コリメータアレイを組立てる際には、マイクロレンズアレイ４を予め固定したスペーサ３を窓部３Ａ側でホルダ１の光ファイバ端露出側の端面に配置して位置合せ（光軸合せ）をした後、位置合せ状態においてスペーサ３をホルダ１に接着等により固定する。
【０００５】
位置合せを行なう際には、光ファイバ２，２ａ，２ｂに左端側から光を入射させた状態において、光ファイバ２ａ，２ｂからの射出光をＣＣＤカメラ６により撮影してモニタ画面７に光スポット２Ａ，２Ｂを表示させると共に、光ファイバ２からレンズ５を介して射出される光をＣＣＤカメラ６により撮影してモニタ画面７に光スポット５ａを表示させる。光スポット２Ａ，２Ｂの中心を結ぶ線Ｌを基準線とし、この線Ｌに沿って光スポット５ａが並ぶようにホルダ１に対してスペーサ３の位置を調整する。光スポット５ａが線Ｌに沿って並んだ状態を位置合せ状態とする。スペーサ３をホルダ１に固定した後は、ホルダ１において光ファイバ２ａ，２ｂを設けた部分を光ファイバ２ａ，２ｂと共に切断等により除去する。
【０００６】
従来の光コリメータアレイとしては、図９に示すようにガイドピンを用いて光ファイバアレイにマイクロレンズアレイを装着するものも知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
図９に示す光コリメータアレイにおいて、マイクロレンズアレイＬＡは、レンズＬ１〜Ｌ５を設けた石英基板１０に薄膜プロセスにより金属製の結合板１１を形成したもので、結合板１１には、レンズＬ１〜Ｌ５の通過光を通すための透光窓１２が設けられている。結合板１１において、透光窓１２を挟む位置にはガイドピン挿通孔１１ａ，１１ｂが形成されており、孔１１ａ，１１ｂは、いずれも外方に進むにつれて直径が増大するようになっている。  
光ファイバアレイＦＡは、光ファイバホルダ１３に並設された保持溝（又は孔）Ｈ１〜Ｈ５により光ファイバＦ１〜Ｆ５を保持するもので、光ファイバＦ１〜Ｆ５を挟む位置には、ガイドピン挿通孔１１ａ，１１ｂにそれぞれ対応するガイドピン挿通孔Ｐ１，Ｐ２が設けられている。ガイドピン１４，１５は、それぞれ頭部１４ａ，１５ａを有するもので、いずれもＦ１等の光ファイバと同じ１２５μｍ程度の直径を有する。
【０００８】
マイクロレンズアレイＬＡを光ファイバアレイＦＡに結合する際には、マイクロレンズアレイＬＡのレンズ形成面とは反対側の面をホルダ１３の光ファイバ端露出側の端面に配置した状態でガイドピン１４及び１５を孔１１ａ，Ｐ１及び孔１１ｂ，Ｐ２にそれぞれ図示のように挿通して位置合せを行い、位置合せ状態で接着等により基板１０をホルダ１３に固定する。
【特許文献１】特開平７−５３４１号公報
【特許文献２】特開２００４−１３８９８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図８に関して上記した従来技術によると、マイクロレンズアレイ４を固定したスペーサ３を光ファイバホルダ１の光ファイバ端露出側の端面にて上下左右に位置調整しながらモニタ画面７で位置確認を行なうことにより位置合せを行なう。このため、画面での目視誤差や接着時の位置ずれ等により上下左右方向で高い位置決め精度を得るのが困難である。
【００１０】
また、スペーサ３において凹状溝３Ｂの底部の厚さｄをレンズ５の焦点距離に等しくなるように精度良く加工するのは容易でなく、しかもマイクロレンズアレイ４をスペーサ３の凹状溝３Ｂに嵌合し、固定する際にも嵌合誤差又は位置ずれが生ずる。このため、光軸方向についても高い位置決め精度を得るのが困難である。
【００１１】
その上、マイクロレンズアレイ４において、レンズの焦点距離は、レンズ種類や製造ばらつき等により一定ではないので、焦点距離毎に厚さｄが異なるスペーサ４を用意する必要がある。また、スペーサ３にマイクロレンズアレイ４を嵌合・固定する作業、光ファイバホルダ１にスペーサ３を位置合せする作業及び基準光ファイバ２ａ，２ｂとその近傍部分を光ファイバホルダ１から除去する作業には相当の時間と労力を要する。従って、コスト高となるのを免れない。  
