(57)【要約】 【課題】  液晶パネルの検査を効率良く行うことができる液晶パネル検査方法を提供すること。【解決手段】  液晶パネルにおける個々の液晶画素に所定の駆動信号を印加して、互いに明部および暗部が逆転した市松模様の第一および第二市松画像を表示し、ＣＣＤカメラによって撮像する。画像処理によって、第一および第二市松画像の明部撮像データから白画像を、第一および第二市松画像の暗部撮像データから黒画像を構成する。第一および第二市松画像の検査を通じて縮退欠陥（ショート、リークなど）を、白画像の検査を通じて黒点欠陥を、黒画像の検査を通じて輝点欠陥を検出する。従来は、第一および第二市松画像、白画像、黒画像の合計４パターンの画像を表示していたところ、本発明では、第一および第二市松画像の２パターンの画像を表示するだけでよいので、欠陥検査を効率良く行える。【選択図】 図４
2006125931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マトリックス状に配置される画素を有する画像表示装置によって表示される画像に基づいて、前記画像表示装置の検査を行う画像表示装置検査方法であって、
前記画像表示装置における個々の画素に所定の駆動信号を印加して、明部と暗部とが交互に繰り返される市松模様の第一市松画像を表示し、前記第一市松画像の撮像を行う第一市松画像撮像工程と、
前記画像表示装置における個々の画素に所定の駆動信号を印加して、前記第一市松画像とは明部および暗部が逆転した市松模様の第二市松画像を表示し、前記第二市松画像の撮像を行う第二市松画像撮像工程と、
前記第一市松画像撮像工程において撮像された前記第一市松画像の明部撮像データと、前記第二市松画像撮像工程において撮像された前記第二市松画像の明部撮像データとを抽出し、抽出された前記両明部撮像データを組み合わせて明画像を構成する明画像構成工程と、
前記第一市松画像撮像工程において撮像された前記第一市松画像の暗部撮像データと、前記第二市松画像撮像工程において撮像された前記第二市松画像の暗部撮像データとを抽出し、抽出された前記両暗部撮像データを組み合わせて暗画像を構成する暗画像構成工程と、
前記第一市松画像撮像工程において撮像された前記第一市松画像と、前記第二市松画像撮像工程において撮像された前記第二市松画像と、前記明画像構成工程において構成された前記明画像と、前記暗画像構成工程において構成された前記暗画像とを検査する画像検査工程と、
を備えることを特徴とする画像表示装置検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の画像表示装置検査方法において、
前記第一および第二市松画像撮像工程では、前記画像表示装置における画素のうち、前記第一および第二市松画像の明部を表示するための画素には、表示される明部の輝度が最大になるような信号レベルの駆動信号を印加し、前記第一および第二市松画像の暗部を表示するための画素には、表示される暗部の輝度が最小になるような信号レベルの駆動信号を印加する、
ことを特徴とする画像表示装置検査方法。
【請求項３】
マトリックス状に配置される画素を有する画像表示装置によって表示される画像に基づいて、前記画像表示装置の検査を行う画像表示装置検査装置であって、
前記画像表示装置における個々の画素に所定の駆動信号を印加して、明部と暗部とが交互に繰り返される市松模様の第一市松画像を表示し、前記第一市松画像の撮像を行う第一市松画像撮像手段と、
前記画像表示装置における個々の画素に所定の駆動信号を印加して、前記第一市松画像とは明部および暗部が逆転した市松模様の第二市松画像を表示し、前記第二市松画像の撮像を行う第二市松画像撮像手段と、
前記第一市松画像撮像手段において撮像された前記第一市松画像の明部撮像データと、前記第二市松画像撮像手段において撮像された前記第二市松画像の明部撮像データとを抽出し、抽出された前記両明部撮像データを組み合わせて明画像を構成する明画像構成手段と、
前記第一市松画像撮像手段において撮像された前記第一市松画像の暗部撮像データと、前記第二市松画像撮像手段において撮像された前記第二市松画像の暗部撮像データとを抽出し、抽出された前記両暗部撮像データを組み合わせて暗画像を構成する暗画像構成手段と、
前記第一市松画像撮像手段において撮像された前記第一市松画像と、前記第二市松画像撮像手段において撮像された前記第二市松画像と、前記明画像構成手段において構成された前記明画像と、前記暗画像構成手段において構成された前記暗画像とを検査する画像検査手段と、
