【手続補正書】
【提出日】平成18年12月1日(2006.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークピースを研磨もしくは磨くための装置であって、下記を備えたもの：
前記ワークピースを保持するための保持面；
回転軸に沿って配置され、前記回転軸周りに回転するヘッド部材；
前記ワークピースを研磨もしくは磨くための面を有し、前記回転軸上の前記ヘッド部材に配置されて前記ヘッド部材とともに前記回転軸周りに回転する作用部材；
前記ヘッド部材およびこれに取り付けられた前記作用部材を駆動して、前記回転軸周りに回転させるための第１の駆動手段；
前記ヘッド部材を取り付けるためのヘッド取付手段；
前記ヘッド取付手段を駆動して、前記ヘッド部材の前記回転軸を、前記回転軸と交差する歳差軸に対して傾けるとともに、前記ヘッド部材を、傾いた位置まで移動させて、前記回転軸を前記歳差軸周りに回動させるように成した第２の駆動手段；および
前記ヘッド取付手段を、前記保持面を横切って相対的に移動させるための第３の駆動手段。
【請求項２】
請求項１の装置において、前記第１の駆動手段は、前記作用部材の面を、前記保持面に対して横方向に駆動するよう構成され、前記第２の駆動手段は、前記作用部材の前記表面が、前記保持面上の位置に対して回転するように構成されており、前記作用部材の前記面と前記保持面との相対的な横移動の方向が前記保持面上の前記位置に対して回転することを特徴とするもの。
【請求項３】
請求項１もしくは２の装置において、前記第２の駆動手段は、前記ヘッド部材を、前記歳差軸周りの前記回転軸の歳差運動３６０°を成す整数角度にわたって割り当てられた傾斜位置へ動かすよう用意されることを特徴とするもの。
【請求項４】
前記請求項のいずれかの装置において、前記第２の駆動手段は、前記ヘッド部材を歳差ステップ送りするように用意されることを特徴とするもの。
【請求項５】
請求項４の装置において、前記第２の駆動手段は、前記ヘッド部材を歳差ステップ送りするように配置され、前記歳差ステップは、前記歳差軸周りの３６０°の整数角度にわたり歳差軸周りに対照的に割り当てられることを特徴とするもの。
【請求項６】
請求項１から４の装置において、前記第２の駆動手段は、３６０°の非整数角度分割の歳差ステップで歳差運動を歩進的に実行するよう用意されることを特徴とするもの。
【請求項７】
前記請求項のいずれかの装置において、前記ヘッド取付手段は、前記歳差軸が、前記研磨部材またはその近傍で前記回転軸と交差するよう用意されることを特徴とするもの。
【請求項８】
前記請求項のいずれかの装置において、前記回転軸に関する前記ヘッド部材の移動速度が、前記ヘッド部材の回転速度よりも実質的に小さくなるように、前記第１と第２の駆動手段を制御するための制御手段を含むことを特徴とするもの。
【請求項９】
前記請求項のいずれかの装置において、前記ヘッド取付手段は、直交編成された第１と第２の弓形部材を含み、前記各弓状部材は、前記作用部材を通過するかもしくは近傍を通る軸に載るよう配置された曲率中心を有し、前記ヘッド部材は、その第２の端部で前記第１と第２の弓形部材へ前記第２の駆動手段によって取り付けられ、前記ヘッド部材の前記第２の端部を、前記弓形部材の各軸周りに直交する弧を描いて動かされることを特徴とするもの。
【請求項１０】
前記請求項のいずれかの装置において、前記第３の駆動手段は、前記ヘッド部材を前記保持面に対して前進および後退させるよう動かすよう構成されることを特徴とするもの。
【請求項１１】
前記請求項のいずれかの装置において、前記保持面は、前記ヘッド取付手段に関して相対的に回転されるよう用意されることを特徴とするもの。
【請求項１２】
前記請求項のいずれかの装置において、前記作用部材は、球状であることを特徴とするもの。
【請求項１３】
請求項１２の装置において、前記作用部材は、コンプライアントであることを特徴とするもの。
【請求項１４】
