(57)【要約】【課題】ライトバルブを変形させることなく保持し、画素を調整するライトバルブ画素調整装置及びそれを用いた投射型表示装置の画素合わせ方法を提供することを目的とする。【解決手段】ライトバルブの側面と背面とに接する第１保持部材と、第１保持部材に接するライトバルブの側面と相対する他の側面と背面とに接する第２保持部材とを有し、第２保持部材を他の側面と平行に移動させるねじ部材でライトバルブに接する位置に移動させ、弾性体で第２保持部材をライトバルブに押し付けるライトバルブ保持部材でライトバルブを保持し、このライトバルブ保持部材が固定され、ライトバルブの画素合わせを行うアクチュエータとを有するライトバルブ画素調整装置。【選択図】  図３
2006010993.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ライトバルブの側面と背面とに接する第１保持部材と、
前記ライトバルブの前記側面と相対する他の側面と前記背面とに接する第２保持部材と
前記第２保持部材を前記他の側面と平行に移動させるねじ部材と
前記第２保持部材を前記ライトバルブに押し付ける弾性体とを備える前記ライトバルブ保持部材と、
前記ライトバルブ保持部材が固定され、前記ライトバルブの画素合わせを行うアクチュエータとを有すること
を特徴とするライトバルブ画素調整装置。
【請求項２】
前記第２保持部材を前記ねじ部材の移動の方向に導くガイド部材を有すること
を特徴とする請求項１に記載のライトバルブ画素調整装置。
【請求項３】
前記弾性部材は、前記ねじ部材を取り囲み、前記第２保持部材を前記ライトバルブに押し付けるばね部材であること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載のライトバルブ画素調整装置。
【請求項４】
前記弾性部材は、前記ねじ部材を取り囲み、前記第２保持部材を前記ライトバルブに押し付ける第１ばね部材と、前記第１ばね部材に隣接して配置され前記第２保持部材を前記ライトバルブに押し付ける第２ばね部材とを有すること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載のライトバルブ画素調整装置。
【請求項５】
前記ライトバルブは反射型ライトバルブであること
を特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のライトバルブ画素調整装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のライトバルブ画素調整装置でライトバルブを保持し、
光源からの光を複数の色光に色分解し、
前記色分解された光を、前記複数の色毎に配置されたライトバルブに入射し、
前記複数の色光毎に配置されたライトバルブから前記複数の色光毎に配置されたライトバルブの画素の位置を調整するチャートを射出し、
前記複数の色光毎に配置されたライトバルブから射出されたチャートを投射レンズでスクリーン上に投射し、
前記アクチュエータで前記複数の色光毎に配置されたライトバルブの画素を位置合わせし、
前記ライトバルブを前記偏光ビームスプリッタに対して固定し、
前記ライトバルブを前記ライトバルブ保持具から外すこと
を特徴とする投射型表示装置の画素合わせ方法。
【請求項７】
請求項６に記載の投射型表示装置の画素合わせ方法において、光源からの光を赤（Ｒ）光、緑（Ｇ）光、青（Ｂ）光の３色の光に色分解すること
を特徴とする投射型表示装置の画素合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ライトバルブ画素調整装置及びそれを用いた投射型表示装置の画素合わせ方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、光源から光を赤、緑、青の３色光に色分解し、それぞれの色光を各色光毎に配置されたライトバルブで変調し、色合成した後にカラーの画像を投射する投射型表示装置が知られている。この投射型表示装置において、赤、緑、青の色ずれ、すなわち各色光用のライトバルブの各画素の位置のずれを調整するために、ライトバルブをねじによってアクチュエータに固定し、アクチュエータでライトバルブの位置を調整する方法が知られている。
