【手続補正書】
【提出日】平成19年6月27日(2007.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  サンプル入口部および出口部の間において流路を画定する平面状のハウジンクであって、前記流路に沿って延びる少なくとも１対の基板で形成されているハウジングと、
前記流路内に配置され、少なくとも１対のフィルタ電極を有するイオン・フィルタであって、各基板上のフィルタ電極の少なくとも１対が前記流路を挟んで対向しているイオン・フィルタと、
前記イオン・フィルタ電極に非対称の周期的電圧を印加して、前記フィルタを通るイオンの進行を制御するように構成された制御部とを備えた、非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２】  請求項１において、前記基板がガラスである非対称電界イオン移動度システム。
【請求項３】  請求項１において、前記基板が絶縁物で平面状である非対称電界イオン移動度システム。
【請求項４】  請求項１において、前記流路が、非導電であり、この流路で画定された導電電極を有する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項５】  請求項１において、前記入口部および前記出口部の間において電気的に絶縁された流路を画定する絶縁表面を前記基板が有し、前記出口部がさらにイオン検出領域を備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６】  請求項５において、前記出口部が、さらに、前記流路においてイオンを検出する検出器を有する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項７】  請求項５において、前記イオン検出領域が、さらに、前記流路におけるイオンを検出するように、前記流路に配置された少なくとも１対の検出電極を有し、検出電極はそれぞれ基板に形成されている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項８】  請求項７において、前記制御部が、さらに、複数のイオンの種類を同時に別々に検出できるように構成され、この検出イオンは、前記検出電極によって同時に検出される複数の検出イオンの種類を表わしている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項９】  請求項７において、前記制御部が、前記電極に信号を加える導線を画定している非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１０】  請求項１において、前記出口部がさらに検出器アレイを有する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１１】  請求項１において、前記出口部がさらに分割された検出器を有し、この検出器が、前記出口部において次々と前記流路に沿って配置された複数の電極によって形成されている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１２】  請求項１において、さらに、各基板上に形成された少なくとも１つの電極を有するイオン・フィルタのアレイを備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１３】  請求項１２において、全てのフィルタが同一の前記流路に割り当てられている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１４】  請求項１において、さらに、各基板上に形成された少なくとも１つの電極を有するイオン・フィルタのアレイを備え、分離された流路がアレイの各フィルタに組み合わされて、同時に複数のイオン種類を検出するように各流路においてイオンを通過させる非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１５】  請求項１において、さらに、前記入口部にイオン化ガス源を備え、ポンプが前記基板に結合され、前記ガス源から前記出口部に前記イオン化ガスを流すようにこのポンプが前記流路に連通している非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１６】  請求項１において、さらに、前記基板に結合され、前記流路におけるガスを再循環させるように前記流路に連通する再循環ポンプを備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１７】  請求項１において、前記基板が平面状であり、前記流路に沿って前記ハウジングを画定するように延びている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１８】  請求項２において、前記基板がスペーサによって分離されている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項１９】  請求項１８において、前記スペーサがシリコンであり、前記フィルタを通過するイオンを集中させるように閉じ込め電極を画定している非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２０】  