(57)【要約】【課題】  受圧空間の気密性を維持しつつ熱溶着部分の破壊を防止するとともに、受圧ダイヤフラムからの透過ガス量を減らし、圧力センサの寿命を延ばし、さらに受圧ダイヤフラムの構造的変形や残留応力をなくし、特性の良い、且つ信頼性の高い薬液用圧力センサを提供する。【解決手段】  圧力エレメントと、該圧力エレメントをその内部に支持するケースと、前記圧力エレメントに対向する上面に形成され、圧力エレメントに圧力を伝える受圧ダイヤフラム及び該受圧ダイヤフラムに作用する受圧空間を有し、前記上面と反対側の下面に受圧空間が開口している本体部分と、そのフランジ部が前記開口に嵌合し、薬液を受圧空間に導入する圧力導入管とを備える薬液用圧力センサであって、前記本体部分と前記圧力導入管のフランジ部は、気密に溶着され、前記ケースと前記本体部分は、前記圧力エレメントと前記受圧ダイヤフラムとが密着するように連結固定される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液の圧力を検出する圧力エレメントと、
該圧力エレメントをその内部に収容、支持するケースと、
前記圧力エレメントに対向する上面に形成され、前記圧力エレメントに薬液の圧力を伝える受圧ダイヤフラム及び該受圧ダイヤフラムに作用する受圧空間を有する本体部分であって、前記受圧ダイヤフラムが形成されている上面と反対側の下面に前記受圧空間が開口している本体部分と、
そのフランジ部が前記開口に嵌合し、薬液を前記受圧空間に導入する圧力導入管と、
を備え、
前記本体部分と前記圧力導入管のフランジ部は、気密に溶着され、
前記ケースと前記本体部分は、前記圧力エレメントと前記受圧ダイヤフラムとが密着するように連結固定されることを特徴とする薬液用圧力センサ。
【請求項２】
前記ケースは、金属製であり、
前記本体部分と前記圧力導入管は同じフッ素樹脂製であることを特徴とする請求項１に記載の薬液用圧力センサ。
【請求項３】
さらに、前記本体部分と前記圧力導入管を構成する材料より硬い材料からなるベースを備え、
該ベースは、前記本体部分及び前記圧力導入管のフランジ部がベース上に支持されるように、前記ケースと連結固定されることを特徴とする請求項１又は２に記載の薬液用圧力センサ。
【請求項４】
前記ケースの下端部に、前記圧力エレメントを支持する環状の支持部が形成され、
前記本体部分の受圧ダイヤフラムの外周部分は、段を落とした段付部として形成され、
前記ケースの環状の支持部は、前記受圧ダイヤフラムを取り囲み、前記本体部分の段付部に当接するように連結固定されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の薬液用圧力センサ。
【請求項５】
前記本体部分の受圧空間の径は、前記圧力導入管のフランジ部より大きいことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の薬液用圧力センサ。
【請求項６】
薬液の圧力を検出する圧力エレメントと、
該圧力エレメントをその内部に収容、支持するケースと、
前記圧力エレメントに対向する上面に形成され、前記圧力エレメントに薬液の圧力を伝える受圧ダイヤフラム及び該受圧ダイヤフラムを加圧する受圧空間を有する本体部分であって、前記受圧ダイヤフラムが形成されている面と反対側の下面に前記受圧空間が開口し、前記受圧空間に薬液を導入する圧力導入管が水平方向に連通している本体部分と、
前記開口に嵌合し、前記本体部分と気密に溶着される蓋と、
を備え、
前記ケースと前記本体部分は、前記圧力エレメントと前記受圧ダイヤフラムとが密着するように連結固定されることを特徴とする薬液用圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置や化学薬品製造装置等の圧力を測定するための薬液用圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や化学薬品製造装置では各種の腐食性流体、例えば、半導体製造装置では、フッ酸、塩酸など、を取り扱う。そのような腐食性流体の圧力やタンク内の液面を測定するために、フッ素樹脂等の耐薬液性を有する材料で保護された圧力センサが使用される。