を備えることを特徴とする画像表示装置検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像表示装置検査方法、および、画像表示装置検査装置に関する。詳しくは、マトリックス状に配置される画素を有する画像表示装置によって表示される画像の検査を通じて、前記画像表示装置の検査を行う画像表示装置検査方法、および、画像表示装置検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルを用いた液晶ディスプレイなどの画像表示装置の欠陥検査を目的として、画像表示装置によって表示される種々のパターン画像の検査が行われている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１では、画像表示装置の欠陥検査に際して、互いに点灯部および非点灯部が逆転した２パターンの市松画像、全点灯画像、全消灯画像などのパターン画像を画像表示装置に表示させ、これらのパターン画像を目視により検査している。
２パターンの市松画像の目視検査により、隣接画素間の短絡欠陥などを効果的に検出できる。また、全点灯画像の目視検査により黒点欠陥などを、全消灯画像の目視検査により輝点欠陥などを効果的に検出できる。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−８９７１７号公報（第２，３頁、図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１では、短絡欠陥、黒点欠陥、輝点欠陥等の検査のために、少なくとも、２パターンの市松画像、全点灯画像、全消灯画像の合計４パターンの画像を画像表示装置によって表示させる必要があるので、検査時間が長くなり、検査の効率が悪かった。
これは、液晶パネルを用いた液晶ディスプレイ、液晶プロジェクタや、有機ＥＬディスプレイなどのマトリックス状に配置される画素を有する、いわゆるマトリックス駆動方式の画像表示装置に共通の問題である。
【０００５】
本発明の目的は、画像表示装置の検査を効率良く行うことができる画像表示装置検査方法、および、画像表示装置検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の画像表示装置検査方法は、マトリックス状に配置される画素を有する画像表示装置によって表示される画像に基づいて、前記画像表示装置の検査を行う画像表示装置検査方法であって、前記画像表示装置における個々の画素に所定の駆動信号を印加して、明部と暗部とが交互に繰り返される市松模様の第一市松画像を表示し、前記第一市松画像の撮像を行う第一市松画像撮像工程と、前記画像表示装置における個々の画素に所定の駆動信号を印加して、前記第一市松画像とは明部および暗部が逆転した市松模様の第二市松画像を表示し、前記第二市松画像の撮像を行う第二市松画像撮像工程と、前記第一市松画像撮像工程において撮像された前記第一市松画像の明部撮像データと、前記第二市松画像撮像工程において撮像された前記第二市松画像の明部撮像データとを抽出し、抽出された前記両明部撮像データを組み合わせて明画像を構成する明画像構成工程と、前記第一市松画像撮像工程において撮像された前記第一市松画像の暗部撮像データと、前記第二市松画像撮像工程において撮像された前記第二市松画像の暗部撮像データとを抽出し、抽出された前記両暗部撮像データを組み合わせて暗画像を構成する暗画像構成工程と、前記第一市松画像撮像工程において撮像された前記第一市松画像と、前記第二市松画像撮像工程において撮像された前記第二市松画像と、前記明画像構成工程において構成された前記明画像と、前記暗画像構成工程において構成された前記暗画像とを検査する画像検査工程と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
ここで、「画素」は、液晶パネルにおける液晶画素、有機ＥＬディスプレイにおけるＲＧＢ発光層などが相当する。また、第一および第二市松画像における「明部」とは、所定の閾値よりも輝度が大きい部分を、「暗部」とは、前記閾値より輝度が小さい部分を意味する。また、「明画像」とは、第一および第二市松画像の明部撮像データのみによって構成される画像であり、一方の市松画像における暗部撮像データを、他方の市松画像における明部撮像データに置き換えることによって構成される。また、「暗画像」とは、第一および第二市松画像の暗部撮像データのみによって構成される画像であり、一方の市松画像における明部撮像データを他方の市松画像における暗部撮像データに置き換えることによって構成される。
【０００８】
第一および第二市松画像撮像工程では、互いに明部および暗部が逆転した市松模様の第一および第二市松画像を表示し、ＣＣＤカメラなどの撮像手段によって撮像する。
明画像構成工程では、第一および第二市松画像の撮像データから明部撮像データのみを抽出し、抽出された明部撮像データを組み合わせて明画像を構成する。
暗画像構成工程では、第一および第二市松画像の撮像データから暗部撮像データのみを抽出し、抽出された暗部撮像データを組み合わせて暗画像を構成する。
