(57)【要約】【課題】  フィルム光導波路の任意の箇所において、光路変換ミラーを任意の形態で生産性良く作成できる、フィルム光導波路の製造方法を実現する。【解決手段】  各構成要素（下クラッド層、コア部、上クラッド層）がポリマー材料から構成され、可とう性を有するフィルム光導波路１０を、ダイ５１の載置面上に設置し、パンチ５２による打抜きを行う。このとき、ダイ５１の載置面を、打抜き方法（すなわち、パンチ５２の移動方向）に対して傾斜させることで。傾斜切断面（例えば、光路変換ミラー）を有するフィルム光導波路１１を製造する。【選択図】  図１
2006011179.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリマー材料からなる下クラッド層、コア部、上クラッド層から構成され、その一部に上記下クラッド層および上クラッド層の接合面の法線方向に対して傾斜する傾斜切断面を有するフィルム光導波路の製造方法において、
傾斜切断面が形成される前のフィルム光導波路をダイの載置面上に設置し、この載置面法線方向に対して傾斜した打抜き方向によってパンチによる打抜き加工を行い、上記傾斜切断面を形成することを特徴とするフィルム光導波路の製造方法。
【請求項２】
上記傾斜切断面の少なくとも一つは、フィルム光導波路のコア部長手方向の端部に形成されることを特徴とする請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
【請求項３】
上記傾斜切断面の少なくとも一つは、フィルム光導波路のコア部長手方向の両端部間に溝状の切欠きを形成することによって形成されることを特徴とする請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
【請求項４】
上記ダイの載置面は、パンチの打抜き方向に対して異なる角度に傾斜する複数の平面で構成され、各平面での打抜きによって、異なる傾斜角を有する傾斜切断面を形成することを特徴とする請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
【請求項５】
ほぼ平行に形成される２本以上のコア部を有し、これらのコア部の端部付近においてその間隔が広がるように曲げ領域が形成されているフィルム光導波路の端部に、上記曲げ領域において、２つ以上の平面からなると共にコアの長手方向に対して傾斜している傾斜切断面を形成することを特徴とする請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
【請求項６】
ほぼ平行に形成される２本以上のコア部を有するフィルム光導波路の端部に、コア部長手方向に段差を有する傾斜切断面を形成することを特徴とする請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
【請求項７】
１枚の積層フィルム内に複数のフィルム光導波路分に相当するコア部を作成された機材に対し、１回の打抜き加工によって、上記傾斜切断面の形成とフィルム光導波路の個片化とを同時に行うことを特徴とする請求項１に記載のフィルム光導波路の製造方法。
【請求項８】
ポリマー材料からなる下クラッド層、コア部、上クラッド層から構成され、その一部に上記下クラッド層および上クラッド層の接合面の法線方向に対して傾斜する傾斜切断面を有するフィルム光導波路の製造装置において、
傾斜切断面が形成される前のフィルム光導波路をダイの載置面上に設置し、このダイのの載置面上に設置されたフィルム光導波路に対して打抜き加工を行うための上記ダイおよび上記パンチを備えており、
上記パンチの打抜き方向が、上記ダイの載置面法線方向に対して傾斜していることを特徴とするフィルム光導波路の製造装置。
【請求項９】
