(57)【要約】【課題】  従来のアルカリ洗浄剤はアルミなどの非鉄金属を容易に腐蝕させることから、アルミが部品の少なくとも一部に使用されている電子部品等の洗浄には使用できなかったため、アルミ非腐蝕性に優れたアルカリ洗浄剤を提供する。【解決手段】  有機アルカリ（Ａ）、水、並びに分子量３２〜数平均分子量５００のモノオール（Ｂ１）、分子量６２〜数平均分子量２５０のジオール（Ｂ２）、分子量９２〜数平均分子量４００の３〜９価のポリオール（Ｂ３）、および（Ｂ１）もしくは（Ｂ３）のアルキルエーテル（Ｂ４）からなる群から選ばれる１種または２種以上の親水性有機溶剤（Ｂ）を含有し、アルカリ金属またはアルカリ土類金属の含有率が１，０００ｐｐｍ以下であるアルカリ洗浄剤。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機アルカリ（Ａ）、水、並びに分子量３２〜数平均分子量５００のモノオール（Ｂ１）、分子量６２〜数平均分子量２５０のジオール（Ｂ２）、分子量９２〜数平均分子量４００の３〜９価のポリオール（Ｂ３）、および（Ｂ１）もしくは（Ｂ３）のアルキルエーテル（Ｂ４）からなる群から選ばれる１種または２種以上の親水性有機溶剤（Ｂ）を含有し、アルカリ金属またはアルカリ土類金属の含有率が１，０００ｐｐｍ以下であることを特徴とするアルカリ洗浄剤。
【請求項２】
（Ａ）を０．１〜２５重量％、水を２〜５０重量％および（Ｂ）を１１〜９５重量％含有してなる請求項１記載のアルカリ洗浄剤。］
【請求項３】
（Ｂ１）、（Ｂ２）および（Ｂ４）の合計と（Ｂ３）との重量比が７０〜９９／１〜３０である請求項１または２記載の洗浄剤。
【請求項４】
（Ａ）が、下記一般式（１）で示される化合物である請求項１〜３のいずれか記載のアルカリ洗浄剤。
【化１】
2006233029.tif 000004
［式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は、それぞれ同一でも異なっていてもよい炭素数１〜２４の１価の炭化水素基または−(Ａ1Ｏ)PＨで表される基、Ａ1は炭素数２〜４のアルキレン基、ｐは１〜６の整数を表す。］
【請求項５】
さらに、（Ｂ）以外のその他の親水性有機溶剤（Ｃ）、界面活性剤（Ｄ）およびその他の添加剤（Ｅ）を含有してなる請求項１〜４のいずれか記載のアルカリ洗浄剤。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか記載のアルカリ洗浄剤を用いて、超音波、シャワー、スプレー、浸漬および浸漬揺動洗浄からなる群から選ばれる１種または２種以上の方法で洗浄することを特徴とする電子部品、電気部品またはアルミ建材の洗浄方法。
【請求項７】
電子部品が、ガラス基板である請求項６記載の洗浄方法。
【請求項８】
ガラス基板が、少なくとも一部にアルミニウムを使用したガラス基板である請求項７記載の洗浄方法。
【請求項９】
請求項６〜８のいずれか記載の洗浄方法で洗浄し、リンスした後、乾燥して得られる電子部品、電気部品またはアルミ建材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品、電気部品、アルミ建材等に付着している油脂、樹脂、無機パーティクルなどを除去するのに使用されるアルカリ洗浄剤に関する。さらに詳しくは液晶パネルの垂直配向ポリイミド膜（とくに半焼成膜）の剥離液等として使用されるアルカリ洗浄剤に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、アルカリ洗浄剤は中性洗浄剤に比べて、油脂、樹脂、無機パーティクル等を除去する能力に優れることから、電子部品、電気部品、アルミ建材等の生産現場において幅広く使用されている。
【０００３】
しかしながら、アルカリ洗浄剤はアルミなどの非鉄金属を容易に腐蝕させるため、アルミが部品の少なくとも一部に使用されている電子部品等の洗浄には使用できないのが現状であった。例えば、電子部品とくに液晶パネルのポリイミド配向膜は、広視野角の液晶パネルの要望の増大とともに従来の水平配向タイプに代わって垂直配向タイプのポリイミド配向膜が増える趨勢にある。水平配向タイプは完全焼成（焼成温度：約１８０℃）前の半焼成状態（約８０℃で脱溶剤した半硬化膜）であれば、その不具合品はＮ−メチルピロリドンなどの溶剤でアルミ薄膜（配線）を腐蝕することなく配向膜を剥離できるが、垂直配向タイプの場合には、半焼成状態であっても溶剤では配向膜を剥離できないことから、アルカリ洗浄剤による剥離が行われている（例えば、特許文献１参照）。その際、ガラス基板のアルミ薄膜（配線）は腐蝕されるためアルミ薄膜部分をワックス等で保護した上で洗浄し、その後炭化水素等の溶剤でワックスを除去してガラス基板を再生させるか、配向膜と同時にアルミ薄膜（配線）を完全に剥離・溶解させてからガラス基板だけを再生させる方法がとられていた。