(57)【要約】【課題】  鏡面シール部のシール面の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる処理装置、処理装置の製造方法、処理装置における石英製品の製造方法及び測定治具を提供する。【解決手段】  被処理体ｗを収容して所定の処理を行う処理部が石英製品２，７からなり、該石英製品２，７が鏡面加工のシール面同士を密着させる鏡面シール部３０を有する処理装置１であって、前記石英製品２，７の鏡面シール部３０のシール面１６，１７の平面度を感圧紙３１を用いて測定し、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品２，７を選択的に使用してなる。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理体を収容して所定の処理を行う処理部が石英製品からなり、該石英製品が鏡面加工のシール面同士を密着させる鏡面シール部を有する処理装置であって、前記石英製品の鏡面シール部のシール面の平面度を感圧紙を用いて測定し、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品を選択的に使用してなることを特徴とする処理装置。
【請求項２】
前記石英製品が、下端が開口された処理容器と、該処理容器の開口端に当接される蓋体であることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項３】
前記感圧紙が、重ね合わされた２枚のシートからなり、一方のシートの内面にはマイクロカプセルに詰めた発色剤を塗布した発色剤層が設けられ、他方のシートの内面には顕色剤を塗布した顕色剤層が設けられている圧力測定フイルムであることを特徴とする請求項１記載の処理装置。
【請求項４】
被処理体を収容して所定の処理を行う処理部が石英製品からなり、該石英製品が鏡面加工のシール面同士を密着させる鏡面シール部を有する処理装置の製造方法であって、前記石英製品のシール面の平面度を感圧紙を用いて測定する測定工程と、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品を選択して組立てる組立工程とを備えたことを特徴とする処理装置の製造方法。
【請求項５】
前記測定結果が予め定められた範囲を超えた石英製品である場合、該石英製品のシール面を再度鏡面加工することを特徴とする請求項４記載の処理装置の製造方法。
【請求項６】
前記鏡面加工が、石英製品のシール面を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げる仕上工程とを有することを特徴とする請求項４又は５記載の処理装置の製造方法。
【請求項７】
被処理体を収容して所定の処理を行う処理装置に使用される鏡面加工のシール面を有する石英製品を製造する方法であって、石英製品のシール面を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げる仕上工程と、仕上げられたシール面に感圧紙を平面で押圧してシール面の平面度を測定する工程と、その測定結果が予め定められた範囲内か否かにより石英製品が良品か否かを判定する工程とを備えたことを特徴とする処理装置における石英製品の製造方法。
【請求項８】
前記測定結果が予め定められた範囲を超えた石英製品である場合、該石英製品のシール面を再度鏡面加工することを特徴とする請求項７記載の処理装置における石英製品の製造方法。
【請求項９】
前記鏡面加工が、石英製品のシール面を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げる仕上工程とを有することを特徴とする請求項７又は８記載の処理装置における石英製品の製造方法。
【請求項１０】
被処理体を収容して所定の処理を行う処理装置の処理部を構成する石英製品の鏡面シール部のシール面の平面度を感圧紙を用いて測定する測定治具であって、前記石英製品をそのシール面を露出させた状態で固定する固定台と、前記石英製品のシール面に感圧紙を位置させる感圧紙案内部と、前記石英製品のシール面に感圧紙を所定の圧力で当接させる平らな当接体を有する押圧機構とを備えたことを特徴とする測定治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、処理装置、処理装置の製造方法、処理装置における石英製品の製造方法及び測定治具に係り、特に石英製品における鏡面加工のシール面の平面度を測定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造においては、被処理体例えば半導体ウエハに、酸化、拡散、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）などの処理を施すために、各種の処理装置（半導体製造装置）が用いられている。そして、その一つとして、一度に多数枚の被処理体の処理例えば熱処理が可能なバッチ式の処理装置例えば縦型熱処理装置が知られている。
【０００３】
