【手続補正書】
【提出日】平成19年9月25日(2007.9.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜沈着システムのためのダイヤフラムバルブであって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、
第１の側部及び第２の側部を有する可撓性のダイヤフラムであって、該ダイヤフラムは、前記第１の側部が前記バルブシートの前記座席表面に向かって面した状態で該バルブシートの反対側で前記バルブ通路に隣接して配置され、前記ダイヤフラムは、前記バルブ通路が少なくとも部分的に開くところの開位置と、前記ダイヤフラムの前記第１の側部の一部分が前記バルブシートに対して押され、これによって前記バルブ通路を遮断して前記バルブシートと前記ダイヤフラムとの間の熱輸送を容易にするところの閉位置との間で撓むように、印加された作動力に応答して作動可能である、前記ダイヤフラムと、
前記バルブボディと熱的に接触し且つ前記ダイヤフラムの前記第２の側部に近接して延在する加熱ボディであって、これによって、前記バルブボディから前記ダイヤフラムの前記第２の側部の近傍への熱伝導経路を形成し、該熱伝導経路は該ダイヤフラムにおいて作動温度を維持することを容易にする、前記加熱ボディと、
を備える、ダイヤフラムバルブ。
【請求項２】
ダイヤフラムバルブであって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、
前記入口及び前記出口のうちいずれかを取り囲むバルブシートであって、該バルブシートは、前記入口及び前記出口のうち前記いずれかから径方向に延在すると共に前記バルブ通路に隣接する環状座席表面を有する、前記バルブシートと、
第１の側部及び第２の側部を有する可撓性のダイヤフラムであって、該ダイヤフラムは、前記第１の側部が前記バルブシートの前記座席表面に向かって面した状態で該バルブシートの反対側で前記バルブ通路に隣接して配置され、前記ダイヤフラムは、前記バルブ通路が少なくとも部分的に開くところの開位置と、前記ダイヤフラムの前記第１の側部の大部分が前記バルブシートに対して押され、これによって前記バルブ通路を遮断して前記バルブシートと前記ダイヤフラムとの間の熱輸送を容易にするところの閉位置との間で撓むように、印加された作動力に応答して作動可能である、前記ダイヤフラムと、
前記バルブボディと熱的に接触し且つ前記ダイヤフラムの前記第２の側部に近接して延在する加熱ボディであって、これによって、前記ダイヤフラムにおいて作動温度を維持することを容易にする熱伝導経路を形成する、前記加熱ボディと、
を備える、ダイヤフラムバルブ。
【請求項３】
前記ダイヤフラムの前記第２の側部に隣接した覆い空間を更に備える、請求項１又は２に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項４】
ダイヤフラムバルブであって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、
第１及び第２の側部を有し、該第１の側部が前記バルブ通路に近接するように配置されたダイヤフラムであって、該ダイヤフラムは、前記バルブ通路を遮断するところの閉位置と前記バルブ通路が少なくとも部分的に開くところの開位置との間を移行するように、印加された作動力に応答して作動可能である、前記ダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムの前記第２の側部に隣接した覆い空間と、
前記覆い空間を排気するため該覆い空間と連通する排出通路であって、該排出通路はポンプと作動的に連結するように構成され、これによって前記開位置と前記閉位置との間の前記ダイヤフラムの移行を容易にする、前記排出通路と、
を備える、ダイヤフラムバルブ。
【請求項５】
前記バルブボディと熱的に接触し且つ前記ダイヤフラムの前記第２の側部に近接して延在する加熱ボディを更に備え、これによって、前記ダイヤフラムで作動温度を維持することを容易にする熱伝導経路を形成する、請求項４に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項６】
前記加熱ボディは、アルミニウム、ステンレス鋼、チタニウム及び銅からなるグループから選択された材料を含んでいる、請求項１乃至３及び５のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項７】
前記ダイヤフラムを前記開位置と前記閉位置との間で移行させるように該ダイヤフラムに作動力を印加するためプランジャーによって該ダイヤフラムに連結されたソレノイドを有するアクチュエータを更に備え、前記加熱ボディは、前記ダイヤフラムと前記ソレノイドとの間に介在されると共に、前記プランジャーが延在しているところの中央開口部を備える、請求項１乃至３、５及び６のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項８】
請求項１、２、３、５、６及び７のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブと組み合わされ、前記バルブボディと熱的に連係されたヒーターであって、
