(57)【要約】【課題】  本発明は電子顕微鏡に関し、電子線を照射した際に発生するＸ線を安全かつ確実に遮蔽することができる電子顕微鏡を提供することを目的としている。【解決手段】  試料に電子線を照射する電子顕微鏡において、鍵を用いて高圧のオン／オフを行なう第１のスイッチと、前記鍵を共通に用いて操作室のオン／オフを行なう際に動作する第２のスイッチと、操作室の開閉を行なう際に動作する第３のスイッチとを設け、これら第１のスイッチから第３のスイッチまでは論理積動作により高圧電源又はフィラメントを制御するようにした構成において、前記第１のスイッチから第３のスイッチまでのうち、少なくとも２個のスイッチを用いて前記高圧電源又はフィラメントを制御するように構成される。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に電子線を照射する電子顕微鏡において、
電子線オン／オフと、操作室扉の開閉用に共通の鍵を使用し、
電子線発生回路がオンの時には、前記鍵が抜けないようにし、電子線発生回路をオフにすると鍵が抜け、
その鍵を用いて操作室のカバーを開け電子線発生回路をオフにすることができるように構成したことを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項２】
試料に電子線を照射する電子顕微鏡において、
鍵を用いて高圧又はフィラメントのオン／オフを行なう第１のスイッチと、前記鍵を共通に用いて操作室のオン／オフを行なう際に動作する第２のスイッチと、操作室の開閉を行なう際に動作する第３のスイッチとを設け、
これら第１のスイッチから第３のスイッチまでは論理積動作により高圧電源又はフィラメントを制御するようにした構成において、
前記第１のスイッチから第３のスイッチまでのうち、少なくとも２個のスイッチを用いて前記高圧電源又はフィラメントを制御することを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項３】
漏洩Ｘ線が発生する可能性のある所に赤外線センサを設け、該赤外線センサが人を検知したら、前記電子線発生回路をオフとするスイッチを設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の電子顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子顕微鏡に関し、更に詳しくは加速電圧を印加した際に、電子線（電子ビーム）を照射した時に発生するＸ線を安全かつ確実に遮蔽する機構を有する電子顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
超高圧電子顕微鏡は、その加速電圧が高いが故に電子線を発生している時に漏洩Ｘ線による被曝の危険性を伴っている。漏洩Ｘ線が発生しやすい箇所、例えば試料交換やフィルム交換を行なう操作室には、漏洩Ｘ線防止用カバーが取り付けられている。このため、試料交換、またはフィルム交換を行なう前には必ず電子線をオフにする必要があり、時として電子線をオフにする操作を忘れ、被曝する危険性があった。
【０００３】
但し、電子線をオフにする操作を忘れた場合でも、被曝防止のために、従来は試料交換、フィルム交換室付近の漏洩Ｘ線防止用カバーにマイクロスイッチを設けていた。即ち、カバーを開けるとマイクロスイッチが働き、その信号により電子線発生回路をオフにし、電子線の発生を停止していた。
【０００４】
図１１は透過型電子顕微鏡の外観構成例を示す図である。図において、１は電子線を発生する電子銃、２は鏡筒、２０はカメラ室、３はカメラ室扉、４は架体（チャンバ）、５はカメラ室扉３に取り付けられた開閉用の取っ手である。電子銃１から照射した電子線が、試料等の物体に当たるとＸ線が発生するという特性がある。そのＸ線漏洩防止のために、カメラ室扉３が設けられている。このカメラ室扉３が閉まっている状態では、カメラ室扉３の部分からＸ線が漏洩することはない。
【０００５】
カメラ室扉３を開けるという行為は、試料の観察及び写真撮影完了後、写真フィルム交換作業時に発生する。フィルムを取り出す時に、電子線が照射していることがあってはならないが、ユーザが間違った使い方や装置が故障した場合において、電子線が照射している状態でカメラ室扉３を開けた場合でも、確実に電子線がオフになる状態をユーザに提供し、確実な安全を提供しなければならない。
【０００６】
