【手続補正書】
【提出日】平成19年10月30日(2007.10.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  ａ）入口を有する移送モジュールと、
ｂ）ほぼ一定の第一の体積を有する第一のワークピース用キャビティにおいて、第一のワークピースを超臨界処理する、前記移送モジュールに連結された第一超臨界処理モジュールと、
ｃ）ほぼ一定の第二の体積を有する第二のワークピース用キャビティにおいて、第二のワークピースを超臨界処理する、前記移送モジュールに連結された第二超臨界処理モジュールと、
ｄ）前記第一のワークピース用キャビティに連結された第一の超臨界条件ジェネレータと、
ｅ）前記第二のワークピース用キャビティに連結された第二の超臨界条件ジェネレータと、
ｆ）前記移送モジュールに連結され、かつ前記入口と前記第一の超臨界処理モジュールの間で前記第一のワークピースを移動させるように構成され、かつ前記入口と前記第二の超臨界処理モジュールの間で前記第二のワークピースを移動させるように構成された移送機構（８０）とを備えた、第一及び第二のワークピースを超臨界処理する装置。
【請求項２】  前記移送モジュールはほぼ大気圧で操作するように構成されている請求項１に記載の装置。
【請求項３】  前記移送モジュールは、周囲の環境に対して前記移送モジュール内でわずかに正の圧力を維持する手段をさらに備えている請求項１に記載の装置。
【請求項４】  前記移送モジュール内でわずかに正の圧力を維持する手段は、不活性ガス注入装置を備えている請求項３に記載の装置。
【請求項５】  前記移送モジュールの入口は移載部署を備えている請求項２に記載の装置。
【請求項６】  前記移送モジュールの入口はさらなる移載部署をさらに備えている請求項５に記載の装置。
【請求項７】  前記移送モジュールは高い圧力で操作するように構成されており、かつ前記移送モジュールの入口はロードロックを備えている請求項１に記載の装置。
【請求項８】  前記移送モジュールの入口はさらなるロードロックをさらに備えている請求項７に記載の装置。
【請求項９】  前記移送機構はロボットを備えている請求項１に記載の装置。
【請求項１０】  前記移送モジュールは円形の構造である請求項９に記載の装置。
【請求項１１】  前記ロボットは中央のロボットを備え、前記中央のロボットは前記円形の構造の中心にある請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】  前記移送モジュールはトラックの構造である請求項９に記載の装置。
【請求項１３】  前記ロボットはトラックロボットを備え、前記トラックロボットは、トラックに沿って位置する第一及び第二処理モジュールに到達するために前記ロボットがトラックに沿って移動するように前記トラックに連結されたロボットを備えている請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】  第三及び第四の超臨界処理モジュールをさらに備え、前記トラックに沿って配置された前記第三及び第四の超臨界処理モジュールは、前記トラックに関して前記第一及び第二の超臨界処理モジュールと反対に配置されている請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】  前記ロボットは延長可能なアーム及びエンドエフェクタを備えている請求項９に記載の装置。
【請求項１６】  前記ロボットは、さらなるアーム及びさらなるエンドエフェクタをさらに備えている請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】  前記第一超臨界処理モジュールは第一圧力容器を備え、かつ前記第二超臨界処理モジュールは第二圧力容器を備えている請求項１に記載の装置。
【請求項１８】  ａ）前記第一圧力容器は、第一ワークピース用キャビティ及び第一圧力容器入口を備え、前記第一ワークピース用キャビティは、超臨界処理中において前記第一ワークピースを保持し、前記第一のワークピースは前記第一圧力容器入口から入りかつ前記入口から出ることができるように構成されており、
ｂ）前記第二圧力容器は、第二ワークピース用キャビティ及び第二圧力容器入口を備え、前記第二ワークピース用キャビティは、超臨界処理中において前記第二ワークピースを保持し、前記第二ワークピースは前記第二圧力容器入口から入りかつ前記入口から出ることができるように構成されている請求項１７に記載の装置。
【請求項１９】  前記移送機構は、前記第一及び第二のワークピースを前記第一及び第二のワークピース用キャビティそれぞれの中に配置するように構成されている請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】  前記移送モジュール及び前記超臨界処理モジュールは超臨界条件下で操作するように構成されている請求項１９に記載の装置。
【請求項２１】  第一及び第二のゲート弁をさらに備え、前記第一ゲート弁は前記移送モジュールと前記第一超臨界処理モジュールを連結し、前記第二ゲート弁は前記移送モジュールと前記第二超臨界処理モジュールを連結する請求項１９に記載の装置。
【請求項２２】  第一及び第二の前室をさらに備え、前記第一前室は前記移送モジュールと前記第一超臨界処理モジュールを連結し、前記第二前室は前記移送モジュールと前記第二超臨界処理モジュールを連結する請求項１８に記載の装置。
【請求項２３】  前記第一及び第二の超臨界処理モジュールを加圧する手段をさらに備えた請求項１に記載の装置。
【請求項２４】  前記加圧手段は、前記第一及び第二の超臨界処理モジュールに連結されたポンプに連結された二酸化炭素供給容器を備えた二酸化炭素加圧構造を備え、前記二酸化炭素加圧構造は、前記第二超臨界処理モジュールと独立した前記第一超臨界処理モジュールを加圧し、前記二酸化炭素加圧構造は、前記第一超臨界処理モジュールと独立した前記第二超臨界処理モジュールを加圧する請求項２３に記載の装置。
【請求項２５】  前記第一圧力容器入口をシールするように作用しうる第一のシール手段と、前記第二圧力容器入口をシールするように作用しうる第二のシール手段とをさらに備えた請求項１８に記載の装置。
【請求項２６】  制御手段をさらに備え、前記制御手段は、前記第一及び第二のワークピースを前記移送モジュールの入口と、前記第一及び第二の超臨界処理モジュールそれぞれの間で移動させるように前記移送機構に指令し、前記制御手段は、前記第二の超臨界処理モジュールと独立して前記第一の超臨界処理モジュールを制御する請求項１に記載の装置。
【請求項２７】  ａ）移載部署と、
ｂ）前記移載部署に連結された第一及び第二の超臨界処理モジュールであって、前記第一の超臨界処理モジュールは、ほぼ一定の第一の体積を有する第一のワークピース用キャビティにおいて、第一のワークピースを超臨界処理し、かつ前記第二の超臨界処理モジュールは、ほぼ一定の第二の体積を有する第二のワークピース用キャビティにおいて、第二のワークピースを超臨界処理する、第一及び第二の超臨界処理モジュールと、
ｃ）第一及び第二の超臨界条件ジェネレータであって、前記第一の超臨界条件ジェネレータは前記第一のワークピース用キャビティに連結され、かつ前記第二の超臨界条件ジェネレータは前記第二のワークピース用キャビティに連結されている、第一及び第二の超臨界条件ジェネレータと、
ｄ）前記移載部署に連結され、かつ前記第一及び第二の超臨界処理モジュールに連結され、かつ前記移載部署と前記第一の超臨界処理モジュールの間で第一ワークピースを移動させるように構成され、かつ前記移載部署と前記第二の超臨界処理モジュールの間で第二ワークピースを移動させるように構成された、移送機構とを備えた、第一及び第二のワークピースを超臨界処理する装置。