上記ダイの載置面は、パンチの打抜き方向に対して異なる角度に傾斜する複数の平面で構成されていることを特徴とする請求項８に記載のフィルム光導波路の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光路変換ミラーを組み込んだフィルム光導波路の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、高速で大容量のデータ通信が行える光通信網が拡大している。また、通信されるデータ量の増大とともに機器内の伝送路や民生機器への光通信網の拡大が見込まれ、今後、光電変換する光通信モジュールの小型化が望まれる。面発光型の発光素子や面受光型の受光素子と、入出力部に光路変換ミラーを有する光導波路とを組み合わせて入出力部を構成すれば、コンパクトな光通信モジュールが得られる。
【０００３】
光導波路においては、近年、ポリマー材料により構成された可とう性を有するフィルム光導波路の研究が盛んになっている。このようなフィルム光導波路は、可とう性を有し厚さも薄いため切断加工が容易であり、ガラス等の硬質な材料で構成された光導波路では実現できなかった、異なる場所を結ぶ光通信モジュールを得ることが可能となる。
【０００４】
また、光導波路の入出力部に光路変換ミラーを組み込むためには、例えば、特許文献１に公開されているように、光導波路コアの垂直方向から所望の光路変換角度に加工されたブレードを回転させて切削することにより光路変換ミラーを作製する方法がある。さらに、上記特許文献１には、光導波路の端面を２枚のブレードにて斜めに切断し、その切断面を光路変換ミラーとする方法が記載されている。
【特許文献１】特開平１０−３００９６１号公報（公開日平成１０年１１月１３日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１における回転ブレードを用いて切削する方法では、複数の光路変換ミラーを一括して作成することができず、その生産性に課題がある。
【０００６】
また、光導波路の端面を２枚のブレードにて斜めに切断する方法では、可とう性のあるフィルム光導波路の切断を行う場合、フィルム光導波路の保持が不安定であるため、２枚のブレードによって挟まれる部分に曲げが生じ、この曲げによって切断面の傾斜角度を所望の角度に制御することが困難になるといった問題がある。さらには、光路変換ミラーの作成箇所が光導波路の端面のみに限定され、光導波路の任意の箇所に任意の形態で光路変換ミラーを作成したいという要望に対して適用性が低い。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、フィルム光導波路の任意の箇所において、光路変換ミラーを任意の形態で生産性良く作成できる、フィルム光導波路の製造方法を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るフィルム光導波路の製造方法は、上記課題を解決するために、ポリマー材料からなる下クラッド層、コア部、上クラッド層から構成され、その一部に上記下クラッド層および上クラッド層の接合面の法線方向に対して傾斜する傾斜切断面（例えば、光路変換ミラー）を有するフィルム光導波路の製造方法において、傾斜切断面が形成される前のフィルム光導波路をダイの載置面上に設置し、この載置面法線方向に対して傾斜した打抜き方向によってパンチによる打抜き加工を行い、上記傾斜切断面を形成することを特徴としている。
【０００９】
上記の構成によれば、各構成要素（下クラッド層、コア部、上クラッド層）がポリマー材料から構成され、可とう性を有するフィルム光導波路において、斜め方向からの打抜きによって傾斜切断面を形成することができる。このように打抜きを用いることにより、複数箇所の傾斜切断面を同時に形成できるため生産性がよく、また、打抜き時にフィルム光導波路はダイの載置面上で面支持されるため曲がりが生じにくく、傾斜切断面の精度低下も生じにくい。
【００１０】
また、本発明のフィルム光導波路の製造方法では、上記傾斜切断面の少なくとも一つは、フィルム光導波路のコア部長手方向の端部に形成されることで、フィルム光導波路の端部の入出力部における光路変換ミラーや、入出力部におけるリターンロスを無くすための傾斜面とすることができる。
【００１１】
また、本発明のフィルム光導波路の製造方法では、上記傾斜切断面の少なくとも一つは、フィルム光導波路のコア部長手方向の両端部間に溝状の切欠きを形成することによって形成される。これにより、フィルム光導波路の端部以外の箇所にも傾斜切断面を形成することが可能となり、例えば、４つ以上の光路変換ミラーを有するフィルム光導波路によって３枚以上の基板を接続することが可能となる。