この縦型熱処理装置は、下端が開口された石英製の処理容器内に多数枚の被処理体を保持した保持具を収容して開口を蓋体で密閉し、処理容器の周囲に設けたヒータにより被処理体を加熱して所定の処理ガス雰囲気下で所定の熱処理を行うようになっている（例えば、特開２００３−２５７９５８号公報参照）。処理容器２、下端に開口（炉口）を有すると共に、下端側の外周にフランジ部を有し、該フランジ部が金属製のフランジ押えによって支持されている。前記処理容器の開口端には蓋体が当接されて閉塞される。前記蓋体は金属製例えばステンレス製であり、蓋体には処理容器の開口端との間をシールするための気密材として耐熱樹脂製のＯリングが取付溝を介して取付けられている。
【０００４】
しかしながら、このような縦型熱処理装置においては、金属製の蓋体の内面（上面）が処理容器内に暴露されているため、蓋体の内面が腐食性を有する処理ガスによって腐食する可能性や、被処理体への金属汚染の可能性がある。また、前記処理容器の開口端と蓋体との間にＯリングが挟まれているため、処理容器内の真空引き時にＯリングからアウトガスが発生して処理容器内に吸い込まれ、被処理体への汚染源になる可能性をある。
【０００５】
そこで、本出願人は、これらの課題を解決するために、蓋体を石英製にした（例えば処理容器の開口端に当接する内側蓋部を石英製にした）縦型熱処理装置を先に出願した（特願２００４−４６７２９号、未公開）。この場合、図１３に示すように、処理容器２と蓋体７の当接面（接合面）１６，１７間をシール（封止）するために、当接面（シール面ともいう）１６，１７に鏡面加工を施し、該鏡面加工のシール面同士を密着させてシール部（これを鏡面シール部という。）を形成する鏡面シール構造を採用する。この鏡面シール部のシール性を高めるためにはシール面１６，１７に高い平面度が要求される。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−２５７９５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、鏡面加工において、被加工面（シール面）をガス焼きにより滑らかに仕上げる場合、バーナーの火を勢いよく当てすぎてシール面１６，１７のエッジ側に突出部分（盛上り部）７０が発生することが考えられる。一方、平面度を測定する手段としては、例えば表面粗さ計や三次元測定器などがある。
【０００８】
しかしながら、これらの測定器は部分的な測定には適するが、前述したような処理装置における処理容器や蓋体のシール面の測定ではシール面が比較的大径の環状であることから、シール面全周を一度に測定することは難しい。そのため、シール面全周において基準面から突出している突出部分を検出して削除することが難しいため、処理容器と蓋体の鏡面シール部において突出部分に起因するシール性のバラツキが発生し、被処理体の処理の均一性例えば膜厚の均一性を悪化させる可能性がある。また、前記突出部分により傷、欠け、ひび、割れなどが発生し、パーティクルの発生源になる可能性がある。
【０００９】
本発明は、上記事情を考慮してなされたものであり、鏡面シール部のシール面の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる処理装置、処理装置の製造方法、処理装置における石英製品の製造方法及び測定治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明のうち、請求項１記載の処理装置は、被処理体を収容して所定の処理を行う処理部が石英製品からなり、該石英製品が鏡面加工のシール面同士を密着させる鏡面シール部を有する処理装置であって、前記石英製品のシール面の平面度を感圧紙を用いて測定し、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品を選択的に使用してなることを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記石英製品が、下端が開口された処理容器と、該処理容器の開口端に当接される蓋体であることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記感圧紙が、重ね合わされた２枚のシートからなり、一方のシートの内面にはマイクロカプセルに詰めた発色剤を塗布した発色剤層が設けられ、他方のシートの内面には顕色剤を塗布した顕色剤層が設けられている圧力測定フイルムであることを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の処理装置の製造方法は、被処理体を収容して所定の処理を行う処理部が石英製品からなり、該石英製品が鏡面加工のシール面同士を密着させる鏡面シール部を有する処理装置の製造方法であって、前記石英製品のシール面の平面度を感圧紙を用いて測定する測定工程と、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品を選択して組立てる組立工程とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項５記載の処理装置の製造方法は、請求項４記載の処理装置の製造方法において、前記測定結果が予め定められた範囲を超えた石英製品である場合、該石英製品のシール面を再度鏡面加工することを特徴とする。
