(57)【要約】【課題】振動、特に共振現象を好適に抑制し得る搬送装置を提供する。【解決手段】このモノキャリア１０（搬送装置）は、対象を搬送すべき一軸方向に沿って延びる転動体転動溝２５を有するベース２０と、そのベース２０の転動体転動溝２５に対しその一軸方向の一方側と他方側とのそれぞれにスライド移動可能に設けられる複数の可動部材４０と、その複数の可動部材４０を前記一軸方向で駆動可能に当該一軸方向に沿って設けられるねじ軸３０と、そのねじ軸３０の途中部分での前記複数の可動部材４０同士の間をねじ軸３０の回動を許容しつつベース２０に対して支持する中間サポータ１（振動抑制手段）と、を備えている。【選択図】図１
2006342905.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象を搬送すべき一軸方向に沿って延びる案内軌道を有するベースと、該ベースの案内軌道に対しその前記一軸方向の一方側と他方側とのそれぞれにスライド移動可能に設けられる複数の可動部材と、該複数の可動部材を前記一軸方向で駆動可能に当該一軸方向に沿って設けられるねじ軸と、該ねじ軸をその回動を許容しつつ前記複数の可動部材の各可動領域の間で前記ベースに対して支持する振動抑制手段と、を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
対象を搬送すべき一軸方向に沿って延びるベース基部と、該ベース基部の幅方向両側それぞれに立設するとともに前記一軸方向に沿って延びる案内軌道を幅方向内側面に有する一対の案内レールと、該一対の案内レール同士の間に配設されて前記一軸方向に沿って延びるねじ軸と、該ねじ軸をその回動を許容して前記ベース基部の前記一軸方向両側それぞれに軸支可能に配設される側壁部材と、前記ねじ軸の前記一軸方向の一方側と他方側とにそれぞれ設けられて当該ねじ軸に対し複数のボールを介して前記一軸方向に相対移動可能に外嵌する複数のナットおよび前記各ナットと一体で移動可能に外嵌するとともに前記一対の案内レールの案内軌道に対して複数の転動体を介してスライド移動可能に跨設する複数のスライダを有する複数の可動部材と、前記ねじ軸をその回動を許容しつつ前記複数の可動部材の各可動領域の間で前記ベース基部または一対の案内レールに対して支持する振動抑制手段と、を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項３】
前記ベース基部と前記一対の案内レールとは、相互が非分割の一体構造で形成されていることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記一軸方向の一方側と他方側とでのナットとスライダとは、相互が非分割の一体構造で形成されて一の可動部材にそれぞれなっていることを特徴とする請求項２または３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記振動抑制手段は、前記一軸方向中央の位置に設けられていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記振動抑制手段は、軸受を備えて構成され、当該軸受が、前記ねじ軸にその回動を許容しつつこれに外嵌していることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記軸受は、前記一軸方向への移動が拘束されるとともに、予圧を付加可能に装着されるアンギュラ玉軸受であることを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記ねじ軸の両端は軸受でそれぞれ支持されてなり、当該両端の軸受は、両方共その内輪嵌合部および外輪嵌合部の少なくとも一方が、前記一軸方向に摺動可能に装着されていることを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記ねじ軸は、前記複数の可動部材にそれぞれ対応する前記一軸方向の一方側と他方側とでのねじ溝のリードがそれぞれ異なるとともにこれらが非分割の一体構造で形成されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の搬送装置。
