(57)【要約】【課題】  チップ抵抗器の抵抗値を効率的に修正することができる抵抗値修正方法を提供する。【解決手段】  抵抗値修正方法は、抵抗値Ｒを測定する機能とパルス電圧を印加する機能とを有する複数の処理ステーションにチップ抵抗器Ｗを供給する工程と、少なくとも最上流側の処理ステーションＳ１において、チップ抵抗器の抵抗値を測定し、かつ必要に応じて、チップ抵抗器にパルス電圧を印加してチップ抵抗器の抵抗値を修正する工程と、チップ抵抗器を外方へ排出する工程と、を備えている。チップ抵抗器は、マトリックステーブル３２に従い抵抗値に基づいて決定される印加条件に従ってパルス電圧を印加される。マトリックステーブル３２にはチップ抵抗器の抵抗値を所定の区分に区分けするとともに各区分毎に印加条件が予め設定されている。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々がチップ抵抗器の抵抗値を測定する機能とチップ抵抗器にパルス電圧を印加する機能とを有する複数の処理ステーションにチップ抵抗器を順次供給する工程と、
少なくとも最上流側の処理ステーションにおいて、チップ抵抗器の抵抗値を順次測定し、かつ必要に応じて、チップ抵抗器にパルス電圧を印加してチップ抵抗器の抵抗値を修正する工程と、
チップ抵抗器を外方へ順次排出する工程と、を備え、
チップ抵抗器は各処理ステーションにおいて、チップ抵抗器の抵抗値を予め設定した区分に区分けするとともに各区分毎に印加条件が予め設定されたマトリックステーブルを用い該処理ステーションで測定された抵抗値に基づいて決定されるパルス電圧の印加条件により、パルス電圧が印加されることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項２】
最上流側の処理ステーションにおいて、測定されたチップ抵抗値の抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満である場合に、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することを特徴とする請求項１に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項３】
マトリックステーブルにおいて、抵抗値の各区分に対応する印加条件は少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含むとともに各処理ステーション毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が高くなるか、あるいは印加時間が長くなるようになっていることを特徴とする請求項１または２に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項４】
マトリックステーブルにおいて、抵抗値の各区分に対応する印加条件は少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含むとともに各処理ステーション毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が低くなるか、あるいは印加時間が短くなるようになっていることを特徴とする請求項１または２に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項５】
チップ抵抗器を排出する工程の前に、処理ステーションの下流側に設けられた検査ステーションにおいて、少なくとも最下流側の処理ステーションでパルス電圧が印加されたチップ抵抗器の抵抗値を測定する工程をさらに備え、
マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ予め設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、
各処理ステーションにおいて印加されるパルス電圧の印加電圧または印加時間は、マトリックステーブルに設定された比率であって該処理ステーションで測定された抵抗値の属する区分に対応する比率と、基準印加電圧または基準印加時間とを掛け合わせて決定され、
検査ステーションにおいて測定される各チップ抵抗器の抵抗値が、予め設定した回数だけ連続して、規格範囲の上限値を上まわった場合、各処理ステーションにおける印加電圧または印加時間は、より高くなるように再設定された新たな基準印加電圧またはより長くなるように再設定された新たな基準印加時間に基づいて決定されるようになることを特徴とする請求項１または２に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項６】
チップ抵抗器を排出する工程の前に、処理ステーションの下流側に設けられた検査ステーションにおいて、少なくとも最下流側の処理ステーションでパルス電圧が印加されたチップ抵抗器の抵抗値を測定する工程をさらに備え、
マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ予め設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、
各処理ステーションにおいて印加されるパルス電圧の印加電圧または印加時間は、マトリックステーブルに設定された比率であって該処理ステーションで測定された抵抗値の属する区分に対応する比率と、基準印加電圧または基準印加時間とを掛け合わせて決定され、
検査ステーションにおいて測定される各チップ抵抗器の抵抗値が、予め設定した回数だけ連続して、規格範囲の下限値を下まわった場合、各処理ステーションにおける印加電圧または印加時間は、より低くなるように再設定された新たな基準印加電圧またはより短くなるように再設定された新たな基準印加時間に基づいて決定されるようになることを特徴とする請求項１、２、または５に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項７】
マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ予め設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、
基準印加電圧または基準印加時間は、必要に応じ、チップ抵抗器の抵抗値測定結果に基づいて再設定されることを特徴とする請求項１または２に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項８】
チップ抵抗器を排出する工程において、各チップ抵抗器は測定された抵抗値に基づき分類されて排出されることを特徴とする請求項１または２に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項９】
抵抗値が規格範囲内であるチップ抵抗器と、抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であるチップ抵抗器と、抵抗値がこれら２つの範囲外であるチップ抵抗器と、に分類されて排出されることを特徴とする請求項８に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項１０】
抵抗値が規格範囲内であるチップ抵抗器と、抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であるチップ抵抗器と、抵抗値が前記基準値を超えるまたは基準値以上であるチップ抵抗器と、抵抗値が規格範囲の下限値未満であるチップ抵抗器と、に分類されて排出されることを特徴とする請求項８に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項１１】
チップ抵抗器を排出する工程の前に、処理ステーションの下流側に設けられた検査ステーションにおいて、少なくとも最下流側の処理ステーションでパルス電圧が印加されたチップ抵抗器の抵抗値を測定する工程をさらに備え、
チップ抵抗器を排出する工程において、検査ステーションで測定されたチップ抵抗器の抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満である場合に、該チップ抵抗器を抵抗値がこの範囲外であるチップ抵抗器と区別して排出することを特徴とする請求項１または２に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項１２】
排出されたチップ抵抗器であって、抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であるチップ抵抗器を、各処理ステーションに再度供給する工程をさらに備えたことを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか一項に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項１３】
上流側から２つ目以降の各処理ステーションにおいて、直前の処理ステーションでパルス電圧が印加されたチップ抵抗器について、抵抗値が測定されることを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか一項に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項１４】
上流側から２つ目以降の各処理ステーションにおいて、該処理ステーションで測定された抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満のチップ抵抗器のみに、パルス電圧が印加されることを特徴とする請求項１３に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項１５】
前記基準値は、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することによって、規格範囲内に修正することができる抵抗値の限界値に設定されることを特徴とする請求項２、９、１０、１１、１２、または１４に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正方法。
【請求項１６】
チップ抵抗器を保持する保持部を複数有し、チップ抵抗器を搬送する搬送体と、
搬送体によるチップ抵抗器の移動経路に隣接して複数設けられた処理ステーションであって、各々がチップ抵抗器の抵抗値を測定する測定部とチップ抵抗器にパルス電圧を印加する印加部とを有する複数の処理ステーションと、
チップ抵抗器の移動経路に隣接して設けられ、搬送体から排出されるチップ抵抗器を回収する回収部と、
各処理ステーションにおけるパルス電圧の印加条件を決定する制御部と、を備え、
制御部は、チップ抵抗器の抵抗値を予め設定した区分に区分けするとともに各区分毎に印加条件が予め設定されたマトリックステーブルを有し、このマトリックステーブルを用い各処理ステーションで測定された抵抗値に基づいて該処理ステーションにおけるパルス電圧の印加条件を決定するようになっていることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項１７】
マトリックステーブルにおいて、抵抗値の各区分に対応する印加条件は少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含むとともに各処理ステーション毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が高くなるか、あるいは印加時間が長くなるようになっていることを特徴とする請求項１６に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項１８】
マトリックステーブルにおいて、抵抗値の各区分に対応する印加条件は少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含むとともに各処理ステーション毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が低くなるか、あるいは印加時間が短くなるようになっていることを特徴とする請求項１６に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項１９】
制御部は、マトリックステーブルに設定された条件とともに印加条件を決定するための基準条件を設定する基準条件設定器をさらに有し、
マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ基準条件設定器によって設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、