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３０６６６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、アルミ非腐蝕性に優れたアルカリ洗浄剤、洗浄方法および洗浄された電子部品等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、上記目的を達成すべく鋭意研究した結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、有機アルカリ（Ａ）、水、並びに分子量３２〜数平均分子量５００のモノオール（Ｂ１）、分子量６２〜数平均分子量２５０のジオール（Ｂ２）、分子量９２〜数平均分子量４００の３〜９価のポリオール（Ｂ３）、および（Ｂ１）もしくは（Ｂ３）のアルキルエーテル（Ｂ４）からなる群から選ばれる１種または２種以上の親水性有機溶剤（Ｂ）を含有し、アルカリ金属またはアルカリ土類金属の含有率が１，０００ｐｐｍ以下であることを特徴とするアルカリ洗浄剤；該洗浄剤を用いて、超音波、シャワー、スプレー、浸漬および浸漬揺動洗浄からなる群から選ばれる１種または２種以上の方法で洗浄することを特徴とする電子部品、電気部品またはアルミ建材の洗浄方法；該洗浄方法で洗浄し、リンスした後、乾燥して得られる電子部品、電気部品またはアルミ建材である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のアルカリ洗浄剤は、下記の効果を奏する。
（１）アルミ非腐蝕性に優れる。
（２）液晶パネル用ガラス基板のアルミ配線、カラーフィルター部材にダメージを与えずに半焼成垂直配向ポリイミド膜を短時間に剥離・洗浄できる。
（３）配向膜剥離洗浄工程（ガラス基板再生工程）において従来のガラス基板の再生だけでなく、アルミ配線、カラーフィルター部材も同時に再生使用できる。
（４）油分、指紋、樹脂および無機パーティクルを除去する能力にも優れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明における有機アルカリ（Ａ）には、以下の（Ａ１）〜（Ａ５）およびこれらの混合物が含まれる。
【０００９】
（Ａ１）ヒドロキシルアミン［炭素数（以下、Ｃと略記）２〜２２］
モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエタノールアミン等；
【００１０】
（Ａ２）モノアミン（Ｃ１〜２４）
脂肪族アミン［１級アミン（エチルアミン、ブチルアミン、ラウリルアミン等）、２級アミン（ジエチルアミン、ジブチルアミン等）、３級アミン（トリメチルアミン、トリエチルアミン等）等］、脂環式アミン［１級アミン（シクロヘキシルアミン等）、２級アミン（ジシクロヘキシルアミン等）等］、複素環式アミン［２級アミン（モルホリン、ピペリジン、２−ピペコリン等）、３級アミン（Ｎ−メチルピペリジン、Ｎ−メチルモルホリン等）等］および芳香環含有アミン［１級アミン（アニリン、ベンジルアミン等）、２級アミン（Ｎ−メチルアニリン等）、３級アミン（Ｎ−ジメチルアニリン、ピリジン、キノリン等）等］；
【００１１】
（Ａ３）ポリアミン（Ｃ２〜１８）
（Ａ３−１）脂肪族ポリアミン（Ｃ２〜１８）
Ｃ２〜６のアルキレンジアミン（エチレンジアミン、プロピレンジアミン、トリメチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン等）、ポリアルキレン（Ｃ２〜６）ポリアミン［ジエチレントリアミン、イミノビスプロピルアミンビス（ヘキサメチレン）トリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン等］、これらのアルキル（Ｃ１〜４）またはヒドロキシアルキル（Ｃ２〜４）置換体［ジアルキル（Ｃ１〜３）アミノプロピルアミン、トリメチルヘキサメチレンジアミン、アミノエチルエタノールアミン、２，５−ジメチル−２，５−ヘキサメチレンジアミン、メチルイミノビスプロピルアミン等］、脂環または複素環含有脂肪族ポリアミン〔３，９−ビス（３−アミノプロピル）−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５，５］ウンデカン等〕等
（Ａ３−２）脂環式ポリアミン（Ｃ４〜１５）
１，３−ジアミノシクロヘキサン、イソホロンジアミン、メンセンジアミン、４，４’−メチレンジシクロヘキサンジアミン（水添メチレンジアニリン）等
（Ａ３−３）複素環式ポリアミン（Ｃ４〜１５）
ピペラジン、Ｎ−アミノエチルピペラジン、１，４−ジアミノエチルピペラジン、１，４ビス（２−アミノ−２−メチルプロピル）ピペラジン等
（Ａ３−４）芳香環含有ポリアミン（Ｃ６〜２０）
