【手続補正書】
【提出日】平成19年2月9日(2007.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高圧または超高圧液体を供給するためのノズルであって、前記ノズルがノズルボディを含み、前記ノズルボディは、前記ノズルボディを貫通して、前記ノズルボディの端面に位置するノズル開口に到達する供給通路を有し、前記ノズル開口は、スロット状に形成され、これにより、比較的平面的に形成されている高圧または超高圧液体ジェットを、前記ノズル開口から供給することが可能であるノズル。
【請求項２】
前記ノズル開口からすぐ上流に位置する、前記供給通路の少なくとも端部が、前記ノズル開口の形状と少なくとも実質的に同一の横方向断面を有する、請求項１に記載のノズル。
【請求項３】
前記供給通路の端部が、離間した２つの対向する平面の間で画定されている、請求項２に記載のノズル。
【請求項４】
前記供給通路が、上流開口を有し、前記供給通路が、前記上流開口から前記ノズル開口までにわたり均一な横方向断面を有し、前記均一な横方向断面が、前記ノズル開口の形状と少なくとも実質的に同一の形状である、請求項２または３に記載のノズル。
【請求項５】
ＨN／Ｔ≧２
であり、ただし、ＨNは、前記上流開口から前記ノズル開口にわたる前記供給通路の全長であり、Ｔは、前記ノズル開口の横方向の厚さである、請求項４に記載のノズル。
【請求項６】
前記供給通路が、上流開口を有し、前記供給通路が、前記上流開口と前記供給通路の前記端部との間の１つのさらなる部分を含み、前記供給通路の前記さらなる部分が、前記供給通路の前記端部から外方へ広がる壁を有する、請求項３に記載のノズル。
【請求項７】
前記供給通路の前記さらなる部分が、楔状である、請求項６に記載のノズル。
【請求項８】
前記さらなる部分が、スロット状端部から、円形の前記上流開口までにわたり、外方へ延びる、請求項６に記載のノズル。
【請求項９】
Ｈ／Ｔ≧２
であり、ただし、Ｈは、前記ノズルボディの前記ノズル開口からすぐ上流に位置する、前記供給通路の前記端部の長さであり、
Ｔは、前記ノズルボディの前記ノズル開口の横方向の厚さである、請求項６から請求項８のうちのいずれか１つに記載のノズル。
【請求項１０】
（ＨN−Ｈ）／Ｔ≧５
であり、ただし、ＨN は、前記上流開口から、前記ノズルボディの前記ノズル開口までにわたる前記供給通路の全長である、請求項９に記載のノズル。
【請求項１１】
前記供給通路の前記横方向断面が、前記上流開口から前記ノズル開口までにわたる前記ノズル開口の細長の長さと少なくとも実質的に同一の細長の長さを維持する、請求項６から請求項１０のうちのいずれか１つに記載のノズル。
【請求項１２】
前記供給通路の前記横方向断面が、前記供給通路の前記端部において、前記ノズル開口の前記細長の長さと少なくとも実質的に同一の細長の長さを維持し、
前記供給通路の前記横方向断面の前記細長の長さが、前記ノズル開口の前記細長の長さ及び前記供給通路の前記さらなる部分に比して、等しいまたはより大きい、請求項６から請求項１０のうちのいずれか１つに記載のノズル。
【請求項１３】
前記供給通路の前記さらなる部分の前記壁の傾斜角が、前記供給通路の前記端部の壁に対して、１３゜に等しいまたは１３゜より小さい、請求項６から請求項１２のうちのいずれか１つに記載のノズル。
【請求項１４】
前記ノズルボディに高圧または超高圧液体を供給するための供給ラインを含み、前記供給ラインが、前記ノズル開口の長さ及び幅に比して、より大きいまたは等しい寸法を有する横方向断面を有する内側孔を有する、請求項１から請求項１３のうちのいずれか１つに記載のノズル。
【請求項１５】
前記供給ラインの前記内側孔内に、前記ノズルボディからすぐ上流に位置して設けられている流れ矯正手段をさらに含む、請求項１４に記載のノズル。
【請求項１６】
前記供給ラインの前記内側孔内に位置する流れ挿入物を含み、前記流れ挿入物が、前記流れ挿入物を貫通して延びる挿入物通路を有する、請求項１４または１５に記載のノズル。
【請求項１７】
前記挿入物通路が、前記ノズルボディの前記上流開口の形状に対応する形状を有する、請求項１６に記載のノズル。
【請求項１８】
ＬN-1≧ＬN
ＴN-1≧ＴN
ＨN-1／ＴN-1≧５
ＬN≧Ｌ
であり、ただし、ＬNは、ノズルボディ上流開口の前記細長の長さであり、ＬN-1は、前記挿入物通路の前記横方向断面の前記細長の長さであり、ＴNは、前記ノズルボディ上流開口の横方向幅であり、ＴN-1は、前記挿入物通路の前記横方向断面の横方向幅である、請求項１７に記載のノズル。
【請求項１９】