制御部は、各処理ステーションにおける印加電圧または印加時間を、マトリックステーブルに設定された比率であって該処理ステーションで測定された抵抗値の属する区分に対応する比率と、基準条件設定器によって設定された基準印加電圧または基準印加時間とを掛け合わせて決定するようになっていることを特徴とする請求項１６に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項２０】
チップ抵抗器の移動経路に隣接し処理ステーションの下流側に設けられ、チップ抵抗器の抵抗値を測定する検査ステーションをさらに備え、
制御部の基準条件設定器は、検査ステーションにおいて測定される各チップ抵抗器の抵抗値が、予め設定した回数だけ連続して、規格範囲の上限値を上まわった場合に、基準印加電圧をより高く再設定する、あるいは基準印加時間をより長く再設定するようになっていることを特徴とする請求項１９に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項２１】
チップ抵抗器の移動経路に隣接し処理ステーションの下流側に設けられ、チップ抵抗器の抵抗値を測定する検査ステーションをさらに備え、
制御部の基準条件設定器は、検査ステーションにおいて測定される各チップ抵抗器の抵抗値が、予め設定した回数だけ連続して、規格範囲の下限値を下まわった場合に、基準印加電圧をより低く再設定する、あるいは基準印加時間をより短く再設定するようになっていることを特徴とする請求項１９または２０に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項２２】
制御部は、マトリックステーブルに設定された条件とともに印加条件を決定するための基準条件を設定する基準条件設定器をさらに有し、
マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ基準条件設定器によって設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、
基準条件設定器は、必要に応じ、チップ抵抗器の抵抗値測定結果に基づいて基準印加電圧または基準印加時間を再設定するようになっていることを特徴とする請求項１６に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項２３】
回収部は、測定された抵抗値が規格範囲内であったチップ抵抗器を回収する良品回収部と、抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であったチップ抵抗器を回収する再修正品回収部と、を有することを特徴とする請求項１６に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項２４】
回収部は、測定された抵抗値が規格範囲内であったチップ抵抗器を回収する良品回収部と、抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であったチップ抵抗器を回収する再修正品回収部と、抵抗値が前記基準値を超えるまたは基準値以上であったチップ抵抗器を回収する過大抵抗品回収部と、抵抗値が規格範囲の下限値未満であったチップ抵抗器を回収する過小抵抗品回収部と、を有することを特徴とする請求項１６に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項２５】
チップ抵抗器の移動経路に隣接し処理ステーションの下流側に設けられ、チップ抵抗器の抵抗値を測定する検査ステーションをさらに備え、
回収部は、検査ステーションで測定された抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であるチップ抵抗器を回収する再修正品回収部を有することを特徴とする請求項１６に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項２６】
再修正品回収部に回収されたチップ抵抗器が搬送体に再度供給されるようになっていることを特徴とする請求項２３乃至２５のいずれか一項に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【請求項２７】
前記基準値は、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することによって、規格範囲内に修正することができる抵抗値の限界値に設定されていることを特徴とする請求項２３乃至２６のいずれか一項に記載のチップ抵抗器の抵抗値修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ抵抗器の抵抗値を修正する方法および装置に係り、とりわけ、修正前の抵抗値の測定値に基づいた印加条件でパルス電圧を印加して抵抗値を効率的に修正することができる方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
チップ抵抗器の抵抗値を公称抵抗値の許容範囲内（規格範囲内とも呼ぶ）に修正する方法として、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することによって抵抗値を低下させるパルストリミングが知られている。そして、パルストリミングを行うための装置としては、チップ抵抗器を供給する供給部と、回転自在なインデックステーブルであって、供給されるチップ抵抗器を周縁部に複数設けられたワーク収納部に収納して搬送するインデックステーブルと、を備えた装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
このような従来のパルストリミングによる抵抗値修正方法のメインルーチンを図１１に、サブルーチンを図１２に示す。図１１に示すように、チップ抵抗器がインデックステーブルによって搬送される間、チップ抵抗器の移動経路上に設けられ、複数の処理ステーションを有する処理部Ｋにおいて、チップ抵抗器の抵抗値の測定および抵抗値の修正が行われ、その後、最終的な抵抗値の検査工程１００を経てチップ抵抗器がインデックステーブルから排出される。
【０００４】
また、図１２に示すように、処理部Ｋの各処理ステーションにおいては、まず、チップ抵抗器の抵抗値が測定され、測定された抵抗値が記録される（１０３）。次に、測定された抵抗値が公称抵抗値の許容範囲（規格範囲とも呼ぶ）の下限値より小さいか否かが判定される（１０４）。測定値が規格範囲の下限値よりも小さいチップ抵抗器は、パルストリミングでは抵抗値を上方に修正することができないため、不良品として排出されることになる（１０２、図１１）。一方、抵抗値が規格範囲の下限値以上のチップ抵抗器については、さらに、抵抗値が規格範囲内であるか否かが判定され（１０５）、抵抗値が規格範囲内のチップ抵抗器は検査工程１００を経て良品として排出される。これに対し、抵抗値が規格範囲外、すなわち、抵抗値が規格範囲の上限値を超えるチップ抵抗器には、パルス電圧が印加されて抵抗値が修正され（１０６）、その後、検査工程１００における最終的な抵抗値の確認を経て良品として（１０１）、あるいは不良品として（１０２）排出される。
【０００５】
そして、このような従来のパルストリミング方法において、処理部Ｋの処理ステーションにおける抵抗値の測定結果は、チップ抵抗器の抵抗値が規格範囲内であるか否かを判定するために用いられ、抵抗値の修正を行う際のパルス電圧の印加条件が、測定された抵抗値に基づいて都度決定されているわけではない（例えば、特許文献１）。このため、処理部Ｋには処理ステーションが複数設けられ、各処理ステーションでチップ抵抗器の抵抗値が規格範囲内であるか否かを都度判定しながら、チップ抵抗器の抵抗値が公称抵抗値に徐徐に近づいて行くように修正されている。
【特許文献１】特開２０００−３６４０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、徐徐に公称抵抗値に近づけるような修正方法では、抵抗値を規格範囲内に修正しきれないチップ抵抗器が生じ、良品歩留まりが下がってしまう虞がある。これを回避するためには処理ステーションの設置数を増やさなければならないが、この場合、装置の製造コストおよび装置のメンテナンスコストが増大し、結果としてチップ抵抗器の製造コストを低減することができない。
【０００７】
また、一般に、チップ抵抗器の品種は多く、品種が異なれば抵抗皮膜の材料比率が異なる。したがって、品種が異なるロット間においては、同一の印加条件でパルス電圧を印加した場合における抵抗値変化率が異なる。さらに、チップ抵抗器においては同一ロット内であっても、同一の印加条件でパルス電圧を印加した場合における抵抗値変化率が大きく異なることがある。
【０００８】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、チップ抵抗器の抵抗値に基づいた印加条件でパルス電圧を印加することにより、簡単かつ効率的にチップ抵抗器の抵抗値を修正することができるチップ抵抗器の抵抗値修正方法および抵抗値修正装置を提供することを目的とする。
【０００９】
また、抵抗値が低下し難いチップ抵抗器に対して適切な条件でパルス電圧を印加し、抵抗値を効率的に修正することができるチップ抵抗器の抵抗値修正方法および抵抗値修正装置を提供することを目的とする。
【００１０】
さらに、ロット間において抵抗値の変化しやすさが異なる場合においても、ロット毎の抵抗値の変化しやすさに応じた適切な条件でパルス電圧を印加し、抵抗値を効率的に修正することができるチップ抵抗器の抵抗値修正方法および抵抗値修正装置を提供することを目的とする。
【００１１】
さらに、最終的に抵抗値が規格範囲外となったチップ抵抗器のうち、再度パルス電圧を印加することにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器を回収し、チップ抵抗器の良品歩留まりを向上させることができるチップ抵抗器の抵抗値修正方法および抵抗値修正装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、各々がチップ抵抗器の抵抗値を測定する機能とチップ抵抗器にパルス電圧を印加する機能とを有する複数の処理ステーションにチップ抵抗器を順次供給する工程と、少なくとも最上流側の処理ステーションにおいて、チップ抵抗器の抵抗値を順次測定し、かつ必要に応じて、チップ抵抗器にパルス電圧を印加してチップ抵抗器の抵抗値を修正する工程と、チップ抵抗器を外方へ順次排出する工程と、を備え、チップ抵抗器は各処理ステーションにおいて、チップ抵抗器の抵抗値を予め設定した区分に区分けするとともに各区分毎に印加条件が予め設定されたマトリックステーブルを用い該処理ステーションで測定された抵抗値に基づいて決定されるパルス電圧の印加条件により、パルス電圧が印加されることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正方法である。このような本発明によれば、チップ抵抗器の抵抗値に基づいた適切な印加条件によりパルス電圧を印加することができる。したがって、各チップ抵抗器の抵抗値に対応したパルストリミングを施すことができ、これにより、チップ抵抗器の抵抗値を簡単かつ効率的に修正することができる。
【００１３】
本発明は、最上流側の処理ステーションにおいて、測定されたチップ抵抗値の抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満である場合に、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することを特徴とする抵抗値修正方法である。このとき、前記基準値を、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することによって、規格範囲内に修正することができる抵抗値の限界値に設定することができる。この場合、パルストリミングを施すことにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器のみにパルス電圧を印加することができる。これにより、パルストリミングをより効率的に行うことができる。
【００１４】
本発明は、マトリックステーブルにおいて、抵抗値の各区分に対応する印加条件は少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含むとともに各処理ステーション毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が高くなるか、あるいは印加時間が長くなるようになっていることを特徴とする抵抗値修正方法である。このような本発明によれば、直前の処理ステーションにおいて期待した通りに抵抗値を低下させることができなかったチップ抵抗器、すなわち、同一ロット内でも抵抗値が低下し難いチップ抵抗器に対して、抵抗値をより低下させやすい印加条件でパルス電圧を印加することができ、これにより、チップ抵抗器の抵抗値を効率的に修正することができる。
