(57)【要約】【課題】  大きな弾性力と強固な接着力を有した光学シートを提供する。【解決手段】  本発明の光学シート５０は、例えば液晶パネルと保護基板５等のように、電気光学装置の構成部材同士を光学接着するための光学シートである。この光学シート５０は、対向する一対の透光性のフィルム５２ａ，５２ｂと、該一対のフィルム５２ａ，５２ｂの間に一体形成した透光性の弾性体５１と、前記一対のフィルム５２ａ，５２ｂの外面側に形成された粘着材７０，７０とを備えている。この透光性弾性体５１は、前記一対のフィルム５２ａ，５２ｂの間に、当該透光性弾性体５１の原材料（前駆体である低分子材料等）を含む液状材料を配置し、これを硬化することによって形成されている。【選択図】    図２
2006010748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学パネルに配置される光学シートであって、
対向する一対の透光性のフィルムと、該一対のフィルムの間に一体形成した透光性の弾性体とを備えたことを特徴とする、光学シート。
【請求項２】
前記一対のフィルムの外面側に粘着材が形成されていることを特徴とする、請求項１記載の光学シート。
【請求項３】
前記一対のフィルムのうちの少なくとも一方のフィルムが、光学的に等方な等方性フィルムからなることを特徴とする、請求項１又は２記載の光学シート。
【請求項４】
前記一対のフィルムのうちの少なくとも一方のフィルムが、位相差板からなることを特徴とする、請求項１又は２記載の光学シート。
【請求項５】
前記透光性弾性体が、光散乱機能を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれかの項に記載の光学シート。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかの項に記載の光学シートを備えたことを特徴とする、電気光学装置。
【請求項７】
電気光学パネルと、前記光学シートにより前記電気光学パネルの前面に接着された保護基板とを備えたことを特徴とする、請求項６記載の電気光学装置。
【請求項８】
電気光学パネルと、前記光学シートにより前記電気光学パネルの前面に接着された入力装置とを備え、前記入力装置が、座標入力面を有する第１の基板と該第１の基板に対向する第２の基板とを備え、前記第１の基板の前記座標入力面上の位置を直接指示することによって、その指示位置における座標情報を入力可能としたことを特徴とする、請求項６記載の電気光学装置。
【請求項９】
前記入力装置の前記第１の基板及び前記第２の基板の双方がガラス基板からなり、前記第１の基板の前記座標入力面に、該座標入力面の周囲よりも基板の厚みが薄い薄板領域が形成されていることを特徴とする、請求項８記載の電気光学装置。
【請求項１０】
前記電気光学パネルが、前面側に配置された第３の基板と該第３の基板に対向する第４の基板と前記第３の基板及び前記第４の基板の間に挟持された液晶とを備えた液晶パネルからなり、前記電気光学パネルの前記第４の基板の背面側の面であって該電気光学パネルの表示領域に対応する部分に、周囲よりも基板の厚みが薄い薄板領域が形成されていることを特徴とする、請求項６〜９のいずれかの項に記載の電気光学装置。
【請求項１１】
請求項６〜１０のいずれかの項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする、電子機器。
【請求項１２】
電気光学パネルに配置される光学シートの製造方法であって、
一対の透光性のフィルムの間に透光性弾性体の原材料を含む液状材料を配置する工程と、前記液状材料を硬化して前記透光性フィルムの間に透光性弾性体を一体形成する工程とを備えたことを特徴とする、光学シートの製造方法。
【請求項１３】
前記一対のフィルムの外面側に粘着材を形成する工程を備えたことを特徴とする、請求項１２記載の光学シートの製造方法。
【請求項１４】
前記液状材料の配置工程が、ロールフィルムを用いて複数の光学シートに対して連続的に行なわれることを特徴とする、請求項１２又は１３記載の光学シートの製造方法。
【請求項１５】
前記液状材料の配置工程が、前記一対のフィルムのうちの一方のフィルムとなる複数のフィルム領域を含むロールフィルムと、他方のフィルムとなる複数の枚葉フィルムをロールシート上に設置した擬似ロールフィルムとを用意し、前記ロールフィルム及び前記擬似ロールフィルムを巻き出しながら、前記ロールフィルムのフィルム領域又は前記擬似ロールフィルムの枚葉フィルムのいずれか一方に前記液状材料を塗布した後、前記ロールフィルムと前記擬似ロールフィルムとを圧着して、対応するフィルム領域と枚葉フィルムとを貼り合わせる工程であることを特徴とする、請求項１４記載の光学シートの製造方法。
【請求項１６】
前記一対のフィルムの光学軸が所定の角度を有して交差しており、その交差角度に合わせて、前記枚葉フィルムの前記擬似ロールフィルムに対する設置角度が設定されていることを特徴とする、請求項１５記載の光学シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の構成部材同士を接着するための光学シート及びこの光学シートを備えた電気光学装置、電子機器、並びに光学シートの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話やＰＤＡ等の携帯電子機器の普及に伴い、機器の内部に液晶パネルを組み込んだ液晶パネル一体型の電子機器が広く使用されるようになっている。この種の電子機器では、液晶パネルの前面側（観察側）に保護基板を設けたものが一般に使用されている。この保護基板は、指押し等による衝撃を直接液晶パネルに伝えないように、通常、液晶パネルに対して所定のギャップを有して配置される。しかし、この構造では界面反射によって光ロスが生じるため、これらを完全に密着させたものに比べて暗い表示となってしまう。そこで、保護基板と液晶パネルをシリコンゲル等の弾性体の光学シートによって光学接着する構造が提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−１７４４１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前述の構造を実現するには、大きな弾性力（応力緩和機能）と強い粘着力（接着機能）を持った光学シートの開発が必要となる。本出願人は、このような光学シートの開発に当たって以下のアプローチを行なった。
（１）シリコンゲルをフィルム化してパネルに貼り付ける。
（２）ポッティング（流し込み）によってタッチパネルと表示パネルの隙間を埋める。
（３）フィルム化したシリコンゲルの両面に粘着材を塗布してパネルに貼り付ける。
（４）偏光板の表面にシリコンゲルの原材樹脂を塗布してフィルム化する。
【０００４】
しかし、これらの方法には以下のような問題点があることが本出願人の検討によりわかっている。
（１）シリコンゲルをフィルム単体として形成することは可能であるが、このような単体フィルムの表面は単にネバネバするだけ（微粘着性しかない）で、部材同士を接着するほどの強い粘着力は得られない。
（２）バッチ処理によってパネル毎にポッティングを行なわなければならないので、生産性が悪い。
（３）この方法は（１）の方法で得られたシリコンゲルフィルムの粘着力を、フィルムの外面側に形成した粘着材によって補うようにしたものである。このように粘着材のついたフィルムには別途剥離フィルムを設ける必要があるが、シリコンゲルは非常に柔らかい材料であるため、剥離フィルムを剥がすときにシリコンゲルが伸びてしまい、使い物にならなくなってしまう。
（４）原料樹脂を硬化するために熱処理を行なう必要があるが、このような熱処理を行なうと、その熱によって偏光板が変形してしまう。
以上に説明したように、タッチパネルと液晶パネルを透光性の弾性体で光学接着するという構造はアイデアとしてはあるものの、実用化するのは難しく、現時点では量産されるに至っていない。
【０００５】
なお、ここでは、液晶パネルの前面に保護基板を配置した例について説明したが、液晶示パネルの前面にはタッチパネル等の入力装置が配置される場合もあり、上記の課題はこのような構造についても共通の課題である。また、液晶パネルを有機ＥＬパネル等の他の電気光学パネルに置き換えた場合であっても、同様の課題が生じる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、大きな弾性力と強い接着力を持った光学シート、及びこの光学シートを備えた電気光学装置、電子機器、並びに、光学シートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するため、本発明の光学シートは、電気光学パネルに配置される光学シートであって、対向する一対の透光性のフィルムと、該一対のフィルムの間に一体形成した透光性の弾性体とを備えたことを特徴とする。本発明の光学シートにおいては、前記一対のフィルムの外面側に粘着材が形成されている構成を採用することができる。ここで、前記フィルムは、光学的に等方な等方性フィルムであってもよく、位相差板等の光学異方性を持った異方性フィルムであってもよい。この際、一対のフィルムのうち一方を等方性フィルム、他方を異方性フィルムとしたり、双方を等方性フィルム若しくは異方性フィルムとしたりすることができる。また、電気光学パネルの視認性を高めるために、透光性弾性体として光散乱機能を有するものを用いることもできる。
