(57)【要約】【課題】  ＥＰＭＡ等の電子プローブＸ線分析装置において、メール等の自然文から分析条件を抽出し、自動的に分析条件の設定を行うことにより、条件入力を簡易化し間違いを減らす。【解決手段】  正規表現などの文字列検索方法により、メールや一般のテキストファイルから分析方法、元素と特性Ｘ線種、その他分析条件に特徴的な単語を抽出し分析条件として設定する。抽出されなかった条件のうち設定が必要な条件については、抽出された条件から導かれた条件を設定するか、若しくは予め決めてある条件を設定する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に電子線を照射して検出された特性Ｘ線を用いて、定量分析、線分析、面分析等の元素分析を行う機能を有する電子プローブＸ線分析装置において、
テキストデータを外部から取り込む手段と、前記テキストデータから分析条件に特徴的な単語を抽出する文字列検索手段とを備え、
前記文字列検索手段により前記テキストデータから分析条件に特徴的な単語を抽出して分析条件として設定するようにしたことを特徴とする電子プローブＸ線分析装置。
【請求項２】
前記テキストデータを外部から取り込む手段は、電子メールを読み込む手段であることを特徴とする、請求項１に記載の電子プローブＸ線分析装置。
【請求項３】
前記テキストデータを外部から取り込む手段は、フロッピー（登録商標）ディスク、コンパクトディスク、ＵＳＢメモリ等の記憶媒体からテキストデータを読み込む手段であることを特徴とする、請求項１に記載の電子プローブＸ線分析装置。
【請求項４】
前記文字列検索手段により抽出された分析条件以外の分析条件は、予め決めておいた条件若しくは前記文字列検索手段により抽出された分析条件から導き出された条件に設定できる手段を備える、請求項１に記載の電子プローブＸ線分析装置。
【請求項５】
前記文字列検索手段と前記予め決めておいた条件若しくは前記文字列検索手段により抽出された分析条件から導き出された条件以外に、実際の分析試料に則して入力が必要な分析位置などの条件を分析者が設定できる手段を備える、請求項１または４に記載の電子プローブＸ線分析装置。
【請求項６】
前記文字列検索手段と前記予め決めておいた条件若しくは前記文字列検索手段により抽出された分析条件から導き出された条件を、分析開始前に分析者が必要に応じて修正する手段を備える、請求項１または４に記載の電子プローブＸ線分析装置。
【請求項７】
前記文字列検索手段として「正規表現」を用いる、請求項１に記載の電子プローブＸ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料に電子線を照射して検出された特性Ｘ線を用いて、定量分析、線分析、面分析等の元素分析を行う、電子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）やＸ線分析機能を搭載した走査電子顕微鏡（分析ＳＥＭ）などの電子プローブＸ線分析装置に係わり、特にその分析条件の設定方法の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＥＰＭＡや分析ＳＥＭは、試料に電子線を照射してミクロンオーダー領域から発生する特性Ｘ線を検出することにより、試料表面の定性、定量、面分析等を行う装置として広く使われている。図１に、ＥＰＭＡを例にとり従来装置の概略構成例を示す。指定された加速電圧で電子銃１から発生した電子線は、集束レンズ２、対物レンズ３によって細く絞られ、分析試料６に照射される。電子線は電子線偏向器４で偏向することにより、点／線／面分析モードが選択できる。また試料ステージ７により分析試料６を移動させて分析位置を選択したり、広い領域の線／面分析を行うことも可能である。
【０００３】
分光素子９とＸ線検出器10は一基の波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）を意味しており、分光素子制御装置11で分光素子９へのＸ線入射角を変えることにより、Ｘ線検出器10で検出可能な特性Ｘ線を選択する。Ｘ線検出器10で検出されたＸ線信号は、Ｘ線信号処理装置12を経て制御演算処理装置15に送られ分析データとなる。図１では、一基のＷＤＳしか示していないが、一般のＥＰＭＡでは１〜５基程度を装備していることが多い。また、通常ＷＤＳ一基中には面間隔の異なる複数枚の分光素子9が装備されている。また装置によっては、図示しないエネルギー分散形Ｘ線分光器（ＥＤＳ）を備えている場合もあり、ＥＤＳのみで分析する場合やＷＤＳとＥＤＳを同時に使用して分析する場合もある。
さらに、電子信号検出器５で検出された二次電子、反射電子等の信号は、図示しない電子信号処理装置を経て制御演算処理装置15に送られ二次電子像、反射電子像データとなる。これら電子像は分析位置の確認などに重要な役割を果たす。
【０００４】
分析プログラム20によって定性、定量、面分析等を行う場合は、分析の目的や試料の状況に応じて、表示装置16と入力装置17を使って必要な条件を入力する。設定された分析条件は、条件ファイルに保存しておくことができる。以前の分析時に使われて保存されている条件の中に同じ分析条件があれば、ファイル21から呼び出して設定することもできる。
入力が必要な条件は大別して、電子線に関する項目、分光器に関する項目、分析位置に関する項目などがある。
【特許文献１】特開２００３−９８１２９号
