(57)【要約】      （修正有）【課題】物品載置台上の物品のＩＤを比較的少数のＩＤリーダで確認できるようにした天井走行車システムを提供する。【解決手段】物品５０のＩＤ５４を読み取るためのＩＤリーダ６０と読み取ったＩＤ５４を制御部へ通信するための通信手段とを備えた第１の天井走行車２２と、ＩＤリーダを備えない第２の天井走行車とを設ける。また、第１の天井走行車２２に物品５０を物品載置台から取り出すための取り出し手段４８を設け、物品５０を物品載置台から取り出した状態でＩＤリーダ６０によりＩＤ５０を読み取る。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行レールに沿って天井走行車を走行させると共に、該レールに沿って物品載置台を設けて物品を仮置きするようにしたシステムにおいて、
物品のＩＤを読み取るためのＩＤリーダと、読み取ったＩＤを制御部へ通信するための通信手段とを備えた第１の天井走行車と、前記ＩＤリーダを備えない第２の天井走行車とを設けて、これらを共に前記走行レールに沿って走行させるようにしたことを特徴とする、天井走行車システム。
【請求項２】
第１の天井走行車に、物品を物品載置台から取り出すための取り出し手段を設けて、物品を物品載置台から取り出した状態で、前記ＩＤリーダによりＩＤを読み取るようにしたことを特徴とする、請求項１の天井走行車システム。
【請求項３】
前記取り出し手段は、物品をチャックする昇降台と、該昇降台を昇降させる昇降駆動部とを備え、
前記第１の天井走行車により、物品のＩＤの読み取りによる棚卸しと、物品の搬送とを行うようにしたことを特徴とする、請求項２の天井走行車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は天井走行車システムに関し、特に天井走行車システムの在庫管理に関する。
【背景技術】
【０００２】
発明者らは、天井走行車の走行レールの側方の天井空間内に、バッファを設けることを提案した（特許文献１）。この天井走行車システムでは、天井走行車に横送り部を設けて、昇降駆動部を走行レールに対して横方向に移動させ、サイドのバッファとの間で物品を受け渡しする。発明者は、このようなバッファの在庫管理をどのように行うかを検討して、この発明に到った。
【０００３】
バッファの保管能力を増すと、どのバッファにどの物品が保管されているかを管理する必要が増す。この一方で、バッファは、
・  受け渡し先のロードポートが塞がっているため物品を仮置きする、
・  特急品の搬送のために、今まで搬送してきた物品を仮置きして天井走行車を空荷にする、
・  ロードポートから取りあえず物品を搬出して後続の天井走行車で搬送するのを待つ、等の目的に用いられることが多い。またこのようにすることにより、搬送作業を柔軟に行うことができ、搬送効率が改善する。しかしながらバッファを柔軟に運用すると、どのバッファにどの物品を保管するかを、コントローラ側で管理することが難しくなる。
【０００４】
従来の天井走行車にはＩＤリーダは装備されていない。またバッファは仮置き用棚なので、装備は最小限に抑えられ、やはりＩＤリーダは備えられていない。ここで全てのバッファにＩＤリーダを設けることや、全ての天井走行車にＩＤリーダを設けることは、コスト的に無理がある。しかし特定のバッファにのみＩＤリーダを設けると、物品のＩＤを確認するために、ＩＤリーダを備えたバッファまで物品を搬送する必要がある。これでは、現状のＩＤ確認用の運用である、ＩＤリーダのあるストッカまたは検査設備までＩＤ不明の物品を搬送して、そこで確認することと大差がない。
【特許文献１】特願２００４−１８６３１２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明の課題は、物品載置台上の物品のＩＤを比較的少数のＩＤリーダで確認できるようにすることにある。
請求項２の発明での追加の課題は、ＩＤをより確実に読み取れるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、天井走行車の搬送能力を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、走行レールに沿って天井走行車を走行させると共に、該レールに沿って物品載置台を設けて物品を仮置きするようにした天井走行車システムにおいて、物品のＩＤを読み取るためのＩＤリーダと、読み取ったＩＤを制御部へ通信するための通信手段とを備えた第１の天井走行車と、前記ＩＤリーダを備えない第２の天井走行車とを設けて、これらを共に前記走行レールに沿って走行させるようにしたことを特徴とする。
