(57)【要約】【課題】  少量のガスにて、取り付け管の内壁面に付着したダストを除去することができるレーザ式分析計を提供する。【解決手段】  ラバルノズル部２１と吸引孔２３を有する流体案内部２２を備えるノズル１１から、直進性を持つ衝撃波を伴う超音速のノズル噴射ガスを取り付け管３内に噴射し、その取り付け管３内に付着したダストを効率良く除去する。同時に、集光レンズ４'，５'に必要十分量のパージガスをパージして、集光レンズ４'，５'表面に汚れが生じるのを防止する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分析計本体と、この分析計本体の前面に付設され、先端部が炉または煙道の壁面に取り付けられるレーザ光用通路部と、このレーザ光用通路部の内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去手段を備えるレーザ式分析計において、
前記付着物除去手段を、前記レーザ光用通路部に配される流体噴射用のノズルを備えるものとし、このノズルを、ラバルノズル部の先端に筒状の流体案内部を設けるとともに、この流体案内部に流体の流れ方向に向けて細長状の開口を形成してなる構成とすることを特徴とするレーザ式分析計。
【請求項２】
分析計本体と、この分析計本体の前面に付設され、先端部が炉または煙道の壁面に取り付けられるレーザ光用通路部と、このレーザ光用通路部の内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去手段を備えるレーザ式分析計において、
前記付着物除去手段を、前記レーザ光用通路部内に配されるとともに、パルス電圧の供給を受けて衝撃波を発生する衝撃波発生用電極を備える構成とすることを特徴とするレーザ式分析計。
【請求項３】
前記分析計本体の前部に設けられる集光レンズの表面に向けてパージガスを噴射するレンズ用パージ管が設けられる請求項１または２に記載のレーザ式分析計。
【請求項４】
炉または煙道透過後のレーザ光の透過光量から、前記レーザ光用通路部における付着物の堆積量を検出し、この検出結果に基づき前記付着物除去手段が作動される請求項１〜３のいずれかに記載のレーザ式分析計。
【請求項５】
前記付着物除去手段は、タイマーによって定期的に作動される請求項１〜３のいずれかに記載のレーザ式分析計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ごみ焼却炉や、灰溶融炉等において発生する高温の排ガスを分析するためのレーザ式分析計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ごみ焼却炉や、灰溶融炉においては、高温の排ガスの性状にリアルタイムに対応した燃焼制御を行うためにレーザ式分析計が用いられている。このレーザ式分析計１００は、図６に示されるように、煙道（または炉）１０１の互いに対向する壁面１０１'，１０１'に先端部が固定される取り付け管１０２，１０２を備えており、一方の取り付け管１０２の基端部には、その前部に設けられる集光レンズ１０３'によりレーザ光を集光して発信する発信器１０３が固定されており、他方の取り付け管１０１の基端部には、前記発信部１０３より発信されたレーザ光を、前部に設けられる集光レンズ１０４'を介して受信する受信器１０４が固定されている。そして、受信器１０４にて受信される排ガス透過後のレーザ光から、測定対象物に固有の吸収波長の減衰度合いを計測し、この計測結果に基づいて排ガス中の測定対象物の濃度を測定するようにされている。
【０００３】
ところで、前記集光レンズ１０３'，１０４'表面に汚れが生じた場合には、正常なレーザ光の発信・受信ができなくため、また、前記各取り付け管１０２，１０２の内壁面にダスト等が付着・堆積した場合には、各取り付け管１０２，１０２内におけるレーザ光の通過が遮られるため、排ガスの分析結果に狂いが生じるという問題点が発生する。そこで、ヘッダ管１０７，１０７から供給されるパージガスを、パージガス供給管１０８，１０８を介して、前記取り付け管１０２，１０２内に連続的に噴射し、各集光レンズ１０３',１０４'表面に汚れが生じるのを防止し、かつ取り付け管１０２，１０２の内壁面に付着・堆積したダストを除去するという対策が講じられている。なお、前記パージガスとしては、通常の空気を用いても良いが、燃焼制御等の目的で排ガス中の酸素濃度が測定対象の場合には、排ガス中の酸素濃度に変動が生じるのを防止するため、窒素、蒸気が用いられる。
【０００４】
