(57)【要約】  【課題】  設置スペースが小さくても設置が可能である他、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体をコンパクトに構成し得る荷電粒子ビーム用コリメータを提供する。  【解決手段】  ビームを導くダクト間に接続し得る貫通孔を有するハウジング１と、このハウジング１の貫通孔内に対向して設けられビームの通過孔を形成するスリット板３と、ハウジング１外に設けられ前記対向するスリット板３Ａ、３Ｂを進退駆動してビームの通過孔の大きさを変更する直進駆動機器２と、対向するスリット板３Ａ、３Ｂに連結され、対向するスリット板３Ａ、３Ｂを内外同方向に進退駆動する連動機構４と、を備えてなる。  【選択図】        図１
2006133133.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビームを導くダクト内に対向して設けられビームの通過孔を形成するスリット板と、ダクト外に設けられ前記対向するスリット板を進退駆動してビームの通過孔の大きさを変更する直進駆動機器と、対向するスリット板に連結されその対向するスリット板を内外同方向に進退駆動する連動機構と、を備えてなることを特徴とする荷電粒子ビーム用コリメータ。
【請求項２】
対向するスリット板が、更にビームの通過方向に前後して直交するように設けられてなる請求項１に記載の荷電粒子ビーム用コリメータ。
【請求項３】
請求項１に記載の荷電粒子ビーム用コリメータが、ビームの通過方向に前後して直交するように設けられてなる荷電粒子ビーム用コリメータ。
【請求項４】
ビームを導くダクト間に接続し得る貫通孔を有するハウジングと、このハウジングの貫通孔内に対向して設けられビームの通過孔を形成するスリット板と、ハウジング外に設けられ前記対向するスリット板を進退駆動してビームの通過孔の大きさを変更する直進駆動機器と、対向するスリット板に連結され、対向するスリット板を内外同方向に進退駆動する連動機構と、を備えてなることを特徴とする荷電粒子ビーム用コリメータ。
【請求項５】
対向するスリット板が、更にビームの通過方向に前後して直交するように設けられてなる請求項４に記載の荷電粒子ビーム用コリメータ。
【請求項６】
請求項４に記載の荷電粒子ビーム用コリメータが、ビームの通過方向に前後して直交するように設けられてなる荷電粒子ビーム用コリメータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子ビーム用コリメータに関し、特には試料分析装置やイオン・電子照射装置における荷電粒子ビームを形成するための荷電粒子ビーム用コリメータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に試料分析装置やイオン・電子照射装置は、イオン・電子発生源から試料までの間に、ビーム光学系調整機器のアパーチャ、スリット、偏向電磁石、磁気レンズ、偏向フィルタなどを設置し、イオンビームの強度、形状等を調整して、試料にイオンビーム又は電子ビームなどの荷電粒子ビームを照射させている（例えば、特許第２８５２１４４号公報（特許文献１）の図３、図４、あるいは特開平６−３６７２１号公報（特許文献２）の図１参照）。また、試料分析装置の場合には、真空容器内の試料から散乱したイオンビームをビーム光学系調整機器にて更に調整することがある（例えば、特開２００２−２３７２７１号公報（特許文献３）の図８参照）。
【０００３】
上記ビーム光学系調整機器において荷電粒子ビームの形状を形成する機器としてはアパーチャやスリットがある。このうちスリットには、特許文献１に提案されているような、形状や寸法の異なった複数のスリットを直線的に並べて配置し、これをビームに直交する方向から、ネジ機構やシリンダなどの直線駆動装置で１軸方向に進退駆動して切替える構造の荷電粒子ビーム用対物コリメータ（特許文献１の図１参照）、あるいは軸基端部にスリット板を設けた直線駆動装置を、その２つを１組としてスリット板が対向するように配置し、その２組を直線駆動装置の進退方向が直交するように、且つ、直線駆動装置の進退方向がビームに直交するとともに、対向するスリット板間をビームが通過するように配設し、各組のスリット板を直線駆動装置で進退駆動することにより、各組のスリット板間の開口幅を任意に可変可能な構造の荷電粒子ビーム用対物コリメータがある（特許文献１の図５や特許文献２の図５参照）。