前記請求項のいずれかの装置において、前記ワークピースのトポグラフィーの情報を受信し、前記第２の駆動手段を制御して、研磨または磨かれる位置で前記ワークピースの表面と垂直な前記歳差軸に関して前記ヘッド部材に歳差運動をさせるよう作動する制御手段を含むことを特徴とするもの。
【請求項１５】
請求項１４の装置において、前記制御手段は、前記ワークピースの粗さと前記作用部材によって前記ワークピースから除去される材料の除去率に関する情報とを受信し、前記第３の駆動手段を制御して繰返し仕上げパターンで前記ヘッド取付手段を動かし、そして前記第１、第２、第３の駆動手段を制御して各面修正パターン中に磨かれるまたは研磨されるワークピースの領域に対する局所粗さ平均の４倍未満を除去するよう作動することを特徴とするもの。
【請求項１６】
請求項１５の装置において、前記制御手段は、前記第２の駆動手段を制御して、各修正パターンに対する前記歳差軸に関する変化した傾けた位置を使用するよう成されることを特徴とするもの。
【請求項１７】
ワークピースの表面を研磨もしくは磨く方法であって、下記を含むもの：
ワークピースをホルダーに取付けること；
回転軸に沿って編成され、かつ前記回転軸上と前記ワークピースの表面を研磨または磨くための表面を持つ前記ヘッド部材上とへ編成される作用部材を有するヘッド部材を相対的に傾けることにより、前記回転軸が、前記回転軸と交差する歳差軸と相対的に傾けられ、前記歳差軸が、前記作用部材の前記表面の接触領域で、前記ワークピースの表面と垂直にすること；
前記ヘッド部材を前記回転軸に関して回転すること；
前記作用部材の前記表面を前記ワークピースの前記表面へ接触させることにより、前記作用部材の前記表面が、前記ワークピースの前記表面を横切る方向に移動すること；
傾いたヘッド部材を、前記歳差軸に関して回転させた傾いた位置へ移動させること；および、
傾いた前記ヘッド部材を移動して、前記作用部材、および前記ワークピースの前記表面を修正パターンで相対運動させすること。
【請求項１８】
請求項１７の方法において、傾いたヘッド部材を前記歳差軸に関して回転させた傾いた位置へ移動するステップは、前記ヘッド部材が前記歳差軸に関して実質的に一定に傾けられた角度で、維持することを特徴とするもの。
【請求項１９】
請求項１７または１８の方法において、前記傾いたヘッド部材は、前記歳差軸に関して回転させた複数の傾いた位置のそれぞれに対する前記面修正パターンで動かされることを特徴とするもの。
【請求項２０】
請求項１７から１９の何れか１つの方法において、前記歳差軸に関して回転した前記傾いた位置は、前記歳差軸周りの整数回転角度にわたって割り当てられることを特徴とするもの。
【請求項２１】
前記請求項のいずれかの方法において、前記ヘッド部材は、前記歳差軸に関して回転した前記傾いた位置へステップ送りされることを特徴とするもの。
【請求項２２】
請求項２１の方法において、前記傾いた位置は、前記歳差軸周りの整数角度回転の周囲で、前記歳差軸周りに対称的に割り当てられることを特徴とするもの。
【請求項２３】
請求項２１の方法において、前記傾いた位置は、前記歳差軸に関する回転の３６０°の非整数角度分割であることを特徴とするもの。
【請求項２４】
請求項１７から２３の何れかひとつの方法において、前記歳差軸は、前記回転軸と前記作用部材かまたはその近傍で交差することを特徴とするもの。
【請求項２５】
請求項１７から２４の何れかひとつの方法において、前記歳差軸に関する前記ヘッド部材の移動速度は、前記ヘッド部材の回転速度よりも小さいことを特徴とするもの。
【請求項２６】
請求項１７から２５の何れかひとつの方法において、前記ワークピースは、前記ヘッド部材に関して相対的に回転されることを特徴とするもの。
【請求項２７】
請求項１７から２６の何れかひとつの方法において、前記作用部材が球状であることを特徴とするもの。
【請求項２８】
請求項２７の方法において、前記作用部材は、コンプライアントであり、前記ワークピースの前記表面に関する前記作用部材の位置は、前記ワークピースの前記表面と前記作用部材との間の接触領域を制御するよう制御されることを特徴とするもの。
【請求項２９】