【０００７】
前述のように、透光性弾性体は、フィルム単体として形成しようとすると、粘着性が小さくなって十分な接着力が得られなくなる。一方、その接着力を補強するために、透光性弾性体の表面に粘着材を形成すると、剥離フィルムを剥がすときにうまく剥がせなくなる。そこで、本発明では、前記（３）の構造において、透光性弾性体と粘着材との間に透光性フィルムを配置し、両者が直接接触しない構造としている。この構成では、透光性弾性体の表面が透光性フィルムによって保護されるので、剥離フィルムを剥がすときに透光性弾性体が伸びてしまうといった問題は生じない。また、透光性弾性体を透光性フィルムの間に一体形成しているので、これらの間に剥がれが生じることはなく、又、透光性フィルム自体の接着力はその外面側に形成される粘着材によって担保されているので、光学シート全体としては、極めて強い接着力を発現することができる。
【０００８】
本発明の電気光学装置は、前述した本発明の光学シートを備えたことを特徴とする。具体的には、電気光学パネルと、前記光学シートにより前記電気光学パネルの前面に接着された保護基板とを備えた構成を採用することができる。或いは、電気光学パネルと、前記光学シートにより前記電気光学パネルの前面に接着された入力装置とを備えた構成を採用することができる。前記入力装置としては、座標入力面を有する第１の基板と該第１の基板に対向する第２の基板とを備え、前記第１の基板の前記座標入力面上の位置を直接指示することによって、その指示位置における座標情報を入力可能とした構成を採用することができる。また、前記電気光学パネルとしては、前面側に配置された第３の基板と該第３の基板に対向する第４の基板と前記第３の基板及び前記第４の基板の間に挟持された液晶とを備えた液晶パネルを採用することができる。
本発明によれば、耐衝撃性が高く、明るい表示が可能な電気光学装置を提供することができる。
【０００９】
本発明の電気光学装置では、前記入力装置の前記第１の基板及び前記第２の基板の双方がガラス基板からなり、前記第１の基板の前記座標入力面に、該座標入力面の周囲よりも基板の厚みが薄い薄板領域が形成されているものとすることができる。
通常、タッチパネル等の入力装置では、入力側の基板（前面側基板）にはポリカーボネート等の可撓性を有するプラスチックフィルム基板が使われている。しかし、プラスチックフィルム基板は、入力時の荷重によって大きな撓みを生じるため、何度も入力を行なっているうちに、内側の電極にクラックが入って入力特性が劣化したり、耐熱性等の問題によって高い電気特性を持った構造が形成しにくいといった問題がある。この点、ガラス基板は、耐熱性や耐酸性等に優れるため、高品質な入力装置を製造することができる。しかし、その一方で、ガラス基板はプラスチックフィルム基板に比べて柔軟性に乏しいため、入力時の荷重が大きくなったり、基板の変形が全体的に生じてしまって入力位置が検出しにくくなったりする等のデメリットも生じる。そこで、本発明では、入力装置の座標入力側の基板（第１の基板）を厚板の基板とし、この基板のうち必要な部分のみを選択的に薄板化する方法を採っている。すなわち、本発明では、座標入力面を含む部分の基板の厚みを薄くすることによって入力荷重や検出精度の改善を図る一方、その座標入力面の周りに基板の厚い部分（厚板領域ともいう）を額縁状に残すことによって、耐衝撃性の向上や製造時の基板の取り扱い性の向上を図っている。このため、操作性の向上と信頼性の向上の双方を満たすことができる。また、このように薄板領域を設けた場合には、第１の基板の重量も少なくなるため、入力装置の軽量化にも寄与する。
【００１０】
本発明の電気光学装置では、前記電気光学パネルの前記第４の基板の背面側の面であって該電気光学パネルの表示領域に対応する部分に、周囲よりも基板の厚みが薄い薄板領域が形成されている構成を採用することができる。
液晶パネルでは、指押し等により保護基板に衝撃が加わったり、入力操作として入力装置の座標入力面に指やペン等で押圧力を加えたりすると、その応力によって、液晶パネルの前面側の基板（第３の基板）に局所的な撓みが生じ、表示に干渉縞のような歪みを生じることがある。本発明では、液晶パネルの背面側の基板（第４の基板）に薄板領域を形成したため、第４の基板が撓み易くなり、前述のような応力によって第３の基板が撓んでも、第４の基板はこれに追従して撓むことができる。このため、局所的なギャップの変動が抑制され、表示歪みが生じにくくなる。
【００１１】
本発明の電子機器は、前述した本発明の電気光学装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、耐衝撃性が高く、明るい表示が可能な電子機器を提供することができる。
【００１２】
本発明の光学シートの製造方法は、電気光学パネルに配置される光学シートの製造方法であって、一対の透光性のフィルムの間に透光性弾性体の原材料を含む液状材料を配置する工程と、前記液状材料を硬化して前記透光性フィルムの間に透光性弾性体を一体形成する工程とを備えたことを特徴とする。本発明の光学シートの製造方法においては、前記一対のフィルムの外面側に粘着材を形成する工程を備えた方法を採用することができる。ここで、前記フィルムは、光学的に等方な等方性フィルムであってもよく、位相差板等の光学異方性を持った異方性フィルムであってもよい。この際、一対のフィルムのうち一方を等方性フィルム、他方を異方性フィルムとしたり、双方を等方性フィルム若しくは異方性フィルムとしたりすることができる。また、電気光学パネルの視認性を高めるために、透光性弾性体として光散乱機能を有するものを用いることもできる。
本方法では、透光性弾性体と粘着材との間に透光性フィルムを配置して透光性弾性体の表面を保護しているので、剥離フィルムを剥がしたときに透光性弾性体が伸びてしまうといった問題は生じない。また、透光性弾性体を液状体の段階で透光性フィルムの間に配置するので、透光性弾性体と透光性フィルムとの間には強固な一体構造が形成され、光学シート全体として強い接着力を発現することができる。
【００１３】
本発明の光学シートの製造方法では、前記液状材料の配置工程が、ロールフィルムを用いて複数の光学シートに対して連続的に行なわれるものとすることができる。具体的には、前記液状材料の配置工程が、前記一対のフィルムのうちの一方のフィルムとなる複数のフィルム領域を含むロールフィルムと、他方のフィルムとなる複数の枚葉フィルムをロールシート上に設置した擬似ロールフィルムとを用意し、前記ロールフィルム及び前記擬似ロールフィルムを巻き出しながら、前記ロールフィルムのフィルム領域又は前記擬似ロールフィルムの枚葉フィルムのいずれか一方に前記液状材料を塗布した後、前記ロールフィルムと前記擬似ロールフィルムとを圧着して、対応するフィルム領域と枚葉フィルムとを貼り合わせる工程である方法を採用することができる。
本方法は、透光性フィルムの貼り合わせにロールトゥロールと呼ばれる方法を採用したものである。この方法は、所定形状に切り出した複数の枚葉フィルムを一枚一枚処理する方法に比べて、生産性が高く、デバイスコストの低減に繋がる。
【００１４】
本発明の光学シートの製造方法では、前記一対のフィルムの光学軸が所定の角度を有して交差しており、その交差角度に合わせて、前記枚葉フィルムの前記擬似ロールフィルムに対する設置角度が設定されているものとすることができる。
前述の擬似ロールフィルムは枚葉フィルムを取り付けるための支持材として使用されるものであり、枚葉フィルムの設置状態は任意に設定することができる。例えば、前記一対の透光性フィルムを２枚の位相差板（例えば１／４波長板と１／２波長板）によって構成した場合、それぞれのフィルムの光学軸は予め最適な表示特性が得られるように決定される。このため、これらの光学軸が所望の交差角度となるように枚葉フィルムを擬似ロールフィルムの流れ方向に対して斜めに設置してやれば、最適な光学配置が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の膜厚や寸法の比率などは適宜異ならせてある。
【００１６】
［第１の実施の形態］
［液晶表示装置］
まず、図１〜図３を用いて本発明の第１の実施の形態について説明する。図１は、本発明の電気光学装置の一例である液晶表示装置の概略断面図である。
本発明の液晶表示装置１は、表示ユニットである液晶パネル（電気光学パネル）２、その前面側（図示上側；観察側）に配設された保護基板５によって概略構成されている。
【００１７】
液晶パネル２は、液晶３２を挟んで対向する前面側基板（第３の基板）２２aと背面側基板（第４の基板）２２ｂとを、これら２枚の基板の周縁部に環状に設けたシール材２３によって接着一体化したものである。観察側に配置された前面側基板２２ａには、透光性材料からなる基板本体２４ａの液晶層側の面に、透光性の前面側電極（第３の電極）２６ａや配向膜（図示略）等からなる液晶配向制御層が形成されており、観察側とは反対側（図示下側）に配置された背面側基板２２ｂには、透光性材料からなる基板本体２４ｂの液晶層側の面に、透光性の背面側電極（第４の電極）２６ｂや配向膜（図示略）等からなる液晶配向制御層が形成されている。２枚の基板２２ａ，２２ｂのギャップは、スペーサ２９によって均一に保持されている。この液晶パネル２は、パッシブマトリクス型又はアクティブマトリクス型のいずれであってもよく、液晶の配向形態も、ＴＮ型、ＶＡＮ型、ＳＴＮ型、強誘電型、反強誘電型等の種々の公知の形態を採り得る。また、いずれかの基板にカラーフィルタを配置してカラー表示を行なわせることも可能である。また、背面側基板２２ｂに反射膜を形成して反射型の液晶表示装置を構成してもよく、更に、この反射膜に開口部やスリット等の透光部を形成して、半透過反射型の液晶表示装置を構成することも可能である。
