(57)【要約】【課題】  ウエハの周端縁を撮像してウエハに異常が有るか無いかを好ましく検査するウエハ検査装置であって、ウエハ検査装置が大型化してしまったりウエハ検査装置自体の製造コストが嵩んでしまったりする問題点を解消すると共に、検査するウエハを出し入れもし易いものとされている。【解決手段】  水平面上でウエハＷを支持する支持部と、支持部に支持されたウエハＷの周端縁Ｗｆを撮像する撮像カメラ５１とを備えたウエハ検査装置１において、ウエハＷの中心軸線Ｇを含んだ縦断面上に存するように且つ該ウエハＷの撮像される前記周端縁Ｗｆを臨むように弧状に延びたＲガイド３０を設け、前記撮像カメラ５１が前記Ｒガイド３０に案内されながら移動してウエハＷの前記周端縁Ｗｆを撮像する。【選択図】  図１
2006294969.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平面上でウエハを回転可能に支持する支持部と、前記支持部に支持されたウエハの周端縁を撮像する撮像部とを備えたウエハ検査装置において、
ウエハの中心軸線を含んだ縦断面上に存するように且つ該ウエハの撮像される前記周端縁を臨むように弧状にガイドレールを設け、
前記撮像部が前記ガイドレールに案内されながら移動してウエハの前記周端縁を撮像することを特徴とするウエハ検査装置。
【請求項２】
前記ガイドレールが、ウエハの撮像される前記周端縁に対して一定の離間距離を保って円弧状に延びてなることを特徴とする請求項１に記載のウエハ検査装置。
【請求項３】
前記撮像部を、互いに直交するＸＹＺ方向に移動させる移動機構を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のウエハ検査装置。
【請求項４】
前記ガイドレールに案内されながら前記撮像部を移動させる動力機構を備え、
前記動力機構が前記ガイドレール側に設けられた固定歯車と前記撮像部側に設けられ且つ駆動可能な駆動歯車とを備えると共に、前記固定歯車と前記駆動歯車とが前記駆動歯車が前記固定歯車に付勢された状態で互いに歯合していることを特徴とする請求項１から請求項３のうち何れか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項５】
前記ガイドレールにカバーを設けると共に、前記カバーと接続され且つ前記ガイドレールで発生した塵埃をウエハから離間された個所に排出するファンを設けたことを特徴とする請求項１から請求項４のうち何れか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項６】
前記ウエハの径方向に存すると共に前記支持部によって回転される前記ウエハの前記周端縁を検査可能とされた、前記撮像部とは異なる新たな検査部と、
前記検査部によって検査された前記ウエハの前記周端縁の情報を記憶する記憶手段とを設けたことを特徴とする請求項１から請求項５のうち何れか一項に記載のウエハ検査装置。
【請求項７】
前記記憶手段に記憶された前記ウエハの前記周端縁の情報に基づいて、前記ウエハの前記周端縁に異常が有るか無いかを判別する判別手段を設けたことを特徴とする請求項６に記載のウエハ検査装置。
【請求項８】
請求項７に記載のウエハ検査装置を用いたウエハの検査方法であって、
前記検査部によって検査され前記記憶手段に記憶された前記ウエハの前記周端縁の情報に基づいて前記判別手段によって異常が有るか無いかを判別する判別検査工程と、
前記判別検査工程において前記ウエハの前記周端縁に異常が有ると判別した場合に、その周端縁を前記撮像部によって撮像する撮像検査工程とを備えたことを特徴とするウエハの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハの周端縁を撮像して該ウエハに異常が有るかを検査するウエハ検査装置及びウエハの検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ウエハの周端縁を撮像して、ウエハに傷等の異常が有るかを検査するウエハ検査装置が提供されている（例えば、特許文献１参照）。この種のウエハ検査装置は、そのウエハを回転可能に支持する支持部を設け、支持されたウエハの周端縁を連続的に撮像する撮像カメラを複数台設けて構成されている。そして、この複数台からなる撮像カメラによってウエハの周端縁を撮像し、ウエハに異常が有るかを検査していた。
【特許文献１】特開２００３−２４３４６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述のウエハ検査装置にあっては、このように複数台の撮像カメラを設けることによって、ウエハの周端縁を精密に撮像することが可能とされるが、撮像カメラを複数台設けることによって生じる問題も指摘されていた。すなわち、撮像カメラを複数台設けることによって、このウエハ検査装置が大型化してしまうような問題点や、このウエハ検査装置自体の製造コストが嵩んでしまうような問題点が指摘されていた。
【０００４】
