(57)【要約】【課題】インクの吐出量を容易かつ正確に調整可能なインク塗布装置及び表示装置製造方法を提供する。【解決手段】予め定められた適切なインクの量である適切インク量と、塗布ヘッド１５に設けられた複数個のノズルから吐出されるインクの総量であるインク吐出総量とが同一でない場合に、複数個のノズルの内から少なくとも１個のノズルを選定し、適切インク量と、インク吐出総量とが同一となるように、選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整する吐出信号生成部２７、スイッチング回路３４及び抵抗分圧回路３５を設ける。【選択図】図３
2006021146.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のノズルからインクの液滴を吐出させるインク塗布装置であって、
予め定められた適切なインクの量である適切インク量と、前記複数個のノズルから吐出されるインクの総量であるインク吐出総量とが同一でない場合に、前記複数個のノズルの内から少なくとも１個のノズルを選定するノズル選定手段と、
前記適切インク量と、前記インク吐出総量とが同一となるように、前記選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整する吐出量調整手段と
を有することを特徴とするインク塗布装置。
【請求項２】
前記インクの液滴は、アクチュエータにより吐出され、
前記ノズル選定手段は、前記複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量の大小関係を示すデータと、前記複数個のノズルの製造時における加工データと、前記アクチュエータの特性に関するデータのうちの少なくともいずれかに基づいて前記ノズルを選定することを特徴とする請求項１に記載のインク塗布装置。
【請求項３】
前記インクの液滴は、アクチュエータにより吐出され、
前記吐出量調整手段は、前記複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量から前記インク吐出総量を算出し、該インク吐出総量と、予め取得されているアクチュエータへの供給電力とインク吐出量との対応関係を示すデータとに基づいて前記アクチュエータへの供給電力量を補正し、該補正された量の電力を該アクチュエータに供給することにより前記選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整することを特徴とする請求項１又は２に記載のインク塗布装置。
【請求項４】
複数個のノズルからインクの液滴を吐出させ、該吐出されたインクにより画素を形成せしめる表示装置製造方法であって、
前記複数個のノズルから吐出されるインクの総量であるインク吐出総量と、前記画素を適切に形成させるために必要なインクの量である必要インク量とが同一でない場合に、前記複数個のノズルの内から少なくとも１個のノズルを選定するノズル選定工程と、
前記インク吐出総量と、前記必要インク量とが同一となるように、前記選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整する吐出量調整工程と
を有することを特徴とする表示装置製造方法。
【請求項５】
前記インクの液滴は、アクチュエータにより吐出され、
前記ノズル選定工程においては、前記複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量の大小関係を示すデータと、前記複数個のノズルの製造時における加工データと、前記アクチュエータの特性に関するデータのうちの少なくともいずれかに基づいて前記ノズルを選定することを特徴とする請求項４に記載の表示装置製造方法。
【請求項６】
前記インクの液滴は、アクチュエータにより吐出され、
前記吐出量調整工程においては、前記複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量から前記インク吐出総量を算出し、該インク吐出総量と、予め取得されているアクチュエータへの供給電力とインク吐出量との対応関係を示すデータとに基づいて前記アクチュエータへの供給電力量を補正し、該補正された量の電力を該アクチュエータに供給することにより前記選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整することを特徴とする請求項４又は５に記載の表示装置製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを対象物に向けて吐出させるインク塗布装置と、前記のインクにより画素を形成させ、これによりディスプレイ等の表示装置を製造する表示装置製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ等の表示装置を製造するにあたっては、発光層材料であるインクを吐出させ、このインクにより画素を形成させる。
