(57)【要約】開示される実施形態は、質量流量制御器（ＭＦＣ）上に記憶されるデータ値を動的に構成するシステム及び方法を含む。一実施形態において、ＭＦＣは、流体を受け入れるための入口と、流路と、流路を通る流体の質量流量に対応する信号を与えるための質量流量センサと、ＭＦＣの出口から出る流体の流量を規制するための弁とを含む。また、ＭＦＣは、流体の流体モデルと、流体モデルを構成するためのファイルシステムとを有する記憶媒体も含む。ＭＦＣは、流体モデルを構成する命令を受信する動作と、流体モデルに対する変化を示すＭＦＣデータを取得する動作と、ファイルシステムを利用して、流体モデルを、流体モデルの変化を示すＭＦＣデータで動的に更新する動作とを含む動作を実行するように動作可能なプロセッサを更に含む。
2019505922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
質量流量制御器であって、
流体を受け入れるための入口と、
前記流体が該質量流量制御器を通り抜ける流路と、
前記流路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を与えるための質量流量センサと、
該質量流量制御器の出口から出る前記流体の流量を規制するための弁と、
記憶媒体であって、
前記流体の流体モデルと、
前記流体モデルを構成するためのファイルシステムと、
を含む記憶媒体と、
プロセッサであって、
前記流体モデルを構成する命令を受信する動作と、
前記流体モデルに対する変化を示す質量流量制御器データを取得する動作と、
前記ファイルシステムを利用して、前記流体モデルを、前記流体モデルの前記変化を示す質量流量制御器データで動的に更新する動作と、
を含む動作を行う命令を実行するように動作可能なプロセッサと、
を備える質量流量制御器。
【請求項２】
前記プロセッサは、
前記流体モデルを記憶するための、前記質量流量制御器の記憶媒体構成要素上のロケーションを特定し、
前記流体モデルを、前記特定されたロケーションに動的に記憶するように更に動作可能である請求項１に記載の質量流量制御器。
【請求項３】
前記記憶媒体は複数のパーティションを備え、前記プロセッサは、
前記流体モデルを記憶するように指定されるパーティションを特定し、
前記流体モデルのサイズが前記流体モデルを記憶するように指定される前記記憶媒体の前記パーティションの利用可能な記憶空間の量より大きい場合には、前記複数のパーティションの少なくとも１つのパーティションのパーティションサイズを動的に調整するように更に動作可能である請求項１に記載の質量流量制御器。
【請求項４】
前記プロセッサは、
新たな流体モデルを示す質量流量制御器データを受信し、
前記新たな流体モデルを動的に作成し、
前記新たな流体モデルを前記記憶媒体上に記憶するように更に動作可能である請求項１に記載の質量流量制御器。
【請求項５】
前記プロセッサは、
前記記憶媒体上に記憶される前記流体モデルにアクセスし、
前記記憶媒体上に記憶される前記流体モデルに基づいて、前記質量流量制御器の前記出口を通る前記流体の前記流量を制御するように更に動作可能である請求項１に記載の質量流量制御器。
【請求項６】
前記質量流量制御器データは質量流量制御器設定データを含み、前記プロセッサは、
前記質量流量制御器データが質量流量制御器設定データに対応するか否かを判断し、
前記流体モデルを前記質量流量制御器設定データで更新するように更に動作可能である請求項１に記載の質量流量制御器。
【請求項７】
前記質量流量制御器データは質量流量制御器測定データを含み、前記プロセッサは、
前記質量流量制御器データが質量流量制御器測定データに対応するか否かを判断し、
前記流体モデルを前記質量流量測定データで更新するように更に動作可能である請求項１に記載の質量流量制御器。
【請求項８】
質量流量制御器上に記憶されるデータ値を動的に構成するコンピューター実施方法であって、該コンピューター実施方法は、
質量流量制御器データを構成する命令を受信することと、
前記質量流量制御器データを記憶するための前記質量流量制御器の記憶媒体構成要素上のロケーションを特定することであって、前記記憶媒体は第１のパーティションを有し、前記ロケーションは前記記憶媒体の前記第１のパーティションのロケーションに対応することと、
前記質量流量制御器データのサイズが前記記憶媒体の前記パーティションの利用可能な記憶空間の量より大きい場合には、前記第１のパーティションのパーティションサイズを動的に調整することと、
前記記憶媒体上の前記ロケーションに前記質量流量制御器データを記憶することと、
を含む、コンピューター実施方法。
【請求項９】
前記質量流量制御器データはファイルロケーションを有するデータファイル上に記憶され、
前記質量流量制御器データを記憶するための前記記憶媒体の前記ロケーションを特定することは、
前記第１のパーティション上に記憶される前記データファイルの前記ファイルロケーションを特定することと、
前記データファイルの前記ファイルロケーションに基づいて、前記記憶媒体上の前記ロケーションを特定することとを含む請求項８に記載のコンピューター実施方法。
【請求項１０】
前記質量流量制御器データに対応する既存の質量流量制御器データが前記データファイル上に記憶されるか否かを判断することを更に含み、
前記質量流量制御器データを記憶することは、前記質量流量制御器データに対応する既存の質量流量制御器データが前記データファイル上に記憶される場合には、前記既存の質量流量制御器データを前記質量流量制御器データで上書きすることを含む請求項９に記載のコンピューター実施方法。
【請求項１１】
前記記憶媒体は複数のパーティションを備え、前記コンピューター実施方法は、
前記第１のパーティションの利用可能な記憶空間の量を特定することと、
前記複数のパーティションの１つ以上の他のパーティションの利用可能な記憶空間の量を特定することと、
前記複数のパーティションの前記１つ以上の他のパーティションの少なくとも１つのパーティションの利用可能な記憶空間の量を再配分することとを更に含み、
前記第１のパーティションの前記パーティションサイズは、前記複数のパーティションの前記１つ以上の他のパーティションの前記少なくとも１つのパーティションから再配分された利用可能な空間の量だけ増加する請求項９に記載のコンピューター実施方法。
【請求項１２】
前記記憶媒体は複数のパーティションを備え、前記コンピューター実施方法は、
前記質量流量制御器データを構成する命令の履歴に基づいて、或る動作持続時間内に構成されることになる前記質量流量制御器データの予測サイズを判断することと、
前記動作持続時間内に構成されることになる前記質量流量制御器データの前記予測サイズが前記第１のパーティションの利用可能な記憶空間の量より大きい場合には、前記第１のパーティションの前記パーティションサイズを動的に調整することと、
を更に含む請求項８に記載のコンピューター実施命令。
【請求項１３】
前記質量流量制御器データが前記第１のパーティション上に記憶されるか否かを判断することと、
前記質量流量制御器データが前記第１のパーティション上に記憶されない場合には、前記質量流量制御器データを記憶するために新たなデータファイルを動的に作成することと、
前記新たなデータファイルを前記第１のパーティション上に記憶することと、