【００１８】
前面側基板２２ａには、図３に示すように、背面側基板２２ｂの外周側に張り出した張り出し部２４ｃが設けられている。この張り出し部２４ｃは実装端子形成領域として使用するものである。前面側基板２２ａの前面側電極２６ａは張り出し部２４ｃに向けて伸び、端子部パターン３３の一部を構成している。また、背面側基板２２ｂの背面側電極２６ｂは、図示略の導通材を介して、張り出し部２４ｃの端子部パターン３３に導電接続されている。端子部パターン３３は、液晶パネル２を電気的に駆動するために設けられる液晶駆動用ＩＣ(電子部品)３６との間の電気的な接続を可能にする配線パターンである。本実施形態では、実装端子形成領域２４ｃに形成した端子部パターン３３に、液晶駆動用ＩＣ３６がＣＯＧ実装されて、液晶パネル２と液晶駆動用ＩＣ３６とが電気的に接続されている。勿論、実装形態としては、ＣＯＧ実装以外にも、ＦＰＣ実装等の他の形態を採用することも可能である。
【００１９】
このように構成された液晶パネル２の上下の面（即ち、液晶パネル２の前面側基板２２ａの観察側の面、及び液晶パネル２の背面側基板２２ｂの観察側とは反対側の面）には、それぞれ、前面側位相差板６ｃ及び前面側偏光板６ａからなる前面側光学フィルムと、背面側位相差板６ｄ及び背面側偏光板６ｂからなる背面側光学フィルムが配置されている。本実施形態では、位相差板６ｃ，６ｄとして１／４波長板を想定しているが、これらの位相差板は、例えば１／２波長板と１／４波長板の２枚の位相差板を積層したものであってもよい。また、偏光板や位相差板は必要に応じて（例えば高分子分散型の液晶モードを採用した場合等）省略することも可能である。
【００２０】
このように光学フィルムが積層された液晶パネル２の前面側にはアクリル基板等の保護基板５が配置されている。本実施形態において、保護基板５は弾性接着剤である光学シート５０によって前面側偏光板６ａに光学接着されている。
図２は、光学シート５０の層構造を示す概略断面図である。光学シート５０は、透光性の弾性体５１、この透光性弾性体５１を挟持する一対の透光性のフィルム５２ａ，５２ｂ、これら一対の透光性フィルム５２ａ，５２ｂの外面側に形成された粘着材７０，７０によって概略構成されている。透光性弾性体５１は、保護基板５側から受けた衝撃を緩和するための緩衝部材として機能するものである。この透光性弾性体５１としては、シリコンゲル，アクリルゲル，ウレタンゲル，ウレタンゴム等の柔らかい素材が好適である。また、光のロスを少なくするために、例えば、ガラスとの屈折率差が空気よりも小さい材料であることが望ましい。本実施形態において、透光性弾性体５１は、透光性フィルム５２ａ，５２ｂの間に前記透光性弾性体の原材料を含む液状材料を塗布し、これを硬化することによって形成したものであり、透光性弾性体５１とこれを挟持する透光性フィルム５２ａ，５２ｂとの間には強固な一体構造が形成されている。なお、透光性弾性体５１は、十分な応力緩和機能を発揮させるために、厚みを５００μｍ程度とすることが望ましい。また、透光性弾性体５１としては、視認性を高める目的で、光散乱機能を持ったものを用いることもできる。
【００２１】
透光性フィルム５２ａ，５２ｂは、透光性弾性体５１を形成するための支持フィルムとして機能するものである。この透光性フィルム５２ａ，５２ｂとしては、例えばポリカーボネート、ゼオノア（商品名、日本ゼオン社製）、ＴＡＣフィルム等の透光性を有する種々のフィルムを用いることができるが、光のロスを少なくするために、透光性弾性体５１と屈折率の近い材料を用いることが望ましい。本実施形態では、光学シート５０が前面側偏光板６ａの観察側に配置されているので、例えば液晶パネル２が透過型の液晶パネルである場合には、透光性フィルム５２ａ，５２ｂとしては光学的に等方な等方性フィルムだけでなく、位相差板等の光学異方性を有する異方性フィルムを使用することもできる。
【００２２】
このように、本実施形態では、透光性弾性体５１によって一体化された透光性フィルム５２ａ／透光性弾性体５１／透光性フィルム５２ｂによって、透光性の弾性フィルムが形成されており、更にこの透光性弾性フィルムの上下の面（即ち、前面側の透光性フィルム５２ａの外面側の面及び背面側の透光性フィルム５２ｂの外面側の面）に粘着材７０，７０を配設することによって、強い粘着力を有する光学シート５０が形成されている。なお、図２中、符号７１は、前面側偏光板６ａと前面側位相差板６ｃとを接着するための粘着材、或いは前面側位相差板６ｃと液晶パネル２の前面側基板２４ａとを接着するための粘着材を示している。
【００２３】
［光学シートの製造方法］
次に、光学シート５０の製造方法について説明する。
図３は、本実施形態の光学シート５０の製造方法の一例を示す模式図である。本実施形態では、一対のロールフィルムを用いてロールトゥロール方式で光学シート５０を製造する方法を採用している。本実施形態では、まず、前面側の透光性フィルム（前面側フィルム）５２ａとなる複数のフィルム領域を有する原料フィルム１５２ａ（厚み：１００μｍ程度）を巻き芯Ｒａに巻き取ったロール状の透光性フィルム（第１のロールフィルム）Ａと、背面側の透光性フィルム（背面側フィルム）５２ｂとなる複数のフィルム領域を有する原料フィルム１５２ｂ（厚み：１００μｍ程度）を巻き芯Ｒｂに巻き取ったロール状の透光性フィルム（第２のロールフィルム）Ｂを用意する。次に、これらのロールフィルムＡ，Ｂを繰り出し、一方のロールフィルム（本例では第１のロールフィルムＡ）の表面に、塗布装置１６１によって透光性弾性体５１の原材料（前駆体である低分子材料等）を含む液状材料Ｍを塗布した後、これらのロールフィルムＡ，Ｂを互いに対向させた状態で圧着ローラ８１ａ，８１ｂの間に通して貼り合わせる。圧着時の液状材料Ｍの厚みは圧着ローラ８１ａ，８１ｂのギャップによって制御することができる。本例では、このギャップを例えば５００μｍ程度とする。続いて、硬化装置１６２によって、ロールフィルムＡ，Ｂの間に挟持した前記液状材料Ｍを硬化し、更に、図示しない裁断装置によって裁断して複数のシートに切り分ける。図３において、符号１５０は液状材料Ｍを硬化した後の状態を示す。そして最後に、分割されたシートの上下の面に前記粘着材７０を形成し、離型フィルムを取り付けることにより、光学シート５０が完成する。
【００２４】
以上説明したように、本実施形態では、液晶パネル２と保護基板５とを弾性体の光学シート５０によって光学接着したため、耐衝撃性が高く且つ明るい表示が可能な液晶表示装置を実現することができる。また、本実施形態では、光学シート５０を、粘着材７０／透光性フィルム５２ａ／透光性弾性体５１／透光性フィルム５２ｂ／粘着材７０の５層構造としたため、光学シート５０に優れた応力緩和機能と強固な接着機能を付与することができる。つまり、透光性弾性体５１を一対の透光性フィルム５２ａ，５２ｂによって挟持した本実施形態の構造では、透光性弾性体５１の表面が透光性フィルム５２ａ，５２ｂによって保護されるので、剥離フィルムを剥がすときに透光性弾性体が伸びてしまうといった問題は生じない。また、透光性弾性体５１を透光性フィルム５２ａ，５２ｂの間に一体形成しているので、これらの間に剥がれが生じることはなく、又、透光性フィルム５２ａ，５２ｂ自体の接着力は粘着材７０，７０によって担保されているので、光学シート全体としては、極めて強い接着力を発現することができる。
【００２５】
［変形例］
次に、本実施形態の変形例について説明する。図４〜図７及び図９〜図１４は、いずれも光学シート５０の配置若しくは層構造を変形したものである。本変形例において、前記実施形態と同様の部材又は部位については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００２６】
（第１の変形例）
図４は、光学シート５０を前面側位相差板６ｃの下（即ち、位相差板６ｃと液晶パネル２の前面側基板２４ａとの間）に配置したものである。
【００２７】
（第２の変形例）
図５は、図４の構成において、光学シート５０の前面側フィルム５２ａを前面側位相差板６ｃによって兼用させたものである。すなわち、本例では、透光性弾性体５１の原材料を含む液状材料を位相差板６ｃと透光性フィルム５２ｂの間に配置し、これを硬化させることによって、光学シート５０を形成している。本例では、前面側の透光性フィルム５２ａを省略できるので、図４のものに比べて薄型の光学シートとなる。
【００２８】
（第３の変形例）
図６は、図２の構成において、光学シート５０を前面側偏光板６ａと前面側位相板６ｃとの間に配置したものである。
【００２９】
（第４の変形例）