【０００３】
このようなインク塗布方法の一例としては、インクを微小な液滴とし、これを基板等の対象物に向けて吐出させる方法（以下、適宜“Ｉ／Ｊ法”と呼称する）が挙げられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上記の有機ＥＬディスプレイでは、その表示領域の全てにおいて輝度ムラが生じておらず、明るさが均一であることが要求されている。
【０００５】
インクをＩ／Ｊ法により塗布する場合は、明るさを均一にするために、発光層の膜厚が均一である必要があり、このため、Ｉ／Ｊヘッドに設けられた複数個のノズルのそれぞれから吐出されるインクの総量が均一である必要がある。
【０００６】
従来は、インクの総量を均一化するにあたって、複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量（塗布量）を均一化していた。以下、その詳細について説明する。
【０００７】
まず、上記の輝度ムラを認識できない程度にまで低減可能な吐出量範囲と、インクをノズルから吐出させるためのアクチュエータに印加する電圧とインクの吐出量との対応関係とを予め求めておく。
【０００８】
次に、アクチュエータに電圧を印加することによりインクを光沢紙に塗布し、画総認識により液滴径を求め、この液滴径を吐出量に換算することによりノズル毎の吐出量平均値を求める。
【０００９】
次に、吐出量が上記の吐出量範囲内に入るように、各アクチュエータへの印加電圧の補正値を求める。なお、この電圧補正値は上記の印加電圧とインクの吐出量との対応関係に基づいて求められる。
【００１０】
次に、補正された電圧をアクチュエータに印加し、各ノズルの吐出量平均値を均一化する。
【特許文献１】特開２００２−２２１６１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、輝度ムラを認識できない程度まで低減するには、ノズル間の吐出量平均値の差を±２．５％以下という非常に低い値とする必要がある。
【００１２】
また、ノズルの加工精度や劣化状態、アクチュエータの特性のばらつき、異物の存在等により吐出量平均値の差を上記の値以下にすることには困難が伴う。
【００１３】
さらに、場合によっては、部品の交換、部品の洗浄、部品調整を再度実行する必要があるため、人的コストや時間的コストの増大を招いている。
【００１４】
例えば、実際の塗布時間がわずか数分であるのも関わらず、調整時間は、赤、緑及び青の３色のインクを用いる場合で数時間にも及ぶ。
【００１５】
このような事情に鑑み本発明は、インクの吐出量を容易かつ正確に調整可能なインク塗布装置及び表示装置製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１に記載の本発明は、複数個のノズルからインクの液滴を吐出させるインク塗布装置であって、予め定められた適切なインクの量である適切インク量と、複数個のノズルから吐出されるインクの総量であるインク吐出総量とが同一でない場合に、複数個のノズルの内から少なくとも１個のノズルを選定するノズル選定手段と、適切インク量と、インク吐出総量とが同一となるように、選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整する吐出量調整手段とを有することを要旨とする。
【００１７】
請求項２に記載の本発明は、請求項１に記載の発明において、インクの液滴は、アクチュエータにより吐出され、ノズル選定手段は、複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量の大小関係を示すデータと、複数個のノズルの製造時における加工データと、アクチュエータの特性に関するデータのうちの少なくともいずれかに基づいてノズルを選定することを要旨とする。
【００１８】