一方、図９に関して上記した従来技術によると、ガイドピン１４及び１５を孔１１ａ，Ｐ１及び孔１１ｂ，Ｐ２に挿通するだけで簡単に位置合せを行なうことができる。また、結合板１１を薄膜プロセスで形成するため、光ファイバアレイＦＡの光ファイバ端露出側の端面においてＦ１等の光ファイバに対するＬ１等のレンズの二次元的な位置決めの精度を±０．５μｍ以下とすることができる。しかしながら、マイクロレンズアレイＬＡを光ファイバアレイＦＡに装着する際に光軸方向の位置調整を行なう必要があり、光軸方向について高い位置決め精度を得るのが困難である。
【００１２】
この発明の目的は、光ファイバアレイとマイクロレンズアレイとを上下左右前後の三次元的に簡単に精度良く位置合せして結合できる低コストで新規な光コリメータアレイを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明に係る光コリメータアレイは、
光ファイバホルダと、この光ファイバホルダの端面に各々の一端を露出するように該光ファイバホルダに整列状態で保持された複数の光ファイバとを有し、前記光ファイバホルダの光ファイバ端露出側の端面には複数の第１の位置決めピン挿通孔が設けられている光ファイバアレイと、
レンズ基板と、前記複数の光ファイバにそれぞれ対応して該レンズ基板に形成された複数のレンズとを有し、前記レンズ基板には前記複数の第１の位置決めピン挿通孔にそれぞれ対応して複数の第２の位置決めピン挿通孔が設けられているマイクロレンズアレイと、
前記複数の光ファイバと前記複数のレンズとの間の光通路となる透光窓を有する偏平状のスペーサ部材からなり、該スペーサ部材には前記複数の第１の位置決めピン挿通孔にそれぞれ対応して複数の位置決めピン係合部が設けられているスペーサと、
前記複数の第１の位置決めピン挿通孔にそれぞれ対応する複数の位置決めピンと
を備え、前記光ファイバホルダの光ファイバ端露出側の端面に前記スペーサを介して前記マイクロレンズアレイを配置すると共に前記複数の第１の位置決めピン挿通孔のうちの各第１の位置決めピン挿通孔毎に対応する位置決めピンを該第１の位置決めピン挿通孔と該第１の位置決めピン挿通孔に対応する第２の位置決めピン挿通孔とに挿通し且つ該位置決めピンを該第１の位置決めピン挿通孔に対応する位置決めピン係合部に係合させて前記光ファイバアレイ、前記スペーサ及び前記マイクロレンズアレイを位置合せした状態で前記光ファイバアレイに前記スペーサを介して前記マイクロレンズアレイを結合したものである。
【００１４】
この発明の光コリメータアレイによれば、光ファイバホルダの光ファイバ端露出側の端面において複数の位置決めピンを用いて光ファイバアレイ、スペーサ及びマイクロレンズアレイが位置合せされ、位置合せした状態で光ファイバアレイにスペーサを介してマイクロレンズアレイが接着等により結合される。位置合せの際には、各第１の位置決めピン挿通孔毎に対応する位置決めピンを該第１の位置決めピン挿通孔と該第１の位置決めピン挿通孔に対応する第２の位置決めピン挿通孔とに挿通し且つ該位置決めピンを該第１の位置決めピン挿通孔に対応する位置決めピン係合部に係合させるだけで上下左右前後の三次元的に簡単に精度良く位置合せを行なうことができる。スペーサに設けた複数の位置決めピン係合部は、光軸方向と直交する面でのスペーサの二次元移動を抑制するのに役立つもので、各位置決めピン係合部としては、位置決めピン挿通孔、位置決めピン挿通溝又は位置決めピン係止角部等を用いることができる。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、光ファイバアレイ及びマイクロレンズアレイのいずれにも複数の位置決めピン挿通孔を設けると共にスペーサには複数の位置決めピン挿通孔にそれぞれ対応する位置決めピン係合部を設け、光ファイバアレイとスペーサとマイクロレンズアレイとを複数の位置決めピンを用いて位置合せするようにしたので、レンズ種類や製造ばらつき等によりレンズの焦点距離が変動しても、スペーサの厚さを変更するだけで容易に対処可能となる効果が得られる。
【００１６】