【特許文献１】特開２００１−２１１４６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、ライトバルブをねじでアクチュエータに固定するとライトバルブが変形し、この状態でライトバルブの画素合わせを行っても、画素合わせ終了後にねじを外すと、ライトバルブの変形が元に戻るため、画素ずれが生じてしまうと言う問題点があった。
【０００４】
本発明は、ライトバルブを変形させることなく保持し、画素を調整するライトバルブ画素調整装置及びそれを用いた投射型表示装置の画素合わせ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記問題点を解決するために請求項１に記載のライトバルブ画素調整装置は、ライトバルブの側面と背面とに接する第１保持部材と、前記ライトバルブの前記側面と相対する他の側面と前記背面とに接する第２保持部材と前記第２保持部材を前記他の側面と平行に移動させるねじ部材と前記第２保持部材を前記ライトバルブに押し付ける弾性体とを備える前記ライトバルブ保持部材と、前記ライトバルブ保持部材が固定され、前記ライトバルブの画素合わせを行うアクチュエータとを有することを特徴とする。
【０００６】
請求項２に記載のライトバルブ画素調整装置は、請求項１に記載のライトバルブ画素調整装置において、前記第２保持部材を前記ねじ部材の移動の方向に導くガイド部材を有することを特徴とする。
【０００７】
請求項３に記載のライトバルブ画素調整装置は、請求項１または請求項２に記載のライトバルブ画素調整装置において、前記弾性部材は、前記ねじ部材を取り囲み、前記第２保持部材を前記ライトバルブに押し付けるばね部材であることを特徴とする。
【０００８】
請求項４に記載のライトバルブ画素調整装置は、請求項１または請求項２に記載のライトバルブ画素調整装置において、前記弾性部材は、前記ねじ部材を取り囲み、前記第２保持部材を前記ライトバルブに押し付ける第１ばね部材と、前記第１ばね部材に隣接して配置され前記第２保持部材を前記ライトバルブに押し付ける第２ばね部材とを有することを特徴とする。
【０００９】
請求項５に記載のライトバルブ画素調整装置は、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のライトバルブ画素調整装置において、前記ライトバルブは反射型ライトバルブであることを特徴とする。
【００１０】
請求項６に記載の投射型表示装置の画素合わせ方法は、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のライトバルブ画素調整装置でライトバルブを保持し、光源からの光を複数の色光に色分解し、前記色分解された光を、前記複数の色毎に配置されたライトバルブに入射し、前記複数の色光毎に配置されたライトバルブから前記複数の色光毎に配置されたライトバルブの画素の位置を調整するチャートを射出し、前記複数の色光毎に配置されたライトバルブから射出されたチャートを投射レンズでスクリーン上に投射し、前記アクチュエータで前記複数の色光毎に配置されたライトバルブの画素を位置合わせし、前記ライトバルブを前記偏光ビームスプリッタに対して固定し、前記ライトバルブを前記ライトバルブ保持具から外すことを特徴とする。
【００１１】