請求項３に記載の本発明は、請求項１又は２に記載の発明において、インクの液滴は、アクチュエータにより吐出され、吐出量調整手段は、複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量からインク吐出総量を算出し、インク吐出総量と、予め取得されているアクチュエータへの供給電力とインク吐出量との対応関係を示すデータとに基づいてアクチュエータへの供給電力量を補正し、補正された量の電力をアクチュエータに供給することにより選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整することを要旨とする。
【００１９】
請求項４に記載の本発明は、複数個のノズルからインクの液滴を吐出させ、吐出されたインクにより画素を形成せしめる表示装置製造方法であって、複数個のノズルから吐出されるインクの総量であるインク吐出総量と、画素を適切に形成させるために必要なインクの量である必要インク量とが同一でない場合に、複数個のノズルの内から少なくとも１個のノズルを選定するノズル選定工程と、インク吐出総量と、必要インク量とが同一となるように、選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整する吐出量調整工程とを有することを要旨とする。
【００２０】
請求項５に記載の本発明は、請求項４に記載の発明において、インクの液滴は、アクチュエータにより吐出され、ノズル選定工程においては、複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量の大小関係を示すデータと、複数個のノズルの製造時における加工データと、アクチュエータの特性に関するデータのうちの少なくともいずれかに基づいてノズルを選定することを要旨とする。
【００２１】
請求項６に記載の本発明は、請求項４又は５に記載の発明において、インクの液滴は、アクチュエータにより吐出され、吐出量調整工程においては、複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量からインク吐出総量を算出し、インク吐出総量と、予め取得されているアクチュエータへの供給電力とインク吐出量との対応関係を示すデータとに基づいてアクチュエータへの供給電力量を補正し、補正された量の電力をアクチュエータに供給することにより選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整することを要旨とする。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、ノズルの加工精度のばらつき等が存在する場合においてもインクの吐出量を容易かつ正確に調整可能なインク塗布装置及び表示装置製造方法を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を提示しつつ本発明のインク塗布装置及び表示装置製造方法について説明する。  
なお、以下の実施例は、あくまでも本発明の説明のためのものであり、本発明の範囲を制限するものではない。したがって、当業者であれば、これらの各要素又は全要素を含んだ各種の実施例を採用することが可能であるが、これらの実施例も本発明の範囲に含まれる。  
また、以下の実施例を説明するための全図において、同一の要素には同一の符号を付与し、これに関する反復説明は省略する。
【実施例】
【００２４】
図１は、本発明の一実施例に係るインク塗布装置１の斜視図である。  
このインク塗布装置１は、有機ＥＬディスプレイ等の表示装置を製造するためのものであり、インク塗布ボックス２と、インク補給ボックス３とを有し、インク塗布ボックス２とインク補給ボックス３は互いに隣接して配置され、共に架台４の上面に固定されている。
【００２５】
インク塗布ボックス２の内部には、Ｙ軸方向スライド板５、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７及び基板保持テーブル８が積層されている。
【００２６】
Ｙ軸方向スライド板５は、架台４に固定されており、表面上には少なくとも１本の溝がＹ軸方向に設けられている。
【００２７】
一方、Ｙ軸方向移動テーブル６は、Ｙ軸方向スライド板５に形成された溝に沿って移動するための突機構（図示せず）を備え、この突機構を溝に嵌め込むことでＹ軸方向の移動が可能となる。
【００２８】