【請求項１０】
前記ねじ軸は、その異なる各リードが、同一リード長をもつ右ねじおよび左ねじにそれぞれなっていることを特徴とする請求項９に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば工作機械や半導体製造装置等で用いられる搬送装置に係り、特に、対象の搬送方向での軸受間の距離が長く、駆動機構の回転数が高い一軸の搬送装置に好適に適用し得て、その搬送装置での振動、特に共振現象を好適に抑制し得る搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の搬送装置としては、例えば、テーブルベース上にリニアガイドを介して設けられた可動テーブルをスライド駆動するテーブル駆動機構を備える直動テーブル装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】実開平０５−０２７３３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この種の搬送装置では、生産性向上等の理由からその更なる高速化が要求されている。しかしながら、搬送装置の高速化にともなって、その駆動機構等での振動の発生、特に固有振動数の同調による共振現象が生じるおそれが拡大するという問題がある。このような問題は、特に、対象の搬送方向での軸受間の距離が長く、駆動機構の回転数を高くする場合において顕著である。
そこで、本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、振動、特に共振現象を好適に抑制し得る搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、本発明のうち請求項１に記載の発明は、搬送装置であって、対象を搬送すべき一軸方向に沿って延びる案内軌道を有するベースと、該ベースの案内軌道に対しその前記一軸方向の一方側と他方側とのそれぞれにスライド移動可能に設けられる複数の可動部材と、該複数の可動部材を前記一軸方向で駆動可能に当該一軸方向に沿って設けられるねじ軸と、該ねじ軸をその回動を許容しつつ前記複数の可動部材の各可動領域の間で前記ベースに対して支持する振動抑制手段と、を備えることを特徴としている。
【０００５】
請求項１に記載の発明によれば、複数の可動部材の各可動領域の間に、ねじ軸の回動（駆動）を許容しつつベースに対してねじ軸を支持する振動抑制手段を備えているので、ねじ軸の駆動を妨げることなくねじ軸の途中部分を支持することができる。これにより、例えばねじ軸が長尺で、対象の搬送方向での軸受間の距離が長い場合であっても、ねじ軸のセンタ位置を安定させて、ねじ軸の曲り等に起因する振動を抑制することができる。さらに、ねじ軸の途中部分を支持することでねじ軸の固有振動数を上げることができるから、例えば駆動機構の回転数を高くする場合においても、固有振動数の同調による共振現象が生じるおそれを低減することができる。
【０００６】
また、請求項２に記載の発明は、搬送装置であって、対象を搬送すべき一軸方向に沿って延びるベース基部と、該ベース基部の幅方向両側それぞれに立設するとともに前記一軸方向に沿って延びる案内軌道を幅方向内側面に有する一対の案内レールと、該一対の案内レール同士の間に配設されて前記一軸方向に沿って延びるねじ軸と、該ねじ軸をその回動を許容して前記ベース基部の前記一軸方向両側それぞれに軸支可能に配設される側壁部材と、前記ねじ軸の前記一軸方向の一方側と他方側とにそれぞれ設けられて当該ねじ軸に対し複数のボールを介して前記一軸方向に相対移動可能に外嵌する複数のナットおよび前記各ナットと一体で移動可能に外嵌するとともに前記一対の案内レールの案内軌道に対して複数の転動体を介してスライド移動可能に跨設する複数のスライダを有する複数の可動部材と、前記ねじ軸をその回動を許容しつつ前記複数の可動部材の各可動領域の間で前記ベース基部または一対の案内レールに対して支持する振動抑制手段と、を備えることを特徴としている。