【００１５】
請求項６記載の処理装置の製造方法は、請求項４又は５記載の処理装置の製造方法において、前記鏡面加工が、石英製品のシール面を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げする仕上工程とを有することを特徴とする。
【００１６】
請求項７記載の処理装置における石英製品の製造方法は、被処理体を収容して所定の処理を行う処理装置に使用される鏡面加工のシール面を有する石英製品を製造する方法であって、石英製品のシール面を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げる仕上工程と、仕上げられたシール面に感圧紙を平面で押圧してシール面の平面度を測定する工程と、その測定結果が予め定められた範囲内か否かにより石英製品が良品か否かを判定する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
請求項８記載の処理装置における石英製品の製造方法は、請求項７記載の処理装置における石英製品の製造方法において、前記測定結果が予め定められた範囲を超えた石英製品である場合、該石英製品のシール面を再度鏡面加工することを特徴とする。
【００１８】
請求項９記載の処理装置における石英製品の製造方法は、請求項７又は８記載の処理装置における石英製品の製造方法において、前記鏡面加工が、石英製品のシール面を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げる仕上工程とを有することを特徴とする。
【００１９】
請求項１０記載の測定治具は、被処理体を収容して所定の処理を行う処理装置の処理部を構成する石英製品の鏡面シール部のシール面の平面度を感圧紙を用いて測定する測定治具であって、前記石英製品をそのシール面を露出させた状態で固定する固定台と、前記石英製品のシール面に感圧紙を位置させる感圧紙案内部と、前記石英製品のシール面に感圧紙を所定の圧力で当接させる平らな当接体を有する押圧機構とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１記載の処理装置によれば、被処理体を収容して所定の処理を行う処理部が石英製品からなり、該石英製品が鏡面シール部を有する処理装置であって、前記石英製品の鏡面シール部のシール面の平面度を感圧紙を用いて測定し、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品を選択的に使用してなるため、鏡面シール部のシール面の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００２１】
請求項２記載の処理装置によれば、前記石英製品が、下端が開口された処理容器と、該処理容器の開口端に当接される蓋体であるため、これら処理容器と蓋体のシール面の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００２２】
請求項３記載の処理装置によれば、前記感圧紙が、重ね合わされた２枚のシートからなり、一方のシートの内面にはマイクロカプセルに詰めた発色剤を塗布した発色剤層が設けられ、他方のシートの内面には顕色剤を塗布した顕色剤層が設けられている圧力測定フイルムであるため、石英製品のシール面の平面度を容易に測定することができ、また、石英製品である処理容器のシール面に発色剤が付着して被処理体への汚染源になるのを防止できる。
【００２３】
請求項４記載の処理装置の製造方法によれば、被処理体を収容して所定の処理を行う処理部が石英製品からなり、該石英製品が鏡面シール部を有する処理装置の製造方法であって、前記石英製品の鏡面シール部のシール面の平面度を感圧紙を用いて測定する測定工程と、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品を選択して組立てる組立工程とを備えているため、鏡面シール部のシール面の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００２４】
請求項５記載の処理装置の製造方法によれば、前記測定結果が予め定められた範囲を超えた石英製品である場合、該石英製品のシール面を再度鏡面加工するため、シール面の突出部分を容易に検出して削除することができ、鏡面シール部のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、突出部分に起因する傷や欠け等を防止でき、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００２５】
請求項６記載の処理装置の製造方法によれば、前記鏡面加工が、石英製品のシール面を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げする仕上工程とを有するため、石英製品のシール面を容易に鏡面加工することができ、鏡面シール部のシール性の向上が図れる。
