(57)【要約】  【課題】  被加熱物の熱処理に伴って発生する生成ガスや、生成ガスが冷却されて発生するいわゆる昇華物の漏出を抑制可能な熱処理装置の提供を目的とする。  【解決手段】  熱処理装置は、熱処理室１２に基板を出し入れするための換装部６を有する。換装部６と熱処理室１２との境界部分を構成する遮蔽板４４の挿通孔４４ｃの上下には、清浄な空気を噴出可能なエアノズル６５，６６が配されている。エアノズル６５，６６から空気が噴出されると、換装部６と熱処理室１２との境界部分にエアカーテンＣが形成される。そのため、熱処理室１２内において発生した生成ガスや昇華物は、換装部６を開閉しても熱処理装置１の外部に漏出しない。【選択図】  図７
2006010268.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱風を供給する熱風供給手段と、当該熱風供給手段において発生する熱風が導入され、当該熱風によって被加熱物を加熱する熱処理室と、当該熱処理室に被加熱物を出し入れするための換装部とを有し、
換装部を介する被加熱物の出し入れに伴って被加熱物によって分割される二領域の双方側から当該二領域の境界部分に向けて気体を噴出することにより気体流を形成し、当該気体流により、気体流よりも熱処理室の内側の領域と当該領域よりも外側の領域とを分離可能な気体噴出手段が設けられていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
換装部は、熱処理室内を流れる熱風の流れ方向に対して交差する方向に被加熱物を出し入れ可能なものであり、
気体噴出手段から噴出される気体の動圧が、熱処理室内を流れる熱風の静圧以上であることを特徴とする請求項１に記載の熱処理装置。
【請求項３】
気体噴出手段が、熱処理室に導入される熱風の流れ方向に対して交差する方向に気体を噴出可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の熱処理装置。
【請求項４】
気体噴出手段が、熱処理室に導入される熱風の流れ方向に対して沿う方向に気体を噴出可能であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項５】
熱風を供給する熱風供給手段と、当該熱風供給手段において発生する熱風が導入され、当該熱風によって被加熱物を加熱する熱処理室と、当該熱処理室内を流れる熱風の流れ方向に対して交差する方向に被加熱物を出し入れ可能な換装部と、熱処理室に導入される熱風の流れ方向に沿う方向に気体を噴出可能な気体噴出手段とを有し、
当該気体噴出手段から噴出される気体の動圧が、熱処理室内を流れる熱風の静圧以上であることを特徴とする熱処理装置。
【請求項６】
気体噴出手段が、熱処理室に導入される熱風の流れ方向下流側から上流側に向けて気体を噴出可能であることを特徴とする請求項４または５に記載の熱処理装置。
【請求項７】
気体噴出手段に気体を供給する気体供給配管を有し、当該気体供給配管を流れる気体が熱処理室内を流れる熱風との熱交換によって加熱されることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項８】
気体噴出手段が、換装部と熱処理室との境界部分において気体を噴出することを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項９】
換装部が熱処理室に連通する開口を有し、当該開口の周囲には、熱処理室内を流れる熱風の流れを換装部側から遠ざかる方向に誘導する誘導手段が設けられていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項１０】
熱風を供給する熱風供給手段と、当該熱風供給手段において発生する熱風が導入され、当該熱風によって被加熱物を加熱する熱処理室と、当該熱処理室に被加熱物を出し入れするための換装部とを有し、
換装部は熱処理室に連通する開口を有し、当該開口の周囲には、熱処理室内を流れる熱風の流れを換装部側から遠ざかる方向に誘導する誘導手段が設けられていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項１１】
誘導手段が、換装部の開口に対して熱風の流れ方向上流側又は上流側と下流側の双方に隣接する位置に配されており、
換装部の開口に対して熱風の流れ方向上流側および下流側から前記開口側に近接するに連れて換装部側から熱処理室側に向けて離反する傾斜面を有することを特徴とする請求項９または１０に記載の熱処理装置。
【請求項１２】
誘導手段が、傾斜面に連続し、熱風の流れ方向に沿う方向に広がる離反面を有することを特徴とする請求項１１に記載の熱処理装置。
【請求項１３】
誘導手段が、傾斜面に対して交差する方向に広がり、誘導手段と換装部との間に形成される空間を遮蔽する遮断面を有することを特徴とする請求項９乃至１２のいずれかに記載の熱処理装置。
【請求項１４】
誘導手段が湾曲していることを特徴とする請求項９乃至１３のいずれかに記載の熱処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板等の被加熱物を熱風によって熱処理する熱処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、下記特許文献１に開示されているような熱処理装置が液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ：Plasma Display）、有機ELディスプレイ等のようなフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel display）の製作に使用されている。熱処理装置は、予めガラス板等の基板（被加熱物）に対して特定の溶液を塗布して加熱乾燥させたものを熱処理室内に収容し、熱処理室内に導入される所定の温度の熱風に晒して熱処理（焼成）する装置である。
【特許文献１】特許第２９７１７７１号  公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来技術の熱処理装置は、被加熱物を出し入れするための開口や隙間等があり、完全な密閉状態とはなっておらず、前記した開口や隙間の近傍は比較的低温になりやすい。そのため、熱処理に伴って基板上に塗布されていた特定の溶液等が気化して発生した生成ガスは、開口や隙間の近傍で冷却されて固化し、いわゆる昇華物となる。昇華物は、粒子状やタール状になっており、熱処理装置内を汚染して被加熱物の品質を低下させてしまうばかりか、被加熱物の出し入れの際に熱処理装置の外部に漏出してしまうという問題があった。また、生成ガスが開口から流出した場合は、熱処理装置外において生成ガスが冷却されていわゆる昇華物となり、熱処理装置の周辺環境を汚染してしまうという問題があった。
【０００４】
通常、熱処理装置は、比較的清浄度の高いクリーンルーム等に設置されている。そのため、従来技術の熱処理装置のように昇華物が熱処理装置から漏出してしまうと、クリーンルームの清浄度までも低下させてしまうという問題があった。
【０００５】