【００１５】
本発明は、マトリックステーブルにおいて、抵抗値の各区分に対応する印加条件は少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含むとともに各処理ステーション毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が低くなるか、あるいは印加時間が短くなるようになっていることを特徴とする抵抗値修正方法である。このような本発明によれば、パルストリミングを施される度にパルス電圧の印加により抵抗値が低下しやすくなっていくチップ抵抗器に対し、抵抗値を下げ過ぎてしまうことを防止することができる。
【００１６】
本発明は、チップ抵抗器を排出する工程の前に、処理ステーションの下流側に設けられた検査ステーションにおいて、少なくとも最下流側の処理ステーションでパルス電圧が印加されたチップ抵抗器の抵抗値を測定する工程をさらに備え、マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ予め設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、各処理ステーションにおいて印加されるパルス電圧の印加電圧または印加時間は、マトリックステーブルに設定された比率であって該処理ステーションで測定された抵抗値の属する区分に対応する比率と、基準印加電圧または基準印加時間とを掛け合わせて決定され、検査ステーションにおいて測定される各チップ抵抗器の抵抗値が、予め設定した回数だけ連続して、規格範囲の上限値を上まわった場合、各処理ステーションにおける印加電圧または印加時間は、より高くなるように再設定された新たな基準印加電圧またはより長くなるように再設定された新たな基準印加時間に基づいて決定されるようになることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正方法である。このような本発明によれば、全体的に抵抗値が低下し難いチップ抵抗器のロットに対して、チップ抵抗器の抵抗値をより低下させやすい印加条件でパルス電圧を印加することができる。これにより、ロット間により抵抗値の低下しやすさが変動したとしても、チップ抵抗器の抵抗値を効率的に修正することができる。
【００１７】
本発明は、チップ抵抗器を排出する工程の前に、処理ステーションの下流側に設けられた検査ステーションにおいて、少なくとも最下流側の処理ステーションでパルス電圧が印加されたチップ抵抗器の抵抗値を測定する工程をさらに備え、マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ予め設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、各処理ステーションにおいて印加されるパルス電圧の印加電圧または印加時間は、マトリックステーブルに設定された比率であって該処理ステーションで測定された抵抗値の属する区分に対応する比率と、基準印加電圧または基準印加時間とを掛け合わせて決定され、検査ステーションにおいて測定される各チップ抵抗器の抵抗値が、予め設定した回数だけ連続して、規格範囲の下限値を下まわった場合、各処理ステーションにおける印加電圧または印加時間は、より低くなるように再設定された新たな基準印加電圧またはより短くなるように再設定された新たな基準印加時間に基づいて決定されるようになることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正方法である。このような本発明によれば、全体的に抵抗値が低下しやすいチップ抵抗器のロットに対して、チップ抵抗器の抵抗値を規格範囲未満まで低下させ続けてしまうことを防止することができる。これにより、ロット間により抵抗値の低下しやすさが変動したとしても、チップ抵抗器の抵抗値を低下させ過ぎて良品歩留まりが下がってしまうことを防止することができる。
【００１８】
本発明は、マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ予め設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、基準印加電圧または基準印加時間は、必要に応じ、チップ抵抗器の抵抗値測定結果に基づいて再設定されることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正方法である。
【００１９】
本発明は、チップ抵抗器を排出する工程において、各チップ抵抗器は測定された抵抗値に基づき分類されて排出されることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正方法である。この場合、抵抗値が規格範囲内であるチップ抵抗器と、抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であるチップ抵抗器と、抵抗値がこれら２つの範囲外であるチップ抵抗器と、に分類されて排出されることが好ましい。あるいは、抵抗値が規格範囲内であるチップ抵抗器と、抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であるチップ抵抗器と、抵抗値が前記基準値を超えるまたは基準値以上であるチップ抵抗器と、抵抗値が規格範囲の下限値未満であるチップ抵抗器と、に分類されて排出されることも好ましい。このような本発明によれば、抵抗値が規格範囲内であった良品と規格範囲外であった不良品とに分類するだけでなく、さらに、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器のうち、規格範囲の上限値近傍の抵抗値を有するチップ抵抗器を分類して回収することができる。そして、回収されたこれらのチップ抵抗器にパルストリミングを再度施した場合、抵抗値が規格範囲内に修正される可能性が高く、これにより、チップ抵抗器の良品歩留まりを向上させることができる。さらに、前記基準値を、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することによって、規格範囲内に修正することができる抵抗値の限界値に設定した場合、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器のうち、再度パルストリミングを施すことにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器を回収することができる。したがって、回収されたこれらのチップ抵抗器にパルストリミングを再度施すことにより、チップ抵抗器の抵抗値を規格範囲内に修正することができ、これにより、チップ抵抗器の良品歩留まりを効率的に向上させることができる。
【００２０】
本発明は、チップ抵抗器を排出する工程の前に、処理ステーションの下流側に設けられた検査ステーションにおいて、少なくとも最下流側の処理ステーションでパルス電圧が印加されたチップ抵抗器の抵抗値を測定する工程をさらに備え、チップ抵抗器を排出する工程において、検査ステーションで測定されたチップ抵抗器の抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満である場合に、該チップ抵抗器を抵抗値がこの範囲外であるチップ抵抗器と区別して排出することを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正方法である。このような本発明によれば、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器のうち、規格範囲の上限値近傍の抵抗値を有するチップ抵抗器を回収することができる。そして、回収されたこれらのチップ抵抗器にパルストリミングを再度施した場合、抵抗値が規格範囲内に修正される可能性が高く、これにより、チップ抵抗器の良品歩留まりを向上させることができる。さらに、前記基準値を、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することによって、規格範囲内に修正することができる抵抗値の限界値に設定した場合、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器のうち、再度パルストリミングを施すことにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器を回収することができる。したがって、回収されたこれらのチップ抵抗器にパルストリミングを再度施すことにより、チップ抵抗器の抵抗値を規格範囲内に修正することができ、これにより、チップ抵抗器の良品歩留まりを効率的に向上させることができる。
【００２１】
本発明は、上流側から２つ目以降の各処理ステーションにおいて、直前の処理ステーションでパルス電圧が印加されたチップ抵抗器について、抵抗値が測定されることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正方法である。このような本発明によれば、直前の処理ステーションにおける抵抗値の修正結果を確認することができるとともに、不必要な測定を行っていない。したがって、多数のチップ抵抗器の抵抗値をより効率的に修正することができる。
【００２２】
本発明は、上流側から２つ目以降の各処理ステーションにおいて、該処理ステーションで測定された抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満のチップ抵抗器のみに、パルス電圧が印加されることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正方法である。またこのとき、前記基準値を、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することによって、規格範囲内に修正することができる抵抗値の限界値に設定することが好ましい。この場合、パルストリミングを施すことにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器のみにパルス電圧を印加することができる。これにより、パルストリミングをより効率的に行うことができる。
【００２３】
本発明は、チップ抵抗器を保持する保持部を複数有する搬送体と、搬送体の回転にともなったチップ抵抗器の移動経路に隣接して複数設けられた処理ステーションであって、各々がチップ抵抗器の抵抗値を測定する測定部とチップ抵抗器にパルス電圧を印加する印加部とを有する複数の処理ステーションと、チップ抵抗器の移動経路に隣接して設けられ、搬送体から排出されるチップ抵抗器を回収する回収部と、各処理ステーションにおけるパルス電圧の印加条件を決定する制御部と、を備え、制御部は、チップ抵抗器の抵抗値を予め設定した区分に区分けするとともに各区分毎に印加条件が予め設定されたマトリックステーブルを有し、このマトリックステーブルを用い各処理ステーションで測定された抵抗値に基づいて該処理ステーションにおけるパルス電圧の印加条件を決定するようになっていることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。このような本発明によれば、チップ抵抗器の抵抗値に基づいた適切な印加条件によりパルス電圧を印加することができる。したがって、各チップ抵抗器の抵抗値に対応したパルストリミングを施すことができ、これにより、チップ抵抗器の抵抗値を効率的に修正することができる。
【００２４】
本発明は、マトリックステーブルにおいて、抵抗値の各区分に対応する印加条件は少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含むとともに各処理ステーション毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が高くなるか、あるいは印加時間が長くなるようになっていることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。このような本発明によれば、直前の処理ステーションにおいて期待した通りに抵抗値を低下させることができなかったチップ抵抗器、すなわち、同一ロット内でも抵抗値が低下し難いチップ抵抗器に対して、抵抗値をより低下させやすい条件でパルス電圧を印加することができ、これにより、チップ抵抗器の抵抗値を効率的に修正することができる。