以上のように構成されるレーザ式分析計１００によれば、排ガス分析の媒体として、透過性に優れ、短い間隔での発信が可能なレーザ光が用いられるため、炉内あるいは煙道内の排ガスの分析を、排ガス中のダスト等の影響を受けることなく正確に、かつ極めて早い周期で繰り返し行うことができるという長所がある。
【０００５】
そのため、前記レーザ式分析計１００は、炉出口付近の排ガスの性状（酸素濃度等）にリアルタイムに対応した燃焼制御を行う場合、あるいは、高濃度のダストを含有するため、排ガスの一部を吸引して連続分析する通常のサンプリングが困難な場合での使用に特に適している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のレーザ式分析計１００によれば、パージガス供給管１０８，１０８のパージガスの噴射性能が十分でないことから、パージガスの噴射量を多くしなければ、取り付け管１０２，１０２内の付着物を除去するのが難しいという問題点がある。加えて、従来のレーザ式分析計１００では、パージガスの噴射により、集光レンズ１０３'，１０４'表面の状態維持と、取り付け管１０２，１０２の付着物除去の双方を行うように構成されていることから、付着物の除去が不要な場合（取り付け管１０２，１０２の内壁面がクリーンな場合）であっても、集光レンズ１０３'，１０４'表面の汚れ防止のためにパージガスを連続的に供給し続けなければならないという問題点がある。その結果、単位時間あたりのパージガスの噴射量が膨大なものとなり（３０００〜６０００Ｌ／ｈ）、パージガスの供給源（窒素を用いる場合には、窒素発生装置等）、加圧装置等の装置構成が大掛かりになるという問題点がある。
【０００７】
また、大量のパージガスが噴射されて、ごみ焼却設備における排ガスの総量が増加することから、特に小型炉の場合には、正確な排ガス分析の妨げ、後段における排ガス処理設備にかかる過度の負担、燃焼制御の狂い等の主要因になりかねないという問題点がある。
【０００８】
さらに、窒素ガスや空気を用いず、蒸気によるパージを行う場合、排ガス中の水分量が増加してしまうため、後段の排ガス処理設備において腐食等の問題点が発生する場合がある。
【０００９】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、少量の噴射流体にて、または噴射流体を必要とせずに、取り付け管の内壁面に付着したダストを確実に除去することができるレーザ式分析計を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、第１発明によるレーザ式分析計は、
分析計本体と、この分析計本体の前面に付設され、先端部が炉または煙道の壁面に取り付けられるレーザ光用通路部と、このレーザ光用通路部の内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去手段を備えるレーザ式分析計において、
前記付着物除去手段を、前記レーザ光用通路部に配される流体噴射用のノズルを備えるものとし、このノズルを、ラバルノズル部の先端に筒状の流体案内部を設けるとともに、この流体案内部に流体の流れ方向に向けて細長状の開口を形成してなる構成とすることを特徴とするものである。
【００１１】
また、第２発明によるレーザ式分析計は、
分析計本体と、この分析計本体の前面に付設され、先端部が炉または煙道の壁面に取り付けられるレーザ光用通路部と、このレーザ光用通路部の内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去手段を備えるレーザ式分析計において、
前記付着物除去手段を、前記レーザ光用通路部内に配されるとともに、パルス電圧の供給を受けて衝撃波を発生する衝撃波発生用電極を備える構成とすることを特徴とするものである。
【００１２】
第１発明または第２発明において、前記分析計本体の前部に設けられる集光レンズの表面に向けてパージガスを噴射するレンズ用パージ管が設けられるのが好ましい（第３発明）。
【００１３】
第１発明〜第３発明のいずれかにおいて、炉または煙道透過後のレーザ光の透過光量から、前記レーザ光用通路部における付着物の堆積量を検出し、この検出結果に基づき前記付着物除去手段が作動されるのが好ましい（第４発明）。
【００１４】
前記付着物除去手段は、タイマーによって定期的に作動されるものであっても良い（第５発明）。
【発明の効果】
【００１５】
