(57)【要約】      （修正有）【課題】 基板と偏光板間に発生する気泡をチャンバーを使用せずに簡単な方法で除去できる液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】本発明は液晶表示装置の製造方法に関し、基板組立体と前記基板組立体に付着された偏光板を含む液晶パネルを備える段階と、外部に露出された状態で、前記液晶パネルの板面に向かって気体噴射部を配置する段階と、前記気体噴射部を通じて前記液晶パネルの板面に気体を噴射して加圧する段階とを含む。【選択図】図４ａ
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示装置の製造方法において、
基板組立体と前記基板組立体に付着された偏光板を含む液晶パネルを備える段階と；
外部に露出された状態で、前記液晶パネルの板面に向かって気体噴射部を配置する段階と；
前記気体噴射部を通じて前記液晶パネルの板面に気体を噴射して加圧する段階と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記気体噴射段階では、前記液晶パネルと前記気体噴射部を相対的に移動させることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記噴射される気体は予熱されていることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記気体の予熱温度は４０乃至８０℃の範囲であることを特徴とする請求項３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記気体噴射部は気体を噴射する複数のノズル孔を含み、前記ノズル孔は前記液晶パネルを間において対向して配置されることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記気体噴射部と前記液晶パネルの板面との間隔は１０乃至２０μｍであることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記気体の噴射による加圧力は０．１乃至６ｋｇｆ/ｃｍ2であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記気体噴射段階は、前記液晶パネルの板面の中央部分から外郭領域に気体を噴射して加圧することを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
液晶パネルを含む液晶表示装置の製造装置において、
圧縮気体を供給する圧縮気体供給部と；
外部に露出されており、前記圧縮気体供給部から圧縮気体を受けて気体を噴射し、前方に一定の圧力を加える気体噴射部と；
を含むことを特徴とする、液晶表示装置の製造装置。
【請求項１０】
前記液晶パネルを支持する支持部をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１１】
前記気体噴射部は板状で配置され、気体を噴射する複数のノズル孔を含むことを特徴とする請求項９に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１２】
前記気体噴射部の噴射領域は帯状であることを特徴とする 請求項９に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１３】
前記気体噴射部の噴射領域は前記液晶パネルより狭くないことを特徴とする請求項９に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１４】
前記気体噴射部は気体を噴射する複数のノズル孔を含み、前記複数のノズル孔は前記液晶パネルを間において対向して配置されていることを特徴とする請求項９に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項１５】
気体を予熱する予熱部をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載の液晶表示装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造方法とその製造装置に関し、より詳しくは、外部に露出された状態で液晶パネルの基板と偏光板間の気泡を除去する気泡除去方法とその製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、各々偏光板が付着された薄膜トランジスタ基板とカラーフィルター基板、及びこれらの間に液晶層が位置している液晶パネルを含む。液晶パネルは非発光素子であるため、薄膜トランジスタ基板の後面には光を照射するためのバックライトユニットが位置することができる。バックライトユニットから照射された光は液晶層の配列状態によって透過量が調整される。
