【手続補正書】
【提出日】平成19年6月11日(2007.6.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体流れ制御システムであって、
プロセス流体の流れを受け取る流体入口と、
複数の流体出口であって、前記複数の流体出口が、第１流体出口および少なくとも１つの第２流体出口を含み、前記第１流体出口が、プロセス流体の流れの第１の所定の量を供給し、前記少なくとも１つの第２流体出口が、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する、複数の流体出口と、
前記流体入口でのプロセス流体の圧力を測定し、プロセス流体の圧力を表す圧力信号を供給する圧力変換器と、
流体的に前記流体入口および前記第１流体出口に結合され、プロセス流体の流れのうちで前記第１流体出口によって供給される第１の所定の部分を表す第１セットポイントを受け取る第１フローコントローラと、
流体的に前記第１入口および前記少なくも１つの第２流体出口に結合され、前記圧力信号および流体入口のプロセス流体の所望の圧力を表す圧力セットポイントを受け取り、前記プロセス流体の流れの残りの部分を少なくとも１つの第２流体出口に供給する、圧力コントローラと
をさらに含む、流体流れ制御システム。
【請求項２】
前記第１セットポイントが少なくとも部分的に前記第２セットポイントに依存するように第２セットポイントを提供するために、前記圧力コントローラが、前記圧力信号と前記圧力セットポイントとを比較する、請求項１に記載の流体流れ制御システム。
【請求項３】
それぞれが流体入口および流体出口を有する複数の流体供給流れコントローラであって、各めいめいの流体供給流れコントローラの流体入口が、流体のめいめいの供給に流体的に結合され、各めいめいの流体供給流れコントローラが、めいめいの流体供給コントローラの流体出口で供給されるめいめいの流体の量を表すめいめいの供給セットポイントを受け取り、各めいめいの流体供給流れコントローラの流体出力が、プロセス流体の流れを流体入口に集中的に供給するために流体入口に流体的に結合される、複数の流体供給流れコントローラと、
各めいめいの流体供給流れコントローラにめいめいの供給セットポイントを供給し、第１フローコントローラに第１セットポイントを供給し、圧力コントローラに圧力セットポイントを供給するプロセスコントローラと
をさらに含み、第１フローコントローラに供給される第１セットポイントが、プロセス流体の流れのうちで第１フローコントローラによって供給される第１の所定の部分を表す分数流れに、複数の流体供給コントローラの各々について、各めいめいの流体供給流れコントローラに供給されるめいめいの供給セットポイントの合計をかけ、めいめいの流体供給流れコントローラに対応する較正係数をかけたものに基づく
請求項１に記載の流体流れ制御システム。
【請求項４】
既知の流体が与えられたときに該既知の流体を第１フローコントローラのフルスケール範囲で割ったものが供給されたときに、めいめいの流体供給流れコントローラの較正係数が、めいめいの流体供給流れコントローラのフルスケール範囲と等しい、請求項３に記載の流体流れ制御システム。
【請求項５】
既知の流体が、窒素であり、前記複数の流体供給流れコントローラと前記第１のフローコントローラがマスフローコントローラであり、該第１のフローコントローラがバブルおよびフローセンサを含み、該第１のフローコントローラがバブルおよびフローセンサを含み、該フローセンサが該バブルの下流側に配置された、請求項４に記載の流体流れ制御システム。
【請求項６】
流体制御システムであって、
プロセス流体の流れを受け取る流体入口と、
複数の流体出口であって、前記複数の流体出口が、第１流体出口および少なくとも１つの第２流体出口を含み、前記第１流体出口が、プロセス流体の流れの該流体入口で受け取った第１の所定の部分を供給し、前記少なくとも１つの第２流体出口が、前記プロセス流体の流れの該流体入口で受け取った残りの部分を供給する、複数の流体出口と、
流体入口でのプロセス流体の圧力を測定し、該流体入口でのプロセス流体の圧力を表す圧力信号を供給する、圧力変換器と、
前記圧力信号および前記流体入口での前記プロセス流体の所望の圧力を表す圧力セットポイントを受け取り、前記プロセス流体の流れを表す第１セットポイントを供給する、フィードバックコントローラと、
前記第１セットポイントおよび前記第１流体出口によって供給されるプロセス流体の流れの第１の所定の部分を表す第２セットポイントを受け取り、第１乗算済みセットポイントを提供するために、第１セットポイントに第２セットポイントをかける、第１乗算器と、
前記流体入口および前記第１流体出口に流体的に結合され、前記第１乗算済みセットポイントを受け取り、前記第１乗算済みセットポイントに基づいて、プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を前記第１流体出口に供給する、第１フローコントローラと、