図７は、液晶パネル２の前面側に２枚の位相差板６ｃ１，６ｃ２を配置した構成において、これらの２枚の位相差板をそれぞれ光学シート５０の上下の透光性フィルムとして兼用したものである。本例では、前面側フィルム５２ａ及び背面側フィルム５２ｂの双方を省略できるので、薄型の光学シートとなる。ところで、本例のように２枚の位相差板を用いる場合には、これらの位相差板を、その光学軸が最適な配置となるように貼り合わせる必要がある。しかし、図３の方法は、ロールフィルムの流れ方向にしか光学軸を配置することができないので、そのままでは本例の光学シートを製造することはできない。
【００３０】
図８は、図３に示した製造方法を本例の構成に対応できるように変形したものである。この方法では、まず、前述したのと同様の２つのロールフィルム（第１のロールフィルムＡ及び第２のロールフィルムＢ）を用意する。次に、一方のロールフィルムＢを巻き芯Ｒｂから繰り出し、複数のガイドローラ（図示略）の間で走行させながら図示略の裁断装置で裁断することにより、一定の大きさに裁断した複数の枚葉フィルム１５２ｂを作成する。これらの枚葉フィルム１５２ｂは、最終的に背面側の透光性フィルム５２ｂとなるものである。そして、この後、これらの枚葉フィルム１５２ｂを別のロールシート１５２ｓの上に一定の間隔で貼り付け、ロールシート１５２ｓを図示略の巻き芯に巻き取って巻き取りロールとする。以降、裁断した複数の枚葉フィルム１５２ｂをロールシート１５２ｓ上に設置したものを擬似ロールフィルム１５２と呼ぶ。本例では、ロールシート１５２ｓに枚葉フィルム１５２ｂを設置する際に、その設置角度を対向側のロールフィルムＡの光学軸に対して最適に設定することで、所望の光学特性を得ることができる。なお、図８（ａ）では、ロールフィルムＡの光学軸をＤａ、枚葉フィルム１５２ｂの光学軸をＤｂで示している。
【００３１】
次に、これらのロールフィルムＡ及び擬似ロールフィルム１５２を繰り出し、一方のロールフィルム（本例ではロールフィルムＡ）の表面に、透光性弾性体５１の原材料を含む液状材料Ｍを塗布した後、これらのロールフィルムＡ，Ｂを互いに対向させた状態で圧着ローラ８１ａ，８１ｂの間に通して貼り合わせる。続いて、図示略の硬化装置によって、ロールフィルムＡ，Ｂの間に挟持した前記液状材料Ｍを硬化し、更に、図示略の裁断装置によって裁断して複数のシートに切り分ける。そして最後に、分割されたシートの上下の面に前記粘着材７０を形成し、離型フィルムを取り付けることにより、光学シート５０が完成する。
以上の方法によれば、任意の光学配置を有する光学シートを製造することができる。
【００３２】
（第５の変形例）
図９は、図２の構成において前面側位相差板６ｃを２枚の位相差板６ｃ１，６ｃ２によって構成したものである。
【００３３】
（第６の変形例）
図１０は、図９の構成において、前面側偏光板６ａ，第１の位相差板６ｃ１，第２の位相差板６ｃ２と、光学シート５０との配置を逆転させ、更に、光学シート５０の前面側フィルム５２ａを第２の位相差板６ｃ２によって兼用させたものである。
【００３４】
（第７の変形例）
図１１は、図９の構成において、光学シート５０を第１の位相差板６ｃ１と第２の位相差板６ｃ２との間に配置したものである。
【００３５】
（第８の変形例）
図１２は、図９の構成において、前面側偏光板６ａ，第１の位相差板６ｃ１，第２の位相差板６ｃ２と、光学シート５０との配置を逆転させたものである。
【００３６】
（第９の変形例）
図１３は、図１２の構成において、光学シート５０を前面側偏光板６ａと第１の位相差板６ｃ１との間に配置したものである。
【００３７】
（第１０の変形例）
図１４は、図１１の構成において、光学シート５０の背面側フィルム５２ｂを第２の位相差板６ｃ２によって兼用させたものである。
なお、図９に示した第５の変形例以外の変形例では、光学シート５０は前面側偏光板６ａの下（観察側とは反対側）に配置されているため、透光性フィルム５２ａ，５２ｂとしては、液晶パネル２から射出された光の偏光状態を変化させないように光学的に等方な等方性フィルムを用いることが望ましい。一方、第５の変形例では、光学シート５０が前面側偏光板６ａの上（観察側）に配置されているので、透光性フィルム５２ａ，５２ｂとしては、等方性フィルム及び異方性フィルムの双方を用いることができる。
【００３８】
［第２の実施の形態］
［液晶表示装置］
次に図１５，図１６を用いて本発明の第２の実施の形態について説明する。なお、本実施形態において、前記第１の実施形態と同様の部材又は部位については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００３９】
本実施形態において、前記第１の実施形態と異なる点は、液晶パネル２の背面側基板２４ｂの背面側の面であって液晶パネル２の表示領域に対応する部分に、周囲よりも基板の厚みが薄い薄板領域（凹部Ｈ）が形成されている点のみである。液晶パネル２を用いた表示装置では、指押し等により保護基板５に衝撃が加わると、液晶パネル２の表示に歪みが生じることがある。これは、衝撃時の応力によって保護基板５に局所的な変形が生じ、この変形によって、保護基板５の背面側に設けた液晶パネル２の前面側基板２２ａに僅かではあるが撓みが発生してしまうことによる。つまり、液晶パネル２のギャップは高々１μｍ〜１０μｍ程度であるので、前面側基板２２ａの撓みが僅かであっても、この撓みが液晶パネル２のギャップを局所的に大きな比率で変動させることになり、その結果、表示に干渉縞のような歪みが生じるのである。このような問題は、液晶パネル２の背面側基板２２ｂの厚みを十分に薄くすることで解消することができる。例えば、背面側基板２２ｂの厚みを０．１ｍｍ〜０．４ｍｍ程度にまで薄くして基板を撓み易くした場合には、前述のように液晶パネル２の前面側基板２２ａに撓みが生じても、それに追従して背面側基板２２ｂも撓み、ギャップは殆ど変動しなくなる。しかし、このように基板を薄くしてしまうと、基板の取り扱いが難しくなり、製造工程中に基板の割れ等を生じる場合がある。また、機械的衝撃に対して弱くなるため、携帯用途で用いる場合には、落下等による破損の問題も生じる。このように、基板の取り扱い性や耐衝撃性の面では、基板は厚いほど好ましく、表示品質の面では、基板は薄いほど好ましい。そこで、本実施形態では、この双方の要求を満たすために、背面側基板２２ｂに厚板のガラス基板を用いて取り扱い性等を向上し、その一方で、表示を行なう部分には図１５に示すような凹部Ｈ（薄板領域）を形成して薄板化し、入力時の前面側基板２２ａの変形に対して追従できるような構成としている。本実施形態では、前面側基板２２ａ及び背面側基板２２ｂ（凹部Ｈを形成しない部分）の基板の厚みを例えば０．５ｍｍ程度としており、背面側基板２２ｂの凹部Ｈ２の形成された部分の基板の厚みを０．１ｍｍ〜０．４ｍｍ程度としている。
【００４０】
このように構成された液晶パネル２の背面側基板２２ｂには、背面側位相差板６ｄ及び背面側偏光板６ｂが配置されている。本実施形態において、これらの背面側位相差板６ｄ及び背面側偏光板６ｂは、背面側基板２２ｂに形成された凹部Ｈの内側に設置されている。こうすることによって、凹部Ｈの深さ分だけ、液晶表示装置全体の厚みを薄型化することができる。
【００４１】
［液晶表示装置の製造方法］
次に、図１６を用いて本実施形態の液晶表示装置１′の製造方法について説明する。本実施形態では、複数の基板領域を有する大面積のマザー基板を用いて複数の液晶パネル２を一括して形成し、切断によって個々の液晶パネル２に分離する方法を採用する。
【００４２】
本方法では、まず、図１６（ａ）に示すように、液晶パネル２の前面側基板２２ａとなる複数の基板領域を含むマザー基板１２４ａ、及び背面側基板２２ｂとなる複数の基板領域を含むマザー基板１２４ｂを用意する。そして、マザー基板１２４ａの各基板領域２４ｄに、前面側電極２６ａや配向膜（図示略）等からなる液晶配向制御層、及び端子部パターン３３を形成し、マザー基板１２４ｂの各基板領域２４ｄに、背面側電極２６ｂや配向膜（図示略）等からなる液晶配向制御層を形成する。ここで、各マザー基板１２４ａ，１２４ｂとしては、厚みが０．５ｍｍ程度の厚板のものを用いる。また、２枚の基板１２４ａ，１２４ｂの厚みが異なると、図１６（ｃ）の工程において基板を切断するときに応力が分散してうまく切断できなくなるため、両基板１２４ａ，１２４ｂの厚みは略同じ厚みとする。
【００４３】
次に、マザー基板１２４ａ又はマザー基板１２４ｂの各パネル領２４ｄの周縁部に環状のシール材２３を印刷方等により形成する。ここで、形成したシール材２３の一部には液晶３０を注入するための注入口（図示略）を形成する。また、一方のマザー基板には、ギャップ制御用のスペーサ２９を配置する。続いて、これら２枚のマザー基板１２４ａ，１２４ｂを対応する基板領域２６ｄが互いに対向するように配置し、一方のマザー基板を他方のマザー基板に押圧して貼り合せる。図１６（ａ）は、対応する基板領域２４ｄが互いに対向するように基板接着を行なった状態を示している。なお、符号Ｃは、マザー基板１２４ａ，１２４ｂを切り出す際の切り出し線を示している。
【００４４】
次に、図１６（ｂ）に示すように、マザー基板１２４ｂの下面側（観察側とは反対側）であって、前記タッチパネル４の座標入力面に対応する部分を選択的に薄板化し、凹部Ｈ（薄板領域）を形成する。本例では、前記基板領域２４ｄの前記座標入力面に対応する部分をレジスト等によってマスキングしてから、フッ酸系のエッチング溶液を用いてケミカルエッチングし、凹部Ｈの形成された部分の基板の厚みが０．１ｍｍ〜０．４ｍｍ程度となるようにする。この際、図１６（ｃ）の工程で基板を切り出し易くするために、切り出し線Ｃと凹部Ｈの外周位置Ｐとの間隔ｄ（即ち、凹部Ｈの周囲に額縁状に配置される厚板領域の当該額縁の幅）は０．３ｍｍ以上とする。
