(57)【要約】【課題】  少ない工数で平坦度の高いガラスブレーカー用ワークテーブルを得る。【解決手段】  メインテーブル１３１と、その表面に固着したサブテーブル２３２とを主な構成要素とするワークテーブル２３０上に載置したガラス基板１２にブレークヘッドを押し当ててガラス基板１２を分断するガラスブレーカー用ワークテーブル２３０において、前記サブテーブル２３２を硬度の高いサブテーブル（下）２３２Ｄと、硬度の低いサブテーブル（上）２３２Ｕとで構成し、該サブテーブル２３２を、ネジ１３３でメインテーブル１３１に固着した。ネジ１３３の本数が少なくしても平坦度を確保でき、正確なブレークと、安定した破断面でのガラス基板１２のブレークを実現した。【選択図】        図２
2006117480.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
メインテーブルと、その表面に固着したサブテーブルとを主な構成要素とするワークテーブル上に載置したガラス基板に刻んだブレークラインに、ブレークヘッドを押し当てて前記ガラス基板を分断するガラスブレーカー用のワークテーブルにおいて、前記サブテーブルを硬度の高いサブテーブル（下）と、その上に設けた硬度の低いサブテーブル（上）とで構成し、該サブテーブルを、サブテーブル（下）を介して前記メインテーブルとネジで固着したことを特徴とするガラスブレーカー用ワークテーブル。
【請求項２】
前記サブテーブル（下）は鉄系金属材から、前記サブテーブル（上）は合成樹脂材から成ることを特徴とする請求項１に記載のガラスブレーカー用ワークテーブル。
【請求項３】
前記合成樹脂材として液状で接着性を有する合成樹脂を用い、前記サブテーブル（下）の表面において固化させてサブテーブル（上）素材を形成しておいてから、該サブテーブル（上）素材上面を加工して平坦化することでサブテーブルを製作することを特徴とする請求項２に記載のガラスブレーカー用ワークテーブルの製造方法。
【請求項４】
前記液状で接着性を有する合成樹脂としてウレタン樹脂を用いたことを特徴とする請求項３に記載のガラスブレーカー用ワークテーブルの製造方法。
【請求項５】
前記サブテーブル（上）と前記サブテーブル（下）を、それぞれ個別に表面加工後、接着剤を用いて接合し、その後、サブテーブル（上）表面を加工して平坦化することを特徴とする請求項１乃至２のいずれか１つに記載のガラスブレーカー用ワークテーブルの製造方法。
【請求項６】
前記請求項１乃至２のいずれか１つに記載のガラスブレーカー用ワークテーブルを備えた自動ガラスブレーカー。
【請求項７】
前記請求項３乃至５のいずれか１つに記載の製造方法で製造したガラスブレーカー用ワークテーブルを備えた自動ガラスブレーカー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラスブレーカー用ワークテーブル、及びその製造方法、及びそれを備えた自動ガラスブレーカーに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種電子機器部品等の表示部に使用する液晶板、あるいは顕微鏡標本の作成に使用するスライドガラス等を造る場合、大型のガラス基板を分割することにより所定の大きさのガラス板を得る。ガラス基板の切断には、スクライバーの載物面上に真空吸着等の手段でガラス基板を固定し、ガラス基板の片面側に、その外周部が超硬合金、ダイヤモンド等の硬質部材で形成されたホイール状のカッターにより、スクライブと呼ばれる線状の条痕を施した後、切断装置（ブレーカー）で反対面側よりプレス、またはローラー等の押圧手段によりスクライブ線に沿って加圧し、ガラス基板のスクライブ溝に発生し、ガラス基板面と垂直方向に向かうクラックを進展させて切断する方法が一般的に行われている。
【０００３】
以下背景技術を図５〜９を用いて説明する。図５は背景技術におけるガラス基板分断の説明断面図で、図５（a）はワークテーブル上のガラス基板分断前の説明図を、図５（ｂ）はガラス基板分断直後の説明図を、図６は背景技術における自動ガラスブレーカーの平面図を、図７は図６の右側面図を、図８は図６の前面図を示す。図９は背景技術におけるワークテーブルの説明図で、図９(ａ)は平面図を、図９(ｂ)は図９(ａ)におけるＡ−Ａ断面図を示す。
【０００４】
ガラスブレーカーに関しては下記の特許文献１で開示された技術がある。
【０００５】
【特許文献１】特許出願公開  昭６３−１６６７３４号公報
【０００６】