上記した問題に鑑み、上記特許文献１に開示されている熱処理装置では、熱処理装置内を熱処理装置の設置雰囲気圧力よりも若干低圧に維持させることにより熱処理装置内の空気や生成ガスが外部に漏出してしまうのを防止する構成とされている。かかる構成とした場合、熱処理装置から昇華物が外部に排出されるという問題に対しては一定の効果を有するが、被加熱物を出し入れするための開口や隙間から流入した空気の影響によって幾分の昇華物が発生してしまうおそれがあった。
【０００６】
また、上記特許文献１に開示されている熱処理装置は、装置内に流入する空気の影響により熱処理室内において温度ムラが発生する可能性があった。そのため、上記特許文献１に開示されている熱処理装置では、被加熱物を出し入れするための開口の近傍に熱処理室側から外部に漏出しようとする生成ガスや外部から熱処理室側に流入しようとする空気を吸引捕集するための機構を別途設けねばならず、装置構成が複雑化してしまうという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明では、被加熱物の熱処理に伴って発生する生成ガスや、生成ガスが冷却されて発生するいわゆる昇華物の漏出を抑制可能な熱処理装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで、上記した課題を解決すべく提供される請求項１に記載の発明は、熱風を供給する熱風供給手段と、当該熱風供給手段において発生する熱風が導入され、当該熱風によって被加熱物を加熱する熱処理室と、当該熱処理室に被加熱物を出し入れするための換装部とを有し、換装部を介する被加熱物の出し入れに伴って被加熱物によって分割される二領域の双方側から当該二領域の境界部分に向けて気体を噴出することにより気体流を形成し、当該気体流により、気体流よりも熱処理室の内側の領域と当該領域よりも外側の領域とを分離可能な気体噴出手段が設けられていることを特徴とする熱処理装置である。
【０００９】
本発明の熱処理装置では、気体噴出手段によって形成される気体流により熱処理室の内側の領域が外側の領域から分離される。そのため、本発明の熱処理装置では、熱処理室内における被加熱物の加熱に伴って発生する気体（生成ガス）や、この気体が冷却されることにより発生するいわゆる昇華物が熱処理室から漏出しない。
【００１０】
本発明の熱処理装置では、気体噴出手段によって形成される気体流により外気や塵等が熱処理室の外側から内側に進入できない。そのため、本発明の熱処理装置では、熱処理装置内に外気等が流入することによる熱処理室内の温度変動や、塵等の進入に伴う熱処理室内の汚染が殆ど起こらない。また、本発明の熱処理装置では、外気が熱処理室内に殆ど進入しないため、熱処理室内に存在する生成ガスが高温に維持される。そのため、本発明の熱処理装置では、生成ガスが冷却されることにより発生するいわゆる昇華物の発生量が少ない。
【００１１】
また、上記したように、気体噴出手段によって形成される気体流は、換装部を介する被加熱物の出し入れの際に、被加熱物によって分割される二つの領域の双方からこれらの領域の境界部分に向けて気体を噴出することによって形成されるものである。そのため、熱処理室に対して被加熱物を出し入れしても、被加熱物が通過する部分以外では気体流が横切られることなく維持される。従って、本発明の熱処理装置は、熱処理室に対する被加熱物の出し入れを行っても熱処理室に対する気体や昇華物の流出が起こらない。
【００１２】
上記請求項１に記載の熱処理装置は、換装部が熱処理室内を流れる熱風の流れ方向に対して交差する方向に被加熱物を出し入れ可能なものであり、気体噴出手段から噴出される気体の動圧が、熱処理室内を流れる熱風の静圧以上であることを特徴とするものであってもよい。（請求項２）
【００１３】
かかる構成によれば、熱処理室の内外を確実に分離することができる。従って、本発明によれば、熱処理室内で発生した生成ガスを含む気体や昇華物等が換装部を介して外部に漏出したり、外気や熱処理室外に存在する塵等が熱処理室内に流入するのを防止できる。
【００１４】
上記請求項１または２に記載の熱処理装置は、気体噴出手段が、熱処理室に導入される熱風の流れ方向に対して交差する方向に気体を噴出可能なものであってもよい。（請求項３）
【００１５】
また、上記請求項１乃至３のいずれかに記載の熱処理装置は、気体噴出手段が、熱処理室に導入される熱風の流れ方向に対して沿う方向に気体を噴出可能な構成としてもよい。（請求項４）
【００１６】
かかる構成によれば、熱処理室側の内側の領域と外側の領域とを分離し、両領域間における気体や昇華物、塵等の出入りを確実に防止できる。
【００１７】
また、請求項５に記載の発明は、熱風を供給する熱風供給手段と、当該熱風供給手段において発生する熱風が導入され、当該熱風によって被加熱物を加熱する熱処理室と、当該熱処理室内を流れる熱風の流れ方向に対して交差する方向に被加熱物を出し入れ可能な換装部と、熱処理室に導入される熱風の流れ方向に沿う方向に気体を噴出可能な気体噴出手段とを有し、当該気体噴出手段から噴出される気体の動圧が、熱処理室内を流れる熱風の静圧以上であることを特徴とする熱処理装置である。
【００１８】
本発明の熱処理装置では、気体噴出手段から熱風の流れ方向に沿う方向に噴出される気体の動圧が、熱処理室内を流れる熱風の静圧よりも高い。そのため、本発明の熱処理装置は、気体噴出手段から気体を噴出させることにより発生する気体流によって熱処理室の内側の領域とこれよりも外側の領域とに分離される。従って、本発明の熱処理装置では、熱処理室において何らかの気体（生成ガス）が発生したり、この気体が冷えることによって昇華物と称されるようなものが発生してもこれらが殆ど外部に漏出しない。
【００１９】
また、本発明の熱処理装置では、気体噴出手段によって形成される気体流によって外気や装置外に存在する塵や埃の進入が阻まれる。そのため、本発明の熱処理装置では、被加熱物の出し入れを行っても外気の流入に伴う熱処理室内の温度変動や、塵等の進入に伴う熱処理室内の汚染が殆ど起こらない。
【００２０】
ここで、本発明者らは、被加熱物の出し入れのために換装部と熱処理室とを連通させると、換装部の上流側において熱処理室の外部から内部に向かって外気が流入し、換装部の下流側近傍において熱処理室の内部に存在する空気や生成ガスが換装部を介して外部に流出する傾向にあることを見いだした。
【００２１】
そこで、かかる知見に基づいて提供される請求項６に記載の発明は、気体噴出手段が、熱処理室に導入される熱風の流れ方向下流側から上流側に向けて気体を噴出可能であることを特徴とする請求項４または５に記載の熱処理装置である。
【００２２】
気体噴出手段から気体を噴出する場合、気体噴出手段に近い領域ほど気体の動圧が高く、熱処理室の内外を確実に分離することができる。本発明の熱処理装置は、熱処理室内において発生する生成ガスを含む気体や昇華物が外部に漏出する可能性が高いと想定される熱風の流れ方向下流側から上流側に向けて気体を噴出する構成である。そのため、本発明の熱処理装置では、生成ガスや昇華物の漏出が殆ど起こらない。
【００２３】
上記請求項１乃至６のいずれかに記載の熱処理装置は、気体噴出手段に気体を供給する気体供給配管を有し、当該気体供給配管を流れる気体が熱処理室内を流れる熱風との熱交換によって加熱されるものであってもよい。（請求項７）
【００２４】
