【手続補正書】
【提出日】平成19年6月5日(2007.6.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クライオポンプの制御方法であって、
クライオポンプにおける潜在的な非安全状態に、
・常時開のパージバルブを或る時間にわたって閉状態に維持すること、および
・前記或る時間の経過後に、パージバルブが開くことを可能にしてクライオポンプへパージガスを放出すること
によって対処することを含んでいるクライオポンプの制御方法。
【請求項２】
請求項１において、前記パージバルブが、クライオ−パージバルブまたは排気パージバルブであるクライオポンプの制御方法。
【請求項３】
請求項１において、前記パージバルブが開くことを可能にした後、前記潜在的な非安全状態が安全状態に変化するまで、他のすべてのシステムによる前記パージバルブの閉鎖を防止することをさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
【請求項４】
請求項１において、前記パージバルブが開くことを可能にした後、ホストコントローラによる前記パージバルブの閉鎖を防止することをさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
【請求項５】
請求項１において、前記パージバルブが開くことを可能にした後、前記パージガスの供給が中止されるのを防止することをさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
【請求項６】
請求項１において、前記潜在的な非安全状態が、クライオポンプの停電、所定の温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプ温度の割り出し不能を含んでいるクライオポンプの制御方法。
【請求項７】
請求項１において、前記パージバルブが開くことを可能にしてクライオポンプへパージガスを放出することによって、前記潜在的な非安全状態を安全状態に変化させるクライオポンプの制御方法。
【請求項８】
クライオポンプであって、
・ポンピング表面を有するクライオポンプチャンバ、
・当該クライオポンプに接続された常時開のパージバルブ、および
・当該クライオポンプに接続された電子コントローラ
を備えており、
前記電子コントローラが、当該クライオポンプにおける潜在的な非安全状態に、前記パージバルブを或る時間にわたって閉状態に維持することによって対処し、前記或る時間の経過後に依然として非安全状態のままである場合に、前記電子コントローラが、前記パージバルブに開くよう指示してパージガスを供給することによってさらに対処するクライオポンプ。
【請求項９】
請求項８において、クライオポンプの停電、温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプからの温度読み取り値の受信の失敗が存在するとき、前記潜在的な非安全状態が存在するクライオポンプ。
【請求項１０】
クライオポンプを制御するためのシステムであって、
・常時開のパージバルブを或る時間にわたって閉状態に維持する手段、および
・前記或る時間の経過後に、パージバルブが開くことを可能にしてクライオポンプへパージガスを放出する手段
を備えたシステム。
【請求項１１】
クライオポンプの制御方法であって、
・温度センサが適切に機能しているか否かを判断するステップ、および
・パージバルブに開くよう指示することによって、適切に機能していない温度センサに対処するステップ
を含んでいる方法。
【請求項１２】
請求項１１において、前記パージバルブが、クライオポンプに接続されたクライオ−パージバルブ、またはクライオポンプの排気管に接続された排気パージバルブである方法。
【請求項１３】
請求項１１において、前記パージバルブに開くよう指示するステップが、前記パージバルブを或る時間にわたって開状態に維持してパージガスを供給するステップをさらに含んでいる方法。
【請求項１４】
請求項１３において、前記パージバルブを或る時間にわたって開状態に維持することが、他のすべてのシステムによる前記パージバルブの閉鎖を防止することをさらに含んでいる方法。
【請求項１５】
請求項１３において、前記パージバルブを開状態に維持することが、ホストコントローラによる前記パージバルブの閉鎖を防止することをさらに含んでいる方法。
【請求項１６】
請求項１３において、前記パージバルブを開状態に維持することが、前記パージガスの供給が中止されるのを防止することをさらに含んでいる方法。
【請求項１７】
請求項１３において、前記パージバルブに開くよう指示するステップが、常時開のパージバルブを解放するステップをさらに含んでいる方法。
【請求項１８】
請求項１７において、前記パージバルブに開くよう指示するステップが、
・常時開のパージバルブを或る時間にわたって閉状態に維持すること、および
・前記或る時間の経過後に、パージバルブが開くことを可能にすること
をさらに含んでいる方法。
【請求項１９】
クライオポンプであって、
・当該クライオポンプに接続されたパージバルブ、
・当該クライオポンプに接続された１つ以上の温度センサ、および
・当該クライオポンプに接続された電子コントローラ
を有しており、
前記電子コントローラが、前記温度センサのいずれかが故障しているか否かを判断するように構成されており、前記温度センサのうちの１つが故障しているとき、前記電子コントローラが前記パージバルブを開かせるクライオポンプ。
【請求項２０】
請求項１９において、前記電子コントローラが前記パージバルブを開かせることが、前記電子コントローラが他のすべてのシステムによる前記パージバルブの閉鎖を防止することをさらに含んでいる方法。
【請求項２１】
クライオポンプを制御するためのシステムであって、
・温度センサが適切に機能しているか否かを判断する手段、および
・パージバルブに開くよう指示することによって、適切に機能していない温度センサに対処する手段
を備えたシステム。
【請求項２２】
クライオポンプの制御方法であって、
・停電に対処し、少なくとも１つのキャパシタセルからの電力を使用してパージバルブを閉状態に維持すること、および
・前記キャパシタセルに、或る放電時間内に放電される量のエネルギーを保存すること
を含んでおり、
前記放電時間が、それまでに前記パージバルブが開かなければならない時間であるクライオポンプの制御方法。
【請求項２３】