図５を用いながら、特許文献１に開示されたガラスブレーカー並びにそれを用いたブレーク方法を簡単に説明する。ガラスブレーカー１０は、硬質ゴムや樹脂から成る半円形またはＶ字状の加圧板１１を、ガラス基板１２上に設けたスクライブしたい線に対向する面のスクライブライン１８に合わせて、ガラス基板１２を加圧し、分断する。この為、ガラス基板１２を、ガラスブレーカー１０に設けた固いメインテーブル１３Ａと、その表面に設けたクッション性のあるサブテーブル１３Ｂとから成るワークテーブル１４上に載置し、且つ、加圧板１１の円弧中心位置にスクライブライン１８を合せた状態で（図示しない手段で）真空吸着しておく。加圧板１１を有するシリンダーヘッド１５は、シリンダー１６で上下に駆動するので、シリンダー１６に下降動作を指示すると加圧板１１はガラス基板１２と接触し、加圧力１９を発生する。それと同時に、クッション性のあるサブテーブル１３Ｂからガラス基板１２に対して反力１７が発生し、Ｐで示す様な見かけ上の動作でガラス基板１２はスクライブライン１８を中心にブレ−キングされ左右に分断される。
【０００７】
このガラスブレーカーを量産装置として自動化した従来の自動ガラスブレーカーを以下に図６〜８を用いて説明する。従来の自動ガラスブレーカー１００は長方形をしたベース１０１上面の両サイドに、長手方向（Ｘ方向）に左右２本のガイドレール台１０２を設け、その上に、夫々ガイドレール１０３を固定しておく。そして、そのガイドレール１０３の外側には、各ガイドレール１０３に平行し、２本のボールネジ１０４を設け、その両端を軸受１０５で支持している。２個のナットハウジング１０６には夫々ボールナット１０７並びにガイドブロック１０８が固定されており、該ボールナット１０７は夫々のボールネジ１０４と嵌合している。また２個のガイドブロック１０８は夫々のガイドレール１０３と摺動自在に勘合している。各ボールネジ１０４の手前側軸線延長上には夫々被駆動プーリー１０９が設けられ、ベース１０１側面には正転及び逆転が可能なパルスモータ１１０が設けられ、その出力軸には駆動プーリー１１１が設けられている。そして、駆動プーリー１１１と被駆動プーリー１０９はタイミングベルト１１２で伝動されている。尚、ベース１０１上面に設けたアイドルプーリー１１３は、タイミングベルト１１２に適当なテンションを与えると同時にタイミングベルト１１２の移動方向を変換している。又、各ナットハウジング１０６の上面にはヘッドスタンド１１４が垂直方向に向けて固定され、両ヘッドスタンド１１４の上端部に跨ってビーム１１５が架けられ、該ビーム１１５の略中央部には、２基のブレークヘッド１２０が横方法に並列して設けられている。
【０００８】
次に、図８を用いたブレークヘッド１２０の説明に移る。ビーム１１５上面には２個のエアーシリンダー１２１がその出力軸を下に向けて固定されており、ビーム１１５下面には各エアーシリンダー１２１を中心に左右２本のシャフト１２２を一対に下方に向け固定されている。また、各エアーシリンダー１２１の出力軸下側には、前記各シャフト１２２と軸方向摺動自在に嵌合しているボールブッシュを格納したボールブッシュハウジング１２４が夫々設けてある。そして、その先端が半球状の前記エアーシリンダー１２１出力軸はボールブッシュハウジング１２４の上面中央部でコネクター１２５を用いてボールブッシュハウジング１２４に固定されている。また、ボールブッシュハウジング１２４の下側にはブレークバー１２６が設けられ、該ブレークバー１２６の上側中央部とボールブッシュハウジング１２４の下面中央部とは回動ピン１２７を中心にして左右が上下方向に回動可能な状態で連結している。ブレークバー１２６の先端に設けた加圧棒１２６Ａには硬度が低い素材（例えば樹脂や、硬質ゴム）から成る。
【０００９】
この様な構成の自動ガラスブレーカー１００の略中央部にはワークテーブル１３０が設けてある。図９（ａ）、（ｂ）に示した様に、この従来のワークテーブル１３０は大別するとメインテーブル１３１とその上に設けたサブテーブル１３２から成る。メインテーブル１３１は炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）を用いた矩形の厚板から成り、サブテーブル１３２はメインテーブル１３１と同じ矩形をした塩化ビニール樹脂やウレタン樹脂の厚板から成り、サブテーブル１３２はメインテーブル１３１にネジ１３３で固着している。ワーク（ガラス基板１２）の端面を押し当てて位置決めを行う為の段付ピン１３４は、その細径部をメインテーブル１３１に設けた穴に圧入して固着、太径部はサブテーブル１３２を貫いてワークテーブル１３０上面に突出している。また、サブテーブル１３２には長孔状の真空供給孔（上）１３５が設けてあり、これはメインテーブル１３１に設けた真空供給孔（下）１３６を介して、図示しない真空源と配管接続している。また、メインテーブル１３１はテーブルスタンド１３７を介してベース１０１上面で固定している。
