(57)【要約】【課題】  本発明は、構造が簡単でコンパクトな設計をもち、製造プロセス及びコストの経済性に貢献できるチェックバルブを備えた流体力シリンダを提供する。【解決手段】  本発明の流体力シリンダは、前方及び後方シリンダチャンバに供給される流体の流れを制御するチェックバルブを有し、またチェックバルブのバルブハウジングにはピストン部材の往復動を案内するガイド突起部が設けられ、従って別個のガイドピンを備えない。さらに、流体力シリンダは、前方及び後方シリンダチャンバに発生した過剰圧力を低減する減圧手段を備え、別個のリリーフバルブを備えない。【選択図】    図３
2006021313.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端から他端まで形成された貫通通路（１１）を備え、外面から貫通通路（１１）の内面にかけて第１及び第２の流体通路（１２、１３）を備えたシリンダハウジング（１０）と；
シリンダハウジング（１０）の貫通通路（１１）に接触して固定され、一端から他端まで形成された接続部品（２１）を備え、かつ接続部品（２１）における軸受（２２）及び第１及び第２の流体通路（１２、１３）に連通する第３及び第４の流体通路（２３、２４）を備えたスリーブ部材（２０）と；
一端を接続部品（２１）に結合されたバルブロッド（３１）及びシリンダハウジング（１０）の前方に設けられたバルブプレート（３２）を備え、バルブプレート（３２）の一側端部にシリンダチャンバ（３３）が設けられ、また、第３及び第４の流体通路（２３、２４）をシリンダチャンバ（３３）に接続するように形成した第５及び第６の流体通路（３４、３５）を備えた回転バルブ部材（３０）と；
ピストンプレート（４２）を前後に摺動可能に動かすようにバルブロッド（３１）に固定したピストンロッド（４１）を備え、ピストンプレート（４２）がピストンロッド（４１）から突出してシリンダチャンバ（３３）を前方及び後方シリンダチャンバ（３３ａ、３３ｂ）に分割しかつピストンロッド（４１）の周囲部に対して前方及び後方シリンダチャンバ（３３ａ、３３ｂ）をシールするピストン部材（４０）と；
バルブプレート（３２）の前方に設けられ、シリンダチャンバ（３３）をシールするように流体の供給されるシリンダチャンバ（３３）を含む本体部材（５０）と；
回転バルブ部材（３０）における第５の流体通路（３４）に設けられ、第５の流体通路（３４）に連通して設けた第１の流体通路（６１ａ）を含む第１のバルブハウジング（６１）に予定の圧力又はそれより高い圧力の流体が供給される時のみ、第１の流体通路（６１ａ）を開放させる第１のカットオフ手段（６２）を備えた前方シリンダチャンバ用チェックバルブ（６０）と；
回転バルブ部材（３０）における第６の流体通路（３５）に設けられ、第６の流体通路（３５）に連通して設けた第２の流体通路（７１ａ）を含む第２のバルブハウジング（７１）に予定の圧力又はそれより高い圧力の流体が供給される時のみ、第２の流体通路（７１ａ）を開放させる第２のカットオフ手段（７２）を備えた後方シリンダチャンバ用チェックバルブ（７０）と；
を有し、
第１のバルブハウジング（６１）が、第５の流体通路（３４）を前方シリンダチャンバ（３３ａ）に接続する第１の流体通路（６１ａ）を備え、そしてピストンプレート（４２）を介して本体部材（５０）の内側面に一端を結合するように形成した第１のガイド突起部（６３）を備え、
第２のバルブハウジング（７１）が、第６の流体通路（３５）を後方シリンダチャンバ（３３ｂ）に接続する第２の流体通路（７１ａ）を備え、そしてピストンプレート（４２）を介して本体部材（５０）の内側面に一端を結合するように形成した第２のガイド突起部（７３）を備え、
また、第２のガイド突起部（７３）に、前方又は後方シリンダチャンバ（３３ａ、３３ｂ）に過剰圧が発生した際に前方及び後方シリンダチャンバ（３３ａ、３３ｂ）を連通させることによりシリンダチャンバ（３３）における圧力を低下させる減圧手段（１００）が設けられる
ことを特徴とする流体力シリンダ。
【請求項２】
減圧手段（１００）が、
第２のガイド突起部（７３）を介して前方及び後方シリンダチャンバ（３３ａ、３３ｂ）に連通するように形成された第１及び第２のシリンダ接続経路（１１０、１２０）と；
