(57)【要約】【課題】  スパージャへめっき液を供給するための配管の脱着を容易に行なうことができる部分めっき装置を提供する。【解決手段】  スパージャ３４の供給孔４１と連通する流路８１が内部に形成された筒状の接続部８２が、スパージャ３４の底面から突出して設けられ、接続部８２に接続されてめっき液をスパージャ３４内に供給させる配管８４が設けられ、めっきマスク３８をスパージャ３４の開放端に装着すべく、スパージャ３４とめっきマスク３８とを挟み込んで締付けるためにスパージャ３４の底面を押圧する押圧部６４を有するクランプ装置４３が設けられ、クランプ装置４３の押圧部６４が、配管８４を押圧可能となるように設けられ、クランプ装置４３がめっきマスク３８とスパージャ３４とを挟み込んで締付けた場合には、配管８４がクランプ装置４３の押圧部６４によって押圧されて接続部８２と接続するように設けられている。【選択図】        図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき液が貯留される加圧室、該加圧室内にめっき液を供給するために他方側の底面に形成された供給孔を有し、一方側が開放されて成る箱状のスパージャと、
被めっき物のめっき対象領域に対して開口した開口部が形成され、前記スパージャの一方側の開放端に取り付けられるめっきマスクと、
前記めっきマスクの開口部に向けてめっき液を噴射するノズルが設けられ、前記めっきマスクと前記スパージャの他方側の底面との間に取り付けられるノズル板とを具備する部分めっき装置において、
前記スパージャの供給孔と連通する流路が内部に形成された筒状の接続部が、前記スパージャの底面から外方に突出するようにして設けられ、
該接続部に接続可能であって、めっき液を前記接続部内の流路および前記供給孔を介して前記スパージャ内に供給させる配管が設けられ、
前記めっきマスクを前記スパージャの開放端に装着すべく、前記スパージャと前記めっきマスクとを挟み込んで締付けるために前記スパージャの底面を押圧する押圧部を有するクランプ装置が設けられ、
該クランプ装置の前記押圧部が、前記配管を押圧可能となるように設けられ、
前記クランプ装置が前記めっきマスクと前記スパージャとを挟み込んで締付けた場合には、前記配管が前記クランプ装置の前記押圧部によって押圧されて前記接続部と接続するように設けられていることを特徴とする部分めっき装置。
【請求項２】
前記接続部の外壁面は、先端に向けて徐々に小径となるようにテーパ状に形成され、
前記配管の内壁面は、前記テーパ状の接続部を収納可能となるように形成されていることを特徴とする請求項１記載の部分めっき装置。
【請求項３】
前記接続部の外壁面および／または前記配管の内壁面には、シール部材が設けられていることを特徴とする請求項２記載の部分めっき装置。
【請求項４】
前記１台のスパージャに対して、前記クランプ装置は複数台設けられ、
前記配管は、複数台のクランプ装置の複数の押圧部によって押圧されることを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか１項記載の部分めっき装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部分めっき装置に関し、より詳細にはリードフレームやＴＡＢテープ等の帯状部材のめっきに用いる部分めっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置に用いられるリードフレームは、金属製の帯状部材を加工したものであり、単位リードフレームが該帯状部材に多数連接して形成される。
各単位リードフレームには、半導体素子を搭載するためのステージの部位と、ワイヤボンディングがなされるインナーリード先端部に銀めっき等の部分めっきが施される。
【０００３】
このようなリードフレームに部分めっきを施すためには、部分めっき装置が用いられる。
従来の部分めっき装置を、図９〜図１１に基づいて説明する。