【０００４】
上述の荷電粒子ビーム用対物コリメータは、いずれも荷電粒子ビームが通過する開口部（通過孔）を変更することができ、このように変更して荷電粒子ビームの大きさや形状を変えることができることから、試料分析装置やイオン・電子照射装置に一般的に用いられている。
【０００５】
しかしながら、荷電粒子ビーム用対物コリメータの設置スペースが小さい場合や、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体がコンパクトな装置の場合には、空間的な制約から、上記２組の直線駆動装置を備え各組のスリット板間の開口幅を任意に可変可能な構造の荷電粒子ビーム用対物コリメータ（以下、２組の直線駆動装置を備える荷電粒子ビーム用対物コリメータと称する。）は、２組の直線駆動装置を真空ダクト（ビームを導くダクト）の外周面にビーム方向に前後して備えるため、設置することが難しく、無理に設置する場合には、前記２組の直線駆動装置を備える荷電粒子ビーム用対物コリメータの設置スペース分だけ、ビームラインを長くする必要があった。
【０００６】
一方、上記２組の直線駆動装置を備える荷電粒子ビーム用対物コリメータの設置スペースが無い場合には、固定スリット又は、上記１軸方向に進退駆動して切替える構造の荷電粒子ビーム用対物コリメータを設置していたが、設置したスリット以外の大きさや形状の荷電粒子ビームに変更する場合は、コリメータの設置部分を分解して交換する必要があった。
【特許文献１】特許第２８５２１４４号公報（図１及び図３、図４）
【特許文献２】特開平６−３６７２１号公報（図１）
【特許文献３】特開２００２−２３７２７１号公報（図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記の問題点を解消するためになしたものであって、その目的は、設置スペースが小さくても設置が可能である他、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体をコンパクトに構成し得る荷電粒子ビーム用コリメータを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明（請求項１）に係る荷電粒子ビーム用コリメータは、ビームを導くダクト内に対向して設けられビームの通過孔を形成するスリット板と、ダクト外に設けられ前記対向するスリット板を進退駆動してビームの通過孔の大きさを変更する直進駆動機器と、対向するスリット板に連結されその対向するスリット板を内外同方向に進退駆動する連動機構と、を備えてなるものである。
【０００９】
上記の構成では、対向するスリット板を、１つの直進駆動機器によりリンクなどの連動機構を介在せしめて内外同方向に進退駆動して、スリット幅（ビームの通過孔の大きさ）を変更することができるので、設置スペースが小さくても設置が可能である他、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体をコンパクトに構成できる。
【００１０】
そして、上記請求項１の発明においては、対向するスリット板が、更にビームの通過方向に前後して直交するように設けられてあってもよい（請求項２）。このように構成することにより、２組の対向するスリット板を、１つの直進駆動機器によりリンクなどの連動機構を介在せしめて内外同方向に進退駆動して、スリット幅（ビームの通過孔の大きさ）を変更することができ、より設置スペースが小さくても設置が可能である他、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体をコンパクトに構成できる。
【００１１】
また、上記請求項１における荷電粒子ビーム用コリメータが、ビームの通過方向に前後して直交するように設けられてあってもよい（請求項３）。
【００１２】
また、上記の目的を達成するために、本発明（請求項４）に係る荷電粒子ビーム用コリメータは、ビームを導くダクト間に接続し得る貫通孔を有するハウジングと、このハウジングの貫通孔内に対向して設けられビームの通過孔を形成するスリット板と、ハウジング外に設けられ前記対向するスリット板を進退駆動してビームの通過孔の大きさを変更する直進駆動機器と、対向するスリット板に連結され、対向するスリット板を内外同方向に進退駆動する連動機構と、を備えてなるものである。
【００１３】