本発明の熱処理装置では、気体噴出手段に供給される気体が予熱される。そのため、本発明の熱処理装置では、被加熱物を熱処理室に出し入れする際に被加熱物に対して作用する熱的ストレスが小さい。
【００２５】
本発明の熱処理装置では、熱処理室内を流れる熱風との熱交換によって気体噴出手段に供給される気体を予熱するものであるため、熱処理室内を流れる熱風の持つ熱エネルギーを有効利用できる。また、本発明の熱処理装置は、熱風との熱交換によって気体噴出手段に供給される気体を加熱するものであるため、気体噴出手段から噴出される気体は過剰に高温になったり熱処理室の雰囲気温度程度よりも過度に低温となったりしない。そのため、本発明によれば、気体の噴出温度を熱処理室の雰囲気温度程度に調整し、被加熱物の出し入れに伴って被加熱物に作用する熱的ストレスを緩和することができる。
【００２６】
上記請求項１乃至７のいずれかに記載の熱処理装置は、気体噴出手段が、換装部と熱処理室との境界部分において気体を噴出する構成としてもよい。（請求項８）
【００２７】
かかる構成によれば、熱処理室内において発生した生成ガスや昇華物等が外部に漏出するといった不具合を確実に解消できる。
【００２８】
上記請求項１乃至８のいずれかに記載の熱処理装置は、換装部が熱処理室に連通する開口を有し、当該開口の周囲に熱処理室内を流れる熱風の流れを換装部側から遠ざかる方向に誘導する誘導手段が設けられていることを特徴とするものであってもよい。（請求項９）
【００２９】
また、同様の知見に基づいて提供される請求項１０に記載の発明は、熱風を供給する熱風供給手段と、当該熱風供給手段において発生する熱風が導入され、当該熱風によって被加熱物を加熱する熱処理室と、当該熱処理室に被加熱物を出し入れするための換装部とを有し、換装部が熱処理室に連通する開口を有し、当該開口の周囲に熱処理室内を流れる熱風の流れを換装部側から遠ざかる方向に誘導する誘導手段が設けられていることを特徴とする熱処理装置である。
【００３０】
上記したように換装部の開口の周囲に誘導手段を設けると、熱処理室内において発生した生成ガスを含む気体が換装部から遠ざけられ、換装部の開口近傍の領域における気体の流量が減少し、場合によってはほぼ無風状態となる。そのため、本発明の熱処理装置では、換装部の開口近傍の領域に熱処理室内において発生した生成ガスを含む気体が殆ど流れ込まず、熱処理室内において発生した生成ガスや昇華物の漏出が起こらない。
【００３１】
上記請求項９または１０に記載の熱処理装置は、誘導手段が、換装部の開口に対して熱風の流れ方向上流側又は上流側と下流側の双方に隣接する位置に配されており、換装部の開口に対して熱風の流れ方向上流側および下流側から前記開口側に近接するに連れて換装部側から熱処理室側に向けて離反する傾斜面を有するものであってもよい。（請求項１１）
【００３２】
かかる構成によれば、熱処理室を流れる生成ガスや熱風をスムーズに熱処理室の内側に向けて誘導できる。
【００３３】
請求項１１に記載の熱処理装置は、誘導手段が、傾斜面に連続し、熱風の流れ方向に沿う方向に広がる離反面を有するものであってもよい。（請求項１２）
【００３４】
かかる構成によれば、誘導手段の傾斜面によって熱処理室の内側に誘導された熱風や生成ガスの流れに乱れが発生するのを防止できる。従って、本発明によれば、熱処理室内を流れる熱風や生成ガスの漏出を確実に防止できる。
【００３５】
上記請求項９乃至１２のいずれかに記載の熱処理装置は、誘導手段が、傾斜面に対して交差する方向に広がり、誘導手段と換装部との間に形成される空間を遮蔽する遮断面を有するものであってもよい。（請求項１３）
【００３６】
かかる構成によれば、傾斜面に沿って誘導された熱風や生成ガスが誘導手段の裏側に回り込むのを防止し、熱処理室内における気流の乱れを抑制できる。従って、本発明によれば、換装部近傍を熱処理室の内側の領域に比べて無風状態に近い状態に維持し、熱処理室内を流れる熱風や生成ガスの漏出を確実に防止できる。
【００３７】
請求項９乃至１３のいずれかに記載の熱処理装置において、誘導手段は湾曲していることが望ましい。（請求項１４）
【００３８】
かかる構成によれば、熱処理室内を流れる熱風や生成ガスによって形成される気流の乱れを最小限に抑制し、熱風や生成ガスの外部への漏出を阻止できる。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によれば、熱処理室に対して被加熱物を出し入れする際に基板の熱処理に伴って発生する生成ガスや昇華物の漏出を最小限に抑制可能な熱処理装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
続いて、本発明の一実施形態である熱処理装置について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態である熱処理装置を示す正面図である。図２は、図１に示す熱処理装置の内部構造を示す破断斜視図である。図３は、図１に示す熱処理装置の内部構造を示す平面図である。図４は、図１に示す熱処理装置における気体噴出手段の概略を示す概念図である。図５は、図１に示す熱処理装置の正面側近傍を示す断面図である。図６（ａ）は遮蔽板を示す正面図であり、（ｂ）は遮蔽板の挿通孔を介した基板の出し入れの様子を模式的に示した斜視図である。図７は、図５のＡ部拡大図である。図８は、図１に示す熱処理装置の換装部近傍の構造を示す破断斜視図である。図９は、図１に示す熱処理装置の換装部近傍の構造を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。図１０は、図１に示す熱処理装置において基板を出し入れする際の基板近傍における気流の状態を模式的に示す概念図である。図１１は、図１に示す熱処理装置の換装部近傍の構造の変形例を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。図１２は、図１に示す熱処理装置の換装部近傍の構造の別の変形例を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。
【００４１】
図１において、１は本実施形態の熱処理装置である。熱処理装置１は、金属製で箱形の本体ケース２の下方に機器収容部３が設けられており、その上方に基板処理部５が設けられた構成となっている。機器収容部３は、基板処理部５に電力を供給する電源装置（図示せず）や基板処理部５の動作を制御する制御装置（図示せず）等を内蔵している。
【００４２】
基板処理部５は、図２や図３に示すように中心に熱処理室１２を有し、その周りを空気調整部１１によって取り囲んだ構成とされている。空気調整部１１は、断熱材によって構成される周壁１３ａ〜１３ｄによって四方が包囲されている。空気調整部１１は、空気を所定温度に加熱して熱処理室１２内に吹き込むと共に、熱処理室１２から排出された空気を上流側に循環させるためのものである。
【００４３】
さらに具体的に説明すると、空気調整部１１は、図２や図３に示すように熱風供給手段１４、ダクト１７および機器室１８に大別される。熱風供給手段１４は、空気等を加熱する加熱機能と、加熱された空気等を熱処理室１２内に送り込む送風機能とを有する。また、熱風供給手段１４は、熱処理室１２との境界部分に空気等を浄化するためのフィルタ２１を有する。ダクト１７は、熱処理室１２の周囲を包囲するように配された空気流路であり、熱処理室１２から排出された空気を熱風供給手段１４に戻す空気流路を形成するものである。