部分めっき装置１０は、スパージャ１１、スパージャ１１内に設けられた整流板１２、スパージャ１１の開放された一方側に設けられたノズル板１３、およびめっきマスク１４とを有している。
【０００４】
スパージャ１１は、内部にめっき液が貯留される加圧室１４が形成されている箱状の部材である。箱状のスパージャ１１の一方側は開放されており、開放された一方側にノズル板１３とめっきマスク１４が取り付けられる。
スパージャ１１の加圧室１４の内部には、めっき液を均一にノズル板１３に流すための整流板１２が設けられている。整流板１２は、多数の小孔が穿設された板状の部材である。図面上では整流板１２の小孔は省略して図示している。
【０００５】
スパージャ１１内部において整流板１２よりも一方側（開放側）の位置には、めっき液をめっきマスク１４の開口部１６に向けて噴射するノズル１９が設けられたノズル板１３がボルト１７によって取り付けられている。ノズル板１３のノズル突出側には、陽極極板２０が配置されている。
スパージャ１１の一方側（開放側）の端部には、めっきマスク１４がボルト２１によって取り付けられている。めっきマスク１４は、リードフレームのめっきすべき領域に対応する位置に開口部１６が形成された板状の部材である（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
スパージャ１１の他方側の底面には、加圧室１４にめっき液を供給させるための供給孔２０が形成され、スパージャ１１の他方側の外壁面には供給孔２０にめっき液を供給するためポンプ（図示せず）から延びている配管２２を接続させるための接続部２４が設けられている。
接続部２４は、スパージャ１１の外壁面から突出して設けられた筒状の部材であり、供給孔２０と連通する流路２５が内部に形成されている。また、接続部２４の外壁面には、ネジ溝２６が形成されている。
【０００７】
一方、ポンプから延びる配管２２の端部には、スパージャ１１の接続部２４に接続するための接続部材２７が設けられている。接続部材２７は、配管２２の端部において回転自在に保持されており、内壁面には、スパージャ１１の接続部２４に形成されたネジ溝２６と螺合するネジ溝２８が形成されている。
スパージャ１１と配管２２との接続は、接続部材２７を回し込むことによって、接続部２４の外壁面のネジ溝２６と接続部材２７の内壁面のネジ溝２８とを螺合させることで行なわれる。
【特許文献１】特開２００１−３０３２９７号公報（００２３、図１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
部分めっき装置１０においては、異なるリードフレームに部分めっきを施す場合や、メンテナンス等の場合には、めっき液をスパージャ１１に供給するための配管２２をスパージャ１１から取り外す必要がある。
しかし、従来の部分めっき装置１０では、上述したように配管２２の取り付けはネジ２６，２８同士の螺合によって行なっており、配管２２の脱着には接続部材２７を回して行なわなくてはならず、配管２２の脱着に手間がかかっているという課題があった。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、スパージャへめっき液を供給するための配管の脱着を容易に行なうことができる部分めっき装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記目的を達成すべく、以下の構成を備える。
すなわち、めっき液が貯留される加圧室、該加圧室内にめっき液を供給するために他方側の底面に形成された供給孔を有し、一方側が開放されて成る箱状のスパージャと、被めっき物のめっき対象領域に対して開口した開口部が形成され、前記スパージャの一方側の開放端に取り付けられるめっきマスクと、前記めっきマスクの開口部に向けてめっき液を噴射するノズルが設けられ、前記めっきマスクと前記スパージャの他方側の底面との間に取り付けられるノズル板とを具備する部分めっき装置において、前記スパージャの供給孔と連通する流路が内部に形成された筒状の接続部が、前記スパージャの底面から外方に突出するようにして設けられ、該接続部に接続可能であって、めっき液を前記