請求項１において、さらに、前記流路にイオンを投入するためのイオン源を備え、前記基板が前記流路軸に沿って絶縁ハウジングを形成し、このハウジングが、前記流路軸に対して固定的に、前記イオン源、イオン・フィルタ、電子部および出口部を保持する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２１】  請求項２０において、前記電子部が、前記電極を増幅器に接続する電気接続を有する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２２】  請求項２１において、コントローラが、イオン・フィルタリングを制御するように前記ハウジング内に画定されている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２３】  請求項１において、前記制御部が、前記イオン・フィルタ電極の両端にバイアス電圧および非対称の周期的電圧を印加して、前記フィルタを通過するイオン流路を制御する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２４】  請求項１において、前記制御部が、さらに、前記フィルタを通過するイオン種類のうち、選択したイオン種類をターゲットとするために、前記周期的電圧のデューティ・サイクルを選択的に調整する駆動回路を備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２５】  入口部および出口部と、
これら入口部および出口部の間に流路を画定する絶縁性の１対の基板と、
前記流路に配置された１対のイオン・フィルタ電極であって、電極はそれぞれ基板に接続されているイオン・フィルタ電極と、
前記イオン・フィルタ電極に非対称の周期的電圧を印加して、前記流路におけるイオンの流れを制御するように構成された電子コントローラとを備えた非対称電界イオン移動度システムであって、
前記絶縁性の基板が、前記フィルタ電極を前記出口部から電気的に絶縁し、前記流路におけるイオンは、前記印加された非対称の電圧の制御のもと、前記フィルタ電極から前記出口部に進行する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２６】  請求項２５において、前記絶縁性の基板が絶縁された流路を形成し、バイアスレベルに維持されない非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２７】  請求項２５において、前記基板が平面状であり、前記絶縁された流路が前記フィルタ電極を前記出口部から電気的に絶縁する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２８】  請求項２５において、さらに、前記フィルタの下流の前記出口部において画定されてイオンを検出する検出器を備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項２９】  請求項２５において、前記検出器の電極はそれぞれ別個であり、前記コントローラは、さらに、各検出器電極で検出された特定のイオン種類を表わす信号を同時に出力する導線を備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項３０】  請求項２５において、前記フィルタを通過するイオンの軌道が前記電子コントローラによって規制され、さらに、前記イオン・フィルタの下流に分割された検出器を備え、この検出器の分割体は前記流路に沿って分離されて、イオンの軌道に従ってイオンを空間的に検出する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項３１】  請求項２５において、さらに、電極アレイを備え、この電極が前記流路に位置し、前記電子コントローラの制御を受ける非対称電界イオン移動度システム。
【請求項３２】  請求項３１において、さらに、前記出口部における検出器と、フィルタ電極アレイと、複数の割り当てられた流路によって画定された流路とを備え、
フィルタ電極の対が、前記割り当てられた流路に組み合わされ、前記検出器に連通している非対称電界イオン移動度システム。
【請求項３３】  請求項３２において、さらに、検出器電極アレイを備え、この検出器電極アレイが前記流路を経由して少なくとも一対のフィルタ電極に連通している非対称電界イオン移動度システム。
【請求項３４】  請求項２５において、前記出口部がさらに検出部を備え、さらに、化学サンプルをイオン化してこのサンプルから前記流路にイオンを供給するイオン源を備え、イオンは前記流路の前記フィルタ電極によってフィルタリングされて検出用に前記検出部に通過する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項３５】  イオン入口部、ならびにイオン・フィルタ部、絶縁部および出口部を有する分析計部であって、イオンが前記イオン・フィルタ部に前記イオン入口部によって供給され、前記絶縁部は前記フィルタ部および前記出力部の非導電接続を促進するイオン入口部および分析計部と、