画像検査工程では、第一および第二市松画像と、明画像と、暗画像とに基づいて、画像表示装置の欠陥検査を行う。
【０００９】
第一および第二市松画像の検査によって、画像表示装置における隣接画素間の短絡欠陥（ショート）や漏電欠陥（リーク）などの欠陥の有無を検査できる（以下、短絡欠陥および漏電欠陥をまとめて、縮退欠陥、と称する）。
画像表示装置に縮退欠陥が存在すれば、縮退欠陥部分における隣接画素間でショートやリークが生じるので、一の画素に印加された駆動信号が、これと隣接する他の画素にも印加されてしまう。そのため、第一および第二市松画像の少なくとも一方において、本来明部として表示されなければならない部分の輝度が所望の輝度よりも小さくなってしまったり、また、本来暗部として表示されなければならない部分の輝度が所望の輝度よりも大きくなってしまったりして、市松模様が正常に表示されない。
したがって、第一および第二市松画像の少なくとも一方において、市松模様が正常に表示されていない部分が存在すれば、画像表示装置に縮退欠陥が存在していることになる。このため、画像検査工程において第一および第二市松画像を検査すれば、画像表示装置における縮退欠陥の有無を検査できる。
【００１０】
また、明画像の検査によって、画像表示装置における黒点欠陥などの欠陥の有無を検査できる。
画像表示装置に黒点欠陥が存在すれば、明画像中に、その平均輝度に比べて小さな輝度の黒点部分が生じる。
したがって、明画像における黒点部分の有無の検査を行えば、画像表示装置における黒点欠陥の有無を検査できる。
【００１１】
また、暗画像の検査によって、画像表示装置における輝点欠陥などの欠陥の有無を検査できる。
画像表示装置に輝点欠陥が存在すれば、暗画像中に、その平均輝度に比べて大きな輝度の輝点部分が生じる。
したがって、暗画像における輝点部分の有無の検査を行えば、画像表示装置における輝点欠陥の有無を検査できる。
【００１２】
以上のように、第一および第二市松画像と、明画像と、暗画像との検査によって、画像表示装置における縮退欠陥、黒点欠陥、輝点欠陥の有無を検査できる。
【００１３】
本発明によれば、２パターンの画像、すなわち、第一および第二市松画像を画像表示装置によって表示させるだけで、縮退欠陥のみならず、黒点・輝点欠陥の検査を行うことができる。
特許文献１では、黒点欠陥の検査のための全点灯画像と、輝点欠陥の検査のための全消灯画像とを画像表示装置によって表示させる必要があったが、本発明では、黒点欠陥の検査のための明画像と、輝点欠陥検査のための暗画像とを、第一および第二市松画像の明部撮像データ、暗部撮像データ同士を組み合わせることにより構成しているので、画像表示装置によって明画像および暗画像を表示させる必要がない。
このように、縮退欠陥、黒点欠陥、輝点欠陥の検査のために、特許文献１では、２パターンの市松画像、全点灯画像、全消灯画像の合計４パターンの画像を画像表示装置によって表示させる必要があるところ、本発明によれば、第一および第二市松画像の合計２パターンの画像を画像表示装置によって表示させればよいので、表示する画像のパターン数を減らすことができ、検査時間を短縮化でき、検査の効率を向上させることができる。
【００１４】
本発明では、前記第一および第二市松画像撮像工程では、前記画像表示装置における画素のうち、前記第一および第二市松画像の明部を表示するための画素には、表示される明部の輝度が最大になるような信号レベルの駆動信号を印加し、前記第一および第二市松画像の暗部を表示するための画素には、表示される暗部の輝度が最小になるような信号レベルの駆動信号を印加する、ことが好ましい。
【００１５】
本発明では、第一および第二市松画像における明部の輝度が最大、かつ、暗部の輝度が最小になり、明部と暗部との輝度差が最大になるから、画像表示装置における縮退欠陥を的確に検出できる。
また、明画像構成工程において、第一および第二市松画像における最大輝度の明部撮像データを組み合わせて、最大輝度の明画像を構成できるから、黒点欠陥を的確に検出できる。
また、暗画像構成工程において、第一および第二市松画像における最低輝度の暗部撮像データを組み合わせて、最小輝度の暗画像を構成できるから、輝点欠陥を的確に検出できる。
以上のように、本発明によれば、各種欠陥を見落とすことなく的確に検出できる。
【００１６】
