(57)【要約】【課題】  微動アクチュエータを傷つけることなく再利用可能な微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法を得る。【解決手段】  フレキシャ上に接着固定された磁気ヘッドスライダ及び微動アクチュエータを備えた微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリにおいて、加熱によりフレキシャ、磁気ヘッドスライダ及び微動アクチュエータの各接着強度を弱めた状態で以下の工程を実施する。先ず、微動アクチュエータの固定部と磁気ヘッドスライダの端面の隙間にリワーク工具を差し込み、このリワーク工具を引き上げて磁気ヘッドスライダをフレキシャ上に起立させる。次に、起立させた磁気ヘッドスライダをフレキシャから剥離する。続いて、微動アクチュエータの固定部とフレキシャとの接着面の間にリワーク工具を差し込み、該リワーク工具により前記微動アクチュエータをフレキシャ上でスライド移動させ、該微動アクチュエータをフレキシャから剥離する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性を有するフレキシャと、該フレキシャ上に接着固定された磁気ヘッドスライダ及び微動アクチュエータとを備えた微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法において、
前記微動アクチュエータは、前記フレキシャに対する固定部と、この固定部から前記磁気ヘッドスライダの両側面に延びて該両側面にそれぞれ接着固定された一対の可動アームと、この一対の可動アームにそれぞれ接着固定された圧電素子とを有しており、
前記微動アクチュエータの固定部と前記磁気ヘッドスライダの端面との隙間に、リワーク工具を差し込む工程と、
前記リワーク工具で前記磁気ヘッドスライダを引き上げることにより、該磁気ヘッドスライダと前記フレキシャ及び前記微動アクチュエータの一対の可動アームとの接着をそれぞれ剥離させ、該磁気ヘッドスライダを前記フレキシャ上に起立させる工程と、
前記起立させた磁気ヘッドスライダを、前記フレキシャから剥離する工程と、
前記微動アクチュエータの固定部と前記フレキシャとの接着面の間に、前記リワーク工具を差し込む工程と、
前記リワーク工具で前記微動アクチュエータの固定部に押圧を与えることにより、前記微動アクチュエータを前記フレキシャ上でスライド移動させ、該微動アクチュエータを前記フレキシャから剥離する工程と、
を有することを特徴とする微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法。
【請求項２】
請求項１記載の微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法において、極細穂先を有するピンセットの片側のピンセットアームを前記リワーク工具として用いる微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法において、前記起立させた磁気ヘッドスライダは、該磁気ヘッドスライダの両側面を挟んで同磁気ヘッドスライダを前記フレキシャから離す方向へスライド移動させることにより、前記フレキシャから剥離する微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載の微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法において、前記フレキシャの表面にはフレキシブル配線基板が接着されていて、このフレキシブル配線基板の電極パッドと前記磁気ヘッドスライダの電極パッドがボンディング接着部を介して接続されており、
前記磁気ヘッドスライダは、このボンディング接着部を支点にして起立させ、該ボンディング接着部の一部と一緒に前記フレキシャから剥離する微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法。
【請求項５】
