【手続補正書】
【提出日】平成19年9月10日(2007.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス供給分配システムであって、
その配列内にある第１の容器から第２の容器への切換えを伴う連続稼動分配操作用に配置される、少なくとも２つのガス貯蔵分配容器からなる配列と、
分配操作において、前記配列内の容器のうち稼働中の容器からのガスのポンプ圧送とポンプ圧送ガスの吐出のための、該配列とガス連通して接続されるポンプと、
分配操作において、前記容器のうち稼働中の容器の終点限界を検知し、次の稼動容器である、ガスの入った配列内の他方の容器からガスを引き続き分配をするために、稼働中の容器から前記他方の容器への自動切換えを開始するように組み立てられ、配置される自動切換えシステムであって、
終点限界の検知をしてから自動切換えを開始するまでの間に、ポンプへのガスの流れを停止し、ポンプを休止させ、かつ、
自動切換えの開始後、ポンプへのガスの流れを再開始させて、ポンプを再起動させる自動切換えシステムと、
を含むシステム。
【請求項２】
前記終点限界が、前記容器のうち稼働中の容器の終点限界重量として自動切換えシステムによって検知される、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記終点限界が、前記容器のうち稼働中の容器から分配されるガスの終点限界圧力として自動切換えシステムによって検知される、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記終点限界が、前記容器のうち稼働中の容器から分配されるガスの終点限界流速として自動切換えシステムによって検知される、請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記終点限界が、前記容器のうち稼働中の容器から分配されるガスの終点限界累積体積として自動切換えシステムによって検知される、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
前記終点限界が、前記容器のうち稼働中の容器から分配されるガスの特性の終点限界変化率として自動切換えシステムによって検知される、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記終点限界が、前記容器のうち稼働中の容器から分配されるガスの終点限界分配時間として自動切換えシステムによって検知される、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記自動切換えシステムが、ポンプへのガスの流れを停止する時間間隔を制御可能に設定するためのタイマーを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
前記自動切換えシステムが、ポンプへのガスの流れを停止する時間間隔を動的に設定するためのタイマーを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
前記タイマーが、比例積分微分（ＰＩＤ）制御ループを含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記比例積分微分（ＰＩＤ）制御ループが、ガス貯蔵分配容器の配列とガス連通してポンプに接続する流れ回路の圧力変換器と運転可能に接続される、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
前記自動切換えシステムが、タイマーを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記自動切換えシステムが、ポンプを休止させる時間間隔を制御可能に設定するためのタイマーを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
前記自動切換えシステムが、ポンプを休止させるのに先立って、ポンプへのガスの流れを停止するように組み立てられ、配置される、請求項１に記載のシステム。
【請求項１５】
前記自動切換えシステムが、ポンプを再起動させるのに先立って、ポンプへのガスの流れを再開始させるように組み立てられ、構成される、請求項１に記載のシステム。
【請求項１６】
前記ガス貯蔵分配容器が、該容器内に貯蔵され、そこから分配されるガスに対して吸着親和力を有する固相の物理的吸着剤を保持する、請求項１に記載のシステム。
【請求項１７】
前記固相の物理的吸着剤が、モレキュラーシーブ、炭素、シリカ、アルミナ、粘土、およびマクロ網状の高分子よりなる群から選択される材料を含む、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
前記固相の物理的吸着剤が、炭素を含む、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１９】