非核置換芳香環含有ポリアミン［１，２−、１，３−および１，４−フェニレンジアミン、２，４’−および４，４’−ジフェニルメタンジアミン、クルードジフェニルメタンジアミン（ポリフェニルポリメチレンポリアミン）、ベンジジン、チオジアニリン、２，６−ジアミノピリジン、ｍ−アミノベンジルアミン、トリフェニルメタン−４，４’，４”−トリアミン、ナフチレンジアミン等］、核置換アルキル基（Ｃ１〜４）を有する芳香環含有ポリアミン［２，４−および２，６−トリレンジアミン、ジエチルトリレンジアミン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジメチルジフェニルメタン、１，３−ジメチル−２，４−ジアミノベンゼン、１，３−ジメチル−２，６−ジアミノベンゼン、２，４−ジアミノメシチレン、１，３，５−トリエチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−メチル−３，５−ジエチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−メチル−３，５−ジエチル−２，６−ジアミノベンゼン、２，３−ジメチル−１，４−ジアミノナフタレン、３，３’，５，５’−テトラメチルベンジジン、３，３’，５，５’−テトラメチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン等］、２級アミノ基を有する芳香環含有ポリアミン〔上記の芳香環含有ポリアミンの−ＮＨ2の一部または全部が−ＮＨ−Ｒ（ＲはＣ１〜４、例えばメチル、エチル等の低級アルキル基）で置換されたもの［４，４’−ジ（メチルアミノ）ジフェニルメタン、１−メチル−２−メチルアミノ−４−アミノベンゼン等］等〕；
【００１２】
（Ａ３−５）その他のポリアミン〔数平均分子量［以下、Ｍｎと略記。測定はゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）による］２００〜２，０００〕
ポリエーテルポリアミン［ポリエーテルポリオール（ポリアルキレングリコール等）のシアノエチル化物の水素化物等］、ポリエチレンイミン、ポリビニルアミン、ポリ（ジ）アリルアミン等；
【００１３】
（Ａ４）アミジン骨格を含有する化合物
グアニジン化合物〔グアニジン、メチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、エチルグアニジン、１，３，４，６，７，８−ヘキサヒドロ−２Ｈ−ピリミド［１，２−ａ］ピリミジン、１，３，４，６，７，８−ヘキサヒドロ−１−メチル−２Ｈ−ピリミド［１，２−ａ］ピリミジン等〕、環式および非環式アミジン化合物〔１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］ウンデセン−７、１，６−ジアザビシクロ［４，３，０］ノネン−５等〕等；
【００１４】
（Ａ５）下記一般式（１）で表される有機アルカリ
【化２】
2006233029.tif 000002
【００１５】
式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は、それぞれ同一でも異なっていてもよいＣ１〜２４、好ましくは１〜１４の炭化水素基または−（Ａ1Ｏ）pＨで表される基であり、Ａ1はＣ２〜４のアルキレン基、ｐは１〜６の整数を表す。
Ｃ１〜２４の炭化水素基としては、直鎖もしくは分岐の脂肪族飽和または不飽和炭化水素基、脂環式炭化水素基および芳香環含有炭化水素基等が挙げられる。
直鎖もしくは分岐の脂肪族飽和炭化水素基としては、アルキル（メチル、エチル、ｎ−、ｉ−、ｓｅｃ−およびｔ−ブチル、オクチル、２−エチルへキシル、オクタデシル等）基；直鎖もしくは分岐の脂肪族不飽和炭化水素基としては、アルケニル（ビニル、プロペニル、アリル、ブテニル等）基；脂環式炭化水素基としては、シクロアルキル基（シクロヘキシル基等）；芳香環含有炭化水素基としては、アリール（フェニル、ナフチル等）基、アラルキル（ベンジル、フェネチル等）基、アルキルアリール（メチルフェニル、エチルフェニル、ノニルフェニル、メチルナフチル、エチルナフチル）基等が挙げられる。
これらの炭化水素基のうち洗浄性の観点から好ましいのは直鎖もしくは分岐の脂肪族炭化水素基、さらに好ましいのはアルキル基およびアルケニル基である。
Ｒ1〜Ｒ4のＣが２４以下であると洗浄性（または剥離性、以下同じ）に優れる。
【００１６】
式中、Ａ1としては、エチレン基、プロピレン基およびブチレン基等のＣ２〜４のアルキレン基が挙げられる。
Ａ1のＣが４以下であると洗浄性が良好である。ｐは１〜６（好ましくは１〜３）の整数であり、ｐが６以下であると洗浄性が良好である。
【００１７】
一般式（１）におけるカチオンの例としては、下記［１］〜［４］のテトラハイドロカルビルアンモニウムカチオン、下記［５］のオキシアルキレン基を有するアンモニウムカチオンおよびこれらの混合物が挙げられる。
［１］Ｃ１〜６のアルキル基を４個含むカチオン
テトラメチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウム、テトラ（ｎ−およびｉ−）プロピルアンモニウム、テトラ（ｎ−、ｉ−およびｔ−）ブチルアンモニウム、テトラペンチルアンモニウム、テトラヘキシルアンモニウム、トリメチルエチルアンモニウムおよびテトラエチルアンモニウム等；
［２］Ｃ１〜６のアルキル基を３個とＣ７〜２４のハイドロカルビル基を１個含むカチオン
トリメチルへプチルアンモニウム、トリメチルオクチルアンモニウム、トリメチルデシルアンモニウム、トリメチルドデシルアンモニウム、トリメチルステアリルアンモニウム、トリメチルベンジルアンモニウム、トリエチルへキシルアンモニウム、トリエチルオクチルアンモニウム、トリエチルステアリルアンモニウム、トリエチルベンジルアンモニウム、トリブチルアンモニウム、トリブチルオクチルアンモニウムおよびトリへキシルステアリルアンモニウム等；
［３］Ｃ１〜６のアルキル基を２個とＣ７〜２４のハイドロカルビル基を２個含むカチオン
ジメチルジオクチルアンモニウム、ジエチルジオクチルアンモニウムおよびジメチルジベンジルアンモニウム等；
［４］Ｃ１〜６のアルキル基を１個とＣ７〜２４のハイドロカルビル基を３個含むカチオン
メチルトリオクチルアンモニウム、エチルトリオクチルアンモニウムおよびメチルオクチルジベンジルアンモニウム等；
【００１８】
［５］オキシアルキレン基を有するアンモニウム
（ｉ）オキシアルキレン基を１個有するカチオン
ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウム、ヒドロキシエチルトリエチルアンモニウム、ヒドロキシプロピルトリメチルアンモニウム、ヒドロキシプロピルトリエチルアンモニウム、ヒドロキシエチルジメチルエチルアンモニウムおよびヒドロキシエチルジメチルオクチルアンモニウム等；
（ｉｉ）オキシアルキレン基を２個有するカチオン
ジヒドロキシエチルジメチルアンモニウム、ジヒドロキシエチルジエチルアンモニウム、ジヒドロキシプロピルジメチルアンモニウム、ジヒドロキシプロピルジエチルアンモニウム、ジヒドロキシエチルメチルエチルアンモニウム、ジヒドロキシエチルメチルオクチルアンモニウムおよびビス（２−ヒドロキシエトキシエチル）オクチルアンモニウム等；
（ｉｉｉ）オキシアルキレン基を３個有するカチオン
トリヒドロキシエチルメチルアンモニウム、トリヒドロキシエチルエチルアンモニウム、トリヒドロキシエチルブチルアンモニウム、トリヒドロキシプロピルメチルアンモニウム、トリヒドロキシプロピルエチルアンモニウムおよびトリヒドロキシエチルオクチルアンモニウム等；
【００１９】
一般式（１）におけるカチオンのうち、洗浄性とリンス性の観点から好ましいのはテトラハイドロカルビルアンモニウム、さらに好ましいのは、上記［１］および［２］、特に好ましいのは［１］、最も好ましいのはテトラメチルアンモニウム、テトラエチルアンモニウムおよびこれらの併用である。
【００２０】
本発明における（Ｂ１）には、Ｃ１〜１２の脂肪族アルコール、Ｃ３〜１２の脂環式アルコール、Ｃ６〜１２の芳香環含有アルコール、これらのアルコールのアルキレンオキシド（以下、ＡＯと略記）［Ｃ２〜４、例えばエチレンオキシド（以下ＥＯと略記）、プロピレンオキシド、ブチレンオキシド、以下同じ。］付加物およびこれらの混合物が含まれる。
Ｃ１〜１２の脂肪族アルコールとしてはメタノール、エタノール、ｎ−およびｉ−プロパノールおよびｎ−、ｉ−、ｓｅｃ−およびｔ−ブタノール等が挙げられ、該アルコールのＡＯ付加物としてはエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルおよびジエチレングリコールモノブチルエーテル等が挙げられる。
Ｃ３〜１２の脂環式アルコールとしては、シクロヘキサノールおよび２−メチルシクロヘキサノール等が挙げられ、該アルコールのＡＯ付加物としては、エチレングリコールシクロヘキシルエーテル、ジエチレングリコールシクロヘキシルエーテルおよびプロピレングリコールシクロヘキシルエーテル等が挙げられる。
Ｃ６〜１２の芳香環含有アルコールとしては、ベンジルアルコール等が挙げられ、該アルコールのＡＯ付加物としては、ベンジルアルコールのＡＯ１〜５モル付加物等が挙げられる。該アルコールには、フェノール化合物［Ｃ６〜２０、例えばフェノール、ｏ−、ｍ−およびｐ−クレゾール］のＡＯ付加物、例えばエチレングリコールモノフェニルエーテルおよびジエチレングリコールモノフェニルエーテルも含まれる。
これらのうち洗浄性とアルミ非腐蝕性の観点から好ましいのは、エチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、およびさらに好ましいのはジエチレングリコールモノメチルエーテルである。
【００２１】
（Ｂ１）の分子量は、分子量３２〜Ｍｎ５００、好ましくは分子量５６〜Ｍｎ４００、さらに好ましくは分子量７６〜Ｍｎ３５０である。分子量３２未満のものは存在せず、Ｍｎが５００を超えると洗浄性およびリンス性がが悪くなる。
【００２２】