【０００７】
好ましくは、第１の天井走行車に、物品を物品載置台から取り出すための取り出し手段を設けて、物品を物品載置台から取り出した状態で、前記ＩＤリーダによりＩＤを読み取る。
【０００８】
特に好ましくは、前記取り出し手段は、物品をチャックする昇降台と、該昇降台を昇降させる昇降駆動部とを備え、前記第１の天井走行車により、物品のＩＤの読み取りによる棚卸しと、物品の搬送とを行う。
【発明の効果】
【０００９】
この発明では、物品載置台上の物品のＩＤを、第１の天井走行車に設けたＩＤリーダで読み取ることができる。ＩＤリーダを全ての天井走行車に設ける場合や、全ての物品載置台に設ける場合に比べて、少数のＩＤリーダを設けるだけで、物品のＩＤを確認して物品載置台上の物品の在庫管理を行うことができる。物品載置台上の在庫管理を確実に行えると、ロードポートの状況や当初指示された物品載置台の状況などに応じて、物品の荷下ろし先を柔軟に変更することにより、搬送効率を向上できる。また多数の物品載置台を設けることにより、ストッカを不要にしあるいはその能力を小さくでき、遠距離走行による直接搬送が容易になる。
【００１０】
ＩＤが物品の背面等に設けられ、遠距離から読み取ることが困難な場合でも、請求項２の発明のように、物品を取り出して読み取ると、ＩＤを正確に読み取れる。このためＩＤの読み取りの信頼性が増す。
【００１１】
取り出し手段を、昇降台と昇降駆動部とを含むように構成すると、第１の天井走行車も物品をチャックして搬送できる。このため第１の天井走行車で、ＩＤの読み取りと物品の搬送の２種類の作業を行うことができ、例えば搬送指令を割り付けられていない場合はＩＤの確認（棚卸し）を行い、搬送指令を割り付けられると搬送を行う。好ましくは搬送と同時に、その物品のＩＤを確認する。このため、天井走行車の全台数を一定にして、第１の天井走行車を設けても、搬送能力が低下しない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１３】
図１〜図１３に、実施例の天井走行車システム２を示す。天井走行車システム２は半導体工場などのクリーンルームなどに設けられる。遠隔のベイ（工程）とベイとを接続するためにインターベイルート３があり、各ベイにイントラベイルート４を設ける。分岐合流部５は、ルート３，４間などの分岐や合流を行う個所で、ルート境界６はルート３，４間の境界である。ルート３，４は走行レールにより構成され、７は走行レールの継目である。
【００１４】
イントラベイルート４に沿って半導体処理装置などの処理装置８が接続され、９はそのロードポートで、イントラベイルート４の直下に設けてある。イントラベイルート４の側方の天井空間にはサイドバッファ１０を設け、イントラベイルート４の下方の天井空間で、ロードポート９と干渉しない位置には下部バッファ１１を設ける。バッファ１０，１１は物品載置台の例である。
【００１５】
ルート３，４に沿って２種類の天井走行車２０，２２が走行し、天井走行車２２が第１の天井走行車に対応し、天井走行車２０が第２の天井走行車に対応する。また台数は、天井走行車２０の方が、天井走行車２２よりも多い。２４は搬送コントローラで、天井走行車システム２の全体を制御し、その下部コントローラとしてローカルコントローラ２８が複数設けられ、イントラベイルート４などの単位で天井走行車システム２を管理する。２６は生産コントローラで、処理装置８などによる生産を制御し、搬送コントローラ２４に対し、物品のＩＤと搬送元（FROM）及び搬送先（TO）を指定して、物品の搬送を依頼する。なおコントローラをより多数の階層で設けても良い。
【００１６】
図２などに示すように、走行レール３０は天井空間に設けられ、例えばその下部に給電レール３１を設ける。ロードポートなどの位置を正確に示すため、走行レール３０などにリニアスケール３２を設け、天井走行車２０，２２で読み取れるようにする。また給電レール３１などにバーコード３３などのマークを設けて、ロードポートやバッファの位置などを、天井走行車２０，２２に指示する。給電レール３１にはこれ以外に櫛歯マークなどを設けて、天井走行車２０，２２が現在位置を認識できるようにしても良い。３５は走行レールの支柱で、３６，３７はバッファ１０，１１の支柱である。
