【手続補正書】
【提出日】平成19年3月6日(2007.3.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサの特性情報を生成する方法であって、
センサのセンサ導管を流れるテスト流体の流量を、複数のセンサ出力値の各々について測定する動作と、
各流量を、複数のセンサ出力値の各々に関連付けて記録する動作と、
少なくとも一つのセンサ特性及びテスト流体の第１の特性に基づいて、各流量を、対応するオペランド値に変換する動作と、
テスト流体の第２の特性に基づいて、複数のセンサ出力値の各々を、複数の特性値におけるそれぞれの特性値に写像する動作と、
各オペランド値をそれぞれの特性値と対応付ける少なくとも一つの表現を記憶する動作とを含む、方法。
【請求項２】
各流量を変換する動作が、センサのセンサ導管の断面積及びセンサの特性長さに少なくとも部分的に基づいて、各流量を、対応するオペランド値に変換する動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
各流量を変換する動作が、センサを流れる流れに関連付けられたレイノルズ数に少なくとも部分的に基づいて、各流量を、対応するオペランド値に変換する動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
各流量を変換する動作が、テスト流体に関連付けられたプラントル数に少なくとも部分的に基づいて、各流量を、対応するオペランド値に変換する動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
各流量を変換する動作が、センサを流れる流れに関連付けられたレイノルズ数とテスト流体に関連付けられたプラントル数との積に少なくとも部分的に基づいて、各流量を、対応するオペランド値に変換する動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
各流量を変換する動作が、少なくとも一つの流体依存倍率に基づいて、各流量を、対応するオペランド値に変換する動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
複数のセンサ出力値の各々を写像する動作が、少なくともテスト流体の熱伝導率に基づいて、複数のセンサ出力値の各々を、複数の特性値におけるそれぞれの特性値に写像する動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
複数のセンサ出力値の各々を写像する動作が、少なくとも一つの流体依存倍率に基づいて、複数のセンサ出力値の各々を、複数の特性値におけるそれぞれの特性値に写像する動作を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
各流量を変換する動作及び複数のセンサ出力値の各々を写像する動作が、以下の関係によって規定される写像関数：
【数１】
2006521563.tif 000001
（式中、ρはテスト流体の密度、Ｑは体積流体流量、Ｌはセンサ導管の特性長さ、Ａはセンサ導管の断面積、ｃpはテスト流体の比熱、κはテスト流体の熱伝導率、Ｓはセンサ出力値を表し、ｆ及びｇは、それぞれ、第１及び第２の流体依存定数である）に従って行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
以下の関係：
【数２】
2006521563.tif 000002
（式中、Φはオペランド値、ρはテスト流体の密度、Ｑは体積流体流量、Ｌはセンサ導管の特性長さ、Ａはセンサ導管の断面積、ｃpはテスト流体の比熱、κはテスト流体の熱伝
導率、ｇはテスト流体依存定数である）に従って、流量をオペランド値に変換するよう構成された第２の写像を記憶する動作をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
以下の関係：
【数３】
2006521563.tif 000003
（式中、ｃは特性値、Ｓはテスト流体の流れから得られたセンサ出力値、κはテスト流体の熱伝導率、ｆはテスト流体に関連付けられた流体依存定数である）に従って、センサ出力値を特性値に変換するよう構成された第１の写像を記憶する動作をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