【００４４】
熱処理室１２は、熱風供給手段１４との境界をなす上流壁２０ａおよび仕切壁４１，４３によって取り囲まれた空間である。図１や図２に示すように、熱処理室１２の正面側には、正面側に図示しないロボットアーム等の移載装置によって基板Ｗ（被加熱物）を出し入れするための換装部６が設けられている。さらに具体的に説明すると、熱処理室１２の正面側に設けられた周壁１３ｂには、図５に示すように上下方向に４つの開口４０が形成されている。また、周壁１３ｂに対して平行に配されている仕切壁４１には、周壁１３ｂの開口４０に対向する位置に開口５０が設けられている。仕切壁４１の裏面側、すなわち熱処理室１２側には、遮蔽板４４が固定されている。遮蔽板４４は、開口５０の一部を遮蔽する板状の部材であり、換装部６と熱処理室１２との境界部分に配されている。遮蔽板４４は、図６に示すように開口４０や開口５０と同様に、熱処理室１２の幅方向（図１において横方向）に長細い基板挿通孔４４ａと、基板挿通部４４ａの下方に設けられた２つのハンド挿通孔４４ｂ，４４ｂとが連なった挿通孔４４ｃを有する。挿通孔４４ｃは、熱処理室１２と換装部６とを繋ぐ開口のうち最も熱処理室１２側に存在するものである。
【００４５】
基板挿通孔４４ａは、図６（ｂ）に示すように熱処理室１２に対して基板Ｗを出し入れするための開口部であり、基板Ｗの幅および厚みよりもやや大きめの開口である。また、ハンド挿通孔４４ｂ，４４ｂは、基板Ｗの出し入れの際に基板Ｗを下方から支持するロボットアーム４２を抜き差しするための開口である。遮蔽板４４は、基板挿通孔４４ａが開口４０および開口５０の上下方向略中央位置に基板挿通孔４４ａが位置するように仕切壁４１に対して固定されている。
【００４６】
図５や図７に示すように、周壁１３ｂと仕切壁４１との間には、隔壁４７ａ，４７ｂが固定されている。隔壁４７ａ，４７ｂは、それぞれ周壁１３ｂと仕切壁４１とを橋渡すように固定されるものである。これにより、熱処理装置１の正面側には、開口４０から開口５０に繋がり、周壁１３ｂと仕切壁４１との間に形成されたダクト１７から隔絶された換装部６が形成されている。
【００４７】
周壁１３ｂの開口４０には、エアシリンダー８の作動に連動して動作するシャッター１０が装着されている。シャッター１０は、上下にスライドするものや、内側あるいは外側に向けて開くもの等から適宜選択される。
【００４８】
図５や図７、図９等に示すように、上記した換装部６の内側、さらに具体的には遮蔽板４４の熱処理室１２側に隣接する位置であって、挿通孔４４ｃの上下に隣接する位置にはエアノズル６５，６６（気体噴出手段）が設けられている。エアノズル６５，６６は、図４に示すように清浄な空気を噴出するためのノズルであり、それぞれ分岐管６９を介して熱処理室１２の外部に配された空気供給源（図示せず）に繋がる空気配管６８に接続されている。
【００４９】
空気供給源からエアノズル６５，６６に空気を供給する空気配管６８は、図３や図４に示すように熱処理室１２内に引き回されている。さらに具体的には、空気配管６８は、熱処理室１２の背面側であって、熱処理室１２内を流れる熱風の最下流側の底面から立ち上がり、４つの流路６８ａ〜６８ｄに分岐している。空気配管６８の分岐流路６８ａ〜６８ｄは、それぞれ熱処理室１２の最下流側を横切り、熱処理室１２の正面側において分岐管６９によってさらに分岐され、エアノズル６５，６６に接続されている。
【００５０】
上記したように空気配管６８が熱処理室１２内に引き回されているため、空気供給源から供給された空気は、空気配管６８内を流れる間に熱交換され加熱される。また、空気配管６８は、熱処理室１２の最下流側を横切るように配されているため、基板Ｗの熱処理を終えた気流が持つ排熱を有効利用して内部を流れる空気を加熱できる。本実施形態の熱処理装置１では、熱処理室１２内が所定の焼成温度に達すると、エアノズル６５，６６に熱処理室１２内を流れる空気や生成ガスと同程度の温度の清浄な空気が供給される。
【００５１】
エアノズル６５，６６は、図７や図９に示すように空気供給源から圧送されてくる空気を同時に噴出し、換装部６と熱処理室１２との境界部分を構成する遮蔽板４４の裏面側にいわゆるエアカーテンＣを形成する。すなわち、エアノズル６５，６６は、換装部６から抜き差しされる基板Ｗが通過すると想定される仮想平面Ｈに対して清浄な空気を吹き付けることによって空気流を幕状に形成し、熱処理室１２の内外における空気やガスの交流を遮断するためのものである。さらに具体的には、本実施形態では、熱処理室１２内を約１．８×１０5［リットル／分］程度の空気や生成ガスが流れるのに対して、エアノズル６５，６６から合計で約１．６×１０2〜３．２×１０2［リットル／分］程度の流量で清浄な空気が噴出される。また、エアノズル６５，６６から噴出される空気の動圧は、熱処理室１２内を流れる空気や生成ガスの静圧よりも高い。そのため、熱処理装置１では、エアカーテンＣによって熱処理室１２内を流れる空気等が換装部６に流れ込むことが確実に阻止される。
【００５２】
エアノズル６５，６６は、それぞれ遮蔽板４４の基板挿通孔４４ａの長手方向に沿って延伸した配管に複数のエア噴出孔６７を設けたものである。エア噴出孔６７は、いずれも換装部６を介して出入りする基板Ｗ側を向くように配されている。さらに具体的には、換装部６の上方側に配されているエアノズル６５のエア噴出孔６７は、下方に向けて空気を噴出可能なように形成されている。そのため、エアノズル６５から空気が噴出されると、図７にハッチングで示すように基板挿通孔４４ａの上方の領域Ｘから下方（仮想平面Ｈ側）に向かって空気が流れるエアカーテンＣ１が形成される。エアカーテンＣ１を構成する空気の一部は、仮想平面Ｈを越えて下方の領域まで到達する。
【００５３】
また、換装部６の下方側に配されているエアノズル６６のエア噴出孔６７は、上方に向けて空気を噴出可能なように形成されている。そのため、エアノズル６６から空気が噴出されると、図７にハッチングで示すように基板挿通孔４４ａの下方の領域Ｙから上方（仮想平面Ｈ側）に向かって空気が流れるエアカーテンＣ２が形成される。エアカーテンＣ２を構成する空気は、一部が仮想平面Ｈを越えて上方の領域まで到達する。よって、エアカーテンＣは、仮想平面Ｈ近傍においてエアカーテンＣ１とエアカーテンＣ２とが重複している。
【００５４】
上記したように、エアカーテンＣは、基板挿通孔４４ａの上方に形成されるエアカーテンＣ１と、基板挿通孔４４ａの下方に形成されるエアカーテンＣ２とによって構成されており、エアカーテンＣ１とエアカーテンＣ２との重複部分を仮想平面Ｈが通過する構成とされている。そのため、換装部６を介して基板Ｗを出し入れする際に、遮蔽板４４の基板挿通孔４４ａを基板Ｗが通過しても、基板Ｗの表面側（上方側の面よりも上方）および裏面側（下方側の面よりも下方）の双方にエアカーテンＣ１，Ｃ２が形成された状態を維持する。すなわち、エアノズル６５，６６から噴出される空気によって形成されるエアカーテンＣは、基板Ｗの出し入れを行っても遮られない。そのため、図１０に矢印で示すように基板Ｗから上方あるいは下方に離れた位置に熱処理室１２内を流れる空気や生成ガスの流れが到達しても、これらの流れはエアカーテンＣ１，Ｃ２によって遮られ、外部に漏出しない。また同様に、熱処理室１２の外部に存在する外気についても、エアカーテンＣ１，Ｃ２によって流れが遮られ、熱処理室１２の内部に進入できない。
