【手続補正書】
【提出日】平成19年3月16日(2007.3.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１９３ｎｍ以下の波長を有する照明装置のための光学素子（１００）であって、前記照明装置は、光源（１０２）と、フィールド面（１０８）と、出射瞳（１０６）とを有し、この光学素子（１００）は、多数のファセットを有し、これらファセットは、各ファセットが、前記光源（１０２）から光を受け取り、光を前記フィールド面における割り当てられた離散的な点（２４）に導くよう偏向角を有して設けられており、
前記離散的な点は、前記フィールド面（１０８）におけるフィールドが所定の形で照明されるように、選択されており、各々のファセットは、前記フィールド面における夫々に割り当てられた離散的な点（２４）によって、前記照明装置の前記出射瞳（１０６）の割り当てられた領域を照明し、前記光学素子（１００）は、実質的にフィールド面（１０８）において、多数の光源の像（２４）を発生させることを特徴とする光学素子（１００）。
【請求項２】
前記多数のファセットは、フィールド点から走査方向における路に沿って結果的に生じる、前記出射瞳（１０６）の積分された照明が、十分に均一であるように、偏向角およびかような大きさを有して、設けられていることを特徴とする請求項１に記載の光学素子（１００）。
【請求項３】
フィールド点から走査方向における任意の路に沿って結果的に生じる、前記出射瞳（１０６）の積分された照明は、好ましくは円形または双極子形または四極子形または環状であることを特徴とする請求項２に記載の光学素子（１００）。
【請求項４】
前記フィールド面（１０８）における前記フィールドは、環状フィールドセグメントであり、前記環状フィールドセグメントの中央における径方向は、前記照明装置の走査方向を定めることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１に記載の光学素子（１００）。
【請求項５】
走査方向に延びている直線上に位置している、前記フィールド面におけるすべての点の、その照明成分の各々の積分のために、前記出射瞳（１０６）の、同一の、積分された部分照明が結果として生じることを特徴とする請求項４に記載の光学素子（１００）。
【請求項６】
前記光源（１０２）から前記光学素子（１００）への光路は、他の光学素子を有しないことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１に記載の光学素子（１００）。
【請求項７】
前記ファセットの前記偏向角は、集光作用を発生させることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１に記載の光学素子（１００）。
【請求項８】
少なくとも１つのファセットが、光学的な屈折力を有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１に記載の光学素子（１００）。
【請求項９】
前記光学素子の少なくとも１つのファセットは、平面ファセットであることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１に記載の光学素子（１００）。
【請求項１０】
光源（１０２）と、フィールド面（１０８）と、光学素子（１００）と、出射瞳（１０６）とを有する、特にＥＵＶリソグラフィのための、１９３ｎｍ以下の波長のための照明装置であって、前記光学素子（１００）は、多数のファセットを有し、これらのファセットは、各々のファセットが前記光源（１０２）から光を受け取り、光を前記フィールド面における離散的な点に導くような偏向角を有して設けられており、
前記離散的な点は、前記フィールド面（１０８）におけるフィールドが所定の形で照明されるように、選択されており、各ファセットは、前記フィールド面における夫々に割り当てられた離散的な点によって、前記照明装置の前記出射瞳（１０６）の、割り当てられた領域を照明し、前記光学素子（１００）は、実質的に前記フィールド面（１０８）において、多数の光源の像（２４）を発生させることを特徴とする照明装置。
【請求項１１】
前記多数のファセットは、フィールド点から走査方向における路に沿って結果的に生じる、前記出射瞳（１０６）の積分された照明が、十分に均一であるように偏向角およびかような大きさを有して設けられていることを特徴とする請求項１０に記載の照明装置。
【請求項１２】
フィールド点から走査方向における任意の路に沿って結果的に生じる、前記出射瞳（１０６）の積分された照明は、好ましくは円形または四極子形または環状であることを特徴とする請求項１１記載の照明装置。
【請求項１３】
