【手続補正書】
【提出日】平成18年12月12日(2006.12.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
複数の細長要素であって、前記複数の細長要素のそれぞれは、第１の端部と第２の端部とを備えており、前記第１の端部は前記基板に取り付けられており、前記第２の端部は、前記基板から離れて配置されている、複数の細長要素と、
複数のプローブ先端部であって、前記複数の細長要素の一部の細長要素の前記第２の端部に取り付けられており、試験される装置の端子と接触するように配置されている、複数のプローブ先端部と、
前記細長要素のうちの１つの細長要素の前記第２の端部に取り付けられているストッププレートであって、前記試験される装置に物理的に接触するように配置されている、ストッププレートと
を備える、プローブカードアセンブリ。
【請求項２】
前記ストッププレートと、前記ストッププレートが取り付けられている細長要素とが、ストップ構造体を構成する、請求項１に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項３】
前記ストッププレートが、前記複数の細長要素の前記第２の端部に取り付けられている、請求項１に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項４】
前記ストッププレートが取り付けられている細長要素が支柱である、請求項３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５】
前記支柱が可撓性である、請求項４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６】
前記支柱が弾力性を有する、請求項４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項７】
前記支柱が剛直である、請求項４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項８】
前記ストップ構造体がセンサーを含む請求項２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項９】
前記プローブ先端部がアレイの状態で配置され、前記プローブカードアセンブリが、複数のストップ構造体であって、それぞれが前記試験される装置の一部と選択的に接触するように構成されている、複数のストップ構造体をさらに含む、請求項８に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１０】
前記複数のストップ構造体の少なくとも２つが、前記アレイの対向する側に配置されている請求項９に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１１】
前記試験される装置と前記ストッププレートとの間の接触を判定する検出手段をさらに含む請求項１に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１２】
前記ストッププレートに対する力の程度に比例する信号を出力する検出手段をさらに含む請求項１に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１３】
前記プローブ先端部のそれぞれが、前記基板から第１の距離に配置されており、
前記ストッププレートが、前記基板から第２の距離に配置されている、請求項１に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１４】
前記第２の距離が前記第１の距離よりも小さい請求項１３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１５】
前記プローブ先端部と、前記プローブ先端部が取り付けられている細長要素とが圧縮可能なプローブを構成し、前記ストップ構造体が前記プローブの圧縮を制限する請求項２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１６】
前記プローブが弾力性を有する請求項１５に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１７】
第２の基板であって、可撓性材料を含んでおり、前記ストップ構造体に適用される力に応答して屈曲するように構成されている、第２の基板をさら含む請求項２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１８】
前記ストップ構造体をさらに複数含む請求項２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項１９】
前記試験される装置が、入力および／または出力端子を備えており、前記プローブが、前記端子の一部の端子と接触するように構成されている、請求項１に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項２０】
プローブカードアセンブリを製造する方法であって、
基板の表面に複数のプローブを形成するステップと、
前記基板の前記表面にストップ構造体を形成するステップと
を包含する、方法。
【請求項２１】
複数のプローブを形成する前記ステップ及びストップ構造体を形成する前記ステップが、
犠牲基板上に複数の先端構造及びストッププレートをリソグラフにより形成するステップと、
前記基板の前記表面に取り付けられている複数のプローブ本体に前記先端構造を移動するステップと、
前記基板の前記表面に取り付けられているストップ支持体に前記ストッププレートを移動するステップと
を包含する、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記基板の前記表面に取り付けられている複数のプローブ本体に前記先端構造を移動する前記ステップ、及び前記基板の前記表面に取り付けられているストップ支持体に前記ストッププレートを移動する前記ステップが、
前記プローブ本体に前記先端構造を取り付けるステップと、
前記ストップ支持体に前記ストッププレートを取り付けるステップと、
前記犠牲基板から前記先端構造及び前記ストッププレートを解放するステップと
を包含する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
犠牲基板上に複数の先端構造及びストッププレートをリソグラフにより形成する前記ステップが、
複数のマスク層をパターン形成するステップと、
前記先端構造及び前記ストッププレートを形成するように、前記パターン形成されたマスク層に材料を付着するステップと
を包含する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
前記パターン形成されたマスク層が、前記先端構造及び前記ストッププレートの形状を画定する請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記パターン形成されたマスク層が、前記先端構造及び前記ストッププレートの相対的な位置を画定する請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