その上、スペーサが偏平状の単純な構造であり、位置合せ及び結合作業も簡単に行なえるので、大幅なコスト低減を達成できる効果も得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は、この発明の一実施形態に係る光コリメータアレイの組立て中の状態を示すもので、組立て後の状態は、図２に示されている。図１，２に示す光コリメータアレイは、光ファイバアレイ２０と、マイクロレンズアレイ３０と、これらのアレイ２０，３０の間に介在配置されるスペーサ４０と、これらの部品２０，３０，４０の位置合せに用いる位置決めピン５０ａ，５０ｂとを備えている。
【００１８】
光ファイバアレイ２０において、光ファイバホルダ２２には、その一端から他端に貫通するようにほぼ平行に並べて複数の光ファイバ保持孔２４が形成されており、これらの保持孔２４には、複数の光ファイバ２６が各々の一端をホルダ２２の一方の端面２２Ａに露出するようにほぼ並行に整列した状態で保持されている。ホルダ２２の光ファイバ端露出側の端面２２Ａには、保持孔２４の列の一方側及び他方側にそれぞれ位置決めピン挿通孔２８ａ及び２８ｂが形成されている。孔２４，２８ａ，２８ｂの直径は、いずれも１２５μｍ程度とすることができる。
【００１９】
光ファイバアレイ２０を製作するにあたり、光ファイバホルダ２２は、セラミックス、石英又は樹脂等を用いて公知の方法により製作される。保持孔２４に光ファイバ２６を保持させる前に、挿通孔２８ａ，２８ｂは、接着剤又はシリコーン樹脂等の封止材により封止される。光ファイバ２６は、保持孔２４にそれぞれ挿通され、接着剤により固定される。固定処理の後は、ホルダ２２の端面２２Ａを研磨して平坦面とする。この後、挿通孔２８ａ，２８ｂを封止していた封止材が除去される。
【００２０】
マイクロレンズアレイ３０において、石英等の透光材からなるレンズ基板３２の一方の主面には、複数の光ファイバ２６にそれぞれ対応して複数のレンズ３４が形成されている。レンズ基板３２において、レンズ３４の列の一方側及び他方側には、位置決めピン挿通孔２８ａ，２８ｂにそれぞれ対応して位置決めピン挿通孔３６ａ，３６ｂが形成されている。孔３６ａ，３６ｂの直径は、いずれも１２５μｍ程度とすることができる。マイクロレンズアレイ３０の製法の一例は、図５〜７を参照して後述する。
【００２１】
スペーサ４０は、偏平状のスペーサ部材４２からなっている。スペーサ部材４２には、上方から下方に食い込む形で凹状部が設けられており、この凹状部は、複数の光ファイバ２６と複数のレンズ３４との間の光通路となる透光窓４４を構成する。スペーサ部材４２において、透光窓４４の一方側及び他方側には、位置決めピン挿通孔２８ａ，２８ｂにそれぞれ対応して位置決めピン挿通孔４６ａ，４６ｂが形成されている。孔４６ａ，４６ｂの直径は、いずれも１２５μｍ程度とすることができる。スペーサ部材４２は、光軸方向の厚さＤがマイクロレンズアレイ３０のレンズの焦点距離にほぼ等しくなるように作製される。スペーサ４０は、金属、セラミックス又は石英を機械加工するか又は樹脂を金型成形するなどして作製される。
【００２２】
位置決めピン５０ａ，５０ｂは、一例としていずれも１２５μｍ程度の直径を有するもので、超硬合金、ステンレススチール等の金属、セラミックス又は石英等の材料を用いて構成することができる。
【００２３】
光コリメータアレイを組立てる際には、図１に示すように光ファイバホルダ２２の端面２２Ａにおいて位置決めピン挿通孔２８ａ，２８ｂにそれぞれ位置決めピン５０ａ，５０ｂを挿通する。このような位置決めピン挿通状態において、位置決めピン挿通孔４６ａ，４６ｂにそれぞれ位置決めピン５０ａ，５０ｂが挿通されるように平坦面上でスペーサ４０をホルダ２２の端面２２Ａに接近又は接触させる。この後、位置決めピン挿通孔３６ａ，３６ｂにそれぞれ位置決めピン５０ａ，５０ｂが挿通されるように平坦面上でマイクロレンズアレイ３０をスペーサ４０に接近又は接触させる。この結果、マイクロレンズアレイ３０は、スペーサ４０を介してホルダ２２の端面２２Ａに接近配置され、位置合せされたことになる。
【００２４】