接続部内の流路および前記供給孔を介して前記スパージャ内に供給させる配管が設けられ、前記めっきマスクを前記スパージャの開放端に装着すべく、前記スパージャと前記めっきマスクとを挟み込んで締付けるために前記スパージャの底面を押圧する押圧部を有するクランプ装置が設けられ、該クランプ装置の前記押圧部が、前記配管を押圧可能となるように設けられ、前記クランプ装置が前記めっきマスクと前記スパージャとを挟み込んで締付けた場合には、前記配管が前記クランプ装置の前記押圧部によって押圧されて前記接続部と接続するように設けられていることを特徴としている。
この構成を採用することによって、配管はクランプ装置の押圧部によって押圧されて接続部に接続される。このため、従来のように配管を脱着する際にネジ螺合を解除するために接続部材を回す必要がなく、クランプ装置を緩めるだけで配管を接続部から取り外し、クランプ装置を締付けるだけで配管を接続部へ接続させることができる。
【００１１】
また、前記接続部の外壁面は、先端に向けて徐々に小径となるようにテーパ状に形成され、前記配管の内壁面は、前記テーパ状の接続部を収納可能となるように形成されていることを特徴としてもよい。
この構成を採用することによって、配管をスパージャに取り付ける際に、配管と接続部の芯出しを正確に行なっていなくとも配管内に接続部が確実に挿入されるので、配管接続時の手間を更に省くことができる。
【００１２】
さらに、前記接続部の外壁面および／または前記配管の内壁面には、シール部材が設けられていることを特徴とすることで、配管の取り付け部分からの液漏れの防止を図ることができる。
【００１３】
また、前記１台のスパージャに対して、前記クランプ装置は複数台設けられ、前記配管は、複数台のクランプ装置の押圧部によって押圧されることを特徴としてもよい。
この構成によれば、配管は、１台のクランプ装置の押圧部によって押圧されるよりも強い押圧力で押圧されることとなるので、配管の取り付け強度が増す。
【発明の効果】
【００１４】
本発明にかかる部分めっき装置によれば、めっきマスクまたはめっきマスクユニットの脱着とスパージャへめっき液を供給する配管の脱着を同時に行なうことができ、配管の脱着が容易になるので、交換時の手間を省くことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は部分めっき装置の全体構成の正面図、図２は部分めっき装置の全体構成の側面図、図３は部分めっき装置の平面図、図４は部分めっき装置の背面図、図５はスパージャの内部構成を示す断面図である。
本実施形態の部分めっき装置３０は、半導体装置に用いるリードフレーム３１に対してめっきを施すための装置である。被めっき物であるリードフレーム３１としては、リールに巻かれた状態のフープ状のものであっても、所定の長さに切断されている短冊状のものであってもどちらでもよい。
【００１６】
リードフレーム３１は、図に示すように平面部分が正面を向くように縦置きされ、フィーダ装置３２によって水平方向（図１では右方向）に定寸送りされる。フィーダ装置３２は、部分めっき装置３０を挟んでリードフレーム３１の進行方向の前後に配置されている。
各フィーダ装置３２には、リードフレーム３１の上端縁３１ａと下端縁３１ｂに当接して、リードフレーム３１を移動させる上フィーダローラ３３ａおよび下フィーダローラ３３ｂが設けられている。
したがって、リードフレーム３１は、その下端縁３１ｂによって部分めっき装置３０に対する上下方向の位置決めがなされる。
【００１７】
部分めっき装置３０は、内部にめっき液が貯留されるスパージャ３４、スパージャ３４の前面に設けられためっきマスクユニット３６、リードフレーム３１を挟んでめっきマスクユニット３６と対向する位置にある裏当て板３７を有している。めっきマスクユニット３６とは、めっきマスク３８とノズル板４０とが一体に構成された部材である。
また、部分めっき装置３０には、めっきマスクユニット３６と裏当て板３７をスパージャ３４に取り付けるために、めっきマスクユニット３６、裏当て板３７およびスパージャ３４を締付ける２台のクランプ装置４３，４３が設けられている。