【０００７】
請求項２に記載の発明によれば、本発明に係る搬送装置を、いわゆるボールねじとリニアガイドとの組合わせからコンパクトに構成し、さらに、請求項１に記載の発明同様の作用・効果を奏する構成とする上で好適である。
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の搬送装置であって、前記ベース基部と前記一対の案内レールとは、相互が非分割の一体構造で形成されていることを特徴としている。このような構成であれば、本発明に係る搬送装置を、ボールねじとリニアガイドとを一体とする組合わせとし、これをコンパクトに構成する上でより好適である。
【０００８】
また、請求項４に記載の発明は、請求項２または３に記載の搬送装置であって、前記一軸方向の一方側と他方側とでのナットとスライダとは、相互が非分割の一体構造で形成されて一の可動部材にそれぞれなっていることを特徴としている。このような構成であれば、本発明に係る搬送装置を、ボールねじとリニアガイドとを一体とする組合わせとし、よりコンパクトに構成する上でより好適である。
【０００９】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載の搬送装置であって、前記振動抑制手段は、前記一軸方向中央の位置に設けられていることを特徴としている。このような構成であれば、振動を抑制し、固有振動数の同調による共振現象が生じるおそれを低減する構成とする上でより好適である。
また、請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか一項に記載の搬送装置であって、前記振動抑制手段は、軸受を備えて構成され、当該軸受が、前記ねじ軸にその回動を許容しつつこれに外嵌していることを特徴としている。このような構成であれば、振動抑制手段を、ねじ軸の回動をより円滑に許容しつつ支持する構成とする上でより好適である。
【００１０】
また、請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の搬送装置であって、前記軸受は、前記一軸方向への移動が拘束されるとともに、予圧を付加可能に装着されるアンギュラ玉軸受であることを特徴としている。このような構成であれば、アンギュラ玉軸受でラジアル荷重およびスラスト荷重を受けられるので、振動抑制手段を、ねじ軸の回動を許容しつつこれに外嵌するとともに、振動を抑制し、固有振動数の同調による共振現象が生じるおそれを低減する構成とする上で好適である。
【００１１】
また、請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の搬送装置であって、前記ねじ軸の両端は軸受でそれぞれ支持されてなり、当該両端の軸受は、両方共その内輪嵌合部および外輪嵌合部の少なくとも一方が、前記一軸方向に摺動可能に装着されていることを特徴としている。このような構成であれば、ねじ軸両端の軸受は、両方共ラジアル方向のみにねじ軸を支持し、アキシャル方向には支持しない。そして、アキシャル方向の荷重は振動抑制手段を構成する軸受のみで受けるので、ねじ軸の熱膨張によるベース等での変形が生じない構成とする上で好適である。
【００１２】
また、請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか一項に記載の搬送装置であって、前記ねじ軸は、前記複数のナットにそれぞれ対応する前記一軸方向の一方側と他方側とでのねじ溝のリードがそれぞれ異なるとともにこれらが非分割の一体構造で形成されていることを特徴としている。このような構成であれば、本発明に係る搬送装置を多様な仕様に対応し得る構成とする上で好適である。
【００１３】