前記ノズルボディが、２つのノズルボディ部分区間から形成されており、ここで、前記ノズルボディは、前記供給通路の長さを貫通して延び、前記スロット開口を二分する平面で分割されている、請求項１から請求項１８のうちのいずれか１つに記載のノズル。
【請求項２０】
前記スロット開口の横方向の厚さを画定するための、２つのノズルボディ部分区間の間に位置する少なくとも１つのスペーサー部材を含む、請求項１９に記載のノズル。
【請求項２１】
各ノズルボディ部分区間が、耐磨耗性材料から成る１つのさらなる別個の底部部分を含み、前記底部部分が、前記２つの部分区間が接合されると、前記ノズルボディの前記ノズル開口の形状を画定するようになっている、請求項１９または２０に記載のノズル。
【請求項２２】
前記底部部分のうちの１つまたはそれぞれが、前記さらなる部分と、前記供給通路の前記端部との間に延びて階段を形成するランドを形成する、請求項２１に記載のノズル。
【請求項２３】
前記ノズルボディが中に配置されるキャビティを有するノズルマウントを備えており、高圧または超高圧液体が前記ノズルボディの周りを循環するようになっている、請求項１から請求項２１のうちのいずれか１つに記載のノズル。
【請求項２４】
前記ノズルマウントが、送出開口を備えた内面を有しており、
前記キャビティの中で受けるように配置される前記ノズルボディが、前記ノズルマウントの前記内面と封止係合する前記ノズルボディの端面と、前記送出開口と一直線上に整列される前記ノズル開口とを備えており、これにより、前記ノズル開口から流出する液体ジェットが前記送出開口を通って送出されるようになっており、
前記ノズルマウントの前記内面と前記ノズルボディの前記端面との間の封止係合より、整列された前記ノズル開口と前記送出開口との間の液密を確保するようになっている、請求項２３に記載のノズル。
【請求項２５】
整列された前記２つの開口の周囲に配置され、且つ前記ノズルボディの前記端面と前記ノズルマウントの前記内面との間に配置されている環状のシールにより、前記封止係合が形成されている、請求項２４に記載のノズル。
【請求項２６】
前記環状のシールがＯリングを含んでいる請求項２５に記載のノズル。
【請求項２７】
請求項１から２６のいずれか１つに記載のノズルによって生成された高圧または超高圧液体ジェットに材料をさらすことを含む、材料を分解する方法。
【請求項２８】
少なくとも１つの高圧または超高圧液体ジェットに材料をさらすことにより、前記材料を分解することを含む、材料を分解する方法であって、
前記ジェットが、ノズルボディを有する高圧または超高圧液体ノズルにより提供され、
前記ノズルボディが、ノズル開口まで延びる供給通路を有しており、前記ノズル開口が、スロット状であり、これにより、前記ノズルの開口から比較的平面的な高圧または超高圧液体ジェットが供給される、
方法。
【請求項２９】
複数の前記液体ジェットに前記材料をさらすことを含む、請求項２８に記載の方法。
【請求項３０】
洗浄するべき領域を、請求項１から２６のいずれか１つに記載されたノズルによって生成された高圧または超高圧液体ジェットにさらすことを含む、洗浄方法。
【請求項３１】
洗浄するべき領域を、高圧または超高圧液体ジェットにさらすことを含む、洗浄方法であって、
前記ジェットは、ノズルボディを有する高圧または超高圧液体ノズルにより提供され、
前記ノズルボディが、ノズル開口まで延びる供給通路を備えており、前記ノズル開口は、スロット状であり、これにより、前記ノズル開口から、比較的平面的な高圧または超高圧液体ジェットが供給される、
方法。
【請求項３２】
高圧または超高圧液体ジェットを供給するためのノズルであって、前記ノズルがノズルボディを含み、前記ノズルボディは、前記ノズルボディを貫通して、前記ノズルボディの端面に位置するノズル開口に到達する供給通路を有し、前記ノズル開口は、スロット状であり、これにより、前記ノズル開口から、比較的平面的な高圧または超高圧液体ジェットを供給するノズルと、
前記ノズル開口の下流に位置する混合チャンバであって、前記ノズル開口を貫流して前記液体ジェットが、前記ノズルにより導かれ、前記混合チャンバは、前記液体ジェットと混合するために前記混合チャンバに研磨材料を供給するための供給手段を含む混合チャンバと、
前記研磨材料と混合された前記液体ジェットを、洗浄すべき領域に導くための、前記混合チャンバから延びる収束導管と
を含む、液体研磨洗浄システム。
【請求項３３】
前記混合チャンバが、前記液体ジェットを収容するための細長の内側キャビティを含み、前記供給手段が、前記研磨材料が供給される際に貫流する前記細長のキャビティの少なくとも１つの側に沿って位置する少なくとも１つの供給開口を含む、請求項３２に記載のシステム。
【請求項３４】
前記供給開口が、前記混合チャンバの前記細長のキャビティの両側に形成されている、請求項３２に記載のノズル。