そして、上記請求項４の発明においても、対向するスリット板が、更にビームの通過方向に前後して直交するように設けられてあってもよい（請求項５）。
【００１４】
また、上記請求項４における荷電粒子ビーム用コリメータが、ビームの通過方向に前後して直交するように設けられてあってもよい（請求項６）。
【００１５】
上記請求項４〜６に係る発明は、上記請求項１〜３に係る発明における、ビームを導くダクトへの直付けに変えてハウジングに構成した上で、ビームを導くダクト間に取付ける構成としたものである。このように構成しても、上記請求項１〜３に係る発明と同様の作用効果が得られる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る荷電粒子ビーム用コリメータによれば、１つ又は２つの直進駆動機器により、スリット幅（ビームの通過孔の大きさ）を変更することができるので、設置スペースが小さくても設置が可能である他、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体をコンパクトに構成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明に係る荷電粒子ビーム用コリメータの全体説明図であって、ａは正面図、ｂは一部断面視側面図、図２は、ハウジングを除いて示す要部拡大説明図であって、ａは正面図、ｂはａのＡ−Ａ断面図、ｃはａのＢ−Ｂ断面図である。なお、以下の実施形態の説明における上下左右方向は、説明を理解し易くするため、直進駆動機器が１つの場合その取付け位置を上とし、２つの場合は一方の取付け位置を上としたものである。
【００１８】
図において、１はハウジング、２は直進駆動機器、３はスリット板、４は連動機構である。ハウジング１は、比較的肉厚のある短尺管で形成されている。ハウジング１の肉厚部５には、ビームを導くダクト６の管端部に形成されたフランジ７にボルト・ナットにより取付けるための貫通孔８が管軸方向に形成されるとともに、直進駆動機器２を取付けるための貫通孔９が管軸方向に直交させ肉厚部５を貫通して形成されている。そして、前記貫通孔９には接続用フランジ１０を有する接続管１１が取付けられている。
【００１９】
直進駆動機器２は、本例ではスピンドル１２を進退可能に備える直線導入機１３であって、直線導入機１３のシリンダ１４の先端には上記接続用フランジ１０と接続し得るフランジ１５が形成されている。
【００２０】
スリット板３は、スピンドル１２側に取付けられるスリット板３Ａと、対向して取付けられるスリット板３Ｂからなる。前記スリット板３Ａは、本例ではその一端にスピンドル１２の先端軸と嵌合する穴を有する軸部１６が一体に形成されている。また、スリット板３Ａとスリット板３Ｂの本体部分には、後記する連動機構４に連結するための貫通孔１７が形成されている。
【００２１】
連動機構４は、本例では、円形のガイド板１８と４枚のリンク１９とで構成されている。円形ガイド板１８にはその中央に丸孔（角孔でもよい）２０が形成され、その丸孔２０の中心を交差軸として直交する、丸孔２０から等位置の上下左右に４つの長孔２１が形成されている。また、円形ガイド板１８の一面には、丸孔２０と上下の長孔２１とを通して、スリット板３Ａと３Ｂを案内する案内溝２２が上下方向に形成されている。リンク１９には、両端に貫通孔２３が形成されている。なお、円形のガイド板１８は、その直径がハウジング１の短尺管の内径より僅かに小径に形成されている。また、ガイド板１８は、円形に限定されず、上下方向の長さが少なくともハウジング１の短尺管の内径より僅かに短く形成された、楕円形あるいは矩形であってもよい。また、リンク１９の両端の貫通孔２３の間隔は、ガイド板１８の上の長孔２１の上部と右（又は左）の長孔２１の内側との間の間隔にほぼ等しく形成されている。
【００２２】
上記構成の荷電粒子ビーム用コリメータは、次のようにして組立てられる。まず、直線導入機１３のスピンドル１２の先端軸をスリット板３Ａの軸部１６の穴に嵌合させ抜け止め用ビス２４で固定すると共にハウジング１の接続管１１に挿入し、ハウジング１の接続用フランジ１０と直線導入機１３のフランジ１５とをボルト・ナット（図示せず）で接続する。
【００２３】
