【手続補正書】
【提出日】平成19年3月5日(2007.3.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動可能なワークピース支持体を集積回路製造ツールに位置決めする方法であって、
ワークピースの製造ステップを行うために一つまたはそれ以上のワークピースを受けるツールを位置決めし、
前記ツールの処理領域にロボットアームを取付けて処理領域に一つのワークピースを移動させ、
露出したスペーサ表面を有するスペーサを前記ツールと結合し、
前記露出したスペーサ表面に対して垂直方向に前記ツールから近付けまたは離して前記露出したスペーサ表面の位置を調整し、
前記露出したスペーサ表面に対して移動可能なワークピース支持体を移動させることにより、ロボットアームの範囲内に一つまたはそれ以上のワークピースを位置決めして、前記支持体上の一つまたはそれ以上のワークピースをイオン注入機のロボットアームが届く範囲内に位置決めする、
ワークピースの位置決め方法。
【請求項２】
複数のワークピースを収容するカセット内に、一つまたはそれ以上のワークピースを支持する請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ワークピースを位置決めするステップで、位置決めピンの位置を感知し、該ピンに基づいて可動ワークピース支持体上にカセットを配置する請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記スペーサは、厚みを有するとともに前記スペーサの露出する表面に形成された外側表面を有する溶接物であり、前記ツールの表面に係合する一端を有する止めねじを調整することによって、ツールに対する外側表面の位置を調整することを含む請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記溶接物の外側表面に対して、ワークピース支持体を隣接させることによって止めねじを調整した後にワークピース支持体をツールに取付ける請求項４に記載の方法。
【請求項６】
外側表面に対して前記ワークピース支持体を隣接させた後に、前記スペーサに係合するコネクタによってワークピース支持体を固定する請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記ワークピース支持体がポッドドアオープニングにより構成されており、該ポッドドアオープニングにより、ワークピースを平行に収容したカセットを移動可能に支持して、ロボットの届く範囲内に移動させるステップをさらに備えた請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記ロボットアームは、ツール内でワークピースによる圧力履歴を減少させるためのロードロックに、前記ワークピースを供給する請求項１に記載の方法。
【請求項９】
ワークピースを処理するための前記ワークピースの処理領域を有する集積回路製造ツールと、
前記製造ツールと対応して取付けられ、前記ツールの処理領域にワークピースを移動させるロボットアームと、
前記集積回路製造ツールに結合され、集積回路ツールから垂直方向に近付きまたは離れるように調整移動するスペーサ表面を有しており、ツールに対して露出したスペーサ表面の位置を調整するスペーサと、
前記露出したスペーサ表面と前記ワークピースの位置を、ロボットの届く範囲内で隣接させて配置するワークピース支持体と、
を備えた装置。
【請求項１０】
前記スペーサが、溶接物の厚さを形成するスペーサブロックを有する溶接物からなる請求項９記載の装置。
【請求項１１】
前記スペーサが、
ａ）その内部に延びるねじ穴を有する一つまたはそれ以上のスペーサブロックと、
ｂ）前記スペーサブロックを支持するフレーム部材と、
ｃ）前記スペーサブロックのねじ穴と係合し、前記スペーサの表面から所定長さだけ外側に延びて製造ツールと接触することによって、前記スペーサの位置を調整する一つまたはそれ以上の位置決めねじと、
ｄ）前記位置決めねじの調整によって、前記製造ツールに対して前記スペーサの位置が固定されると、前記製造ツールに前記スペーサを取付ける一つまたはそれ以上のコネクタと、
を備えてなる請求項９に記載の装置。
【請求項１２】
前記スペーサが、
ａ）内部に延びるねじ穴を有する一つまたはそれ以上のスペーサブロックと、
ｂ）前記スペーサブロックが溶接されて固定され、前記スペーサブロックと組み合わさて溶接厚みを有する溶接物を形成するフレーム部材と、
ｃ）前記スペーサブロックのねじ穴と係合し、前記溶接物の表面から所定長さだけ外側に延びて製造ツールと接触することによって、前記溶接物の位置を調整する一つまたはそれ以上の位置決めねじと、
ｄ）前記位置決めねじの調整によって、前記製造ツールに対して前記溶接物の位置が固定される、製造ツールにスペーサを取付ける一つまたはそれ以上のコネクタと、
を備えてなる請求項９に記載の装置。
【請求項１３】
前記ワークピース支持体は、複数のワークピースを収容してツールに対して移動するカセットを支持する可動支持体を有するポッドドアオープナーにより構成されている請求項９に記載の装置。
【請求項１４】
集積回路製造ツールに対して一つまたはそれ以上のワークピースを位置決めするために使用されるスペーサであって、
ａ）内部に延びるねじ穴を有する一つまたはそれ以上のスペーサブロックと、
ｂ）前記スペーサブロックを支持するフレーム部材と、
ｃ）前記スペーサブロックの開口内に配置され、前記スペーサの表面から所定長さだけ外側に延びて製造ツールとの間で接触することによって前記スペーサの位置を調整する一つまたはそれ以上の位置決め調整ねじと、
ｄ）前記位置決めねじの調整によって製造ツールに対してスペーサの位置が固定されると、製造ツールにスペーサを取付ける一つまたはそれ以上のコネクタと、
を備えてなるスペーサ。
【請求項１５】
集積回路製造ツールに対して一つまたはそれ以上のワークピースを位置決めするために使用される装置であって、
ａ）内部に延びるねじ穴を有する一つまたはそれ以上のスペーサブロックと、
ｂ）前記スペーサブロックが溶接されて固定され、前記スペーサブロックと組み合わさて溶接厚みを有する溶接物を形成するフレーム部材と、
ｃ）スペーサブロックのねじ穴と係合し、溶接物の表面から所定長さだけ外側に延びて製造ツールと接触することによって溶接物の位置を調整する一つまたはそれ以上の位置決めねじと、
ｄ）前記位置決めねじの調整によって製造ツールに対して溶接物の位置が固定されると、製造ツールにスペーサを取付ける一つまたはそれ以上のコネクタと、
を備えてなる装置。
【請求項１６】
ワークピースを処理するための前記ワークピースの処理領域を有する集積回路製造ツールと、
前記製造ツールと対応して取付けられ、前記ツールの処理領域にワークピースを移動させるロボットアームと、
調整移動するスペーサ表面を有しており、前記ツールに対して露出した前記スペーサ表面の位置を調整するスペーサと、を備えており、該スペーサは、
ａ）その内部に延びるねじ穴を有する一つまたはそれ以上のスペーサブロックと、
ｂ）前記スペーサブロックを支持するフレーム部材と、
ｃ）前記スペーサブロックのねじ穴と係合し、前記スペーサの表面から所定長さだけ外側に延びて製造ツールと接触することによって、前記スペーサの位置を調整する一つまたはそれ以上の位置決めねじと、
ｄ）前記位置決めねじの調整によって、前記製造ツールに対して前記スペーサの位置が固定されると、前記製造ツールに前記スペーサを取付ける一つまたはそれ以上のコネクタと、
を備えてなり、
前記露出したスペーサ表面と前記ワークピースの位置を、ロボットの届く範囲内で隣接させて配置するワークピース支持体を備えてなる装置。