【００４５】
次に、貼り合わせたマザー基板１２４ａ，１２４ｂを個々の基板領域２４ｄの周縁に沿って切断して、図１６（ｃ）に示すような空パネル（液晶３０を注入する前の液晶パネル）２ａを複数得る。続いて、図１６（ｄ）に示すように、各空パネル２ａの前記注入口からギャップ内に液晶３２を注入する。そして、この注入口にモールド樹脂等の封止材を充填し、この封止材を硬化させて注入口を封止する。
次に、液晶パネル２の実装端子形成領域２４ｃに形成された端子部パターン３３に液晶駆動用ＩＣ３６をＣＯＧ実装し、液晶パネル２と液晶駆動用ＩＣ３６とを電気的に接続する。以上により、液晶パネル２が製造される。
なお、本例では液晶３２を真空注入によって充填したが、液晶３２の充填は次の方法によって行なうこともできる。まず、一方のマザー基板にシール材２３を閉環状に形成し、このマザー基板又は他方のマザー基板に液晶３２を液滴状に配置する。そして、真空条件下でこれらのマザー基板を貼り合わせ、シール材２３を硬化する。そして、最後にマザー基板１２４ａ，１２４ｂを切断して、複数の液晶パネル２に分離する。
【００４６】
以上により液晶パネル２が製造されたら、液晶パネル２の前面側基板２２ａの前面（観察側の面）に前面側位相差板６ｃ及び前面側偏光板６ａを貼着し、背面側基板２２ｂの背面（観察側とは反対側の面）に背面側位相差板６ｄ及び背面側偏光板６ｂを貼着する。背面側の位相差板６ｄ及び偏光板６ｂは、背面側基板２２ｂに形成された凹部Ｈ内に配置する。
以上により、液晶表示装置１′が製造される。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態では、液晶パネル２の背面側基板２２ｂをエッチングして液晶パネル２の表示領域に対応する部分を薄板化しているため、指押し等の外部応力に起因する表示の歪みを改善することができる。また、基板に薄板領域を形成することで、液晶パネルの軽量化にも寄与する。また、本実施形態では、背面側位相差板６ｄ及び背面側偏光板６ｂを前述の凹部Ｈに配置しているため、この凹部Ｈの深さ分だけ液晶表示装置の厚みを薄型化することができる。
【００４８】
［第３の実施の形態］
次に、図１７〜図２２を用いて本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施形態において、前記第２の実施形態と異なる点は、液晶パネル２の前面側に保護基板５に代えて入力装置であるアナログ型抵抗膜方式のタッチパネル４を搭載した点、位相差板６ｃ，６ｄを省略した点、前面側偏光板６ａをタッチパネル４の前面側に配置した点のみである。このため、本実施形態では、主にタッチパネル４の構成について説明する。
図１７は、本発明の電気光学装置の一例であるタッチパネル一体型の液晶表示装置の概略断面図、図１８は、そのタッチパネルの構造を示す分解斜視図、図１９は、液晶表示装置に備えられた液晶パネルをタッチパネル側から視たときの平面図である。なお、本実施形態において、前記第１の実施形態及び第２の実施形態と同様の部材又は部位については同じ符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００４９】
タッチパネル４は、所定のギャップを有して対向する前面側基板（図示上側の基板；第１の基板）８ａと背面側基板（図示下側の基板；第２の基板）８ｂを、これら２枚の基板８ａ，８ｂの周縁部に環状に設けたシール材９によって接着一体化したものである。図１７に示すように、タッチパネル４の前面側基板８ａには、透光性材料からなる基板本体１１ａの内面側（背面側基板側）の面に、液晶パネル２の表示領域（実際に表示に寄与する領域）に対応する範囲を覆う透光性の面状電極（高抵抗膜；第１の電極）１２ａが形成されており、この面状電極１２ａのＹ方向両端部に一対の低抵抗膜１３が形成されている。一方、タッチパネル４の背面側基板８ｂには、透光性材料からなる基板本体１１ｂの内面側（前面側基板側）の面に、液晶パネル２の表示領域に対応する範囲を覆う透光性の面状電極（高抵抗膜；第２の電極）１２ｂが形成されており、この面状電極１２ｂのＸ方向両端部に一対の低抵抗膜１４が形成されている。本実施形態において、前面側基板８ａの外面側（観察側）の面であって、液晶パネル２の表示領域に対応する領域が座標入力面（即ち、入力器具３や指等によって直接タッチパネル上の位置を指示して入力操作を行なう面）である。
【００５０】
前面側基板８ａに形成された低抵抗膜１３は、導通材１７を介して、背面側基板８ｂに形成された補助電極１８に導電接続され、更にその補助電極１８を介して端子部１６に導電接続されている。本実施形態において低抵抗膜１３，１４及び補助電極１８は配線部を構成し、基板８ａ若しくは基板８ｂの周縁部に沿って形成されている。なお、面状電極１２ａ，１２ｂは、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）等の透光性導電膜からなり、その面内全域でほぼ均一な面抵抗を備えている。また、低抵抗膜１３，１４、補助電極１８及び端子部１６は、導電性の高い金属薄膜、例えば金（Ａｕ），銀（Ａｇ），銅（Ｃｕ），アルミニウム（Ａｌ），クロム（Ｃｒ）、又はこれらの金属のうちのいずれか１種類以上の金属を含む合金によって形成されている。後述のように、本実施形態では、前面側基板８ａ及び背面側基板８ｂにガラス基板を用いているため、プラスチックフィルム基板を用いた従来のタッチパネルと異なり、高温の熱処理や強酸性のエッチング溶液を使ったエッチング処理が可能である。このため、本実施形態では、座標情報を検出するためのこれらの導電膜（面状電極１２ａ，１２ｂ、補助電極１８、端子部１６等）を、いずれもスパッタ法又は蒸着法等の真空プロセスを用いて形成し、更にエッチング処理により低抵抗膜１３，１４及び補助電極１８を細線化し、狭額縁の配線部を形成している。例えば、配線部にＡＰＣ（銀，パラジウム，銅の合金、比抵抗は４×１０−６程度）を用いた場合、従来、銀ペーストで厚み２０μｍ，線幅１ｍｍで作った引き回し配線は、ＡＰＣでは厚み０．２μｍ，線幅０．１ｍｍで作ることが可能になる。また、銅，アルミニウム，クロムの比抵抗は、それぞれ６×１０−６，６×１０−６，５×１０−５程度であるため、これらの金属を用いても、線幅を従来に比べて１桁から２桁程度細くすることが可能である。
【００５１】
本実施形態において、前面側基板８ａ及び背面側基板８ｂを構成する基板本体１１ａ，１１ｂには、いずれも硬質のガラス基板が使用されている。通常、入力操作が行なわれる前面側基板８ａには、入力時に基板の変形を必要とすることから、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアクリレート（ＰＡｒ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）等のプラスチックフィルム基板が使われるが、このようなプラスチックフィルム基板は、入力時の荷重によって大きな撓みを生じるため、何度も入力を行なっているうちに、内面側に形成した抵抗膜１２ａ，１３にクラックが入り、入力特性が劣化してしまうという問題がある。一方、本実施形態のように前面側基板８ａをガラス基板とした場合には、このような問題は生じないが、硬質のガラス基板はプラスチックフィルム基板に比べて柔軟性が劣るため、入力時の荷重が小さいと、十分に入力を行なうことができないという問題がある。ガラス基板の厚みを０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度にまで薄くすれば、この問題を解消することができるが、このように基板を薄くしてしまうと、基板の取り扱いが難しくなり、製造工程中に基板の割れ等を生じる場合がある。また、機械的衝撃に対して弱くなるため、携帯用途で用いる場合には、落下等による破損の問題も生じる。このように、ガラス基板を用いる場合には、基板の取り扱い性や入力装置の耐久性，耐衝撃性の面では、基板は厚いほど好ましく、入力のし易さや検出精度の面では、基板は薄いほど好ましい。そこで、本実施形態では、この双方の要求を満たすために、前面側基板８ａに厚板のガラス基板を用いて取り扱い性等を向上し、その一方で、座標入力を行なう部分には図１７に示すような凹部Ｈ１（薄板領域）を形成して薄板化し、入力時の操作性や検出精度の向上を図っている。
【００５２】
本実施形態では、前面側基板８ａ（凹部Ｈ１を形成しない部分）及び背面側基板８ｂの基板の厚みを、液晶パネル２の前面側基板２２ａ及び背面側基板２２ｂの厚みと同程度の厚みとしている。前述のように、本実施形態のタッチパネル４は、２枚のガラス基板をシール材によって接着一体化した構造を有するため、基本的には液晶パネル２を製造するのと同じ方法で製造することが可能である。このため、タッチパネル４の２枚の基板８ａ，８ｂの厚みを液晶パネル２の２枚の基板２２ａ，２２ｂの厚みと略同じ厚みとすれば、タッチパネル４の製造ラインを液晶パネル２の製造ラインと共通化することが可能になる。例えば、本例では、タッチパネル４の前面側基板８ａ及び背面側基板８ｂの厚みを０．５ｍｍ程度としており、前面側基板８ａの凹部Ｈ１が形成された部分の基板の厚みを０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度としている。
