【誤訳訂正書】
【提出日】平成19年7月18日(2007.7.18)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】特許請求の範囲
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ディスク形状アイテム用の複数のキャリアを処理、保存および再装填する装置であって、該装置は、
該複数のキャリアを洗浄する少なくとも１つの洗浄ユニットと、
該複数のキャリアを保存する少なくとも１つの保存ユニットと、
該複数のキャリアを該装置に供給するための第１の充填開口部と、
該複数のキャリアを該装置から排出するための第２の充填開口部と、
該ディスク形状アイテムを選別する少なくとも１つの選別ユニットと、
該保存ユニットに配置された少なくとも１つのデータ認識ユニットと
を備え、
該洗浄ユニットと該保存ユニットと該選別ユニットとは、共通の自動制御によって動作し、
該選別ユニットは、少なくとも２つの機械的インターフェースを有しており、
該選別ユニットの該２つの機械的インターフェースのうちの第１の機械的インターフェースは、該少なくとも１つの保存ユニットに位置する搬送システムが該装置に供給されたキャリアにおけるディスク形状アイテムにアクセスすることを可能にすることによって、該装置に供給された該キャリアから該ディスク形状アイテムを除去するためのものであり、
該選別ユニットの該２つの機械的インターフェースのうちの第２の機械的インターフェースは、該搬送システムが該少なくとも１つの保存ユニットに位置する更なるキャリアにディスク形状アイテムを搬送することを可能にすることによって、該更なるキャリアに該ディスク形状アイテムを供給するためのものであり、
該少なくとも１つのデータ認識ユニットは、該第１の充填開口部を介して該装置に供給された該複数のキャリアの該ディスク形状アイテムに関する情報を読み取り、
該少なくとも１つのデータ認識ユニットによって読み取られた該情報に基づいて、該更なるキャリアが該少なくとも１つの保存ユニットから特定される、装置。
【請求項２】  必要な公差を維持するために前記複数のキャリアを測定する少なくとも１つの測定ユニットをさらに備える、請求項１に記載の装置。
【請求項３】  前記洗浄ユニットは、前記複数のキャリアを同時に洗浄する、請求項１に記載の装置。
【請求項４】  前記ディスク形状アイテムは、半導体ウェハ又はＣＤである、請求項１に記載の装置。
【請求項５】  前記選別ユニットに配置された識別ユニットであって、前記キャリアから除去されたアイテムを識別する少なくとも１つの識別ユニットと、前記選別ユニットに配置された経路表示ユニットであって、特定の搬送経路を各ディスク形状アイテムに割り当てる少なくとも１つの経路表示ユニットとをさらに備え、該特定の搬送経路は、ディスク形状アイテムが搬送されるべき更なるキャリアにおいて該ディスク形状アイテムが取ることになるであろう位置を決定する、請求項１に記載の装置。
【請求項６】  前記選別ユニットは、前記ディスク形状アイテムの前記複数のキャリアが保持されるボックスの開放機構を有している、請求項１に記載の装置。
【請求項７】  前記洗浄ユニットは、一度につき、前記複数のキャリアのうちの１つを洗浄する、請求項１に記載の装置。
【請求項８】  ディスク形状アイテム用の複数のキャリアを処理、保存および洗浄する方法であって、該方法は、
洗浄ユニットと保存ユニットと第１の充填開口部と第２の充填開口部と選別ユニットとデータ認識ユニットとを有する装置を提供するステップと、
該第１の充填開口部を介して該装置にディスク形状アイテムを含むキャリアを供給するステップと、
該データ認識ユニットを用いて、該装置に供給された該キャリアに含まれるディスク形状アイテムを関する情報を読み取るステップと、
該選別ユニットに位置する搬送システムが該装置に供給されたキャリアにおけるディスク形状アイテムにアクセスすることを可能にすることによって、該選別ユニットの第１の機械的インターフェースを介して該装置に供給されたキャリアから該ディスク形状アイテムを除去することにより、空になったキャリアを生じさせるように該選別ユニットを用いるステップと、
