(57)【要約】  レチクルポッドは、外側ポッドと、内側ポッドカバーと、内側ベースプレートとを含む。レチクルはベース上に支持され、内側ポッドカバーと内側ポッドベースとによって作られる環境内に格納される。内側ポッドカバーは、レチクルの側壁と接触してレチクルの水平方向の移動を限定するように構成された複数のレチクルリテーナを含むことができる。【選択図】図１７Ｂ
2019528578.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルを支持するように構成されたベースと、
上部表面を有しかつ前記ベースに嵌合するように構成されたカバーと、
各レチクル接触部材が外方延在腕部および前記カバーを貫通して延在する下方延在脚部を含み、レチクルの側壁に接触して前記レチクルの移動を限定するように構成されたレチクル接触部材をそれぞれ含む１つまたは複数のレチクルリテーナとを備え、前記腕部の作動時に、前記下方延在脚部がレチクルの側壁に向かう方向に移動するように構成される、
レチクルを保持するためのレチクルポッド。
【請求項２】
前記レチクル接触部材が前記レチクルの水平方向の移動を限定する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項３】
前記レチクル接触部材が垂直方向の移動を限定する、請求項２に記載のレチクルポッド。
【請求項４】
前記レチクル接触部材がレチクルの上部表面と接触するようにさらに構成される、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項５】
レチクルの上部表面と接触するように構成された１つまたは複数の付加的なレチクルリテーナをさらに備える、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項６】
前記１つまたは複数のレチクルリテーナのそれぞれが弾性部材をさらに備え、前記弾性部材が前記レチクル接触部材を非接触位置に付勢する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項７】
前記１つまたは複数の弾性部材のそれぞれが、前記下方延在脚部を取り囲むエラストマーディスクを含む、請求項６に記載のレチクルポッド。
【請求項８】
前記１つまたは複数のレチクルリテーナのそれぞれが、前記カバーに固定されたキャップを含む、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項９】
前記外方延在腕部が前記カバーの上部表面の上方に少なくとも部分的に延在する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項１０】
前記外方延在腕部が少なくとも１つの下方延在部材を備える、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項１１】
前記カバーが、前記外方延在腕部の作動時に、前記少なくとも１つの下方延在部材を収容するように構成された凹部をさらに含む、請求項１０に記載のレチクルポッド。
【請求項１２】
前記レチクル接触部材が、前記外方延在腕部とともにＴ字形を形成するクロス部材をさらに含み、前記クロス部材が少なくとも１つの下方延在部材を有する、請求項１０に記載のレチクルポッド。
【請求項１３】
前記下方延在脚部が少なくとも第１の凹部と、前記第１の凹部に収容される第１の接触部材とを含む、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項１４】
前記下方延在脚部が第２の凹部と、前記第２の凹部に収容される第２の接触部材とを含み、前記第１の接触部材が前記第１の凹部に対して斜めに配置される、請求項１３に記載のレチクルポッド。
【請求項１５】
前記レチクルポッドが外側ポッドベースと、前記外側ポッドベースに嵌合するように構成された外側ポッドカバーとを有する外側ポッド内に格納され、前記外側ポッドカバーが内表面と、前記内表面から延在して前記レチクルポッドの前記外方延在腕部に接触し作動させ、前記下方延在脚部を前記レチクルの前記側壁に向かう方向に移動させる少なくとも１つの接触パッドとを有する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項１６】
レチクルを支持するように構成された特徴を有するベース上に前記レチクルを収容することと、
前記レチクルを含む前記ベース上に、それぞれがレチクル接触部材を含む１つまたは複数のレチクルリテーナを含むカバーであって、各レチクル接触部材が前記カバーの上部表面の上方に少なくとも部分的に延在する外方延在腕部と、前記カバーを貫通して延在する下方延在脚部とを含む前記カバーを配置して内側ポッドを画定することと、
前記レチクルの移動を限定することと
を含む、レチクルを保持する方法。
【請求項１７】
前記レチクルの移動を限定することが、前記１つまたは複数のレチクルリテーナを作動させて前記レチクルの側壁に接触させ、前記レチクルの水平方向の移動を限定することを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記レチクルの移動を限定することが、前記１つまたは複数のレチクルリテーナを作動させて前記レチクルの上部表面に接触させ、前記レチクルの垂直方向の移動を限定することをさらに含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
内表面に設けられた１つまたは複数の接触部材を含む外側カバーである外側ポッドカバーと、外側ポッドベースとを含む外側ポッド内に前記内側ポッドを封入することをさらに含み、前記内側ポッドが前記外側ポッド内に封入されているとき、各接触部材が前記１つまたは複数のレチクルリテーナのうちの対応するレチクルリテーナに接触して下方向の力を加える、請求項１６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
優先権
本出願は、２０１６年８月２７日に出願された「レチクルの側面抑制を有するレチクルポッド」と題する米国仮特許出願第６２／３８０，３７７号、２０１６年１０月７日に出願された「レチクルの側面抑制を有するレチクルポッド」と題する米国仮特許出願第６２／４０５，５１８号、および２０１６年１１月１５日に出願された「レチクルの側面抑制を有するレチクルポッド」と題する米国仮特許出願第６２／４２２，２２９号の利益を主張し、これらの出願のそれぞれは、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
【０００２】
本開示は、概して、フォトマスク、レチクルおよびウエハなどの脆弱なデバイスを保管、搬送、出荷および／または加工するための容器に関する。より具体的には、本開示は、ポッド内の粒子の発生を最小限に抑えるために、水平方向で移動を限定または制限するレチクルリテーナを組み込んだ内側ポッドを有するレチクル用二重格納ポッドに関する。
【背景技術】
【０００３】
集積回路および他の半導体デバイスの製造でよく見られる処理工程の１つは、フォトリソグラフィである。概して、フォトリソグラフィは、パターン形成されたテンプレートを使用して、特別に作製されたウエハ表面を放射源に選択的に曝露し、エッチング表面層を作り出すことを含む。典型的には、このパターン形成されたテンプレートがレチクルであり、ウエハ上に複製されるパターンを含む非常に平坦なガラス基板である。例えば、ウエハ表面は、基板上に最初に窒化ケイ素を堆積させ、続いて感光性液体ポリマーまたはフォトレジストをコーティングすることによって作製することができる。次に、紫外線（ＵＶ）光をマスクまたはレチクルの表面に透過または反射させて、フォトレジスト被覆されたウエハ上に所望のパターンを投影する。フォトレジストの露光された部分は化学的に改質され、ウエハが未露光のフォトレジストを除去する化学媒体に続いてさらされても影響を受けることなく、改質されたフォトレジストをマスク上のパターンの形状通りにウエハ上に残す。ウエハはその後、窒化物層の露光部分を除去し、マスクの設計通りにウエハ上の窒化物パターンを残すエッチング処理を施される。このエッチング層が、単独で、または他の同様に形成された層と組み合わされて、特定の集積回路または半導体チップの「回路」を特徴付けるデバイスおよびデバイス間の相互接続となる。
【０００４】
