(57)【要約】キャリア基板に／から柔軟性基板を接合及び／または脱接合する方法及び装置は、キャリア基板に／から柔軟性基板を接合及び／または脱接合させるために、キャリア基板を支持する第１プレートを、柔軟性基板を固定及び解除する第２プレートに対して相対運動させることを含む。
2019501525.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート材で形成されるキャリア基板を支持し、Ｘ軸方向に長さを有し、Ｙ軸方向に幅を有し、Ｚ軸方向に厚さを有し、前記Ｘ軸及び前記Ｙ軸はＸ−Ｙ平面を形成する第１プレートと、
シート材で形成される柔軟性基板を固定及び解除し、前記Ｘ軸方向に長さを有して、前記Ｙ軸方向に幅を有し、前記Ｚ軸方向に厚さを有し、ｉ）前記柔軟性基板の柔軟性は前記キャリア基板の柔軟性よりさらに柔軟なもの及び、ｉｉ）前記柔軟性基板の厚さは前記キャリア基板の厚さよりさらに小さなもののうちで少なくとも何れか一つを満足する第２プレートと、及び
動作機具を含んで、前記動作機具は、
（ａ）前記Ｚ軸に沿って前記キャリア基板と離隔されるように前記柔軟性基板を位置させ、
（ｂ）圧力ゾーンＰ０を印加し、前記圧力ゾーンＰ０で前記柔軟性基板は前記キャリア基板に向けて接触するようにし、前記圧力ゾーンＰ０はＹ軸と平行に線形的に延長されて伸長された（ｅｌｏｎｇａｔｅ）スタート領域を生成し、前記伸長されたスタート領域では前記基板らの間で前記Ｙ軸に沿って完全に横切って接合が開始され、
（ｃ）現圧力ゾーンＰｉを解除し、前記Ｙ軸と平行に延長されて前記Ｘ軸に沿って前記現圧力ゾーンと隣接するように順次に作動する後続圧力ゾーン（Ｐｉ＋１）を印加し、
（ｄ）複数圧力ゾーンＰｉ、ｉ＝１、１、２、３．．．ｎに対して前記（ｃ）を繰り返して線形ベクターらを有する接合先端を順次に進行させて、前記線形ベクターらは前記Ｘ軸と平行に前記Ｘ−Ｙ平面で前記伸長されたスタート領域から横切って離隔されるように延長され、前記接合先端が前記基板らの末端に到逹して前記柔軟性基板が前記キャリア基板に完全に接合されるまで前記接合先端の進行を引き続きさせることを順次に遂行するように、前記第１及び第２プレートをお互いに対して相対運動させることを特徴とする装置。
【請求項２】
順次圧力ゾーンＰｉ、ｉ＝０、１、２、３．．．ｎが解除されることによって、前記第２プレートが前記柔軟性基板のそれぞれの部分らを解除させ、前記接合が完了する時前記柔軟性基板全体が前記第２プレートから解除されることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１プレートは、前記キャリア基板が支持される第１接触表面を有し、
前記第２プレートは前記柔軟性基板が固定及び解除される第２接触表面を有して、前記第２接触表面は前記Ｘ−Ｙ平面から脱して前記Ｚ軸と平行に円筒状で湾曲されたことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記動作機具は、前記第１及び第２接触表面の対応されるそれぞれの伸長された部分らをお互いに向けて加圧されるように前記第１プレートに対して前記第２プレートを相対運動させ、順次圧力ゾーン（Ｐｉ、Ｉ＝０、１、２、３．．．ｎ）を印加し、前記順次圧力ゾーンで前記柔軟性基板は前記キャリア基板に向けて接触されるようにし、前記柔軟性基板と前記キャリア基板のそれぞれの第１弁らに一番隣接した前記伸長されたスタート領域及び前記接合先端の後続進行を生成することを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記動作機具は、前記圧力ゾーン（ｉ＝０、１、２、３．．．ｎ）を順次に作動するために前記Ｘ軸と平行なＸ方向に前記第１プレートを横切って前記第２プレートを転がして動くように作動することを特徴とする請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記第２プレートは、前記第２接触表面を通過して延長された吸入孔アレイを含んで、前記アレイは複数の吸入孔セットを含んで、各セットは前記Ｘ軸に沿ってお互いに隣接して前記Ｙ軸と平行に配向され、
前記吸入孔のそれぞれのセットは別個に制御されて吸入を提供及び解除することができるし、
前記装置は、前記圧力ゾーンＰｉが順次に解除されて印加されることによって隣接する吸入孔セットらが順次に消えて、これと同期化されて前記柔軟性基板のそれぞれの部分らが前記第２接触表面から順次に解除され、前記接合が完了する時前記柔軟性基板の全体が前記第２プレートから解除されるように、制御することができることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項７】
前記装置は、接合を完了した後、前記キャリア基板から前記柔軟性基板を脱接合するように作動することを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記動作機具は、
（ａ）前記第２接触表面の伸長された部分が前記柔軟性基板の対応される伸長された部分と接触するように、前記柔軟性基板が完全に接合された前記キャリア基板を支持する前記第１プレートに対して前記第２プレートを相対位置させ、
（ｂ）前記吸入孔セットらのうちで前記柔軟性基板の前記対応される伸長された部分と一番近接した少なくとも一つの吸入孔セットを通じて吸入を印加するようにし、
（ｃ）前記第２プレートを前記Ｘ軸と平行なＸ方向に前記柔軟性基板を横切って転がすことと共に前記柔軟性基板を前記キャリア基板からむき出すように、前記吸入孔セットらのうちでそれぞれの隣接吸入孔セットらを通じて順次に吸入を印加するようにし、
（ｄ）前記キャリア基板から前記柔軟性基板を完全に脱接合させた後、前記第２プレートが前記第１プレートから離隔されるように運動させる、ことを順次に遂行するように、前記第１及び第２プレートをお互いに対して相対運動させるように作動することを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
（ａ）シート材で形成され、Ｘ軸方向に長さを有し、Ｙ軸方向に幅有し、Ｚ軸方向に厚さを有して、前記Ｘ軸とＹ軸はＸ−Ｙ平面を形成する、キャリア基板を支持するように作動する第１プレートを提供し、