【００２６】
請求項７記載の処理装置における石英製品の製造方法によれば、被処理体を収容して所定の処理を行う処理装置に使用される鏡面加工のシール面を有する石英製品を製造する方法であって、石英製品のシール面を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げる仕上工程と、仕上げられたシール面に感圧紙を平面で押圧してシール面の平面度を測定する工程と、その測定結果が予め定められた範囲内か否かにより石英製品が良品か否かを判定する工程とを備えているため、シール面の平面度の高い石英製品が容易に得られる。
【００２７】
請求項８記載の処理装置における石英製品の製造方法によれば、前記測定結果が予め定められた範囲を超えた石英製品である場合、該石英製品のシール面を再度鏡面加工するため、シール面の突出部分を容易に検出して削除することができ、鏡面シール部のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、突出部分に起因する傷や欠け等を防止でき、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００２８】
請求項９記載の処理装置における石英製品の製造方法によれば、前記鏡面加工が、石英製品のシール面を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げる仕上工程とを有するため、石英製品のシール面を容易に鏡面加工することができ、鏡面シール部のシール性の向上が図れる。
【００２９】
請求項１０記載の測定治具によれば、被処理体を収容して所定の処理を行う処理装置の処理部を構成する石英製品の鏡面シール部のシール面の平面度を感圧紙を用いて測定する測定治具であって、前記石英製品をそのシール面を露出させた状態で固定する固定台と、前記石英製品のシール面に感圧紙を位置させる感圧紙案内部と、前記石英製品のシール面に感圧紙を所定の圧力で当接させる平らな当接体を有する押圧機構とを備えているため、鏡面シール部のシール面の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を基に詳述する。図１は本発明の実施の形態に係る処理装置の概略構成を示す縦断面図である。
【００３１】
図１において、１は処理装置として例示した縦型熱処理装置で、この縦型熱処理装置１は被処理体を収容して所定の処理を行う処理部として多数枚の被処理体例えば半導体ウエハｗを収容して所定の熱処理を行う処理容器２を備えている。この処理容器２は、耐熱性及び耐食性を有する石英（石英ガラス）により形成されている。処理容器２は、上端がドーム状、具体的には逆漏斗状に形成されており、下端が炉口３として開口している。前記処理容器２の開口端側外周部にはフランジ部４が設けられ、該フランジ部４がフランジ押え５を介して図示しないベースプレートに固定されている。
【００３２】
処理容器２の頂部中央にはＬ字状の排気管部６が形成され、この排気管部６には処理容器２内を所定の圧力例えば１３３Ｐａ程度に減圧可能な排気系の排気管が接続されている。前記処理容器２の周囲には処理容器２内を所定の温度例えば３００〜１２００℃に加熱制御可能な円筒状のヒーター（図示省略）が設けられている。
【００３３】
処理容器２の下方には、処理容器２の炉口（下端開口）３を開閉する蓋体７が図示しない昇降機構により昇降可能に設けられている。該蓋体７の上方には複数例えば２５〜１００枚程度のウエハｗを上下方向に所定の間隔で多段に保持する保持具としての石英製のボート８が設けられている。このボート８は下部中央部に支柱９を有し、該支柱９が蓋体７の中央部に設けられた回転導入機構１０の回転軸部１１に接続されている。前記蓋体７の中央部には炉口３からの放熱を抑制する断熱手段としてサーモプラグ１２が前記支柱９と干渉しない状態で設けられている。このサーモプラグ１２は蓋体７上に立設される複数本の脚柱１３と、これら脚柱１３の上端部に略水平に設けられた面状発熱体からなる下部ヒーター１４と脚柱１３に高さ方向に所定間隔で配設された複数枚の遮熱板１５とから主に構成されている。
【００３４】
前記蓋体７は、石英製である。具体的には、蓋体７は、前記処理容器２の開口端である当接面（シール面）１６に当接される石英製の内側蓋部７ａと、該内側蓋部７ａの外面を覆う金属製の外側蓋部７ｂとからなっている。前記内側蓋部７ａの上端外周部は前記処理容器２の開口端外周部よりも内側に形成されている。前記内側蓋部７ａの中央部には前記回転軸部１１を挿通するボス部１８が下向きに形成されている。内側蓋部７ａの周縁部には、前記処理容器２の開口端である当接面（シール面）１６に当接する環状の当接面（シール面）１７が上方に突出して形成されている。また、内側蓋部７ａの外周下側にはフランジ部１９が形成されている。
【００３５】
