(57)【要約】【課題】本発明は、ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク及びＯＬＥＤ蒸着方法を提供する。【解決手段】本願に係わるＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク及びＯＬＥＤ蒸着方法において、前記メタルマスクの開口部の辺縁に擁壁を設置することにより、前記蒸着材料を反射し且つ前記蒸着材料の拡散を遮断することができ、前記蒸着材料を所定の前記蒸着領域内に最大限に保留して、ＯＬＥＤ基板に対して蒸着する場合にピクセル領域の混色を引き起こす技術的問題を解決することができ、従ってＯＬＥＤの発光表示効果が大幅に向上する。【選択図】図１
2019530804.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板を貫通する開口部と、前記基板の１つの表面から突出するように形成された擁壁と、を備え、前記擁壁は前記開口部の辺縁を囲み、且つ前記擁壁における前記開口部に向かう内表面は反射面であり、前記擁壁は前記開口部と前記基板の他の部分を隔離するために用いられることを特徴とするＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項２】
前記擁壁の内表面はＶ字状の断面を有する反射面であることを特徴とする請求項１に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項３】
前記基板に垂直する前記擁壁の断面は二等辺台形であり、前記内表面が前記開口部の外側に向かって広げるようにすることを特徴とする請求項１に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項４】
前記擁壁の内表面は、前記開口部の辺縁に接続され且つ前記開口部から離れるように傾斜する斜面と、前記斜面に接続され且つ前記基板の表面に垂直する遮蔽面と、を備えることを特徴とする請求項１に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項５】
前記基板に垂直する前記擁壁の断面はＬ字状であり、前記擁壁の内表面が階段状に設置された２つの反射面を形成するようにすることを特徴とする請求項１に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項６】
前記擁壁の内表面は外へ突出された円弧面であることを特徴とする請求項１に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項７】
前記擁壁は、前記基板に接続されている第一部分と、前記第一部分に接続されており且つ前記第一部分の材料と異なる材料からなる第二部分と、を備え、前記第一部分の内表面と前記第二部分の内表面は階段状に設置されて前記反射面を構成することを特徴とする請求項１に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項８】
前記擁壁は第一壁及び第二壁を備え、前記第一壁は前記開口部の辺縁に隣接し、前記第二壁は前記第一壁を囲み且つ前記第一壁と間隔を置いて設置され、前記開口部に向かう前記第一壁の内表面は前記開口部の外側に向かって広げて前記反射面を形成することを特徴とする請求項１に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項９】
前記擁壁は前記基板と離反する頂面を備え、前記頂面は平面であり、又は前記頂面は曲面であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項１０】
前記擁壁の材料は、鉄、ニッケル、アルミニウム、又は合金、又は有機材料、又は無機材料であることを特徴とする請求項１に記載のＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク。
【請求項１１】
基板と、前記基板を貫通する開口部と、を備え、前記基板の表面にはさらに溝が形成されており、前記開口部と前記溝は間隔を置いて設置され、前記開口部と前記溝との間には擁壁が形成されることを特徴とする蒸着用メタルマスク。
【請求項１２】
ＯＬＥＤパネル表面の複数の蒸着領域を確定するステップと、
真空環境において、蒸着材料とＯＬＥＤパネルの表面との間にメタルマスクを設置するステップと、
前記メタルマスクの開口部を１つの蒸着領域に対向させ、且つ前記擁壁によって前記蒸着領域と他の蒸着領域を隔離するステップと、