【００１２】
また、本発明のフィルム光導波路の製造方法では、上記ダイの載置面は、パンチの打抜き方向に対して異なる角度に傾斜する複数の平面で構成され、各平面での打抜きによって、異なる傾斜角を有する傾斜切断面を形成することができる。これにより、異なる傾斜角を有する傾斜切断面を１回の打抜き加工で同時に形成することができる。
【００１３】
また、本発明のフィルム光導波路の製造方法では、ほぼ平行に形成される２本以上のコア部を有し、これらのコア部の端部付近においてその間隔が広がるように曲げ領域が形成されているフィルム光導波路の端部に、上記曲げ領域において、２つ以上の平面からなると共にコアの長手方向に対して傾斜している傾斜切断面を形成することができる。これにより、例えば、フィルム光導波路の端部で、クロストークを防止するためにその間隔を広げられたコア部を再び平行にする区間を設けなくても光路変換ミラーを形成することができ、光伝送モジュールの小型化に対して有利となる。
【００１４】
また、本発明のフィルム光導波路の製造方法では、ほぼ平行に形成される２本以上のコア部を有するフィルム光導波路の端部に、コア部長手方向に段差を有する傾斜切断面を形成することができる。これにより、例えば、フィルム光導波路の端部で、クロストークを防止するために段差を設けられた光路変換ミラーを形成することができ、光伝送モジュールの小型化に対して有利となる。
【００１５】
また、本発明のフィルム光導波路の製造方法では、１枚の積層フィルム内に複数のフィルム光導波路分に相当するコア部を作成された機材に対し、１回の打抜き加工によって、上記傾斜切断面の形成とフィルム光導波路の個片化とを同時に行うことができる。これにより、入出力部に光路変換ミラー等が組込まれたフィルム光導波路を、生産性良くローコストに製造できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るフィルム光導波路の製造方法は、各構成要素（下クラッド層、コア部、上クラッド層）がポリマー材料から構成され、可とう性を有するフィルム光導波路において、斜め方向からの打抜きによって傾斜切断面を形成することができる。このように打抜きを用いることにより、複数箇所の傾斜切断面を同時に形成でき、光路変換ミラー等が組み込まれたフィルム光導波路を生産性良く製造できるといった効果を奏する。また、打抜き時にフィルム光導波路はダイの載置面上で面支持されるため曲がりが生じにくく、傾斜切断面の精度低下も生じにくいといった効果を併せて奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
〔実施の形態１〕
本発明の一実施形態について図１ないし図３に基づいて説明すると以下の通りである。
【００１８】
先ずは、光路変換ミラー形成前のフィルム光導波路の製造方法の一例を、図２（ａ）〜（ｄ）を参照して簡単に説明する。
【００１９】
図２（ａ）に示すように、ガラス等からなる基板２１上に、例えばＵＶ硬化樹脂を滴下し、下クラッド層２２に任意形状の凸部が形成されたスタンパ３１を押し当てながら、ＵＶ光の照射を行い、下クラッド層２２を硬化させる。これにより、下クラッド層２２には、スタンパ３１の凸部パターンに対応する溝部が形成される。
【００２０】
次に、図２（ｂ）に示すように、スタンパ３１を取り外して、下クラッド層２２の溝部にコア部２３を形成する。コア部２３は、例えばＵＶ硬化樹脂を下クラッド層２２の溝部に滴下し、平坦面を有するスタンパ３２を押し当てながらＵＶ光の照射を行い、上記溝部に埋め込まれた樹脂を硬化させることで形成する。
【００２１】
次に、図２（ｃ）に示すように、スタンパ３２を取り外して、下クラッド層２２およびコア部２３の上面に、例えばＵＶ硬化樹脂を滴下し、その後、ＵＶ光の照射を行い、ＵＶ硬化樹脂を硬化させて上クラッド層２４を形成する。
【００２２】
最後に、図２（ｄ）に示すように、基板２１を剥離することで、コア部２３を下クラッド層２２および上クラッド層２４で挟んだ構造となるフィルム光導波路１０が製造される。
【００２３】
