【手続補正書】
【提出日】平成19年9月14日(2007.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
結晶窒化ガリウムを形成するための窒化ガリウム成長法であって、 窒化ガリウム源（１５）を供給する段階、 鉱化剤（１７）を供給する段階、 溶媒（１７）を供給する段階、
カプセル（１０）を設ける段階、 窒化ガリウム源、鉱化剤及び溶媒をカプセル内に配置する段階、 カプセルを密封する段階、 カプセルを圧力セル（１）内に配置する段階、並びに
圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階を含んでなる方法。
【請求項２】
前記圧力セルを高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階が、高圧高温（ＨＰＨＴ）系（１００）内に圧力セルを配置する段階を含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
高圧高温（ＨＰＨＴ）系を冷却する段階、 高圧高温（ＨＰＨＴ）の圧力を緩和する段階、及び 高圧高温（ＨＰＨＴ）系から窒化ガリウム結晶を取り出す段階をさらに含む、請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記高圧高温（ＨＰＨＴ）系から窒化ガリウム結晶を取り出す段階が、 水中及び鉱酸中の少なくとも一方で窒化ガリウム結晶を洗浄する段階を含む、請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記鉱酸が塩酸（ＨＣｌ）又は硝酸（ＨＮＯ3）から選択される、請求項４記載の方法。
【請求項６】
窒化ガリウム源と、鉱化剤及び溶媒の少なくとも一方とを含む混合物を形成し、次いで該混合物をカプセル内に配置する段階をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記混合物を圧縮する段階をさらに含む、請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記１以上の窒化ガリウム結晶が窒化ガリウム結晶又は窒化ガリウムブールの少なくとも一方を含む、請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記窒化ガリウム結晶又は窒化ガリウムブールの直径が約１〜約６インチである、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記窒化ガリウム結晶又は窒化ガリウムブールの少なくとも一方の厚さが約０．０２〜約１２インチである、請求項８記載の方法。
【請求項１１】
前記溶媒が含窒素溶媒又は有機溶媒の一方を含む、請求項１記載の方法。
【請求項１２】
前記含窒素溶媒がアンモニア（ＮＨ3）又はヒドラジンの少なくとも一方を含んでおり、前記有機溶媒がメチルアミン、メラミン又はエチレンジアミンから選択される、請求項１１記載の方法。
【請求項１３】
前記圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階が、
圧力セルを約５ｋｂａｒを超える圧力に付す段階を含む、請求項１記載の方法。
【請求項１４】
前記圧力セルを約５ｋｂａｒを超える圧力に付す段階が、圧力セルを約５〜約８０ｋｂａｒの圧力に付す段階を含む、請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階が、
圧力セルを約５５０〜約３０００℃の温度に付す段階を含む、請求項１記載の方法。
【請求項１６】
前記鉱化剤がアルカリ金属及びアルカリ土類金属の窒化物；アミド；尿素；アンモニウム塩；ハロゲン化塩、硫化塩、リチウム塩及び硝酸塩の１以上；並びにこれらの１以上の混合物を含んでおり、前記アルカリ金属及びアルカリ土類金属の窒化物がＬｉ3Ｎ、Ｍｇ3Ｎ2又はＣａ3Ｎａ2から選択され、前記アミドがＬｉＮＨ2、ＮａＮＨ2又はＫＮＨ2から選択され、前記アンモニウム塩がＮＨ4Ｆ及びＮＨ4Ｃｌから選択され、ハロゲン化塩、硫化塩、リチウム塩及び硝酸塩の１以上がＮａＣｌ、Ｌｉ2Ｓ及びＫＮＯ3から選択される、請求項１記載の方法。