を更に含む請求項８に記載のコンピューター実施方法。
【請求項１４】
前記質量流量制御器データは質量流量制御器設定データを含み、前記第１のパーティションは前記質量流量制御器設定データを記憶するように指定され、前記コンピューター実施方法は、
前記質量流量制御器データが質量流量制御器設定データに対応するか否かを判断することと、
前記質量流量制御器データが質量流量制御器設定データに対応する場合には、前記第１のパーティション上に前記質量流量制御器設定データを記憶することと、
を更に含む請求項８に記載のコンピューター実施方法。
【請求項１５】
前記質量流量制御器設定データは、質量流量制御器構成データを含み、前記第１のパーティションは前記質量流量制御器構成データを記憶するように指定される質量流量制御器構成データファイルを含み、前記コンピューター実施方法は、
前記質量流量制御器データが前記質量流量制御器構成データに対応するか否かを判断することと、
前記質量流量制御器データが前記質量流量制御器構成データに対応する場合には、前記質量流量制御器構成データファイル上に前記質量流量制御器データを記憶することと、
を更に含む請求項１４に記載のコンピューター実施方法。
【請求項１６】
前記質量流量制御器設定データは、質量流量制御器ファームウェアバックアップデータを含み、前記第１のパーティションは前記質量流量制御器ファームウェアバックアップデータを記憶するように指定される質量流量制御器ファームウェアバックアップデータファイルを含み、前記コンピューター実施方法は、
前記質量流量制御器データが前記質量流量制御器ファームウェアバックアップデータに対応するか否かを判断することと、
前記質量流量制御器データが前記質量流量制御器ファームウェアバックアップデータに対応する場合には、前記質量流量制御器ファームウェアバックアップデータファイル上に前記質量流量制御器データを記憶することと、
を更に含む請求項１４に記載のコンピューター実施方法。
【請求項１７】
前記質量流量制御器設定データは、質量流量制御器診断データを含み、前記第１のパーティションは前記質量流量制御器診断データを記憶するように指定される質量流量制御器診断データファイルを含み、前記コンピューター実施方法は、
前記質量流量制御器データが前記質量流量制御器診断データに対応するか否かを判断することと、
前記質量流量制御器データが前記質量流量制御器診断データに対応する場合には、前記質量流量制御器診断データファイル上に前記質量流量制御器データを記憶することと、
を更に含む請求項１４に記載のコンピューター実施方法。
【請求項１８】
前記質量流量制御器データは質量流量制御器測定データを含み、前記記憶媒体は、前記質量流量制御器測定データを記憶するように指定される第２のパーティションを備え、前記コンピューター実施方法は、
前記質量流量制御器データが質量流量制御器測定データに対応するか否かを判断することと、
前記質量流量制御器データが質量流量測定データに対応する場合には、前記第２のパーティション上に前記質量流量制御器測定データを記憶することとを更に含む請求項８に記載のコンピューター実施方法。
【請求項１９】
前記質量流量制御器測定データは、前記質量流量制御器によって測定される物質の流量を示すデータを含み、前記第２のパーティションは前記物質の流量を示すデータを記憶するように指定される物質流量データファイルを含み、前記コンピューター実施方法は、
前記質量流量制御器データが前記物質の流量を示すデータに対応するか否かを判断することと、
前記質量流量制御器データが前記物質の流量を示すデータに対応する場合には、前記物質流量データファイル上に前記質量流量制御器データを記憶することとを更に含む請求項１８に記載のコンピューター実施方法。
【請求項２０】
前記質量流量制御器測定データは、前記質量流量制御器によって測定される物質の特性を示すデータを含み、前記第２のパーティションは前記物質の前記特性を示すデータを記憶するように指定される物質特性データファイルを含み、前記コンピューター実施方法は、
前記質量流量制御器データが前記物質の前記特性を示すデータに対応するか否かを判断することと、
前記質量流量制御器データが前記物質の前記特性を示すデータに対応する場合には、前記物質特性データファイル上に前記質量流量制御器データを記憶することとを更に含む請求項１８に記載のコンピューター実施方法。
【請求項２１】
前記質量流量制御器測定データは、前記質量流量制御器によって測定される物質の測定値履歴を示すデータを含み、前記第２のパーティションは前記物質の前記測定値履歴を示すデータを記憶するように指定される測定値履歴データファイルを含み、前記コンピューター実施方法は、
前記質量流量制御器データが前記物質の前記測定値履歴を示すデータに対応するか否かを判断することと、
前記質量流量制御器データが前記物質の前記測定値履歴を示すデータに対応する場合には、前記測定値履歴データファイル上に前記質量流量制御器データを記憶することとを更に含む請求項１８に記載のコンピューター実施方法。
【請求項２２】
その中に記憶された命令を含む、非一時的コンピューター可読媒体であって、該命令は、１つ以上のプロセッサによって実行されるときに、該１つ以上のプロセッサに、
質量流量制御器の記憶媒体上に質量流量制御器データを記憶する命令を受信する動作と、
ファイルシステムを利用して、前記質量流量制御器データを保持するように指定されるデータファイルが前記記憶媒体上に記憶されるか否かを判断する動作と、
前記データファイルが前記記憶媒体上に記憶される場合には、前記質量流量制御器データを含むように前記データファイルを更新する動作と、
前記データファイルが前記記憶媒体上に記憶されない場合には、前記質量流量制御器データを有する新たなデータファイルを作成する動作とを含む動作を行う非一時的コンピューター可読媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は包括的には、質量流量制御器上に記憶されるデータ値を動的に構成するシステム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
質量流量制御器は、液体及び気体の流量を測定し、制御するために使用されるデバイスである。質量流量制御器は、特定のタイプの液体又は気体を特定の範囲の流量に制御するように設計及び較正される。質量流量制御器には、フルスケールレンジの０％〜１００％の設定点を与えることができるが、通常は、質量流量制御器は、最も高い精度が達成される、フルスケールの１０％〜９０％において動作する。その際、そのデバイスは流量を所与の設定点に制御することになる。質量流量制御器は、アナログ、デジタルのいずれかとすることができる。デジタル流量制御器は通常、２つ以上のタイプの流体を制御できるのに対して、アナログ制御器は、その制御器が較正された流体に限定される。
【０００３】
多くの質量流量制御器が、入口ポートと、出口ポートと、質量流量センサと、比例制御弁とを有する。質量流量制御器は、操作者（又は外部回路／コンピューター）によって入力信号を与えられ、操作者はこの入力信号を質量流量センサからの値と比較し、それに応じて比例弁を調整して、要求された流量を達成する閉ループ制御システムを取り付けられる。流量は、較正されたフルスケール流量のパーセンテージとして規定され、電圧信号として質量流量制御器に供給される。