【００１７】
以下に、天井走行車２０，２２に共通の構成を示す。走行部４０は走行レール３０内を走行し、受電部４１は給電レール３１に設けたリッツ線から非接触給電などにより受電し、これ以外にリッツ線を用いて通信する。４２は本体フレームで、天井走行車２０，２２の前後に落下防止カバー４４を設け、４５は横送り部、４６はθドライブであり、設けなくても良い。４７は昇降駆動部で、昇降台４８を昇降させる。４９は落下防止爪で、落下防止カバー４４の底部に出没自在に設けて、物品５０の落下を防止する。また昇降駆動部４７や昇降台４８等には、図示しない先入品センサを設けて、バッファ１０，１１やロードポート９上の物品５０の有無を検出する。
【００１８】
横送り部４５は、θドライブ４６〜昇降台４８を図２の左側に横送りし、走行レール３０の左側に設けたサイドバッファ１０との間で、物品５０を受け渡しできるようにする。θドライブ４６は、昇降駆動部４７を水平面内で回動させて、物品５０の受け渡しを容易にする。
【００１９】
物品５０は例えば半導体のカセットで、前面に開閉自在のカバー５２がある。物品５０の上部には、フランジ５３があり、昇降台４８でチャックして搬送する。そして物品５０の背面下側に、バーコード５４が貼り付けられ、物品５０のＩＤを記載している。なお物品５０には、バーコード５４に代えて、ＲＦタグなどの他のＩＤを取り付けても良い。
【００２０】
以下に天井走行車２２のみに設ける構成を示す。６０はバーコードリーダで、物品５０のバーコード５４を読み取り、前後いずれかの落下防止カバー４４に例えばアーム６２により回動自在に取り付ける。バーコードリーダ６０は、前後の落下防止カバー４４，４４間のスペースに対して、出退自在である。アーム６２は回動モータ６３により回動し、側面視で落下防止カバー４４と重なり物品５０の横移動を妨げない位置と、バーコード５４の後方へ進出して読み取りを行う位置、との間で回動できる。なお物品５０にＲＦタグなどの方向性の低いＩＤを取り付ける場合、例えば昇降台４８にＲＦタグリーダを取り付けると良い。
【００２１】
図３に、天井走行車２２の各ブロックを示す。天井走行車２０，２２には、走行部４０や受電部４１，フィーダ無線６８などがある。フィーダ無線６８は例えば本体フレーム４２の上部に設け、ローカルコントローラとの間や天井走行車間で通信し、通信用の信号線を給電レール３１等に設けても良い。横送り部４５やθドライブ４６及び昇降駆動部４７は天井走行車２０，２２に共に設け、バーコードリーダ６６は給電レールに設けたバーコードを読み取り、リニアセンサ６４は走行レールに設けたリニアスケールを読み取る。走行部４０〜リニアセンサ６４は、天井走行車２０，２２に共通である。
【００２２】
図３の、バーコードリーダ６０〜バーコード位置チェッカー８４は天井走行車２２にのみ設ける。バーコードリーダ６０は物品５０のバーコードを読み取る。据付判定部７２はレーザ距離計などのセンサを備えて、走行レールと走行部との間隔を測定することにより、走行レールの継目での段差を検出する。給電線センサ７４は、給電レールでのリッツ線ホルダやリッツ線の位置を、接触センサによりチェックする。加速度センサ７６では、天井走行車の走行部や昇降台のハンドなどに加速度センサを取り付けて、天井走行車の振動や物品に加わる振動を測定する。受電量センサ７８は、リッツ線からの受電部での受電量を検出する。通信状態センサ８０は、受電部４１やフィーダ無線６８での受信信号の強弱から、通信状態の良否を判定する。リニアスケールチェッカー８２は、走行レールのリニアスケールの取り付け位置を接触センサなどによりチェックする。バーコード位置チェッカー８４は、給電レールに取り付けたバーコードの位置の良否をチェックする。これらのセンサやチェッカーで不良を検出すると、走行レールのどの位置に不良があるのかを、ローカルコントローラなどに報告する。
【００２３】
図４に、バーコードリーダ６０による、物品５０のバーコード５４の読み取りを示す。バッファ上で直接バーコード５４を読み取るのは困難なので、物品５０を昇降台４８でチャックし、天井走行車２２内へ引き込んでバーコードを読み取る。サイドバッファからの場合、横送り部４５でθドライブ４６〜昇降台４８をバッファ上へ前進させ、昇降駆動部４７で昇降台４８を昇降させ、物品５０を荷積みして復帰させる。物品５０を横送りする際に、バーコードリーダ６０が物品５０と干渉するので、常時は図４の鎖線で示す位置にバーコードリーダ６０を退避させ、物品５０を落下防止カバー４４，４４間のスペースに移動させた後に、アーム６２を回動させて、バーコード５４を読み取る。