ＥＵＶでは、深紫外線フォトリソグラフィの特徴であるレチクルの透過ではなく、パターン形成された表面からの反射が使用される。その結果、ＥＵＶフォトリソグラフィで使用される反射型フォトマスク（レチクル）は、従来のフォトリソグラフィで使用されるレチクルより、はるかに大きな程度まで汚染および損傷の影響を受けやすい。製造中、加工中、出荷中、取り扱い中、搬送中または保管中のレチクルと他の表面との間の不要で意図によらない接触は、滑り摩擦および／または磨耗による損傷に対するレチクルの繊細な特徴の感受性を考慮すると望ましくない。
【発明の概要】
【０００５】
本開示は、概して、フォトマスク、レチクル、およびウエハなどの脆弱なデバイスを保管、搬送、出荷および／または加工するための容器に関し、より具体的には、ポッド内の粒子の発生を最小限に抑えるために、Ｘ方向およびＹ方向で移動を限定または制限するレチクルリテーナを組み込んだ内側ポッドを有する二重格納レチクルポッドに関する。レチクルリテーナは、本明細書に記載されるように、内側ポッド内に収容されたレチクルの側壁と接触するように構成され、場合によっては、Ｚ方向でレチクルの上部表面に加えられる荷重量を最小限に抑える。
【０００６】
いくつかの実施形態では、レチクルを保持するためのレチクルポッドは、レチクルを支持するように構成されたベースと、上部表面を有しかつベースに嵌合するように構成されたカバーと、レチクルの側壁に接触してレチクルの移動を限定するように構成されたレチクル接触部材をそれぞれが含む１つまたは複数のレチクルリテーナと、を含む。各レチクル接触部材は、外方延在腕部と、カバーを貫通して延在する下方延在脚部とを含み、腕部作動時に下方延在脚部がレチクルの側壁に向かう方向で移動するように構成される。一実施形態では、外側ポッドベースと、外側ポッドベースに嵌合するように構成された外側ポッドカバーとを有する外側ポッド内に、レチクルポッドを格納することができる。外側ポッドカバーは、内表面と、内表面から延在して、レチクルポッドが外側ポッド内に格納されているときにレチクルポッドの外方延在腕部に接触し作動させ、下方延在脚部をレチクルの側壁に向かう方向に移動させる少なくとも１つの接触パッドとを含む。
【０００７】
他の実施形態では、レチクルを保持する方法は、レチクルを支持するように構成された特徴を有するベース上にレチクルを収容することと、レチクルを含むベース上に、カバーであって、カバーの上部表面の上方に少なくとも部分的に延在する外方延在腕部と、カバーを貫通して延在する下方延在脚部とを各レチクル接触部材が含み、レチクル接触部材をそれぞれ含む１つまたは複数のレチクルリテーナを含むカバーを配置して内側ポッドを画定することと、レチクルの移動を限定することとを含む。
【０００８】
本開示は、添付の図面に関連して以下の様々な例示的実施形態の説明を考慮することによってより完全に理解することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】例示的なレチクルポッドの等角図である。
【図２】図１に示すレチクルポッドの線２−２に沿った断面図である。
【図３】図１に示すレチクルポッドの分解図である。
【図４】本開示の一実施形態による、レチクルリテーナを含む内側ポッドの拡大断面図である。
【図５】本開示の別の実施形態による、レチクルリテーナを含む内側ポッドの拡大断面図である。
【図６Ａ】本開示の別の実施形態による、内側ポッドカバーの内表面に設けられた別のレチクルリテーナを含む内側ポッドの拡大図である。
【図６Ｂ】図６Ａに示すレチクルリテーナの概略断面図である。
【図７】本開示の一実施形態によるさらに別のレチクルリテーナを含む、カバーを取り外した内側ポッドの概略部分断面図である。
【図８】本開示のさらに別の実施形態による別のレチクルリテーナを示す内側ポッドの概略断面図である。
【図９Ａ】リンクを収容するように構成されたソケットを有する底面プレートの一部分の概略図である。
【図９Ｂ】図９Ａに示すソケット内に収容されるように構成されたリンクの概略図である。
【図１０Ａ】動作中の図８のレチクルリテーナを示す図である。
【図１０Ｂ】動作中の図８のレチクルリテーナを示す図である。
【図１０Ｃ】動作中の図８のレチクルリテーナを示す図である。
【図１０Ｄ】動作中の図８のレチクルリテーナを示す図である。
【図１１】本開示の一実施形態による、さらに別のレチクルリテーナを示す内側ポッドの概略断面図である。
【図１２Ａ】本開示の一実施形態による内側ポッドカバーの概略図である。
【図１２Ｂ】本開示の一実施形態によるレチクルリテーナの上面の拡大概略図である。
【図１２Ｃ】本開示の一実施形態によるレチクルリテーナの概略部分断面図である。
【図１３】本開示のさらに別の実施形態による内側ポッドの斜視図である。
【図１４Ａ】本開示の別の実施形態によるレチクルリテーナの上面部分の拡大斜視図である。
【図１４Ｂ】本開示の別の実施形態によるレチクルリテーナの上面部分の拡大斜視図である。
【図１５Ａ】本開示の一実施形態によるレチクル接触部材の図である。
【図１５Ｂ】本開示の一実施形態によるレチクル接触部材の図である。
【図１５Ｃ】本開示の一実施形態によるレチクル接触部材の図である。
【図１６Ａ】本開示の一実施形態によるレチクルリテーナの一部分を形成するキャップの上面斜視図である。
【図１６Ｂ】本開示の一実施形態によるレチクルリテーナの一部分を形成するキャップの底面斜視図である。
【図１７Ａ】第１の位置にあるレチクルリテーナを示す内側ポッドの部分側面断面図である。
【図１７Ｂ】第２の位置にあるレチクルリテーナを示す内側ポッドの部分側面断面図である。
【図１８】本開示の一実施形態による内側ポッドの斜視図である。
【図１９】本開示の一実施形態によるレチクルリテーナの一部分の拡大概略図である。
【図２０Ａ】本開示の一実施形態によるレチクル接触部材の図である。
【図２０Ｂ】本開示の一実施形態によるレチクル接触部材の図である。
【図２１Ａ】本開示の一実施形態によるレチクルリテーナの一部分を形成するキャップの上面斜視図である。
【図２１Ｂ】本開示の一実施形態によるレチクルリテーナの一部分を形成するキャップの底面斜視図である。
【図２２Ａ】本開示の別の実施形態によるレチクルリテーナの一部分を形成するキャップの上面斜視図である。
【図２２Ｂ】本開示の別の実施形態によるレチクルリテーナの一部分を形成するキャップの底面斜視図である。
【図２３Ａ】第１の位置にあるレチクルリテーナを示す内側ポッドの部分側面断面図である。
【図２３Ｂ】第２の位置にあるレチクルリテーナを示す内側ポッドの部分側面断面図である。
【図２４】外側ポッド内に配置された内側ポッドを示すレチクルポッドアセンブリの部分断面図である。
【図２５】図１８に示す内側ポッドの簡略斜視図である。
【図２６】本開示のさらに別の実施形態による内側ポッドの斜視図である。
【図２７】図２６に示す内側ポッドの一部分の断面図である。
【図２８】図２６に示す内側ポッドの一部分の断面図である。
【図２９Ａ】本開示のさらに別の実施形態によるレチクルリテーナの図である。
【図２９Ｂ】本開示のさらに別の実施形態によるレチクルリテーナの図である。
【図２９Ｃ】本開示のさらに別の実施形態によるレチクルリテーナの図である。
【００１０】
本開示は様々な修正形態および代替形態が可能であるが、その具体例を図面に例示し、詳細に説明する。しかし、本開示の態様を、記載された特定の例示的実施形態に限定する意図ではないことを理解されたい。むしろ、本開示の精神および範囲内に含まれるすべての修正形態、等価形態、および代替形態を網羅することが意図される。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本明細書および添付の特許請求の範囲で使用されるとき、単数形「ａ」、「ａｎ」、および「ｔｈｅ」は、その内容が明確に指示しない限り、複数の指示対象を含む。本明細書および添付の特許請求の範囲で使用されるとき、用語「または」は、その内容が明確に指示しない限り、概して「および／または」を含む意味で使用される。
【００１２】
以下の発明を実施するための形態は、図面を参照して読まれるべきであり、異なる図面中の類似の要素には同一の番号が付される。発明を実施するための形態および図面（必ずしも縮尺通りではない）は、例示的実施形態を示しており、本発明の範囲を限定することを意図しない。示された例示的実施形態は、例示としてのみ意図される。任意の例示的実施形態の選択された特徴は、明確に述べられない限り、付加的な実施形態に組み込まれてもよい。
【００１３】
