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【手続補正書】
【提出日】平成18年12月1日(2006.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
掃除機のための吸引取付体であって、
−吸引ノズルと、
−前記吸引取付体の主な移動方向に垂直に延在する旋回軸の周りで前記吸引ノズルに対して旋回可能である、前記吸引取付体を前記掃除機の吸込チャネルに結合するための結合部材と、
−前記吸引ノズルの前方端及び後方端の近くでそれぞれ延在する第１の及び第２のブラシと、
−前記第１の及び前記第２のブラシが前記吸引ノズルの底面に対して格納された位置にある第１の位置から、前記第１の及び前記第２のブラシが前記底面に対して突出した位置にある第２の位置に、前記第１の及び前記第２のブラシを調整するための調整機構と、
−前記旋回軸の近くに構成された回転部材であって、動作中、前記第１の及び前記第２のブラシが前記第１の位置にあるときは、当該回転部材は掃除されるべき面と接触し、前記第１の及び前記第２のブラシが前記第２の位置にあるときは、当該回転部材は掃除されるべき前記面と接触しないような位置に構成される回転部材と、
を有する吸引取付体において、前記主な移動方向に見て、前記旋回軸は、前記第１のブラシと前記第２のブラシの少なくとも一部との間に配置されることを特徴とする吸引取付体。
【請求項２】
請求項１に記載の吸引取付体において、前記主な移動方向に見て、前記吸引ノズルは主にＶ字形の後方端を持ち、該後方端に沿って前記第２のブラシが延在し、前記旋回軸は、前記主な移動方向に見て、前記第１のブラシと前記第２のブラシの第１の及び第２の端部との間に配置されることを特徴とする吸引取付体。
【請求項３】
請求項１に記載の吸引取付体において、前記回転部材は前記旋回軸と一致する回転軸を持つことを特徴とする吸引取付体。
【請求項４】
請求項１に記載の吸引取付体において、前記回転部材は比較的堅い非弾性的な回転面を持つことを特徴とする吸引取付体。
【請求項５】
請求項１に記載の吸引取付体において、前記回転部材は前記吸引取付体の中心部分に設けられ、前記結合部材は前記旋回軸の周りで前記中心部分に対して旋回可能であり、前記吸引ノズルは前記旋回軸に平行に延在する追加の旋回軸の周りで前記中心部分に対して旋回可能であることを特徴とする吸引取付体。
【請求項６】
請求項５に記載の吸引取付体において、当該吸引取付体は、前記調整機構と協働するブロック機構を有し、当該ブロック機構は、前記第１の及び前記第２のブラシが前記第２の位置にあるときに、前記吸引ノズルを前記中心部分に対するブロック位置にブロックし、前記ブロック位置は、動作中、前記回転部材が掃除されるべき前記面と接触しないような位置であることを特徴とする吸引取付体。
【請求項７】
ハウジングと、前記ハウジングに収容される電気吸引ユニットと、吸引チャネルと、前記吸引チャネルを介して前記吸引ユニットに結合されることができる吸引取付体とを有する掃除機において、前記吸引取付体は請求項１、２、３、４、５、又は６に記載の吸引取付体であることを特徴とする掃除機。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月1日(2006.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１３】
歯ブラシに用いられる離散的なタブレットを分注するシステムであって、
開口を備えるブラシヘッドを持つ歯ブラシと、
オーラルケア用の複数の歯みがき又は薬剤タブレットを受け入れるための前記歯ブラシの後方に沿って延びる受け入れカートリッジであって、前記受け入れカートリッジの前端は前記ブラシヘッドの前記開口と実質的に一致する開口を持つ受け入れカートリッジと、
前記受け入れカートリッジに関連付けられたイジェクタ機構であって、作動された場合に前記受け入れカートリッジから前記ブラシヘッドの前記開口にタブレットを排出するイジェクタ機構とを有することを特徴とするシステム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本願第３の発明は、歯ブラシ用の離散的なタブレットを分注するシステムであって、開口を備えるブラシヘッドを持つ歯ブラシと、オーラルケア用の複数の歯みがき又は薬剤タブレットを受け入れるための前記歯ブラシの後方に沿って延びる受け入れカートリッジであって、前記受け入れカートリッジの前端は前記ブラシヘッドの前記開口と実質的に一致する開口を持つ受け入れカートリッジと、前記受け入れカートリッジに関連付けられたイジェクタ機構であって、作動された場合に前記受け入れカートリッジから前記ブラシヘッドの前記開口にタブレットを排出するイジェクタ機構とを有することを特徴とするシステムである。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月4日(2006.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
縫合される組織に関して結紮を適切に配置するように結紮付き縫合糸を操作し、次いで結紮から過剰の縫合糸を除去するための器具において、前記器具が：
一端にハンドルを、かつ対向端にハンドルの操作により結紮付き縫合糸と係合しかつそれを動かすための結紮係合可能部分を含む本体部材；
及び前記本体部材により保持されかつそれに関して可動な切断部材；
を含み、
前記切断部材が前記ハンドルに近い一端に指片を、そして本体部材の前記結紮係合可能部分に近い対向端に切断刃を含み；
前記指片が、前記切断刃が本体部材の結紮係合可能部分で縫合糸から係合を外されているところの常態位置から、前記切断刃が前記結紮から予め決められた距離で縫合糸と係合してそれを切断する作動位置まで前記ハンドルに関して可動であり、従って本体部材が結紮付き縫合糸と係合して結紮を縫合される組織に関して適切に配置するように操作されることができ、次いで切断部材の指片がその常態位置からその作動位置に動かされて縫合糸を結紮から予め決められた距離で切断し、それにより縫合糸の予め決められた過剰部を除去することができ；
前記ハンドルが一端で一緒に結合された二つの輪を含み、その接合部に凹所を形成しており、これらの凹所が器具を操作するために使用者の二本の指により係合可能であることを特徴とする器具。
【請求項２】
前記器具が切断部材の前記指片をその常態位置に偏倚するばねを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の器具。
【請求項３】
前記本体部材がそのハンドルとその結紮係合可能部分の間に長い部分を含み、前記切断部材が前記指片によりその作動位置に動かされるとき前記長い部分の縦軸に平行に動くことを特徴とする請求項１に記載の器具。