【００１８】
以下、上述した各構成要素について説明する。
スパージャ３４は、内部にめっき液が貯留される箱状の部材であり、一方側が開放されている。スパージャの他方側（底部）にはめっき液が供給される供給孔４１が形成されている。スパージャの他方側の外壁面のほぼ中央には、供給孔４１に連通する流路８１が内部に形成された接続部８２が、外方に突出するようにして設けられている。
接続部８２は、先端部に向けて徐々に小径となるようなテーパ状に形成されており、後述する配管８４との接続を行ないやすくしている。また、接続部８２のテーパ状の外壁面には、シール用のＯリング８６が設けられている。
【００１９】
接続部８２には、めっき液をスパージャ３４内に供給させるための配管８４が接続される。配管８４は、図示しないポンプに接続されており、ポンプによってポンプアップされためっき液を供給孔４１を介して加圧室４２内に流入させる。
配管８４の端部には、スパージャ３４の接続部８２を内部に収納して接続部８２内の流路８１と配管８４とを接続させる接続部材８７が設けられている。接続部材８７には、接続部８２を収納可能なように配管８４側に向けて徐々に小径となるようなテーパ状に形成された収納孔８８が形成されている。収納孔８８の底部には、接続部８２の先端部と当接する位置にシール用のパッキン８９が設けられている。
【００２０】
接続部材８７には、２台のクランプ装置４３の押圧力を利用して、配管８４を接続部８２に接続するために各クランプ装置４３から接続部材８７へ延びる２本の押圧用アーム９０，９０が設けられている。
押圧用アーム９０は、一端側９０ａがクランプ装置４３における押圧部６４の先端に固定され、他端側９０ｂが接続部材８７の側面に固定されている。
クランプ装置４３の押圧部６４がスパージャ３４方向への接離動動作をすると、押圧部６４の動作に伴って押圧用アーム９０も配管８４の接続部材８７をスパージャ３４の接続部８２に対して接離動動作がなされ、配管８４の接続部８２への脱着が行なわれる。
【００２１】
以下、スパージャ内部の構成について説明する。
また、スパージャ３４の内壁面は一方側に向けて階段状に内径が広がるような段差４４，５１が形成されており、底部に最も近い位置の段差４４に整流板４６が取り付けられている。整流板４６とスパージャ３４の底部との間の空間がめっき液の加圧室４２となる。整流板４６には多数の小孔が形成されており、後述するノズル板４０の複数のノズル４７に均一にめっき液が行き渡るように設けられている。なお、図面では整流板４６の小孔は省略して図示している。
【００２２】
めっきマスクユニット３６は、ノズル板４０とめっきマスク３８とが複数本のカラー４９によって連結されて成る。カラー４９は、所定長さの棒状の部材であって、ノズル板４０とめっきマスク３８の間に立設され、双方をネジ止めによって連結して固定している。
めっきマスクユニット３６は、ノズル板４０の端部がスパージャ３４の内壁面の段差５１に位置し、めっきマスク３８の端部がスパージャ３４の一方側の端面５２に位置するようにスパージャ３４に取り付けられる。
【００２３】
めっきマスクユニット３６を構成するノズル板４０は、めっき液をめっきマスク３８の開口部５０に向けて噴射するために複数のノズル４７，４７・・が設けられている。また、ノズル板４０のめっきマスク側の面は陽極極板５４が配置されている。
めっきマスク３８は、リードフレーム３１のめっき領域に対応する位置に複数の開口部５０，５０・・が形成されている。
【００２４】
次に、クランプ装置について説明する。
クランプ装置４３は、側面からみると各構成部材が四角形状に連結するように構成されており、四角形の辺のうちの少なくとも一辺が開放可能となるように設けられている。
具体的には、クランプ装置４３は、裏当て板３７の表面に当接するように設けられた背板５６と、背板５６からスパージャ３４方向に延びる下部支持部材５８と、下部支持部材５８のスパージャ３４方向側端部から上方に向けて延びる底面支持部材６０と、底面支持部材６０の上端部から背板５６方向に延びる回動部材６２と、底面支持部材６０からスパージャ３４方向に延びてスパージャ３４の底面を押圧する押圧部６４を有するトグルクランプ６６とから構成される。
