(57)【要約】【課題】基板の割れ、欠け、クラック等の発生を防止することができる太陽電池セル及び太陽電池モジュールの製造方法を提供する。【解決手段】基板表面に形成された受光部１４と、該受光部１４に接続され前記基板表面１２に形成された表面電極と、基板裏面１３に形成された裏面電極とを備えた太陽電池セルにおいて、前記裏面電極に接続され前記基板裏面から基板の外方に導出される接続部を備え、該接続部は銅を主成分とする２つの表面層で銅より弾性係数が小さい金属を主成分とする中間層を挟持する金属箔としたことによって、接続部２１を、銅よりも弾性率の小さい金属箔とすることができるので、各電極と接続部２１とが接続した接合部の歪が緩和され、基板の割れ、欠け、クラック等の発生を防止することができる。【選択図】図１
2006332451.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板表面に形成された受光部と、該受光部に接続され前記基板表面に形成された表面電極と、基板裏面に形成された裏面電極とを備えた太陽電池セルにおいて、
前記裏面電極に接続され前記基板裏面から基板の外方に導出される接続部を備え、
該接続部は、前記基板裏面を覆う被覆部が延在して設けられ、銅を主成分とする２つの表面層で銅より弾性係数が小さい金属を主成分とする中間層を挟持する金属箔としてあることを特徴とする太陽電池セル。
【請求項２】
前記中間層は、アルミニウムを主成分とすることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池セル。
【請求項３】
前記被覆部の周縁は、前記基板裏面の周縁より内側に配置してあることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の太陽電池セル。
【請求項４】
前記裏面電極は、複数離散して形成してあることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一つに記載の太陽電池セル。
【請求項５】
前記接続部は、前記基板の外方へ導出された部分に段差部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一つに記載の太陽電池セル。
【請求項６】
前記基板裏面は、前記被覆部を覆うように樹脂からなる補強部材によって被覆されてあることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一つに記載の太陽電池セル。
【請求項７】
太陽電池セルを複数個接続してなる太陽電池モジュールにおいて、前記太陽電池セルは請求項１乃至請求項６のいずれか一つに記載の太陽電池セルであることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項８】
基板表面に形成された受光部と、該受光部に接続され前記基板表面に形成された表面電極と、基板裏面に形成された裏面電極と、該裏面電極に当接領域が接続され前記基板裏面から外方に導出された延長部を有する接続部とを備えた太陽電池セルを複数連接してある太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記接続部は銅を主成分とする２つの表面層で銅より弾性係数が小さい金属を主成分とする中間層を挟持した金属箔としてあり、
前記表面電極及び前記裏面電極の各表面に半田層を形成し、
前記接続部の当接領域を前記裏面電極に当接し、延長部を隣接する太陽電池セルの前記表面電極に当接した後、
加熱して、前記当接領域と前記裏面電極とを及び前記延長部と前記表面電極とを半田接合することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池セル、太陽電池モジュール及び太陽電池モジュールの製造方法に関し、特に太陽電池セルを接続する接続部に特徴を有する太陽電池セル、太陽電池モジュール及び太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の太陽電池セルについて、図１１及び図１２を参照して説明する。