そこで、従来技術の架体の安全系として、カメラ室扉３にＸ線漏洩対策の機構がある。図１２はカメラ室の外観構成例を示す図である。図１１と同一のものは、同一の符号を付して示す。基本的な構成として、鏡筒を乗せるチャンバ４、カメラ室扉３、その扉を支えるヒンジ６、扉の取っ手５より構成されている。７は取っ手５に設けられた押ボタンである。該押ボタン７を押すことにより、カメラ室扉３を開けることができるようになっている。
【０００７】
図１３は扉の開閉機構の説明図である。図１２の押ボタン７部の中心を水平に切った場合に真上から見た断面図である。漏洩Ｘ線に対しての安全系として、押ボタン７を押すことにより、シャフト８が押される。マイクロスイッチ１２がストッパ９により押されている状態ではマイクロスイッチ１２の接点はオン状態にある。このマイクロスイッチ１２の接点を利用して、例えば電子銃のフィラメントをオンにし、電子線が照射される状態になっている。
【０００８】
ここで、シャフト８を押されると、ストッパ９が回転軸１０を中心として右回りに回転し、係止部材１１に掛止されていたストッパ９の先端部が外れ、カメラ室扉３を開けることができる。ストッパ９が係止部材１１から外れると、マイクロスイッチ１２はストッパ９より押されなくなるので、その接点はオフになる。ストッパ９がマイクロスイッチ１２をオンからオフ状態とし、フィラメントがオフとなる。即ち、扉が開いている状態では、フィラメントがオンの状態になることはなく、電子線が照射されることはない。
【０００９】
ストッパ９は常時、左回転方向に付勢力が与えられている。そこで、カメラ室扉３を閉めると、ストッパ９の先端部は、係止部材１１の辺と当接しながら移動し、ストッパ９の先端部が前記辺から外れた瞬間に左回転方向の付勢力により、ストッパ９の辺が係止部材１１の上辺に掛止する。この結果、カメラ室扉３が閉まる。その際、マイクロスイッチ１２がオフからオンの状態になる。マイクロスイッチ１２がオンとなることにより、フィラメントをオンするための準備ができることになる。
【００１０】
従来のこの種の装置としては、開閉自在なシールドカバーと、そのシールドカバーの開閉端に設けられたフックと、シールドカバーが閉じられた時にフックと係合するロックプレートからなり、そのロックプレートに該ロックプレートがフックと係合する位置でＸ線源を内蔵した検出部５を閉じるシャッターを設け、Ｘ線の漏洩を防ぐようにした技術が知られている（例えば特許文献１参照）。また、人体検出手段としての赤外線センサを設け、人体が接近してきたら、これに感知してＸ線源の電源を切ると共にアラームを発令するようにした技術が知られている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】実開平５−８４０９６号公報（段落００１６〜００２２、図１、図２）
【特許文献２】特開平５−３２５７３８号公報（段落００１４〜００２３、図１〜図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
前述したように、従来技術でもカメラ室扉の開閉により、フィラメントオン／オフができる安全系を備えている。しかしながら、誰でも自由に扉の開閉が行なえ、誤った行動を許してしまうおそれがある。例えば、試料観察中に扉を開けてしまい、フィラメントをオフにしてしまう。
【００１２】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、電子線を照射した際に発生するＸ線を安全かつ確実に遮蔽することができる電子顕微鏡を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
（１）請求項１記載の発明は、試料に電子線を照射する電子顕微鏡において、電子線オン／オフと、操作室扉の開閉用に共通の鍵を使用し、電子線発生回路がオンの時には、前記鍵が抜けないようにし、電子線発生回路をオフにすると鍵が抜け、その鍵を用いて操作室のカバーを開け電子線発生回路をオフにすることができるように構成したことを特徴とする。
（２）請求項２記載の発明は、試料に電子線を照射する電子顕微鏡において、鍵を用いて高圧又はフィラメント電圧のオン／オフを行なう第１のスイッチと、前記鍵を共通に用いて操作室のオン／オフを行なう際に動作する第２のスイッチと、操作室の開閉を行なう際に動作する第３のスイッチとを設け、これら第１のスイッチから第３のスイッチまでは論理積動作により高圧電源又はフィラメントを制御するようにした構成において、前記第１のスイッチから第３のスイッチまでのうち、少なくとも２個のスイッチを用いて前記高圧電源又はフィラメントを制御することを特徴とする。