【発明の概要】
【０００４】
開示される実施の形態は、質量流量制御器上に記憶されるデータ値を動的に構成するシステム及び方法を提供する。１つの例示的な実施の形態によれば、質量流量制御器が提供される。質量流量制御器は流体を受け入れるための入口を含む。また、質量流量制御器は流体が質量流量制御器を通り抜ける流路を含む。質量流量制御器は、流路を通る流体の質量流量に対応する信号を与えるための質量流量センサを更に含む。質量流量制御器は、質量流量制御器の出口から出る流体の流量を規制するための弁を更に含む。質量流量制御器は、流体の流体モデルと、流体モデルを構成するためのファイルシステムとを有する記憶媒体を更に含む。質量流量制御器は、流体モデルを構成する命令を受信する動作と、流体モデルに対する変化を示す質量流量制御器データを取得する動作と、ファイルシステムを利用して、流体モデルを、流体モデルの変化を示す質量流量制御器データで動的に更新する動作とを含む動作を行う命令を実行するように動作可能なプロセッサを更に含む。
【０００５】
別の例示的な実施の形態によれば、質量流量制御器上に記憶されたデータ値を動的に再構成するコンピューター実施方法が提供される。その方法は、質量流量制御器データを構成する命令を受信することを含む。また、その方法は、質量流量制御器データを記憶するための質量流量制御器の記憶媒体構成要素上のロケーションを特定することを含み、記憶媒体は第１のパーティションを有し、そのロケーションは、質量流量制御器データを記憶するように指定される記憶媒体の第１のパーティションのロケーションに対応する。その方法は、質量流量制御器データのサイズが質量流量制御器データを記憶するように指定される記憶媒体のパーティションの利用可能な記憶空間の量より大きい場合には、質量流量制御器データを記憶するように指定される記憶媒体のパーティションのパーティションサイズを動的に調整することを更に含む。その方法は、記憶媒体上のロケーションに質量流量制御器データを記憶することを更に含む。
【０００６】
更なる例示的な実施の形態によれば、その中に記憶された命令を含む、非一時的コンピューター可読媒体が提供され、命令は、１つ以上のプロセッサによって実行されるときに、１つ以上のプロセッサに、質量流量制御器上に記憶されるデータ値を動的に構成する動作を実行させる。命令は、質量流量制御器の記憶媒体上に質量流量制御器データを記憶する命令を受信する命令を含む。また、命令は、ファイルシステムを利用して、質量流量制御器データを保持するように指定されるデータファイルが記憶媒体上に記憶されるか否かを判断する命令を含む。また、命令は、データファイルが記憶媒体上に記憶される場合には、質量流量制御器データを含むようにデータファイルを更新する命令を含む。命令は、データファイルが記憶媒体上に記憶されない場合には、質量流量制御器データを有する新たなデータファイルを作成する命令を更に含む。
【０００７】
開示される実施形態の更なる詳細が、詳細な説明及び対応する図面において以下に与えられる。
【０００８】
本発明の例示的な実施形態が、本明細書において参照することにより本明細書の一部をなす添付の図面を参照しながら以下に詳細に説明される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】開示される実施形態による質量流量制御器の概略図である。
【図２】開示される実施形態による質量流量制御器データを記憶するためのパーティションを有する、図１の質量流量制御器の記憶媒体のメモリ構造の概略図である。
【図３】開示される実施形態による異なるタイプの質量流量制御器データを記憶するための複数のパーティションを有する、図１の質量流量制御器のメモリ構造の概略図である。
【図４】開示される実施形態による、気体モデルを記憶するためのパーティションを有する、図１の質量流量制御器の記憶媒体のメモリ構造の概略図である。
【図５】開示される実施形態による異なる気体モデルを記憶するための複数のパーティションを有する、図１の質量流量制御器のメモリ構造の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図面は単なる例示であって、異なる実施形態が実施される場合がある環境、アーキテクチャ、設計又はプロセスに関するいかなる制限も主張又は暗示することは意図していない。
【００１１】
図１は、開示される実施形態による質量流量制御器１００の一例を示す。質量流量制御器１００は、質量流量制御器の構成要素が取り付けられるプラットフォームであるブロック１１０を含む。サーマル質量流量計１４０と、弁１７０を収容する弁組立体１５０とが、ブロック１１０上の流体入口１２０と流体出口１３０との間に取り付けられる。図１の実施形態において、流動性物質は矢印１２２によって示される方向において流体入口１２０に流入し、質量流量制御器１００を通って、流体出口１３０から流出する。本明細書において定義されるとき、流動性物質は、質量流量制御器１００の流体入口１２０及び流体出口１３０を通って流動する種々の流体、気体及び蒸気を含む。以下の段落では、制御器１００を通って流れる流体に関する動作を実行することが主に論じられるが、質量流量制御器１００によって実行される動作は、質量流量制御器１００を通って流れる異なるタイプの流動性物質に関して実行される場合があることは当業者に理解されよう。
【００１２】
サーマル質量流量計１４０は、通常、流体の大部分が流れるバイパス１４２と、流体のより少ない部分が流れるサーマル流量センサ１４６とを含む。バイパス１４２は、様々な既知の流量で質量流量センサを流れる流体とバイパス１４２を流れる流体との間の適切な関係を求めるように、既知の流体で調整され、それにより、センサ出力信号から、流量計を通る総流量を求めることができる。そして、質量流量センサ部分及びバイパス１４２を制御弁１７０及び制御電子回路１６０に接続し、その後、再び、既知の条件下で調整することができる。そして、制御電子回路１６０及び制御弁１７０の応答は、設定値又は入力圧力の変化に対するシステムの全体的な応答が既知であり、その応答を用いて所望の応答を提供するようにシステムを制御することができるように、特徴付けられる。
【００１３】
サーマル流量センサ１４６は、取付プレート又はベース１０８に取り付けられたセンサハウジング１０２（センサ１４６を示すために取り除かれて示されている部分）内に収容される。サーマル流量センサ１４６は、通常キャピラリーチューブと呼ばれるチューブであり、センサ入口部分１４６Ａ、センサ出口部分１４６Ｂ、及び周囲に２つの抵抗コイル又は巻線１４７、１４８が配置されているセンサ測定部分１４６Ｃを備える。動作時、センサ測定部分１４６Ｃと熱接触している２つの抵抗巻線１４７、１４８に電流が与えられる。抵抗巻線１４７、１４８における電流は、測定部分１４６を流れる流体を、バイパス１４２を流れる流体の温度より高い温度まで加熱する。巻線１４７、１４８の抵抗は、温度によって変化する。流体がセンサ導管を流れる際、熱が上流の抵抗器１４７から下流の抵抗器１４８に向かって伝達され、温度差はサーマル流量センサ１４６を通る質量流量に比例する。
【００１４】