さらに、上述のウエハ検査装置にあっては、その複数台の撮像カメラのそれぞれが、ウエハの周端縁を囲うように配置されている。これによって、検査が終了したウエハと、これらから検査しようとするウエハとを交換しようとする場合に、検査が終了したウエハは支持部から取り出し難くものとなり、さらに検査しようとするウエハは支持部に配置し難いものとなっていた。
【０００５】
本発明は、このような事情を鑑みなされたものであって、その目的は、ウエハの周端縁を撮像して該ウエハに傷等の異常が有るかを好ましく検査するウエハ検査装置であって、該ウエハ検査装置が大型化してしまう問題点や、該ウエハ検査装置自体の製造コストが嵩んでしまうような問題点を解消し、さらには、検査するウエハを出し入れし易くされたウエハ検査装置及びウエハの検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するために以下の手段のウエハ検査装置及びウエハの検査方法を提供する。
請求項１に記載の発明に係るウエハ検査装置は、水平面上でウエハを回転可能に支持する支持部と、前記支持部に支持されたウエハの周端縁を撮像する撮像部とを備えたウエハ検査装置において、ウエハの中心軸線を含んだ縦断面上に存するように且つ該ウエハの撮像される前記周端縁を臨むように弧状にガイドレールを設け、前記撮像部が前記ガイドレールに案内されながら移動してウエハの前記周端縁を撮像することを特徴とする。
【０００７】
本発明のウエハ検査装置にあっては、ウエハの撮像される前記周端縁を臨むように弧状にガイドレールが設けられてあり、この弧状に延びたガイドレールは、ウエハの中心軸線を含んだ縦断面上に存するようになっている。そして、この撮像部は、このガイドレールに案内されながら移動してウエハの周端縁を撮像するようになっている。例えば、ウエハと同一平面とされ水平面上に撮像部が配置されている場合にあっては、その撮像部は、ウエハの中心軸線を向いているものとなる。これによって、１つの撮像部でありながら、撮像される周端縁は多様な角度で撮像されることとなる。言い換えれば、その１つの撮像部は、断面楕円形で形成されるウエハの周端縁を、水平方向、斜め上方向、斜め下方向から、好ましく撮像できる。これによって、これまでウエハの周端縁を撮像するにあたって、ウエハの水平方向、斜め上方向、斜め下方向のそれぞれに設けていた撮像部（撮像カメラ）を、１つの撮像部でこれらの全てを担うことができる。従って、ウエハの周端縁を多様な角度から観察したい場合にあっても、撮像部を複数台で構成する必要がなくなり、１つの撮像部でありながら、ウエハの周端縁を多様な角度で観察することができることとなる。これによって、ウエハ検査装置全体の小型化に貢献し、さらに、このウエハ検査装置自体の製造コストを削減にも貢献する。なお、この支持部にあっては、その中心軸線が回転軸線となるように、ウエハを回転可能に支持するものが一般的とされる。
【０００８】
また、この撮像部は、断面楕円形で形成されるウエハの周端縁を、水平方向、斜め上方向、斜め下方向から、好ましく撮像することができる。さらに、撮像部は、ガイドレールによって案内されながらウエハの周端縁を撮像するので、ウエハの周囲（例えば、ウエハの上方等）に撮像部が設けられていない。従って、検査が終了したウエハと、これらから検査しようとするウエハとを交換しようとする場合に、検査が終了したウエハを支持部から取り出し易いものとなり、さらに検査しようとするウエハを支持部に配置し易いものとなる。なお、前記ガイドレールは、ウエハの撮像される周端縁を臨むように弧状に延びてなるものであって、この弧状は、円弧に限定されるものでなく楕円からなるものであってもよいものとされる。
【０００９】
請求項２に記載の発明に係るウエハ検査装置は、前記ガイドレールが、ウエハの撮像される前記周端縁に対して一定の離間距離を保って円弧状に延びてなることを特徴とする。
【００１０】
本発明のウエハ検査装置にあっては、ガイドレールがウエハの撮像される前記周端縁に対して一定の離間距離を保って円弧状に延びてなるので、このガイドレールによって案内されながら移動する撮像部は、ウエハの撮像される周端縁に対して一定の離間距離を保つこととなる。従って、撮像部がガイドレール上の何れの位置にある場合であっても、撮像部は、好ましくウエハから離間されたものとなって、その撮像部の位置を問わず、検査が終了したウエハを支持部から取り出し易いものとなり、さらに検査しようとするウエハは支持部に配置し易いものとなる。
【００１１】
さらに、撮像部は、ウエハの撮像される周端縁に対して一定の離間距離を保ってガイドレールに案内されながら移動するので、撮像部のフォーカスを変更する必要がなくなる。これによって、撮像部は撮像時においてフォーカス制御せずに撮像できることとなって、撮像データ等の制御処理において有利なものとなる。つまり、適宜のフォーカス制御等を行うことも必要とされないので、撮像時間の短縮にも貢献し、ひいては、ウエハの検査時間の短縮にも貢献してウエハを検査するにあたっての作業性を向上させる。また、制御装置を割愛できることによってウエハ検査装置全体の小型化に貢献し、さらに、このウエハ検査装置自体の製造コストを削減にも貢献する。