また、このＹ軸方向移動テーブル６の表面上にも少なくとも１本以上の溝がＸ軸方向に設けられている。これにより、Ｘ軸方向移動テーブル７も突機構を溝に嵌め込むことでＸ軸方向の移動が可能となる。したがって、Ｙ軸方向移動テーブル６は±Ｙ方向に滑動し、Ｘ軸方向移動テーブル７は±Ｘ方向に滑動する。
【００２９】
基板保持テーブル８は、基板吸着機構又は基板把持機構１０を備え、この基板吸着機構又は基板把持機構１０を用いて基板保持テーブル８上に基板９を密着固定させる。ここで基板吸着機構とは例えばゴム吸盤や吸引ポンプなどであり、本実施例における基板把持機構１０は、コの字型の挟み金具などである。
【００３０】
さらに、Ｙ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７には、インクの塗布方向（Ｙ方向）とＹ軸方向移動テーブル６の移動方向を平行に保つ補正機構と、インクの塗布方向とＸ軸方向移動テーブル７の移動方向を直角に保つ補正機構、すなわちθ方向補正機構を備える。
【００３１】
本実施例におけるθ方向補正機構は、平坦面を有する回転盤で構成されており、これをＹ軸方向移動テーブル６やＸ軸方向移動テーブル７の下面又は層間に設けることにより、θ方向の回動を可能にし、両者の平行又は直交を保つ。
【００３２】
さらに、インク塗布ボックス２の内部には、Ｙ軸方向スライド板５に形成された溝と直交する方向において、Ｙ軸方向スライド板５を挟む両側に１組のコラム１１が立設されている。
【００３３】
このコラム１１には、Ｘ軸方向スライド板１２が横架されている。このＸ軸方向スライド板１２には、基板９面上にインクを吐出するための塗布ヘッドユニット１３が塗布ヘッドユニット把持部材１４によりＸ軸方向に滑動可能なように垂設されている。このＸ軸方向スライド板１２を設けることにより、インクのパターン塗布方向に対して直交する方向に塗布ヘッドユニット１３を移動させることができる。
【００３４】
この塗布ヘッドユニット１３の先端には塗布ヘッド１５が設けられており、パイプを介してインクタンク１７からインクの供給を受ける。このインクタンク１７は、さらに、インク補給タンク１８に接続されており、常にこのインク補給タンク１８からインクの供給が受けられる状態となっている。
【００３５】
塗布ヘッドユニット１３には、基板９面に対して垂直方向に上下移動可能な上下移動機構１６が設けられている。これにより塗布ヘッド１５と基板９との距離を所望の間隔に設定することができる。
【００３６】
インク塗布ボックス２の内部には、これらの機構の他に、塗布ヘッド１５のノズルのインク目詰まりを清掃するためのヘッドメンテユニット１９が設けられている。このヘッドメンテユニット１９は、Ｘ軸方向スライド板１２のスライド方向の延長線上に、基板９から離隔した位置に配置されており、塗布ヘッドユニット１３をＸ軸方向スライド板１２の終端まで移動させ、ヘッドメンテユニット１９の上部に配置することにより、ノズル孔の目詰まりを自動的に洗浄することができる。
【００３７】
なお、上記のＹ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７、Ｘ軸方向スライド板１２、上下移動機構１６等の駆動制御及び補正制御は制御部２０により行われる。この制御部２０は、架台４の内部に設けられており、塗布ヘッド１５から吐出されるインクの量もこの制御部２０により制御される。
【００３８】
図２は、図１の塗布ヘッド１５の模式図である。  
この塗布ヘッド１５は、アクチュエータ（圧電素子）２１、ダイヤフラム２２、インク室２３、ノズル２５を備える。なお、本図においては、説明を容易にするため、アクチュエータ２１、インク室２３及びノズル２５をそれぞれ３個のみ記載している。
【００３９】
アクチュエータ２１は、ダイヤフラム２２と接着されており、図示しない電極から電圧が印可されると縮んで、ダイヤフラム２２を上方に移動させる。この際、インク室２３内の圧力は負となり、図示しない流路からインク２４がインク室２３内に補充される。
【００４０】
その後、印可電圧がゼロに戻ると、ダイヤフラム２２が元の状態に戻り、インク室２３が圧迫され、ノズル２５から液滴２６が吐出される。
【００４１】
図３は、図１の制御部２０の構成を示すブロック図である。なお、本図においては、説明を容易にするため、上記のＹ軸方向移動テーブル６、Ｘ軸方向移動テーブル７、Ｘ軸方向スライド板１２、上下移動機構１６等の制御を司る機能部等の記載は省略している。
【００４２】
