(57)【要約】【課題】光学的被検査面検査装置において、真上からや、任意に選択された斜角の方向から、もれなく液晶デイスプレイ上の欠陥を検出することができるようにする。【解決手段】  光学的被検査面検査装置は、被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージ２と、当該ステージ２に搭載された前記被検査体の前記被検査面Ｌの一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサー５と、当該ラインセンサー５を支持し、当該ラインセンサー５の焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサー５の焦点距離を一定に保ちつつ任意の角度の位置まで当該ラインセンサー５を傾動することができる傾動枠４とを備える。【選択図】図１
2006010660.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージと、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面上の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーと、当該ラインセンサーを支持し、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意の角度の位置まで当該ラインセンサーを傾動することができる傾動枠とを備えたことを特徴とする、光学的被検査面検査装置。
【請求項２】
被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージと、当該ステージを駆動して設定した方向へ移動させるステージ駆動装置と、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面上の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーと、当該ラインセンサーを支持し、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意に設定した角度の位置まで当該ラインセンサーを傾動することができる傾動枠とを備えたことを特徴とする、光学的被検査面検査装置。
【請求項３】
被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージと、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面に垂直な軸線の周りに当該ステージを駆動して任意に設定した向きに任意に設定した回転角度だけ回転させるステージ駆動装置と、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面上の任意の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーと、当該ラインセンサーを支持し、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意に設定した角度の位置まで当該ラインセンサーを傾動することができる傾動枠とを備えたことを特徴とする、光学的被検査面検査装置。
【請求項４】
被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージと、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面上の任意の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーと、当該ラインセンサーを支持し、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意に設定した角度の位置まで当該ラインセンサーを傾動することができる傾動枠と、前記ラインセンサーを前記傾動枠によって設定した角度の位置まで傾動した状態を保って、当該ラインセンサー及び当該傾動枠を前記ステージに沿って前記ラインセンサーの焦点が並ぶ直線の方向に対して垂直な方向に移動させる移動装置とを備えたことを特徴とする、光学的被検査面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、光学的被検査面検査装置、特に被検査面の傷や欠陥の有無を光学的に検査するための光学的被検査面検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  近年、例えばＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）の画面は大型化に向けて進展している一方で、その画素の寸法はミクロンメートルのオーダーであって微細であるため、被検査体としてのＦＰＤ本体の検査やＦＰＤに使用される被検査体としての使用部材の良否判定のための検査が難しくなってきている。【０００３】  また、ＦＰＤ本体やその使用部材は、見る方向すなわち視線の基準線に対する方向である視野角によって、例えば明るさ、コントラスト、色等の見え方が違う場合があるので、良否判定のための検査に際してはＦＰＤ本体やその使用部材に対する視線の方向すなわち視野角についても考慮した検査が必要となる。そこで、従来、ＦＰＤ本体やその使用部材の検査に際して、実際の使用状態を考慮して、ＦＰＤ本体やその使用部材に対して複数の相異なる角度及び方向から見て検査を行い、その良否を判定することが提案された。