前記外側蓋部７ｂの中央部には前記ボート８を回転するための回転導入機構１０が設けられている。この回転導入機構１０は前記外側蓋部７ｂの下面に固定されるフランジ部２０と、該フランジ部２０の中央から上方に突出した回転軸部１１とを有している。前記内側蓋部７ａのボス部１８の下端部と前記回転導入機構１０のフランジ部２０との間には、これらの間をシールするＯリング２１が設けられている。
【００３６】
外側蓋７ｂの周縁部には環状の立ち上がり部２２が形成され、この立ち上がり部２２の上面に前記内側蓋部７ａのフランジ部１９が耐熱樹脂製のシートを介して載置されている。また、前記立ち上がり部２２には内側蓋部７ａのフランジ部１９を固定するための環状のフランジ押え２３がネジにより着脱自在に取付けられている。このフランジ押え２３の上端部には、処理容器２の開口端下面とに接してこれらの間をシールする耐熱樹脂製例えばテフロン（登録商標）製Ｏリング２４が設けられている。フランジ押え２３にはＯリング２４を冷却する冷媒通路（例えば冷却水通路）２５が設けられている。
【００３７】
前記内側蓋部７ａと前記外側蓋部７ｂの間には環状の中空室２６が形成され、この中空室２６内には内側蓋部７ａを加温する面状のヒーター２７が設けられている。外側蓋部７ｂの前記ヒーター２７と対応する部分には冷媒通路２８が設けられている。なお、処理容器２の下側壁部又はフランジ部４には処理容器内に処理ガスや不活性ガス（例えばＮ２）を導入するガス導入ポート（図示省略）が設けられている。
【００３８】
前記処理容器２と蓋体７の石英製品同士の当接面（接合面）１６，１７間をシール（封止）するために、当接面（シール面ともいう）１６，１７に鏡面加工が施され、鏡面加工のシール面同士を密着させてシールする鏡面シール部３０が構成されている。
【００３９】
前記縦型熱処理装置１においては、前記石英製品である処理用容器２と蓋体７（実施例の場合内側蓋部７ａ、以下同様。）のシール面１６，１７の平面度を感圧紙３１を用いて測定し、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品２，７ａを選択的に使用して構成されている。換言すれば、前記縦型熱処理装置１の製造方法においては、石英製品である処理用容器２と蓋体７のシール面１６，１７の平面度を感圧紙３１を用いて測定する測定工程と、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品２，７ａを選択して組立てる組立工程とを備えている。また、縦型熱処理装置１における石英製品２，７ａの製造方法においては、石英製品２，７ａのシール面１６，１７を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げる仕上工程と、仕上げられたシール面に感圧紙３１を平面で押圧してシール面の平面度を測定する工程と、その測定結果が予め定められた範囲内か否かにより石英製品２，７ａが良品か否かを判定する工程とを備えている。
【００４０】
シール面１６，１７の平面度を感圧紙３１を用いて測定する方法を概念的に説明すると、図２に示すように、上面が平坦な定盤３２と処理容器２の開口端であるシール面１６との間に感圧紙３１を挟み込み、処理容器２の開口端すなわちシール面１６を感圧紙３１を介して定盤３２に所定の圧力（押圧力）で押し付けることにより圧力分布すなわち平面度を測定する。蓋体７のシール面１７の平面度を測定する場合には、前記処理容器２を蓋体７に置き換えればよい。
【００４１】
感圧紙３１としては、図３に示すように、重ね合わされた２枚のシート３１ａ，３１ｂからなり、一方のシート（Ａフイルム）３１ａの内面にはマイクロカプセルに詰めた発色剤を塗布した発色剤層３３が設けられ、他方のシート（Ｂフイルム）３１ｂの内面には顕色剤を塗布した顕色剤層３４が設けられている、圧力測定フイルム（富士写真フイルム社製  富士プレスケール）であることが好ましい。圧力測定フイルムの種類としては、測定可能圧力ないし押圧力が例えば２〜６ｋｇｆ/ｃｍ２程度の極低圧用が好ましい。
【００４２】
発色の原理は、発色剤層３３のマイクロフイルムが圧力によって破壊され、その中の発色剤が顕色材層３４の顕色材に吸着され、化学反応で赤く発色する。前記圧力測定フイルム３１によれば、他方のシート３１ｂの内面に圧力に応じた濃度で発色する。シール面１６，１７の平面度が高い場合には、圧力分布が均一であるため、シート３１ｂの内面にシール面と同じ範囲で均一に薄く発色するか全く発色しない（この状態を予め定められた範囲内とする）。シール面１６，１７の平面度が低い場合、すなわちシール面１６，１７に突出部分とかうねりがある場合には、圧力分布が不均一であるため、シート３１ｂの内面に突出部分と対応して部分的に濃く発色したり或いは斑に発色する（この状態を予め定められた範囲を超えた場合とする）。換言すれば、シート３１ｂの発色度合ないし圧力分布を見るだけでシール面１６，１７の平面度を測定ないし評価することができる。
【００４３】