前記先端構造の接触部分が第１の面に配置され、前記接触構造の接触部分が第２の面に配置され、前記第１の面が前記第２の面から所定の距離にある請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記プローブが圧縮可能であり、前記ストップ構造体が前記プローブの圧縮を制限する請求項２０に記載の方法。
【請求項２８】
前記プローブが弾力性を有する請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記基板を第２の基板に固定するステップをさらに含み、前記第２の基板が可撓性である請求項２０に記載の方法。
【請求項３０】
前記ストップ構造体を他の装置との接触を検出するように構成するステップをさらに含む請求項２０に記載の方法。
【請求項３１】
前記基板の前記表面にストップ構造体を形成する前記ステップが、前記基板の前記表面に前記ストップ構造体を複数形成するステップを包含する、請求項２０に記載の方法。
【請求項３２】
前記基板の前記表面に複数のプローブを形成する前記ステップが、前記複数のプローブをアレイの状態で形成するステップを包含し、前記方法が、前記複数のストップ構造体の少なくとも２つを他の装置との接触を検出するように構成するステップをさらに含む請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】
前記アレイの対向する側に前記ストップ構造体のうちの２つを形成するステップをさらに含む請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
試験される電子装置とプローブカードアセンブリとの間の相対的な移動を制御する方法であって、
前記装置と前記プローブカードアセンブリとの相対的な移動を生じさせるステップと、
ウエハと前記プローブカードアセンブリとの間のオーバートラベルの所望量を検出するステップと、
前記オーバートラベルの所望量が検出した後において、前記装置と前記プローブカードアセンブリとの前記相対的な移動を停止するステップと
を包含する、方法。
【請求項３５】
前記オーバートラベルの所望量を検出する前記ステップが、前記プローブカードアセンブリ上のストップ構造体と前記装置との間の接触を検出するステップを含む請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
前記オーバートラベルの所望量を検出する前記ステップが、前記プローブカードアセンブリ上の複数のストップ構造体と前記装置との間の接触を検出するステップを含む請求項３４に記載の方法。
【請求項３７】
試験される装置とプローブカードアセンブリとの相対的な移動を制御する方法をコントローラに実施させるための機械実行命令を格納するための媒体であって、前記方法が、
前記装置と前記プローブカードアセンブリとの相対的な移動を生じさせるために制御信号を生成するステップと、
ウエハと前記プローブカードアセンブリとの間のオーバートラベルの所望量の達成を表す入力信号を受信するステップと、
前記入力信号に応答して、前記装置と前記プローブカードアセンブリとの相対的な移動を停止させるために制御信号を生成するステップと
を包含する、媒体。
【請求項３８】
試験される電子装置とプローブカードアセンブリとの間の相対的な移動を制御する方法であって、
前記装置と前記プローブカードアセンブリとの相対的な移動を生じさせるステップと、
前記プローブカードアセンブリに対する前記装置の力を判定するステップと、
前記力が最大の力を超えたときに、前記移動を停止するステップと
を包含する、方法。
【請求項３９】
前記力にしたがって前記移動の速度を調節するステップをさらに含む請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記力にしたがって前記移動の速度を調節する前記ステップが、前記力が増大する場合において前記速度を減じるステップを含む請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
試験される装置とプローブカードアセンブリとの相対的な移動を制御する方法をコントローラに実施させるための機械実行命令を格納するための媒体であって、前記方法が、
前記装置と前記プローブカードアセンブリとの相対的な移動を生じさせるために制御信号を生成するステップと、
前記プローブカードアセンブリに対する前記装置の力に対応する入力信号を受信するステップと、
前記力が最大の力を超えたときに、前記移動を停止させるために制御信号を生成するステップと
を包含する、媒体。
【請求項４２】
前記方法がさらに、前記力にしたがって前記移動の速度を調節するために制御信号を生成するステップを含む請求項４１に記載の媒体。
【請求項４３】
基板に取り付けられた複数のプローブであって、試験される装置の入力および／または出力端子のうちの一部の端子と接触するように配置されている、複数のプローブと、
前記基板に取り付けられているストップ構造体であって、前記試験される装置の前記入力および／または出力端子のうちの他の端子と係合するように配置されている、ストップ構造体と
を備えたプローブカードアセンブリであって、
前記入力および／または出力端子の前記一部の端子と前記入力および／または出力端子のうちの前記他の端子とが、前記試験される装置への電気信号および／または前記試験される装置からの電気信号を提供するように構成されている、プローブカードアセンブリ。
【請求項４４】
前記ストップ構造体がセンサーを含む請求項４３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項４５】
前記プローブがアレイの状態で配置され、前記プローブカードアセンブリが、複数のストップ構造体であって、それぞれが前記試験される装置と係合するように構成されている、複数のストップ構造体をさらに含む、請求項４３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項４６】
前記複数のストップ構造体の少なくとも２つが、前記アレイの対向する側に配置されている請求項４５に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項４７】
（ｉ）前記試験される装置の少なくとも１つの端子と前記ストップ構造体との間の接触と、
（ｉｉ）前記プローブのうちの１つに対する力と
のうちの少なくとも１つを判定する検出手段をさらに備える、請求項４３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項４８】
前記複数のプローブのそれぞれが、前記基板から第１の距離に配置されている接触先端部を含んでおり、
前記ストップ構造体が、前記基板から第２の距離に配置されているストップ造作を含んでいる、請求項４３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項４９】
前記第２の距離が前記第１の距離よりも小さい、請求項４８に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５０】
前記プローブが圧縮可能であり、前記ストップ構造体が前記プローブの圧縮を制限する、請求項４３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５１】