図１〜図３は、レチクルまたはマスク１２を保管および搬送するための例示的レチクルポッド１０の様々な図を示す。レチクルポッド１０は、二重格納ポッドまたはＥＵＶポッドと呼ばれることがあり、参照によりその全体が実質的に本明細書に組み込まれる米国特許第８，６１３，３５９号に示され説明されたレチクルポッドと、一部の類似した特徴を共有する可能性がある。用語レチクルは、石英ブランクス、フォトマスク、ＥＵＶマスク、ならびに半導体製造業界で使用される可能性のある、粒子状物質および他の物質から損傷を受けやすい他のマスクを指すために使用されることがある。場合によっては、レチクル１２は、実質的に正方形の形状であり得、かつ所望の回路パターン（図示せず）でエッチングされ得る。開示されたレチクルポッド１０はほぼ正方形のレチクルを参照して説明されるが、例えば長方形、多角形または円形の形状のレチクルなどの他の形状のレチクルが使用され得ることは、当業者には概して理解されよう。
【００１４】
図１〜図３に見られるように、レチクルポッド１０は、外側ポッドベース１８に嵌合して、レチクル１２を入れ子状に保持する内側ポッド１５を封入するように構成された外側ポッドカバー１４を含む外側ポッド１１を含む。内側ポッド１５は、内側ポッドベース３２に嵌合してレチクル１２が格納される密閉環境を形成するように構成された内側ポッドカバー２６を含む。外側ポッドカバー１４は、内側ポッドのカバーに設けられた対応するレチクルリテーナに接触して下向きの圧力を加えるように構成された、内表面に設けられた１つまたは複数の接触パッドまたは突起を含むことができる。さらに、場合によっては、外側ポッドカバー１４は、製造施設全体にわたるレチクルポッド１０の自動搬送を容易にする任意選択のロボットフランジ２２を含んでもよい。
【００１５】
ここで図３を参照すると、内側ポッドベース３２は、レチクル１２のサイズおよび形状にほぼ一致するサイズおよび形状を有し、レチクル１２が内側ポッド内に格納されているとき、レチクル１２を支持する。内側ポッドベース３２は、対向する第１および第２の主平行表面３４および３６と、４つの丸みを帯びた角部３８とを含み、第１の主表面３４の外周付近に連続接触シール面４２を画定する。一例では、第１の主表面３４全体に均一で高度に研磨された表面仕上げを施すことができるが、これは必須ではない。
【００１６】
場合によっては、図３に示すように、内側ポッドベース３２は、ベース３２の４つの角部３８のそれぞれに配置された一対のレチクルガイド４６およびレチクルコンタクト４８を含むことができる。そのようなレチクルガイドおよびレチクルコンタクトは、参照により本明細書に組み込まれる米国特許第８，６１３，３５９号にさらに詳細に示され説明される。レチクルガイド４６は、レチクル１２がベース３２上に静置されているとき、レチクル１２を誘導して位置合わせするために使用することができる。レチクル１２は、ベース３２の４つの角部３８のそれぞれに配置されたレチクル支持体４８上に置かれて支持されてもよい。レチクル支持体４８は、ベース３２の第１の主表面３４から離れて延在する球体または突起の形態とすることができる。いくつかの実施形態では、レチクル支持体４８は、一対のレチクルガイド４６の各レチクルガイド４６の間に等距離で配置することができる。さらに、レチクル支持体４８は、レチクル１２を内側ポッドベース３２の主表面３４の上方に所定の高さで浮かせ、レチクルと内側ポッドベースの表面３４との間に間隙を作り出すように構成することができる。場合によっては、間隙は、レチクル１２とベース３２との間に拡散層または拡散障壁を画定するように寸法決めされる。拡散障壁は、粒子が間隙に入り込むのを妨げる。
【００１７】
内側ポッドカバー２６は、内側ポッドベース３２に嵌合して密閉環境を画定するように構成される。内側ポッドカバー２６は、内側ポッドベース３２のサイズおよび形状にほぼ対応するサイズおよび形状を有する。場合によっては、内側ポッドカバー２６は、ベース３２の縁部に画定された複数のノッチ５６に収容されるようにサイズ設定され構成された複数の突起またはピン５４を含んでもよい。ピン５４とノッチ５６とは協働してカバー２６をベース３２の上に誘導して位置合わせし、またカバー２６がベース３２に係合されているとき、カバー２６を適切な位置に保持する。
【００１８】
内側ポッドカバー２６はまた、１つまたは複数のレチクルリテーナ６０を組み込んでおり、これについては本明細書でより詳細に説明される。レチクルリテーナ６０は、粒子を発生する可能性があるレチクルの移動を抑制または防止するのに役立つ。レチクルリテーナは内側ポッドカバー２６に組み込まれ、内側ポッドカバー２６が閉じられて外側ポッド内に格納されているとき、レチクルリテーナがＸ平面およびＹ平面のレチクルの水平移動または左右移動、ならびにＺ方向の移動もまた抑制する。レチクルリテーナ６０は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によってＺ方向でリテーナに加えられる下向きの力に応答して、レチクルの側面および／または縁部に係合する。多くの実施形態では、内側ポッドカバー２６は少なくとも２つのレチクルリテーナ６０を含む。例えば、一実施形態では、内側ポッドカバー２６は４つのレチクルリテーナ６０を含む。レチクルリテーナ６０の数および位置は、ポッド１０全体のサイズおよび内側ポッド内に格納されたレチクル１２に加えられる荷重に応じて変えることができる。
【００１９】
レチクルリテーナ６０に加えて、内側ポッドカバー２６は、内側ポッドカバー２６が内側ポッドベース３２に係合されているときに内側ポッド内の微小環境を維持および制御するために、内部に収納されたフィルタ媒体を含む１つまたは複数のフィルタ６４を含むことができる。
【００２０】
図４は、本開示の一実施形態によるレチクルリテーナ６０の拡大断面図である。場合によっては、最大４つのそのようなレチクルリテーナ６０をポッドの異なる領域に配置することができる。レチクルリテーナ６０Ａは、カバー２６に設けられた穴７２を通って延在するピン６８を含む。ピン６８は、カバー２６の外表面上でアクセス可能な弾性部材７６に取り付けることができる。弾性部材７６は、格納位置でピン６８を付勢するように構成されたエラストマーディスクとすることができる。格納位置では、ピン６８は、Ｚ方向でピン６８に下向きの力が加えられていない状態で、上方にレチクル１２から離れて位置付けられる。弾性部材７６を形成するディスクは、ピン６８と穴７２との間にシールを形成して、粒子状物質が内側ポッドに侵入するのを防ぐ可能性がある。
【００２１】
ピン６８は２つの凹部７８を含む。球状部材または球８０ａ、８０ｂは凹部７８のそれぞれに収容される。球状部材または球８０ａ、８０ｂは、金属、金属合金、セラミックまたはポリマー材料から形成することができる。レチクルリテーナ６０Ａがレチクル１２に係合するとき、第１の球８０ａがレチクルのレチクル１２の上側表面８２と接触し、第２の球８０ｂがレチクル１２の側面８４と接触するように、第１の球８０ａを第２の球８０ｂに対して斜めに配置することができる。レチクルリテーナ６０Ａは、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によって加えられる下向きの力に応答して、レチクル１２に係合する。レチクル１２の上側表面８２に接触すると同時にレチクルの側面８４に接触し、レチクル１２を縁部で抑制する。レチクルリテーナ６０Ａがレチクル１２の縁部８４に係合することにより、Ｘ平面およびＹ平面で左右移動または水平移動を防止または抑制することができる。さらに、Ｚ方向で加えられる荷重を軽減することができる。
【００２２】
図５は、別のレチクルリテーナ１６０の拡大断面図である。場合によっては、最大４つのそのようなレチクルリテーナ１６０をポッドの異なる領域に配置して、最大４つの異なる接触点を提供することができる。本明細書で図４を参照して説明した実施形態と同様に、レチクルリテーナ１６０は、カバー２６に設けられた穴１７２を通って延在するブロックまたはピン１６８を含む。ピン１６８は、カバー２６の外表面上でアクセス可能な弾性部材１７６に取り付けることができる。弾性部材１７６は、ピン１６８を格納位置に付勢するように構成されたエラストマーディスクとすることができる。格納位置では、ピン１６８は、上方にレチクル１２から離れて位置付けられる。弾性部材１７６を形成するディスクは、ピン１６８と穴１７２との間にシールを形成して、粒子状物質が内側ポッドに侵入するのを防ぐ可能性がある。
【００２３】
