【手続補正書】
【提出日】平成19年3月20日(2007.3.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】    【請求項１】  流体保存／分配システムであって、  流体を保持するための内部容積を囲み、開口部を備える流体保存／分配容器と、  前記開口部と流体連通して結合し、流体を選択的に分配するように構成された流体分配組立体と、  前記流体保存／分配容器の前記内部容積内にある調節可能な設定点圧力調節器であって、前記選択的な流体分配時に、設定点を決定された圧力で、流体を前記内部容積から流体分配組立体に流すように構成された前記設定点圧力調節器と、  前記流体保存／分配容器の外部にある設定点調節手段であって、前記調節可能な設定点圧力調節器に制御可能に連結されて、前記調節可能な設定点圧力調節器の設定点を選択的に変更する前記手段と、  を備える流体保存／分配システム。    【請求項２】  前記調整器の設定点は流体的に調節可能である、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項３】  前記流体保存／分配容器の外部にある前記設定点調節手段は、圧力設定点決定圧力を前記調整器に選択的に送るように配置された流体流量制御装置を備える、請求項２記載の流体保存／分配システム。    【請求項４】  前記流体流量制御装置は流体流動回路構成により前記調整器と結合される、請求項３記載の流体保存／分配システム。    【請求項５】  前記圧力設定点決定圧力は大気圧未満の圧力から大気圧を超える圧力までの圧力範囲を含む、請求項３記載の流体保存／分配システム。    【請求項６】  前記圧力設定点決定範囲は約１Ｔｏｒｒ〜約２２５０ｐｓｉｇの範囲内である、請求項５記載の流体保存／分配システム。    【請求項７】  前記流体保存／分配容器の開口部内にバルブヘッドを、さらに備える、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項８】  前記バルブヘッドが３ポートバルブヘッドであって、第１流体充填ポートと、第２流体排出ポートと、前記調整器用の第３流体流量調節ポートを有するバルブヘッドを備える、請求項７記載の流体保存／分配システム。    【請求項９】  前記バルブヘッドが２ポートバルブヘッドであって、第１流体充填／流体排出ポートと、前記調整器のための第２流体流量調節ポートとを有するバルブヘッドを備える、請求項７記載の流体保存／分配システム。    【請求項１０】  前記流体保存／分配容器の外部にある前記設定点調節手段は、前記バルブヘッド内の流体流量調節通路と連通して結合した液体流量制御装置を含み、前記バルブヘッド内の前記流体流量調節通路が、前記流体流量調節通路を前記調整器と相互接続する流体流動ラインに結合して、前記調節可能な設定点圧力調節器の圧力設定点を調節する、請求項７記載の流体保存／分配システム。    【請求項１１】  前記調節可能な設定点圧力調節器は、出口圧力の減少に応答して膨張し、出口圧力の増加に応答して収縮し、もって分配時の圧力設定点を応答可能に維持するように配置された圧力感知組立体を備える、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項１２】  前記設定点圧力調節器は隔膜要素を備え、前記隔膜要素が、前記調整器の出口圧力に応答して平行移動し、もって前記選択的分配のために選択された設定点圧力を応答可能に維持する、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項１３】  前記流体保存／分��容器の内部容積内にある前記調整器と直列に連通する少なくとも１個の粒子フィルタをさらに備える、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項１４】  前記調整器は前記流体分配組立体と流体連通した延長管上に取り付けられ、前記調整器が、前記容器の内部容積から前記流体分配組立体に流れる流体の圧力を制御し、粒子フィルタが前記延長管の入口部分に取り付けられ、第２粒子フィルタが、前記調整器の下流で前記延長管に取り付けられる、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項１５】  前記設定点調節手段は空気圧調節手段を備える、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項１６】  前記設定点調節手段は前記調整器の圧力設定点を調節するための加圧ガス源を備える、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項１７】  前記設定点調節手段は前記調整器の圧力設定点を調節するための真空源を備える、請求項１０記載の流体保存／分配システム。    