第１のシリンダ接続経路（１１０）に設けられ、前方シリンダチャンバ（３３ａ）から後方シリンダチャンバ（３３ｂ）へ予定の圧力又はそれより高い圧力で流体が圧縮される時のみ第１のシリンダ接続経路（１１０）を開放するように第３のコイルばね（１１１）で弾性的に支持された第３のボール部材（１１２）と；
第２のシリンダ接続経路（１２０）に設けられ、後方シリンダチャンバ（３３ｂ）から前方シリンダチャンバ（３３ａ）へ予定の圧力又はそれより高い圧力で流体が圧縮される時のみ第２のシリンダ接続経路（１２０）を開放するように第４のコイルばね（１２１）で弾性的に支持された第４のボール部材（１２２）と；
を有することを特徴とする請求項１に記載の流体力シリンダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体力シリンダに関するものであり、一層特に構造が簡単で構成がコンパクトであり、製造プロセス及びコストを経済的にできるチェックバルブを備えた流体力シリンダに関する。
【背景技術】
【０００２】
流体力シリンダは、液体の流体エネルギを機械的運動エネルギに変換するように構成したシリンダである。一般に、流体力シリンダはシリンダ室に供給される流体の圧力によって駆動され、それにより旋盤のような機械ツールの主軸に設けられたチャックを把持したり解放できるようにする。
【０００３】
従来の流体力シリンダは、図１に示すように、
一端から他端にのびる貫通路１１が形成され、外面から貫通路１１の内面にのびる第１、第２流体通路１２、１３が設けられたシリンダ１０と；
一端から他端にのびる接続部２１が形成され、第１、第２流体通路１２、１３に連通する第３、第４流体通路２３、２４を備えたスリーブ部材２０と；
一端が接続部２１に結合されたバルブロッド３１を備え、シリンダハウジング１０の前方にバルブプレート３２が設けられ、バルブプレート３２の一側端にシリンダチャンバ３３が設けられ、また第３、第４流体通路２３、２４をシリンダチャンバ３３に接続する第５、第６流体通路３４、３５が設けられる回転バルブ部材３０と；
前後に摺動するようにバルブロッド３１に取付けたピストンロッド４１及びピストンロッド４１から突出してシリンダチャンバ３３を前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ、３３ｂに分割しかつ前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ、３３ｂをピストンロッド４１の周囲にシールするピストンプレート４２を含む゜ピストン部材４０と；
内部にシリンダチャンバ３３を前方シリンダチャンバ３３ａに接続する第７流体通路５１を一側に備えた本体部材５０と；
回転パルブ部材３０における第６流体通路３５に設けられ、第６流体通路３５及び第７流体通路５１を通って前方シリンダチャンバ３３ａへ一定方向に流れる流体を制御する前方シリンダチャンバ７０用のチェックバルブと；
回転パルブ部材３０における第５流体通路３４に設けられ、第５流体通路３４を通って後方シリンダチャンバ３３ｂへ一定方向に流れる流体を制御する後方シリンダチャンバ６０用のチェックバルブと；
を有している。
【０００４】
ピストン部材４０は、前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ、３３ｂの一方に流体を供給し同時に前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ、３３ｂの他方から流体を放出することにより前後に動く。ピストン部材４０のこの往復動によって、ピストンロッド４１に接続されたチャックのジョーは把持されたり解放されたりできる。
【０００５】
前方及び後方シリンダチャンバ７０、６０の各々は、
内部に流体通路８１を備えたバルブハウジング８０と；
ある一定の圧力又はそれより高い圧力の流体が供給される時に、流体通路８１を閉じたり開いたりするようにばね部材８３で弾性的に支持された鋼ボール８２と；
バルブハウジング８０の一側に設けられ、チェックバルブ６０、７０の各々に供給される流体の圧力によって動き、鋼ボール８２を押圧し、流体通路８１を開放させるパイロットスプール８４と；
を備えている。
【０００６】
従って、ある一定の圧力又はそれより高い圧力の流体が前方又は後方シリンダチャンバ７０又は６０のチェックバルブに供給されると、流体通路８１は開放して流体をシリンダチャンバ３３に供給したり、シリンダチャンバ３３から流体を放出させる。  
【０００７】
