【手続補正書】
【提出日】平成18年12月4日(2006.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】  明細書
【発明の名称】  準波長域の開口を備えたレンズを有する光ファイバ及び独特のマイクロピペット
【特許請求の範囲】
【請求項１】  テーパー化された又はテーパーのない光ファイバあるいはマイクロピペットの先端に配置されたレンズに、数十ナノメートル又はその前後の開口を備えた複合構造体を製造する方法であって、
上記光ファイバ又はマイクロピペットの先端に対向して適切に配置されたレーザビームを使用して、これらの構造体の先端を溶融して有効なレンズを形成し、該レンズは、被覆方法又は金属除去が可能な高エネルギービームを用いる方法によって光ファイバ先端を被覆して開口を形成でき、又はこの方法を使用して、肉厚な周囲壁に囲まれた数十ナノメートルまたはその前後の開口を有するマイクロピペットを形成し、この構造体が被覆、又は未被覆である、複合構造体の製造方法。
【請求項２】  複合構造体が、同時力検出のために片持ち梁にされた構造体であることを特徴とする請求項１記載の複合構造体の製造方法。
【請求項３】  複合構造体が、力検出器及びトンネリング用の高解像度点を形成するために、先端に成長させた凹凸を有することを特徴とする請求項１記載の製造方法。
【請求項４】  複合構造体が、力検出器及びトンネリング用の高解像度点を形成するために、先端に成長させた凹凸を有することを特徴とする請求項２記載の製造方法。
【請求項５】  力検出器内の良好な反射のために、小さい鏡が片持ち梁の上に配置されていることを特徴とする請求項２記載の製造方法。
【請求項６】  力検出器内の良好な反射のために、小さい鏡が片持ち梁の上に配置されていることを特徴とする請求項４記載の製造方法。
【請求項７】  テーパー化された又はテーパーのない光ファイバあるいはマイクロピペットの先端に配置されたレンズに、数十ナノメートル又はその前後の開口を備えた複合構造体の装置であって、
上記光ファイバ又はマイクロピペットの先端に対向して適切に配置されたレーザビームを使用して、これらの構造体の先端を溶融して有効なレンズを形成し、該レンズは、金属被覆方法又は金属除去が可能な高エネルギービームを用いる方法によって光ファイバ先端を被覆して開口を形成でき、又は肉厚な周囲壁に囲まれた数十ナノメートルまたはその前後の開口を有するマイクロピペットの装置を形成し、この構造体が被覆、又は未被覆である、複合構造体の装置。
【請求項８】  複合構造体が、同時の力検出のために片持ち梁化された構造体であることを特徴とする請求項７記載の装置。
【請求項９】  複合構造体が、力検出器及びトンネリング用の高解像度点を形成するために、先端に成長させた凸凹を有することを特徴とする請求項７記載の装置。
【請求項１０】  複合構造体が、力検出器及びトンネリング用の高解像度点を形成するために、先端に成長させた凸凹を有することを特徴とする請求項８記載の装置。
【請求項１１】  力検出器内の良好な反射のために、小さい鏡が片持ち梁の上に配置されていることを特徴とする請求項８記載の装置。
【請求項１２】  力検出器内の良好な反射のために、小さい鏡が片持ち梁の上に配置されていることを特徴とする請求項１０記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
準波長域の開口に対する必需性が、近接場光学による準波長域（subwavelength）の光学像及びナノ構造体にから、マイクロピペットに形成した準波長域の開口による細胞生物学の電気的測定に至る、多くの科学分野及び技術分野に広がっている。本発明の技術分野は、光ファイバの先端に準波長域の開口などを形成する方法に関し、ここで光ファイバの開口はレンズとしても働く。また本発明の技術分野は、数十ナノメートルの微小な開口を有し、肉厚が１ｍｍ程度の厚さのマイクロピペットを形成する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