【００５３】
また、本実施形態では、前面側基板８ａ，背面側基板８ｂ，シール材９によって囲まれた空間に屈折率調整用の液状材料１５が封入されている。この液状材料１５としては、ガラスとの屈折率差が空気よりも小さいシリコーンオイル等の液状材料を用いることが好ましい。このような液状材料を封入すると、液晶パネル２側から射出された光が背面側基板８ｂと前記空間との界面、或いは、前記空間と前面側基板８ａとの界面で反射しなくなり、明るい表示を実現することができる。また、基板間に液状材料１５を配置することによって、これが一種のクッションとして機能し、前面側基板８ａに対して衝撃が加わったときに、それを緩和することができる。つまり、本実施形態では、前面側基板８ａの座標入力面を他の部分よりも薄くしているため、通常のものよりも機械的な衝撃に弱くなっているが、このような緩衝構造を設けてその部分を補強すれば、このような弱点を補うことができる。このようなクッションとしての機能を考慮した場合には、液状材料１５の粘度は、例えば２ｍｍ２／ｓ〜５０００ｍｍ２／ｓの範囲であることが好ましい。同様の趣旨で、基板間に弾性体からなる緩衝部材を設置しても良い。この緩衝部材としては、シリコーンやウレタン等の柔らかい材料（例えば、弾性率が１×１０４Ｎ／ｍ２〜１×１０８Ｎ／ｍ２の範囲のもの）を用いることが好ましい。この緩衝構造は、基板８ａ，８ｂのギャップを制御するためのスペーサとして兼用することができる。
【００５４】
このように構成されたタッチパネル４と液晶パネル２は、前述した弾性体の光学シート５０によって光学接着されている。そして、接着されたタッチパネル４及び液晶パネル２は、ベゼル等のケース体の内部に収容されている。図１７中、符号６２はケース体の一部、符号６１はスポンジ等のクッションの一部を示している。このケース体６２は、液晶パネル２の表示領域に窓部を有しており、この窓部を介してタッチパネル４に入力を行なうようになっている。また、ケース体５２の窓部の周辺部はタッチパネル４の前面側基板８ａの外面（観察側の面）を液晶パネル２側に押しつけるような状態となっており、このケース体５２からの付勢力によってタッチパネル４は液晶パネル２上に固定されている。ところで、このようなケース体５２からの応力はタッチパネル４に誤入力を生じさせる原因となる。このため、本実施形態では、ケース体５２からの応力がタッチパネル４の座標入力面にかからないようにするために、タッチパネル４の前面側基板８ａの凹部Ｈ１の外周位置Ｐ１をタッチパネル４のシール材９の内周位置Ｐ２よりも外側（座標入力面とは反対側）に配置している。前述のように、本実施形態では前面側基板８ａに凹部Ｈ１を形成しているため、ケース体５２の窓部の周辺部は、この凹部Ｈ１の周囲に額縁状に設けられた基板の厚板領域の上に設置されることになる。このため、ケース体５２からの応力は、薄板領域である凹部Ｈ１の内側にはかからず、凹部Ｈ１の外側の厚板領域にのみかかる。仮に、厚板領域がシール材９の内側まで設置されていると、シール材９の内側に前記応力の一部がかかり、シール材９の内側に位置する前面側基板８ａが背面側基板側に撓み、誤入力を生じさせる。しかし、本実施形態では、凹部Ｈ１の外周位置Ｐ１をシール材９の内周位置Ｐ２よりも外側に配置し、前面側基板８ａの厚板領域がシール材９の上又はシール材９の外側に配置されるようにしているため、厚板領域に応力がかかっても、これによってシール材９の内側の前面側基板８ａが撓むことはない。
【００５５】
このように一体化されたタッチパネル４及び液晶パネル２の上下の面（即ち、タッチパネル４の前面側基板８ａの観察側の面、及び液晶パネル２の背面側基板２２ｂの観察側とは反対側の面）には、それぞれ前面側偏光板（第１の光学フィルム）６ａ、及び背面側偏光板（第３の光学フィルム）６ｂが配置されている。すなわち、本実施形態の液晶表示装置１００は、タッチパネル４と液晶パネル２とを接着一体化し、これを一対の偏光板６ａ，６ｂによって挟持した、いわゆるインナータイプの液晶表示装置である。これらの偏光板６ａ，６ｂのうち、タッチパネル４の観察側に設けられた前面側偏光板６ａは、前面側基板８ａに形成された凹部Ｈ１の内側に設置され、液晶パネル２の観察側とは反対側に設けられた背面側偏光板６ｂは、背面側基板２２ｂに形成された凹部Ｈ２の内側に設置されている。このように、本実施形態では、偏光板６ａ，６ｂを基板８ａ，２２ｂの凹部Ｈ１，Ｈ２に配置しているため、その分、液晶表示装置全体の厚みを薄型化することができる。なお、図１７では、光学フィルムとして前面側偏光板６ａ及び背面側偏光板６ｂのみ示したが、円偏光モードを採用する場合には、更に、光学フィルムとして１／２波長板や１／４波長板等の位相差板を設置することもできる。位相差板を設置する場合には、偏光板６ａ，６ｂと同様に、これらを基板の凹部Ｈ１，Ｈ２に配置することが好ましい。ただし、タッチパネル４の前面側基板８ａに偏光板（第１の光学フィルム）６ａと位相差板（第２の光学フィルム）とを積層した場合には、これらの光学部材の総厚が大きいと、入力時の押圧力が座標入力面に十分に伝わらなくなるため、このような場合には、偏光板６ａと位相差板とをタッチパネル４の上下に貼り分ける（即ち、第１の光学フィルムである前面側偏光板６ａをタッチパネル４の前面側基板８ａの凹部Ｈ１に配置し、第２の光学フィルムである位相差板をタッチパネル４と液晶パネル２との間に配置する）ことが好ましい。こうすることによって、入力操作を行ない易くなる。
【００５６】
［タッチパネルの入力操作］
次に、タッチパネル４の入力操作について説明する。
タッチパネル４においては、端子部１６に入力制御回路（図示略）が接続され、その入力制御回路によって、ある時点では、背面側基板８ｂのＸ方向の両端部に位置する低抵抗膜１４、１４の間に所定の電圧が印加され、前面側基板８ａのＹ方向の両端部に位置する低抵抗膜１３、１３の間には上記入力制御回路内の電圧測定手段（電圧測定回路あるいは電圧測定素子、図示略）が導電接続される。この時点においては、背面側基板８ｂの面状電極１２ｂには、Ｘ方向に沿って直線的に電圧が変化する均一な電圧降下が発生し、Ｘ方向の位置座標軸が等しい部位同士はほぼ同じ電位となるような電圧分布が構成される。このとき前面側基板８ａの座標入力面のある部位が入力器具３の先端で押圧されると、前面側基板８ａの面状電極１２ａと背面側基板８ｂの面状電極１２ｂとが接触し、前面側基板８ａの面状電極１２ａを通して、入力器具３によって押圧された上記の部位に対応する位置における面状電極１２ｂの電圧が入力制御回路によって測定される。この測定された電圧の値は、押圧された部位のＸ方向の位置座標と相関しているため、入力制御回路は入力器具３で押圧された部位のＸ方向の位置を検出することができる。
【００５７】
一方、他のある時点では、入力制御回路によって前面側基板８ａのＹ方向の両端部に位置する低抵抗膜１３、１３の間に所定の電圧が印加され、背面側基板８ｂのＹ方向の両端部に位置する低抵抗膜１４、１４の間には上記電圧測定手段が接続された状態となる。この時点においては、前面側基板８ａの面状電極１２ａには、Ｙ方向に沿って均一な電圧降下が発生し、直線的に電圧が変化する電圧分布が形成される。上記の入力制御回路は、入力器具３で押圧された部位に対応する位置における前面側基板８ａの面状電極１２ａの電圧を背面側基板８ｂの面状電極１２ｂを通して検出することによって、上述したＸ方向に関する位置の場合と同様に、押圧部位のＹ方向の位置を検出することができる。
【００５８】
入力制御回路に対する上記２つの接続状態の切換えを短時間のうちに繰り返すことによって、入力制御回路は、入力器具３によって押圧された部位のＸ方向の位置座標値及びＹ方向の位置座標軸を検出することができる。
【００５９】
［液晶表示装置の製造方法］
次に、本実施形態の液晶表示装置１００の製造方法について説明する。
最初に、図２０を用いてタッチパネル４の製造方法について説明する。本実施形態では、複数の基板領域を有する大面積のマザー基板を用いて複数のタッチパネル４を一括して形成し、切断によって個々のタッチパネル４に分離する方法を採用する。
【００６０】
本方法では、まず、図２０（ａ）に示すように、タッチパネル４の前面側基板８ａとなる複数の基板領域を含む第１のマザー基板１０８ａ、及び背面側基板８ｂとなる複数の基板領域を含むの第２のマザー基板１０８ｂを用意する。そして、第１のマザー基板１０８ａの各基板領域８ｄに面状電極１２ａ、低抵抗膜１３を形成し、第２のマザー基板１０８ｂの各基板領域８ｄに面状電極１２ｂ、低抵抗膜１４、補助電極１８、端子部１６を形成する。ここで、各マザー基板１０８ａ，１０８ｂとしては、厚みが０．５ｍｍ程度の厚板のものを用いる。また、２枚の基板１０８ａ，１０８ｂの厚みが異なると、図２０（ｃ）の工程において基板を切断するときに応力が分散してうまく切断できなくなるため、両基板１０８ａ，１０８ｂの厚みは略同じ厚みとする。
【００６１】