（ｂ）シート材で形成されて、前記Ｘ軸方向に長さを有し、前記Ｙ軸方向に幅有し、前記Ｚ軸方向に厚さを有して、（ｉ）前記キャリア基板の柔軟性よりさらに柔軟な柔軟性を有するもの及び（ｉｉ）前記キャリア基板の厚さよりさらに小さな厚さを有するもののうちで少なくとも一つを満足する柔軟性基板を固定及び解除するように作動する第２プレートを提供し、
（ｃ）前記第２プレートに対する前記第１プレートの相対運動を通じて、前記Ｚ軸に沿って前記キャリア基板と離隔されるように前記柔軟性基板を位置させ、
（ｄ）圧力ゾーンＰ０を印加して、前記圧力ゾーンＰＯでは前記第２プレートに対する前記第１プレートの相対運動を通じて、前記柔軟性基板が前記キャリア基板側に接触されるように前記柔軟性基板が移動され、前記圧力ゾーンＰ０は前記Ｙ軸と平行に線形的に延長されて伸長されたスタート領域を生成し、前記伸長されたスタート領域では前記基板らの間で前記Ｙ軸に沿って前記基板らを完全に横切って接合が開始され、
（ｅ）現圧力ゾーンＰｉを解除し、前記第２プレートに対する前記第１プレートの相対運動を通じて、前記Ｙ軸と平行に延長され、前記Ｘ軸に沿って前記現圧力ゾーンＰｉと隣接するように順次に後続圧力ゾーン（Ｐｉ＋１）を印加し、
（ｆ）複数の圧力ゾーンＰｉ、ｉ＝０、１、２、３、．．．ｎに対して前記第１プレートを前記第２プレートに対して相対運動させて前記（ｅ）を繰り返して、前記Ｘ−Ｙ平面内で前記伸長されたスタート領域から横切って離隔されるように前記Ｘ軸と平行に延長された線形ベクターらを有する接合先端を順次に進行させ、前記接合先端が前記基板らの末端に到逹して前記柔軟性基板が前記キャリア基板に完全に接合されるまで前記接合先端の進行を引き続きさせる、
ことを特徴とする方法。
【請求項１０】
前記接合が完了する時前記柔軟性基板の全体が前記第２プレートから解除されるように前記順次な圧力ゾーンＰｉ、ｉ＝０、１、２、３．．．ｎ、が解除されることによって、前記第２プレートから前記柔軟性基板のそれぞれの部分らを解除させることを追加的に含むことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記第１プレートは前記キャリア基板が支持される第１接触表面を有し、前記第２プレートは前記柔軟性基板が固定及び解除される第２接触表面を有し、前記第２接触表面は前記Ｘ−Ｙ平面から脱して前記Ｚ軸と平行に円筒状に湾曲されたことを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
前記第１及び第２接触表面の対応されるそれぞれの伸長された部分らをお互いに向けて加圧されるように前記第１プレートに対して前記第２プレートを相対運動させることを追加的に含んで、順次圧力ゾーン（Ｐｉ、ｉ＝０、１、２、３．．．ｎ）を印加し、前記順次圧力ゾーンで前記柔軟性基板は前記キャリア基板側に接触されるように移動し、前記柔軟性基板及び前記キャリア基板のそれぞれの第１弁らと一番近接した前記伸長されたスタート領域を生成して前記接合先端の後続進行になるようにすることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記圧力ゾーン（ｉ＝０、１、２、３．．．ｎに対して）を順次に作動するように、前記Ｘ軸と平行なＸ方向に前記第１プレートを横切って前記第２プレートを転がすことを追加的に含むことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記第２プレートは前記第２接触表面を通過して延長される吸入孔アレイを含んで、前記アレイは複数の吸入孔セットを含んで、各セットは前記Ｘ軸に沿ってお互いに接して前記Ｙ軸と平行に配向され、
各吸入孔セットは個別に制御されて吸入を提供及び解除し、前記方法は、前記圧力ゾーンＰｉが順次に解除及び印加されることによって隣接する吸入孔セットらが順次にオフされ、これと同期化されて前記第２接触表面から前記柔軟性基板のそれぞれの部分らが順次に解除され、前記接合が完了する時前記柔軟性基板の全体が前記第２プレートから解除されるように、吸入の提供及び解除を制御することを追加的に含むことを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
完全な接合後に前記キャリア基板から前記柔軟性基板を脱接合することを追加的に含むことを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１６】
（ａ）前記第２接触表面の伸長された部分が前記柔軟性基板の対応される伸長された部分と接触するように、前記柔軟性基板が完全に接合された前記キャリア基板を支持する前記第１プレートに対して前記第２プレートを相対位置させ、
（ｂ）前記柔軟性基板の前記吸入孔のセットらのうちで前記対応される伸長された部分と一番近接した少なくとも一つのセットを通じて吸入が印加されるようにし、
（ｃ）前記Ｘ軸と平行なＸ方向に前記柔軟性基板を横切って前記第２プレートを転がすことと共に前記キャリア基板から前記柔軟性基板をむき出すために、前記吸入孔セットらのうちでそれぞれの隣接するセットらを通じて吸入が順次印加されるようにし、
（ｄ）前記キャリア基板から前記柔軟性基板を完全に脱接合させた後、前記第１プレートから前記第２プレートを離隔移動させる、ことが順次に遂行されるように、前記第１及び第２プレートらお互いに対して相対運動させることを追加的に含むことを特徴とする請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記柔軟性基板はガラスで形成されることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１８】
前記柔軟性基板は、５０μｍ〜３００μｍ及び１００μｍ〜２００μｍの厚さのうちで一つの厚さを有することを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記柔軟性基板は、２．３〜２．５ｇ／ｃｃの密度、７０〜８０ＧＰａのヤング率、０．２０〜０．２５のポアソン比及び１８５〜３７０ｍｍの最小曲率のうちで少なくとも一つを有することを特徴とする請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記キャリア基板はガラスで形成されることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項２１】