請求項１７から２８の何れかひとつの方法において、前記ヘッド部材の移動は、前記ワークピースのトポグラフィーに関する情報に従って制御されることを特徴とするもの。
【請求項３０】
請求項２９の方法において、前記ワークピースの粗さに関する情報と前記作用部材によって前記ワークピースから除去された材料の除去率とを受信し、前記ヘッド部材の移動を制御して繰返し仕上げパターンで動かし、そして材料の除去を制御して各仕上げパターン中に研磨または磨かれるワークピースの領域に対する局所粗さ平均の４倍未満を除去することを特徴とするもの。
【請求項３１】
請求項３０の方法において、前記ヘッド部材の変化した歳差回転は、各仕上げパターンで使用されることを特徴とするもの。
【請求項３２】
ワークピースを研磨および／または磨くための装置であって、下記を備えたもの：
前記ワークピースを保持するための保持面；
前記ワークピースを研磨および／または磨くためのフェースを担持するヘッド；
前記ヘッドを支持して、前記保持面を横切って往復動させるための機械的装置；
前記機械的装置上に装着されて、前記保持面に対して角度をもって枢軸周りに前記ヘッドを傾動させるように編成される傾動機構；および、
前記機械的装置と前記傾動機構を制御することにより、前記ヘッドの位置と傾きとを制御するための制御手段であって、前記制御手段は、前記面が、前記機械的装置を制御することによって傾けられる時、前記フェースの動き補正作動する。
【請求項３３】
請求項３２の装置において、前記制御手段は、傾きによって生じる前記フェースの位置の変化を計算することによって、補正制御を行うよう作動することを特徴とするもの。
【請求項３４】
請求項３２の装置において、前記制御手段は、傾きによって生じる前記面の位置の変化を調べることによって補正制御を行うよう作動することを特徴とするもの。
【請求項３５】
ワークピースを研磨もしくは磨くための方法であって、下記を含むもの：
ワークピースをホルダーに取付け、
仕上げパターンで前記ワークピースを摩滅または研磨するための面を有する機械的装置を使用してヘッドを移動し、
仕上げの間、前記ヘッドを前記ワークピースに対して角度をもって枢軸周りに傾け、そして、
前記ヘッドの傾きの程度に従って、前記ヘッドの位置を制御して、前記ヘッドを傾けることによって生じる前記ワークピースに対する前記面の移動を補正する。
【請求項３６】
請求項３５の方法において、前記ヘッドを傾けることによって生じる前記ワークピースに対する前記面の移動が算出されて、前記機械的装置を制御するためい使用されることを特徴とするもの。
【請求項３７】
請求項３５の方法において、前記ヘッドを傾けることによって生じる前記ワークピースに対する前記面の移動が傾きの角度を用いて調べられ、前記機械的装置を制御するために使用されることを特徴とするもの。
【請求項３８】
請求項１から１６または３２から３４の何れか一項による、プロセッサを制御して装置を制御するための命令を記憶するキャリア媒体。
【請求項３９】
ワークピースを研磨もしくは磨くためのツールであって、下記を備えるもの：
球根状コンプライアント部材;
コンプライアント部材が膨張してそこからはみ出ないように、前記コンプライアント部材を把持するホルダー；
前記コンプライアント部材の表面上に編成されて、前記ワークピースを研磨もしくは磨くための作業面を提供する膜；
前記膜は可撓性であって、前記コンプライアント部材のコンプライアンスに追従し；および、前記膜を担持し、かつ前記ホルダーへ脱着可能に取付られて、前記膜と前記膜キャリアが前記ホルダーから取外し可能とするように成した膜。
【請求項４０】
請求項３９のツールにおいて、前記膜キャリアは、前記ホルダーへ機械的に締着されることを特徴とするもの。
【請求項４１】
請求項３９または請求項４０のツールにおいて、前記ホルダーは実質的に円筒状の部材を備え、前記コンプライアント部材は、前記円筒状部材の一端で保持され、そして前記膜キャリアは、前記円筒状部材の上に嵌合される実質的に円筒状スリーブを備えることを特徴とするもの。
【請求項４２】