前記第１セットポイントおよび少なくとも１つの第２流体出口によって供給されるプロセス流体の流れの前記残りの部分を示す第３セットポイントを受け取り、第２乗算済みセットポイントを提供するために、前記第１セットポイントに第３セットポイントをかける、第２乗算器と、
前記流体入口および少なくとも１つの第２流体出口に流体的に結合され、前記第２乗算済みセットポイントを受け取り、前記第２乗算済みセットポイントに基づいて、プロセス流体の流れの前記残りの部分を少なくとも１つの第２流体出口に供給する、第２フローコントローラと
を含む流体制御システム。
【請求項７】
前記第２セットポイントを受け取り、前記第２乗算器に前記第３セットポイントを供給するために、前記流体入口で受け取りが可能であるプロセス流体のフルスケール流れを表す値から前記第２セットポイントを引く減算回路
をさらに含む、請求項６に記載の流体フローコントローラ。
【請求項８】
前記フィードバックコントローラが、比例、積分、微分フィードバックコントローラである、請求項６から７のいずれかに記載の流体流れ制御システム。
【請求項９】
前記第１フローコントローラおよび第２フローコントローラが、バルブおよび流れセンサを含むマスフローコントローラであり、前記流れセンサが、第１フローコントローラおよび第２フローコントローラのそれぞれの前記バルブの下流に配置される、請求項６から８のいずれかに記載の流体流れ制御システム。
【請求項１０】
前記第１フローコントローラおよび第２フローコントローラが、既知の流体に対して類似する応答を有するようにチューニングされる、請求項６から９のいずれかに記載の流体流れ制御システム。
【請求項１１】
それぞれが流体入口および流体出口を有する複数の流体供給流れコントローラであって、各めいめいの流体供給流れコントローラの流体入口が、めいめいの流体の供給に流体的に結合され、各めいめいの流体供給流れコントローラが、めいめいの流体供給フローコントローラの流体出口で供給されるめいめいの流体の量を表すめいめいのセットポイントを受け取り、各めいめいの流体供給流れコントローラの流体出口が、プロセス流体の流れを該流体入口に集中的に供給するために流体入口に流体的に結合される、複数の流体供給流れコントローラと、
各めいめいの流体供給流れコントローラにめいめいのセットポイントを供給し、フィードバックコントローラに圧力セットポイントを供給し、第２セットポイントを第１乗算器に供給するプロセスコントローラと
をさらに含む、請求項６から１０のいずれかに記載の流体流れ制御システム。
【請求項１２】
プロセス流体の流れを受け取る流体入口と、
複数の流体出口であって、前記複数の流体出口が、第１流体出口および少なくとも１つの第２流体出口を含み、前記第１流体出口が、前記プロセス流体の流れの流体入口で受け取られる第１の所定の部分を供給し、前記少なくとも１つの第２流体出口が、前記プロセス流体の該流体入口で受け取られる流れの残りの部分を供給する、該複数の流体出口と、
前記流体入口でのプロセス流体の圧力を測定し、前記プロセス流体の該流体入口における前記圧力を表す圧力信号を供給する圧力変換器と、
前記圧力信号および、前記プロセス流体の流れのうちで前記第１流体出口によって供給される前記第１の所定の部分を表す第１セットポイントを受け取り、第１乗算済みセットポイントを提供するために前記圧力信号に前記第１セットポイントをかける、第１乗算器と、
前記流体入口および前記第１流体出口に流体的に結合され、前記第１乗算済みセットポイントを受け取り、前記第１乗算済みセットポイントに基づいて、プロセス流体の流れの前記第１の所定の量を第１流体出口に供給する、第１フローコントローラと、
前記圧力信号および、前記プロセス流体の流れのうちで少なくとも１つの第２流体出口によって供給される残りの部分を表す第２セットポイントを受け取り、第２乗算済みセットポイントを提供するために、前記圧力信号に前記第２セットポイントをかける、第２乗算器と、
前記流体入口および前記少なくとも１つの第２流体出口に流体的に結合され、第２乗算済みセットポイントを受け取り、前記第２乗算済みセットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れの残りの部分を少なくとも１つの第２流体出口に供給する、第２フローコントローラと
をさらに含む流体制御システム。
【請求項１３】
前記第１セットポイントを受け取り、前記第２乗算器に前記第２セットポイントを供給するために、前記流体入口で受け取られるプロセス流体のフルスケール流れを表す値から前記第１セットポイントを引く、減算回路
をさらに含む、請求項１２に記載の流体流れ制御システム。
【請求項１４】