【００１２】
請求項３に記載の発明に係るウエハ検査装置は、前記撮像部を、互いに直交するＸＹＺ方向に移動させる移動機構を設けたことを特徴とする。
【００１３】
本発明のウエハ検査装置にあっては、ＸＹ平面とされた水平面上に支持されるウエハに対して、設けられた移動機構によって、撮像部を互いに直交するＸＹＺ方向に移動させることができる。これによって、この撮像部を、検査者の所望の個所にまで細かく位置設定することができる。従って、ウエハの周端縁を好ましく撮像することができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明に係るウエハ検査装置は、前記ガイドレールに案内されながら前記撮像部を移動させる動力機構を備え、前記動力機構が前記ガイドレール側に設けられた固定歯車と前記撮像部側に設けられ且つ駆動可能な駆動歯車とを備えると共に、前記固定歯車と前記駆動歯車とが前記駆動歯車が前記固定歯車に付勢された状態で互いに歯合していることを特徴とする。
【００１５】
本発明のウエハ検査装置にあっては、固定歯車と駆動歯車とが、駆動歯車が固定歯車に付勢された状態で互いに歯合しているので、この駆動歯車と固定歯車とは好ましく互いに密着して歯合されることとなる。これによって、駆動歯車と固定歯車との間におけるバックラッシュを、より小さなものとすることができる。なお、固定歯車は、ガイドレール側に固定されて設けられる歯車であり、駆動歯車は、撮像部側に駆動可能に設けられた歯車である。従って、この動力機構によって、上述したガイドレール上で撮像部を精密に移動させることができて、ウエハの周端縁を好ましく撮像することができる。
【００１６】
請求項５に記載の発明に係るウエハ検査装置は、前記ガイドレールにカバーを設けると共に、前記カバーと接続され且つ前記ガイドレールで発生した塵埃をウエハから離間された個所に排出するファンを設けたことを特徴とする。
【００１７】
本発明のウエハ検査装置にあっては、撮像部がガイドレール上に案内されて移動する場合に生じた塵埃が、ガイドレールに設けられたカバーによって、ウエハに降りかかってしまうことを防止する。さらに、その生じた塵埃は、設けられたファンによって、ウエハの離間距離からさらに離間された個所に排出される。これによって、ガイドレールから発生した塵埃は、ウエハに影響与えることなく、このウエハ検査装置から好ましく排出される。従って、ウエハを良い状態に保ちながら、このウエハの周端縁を好ましく撮像することができる。
【００１８】
請求項６に記載の発明に係るウエハ検査装置は、請求項１から請求項５のうち何れか一項に記載のウエハ検査装置において、前記ウエハの径方向に存すると共に前記支持部によって回転される前記ウエハの前記周端縁を検査可能とされた、前記撮像部とは異なる新たな検査部と、前記検査部によって検査された前記ウエハの前記周端縁の情報を記憶する記憶手段とを設けたことを特徴とする。
【００１９】
本発明のウエハ検査装置にあっては、ウエハを支持する支持部によってウエハを回転させながら、ウエハの径方向に存すると共にウエハの周端縁を検査可能とされた検査部によって、この周端縁は検査される。なお、径方向とは、このウエハの主面の径方向を意味している。この検査部は、上述した撮像部とは異とされるものである。そして、この検査部によって検査されたウエハの周端縁の情報は、記憶手段によって記憶される。これによって、ウエハの周端縁は、全周に亘って、この検査部によって好ましく検査され記憶手段によって記憶される。従って、この記憶手段に記憶されたウエハの周端縁の情報を解析すれば、そのウエハの周端縁を全周に亘って分析することができる。
【００２０】
請求項７に記載の発明に係るウエハ検査装置は、請求項６に記載のウエハ検査装置において、前記記憶手段に記憶された前記ウエハの前記周端縁の情報に基づいて、前記ウエハの前記周端縁に異常が有るか無いかを判別する判別手段を設けたことを特徴とする。
【００２１】
本発明のウエハ検査装置にあっては、設けられた判別手段によって、検査部によって検査され記憶手段に記憶されたウエハの周端縁の情報に基づいて、ウエハの周端縁に異常が有るか無いかを判別することができる。従って、そのウエハの周端縁の全周について異常が有るか無いかを好ましく判別することができる。さらに、このウエハの周端縁に異常が有ると判別した場合には、上述した撮像部によって、その異常が有ると判別した個所について詳しく撮像して精査することができる。
【００２２】
請求項８に記載の発明に係るウエハの検査方法は、請求項７に記載のウエハ検査装置を用いたウエハの検査方法であって、前記検査部によって検査され前記記憶手段に記憶された前記ウエハの前記周端縁の情報に基づいて前記判別手段によって異常が有るか無いかを判別する判別検査工程と、前記判別検査工程において前記ウエハの前記周端縁に異常が有ると判別した場合に、その周端縁を前記撮像部によって撮像する撮像検査工程とを備えたことを特徴とする。
【００２３】
