【手続補正書】
【提出日】平成19年2月28日(2007.2.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨対象物を研磨する研磨工具であって、
上面に複数の凹部を有する研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上面に固定される研磨パッドであって、前記凹部内に収容されて前記研磨テーブルに固定される複数の研磨パッド片を有する研磨パッドと、
を備えた、研磨工具。
【請求項２】
研磨対象物を研磨する研磨工具であって、
内部に複数の貫通穴を設けた保持プレートを有する研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上面に固定される研磨パッドであって、前記保持プレートの貫通穴内に収容されて前記研磨テーブルに固定される複数の研磨パッド片を有する研磨パッドと、
を備えた、研磨工具。
【請求項３】
前記研磨パッド片は、前記凹部内に収容されて前記研磨テーブルに固定される台座の上面に固定されている、請求項１に記載の研磨工具。
【請求項４】
前記研磨パッド片は、前記保持プレートの貫通穴内に収容されて前記研磨テーブルに固定される台座の上面に固定されている、請求項２に記載の研磨工具。
【請求項５】
前記研磨パッド片は、隣接する研磨パッド片の間に隙間を形成するように配置される、請求項１から４のいずれか一項に記載の研磨工具。
【請求項６】
前記隙間に配置される少なくとも１つの堰をさらに備えた、請求項５に記載の研磨工具。
【請求項７】
前記研磨パッド片は、それぞれ前記研磨対象物よりも寸法が小さい、請求項１から６のいずれか一項に記載の研磨工具。
【請求項８】
前記複数の研磨パッド片は、
少なくとも１つの第１の研磨パッド片と、
前記少なくとも１つの第１の研磨パッド片の材料物性または表面形状とは異なる材料物性または表面形状を有する少なくとも１つの第２の研磨パッド片と、
を備えた、請求項１から７のいずれか一項に記載の研磨工具。
【請求項９】
研磨テーブルに研磨パッドを固定する方法であって、
高温で軟化して接着力が低下し、常温で硬化して接着力が発現する感熱型接着剤を前記研磨テーブルと前記研磨パッドとの間に塗布し、
前記研磨パッドが前記研磨テーブル上に配置されたときに前記感熱型接着剤を加熱し、
前記加熱後に前記感熱型接着剤を冷却して前記研磨パッドを前記研磨テーブルに接着する、方法。
【請求項１０】
前記加熱または冷却は、温度調整された加熱または冷却媒体を前記研磨テーブル内部に導入することを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記加熱または冷却は、前記研磨パッドの非接着面近傍に設けられた加熱装置または冷却装置により前記感熱型接着剤を加熱または冷却することを含む、請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
研磨対象物を研磨する研磨装置であって、
研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上面に固定される研磨パッドであって、前記研磨テーブルに固定される複数の研磨パッド片を有する研磨パッドと、
前記研磨対象物を前記研磨パッドに押圧するトップリングと、
前記研磨テーブルに設けられ、隣接する研磨パッド片の間に形成された開口を通して前記研磨対象物の表面に光を照射する光源と、
前記研磨テーブルに設けられ、前記研磨対象物から反射した光を受光する受光部と、
を備えた、研磨装置。
【請求項１３】
研磨対象物を研磨する研磨装置であって、
研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上面に固定される複数の台座と、
前記複数の台座に固定される複数の研磨パッド片を有する研磨パッドと、
前記研磨対象物を前記研磨パッドに押圧するトップリングと、
前記研磨テーブルに設けられ、隣接する研磨パッド片の間に形成された開口を通して前記研磨対象物の表面に光を照射する光源と、
前記研磨テーブルに設けられ、前記研磨対象物から反射した光を受光する受光部と、
を備えた、研磨装置。
【請求項１４】
研磨対象物を研磨する研磨装置であって、
研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上面に固定される研磨パッドであって、少なくとも１つの光透過片と前記研磨テーブルに固定される複数の研磨パッド片とを有する研磨パッドと、
前記研磨対象物を前記研磨パッドに押圧するトップリングと、