【０００３】
図４、５に、特許文献１に開示される従来の耐薬液性を有する薬液用圧力センサ構造（以下、「従来例１」という。）及びその要部拡大図を示す。この従来例１における薬液用圧力センサにおいては、圧力エレメント２０３の圧力により変形するダイヤフラム２０３ａが、フッ素樹脂からなる受圧ダイヤフラムとして機能するシート状薬液保護層２０２と接着した構造を有している。また、フッ素樹脂からなる圧力導入管２０１は、その一方の端部にダイヤフラム２０３ａとともに受圧空間２０６を構成するためのフランジ部２０１ａが設けられており、該フランジ部２０１ａの薬液保護層２０２と接する上面部分には、環状突起２０１ｂが形成されている。圧力導入管２０１のフランジ部２０１ａと圧力エレメント２０３は、ケース２０４の底面部２０４ａと圧力エレメント押さえ２０５の段付き部２０５ａとで挟まれ、結果として、環状突起２０１ｂが薬液保護層２０２に食い込み、それにより、受圧空間２０６の気密を維持している。
【０００４】
図６に、特許文献２に開示される従来の別の薬液用圧力センサ構造（以下、「従来例２」という。）を示す。この従来例２における薬液用圧力センサは、フッ素樹脂からなる圧力ダイヤフラム３０２と同じフッ素樹脂からなる圧力導入管３０１のフランジ部３０１ａが熱溶着され、それにより、気密性受圧空間３０６が形成されている。
【０００５】
図７に、特許文献３に開示される従来のさらに別の薬液用圧力センサ構造（以下、「従来例３」という。）を示す。この従来例３における薬液用圧力センサは、フッ素樹脂からなる圧力導入管４０１の一方の端部を圧力ダイヤフラム部４０２で閉じるように形成し、気密性受圧空間４０６を構成するとともに、同じフッ素樹脂からなるハウジング本体４０４を介して、圧力ダイヤフラム部４０２を備える圧力導入管４０１と圧力エレメント４０３を組みつけてなる。
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−１９７０４号公報
【特許文献２】特許第３４１０７１１号公報
【特許文献３】特許第２５５２０９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来例１においては、フッ素樹脂からなる圧力導入管２０１は、一端にフランジ部２０１ａが設けられており、さらに、該フランジ部２０１ａは、上面（圧力エレメント２０３と接する面）に環状突起２０１ｂが形成されている。また、圧力エレメント２０３のダイヤフラム２０３ａにはフッ素樹脂からなる受圧ダイヤフラムとして機能する薬液保護層２０２が接着されており、ケース２０４に圧力エレメント押さえ２０５を締めこむことで、環状突起２０１ｂを薬液保護層２０２に食い込ませて気密を維持している。
【０００８】
しかしながら、従来例１においては、フッ素樹脂自体が、クリープ（一定の応力が作用しているとき、時間の経過とともに歪が増大する現象）が大きいため、環状突起２０１ｂとフッ素樹脂製の薬液保護層２０２との接圧が時間の経過とともに徐々に低下し、これらの間の気密が維持できなくなる問題があった。また、受圧ダイヤフラムとしてのシート状薬液保護層２０２は、環状突起２０１ｂが食い込まれることにより大きな応力が生じ、ダイヤフラムとしての特性が低下し、ダイヤフラムとしての安定した変形をすることができなくなる恐れもある。さらに、フランジ部２０１ａに設けられている環状突起２０１ｂの形状や高さの公差が厳しく、加工コストの上昇を招いている。
【０００９】