本発明のウエハの検査方法にあっては、判別検査工程において、設けられた判別手段によって、検査部によって検査され記憶手段に記憶されたウエハの周端縁の情報に基づいて、ウエハの周端縁に異常が有るか無いかを判別することができる。また、ウエハの周端縁に異常が有ると判別した場合には、撮像検査工程において、撮像部によって、その異常が有ると判別した個所について詳しく撮像することができる。これによって、そのウエハの周端縁の全周について異常が有るか無いかを好ましく判別することができ、異常が有ると判別したウエハの周端縁の個所については精査することができる。従って、このウエハの検査方法によれば、ウエハの周端縁の異常個所について好適に素早く見つけることができると共に、さらに、この異常個所についてのみを好適に精査することができる。これをもって、ウエハの周端縁の検査時間を短縮することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係るウエハ検査装置によれば、ウエハの周端縁を撮像して該ウエハに異常が有るか無いかを好ましく検査するウエハ検査装置であって、該ウエハ検査装置が大型化してしまう問題点や、該ウエハ検査装置自体の製造コストが嵩んでしまうような問題点を解消し、さらには、検査するウエハを出し入れし易くされたウエハ検査装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明に係るウエハ検査装置について図を参照しながら説明する。なお、図１は本発明に係るウエハ検査装置の斜視図、図２は図１のウエハ検査装置の側面図、図３は図１のウエハ検査装置の背面図、図４は互いに歯合する駆動歯車と固定歯車とを模式的に示す図、図５は撮像部のＸＹＺ方向の移動を示す簡略図、図６は撮像部によるウエハの周端縁の撮像を模式的に示す図、図７は検査機構を模式的に示す図である。
【００２６】
図１、図２、図３に示す符号１は、本発明に係るウエハ検査装置である。ウエハ検査装置１は、基台１０と、この基台１０の上部に取り付けられた装置本体２０とにから大略構成されている。また、装置本体２０は、底ベース２１と、底ベース２１と一体に固定して設けられる固定壁部２３，２４と、ガイドレール（以下、Ｒガイド）３０及び撮像機構５０が備えられるガイド壁部２２とから大略構成されている。なお、各図中において示されるように、このウエハ検査装置１の水平撮像方向をＹ方向と定義し、そのＹ方向に水平直交した右方向をＸ方向と定義し、鉛直上方向をＺ方向と定義する。また、第２固定壁部２４のＹ方向の先に、図２に示すように、ウエハＷを水平面上で回転可能に支持する支持部７０が設けられている。
【００２７】
基台１０の背面側には、図３に示すように、ネジ調節機構１１が設けられている。このネジ調節機構１１は、基台１０の上部に取り付けられた装置本体２０を、装置本体２０とは非連結の別体で基台１０上に設けられると共にウエハＷを支持する支持部７０に対してＸ方向に進退移動可能にさせるもの（Ｘ方向移動機構）である。具体的には、基台１０の背面部に、ネジ切られたシャフト１２が設けられており、このシャフト１２を回転させることによって、装置本体２０と固着される進退部材２２ａを介して、この装置本体２０自体を、ウエハＷを支持する支持部７０に対してＸ方向に進退移動可能にされてある。また、図１、図２に示すように、基台１０には、その中心部に、移動ローラユニット１３が設けられている。この移動ローラユニット１３は、無端ベルト１４が巻回されたローラ１５，１６が２つ並べられることによって構成されている。なお、前記移動ローラユニット１３には、図示しない適宜のストッパが設けられており、そのストッパによって装置本体２０自体をＹ方向に進退移動は規制されている。
【００２８】
装置本体２０は、上述したように、底ベース２１と、固定壁部２３，２４と、ガイド壁部２２とを備えている。まず、固定壁部２３，２４について説明すると、Ｙ方向の基側に配置される第１固定壁部２３と、そのＹ方向の先側に配置される第２固定壁部２４とから構成される。この固定壁部２３，２４は、ともに底ベース２１から鉛直上方向に向かって設けられている。また、第１固定壁部２３にあっては、上方に、塵埃排出用ファン６０が設けられている。この塵埃排出用ファン６０は、Ｒガイド３０に設けられたカバーと接続されるものであって、Ｒガイド３０で発生した塵埃をウエハＷから離間された個所に排出するファンである。
【００２９】
この支持部７０は、図２において簡易的に示しているが、水平面（ＸＹ平面）上でウエハＷを支持し且つ撮像するウエハの大きさに合わせた円盤状で形成されたウエハ載置台７１を有する。さらに、この支持部７０は、そのウエハ載置台７１の下方に、図示されていない、そのウエハ載置台７１を回転させる台回転機構を有している。この台回転機構によって、ウエハ載置台７１は回転する。なお、符号Ｗｆは最も前記撮像機構５０側に近い周端縁を示し、この周端縁Ｗｆは、前記ウエハ載置台７１のうち最も前記撮像機構５０側に近い個所７２とほぼ一致するものとなっている。この回転によって、撮像機構５０は、そのウエハ載置台７１に載置されたウエハＷの周端縁Ｗｆを、全周に亘って撮像可能としている。
【００３０】