【請求項１８】  前記設定点調節手段は前記調整器の圧力設定点を、大気圧未満の圧力と大気圧を超える圧力との間で選択的に変更するために配置される、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項１９】  前記設定点調節手段は手動で起動可能である、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項２０】  前記設定点調節手段は自動的に起動可能である、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項２１】  前記流体分配組立体、または前記流体分配組立体の下流の流動ラインに結合し、構成内の前記調整器に作動的に結合して、前記流体保存／分配容器からの流体が枯渇状態からほぼ枯渇状態であることを指示する圧力監視装置をさらに備える、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項２２】  前記流体保存／分配容器の開口部にバルブヘッドをさらに備え、前記バルブヘッドは内部の流体排出流動通路内に流量制御バルブと、前記流量制御バルブのためのバルブ作動装置とを備える、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項２３】  前記バルブ作動装置は手動ハンドホイール作動装置を備える、請求項２２記載の流体保存／分配システム。    【請求項２４】  前記バルブ作動装置は自動バルブ作動装置を備える、請求項２２記載の流体保存／分配システム。    【請求項２５】  圧縮液化ガスおよび圧縮ガスからなる群から選択される、前記容器の内部容積内に含まれる流体をさらに含む、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項２６】  アルシン、ホスフィン、スチビン、シラン、ジボラン、フッ化水素、三塩化ホウ素、三フッ化ホウ素、塩化水素、ハロゲン化シラン及びジシランからなる群から選択される、前記容器の内部容積に含まれる液体をさらに含む、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項２７】  アルシン、三塩化ホウ素及び三フッ化ホウ素からなる群から選択される、前記容器の内部容積内に含まれる液体をさらに含む、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項２８】  前記調節可能な設定点調整器と直列な前記流体保存／分配容器の内部容積内の第２設定点圧力調節器をさらに備える、請求項１記載の流体保存／分配システム。    【請求項２９】  前記第２設定点圧力調節器は前記調節可能な設定点調��器の上流に配置され、その結果、前記流体保存／分配容器から分配される流体が、前記調節可能な設定点調整器を通って流れるに先立ち、前記第２設定点圧力調節器に流れる、請求項２８記載の流体保存／分配システム。    【請求項３０】  前記第２設定点圧力調節器は前記流体保存／分配容器の内部容積内で調節不能な固定設定点調整器である、請求項２８記載の流体保存／分配システム。    【請求項３１】  前記第２設定点圧力調節器は前記流体保存／分配容器の内部容積内で調節可能な可調節設定点調整器である、請求項２８記載の流体保存／分配システム。    【請求項３２】  前記設定点調節手段は前記設定点調整器の各々を、独立して調節するための手段を備える、請求項３１記載の流体保存／分配システム。    【請求項３３】  前記第２設定点圧力調節器は、約２０ｐｓｉｇ〜約２５００ｐｓｉｇの範囲の圧力設定点を有し、前記調節可能な設定点調整器は約１Ｔｏｒｒ〜約２５００ｐｓｉｇの範囲の圧力設定点を有し、前記第２設定点圧力調節器の設定点は前記調節可能な設定点調整器の圧力設定点を超える、請求項２９記載の流体保存／分配システム。    【請求項３４】  前記第２設定点圧力調節器の圧力設定点は前記調節可能な設定点調整器の圧力設定点の少なくとも２倍である、請求項３３記載の流体保存／分配システム。    【請求項３５】  流体保存／分配システムであって、  流体を保持するための内部容積を囲み、開口部を備える流体保存／分配容器と、  前記開口部と流体連通し、流体を選択的に分配するように構成された、流体分配組立体と、  前記流体保存／分配容器の内部容積内にある調節可能な設定点圧力調節器であって、前記選択的流体分配時に、所定の圧力設定点で流体を前記内部容積から流体分配組立体に流すように構成された流体保存／分配容器と、  前記流体保存／分配容器の内部容積内の調節可能な設定点調整器を、前記流体保存／分配容器の外側にある圧力設定点調節手段に結合するための手段と、  を備える流体保存／分配システム。    