前記ヒーターは熱を発生するように構成され、該熱は前記バルブボディ及び前記加熱ボディを介して伝導し、これにより、前記バルブ通路内の媒体が該バルブ通路内で凝結又は凍結することを防止する、ヒーター。
【請求項９】
前記ダイヤフラムを前記開位置と前記閉位置との間で移行させるように該ダイヤフラムに作動力を印加するため該ダイヤフラムに連結されたアクチュエータを更に備える、請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１０】
ダイヤフラムバルブであって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、
前記第１及び第２の側部を有し、該第１の側部が前記バルブ通路に近接するように配置されたダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムを前記バルブ通路を遮断するところの閉位置と該バルブ通路が少なくとも部分的に開くところの前記閉位置との間で移行させるように該ダイヤフラムに作動的に連結されたアクチュエータと、
前記ダイヤフラムにおいて作動温度を維持することを容易にするため前記バルブボディから前記ダイヤフラムに熱を伝導させるための手段と、
前記ダイヤフラムの前記第２の側部に隣接した覆い空間と、
を備える、ダイヤフラムバルブ。
【請求項１１】
前記アクチュエータは、ソレノイドコイルと、該ソレノイドコイル内に延在する第１の端部及び前記ダイヤフラムに作動的に連結された第２の端部を有するプランジャーと、を備え、該プランジャーは、前記ソレノイドコイルの付勢に応答して駆動され、これによって前記ダイヤフラムを前記開位置と前記閉位置との間で移行させる、請求項９又は１０に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１２】
前記プランジャーは、前記ダイヤフラムと前記ソレノイドコイルとの間に配置された、減少した断面積の区分を備え、これによって前記プランジャーを介した熱伝導及び前記ソレノイドコイルへの熱伝導を減少させる、請求項１１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１３】
前記プランジャーは、前記第１の端部と前記第２の端部との間に中央区分を備え、該中央区分は、前記第２の端部において前記プランジャーの第２の端区分の材料よりも実質的に低い熱伝導度を有する材料から形成されている、請求項１１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１４】
前記バルブ通路と前記ソレノイドコイルとの間の熱輸送を減衰させるため前記バルブ通路と前記ソレノイドコイルとの間に介在された熱抵抗部材を更に備える、請求項１１乃至１３のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１５】
前記プランジャーと前記ソレノイドコイルとの間に介在された熱絶縁性摺動ブッシングを更に備える、請求項１１乃至１４のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１６】
前記アクチュエータは、前記プランジャーの運動を制限するように配置された停止部と、該プランジャー及び該停止部の間に介在された遮蔽部材と、を更に備える、請求項１１乃至１５のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１７】
前記遮蔽部材は、非磁性材料から作られている、請求項１６に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１８】
前記バルブ通路と前記アクチュエータとの間に介在された熱抵抗性部材を更に備える、請求項９又は１０に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項１９】
前記開位置及び前記閉位置のいずれかに向かって前記ダイヤフラムを偏倚させるためのスプリングを更に備える、上記請求項のうちいずれか１項に記載のダイヤフラム。
【請求項２０】
前記覆い空間と連通する排出通路を更に備える、請求項３又は１０に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項２１】
前記排出通路の少なくとも一区分は前記バルブボディを通過する、請求項４又は２０に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項２２】
前記ダイヤフラムに面した密封表面を更に備え、該ダイヤフラムの閉鎖時には該密封表面に対して前記ダイヤフラムの前記第１の側部の大部分が押圧される、請求項１に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項２３】
前記ダイヤフラムと反対側に前記バルブ通路内に配置されたバルブシートを更に備え、