上記従来例１における環状突起２０１ｂによるシート状薬液保護層２０２の問題点を回避すべく、図６に示される従来例２が提案されている。この従来例２においては、上記したように、フッ素樹脂製の圧力導入管３０１のフランジ部３０１ａと同じくフッ素樹脂製の受圧ダイヤフラム３０２とを熱溶着することにより受圧空間３０６の気密を維持するとともに、受圧ダイヤフラム３０２と圧力エレメント３０３が接着される構造を有している。このように一体化された圧力導入管３０１のフランジ部３０１ａ、受圧ダイヤフラム３０２および圧力エレメント３０３は、ケース３０４に嵌合され、フランジ部３０１ａの側面に形成される突起３０１ｂとＯリング３０７とで固定される。従来例２の構造においては、薬液流体を突起食込みでシールすることがないので、受圧空間３０６の気密の信頼性は向上する。
【００１０】
しかしながら、薄い受圧ダイヤフラム３０２は、フランジ部３０１ａとの熱溶着時、その熱（熱風吹き出し温度で約４５０℃、溶着部温度で約３５０℃）により変形し易く（ちなみに、フッ素樹脂として代表的なＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）の融点は３２７℃であり、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシエチレン）の融点は３０５℃である。）、ダイヤフラムとしての平坦度が悪くなり、残留応力により圧力センサとしての特性が悪化する問題がある。また、熱溶着するときの温度、接圧などにより、受圧ダイヤフラム３０２を構成するフッ素樹脂の収縮量が変化して受圧ダイヤフラム３０２の厚さや長さなどの寸法のバラツキが生じ、受圧ダイヤフラム３０２の形状が一定のものとならない。したがって、図６に示されるように、ケース３０４により圧力エレメント３０３を受圧ダイヤフラム３０２上に密着するように支持固定するとき、圧力エレメント３０３、受圧ダイヤフラム３０２及び圧力導入管３０１のフランジ部３１０ａを合わせた長さが一定せず、該ケース３０４と圧力エレメント３０３との間のシール部材として介在するＯリング３０７の圧縮率が変わり、圧縮されるＯリング３０７の反力の向く方向が垂直方向からずれ（すなわち傾斜し）、圧力エレメント３０３を移動させる。結果として、受圧ダイヤフラム３０２とフランジ部３０１ａとの溶着部３０１ｃ及び受圧ダイヤフラム３０２と圧力エレメント３０３との接着部に剥離方向の力すなわち剪断力が加わり、薬液の圧力が変動する毎に該剪断力も変動する。この剪断力の変動が繰り返されことで、溶着部３０１ｃにおいて溶着が破壊される恐れがある。あるいは、受圧ダイヤフラム３０２と圧力エレメント３０３との接着部、特にその周辺部において、剥離を起こす恐れがある。
【００１１】
上記従来例１、２における問題点を解消すべく、図７に示される従来例３がさらに提案されている。上記従来例３においては、圧力導入管４０１と受圧ダイヤフラム４０２とが一体形成されているものである。従来例３の圧力センサは、このように構成されているので、従来例１や２のように、受圧ダイヤフラムと圧力導入管とを、突起食込みや熱溶着することでこれらを一体化し、受圧空間を気密に維持する必要がない。言い換えれば、受圧ダイヤフラム４０２と圧力導入管４０１との間で、従来例１、２のように、気密性が破壊されることは全くない。
【００１２】
しかしながら、従来例３においては、その構造上受圧ダイヤフラム４０２の大きさが、圧力導入管４０１の直径の大きさに関連する。すなわち、液体の圧力導入に十分な程度に圧力導入管４０１の径を小さくすると、受圧ダイヤフラム４０２が微細な圧力変動に対応して撓むことができず、ダイヤフラムとしての機能を低下させる。また、受圧ダイヤフラフ４０２がダイヤフラムとして適正に機能するように、圧力導入管４０１の径を大きくすると、使用するフッ素樹脂量が増大し、結局、管接続部を設けることにもなり、製造コストを上昇させる。
【００１３】
さらに、圧力導入管４０１とハウジング４０４をネジ部４０５で連結した構造では、受圧ダイヤフラム４０２が組み立て時に外力を受け、受圧ダイヤフラム４０２に液体（薬液）の圧力が加わると、ネジ部４０５ないしピン部４０７に応力が働き、フッ素樹脂の大きなクリープ特性により受圧ダイヤフラム４０２に変形が発生し、受圧ダイヤフラム４０２と圧力ダイヤフラム４０３との接圧が変化し、ダイヤフラムとしての特性を変動させる恐れがある。