【０００４】  例えば、特開平５−１７２７６０号公報には、液晶デイスプレイを一方方向に移動させるための可動ステージの上方及び斜め上方、あるいはそのいずれか一方から、液晶デイスプレイに検査のために表示させた表示パターンを読取るＣＣＤユニット等のイメージセンサを設け、このイメージセンサの読取値から液晶デイスプレイの欠陥を判別するようにした、光学式液晶デイスプレイ欠陥検査装置が提案されている。【０００５】  この場合、イメージセンサを構成する第１番目のＣＣＤユニットは、液晶デイスプレイの表示パターンを真上から読取るように取付けられ、第２番目のＣＣＤユニットは、液晶デイスプレイの表示パターンを斜め上方から読取るように取付けられている。【０００６】  しかしながら、第１番目のＣＣＤユニットは、液晶デイスプレイの表示パターンを真上からのみ読取り可能であり、また、第２番目のＣＣＤユニットは、液晶デイスプレイの表示パターンを予め設定された斜角の方向からのみ読取り可能であるため、真上からや、予め設定された斜角の方向からは検出されないが、予め設定された斜角以外の斜角の方向からは検出されるような液晶デイスプレイ上の欠陥を検出することができない。【０００７】
【特許文献】  特開平５−１７２７６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】  本発明は、例えばＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、バックライト、偏光板、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）、ＥＬＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ  Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）等の被検査面を有する被検査体の被検査面の傷や欠陥の有無を光学的に検査するための光学的被検査面検査装置において、検査ステージに搭載された被検査体の被検査面上の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーを、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意の角度の位置まで傾動することができるようにすることによって、真上からや、任意に選択された斜角の方向から、もれなく液晶デイスプレイ上の傷や欠陥を検出することができるようにした、光学的被検査面検査装置を提供しようとするものである。【０００９】  また、本発明は、構造が簡単で各部の機能も明確に分離されていて、メンテナンスが容易であり、さらにラインセンサーを追加して配置することによって、検査の高速化を達成することができるようにした、光学的被検査面検査装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】  本発明の光学的被検査面検査装置は、被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージと、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面上の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーと、当該ラインセンサーを支持し、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意の角度の位置まで当該ラインセンサーを傾動することができる傾動枠とを備えている。【００１１】  また、本発明の光学的被検査面検査装置は、被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージと、当該ステージを駆動して設定した方向へ移動させるステージ駆動装置と、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面上の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーと、当該ラインセンサーを支持し、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意に設定した角度の位置まで当該ラインセンサーを傾動することができる傾動枠とを備えている。【００１２】  さらに、本発明の光学的被検査面検査装置は、被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージと、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面に垂直な軸線の周りに当該ステージを駆動して任意に設定した向きに任意に設定した回転角度だけ回転させるステージ駆動装置と、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面上の任意の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーと、当該ラインセンサーを支持し、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意に設定した角度の位置まで当該ラインセンサーを傾動することができる傾動枠とを備えている。【００１３】  また、本発明の光学的被検査面検査装置は、被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載するステージと、当該ステージに搭載された前記被検査体の前記被検査面上の任意の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーと、当該ラインセンサーを支持し、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意に設定した角度の位置まで当該ラインセンサーを傾動することができる傾動枠と、前記ラインセンサーを前記傾動枠によって設定した角度の位置まで傾動した状態を保って、当該ラインセンサー及び当該傾動枠を前記ステージに沿って前記ラインセンサーの焦点が並ぶ直線の方向に対して垂直な方向に移動させる移動装置とを備えている。