レチクル接触部材１８０はピン１６８に結合される。レチクル接触部材１８０は、ステンレス鋼またはＴＯＲＬＯＮから形成することができ、傾斜接触面１８２を有する。場合によっては、レチクル１２の縁部１８４を面取りするか、または傾斜させることができる。接触部材１８０の傾斜接触面１８２は、下向きの力がピン１６８に加えられてピンをＺ方向で移動させるとき、レチクル１２の縁部１８４に接触して抑制するように構成される。レチクルリテーナ１６０は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によって加えられる下向きの力に応答して、レチクル１２に係合する。レチクルリテーナ１６０がレチクル１２の縁部１８４に係合することにより、Ｘ平面およびＹ平面で左右移動または水平移動を防止または抑制することができる。さらに、Ｚ方向で加えられる荷重を軽減することができる。
【００２４】
図６Ａは、本開示の別の実施形態による内側ポッドカバー２６の内表面２８に設けられた別のレチクルリテーナ２６０の拡大図である。場合によっては、最大４つのそのようなレチクルリテーナ２６０をポッドの異なる領域に配置して、最大４つの異なる接触点を提供することができる。図６Ｂは、図６Ａに示すレチクルリテーナ２６０の概略断面図である。図６Ａおよび図６Ｂに示すように、レチクルリテーナ２６０は、ばねの撓み部またはばね腕部２６２を含む。ばね腕部２６２は、ねじ２６４または他の締結具を使用してカバー２６の内表面に固定される。ばね腕部２６２は、ピン２６８と接触するとき、Ｚ方向で下向きに撓むように構成される。ばね腕部２６２は、力が加えられていない弛緩状態から、下向きの力が加えられ、ばね腕部２６２をある程度の張力下に置く第２の状態へと下向きに撓むように構成される。ばね腕部２６２は、弛緩状態に付勢されており、ピン２６８によって下向きの力が加えられたときにのみ移動する。ばね腕部２６２は、ステンレス鋼、チタン、チタン合金、形状記憶特性を有するＮＩＴＩＮＯＬ、および選択されたエラストマーポリマーで作ることができる。
【００２５】
ピン２６８は、本明細書に記載のピン６８およびピン１６８と同様のものである。ピン２６８は、Ｚ方向でピン２６８に下向きの力が加えられていない状態で、上方にレチクル１２から離れて位置付けられる。下向きの力は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によって、ピン２６８に加えることができる。動作中、ピン２６８はばね腕部２６２の遠位端２７０に接触し、ばね腕部２６２を弛緩状態から、ばね腕部２６２がレチクル１２の縁部２７２に接触する第２の状態へと移動させる。場合によっては、レチクル１２の縁部２７２を面取りするか、または傾斜させることができる。レチクルリテーナ２６０がレチクル１２の縁部２７２に係合することにより、Ｘ平面およびＹ平面で左右移動または水平移動を防止または抑制することができる。場合によっては、別個のレチクル固定部を頂部カバー２６の内表面に設けて、Ｚ方向でレチクルの垂直移動を抑制してもよい。しかし、レチクルリテーナ２６０がＸ方向およびＹ方向で横方向移動を制限することにより、Ｚ方向で加えられる荷重は軽減することができる。
【００２６】
図７は、本明細書に記載の内側ポッドのベース３６２に結合されている、単数または複数のレチクルリテーナ３６０の実施形態の概略図を示す。場合によっては、最大４つのそのようなレチクルリテーナ３６０をポッドの異なる領域に配置することができる。図７は、第１のレチクルリテーナ３６０ａがレチクルの側面と接触しない第１の位置にある第１のレチクルリテーナ３６０ａを示す。さらに、図７は、第２のレチクルリテーナ３６０ｂがレチクル１２の側面３７２と接触する第２の位置にある第２のレチクルリテーナ３６０ｂを示す。図６Ａおよび図６Ｂを参照して説明された実施形態と同様に、レチクルリテーナ３６０ａ、３６０ｂのそれぞれは、ばねの撓み部またはばね腕部３６４を含む。ばね腕部３６４は、ねじ３６６または他の締結具を使用してベース３６２の内表面に固定することができる。ばね腕部３６４は、本明細書に記載の内側ポッドカバーに固定されたピンまたは他の構造体によって接触されると、Ｚ方向で下向きに撓むように構成される。ばね腕部３６４は、力が加えられていない弛緩状態から、第２の状態が適用され、ばね腕部３６４をある程度の張力下に置く第２の状態へと下向きに撓むように構成される。ばね腕部３６４は、弛緩状態に付勢されており、ピンまたは他の構造体によって下向きの力が加えられたときにのみ移動する。ばね腕部３６４は、ステンレス鋼、チタン、チタン合金、形状記憶特性を有するＮＩＴＩＮＯＬ、および選択されたエラストマーポリマーで作ることができる。場合によっては、別個のレチクル固定部を頂部カバー２６の内表面に設けて、Ｚ方向でレチクルの垂直移動を抑制してもよい。しかし、レチクルリテーナ３６０がＸ方向およびＹ方向で横方向移動を制限することにより、Ｚ方向で加えられる荷重は軽減することができる。
【００２７】
図８は、さらに別のレチクルリテーナ４６０を示す。場合によっては、最大４つのそのようなレチクルリテーナ４６０をポッドの異なる領域に配置して、最大４つの異なる接触点を提供することができる。図８に示すように、カバー２６がベース３２上に静置されているとき、静止保持ピンまたはブロック４６８がレチクルリテーナ４６０に接触して、レチクル１２の側壁４７２と接触するようにレチクルリテーナを移動させる。レチクルリテーナ４６０はカバー２６に結合され、レチクルと接触しない第１の位置から、図８に示すようにリテーナ４６０が側面からレチクル１２に接触する第２の位置まで枢動するように構成される。場合によっては、頂部カバー２６の内表面に別個のレチクル固定部を設けて、Ｚ方向でレチクルの垂直移動を抑制してもよい。しかし、レチクルリテーナ４６０がＸ方向およびＹ方向で横方向移動を制限することにより、Ｚ方向で加えられる荷重は軽減することができる。
【００２８】
図９Ａは、内側ポッドカバー２６の内側の部分図を示す。内側ポッド２６は、レチクルリテーナ４６０を収容するための凹部またはソケット４８２を含む。図９Ｂに示すように、レチクルリテーナ４６０は、本体４９０と枢動腕部４９２とを含む。枢動腕部４９２は、ソケット４８２内に画定された溝に収容されて、本体４９０が枢動腕部４９２によって画定される枢軸に沿って第１の位置から第２の位置まで枢動することができるように構成される。場合によっては、レチクルリテーナ４６０は、重力に依存して第１の位置にとどまる。レチクルリテーナは、ピン４６８による接触時に第１の位置から第２の位置まで移動するように構成される。他の場合では、レチクルリテーナ４６０はばねで留められ、第１の位置に付勢される。いずれの実施形態でも、ピン４６８との接触により、レチクルリテーナ４６０は第１の位置からレチクルの側壁４７２に接触する第２の位置まで移動する。
【００２９】
図１０Ａ〜図１０Ｄは、動作中のレチクルリテーナ４６０を示す。カバー２６がベース３２と接触すると、図１０Ａに示すように、ピン４６８がリテーナ４６０の縁部に接触し始める。ピン４６８がさらに接触すると、レチクルリテーナ４６０はレチクル１２の側壁４７２に接触し始め、レチクル１２とピン４６８との間の間隙を最小にする。図１０Ｃに示すように、ピン４６８とレチクル１２との間に画定される最小間隙距離で、レチクルリテーナ４６０をソケット４８２に画定されたスロットに収容することができる。ピン４６８とレチクル１２との間の最大距離では、図１０Ｄに示すように、レチクルリテーナ４６０はスロットに収容されないが、リテーナ４６０とレチクルの側壁４７２との間の接触は維持される。
【００３０】
図１１〜図１２Ｃは、レチクルリテーナ５６０のさらに別の実施形態の様々な図を示す。場合によっては、最大４つのそのようなレチクルリテーナ５６０をポッドの異なる領域に配置して、最大４つの異なる接触点を提供することができる。図１１に最もよく示されているように、レチクルリテーナ５６０はレチクル１２の上部表面５０２および側壁５７２に接触するように構成される。レチクルリテーナ５６０がレチクル１２の側壁５７２に接触することにより、上部表面５０２に加えられる荷重を軽減することができ、レチクルの移動はＸ方向、Ｙ方向、およびＺ方向で抑制される。
【００３１】
図１１に示すように、レチクルリテーナ５６０は、本体５６２と、本体から離れて延在する腕部５６４と、ダイヤフラムなどの弾性部材５７６とを含む。場合によっては、腕部５６４および弾性部材５７６はいずれも、カバー２６の外表面上でアクセス可能である。この実施形態では、レチクルリテーナ本体５６２は、腕部５６４のばね力によって格納位置に付勢される。腕部５６４に対して加えられる下向きの力により、本体５６２がＺ方向で移動する。
【００３２】