【００５５】
さらに、本実施形態の熱処理装置１において、基板ＷがエアカーテンＣに差し掛かると図１０に矢印で示すようにエアノズル６５，６６から基板Ｗに向けて噴出された空気流が基板Ｗの表面あるいは裏面側において跳ね返り、基板Ｗの表面および裏面の近傍に渦流が発生する。そのため、熱処理装置１では、基板Ｗの表面および裏面の近傍はエアノズル６５，６６から噴出された空気の密度が高く、熱処理室１２内を流れる空気や生成ガスが流出したり、外気が熱処理室１２側に進入する余地が殆どない。従って、熱処理装置１は、基板Ｗの出し入れを行っても熱処理室１２内を流れる生成ガスを含む熱風が外部に漏出したり、外気が熱処理室１２内に進入するといった不具合が発生しない。さらに、熱処理装置１では、換装部６を介して熱処理室１２内に外気が流入することによって熱処理室１２内の雰囲気温度が不安定になったり、熱処理室１２内に存在する生成ガスの冷却に伴う昇華物の発生が起こりがたい。
【００５６】
図２に示すように、熱処理室１２の背面側には、メンテナンス時に使用する扉７が設けられている。仕切壁４３は、扉７に相当する位置に固定されており、メンテナンス等を行う際に必要に応じて取り外し可能な構成とされている。
【００５７】
図３に示すように、熱処理室１２の略中央部には、基板を載置するための載置棚７０が配置されている。載置棚７０は、従来公知の熱処理装置において採用されているものと同様に基板Ｗを載置するための段を多数有している。載置棚７０は、図示しない昇降装置に接続されており、必要に応じて熱処理室１２内で上下動できる。
【００５８】
上記したように、本実施形態の熱処理装置１は、エアノズル６５，６６から清浄な空気が噴出され、換装部６と熱処理室１２の境界部にあたる遮蔽板４４の背面側（熱処理室１２側）にエアカーテンＣが形成されるため、熱処理室１２を流れる熱風や基板Ｗの熱処理（焼成）に伴って発生する生成ガスを含む混合気が換装部６に流れ込まない。そのため、基板Ｗの換装動作の際にシャッター１０が開閉しても、熱処理室１２内で発生した生成ガス等のガスが熱処理装置１が設置されているクリーンルーム等の設置領域に漏出しない。
【００５９】
熱処理装置１は、換装部６の境界部分にエアカーテンＣを形成する構成であるため、何らかの理由で熱処理室１２内において昇華物が発生したとしても、この昇華物は熱処理室１２から漏出しない。
【００６０】
また、熱処理装置１は、基板Ｗの出し入れの際に換装部６が開閉しても熱処理室１２の内部空間と、熱処理装置１の外部との間における空気や生成ガス、昇華物等の出入りがない。そのため、熱処理装置１では、基板Ｗの出し入れのために換装部６が頻繁に開閉する場合であっても熱処理室１２内の内部温度の変動が少ない。従って、熱処理装置１は、熱処理室１２の内部温度を安定化するのに要する消費エネルギーが少なく、基板Ｗの焼成不良等の不具合が起こりにくい。さらに、本実施形態の熱処理装置では、外気が熱処理室１２内に殆ど流入しないため、熱処理室１２内において発生する生成ガスが外気によって冷却され、いわゆる昇華物が発生する可能性が低い。
【００６１】
上記したように、エアノズル６５，６６に供給される清浄な空気は、空気配管６８を流れる間に加熱され、熱処理室１２の内部雰囲気と同程度の温度になる。そのため、エアノズル６５，６６から空気を噴出することによる熱処理室１２の雰囲気温度の変動が起こりにくく、熱処理室１２内に抜き差しされる基板Ｗに対して作用する熱的ストレスが小さい。
【００６２】
上記実施形態において、空気配管６８は、表面が平坦な配管であったが、本発明はこれに限定されるものではなく、表面にフィンを設けたり、蛇腹管を用いる等して伝熱面積を増大させてもよい。かかる構成によれば、空気配管６８内を流れる空気と熱処理室１２内を流れる熱風（空気）やガスとの熱交換効率を向上させることができ、エアノズル６５，６６から噴出される空気を確実に加熱することができ、空気配管６８を短縮することも可能である。
【００６３】
上記実施形態では、空気配管６８を熱処理室１２内に晒すことにより外部の空気供給源から供給される空気を加熱する構成であったが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば外部にエアノズル６５，６６から噴出される空気を加熱するための加熱源を別途設けてもよい。かかる構成によれば、別途設ける加熱源の分だけ一連の熱処理に要するエネルギー消費量が増加するが、エアノズル６５，６６から噴出される空気の温度を的確に調整できる。
【００６４】
また、本実施形態の熱処理装置１では、基板Ｗに作用する熱的ストレス等を考慮して、エアノズル６５，６６に供給される空気を予熱する構成としたが、本発明はこれに限定されず、例えば室温程度の空気をそのまま噴出する構成としてもよい。
【００６５】
上記実施形態では、換装部６と熱処理室１２との境界部分である遮蔽板４４近傍にエアノズル６５，６６を配し、熱処理室１２内の雰囲気温度と略同一温度の空気を噴出させてエアカーテンＣを形成しているため、エアカーテンＣを通過することにより基板Ｗに付与される熱的ストレスが小さい。また、熱処理装置１は、換装部６のうち、生成ガスや昇華物の発生源となる熱処理室１２に最も近い遮蔽板４４の裏面側にエアノズル６５，６６を配したものであるため、生成ガスや昇華物が換装部６内に殆ど進入せず、換装部６内を清浄に維持することができる。
【００６６】
上記したように、換装部６を介して出し入れされる基板Ｗに作用する熱的ストレスを最小限に抑制するためには、エアノズル６５，６６を熱処理室１２と換装部６との境界部分に配することが望ましい。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、エアノズル６５，６６は、例えば上記したようにダクト１７と換装部６とを隔絶するために設けられた隔壁４７ａや隔壁４７ｂに沿って配されたり、シャッター１０が配されている外枠部材４８の内部や外部に配されていてもよい。かかる構成とした場合についても、熱処理室１２に出し入れされる基板Ｗに作用する熱的ストレスがなるべく小さくなるようにエアノズル６５，６６から噴出される空気の温度を調整することが望ましい。
【００６７】
熱処理装置１は、エアノズル６５，６６から約１．６×１０2〜３．２×１０2［リットル／分］程度の流量で空気を噴出させてエアカーテンＣを形成するものであったが、エアノズル６５，６６から噴出される空気の流量はこれに限定されるものではなく適宜調整することができる。基板Ｗの出し入れの際に熱処理室１２における基板Ｗの加熱によって発生した生成ガスや熱風が外部に排出されるのを防止するためには、基板Ｗの出し入れに支障のない範囲でなるべく多くすることが望ましい。
【００６８】
上記した熱処理装置１は、遮蔽板４４の近傍のみにエアノズル６５，６６を配してエアカーテンＣを形成する構成であったが、本発明はこれに限定されるものではなく、複数の場所にエアノズル６５，６６に相当するものを配し、複数のエアカーテンＣを形成する構成としてもよい。かかる構成とすれば、熱処理装置１の装置構成がやや複雑となるものの基板Ｗの熱処理によって発生する生成ガスや、生成ガスが冷却されて発生する昇華物が熱処理装置１の外部に排出される不具合を確実に防止できる。