マイクロレンズアレイ３０をスペーサ４０を介してホルダ２２の端面２２Ａに接近配置し、位置合せするための他の方法としては、次のような方法を用いてもよい。すなわち、平坦面上に光ファイバアレイ２０を配置する一方、該平坦面上でホルダ２２の端面２２Ａの近傍にスペーサ４０を介してマイクロレンズアレイ３０を配置する。このような配置状態において、位置決めピン挿通孔３６ａ，４６ａ，２８ａには位置決めピン５０ａを順次に挿通すると共に、位置決めピン挿通孔３６ｂ，４６ｂ，２８ｂには位置決めピン５０ｂを順次に挿通する。この後、位置決めピン挿通状態のままマイクロレンズアレイ３０を押圧してホルダ２２の端面２２Ａ側に一層接近させる。
【００２５】
図２には、上記のようにして位置決めピン５０ａ，５０ｂを用いてマイクロレンズアレイ３０をスペーサ４０を介して光ファイバアレイ２０の端面に接近配置し、位置合せした状態を示す。このような状態において、光ファイバアレイ２０とスペーサ４０とを接着等により固定的に結合し、スペーサ４０とマイクロレンズアレイ３０を接着等により固定的に結合すると、光コリメータアレイが完成する。なお、位置決めピン５０ａ，５０ｂは、除去してもよく、あるいは残しておいて他の光部品との位置合せや結合に用いてもよい。
【００２６】
上記した光コリメータアレイによれば、光ファイバホルダ２２の端面２２Ａにおいて位置決めピン５０ａ，５０ｂを用いて光ファイバアレイ２０とスペーサ４０とマイクロレンズアレイ３０とを位置合せし、結合するようにしたので、端面２２Ａにおいて光軸方向と光軸方向に直交する上下方向及び左右方向とのいずれの方向についても光ファイバに対するレンズの位置決め精度として±１μｍ以下の高精度を得ることができ、しかも位置合せ及び結合作業を簡単に行なうことができる。
【００２７】
また、スペーサ４０の厚さＤをマイクロレンズアレイ３０のレンズの焦点距離とほぼ等しくなるように設定したので、マイクロレンズアレイ３０の各レンズ毎に対応する光ファイバとの低損失の光結合を達成することができる。レンズ種類や製造ばらつき等によりレンズの焦点距離が変動しても、スペーサ４０の厚さＤを変更するだけで容易に対処することができる。スペーサ４０は、偏平状の単純な構造であるから、厚さＤが種々異なるものを低コストで用意することができる。
【００２８】
図３は、この発明の他の実施形態に係る光コリメータアレイの組立て中の状態を示すもので、図１と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００２９】
図３に示す光コリメータアレイの特徴とするところは、スペーサ４０を構成するスペーサ部材４２において、図１の位置決めピン挿通孔４６ａ，４６ｂの代りに位置決めピン挿通溝４６Ａ，４６Ｂを形成した点にある。溝４６Ａ，４６Ｂは、いずれも透光窓４４の側壁に食い込むように形成されており、孔４６ａ，４６ｂと同様に位置決めピン５０ａ，５０ｂにそれぞれ係合して光ファイバホルダ２２の端面２２Ａにおけるスペーサ４０の二次元的移動を抑制する。
【００３０】
図１又は図３に示した光コリメータアレイにおいて、光ファイバホルダ２２としては、複数の光ファイバ２６を一列状に整列保持するものを用いたが、複数の光ファイバを行列状に整列保持するものを用いてもよい。この場合、マイクロレンズアレイ３０としても、複数のレンズを行列状に配置したものを用い、スペーサ４０の透光窓４４のサイズも適宜変更する。
【００３１】
図４（Ａ）〜（Ｃ）は、いずれもスペーサ４０の変形例を示すもので、図１，３と同様の部分には同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００３２】
図４（Ａ）のスペーサ４０の特徴とするところは、スペーサ部材４２に設けた長方形状の孔により透光窓４４を構成した点にあり、透光窓４４の一方側及び他方側に位置決めピン挿通孔４６ａ，４６ｂをそれぞれ形成する点は図１のスペーサ４０と同様である。
【００３３】
図４（Ｂ）のスペーサ４０の特徴とするところは、スペーサ部材４２に設けた長方形状の孔により透光窓４４を構成した点にあり、透光窓４４の一方側及び他方側に位置決めピン挿通溝４６Ａ，４６Ｂをそれぞれ形成する点は図３のスペーサ４０と同様である。
【００３４】