【００２５】
本発明は、マトリックステーブルにおいて、抵抗値の各区分に対応する印加条件は少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含むとともに各処理ステーション毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が低くなるか、あるいは印加時間が短くなるようになっていることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。このような本発明によれば、パルストリミングを施される度にパルス電圧の印加により抵抗値が低下しやすくなっていくチップ抵抗器に対し、抵抗値を下げ過ぎてしまうことを防止することができる。
【００２６】
本発明は、制御部は、マトリックステーブルに設定された条件とともに印加条件を決定するための基準条件を設定する基準条件設定器をさらに有し、マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ基準条件設定器によって設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、制御部は、各処理ステーションにおける印加電圧または印加時間を、マトリックステーブルに設定された比率であって該処理ステーションで測定された抵抗値の属する区分に対応する比率と、基準条件設定器によって設定された基準印加電圧または基準印加時間と、を掛け合わせて決定するようになっていることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。
【００２７】
本発明は、チップ抵抗器の移動経路に隣接し処理ステーションの下流側に設けられ、チップ抵抗器の抵抗値を測定する検査ステーションをさらに備え、制御部の基準条件設定器は、検査ステーションにおいて測定される各チップ抵抗器の抵抗値が、予め設定した回数だけ連続して、規格範囲の上限値を上まわった場合に、基準印加電圧をより高く再設定する、あるいは基準印加時間をより長く再設定するようになっていることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。このような本発明によれば、全体的に抵抗値が低下し難いチップ抵抗器のロットに対して、チップ抵抗器の抵抗値をより低下させやすい印加条件でパルス電圧を印加することができる。これにより、ロット間により抵抗値の低下しやすさが変動したとしても、チップ抵抗器の抵抗値を効率的に修正することができる。
【００２８】
本発明は、チップ抵抗器の移動経路に隣接し処理ステーションの下流側に設けられ、チップ抵抗器の抵抗値を測定する検査ステーションをさらに備え、制御部の基準条件設定器は、検査ステーションにおいて測定される各チップ抵抗器の抵抗値が、予め設定した回数だけ連続して、規格範囲の下限値を下まわった場合に、基準印加電圧をより低く再設定する、あるいは基準印加時間をより短く再設定するようになっていることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。このような本発明によれば、全体的に抵抗値が低下しやすいチップ抵抗器のロットに対して、チップ抵抗器の抵抗値を規格範囲未満まで低下させ続けてしまうことを防止することができる。これにより、ロット間により抵抗値の低下しやすさが変動したとしても、チップ抵抗器の抵抗値を低下させ過ぎて良品歩留まりが下がってしまうことを防止することができる。
【００２９】
本発明は、制御部は、マトリックステーブルに設定された条件とともに印加条件を決定するための基準条件を設定する基準条件設定器をさらに有し、マトリックステーブルに設定された印加条件は、少なくとも印加電圧および印加時間のいずれか一方を含み、それぞれ基準条件設定器によって設定される基準印加電圧または基準印加時間に対する比率として設定され、基準条件設定器は、必要に応じ、チップ抵抗器の抵抗値測定結果に基づいて基準印加電圧または基準印加時間を再設定するようになっていることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。
【００３０】
本発明は、回収部は、測定された抵抗値が規格範囲内であったチップ抵抗器を回収する良品回収部と、抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であったチップ抵抗器を回収する再修正品回収部と、を有することを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。この場合、回収部が、抵抗値が前記基準値を超えるまたは基準値以上であったチップ抵抗器を回収する過大抵抗品回収部と、抵抗値が規格範囲の下限値未満であったチップ抵抗器を回収する過小抵抗品回収部と、を有するようにしてもよい。このような本発明によれば、抵抗値が規格範囲内であった良品と規格範囲外であった不良品とに分類するだけでなく、さらに、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器のうち、規格範囲の上限値近傍の抵抗値を有するチップ抵抗器を分類して回収することができる。そして、回収されたこれらのチップ抵抗器にパルストリミングを再度施した場合、抵抗値が規格範囲内に修正される可能性が高く、これにより、チップ抵抗器の良品歩留まりを向上させることができる。さらに、前記基準値を、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することによって、規格範囲内に修正することができる抵抗値の限界値に設定した場合、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器のうち、再度パルストリミングを施すことにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器を回収することができる。したがって、回収されたこれらのチップ抵抗器にパルストリミングを再度施すことにより、チップ抵抗器の抵抗値を規格範囲内に修正することができ、これにより、チップ抵抗器の良品歩留まりを効率的に向上させることができる。
【００３１】
本発明は、再修正品回収部に回収されたチップ抵抗器が搬送体に再度供給されるようになっていることを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。
【００３２】
本発明は、チップ抵抗器の移動経路に隣接し処理ステーションの下流側に設けられ、チップ抵抗器の抵抗値を測定する検査ステーションをさらに備え、回収部は、検査ステーションで測定された抵抗値が規格範囲の上限値を上まわり、かつ規格範囲の上限値以上に予め設定された基準値以下または基準値未満であるチップ抵抗器を回収する再修正品回収部を有することを特徴とするチップ抵抗器の抵抗値修正装置である。このような本発明によれば、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器のうち、規格範囲の上限値近傍の抵抗値を有するチップ抵抗器を回収することができる。そして、回収されたこれらのチップ抵抗器にパルストリミングを再度施した場合、抵抗値が規格範囲内に修正される可能性が高く、これにより、チップ抵抗器の良品歩留まりを向上させることができる。さらに、前記基準値を、チップ抵抗器にパルス電圧を印加することによって、規格範囲内に修正することができる抵抗値の限界値に設定した場合、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器のうち、再度パルストリミングを施すことにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器を回収することができる。したがって、回収されたこれらのチップ抵抗器にパルストリミングを再度施すことにより、チップ抵抗器の抵抗値を規格範囲内に修正することができ、これにより、チップ抵抗器の良品歩留まりを効率的に向上させることができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、チップ抵抗器の抵抗値に基づいた印加条件でパルス電圧を印加することにより、チップ抵抗器の抵抗値を簡単かつ効率的に修正することができる。
【００３４】
また、本発明によれば、同一ロット内における抵抗値が低下し難いチップ抵抗器に対して、抵抗値をより低下させやすい印加条件でパルス電圧を印加するようになっており、これにより、チップ抵抗器の抵抗値を効率的に修正することができる。
【００３５】
さらに、本発明によれば、ロット間において抵抗値の変化しやすさが異なる場合においても、ロット毎の抵抗値の変化しやすさに応じて適切な条件に変更してパルス電圧を印加するようになっており、これにより、チップ抵抗器の抵抗値を効率的に修正することができるとともに、良品歩留まりを向上させることができる。
【００３６】
さらに、本発明によれば、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器のうち、規格範囲の上限値近傍の抵抗値を有するチップ抵抗器を回収するようになっており、これらのチップ抵抗器にパルストリミングを再度施すことにより、チップ抵抗器の良品歩留まりを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下添付図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１乃至図９は本発明によるチップ抵抗器の抵抗値修正方法および抵抗値修正装置の一実施の形態を示す図である。このうち図１はチップ抵抗器の抵抗値修正装置１０を示す概略構成図であり、図２は抵抗値修正装置１０の制御系統を示す概略図であり、図３はマトリックステーブル３２に設定されている抵抗値の区分に対応した印加条件を示す図であり、図４はチップ抵抗器の抵抗値分布であって、図４（ａ）は抵抗値修正前を示し、図４（ｂ）は抵抗値修正後を示す図である。
【００３８】
図１および図２に示すように、本実施の形態によるチップ抵抗器の抵抗値修正装置１０は、チップ抵抗器（ワークとも呼ぶ）Ｗを保持する保持部１２ａを複数有する回転自在なインデックステーブル（搬送体）１２と、インデックステーブル１２の回転にともなったチップ抵抗器Ｗの移動経路に隣接して複数設けられた処理ステーションＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６（以下、「Ｓ１〜６」と表記する）を有する処理部Ｋと、チップ抵抗器Ｗの移動経路に隣接し処理部Ｋの下流側に設けられチップ抵抗器Ｗの抵抗値を測定する検査ステーションＣＳと、チップ抵抗器Ｗの移動経路に隣接し処理ステーションＳ１〜６の下流側に設けられ、インデックステーブル１２から排出されるチップ抵抗器Ｗを回収する回収部１４と、各処理ステーションＳ１〜６におけるパルス電圧の印加条件を決定する制御部３０と、を備えている。
【００３９】
図１に示すように、このうちインデックステーブル１２は、チップ抵抗器Ｗを供給する供給手段１８、例えば、パーツフィーダーに隣接して配置されている。インデックステーブル１２は円板状からなり、その外周縁に等間隔を空けて設けられた凹部からなる多数の保持部１２ａが形成されている。インデックステーブル１２は、保持部１２ａの配置ピッチ角度θずつ間欠回転することができ、そして、停止した状態で供給手段１８からチップ抵抗器Ｗを各保持部１２ａに受け取ることができるようになっている。
【００４０】
次に、処理部Ｋについて説明する。
本実施の形態において、処理部Ｋは、第１処理ステーションＳ１から第６処理ステーションＳ６までの６つの処理ステーションＳ１〜６を有している。各処理ステーションＳ１〜６はインデックステーブル１２の外周に隣接した位置であって、インデックステーブル１２の回転が停止した場合にインデックステーブル１２の保持部１２ａに対向する位置に配置されている。
【００４１】
図２に示すように、各処理ステーションＳ１〜６は、チップ抵抗器Ｗの電極Ｗａ，Ｗｂに導通する、すなわち電気的に接続する電流測定用の一対のプローブ２４ａ，２４ｄおよび電圧測定用の一対のプローブ２４ｂ，２４ｃと、これら計二対のプローブ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを介してチップ抵抗器Ｗの抵抗値を測定する測定部２０と、電圧測定用のプローブ２４ｂ，２４ｃを利用してチップ抵抗器Ｗにパルス電圧を印加する印加部２２と、各プローブ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄの測定部２０および印加部２２に対する接続・絶縁状態を切り換える切替リレー２８を有した切替部２６と、を有している。なお、測定部２０の基本構成は、いわゆる四端子法（図１３参照）によりチップ抵抗器Ｗの抵抗値を測定することができるになっている。この四端子法を用いた場合、プローブをチップ抵抗器Ｗに接触させたとき、特に、電圧測定における接触抵抗による誤差を極めて低減することができる。