【００１０】
この様に構成したワークテーブル１３０は、ガラス基板１２のブレ−ク加工部の精度を確保する為には、その理由は後述するが、高い「平坦度」が要求される。ここで言う「平坦度」とは、ワークテーブル１３０の下面が理想平面（凹凸も反りも無い平面）とした時、下面から上面迄の距離（即ち、局所的厚み）のワークテーブル１３０全域における最大値と最小値との差を指す。図９（ａ）に示した例では、サブテーブル１３２をメインテーブル１３１に固着しているネジ１３３は４７本使用しており、周辺部等の要部においては３５〜４０ｍｍ間隔でネジ締めしていることになる。この様に狭い間隔で締付ける理由は、ウレタン等の柔らかい樹脂（例えばショアー硬度９０°前後）から成るサブテーブル１３２をネジ１３３を用いて組み付けて尚且つワークテーブル１３０に必要な平坦度を確保する為である。
【００１１】
自動ガラスブレーカー１００のブレークヘッド１２０は、Ｘ方向で移動可能である。即ち、パルスモータ１１０は、制御装置に予め組み込まれたプログラムまたはオペレーターの指令に基づいて発生したパルスにより指示した回転角迄回転する。そして、この回転力は駆動プーリー１１１からタイミングベルト１１２を介して、２個の被駆動プーリー１０９に伝達され、ボールネジ１０４が回転、この回転によりボールナット１０７がＸ軸方向で移動する。該ボールナット１０７のＸ軸方向移動力は該ボールナット１０７並びにガイドブロック１０８を有するナットハウジング１０６に伝達され、ナットハウジング１０６はガイドレール１０３に沿ってＸ方向に摺動する。そして、このナットハウジング１０６の移動は、ヘッドスタンド１１４を介して、ブレークヘッド１２０をＸ軸方向に指示量だけ移動させる。
【００１２】
ブレークヘッド１２０の下端にはブレークバー１２６が設けてあり、このブレークバー１２６はＺ方向に移動可能である。即ち、エアーシリンダー１２１の出力軸からの押力により、ボールブッシュハウジング１２４がＺ方向に与力されると、ボールブッシュハウジング１２４はシャフト１２２にガイドされながらＺ方向に移動する。その結果、ボールブッシュハウジング１２４と連結しているブレークバー１２６もＺ方向に移動する。
【００１３】
剛性の高いＳ４５Ｃから成るメインテーブル１３１と、剛性の低い塩化ビニール樹脂やウレタン樹脂から成るサブテーブル１３２から構成したワークテーブル１３０は、図６で示した様に、ベース１０１上面の略中央部に設けてある。ガラス基板１２（図６では、４枚載置）を、このワークテーブル１３０に設けた段付きピン１３４に端面を当接して位置決めし（図９に示した様にＸ方向は１３４Ｘと、Ｙ方向は１３４Ｙと当接、更に、真空供給孔（上）１３５から供給する真空で）ワークテーブル１３０に吸着し固定する。また、ブレークヘッド１２０はスタート位置（図６においてＸ方向の上端近くに）に移動させておく。この状態で、パルスモータ１１０に回転指示を出してブレークヘッド１２０をＸ方向に必要ピッチ量移動させ、ガラス基板１２に予め施されたスクライブラインに加圧棒１２６Ａの円弧中心位置を合せ、更にエアーシリンダー１２１に下降動作を指示すると、ブレークバー１２６がＺ方向へ下降し、ガラス基板１２をスクライブラインを中心にブレ−クする。ガラス基板１２から分断した製品（ガラス板）は、真空吸着による拘束から開放されて押し出され、ワークテーブル１３０上に載置されるが、残りのガラス基板１２は、引き続きワークテーブル１３０に吸着され、ウレタン樹脂の摩擦で移動せずブレーク位置精度を保っているので、ブレークバー１２６をＺ方向に引上げておいてから、ブレークヘッド１２０をＸ方向に必要ピッチ量だけ送り込み、ブレークバー１２６をＺ方向で下降させ、次のブレークを実施する。そして、これを繰返し実行する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
近年の高いブレ−ク加工精度要求に応じる為には、ガラス基板１２が載置されるワークテーブル１３０に、高い平坦度が求められる。それは、ワークテーブル１３０の平坦度が高いと、ガラス基板１２が平坦に載置され、その結果、ブレーク位置がスクライブライン１８からずれないで、又、ガラス基板１２に対する押力が均一になりガラス破断面が安定するからである。（もし押力が不均一に掛かると、正常な場合透明なブレーク面が白濁する）ところが、サブテーブル１３２に用いた樹脂は、既述したブレークメカニズム上から明らかの通り、或る程度の柔らかさ（例えば、ショアー硬度が７０°〜９０°前後）を有することが必要で、テーブルサイズを例えば縦５００ｍｍ横３００ｍｍとして、メインテーブル１３１とサブテーブル１３２を組付けた状態で必要な平坦度（例えば３０μｍ以内）にするには、多くのネジ１３３（図６及び図９に示した例では４７箇所）を用いて万遍なく締付けることが必要になり、多くの組付け工数と高い熟練度を要した。