(57)【要約】【課題】  基板への密着性および形状の優れたパターンを位置精度良く形成することができる無機粉体含有組成物と、簡便な方法で、基板への密着性および形状の優れたパターンを位置精度良く形成することができる、ＰＤＰ用部材の形成方法を提供すること。【解決手段】  （Ａ）無機粉体、（Ｂ）アクリル樹脂、（Ｃ）（メタ）アクリレート化合物  および（Ｄ）光重合開始剤を含有し、粘度が３，０００〜３００，０００ｃＰである無機粉体含有組成物と、それを用いたＰＤＰ用部材の形成方法を提供する。【選択図】          なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）無機粉体、
（Ｂ）アクリル樹脂、
（Ｃ）（メタ）アクリレート化合物  および
（Ｄ）光重合開始剤を含有し、
粘度が３，０００〜３００，０００ｃＰである、無機粉体含有組成物。
【請求項２】
（Ｃ）（メタ）アクリレート化合物として、粘度が５００ｃＰ以下の（メタ）アクリレート化合物と、粘度が２０００ｃＰ以上の（メタ）アクリレート化合物とを含有する、請求項１記載の無機粉体含有組成物。
【請求項３】
（Ｃ）（メタ）アクリレート化合物として、１分子中に含有する（メタ）アクリル基の数が２以下である化合物と、１分子中に（メタ）アクリル基の数が３以上である化合物とを含有する、請求項１記載の無機粉体含有組成物。
【請求項４】
（Ａ）無機粉体が、金属粉体または着色顔料である、請求項１乃至３記載の無機粉体含有組成物。
【請求項５】
請求項１乃至４記載の無機粉体含有組成物をノズルから基板上に吐出しながら、ノズルと基板とを相対的に移動してパターンを形成する工程と、当該パターンに放射線を照射する工程と、当該パターンを焼成する工程とを有することを特徴とする、プラズマディスプレイパネル用部材の形成方法。
【請求項６】
得られる部材が電極、カラーフィルターまたはブラックマトリックスである、請求項５記載のプラズマディスプレイパネル用部材の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は無機粉体含有組成物およびそれを用いたプラズマディスプレイパネル用部材の形成方法、特に好ましくは電極の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近において、平板状の蛍光表示体としてプラズマディスプレイが注目されている。図１は交流型のプラズマディスプレイパネル（以下、「ＰＤＰ」ともいう。）の断面形状を示す模式図である。同図において、１および２は対抗配置されたガラス基板、３および１１は隔壁であり、ガラス基板１、ガラス基板２、背面隔壁３および前面隔壁１１によりセルが区画形成されている。４はガラス基板１に固定された透明電極、５は透明電極４の抵抗を下げる目的で、当該透明電極４上に形成されたバス電極、６はガラス基板２に固定されたアドレス電極、７はセル内に保持された蛍光体層、８は透明電極４およびバス電極５を被覆するようガラス基板１の表面に形成された誘電体層、９はアドレス電極６を被覆するようガラス基板２の表面に形成された誘電体層、１０は例えば酸化マグネシウムよりなる保護膜である。また、カラーＰＤＰにあっては、コントラストの高い画像を得るため、ガラス基板と誘電体層との間に、カラーフィルター（赤色・緑色・青色）やブラックマトリックスなどを設けることがある。
【０００３】
これらのＰＤＰにおける各部材の形成方法としては、現在主に、以下の方法がある。
（１）無機粉末、結着樹脂および溶剤を含有するペースト状の組成物を調製し、この組成物をスクリーン印刷によって基板上に塗布して乾燥することを、複数回繰り返すことにより部材形成材料のパターンを形成し、次いでこのパターンを焼成することにより有機物質を除去して無機粉末を焼結させる方法（スクリーン印刷法）。
（２）無機粉末および感光性樹脂を含有する感光性の部材形成材料膜を基板上に形成し、得られた膜を露光、現像して部材形成材料パターンを形成し、次いでこのパターンを焼成することにより有機物質を除去して無機粉末を焼結させる方法（フォトリソグラフィー法）。
【０００４】
例えば電極を形成する際には、例えば、幅８０μｍ、高さ５μｍの直線形状（長さは例えば１ｍ）の電極を、２００μｍ間隔で平行に並ぶように形成することが必要である。近年、ＰＤＰはパネルの大型化が進んでおり、例えば０．５ｍ2 の大きさのパネルの全面に、上記電極パターンを形成する必要が生じる。
このような場合、前記スクリーン印刷法により電極を形成するためには、塗布処理に大きなスクリーンを使用しなければならず、スクリーン上に展開されたペーストに粘度分布が生じやすくなるため、スクリーンの目詰まりや印刷ムラにより、パターン形状に優れた電極を位置精度よく形成することは困難である。また、フォトリソグラフィー法においては、大型パネルの全面に対して露光、現像工程を行わなければならず、作業が煩雑であり、また形成のために大きな装置が必要となる。また、大型基板の全面に部材形成材料膜を形成して、電極形成部以外の部材形成材料を全て現像により洗浄・廃棄しなければならないため、材料の無駄が多く、また多量の廃棄物の発生が問題となる。