加熱蒸着するステップと、
を備えることを特徴とするＯＬＥＤ蒸着方法。
【請求項１３】
ＯＬＥＤパネル表面の複数の蒸着領域を確定し、２つの前記蒸着領域毎の間には隔離柱が設置されているステップと、
真空環境において、蒸着材料とＯＬＥＤパネルの表面との間にメタルマスクを設置するステップと、
前記メタルマスクの開口部を１つの蒸着領域に対向させ、前記隔離柱は前記溝内に挿入されて、前記溝と前記開口部との間の擁壁は、前記蒸着領域と前記開口部に対向する蒸着領域以外の他の蒸着領域を隔離するステップと、
加熱蒸着するステップと、
を備えることを特徴とするＯＬＥＤ蒸着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属蒸着技術に関するものであり、特にＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク及びＯＬＥＤ蒸着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機発光ダイオード（Ｏｒｇａｎｉｃ  Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ、ＯＬＥＤ）ディスプレイは、軽薄であり、自発的に発光することができ、対応速度が速いので、スマートフォンやタブレットなどの端末に広く応用されている。従来の技術において、ＯＬＥＤの発光サブピクセルの形成方法は蒸着法を採用し、主にＯＬＥＤ基板の蒸着面と蒸着源との間にメタルマスクを配置し、蒸着材料は加熱によって蒸発されるので、メタルマスクの開口によって蒸着面の対応するサブピクセル領域に対して蒸着する。しかし、メタルマスク蒸着法はシャドウ効果（ｓｈａｄｏｗ  ｅｆｆｅｃｔ）が発生し易く、即ち第一サブピクセル領域に対して蒸着する場合、蒸着材料は第一サブピクセルの所定領域の外側に拡散可能であり、即ち第二サブピクセル領域又は第三サブピクセル領域に拡散されて、混色を引き起こし、ＯＬＥＤの発光表示効果に影響を及ぼす。
【発明の概要】
【０００３】
本発明は、ＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク及びＯＬＥＤ蒸着方法を提供し、ＯＬＥＤ基板に対して蒸着する場合にピクセル領域の混色を引き起こす技術的問題を解決する。
【０００４】
本発明に係わるＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクは、基板と、前記基板を貫通する開口部と、前記基板の１つの表面から突出するように形成された擁壁と、を備え、前記擁壁は前記開口部の辺縁を囲み、且つ前記擁壁における前記開口部に向かう内表面は反射面であり、前記擁壁は前記開口部と前記基板の他の部分を隔離するために用いられる。
【０００５】
その中において、前記擁壁の内表面はＶ字状の断面を有する反射面である。
【０００６】
その中において、前記基板に垂直する前記擁壁の断面は二等辺台形であり、前記内表面が前記開口部の外側に向かって広げるようにする。
【０００７】
その中において、前記擁壁の内表面は、前記開口部の辺縁に接続され且つ前記開口部から離れるように傾斜する斜面と、前記斜面に接続され且つ前記基板の表面に垂直する遮蔽面と、を備える。
【０００８】
その中において、前記基板に垂直する前記擁壁の断面はＬ字状であり、前記擁壁の内表面が階段状に設置された２つの反射面を形成するようにする。
【０００９】
その中において、前記擁壁の内表面は外へ突出された円弧面である。
【００１０】
その中において、前記擁壁は、前記基板に接続されている第一部分と、前記第一部分に接続されており且つ前記第一部分の材料と異なる材料からなる第二部分と、を備え、前記第一部分の内表面と前記第二部分の内表面は階段状に設置されて前記反射面を構成する。
【００１１】
その中において、前記擁壁は第一壁及び第二壁を備え、前記第一壁は前記開口部の辺縁に隣接し、前記第二壁は前記第一壁を囲み且つ前記第一壁と間隔を置いて設置され、前記開口部に向かう前記第一壁の内表面は前記開口部の外側に向かって広げて前記反射面を形成する。
【００１２】
その中において、前記擁壁は前記基板と離反する頂面を備え、前記頂面は平面であり、又は前記頂面は曲面である。
【００１３】
本発明に係わる蒸着用メタルマスクは、基板と、前記基板を貫通する開口部と、を備え、前記基板の表面にはさらに溝が形成されており、前記開口部と前記溝は間隔を置いて設置され、前記開口部と前記溝との間には擁壁が形成される。
【００１４】