（３）請求項３記載の発明は、漏洩Ｘ線が発生する可能性のある所に赤外線センサを設け、該赤外線センサが人を検知したら、前記電子線発生回路をオフとするスイッチを設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
（１）請求項１記載の発明によれば、電子線を照射した際に発生するＸ線を安全かつ確実に遮蔽することができる電子顕微鏡を提供することができる。
（２）請求項２記載の発明によれば、電子線を照射した際に発生するＸ線を安全かつ確実に遮蔽することができる電子顕微鏡を提供することができる。
（３）請求項３記載の発明によれば、人が近づいたことを赤外線センサで検出して、電子線の照射を停止し、Ｘ線が発生しないようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態例を詳細に説明する。図１は本発明の電子顕微鏡の鏡筒架体全体図である。鏡筒部分は示していない。図において、２０はカメラ室、２１は鏡筒を乗せるチャンバ、２２はカメラ室扉、２３はカメラ室扉２２を支持するヒンジ、２４はカメラ室扉２２の取っ手、２７は該取っ手２４の端に設けられた押ボタン、２５は錠前、２６は該錠前２５と近接して配置されたスイッチボックスである。錠前２５は、モニタコンソール（図示せず）の錠前と共通になっている。
【００１６】
図２は図１のＱ−Ｑ断面を示す図である。図１と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、２４は取っ手、２７は該取っ手２４の一端に設けられた押ボタンである。２８は該押ボタン２７と接続されるシャフトである。２９はシャフト２８と当接するストッパ、２９ａは該ストッパ２９の所定の位置に設けられた回転軸である。３１はストッパ２９が掛止される係止部材である。３２はマイクロスイッチである。図に示す状態では、ストッパ２９が係止部材３１と接続され、マイクロスイッチ３２はストッパ２９の先端部で押され、その接点スイッチはオンになっている。このように構成された機構部の動作は、図１８に示すものと同じである。
【００１７】
即ち、押ボタン２７が押されると、ストッパ２９が回転軸２９ａを中心に左回転し、係止部材３１との掛止が外れてカメラ室扉２２を開けることができるようになる。カメラ室扉２２を開けた状態では、マイクロスイッチ３２は、ストッパ２９から押されていないので、その接点スイッチはオフ状態である。接点スイッチがオフになれば、フィラメントがオフとなり、電子線の照射がオフとなる。ストッパ２９は常時、右回転方向に付勢力が与えられている。そこで、カメラ室扉２２を閉めると、ストッパ２９の先端部は、係止部材３１の辺と当接しながら移動し、ストッパ２９の先端部が前記辺から外れた瞬間に右回転方向の付勢力により、ストッパ２９の辺が係止部材３１の上辺に掛止する。この結果、カメラ室扉２２が閉まる。その際、マイクロスイッチ３２がオフからオンの状態になる。
【００１８】
図３は図１のＲ部の拡大図である。図において、３０はブラケット、２５は該ブラケット３０に取り付けられた錠前である。２６は錠前部と近接して配置されたスイッチボックスである。該スイッチボックス２６において、３１ｂはブラケット、３６はマイクロスイッチ、３１ａは該マイクロスイッチ３６を固定するブラケットである。ブラケット３０とカメラ室扉２２は結合状態である。また、ブラケット３０と錠前２５も結合状態である。即ち、カメラ室扉２２と錠前２５は結合されている。
【００１９】
また、ブラケット３１ｂとマイクロスイッチ３６は結合状態、ブラケット３１ａはマイクロスイッチ３６を格納できるブロック３５（後述）と結合状態である。また、ブラケット３１ａと３１ｂは共に結合状態である。この状態で、錠前２５に鍵を差し込んで回すと、マイクロスイッチ３６の接点をオン／オフできるようになっている。以下、錠前２５とマイクロスイッチ３６の連携機構について説明する。
【００２０】
図４は図３の側面図である。図において、３０はブラケットであり、錠前２５が取り付けられている。３８はブラケット３０と結合しているブラケット、３１ａはマイクロスイッチが取り付けられているブラケット、３５はマイクロスイッチ３６を格納するブロック、３９はブロック３５をチャンバ２１と結合させるポストである。３７は、錠前２５に取り付けられたはねである。錠前２５に鍵を挿入して回転させると、このはね３７も回転する。