【０００３】
図１１（Ａ）は、従来の太陽電池セルの斜視図であり、図１１（Ｂ）は、従来の太陽電池セルの側面図である。
【０００４】
太陽電池セル１０１は複数並置され、接続部１２１によって互いに接続され、太陽電池モジュール（不図示）が形成される。
【０００５】
太陽電池セル１０１は、基板１１１の表面に受光部１１４が設けられ、受光部１１４の表面には、光出力を取り出すための表面電極１１６が設けられている。基板裏面１１３には裏面電極１１７が設けられ、基板１１１の割れを防止するために、基板裏面１１３に樹脂からなる補強部材１８１が貼り付けられている(特開２００３−６９０５５号公報参照)。
【０００６】
接続部１２１は、一端が裏面電極１１７に半田で接続され、他端が隣接する太陽電池セル１０１の表面電極１１６に半田で接続されている（不図示）。
【０００７】
接続部１２１は、太陽電池セル１０１によって発電された電気を効率良く送電するために、導電率の高い銅で形成されている。
【特許文献１】特開２００３−６９０５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、裏面電極１１７と接続部１２１とを半田で接続したとき、半田接合部において反りが生じ、基板１１１にクラック・セル割れ等が発生していた。
【０００９】
図１２は、従来の太陽電池セルの裏面電極と接続部とが接合した領域における基板の反りを説明する説明図である。
【００１０】
裏面電極１１７には、半田によって接続部１２１が接続されている。基板１１１は、裏面電極１１７が形成されている領域において、接続部１２１側に反っている。なお、反りの説明を簡略化するため、表面電極１１６側の接続部１２１は図示を省略してある。
【００１１】
基板１１１はシリコンにより形成され、接続部１２１は銅により形成されている。銅の熱膨張係数は、シリコンの熱膨張係数より大きい。このため、基板１１１と接続部１２１とを加熱して半田接合させた場合、基板１１１に対して接続部１２１の方が大きく熱膨張し、熱膨張差を有した状態で、基板１１１と接続部１２１とが固定されることになる。この後、半田接合部が冷却し室温に戻ると、基板１１１よりも接続部１２１の方がより小さく縮小することになるが、基板１１１と接続部１２１との接合面は固定されているため、ずれることがないので、基板１１１が接続部１２１に引っ張られて、接続部１２１の方に反ることになる。このとき、基板１１１と接続部１２１とが接合した接合部には歪が生じ、基板１１１内部にはクラックが形成される。また、この基板反り及び内部クラックは、セル割れを発生させる原因にもなる。
【００１２】
また、接合部の歪、基板反り、及び内部クラック等は、製造工程における加熱処理時の温度変化によって、その度合いが拡大し、基板の割れ、欠け、クラック等を引き起こし、生産歩留りの低下の原因となる。
【００１３】
また、接合部の歪、基板反り、及び内部クラック等は、太陽電池モジュールの実際の使用環境における日々の温度変化によって基板が膨張・収縮を繰り返すことから、その度合いが拡大し、基板の割れ、欠け、クラック等を引き起こし、太陽電池セルの品質・信頼性を低下させる原因となる。
【００１４】
本発明は、こうした点に鑑みなされたものであり、その目的は、太陽電池セルの接合部の歪、基板反り、及び内部クラック等を防止した太陽電池セル、太陽電池モジュール及び太陽電池モジュールの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の太陽電池セルは、基板表面に形成された受光部と、該受光部に接続され前記基板表面に形成された表面電極と、基板裏面に形成された裏面電極とを備えた太陽電池セルにおいて、前記裏面電極に接続され前記基板裏面から基板の外方に導出される接続部を備え、該接続部は、前記基板裏面を覆う被覆部が延在して設けられ、銅を主成分とする２つの表面層で銅より弾性係数が小さい金属を主成分とする中間層を挟持する金属箔としてあることを特徴としている。
【００１６】