前記キャリア基板は４００〜１０００μｍの厚さを有することを特徴とする請求項２０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高柔軟性基板のような柔軟性基板を、さらに厚くしてさらに剛性を高めた基板のために設計されたいわゆる、シート製造技術を利用し、処理するための方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
シート製造技術らは、典型的に、それぞれのシートらをソースからすべての処理段階ら（加熱、スコアリング（ｓｃｏｒｉｎｇ）、トリミング（ｔｒｉｍｍｉｎｇ）、カッティングなど）を経て目的地まで返送することで、それぞれの基板ら（例えば、ガラスシートら）を処理するのに使用される。各シートの返送は、望ましくは基板のある望ましい特性らの劣化を伴わないで、ステーションからステーションに各基板を移動させるために協力する複数の構成部らを含むことができる。例えば、典型的な運送機具は非接触支持部ら、接触支持部ら、ローラーら、側方ガイドらなどを含んで、ソースから各工程ステーションを経て、終局的に目的地まで、システム全体にわたって基板を案内する。非接触支持部らはエアベアリング、流体バー（ｆｌｕｉｄ  ｂａｒ（単数または複数））、低摩擦表面（ら）、などを含むことができる。非接触エアベアリングは運送中に基板らを浮遊させることができるように正及び負流体圧力ストリームの組み合わせを含むことができる。接触支持部は、システム全体にかけて運送中に基板らを安定させるローラーらを含むことができる。
【０００３】
シート製造システムのための前述した運送機具は典型的に、製造システム全体にわたって返送及び処理中に基板に力が加えられても、適切な機械的寸法特性（ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  ｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｉｔｙ））、素材完全性（ｍａｔｅｒｉａｌ  ｉｎｔｅｇｒｉｔｙ）及び／またはその他の特性を維持するに十分な剛性を見せる厚さのような相対的に厚い厚さを有する基板のために設計されたものである。例えば、液晶ディスプレイ（または、その他の類似応用分野）で使用されるカバーガラスのための典型的なシート製造技術はガラス基板が相対的に高剛性を見せることを要求するが、基板がおおよそ０．５ｍｍ以上の厚さを有する時がこれに該当することができる。
【０００４】
よほど小さな厚さ及び／または剛性を有する基板（例えば、高柔軟性ガラス基板）を処理する時、このようなシート製造技術の使用は問題を引き起こすことがある。
【０００５】
高柔軟性基板に従来のシート製造技術を使って惹起されることがある問題のうちで少なくとも何種類かはそのような高柔軟性基板を返送して処理するための特殊処理装備を設計することで解決されることができる。しかし、新しい特殊処理装備は、既存の（たぶん、費用がすべて支給された）生産装備を旧式に作るだけでなく、時間及びリソースの観点で回収不可能な相当な費用を要することがある。例えば、高柔軟性基板を処理する時、従来のシート製造技術らは「ロールツーロール」返送及び処理装備のために廃棄されなければならないこともある。原則的には、前記のような代替は長期的には製造費用を低減させるようになる効果につながることがあるが、高柔軟性基板物質のための新しいロールツーロールシステムを設計して行うための回収不可能な費用は非常に大きくなることがあるし、たぶんあるタイプらの柔軟性基板らを処理するためには刷新を要するかも知れない。
【０００６】
高柔軟性基板の処理と係わる前述した問題は、当業界で認識されて来たし、解決策らが研究されて来ている。シート処理技術を使って高柔軟性基板らを処理できるように、柔軟性基板に修正を加える新しい方法及び装置に対する要求が当業界に残っている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
論議の目的のために、本明細書は時にはガラスで形成される基板と係わる方法論及び装置に言及することができるが、当業者らは本明細書の方法論及び装置はガラス基板、結晶質基板、単結晶基板、ガラスセラミックス基板、ポリマー基板など多様な種類の基板らに適用されることができることを分かるであろう。
【０００８】
例えば、一つタイプの柔軟性基板物質はコーニング（登録商標）ウィロー（登録商標）ガラス（Ｃｏｒｎｉｎｇ  Ｗｉｌｌｏｗ  Ｇｌａｓｓ）と呼ばれるものであるが、コーニングウィローガラスは、多様な目的に好適なガラス物質である。ガラス物質の強度及び柔軟性を同時に有する相対的に薄い物質（大まかには紙シートの厚さであるおおよそ０．１ｍｍ厚さ）は、従来の物から例えば装置または構造物の周りをディスプレイエレメントにラッピングする固定密度の物に至るまで使用されることができる。コーニングウィローガラスは、高性能携帯装置（例えば、スマートフォン、タブレット及びノートブックコンピューター）に使用されることができる、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）及び液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用の非常に薄いバックプレーン、カラーフィルターなどのために使用されることができる。コーニングウィローガラスは、タッチセンサーのような電子部品ら、ＯＬＥＤディスプレイ装置のためのシール（ｓｅａｌ）及びその他湿り気及び酸素に敏感な部品らを生産するのに使用されることができる。コーニングウィローガラスはおおよそ１００μｍ〜２００μｍの厚さで、高柔軟性を有して、次のガラス特性を含む：おおよそ２．３〜２．５ｇ／ｃｃの密度、おおよそ７０〜８０ＧＰａのヤング率、おおよそ０．２０〜０．２５のポアソン比及びおおよそ１８５〜３７０ｍｍの最小曲率半径。
【０００９】