第１発明によれば、レーザ光用通路部の付着物除去手段として、ラバルノズル部と流体案内部を備え、その流体案内部に、流体の流れ方向に向けて細長状の開口が形成されるノズルが用いられているため、そのノズルからレーザ光用通路部内に直進性のある衝撃波を伴った超音速の流体（空気、窒素ガス等）を噴射することができる。したがって、最小限の流体噴射量にてレーザ光用通路部の内壁面に付着・堆積する付着物を効率良く除去することができ、付着物除去にかかるランニングコストを抑えることができる。また、流体の噴射量が少量で済むので、炉内における排ガスの増加量を抑えることが可能となり、排ガスの性状変動の原因になったり、燃焼状態の変動の原因になったりするのを防止することができる。さらに、大掛かりな流体の発生装置や、昇圧装置等が不要になるという利点もある。
【００１６】
次に、第２発明の構成を採用すれば、電気的なエネルギーにより発生する衝撃波によって、レーザ光用通路部の付着物を除去することができるので、付着物除去用の流体の噴射が不要となる。したがって、流体の発生装置、昇圧装置等の小型化を図ることができるとともに、炉内の排ガスの増加、排ガスの性状変動等が生じるのを抑えることができる。
【００１７】
前記第３発明の構成を採用すれば、分析計本体の前部に設けられる集光レンズ表面に汚れが生じるのを防止することができる。
【００１８】
前記第４発明または第５発明の構成を採用すれば、付着物除去手段の作動を最小限に抑えつつ付着物を確実に除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、本発明によるレーザ式分析計の具体的な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
〔第１実施形態〕
図１には、本発明の第１実施形態に係るレーザ式分析計の概略構成図が、図２には、本実施形態のレーザ式分析計に用いられるノズルの断面図（ａ）およびそのＡ−Ａ視断面図（ｂ）がそれぞれ示されている。
【００２１】
本実施形態に係るレーザ式分析計は、レーザ光を集光・発信する発信器１Ａの形態と、この発信器１Ａから発信されたレーザ光を集光・受信する受信器１Ｂの形態とがある。発信器１Ａおよび受信器１Ｂはそれぞれ本体（分析計本体）４，５と、この本体４，５の前面に付設され、先端部が煙道２の壁面２'に取り付けられる取り付け管（レーザ光用通路部）３，３とを備えている。また、本体４，５の前部にはそれぞれ集光レンズ４'，５'が装着されている。
【００２２】
前記受信器１Ｂの本体５は、検出装置（コントローラ）６に接続されており、この本体５に入力されたレーザ光の強度データが検出装置６に送信されるようになっている。
【００２３】
前記検出装置６は、受信器１Ｂで受信したレーザ光の透過光量（受信器１Ｂに達したレーザ光の光量）と予め設定される透過光量の設定値とを比較し、この比較結果に基づき後述の電磁弁１３，１３の開閉操作を行う。
【００２４】
前記各取り付け管３，３外部には、加圧窒素ガス（流体）を供給するためのヘッダ管１０，１０がそれぞれ設けられ、それらヘッダ管１０，１０には、加圧窒素供給管１２，１２の基端部がそれぞれ接続されている。この加圧窒素供給管１２，１２の先端部は、前記取り付け管３，３の下部壁部に挿通されて、その取り付け管３内に突出するように支持されている。また、この加圧窒素供給管１２先端部の煙道２側の側部には、ノズル１１が着脱自在に装着されている。なお、各ノズル１１，１１は、各取り付け管３、３を通過するレーザ光の妨げにならないように、取り付け管３，３内の底面付近に位置するようにされている。さらに、前記加圧窒素供給管１２，１２には、前記ノズル１１への加圧窒素ガスの供給およびその停止を切り換えるための電磁弁１３，１３がそれぞれ介挿されている。
【００２５】
前記ヘッダ管１０，１０には、加圧窒素供給管１２，１２の他に、小容量パージ管（レンズ用パージ管）１５，１５の基端部が接続されている。この小容量パージ管１５，１５の先端部は、前記取り付け管３，３の下部壁部における集光レンズ４'，５'の下方に開口している。こうして、小容量パージ管１５を通して、前記集光レンズ４'，５'表面に加圧窒素ガスを常時噴射し、その集光レンズ４'，５'表面を正常な状態に維持できるようになっている（以下、集光レンズ４'，５'に噴射される加圧窒素ガスをパージガスという。）。なお、図１中、符号１６はパージガスの噴射量を調節するためのニードル弁である。
【００２６】
前記ノズル１１は、図２（ａ）に示されるように、円筒状の外側管２０と、この外側管２０の内側の基端部側に装着されるラバルノズル部２１を有している。このラバルノズル部２１は、先端部が外側管２０の内径よりやや小径に形成され、基端部が外側管２０の内径と略同径に形成されている。なお、このラバルノズル部２１は、外側管２０の基端部側から挿入されその基端部において外側管２０に溶着されることで、その外側管２０に支持される。