前記測定結果が予め定められた範囲を超えた石英製品である場合、該石英製品（処理容器又は蓋体）のシール面１６又は１７を再度鏡面加工する。この鏡面加工は、石英製品のシール面１６又は１７を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げする仕上工程とからなる。研磨工程では、定磐の上に研磨剤を振り掛け、石英製品のシール面を定磐上で摺動させて研磨すればよい。
【００４４】
このように構成された縦型熱処理装置１によれば、被処理体ｗを収容して所定の処理を行う処理部が石英製品からなり、該石英製品が鏡面シール部３０を有する縦型熱処理装置であって、前記石英製品の鏡面シール部３０のシール面１６，１７の平面度を感圧紙３１を用いて測定し、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品を選択的に使用してなるため、鏡面シール部３０のシール面１６，１７の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部３０のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、突出部分による傷や欠け等を防止できるのでパーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００４５】
前記石英製品が、下端が開口された処理容器２と、該処理容器２の開口端に当接される蓋体７であるため、これら処理容器２と蓋体７のシール面１６，１７の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部３０のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００４６】
前記感圧紙３１が、重ね合わされた２枚のシート３１ａ，３１ｂからなり、一方のシートの内面にはマイクロカプセルに詰めた発色剤を塗布した発色剤層３３が設けられ、他方のシート３１ｂの内面には顕色剤を塗布した顕色剤層３４が設けられている圧力測定フイルムであるため、石英製品のシール面１６，１７の平面度を容易に測定することができ、また、石英製品である処理容器２や蓋体７のシール面１６，１７に発色剤が付着して被処理体ｗへの汚染源になるのを防止できる。
【００４７】
また、縦型熱処理装置１の製造方法によれば、被処理体ｗを収容して所定の処理を行う処理部が石英製品からなり、該石英製品が鏡面シール部３０を有する縦型熱処理装置１の製造方法であって、前記石英製品の鏡面シール部３０のシール面１６，１７の平面度を感圧紙３１を用いて測定する測定工程と、その測定結果が予め定められた範囲内の石英製品を選択して組立てる組立工程とを備えているため、鏡面シール部３０のシール面１６，１７の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部３０のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００４８】
前記測定結果が予め定められた範囲を超えた石英製品である場合、該石英製品のシール面１６，１７を再度鏡面加工するため、シール面１６，１７の突出部分７０（図１３参照）を容易に検出して再鏡面加工により削除することができ、鏡面シール部３０のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、突出部分に起因する傷や欠け等を防止でき、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００４９】
前記鏡面加工が、石英製品のシール面１６，１７を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面１６，１７をガス焼きにより仕上げする仕上工程とを有するため、石英製品のシール面１６，１７を容易に鏡面加工することができ、鏡面シール部３０のシール性の向上が図れる。
【００５０】
石英製品２，７の製造方法によれば、石英製品２，７のシール面１６，１７を研磨する研磨工程と、研磨されたシール面をガス焼きにより仕上げる仕上工程と、仕上げられたシール面に感圧紙３１を平面で押圧してシール面の平面度を測定する工程と、その測定結果が予め定められた範囲内か否かにより石英製品２，７が良品か否かを判定する工程とを備えているため、シール面の平面度の高い石英製品を容易に得ることができる。
【００５１】
図４は測定治具を用いた処理容器の測定状況を示す概略的側面図、図５は同概略的正面図、図６は同概略的平面図、図７は測定治具の押圧機構の押圧力を解除したときの状態を示す概略的側面図、図８は測定治具を用いた蓋体の測定状況を示す概略的側面図である。
【００５２】
この測定治具３５は、処理装置１の処理部を構成する石英製品例えば処理容器２、蓋体７の鏡面シール部３０のシール面１６，１７の平面度を感圧紙３０を用いて測定するための測定装置で、前記石英製品をそのシール面１６，１７を露出させた状態で固定する固定台３６と、前記石英製品のシール面に感圧紙３１を位置させる感圧紙案内部３７と、前記石英製品のシール面１６，１７に感圧紙３１を所定の圧力で当接させる平らな当接体３８を有する押圧機構３９とを備えている。固定台３６は、ベース部である底板４０と、該底板４０の上部に４本の支柱４１を介して所定高さ位置に水平に支持固定された台板４２とからなる。底板４０には移動用のキャスター４３と、固定用のジャッキ４４が設けられていることが好ましい。