本発明における（Ｂ２）には、アルカンジオール（Ｃ２〜８、例えばエチレングリコール、１，２−および１，３−プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，６−ヘキサンジオールおよびネオペンチルグリコール）、脂環式ジオール（Ｃ６〜１５、例えばシクロヘキサン−１，２−、１，３−および１，４−ジオール、シクロペンタン−１，２−および１，３−ジオール並びに水素添加ビスフェノールＡ）、分子中にエーテル基を１個有するジオール（Ｃ２〜８、例えばジエチレングリコールおよびジプロピレングリコール）、並びにこれらの混合物が含まれる。
これらのうち洗浄性とアルミ非腐蝕性の観点から好ましいのは、ジエチレングリコール、およびさらに好ましいのはエチレングリコールおよびプロピレングリコールである。
【００２３】
（Ｂ２）の分子量は、分子量６２〜数平均分子量２５０、好ましくは分子量６２〜１５０、さらに好ましくは分子量６２〜Ｍｎ１２０である。分子量６２未満のものは存在せず、Ｍｎが２５０を超えると洗浄性およびリンス性が悪くなる。
【００２４】
本発明における（Ｂ３）には、３〜９価の多価アルコール、例えば（シクロ）アルカンポリオールおよびそれらの分子内もしくは分子間脱水物［グリセリン、トリメチロールエタン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ソルビトールおよびジペンタエリスリトール、１，２ ，６−ヘキサントリオール、エリスリトール、シクロヘキサントリオール、マンニトール、キシリトール、ソルビタン、ジグリセリン、トリグリセリンその他のポリグリセリン等］、糖類およびその誘導体［例えばショ糖、グルコース、フラクトース、マンノース、ラクトース、およびグリコシド（メチルグルコシド等）］、並びにこれらのＡＯ付加物（付加モル数１〜７モル）が含まれる。
これらのうちで洗浄性とリンス性の観点から好ましいのは、ジグリセリン、トリグリセリンおよびキシリトール、およびさらに好ましいのはグリセリンおよびソルビトールである。
【００２５】
（Ｂ３）の分子量は、分子量９２〜Ｍｎ４００、好ましくは分子量９２〜Ｍｎ３５０、さらに好ましくは分子量９２〜Ｍｎ３００である。分子量９２未満のものは存在せず、Ｍｎが４００を超えるとリンス性が悪くなる。
【００２６】
本発明における（Ｂ４）は、（Ｂ１）、もしくは（Ｂ３）のアルキル（Ｃ１〜８、好ましくは１〜２）エーテルである。
（Ｂ４）としては、（Ｂ１）のアルキルエーテル（Ｂ４−１）および（Ｂ３）のモノ−およびポリ（２価〜９価）アルキルエーテル（Ｂ４−２）等が挙げられる。
（Ｂ４−１）は下記の一般式（２）で表される。
Ｒ5Ｏ（Ａ1Ｏ）n−Ｒ6              （２）
［式中、Ｒ5およびＲ6は同一または異なっていてもよいＣ１〜８の炭化水素基、Ａ1は前記に同じ、ｎは１〜４の整数を表す。］
（Ｂ４−１）の具体例としては、ジエチレングリコールジメチル−およびジエチルエーテル、トリエチレングリコールジメチル−およびジエチルエーテル等が挙げられる。
（Ｂ４−２）のうちモノアルキルエーテルとしては、グリセリンモノメチルエーテル、ジグリセリンモノメチルエーテルおよびソルビトールモノメチルエーテル等、ジアルキルエーテルとしては、グリセリン１，２−ジメチルエーテル、グリセリン１，３−ジメチルエーテル、グリセリン１，３−ジエチルエーテルおよびグリセリン１−エチル−２−プロピルエーテル等、およびポリ（３価〜９価）アルキルエーテルとしては、該当する数の水酸基がアルキルエーテル基に置換されたものが挙げられる。
これらのうち洗浄性とアルミ非腐蝕性の観点から好ましいのは、ジエチレングリコールジメチルエーテル、およびさらに好ましいのはジエチレングリコールジエチルエーテルである。
【００２７】
上記（Ｂ）のうち洗浄性とアルミ非腐蝕性の観点から好ましいのは、（Ｂ２）／（Ｂ３）の併用、および（Ｂ１）／（Ｂ３）／（Ｂ４）の併用、およびさらに好ましいのは（Ｂ１）／（Ｂ３）の併用である。
併用する場合、洗浄性とアルミ非腐蝕性の観点から、（Ｂ１）、（Ｂ２）および（Ｂ４）の合計と（Ｂ３）との重量比は、好ましくは７０〜９９／１〜３０、さらに好ましくは８０〜９８／２〜２０である。
【００２８】
本発明における水としてはとくに限定されず、イオン交換水、水道水または蒸留水のいずれでもよい。水道水を使用する場合は、アルカリ金属またはアルカリ土類金属の含有率は、好ましくはそれぞれ１００ｐｐｍ以下である。
【００２９】
本発明のアルカリ洗浄剤の全重量に基づく（Ａ）、水および（Ｂ）の割合は、洗浄性とアルミ非腐蝕性の観点から、（Ａ）は、好ましくは０．１〜２５％、さらに好ましくは０．２〜１５％、水は、好ましくは２〜５０％、さらに好ましくは３〜４０％、（Ｂ）は好ましくは１１〜９５％、さらに好ましくは２０〜９０％である。