【０００３】
それ以外に、液晶パネルの各画素を駆動するために、駆動回路と、駆動回路から駆動信号を受けて表示領域内のデータ線とゲート線に電圧を印加するデータドライバーとゲートドライバーが備えられている。
このような液晶表示装置の製造過程の中で、薄膜トランジスタ基板とカラーフィルター基板の外部板面に偏光板を付着する。ところが、各基板とこれに付着された偏光板との間には微細な気泡が形成されて、基板と偏光板間の接着力を低下させ、表示品質に悪影響を与える。
【０００４】
図１は従来の気泡除去装置を示した斜視図である。
従来の気泡除去装置１００は、チャンバー１１０と、チャンバー１１０を開閉するドア１２０とを含む。チャンバー１１０には液晶パネル収容部１３０が備えられている。その他に、図示していないが、チャンバー１１０に一定の圧力の気体を供給するポンプ及びヒーターをさらに含む。
【０００５】
従来の気泡除去装置１００を利用した気泡除去方法は、次の通りである。
まず、ドア１２０を開いてチャンバー１１０を開放する。その後、液晶パネル１４０を液晶パネル収容部１３０にローディングする。このとき、チャンバー１１０内部の温度と圧力は、各々常温と大気圧である。液晶パネル１４０は複数個が同時にローディングできる。液晶パネル１４０がローディングされれば、ドア１２０を閉じてチャンバー１１０を閉鎖させる。
【０００６】
この状態で温度と圧力を所定の値に増加させる。通常、圧力は５ｋｇｆ/ｃｍ2程度に、温度は約５０℃程度に増加させる。チャンバー１１０内で液晶パネル１４０は圧力と熱を受けるようになり、そのために基板と偏光板間に存在していた気泡が偏光板の外部に押し出されて気泡が除去される。気泡除去が完了すればチャンバー１１０内の温度と圧力を各々常温と大気圧に低くする。その後、ドア１２０を開いてチャンバー１１０を開放し、液晶パネル１４０をアンローディングする。
【０００７】
図２は、従来の気泡除去装置を利用して気泡を除去する場合のチャンバー１１０内の時間による温度と圧力の変化を示したグラフである。
図２で‘Ｉ’区間は、常温と大気圧から温度と圧力を所定の値に増加させる段階である
。この段階は通常８分が所要される。‘II’区間はチャンバー１１０を所定の温度と圧力に維持する段階であり、通常１５分が所要される。‘III’区間は温度と圧力を常温と大気圧に還元させる段階であり、通常７分が所要される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このような従来の気泡除去方法での問題は、第一に、チャンバー内で温度と圧力の増加と減少のための時間の浪費が多いという点である。その他に、液晶パネルのローディングとアンローディングにも時間が多く浪費される。第二に、チャンバー型の気泡除去装置は、液晶パネルの大きさが順次に大きくなることに適切に対応するのが難しいという点である。最近、液晶パネルの短辺の長さが１ｍより大きくなっているが、これを収容する大きいサイズのチャンバーを製造することは容易でない。また、チャンバーのサイズが大きくなれば、安定性を確保するのが容易でない。第三に、液晶表示装置の製造においてチャンバーを使用する工程が存在して、ライン自動化に困難性を招く。
【０００９】
このような問題点は、チャンバー内で気泡を除去するために発生する。
本発明の目的は、基板と偏光板間に発生する気泡を、チャンバーを使用せずに簡単な方法で除去できる、液晶表示装置の製造方法とその製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願第１発明は、液晶表示装置の製造方法において、基板組立体と前記基板組立体に付着された偏光板を含む液晶パネルを備える段階と、外部に露出された状態で、前記液晶パネルの板面に向かって気体噴射部を配置する段階と、前記気体噴射部を通じて前記液晶パネルの板面に気体を噴射して加圧する段階とを含む。
気体噴射部により液晶パネルに対して気体を噴射することで、液晶パネルに形成された気泡は、噴射された気体の圧力と温度によって液晶パネルの周縁に押し出され、つまり液晶パネルから除去される。
【００１１】