圧力流体の供給がマシンツールの電力供給の遮断、例えば電力の休止で止まると、鋼ボール８２は、ばね部材８３の復元力で最初の位置へ戻り、流体通路８１を塞ぎ、それでシリンダチャンバ３３内に充填された流体の放出は阻止され、そしてチャックがマシンツールから解放するのは阻止される。
【０００８】
さらに、ピストン部材４０のピストンプレート４２は、前方又は後方シリンダチャンバ３３ａ又は３３ｂ内に過剰圧が発生する際に、前方シリンダチャンバ３３ａを後方シリンダチャンバ３３ｂに連通することにより、シリンダチャンバ３３内の圧力を低減させるリリーフバルブ９０を備えている。
【０００９】
さらに、両端をそれぞれ本体部材５０及び回転バルプ部材３０に固定したガイドピン９１、ピストン部材４０のピストンプレート４２を通して設けられ、それにより、ピストン部材４０はその往復動において、前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ、３３ｂを密封した状態で平滑に動くように案内される。
【００１０】
しかし、上記の従来の流体力シリンダでは、前方及び後方シリンダチャンバ７０、６０及びリリーフバルブ９０は別個に接像されなければならなかった。従って流体力シリンダの全長は、チェックバルブ６０、７０及びリリーフバルブ９０を内部に含むように長い必要があった。
【００１１】
さらに、ガイドピン９１は従来の流体力シリンダではピストン部材４０の往復動をガイドするのに設けられなければならず、そのため製造コストを増大し、製造効率を低下させていた。
【００１２】
従って、流体力シリンダは構造が複雑かつ大きくなり、任意の種類のマシンツールに使用する際に構造及び大きさをコンパクトにできる限度があった。
【００１３】
さらに、本体部材５０は、前方シリンダチャンバ３３ａに流体を供給し又は前方シリンダチャンバ３３ａから流体を放出するのに、本体部材５０の一側に七番目の流体通路５１を設けていたので、本体部材５０の一側の強度は他側より恐らく弱くなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
従って、本発明の目的は、製造プロセス及びコストの経済性に寄与できるコンパクトで構造の簡単な流体力シリンダを提供することにある。
【００１５】
本発明の別の目的は、前方及び後方シリンダチャンバに供給される流体の流れを制御するチェックバルブ及びピストン部材の往復動をガイドするチェックバルブのバルブハウジングにおけるガイド突起部を備え、従って別個のガイドピンをもたない流体力シリンダを提供することにある。
【００１６】
本発明のさらに別の目的は、チェックバルブのバルブハウジングに一体に設けられ、動作中に前方及び後方シリンダチャンバに発生した過剰圧力を低減させる減圧手段を備え、従って別個の減圧バルブすなわちリリーフバルブをもたない流体力シリンダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記の目的を達成するために、本発明による流体シリンダは、
一端から他端まで形成された貫通通路を備え、外面から貫通通路の内面にかけて第１及び第２の流体通路を備えたシリンダハウジングと；
シリンダハウジングの貫通通路に接触して固定され、一端から他端まで形成された接続部品を備え、かつ接続部品における軸受及び第１及び第２の流体通路に連通する第３及び第４の流体通路を備えたスリーブ部材と；
一端を接続部品に結合されたバルブロッド及びシリンダハウジングの前方に設けられたバルブプレートを備え、バルブプレートの一側端部にシリンダチャンバが設けられ、また、第３及び第４の流体通路をシリンダチャンバに接続するように形成した第５及び第６の流体通路を備えた回転バルブ部材と；
ピストンプレートを前後に摺動可能に動かすようにバルブロッドに固定したピストンロッドを備え、ピストンプレートがピストンロッドから突出してシリンダチャンバを前方及び後方シリンダチャンバに分割しかつピストンロッドの周囲部に対して前方及び後方シリンダチャンバをシールするピストン部材と；
バルブプレートの前方に設けられ、シリンダチャンバをシールするように流体の供給されるシリンダチャンバを含む本体部材と；
回転バルブ部材における第５の流体通路に設けられ、第５の流体通路に連通して設けた第１の流体通路を含む第１のバルブハウジングに予定の圧力又はそれより高い圧力の流体が供給される時のみ、第１の流体通路を開放させる第１のカットオフ手段を備えた前方シリンダチャンバ用チェックバルブと；