前記研磨テーブルに設けられ、前記少なくとも１つの光透過片を通して前記研磨対象物の表面に光を照射する光源と、
前記研磨テーブルに設けられ、前記研磨対象物から反射した光を受光する受光部と、
を備えた、研磨装置。
【請求項１５】
研磨対象物を研磨する研磨装置であって、
研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上面に固定される複数の台座と、
少なくとも１つの光透過片と前記複数の台座に固定される複数の研磨パッド片を有する研磨パッドと、
前記研磨対象物を前記研磨パッドに押圧するトップリングと、
前記研磨テーブルに設けられ、前記少なくとも１つの光透過片を通して前記研磨対象物の表面に光を照射する光源と、
前記研磨テーブルに設けられ、前記研磨対象物から反射した光を受光する受光部と、
を備えた、研磨装置。
【請求項１６】
研磨対象物を研磨する研磨装置であって、
研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上面に固定される研磨パッドであって、前記研磨テーブルに固定される複数の研磨パッド片を有する研磨パッドと、
前記研磨対象物を前記研磨パッドに押圧するトップリングと、
前記研磨テーブルに設けられ、前記複数の研磨パッド片のうち少なくとも１つに形成された少なくとも１つの貫通孔を通して前記研磨対象物の表面に光を照射する光源と、
前記研磨テーブルに設けられ、前記研磨対象物から反射した光を受光する受光部と、
前記少なくとも１つの貫通孔に位置合わせされた、測定流体を供給する流体供給路と、
前記少なくとも１つの貫通孔に位置合わせされた、前記測定流体を排出する流体排出路と、
を備えた、研磨装置。
【請求項１７】
研磨対象物を研磨する研磨装置であって、
研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上面に固定される複数の台座と、
前記複数の台座に固定される複数の研磨パッド片を有する研磨パッドと、
前記研磨対象物を前記研磨パッドに押圧するトップリングと、
前記研磨テーブルに設けられ、前記複数の研磨パッド片のうち少なくとも１つに形成された少なくとも１つの貫通孔と前記複数の台座のうち少なくとも１つに形成された少なくとも１つの貫通孔とを通して前記研磨対象物の表面に光を照射する光源と、
前記研磨テーブルに設けられ、前記研磨対象物から反射した光を受光する受光部と、
前記複数の研磨パッド片のうち少なくとも１つに形成された少なくとも１つの貫通孔と前記複数の台座のうち少なくとも１つに形成された少なくとも１つの貫通孔とに位置合わせされた、測定流体を供給する流体供給路と、
前記複数の研磨パッド片のうち少なくとも１つに形成された少なくとも１つの貫通孔と前記複数の台座のうち少なくとも１つに形成された少なくとも１つの貫通孔とに位置合わせされた、前記測定流体を排出する流体排出路と、
を備えた、研磨装置。
【請求項１８】
研磨対象物を研磨する研磨装置であって、
研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの上面に固定される研磨パッドであって、
研磨液を流通させるための前記研磨パッドの上面の溝と、
前記研磨液の流れを阻害する、前記溝に設けられた堰と、
を含む研磨パッドと、
前記研磨対象物を前記研磨パッドに押圧するトップリングと、
を備えた、研磨装置。
【請求項１９】
研磨対象物を研磨する研磨装置であって、
研磨テーブルと、
液晶材料からなる接着剤により前記研磨テーブルの上面に接着された研磨パッドと、
前記研磨対象物を前記研磨パッドに押圧するトップリングと、
を備えた、研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上述した第１の目的を達成するために、本発明の第１の態様によれば、研磨対象物を研磨する研磨工具が提供される。研磨工具は、上面に複数の凹部を有する研磨テーブルと、前記研磨テーブルの上面に固定される研磨パッドであって、前記凹部内に収容されて前記研磨テーブルに固定される複数の研磨パッド片を有する研磨パッドとを備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明の第２の態様によれば、研磨対象物を研磨する研磨工具が提供される。研磨工具は、内部に複数の貫通穴を設けた保持プレートを有する研磨テーブルと、前記研磨テーブルの上面に固定される研磨パッドであって、前記保持プレートの貫通穴内に収容されて前記研磨テーブルに固定される複数の研磨パッド片を有する研磨パッドとを備える。