前記フィルタ部から前記絶縁部を介して前記出口部に延びる流路と、
前記フィルタ部に電位差を加える制御部であって、制御電界を生成するように、前記電位差は非対称の周期的電圧を含む制御部とを備えたＦＡＩＭ（非対称電界イオン移動度）センサシステムであって、
イオン・フィルタ部は１対の電極を有し、これら電極は前記流路を挟んで対向し、
前記流路は、制御電界を前記フィルタ部のイオンに加える第１の流路領域を画定し、前記イオン・フィルタ部はこの第１の流路領域に位置し、
前記流路は、また、第２の流路領域を画定し、前記絶縁部は前記第１の流路領域よりも後方で前記出口部よりも前方のこの第２の流路領域に位置し、
前記イオン・フィルタ部は前記制御電界の影響下において前記流路にイオンを通過させ、
前記フィルタ部によって通過させられたイオンは、前記絶縁部を介して検出用の前記出口部に進行し、前記絶縁部は前記出口部から前記制御電界を絶縁するＦＡＩＭセンサシステム。
【請求項３６】  請求項３５において、さらに、１対の基板を備え、これら基板が前記流路を画定し、前記電極が互いに電気的に絶縁されて、前記基板は電気的絶縁物であるＦＡＩＭセンサシステム。
【請求項３７】  請求項３６において、前記基板が平面状であるＦＡＩＭセンサシステム。
【請求項３８】  入口部および検出器部と、
これら入口部および検出器部の間においてイオン流れ用の流路を画定する少なくとも１対の基板と、
前記入口部および前記検出器部の間において前記流路に配置された１対のイオン・フィルタ電極を含む複数の電極と、
前記イオン・フィルタ電極に制御電気信号を加えるように構成された電子部であって、この電気信号が非対称の周期的電圧を含む電子部とを備えた非対称電界イオン移動度システムであって、
前記入口部は、様々な種類のイオンからなるサンプルを受け入れるように構成され、
前記フィルタ電極は、サンプルから選択された複数のイオン種類を前記検出器に同時に通過させるように、前記電気信号および前記流路と連携し、
前記検出器部は、前記フィルタによって通過させられる選択された複数のイオン種類の同時検出を可能にし、
前記電子部は、前記検出器部において分離された別々の出力を提供し、この出力はこれらサンプル内から同時に検出される種類を表わす信号を提供する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項３９】  請求項３８において、前記検出器部は前記流路に配置された少なくとも１対の検出器電極で形成され、少なくとも１つの検出器電極が基板上に形成され、前記検出器電極は検出されたイオン種類を表わす別々の出力に信号を伝達し、第１の検出器電極は第１レベルに維持され、第２の検出器電極は第２レベルに維持されて、前記フィルタによって通過させられる複数のイオン種類を同時に検出する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項４０】  請求項３８において、前記複数の電極が、１つの基板上に形成されたフィルタ電極のアレイを備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項４１】  請求項３８において、前記複数の電極が、１つの基板上に形成された検出器電極のアレイを備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項４２】  請求項３８において、前記フィルタを通過するイオンの軌道が前記電子部によって規制され、前記検出器が前記イオン・フィルタの下流に分割された検出器を形成するように連続して複数の電極を備え、この検出器の分割体は前記流路に沿って分離されて、イオンの軌道に従ってイオンを空間的に検出する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項４３】  入口部および出口部と、
これら入口部および出口部の間に、前記入口部から前記出口部までのイオン流れ用の流路を画定する少なくとも１対の基板と、
電極の配置を形成するように前記流路に画定された複数の電極であって、イオン・フィルタ区域を形成するように各基板に接続された少なくとも１つのフィルタ電極を画定する複数の電極と、
前記電極に制御信号を加えるように構成された電子部であって、前記流路におけるイオン流れを変更するように前記フィルタ電極の両端に非対称の周期的信号を印加する電子部とを備えた非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項４４】  請求項４３において、前記基板が平面状であり、前記フィルタ電極および前記出口部の間に前記流路に沿って少なくとも１つの絶縁された表面を有する非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項４５】  請求項４３において、さらに、前記出口部と連通する複数の専用流路を備え、前記電極の配置がこれら専用流路に組み合わされたフィルタ電極対のアレイを備えた非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項４６】  