(57)【要約】【課題】  感光体に形成される微小な領域の静電潜像を直接測定し、潜像の品質・状態を簡便に短時間で評価することができる感光体表面電荷分布測定装置を提供する。【解決手段】  感光体３の表面と所定の間隙をもって対向する透明絶縁基体１が配置され、該透明絶縁基体１の感光体表面と対向する面に感光体の移動方向と垂直な方向（主走査方向）に、個々に分離した複数個の透明電極２が一列に等間隔で形成され、この１次元に配列された透明電極２の背面からスポット光（＝検知光）が各透明電極２を通って感光体３に照射されるように構成されたことを特徴とする感光体表面電荷分布測定装置。【選択図】  図４
2006011032.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光体表面と所定の間隙をもって対向する透明絶縁基体が配置され、該透明絶縁基体の感光体表面と対向する面に感光体の移動方向と垂直な方向（主走査方向）に、個々に分離した複数個の透明電極が一列に等間隔で形成され、この１次元に配列された透明電極の背面からスポット光（＝検知光）が各透明電極を通って感光体に照射されるように構成されたことを特徴とする感光体表面電荷分布測定装置。
【請求項２】
感光体表面と所定の間隙をもって対向する透明絶縁基体が配置され、該透明絶縁基体の感光体表面と対向する面に感光体の移動方向と垂直な方向（主走査方向）に、個々に分離した複数個の透明電極が一列に等間隔で形成され、かつこの透明電極の列が感光体の移動方向（副走査方向）に等間隔で複数列に形成され、この２次元に配列された透明電極の背面から複数列のスポット光（＝検知光）が各透明電極を通って感光体に照射されるように構成されたことを特徴とする感光体表面電荷分布測定装置。
【請求項３】
スポット光がレーザビームの主走査方向の走査によるものであることを特徴とする請求項１記載の感光体表面電荷分布測定装置。
【請求項４】
スポット光がマルチレーザビームの主走査方向の走査によるものであることを特徴とする請求項２記載の感光体表面電荷分布測定装置。
【請求項５】
スポット光がＬＥＤアレイによるものであることを特徴とする請求項１記載の感光体表面電荷分布測定装置。
【請求項６】
副走査方向に位置を変えて測定する場合、副走査方向の［電極間のピッチ／線速］の移動時間が［所定の測定時間］の整数倍になる線速で感光体が主走査方向と垂直な方向に測定中移動していることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の感光体表面電荷測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高電位に帯電した電子写真用感光体の微小領域の光減衰電位変化を測定する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
複写機やレーザプリンターで用いられる電子写真方式は、感光体の表面を均一に帯電する工程と、帯電した感光体表面を露光して感光体表面に静電潜像を形成する工程と、形成された静電潜像を現像剤中のトナーで現像する工程と、トナー像を紙、あるいは中間転写ベルトに転写する工程と、転写されたトナー像を定着する工程と、転写後の感光体上の残トナーを除去するクリーンング工程と、感光体上の静電潜像を除去する除電工程とからなる。
【０００３】
最終画像のアウトプット品質には各工程が作用しているため、最終画像から露光工程での潜像品質を知ることは従来容易ではなく、一定の帯電条件に対する帯電電位と一定の露光条件に対する露光後電位を測定し、これら特性値が温度、湿度の環境下でどのように変わるか、あるいは帯電、露光の繰り返しサイクルの後、どのように変わるかをみて、形成される潜像の品質を推測するしかなかった。
【０００４】
しかしながら、この方法では、いわゆる地汚れと言われる背景部の汚れ、画像ボケ（あるいは画像流れ）という、評価にある程度の面積領域、およびその中での細部情報を必要とするような場合、表面電位計プローブが感光体上の広い領域を検出してしまうため、（感光体表面と表面電位計プローブの距離２ｍｍの場合、１０〜１５ｍｍφの領域を検出する）、帯電電位で評価することは困難であった。高画質化の流れのなかで、微小な領域の静電潜像を直接測定し、潜像の状態を評価する方法が求められている。