一方、円形ガイド板１８には、案内溝２２にスリット板３Ｂを嵌め入れると共に反案内溝２２側の面に２枚の下側リンク１９の一端を重ね合せ、スリット板３Ｂの貫通孔１７、円形ガイド板１８の下の長孔２１及び２枚の下側リンク１９の貫通孔２３にボルト２５を通し、ナット２６により下側リンク１９を回動可能に取付け、更に、円形ガイド板１８の左右の長孔２１に前記下側リンク１９の他端の貫通孔２３と上側リンク１９の貫通孔２３とを重ね合せ、同様にボルト２５を通し、ナット２６により回動可能に取付ける。このように取付けた上で、この円形ガイド板１８の案内溝２２に、上記スピンドル１２の先端軸に取付けたスリット板３Ａを嵌め入れると共に反案内溝２２側の面の２枚の上側リンク１９の他端を重ね合せ、スリット板３Ａの貫通孔１７、円形ガイド板１８の上の長孔２１及び２枚の上側リンク１９の貫通孔２３にボルト２５を通し、ナット２６により上側リンク１９を回動可能に取付けて円形ガイド板１８をハウジング１へボルト（図示せず）により固定して組立てる。
【００２４】
上記のように構成された荷電粒子ビーム用コリメータでは、直線導入機１３のスピンドル１２を、シリンダ１４内の後退した位置（図２の状態）から所望距離進入させることにより、その進入距離に応じてスリット板３Ａは下方に、スリット板３Ｂは連動機構４（円形ガイド板１８と４枚のリンク１９）を介して上方にそれぞれ案内溝２２内を同距離だけ移動するので、１つの直進駆動機器２（直線導入機１３）によって、スリット板３Ａとスリット板３Ｂの間のビームの通過孔の大きさを変更することができる。従って、２枚のスリット板３Ａ、３Ｂのそれぞれに直進駆動機器２（直線導入機１３）を設けた構造の荷電粒子ビーム用コリメータに比べて設置スペースが小さくても設置が可能である他、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体をコンパクトに構成できる。
【００２５】
なお、上記の実施形態では、ハウジング１を採用した構成を例に説明したが、ハウジング１に変えてビームを導くダクトに直接直進駆動機器２を取付けるための貫通孔９を形成し、当該貫通孔９に接続用フランジ１０を有する接続管１１を取付ける構成としてもよく、前述の作用効果を得ることができる。
【００２６】
図３は、本発明に係る別の実施形態の荷電粒子ビーム用コリメータの全体説明図であって、ａは正面図、ｂは一部断面視側面図である。この図に示す荷電粒子ビーム用コリメータは、上記図１に示す荷電粒子ビーム用コリメータにおいて、ハウジング１を長さのある短尺管で構成し、この短尺管のハウジング１に、直進駆動機器２、スリット板３及び連動機構４より構成される２組のスリット構造の荷電粒子ビーム用コリメータを管軸方向に前後して且つ一方を上下方向に、他方を左右方向に直交させて設けた構成のものである。
【００２７】
上記のように構成された図３の荷電粒子ビーム用コリメータの場合には、上下方向と左右方向のそれぞれの直線導入機１３のスピンドル１２をシリンダ１４内の後退した位置から所望距離進入させることにより、その進入距離に応じて上下方向のスリット板３Ａと３Ｂ及び左右方向のスリット板３Ａと３Ｂの間のビームの通過孔の大きさを変更することができる。従って、４枚のスリット板３Ａ、３Ａ、３Ｂ、３Ｂのそれぞれに直進駆動機器２（直線導入機１３）を計４つ設けた構造の荷電粒子ビーム用コリメータに比べて設置スペースが小さくても設置が可能である他、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体をコンパクトに構成できる。
【００２８】
図４は、本発明に係る別の実施形態の荷電粒子ビーム用コリメータの全体説明図であって、ａは正面図、ｂは一部断面視側面図である。この図に示す荷電粒子ビーム用コリメータは、上記図１に示す荷電粒子ビーム用コリメータとは、直進駆動機器２を除いて、ハウジング３１、スリット板３２、連動機構３３は以下の構成とされている。
【００２９】
ハウジング３１は、一方の開口が中心部にビームの通過孔３４が形成された板壁３５を備える、比較的肉厚のある短尺管で形成されている。ハウジング３１の肉厚部３６には、ビームを導くダクト６の管端部に形成されたフランジ７にボルト・ナットにより取付けるための貫通孔３７が管軸方向に形成されるとともに、直進駆動機器２を取付けるための貫通孔３８が管軸方向に直交させ肉厚部３６を貫通して形成されている。そして、前記貫通孔３８には接続用フランジ１０を有する接続管１１が取付けられている。
【００３０】