請求項４３において、さらに、複数の専用流路を備え、前記電極の配置が、前記出口部における検出器電極のアレイを備え、前記専用流路と連通している非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項４７】  請求項４３において、前記電極の配置が少なくとも１対の検出器電極を備え、この電極はそれぞれ基板に接続され、前記入口部はさらにイオン化領域を備え、さらに、このイオン化領域に少なくとも１つの電極を備えた非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項４８】  請求項４３において、前記電極の配置が、さらに、分割体に分割された検出器を形成し、各分割体は基板上の少なくとも１つの電極で形成され、これら分割体は前記出口部において前記流路に沿って長手方向に列をなして形成されている非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項４９】  請求項４３において、前記電子部はさらにフィルタリングされるイオン種類に従って、所定範囲に渡って加えられた制御信号を掃引するように構成されている非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項５０】  請求項４３において、前記基板は装置ハウジングを構成し、この装置ハウジングが前記入口部、流路、出口部、電極および電子部を保持する非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項５１】  請求項４３において、さらに、前記入口部から前記出口部に前記流路を介してガスサンプルを導入する流れポンプを備えた非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項５２】  請求項４３において、さらに、第３の基板を備え、第１，第２および第３の基板は平面状で２つの流路を画定する非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項５３】  請求項５２において、前記流れポンプによって導入されるガスサンプルをイオン化するイオン化源を前記入口部が有し、さらに、少なくとも１つの流路において空気を再循環する第２のポンプを備えた非対称電界イオン移動度検出システム。
【請求項５４】  サンプル入口および出口の間において流路を画定する長手方向軸に沿って延びるスペーサと、
前記流路に配置され、間隔を空けた１対のフィルタ電極を有するイオン・フィルタと、
前記イオン・フィルタ電極の両端に非対称の周期的電圧を印加して制御電界を生成する電子コントローラであって、前記フィルタを介して前記長手方向軸に沿って前記出口に向かって進行するイオンの流路を、この制御電界が制御する電子コントローラとを備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項５５】  請求項５４において、前記流路を囲む装置ハウジングを形成するように、前記スペーサは前記電極と連携する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項５６】  請求項５４において、前記出口がさらに検出領域を備え、前記スペーサが前記長手方向軸に沿って延びる流路拡張を画定して前記入口を前記検出領域に接続し、前記フィルタによって通過させられたイオンが検出用の前記検出領域に進行する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項５７】  請求項５６において、前記検出領域が少なくとも１対の検出器電極を有し、さらに、前記イオン・フィルタを前記検出器から分離する分離部を備え、この分離部が前記電界を前記検出器電極から分離する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項５８】  請求項５４において、前記スペーサがさらに長手方向拡張を確定し、前記流路が前記長手方向拡張の間で延びて前記スペーサの長手方向軸に沿って延びる非対称電界イオン移動度システム。
【請求項５９】  請求項５４において、さらに、１対の基板を備え、この基板は前記入口および前記出口の間で流路を画定するスペーサと連携し、前記基板はさらに前記流路を挟んで対向するフィルタ電極を画定する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６０】  請求項５９において、前記入口および前記出口の間において電気的に絶縁された流路部分を確定する絶縁表面を前記基板が有し、前記出口がさらにイオン検出器を備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６１】  請求項５４において、前記スペーサがシリコンであり、前記流路における閉じ込め電極を画定し、さらに、前記イオン・フィルタの下流に、前記閉じ込め電極の制御のもと、フィルタから進行するイオンを検出する検出器を有する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６２】  請求項５４において、前記出口がさらに検出器を有し、前記流路においてイオンを検出するように、前記検出器は少なくとも１対の電極で形成され、前記コントローラはさらに前記電極に信号を加える導線を画定している非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６３】  