【手続補正書】
【提出日】平成19年5月8日(2007.5.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の表面から与えられるヘイズデータを分析する方法であって、
試料の表面粗さに対応するヘイズデータを提供すること、および
低周波数のバラツキを前記ヘイズデータから除去することによって、前記試料の前記表面中に存在する任意の欠陥に対応する残差データを形成すること
を含む方法。
【請求項２】
試料の表面から与えられるヘイズデータを分析するよう動作可能なコンピュータシステムであって、
１つ以上のプロセッサ、
１つ以上のメモリ
を備え、前記プロセッサおよびメモリの少なくとも１つは、
試料の表面粗さに対応するヘイズデータを提供すること、および
低周波数のバラツキを前記ヘイズデータから除去することによって、前記試料の前記表面中に存在する任意の欠陥に対応する残差データを形成すること
を行うよう構成されるコンピュータシステム。
【請求項３】
請求項２に記載のコンピュータシステムであって、
前記ヘイズデータからの低周波数のバラツキを除去することは、
前記ヘイズデータの前記低周波数のバラツキをあてはめプランにあてはめること、および
前記あてはめプランを前記ヘイズデータから引くことによって、前記残差データを形成すること
によって達成されるコンピュータシステム。
【請求項４】
請求項３に記載のコンピュータシステムであって、前記あてはめプランは、２次元（２Ｄ）多項式方程式の形式をとるコンピュータシステム。
【請求項５】
請求項４に記載のコンピュータシステムであって、前記２Ｄ多項式方程式は、ゼルニケ多項式であるコンピュータシステム。
【請求項６】
請求項５に記載のコンピュータシステムであって、前記ゼルニケ多項式は、２より大きい次数を有するコンピュータシステム。
【請求項７】
請求項５に記載のコンピュータシステムであって、前記ゼルニケ多項式は、９より小さい次数を有するコンピュータシステム。
【請求項８】
請求項３に記載のコンピュータシステムであって、前記ヘイズデータを前処理することによって、前記あてはめプランから前記ヘイズデータの一部を除外することをさらに含むコンピュータシステム。
【請求項９】
請求項８に記載のコンピュータシステムであって、前記前処理は、前記ヘイズデータ内の異常値を前記あてはめプランから除外することを含むコンピュータシステム。
【請求項１０】
請求項９に記載のコンピュータシステムであって、前記異常値は、前記試料のエッジおよび大きいブロブ欠陥に対応する輝度値を含むコンピュータシステム。
【請求項１１】
請求項９または請求項１０に記載のコンピュータシステムであって、前記異常値を除外することは、
前記ヘイズデータについての平均および標準偏差を決定すること、
前記平均および標準偏差に依存するスレッショルドを決定すること、および
前記スレッショルドに届かないヘイズデータを前記あてはめプランから除外すること
を含むコンピュータシステム。
【請求項１２】
請求項２ないし請求項１１のいずれかに記載のコンピュータシステムであって、前記プロセッサおよびメモリの少なくとも１つは、前記残差データを分析することによって前記試料が任意の欠陥を有するかを決定するよう構成されるコンピュータシステム。
【請求項１３】
請求項１２に記載のコンピュータシステムであって、前記残差データは、
ａ）前記残差データの一部を含むウィンドウを得ること、
ｂ）前記得られたウィンドウ内で最低の輝度を有する最小ピクセルおよび最大の輝度を有する最大ピクセルを決定すること、および
ｃ）前記ウィンドウが欠陥を有するかを、前記最小ピクセル、前記最大ピクセル、および所定のスレッショルドに基づいて決定すること
によって分析されるコンピュータシステム。
【請求項１４】
請求項１３に記載のコンピュータシステムであって、前記最小ピクセルから前記最大ピクセルを引いたものが前記所定のスレッショルドより大きいとき、前記ウィンドウは欠陥を有すると決定されるコンピュータシステム。
【請求項１５】
請求項１３に記載のコンピュータシステムであって、（Ａ）前記ウィンドウの中心ピクセルから前記最小ピクセルを引いたもの、および（Ｂ）前記最大ピクセルから前記中心ピクセルを引いたものの最大が、前記所定のスレッショルドより大きいとき、前記ウィンドウは欠陥を有すると決定されるコンピュータシステム。
【請求項１６】
請求項１３ないし請求項１５のいずれかに記載のコンピュータシステムであって、前記所定のスレッショルドは、
前記残差データに基づいてヒストグラムを決定すること、
前記残差データから残差値の範囲を選択すること、および
前記選択された範囲に基づいてスレッショルドを決定すること
によって決定されるコンピュータシステム。
【請求項１７】
請求項１６に記載のコンピュータシステムであって、前記スレッショルドは、前記範囲を所定の係数倍することによって決定され、前記所定の係数は、ヘイズデータを提供するそれぞれのシステムについて変化することによって、前記スレッショルドが前記異なるシステム間で正規化されるコンピュータシステム。
【請求項１８】
請求項１７に記載のコンピュータシステムであって、前記所定の係数は０．５であるコンピュータシステム。
【請求項１９】
請求項１６ないし請求項１８のいずれかに記載のコンピュータシステムであって、前記選択された範囲は、約５および９５パーセントの間であるコンピュータシステム。
【請求項２０】
請求項２ないし請求項１９のいずれかに記載のコンピュータシステムであって、前記ヘイズデータから低周波数のバラツキを除去することは、フィルタを用いて達成されるコンピュータシステム。