【００２７】
ここで、ラバルノズルとは、中間部が絞られてスロートとされた中細り形状のノズルをいう。このようなラバルノズルによれば、基端部側の空気圧を先端部側の空気圧よりも高圧にし、かつスロートにおける流体速度が音速になったときに、先端部から超音速の衝撃波を伴った空気が噴出されることが知られている。
【００２８】
本実施形態においては、前記ラバルノズル部２１のスロートＳにおける加圧窒素ガスの速度が音速となるように、すなわち、ラバルノズル部２１の先端部から超音速の加圧窒素ガスが噴射されるように、スロートＳの径、ラバルノズル部２１の基端部からスロートＳまでの距離、スロートＳからラバルノズル部２１の先端部までの距離、ラバルノズル部２１の基端部開口の径および先端部開口の径、ラバルノズル部２１の基端部に供給される加圧窒素ガスの圧力等が適宜調整される。
【００２９】
前記外側管２０の先端部で、ラバルノズル部２１の前方位置には、流体案内部２２が設けられている。この流体案内部２２には、ノズル１１の軸方向に向けて細長状の複数の吸引孔（開口）２３が外側管２０の周方向に等ピッチで穿設されている。これら吸引孔２３は、ラバルノズル部２１から加圧窒素ガスが噴出されるときにノズル１１の側方の空気を吸引して、ノズル噴射ガス（ラバルノズル部２３から噴出された後の加圧窒素ガス）に直進性を付与する役目を担う。なお、前記外側管２１の基端部外周面には、ノズル１１を前記加圧窒素供給管１２に装着するためのねじ部２４が設けられている。
【００３０】
以上のように構成されるレーザ式分析計（発信器１Ａ，受信器１Ｂ）によれば、煙道２内を通過する排ガスの分析は、次のプロセスにより行われる。
（ａ）前記発信器１Ａから煙道２内を流通する排ガスにレーザ光を発信し、
（ｂ）排ガスを透過した後のレーザ光を前記受信器１Ｂにて受信し、
（ｃ）前記検出装置６にて、受信器１Ｂにて受信される排ガス透過後のレーザ光の波長に対する強度分布を予め設定される設定値と比較し、
（ｄ）この比較結果に基づいて、レーザ光が排ガスを透過する際に、そのレーザ光中における測定対象物（酸素、ＨＣｌ等）に固有の吸収波長が、どの程度排ガスに吸収されたかを計測し、
（ｅ）この計測結果に基づき排ガス中における測定対象物の濃度を算出する。
【００３１】
ところで、前記レーザ式分析計において、取り付け管３の内壁面に付着したダストが一定厚み以上堆積すると、取り付け管３内におけるレーザ光の通過がそのダストにより遮られ、排ガスの分析が不可能になる恐れがある。そこで、以下のようにして、取り付け管３の内壁面のダストが除去される。
【００３２】
前記検出装置６において、前記受信器１Ｂの本体５にて受信したレーザ光の透過光量が、予め定められる透過光量の設定値を下回る場合には、取り付け管３，３の内壁面のダストがレーザ光の発信および受信の妨げになるレベルにまで堆積した状態にあると判断され、検出装置６から前記電磁弁１３，１３に開信号が発信されて電磁弁１３，１３の開操作がなされる。これにより、前記ノズル１１，１１のラバルノズル部２１，２１に加圧窒素ガスが供給される。
【００３３】
前記ラバルノズル部２１に供給される加圧窒素ガスは、スロートＳを通過する際に音速にまで加速された後さらに加速され、ノズル２１の先端部から、衝撃波を伴った超音速のノズル噴射ガスとして噴射される（図２（ａ）中、矢印ａ参照。）。また、このノズル噴射ガスａの噴射に伴いラバルノズル部２３の前方部が負圧になることによって、前記各ノズル２１の側方の空気が前記各吸引孔２５からノズル２１内に吸引される。こうして吸引孔２５を通してノズル２１に吸引された空気は、ノズル噴射ガスａの流れを周囲から取り囲むようにしてその流れを案内する（図２（ａ）中、矢印ｂ参照。）。そして、この吸引空気の流れｂによって、ノズル噴射ガスａの拡散が抑制され、そのノズル噴射ガスａに直進性が付与される。この結果、ノズル２１から衝撃波を伴った直進性のあるノズル噴射ガスａが、取り付け管３の管壁に沿って噴射され、取り付け管３，３の内壁面に堆積したダストが良好かつ確実に除去される。
【００３４】
前記ノズル噴射ガスａの噴射によって、前記取り付け管３の内壁面のダストが除去された結果、前記検出装置６にて、レーザ光の透過光量が、透過光量の設定値以上にまで復帰したと判断されると、検出装置６から前記各電磁弁１３，１３に閉信号が供給され、前記ノズル１１からのノズル噴射ガスの噴射が停止される。