２つの抵抗巻線１４７、１４８から、サーマル流量センサ１４６を通る流量に関連する電気信号が導出される。電気信号は、抵抗巻線の抵抗の差から、又は各巻線を特定の温度で維持するために各抵抗巻線に与えられるエネルギーの量の差から等、多数の異なる方法で導出することができる。サーマル質量流量計における流体の流量と相関する電気信号を求めることができる様々な方法の例については、例えば、引用することにより本明細書の一部をなす、所有者が共通の米国特許第６，８４５，６５９号に記載されている。信号処理の後に抵抗巻線１４７、１４８から導出される電気信号は、センサ出力信号を含む。
【００１５】
センサ出力信号を質量流量計における質量流量と相関させて、電気信号が測定されるときに流体流量を求めることができる。センサ出力信号を、通常、最初にサーマル流量センサ１４６における流量と相関させ、次いで、バイパス１４２における質量流量と相関させることにより、流量計を通る総流量を求めることができ、それに従って制御弁１７０を制御することができる。センサ出力信号と流体流量との間の相関は、複雑であり、流体種、流量、入口及び／又は出口圧力、温度等を含む多数の動作条件によって決まる。
【００１６】
生のセンサ出力を流体流量に相関させるプロセスは、質量流量制御器の調整及び／又は較正を必要とし、費用がかかる、労働力を必要とする手続きであり、１人以上の熟練したオペレーターと専用機器とを必要とすることが多い。例えば、センサ部分に既知の量の既知の流体を流し、流体流量を正確に表す応答を提供するように幾つかの特定の信号処理パラメーターを調整することにより、質量流量センサを調整することができる。例えば、センサ出力の０Ｖ〜５Ｖ等、指定された電圧範囲が、ゼロからセンサに対する範囲の最上値までの流量範囲に対応するように、出力を正規化することができる。センサ出力の変化が流量の変化に線形に対応するように、出力もまた線形にすることができる。例えば、出力が線形にされる場合、流体出力を２倍にすることにより、電気出力が２倍になる。センサの動的応答、すなわち、流量又は圧力変化が求められるときに発生する圧力又は流量の変化の不正確な影響が求められ、それによりこうした影響を補償することができる。
【００１７】
エンドユーザーによって使用される流体のタイプが、調整及び／又は較正で使用される流体のタイプと異なる場合、又はエンドユーザーによって使用される、入口及び出口圧力、温度、流量の範囲等の動作条件が、調整及び／又は較正で使用されるものと異なる場合、質量流量制御器の動作は一般に質が低下する。この理由で、流量計は、追加の流体（「代用流体」と呼ぶ）及び／又は動作条件を用いて調整又は較正することができ、十分な応答を提供するために必要ないかなる変化も、ルックアップテーブルに格納される。本発明の譲受人によって所有されかつ引用することにより本明細書の一部をなす、「Flow Sensor Signal Conversion」と題するWang他の米国特許第７，２７２，５１２号は、使用される各異なるプロセス流体に対して装置を較正するために代用流体を必要とするのではなく、異なるガスの特性を用いて応答を調整するシステムを記載している。
【００１８】
幾つかの実施形態において、質量流量制御器１００は、質量流量制御器１００を通って流れる流体の流量及び特性を特定するように動作可能な更なるセンサ（図示せず）を含む。そのような実施形態の１つにおいて、流体質量流量制御器１００は、質量流量制御器１００を通って流れる流体の温度を特定するように動作可能な温度センサを含む。そのような実施形態のうちの別の実施形態において、流体質量流量制御器１００は、質量流量制御器１００を通って流れる流体の流量の変化だけでなく、質量流量制御器１００を通って流れる流体の加速度も特定するように動作可能な加速度計を含む。
【００１９】
さらに、質量流量制御器１００は、限定されないが通常はバイパス１４２の上流のいずれかの箇所において、流路内の圧力を測定するために流路に結合された圧力変換器１１２を含むことができる。圧力変換器１１２は、圧力を示す圧力信号を提供する。開示する実施形態によれば、圧力変換器１１２を用いて、減衰率測定中に圧力が測定される。
【００２０】
制御電子回路１６０は、所望の質量流量を示す設定値と、センサ導管内を流れる流体の実際の質量流量を示す質量流量センサからの電気流量信号とに従って、制御弁１７０の位置を制御する。そして、比例制御、積分制御、比例−積分（ＰＩ）制御、微分制御、比例−微分（ＰＤ）制御、積分−微分（ＩＤ）制御及び比例−積分−微分（ＰＩＤ）制御等、従来のフィードバック制御方法を用いて、質量流量制御器における流体の流量が制御される。流体の所望の質量流量を示す設定値信号と質量流量センサによって検知される実際の質量流量に関連するフィードバック信号との差である誤差信号に基づいて、制御信号（例えば、制御弁駆動信号）が生成される。制御弁は、主流体流路（通常、バイパス及び質量流量センサの下流）内に配置され、主流体流路を通って流れる流体の質量流量を変化させるように調整する（例えば、開閉する）ことができ、この制御は、質量流量制御器によって与えられる。
【００２１】
図示する例では、流量は、導体１５８及び１５９によって電圧信号として閉ループシステムコントローラーに供給される。信号は、増幅され、処理され、流量を変更するように制御弁組立体１５０に供給される。この目的で、コントローラー１６０は、質量流量センサ１４０からの信号を所定値と比較し、それに従って、所望の流量を達成するように比例弁１７０を調節する。
【００２２】
質量流量制御器１００を通って流れる物質の測定値を示すデータ（質量流量制御器測定データ）、並びに質量流量制御器１００のデフォルト、履歴及び／又は現在のデバイス属性を示すデータ（質量流量制御器設定データ。質量流量制御器設定データ及び質量流量制御器測定データはまとめて質量流量制御器データと呼ばれる）が記憶媒体１８０上に記憶される。質量流量制御器測定データ及び質量流量制御器測定データの更なる例が、以下の段落において提供され、少なくとも図２及び図３において示される。記憶媒体１８０は、限定はしないが、リードオンリーメモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ)、フラッシュメモリ、磁気ハードドライブ、ソリッドステートハードドライブ、ＣＤ−ＲＯＭドライブ、ＤＶＤドライブ、フロッピーディスクドライブ、並びに他のタイプのデータ記憶構成要素及びデバイス等のデータ記憶構成要素から形成することができる。幾つかの実施形態において、記憶媒体１８０は、複数のデータ記憶デバイスを含む。
【００２３】
また、記憶媒体１８０は、質量流量制御器データを記憶するための少なくとも１つのパーティションを含む。本明細書において定義されるとき、パーティションは、記憶媒体１８０の物理的パーティション又は記憶媒体１８０の論理的パーティションとすることができる。少なくとも１つのパーティションの各パーティションは、デフォルト記憶空間を有し、そのうちの或る量を少なくとも１つのパーティションの別のパーティションに再配分することができる。各パーティションは、１ビットから、記憶媒体１８０の記憶空間全体に概ね等しいサイズにまで及ぶ可変サイズを有する。例えば、記憶媒体１８０は、質量流量制御器設定データを記憶するように指定される第１のパーティションと、質量流量制御器測定データを記憶するように指定される第２のパーティションとを含む。一実施形態において、第１のパーティションの利用可能な記憶空間の量が第１の閾値記憶サイズを下回り、第２のパーティションの利用可能な記憶空間の量が第１の閾値記憶サイズを上回るとき、第２のパーティションの利用可能な記憶空間の或る量が第１のパーティションに再配分され、それにより、記憶媒体１８０の第１のパーティションの空き記憶空間の量を増やす。第１のサイズ閾値は、第１のパーティション上に記憶されるべき質量流量制御器データ又は記憶空間の別の測定値のサイズとすることができる。