準波長域の開口を形成するための新しい方法が開発されるひとつの理由とは、近接場光学の分野が今日の科学と技術において急成長する領域だからである。以前は近接場光学の開口を成形する最も有効な方法は、テーパー化されたガラスの技術を用いるものであって、その技術とはテーパー化されたガラス構造体の先端における準波長域を提供するためのものであった。テーパー化されたガラス構造体は先端に準波長域の開口を形成するために、金属で被覆されていた。（A. Harootunian, E. Betzig, M. S. Isaacson, and A. Lewis, Appl. phys. lett. 49,674(1986); A. Lewis, M. Isaacson, E. Betzig,and A. Harootunian, 米国特許第４９１７４６２号；公開日 １９９０年４月１７日）。これらの方法は、テーパー化されたマイクロピペットの製造に使用することができ、またテーパー化された光ファイバ素子（fiber optic element）の製造にも用いることができ、そしてその光ファイバ素子には金属被覆されて準波長域の開口を形成する。これらの方法の改善することができる観点の１つは、光ファイバで用いられるには先端およびコア部のクラッドに対する比率が先細った角度をなしていることである。これには高い光伝達（high light transmissions）が必要である。何故なら、ビームがファイバのコアの中に可能な限り残りながらテーパー化された構造体を通して進行するとビームは準波長域寸法の最小領域を通りぬける（traverse）ということが重要だからである。この近接場光素子（near-field optical elements）の特性を改良するには、一般に２つの手順がある。第一の手順は、ファイバ先端のエッチングによる方法である（Jiang S. Ohsawa, H. Yamada, K. Pangaribuan, T. Chtsu, M. Imai, K. and Ikai, A., Jpn. J. Appl. Phys. 31,2282(1992);S.J. Bukofsky and R.D. Grober, Appl. Phys. Lett. 71,2749(1997)）。第二のアプローチは、初期引っ張り技術の修正版を使用することであった。（Galina Fish, Sophin Kokotov, Edward Khachatryan, Andrey Ignatov, Rimma Glazer, Anatoly Komissar, Yuri Haifez, Alina Strinkovsky, Aaron Lewis, and Klony Lieberman, イスラエル特許申請第１２０１８１号；提出日：１９９７年２月９日；ＰＣＴ受領日：１９９８年２月８日）。マイクロピペットでは微小開口が厚い壁を有するものとして製造することができなかった。それは、本発明によって達成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来、光ファイバ内の先端に準波長域の開口を有するレンズの形成へのアプローチは、なされていなかった。もしくは、マイクロピペットにおいて、数十ナノメートルもしくはその前後の寸法である開口の形成方法がなかった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、テーパー化されたもしくはテーパーのない光ファイバの先端において準波長域の開口を製造する方法である。ここで、光ファイバ先端の開口はレンズとしても機能する。この方法はまた、先端に小さい孔を有するマイクロピペットの製造方法を提供する。そのマイクロピペットは、開口とその先端の周りに厚い壁を有する。
【０００５】
【発明の実施の形態】
前述およびさらなる目的の特徴及び進歩性は、好ましい実施例の詳細な説明によって当業者にとって明らかになるだろう。好ましい実施例は添付の図面に描かれている。
【０００６】
本発明は、光ファイバの先端に、レンズと、準波長域（数十ナノメートルもしくはこのあたりの選択された寸法）の開口とを有する装置に関する。もしくは、孔が肉厚な壁で囲まれたガラスキャピラリーにおいて、数十ナノメートル、またはその前後の寸法の微小な孔がある装置に関する。また本発明はそのような装置の製作方法に関する。ある実施例においてこれらを達成するために、図１ａに示すようなガラス構造体（１０）、例えば標準のHarootunianとLewisの方法論によって、又はエッチングによってテーパー化された光ファイバや、図１ｂに示すようなテーパー化又はエッチングで形成されたファイバ構造体（１２）や、又は図１ｃに示すような他の実施例におけるマイクロピペット１４用の同様の構成物は、レーザビーム（１６）（図１ａ）、レーザビーム（１８）（図１ｂ）、又はレーザビーム（２０）（図１ｃ）の前に配置される。これらのレーザビームは、炭酸ガスレーザー（２２）により形成されたレーザビームもしくは他の適当なレーザビームである。