該バルブシートは、前記ダイヤフラムに面する座席表面を有し、該座席表面に対して、前記ダイヤフラムの前記第１の側部の大部分が該ダイヤフラムの閉鎖時に押圧される、請求項４に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項２４】
前記座席表面は、鋭い特徴部が無いことにより特徴付けられ、これにより前記ダイヤフラムの前記第１の側部が前記バルブシートに対して押されたとき該ダイヤフラムのせん断を防止する、請求項２、３、２２及び２３のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項２５】
前記座席表面は研磨されている、請求項２、３、２２及び２３のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項２６】
前記バルブシートは、前記ダイヤフラムが閉じられたとき前記第１の側部のうち約５％乃至約１００％の部分と接触する、請求項２、３、２２乃至２５のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項２７】
前記バルブシートは、前記ダイヤフラムが閉じられたとき前記第１の側部のうち約１２％乃至約５０％の部分と接触する、請求項２、３、２２乃至２５のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項２８】
前記ダイヤフラムは、プラスチック材料から構成されている、上記請求項のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項２９】
前記ダイヤフラムは、エラストマー材料から構成されている、上記請求項のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項３０】
前記ダイヤフラムの前記第１の側部は、酸化物、窒化物、炭化物、及び、それらの混合物からなるグループから選択された保護コーティングを備える、上記請求項のうちいずれか１項に記載のダイヤフラムバルブ。
【請求項３１】
請求項４、２０及び２１に記載のダイヤフラムバルブと、前記排出通路に作動的に連結されたポンプと、を備える、システム。
【請求項３２】
前記ポンプは、前記覆い空間を真空引きするように作動可能である、請求項３１に記載のシステム。
【請求項３３】
前記ポンプは、前記覆い空間内を約０．１ｍバールと約２０ｍバールとの間に真空引きするように作動可能である、請求項３１に記載のシステム。
【請求項３４】
ダイヤフラムバルブを備える前駆物質分配システムであって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、
前記入口及び前記出口のうちいずれかを取り囲むバルブシートであって、該バルブシートは、前記入口及び前記出口のうち前記いずれかから径方向に延在すると共に前記バルブ通路に隣接する環状座席表面を有する、前記バルブシートと、
第１の側部及び第２の側部を有する可撓性のダイヤフラムであって、該ダイヤフラムは、前記第１の側部が前記バルブシートの前記座席表面に向かって面した状態で該バルブシートの反対側で前記バルブ通路に隣接して配置され、前記ダイヤフラムは、前記バルブ通路が少なくとも部分的に開くところの開位置と、前記ダイヤフラムの前記第１の側部の大部分が前記バルブシートに対して押され、これによって前記バルブ通路を遮断して前記バルブシートと前記ダイヤフラムとの間の熱輸送を容易にするところの閉位置との間で撓むように、印加された作動力に応答して作動可能である、前記ダイヤフラムと、
を備える、前駆物質分配システム。
【請求項３５】
前記ダイヤフラムを前記開位置と前記閉位置との間で移行させるように該ダイヤフラムに作動力を印加するため該ダイヤフラムに連結されたアクチュエータを更に備える、請求項３４に記載の前駆物質分配システム。
【請求項３６】
前駆物質分配システムであって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、第１及び第２の側部を有し、該第１の側部が前記バルブ通路に近接するように配置されたダイヤフラムとを備えるダイヤフラムバルブと、
前記ダイヤフラムの前記第２の側部に隣接する覆い空間と、
前記覆い空間と連通する排出通路と、
を備える、前駆物質分配システム。
【請求項３７】
前記ダイヤフラムに連結されたアクチュエータを更に備える、請求項３６に記載の前駆物質分配システム。
【請求項３８】
ダイヤフラムバルブを備える前駆物質分配システムであって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、
前記バルブ通路に隣接したバルブシートと、
第１の側部及び第２の側部を有する可撓性のダイヤフラムであって、該ダイヤフラムは、前記第１の側部が前記バルブシートの前記座席表面に向かって面した状態で該バルブシートの反対側で前記バルブ通路に隣接して配置され、前記ダイヤフラムは、前記バルブ通路が少なくとも部分的に開くところの開位置と、前記ダイヤフラムの前記第１の側部の大部分が前記バルブシートに対して押され、これによって前記バルブ通路を遮断して前記バルブシートと前記ダイヤフラムとの間の熱輸送を容易にするところの閉位置との間で撓むように、印加された作動力に応答して作動可能である、前記ダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムを作動させるためのソレノイドと、