第２の基板であって、可撓性材料を含んでおり、前記ストップ構造体に適用される力に応答して屈曲するように構成されている、第２の基板をさらに備える、請求項４３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５２】
前記基板が、基部に結合された空間変圧器を備える、請求項４３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５３】
前記ストップ構造体が、前記試験される装置の前記入力および／または出力端子のうちの前記他の端子と物理的に接触するように配置されている、請求項４３に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５４】
基板に取り付けられた複数のプローブであって、試験される装置と接触するように配置されている、複数のプローブと、
前記基板に取り付けられているストップ構造体であって、前記試験される装置と物理的に接触するように配置されている、ストップ構造体と
センサーであって、
前記試験される装置の前記ストップ構造体との接触を示す信号と、
前記プローブに対する前記試験される装置の力に比例する信号と、
コントローラへの入力用の信号であって、前記試験される装置の前記プローブカードアセンブリに対する相対的な位置を制御する、信号と
のうちの少なくとも１つを出力するように構成されている、センサーと
を備える、プローブカードアセンブリ。
【請求項５５】
前記ストップ構造体が弾力性を有する、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５６】
前記ストップ構造体が剛直である、請求項５５に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５７】
前記ストップ構造体が前記センサーを含む、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５８】
前記プローブがアレイの状態で配置され、前記プローブカードアセンブリが、複数のストップ構造体をさらに含む、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項５９】
前記複数のストップ構造体の少なくとも２つが、前記アレイの対向する側に配置されている、請求項５８に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６０】
前記複数のプローブのそれぞれが、前記基板から第１の距離に配置されている接触先端部を含んでおり、
前記ストップ構造体が、前記基板から第２の距離に配置されているストップ造作を含んでいる、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６１】
前記第２の距離が前記第１の距離よりも小さい、請求項６０に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６２】
前記プローブが圧縮可能であり、前記ストップ構造体が前記プローブの圧縮を制限する、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６３】
第２の基板であって、可撓性材料を含んでおり、前記ストップ構造体に適用される力に応答して屈曲するように構成されている、第２の基板をさらに備える、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６４】
前記基板が、基部に結合された空間変圧器を備える、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６５】
前記センサーが、前記装置の前記ストップ構造体との接触を示す信号を出力するように構成されている、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６６】
前記センサーが、前記プローブに対する前記試験される装置の力に比例する信号を出力するように構成されている、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６７】
前記センサーが、コントローラへの入力用の信号であって、前記試験される装置の前記プローブカードアセンブリに対する相対的な移動を制御する、信号を出力するように構成されている、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６８】
前記試験される装置が、入力および／または出力端子を備えており、前記プローブが、前記端子の一部の端子と接触するように構成されており、前記ストップ構造体が、前記端子のうちの少なくとも１つと係合するように構成されている、請求項５４に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項６９】
基板と、
前記基板に取り付けられているプローブのアレイであって、試験される装置と接触するように構成されている、プローブのアレイと、
前記プローブのアレイの外部かつ前記プローブのアレイに隣接して配置されている複数のストップ構造体であって、該ストップ構造体の一部のストップ構造体は、前記試験される装置との物理的な接触を検出するように構成されているセンサーを備える、複数のストップ構造体と
を備える、プローブカードアセンブリ。
【請求項７０】
前記複数のプローブのそれぞれが、前記基板から第１の距離に配置されている接触先端部を含んでおり、
前記ストップ構造体のそれぞれが、前記基板から第２の距離に配置されているストップ造作を含んでいる、請求項６９に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項７１】
前記第２の距離が前記第１の距離よりも小さい、請求項７０に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項７２】
前記プローブが圧縮可能であり、前記ストップ構造体が前記プローブの圧縮を制限する、請求項６９に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項７３】
前記プローブが弾力性を有する、請求項７２に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項７４】
前記センサーを備えているストップ構造体の対が、前記プローブのアレイの対向する側に配置されている、請求項６９に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項７５】
前記ストップ構造体が可撓性である、請求項６９に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項７６】
前記ストップ構造体が弾力性を有する、請求項６９に記載のプローブカードアセンブリ。
【請求項７７】
前記試験される装置が、入力および／または出力端子を備えており、前記プローブが、前記端子の一部の端子と接触するように構成されており、前記ストップ構造体が前記端子のうちの少なくとも１つと係合するように構成されている、請求項６９に記載のプローブカードアセンブリ。