なお、カラーフィルターやブラックマトリックスの形成においても同様の問題点が挙げられる。
【０００５】
さらに、最近、感光性ペースト組成物を基板上に特殊な吐出ノズルにより連続的に押し出しながら、ＵＶ硬化して隔壁を形成する方法（以下「ノズル吐出法」ともいう）が提案されている（特許文献１、２参照）。
このようなノズル吐出法によれば、高アスペクト比を有する隔壁を、従来の方法とは比較にならないほど、極めてシンプルなプロセスで形成することができる。
【特許文献１】特開２００３−８６０８９号公報
【特許文献２】特開２００４−５１４４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者は、上述した電極等の形成に関する問題点を、上記ノズル吐出法を用いることにより解決することを検討した。また、電極等をノズル吐出法で形成することにより、大型の基板に対しても材料の無駄を出さず簡便な方法で、位置精度の高いパターン形成が可能になることを見出した。しかしながら、従来のノズル吐出法に用いる感光性ペーストをそのまま用いて電極等を形成しようとすると、ペースト粘度が高すぎて所定の形状を有するパターンを得るのが困難である。また、ペーストを低粘度化すると、ノズル吐出後から光硬化するまでの僅かな瞬間にでも吐出したパターンが変形してしまい、パターン幅が太くなったり、線幅にばらつきが生じたりする。よって一定の粘度の幅を持ったペーストを作成する必要がある。さらに、溶剤や低粘度のモノマーを用いてペーストを低粘度化すると、光硬化性が不足するという問題がある。
【０００７】
本発明は以上のような事情に基づいてなされたものである。
本発明の第１の目的は、基板への密着性および形状の優れたパターンを位置精度良く形成することができる無機粉体含有組成物を提供することにある。
本発明の第２の目的は、簡便な方法で、基板への密着性および形状の優れたパターンを位置精度良く形成することができる、ＰＤＰ用部材の形成方法を提供することにある。
本発明のその他の目的および効果は、以下の説明で明らかになろう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の無機粉体含有組成物は、（Ａ）無機粉体、（Ｂ）アクリル樹脂、（Ｃ）（メタ）アクリレート化合物  および（Ｄ）光重合開始剤を含有し、粘度が３，０００〜３００，０００ｃＰであることを特徴とする。
【０００９】
本発明のＰＤＰ用部材の形成方法は、本発明の無機粉体含有組成物をノズルから基板上に吐出しながら、ノズルと基板とを相対的に移動してパターンを形成する工程と、当該パターンに放射線を照射する工程と、当該パターンを焼成する工程とを有することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明について詳細に説明する。
無機粉体含有組成物
本発明の無機粉体含有組成物は、無機粉体、結着樹脂および溶剤を含有することを特徴とする、ペースト状の組成物である。
【００１１】
また、本発明の無機粉体含有組成物は、粘度が３，０００〜３００，０００ｃＰであることを特徴とする。組成物の粘度が３，０００ｃＰ未満だと、組成物のノズルからの吐出の制御が困難になったり、所定の厚さのパターンが得られにくかったりするという問題がある。またペースト粘度が３００，０００ｃＰを越えると、パターンの膜厚が厚くなりすぎると共に、ハンドリング性が低下する。
なお、本発明における粘度の測定は、２５℃、１気圧の条件下で、東機産業(株)製コーン回転式粘度計ＲＥ−８０Ｕを使用し、ローターＮＯ．４を用い、ずり速度２（１／ｓｅｃ）で行うものであり、さらに、当該測定条件によって得られた粘度が５０，０００ｃＰ未満であった場合には、２５℃、１気圧の条件下で、東機産業(株)製コーン回転式粘度計ＴＶ−３０を使用し、ずり速度２（１／ｓｅｃ）で再測定した値を正とする。上述した粘度の測定において、好ましくは、回転開始後１分間を経過した時の計測値を組成物の粘度と定義する。これは、ペースト状の組成物が非ニュートン性を示すことが多いためである。
以下、組成物の各構成成分について説明する。
【００１２】
＜無機粉体＞
本発明の組成物を構成する無機粉体を構成する無機物質としては特に限定されるものではなく、当該組成物により形成される焼結体の用途（ＰＤＰの部材の種類）に応じて適宜選択することができる。特に、本発明の組成物を用いて形成するＰＤＰ用部材としては、電極、カラーフィルターおよびブラックマトリックスが好ましいものとして挙げられる。
ＰＤＰを構成する「電極」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Ag、Au、Al、Ni、Ag−Pd合金、CuおよびCrなどからなる金属粒子を挙げることができる。これらのうち、特に好ましくはAgが挙げられる。
ＰＤＰを構成する「カラーフィルター」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Fe2O3、Pb3O4などの赤色用物質、Cr2O3などの緑色用物質、2（Al2Na2Si3O10）・Na2S4などの青色用物質などからなる粒子を挙げることができる。