図４（Ｃ）のスペーサ４０の特徴とするところは、スペーサ部材４２において、透光窓４４を構成する凹状部の一方及び他方の側壁を下方に段差４５ａ，４５ｂが生ずるようにそれぞれ後退させ、後退した一方の側壁と段差４５ａとの間及び後退した他方の側壁と段差４５ｂとの間にそれぞれ位置決めピン係止角部４６Ｃ及び４６Ｄを形成した点にある。角部４６Ｃ，４６Ｄは、図１に示した位置決めピン５０ａ，５０ｂにそれぞれ係合して光ファイバホルダ２２の端面２２Ａにおけるスペーサ４０の二次元的移動を抑制する。
【００３５】
図４（Ｃ）において、４４ａ，４４ｂは、透光窓４４を構成する凹状部の下方角部である。これらの角部４４ａ，４４ｂは、位置決めピン挿通孔２８ａ，２８ｂ，３６ａ，３６ｂの位置を角部４４ａ，４４ｂに対応させて変更することにより位置決めピン係止角部として用いることもできる。この場合には、透光窓４４を構成する凹状部の両側の側壁を後退させなくてもよい（段差４５ａ，４５ｂを形成しなくてもよい）。
【００３６】
図５〜７は、図１に示したようなマイクロレンズアレイの製法の一例を示すものである。図５の工程では、例えば石英からなるレンズ基板３２の一方の主面（表面）に複数のレンズ３４を形成する。このためには、一例として、レンズ３４にそれぞれ対応するレジストパターンをホトリソグラフィ処理により形成した後、加熱リフロー処理により各レジストパターンにレンズ形状を付与し、ドライエッチング処理により各レジストパターンのレンズ形状を基板３２の表面に転写する方法を用いることができる。
【００３７】
次に、レンズ３４を覆って基板３２の表面に位置決めピン挿通孔３６ａ，３６ｂ（図７）に対応する孔５２ａ，５２ｂを有するレジスト層５２をホトリソグラフィ処理により形成する。そして、スパッタ処理により例えばクロム（Ｃｒ）等の金属を基板上面に被着する。この結果、レジスト層５２上には、金属膜５４が形成されると共に、レジスト層５２の孔５２ａ，５２ｂ内の基板表面部分には金属膜５４ａ，５４ｂが形成される。金属膜５４ａ，５４ｂは、位置決めピン挿通孔の形成位置を示す位置マークとして用いられる。
【００３８】
図６の工程では、レジスト層５２をその上の金属膜５４と共に除去し、基板表面には金属膜５４ａ，５４ｂを残存させる。この後、図７の工程では、位置マークとしての金属膜５４ａ，５４ｂの位置に機械加工により位置決めピン挿通孔３６ａ，３６ｂを形成する。孔３６ａ，３６ｂは、いずれも図７に示すように外方に進むにつれて直径が増大するように形成するのが望ましい。このようにすると、位置決めピンの挿通が容易となる。
【００３９】
なお、この発明を実施する際には、マイクロレンズアレイとして、図９に示したマイクロレンズアレイＬＡと同様のものを特許文献２に示される製法に従って作製し、使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】この発明の一実施形態に係る光コリメータアレイの組立て中の状態を示す斜視図である。
【図２】図１の光コリメータアレイの組立て後の状態を示す斜視図である。
【図３】この発明の他の実施形態に係る光コリメータアレイの組立て中の状態を示す斜視図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｃ）はいずれもスペーサの変形例を示す斜視図である。
【図５】マイクロレンズアレイの製法の一例におけるスパッタ工程を示す断面図である。
【図６】図５の工程に続くレジスト除去工程を示す断面図である。
【図７】図６の工程に続く位置決めピン挿通孔形成工程を示す断面図である。
【図８】従来の光コリメータアレイの一例を示す斜視図である。
【図９】従来の光コリメータアレイの他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
２０：光ファイバアレイ、２８ａ，２８ｂ，３６ａ，３６ｂ，４６ａ，４６ｂ：位置決めピン挿通孔、３０：マイクロレンズアレイ、４０：スペーサ、４４：透光窓、４６Ａ，４６Ｂ：位置決めピン挿通溝、４６Ｃ，４６Ｄ：位置決めピン係止角部、５０ａ，５０ｂ：位置決めピン。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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