請求項４１のツールにおいて、前記円筒状部材は、前記コンプライアント部材から離れてテーパを成す外面を有し、前記外面へは前記円筒状スリーブが締着され、前記円筒状スリーブは、前記円筒状部材の前記外側表面の前記テーパ部まで変形するような形に成されることを特徴とするもの。
【請求項４３】
請求項３９から４２の何れか一項のツールが、前記膜と、前記コンプライアント部材の前記表面とが、相対的に横方向に移動可能とする手段を含むことを特徴とするもの。
【請求項４４】
請求項４３のツールにおいて、前記手段は潤滑剤または非固化接着剤を含むことを特徴とするもの。
【請求項４５】
請求項３９から４４の何れか一項のツールにおいて、前記膜は、そこへ接着されるかまたはその中へ含浸する接着材料を有することを特徴とするもの。
【請求項４６】
請求項４５のツールにおいて、前記膜は、母材、および前記母材中にに埋め込まれた補強材料と形成されることを特徴とするもの。
【請求項４７】
請求項４５または請求項４６のツールにおいて、前記研磨材は、前記膜上の不連続領域の前記膜に接着されることを特徴とするもの。
【請求項４８】
請求項４５から４７の何れか一項のツールにおいて、前記研磨材は、エポキシまたはニッケルによって前記膜に接着されることを特徴とするもの。
【請求項４９】
請求項４５から４７の何れか一項のツールにおいて、前記研磨剤は、磨きまたは研磨中に結合材のエロージョンを促進して新しい研磨材を露出させるエロージョン促進剤を含有する結合剤を使用して、前記膜へ一緒に結合されて接着されることを特徴とするもの。
【請求項５０】
請求項４５から４９の何れか一項のツールにおいて、前記研磨材は、潤滑剤を含有する結合材を使用して、前記膜へ一緒に結合されて接着されることを特徴とするもの。
【請求項５１】
請求項３９から５０の何れか一項のツールにおいて、前記コンプライアント部材は流体体積部と、前記流体体積部の少なくとも一部を覆う可撓膜とを備え、前記流体体積部は、前記ホルダーと前記可撓膜との組合せに収容され、そして前記可撓膜は前記ホルダーへ貼着されることを特徴とするもの。
【請求項５２】
請求項３９から４４の何れか一項のツールにおいて、前記膜が、前記ワークピースを磨くか研磨するために前記膜へ与えられる研磨材を吸収するための吸収剤を含むことを特徴とするもの。
【請求項５３】
請求項５２のツールにおいて、前記膜が布材料で形成されることを特徴とするもの。
【請求項５４】
ワークピースを研磨もしくは磨くためのツールに対する付属品のための研摩カップであって、下記を備えたもの：
前記ツールの球状コンプライアント部材に対応する付属品の形状を有し、研磨中に可撓するよう十分に可撓性である可撓性材料のシート；および
前記シートの周囲に関して前記シートを担持し、前記ツールに対して前記研摩カップを着脱自在に固定するための編成を有する担持体。
【請求項５５】
請求項５４の研摩カップにおいて、前記編成は、機械的なクランプ編成を備えることを特徴とするもの。
【請求項５６】
請求項５４または請求項５５の研摩カップにおいて、前記担持体は、前記ツールに対する付属品のためのスリーブを備え、前記シートは、前記スリーブの一端で取り付けられることを特徴とするもの。
【請求項５７】
請求項５６の研摩カップにおいて、前記スリーブは、その第２の端部で半径方向に変形可能であるように形成されることを特徴とするもの。
【請求項５８】
請求項５４から５７の何れかひとつの研摩カップにおいて、前記シートは、前記ワークピースを研磨もしくは磨くために、それに付着されるか、もしくはそれに含浸される研磨材を有することを特徴とするもの。
【請求項５９】
請求項５８の研摩カップにおいて、前記シートが、マトリックス材と、前記マトリックス材に埋め込まれる補強材とを備えることを特徴とするもの。
【請求項６０】
請求項５８または請求項５９の研摩カップにおいて、前記研磨材は、前記シートに、前記シートを覆う離散領域で付着されることを特徴とするもの。
【請求項６１】
請求項５８から６０の何れかひとつの研摩カップにおいて、前記研磨材は、前記シートに、エポキシまたはニッケルによって付着されることを特徴とするもの。
【請求項６２】
