【誤訳訂正書】
【提出日】平成19年4月3日(2007.4.3)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１５
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１５】
表面検査システム１０は、格子投影アセンブリ１１、画像取得装置１２、および、好ましくは記憶装置１６、出力装置１８、入力装置２０を備えたコンピュータから成っている。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００１８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００１８】
照明アセンブリ２２は、好ましくは、格子２４を通じて投影される白色光源３４を含む。例えば、光源３４は、白色光源（図示されてない）から光を提供する光ファイバ（図示されてない）の端部である。好ましくは、光源３４と格子２４との間には、非球面レンズ３６、または他の任意の集光レンズも利用される。他の光源も利用される場合がある。当業者であれば、本発明の精神の範囲内で、容易に他の照明アセンブリを思いつくこともできると考えられる。
【誤訳訂正３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２０】
好ましくは、可動支持体２６に格子２４を取り付けることにより、格子２４上の線にも、光の入射方向（図２の破線４２）にも垂直な方向に（図２上の両頭矢印４０を参照のこと）、格子２４を移動させることができる。
【誤訳訂正４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２１】
可動支持体２６は、ステッピングモータ（図示されてない）によって作動される。このステッピングモータは、好ましくは、コンピュータ１４でトリガされるマイクロコントローラ（図示されてない）によって制御される。もちろん、このステッピングモータは、コンピュータ１４で直接に制御されることもある。
【誤訳訂正５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２２】
好ましくは、５０ｍｍのＴＶレンズの形を取るプロジェクタ２８を使用して、物体３８上に格子２４を投影する。
【誤訳訂正６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２７】
以下に説明される通り、物体３０上の投影格子２４の変位は、格子２４の位置を固定し、かつ、物体３０とカメラ４６をともに移動させることによっても達成される場合もある。
【誤訳訂正７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２９】
画像取得装置１２は、画素アレイを備えたカメラ４６を含み、これは、好ましくは、ＣＣＤカメラ４６の形を取っている。このようなカメラは、例えば、１３００×１０２４画素の解像度を提供する。
【誤訳訂正８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３０】
画像取得装置１２は、好ましくはオプションの接写リング５０でカメラ４６に取り付けられたテレセントリックレンズ４８も含む。
【誤訳訂正９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３３】
好ましくは、コンピュータ１４は、格子２４の移動を制御し、カメラ４６で撮られた物体３０の画像を処理し、さらにこれらの画像を分析して、物体３０の凹凸を測定するように、構成されている。
【誤訳訂正１０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３４】
好ましくは、コンピュータ１４は、画像をコンピュータ１４で処理するときに、これらの画像を蓄積することによって処理速度を上げられるようにする記憶手段を備えている。
【誤訳訂正１１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００３８
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００３８】
コンピュータ１４は、通常のパーソナルコンピュータ、あるいは、プロセッサ、メモリ、入出力ポート（図示されてない）を含む他の任意のデータ処理装置である。これらの入出力ポートは、画像を、記憶装置１６に、また記憶装置１６から転送するためのネットワーク接続を含む場合がある。
【誤訳訂正１２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４３】
l(x,y)＝A(x,y)＋B(x,y)・cos（ΔΦ(x,y)）            （１）
ただし、ΔΦは、位相の変化（または位相変調）であり、AおよびBは、画素毎に算出することが可能な係数である。
【誤訳訂正１３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００４７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００４７】
たとえば、ピンホール投影では、基準面（図３のX参照）の平面上の格子から離れるとともにピッチｐおよび角度θが増加することがわかっている。第１次近似の概算において、ｐとθの変化は互いに相殺し、式２は、パラメーターの特定の制限内において依然として有効である。
【誤訳訂正１４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６１】
工程１００において、格子２４は、ステッピング・モータによって作動される支持体２６を用いて第１の所定の位置に移動される。上述のように、システム１０は、基準物（後に対象物）を基準として格子２４およびカメラ４６を位置決めし固定する手段を含む。
【誤訳訂正１５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００６７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００６７】