【００１４】
本発明の目的は、上記従来例における問題点に鑑み、受圧空間の気密性を維持しつつ熱溶着部分の破壊を防止するとともに、受圧ダイヤフラムからの透過ガス量を減らし、圧力センサの寿命を延ばし、さらに受圧ダイヤフラムの構造的変形や残留応力をなくし、特性の良い、且つ信頼性の高い薬液用圧力センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明に係る薬液用圧力センサは、薬液の圧力を検出する圧力エレメントと、該圧力エレメントをその内部に収容、支持するケースと、前記圧力エレメントに対向する上面に形成され、前記圧力エレメントに薬液の圧力を伝える受圧ダイヤフラム及び該受圧ダイヤフラムに作用する受圧空間を有する本体部分であって、前記受圧ダイヤフラムが形成されている上面と反対側の下面に前記受圧空間が開口している本体部分と、そのフランジ部が前記開口に嵌合し、薬液を前記受圧空間に導入する圧力導入管とを備え、前記本体部分と前記圧力導入管のフランジ部は、気密に溶着され、前記ケースと前記本体部分は、前記圧力エレメントと前記受圧ダイヤフラムとが密着するように連結固定されることを特徴とする。
【００１６】
前記ケースは、金属製であることが好ましく、前記本体部分及び前記圧力導入管は、同じフッ素樹脂製であることが好ましい。
【００１７】
さらに、前記本体部分と前記圧力導入管を構成する材料より硬い材料からなるベースを備え、該ベースは、前記本体部分及び前記圧力導入管のフランジ部が前記ベース上に支持されるように、前記ケースと連結固定されることが好ましい。
【００１８】
また、前記ケースの下端部に、前記圧力エレメントを支持する環状の支持部が形成され、前記本体部分の受圧ダイヤフラムの外周部分は、段を落とした段付部として形成され、前記ケースの環状の支持部は、前記受圧ダイヤフラムを取り囲み、前記本体部分の段付部に当接するように連結固定されることが好ましい。
【００１９】
また、前記本体部分の受圧空間の径は、前記圧力導入管のフランジ部より大きいことが好ましい。
【００２０】
さらに、本発明に係る薬液用圧力センサは、薬液の圧力を検出する圧力エレメントと、該圧力エレメントをその内部に収容、支持するケースと、前記圧力エレメントに対向する上面に形成され、前記圧力エレメントに薬液の圧力を伝える受圧ダイヤフラム及び該受圧ダイヤフラムに作用する受圧空間を有する本体部分であって、前記受圧ダイヤフラムが形成されている上面と反対側の下面に前記受圧空間が開口し、前記受圧空間に薬液を導入する圧力導入管が水平方向に連通している本体部分と、前記開口に嵌合し、前記本体部分と気密に溶着される蓋とを備える薬液用圧力センサであって、前記ケースと前記本体部分は、前記圧力エレメントと前記受圧ダイヤフラムとが密着するように連結固定されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る薬液用圧力センサは、本体内部に薬液を導入する受圧空間を備える本体部分に、受圧ダイヤフラムを一体に形成するとともに、該受圧ダイヤフラムから離れた本体部分の下面側で受圧空間の開口に圧力導入管又は蓋を嵌合し、気密に熱溶着しているので、受圧ダイヤフラムは、溶着による熱影響を受けることがなく、正確な圧力検出をすることができる。
【００２２】
薬液が導入される本体部分と圧力導入管を耐腐食性のフッ素樹脂で構成しているので、圧力センサの寿命を長くすることができる。
【００２３】
本体部分及び圧力導入管を剛性の高いベースとケースとで挟持するようにしたので、本体部分及び圧力導入管の変形を防止できる。さらに、受圧ダイヤフラムから離れた本体部分で、本体部分とケースとを固定しているため、受圧ダイヤフラムの変形が防止できる。
【００２４】
受圧ダイヤフラムの周囲をベースで取り囲むとともに、圧力エレメントはケースで指示するようにしたので、受圧エレメントに組み立てによる外力が何ら加わらず、受圧ダイヤフラムに対する応力の発生によるクリープ現象が起きることを防止することができ、圧力センサの長期にわたる信頼性を向上させる。