次にガイド壁部２２について説明すると、ガイド壁部２２には、図２に示すように、中間部に、適宜の幅の略コ字状でＹ方向に開口された開口部３１が設けられている。この開口部３１は、上述したウエハ載置台７１に載置されたウエハＷを出し入れし易いように設けられている。なお、開口部３１の内方には、後に説明する動力機構５２の一部を構成する固定歯車６６が設けられている。
【００３１】
また、ガイド壁部２２には、Ｒガイド３０が、ウエハＷの中心軸線Ｇを含んだ縦断面ＧＨ上に存するように、且つウエハＷの撮像される周端縁Ｗｆを臨むように弧状に設けられている。また、このＲガイド３０は、ウエハＷの撮像される周端縁Ｗｆに対して一定の離間距離を保って円弧状に延びてなるものである。具体的には、Ｒガイド３０は、図６にも示すように、ウエハ載置台７１の載置されたウエハＷの最も撮像機構５０側に近い周端縁Ｗｆを中心とした円弧状に設けられている。なお、この周端縁Ｗｆは、上述したウエハ載置台７１のうち最も前記撮像機構５０側に近い個所７２と近似可能とされており、上述を言い換えれば、このＲガイド３０は、上述したウエハ載置台７１のうち最も前記撮像機構５０側に近い個所７２を中心とした円弧状に設けられたものとなっている。
【００３２】
また、Ｒガイド３０は、ウエハ載置台７１のうち最も前記撮像機構５０側に近い個所７２を中心として適宜の径の円弧状で形成された第１ガイドレール３２と、この第１ガイドレール３２の径より適宜に拡大された径の円弧状で形成された第２ガイドレール３３とが２つ並んで設けられことによって構成されている。そして、この第１ガイドレール３２と第２ガイドレール３３との間に、後に説明する動力機構５２内に設けられた被案内部材が配置される。そして、この被案内部材が、この第１ガイドレール３２及び第２ガイドレール３３に従って案内される。なお、前記Ｒガイド３０の限界個所近くには、移動してきた撮像機構５０と接触する検出器３４が設けられている。そして、この第１ガイドレール３２及び第２ガイドレール３３には、図１に示すように、カバー体３５が設けられている。このカバー体３５は、Ｒガイド３０に発生した塵埃をウエハＷに悪影響を与えないことを目的に設けられるものである。
【００３３】
このＲガイド３０に案内されて移動する撮像機構５０について説明すると、撮像機構５０には、撮像カメラ５１と、動力機構５２とから構成される。この撮像カメラ５１は、ウエハ載置台７１に載置されたウエハＷの周端縁Ｗｆを撮像するものであって、ＣＣＤカメラ等の適宜の撮像可能なカメラで構成されている。なお、この撮像カメラ５１を含めた撮像機構５０は、本発明における撮像部に相当するものである。また、この撮像機構５０には、図示されていないが、ハードディスクや光メディア媒体等に代表される適宜の記憶媒体に書き込み及び読み込み可能な記憶手段と、これらの記憶手段を処理するＣＰＵに代表される制御手段とを備えたパソコン９０（図７参照）が接続されている。
【００３４】
また、動力機構５２は、このＲガイド３０上を移動させるための適宜の移動機構が内蔵されるほか、前記撮像カメラ５１をＹ方向及びＺ方向に移動させるための適宜の移動機構も内蔵されている。すなわち、この動力機構５２は、ケーシング５３内に、Ｚ方向移動機構５４と、このＺ方向移動機構５４に設けられたＹ方向移動機構５８とが内蔵されたものとなっている。さらに、この動力機構５２は、上述したＲガイド３０で案内されながら、この撮像機構５０を移動させる案内移動機構６４を備えている。なお、この動力機構５２は、上述した第１ガイドレール３２と第２ガイドレール３３との間に配置される被案内部材を備えている。この被案内部材は、例えば、第１ガイドレール３２と第２ガイドレール３３を転動するコロ等によって構成される。
【００３５】
Ｚ方向移動機構５４は、この動力機構５２のケーシング５３内に固定されて設けられた固定板５４ａと、この固定板５４ａに対して相対的にＺ方向に移動可能に設けられた可動板５４ｂとを備えている。さらに、この可動板５４ｂには、該可動板５４ｂをＺ方向に移動させるピストン５５が連結されている。このように構成されることによって、可動板５４ｂは、このピストン５５によって固定板５４ａと相対的にＺ方向に移動可能となっている。
【００３６】
さらに、Ｙ方向移動機構５８は、このＺ方向移動機構５４に固定されて設けられた固定板５８ａと、この固定板５８ａに対して相対的にＹ方向に移動可能に設けられた可動板５８ｂとを備えている。さらに、この可動板５８ｂには、該可動板５８ｂをＹ方向に移動させるピストン５９が連結されている。このように構成されることによって、可動板５８ｂは、このピストン５９によって固定板５８ａと相対的にＹ方向に移動可能となっている。
【００３７】