【００４２】
このうち測定部２０は抵抗値の測定結果を制御部３０に送るようになっている。後述するように、パルス電圧を印加する印加部２２は、制御部３０が測定部２０から送信されてきた抵抗値測定結果に基づいて決定する印加条件に従って、チップ抵抗器Ｗにパルス電圧を印加するようになっている。また、切替部２６は制御部３０からの指示により切替リレー２８を動作させるようになっている。
【００４３】
各プローブ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄは切替リレー２８を介し、測定部２０と接続（導通）した状態、あるいは測定部２０と絶縁した状態に維持されるようになっている。このうち電圧測定用のプローブ２４ｂ，２４ｃは、測定部２０と絶縁された状態において印加部２２と接続（導通）され、測定部２０と接続（導通）された状態において印加部２２と絶縁される。そして、切替リレー２８が動作すると、これらの接続・絶縁状態のいずれか一方の状態から他方の状態へと接続・絶縁状態が変化する。
【００４４】
次に、検査ステーションＣＳについて説明する。
検査ステーションＣＳは、処理部Ｋを通過してきたチップ抵抗器Ｗの抵抗値を測定することができるようになっている。また、検査ステーションＣＳにおける抵抗値測定結果も制御部３０に送信されるようになっている。なお、この検査ステーションＣＳは、各処理ステーションＳ１〜６と同様に、インデックステーブル１２の回転が停止した場合にインデックステーブル１２の保持部１２ａに対向する位置に配置されている。
【００４５】
次に、回収部１４について説明する。
図１に示すように、回収部１４は、抵抗値Ｒが予め設定された規格範囲（図４参照）の下限値ｇを下まわるチップ抵抗器Ｗを回収する過小抵抗品回収部Ｄ２と、抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわりかつ規格範囲の上限値ａ以上に予め設定された基準値を上まわるチップ抵抗器Ｗを回収する過大抵抗品回収部Ｄ１と、抵抗値Ｒが規格範囲内であるチップ抵抗器Ｗを回収する良品回収部Ｄ４と、抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわりかつ前述した基準値以下であるチップ抵抗器Ｗを回収する再修正品回収部Ｄ３と、を有している。これらの過小抵抗品回収部Ｄ２、過大抵抗品回収部Ｄ１、良品回収部Ｄ４、および再修正品回収部Ｄ３は、各処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳと同様に、インデックステーブル１２の回転が停止した場合にインデックステーブル１２の保持部１２ａに対向する位置に配置されている。
【００４６】
なお、本実施の形態において、再修正品回収部Ｄ３および過大抵抗品回収部Ｄ１のいずれに回収されるかのしきい値となる基準値は、パルス電圧を印加することによって規格範囲内に修正することができると考えられる抵抗値の上限限界値ｆに設定されている。これにより、測定された抵抗値Ｒが規格範囲外であったチップ抵抗器Ｗのうち、再度パルス電圧を印加することにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器Ｗ（ａ＜Ｒ≦ｆ）を、他の規格範囲外のチップ抵抗器Ｗと区別し、再修正品回収部Ｄ３に回収することができる。
【００４７】
次に、制御部３０について説明する。
図３および図４に示すように、制御部３０は、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を所定の区分Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５（以下、「Ｌ１〜５」と表記する）に区分けするとともに、各区分Ｌ１〜５に対応した印加条件が処理ステーションＳ１〜６毎に予め設定されたマトリックステーブル３２を有している。そして、制御部３０はマトリックステーブル３２を用いて、各処理ステーションＳ１〜６において測定されたチップ抵抗器Ｗの抵抗値に基づいて該処理ステーションにおけるパルス電圧の印加条件を決定するようになっている。例えば、第２ステーションＳ２において測定部２０により測定されたチップ抵抗器Ｗの測定値Ｒがｃ＜Ｒ≦ｄであった場合、制御部は条件Ｐ２３（図３）にしたがって印加条件を決定し、この決定された印加条件により、該チップ抵抗器Ｗは第２ステーションＳ２においてパルス電圧を印加されることになる。
【００４８】
また、図３に示すように、本実施の形態のマトリックステーブル３２においては、規格範囲の上限値ａから、パルス電圧を印加することによって規格範囲内に修正することができる抵抗値の上限限界値ｆまでの間を５等分して区分けし、５つの区分Ｌ１〜５が設定されている。また、図４（ａ）には、図３に対応して、チップ抵抗器Ｗの修正前の抵抗値を縦軸にとり、各区分Ｌ１〜５に属する抵抗値を有したチップ抵抗器Ｗの数量を横軸にとったグラフが示されている。
【００４９】
マトリックステーブル３２に設定される印加条件としては、印加電圧や印加時間等に関する条件が考えられる。そして、各区分Ｌ１〜５に対応する印加条件は、抵抗値に対応して適切な条件に設定されている。すなわち、抵抗値の区分が規格範囲から離れるのにしたがって、印加条件がより過酷な条件、言い換えると、抵抗値をより低減させることができるような条件となっている。すなわち、規格範囲内に修正するためには抵抗値を大幅に低下させなければならないチップ抵抗器Ｗに対して、抵抗値をより低下させることができるような条件でパルス電圧を印加することができるようになっているのである。例えば、マトリックステーブル３２に設定された印加条件がパルス電圧の印加電圧に関する条件である場合、印加電圧は最も規格範囲に近い第５区分Ｌ５の印加条件Ｐ１５から最も規格範囲から離れた第１区分Ｌ１の印加条件Ｐ１１に向けてしだいに高くなるようになっている（図３）。この例は、第１処理ステーションＳ１を想定したものであるが、他の処理ステーションＳ２〜６においても、同様に、印加電圧は第５区分Ｌ５から第１区分Ｌ１の印加条件に向けてしだいに高くなるようになっている。同様に、マトリックステーブル３２に設定された印加条件がパルス電圧の印加時間に関する条件である場合には、印加時間は印加条件Ｐ１５から印加条件Ｐ１１に向けてしだいに長くなるようになっている。
【００５０】
また、本実施の形態において、マトリックステーブル３２に設定された印加条件は各処理ステーションＳ１〜６毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって、印加条件はより過酷な条件、言い換えると、抵抗値をより低減することができるような条件となっている。すなわち、直前の処理ステーションにおいて期待した通りに抵抗値が低下しなかったチップ抵抗器Ｗを、抵抗値変化率が低いチップ抵抗器Ｗとみなし、抵抗値をより低減することができるような条件でパルス電圧を印加することができるようになっているのである。例えば、マトリックステーブル３２に設定された印加条件がパルス電圧の印加電圧に関する条件である場合、印加条件Ｐ１２から印加条件Ｐ２２，Ｐ３２，Ｐ４２，Ｐ５２を順に経て印加条件Ｐ６３に向かうにつれ、印加電圧はしだいに高くなるようになっている。この例は、第２区分Ｌ２を想定したものであるが、他の区分Ｌ１，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６においても、同様に、印加電圧は上流側の第１処理ステーションＳ１から下流側の第６処理ステーションＳ６に向けてしだいに高くなるようになっている。同様に、印加条件がパルス電圧の印加時間に関する条件である場合には、印加時間は上流側の第１処理ステーションＳ１から下流側の第６処理ステーションＳ６に向けてしだいに長くなるようになっている。
【００５１】
このようなマトリックステーブル３２に設定される条件は、具体的な印加電圧や印加時間に限られるものではない。本実施の形態において、図２に示すように、制御部３０は基準となる印加条件、例えば、基準印加電圧や基準印加時間等を設定し、また装置の稼働中に一度設定した基準条件を変更する基準条件設定器３３をさらに有している。そして、図８に示すように、マトリックステーブル３３には、基準条件設定器３３によって予め設定される少なくとも１つの基準条件に対する比率が、抵抗値の各区分Ｌ１〜５および各処理ステーションＳ１〜６毎に設定されている。したがって、制御部３０は、各処理ステーションＳ１〜６の印加部２２における印加条件を、マトリックステーブル３３に設定された比率であって該処理ステーションＳ１〜６で測定された抵抗値Ｒの属する区分に対応する比率と、基準条件設定器３３によって予め設定された基準印加電圧や基準印加時間等の基準条件とを掛け合わせて算出するようになっている。
【００５２】
図８に示すマトリックステーブル３２に設定された比率が、基準印加電圧に対する比率であるとして説明すると、印加電圧は処理ステーションＳ１〜６および抵抗値Ｒの属する区分Ｌ１〜５に対応する比率と、基準印加電圧とを掛け合わせることによって決定される。この場合、印加電圧以外の印加条件、例えば、パルス電圧の印加時間は基準条件設定器３３によって設定された基準印加時間とすることができる。
【００５３】
なお、以降においても、図８に示すマトリックステーブル３２に印加電圧比が印加条件として設定されているとして説明していくが、上述してきたようにこれに限られず、例えば、マトリックステーブル３２に印加時間比を設定することも可能であるし、さらには印加時間比および印加電圧比の両者を設定することも可能である。また、図８には、マトリックステーブル３２に設定された印加電圧比が、第３処理ステーションの第３区分Ｌ３（図３における条件Ｐ３３）に対する比率として設定されている例が示されているが、当然これに限られるものではない。基準条件設定器３３によって設定される基準条件をいずれの処理ステーションＳ１〜６におけるいずれの区分Ｌ１〜５に対応させるかにより、適宜変更することができる。
【００５４】
さらに、マトリックステーブル３２における抵抗値Ｒの区分は、抵抗値Ｒそのものを基準として区分けされる必要はない。チップ抵抗器Ｗの抵抗値の規格範囲が公称抵抗値Ｒａに対する比率で画定されることが多いことにともない、図８および図９に示すように、公称抵抗値に対する比率を基準として、抵抗値を複数の区分に区分けすることが好ましい。なお、図９はチップ抵抗器Ｗの抵抗値分布であって、図９（ａ）は抵抗値修正前を示し、図９（ｂ）は抵抗値修正後を示している。
【００５５】
図８および図９において、抵抗値の規格範囲は公称抵抗値Ｒａに対して±０．８％の範囲となっており、修正可能な上限限界値ｆを公称抵抗値Ｒａに対して１０４％とし、公称抵抗値Ｒａに対して１００．８％の抵抗値から公称抵抗値Ｒａに対して１０４％の抵抗値までの間を５等分に区分けして抵抗値の区分Ｌ１〜５が設定されている。また、図８に示すマトリックステーブル３２からは、上述したように、第５区分Ｌ５から第１区分Ｌ１に向かうにしたがって、すなわち、測定された抵抗値が公称抵抗値Ｒａから大きく離れるのにしたがって、印加電圧がより高くなるようになっていること、および、下流側の処理ステーションに向かうにしたがって、印加電圧がより高くなるようになっていることが、よく理解できる。
【００５６】
ところで、図２に示すように、制御部３０は、各処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳにおける抵抗値の測定結果を受け、各チップ抵抗器Ｗの抵抗値を記録する記録部３４をさらに有している。そして、制御部３０は記録された各チップ抵抗器Ｗの抵抗値、あるいは各処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳから送信される各チップ抵抗器Ｗの抵抗値測定結果に基づき、インデックステーブル１２から過小抵抗品回収部Ｄ２、過大抵抗品回収部Ｄ１、良品回収部Ｄ４、および再修正品回収部Ｄ３のうちのいずれの回収部Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４（以下、「Ｄ１〜４」と表記する）へチップ抵抗器Ｗを排出するかを決定するようになっている。なお、この場合の制御信号はインデックステーブル１２に送信され、各チップ抵抗器Ｗが該当する回収部に対向してインデックステーブル１２が停止したときに、インデックステーブル１２から該回収部に向けてチップ抵抗器Ｗが排出されるようになっている。