レチクルリテーナ本体５６２は、２つの凹部５７８を含む。レチクル接触部材または球５８０ａ、５８０ｂが凹部５７８のそれぞれに収容される。レチクル接触部材または球５８０ａ、５８０ｂは、金属、金属合金、セラミックまたはポリマー材料から形成することができる。第１の球５８０ａは、レチクルリテーナ５６０がレチクル１２に係合するとき、第１の球５８０ａがレチクルのレチクル１２の上側表面５０２と接触し、第２の球５８０ｂがレチクル１２の側壁５７２と接触するように、第２の球５８０ｂに対して斜めに配置することができる。レチクルリテーナ５６０は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によって加えられる下向きの力に応答して、レチクル１２に係合する。腕部５６４に対して下向きの力を加えることにより、第１のレチクル接触部材５８０ａがレチクル１２の上部表面５０２に接触し、続いて本体５６２がレチクル１２に向かってわずかに内側に枢動して、第２の接触部材５８０ｂをレチクル１２の側壁５７２と接触させる。レチクル１２の上部表面５０２および側壁５７２での接触は、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向でレチクル１２の移動を抑制する。
【００３３】
図１３は、内側ポッド６００を示す。内側ポッド６００は、内側ポッドベース６０４に嵌合して密閉環境を画定するように構成された内側ポッドカバー６０２を含む。レチクルはその密閉環境内に格納することができる。内側ポッドカバー６０２は、内側ポッドベース６０４のサイズおよび形状にほぼ対応するサイズおよび形状を有する。場合によっては、内側ポッドカバー６０２は、ベース６０４の縁部に画定された複数の対応する凹部またはノッチ６０９によって収容されるようにサイズ設定され構成された複数の突起またはピン６０８を含んでもよい。ピン６０８およびノッチ６０９は協働してカバー６０２をベース６０４の上に誘導して位置合わせし、またカバー６０２がベース６０４に係合されているとき、カバー６０２を適切な位置に保持する。
【００３４】
内側ポッドカバー６０２はまた、レチクルリテーナ６１０とレチクルリテーナ６１４との１つまたは複数のセットを組み込む。レチクルリテーナ６１０およびレチクルリテーナ６１４は、粒子を発生する可能性があるレチクルの移動を抑制または防止するのに役立つ。レチクルリテーナ６１０とレチクルリテーナ６１４とのセットは内側ポッドカバー６０２に組み込まれ、内側ポッドカバー６０２が閉じられているとき、レチクルリテーナは、Ｚ方向に加えて、Ｘ平面およびＹ平面でレチクルの水平移動または左右移動を集合的に抑制する。レチクルリテーナ６１０は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によってＺ方向でリテーナに加えられる下向きの力に応答して、レチクルの側面および／または縁部に係合する。レチクルリテーナ６１４は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によって加えられる下向きの力に応答して、レチクルリテーナの上部表面に接触する。しかし、レチクルリテーナ６１０がレチクルを側面から抑制することにより、レチクルリテーナ６１４によってレチクルの上部表面に加えられる力の量は軽減することができる。さらに、内側ポッド６００が閉じられて外側ポッド内に格納されているとき、レチクルリテーナ６１４は、側面レチクルリテーナ６１０がレチクル１２の側面および／または縁部に接触する前に、レチクル１２の上部表面に接触する。最初にレチクル１２の上部表面との接触をもたらすことにより、レチクルを安定させ、側面レチクルリテーナ６１０によって固定される前にレチクルがＸ平面および／またはＹ平面で位置を変えるのを防ぐ。
【００３５】
レチクルリテーナ６１０、レチクルリテーナ６１４の数および位置は、ポッド全体のサイズおよび内側ポッド内に格納されたレチクルに加えられる荷重に応じて変えることができる。場合によっては、レチクルの上部表面に接触するように構成されたレチクルリテーナと、レチクルの側面または縁部からレチクルに接触するように構成されたレチクルリテーナとを組み合わせることが有用である可能性もある。他の場合では、内側ポッドカバーは、レチクルの側面または縁部と接触するように構成されたレチクルリテーナを含んでもよいし、レチクルの上部表面と接触するように構成されたレチクルリテーナを除外してもよい。いくつかの実施形態では、図１３に示すように、内側ポッドカバー６０２は、各レチクルリテーナが側面からレチクルに接触するように構成された２対のレチクルリテーナと、各レチクルリテーナがレチクルの上部表面に接触するように構成された少なくとも１対のレチクルリテーナとを含むことができる。側面接触用に構成されたレチクルリテーナ６１０の各対は内側ポッドカバー６０２上に配置され、協働してレチクルの角部をＸ平面およびＹ平面で移動から抑制する。
【００３６】
レチクルリテーナ６１０およびレチクルリテーナ６１４に加えて、内側ポッドカバー６０２は、内側ポッドカバー６０２が内側ポッドベース６０４に係合されているときに内側ポッド内の微小環境を維持および制御するために、内部に収納されたフィルタ媒体を含む１つまたは複数のフィルタを含むことができる。
【００３７】
図１４Ａおよび図１４Ｂは、レチクルの側面からレチクルを固定するように構成されたレチクルリテーナ６１０の一部分の異なる図を示す。図１４Ａおよび図１４Ｂに見られるように、レチクルリテーナ６１０は、レチクル接触部材６１６と、弾性部材６１８と、キャップ６２０とを含み、それらのすべてが内側ポッドカバー６０２の外側からアクセス可能である。レチクル接触部材６１６および弾性部材６１８は、例えば一対のねじなどの１つまたは複数の締結具によって内側ポッドカバー６０２に固定されたキャップ６２０によって所定の位置に保持される。弾性部材６１８は、レチクル接触部材６１６を格納位置または非接触位置に付勢するように構成されたエラストマーディスクまたはダイヤフラムとすることができる。さらに、本明細書で前述したように、弾性部材６１８を形成するディスクはシールとして作用することができ、粒子状物質が内側ポッドに侵入するのを防ぐ役に立つ可能性がある。格納位置では、レチクル接触部材６１６はレチクル１２から離れて接触していない状態で位置付けられる。弾性部材６１８およびレチクル接触部材６１６のいずれも、Ｚ方向で加えられる下向きの力に応答するように構成され、レチクル接触部材６１６がレチクルと接触していない第１の、格納位置から、レチクル接触部材６１６が内側ポッド内に収容されたレチクルの側面に接触する第２の位置まで、レチクル接触部材６１６が移動することを可能にする。場合によっては、内側ポッドカバー６０２は、レチクル接触部材６１６の一部分を収容するための１つまたは複数の凹部６２２を含むこともできる。レチクル接触部材６１６の一部分は、レチクル接触部材６１６にＺ方向で下向きの力が加えられると、凹部６２２に収容される。凹部６２２はレチクル接触部材６１６に安定化力を提供してレチクル接触部材６１６がＸ平面およびＹ平面で摺動するのを防ぐ。
【００３８】
図１５Ａ〜図１５Ｃは、レチクル接触部材６１６の異なる図を示す。レチクル接触部材６１６は、ポリマー、ポリマーブレンド、金属または金属合金から作られた単一体部品とすることができる。レチクル接触部材６１６は、それが作られる材料に応じて機械加工または射出成形することができる。場合によっては、見られるように、レチクル接触部材６１６は、少なくとも１つの下方延在指部６２８を含む側方延在腕部６２６を含む。さらに、レチクル接触部材６１６は、レチクルの側面に接触するように構成された外方延在平滑面６３２を有する下方延在脚部６３０を含む。指部６２８のそれぞれは、内側ポッドカバー６０２にそのために形成された対応する凹部６２２に収容されて下向きの力を加えるように構成される。場合によっては、図１５Ａ〜図１５Ｃに示すように、指部６２８のそれぞれは、角度のある、または傾斜した縁部を含む。指部６２８のそれぞれに設けられた角度のある、または傾斜した縁部は、レチクル接触部材６１６がＸ平面およびＹ平面で左右移動耐性を持つように、指部６２８と凹部６２２の表面との間の摩擦量を増大させるように設計される。指部６２８と凹部表面との間のこの相互作用は、脚部６３０がレチクルから滑り落ちる可能性を低減する可能性がある。場合によっては、図示のように、脚部６３０は、弾性部材６１８の保持と相互作用するための溝６３４を含むことができる。
【００３９】