上記フィルム光導波路１０では、基板２１が無く、その構成要素の全て（コア部２３、下クラッド層２２および上クラッド層２４）をポリマー材料にて構成することで、フィルム光導波路１０に可とう性を持たせることができ、異なる基板同士の接続に用いることができる。また、上記フィルム光導波路１０を、異なる基板同士の接続に用いる場合には、その入出力部に光路変換ミラーを形成することが、光通信モジュールをコンパクト化するうえで好ましい。
【００２４】
フィルム光導波路の両端に光路変換ミラーを形成した場合の構成を図３（ａ），（ｂ）に示す。図３（ａ），（ｂ）に示すフィルム光導波路１１は、上記フィルム光導波路１０の両端を、下クラッド層２２および上クラッド層２４の接合面の法線方向（垂直方向）に対して４５°に傾斜切断することで、この切断面を光路変換ミラー１１Ａ，１１Ｂとして作用させる構成となっている。尚、以下の説明において、傾斜角とは下クラッド層２２および上クラッド層２４の接合面に垂直な面と切断面とが交差する角度にて示されるものとする。このように、フィルム光導波路１１では、両端に光路変換ミラー１１Ａ，１１Ｂを設けることで、それぞれ発光素子３１および受光素子３２を有する基板３３，３４同士をフレキシブルに接続することが可能となる。
【００２５】
ここで、上記フィルム光導波路１１における光路変換ミラー１１Ａ，１１Ｂの形成方法を説明する。本発明においては、フィルム光導波路における光路変換ミラーの形成には打抜き加工を用いる。
【００２６】
本実施の形態１では、一例として、図１（ａ）〜（ｃ）に示すように、ダイ５１およびパンチ５２を用いて、フィルム光導波路１０に打抜き加工を行い、光路変換ミラー１１Ａ，１１Ｂを有するフィルム光導波路１１を製造する場合を説明する。
【００２７】
先ず、図１（ａ）に示すように、フィルム光導波路１０はダイ５１の載置面上に設置される。このとき、ダイ５１の載置面は、打抜き方法（すなわち、パンチ５２の移動方向）に対して、４５°傾斜させられている。この状態で、図１（ｂ）に示すように、パンチ５２を移動させて打抜きを行う。これにより、図１（ｃ）に示すように、両端に４５°の傾斜に切断された光路変換ミラー１１Ａ，１１Ｂを有するフィルム光導波路１１が得られる。尚、上記パンチ５２は、複数の切断箇所に対して同時に切断が行えることが好ましい。
【００２８】
上述のように、打抜き加工によって光路変換ミラーを形成する方法では、複数の光路変換ミラーを一括して形成することが可能となり、生産性を向上させることができる。尚、ここで、複数の光路変換ミラーを一括して形成するとは、一つのフィルム光導波路の異なる箇所（例えば両端）に光路変換ミラーを同時に形成することにのみならず、ダイの載置面上に並べて配置された複数のフィルム光導波路に対して光路変換ミラーを一括して形成することも可能である。また、フィルム光導波路は可とう性を有するものであるが、このフィルム光導波路は加工時にダイの載置面上で面支持されるため、打抜き時に掛かる切断力によっても曲げが生じにくく、切断面の傾斜角における精度を向上させることができる。
【００２９】
尚、上記打抜き加工において、フィルム光導波路の切断面における傾斜角度は４５°に限定されるものではなく、任意の角度に設定することが可能である。例えば、光導波路においては、端部に光路変換ミラーを形成しない場合であっても、光の入射面または出射面におけるリターンロスを軽減するために若干の傾斜角（通常、８°程度）を形成する場合があるが、このような傾斜角を形成する場合にも本発明は適用可能である。
【００３０】
また、本実施形態においては、ダイ５１を傾斜させたが、必ずしもダイを傾斜させることは必要でなく、ダイの載置面に対しパンチの打ち抜き方向が斜め方向であればよい。例えば、ダイの載置面を水平にしてフィルム光導波路１０を載置し、パンチを斜め方向から打ち抜いて光路変換ミラー１１Ａ，１１Ｂを形成してもよい。
【００３１】
さらに、本実施形態においては、フィルム光導波路１０はスタンパによる複製法で作製したが、作製方法はこれに限るものではなく、例えば、半導体製造プロセスを利用したフォトリソグラフィー法やエッチングなどによって作製されるものであってもよい。
【００３２】