本発明に係わるＯＬＥＤ蒸着方法は、ＯＬＥＤパネル表面の複数の蒸着領域を確定するステップと、真空環境において、蒸着材料とＯＬＥＤパネルの表面との間にメタルマスクを設置するステップと、前記メタルマスクの開口部を１つの蒸着領域に対向させ、且つ前記擁壁によって前記蒸着領域と他の蒸着領域を隔離するステップと、加熱蒸着するステップと、を備える。
【００１５】
本発明に係わるＯＬＥＤ蒸着方法は、ＯＬＥＤパネル表面の複数の蒸着領域を確定し、２つの前記蒸着領域毎の間には隔離柱が設置されているステップと、真空環境において、蒸着材料とＯＬＥＤパネルの表面との間にメタルマスクを設置するステップと、前記メタルマスクの開口部を１つの蒸着領域に対向させ、前記隔離柱は前記溝内に挿入されて、前記溝と前記開口部との間の擁壁は、前記蒸着領域と前記開口部に対向する蒸着領域以外の他の蒸着領域を隔離するステップと、加熱蒸着するステップと、を備える。
【００１６】
本発明によって提供されるＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクは、前記基板の開口部の辺縁に擁壁を設置し、前記ＯＬＥＤ蒸着方法によって前記ＯＬＥＤ基板に対して蒸着することにより、前記蒸着材料が所定のサブピクセル領域の外側に拡散されて招く混色の発生を回避し、従ってＯＬＥＤの発光表示効果を高める。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
以下、本発明の実施形態に係る技術的方案をより明確に説明するために、本発明の実施形態の説明に使用される図面について簡単に説明する。明らかに、以下説明される図面は、本発明の一部の実施形態だけのものであり、当業者であれば、これらの図面から創造的な努力なしに他の図面を得ることができる。
【図１】図１は、本発明の第一実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクを示す図ある。
【図２】図２は、本発明の第一実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクによってＯＬＥＤサブピクセルを加工する効果を示す図である。
【図３】図３は、本発明の第二実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクを示す図ある。
【図４】図４は、本発明の第三実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクを示す図ある。
【図５】図５は、本発明の第四実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクを示す図ある。
【図６】図６は、本発明の第五実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクを示す図ある。
【図７】図７は、本発明の第六実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクを示す図ある。
【図８】図８は、本発明の第七実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクを示す図ある。
【図９】図９は、本発明の第八実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクを示す図ある。
【図１０】図１０は、本発明の第八実施形態に係るＯＬＥＤ蒸着用メタルマスクによってＯＬＥＤサブピクセルを加工する効果を示す図である。
【図１１】図１１は、本発明の第二〜第七実施形態に係るメタルマスクを応用するＯＬＥＤ蒸着方法のフローチャートである。
【図１２】図１２は、本発明の第八実施形態に係るメタルマスクを応用するＯＬＥＤ蒸着方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態の図面と結合して、本発明の実施形態の技術的方案に対して明確に、完全に説明する。
【００１９】
図１を参照すると、本発明はＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク１００を提供し、ＯＬＥＤのサブピクセル領域を形成するために用いられる。第一実施形態において、前記メタルマスク１００は、基板１０と、前記基板１０を貫通する開口部２０と、前記開口部２０の辺縁を囲む擁壁３０と、を備える。前記基板１０は、第一表面１１と、前記第一表面１１に対向する第二表面１２と、を備える。前記開口部２０はフレア形状であり、即ち前記第一表面の開口端は前記第二表面の開口端よりわずかに小さく、前記基板１０に垂直する前記開口部２０の断面は二等辺台形である。前記擁壁３０は、前記基板１０の第一表面１１から突出するように形成され、且つ前記開口部２０の辺縁を囲んで設置される。