【００５７】
次に、特に図５乃至図７を用い、このような構成からなるチップ抵抗器の抵抗値修正装置１０を用いてチップ抵抗器Ｗの抵抗値を修正する方法について説明する。ここで図５はチップ抵抗器Ｗが供給され各回収部Ｄ１〜４に回収されるまでの間における抵抗値修正方法のメインルーチンを示すフローチャートであり、図６は各処理ステーションＳ１〜６における抵抗値修正方法のサブルーチンを示すフローチャートであり、図７は基準条件を変更する方法のメインルーチンを示すフローチャートである。
【００５８】
最初に、チップ抵抗器Ｗの抵抗値修正方法の概略を説明する。
まず、供給手段１８からチップ抵抗器Ｗが向きを揃えられた状態で１個ずつ、抵抗値修正装置１０のインデックステーブル１２に供給される。このときインデックステーブル１２は保持部１２ａの配置ピッチ角度θずつ間欠回転、すなわち配置ピッチ角度θだけ回転するとともに一旦停止することを繰り返しており、チップ抵抗器Ｗは各保持部１２ａに１個ずつ順次収容されていく。そして、インデックステーブル１２の保持部１２ａに収容保持されたチップ抵抗器Ｗは、インデックステーブル１２の回転にともない、各処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳへ搬送されていく。
【００５９】
チップ抵抗器Ｗが各処理ステーションＳ１〜６を通過する際、少なくとも最上流側の第１処理ステーションＳ１において、チップ抵抗器Ｗの抵抗値が測定され、かつ必要に応じて、チップ抵抗器Ｗはパルス電圧を印加され、チップ抵抗器Ｗの抵抗値が修正される。そして、チップ抵抗器Ｗは、各処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳを通過した後、インデックステーブル１２から外方へ排出され、回収部１４に回収される。
【００６０】
次に、図５乃至図７を用いて、各処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳにおけるチップ抵抗器Ｗに対する処理を詳述する。
図５に示すように、まず、チップ抵抗器Ｗは第１処理ステーションＳ１に持ち込まれる。このとき、第１処理ステーションＳ１においては、各プローブ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄと測定部２０とが接続（導通）され、かつプローブ２４ｂ，２４ｃと印加部２２とが絶縁された状態となっている。図６に示すように、この第１処理ステーションＳ１において、チップ抵抗器Ｗは測定部２０により抵抗値を測定される（５２）。図２に示すように、測定部２０により測定された抵抗値は制御部３０に送信され、該抵抗値Ｒは制御部３０の記録部３４に記録される。
【００６１】
制御部３０は記録したチップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが、所定の基準値、本実施の形態においては、パルス電圧を印加することにより規格範囲に修正することができる抵抗値の上限限界値ｆ以下（Ｒ≦ｆ）であるか否かを判定する（５４）。抵抗値Ｒが所定の基準値（ここでは上限限界値）を上まわる場合、該チップ抵抗器Ｗは、その後の各処理ステーションＳ２〜６および検査ステーションＣＳにおいて抵抗値の測定および抵抗値の修正を行われることなく回収部１４まで搬送され、過大抵抗品回収部Ｄ１に回収される（７０）。
【００６２】
一方、抵抗値Ｒが基準値ｆ以下であるチップ抵抗器Ｗは、マトリックステーブル３２に設定されたいずれかの区分Ｌ１〜５に該当するか否かを、制御部３０により判定される（５６，５８，６０，６２，６４）。本実施の形態においては、まず、抵抗値Ｒがｅ＜Ｒ≦ｆであるか否かにより抵抗値Ｒが第１区分Ｌ１に該当するか否かを判定し、抵抗値Ｒが第１区分内にない場合には抵抗値Ｒがｄ＜Ｒ≦ｅであるか否かにより抵抗値Ｒが第２区分Ｌ２に該当するか否かを判定し、以降同様にして第３乃至第５区分Ｌ３〜５に該当するか否かを順に判定していく。チップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが第１乃至第５区分Ｌ１〜５のうちのいずれかに該当する場合、すなわち、抵抗値Ｒがａ＜Ｒ≦ｆである場合、制御部３０は第１処理ステーションＳ１の切替部２６へ信号を送信して切替リレー２８を動作させ、各プローブ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄと測定部２０とを絶縁し、かつプローブ２４ｂ，２４ｃと印加部２２とを接続（導通）させる（図２）。次に、制御部３０はマトリックステーブル３２の設定に従い、測定された抵抗値Ｒの属する区分に対応するパルス電圧の印加条件を決定する。
【００６３】
上述したように、本実施の形態によれば、マトリックステーブル３２に記録された各条件Ｐ１１，・・・，Ｐ６５（図３）は、基準条件設定器３３により設定されたその時の基準印加電圧Ｖｎに対する比率で表されている（図８）。そして、制御部３０は、マトリックステーブル３２に設定された比率であって、第１処理ステーションＳ１の測定部２０により測定されたチップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒの属する区分に対応する比率と、基準印加電圧Ｖｎとを掛け合わせることによってパルス電圧の印加電圧を決定する。また、制御部３０は、印加電圧以外の印加条件として、基準条件設定器３３によって設定された基準条件を採用する。
【００６４】
このようにして制御部３０により決定されたパルス電圧の印加条件は、第１処理ステーションＳ１の印加部２２に送信され、印加部２２が決定された条件に従いチップ抵抗器Ｗにパルス電圧を印加して、チップ抵抗器Ｗの抵抗値は修正される。
【００６５】
なお、上述したように、マトリックステーブル３２には、チップ抵抗器Ｗの各区分Ｌ１〜５毎に適切な印加電圧に関する条件が予め設定されているので、チップ抵抗器Ｗの抵抗値に基づいた適切な印加条件によりパルス電圧を印加することができる。したがって、各チップ抵抗器Ｗの抵抗値に対応したパルストリミングを施すことができ、これにより、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を簡単かつ効率的に修正することができる。
【００６６】
このようにしてパルス電圧を印加されたチップ抵抗器Ｗは、第２処理ステーションＳ２へと搬送される（６８）。
【００６７】
また一方、図６に示すように、チップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが、所定の基準値以下であり、さらにマトリックステーブル３２に設定された第１乃至第５区分のいずれにも該当しない場合（６４ＮＯ）、該チップ抵抗器Ｗは、その後の各処理ステーションＳ２〜６において抵抗値の測定および抵抗値の修正を行われることなく検査ステーションＣＳまで搬送される（７４）。
【００６８】
上述したように、抵抗値がマトリックステーブル３２に設定された第１乃至第５区分Ｌ１〜５に該当するチップ抵抗器Ｗは、パルス電圧を印加されて抵抗値を修正された後、第２ステーションＳ２へと送り込まれる。第２ステーションＳ２へ送り込まれたチップ抵抗器Ｗは、まず、測定部２０においてその抵抗値が測定される。その後、測定された抵抗値Ｒに基づいて、上述した第１処理ステーションＳ１と同様の処理（抵抗値の測定や抵抗値の修正）が該チップ抵抗器に施される。以降、同様にしてチップ抵抗器Ｗはさらに下流側の処理ステーションへ順に送り込まれ、検査ステーションＣＳへ到達する。
【００６９】
ただし、第２処理ステーションＳ２以降の処理ステーションＳ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６で抵抗値を測定されるチップ抵抗器Ｗは、既に第１処理ステーションＳ１において抵抗値が所定の基準値ｆ以下であることを確認されたチップ抵抗器Ｗであり、かつその抵抗値は第１処理ステーションＳ１におけるパルストリミングによってさらに低下している。したがって、第２処理ステーションＳ２以降の各処理ステーションＳ２〜６においては、チップ抵抗器Ｗの抵抗値が所定の基準値ｆを上まわるか否かを判定する必要がなく、図６に示すように、この工程５４は省略されてもよい。また、第６処理ステーションＳ６においてパルス電圧を印加されたチップ抵抗器Ｗは、次ステーションとして検査ステーションＣＳに持ち込まれ（６８）、後述するように、抵抗値が測定されることによって第６処理ステーションにおける抵抗値の修正結果が確認される。
【００７０】
なお、上述したように、マトリックステーブル３２に設定された印加条件は各処理ステーションＳ１〜６毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがってより過酷な条件となっており、本実施の形態においては、図８に示すように、基準印加電圧に対する比率が高くなっていくようになっている。したがって、直前の処理ステーションにおいて期待した通りに抵抗値を低下させることができなかったチップ抵抗器Ｗに対して、抵抗値をより低下させることができる印加条件でパルス電圧を印加することができる。すなわち、抵抗値が低下し難いチップ抵抗器Ｗに対して、抵抗値をより低下させやすい条件でパルス電圧を印加することができ、これにより、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を効率的に修正することができる。
【００７１】
図５に示すように、検査ステーションＣＳに到達したチップ抵抗器Ｗのうち、いずれかの処理ステーションにおいて抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａ以下であると制御部３０によって判定されたチップ抵抗器Ｗ（７４）、および直前の第６処理ステーションＳ６でパルス電圧を印加されて抵抗値を修正されたチップ抵抗器Ｗは、検査ステーションＣＳにおいてさらに抵抗値を測定される（８０）。測定された抵抗値Ｒは制御部３０に送信され、制御部３０の記録部３４に記録される。このような検査ステーションＣＳにおける抵抗値の測定は、最終的な抵抗値の検査、および第６処理ステーションＳ６における抵抗値の修正結果を確認することを目的としている。
【００７２】
次に、図５に示すように、検査ステーションＣＳにおいて測定されたチップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが規格範囲の下限値ｇを下まわっているか否かを制御部３０が判定する（８２）。抵抗値Ｒが規格範囲の下限値ｇを下まわっていると判定されたチップ抵抗器Ｗ（８２ＹＥＳ）は、過小抵抗品回収部Ｄ２に回収される（７２）。
【００７３】
一方、抵抗値Ｒが規格範囲の下限値ｇを下まわっていないと判定されたチップ抵抗器Ｗは、制御部３０により抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわっているか否かをさらに判定される（８４）。抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわっていないと判断されたチップ抵抗器Ｗ（８６ＮＯ）は、その抵抗値Ｒが規格範囲内にあるものであり、回収部１４の良品回収部Ｄ４に回収される（８６）。
【００７４】
一方、抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわっていると判定されたチップ抵抗器Ｗは、回収部１４の再修正品回収部Ｄ３へと回収され（８８）、その後、図５に示すように、処理部Ｋに再度供給される。そもそも、検査ステーションＣＳで抵抗値を測定されるチップ抵抗器Ｗの抵抗値は、上述した所定の基準値ｆ、本実施の形態においてはパルス電圧を印加することにより規格範囲内に修正することができる抵抗値の上限限界値ｆ以下である。したがって、再修正品回収部Ｄ３に回収されるチップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒは、規格範囲の上限値ａを上まわっているとしても、再度パルストリミングを施すことにより規格範囲内に修正することができる範囲内（ａ＜Ｒ≦ｆ）である。このため、回収されたこれらのチップ抵抗器Ｗを抵抗値修正装置１０に再度供給することにより、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を規格範囲内に修正することができ、これにより、チップ抵抗器Ｗの良品歩留まりを効率的に格段に向上させることができる。
【００７５】
なお、再修正品回収部Ｄ３に回収されたチップ抵抗器Ｗの処理部Ｋへの再供給は、自動的に行えるようにしてもよいし、装置１０の作業者が都度再供給するようにしてもよい。