また、請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の搬送装置であって、前記ねじ軸は、その異なる各リードが、同一リード長をもつ右ねじおよび左ねじにそれぞれなっていることを特徴としている。このような構成であれば、前記一軸方向の一方側と他方側とでのリードがそれぞれ異なる構成において、振動を抑制し、固有振動数の同調による共振現象が生じるおそれを低減する構成とする上で好適である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、振動、特に共振現象を好適に抑制し得る搬送装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態について、図面を適宜参照しつつ説明する。なお、本実施形態は、本発明に係る搬送装置として、ボールねじとリニアガイドとが一体化された直動案内ユニットである、いわゆるモノキャリアに適用した例である。
図１〜図４は、本発明に係る搬送装置の第一実施形態であるモノキャリアの概略構成を示す説明図であり、図１（ａ）は、このモノキャリアの正面図、図１（ｂ）はその平面図、図２は図１（ｂ）でのＺ−Ｚ断面図、図３は図２でのＹ−Ｙ断面図、また、図４は、図１（ａ）でのＡ部を拡大して示す説明図である。
【００１６】
図１に示すように、このモノキャリア１０はベース２０を備えており、このベース２０は、ベース基部２２と、一対の案内レール２４とを備えて構成されている。ベース基部２２は、対象を搬送すべき一軸方向（以下、アキシャル方向ともいう）に沿って延びる基台部分であり、一対の案内レール２４は、そのベース基部２２の幅方向両側それぞれに前記一軸方向に沿って立設している。そして、これらベース基部２２と、一対の案内レール２４とは、図２に示すように、横断面が上向きの略コ字状をなし、相互が非分割の一体構造で形成されている。さらに、この一対の案内レール２４には、同図に示すように、略コ字状の凹部２１の幅方向内側面に、それぞれ前記一軸方向に延びる案内軌道である転動体転動溝２５が形成されている。
【００１７】
また、このベース２０の凹部２１には、図１および図２に示すように、前記一対の案内レール２４同士の間に、外周面に螺旋状のねじ溝３２を有して前記一軸方向に沿って延びるねじ軸であるねじ軸３０が配設されている。そして、このねじ軸３０が、ベース２０（ベース基部２２）の一方の端部に配設されている側壁部材２６ａに並設されたベアリングハウジング２８に設けられた不図示の軸受によってアキシャル方向固定で回動可能に支持されている。他方の端部の側壁部材２６ｂは、不図示の軸受によってアキシャル方向に移動可能に支持されている。
【００１８】
ここで、このねじ軸３０は、後述の二つの可動部材４０にそれぞれ対応する前記一軸方向の一方側３０ａと他方側３０ｂとでのねじ溝３２のリードがそれぞれ異なる（図１（ａ）参照）。特にこの例では、その異なる各リードは、同一リード長をもつ右ねじおよび左ねじにそれぞれなっている。そして、このねじ軸３０は、これら一方側３０ａと他方側３０ｂとが非分割の一体構造で形成されている。なお、一方側３０ａと他方側３０ｂとが繋がる中央部（図１（ａ）での符号Ａの位置）には、ねじ溝３２は加工されていない。
さらに、このモノキャリア１０は、ベース２０の凹部２１に、図１（ｂ）に示すように、前記一軸方向に沿って所定の可動領域で移動可能な二つの可動部材４０を有しており、各可動部材４０は、各可動領域内である、一軸方向の一方側３０ａと他方側３０ｂとのそれぞれに備えて構成されている。
【００１９】
詳しくは、図２に示すように、各可動部材４０の幅方向両側外面には、前記一対の案内レール２４の各転動体転動溝２５に対向する転動体転動溝４５がそれぞれ形成されている。また、各可動部材４０は、前記一軸方向中央に、ねじ軸３０の外径より大きな内径をもつ貫通孔を有し、その内周面に、ねじ軸３０の一方側３０ａと他方側３０ｂとの各ねじ溝３２と相対向して各リードに対応する螺旋状のねじ溝４２がそれぞれ設けられている。そして、これら相対向するねじ溝３２、４２同士によって螺旋状通路がそれぞれ形成されており、この螺旋状通路に転動体としての複数のボール６０が転動可能に装填されて、これら複数のボール６０を介して各可動部材４０がねじ軸３０に外嵌している。
【００２０】