本願第２発明は、第１発明において、前記気体噴射段階では、前記液晶パネルと前記気体噴射部を相対的に移動させるのが好ましい。
気体噴射部を相対的に移動させて液晶パネル全体に気体を噴射することで、気泡を除去する。よって、液晶パネル全体を覆うような大きな気体除去装置が不要である。
本願第３発明は、第１発明において、前記噴射される気体は予熱されているのが好ましい。
【００１２】
噴射される気体が予熱されているため、偏光板を基板に付着するための接着剤の粘度が低くなり、気泡を容易に除去することができる。
本願第４発明は、第３発明において、前記気体の予熱温度は４０乃至８０℃の範囲であるのが好ましい。
予熱された気体の温度が４０℃より低ければ、接着剤の粘度が低くなる効果が小さく、８０℃より高ければ、偏光板が損傷することができる。よって、４０乃至８０℃範囲の予熱された気体を用いると、偏光板を基板に付着するための接着剤の粘度が低くなり、気泡を容易に除去することができる。
【００１３】
本願第５発明は、第１発明において、前記気体噴射部は複数のノズル孔を含み、前記ノズル孔は前記液晶パネルを間において対向して配置されるのが好ましい。
本願第６発明は、第１発明において、前記気体噴射部と前記液晶パネルの板面との間隔は１０乃至２０μｍであるのが好ましい。
本願第７発明は、第１発明において、前記気体の噴射による加圧力は０．１乃至６ｋｇｆ/ ｃｍ2であるのが好ましい。
【００１４】
本願第８発明は、第１発明において、前記気体噴射段階は、前記液晶パネルの板面の中央部分から外郭領域に気体を噴射して加圧することを特徴とする液晶表示装置の製造方法を提供する。
本願第９発明は、液晶パネルを含む液晶表示装置の製造装置において、圧縮気体を供給する圧縮気体供給部と、外部に露出されていて、前記圧縮気体供給部から圧縮気体を受けて気体を噴射し、前方に一定の圧力を加える気体噴射部とを含む。
【００１５】
本願第１０発明は、第９発明において、上記の液晶表示装置の製造装置は前記液晶パネルを支持する支持部をさらに含むのが好ましい。
本願第１１発明は、第９発明において、前記気体噴射部は板状に配置された複数のノズル孔を含むのが好ましい。
本願第１２発明は、第９発明において、前記気体噴射部の噴射領域は帯状であるのが好ましい。
【００１６】
本願第１３発明は、第９発明において、前記気体噴射部の噴射領域は前記液晶パネルより狭くないのが好ましい。
本願第１４発明は、第９発明において、前記気体噴射部は複数のノズル孔を含み、前記複数のノズル孔は前記液晶パネルを間において対向して配置されているのが好ましい。
本願第１５発明は、第９発明において、前記液晶表示装置の製造装置は気体を予熱する気体予熱部をさらに含むのが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明による気泡除去装置は外部に露出されている。つまり、チャンバーを要しない構造である。また、本発明による気泡除去方法において、周囲の温度と圧力は各々常温と大気圧である。そのために、チャンバーを使用する場合のように圧力と温度を調節するための時間消耗がない。また、気泡除去が連続工程で行われることができるので、液晶表示装置のライン自動化にも望ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（第１実施例）
以下、添付した図面を参照して、本発明についてさらに詳細に説明する。
図３ａと図３ｂは、各々液晶パネルの断面図と、基板と偏光板間の気泡の発生を示す断面図である。
液晶パネル１０は、基板組立体１１と、基板組立体１１の両板面に付着された偏光板１６、１７を含む。
【００１９】
基板組立体１１は、カラーフィルター基板１２と薄膜トランジスタ基板１３、及び両基板１２、１３とシーリング部材１５により形成される空間に注入されている液晶層１４を含む。薄膜トランジスタ基板１３がカラーフィルター基板１２より多少大きく形成されるが、これは薄膜トランジスタ基板１３上に駆動回路を実装するための空間を確保するためである。
【００２０】
カラーフィルター基板１２にはブラックマトリックス、カラーフィルター層、共通電極層などが形成されている。薄膜トランジスタ基板１３には薄膜トランジスタ、ゲート線、データ線、画素電極層などが形成されている。液晶層１４は共通電極層と画素電極層間の電圧によってその配列形態が変更される。