前記フィールド面（１０８）における前記フィールドは、環状フィールドセグメントであり、この環状フィールドセグメントの中央における径方向は、前記照明装置の走査方向を定めることを特徴とする請求項１０ないし１２いずれか１に記載の照明装置。
【請求項１４】
前記光学素子（１００）は、前記フィールド面（１０８）における前記環状フィールドセグメントを形成することを特徴とする請求項１３に記載の照明装置。
【請求項１５】
前記光源（１０２）から前記光学素子（１００）への光路は、他の光学素子を有しないことを特徴とする請求項１０ないし１４のいずれか１に記載の照明装置。
【請求項１６】
前記照明装置は、更に、前記フィールド面（１０８）において前記環状フィールドセグメントを形成するためのすれすれ入射形のフィールド鏡（１１０）を有することを特徴とする請求項１０ないし１５のいずれか１に記載の照明装置。
【請求項１７】
前記すれすれ入射形のフィールド鏡（１１０）は、凸面状の形を有することを特徴とする請求項１６に記載の照明装置。
【請求項１８】
前記照明装置は、更に、前記光学要素（１００）を前記出射瞳へ結像させるための結像型の光学素子（１０４）として凹面鏡を有することを特徴とする請求項１０ないし１７のいずれか１に記載の照明装置。
【請求項１９】
走査方向に延びている直線上に位置している、前記フィールド面におけるすべての点の、その照明成分の各々の積分のために、前記出射瞳（１０６）の、同一の、積分された部分照明が結果として生じることを特徴とする請求項１０ないし１８のいずれか１に記載の照明装置。
【請求項２０】
前記光学素子は交換可能であり、この結果、照明の種々の形が前記出射瞳（１０６）において形成されることができることを特徴とする請求項１０ないし１９のいずれか１に記載の照明装置。
【請求項２１】
特にＥＵＶリソグラフィのための、１９３ｎｍ以下の波長のための照明装置であって、この照明装置は、光源からまたは光源の像からフィールド面への光路において、只１つのファセットされた光学素子を有し、前記ファセットは、このファセットされた光学素子上に、前記照明装置の前記フィールド面および照明装置の前記出射瞳が照明されるほどの配列およびかような角度を有し、前記ファセットされた光学素子から前記出射瞳への光路において、前記ファセットされた光学素子を前記出射瞳へ結像させる光学素子が設けられていないことを特徴とする照明装置。
【請求項２２】
前記只１つのファセットされた光学素子は、１０００より多い個々のファセットを有する、請求項２１に記載の照明装置。
【請求項２３】
前記只１つのファセットされた光学素子は、フィールド面におけるフィールドを照明し、このフィールドはフィールドの或る形状を有する、請求項２１または２２に記載の照明装置。
【請求項２４】
前記只１つのファセットされた光学素子は、或る外形を有し、この外形は前記フィールドの前記形状と実質的に一致している、請求項２３に記載の照明装置。
【請求項２５】
前記只１つのファセットされた光学素子は、腎臓状の外形を有する、請求項２１ないし２４のいずれか１に記載の照明装置。
【請求項２６】
前記只１つのファセットされた光学素子は、多数のファセットを有し、これらファセットは、このファセットされた光学素子上に、種々の大きさおよび種々の位置を有する、請求項２１ないし２５のいずれか１に記載の照明装置。
【請求項２７】
マイクロリソグラフィのための、特にＥＵＶ範囲にある特に１９３ｎｍ以下の波長のための投影露光装置であって、請求項１０ないし２６のいずれか１に記載の照明装置および投影対物レンズ（１１２／２１２）を有する投影露光装置。
【請求項２８】
前記投影対物レンズは、少なくとも６つの鏡を有することを特徴とする、マイクロリソグラフィのための、特にＥＵＶリソグラフィのための、特に１９３ｎｍ以下の波長のための請求項２７に記載の投影露光装置。
【請求項２９】
前記投影対物レンズは、少なくとも８つの鏡を有することを特徴とする請求項２７または２８に記載の投影露光装置。
【請求項３０】
前記投影対物レンズの入射瞳が実像であることを特徴とする請求項２７ないし２９のいずれか１に記載の投影露光装置。
【請求項３１】
前記投影対物レンズの前記入射瞳が虚像であることを特徴とする請求項２７ないし３０のいずれか１に記載の投影露光装置。
【請求項３２】
前記照明装置は、前記投影露光装置のフィールド面を照明し、このフィールド面にはマスクが設けられており、前記投影対物レンズは、前記マスクの像を、感光性の支持体基板に投影し、この支持体基板には、感光性の物体が設けられていることを特徴とする請求項２７ないし３１のいずれか１に記載の投影露光装置。
【請求項３３】
マイクロ電子式の構成部材、特に半導体チップを、請求項２７ない３２のいずれか１に記載の投影露光装置によって製造する方法。