【手続補正書】
【提出日】平成19年4月17日(2007.4.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  試料を測定するための方法であって、
偏光された成分を有する放射のビームを提供し、かつ前記ビームからの放射を前記試料に供給する段階と、
前記試料により変更された前記ビームからの放射を検出する段階と、
その検出の前に放射の前記ビームの前記偏光を変調する段階と、
前記試料の１つ以上のエリプソメトリックパラメータおよび前記変調の振幅についての制限なく、前記提供、検出または変調する段階において用いられるシステムの１つ以上のパラメータを導出する段階と、
からなる方法。
【請求項２】  試料を測定するための方法であって、
放射のビームを提供する段階と、
成分の時間変化フラクションが前記試料に供給されるように、前記ビームを第１の回転偏光要素に通す段階と、
前記試料による変更後に、変調されたビームを提供するための回転する第２の回転偏光要素を用いて、前記ビームからの放射を変調する段階と、
前記変調されたビームからの放射を検出する段階と、
前記検出された放射から、前記試料の１つ以上のエリプソメトリックパラメータを導出する段階と、
からなる方法。
【請求項３】  試料を測定するための方法であって、
直線偏光された成分を有する放射のビームを提供し、かつ前記ビームからの放射を前記試料に供給する段階と、
前記試料により変調された前記ビームからの放射を検出する段階と、
前記試料による変更の前または後、ただし回転偏光要素を用いての検出前に、前記ビームからの放射を変調する段階と、
前記変調された放射を、その検出前に、固定直線偏光子に通す段階と、
前記検出された放射から、前記試料の１つ以上のエリプソメトリックパラメータを導出する段階と、
からなる方法。
【請求項４】  試料を測定するための器具であって、
直線偏光された成分を有する放射のビームを提供する源と、
前記ビームからの放射を前記試料へ印加する手段と、
前記試料により変更された前記ビームからの放射を検出する検出器と、
その検出の前に放射の前記ビームの前記偏光を変調する変調装置と、
前記試料の１つ以上のエリプソメトリックパラメータおよび前記位相変調の振幅についての制限なく、前記源、適用手段または変調する手段の１つ以上のパラメータを導出する手段と、
を含む器具。
【請求項５】  試料を測定するための器具であって、
放射のビームを提供する源と、
成分の時間変化フラクションが前記試料に供給されるように、前記ビーム中の放射を変調する第１の回転偏光要素と、
前記試料による変調後に、変調されたビームを提供するため、前記ビームからの放射を変調する第２の回転偏光要素と、
前記変調されたビームからの放射を検出する検出器と、
前記検出された放射から、前記試料の１つ以上のエリプソメトリックパラメータを導出する手段と、
を含む器具。
【請求項６】  試料を測定するための器具であって、
直線偏光された成分を有する放射のビームを提供する源と、
前記試料により変調された前記ビームからの放射を検出する検出器と、
前記試料による変更の前または後、ただし回転偏光要素を用いての検出前に、前記ビーム中の放射を変調する回転偏光要素と、
前記要素および前記試料により変調された放射を、前記検出器による検出前に、偏光する固定直線偏光子と、
前記検出された放射から、前記試料の１つ以上のエリプソメトリックパラメータを導出する手段と、
を含む器具。
【請求項７】  試料を測定するための器具であって、
放射のビームを提供する源と、
前記ビームからの放射を前記試料へ印加する手段と、
前記試料により変更された前記ビームからの放射を検出する検出器と、
放射の前記ビームを、その検出の前に、変調する変調装置と、
前記装置による変調後に放射の前記ビームの一部を、前記試料の傾きまたは高さを感知するための位置感知検出器へ方向転換する手段と、
を含む器具。
【請求項８】  試料を測定するための器具であって、
放射のビームを提供する源と、
前記ビームからの放射を前記試料へ、前記試料への垂直方向から離れた方向で集束するための円柱対物レンズを含む手段と、