ＰＤＰを構成する「ブラックマトリックス」を形成するための組成物に含有される無機粉体としては、Mn、Fe、Cr、Coなどからなる粒子を挙げることができる。
なお、上記のようなＰＤＰ用部材を形成するための組成物には、上記無機粉体に加えて、軟化点が３５０〜７００℃（好ましくは４００〜６２０℃）のガラス粉末が含有（併用）されていてもよい。これらの部材を得るための無機粉体含有樹脂組成物におけるガラス粉末の含有量は、無機粉体全量に対して、通常、９０質量％以下、好ましくは、５〜９０質量％である。
好適なガラス粉末の具体例としては、Ｉ．酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素（PbO−B2O3−SiO2系）の混合物、II．酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素（ZnO−B2O3−SiO2系）の混合物、III．酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム（PbO−B2O3−SiO2−Al2O3系）の混合物、IV．酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素（PbO−ZnO−B2O3−SiO2系）の混合物などを例示することができる。
【００１３】
＜結着樹脂＞
本発明の組成物に用いられる結着樹脂としては、アクリル樹脂が好ましく用いられる。当該結着樹脂が含有されていることにより、得られる蛍光体層が、基板に対する優れた接着性と形状均一性を有するものとなる。
かかる重合体としては、適度な粘着性を有して無機粉体を結着させることができ、組成物の焼成処理温度（例えば４００〜６００℃）によって完全に酸化除去される（共）重合体の中から選択され、上記式（１）で表される構成単位を有する重合体（以下、「重合体（Ｂ）」ともいう）が好ましい。当該構成単位は、下記式（ｉ）で表される化合物（以下、「化合物（ｉ）」ともいう）を重合成分として用いることにより得られ、重合体（Ｂ）としては、化合物（ｉ）の単独重合体、２種以上の化合物（ｉ）の共重合体、および化合物（ｉ）と他の共重合性単量体との共重合体が含まれる。
【００１４】
【化１】
2006133272.tif 000002
【００１５】
（式（１）中、Ｒ1 は水素原子またはメチル基であり、Ｒ2 は１価の有機基である。）
【００１６】
上記式（ｉ）で表される（メタ）アクリレート化合物の具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−ペンチル（メタ）アクリレート、ｉ−ペンチル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘプチル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、ｉ−オクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−ノニル（メタ）アクリレート、ｎ−デシル（メタ）アクリレート、ｉ−デシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ｉ−ステアリル（メタ）アクリレートなどのアルキル（メタ）アクリレート；
ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート；
フェノキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレートなどのフェノキシアルキル（メタ）アクリレート；
２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレート、２−プロポキシエチル（メタ）アクリレート、２−ブトキシエチル（メタ）アクリレート、２−メトキシブチル（メタ）アクリレートなどのアルコキシアルキル（メタ）アクリレート；
ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、エトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレートなどのポリアルキレングリコール（メタ）アクリレート；
シクロヘキシル（メタ）アクリレート、４−ブチルシクロヘキシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタジエニル（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレートなどのシクロアルキル（メタ）アクリレート；
グリシジル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレートなどを挙げることができる。
【００１７】