本発明の画像表示装置検査装置は、マトリックス状に配置される画素を有する画像表示装置によって表示される画像に基づいて、前記画像表示装置の検査を行う画像表示装置検査装置であって、前記画像表示装置における個々の画素に所定の駆動信号を印加して、明部と暗部とが交互に繰り返される市松模様の第一市松画像を表示し、前記第一市松画像の撮像を行う第一市松画像撮像手段と、前記画像表示装置における個々の画素に所定の駆動信号を印加して、前記第一市松画像とは明部および暗部が逆転した市松模様の第二市松画像を表示し、前記第二市松画像の撮像を行う第二市松画像撮像手段と、前記第一市松画像撮像手段において撮像された前記第一市松画像の明部撮像データと、前記第二市松画像撮像手段において撮像された前記第二市松画像の明部撮像データとを抽出し、抽出された前記両明部撮像データを組み合わせて明画像を構成する明画像構成手段と、前記第一市松画像撮像手段において撮像された前記第一市松画像の暗部撮像データと、前記第二市松画像撮像手段において撮像された前記第二市松画像の暗部撮像データとを抽出し、抽出された前記両暗部撮像データを組み合わせて暗画像を構成する暗画像構成手段と、前記第一市松画像撮像手段において撮像された前記第一市松画像と、前記第二市松画像撮像手段において撮像された前記第二市松画像と、前記明画像構成手段において構成された前記明画像と、前記暗画像構成手段において構成された前記暗画像とを検査する画像検査手段と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
本発明の画像表示装置検査装置は、前記画像表示装置検査方法を実施するための構成を備えているので、前記画像表示装置検査方法と同じ作用・効果を奏することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に、画像表示装置としての液晶パネルの欠陥検査を行うための装置構成を示す。
液晶パネル１は、バックライト２の光を透過することにより画像を表示する。
液晶パネル１は、液晶、液晶を所定の向きに並べるための配向膜、液晶を駆動するためのＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）透明電極、ガラス基板、ＲＧＢの各色を表示するためのカラーフィルタなどを含んで構成される透光部１１と、透光部１１を間に挟んで対向配置される２枚の偏光板１２，１３とを備える。偏光板１２，１３は、液晶パネル１を透過する光を調整するために設けられ、一般に、両者の偏光方向が互いに平行である場合には、ノーマリブラック方式の液晶パネルが構成され、両者の偏光方向が互いに直交する場合には、ノーマリホワイト方式の液晶パネルが構成される。以下、液晶パネル１はノーマリブラック方式の液晶パネルであるとして説明する。なお、当然ながら、本発明はノーマリホワイト方式の液晶パネルの欠陥検査にも利用できる。
【００１９】
図２は、液晶パネル１の拡大平面図である。
この図に示されるように、液晶パネル１には、微小な液晶画素１４がマトリックス状に周期配置されている。各液晶画素１４は、図２における列方向（上下方向）に平行に配置されるＲＧＢ各色の線状カラーフィルタ（図示せず）に応じた色の画像を生成するように構成されている。ここで、Ｒ色のカラーフィルタに応じてＲ画像を生成する液晶画素を１４Ｒと、Ｇ色のカラーフィルタに応じてＧ画像を生成する液晶画素を１４Ｇと、Ｂ色のカラーフィルタに応じてＢ画像を生成する液晶画素を１４Ｂと表示する。なお、各液晶画素１４の面積は、対応するＩＴＯ透明電極の面積と略等しい。
【００２０】
また、液晶パネル１は、図２における行方向（左右方向）に平行に配設される走査電極（走査線）１５（Ａ，Ｂ，Ｃ）と、図２における列方向（上下方向）に平行に配設される信号線１６（Ｒ，Ｇ，Ｂ）とを備える。今、走査電極１５の総数をｎ、信号線１６の総数をｍとすれば、液晶パネル１は、ｎ×ｍのマトリックスと見ることができる。ここで、個々の走査電極１５はマトリックスの行番号（１〜ｎ）によって、個々の信号線１６はマトリックスの列番号（１〜ｍ）によって表される。
【００２１】
各走査電極１５と各信号線１６との交点位置には液晶画素１４が設けられる。個々の液晶画素１４の位置は、（マトリックスの行番号，マトリックスの列番号）の座標によって表される。
液晶画素１４は、走査電極１５および信号線１６から印加される信号によって駆動され、その透過率が変化される。バックライト２からの光は、個々の液晶画素１４の透過率に応じて透過されるので、個々の液晶画素１４の透過率に応じた画像パターンが生成される。
【００２２】
各液晶画素１４は、それぞれ、図示しない薄膜ダイオード（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｄｉｏｄｅ：ＴＦＤ）を備える。
ＴＦＤに走査電極１５からの走査信号が印加されているときは、このＴＦＤに対応する液晶画素１４に信号線１６からのデータ信号が印加される。この印加データ信号によって液晶画素１４の透過率が変化され、画像パターンが生成される。
また、ＴＦＤに走査電極１５からの走査信号が印加されていないときは、このＴＦＤに対応する液晶画素１４には信号線１６からのデータ信号は印加されず、この液晶画素１４の透過率は変化されない。
【００２３】