請求項７に記載の投射型表示装置の画素合わせ方法は、請求項６に記載の投射型表示装置の画素合わせ方法において、光源からの光を赤（Ｒ）光、緑（Ｇ）光、青（Ｂ）光の３色の光に色分解することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、ライトバルブを変形させることなく保持し、画素を調整するライトバルブ画素調整装置及びそれを用いた投射型表示装置の画素合わせ方法を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下図面を参照して本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１に本実施形態の投射型表示装置の構成図を示す。ランプと凹面鏡とから構成される光源１１から射出された光は、偏光変換照明光学系１２によって紙面に垂直な方向に振動方向を有する偏光に変換される。この偏光変換照明装置１２は図示しない複数のレンズをマトリクス形状に配置した第１レンズ板と、第１レンズ板の各レンズのほぼ焦点位置に同様にレンズを配置した第２レンズ板と、第２レンズ板の射出面近傍に偏光分離部とこの偏光分離部と平行に配置した反射層の組合せを複数組アレイ状に配置した複数プリズム部材と、その射出面の特定位置に配置した１／２波長位相板と、あとで説明する反射型ライトバルブ上に重畳照明するコンデンサレンズとから構成されている。本実施形態では、１／２波長位相板は射出する偏光の振動方向が紙面に垂直になる位置に配置した。
【００１４】
偏光変換照明装置１２から射出した光はＢ（青）光反射、Ｒ（赤）光とＧ（緑）光透過特性のダイクロイックミラー１３Ｂと、Ｒ光とＧ光を反射、Ｂ光を透過する特性のダイクロイックミラー１３ＲＧとを互いに直交して配置したクロスダイクロイックミラー１３に入射し、入射光に垂直で、互いに反対方向に進行するＢ光と、Ｒ光とＧ光との混合光とに色分解する。
色分解されたＢ光は偏向ミラー１４で反射されて、Ｂ光用に配置された偏光ビームスプリッタ１７Ｂに入射する。偏光ビームスプリッタ１７Ｂに入射したＢ光は、偏光分離部で反射されＢ光用反射型ライトバルブ１８Ｂに入射する。
一方色分解されたＲ光とＧ光との混合光は偏向ミラー１５で反射されて、Ｇ光反射、Ｒ光透過特性のダイクロイックミラー１６に入射、反射するＧ光と、透過して直進するＲ光とに色分解される。色分解されたＧ光とＲ光は、偏光ビームスプリッタ１７Ｇ、１７Ｒにそれぞれ入射し、偏光分離部で反射されそれぞれ反射型ライトバルブ１８Ｇ、１８Ｂに入射する。
偏光ビームスプリッタ１７Ｂ、１７Ｇ、１７Ｒと、反射型ライトバルブ１８Ｂ、１８Ｇ、１８Ｒはそれぞれ一体化部材３０Ｂ、３０Ｇ、３０Ｒを用いて一体化されている。なお各色光用の反射型ライトバルブ１８Ｂ、１８Ｇ、１８Ｒの画像形成面は多数の画素が、マトリクス形状に配置された構成になっている。
【００１５】
各色光用に配置された反射型ライトバルブ１８Ｂ、１８Ｇ、１８Ｒに入射した各色光は、それぞれの色信号によって変調作用を受け、変調光と非変調光との混合光を反射して射出する。反射射出された光は、再度偏光ビームスプリッタ１７Ｂ、１７Ｇ、１７Ｒにそれぞれ入射し、偏光分離部を透過する変調光を検光光として分離される。
【００１６】
偏光ビームスプリッタ１７Ｂ、１７Ｇ、１７Ｒは、色合成用のクロスダイクロイックプリズム２０と、一体化部材１９Ｂ、１９Ｇ、１９Ｒで一体化されている。一体化部材１９Ｂ、１９Ｇ、１９Ｒは、光路長補正プリズム部材から構成されている。
クロスダイクロイックプリズム２０の内部には、Ｒ光を反射するダイクロイック膜２０ＲとＢ光を反射するダイクロイック膜２０Ｂが直交して配置されている。クロスダイクロイックプリズム２０に入射したＲ光とＢ光は、それぞれＲ光反射ダイクロイック膜２０Ｒ、Ｂ光反射ダイクロイック膜２０Ｂで反射され、Ｇ光は両ダイクロイック膜を透過することによって色合成され、合成光を射出面から射出する。色合成された光は、クロスダイクロイックプリズム２０の下面と一体化部材２２で一体化された投射レンズ２１に入射し、図示しないスクリーン上に投射される。
【００１７】
図２にＧ光用反射型ライトバルブ１８Ｇと偏光ビームスプリッタ１７Ｇを一体化する一体化部材３０Ｇ構造を示す。Ｇ光用反射型ライトバルブ１８Ｇの背面には冷却用フィン１８Ｇ−Ｆが取付けられている。一体化部材３０Ｇは、Ｇ光用の反射型ライトバルブ１８Ｇを保持する第１一体化部材３１と、Ｇ光用偏光ビームスプリッタ１７Ｇに取り付けられる第２一体化部材３３からなる。なおＧ光用の一体化部材３０Ｇのみ示しているが、Ｒ光、Ｂ光用の一体化部材３０Ｒ、３０Ｂも同じ構成なので図示、及び説明は省略する。