請求項４記載の微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法において、前記磁気ヘッドスライダを起立させる前に、超音波カッターを用いて、前記ボンディング接着部に切込みを予め形成しておく微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか一項に記載の微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法において、
前記磁気ヘッドスライダ及び前記微動アクチュエータは、前記フレキシャを所定の荷重で押さえた状態で、該フレキシャから剥離する微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか一項に記載の微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法において、
加熱により、前記フレキシャと前記磁気ヘッドスライダ、前記フレキシャと前記微動アクチュエータ、及び、前記磁気ヘッドスライダの両側面と前記微動アクチュエータの一対の可動アームのそれぞれの接着強度を弱めた状態で、前記各工程を実施する微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスク装置に使用される磁気ヘッドアッセンブリは、磁気抵抗効果素子やインダクティブ素子等を組み込んだ磁気ヘッドスライダと、この磁気ヘッドスライダを自由端部に接着固定した可撓性の金属薄板からなるフレキシャと、このフレキシャを例えばスポット溶接により固定したロードビーム等を備えている。
【０００３】
この種の磁気ヘッドアッセンブリは、出荷前に、動的な特性検査が行われる。動的な特性検査は、フレキシャに磁気ヘッドスライダを接着した状態でスピンスタンド等に装着され、ハードディスクを回転させた状態で行われる。この動的な特性検査は一般に最終的な特性検査とされており、検査結果である動的特性が基準を満足しなければ不良と判断される。このとき、特性不良と判断された磁気ヘッドスライダはフレキシャから剥離して破棄され、フレキシャ及びロードビームは再利用される。従来では、ピンセット等の工具により磁気ヘッドスライダの両側面をつまんでフレキシャから強制的に剥がしている。金属薄板からなるフレキシャはロードビームに比べて非常に脆弱であり、ロードビームに固定した状態のフレキシャから磁気ヘッドスライダを剥離しようとするとフレキシャが容易に変形してしまうので、細心の注意が必要である。
【０００４】
ところで、近年のハードディスク装置では、更なる大容量化及び高記録密度化を実現すべく、狭トラック化が進められている。このため、トラック幅が微小になり、従来のようにボイルコイルモータのみによるサーボ制御方式では、磁気ヘッドスライダの位置をトラックに対して正確に位置決めすることが難しくなってきている。そこで最近では、ボイルコイルモータとは別個の微動アクチュエータを磁気ヘッドスライダに装着し、この微動アクチュエータによって、ボイルコイルモータでは追従しきれない微細な位置決めを行なうものが種々開発されている。このような微動アクチュエータとしては、磁気ヘッドスライダの両側面を挟む一対の可動アームを備え、この一対の可動アームに設けた一対の圧電素子に対する通電制御により磁気ヘッドスライダを微動させるアクチュエータが知られている。
【特許文献１】特開２００４−２８３９１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記微動アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダに対しても、従来の微動アクチュエータを備えない磁気ヘッドスライダと同様に、上述の動的特性検査は実行される。そして特性不良と判定された場合には、磁気ヘッドスライダ及び微動アクチュエータをフレキシャから剥がし、微動アクチュエータ、フレキシャ及びロードビームをそれぞれ再利用することが望ましい。
【０００６】
しかしながら、上述した従来の剥離方法と同様にして微動アクチュエータ付き磁気ヘッドスライダの両側面をピンセット等でつまんで剥がそうとすると、磁気ヘッドスライダの両側面に接着されている微動アクチュエータの一対の可動アームが傷ついてしまうため、好ましくない。微動アクチュエータの一対の可動アームには該可動アームを伸縮させる圧電素子及びその電極が設けられており、圧電素子は例えばガラスセラミック焼成体により形成されているために脆く、ピンセット等の傷が生じると容易に破壊されてしまう。このため、従来の剥離方法では微動アクチュエータを再利用できず、歩留まりが悪化してしまっていた。
