(57)【要約】【課題】  種々の電子部品に対応して確実かつ良好に接触でき、プリロードおよび接触圧力の調整が可能となり、かつ十分なプリロードと接触圧力とを得ることが可能になった接触子を有する電子部品用検査治具、および電子部品用検査治具を有する電子部品用検査装置を提供することにある。【解決手段】  電子部品に接触する端子部を有する接触子と、前記端子部を可動可能に付勢する弾性部材と、前記接触子が配設される筐体と、前記筐体内に配設される押え板とを備え、前記接触子に形成されたガイド孔に挿入され、前記押え板に係合する係合部材と、前記押え板を可動させ、前記接触子に配設された前記弾性部材の予備圧力を調整する取付部材と、を有することを特徴とする。【選択図】  図１１
2006010538.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品に接触する端子部を有する接触子と、
前記端子部を可動可能に付勢する弾性部材と、
前記接触子が配設される筐体と、
前記筐体内に配設される押え板とを備え、
前記接触子に形成されたガイド孔に挿入され、前記押え板に係合する係合部材と、
前記押え板を可動させ、前記接触子に配設された前記弾性部材の予備圧力を調整する取付部材と、
を有することを特徴とする電子部品用検査治具。
【請求項２】
前記接触子は、前記端子部を有し、前記係合部材が挿入される孔が形成されているプランジャーと、
前記プランジャーが収納されるバレルと、
を有し、前記ガイド孔が前記バレルの側面に長手方向に沿って設けられていることを特徴とする請求項１記載の電子部品用検査治具。
【請求項３】
前記係合部材は、剛性絶縁材により細長い形状に形成され、前記接触子に形成されたガイド孔に挿入され、隣接する複数個の前記接触子を連結するように配設されたことを特徴とする請求項１記載の電子部品用検査治具。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電子部品用検査治具と、
前記電子部品用検査治具に接続される測定装置を有することを特徴とする電子部品用検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣパッケージ、ペアチップ等の電子部品を検査するための電子部品用検査治具および電子部品用検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣパッケージ、ペアチップ等の電子部品の検査には、ソケットと称される検査治具が使用されている。
【０００３】
このような検査治具は、測定の対象となる電子部品の形態に対応し様々な種類が考案されている。
【０００４】
近年、測定の対象となる電子部品の外部端子の微細化の傾向にあり、電子部品の外部端子の微細化に対応する検査治具および検査装置が望まれている。
【０００５】
このような検査治具は、微細化に対応するとともに電子部品の外部端子との確実な接触が求められている。
【０００６】
一例として、上下動可能な上下ピン端子と、上下ピン端子の間に配置されたスプリングとを円筒状のスリーブ内に収容された、いわゆるプローブピン形のコンタクトピンを有する表面接触形接続器が知られている。（特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開平８−２１３０８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、このようなプローブピン形のコンタクトピンを有する表面接触形接続器においては、スリーブ内に収容されるコンタクトピンを構成する部品の製造精度、検査治具および検査装置の組立上の精度には限界があり、各コンタクトピンの接触力にばらつきが生じてしまい、良好な接触が行われない恐れがあった。
【０００９】
このような問題を解消するためにスプリングにかけるプリロードを更に大きくすることにより、誤差によるバラツキを許容することが考えられる。
【００１０】
プリロードは、スプリングのバネ径を大きくしバネ定数を高くするもしくは、バネの長さを長くすることにより大きくすることが出来る。
【００１１】
しかし、スプリング等の部品を大きくすることは、結果的に検査治具、検査装置自体を大きくすることにつながり電子部品の外部端子の微細化にともなう検査治具の小型化に反してしまう。
【００１２】
従って、本発明の目的は、このような従来における問題点を解決するために、確実かつ良好に接触させるために十分なプリロードと接触圧力を得ることが可能な接触子を有する電子部品用検査治具、および電子部品用検査治具を有する電子部品用検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述の目的を達成するために、本発明の電子部品用検査治具は、電子部品に接触する端子部を有する接触子と、前記端子部を可動可能に付勢する弾性部材と、前記接触子が配設される筐体と、前記筐体内に配設される押え板とを備え、前記接触子に形成されたガイド孔に挿入され、前記押え板に係合する係合部材と、前記押え板を可動させ、前記接触子に配設された前記弾性部材の予備圧力を調整する取付部材とを有することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の電子部品用検査治具は、前記接触子が、前記端子部を有し、前記係合部材が挿入される孔が形成されているプランジャーと、前記プランジャーが収納されるバレルとを有し、前記ガイド孔が前記バレルの側面に長手方向に沿って設けられていることを特徴とする。
【００１５】