【特許文献２】特開２００１−３３８６０３号
【特許文献３】特開平１０−２０７９１２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
分析プログラム20によって定性、定量、面分析等を行う場合は、その分析目的や試料の状況に応じて、非常に多くの分析条件を設定する必要がある。例えば比較的設定項目の少ない定性分析の場合でも、少なくとも以下のような項目を設定する必要がある。
電子線に関する項目：加速電圧、照射電流値、電子線径、偏向有無／偏向位置／偏向幅等
分光器に関する項目：使用分光器、分光素子種類、分光素子走査範囲、分光素子走査時間、分光素子走査ステップ幅等
分析位置に関する項目：試料名、分析位置名（またはNo）、試料ステージ座標位置、複数点あるときの分析順序等
【０００６】
また、定量分析の場合は、電子線に関する項目の他に、上記の分光器に関する項目が下記のようにさらに多くなる。
分光器に関する項目：分析元素名（Ｎａ，Ｆｅ等）、元素毎の特性Ｘ線種（Ｋα／Ｌα／Ｍα等）、特性Ｘ線種毎の使用分光器と分光素子、バックグランド測定方法と測定位置、ピーク強度計数時間、バックグランド強度計数時間、補正計算法等
さらに、面分析の場合は、電子線に関する項目と分光器に関する項目の他に、上記分析位置に関する項目として、電子線走査かステージ走査の選択、分析領域の大きさ、分析領域を二次元的に分割する区画（ピクセル）数、一ピクセル当たりのＸ線計数時間等が追加される。
【０００７】
ところで、ＥＰＭＡ等の大形分析装置では、分析依頼者と実際に装置を動かして分析を行う操作者が異なることが多い。そのため分析依頼者から操作者に対して分析依頼内容がメールや依頼文書などで届けられることになる。上述したように、ＥＰＭＡ分析では分析の目的によって様々な分析条件を設定する必要があるので、操作者は依頼された内容のプリントアウトなどを見ながら、分析プログラムの入力手順に従って一項目ずつ入力していくことになる。この作業には多くの時間を必要とするだけでなく、入力ミスを起こす可能性もある。本発明の目的は、メール等の自然文から分析条件を抽出し、自動的に分析条件の設定を行うことにより、条件入力を簡易化し間違いを減らすことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の問題を解決するために、本発明は、試料に電子線を照射して検出された特性Ｘ線を用いて、定量分析、線分析、面分析等の元素分析を行う機能を有する電子プローブＸ線分析装置において、
テキストデータを外部から取り込む手段と、前記テキストデータから分析条件に特徴的な単語を抽出する文字列検索手段とを備え、
前記文字列検索手段により前記テキストデータから分析条件に特徴的な単語を抽出して分析条件として設定するようにしたことを特徴とする。
【０００９】
また本発明は、前記テキストデータを外部から取り込む手段は、電子メールを読み込む手段であることを特徴とする。
【００１０】
また本発明は、前記テキストデータを外部から取り込む手段は、フロッピー（登録商標）ディスクやコンパクトディスク等の記憶媒体からテキストデータを読み込む手段であることを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、前記文字列検索手段により抽出された分析条件以外の分析条件は、予め決めておいた条件若しくは前記文字列検索手段により抽出された分析条件から導き出された条件に設定できる手段を備えることを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、前記文字列検索手段と前記予め決めておいた条件若しくは前記文字列検索手段により抽出された分析条件から導き出された条件以外に、実際の分析試料に則して入力が必要な分析位置などの条件を分析者が設定できる手段を備えることを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、前記文字列検索手段と前記予め決めておいた条件若しくは前記文字列検索手段により抽出された分析条件から導き出された条件を、分析開始前に分析者が必要に応じて修正する手段を備えることを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、前記文字列検索手段として「正規表現」を用いることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、文字列検索手段によって分析依頼者が作成したメールや一般のテキストファイル等の自然文から分析条件を自動的に設定できるようにしたので、操作者が新たに分析条件を一項目ずつ入力する必要が無くなり、入力時間の短縮と入力ミスを減らすことができるようになった。
【００１６】
また本発明によれば、前記文字列検索手段により抽出された分析条件以外の分析条件は、予め決めておいた条件若しくは前記文字列検索手段により抽出された分析条件から導き出された条件に設定できるので、分析依頼者からの依頼内容が不完全な場合でも正しく分析条件を設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図２に本発明に係わるＥＰＭＡの構成例を示す。図１の従来構成例に、分析条件抽出／決定プログラム22が追加されている。