以上のように、各ＴＦＤは、これに対応する液晶画素１４のスイッチング（ＯＮ／ＯＦＦ）を行うアクティブ素子として機能する。したがって、本実施形態の液晶パネル１は、ＴＦＤをアクティブ素子とするアクティブマトリックス駆動方式の液晶パネルとして構成されている。
さて、ＴＦＤによるスイッチングを制御するのは走査電極１５からの走査信号である。つまり、各液晶画素１４は、走査電極１５からの走査信号が印加されているとき「ＯＮ」状態であり、走査信号が印加されていないとき「ＯＦＦ」状態である。そして、液晶画素１４が「ＯＮ」状態にあるときに限り、信号線１６からのデータ信号が印加され、液晶画素１４の透過率が、印加されたデータ信号に応じて変化されることになる。
【００２４】
走査信号は、互いに平行配置される個々の走査電極１５に順次入力される。例えば、図２の上方から下方に向かって、すなわち、行番号１→２→・・・→ｎ、の順序（図２では、走査電極・・・→１５Ａ→１５Ｂ→１５Ｃ→・・・、の順序）に従って走査信号を入力する。
行番号Ｎ（＝１，２，・・・，ｎ）の走査電極１５に走査信号を入力すると、位置座標（Ｎ，１），（Ｎ，２），・・・，（Ｎ，ｍ）の液晶画素１４が一斉に「ＯＮ」となって、列番号１〜ｍの信号線１６からのデータ信号が印加され、その透過率が変化される。
続いて、行番号Ｎ＋１（但し、行番号ｎ＋１は、行番号１と読み替える）の走査電極１５に走査信号を入力すると、位置座標（Ｎ＋１，１），（Ｎ＋１，２），・・・，（Ｎ＋１，ｍ）の液晶画素１４が一斉に「ＯＮ」となって、列番号１〜ｍの信号線１６からのデータ信号が印加され、その透過率が変化される。
以降、走査信号を入力する走査電極の行番号を１ずつ増加させていき（１→２→・・・→ｎ→１→２→・・・）、対応する行番号の液晶画素１４の透過率を順次変化させることにより、画像パターンの生成および書き換えを行う。
【００２５】
図１において、液晶パネル駆動装置３が、液晶パネル１へ走査信号およびデータ信号を出力し、液晶パネル１を駆動する。また、ＣＣＤカメラ４は、液晶パネル駆動装置３による駆動の下、液晶パネル１およびバックライト２によって生成される画像を撮像する撮像手段である。ＣＣＤカメラ４は、その受光面上に周期配置される多数のカメラ画素によって画像を撮像し、各カメラ画素での受光輝度により構成される撮像データ（受光輝度分布データ）を取得する。ＣＣＤカメラ４によって取得された撮像データは画像処理装置５へと伝送される。
【００２６】
画像表示装置検査装置としての液晶パネル検査装置６は、液晶パネル１およびバックライト２によって表示される画像をＣＣＤカメラ４で撮像し、この撮像データに基づいて液晶パネル１の欠陥検査を行う。
液晶パネル検査装置６は、第一および第二市松画像撮像手段としての市松画像撮像手段６１と、明画像構成手段としての白画像構成手段６２と、暗画像構成手段としての黒画像構成手段６３と、画像検査手段６４とを備えて構成される。
【００２７】
以下、液晶パネル１の欠陥検査方法について順を追って説明する。
＜第一市松画像撮像工程＞
市松画像撮像手段６１は、液晶パネル駆動装置３によって液晶パネル１における個々の液晶画素１４に所定の駆動信号を印加して、明部と暗部とが交互に繰り返される市松模様の第一市松画像を表示し、ＣＣＤカメラ４によって撮像する。
【００２８】
図３に、第一市松画像を表示させるために液晶パネル１の個々の液晶画素１４に印加される駆動信号の様子を示し、図４（Ａ）に、この駆動信号によって表示される第一市松画像を示す。
図３において、上段は走査信号（Ｖｃまたは−Ｖｃ）を、下段はデータ信号を表す。また、横軸を走査電極１５の行番号（１〜ｎ）として表してある。
【００２９】
走査信号は、既に説明したように、行番号１→２→・・・→ｎ、の順序に従って個々の走査電極１５に順次入力されるので、図３において、走査信号は矢印で図示するように右向きに移動する。
なお、図３における「走査信号Ｎ」の『Ｎ』とは、行番号Ｎ（＝１，２，・・・，ｎ）の走査電極１５に走査信号が入力されていることを意味する。特に、図３はＮ＝１の状態、すなわち、行番号１の走査電極１５に走査信号が入力されている状態であり、このとき（１，１），（１，２），・・・，（１，ｍ）の液晶画素１４が一斉に「ＯＮ」になっている。
【００３０】
図３に示されるように、各走査電極１５に入力される走査信号の符号（＋Ｖｃ／−Ｖｃ）は、交互に変わる。すなわち、正符号の走査信号Ｖｃによって液晶パネル１の全面（行番号１〜ｎ）を走査した後は、負符号の走査信号−Ｖｃによって液晶パネル１の全面を走査し、以降、Ｖｃ→−Ｖｃ→Ｖｃ→・・・の走査信号によって液晶パネル１の全面を順次走査する。このように走査信号の符号を交互に変えることによって、個々の液晶画素１４に印加される走査信号の平均が０になるので、液晶画素１４にかかる電気的な負荷を小さくでき、故障や不具合の発生を防止できる。