請求項５８から６１の何れかひとつの研摩カップにおいて、前記研磨材は、共に結合され、前記シートに、研磨もしくは磨き中の結合材の浸食を促進して、新しい研磨材を暴露する浸食促進剤を含む結合材を用いて付着されることを特徴とするもの。
【請求項６３】
請求項５８から６２の何れかひとつの研摩カップにおいて、前記研磨材は、共に結合され、前記シートに、潤滑材を含む結合材を用いて付着されることを特徴とするもの。
【請求項６４】
請求項５４から５７の何れかひとつの研摩カップにおいて、前記シートは、前記ワークピースを研磨もしくは磨くために、それに塗布される研磨材を吸着するための吸着材を備えることを特徴とするもの。
【請求項６５】
請求項６４の研摩カップにおいて、前記シートは、布材料から形成されることを特徴とするもの。
【請求項６６】
請求項５４から６５の何れかひとつの研摩カップを形成する方法であって、下記を備えたもの：
前記材料のシートを、担持体の上で、前記ツールの球状コンプライアント部材に対する付属品のための球形状に形成すること；および
前記シートを前記担持体に前記シートの周辺で固定すること。
【請求項６７】
請求項６６の方法において、前記成形工程は、前記シートを成形ツールに適用することと、前記シートを前記球形状に形成することを備えることを特徴とするもの。
【請求項６８】
請求項６７の方法において、前記シートを押圧および／または加熱する最終ステップを含むことを特徴とするもの。
【請求項６９】
請求項６６から６８の何れかひとつの方法において、前記シートは基板材料を備え、前記方法は、前記ワークピースを研磨もしくは磨くために、可撓性シートを前記基板材料上に適用することを含むことを特徴とするもの。
【請求項７０】
ワークピースを研磨もしくは磨くための装置であって、下記を備えたもの：
回転軸に沿って延在する本体であって、前記本体の一端で圧力伝達手段を有し、前記本体は前記回転軸に関して回転可能であり；
前記本体の前記端部に着脱自在に取り付けられるヘッドであって、前記ヘッドは、ヘッドハウジング、ヘッド流体圧力伝達手段、および流体で満たされる密封ヘッド流体チャンバを形成する弾性膜を備え、前記ヘッド流体圧力伝達手段は、前記圧力伝達手段と協働して、前記ヘッド流体チャンバに圧力を送信するよう、前記ヘッドハウジング内に用意され、前記弾性膜は、研磨もしくは磨く間に前記ワークピースに圧力を印加するために、前記ヘッドハウジングによってそれらの周囲で保持されて、そこから球状に延在する。
【請求項７１】
請求項７０の装置において、前記本体は、前記圧力伝達手段で終端を成す流体で満たされた本体流体チャンバを有することを特徴とするもの。
【請求項７２】
請求項７１の装置において、前記本体流体圧力伝達手段および前記ヘッド流体圧力伝達手段は、前記ヘッドが前記本体に取り付けられる場合、前記本体および前記ヘッド内にそれぞれ取り付けられ、互いに接続されるそれぞれの変位装置を備えることを特徴とするもの。
【請求項７３】
請求項７１または請求項７２の装置において、前記本体流体チャンバおよび前記ヘッド流体チャンバは、非圧縮性流体で満たされることを特徴とするもの。
【請求項７４】
請求項７１から７３の何れかひとつの装置において、前記本体流体チャンバから、前記回動自在な本体と隔てられて備えられる流体圧力制御構成に至る通路を備える液体圧力制御手段を備えることを特徴とするもの。
【請求項７５】
請求項７０から７４の何れかひとつの装置において、前記ヘッドは前記本体に対し軸方向に装着可能であることを特徴とするもの。
【請求項７６】
ワークピースを研磨もしくは磨くための装置のツール本体上に着脱自在に取り付けられるツールヘッドであって、前記ツール本体が前記圧力伝達手段を有しており、下記を備えたもの：
ヘッドハウジング、ヘッド流体圧力伝達手段、および流体を保持するための密封ヘッド流体チャンバを形成する弾性膜であって、前記ヘッド流体圧力伝達手段は、前記ヘッド流体チャンバ内の流体圧力を前記圧力伝達手段に接続することを許容するよう前記ヘッドハウジング内に用意されており、前記弾性膜は、研磨もしくは磨く間に前記ワークピースに圧力を印加するために、前記ヘッドハウジングによってそれらの周囲で保持されて、そこから球状に延在する。