また、サブテーブル１３２は柔らかい（硬度が低い）上に、ワーク量産時、ワークとの接触・除去の繰返しにより磨耗する消耗品であり、その為、頻繁な交換が必要になる。従来は、その度にこの煩雑な作業を行ったので、ブレーク工程が製品コストアップの１つの原因になっていた。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は上記課題を解決するために成されたものである。解決する手段として、本発明の請求項１記載に係わる発明は、メインテーブルと、その表面に固着したサブテーブルとを主な構成要素とするワークテーブル上に載置したガラス基板に刻んだブレークラインに、ブレークヘッドを押し当てて前記ガラス基板を分断するガラスブレーカー用のワークテーブルにおいて、前記サブテーブルを硬度の高いサブテーブル（下）と、その上に設けた硬度の低いサブテーブル（上）とで構成し、該サブテーブルを、サブテーブル（下）を介して前記メインテーブルとネジで固着したことを特徴とするものである。
【００１６】
また、本発明の請求項２記載に係わる発明は、前記サブテーブル（下）は鉄系金属材から、前記サブテーブル（上）は合成樹脂材から成ることを特徴とするものである。
【００１７】
また、本発明の請求項３記載に係わる発明は、前記合成樹脂材として液状で接着性を有する合成樹脂を用い、前記サブテーブル（下）の表面において固化させてサブテーブル（上）素材を形成しておいてから、該サブテーブル（上）素材上面を加工して平坦化することでサブテーブルを製作することを特徴とするガラスブレーカー用ワークテーブルの製造方法である。
【００１８】
また、本発明の請求項４記載に係わる発明は、前記液状で接着性を有する合成樹脂としてウレタン樹脂を用いたことを特徴とするガラスブレーカー用ワークテーブルの製造方法である。
【００１９】
また、本発明の請求項５記載に係わる発明は、前記サブテーブル（上）と前記サブテーブル（下）を、それぞれ個別に表面加工後、接着剤を用いて接合し、その後、サブテーブル（上）表面を加工して平坦化することを特徴とするガラスブレーカー用ワークテーブルの製造方法である。
【００２０】
また、本発明の請求項６記載に係わる発明は、前記請求項１乃至２のいずれか１つに記載のガラスブレーカー用ワークテーブルを備えた自動ガラスブレーカーである。
【００２１】
また、本発明の請求項７記載に係わる発明は、前記請求項３乃至５のいずれか１つに記載の製造方法で製造したガラスブレーカー用ワークテーブルを備えた自動ガラスブレーカーである。
【発明の効果】
【００２２】
発明の効果として、請求項１記載に係わる本発明のガラスブレーカー用ワークテーブルは、該ワークテーブルを構成するサブテーブルの内、硬度の高いサブテーブル（下）部分をメインテーブルにネジ止めしてワークテーブルを構成するので、ワークテーブルを構成するネジの本数が少なくても、又、締付け作業に熟練しなくても、ワークテーブルとして必要な高い平坦度を容易に確保できる。そして、このワークテーブルを用いれば、ガラス基板を、正確なブレーク位置と、安定した破断面でブレークすることが可能になるのでブレーク済みガラスの不良率が下がり、それを使用する各種電子機器部品の液晶板等の製造コストが削減する。また、繰り返し使用して磨耗したサブテーブルを回収し、リサイクルに供する場合も、軽量なので運搬作業も容易である。
【００２３】
また、請求項２記載に係わる本発明のガラスブレーカー用ワークテーブルは、サブテーブル（下）の素材となる鉄系金属材も、サブテーブル（上）の素材となる合成樹脂材も、ありふれた工業材料で、それぞれの仕様に応じた市販品を容易く、また安価に入手できる。
【００２４】
また、請求項３記載に係わる本発明のガラスブレーカー用ワークテーブルの製造には、
サブテーブル（上）の材料に接着性の有る液状の合成樹脂を用い、サブテーブル（下）上面で固化させるので、新たに別の接着剤を用いなくてもサブテーブル（上）とサブテーブル（下）を接合することができる。
【００２５】
また、請求項４記載に係わる本発明のガラスブレーカー用ワークテーブルの製造には、
サブテーブル（上）の材料として液状ウレタン樹脂を用いるので、液状ウレタン樹脂が固化するときサブテーブル（下）上で自己接着する。又、ウレタン樹脂は広い硬度範囲を設定できるので、固有のガラスブレーカーに最もマッチした硬度選択が可能になる。
【００２６】
また、請求項５記載に係わる本発明のガラスブレーカー用ワークテーブルの製造では、
サブテーブル（上）と前記サブテーブル（下）を、それぞれ個別に表面加工後、接着剤で接合するので、サブテーブル（上）とサブテーブル（下）を生産技術上それぞれ得意とする別部門で加工できる効果が得られる。