を備える、前駆物質分配システム。
【請求項３９】
前記ダイヤフラムの前記第２の側部に隣接した覆い空間を更に備える、請求項３４、３５及び３８のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。  
【請求項４０】
前記覆い空間と連通する排出通路を更に備える、請求項３９に記載の前駆物質分配システム。  
【請求項４１】
前記排出通路の少なくとも一区分は前記バルブボディを通過する、請求項３６、３７及び４０のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。
【請求項４２】
前記排出通路に作動的に連結されたポンプを更に備える、請求項３６、３７、４０及び４１のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。
【請求項４３】
前記ポンプは、前記覆い空間を真空引きするように作動可能である、請求項４２に記載の前駆物質分配システム。
【請求項４４】
前記ポンプは、前記覆い空間内を約０．１ｍバールと約２０ｍバールとの間に真空引きするように作動可能である、請求項４２に記載の前駆物質分配システム。
【請求項４５】
前記バルブシートは、鋭い特徴部が無いことにより特徴付けられ、これにより前記ダイヤフラムの前記第１の側部が前記バルブシートに対して押されたとき該ダイヤフラムのせん断を防止する、請求項３４、３５及び３８のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。
【請求項４６】
前記バルブシートは研磨されている、請求項３４、３５、３８及び４５のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。
【請求項４７】
前記バルブシートは、前記ダイヤフラムが閉じられたとき前記第１の側部のうち約１２％乃至約５０％の部分と接触する、請求項３４、３５、３８、４５及び４６のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。
【請求項４８】
前記バルブボディと熱的に連係したヒーターを更に備え、
前記ヒーターは熱を発生するように構成され、該熱は前記バルブボディを介して伝導し、これにより、前記バルブ通路内の媒体が該バルブ通路内で凝結又は凍結することを防止する、請求項３４乃至４７のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。
【請求項４９】
前記ダイヤフラムは、プラスチック材料から構成されている、請求項３４乃至４８のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。
【請求項５０】
前記ダイヤフラムは、エラストマー材料から構成されている、請求項３４乃至４８のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。
【請求項５１】
前記ダイヤフラムの前記第１の側部は、酸化物、窒化物、炭化物、及び、それらの混合物からなるグループから選択された保護コーティングを備える、請求項３４乃至５０のうちいずれか１項に記載の前駆物質分配システム。
【請求項５２】
ダイヤフラムバルブを備えるＡＬＤ反応器であって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、
前記入口及び前記出口のうちいずれかを取り囲むバルブシートであって、該バルブシートは、前記入口及び前記出口のうち前記いずれかから径方向に延在すると共に前記バルブ通路に隣接する環状座席表面を有する、前記バルブシートと、
第１の側部及び第２の側部を有する可撓性のダイヤフラムであって、該ダイヤフラムは、前記第１の側部が前記バルブシートの前記座席表面に向かって面した状態で該バルブシートの反対側で前記バルブ通路に隣接して配置され、前記ダイヤフラムは、前記バルブ通路が少なくとも部分的に開くところの開位置と、前記ダイヤフラムの前記第１の側部の大部分が前記バルブシートに対して押され、これによって前記バルブ通路を遮断して前記バルブシートと前記ダイヤフラムとの間の熱輸送を容易にするところの閉位置との間で撓むように、印加された作動力に応答して作動可能である、前記ダイヤフラムと、
を備える、ＡＬＤ反応器。
【請求項５３】
ダイヤフラムバルブを備えるＡＬＤ反応器であって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、
前記バルブ通路に隣接したバルブシートと、
第１の側部及び第２の側部を有する可撓性のダイヤフラムであって、該ダイヤフラムは、前記第１の側部が前記バルブシートの前記座席表面に向かって面した状態で該バルブシートの反対側で前記バルブ通路に隣接して配置され、前記ダイヤフラムは、前記バルブ通路が少なくとも部分的に開くところの開位置と、前記ダイヤフラムの前記第１の側部の大部分が前記バルブシートに対して押され、これによって前記バルブ通路を遮断して前記バルブシートと前記ダイヤフラムとの間の熱輸送を容易にするところの閉位置との間で撓むように、印加された作動力に応答して作動可能である、前記ダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムを作動させるためのソレノイドと、
