【手続補正書】
【提出日】平成19年7月5日(2007.7.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）ウェハーを囲むためのシール可能なコンテナ部を有し、該コンテナ部は開放した内部と、ドア開口部を形成するほぼ矩形のドアフレームとを有し、該ドアフレームはラッチ受容部を有しており、
ｂ） 前記ドア開口部を覆い、かつコンテナ部に対しシールされてウェハーを容器内にシールするため、前記ドアフレーム内に設置可能なドアを有し、該ドアは前部を有しまた、
前記ほぼ矩形のドアフレームに係合するように寸法決めされた外側着座部を有しており、
さらに、ラッチング機構を有し、該ラッチング機構は、
前記ドアの前記前部で外部に露出したハンドルを有し、該ハンドルは側方に可動であり、
前記ラッチ受容部内へ延出しまた後退するためのラッチ部を有し、そして、
前記ラッチ部と前記ハンドルとの間を連結して前記ハンドルの側方への動きを前記ラッチ部の延出及び後退動に変換するための運動変換部を有する、
ウェハーコンテナ。
【請求項２】  前記運動変換部はドア囲み内にはない請求項１のウェハーキャリヤ。
【請求項３】  前記運動変換部はラックとピニオンとを有する請求項１のウェハーキャリヤ。
【請求項４】  前記ドアは左側と右側とを有し、前記ラッチ機構は第一ラッチ機構であり、当該ウェハーコンテナは第２ラッチ機構をさらに有し、前記第一ラッチ機構は前記ドアの左側に配置されており、前記第第二ラッチ機構は前記ドアの右側に配置されている請求項１のウェハーコンテナ。
【請求項５】
ａ）ウェハーを保持する為のコンテナ部を有し、該コンテナ部は開放した内部と、ドア開口部を形成するほぼ矩形のドアフレームとを有し、該ドアフレームはラッチ受容部を有しており、
ｂ） 前記ドア開口部を覆う為に前記ドアフレーム内に設置可能なドアを有し、該ドアは前部を有しまた、前記ほぼ矩形のドアフレームに係合するように寸法決めされた外側着座部を有しており、
さらに、ラッチング機構を有し、該ラッチング機構は、
前記ラッチ受容部と係合するためのラッチ部と、
手動或いは自動機械による作動を受け入れるための第一作動部と、
前記ラッチ部と前記作動部との間に連結されて前記ハンドルの作動を前記ラッチ部の前記ラッチ受容部に対する係合に変換するための運動変換部とを有し、
前記運動変換部は前記ドアの前記前部に取り付けられかつ該前部において露出していて、当該運動変換部へのアクセスを与えている、
ウェハーコンテナ。
【請求項６】  前記ラッチ機構は第二作動部をさらに有し、該第二作動部は回転可能なラッチキーレシーバであり、前記第一作動部分は手動操作可能なハンドルである請求項５のウェハーコンテナ。
【請求項７】  前記手動操作可能なハンドルは回転不能である請求項６のウェハーコンテナ。
【請求項８】  前記運動変換部はラック及びピニオン機構を有する請求項５のウェハーコンテナ。
【請求項９】  前記ラッチング機構は、
２つの端部を備えたラッチ腕を有し、その一端は第一カムガイドと係合するカムフォロワを有し、また他端は前記外側着座部の開口に延びるラッチ部を有し、前記リフトリンクは前記２つの端部の中間の第一リフト部を有し、前記第一カムガイドは前記ラッチ部を前記ドアに対して前記ラッチ受容部内への第１の方向に延出させるように構成されており、
前記リフトリンクはスライド式のハンドル部に連結されていてそれとともに側方に可動であり、前記リフトリンクは前記第一リフト部と係合可能な、協働する第二リフト部を有し、前記第一リフト部と第二リフト部とは互いに重なる関係で配置されており、前記第一リフト部及び第二リフト部の一方は傾斜部を有し、前記第一リフト部及び第二リフト部の他方は傾斜係合面を有し、前記第二カムガイドは前記リフトリンクを前記ラッチリンクに対して動かすように構成されていて、それにより、前記ラッチング部が前記ラッチ受容部内にあるときには前記傾斜係合部が前記傾斜面に乗り上げて前記ラッチリンクを前記第一方向とほぼ直角な第二方向に動かす、