【００２１】
図５はスイッチボックスの模式図である。錠前２５に設けられた軸４０には、はね３７が取り付けられており、錠前２５に鍵４２を挿入して回すと、はね３７も回る。鍵４２を回転させると、はね３７は図に示す方向に回転する。一方、マイクロスイッチ３６には辺４１が取り付けられており、はね３７がこの辺４１に当接すると、マイクロスイッチ３６の接点はオンになる。はね３７がこの辺４１から離れると、接点はオフになる。以上の説明より明らかなように、錠前２５に鍵を差し込んで回すと、はね３７も回り、マイクロスイッチ３６の辺４１に当接するか外れるかし、マイクロスイッチ３６の接点をオン／オフすることができる。
【００２２】
図６は本発明の動作説明図である。図において、１は電子銃、２は鏡筒、２０はカメラ室、５０はモニタコンソールである。カメラ室２０とモニタコンソール５０間は信号線で接続されている。モニタコンソール５０において、５１はモニタコンソール５０に設けられた錠前、２５はカメラ室２０に設けられた錠前である。モニタコンソール５０に設けられた錠前５１には、これと連動してオン／オフするマイクロスイッチ（図示せず）が設けられている。このマイクロスイッチのオン／オフ機構は、図５に示すタイプのものを用いることができる。（ａ）は通常動作時である。この状態では、モニタコンソール５０の錠前５１と連携するマイクロスイッチ、カメラ室２０の錠前２５と連携するマイクロスイッチ、スイッチボックス２６のマイクロスイッチ３６は共にオンである。モニタコンソール５０の錠前５１に差し込まれた鍵はオンの時には抜くことができない。
【００２３】
次に、（ｂ）に示すようにＨＴ  Ｒｅａｄｙの信号ラインに直結した錠前５１の鍵を抜く。錠前５１をオフにすると鍵を抜くことができる。この状態では、高圧電源はオフになり装置の電源が落ちる。前述したように、錠前５１はオンの状態では鍵を抜くことはできないが、オフの状態で抜けるタイプである。（ｂ）の状態では、錠前５１のマイクロスイッチはオフ、カメラ室２０のマイクロスイッチ３２はオン、スイッチボックス２６のマイクロスイッチ３６はオンである。
【００２４】
この状態で、（ｃ）に示すようにカメラ室２０の錠前２５を鍵で回す。この時、マイクロスイッチ３６はオフの状態になる。この錠前２５は、鍵がオフの状態では抜けないが、オンの状態で抜けるタイプである。（ｃ）の状態では、錠前５１のマイクロスイッチはオフ、スイッチボックス２６のマイクロスイッチ３６はオフ、カメラ室２０のマイクロスイッチ３２はオンである。
【００２５】
この結果、カメラ室扉２２を開けた時、（ｄ）に示すようにカメラ室２０のマイクロスイッチ３２、スイッチボックス２６のマイクスイッチ３６及びモニタコンソール５０のマイクロスイッチ（図示せず）は共にオフとなる。この時、三重の安全系が働いている。そして、カメラ室２０からフィルムを取り出すことができる。
【００２６】
図７は三重の安全系の構成概念図である。図において、ＶACは加速電圧である。該加速電圧ＶACは、直列に接続されたスイッチＳＷ１〜ＳＷ３を介して電子銃１に加速電圧として印加される。ここで、ＳＷ１はモニタコンソール５０に設けられたスイッチ、ＳＷ２はカメラ室２０のカメラ室扉２２と連動して動作するスイッチ（図２のマイクロスイッチ３２相当）、ＳＷ３はスイッチボックス２６と連動して動作するスイッチ（図５のマイクロスイッチ３６相当）である。
【００２７】
加速電圧ＶACが電子銃１に印加されるのを防止するためには、スイッチは例えばＳＷ１が１個でもよいが、スイッチＳＷ１が確実に動作しない可能性を考えてスイッチＳＷ２とスイッチＳＷ３を更に直列に接続すれば、より確実に電子銃１に印加される加速電圧ＶACをオフにすることができる。少なくともスイッチ２個が直列に接続されると、確実に電子線の照射をオフにすることができる。なお、図では、加速電圧ＶACをオン／オフすることを示しているが、代わりに電子銃１のフィラメントをオン／オフするようにしてもよい。
【００２８】