【００２５】
受圧空間開口径を該受圧空間の径より小さくしているので、熱溶着される圧力導入管及び蓋にかかる薬液の圧力の小さくなり、熱溶着部の破断を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図１ないし３を参照して本発明の実施例につき説明する。
【００２７】
図１は、本発明の第１の実施例に係る薬液用圧力センサの断面図であり、図２は、主要部品の断面図であり、（ａ）は、圧力エレメントの断面図、（ｂ）は、受圧ダイヤフラム部分を備える本体部分の断面図、（ｃ）は、圧力導入管の断面図である。図３は、本発明の第２の実施例に係る薬液用圧力センサを示し、（ａ）は、該薬液用圧力センサの上面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。
【００２８】
図１に示されるように、本発明の第１の実施例に係る薬液用圧力センサ１００は、概略円筒状をなし、薬液を導入してその圧力変動を受ける受圧側部分（下側部分）と、受圧側部分で受け取った圧力を検出して電気信号に変換して制御器等に送出する検出側部分（上側部分）とから構成される。
【００２９】
本実施例における薬液用圧力センサ１００の受圧側部分は、本体部分２、該本体部分２と熱溶着により接続される圧力導入管１及び本体部分２及び圧力導入管１を支持するベース７を含んでいる。
【００３０】
本体部分２は、フッ素樹脂からなり、その内部は受圧空間１１として構成される。本体部分２の上面の一部は、切削加工により薄肉化され、薬液の圧力変動に応答して撓むことができる受圧ダイヤフラム２ａとして形成され、該受圧ダイヤフラム２ａを取り囲む本体部分２の上面の残りの部分は、段を落として段付部２ｃとして形成される。段付部２ｃには、円周方向に間隔を置いて複数の貫通孔２ｇが形成されている。本体部分２の受圧空間１１は、図２（ｂ）に示されるように、圧力導入管１が嵌め込まれる嵌合部２ｅ、及び熱溶着用凹部２ｄを介して、受圧ダイヤフラム２ａが形成されている上面と反対側である下面２ｂに開口している。嵌合部２ｅには、嵌合される圧力導入管１との位置決めのための段付部２ｆが形成されている。
【００３１】
圧力導入管１は、上記本体部分２と同じフッ素樹脂からなり、図２（ｃ）に示されるように、その内部を薬液用通路１ｄが貫通している。圧力導入管１の一方の端部（図において、上端部）には、上記本体部分２の嵌合部２ｅに嵌合するフランジ部１ａが形成されており、該フランジ部１ａには、嵌合部２ｅの段付部２ｆに係合する段付部１ｂが形成されている。なお、圧力導入管１の他方の端部は、例えば、薬液のタンクなどに接続される。また、フランジ部１ａの下部には、熱溶着用凹部１ｃが形成され、圧力導入管１のフランジ部１ａが本体部分２の嵌合部２ｅに嵌合されたとき、該嵌合部２ｅに形成されている熱溶着用凹部２ｄとともに熱溶着部１２（図１参照）を形成する。
【００３２】
フランジ部１ａの熱溶着部１ｃと本体部分２の熱溶着凹部２ｄとで形成される熱溶着部１２に、本体部分２及び圧力導入管１と同じフッ素樹脂の溶融物を流し込むことにより、本体部分２と圧力導入管１は、熱溶着され、一体化される。このように本体部分２と圧力導入管１（より正確には、そのフランジ部１ａ）との熱溶着部１２を、本体部分２の受圧ダイヤフラム２ａが形成されている上面側とは反対の下面側に形成しているので、熱溶着時の高熱による受圧ダイヤフラム２ａの変形を防止することができる。
【００３３】
また、圧力導入管１の薬液用通路１ｄは、例えばタンク内にある薬液の圧力を伝えればよいのであるから、薬液用通路１ｄの径は小さくし得るとともに、圧力導入管１のフランジ部１ａも受圧空間１１と同じ大きさを有する必要がなく、したがって、圧力導入管１のフランジ部１ａの外径をｄ１とし、受圧空間１１の内径をｄ２とするとき、これらの間の関係は、ｄ１＜ｄ２とすることが好ましい。このように構成すると、受圧空間１１の圧力（すなわち、薬液の圧力）が変動するとき、圧力導入管１のフランジ部１ａの面積が小さいから、該フランジ部１ａに作用する力は小さくなり、それにより、熱溶着部１２にかかる剪断力も小さくなり、該剪断力が熱溶着部１２に繰り返し作用することによる熱溶着部１２の破断を防止できる。