回転バルブ部材における第６の流体通路に設けられ、第６の流体通路に連通して設けた第２の流体通路を含む第２のバルブハウジングに予定の圧力又はそれより高い圧力の流体が供給される時のみ、第２の流体通路を開放させる第２のカットオフ手段を備えた後方シリンダチャンバ用チェックバルブと；
を有し、
第１のバルブハウジングが、第５の流体通路を前方シリンダチャンバに接続する第１の流体通路を備え、そしてピストンプレートを介して本体部材の内側面に一端を結合するように形成した第１のガイド突起部を備え、
第２のバルブハウジングが、第６の流体通路を後方シリンダチャンバに接続する第２の流体通路を備え、そしてピストンプレートを介して本体部材の内側面に一端を結合するように形成した第２のガイド突起部を備え、
また、第２のガイド突起部に、前方又は後方シリンダチャンバに過剰圧が発生した際に前方及び後方シリンダチャンバを連通させることによりシリンダチャンバにおける圧力を低下させる減圧手段が設けられる
ことから成っている。
【００１８】
ピストンプレートを介して本体部材の内側面に結合されるチェックバルブの第１、第２のバルブハウジングは、ピストン部材の往復動を案内する働きをする。
【００１９】
さらに、マシンツールの動作中にシリンダチャンバ内に発生した過剰圧力低減する減圧手段は第２のバルブハウジングに設けられるので、シリンダチャンバに別個のリリーフバルブ（図１の９０）を設ける必要がない。
【００２０】
本発明を更に理解させ、そして本明細書に結合してその一部を構成する添付図面は本発明の実施形態を例示しかつ以下の説明と共に本発明の原理を説明するのに役立つ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図２及び図３に示すように、本発明による流体力シリンダのシリンダハウジング１０は一端から他端まで形成された貫通通路１１を有し、また流体を流入したり流出させる第１及び第２の流体ポート１０ａ、１０ｂ及び入ってきた流体を放出するドレーンポート１０ｃを備えている。
【００２２】
流体力シリンダはまた第１及び第２の流体通路１２、１３を有し、第１及び第２の流体通路１２、１３は、ハウジング１０の外面から貫通通路１１の内面にかけて形成されている。第１の流体通路１２は第１の流体ポート１０ａと連通し、また第２の流体ポート１３は第２の流体ポート１０ｂと連通している。
【００２３】
スリーブ部材２０はシリンダハウジング１０の貫通通路１１と接触して固定され、そして一端から他端にかけて形成した接続部２１を備えている。
【００２４】
スリーブ部材２０は図３に示すように両端に接続部２１において軸受２２を備え、また、第１及び第２流体通路１２、１３と連通するように、接続部２１における軸受２２間には第３及び第４の流体通路２３、２４が形成されている。
【００２５】
さらに、スリーブ部材２０の接続部２１には回転バルブ部材３０が接続され、それにより、回転バルブ部材３０は、マシンツールのチャックで把持した物体が回転される時に軸受２２によって平滑に回転され得る。
【００２６】
回転バルブ部材３０は、ピストン部材４０が摺動可能に接続される、挿入部品３０ａを備えたバルブロッド３１と；予定の厚さをもつようにバルブロッド３１の一端に突出しかつシリンダハウジング１０の前方に設けられたバルブプレート３２とを有している。
【００２７】
バルブプレート３２はラビリンスシール構造体によってシリンダハウジング１０に接続される。バルブプレート３２の前方にはシリンダチャンバ３３が設けられている。
【００２８】
回転バルブ部材３０には、第３及び第４の流体通路２３、２４をシリンダチャンバ３３に接続する第５及び第６の流体通路３４、３５が形成されている。
【００２９】
さらに、回転バルブ部材３０には、第１の流体圧搾通路３４ａが設けられ、この第１の流体圧搾通路３４ａは第３の流体通路２３に接続され、そして第６の流体通路３５に設けられた後方シリンダチャンバ７０のチェックバルブの第２のパイロットスプール７５を圧搾するように流体を案内する。また、回転バルブ部材３０には、第２の流体圧搾通路３５ａが設けられ、この第２の流体圧搾通路３５ａは第４の流体通路２４に接続され、そして第５の流体通路３４に設けられた前方シリンダチャンバ６０のチェックバルブの第１のパイロットスプール６５を圧搾するように流体を案内する。  
