【手続補正書】
【提出日】平成18年8月8日(2006.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレースガスを含有するサンプルを受け入れるよう構成されたテストラインと、
前記トレースガスを受け入れる入口を有するとともに、前記トレースガスを検出するよう構成された質量分光計と、
軽いガスに対して比較的高い逆流流量を与え、重いガスに対して比較的低い逆流流量を与えることを特徴とする第１真空ポンプであって、ポンプ入口とフォアラインとを有し、そして、前記ポンプ入口が前記質量分光計の前記入口に結合されている第１真空ポンプと、
前記第１真空ポンプの前記フォアラインと前記テストラインとの間に結合されたフォアライン弁と、
前記テストラインと前記質量分光計の前記入口との間に結合され、トレースガスの通過を許容し、他のガス、液体および粒子をブロックするトレースガス透過性部材と、
前記テストラインに結合された入口を有する第２真空ポンプと
を含むことを特徴とする漏れ検出装置。
【請求項２】
前記透過性部材が石英部材を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記透過性部材が石英部材を含み、
前記装置は更に、前記石英部材と熱接触する加熱部材と、前記加熱部材を制御するよう構成された制御部とを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記透過性部材のトレースガス透過度が制御可能であることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記透過性部材は制御可能であり、
前記装置は、前記テストライン内が比較的高い圧力のとき、前記透過性部材のトレース
ガス透過度を増大させるとともに、前記フォアライン弁を閉鎖するように構成され、かつ、前記テストライン内が比較的低い圧力のとき、前記透過性部材のトレースガス透過度を減少させるとともに、前記フォアライン弁を開くように構成された制御部をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記第１真空ポンプがターボ分子ポンプを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記第１真空ポンプが拡散ポンプを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記第１真空ポンプが、軸方向ポンプステージと１つまたは複数の分子引きずりステージとを含むハイブリッド真空ポンプを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項９】
テストラインを介してテスト容積からガスを排気することと、
前記テストライン内が比較的高い圧力のとき、前記排気ガスの第１部分をトレースガス透過性部材を介して質量分光計へ通過させることと、
前記テストライン内が比較的低い圧力のとき、前記排気ガスの第２部分を、真空ポンプを介して前記質量分光計へ逆方向に通過させることとを含み、
前記トレースガス透過性部材は、トレースガスの通過を許容し、他のガス、液体および粒子をブロックするものであり、
前記真空ポンプは、軽いガスに対して比較的高い逆流流量を与え、重いガスに対して比較的低い逆流流量を与えることを特徴とする漏れ検出方法。
【請求項１０】
前記排気ガスの前記第２部分を、前記真空ポンプを介して逆方向に通過させることは、前記真空ポンプのフォアラインと前記テストラインとの間に結合されたフォアライン弁を設けることと、前記テストライン内が比較的高い圧力のとき前記フォアライン弁を閉鎖することと、前記テストライン内が比較的低い圧力のとき前記フォアライン弁を開くこととを含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記排気ガスの前記第１部分を前記トレースガス透過性部材を介して通過させることは、前記テストライン内が比較的高い圧力のときの高いトレースガス透過度と、前記テストライン内が比較的低い圧力のときの低いトレースガス透過度との間で前記透過性部材を制御することを含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記透過性部材を制御することは、前記透過性部材を加熱することを含むことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記テストライン内が比較的高い圧力のとき、前記トレースガス透過性部材を介して通過させられたガスを検出して大規模漏れであると判別することを更に含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１４】
前記排気ガスの前記第１部分を前記トレースガス透過性部材を介して通過させることは、前記透過性部材の透過度を増大させることと、前記真空ポンプのフォアラインと前記テストラインとの間に結合されたフォアライン弁を閉鎖することを含み、
前記排気ガスの前記第２部分を前記真空ポンプを介して逆方向に通過させることは、前記透過性部材の透過度を減少させることと、前記フォアライン弁を開くこととを含む、ことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１５】
トレースガスを含有するサンプルを受け入れるよう構成されたテストラインと、
前記トレースガスを受け入れる入口を有するとともに、前記トレースガスを検出するよ
う構成された質量分光計と、
軽いガスに対して比較的高い逆流流量を与え、重いガスに対して比較的低い逆流流量を与えることを特徴とする第１真空ポンプであって、ポンプ入口とフォアラインとを有し、前記ポンプ入口が前記質量分光計の前記入口に接続されている第１真空ポンプと、
前記第１真空ポンプをバックアップするよう構成された第２真空ポンプと、
前記フォアラインと、前記テストラインとの間に結合され、トレースガスの通過を許容し、他のガス、液体および粒子をブロックするトレースガス透過性部材と
を含むことを特徴とする漏れ検出装置。
【請求項１６】
前記第１真空ポンプはターボ分子ポンプを含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記トレースガス透過性部材と並列に結合されたバイパス弁を更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
前記テストラインと結合された粗引きポンプを更に含むことを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１９】
トレースガスを含有するサンプルを受け入れるよう構成されたテストラインと、
前記トレースガスを受け入れる入口を有するとともに、前記トレースガスを検出するよう構成された質量分光計と、
ポンプ入口、中間ステージラインおよびフォアラインを有し、前記ポンプ入口が前記質量分光計の前記入口に結合されているターボ分子真空ポンプと、
前記ターボ分子真空ポンプをバックアップするよう構成されたフォアポンプと、
前記テストラインと前記ターボ分子真空ポンプの前記中間ステージラインとの間に結合され、トレースガスの通過を許容し、他のガス、液体および粒子をブロックするトレースガス透過性部材と
を含むことを特徴とする漏れ検出装置。
【請求項２０】
前記トレースガス透過性部材と並列に結合されたバイパス弁を更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記テストラインに結合された粗引きポンプを更に含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の第１実施形態に係る漏れ検出装置を図２に示す。テスト容積１１１を有するテストピース１１０が入口フランジ１１２に取付けられている。入口フランジ１１２は漏れ検出器のテスト口を形成するとともに、テスト弁１３６を介してテストライン１１４に接続されている。フォアポンプ１１６は、テストライン１１４とテスト容積１１１とを排気するためにテストライン１１４に結合された入口を有している。漏れ検出器は更に、ターボポンプ１２０と、質量分光計１２２と、フォアライン弁１２４と、中間ステージ弁１３８と、トレースガス透過性部材１３０と、制御部１３２と、関連導管とを含む。質量分光計１２２は、ターボポンプ１２０の入口に結合された入口１６２を有している。ターボポンプ１２０のフォアライン１４０はフォアライン弁１２４を介してテストライン１１４に結合されている。ターボポンプ１２０のオプションの中間ステージライン１４２は中間ステージ弁１３８を介してテストライン１１４に結合されている。