基準物の表面を基準として格子２４がわずかに変位した形の２つの新規な画像が得られる。画像Δφ1，Δφ2，およびΔφ3における位相変化を発生させるように移動量が選択される。この結果、カメラ４６の画素アレイの各画素に対して、式１と同様の３つの式ができる。
【誤訳訂正１６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７２】
たとえば、４つ（またはそれ以上）の画像を取得することによって、ノイジーな画素または画像を破棄し、最も有効な輝度値を有する画素のみを取得することが可能である。実際、４つの輝度値のうちの１つがノイジー（たとえば画像の飽和が原因となる場合がある）の場合、その輝度を、この特定の画素に対して得られる位相の精度を損うことなく削除することが可能である。
【誤訳訂正１７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７３】
もしくは、少なくとも最小自乗フィットなどの数値的方法を用いて位相を従来通り計算するために、４つ以上の輝度値を使用することが可能である。しかしながら、そのような方法は、特定の画素に対して算出される誤りの位相値を防ぐことができず、それによって対象物の起伏の計算が不正確となってしまう可能性がある。
【誤訳訂正１８】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００７４
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００７４】
本発明の別の好適な実施形態によれば、第２の画像と第３の画像と（第４の画像と）の間の格子の移動量は、１８０度の位相変化Δφ（式３参照）を有する３つの画像を供給するように選択される。これによって、格子を投影することなく基準物の（または対象物の）画像を取得することが可能となる。これは、１８０度移動された２つの画像の輝度値を加えることによって実現可能である。
【誤訳訂正１９】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８７】
オプションの工程１１４において、対象物の起伏（すなわち高さ）が、各画素における対象物と基準物との高さの差を使用して画素毎に決定され、基準物の寸法が認識される。
【誤訳訂正２０】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００８９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００８９】
いくつかの応用において、計測時に計測対象物が置かれる面の表面を基準物として使用することが望ましい。
【誤訳訂正２１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９０】
いくつかの応用において、カメラに対して既知の位置に対象物と基準物とを配置する上で役立つ位置決めシステムをシステム１０に設けることが望ましい。実際、対象物と基準物との比較は画素毎に実行されるため、位置決めシステムによって、対応する点を確実に比較することが可能となる。
【誤訳訂正２２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９１
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９１】
このような位置決めシステムは、面表面上のしるし、台、またはコンピュータに実装されるソフトウェア・プログラムを含む多くの形態をとることが可能である。
【誤訳訂正２３】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９６
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９６】
もしくは、基準物の代わりに、たとえばシステム１０の機構にしたがって仮想的に置かれたコンピュータ支援設計（CAD)によって生成される、対象物のコンピュータ・モデルを使用することも可能である。
【誤訳訂正２４】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９７
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９７】
また、基準物は、許容可能なパラメーター以内の欠落点を有する同様の物体でもよい。その場合に、対象物と基準物との位相の差し引きは、検査対象の対象物の欠落点を明らかにする。本発明のこの局面は、起伏の重要な変化を有する対象物の起伏を検査する上で、特に重要である。
【誤訳訂正２５】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００９９
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００９９】
通常、位相のアンラッピングは、すべての高さの変化が単一位相オーダー（０〜２π）にあることが確実なほど十分に大きいピッチｐを有する格子を用いることによって実行される。
【誤訳訂正２６】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１０３
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１０３】
図１１において、画像中のグレーの影部分の変化によって、基板７２は面表面に平行でないことがわかる。したがって、そのような画像は、基板が平面である場合よりも対象物の高さの計測時に低い精度を提供する。実際、画像上の基板７２における傾きの原因はシステム１２ではなく、基板７２の実際の構成を反映していることに注意すべきである。各リードボール７０の高さにおけるわずかな変化は、基板７２の輪郭における全体的な変化において消失されることがある。
【誤訳訂正２７】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】０１１０
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【０１１０】
同様に、基板７２の高さは、補足面の位相と基準面の位相とを差し引くことによって、画素毎に算出される（工程１１２）。その結果得られた画像を図１４に示す。その後、この位相画像はアンラッピングされる（図１５参照）。