【手続補正書】
【提出日】平成19年2月23日(2007.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
標本に関連して設定された各サンプル領域に、それぞれの画像データを生成するよう構成されたプローブを該標本に対して配置するステップと、
前記それぞれの画像を生成する間に、２次元の視野においてサンプル領域からサンプル領域へ、順次連続的な非ラスタ走査経路で少なくとも１つのプローブを標本と相対的に前記２次元の視野内で移動させるステップであって、該サンプル領域は前記２次元の視野を全体として覆い、および各サンプル領域の面積が同様になるように前記２次元の視野内で一様に割当てられるステップと、
前記画像データから画像を生成するステップと
を備えたことを特徴とする標本の画像を生成する方法。
【請求項２】
前記走査経路に沿って前記標本に対し前記プローブを移動させるステップを備えたことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記走査経路に沿って前記プローブに対し前記標本を移動させるステップを備えたことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記それぞれの画像データは、前記プローブによって生成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記それぞれの画像データは、前記サンプル領域に向けられたエネルギーによって生成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記エネルギーは、前記サンプル領域に向けて前記プローブにより出されることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記エネルギーが前記サンプル領域に向けられるように前記エネルギーを変調するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記エネルギーを変調するステップは、前記エネルギーが前記サンプル領域に向けられるように前記エネルギーの強度を変調するステップを含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記エネルギーは、少なくとも１つの光学ビームを含むことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項１０】
前記少なくとも１つの光学ビームは、少なくとも１つのレーザビームを含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記プローブは、機械プローブであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記それぞれの画像データは、前記サンプル領域から受信したエネルギーを検出することによって生成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記プローブは、前記サンプル領域から受信したエネルギーを検出することによって前記それぞれの画像データを生成することを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記走査経路は、螺旋経路であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記螺旋経路は、アルキメデス螺旋経路であることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記螺旋経路は、方形螺旋経路であることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記螺旋経路は、外向き螺旋経路に結合された内向き螺旋経路を含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１８】
１つの内向き螺旋経路および１つの外向き螺旋経路を含む１周期の間に前記視野の１画面が生成されることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記内向き螺旋経路および前記外向き螺旋経路はそれぞれ開始点と終点とを有し、各螺旋経路の開始点は前記１周期中の他の螺旋経路の終点に隣接していることを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記内向き螺旋経路の間の移動において前記視野の第１の画像が生成され、前記外向き螺旋経路の間の移動において前記視野の第２の画像が生成されることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項２１】
１前記内向き螺旋経路および前記外向き螺旋経路は、２以下の方向転換によって相互に結合されることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項２２】
前記内向き螺旋経路の回転方向は、前記外向き螺旋経路の回転方向と逆であることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項２３】
前記螺旋経路は、２以下の方向転換を含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項２４】
