(57)【要約】【課題】噛み込み欠陥を含む各種のシール欠陥をコード化することなく撮影画像上の色合いの変化として変換できるようにし、シール欠陥を確実に検出できるようにする。【解決手段】搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置３を配置し、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置４を、検査位置を間にして前記画像撮影装置３に対向する位置に配置するとともに、前記透過照明装置４の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置５を、前記移動線に対して前記画像撮影装置３側に配置して、前記透過照明装置４での光の照射による透過画像と前記斜光照明装置５での光の照射による反射画像とを一体にして前記画像撮影装置３が撮影可能に設けられ、画像撮影装置３によりマルチバンドデジタル画像を得て画像データそれぞれによりシール欠陥を検出する。【選択図】    図１
2006105746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や外観欠陥などのシール欠陥を検査する装置であって、
搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置を、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置に配置するとともに、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、
前記透過照明装置での光の照射による透過画像と、前記斜光照明装置での光の照射による反射画像とを、各波長それぞれに対応した画像として、前記画像撮影装置に撮影可能に設けられて、
前記透過照明装置と前記斜光照明装置との照明により映像化された一体画像に基づいて、各部位での映像データを有する状態でのマルチバンドデジタル画像を形成する構成をすることを特徴とする包装体の検査装置。
【請求項２】
物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や外観欠陥などのシール欠陥を検査する装置であって、
搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置を、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置に配置するとともに、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置し、前記透過照明装置及び斜光照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でシール部に照射する暗視野照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、
前記透過照明装置での光の照射による透過画像と、前記斜光照明装置での光の照射による反射画像と、前記暗視野照明装置での光の照射による反射画像とを、各波長それぞれに対応した画像として、前記画像撮影装置に撮影可能に設けられて、
前記透過照明装置と前記斜光照明装置と前記暗視野照明装置との照明により映像化された一体画像に基づいて、各部位での映像データを有する状態でのマルチバンドデジタル画像を形成する構成をすることを特徴とする包装体の検査装置。
【請求項３】
物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や外観欠陥などのシール欠陥を検査する装置であって、
搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、
検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置であって、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置と、前記移動線に対して前記画像撮影装置側の位置であって、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置と、前記移動線に対して前記画像撮影装置側の位置であって、前記透過照明装置及び斜光照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でシール部に照射する暗視野照明装置との何れかから選択される二つの照明装置を有し、
前記選択された二つの照明装置での光の照射による画像を、該照明装置の光の波長それぞれに対応した画像として、前記画像撮影装置に撮影可能に設けられて、
前記二つ照明装置の照明により映像化された一体画像に基づいて、各部位での映像データを有する状態でのマルチバンドデジタル画像を形成する構成をすることを特徴とする包装体の検査装置。
【請求項４】
物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や折れなどの外観欠陥などのシール欠陥を検査する方法であって、
搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、
波長特性を有した光を照射する透過照明装置を、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置に配置して、該透過照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射するとともに、
前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を照射する斜光照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、該斜光照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射して、
検査位置に位置して前記透過照明による光が透過し前記斜光照明装置による光が反射してなる画像を前記画像撮影装置により撮影して、
前記画像撮影装置より撮影可能なマルチバンドデジタル画像とし、該マルチバンドデジタル画像の各濃淡情報を各画素単位に三次元ベクトル座標に配置し、各バンド画像の持つ濃淡情報と、各画素単位でのバンド間の持つ間相互相関情報とに基づいてシール欠陥検査を検出することを特徴とする包装体の検査方法。
【請求項５】
物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や折れなどの外観欠陥などのシール欠陥を検査する方法であって、
搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、
波長特性を有した光を照射する透過照明装置を、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置に配置して、該透過照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射するとともに、