【発明の効果】
【００１４】  本発明の光学的被検査面検査装置によれば、以下のような効果が得られる。
被検査面を有する被検査体の被検査面の欠陥の有無を光学的に検査するための光学的被検査面検査装置において、検査ステージに搭載された被検査体の被検査面上の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーを、当該ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、当該ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意の角度の位置まで傾動することができるようにすることによって、真上からや、任意に選択された斜角の方向から、もれなく液晶デイスプレイ上の傷や欠陥を検出することができる。【００１５】  また、本発明は、構造が簡単で各部の機能も明確に分離されていて、メンテナンスが容易であり、さらにラインセンサーを追加して配置することによって、検査の高速化を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】  本発明の光学的被検査面検査装置は、真上からや、任意に選択された斜角の方向から、もれなく液晶デイスプレイ上の欠陥を検出することができるようにするという目的を、検査ステージに搭載された被検査体の被検査面上の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持されたラインセンサーを設けるとともに、ラインセンサーの焦点が並ぶ任意の直線の周りに、ラインセンサーの焦点距離を一定に保ちつつ任意の角度の位置まで当該ラインセンサーを傾動することができる傾動枠によってラインセンサーを支持するようにしたことによって実現した。
【実施例】
【００１７】  以下、図面により、本発明の一実施例としての光学的被検査面検査装置について説明する。図１は本発明の一実施例としての光学的被検査面検査装置の一例を示す要部斜視図、図２は本発明の図１とは異なった実施例としての光学的被検査面検査装置の一例を示す要部平面図、図３は図２の光学的被検査面検査装置の要部側面図、図４は図１の光学的被検査面検査装置の作動の一例を示すフロー図、図５は図２及び図３の光学的被検査面検査装置の作動の一例を示すフロー図、図６は図２及び図３の光学的被検査面検査装置の作動の図５とは異なった他の一例を示すフロー図である。【００１８】  まず図１において、光学的被検査面検査装置は、図示されていない基台に対して固定されたテーブル１上を、同テーブル１に案内されて矢印Ａで示される移動方向に往復駆動される移動ステージ２を有する。移動ステージ２上には、例えばＬＣＤ、バックライト、偏光板、ＰＤＰ、ＥＬＤ、ＣＲＴ等の被検査面を有する被検査体を着脱可能に搭載して、移動ステージ２と共に矢印Ａの移動方向に往復移動することができるようになっている。移動ステージ２の下面側にはバックライト投光装置が配設されており、被検査体に応じて移動ステージ２の下面側から上方へ向けてバックライトを投光することができるようになっている。【００１９】  テーブル１に対する移動ステージ２の矢印Ａの移動方向への往復移動は、例えばリニアモータ、ボールねじ等の任意の駆動機構によって行うことができ、その往復移動のタイミングや移動速度等は、ステージ移動制御系を通してパーソナルコンピュータを利用したメインコントロール系によって集中的に管理されるようになっている。【００２０】  テーブル１及び移動ステージ２の上方には、図示されていない支持機構によってセンサヘッド３が支持されている。センサヘッド３は、移動ステージ２に搭載された被検査体の被検査面上の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持された単数または複数個のＣＣＤ（電荷結合素子）ユニットよりなるラインセンサー５、５と、ラインセンサー５、５を支持し、ラインセンサー５、５の焦点が並ぶ任意の直線、例えば上記のように移動ステージ２に搭載された被検査体の被検査面上の一直線の周りに、ラインセンサー５、５の焦点距離を一定に保ちつつ任意の角度、例えば図１の傾動角ｂの位置までラインセンサー５、５を傾動することができる傾動枠４とを備えている。【００２１】  ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー５、５の焦点が並ぶ移動ステージ２上の被検査体の被検査面上の上記直線は、通常は、移動ステージ２の移動方向Ａに対して直交する方向に設定されるが、検査の都合により、必要に応じて移動ステージ２の移動方向Ａに対して設定した交差角で斜交する方向に設定しておくこともできる。【００２２】  次に、図１に例示した光学的被検査面検査装置の作動の一例を、図４の作動フロー図により説明する。