【手続補正書】
【提出日】平成19年3月2日(2007.3.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】  重ね合せ制御エラーを訂正するための方法であって、
制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップと、
レビューステーションにおいて前記処理された半導体装置を検査するステップとを含み、前記検査するステップは、前記制御入力パラメータのうちの少なくとも１つのエラー値の重みを計算するステップを含み、前記方法はさらに、
前記処理された半導体装置の前記検査に応答して前記制御入力パラメータを修正するステップと、
前記制御入力パラメータの前記修正に基づいて、後続のランの半導体装置を処理するステップに対する新しい制御入力パラメータを実現するステップとを含む、方法。
【請求項２】  前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップは、半導体ウェハを処理するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】  前記半導体ウェハを処理するステップは、露光ツールを用いるステップを含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】  前記露光ツールを用いて半導体ウェハを処理するステップは、高度処理制御フレームワークを用いるステップを含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】  前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップは、露光ツールにおいて半導体ウェハを処理するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】  前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップは、制御スレッドによって規定される制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項７】  前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップは、重ね合せ計測学を用いることにより制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】  前記重ね合せ計測学を用いるステップは、アウトライア排除および指数重み付き移動平均フィルタリング技術を実現するステップを含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】  前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップは、ｘ移動信号、ｙ移動信号、ｘ拡張ウェハスケール信号、ｙ拡張ウェハスケール信号、レチクル拡大信号、およびレチクル回転信号を含む制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】  前記レビューステーションにおいて前記処理された半導体装置を検査するステップは、先行する露光プロセスによって生じたミスレジストレーションの程度の量的な測定値を得るステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】  前記ミスレジストレーションの程度の量的な測定値を得るステップは、前記半導体装置の２つの層の間で生じた半導体製造プロセスにおけるミスアライメントに関連するミスレジストレーションの程度の量的な測定値を得るステップを含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】  前記処理された半導体装置の前記検査に応答して、前記制御入力パラメータを修正するステップは、
エラーデータを得るステップと、
前記エラーデータの値がデッドバンド内にあるか否かを判断するステップと、
前記エラーデータの値が前記デッドバンド内にあるという判断に応答して、前記エラーデータを無視するステップと、
前記エラーデータの値が前記デッドバンド内にないという判断に応答して、制御入力修正シーケンスを実現するステップとを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】  前記エラーデータを得るステップは、前記レビューステーションからエラーデータを得るステップを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】  前記エラーデータの値がデッドバンド内にあるか否かを判断するステップは、１組の対応する予め定められたターゲット値の近傍に集中する制御入力信号に関連するエラー値の範囲を判断するステップを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】  前記エラーデータの値は前記デッドバンド内にないという判断に応答して制御入力修正シーケンスを実現するステップは、
前記エラーデータに応答して、推奨されるステップサイズを計算するステップと、
最大のステップサイズを判断するステップと、
前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとを比較するステップと、
前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとの比較に応答して、少なくとも１つの制御入力信号を更新するステップとを含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】  前記推奨されるステップサイズを計算するステップは、コントローラ方程式を用いて前記推奨されるステップサイズを計算するステップを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１７】  前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとの比較に応答して少なくとも１つの制御入力信号を更新するステップは、前記計算されたステップサイズが前記最大ステップサイズよりも小さいという判断に応答して前記計算されたステップサイズを用いて前記制御入力信号を更新するステップを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】  前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとの比較に応答して少なくとも１つの制御入力信号を更新するステップは、前記計算されたステップサイズが前記最大ステップサイズよりも大きいという判断に応答して前記最大ステップサイズを用いて前記制御入力信号を更新するステップを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項１９】  前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとの比較に応答して少なくとも１つの制御入力信号を更新するステップは、ランごとに前記制御入力信号を更新するステップを含む、請求項１５に記載の方法。
【請求項２０】  重ね合せ制御エラーを訂正するための装置であって、
制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するための手段と、
レビューステーションにおいて前記処理された半導体装置を検査するための手段とを含み、前記検査は、前記制御入力パラメータのうちの少なくとも１つのエラー値の重みを計算することを含み、前記装置はさらに、
前記処理された半導体装置の前記検査に応答して、前記制御入力パラメータを修正するための手段と、
前記制御入力パラメータの前記修正に基づいて、後続のランの半導体装置を処理するス
テップのための新しい制御入力パラメータを実現するための手段とを含む、装置。
【請求項２１】  コンピュータによって実行された場合に、重ね合せ制御エラーの訂正のための方法を実行する命令を符号化された、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、
制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理することと、
レビューステーションにおいて前記処理された半導体装置を検査することとを含み、前記検査することは、前記制御入力パラメータのうちの少なくとも１つのエラー値の重みを計算することを含み、前記コンピュータ読出可能プログラム記憶装置はさらに、
前記処理された半導体装置の前記検査に応答して前記制御入力パラメータを修正することと、