この構成により、銅よりも弾性率の小さい金属箔が裏面電極及び表面電極に接合することになるので、各電極と接続部との接合部の歪が緩和され、基板反りが小さくなり、また、内部クラックが少なくなる。また、製造工程における加熱処理時の温度変化があっても、また、太陽電池モジュールの使用環境の温度が繰り返して変化することがあっても、接続部は低弾性率の材料であるために、熱膨張収縮によるストレスを緩和させることができるので、基板の割れ、欠け、クラック等の発生を防止することができる。
【００１７】
また、接続部は、表面と裏面とが銅を主成分とする層で構成され、両面において半田接続性が良好であるので、一方の面は裏面電極と、他方の面は隣接する太陽電池セルの表面電極と良好に半田接続させることができる。すなわち、接続部が２層構造であって、一層のみが銅である場合には、基板の裏面電極と隣接する太陽電池セルの表面電極とを接続するとき、接続部を１８０度捻る必要があるが、接続部が上記構造である場合には、このような作業をする必要がなくなる。
【００１８】
また、基板裏面全体が被覆部で補強されているので、太陽電池セルの割れを防止することができる。
【００１９】
また、接続部から被覆部が延在して設けられているので、接続部に被覆部を別途付加して設ける必要がなくなることから、製造工程を簡略化することができる。また、接続部と被覆部と個別の部品としていたものを、一個の部品とすることができることから、資材調達性が向上する。また、被覆部は、基板裏面を覆うことになるから、太陽電池セル基板が割れた場合であっても、基板の割れた部分の光出力を収集することができる。
【００２０】
また、金属箔の中間層は、アルミニウムを主成分とするのが好ましい。
【００２１】
この構成により、一定の導電率を確保しながら、接続部の弾性率を小さくすることができる。また、中間層の主成分は金または銀としてもよいが、アルミニウムを主成分とすることで金属箔を安価に製造することができる。
【００２２】
また、被覆部の周縁は、基板裏面の周縁より内側に配置することが好ましい。
【００２３】
この構成により、基板裏面の周縁から被覆部がはみ出すことがなくなるので、隣接する太陽電池セルの被覆部同士が接触することがなくなり、太陽電池セル間の短絡を防止することができる。
【００２４】
また、裏面電極は、複数離散して形成するのが好ましい。
【００２５】
この構成により、裏面電極と接続部との接続箇所を分散させて、裏面電極と接続部との接合の歪を小さくすることができるので、基板の割れ、欠け、クラック等の発生を防止することができる。
【００２６】
また、接続部は、前記基板の外方へ導出された部分に段差部を有する構成とするのが好ましい。
【００２７】
この構成により、裏面電極から隣接する太陽電池セルの表面電極への接続において、接続の際に生じる曲げの歪を緩和させることができるので、接続部の歪・クラック等を減少させることができる。また、段差部を設けないストレート形状の接続部を用いる場合にあっては、隣接する太陽電池セルの表面電極へ接続する際に、基板の厚みの段差分に対して接続部を変形させる必要があったが、この作業を省略することができるので、製造工程を効率化できる。
【００２８】
また、基板裏面は、被覆部を覆うように樹脂からなる補強部材によって被覆されてあることが好ましい。
【００２９】
この構成により、太陽電池セルの基板が補強部材で補強されることになるので、太陽電池セルの割れを防止することができる。
【００３０】
また、本発明の太陽電池モジュールは、上記の太陽電池セルを複数個接続して太陽電池モジュールとするのが好ましい。
【００３１】
この構成により、個々の太陽電池セルにおける表面電極及び裏面電極の接合部の歪、基板反り、及び内部クラック等の発生を防止させることができるので、太陽電池モジュール全体としての故障率を格段に低下させることができる。
【００３２】