【００２４】
また、記憶媒体１８０は、質量流量制御器１００を通って流れる異なる流体の異なる流体モデルを含む。流体モデルを定期的に更新して、質量流量制御器１００を通って流れる流体を正確に表すことができる。さらに、質量流量制御器１００は、記憶媒体１８０上に記憶された１つ以上の既存の流体モデルに対する変化を示す質量流量データを定期的に受信することができる。
【００２５】
幾つかの実施形態において、質量流量制御器上に記憶されるデータ値を動的に構成／再構成するために本明細書において説明される動作を実行するように動作可能なアプリケーションが、記憶媒体１８０上に記憶される。そのような実施形態の１つにおいて、上述のアプリケーションは、記憶媒体１８０上に記憶された既存の気体モデル及び気体データベースにアクセスできるファイルシステムアプリケーションを含む。ファイルシステムは、記憶媒体上に記憶された流体モデルを、流体モデルに対する変化を示す質量流量制御器データで更新するように動作可能である。そのような実施形態のうちの別の実施形態において、ファイルシステムは、新たな流体モデルを作成し、新たな流体モデルを示す質量流量制御器データを記憶媒体１８０上に記憶するように動作可能である。記憶媒体１８０上に記憶される気体モデルを更新するために別のソフトウェアが実行される間に質量流量制御器１００のシャットダウンを要求する、（外部マシン上で実行される）別のソフトウェアに構成を実行させる代わりに、ファイルシステムは、質量流量制御器１００からの単一のコマンドだけで臨機応変に気体を構成／再構成するために、既存の流体モデルに対して動的な変更を加え、新たな流体モデルを動的に作成し、質量流量制御器１００の他の設定を動的に構成するように動作可能である。対照的に、ファイルシステムは、気体モデルが更新されることを可能にするとともに、質量流量制御器１００上に記憶される他のデータが質量流量制御器１００の動作中に動的に構成及び／又は再構成されることを可能にする。そのような実施形態のうちの別の実施形態において、ファイルシステムはまた、記憶媒体１８０上に記憶される質量流量制御器データのロケーションを特定するために、記憶媒体１８０にフィルターをかけるように動作可能である。そのような実施形態において、ファイルシステムアプリケーションを利用して、質量流量制御器データ等のデータがいかに記憶され、引き出されるかを制御する。質量流量制御器１００によれば、限定はしないが、ＦＡＴ１２、ＦＡＴ１６、ＦＡＴ３２を含むファイルアロケーションテーブル（ＦＡＴ)、拡張ファイルアロケーションテーブル（ｅｘＦＡＴ）、ニューテクノロジーファイルシステム（ＮＴＦＳ）、イェットアナザーフラッシュファイルシステム２（ＹＡＦＦＳ２：Yet Another Flash File System2）、トランスペアレントファイルシステム（ＴＦＳ）並びに記憶媒体１８０上に記憶された質量流量制御器データのロケーションを特定するように動作可能な他のタイプのファイルシステムアプリケーション等の、種々のタイプのファイルシステムアプリケーションを使用することができる。ファイルシステムアプリケーションは、デバイス機能に対する将来のアップグレード及び改善が要求されるときに、質量流量制御器１００における融通性を提供する。例えば、フラッシュ密度（flash density）が変化するとき、配置済みのファイルシステムアプリケーションを用いてデータ管理が適切に処理されることになる。これは、実際のハードウェアが使用されるもの（例えば、フラッシュチップ、ＳＤカード等）から独立しているように、質量流量制御器記憶装置を提供する。一実施形態において���ファイルシステムドライバーはファームウェアに含まれる。さらに、ファイルシステムアプリケーションは、ファイル転送サポート及びユニバーサルシリアルバス（ＵＳＢ）等の先進プロトコルと互換性があり、それにより、記憶媒体１８０上に記憶される質量流量制御器データのより迅速なダウンロード、及び記憶媒体１８０への質量流量制御器データのより短い書込み時間を助長する。一実施形態において、ファイルシステムアプリケーションは、記憶密度が変化するとき、又は不揮発性データ記憶の変更を要求する機能を更新するとき、質量流量制御器のファームウェアに対する変更を少なくする。
【００２６】
更なる実施形態において、質量流量制御器データを動的に構成するために本明細書において説明される動作を実行するための命令も記憶媒体１８０上に記憶される。そのような実施形態の１つにおいて、記憶媒体１８０上に質量流量制御器データを記憶し、及び／又は構成する命令、質量流量制御器データを保持するように指定されるデータファイルが記憶媒体１８０上に記憶されるか否かを判断する命令、データファイルが記憶媒体上に記憶される場合には、質量流量制御器データを含むようにデータファイルを更新する命令、データファイルが記憶媒体１８０上に記憶されない場合には、質量流量制御器データを有する新たなデータファイルを作成する命令、並びに本明細書において説明されるか、又は本明細書において説明される動作において実行される他の命令が記憶媒体１８０上に記憶される。本明細書において定義されるとき、データファイルは、本明細書において説明される質量流量制御器データを保持するように指定される任意の電子ファイルである。図１は、記憶媒体１８０を制御電子回路１６０の１つの構成要素として示すが、記憶媒体１８０は、質量流量制御器１００のスタンドアローン構成要素とすることができる。さらに、幾つかの実施形態において、記憶媒体１８０は、質量流量制御器１００から容易に取り出すことができる取外し可能構成要素である。そのような実施形態の１つにおいて、記憶媒体１８０上に記憶された質量流量制御器データのデータ抽出を容易にするために、取り出された質量流量制御器を遠隔電子デバイスに差し込むことができる。記憶媒体１８０上に記憶されたデータに関する更なる説明は、以下の段落において提供され、少なくとも図２及び図３において示される。
【００２７】
また、質量流量制御器１００は、質量流量制御器上に記憶されるデータ値を動的に構成／再構成するために、そして新たなデータを記憶媒体１８０上に書き込むために本明細書において説明される動作を実行するように動作可能なプロセッサ１９０を含む。幾つかの実施形態において、プロセッサ１９０は、流体モデルを構成する命令を受信することと、流体モデルに対する変化を示す質量流量制御器データを取得することと、ファイルシステムを利用して、流体モデルを、流体モデルの変化を示す質量流量制御器データで動的に更新することとを行うために、記憶媒体１８０上に記憶される命令を実行するように動作可能である。そのような実施形態の１つにおいて、プロセッサ１９０は、質量流量制御器１００によって受信されたデータが任意の既存の気体モデルに関連付けられるか否かを判断し、質量流量制御器１００によって受信されたデータが、記憶媒体１８０上に記憶される任意の既存の気体モデルに関連付けられない場合には、新たな流体モデルを作成し、新たな流体モデルを記憶媒体１８０上に記憶するように更に動作可能である。