請求項５４において、前記出口が検出器アレイを画定し、フィルタによって通過させられたイオン種類の検出用に、流路に配置された１対の電極で、前記検出器のそれぞれが形成されている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６４】  請求項５４において、前記出口が検出器を備え、この検出器が１対のイオン検出器電極を備え、前記電子部がさらに複数のイオン種類を同時に別々に検出できるように構成され、この検出イオンは、前記検出器によって同時に検出される複数の検出イオンの種類を表わしており、前記電子部は各検出器電極からの分離した出力導線を有する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６５】  請求項５４において、前記出口が複数の電極分割体を有する検出器を備え、イオンの軌道に従ってイオンの検出を空間的に分離するように、この分割体は前記流路に沿って分離されている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６６】  請求項５４において、前記イオン・フィルタがフィルタのアレイを備え、各フィルタは前記流路において１対の電極を備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６７】  請求項５４において、前記流路が平面状である非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６８】  請求項５４において、さらに、前記入口にイオン源を備え、前記フィルタを介してイオンを流すように、ポンプが前記流路に連通している非対称電界イオン移動度システム。
【請求項６９】  請求項１または５４において、さらに、前記流路を加熱して中性化したイオンを除去するヒータを前記流路において備えた非対称電界イオン移動度システム。
【請求項７０】  請求項１または５４において、前記ヒータが１対の電極を備え、これら電極が少なくとも１つのさらなる機能を有する非対称電界イオン移動度システム。
【請求項７１】  請求項７０において、前記ヒータ電極がイオン・フィルタ電極を含む非対称電界イオン移動度システム。
【請求項７２】  請求項５４において、発熱させるために、前記フィルタ電極を通して電流を選択的に供給するように前記電子コントローラが構成されている非対称電界イオン移動度システム。
【請求項７３】  サンプル入口および出口の間において基板間で流路を画定する、間隔を空けた１対の基板と、
前記流路に配置され、さらに間隔を空けた少なくとも１対の電極を有するイオン・フィルタであって、各基板上に前記電極の少なくとも１つを備えたイオン・フィルタと、
前記フィルタに印加される非対称の周期的電圧を含む電圧を印加する電子コントローラであって、前記フィルタを通してイオンの流路を制御する電子コントローラと、
前記流路を加熱するヒータとを備えた検出システム用の超小型非対称電界イオン移動度フィルタ。
【請求項７４】  請求項７３において、前記基板上の１対の電極が前記ヒータの加熱源として使用され、前記電子コントローラは加熱信号をこの加熱源に供給するように構成されている超小型非対称電界イオン移動度フィルタ。
【請求項７５】  請求項７４において、前記電極がさらに１対の検出器電極を画定する超小型非対称電界イオン移動度フィルタ。
【請求項７６】  請求項７３において、前記フィルタ電極はヒータの加熱源であり、前記電子コントローラは、バイアス電圧および加熱電圧を前記フィルタ電極に供給するように構成されている超小型非対称電界イオン移動度フィルタ。
【請求項７７】  サンプル入口および出口の間に延びる流路と、
前記流路に配置されたイオン・フィルタと、
前記イオン・フィルタの両端に非対称の周期的電圧を印加して、前記イオン・フィルタを通過するイオン流路を制御する電子コントローラと、
前記非対称の周期的電圧のデューティ・サイクルを選択的に調整して、サンプル入口からのイオン種類を分離可能にするように構成された選択回路であって、検出用にフィルタを介して所望の種類を通過させる選択回路とを備えた非対称電界イオン移動度フィルタ。
【請求項７８】  請求項７７において、前記非対称の周期的電圧がバイアス電圧で補償されず、さらに、前記フィルタによって通過させられるイオン種類を検出するように、前記イオン・フィルタから下流に検出器を有する非対称電界イオン移動度フィルタ。
【請求項７９】  イオン入口を画定する流路、出口、ならびに前記入口および前記出口の間の前記流路におけるイオン・フィルタを有し、イオンが通過する前記フィルタは、前記入口から前記出口に流れるイオンを前記フィルタが通過させるイオン移動度フィルタシステムにおけるイオンのフィルタリング方法であって、
非対称の周期的電圧を前記イオン・フィルタに印加して、前記フィルタの流路を制御する工程と、
前記非対称の周期的電圧を調整して、イオン種類がイオンの移動度に従って分離されようにする工程と、
前記出口部において検出するように、前記デューティ・サイクルに従って前記フィルタを介してイオン種類を通過させる工程とを備えた方法。