を備える、ＡＬＤ反応器。
【請求項５４】
前記バルブシートは、鋭い特徴部が無いことにより特徴付けられ、これにより前記ダイヤフラムの前記第１の側部が前記バルブシートに対して押されたとき該ダイヤフラムのせん断を防止する、請求項５２又は５３に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項５５】
前記バルブシートは研磨されている、請求項５２乃至５４のうちいずれか１項に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項５６】
前記バルブシートは、前記ダイヤフラムが閉じられたとき前記第１の側部のうち約１２％乃至約５０％の部分と接触する、請求項５２乃至５５のうちいずれか１項に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項５７】
前記ダイヤフラムの前記第２の側部に隣接した覆い空間と、
前記覆い空間と連通する排出通路と、
を更に備える、請求項５２乃至５６のうちいずれか１項に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項５８】
ＡＬＤ反応器であって、
入口及び出口を有するバルブ通路を形成するバルブボディと、第１及び第２の側部を有し、該第１の側部が前記バルブ通路に近接するように配置されたダイヤフラムとを備えるダイヤフラムバルブと、
前記ダイヤフラムの前記第２の側部に隣接する覆い空間と、
前記覆い空間と連通する排出通路と、
前記排出通路を吸引するための手段と、
を備える、ＡＬＤ反応器。
【請求項５９】
前記排出通路の少なくとも一区分は前記バルブボディを通過する、請求項５７又は５８に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項６０】
前記排出通路に作動的に連結されたポンプを更に備える、請求項５７乃至５９のいずれか１項に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項６１】
前記ポンプは、前記覆い空間を真空引きするように作動可能である、請求項６０に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項６２】
前記ポンプは、前記覆い空間内を約０．１ｍバールと約２０ｍバールとの間に真空引きするように作動可能である、請求項６０に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項６３】
前記バルブボディと熱的に連係したヒーターを更に備え、
前記ヒーターは熱を発生するように構成され、該熱は前記バルブボディを介して伝導し、これにより、前記バルブ通路内の媒体が該バルブ通路内で凝結又は凍結することを防止する、請求項５２乃至６２のうちいずれか１項に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項６４】
前記ダイヤフラムは、プラスチック材料から構成されている、請求項５２乃至６３のうちいずれか１項に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項６５】
前記ダイヤフラムは、エラストマー材料から構成されている、請求項５２乃至６３のうちいずれか１項に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項６６】
前記ダイヤフラムの前記第１の側部は、酸化物、窒化物、炭化物、及び、それらの混合物からなるグループから選択された保護コーティングを備える、請求項５２乃至６５のうちいずれか１項に記載のＡＬＤ反応器。
【請求項６７】
バルブボディを有するダイヤフラムバルブにおいてダイヤフラムを閉位置及び開位置の間で移行させる方法であって、
前記バルブボディは、入口及び出口を有するバルブ通路を形成し、前記ダイヤフラムは、前記バルブ通路に近接する第１の側部と、覆い空間に隣接する第２の側部と、を有し、前記ダイヤフラムは、更に、前記バルブ通路を遮断する閉位置と、該バルブ通路が少なくとも部分的に開いて流体が該バルブ通路を通って流れることを可能にする開位置との間で撓むように、加えられた前記作動力に応答して動作可能であり、
前記方法は、
前記覆い空間と連通する排出通路を提供し、
前記ダイヤフラムの後方で圧力の蓄積を防止するため前記排出通路を介して前記覆い空間を排出し、これにより、前記ダイヤフラムを前記閉位置と前記開位置との間で移行させることを容易にし、
前記排出通路を吸引する、各工程を備える、方法。
【請求項６８】
前記ダイヤフラムに作動力を印加する工程を更に備える、請求項６７に記載の方法。
【請求項６９】
前記ダイヤフラムを前記開位置及び前記閉位置のいずれかに向かって偏倚させる工程を更に備える、請求項６７に記載の方法。