【００２７】
また、請求項６の記載に係わり、本発明の前記請求項１乃至２のいずれか１つに記載のガラスブレーカー用ワークテーブルを備えた自動ガラスブレーカーは、消耗品である当該ワークテーブルを再生する場合、サブテーブルを交換するだけで済むが、当該サブテーブルは軽量の為、交換作業性に優れ、作業時間も短くて済み、自動ガラスブレーカーの稼働率アップにつながる。
【００２８】
また請求項７の記載に係わり、本発明の前記請求項３乃至５のいずれか１つに記載の製造方法で製造したガラスブレーカー用ワークテーブルを備えた自動ガラスブレーカーは、
消耗品である当該ワークテーブルを再生する場合、サブテーブルを交換するだけで済むが、当該サブテーブルは軽量の為、交換作業性に優れ、作業時間も短くて済み、自動ガラスブレーカーの稼働率アップにつながる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
次に本発明を実施するための最良の形態（以下「実施形態」と略す）を図１〜３を用いて説明する。図１は本発明の第１実施形態のワークテーブルを搭載した自動ガラスブレーカーの平面図を、図２は本発明の第１実施形態のワークテーブルで、図２（ａ）は平面図を、図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＡ−Ａ断面図を、図３は本発明の第１実施形態におけるワークテーブルの図２（ａ）Ａ−Ａ相当部における製造工程断面図で、図３（ａ）はサブテーブル（下）表面上にサブテーブル（上）素材を形成した場合を、図３（ｂ）は上記サブテーブル（上）素材の表面を平坦に加工し、サブテーブル素材とした場合を、図３（ｃ）は上記サブテーブル素材に各種孔加工を施してサブテーブルとして仕上げた場合を、図３（ｄ）は上記サブテーブルをメインテーブル上に結合ネジを用いて取り付けた場合を示す。ところで、図１、２に示した本発明のワークテーブルを搭載した自動ガラスブレーカーは、ワークテーブル部分を除いて、背景技術で既に図６〜図８を用いて説明した自動ガラスブレーカーと同じである。従って、背景技術で説明した構成部品と同一部品は同一符号を付し、簡単な説明にとどめる。
【００３０】
図２で示した様に、第１実施形態のワークテーブル２３０は、大別するとメインテーブル１３１とサブテーブル２３２から成る。メインテーブル１３１は炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）を用いた矩形の厚板から成り、メインテーブル１３１上に本発明の特徴である２層から成り、メインテーブル１３１と同じ矩形をしたサブテーブル２３２を設ける。ワーク（ガラス基板１２）の端面を押し当てて位置決めを行う為の段付ピン１３４は、その細径部をメインテーブル１３１に設けた穴に圧入して固着、太径部はサブテーブル２３２を貫いてワークテーブル２３０上面に突出している。サブテーブル２３２には長孔状の真空供給孔（上）２３５が設けられており、これはメインテーブル１３１に設けた真空供給孔（下）１３６を介して、図示しない真空源と配管接続している。メインテーブル１３１はテーブルスタンド１３７を介して自動ガラススブレーカー２００のベース１０１上面に固定して使用する。
【００３１】
先ず、第１実施形態におけるサブテーブル２３２の詳細な構成並びにその製造方法を図３を用いながら説明する。本実施形態のサブテーブル２３２は図３（ｃ）でその断面形状を示した様にサブテーブル（下）２３２Ｄとサブテーブル（上）２３２Ｕから成り、その製造工程は以下の通りである。
工程ａ−１：炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）を素材にした矩形の厚板（厚み約５ｍｍ）から成るサブテーブル（下）素材２３２ＤＳを準備する。該サブテーブル（下）素材２３２ＤＳは経時変化を防止するため焼鈍し、表面は、防錆のためハードＣｒメッキしておく。
工程ａ−２：上記サブテーブル（下）素材２３２ＤＳを枠２３２Ｗで囲い、枠２３２Ｗ内に液状のウレタン樹脂を流し込みサブテーブル（上）素材２３２ＵＳを形成する。尚、ウレタン樹脂が固まる時にサブテーブル（下）素材２３２ＤＳとサブテーブル（上）素材２３２ＵＳは接着して一体化し、サブテーブル素材２３２Ｓとなる。尚、固まったウレタン樹脂のショアー硬度が約９０°になる様に（ウレタン樹脂は硬度の選択が容易である）予め調整しておく。
工程ｂ：サブテーブル（上）素材２３２ＵＳを成すウレタン樹脂が固化したら、該ウレタン樹脂表面を平坦度３０μｍ以下（但しテーブルサイズが約５００ｍｍ＊３００ｍｍの時）に削り、表面加工済みのサブテーブル素材２３２Ｍを製作する。