前記少なくとも１つのプローブは、前記走査経路に沿って１サンプル領域あたりの停留時間がほぼ等しくなるように標本と相対的に前記２次元の視野内で移動することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２５】
前記サンプル領域の面積は、前記走査経路に沿ってほぼ等しいことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２６】
前記画像を生成するステップは、前記走査経路に沿って前記サンプル領域についてそれぞれ得られた画像データを、複数のピクセルの一様なグリッドを含むラスタ空間にマッピングするステップを含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項２７】
前記マッピングするステップは、前記グリッドの各々のピクセルについて、該ピクセルに最も近いサンプル領域からのデータを、該サンプル領域とピクセルとの距離に基づいてそれぞれ重み付けするステップを含むことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
前記マッピングするステップは、前記各サンプル領域について、ｎ個の最も近い２次元のピクセルを判定するステップを含むことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項２９】
前記ラスタ空間を表示するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項２６に記載の方法。
【請求項３０】
それぞれの前記サンプル領域においてデータが生成されるように、前記走査経路に沿って各サンプル領域に関連付けられた座標をそれぞれ判定するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３１】
前記座標は、ＸＹ座標であることを特徴とする請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
前記判定された座標からプローブ位置に関するフィードバックデータをそれぞれ生成するステップと、
それぞれの前記フィードバックデータから前記視野におけるサンプル領域の位置をそれぞれ判定するステップと
をさらに備えたことを特徴とする請求項３０に記載の方法。
【請求項３３】
前記走査経路を定めるコマンド信号の振幅を変化させることに対応して、前記生成された画像の大きさを変化させるステップをさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３４】
前記サンプル領域の各々について、それぞれの前記画像データは、前記走査経路に沿って次のサンプル領域の処理に進む前に、該サンプル領域の複数のデータサンプリングを実行することによって生成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３５】
（ｉ）前記走査経路に沿って前記サンプル領域の対応する数のデータサンプリング、および（ｉｉ）前記走査経路に沿って対応する数の回転のうちの少なくとも１つを実行することにより、所定の空間分解能の画像を生成するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
前記走査経路に沿って前記サンプル領域の対応するレートでデータサンプリングを実行することにより、所定の空間分解能の画像を生成するステップをさらに備えたことを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３７】
標本に関連して設定された各サンプル領域に、それぞれの画像データを生成するよう構成されたプローブを該標本に対して配置するステップと、
正弦曲線である第１の次元の制御信号と正弦曲線である第２の次元の制御信号とによって、前記それぞれの画像を生成する間に、２次元の視野においてサンプル領域からサンプル領域へ、順次連続的な非ラスタ走査経路で少なくとも１つのプローブを標本と相対的に前記２次元の視野内で移動させるステップであって、該サンプル領域は前記２次元の視野を全体として覆い、および各サンプル領域の面積が同様になるように前記２次元の視野内で一様に割当てられるステップと
を備えたことを特徴とする標本の画像を生成する方法。
【請求項３８】
標本に関連して設定された各サンプル領域に、それぞれの画像データを生成するよう構成されたプローブを該標本に対して配置するステップと、
前記それぞれの画像を生成する間に、２次元の視野においてサンプル領域からサンプル領域へ、順次連続的な非ラスタ走査経路で少なくとも１つのプローブを標本と相対的に前記２次元の視野内で移動させるステップであって、該サンプル領域は前記２次元の視野を全体として覆い、および各サンプル領域の面積が同様になるように前記２次元の視野内で一様に割当てられ、前記走査経路の方向転換は各周期で２以下であるステップと、
前記視野において、前記サンプル領域における前記少なくとも１つのプローブと標本の位置をモニタするステップと
を備えたことを特徴とする標本の画像を生成する方法。
【請求項３９】
標本を持つ手段と、
標本に対して配置され、該標本に関連して設定された各サンプル領域においてそれぞれの画像データを生成するよう構成されたプローブと、
前記それぞれの画像を生成する間に、２次元の視野においてサンプル領域からサンプル領域へ、順次連続的な非ラスタ走査経路で少なくとも１つのプローブを標本と相対的に前記２次元の視野内で移動させるよう構成された少なくとも１つの前記プローブおよび前記標本を持つ手段と結合した走査デバイスであって、該サンプル領域は前記２次元の視野を全体として覆い、および各サンプル領域の面積が同様になるように前記２次元の視野内で一様に割当てられる走査デバイスと