また、本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、基板表面に形成された受光部と、該受光部に接続され前記基板表面に形成された表面電極と、基板裏面に形成された裏面電極と、該裏面電極に当接領域が接続され前記基板裏面から外方に導出された延長部を有する接続部とを備えた太陽電池セルを複数連接してある太陽電池モジュールの製造方法であって、前記接続部は銅を主成分とする２つの表面層で銅より弾性係数が小さい金属を主成分とする中間層を挟持した金属箔としてあり、前記表面電極及び前記裏面電極の各表面に半田層を形成し、前記接続部の当接領域を前記裏面電極に当接し、延長部を隣接する太陽電池セルの前記表面電極に当接した後、加熱して、前記当接領域と前記裏面電極とを及び前記延長部と前記表面電極とを半田接合することを特徴とする。
【００３３】
この構成により、裏面電極と表面電極とを接続する接続部を、銅よりも弾性率が小さい金属箔とすることができるので、加熱工程において生じる半田接合部の歪が緩和され、基板反り、及び内部クラック等を減少させて、生産歩留りを向上させることができる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明に係る太陽電池セルによれば、太陽電池セルの基板の裏面電極と表面電極とを接続する接続部を、銅を主成分とする２つの表面層で銅よりも弾性係数が小さい金属を主成分とする中間層を挟持する構成とすることで、接続部の弾性率を銅箔の弾性率より小さくし、これによって、太陽電池セルの接合部の歪、基板反り、及び内部クラック等の発生を抑え、太陽電池セルの基板の割れ、欠け、クラック等を防止することができる。
【００３５】
また、接続部に基板裏面を覆う被覆部が設けられているので、太陽電池セル全体を補強できるので、これによっても、太陽電池セルの割れの発生を防止することができる。
【００３６】
また、接続部から被覆部が延在して設けられているので、接続部の接合と被覆部の接着を別々の工程で行う必要もなくなり、太陽電池セルの製造工程を簡略化することができる。
【００３７】
また、本発明に係る太陽電池モジュールによれば、太陽電池モジュールの構成である太陽電池セルの基板の割れ、欠け、クラック等を防止できるので、太陽電池モジュール全体としての故障率を格段に低下させることができる。
【００３８】
また、本発明による太陽電池モジュールの製造方法によれば、製造の加熱工程において生じる基板と接続部との間に生じる接合部の歪、基板反り、及び内部クラック等を緩和させて、太陽電池セルの基板の割れ、欠け、クラック等を防止できるので、生産歩留りを向上させることができる。また、被覆部は接続部と一体的に金属箔で構成されているので、接続部の接合と被覆部の接着を別々の工程で行う必要もなくなり、太陽電池セルの製造工程を簡略化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本発明の実施の形態について、図１乃至図７を参照して説明する。
【００４０】
＜実施の形態１＞
図１（Ａ）は、本発明に係る実施の形態１における太陽電池セルを基板表面側からみた斜視図、図１（Ｂ）は、本発明に係る実施の形態１における太陽電池セルを基板裏面側からみた斜視図である。図２は、図１（Ａ）に示す太陽電池セルの矢符Ａ−Ａに沿った断面図である。
【００４１】
太陽電池セル１は、Ｐ型シリコンウェハからなる半導体の基板１１と、基板表面１２に形成された受光部１４と、受光部１４上に形成された表面電極１６と、基板裏面１３に形成された裏面電極１７と、裏面電極１７と接続し基板の外方に導出する接続部２１とから構成されている。なお、接続部２１から延在してなる被覆部２２が基板裏面１３を覆っている（図１（Ｂ）参照）。
【００４２】
基板１１は、Ｐ型シリコン層３０からなり、その表面にＮ型半導体層３１が形成され、Ｐ型シリコン層３０とＮ型半導体層３１の境界にＰＮ接合部３９が形成されている。Ｎ型半導体層３１表面には、太陽光の吸収を促進させるための凹凸層３２が形成され、更に、凹凸層３２の表面には太陽光の反射を防止するための反射防止膜３３が形成されている。凹凸層３２から受光部の表面に突出するように表面電極１６が形成されている。この表面電極１６は、銀により構成されており、その表面には半田層４６が形成されている。
【００４３】