図８は三重の安全系の他の構成概念図である。図のＳＷ１〜ＳＷ３は図７のそれと同じである。この回路は、スイッチＳＷ１〜ＳＷ３の接点信号をアンド（ＡＮＤ）回路Ｇに入力し、該アンド回路Ｇの出力を電子線制御信号としたものである。アンド回路Ｇの各入力には、プルダウン抵抗Ｒを介してスイッチＳＷ１〜ＳＷ３の接点信号が入っている。これらスイッチＳＷ１〜ＳＷ３の一端には電源Ｖｃｃが入力されている。従って、アンド回路Ｇの出力はＳＷ１〜ＳＷ３までの全ての信号が“Ｈ”にならなければ、その出力は“Ｈ”にならない。全ての出力が“Ｈ”になった時に、電子線制御信号“Ｈ”で電子線がオンになるように設計しておけば、図７に示す回路と同じ機能を有することになる。電子線制御信号が“Ｌ”の場合には、電子線はオフである。
【００２９】
再び図６の説明に戻る。その後、カメラ室扉２２を閉めることにより、マイクロスイッチ３２がオンになり、錠前２５を閉めることで、スイッチ３６がオンになる。鍵は錠前２５から離れる。それと同時に、錠前２５を閉めた状態をユーザに音や光で通知する。この結果、カメラ室扉２２は完全に閉じられている状態であることをユーザは認識することができる。
【００３０】
その後、同じ鍵を使用してモニタコンソール上の錠前５１に鍵を差し込んでオンにすることで加速電圧ＶAC（又はフィラメント）がオンになる。この結果、加速電圧ＶACが電子銃１に印加されるので、電子銃１から電子が出射されることになる。これら３個のスイッチが一つでもオフの状態にあれば、加速電圧が印加されることはない。好ましくは、少なくとも２個のスイッチがオフになるようにすれば、確実に電子線照射をオフにすることができる。
【００３１】
このように、本発明によれば、電子線を照射した際に発生するＸ線を安全かつ確実に遮蔽することができる。また、本発明によれば、漏洩Ｘ線の被曝を受ける危険性がある操作、例えば試料交換、フィルム交換等の操作を行なう時に、確実に電子線オフ状態で行なうことができる。
【００３２】
図９はフィルム交換までの手順を示す図である。先ず、フィラメントオンスイッチをオフにする（Ｓ１）。次に、Ｖ１／Ｖ２スイッチをオフにする（Ｓ２）。この結果、電子線をオフにする（Ｓ３）。なお、Ｖ１，Ｖ２は図１０に示す真空バルブである。次に、モニタコンソール５０の錠前に鍵を差し込んでオン位置からオフ位置に回し鍵を抜く（Ｓ４）。この結果、電子線をオフにする（Ｓ３）。
【００３３】
次に、その鍵をもってカメラ室外側の扉２２を開ける（Ｓ５）。この結果、電子線をオフにする（Ｓ３）。また、装置の近くに人を検知する赤外線センサを設けた場合、人が近づくと人を検知する（Ｓ６）。この赤外線センサが人を検知した時にも、電子線をオフにする（Ｓ３）。この結果、人が近づいたことを赤外線センサで検出して、電子線の発生を停止し、Ｘ線が発生しないようにすることができる。
【００３４】
次に、カメラ室外側の扉２２を開ける（Ｓ７）。この結果、マイクロスイッチがオフになり、電子線をオフにする（Ｓ３）。そして、カメラ室扉を開けて（Ｓ８）、フィルム交換を行なう（Ｓ９）。このように、本発明によれば、カメラ室を操作する時、何重にも重ねたスイッチを設けているので、電子線を確実にオフにし、Ｘ線が発生しないようにすることができる。
【００３５】
図１０は本発明の電気的構成例を示す図である。図１１と同一のものは、同一の符号を付して示す。図において、２は鏡筒、４は架体（チャンバ）、７１は試料交換室、７２は加速管、２０はカメラ室である。６０は高圧発生タンク、７０は加速管タンクである。図において、６１は高電圧発生用高周波回路、６２は該高電圧発生用高周波回路６１の出力を受けて、高電圧を発生する高電圧発生回路である。該高電圧発生回路６２としては、例えばコッククロフト・ウェルトン回路が用いられる。
【００３６】
６３はフィラメント電圧発生回路、６４は該フィラメント電圧発生回路６３の出力を受けるフィラメント伝送トランス、６５は該フィラメント伝送トランス６４と接続され、フィラメントを制御するフィラメント制御回路である。フィラメント伝送トランス６４を用いることで、フィラメントに印加される電圧を浮いた状態にすることができる。
【００３７】
６７はフィラメント電圧発生回路６３のオン／オフを制御する安全系アンド（ＡＮＤ）回路である。該アンド回路６７には、スイッチＳＷ１０〜ＳＷ１３の接点信号が入力されている。ＳＷ１０はカメラ室扉に取り付けられた錠前＋マイクロスイッチである。ＳＷ１１は、試料交換室扉に取り付けられた錠前＋マイクロスイッチである。これらスイッチＳＷ１０，ＳＷ１１の具体的な構成としては、錠前と連動してオン／オフする図３〜図５に示す構成のものが用いられる。
【００３８】