前記第１フローコントローラおよび前記第２フローコントローラが、既知の流体に対して類似する応答を有するようにチューニングされる、請求項１２から１３のいずれかに記載の流体流れ制御システム。
【請求項１５】
それぞれが流体入口および流体出口を有する複数の流体供給流れコントローラであって、各めいめいの流体供給流れコントローラの流体入口が、めいめいの流体の供給に流体的に結合され、各めいめいの流体供給流れコントローラが、めいめいの流体供給流れコントローラの流体出口で供給されるめいめいの流体の量を表すめいめいのセットポイントを受け取り、各めいめいの流体供給流れコントローラの前記流体出口が、前記プロセス流体の流れを該流体入口に集中的に供給するために前記流体入口に流体的に結合される、複数の流体供給流れコントローラと、
前記各めいめいの流体供給流れコントローラに前記めいめいの供給セットポイントを供給し、第１セットポイントを前記第１乗算器に、前記第２セットポイントを前記第２乗算器に供給する、プロセスコントローラと
をさらに含む、請求項１２から１４のいずれかに記載の流体流れ制御システム。
【請求項１６】
流体制御システムであって、
プロセス流体の流れを受け取る第１入口と、
前記複数の流体出口であって、前記複数の流体出口が、該流体入口で受け取られた前記プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１流体出口と、該流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの残りの部分を一緒に供給する複数の第２流体出口とを含む、該複数の流体出口と、
前記流体入口での前記プロセス流体の圧力を測定し、該流体入口での前記プロセス流体の前記圧力を表す圧力信号を供給する、圧力変換器と、
前記圧力信号および前記流体入口での前記プロセス流体の所望の圧力を表す圧力セットポイントを受け取り、該流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れを表す第１セットポイントを供給する、フィードバックコントローラと、
前記第１セットポイントと、前記第１流体出口によって供給される前記プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を表す第２セットポイントとを受け取り、第１乗算済みセットポイントを提供するために、前記第１セットポイントに前記第２セットポイントをかける、第１乗算器と、
前記流体入口および前記第１流体出口に流体的に結合され、前記第１乗算済みセットポイントを受け取り、前記第１乗算済みセットポイントに基づいて前記第１流体出口に前記プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を供給する、第１フローコントローラと、
それぞれが複数の第２流体出口のめいめいの第２流体出口に対応する複数の第２乗算器であって、前記第１セットポイントおよびめいめいの第２流体出口によって供給される該流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れのめいめいの第２部分を表すめいめいの第３セットポイントを受け取り、めいめいの第２乗算済みセットポイントを提供するために、前記第１セットポイントにめいめいの前記第３セットポイントをかける複数の第２乗算器と、
各々が前記複数の第２乗算器のそれぞれの第２乗算器に対応し、前記流体入口および該複数の第２の流体出口のめいめいの第２流体出口に流体的に結合された複数の第２フローコントローラであって、めいめいの第２乗算済みセットポイントを受け取り、第２乗算済みセットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れの前記めいめいの第２部分を供給する、複数の第２フローコントローラと
を含む流体制御システム。
【請求項１７】
流体制御システムであって、
プロセス流体の流れを受け取る第１入口と、  複数の流体出口であって、前記複数の流体出口が、該流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１流体出口と、該流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの残りの部分を一緒に供給する複数の第２流体出口とを含む、該複数の流体出口と、  前記流体入口でのプロセス流体の圧力を測定し、前記プロセス流体の該流体入口においての前記圧力を表す圧力信号を供給する圧力変換器と、  前記圧力信号および、前記プロセス流体の流れのうちで前記第１流体出口によって供給される前記第１の所定の部分を表す第１セットポイントを受け取り、第１乗算済みセットポイントを提供するために前記圧力信号に前記第１セットポイントをかける、第１乗算器と、