【請求項４】
前記結紮係合可能部分が前記結紮付き縫合糸を受け入れるためのそれを通して延びる孔を含み、その結紮が前記孔の一方側に配置されており、切断される縫合糸が前記孔を通してその対向側に延びていて、縫合糸を切断する前に結紮に張力を掛けることを可能とすることを特徴とする請求項３に記載の器具。
【請求項５】
前記結紮付き縫合糸を受け入れるための本体部材の結紮係合可能部分の前記孔が角度付き孔でありかつ本体部材の前記長い部分の縦軸に対してある角度で延び、切断部材がその作動位置に動かされるとき、切断部材の前記切断刃が結紮係合可能部分の前記孔と本体部材の前記長い部分の縦軸との接合部で前記縫合糸と係合することを特徴とする請求項４に記載の器具。
【請求項６】
本体部材の前記長い部分が前記長い部分の縦軸に平行である軸方向通路を形成されており、前記切断部材が前記軸方向通路内でその常態位置と作動位置に可動であることを特徴とする請求項５に記載の器具。
【請求項７】
本体部材の前記結紮係合可能部分がまた、それを通して前記軸方向通路に結合された軸方向孔を形成されており、前記軸方向孔が前記切断刃を形成された前記切断部材の端部を受け入れられるような形状をしていることを特徴とする請求項６に記載の器具。
【請求項８】
前記本体部材の前記軸方向通路が矩形断面のスロットであり、前記切断部材が本体部材の結紮係合可能部分の前記軸方向孔に受け入れられるその前記端部を除いては対応する矩形断面のものであることを特徴とする請求項７に記載の器具。
【請求項９】
前記軸方向孔とそこに受け入れられる切断部材の前記端部が両方とも円形断面のものであることを特徴とする請求項８に記載の器具。
【請求項１０】
前記切断部材が縫合糸を切断するためにその切断刃を前記角度付き孔と前記軸方向孔との接合部を過ぎるように動かした後に前記切断部材が前記本体部材の肩と係合可能な肩を形成されていることを特徴とする請求項５に記載の器具。
【請求項１１】
前記角度付き孔の前記角度が１５−７５度であることを特徴とする請求項５に記載の器具。
【請求項１２】
前記角度付き孔の前記角度が３０−６０度であることを特徴とする請求項５に記載の器具。
【請求項１３】
本体部材の前記結紮係合可能部分が孔の前記一端に前記結紮付き縫合糸の結紮を受けるための凹所を更に含むことを特徴とする請求項５に記載の器具。
【請求項１４】
結紮付き縫合糸を切断するための器具において、それが：
一端にハンドルを、かつ対向端に切断される結紮付き縫合糸と係合するための結紮係合可能部分を含む本体部材；
及び前記本体部材により保持されかつ前記結紮付き縫合糸をその結紮から予め決められた距離で切断するための切断刃を形成された端部分を含む切断部材；
を含み、
前記切断部材がその縦軸に沿って常態位置から前記結紮付き縫合糸を切断するための作動位置まで可動であり；
本体部材の前記結紮係合可能部分が切断部材がその作動位置に動かされるとき切断部材の前記端部分を受け入れるための軸方向孔を形成されており；
本体部材の前記結紮係合可能部分がまた、前記縦軸に対してある角度で前記軸方向孔と交差する結紮付き縫合糸を受け入れるための角度付き孔をそれを通して形成されており、角度付き孔の一方側に結紮が配置され、切断される縫合糸が前記角度付き孔を通してその対向側に延びていて、結紮に張力を掛け、次いで切断部材をその作動位置に動かすことにより縫合糸を切断することを可能とすることを特徴とする器具。
【請求項１５】
前記角度付き孔が前記軸方向孔に関して１５−７５度の角度を形成することを特徴とする請求項１４に記載の器具。
【請求項１６】
前記軸方向孔とそこに受け入れられる切断部材の前記端部が両方とも円形断面のものであることを特徴とする請求項１４に記載の器具。
【請求項１７】
前記切断部材がまた、前記切断部材をその常態位置からその作動位置に動かすための指片を前記ハンドル近くに含み、かつ前記切断部材をその常態位置に通常偏倚するためのばねを含むことを特徴とする請求項１４に記載の器具。
【請求項１８】
前記本体部材がそのハンドルとその結紮係合可能部分の間に長い部分を含み、かかる長い部分がスロットを形成されており、前記切断部材が前記スロット内でその常態位置からその作動位置に可動であることを特徴とする請求項１４に記載の器具。
【請求項１９】
本体部材の前記結紮係合可能部分が孔の前記一端に前記結紮付き縫合糸の結紮を受けるための凹所を更に含むことを特徴とする請求項１４に記載の器具。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月15日(2006.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
膨張可能な血管内デバイスと；
前記膨張可能な血管内デバイスを圧密された構造形で含む閉じ込め手段と；
モノフィラメントの非フルオロポリマー芯材、及び該芯材を取り囲む延伸ポリテトラフルオロエチレンのカバーを具備する少なくとも一つの制御線材と；を具備する植込み型医療デバイス組立体であって、
前記制御線材は、縫合によって前記閉じ込め手段に取外し可能に取り付けられ、
前記縫合された制御線材は、閉じ込め手段における基本的にあらゆる縫い目が一つずつ縫い目を外されることを余儀なくされるのに十分な剛性を有するものであり、
基本的にあらゆる縫い目が前記閉じ込め手段から取り外されるとき、前記制御線材が触覚フィードバックを医師に提供し、
前記触覚フィードバックは振動する引張力の形をとっており、該振動する引張力は基本的にあらゆる縫い目が閉じ込め手段から外されるとき大きさが変化するものである、植込み型医療デバイス組立体。
【請求項２】
前記制御線材は、最大引張強さを引き結びの引張り通り抜け力によって割ったときの比率が約４より大きい、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項３】
前記制御線材は、最大引張強さを引き結びの引張り通り抜け力によって割ったときの比率が約５より大きい、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項４】
前記制御線材は、最大引張強さを引き結びの引張り通り抜け力によって割ったときの比率が約６より大きい、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項５】
前記血管内デバイスがステントである、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項６】
前記ステントが、該ステントの少なくとも一部に配置された恒久的なカバーを有する、請求項５に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項７】
前記血管内デバイスがステント移植片である、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項８】