前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を照射する斜光照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、該斜光照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射し、
前記透過照明装置の光と斜光照明装置の光と異なる波長特性を有した光を照射する暗視野照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、該暗視野照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射し、
検査位置に位置して前記透過照明による光が透過し前記斜光照明装置と前記暗視野照明とによる光が反射してなる画像を前記画像撮影装置により撮影して、
前記画像撮影装置より撮影可能なマルチバンドデジタル画像とし、該マルチバンドデジタル画像の各濃淡情報を各画素単位に三次元ベクトル座標に配置し、各バンド画像の持つ濃淡情報と、各画素単位でのバンド間の持つ間相互相関情報とに基づいてシール欠陥検査を検出することを特徴とする包装体の検査方法。
【請求項６】
物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や折れなどの外観欠陥などのシール欠陥を検査する方法であって、
搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、
検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置であって、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置と、前記移動線に対して前記画像撮影装置側の位置であって、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置と、前記移動線に対して前記画像撮影装置側の位置であって、前記透過照明装置及び斜光照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でシール部に照射する暗視野照明装置との何れかから選択される二つの照明装置を有し、
検査位置に位置して前記二つの照明による光の照射により得られてなる画像を前記画像撮影装置により撮影して、
前記画像撮影装置より撮影可能なマルチバンドデジタル画像とし、該マルチバンドデジタル画像の各濃淡情報を各画素単位に三次元ベクトル座標に配置し、各バンド画像の持つ濃淡情報と、各画素単位でのバンド間の持つ間相互相関情報とに基づいてシール欠陥検査を検出することを特徴とする包装体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、食品などの物品を収納した包装シートからなる包装体のヒートシールされたシール部での収容物の噛み込み欠陥や、そのシール部の折れ、筋付き、付着汚れによる黒点などの外観欠陥を検査する方法と装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から物品の包装形態の一種として、内容物となる物品を相対する包装シートの間に位置する状態とし、その周囲をヒートシールして内容物が収容されている空間を封止したものがあり、例えば、食品を収容する包装体の形態としても多く採用されている。そして、このような包装シートの周辺をヒートシールして食品などを収容した包装体では、収容物を、相対向する二つの包装シートの間に配しながらその周辺をヒートシールしたり、また、予め三方が閉じられた包装体を用意し、残りの充填口として開口されている部分から物品を収容して、その後に充填口となっていた辺部をヒートシールすることも行われている。
このようなヒートシールによって形成される包装体ではヒートシールを行なう際に、収容した物品の一部やかけらなどを噛み込んだ状態でヒートシールする可能性があり、そのような噛み込み欠陥を生じた包装体を製造ラインから取り除くために検査が行われている。
この検査方法としては、例えば、包装体の上方および下方から光を照射することによって得られた包装体の反射画像と透過画像とのそれぞれの各部位の濃度部分をコード化し、そのコード化された情報により、各種欠陥を検出すること、そして、カラーフィルタを用いて反射画像と透過画像とを一つのカラーカメラに取り込み、そのカラーカメラの出力信号に基づいて色分けをして反射画像データと透過画像データとを得る工夫が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３２１６８７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
また、上記包装体に収容する物品として多種の食材を組み合わせて加工した食品があり、この食品を収容して電子レンジ加熱調理できるようにレトルトパウチ包装袋に収容した包装体がある。このような食品を収容した包装体にあっては高温高圧の環境下での殺菌を行なうとともに、同様にシール部の検査を行なっていて、シール部における食品の噛み込み欠陥、そしてヒートシールを行なった際に生じる可能性がある滑り（シール辺相互の位置ずれ）、折れ（シール辺端縁の折り込み）、筋付（シール辺の皺）、黒点（汚れ付着）などの外観欠陥も検査するしている。
このように食品を収容した包装体では商品性を保つため外観欠陥も検査する必要があり、その検査に手間を要している。そのため、上述した検査手法によりシール欠陥を検出することが対策として考えられたが、内容物が多種多色の食材を組み合わせているものであり、それぞれの食材が柔らかいものであることから、仮にシール部の包装シートに色彩が施されていて、シール部に噛み込んだ食材の小片の色彩がシール部での色彩に溶け込むようになると、その周りとの色濃度の変化がコード化に反映されなくなり、そのため、シール欠陥の検出漏れが生じる可能性があった。
そこで本発明は上記事情に鑑み、噛み込み欠陥を含む各種のシール欠陥をコード化することなく撮影画像上の色合いの変化として変換できるようにすることを課題とし、シール欠陥を確実に検出できるようにすることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は上記課題を考慮してなされたもので、物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や外観欠陥などのシール欠陥を検査する装置であって、搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置を、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置に配置するとともに、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、前記透過照明装置での光の照射による透過画像と、前記斜光照明装置での光の照射による反射画像とを、各波長それぞれに対応した画像として、前記画像撮影装置に撮影可能に設けられて、