【請求項１７】
前記鉱化剤が、溶媒中に溶解した添加剤を含む、請求項１記載の方法。
【請求項１８】
前記窒化ガリウム源を供給する段階が結晶窒化ガリウムを供給する段階を含む、請求項１記載の方法。
【請求項１９】
前記窒化ガリウム源を供給する段階が、圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を複数の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階の前での窒化ガリウムの溶解を防ぐ保護膜を含む窒化ガリウム種結晶（５０）を供給する段階を含む、請求項１８記載の方法。
【請求項２０】
前記圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階が、圧力セル内に温度差を設ける段階をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項２１】
前記圧力セル内に温度差を設ける段階が、熱源（１６）及び圧力セルを互いに近接して配置する段階を含む、請求項２０記載の方法。
【請求項２２】
前記圧力セル内に温度差を設ける段階が、圧力セルの相対的に高温の端部において圧力セル内に窒化ガリウム源を非対称に配置すること、圧力セルの一方の端部を加熱する補助加熱器を設けること、及び圧力セル内の窒化ガリウム源に熱差を生ずる熱源（１６）を設けることの少なくともいずれかを含む、請求項２０記載の方法。
【請求項２３】
前記圧力セル内に温度差を設ける段階が、圧力セル内の窒化ガリウム源に近接した圧力セル用の加熱器（１６）に相対的に薄い発熱体を設ける段階を含んでおり、これにより、該相対的に薄い発熱体が圧力セル内にさらに大きい熱を発生し窒化ガリウム源を加熱して温度差を設ける、請求項２０記載の方法。
【請求項２４】
前記カプセルを設ける段階が、 二つの嵌め合い端部ユニット（１１、１２）であって該端部ユニットの一方が熱源（１６）に近接して配置されるように構成されている二つの端部嵌め合いユニットを含むカプセルと、圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階の際の両端部ユニットの間での熱の自然対流を防ぐバッフル構造（１８）とを設ける段階を含む、請求項１記載の方法。
【請求項２５】
前記圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階が、高圧条件を加えるプレス装置（１００）内に圧力セルを配置する段階を含む、請求項１記載の方法。
【請求項２６】
前記プレス装置内に圧力セルを配置する段階が、高圧を加えるダイ（１０２）及びパンチ（１０３）の少なくとも一方を含むプレス装置内に圧力セルを配置する段階を含む、請求項２５記載の方法。
【請求項２７】
窒化ガリウム源、窒化ガリウムと溶媒とを含む混合物、窒化ガリウムと鉱化剤、又は窒化ガリウムと溶媒と鉱化剤とを含む混合物の少なくともいずれかを圧縮する段階、
高圧高温（ＨＰＨＴ）系を冷却する段階、 高圧高温（ＨＰＨＴ）の圧力を緩和する段階、 高圧高温（ＨＰＨＴ）系から窒化ガリウム結晶を取り出す段階、並びに 水中及び鉱酸中の少なくとも一方で窒化ガリウム結晶を洗浄する段階をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項２８】
前記カプセルが、銅カプセル、又は不活性金属の内張りを施した銅カプセルの一方を含んでおり、前記窒化ガリウム源、鉱化剤及び溶媒をカプセル内に配置する段階が、
カプセル（１０）を負圧マニホルドに接続する段階、 カプセルを排気する段階、 カプセルを室温よりも低い温度に冷却する段階、
マニホルドに蒸気相溶媒を導入する段階、 カプセル内で蒸気相溶媒を凝縮させる段階を含む、請求項１記載の方法。
【請求項２９】
前記カプセルを密封する段階が、 カプセルの一部を食い切ってカプセルを密封する段階、及び負圧マニホルドへの弁を閉じる段階の少なくとも一方によりカプセルを封止する段階を含む、請求項２８記載の方法。
【請求項３０】
結晶窒化ガリウムを形成するための窒化ガリウム成長法であって、 窒化ガリウム源（１５）を供給する段階、 鉱化剤（１７）を供給する段階、 溶媒（１７）を供給する段階、