請求項２２において、前記キャパシタセルに保存されたすべてのエネルギーが放電されたとき、前記パージバルブを開くことをさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
【請求項２４】
請求項２２において、前記キャパシタセルに保存されたエネルギーの量が、時限装置として使用されるクライオポンプの制御方法。
【請求項２５】
請求項２２において、前記キャパシタセルが、電気化学セルであるクライオポンプの制御方法。
【請求項２６】
請求項２２において、前記停電への対処が、
・クライオポンプの排気管に接続された排気バルブ、またはクライオポンプに接続されたクライオ−パージバルブを開くこと、および
・クライオポンプに接続されたゲートバルブを閉じること
をさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
【請求項２７】
請求項２２において、前記放電時間が５分未満であるクライオポンプの制御方法。
【請求項２８】
請求項２２において、前記放電時間未満の時間で前記パージバルブを開く遅延回路をさらに含んでいるクライオポンプの制御方法。
【請求項２９】
請求項２８において、前記放電時間未満の時間が２分であるクライオポンプの制御方法。
【請求項３０】
クライオポンプであって、
・少なくとも１つのキャパシタセル、および
・前記キャパシタセルで駆動され、前記クライオポンプに接続されたパージバルブを閉状態に維持するよう指示することによって停電に対処する遅延
を備えており、
前記キャパシタセルが、或る放電時間内に放電される量のエネルギーを保存し、前記放電時間が、それまでに前記パージバルブが開かなければならない時間であるクライオポンプ。
【請求項３１】
請求項３０において、前記遅延が、前記キャパシタセルに保存されたすべてのエネルギーが放電されたとき、前記パージバルブを開くクライオポンプ。
【請求項３２】
クライオポンプを制御するためのシステムであって、
・停電に対処し、少なくとも１つのキャパシタセルからの電力を使用してパージバルブを閉状態に維持する手段、および
・前記キャパシタセルに、或る放電時間内に放電される量のエネルギーを保存する手段
を備え、
前記放電時間が、それまでに前記パージバルブが開かなければならない時間であるシステム。
【請求項３３】
クライオポンプの制御方法であって、
・クライオポンプの非安全状態を割り出すステップ、および
・前記非安全状態に対処し、常時開のパージバルブが開くことを可能にすることによってパージガスをクライオポンプへ導くとともに、非安全状態が安全状態に変化するまで、すべてのホストコントローラによるパージバルブの制御を防止するステップ
を含んでいる方法。
【請求項３４】
請求項３３において、前記パージバルブが、クライオポンプに接続されたクライオ−パージバルブ、またはクライオポンプの排気管に接続された排気パージバルブである方法。
【請求項３５】
請求項３３において、前記常時開のパージバルブが開くことを可能にするステップが、前記パージバルブを或る時間にわたって開状態に維持してパージガスを供給するステップをさらに含んでいる方法。
【請求項３６】
請求項３５において、前記パージバルブを開状態に維持することが、他のすべてのシステムによる前記パージバルブの閉鎖を防止することをさらに含んでいる方法。
【請求項３７】
請求項３５において、前記パージバルブを開状態に維持することが、ホストコントローラによる前記パージバルブの閉鎖を防止することをさらに含んでいる方法。
【請求項３８】
請求項３５において、
・安全状態に変化する非安全状態に、クライオポンプの再生が必要であるか否かを判断することによって対処するステップ
をさらに含んでいる方法。
【請求項３９】
請求項３５において、
・クライオポンプのゲートバルブが開いている間、クライオポンプの再生を防止するステップ
をさらに含んでいる方法。
【請求項４０】
請求項３５において、前記パージバルブを開状態に維持することが、前記パージガスの供給が中止されるのを防止することをさらに含んでいる方法。
【請求項４１】
請求項３３において、前記常時開のパージバルブが開くことを可能にするステップが、常時開のパージバルブを解放するステップをさらに含んでいる方法。
【請求項４２】
請求項４１において、前記常時開のパージバルブが開くことを可能にするステップが、
・常時開のパージバルブを或る時間にわたって閉状態に維持すること、および
・前記或る時間の経過後に、パージバルブが開くことを可能にすること
をさらに含んでいる方法。
【請求項４３】
請求項３３において、前記非安全状態への対処が、
・所定の時間が経過するまで、クライオポンプへのパージガスの導入を遅延させ、すべてのホストコントローラによるパージバルブの制御の防止を遅延させるステップ、および
・前記所定の時間の経過後に非安全状態が依然として存在している場合に、パージバルブを開くことおよびすべてのホストコントローラによるパージバルブの制御の防止を開始するステップ
をさらに含んでいる方法。
【請求項４４】
請求項３３において、前記非安全状態が、クライオポンプの停電、温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプからの温度読み取り値の受信の失敗である方法。
【請求項４５】
クライオポンプであって、
・ポンピング表面を有するクライオポンプチャンバ、
・当該クライオポンプに接続されたパージバルブ、および
・当該クライオポンプを制御する電子コントローラ
を備え、
前記電子コントローラが、当該クライオポンプが安全状態、非安全状態のいずれで動作しているかを割り出すことができ、前記パージバルブが、非安全状態に対処して前記電子コントローラによって自動的に制御され、常時開のパージバルブが開くことを可能にすることにより前記電子コントローラが非安全状態に対処する場合に、前記電子コントローラが、他のすべてのシステムに優先するクライオポンプ。
【請求項４６】
請求項４５において、前記非安全状態が、クライオポンプの停電、温度しきい値以上のクライオポンプ温度、またはクライオポンプからの温度読み取り値の受信の失敗であるクライオポンプ。
【請求項４７】
クライオポンプを制御するためのシステムであって、
・クライオポンプの非安全状態を割り出す手段、および
・前記非安全状態に対処し、常時開のパージバルブに開くよう指示することによってパージガスをクライオポンプへ導くとともに、非安全状態が安全状態に変化するまで、すべてのホストコントローラによるパージバルブの制御を防止する手段
を備えたシステム。