また、本実施形態では、前述の座標情報を検出するための導電膜（面状電極１２ａ，１２ｂ、低抵抗膜１３，１４、補助電極１８、端子部１６）をスパッタ法や蒸着法等の真空プロセスによって形成し、フォトリソグラフィ技術により所望の形状にパターニングする。本例では、まず、第１のマザー基板１０８ａの表面にＩＴＯ等の透光性導電膜及び銀等の低抵抗な金属膜をスパッタ法又は蒸着法により順次形成する。そして、上層側の前記金属膜をエッチングして低抵抗膜１３の形状にパターニングし、続いて、下層側に配置された前記透光性導電膜をエッチングして面状電極１２ａの形状にパターニングする。対向側についても同様である。すなわち、まず、第２のマザー基板１０８ｂの表面にＩＴＯ等の透光性導電膜及び銀等の低抵抗な金属膜をスパッタ法又は蒸着法により順次形成する。そして、上層側の前記金属膜をエッチングして低抵抗膜１４，補助電極１８，端子部１６の形状にパターニングし、続いて下層側に配置された前記透光性導電膜をエッチングして面状電極１２ｂの形状にパターニングする。なお、金属膜及び透光性導電膜の成膜は高温条件下で行ない、欠陥の少ない緻密な膜を形成する。
【００６２】
導電膜のパターニング方法としては、次の方法を採用することもできる。まず、第１のマザー基板１０８ａの表面にＩＴＯ等の透光性導電膜及び銀等の低抵抗な金属膜をスパッタ法又は蒸着法により順次形成する。そして、これらの膜を同時にエッチングして面状電極１２ａ，低抵抗膜１３を合成した形状にパターニングし、続いて、上層側に配置された前記金属膜をエッチングして低抵抗膜１３の形状にパターニングする。対向側についても同様である。すなわち、まず、第２のマザー基板１０８ｂの表面にＩＴＯ等の透光性導電膜及び銀等の低抵抗な金属膜をスパッタ法又は蒸着法により順次形成する。そして、これらの膜を同時にエッチングして面状電極１２ｂ，低抵抗膜１４，補助電極１８，端子部１６を合成した形状にパターニングし、続いて、上層側に配置された前記金属膜をエッチングして低抵抗膜１４，補助電極１８，端子部１６の形状にパターニングする。
以上のようなプロセスを採用することで、面状電極と配線部との界面抵抗の小さい膜構造を得ることができ、更にフォトリソグラフィ技術によって狭額縁の配線部を形成することが可能になる。
【００６３】
以上により導電膜が形成されたら、第１のマザー基板１０８ａ又は第２のマザー基板１０８ｂの各基板領域８ｄの周縁部に環状のシール材９を印刷法等により形成する。ここで、形成したシール材９の一部には液状材料１５を注入するための注入口（図示略）を形成する。また、一方のマザー基板には、シリコーンやウレタン等の柔らかい素材によって、前面側基板に加わる衝撃を緩和するための緩衝部材を形成することが好ましい。この緩衝構造は、ギャップ制御用のスペーサ構造と兼用させてもよい。続いて、これら２枚のマザー基板１０８ａ，１０８ｂを対応する基板領域８ｄが互いに対向するように配置し、一方のマザー基板を他方のマザー基板に押圧して貼り合わせる。図２０（ａ）は、対応する基板領域８ｄが互いに対向するように基板接着を行なった状態を示している。なお、符号Ｃ１は、マザー基板１０８ａ，１０８ｂを切り出す際の切り出し線を示している。
【００６４】
次に、図２０（ｂ）に示すように、第１のマザー基板１０８ａの座標入力面となる部分を選択的に薄板化し、凹部（薄板領域）Ｈ１を形成する。本例では、座標入力面となる部分以外の部分をレジスト等によってマスキングしてから、フッ酸系のエッチング溶液を用いてケミカルエッチングし、凹部Ｈ１の形成された部分の基板の厚みが０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度となるようにする。この際、図２０（ｃ）の工程において基板を切断し易くするために、切り出し線Ｃ１と凹部Ｈ１の外周位置Ｐ１との間隔ｄ１（即ち、凹部Ｈ１の周囲に額縁状に配置される厚板領域の当該額縁の幅）は０．３ｍｍ以上とする。また、凹部Ｈ１の外周位置Ｐ１をシール材９の内周位置Ｐ２よりも外側（座標入力面の外側）に配置し、厚板領域が、環状に設けたシール材９の上か、又はシール材９の外側に配置されるようにする。
【００６５】
次に、貼り合わせた第１，第２のマザー基板１０８ａ、１０８ｂを個々の基板領域８ｄの周縁に沿って切断して、図２０（ｃ）に示すような空パネル（液状材料１５を注入する前のタッチパネル）４ａを複数得る。続いて、図２０（ｄ）に示すように、各空パネル４ａの前記注入口からギャップ内に液状材料１５を真空注入する。そして、この注入口にモールド樹脂等の封止材を充填し、この封止材を硬化させて注入口を封止する。以上により、タッチパネル４が製造される。
なお、本例では液状材料１５を真空注入によって充填したが、液状材料１５の充填は次の方法により行なうこともできる。まず、一方のマザー基板にシール材９を閉環状に形成し、このマザー基板又は他方のマザー基板に液状材料１５を液滴状に配置する。そして、真空条件下でこれらのマザー基板を貼り合わせ、シール材９を硬化する。そして、最後に第１，第２のマザー基板１０８ａ，１０８ｂを切断して、複数のタッチパネル４に分離する。
【００６６】
次に、図２１を用いて液晶パネル２の製造方法について説明する。本実施形態では、前記タッチパネル４の製造方法と同様に、複数の基板領域を有する大面積のマザー基板を用いて複数の液晶パネル２を一括して形成し、切断によって個々の液晶パネル２に分離する方法を採用する。
【００６７】
本方法では、まず、図２１（ａ）に示すように、液晶パネル２の前面側基板２２ａとなる複数の基板領域を含む第３のマザー基板１２４ａ、及び背面側基板２２ｂとなる複数の基板領域を含む第４のマザー基板１２４ｂを用意する。そして、第３のマザー基板１２４ａの各基板領域２４ｄに、前面側電極２６ａや配向膜（図示略）等からなる液晶配向制御層、及び端子部パターン３３を形成し、第４のマザー基板１２４ｂの各基板領域２４ｄに、背面側電極２６ｂや配向膜（図示略）等からなる液晶配向制御層を形成する。ここで、各マザー基板１２４ａ，１２４ｂとしては、厚みが０．５ｍｍ程度の厚板のものを用いる。また、２枚の基板１２４ａ，１２４ｂの厚みが異なると、図２１（ｃ）の工程において基板を切断するときに応力が分散してうまく切断できなくなるため、両基板１２４ａ，１２４ｂの厚みは略同じ厚みとする。
【００６８】
次に、第３のマザー基板１２４ａ又は第４のマザー基板１２４ｂの各パネル領２４ｄの周縁部に環状のシール材２３を印刷方等により形成する。ここで、形成したシール材２３の一部には液晶３０を注入するための注入口（図示略）を形成する。また、一方のマザー基板には、ギャップ制御用のスペーサ２９を配置する。続いて、これら２枚のマザー基板１２４ａ，１２４ｂを対応する基板領域２６ｄが互いに対向するように配置し、一方のマザー基板を他方のマザー基板に押圧して貼り合せる。図２１（ａ）は、対応する基板領域２６ｄが互いに対向するように基板接着を行なった状態を示している。なお、符号Ｃ２は、マザー基板１２４ａ，１２４ｂを切り出す際の切り出し線を示している。
【００６９】
次に、図２１（ｂ）に示すように、第４のマザー基板１２４ｂの下面側（観察側とは反対側）であって、前記タッチパネル４の座標入力面に対応する部分を選択的に薄板化し、凹部Ｈ２（薄板領域）を形成する。本例では、前記基板領域２４ｄの前記座標入力面に対応する部分をレジスト等によってマスキングしてから、フッ酸系のエッチング溶液を用いてケミカルエッチングし、凹部Ｈ２の形成された部分の基板の厚みが０．１ｍｍ〜０．４ｍｍ程度となるようにする。この際、図２１（ｃ）の工程で基板を切り出し易くするために、切り出し線Ｃ２と凹部Ｈ２の外周位置Ｐ３との間隔ｄ２（即ち、凹部Ｈ２の周囲に額縁状に配置される厚板領域の当該額縁の幅）は０．３ｍｍ以上とする。
【００７０】
次に、貼り合わせた第３，第４のマザー基板１２４ａ，１２４ｂを個々の基板領域２４ｄの周縁に沿って切断して、図２１（ｃ）に示すような空パネル（液晶３０を注入する前の液晶パネル）２ａを複数得る。続いて、図２１（ｄ）に示すように、各空パネル２ａの前記注入口からギャップ内に液晶３２を注入する。そして、この注入口にモールド樹脂等の封止材を充填し、この封止材を硬化させて注入口を封止する。
次に、液晶パネル２の実装端子形成領域２４ｃに形成された端子部パターン３３に液晶駆動用ＩＣ３６をＣＯＧ実装し、液晶パネル２と液晶駆動用ＩＣ３６とを電気的に接続する。以上により、液晶パネル２が製造される。
なお、本例では液晶３２を真空注入によって充填したが、液晶３２の充填は次の方法により行なうこともできる。まず、一方のマザー基板にシール材２３を閉環状に形成し、このマザー基板又は他方のマザー基板に液晶３２を液滴状に配置する。そして、真空条件下でこれらのマザー基板を貼り合わせ、シール材２３を硬化する。そして、最後に第３，第４のマザー基板１２４ａ，１２４ｂを切断して、複数の液晶パネル２に分離する。
【００７１】
このようにタッチパネル４と液晶パネル２が製造されたら、図２２に示すように、液晶パネル２の前面側基板２２ａとタッチパネル４の背面側基板８ｂとを接着剤５０によって光学接着する。接着剤５０としては、シリコンゲル等の透光性の弾性体を用いることが好ましい。弾性体を用いることで、入力時の応力が緩和され、液晶パネル２の表示歪みを改善することができる。また、タッチパネル４と液晶パネル２を光学接着することで、光のロスが更に低減され、明るい表示が可能になる。なお、接着剤５０としては、両面テープ等を用いることも可能である。この場合、両面テープを基板の周縁部に環状に設け、液晶パネル２とタッチパネル４との間に隙間を設けることが好ましい。こうすることによって、入力時の応力を液晶パネル２側に直接伝えない構造とすることができる。