各流量を複数のセンサ出力値のそれぞれの一つに関連付けて記録する動作が、関連付けを少なくも一つの補間関数で表現する動作を含み、少なくとも一つの補間関数が、スプライン、三角関数及び代数関数の少なくとも一つを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
複数の特性値に基づいてセンサの特性関数を作成する動作をさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
センサ導管を流れるプロセス流体の流量に関連付けられたプロセスセンサ出力値を測定する動作と、
プロセス流体の第１の特性に基づいて、プロセスセンサ出力値を第１のプロセス特性値
に写像する動作と、
特性関数に第１のプロセス特性値で索引を付けることにより、流量成分と、少なくとも一つのセンサ特性に関連する成分と、少なくとも一つの流体特性成分とを含む第１のプロセスオペランド値を取得する動作と、
センサの少なくとも一つの特性及びプロセス流体の第２の特性を用いて第１のプロセスオペランド値の流量成分を決定して、センサ導管を流れるプロセス流体の流量を表示する動作とをさらに含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
流量成分を決定する動作が、センサ流れと関連付けられたレイノルズ数及びプロセス流体のプラントル数の少なくとも一方を用いて、流量成分を第１のプロセスオペランド値から分離する動作を含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
流量成分を決定する動作が、プロセス流体に関連付けられた定数を用いて、第１のプロセスオペランド値から流量成分を決定する動作を含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
プロセスセンサ出力値を写像する動作が、プロセス流体の熱伝導率に基づいて、プロセスセンサ出力値を第１のプロセス特性値に写像する動作を含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１８】
センサの流路がセンサ導管及びバイパスを含み、さらに、
テスト流体についてのテストセンサ応答曲線及びテスト流体についてのテスト総応答曲線を生成することを含む、センサを特徴付ける動作をさらに含み、テスト総応答曲線がセンサ導管及びバイパスを流れるテスト流体から得られたキャリブレーション測定値を反映する、請求項１４に記載の方法。
【請求項１９】
特性関数に従って、テストセンサ応答曲線を、プロセス流体のプロセスセンサ応答曲線に写像する動作をさらに含む、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
テストセンサ応答曲線を写像する動作が、特性関数に基づいて、プロセス特性値毎に、関連付けられたプロセスオペランド値を決定する動作を含む、請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
テストセンサ応答曲線を写像する動作が、少なくとも一つのセンサ特性及びプロセス流体の第２の特性に基づいて、プロセス流量を、関連付けられたオペランド値の各々から決定する動作を含む、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
プロセス流量及びテストセンサ出力値が、プロセスセンサ応答曲線を形成し、前記方法は、
テスト総応答曲線をテストセンサ応答曲線で除算して、バイパス流れ曲線を与える動作と、
バイパス流れ曲線にプロセスセンサ応答曲線を乗算して、プロセス総流量応答曲線を与える動作とをさらに含む、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
プロセス総応答曲線の値を実質的に直線に写像するよう構成された線形化曲線を与える動作をさらに含む、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
特性関数の表現及び少なくとも一つのプロセッサで実行するためのプログラムでコード化されたコンピュータ読取可能媒体であって、プログラムが、少なくとも一つのプロセッサで実行されると、センサの特性情報を生成する請求項１〜２３のいずれかに記載の方法を実施する、コンピュータ読取可能媒体。
【請求項２５】
センサをバイパスに接続する動作と、
センサ導管及びバイパスを流れる流量を含む総流量値を、複数のセンサ出力値の各々について測定する動作と、
各総流量値を複数のセンサ出力値のそれぞれの一つに対応付けて記録して、テスト流体についての総流量応答曲線を形成する動作とをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項２６】