【００２０】
前記擁壁３０は、前記開口部２０と前記基板１０の他の部分を隔離するために用いられる。前記擁壁３０は、前記開口部２０に向かう内表面３０１と、前記基板と離反する頂面３０２と、を備える。前記内表面３０１は、反射面である。前記内表面３０１の作用は、蒸着材料を遮断且つ反射することにより、蒸着材料がＯＬＥＤ基板の所定の蒸着領域以外の位置に拡散しないようにする。本実施形態において、前記内表面３０１は前記開口部２０の外側に向かって広げて斜面を形成し、前記頂面３０２は平面であり、前記基板１０に垂直する前記擁壁３０の断面は二等辺台形である。前記擁壁３０は、同じ材料で形成される。前記擁壁３０の材料は、鉄、ニッケル、アルミニウム、又は合金、又は有機材料、又は無機材料である。有機材料は、ポリイミド、アクリル樹脂などであり、無機材料は、ＳｉＮｘなどである。
【００２１】
図２を参照すると、ＯＬＥＤパネル２００は、ＯＬＥＤ基板２１０と、前記ＯＬＥＤ基板２１０にアレイ状に配列された複数の蒸着領域２２０と、２つの前記蒸着領域２２０毎に設置された隔離柱２３０と、を備える。前記蒸着領域２２０に対して蒸着操作を行うことにより、アレイ状に配列されたサブピクセルを形成する。サブピクセルは異なる色を有するので、ＯＬＥＤパネルは異なる色を呈し、前記蒸着領域２２０も異なる色の材料を蒸着した異なる蒸着領域を備える。本願の前記蒸着領域２２０は、赤色を蒸着した第一蒸着領域２２０１と、青色を蒸着した第二蒸着領域２２０２と、緑色を蒸着した第三蒸着領域２２０３と、を備える。蒸着操作を行う場合、前記ＯＬＥＤパネル２００は前記メタルマスク１００の上に積層され、前記隔離柱２３０は前記第一表面１１上に配置されて、前記開口部に対応する蒸着領域と他の蒸着領域とをさらに隔離することができる。蒸着材料は前記開口部２０を通って前記蒸着領域２２０に入り、一部分の蒸着材料は前記擁壁３０に拡散されると、前記擁壁３０の内表面３０１に遮断且つ反射されて、所定の前記蒸着領域２２０内に拡散されるので、蒸着材料が所定のサブピクセル領域の外側に拡散されて混色を引き起こすことを免れ、ＯＬＥＤの発光表示効果を高める。
【００２２】
前記擁壁３０は、様々な形状を有し且つ形成材料も異なることができると、理解されるべきである。具体的には、使用状況に応じて、対応的に選択することができる。
【００２３】
図３を参照すると、本発明の第二実施形態はメタルマスク３００を提供し、前記第一実施形態と異なる点は、本実施形態に係わる前記メタルマスク３００の擁壁３３０の内表面３３０１は、Ｖ字状の断面を有する反射面であり、蒸着材料の拡散経路は図面に示す通りであり、蒸着材料は反射面で何度も反射されて前記蒸着領域内に反射され、蒸着材料が開口部以外の領域に拡散されて他の蒸着領域を影響することを減少する。
【００２４】
図４を参照すると、本発明の第三実施形態はメタルマスク４００を提供し、前記第一、第二実施形態と異なる点は、本実施形態に係わる前記メタルマスク４００の擁壁４３０の内表面４３０１は、開口部２０の辺縁に接続され且つ前記開口部から離れるように傾斜する斜面４３０１ａと、前記斜面４３０１ａに接続され且つ前記基板１０の表面に垂直する遮蔽面４３０１ｂと、を備える。
【００２５】
図５を参照すると、本発明の第四実施形態はメタルマスク５００を提供し、前記第一〜第三実施形態と異なる点は、本実施形態に係わる前記メタルマスク５００の擁壁５３０の内表面５３０１は外へ突出された円弧面であり、その頂面５３０２は曲面である。前記基板１０に垂直する前記擁壁５３０の断面は放物線状である。
【００２６】
図６を参照すると、本発明の第五実施形態はメタルマスク６００を提供し、前記第一〜第四実施形態と異なる点は、本実施形態に係わる前記メタルマスク６００の擁壁６３０の内表面６３０１は、階段状に設置された２つの反射面を形成し、階段状に設置された２つの反射面は全て前記開口部１０から離れる方向に向かって外へ拡張する斜面である。前記基板１０に垂直する前記擁壁６３０の断面はＬ字状であり、前記基板１０の第一表面１１に設置された第一段階６３１はＬ字状の短辺を形成し、第一段階６３１の上に設置された第二段階６３２はＬ字状の長辺を形成する。蒸着材料は、階段状に設置された反射面で何度も反射されて、蒸着材料が開口部１０以外の他の領域に拡散されることを減少する。
【００２７】