さらに、本発明の電子部品用検査治具は、前記係合部材が、剛性絶縁材より細長い形状に形成され、前記接触子に形成されたガイド孔に挿入され、隣接する複数個の前記接触子を連結するように配設されたことを特徴とする。
【００１６】
本発明の電子部品用検査装置は、上記いずれかの電子部品用検査治具と、前記電子部品用検査治具に接続される測定装置を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の電子部品用検査治具および電子部品用検査装置は、電子部品に接触する端子部を有する接触子と、前記端子部を可動可能に付勢する弾性部材と、前記接触子が配設される筐体と、前記筐体内に配設される押え板とを備え、前記接触子に形成されたガイド孔に挿入され、前記押え板に係合する係合部材と、前記押え板を可動させ、前記接触子に配設された前記弾性部材の予備圧力を調整する取付部材とを有するので、種々の電子部品に対応して接触子を確実かつ良好に接触でき、さらに、プリロードおよび接触圧力の調整が可能となり、構成が簡単な電子部品用検査治具と、この電子部品用検査治具を用いて測定装置と接続して構成される電子部品用検査装置とが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明は、電子部品に接触する端子部を有する接触子と、前記端子部を可動可能に付勢する弾性部材と、前記接触子が配設される筐体と、前記筐体内に配設される押え板とを備え、前記接触子に形成されたガイド孔に挿入され、前記押え板に係合する係合部材と、前記押え板を可動させ、前記接触子に配設された前記弾性部材の予備圧力を調整する取付部材とを有する。
【００１９】
本発明の他の目的や特徴および利点は、添付図面に示される本発明の実施形態についての以下の詳細な説明から明らかであろう。
【００２０】
図１乃至図１０には、本発明の電子部品用検査治具に使用できる種々な形式のプローブピン形の接触子が示されている。
【００２１】
図１乃至図３には、上端子としてのプランジャーを有する第１の形の接触子が示され、図４および図５には、上端子と下端子としての上プランジャーと下プランジャーを有する第２の形の接触子が示され、図６乃至図８には、上端子としてのプランジャーを有する接触子が剛性絶縁材によって連続的に接続される第３の形の接触子が示され、図９および図１０には、上端子と下端子としての上プランジャーと下プランジャーを有する接触子が剛性絶縁材によって連続的に接続される第４の形の接触子が示されている。
【００２２】
先ず、図１乃至図３に示される第１の形の接触子１は、中空円筒状のバレル２と、このバレル２内に収容されている上プランジャー３と、この上プランジャー３を上方に押圧するコイルスプリングのような第１の弾性部材５とから構成されている。
【００２３】
なお、本明細書中において、接触子を構成する弾性部材を「第１の弾性部材」と言い、押え板を弾性支持する弾性部材を「第２の弾性部材」として言うものとする。
【００２４】
第１の形の接触子１において、バレル２は、ほぼ中空円筒状をなしており、両側面の側壁部分に長手方向に延びる長孔のガイド孔６がバレルの縦方向に設けられている。
【００２５】
バレル２内には、上プランジャー３が収容されており、例えばコイルバネのような弾性部材からなる第１の弾性部材５により上方に弾性付勢されている。
【００２６】
また、上プランジャー３には、後述する係合部材を挿入するための貫通孔８が側部から水平方向に形成されている。
【００２７】
上プランジャー３は、バレル２の上端の中央に設けられた孔から上方に突出するように延びる端子部３Ａが設けられている。
【００２８】
この端子部３Ａの上端面に切欠き３Ｂが形成され、検査対象である電子部品の外部端子または電極部と接触している。
【００２９】
なお、端子部３Ａの上端面の形状は切欠き状に限定されるものではなく、接触する電子部品の外部端子または電極部によって適当な形状に形成されていれば良い。
【００３０】
貫通孔８は、後述する係合部材の直径より若干大きく形成され、組み立てが容易になるようにしている。
【００３１】
後述する押え板と係合する係合部材としてのガイドアーム７は、バレル２の直径より大きい所定の長さの棒状に形成される。
【００３２】
なお、ガイドアーム７を上プランジャー３に取付けるためには、まず、バレル２内に上プランジャー３と第１の弾性部材５を一緒に入れて組み込む。
【００３３】
その後、ガイドアーム７をバレル２のガイド孔６と、貫通孔８とを通るように挿入し、ガイドアーム７を上プランジャー３に取り付ける。
【００３４】
また、図４および図５には、第２の形の接触子２０が示されており、この第２の形の接触子２０は、中空円筒状のバレル２２と、このバレル２２内に収容されている上プランジャー２３と、バレル２２内に収容されている下プランジャー２４と、これら上プランジャー２３と下プランジャー２４との間に配置されて上プランジャー２３を上方に押圧すると共に下プランジャー２４を下方に押圧するコイルスプリングのような第１の弾性部材２５とから構成されている。
【００３５】
この第２の形の接触子２０において、バレル２２は、ほぼ中空円筒状をなしており、両側面の側壁部分に長手方向に延びる長孔のガイド孔２６がバレル２２の縦方向に設けられている。
【００３６】
バレル２２内には、上プランジャー２３と下プランジャー２４とが収容されており、これら上プランジャー２３と下プランジャー２４との間に、例えばコイルバネのような弾性部材からなる第１の弾性部材２５が設けられており、この第２の弾性部材２５によって上プランジャー２３が上方に押圧され、下プランジャー２４が下方に押圧されている。