流体を搬送するよう適応された導管と、
導管に接続され、導管を流れる任意の流体の流量を示すセンサ出力信号を生成するよう構成された回路と、
フローセンサの特性関数の少なくとも一つの表現を含む情報を記憶する少なくとも一つの記憶媒体とを備える、フローセンサ。
【請求項２７】
少なくとも一つの表現が、導管を流れるテスト流体の複数の流量の各々を、テスト流体の複数の流量に対するセンサの応答から得られたそれぞれのセンサ出力値に関連付け、回路が、導管の断面積、導管の特性長さ、テスト流体の熱伝導率及びテスト流体の比熱の少なくとも一つに基づいて、各流量をオペランド値に変換するよう構成される、請求項２６に記載のフローセンサ。
【請求項２８】
少なくとも一つの記憶媒体の情報にアクセスし、センサ出力信号を受信し、且つ、特性関数に基づいて、センサ出力信号を流れ信号に変換するよう構成された少なくとも一つのプロセッサをさらに備える、請求項２７に記載のフローセンサ。
【請求項２９】
少なくとも１つの記憶媒体がコンピュータ読取可能媒体を含み、コンピュータ読取可能媒体は、情報を電子的に記憶し、且つ、少なくとも一つのプログラムでコード化されるよう適応され、少なくとも一つのプログラムが、少なくとも一つのセンサ特性と、テスト流体の少なくとも一つの流体特性とに基づいて、複数の流量を複数のオペランド値に変換するための命令を含み、少なくとも一つのプロセッサが少なくとも一つのプログラムを実行するよう構成される、請求項２８に記載のフローセンサ。
【請求項３０】
オペランド値が、センサを流れる流れに関連付けられたレイノルズ数と、テスト流体に関連付けられたプラントル数との少なくとも一方を含む、請求項２９に記載のフローセンサ。
【請求項３１】
オペランド値が流体依存倍率を含む、請求項３０に記載のフローセンサ。
【請求項３２】
少なくとも一つのプログラムが、任意の流体の少なくとも一つの特性に基づいて、導管を流れる任意の流体の流れから得られたセンサ出力値を特性値に変換するための命令をさらに含む、請求項３０に記載のフローセンサ。
【請求項３３】
特性値が、少なくとも任意の流体の熱伝導率に基づく、請求項３２に記載のフローセンサ。
【請求項３４】
特性値が、任意の流体に関連付けられた流体依存倍率に基づく、請求項３３に記載のフローセンサ。
【請求項３５】
少なくも一つのプログラムが、特性関数の少なくとも一つの表現に記憶されている値を特性値に従って補完して、関連付けられているオペランド値を得るための命令をさらに含む、請求項３２に記載のフローセンサ。
【請求項３６】
少なくとも一つのプログラムが、少なくとも一つのセンサ特性及び任意の流体の少なく
とも一つの流体特性を用いて、流量を、関連付けられたオペランド値から決定するよう構成された命令をさらに含む、請求項３５に記載のフローセンサ。
【請求項３７】
少なくとも一つのプログラムが、フローセンサの特性関数の少なくとも一つの表現に従って、センサ出力信号を流れ信号に変換する命令をさらに含む、請求項２９に記載のフローセンサ。
【請求項３８】
少なくとも一つのプログラムは、以下の関係によって規定される写像関数：
【数４】
2006521563.tif 000004
（式中、ρは任意の流体の密度、Ｑは体積流体流量、Ｌは導管の特性長さ、Ａは導管の断面積、ｃpは任意の流体の比熱、κは任意の流体の熱伝導率、Ｓはセンサ出力値を表し、ｆ及びｇは任意の流体に関連付けられた第１及び第２の流体依存定数である）に従って、センサ出力信号を流れ信号に変換する命令をさらに含む、請求項３７に記載のフローセンサ。
【請求項３９】
導管及びバイパスを含む流路をさらに備え、少なくとも一つの記憶媒体がキャリブレーション測定値でコード化され、キャリブレーション測定値がテスト流体でセンサのキャリブレーションを行っている間に取得され、テスト流体がテスト流体のテストセンサ応答曲線及びテスト流体のテスト総流応答曲線を含み、少なくとも一つのプログラムが、テスト総流応答曲線からバイパス流れ曲線を生成するよう構成された命令を含み、少なくとも一つのプログラムが、センサの特性関数の少なくとも一つの表現に基づいて、テストセンサ応答曲線を、プロセスセンサ応答曲線に写像するよう構成された命令を含む、請求項２９に記載のフローセンサ。
【請求項４０】