前記血管内デバイスが心臓内のデバイスである、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項９】
前記制御線材が、少なくとも６２．３Ｎ（１４ｌｂｆ）の引張強さを有する、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項１０】
前記芯材がアラミドポリマーを含んで成る、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項１１】
前記芯材が液晶ポリマーを含んで成る、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項１２】
前記芯材がポリエチレンテレフタレートを含んで成る、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【請求項１３】
前記芯材がポリアミドを含んで成る、請求項１に記載の植込み型医療デバイス組立体。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月20日(2006.11.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポータブルデバイスと無線態様で通信するように動作可能な少なくとも一つの固定局を有する無線基盤において前記ポータブルデバイスの位置を便宜主義的に追跡するための方法であって、
前記ポータブルデバイスが、前記局の通信範囲内にもたらされているとき自身の固有デバイス識別子を前記局にもたらすステップと、
前記局の位置を備える前記固有識別子を有する関連データを生成するステップと、
前記データが記憶される離れたデータベースにバックチャネルを介して前記関連データをアップロードするステップと
を有する方法。
【請求項２】
前記固有識別子の受信の際、前記局は前記識別子及び自身の局識別子を基盤コンピュータに送信する請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記基盤コンピュータは、前記局識別子及び固有デバイス識別子を受信し、前記局の位置及び前記デバイス識別子と共に受信の時刻及び日付を有する関連データを生成する請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記基盤コンピュータが、前記関連データを前記離れたデータベースにアップロードする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記局は、前記局の位置及び前記固有識別子と共に前記固有識別子受信の時刻及び日付を有する関連データを生成し、前記局は前記関連データを前記離れたデータベースにアップロードする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
クライアント端末が前記データベースに接続され、固有識別子を供給する前記クライアントに依存して前記データベースは前記端末に前記関連データを可動的に供給する請求項1に記載の方法。
【請求項７】
前記関連データの供給が、料金と交換で供給される請求項６に記載の方法。
【請求項８】
自身に関連付けられる固有識別子を有するポータブルデバイスの位置を便宜主義的に追跡するためのシステムであって、少なくとも一つの固定局を有する無線基盤と、通信範囲内にもたらされているとき前記ポータブルデバイスによって送信される前記固有識別子を受信するための局受信手段と、前記局の位置を備える前記固有識別子を有する関連データを生成するための生成手段と、前記データが記憶される離れたデータベースにバックチャネルを介して前記生成された関連データをアップロードするためのアップロード手段とを有するシステム。
【請求項９】
前記データベース及び前記基盤の前記少なくとも一つの局と通信する基盤コンピュータを更に有し、前記コンピュータは、前記少なくとも一つの局の位置に関連付けられる記憶情報を有し、前記少なくとも一つの局は前記受信された固有識別子を前記コンピュータに通信するように構成され、前記コンピュータは前記関連データを生成すると共に前記バックチャネルを介して前記離れたデータベースに前記関連データをアップロードする請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記少なくとも一つの局と前記ポータブルデバイスとの間の通信は、前記デバイスに前記固有識別子が割り当てられる無線プロトコルを介して行われる請求項８に記載のシステム。
【請求項１１】
前記プロトコルはＺｉｇＢｅｅプロトコルである請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記プロトコルはブルートゥースプロトコルである請求項１０に記載のシステム。
【請求項１３】
前記データベースとの接続部を可動的にもたらす離れたクライアント端末を更に有し、固有デバイス識別子を供給する前記クライアント端末に依存して前記データベースは前記クライアント端末に前記関連データを可動的に供給する請求項８乃至１２の何れか一項に記載のシステム。
【請求項１４】
前記関連データの供給が、料金と交換で供給される請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
請求項８に記載の前記システムとの使用のためのデータベースであって、前記データベースは位置追跡情報を記憶し、前記情報は、前記固有無線デバイス識別子に関連付けられる日付、時刻、及び位置データを有し、前記データベースは、固有デバイス識別子を有する要求に応答して前記情報を可動的に供給するデータベース。
【請求項１６】
固有識別子を受信するための手段と、関連データを生成するための手段と、接続されたコンピュータに前記データをアップロードするための手段とを有する請求項８に記載の前記システムとの使用のための固定局。
【請求項１７】
ＺｉｇＢｅｅ無線モジュールを有するタグの形態で請求項８に記載の前記システムとの使用のための固有識別子を有するポータブルデバイス。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月8日(2006.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
移動局102は、順次に順番を付けられたサブパケットの送信された第１の組の第１のサブセットを受信することができる。この特定の例では、移動局は、ＳＹＮＣ１−１を受信せず、ＳＹＮＣ１−２を受信する。
