(57)【要約】【課題】とりわけ簡単な調整が可能であるように走査顕微鏡を構成すること。【解決手段】とりわけ走査顕微鏡またはラスタ顕微鏡である顕微鏡であって、光ビームに対する走査装置（１）を有する走査ヘッド（２）と走査鏡筒レンズ（３）とを備える形式の顕微鏡において、走査鏡筒レンズ（３）は走査ヘッド（２）と結合されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームに対する走査装置を有する走査ヘッドと走査鏡筒レンズとを備える形式の顕微鏡において、
走査鏡筒レンズ（３）は走査ヘッド（２）と結合されている、ことを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
請求項１記載の顕微鏡において、走査鏡筒レンズ（３）は走査ヘッド（２）内に配置されている顕微鏡。
【請求項３】
請求項１または２記載の顕微鏡において、走査鏡筒レンズ（３）は走査ヘッド（２）の光学的要求に適合されている顕微鏡。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか一項記載の顕微鏡において、走査鏡筒レンズ（３）は走査装置（１）の光学的要求に適合されている顕微鏡。
【請求項５】
請求項１から４までのいずれか一項記載の顕微鏡において、顕微鏡には第２の鏡筒レンズが配属されている顕微鏡。
【請求項６】
請求項５記載の顕微鏡において、第２の鏡筒レンズは可視観察の要求に適合されている顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡、とりわけ走査顕微鏡またはラスタ顕微鏡に関するものであり、光ビームに対する走査装置を有する走査ヘッドと、走査鏡筒レンズとを備える形式の顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
冒頭に述べた形式の装置は実際に公知であり、種々異なる構成で存在している。公知の顕微鏡は光ビーム用の走査装置を有し、この走査装置は走査ヘッドに配属されているか、または走査ヘッドに収容されている。走査ヘッドによりモジュール形の構成部材が実現される。さらに公知の顕微鏡は走査鏡筒レンズを有し、この走査鏡筒レンズは走査装置により調整される光ビームをさらに観察試料の方向に導く。ここで走査鏡筒レンズは通常は顕微鏡の架台に配属されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
公知の顕微鏡では、架台交換（例えば直立架台を倒立架台に対して交換する）を行うと、顕微鏡の包括的な調整が必要であるという問題点がある。このことは一方では高い人的コストを意味し、他方では顕微鏡の調整時間が長く、従って使用できない時間が比較的長いことを意味する。
【０００４】
本発明の課題は、冒頭に述べた形式の顕微鏡において、とりわけ簡単な調整が可能であるように構成することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この課題は本発明により、冒頭に記載した形式の顕微鏡において、請求項１の特徴を備える顕微鏡によって解決される。これによれば顕微鏡は、走査鏡筒レンズが走査ヘッドと結合されるように構成される。（基本構成）
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
（形態１）  基本構成。なお顕微鏡としては、とりわけ走査顕微鏡またはラスタ顕微鏡に有利に適用される。
（形態２）  走査鏡筒レンズは走査ヘッド内に配置されていることを特徴とする。
（形態３）  走査鏡筒レンズは走査ヘッドの光学的要求に適合されていることを特徴とする。
（形態４）  走査鏡筒レンズは走査装置の光学的要求に適合されていることを特徴とする。
（形態５）  顕微鏡には第２の鏡筒レンズが配属されていることを特徴とする。