【００７２】
次に、タッチパネル４の前面側基板８ａの前面（観察側の面）に偏光板６ａを貼着し、液晶パネル２の背面側基板２２ｂの背面（観察側とは反対側の面）に偏光板６ｂを貼着する。各偏光板６ａ，６ｂは、それぞれ基板８ａ，２２ｂに形成された凹部Ｈ１，Ｈ２内に配置するようにする。図２２は、偏光板６ａ，６ｂを貼り付けた状態を示している。
以上により、タッチパネル一体型の液晶表示装置１００が製造される。
【００７３】
以上説明したように、本実施形態では、タッチパネル４の前面側基板８ａ及び背面側基板８ｂの双方を硬質のガラス基板によって構成したため、入力操作時に基板が過度に変形することを抑えることができる。このため、抵抗膜１２ａ，１３にクラック等が発生しにくくなり、従来よりも耐久性の高い液晶表示装置を実現することができる。また、高温の熱処理が可能であるため、面状電極１２ａ，１２ｂの膜質を改善して明るい液晶表示装置を実現することができる。また、本実施形態では、タッチパネル４の前面側基板８ａの座標入力面を薄板化しているため、入力操作に伴う入力荷重を低減でき、検出精度も高めることができる。特に、本実施形態では、基板全体を薄板化するのではなく、座標入力面に対応する部分のみを選択的にエッチングして薄板化しているため、製造時の基板の取り扱い性や耐衝撃性が損なわれることはない。また、このように基板に薄板領域を設けた場合には、基板の重量も少なくなるため、タッチパネルの軽量化にも寄与する。また、通常の半導体プロセスを用いることができるので、界面抵抗の小さい導電膜を形成することができ、更にエッチング等の手法を用いれば、極めて細い配線パターンを形成することができるため、配線領域の狭額縁化も可能になる。
【００７４】
また、本実施形態では、液晶パネル２の背面側基板２２ｂをエッチングして前記座標入力面に対応する部分を薄板化しているため、タッチパネル４の入力操作に起因する表示の歪みを改善することができる。また、基板に薄板領域を形成することで、液晶パネルの軽量化にも寄与する。また、本実施形態では、偏光板６ａ，６ｂを前述の凹部Ｈ１，Ｈ２に配置しているため、この凹部Ｈ１，Ｈ２の深さ分だけ液晶表示装置の厚みを薄型化することができる。
また、本実施形態では、タッチパネル４の基板間に屈折率調整用の液状材料１５を封入しているため、更に明るい表示が可能である。また、封入された液状材料１５は、入力時の応力を緩和するためのクッションとして機能するため、タッチパネル４の耐衝撃性も高めることができる。また、本実施形態では、タッチパネル４と液晶パネル２とを前述の光学シート５０によって光学接着しているため、更に明るく且つ歪みの少ない表示が可能になる。
【００７５】
なお、本実施形態では、本発明を抵抗膜方式のタッチパネルに適用した例について説明したが、本発明はこれに限定されず、静電容量方式や超音波方式等の方式等の他の方式のタッチパネルに対して本発明を適用することも可能である。また、表示ユニットとしては前述の液晶パネルの他に、有機ＥＬパネルや電気泳動パネル等の他の電気光学パネルを用いることもできる。
【００７６】
［電子機器］
以下、上述の電気光学装置を備えた電子機器の具体例について説明する。
図２３（ａ）は、本発明の電子機器の一例である携帯電話を示す斜視図である。この図において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は前記第１の実施形態又は前記第２の実施形態に係る液晶表示装置を用いた表示部を示している。この携帯電話１０００は、前述の液晶表示装置を備えているので、耐衝撃性に優れ且つ明るい表示が可能な電子機器となる。
【００７７】
図２３（ｂ）は、本発明の電子機器の他の一例であるハンディターミナル１１００を示す斜視図である。図７において、符号１１０１は本発明の入力装置であるタッチパネル、符号１１０２はファンクションキー、符号１１０３は電源入力スイッチをそれぞれ示している。本例のハンディターミナル１１００は、ファンクションキー１１０２に印刷されたアイコンや、タッチパネル１１０１の下に配置された液晶パネル（図示略）の画面を見ながら、タッチパネル上の位置を直接指示することによって、データ入力を行なうものである。このハンディターミナル１１００は、入力装置として前述した本発明のタッチパネルを備えているため、明るい表示が可能で且つ操作性にも優れ、更に耐衝撃性も高い電子機器となる。
なお、前記実施形態の電気光学装置は、前述した携帯電話やハンディターミナルに限らず、種々の電子機器に搭載することができる。この電子機器としては例えば、電子ブック、パーソナルコンピュータ、ディジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型あるいはモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末等があり、前記電気光学装置はこれらの画像表示手段兼入力手段として好適に用いることができる。
【００７８】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の電気光学装置の第１実施形態である液晶表示装置の断面図。
【図２】本発明の光学シートの層構造を示す要部断面図。
【図３】光学シートの製造方法を説明するための模式図。
【図４】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図５】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図６】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図７】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図８】光学シートの他の製造方法を説明するための模式図。
【図９】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図１０】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図１１】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図１２】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図１３】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図１４】光学シートの他の構成例を示す要部断面図。
【図１５】本発明の電気光学装置の第２実施形態である液晶表示装置の断面図。
【図１６】第２実施形態の液晶表示装置の製造方法を説明するための工程図。
【図１７】本発明の電気光学装置の第３実施形態である液晶表示装置の断面図。
【図１８】タッチパネルの構造を示す分解斜視図。
【図１９】液晶パネルをタッチパネル側から視たときの平面図。
【図２０】第３実施形態の液晶表示装置の製造方法を説明するための工程図。
【図２１】同、工程図。
【図２２】同、工程図。
【図２３】本発明の電子機器の一例を示す斜視図。
【符号の説明】
【００８０】
１，１′，１００…液晶表示装置（電気光学装置）、２…液晶パネル（電気光学パネル）、３…入力器具、４…タッチパネル（入力装置）、５…保護基板、６ａ…前面側偏光板、６ｂ…背面側偏光板、８ａ…前面側基板（第１の基板）、８ｂ…背面側基板（第２の基板）、９…シール材、１５…液状材料、２３…シール材、２４ａ…前面側基板（第３の基板）、２４ｂ…背面側基板（第４の基板）、３２…液晶、５０…光学シート、５１…透光性弾性体、５２ａ，５２ｂ…透光性フィルム、１０８ａ…第１のマザー基板、１０８ｂ…第２のマザー基板、１２４ａ…第３のマザー基板、１２４ｂ…第４のマザー基板、１５２ｂ…枚葉フィルム、１５２ｓ…ロールシート、Ａ，Ｂ…ロールフィルム、Ｈ，Ｈ１，Ｈ２…凹部（薄板領域）
【図１】
2006010748.tif 000003
【図２】
2006010748.tif 000004
【図３】
2006010748.tif 000005
【図４】
2006010748.tif 000006
【図５】
2006010748.tif 000007
【図６】
2006010748.tif 000008
【図７】
2006010748.tif 000009
【図８】
2006010748.tif 000010
【図９】
2006010748.tif 000011
【図１０】
2006010748.tif 000012
【図１１】
2006010748.tif 000013
【図１２】
2006010748.tif 000014
【図１３】
2006010748.tif 000015
【図１４】
2006010748.tif 000016
【図１５】
2006010748.tif 000017
【図１６】
2006010748.tif 000018
【図１７】
2006010748.tif 000019
【図１８】
2006010748.tif 000020
【図１９】
2006010748.tif 000021
【図２０】
2006010748.tif 000022
【図２１】
2006010748.tif 000023
【図２２】
2006010748.tif 000024
【図２３】
2006010748.tif 000025