【請求項３６】  前記流体保存／分配容器の内部容積内にある前記調節可能な設定点調整器を結合するための前記手段は、前記流体保存／分配容器の内部容積内の調節可能な設定点調整器を前記流体保存／分配容器の外側にある前記圧力設定点調節手段と相互接続する流体流動回路を備える、請求項３５記載の流体保存／分配システム。    【請求項３７】  流体保存／分配システムであって、ガスを分配するための流動回路と、前記容器の内部に配置されて、前記調整器の圧力設定点により決定される排出圧力で前記容器から流体を排出するように構成された調節可能な設定点調整器を含む流体保存／分配容器と、前記調整器の圧力設定点を変更するための手段と、前記調整器の圧力設定点を変更させながら、前記流動回路内の圧力上昇を監視して、前記容器が流体枯渇状態に達したか、または流体枯渇状態に達しつつあるかどうかを決定する手段と、を備える流体保存／分配システム。    【請求項３８】  前記監視手段はアラームに作動的に結合され、前記アラームが、前記容器が流体枯渇状態に達したか、または流体枯渇状態に達しつつある場合に起動する、請求項３７記載の流体保存／分配システム。    【請求項３９】  流体を供給して���用する方法であって、  流体保存／分配容器内の流体を、前記流体保存／分配容器内の調節可能な設定点圧力調節器に対して閉じ込めるステップであって、前記調節可能な設定点圧力調節器が、前記流体保存／分配容器から流体を分配する時に、設定点を決定された圧力で、流体を前記設定点圧力調節器から流すように構成されているステップと、  前記容器の外側の座から前記調節可能な設定点圧力調節器の設定点を選択的に調節して、前記調節後に、選択された圧力設定点を提供するステップと、を含む方法。    【請求項４０】  分配動作に先立ち、前記容器の保存又は搬送時に、前記調節可能な設定点圧力調節器の設定点を大気圧未満の圧力に設定するステップを含む、請求項３９に記載の方法。    【請求項４１】  前記調節は前記分配動作に関して前記大気圧未満の圧力から大気圧を超える圧力である、請求項３９記載の方法。    【請求項４２】  分配された流体を半導体製造に使用するステップをさらに含む、請求項３９記載の方法。     【請求項４３】  前記容器内の流体は圧縮液化ガス及び圧縮ガスからなる群から選択される、請求項３９記載の方法。    【請求項４４】  前記容器内の流体は、アルシン、ホスフィン、スチビン、シラン、ジボラン、フッ化水素、三塩化ホウ素、三フッ化ホウ素、塩化水素、ハロゲン化シラン及びジシランからなる群から選択される液体を含む、請求項３９記載の方法。    【請求項４５】  前記容器内に含まれる流体は、アルシン、三塩化ホウ素及び三フッ化ホウ素からなる群から選択される液体を含む、請求項３９記載の方法。    【請求項４６】  前記調節可能な設定点圧力調節器は第２圧力調節器と直列に配置される、請求項３９記載の方法。    【請求項４７】  前記第２圧力調節器は前記流体保存／分配容器内で調節不能な固定設定点調整器を備える、請求項４６記載の方法。    【請求項４８】  前記第２圧力調節器は調節可能な設定点圧力調節器を備える、請求項４６記載の方法。     【請求項４９】  前記流体保存／分配容器から分配される流体は、半導体製造装置へ流れる、請求項４６記載の方法。    【請求項５０】  流体保存／分配方法であって、  ガスを分配するための流動回路を提供するステップと、  調節可能な設定点調整器を備える流体保存／分配容器を前記流動回路に結合するステップであって、前記設定点調整器は前記容器の内部に配置されて、前記調整器の圧力設定点により決定された排出圧力で前記容器から流体を排出するように構成されているステップと、  前記調整器の圧力設定点を変更させながら、前記流動回路内の圧力上昇を監視して、前記容器が流体枯渇状態に達したか、または流体枯渇状態に達しつつあるかどうかを決定するステップと、を含む方法。    【請求項５１】  流体保存／分配システムであって、  流体を保持するための内部容積を囲み、開口部を備える流体保存／分配容器と、  前記開口部と流体連通して結合し、流体を選択的に分配するように構成された流体分配組立体と、  前記流体保存／分配容器の前記内部容積内にある調節可能な設定点圧力調節器であって、前記選択的な流体分配時に、設定点を決定された圧力で、流体を前記内部容積から流体分配組立体に流すように構成された前記設定点圧力調節器と、  前記流体保存��分配容器の前記内部容積内にある調節可能な設定点圧力調節器を、前記流体保存／分配容器の外部にある設定点圧力調節手段と連結する手段と、  を備える流体保存／分配システム。    【請求項５２】  前記設定点調節手段をさらに備える、請求項１に記載の流体保存／分配システム。