基板組立体１１の両板面、つまり、カラーフィルター基板１２の外部面と薄膜トランジスタ基板１３の外部面には各々偏光板１６、１７が付着されている。液晶表示装置は液晶の複屈折性を利用するために偏光板１６、１７が必ず存在しなければならない。偏光板１６、１７の付着方法は、各基板１２、１３に偏光板１６、１７を位置させた状態で、圧着ローラでプレスして付着する方法などがある。
【００２１】
液晶表示装置は、このような液晶パネル１０と、薄膜トランジスタ基板１３の背面に配置されるバックライトユニット（図示せず）、駆動回路部（図示せず）、及びこれらを収容する外部ケーシング（図示せず）を含んでなる。
しかし、偏光板１６、１７と各基板１２、１３との間には気泡（‘Ａ’、‘Ｂ’）が形成される。このような気泡は各基板１２、１３と偏光板１６、１７との間の接着力を落とし、液晶表示装置の表示品質を低下させる要因になる。
【００２２】
図４ａと図４ｂは、各々本発明の第１実施例による気泡除去装置の斜視図と、気泡除去を説明する断面図である。
第１実施例による気泡除去装置２０は、同一の構成の上部ユニット２０ａと下部ユニット２０ｂからなる。以下ではこのうちの上部ユニット２０ａを中心として説明する。
気泡除去装置２０には気体を噴射する気体噴射部２１が備えられている。上部ユニット２０ａの気体噴射部２１と下部ユニット２０ｂの気体噴射部２１は平行に対向するように配置されている。気体噴射部２１はほぼ四角板状の形態を有しており、ノズル孔２２が一定の間隔で配置されている。ノズル孔２２はなるべく多くの個数が備えられるのが好ましい。ノズル孔２２を通じて気体が噴射され、気体が噴射される噴射領域（‘Ｓ１’）は液晶パネル１０の大きさより大きく形成されている。
【００２３】
気体噴射部２１の上部には予熱部２５が形成されており、気体がノズル孔２２を通じて噴射される前に気体を一定の温度に予熱させる。予熱部２５内には気体を加熱するための熱線２６が形成されている。
予熱部２５は圧縮気体供給部２７からの圧縮気体を予熱して気体噴射部２１に供給する。したがって、予熱部２５の内部は気体が通過できるように空間が形成されている。圧縮気体供給部２７はファンやポンプなどで構成されており、予熱部２５とは連結管２８を通じて連結されている。圧縮気体供給部２７で圧縮する気体は空気であるのが好ましい。
【００２４】
第１実施例による気泡除去装置２０において、好ましくは圧縮気体の温度と圧力を測定することができる温度センサー及び圧力センサーをさらに含む。より好ましくは、圧縮気体供給部２７から供給される気体の圧力と予熱部２５で予熱される気体の温度を制御することができる温度制御部をさらに含む。
このような気泡除去装置２０はチャンバー内に位置せずに外部に露出された状態であり、これを利用した気泡除去過程で周囲条件は大気圧と常温状態である。
【００２５】
以下、このような気泡除去装置２０を利用して液晶パネル１０の気泡を除去する方法について説明する。
ノズル孔２２を通じた気体噴射前に、液晶パネル１０を上部ユニット２０ａと下部ユニット２０ｂとの間に位置させる。つまり、気体噴射部２１が液晶パネル１０の板面に向かうように配置することである。液晶パネル１０を位置させるとき、上部ユニット２０ａと下部ユニット２０ｂは相互離隔し、液晶パネル１０が位置すれば再び接近するのが好ましい。このために、気泡除去装置２０は、上部ユニット２０ａと下部ユニット２０ｂのうちの少なくともいずれか一つを上下に運動させることができる上下移動部（図示せず）をさらに含むのが好ましい。
【００２６】
液晶パネル１０は液晶パネル１０を移動させることができる移動部４１によって気泡除去装置２０に移動する。制御部４２は移動部４１を制御して液晶パネル１０の移動速度などを調節する。
液晶パネル１０が上部ユニット２０ａと下部ユニット２０ｂとの間に位置すれば、ノズル孔２２を通じて気体を液晶パネル１０の板面に噴射させて液晶パネル１０を浮上させる。この過程で、液晶パネル１０は、下部ユニット２０ｂに支持されていて浮上することもでき、別途の支持部（図示せず）によって支持されていて浮上することもできる。
【００２７】
気体の噴射過程は次の通りである。圧縮気体供給部２７が気体を圧縮し、圧縮された気体を連結管２８を通じて予熱部２５に供給する。予熱部２５は供給された気体を熱線２６を稼動させて所定の温度に予熱させる。予熱された気体は気体噴射部２１に備えられた複数のノズル孔２２を通じて均一に噴射される。
液晶パネル１０を浮上させるために、下部ユニット２０ｂからの気体噴射は上部ユニット２０ａからの気体噴射よりもさらに強くなる。液晶パネル１０が浮上した状態で液晶パネル１０と下部ユニット２０ｂのノズル孔２２との距離（ｄ）は、１０乃至２０μｍであるのが好ましく、液晶パネル１０と上部ユニット２０ｃのノズル孔２２との距離もまた、１０乃至２０μｍであるのが好ましい。