【００６９】
上記実施形態では、仮想平面Ｈの上下にエアカーテンＣ１，Ｃ２を形成する例を例示したが、本発明はこれに限定されず、例えば熱処理室１２に出し入れされる基板Ｗが通過する仮想平面Ｈが換装部６の下端側に偏在している場合は、換装部６の上方から下方に向けて空気を噴出するエアノズル６５のみを設け、基板Ｗの上方のみにエアカーテンＣ１を形成する構成としてもよい。かかる構成とすれば、熱処理装置１の装置構成を簡略化しつつ、熱処理室１２と熱処理装置１の外部との間における空気や生成ガス、昇華物等の出入りを防止することができる。
【００７０】
上記実施形態では、エアノズル６５，６６によって仮想平面Ｈよりも上方側および下方側から空気を吹き付けてエアカーテンＣを形成するものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば図１１に示すように仮想平面Ｈの側方、すなわち遮蔽板４４の基板挿通孔４４ａの左右のいずれか一方あるいは双方側から空気を吹き付ける構成としてもよい。
【００７１】
さらに具体的には、熱処理装置１は、例えば図１１に示すように遮蔽板４４の裏面側（熱処理室１２側）に上下方向に延伸したエアノズル８５，８６（気体噴出手段）を設け、換装部６の幅方向、すなわち図１１に矢印Ａで示すように熱処理室１２内を流れる熱風の流れに沿う方向に空気を噴出し、熱処理室１２と換装部６との境界部分にエアカーテンを形成する構成としてもよい。かかる構成とした場合であっても、換装部６の開閉に伴って熱処理室１２内において発生した生成ガスや熱風が外部に漏出することを防止できる。
【００７２】
ここで、図２０に示す熱処理装置２００のように、従来技術の熱処理装置は、エアノズル６５，６６等が設けられておらず、換装部６と熱処理室１２とが連通している。そのため、熱処理装置２００の熱処理室１２内において矢印Ａで示すように気流が発生している状態で換装部６が開くと、図２０に矢印Ｂで示すように熱処理室１２内を流れる空気等の流れ方向上流側では外気が巻き込まれ、下流側では矢印Ｃで示すように熱処理室１２内に存在する生成ガスや昇華物等を外部に排出するような気流が発生する可能性がある。よって、このような気流が発生することが想定される場合、熱処理室１２内の生成ガスや昇華物等の漏出を防止するためには、熱処理室１２を流れる熱風の流れ方向上流側よりも下流側近辺に換装部６と熱処理室１２とを遮断するエアカーテンを形成することが望ましい。従って、例えば上記したようにエアノズル８５，８６を設ける場合は、下流側に配されるエアノズル８６から噴出される空気流の圧力をエアノズル８５よりも高く設定したり、エアノズル８６側から噴出される空気量をエアノズル８５側から噴出される空気量より増量することにより、熱処理室１２内を流れる空気等が外部に漏出するのを確実に防止できる。
【００７３】
また、熱処理装置１は、エアノズル８５，８６のいずれか一方のみを設けた構成としてもよい。ここで、換装部６が開くと、図２０に示す熱処理装置２００において起こるような外気の巻き込みや熱処理室１２内で発生した生成ガスや昇華物が熱風と共に排出される懸念がある場合は、熱処理室１２内を流れる熱風の流れ方向下流側に配されているエアノズル８６のみを設ける構成とすることにより生成ガスや昇華物の熱処理室１２外への漏出を確実に防止することができる。
【００７４】
熱処理装置１は、図１２に示すようにエアノズル６５，６６とエアノズル８５，８６とを組み合わせ、換装部６の挿通孔４４ｃの四方から清浄な空気を噴射させてエアカーテンを形成する構成とされてもよい。また、熱処理装置１は、エアノズル６５，６６，８５，８６のうちのいくつかを選択して組み合わせ、挿通孔４４ｃの周囲に配した構成とされてもよい。さらに具体的には、熱処理装置１は、例えばエアノズル６５，６６，８６を組み合わせて挿通孔４４ｃの周囲に配した構成とされてもよい。かかる構成とすることによっても、熱処理室１２と換装部６との間における空気や生成ガス、昇華物等の出入りを防止することができる。
【００７５】
上記した熱処理装置１は、載置棚７０が熱処理室１２内において上下動可能な構成であったため、載置棚７０を上下動させることにより載置棚７０の所定の段に基板Ｗを出し入れすることができるものであった。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、熱処理装置１は、載置棚７０が熱処理室１２内において上下動しない構成であってもよい。
【００７６】
熱処理装置１は、載置棚７０の基板Ｗを載置するための段の位置にあわせて多数の換装部６を設け、それぞれの換装部６に対してエアノズル６５，６６を配した構成としてもよい。また、熱処理装置１は、基板Ｗを出し入れすべき位置にあわせて換装部６が上下動する構成としてもよい。かかる構成とした場合は、換装部６の上下動にあわせてエアノズル６５，６６が上下動する構成としたり、換装部６が上下動する範囲の上方側や下方側にエアノズル６５，６６を配した構成とすることが望ましい。
【００７７】
上記した熱処理装置１は、換装部６と熱処理室１２との境界部分にエアノズル６５，６６を配することによりエアカーテンを形成して換装部６の開閉に伴う気流の乱れを抑制し、熱処理室１２において発生した生成ガスや昇華物が熱処理室１２の外部に漏出するのを防止するものであった。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば図１３に示す熱処理装置１００のように換装部６と熱処理室１２との境界部分に翼状で、熱処理室１２内を流れる熱風や生成ガスの流れを案内する案内板１０１，１０２を設けた構成としてもよい。以下、熱処理装置１００について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、熱処理装置１００は、大部分が上記した熱処理装置１と同一の構成であるため、重複する部分についは同一の符号を付し、詳細の説明については省略する。
【００７８】
図１３は、本発明の第二実施形態である熱処理装置１００の内部構造を示す平面図である。また、図１４は、図１３に示す熱処理装置の換装部近傍の構造を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。図１５（ａ）は、図１３に示す熱処理装置において採用されている案内板を示す斜視図であり、（ｂ），（ｃ）は（ａ）に示す案内板と気流の関係を模式的に示す概念図である。図１６は、図１３に示す熱処理装置において発生する気流を模式的に示した概念図である。図１７は、図１および図１３に示す熱処理装置の変形例である熱処理装置の内部構造を示す平面図である。図１８は、図１７に示す熱処理装置の換装部近傍の構造を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。図１９は、図１５に示す案内板の変形例を示す断面図である。
【００７９】
熱処理装置１００は、上記した熱処理装置１とほぼ同様の構成の換装部６を有する。熱処理装置１００は、図１３や図１４に示すように、上記した熱処理装置１が備えていたエアノズル６５，６６に代えて換装部６と熱処理室１２との境界をなす遮蔽板４４の裏面側に案内板１０１，１０２を設けている点が大きく異なる。