案内移動機構６４は、図１に示して上述したように、開口部３１の内方に設けられた固定歯車６６と歯合する駆動歯車６５を備えてなるものである。この駆動歯車６５は、この動力機構５２のケーシング５３内に設けられて適宜のモータ（駆動源）から動力が伝達される。この駆動歯車６５は、図４の模式図にも示すように、歯車支持台６７に回転可能に軸支されている。また、この歯車支持台６７は、付勢バネ６８で付勢されている。この付勢バネ６８は、一端が歯車支持台６７と連結され、他端は上述したＲガイド３０に案内される被案内部材の一部６９と連結されている。これによって、この歯車支持台６７は、固定歯車６６へ向かって付勢され、ひいては、この歯車支持台６７に軸支される駆動歯車６５も固定歯車６６へ向かって付勢される。つまり、駆動歯車６５と固定歯車６６とは互いに密着して好ましく歯合されている。
【００３８】
なお、このウエハ検査装置１には、図示されていないが、適宜の制御部が設けられている。この制御部は、前記撮像機構５０を移動させるための適宜の制御がなされる。また、この制御部は、前記撮像カメラ５１によって撮像されたウエハＷの周端縁Ｗｆの撮像データを処理すると共に、この制御部内に設けられた適宜の記憶媒体に、撮像されたデータや処理されたデータ等が格納されるようになっている。
【００３９】
また、このウエハ検査装置１には、図１及び図２に模式的に示すように、撮像カメラ５１とは異なる新たな光検出器８１が設けられている。この光検出器８１は、適宜の受光素子を備えてなるものであって、例えば、図７の模式図に示すように、上述した撮像カメラ５１を備える撮像機構（撮像部）５０とは異なる検査機構８０の一部を構成するものである。なお、この検査機構８０は、本発明における検査部に相当するものであり、前記支持部７０によって回転されるウエハＷの周端縁Ｗｔを、全周に亘って検査可能に構成されるものである。また、この検査機構８０は、回折光Ｌの光強度を検出可能に構成された光検出器８１を備えてなるものとしたが、この光検出器を備えてなるものに限定されず、例えば、適宜のラインセンサやエリアセンサ、また、撮像可能なカメラを備えてなるものであってもよい。
【００４０】
検査機構８０は、図７の模式図に示すように、具体的には、楕円鏡８２と、この楕円鏡８２の第１焦点８３の位置近傍に配置されたウエハＷの周端縁Ｗｔに向けてコヒーレント光を照射する光源８４とを備え、前記光検出器８１が、この楕円鏡８２の第２焦点８５の位置近傍に配置されたものとなっている。さらに、この楕円鏡８２の鏡面には、低次元の回折光を遮光するマスキングテープ８６（遮光手段）が貼り付けられており、このマスキングテープ８６によって、検出にとって不要なノイズとみなされる回折光を除去している。なお、符号８７は光源の発する光を焦光するレンズであり、符号８８はウエハＷの周端縁Ｗｔを楕円鏡８２内に安定的に配置させるスリットである。また、符号Ｌは、前記ウエハＷの周端縁Ｗｔからの回折光を示している。
【００４１】
さらに、このウエハＷの周端縁Ｗｔと、光源８４と、光検出器８１とは、ウエハＷの主面の径方向Ｔ上に存するように構成されている。また、この光検出器８１は、上述した撮像カメラ５１と異なって、固定されて設けられている。そして、この光検出器８１は、前記支持部７０によって回転されるウエハＷの周端縁Ｗｔを、全周に亘って検査するものとなっている。
【００４２】
さらに、この発明における検査部とされる光検出器８１を備えた検査機構８０は、上述した撮像機構５０に接続されているパソコン９０に接続されたものとなっている。このパソコン９０は、この光検出器８１によって検査されたウエハＷの周端縁Ｗｔの情報を記憶する記憶手段を備えている。この記憶手段は、上述もしたが、ハードディスク、光メディア媒体等に代表される適宜の記憶媒体によって構成されており、この記憶媒体にウエハＷの周端縁Ｗｔの情報が後に読み込み可能に記憶される。なお、このウエハＷの周端縁Ｗｔの情報については、適宜のデータ処理がなされて記憶媒体に記憶されるものであってもよいし、また、そのまま記憶媒体に記憶されるものであってもよい。
【００４３】
また、この検査機構８０に接続されるパソコン９０には、本発明における判別手段が設けられている。この判別手段は、具体的には、上述した制御手段を兼ねるＣＰＵで構成されるものであって、前記記憶媒体に記憶されたウエハＷの周端縁Ｗｔの情報を引き出し、そのウエハＷの周端縁Ｗｔの情報に基づいてウエハＷの周端縁Ｗｔに異常が有るか無いかを判別する。このウエハＷの周端縁Ｗｔに異常が有るか無いかを判別は、そのウエハＷの周端縁Ｗｔの情報と、内蔵されている適宜のデータベースのデータとを比較してなされる。なお、このウエハＷの周端縁Ｗｔの情報に基づいて、ウエハＷの周端縁Ｗｔに異常が有るか無いかを判別する時期については、検査後になされるものであってもよいし、検査されている間になされるものであってもよい。
【００４４】
このように構成されたウエハ検査装置１は、判別検査工程と撮像検査工程とによって、次のようにウエハを検査する。
まず、判別検査工程においては、光検出器８１を備えた検査機構（検査部）８０によって、前記支持部７０によって回転されるウエハＷの周端縁Ｗｔを検査する。この周端縁Ｗｔの検査と同時に、ウエハＷの周端縁Ｗｔの情報が上述したパソコン９０（記憶手段、判別手段）に記憶される。そして、このパソコン９０から光検出器８１によって検査されたウエハＷの周端縁Ｗｔの情報を引き出し、内蔵されるデータベースのデータと比較して、ウエハＷの周端縁Ｗｔに異常が有るか無いかを判別する。このようにして、ウエハＷの周端縁Ｗｔの全周について異常が有るか無いかを好ましく判別することができる。