【０００５】
このため微小領域の静電潜像を直接評価する方法が最近いくつかの提案されている。
例えば次のものが挙げられる。
(1)カンチレバー方式：感光体表面と探針の間に働く力Ｆ（静電引力など）による片持ち梁の機械的変位、あるいは振動状態の変化を片持ち梁の背面にレーザ光を照射し、反射した光を光検出し、その変位量の値から表面電位を知る方法（特許文献１、２参照）
(2)エレクトロメータ方式：感光体表面に近接して、ある面積を持つ電極を配置し、電極に誘導された電荷がグランドに対して持つ電位を測定する方法（特許文献３参照））
(3)光減衰による変位電流方式（誘導電流方式）：感光体表面に近接して設置された電極で、帯電した感光体表面に極小の光スポットを照射し、光減衰による表面電荷の消失によって電極に誘導される電荷量（誘導電流）を測定し、表面電位を知る方法（非特許文献１参照）
【０００６】
上記(1)の方法は、感光体のような数百Ｖの帯電電位ではカンチレバーと感光体が静電気力で接触してしまう、また、接触しない程度に距離をとると、空間分解能の低下が生じ、距離はそのままに接触しない程度の撓み力の材料を片持ち梁に使うと感度の劣化が避けられない、という問題がある。
【０００７】
また上記(2)の方法は、電極には感光体表面の所定領域の電荷量に対応した電荷量が誘起される必要があり、感光体と電極のギャップを狭くする必要がある。一般的に、測定の空間分解能として  Ａ（μｍ）が必要なとき、ギャップはＡ（μｍ）以内、かつ電極のサイズはＡ（μｍ）以内×Ａ（μｍ）以内とする必要があると言われている。そのため、小さい空間分解能実現のためにはギャップを小さくする必要があり、かつ測定中はギャップを一定に維持する必要があり制御が困難である。また、電極サイズが小さくなるため、検出信号が小さくなること、感光体表面の広い領域の電位情報を検出するのに時間がかかる等の困難さがある。
【０００８】
一方、上記(3)の方法は、透明ガラス上に透明導電膜を成膜して形成された電極（透明電極）が使用されるが、電極サイズは任意であり、感光体表面とプローブ間距離（ギャップ）も最大２ｍｍ程度まで任意である（ただし、当然であるが、ギャップが大きくなれば、検出信号は小さくなる）。この方式は、原理的には空間分解能は照射するレーザビームのサイズのみに依存する、優れた方式であるが、測定のスピードが感光層中を走行する光キャリアのドリフトモビリティ（トランジットタイムと言い換えても良い）に依存することになり、１次元の静電潜像情報を得る場合には問題は少ないが、感光体表面の一定領域（２次元）の静電潜像情報を得ようとすると測定に時間がかかるという問題があった。
【０００９】
【特許文献１】特開平５−１１９０９３号公報
【特許文献２】特開平５−１４９９８８号公報
【特許文献３】特開平１１−１８４１８８号公報
【非特許文献１】Ｊａｐａｎ  Ｈａｒｄ  Ｃｏｐｙ  ２００１  論文集  Ｐ２８１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は上記(3)の方式における上記課題に鑑み、高電位に帯電した感光体へ微小光スポットを露光し、光スポットのサイズに相当する微小領域部分で表面電荷を消失させ、その電荷量変化により電極に誘導される電荷量、すなわち誘導電流（変位電流）を測定し、その信号の大きさから露光前の表面電位のレベルを知る方式に関し、この方式で２次元の静電潜像情報を取得するときの測定スピードの向上を目的とする。
２次元静電潜像の直接測定において、感光体ドラムの回転方向（ベルト感光体であればベルトの進行方向）に垂直な方向（主走査方向）に感光体の長さ程度の透明絶縁基体が配置され、この透明絶縁基体１の感光体表面に対向する面に、感光体の長さ程度に透明電極が形成され、透明絶縁基体１の背面より光スポットを照射し、かつ主走査方向に光スポットが順次走査され、主走査方向の静電潜像情報を得、次に感光体が感光体ドラムの回転方向又はベルト感光体であればベルトの進行方向（副走査方向）に所定ピッチだけ進行したところで、主走査方向に光スポットを順次走査し、静電潜像情報を得るようにした装置においては、透明電極が一つの広幅電極であるので、主走査方向に光スポットが順次走査されるとき、ある１点の光照射による誘導電荷信号検出が終わるのを待ってから、次の点の光照射をしなければならない。そして、キャリアのトランジットタイムは感光体の電荷輸送層の膜厚、電荷輸送層の輸送材料、感光体に印加される電界等に依存し、概略、２００μｓ〜２０００μｓであると、２０００μｓ以上の時間待ってから次の測定点の光照射をすることになり、効率が良くない。
