【手続補正書】
【提出日】平成19年5月2日(2007.5.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  液体中において物質の存在を検出するためのセンサであって、
相互作用チャンバと、入口と、出口とから構成された、液体を処理するための手段と、前記相互作用チャンバは５０乃至５００μｍの幅及び深さを有して層流を提供することと、
第１物質を保持する表面を有する第１可撓性部材であって、前記液体が前記相互作用チャンバに導入されたときに、前記表面に保持された第１物質の少なくとも一部が前記液体に露出するように、該表面は少なくとも部分的に前記相互作用チャンバ内に配置されている前記第１可撓性部材と、
第１可撓性部材に対応した機械的パラメータを検出するための手段であって、前記機械的パラメータは前記液体中における前記物質の存在に関連付けられている前記検出手段と、
を備えたセンサ。
【請求項２】  前記検出手段は前記第１可撓性部材の一体化された一部であることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項３】  前記第１可撓性部材は第１と第２端部を有するマイクロ片持ち梁を含み、第１端部は相互作用チャンバに取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項４】  前記第１可撓性部材はポリマ材料からなるマイクロ片持ち梁であることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項５】  前記第１可撓性部材はマイクロ片持ち梁であり、前記マイクロ片持ち梁はポリマ材料からなる被覆を有することを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項６】  前記第１可撓性部材は第１と第２端部を有するマイクロブリッジを含み、第１及び第２端部は相互作用チャンバに取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項７】  前記第１可撓性部材は相互作用チャンバを画成する境界の一部を形成することを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項８】  前記第１可撓性部材と対応する第１機械的パラメータを検出するための検出手段はピエゾ抵抗要素を含み、前記ピエゾ抵抗要素は第１可撓性部材の一体化された一部であることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項９】  前記第１可撓性部材と対応する機械的パラメータを検出するための検出手段はレーザと、光学要素と、位置検出光検出器とを含むことを特徴とする請求項１乃
至８のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項１０】  前記ピエゾ抵抗要素はホイートストンブリッジ等の平衡ブリッジの一部を形成することを特徴とする請求項８に記載のセンサ。
【請求項１１】  前記相互作用チャンバに対して第１可撓性部材を移動させるためのアクチュエータを更に備えることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項１２】  前記アクチュエータは圧電素子であることを特徴とする請求項１１に記載のセンサ。
【請求項１３】  前記アクチュエータは、第１可撓性部材の静電気誘発運動を提供するための手段を含むことを特徴とする請求項１１に記載のセンサ。
【請求項１４】  前記アクチュエータは、前記第１可撓性部材の磁気誘発運動を提供するための手段を含むことを特徴とする請求項１１に記載のセンサ。
【請求項１５】  前記アクチュエータは、第１可撓性部材の熱誘発運動を提供するための手段を含むことを特徴とする請求項１１に記載のセンサ。
【請求項１６】  前記処理するための手段は、金属、ガラス、ポリマまたはシリコン等の半導体材料から成る群から選択された材料で製造されることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項１７】  第１可撓性部材の表面によって保持される物質は、金属、ポリマ、生物化学的分子またはマイクロ生物化学的構造体から成る群から選択されることを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項１８】  少なくとも一部が前記液体に露出するように、少なくとも部分的に相互作用チャンバ内に配置された第２可撓性部材と、
第２可撓性部材に対応した機械的パラメータを検出するための検出手段とを更に備えることを特徴とする請求項１乃至１７のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項１９】  前記検出手段はピエゾ抵抗要素から構成され、前記ピエゾ抵抗要素は第２可撓性部材の一体化された一部であり、前記ピエゾ抵抗要素はホイートストンブリッジ等の平衡ブリッジの一部を形成することを特徴とする請求項１８に記載のセンサ。