【００４５】
さらに、このウエハＷの周端縁Ｗｔに異常が有ると判別した場合には、その異常が有ると判別した個所について、撮像機構（撮像部）５０によって撮像する撮像検査工程に移る。この撮像検査工程においては、その異常が有ると判別した個所について、撮像カメラ５１によって詳しく撮像する。なお、この撮像カメラ５１による撮像は、以下において詳述する。
【００４６】
一方、このように構成されたウエハ検査装置１にあっては、図５（ａ）に示すように、撮像機構５０を含めた装置本体２０は、上述したように、ネジ調節機構１１によって基台１０に対してＸ方向に移動できる。このようにして、撮像機構５０に含まれる撮像カメラ５１は、支持部７０に支持されたウエハＷに対してＸ方向に移動できる。これをもって、ウエハＷの周端縁Ｗｆの撮像が好ましく行うことができるように、撮像カメラ５１は適宜の位置に微調整可能となっている。
【００４７】
さらに、図５（ｂ）に示すように、撮像機構５０に含まれる撮像カメラ５１は、前記撮像機構５０に含まれるＹ方向移動機構５８（ピストン５９）によって、支持部７０に支持されたウエハＷに対してＹ方向に移動できる。また、図５（ｃ）に示すように、撮像機構５０に含まれる撮像カメラ５１は、前記撮像機構５０に含まれるＺ方向移動機構５４（ピストン５５）によって、支持部７０に支持されたウエハＷに対してＺ方向に移動できる。これをもって、ウエハＷの周端縁Ｗｆの撮像が好ましく行うことができるように、撮像カメラ５１は適宜の位置に微調整可能となっている。
【００４８】
このウエハ検査装置１にあっては、ＸＹ平面とされた水平面上に支持されるウエハＷに対して、撮像カメラ５１をＸＹＺ方向に移動させることができる。これによって、検査者は、ウエハＷの周端縁Ｗｆを好ましく撮像することができるように、この撮像カメラ５１を所望の個所にまで細かく位置設定することができる。
【００４９】
また、図５（ｄ）に示すように、撮像機構５０に含まれる撮像カメラ５１は、前記撮像機構５０に含まれる案内移動機構６４（駆動歯車６５及び固定歯車６６）によって、上述したＲガイド（ガイドレール）３０に案内されながら移動して、支持部７０に支持され且つ撮像されるウエハＷの周端縁Ｗｆに対してθ方向に移動できる。なお、ウエハＷの撮像される周端縁Ｗｆを臨むように弧状にＲガイド３０が設けられてあり、この弧状に延びたＲガイド３０は、ウエハＷの中心軸線Ｇを含んだ縦断面上に存するようになっている。これによって、１つの撮像カメラ５１でありながら、撮像される周端縁は多様な角度（１８０度に亘る撮像角度）で撮像されることとなる。
【００５０】
つまり、撮像カメラ５１は、図６に示す模式図のように、断面楕円形状とされるウエハＷの周端縁Ｗｆを好ましく撮像する。具体的には、撮像機構５０が前記Ｒガイド３０に案内されながら移動することによって、撮像カメラ５１は、ウエハＷの周端縁Ｗｆを臨むように、つまり、この周端縁Ｗｆを中心とするような仮想円Ｒ上（例えば、符号５１ａ，符号５１ｂ，符号５１ｃ，符号５１ｄ）に移動する。このようにして、この１つの撮像カメラ５１は、断面楕円形で形成されるウエハＷの周端縁Ｗｆを、水平方向、上方向、斜め上方向、下方向、斜め下方向等から好ましく撮像できる。つまり、この撮像カメラ５１は、断面楕円形で形成されるウエハＷの周端縁Ｗｆを１８０度に亘る撮像角度から撮像可能となっている。なお、この撮像カメラの移動は、このウエハＷの中止軸線Ｇを含んだ縦断面ＧＨ上に存するものである。
【００５１】
これによって、これまでウエハＷの周端縁Ｗｆを撮像するにあたって、ウエハＷの水平方向、斜め上方向、斜め下方向のそれぞれに設けていた撮像カメラを、撮像機構（撮像部）５０を構成する１つの撮像カメラ５１で担うことができる。従って、ウエハＷの周端縁を多様な角度から観察したい場合にあっても、撮像カメラを複数台で構成する必要がなくなり、１つの撮像カメラでありながら、ウエハＷの周端縁Ｗｆを多様な角度で観察することができる。
【００５２】
このように、判別検査工程と撮像検査工程とが検査工程に含まれることによって、そのウエハＷの周端縁Ｗｔの全周について異常が有るか無いかを好ましく判別することができ、異常が有ると判別したウエハＷの周端縁Ｗｔの個所についてのみを、上述したように精査することができる。従って、ウエハの周端縁の異常個所について好適に素早く見つけることができると共に、さらに、この異常個所についてのみを好適に精査することができる。これをもって、ウエハの周端縁の検査時間を短縮することができる。
【００５３】
また、撮像カメラ５１は、Ｒガイド３０によって案内されながらウエハＷの周端縁Ｗｆを撮像するので、ウエハＷの近傍には撮像カメラ等が設けられていないので、検査が終了したウエハＷと、これらから検査しようとするウエハＷとを交換しようとする場合に、検査が終了したウエハＷをウエハ支持台７１（支持部７０）から取り出し易いものとなり、さらに検査しようとするウエハＷをウエハ支持台７１に配置し易いものとなる。
【００５４】