図７を参照すると、本発明の第六実施形態はメタルマスク７００を提供し、前記第一〜第五実施形態と異なる点は、本実施形態に係わる前記メタルマスク７００の擁壁７３０は、前記基板１０に接続されている第一部分７３３と、前記第一部分７３３に接続されている第二部分７３４と、を備える。前記第一部分７３３と前記第二部分７３４の構成材料は異なる。前記第一部分７３３は、前記開口部２０の辺縁を囲んで設置される。前記第二部分７３４は、前記第一部分７３３の上に設置され且つその辺縁は前記開口部２０からわずかに離れている。前記第一部分７３３の内表面と前記第二部分７３４の内表面は階段状に設置されて内表面７３０１を構成し、階段状に設置された前記第一部分７３３の内表面と前記第二部分７３４の内表面は全て前記開口部２０から離れている外へ拡張する斜面である。
【００２８】
図８を参照すると、本発明の第七実施形態はメタルマスク８００を提供し、前記第一〜第六実施形態と異なる点は、本実施形態に係わる前記メタルマスク８００の擁壁８３０は、第一壁８３５及び第二壁８３６を備える。前記第一壁８３５は前記開口部２０に隣接し且つ前記開口部２０の辺縁を囲み、前記第二壁８３６は前記第一壁８３５を囲み且つ前記第一壁８３５と間隔を置いて設置される。前記開口部２０に向かう前記第一壁８３５の内表面８３０１は前記開口部２０の外側に向かって広げて反射面を形成する。前記基板１０に垂直する前記第一壁８３５及び前記第二壁８３６の断面は全て二等辺台形である。本実施形態において、前記第一壁８３５及び前記第二壁８３６の形状及び材料は同じでもよく、又は異なってもよく、且つその形状は前記第一〜第六実施形態の任意の形状であることができると、理解されるべきである。
【００２９】
図９と図１０を参照すると、本発明の第八実施形態はメタルマスク９００を提供する。前記メタルマスク９００は、基板１０と、前記基板１０を貫通する開口部２０と、前記基板の第一表面１１に形成された溝９４０と、を備える。前記開口部２０と前記溝９４０は間隔を置いて設置され、前記開口部２０と前記溝９４０との間には擁壁が形成される。前記溝９４０は、前記ＯＬＥＤパネル２００の隔離柱２３０とそれぞれ対応して設置される。蒸着操作を行う場合、前記隔離柱２３０は前記溝９４０内に挿入されて、前記基板１０を前記ＯＬＥＤ基板２１０に接近させ、このとき、前記溝９４０と前記開口部２０との間の擁壁は、蒸着材料が前記開口部２０以外の領域に拡散されることを防止する。
【００３０】
本発明の第一〜第七実施形態に係わるメタルマスクは、いずれもフォトレジスト塗布、露光、現像、エッチング等のパターニング工程により形成される。主に以下のようなステップを備える：
第一ステップでは、メタルマスク基材の表面に第一フォトレジスト層をコーティングし、パターニング工程によって第一フォトレジスト層上に光透過領域を形成する；
第二ステップでは、メタルマスク基材に対してエッチングして、メタルマスク基材における光透過領域に位置する箇所に開口部を形成してから、第一フォトレジスト層を取り出す；
第三ステップでは、メタルマスク基材の他の表面に第二フォトレジスト層をコーティングし、第二フォトレジスト層をパターニングして前記擁壁のパターンを画定する；
第四ステップでは、擁壁のパターンに基づいて擁壁を形成し、擁壁の材料は？？？である。
【００３１】
図２及び図１１を再び参照すると、本発明はＯＬＥＤ蒸着方法をさらに提供し、本出願では、第一実施形態に係わるメタルマスクをＯＬＥＤ蒸着過程で使用されるメタルマスクとすることを例として説明する。異なる有機発光材料によって、アレイ状に配置された異なる色（一般的に赤、緑、青の三種の三原色である）のサブピクセルを蒸着形成するので、ＯＬＥＤディスプレイは異なる色を呈する。故に、特定の領域に対応する色を呈する有機発光材料を蒸着することを必要とする。本出願において、前記ＯＬＥＤ蒸着方法は以下のステップを備える。
【００３２】
ステップＳ１では、ＯＬＥＤパネル２００を提供し、前記ＯＬＥＤパネル表面の複数の蒸着領域２２０を確定する。
【００３３】
このステップにおいて、複数の前記蒸着領域２２０は、サブピクセルの所在位置である。
【００３４】
ステップＳ２では、真空環境において、蒸着材料と前記ＯＬＥＤパネル２００の表面との間に前記メタルマスク１００を設置する。
【００３５】
このステップにおいて、前記ＯＬＥＤパネル２００は前記メタルマスク１００の上に積層される。第一〜第七実施形態において、前記ＯＬＥＤパネル２００の隔離柱２３０は前記メタルマスク１００の第一表面１１に配置される。
【００３６】