【００３５】
一方、前記各集光レンズ４'，５'には、小容量パージ管１５，１５よりパージガスが常時噴射され、それら集光レンズ４'，５'表面に汚れが生じるのが防止される。
【００３６】
本実施形態においては、ノズル１１から衝撃波を伴う直進性のある超音速のノズル噴射ガスａを噴射して、前記取り付け管３の内壁面に付着・堆積するダストを除去するように構成されていることから、少量かつ短時間のノズル噴射ガスａの噴射によって前記ダストを効率的に除去することができる。また、本実施形態においては、前記透過光量が設定値を下回った場合に限り、ノズル噴射ガスａが噴射されるので、ノズル噴射ガスａの噴射量をより低減することができる。また、ノズル噴射ガスａと、パージガスの供給経路が別々にされていることから、集光レンズ４'，５'表面の汚れを防止するためのパージガスの噴射量も必要最小限で済む。
【００３７】
したがって、ノズル噴射ガスａおよびパージガスの合計噴射量を大幅に抑えることができる。この結果、ダスト除去および、集光レンズ４'，５'表面の汚れ防止にかかるランニングコストを抑えることができ、ヘッダ管１０等の窒素ガス（加圧窒素ガス・パージガス）の発生装置や、昇圧装置等、各種装置の小型化を図ることができる。また、合計噴射量が抑えられることから、ごみ焼却設備内の燃焼制御に影響を与えたり、下流側の排ガス処理装置（空気誘引機等）に過度の負担を強いたりすることもない。
【００３８】
次に、本実施形態の作用効果を確認するために、本実施形態のレーザ式分析計と、従来のレーザ式分析計１００のそれぞれについて、取り付け管３（１０２）の付着物の除去試験を行い、試験結果を表１に纏めた。
【００３９】
【表１】
2006125848.tif 000003
【００４０】
表１から明らかなように、本実施形態においては、合計８００〜２２００Ｌのガス（ノズル噴射ガス：２００〜４００Ｌ，パージガス６００〜１８００Ｌ）を噴射することによって、集光レンズ４'（５'）表面の汚れを防止しつつ、取り付け管３内のダストを除去することができたのに対して、従来のものでは、一時間当たり３０００〜６０００Ｌものパージガスを連続的に噴射する必要があった。このことから、本実施形態のレーザ式分析計は、従来のものよりも、遥かに少量のガス（加圧窒素ガス、パージガス）にて、取り付け管３内のダスト除去と、集光レンズ４'，５'表面の汚れ防止を効率的に行えることが確認された。また、本実施形態においては、ノズル噴射ガスの噴射時間が極短時間（０．１〜０．３（ｓ））で済むことが分かる。このことから、本実施形態によるダストの除去作業は、ごみ焼却設備にて行われる燃焼制御に、影響を与え難いものであることが明らかとなった。
【００４１】
本実施形態においては、取り付け管３の下部壁部に挿通・支持される加圧窒素供給管１２に、ノズル１１に装着する例について説明したが、取り付け管３内のレーザ光の通過を阻害しない限り、ノズル１１の配置位置、設置数、装着方法については特に限定されることがなく、例えば、図３に示されるように、取り付け管３の上部壁部に、加圧窒素供給管１２を斜め下方（煙道２方向）に向けて貫通支持し、その加圧窒素供給管１２の先端部に前記ノズル１１を装着するように構成しても良い。
【００４２】
また、本実施形態においては、加圧窒素ガスを、ノズル噴射ガスとして噴射して取り付け管３内のダストを除去するようにされているが、酸素濃度が測定対象から外れている場合等、酸素濃度の変動が許容されるのであれば、加圧空気をノズル１１に供給してダストの除去を行うようにしても良い。
【００４３】
さらに、本実施形態においては、レーザ光の透過量が設定値を下回った場合に限り、ノズル１１に加圧窒素ガスを供給する構成が採用されているが、タイマーにより設定された一定時間間隔毎にノズル噴射ガスを取り付け管３内に噴射するように構成することもできる。
【００４４】
なお、本実施形態においては、煙道２の壁面２'に発信器１Ａおよび受信器１Ｂの取り付け管３、３の先端部を取り付け、煙道２内の排ガスの分析を行う例について説明したが、取り付け管３、３の先端部を焼却炉等の炉壁に取り付け、炉内の排ガスの分析を行うようにしても良い。
【００４５】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態に係るレーザ式分析計について、図面を参照しつつ説明する。なお、本実施形態において、前記第１実施形態と共通する構成については、同一の符号を付し、その詳細な説明を省略することとする。
【００４６】