該空になったキャリアを該洗浄ユニットに供給するステップと、
該洗浄ユニットにおいて該空になったキャリアを洗浄することにより、洗浄されたキャリアを生じさせるステップと、
該洗浄されたキャリアを該保存ユニットに供給するステップと、
該データ認識ユニットによって読み取られた該情報に基づいて、該保存ユニットに位置する複数の洗浄されたキャリアから更なるキャリアを特定するステップと、
該搬送システムがディスク形状アイテムを該更なるキャリアに搬送することを可能にすることによって、該選別ユニットの第２の機械的インターフェースを介してディスク形状アイテムを該更なるキャリアに供給するように該選別ユニットを用いるステップと、
該第２の充填開口部を介して該装置から該更なるキャリアを排出するステップと
を包含する、方法。
【請求項９】  前記洗浄するステップを実行した後に、前記キャリアを測定することを包含する、請求項８に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】発明の詳細な説明
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハまたはＣＤなどのディスク形状アイテム用のキャリアを処理、保存および装填する装置および方法に関する。
【０００２】
半導体産業において、例えば、シリコンの半導体ウェハ（これは、基板としても公知である）の製造および処理の間、半導体ウェハは大量の処理工程を経る。これらの方法の工程は通常、別個の場所における処理装置で実行される。したがって、個々の処理装置における処理時間が異なるため、適切な点でウェハを収集して、ウェハを個々の処理装置に継続的に供給することを可能にすることが必要である。さらに、個々の装置間でウェハを搬送する必要がある。
【０００３】
保存および搬送するために、複数のウェハを受け取り得るキャリア（そして、このキャリアからウェハが個々に除去され得る）は通常、半導体技術において用いられる。キャリアは通常、マガジン（カセットとしても公知である）の形態であり、このキャリアの中で、ウェハは水平に保持される。キャリアは好適には、ボックス（ポッドとしても公知である）内に保持される。ボックスはその前面に扉を有する。このようなボックスは、例えば、ＳＥＭＩ規格Ｅ４７．１に記載されている。これらのボックスは、前開き一体形ポッド（ＦＯＵＰ）と呼ばれる。個々の処理工程において、汚染物質が、機械的処理または化学的処理により発生し得、そしてさらにキャリア内で集まり得る。
【０００４】
特に、半導体技術の分野において、キャリアおよびコンテナの洗浄度は、ウェハ表面の清浄度に影響を有し、これにより、達成され得るウェハの質に影響を有するため、キャリアおよびコンテナ（この内部に入れられて、ウェハがある処理ステーションから次の処理ステーションに搬送される、またはこの内部でウェハが一時的に保存される）の洗浄は重要である。この意図は、可能な限り最小の微粒子および分子の汚染物質を達成することである。
【０００５】
特に、処理はすでに開始しているが、まだ終了していない作業中（ＷＩＰ）材料として公知のものの場合、洗浄要件を満たすことは特に重要である。
【０００６】
ウェハおよびウェハキャリアの洗浄度のこの要件に加え、半導体産業においては、処理されるウェハ当たりのコストを減少させようと努力している。この目的を達成するには、処理システムのスループットを増加させ、システムコストを減少させる必要がある。スループットは主に処理時間によって影響を受ける。しかし、ウェハの実際の処理時間に加え、非生産時間もある。非生産時間において、ウェハはいかなる処理も受けないが、ただ単に次の処理工程を待っているか、またはウェハがある処理システムから次の処理システムに搬送されている。
【０００７】
本発明の目的は、半導体ウェハまたはＣＤなどのディスク形状アイテム用のキャリアを処理、保存および装填する装置および方法を提供することである。これにより、ディスク形状アイテム用の処理システムのスループットが増加し、そして特に、高レベルの生産性が可能になる。さらに、装置は動作が容易そして安定性があることが意図される。