上述のウエハ検査装置１にあっては、Ｒガイド３０がウエハＷの撮像される前記周端縁Ｗｆに対して一定の離間距離を保って円弧状に延びてなるので、このＲガイド３０によって案内されながら移動する撮像カメラ５１は、ウエハＷの撮像される周端縁Ｗｆに対して一定の離間距離を保つこととなる。従って、撮像カメラ５１がＲガイド３０上の何れの位置にある場合であっても、撮像カメラ５１は、好ましくウエハＷから離間されたものとなって、その撮像カメラ５１の位置を問わず、検査が終了したウエハＷを支持部７０から取り出し易いものとなり、さらに検査しようとするウエハＷは支持部７０に配置し易いものとなる。
【００５５】
さらに、撮像カメラ５１は、ウエハＷの撮像される周端縁Ｗｆに対して一定の離間距離を保ってＲガイド３０に案内されながら移動するので、撮像カメラ５１のフォーカスを変更する必要がなくなる。これによって、撮像カメラ５１は撮像時においてフォーカス制御せずに撮像できることとなって、撮像時間の短縮にも貢献し、ひいては、ウエハＷの検査時間の短縮にも貢献してウエハＷを検査するにあたっての作業性を向上させる。また、制御装置を適宜割愛できることによってウエハ検査装置１全体の小型化に貢献し、さらに、このウエハ検査装置１自体の製造コストを削減にも貢献する。
【００５６】
この駆動歯車６５と固定歯車６６とは好ましく互いに密着して歯合されているので、駆動歯車６５と固定歯車６６との間におけるバックラッシュを、より小さなものとすることができる。なお、固定歯車６６は、Ｒガイド３０側に固定されて設けられる歯車であり、駆動歯車６５は、撮像カメラ５１側に駆動可能に設けられた歯車である。従って、上述したＲガイド３０上において、撮像カメラ５１を精密に移動させることができて、ウエハＷの周端縁Ｗｆを好ましく撮像することができる。
【００５７】
このウエハ検査装置１にあっては、撮像カメラ５１がＲガイド３０上に案内されて移動する場合に生じた塵埃が、Ｒガイド３０に設けられたカバー３５によって、ウエハＷに降りかかってしまうことを防止する。さらに、その生じた塵埃は、Ｒガイド３０とウエハＷとの離間距離からさらに離間された個所に設けられた塵埃用排出ファン６０によって排出される。これによって、Ｒガイド３０から発生した塵埃は、ウエハＷに影響与えることなく、このウエハ検査装置１から好ましく排出される。従って、検査対象とされるウエハＷを良い状態に保ちながら、このウエハＷの周端縁Ｗｆを好ましく撮像することができる。
【００５８】
また、このウエハ検査装置１にあっては、検査機構（検査部）８０によって、ウエハＷの周端縁Ｗｔの全周について異常が有るか無いかを好ましく判別することができ、異常が有るとパソコン９０によって判別したウエハＷの周端縁Ｗｔの個所については、撮像機構（撮像部）５０によって精査することができる。従って、ウエハＷの周端縁Ｗｔの異常個所を素早く見つけることができると共に、さらに、この異常個所についてのみを精査することができる。これをもって、ウエハＷの周端縁Ｗｔの検査時間を短縮することができる。
【００５９】
以上説明したように、このウエハ検査装置１によれば、ウエハ検査装置１が大型化してしまう問題点や、ウエハ検査装置１自体の製造コストが嵩んでしまうような問題点を解消する。さらには、検査対象とされたウエハＷを出し入れし易くされている。
【００６０】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。例えば、上述の実施の形態においては、ガイドレールとされるＲガイド３０が、ウエハＷの撮像される周端縁Ｗｆから一定の離間距離を保って円弧状に延びてなるようにガイド壁部２２に設けられていたが、ガイドレールは円弧状に延びてなることに限定されることなく、弧状に設けられるものであれば、本発明の趣旨を逸脱することはない。弧状にガイドレールが設けられた場合にあっても、撮像される周端縁は、１つの撮像部によって水平方向のみならず上下方向及び上下斜め方向からも好ましく撮像される。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明に係るウエハ検査装置の斜視図である。
【図２】図１のウエハ検査装置の側面図である。
【図３】図１のウエハ検査装置の背面図である。
【図４】互いに歯合する駆動歯車と固定歯車とを模式的に示す図である。
【図５】撮像部のＸＹＺ方向の移動を示す簡略図である。
【図６】撮像部によるウエハの周端縁の撮像を模式的に示す図である。
【図７】第２の撮像機構を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１    ウエハ検査装置
３０    Ｒガイド（ガイドレール）
５１    撮像カメラ
５０    撮像機構（撮像部）
Ｇ    ウエハの中心軸線
Ｗ    ウエハ
Ｗｆ    ウエハの周端縁（撮像個所）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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