〔実施の形態２〕
本発明の他の実施形態について図４および図７に基づいて説明すると以下の通りである。
【００３３】
上記実施の形態１においては、ダイ５１の載置面は単一の平面とされている。このため、フィルム光導波路１１において、光路変換ミラー１１Ａ，１１Ｂとなる切断面は、フィルム光導波路１１に曲げのない状態では平行となっている（図３（ｂ）参照）。フィルム光導波路１１は、基板３３および基板３４において、受光素子と発光素子との接続面が逆方向である場合の接続には好適であるが、受光素子と発光素子との接続面が同方向にある基板同士を接続したい場合もありうる。
【００３４】
このような場合は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、フィルム光導波路１１を捻らせることで接続可能である。しかしながら、例えば設計上の制約等により、フィルム光導波路を捻らせることが好ましくない場合には、フィルム光導波路において光路変換ミラーを形成する切断面の向きや傾斜角を異ならせるようにすることも必要である。本実施の形態２は、同一のフィルム光導波路において、向きや傾斜角の異なる切断面を同時に形成する方法に関する。
【００３５】
本実施の形態２では、一例として、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、ダイ５３およびパンチ５４を用いて、フィルム光導波路１０に打抜き加工を行い、光路変換ミラー１２Ａ，１２Ｂを有するフィルム光導波路１２を製造する場合を説明する。ここでは、ダイ５３における載置面が、単一の平面ではなく、２つの平面を組み合わせた山形の載置面であることを大きな特徴としている。
【００３６】
先ず、図５（ａ）に示すように、フィルム光導波路１０はダイ５１の載置面上に設置される。このとき、ダイ５３の載置面は、打抜き方法（すなわち、パンチ５４の移動方向）に対して、４５°傾斜させられた２つの平面を有しており（これら２つの平面は直交している）、打抜き箇所はそれぞれの平面において設けられている。この状態で、図５（ｂ）に示すように、パンチ５４を移動させて打抜きを行う。これにより、図５（ｃ）に示すように、両端に４５°の傾斜に切断された互いに平行でない光路変換ミラー１２Ａ，１２Ｂを有するフィルム光導波路１２が得られる。
【００３７】
このようなフィルム光導波路１２では、図６（ａ），（ｂ）に示すように、フィルム光導波路１２を捻らせることなく、受光素子と発光素子との接続面が同方向にある基板同士を接続することが可能となる。
【００３８】
尚、上記打抜き加工においても、フィルム光導波路の切断面における傾斜角度は特定の角度に限定されるものではなく、それぞれの切断面の傾斜角を任意の角度に設定することが可能である。例えば、図７（ａ），（ｂ）に示すフィルム光導波路１３のように、基板上の受光素子もしくは発光素子と光ケーブル３５とを接続するような場合には、一端に傾斜角４５°の光路変換ミラーを形成し、他端は傾斜角０°（あるいはリターンロスを軽減するために８°の傾斜角と形成しても良い）としてもよい。
【００３９】
〔実施の形態３〕
本発明の他の実施形態について図８ないし図１０に基づいて説明すると以下の通りである。
【００４０】
上記実施の形態１および２では、フィルム光導波路の端部において任意の傾斜角を有する切断面を形成する場合について説明したが、本発明の適用によっては、さらに様々な形状のフィルム光導波路を形成することが可能である。
【００４１】
例えば、図８（ａ），（ｂ）に示すフィルム光導波路１４のように、光路変換ミラーをフィルム光導波路の端部以外にも形成することが可能となる。すなわち、フィルム光導波路１４では、その両端部において光路変換ミラー１４Ａ，１４Ｂが形成されていると共に、長手方向の中途箇所（両端部間）においても傾斜した溝部を形成し、この溝部の傾斜面を光路変換ミラー１４Ｃ，１４Ｄとして作用させるものである。
【００４２】
このように、光路変換ミラーをフィルム光導波路の端部と端部との間にも設けることにより、３ヶ所以上の入出力部を有する光伝送モジュールが実現できる。上記フィルム光導波路１４では、４箇所の光路変換ミラーを有し、１つのフィルム光導波路１４によって４枚の基板が接続されている。