【００３４】
ベース７は、本体部分２及び圧力導入管１を構成するフッ素樹脂より硬い素材（例えば、金属やＰＰＳ（ポリフェニレサルファイド）のような剛性の高い樹脂）から形成され、一体化された本体部分２の下面２ｂ、圧力導入管のフランジ部１ａの下面及び熱溶着部１２を支持するとともに、取り付けネジ１０により、貫通孔２ｇを介して、後述する検出側部分のケース４に連結、固定される。
【００３５】
次に、本実施例における薬液用圧力センサ１００の検出側部分は、圧力エレメント３、回路基板８、該回路基板８を支持する回り止めリング５、圧力エレメント３、回路基板８及び回り止めリング５を収容するケース４、該ケース４内にねじ係合し、圧力エレメント３及び回り止めリング５をケース４に固定する圧力エレメント押さえネジ６及びケース４を覆うカバー部材９を含んでいる。なお、１４は、回路基板８と外部制御器（不図示）との間で電気信号を授受するための信号線を含むケーブルである。
【００３６】
圧力エレメント３は、図２（ａ）に示されるように、薄板セラミックからなるダイヤフラム３ａ、基板３ｂ、ダイヤフラム３ａ及び基板３ｂの対向する面に設けられている一対の電極３ｄを含んでいる。ダイヤフラム３ａと基板３ｂは、間隔をおいて対向配置され、ガラス接着剤３ｃにより接着されている。図２（ａ）に示されるように、圧力エレメント３のダイヤフラム３ａのガラス接着剤３ｃにより基板３ｂに接着される部分を含む外周部分３ａ１は、圧力検出には寄与しない。すなわち、ダイヤフラム３ａの外周部分３ａ１は撓むことがなく、固定領域を構成し、ダイヤフラム３ａの残りの中心部分３ａ２が撓み領域を構成している。本実施例における圧力エレメント３は、ダイヤフラム３ａの中心部分であるたわみ領域３ａ２が撓むことにより、一対の電極３ｄの間隔が変化し、それに伴って静電容量が変化することを利用して圧力を検出する、静電容量方式の圧力検出手段である。本実施例においては、圧力エレメント３のダイヤフラム３ａの撓み領域３ａ２は、薬液用圧力センサ１００を組立てるとき、上記受圧ダイヤフラム２ａに密着される。
【００３７】
ここで、圧力エレメント３のダイヤフラム３ａの撓み領域３ａ２の径をｄ３とすると、受圧ダイヤフラム２ａの撓み領域の径、すなわち、受圧空間１１の径は、上記したように、ｄ２であるから、両者の径の間の関係は、ｄ３≒ｄ２とすることが好ましい。それにより、本体部分２に形成される肉薄の受圧ダイヤフラム２ａ部分を本体部分２の上面全面に形成する必要がなくなり、腐食性薬液の気化ガスの透過面積を小さくできるとともに、後述するように、圧力エレメント３を支持するケース４の支持部４ａを受圧ダイヤフラム２ａ外周に配置することができるようになり、受圧ダイヤフラム２ａに、圧力センサ１００の組み立てによる外圧が加わることがなくなる。
【００３８】
ケース４は、金属製で、概略円筒状に形成されている。ケース４の下端部は、図１に示されるように、周壁から中心方向に向けて突出する環状の支持部４ａが形成されており、該支持部４ａは、上記圧力エレメント３を支持するとともに、本体部分２の段付部２ｃに当接し得るように形成されている。また、ケース４周壁の内側上方には、圧力エレメント押さえネジ６がネジ係合するように、ネジが切られている。上記したように、圧力エレメント３及び回路基板８を支持する回り止めリング５は、圧力エレメント押さえネジ６を捻じ込むことにより、ケース４内に収容、固定される。さらにカバー９でケース４上部を覆うことにより、検出側部分が組み立てられる。
【００３９】