【００３７】
また、上プランジャー２３には、後述する係合部材を挿入するための貫通孔２８が側部から水平方向に形成されている。
【００３８】
上プランジャー２３は、バレル２２の上端の中央に設けられた孔から上方に突出するように延びる端子部２３Ａが設けられている。
【００３９】
この端子部２３Ａの上端面には切欠き２３Ｂが形成され、検査対象である電子部品の外部端子または電極部と接触している。
【００４０】
なお、端子部２３Ａの上端面の形状も、切欠き状に限定されるものではなく、接触する電子部品の外部端子または電極部によって適当な形状に形成されていれば良い。
【００４１】
貫通孔２８は、後述する係合部材の直径より若干大きく形成され、組み立てが簡易になるようにしている。
【００４２】
さらにまた、下プランジャー２４は、バレル２２の下端の中央に設けられた孔から下方に突出するように延びる端子部２４Ａが設けられている。
【００４３】
この端子部２４Ａの下端面は、半球面状に形成されていてプリント基板の対応する回路部分と円滑に接触できるように形成されている。
【００４４】
なお、端子部２４Ａの下端面の形状も、半球面状に限定されるものではなく、接触するプリント基板の回路部分と良好に、かつ円滑に接触できるような適当な形状に形成されていれば良い。
【００４５】
後述する押え板と係合する係合部材としてのガイドアーム２７は、バレル２２の直径より大きい所定の長さの棒状に形成される。
【００４６】
なお、ガイドアーム２７を上プランジャー２３に取付けるためには、上述した第１の形の接触子１と同じように、まず、バレル２２内に上プランジャー２３と第１の弾性部材２５と下プランジャー２４とを一緒に入れて組み込む。
【００４７】
その後、ガイドアーム２７をバレル２２のガイド孔２６と、貫通孔２８とを通るように挿入し、ガイドアーム２７を上プランジャー２３に取り付ける。
【００４８】
図６乃至図８には、第３の形の接触子３０が示されている。図示されるように、この第３の形の接触子３０は、中空円筒状のバレル３２と、このバレル３２内に収容されている上プランジャー３３と、この上プランジャー３３を上方に押圧するコイルスプリングのような第１の弾性部材３５とから構成されている。
【００４９】
この第３の形の接触子３０において、バレル３２は、ほぼ中空円筒状をなしており、両側面の側壁部分に長手方向に延びる長孔のガイド孔３６が直径方向に対向して設けられている。
【００５０】
バレル３２内には、上プランジャー３３が収容されており、例えばコイルバネのような弾性部材からなる第１の弾性部材３５によって上方に弾性付勢されている。
【００５１】
上プランジャー３３は、バレル３２の上端の中央に設けられた孔から上方に突出するように延びる端子部３３Ａが設けられている。
【００５２】
この端子部３３Ａの上端面には切欠き３３Ｂが形成され、検査対象である電子部品の外部端子または電極部と接触している。
【００５３】
なお、端子部３３Ａの上端面の形状は切欠き状に限定されるものではなく、接触する電子部品の外部端子または電極部によって適当な形状に形成されていれば良い。
【００５４】
後述する押え板と係合する係合部材としてのガイドアーム３７は、剛性絶縁材により細長い棒状に形成される。
【００５５】
第３の形の接触子のガイドアーム３７は、先に述べた第１の形および第２の形の接触子のガイドアームのように、１個の接触子に１つ設けられるわけではなく、複数個の接触子のガイド孔３６を連続して貫通するように延びる長い一本のガイドアームとして形成されている。
【００５６】
図９および図１０には、第４の形の接触子４０が示されている。図示されるように、この第４の形の接触子４０は、中空円筒状のバレル４２と、このバレル４２内に収容されている上プランジャー４３と、バレル４２内に収容されている下プランジャー４４と、これら上プランジャー４３と下プランジャー４４との間に配設されて上プランジャー４３を上方に押圧すると共に下プランジャー４４を下方に押圧するコイルバネのような第１の弾性部材４５とから構成されている。
【００５７】
この第４の形の接触子４０において、バレル４２は、ほぼ中空円筒状をなしており、両側面の側壁部分に長手方向に延びる長孔のガイド孔４６が直径方向に対向して設けられている。
【００５８】
バレル４２内には、上プランジャー４３と下プランジャー４４とが収容されており、例えばコイルバネのような弾性部材からなる第１の弾性部材４５により上プランジャー４３が上方に、下プランジャー４４が下方にそれぞれ弾性付勢されている。
【００５９】
上プランジャー４３は、バレル４２の上端の中央に設けられた孔から上方に突出するように延びる端子部４３Ａが設けられている。
【００６０】
この端子部４３Ａの上端面には切欠き４３Ｂが形成され、検査対象である電子部品の外部端子または電極部と接触している。
【００６１】
なお、端子部４３Ａの上端面の形状は切欠き状に限定されるものではなく、接触する電子部品の外部端子または電極部によって適当な形状に形成されていれば良い。
【００６２】
後述する押え板と係合する係合部材としてのガイドアーム４７は、剛性絶縁材により細長い棒状に形成される。
【００６３】
第４の形の接触子のガイドアーム４７は、先に述べた第１の形および第２の形の接触子のガイドアームのように、１個の接触子に１つ設けられるわけではなく、複数個の接触子のガイド孔４６を連続して貫通するように延びる長い一本のガイドアームとして形成されている。
【００６４】