ステップＳ３では、前記メタルマスク１００の開口部１０を１つの蒸着領域２２０１に対向させ、且つ前記メタルマスク１００の擁壁３０によって前記蒸着領域２２０１と他の蒸着領域を隔離する。このステップにおいて、前記蒸着領域２２０１は、同じ色のサブピクセルの所在位置である。
【００３７】
ステップＳ４では、加熱蒸着する。
【００３８】
このステップにおいて、前記加熱蒸着は、前記蒸着材料を加熱することにより、前記蒸着材料を蒸発拡散させて前記蒸着領域２２０１に附着するようにすることを意味する。１つの前記蒸着領域２２０１の蒸着が終了した後、他の色の蒸着材料を改めて選択してから前記メタルマスクを水平移動して、前記メタルマスクの開口部を次の蒸着領域に対向させ、且つ上述した操作を繰り返して、他の色のサブピクセルを形成し、即ちＯＬＥＤ蒸着過程が完了すると、理解されるべきである。蒸着過程において、前記擁壁３０は前記蒸着領域２２０１と他の蒸着領域を隔離することができるので、混色の発生を回避する。
【００３９】
図１２を参照すると、本出願では第八実施形態に係わるメタルマスクをＯＬＥＤ蒸着過程で使用されるメタルマスクとする場合、前記蒸着方法は以下のようなステップを備える：
ステップＳ１：前記ＯＬＥＤパネル表面の複数の蒸着領域を確定し、２つの前記蒸着領域毎の間には隔離柱が設置されている；
ステップＳ２：真空環境において、蒸着材料とＯＬＥＤパネルの表面との間にメタルマスクを設置する；
ステップＳ３：前記メタルマスクの開口部を１つの蒸着領域に対向させ、前記隔離柱２３０は前記溝９４０内に挿入されて、前記溝と前記開口部との間の擁壁９３０は、前記蒸着領域と前記開口部に対向する蒸着領域以外の他の蒸着領域を隔離する；
ステップＳ４：加熱蒸着する。
【００４０】
本願に係わるＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク及びＯＬＥＤ蒸着方法において、前記メタルマスクに擁壁を設置することにより、前記蒸着材料を反射し且つ前記蒸着材料の拡散を遮断することができ、前記蒸着材料を所定の前記蒸着領域内に最大限に保留して、蒸着材料が他の蒸着領域に拡散されて招く混色の発生を回避し、従ってＯＬＥＤの発光表示効果が大幅に向上する。
【図１】
2019530804.tif 000003
【図２】
2019530804.tif 000004
【図３】
2019530804.tif 000005
【図４】
2019530804.tif 000006
【図５】
2019530804.tif 000007
【図６】
2019530804.tif 000008
【図７】
2019530804.tif 000009
【図８】
2019530804.tif 000010
【図９】
2019530804.tif 000011
【図１０】
2019530804.tif 000012
【図１１】
2019530804.tif 000013
【図１２】
2019530804.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成31年3月25日(2019.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
図１を参照すると、本発明はＯＬＥＤ蒸着用メタルマスク１００を提供し、ＯＬＥＤのサブピクセル領域を形成するために用いられる。第一実施形態において、前記メタルマスク１００は、基板１０と、前記基板１０を貫通する開口部２０と、前記開口部２０の辺縁を囲む擁壁３０と、を備える。前記基板１０は、第一表面１１と、前記第一表面１１に対向する第二表面１２と、を備える。前記開口部２０はフレア形状であり、即ち前記第一表面１１の開口端は前記第二表面１２の開口端よりわずかに小さく、前記基板１０に垂直する前記開口部２０の断面は二等辺台形である。前記擁壁３０は、前記基板１０の第一表面１１から突出するように形成され、且つ前記開口部２０の辺縁を囲んで設置される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