【００３１】
図３において、データ信号２Ｍ＋１は、奇数列番号（１，３，５，・・・）の信号線１６に入力されるデータ信号を、データ信号２Ｍは、偶数列番号（２，４，６，・・・）の信号線１６に入力されるデータ信号を表す。
本実施形態のデータ信号は、いわゆるパルス幅変調（ＰＷＭ）方式に従って構成され、基準レベルＶ０、階調制御レベルＶｓｅｇ，Ｖｓｅの３通りの信号レベルに制御される。正符号走査信号Ｖｃによる走査時には階調制御レベルＶｓｅｇのパルス幅に応じて個々の液晶画素１４の階調制御が行われ、負符号走査信号−Ｖｃによる走査時には階調制御レベルＶｓｅのパルス幅に応じて個々の液晶画素１４の階調制御が行われる。具体的には、階調制御レベルＶｓｅｇ（Ｖｓｅ）のパルス幅が大きくなると、これに対応する液晶画素１４に高い信号レベルの駆動信号が印加されて、その透過率が大きくなり、輝度の大きい画像が表示されるようになる。逆に、階調制御レベルＶｓｅｇ（Ｖｓｅ）のパルス幅が小さくなると、これに対応する液晶画素１４に低い信号レベルの駆動信号が印加されて、その透過率が小さくなり、輝度の小さい画像が表示されるようになる。
【００３２】
続いて、第一市松画像（図４（Ａ）参照）の表示について順を追って概説する。
まず、図３に示されるように、正符号走査信号Ｖｃが行番号１の走査電極１５に入力され、行番号１の全ての液晶画素１４が「ＯＮ」にされる。
このとき、奇数（２Ｍ＋１）列番号の信号線１６には、最大パルス幅（＝走査信号Ｖｃのパルス幅）の階調制御パルス（信号レベルＶｓｅｇ）が入力されているので、奇数列番号の液晶画素１４、すなわち、座標（１，１），（１，３），・・・（１，２Ｘ＋１）の液晶画素１４には、最高信号レベルの駆動信号が印加されて、その透過率が最大になり、これに応じて輝度最大の明部が表示される（但し、Ｘは、２Ｘ＋１≦ｍ＜２Ｘ＋３、を満たす自然数）。
一方、偶数（２Ｍ）列番号の信号線１６には、基準レベルＶ０のパルスが入力され、階調制御レベルＶｓｅｇのパルスは入力されない。そのため、偶数列番号の液晶画素１４、すなわち、座標（１，２），（１，４），・・・，（１，２Ｙ）の液晶画素１４には、最低信号レベルの駆動信号が印加されて、その透過率が最小になり、これに応じて輝度最小の暗部が表示される（但し、Ｙは、２Ｙ≦ｍ＜２Ｙ＋２、を満たす自然数）。
これによって、図４（Ａ）に示される第一市松画像の第１行目が生成される。この図において、明部は、Ｒ，Ｇ，Ｂが記載される小長方形領域として表され、暗部は、明部と明部との間の何も記載されていない領域として表される。なお、明部におけるＲ，Ｇ，Ｂは、それぞれ、Ｒ，Ｇ，Ｂ各色の液晶画素１４（図２参照）によって表示されたことを意味する。
【００３３】
続いて、図３において右方に移動した正符号走査信号Ｖｃが、行番号２の走査電極１５に入力され（図３の想像線参照）、行番号２の全ての液晶画素１４が「ＯＮ」にされる。
このとき、奇数列番号の信号線１６には基準レベルＶ０のパルスが入力され、偶数列番号の信号線１６には階調制御レベルＶｓｅｇのパルスが入力される。そのため、座標（２，１），（２，３），・・・，（２，２Ｘ＋１）の奇数列番号の液晶画素１４の透過率が最小、座標（２，２），（２，４），・・・，（２，２Ｙ）の偶数列番号の液晶画素１４の透過率が最大になり、第１行目の画像パターンとは明部および暗部が逆転した第２行目の画像パターンが表示される（図４（Ａ）参照）。
【００３４】
以降、同様に走査信号による走査（行番号１→２→・・・→ｎ）が行われ、図４（Ａ）に示されるように、明部と暗部とが交互に繰り返される市松模様の第一市松画像が表示される。
ＣＣＤカメラ４は、表示された第一市松画像を撮像し、この撮像データを画像処理装置５に伝送する。
【００３５】
＜第二市松画像撮像工程＞
市松画像撮像手段６１は、液晶パネル駆動装置３によって液晶パネル１における個々の液晶画素１４に所定の駆動信号を印加して、第一市松画像とは明部および暗部が逆転した市松模様の第二市松画像を表示し、ＣＣＤカメラ４によって撮像する。この撮像データは画像処理装置５に伝送される。
第二市松画像は、図４（Ｂ）に示される。なお、第二市松画像を表示するためには、図３において奇数列番号の信号線１６に入力されていたデータ信号２Ｍ＋１を偶数列番号の信号線１６に入力し、かつ、図３において偶数列番号の信号線１６に入力されていたデータ信号２Ｍを奇数列番号の信号線１６に入力すればよい。
【００３６】
＜白画像構成工程（明画像構成工程）＞
白画像構成手段６２は、ＣＣＤカメラ４によって撮像された第一および第二市松画像の撮像データを画像処理装置５によって画像処理し、明画像を構成する。