カプセル（１０）を設ける段階、 窒化ガリウム源を鉱化剤及び溶媒の少なくとも一方と一緒にして混合物を形成する段階、 混合物を圧縮する段階、 混合物をカプセル内に配置する段階、
カプセルが窒化ガリウム源、鉱化剤及び溶媒を含むようにカプセルに鉱化剤及び溶媒（１７）の少なくとも一方を配置する段階、
カプセルを密封する段階、 カプセルを圧力セル（１）内に配置する段階、 圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階、
高圧高温（ＨＰＨＴ）系（１００）を冷却する段階、 高圧高温（ＨＰＨＴ）の圧力を緩和する段階、 高圧高温（ＨＰＨＴ）系から窒化ガリウム結晶を取り出す段階、並びに 水中及び鉱酸中の少なくとも一方で窒化ガリウム結晶を洗浄する段階を含んでなる方法。
【請求項３１】
結晶窒化ガリウムを形成するための窒化ガリウム成長法であって、 対向する二つの端部ユニット（１１、１２）を含むカプセル（１０）を設ける段階、 カプセルの一方の端部ユニットに窒化ガリウム源種結晶を配置する段階、 カプセルの他方の端部ユニットに窒化ガリウム源を鉱化剤及び溶媒の少なくとも一方と共に配置する段階、
カプセル両端部ユニットの各々に溶媒を配置する段階、 カプセルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）系内で温度差を設けた高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階を含んでなる方法。
【請求項３２】
結晶窒化ガリウムを形成するための窒化ガリウム成長法であって、 液体ガリウム又は固形ガリウムの少なくとも一方を含むガリウム源（１５）を供給する段階、 対向する二つの端部ユニット（１１、１２）を含むカプセル（１０）を設ける段階、 カプセルの一方の端部ユニットにガリウム源を配置する段階、 ガリウム源を鉱化剤及び溶媒（１７）の少なくとも一方と共に配置して混合物を形成する段階であって、窒化ガリウム源に鉱化剤及び溶媒を個々に配置するか又は窒化ガリウム源に溶媒及び鉱化剤を別々に配置するかのいずれかによって鉱化剤及び溶媒を窒化ガリウム源と共に配置する段階、
カプセルを、窒化ガリウムを形成する高圧高温（ＨＰＨＴ）成長条件下で液化ガリウムとアンモニアとを反応させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階、並びに
カプセルを、形成した窒化ガリウムを溶解させて窒化ガリウム源を窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階を含んでなる方法。
【請求項３３】
高圧高温（ＨＰＨＴ）系を冷却する段階、 高圧高温（ＨＰＨＴ）の圧力を緩和する段階、 高圧高温（ＨＰＨＴ）系から窒化ガリウム結晶を取り出す段階、並びに
水中及び鉱酸中の少なくとも一方で窒化ガリウム結晶を洗浄する段階をさらに含む、請求項３１又は請求項３２記載の方法。
【請求項３４】
請求項１、請求項２７、請求項３１又は請求項３２記載の方法で形成される窒化ガリウム結晶。
【請求項３５】
結晶窒化ガリウムを形成するための窒化ガリウム成長法であって、 窒化ガリウム源（１５）を供給する段階、 鉱化剤（１７）を供給する段階、 溶媒（１７）を供給する段階、
カプセル（１０）を設ける段階、 窒化ガリウム源を鉱化剤及び溶媒の少なくとも一方と一緒にして混合物を形成する段階、 混合物をカプセルに配置する段階、 カプセルが窒化ガリウム源、鉱化剤及び溶媒を含むように鉱化剤及び溶媒の少なくとも一方をカプセルに配置する段階、 カプセルを密封する段階、 カプセルを圧力セル（１７）内に配置する段階、
圧力セルを、窒化ガリウム源を溶解させて窒化ガリウム源を１以上の窒化ガリウム結晶へと再析出させるのに十分な時間高圧高温（ＨＰＨＴ）系内で高圧高温（ＨＰＨＴ）条件に付す段階、
高圧高温（ＨＰＨＴ）系（１００）を冷却する段階、 高圧高温（ＨＰＨＴ）の圧力を緩和する段階、 高圧高温（ＨＰＨＴ）系から窒化ガリウム結晶を取り出す段階、並びに 水中及び鉱酸中の少なくとも一方で窒化ガリウム結晶を洗浄する段階を含んでなる方法。