図１６Ａおよび図１６Ｂは、キャップ６２０の上面図および底面図を示す。使用時には、キャップ６２０はレチクル接触部材６１６および弾性部材６１８の上に接触して配置される。キャップ６２０は、Ｘ平面およびＹ平面でレチクル接触部材６１６の左右移動を接触して固定し、同様にＺ方向でレチクル接触部材６１６の上下移動の可能性を限定するブラケットまたはクロスブレース部材６３４を含む。場合によっては、ブラケット６３４はＹ形状を有するか、またはウィッシュボーン形状であるが、他の構造も当業者には容易に認識することができる。場合によっては、キャップ６２０は、弾性部材６１８に接触して圧力を加える円形隆起部６３８と、キャップ６２０を内側ポッドカバー６０２に固定するために１つまたは複数の対応する締結具を収容する１つまたは複数の開口部とを含むことができる。
【００４０】
図１７Ａおよび図１７Ｂは、レチクルリテーナ６１０を含む内側ポッド６００の断面図を示す。図１７Ａは、第１の、非接触位置にあるレチクルリテーナ６１０を示し、図１７Ｂは、腕部６２６にＺ方向で下向きの力が加えられるとレチクル接触部材６１６の脚部６３０がレチクル１２の側面６４４と接触する、第２の、接触位置にあるレチクルリテーナ６１０を示す。レチクル接触部材６１６の腕部６２６に下向きの力が加えられると、レチクル接触部材６１６は第１の回転軸６４６を中心に枢動または回転し、指部６２８を下方に移動させて凹部６２２に収容させ、また脚部６３０を側面６４４に向かって前方に枢動させる。図１７Ｂに示すように、脚部６３０がレチクルの側面６４４に接触すると、第１の回転軸６４６を中心とする回転は停止する。レチクル１２が脚部６３０を押し戻すことによって、第２の回転軸６４８が作り出される。しかし、レチクル１２が脚部６３０を押し戻す作用の反作用により、凹部６２２内に収容された指部６２８に付加的な力が加えられ、レチクル接触部材６１６とレチクル１２との間の接触点をさらに強化し安定化する。さらに、回転軸６４６は可撓性であり、回転軸６４６から回転軸６４８へと変化する。第１の回転軸６４６から第２の回転軸６４８へのこの回転軸の移行または変化は、弾性部材６１８によってもたらされる。弾性部材６１８は、脚部６３０が第２の回転軸６４８でレチクル１２の側面６４４と接触するときに第１の回転軸６４６がＸ平面で移行することができるように十分な程度の可撓性を提供する。脚部６３０と側面６４４との間の接触に応答して、弾性部材６１８が撓んで脚部６３０とレチクル１２との間の主たる側面接触を補助し、レチクル１２の移動をＸ平面および／またはＹ平面で防ぐ。図１３に戻って参照すると、レチクル１２の側面６４４に接触することによってＸ平面およびＹ平面でレチクル１２を抑制することは、付加的なレチクルリテーナ６１４によって加えられ得るＺ方向での荷重の必要量を軽減する可能性がある。
【００４１】
図１８は、本開示の別の実施形態による内側ポッド７００を示す。内側ポッド７００は、内側ポッドベース７０４に嵌合して密閉環境を画定するように構成された内側ポッドカバー７０２を含む。レチクルはその密閉環境内に格納することができる。内側ポッドカバー７０２は、内側ポッドベース７０４のサイズおよび形状にほぼ対応するサイズおよび形状を有する。場合によっては、内側ポッドカバー７０２は、ベース７０４の縁部に画定された複数の対応する凹部またはノッチ７０９によって収容されるようにサイズ設定され構成された複数の突起またはピン７０８を含んでもよい。ピン７０８およびノッチ７０９は協働してカバー７０２をベース７０４の上に誘導して位置合わせする。さらに、ピン７０８およびノッチ７０９は、カバー７０２がベース７０４に係合されているとき、カバー７０２を適切な位置に保持する。
【００４２】
内側ポッドカバー７０２はまた、レチクルリテーナ７１０とレチクルリテーナ７１４との１つまたは複数のセットを組み込む。レチクルリテーナ７１０およびレチクルリテーナ７１４は、粒子を発生する可能性があるレチクルの移動を抑制または防止するのに役立つ。レチクルリテーナ７１０およびレチクルリテーナ７１４は内側ポッドカバー７０２に組み込まれ、内側ポッドカバー７０２が閉じられているとき、レチクルリテーナは、Ｚ方向に加えて、Ｘ平面およびＹ平面でレチクルの水平移動または左右移動を集合的に抑制する。レチクルリテーナ７１０は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によってＺ方向でリテーナに加えられる下向きの力に応答して、レチクルの側面および／または縁部に係合する。レチクルリテーナ７１４は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によって加えられる下向きの力に応答して、レチクルリテーナの上部表面に接触する。しかし、レチクルリテーナ７１０がレチクルを側面から抑制することにより、レチクルリテーナ７１４によってレチクルの上部表面に加えられる力の量を軽減することができる。さらに、内側ポッド７００が閉じられて外側ポッド内に格納されているとき、レチクルリテーナ７１４は、側面レチクルリテーナ７１０がレチクル１２の側面および／または縁部に接触する前に、レチクル１２の上部表面に接触する。最初にレチクル１２の上部表面との接触をもたらすことにより、レチクルを安定させ、側面レチクルリテーナ７１０によって固定される前にレチクルがＸ平面および／またはＹ平面で位置を変えるのを防ぐ。
【００４３】
レチクルリテーナ７１０、７１４の数および位置は、ポッド全体のサイズおよび内側ポッド内に格納されたレチクルに加えられる荷重に応じて変えることができる。場合によっては、レチクルの上部表面に接触するように構成されたレチクルリテーナと、レチクルの側面または縁部からレチクルに接触するように構成されたレチクルリテーナとを組み合わせることが有用である可能性もある。他の場合では、内側ポッドカバー７０２は、レチクルの側面または縁部と接触するように構成されたレチクルリテーナを含んでもよいし、レチクルの上部表面と接触するように構成されたレチクルリテーナを除外してもよい。いくつかの実施形態では、図１８に示すように、内側ポッドカバー７０２は、それぞれが側面からレチクルに接触するように構成されたレチクルリテーナ７１０の２対と、レチクルの上部表面に接触するように構成されたレチクルリテーナ７１４の少なくとも１対とを含むことができる。場合によっては、側面接触のために構成されたレチクルリテーナ７１０の各対は内側ポッドカバー７０２上に配置され、協働してレチクルの角部をＸ平面およびＹ平面で移動から抑制する。
【００４４】
レチクルリテーナ７１０およびレチクルリテーナ７１４に加えて、内側ポッドカバー７０２は、内側ポッドカバー７０２が内側ポッドベース７０４に係合されているときに内側ポッド内の微小環境を維持および制御するために、内部に収納されたフィルタ媒体を含む１つまたは複数のフィルタを含むことができる。
【００４５】
図１９は、レチクルの側面からレチクルを固定するように構成されたレチクルリテーナ７１０の一部分の異なる図を示す。図１９に見られるように、レチクルリテーナ７１０は、レチクル接触部材７１６と、弾性部材７１８（図２３Ａおよび図２３Ｂに示す）と、キャップ７２０とを含み、これらのすべてが内側ポッドカバー７０２の外側からアクセス可能である。レチクル接触部材７１６および弾性部材７１８は、例えば、ねじなどの１つまたは複数の締結具によって内側ポッドカバー７０２に固定されたキャップ７２０によって所定の位置に保持される。弾性部材７１８は、レチクル接触部材７１６を格納位置または非接触位置に付勢するように構成されたエラストマーディスクまたはダイヤフラムとすることができる。さらに、本明細書で前述したように、弾性部材７１８を形成するディスクはシールとして作用することができ、粒子状物質が内側ポッドに侵入するのを防ぐ役に立つ可能性がある。格納位置では、レチクル接触部材７１６はレチクルから離れて接触していない状態で位置付けられる。弾性部材７１８およびレチクル接触部材７１６はいずれも、Ｚ方向で加えられる下向きの力に応答して、レチクル接触部材７１６がレチクルと接触していない第１の、格納位置から、レチクル接触部材７１６が内側ポッド内に収容されたレチクルの側面と接触する第２の位置まで、レチクル接触部材７１６が移動することを可能にするように構成される。場合によっては、内側ポッドカバー７０２は、レチクル接触部材７１６の一部分を収容するための１つまたは複数の凹部７２２を含むこともできる。レチクル接触部材７１６の一部分は、レチクル接触部材７１６にＺ方向で下向きの力が加えられると、凹部７２２に収容される。凹部７２２は、レチクル接触部材７１６に安定化力を提供して、レチクル接触部材７１６がＸ平面およびＹ平面で左右に摺動するのを防ぐ。
【００４６】