（さらに厚くてさらに剛性の高い基板のために設計された）従来のシート製造技術を使って、コーニングウィローガラスのそれぞれの基板らを処理したら、その物質の薄くて柔軟な特性はたぶんガラスの物質特性の劣化、ガラスの深刻な破壊（ｃｒｉｔｉｃａｌ  ｆａｉｌｕｒｅ）及び／またはシート処理装備の中断または損傷を引き起こすことがある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本明細書は、（さらに厚くてさらに剛性の高い基板のために設計された）既存のシート製造システムで、薄くて柔軟なガラス基板のような柔軟性基板を処理することによる問題点を解決するためのものである。特に、本方法及び装置は柔軟性基板をさらに厚くて及び／またはさらに剛性の高いキャリア基板に一時的に接合するのに必要な方案を提示し、シート処理システムで柔軟性基板が処理される時キャリア基板はキャリア基板のさらに剛性の高い機械的特性を柔軟性基板が有するように作る。処理された後、一時接合は解除され、柔軟性基板の後続する製造、処理または顧客への配達につながる。
【００１１】
特に、柔軟性基板をさらに厚くて及び／またはさらに剛性の高いキャリア基板に一時的に接合する概念が当業界で検討されて来たが、以前の研究の主眼点は主に接合工程に置かれたように見える。例えば、一時接合は、一つの重要特性であり、基板らの間のエアバブルを最小化するものであった。脱接合工程は、また他の重要特性であり、基板らの分離が制御されなければならないし、基板の分離途中に柔軟性基板に加えられる良くないすべての特性らを最小化するものであった。しかし、本明細書の実施例らは高柔軟性基板の一時接合工程及び後続脱接合の両特性すべてに主眼点を置いた工程を案出したものである。
【００１２】
その他の態様、特徴、長所らは添付図面と共に以下の説明から当業者に明白であろう。
【００１３】
例示の目的で、添付図面に望ましい形態らが示されているが、本明細書で開示されて記述された実施例らは図示されたようなその特定の配置及び手段だけに限定されるものではないことを理解しなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１は、従来のシート製造システムで柔軟性基板の処理のために柔軟性基板がキャリア基板に接合されるメカニズムを概略的に見せてくれる斜視図である。
【図２】図２は、前記従来のシート製造システムで柔軟性基板を処理するためにキャリア基板に接合された柔軟性基板を概略的に見せてくれる側面図である。
【図３】図３は、柔軟性基板がキャリア基板に接合されるシーケンスのうちに接合先端が進行することを概略的に見せてくれる斜視図である。
【図４】図４は、柔軟性基板をキャリア基板に接合し、その後キャリア基板から柔軟性基板を脱接合することに使用される道具を概略的に表現した図面である。
【図５】二つの工程シーケンスらを見せてくれるが、一番目のシーケンスは接合シーケンスとして、接合シーケンスでは図５、図６、図７、図８、図９及び図１０の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に接合して、二番目のシーケンスは脱接合シーケンスとして、脱接合シーケンスでは図１０、図９、図８、図７、図６及び図５の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に脱接合する。
【図６】二つの工程シーケンスらを見せてくれるが、一番目のシーケンスは接合シーケンスとして、接合シーケンスでは図５、図６、図７、図８、図９及び図１０の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に接合して、二番目のシーケンスは脱接合シーケンスとして、脱接合シーケンスでは図１０、図９、図８、図７、図６及び図５の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に脱接合する。
【図７】二つの工程シーケンスらを見せてくれるが、一番目のシーケンスは接合シーケンスとして、接合シーケンスでは図５、図６、図７、図８、図９及び図１０の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に接合して、二番目のシーケンスは脱接合シーケンスとして、脱接合シーケンスでは図１０、図９、図８、図７、図６及び図５の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に脱接合する。
【図８】二つの工程シーケンスらを見せてくれるが、一番目のシーケンスは接合シーケンスとして、接合シーケンスでは図５、図６、図７、図８、図９及び図１０の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に接合して、二番目のシーケンスは脱接合シーケンスとして、脱接合シーケンスでは図１０、図９、図８、図７、図６及び図５の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に脱接合する。
【図９】二つの工程シーケンスらを見せてくれるが、一番目のシーケンスは接合シーケンスとして、接合シーケンスでは図５、図６、図７、図８、図９及び図１０の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に接合して、二番目のシーケンスは脱接合シーケンスとして、脱接合シーケンスでは図１０、図９、図８、図７、図６及び図５の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に脱接合する。
【図１０】二つの工程シーケンスらを見せてくれるが、一番目のシーケンスは接合シーケンスとして、接合シーケンスでは図５、図６、図７、図８、図９及び図１０の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に接合して、二番目のシーケンスは脱接合シーケンスとして、脱接合シーケンスでは図１０、図９、図８、図７、図６及び図５の手順に図示されるように前記道具を使って、柔軟性基板をキャリア基板に脱接合する。
【図１１】図１１は、柔軟性基板をキャリア基板に手作業で接合した定性的結果を見せてくれる図面である。