前記流体入口および前記第１流体出口に流体的に結合され、前記第１乗算済みセットポイントを受け取り、前記第１乗算済みセットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を前記第１流体出口に供給する、第１フローコントローラと、
それぞれが前記複数の第２流体出口のめいめいの第２流体出口に対応する複数の第２乗算器であって、前記圧力信号および前記プロセス流体の流れのうちでめいめいの前記第２流体出口によって供給される該流体入口で受け取られるめいめいの第２部分を表すめいめいの第２セットポイントを受け取り、めいめいの第２乗算済みセットポイントを提供するために、前記圧力信号にめいめいの第２セットポイントをかける、複数の第２乗算器と、
各々が前記複数の第２乗算器の各々の第２の乗算器に対応し、前記流体入口および該複数の第２の流体出口のめいめいの第２流体出口に流体的に結合された複数の第２フローコントローラであって、めいめいの第２乗算済みセットポイントを受け取り、第２乗算済みセットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れのめいめいの第２部分を供給する、複数の第２フローコントローラと
を含む流体制御システム。
【請求項１８】
前記第１フローコントローラおよび前記複数の第２フローコントローラのそれぞれが、既知の流体に対する類似する応答を有するようにチューニングされる、請求項１７記載の流体流れ制御システム。
【請求項１９】
流体制御システムであって、
プロセス流体の流れを受け取る流体入口と、
複数の流体出口であって、前記複数の流体出口が、第１流体出口および少なくとも１つの第２流体出口を含み、前記第１流体出口が、該流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口が、該流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの残りの部分を供給する、該複数の流体出口と
前記流体入口での前記プロセス流体の圧力を測定し、該流体入口における前記プロセス流体の前記圧力を表す圧力信号を供給する圧力変換器と、
パルス幅変調コントローラであって、前記圧力信号と、前記流体入口での前記プロセス流体の所望の圧力を表す圧力セットポイントと、前記プロセス流体流れのうちで前記第１流体出口によって供給される前記第１の所定の部分を表す第１セットポイントとを受け取り、第１および第２のパルス幅変調制御信号を供給する、パルス幅変調されるコントローラと、
前記流体入口に流体的に結合され、前記プロセス流体の流れを受け取り、前記プロセス流体の圧力を減らす第１臨界流れノズルと、
前記流体入口に流体的に結合され、前記プロセス流体の流れを受け取り、前記プロセス流体の圧力を減らす第２臨界流れノズルと、
前記第１臨界流れノズルおよび前記第１流体出口に流体的に結合され、前記第１パルス幅変調された制御信号を受け取り、前記第１パルス幅変調された制御信号に基づいて、前記プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を前記第１流体出口に供給する、第１制御バルブと、
前記第２臨界流れノズルおよび少なくとも１つの第２流体出口に流体的に結合され、前記第２パルス幅変調された制御信号を受け取り、前記第２パルス幅変調された制御信号に基づいて、前記プロセス流体の流れの前記残りの部分を少なくとも１つの第２流体出口に供給する、第２制御バルブと
を含み、
前記第１パルス幅変調された制御信号および前記第２パルス幅変調された制御信号の頻度および持続時間の少なくとも１つが、前記圧力信号、前記圧力セットポイントおよび第１のセットポイントに基づいて変調される、
流体制御システム。
【請求項２０】
前記第１臨界流れノズルおよび前記第２臨界流れノズルが、実質的に同一である、請求項１９に記載の流体流れ制御システム。
【請求項２１】
前記第１臨界流れノズルおよび前記第２臨界流れノズルが、約２対１の比率によって前記プロセス流体の前記圧力を下げる、請求項１９から２０のいずれかに記載の流体流れ制御システム。
【請求項２２】
前記第１制御バルブおよび前記第２制御バルブが、ディジタル制御バルブである、請求項１９から２１のいずれかに記載の流体流れ制御システム。
【請求項２３】
前記第１パルス幅変調された制御信号および前記第２パルス幅変調された制御信号の前記１つの頻度および前記持続時間の少なくとも１つが、前記第１臨界流れノズルおよび前記第２臨界流れノズルの性能を実質的に同一にするためにさらに変調される、請求項１９から２２のいずれかに記載の流体流れ制御システム。
【請求項２４】
プロセス流体の流れを制御する方法であって、
流体入口でプロセス流体の流れを受け取るステップと、
前記プロセス流体の流れの流体入口で受け取られる第１の所定の部分を第１流体出口に供給するステップと、