また、各可動部材４０を継続して移動させていくためには、ボール６０を無限循環させる必要がある。そのため、各可動部材４０の上面には、図１（ａ）および図２に示すように、その凹部に据え付け面４０ｆが加工され、この据え付け面４０ｆに螺旋状通路に連通する一対の取付け孔４０ｂがねじ軸３３を跨ぐように一組形成されている。そして、この一対の取付け孔４０ｂに、略コ字状をなすボール循環チューブ４０ｃの両端をそれぞれ嵌め込むことにより、このボール循環チューブ４０ｃでボール６０を螺旋状通路の一端部から掬い上げ螺旋状通路の他端部に戻すことによってボール６０の無限循環路を形成している。これにより、前記螺旋状通路を転動したボール６０は、ボール循環チューブ４０ｃを通って前記螺旋状通路に再び戻るという第一の循環が可能になっている。ここで、各可動部材４０の当該第一の循環を可能にする構成が、ボールねじでのナットに対応する。
【００２１】
さらに、各可動部材４０の肉厚部には、図３に示すように、転動体転動溝２５と略平行に転動体通路４３が形成されており、また、各可動部材４０の前記一軸方向両端部には、図１および図３に示すように、エンドキャップ５０がそれぞれ取り付けられており、このエンドキャップ５０には、この転動体通路４３と転動体転動溝２５とを連通する湾曲した転動体循環路５２が内部に形成されている。そして、相対向する両転動体転動溝２５、４５の間には複数の転動体としてのボール６１が転動自在に装填され、両転動体転動溝２５、４５間を転動したボール６１は、両端部の転動体循環路５２および転動体通路４３を通って両転動体転動溝２５、４５間に再び戻るという循環が可能になっている。これにより、これらのボール６１の転動を介して可動部材４０が案内レール２４に対し円滑に案内されて軸方向に沿ってスライド移動可能になっている。ここで、各可動部材４０の当該スライド移動を可能にする構成が、リニアガイドでのスライダに対応する。
【００２２】
すなわち、このモノキャリア１０は、各可動部材４０が、ボールねじでのナットとリニアガイドでのスライダとを、相互が非分割の一体構造で形成された構造になっている。これにより、各可動部材４０は、ベース２０の凹部２１に収納された状態でねじ軸３０の回動によってボール６０の転動を介してその異なる各リードに応じて各可動部材４０が駆動されて、一対の案内レール２４の転動体転動溝２５で前記一軸方向に沿ってボール６１の転動を介してそれぞれが案内されつつ直線移動可能になっている。
【００２３】
さらに、このモノキャリア１０は、図１および図４に示すように、二つの可動部材４０同士の各可動領域の間に中間サポータ１を更に備えて構成されている。特にこの例では、中間サポータ１は、二つの可動部材４０同士の各可動領域間且つ前記一軸方向中央の位置に設けられている。
詳しくは、この中間サポータ１は、振動抑制手段であって、図４に拡大図示するように、深溝玉軸受２と、中間サポータ本体４と、止め輪８と、を備えて構成されている。
【００２４】
中間サポータ本体４は、前記一軸方向に適宜の厚さをもちその横断面が矩形状をなすブロック部材である。なお、この例では、中間サポータ本体４の厚さは、上述の、一方側３０ａと他方側３０ｂとが繋がる中央部（図１（ａ）での符号Ａの位置）の、ねじ溝３２が加工されていない部分の軸方向長さとほぼ同じ厚さになっている（図４参照）。さらに、中間サポータ本体４は、その矩形状の中央部に、前記一軸方向に貫通する軸受装着孔４ａが形成されている。なお、この軸受装着孔４ａの内周面には、止め輪８を装着可能な円環状の溝である軸受支持部材装着溝４ｃが深溝玉軸受２の幅より僅かに広い距離を隔てて周方向に沿って形成されている。また、中間サポータ本体４の矩形状の幅方向での寸法は、前記凹部２１内側の二面幅より僅かに狭い。さらに、この幅方向の両側には、中間サポータ１をベース基部２２に対して装着するために、一対の案内レール２４の立設方向に貫通する固定孔６がそれぞれ形成されている。そして、ベース基部２２の上面２２ａには、この固定孔６とその軸方向で対向する位置に、不図示のタップ穴が加工されている。これにより、中間サポータ本体４は、図１に示すように、前記凹部２１内側の二面幅内に挿入されて、中間サポータ固定ねじ７によって固定孔６を通してベース基部２２のタップ穴にねじ締結することで、ベース基部２２に対して支持可能になっている。