前記透過照明装置と前記斜光照明装置との照明により映像化された一体画像に基づいて、各部位での映像データを有する状態でのマルチバンドデジタル画像を形成する構成をすることを特徴とする包装体の検査装置を提供して、上記課題を解消するものである。
【０００５】
また、もう一つの発明は、物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や外観欠陥などのシール欠陥を検査する装置であって、搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置を、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置に配置するとともに、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置し、前記透過照明装置及び斜光照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でシール部に照射する暗視野照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、前記透過照明装置での光の照射による透過画像と、前記斜光照明装置での光の照射による反射画像と、前記暗視野照明装置での光の照射による反射画像とを、各波長それぞれに対応した画像として、前記画像撮影装置に撮影可能に設けられて、前記透過照明装置と前記斜光照明装置と前記暗視野照明装置との照明により映像化された一体画像に基づいて、各部位での映像データを有する状態でのマルチバンドデジタル画像を形成する構成をすることを特徴とする包装体の検査装置であり、この包装体の検査装置を提供して上記課題を解消するものである。
【０００６】
また、もう一つの発明は、物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や外観欠陥などのシール欠陥を検査する装置であって、搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置であって、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置と、前記移動線に対して前記画像撮影装置側の位置であって、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置と、前記移動線に対して前記画像撮影装置側の位置であって、前記透過照明装置及び斜光照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でシール部に照射する暗視野照明装置との何れかから選択される二つの照明装置を有し、前記選択された二つの照明装置での光の照射による画像を、該照明装置の光の波長それぞれに対応した画像として、前記画像撮影装置に撮影可能に設けられて、前記二つ照明装置の照明により映像化された一体画像に基づいて、各部位での映像データを有する状態でのマルチバンドデジタル画像を形成する構成をすることを特徴とする包装体の検査装置であり、この包装体の検査装置を提供して上記課題を解消するものである。
【０００７】
また、もう一つの発明は、物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や折れなどの外観欠陥などのシール欠陥を検査する方法であって、搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、波長特性を有した光を照射する透過照明装置を、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置に配置して、該透過照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射するとともに、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を照射する斜光照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、該斜光照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射して、検査位置に位置して前記透過照明による光が透過し前記斜光照明装置による光が反射してなる画像を前記画像撮影装置により撮影して、前記画像撮影装置より撮影可能なマルチバンドデジタル画像とし、該マルチバンドデジタル画像の各濃淡情報を各画素単位に三次元ベクトル座標に配置し、各バンド画像の持つ濃淡情報と、各画素単位でのバンド間の持つ間相互相関情報とに基づいてシール欠陥検査を検出することを特徴とする包装体の検査方法であり、この包装体の検査方法を提供して上記課題を解消するものである。
【０００８】
また、もう一つの発明は、物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や折れなどの外観欠陥などのシール欠陥を検査する方法であって、搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、波長特性を有した光を照射する透過照明装置を、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置に配置して、該透過照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射するとともに、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を照射する斜光照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、該斜光照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射し、前記透過照明装置の光と斜光照明装置の光と異なる波長特性を有した光を照射する暗視野照明装置を、前記移動線に対して前記画像撮影装置側に配置して、該暗視野照明装置の前記波長特性を有した光を検査位置のシール部に照射し、検査位置に位置して前記透過照明による光が透過し前記斜光照明装置と前記暗視野照明とによる光が反射してなる画像を前記画像撮影装置により撮影して、前記画像撮影装置より撮影可能なマルチバンドデジタル画像とし、該マルチバンドデジタル画像の各濃淡情報を各画素単位に三次元ベクトル座標に配置し、各バンド画像の持つ濃淡情報と、各画素単位でのバンド間の持つ間相互相関情報とに基づいてシール欠陥検査を検出することを特徴とする包装体の検査方法であり、この包装体の検査方法を提供して上記課題を解消するものである。
【０００９】