図１及び図４において、ステップＳ１で移動ステージ２上に被検査体をローデイングし、ステップＳ２でセンサヘッド３の傾動枠４の傾動角ｂをセットすることによって、ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー５、５の視野角をセットする。【００２３】  傾動枠４の傾動角ｂのセッテイングは、���えば以下のようにして行われる。すなわち、ラインセンサー５、５の視野が移動ステージ２上の被検査体の被検査面に垂直な方向のラインセンサー５、５の視野角を基準として、そのときのラインセンサー５、５の視野角を０°とし、センサヘッド３の傾動枠４が、ラインセンサー５、５の視野角が０°となる位置よりも一方の側に傾動したときのラインセンサー５、５の被検査面に垂直な方向に対する視野角を＋（プラス）とし、ラインセンサー５、５の視野角が０°となる位置よりも他方の側に傾動したときのラインセンサー５、５の被検査面に垂直な方向に対する視野角を−（マイナス）としたとき、例えば、＋４５°、＋４０°、＋３５°、・・・、＋５°、０°、−５°、・・・、−３５°、−４０°、−４５°のように、５°間隔あるいはその他の適当な角度間隔で、順次、予め設定したプログラムに従って設定される。【００２４】  図１及び図４において、ステップＳ２でセンサヘッド３の傾動枠４の傾動角ｂが、まず最初に、例えばラインセンサー５、５の視野角が＋４５°となるようにセットされると、ステップＳ３で移動ステージ２が移動方向Ａの方向に往動される。その間、ステップＳ４として、ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー５、５からは画像の取込みが行われ、ステップＳ５として、取込まれた画像のデータ処理が行われ、さらにステップＳ６として、処理された画像データの蓄積が行われる。【００２５】  図１及び図４に示すように、ラインセンサー５、５の視野角が＋４５°のときの移動ステージ２上の被検査体の被検査面の走査が終了すると、次にラインセンサー５、５の視野角が＋４０°となるようにセットされ、今度は、ステップＳ３で移動ステージ２が移動方向Ａの方向で復動される。その間、ラインセンサー５、５の視野角が＋４５°のときと同様にして、ステップＳ４として、ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー５、５からは画像の取込みが行われ、ステップＳ５として、取込まれた画像のデータ処理が行われ、さらにステップＳ６として、処理された画像データの蓄積が行われる。【００２６】  以下、図１及び図４において、移動ステージ２の移動方向Ａにおける往動及び復動が繰り返される毎に、傾動枠４の傾動角ｂのセッテイングが、予め設定された角度間隔で、順次、プログラムに従って行われる。このようにして、傾動枠４の傾動角ｂの予定された全傾動角について移動ステージ２上の被検査体の被検査面の走査が終了すると、メインコントロール系における演算部において、蓄積されたデータの処理演算が行われ、ステップＳ７において、被検査体の被検査面に傷や欠陥が無いか、傷や欠陥があった場合には、どのような角度から見たときに認められる傷や欠陥が、被検査面上のどの座標位置に存在するか等の検査結果が出力される。そして、ステップＳ８で移動ステージ２上から被検査体がアンローデイングされる。【００２７】  図２及び図３に示された光学的被検査面検査装置は、基台６上に搭載された例えばステップモータ等の回転駆動装置７により上下方向軸線の周りに回転駆動される回転ステージ８を有する。回転ステージ８は、回転ステージ８上に被検査面を有する被検査体９を着脱可能に搭載して、回転ステージ８と共に矢印ｃの回転方向に回転する���とができるようになっている。回転ステージ８の下面側にはバックライト投光装置が配設されており、被検査体に応じて回転ステージ８の下面側から上方へ向けてバックライトを投光することができるようになっている。【００２８】  回転ステージ８の矢印ｃの回転方向への回転は、回転駆動装置７によって行われ、その回転のタイミングや回転速度等は、ステージ回転制御系を通してパーソナルコンピュータを利用したメインコントロール系によって集中的に管理されるようになっている。【００２９】  図２及び図３に示されているように、回転ステージ８の左右両側には互いに平行な一対のレール１０、１１が配設され、レール１０には、移動台１２がレール１０に案内されて水平方向に移動可能に係合しているとともに、レール１１には、移動台１３がレール１１に案内されて水平方向に移動可能に係合している。移動台１２には、傾動枠１６の一端側を支持する傾動支柱１４の下端部が、傾動軸１８の周りに前後方向に傾動可能に枢支されているとともに、移動台１３には、傾動枠１６の他端側を支持する傾動支柱１５の下端部が、傾動軸１８と一直線状に並ぶ図示されない他の傾動軸の周りに前後方向に傾動可能に枢支されている。【００３０】  図２及び図３において、傾動支柱１４の上端部と傾動支柱１５の上端部との間には、センサヘッドを構成する傾動枠１６が、傾動支柱１４、１５と一体に傾動することができるように支持されている。傾動枠１６には、回転ステージ８に搭載された被検査体９の被検査面上の一直線上にすべての焦点が並ぶように支持された単数または複数個の、例えば図示のように４個のＣＣＤユニットよりなるラインセンサー１７が支持されている。ラインセンサー１７は、各ラインセンサー１７の焦点が並ぶ任意の直線、例えば上記のように回転ステージ８に搭載された被検査体９の被検査面上の一直線の周りに、各ラインセンサー１７の焦点距離を一定に保ちつつ任意の角度の位置まで傾動枠１６によって傾動されるようになっている。