ＰＨＹ層再送機構は、各送られたＳＹＮＣフレームに対応するＡＣＫ信号またはＮＡＫ信号を、逆方向確認応答チャネル（reverse acknowledge channel, R-ACKCH）上で送る。この例では、移動局102は、ＳＹＮＣ１−１を受信していない、または復元していないことに対応するＮＡＫ（１−１）を、ＳＹＮＣ１−１の期待受信から２スロット後に送る。さらに加えて、移動局102は、ＳＹＮＣ１−２の復元に成功したことに対応するＡＣＫ（１−２）を、ＳＹＮＣ１−２の期待受信の２スロット後に送る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
移動局102は、送られたＡＣＫ１を受信し、ＡＣＫ１をＲＬＰ層へ送り得る。このときに、移動局は、Ｒ−ＦＣＨ、逆方向専用制御チャネル（reverse dedicated control channel, R-DCCH）、または逆方向補助チャネル（reverse supplemental channel, R-SCH）のような、逆方向リンクチャネル上で、パケットデータ ＤＡＴＡ１を、基地局100へ送ることができる。基地局も、データパケットセッション中に、Ｆ−ＰＤＣＨ上で、パケットデータを移動局へ送ることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
参照番号206において、基地局は、移動局によるＳＹＮＣフレームの受信の成功に対応するＡＣＫ信号が受信されたと判断すると、次に、通常は、参照番号208において、基地局は、特定の順序番号のＳＹＮＣ／ＡＣＫフレームに対応するＳＹＮＣ／ＡＣＫフレームを受信することになる。参照番号210において、今度は、基地局は、返信において、特定の順序番号をもつＡＣＫフレームを送る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
参照番号206において、基地局は、ＳＹＮＣフレームを含むサブパケットの受信または復元の不成功に対応するＮＡＫ信号を受信すると、次に、参照番号212において、基地局は、ＳＹＮＣフレームを含む復元されていないサブパケットを再送することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図３は、移動局によって採用される方法のフローチャートである。
参照番号300において、移動局は、ＳＹＮＣフレームのサブパケットを受信する。参照番号302において、移動局は、サブパケットを復号することを試みる。参照番号304において、移動局は、サブパケットが復元に成功したか、または受信されなかったかを判断する。サブパケットが復元または受信されなかったときは、次に、参照番号306において、移動局の再送機構は、ＮＡＫ信号を送る。サブパケットが復元または受信されたときは、次に、参照番号308において、移動局の再送機構は、ＡＣＫ信号を送る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
図４は、無線通信システムにおける基地局100および移動局102のブロック図を示す。基地局および移動局は、従来のハードウエアおよびソフトウエア技術を採用することができる。上述の機能を実行するために、基地局および移動局の両者は、各論理および処理ユニット402および404、並びに各無線周波数ユニット406および408を含むことができる。例えば、当業者には、無線周波数ユニットが、基地局と移動局との間で信号を送受信することができ、論理および処理ユニットが、信号の論理的動作および処理を行なうことができることが分かるであろう。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月29日(2006.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
モールド内に存在する原パターンとウエハの層内に形成される記録されたパターンの間の相対寸法を制御する方法であって、
前記記録されたパターンを作製する領域を前記層上で決めること、
変化したパターンを形成するように、前記モールドに引張応力をかけることによって前記原パターン内に寸法変化を生じさせること、
前記層内に前記変化したパターンを記録すること
を含む、方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記領域に形成される表面に輪郭を作製するために前記ウエハに引張応力をかけることをさらに含む請求項１に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月30日(2006.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲート領域を有する偽装回路構造であって、
基板と、
前記基板に配置された第１の導電型の第１の活性領域と、
前記基板に配置された第１の導電型の第２の活性領域と、
前記ゲート領域下で前記基板内に配置され、前記第１の活性領域および前記第２の活性領域と物理的に接触している前記第１の導電型の第１のウェルとを含み、
前記第１のウェルが、前記回路に適正な電圧が印加されているか否かにかかわらず、前記第１の活性領域と第２の活性領域との間に電気経路を形成しており、前記第１のウェルが、前記第１および第２の活性領域よりも実質的に深いことを特徴とする偽装回路構造。
【請求項２】
複数の第２の型のウェルをさらに含み、前記複数の第２の型のウェルの少なくとも１つが前記第１の活性領域と物理的に接触している、請求項１に記載の偽装回路構造。
【請求項３】
前記複数のウェルの少なくとも１つが、第１の導電型と第２の導電型との最小の分離幅で前記第１のウェルから分離されている、請求項２に記載の偽装回路構造。
【請求項４】
前記第１のウェルが、前記複数の第２の型のウェルよりも深い、請求項２に記載の偽装回路構造。
【請求項５】
前記第１のウェルが、前記第１および第２の活性領域よりも深い、請求項１から４のいずれか１つに記載の偽装回路構造。
【請求項６】
ゲート領域を有する基板と、
前記基板に配置された複数の第１の導電型の活性領域であって、その少なくとも２つが前記ゲート領域によって互いに分離されているところの活性領域と、
前記ゲート領域下で前記基板に配置されるとともに、前記複数の前記活性領域の前記少なくとも２つと物理的に接触している、前記第１の導電型の第１のウェルと、
前記複数の活性領域の前記少なくとも２つの下で部分的に配置され、前記第１のウェルから分離されている、複数の第２の型のウェルと
を含み、前記第１のウェルが、前記活性領域よりも実質的に深いことを特徴とする半導体回路。
【請求項７】
第１の導電型の基板に、ゲート領域を有するとともに、少なくとも２つの第２の導電型の活性領域を有するデバイスを調製するステップと、
第２の導電型を有する第１のウェルを前記ゲート領域の下方に挿入するステップと
を含む、回路を偽装する方法であって、