前記プロセス流体の流体入口で受け取られる流れの残りの部分を少なくとも１つの第２流体出口に供給するステップと
前記プロセス流体の流れのうちで前記第１流体出口に供給される前記第１の所定の部分を表す第１セットポイントを受け取るステップと、
前記第１セットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を前記第１流体出口に供給するように第１フローコントローラに指示するステップと、
前記流体入口での前記プロセス流体の圧力を測定するステップと、
前記流体入口での前記プロセス流体の所望の圧力を表す圧力セットポイントを受け取るステップと、を含み、
前記プロセス流体の残りの部分を供給するステップが、ある量のプロセス流体を少なくとも１つの第２の流体出口に供給し、プロセス流体の圧力を圧力セットポイントに保持する、
プロセス流体の流れを制御する方法。
【請求項２５】
複数の流体供給流れコントローラの各々によって複数のめいめいの流体供給からめいめいに供給される流体の複数のめいめいの量を表す複数のめいめいのセットポイントを受け取るステップと、
前記プロセス流体の流れを形成するために、流体の複数のめいめいの量を組み合わせるステップと、
前記プロセス流体の流れのうちで前記第１流体出口に供給される前記第１の所定の部分を表す分数に、流体の複数のめいめいの各々の量に関する各めいめいのセットポイントの合計をかけ、めいめいの流体供給流れコントローラに対応する較正係数をかけたものに基づいて、第１セットポイントを決定するステップと
をさらに含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
既知の流体に対するめいめいの流体供給流れコントローラのフルスケール範囲を、前記既知の流体に関する第１フローコントローラのフルスケール範囲で除算したときに各めいめいの流体供給流れコントローラの較正係数を決定するステップ
をさらに含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記プロセス流体の残りの部分を供給するステップが、  前記第１セットポイントに部分的に依存する第２セットポイントを提供するために、前記圧力セットポイントと前記プロセス流体の前記圧力とを比較するステップであって、を更に含む請求項２４に記載の方法。
【請求項２８】
前記プロセス流体の流れの前記残りの部分を供給するステップが、前記第２のセットポイントに基づいて少なくとも１つの第２の流体出口にある量のプロセス流体を供給するように圧力コントロラーに指示することを含む請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
プロセス流体の流れを制御する方法であって、
流体入口でプロセス流体の流れを受け取るステップと、
流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの第１の所定の部分を第１流体出口に供給するステップと、
流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの残りの部分を少なくとも１つの第２流体出口に供給するステップと、
前記流体入口での前記プロセス流体の圧力を測定するステップと、
前記流体入口での前記プロセス流体の所望の圧力を表す圧力セットポイントを受け取るステップと、
前記圧力セットポイントおよび前記プロセス流体の前記圧力に基づいて、前記流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れを表す第１セットポイントを決定するステップと、
前記プロセス流体の流れのうちで前記第１流体出口で供給される前記第１の所定の部分を表す第２セットポイントを受け取るステップと、
第１乗算済みセットポイントを決定するために前記第１セットポイントに前記第２セットポイントをかけるステップと、
前記第１乗算済みセットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を前記第１流体出口に供給するように第１フローコントローラに指示するステップと
をさらに含む、プロセス流体の流れを制御する方法。
【請求項３０】
第２乗算済みセットポイントを決定するために、前記プロセス流体の流れのうちで少なくとも１つの第２流体出口に供給される前記残りの部分を表す第３セットポイントを前記第１セットポイントにかけるステップと、
前記第２乗算済みセットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れの残りの部分を少なくとも１つの第２流体出口に供給するように第２フローコントローラに指示するステップと
をさらに含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