さらに、下プランジャー４４の下面に下方に突出するように延びる端子部４４Ａが設けられており、この端子部４４Ａの下端が半球面状に形成されていてプリント基板の回路部分と良好に接触できるように形成されている。
【００６５】
なお、端子部４４Ａの下端面の形状も、半球面状に限定されるものではなく、接触するプリント基板の回路部分と良好に、かつ円滑に接触できるような適当な形状に形成されていれば良い。
【００６６】
以上に、複数種類の、第１乃至第４の形の接触子１、２０、３０、４０について説明したが、これら接触子１、２０、３０、４０に限られることなく、他の同様な種類の接触子を使用できることは勿論であり、以下に説明される本発明の電子部品用検査治具および電子部品用検査装置に適宜に利用することができるものである。
【実施例１】
【００６７】
図１１は、本発明の電子部品用検査装置の実施例１における検査治具を示す断面概要図で、図１２は、図１１の電子部品用検査装置の検査治具の平面概要図である。
【００６８】
図１１および図１２に示されるように、本発明の実施例１における電子部品用検査装置の検査治具１０１は、筐体１０２と、筐体１０２内に整列して配置された複数個の接触子１０３と、接触子１０３に予備圧力（以下、プリロードと称す）をかける押え板１０４とを有するように構成されている。
【００６９】
このような検査治具１０１において、押え板１０４は、コイルバネのような第２の弾性部材１０５により筐体１０２内に弾性支持され、止めねじのような取付部材１０６により筐体１０２内に配設される。
【００７０】
第２の弾性部材１０５は、筐体１０２の四隅に配設され、押え板１０４を平衡に上方へ押圧している。
【００７１】
接触子１０３は、接触子１０３の上端部分が、押え板１０４に形成された窪み内に嵌め込まれ、接触子１０３の端子部１０８が押え板１０４から上方に僅かに突出するように筐体１０２内に複数個配設されている。
【００７２】
また、接触子１０３のガイドアーム１０７は、押え板１０４の底部に係合し、押えられるように配設されている。
【００７３】
このような本発明の検査治具１０１において、取付部材１０６をねじ締めすることにより、押え板１０４が可動するため、押え板１０４に係合しているガイドアーム１０７により接触子１０３のバレル内に配設された弾性部材（上述の第１の弾性部材）にプリロードをかけることができるため、接触子１０３ごとに接触圧のバラツキを抑えることができる。
【００７４】
また、取付部材１０６のねじ締めを調整することにより、接触子１０３のバレル内に配設された弾性部材にかかるプリロードを調整することができるため、適当な接触圧にコントロールすることができる。
【００７５】
このように構成された本発明の検査治具において、筐体１０２が回路基板のような基板の上に設置されて接触子１０３が回路基板の回路部分に接触し、筐体１０２内に装着された電子部品の外部端子と接触子１０３の端子部１０８が当接され、電子部品が押圧部材（図示しない）上から押圧され、電子部品と回路基板が接続される。
【００７６】
なお、本実施例の接触子１０３は、先に説明した第１の形式のプローブピン形の接触子を用いたが、他の形式のプローブピン形の接触子も使用することができ、必要に応じて接触子を適宜に選択することができる。
【実施例２】
【００７７】
図１３は、本発明の電子部品用検査装置の実施例２を示す断面概要図で、図１４は、図１３の電子部品用検査装置の平面概要図である。
【００７８】
図１３および図１４に示されるように、本発明の実施例２における電子部品用検査装置２００は、検査治具２０１と測定装置２１４から構成されている。  本発明における検査治具２０１は、筐体２０２と、筐体２０２内に整列して配置された複数個の接触子２０３と、接触子２０３にプリロードをかける押え板２０４と、接触子付基板２０９とを有するように構成されている。
【００７９】
特に、接触子２０３は、基板に形成された孔内に接触子２０３を嵌め込んで接触子２０３を支持する接触子付基板２０９を形成している。
【００８０】
このような本発明の電子部品用検査装置２００における検査治具２０１は、筐体２０２から外方に突出する接触子付基板２０９の支持部２０９Ａ上に設けられたコネクタ２１５が接続フレキシブルケーブル２１７を介して各種のメータ等を測定機器のような測定装置２１４のコネクタ２１６に接続されており、各種の測定を行うことができるようになっている。
【００８１】
このような検査治具２０１を有する本発明の電子部品用検査装置２００において、押え板２０４は、コイルバネのような第２の弾性部材２０５によって筐体２０２内に弾性支持され、止めねじのような取付部材２０６により筐体２０２内に配設される。
【００８２】
第２の弾性部材２０５は、筐体２０２の四隅に配設され、押え板２０４を平衡に上方へ押圧している。
【００８３】
接触子２０３は、接触子２０３の上端部分が、押え板２０４に形成された窪み内に嵌め込まれ、接触子２０３の端子部２０８が押え板２０４から上方に僅かに突出するように筐体２０２内に複数個配設されている。
【００８４】
また、接触子２０３のガイドアーム２０７は、押え板２０４の底部に係合し、押えられるように配設されている。
【００８５】
このような本発明の電子部品用検査装置２００の検査治具２０１において、取付部材２０６をねじ締めすることにより、押え板２０４が可動するために、押え板２０４に係合しているガイドアーム２０７により接触子２０３のバレル内に配設された第１の弾性部材にプリロードをかけることができるため、接触子２０３ごとに接触圧のバラツキを抑えることができる。
【００８６】