また、（Ｂ）の重量に基づく（Ｂ１）〜（Ｂ４）の割合は、（Ｂ１）は、好ましくは１０〜９０％、さらに好ましくは１５〜８５％、（Ｂ２）は、好ましくは０〜８０％、さらに好ましくは０〜７０％、（Ｂ３）は、好ましくは１〜２０％、さらに好ましくは２〜１５％、（Ｂ４）は好ましくは０〜５０％、さらに好ましくは０〜４０％である
【００３０】
本発明の洗浄剤には、（Ａ）、（Ｂ）および水以外に、必要によりさらに他の親水性有機溶剤（Ｃ）、界面活性剤（Ｄ）およびその他の添加剤（Ｅ）を含有させてもよい。
【００３１】
他の親水性有機溶剤（Ｃ）としては、種々の溶剤、例えば窒素原子含有溶剤［Ｃ５〜１２、例えばピロリドン化合物（Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ−エチルピロリドン、２−ピロリドン等）、およびホルムアミド化合物（Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド等）］；ラクトン［Ｃ３〜１２、例えばプロピオラクトン、ブチロラクトン］；ケトン［Ｃ３〜１２、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール］；環状エーテル［Ｃ３〜１２、例えばテトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン］；エステル［Ｃ３〜１２、例えば酢酸エチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、アセト酢酸エチル］が挙げられる。
これらのうちで好ましいのは、窒素原子含有溶剤およびラクトン、さらに好ましいのはＮ−メチルピロリドンおよびブチロラクトンである。
（Ｃ）の含有量は、洗浄剤の全重量に基づいて通常５０％以下、好ましくは１０〜３０％である。
【００３２】
界面活性剤（Ｄ）としては、非イオン界面活性剤（Ｄ１）、アニオン界面活性剤（Ｄ２）、カチオン界面活性剤（Ｄ３）、両性界面活性剤（Ｄ４）およびこれらの混合物が挙げられる。但し、（Ｄ１）には、上記の（Ｂ）は含まれず、（Ｄ３）には一般式（１）で示される有機アルカリは含まれない。
【００３３】
（Ｄ１）としては、ＡＯ付加型非イオン界面活性剤〔高級アルコール（Ｃ８〜１８）、アルキルフェノール（Ｃ１０〜２４）、高級脂肪酸（Ｃ８〜３０、以下同じ）または高級アルキルアミン（Ｃ８〜２４）等に直接ＡＯを付加させたもの（Ｍｎ１５８〜２００，０００）；ポリオキシアルキレン（Ｍｎ１５０〜６，０００）に高級脂肪酸等を反応させたもの；ジオール［前記（Ｂ２）として例示したもの等］または３〜９価のポリオール［前記（Ｂ３）として例示したもの］等の水酸基含有化合物に高級脂肪酸を反応させて得られたエステル化物にＡＯを付加させたもの（Ｍｎ２５０〜３０，０００）、高級脂肪酸アミドにＡＯを付加させたもの（Ｍｎ２００〜３０，０００）、多価アルコール（前記のもの）アルキル（Ｃ８〜６０）エーテルにＡＯを付加させたもの（Ｍｎ１２０〜３０，０００）等〕、および多価アルコール（Ｃ３〜２０）型非イオン界面活性剤［多価アルコール脂肪酸（Ｃ８〜６０）エステル、多価アルコールアルキル（Ｃ８〜６０）エーテル、脂肪酸（Ｃ８〜６０）アルカノールアミド等］等が挙げられる。
【００３４】
（Ｄ２）としては、例えば、カルボン酸（Ｃ８〜２２の飽和または不飽和脂肪酸）またはその塩、カルボキシメチル化物の塩［Ｃ８〜１６の脂肪族アルコールおよび／またはそのＥＯ（１〜１０モル）付加物などのカルボキシメチル化物の塩等］、硫酸エステル塩［高級アルコール硫酸エステル塩（Ｃ８〜１８の脂肪族アルコールの硫酸エステル塩等）等］、高級アルキルエーテル硫酸エステル塩［Ｃ８〜１８の脂肪族アルコールのＥＯ（１〜１０モル）付加物の硫酸エステル塩等］、硫酸化油（天然の不飽和油脂または不飽和のロウをそのまま硫酸化して中和した塩）、硫酸化脂肪酸エステル（不飽和脂肪酸の低級アルコールエステルを硫酸化して中和した塩）、硫酸化オレフィン（Ｃ１２〜１８のオレフィンを硫酸化して中和した塩）、スルホン酸塩［アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩、スルホコハク酸ジエステル型、α−オレフィン（Ｃ１２〜１８）スルホン酸塩、イゲポンＴ型等］およびリン酸エステル塩［高級アルコール（Ｃ８〜６０）リン酸エステル塩、高級アルコール（Ｃ８〜６０）ＥＯ付加物リン酸エステル塩、アルキル（Ｃ４〜６０）フェノールＥＯ付加物リン酸エステル塩等］が挙げられる。
上記の塩としては、アンモニウム塩、アルキルアミン（Ｃ１〜２０）塩およびアルカノールアミン（Ｃ２〜１２、例えばモノー、ジ−およびトリエタノールアミン）塩等が挙げられる。
【００３５】
