【手続補正書】
【提出日】平成19年3月13日(2007.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  半導体ウェーハを光学的に検査する装置であって、
前記ウェーハを支持するための、回転軸に関して回転可能なチャック（１０１）と、
前記ウェーハ上の測定領域を照明する測定ビームを生成するための光源と、
前記測定領域から反射された光を測定するための検出器（１４０）と、
前記測定領域を照明するために前記測定ビームを前記ウェーハに導くように動作可能な、前記ウェーハに関して直線軸（Ｙ）に沿って移動可能な光学ブレッドボード（１９５）と、
前記ウェーハ上のパターンを示す、前記ウェーハ（１１０）の表面の像を結像するように、及び測定のために前記ウェーハの選択された測定領域の位置を示すように構成された結像カメラ（１６０）と、を有することを特徴とする装置。
【請求項２】  請求項１に記載の装置において、前記光源は、光ファイバ（１０３）による伝送端によって画定されるものであり、前記伝送端は、光学ブレッドボード（１９５）に取り付けられ、それとともに移動するものであることを特徴とする装置。
【請求項３】  請求項２に記載の装置において、前記第１のブレッドボードの移動の軸（Ｙ）に垂直な直線軸（Ｘ）に沿って移動可能である第２のブレッドボード（１９７）をさらに含む装置。
【請求項４】  請求項３に記載の装置において、前記第１の光学ブレッドボードは、前記第２の光学ブレッドボード（１９７）が前記ウェーハに関して並進運動するときに、前記ファイバの前記伝送端と前記検出器の間の前記光の経路長が実質的に一定のままであるように、前記検出器（１４０）を移動させることを特徴とする装置。
【請求項５】  請求項１に記載の装置において、
前記光学ブレッドボードは、対物レンズアセンブリ（１９０）をさらに含み、前記結像カメラ（１６０）は前記対物レンズアセンブリを通した視野を有することを特徴とする装置。
【請求項６】  請求項５に記載の装置において、
前記第１の結像カメラより大きい視野を有する第２の結像カメラ（１５０）をさらに含む装置。
【請求項７】  請求項６に記載の装置において、
前記第２の結像カメラは、前記第１の結像カメラの中心軸から離れた部分を結像することを特徴とする装置。
【請求項８】  半導体ウェーハを製造する方法であって、
ウェーハプロセスステーションから、当該プロセスステーションと離れてはいるが連結されている、前記ウェーハを受け取り支持するための回転可能なチャック及び前記ウェーハを測定するための並進運動可能な測定ヘッドを含む計測ステーションに、処理されたウェーハを移動させるステップと、
前記表面の少なくとも１つの特徴を示す、前記表面の選択された測定領域の位置を示すために、カメラによって前記ウェーハの表面を結像するステップと、
前記カメラによって結像される前記選択された測定領域に合わされるべき前記ウェーハに関して前記測定ヘッドの対物レンズの位置を調節するステップと、
光源を前記並進運動可能な測定ヘッドに結合させる光ファイバを使用して、広帯域光ビームを前記ウェーハに導くステップと、
前記位置が調節された対物レンズを通して前記ウェーハから反射された広帯域光ビームのスペクトル内容の第１の測定値を取得するステップと、
前記第１の測定値に基づいて前記サンプルを評価するステップと、を有することを特徴とする方法。
【請求項９】  請求項８に記載の方法において、
前記ウェーハから反射されなかった前記広帯域光ビームのスペクトル内容の第２の測定値を取得するステップと、
システムの特性を修正するために前記第２の測定値を使用するステップと、をさらに含む方法。
【請求項１０】  請求項９に記載の方法において、
前記第１及び第２の測定値は同時に取得されることを特徴とする方法。
【請求項１１】  請求項８に記載の方法において、
前記広帯域光ビームを前記ウェーハに導く前記ステップは、前記広帯域光ビームのビーム経路に沿って位置するビームスプリッタを使用するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項１２】  サンプルを検査するための装置であって、
前記サンプルの表面から反射するように導かれた測定ビームを生成するための光源と、
前記測定ビームからの反射エネルギーをモニタするための検出器と、
前記装置に関しての前記サンプルの相対的な方向及び位置を決定するために、前記サンプルの広い視野を取得するための第１のカメラと、
前記測定ビームを選択された測定部分に正確に位置させることができるように、前記サンプルの狭い視野を取得するための第２のカメラと、を有することを特徴とする装置。
【請求項１３】  請求項１２に記載の装置において、
前記広い視野の領域は、前記狭い視野の領域の１００倍より大きいことを特徴とする装置。
【請求項１４】  請求項１２に記載の装置において、