これらのうち、上記式（ｉ）中、Ｒ2 で示される基が、アルキル基、アルコキシアルキル基またはヒドロキシアルキル基を含有する基であることが好ましく、特に好ましい（メタ）アクリレート化合物として、メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ｉ−デシル（メタ）アクリレートおよび２−エトキシエチル（メタ）アクリレートを挙げることができる。
【００１８】
化合物（ｉ）との共重合に供される他の共重合性単量体としては、化合物（ｉ）と共重合可能な化合物であれば特に制限はなく、例えば（メタ）アクリル酸、ビニル安息香酸、マレイン酸、ビニルフタル酸などの不飽和カルボン酸類；ビニルベンジルメチルエーテル、ビニルグリシジルエーテル、スチレン、α−メチルスチレン、ブタジエン、イソプレンなどのビニル基含有ラジカル重合性化合物を挙げることができる。
重合体（Ｂ）は、上記式（１）で表される構成単位が、通常、７０質量％以上、好ましくは９０質量％以上、さらに好ましくは１００質量％含有される重合体である。
【００１９】
本発明で用いられる結着樹脂の分子量としては、ＧＰＣによるポリスチレン換算の重量平均分子量として２，０００〜３００，０００であることが好ましく、さらに好ましくは５，０００〜２００，０００である。結着樹脂の分子量が２０００未満の場合は組成物の基板への密着性が不足し、焼成時に剥離するおそれがあり、３００，０００を越えると他の成分との親和性が低下してペーストが混合しにくくなるという問題がある。
【００２０】
本発明の組成物における結着樹脂の含有割合は、無機粉体１００重量部に対し、好ましくは２〜５０重量部、特に好ましくは５〜３０重量部である。重合体（Ｂ）の含有量が３０重量部より少ないと、相対的に無機粉体の含有量が多くなり最終的に焼成後のパターンの膜厚が厚くなってしまうおそれがある。また１００重量部を超えると、部材形成層内部に空洞が多くなることから、全体的に脆くなり、パターンが基板から剥離しやすくなるおそれがある。
【００２１】
＜（メタ）アクリレート化合物＞
本発明の組成物に用いられる（メタ）アクリレート化合物は、放射線の照射によって硬化する成分である。また、本発明の組成物には、２種以上の（メタ）アクリレート化合物を組み合わせて用いることが好ましい。好ましい２種の組み合わせとしては、下記（１）または（２）の組み合わせが挙げられる。
（１）粘度が５００ｃＰ以下の（メタ）アクリレート化合物と、粘度が２０００ｃＰ以上の（メタ）アクリレート化合物とを用いる。
（２）１分子中に含有する（メタ）アクリル基の数が２以下である化合物と、１分子中に（メタ）アクリル基の数が３以上である化合物とを用いる。
さらに好ましくは、粘度が５００ｃＰ以下で１分子中に含有する（メタ）アクリル基の数が２以下である化合物と、粘度が２０００ｃＰ以上で１分子中に含有する（メタ）アクリル基の数が３以上である化合物とを用いる。このような２種以上の（メタ）アクリレート化合物を用いることにより、パターン形状が良好で基板密着性に優れたＰＤＰ用部材を得ることが可能になる。なお、さらに好ましくは（メタ）アクリル基の数が２である化合物と、（メタ）アクリル基の数が６である化合物とを組み合わせて用いる。（メタ）アクリル基の数が２である化合物のみを用いると、低粘度化は容易だが、感光性が低下してしまい、パターン形状が良好なものにならないおそれがある。また、（メタ）アクリル基の数が６である化合物のみを用いると、低粘度化が困難であるのに加えて、焼成時の収縮が大きくなり、パターンの基板密着性が損なわれるおそれがある。
（メタ）アクリレート化合物の具体例としては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレートなどのモノアルキル（メタ）アクリレート類；
エチレングリコール、プロピレングリコールなどのアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールなどのポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；両末端ヒドロキシポリブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトンなどの両末端ヒドロキシル化重合体のジ（メタ）アクリレート類；
ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンのエチレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンのプロピレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌール酸のエチレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレートなどのトリアクリレート類；
ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレートなどのテトラアクリレート類；
ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートなどのペンタアクリレート類；
ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどのヘキサアクリレート類；
グリセリン、１，２，４−ブタントリオール、トリメチロールアルカン、テトラメチロールアルカン、ジペンタエリスリトールなどの３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類；３価以上の多価アルコールのポリアルキレングリコール付加物のポリ（メタ）アクリレート類；１，４−シクロヘキサンジオール、１，４−ベンゼンジオール類などの環式ポリオールのポリ（メタ）アクリレート類；ポリエステル（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、アルキド樹脂（メタ）アクリレート、シリコーン樹脂（メタ）アクリレート、スピラン樹脂（メタ）アクリレートなどのオリゴ（メタ）アクリレート類などを挙げることができ、これらは単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００２２】
（メタ）アクリレート化合物の含有割合は、無機粉体１００重量部に対して、通常、１０〜８０重量部、好ましくは、２０〜５０重量部である。また、上記（１）の組み合わせにおいて、粘度が５００ｃＰ以下の（メタ）アクリレート化合物と粘度が２０００ｃＰ以上の（メタ）アクリレート化合物との割合は、好ましくは２０：８０〜８０：２０、特に好ましくは３０：７０〜７０：３０であり、上記（２）の組み合わせにおいて、１分子中に含有する（メタ）アクリル基の数が２以下である化合物と、１分子中に（メタ）アクリル基の数が３以上である化合物との割合は、好ましくは２０：８０〜８０：２０、特に好ましくは３０：７０〜７０：３０である。
【００２３】
＜光重合開始剤＞
本発明の組成物に用いられる光重合開始剤の具体例としては、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾフェノン、カンファーキノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−メチル−〔４’−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンなどのカルボニル化合物；アゾイソブチロニトリル、４−アジドベンズアルデヒドなどのアゾ化合物またはアジド化合物；メルカプタンジスルフィドなどの有機硫黄化合物；ベンゾイルパーオキシド、ジ−ｔｒｅｔ−ブチルパーオキシド、ｔｒｅｔ−ブチルハイドロパーオキシド、クメンハイドロパーオキシド、パラメタンハイドロパーオキシドなどの有機パーオキシド；１，３−ビス（トリクロロメチル）−５−（２’−クロロフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−〔２−（２−フラニル）エチレニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジンなどのトリハロメタン類；２，２’−ビス（２−クロロフェニル）４，５，４’，５’−テトラフェニル１，２’−ビイミダゾールなどのイミダゾール二量体などを挙げることができ、これらは単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
上記光重合開始剤の含有割合は、（メタ）アクリレート化合物１００重量部に対して、通常、５〜３０重量部、好ましくは、１０〜２０重量部である。
【００２４】
本発明の組成物には、さらに任意成分として、分散剤、粘着性付与剤、表面張力調整剤、安定剤、可塑剤、接着助剤、ハレーション防止剤、保存安定剤、消泡剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、顔料、染料などの各種添加剤が含有されていてもよい。
【００２５】
本発明の組成物は、上記のように、主にＰＤＰ用部材を製造する際に特に好適に使用することができるが、これらの用途に限定されるものではなく、従来において公知のパターンや無機膜の形成にも好適に使用することができる。
【００２６】
ＰＤＰ用部材の形成方法
本発明のＰＤＰ用部材の形成方法は、
１．本発明の無機粉体含有組成物をノズルから基板上に吐出しながら、ノズルと基板とを相対的に移動してパターンを形成する工程
２．当該パターンに放射線を照射する工程
３．当該パターンを焼成する工程
を有することを特徴とする。
【００２７】
上記工程１における吐出の条件としては、例えば、形成するパターン形状とほぼ同等寸法のノズルを用い、吐出圧力０．１〜１ＭＰａ、吐出速度０．２〜２０ｍｍ／秒である。ノズルは、その寸法（吐出口の断面積）が、例えば、形成する各部材の寸法（幅×高さ）とほぼ同等のものが用いられる。
上記工程２において用いられる放射線照射装置としては特に限定されるものではなく、例えば、半導体および液晶表示装置を製造する際に使用されている露光装置などが用いられる。また、露光に用いられる放射線としては、例えば、紫外線などが好適に用いられる。