前記制御入力パラメータの前記修正に基づいて、後続のランの半導体装置を処理するステップに対する新しい制御入力パラメータを実現することとを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項２２】  コンピュータによって実行された場合、請求項２１に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理することは、半導体ウェハを処理することを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
。
【請求項２３】  コンピュータによって実行された場合、請求項２２に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記制御入力パラメータに基づいて半導体ウェハを処理することは、露光ツールを用いることを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項２４】  コンピュータによって実行された場合、請求項２３に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記露光ツールを用いて半導体ウェハを処理することは、高度処理制御フレームワークを用いることを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項２５】  コンピュータによって実行された場合、請求項２１に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理することは、露光ツールにおいて半導体ウェハを処理することを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項２６】  コンピュータによって実行された場合、請求項２１に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理することは、制御スレッドによって規定される制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理することを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項２７】  コンピュータによって実行された場合、請求項２１に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理することは、重ね合せ計測学を用いることにより制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理することを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項２８】  コンピュータによって実行された場合、請求項２７に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記重ね合せ計測学を用いることは、アウトライア排除および指数重み付き移動平均フィルタリング技術を実現することを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項２９】  コンピュータによって実行された場合、請求項２１に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理することは、ｘ移動信号、ｙ移動信号、ｘ拡張ウェハスケール信号、ｙ拡張ウェハスケール信号、レチクル拡大信号、およびレチクル回転信号を含む制御入力パラメータに基づいて半導体装置を処理するステップを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項３０】  コンピュータによって実行された場合、請求項２１に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記レビューステーションにおいて前記処理された半導体装置を検査することは、先行する露光プロセスによって生じたミスレジストレーションの程度の量的な測定値を得ることを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項３１】  コンピュータによって実行された場合、請求項３０に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記ミスレジストレーションの程度の量的な測定値を得ることは、前記半導体装置の２つの層の間で生じた半導体製造プロセスにおけるミスアライメントに関連するミスレジストレーションの程度の量的な測定値を得ることを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項３２】  コンピュータによって実行された場合、請求項２１に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記処理された半導体装置の前記検査に応答する前記制御入力パラメータの修正は、
エラーデータを得ることと、
前記エラーデータの値がデッドバンド内にあるか否かを判断することと、
前記エラーデータの値が前記デッドバンド内にあるという判断に応答して、前記エラーデータを無視することと、
前記エラーデータの値が前記デッドバンド内にないという判断に応答して、制御入力修正シーケンスを実現することとを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項３３】  コンピュータによって実行された場合、請求項３２に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記エラーデータを得ることは、前記レビューステーションからエラーデータを得ることを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項３４】  コンピュータによって実行された場合、請求項３２に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記エラーデータの値がデッドバンド内にあるか否かを判断することは、１組の対応する予め定められたターゲット値の近傍に集中する制御入力信号に関連するエラー値の範囲を決定することを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項３５】  コンピュータによって実行された場合、請求項３２に記載の方法を実行する命令を符号化されたコンピュータ読出可能プログラム記憶装置であって、前記エラーデータの値は前記デッドバンド内にないという判断に応答して制御入力修正シーケンスを実現することは、
前記エラーデータに応答して、推奨されるステップサイズを計算することと、
最大のステップサイズを判断することと、
前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとを比較することと、
前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとの比較に応答して、少なくとも１つの制御入力信号を更新することとを含む、コンピュータ読出可能プログラム記憶装置。
【請求項３６】  前記推奨されるステップサイズを計算することは、コントローラ方程式を用いて前記推奨されるステップサイズを計算することを含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】  前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとの比較に応答して少なくとも１つの制御入力信号を更新することは、前記計算されたステップサイズが前記最大ステップサイズよりも小さいという判断に応答して前記計算されたステップサイズを用いて前記制御入力信号を更新することを含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３８】  前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとの比較に応答して少なくとも１つの制御入力信号を更新することは、前記計算されたステップサイズが前記最大ステップサイズよりも大きいという判断に応答して前記最大ステップサイズを用いて前記制御入力信号を更新することを含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３９】  前記計算されたステップサイズと前記最大ステップサイズとの比較に応答して、少なくとも１つの制御入力信号を更新することは、ランごとに前記制御入力信号を更新することを含む、請求項３５に記載の方法。