【０００７】
本発明は、上述の従来課題に鑑みてなされたもので、微動アクチュエータを傷つけることなく再利用可能な微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、磁気ヘッドスライダを剥離した後に、微動アクチュエータの傷つきやすい可動アームに応力を加えることなく微動アクチュエータをフレキシャから剥がせば、微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリにおいても微動アクチュエータを壊すことなく再利用できることに着目したものである。
【０００９】
すなわち、本発明は、可撓性を有するフレキシャと、該フレキシャ上に接着固定された磁気ヘッドスライダ及び微動アクチュエータとを備えた微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法において、微動アクチュエータは、フレキシャに対する固定部と、この固定部から磁気ヘッドスライダの両側面に延びて該両側面にそれぞれ接着固定された一対の可動アームと、この一対の可動アームにそれぞれ接着固定された圧電素子とを有しており、微動アクチュエータの固定部と磁気ヘッドスライダの端面との隙間に、リワーク工具を差し込む工程と、リワーク工具で磁気ヘッドスライダを引き上げることにより、該磁気ヘッドスライダとフレキシャ及び微動アクチュエータの一対の可動アームとの接着をそれぞれ剥離させ、該磁気ヘッドスライダをフレキシャ上に起立させる工程と、起立させた磁気ヘッドスライダをフレキシャから剥離する工程と、微動アクチュエータの固定部とフレキシャとの接着面の間にリワーク工具を差し込む工程と、リワーク工具で微動アクチュエータの固定部に押圧を与えることにより、微動アクチュエータをフレキシャ上でスライド移動させ、該微動アクチュエータをフレキシャから剥離する工程とを有することを特徴としている。
【００１０】
上記リワーク工具には、極細穂先を有するピンセットの片側のピンセットアームを用いることができる。
【００１１】
起立させた磁気ヘッドスライダは、該磁気ヘッドスライダの両側面を挟んで同磁気ヘッドスライダをフレキシャから離す方向へスライド移動させることにより、フレキシャから剥離することが好ましい。より具体的には、フレキシャの表面にはフレキシブル配線基板が接着されていて、このフレキシブル配線基板の電極パッドと磁気ヘッドスライダの電極パッドがボンディング接着部を介して接続されていることが実際的であり、磁気ヘッドスライダはこのボンディング接着部を支点にして起立させ、該ボンディング接着部の一部と一緒にフレキシャから剥離することが好ましい。また、磁気ヘッドスライダ及び微動アクチュエータは、ボンディング接着部に予め切込みを形成しておき、フレキシャを所定の荷重で押さえた状態で該フレキシャから剥離することが好ましい。これら態様によれば、フレキシャに与えるダメージが少なく、フレキシャの変形を抑えられる。
【００１２】
以上のリワーク方法の各工程は、加熱により、前記フレキシャと前記磁気ヘッドスライダ、前記フレキシャと前記微動アクチュエータ、及び、前記磁気ヘッドスライダの両側面と前記微動アクチュエータの一対の可動アームのそれぞれの接着強度を弱めた状態で、実施することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、微動アクチュエータを傷つけることなく再利用可能な微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法を得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本発明方法を適用する微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリを備えたハードディスク装置の全体構造を示している。回転軸１１を中心に回転駆動されるハードディスク（磁気ディスク）１２の外には、スイングアーム２０の基部が粗動回転軸１３を中心に往復揺動自在に支持されている。スイングアーム２０は、フレキシャ２２とロードビーム２３から構成され、隙間αをあけて形成された舌部２０ａを先端部に有している。このスイングアーム２０の舌部２０ａには、磁気ヘッドスライダ２１が設けられている。フレキシャ２２は、板ばね状の可撓性を有する薄い金属板であって、ロードビーム２３の先端部に、ロードビーム２３に対して磁気ヘッドスライダ２１を弾性的に浮遊支持した状態で装着されている。アクチュエータ１４によってスイングアーム２０が粗動回転軸１３を中心に往復揺動すると、磁気ヘッドスライダ２１がハードディスク１２の略半径方向に往復移動する。