（Ｄ３）としては、第４級アンモニウムのハロゲン塩型［テトラアルキル（Ｃ４〜１００）アンモニウムクロライド、例えばラウリルトリメチルアンモニウムクロライド、ジデシルジメチルアンモニウムクロライド、ジオクチルジメチルアンモニウムブロマイド、ステアリルトリメチルアンモニウムブロマイド；トリアルキル（Ｃ３〜８０）ベンジルアンモニウムクロライド、例えばラウリルジメチルベンジルアンモニウムクロライド（塩化ベンザルコニウム）；アルキル（Ｃ２〜６０）ピリジニウム塩、例えばセチルピリジニウムクロライド；ポリオキシアルキレン（Ｃ２〜４）トリアルキルアンモニウムクロライド、例えばポリオキシエチレントリメチルアンモニウムクロライド；サパミン型第４級アンモニウム塩、例えばステアラミドエチルジエチルメチルアンモニウムメトサルフェート］、アミン塩型［高級脂肪族アミン（Ｃ１２〜６０、例えばラウリルアミン、ステアリルアミン、セチルアミン、硬化牛脂アミン、ロジンアミン）の無機酸（塩酸、硫酸、硝酸およびリン酸等）塩または有機酸（Ｃ２〜２２、例えば酢酸、プロピオン酸、ラウリル酸、オレイン酸、安息香酸、コハク酸、アジピン酸、アゼライン酸）塩；脂肪族アミン（Ｃ１〜３０）のＥＯ付加物等の無機酸（前記のもの）塩または有機酸（前記のもの）塩；３級アミン（トリエタノールアミンモノステアレート、ステアラミドエチルジエチルメチルエタノールアミン等）の無機酸（前記のもの）塩または有機酸（前記のもの）塩など］などが挙げられる。
【００３６】
（Ｄ４）としては、アミノ酸型両性界面活性剤［高級アルキルアミン（Ｃ１２〜１８）のプロピオン酸アンモニウム等］、ベタイン型両性界面活性剤［アルキル（Ｃ１２〜１８）ジメチルベタイン、アルキル（Ｃ１２〜１８）ジヒドロキシエチルベタイン、ヤシ油脂肪酸アミドプロピルベタイン等］、硫酸エステル塩型両性界面活性剤［高級アルキル（Ｃ８〜１８）アミンの硫酸エステルアミン塩、ヒドロキシエチルイミダゾリン硫酸エステルアミン塩等］、スルホン酸塩型両性界面活性剤（ペンタデシルスルホタウリン、イミダゾリンスルホン酸等）、リン酸エステル塩型両性界面活性剤［グリセリン高級脂肪酸（Ｃ８〜２２）エステル化物のリン酸エステルアミン塩］等が挙げられる。
【００３７】
（Ｄ１）〜（Ｄ４）のうちでは、洗浄性とアルミ非腐蝕性の観点から好ましいのは（Ｄ２）、およびさらに好ましいのは（Ｄ１）である。
（Ｄ）の含有量は、洗浄剤の全重量に基づいて、通常３０％以下、好ましくは１〜２０％である。
【００３８】
その他の添加剤（Ｅ）としては、防錆剤［アミン（Ｃ６〜３０、例えばシクロヘキシルアミン、ラウリルアミン、ステアリルアミン）のＥＯ（２〜１０モル）付加物、クロム酸塩、亜硝酸塩、アミン（Ｃ６〜３０）の高級脂肪酸塩、ジカルボン酸（Ｃ１２〜２４）のアミン（モノエタノールアミン、ジエタノールアミン等）塩、ジカルボン酸（Ｃ１２〜２４）のアルカノールアミド（ドデセニルコハク酸ジエタノールアミド等）、ジカルボン酸（Ｃ１２〜２４）のアルカノールアミドアミン塩（ドデセニルコハク酸ジエタノールアミドジエタノールアミン塩等）等］、酸化防止剤［フェノール化合物（２，６−ジ−ｔ−ブチル−４−メチルフェノール等）、含硫化合物（ジラウリルチオジプロピオネート等）、リン化合物（トリフェニルホスファイト等）等］、金属イオン封鎖剤（エチレンジアミン四酢酸アミン塩、クエン酸アミン塩等）等が挙げられる。
（Ｅ）の含有量は、洗浄剤の全重量に基づいて、防錆剤は通常２０％以下、好ましくは０．５〜１０％、酸化防止剤は通常５％以下、好ましくは０．１〜１％、金属イオン封鎖剤は通常２０％以下、好ましくは０．５〜１０％である。
本発明の洗浄剤の重量に基づく、（Ｃ）、（Ｄ）および（Ｅ）の合計の含有量は、通常４０％以下、好ましくは３０％以下、さらに好ましくは２０％以下である。
【００３９】
本発明の洗浄剤は、（Ａ）、水、（Ｂ）および必要により（Ｃ）〜（Ｅ）を配合して、撹拌、混合して製造される。配合の順序はとくに限定されず、（Ａ）、（Ｂ）および水をまず一括配合して撹拌、混合し、その後必要により（Ｃ）〜（Ｅ）を添加する方法、（Ａ）、（Ｂ）、水および必要により（Ｃ）〜（Ｅ）を一括配合して撹拌、混合する方法のいずれでもよい。
【００４０】
本発明の洗浄剤中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の含有率は１，０００ｐｐｍ以下、好ましくは８００ｐｐｍ以下、さらに好ましくは０〜５００ｐｐｍである。該含有率が１，０００ｐｐｍを超えるとアルミ非腐蝕性が悪くなる。洗浄剤中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の含有率は、原子吸光分析法、プラズマ発光分析法または蛍光Ｘ線分析法等のいずれかの方法で分析できる。
【００４１】
本発明の洗浄剤は、通常、固体または液状であり、使いやすさの観点から好ましいのは液状で、液状の場合は透明または白濁液状のいずれでもよい。本発明の洗浄剤が液状の場合の２５℃における粘度（ｍｍ2／ｓ）は、通常２〜３００、洗浄性およびリンス性の観点から、好ましくは３〜１００ｍｍ2／ｓ、さらに好ましくは４〜５０ｍｍ2／ｓである。粘度はオストワルドまたはウベローデなどの粘度計にて測定できる。