流体入口で受け取り可能なプロセス流体のフルスケールの流れを表す値を受け取るステップと、
流体入口で受け取り可能なプロセス流体のフルスケール流れを表す値から第２セットポイントを引くことによって、第３セットポイントを決定するステップと
をさらに含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
既知の流体に対する類似する応答を有するように前記第１フローコントローラおよび前記第２フローコントローラをチューニングするステップ
をさらに含む、請求項３０から３１のいずれかに記載の方法。
【請求項３３】
プロセス流体の流れを制御する方法であって、
流体入口で前記プロセス流体の流れを受け取るステップと、
流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの第１の所定の部分を第１流体出口に供給するステップと、
流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの残りの部分を前記少なくとも１つの第２流体出口に供給するステップと、
前記流体入口での前記プロセス流体の圧力を測定するステップと、
前記プロセス流体の流れのうちで前記第１流体出口に供給される前記第１の所定の部分を表す第１セットポイントを受け取るステップと、
第１乗算済みセットポイントを決定するために、前記第１セットポイントに前記プロセス流体の前記圧力をかけるステップと、
前記第１乗算済みセットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を前記第１流体出口に供給するように第１フローコントローラに指示するステップと
をさらに含む、プロセス流体の流れを制御する方法。
【請求項３４】
第２乗算済みセットポイントを決定するために、前記プロセス流体の流れのうちで少なくとも１つの第２流体出口に供給される前記残りの部分を表す第２セットポイントを前記プロセス流体の前記圧力にかけるステップと、
前記第２乗算済みセットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れの前記残りの部分を前記少なくとも１つの第２流体出口に供給するように第２フローコントローラに指示するステップと
をさらに含む、請求項３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記流体入口で受け取り可能な前記プロセス流体のフルスケール流れを表す値を受け取るステップと、
前記流体入口で受け取り可能なプロセス流体のフルスケール流れを表す前記値から前記第１セットポイントを引くことによって、第２セットポイントを決定するステップと
をさらに含む、請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
既知の流体に対する類似する応答を有するように、前記第１フローコントローラおよび前記第２フローコントローラをチューニングするステップ
をさらに含む、請求項３４から３５のいずれかに記載の方法。
【請求項３７】
プロセス流体の流れを制御する方法であって、
流体入口で前記プロセク流体の流れを受け取るステップと、
流体入口で受け取られる前記プロセク流体の流れの第１の所定の部分を第１流体出口に供給するステップと、
流体入口出口受け取られる前記プロセス流体の流れの残りの部分を複数の第２流体出口に供給するステップと、
前記流体入口での前記プロセス流体の圧力を測定するステップと、
前記プロセク流体の流れのうちで前記第１流体出口に供給される前記第１の所定の部分を表す第１セットポイントを受け取ることと、
第１乗算済みセットポイントを決定するために、前記第１セットポイントに前記プロセス流体の前記圧力をかけるステップと、
前記第１乗算済みセットポイントに基づいて、前記プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を前記第１流体出口に供給するように第１フローコントローラに指示するステップと、
それぞれが前記複数の第２流体出口の前記第２流体出口に対応する複数の第２セットポイントを受け取るステップと、
複数のめいめいの第２乗算済みセットポイントをそれぞれ決定するために、各めいめいの第２セットポイントに前記プロセス流体の前記圧力をかけるステップと、
めいめいの前記第２乗算済みセットポイントのそれぞれに基づいて、前記プロセク流体の流れのめいめいの第２部分を供給するように、前記複数の第２流体出口のめいめいの第２流体出口にめいめいが対応する複数のめいめいの第２フローコントローラのそれぞれに指示するステップと
を含む、プロセス流体の流れを制御する方法。
【請求項３８】
既知の流体に対する類似する応答を有するように、前記第１フローコントローラおよび前記複数の第２フローコントローラのそれぞれをチューニングするステップ