【００１５】
スイングアーム２０の舌部２０ａには、さらに、磁気ヘッドスライダ２１の位置微調整手段として、微動アクチュエータ３０が設けられている。微動アクチュエータ３０は、図２及び図３に拡大して示すように、スイングアーム２０の舌部２０ａ上でフレキシャ２２に樹脂接着された固定部３１Ａと、固定部３１Ａの両側端から垂直方向（粗動回転軸１３と磁気ヘッド２１を結ぶ直線方向）に平行に延びた一対の可動アーム３１Ｂとを有するヘッド微動基板３１を備え、一対の可動アーム３１Ｂの間に磁気ヘッドスライダ２１を挟持している。一対の可動アーム３１Ｂの自由先端部と磁気ヘッドスライダ２１の側面は樹脂接着剤により接着固定されているが、この樹脂接着部３３以外では、磁気ヘッドスライダ２１と微動アクチュエータ３０との間に隙間βが生じている。この隙間βは５０μｍ程度である。また微動アクチュエータ３０は、固定部３１Ａとフレキシャ２２の樹脂接着部３４によりフレキシャ２２から約３５μｍ浮いた状態を維持している。
【００１６】
ヘッド微動基板３１は、例えばガラスセラミック焼成体により形成されており、一対の可動アーム３１Ｂの側面に沿わせて、互いに極性を逆にした一対の圧電素子３２が平行に固定されている。図示されていないが、各圧電素子３２の表面（側面）には給電用の電極が形成されている。この一対の圧電素子３２は、電極を介して駆動電圧が印加されると、粗動回転軸１３と磁気ヘッドスライダ２１を結ぶ直線と平行な方向の長さＬが一方は伸び、他方は縮むように、分極方向が設定されている。一対の圧電素子３２の一方が伸び他方が縮むと、一対の可動アーム３１Ｂは、磁気ヘッドスライダ２１を、粗動回転軸１３を中心とする円弧方向に微動させる。この微動のオーダーは、現在の技術レベルでは例えば、各圧電素子３２に０．３μｍの伸縮が生じたとき、磁気ヘッドスライダ２１に粗動回転軸１３を中心とする円弧方向へ１μｍ前後の微動が生じる程度である。理解を容易にするため、図２ではスイングアーム２０（フレキシャ２２）にハッチングを付して示してある。
【００１７】
フレキシブル配線基板４０は、樹脂接着剤等によりフレキシャ２２の表面に装着されていて、磁気ヘッドスライダ２１と記録再生装置１５を接続するトレースライン４１と、圧電素子３２の電極と制御回路１６を接続する給電ライン４２とを有している。本実施形態では、トレースライン４１の一端部と磁気ヘッドスライダ２１の電極、及び給電ライン４２の一端部と圧電素子３２の電極がそれぞれ金ボールボンディングにより接続され、複数のボンディング接着部３５、３６が設けられている。制御回路１６は、ハードディスク装置全体の制御手段として機能し、具体的には磁気ヘッドスライダ２１と記録再生回路１５との間で記録再生情報信号を授受させると共に、磁気ヘッドスライダがハードディスク１２から受けたトラッキング信号に基づきアクチュエータ１４及び微動アクチュエータ３０（圧電素子３２）を駆動制御してスイングアーム２０及び磁気ヘッドスライダ２１を正しいトラック位置に制御する。
【００１８】
例えば以上のようなハードディスク装置に備えられる磁気ヘッドスライダ２１は、出荷前に、実際にハードディスクを回転させた状態で行なう動的特性検査が実施される。この動的特性検査は、完成状態の微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリをスピンスタンド等の検査機に装着して行なわれる。この動的特性検査の結果、良品と判定された磁気ヘッドスライダ２１は製品となるが、特性不良と判定された磁気ヘッドスライダ２１はフレキシャ２２から剥がされて破棄され、フレキシャ２２から剥がした微動アクチュエータ３０とフレキシャ２２（フレキシブル配線基板４０付き）とロードビーム２３はリワーク品として再利用される。
【００１９】