【００２５】
また、深溝玉軸受２は、中間サポータ１を、ねじ軸３０の回動を許容しつつこれに外嵌する構成とする軸受である。詳しくは、この深溝玉軸受２は、中間サポータ本体４の軸受装着孔４ａに内嵌可能な外径をもつ外輪２ｂと、ねじ軸３０の一軸方向中央の外周面３０ｃに外嵌可能な内径をもつ内輪２ａと、これら両輪間に介装されるベアリング２ｃとを備えて構成されている。そして、図４に示すように、この深溝玉軸受２は、その内輪２ａがねじ軸３０の外周面３０ｃに外嵌するとともに、その外輪２ｂが中間サポータ本体４の軸受装着孔４ａに内嵌して取り付けられる。これにより、中間サポータ１は、この深溝玉軸受２で、そのベアリング２ｃの転動を介してねじ軸３０の回動を許容しつつ、その中間サポータ本体４によってベース基部２２に対してねじ軸３０をアキシャル方向に移動可能に支持されている。
【００２６】
さらに、止め輪８は、図４に示すように、二箇所に装着されて前記一軸方向への前記深溝玉軸受２の移動を防止する略円環板状の軸受支持部材である。すなわち、この止め輪８は、深溝玉軸受２を中間サポータ本体４の軸受装着孔４ａに装着後、軸受装着孔４ａの両側から各挿入され、深溝玉軸受２の両側面それぞれに当接するように軸受支持部材装着溝４ｃに装着されることで、前記一軸方向への移動を防止可能になっている。
【００２７】
次に、このモノキャリア１０の作用・効果について説明する。
このモノキャリア１０は、ねじ軸３０の途中部分での複数の可動部材４０の各可動領域の間に、ねじ軸３０の回動（駆動）を許容しつつベース２０に対してねじ軸３０を支持する中間サポータ１を備えている。そのため、ねじ軸３０の駆動を妨げることなくねじ軸３０の途中部分を支持することができる。
【００２８】
ここで、従来、例えばねじ軸の両端部のみを軸受で支持する構造では、そのねじ軸が長尺で、対象の搬送方向での側壁部材（軸受）間の距離が長い場合、ねじ軸の曲り等に起因する振動が生じるおそれがあった。しかし、このモノキャリア１０によれば、上記中間サポータ１を備えているので、ねじ軸３０のセンタ位置を安定させて、その振動を抑制することができる。さらに、ねじ軸３０の途中部分を支持することで振動系の固有振動数を上げることができるから、例えば駆動機構の回転数を高くする場合においても、固有振動数の同調による共振現象が生じるおそれを低減することができる。
【００２９】
また、このモノキャリア１０は、ボールねじとリニアガイドとが一体化された直動案内ユニットなので、いわゆるボールねじとリニアガイドとの組合わせからコンパクトに搬送装置を構成しつつ、上記の作用・効果を奏する構成とすることができる。
また、このモノキャリア１０によれば、ベース基部２２と一対の案内レール２４とは、相互が非分割の一体構造で形成されてベース２０を構成しているので、搬送装置を、ボールねじとリニアガイドとを一体とする組合わせとし、これをコンパクトに構成することができる。
【００３０】
また、このモノキャリア１０によれば、前記一軸方向の一方側３０ａと他方側３０ｂとでの、通常のボールねじとリニアガイドとでのナットとスライダとを、相互が非分割の一体構造で形成された一の可動部材４０で構成しているので、搬送装置を、ボールねじとリニアガイドとを一体とする組合わせとしつつ、よりコンパクトに構成することができる。
また、このモノキャリア１０によれば、中間サポータ１は、前記一軸方向中央の位置に設けられているので、好適に振動を抑制し、固有振動数の同調による共振現象が生じるおそれを好適に低減することができる。
【００３１】
また、このモノキャリア１０によれば、中間サポータ１は、軸受を備えて構成され、この軸受によって、ねじ軸３０にその回動を許容しつつ外嵌しているので、ねじ軸３０の回動をより円滑に許容しつつこれに外嵌させることができる。
また、このモノキャリア１０によれば、ねじ軸３０は、複数の可動部材４０にそれぞれ対応する前記一軸方向の一方側と他方側とでのねじ溝３０のリードがそれぞれ異なるとともにこれらが非分割の一体構造で形成されているので、好適に多様な仕様に対応し得る構成とすることができる。