前記試料により変更された前記ビームからの放射を検出する検出器と、
放射の前記ビームを、その検出の前に、変調する変調装置と、
前記検出された放射から、前記試料の反射率または１つ以上のエリプソメトリックパラメータを導出する手段と、
を含む器具。
【請求項９】  試料を測定するための方法であって、
第１の信号を提供するため、エリプソメータにより前記試料を測定する段階と、
第２の信号を提供するため、光学式計測器により前記試料を測定する段階と、
測定精度を高めるため、前記第１および第２の信号中の情報から、前記試料の１つ以上のパラメータおよび前記エリプソメータの１つ以上のパラメータを導出する段階と、
からなる方法。
【請求項１０】  試料を測定するための方法であって、
第１の信号を提供するため、エリプソメータにより前記試料を測定する段階と、
第２の信号を提供するため、光学式計測器により前記試料を測定する段階と、
前記第１および第２の信号から、前記試料の膜厚および前記試料により引き起こされた偏光解消に関する情報を導出する段階と、
からなる方法。
【請求項１１】  試料を測定するための方法であって、
第１の信号を提供するため、エリプソメータにより前記試料を測定する段階と、
測定精度を高めるため、前記第１の信号から、前記試料の膜厚および前記試料により引き起こされた偏光解消に関する情報と、前記エリプソメータの１つ以上のパラメータとを導出する段階と、
からなる方法。
【請求項１２】  試料を測定するための器具であって、
第１の信号を提供するため、前記試料を測定するエリプソメータと、
第２の信号を提供するため、前記試料を測定する光学式計測器と、
測定精度を高めるため、前記第１および第２の信号中の情報から、前記試料の１つ以上のパラメータおよび前記エリプソメータの１つ以上のパラメータを導出する手段と、
を含む器具。
【請求項１３】  試料を測定するための器具であって、
第１の信号を提供するため、前記試料を測定するエリプソメータと、
第２の信号を提供するため、前記試料を測定する光学式計測器と、
前記第１および第２の信号から、前記試料の膜厚および前記試料により引き起こされた偏光解消に関する情報を導出する手段と、
を含む器具。
【請求項１４】  試料を測定するための器具であって、
第１の信号を提供するため、前記試料を測定するエリプソメータと、
測定精度を高めるため、前記第１の信号から、前記試料の膜厚および前記試料により引き起こされた偏光解消に関する情報と、前記エリプソメータの１つ以上のパラメータを導出する手段と、
を含む器具。
【請求項１５】  試料を測定するための方法であって、
前記試料をエリプソメータにより測定する段階であって、前記エリプソメータは前記試料へ放射を供給しかつ前記試料による変更後に前記放射を検出して第１の信号を提供し、前記測定段階は前記試料へある周波数で供給された放射を変調する段階を含み、前記第１の信号が前記周波数の５つ以上の高調波での成分を含む段階と、
前記第１の信号から、前記試料の膜厚および前記試料により引き起こされた偏光解消に関する情報を導出する段階と、
からなる方法。
【請求項１６】  試料を測定するための器具であって、
出力信号を提供するため、前記試料を測定するエリプソメータと、
前記信号から、前記試料の膜厚および前記試料により引き起こされた偏光解消に関する情報を導出する手段と、を含み、前記エリプソメータは少なくとも１つの回転偏光子を含む器具。
【請求項１７】  試料を測定するための器具であって、
出力信号を提供するため、前記試料を測定するエリプソメータと、
前記信号から、前記試料の膜厚および前記試料により引き起こされた偏光解消を導出するための手段と、を含み、前記エリプソメータは、
偏光された成分を有する放射を前記試料へ第１の光学パス中に供給する源と、
前記偏光された成分の位相を変調する、前記第１の光学パス中の第１の位相変調器と、
第２の光学パスに沿って放射を検出する検出器であって、前記検出器により検出された放射が前記源により供給されかつ前記試料により変更される検出器と、
前記偏光された成分の位相を変調する、前記第２の光学パス中の第２の位相変調器と、
を含む器具。