この制御部２０は、吐出信号生成部２７、ステージ位置信号記憶部２８、吐出許可信号生成部２９、塗布パターン信号記憶部３０、ノズル加工データ記憶部３１、アクチュエータ特性データ記憶部３２、対応関係データ記憶部３３、スイッチング回路３４及び抵抗分圧回路３５を有する。
【００４３】
ステージ位置信号記憶部２８は、基板９の位置等を示すステージ位置信を収集し、これを記憶する。
【００４４】
吐出許可信号生成部２９は、外部からの指示信号を受けると塗布ヘッド１５にインクの吐出を行わせるための信号を生成する。
【００４５】
塗布パターン信号記憶部３０は、基板９上に形成される発光層の画素の配列等を示す信号を記憶している。
【００４６】
なお、ノズル加工データ記憶部３１、アクチュエータ特性データ記憶部３２及び対応関係データ記憶部３３については後述する。
【００４７】
吐出信号生成部２７は、前記のステージ位置信号、吐出許可信号、塗布パターン信号を受け、吐出信号を生成する。
【００４８】
この吐出信号は、図４に示すとおり、Ｏｎ ｓｉｇとＯｆｆ ｓｉｇから成っており、図示するタイミングで塗布ヘッド１５のアクチュエータ２１へ供給され、これにより指令波形のパルス幅が決定される。
【００４９】
つまり、図３のスイッチング回路内の図示しないＦＥＴ（Field Effect Transistor）ブリッジのＯＮのタイミングを前述のＯｎ ｓｉｇにより制御することで、アクチュエータ２１に電荷を充電させるタイミングを制御し、Ｏｆｆ Ｓｉｇにより電荷を放電させるタイミングを制御する。
【００５０】
図４に示した指令波形の電圧値Ｖｒｅｆは、図３中の電源電圧Ｖｃｃを可変抵抗ＶＲ１と固定抵抗Ｒ１から構成される抵抗分圧回路３５により分圧し、上述の可変抵抗Ｒ１を調整することにより得られる。
【００５１】
次に、従来のインク吐出量の調整方法について説明する。  
図５は、全てのアクチュエータに同じ値の電圧を印加した場合にノズルから吐出されるインクの量の一例を示す図である。  
図示するように、同じ値の電圧を印加してもノズルから吐出されるインクの量は均一にはならない。この原因としては、アクチュエータの特性ばらつきや、ノズルの形状ばらつき、気泡や異物がインク室やノズル付近における気泡、異物等の存在が挙げられる。
【００５２】
そこで従来は、吐出量の差（図５のΔΔＱ）をある値以下に抑えるために、図３のＶＲ１を調整することによりアクチュエータへの指令電圧を調整する。
【００５３】
図６に示すように、一般に電圧とインク吐出量の関係は比例関係にあり、図の様に直線近似できる。そして、前述したとおり、ノズルにより吐出特性は異なるのため、各ノズルは異なる近似直線を有する。
【００５４】
図７は、従来のインク吐出量調整方法のシーケンスを示す図である。  
まず、図５に示したようなノズル毎のインク吐出量に関する情報を取得し（Ｓ７１）、次に、吐出量が規定範囲（ΔＱ ｌｉｍ）にはいるようにノズルの吐出量の調整を行い（Ｓ７２）、塗布が行われる（Ｓ７３）。
【００５５】
上記のＳ７２における処理をより具体的に説明すると、図６に示すように、インク吐出総量をＱに揃えたい場合は、ノズルａへの指令電圧をＶａに、ノズルｂへの指令電圧をＶｂに、ノズルｃへの指令電圧をＶｃに調整する。
【００５６】
次に、図９を提示しつつ本発明のインク吐出量方法について説明するが、以降の説明においては、説明を容易にするためにノズル数を１０とし、２滴のインクにより一画素を形成し、塗布ヘッド１５はスキャンを行う毎にスキャン方向と直交する方向に５ノズル分移動することを前提とする。また、インク吐出量とパネル発光時の輝度とは相関関係にある。
【００５７】
前述のとおり、従来の吐出量調整方法では、ノズル毎の吐出量をある範囲（図５中のΔＱ）内におさまるように調整するが、ある確率で比較的吐出量が低いノズル同士、或いは高いノズル同士でノズルグループが形成されてしまい、例えば、図８に示すように、ノズルグループ（同一画素にインクを供給するノズルの組合せ）Ｂの吐出量だけが小さくなることがある。つまり、適切なインクの量、換言すれば前記の画素を適切に形成させるために必要なインクの量である必要インク量と、複数個のノズルから吐出されるインクの総量であるインク吐出総量とが同一ではない場合がある。
【００５８】
これにより、図９に示すように、インクが塗布された基板９を発光させた際、ノズルグループＢに対応した部分に筋ムラ（輝度ムラ）３６が生じてしまう。
【００５９】
図３に示したノズル加工データ記憶部３１、アクチュエータ特性データ記憶部３２及び対応関係データ記憶部３３は、上記の筋ムラ３６が生じることを防止するためのものである。