【００２８】
更なる実施形態において、プロセッサ１９０はまた、質量流量制御器データを構成する命令を引き出すことと、ファイルシステムアプリケーションを利用して、質量流量制御器データを記憶するための記憶媒体１８０上のロケーションを特定することであって、ロケーションは質量流量制御器データを記憶するように指定される記憶媒体１８０上のパーティションに対応することと、質量流量制御器データのサイズが、質量流量制御器データを記憶するように指定される記憶媒体１８０のパーティションの利用可能な記憶空間の量より大きい場合には、複数のパーティションの少なくとも１つのパーティションのパーティションサイズを動的に調整することと、記憶媒体１８０上のそのロケーションに質量流量制御器データを記憶することと、本明細書において説明される他の動作とを行うために、記憶媒体１８０上に記憶された命令を実行するように動作可能である。図１は、プロセッサ１９０を制御電子回路１６０の構成要素として示すが、プロセッサ１９０は、質量流量制御器１００のスタンドアローン構成要素とすることができる。プロセッサ１９０の動作に関する更なる説明は以下の段落において提供され、少なくとも図２及び図３において示される。
【００２９】
図２は、開示される実施形態による質量流量制御器データを記憶するためのパーティション２０２を有する、図１の質量流量制御器１００の記憶媒体１８０のメモリ構造の概略図である。本明細書において定義されるとき、質量流量制御器データは、質量流量制御器設定データ及び質量流量制御器測定データを含む。幾つかの実施形態において、質量流量制御器設定データは、質量流量制御器１００の現在の構成を示すデータ、質量流量制御器１００の現在の較正を示すデータ、質量流量制御器１００の現在の通信構成を示すデータ、現在の質量流量制御器１００の情報を示すデータ、質量流量制御器１００のスクラッチパッドを示すデータ、質量流量制御器１００のファームウェアバックアップ情報を示すデータ、質量流量制御器の復元ポイントを示すデータ、質量流量制御器１００の診断データを示すデータ、及び質量流量制御器の種々の設定を示す他のデータを含む。更なる実施形態において、質量流量制御器測定データは、質量流量制御器１００を通って流れる流体、気体又は蒸気の流量を示すデータ、流体、気体又は蒸気の流量の変化を示すデータ、流体、気体又は蒸気の流量の測定値履歴（historical measurement）を示すデータ、及び質量流量制御器１００によって取得された測定値を示す他の値を含む。
【００３０】
幾つかの実施形態において、質量流量制御器データは異なるデータファイル上に記憶される。例えば、質量流量制御器１００の現在のデバイス構成を示すデータは第１のデータファイル上に記憶され、質量流量制御器１００の現在のデバイス較正を示すデータは第２のデータファイル上に記憶され、質量流量制御器１００のデフォルトデバイス構成を示すデータは第３のデータファイル上に記憶される。さらに、質量流量制御器１００を通って流れる流体、気体又は蒸気等の物質の流量を示すデータは第４のデータファイル上に記憶され、物質の流動特性を示すデータは第５のデータファイル上に記憶され、物質の測定値履歴を示すデータは第６のデータファイル上に記憶される。また、質量流量制御器１００の通信チャネルを示すデータ、質量流量制御器１００のデバイス情報を示すデータ、質量流量制御器１００のファームウェアバックアップ情報を示すデータ、及び質量流量制御器１００の診断データを記憶するように指定される更なるデータファイルも第１のパーティション２０２上に記憶される。さらに、更なるタイプの質量流量制御器データを保持するように指定される更なるデータファイルも第１のパーティション２０２上に記憶される場合がある。
【００３１】
そのような実施形態において、質量流量制御器データが記憶されるデータファイルを特定することによって、異なる質量流量制御器データにアクセスすることができる。さらに、質量流量制御器１００が、或る特定の質量流量制御器データを構成／再構成する命令を受信するとき、プロセッサ１９０は、ファイルシステムアプリケーション等の記憶媒体１８０のアプリケーションセクション２０４内に記憶されたアプリケーションを利用して、どのデータファイルが上述の質量流量制御器データを保持するように指定されるかを判断し、指定されたデータファイルを上述の質量流量制御器データファイルを用いて修正するように動作可能である。例えば、プロセッサ１９０が新たなデバイス構成を示すデータを受信する場合には、プロセッサ１９０は、ファイルシステムアプリケーションを利用して、質量流量制御器１００の現在のデバイス構成を示すデータを収容する、第１のデータファイルのロケーションを特定し、既存のデバイス構成を示す既存のデータを新たなデバイス構成を示す受信データで上書きするように動作可能である。さらに、プロセッサ１９０が、質量流量制御器１００のデバイス構成を質量流量制御器１００のデフォルトデバイス構成に復元する命令を受信する場合には、プロセッサ１９０は、質量流量制御器１００のデフォルトデバイス構成を示すデータを取得するために第３のデータファイルにアクセスし、第１のデータファイルに記憶される、質量流量制御器１００の既存のデバイス構成を示すデータを、質量流量制御器１００のデフォルトデバイス構成を示すデータで上書きするように動作可能である。
【００３２】
幾つかの実施形態において、或る特定の質量流量制御器データが記憶媒体１８０上に記憶されない。例えば、窒素ガス等の新たな気体が質量流量制御器１００を最初に通り抜けるとき、サーマル流量センサ１４６等の質量流量制御器のセンサが、窒素ガスの流量、窒素ガスの化学的特性及び窒素ガスの他の測定可能な特性を測定するように動作可能である。その後、プロセッサ１９０は、ファイルシステムアプリケーションを動作させて、窒素ガスの流量、窒素ガスの化学的特性及び窒素の他の測定された特性を示すデータを記憶するためのデータファイルが作成されているか否かを判断する。そのようなデータファイルが第１のパーティション２０２上に記憶されていない場合には、プロセッサ１９０は、窒素ガスの上述の測定された特性を示すデータを新たに作成されたデータファイル上に記憶するために新たなデータファイルを作成するように更に動作可能である。したがって、上述の動作は、質量流量制御器１００に、記憶媒体１８０上に記憶された質量流量制御器データへの動的なアクセスを提供し、それにより、（外部マシン上で実行される）別のソフトウェアに構成／再構成を実行させる代わりに、ツールからの単一のコマンドだけで質量流量制御器データを動的に構成及び再構成できるようにし、それにより、ツールダウンタイムを削減し、ツールスループットを向上させる。
【００３３】