Ｐ型シリコン層３０においてＮ型半導体層３１が形成された面と反対側の面には、アルミニウムペーストを焼成することによりＰ+型半導体層３４が形成されている。Ｐ+型半導体層３４の一部の領域に裏面電極１７が形成されている。この裏面電極１７は銀により構成されており、その表面には半田層４７が形成されている。
【００４４】
基板１１の外形は、ダイシングによって例えば平面視で矩形に形成されている。
【００４５】
図３（Ａ）は、本発明に係る実施の形態１における基板の裏面パターンを示す底面図であり、図３（Ｂ）は、本発明に係る実施の形態１における基板の他の裏面パターンを示す底面図である。
【００４６】
裏面電極１７は、複数離散して形成されている。同図（Ａ）では、裏面電極１７パターンは、２個の矩形の裏面電極１７が基板裏面１３の片側に互いに距離をおいて並行して形成されている。
【００４７】
また、同図（Ｂ）では、裏面電極１７パターンは、複数個の裏面電極１７が基板裏面１３の外縁に沿って形成されている。
【００４８】
図４は、本発明に係る実施の形態１における接続部の斜視図である。
【００４９】
接続部２１は、本体部２１ａと、延長部２１ｂと、被覆部２２とからなり、本体部２１ａから延在して基板裏面１３を覆う被覆部２２が設けられ、金属箔で一体的に形成されている。本体部２１ａは、被覆部２２と一体となって矩形状となっている。また、本体部２１ａには裏面電極１７と当接する当接領域２３が設けられている。
【００５０】
延長部２１ｂは、本体部２１ａから延長された部分であり、被覆部２２を基板裏面１３に貼付したとき、基板裏面１３の基板の外方に導出される構成となっている（図１（Ｂ）参照）。延長部２１ｂの先端は、隣接する太陽電池セル１の表面電極１６に接続されることになる。延長部２１ｂの長さは、隣接する太陽電池セル１の表面電極１６に達する長さであればよい。
【００５１】
また、延長部２１ｂは、１本でも複数本でもよい。延長部２１ｂの数が多くなると、その分、受光部１４の面積が小さくなり光出力の観点から不利となり、他方、１本とした場合、延長部２１ｂが断線したときに太陽電池モジュール全体が稼動しなくなるため、信頼性に欠けることになる。そのため、本実施の形態では、２本形成し信頼性を確保している。
【００５２】
被覆部２２の外周は例えば矩形であって、その大きさは基板裏面１３の面積よりも小さく、基板裏面１３に当接したときに、被覆部２２の外周が基板裏面１３の外周よりも内側になるように形成されている。
【００５３】
例えば、被覆部２２は基板裏面１３周縁から０．２ｍｍ〜２．０ｍｍ程度小さい形状とされている。この構成により、基板裏面１３周縁から被覆部２２がはみ出すことがないので、隣接する太陽電池セル１の被覆部２２同士が接触することがなく、太陽電池セル１間の短絡を防止することができる。なお、０.２ｍｍ〜２.０ｍｍの幅は、被覆部２２を基板裏面１３に貼り付ける際の位置合わせばらつきを考慮して設定されたものである。
【００５４】
図５は、本発明に係る実施の形態１における基板裏面と被覆部との接着を説明する説明図である。
【００５５】
被覆部２２は、接続部２１の本体部２１ａと一体となって、基板裏面１３全体を覆うように貼り付けられる。
【００５６】
これにより、基板裏面１３全体が被覆部２２及び本体部２１ａで補強されることになるので、太陽電池セル１の割れを防止することができる。また、被覆部２２は、接続部２１が延在して設けられているので、別工程において被覆部２２を本体部２１ａに接着する必要がなくなることから、製造工程を簡略化することができる。また、接続部２１と被覆部２２と個別の部品としていたものを、一個の部品とすることができることになるから、資材調達性が向上する。
【００５７】
当接領域２３は、裏面電極１７に当接し半田で接合される。当接領域２３と裏面電極１７とは、異なる熱膨張係数を有しているため、接合した部分においては応力が生じる。この応力は接合部分の面積が大きいほど、増大する。裏面電極１７は複数離散して形成されているため、当接領域２３と裏面電極１７との接合部分が分散され、接続部２１と裏面電極１７との接合の応力が分散される。これによって、裏面電極１７と接続部２１との接合による歪を小さくすることができ、基板の割れ、欠け、クラック等の発生を防止することができる。