また、取付部材２０６のねじ締めを調整することにより、接触子２０３のバレル内に配設された弾性部材にかかるプリロードを調整することができるために、適宜な接触圧にコントロールすることができる。
【００８７】
このように構成された本発明の電子部品用検査装置２００の検査治具２０１において、筐体２０２が回路基板のような基板の上に設置されて接触子２０３が回路基板の回路部分に接触し、筐体２０２内に装着された電子部品の外部端子と接触子２０３の端子部２０８が当接され、電子部品が押圧部材（図示しない）により上から押圧され、電子部品と回路基板が接続される。
【００８８】
なお、本実施例の接触子２０３は、先に説明した第１の形式のプローブピン形の接触子を用いたが、他の形式のプローブピン形の接触子も使用することができ、必要に応じて接触子を適宜に選択することが可能である。
【実施例３】
【００８９】
図１５は、本発明の電子部品用検査装置の実施例３における検査治具を示す断面概要図で、図１６は、図１５のＸＶＩ―ＸＶＩに沿った断面部分図である。
【００９０】
図１５および図１６に示されるように、本発明の実施例３における電子部品用検査装置の検査治具３０１は、筐体３０２と、筐体３０２内に整列して配置された複数個の接触子３０３と、接触子３０３にプリロードをかける押え板３０４とを有するように構成されている。
【００９１】
このような検査治具３０１において、押え板３０４は、上記の実施例１および実施例２と同じように、コイルバネのような第２の弾性部材により筐体３０２内に弾性支持され、止めねじのような取付部材により筐体３０２内に配設される。第２の弾性部材は、筐体３０２の四隅に配設され、押え板３０４を平衡に上方へ押圧している。
【００９２】
接触子３０３は、接触子３０３の上端部分が、押え板３０４に形成された窪み内に嵌め込まれ、接触子３０３の端子部３０８が押え板３０４から上方に僅かに突出するように筐体３０２内に複数個配設されている。
【００９３】
また、接触子３０３には、剛性絶縁材３０７が、接触子３０３のバレルのガイド孔を貫通して延びている。従って、一本の長い剛性絶縁材３０７がガイドアームとして複数個の接触子３０３を連続して貫通するように延びている。
【００９４】
このガイドアームとしての剛性絶縁材３０７は、押え板３０４の下面に形成された溝３０５内に配設されており、押え板３０４によって抑えられている。
【００９５】
なお、図示されていないが、本実施例においても、押え板３０４が、上記実施例と同様に、取付部材と第２の弾性部材とによって、押え板３０４におけるプリロードが調整可能に弾性支持されていることは勿論である。
【００９６】
このように構成された本発明の検査治具３０１において、筐体３０２が回路基板のような基板の上に設置されて接触子３０３が回路基板の回路部分等と接触されて接続される。そして、電子部品が筐体３０２内に装着され、外部端子が接触子３０３の端子部３０８の上端と当接されて、押圧部材（図示しない）によって上から押圧して外部端子を接触子３０３と接続されるようになる。
【００９７】
このように、本実施例においては先に説明した第１の形式のプローブピン形の接触子が接触子３０３として好適に使用され、良好な接触を得ることができる。勿論、他の形式のプローブピン形の接触子を使用することができ、必要に応じて接触子を適宜に選択して構成することが可能である。
【００９８】
従って、各種の接触子を用いることによって、種々な電子部品への確実な接触が得られて種々な測定が可能となり、また、種々なソケットと組合せて使用することができ、外部機器との接続が可能となって各種の検査が容易となる等の効果が得られる。
【実施例４】
【００９９】
図１７は、本発明の電子部品用検査装置の実施例４における検査治具を示す断面概要図である。
【０１００】
図示されるように、本発明の実施例４における検査治具４０１は、筐体４０２と、筐体４０２内に整列して配置された複数個の接触子４０３と、接触子４０３にプリロードをかける押え板４０４と、筐体４０２に一方の端部においてピン４１３により枢支されたカバー部材４１０とを有するように構成されている。
【０１０１】
このような検査治具４０１において、カバー部材４１０の下面に接触子４０３の端子部４０８に対して装着された電子部品を押圧するための押圧部材４１１が設けられている。
【０１０２】
また、カバー部材４１０の他方の端部には、ラッチ部材としてのラッチアーム４１２が枢動可能に設けられていて、カバー部材４１０を筐体４０２にラッチして係止できるようになっている。
【０１０３】
また、押え板４０４は、コイルバネのような第２の弾性部材４０５によって筐体４０２内に弾性支持され、止めねじのような取付部材４０６により筐体４０２内に配設される。
【０１０４】
第２の弾性部材４０５は、筐体４０２の四隅に配設され、押え板４０４を平衡に上方に押圧している。
【０１０５】
接触子４０３は、接触子４０３の上端部分が、押え板４０４に形成された窪み内に嵌め込まれ、接触子４０３の端子部４０８が押え板４０４から上方に僅かに突出するように筐体４０２内に複数個配設されている。
【０１０６】
また、接触子４０３のガイドアーム４０７は、押え板４０４の底部に係合し、押えられるように配設されている。
【０１０７】
さらに、取付け用ねじのような取付部材４０６のねじ調整によって、押え板４０４を弾性支持する弾性部材４０５のプリロードの調整を行うことができ、これによって、接圧コントロールができることは上述の実施例１におけると同様である。
【０１０８】