を備えたことを特徴とする標本の画像を生成する装置。
【請求項４０】
前記走査デバイスは、前記走査経路に沿って前記標本に対し前記プローブを移動させるよう構成されたことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項４１】
前記走査デバイスは、前記走査経路に沿って前記標本を持つ手段に対し前記プローブを移動させるよう構成されたことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項４２】
前記プローブは、前記それぞれの画像データを生成するよう構成されたことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項４３】
前記プローブは、前記サンプル領域にエネルギーを向けられるよう構成されたことを特徴とする請求項４２に記載の装置。
【請求項４４】
前記プローブは、前記サンプル領域に向けられる少なくとも１つのエネルギービームを生成するよう構成されたエネルギー源を含むことを特徴とする請求項４３に記載の装置。
【請求項４５】
前記プローブに結合し、前記プローブによって前記エネルギービームが前記サンプル領域に向けられるように前記エネルギービームを変調するよう構成されたビーム変調手段をさらに備えたことを特徴とする請求項４４に記載の装置。
【請求項４６】
前記エネルギービームは、少なくとも１つのレーザビームを含むことを特徴とする請求項４４に記載の装置。
【請求項４７】
前記プローブは、検出手段を含み、前記サンプル領域から受信したエネルギーを該検出手段によって検出するよう構成されたことを特徴とする請求項４２に記載の装置。
【請求項４８】
前記プローブは、前記サンプル領域にエネルギーを向けるよう構成されたことを特徴とする請求項４７に記載の装置。
【請求項４９】
前記プローブは、機械プローブであることを特徴とする請求項４２に記載の装置。
【請求項５０】
前記走査デバイスは、１つの螺旋経路を含む少なくとも１周期の間に、前記視野において少なくとも１つのプローブを標本と相対的に移動させるよう構成されたことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項５１】
前記螺旋経路は、アルキメデス螺旋経路であることを特徴とする請求項５０に記載の装置。
【請求項５２】
前記螺旋経路は、外向き螺旋経路に結合された内向き螺旋経路を含むことを特徴とする請求項５０に記載の装置。
【請求項５３】
前記内向き螺旋経路および前記外向き螺旋経路は、２以下の方向転換によって相互に結合されることを特徴とする請求項５２に記載の装置。
【請求項５４】
前記螺旋経路は、２以下の方向転換を含むことを特徴とする請求項５０に記載の装置。
【請求項５５】
前記画像データを受信し、当該受信した画像データから前記走査した視野の画像を生成するために前記画像データを形成する処理を行うよう構成されたコンピュータをさらに備えたことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項５６】
前記コンピュータは、前記視野において前記走査経路に沿って得られ受信した画像データを、複数のピクセルの一様なグリッドを含むラスタ空間に変換する変換器を含むことを特徴とする請求項５５に記載の装置。
【請求項５７】
前記コンピュータに結合して、前記視野の画像として視認できるように前記ピクセルを表示する表示デバイスをさらに備えたことを特徴とする請求項５６に記載の装置。
【請求項５８】
前記コンピュータは、前記ラスタ空間の各々のピクセルについて、該ピクセルに最も近いサンプル領域からのデータを、該サンプル領域とピクセルとの距離に基づいてそれぞれ重み付けするようさらに構成されたことを特徴とする請求項５６に記載の装置。
【請求項５９】
前記コンピュータは、前記各サンプル領域について、ｎ個の最も近い２次元のピクセルを判定するようさらに構成されたことを特徴とする請求項５６に記載の装置。
【請求項６０】
前記コンピュータは、正弦曲線である第１の次元の制御信号と正弦曲線である第２の次元の制御信号とをそれぞれ生成するよう構成され、および
前記走査デバイスは、前記正弦曲線である第１および第２の次元の制御信号に応答して、前記視野の前記第１および第２の次元において連続的な非ラスタ走査経路で少なくとも１つのプローブと標本を持つ手段とを移動させるよう構成されたことを特徴とする請求項５５に記載の装置。
【請求項６１】
前記正弦曲線である第１の次元の制御信号と正弦曲線である第２の次元の制御信号とは、それぞれ振幅と周波数からなる組から選択された変数パラメータを含むことを特徴とする請求項６０に記載の装置。
【請求項６２】
前記走査デバイスは、それぞれの前記サンプル領域においてデータが生成されるように、前記走査経路に沿って各サンプル領域に関連付けられた座標をそれぞれ判定するようさらに構成されたことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項６３】
前記走査デバイスは、前記プローブに対して少なくとも２つの方向に移動可能な、前記標本を持つ手段を置く台を含むことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項６４】