前記ゲート領域の下方における前記第１のウェルが、前記少なくとも２つの活性領域と物理的に接触し、前記ゲート領域の下方における前記第１のウェルが、前記ゲート領域に適正な電圧が印加されているか否かにかかわらず、前記少なくとも２つの活性領域の間に電気経路を形成しており、前記第１のウェルが、前記活性領域よりも実質的に深いことを特徴とする方法。
【請求項８】
第１のウェルを前記ゲート領域の下方に挿入する前記ステップが、前記ゲート領域下の前記ウェルが前記少なくとも２つの活性領域よりも深くなるように、前記ゲート領域の下方に前記第１のウェルを打ち込むことを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
第１の導電型と第２の導電型との最小の分離幅で前記第１のウェルから分離されている、第１の導電型を有する第２のウェルを、前記少なくとも２つの活性領域の少なくとも一部分の下方に挿入するステップをさらに含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記ゲート領域の下方における前記第１のウェルが前記第２のウェルよりも深い、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
従来のダブルウェル製造プロセスを変更して、従来の第１の導電型のウェルを第２の導電型のウェルで置き換えるステップを含む、ＣＭＯＳ回路を形成する方法であって、前記ＣＭＯＳデバイスが複数の活性領域を含み、前記第２の導電型のウェルが前記複数の活性領域よりも実質的に深いことを特徴とする方法。
【請求項１２】
前記第２の導電型のウェルが前記複数の活性領域よりも深い、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
少なくとも１つの第１の導電型の追加ウェルを形成するステップをさらに含み、前記第２の導電型のウェルが前記少なくとも１つの追加ウェルよりも浅い、請求項１１または１２のいずれか１つに記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月1日(2006.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記フォントライブラリが個別のフォントファイルを有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月24日(2006.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のテレビジョン信号のチャネルのための受信機と、
テレビジョンチャネルの信号を表示するための手段と、
別のテレビジョンチャネルの信号を入力するための手段と、
オンスクリーンディスプレイ（ＯＳＤ）のプレーンにおける主要な表示に対して付加的な縮小された画像として１つのチャネルを表示するための手段と、
を有することを特徴とするテレビジョン表示装置。
【請求項２】
該ＯＳＤプレーンにレンダリングされた画像として１つのチャネルを表示するため、リアルタイムのデコードを行うための手段を有する、
請求項１記載のテレビジョン表示装置。
【請求項３】
デコードのために信号のタイムシェアリングを行う手段を有する、
請求項２記載のテレビジョン表示装置。
【請求項４】
該ＯＳＤプレーンでの縮小された画像の表示のため、フルカラービデオ画像からパレットベースの画像への変換手段を有する、
請求項２又は３記載のテレビジョン表示装置。
【請求項５】
該変換手段は、画素値のための量子化手段、及びパレットにないそれぞれのパレットのパレットエントリを追加するための手段を有する、
請求項４記載のテレビジョン表示装置。
【請求項６】
該変換手段は、相対的な値からなるグループを生成するため、画素をランレングス符号化するための手段を有する、
請求項４又は５記載のテレビジョン表示装置。
【請求項７】
該変換手段は、要求されるカラーレベルに到達するまで、量子化レベルを低減するための手段を有する、
請求項６記載のテレビジョン表示装置。
【請求項８】
該変換手段は、画素をパレットカラーにマッピングするための手段を有する、
請求項６記載のテレビジョン表示装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載されるか、及び／又は図１及び図２のうちの１つ以上に例示されるテレビジョン表示装置。
【請求項１０】
複数のテレビジョン信号のチャネルのためのテレビジョン表示装置を動作する方法であって、
テレビジョンチャネルの信号を表示するステップと、
別のテレビジョンチャネルの信号を入力するステップと、
該オンスクリーンディスプレイ（ＯＳＤ）のプレーンにおける主要な表示に対して付加的な縮小された画像として１つのチャネルを表示するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項１１】
該ＯＳＤプレーンで縮小された画像として１つのチャネルを表示するため、リアルタイムのデコードを行うステップを有する、
請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
デコードのための信号のタイムシェアリングを行うステップを有する、
請求項１０又は１１記載の方法。
【請求項１３】
該ＯＳＤプレーンにおける縮小された画像の表示のため、フルカラービデオ画像からパレットベースの画像に変換するステップを有する、
請求項１１又は１２記載の方法。
【請求項１４】
該変換するステップは、画素値を量子化するステップ、及びパレットにないそれぞれのパレットカラーについてパレットエントリを追加するステップを有する、
請求項１１又は１２記載の方法。
【請求項１５】
該変換するステップは、相対的な値からなるグループを生成するため、画素のランレングス符号化するステップを有する、
請求項１３又は１４記載の方法。
【請求項１６】
該変換ステップは、要求されたカラーレベルに到達するまで、該量子化レベルを低減するステップを有する、
請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
該変換ステップは、画素をパレットカラーにマッピングするステップを有する、
請求項１５記載の方法。
【請求項１８】
請求項１０乃至１７のいずれかに記載されるか、及び／又は図１及び図２のうちの１つ以上に例示されるテレビジョン表示装置の動作方法。
【請求項１９】
デジタルコンピュータの内部メモリに直接的にロード可能なコンピュータプログラムであって、該プロダクトがコンピュータ上で実行されたときに請求項１０乃至１８のいずれか記載のステップを実行するためのソフトウェアコードを有する、
ことを特徴とするコンピュータプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月8日(2006.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