このような本発明の実施例４の電子部品用検査装置の検査治具４０１において、取付部材４０６をねじ締めすることにより、押え板４０４が可動するために、押え板４０４に係合しているガイドアーム４０７により接触子４０３のバレル内に配設された第１の弾性部材によりプリロードをかけることができるため、接触子４０３ごとに接触圧のバラツキを抑えることができる。
【０１０９】
また、取付部材４０６のねじ締めを調整することにより、接触子４０３のバレル内に配設された弾性部材にかかるプリロードを調整することができるため、適当な接触圧にコントロールすることができる。
【０１１０】
このように構成された本発明の電子部品用検査治具において、筐体４０２が回路基板のような基板の上に設置されて接触子４０３が回路基板の回路部分に接触し、筐体４０２内に装着された電子部品の外部端子がカバー部材４１０の押圧部材４１１により上から押圧され、電子部品と回路基板が接続される。
【０１１１】
なお、本実施例の接触子４０３も、先に説明した第１の形式のプローブピン形の接触子を用いたが、他の形式のプローブピン形の接触子も使用することができ、必要に応じて接触子を適宜に選択することが可能である。
【実施例５】
【０１１２】
図１８には、本発明における電子部品用検査装置の実施例５が示されており、検査治具と測定装置とから主に構成されている。
【０１１３】
図示されるように、本発明の実施例５における電子部品用検査装置５００は、検査治具５０１と測定装置５１４とから構成されている。
【０１１４】
本発明における電子部品用検査装置５００の検査治具５０１は、筐体５０２と、筐体５０２内に整列して配置された複数個の接触子５０３と、接触子５０３にプリロードをかける押え板５０４と、筐体５０２の一端にピン５１３によって枢動可能に支持されたカバー部材５１０とを有するように構成されている。
【０１１５】
本発明の電子部品用検査装置５００のこのような検査治具５０１において、カバー部材５１０は、接触子５０３の端子部５０８に対して装着された電子部品を押圧するための押圧部材５１１が下面に配設されている。
【０１１６】
また、カバー部材５１０の他方の端部には、ラッチ部材としてのラッチアーム５１２が枢動可能に設けられていて、カバー部材５１０を筐体５０２にラッチして係止できるようになっている。
【０１１７】
さらに、押え板５０４は、コイルバネのような第２の弾性部材５０５によって筐体５０２内に弾性支持され、止めねじのような取付部材５０４により筐体５０２内に配設される。
【０１１８】
第２の弾性部材５０５は、筐体５０２の四隅に配設され、押え板５０４を平衡に上方に押圧している。
【０１１９】
接触子５０３は、接触子５０３の上端部分が、押え板５０４に形成された窪み内に嵌め込まれ、接触子５０３の端子部５０８が押え板５０４から上方に僅かに突出するように筐体５０２内に複数個配設されている。
【０１２０】
さらに、接触子５０３は、基板に形成された孔内に接触子５０３を嵌め込んで接触子５０３を支持する接触子付基板５０９を形成している。
【０１２１】
また、接触子５０３のガイドアーム５０７は、押え板５０４の底部に係合し、抑えられるように配設されている。
【０１２２】
さらに、取付け用ねじのような取付部材５０６のねじ締めを調整することによって、接触子５０３のバレル内に配設された弾性部材にかかるプリロードを調整することができるために、適宜な接触圧にコントロールすることは上述の実施例１乃至実施例４におけると同じである。
【０１２３】
このような本発明の電子部品用検査装置５００における検査治具５０１は、筐体５０２から外方に突出する接触子付基板５０９の支持部５０９Ａ上に設けられたコネクタ５１５が接続フレキシブルケーブル５１７を介して各種のメータ等を測定機器のような測定装置５１４のコネクタ５１６に接続されており、各種の測定を行うことができるようになっている。
【０１２４】
このような本発明の実施例５の電子部品用検査装置５００において、検査治具５０１の取付部材５０６をねじ締めすることにより、押え板５０４が可動するために、押え板５０４に係合しているガイドアーム５０７により接触子５０３のバレル内に配設された第１の弾性部材によりプリロードをかけることができるために、接触子５０４ごとに接触圧のバラツキを抑えることができる。
【０１２５】
また、取付部材５０６のねじ締めを調整することにより、接触子５０３のバレル内の配設された弾性部材にかかるプリロードを調整することができるため、適当な接触圧にコントロールすることができる。
【０１２６】
このように構成された本発明の電子部品用検査装置５００の検査治具５０１は、筐体５０２内に電子部品が装着され、カバー部材５１０が閉じられて、複数個の接触子５０３の上端部が、カバー部材５１０の押圧部材５１１によって上方から押圧されて電子部品の外部端子を接触子５０３の端子部５０８と接続するようになる。
【０１２７】
なお、本実施例の接触子５０３は、先に説明した第１の形式のプローブピン形の接触子を用いたが、他の形式のプローブピン形の接触子も使用することができ、必要に応じて接触子を適宜に選択することが可能である。
【実施例６】
【０１２８】
図１９は、本発明の実施例６における電子部品用検査装置の検査治具を示す断面概要図である。
【０１２９】
図示されるように、本発明の実施例６における検査治具６０１は、筐体６０２と、筐体６０２内に整列して配置された複数個の接触子６０３と、接触子６０３の上端部が嵌合される窪みを下面に有する押え板６０４と、筐体６０２の端部において枢支された加圧レバー６１０とを有するように構成されている。
【０１３０】
このような本発明の検査治具６０１において、加圧レバー６１０の一端に押圧部材６１１が設けられており、また、加圧レバー６１０の他端に加圧レバー６１０を弾性付勢するコイルバネのような第３の弾性部材としての弾性部材６１２が設けられている。