【００３０】
回転バルブ部材３０は、ピストン部材４０が前後に動く際に、チャックのジョーで把持された物体と共に回転するので、回転バルブ部材３０のバルブプレート３２はラビリンスシール構造体によってシリンダハウジング１０とシールされ、バルブプレート３２とシリンダハウジング１０との間に室を形成するように設けた多数の突起部は多数の溝に係合されるが、互いに接触しない。
【００３１】
一方、ピストン部材４０はね回転バルブ部材３０の挿入部品３０ａに結合され、そして前後に摺動するようにバルブロッド３１に取付けたピストンロッド４１を備えている。ピストンプレート４２はシリンダチャンバ３３を前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ、３３ｂに分割しかつ前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ、３３ｂシールするようにピストンロット４１の周囲に沿って突出されている。
【００３２】
さらに、回転バルブ部材３０の前方には、シリンダチャンバ３３をシールするための本体部材５０が設けられている。
【００３３】
本体部材５０は結合開口５０ａを備え、コリ結合開口５０ａにピストンロッド４１がシールして接続される。従って、ピストン部材４０がシリンダチャンバ３３内に供給する流体の圧力によって前方へ動く際に、ピストンロッド４１は本体部材５０の前方面に突出し、それによりピストンロッド４１に接続されたマシンツールのチャックのジョーは把持したり解放される。
【００３４】
前方及び後方シリンダチャンバ６０、７０のチェックバルブは回転バルブ部材３０に設けられ、それにより、回転バルブ部材３０の第５及び第６の流体通路３４、３５を通って前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ、３３ｂに供給された流体は、一方向に流れるように制御される。
【００３５】
前方シリンダチャンバ６０のチェックバルブには、回転バルブ部材３０における第５の流体通路３４が設けられ、また第５の流体通路３４に連通して形成した第１の流体通路６１ａを含む第１のバルブハウジング６１に予定の圧力又はそれより高い圧力で流体を供給する時のみ、第１の流体通路６１ａを開放する第１のカットオフ手段６２が設けられる。
【００３６】
図３及び図４を参照すると、第１のバルブハウジング６１は、回転バルブ部材３０の第５の流体通路３４に設けられ、そして
第５の流体通路３４に連通して形成した第１の流体通路６１ａを備え、前面に第１のボール着座溝６４ａを備えた第１の基体部材６４と；
第１の基体部材６４に接続され、ピストンプレート４２を通って本体部材５０の内側面に一端を結合し、また第５の流体通路３４を前方シリンダチャンバ３３ａに連通させる第１の流体通路６１ａを備えた第１のガイド突出部６３と；
流体の供給圧力で動くように第１の基体部材６４の後方部分に設けられた第１のパイロットスプール６５と；
を有している。
【００３７】
さらに、第１の流体通路６１ａを遮断する第１のカットオフ手段６２は、第１の基体部材６４の第１のボール着座溝６４ａに固定した第１のボール部材６２ａと、第１の流体通路６１ａに第１のボール部材６２ａを弾性的に支持する第１のコイルばね６２ｂとを備えている。
【００３８】
従って、第１のボール部材６２ａは、第１のボール着座溝６４ａに固定することで、第１の流体通路６１ａをブロックするように第１のコイルばね６２ｂで弾性的に支持されている。
【００３９】
この状態において、第１のボール部材６２ａを押すのに十分高い圧力で第５の流体通路３４を通って第１の流体通路６１ａに流体が供給される時のみ、第１の流体通路６１ａは開放され、前方シリンダチャンバ３３ａに流体を供給する。
【００４０】
前方シリンダチャンバ３３ａに流体が供給される際には、流体は同時に第１の流体圧縮通路３４ａに供給されるので、流体圧力は第２のパイロットスプール７５を押して動かす。
【００４１】
そして、図５に示すように、第２のパイロットスプール７５は第２のボール部材７２ａを押して第２の流体通路７１ａを開放し、後方シリンダチャンバ３３ｂに充填した流体を第６の流体通路３５を介して放出させる。
【００４２】