【０００８】
本発明は、必要な補助材料を分散して保存および洗浄することを可能にし、そして、理想的には、処理されるアイテムの材料の流れに組み込んだ、装置および方法によってこの目的が達成され得るという考えに基づく。
【０００９】
目的は、本発明による、半導体ウェハまたはＣＤなどのディスク形状アイテム用のキャリアを処理、保存および装填する装置によって達成される。この装置は、少なくとも１つの洗浄ユニット、少なくとも１つのキャリア用の保存ユニット、そしてさらに、少なくとも１つのディスク形状アイテム用の選別ユニットを含む。洗浄ユニットにより、保存ユニットおよび選別ユニットは装置の一体型構成要素部分を一体化し、そして、これは共通自動制御部によって動作される。
【００１０】
以下のテキストにおいて、主にウェハ用のキャリアの処理に関して述べる。しかし、特に、その処理が高レベルの清潔度の補助手段を必要とする場合、本発明による装置を任意のディスク形状アイテムに用いてもよい。
【００１１】
本発明による装置は、キャリアを洗浄および保存する処理装置と、クラスタとして公知のアセンブリ内にディスク形状アイテムの選別ユニットとを組み合わせる。このアセンブリは、装置の共通自動制御部によって動作される。さらに、本発明による構成により、装置全体の空間要件が低くなる。
【００１２】
本発明による装置の利点、効果および動作モードに関して、本発明による方法に関する以下に続く説明の完全な内容をさらに参照する。これよりこれらを参照する。
【００１３】
したがって、このような装置の主な利点はまず、フットプリントとして公知であるものが減少することである。フットプリントは、クリーンルームにおける機器のアイテムによって必要とされる表面面積を表す。表面面積の要件は、必要とされる利用面積を用いてまたは用いずに決定される。本発明による装置は、装置の個々の構成要素部分間の搬送経路が、内部の相互接続により排除または減少されているため、クリーンルームの面積要件を減少させる効果を有する。
【００１４】
さらに、スループットサイクル当たりの回数、特に、ウェハ処理の非生産回数を処理されたウェハ当たり約４〜８回だけ減少させることが達成される。最後に、必要な搬送移動が減少することも、本発明による装置の場合の利点である。
【００１５】
１つ以上のディスク形状アイテムを含むキャリア（特に、ウェハ）が装置に供給されると、選別ユニットによってディスク形状アイテムをキャリアから除去することが可能になり、そしてこのディスク形状アイテムを別のキャリアに供給することが可能になる。次いで、このように空にされたキャリアは、洗浄ユニットに供給され得る。洗浄の後、キャリアは内部保存ユニットに供給されて、内部保存ユニットにおいて再装填が可能である。次いで、空にされたキャリアのアイテムが入れられたキャリアが装置によって、搬送装置を用いてさらなる処理装置に供給され得る。装置内のキャリアを、例えば、洗浄ユニットから内部保存ユニットまで搬送することは、自動搬送システムによって行われる。搬送システムは、装置の共通自動制御部によって制御され、そしてこの結果、装置内のキャリアが必要とされる点において（例えば、空にされるキャリアからアイテムを受け取る選別デバイスにおいて）キャリアが存在することが保証される。
【００１６】
本発明による装置の好適な実施形態は従属クレームから得られる。
【００１７】
装置はさらに、キャリア用の少なくとも１つの測定ユニットを有し得る。この結果、必要な公差を維持するためのキャリアの測定が、クラスタ内に含まれ得る。キャリアの測定は好適には、洗浄の直後に行われる。このように、キャリアは保存ユニットに供給され得る。次いで、保存ユニットから、洗浄され、そして測定されたキャリアが、選別ユニットによって直接ディスク形状アイテムとともに充填され得、そして次の方法工程に供給され得る。これにより、クラスタ内のこの追加のユニットが、時間的に後の点において、測定する目的からキャリアをさらに空にすることが避けられる。
【００１８】