【図１２】図１２は、前記道具を使って柔軟性基板をキャリア基板に接合した定性的結果を見せてくれる図面である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
前述したように、本明細書で説明される実施例らは柔軟性基板をさらに厚くて及び／またはさらに剛性の高いキャリア基板に一時的に接合（ｂｏｎｄｉｎｇ）し  、その結合構造物を処理し、そうしてから柔軟性基板をキャリア基板から脱接合（ｄｅ−ｂｏｎｄｉｎｇ）させることに関するものである。このような一般的な工程は以前にも研究されたが、そのような研究は主に接合工程に主眼点が置かれた。しかし、本明細書の実施例らは、高柔軟性基板の一時的接合及び後続分離の両方に主眼点を置いた工程を考慮したものである。
【００１６】
論議の目的で、以下で論議される実施例らは望ましい材料であるガラスで形成される柔軟性基板を処理することに関するものである。しかし、前記実施例らは、結晶性基板、単結晶基板、ガラスセラミックス基板、ポリマー基板などのような柔軟性基板で具現することができる多様な物質らを使用することができる。
【００１７】
図１は、従来のシート製造システムで柔軟性基板１０２を処理するために、柔軟性基板１０２がキャリア基板１０４に一時的に接合される工程を概略的に見せてくれる斜視図である。前述したように、柔軟性基板１０２をさらに厚くて及び／またはさらに剛性の高いキャリア基板１０４に接合する理由は、柔軟性基板１０２よりさらに剛性の高い基板を扱うために設計された従来のシート処理システムで処理される時、キャリア基板１０４のさらに剛性の高い機械的性質を柔軟性基板１０２が有するようにするためである。
【００１８】
図２は、得られた接合構造物１００（キャリア基板１０４上に柔軟性基板１０２）を概略的に見せてくれる。キャリア基板１０４はガラス物質のような物質のシートで形成されることができるし、ここでキャリア基板１０４は（図示された直角座標系内で）Ｘ軸に沿って長さを有して、Ｙ軸に沿って幅を有し、Ｚ軸に沿って厚さを有する。特に、Ｘ軸とＹ軸はＸ−Ｙ平面を定義し、Ｘ−Ｙ平面はここでイン−プレーン（ｉｎ−ｐｌａｎｅ）で、及び／またはイン−プレーン基準（ｉｎ−ｐｌａｎｅ  ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ）を定義することで使用されることができる。
【００１９】
同様に、柔軟性基板１０２は例えば、ガラス物質のような物質のシートで形成されることができるし、ここで柔軟性基板１０２は前記Ｘ軸方向に長さ方向を有して、前記Ｙ軸方向に幅を有して、前記Ｚ軸方向に厚さを有する。前述したように、柔軟性基板１０２は次の項目の少なくとも一つを有する：ｉ）キャリア基板１０４の柔軟性より実質的にさらに柔軟な柔軟性、ｉｉ）キャリア基板１０４の厚さより実質的にさらに小さな厚さ。
【００２０】
一つ以上の実施例で、柔軟性基板１０２はガラスで形成されることができるし、次のうちで一つの厚さを有することができる：ｉ）おおよそ５０μｍ〜おおよそ３００μｍ、ｉｉ）おおよそ１００μｍ〜おおよそ２００μｍ。一つ以上の他の実施例では、柔軟性基板１０２は次のうちで少なくとも一つを有することができる：おおよそ２．３〜２．５ｇ／ｃｃの密度、おおよそ７０〜８０ＧＰａのヤング率（Ｙｏｕｎｇ’ｓ  Ｍｏｄｕｌｕｓ）、おおよそ０．２０〜０．２５のポアソン比（Ｐｏｉｓｓｏｎ  ｒａｔｉｏ）及びおおよそ１８５〜３７０ｍｍの最小曲率半径。
【００２１】
同様に、一つ以上の実施例で、キャリア基板１０４はガラスで形成されることができるが、キャリア基板１０４は、望ましくは少なくともおおよそ４００μｍ〜おおよそ１０００μｍの厚さを有して、特に柔軟性基板１０２よりさらに厚い厚さを有する。追加的に及び／または代案として、キャリア基板１０４は柔軟性基板１０２より実質的にさらに高い剛性を有する物質で形成されることができる。
【００２２】
柔軟性基板１０２とキャリア基板１０４との間の接合は一時的であり、主に従来のシート製造システムで柔軟性基板１０２を処理するための目的で使用される。このような処理後に、前記一時的な接合は解除され、柔軟性基板１０２は従来のシート製造システム外部でなされる追加的な処理及び／または応用のためにキャリア基板１０４から分離されることができる。本明細書で実施例らは、柔軟性基板１０２をキャリア基板１０４に対して正確な位置に位置させ、一時的な接合が容易であるように基板ら１０２、１０４を接触させ、基板ら１０２、１０４の後続脱接合及び分離のための装置及び方法論に関するものである。
【００２３】
柔軟性基板１０２とキャリア基板１０４との間の接合力（ｂｏｎｄｉｎｇ  ａｔｔｒａｃｔｉｏｎ）を得るために、あらゆる接近法が使用されることができる。実施例として、当業者は、ここで開示された条件らを得るが、次の特許出願らに開示された具体的な接合技術中の一つ以上を使用するか、または変形使用することができるであろう：米国仮特許出願番号６１／７３６，８８７号（２０１２年１２月１３日に出願）と、米国特許出願番号１４／０４７，５０６号（２０１３年１０月０７日に出願）と、米国仮特許出願番号６１／９３１９２４号（２０１４年０１月２７日に出願）と、米国仮特許出願６１／９３１，９１２号（２０１４年０１月２７日に出願）と、米国仮特許出願番号６１／９３１，９２７号（２０１４年０１月２７日に出願）と、及び米国仮特許出願番号６１／９７７，３６４号（２０１４年０４月０９日に出願）。これによってこれらの明細書の記載内容らは、本言及によって本明細書に一体化（ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ  ｂｙ  ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ）されなければならない。
【００２４】
本明細書で開示された方法及び装置の利点をさらに完全に理解するために、図３を参照して一般的な接合工程を詳細に説明する。この一般的な接合工程で、柔軟性基板１０２はキャリア基板１０４上に置かれた後、接合されることを仮定する。これに関して、図３は柔軟性基板１０２がキャリア基板１０４に接合されるシーケンス（ｓｅｑｕｅｎｃｅ）中に接合先端（ｂｏｎｄ  ｆｒｏｎｔ）が進行されることを概略的に見せてくれる斜視図である。明確化と技術的背景の論議を提供するために接合先端が生じるようにする具体的な器具をここでは見せてくれないが、本明細書の後半部で接合先端を生成して制御するための具体的な実施例らを実際に見せてくれるであろう。