図４には、第２実施形態に係るレーザ式分析計の概略構成図が、図５には、本実施形態に用いられるプローブの概略構成図（上半部）およびパルス電圧供給部（下半部）の回路図がそれぞれ示されている。
【００４７】
本実施形態においては、前記取り付け管３、３に、衝撃波を発生させるためのプローブ（衝撃波発生用電極）３０を配するとともに、取り付け管３，３の外部に、前記プローブ３０にパルス電圧を供給するパルス電圧供給部３１を設けたものである。
【００４８】
前記パルス電圧供給部３１は、図５に示されるように、交流電源３２と、電圧調整用のスライダック３３と、変圧器３４と、整流器３５と、充電抵抗３６と、抵抗３７と、並列配置されるコンデンサ３８Ａ，３８Ｂを備えた電気回路からなり、主として抵抗３７の抵抗値と、コンデンサ３８Ａ、３８Ｂの電気容量を調整することにより、任意の振幅および周波数を有するパルス電圧を前記プローブ３０に供給できるようになっている。なお、図中符号３９は電圧計であり、符号４０は電流計である。
【００４９】
一方、前記プローブ３０は、その中心軸部において、プローブ３０の軸方向に配される内部導体（導線）４５と、この内部導体４５の外周に所要間隔を隔てて配される筒状の外部導体４６と、内部導体４５−外部導体４６間において、プローブ３０の先端部を除いた部分に介在される絶縁体４７から構成されている。ここで、前記内部導体４５および外部導体４６は、前記パルス電圧供給部３１にそれぞれ接続されている。
【００５０】
このように構成されるプローブ３０によれば、前記パルス電圧供給部３１からのパルス電圧の供給を受けた際に、絶縁体４７が介在されない内部導体４５の先端部４５'と、外部導体４６の先端部４６'との間に放電が生じ、この放電によって衝撃波ＳＷが発生する。そして、この衝撃波ＳＷによって、前記取り付け管３，３の内壁面に付着・堆積したダストが除去される。
【００５１】
本実施形態においては、前記プローブ３０から発生する衝撃波ＳＷによって、取り付け管３の付着物を除去するようにされているので、前記パージガス以外のガス流体（加圧窒素ガス、加圧空気等）を取り付け管３内に噴射する必要がない。したがって、ごみ焼却設備におけるガス量の増加をより一層抑制することができ、焼却設備の下流側における排ガス処理設備にかかる負担をより一層低減することができる。
【００５２】
また、本実施形態のレーザ式分析計においても、前記第１実施形態と同様、レーザ光の透過光量が設定値を下回ったときにのみ衝撃波ＳＷを発生させるように構成したり、あるいはタイマーを設けて一定時間間隔毎に衝撃波ＳＷを発生させるように構成したりすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の第１実施形態に係るレーザ式分析計の概略構成図
【図２】第１実施形態におけるノズルの断面図（ａ）および図２（ａ）のＡ−Ａ視断面図（ｂ）
【図３】第１の実施形態の変形例に係るレーザ式分析計の概略構成図
【図４】本発明の第２実施形態に係るレーザ式分析計の概略構成図
【図５】第２実施形態におけるプローブの概略構成図（上半部）およびパルス電圧供給部（下半部）の回路図
【図６】従来のレーザ式分析計の概略構成図
【符号の説明】
【００５４】
１Ａ                  発信器
２Ｂ                  受信器
２                    煙道
３                    取り付け管
４                    本体
４'                  集光レンズ
５                    本体
５'                  集光レンズ
６                    分析装置
１０                    ヘッダ管
１１                    ノズル
１５                    小容量パージ管
２１                    ラバルノズル部
２２                    流体案内部
２３                    吸引孔
３０                    プローブ
３１                    パルス電圧発生部
【図１】
2006125848.tif 000004
【図２】
2006125848.tif 000005
【図３】
2006125848.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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