【００４３】
また、２つ以上のコア部を有し、かつコア部間隔が端部において大きいフィルム光導波路において、その端部に光路変換ミラーを作成するにあたって本発明を以下のように適用することができる。
【００４４】
２つ以上のコア部を有するフィルム光導波路では、その同一側端部に複数の入出力部が存在するが、これらの入出力部の距離が近いと、以下のような問題が発生する恐れがある。同一側端部に入力部と出力部が配置されている場合には、この入出力部に対応して設けられる基板上の発光素子と受光素子とが近接して配置されるため、発光素子からの漏れ光が受光素子に入射してクロストークが発生する。また、同一側端部に複数の入力部が配置されている場合には、隣接するコアからの漏れ光が受光素子に入射してクロストークが発生する。このため、２つ以上のコア部を有するフィルム光導波路において、端部に光路変換ミラーを形成する場合には、そのコア部間隔は端部において大きくなっている必要がある。一方で、２つ以上のコア部を有するフィルム光導波路において、端部以外ではコア部は近接して形成されていることが、該フィルム光導波路と接続される光ケーブルの細線化等に関して有利である。
【００４５】
そして、２つ以上のコア部を有するフィルム光導波路において、端部部分でコア部を広げる構成とした場合に、その端部に光路変換ミラーを形成するにあたって従来の方法を用いると、以下のような問題が生じる。すなわち、特許文献１に示したような、回転ブレードを用いて切削する方法や光導波路の端面を２枚のブレードにて斜めに切断する方法では、その傾斜切断面は一つの平面で一直線状に形成される（２回以上の切断工程を設ければ、この限りではないが、その場合は工程数の増加といった課題がある）。一方で、光路変換ミラー上に存在するコア部の端部は、光路変換ミラーの面上において、該光路変換ミラーの面と下クラッド層２２および上クラッド層２４の接合面との交線に直交している必要がある。これより、上記従来の方法で光路変換ミラーを形成する場合には、図９（ａ）に示すように、フィルム光導波路の端部付近でその間隔を広げられたコア部は、その先で再び平行状態に戻され、光路変換ミラーはこの平行部分で形成されなければならない。このようにすると、フィルム光導波路の端部でコア部を平行に戻すために要する区間が長くなり、光伝送モジュールの小型化に対する障害となり得る。
【００４６】
これに対し、本発明のように、打抜き加工によって光路変換ミラーを形成する方法では、その切断面は一つの平面で形成される必要は無い。このため、例えば図９（ｂ）に示すフィルム光導波路１５では、その端部に形成される光路変換ミラー１５Ａを、Ｖ字状に交差する２つの平面からなる切断面とすることができる。これにより、フィルム光導波路１５の端部で、その間隔を広げられるために曲げられたコア部を再び平行にする区間を設けなくても、クロストークを防止するだけの距離を離すだけで、コア部の曲げ領域において光路変換ミラー１５Ａを形成することができ、光伝送モジュールの小型化に対して有利となる。
【００４７】
また、２つ以上のコア部を有するフィルム光導波路において、同一側端部に存在する複数の入出力部の距離を大きく取るためには、図１０に示すような構成とすることもできる。図１０に示すフィルム光導波路１６では、光路変換ミラー１６Ａ，１６Ｂが、コア部の長手方向に対して段差を有して設けられている。本発明のように、打抜き加工によって光路変換ミラーを形成する方法では、このような段差を有する切断面も１回の打抜きによって容易に形成できる。
【００４８】
〔実施の形態４〕
本発明の他の実施形態について図１１および図１２に基づいて説明すると以下の通りである。
【００４９】
上記実施の形態１ないし３では、フィルム光導波路の端部等において任意の傾斜角を有する切断面を形成する場合について説明したが、本発明の適用によっては、さらに傾斜切断面の形成（光路変換ミラー形成等）とフィルム光導波路の個片化とを同時に行うことが可能である。
【００５０】