請求項５のウェハーコンテナ。
【請求項１０】
ａ）ウェハーを保持する為のコンテナ部を有し、該コンテナ部は開放した内部と、開口した前部と、該開口した前部においてドア開口部を形成するほぼ矩形のドアフレームとを有し、該ドアフレームはラッチ受容部を有しており、
ｂ） 前記ドア開口部を覆いかつ前記コンテナ部に対しシールする為に前記ドアフレーム内に設置可能なドアを有し、該ドアは、
前記ほぼ矩形のドアフレームに係合するように寸法決めされた外側着座部を有しており、
さらに、ラッチング機構を有し、該ラッチング機構は、
外部からの作動を受け入れるための作動部を有し、該作動部は外部からアクセス可能かつ回転可能であり、
前記ラッチ受容部と係合するためのラッチ部を有し、
前記作動部に連結されたピニオンを有し、そして、
前記ピニオンと係合しかつ前記ラック部に連結されたラックを有して、前記作動部の回転によって前記ラッチ部が動く、
ウェハーコンテナ。
【請求項１１】  前記ドアは前部を有し、前記ラッチ機構は前記ドアの前部において露出する請求項１０のウェハーコンテナ。
【請求項１２】  前記作動部は第一作動部であり、前記ラッチング機構は側方に動くように規制された第二作動部であり、該第二作動部は前記ラックに連結されていて、前記ラッチ機構が前記第一作動部を回転させることか或いは前記第二作動部を側方に動かすことによって作動できる請求項１０のウェハーコンテナ。
【請求項１３】    前記ドアは前部を有し、前記ラッチ機構は前記前部において露出している請求項１２のウェハーコンテナ。
【請求項１４】    前記ドアは前部と左側と右側とを有し、前記ラッチ機構は第一ラッチ機構であり、当該ウェハーコンテナは第二ラッチ機構を有し、前記第一ラッチ機構は前記ドアの左側に配置されており、前記第二ラッチ機構は前記ドアの右側に配置されている請求項１０のウェハーコンテナ。
【請求項１５】
ａ）ウェハーを保持する為のコンテナ部を有し、該コンテナ部は開放した内部と、前向きのドア開口部を形成するほぼ矩形のドアフレームとを有し、該ドアフレームはラッチ受容部を有しており、
ｂ） 前記ドア開口部を覆う為に前記ドアフレーム内に設置可能なドアを有し、該ドアは前部と、前記ほぼ矩形のドアフレームに係合するように寸法決めされた外側着座部とを有しており、
さらに、ラッチング機構を有し、該ラッチング機構は、
前記ラッチ受容部と係合するためのラッチ部を有し、
キーを有する自動装置の作動を受けるための第一の回転可能な作動部を有し、
手動操作のための第二の側方に移動可能な作動部を有し、
前記ラッチ部と前記第一の自動装置による作動部との間、及び前記ラッチ部と前記第二の側方に移動可能な作動部との間を連結して、これらの作動部の作動を前記ラッチ部の前記ラッチ受容部との係合に変換するための運動変換部を有している、
ウェハーコンテナ。
【請求項１６】  前記運動変換部はラックとピニオンとを有する請求項１５のウェハーキャリア。
【請求項１７】  前記ラッチング機構は前記前部に取り付けられており、ドア囲み部内には入れられていない、請求項１５のウェハーキャリア。
【請求項１８】  前記ラッチング機構は第一ラッチング機構であり、当該ウェハーキャリアは前記第一ラッチング機構のほぼ鏡像である請求項１５のウェハーキャリア。
【請求項１９】  前記運動変換部は前記ラッチ部に対する側方かつ外側への動きと、前方への動きとを与える請求項１５のウェハーキャリア。