【００１１】
本発明は、上記の欠点を改善するために、主走査方向の透明電極を分割することによって、主走査方向に光スポットを高速に走査しても、各測定点の信号が重ならず、高速に静電潜像の情報を読み出すことができるようにしたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（１）感光体表面と所定の間隙をもって対向する透明絶縁基体が配置され、該透明絶縁基体の感光体表面と対向する面に感光体の移動方向と垂直な方向（主走査方向）に、個々に分離した複数個の透明電極が一列に等間隔で形成され、この１次元に配列された透明電極の背面からスポット光（＝検知光）が各透明電極を通って感光体に照射されるように構成されたことを特徴とする感光体表面電荷分布測定装置。
（２）感光体表面と所定の間隙をもって対向する透明絶縁基体が配置され、該透明絶縁基体の感光体表面と対向する面に感光体の移動方向と垂直な方向（主走査方向）に複数個の透明電極が一列に等間隔で形成され、かつこの透明電極の列が感光体の移動方向（副走査方向）に等間隔で複数列に形成され、この２次元に配列された透明電極の背面から複数列のスポット光（＝検知光）が各透明電極を通って感光体に照射されるように構成されたことを特徴とする感光体表面電荷分布測定装置。
（３）スポット光がレーザビームの主走査方向の走査によるものであることを特徴とする請求項１記載の感光体表面電荷分布測定装置。
（４）スポット光がマルチレーザビームの主走査方向の走査によるものであることを特徴とする請求項２記載の感光体表面電荷分布測定装置。
（５）スポット光がＬＥＤアレイによるものであることを特徴とする請求項１記載の感光体表面電荷分布測定装置。
（６）副走査方向に位置を変えて測定する場合、副走査方向の［電極間のピッチ／線速］の移動時間が［所定の測定時間］の整数倍になる線速で感光体が主走査方向と垂直な方向に測定中移動していることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載の感光体表面電荷測定装置。
【発明の効果】
【００１３】
発明１の構成により、多数の微小領域（＝スポット光のサイズ領域）の光減衰による透明電極への誘起電荷量の信号を高速に読み出し、ひいては感光体上の２次元静電潜像情報を高速に読み出すことができる。
発明２の構成により、多数の微小領域（＝スポット光のサイズ領域）における光減衰による誘起電荷量の信号を高速に読み出し、ひいては感光体上の２次元静電潜像情報を高速に読み出すことができる。
発明３、４のように、スポット光としてレーザビームを使用することにより、主走査方向の走査による多数の微小領域（＝スポット光のサイズ領域）における誘起電荷信号を高速に読み出し、ひいては感光体上の２次元静電潜像情報を高速に読み出すことができる。
発明５のように、スポット光をＬＥＤアレイによるものとすることで、主走査方向の多数の微小領域（＝スポット光のサイズ領域）における誘起電荷信号を同時に読み出し、ひいては感光体上の２次元静電潜像情報を高速に読み出すことができる。
発明６のような構成とすることで、感光体上の２次元静電潜像情報を高速に読み出すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明による２次元静電潜像読みだしの原理は、高電位から低電位までの電位に帯電した感光体へ、微小スポット光でワンショット露光し、微小露光領域部分の表面電荷消失を生じさせ、その電荷量変化により感光体に近接されて設置された電極に誘導される電荷量、すなわち誘導電流（変位電流）を測定し、その信号の大きさから露光前の表面電位のレベルを知るものである。この露光−信号検出を位置を変えて行うことで２次元の静電潜像を読み出すことが可能となる。
【００１５】
本発明の一つの態様を図１に基づいて説明する。