【請求項７７】
請求項７６のツールヘッドにおいて、前記ヘッド流体伝達手段は、前記ツールヘッドが前記ツール本体に取り付けられる場合、変位装置を備える前記圧力伝達手段と接続するための変位装置を備えることを特徴とするもの。
【請求項７８】
請求項７６または請求項７７のツールヘッドにおいて、前記ヘッド流体チャンバは非圧縮性流体で満たされることを特徴とするもの。
【請求項７９】
ワークピースの磨きまたは研磨を制御する方法であって、下記を備えたもの：
ツールの影響関数を定義するデータを受信することであって、前記影響関数は、所定の滞留時間もしくは前記ツールの速度に対して前記ワークピースからの材料の除去パターンを定義し；
前記ワークピースの表面の所望プロフィルと現在のプロフィルに関するデータを受信すること；
前記所望プロフィルと現在のプロフィルとの間の差異を決定して、ターゲット除去プロフィルを決定すること；
前記ワークピースの前記表面上の所定位置のための滞留（ドエル）時間またはツール速度を決定して、前記影響関数を用いて所定位置のための滞留（ドエル）時間もしくはツール速度の数値最適化を行うことによって、予測された除去プロフィルを提供して、少なくともひとつの費用関数を低減させること；および
前記決定された滞留時間を用いて前記ワークピースの研磨もしくは磨きを制御すること。
【請求項８０】
請求項７９の方法において、前記数値最適化は、前記ターゲット除去プロフィルと前記予測された除去プロフィルとの間の差異に対する最小値を有する前記所定位置のための一組の滞留時間もしくはツール速度を決定することを備えることを特徴とするもの。
【請求項８１】
請求項７９の方法において、前記数値最適化は、遺伝的アルゴリズムを備え、前記滞留時間もしくはツール速度に対する値は、前記アルゴリズムのための遺伝子プールを備えることを特徴とするもの。
【請求項８２】
請求項７９から８１の何れかひとつの方法において、前記所望プロフィルは円形ワークピースのための所望半径方向プロフィルを備え、前記影響関数は二次元関数として定義され、前記所定位置は前記ワークピースの前記表面を横切る半径方向位置を備えることを特徴とするもの。
【請求項８３】
請求項７９から８１の何れかひとつの方法において、前記所望プロフィルは所望三次元プロフィルを備え、前記影響関数は三次元関数として定義され、前記決定位置は、前記ワークピースの前記表面を横切る位置の二次元配列を備えることを特徴とするもの。
【請求項８４】
請求項７９から８３の何れかひとつの方法において、所定の滞留時間もしくはツール速度に対する前記費用関数は、前記所定の滞留時間を用いて得られる前記ターゲット除去プロフィルと前記予測除去プロフィルとの間の誤差の平方和であることを特徴とするもの。
【請求項８５】
請求項７９から８４の何れかひとつの方法において、前記数値最適化は、反復的に前記所定位置に対する最良の滞留時間もしくはツール速度を検索して、所望プロフィルを実質的に達成することを特徴とするもの。
【請求項８６】
請求項７９から８５の何れかひとつの方法において、磨き後、前記ワークピースのプロフィルを測定すること、前記測定されたプロフィルを前記現在のプロフィルと磨き前に比較して、測定された除去プロフィルを決定すること、前記数値最適化を用いて前記測定された除去プロフィルを達成すると予想される滞留時間もしくはツール速度を決定すること、滞留時間もしくはツール速度に対する少なくともひとつの補正率を、前記ワークピースを磨くことに用いられる滞留時間もしくはツール速度と前記測定された除去プロフィルを達成すると予想される滞留時間もしくはツール速度とを用いて決定すること、および、前記少なくともひとつの補正率を前記ワークピースの将来の磨きに用いられる滞留時間もしくはツール速度に適用すること、を含むことを特徴とするもの。
【請求項８７】
ワークピースを研磨もしくは磨くための装置であって、下記を備えたもの：
ツールの影響関数を定義するデータを入力するための第１の入力手段であって、前記影響関数は、所定の滞留時間もしくは前記ツールの速度に対して前記ワークピースからの材料の除去パターンを定義し；