【請求項３５】
前記収束導管がその中を通る収束通路を有し、該収束通路がスロット状横方向断面を有する、請求項３２から３４のいずれか１つに記載のノズル。
【請求項３６】
Ｆ／Ｔ≧３
ＬF／Ｔ≧１００
であり、ただし、
Ｆは収束通路の横方向の厚さであり、
Ｔは、ノズルボディのノズル開口の横方向の厚さであり、
ＬF は、収束導管の長さ
である、請求項３５に記載のノズル。
【請求項３７】
細長の内側キャビティと、前記キャビティに前記研磨材料
を供給するための前記キャビティの少なくとも１つの側に形成されている少なくとも１つの供給開口とを有する混合チャンバと、
前記キャビティを貫流して、比較的平面的な高圧または超高圧液体ジェットをノズルから供給する高圧または超高圧液体ノズルを支持するための支持手段と、
洗浄すべき領域に前記液体ジェットを導くための、前記混合チャンバから延びる収束導管であって、前記収束導管が、前記収束導管を貫通する収束通路を有し、前記収束通路が、スロット状横方向断面を有する収束導管と
を含む、液体研磨洗浄組み立て部品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
これを考慮して、本発明の１つの態様では、高圧または超高圧液体を供給するためのノズルであって、前記ノズルがノズルボディを含み、前記ノズルボディは、前記ノズルボディを貫通して、前記ノズルボディの端面に位置するノズル開口に到達する供給通路を有し、前記ノズル開口は、スロット状に形成され、これにより、比較的平面的に形成されている高圧または超高圧液体ジェットを、前記ノズル開口から供給することが可能である、ノズルが提供される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
ノズルボディは、ノズルボディを適所に保持するためのノズルマウント内に収容されることも可能である。ノズルボディは、ノズルマウント内のキャビティの中に配置されることが可能であり、これにより、高圧液体が、ノズルボディの外側の周りを循環することが可能となる。シールが、ノズルボディの下流端と、ノズルマウントの内面との間に設けられることも可能である。これにより、ノズルボディの外側と、ノズルボディ内の供給通路との間の液圧を実質的に平衡させることが支援され、これにより、特に、ノズルボディが、２つの別個の部品から形成される場合、ノズルボディの「破裂」の可能性を最小化する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
本発明の別の１つの態様では、少なくとも１つの高圧または超高圧液体ジェットに材料をさらすことにより、前記材料を分解することを含む、材料を分解する方法であって、前記ジェットが、ノズルボディを有する高圧または超高圧液体ノズルにより提供され、前記ノズルボディが、ノズル開口まで延びる供給通路を有しており、前記ノズル開口が、スロット状であり、これにより、前記ノズルの開口から比較的平面的な高圧または超高圧液体ジェットが供給される、方法が提供される。さらに、供給通路は、前記ノズル開口に最小限の通水断面を有している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
図１０ａ及び図１０ｂに示されているノズルボディ７０と、図７ａ及び図７ｂに示されている実施例との１つの類似点は、２つの別個のノズルボディ部分区間７１から形成されていることにあり、そのうちの一つが、図１０ｂに示されている。主な相違点は、各ノズルボディ部分区間７１は、サファイアまたはダイヤモンド・セラミック配合物などの耐磨耗性材料から形成される底部部分７２を含む。ノズルボディ７０が組立られると、底部部分７２は、供給通路７３の最初のスロット状部分の形状を定める。ノズルボディ部分区間７１の残りの部分は、各ノズルボディ部分区間７１内に設けられている傾斜壁７５により形成されている楔状部分７４を提供する。耐磨耗性底部部分７２の使用は、ノズルボディ７０の長期間にわたる高精度及び信頼性を改善するのを支援する。しかし、各ノズルボディ部分区間７１において、底部部分７２を「ランド７６」に設けることも可能であり、この場合、このランド７６は、傾斜壁７５の浅い端部に隣接して設けられている。ランドは、例えば、傾斜壁７５の端部から概横方向に、０〜３ｍｍの領域内で、延びる。供給通路７３の最初の部分のそれぞれの側におけるランド７６の形成は、ランド７６にすぐ隣接する、緩慢に動く液体のゾーンを提供する。このゾーンは、供給通路７３のスロット状部分への流れへの滑らかな移行を提供するために、供給通路７３を貫流して残りの液体を案内するように作用する。その結果、層流に近似する流体流が発生する。