レーザビームと、それに対応するガラス構造体とは、一軸上に配列される。例えば、テーパー化された構造体（１０）の先端（２４）がレーザビーム（１６）の焦点（２６）に配置される。同様に、ビーム（１８）は、焦点（３０）の位置で構造体（１２）の先端（２８）と一軸上に配置される。ビーム（２０）は、焦点（３４）の位置で構造体（１４）の先端（３２）と一軸上に配置される。そして、光ファイバ（１０）または（１２）（図２ａ）の場合には先端（２４）を溶融してレンズ（３６）に変えるために、また、マイクロピペット（１４）（図２ｂ）の場合には肉厚な壁を有する微小孔（３８）の構造体に変えるために、レーザビームを数秒の間発振する。そして、得られた光ファイバ装置（１０）（または（１２））は、先端には開口（４４）が開口したまま残されるように、金属（４２）で被覆される。または、装置１０を完全に被覆し、その後に集束イオンビームまたはフェムト秒レーザー２２のようなレーザーを使用して開口を形成する。マイクロピペット（１４）の場合（図２ｂ）、装置を被覆しないままでもよい。
【０００７】
原子間力顕微鏡用の構造体（１０）、（１２）または（１４）の端部に微細先端を形成するために、マイクロピペットまたは光ファイバのいずれにも、電気化学的に、もしくはイオンビームまたは電子ビームなどの技術によって、先端に凸凹を成長させることができる。さらに、レーザー光源は、光ファイバまたはマイクロピペットを加熱して、レンズ（３６）（図２ａ）のようなレンズを組み込んだ先端（５２）を有する曲がった片持ち梁の装置（５０）（図３）を形成するのにも使用できる。（K. Lieberman and A. Lewis、米国特許第５６７７９７８号で、発明の名称「曲がったプローブの顕微鏡」、公開：１９９７年１０月１４日）。また、本発明も共に動作可能な単純な付加に過ぎないが、原子間力顕微鏡に良好な反射表面を提供するために、レーザビームは平坦面（５４）を曲がった片持ち梁に結合するのにも利用できる。言いかえれば、これらの変更は本発明に適合するが、本発明は変更の有無に拘わらず利用できる。
【０００８】
【発明の効果】
上記の構造体は、レンズとしても準波長域の開口としても機能し、また、いままで知られていない複合的な様子にふるまうことも可能である。具体的に言うと、表面と開口のある先端との距離が増加したとき、実際に分解能が向上できるか、または、少なくとも近接場で維持されていたのと同程度の分解能を維持することが観察された。これは準波長域開口と画像化される対象物との距離が離れても、高い分解能を可能にするものであり、このようなことは今まで知られていない。さらに、近接場光学という点において重要な性質である開口の伝達効率（transmission efficiency）が増加していると思われ、そして準波長域の先端から出てくる伝達は、ファイバに入射された強度からほんの２桁程度の強度減少として測定された。さらに、これらのマイクロピペットは開口した高輝度Ｘ線源用として大変に有用であった。
【０００９】
近接場でのみ通常知られている高分解能の距離を長くできるこのような装置は応用する多くの分野がある。応用できる１つの分野は、情報記憶装置の分野で、ここで表面下の分解能を、従来知られてきた表面上と同程度の高分解能にすることができる。さらにマイクロチップ検査の分野において、マイクロチップの化学的及び機械的研磨技術があるとき、重要な構造体は表面下に位置しており、このような先端はそういった形状の結像に有用である。さらに、発光の高処理量を要求される近接場光学のどんな領域においても、これは重要な発明である。最後に、この構造体を備えたマイクロピペットは、例えば細胞（cell）の電気的性質を測定する間、細胞を固定するのに大変便利である。
【図面の簡単な説明】
【図１ａ】  本発明に係るガラス構造体のレンズに準波長域の開口を形成するための、ガラス構造体に対するレーザビームの配置の概略図である。
【図１ｂ】  本発明に係るガラス構造体のレンズに準波長域の開口を形成するための、ガラス構造体に対するレーザビームの配置の概略図である。
【図１ｃ】  本発明に係るガラス構造体のレンズに準波長域の開口を形成するための、ガラス構造体に対するレーザビームの配置の概略図である。
【図２ａ】  本発明に係る、レーザー処理を行った後の光ファイバの概略部分断面図である。
【図２ｂ】  本発明に係る、レーザー処理を行った後のマイクロピペットの概略部分断面図である。
【図３】  本発明に含まれる片持ち梁のガラス構造体の概略図である。