【００５３】
台板４２には、例えば処理容器２のシール面１６を下に向けて露出させ得る円形の開口部４５と、処理容器２のフランジ部４を支持可能な環状の支持受け部４６とが形成されている。台板４２上における支持受け部４６の周りには処理容器２のフランジ部４を上方から押えて支持受け部４６との間でクランプ可能な手動式のクランプ機構４７が適宜例えば４つ配設されている。また、台板４２上における支持受け部４６の周りには処理容器２のフランジ部４を四方から規制する処理容器ガイド４８が配設されている。
【００５４】
感圧紙案内部３７は、台板４２の下部に感圧紙（圧力測定フイルム）３１を挿入し得る所定の隙間を存して配置された水平のガイド板からなり、前記台板４２の開口部４５と対応する円形の開口部（図示省略）有している。感圧紙案内部３７により感圧紙３１を図４の左方から右方へ水平に挿入して処理容器２のシール面１６の下部にセットすることができる。
【００５５】
押圧機構３９は、本実施の形態では手動式に構成されている。この押圧機構３９は、前記底板４０上の中央部に支持台４９を介して設けられた軸受（ボールスプライン軸受）５０に昇降自在に支持された出力軸５１と、底板４０上に軸受５２を介して回動自在に設けられた水平の回動軸５３と、該回動軸５３の一端に設けられて回動軸５３を手動で回動操作するためのハンドルレバー５４と、回動軸５３の他端と出力軸５１の間に連設され回動軸５３の回動力を垂直上方向の押圧力に変換する第１リンク５５ａ及び第２リンク５５ｂからなるリンク機構５５とを有している。
【００５６】
前記出力軸５１から前記当接体３８に押圧力を均一に伝えるために、出力軸５１の上端部には出力板５６がボールジョイント５７を介して揺動自在に設けられ、該出力板５６には複数例えば４本のガイドロッド５８及びスプリング５９を介して当接体３８が揺動自在に設けられている。該当接体３８は、処理容器２のシール面１６に対応して環状に形成されている。当接体３８の当接面の幅はシール面１６と同じ幅か若干大きい幅とされている。図４において、６０，６１は第１リンク５５ａの回動範囲を規制する規制部材（ストッパー）であり、ハンドルレバー５４を作動位置に操作したときに第１リンク５５ａが思案点を越えた位置で規制部材６１に係止されることにより作動位置に保持され、勝手に待機位置側に戻らないようになっている。
【００５７】
シール面１６の面圧測定を行う場合には、先ず処理容器２を持ち上げて固定台３６上にセットする。その場合、処理容器２のフランジ部４を台板４２の支持受け部４６に載置し、フランジ部４をクランプ機構４７によりクランプして固定する。次に、感圧紙案内部３７により感圧紙３１を挿入してセットする。この時、図７に示すように、ハンドルレバー５４は待機位置にあり、当接体３８は処理容器２のシール面１６から離れた退避位置にある。前記ハンドルレバー５４を図４に示すように作動位置に回動操作すると、回動軸５３、リンク機構５５、出力軸５１、ボールジョイント５７、出力板５６及びスプリング５９を介して当接板３８に押圧力が伝わり、当接板３８が感圧紙３１を介して処理容器２のシール面１６に対して均一に押圧される。押圧力は、ハンドル５４の操作力にハンドルレバー５４と第１リンク５５ａのレバー比（ハンドルレバーの長さ／第１リンクの長さ）を乗じたものとなって作用する。
【００５８】
このようにしてシール面１６の面圧測定が行われ、面圧測定が終わったら、ハンドルレバー５４を待機位置に戻して当接体３８をシール面１６から下方に退避させ（図７参照）、感圧紙３１を抜き取り、クランプ機構４７を解除して処理容器２を測定治具３５から取り外す。なお、測定治具３５においては処理容器２と感圧紙３１が所定の方向に位置決めされ、感圧紙３１の発色面と処理容器２のシール面１６の周方向の位置が対応し、例えば感圧紙で濃度の濃いポイントを検出した場合、その位置で処理容器２のシール面１６上の対応する位置に突出部分があることが判る。測定の結果、感圧紙３１にリング状の薄い均一の発色が現れているか全く発色していなければ、予め定められた範囲内であり、シール面１６が高い平面度であるという評価が得られる。一方、感圧紙に濃度の濃いポイントや斑模様ないし不均一な発色が現れていれば、予め定められた範囲を逸脱しており、シール面１６に突出部分があったり、凹凸やうねりがあったりしてシール面１６が低い平面度であるという評価（測定結果）が得られる。
【００５９】
図８に示すように前記測定治具３５で蓋体７すなわち内側蓋部７ａのシール面１７の面圧測定を行う場合には、内側蓋部７ａをシール面１７を下にしてセットする。この場合、内側蓋部７ａの外径が台板４２の開口部４５の内径よりも小さくて支持受け部４６に直接支持できないため、支持受け部４６に内側蓋部７ａの周縁下面部を支持する第１補助リング６２を取付け、更に内側蓋部７ａの周縁上面部に第２補助リング６３を取付けて、該第２補助リング６３をクランプ機構４７で押え付けるようになっている。なお、測定前に予め内側蓋部７ａに第１補助リング６２及び第２補助リング６３を取付けておいても良い。この場合、第１補助リング６２と第２補助リング６３の間にスぺーサ６４を挟み、第１補助リング６２と第２補助リング６３を互いにねじで連結しておくことが好ましい。