工程ｃ：表面加工済みのサブテーブル素材２３２Ｍに、ネジ孔１３３Ｈ、段付きピン孔１３４Ｈ、真空供給孔（上）２３５Ｈを加工し、サブテーブル２３２として完成する。
工程ｄ−１：メインテーブル１３１を別に準備する。該メインテーブル１３１は炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）を素材とした矩形の厚板（厚み約２０ｍｍ）で、経時変化を防止するため焼鈍済であり、表面は、ハードＣｒメッキ仕上で防錆処理してある。平坦度は３０μｍ以内で、ネジ１３３用の雌ネジ、及び段付きピン１３４用孔、及び真空供給孔（下）１３６が加工してある。
工程ｄ−２：メインテーブル１３１とサブテーブル２３２とをネジ１３３（６本）を用いて結合、又、段付きピン１３４（２０本）を組み入れするとワークテーブル２３０として完成する。
【００３２】
次に、第１実施形態のワークテーブル２３０を備えた自動ガラスブレーカー２００の説明に移る。図１に示す様に、本発明のワークテーブル２３０を搭載した自動ガラスブレーカー２００は、ベース１０１上面のガイドレール台１０２上に、２本のガイドレール１０３を設け、そのガイドレール１０３に平行して２本のボールネジ１０４を設け軸受１０５で支持している。また、２個のナットハウジング１０６には夫々ボールナット１０７並びにガイドブロック１０８が固定されており、該ボールナット１０７は夫々のボールネジ１０４と嵌合、また２個のガイドブロック１０８は夫々のガイドレール１０３と摺動自在に勘合している。また、各ボールネジ１０４の先端には夫々被駆動プーリー１０９が設けられ、パルスモータ１１０の出力軸に設けた駆動プーリー１１１とはアイドルプーリー１１３を経たタイミングベルト１１２で連動可能につながれている。更に、各ナットハウジング１０６の上面に設けたヘッドスタンド１１４にはビーム１１５が架けられ、該ビーム１１５には、２基のブレークヘッド１２０が設けられている。
【００３３】
ブレークヘッド１２０の構成は背景技術と全く同一であり、その説明には背景技術説明時に用いた図７、図８を転用しながら行う。即ち、ビーム１１５上面には２個のエアーシリンダー１２１が出力軸を下向きにして固定されており、ビーム１１５下面には、各エアーシリンダー１２１を挟んで２本のシャフト１２２が下方に向け固定されている。また、各エアーシリンダー１２１の出力軸下側には、前記各シャフト１２２と嵌合しているボールブッシュを格納したボールブッシュハウジング１２４が夫々設けてある。そして、その先端部が半球状をしたエアーシリンダー１２１出力軸はボールブッシュハウジング１２４とコネクター１２５により固定されている。また、ボールブッシュハウジング１２４はその下側に設けたブレークバー１２６と回動ピン１２７を介して連結し、ブレークバー１２６の先端には硬度が低い素材（例えば樹脂や、硬質ゴム）から成る加圧棒１２６Ａが設けてある。この様な構成のブレークヘッド１２０の下方には、図１に示した様に、ベース１０１の略中央部において、本発明の特徴を成すワークテーブル２３０が設けてある。
【００３４】
ブレークヘッド１２０は、背景技術と同様に、図１におけるＸ方向に移動可能である。即ち、パルスモータ１１０の回転力は駆動プーリー１１１からタイミングベルト１１２を介して、２個の被駆動プーリー１０９に伝達され、ボールネジ１０４を回転することで、これに勘合したボールナット１０７をＸ軸方向に移動する。該ボールナット１０７の移動はナットハウジング１０６に伝達され、ナットハウジング１０６をガイドレール１０３に沿ってＸ方向に摺動させ、ヘッドスタンド１１４及びビーム１１５を介してブレークヘッド１２０をＸ軸方向に移動させる。また、ブレークヘッド１２０の下端に設けたブレークバー１２６は、説明済みの背景技術と同様、エアーシリンダー１２１によりＺ方向に移動可能である。
【００３５】
この様な構成の自動ガラスブレーカー２００に、本実施形態のワークテーブル２３０を設け、ワーク（ガラス基板１２）端面を、該ワークテーブル２３０の段付きピン１３４に押し当てて（背景技術と同じ方法で）位置決めしてから、真空供給孔（上）２３５から供給する真空でワーク（ガラス基板１２）をワークテーブル２３０上に吸着し、ウレタン樹脂の摩擦力を併用して固定する。また、ブレークヘッド１２０はスタート位置に移動させておく。この状態で、ブレークヘッド１２０をＸ方向に必要ピッチ量移動させ、ガラス基板１２に設けたスクライブラインに加圧棒１２６Ａの円弧中心位置を合せ、ブレークバー１２６をＺ方向へ下降させて、ガラス基板１２を分断する。その後、ブレークバー１２６をＺ方向に一旦引上げておいてから、ブレークヘッド１２０をＸ方向に必要ピッチ量だけ送り込んだ後、ブレークバー１２６をＺ方向に下降させて次のブレークを実施する。そして、これを繰返し実行する。