【００６０】
ノズル加工データ記憶部３１は、ダイヤフラム２２の厚さ、インク室２３の寸法、ノズル２５の外径寸法等の加工データを記憶している。
【００６１】
アクチュエータ特性データ記憶部３２は、各アクチュエータ２１に同じ電圧を印加したときの変位データやインピーダンス特性に関するデータ等を記憶している。
【００６２】
対応関係データ記憶部３３は、アクチュエータ２１へ印加された電圧の値と、インク吐出量との対応関係を示すデータを記憶している。なお、このデータは予め収集されたものである。
【００６３】
図３に示した吐出信号生成部２７は、上記のステージ位置信号、吐出許可信号および塗布パターン信号に加えて、ノズル加工データ、アクチュエータ特性データ及び対応関係データの内の少なくともいずれかを基づいて吐出信号を生成し、これによりインク吐出量の調整を行う。
【００６４】
つまり、画素を適切に形成させるに必要なインクの量である必要インク量と、複数個のノズル２５から吐出されるインクの総量であるインク吐出総量とが同一でない場合に、複数個のノズル２５の内から少なくとも１個のノズルを選定する。
【００６５】
次に、インク吐出総量と、必要インク量とが同一となるように、選定されたノズルにおけるインクの吐出量を調整する。
【００６６】
また、上記の調整対象ノズルの選定は、図５に示したような複数個のノズル２５のそれぞれにおけるインクの吐出量の大小関係を示すデータと、ノズル加工データと、アクチュエータ特性データのうちの少なくともいずれかに基づいて行われる。
【００６７】
また、インク吐出量の調整は、複数個のノズルのそれぞれにおけるインクの吐出量からインク吐出総量を算出し、このインク吐出総量と、対応関係データとに基づいて電圧を補正し、補正された電圧をアクチュエータ２１に印加することにより行われる。
【００６８】
以下に、上記の調整対象ノズル選定及びインク吐出量調整の例を挙げる。  
図１０（ａ）は、図９の筋ムラ３６が発生した際のノズル毎の吐出量を示す図である。本図からは、２番ノズルと７番ノズルの吐出量が少なくどちらか、あるいは両方の吐出量を増加させる必要があることがわかる。
【００６９】
ここで、吐出量を増加させるノズルを決定する際に、上記のノズル加工データやアクチュエータ特性データ等が用いられる。
【００７０】
ノズル加工データのうちのノズル径に関するデータを図１０（ｂ）に、アクチュエータ特性データのうちのアクチュエータの変位量に関するデータを図１０（ｃ）に示す。
【００７１】
この場合、２番ノズルの径が他のノズルに比べて極端に小さく、吐出量を増やしづらい事が分かる。
【００７２】
また、アクチュエータの変位はどれも同等であることから、同じノズルグループＢに属する７番ノズルの吐出量を増加させることが決定される。
【００７３】
筋ムラ３６を抑制するためには、隣接ノズルグループ間の吐出量差を、規定値（ΔＱＴ ｌｉｍ）以下にする事が必要である。
【００７４】
図１１は、７番ノズルの調整前後の隣接ノズルグループ間の吐出量差を示す図であり、図示するとおり、７番ノズルを調整することで全てのノズルグループの吐出量差が規定値以下となり、筋ムラの発生を防ぐことが出来る。
【００７５】
なお、ノズルグループＡと隣接ノズルグループとの吐出量差は、ノズルグループＢの吐出からノズルグループＡの吐出量を引いた値の絶対値である。また、ノズルグループＦについては、塗布の周期性より、ノズルグループＡの吐出量からノズルグループＦの吐出量を引いた値の絶対値である。
【００７６】
図１２は、上記のインク吐出量調整のシーケンス図である。  
まず、吐出信号生成部ノズル毎の吐出量に関する情報を取得（Ｓ１２１）、次に、ノズルグループ毎の吐出量を算出し（Ｓ１２２）、吐出量差ΔＱｔが規定値ΔＱｔ ｌｉｍ以下であるかが確認される（Ｓ１２３）。
【００７７】
Ｓ１２３において、ΔＱｔがΔＱｔ ｌｉｍ以下である場合（Ｓ１２３：Ｙｅｓ）は、そのまま塗布が行われる。
【００７８】
一方、ΔＱｔがΔＱｔ ｌｉｍ以上である場合（Ｓ１２３：Ｎｏ）は、調整対象ノズルが選定され、このノズルの吐出量が調整され（Ｓ１２４）、インクの塗布が行われる（Ｓ１２５）。
【００７９】
次に、上記のインク塗布装置１による画素の形成の一例について説明する。  
基板９（図１）上には、透明画素電極としてのＩＴＯ（Indium Tin Oxide）がパターンニングされ、これらの間には隔壁が設けられており、これにより開口部が形成されている。