【００２８】
液晶パネル１０が浮上した状態で、一定時間ノズル孔２２を通じて気体を液晶パネル１０の板面に噴射させて圧力を加えるようになる。ノズル孔２２から噴射される気体は予熱部２５を経ながら予熱され、また、圧縮気体供給部２７によって圧縮されたものである。予熱部２５と圧縮気体供給部２７を調整することで、温度と圧力を適切に調節することができる。
【００２９】
噴射された気体が液晶パネル１０に加える圧力は０．１乃至６ｋｇｆ/ｃｍ2範囲であるのが好ましく、予熱温度は４０乃至８０℃であるのが好ましい。予熱された気体が液晶パネルまで到達する時間が短いため、液晶パネル１０に加えられる気体の温度もまた４０乃至８０℃となる。４０乃至８０℃範囲の予熱された気体を用いると、偏光板を基板に付着するための接着剤の粘度が低くなり、気泡を容易に除去することができる。予熱された気体の温度が４０℃より低ければ、接着剤の粘度が低くなる効果が小さく、８０℃より高ければ、偏光板が損傷することができる。液晶パネル１０に形成された気泡は、噴射された気体の圧力と温度によって液晶パネル１０の周縁に押し出され、つまり液晶パネル１０から除去される。
【００３０】
気泡除去が完了すれば、ノズル孔２２を通じた気体噴射を止め、気泡が除去された液晶パネル１０を気泡除去装置２０から除去する。
第１実施例とは異なり、気体噴射過程中に液晶パネル１０を上部ユニット２０ａと下部ユニット２０ｂとの間に位置するように移動させても差し支えない。また、液晶パネル１０は、上部ユニット２０ａと下部ユニット２０ｂとの間に位置する段階、または気泡が除去される過程で支持部（図示せず）によって支持されていても差し支えない。
【００３１】
第１実施例の気泡除去装置は多様に変更することができる。例えば、下部ユニット２０ｂなしで上部ユニット２０ａだけで備えられることができる。この場合、液晶パネル１０の両面の各々に対して気泡除去過程を経なければならない。また、液晶チャンネル１０が浮上できないために液晶パネル１０を支持できる支持部（図示せず）を必ず要する。
（第２実施例）
図５ａと図５ｂは、各々本発明の第２実施例による気泡除去装置の斜視図と、気泡除去を説明する断面図である。
【００３２】
第２実施例による気泡除去装置３０は、同一の構成の上部ユニット３０ａと下部ユニット３０ｂからなる。
上部ユニット３０ａには、気体噴射部３１、ノズル孔３２、予熱部３５、熱線３６、圧縮気体供給部３７、及び連結管３８が第１実施例と類似に備えられている。また、第１実施例のように、上部ユニット３０ａの気体噴射部３１と下部ユニット３０ｂの気体噴射部３１は平行に対向するように配置されている。
【００３３】
ノズル孔３２を通じて気体が噴射され、気体が噴射される噴射領域（‘Ｓ２’）は帯状になっている。また、噴射領域（‘Ｓ２’）の大きさは液晶パネル１０の大きさよりも小さい。ただし、噴射領域（‘Ｓ２’）の長さは液晶パネル１０のいずれか一辺の長さと類似するか、またはもっと長い。ここで帯状の噴射領域（‘Ｓ２’）を形成することができれば、ノズル孔３２は複数ではない単一のノズル孔３２で備えられても差し支えない。
【００３４】
また、第１実施例とは異なって、液晶パネル１０を支持するための支持部３９が備えられている。支持部３９は、図示したように液晶パネル１０の表面をなるべく多く露出することができる構造でなっている。
このような気泡除去装置３０はチャンバー内ではない外部に露出された状態であり、これを利用した気泡除去もまた大気圧と常温の状態で行われる。
【００３５】
以下、このような気泡除去装置３０を利用して液晶パネル１０に形成された気泡を除去する方法について説明する。
ノズル孔３２を通じた噴射前または後に、液晶パネル１０を支持部３９に安着させ、液晶パネル１０が上部ユニット３０ａと下部ユニット３０ｂとの間に位置するように支持部３９を移動させる。このとき、液晶パネル１０の進行方向の端部が噴射領域（‘Ｓ２’）に位置するように液晶パネル１０の位置を調節する。これは気体噴射部３１の噴射領域（‘Ｓ２’）が液晶パネル１０より狭いためである。
【００３６】
液晶パネル１０は移動部４１によって支持部３９に隣接するように移動する。制御部４２は移動部４１を制御して液晶パネル１０の移動速度などを調節する。
第２実施例による気泡除去装置３０は、支持部３９を移動させる駆動部と、駆動部を制御する駆動制御部をさらに含むのが好ましい。