【００３１】  図２及び図３に示されるように、各ラインセンサー１７は、移動台１２、１３がそれぞれ対応するレール１０、１１に沿って前後方向に往復移動することによって、前後方向に任意の角度の位置まで傾動枠１６によって傾動された状態で、任意の方位に回転した状態の回転ステージ８に搭載された被検査体９の被検査面を、設定されたタイミングと移動速度の下で走査することができる。【００３２】  以下、図２及び図３に例示した光学的被検査面検査装置の作動の一例を、図５の作動フロー図により説明する。図２、図３及び図５において、ステップＳ１で回転ステージ８上に被検査体をローデイングした上、各移動台１２、１３を移動させて、傾動枠１６及び各ラインセンサー１７が、回転ステージ８の中心部を通る直径の直上の位置となるように位置付けられる。そしてステップＳ２でセンサヘッドの傾動枠１６の傾動角をセットすることによって、ＣＣＤユニットよりなる各ラインセンサー１７の視野角をセットする。【００３３】  傾動枠１６の傾動角のセッテイングは、例えば以下のようにして行われる。すなわち、ラインセンサー１７の視野が回転ステージ８上の被検査体９の被検査面に垂直な方向のラインセンサ���１７の視野角を基準として、そのときのラインセンサー１７の視野角を０°とし、センサヘッドの傾動枠１６が、ラインセンサー１７の視野角が０°となる位置よりも前方の側に傾動したときのラインセンサー１７の被検査面に垂直な方向に対する視野角を＋（プラス）とし、ラインセンサー１７の視野角が０°となる位置よりも後方側に傾動したときのラインセンサー１７の被検査面に垂直な方向に対する視野角を−（マイナス）としたとき、例えば、＋４５°、＋４０°、＋３５°、・・・、＋５°、０°、−５°、・・・、−３５°、−４０°、−４５°のように、５°間隔あるいはその他の適当な角度間隔で、順次、予め設定したプログラムに従って設定される。【００３４】  図２、図３及び図５において、ステップＳ２でセンサヘッドの傾動枠１６の傾動角が、最初に、例えばラインセンサー１７の視野角が＋４５°となるようにセットされると、ステップＳ３で、回転ステージ２が、回転方向ｃの方向に、基準方位を０°として、例えば０°、５°、１０°、・・・、３５０°、３５５°、３６０°のように、例えば５°間隔あるいはその他の適当な方位間隔で、順次、予め設定したプログラムに従って３６０°回転される。その間、ステップＳ４においてとして、ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー１７からは画像の取込みが行われ、ステップＳ５として、取込まれた画像のデータ処理が行われ、さらにステップＳ６として、処理された画像データの蓄積が行われる。【００３５】  図２、図３及び図５に示すように、ラインセンサー１７の視野角が＋４５°のときの回転ステージ８上の被検査体の被検査面の走査が終了すると、次にラインセンサー１７の視野角が＋４０°となるようにセットされ、ステップＳ３で再び回転ステージ８が回転方向ｃの方向に３６０°回転される。その間、ラインセンサー１７の視野角が＋４５°のときと同様にして、ステップＳ４として、ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー１７からは画像の取込みが行われ、ステップＳ５として、取込まれた画像のデータ処理が行われ、さらにステップＳ６として、処理された画像データの蓄積が行われる。【００３６】  以下、図２、図３及び図５において、回転ステージ８の回転方向ｃにおける３６０°の回転が繰り返される毎に、傾動枠１６の傾動角のセッテイングが、予め設定された角度間隔で、順次、プログラムに従って行われる。このようにして、傾動枠１６の傾動角の予定された全傾動角について回転ステージ８上の被検査体９の被検査面の走査が終了すると、メインコントロール系における演算部において、蓄積されたデータの処理演算が行われ、ステップＳ７において、被検査体９の被検査面に傷や欠陥が無いか、傷や欠陥があった場合には、どのような角度から見たときに認められる傷や欠陥が、被検査面上のどの座標位置に存在するか等の検査結果が出力される。最後に、ステップＳ８で、回転ステージ８上から被検査体９がアンローデイングされる。【００３７】  次に、図２及び図３の光学的被検査面検査装置について、図５に例示した作動とは異なった他の作動の一例を、図６の作動フロー図により説明する。図２、図３及び図６において、ステップＳ１で回転ステージ８上に被検査体９をローデイングし、ステップＳ２でセンサヘッドの傾動枠１６の傾動角をセットすることによって、ＣＣＤユニットよりなる各ラインセンサー１７の視野角をセットする。傾動枠１６の傾動角のセッテイングは、図５における傾動枠１６の傾動角のセッテイングと同様にして行われる。【００３８】  図２、図３及び図６において、ステップＳ２でセンサヘッドの傾動枠１６の傾動角が、最初に、例えばラインセンサー１７の視野角が＋４５°となるようにセットされると、ステップＳ３で、各移動台１２、１３を移動方向Ｂの方向に水平移動させて往動させることによって、各ラインセンサー１７に、回転ステージ８の上方、したがって回転ステージ８上の被検査体９の被検査面の上方を通過させる。その間、ステップＳ４として、ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー１７からは画像の取込みが行われ、ステップＳ５として、取込まれた画像のデータ処理が行われ、さらにステップＳ６として、処理された画像データの蓄積が行われる。