例えば、図１１（ａ）に示すように、１枚の積層フィルム内に複数のフィルム光導波路分に相当するコア部（図中、実線にて示す）を作成しておき、この積層フィルムに対して打抜きを行うことで、コア部の端面に傾斜切断面を形成すると同時に、各コア部の形成領域間を切断することで、各フィルム光導波路の個片化とを同時に実施できる。これにより、図１１（ｂ）に示すような、入出力部に光路変換ミラーが組込まれたフィルム光導波路が、生産性良くローコストに得られる。
【００５１】
また、打抜き加工においては、光路変換ミラー以外の打抜き加工形状は任意に設定できるため、コア形状に沿う形に外周部を打抜き加工を実施すると、図１２に示すように、フィルム光導波路のコアパターンのない領域に他のフィルム光導波路のコアパターンを配置できるので、打抜き加工前の積層フィルムにおいて、その面積の縮小化を図ることができる。これにより、一回の打抜き工程で多数のフィルム光導波路を個片化できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】図１（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施形態を示すものであり、フィルム光導波路における光路変換ミラーの形成方法を示す断面図である。
【図２】図２（ａ）〜（ｃ）は、光路変換ミラーの形成前のフィルム光導波路の製造手順を示す断面図である。
【図３】光路変換ミラーが形成されたフィルム光導波路による基板の接続方法の一例を示すものであり、図３（ａ）は斜視図、図３（ｂ）は断面図である。
【図４】光路変換ミラーが形成されたフィルム光導波路による基板の接続方法の一例を示すものであり、図４（ａ）は斜視図、図４（ｂ）は断面図である。
【図５】図５（ａ）〜（ｃ）は、本発明の他の実施形態を示すものであり、フィルム光導波路における光路変換ミラーの形成方法を示す断面図である。
【図６】光路変換ミラーが形成されたフィルム光導波路による基板の接続方法の一例を示すものであり、図６（ａ）は斜視図、図６（ｂ）は断面図である。
【図７】光路変換ミラーが形成されたフィルム光導波路による基板と光ケーブルとの接続方法の一例を示すものであり、図７（ａ）は斜視図、図７（ｂ）は断面図である。
【図８】光路変換ミラーが形成されたフィルム光導波路による基板の接続方法の一例を示すものであり、図８（ａ）は斜視図、図８（ｂ）は断面図である。
【図９】光路変換ミラーが形成されたフィルム光導波路の端部形状の一例を示す上面図であり、図９（ａ）は本発明、図９（ｂ）は比較のための従来例を示す。
【図１０】光路変換ミラーが形成されたフィルム光導波路の端部形状を示す上面図である。
【図１１】打抜き加工によって傾斜切断面の形成とフィルム光導波路の個片化とを行う場合の例を示す図であり、図１１（ａ）は打抜き前の積層フィルムの上面図、図１１（ｂ）は打抜きによって個片化されたフィルム光導波路を示す上面図である。
【図１２】打抜き加工によって傾斜切断面の形成とフィルム光導波路の個片化とを行う場合の他の例を示す図であり、打抜き前の積層フィルムの上面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１１〜１６    フィルム光導波路
１１Ａ，１１Ｂ，１４Ａ〜１４Ｄ，１５Ａ，１６Ａ，１６Ｂ
光路変換ミラー（傾斜切断面）
２２          下クラッド層
２３          コア部
２４          上クラッド層
５１，５３    ダイ
５２，５４    パンチ
【図１】
2006011179.tif 000003
【図２】
2006011179.tif 000004
【図３】
2006011179.tif 000005
【図４】
2006011179.tif 000006
【図５】
2006011179.tif 000007
【図６】
2006011179.tif 000008
【図７】
2006011179.tif 000009
【図８】
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【図９】
2006011179.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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