【００１８】
第１一体化部材３１と第２一体化部材３３はそれぞれ金属の板部材を加工し形成されている。第２一体化部材３３の中央部には、光を通すために開口が設けられている。開口の上下には、偏光ビームスプリッタ１７Ｇの上下の面をそれぞれ挟み込んで接着して取付ける取付け部３３３Ｕ、３３３Ｌが、第２一体化部材３３と垂直方向に設けられている。第２一体化部材３３の上端部と下端部には、第１一体化部材３１と半田付けして結合する第１一体化部材３１との取付け部３３１Ｕ、３３１Ｌが設けられている。
第１一体化部材３１の中央には、光を通すための開口が形成されており、Ｇ光用の反射型ライトバルブ１８Ｇは、その画像形成部全体が開口の内側に配置されるように第１一体化部材３１に取付けられる。第１一体化部材３１の上端部と下端部には、開口面から斜め方向に向かう第２一体化部材３３との取付け部３３１Ｕ、３３１Ｌと接合される取付け部３１１Ｕ、３１１Ｌが形成されている。
【００１９】
第１一体化部材３１と第２一体化部材３２の接合方法について説明する。まず、偏光ビームスプリッタ１７Ｇに第２一体化部材３３を取付け部３３３Ｕ、３３３Ｌで偏光ビームスプリッタ１７Ｇの上下の面を挟み、接着して取り付ける。次に偏光ビームスプリッタ１７Ｇに接着した第２取付け部材３３に、反射型ライトバルブ１８Ｇを取付けた第１取付け部材３１を近づける。反射型ライトバルブ１８Ｇは、後述するアクチュエーター１１１に保持されており、アクチュエータ１１１を使用して取付け部３１１Ｕ、３１１Ｌを、第２取付け部材３３の取付け部３３１Ｕ、３３１Ｌにそれぞれ近づけて仮固定する。その後、各色の反射型ライトバルブ１８Ｇ，１８Ｂ、１８Ｒの画素合わせを行い、第１取付け部材３１と第２取付け部材３３を半田付けして固定する。
【００２０】
次にアクチュエータ１１１で反射型ライトバルブ１８Ｇを保持する方法を説明する。図３にアクチュエータ１１１と、その上に取付けた保持部材１０１の斜視図を示す。各色光用の反射型ライトバルブはそれぞれ同様に保持される。図４に保持部材１０１の斜視図を示す。保持部材１０１のアクチュエータ１１１に取付けるための床部材１０４の上には、ライトバルブの一方の側面と背面の一部を保持する保持部材１０２Ａが、床部材１０４に垂直に取付けられている。保持部材１０２Ａは床部材１０４に固定されており移動しない。この保持部材１０２Ａの上部には、所定の長さに渡ってＬ字状の保持部１０２Ａ−Ｃが形成されており、保持部１０２Ａ−Ｃで反射型ライトバルブ１８Ｇの側面と底面を保持する。さらに、床部材１０４の上には、スライド部材１０７とスライド部材１０７のガイド部材１０８が取り付けられている。ガイド部材１０８は床部材１０４に固定されており、スライド部材１０７はガイド部材１０８に沿って図４のＸ軸方向に移動可能になっている。スライド部材１０７にＸ軸方向の力を加えることによって、スライド部材１０７はＸ軸方向に移動する。
【００２１】
スライド部材１０７には反射型ライトバルブ１８の、部材１０２Ａが保持する側面とは別の側面と背面の一部を保持する保持部材１０２Ｂが取付けられている。保持部材１０２Ｂの上部には、部材１０２Ａと同様に所定の距離に渡ってＬ字状の保持部１０２Ｂ−Ｃが形成されている。なお、保持部材１０２Ａ、１０２Ｂの保持部１０２Ａ−Ｃと保持部１０２Ｂ−Ｃのライトバルブの背面に接する面はＸＺ面に平行になっている。
【００２２】
スライド部材１０７にはＸ軸方向に貫通したねじ穴が形成されており、位置調節回転部材１０５の先端に配置されたねじ１０５Ａが、スライド部材１０７のねじ穴に入っていく。位置調節回転部材１０５の先端のねじ１０５Ａは、コイルバネ部材１０５Ｂの中に入っており、コイルバネ部材１０５Ｂは、位置調節回転部材１０５の回転部１０５Ｃとスライド部材１０７に挟まれている。コイルバネ部材１０５Ｂは、スライド部材１０７をＸ軸のプラス方向に押し付ける。スライド部材１０７のねじ穴の出口付近には、ねじ１０５Ａの先端の前進位置を規定する固定材１０３が配置されている。