【００８０】
案内板１０１，１０２は、図１５に示すように固定面１０３、離反面１０５、湾曲面１０６（傾斜面）、遮断面１０７とろう付けしろ１０８が一体的に形成されたものである。案内板１０１，１０２は、耐熱性等の観点から金属板や耐熱性を有する樹脂等で作製されることが望ましい。
【００８１】
固定面１０３および離反面１０５は、それぞれ平面状の部位であり、互いに略平行な位置関係にある。案内板１０１，１０２は、固定面１０３と離反面１０５とが湾曲面１０６を介して段状に形成されたものである。すなわち、固定面１０３と離反面１０５との間には一定の勾配を有する。湾曲面１０６は、固定面１０３と離反面１０５とをなだらかに繋ぐ面である。固定面１０３および離反面１０５と湾曲面１０６との境界部分は湾曲している。案内板１０１，１０２は、固定面１０３から湾曲面１０６および離反面１０５に続く部分の断面形状が略「Ｓ」字形である。すなわち、案内板１０１，１０２は、固定面１０３と湾曲面１０６と離反面１０５とが繋がって流線型となっている。
【００８２】
遮断面１０７は、離反面１０５の端部を固定面１０３側に向けて略垂直に折り返して形成される面である。遮断面１０７は、案内板１０１に沿って流れる熱風や生成ガスが図１５（ｂ）に矢印Ｂで示すように離反面１０５や湾曲面１０６の裏側に回り込んだり、図１５（ｃ）に矢印Ｃで示すように熱処理室１２内を流れる熱風や生成ガスが案内板１０２の離反面１０５や湾曲面１０６の裏側に流入するのを防止するためのものである。これにより、熱処理室１２内を流れる熱風や生成ガスは、図１５（ｂ），（ｃ）に矢印Ａ，Ｄで示すように案内板１０１，１０２の表面に沿って流れる。ここで、熱処理室１２内を流れる空気や生成ガスが換装部６の裏側の空間に流れるのを防止するためには、遮断面１０７の幅、すなわち固定面１０３と離反面１０５との間隔Ｌは、熱処理室１２の大きさ等を考慮しつつなるべく大きくとることが望ましい。遮断面１０７の末端部分には、内側（湾曲面１０６側）に向けて折り曲げられたろう付けしろ１０８が設けられている。
【００８３】
案内板１０１，１０２は、図１４に示すようにそれぞれ固定面１０３およびろう付けしろ１０８が遮蔽板４４に面接触するようにろう付けされている。案内板１０１，１０２は、基板挿通孔４４ａの左右に隣接する位置に固定されている。すなわち、案内板１０１，１０２は、熱処理室１２内に露出する位置に固定されている。案内板１０１，１０２は、それぞれ基板挿通孔４４ａに対して熱処理室１２内を流れる熱風や生成ガスの流れ方向上流側および下流側に隣接する位置に固定されている。案内板１０１，１０２は、それぞれ固定面１０３が熱処理室１２内を流れる生成ガスを含む熱風の流れ方向上流側あるいは下流側に向き、遮断面１０７が換装部６側を向くように固定されている。
【００８４】
上記したように熱処理装置１００は、案内板１０１，１０２を設けた構成であり、熱処理室１２内を流れる熱風や基板Ｗの焼成によって発生する生成ガスの流れに特徴を有する。さらに具体的に説明すると、熱処理装置１００は、上記した熱処理装置１と同様に基板Ｗの焼成中に送風部１５から熱処理室１２内に加熱された空気が吹き込まれる。そのため、熱処理室１２内には、図１４や図１６に矢印Ａで示すように左方から右方に向かう気流が発生する。
【００８５】
熱処理装置１００は、基板Ｗを連続的に熱処理室１２に対して出し入れして熱処理（焼成）するものである。そのため、熱処理装置１００では、図１６に矢印Ａで示すように熱処理室１２内において熱風が流れている間に換装部６のシャッター１０が開閉し、熱処理室１２の内外が連通する。
【００８６】
ここで、熱処理装置１００では、換装部６よりも上流側を流れる気流は、図１６に矢印Ｂで示すように案内板１０１に沿って流れ、換装部６から遠ざかる方向に案内される。また、案内板１０１に案内された気流は、換装部６から離れた位置をまっすぐ下流側に流れ換装部６が設けられた領域を通過し、案内板１０２側に到達する。案内板１０２側に到達した気流は、案内板１０２の表面に沿って流れる。そのため、熱処理装置１００では、図１６にハッチングで示すように、換装部６がほぼ無風状態となっている。
【００８７】
上記したように、熱処理装置１００は、換装部６が無風に近い状態であるため、基板Ｗの出し入れのためにシャッター１０が開閉しても熱処理室１２内における気流の乱れが生じにくい。従って、熱処理装置１００は、熱処理室１２の外側から内側に向けて空気を巻き込んだり、熱処理室１２内の空気等の気体や昇華物等が漏出するなどの不具合を殆ど起こさない。
【００８８】
上記したように、案内板１０１，１０２の湾曲面１０６は、遮蔽板４４の挿通孔４４ｃに対して熱風の流れ方向上流側あるいは下流側から挿通孔４４ｃに近づくに連れて換装部６から離反する方向に傾斜している。そのため、換装部６近傍を流れる熱風や生成ガスの大部分は、湾曲面１０６に誘導されて換装部６から離れて流れる。
【００８９】
また、案内板１０１，１０２は、湾曲面１０６に連続し、熱処理室１２内を流れる熱風の流れ方向に沿う方向に延伸した離反面１０５を有する。そのため、熱風や生成ガスの流れは、離反面１０５に沿って流れることによって整流される。さらに、案内板１０１，１０２は、遮断面１０７を有するため、湾曲面１０６に沿って流れる熱風や生成ガスは案内板１０１，１０２と換装部６の遮蔽板４４との間に流入しない。そのため、本実施形態の熱処理装置１００では、換装部６近傍がほぼ無風状態となり、熱処理室１２内を流れる生成ガスや熱風、昇華物等が外部に漏出しない。
【００９０】
上記したように熱処理装置１００は、案内板１０１，１０２を設けることにより換装部６のシャッター１０の開閉に伴い熱処理室１２内において発生している気流の乱れを抑制するものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば図１７や図１８に示す熱処理装置１１０のように遮蔽板４４の裏面側（熱処理室１２側）にエアノズル６５，６６と案内板１０１，１０２とを配した構成としてもよい。かかる構成によれば、シャッター１０を開閉しても熱処理室１２内を流れる生成ガスを含む熱風や昇華物が外部に漏出するといった不具合をより一層確実に防止することができる。
【００９１】
上記実施形態では、案内板１０１，１０２の双方を遮蔽板４４の裏面側に配した例を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば熱処理室１２内を流れる熱風の流れ方向下流側に配した案内板１０２を省略した構成としてもよい。
【００９２】
上記各実施形態において、エアノズル６５，６６，８５，８６は、清浄な空気を噴出するものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、外気を特に清浄化することなく噴出するものであったり、空気とは異なる気体を噴出するものであってもよい。
【００９３】