前記擁壁３０は、前記開口部２０と前記基板１０の他の部分を隔離するために用いられる。前記擁壁３０は、前記開口部２０に向かう内表面３０１と、前記基板１０と離反する頂面３０２と、を備える。前記内表面３０１は、反射面である。前記内表面３０１の作用は、蒸着材料を遮断且つ反射することにより、蒸着材料がＯＬＥＤ基板の所定の蒸着領域以外の位置に拡散しないようにする。本実施形態において、前記内表面３０１は前記開口部２０の外側に向かって広げて斜面を形成し、前記頂面３０２は平面であり、前記基板１０に垂直する前記擁壁３０の断面は二等辺台形である。前記擁壁３０は、同じ材料で形成される。前記擁壁３０の材料は、鉄、ニッケル、アルミニウム、又は合金、又は有機材料、又は無機材料である。有機材料は、ポリイミド、アクリル樹脂などであり、無機材料は、ＳｉＮｘなどである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図２を参照すると、ＯＬＥＤパネル２００は、ＯＬＥＤ基板２１０と、前記ＯＬＥＤ基板２１０にアレイ状に配列された複数の蒸着領域２２０と、２つの前記蒸着領域２２０毎の間に設置された隔離柱２３０と、を備える。前記蒸着領域２２０に対して蒸着操作を行うことにより、アレイ状に配列されたサブピクセルを形成する。サブピクセルは異なる色を有するので、ＯＬＥＤパネルは異なる色を呈し、前記蒸着領域２２０も異なる色の材料を蒸着した異なる蒸着領域を備える。本願の前記蒸着領域２２０は、赤色を蒸着した第一蒸着領域２２０１と、青色を蒸着した第二蒸着領域２２０２と、緑色を蒸着した第三蒸着領域２２０３と、を備える。蒸着操作を行う場合、前記ＯＬＥＤパネル２００は前記メタルマスク１００の上に積層され、前記隔離柱２３０は前記第一表面１１上に配置されて、前記開口部２０に対応する蒸着領域と他の蒸着領域とをさらに隔離することができる。蒸着材料は前記開口部２０を通って前記蒸着領域２２０に入り、一部分の蒸着材料は前記擁壁３０に拡散されると、前記擁壁３０の内表面３０１に遮断且つ反射されて、所定の前記蒸着領域２２０内に拡散されるので、蒸着材料が所定のサブピクセル領域の外側に拡散されて混色を引き起こすことを免れ、ＯＬＥＤの発光表示効果を高める。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図４を参照すると、本発明の第三実施形態はメタルマスク４００を提供し、前記第一、第二実施形態と異なる点は、本実施形態に係わる前記メタルマスク４００の擁壁４３０の内表面４３０１は、開口部２０の辺縁に接続され且つ前記開口部２０から離れるように傾斜する斜面４３０１ａと、前記斜面４３０１ａに接続され且つ前記基板１０の表面に垂直する遮蔽面４３０１ｂと、を備える。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図６を参照すると、本発明の第五実施形態はメタルマスク６００を提供し、前記第一〜第四実施形態と異なる点は、本実施形態に係わる前記メタルマスク６００の擁壁６３０の内表面６３０１は、階段状に設置された２つの反射面を形成し、階段状に設置された２つの反射面は全て前記開口部２０から離れる方向に向かって外へ拡張する斜面である。前記基板１０に垂直する前記擁壁６３０の断面はＬ字状であり、前記基板１０の第一表面１１に設置された第一段階６３１はＬ字状の短辺を形成し、第一段階６３１の上に設置された第二段階６３２はＬ字状の長辺を形成する。蒸着材料は、階段状に設置された反射面で何度も反射されて、蒸着材料が開口部２０以外の他の領域に拡散されることを減少する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本発明の第一〜第七実施形態に係わるメタルマスクは、いずれもフォトレジスト塗布、露光、現像、エッチング等のパターニング工程により形成される。主に以下のようなステップを備える：
第一ステップでは、メタルマスク基材の表面に第一フォトレジスト層をコーティングし、パターニング工程によって第一フォトレジスト層上に光透過領域を形成する；
第二ステップでは、メタルマスク基材に対してエッチングして、メタルマスク基材における光透過領域に位置する箇所に開口部を形成してから、第一フォトレジスト層を取り出す；
第三ステップでは、メタルマスク基材の他の表面に第二フォトレジスト層をコーティングし、第二フォトレジスト層をパターニングして前記擁壁のパターンを画定する；
第四ステップでは、擁壁のパターンに基づいて擁壁を形成し、擁壁の材料は鉄、ニッケル、アルミニウム、又は合金、又は有機材料、又は無機材料である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
ステップＳ３では、前記メタルマスク１００の開口部２０を１つの蒸着領域２２０１に対向させ、且つ前記メタルマスク１００の擁壁３０によって前記蒸着領域２２０１と他の蒸着領域を隔離する。このステップにおいて、前記蒸着領域２２０１は、同じ色のサブピクセルの所在位置である。
【国際調査報告】
2019530804.tif 000015
2019530804.tif 000016
2019530804.tif 000017
2019530804.tif 000018