【手続補正書】
【提出日】平成19年5月15日(2007.5.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  複数の側壁と、該複数の側壁に固定して支持されていて、１つ以上のシート状材料を収納するように適合化された複数の棚と、を含むカセットと、
端部作動子上に支持されたシートを受け入れるための定められた空間を含む試験位置と、
からなり、
前記試験位置は前記カセットに対して固定して設置されており、前記試験位置はシート状材料を支持するための硬質の支持体と、該支持体上に配置された材料の特性を試験するための１つ以上のセンサとを有し、
前記カセットと前記センサは、適当な端部作動子がシート状材料を前記試験位置と前記カセット中の収納位置との間で移動し得るよう構成され配置されているものである、
シート状材料の試験装置。
【請求項２】  前記センサは前記カセットの下壁の下に固定して取り付けられており、前記試験位置は前記下壁の下にあるものである、請求項１に記載の装置。
【請求項３】  前記試験位置の近傍に１つ以上の真空保持ダウンが設けられている、請求項１に記載の装置。
【請求項４】  複数の側壁と、該複数の側壁に固定して支持された複数の棚とを含むカセットの中の収納位置からシート状材料の１枚のシートを取出すステップと、
前記シート状材料の前記取出された１枚のシートを試験位置に配置するステップと、
を含み、
前記試験位置は、シート状材料の１枚のシートを受け入れるための定められた空間を含み、前記カセットに対して固定して配置され、前記試験位置に配置された１つ以上のセンサに隣接して配置されており、
さらに、前記シート状材料の１枚のシートの１つ以上の特性を測定するために前記１つ以上のセンサを用いて試験を行う試験ステップと、
前記試験位置から前記シート状材料の１枚のシートを取出すステップと、
前記シート状材料の１枚のシートを前記カセット中の前記収納位置に戻すステップと、
を含む、シート状材料を試験する方法。
【請求項５】  前記収納位置から取出すステップ、前記試験位置に配置するステップ、前記試験位置から取出すステップ、および前記収納位置に戻すステップは、端部作動子のみによって実行されるものである、請求項４に記載の方法。
【請求項６】  前記試験ステップは、さらに材料の表面上の複数の点で試験を行うために、前記１つ以上のセンサに対して複数の位置にシートを順々に移動させるために前記端部作動子を使用することを含むものである、請求項５に記載の方法。
【請求項７】  前記位置設定ステップは、さらに前記各位置にあるセンサに対してシートが固定されるように該シートを保持することを含むものである、請求項６に記載の方法。
【請求項８】  前部開口部を特定する複数の側壁と上部壁とを含むカセットと、
水平の支持面を特定する、前記側壁上に支持された複数の棚と、
水平の上面を有する基板において前記カセットの前記前部開口部に隣接してのみ設置され、シート状材料が前記複数の棚のいずれか１つの上に配置されたとき前記シート状材料の表面に隣接して配置されるように位置設定された複数のセンサと、
を具える、シート状材料の試験装置。
【請求項９】  前記基板は、硬質で電気的に絶縁性のシートからなるものである、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】  前記基板はさらに真空保持ダウンを含むものである、請求項８に記載の装置。
【請求項１１】  前記基板の上面および下面にセンサが設置されている、請求項８に記載の装置。
【請求項１２】  複数の試験装置が、これらの試験装置間の結合を可能にするために互いに十分に接近して設置されている、請求項８に記載の装置。
【請求項１３】  端部作動子を使用してシート状材料からなる１枚のシートをカセットの前部開口部に部分的に配置するステップを含み、
前記カセットは複数の側壁と、該複数の側壁上に支持された複数の棚と、前記カセットの前記前部開口部で基板に設置された隣接するセンサとを有し、
さらに、前記センサを使用して、前記シート状材料からなる１枚のシートを、これが前記端部作動子上に支持されている間に試験するステップと、
前記端部作動子を使用して、前記シート状材料からなる１枚のシートを前記前部開口部を通してさらに移動させて、このシート状材料からなる１枚のシートを前記複数の棚の中の１つの棚の上に配置するステップと、
前記端部作動子を前記カセットから移動させるステップと、
を含む、シート状材料の試験方法。