【００２５】
一般的な接合工程は、柔軟性基板１０２をキャリア基板１０４上に位置させた後、その間に接合を引き起こすことを含む。前述したように、柔軟性基板１０２とキャリア基板１０４はＸ軸方向の長さ、Ｙ軸方向の幅、及びＺ軸方向の厚さによって特徴付けられる。これによって、Ｘ軸及びＹ軸はＸ−Ｙ平面を定義するが、Ｘ−Ｙ平面は（接合構造物１００の平坦度と対比されることができる）イン−プレーン基準になる。柔軟性基板１０２がキャリア基板１０４上に置かれる時、典型的には基板ら１０２、１０４の間に比較的小さな分離を維持するようにする（空気のような）周井気体が存在するであろう。接合を開始するために、例えば、機械的加圧力（ｐｒｅｓｓｉｎｇ  ｆｏｒｃｅ）によって、柔軟性基板１０２とキャリア基板１０４が合体されるようにする局所的な強制（ｕｒｇｉｎｇ）によってスタート領域３０が設定されることができる。図示された実施例では、前記スタート領域３０は、柔軟性基板１０２がキャリア基板１０４側に接触されるように線形集中圧力を加えることで得られる、一般的に線形的に延長されたスタート領域である。前述したように、線形的に延長された圧力及びその結果得られる線形方向に延長されたスタート領域３０を作るための一つ以上の具体的な具現例が下でさらに具体的に論議されるであろう。
【００２６】
図示された実施例の場合、接合先端３４は線形方向ベクターらを含むはずであり、その線形方向ベクターらは、Ｘ−Ｙ平面でスタート領域３０の伸長（ｅｌｏｎｇａｔｅ）された方向を横切って、その伸長された方向と離隔されるように延長されるであろう。例えば、スタート領域３０は、Ｙ軸と平行な線に沿って（例えば、図３の左側に図示されたそれぞれの基板ら１０２、１０４の隣接辺らに沿って）実質的に線形的に延長されることができる。その結果、接合先端３４はベクターらを含むが、そのベクターらはＹ軸と平行な線（例えば、ライン３０）に沿って実質的に線形的に相互離隔され、Ｙ軸を横切る方向（例えば、Ｙ軸と垂直をなすＸ軸と平行な方向）でスタート領域３０から離隔されるように進行することが分かる。接合先端３４が基板ら（１０２、１０４）（１０２、１０４）の端に到逹し、柔軟性基板１０２がキャリア基板１０４に接合されるまで、接合先端３４はＸ−Ｙ平面でスタート領域３０から離隔されるように線形的拡張を続けるであろう。
【００２７】
図４は、柔軟性基板１０２をキャリア基板１０４に接合して、そうしてからキャリア基板１０４から柔軟性基板１０２を脱接合させるのに使用することができる道具２００を概略的に見せてくれる図面である。道具２００は、キャリア基板１０４を支持するように作動する第１プレート２０２と、柔軟性基板１０２を支持するように作動する第２プレート２０４を含む。第１及び第２プレート２０２、２０４の相対的運動は二つのプレート両方が運動されることができるようにするか、または少なくとも一つのプレートが残りに対して運動されることができるようにすることで得られることができる。一例として、図示した実施例では（図２のＸ、Ｙ、Ｚ軸を採択する時）第１プレート２０２がＺ軸に沿って運動されるようにし、第２プレート２０４が少なくともＹ軸と平行なラインを中心に回転されることができる。すなわち、第２プレート２０４はＹ軸と平行なラインを中心にピボットされることができる。
【００２８】
第１及び第２プレート２０２、２０４は、適切な機械的、電気的、空気圧、油圧、マグネチック及び／またはその他の現技術水準の運動を得るための器具を通じてお互いに対して相対運動することができる。運動のための具体的な器具の具体的な説明が、図示された実施例を具現するために、重要ではないため、ここでは道具２００の機能のみに対して説明する。実際、当業者なら、よく知られて入手可能なコンポーネントに対する不必要な説明の負担を負わなくても、図示された実施例らを実現するための困難さがないであろう。
【００２９】
第１プレート２０２は第１接触表面（ｆｉｒｓｔ  ｂｅａｒｉｎｇ  ｓｕｒｆａｃｅ）２１２を含むが、キャリア基板１０４は前記第１接触表面２１２に対して支持される。第２プレート２０４は第２接触表面２１４を有するが、柔軟性基板１０２は前記第２接触表面２１４に対して固定されて解除される。特に、第２接触表面２１４はＸ−Ｙ平面から脱してＺ軸と平行に実質的に円筒状に湾曲される。他に表現すれば、第２接触表面２１４の曲率はＹ軸に平行なラインを中心とする。追加的に及び／または代案として、第２接触表面２１４は、接合及び脱接合工程のうちで弾性を提供するために、第２プレート２０４と柔軟性基板１０２との間にゴムコーティング（図示せず）及び／またはその他の中問層を含むことができる。
【００３０】
第１プレート２０２は第１接触表面２１２を通過して延長される吸入孔アレイ２２２を含むことができるし、前記吸入孔アレイ２２２は吸入流体がキャリア基板１０４を第１接触表面２１２に対して引き寄せて固定するようにする。一つ以上の実施例では、吸入孔アレイ２２２全体が同時に吸入を提供し、同時に吸入を除去するように制御される。代案の実施例は、前記アレイ２２２の吸入孔のうちのいずれのものも個別的に制御されることができる。
【００３１】
第２プレート２０４は第２接触表面２１４を通過して延長される吸入孔アレイ２２４を含むことができるし、前記吸入孔アレイ２２４は複数の吸入孔セット２２６を含んで、それぞれの吸入孔セット２２６は、Ｙ軸と平行で、Ｘ軸に沿ってお互いに接するように、配向される。図示された実施例では、一つの吸入孔セット２２６はＹ軸と平行に第２接触表面２１４を横切って延長されたラインアレイであるものとして図示されている。当業者は、代案の実施例で、吸入孔セット２２６が一つを超過するラインアレイを含むことができることを理解するであろう。追加的に及び／または代案で、与えられたセット２２６内の吸入孔のラインアレイの数は第２接触表面２１４を横切って変化することができる。一つ以上の実施例によれば、前記各吸入孔セット２２６は個別的に制御されて、吸入を提供して吸入を解除する。
【００３２】