【００２４】
下部バッファの物品のＩＤを読み取る場合、好ましくは同様にバーコードリーダ６０を落下防止カバー４４と重なる位置に退避させ、昇降台４８を昇降させて物品を上昇させ、次いでバーコードリーダ６０を回動させて、物品のバーコードを読み取る。これ以外にバーコードリーダ６０はロードポート上の物品のＩＤを読み取ることもできる。ＩＤを読み取った物品は元の位置に戻すか、搬送指令を天井走行車２２が受けている場合、指定された位置へ搬送する。
【００２５】
天井走行車２２は物品のＩＤを読み取ると、物品のＩＤとその位置並びに自機のＩＤとをローカルコントローラに報告する。搬送コントローラもしくはローカルコントローラは、図５に示す在庫ファイル９０を備え、バッファ上の物品の在庫を管理する。在庫ファイル９０にはバッファのＩＤと在荷／空荷の区別並びに物品のＩＤとを記載する。
【００２６】
在庫ファイル９０には、好ましくはこれ以外に以下のデータを記載する。バッファ上の物品は、ロードポートとロードポートとの間などで搬送中の物品が仮置きされたもので、搬送元と搬送先とが存在する。そこで搬送元のロードポートなどのＩＤと搬送先のロードポートなどのＩＤとを記載する。またバッファ上の物品を搬出するための天井走行車を割付済みかどうかの区別と、空のバッファを仮置き用に割付済みかどうかの区別を記載する。さらに、バッファに最後に物品を搬出入した時刻、並びにバッファに最後に物品を搬出入した天井走行車のＩＤ等を記載することが好ましい。これ以外に、バッファに最後に物品を搬出入してから、棚卸しを実行済かどうかの区別を記載する。これらのデータのうちで最低限必要なのは、バッファのＩＤと在荷／空荷の区別並びに仮置き中の物品のＩＤである。
【００２７】
天井走行車２０，２２は、搬送指令により物品のＩＤと搬送元及び搬送先を指定される。そして天井走行車２０，２２は物品をバッファやロードポートに荷下ろしすると、荷下ろしした位置と物品のＩＤとをローカルコントローラに報告する。在庫ファイル９０は常時はこのデータにより更新する。天井走行車２２は物品のＩＤを読み取ると、バッファのＩＤなどと共にローカルコントローラに報告する。これによって搬送コントローラもしくはローカルコントローラは、在庫ファイル９０の棚卸し、即ち在庫ファイルの検証を行う。
【００２８】
棚卸しでは例えばベイを指定して、ベイ内の全てのバッファに対し物品の有無とそのＩＤとをチェックする。あるいは他の天井走行車と干渉しない範囲で、かつ棚卸し済でないバッファに対してのみ、ＩＤをチェックする。この場合、ベイ単位で棚卸しする必要はない。在庫ファイル９０にエラーがある場合、在庫ファイル中の他のバッファのデータにもエラーがあることが考えられる。例えば空荷のはずのバッファに物品が所在する場合、その物品が本来所在すべきバッファが空荷になっていることが考えられる。そこでデータのエラーを検出した場合、物品を最後に搬出入した時刻や、その搬出入を実行した天井走行車のＩＤ、物品の搬送先などを手掛かりに、他のバッファについても棚卸しを進めてエラーを除く。
【００２９】
これらの結果、天井走行車２０，２２の総数が１００〜２００台程度、バッファ１０，１１の合計収容能力が１０００〜１００００物品程度の大規模なシステムでも、５〜５０台程度の天井走行車２２を設けることにより、バッファ上の在庫を確認できる。そして天井走行車２０，２２は、通信能力や走行能力、並びに物品をバッファやロードポートとの間で受け渡しする能力は共通なので、同じ天井走行車システム内に共存できる。そして多数のバッファを設けても在庫管理を確実に行うことができるため、ロードポートの状況などに合わせて物品をバッファに仮置きし、搬送作業をより柔軟に実行できる。またバッファを多数設けると、インターベイルートとイントラベイルートの境界のストッカなどを不要にし、あるいはその数を減らすことができる。さらにインターベイルートを経由しての遠隔のイントラベイルート間での直接搬送ができ、搬送時間を短縮できる。
【００３０】