幾つかの実施形態において、プロセッサ１９０はまた、第１のパーティション２０２上に記憶された１つ以上のデータファイルのファイルサイズを動的に変更するように動作可能である。引き続き先の例において、窒素ガスは絶えず質量流量制御器を通って流れるので、プロセッサ１９０は、質量流量制御器１００のセンサによって測定されるような、窒素ガスの最新の測定値を示すデータを絶えず受信する。プロセッサ１９０は、窒素ガスの測定値履歴を記憶するように指定される、第６のデータファイル内に窒素ガスのデータを記憶する。第６のデータファイルは、プロセッサ１９０が窒素ガスの測定値を示す更なるデータを第６のデータファイル上に記憶するにつれて拡大し続けることになる。そのような実施形態の１つにおいて、プロセッサ１９０は、第１のパーティション２０２の利用可能な記憶空間を特定するように動作可能であり、第１のパーティション２０２の利用可能な記憶空間の或る量を第６のデータファイルに動的に配分するように動作可能である。幾つかの実施形態において、プロセッサ１９０は、第１のパーティション２０２のパーティションサイズと、記憶媒体１８０の利用可能な記憶空間の量とを特定し、記憶媒体１８０の利用可能な記憶空間の或る量を第１のパーティション２０２に配分するように動作可能である。そのような実施形態の１つにおいて、プロセッサ１９０は、第１のパーティション２０２に割り当てられる記憶空間の量、及び記憶媒体１８０上に記憶される他のデータに割り当てられる記憶空間の量を特定する。図２の例において、第１のパーティションは、記憶媒体１８０のロケーション０ｘ０００００〜０ｘ３ＦＦＦＦを割り当てられ、アプリケーションセクション２０４は、記憶媒体１８０のロケーション０ｘ４００００〜０ｘ９ＦＦＦＦを割り当てられる。その後、プロセッサ１９０は、アプリケーションセクション２０４に現在割り当てられている利用可能な記憶空間の或る量を第１のパーティション２０２に再配分できるか否かを判断するように動作可能である。例えば、ロケーション０ｘ８００００〜０ｘ９ＦＦＦＦしか利用されていない場合には、プロセッサ１９０は、ロケーション０ｘ４００００〜０ｘ７ＦＦＦＦにある利用可能な記憶の或る量を第１のパーティションに割り当てるように動作可能であり、それにより、第１のパーティション２０２上に更なる質量流量制御器データを記憶できるようにする。
【００３４】
図３は、開示される実施形態による異なるタイプの質量流量制御器データを記憶するための複数のパーティション３０２及び３１２を有する、図１の質量流量制御器１００の記憶媒体２８０のメモリ構造の概略図である。図３に示されるように、本明細書において説明される動作を実行するためにプロセッサ１９０によって利用されるアプリケーションは、記憶媒体２８０のアプリケーションセクション３０４に記憶される。質量流量制御器設定データを記憶するように指定されるデータファイルは、記憶媒体１８０の第１のパーティション３０２上に記憶される。さらに、質量流量制御器１００の現在のデバイス構成を示すデータが第１のパーティション３０２の第１のデータファイル上に記憶され、質量流量制御器１００の現在のデバイス較正を示すデータが第１のパーティション３０２の第２のデータファイル上に記憶され、質量流量制御器１００のデフォルトデバイス構成を示すデータが第１のパーティション３０２の第３のデータファイル上に記憶される。さらに、質量流量制御器１００のファームウェアバックアップ情報を示すデータが第１のパーティション３０２の第４のデータファイル上に記憶され、質量流量制御器１００の診断情報を示すデータが第１のパーティション３０２の第５のデータファイル上に記憶される。また、質量流量制御器１００の通信チャネルを示すデータ、質量流量制御器１００のデバイス情報を示すデータ、質量流量制御器１００のファームウェアバックアップ情報を示すデータ、及び質量流量制御器１００の診断データを記憶するように指定される更なるデータファイルも第１のパーティション２０２上に記憶される。さらに、更なるタイプの質量流量制御器データを保持するように指定される更なるデータファイルも第１のパーティション２０２上に記憶される場合がある。さらに、質量流量測定データを記憶するように指定されるデータファイルが、複数のパーティションの第２のパーティション３１２上に記憶される。さらに、質量流量制御器１００を通るアルゴンガスの流量を示すデータが第２のパーティション３１２の第１のデータファイル上に記憶され、アルゴンガスの特性を示すデータが第２のパーティション３１２の第２のデータファイル上に記憶され、アルゴンガスの測定値履歴を示すデータが第２のパーティション３１２の第３のデータファイル上に記憶される。
【００３５】
プロセッサ１９０は、質量流量制御器データを構成する命令を受信すると、質量流量制御器データが、第１のパーティション３０２上に記憶されるか、第２のパーティション３１２上に記憶されるか、いずれのパーティションにも記憶されないかを判断するように動作可能である。例えば、プロセッサ１９０が、アルゴンガスの測定値履歴をアルゴンガスの最新の測定値で更新する命令を受信する場合には、プロセッサ１９０は、第２のパーティション３１２のロケーションを特定し、第２のパーティション３１２の第３のデータファイルのロケーションを特定し、第２のパーティション３１２の第３のデータファイルをアルゴンガスの最新の測定値で更新するように動作可能である。幾つかの実施形態において、ファイルシステムアプリケーションがアプリケーションセクション３０４上に記憶され、プロセッサ１９０は、アルゴンガスの最新の測定値を書き込む場所を特定するために上述の動作を実行するファイルシステムアプリケーションを実行するように動作可能である。同様に、プロセッサ１９０が、質量流量制御器１００の最新のデバイス較正データを示すデータを受信する場合には、プロセッサ１９０は、第１のパーティション３０２のロケーションを特定し、質量流量制御器１００のデバイス較正データを含む、第１のパーティション３０２の第２のデータファイルのロケーションを特定し、既存のデバイス較正データを質量流量制御器１００の最新のデバイス較正データで上書きするように動作可能である。
【００３６】
幾つかの実施形態において、プロセッサ１９０は、それぞれのパーティションの利用可能な記憶空間に基づいて、第１のパーティション３０２及び第２のパーティション３１２の記憶サイズを調整するように動作可能である。そのような実施形態の１つにおいて、プロセッサ１９０が、第２のパーティション３１２の第２のデータファイルをアルゴンガスの最新の測定値を示すデータで更新する命令を受信し、プロセッサ１９０が、第２のパーティション３１２の利用可能な記憶空間の量がアルゴンガスの最新の測定値を示すデータのサイズより小さいと判断する場合には、プロセッサ１９０は、第１のパーティション３０２に属する記憶空間を第２のパーティション３１２に配分できるか否かを判断するように動作可能である。例えば、プロセッサ１９０が、第１のパーティション上に記憶される全てのデータファイルが、記憶媒体２８０のロケーション０ｘ２００００〜０ｘ３ＦＦＦＦを占有すると判断する場合には、プロセッサ１９０は、ロケーション０ｘ０００００〜０ｘ１ＦＦＦＦを第２のパーティションに配分するように動作可能であり、それにより、第２のデータファイルのサイズを、第２のデータファイル上に記憶される更なる質量流量制御器データを収容するように動的に拡張できるようにする。
【００３７】