本実施形態は、磁気ヘッドスライダ２１が上記動的特性検査で特性不良と判断された場合に、磁気ヘッドスライダ２１及び微動アクチュエータ３０をフレキシャ２２から剥離する方法を要旨としている。以下、図４〜図６を参照し、本発明方法の一実施形態を説明する。
【００２０】
先ず、動的特性検査で特性不良と判断された磁気ヘッドアッセンブリを所定のフレキシャ受け台の上にセットして位置決めする。この際、スイングアーム２０の舌部２０ａよりも後部側でフレキシャ２２に適度な荷重を与え、フレキシャ２２を固定しておくことが好ましい。
【００２１】
次に、上記磁気ヘッドアッセンブリ（スイングアーム２０）をセットしたフレキシャ受け台の温度を約２００℃程度に設定し、この加熱により、磁気ヘッドスライダ２１、フレキシャ２２及び微動アクチュエータ３０の各樹脂接着部やボンディング接着部３５、３６の接着強度をそれぞれ弱めておく。このとき、磁気ヘッドスライダ２１及び微動アクチュエータ３０において半田接合がある場合には、半田は溶融され、半田接合は解消される。また、磁気ヘッドスライダ２１及び微動アクチュエータ３０においてボールボンディングによる接着部（本実施形態ではボンディング接着部３５、３６）がある場合には、ボールを予め切断することで接着強度を弱めておく。これ以降の各工程は、フレキシャ受け台の加熱により、磁気ヘッドスライダ２１、フレキシャ２２及び微動アクチュエータ３０の各接着強度を弱めた状態で実施される。
【００２２】
続いて、図４（Ａ）（Ｂ）に示すように、磁気ヘッドスライダ２１と微動アクチュエータ３０の固定部３１Ａとの間の隙間βにリワーク工具５０を差し込む。リワーク工具５０としては、４０〜５０μｍ以下程度の極細穂先を有するピンセットの片側のピンセットアームを用いることができる。そして、差し込んだリワーク工具５０で磁気ヘッドスライダ２１のリーディング端面Ｒ（微動アクチュエータ３０の固定部３１Ａに対向している端面）を図示矢印方向へ引き上げ、トレーリング端面Ｔ側のボンディング接着部３５を支点として磁気ヘッドスライダ２１をフレキシャ２２上に起立させる。図４ではピンセット５０の差込位置を（＊１）で示す。これにより、磁気ヘッドスライダ２１とフレキシャ２２の樹脂接着２１ａ及び磁気ヘッドスライダ２１の両側面と微動アクチュエータ３０の一対の可動アーム３１Ｂとの樹脂接着３３は剥がれる。起立した磁気ヘッドスライダ２１は、ボンディング接着部３５のみでフレキシャ２２に接着されている状態となる。
【００２３】
続いて、図５に示すように、磁気ヘッドスライダ２１の両側面を挟んで図示矢印方向（磁気ヘッドスライダ２１をフレキシャ２２から離す方向）へスライド移動させる（引っ張る）。すると、ボンディング接着部３５が分断され、磁気ヘッドスライダ２１はボンディング接着部３５の一部と一緒にフレキシャ２２から剥がれる。取り外した磁気ヘッドスライダ２１は破棄する。
【００２４】
磁気ヘッドスライダ２１の剥離後は、図５に示されるように、樹脂接着部３３の残部が微動アクチュエータ３０に残り、ボンディング接着部３５の残部がフレキシブル配線基板４０の上に残る。
【００２５】
続いて、微動アクチュエータ３０に接続されている６個のボンディング接着部３６に予め切込みを入れたうえで、図６に示すように微動アクチュエータ３０の後端面３０ａのほぼ中央位置から、微動アクチュエータ３０の固定部３１Ａとフレキシャ２２との接着面の間、すなわち樹脂接着部３４にリワーク工具５０を差し込む。そして、差し込んだリワーク工具５０で微動アクチュエータ３０の固定部３１Ａを図示矢印方向（スイングアーム２０の先端側）へ押し出し、該微動アクチュエータ３０をフレキシャ２２上でスライド移動させる。これにより、微動アクチュエータ３０の固定部３１Ａとフレキシャ２２の樹脂接着部３４を剥がし、微動アクチュエータ３０をフレキシャ２２から取り外す。このとき、微動アクチュエータ３０の圧電素子３２及びその電極には何も応力が加わっていないので、該圧電素子３２及びその電極に傷が生じることも該傷によって壊れることもない。図６では、ピンセット５０の差込位置を（＊２）で示す。
【００２６】
以上のようにして取り外した微動アクチュエータ３０、及び、磁気ヘッドスライダ２１を取り外したスイングアーム２０（フレキシャ２２、ロードビーム２３、フレキシブル配線基板４０）は、リワーク品として再利用される。
【００２７】