【請求項２０】  前記ミクロ液体処理システムは幅１００乃至５００μｍであり、前記チャネルの長さはｍｍオーダであることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項２１】  片持ち梁の形状を有する前記第１可撓性部材の下方において、前記相互作用チャンバは幅３０乃至１００μｍのチャネルを有し、前記ミクロ液体処理システムは更に、厚さ約１００μｍのスペーサ層と、高さ約１００μｍでかつ前記チャネル上に間隙を与えるカバー層とを備えることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項２２】  前記機械的パラメータは、曲げの大きさ、曲げの変化、又は共振周波数の変化を示す撓みパラメータであることを特徴とする請求項１乃至２１のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項２３】  前記機械的パラメータは、抵抗の変化として測定される、応力の変化又は表面応力の変化であることを特徴とする請求項１乃至２１のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項２４】  前記第１可撓性部材は生体分子と反応する検出膜で被覆されていることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項２５】  前記第１可撓性部材は前記相互作用チャンバの側壁に取り付けられたマイクロ片持ち梁を含むことを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項２６】  前記液体を浸入させずかつ電気接続部をショートさせないように電気配線を完全に封止するスペーサ層を備えることを特徴とする請求項２５に記載のセンサ。
【請求項２７】  マイクロ片持ち梁の形状を有し、かつ、前記第１可撓性部材以外の膜で被覆された基準可撓性部材を更に備えることを特徴とする請求項２６に記載のセンサ。
【請求項２８】  更に、第２物質を保持する表面を有する第２可撓性部材と、前記第２物質を保持する前記表面は、前記液体が前記相互作用チャンバに導入された時に少なく
とも第２可撓性部材の第２物質の一部が前記液体に露出するように、少なくとも部分的に相互作用チャンバ内に配置されており、
前記第２可撓性部材に対応した第２の機械的パラメータを検出するための第２検出手段とを備え、前記第２の機械的パラメータは前記液体中における第２物質の存在に関連付けられていることを特徴とする請求項１乃至２７のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項２９】  前記第１及び第２可撓性部材の各々は第１と第２端部を有するマイクロ片持ち梁であり、前記第１端部は前記相互作用チャンバに取り付けられていることを特徴とする請求項２８に記載のセンサ。
【請求項３０】  前記第１及び第２可撓性部材の各々は第１と第２端部を有するマイクロブリッジであり、前記第１及び第２端部は前記相互作用チャンバに取り付けられていることを特徴とする請求項２８に記載のセンサ。
【請求項３１】  前記第１及び第２可撓性部材の各々は前記相互作用チャンバを画成する境界の一部を形成することを特徴とする請求項２８に記載のセンサ。
【請求項３２】  前記第２検出手段はピエゾ抵抗要素であり、前記ピエゾ抵抗要素は第２可撓性部材の一体化された一部であることを特徴とする請求項２８乃至３１のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項３３】  前記第１及び第２検出手段はピエゾ抵抗要素であり、前記ピエゾ抵抗要素はホイートストンブリッジ等の平衡ブリッジの一部を形成することを特徴とする請求項３１又は３３に記載のセンサ。
【請求項３４】  前記第１及び第２可撓性部材にそれぞれ関連付けられた第１及び第２の機械的パラメータを検出するための検出手段はレーザと、光学要素と、位置検出用光検出器とからなることを特徴とする請求項２８に記載のセンサ。
【請求項３５】  前記相互作用チャンバに対して前記第１及び第２可撓性部材を移動させるためのアクチュエータを更に備えることを特徴とする請求項２８に記載のセンサ。
【請求項３６】  前記アクチュエータは圧電素子を含み、前記圧電素子はマイクロ片持ち梁の一体化された一部であることを特徴とする請求項３５に記載のセンサ。
【請求項３７】  前記アクチュエータは、前記マイクロ片持ち梁の第２端部の静電気誘発運動を提供するための手段を含むことを特徴とする請求項３５に記載のセンサ。
【請求項３８】  前記アクチュエータは、前記マイクロ片持ち梁の第２端部の磁気誘発運動を提供するための手段を含むことを特徴とする請求項３５に記載のセンサ。
【請求項３９】  前記アクチュエータは、前記マイクロ片持ち梁の第２端部の熱誘発運動を提供するための手段を含むことを特徴とする請求項３５に記載のセンサ。
【請求項４０】  第１液体と第２液体が層流中にあるとき、前記第２液体中の第２物質の存在を検出するための手段と、前記相互作用チャンバは、移動方向に垂直な断面において、第１及び第２領域から構成されることと、
第２物質を保持する表面を有する第２可撓性部材と、前記第２物質を保持する前記表面は、前記液体が前記相互作用チャンバに導入された時に少なくとも第２可撓性部材の第２物質の一部が前記液体に露出するように、少なくとも部分的に相互作用チャンバ内に配置されており、
前記第２可撓性部材に対応しかつ前記液体中における第２物質の存在に関連付けられた第２の機械的パラメータを検出するための第２検出手段とを更に備え、
前記第１物質を保持する前記第１可撓性部材の表面の少なくとも一部は、前記第１物質の少なくとも一部が前記相互作用チャンバの第１領域に露出するように、前記相互作用チャンバ内に配置されており、前記第２物質を保持する前記第２可撓性部材の表面の少なくとも一部は、前記第２物質の少なくとも一部が前記相互作用チャンバの第２領域に露出するように、前記相互作用チャンバ内に配置されていることを特徴とする請求項１乃至３９のいずれか一項に記載のセンサ。
【請求項４１】  前記処理手段は、支持体と、スペーサ層と、カバー板とを備え、前記スペーサ層及び前記カバー板はガラス製であることを特徴とする請求項１に記載のセンサ。
【請求項４２】  前記可撓性部材はレーザ光反射面を有するマイクロ片持ち梁であることを特徴とする請求項４１に記載のセンサ。