図６〜図１３に、走行レール３０や給電レール３１の検査を示す。走行レールはインターベイルートのものでもイントラベイルートのものでもよい。走行レール３０の据付で最初に問題になるのは、レールの境目７での段差である。そこで図６に示すように、走行部４０の車輪よりも走行方向前方にレーザ距離計９２を設けて、走行部４０における台車から走行レール３０までの間隔を測定する。バーコード３３にレールの継目７の位置を記載しておくと、バーコードリーダ６６でその位置を求めることができる。そこで据付判定部７２では、継目７かどうかを、バーコードリーダ６６のデータと走行計のエンコーダのデータとで判別し、この位置で、レーザ距離計９２で求めた間隔が変動するかどうかをチェックする。このようにして段差の程度と位置とを求め、ローカルコントローラなどに報告する。
【００３１】
図７，図８に、給電レール３１でのリッツ線９５の位置やそのホルダ部の位置の適否のチェックを示す。天井走行車２０，２２には、図示しないコイルを巻き回した受電コア９６を設けて受電する。リッツ線９５の位置やそのホルダの位置が不良であると、受電コア９６との接触の恐れがある。そこでリッツ線９５やそのホルダが所定の範囲内からはみ出していると接触する接触検知部材９７を設け、例えばヒンジ９８で受電部４１に取り付ける。ヒンジ９８を中心に接触検知部材９７が回動すると、接触センサ９９で検出し、ホルダ位置の不良信号とする。例えば天井走行車２２は図８の下から上向きに走行し、接触検知部材９７は受電コア９６の後側に設けられ、ホルダなどと接触すると走行方向後向きに回動して、接触センサ９９で検出できる。
【００３２】
図９，図１０は、リニアスケールチェッカー８２の構成を示し、例えばリニアセンサ６４の走行方向後端に接触検知部材１００を設け、ヒンジ１０１を中心に回動自在にする。そして接触検知部材１００の回動を接触センサ１０２で検出し、リニアスケール３２の位置不良を検出する。図１１はバーコード３３の位置不良の検出を示し、例えば本体フレーム４２から上側に突き出すように接触検知部材１０４を設け、ヒンジ１０５を中心に回動自在にして、その回動を接触センサ１０６で検出する。このようにしてバーコード３３の位置不良を検出する。バーコード３３に関してはこれ以外に、天井走行車のバーコードリーダ６６で正常な読み取り信号が得られるかどうかも判別する。また接触センサ９９，１０２，１０６に代えて、接触検知部材９７，１００，１０４の回動を検出する任意のセンサを用いることができる。
【００３３】
図１２，図１３は、天井走行車２２や物品５０の振動検出を示す。走行部４０では、例えばブリッジ１１０上に駆動輪１１２を設け、その両側に車輪１１３を設ける。ここで走行部４０の適宜の位置に加速度センサ７６を設けて、走行部４０が受ける加速度、即ち振動の程度を検出する。加速度センサにＸＹＺの方向性がある場合、各方向毎に設けることが好ましい。
【００３４】
図１３では、昇降台４８のハンド１１５に加速度センサ１１６を設け、フランジ５３の位置で、物品が受ける加速度を検出する。加速度センサ１１６は昇降台４８の内部などに設けても良く、加速度に方向性がある場合、ＸＹＺの各方向にそれぞれ加速度センサを設ける。
【００３５】
これ以外にフィーダ無線の受信信号の強度や、リッツ線を介しての通信での受信信号の強度などの、適宜のものをチェックする。実施例では、給電レール３１の左右一方にリッツ線を設けているので、反対側のスペースに櫛歯マークやバーコードマークなどの適宜のマークを配置して、天井走行車２０，２１に読み取らせることができる。このような場合、接触検知部材９７，ヒンジ９８，接触センサ１００と同様の機構を設けて、バーコードマークや櫛歯マークなどの位置の正否を検出し、またこれらの信号を読み取れるかどうかをチェックするセンサを設けても良い。
【００３６】
天井走行車２２は走行レールの継目の段差が大きい、リニアスケールの取付位置がずれている、走行部の振動が大きい、物品が受ける振動が大きい、バーコードの取付位置が不良、もしくはバーコードを読めない、フィーダ無線などの受信信号が弱いなどの場合、その旨をローカルコントローラに報告する。ローカルコントローラはこれを搬送コントローラなどに転送し、搬送コントローラはこれらのデータをそのまま、もしくは統計化して、図示しない端末に対しメンテナンス要求を出力する。そしてこれらの要求に従って、走行レール３０などをメンテナンスすることにより、走行経路を良好に保つことができる。
【００３７】