【００７６】
次に、特に図７を用いて、基準条件設定器３３による基準条件の変更方法について説明する。
上述したように、検査ステーションＣＳにおいて、チップ抵抗器Ｗは抵抗値を測定される（８０）。また、測定された抵抗値Ｒは制御部３０に送信され、規格範囲の下限値ｇを下まわるか否かを判断される（８２）。
【００７７】
このとき、制御部３０は、検査ステーションＣＳにて測定された各チップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが規格範囲の下限値ｇを、連続して何回下まわるかを計測するようになっている。そして、制御部３０の基準条件設定器３３は、検査ステーションＣＳにて測定された各チップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが、予め設定した回数Ｎ１だけ連続して、規格範囲の下限値ｇを下まわった場合（９２ＹＥＳ）、基準条件を緩和するようになっている（９３）。
【００７８】
測定された抵抗値Ｒが連続して規格範囲を下まわる場合、対象となっているチップ抵抗器Ｗのロットは、全体的に、トリミングにより抵抗値が低下しやすいロットと考えられる。そして、このような場合に、基準条件設定器３３は基準条件を緩和する、すなわち、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を低下させにくい条件に変更するようになっているのである。具体的には、基準条件設定器３３は、基準条件のうち、基準印加電圧や基準印加時間を予め設定した量だけ減少させるようになっている。
【００７９】
図７に示すように、本実施の形態において、基準条件設定器３３は、それまでの基準印加電圧Ｖｎ−１を定量ｖ０だけ減少させた新たな基準印加電圧Ｖｎ（Ｖｎ＝Ｖｎ−１−ｖ０）に変更するようになっており、以降、制御部３０は変更されたより低い新たな基準印加電圧を用いて処理部Ｋでの印加条件を決定するようになる（９３）。
【００８０】
このような基準条件の再設定により、全体的に抵抗値が低下しやすいチップ抵抗器Ｗのロットに対して、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を規格範囲外まで低下させ続けてしまうことを防止することができる。これにより、ロット間により抵抗値の低下しやすさが変動したとしても、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を低下させ過ぎて良品歩留まりが下がってしまうことを防止することができる。
【００８１】
またさらに、上述したように、検査ステーションＣＳにおいて測定された抵抗値Ｒは、制御部３０において、規格範囲の上限値ａを上まわっているか否かも判断される（８４）。
【００８２】
このとき、制御部３０は、検査ステーションＣＳにて測定された各チップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを、連続して何回上まわるかを計測するようになっている。そして、制御部３０の基準条件設定器３３は、検査ステーションＣＳにて測定された各チップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが、予め設定した回数Ｎ２だけ連続して、規格範囲の上限値ａを上まわった場合（９４ＹＥＳ）、基準条件をより過酷な条件に変更するようになっている（９５）。
【００８３】
測定された抵抗値Ｒが連続して規格範囲を上まわる場合、対象となっているチップ抵抗器Ｗのロットは、全体的に、トリミングにより抵抗値が低下し難いロットと考えられる。そして、このような場合に、基準条件設定器３３は基準条件を過酷にする、すなわち、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を低下させやすい条件に変更するようになっているのである。具体的には、基準条件設定器３３は、基準条件のうち、基準印加電圧や基準印加時間を予め設定した量だけ増加させるようになっている。
【００８４】
図７に示すように、本実施の形態において、基準条件設定器３３は、そのときの基準印加電圧Ｖｎ−１を定量ｖ０だけ増加させた新たな基準印加電圧Ｖｎ（Ｖｎ＝Ｖｎ−１＋ｖ０）に変更するようになっており、以降、制御部３０は変更されたより高い新たな基準印加電圧を用いて処理部Ｋでの印加条件を決定するようになる（９３）。
【００８５】
このような基準条件の再設定により、全体的に抵抗値が低下し難いチップ抵抗器Ｗのロットに対して、チップ抵抗器Ｗの抵抗値をより低下させやすい印加条件でパルス電圧を印加することができる。これにより、ロット間により抵抗値の低下しやすさが変動したとしても、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を効率的に修正することができるとともに、良品歩留まりを向上させることができる。
【００８６】
なお、本実施の形態において、基準条件設定器３３が一定量ｖ０だけ基準印加電圧を増減させる例を示したが、これに限られず、一定割合だけそれまでの基準印加電圧を増減させるようにしてもよい。また、マトリックステーブル３２に設定された条件を問わず、基準条件設定器３３が、基準印加電圧に代えて基準印加時間を増減させるようにすることもできる。
【００８７】
以上のような方法により、図９（ａ）に示されているような抵抗値の分布を有する多数のチップ抵抗器Ｗを抵抗値修正装置１０に投入し、効率的に抵抗値を修正して、チップ抵抗器Ｗが図９（ｂ）に示されているような抵抗値分布を有するようにすることができる。また、チップ抵抗器Ｗは、抵抗値修正装置１０から排出される際に、規格範囲の上限値ａを上まわりかつパルス電圧を印加したとしても規格範囲内に修正することが不可能な抵抗値Ｒを有した過大抵抗品Ｇ１と、規格範囲の下限値ｇを下まわる抵抗値Ｒを有した過小抵抗品Ｇ２と、規格範囲内の抵抗値Ｒを有した良品Ｇ４と、規格範囲外であるが規格範囲内に修正可能な抵抗値Ｒを有した再修正品Ｇ３と、に分類され（図９（ｂ）参照）、それぞれに区別されて回収される。なお、上述したように、再修正品回収部Ｄ３に再修正品Ｇ４として回収されるチップ抵抗器Ｗを、抵抗値修正装置１０に再度投入することが好ましい（図５）。
【００８８】
以上のように本実施の形態によれば、チップ抵抗器Ｗは各処理ステーションＳ１〜６において、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を所定の区分Ｌ１〜５に区分けするとともに各区分Ｌ１〜５毎に印加条件が予め設定されたマトリックステーブル３２に従い該処理ステーションで測定された抵抗値に基づいて決定されるパルス電圧の印加条件に従って、パルス電圧を印加されるようになっている。したがって、チップ抵抗器Ｗの抵抗値に基づいた適切な印加条件によりパルス電圧を印加することができる。また、この場合の印加条件の決定は簡単な制御により行われている。すなわち、簡単な制御により各チップ抵抗器Ｗの抵抗値に対応したパルストリミングを施すことができ、これにより、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を簡単かつ効率的に修正することができる。
【００８９】
また、本実施の形態によれば、マトリックステーブル３２において、抵抗値の各区分Ｌ１〜５に対応する印加条件は各処理ステーションＳ１〜６毎に異なり、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって過酷な印加条件となっている。したがって、直前の処理ステーションにおいて期待した通りに抵抗値を低下させることができなかったチップ抵抗器Ｗに対して、より過酷な印加条件でパルス電圧を印加することができる。すなわち、抵抗値が低下し難いチップ抵抗器Ｗに対して、抵抗値をより低下させやすい条件でパルス電圧を印加することができ、これにより、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を効率的に修正することができる。また、この場合の印加条件の決定は簡単な制御により行われている。
【００９０】
さらに、本実施の形態によれば、各処理ステーションＳ１〜６における印加電圧は、該処理ステーションで測定された抵抗値Ｒの属する区分に対応するマトリックステーブル３２中の比率と、基準印加電圧とを掛け合わせて決定される。また、検査ステーションＣＳにおいて測定される各チップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが、予め設定した回数Ｎ２だけ連続して、規格範囲の上限値ａを上まわった場合、各処理ステーションＳ１〜６における印加電圧は、それまでの基準印加電圧Ｖｎ−１よりも高くなるように再設定された新たな基準印加電圧Ｖｎに基づいて決定されるようになっている。すなわち、パルストリミングにより規格範囲内まで抵抗値を低下させることができなかったチップ抵抗器Ｗが連続して発生した場合、以後、より過酷な印加条件に変更してパルス電圧を印加するようになっている。したがって、全体的に抵抗値Ｒが低下し難いチップ抵抗器Ｗのロットに対して、チップ抵抗器Ｗの抵抗値をより低下させやすい印加条件でパルス電圧を印加することができる。これにより、ロット間により抵抗値の低下しやすさが変動したとしても、チップ抵抗器の抵抗値を効率的に修正することができる。また、この場合、基準条件を変更するだけで印加条件を全体的により過酷な条件へと変化させているので、印加条件の制御が複雑になってしまうことはない。
【００９１】
さらに、本実施の形態によれば、検査ステーションＣＳにおいて測定される各チップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒが、予め設定した回数Ｎ１だけ連続して、規格範囲の下限値ｇを下まわった場合、各処理ステーションＳ１〜６における印加電圧は、それまでの基準印加電圧Ｖｎ−１よりも低くなるように再設定された新たな基準印加電圧Ｖｎに基づいて決定されるようになっている。すなわち、パルストリミングにより規格範囲未満まで抵抗値を低下させ過ぎたチップ抵抗器Ｗが連続して発生した場合、以後、より緩和された印加条件に変更してパルス電圧を印加するようになっている。したがって、全体的に抵抗値が低下しやすいチップ抵抗器Ｗのロットに対して、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を規格範囲外まで低下させ続けてしまうことを防止することができる。これにより、ロット間により抵抗値の低下しやすさが変動したとしても、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を低下させ過ぎて良品歩留まりが下がってしまうことを防止することができる。また、この場合、基準条件を変更するだけで印加条件を全体的に緩和された条件へと変化させているので、印加条件の制御が複雑になってしまうことはない。
【００９２】
さらに、本実施の形態によれば、チップ抵抗器Ｗを排出する工程において、測定されたチップ抵抗器Ｗが規格範囲の上限値ａを上まわり、かつ規格範囲の上限値ａ以上であってチップ抵抗器Ｗにパルス電圧を印加することによって規格範囲内に修正することができる抵抗値の上限限界値ｆ以下の抵抗値Ｒを有するチップ抵抗器Ｗが、この範囲外の抵抗値Ｒを有するチップ抵抗器Ｗと区別されて再修正品回収部Ｄ３に回収されるようになっている。したがって、抵抗値が規格範囲外であったチップ抵抗器Ｗのうち、再度パルストリミングを施すことにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器Ｗを回収することができる。このため、回収されたこれらのチップ抵抗器Ｗを抵抗値修正装置１０に再度供給することにより、チップ抵抗器Ｗの抵抗値を規格範囲内に修正することができ、これにより、チップ抵抗器Ｗの良品歩留まりを効率的に向上させることができる。
【００９３】
さらに、本実施の形態によれば、各処理ステーションにおいて、直前の処理ステーションでパルス電圧が印加されたチップ抵抗器Ｗについてのみ、抵抗値が測定されるようになっている。すなわち、直前の処理ステーションにおける抵抗値の修正結果を確認することができるとともに、不必要な測定を行っていない。したがって、多数のチップ抵抗器Ｗの抵抗値をより効率的に修正することができる。
【００９４】