【００２５】
クランプ装置４３の構成要素のうち、背板５６と下部支持部材５８とはそれぞれ互いに可動しないように強固に固定されているが、回動部材６２は底面支持部材６０の上端部に設けられた回動軸６９を中心に鉛直面内で回動可能に設けられている。また、底面支持部材６０は、下部支持部材５８の底面側端部に設けられた回動軸を中心に鉛直面内で回動可能に設けられている。
回動部材６２の先端部７０は、背板５６の表面側を引っ掛けるように鉤状に形成されており、この鉤状の先端部７０が背板５６の表面側に掛けられることによって、背板５６と押圧部６４との間に、裏当て板３７とめっきマスクユニット３６とスパージャ３４とが挟み込まれる。
【００２６】
なお、回動部材６２の下面と、めっきマスクユニット３６の上面との間には隙間が形成されているが、この隙間を埋めるために、めっきマスクユニット３６の上部には上当て部材６３が配置されている。
同様に、下部支持部材５８の上面と、めっきマスクユニット３６の下面との間の隙間を埋めるために、めっきマスクユニット３６の下部には下当て部材６５が配置されている。
【００２７】
トグルクランプの構成および動作を、図２と図３に基づいて説明する。
トグルクランプ６６は、鉛直面内で鉛直下向きと鉛直上向きとの間で回動可能に設けられた操作ハンドル７２と、操作ハンドル７２とリンク機構７３を介して水平方向に移動可能に設けられたロッド６４とを有しており、底面支持部材６０に設けられたトグルクランプ取り付け板８０に取り付けられている。
なお、このロッド６４が、上述した押圧部６４に該当する。
【００２８】
トグルクランプ取り付け板８０には、ロッド６４の中途部を保持する筒状の軸受部７８が固定されている。軸受部７８は、ロッド６４をスパージャ３４方向に突出入自在となるように保持している。
軸受部７８には、２枚の側板７９，７９が、スパージャ３４と反対方向に突出するように設けられており、側板７９，７９の間に操作ハンドル７２の回動軸７４が設けられる。このようにして操作ハンドル７２は、側板７９，７９に対して回動自在に固定される。
【００２９】
リンク機構７３は、操作ハンドル７２自体の回動軸７４と、操作ハンドル７２の延出方向とはほぼ直交する方向にのびたリンク部７５と、リンク部７５の先端部に回動軸７６を介してリンク部７５に対して回動可能に取り付けられた第２リンク部７７とから構成されている。第２リンク部７７の先端部は、回動軸８５を介してロッド６４の後端部と連結されている。
【００３０】
このようなトグルクランプ６６において、操作ハンドル７２を鉛直上向きに回動させることによって、リンク機構７３のリンク部７５は図面上で時計回りに回動して第２リンク部７７を介してロッド６４をスパージャ３４から離れる方向に移動させる。
また、操作ハンドル７２を鉛直下向きに回動させることによって、リンク機構７３のリンク部７５は図面上で反時計回りに回動して第２リンク部７７を介してロッド６４をスパージャ３４に近づく方向に移動させる。
【００３１】
そして、操作ハンドル７２が鉛直下向きに位置したところで、ロッド６４の先端に設けられた押圧用アーム９０が適度な押圧力でスパージャ３４の底面を押圧することができる。また、操作ハンドル７２を鉛直下向きに位置させたときに、操作ハンドル７２が反時計回りに戻ってしまうことを防止するために、操作ハンドル７２の戻り防止用のストッパー機構を設けるとよい（図示せず）。
【００３２】
上述してきた構成の部分めっき装置３０における配管の交換動作について、図６〜図８に基づいて説明する。
作業者は、トグルクランプ６６の操作ハンドル７２を鉛直上向きに回動させ、押圧部６４をスパージャ３４から離間する方向に移動させる。すると、押圧部６４の先端に設けられている押圧用アーム９０もスパージャ３４から離間する方向に移動する。押圧用アーム９０の他端側９０ｂは接続部材８７の側面に取り付けられているので、押圧用アーム９０がスパージャ３４から離間する方向に移動することで、配管８４の接続部材８７がスパージャ３４の接続部８２から取り外される。