前記ガスが、半導体製造ガスを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項２０】
前記ガス貯蔵分配容器が、内部に配置された調整器を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項２１】
前記ガス貯蔵分配容器が、ガスキャビネット内に配置される、請求項１に記載のシステム。
【請求項２２】
前記ガス貯蔵分配容器が、ガスキャビネット内の弁付きマニホルドにガス連通して接続される、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
前記ポンプが、ポンプ用キャビネット内に含まれる、請求項２２に記載のシステム。
【請求項２４】
前記ポンプ用キャビネットが、ポンプに対して、ポンプ圧送ガスを受け入れる関係にあるサージタンクをさらに含む、請求項２３に記載のシステム。
【請求項２５】
前記ポンプおよびサージタンクが、ポンプ用キャビネット内の弁付きマニホルドにガス連通して接続される、請求項２４に記載のシステム。
【請求項２６】
ガスキャビネット内の前記弁付きマニホルドが、ポンプ用キャビネット内の弁付きマニホルドにガス連通して接続される、請求項２５に記載のシステム。
【請求項２７】
容器の空の終点限界を検知することと、
対応する限界検知信号を作成することと、
前記限界検知信号に応答して、切換え可能な作動装置を、限界検知を示す切換え状態に切換えて、予め定められた時間間隔Ｔ１をカウントダウンするためのタイマーを作動させることと、
前記切換え可能な作動装置の切換え状態に応答して、予め定められた時間間隔Ｔ２の間、ポンプへのガス流れを停止することと、
予め定められた時間間隔Ｔ３の間、ポンプを失速させることと、
時間間隔Ｔ１の終了後、容器の空の終点限界が検知された第１の容器から第２の新しい容器へガス分配流れを切換えることと、
第２の新しい容器からガスを分配して、時間間隔Ｔ２の終了時、第２の新しい容器からポンプへガスを流すことと、
時間間隔Ｔ３の終了時、ポンプを再起動させることと、
を含む自動切換え運転シーケンスを実施するように組み立てられ、配置される、請求項２６に記載のシステム。
【請求項２８】
自動切換えシステムが、配列内にある前記第１の容器から前記第２の容器への切換えに伴って、ポンプへのガスの流れの停止、ポンプの休止、ポンプへのガス流れの再開始、およびポンプの再起動をするように組み立てられ、配置されてない対応するガス供給分配システムと比べて、
自動切換えシステムによるポンプへのガス流れの停止、ポンプの休止、ポンプへのガス流れの再開始、およびポンプの再起動が、ポンプから吐出されるポンプ圧送ガスの圧力変動を実質的に低減する、請求項１に記載のシステム。
【請求項２９】
配列内にある前記第１の容器から前記第２の容器への切換えの間にポンプから吐出されるポンプ圧送ガスが、圧力急上昇の挙動を示さないことを特徴とする、請求項２８に記載のシステム。
【請求項３０】
その配列内にある第１の容器から第２の容器への切換えを伴う連続稼動分配操作用に配置される、少なくとも２つのガス貯蔵分配容器からなる配列を含み、分配操作において前記配列内の容器のうち稼働中の容器からのガスのポンプ圧送とポンプ圧送ガスの吐出のため、ポンプが該配列とガス連通して接続されるガス供給分配システムにおいて、ポンプから吐出されるポンプ圧送ガスの圧力変動を実質的に低減する方法であって、前記方法が、
分配操作において前記容器のうち稼働中の容器の終点限界を検知し、次の稼動容器である、ガスの入った配列内の他方の容器からガスを引き続き分配をするために、稼働中の容器から前記他方の容器へ切換えることと、
ポンプへのガス流れを停止させ、ポンプを休止させることと、ただし、該停止および休止ステップが、終点限界を検知するステップと切換えステップの間に行われる、
ポンプへのガス流れを再開始させ、ポンプを再起動させることと、ただし、該再開始および再起動ステップが、切換えステップ後に行われる、
を含む方法。
【請求項３１】
前記終点限界が、前記容器のうち稼動中の容器の終点限界重量として検知される、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記終点限界が、前記容器のうち稼動中の容器から分配されるガスの終点限界圧力として検知される、請求項３０に記載の方法。
【請求項３３】
前記終点限界が、前記容器のうち稼動中の容器から分配されるガスの終点限界流速として検知される、請求項３０に記載の方法。
【請求項３４】
前記終点限界が、前記容器のうち稼動中の容器から分配されるガスの終点限界累積体積として検知される、請求項３０に記載の方法。
【請求項３５】
前記終点限界が、前記容器のうち稼動中の容器から分配されるガスの特性の終点限界変化率として検知される、請求項３０に記載の方法。
【請求項３６】
前記終点限界が、前記容器のうち稼動中の容器から分配されるガスの終点限界分配時間として検知される、請求項３０に記載の方法。