なお、上記工程３における焼成処理の温度としては、組成物中の有機物質が焼失される温度であることが必要であり、通常４００〜６００℃とされる。また、焼成時間は、通常３〜６０分間とされる。
【００２８】
本発明の形成方法によって形成される電極は、例えば幅が５０〜１００μｍ、高さが５〜１０μｍ、電極間距離が１００〜３００μｍである。また、バス電極を形成する場合には、本発明の形成方法によりまず透明電極を形成した後、当該透明電極上に、黒色電極を形成する。この際、透明電極形成工程のうち上記工程１および２を行った後に、当該パターンの上に黒色電極形成用組成物を吐出・放射線照射を行って積層パターンを形成し、上記工程３をこれらの組成物の積層パターンに対して一括で行っても良い。
また、本発明の形成方法によって形成されるカラーフィルターは、例えば幅が１００〜５００μｍ、高さが１〜２０μｍ、パターン間距離が２０〜１００μｍである。また、ブラックマトリックスは、例えば幅が２０〜１００μｍ、高さが１〜２０μｍ、パターン間距離が１００〜３００μｍである。
【実施例】
【００２９】
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。なお、以下において「部」は「重量部」を示す。
また、実施例における評価方法は下記のとおりである。
【００３０】
〔電極の形状〕
電極の線幅、膜厚、形状等を走査型電子顕微鏡、及び非接触三次元形状測定装置「ＮＨ−３」（菱光社製）を用い、観測した。
【００３１】
＜実施例１＞
（１）無機粉体含有組成物の調製：
無機粉体として、銀粉末ＡＧ−１２８（昭栄化学製）１００部、結着樹脂として、ｎ−ブチルメタクリレートとラウリルメタクリレートとヒドロキシプロピルメタクリレートを、重量比で５０／３０／２０となる割合で共重合させて得られた重合体１５部、（メタ）アクリレート化合物として、ポリプロピレングリコールジアクリレート（粘度８０ｃＰ、以下「（メタ）アクリレート１」ともいう）２０部、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（粘度５０００ｃＰ、以下「（メタ）アクリレート２」ともいう）８部、光重合開始剤として、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１０部、を分散機を用いて混練することにより、本発明の組成物を調製した。この組成物の粘度は１００，０００ｃｐであった。
【００３２】
（２）電極成形材料パターンの形成：
上記の組成物を使用し、ノズル吐出法によってガラス基板上に電極成形材料パターンを作成した。すなわち連続的にガラス基板上に組成物を特殊ノズルより吐出し、超高圧水銀灯により、ｉ線（波長３６５ｎｍの紫外線）を照射し、硬化させた。ここに、照射量は５００ｍＪ／ｃｍ2 とした。また吐出中の目詰まり、圧力の変動は無く、安定な吐出が得られた。
次にこの電極形成材料パターンの膜厚を測定したところ１０μｍであった。またパターニングされた材料の線幅は１００μｍであり、ノズル口幅と同程度のパターンが得られ、ノズル両脇からのペースト広がり等のパターン幅の変動はなく直線的で良好なパターンが得られた。
【００３３】
（３）電極成形材料パターンの焼成処理および電極の評価：
上記（２）により作成した電極成形材料パターンを形成したガラス基板を焼成炉内に配置し、炉内の温度を、常温から１０℃／分の昇温速度で５８０℃まで昇温し、５８０℃の温度雰囲気下１０分間にわたって焼成処理することにより、ガラス基板上に、電極を形成した。
この電極の性状を観察したところ、ひび割れ、剥離などは認められなかった。また膜厚は５μｍであった。
【００３４】
＜実施例２、３および比較例１、２＞
表１および２に示す処方に従って、無機粉体、結着樹脂、（メタ）アクリレート化合物および光重合開始剤の組成比を変えたこと以外は実施例１と同様にして無機粉体含有組成物を調製した。次いで、得られた組成物の各々を使用したこと以外は実施例１と同様にして電極を形成した。各組成物と形成された各電極について、評価結果を表１および２に併せて示す。
【００３５】
【表１】
2006133272.tif 000003
【００３６】
【表２】
2006133272.tif 000004
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】交流型のプラズマディスプレイパネルの断面形状を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  ガラス基板                        ２  ガラス基板
３  隔壁                              ４  透明電極
５  バス電極                          ６  アドレス電極
７  蛍光体層                          ８  誘電体
９  誘電体                          １０  保護層
【図１】
2006133272.tif 000005