装置は、キャリアをそれぞれ供給または排出するための少なくとも１つの充填開口部（充填ポートとしても公知である）を有する。２つの充填開口部が好適には設けられ、一方はキャリアを装置に供給する役割を果たし、他方はキャリアを排出する役割を果たす。特に、ウェハキャリアに用いられるように、好適には、ＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１に準拠するように、これらの充填開口部を構成する。この規格の内容を本明細書の説明において参考として援用する。この規格によると、充填開口部は、装置とウェハキャリア用の自動または手動の搬送システムとの間にインターフェースを作成するように構成される。
【００１９】
選別ユニットは好適には、ディスク形状アイテムをそれぞれ供給または排出するための少なくとも２つの機械的インターフェースを有する。これらのインターフェースにより、一方では、ディスク形状アイテムを装置に供給されたキャリアから除去し、他方では、ディスク形状アイテムを保存ユニットから除去された所定のキャリアに供給することが可能になる。少なくとも２つのインターフェースを提供すると、ディスク形状アイテムを選別ユニット内に一時的に保存することが不必要になる。
【００２０】
特に、装置がウェハキャリアに用いられる場合、機械的インターフェースがＳＥＭＩ規格Ｅ６２に準拠して構成される。この規格の内容を、本明細書の説明において参考として援用する。この規格は、前開きインターフェース機械規格（ＦＩＭＳ）インターフェースまたは充填開口部として公知であるものを記述している。充填開口部により、処理装置と搬送コンテナとの間のウェハの移動が可能になる。この搬送コンテナは、ボックスの形態であり、その前面に扉を有する。これらのコンテナ（コンテナ内部で、ウェハキャリアが除去可能または固定して取り付けられているマガジンとして構成され得る）は、前開き一体形ポッド（ＦＯＵＰ）と呼ばれ、そしてＳＥＭＩ規格Ｅ４７．１に記載されている。洗浄ユニットはさらに、このようなボックスが用いられた場合に、ボックスも洗浄され得るように、設計され得る。
【００２１】
好適な実施形態によれば、装置は、キャリア用の少なくとも１つのデータ認識ユニット、および少なくとも１つのデータ割り付けユニットを含む。
【００２２】
このデータ認識およびデータ割り付けユニットは、（クラスタの）装置の共通自動制御部を向上させる。
【００２３】
特に、半導体技術において、ディスク形状アイテム用のキャリアは、データが割り当てられ得るように設計される。キャリアの底部またはキャリアが保持されるボックス内のセンサによって、これを行うことが好適である。センサの構成は、例えば、ＳＥＭＩ規格Ｅ１．９に記載されている。ボックスの底部の設計およびセンサの構成に関する規格の内容を、本明細書の説明において参考として援用する。センサに加え、ボックスの底部に動的接続部を構成することも好適である。
【００２４】
センサを用いて、キャリア内で保持されるウェハに関する情報を対応するセンサ（例えば、装置の充填開口部）に伝達し得る。本発明による装置内にデータ認識およびデータ割り付けユニットを設けると、装置に供給されるキャリアのデータが認識され得る。装置は、キャリア内に保持されるウェハ数に関する情報を取得し、そして適宜、個々のウェハに関するさらなる情報を取得する。充填開口部におけるデータ認識デバイスがこの情報を受信すると、キャリア（その内部に、入って来るキャリアのウェハが移動され得る）がこれらのデータに基づいて保存ユニット内に配置される。移動動作が選別ユニットによって実行されると、関連情報が、データ割り付けユニットによって、データの形態で新しいキャリアに割り付けられる。次いで、このキャリア（これは、装填されて、関連データを供給されている）は、さらなる処理装置に供給され得る。
【００２５】
さらに好適な実施形態において、装置は、ディスク形状アイテム用の少なくとも１つの識別および経路表示ユニットを含む。
【００２６】
このユニット（好適には、選別ユニットに割り当てられている）は、キャリアから除去されたアイテムを識別し、そしてこのアイテムに特定の移動経路を割り付ける。この経路は、新しいキャリア（この内部へとアイテムが移動されている）内でアイテムが想定する位置を決定する。