図１に示される装置においては、感光体ドラムの回転方向（ベルト感光体であればベルトの進行方向）に垂直な方向（主走査方向）に感光体の長さ程度の透明絶縁基体１を配置し、この透明絶縁基体１の感光体表面に対向する面に個々に分離した複数個の透明電極が一列に等間隔で形成され、この一次元に配列された透明電極２の背面からスポット光（＝検知光）が各透明電極を通過して感光体に照射されるようにしている。そして、この１ラインのビーム走査が終わると、副走査方向に感光体を移動させて、次のラインの走査を行う。これを繰り返して感光体ドラムの全周にわたって測定する。
【００１６】
図３は透明電極にスポット光（レーザービーム）が照射されている様子を示しており、また、図４は、透明絶縁基体、透明電極、感光体の位置関係を示すと共に、スポット光（レーザービーム）が主走査方向に走査される様子を示している。
測定によって得られた情報は、図５に示すように、測定位置情報と共にデータ集録され、マルチプレクサ、Ａ／Ｄ変換器を経てコンピュータでデータ処理される。
【００１７】
図２に示される装置においては、透明電極の列が副走査方向に複数列（図示例では２列）に形成されており、１ラインで図１の装置における２ライン分を走査できるので、感光体ドラムの全周にわたって測定する時間を短縮することができる。
【００１８】
この方式の従来技術では、測定の位置を感光体ドラムの回転方向に微小ピッチで変え、上記測定を繰り返し、最終的に潜像の１次元プロファイルを得るものが知られている（前記背景技術に記載した(3)の方法）。
【００１９】
２次元のプロファイルを読み出すものとしては、シリンドリカルレンズを電極の基体として、この基体が感光体表面と対向する面にＩＴＯ膜を帯状に形成し、感光体の主走査方向に近接して配置し、レーザビームを主走査方向に走査し、感光体を主走査方向と垂直な方向に移動させたものが提案されている（Ｍｅｄ．  Ｐｈｙｓ．  ｖｏｌ．１８（３），Ｍａｙ／Ｊｕｎ  １９９１）。
【００２０】
本方式の計測では測定の空間分解能は理論的には照射するスポット光のサイズに依存する。しかし、誘導電荷の計測信号は感光体表面と電極間距離、スポット光のサイズ（＝光減衰が生じる領域サイズ）に依存し、間隙が大きいほど、また、スポット光のサイズが小さいほど、誘導電荷は小さくなり、したがって信号レベルが小さくなり、信号はノイズに埋もれ、測定は困難になる。
【００２１】
同一の露光条件で最も大きな信号が得られる感光体と電極の間隙は、空気の比誘電率を１とすると、感光体膜厚／感光体比誘電率で与えられることが分かっている（Ｍｅｄ．  Ｐｈｙｓ．  ｖｏｌ．１８（３），Ｍａｙ／Ｊｕｎ  １９９１）。感光体膜厚が３０μｍ、感光体比誘電率を３とすると、１０μｍが最大信号となる間隙である。このときの得られる信号は感光体の表面電荷密度の１／４の電荷が誘起される。これより、間隙を小さくしても、大きくしても信号は小さくなる。間隙は感光体と電極の接触が懸念されるため、間隙をコントロールする機構がない場合は０．１ｍｍ前後離すのが好ましい。一方、スポット光のサイズが１０μｍ、感光体が６００Ｖ帯電しているとき、間隙０．１ｍｍで配置された電極に誘起される電荷量は、３．４×１０−１５Ｃと計算できる（前記文献参照）。
【００２２】
スポットサイズ０．１ｍｍ（１００μｍ）の場合は、３．４×１０−１３Ｃが誘起される。どちらもこの電荷量が検出される時間（＝測定時間）は、感光体光キャリアのトランジットタイム  程度を要するので、仮にトランジットタイムを１ｍｓとすると、計測される誘起電流信号（平均）に換算すると、それぞれ３．４ｐＡ、３４０ｐＡとなり、スポットサイズは０．１ｍｍ（１００μｍ）前後のサイズにするのが信号を検出しやすく、好ましい。また、信号のＳ／Ｎ比を改善するためには、一つ一つの電極はその周囲にシールドのための導電性のラインをもうけるのが一般的であり、好ましい。
【００２３】
電極について更に言及すると、電極基体としての透明ガラスとしては一般のガラスでもよいが、ＢＫ−７、石英ガラス等が通過波長域も広く測定用には好ましい。また、透明導電薄膜としてはＩＴＯが一般的であるが、これ以外でも問題はない。透明導電膜の成膜は、ガラスの片側全面に成膜してもよく、パターンマスクを使い、細線（≦１ｍｍ）でメッシュ状に成膜してもよい。この場合は［ＩＴＯ成膜部分の面積／ＩＴＯ成膜無し部分の面積］の面積比が＜＜１であるようにすると、透明導電膜を通過させる光が８００ｎｍ以上の波長を含むとき、この波長の光を大きく損なうことなく通過させることが出来る。