また、上記実施形態では、エアノズル６５，６６やエアノズル８５，８６に清浄な空気を供給する空気配管６８を熱処理室１２の背面側で分岐流路６８ａ〜６８ｄに分岐し、それぞれを正面側に引き回す構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば空気配管６８を分岐せずに熱処理室１２の正面側まで引き回し、正面側で分岐流路６８ａ〜６８ｄに分岐する構成としてもよい。また、上記実施形態では、分岐管６９によって分岐流路６８ａ〜６８ｄのそれぞれを分岐する構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、換装部６の上下において空気配管６８を分岐し、これにエアノズル６５，６６を接続したり、これ自体をエアノズル６５，６６とした構成としてもよい。すなわち、熱処理室１２の正面側において空気配管６８を分岐した配管にエア噴出孔６７を設け、これをエアノズル６５，６６としてもよい。
【００９４】
上記実施形態において例示した案内板１０１，１０２は、いずれも熱処理室１２内を流れる空気や生成ガスの気流が裏側に回り込むのを防止するための遮断面１０７を設けたものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく図１９（ａ）のように遮断面１０７を設けない構成としてもよい。また、案内板１０１，１０２は、図１９（ｂ）のように離反面１０５を持たない構成としてもよく、図１９（ｃ）のように固定面１０３と離反面１０５とを持たない構成としてもよい。またさらに、図１９（ｄ）のように遮断面１０７に加えて離反面１０５を持たない構成としてもよい。
【００９５】
また、上記実施形態では、熱処理室１２内を流れる熱風の流れ方向上流側および下流側の双方に案内板１０１，１０２を配した構成を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば下流側の案内板１０２を省略した構成としてもよい。
【００９６】
上記実施形態の熱処理装置１，１００，１１０は、いずれも熱処理室１２に対して基板Ｗを水平な姿勢として出し入れするものであったが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば基板Ｗを上下方向に向く姿勢として熱処理室１２に出し入れする構成としてもよい。かかる構成とした場合についても、上記実施形態と同様にエアノズル６５，６６，８５，８６を設けたり、案内板１０１，１０２を設けることにより換装口部６のシャッター１０の開閉時における気体や昇華物等の流出を防止することができる。
【００９７】
上記実施形態では、換装部６と熱処理室１２との境界部分に基板Ｗの出し入れに最低限必要な大きさの挿通孔４４ｃを有する遮蔽板４４を設け、この遮蔽板４４の挿通孔４４ｃに隣接する位置にエアノズル６５，６６，８５，８６や案内板１０１，１０２を設けた例を例示した。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば遮蔽板４４を持たない構成として仕切壁４１の開口５０に隣接する位置にエアノズル６５，６６，８５，８６や案内板１０１，１０２を設ける構成としてもよい。またさらに、仕切壁４１やダクト１７を形成せず、周壁１３ｄの開口４０に隣接する位置にエアノズル６５，６６，８５，８６や案内板１０１，１０２を設ける構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明の一実施形態である熱処理装置を示す正面図である。
【図２】図１に示す熱処理装置の内部構造を示す破断斜視図である。
【図３】図１に示す熱処理装置の内部構造を示す平面図である。
【図４】図４は、図１に示す熱処理装置における気体噴出手段の概略を示す概念図である。
【図５】図１に示す熱処理装置の正面側近傍を示す断面図である。
【図６】（ａ）は遮蔽板を示す正面図であり、（ｂ）は遮蔽板の挿通孔を介した基板の出し入れの様子を模式的に示した斜視図である。
【図７】図５のＡ部拡大図である。
【図８】図１に示す熱処理装置の換装部近傍の構造を示す破断斜視図である。
【図９】図１に示す熱処理装置の換装部近傍の構造を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。
【図１０】図１に示す熱処理装置において基板を出し入れする際の基板近傍における気流の状態を模式的に示す概念図である。
【図１１】図１に示す熱処理装置の換装部近傍の構造の変形例を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。
【図１２】図１に示す熱処理装置の換装部近傍の構造の別の変形例を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。
【図１３】本発明の第二実施形態である熱処理装置の内部構造を示す平面図である。
【図１４】図１３に示す熱処理装置の換装部近傍の構造を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。
【図１５】（ａ）は図１３に示す熱処理装置において採用されている案内板を示す斜視図であり、（ｂ），（ｃ）は（ａ）に示す案内板と気流の関係を模式的に示す概念図である。
【図１６】図１３に示す熱処理装置において発生する気流を模式的に示した概念図である。
【図１７】図１および図１３に示す熱処理装置の変形例である熱処理装置の内部構造を示す平面図である。
【図１８】図１７に示す熱処理装置の換装部近傍の構造を熱処理室側から観察した状態示す破断斜視図である。
【図１９】図１５に示す案内板の変形例を示す断面図である。
【図２０】従来技術の熱処理装置において発生する気流を模式的に示した概念図である。
【符号の説明】
【００９９】
１，１００，１１０，２００  熱処理装置
６  換装部
１０  シャッター
１２  熱処理室
１４  熱風供給手段
４０，５０  開口
４４  遮蔽板
４４ｃ  挿通孔
６５，６６，８５，８６  エアノズル（気体噴出手段）
６７  エア噴出孔
６８  空気配管（気体供給配管）
１０１，１０２  案内板
１０３  固定面
１０５  離反面
１０６  湾曲面
１０７  遮断面
Ｘ，Ｙ  領域
Ｗ  基板（被加熱物）
Ｈ  仮想平面
【図１】
2006010268.tif 000003
【図２】
2006010268.tif 000004
【図３】
2006010268.tif 000005
【図４】
2006010268.tif 000006
【図５】
2006010268.tif 000007
【図６】
2006010268.tif 000008
【図７】
2006010268.tif 000009
【図８】
2006010268.tif 000010
【図９】
2006010268.tif 000011
【図１０】
2006010268.tif 000012
【図１１】
2006010268.tif 000013
【図１２】
2006010268.tif 000014
【図１３】
2006010268.tif 000015
【図１４】
2006010268.tif 000016
【図１５】
2006010268.tif 000017
【図１６】
2006010268.tif 000018
【図１７】
2006010268.tif 000019
【図１８】
2006010268.tif 000020
【図１９】
2006010268.tif 000021
【図２０】
2006010268.tif 000022