【０１３１】
また、押え板６０４は、コイルバネのような第２の弾性部材６０５によって筐体６０２内に弾性支持され、止めねじのような取付部材６０６によって筐体６０２内に配設されている。
【０１３２】
第２の弾性部材６０５は、筐体６０２の四隅に配設され、押え板６０４を平衡に上方に押圧している。
【０１３３】
接触子６０３は、接触子６０３の上端部分が、押え板６０４に形成された窪み内に嵌め込まれ、接触子６０３の端子部６０８が押え板６０４から上方に僅かに突出するように筐体６０２内に複数個配設されている。
【０１３４】
また、接触子６０３のガイドアーム６０７は、押え板６０４の底部に係合し、抑えられるように配設されている。
【０１３５】
さらに、取付け用ねじのような取付部材６０６のねじ締めを調整することによって、接触子６０３のバレル内に配設された弾性部材にかかるプリロードを調整することができるために、これによって、適宜な接触圧にコントロールすることができるのは上述の実施例１乃至５におけると同様である。
【０１３６】
このように、本発明の実施例６の電子部品用検査装置の検査治具６０１において、取付部材６０４をねじ締めすることにより、押え板６０４が可動するために、押え板６０４に係合しているガイドアーム６０７により接触子６０３のバレル内に配設された第１の弾性部材によりプリロードをかけることができるために、接触子６０３ごとに接触圧のバラツキを抑えることができる。
【０１３７】
また、取付部材６０６のねじ締めを調整することにより、接触子６０３のバレル内に配設された弾性部材にかかるプリロードを調整することができるため、適宜な接触圧にコントロールすることができる。
【０１３８】
このように構成された本発明の検査治具６０１において、筐体６０２が回路基板のような基板の上に設置されて接触子６０３が回路基板の回路部分に接触し、筐体６０２内に装着された電子部品の外部端子が加圧レバー６１０により上から押圧され、電子部品と回路基板が接続される。
【０１３９】
なお、本実施例の接触子６０３も、先に説明した第１の形式のプローブピン形の接触子を用いたが、他の形式のプローブピン形の接触子も使用することができ、必要に応じて接触子を適宜に選択することが可能である。
【実施例７】
【０１４０】
図２０は、本発明における電子部品用検査装置の実施例７が示されており、上述した実施例６におけると同じような検査治具に、さらに測定装置を接続して本実施例の電子部品用検査装置が構成されている。
【０１４１】
図示されるように、本発明の実施例７における電子部品用検査装置７００は、検査治具７０１と測定装置７１４とから構成されている。
【０１４２】
図示されるように、本発明の実施例７における検査治具７０１は、筐体７０２と、筐体７０２内に整列して配置された複数個の接触子７０３と、接触子７０３の上端部が嵌合される窪みを下面に有する押え板７０４と、筐体７０２の端部において枢支された加圧レバー７１０とを有するように構成されている。
【０１４３】
このような本発明の電子部品用監査装置７００の検査治具７０１において、加圧レバー７１０の一端に押圧部材７１１が設けられており、また、加圧レバー７１５の他端に加圧レバー７１５を弾性附勢するばね部材のような第３の弾性部材としての弾性部材７１２が設けられている。
【０１４４】
また、押え板７０４は、コイルバネのような第２の弾性部材７０５によって筐体７０２内に弾性支持され、止めねじのような取付部材７０６によって筐体７０２内に配設されている。
【０１４５】
第２の弾性部材７０５は、筐体７０２の四隅に配設され、押え板７０４を平衡に上方に押圧している。
【０１４６】
接触子７０３は、接触子７０３の上端部分が、押え板７０４に形成された窪み内に嵌め込まれ、接触子７０３の端子部７０８が押え板７０４から上方に僅かに突出するように筐体７０２内に複数個配設されている。
【０１４７】
さらに、接触子７０３は、基板に形成された孔内に接触子７０３を嵌め込んで接触子７０３を支持する接触子付基板７０９を形成している。
【０１４８】
また、接触子７０３のガイドアーム７０７は、押え板７０４の底部に係合し、抑えられるように配設されている。
【０１４９】
さらに、取付け用ねじのような取付部材７０６のねじ締めを調整することによって、接触子７０３のバレル内に配設された弾性部材にかかるプリロードを調整することができるために、これによって、適宜な接触圧にコントロールすることができるのは上述の実施例１乃至６におけると同様である。
【０１５０】
このような本発明の電子部品用検査装置７００における検査治具７０１は、筐体７０２から外方に突出する接触子付基板７０９の支持部７０９Ａ上に設けられたコネクタ７１５が接続フレキシブルケーブル７１７を介して各種のメータ等を測定機器のような測定装置７１４のコネクタ７１６に接続されており、各種の測定を行うことができるようになっている。
【０１５１】
このように、本発明の実施例７の電子部品用検査装置７００の検査治具７０１において、取付部材７０４をねじ締めすることにより、押え板７０４が可動するために、押え板７０４に係合しているガイドアーム７０７により接触子７０３のバレル内に配設された第１の弾性部材によりプリロードをかけることができるために、接触子７０３ごとに接触圧のバラツキを抑えることができる。
【０１５２】
また、取付部材７０６のねじ締めを調整することにより、接触子７０３のバレル内に配設された弾性部材にかかるプリロードを調整することができるため、適宜な接触圧にコントロールすることができる。