【００２７】
装置は好適には、アイテム用のキャリアが保持されるボックスの開放機構を有し得る。キャリアは好適には、環境の影響によって、アイテムが損傷し、そしてアイテムが汚損することを防止するために、ボックス内に入れられて搬送される。半導体技術の分野において、特にＦＯＵＰが用いられる。ＦＯＵＰはその前面において、個々のウェハにアクセスすることを可能にする扉を有する。本発明による装置において、ボックスの開口部は、選別ユニットとのインターフェースにおいて必要である。選別ユニットにおいて、ウェハは１つのキャリアから除去され、そして別のキャリアに供給される。扉を開くことは、例えば、吸着キャップなどの吸着機構によって、機械的にまたは油圧的に制御された、引き上げ機構またはグリッピング機構によって実行され得る。
【００２８】
洗浄ユニットを、一度に１つのキャリアを洗浄するように設計してもよいし、または、複数のキャリアを同時に洗浄することを可能にするように設計してもよい。脱イオン水を用いて、または溶媒ベースで洗浄を実行してもよい。キャリアの搬送装置は好適にはさらに洗浄ユニットをサポートする。これにより、搬送装置（これは、充填開口部から選別ユニット、そして選別ユニットから洗浄ユニット、そしてさらに、洗浄ユニットから保存ユニット、そして保存ユニットから選別ユニット、そして装填物取り出し（ｕｎｌｏａｄｉｎｇ）開口部の範囲まで、キャリアを搬送することを担う）から洗浄ユニット内の搬送装置上へのさらなる移動動作がもはや全く必要ではなくなる。
【００２９】
本発明はさらに、本発明による装置が用いられる、ディスク形状アイテム用のキャリアを処理および保存する方法に関する。
【００３０】
本発明によると、本方法は以下の工程を有する。
【００３１】
ａ）１つ以上のディスク形状アイテムを含むキャリアが装置に供給される。
【００３２】
ｂ）ディスク形状アイテムが除去され、選別ユニットによって別のキャリアに供給される。
【００３３】
ｃ）空にされたキャリアは洗浄ユニットに供給されて、洗浄ユニットにおいて洗浄される。
【００３４】
ｄ）続いて、洗浄されたキャリアは内部保存ユニットに供給され、内部保存ユニットにおいて、キャリアを再装填することが可能である。
【００３５】
キャリアは好適には、工程ｃ）の後または工程ｃ）の間に測定される。
【００３６】
有利なことには、工程ｂ）によってディスク形状アイテムが入れられたキャリアは、装置によって他の処理装置に供給される。
【００３７】
本発明による方法の有利な効果および動作モードに関して、本発明による装置に関する上述の説明の完全な内容をさらに参照する。これよりこれらを参照する。
【００３８】
本方法の１つの有利な実施形態によると、キャリアは、適切な自動または手動搬送システムによって本発明による装置の充填開口部に運ばれ得る。充填開口部において、キャリアに割り当てられたデータは、適切なデータ認識システムによって共通自動制御部に供給され得る。これらのデータに基づいて、キャリアは、保存ユニットから、または洗浄ユニットから直接、あるいは、適切な場合には、測定ユニットから、選別ユニットの機械的インターフェースに搬送される。装置に供給されるキャリアは、装置に供給されると同時にまたはその前に、選別ユニットのさらなる機械的インターフェースに搬送される。選別ユニットにおいて、キャリアを保持するボックスの前面に設けられた扉は開放機構によって開けられ、そしてこれにより、選別ユニット内に設けられた搬送装置が、入ってくるキャリアの個々のアイテムにアクセスすることが可能になる。搬送装置は、さらなる機械的インターフェースにおいてこの時点まで待っているキャリアにあらゆるアイテムを搬送する。このように充填されたキャリアは、共通自動制御部によって、キャリアが受け取ったアイテムのデータを割り当てられる。このように装填されたキャリアは、搬送装置によって装置の装填物取り出し開口部に運ばれ、装填物取り出し開口部において、キャリアは自動または手動搬送システムによって取り込まれ得、そしてさらなる処理装置に供給され得る。
【００３９】