【００５８】
当接領域２３の周囲の領域（被覆部２２及び本体部２１ａから当接領域２３を除いた領域）は、感熱性接着剤５１によって基板裏面１３に接着される。感熱性接着剤５１は、加熱することによって、粘着力が増し、被接着体を接着させるものである。
【００５９】
図６は、本発明に係る実施の形態１における段差部が設けられた接続部の斜視図である。
【００６０】
接続部２１には、太陽電池セル１の基板１１の厚さ分の段差部２９が設けられている。この構成により、裏面電極１７から隣接する太陽電池セル１の表面電極１６への接続において、接続の際に生じる曲げの歪を緩和させることができるので、接続部２１の歪・クラック等を減少させることができる。また、段差部２９を設けないストレート形状の接続部２１を用いる場合にあっては、隣接する太陽電池セル１の表面電極１６へ接続する際に、基板の厚みの段差分に対して接続部２１を変形させる必要があったが、この作業を省略することができるので、製造工程を効率化できる。
【００６１】
図７は、図４に示した接続部の矢符Ｂ−Ｂに沿った断面図である。
【００６２】
接続部２１は、３層構造となっており、銅を主成分とする２つの表面層２５、２７で銅より弾性率が小さい金属を主成分とする中間層２６を挟持した金属箔となっている。
【００６３】
接続部２１は、銅箔よりも弾性率の小さい金属箔となるので、裏面電極１７と接続部２１の本体部２１ａとが半田接続された部分の歪が緩和され、半田接合部の歪、基板反り、及び内部クラック等を少なくすることができる。また、太陽電池セル１の周囲の温度が繰り返して変化することがあっても、接続部２１は低弾性率であるために、熱膨張収縮によるストレスを緩和させることができるので、基板のクッラク・割れ等の発生を防止することができる。
【００６４】
中間層２６の主成分は、例えば、金、銀、アルミニウム等である。特に、アルミニウムは、低弾性率、高導電性を兼ね備え、尚且つ低価格であり、好ましい。
【００６５】
表面層２５、２７の銅は、半田接続性が良好であるため、接続部２１を表面電極１６又は裏面電極１７と半田接合させるのに好適である。また、表面層２５、２７は接続部２１の表面と裏面とを構成しているので、被覆部２２を基板裏面１３に接続した状態で、先端を隣接する太陽電池セル１の表面電極１６に接続するときに、１８０度捻る必要もない。すなわち、接続部２１の構造が２層であって、一方の面のみが銅である場合には、基板１１の裏面電極１７と隣接する太陽電池セル１の表面電極１６とを接続するとき、接続部を１８０度反転させる必要があるが、このような反転をさせる必要がなくなる。
【００６６】
接続部２１の厚さは、２０μｍ〜３００μｍとしてある。接続部２１の厚さが、２０μｍ以下になると、接続部２１が破断しやすく生産歩留りが低下し、また、電気抵抗率が高くなることから、光電力の伝送能力が低下するので好ましくない。一方、接続部２１の厚さが、３００μｍ以上の場合、熱膨張が大きくなってしまうため、その分、基板１１と接続部２１との熱膨張に大きな差が生じ、基板の割れ、欠け、クラック等の発生させてしまうため、好ましくない。
【００６７】
また、被覆部２２は、接続部２１の本体部２１ａと一体となって、基板裏面１３全体を覆うように貼り付けられている。そのため、基板裏面１３全体が導電性がよい銅で覆われることになるので、基板１１が割れた場合であっても、基板の割れた部分での光出力を収集することができる。
【００６８】
＜実施の形態２＞
本発明の実施の形態２について、図８を参照して説明する。
【００６９】
図８は、実施の形態２における太陽電池セルを基板裏面からみた斜視図である。
【００７０】
本実施の形態の太陽電池セルは、実施の形態１に係る太陽電池セル１（図１、図２参照）の基板裏面１３に、被覆部２２を覆うように樹脂からなる補強部材８１が貼付された構成となっている。補強部材８１の大きさは、基板裏面１３を覆うものとされている。
【００７１】
この構成によって、基板１１が補強されるので、太陽電池セルの割れを防止することができる。
【００７２】
＜実施の形態３＞
次に、本発明に係る太陽電池セルの製造方法について、図２及び図５を参照して説明する。