また、もう一つの発明は、物品を収納して包装シートをヒートシールした包装体のシール部における内容物の噛み込み欠陥や折れなどの外観欠陥などのシール欠陥を検査する方法であって、搬送される包装体のシール部が移動する移動線の検査位置に対応して画像撮影装置を配置し、検査位置を間にして前記画像撮影装置に対向する位置であって、波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する透過照明装置と、前記移動線に対して前記画像撮影装置側の位置であって、前記透過照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でのシール部に照射する斜光照明装置と、前記移動線に対して前記画像撮影装置側の位置であって、前記透過照明装置及び斜光照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でシール部に照射する暗視野照明装置との何れかから選択される二つの照明装置を有し、検査位置に位置して前記二つの照明による光の照射により得られてなる画像を前記画像撮影装置により撮影して、前記画像撮影装置より撮影可能なマルチバンドデジタル画像とし、該マルチバンドデジタル画像の各濃淡情報を各画素単位に三次元ベクトル座標に配置し、各バンド画像の持つ濃淡情報と、各画素単位でのバンド間の持つ間相互相関情報とに基づいてシール欠陥検査を検出することを特徴とする包装体の検査方法であり、この包装体の検査方法を提供して上記課題を解消するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、撮影された画像中にシール欠陥の状態が含まれていた場合にはその情報が画像中でのシール正常部分とシール欠陥との差での色合いの変化（例えば色相や彩度の違い）に変換されるようになり、シール欠陥とシール正常部分との差異判別が容易となり、よって、各種のシール欠陥が確実に検出できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
つぎに本発明を図１と図２に示す実施の形態に基づいて詳細に説明する。
図中１は包装体の検査装置で、該検査装置１は包装体を一方向に搬送する一対の搬送手段２を並べ設け、隙間である前記搬送手段２の間を検査位置としてその検査位置Ａを包装体の検査対象部位であるシール部が直線状に通過することができるようにしている。また、前記検査位置の上方にはカメラからなる画像撮影装置３が配置されているとともに、検査位置Ａを間にして前記画像撮影装置３と対向する位置、例えば搬送手段２で構成される搬送路の下にして透過照明装置４を配置している。さらに、搬送路上であって検査位置Ａに近接し、前記画像撮影装置３での検査位置に対する画像撮影を遮らない位置にして斜光照明装置５を配置しているものである。
そして、この検査装置１において、前記透過照明装置４にあってはカラーフィルタなどによって波長特性を有する状態に設定された光を上記検査位置Ａに照射するものであり、搬送手段２によって検査位置Ａに達した包装体のシール部に前記光によって照射され、波長特性を有した光によるシール部の透過画像が上記画像撮影装置３に撮影されるようにしている。
また、同様に上記斜光照明装置５にあってはカラーフィルタなどにより上記透過照明装置４での光の波長特性とは異なる波長特性を有する状態に設定された光を検査位置Ａに照射するように設けられている。そして、搬送手段２によって検査位置Ａに達した包装体のシール部に前記斜光照明装置５からの光によって照射され、透過照明装置４と異なる波長特性を有した光によるシール部の反射画像が画像撮影装置３に撮影されるようにしている。
【００１２】
上記画像撮影装置３では透過照明装置４の光照射による透過画像と斜光照明装置５の光照射による反射画像とが一体になった画像を撮影するものであり、一体画像は、図２に示されているように、プリズムなどの分配手段６を介して互いに色相の異なる三つの画像データとして分配形成されるようにしている。三つの画像の色相が異なるようにするにはそれぞれ透過光の波長が異なるフィルタに通すことで実施できる。
そして、この画像撮影装置３は三つの画像それぞれをＣＣＤ素子に入力し、画像データとして変換出力するものである。
画像データそれぞれは画像撮影装置３に接続された制御部７に入力されるように設けられている。
【００１３】
上記制御部７にあっては三つの画像データそれぞれを透過画像データと反射画像データとに別けることにより、透過画像に基づく互いに色相の異なる三つの画像データと、反射画像に基づく互いに色相が異なる三つの画像データを生成する。そして、三つの画像データを関連付けして画像の各部位それぞれで、その部位に対応する三つの画像データ上の位置の色濃度に基づき、ＲＧＢ三軸の仮想カラー画像のベクトル解析法からベクトル量を算出して、一体画像中の前記部位それぞれでの色合いを色相と彩度として変換するようにしている。これによって、仮に何れかの画像中にシール欠陥の状態が映されている場合には、例えばそのシール欠陥の部分がシール正常部分と対比して色相値と彩度値とが異なる状態表現として捉えることができるようになり、一つの画像、即ち各部位での映像データを有する状態でのマルチバンドデジタル画像から生成されたデータ中に色相値と彩度値とが異なる部位を検出することで、シール欠陥が検出できるようになる。
【００１４】
このように上画像撮影装置より撮影可能なマルチバンドデジタル画像とし、該マルチバンドデジタル画像の各濃淡情報を各画素単位に三次元ベクトル座標に配置し、各バンド画像の持つ濃淡情報と、各画素単位でのバンド間の持つ間相互相関情報とに基づいてシール欠陥検査を検出するため、小さなシール欠陥であっても算出された色相の違いによって明確に検出でき、また内容物の小片が噛み込みした部分がシール部の包装シートの色彩に溶け込むような色合いであっても透過画像側のデータから彩度が異なるものとして明確に検出できるものとなる。
【００１５】
なお、上記実施の形態では包装体を、色彩のある包装シートからなるものとして説明したが本発明はこれに限定されるものではない。また、実施の形態として、透過照明装置と斜光照明装置とを有する検査装置を説明したが、図１に示すように前記透過照明装置及び斜光照明装置の光とは異なる波長特性を有した光を前記検査位置でシール部に照射する暗視野照明装置８を配置して、この暗視野照明装置８による画像も、一体画像を得る上でのものとすることが可能である。また、透過照明装置、斜光照明装置、暗視野照明装置の何れか二つの照明装置を用いてマルチバンドデジタル画像を形成するようにしてもよい。
【００１６】
上記実施の形態では移動する包装体を検査の対象としているが、検査位置で包装体が停止する搬送ライン、即ち、停止している検査対象においても本検査装置を利用することができる。そして、包装体の内容物の構成において上記照明装置の光の波長特性を変更することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る包装体の検査装置の一例を示す説明図である。
【図２】一例における画像撮影装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【００１８】
１…検査装置
２…搬送手段
Ａ…検査位置
３…画像撮影装置
４…透過照明装置
５…斜光画像装置
６…分配手段
７…制御部
８…暗視野照明装置
【図１】
2006105746.tif 000003
【図２】
2006105746.tif 000004