装置内においてアイテムが除去されたキャリアは、装置内の搬送システムによって洗浄ユニットに運ばれ得る。洗浄ユニットにおいて、キャリアは洗浄を受け、そして適切な場合、続いて測定される。キャリアが上記でさらに述べたボックス（ポッド）内にある場合、キャリアは洗浄ユニットによっても洗浄を受け得る。キャリアは、続いて、選別ユニットの機械的インターフェースに直接供給されて、選別ユニットにおいてキャリアは別のキャリアのアイテムを装填されるか、または、キャリアは保存ユニットに供給されて、保存ユニットにおいて、キャリアが搬送システムによって選別ユニットのインターフェースに運ばれるまで、残っている。
【００４０】
ウェハ（例えば、３００ｍｍのウェハ）であるディスク形状アイテム用のキャリアを処理および保存する装置および／または方法が好適である。
【００４１】
ウェハを処理する場合、補助材料用の複数の処理工程（この場合、特にＦＯＵＰにおける、キャリアの洗浄工程、保存工程および装填工程、そして適切な場合、キャリアの測定工程）が、クラスタ内で組み合わされ得る方法が特に重要である。一方、論理クラスタなどにより、キャリアの処理時間（これは、ウェハ処理のスループットの非生産時間を表す）を最小限に抑えながら、他方で、この処理動作の処理工程数を最小限に抑えることが可能になる。特に、ウェハは特定の洗浄されたキャリア内に保持されるという要件に対して、１つの移動動作しか必要でない。結果、クリーンルーム内に、例えば、洗浄ユニット、選別ユニットおよび保存ユニットを設けて、例えば、銅のキャリアを装置の内部処理サイクル内に保持することを可能にすることが可能である。
【００４２】
クラスタは好適には、ＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１による充填開口部の構成要素部分として、機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）として公知の内部保存ユニット、内部ウェハ充填開口部、動的接続部、センサ、キャリアＩＤ認識ユニット、ＰＩ／Ｏ（通信インターフェース（これを介して、ロードポートからの／ロードポートへのキャリアの移動を制御する情報の特定のアイテムが交換される）を含む）、ボックス用の開放機構、キャリア用の保存ユニットおよび搬送装置、ならびに小環境状態下でのウェハ移動装置、ウェハ用のＩＤ識別ユニットおよび経路表示ユニットを含む。
【００４３】
このような小環境状態の要件は、例えば「Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｍｉｎｉｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ  Ｄｅｓｉｇｎ  Ｂｅｓｔ−Ｋｎｏｗｎ  Ｐｒａｃｔｉｃｅｓ」Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  ＳＥＭＡＴＥＣＨ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ’９９０３３６９３Ａ−ＥＮＧ、ＳＥＭＡＴＥＣＨ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ、２７０６  Ｍｏｎｔｏｐｏｌｉｓ  Ｄｒｉｖｅ、Ａｕｓｔｉｎ、ＴＸ７８７４１、ＵＳＡ、「ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｓｅｍａｔｅｃｈ．ｏｒｇ.」の文書に記載されている。
【００４４】
クラスタはホストシステムに接続され得る。内部保存ユニットのサイズは、必要な洗浄および測定サイクルに依存する。
【００４５】
本発明を添付の図面に基づいて以下に説明するが、これらは単に例示の実施形態を表し、そして本発明の主題をどのようにも制限しない。
【００４６】