【図１ａ】実クロックに対する、ネットワーク・インターフェースでのパケット到着時間を示す図である。
【図１ｂ】図１ａに示された実クロックの周波数より大きい周波数を有する本発明による「仮想クロック」に対する、ネットワーク・インターフェースでのパケット到着時間を示す図である。
【図１ｃ】図１ａに示された実クロックの周波数より小さい周波数を有する本発明による「仮想クロック」に対する、ネットワーク・インターフェースでのパケット到着時間を示す図である。
【図２】ハウス内での無線を介したストリーミングを示す図である。
【図３】仮想クロックを示す図である。
【手続補正書】
【提出日】平成18年11月24日(2006.11.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のテレビジョン信号のチャネルのための受信機と、
テレビジョンチャネルの信号を表示するための手段と、
別のテレビジョンチャネルの信号を入力するための手段と、
主要な表示に対して付加的な縮小された画像として１つのチャネルを表示するための手段とを備え、
該主要な表示チャネル及び該縮小された画像チャネルは、該複数のテレビジョンチャネルの指定されたサブセットにある、
ことを特徴とするテレビジョン表示装置。
【請求項２】
該サブセットは、１つのチャネルプロバイダにより動作されるチャネルを有する、
請求項１記載のテレビジョン表示装置。
【請求項３】
該縮小された画像として第一の表示されたチャネルが表示され、フルイメージとして第二の表示されたチャネルが表示される、
請求項１又は２記載のテレビジョン表示装置。
【請求項４】
フルイメージを表示するため、該サブセットのチャネル間で切り替えるための手段を有する、
請求項３記載のテレビジョン表示装置。
【請求項５】
該縮小された画像を表示するため、該サブセットのチャネル間で切り替えるための手段を有する、
請求項３又は４記載のテレビジョン表示装置。
【請求項６】
該サブセットの全てのチャネル間で連続的に切り替えるためのオートマチック手段を有する、
請求項４又は５記載のテレビジョン表示装置。
【請求項７】
該オートマチック手段は、該オートマチック手段の動作のためのボタンが解除されたときに動作を停止する、
請求項６記載のテレビジョン表示装置。
【請求項８】
該チャネルのうちの１つは、広告のブレイク又は番組のブレイクにある、
請求項１乃至７のいずれか記載のテレビジョン表示装置。
【請求項９】
該チャネルは広告のブレイク又は番組のブレイクにあるときを検出するための手段を有する、
請求項１乃至８のいずれか記載のテレビジョン表示装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載されるか、及び／又は図１及び図２の１つ以上に例示されるテレビジョン表示装置。
【請求項１１】
複数のテレビジョン信号のチャネルを受信するステップと、
テレビジョンチャネルの信号を表示するステップと、
別のテレビジョンチャネルの信号を入力するステップと、
該主要な表示に対して付加的な縮小された画像として１つのチャネルを表示するステップとを備え、
該主要な表示チャネルと該縮小された画像チャネルは、該複数のテレビジョンチャネルの指定されたサブセットにある、
ことを特徴とするテレビジョン表示装置の動作方法。
【請求項１２】
該サブセットは、１つのチャネルプロバイダにより動作されるチャネルを有する、
請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
該縮小された画像として第一の表示されたチャネルを表示し、フルイメージとして第二の表示されたチャネルを表示するステップを有する、
請求項１１又は１２記載の方法。
【請求項１４】
フルイメージを表示するため、該サブセットのチャネル間で切り替えるステップを有する、
請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
該縮小された画像を表示するため、該サブセットのチャネル間で切り替えるステップを有する、
請求項１３又は１４記載の方法。
【請求項１６】
該サブセットの全てのチャネル間で自動的に連続的に切り替えるステップを有する、
請求項１４又は１５記載の方法。
【請求項１７】
該オートマチック手段の動作のためのボタンが解除されたときに動作を自動的に停止するステップを有する、
請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
該チャネルのうちの１つは、広告のブレイク又は番組のブレイクにある、
請求項１１乃至１７のいずれか記載の方法。
【請求項１９】
該チャネルは広告のブレイク又は番組のブレイクにあるときを検出するステップを有する、
請求項１１乃至１８のいずれか記載の方法。
【請求項２０】
請求項１１乃至１９のいずれかに記載されるか、及び／又は図１及び図２の１つ以上に例示されるテレビジョン表示装置を動作させる方法。
【請求項２１】
デジタルコンピュータの内部メモリに直接ロード可能なコンピュータプログラムであって、該プロダクトがコンピュータで実行されたとき、請求項１１乃至２０のいずれかに記載のステップを実行するためのソフトウェアコードを有する、
ことを特徴とするコンピュータプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月15日(2006.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水中に固定され水上構造物を支持する基礎である垂直推力ブロック型の水中浮き土台（６，１３，１６）の上部空間を風力タービン（１２）支持用に、また当該空間のうち水中部分を魚類養殖設備（７）設置用にそれぞれ使用することを特徴とする浮き土台。
【請求項２】
請求項１に記載の浮き土台において、前記浮き土台本体（１６）は、水乃至気体により充填可能な中空コンクリート室により形成されることを特徴とする浮き土台。
【請求項３】
空気充填可能な浮き土台本体（構造）（６，１３，１６）を指定場所へ移送し、波動域（８）直下に沈めて位置決めし、海底（１）面上に重力のみで位置決めされた平衡錐（２）により、またケーブル（３）及び支柱を介しこの浮き土台本体を係留することを特徴とする、請求項１に記載の浮き土台を形成する方法。
【請求項４】