具体的には、白画像構成手段６２は、画像処理装置５によって、第一および第二市松画像撮像データ（図４参照）から明部撮像データのみを抽出する。明部撮像データは、暗部撮像データ、および、液晶画素１４間のブラックマトリックス部分の撮像データに比べて高い輝度を有するので、適当な閾値を設定することにより、明部撮像データのみを抽出できる。抽出された明部撮像データは画像処理装置５によって組み合わされ、明画像が構成される。
【００３７】
＜黒画像構成工程（暗画像構成工程）＞
黒画像構成手段６３は、ＣＣＤカメラ４によって撮像された第一および第二市松画像の撮像データを画像処理装置５によって画像処理し、暗画像を構成する。
具体的には、黒画像構成手段６３は、画像処理装置５によって、第一および第二市松画像撮像データから暗部撮像データのみを抽出する。ところで、暗部撮像データおよびブラックマトリックス部分の撮像データは共に輝度が小さく、両者間には輝度差がほとんどないので、閾値によっては両者を適切に分離できず、暗部撮像データのみを抽出することはできない。そこで、一方の市松画像撮像データにおける明部撮像データと、他方の市松画像撮像データにおける暗部撮像データとの関係に着目して、暗部撮像データのみを抽出する。各市松画像は互いに明部および暗部が逆転しているので、一方の市松画像撮像データにおける明部撮像データ領域は、他方の市松画像撮像データにおける暗部撮像データ領域に等しい。そこで、他方の市松画像撮像データから、一方の市松画像撮像データにおける明部撮像データ領域と同じ領域を抽出すれば、それが暗部撮像データ領域である。このように、黒画像構成手段６３は、画像処理装置５によって、第一および第二市松画像撮像データから暗部撮像データのみを抽出し、これらを組み合わせて暗画像を構成する。
【００３８】
なお、既に述べたように、第一および第二市松画像における明部は輝度が最大の部分であるので、これらの明部撮像データを組み合わせて構成される明画像は、最高輝度のＲＧＢ各色画像の合成画像としての白画像（全白画像）である。また、第一および第二市松画像における暗部は輝度が最小の部分であるので、これらの暗部撮像データを組み合わせて構成される暗画像は、黒画像（全黒画像）である。
【００３９】
＜画像検査工程＞
画像検査手段６４は、市松画像撮像手段６１によって撮像された第一および第二市松画像と、白画像構成手段６２によって構成された白画像と、黒画像構成手段６３によって構成された黒画像とを検査することによって、液晶パネル１の欠陥検査を行う。
【００４０】
第一および第二市松画像の検査によって、液晶パネル１における隣接液晶画素間の短絡欠陥（ショート）や漏電欠陥（リーク）などの縮退欠陥の有無を検査できる。
液晶パネル１に縮退欠陥が存在すれば、縮退欠陥部分における隣接液晶画素間でショートやリークが生じるので、一の液晶画素に印加された走査信号またはデータ信号が、これと隣接する他の液晶画素にも印加されてしまう。また、一の液晶画素に溜まっている電荷が、他の液晶画素にリークしてしまう。そのため、第一および第二市松画像の少なくとも一方において、本来明部として表示されなければならない部分の輝度が所望の輝度よりも小さくなってしまったり、また、本来暗部として表示されなければならない部分の輝度が所望の輝度よりも大きくなってしまったりして、市松模様が正常に表示されない。
したがって、第一および第二市松画像の少なくとも一方において、市松模様が正常に表示されていない部分が存在すれば、液晶パネル１に縮退欠陥が存在していることになる。このため、第一および第二市松画像を検査すれば、液晶パネル１における縮退欠陥の有無を検査できる。
【００４１】
また、白画像の検査によって、液晶パネル１における黒点欠陥などの欠陥の有無を検査できる。
液晶パネル１に黒点欠陥が存在すれば、白画像中に、その平均輝度に比べて小さな輝度の黒点部分が生じる。
したがって、白画像における黒点部分の有無の検査を行えば、液晶パネル１における黒点欠陥の有無を検査できる。
【００４２】
また、黒画像の検査によって、液晶パネル１における輝点欠陥などの欠陥の有無を検査できる。
液晶パネル１に輝点欠陥が存在すれば、黒画像中に、その平均輝度に比べて大きな輝度の輝点部分が生じる。
したがって、黒画像における輝点部分の有無の検査を行えば、液晶パネル１における輝点欠陥の有無を検査できる。
【００４３】
以上のように、第一および第二市松画像と、白画像と、黒画像との検査によって、液晶パネル１における縮退欠陥、黒点欠陥、輝点欠陥の有無を検査できる。
【００４４】
＜実施形態の効果＞
本実施形態によれば、２パターンの画像、すなわち、第一および第二市松画像を液晶パネル１およびバックライト２によって表示させるだけで、縮退欠陥のみならず、黒点・輝点欠陥の検査を行うことができる。