走査プローブ顕微鏡として構成されたことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項６５】
光学顕微鏡、蛍光顕微鏡、共焦点レーザ走査型顕微鏡、近接場顕微鏡および原子力顕微鏡のうちから選択された顕微鏡として構成されたことを特徴とする請求項６４に記載の装置。
【請求項６６】
前記サンプル領域における前記少なくとも１つのプローブと標本を持つ手段とについての位置データを生成する位置検出手段をさらに備えたことを特徴とする請求項３９に記載の装置。
【請求項６７】
前記サンプル領域の各々について前記位置データを受信し、前記画像データを受信し、前記画像データと前記位置データとをそれぞれ相互に関連付け、および当該受信した画像データから前記走査した視野の画像を生成するために前記画像データを形成する処理を行うよう構成されたコンピュータをさらに備えたことを特徴とする請求項６６に記載の装置。
【請求項６８】
標本を持つ手段と、
標本に対して配置され、該標本に関連して設定された各サンプル領域においてそれぞれの画像データを生成するよう構成されたプローブと、
前記それぞれの画像を生成する間に、２次元の視野においてサンプル領域からサンプル領域へ、順次連続的な非ラスタ走査経路で少なくとも１つのプローブを標本と相対的に前記２次元の視野内で移動させるよう構成された少なくとも１つの前記プローブおよび前記標本を持つ手段と結合した走査デバイスであって、該サンプル領域は前記２次元の視野を全体として覆い、および各サンプル領域の面積が同様になるように前記２次元の視野内で一様に割当てられる走査デバイスと、
前記画像データを受信し、当該受信した画像データから前記走査した視野の画像を生成するために前記画像データを形成する処理を行うよう構成され、前記視野において前記走査経路に沿って得られ受信した画像データを、複数のピクセルの一様なグリッドを含むラスタ空間に変換する変換器を含むコンピュータと、
それぞれの前記サンプル領域においてデータが生成されるように、前記走査経路に沿って各サンプル領域に関連付けられた座標をそれぞれ判定するよう構成された位置検出器と
を備えたことを特徴とする標本の画像を生成する装置。
【請求項６９】
前記コンピュータに結合して、前記視野の画像として視認できるように前記ピクセルを表示する表示手段をさらに備えたことを特徴とする請求項６８に記載の装置。
【請求項７０】
標本を持つ手段と、
標本に対して配置され、該標本に関連して設定された各サンプル領域においてそれぞれの画像データを生成するよう構成されたプローブ手段と、
前記それぞれの画像を生成する間に、２次元の視野においてサンプル領域からサンプル領域へ、順次連続的な非ラスタ走査経路で少なくとも１つのプローブ手段を標本と相対的に前記２次元の視野内で移動させるよう構成された少なくとも１つの前記プローブ手段および前記標本を持つ手段と結合した走査手段であって、該サンプル領域は前記２次元の視野を全体として覆い、および各サンプル領域の面積が同様になるように前記２次元の視野内で一様に割当てられる走査手段と
を備えたことを特徴とする標本の画像を生成する装置。
【請求項７１】
前記走査手段に結合し、および前記画像データを受信して、当該受信した画像データから前記走査した視野の画像を生成するために前記画像データを形成する処理を行うよう構成されたコンピュータ手段をさらに備えたことを特徴とする請求項７０に記載の装置。
【請求項７２】
前記コンピュータ手段は、前記視野において前記走査経路に沿って得られ受信した画像データを、複数のピクセルの一様なグリッドを含むラスタ空間に変換する変換手段を含むことを特徴とする請求項７１に記載の装置。
【請求項７３】
前記ラスタ空間の画像を表示する表示手段をさらに備えたことを特徴とする請求項７２に記載の装置。
【請求項７４】
それぞれの前記サンプル領域においてデータが生成されるように、前記走査経路に沿って各サンプル領域に関連付けられた座標をそれぞれ判定するよう構成された位置検出手段をさらに備えたことを特徴とする請求項７１に記載の装置。
【請求項７５】
標本を持つ手段と、
標本に対して配置され、該標本に関連して設定された各サンプル領域においてそれぞれの画像データを生成するよう構成されたプローブと、
前記それぞれの画像を生成する間に、２次元の視野においてサンプル領域からサンプル領域へ、順次連続的な非ラスタ走査経路で少なくとも１つのプローブを標本と相対的に前記２次元の視野内で移動させるよう構成された少なくとも１つの前記プローブおよび前記標本を持つ手段と結合した走査デバイスであって、該サンプル領域は前記２次元の視野を全体として覆い、および各サンプル領域の面積が同様になるように前記２次元の視野内で一様に割当てられる走査デバイスと、
前記画像データを受信し、当該受信した画像データから前記走査した視野の画像を生成するために前記画像データを形成する処理を行うよう構成され、前記視野において前記走査経路に沿って得られ受信した画像データを、複数のピクセルの一様なグリッドを含むラスタ空間に変換する変換器を含むコンピュータと、
それぞれの前記サンプル領域においてデータが生成されるように、前記走査経路に沿って各サンプル領域に関連付けられた座標をそれぞれ判定するよう構成された位置検出器と、
前記コンピュータに結合して前記ラスタ空間の画像を表示する表示デバイスと
を備えたことを特徴とする走査顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】標本の画像を生成する方法および装置および走査顕微鏡