【００２３】
位置調節回転部材１０５の回転部材１０５Ｃを回転させると、回転方向によってスライド部材１０７が移動するので保持部材１０２ＢをＸ軸のプラス方向、またはマイナス方向に移動させることができる。床部材１０４の側面には、ばね保持部材１０６が床部材１０４と垂直方向に取付けられている。ばね保持部材１０６とスライド部材１０７の間には、ねじ１０５Ａと平行な方向にコイルバネ１０６Ａが配置されている。コイルバネ１０６Ａによって、スライド部材１０７のＸ軸方向への平行な移動が確保される。なお、ばね保持部材１０６とコイルバネ１０６Ａは、図４以外の図では図示を省略する。
【００２４】
次に、保持部材１０１で反射型ライトバルブ１８Ｇを保持する方法を説明する。図５に保持部材１０１で反射型ライトバルブ１８Ｇを保持した図を示す。反射型ライトバルブ１８Ｇにはフレキシブル電気基板１８Ｇ−Ｃが取り付けられている。フレキシブル電気基板１８Ｇ−Ｃには、反射型ライトバルブ１８Ｇを動作させるための電気配線が形成されている。反射型ライトバルブ１８Ｇの背面には、冷却用フィン１８Ｇ−Ｆが配置され、反射型ライトバルブ１８Ｇを冷却する。
【００２５】
まず背面に冷却用フィン１８Ｇ−Ｆが配置された反射型ライトバルブ１８Ｇを、冷却用フィン１８Ｇ−Ｆを保持部材１０１に相対して配置する。次に反射型ライトバルブ１８Ｇの一方の側面と背面の冷却用フィン１８Ｇ−Ｆが、Ｌ字状の保持部１０２Ａ−Ｃのそれぞれの面に接するように配置する。この状態で位置調節回転部材１０５の回転部１０５Ｃを回転させて保持部材１０２ＢをＸ軸のプラス方向に移動し、保持部１０２Ｂ−Ｃで反射型ライトバルブ１８Ｇのもう一方の側面と背面の冷却用フィン１８Ｇ−Ｆに押し付け、保持部１０２Ａ−Ｃと保持部１０２Ｂ−Ｃとで、反射型ライトバルブ１８Ｇを挟み込んで保持する。コイルバネ１０５Ｂ、１０６Ａによって保持部材１０２Ｂは、Ｘ軸方向に最適の応力によって押しつけられるので、反射型ライトバルブ１８Ｇが変形することはなく、また緩んで保持部材からはずれることもない。
【００２６】
次に、保持部材１０１で各色光用の反射型ライトバルブを保持して、各色光用の反射型ライトバルブの画素を合わせる方法について説明する。図６に、アクチュエータ１１１上の保持部材１０１で各色光用の反射型ライトバルブを保持した光学エンジンから、スクリーンＳＣ上に画素調整用のチャートを投射する構成を示す。アクチュエータ１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂのそれぞれには、保持部材１０１Ｒ、１０１Ｇ、１０１Ｂが取付けられており、上述した構成でそれぞれの保持部材１０１Ｒ、１０１Ｇ、１０１Ｂに反射型ライトバルブ１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが取付けられている。光源や色分解光学系は床部材２０１上に配置されている。
【００２７】
まず、Ｇ光の画素調整用のチャートをスクリーンＳＣの中央部及び周辺部の少なくとも３箇所に投射する。次にＲ光の画素調整用のチャートをスクリーンＳＣのＧ光のチャートが投射されているのと同じ領域に投射する。Ｇ光の画素調整用チャートとＲ光の画素調整用のチャートで、Ｇ光の反射型ライトバルブ１８Ｇの画素とＲ光の反射型ライトバルブ１８Ｒの画素が一致するように、Ｇ光用のアクチュエータ１１１ＧとＲ光用のアクチュエータ１１１Ｒをそれぞれ動かして、Ｇ光の反射型ライトバルブ１８Ｇの画素とＲ光の反射型ライトバルブ１８Ｒの画素を一致させる。次に、Ｂ光の画素調整用のチャートをスクリーンＳＣの、Ｇ光、Ｒ光のチャートと同じ領域に投射する。Ｂ光用のアクチュエータ１１１Ｂを動かして、Ｂ光の反射型ライトバルブ１８Ｂの画素の位置を、Ｇ光、Ｒ光の画素と一致させる。
【００２８】