液晶パネル１０が上部ユニット３０ａと下部ユニット３０ｂとの間に位置すれば、ノズル孔３２を通じて気体を液晶パネル１０の板面に噴射させて圧力を加えるようになる。ノズル孔３２から噴射される気体は予熱部３５を経ながら予熱され、また、圧縮気体供給部３７によって圧縮されたものである。そのために、予熱部３５と圧縮気体供給部３７を調整して、温度と圧力を適切に調節することができる。
【００３７】
第１実施例と同様に、噴射された気体が液晶パネル１０に加える圧力は０．１乃至６ｋｇｆ/ｃｍ2の範囲であるのが好ましく、予熱温度は４０乃至８０℃であるのが好ましい。予熱された気体が液晶パネル１０まで到達する時間が短いため、液晶パネル１０に加えられる気体の温度もまた４０乃至８０℃となる。液晶パネル１０に形成された気泡は噴射された気体の圧力と温度によって除去される。
【００３８】
その以後に気体を液晶パネル１０に噴射しながら支持部３９を進行させ、液晶パネル１０の全体面に順次に圧力が加えられるようにする。この過程は、支持部３９を固定して気泡除去装置３０が移動するようにしても差し支えない。このような液晶パネル１０と気泡除去装置３０の相対的な移動は連続的に行われるか、または断続的に行われることができる。
【００３９】
第２実施例は第１実施例に比べて気泡除去装置３０の大きさが小さい。また、気泡除去過程が連続的に行われることができる。
特に、液晶パネル１０を移動させる移動部４１が支持部３９の役割を果たしても差し支えない。このようになると、液晶パネル１０を支持部３９に移動させる工程が不要となる。
【００４０】
第２実施例の気泡除去装置３０は多様に変更することができる。例えば、下部ユニット３０ｂなしで上部ユニット３０ａだけで備えられることができる。この場合、液晶パネル１０の両面の各々に対して気泡除去過程を経なければならない。
（第３実施例）
図６は、本発明の第３実施例による気泡除去方法の概念図である。液晶パネル１０の中央部分（‘Ｔ’）にまず気体が噴射されて圧力が加えられる。その後に気体が噴射される領域は同心円を描きながら次第に広くなり、液晶パネル１０の板面の全体で気泡が除去される。第３実施例によれば、気体噴射の制御は多少複雑になるが、気泡除去がさらに効率的に行われることができる。第３実施例もまた液晶パネル１０の両板面に対して同時に行われることもでき、両板面を分けて実行することもできる。
【００４１】
前記実施例で、上部ユニット２０ａ、３０ａと下部ユニット２０ｂ、３０ｂが同一の構成を有することと説明したが、これに限定されず、予熱部や圧力気体供給部などをいずれか一側のユニットだけに備え、両側ユニットから気体が噴射されるようにすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】従来の気泡除去装置を示した斜視図である。
【図２】従来の気泡除去装置を利用して気泡を除去する場合、チャンバー内の時間による温度と圧力の変化を示したグラフである。
【図３ａ】液晶パネルの断面図である。
【図３ｂ】気泡の発生を説明する断面図である。
【図４ａ】本発明の第１実施例による気泡除去装置の斜視図である。
【図４ｂ】本発明の第１実施例による気泡除去を説明する断面図である。
【図５ａ】本発明の第２実施例による気泡除去装置の斜視図である。
【図５ｂ】本発明の第２実施例による気泡除去を説明する断面図である。
【図６】本発明の第３実施例による気泡除去装置の概念図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０  液晶パネル
２０、３０  気泡除去装置
２０ａ、３０ａ 上部ユニット
２０ｂ、３０ｂ 下部ユニット
２１、３１  気体噴射部
２２、３２  ノズル孔
２５、３５  予熱部
２６、３６  熱線
２７、３７  圧縮気体供給部
２８、３８  連結管
３９  支持部
【図１】
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【図２】
2006011442.tif 000004
【図３ａ】
2006011442.tif 000005
【図３ｂ】
2006011442.tif 000006
【図４ａ】
2006011442.tif 000007
【図４ｂ】
2006011442.tif 000008
【図５ａ】
2006011442.tif 000009
【図５ｂ】
2006011442.tif 000010
【図６】
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