道具２００は制御部２０６を追加的に含むことができるし、制御部２０６は第１プレート２０２の運動、吸入孔アレイ２２２を通じた吸入の印加及び除去、第２プレート２０４の運動及び吸入孔アレイ２２４の各吸入孔セット２２６を通じた吸入の印加及び除去を制御するように作動する。制御部２０６から道具２００の表示されたエレメントらへの矢印は、制御部２０６がそのエレメントらを制御することができるようにする、制御信号伝送、センサー測定などを現わす。制御部２０６は、ここに記載した道具２００の機能を得るために協力して作動される一つ以上のマイクロプロセッサーら、メモリーら、センサーら、入力／出力回路ら、ソフトウェアなどを含むことができる。
【００３３】
道具２００の作動及びここで考慮された方法論が図５乃至図１０を参照して例示されている。特に、図５乃至図１０は別個の二つの工程シーケンスらを図示する。一番目のシーケンスは接合シーケンスとして、接合シーケンスでは、図５、図６、図７、図８、図９及び図１０に示されたように、すなわち図５から図１０までの手順で図示されたように、柔軟性基板１０２をキャリア基板１０４に接合するために、道具２００が使用される。二番目のシーケンスは脱接合シーケンスとして、脱接合シーケンスでは図１０、図９、図８、図７、図６及び図５に示されたように、すなわち図１０から図５まで逆方向手順に示されたように柔軟性基板１０２をキャリア基板１０４に脱接合するために道具２００が使用される。
【００３４】
以下で、図５乃至図１０を順次に参照して、接合工程を説明する。
【００３５】
図５は、アレイ２２４の吸入孔すべて、または実質的にすべてを活性化させて柔軟性基板１０２が第２プレート２０４の第２接触表面２１４に対して固定された状態を図示するが、第２プレート２０４の中心に向かう複数の点線矢印、すなわち吸入作動によって生成された流体流れの方向が前記アレイ２２４を表現している。さらに具体的には、実質的にすべての吸入孔セットら２２６が活性化され、ここで各吸入孔セット２２６はページの内側に向けて配向されて（Ｙ軸と平行）、点線矢印のうちで一つによって表現されている。同様に、吸入孔アレイ２２２のすべてまたは実質的にすべてを活性化させてキャリア基板１０４を第１プレート２０２の第１接触表面２１２に対して固定するが、第１プレート２０２の中心に向かう複数の点線矢印、すなわち、吸入作動によって生成された流体流れの方向が前記アレイ２２２を表現している。
【００３６】
図５及び図６を参照する時、制御部２０６及び（動作矢印によって概略的に図示された）動作機具は、第１及び第２プレート２０２、２０４をお互いに対して相対運動させて、柔軟性基板１０２がキャリア基板１０４とＺ軸に沿って離隔されるように位置させる。より具体的には、制御部２０６及び動作機具は、Ｚ軸に沿って第２プレート２０４から遠くなるように及び／または第２プレート２０４側に第１プレート２０２を運動させ、第２プレート２０４が要求される位置に回転（ピボット）されることができるように、要求される離隔関係を得る。図６に示したように、制御部２０６及び動作機具は続いて第１及び第２プレート２０２、２０４を運動させ、第１及び第２接触表面２１２、２１４のそれぞれの伸長された部分らをお互いに向けて押して、基板ら１０２、１０４の対応される伸長された部分らが例えば２５０でそれぞれの第１側辺に沿ってお互いに接触されることができるようにする。第１及び第２接触表面２１２、２１４のそれぞれの伸長された部分らをお互いに向けてずっと押して圧力ゾーン、Ｐｉ（例えば、初期圧力ゾーンＰ０）を生成するが、ここでは柔軟性基板１０２はキャリア基板１０４に向けて付勢され、キャリア基板１０４と接触する。第１及び第２プレート２０２、２０４のそれぞれの前述した幾何学的構造のために、圧力ゾーンＰＯはＹ軸と平行に線形的に延長される。圧力ゾーンＰＯは、伸長されたスタート領域（図３のエレメント３０を参照）を生成し、伸長されたスタート領域で接合はＹ軸に沿って基板ら１０２、１０４の間で全体を横切って開始される。
【００３７】
図６及び図７を順次に参照する時、制御部２０６及び道具２００の動作機具は現在の圧力ゾーンＰｉ（例えば、Ｐ０）を解除し、Ｙ軸と平行に延長された後続圧力ゾーンＰｉ＋１（例えば、Ｐ１）を印加するように作動する。圧力ゾーンＰ０と比較すると、後続の圧力ゾーンＰ１はＸ軸に沿って圧力ゾーンＰ０（と隣接するように）順次に作動する。（印加される）後続の圧力ゾーンＰ１で（除去される）圧力ゾーンＰ０の順次作動（ｉｎｄｅｘｉｎｇ）は、Ｘ軸と平行な方向に第１プレート２０２を横切って第２プレート２０４を転がす制御部２０６及び動作機具を通じて得られる。単に論議の目的で例示されたＸ軸に沿った圧力ゾーンＰ０、Ｐ１の間隔は少し大きいが（図６及び図７を参照する時）、当業者は道具２００の実際の具現例では、適用状況によって圧力ゾーンＰ０、Ｐ１、Ｐ２、などの間隔を小さいか、または大きくすることができることを理解するであろう。それぞれの第１及び第２プレート２０２、２０４の幾何学的構造及び第１プレート２０２上で第２プレート２０４が転がって動くことのため、当業者は道具２００の図示された具現例は圧力ゾーンＰｉの連続的な（断続的ではない）順次作動を引き起こすことがあることを理解するであろう。
【００３８】
圧力ゾーンＰｉの順次作動と同時に、順次圧力ゾーンＰｉ（ｉ＝０、１、２、３．．．ｎ）が解除されることによって制御部２０６及び第２プレート２０４は柔軟性基板１０２の各部分を解除するように作動することができる。よって、図７に示したように、（キャリア基板１０４に接合された）柔軟性基板１０２の各部分、すなわち、Ｘ軸に沿って２６０−１で表示された領域内の柔軟性基板１０２の部分はそれ以上第２プレート２０４に固定されていない。逆に、（キャリア基板１０４にまだ接合されない）柔軟性基板１０２の各部分、すなわち、Ｘ軸に沿って２６０−２で表示された領域内の柔軟性基板１０２の部分は第２プレート２０４に相変らず固定されている。
【００３９】