【００３６】
第１実施形態のワークテーブル２３０は、ワークテーブル２３０の構成に使用するネジ１３３の本数を少なくしても、ワークテーブル２３０に必要な平坦度を確保できるので、正確なブレーク位置と、安定した破断面でのブレークを実現する。その理由は、ネジ１３３はサブテーブル（下）２３２Ｄを介してメインテーブル１３１に締付けるだけなので、柔らかい（例えばショアー硬度が７０°〜９０°前後）サブテーブル（上）２３２Ｕにはネジ１３３の締付けによる変形を生じない為である。この様に、ネジ１３３が少なくて且つ平坦度精度が確保できる結果、ワークテーブル２３０としての組立工数や、消耗品であるサブテーブル２３２の交換工数が削減し、又組付けに熟練しなくてもワークテーブル２３０の平坦度を確保し易くなるので、平坦度が安定し、ブレークしたガラス基板１２の不良発生率が下がり、それを使用する各種電子機器部品の液晶板等の製造コスト削減にもつながる。尚、消耗品であるサブテーブル２３２が磨耗して交換する場合、交換作業に熟練を要さないのでブレーカーオペレータ自身で交換作業することが可能となり、また交換部品が軽量なので、交換時間が短くて済み、自動ガラスブレーカー２００の稼働率のアップにもつながる。また、磨耗したサブテーブル２３２は回収し、リサイクルに供するが、軽量なので作業も容易である。また、実施形態１では、液状において接着性を有する合成樹脂としてウレタン樹脂を例に説明を行ったが、同じ機能を有する他の樹脂を用いても同様の効果を発揮する。尚、従来から、メインテーブル１３１上に直接ウレタンを固化して平坦化加工する一体化ワークテーブル方式も技術的に可能であったが、この場合、ワークテーブルの重量がかさみ、運搬等の作業性が悪くなる為、背景技術で図９を用いて既述した様にサブテーブル１３２とメインテーブル１３１を別々に製作し、ネジ１３３で組付ける方式が広く行われてきた。
【００３７】
次に、本発明の第２実施形態のワークテーブルの構成並びにその製造方法を、図４を用いながら説明する。図４は本発明の第２実施形態におけるワークテーブルの図２（ａ）Ａ−Ａ相当部分において示した製造工程断面図で、図４（ａ）はサブテーブル（上）素材を、
図４（ｂ）は上記サブテーブル（上）素材の表面を平坦に加工した場合を、図４（ｃ）は表面加工済みの上記サブテーブル素材（上）をサブテーブル（下）表面に接着剤を用いて接着した後、各種孔加工を施してサブテーブルとして仕上げた場合を、図４（ｄ）は上記サブテーブルをメインテーブル上にネジを用いて取り付けた場合を示す。
【００３８】
第２実施形態のワークテーブル３３０は、図４（ｄ）に示した構成をしており、本実施形態の特徴を成すサブテーブル３３２は、図４（ｃ）に示した様に、サブテーブル（下）３３２Ｄと、サブテーブル（上）３３２Ｕと、その間に設けた接着剤層３４０から成る。そして、その製造工程は以下の通りである。
工程ａ：液状のウレタン樹脂を枠３３２Ｗ内に流し込んで固化し、サブテーブル（上）素材３３２ＵＳを形成する。固まったウレタン樹脂のショアー硬度は約９０°となる。
工程ｂ：固化したウレタン樹脂表面を削り、平坦度３０μｍ以下に加工したサブテーブル（上）素材３３２ＵＭを製作する。（但しテーブルサイズ５００ｍｍ＊３００ｍｍの時）
工程ｃ：別に、炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）を材料にした矩形の厚板（厚み約５ｍｍ）から成り、サブテーブル（下）の素材となるサブテーブル（下）素材を用意する。該サブテーブル（下）素材は経時変化防止のため焼鈍処理を、又その表面は、錆防止用にハードＣｒメッキを施しておく。そして、このサブテーブル（下）素材の表面に、工程ｂで製作したサブテーブル（上）素材３３２ＵＭをクロロプレンゴム系接着剤で接着した後、ネジ孔１３３Ｈ、段付きピン孔１３４Ｈ、真空供給孔（上）２３５Ｈを加工すると、サブテーブル（上）３３２Ｕとサブテーブル（下）３３２Ｄと接着剤層３４０から成るサブテーブル３３２として完成する。
工程ｄ−１：メインテーブル１３１を別に準備する。該メインテーブル１３１は炭素鋼（Ｓ４５Ｃ）を素材とした矩形の厚板（厚み約２０ｍｍ）で、経時変化を防止するため焼鈍済であり、表面は、ハードＣｒメッキ仕上で防錆処理し、平坦度は３０μｍ以内である。また、ネジ１３３用の雌ネジ、及び段付きピン１３４用の孔、及び真空供給孔（下）１３６が加工してある。
工程ｄ−２：メインテーブル１３１とサブテーブル３３２とをネジ１３３（６本）を用いて結合、又、段付きピン１３４（２０本）を圧入するとワークテーブル３３０として完成する。