さらに、後方シリンダチャンバ７０のチェックバルブは、回転バルブ部材３０における第６の流動通路３５に設けられ、また後方シリンダチャンバ７０のチェックバルブには、第６の流動通路３５に連通して形成した第２の流体通路７１ａを含む第２のバルブハウジング７１内に予定の圧力又はそれより高い圧力で流体を供給する時のみ、第２の流体通路７１ａを開放させる第２のカットオフ手段７２が設けられている。
【００４３】
図３〜図５を参照すると、第２のバルブハウジング７１は、回転バルブ部材３０の第６の流動通路３５に設けられ、そして  第５の流体通路３４に連通して形成した第２の流体通路７１ａを備え、前面に第２のボール着座溝７４ａを備えた第２の基体部材７４と；
第２の基体部材７４に接続され、ピストンプレート４２を通って本体部材５０の内側面に一端を結合し、また第６の流体通路３５を後方シリンダチャンバ３３ｂに連通させる第２の流体通路７１ａを備えた第２のガイド突出部７３と；
流体の供給圧力で動くように第２の基体部材７４の後方部分に設けられた第２のパイロットスプール７５と；
を有している。
【００４４】
さらに、第２の流体通路７１ａを遮断する第２のカットオフ手段７２は、第２の基体部材７４の第２のボール着座溝７４ａに固定した第２のボール部材７２ａと、第２の流体通路７１ａに第１のボール部材７２ａを弾性的に支持する第２のコイルばね７２ｂとを備えている。
【００４５】
従って、第２のボール部材７２ａは、第２のボール着座溝７４ａに固定することで、第２の流体通路７１ａをブロックするように第２のコイルばね７２ｂで弾性的に支持されている。
【００４６】
この状態において、第２のボール部材７２ａを押すのに十分高い圧力で第６の流体通路３５を通って第２の流体通路７１ａに流体が供給される時のみ、第２の流体通路７１ａは開放され、後方シリンダチャンバ３３ｂに流体を供給する。
【００４７】
後方シリンダチャンバ３３ｂに流体が供給される際には、流体は同時に第２の流体圧縮通路３５ａに供給されるので、流体圧力は第１のパイロットスプール６５を押して動かす。
【００４８】
そして、第１のパイロットスプール６５は第１のボール部材６２ａを押して第１の流体通路６１ａを開放し、前方シリンダチャンバ３３ａに充填した流体を第５の流体通路３４を介して放出させる。
【００４９】
一方、第２のバルブハウジング７１の第２のガイド突出部７３は、前方シリンダチャンバ３３ａ及び後方シリンダチャンバ３３ｂに過剰圧力が発生する際に、前方シリンダチャンバ３３ａ及び後方シリンダチャンバ３３ｂを連通させることによりシリンダチャンバ３３の圧力を低下させる減圧手段１００を備えている。
【００５０】
図５を参照すると、減圧手段１００は、
第２のガイド突出部７３を通って前方シリンダチャンバ３３ａ及び後方シリンダチャンバ３３ｂに連通するように形成した第１及び第２のシリンダ接続経路１１０、１２０と；
第１のシリンダ接続経路１１０に設けられ、前方シリンダチャンバ３３ａから後方シリンダチャンバ３３ｂへ予定の圧力又はそれより高い圧力で流体が圧縮される時のみ第１のシリンダ接続経路１１０を開放するように第３のコイルばね１１１で弾性的に支持された第３のボール部材１１２と；
第２のシリンダ接続経路１２０に設けられ、後方シリンダチャンバ３３ｂから前方シリンダチャンバ３３ａへ予定の圧力又はそれより高い圧力で流体が圧縮される時のみ第２のシリンダ接続経路１２０を開放するように第４のコイルばね１２１で弾性的に支持された第４のボール部材１２２と；
を有している。
【００５１】
従って、後方シリンダチャンバ３３ｂに流体が供給され、ピストンプレート４２を圧搾してピストン部材４０を前方へ動かす際に、後方シリンダチャンバ３３ｂに過剰な流体圧力が加わると、第４のボール部材１２２はこの過剰な流体圧力によって押されて、第２のシリンダ接続経路１２０を開放する。
【００５２】
第２のシリンダ接続経路１２０が開放されると、後方シリンダチャンバ３３ｂ内の流体は、第２のシリンダ接続経路１２０を通って前方シリンダチャンバ３３ａへ放出され、こうして流体が前方シリンダチャンバ３３ａへ放出されると、後方シリンダチャンバ３３ｂは減圧する。
【００５３】
後方シリンダチャンバ３３ｂが減圧されると、第４のボール部材１２２は、第４のコイルばね１２１の弾性復帰力によって元の位置へ戻り、第２のシリンダ接続経路１２０を閉塞する。
【００５４】
従って、前方シリンダチャンバ３３ａに流体が供給され、ピストンプレート４２を圧搾してピストン部材４０を後方へ動かす際に、前方シリンダチャンバ３３ａに過剰な流体圧力が加わると、第３のボール部材１１２はこの過剰な流体圧力によって押されて、第１のシリンダ接続経路１１０を開放する。