【０１５３】
このように構成された本発明の検査治具７０１において、筐体７０２内に電子部品が装着され、筐体６０２内に装着された電子部品の外部端子が加圧レバー７１０により上から押圧され、電子部品と接触子７０３が接続される。
【０１５４】
なお、本実施例の接触子７０３も、先に説明した第１の形式のプローブピン形の接触子を用いたが、他の形式のプローブピン形の接触子も使用することができ、必要に応じて接触子を適宜に選択することが可能である。
【０１５５】
以上に詳細に説明されたように構成された本発明の電子部品用検査治具および電子部品用検査装置においては、複数個のプローブピン形の接触子と、接触子が配置される筐体と、筐体内に配置された接触子を抑える押え板とを有するので、種々の電子部品に対応して接触子を確実かつ良好に接触でき、プリロードおよび接触圧力の調整が可能となり、構成が簡単な電子部品用検査治具と、この電子部品用検査治具を用いて測定装置と接続して構成される電子部品用検査装置とが得られる。
【産業上の利用可能性】
【０１５６】
本発明の電子部品用検査治具および電子部品用検査装置は、ハンドラーテストソケット、バーンインテストソケット、測定機器等に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【０１５７】
【図１】本発明の電子部品用測定装置の検査治具に使用できる第１の形の接触子の縦断面図である。
【図２】図１の第１の形の接触子の正面図である。
【図３】図１の第１の形の接触子の平面図である。
【図４】本発明の電子部品用測定装置の検査治具に使用できる第２の形の接触子の縦断面図である。
【図５】図４の接触子の正面図である。
【図６】本発明の電子部品用測定装置の検査治具に使用できる第３の形の接触子の縦断面図である。
【図７】図６の接触子の正面図である。
【図８】図６の接触子の平面図である。
【図９】本発明の電子部品用測定装置の検査治具に使用できる第４の形の接触子の縦断面図である。
【図１０】図９の接触子の正面図である。
【図１１】本発明の電子部品用検査装置の実施例１における検査治具を示す断面概要図である。
【図１２】図１１の電子部品用検査装置の検査治具の平面概要図である。
【図１３】本発明の電子部品用検査装置の実施例２における断面概要図である。
【図１４】図１３の電子部品用検査装置の平面概要図である。
【図１５】本発明の電子部品用検査装置の実施例３における検査治具を示す断面概要図である。
【図１６】図１５のＸＶＩ―ＸＶＩ線に沿った断面部分図である。
【図１７】本発明の電子部品用検査装置の実施例４における検査治具を示す断面概要図である。
【図１８】本発明の電子部品用検査装置の実施例５における断面概要図である。
【図１９】本発明の電子部品用検査装置の実施例６における検査治具を示す断面概要図である。
【図２０】本発明の電子部品用検査装置の実施例７における断面概要図である。
【符号の説明】
【０１５８】
１、２０、３０、４０    接触子
２、２２、３２、４２    バレル
３、２３、３３、４３    上プランジャー
３Ａ、２３Ａ、３３Ａ、４３Ａ    端子部
５、２５、３５、４５    弾性部材
６、２６、３６、４６    ガイド孔
７、２７    ガイドアーム
８、２８    貫通孔
２４、４４    下プランジャー
２４Ａ、４４Ａ    端子部
３７、４７    剛性絶縁材
１０１、２０１、３０１、４０１、５０１、６０１、７０１    電子部品用検査治具
１０２、２０２、３０２、４０２、５０２    筐体
１０３、２０３、３０３、４０３、５０３、６０３、７０３    接触子
１０４、２０４、３０３、４０４、５０４、６０４、７０４    押え板
１０５、２０５、３０５、４０５、５０５、６０５、７０５    弾性部材
１０６、２０６、３０６、４０６、５０６、６０６、７０６    取付部材
１０７、２０７、４０７、５０７、６０７、７０７    ガイドアーム
１０８、２０８、３０８、４０８、５０８、６０８、７０８    端子部
２００、５００、７００    電子部品用検査装置
２０９、５０９、７０９    接触子付基板
２１４、５１４、７１４    測定装置
３０７    剛性絶縁材
４１０、５１０    カバー部材
４１１、５１１、６１１、７１１    押圧部材
６１０、７１０    加圧レバー
【図１】
2006010538.tif 000003
【図２】
2006010538.tif 000004
【図３】
2006010538.tif 000005
【図４】
2006010538.tif 000006
【図５】
2006010538.tif 000007
【図６】
2006010538.tif 000008
【図７】
2006010538.tif 000009
【図８】
2006010538.tif 000010
【図９】
2006010538.tif 000011
【図１０】
2006010538.tif 000012
【図１１】
2006010538.tif 000013
【図１２】
2006010538.tif 000014
【図１３】
2006010538.tif 000015
【図１４】
2006010538.tif 000016
【図１５】
2006010538.tif 000017
【図１６】
2006010538.tif 000018
【図１７】
2006010538.tif 000019
【図１８】
2006010538.tif 000020
【図１９】
2006010538.tif 000021
【図２０】
2006010538.tif 000022