本発明の洗浄剤のｐＨ（洗浄剤として１０重量％水溶液）は通常１０〜１４、洗浄性およびアルミ非腐蝕性の観点から、好ましくは１０．５〜１３．５である。
【００４２】
本発明の洗浄剤を用いて、例えば液晶パネル用ガラス基板の配向膜を剥離洗浄する方法としては、超音波、シャワー、スプレー、浸漬および浸漬揺動洗浄からなる群から選ばれる１種または２種以上の洗浄方法が適用できる。
洗浄時の本発明の洗浄剤は、必要によりさらに水で稀釈されて使用されてもよいが、好ましいのは上記の水の含有量の範囲内である。
【００４３】
洗浄温度は、通常１０〜７０℃、好ましくは１５〜６０℃程度である。洗浄時間は通常０．２〜１２０分、好ましくは０．５〜３０分である。水によるリンス温度は、通常５〜９０℃、好ましくは１０〜７０℃であり、リンス方法としては上記洗浄方法と同じ方法が適用できる。リンス後通常５０〜１５０℃、好ましくは６０〜１００℃で通常１〜１２０分間、好ましくは３〜６０分間加熱乾燥することにより清浄な液晶パネル用ガラス基板が得られ、再生使用することができる。
【００４４】
以下、実施例により本発明を詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。なお、以下において部は重量部を示す。
【００４５】
実施例１〜９、比較例１〜３
表１に記載の部数（純分表示）の各成分を、１Ｌのビーカー中で室温で十分に撹拌、混合して実施例および比較例の洗浄剤を作成した。
表１中の略号は下記の通りである。
Ａ−１  ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド
Ａ−２  ：テトラエチルアンモニウムハイドロオキサイド
Ａ−３  ：水酸化カリウム
Ｂ１−１：ジエチレングリコールモノメチルエーテル
Ｂ１−２：トリエチレングリコールモノメチルエーテル
Ｂ２−１：プロピレングリコール
Ｂ２−２：エチレングリコール
Ｂ３−１：グリセリン
Ｂ３−２：ソルビトール
Ｂ４−１：ジエチレングリコールジエチルエーテル
【００４６】
実施例および比較例で得られた洗浄剤の評価方法を以下に示し、評価結果を表１に示す。
【００４７】
１．配向膜剥離性
予めＩＴＯ膜（インジウム・スズ酸化膜）を形成されたガラス基板（２５×２５ｍｍ、厚さ０．７５ｍｍ）の上にポリイミド樹脂を塗布し、８０℃で焼き付ける作業を３回繰り返し、半焼成の垂直配向ポリイミド膜（膜厚５μｍ）が密着したガラス基板試験片を作成した。試験片を洗浄剤（２５℃）に所定時間浸漬後、試験片をステンレス網かごの上に置きイオン交換水で１分間シャワーリンスし、さらに裏側の面についても同様にリンスした。次に、試験片を７０℃の循風乾燥機中で１０分間乾燥後、顕微鏡で観察して配向膜剥離性を次の５段階で評価した。
＜評価基準＞
５：ガラス基板面に配向膜が全くなし。
４：ガラス基板面に配向膜が痕跡程度残っている。
３：ガラス基板面の一部に配向膜が少し残っている。
２：ガラス基板面の大部分に配向膜が残っている。
１：ガラス基板全面に配向膜が残っている。
【００４８】
２．腐蝕性
アルミ薄膜（膜厚０．１μｍ）が密着したガラス基板試験片（２５×２５ｍｍ、厚さ０．７５ｍｍ）を洗浄剤（４０℃）に所定時間浸漬し、アルミ薄膜が完全になくなり試験片が透明になるまでの時間を測定して腐蝕時間とした。腐蝕時間が長いほどアルミ非腐蝕性が良いことを示す。
【００４９】
３．アルカリ金属またはアルカリ土類金属含量の測定
プラズマ発光分析法により、以下の測定条件にて分析した。
＜測定条件＞
測定機器：ＩＣＰＳ−８０００［島津製作所（株）製］
試  料  ：実施例および比較例の洗浄剤を１％硝酸水溶液にて１０倍希釈
【００５０】
【表１】
2006233029.tif 000003
【００５１】
表１に示されるように、本発明の洗浄剤（実施例１〜９）は、１〜２分で半焼成垂直配向ポリイミド膜が剥離でき、しかも腐蝕時間が２４時間以上とアルミ非腐蝕性が非常に良好である。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明の洗浄剤は、アルミ非腐蝕性に優れることから、各種の電子部品、電気部品およびアルミ建材などの洗浄に使用され、好ましくは電子部品の洗浄、特にアルミニウムが部品の少なくとも一部に使用されている電子部品等の洗浄用として幅広く用いることができる。例えば液晶パネル用ガラス基板（配向膜パターン化の前の洗浄、不具合配向膜の剥離洗浄）、プリント基盤、プラズマディスプレイガラス基板、サーマルヘッド等の電子部品、エアコン冷却フィン、空気清浄機アルミ電極板、電気カミソリ刃等の電気部品、アルミ建材等が挙げられる。また、洗浄の対象物（汚れ）は、油分、指紋、樹脂、有機パーティクル等の有機物、無機パーティクル（ガラス粉、セラミック粉、金属粉等）等の無機物が挙げられる。本発明の洗浄剤はこれらのうち、とくに、液晶パネル用ガラス基板の洗浄（配向膜を薄膜化する前のガラス基板の洗浄、または配向膜が不具合となったガラス基板の洗浄）に好適に用いることができ、極めて有用性が高い。