前記ワークピースの表面の所望プロフィルと現在のプロフィルに関するデータを入力するための第２の入力手段；
ターゲット除去プロフィルを前記所望プロフィルと現在のプロフィルとの間の差異から決定するための第１の決定手段；
前記ワークピースの前記表面上の所定位置のための滞留時間またはツール速度を決定して、前記影響関数を用いて所定位置のための滞留時間もしくはツール速度の数値最適化を行うことによって、予測された除去プロフィルを提供して、少なくともひとつの費用関数を低減させるための第２の決定手段；および
前記ツールと決定された滞留時間もしくはツール速度を用いて前記ワークピースの研磨もしくは磨きを制御するための制御手段。
【請求項８８】
請求項８７の装置において、前記第２の決定手段は、前記ターゲット除去プロフィルと前記予測された除去プロフィルとの間の差異に対する最小値を有する一組の滞留時間もしくはツール速度を決定するよう成されていることを特徴とするもの。
【請求項８９】
請求項８７の装置において、前記第２の決定手段は、遺伝的アルゴリズムを実行するよう成され、前記所定位置に対する前記滞留時間もしくはツール速度に対する値は、前記アルゴリズムのための遺伝子プールを備えることを特徴とするもの。
【請求項９０】
請求項８７から８９の何れかひとつの装置において、前記第２の入力手段は前記所望プロフィルを円形ワークピースの所望半径プロフィルとして入力するよう成され、前記第１の入力手段は前記影響関数を二次元関数として入力するよう成され、そして前記第２の決定手段は前記ワークピースの前記表面上の半径位置に対する前記滞留時間もしくはツール速度を決定するよう成されることを特徴とするもの。
【請求項９１】
請求項８７から８９の何れかひとつの装置において、前記第２の入力手段は前記所望プロフィルを三次元プロフィルとして入力するよう成され、前記第１の入力手段は前記影響関数を三次元関数として入力するよう成され、そして前記第２の決定手段は前記ワークピースの前記表面を横切る位置の二次元配列に対する前記滞留時間もしくはツール速度を決定するよう成されることを特徴とするもの。
【請求項９２】
請求項８７から９１の何れかひとつの装置において、前記第２の決定手段は、前記決定された滞留時間もしくはツール速度を用いて得られる前記ターゲット除去プロフィルと前記予測除去プロフィルとの誤差の平方和を備える決定された滞留時間もしくはツール速度に対する前記費用関数を用いて、前記滞留時間もしくはツール速度を決定するよう成されることを特徴とするもの。
【請求項９３】
請求項８７から９１の何れかひとつの装置において、前記第２の決定手段は、反復的に前記数値最適化を実行して、前記所定位置に対する最良の滞留時間もしくはツール速度を検索して、所望プロフィルを実質的に達成するよう成されることを特徴とするもの。
【請求項９４】
請求項８７から９３の何れかひとつの装置において、磨き後の前記ワークピースのプロフィルを測定するための測定手段、前記測定されたプロフィルを前記現在のプロフィルと磨き前に比較して、測定された除去プロフィルを決定するための比較手段、前記測定された除去プロフィルを達成すると予想される滞留時間もしくはツール速度を決定するための第３の決定手段、滞留時間もしくはツール速度に対する少なくともひとつの補正率を、前記測定された除去プロファイルを達成すると予想される滞留時間もしくはツール速度と、前記ワークピースを磨くことに用いられる滞留時間もしくはツール速度とを用いて決定するための第４の決定手段、および、前記少なくともひとつの補正率を前記ワークピースの将来の磨きに用いられる滞留時間もしくはツール速度に適用するための補正手段を含むことを特徴とするもの。
【請求項９５】
コンピュータを制御して、請求項７９から８６の何れかひとつの方法を実行するためのコンピュータプログラム。
【請求項９６】
請求項９５のコンピュータプログラムを担持する担持媒体。
【請求項９７】
請求項１７から２６、３５から３７、または、７９から８６の何れかひとつの方法を備える装置を製造する方法。