従来は、黒点欠陥の検査のための全点灯画像（白画像）と、輝点欠陥の検査のための全消灯画像（黒画像）とを画像表示装置によって表示させる必要があったが、本実施形態では、黒点欠陥の検査のための白画像と、輝点欠陥検査のための黒画像とを、第一および第二市松画像の明部撮像データ、暗部撮像データ同士を組み合わせることにより構成しているので、液晶パネル１およびバックライト２によって白画像および黒画像を表示させる必要がない。
このように、縮退欠陥、黒点欠陥、輝点欠陥の検査のために、従来は、２パターンの市松画像、全点灯画像、全消灯画像の合計４パターンの画像を画像表示装置によって表示させる必要があるところ、本実施形態によれば、第一および第二市松画像の合計２パターンの画像を液晶パネル１およびバックライト２によって表示させればよいので、表示する画像のパターン数を減らすことができ、検査時間を短縮できるから、検査の効率を向上させることができる。
【００４５】
また、本実施形態では、最大輝度の明部と最小輝度の暗部とによって第一および第二市松画像を構成しているので、明部と暗部との輝度差が最大になり、第一および第二市松画像の検査を通じて液晶パネル１における縮退欠陥を的確に検出できる。
また、白画像構成工程において、最大輝度の明部撮像データによって白画像を構成できるから、黒点欠陥を的確に検出できる。
また、黒画像構成工程において、最小輝度の暗部撮像データによって黒画像を構成できるから、輝点欠陥を的確に検出できる。
以上のように、本実施形態によれば、各種欠陥を見落とすことなく的確に検出できる。
【００４６】
なお、本発明は前記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、ＴＦＤによるアクティブマトリックス駆動方式の液晶パネル１の欠陥検査について説明したが、本発明では、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）によるアクティブマトリックス駆動方式の液晶パネルの欠陥検査にも利用できる。また、アクティブマトリックス駆動方式の液晶パネルに限らず、単純マトリックス駆動方式の液晶パネルの欠陥検査にも利用できる。また、液晶パネルや、液晶ディスプレイなどの液晶画像表示装置に限らず、マトリックス駆動方式（単純マトリックス駆動方式／アクティブマトリックス駆動方式）の各種の画像表示装置の欠陥検査に利用できる。例えば、有機または無機のＥＬディスプレイの欠陥検査にも利用できる。
【００４７】
また、前記実施形態では、ＲＧＢ各色の液晶画素１４を備える液晶パネル１の欠陥検査について説明したが、本発明では、３板式液晶プロジェクタなどに使用される、単色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）液晶画素のみを備える単色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）液晶パネルの欠陥検査にも利用できる。この場合、各単色の液晶パネルについて個別に欠陥検査を行えばよい。例えば、Ｒ液晶パネルについて欠陥検査を行うためには、明部（最高輝度のＲ）と暗部（最低輝度のＲ＝黒）とによって構成される第一および第二市松画像と、両市松画像の明部撮像データによって構成されるＲ画像と、両市松画像の暗部撮像データによって構成される黒画像（全黒画像）とを検査すればよい。
【００４８】
また、前記実施形態では、市松画像の明部を最大輝度に、市松画像の暗部を最小輝度にして検査を行っていたが、本発明では、明部は所定の閾値よりも輝度が大きい部分、暗部は前記閾値より輝度が小さい部分であればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、液晶パネルを用いた液晶ディスプレイ、液晶プロジェクタや、有機または無機ＥＬディスプレイなどのマトリックス状に配置される画素を有する、いわゆるマトリックス駆動方式の画像表示装置の欠陥検査に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】液晶パネルの欠陥検査を行うための装置構成を示す図。
【図２】液晶パネルの拡大平面図。
【図３】市松画像を表示させるために液晶パネルの個々の液晶画素に印加される駆動信号の様子を示す図。
【図４】市松画像を示す図であって、（Ａ）は第一市松画像を示す図、（Ｂ）は第二市松画像を示す図。
【符号の説明】
【００５１】
１…液晶パネル，２…バックライト，３…液晶パネル駆動装置，４…ＣＣＤカメラ，５…画像処理装置，６…液晶パネル検査装置，１１…透光部，１２，１３…偏光板，１４…液晶画素，１５…走査電極，１６…信号線，６１…市松画像撮像手段，６２…白画像構成手段，６３…黒画像構成手段，６４…画像検査手段
【図１】
2006125931.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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