【００３３】
なお、このとき背板５６に引っ掛けられていた回動部材６２が緩み、回動可能となる。めっきマスクユニット３６の交換は、作業者が回動部材６２を回動させて鉤状の先端部７０を背板５６から外し、トグルクランプ６６によって締付けられて固定されていためっきマスクユニット３６をスパージャ３４から取り外し、新たなめっきマスクユニット３６を配置することで実行される。
【００３４】
新たな配管８４をスパージャ３４に取り付けるには、作業者は、配管８４の接続部材８７の収納孔８８をスパージャ３４の接続部８２とほぼ一致する位置にあてがい、回動部材６２を回動させて鉤状の先端部７０を背板５６の上端部に引っ掛ける。
次いで作業者は、トグルクランプ６６の操作ハンドル７２を鉛直下向きに回動させ、押圧部６４をスパージャ３４方向に移動させる。すると、押圧部６４がスパージャ３４の底面を押圧し、スパージャ３４とめっきマスクユニット３６と裏当て板３７は、トグルクランプ６６の押圧部６４と背板５６との間で強固に締付けられる。また、押圧部６４がスパージャ３４方向に移動することで、押圧用アーム９０が接続部材８７をスパージャ３４方向に移動させて、接続部材の収納孔８８内へ接続部８２が収納され、配管８４と接続部８２とはスパージャ３４にめっき液を供給可能に接続される。
【００３５】
なお、上述した実施形態では、めっきマスク３８とノズル板４０とを一体にしためっきマスクユニット３６がスパージャ３４に取り付けられる形態についてのみ説明したが、本発明の実施形態としてはめっきマスク３８とノズル板４０とがそれぞれ別個にスパージャ３４に取り付けられるものであってもよい。
【００３６】
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】部分めっき装置の正面図である。
【図２】部分めっき装置の側面図である。
【図３】部分めっき装置の平面図である。
【図４】部分めっき装置の背面図である。
【図５】部分めっき装置の内部構成を示す断面図である。
【図６】配管がスパージャに接続されているところを示す説明図である。
【図７】配管がスパージャから取り外されているところを示す説明図である。
【図８】配管がクランプ装置によって脱着させるところを説明するための部分めっき装置の平面図である。
【図９】従来の部分めっき装置の断面図である。
【図１０】従来の部分めっき装置の正面図である。
【図１１】従来の部分めっき装置の平面図である。
【符号の説明】
【００３８】
３０   部分めっき装置
３１   リードフレーム
３２   フィーダ装置
３３ａ 上フィーダローラ
３３ｂ 下フィーダローラ
３４   スパージャ
３６   めっきマスクユニット
３７   ノズル板
３８   めっきマスク
４０   ノズル板
４１   供給孔
４２   加圧室
４３   クランプ装置
４４，５１    段差
４６   整流板
４７   ノズル
４９   カラー
５０   開口部
５２   端面
５４   陽極極板
５６   背板
５８   下部支持部材
６０   底面支持部材
６２   回動部材
６３   上当て部材
６４   押圧部（ロッド）
６５   下当て部材
６６   トグルクランプ
６９，７４，７６     回動軸
７０   先端部
７２   操作ハンドル
７３   リンク機構
７５   リンク部
７７   第２リンク部
７８   軸受部
８０   トグルクランプ取り付け板
８１   流路
８２   接続部
８４   配管
８５   回動軸
８６   リング
８７   接続部材
８８   収納孔
８９   パッキン
９０   押圧用アーム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006152349.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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