柔軟性基板１０２の各部分の解除は、対応される圧力ゾーンＰｉが順次に作動することによって（すなわち、それぞれの隣接圧力ゾーンらが順次に解除されて印加されることによって）隣接する吸入孔セット２２６らを順次に非活性化（ターンオフ）させる制御部２０６を通じて得られる。ある吸入孔セット２２６らの非活性化は、Ｘ軸に沿って２６０−１で表示された領域内で流体流れの点線矢印を除去することで表現される。他の吸入孔セットら２２６、すなわち、Ｘ軸に沿って２６０−２で表示された領域内の吸入孔セットら２２６は、相変らず活性化されて（柔軟性基板１０２が第２プレート２０４の接触表面に固定されている。隣接吸入孔セットら２２６の順次非活性化は、圧力ゾーンＰｉの順次作動と同期化されて、柔軟性基板１０２の各部分らを第２プレート２０４の第２接触表面２１４から順次に解除する。
【００４０】
図６、７及び８に順次に示されたように、圧力ゾーンの順次作動は複数の圧力ゾーンＰｉ（ｉ＝０、１、２、３．．．ｎ）に対して繰り返され、これと同時に（それぞれの吸入孔セット２２６の非活性化を通じた）柔軟性基板１０２の順次な解除が遂行される。このような作動は接合先端（前述した図３のエレメント３４及び伸長されたスタート領域３０から離隔されるように横切ってＸ軸と平行に延長される線形ベクターを参照）を進行させる。接合先端３４が基板ら１０２、１０４の末端まで到逹するまで接合は続いて進行される。
【００４１】
図９及び１０に示したように、道具２００の制御部２０６及び動作機具は、前述した接合先端が基板ら１０２、１０４の遠い側の側辺に到逹するように作動し、この時柔軟性基板１０２はキャリア基板１０４に完全に接合される。そうしてから、道具２００の制御部２０６及び動作機具は第２プレート２０４を接合された構造物１００から離隔させ、その構造物１００を下流工程及び／または目的地（例えば、前述した従来のシート製造工程及び技法）に移動させる。
【００４２】
前述した道具２００及び方法論と係わって実験が実施された。０．７ｍｍ厚さのガラスで形成されたキャリア基板１０４と０．１ｍｍ厚さの（超薄（ｕｌｔｒａ−ｔｈｉｎ））ガラスで形成された柔軟性基板１０２を手作業及び本明細書で記述された道具２００を使って接合した。図１１は、キャリア基板１０４に柔軟性基板１０２を手作業で接合して得られたサンプル（１００−１）の定性的結果を見せてくれる図面である。図１２は、キャリア基板１０４に柔軟性基板１０２を、道具２００を利用して接合して得られたサンプル（１００−２）の定性的結果を見せてくれる図面である。
【００４３】
サンプルの定性的結果は、各場合の二つの基板ら１０２、１０４の間にトラップされた空気の量と係わる。手作業で接合されたサンプル（１００−１）では、接合先端３４が拡張される方式によって、接合面積が自然的に拡張され、相当な量の空気３００−１がトラップされた。反面、接合道具２００を使った場合、サンプル（１００−２）の基板ら１０２、１０４の間の接合は、接合先端３４がＸ軸に沿って順次に作動されて、一ライン一ライン段階で進行されるように、制御されることで、基板ら１０２、１０４の間にトラップされた空気３００−２の量が相当に減少された結果を得ることができた。トラップされた空気の量の減少はおおよそ１０：１程度であった。
【００４４】
逆に、図１０から図５の順序で参照して、脱接合を説明する。特に、図１０に示された接合構造物１００の状態からキャリア基板１０４から柔軟性基板１０２を脱接合することと係わる具体的な段階らは接合工程の段階らのリバース段階らである。制御部２０６及び動作機具は第１及び第２プレート２０２、２０４らをお互いに対して図９の離隔位置のように移動させるように作動する。図９及び図８を順次に参照する時、制御部２０６及び動作機具は、第２接触表面２１４の伸長された部分が柔軟性基板１０２の対応される伸長された部分と接触されるように、第２プレート２０４が第１プレート２０２に対して相対的に位置するようにする。同時に、制御部２０６は、第２プレート２０４の吸入孔セットら２２６のうち柔軟性基板１０２の前記対応される伸長された部分と一番隣接した少なくとも一つの吸入孔セット（すなわち、Ｘ軸に沿った領域２６０−２内の一つ以上の吸入孔セット）を通じて吸入を実行することを命令する。
【００４５】
図８、図７及び図６を順次に参照する時、制御部２０６及び動作機具は第２プレート２０４を、柔軟性基板１０２を横切ってＸ軸と平行なＸ方向（接合時に転がって動く方向と反対方向）に転がって動くようにして、同時に吸入孔のセット２２６らのうちでそれぞれの隣接セットらを通じて順次に吸入が実行されるようにする。このような、転がって動く作動は柔軟性基板１０２をキャリア基板１０４からむき出す。曲げ角度の変化（すなわち、むき出す時の曲げ角度の増加）及び曲げることによって印加されるストレスの変化を最小化（または除去）することで、柔軟性基板１０２の破壊を防止することができる。脱接合のための開示された道具２００及び方法論は、むき出す時、一定な曲げ角度及び一定な脱接合速度を保障し、前述した破壊を防止する。また、静電気防止イオナイジング空気が第１プレート２０２内のスリット（図示せず）を通じて供給されることができるし、ここで前記スリットは脱接合方向に沿って位置され、これは静電気防止力によって脱接合を助けてまた柔軟性超薄クガラスとキャリアガラスが再接合されることを防止する。
【００４６】
図５に示したように、制御部２０６及び動作機具は、キャリア基板１０４から柔軟性基板１０２を完全に脱接合した後、第１プレート２０２から第２プレート２０４を離隔移動させるように作動する。
【００４７】
前記説明は特定実施例と係わって説明したが、このような実施例らは単純にその実施例らの原理及び適用を例示するためのものであるだけである。よって、多くの変形が前記例示実施例らに加えられることができるし、本出願の思想と範囲を脱することなく、他の配置が可能であることを理解することができるであろう。
【図１】
2019501525.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2019501525.tif 000010
【図９】
2019501525.tif 000011
【図１０】
2019501525.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2019501525.tif 000014
【国際調査報告】
2019501525.tif 000015
2019501525.tif 000016
2019501525.tif 000017
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