【００３９】  図２、図３及び図６において、回転ステージ８は、一つの被検査体９の被検査面について、検査中に、回転方向ｃの方向に３６０°回転されるが、各移動台１２、１３が移動方向Ｂの方向に水平移動して往動し、各ラインセンサー１７が回転ステージ８上の被検査体９の被検査面の上方を一方の向きに通過したり、各移動台１２、１３が移動方向Ｂとは逆方向に水平移動して復動し、各ラインセンサー１７が回転ステージ８上の被検査体９の被検査面の上方を他方の向きに通過したりする毎に、回転方向ｃの方向に、例えば５°ずつ一方向に回転して方位を変える。【００４０】  すなわち、図２、図３及び図６に示すように、回転ステージ８の方位が基準方位を基準にして０°の方位に設定されているときに、各移動台１２、１３が移動方向Ｂの方向に水平移動して往動し、各ラインセンサー１７が回転ステージ８上の被検査体９の被検査面の上方を一方の向きに通過し終えると、ステップＳ７で回転ステージ８が回転されて、今度は回転ステージ８が基準方位を基準にして例えば５°の方位となるように設定される。このようにして、回転ステージ８は、予め設定した基準方位の方位角を０°として、例えば０°、５°、１０°、・・・、３５０°、３５５°、３６０°のように、回転方向ｃの方向に例えば５°間隔あるいはその他の適当な方位間隔で、順次、予め設定したプログラムに従って回転される。【００４１】  図２、図３及び図６において、回転ステージ８が基準方位に対して５°の方位に設定されると、ステップＳ３に戻り、今度は各移動台１２、１３が移動方向Ｂとは逆方向に水平移動して復動し、各ラインセンサー１７が回転ステージ８上の被検査体９の被検査面の上方を逆向きに通過する。その間、ステップＳ４として、ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー１７からは画像の取込みが行われ、ステップＳ５として、取込まれた画像のデータ処理が行われ、さらにステップＳ６として、処理された画像データの蓄積が行われる。【００４２】  図２、図３及び図６に示すように、各ラインセンサー１７が回転ステージ８上の被検査体９の被検査面の上方を一方の向きに往動し、また逆方向に復動する毎に、上述のように回転ステージ８が、例えば５°の方位間隔で順次回転され、３６０°まで一回転し終えると、ステップＳ２へ戻る。ステップＳ２で、センサヘッドの傾動枠１６の傾動角が、今度はラインセンサー１７の視野角が＋４０°となるようにセットされる。そして、以下ステップＳ３からステップＳ７まで、センサヘッドの傾動枠１６の傾動角が、ラインセンサー１７の視野角が＋４５°となるようにセットされたときと同様にして、光学的被検査面検査装置の作動が進行する。【００４３】  図２、図３及び図６において、傾動枠１６の傾動角の予定された全傾動角について回転ステージ８上の被検査体９の被検査面の走査が終了すると、メインコントロール系における演算部において、蓄積されたデータの処理演算が行われ、ステップＳ８において、被検査体９の被検査面に傷や欠陥が無いか、傷や欠陥があった場合には、どのような角度から見たときに認められる傷や欠陥が、被検査面上のどの座標位置に存在するか等の検査結果が出力される。そして最後に、ステップＳ９で、回転ステージ８上から被検査体９がアンローデイングされる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】  本発明は、特許請求の範囲に記載した事項の範囲内で種々の実施の形態に従って実施をすることができ、光学的被検査面検査装置として産業上の利用可能性がきわめて大きい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】  本発明の一実施例としての光学的被検査面検査装置の一例を示す要部斜視図である。
【図２】  本発明の図１とは異なった実施例としての光学的被検査面検査装置の一例を示す要部平面図である。
【図３】  図２の光学的被検査面検査装置の要部側面図である。
【図４】  図１の光学的被検査面検査装置の作動の一例を示すフロー図である。
【図５】  図２及び図３の光学的被検査面検査装置の作動の一例を示すフロー図である。
【図６】  図２及び図３の光学的被検査面検査装置の作動の図５とは異なった他の一例を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００４６】１    テーブル
２    移動ステージ
３    センサヘッド
４    傾動枠
５    ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー
６    基台
７    回転駆動装置
８    回転ステージ
９    被検査体
１０    レール
１１    レール
１２    移動台
１３    移動台
１４    傾動支柱
１５    傾動支柱
１６    傾動枠
１７    ＣＣＤユニットよりなるラインセンサー
１８    傾動軸
Ａ，Ｂ    移動方向
Ｓ１〜Ｓ９    ステップ
ａ    視野
ｂ    傾動角
ｃ    回転方向
【図１】
2006010660.tif 000003
【図２】
2006010660.tif 000004
【図３】
2006010660.tif 000005
【図４】
2006010660.tif 000006
【図５】
2006010660.tif 000007
【図６】
2006010660.tif 000008