尚、本第２実施形態のワークテーブル３３０を自動ガラスブレーカーに装着する場合の構成、並びにその使用方法は既に説明した第１実施形態と同じである。
【００３９】
第２実施形態のワークテーブル３３０は、第１実施形態のワークテーブルと同様に、ネジ１３３はサブテーブル（下）３３２Ｄを介してメインテーブル１３１上に締付けるだけなので、ワークテーブル３３０の構成に使用するネジ本数が少なくしても、ワークテーブル３３０としての平坦度が確保でき、正確なブレーク位置と、安定した破断面でのガラス基板１２のブレークが可能になる。この結果、第１実施形態と同様にワークテーブル３３０の組立工数や、サブテーブル３３２の交換工数が削減し、又、平坦度確保が容易になることでブレークしたガラス基板１２の不良発生率が下がり、それを使用する各種電子機器部品の液晶板等の製造コスト削減にもつながる。また、消耗品であるサブテーブル３３２を交換する場合も、第１実施形態と同様に交換作業が簡易となり、熟練を要さない作業になり、短時間で交換でき、ガラスブレーカーの稼働率のアップにつながる。また、磨耗したサブテーブル３３２は回収し、リサイクルに供するが、軽量なので運搬作業も容易である。一般的に、ウレタン樹脂と炭素鋼では加工設備や加工技術が異なる。生産技術上、サブテーブル（上）３３２Ｕとサブテーブル（下）３３２Ｄを夫々を得意とする別部門で加工する方が望ましい場合は、先に説明した第１実施形態より、本第２実施形態の構成と生産方法を採用する方がメリットが大きくなる。
【００４０】
以上、本発明のワークテーブルを自動ガラスブレーカーに装着した場合を例に挙げて説明を行ってきたが、本発明のワークテーブルの使用はそれに限るものではない。手動式のガラスブレーカーでも全く同様にその効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明のワークテーブルを搭載した自動ガラスブレーカーの平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態におけるワークテーブルであり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態におけるワークテーブルの図２（ａ）Ａ−Ａ相当部における製造工程断面図で、図３（ａ）はサブテーブル（下）表面上にサブテーブル（上）素材を形成した場合の断面図、図３（ｂ）は上記サブテーブル（上）素材の表面を平坦に加工し、サブテーブル素材とした場合の断面図、図３（ｃ）は上記サブテーブル素材に各種孔加工を施してサブテーブルとして仕上げた場合の断面図、図３（ｄ）は上記サブテーブルをメインテーブル上にネジを用いて取り付けた場合の断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態におけるワークテーブルの図２（ａ）Ａ−Ａ相当部分において示した製造工程断面図で、図４（ａ）はサブテーブル（上）素材の断面図、図４（ｂ）は上記サブテーブル（上）素材の表面を平坦に加工した場合の断面図、図４（ｃ）は表面加工済みの上記サブテーブル素材（上）をサブテーブル（下）表面に接着剤を用いて接着した後、各種孔加工を施してサブテーブルとして仕上げた場合の断面図、図４（ｄ）は上記サブテーブルをメインテーブル上にネジを用いて取り付けた場合の断面図である。
【図５】背景技術におけるガラス基板分断の説明断面図で、図５（a）はガラス基板分断前、図５（ｂ）はガラス基板分断直後の断面図である。
【図６】背景技術における自動ガラスブレーカーの平面図である。
【図７】図６の右側面図である。
【図８】図６の前面図である。
【図９】背景技術におけるワークテーブルで、図９(ａ)は平面図、図９(ｂ)は図９(ａ)におけるＡ−Ａ断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１２  ガラス基板
１２０  ブレークヘッド
１３１  メインテーブル
１３３  ネジ    
２３０、３３０  ワークテーブル
２３２、３３２  サブテーブル
２３２Ｄ、３３２Ｄ  サブテーブル（下）     
２３２Ｕ、３３２Ｕ  サブテーブル（上）
２３２ＵＳ、３３２ＵＳ  サブテーブル（上）素材
【図１】
2006117480.tif 000003
【図２】
2006117480.tif 000004
【図３】
2006117480.tif 000005
【図４】
2006117480.tif 000006
【図５】
2006117480.tif 000007
【図６】
2006117480.tif 000008
【図７】
2006117480.tif 000009
【図８】
2006117480.tif 000010
【図９】
2006117480.tif 000011