以上のように構成されている薬液用圧力センサ１００は、組み立てられた検出側部分に、熱溶着で一体化された本体部分２と圧力導入管１を下側から本体部分２の段付部２ｃがケース４の支持部４ａに当接するようにあてがい、さらに、本体部分２の下面２ｂにベース７をあてがって後、取り付けネジ１０により、検出側部分と受圧側部分とを結合し、圧力センサを形成する。このとき、圧力エレメント３のダイヤフラム３ａの撓み領域と本体部分２の受圧ダイヤフラム２ａの撓み領域とは、互いに密着されるが、組み立てによる押圧力などの外力がダイヤフラム２ａ、３ａそれぞれの撓み領域に何ら加えられることがないので、ダイヤフラムとしての機能をなんら損ねることがなく、圧力センサとしての信頼性が向上する。また、比較的柔軟なフッ素樹脂からなる本体部分２及び圧力導入管１（のフランジ部１ａ）及びこれらの熱溶着部１２が、金属製ケース４と剛性の高い材料からなるベース７との間に機械的に連結固定されるので、熱溶着部１２が剥離することがない。さらに、圧力導入管１に外力が作用しても、同様にベース７により固定されているので、熱溶着部１２に悪影響を及ぼすこともない。
【００４０】
次に、本発明の薬液用圧力センサにかかる第２の実施例につき説明する。本実施例における薬液用圧力センサ１０１は、インライン型の圧力センサである。本実施例における薬液用圧力センサ１０１は、図３（ａ）、（ｂ）に示されるように、圧力導入管１’、１''は、本体部分２’を水平方向に横切って、該本体部分２’に接続されており、薬液が圧力導入管１’、１''を流れる。
【００４１】
第２の実施例は、上記圧力導入管１’、１''の配置構成及び、本体部分２’の受圧空間１１’を気密に閉じる構成に関して、第１の実施例とその構成が異なる。
【００４２】
本実施例において、本体部分２’の受圧空間１１’は、図３（ｂ）に示されるように、受圧ダイヤフラムが形成されている上面と反対側である下面２’ｂに開口している点では第１の実施例と同じであるが、該開口には、蓋１５’が嵌合し、熱溶着部１２’において、熱溶着され、受圧空間１１’を気密に維持している。熱溶着部１２’の構成は、第１の実施例と同じである。したがって、第１の実施例と同じ作用効果を奏する。なお、図において、１３’は、薬液用圧力センサ１０１を支持部材に固定するための、ベース７’に形成された取り付け穴である。
【００４３】
以上説明した薬液用圧力センサにおいては、受圧ダイヤフラムと圧力エレメントのダイヤフラムとは組み立て時密着するようにしているが、接着されるようになっていてもよい。また、圧力エレメントとして静電容量方式を用いて説明したが、該圧力エレメントは、歪みゲージ方式であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第１の実施例に係る薬液用圧力センサの断面図である。
【図２】図１における主要部品の断面図であり、（ａ）は、圧力エレメントの断面図、（ｂ）は、受圧ダイヤフラム部分を備える本体部分、（ｃ）は、圧力導入管の断面図である。
【図３】本発明の第２の実施例に係る薬液用圧力センサを示し、（ａ）は、該薬液用圧力センサの上面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。
【図４】薬液用圧力センサの従来例の断面図である。
【図５】図４の要部拡大断面図である。
【図６】薬液用圧力センサの別の従来例の断面図である。
【図７】薬液用圧力センサのさらに別の従来例の断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１、１’、１''      圧力導入管
２、２’          本体部分
２ａ              受圧ダイヤフラム
３                圧力エレメント
４、４’          ケース
７、７’          ベース
１０、１０’      取り付けネジ
１１、１１’      受圧空間
１２、１２’      熱溶着部
１５’            蓋
１００、１０１    薬液用圧力センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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