【請求項２０】
ａ）ウェハーを保持する為のコンテナ部を有し、該コンテナ部は開放した内部と、ドア開口部を形成するほぼ矩形のドアフレームとを有し、該ドアフレームはラッチ受容部を有しており、
ｂ） 前記ドア開口部を覆う為に前記ドアフレーム内に設置可能なドアを有し、該ドアは開放した内部を有しそして、
i)  前記ほぼ矩形のドアフレームに係合するように寸法決めされた外側着座部と有し、該外側着座部は前記ドアが前記ドアフレーム内に設置されたときに前記ラッチ受容部に対応する開口を有しており、
ii)  囲み内に規制されかつ側方に可動なスライドハンドル部を有し、該ハンドル部は前記ドアの前記前部において外部に露出するハンドルを有しており、
iii）  ２つの端部を備えたラッチ腕を有し、その一端は第一カムガイドと係合するカムフォロワを有し、また他端は前記外側着座部の開口に延びるラッチ部を有し、前記リフトリンクは前記２つの端部の中間の第一リフト部を有し、前記第一カムガイドは前記ラッチ部を前記ドアに対して前記ラッチ受容部内への第１の方向に延出させるように構成されており、
iv)  前記リフトリンクはスライド式のハンドル部に連結されていてそれとともに側方に可動であり、前記リフトリンクは前記第一リフト部と係合可能な、協働する第二リフト部を有し、前記第一リフト部と第二リフト部とは互いに重なる関係で配置されており、前記第一リフト部及び第二リフト部の一方は傾斜部を有し、前記第一リフト部及び第二リフト部の他方は傾斜係合面を有し、前記第二カムガイドは前記リフトリンクを前記ラッチリンクに対して動かすように構成されていて、それにより、前記ラッチング部が前記ラッチ受容部内にあるときには前記傾斜係合部が前記傾斜面に乗り上げて前記ラッチリンクを前記第一方向とほぼ直角な第二方向に動かす、
ウェハーコンテナ。
【請求項２１】  前記スライドハンドル部に連結されたラックとピニオンとのギヤシステムをさらに有し、前記ピニオンは前記ドアの外部からアクセス可能であって、それにより、前記ドアが前記ピニオンとの係合により自動機械式に作動される請求項２０のウェハーキャリヤ。
【請求項２２】
ａ）ウェハーを水平位置で保持する為のコンテナ部を有し、該コンテナ部は開口した前部と、前記コンテナ部に前記開口した前部において設けられたラッチ受容部とを有し、
ｂ） 前記開口した前部を閉じるように設置可能なドアを有し、該ドアは、
i)  前記ラッチ受容部に向かう第一の方向で外側に延出可能なラッチング部を備えたラッチング腕を有し、
ii)  前記ラッチリンクに隣接していて前記第一の方向とほぼ平行な方向に可動なリフトリンクを有し、前記リフトリンクと前記ラッチング腕との少なくとも一方は傾斜部を有していて、前記リフトリンクと前記ラッチング部の他方が前記傾斜部に対して動くと、前記傾斜部によって前記ラッチングリンクが前記第一の方向とほぼ直角な第二の方向に動くようになっており、
iii)  囲み内に規制されかつ側方に可動なスライドハンドル部を有し、該ハンドル部は前記ドアの前記前部において外部に露出するハンドルと、該ハンドルを前記リフトリンクに連結する連結部とを有しており、それによって、前記ドアは外部に露出した前記ハンドルを動かすことにより操作でき、前記ハンドル部には線状のギヤが固定されており、
iv）  前記ドアの囲み内に設けられて前記線状ギヤと噛み合う回転可能な円形ギヤを有し、該円形ギヤは前記ドアの前方外部からアクセス可能であり、それによって前記ドアを自動機械式に操作できる、
ウェハーキャリア。
【請求項２３】  前記スライドハンドル部は前記リフトリンクと一体である請求項３のウェハーキャリヤ。