ＳＷ１２は赤外線センサに取り付けられたスイッチである。ＳＷ１３は、モニタコンソールに設けられた錠前＋マイクロスイッチである。このマイクロスイッチＳＷ１３の構成も、ＳＷ１０と同様である。これらスイッチＳＷ１０〜ＳＷ１３は、オンの時にその接点がグランド（０ボルト）側に接続されるようになっている。
【００３９】
６６はフィラメント制御回路６５と接続され、フィラメント制御回路６５からパワーを供給され、熱電子を発生するフィラメントである。該フィラメント６６からは電子線ＥＢが出射される。高電圧発生回路６２から加速管７２に高電圧を印加するまでの途中にはフィルタ（Ｆｉｌｔｅｒ）が複数段設けられている。
【００４０】
高圧電圧印加点からは、バイアス回路７３が設けられ、フィードバック回路７４及びモニタ回路７５に電圧が印加されている。このように構成された回路の動作を説明すれば、以下の通りである。
【００４１】
先ず、通常の場合、スイッチＳＷ１０〜ＳＷ１３は図に示すようにグランドレベル側に接続されている。安全系アンド回路６７は、全てのスイッチ入力が“０”入力であるので、その出力からはフィラメントをオンにする制御信号が出力される。安全系アンド回路６７の出力はフィラメント発生回路６３に与えられる。フィラメント電圧発生回路６３は、フィラメント伝送トランス６４に電圧を印加する。この結果、フィラメント伝送トランス６４からは、フィラメント制御回路６５に電圧が供給され、フィラメント制御回路６５は、フィラメント６６にパワーを供給し、フィラメント６６が発熱する。この結果、該フィラメント６６からは、熱電子が発生する。
【００４２】
この状態で、電極７９に高電圧が印加されていると、フィラメント６６から電子が高電圧で加速され、電子線ＥＢが出射される。
次に、スイッチＳＷ１０〜ＳＷ１３までのスイッチの内、少なくとも１個がオフになったものとすると、安全系アンド回路６７の出力はフィラメントをオフにする制御信号が出力される。この結果、フィラメント電圧発生回路６３からは電圧は発生されない。従って、フィラメント制御回路６５からは電圧は印加されず、従ってフィラメント６６は発熱しないので、熱電子は発生しない。この結果、電子線ＥＢが照射されないので、Ｘ線が発生することはなく、人はＸ線の被曝から守られることになる。
【００４３】
上述の実施の形態例では、電子線を発生させない方式としてフィラメントに印加される電圧をオン／オフする場合を例にとった。しかしながら、本発明はこれに限るものではなく、電極７９に印加される高電圧をオン／オフするようにすることもできる。高電圧のオン／オフは一般的には困難を伴うことがあるので、図１０に示すように、フィラメントへ供給される電圧をオン／オフするようにした方が好ましいと考えられる。
【００４４】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、モニタコンソール上の鍵を抜かない限り、若しくは装置のオン／オフをしない限りカメラ室扉を開けることができないので、より安全な装置を提供することができる。また、第三者が勝手にカメラ室の扉を開けることができなくなるので、試料観察中にフィラメントがオフになることはない。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の電子顕微鏡の鏡筒架体全体図である。
【図２】図１のＱ−Ｑ断面を示す図である。
【図３】図１のＲ部の拡大図である。
【図４】図３の側面図である。
【図５】スイッチボックスの模式図である。
【図６】本発明の動作説明図である。
【図７】三重の安全系の構成概念図である。
【図８】三重の安全系の他の構成概念図である。
【図９】フィルム交換までの手順を示す図である。
【図１０】本発明の電気的構成例を示す図である。
【図１１】透過電子顕微鏡の外観構成例を示す図である。
【図１２】カメラ室の外観構成例を示す図である。
【図１３】扉の開閉機構の説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
２０  カメラ室
２１  チャンバ
２２  カメラ室扉
２３  ヒンジ
２４  取っ手
２５  錠前
２６  スイッチボックス
２７  押ボタン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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