【００２４】
これは測定の目的により選択することになるが、考慮すべきは、先に記述したように、信号が極めて小さいため、本方式の測定では、メッシュ電極を使用するより、全面成膜の電極を使用するのが好ましい。また、通過させる光がレーザである場合、レーザ入射側のガラスには反射防止膜をつけるのが好ましい。これはレーザ入射側のガラス表面で反射したレーザが発光部に戻り、複合共振器を形成して、レーザ光に揺らぎが生じる、いわゆる戻り光ノイズを防ぐためである。
【００２５】
ここでスポット光の「サイズ」について言及する。レーザビームは通常ガウシアン分布をしたビームを想定し、最大強度の１／ｅ２（約１３．５％）の強度になる位置（直径）をビーム径としている。一方、ビームが照射され電位減衰が生じる感光体上の電位減衰領域サイズは露光エネルギーの強さによる。極めて弱い露光エネルギーであれば、１／ｅ２より小さい領域になることもあり、極めて強い露光エネルギーであれば、１／ｅ２より広い領域でも電位減衰が生じることになる。これは１／ｅ２で決まるサイズには全体の約９４．５％のエネルギーが入り、残り約５．５％のエネルギーは１／ｅ２の外であることから理解できる。
【００２６】
必要露光エネルギーの数十、数百倍、あるいはこれ以上の露光エネルギーのときには１／ｅ２（＝スポットサイズ）より広い領域で電位減衰が生じるが、電位減衰が生じている潜像電荷領域のサイズを知ることは容易ではなく、また、必要露光エネルギー程度以下であれば、１／ｅ２の外側の電位減衰は小さく、ほとんど無視できるため便宜的に  電位減衰領域サイズ＝露光領域サイズ＝ビームサイズとしている。測定は必要露光エネルギー程度で行うことが好ましい。
【実施例】
【００２７】
以下に実施例及び比較例を交えて本願発明について更に詳細に説明する。
なお、以下の説明において、スポット光の露光エネルギーは、使用した感光体を−６００Ｖから−１００Ｖに減衰させるのに必要な露光エネルギー分を照射するようにしている。
【００２８】
［実施例１］
電極サイズ０．１ｍｍ×０．１ｍｍのものが０．２ｍｍピッチで直線上に並ぶ電極（ＩＴＯ膜）を石英ガラスの片面に成膜した。このガラス基体のスポット光が入射する面に反射防止膜を成膜した。使用するレーザビームは波長が７８０ｎｍ、ビームスポットサイズ７０μｍ×８５μｍ。ビーム走査のための回転多面鏡（ポリゴン）は６面、回転数は４７２４ｒｐｍとした。ドラムの線速は５０ｍｍ／ｓとした。このときビームの主走査方向のスピードは１９９，６２３ｍｍ／ｓであった。１ライン３００ｍｍの走査を約１５００μｓで終えることになる。隣りあう電極間０．２ｍｍの走査は１μｓでこの周期で光パルスＯＮ／ＯＦＦの信号が入る。ポリゴンによる１ラインの最初と終端の時間差が１５００μｓ、これに終端における最大のトランジットタイム２０００μｓを加えても３５００μｓ、１ラインにおける測定点（電極）の全ての測定時間は４ｍｓ以内に済む。副走査方向に０．２ｍｍピッチ分感光体ドラムが移動するのに０．２ｍｍ／５０ｍｍ／ｓ＝４ｍｓであるので、次のラインの測定を行う。感光体ドラム全周にわたる測定時間は、１ライン間の測定時間（４ｍｓ）×全周のライン数（３０π）／０．２≒２ｓとなった。
本発明の測定装置は上記のように、透明絶縁気体状に成膜された一つ一つの電極が分離されているので、測定点毎に感光体キャリアのトランジットタイム＋αだけ待つ必要がないため、短時間での測定が可能となる。
【００２９】
［比較例１］
実施例１において、電極（ＩＴＯ膜）を帯状に一続きのものとしたことを除いては実施例１と同様にして、ビームスポットサイズが８０μｍのレーザビームを主走査方向に走査し、順次、レーザスポット光による微小領域の誘導電荷信号を読み出した。このように、電極（ＩＴＯ膜）が帯状に一続きになっているものを用いると、ある測定位置の電極に誘導される電荷量（変位電流信号）検出が終わるまで次の位置の測定が出来ないため、誘導電荷量の検出終了までは少なくも、感光体キャリアのトランジットタイム＋αだけはかかることになる。主走査方向３００ｍｍ幅を０．２ｍｍビッチで測定し、１点の測定時間を５ｍｓとしたとき、主走査方向１回に１５００点の測定点があるため、５ｍｓ×１５００＝７．５ｓかかった。感光体ドラムを周方向に０．２ｍｍピッチで動かすと、３０ｍｍφドラムのばあい、全表面の静電潜像の情報を読み出すのに７．５×３０π／０．２＝約５９分かかった。