請求項３に記載の方法において、前記浮き土台本体（６，１３，１６）が円筒状又は多角形状の受容部を有し、その十分広く且つ好ましくは平坦な上面及び下面に適切な取付具を装着し、この取付具によりケーブル（３）及び支柱を固定すると共に、当該浮き土台本体により支持されるか、又は水上に突出する構造物（１０）を固定することを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の方法において、前記浮き土台本体（６，１３，１６）及び全ての固定器具を水上にてその最終位置に向け引っ張る工程を有することを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項３乃至５のいずれか１に記載の方法において、海底（１）に対し固定しようとする前記浮き土台本体（６，１３，１６）内に、浮き土台本体に積載済のバラスト重量に見合う適量の水を導入することにより、当該浮き土台本体を波動域（８）直下にあるその使用位置まで部分沈降させ、またその浮き土台本体の平衡位置を正確に指定レベルに合わせる工程を有することを特徴とする方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法において、コンクリートにより形成され、また前記浮き土台本体（６，１３，１６）から降ろされ重力のみにより海底（１）面上に位置決めされる平衡錐（２）と、当該浮き土台本体とに、ケーブル（３）及び支柱を固定することにより、当該浮き土台本体を前記指定レベルに固定及び係留することを特徴とする方法。
【手続補正書】
【提出日】平成18年12月1日(2006.12.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クロス底バッグのチューブセクション（１）を加工するクロス底バッグ製造装置であって、該クロス底バッグ製造装置は、下記の特徴、すなわち、
チューブセクション（１）に異なる加工工程を実行する幾つかの加工ステーション（３０、３１）を有し、
このため、少なくとも１つの加工ステーション（３０、３１）には工具が設けられ、該工具は工具ローラ（７、９）上に取付けられ、かつ、該ローラ（７、９）の各回転中にその加工位置を通って走行し、前記加工ステーションには、更に、少なくとも１つのコンベアシステム（３、４、６）が設けられ、該コンベアシステム（３、４、６）は、幾つかの加工ステーション（３０、３１）を通してチューブセクション（１）を搬送し、かつ、本質的に、駆動ホイール（４）により駆動されるコンベアベルト（３）からなり、
駆動システム（５、１２）を有し、該駆動システム（５、１２）は駆動ホイール（４）および工具ローラ（７、９）を駆動し、かつ、１つのチューブセクション（１）が、少なくとも１つの加工ステーション（３０、３１）を通って走行する度毎に、工具ローラ（７、９）が１回転を完了するように、前記駆動ホイール（４）および前記工具ローラ（７、９）の回転運動を調和させる特徴を有するクロス底バッグ製造装置において、
前記駆動ホイール（４）は、前記工具ローラ（７、９）より小さい角速度で前記駆動システム（５、１２）によって駆動することができるように構成され、
前記駆動ホイール（４）は、前記工具ローラ（７、９）より大きい直径を有する、
ことを特徴とするクロス底バッグ製造装置。
【請求項２】
前記駆動システム（５、１２）は、前記駆動ホイール（４）の角速度と、前記工具ローラ（７、９）の角速度との間に２／３の比を形成することを特徴とする請求項１記載のバッグ製造装置。
【請求項３】
前記駆動システム（５、１２）は、べべルギヤ（２０）の補助を用いて、ラインギヤ（１２）から、少なくとも１つの前記駆動ホイール（４）にトルクを分岐し、かつ、下流側に配置されたプラネタリギア（２１）を介して、前記トルクを前記駆動ホイール（４）に伝達することを特徴とする請求項１または２記載のバッグ製造装置。
【請求項４】
クロス底バッグのチューブセクション（１）を加工する方法であって、下記の特徴すなわち、
チューブセクション（１）に幾つかの加工工程を実施し、該加工工程は異なる加工ステーション（３０、３１）で行われ、
このため、少なくとも１つの加工ステーション（３０、３１）では、回転工具ローラ（７、９）に取付けられ、かつ、該ローラ（７、９）の各回転中に加工位置を通って走行する工具を用いて加工工程が遂行され、
前記チューブセクション（１）が、駆動ホイール（４）により駆動されるコンベアベルト（３）を用いて、加工ステーション（７、８、９、１０）を通って搬送され、
前記駆動ホイール（４）および前記工具ローラ（７、９）の駆動により、上記両形式のローラ（４、７、９）の回転運動が整合され、これにより、１つのチューブセクション（１）が、少なくとも１つの加工ステーション（３０、３１）を通って走行する度毎に、前記工具ローラ（７、９）が１回転を完了する特徴を有する加工方法において、
前記駆動ホイール（４）が、前記工具ローラ（７、９）よりも小さい角速度で駆動されることを特徴とする加工方法。
【請求項５】
前記工具ローラ（７、９）の角速度に対する駆動ホイール（４）の角速度の比は２／３であることを特徴とする請求項４記載の加工方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
コンベアベルト３の速度およびチューブセクション１の搬送速度は、単位時間当りに進行する距離で定められる。しかしながら、この進行距離は、コンベアベルト３のスチールコード１３と、駆動ホイール４の軸線との間の距離に基いて定められる。以下、この距離を有効半径Ｒeffと呼ぶこととする。有効半径Ｒeffは、駆動ホイール４の半径と、スチールコード１３とコンベアベルト３の表面１７との間のゴム被覆１５の厚さＤとの合計である。表面１７は、駆動ホイール５の外周面と直接接触している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2006510513.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月15日(2007.3.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
方向変化が可能なスラスター（１８）に組み付けられた船尾側プロペラ（２２）と、シャフト（８）またはスラスターに組み付けられた船首側プロペラ（６）と、を備えた二重反転推進装置であって、
上記二つのプロペラは実質的に同一の軸線上に配置され、船尾側プロペラ（２２）と船首側プロペラ（６）は、互いに逆向きの回転方向を有し、且つハブキャップを有するハブをそれぞれ有し、船尾側プロペラ（２２）のハブキャップ（２６）と船首側プロペラ（６）のハブキャップ（３０）が互いに向かい合う二重反転推進装置であって、
少なくとも二枚の均等に配置されたフロープレート（２８）が、船首側プロペラ（６）のハブキャップ（３０）上に設けられ、且つ、これらのフロープレート（２８）は、ハブキャップ（３０）から径方向に突出していることを特徴とする二重反転推進装置。
【手続補正書】
【提出日】平成19年9月4日(2007.9.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体プラズマ処理中に処理パラメータを検出する半導体処理システムと関連して使用するＲＦ検出器であって、