【請求項３７】
ポンプへのガスの流れを停止する時間間隔を制御可能に設定するステップをさらに含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項３８】
ポンプへのガスの流れを停止する時間間隔を動的に設定するステップをさらに含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項３９】
前記動的に設定するステップが、比例積分微分（ＰＩＤ）制御ループの使用を含む、請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
前記比例積分微分（ＰＩＤ）制御ループが、ガス貯蔵分配容器からなる配列とガス連通してポンプに接続する流れ回路の圧力変換器と運転可能に接続される、請求項３９に記載の方法。
【請求項４１】
ポンプを休止させる時間間隔を制御可能に設定することをさらに含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項４２】
タイマーの使用をさらに含む、請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
ポンプを休止させるのに先立ち、ポンプへのガスの流れを停止することを含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項４４】
ポンプを再起動させるのに先立ち、ポンプへのガスの流れを再開始させることを含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項４５】
前記ガス貯蔵分配容器が、該容器内に貯蔵され、そこから分配されるガスに対して吸着親和力を有する固相の物理的吸着剤を保持する、請求項３０に記載の方法。
【請求項４６】
前記固相の物理的吸着剤が、モレキュラーシーブ、炭素、シリカ、アルミナ、粘土、およびマクロ網状の高分子からなる群から選択される材料を含む、請求項４５に記載の方法。
【請求項４７】
前記固相の物理的吸着剤が、炭素を含む、請求項４５に記載の方法。
【請求項４８】
前記ガスが、半導体製造ガスを含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項４９】
前記ガス貯蔵分配容器が、内部に配置された調整器を含む、請求項３０に記載の方法。
【請求項５０】
前記ガス貯蔵分配容器が、ガスキャビネット内に配置される、請求項３０に記載の方法。
【請求項５１】
前記ガス貯蔵分配容器が、ガスキャビネット内の弁付きマニホルドにガス連通して接続される、請求項５０に記載の方法。
【請求項５２】
前記ポンプが、ポンプ用キャビネット内に含まれる、請求項５１に記載の方法。
【請求項５３】
前記ポンプ用キャビネットが、ポンプに対して、ポンプ圧送ガスを受け入れる関係にあるサージタンクをさらに含む、請求項５２に記載の方法。
【請求項５４】
前記ポンプおよびサージタンクが、ポンプ用キャビネット内の弁付きマニホルドにガス連通して接続される、請求項５３に記載の方法。
【請求項５５】
ガスキャビネット内の前記弁付きマニホルドが、ポンプ用キャビネット内の弁付きマニホルドにガス連通して接続される、請求項５４に記載の方法。
【請求項５６】
容器の空の終点限界を検知することと、
対応する限界検知信号を作成することと、
前記限界検知信号に応答して、切換え可能な作動装置を、限界検知を示す切換え状態に切換えて、予め定められた時間間隔Ｔ１をカウントダウンするためのタイマーを作動させることと、
前記切換え可能な作動装置の切換え状態に応答して、予め定められた時間間隔Ｔ２の間、ポンプへのガス流れを停止することと、
予め定められた時間間隔Ｔ３の間、ポンプを失速させることと、
時間間隔Ｔ１の終了後、容器の空の終点限界が検知された第１の容器から第２の新しい容器へガス分配流れを切換えることと、
第２の新しい容器からガスを分配して、時間間隔Ｔ２の終了時、第２の新しい容器からポンプへガスを流すことと、
時間間隔Ｔ３の終了時、ポンプを再起動させることと、
を含む自動切換え運転シーケンスを含む、請求項５５に記載の方法。
【請求項５７】
切換えに伴ってポンプへのガス流れの停止、ポンプの休止、ポンプへのガス流れの再開始、およびポンプの再起動を含まない対応する容器切換えと比べて、
ポンプへのガス流れの停止、ポンプの休止、ポンプへのガス流れの再開始、およびポンプの再起動が、ポンプから吐出されるポンプ圧送ガスの圧力変動を実質的に低減する、請求項３０に記載の方法。
【請求項５８】
配列内の前記第１の容器から前記第２の容器への切換えの間にポンプから吐出されるポンプ圧送ガスが、圧力急上昇の挙動を示さないことを特徴とする、請求項５７に記載の方法。
【請求項５９】
ガス供給分配システムであって、
その配列内にある第１の容器から第２の容器への切換えを伴う連続稼動分配操作用に配置される、少なくとも２つのガス貯蔵分配容器からなる配列と、