【請求項２１】
試料の表面から与えられるヘイズデータを分析するコンピュータプログラム製造物であって、
少なくとも１つのコンピュータで読み取り可能な媒体、
前記少なくとも１つのコンピュータで読み取り可能な媒体内に記憶されたコンピュータプログラム命令を備え、
前記コンピュータプログラム命令は、
試料の表面粗さに対応するヘイズデータを提供すること、および
低周波数のバラツキを前記ヘイズデータから除去することによって、前記試料の前記表面中に存在する任意の欠陥に対応する残差データを形成すること
を行うよう構成されるコンピュータプログラム製造物。
【請求項２２】
請求項２１に記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記ヘイズデータからの低周波数のバラツキを除去することは、
前記ヘイズデータの前記低周波数のバラツキをあてはめプランにあてはめること、および
前記あてはめプランを前記ヘイズデータから引くことによって、前記残差データを形成すること
によって達成されるコンピュータプログラム製造物。
【請求項２３】
請求項２２に記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記あてはめプランは、２次元（２Ｄ）多項式方程式の形式をとるコンピュータプログラム製造物。
【請求項２４】
請求項２３に記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記２Ｄ多項式方程式は、ゼルニケ多項式であるコンピュータプログラム製造物。
【請求項２５】
請求項２２ないし請求項２４のいずれかに記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記ヘイズデータを前処理することによって、前記あてはめプランから前記ヘイズデータの一部を除外することをさらに含むコンピュータプログラム製造物。
【請求項２６】
請求項２５に記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記異常値を除外することは、
前記ヘイズデータについての平均および標準偏差を決定すること、
前記平均および標準偏差に依存するスレッショルドを決定すること、および
前記スレッショルドに届かないヘイズデータを前記あてはめプランから除外すること
を含むコンピュータプログラム製造物。
【請求項２７】
請求項２１ないし請求項２６のいずれかに記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記少なくとも１つのコンピュータで読み取り可能な媒体内に記憶された前記コンピュータプログラム命令は、前記残差データを分析することによって、前記試料が任意の欠陥を有するかを決定するようさらに構成されるコンピュータプログラム製造物。
【請求項２８】
請求項２７に記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記残差データは、
ａ）前記残差データの一部を含むウィンドウを得ること、
ｂ）前記得られたウィンドウ内で最低の輝度を有する最小ピクセルおよび最大の輝度を有する最大ピクセルを決定すること、および
ｃ）前記ウィンドウが欠陥を有するかを、前記最小ピクセル、前記最大ピクセル、および所定のスレッショルドに基づいて決定すること
によって分析されるコンピュータプログラム製造物。
【請求項２９】
請求項２８に記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記最小ピクセルから前記最大ピクセルを引いたものが前記所定のスレッショルドより大きいとき、前記ウィンドウは欠陥を有すると決定されるコンピュータプログラム製造物。
【請求項３０】
請求項２８に記載のコンピュータプログラム製造物であって、（Ａ）前記ウィンドウの中心ピクセルから前記最小ピクセルを引いたもの、および（Ｂ）前記最大ピクセルから前記中心ピクセルを引いたものの最大が、前記所定のスレッショルドより大きいとき、前記ウィンドウは欠陥を有すると決定されるコンピュータプログラム製造物。
【請求項３１】
請求項２８ないし請求項３０のいずれかに記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記所定のスレッショルドは、
前記残差データに基づいてヒストグラムを決定すること、
前記残差データから残差値の範囲を選択すること、および
前記選択された範囲に基づいてスレッショルドを決定すること
によって決定されるコンピュータプログラム製造物。
【請求項３２】
請求項３１に記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記スレッショルドは、前記範囲を所定の係数倍することによって決定され、前記所定の係数は、ヘイズデータを提供するそれぞれのシステムについて変化することによって、前記スレッショルドが前記異なるシステム間で正規化されるコンピュータプログラム製造物。
【請求項３３】
請求項３１または請求項３２に記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記選択された範囲は、約５および９５パーセントの間であるコンピュータプログラム製造物。
【請求項３４】
請求項２１ないし請求項３３のいずれかに記載のコンピュータプログラム製造物であって、前記ヘイズデータから低周波数のバラツキを除去することは、フィルタを用いて達成されるコンピュータプログラム製造物。