該ＲＦ検出器は、
ＲＦ電力供給ラインに結合され、該半導体処理システムと関連したＡＣ電圧トランスデューサであって、該半導体処理システムの半導体プラズマ処理環境内でＲＦ電圧が生じると、該ＲＦ電力供給ラインからＲＦ電圧のＲＦ電圧サンプル測定を生成するＡＣ電圧トランスデューサと、
該ＲＦ電力供給ラインに結合され、該半導体処理システムと関連したＡＣ電流トランスデューサであって、該半導体プラズマ処理環境内で電流信号が生じると、該ＲＦ電力供給ラインからＡＣの電流信号サンプル測定を生成するＡＣ電流トランスデューサと
を備え、
該ＲＦ検出器は、さらに、該ＡＣ電圧トランスデューサからの信号出力をＤＣ成分とＲＦ成分とに分離し、該ＤＣ成分は、ＤＣ電圧パラメータを生成するためのものであり、該信号の該ＲＦ成分はＲＦ電圧パラメータを生成するためのものであり、
該ＲＦ検出器は、さらに、
ＲＦ電流出力を生成するＲＦ電流検出器と、
該ＲＦ電圧パラメータに対する該ＲＦ電流出力の位相角を出力する位相検出器と
を備え、
該ＲＦ検出器は、単一の集積ユニット内に形成され、
該ＲＦ検出器は、さらに、
該半導体プラズマ処理環境内のプラズマＲＦ負荷とＲＦ電力供給ネットワークとの間のＲＦ電力供給ラインに結合するための手段を備える、ＲＦ検出器。
【請求項２】
前記ＲＦ検出器は、さらに、前記単一の集積ユニット内のメモリユニットであって、前記ＡＣ電圧トランスデューサと、前記ＡＣ電流トランスデューサと、前記位相検出器とに関連した較正情報を格納することによって、該ＲＦ検出器が単一の集積ユニットとして動作することを可能にするメモリユニットを備える、請求項１に記載のＲＦ検出器。
【請求項３】
前記ＲＦ検出器は、前記ＲＦ電力供給ネットワークからのＲＦ電力の周波数と独立して動作する、請求項１に記載のＲＦ検出器。
【請求項４】
前記ＡＣ電圧トランスデューサと前記ＡＣ電流トランスデューサとに関連した動作のための回路であって、ＲＦ電力がＲＦ電力供給ネットワークに関連したインピーダンスマッチング回路の所定の負荷部分に達する前に、動作パラメータを検知することによって、該ＲＦ電力供給ネットワークの適切な動作を決定する回路をさらに備える、請求項１に記載のＲＦ検出器。
【請求項５】
前記インピーダンスマッチング回路の所定の負荷部分は、５０オームのインピーダンスマッチング回路を含む、請求項４に記載のＲＦ検出器。
【請求項６】
前記ＡＣ電圧トランスデューサと前記ＡＣ電流トランスデューサとに関連した動作のための回路であって、ＲＦ電力がインピーダンスマッチング回路の所定の負荷部分に達した後に、動作パラメータを検知することによって、ＲＦ電力供給ネットワークの適切な動作を決定する回路をさらに備える、請求項１に記載のＲＦ検出器。
【請求項７】
前記ＡＣ電圧トランスデューサと前記ＡＣ電流トランスデューサとに関連した動作のための回路であって、インピーダンスマッチングネットワークから前記半導体プラズマ処理環境内のプラズマＲＦ負荷への入力インピーダンスを決定する回路をさらに備える、請求項１に記載のＲＦ検出器。
【請求項８】
前記ＡＣ電圧トランスデューサと前記ＡＣ電流トランスデューサとに関連した動作のための回路であって、前記ＲＦ電力供給ネットワークから前記半導体プラズマ処理環境内のプラズマＲＦ負荷への電力転送効率を決定する回路をさらに備える、請求項１に記載のＲＦ検出器。
【請求項９】
半導体プラズマ処理中にプラズマ処理パラメータを検出する半導体処理システムと関連して使用する方法であって、
該方法は、
ＲＦ電力供給ラインに結合され、該半導体処理システムと関連したＡＣ電圧トランスデューサを使用して、該半導体処理システムの半導体プラズマ処理環境内でＲＦ電圧が生じると、該ＲＦ電力供給ラインからＲＦ電圧のＲＦ電圧サンプル測定を生成することと、
該ＲＦ電力供給ラインに結合され、該半導体処理システムと関連したＡＣ電流トランスデューサを使用して、該半導体プラズマ処理環境内で電流信号が生じると、該ＲＦ電力供給ラインからＡＣの電流信号サンプル測定を生成することと、
該ＡＣ電圧トランスデューサからの信号出力をＤＣ成分とＲＦ成分とに分離することであって、該ＤＣ成分は、ＤＣ電圧パラメータを生成するためのものであり、該信号の該ＲＦ成分はＲＦ電圧パラメータを生成するためのものである、ことと、
ＲＦ検出器のＲＦ電流検出器を使用して、ＲＦ電流出力を生成することと、
該ＲＦ検出器内の位相検出器を使用して、該ＲＦ電圧パラメータに対する該ＲＦ電流出力の位相角を出力することと、
単一の集積ユニットとしての該ＲＦ検出器を、該半導体プラズマ処理環境内のプラズマＲＦ負荷とＲＦ電力供給ネットワークとの間のＲＦ電力供給ラインに結合することと
を包含する、方法。
【請求項１０】
前記単一の集積ユニット内のメモリユニットにおいて、前記ＡＣ電圧トランスデューサと、前記ＡＣ電流トランスデューサと、前記位相検出器とに関連した較正情報を格納することによって、前記ＲＦ検出器が単一の集積ユニットとして動作することを可能にするステップをさらに包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記ＲＦ電力供給ネットワークからのＲＦ電力の周波数と独立して前記ＲＦ検出器を動作させるステップをさらに包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記ＡＣ電圧トランスデューサと前記ＡＣ電流トランスデューサとともに前記ＲＦ検出器を動作させるステップであって、ＲＦ電力がＲＦ電力供給ネットワークに関連したインピーダンスマッチング回路の所定の負荷部分に達する前に、動作パラメータを検知することによって、該ＲＦ電力供給ネットワークの適切な動作を決定するステップをさらに包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１３】
前記インピーダンスマッチング回路の所定の負荷部分は、５０オームのインピーダンスマッチング回路を含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
ＲＦ電力がインピーダンスマッチング回路の所定の負荷部分に達した後に、動作パラメータを検知することによって、ＲＦ電力供給ネットワークの適切な動作を決定することをさらに包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１５】
インピーダンスマッチングネットワークから前記半導体プラズマ処理環境内のプラズマＲＦ負荷への入力インピーダンスを決定するステップをさらに包含する、請求項９に記載の方法。
【請求項１６】
前記ＲＦ電力供給ネットワークから前記半導体プラズマ処理環境内のプラズマＲＦ負荷への電力転送効率を決定するステップをさらに包含する、請求項９に記載の方法。