前記配列内の容器のうち稼働中の容器からガス消費プロセスユニットまでのガスのポンプ圧送のための、前記配列と前記ガス消費プロセスユニットの間でガス連通して接続されるポンプと、
切換えの設定を検知して、次の稼動容器である、ガスの入った配列内の他方の容器からガスを引き続き分配をするために、稼働中の容器から前記他方の容器への自動切換えを開始するように組み立てられ、配置される自動切換えシステムであって、
切換えの設定を検知をしてから自動切換えを開始するまでの間に、ポンプへのガスの流れを停止し、ポンプを休止させ、かつ、
自動切換えの開始の後、ポンプへのガスの流れを再開始させて、ポンプを再起動させる自動切換えシステムと、
を含むシステム。
【請求項６０】
前記切換えの設定により、少なくとも２つのガス貯蔵分配容器間での交互の切換えが可能になる、請求項５９に記載のシステム。
【請求項６１】
前記自動切換えシステムが、タイマーを含む、請求項５９に記載のシステム。
【請求項６２】
前記自動切換えシステムが、ポンプを休止させるのに先立って、ポンプへのガスの流れを停止するように組み立てられ、配置される、請求項５９に記載のシステム。
【請求項６３】
前記ガスが、半導体製造ガスを含み、前記ガス消費プロセスユニットが、半導体製造装置を含む、請求項５９に記載のシステム。
【請求項６４】
前記ガス貯蔵分配容器が、ガスキャビネット内に配置される、請求項５９に記載のシステム。
【請求項６５】
前記ガス貯蔵分配容器が、ガスキャビネット内の弁付きマニホルドにガス連通して接続される、請求項６４に記載のシステム。
【請求項６６】
前記ガス供給分配システムが、前記配列の自動または手動の真空排気、パージ、および漏れ検出ができるように組み立てられ、配置されるハードウェアおよび電子装置をさらに含む、請求項５９に記載のシステム。
【請求項６７】
前記ガス供給分配システムが、容器の交換、ガス流の開始、容器の自動切換え、パージガスの制御、プロセス／パージガスの真空排気、シャットダウンに先立つプロセスガス流の確保、および、温度制御からなる群から選択される機能の制御のための前もってプログラムされたシーケンスを提供するためのプログラム可能な論理調節器（ＰＬＣ）をさらに含む、請求項５９に記載のシステム。
【請求項６８】
その配列内にある第１の容器から第２の容器への切換えを伴う連続稼動分配操作用に配置される、少なくとも２つのガス貯蔵分配容器からなる配列を有するガス供給分配システムのポンプから吐出されるポンプ圧送ガスの圧力変動を実質的に低減する方法であって、
前記ポンプが、前記配列内の容器のうち稼働中の容器からガス消費プロセスユニットまでのガスのポンプ圧送のために、前記配列と前記ガス消費プロセスユニットの間でガス連通して接続され、
切換えの設定を検知する工程と、次の稼動容器である、ガスの入った配列内の他方の容器からガスを引き続き分配をするために、稼働中の容器から前記他方の容器への自動切換えを開始する工程と、
ポンプへのガスの流れを停止する工程と、ポンプを休止させる工程と、
ポンプへのガスの流れを再開始させる工程と、ポンプを再起動させる工程と、
を含み、
前記停止工程と休止工程は、切換えの設定の検知工程と切換え工程の間に行われ、
前記再開始工程と再起動工程は、切換え工程の後に行われる、
方法。
【請求項６９】
前記切換えの設定により、少なくとも２つのガス貯蔵分配容器間での交互の切換えが可能になる、請求項６８に記載の方法。
【請求項７０】
前記切換えシステムが、タイマーを含む、請求項６８に記載の方法。
【請求項７１】
ポンプを休止させるのに先立って、ポンプへのガスの流れを停止する工程を含む、請求項６８に記載の方法。
【請求項７２】
ポンプを再起動させるのに先立って、ポンプへのガスの流れを再開始させる工程を含む、請求項６８に記載の方法。
【請求項７３】
前記ガスが、半導体製造ガスを含み、前記ガス消費プロセスユニットが、半導体製造装置を含む、請求項６８に記載の方法。
【請求項７４】
前記ガス貯蔵分配容器が、ガスキャビネット内に配置される、請求項６８に記載の方法。
【請求項７５】
前記ガス貯蔵分配容器が、ガスキャビネット内の弁付きマニホルドにガス連通して接続される、請求項７４に記載の方法。
【請求項７６】
前記ガス供給分配システムが、前記配列の自動または手動の真空排気、パージ、および漏れ検出ができるように組み立てられ、配置されるハードウェアおよび電子装置をさらに含む、請求項６８に記載の方法。
【請求項７７】
前記ガス供給分配システムが、容器の交換、ガス流の開始、容器の自動切換え、パージガスの制御、プロセス／パージガスの真空排気、シャットダウンに先立つプロセスガス流の確保、および、温度制御からなる群から選択される機能の制御のための前もってプログラムされたシーケンスを提供するためのプログラム可能な論理調節器（ＰＬＣ）をさらに含む、請求項６８に記載の方法。
【請求項７８】
請求項５９に記載のガス供給分配システムから半導体製造装置にガスを供給する工程を含む半導体デバイスの製造方法。