（形態６）  第２の鏡筒レンズは可視観察の要求に適合されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、走査鏡筒レンズを走査ヘッドと結合することにより前記の課題が驚くほど簡単に解決される。走査鏡筒レンズを走査ヘッドと結合することにより、走査鏡筒レンズと走査ヘッドをユニットとして、他の構成部材に依存せずに別個に取り扱うことができる。このことにより、走査装置を備える走査ヘッドと顕微鏡の架台とをモジュールとして製造することができる。これらのコンポーネントは、走査鏡筒レンズが独立しており、走査ヘッドと結合されていない場合よりも、無限ビーム路で容易に相互に配向し、調整することができる。このことにより架台交換、例えば直立架台を倒立架台に対して交換する際の調整のクリティカル性（厳密さ）が軽減される。
【０００８】
結果として本発明の顕微鏡により、とりわけ調整の簡単な顕微鏡が得られる。
【０００９】
とりわけ簡単な調整が保証される構造的に特に簡単な構成では、走査鏡筒レンズを走査ヘッドに配置することができる。このことにより実質的に、走査装置と、走査ヘッドのフレーム内の走査鏡筒レンズとからなるとりわけコンパクトな構成部材が実現される。ここで走査ヘッドはとりわけコンパクトなモジュールを形成し、このモジュールはとりわけ簡単に架台に対して調整することができる。
【００１０】
言い替えると、走査ヘッドは本発明の顕微鏡では固有の走査鏡筒レンズを有し、この走査鏡筒レンズは走査ヘッドの光学的要求に有利に適合することができる。ここではレンズをＵＶ光ビーム用に構成することができる。
【００１１】
これに代ってまたは付加的に、走査鏡筒レンズが走査装置の光学的要求に適合することができる。このことにより走査鏡筒レンズを妥協することなしに構成することができ、他の光学的要求に付加的に適合する必要はない。
【００１２】
とりわけさらなる光学的要求を満たすために、顕微鏡に第２の鏡筒レンズを配属することができる。この種の第２の鏡筒レンズはとりわけ可視観察の要求に適合することができる。このことはとりわけ、共通の鏡筒レンズが走査要求と可視観察の要求を満たすために使用される従来の構成の顕微鏡と比較して有利である。この公知の場合では通常、光学的要求に関して妥協しなければならない。
【００１３】
本発明の技術思想を有利に構成し、改善するには種々の手段が存在する。これについては一方では従属請求項を、他方では図面に基づく本発明の有利な実施例の以下の説明を参照されたい。図面に基づく本発明の技術思想の有利な実施例の説明と関連して、一般的に有利な構成および改善形態も説明する。
なお、特許請求の範囲の各請求項に付記した図面参照符号は専ら理解を助けるためのものであり、本発明を図示の態様に限定することを意図しない。
【実施例】
【００１４】
図１は、本発明の顕微鏡の実施例を概略的に示す。顕微鏡は、光ビームに対する走査装置１と走査ヘッド２を有する。特に簡単な調整の観点から、走査鏡筒レンズ３は走査ヘッド２と結合され、このとき走査鏡筒レンズ３は走査ヘッド２内に配置される。さらに走査ヘッド２には走査接眼レンズ４が配置されている。図示の実施例では、走査ヘッド２の架台５に対する調整が簡素化されている。なぜなら走査鏡筒レンズ３は走査ヘッド２と共に共通のモジュールを形成するからである。このモジュールは架台５に対して調整可能である。
【００１５】
図示の実施例では、走査鏡筒レンズ３が有利には走査ヘッド２および／または走査装置１の光学的要求に適合することができる。
【００１６】
架台５には、簡単にするため図示しない別の光学的構成部材が配属されている。例として顕微鏡、具体的には架台５に第２の鏡筒レンズを配属することができ、この第２の鏡筒レンズは可視観察の要求に適合されている。
【００１７】
走査ヘッド２の架台５に対する調整は、２つのモジュールを相互に傾斜させることにより行うことができる。ここでは光学を「無限」（unendlich）に調整することができる。言い替えると、モジュールは顕微鏡系の対物レンズの無限ビーム路で特に簡単に調整することができる。このとき瞳に関する有限ビーム路が存在することができる。
【００１８】
本発明の顕微鏡のさらなる有利な構成に関しては、繰り返しを避けるために明細書の一般的部分および添付の請求項を参照されたい。
【００１９】
最後に、前記の実施例は請求項の説明のためにだけ用いるものであり、本発明はこの実施例に制限されるものではないことを述べておく。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の顕微鏡の一実施例の概略図である。
【図１】
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