図２０Ａおよび図２０Ｂは、レチクル接触部材７１６の異なる図を示す。レチクル接触部材７１６は、ポリマー、ポリマーブレンド、金属または金属合金から作られた単一体部品とすることができる。レチクル接触部材７１６は、それが作られる材料に応じて機械加工または射出成形することができる。場合によっては、見られるように、レチクル接触部材７１６は、側方延在腕部７２６と、側方延在腕部７２６とともにＴ字形を形成するクロス部材７２８とを含む。クロス部材７２８は、第２の下方延在肩部７３０ｂから間隔を置いて配置された第１の下方延在肩部７３０ａを含む。場合によっては、下方延在肩部７３０ａ、７３０ｂは、クロス部材７２８の幅全体に沿って延在するが、これは必須ではない。他の場合では、下方延在肩部７３０ａ、７３０ｂは、クロス部材７２８の幅の２５パーセントから７５パーセントまで延在することができる。さらに、レチクル接触部材７１６は、レチクルの側面に接触するように構成された外方延在平滑面７３３を有する下方延在脚部７３２を含む。
【００４７】
肩部７３０ａ、７３０ｂのそれぞれは、内側ポッドカバー７０２にそのために形成された対応する凹部７２２に収容されて下向きの力を加えるように構成される。場合によっては、図２０Ａおよび図２０Ｂに示すように、肩部７３０ａ、７３０ｂのそれぞれは、角度のある、または傾斜した縁部を含む。肩部７３０ａ、７３０ｂのそれぞれに設けられた角度のある、または傾斜した縁部は、レチクル接触部材７１６がＸ平面およびＹ平面で左右移動に耐えるように、肩部７３０ａ、７３０ｂと凹部７２２の表面との間の摩擦量を増大させるように設計される。肩部７３０ａ、７３０ｂと凹部７２２の表面との間のこの相互作用は、レチクルと接触したときに脚部７３２がレチクルから滑り落ちる可能性を低減する可能性がある。場合によっては、図示のように、脚部７３２は、弾性部材７１８の保持と相互作用するための溝７３５を含むことができる。
【００４８】
図２１Ａおよび図２１Ｂは、一実施形態によるキャップ７２０Ａの上面図および底面図を示す。使用中、キャップ７２０Ａはレチクル接触部材７１６および弾性部材７１８の上に接触して配置される。キャップ７２０Ａは、互いに隣接して配置された２つのレチクル接触部材７１６の左右移動を接触して固定する、２つのほぼ円形またはＣ字形のブラケット部材７３６を含む。場合によっては、図２１Ｂに最もよく見られるように、ブラケット部材７３６のそれぞれは、弾性部材７１８に接触して圧力を加える円形隆起部７３８を含む。加えて、キャップは、ブラケット部材７３６のそれぞれから間隔を置いて配置されたねじなどの締結具を受けるための開口部７４０を含む。ブラケット部材７３６と開口部７４０とは、それぞれの中心点を通る線を引くことによって三角形を画定することができるように互いに対して位置決めされる。図２２Ａおよび図２２Ｂは、同様のキャップ７２０Ｂを示す。主な違いは、製造上の違いによりキャップ７２０Ｂがキャップ７２０Ａよりも頑丈なことである。当業者は、キャップ７２０Ｂの機能および部品間の関係に変わりがないことを容易に認識するであろう。
【００４９】
図２３Ａおよび図２３Ｂは、レチクルリテーナ７１０を含む内側ポッド７００の断面図を示す。図２３Ａは、第１の、非接触位置にあるレチクルリテーナ７１０を示し、図２３Ｂは、腕部７２６および／またはクロス部材７２８にＺ方向で下向きの力が加えられて、レチクル接触部材７１６の脚部７３２がレチクル１２の側面７４４と接触している第２の、接触位置にあるレチクルリテーナ７１０を示す。レチクル接触部材７１６の腕部７２６および／またはクロス部材７２８に下向きの力が加えられると、レチクル接触部材７１６は第１の回転軸７４６を中心にして枢動または回転し、肩部７３０ａ、７３０ｂ（図では７３０ａのみ見える）を下方に移動させて凹部に収容させ、また脚部７３２をレチクル１２の側面７４４に向かって前方に枢動させる。第１の回転軸７４６を中心とする回転は、図２３Ｂに示すように、脚部７３２がレチクル１２の側面７４４に接触すると停止する。第２の回転軸７４８は、レチクル１２が脚部７３２を押し戻すことによって作り出される。しかし、レチクル１２が脚部７３２を押し戻す作用の反作用により、凹部７２２に収容された肩部７３０ａ、７３０ｂに付加的な力が加えられ、レチクル接触部材７１６とレチクル７１６との間の接触点をさらに強化し安定化する。さらに、回転軸７４６は可撓性であり、回転軸７４６から回転軸７４８へと変化する。第１の回転軸７４６から第２の回転軸７４８へのこの回転軸の移行または変化は、弾性部材７１８によってもたらされる。弾性部材７１８は、脚部７３２が第２の回転軸７４８でレチクル１２の側面７４４と接触するときに第１の回転軸７４６がＸ平面で移行することができるように十分な程度の可撓性を提供する。脚部７３２と側面７４４との間の接触に応答して、弾性部材７１８が撓んで脚部７３２とレチクル１２との間の主たる側面接触を補助し、Ｘ平面および／またはＹ平面でレチクル１２の移動を防ぐ。図１８に戻って参照すると、レチクル１２の側面７４４に接触することによってレチクル１２をＸ平面およびＹ平面で抑制することで、付加的なレチクルリテーナ７１４によって加えられ得るＺ方向での荷重の必要量を軽減する可能性がある。
【００５０】
図２４は、二重ポッドアセンブリを形成する外側ポッド８００内に格納された内側ポッド７００を示す部分断面図である。外側ポッド８００は、外側ポッドカバー８０２と外側ポッドベース８０４とを含む。外側ポッドカバー８０２は、内側ポッド７００が外側ポッド内に格納されているとき、腕部７２６および／またはレチクル接触部材７１６のクロス部材７２８に接触してＺ方向で下向きの圧力を加える、少なくとも１つの接触部材またはパッド８０６を含む。外側ポッドカバー８０２に組み込まれた接触部材またはパッド８０６の数は、レチクル接触部材７１６の数と一対一で対応する。腕部７２６および／またはクロス部材７２８に対してＺ方向で下向きに加えられる力は、レチクル接触部材７１６をレチクル１２の側面７４４に係合させ、レチクル１２がＸ平面およびＹ平面で左右移動するのを抑制および／または防止する。図１８に戻って参照すると、レチクル１２の側面７４４に接触することによってレチクル１２をＸ平面およびＹ平面で抑制することで、付加的なレチクルリテーナ７１４によって加えられ得るＺ方向での荷重の必要量を軽減する可能性がある。
【００５１】
図２５は、位置決めピン７０８ａ、７０８ｂ、７０８ｃ、および７０８ｄの相対位置を示した、図１９に示す内側ポッド７００の簡略図である。ピン７０８ａ〜７０８ｄのそれぞれは、内側ポッド７００の角部７１２に隣接して配置される。図２５に示すように、および本明細書で前述したように、ピン７０８ａ〜７０８ｄのそれぞれは、ベース７０４に画定された対応する凹部に収容される。例えば、図２５に見られるように、ピン７０８ａは対応する凹部７０９ａに収容され、ピン７０８ｃは凹部７０９ｃに収容される。本明細書で前述したように、対応するピンと凹部とは協働してカバー７０２をベース７０４の上に誘導して位置合わせし、またカバー７０２がベース７０４に係合されているとき、カバー７０２を適切な位置に保持する。さらに、ピンおよび凹部の互いに対する位置は、ベース７０４に対するカバー７０２の移動耐性をＸ平面およびＹ平面で付加し、また、ベースに対するカバー７０２の任意の回転運動にも耐えるように補助する。
【００５２】
図２５に見られるように、ピン７０８ａ、７０８ｂおよびそれらの対応する凹部（凹部７０９ａのみ見える）からなる第１のセットは、第１の軸ｌによって画定される第１の垂直面に配置される。少なくとも第３のピン７０８ｃおよび対応する凹部７０９ｃは、第２の軸Ｍによって画定される第２の垂直面に配置される。第４のピン７０８ｄおよびその対応する凹部は任意選択とする。場合によっては、第２の軸ｍによって画定される第２の垂直面は、第１の軸ｌによって画定される第１の垂直面を約６０°〜約１１０°の角度αで、より具体的には約６０°〜約９０°の角度αで二分する。他の場合では、第２の軸ｍによって画定される第２の垂直面は、直角または９０度の角度で第１の軸ｌによって画定される第１の垂直面を二分する。第１のセットのピンによって画定された第１の軸または平面に対する角度上にある、または場合によっては直交している軸上または平面に第３のピン７０８ｃおよび凹部７０９ｃを配置することにより、ｌ軸の両方向でベースに対するカバー７０２の移動が限定される。さらに、凹部の幅に対するピンの幅は、カバー７０２がベース７０４に静置されて、ピン７０８ａなどのピンが、７０９ａなどの対応する凹部に収容されているとき、カバー７０２が回転移動耐性を持つように選択される。ベース７０４に対するカバー７０２のＸ平面およびＹ平面でのこの移動耐性は、３つのピン７０８ａ、７０８ｂ、および７０８ｃならびにそれらの対応する凹部を互いに対して中心に配置することによっても達成することができる。
【００５３】