【００３２】
次に、本発明の第二実施形態について、図面を適宜参照しつつ説明する。なお、本実施形態は、上記第一実施形態のモノキャリアとは、その中間サポータに用いる軸受として、深溝玉軸受２に換えてアンギュラ玉軸受３を用いた点、および側壁部材２６ａ、２６ｂでの軸受構成が異なる点を除き他の構成は同様であるので、異なる点について説明し、同様の構成についてはその図示および説明はこれを適宜省略する。
【００３３】
図５は、第二実施形態のモノキャリアの概略構成を示す説明図である。
このモノキャリアは、同図に示すように、その中間サポータに用いる軸受として、アンギュラ玉軸受３を複列で用いており、これに予圧を付加してねじ軸３０の軸方向動作を拘束可能に装着している。また、側壁部材２６ａ、２６ｂには、ねじ軸３０を支持する軸受として、深溝玉軸受（不図示）をそれぞれに用いている。
【００３４】
このような構成であれば、中間サポータ１に用いたアンギュラ玉軸受３でラジアル荷重およびスラスト荷重を受けるので、左右の可動部材４０のスラスト剛性がほぼ等しくなる。特に、左右の可動部材４０が同一リード長で逆向きのリードの場合、可動部材４０の加減速にともなう軸方向加振力、および、それによる残留振動を相殺することができる。さらに、両端の側壁部材２６ａ、２６ｂに設けられた軸受がアキシャル方向に拘束しないことにより、ねじ軸３０の熱膨張により案内レール２４を変形させることがない。
【００３５】
また、このモノキャリアによれば、ねじ軸３０は、その異なる各リードが、同一リード長をもつ右ねじおよび左ねじにそれぞれなっているので、前記一軸方向の一方側と他方側とでのリードがそれぞれ異なる構成において、好適に振動を抑制し、固有振動数の同調による共振現象が生じるおそれを好適に低減することができる。
なお、本発明に係る搬送装置は、上記実施形態に限定されるものではない。
【００３６】
例えば、上記実施形態では、本発明に係る搬送装置として、ボールねじとリニアガイドとが一体化された直動案内ユニットである、いわゆるモノキャリアを例に説明したが、これに限定されず、本発明に係る搬送装置は、それぞれ個別のボールねじとリニアガイドとを組み合わせて構成してもよい。例えば、上記実施形態では、前記一軸方向の一方側と他方側とでの各ナットとスライダとは、相互が非分割の一体構造で形成された一の可動部材４０とした例で説明したが、それぞれ個別の部品としてのナットとスライダとを組み合わせて各可動部材を構成してもよい。さらに例えば、上記実施形態では、ベース基部２２と一対の案内レール２４とは、相互が非分割の一体構造で形成されている例で説明したが、それぞれ個別の部品としてのベース基部と一対の案内レールとを組み合わせてベースを構成してもよい。しかし、本発明に係る搬送装置を、いわゆるボールねじとリニアガイドとの組合わせからコンパクトに構成する上では、上記実施形態での構成とすることが好ましい。
【００３７】
また、上記実施形態では、可動部材４０は、そのリニアガイドでのスライダに対応する機構構成において、転動体としてボール６１を用いているが、これに限定されず、例えば転動体としてころを用いて構成することができる。
また、上記実施形態では、一対の案内レール２４同士の間にねじ軸３０が配設されている例で説明したが、これに限定されず、各可動部材４０を駆動可能な配置であれば、例えば一方の案内レール２４の外側面側に配設してもよい。しかし、搬送装置をコンパクトに構成する上では、上記実施形態での構成とすることが好ましい。
【００３８】
また例えば、上記実施形態では、ねじ軸３０は、複数の可動部材４０にそれぞれ対応する前記一軸方向の一方側３０ａと他方側３０ｂとでのねじ溝のリードがそれぞれ異なるとともにこれらが非分割の一体構造で形成されている例で説明したが、これに限定されず、一方側３０ａと他方側３０ｂとをそれぞれ個別の部品とし、中央部で連結する構成としてもよい。さらに、各リードがそれぞれ異なる例で説明し、その異なる各リードが、同一リード長をもつ右ねじおよび左ねじにそれぞれなっている例で説明したが、これに限定されず、同一のリードで構成してもよい。