各色光用のライトバルブ１８Ｇ、１８Ｒ、１８Ｇの画素を合わせた後、各色光用の第１一体化部材３１の取付け部３１１Ｕ、３１１Ｌと、第２一体化部材３３の取付け部３３１Ｕ、３３１Ｌ部とそれぞれ半田付けして固定する。
各色光用の反射型ライトバルブ１８Ｇ、１８Ｒ、１８Ｂの位置が調整され、固定された後に、各色光用の反射型ライトバルブ１８Ｇ、１８Ｒ、１８Ｂを保持している位置調節回転部材１０５の回転部材１０５Ｃを回転させ、スライド部材１０７をＸ軸のマイナス方向に移動させることによって、保持部材１０２Ｂを反射型ライトバルブから簡単に取り外すことができる。これにより反射型ライトバルブの画素ずれを生ずることなく保持部材１０２Ｂを反射型ライトバルブから簡単に取り外すことができる。
【００２９】
以上のような工程で調整された投射レンズ２１、クロスダイクロイックプリズム２０、各色光用偏光ビームスプリッタ１７Ｒ、１７Ｇ、１７Ｂ、ライトバルブ１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂを有する光学エンジンを画素調整装置から取りだし投射型表示装置として組み立てることにより画素合わせが達成された投射型表示装置を作ることができる。
【００３０】
本実施形態は、光源と色分解光学系を有する画素調整装置に、投射レンズ２１、クロスダイクロイックプリズム２０、各色光用偏光ビームスプリッタ１７Ｒ、１７Ｇ、１７Ｂ、ライトバルブ１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂからなる光学エンジンを組み込んで画素を合わせる方法について説明したが、投射型表示装置本体の光源、色分解光学系をそのまま使用して画素合わせを行っても構わない。この場合、投射型表示装置の筐体を構成する床部材に、反射型ライトバルブを保持する保持部材１０１を通すことができる穴を各色毎に３箇所設ける。この穴からアクチュエータに取り付けた保持部材１０１の保持部材１０２Ａ、１０２Ｂを投射型表示装置の筐体内部に挿入し、本実施形態で示した方法で各色光用の反射型ライトバルブの画素合わせを行う。画素合わせを行った後、床部材の穴をふさぐ。なお筐体の天井部が取り外せる構造の場合には、床部材に穴を開けなくても天井部を取り外し、保持部材１０１を天井方向から挿入しても構わない。
【００３１】
本実施形態では、反射型ライトバルブを使用する投射型表示装置について説明したが、本発明はこれに限られず透過型ライトバルブを使用した投射型表示装置の各色光用のライトバルブの画素合わせにも同様に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】投射型表示装置の構成図
【図２】投射レンズ、色合成光学系、偏光ビームスプリッタ、反射型ライトバルブの一体化の構造を示す斜視図。
【図３】アクチュエータに固定したライトバルブ保持部材の斜視図
【図４】ライトバルブ保持部材の斜視図
【図５】ライトバルブ保持部材でライトバルブを保持した状態の斜視図
【図６】画素調整装置でチャートをスクリーンに投影する構成図。
【符号の説明】
【００３３】
１１  光源
１２  偏光変換照明装置
１３  クロスダイクロイックミラー
１４、１５  偏向ミラー
１６  ダイクロイックミラー
１７Ｂ、１７Ｇ、１７Ｒ  偏光ビームスプリッタ
１８Ｂ、１８Ｇ、１８Ｒ  反射型ライトバルブ
１９Ｂ、１９Ｇ、１９Ｒ  一体化部材
２０  クロスダイクロイックプリズム
２１  投射レンズ
２２  投射レンズとクロスダイクロイックプリズムの一体化部材
３１  第１一体化部材
３３  第２一体化部材
１０１  保持部材
１０２Ａ、１０２Ｂ  保持部材
１０３  固定部材
１０４  床部材
１０５  位置調節回転部材
１０５Ａ  ねじ
１０５Ｂ、１０６Ａ  コイルバネ
１０６  ばね保持部材
１０７  スライド部材
１１１  アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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