図２６〜図２９Ｃは、本開示のさらに別の実施形態に関する。図２６は、さらに他の実施形態による１つまたは複数のレチクルリテーナ８１０を含む内側ポッド８００の斜視図である。内側ポッド８００は、内側ポッドベース８０４に嵌合して密閉環境を画定するように構成された内側ポッドカバー８０２を含む。レチクルはその密閉環境内に格納することができる。内側ポッドカバー８０２は、内側ポッドベース８０４のサイズおよび形状にほぼ対応するサイズおよび形状を有する。場合によっては、内側ポッドカバー８０２は、ベース８０４の縁部に画定された複数の対応する凹部またはノッチによって収容されるようにサイズ設定され構成された複数の突起またはピンを含んでもよい。ピンおよびノッチは協働してカバー８０２をベース８０４の上に誘導して位置合わせし、またカバー８０２がベース８０４に係合されているとき、カバー８０２を適切な位置に保持する。
【００５４】
図２６に示すように、内側ポッドカバー８０２はまた、１対または複数対のレチクルリテーナ８１０を組み込む。レチクルリテーナ８１０は、粒子を発生する可能性があるレチクルの移動を抑制または防止するのに役立つ。レチクルリテーナ８１０の数および位置は、ポッド全体のサイズおよび内側ポッド内に格納されたレチクルに加えられる荷重に応じて変えることができる。レチクルリテーナ８１０は内側ポッドカバー８０２に組み込まれ、内側ポッドカバー８０２が閉じられているとき、レチクルリテーナは、Ｚ方向に加えて、Ｘ平面およびＹ平面でレチクルの水平移動または左右移動を集合的に抑制する。各レチクルリテーナ８１０は、レチクルの側面に接触するように構成される。レチクルリテーナ８１０の各対は内側ポッドカバー８０２上に配置され、２つのレチクルレチクルリテーナ８１０が協働してレチクルの角部をＸ平面およびＹ平面で移動から抑制する。いくつかの実施形態では、図示のように、レチクルリテーナ８１０は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によってＺ方向でリテーナに加えられる下向きの力に応答して、レチクルの側面に係合する。本明細書に記載されたこれまでの実施形態とは異なり、レチクルリテーナ８１０はレチクルの上部表面に意図的に接触しない。
【００５５】
図２７および図２８は、レチクルリテーナ８１０を含む内側ポッドの異なる断面図であり、図２９Ａ〜図２９Ｃは、個別のレチクルリテーナ８１０の異なる図である。各レチクルリテーナ８１０は腕部８１４と本体部分８１６とを含む。腕部は、本体部分８１６が延在する方向に対して垂直な方向に延在する。例えば、場合によっては、腕部８１４はＸ方向またはＹ方向に延在し、本体部分８１６はＺ方向に延在する。本体部分８１６は、外側ポッドカバーの内表面に設けられた対応する構造によって腕部８１４にＺ方向で加えられる下向きの力に応答して、レチクル１２の側面８１８に接触する。側面に接触すると、ある程度レチクルが中央に寄せられるが、摺動中の力は最小限になる。レチクルとレチクルリテーナとの間の摩擦もまた、搬送中のＸ方向およびＹ方向のレチクルの動きを限定する。場合によっては、図２７に示すように、本体部分８１６は、必要に応じてレチクルの移動をＺ方向で限定するために、レチクルの上部表面の上方に位置する肩部分８２０を含むことができる。肩部分８２０は、レチクル１２の上部表面と接触することを意図しない。むしろ、肩部分８２０は、衝撃事象に応答して必要に応じレチクル１２の移動をＺ方向で限定する。さらに、レチクルリテーナ８１０は、本体部分８１６を囲むシール８２４を含むことができ、粒子状物質が内側ポッドに侵入するのを防ぐ役に立つ可能性がある。
【００５６】
本開示のいくつかの例示的実施形態をこのように説明してきたが、当業者は、添付の特許請求の範囲内でさらに他の実施形態が作られ使用され得ることを容易に理解されよう。本明細書によって網羅される開示の多数の利点は、前述の説明に記載されている。しかし、本開示が多くの点で例示的なものにすぎないことは理解されよう。本開示の範囲を超えることなく、細部、特に部品の形状、サイズ、および配置に関しては、変更が行われる可能性がある。開示の範囲は、言うまでもなく、添付の特許請求の範囲の文言により定義される。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１０Ｄ】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０Ａ】
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【図２０Ｂ】
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【図２１Ａ】
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【図２１Ｂ】
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【図２２Ａ】
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【図２２Ｂ】
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【図２３Ａ】
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【図２３Ｂ】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９Ａ】
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【図２９Ｂ】
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【図２９Ｃ】
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【手続補正書】
【提出日】令和1年5月7日(2019.5.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レチクルを支持するように構成されたベースと、
上部表面を有しかつ前記ベースに嵌合するように構成されたカバーと、
各レチクル接触部材が外方延在腕部および前記カバーを貫通して延在する下方延在脚部を含み、レチクルの側壁に接触して前記レチクルの移動を限定するように構成されたレチクル接触部材をそれぞれ含む１つまたは複数のレチクルリテーナとを備え、前記腕部の作動時に、前記下方延在脚部がレチクルの側壁に向かう方向で移動するように構成される、
レチクルを保持するためのレチクルポッド。
【請求項２】
前記レチクル接触部材が水平方向で前記レチクルの移動を限定する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項３】
前記レチクル接触部材が垂直方向で移動を限定する、請求項２に記載のレチクルポッド。
【請求項４】
前記レチクル接触部材がレチクルの上部表面と接触するようにさらに構成される、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項５】
前記１つまたは複数のレチクルリテーナのそれぞれが弾性部材をさらに備え、前記弾性部材が前記レチクル接触部材を非接触位置に付勢する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項６】
前記外方延在腕部が前記カバーの上部表面の上方に少なくとも部分的に延在する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項７】
前記外方延在腕部が少なくとも１つの下方延在部材を備える、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項８】
前記下方延在脚部が少なくとも第１の凹部と、前記第１の凹部に収容される第１の接触部材とを含む、請求項１に記載のレチクルポッド。
【請求項９】
前記レチクルポッドが外側ポッドベースと、前記外側ポッドベースに嵌合するように構成された外側ポッドカバーとを有する外側ポッド内に格納され、前記外側ポッドカバーが内表面と、前記内表面から延在して前記レチクルポッドの前記外方延在腕部に接触し作動させ、前記下方延在脚部を前記レチクルの前記側壁に向かう方向に移動させる少なくとも１つの接触パッドとを有する、請求項１に記載のレチクルポッド。
【国際調査報告】
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