【００３０】
［実施例２］
電極サイズ０．１ｍｍ×０．１ｍｍの電極が０．２ｍｍピッチで直線上に並ぶ電極（ＩＴＯ膜）を０．２ｍｍピッチで２列、石英ガラスの片面に成膜した。このガラス基体のスポット光が入射する面に反射防止膜を成膜した。使用するレーザビームは波長が７８０ｎｍ、ビームスポットサイズ７０μｍ×８５μｍで、ビーム間のピッチが０．２ｍｍのダブルビーム光学系とした。ビーム走査のための回転多面鏡（ポリゴン）は６面、回転数は４７２４ｒｐｍとした。ドラムの線速は１００ｍｍ／ｓとした。このときビームの主走査方向のスピードは１９９，６２３ｍｍ／ｓであった。１ライン３００ｍｍ（×２ライン分）の走査を約１５００μｓで終えることになる。隣り合う電極間０．２ｍｍの走査は１μｓで終える。ポリゴンによる１ラインの最初と終端の時間差が１５００μｓ、これに終端における最大のトランジットタイム２０００μｓを加えても３５００μｓ、１ラインにおける測定点（電極）の全ての測定時間は４ｍｓ以内に済む。副走査方向に０．４ｍｍピッチ分感光体ドラムが移動するのに０．４ｍｍ  ／１００ｍｍ／ｓ＝４ｍｓであるので、次のラインの測定を行う。感光体ドラム全周にわたる測定時間は、１走査（２ライン分）間の測定時間４ｍｓ×全周の走査回数（３０π／０．４）＝０．９４ｓとなった。
【００３１】
［実施例３］
実施例１と同じ電極を使用した。ＬＥＤアレイを使用して、波長が７２０ｎｍ、スポットサイズ８５μｍのビームを照射した。感光体ドラムは停止した状態で測定し、１ライン全電極の同時測定終了後、表面上０．２ｍｍピッチ回転させ、次の測定をした。１ラインは全電極で同時に測定が行われるので、測定終了時間は感光体キャリアのトランジットタイム＋αだけである。この時間を４ｍｓとし、つぎの０．２ｍｍ離れた位置に移動させて測定した。この移動時間は５００ｍｓ要した。感光体ドラム全周にわたる測定時間はライン間の測定時間（４ｍｓ＋５００ｍｓ）×全周のライン数（３０π）／０．２＝約４分となった。
【００３２】
［実施例４］
実施例１と同じ電極を使用した。ＬＥＤアレイを使用して波長が７２０ｎｍ、スポットサイズ８５μｍのビームを照射した。感光体ドラムは線速５０ｍｍ／ｓで回転した状態で測定した。１ライン全電極で同時に測定が行われるので、測定終了時間は感光体キャリアのトランジットタイム＋αだけである。感光体ドラムが０．２ｍｍ回転移動するのは時間にして４ｍｓであり、４ｍｓ後に次のラインの測定をした。感光体ドラム全周にわたる測定時間は、１ライン間の測定時間（４ｍｓ）×全周のライン数（３０π）／０．２＝約２ｓとなった。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明の感光体表面電荷分布測定装置によれば、複写機やレーザプリンターで用いられる電子写真方式において、感光体に形成される微小な領域の静電潜像を直接測定し、潜像の品質・状態を簡便に短時間で評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】透明電極を１次元配列させた例を示す図である。
【図２】透明電極を２次元配列させた例を示す図である。
【図３】電極にスポット光が照射された様子を示す図である。
【図４】個別の電極をレーザスポットが走査する様子を示す図である。
【図５】本発明の感光体表面電荷分布測定装置の構成の概略を示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  透明絶縁基体
２  透明電極（透明絶縁基体＋透明導電膜）
３  感光体
４  光スポット
５  レーザービーム
【図１】
2006011032.tif 000003
【図２】
2006011032.tif 000004
【図３】
2006011032.tif 000005
【図４】
2006011032.tif 000006
【図５】
2006011032.tif 000007