【００７３】
まず、Ｐ型導電型の不純物が添加されたＰ型シリコンウェハからなる半導体の基板１１を準備する。基板１１の表面に、リン等を拡散しＮ型半導体層３１を形成し、ＰＮ接合部３９を形成する。
【００７４】
次に、Ｎ型半導体層３１表面に、太陽光の吸収を促進させるための凹凸層３２を形成する。
【００７５】
凹凸層３２は、Ｎ型半導体層３１に対して三フッ化塩素ガス（ＣＣｌＦ3）等の塩素性ガスを用いてドライエッチンッグを行なう事によって、形成される。または、水酸化ナトリウム水溶液（ＮａＯＨ）等のアルカリ水溶液を用いてウェットエッチングを行なう事によって凹凸層３２を形成してもよい。
【００７６】
次に、凹凸層３２の表面に、太陽光の反射を防止するための反射防止膜３３を形成する。
【００７７】
反射防止膜３３は、例えば窒化シリコン膜であり、シランとアンモニアとの混合ガスを原料としてプラズマＣＶＤ法により形成できる。または、チタン酸アルコキシドを原料として常圧ＣＶＤ法により酸化チタン膜としてもよい。
【００７８】
反射防止膜３３が形成された基板１１の裏面に、アルミニウムの金属ペーストを印刷し、約７００℃で焼成してＰ+型半導体層３４を形成する。
【００７９】
次に、表面電極１６と裏面電極１７とを形成する。
【００８０】
表面電極１６は、凹凸層３２にＡｇペーストをパターン印刷し、約２００〜３００℃で焼成して形成される。
【００８１】
裏面電極１７は、Ｐ+型半導体層３４の一部分にＡｇペーストをパターン印刷し、約２００〜３００℃で焼成して形成される。
【００８２】
次に、基板裏面１３の裏面電極１７の周囲に樹脂成分を含むアルミペーストを印刷塗布し、焼成してアルミ層を形成する。この工程は、感熱性接着剤５１と基板裏面１３との密着力を増強させるための工程であり、感熱性接着剤５１と基板裏面１３との接着力が十分確保される場合は省略してもよい。
【００８３】
次に、表面電極１６と裏面電極１７との各表面に、半田層４６、４７を形成する。この半田層４６、４７は、基板１１を半田槽に浸漬することで、Ａｇペーストを塗布した部分に半田を溶着させて形成する。
【００８４】
次に、当接領域２３の周囲の領域（被覆部２２及び本体部２１ａから当接領域２３を除いた領域）に感熱性接着剤５１を塗布する。ここで、当接領域２３に半田層を形成しておいてもよい。この構成により、裏面電極と該裏面電極に当接する接続部の当接領域の両方に半田層が形成されることになるので、半田接続がより確実になる。
【００８５】
被覆部２２は、当接領域２３が裏面電極１７に当接するように、基板裏面１３に貼り付けられる。このとき、接続部２１は基板裏面１３の基板の外方に導出されることになる。この接続部２１の先端は、隣接する太陽電池セル１の基板表面１２に形成されている表面電極１６に配設される。
【００８６】
なお、当接領域２３に半田層を形成している場合には、裏面電極１７に半田層を形成しなくてもよい。また、裏面電極１７に半田層を形成している場合は、被覆部２２の当接領域２３に半田層を形成しなくてもよい。すなわち、少なくとも裏面電極１７、または裏面電極１７に当接する当接領域２３のどちらかに半田層が形成されていれば、裏面電極１７と被覆部２２とは半田接続させることができるからである。
【００８７】
また、当接領域２３の周囲の領域（被覆部２２及び本体部２１ａから当接領域２３を除いた領域）に感熱性接着剤５１を塗布しないで、裏面電極１７の周囲の基板裏面１３に感熱性接着剤５１を塗布してもよい。すなわち、少なくとも当接領域２３の周囲、または裏面電極１７の周囲の基板裏面１３のどちらかに感熱性接着剤５１が塗布されていればよい。
【００８８】
次に、２００℃〜３００℃の加熱によって、裏面電極１７と当接領域２３とを半田接合し、基板裏面１３と被覆部２２とを感熱性接着剤によって接着させる。この両工程は、同時に行ってもよい。
【００８９】
＜実施の形態４＞
次に、本発明に係る太陽電池モジュールについて、図９及び図１０を参照して説明する。
【００９０】
図９は、本発明に係る実施の形態４において太陽電池セルをマトリックス状に配置した配置図である。
【００９１】