【００３９】
また、上記実施形態では、中間サポータ１は、軸受を備えて構成され、この軸受によって、ねじ軸３０にその回動を許容しつつ外嵌している例で説明したが、これに限定されず、例えば軸受を備えずに、中間サポータ本体４に形成した前記一軸方向に貫通する貫通孔で直接ねじ軸３０の回動を許容しつつ外嵌する構成としてもよい。この場合、通常はねじ軸と貫通孔とは接触せず、ねじ軸がラジアル方向に振動した場合に接触し、振動を減衰させることができる。しかし、ねじ軸の回動をより円滑に許容しつつこれに外嵌する構成とする上では、中間サポータ１を、軸受を備えた構成とすることが好ましい。また、上記実施形態では、深溝玉軸受２、アンギュラ玉軸受３を使用した例で説明したが、適用可能な軸受はこれに限定されず、その他種々の軸受を用いることができる。
【００４０】
また、上記第一実施形態では、中間サポータ１を、ベース２０のベース基部２２に対して、二本の中間サポータ固定ねじ７で直接ねじ締結で固定することで、支持する例で説明したが、中間サポータ１の支持構造は、この例に限定されない。例えば図５での第二実施形態に示すように、四本の中間サポータ固定ねじ７で固定してよいし、また、ベース基部２２に限定されず、例えばベース２０と一体または別体の案内レール２４に対してねじ等で連結できる。また、締結手段もねじに限定されず、例えば接着や溶着等で固定して支持してもよい。また、支持状態は必ずしも固定状態に限定されず、例えば一方の溝と他方の突起部とを嵌め合わせる等の掛け止め構造で位置決めすることで支持可能であるし、直接の固定のみならず、例えばゴム等の弾性部材を介して中間サポータ１をベース２０に間接的に固定することで支持してもよい。
【００４１】
また、上記実施形態では、複数の可動部材４０として、前記一軸方向の一方側３０ａと他方側３０ｂとに各一つずつの可動部材４０を備える構成例で説明したが、これに限定されず、例えば、複数の可動部材４０として、前記一軸方向の一方側３０ａと他方側３０ｂとに各二つずつ備える構成とすることができるし、あるいはまた、例えば一方側３０ａには一つ、他方側３０ｂに二つ備える構成とする等、複数の可動部材の組合わせであれば適宜の構成とすることができる。そして、中間サポータ１は、これら複数の可動部材での各各可動領域の間（非可動領域）に装着されていれば、その駆動の妨げとならないので、好適に本発明に係る搬送装置を構成することができる。
その他、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係る搬送装置の第一実施形態であるモノキャリアの概略構成を示す説明図であり、図１（ａ）は、このモノキャリアの正面図、図１（ｂ）はその平面図である。
【図２】図１（ｂ）でのＺ−Ｚ断面図である。
【図３】図２でのＹ−Ｙ断面図である。
【図４】図１（ａ）でのＡ部を拡大して示す説明図である。
【図５】本発明に係る搬送装置の第二実施形態を説明する図であり、同図は、第一実施形態での図１（ｂ）に対応する図である。
【符号の説明】
【００４３】
１    中間サポータ（振動抑制手段）
２    深溝玉軸受（軸受）
３    アンギュラ玉軸受（軸受）
４    中間サポータ本体
６    固定孔
７    中間サポータ固定ねじ
８    止め輪（軸受支持部材）
１０    モノキャリア（搬送装置）
２０    ベース
２１    凹部
２２    ベース基部
２４    案内レール
２５    （案内レールの）転動体転動溝（案内軌道）
２６    側壁部材
２８    ベアリングハウジング
３０    ねじ軸
３２    （ねじ軸の）ねじ溝
４０    可動部材
４２    （可動部材の）ねじ溝
４３    転動体通路
４５    （可動部材の）転動体転動溝
５０    エンドキャップ
５２    転動体循環路
６０    ボール
６１    ボール（転動体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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