【請求項１４】  前記試験ステップは、前記シート状材料を異なる２つの位置にある前記センサの近傍に向けて連続的に移動させることを含むものである、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】  前記基板は硬質で電気的に絶縁性のシートからなるものである、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】  前記センサは材料の電気的特性を試験するよう適合化されているものである、請求項１に記載の装置。
【請求項１７】  前記センサは、該センサと前記支持体上に配置されたシートとの間の距離を変えるために前記試験位置において垂直方向に移動するように取り付けられているものである、請求項１に記載の装置。
【請求項１８】  前記試験ステップはシートの電気的特性を測定することを含むものである、請求項４に記載の方法。
【請求項１９】  前記電気的特性を測定するステップはシート抵抗を測定することを含むものである、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】  前記特性を測定するステップはシート状材料に向けてマイクロ波を放射することを含むものである、請求項４に記載の方法。
【請求項２１】  前記センサはコンパクトな試験用ヘッドを含むものである、請求項１に記載の装置。
【請求項２２】  前記センサは、シート状材料のシート抵抗を測定するように適合化されている、請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】  前記センサは、シート状材料の電気的特性を測定するように適合化されたコンパクトな試験用ヘッドである、請求項８に記載の装置。
【請求項２４】  前記センサは、シート状材料のシート抵抗を測定するように適合化されている、請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】  特性を測定する前記ステップは、シート状材料のシート抵抗を測定することを含むものである、請求項１３に記載の方法。
【請求項２６】  前記シート状材料を配置するステップは、ウエハまたは平坦なパネルディスプレイ用パネルを配置することを含むものである、請求項４に記載の方法。
【請求項２７】  前記シート状材料を配置するステップは、ウエハまたは平坦なパネルディスプレイ用パネルを配置することを含むものである、請求項１３に記載の方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明による方法では、装置１０はロボットアームに取り付けられている。ロボットアームにより、装置１０を支持し、正確に移動させ且つ配置することができる任意の装置が得られる。装置１０はカセット３０中のシート３５に対して位置設定される。最初、カセット３０の開口部に最も近い１組の位置すなわち位置５０においてシート３５に関する試験が行われるように装置１０が配置される。好ましくは、装置１０はシート３５の下の位置に移動させられ、次いでシート３５に接触するように上昇させられ、さらにシート３５のたわみ（サグ）を十分に減少させるのに十分な距離だけ僅かに上昇させられる。この最後のステップ（工程）では約１２７ミクロン（５ミル）の上方への移動が含まれているが、正確な距離はシート間の距離と、たわみに対する特定の材料と厚みの影響（影響の受け易さ）とに基づいて変更される。装置１０はセンサ２０が位置５０にある状態で止まっており、装置２５はシート３５に対するセンサ２０の相対的な動きを防止するためにシート３５を保持している。試験が終了すると、装置２５はシート３５を解放する。装置１０は次の選択された１組の位置に向けて移動し、上記のプロセス（処理）が繰り返される。そこで装置２５はシート３５をつかむ（保持する）。センサ２０は位置５５においてシート３５の試験を行う。装置２５はシート３５を解放し、すべての所望の位置で試験が行われるまでこの処理が繰り返される。勿論、シート上の各種の位置の試験の順序を変更してもよい。センサ２０が背面の側壁に最も近い所望の試験位置に接触できるように、装置１０は十分に長くなければならない。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
図１は、３個のセンサ２０の垂直位置が互いに独立した個々の高さを有するように示されている。装置１０を指状体のない構造に構成して、すべてのセンサ２０を単一の表面上に支持してもよい。センサ２０の数と相対的な位置関係は必要に応じて任意に設定される。