【００６０】
このように測定治具３５によれば、被処理体ｗを収容して所定の処理を行う処理装置１の処理部を構成する石英製品２，７の鏡面シール部３０のシール面１６，１７の平面度を感圧紙３１を用いて測定する測定治具であって、前記石英製品をそのシール面１６，１７を露出させた状態で固定する固定台３６と、前記石英製品のシール面に感圧紙３１を位置させる感圧紙案内部３７と、前記石英製品のシール面に感圧紙３１を所定の圧力で当接させる平らな当接体３８を有する押圧機構３９とを備えているため、鏡面シール部３０のシール面１６，１７の平面度をシール面全周にわたり一度に容易に測定することができ、鏡面シール部３０のシール性の向上及び処理の均一性の向上が図れ、パーティクルの発生源になる可能性を排除できる。
【００６１】
測定治具３５を用いて面圧の測定を行った結果、判定ないし評価が微妙な場合には、図９ないし図１０に示すように表面粗さ計６５を用いてシール面１６，１７の断面形状を測定する。表面粗さ計６５は重力方向に臨んだ接触子６５ａを有し、該接触子６５ａをシール面１６，１７に接触させた状態で半径方向に移動させることによりシール面１６，１７の断面形状を測定できる。
【００６２】
処理容器２のシール面１６の測定を行う場合には、図９に示すように、上下を逆にした処理容器２のフランジ部４にベースプレート６６を載置し、該ベースプレート６６上に平面粗さ計６５をセットして測定を行う。内側蓋部７ａのシール面１７の測定を行う場合には、図１０に示すように、第１べースプレート６７上に内側蓋部７ａをシール面１７を上にして載置し、更に第１ベースプレート６７上に第２ベースプレート６８を載置し、該第２ベースプレート６８上に平面粗さ計６５をセットして測定を行う。
【００６３】
表面粗さ計６５による測定は、シール面１６，１７の周方向の複数個所例えば８箇所で行うことが好ましい。また、前記感熱紙３１を用いた測定で平面度が疑われる箇所を表面粗さ計６５で測定する。これによりシール面１６，１７における突出部分やうねり等を測定することができる。また、測定結果により予め定められた範囲内であれば、その石英製品を選択して処理装置を組立てる。このように石英製品のシール面の精度管理を行うようにしたので、従来の処理装置では図１２の（ａ）に示すようにキャップのシール面や、同図の（ｂ）に示すように処理容器のシール面に、突出部分がある場合があり、シール性のばらつきが生じる可能性があるのに対し、本実施の形態によれば、図１１の（ａ）に示すようにキャップのシール面や、同図の（ｂ）に示すように処理容器のシール面に、突出部分がなくなり、シール性のばらつきが生じなくなり、処理の均一性の向上が図れる。
【００６４】
以上、本発明の実施の形態ないし実施例を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態ないし実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、測定治具における押圧機構は手動式が簡易で好ましいが、電動式や油圧式ないし空圧式であっても良い。処理装置としては、多数枚の被処理体を一度に処理するバッチ式に限定されず、被処理体を一枚ずつ処理する枚葉式であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施の形態に係る処理装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】処理容器の接合面の平面度を感圧紙を用いて測定する方法を概念的に説明するための図である。
【図３】感圧紙の構造を概略的に示す図である。
【図４】測定治具を用いた処理容器の測定状況を示す概略的側面図である。
【図５】同概略的正面図である。
【図６】同概略的平面図である。
【図７】測定治具の押圧機構の押圧力を解除したときの状態を示す概略的側面図である。
【図８】測定治具を用いた蓋体の測定状況を示す概略的側面図である。
【図９】表面粗さ計を用いた処理容器の測定状況を概略的に示す図である。
【図１０】表面粗さ計を用いた蓋体の測定状況を概略的に示す図である。
【図１１】本実施の形態の測定データを示す図である。
【図１２】従来の測定データを示す図である。
【図１３】石英製品の接合面における不具合を説明する図である。
【符号の説明】
【００６６】
１  縦型熱処理装置
ｗ  半導体ウエハ（被処理体）
２  処理容器
７  蓋体
１６，１７  シール面
３０  鏡面シール部
３１  感圧紙
３３  発色剤層
３４  顕色剤層
３５  測定治具
３６  固定台
３７  感圧紙案内部
３９  押圧機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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