据付判定部７２などの走行経路の診断用のセンサは、天井走行車２２にのみ設ける。このため全ての天井走行車２０，２２にこれらのセンサを設ける場合に比べ、コストを少なくできる。また走行経路の不良が検出された場合、他の天井走行車２２により同じ場所を走行させて、天井走行車２２側に原因があるのか、走行経路側に原因があるのかを確認することが好ましい。走行経路の診断用の走行は搬送指令とは別に行っても良く、あるいは搬送指令を実行しながら行っても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】実施例の天井走行車システムのレイアウトを示す要部平面図
【図２】実施例での天井走行車とサイドバッファ及び下部バッファを示す部分切欠部付き正面図
【図３】実施例で用いた天井走行車の機能別のブロック図
【図４】実施例での天井走行車による物品ＩＤの読み取りを模式的に示す図
【図５】実施例でのコントローラのバッファの在庫データを模式的に示す図
【図６】実施例での走行レールの段差検出を示す図
【図７】実施例での給電線ホルダの位置不良の検出を模式的に示すレールの短辺方向要部断面図
【図８】図７での給電線ホルダの位置不良の検出を、上面視で模式的に示す図
【図９】実施例でのリニアスケールの位置不良の検出を模式的に示す断面図
【図１０】図９でのリニアスケールの位置不良の検出を模式的に示す側面図
【図１１】実施例での走行レールのバーコード位置不良の検出を模式的に示す側面図
【図１２】実施例での走行部の振動検出を模式的に示す側面図
【図１３】実施例での搬送物品の振動検出を模式的に示す側面図
【符号の説明】
【００３９】
２          天井走行車システム
３          インターベイルート
４          イントラベイルート
５          分岐合流部
６          ルート境界
７          レールの継目
８          処理装置
９          ロードポート
１０        サイドバッファ
１１        下部バッファ
２０，２２  天井走行車
２４        搬送コントローラ
２６        生産コントローラ
２８        ローカルコントローラ
３０        走行レール
３１        給電レール
３２        リニアスケール
３３        バーコード  
３５，３６，３７  支柱
４０        走行部
４１        受電部
４２        本体フレーム
４４        落下防止カバー
４５        横送り部
４６        θドライブ
４７        昇降駆動部
４８        昇降台
４９        落下防止爪
５０        物品
５２        カバー
５３        フランジ
５４        バーコード
６０        バーコードリーダ
６２        アーム
６３        回動モータ
６４        リニアセンサ
６６        バーコードリーダ
６８        フィーダ無線
７２        据付判定部
７４        給電線センサ
７６        加速度センサ
７８        受電量センサ
８０        通信状態センサ
８２        リニアスケールチェッカー
８４        バーコード位置チェッカー
９０        在庫ファイル
９２        レーザ距離計
９５        リッツ線
９６        受電コア
９７，１００，１０４        接触検知部材
９８，１０１，１０５        ヒンジ
９９，１０２，１０６        接触センサ
１１０      ブリッジ
１１２      駆動輪
１１３      車輪
１１５      ハンド
１１６      加速度センサ    
【図１】
2006298565.tif 000003
【図２】
2006298565.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006298565.tif 000006
【図５】
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【図６】
2006298565.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2006298565.tif 000012
【図１１】
2006298565.tif 000013
【図１２】
2006298565.tif 000014
【図１３】
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