少なくとも一つのプログラムが、少なくとも一つの第１のテスト流体特性に基づいてテストセンサ応答曲線の各センサ出力値をテスト特性値に写像するよう構成され、さらに、センサの特性関数の第１の表現を形成するために少なくとも一つのセンサ特性及び少なくとも一つの第２のテスト流体特性に基づいてテストセンサ応答曲線の流量の各々をオペランド値に写像するよう構成された命令をさらに含む、請求項３９に記載のフローセンサ。
【請求項４１】
少なくとも一つのプログラムが、任意の流体の少なくとも一つの第１のプロセス流体特性に基づいてテストセンサ応答曲線の各センサ出力値をプロセス特性値に写像するように構成され、且つ、特性関数の第１の表現にプロセス特性値を用いて索引を付けて関連付けられたオペランド値を得るようさらに構成された命令を含む、請求項４０に記載のフローセンサ。
【請求項４２】
少なくとも一つのプログラムが、少なくとも一つのセンサ特性及び任意の流体の少なくとも一つの第２のプロセス流体特性に基づいて、プロセス流量を、取得された関連するオペランド値の各々から決定するように構成された命令を含み、テストセンサ応答曲線のプロセス流量及びセンサ出力値が、プロセスセンサ応答曲線を形成する、請求項４１に記載のフローセンサ。
【請求項４３】
少なくとも一つのプログラムが、プロセスセンサ応答曲線及びバイパス曲線を組み合わせて任意の流体のためのプロセス総流応答曲線を形成する命令を含む、請求項４２に記載のフローセンサ。
【請求項４４】
少なくとも一つのプログラムが、プロセス総流応答曲線を実質的に真っ直ぐな線に写像
するプロセス総流応答曲線から線形化曲線を生成するよう構成された命令を含む、請求項４３に記載のフローセンサ。
【請求項４５】
少なくとも一つの記憶媒体が、テスト流体でフローセンサのキャリブレーションを行っている間に得られたフローセンサの特性関数の表現を記憶するためのデータ構造を備え、該データ構造が
各々が第１のフィールド及び第２のフィールドを有する複数のエントリを備え、
第１のフィールドが、テスト流体の少なくとも一つの第１の特性に基づいて、フローセンサのセンサ出力値から算出された特性値を識別し、第２のフィールドが、センサ出力値、センサの少なくとも一つの特性、及びテスト流体の少なくとも一つの第２の特性に対応する流量から算出されたオペランド値を識別する、請求項２６に記載のフローセンサ。
【請求項４６】
第２のフィールドが、フローセンサを流れる流れに関連付けられたレイノルズ数及びテスト流体のプラントル数の少なくとも一方から算出されたオペランド値を含む、請求項４５に記載のフローセンサ。
【請求項４７】
第１のフィールド及び第２のフィールドの少なくとも一方が、テスト流体に関連付けられた倍率値から算出されたオペランド値を含む、請求項４６に記載のフローセンサ。
【請求項４８】
第１のフィールドが、少なくともテスト流体の熱伝導性から算出された特性値を含む、請求項４５に記載のフローセンサ。
【請求項４９】
コンピュータ読取可能媒体に記憶されている情報が、テスト流体を用いてフローセンサのキャリブレーションを行っている間に得られたフローセンサの特性関数の少なくとも一つの表現をコード化したものを含み、コード化したものが複数の対になった値を含み、複数の対になった値の各々の第１の値がセンサ導管を流れるテスト流体の流量を表し、複数の対になった値の各々の第２の値が対応する流量においてテスト流体の流れから得られたセンサ出力値を表す、請求項２９に記載のフローセンサ。
【請求項５０】
コード化したものが、任意の流体の少なくとも一つの特性に基づいて任意の流体の流れから得られたセンサ出力値を特性値に変換するよう構成された第１の写像と、少なくとも一つのセンサ特性及びテスト流体の少なくとも一つの特性に基づいてそれぞれの流量をオペランド値に変換するよう構成された第２の写像とを含む、請求項４９に記載のフローセンサ。
【請求項５１】
コード化したものが、それぞれのオペランド値に関連付けられて記憶された複数の特性値を含み、複数の特性値の各々は、少なくとも一つの第１のテスト流体特性に基づいてセンサを流れるテスト流体の流れから得られたセンサ出力値から算出され、各オペランド値は、少なくとも一つのセンサ特性及び少なくとも一つの第２のテスト流体特性に基づいてセンサを流れるテスト流体の流れから算出される、請求項４９に記載のフローセンサ。
【請求項５２】
請求項２６〜５１のいずれかに記載のフローセンサと、
フローセンサに接続され、流れ信号に少なくとも部分的に基づいて駆動信号を出力するよう適応されたコントローラと、
駆動信号をコントローラから受信するよう適応されたバルブアクチュエータと、
流路に接続されたバルブとを備え、該バルブは、該バルブの制御部分の変位に依存して流路を通る流れを許容するよう適応される、マスフローコントローラ。