微動アクチュエータ３０付き磁気ヘッドアッセンブリ（微動アクチュエータ３０及び磁気ヘッドスライダ２１を舌部２０ａに接着固定したスイングアーム２０）において、磁気ヘッドスライダ２１の剥離前後のＰｉｔｃｈ変化を表１、２に示した。Ｐｉｔｃｈは、磁気ヘッドスライダ２１の中央部で測定した、該磁気ヘッドスライダ２１のＡＢＳ（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ）面とハードディスク１２とのなす角度である。表１は磁気ヘッドスライダ２１を起立させて剥がした後に、微動アクチュエータ３０を押し出して剥がす本実施形態の剥離方法による測定結果であり、表２は、ピンセットで微動アクチュエータ３０の両側面を挟み、該微動アクチュエータ３０と磁気ヘッドスライダ２１を一緒に剥離する従来の剥離方法による測定結果である。表１及び表２において、ＭＡＸ、ＭＩＮ、ＡＶＧ、ＳＴＤはそれぞれＰｉｔｃｈの最大値、最小値、平均値、標準偏差を意味する。
【００２８】
（表１）；本実施例
Ｐｉｔｃｈ（剥離前後の差）
ＭＡＸ    ５６．４４
ＭＩＮ      ０
ＡＶＧ    ２０．１８
ＳＴＤ    １４．９５８９
（表２）；従来例
Ｐｉｔｃｈ（剥離前後の差）
ＭＡＸ      ５７．３４
ＭＩＮ    −３３．７８
ＡＶＧ      ２０．４６
ＳＴＤ      ２１．６７７９
表１と表２を比較してみると、本実施形態の剥離方法を適用した場合のほうが、従来の剥離方法を適用した場合よりもＰｉｔｃｈ変化が小さく、フレキシャ２２に与えるダメージが少ないことが明らかである。
【００２９】
以上の本実施形態によれば、リワーク工具５０により磁気ヘッドスライダ２１を起立させてフレキシャ２２から剥がし、その後に、同リワーク工具５０で微動アクチュエータ３０の固定部３１Ａに押力を加えることにより該微動アクチュエータ３０とフレキシャ２２との樹脂接着を解消するので、圧電素子３２及びその電極を傷つけることなく微動アクチュエータ３０及び磁気ヘッドスライダ２１をフレキシャ２２から剥がすことができる。また従来よりもフレキシャ２２の変形を少なくすることができている。これにより、取り外した微動アクチュエータ３０、フレキシャ２２、ロードビーム２３及びフレキシブル配線基板４０を再利用することができ、歩留まりが改善される。
【００３０】
以上、図示実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はその範囲を逸脱しない限りにおいて変更可能であり、図示実施形態に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明方法の適用する微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリを備えたハードディスク装置の全体構造を示す平面図である。
【図２】図１のスライダ周辺部を示す拡大平面図である。
【図３】図１のスライダ周辺部を示す拡大断面図である。
【図４】本発明による微動アクチュエータ付き磁気ヘッドアッセンブリのリワーク方法の一工程を示す（Ａ）平面図、（Ｂ）断面図である。
【図５】図４に示す工程の次工程を示す斜視図である。
【図６】図５に示す工程の次工程を示す（Ａ）平面図、（Ｂ）断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
２０    スイングアーム
２０ａ  舌部
２１    磁気ヘッドスライダ
２２    フレキシャ
２３    ロードビーム
３０    微動アクチュエータ
３０ａ  後端面
３１    ヘッド微動基板
３１Ａ  固定部
３１Ｂ  可動アーム
３２    圧電素子
３３、３４  樹脂接着部
３５、３６    ボンディング接着部
４０    フレキシブル配線基板
４１    トレースライン
４２    給電ライン
５０    リワーク工具
Ｔ    トレーリング端面
Ｒ    リーディング端面
α、β  隙間
＊１、＊２  ピンセット差込位置
【図１】
2006318609.tif 000003
【図２】
2006318609.tif 000004
【図３】
2006318609.tif 000005
【図４】
2006318609.tif 000006
【図５】
2006318609.tif 000007
【図６】
2006318609.tif 000008