【００５５】
第１のシリンダ接続経路１１０が開放されると、前方シリンダチャンバ３３ａ内の流体は、第１のシリンダ接続経路１１０を通って後方シリンダチャンバ３３ｂへ放出され、こうして流体が後方シリンダチャンバ３３ｂへ放出されると、前方シリンダチャンバ３３ａは減圧する。
【００５６】
前方シリンダチャンバ３３ａが減圧されると、第３のボール部材１１２は、第３のコイルばね１１１の弾性復帰力によって元の位置へ戻り、第１のシリンダ接続経路１１０は閉塞される。
【００５７】
以下、本発明の流体力シリンダの動作について詳細に説明する。
【００５８】
シリンダハウジング１０の第１の流体ポート１０ａは、第１の流体通路１２、スリーブ部材２０の第３の流体通路２３、回転バルブ部材３０の第５の流体通路３４、チェックバルブ６０の第１の流体通路６１ａ、及び前方シリンダチャンバ３３ａに順次接続され、そしてまた第３の流体通路２３と連通する第１の流体圧縮通路３４ａを介して後方シリンダチャンバのチェックバルブ７０に接続される。
【００５９】
シリンダハウジング１０の第２の流体ポート１０ｂは、第２の流体通路１３、スリーブ部材２０の第４の流体通路２４、回転バルブ部材３０の第６の流体通路３５、後方シリンダチャンバのチェックバルブ７０の第２の流体通路７１ａ、及び後方シリンダチャンバ３３ｂに順次接続され、そしてまた第４の流体通路２４と連通する第２の流体圧縮通路３５ａを介して前方シリンダチャンバのチェックバルブ６０に接続される。
【００６０】
前方シリンダチャンバ３３ａには、ピストン部材４０を引くことにより流体が充填される。
【００６１】
特に、流体が予定の圧力又はそれより高い圧力で第２の流体ポート１０ｂに供給されると、流体は、第２、第４及び第６の流体通路１３、２４、３５を通って後方シリンダチャンバのチェックバルブ７０の第２の流体通路７１ａに入り込み、それにより第２のボール部材７２ａは押されて、第２の流体通路７１ａを開放する。  
【００６２】
それにより、開放した第２の流体通路７１ａを通って後方シリンダチャンバ３３ｂに流体が供給され、その結果、ピストンプレート４２は押圧され、ピストン部材４０を前進させる。
【００６３】
ピストン部材４０が前進すると、ピストン部材４０はそれに接続したチャックのジョーを把持させ、そして流体圧力によりジョーの把持をしっかりと保持する。
【００６４】
さらに、第４の流体通路２４に供給された流体は、第６の流体通路３５を通って後方シリンダチャンバのチェックバルブ７０に供給され、同時に第２の流体圧縮通路３５ａに供給され、前方シリンダチャンバのチェックバルブ６０の第１のパイロットスプール６５を押し動かす。
【００６５】
こうして押し動かされている間に、第１のパイロットスプール６５は第１のボール部材６２ａを押して第１の流体通路６１ａを開放する。
【００６６】
従って、前方シリンダチャンバ３３ａに充填された流体は、開放した第１の流体通路６１ａ及び第５の流体通路３４を通過し、そして流体はシリンダハウジング１０の第１の流体ポート１０ａに放出させる。
【００６７】
これに対して、流体が予定の圧力又はそれより高い圧力で第１の流体ポート１０ａに供給されると、流体は、第１、第３及び第５の流体通路１２、２３、３４を通って第１の流体通路６１ａに入り込み、それにより第１のボール部材６２ａは押されて、第１の流体通路６１ａを開放する。  
【００６８】
それにより、開放した第１の流体通路６１ａを通って前方シリンダチャンバ３３ａに流体が供給され、その結果、ピストンプレート４２は押圧され、ピストン部材４０を後退させる。
【００６９】
ピストン部材４０が後退すると、ピストン部材４０はそれに接続したチャックのジョーを解放させる。
【００７０】
さらに、第３の流体通路２３に供給された流体は、第５の流体通路３４を通って前方シリンダチャンバのチェックバルブ６０に供給され、同時に第１の流体圧縮通路３４ａに供給され、後方シリンダチャンバのチェックバルブ７０の第２のパイロットスプール７５を押し動かす。
【００７１】
こうして押し動かされている間に、第２のパイロットスプール７５は第２のボール部材７２ａを押して第２の流体通路７１ａを開放する。
【００７２】
従って、後方シリンダチャンバ３３ｂに充填された流体は、開放した第２の流体通路７１ａ及び第６の流体通路３５を通過し、そして流体はシリンダハウジング１０の第２の流体ポート１０ｂに放出させる。