分析条件抽出／決定プログラム22は、インタフェース18や読込装置19から取り込まれたメールや一般のテキストファイルの自然文から、文字列検索により分析条件を抽出するためのプログラムである。分析条件抽出／決定プログラム22により抽出／決定された分析条件は、分析プログラム20に直接渡すこともできて、条件ファイル21に保存もできる。分析プログラム20は、分析条件抽出／決定プログラム22から分析条件を直接受け取ったり、分析ファイル20から呼び出すこともできる、また、足りない条件を入力装置17から追加入力したり、既に設定されている条件を修正することもできる。
【００１８】
図３に、文字列検索手段に正規表現を用いてＥＰＭＡで分析する場合を例にとり、本発明の実施の形態である分析条件の抽出/決定のフローを示す。
ステップ１：操作者は、ＦＤＤ（フロッピー（登録商標）ディスク）／ＣＤＲＯＭ（コンパクトディスク）等、分析条件の記述された自然文の取込手段を指示する。
ステップ２：ステップ１の指示に基づき、メールの一部や、一般のＰＣ（パーソナルコンピュータ）/ＰＤＡ（携帯情報端末）などを用いて作成されているテキストファイルを読み込む。
ステップ３：／(定性|定量|線|面)／分析や／(マップ|マッピング)／などの正規表現を用いて必要な単語を抽出し、分析方法を決める。
ステップ４：／((Be)|B|C|N|……|U)[KLM][abαβγ]／などの正規表現を用いて必要な単語を抽出し、分析元素と特性Ｘ線種を決める。
ステップ５：例えば加速電圧、照射電流値については、[1-3]?[0-9]kV／、  ／[1-9][0-9]?[0-9]?[nμ]A／などと記述する正規表現を用いて必要な単語を抽出し、分析条件を決める。
ステップ６：測定に必要な分析条件のうち抽出されなかった条件について、予め決められた条件を設定する。例えば分析方法として面分析のみが抽出された場合は、ステージ走査、ピクセル数を４００×４００点、電子線径を５μｍφ及びピクセルサイズを５×５μｍ角などと仮設定する。
ステップ７：分析元素のうち、早い順序で優先的に測定したい元素や、同一順序で同時に測定したい元素の組み合わせなどの要求が抽出されていれば、該当する元素/特性Ｘ線種をひとつの組にするためのグルーピングを行う。測定を複数順序で行う必要がある場合は優先グループを早い順序に設定するなどして、全ての元素の測定順序を決定する。使用する分光器や分光素子は、決められた測定順序に矛盾しないように、適宜自動的に選択される。
ステップ８：操作者は分析依頼者の依頼内容に沿って、光学顕微鏡、または二次電子像、反射電子像などの観察手段を用いて、試料ステージにセットされた分析試料上の分析場所を設定する。
ステップ９：分析依頼者の目的が小さな介在物の観察であるような場合、分析領域はステップ６で仮設定されたよりも小さく設定される。例えば４００×４００μｍ角の分析が分析依頼者の依頼内容に沿うものであった場合は、ステップ6で仮設定された条件は変更されて、電子線径は１μｍφ、ピクセルサイズは１×１μｍ角、ピクセル数は４００×４００点などのように変更される。
ステップ10：測定に必要な条件が全て設定されたか操作者が最終確認を行い、必要があれば修正を行う。
【００１９】
ステップ１〜10により設定された分析条件に従って、分析プログラム20は所定の分析を実行する。
上述の実施の形態を説明する際に、文字列検索手段として「正規表現」を用いる例を示したが、本発明は「正規表現」の使用に限定されるものではない。
また、テキストデータの取込手段としてフロッピー（登録商標）ディスクやコンパクトディスクを例示したが、これらに限定されず、ＬＡＮやＵＳＢメモリを介してテキストデータファイルを制御演算処理装置15に転送しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】ＥＰＭＡの従来構成の例。
【図２】本発明係わるＥＰＭＡの構成例。
【図３】本発明の実施の形態を説明するためのフロー図。
【符号の説明】
【００２１】
（下記の１〜21は図１、２とも共通で22は図２のみに付している。）
１：電子銃                      12：Ｘ線信号処理装置
２：集束レンズ                  13：ステージ制御装置
３：対物レンズ                  14：制御系インタフェース
４：電子線偏向器                15：制御演算処理装置
５：電子信号検出器              16：表示装置（ＣＲＴ、ＬＣＤ等）
６：分析試料                    17：入力装置（マウス、キーボード等）
７：試料ステージ                18：インタフェース（ＬＡＮ，ＵＳＢ等）
８：電子光学系制御装置          19：読込装置（ＦＤＤ，ＣＤＲＯＭ等）
９：分光素子                    20：分析プログラム（定性／定量／面分析等）
10：Ｘ線検出器                  21：条件ファイル（分析条件、分析位置等）
11：分光素子制御装置            22：分析条件抽出／決定プログラム
【図１】
2006125954.tif 000003
【図２】
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【図３】
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