さらに、本実施の形態によれば、第２処理ステーションＳ２以降において、測定された抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわりかつパルス電圧を印加することにより規格範囲内に修正することができる抵抗値の上限限界値ｆ以下であるチップ抵抗器Ｗのみに、パルス電圧が印加され、抵抗値が修正されるようになっている。すなわち、このような本発明によれば、パルストリミングを施すことにより抵抗値を規格範囲内に修正することができるチップ抵抗器Ｗのみにパルス電圧を印加するようになっており、不必要なパルストリミングを行っていない。したがって、多数のチップ抵抗器Ｗの抵抗値をより効率的に修正することができる。
【００９５】
なお、本実施の形態において、６つの処理ステーションＳ１〜６を設けた例を示したが、これに限られず、求められる抵抗値の規格範囲の大きさ等に対応して適宜変更しても良い。また、本実施の形態において、マトリックステーブル３２において５つの抵抗値の区分Ｌ１〜５を設けた例を示したが、これに限られず、同様に、求められる抵抗値の規格範囲の大きさ等に対応して適宜変更しても良い。処理ステーション数およびマトリックステーブル３２における抵抗値の区分数を増加させることにより、制御方法等が複雑になる一方で、抵抗値の修正をより効率的かつ高精度に行うことができる。
【００９６】
なお、本実施の形態において、図６に示すように、抵抗値が規格範囲の上限値ａ以下であると判定されたチップ抵抗器Ｗ（６４ＮＯ）について、抵抗値が規格範囲内であるか否かを判定することなく該処理ステーションから排出する例を示したが、これに限られない。第１処理ステーションＳ１において、または全ての処理ステーションＳ１〜６において、チップ抵抗器Ｗの抵抗値が規格範囲内であるか否かを判定するようにしてもよい。この場合、抵抗値Ｒが規格範囲外であると判定されたチップ抵抗器Ｗ、すなわち、抵抗値が規格範囲の下限値ｇ未満であるチップ抵抗器Ｗについては、その後の処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳにおいて何ら処理されることなく過小抵抗品回収部Ｄ２に回収されるようにすることができる。一方、抵抗値が規格範囲内であるチップ抵抗器Ｗについては、その後の処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳにおいて何ら処理されることなく良品回収部Ｄ４に回収されるようにしてもよいし、あるいは、その後の処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳにおいて何ら処理されないが検査ステーションＣＳにおいて抵抗値の確認が再度行われるようにしてもよい。
【００９７】
第１処理ステーションＳ１だけにおいてこの変形例を採用した場合、検査ステーションＣＳにおいて検出される抵抗値が規格範囲の下限値ｇ未満であるチップ抵抗器Ｗには、修正装置１０に投入前から、言い換えると、製造段階から抵抗値が下限値ｇ未満であったチップ抵抗器Ｗは含まれない。すなわち、検出されるすべてのチップ抵抗器Ｗが、パルトリミングを施すことによって抵抗値が規格範囲未満まで下げられ過ぎてしまったチップ抵抗器Ｗである。したがって、検査ステーションＣＳにおいて測定されたチップ抵抗器Ｗの抵抗値Ｒから、チップ抵抗器Ｗのパルストリミングに対する感度をより正確に判断することができ、これにより、基準条件の再設定をより適切に行うことができるようになる。
【００９８】
一方、すべての処理ステーションＳ１〜６においてこの変形例を採用した場合、検査ステーションＣＳだけでなく、各処理ステーションＳ１〜６または検査ステーションＣＳにおいて測定されるチップ抵抗器Ｗの抵抗値測定結果に基づき、一定の場合に、基準条件設定器３３が基準条件を再設定するようにしてもよい。ここで一定の場合としては、各処理ステーションＳ１〜６または検査ステーションＣＳにおいて測定された抵抗値の測定結果が連続して規格範囲外であった場合とすることが好ましい。また、各処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳのいずれかで測定された抵抗値が規格範囲外となったチップ抵抗器Ｗの数量が、予め設定された数量以上となった場合とすることも好ましい。さらには、各処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳのいずれかで測定された抵抗値が規格範囲外となったチップ抵抗器Ｗの数量の、抵抗値修正装置１０に投入されるチップ抵抗器Ｗの総数量に対する割合が、予め設定された割合以上となった場合とすることも好ましい。この場合、結果として、投入されるチップ抵抗器Ｗの全数量に対する、回収部１４の再修正品回収部Ｄ３あるいは過小抵抗品回収部Ｄ２に回収されるチップ抵抗器Ｗの数量の割合に基づいて、基準条件が再設定されることになる。
【００９９】
さらに、本実施の形態において、各処理ステーションＳ１〜６においてパルス電圧を印加されるチップ抵抗器Ｗ、および再修正品回収部Ｄ３に回収されるチップ抵抗器Ｗを、その抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわり、かつ所定の基準値以下であるチップ抵抗器とした例を示したが、これに限られず、当然に、抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわり、かつ所定の基準値未満であるチップ抵抗器を対象としてもよい。
【０１００】
また、所定の基準値を、パルス電圧を印加することによって規格範囲内に修正することができる抵抗値の上限限界値ｆとした例を示したが、これに限られない。チップ抵抗器Ｗによっては、パルストリミングによる抵抗値変化率が非常に小さいものもあり、このようなチップ抵抗器Ｗはパルス電圧を何度も印加されることによりようやく抵抗値Ｒが規格範囲内に入ることもある。したがって、場合によっては、このようなチップ抵抗器Ｗを廃棄して良品歩留まりを下げることになったとしても、結果として、チップ抵抗器Ｗ１個あたりの生産コストを軽減することができることもある。
【０１０１】
このような場合には、各処理ステーションＳ１〜６においてパルス電圧を印加されるチップ抵抗器Ｗを、その抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわりかつパルス電圧を印加することによって規格範囲内に修正することができる抵抗値の上限限界値ｆ以下であるチップ抵抗器Ｗのままとし、再修正品回収部Ｄ３に回収されるチップ抵抗器Ｗを、その抵抗値Ｒが規格範囲の上限値ａを上まわり、かつパルス電圧を印加することによって規格範囲内に修正することができる抵抗値の上限限界値ｆより低く設定された別の基準値Ｒ１以下であるチップ抵抗器としてもよい。そして、別の基準値Ｒ１としては、例えば、図４（ｂ）中の抵抗値ｃまたは抵抗値ｄの値等を採用することができる。なお、この場合、図１０に示すように、抵抗値の修正方法は、抵抗値Ｒが別の基準値Ｒ１以下であるか否かを判定する工程（８１）をさらに有するようになる。
【０１０２】
なお、図１０は検査ステーションＣＳにおける抵抗値修正方法のサブルーチンを示すフローチャートであり、図中において、図１乃至図９を用いて上述した本実施の形態と同一部分に同一符号を付し、重複する詳細な説明を省略する。
【０１０３】
さらに、本実施の形態において、同一のプローブ２４ｂ，２４ｃを介し、測定部２０にうおいてチップ抵抗器Ｗの抵抗値を測定するとともに、印加部２２においてチップ抵抗器Ｗにパルス電圧を印加する例を示したが、これに限られない。各処理ステーションＳ１〜６の測定部２０と印加部２２とに専用のプローブ２４をそれぞれ設けるようにしてもよい。また、この場合、各処理ステーションＳ１〜６の測定部２０と印加部２２とを、インデックステーブル１２が間欠停止した際に保持部１２ａに対向する位置であって、保持部１２ａの配置ピッチ角度θだけ離間させた位置にそれぞれ配置するようにしてもよい。すなわち、図１において、第１処理ステーションＳ１が配置された位置および第２処理ステーションＳ２が配置された位置に、それぞれ第１処理ステーションＳ１の測定部２０および第１処理ステーションＳ１の印加部２２を配置するようにすることもできる。この場合、切替部２６が不要となり制御がより簡単となる。またインデックステーブル１２の停止時間が短くなり、抵抗値の修正がより効率的に行なわれるようになる。
【０１０４】
さらに、本実施の形態において、マトリックステーブルに設定された印加条件は、抵抗値の区分が同一である場合、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が高くなるか、あるいは印加時間が長くなるように設定されている例を示したが、これに限られない。このように設定されたマトリックステーブル３２は大半の種類のチップ抵抗器に対して有効である。しかしながら、チップ抵抗器Ｗの種類によっては、パルストリミングを施す度に、パルス電圧の印加に対する感度がしだいに増していくもの、言い換えると、パルストリミングを施す度に、パルス電圧の印加に対する抵抗値の低下が大きくなっていくものもある。このような場合、マトリックステーブル３２に設定される印加条件を、抵抗値の区分が同一である場合に、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって、より緩和されるように、言い換えると、抵抗値をより低減させないように設定することが好ましい。具体的には、マトリックステーブル３２に設定される条件がパルス電圧の印加電圧に関する条件であれば、抵抗値の区分が同一である場合に、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加電圧が低くなり、マトリックステーブル３２に設定される条件がパルス電圧の印加時間に関する条件であれば、抵抗値の区分が同一である場合に、処理ステーションが下流側に向かうにしたがって印加時間が短くなるようになっていることが好ましい。
【０１０５】
さらに、本実施の形態において、各処理ステーションＳ１〜６および検査ステーションＣＳを通過したチップ抵抗器Ｗを外方に排出する例を示したが、これに限られず、各処理ステーションＳ１〜６を通過中のチップ抵抗器Ｗを、該処理ステーションにおける抵抗値測定結果に基づいて外方に排出するようにしてもよい。例えば、過大抵抗回収部Ｄ１を第１処理ステーションＳ１に隣接して設けるとともに、第１処理ステーションにおいて、抵抗値が所定の基準値を上まわるチップ抵抗器Ｗを過大抵抗品回収部Ｄ１に排出するようにすることができる。
【０１０６】
さらに、本実施の形態において、不良品として廃棄されるべきチップ抵抗器Ｗが、その抵抗値に基づき、過大抵抗品回収部Ｄ１と過小抵抗品回収部Ｄ２とに分類されて回収される例を示したが、これに限られず、過大抵抗品回収部Ｄ１と過小抵抗品回収部Ｄ２とを統合した１つの不良品回収部に、廃棄されるべきチップ抵抗器Ｗが回収されるようにしてもよい。
【０１０７】
以上のように、本実施の形態をいくつかの変形例とともに説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０８】
【図１】本発明によるチップ抵抗器の抵抗値修正装置の一実施の形態を示す概略構成図。
【図２】抵抗値修正装置の制御系統を示す概略図。
【図３】マトリックステーブルに設定されている抵抗値の区分に対応した印加条件を示す図。
【図４】チップ抵抗器の抵抗値分布であって、（ａ）は抵抗値修正前を示し、（ｂ）抵抗値修正後を示す図である。
【図５】チップ抵抗器が供給され各回収部に回収されるまでの間における抵抗値修正方法のメインルーチンを示すフローチャート。
【図６】各処理ステーションにおける抵抗値修正方法のサブルーチンを示すフローチャートである。
【図７】基準条件を変更する方法のメインルーチンを示すフローチャート。
【図８】マトリックステーブルに設定されている抵抗値の区分に対応した印加条件の一例を示す図。
【図９】チップ抵抗器の抵抗値分布の一例であって、（ａ）は抵抗値修正前を示し、（ｂ）抵抗値修正後を示す図。
【図１０】検査ステーションにおける抵抗値修正方法の変形例を示すフローチャート。
【図１１】従来の抵抗値修正方法のメインルーチンを示すフローチャート。
【図１２】従来の抵抗値修正方法のサブルーチンを示すフローチャート。
【図１３】抵抗の四端子測定法を説明する図。
【符号の説明】
【０１０９】
１０  抵抗値修正装置
１２  インデックステーブル（搬送体）
１２ａ  保持部
１４  回収部
２４  プローブ
３０  制御部
３２  マトリックステーブル
３３  基準条件設定器
ＣＳ  検査ステーション
Ｄ３  再修正品回収部
Ｄ４  良品回収部
Ｋ  処理部
Ｌ１〜５  抵抗値の区分
Ｓ１〜６  処理ステーション
Ｗ  チップ抵抗器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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