図１に示すのは、本発明による装置１である。装置１は、統合構造装置を形成し、そしてクラスタとも呼ばれる。左側に設けられているのは、２つの充填開口部１２、１３であり、一方の開口部１２は、キャリア１１を装置１に供給する役目を果たし、もう一方の開口部１３は、装置１からキャリア１１’を排出する役目を果たす。提示する実施形態において、充填開口部１２は拡張された供給領域１４が設けられている。このような拡張された供給領域１４は、複数のキャリア１１を受け取る機能を果たし得る。供給領域１４の端部に設けられているのは、機械的インターフェース１５である。この機械的インターフェース１５は、供給領域１４と選別ユニット１６との間を接続する機能を果たす。機械的インターフェース１５は好適には、ＳＥＭＩ規格Ｅ６２に準拠してＦＩＭＳとして設計される。これにより、選別ユニット１６の移動装置（図示せず）がキャリア１１内に保持される個々のアイテムにアクセスすることが可能になる。ＳＥＭＩ規格Ｅ４７．１に準拠してキャリア１１を設計すると（すなわち、キャリア１１が、特に、キャリア１１を保持するボックスを有すると）、機械的インターフェース１５は、ボックスの扉の開放機構をさらに有し得る。機械的インターフェース１５に加え、さらなる機械的インターフェース１７が設けられる。機械的インターフェース１７により、選別ユニット１６の移動装置がキャリア１１から除去されたアイテムをさらなるキャリア１１’に供給し得る。この機械的インターフェース１７はさらに好適には、ＳＥＭＩ規格Ｅ６２に準拠したＦＩＭＳとして設計される。選別ユニット１６に沿って設けられるのは、洗浄ユニット１８である。この洗浄ユニット１８は、個々のキャリア１１、および複数のキャリア１１を同時に洗浄するように設計され得る。
【００４７】
さらに、測定ユニット１９は装置１内に設けられる。これを洗浄ユニット１８の構成要素部分として図１に表す。しかし、測定ユニット１９はさらに、装置１内で空間的に別個の装置として設けられ得る。機械的インターフェース１７に隣接して設けられるのは、保存ユニット２０である。この保存ユニットは、垂直または水平の形態であり得る。これにより、洗浄および測定の後で保存ユニットで受け取られるキャリア１１’は、次々に隣へと、または次々に上へと配置され得る。
【００４８】
図２に表すのは、本発明１による装置のさらなる実施形態である。この実施形態は、図１に示す装置に実質的に対応する。図２に示す実施形態の場合、装填されたキャリア１１’を排出するための充填開口部１３は、充填開口部１２が配置された側に隣接した側上に配置される。充填開口部１２、１３のこの構成により、保存ユニット２０にさらなる空間が生まれる。
【００４９】
図３に示す実施形態において、充填開口部１２、１３は装置１の対向し合う側上に配置される。その機械的インターフェース１５、１６が充填開口部１２または１３それぞれに対する角度であるように、選別ユニット１６は配置される。図３に表す実施形態の場合、選別ユニット１６は保存ユニット２０内への先端部として突出しており、洗浄ユニット１８は、保存ユニット２０の対向する側上に配置される。この構成により、キャリアが搬送され得る空間が増加する。そしてさらに、この装置は、供給および排出動作に対して逆転され得る。この実施形態において、充填開口部１３はさらに、充填されたキャリアの供給開口部として用いられ得、そして充填開口部１２は排出開口部として用いられ得る。方法の順序が逆転されたとしても、キャリア１１によってカバーされる経路である１１’は少しも長くされない。
【００５０】
図に表す実施形態は、ウェハ用キャリア、特に、３００ｍｍのウェハ用のＦＯＵＰとして設計されたキャリアを装填、保存および洗浄、そして適切な場合には測定することに好適に用いられる。
【００５１】
装置内のキャリアを搬送するための本発明による装置内で用いられる搬送システムを、ロボットアーム（例えば、グリッピングアーム）、またはコンベヤベルトなどの他のものとして設計し得る。
【００５２】
選別ユニット内に設けられた移動装置は、例えば、ロボットアームとして設計され得る。さらなる移動動作（例えば、移動装置の移行）を必要とせずに、移動装置によって（例えば、回転によって）選別ユニットの機械的インターフェースに到達し得るように、機械的インターフェースは好適に配置される。選別ユニット内にアイテムを一時的保存することを提供することも本発明の範囲内にある。このような一時的な保存により、洗浄されたキャリアが無くともよくなり得る。