太陽電池セル１は、加熱台を兼ねた載置台９１に縦横それぞれ複数個配列し、マトリックス状に配置する。太陽電池セル１は、接続部２１によって半田ペースト及び感熱性接着剤で接続される。ここでは、全部の太陽電池セル１が直列に接続されている。なお、いくつかの太陽電池セル１を直列に接続し、さらに直列に接続した太陽電池セル１を並列に接続してもよい。
【００９２】
次に、載置台９１上でマトリックス状にした構造体６１を、半田が溶融する温度であって感熱性接着剤５１の粘着力が増強する温度まで加熱し、半田接合を形成させ、同時に基板裏面１３と被覆部２２とを接着させる。これによって、半田接合と、感熱性接着剤５１の接着とを同時に行うことができるので、生産効率が向上する。また、複数箇所の半田接合と、複数箇所の感熱性接着剤の接着とが同時に行われるので、複数箇所の半田接合の熱履歴と、複数箇所の接着の熱履歴とをそれぞれ均一になり、太陽モジュールの品質が安定化する。
【００９３】
図１０（Ａ）は、本発明に係る実施の形態４における太陽電池モジュールの組立方法を示す概略図であり、図１０（Ｂ）は、太陽電池モジュールの積層体にアルミ枠を取り付ける組立図である。
【００９４】
太陽電池セル１をマトリックス状に接続した構造体６１は、その受光部１４側には透明樹脂の薄い平板状に形成された充填剤（エチレン・酢酸ビニル共重合体フィルム：以下、ＥＶＡフィルム）７１を介して薄板強化ガラス７２が積層され、裏面側はＥＶＡフィルム７１を介して耐候性裏フィルム（ポリエチレンテレフタレート：以下、ＰＥＴフィルム）７３が積層され、加熱して接着される。
【００９５】
薄板強化ガラス７２とＰＥＴフィルム７３とが積層された積層体７５は、周囲にアルミ枠７６を取り付けられる。これによって、充分な強度を持つ太陽電池モジュールが完成する。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】（Ａ）は、本発明に係る実施の形態１における太陽電池セルを基板表面側からみた斜視図、（Ｂ）は、本発明に係る実施の形態１における太陽電池セルを基板裏面側からみた斜視図である。
【図２】図１（Ａ）に示す太陽電池セルの矢符Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図３】（Ａ）は、本発明に係る実施の形態１における基板の裏面パターンを示す底面図であり、（Ｂ）は、本発明に係る実施の形態１における基板の他の裏面パターンを示す底面図である。
【図４】本発明に係る実施の形態１における接続部の斜視図である。
【図５】本発明に係る実施の形態１における基板裏面と接続部との接着を説明する説明図である。
【図６】本発明に係る実施の形態１における段差部が設けられた接続部の斜視図である。
【図７】図４に示した接続部の矢符Ｂ−Ｂに沿った断面図である。
【図８】本発明に係る実施の形態２における太陽電池セルを基板裏面からみた斜視図である。
【図９】本発明に係る実施の形態４において太陽電池セルをマトリックス状に配置した配置図である。
【図１０】（Ａ）は、本発明に係る実施の形態４における太陽電池モジュールの組立方法を示す概略図であり、（Ｂ）は、太陽電池モジュールの積層体にアルミ枠を取り付ける組立図である。
【図１１】（Ａ）は、従来の太陽電池セルの斜視図であり、（Ｂ）は、従来の太陽電池セルの側面図である。
【図１２】従来の太陽電池セルの裏面電極と接続部とが接合した領域における基板の反りを説明する説明図である。
【符号の説明】
【００９７】
１        太陽電池セル
１１      基板
１２      基板表面
１３      基板裏面
１４      受光部
１６      表面電極
１７      裏面電極
２１      接続部
２２      被覆部
２３      当接領域
２５、２７表面層
２６      中間層
２９      段差
４６、４７半田層
８１      補強部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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