【００７３】
上述のように、ピストン部材４０が前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ及び３３ｂに流体を供給することによって前後に動く際に、ピストン部材４０は、ピストンプレート４２を通過することによってピストンプレート４２に接続された第１、第２のバルブハウジング６１，７１の第１、第２のガイド突起部６３、７３に沿って動く。
【００７４】
さらに、前方及び後方シリンダチャンバ３３ａ及び３３ｂに流体を供給している間に、過剰圧力が生じても、後方シリンダチャンバのチェックバルブ７０に設けた減圧手段１００が圧力を低減し、過剰圧力で生じ得るマシンツールの機能不全やシリンダ本体の耐久性の減少を防ぐことができる。
【００７５】
シリンダハウジング１０とスリーブ部材２０との間、回転バルブ部材３０とピストン部材４０との間、回転バルブ部材３０と本体部材５０との間、又はピストンプレート４２の周囲部と本体部材５０の内側面との間を通常の仕方でシールするＯリングが設けられ得る。
【００７６】
以上説明したように、本発明によれば、コンパクトで構造が簡単な流体力シリンダが提供され、製造プロセス及びコストの経済性に貢献する。
【００７７】
さらに、本発明によれば、前方及び後方シリンダチャンバに供給される流体の流れを制御するチェックバルブを備え、チェックバルブのバルブハウジングにピストン部材の往復動を案内するガイド突起部を備え、従って別個のガイドピンを備える必要のない新規の流体力シリンダが提供される。
【００７８】
さらに、本発明によれば、動作中に前方及び後方シリンダチャンバ内に発生した過剰圧力を低減する減圧手段をチェックバルブのバルブハウジング内に一体的に設け、従って別個の減圧バルブすなわちリリーフバルブを備えていない流体力シリンダが提供される。
【００７９】
当業者には明らかなように、本発明の精神及び範囲から逸脱することなしに本発明に対して種々の変更及び変形がなされ得る。本発明は、特許請求の範囲内およびそれらの等価の範囲内の種々の変更及び変形を包含する。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】従来の流体力シリンダの断面図。
【図２】本発明による流体力シリンダの斜視図。
【図３】ピストン部材４０を外した状態で本発明による流体力シリンダを示す断面図。
【図４】第１の流体通路６１ａが第１のバルブハウジング６１に形成され、第１のバルブハウジング６１の端部までのびている状態を示す本発明による流体力シリンダの前方シリンダチャンバのチェックバルブ６０を示す断面図。
【図５】前方及び後方シリンダチャンバに過剰圧力が発生される時に開放されるべき第２のバルブハウジング７１に減圧手段１００を設けた本発明による流体力シリンダの後方シリンダチャンバのチェックバルブ７０を示す断面図。
【図６】ピストン部材４０が前後に動く、本発明による流体力シリンダの使用状態を示す断面図。
【符号の説明】
【００８１】
１０：シリンダハウジング
１１：貫通通路
１２：第１の流体通路
１３：第２の流体通路
２０：スリーブ部材
２１：接続部品
２２：軸受
２３：第３の流体通路
２４：第４の流体通路
３０：回転バルブ部材
３１：バルブロッド
３２：バルブプレート
３３：シリンダチャンバ
３３ａ：前方シリンダチャンバ
３３ｂ：後方シリンダチャンバ
３４：第５の流体通路
３５：第６の流体通路
４０：ピストン部材
４１：ピストンロッド
４２：ピストンプレート
５０：本体部材
６０：前方シリンダチャンバ用チェックバルブ
６１：第１のバルブハウジング
６１ａ：第１の流体通路
６２：第１のカットオフ手段
６３：第１のガイド突起部
７０：後方シリンダチャンバ用チェックバルブ
７１：第２のバルブハウジング
７１ａ：第２の流体通路
７２：第２のカットオフ手段
７３：第２のガイド突起部
１００：減圧手段
１１０：第１のシリンダ接続経路
１１１：第３のコイルばね
１１２：第３のボール部材
１２０：第２のシリンダ接続経路
１２１：第４のコイルばね
１２２：第４のボール部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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