をさらに含む、請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
プロセス流体の流れを制御する方法であって、
流体入口で前記プロセス流体の流れを受け取るステップと、
流体入口で受け取られる前記プロセス流体の流れの第１の所定の部分を第１流体出口に供給するステップと、
流体入口受け取られる前記プロセス流体の流れの残りの部分を少なくとも１つの第２流体出口に供給するステップと、
前記流体入口での前記プロセス流体の圧力を測定するステップと、
前記流体入口での前記プロセス流体の所望の圧力を表す圧力セットポイントを受け取るステップと、
前記プロセス流体の流れのうちで前記第１流体出口に供給される前記第１の前もつて決められた部分を表す第１セットポイントを受け取るステップと、
前記流体入口での前記プロセス流体の前記圧力、前記圧力セットポイント、および前記第１セットポイントに基づいて、第１パルス幅変調された制御信号を生成するステップと、
前記第１パルス幅変調された制御信号に基づいて、前記プロセス流体の流れの前記第１部分を前記第１の出口に供給するように第１バルブを制御するステップと
をさらに含む、プロセス流体の流れを制御する方法。
【請求項４０】
前記流体入口での前記プロセス流体の前記圧力、前記圧力セットポイント、および前記第１セットポイントに基づいて、第２パルス幅変調された制御信号を生成するステップと、
前記第２パルス幅変調された制御信号に基づいて、前記プロセス流体の流れの前記残りの部分を前記少なくとも１つの第２流体出口に供給するように第２バルブを制御するステップと、
をさらに含む請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
前記圧力信号、前記圧力セットポイント、および前記第１セットポイントに基づいて前記第１パルス幅変調された制御信号および前記第２パルス幅変調された制御信号の頻度および持続時間の少なくとも１つを変調するステップ、
をさらに含む、請求項４０に記載の方法。
【請求項４２】
前記プロセス流体の流れを前記第１バルブおよび前記第２バルブに供給する前に、前記プロセス流体の前記圧力を約２対１の比率によって下げるステップ
をさらに含む、請求項４０から４１のいずれかに記載の方法。
【請求項４３】
前記圧力を下げるステップが、前記第１バルブの上流にそれぞれ配置される第１臨界流れノズルおよび前記第２バルブの上流に配置される第２臨界流れノズルによって実行され、前記変調するステップが、さらに、前記第１臨界流れノズルおよび前記第２臨界流れノズルの性能を実質的に同一にするために、前記第１パルス幅変調された制御信号および前記第２パルス幅変調された制御信号の１つの頻度および持続時間の少なくとも１つをさらに変調するステップを含む、請求項４２のいずれかに記載の方法。
【請求項４４】
流体流れ制御システムであって、
プロセス流体の流れを受け取る流体入口と、
複数の流体出口であって、前記複数の流体出口が、第１流体出口および少なくとも１つの第２流体出口を含み、前記第１流体出口が、プロセス流体の流れの第１の所定の量を供給し、前記少なくとも１つの第２流体出口が、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する、複数の流体出口と、を含み、
前記少なくとも１つの第２流体出口が、単一の第２流体出口を含み、前記流体流れ制御システムが、さらに、
前記流体流れ制御システムの前記流体入口に流体的に結合された流体入口を有するバルブであって、第１流体出口が、前記流体制御システムの前記第１流体出口に流体的に結合され、第２流体出口が、流体制御システムの単一の第２流体出口に流体的に結合され、バルブが、バルブ駆動信号に応答して、前記プロセス流体の流れの前記第１の所定の部分を前記第１流体出口に供給し、前記プロセス流体の流れの前記残りの部分を前記第２流体出口に供給する、バルブ、
プロセス流体の流れの第１の予め決められた部分を示すセットポイントを受け取り、プロセス流体の流れの該第１の予め決められた部分の測定値を示す信号をフィードバック信号を受け取り、バルブ駆動信号を供給するコントローラと、
第１の流体出口により供給されたプロセス流体の流れの第１の予め決められた部分を測定し、第１の流れ信号を供給する第１の流れメータ、
第２の流体出口により供給されたプロセス流体の流れの残りの部分を測定し、第２の流れ信号を供給する第２の流れメータ、
第１の流れ信号と第２の流れ信号とを受け取り、合計し、合計された流れ信号を供給する加算器、および
第１の流れ信号と合計された流れ信号を受け取り、第１の流れ信号を合計された流れ信号で除算し、除算された信号をコントローラえフィードバック信号として供給する除算器、
を備える流体流れ制御システム。