幾つかの実施形態において、プロセッサ１９０は、或る動作持続時間にわたる（例えば、１時間、１日、１週間又は別の動作期間にわたる）パーティションの増大及び／又は縮小を予測し、それに応じて、パーティションのサイズを動的に調整するように動作可能である。そのような実施形態の１つにおいて、プロセッサ１９０は、質量流量制御器データを構成する命令履歴に基づいて、将来の動作持続時間（例えば、１時間、１日、１週間又は他の動作期間）にわたる質量流量制御器データのサイズを予測するように動作可能である。例えば、プロセッサ１９０が、第２のパーティション３１２の第２のデータファイルを約１メガバイトのデータで更新する命令を１時間ごとに受信しており、プロセッサ１９０が、第２のパーティションが約５メガバイトの利用可能な記憶空間を有すると判断する場合には、プロセッサ１９０は、第２のパーティション３１２が約５時間で利用可能な記憶空間を使い果たす可能性があると判断することができる。その際、プロセッサ１９０は、第１のパーティション３０２に配分された利用可能な記憶空間の量を特定し、第２のパーティション３１２の第２のデータファイルが拡張し続けることができるようにするために、第１のパーティション３０２の利用可能な記憶空間の或る量を第２のパーティション３１２に動的に配分するために本明細書において説明される動作を実行する。
【００３８】
図３は２つのパーティション３０２及び３１２を示すが、記憶媒体２８０は、任意の他の数のパーティションを含むように分割することができる。一実施形態において、記憶媒体２８０上に記憶される各データファイルは個別のパーティションを配分される。そのような実施形態において、各パーティションのサイズは、対応するデータファイル上に記憶されるデータの量に基づいて、拡大又は縮小する場合がある。
【００３９】
図４は、図１の質量流量制御器１００の記憶媒体１８０のメモリ構造の概略図である。図４の図解は、質量流量制御器データ及び気体モデルが第１のパーティション２０２上に記憶されるという点で、図２の図解に類似である。幾つかの実施形態において、本明細書において説明される質量流量制御器データは、図４に示される１つ以上の気体モデルのデータを表す。例えば、質量流量制御器１００は、第１の流体モデルに対する変化を示す質量流量制御器データを受信する場合がある。プロセッサ１９０は、第１の気体モデルを、受信された質量流量制御器データを用いて変更するように動作可能である。さらに、プロセッサ１９０は、第１のパーティション２０２の記憶空間を変更し、第１のパーティション２０２が全ての気体モデルを記憶するのに十分な記憶空間を有するのを確実にするために、本明細書において説明される命令を実行するように更に動作可能である。
【００４０】
図５は、開示される実施形態による異なる気体モデルを記憶するための複数のパーティション３０２及び３１２を有する、図１の質量流量制御器１００の記憶媒体２８０のメモリ構造の概略図である。図５の実施形態において、第１の気体モデル及び第２の気体モデルが第１のパーティション３０２上に記憶されるのに対して、第３の気体モデルは第２のパーティション３１２上に記憶される。第１のパーティション３０２及び第２のパーティション３１２の利用可能な記憶空間は、第１の気体モデル、第２の気体モデル及び第３の気体モデルの１つ以上が更新されるのに応じて動的に変化する。プロセッサ１９０は、第１のパーティション３０２及び第２のパーティション３１２の記憶空間を動的に配分し、両方のパーティションが第１の気体モデル、第２の気体モデル及び第３の気体モデルのための十分な記憶空間を有するのを確実にするために、本明細書において説明される動作を実行するように動作可能である。幾つかの実施形態において、プロセッサ１９０は、新たな気体モデル（第４の気体モデル）を作成するのに先立って、第１のパーティション３０２及び第２のパーティション３１２の利用可能な記憶空間を判断する。そのような実施形態の１つにおいて、プロセッサ１９０は、第２のパーティション３１２が第１のパーティション３０２より広い利用可能な記憶空間を含むと判断し、その後、第４の気体モデルを第２のパーティション３１２に記憶する。
【００４１】
本明細書及び本出願の任意の請求項において使用されるとき、「コンピューター」、「プロセッサ」及び「メモリ」という用語は全て、電子技術又は他の技術によるデバイスを指している。本明細書及び本出願の任意の請求項において使用されるとき、「コンピューター可読媒体」及び「複数のコンピューター可読媒体」という用語は、コンピューターによって読み出すことができる形の情報を記憶する有形の物理的対象物に完全に限定される。これらの用語は、任意のワイヤレス信号、有線ダウンロード信号、及び任意の他の一時的な信号を除外する。
【００４２】
上記で開示された実施形態は、例示のために、そして当業者が本開示を実践できるようにするために提示されてきたが、本開示は、網羅的に述べること、又は開示される形に限定することは意図していない。本開示の範囲及び趣旨から逸脱することなく、数多くのわずかな変更及び変形が当業者には明らかになるであろう。請求項の範囲は、開示した実施形態及び任意のそのような変更を広く包含するように意図されている。
【００４３】
上記で開示された実施形態は、例示のために、そして当業者が開示された実施形態を実践できるようにするために提示されてきたが、網羅的に述べること、又は開示される形に限定することは意図していない。本開示の範囲及び趣旨から逸脱することなく、数多くのわずかな変更及び変形が当業者には明らかになるであろう。請求項の範囲は、開示した実施形態及び任意のそのような変更を広く包含するように意図されている。
【００４４】
数量が特定されていないもの（the singular forms "a", "an" and "the"）は、本明細書において用いられるとき、文脈が複数形を含まないことを明確に示していない限り、複数形も同様に含むように意図されている。「備える」（"comprise" and/or "comprising"）という用語は、この明細書及び／又は特許請求の範囲において用いられるとき、明記した特徴、ステップ、動作、要素、及び／又は構成要素が存在することを明示しているが、１つ以上の他の特徴、ステップ、動作、要素、構成要素、及び／又はそれらの群が存在すること又は追加されることを排除していないことが更に理解されるであろう。さらに、上記の実施形態及び図において示されるステップ及び構成要素は例示にすぎず、任意の特定のステップ又は構成要素が、特許請求される実施形態の要件であることを暗示するものではない。
【符号の説明】
【００４５】
１００    流体質量流量制御器
１０２    センサハウジング
１０８    ベース
１１０    ブロック
１１２    圧力変換器
１２０    流体入口
１２２    矢印
１３０    流体出口
１４０    サーマル質量流量計
１４２    バイパス
１４６    サーマル流量センサ
１４６Ａ    センサ入口部分
１４６Ｂ    センサ出口部分
１４６Ｃ    センサ測定部分
１４７    抵抗巻線
１４８    抵抗巻線
１５０    制御弁組立体
１６０    コントローラー
１７０    比例弁
１８０    記憶媒体
１９０    プロセッサ
２０２    第１のパーティション
２０４    アプリケーションセクション
２８０    記憶媒体
３０２    第１のパーティション
３０４    アプリケーションセクション
３１２    第２のパーティション
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
2019505922.tif 000008
2019505922.tif 000009
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