【００８０】
まず、制御部２０（図１及び図３）により吐出量の調整がなされたインクの液滴２６（図２）が塗布ヘッド１５（図１及び図２）により上記の開口部に塗布される。
【００８１】
なお、このインクには、ポリチオフェン誘導体等の正孔注入・輸送材料が含有されており、この正孔注入・輸送材料は、陽極側から後述する発光層に正孔（hole）を注入し、輸送させるためのものである。
【００８２】
上記の正孔注入・輸送材料が含有されたインクが塗布されると、溶媒除去、窒素雰囲気中における熱処理等が行われ、正孔注入・輸送層が形成される。
【００８３】
次に、発光材料が含有され、且つ制御部２０により吐出量の調整がなされたインクの液滴２６が塗布ヘッド１５により上記の正孔注入・輸送層上に塗布される。
【００８４】
上記の発光材料が含有されたインクが塗布されると、溶媒除去、窒素雰囲気中における熱処理等が行われ、発光層が形成される。
【００８５】
その後、別の装置によりＣａ、Ｍｇ、Ａｇ、Ａｌ、Ｌｉ等を蒸着あるいはスパッタリングすることにより陰極を形成させ、さらに、エポキシ樹脂等により封止層を形成させることにより画素の形成が完了する。
【００８６】
なお、上記の実施例においては、アクチュエータが圧電素子であり、インクの吐出量を調整するにあたって、印加電圧値を補正する場合を示したが、これに限定されず、本発明は、あらゆる種類のアクチュエータに適用でき、これに供給される電力量を補正することによりインクの吐出量を調整できる。
【００８７】
また、供給電力とインク吐出量との関係を示すデータを予め記憶しておき、これに基づいて電力量の補正値を求める構成とすることもできる。
【００８８】
また、上記のインク吐出量の調整工程を有する表示装置製造方法も本発明の範囲に含まれる。
【００８９】
以上のとおり、本発明によれば、その径が小さいためにインクの吐出量を増加させることができないノズルがある場合においても、同じノズルグループ内の他のノズルの吐出量を増加させることによりノズルグループの合計吐出量を均一にできる。
【００９０】
このため、部品を交換あるいは再洗浄する必要性が大幅に減少し、また、調整時間が大幅に短縮される。したがって、有機ＥＬディスプレイ等の生産性を向上させ、さらに低価格化も実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の一実施例に係るインク塗布装置の斜視図である。
【図２】図１の塗布ヘッド１５の模式図である。
【図３】図１の制御部の構成を示すブロック図である。
【図４】吐出信号の供給タイミングを示す図である。
【図５】ノズル毎のインク吐出量を示す図である。
【図６】指令電圧値とインク吐出量との関係を示す図である。
【図７】従来のインク吐出量調整シーケンスを示す図である。
【図８】ノズルグループのインク吐出量を示す図である。
【図９】基板上に生じた筋ムラを示す図である。
【図１０】（ａ）は筋ムラが生じた際のノズル毎のインク吐出量を示す図である。（ｂ）ノズル径に関するデータを示す図である。（ｃ）アクチュエータにおける電圧の変位量を示す図である。
【図１１】隣接するノズルグループ間でのインク吐出量の差を示す図である。
【図１２】本発明におけるインク吐出量の調整シーケンスを示す図である。
【符号の説明】
【００９２】
１…インク塗布装置、２…インク塗布ボックス、３…インク補給ボックス、４…架台、５…Ｙ軸方向スライド板、６…Ｙ軸方向移動テーブル、７…Ｘ軸方向移動テーブル、８…基板保持テーブル、９…基板、１０…基板把持機構、１１…コラム、１２…Ｘ軸方向スライド板、１３…塗布ヘッドユニット、１４…塗布ヘッドユニット把持部材、１５…塗布ヘッド、１６…上下移動機構、１７…インクタンク、１８…インク補給タンク、１９…ヘッドメンテユニット、２０…制御部、２１…アクチュエータ、２２…ダイヤフラム、２３…インク室、２４…インク、２５…ノズル、２６…液滴、２７…吐出信号生成部、２８…ステージ位置信号記憶部、２９…吐出許可信号生成部、３０…塗布パターン信号記憶部、３１…ノズル加工データ記憶部、３２…アクチュエータ特性データ記憶部、３３…対応関係データ記憶部、３４…スイッチング回路、３５…抵抗分圧回路、３６…筋ムラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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