前記光源は、前記測定ビームを生成する前記光源は、前記狭い視野のカメラのための照明を提供することを特徴とする装置。
【請求項１５】  請求項１４に記載の装置において、
別個のソリッドステートの光源が、前記広い視野のカメラのために提供されることを特徴とする装置。
【請求項１６】  請求項１４に記載の装置において、
前記反射された測定光は、ピンホールミラーに導かれ、前記ピンホールミラーを通して伝送される前記光は前記検出器によってモニターされ、前記ピンホールによって反射された前記光は、前記狭い視野のカメラによって結像されることを特徴とする装置。
【請求項１７】  請求項１２に記載の装置において、
前記光源は、ファイバを含み、前記装置は、前記ファイバの端と前記第１の光学アセンブリの間に位置する第２の光学アセンブリをさらに含み、前記第２の光学アセンブリは、前記サンプル上での前記光の均一性が改善するように、前記第１の光学アセンブリのほぼ入口の部分にあるファイバ出口アパーチャを結像するためのものであることを特徴とする装置。
【請求項１８】  サンプルを検査するための装置であって、
測定ビームを生成するための光源と、
前記測定ビームを前記サンプルの表面上のスポットへ、前記ビームがそこから反射するように焦点を結ばせるための光学アセンブリと、
前記測定ビームからの反射エネルギーをモニタするための検出器と、
前記焦点を結んだ測定ビームに関して前記サンプルを並進運動させる手段と、
前記装置に関しての前記サンプルの相対的な方向及び位置を決定するために、前記サンプルの広い視野を取得するための第１のカメラと、
前記並進運動させる手段を使用して、前記測定ビームを前記選択された測定部分に正確に位置させることができるように、測定ビームのスポットに実質的に合わされた前記サンプルの狭い視界を取得するための第２のカメラと、を含むことを特徴とする装置。
【請求項１９】  請求項１８に記載の装置において、
前記広い視野の領域は、前記狭い視野の領域の１００倍より大きいことを特徴とする装置。
【請求項２０】  請求項１８に記載の装置において、
前記焦点を結んだ測定ビームに関して前記サンプルを並進運動させる前記手段は、前記サンプルを支持するための回転可能なチャックを含むことを特徴とする装置。
【請求項２１】  請求項１８に記載の装置において、
前記焦点を結んだ測定ビームに関して前記サンプルを並進運動させる前記手段は、前記焦点を結ばせるための光学アセンブリを移動させる並進運動可能な光学的ブレッドボードを含むことを特徴とする装置。
【請求項２２】  請求項１８に記載の装置において、
前記測定ビームを生成するための前記光源は、前記狭い視野のカメラに照明を提供することを特徴とする装置。
【請求項２３】  請求項２２に記載の装置において、
別個のソリッドステートの光源が、前記広い視野のカメラのために提供されることを特徴とする装置。
【請求項２４】  請求項２２に記載の装置において、
前記反射された測定光は、ピンホールミラーに導かれ、前記ピンホールミラーを通して伝送される前記光は前記検出器によってモニターされ、前記ピンホールによって反射された前記光は、前記狭い視野のカメラによって結像されることを特徴とする装置。
【請求項２５】  請求項１８に記載の装置において、
前記光源は、ファイバを含み、前記装置は、前記ファイバの端と前記第１の光学アセンブリの間に位置する第２の光学アセンブリをさらに含み、前記第２の光学アセンブリは、前記サンプル上での前記光の均一性が改善するように、前記第１の光学アセンブリのほぼ入口の部分にあるファイバ出口アパーチャを結像するためのものであることを特徴とする装置。
【請求項２６】  サンプルから反射した光を検査デバイスで測定するための方法であって、前記検査デバイスは、測定ビームによって前記サンプルを照明するための光源及び前記サンプルから反射した光のエネルギーを検出するための検出器を含み、前記方法は、前記サンプルに関して前記測定ビームの位置決めを容易にするためのものであり、前記方法は、
比較的広い視野にわたって前記サンプルの第１の像を第１のカメラによって取得するステップと、
前記第１の像に基づいて、前記検査デバイスに関しての前記ウェーハの相対的な方向及び位置を決定するステップと、
前記測定ビームが所望の測定部分の近くになるように、前記測定ビームに関して前記サンプルを移動させるステップと、
前記第１の視野より非常に小さい視野を有する、前記サンプルの第２の像を第２のカメラによって取得するステップと、
前記第２の像に基づいて、前記検査デバイスに関しての前記ウェーハの相対的な方向及び位置を決定するステップと、
測定ビームが前記測定部分に一致するように、前記測定ビームに関して前記サンプルを移動させるステップと、
前記測定部分で前記サンプルから反射された前記光を測定するステップと、を含むことを特徴とする方法。
【請求項２７】  請求項２６に記載の方法において、
前記広い視野の領域は、前記狭い視野の領域の１００倍より大きいことを特徴とする方法。