スリット板３２は、スピンドル１２側に取付けられるスリット板３２Ａと、対向して取付けられるスリット板３２Ｂからなる。このスリット板３２Ａと３２Ｂは、連動機構３３を構成するラック４２に取付けられている。
【００３１】
連動機構３３は、上記ハウジング３１の板壁３５のビーム通過孔３４を含む上下方向の中心軸線上で、ビーム通過孔３４の上方の板壁３５に回転自在に取付けられたピニオン３９と、板壁３５の左右方向に両側にガイド面を対向させて取付けられたラックガイド４０と、下端にスリット板３２Ａが取付けられ、上端にスピンドル１２の先端軸と嵌合する穴を有する軸部材４１が取付けられた、ラック面を内側に向けた全体として凹形状の上側ラック４２Ａと、下端にスリット板３２Ｂが取付けられ、ラック面を内側に向けた全体としてＬ字状の下側ラック４２Ｂと、を備え、スリット板３２Ａとスリット板３２Ｂがビーム通過孔３４の上下に位置するようにして、上側ラック４２Ａと下側ラック４２Ｂのラック面を内側にしてピニオン３９に噛合わせるとともに、その反ラック面側の背面をラックガイド４０に係合させて上下方向に摺動可能に構成されている。
【００３２】
上記のように構成された図４の荷電粒子ビーム用コリメータであっても、直線導入機１３のスピンドル１２を、シリンダ１４内の後退した位置（図４の状態）から所望距離進入させることにより、その進入距離に応じてスリット板３２Ａは下方に、スリット板３２Ｂは連動機構３３（ピニオン３９と上下のラック４２Ａ、４２Ｂ）を介して上方にそれぞれ同距離だけ移動するので、１つの直進駆動機器２（直線導入機１３）によって、スリット板３２Ａとスリット板３２Ｂの間のビームの通過孔の大きさを変更することができる。従って、２枚のスリット板３２Ａ、３２Ｂのそれぞれに直進駆動機器２（直線導入機１３）を設けた構造の荷電粒子ビーム用コリメータに比べて設置スペースが小さくても設置が可能である他、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体をコンパクトに構成できる。
【００３３】
図５は、本発明に係る別の実施形態の荷電粒子ビーム用コリメータの全体説明図であって、ａは正面図、ｂは一部断面視側面図、図６は、図５ａの背面図である。図において、５１はハウジング、５２は直進駆動機器、５３はスリット板、５４は連動機構である。
【００３４】
ハウジング５１は、比較的肉厚のある短尺な馬蹄形状をした管で形成され、本例では内径部は大径部と小径部の２段に形成されている。ハウジング５１の肉厚部５５には、ビームを導くダクト６の管端部に形成されたフランジ７にボルト・ナットにより取付けるための貫通孔５６が管軸方向に形成され、また反円弧側の肉厚部５５には、直進駆動機器５２を取付けるための貫通孔５７が管軸方向に直交させ肉厚部５５を貫通して形成されている。
【００３５】
直進駆動機器５２は、本例ではスピンドル５８を有するマイクロメータヘッド５９が用いられ、マイクロメータヘッド５９の先端を、上記ハウジング５１の貫通孔５７の開口面に接続治具６０を介在せしめて取付けられる。
【００３６】
スリット板５３は、上記スピンドル５８側に取付けられるスリット板５３Ａと、対向して取付けられるスリット板５３Ｂの上下方向のスリット板５３Ａ、５３Ｂ、及び水平方向の２枚のスリット板５３Ｃからなる。前記スリット板５３Ａは、本例ではその一端にスピンドル５８の先端と嵌合する穴を有する軸部６１が一体に形成されている。また、スリット板５３Ａとスリット板５３Ｂの本体部分には、後記する連動機構５４に連結するための貫通孔６２が形成されている。また、水平方向の２枚のスリット板５３Ｃは、図７に示すように、一端に貫通孔６３が形成され、貫通孔６３と他端側との間に凹形状の切欠き部６４が形成された、略長方形状の厚板で構成され、更に、凹形状の切欠き部６４を含む反貫通孔６３側の板厚が、半分以下の板厚で段に形成されている。そして、この２枚のスリット板５３Ｃは、貫通孔６３側を外方にし、段を向き合わせ、板厚の薄い面を重ね合せ、凹形状の切欠き部６４がビームの通過孔を形成するように連動機構５４に取付けられる（図７ｃ参照）。
【００３７】
連動機構５４は、短尺の有底円筒状部材６５と４枚のリンク６６とで構成されている。円形の底部６７にはその中央に丸孔（角孔でもよい）６８が形成され、その丸孔６８の中心を交差軸として直交する、丸孔６８から等位置の上下左右に４つの長孔６９が形成されている。また更に、円形の底部６７の外底面には、上下の長孔６９を中心に含む、上下のスリット板５３Ａと５３Ｂを案内する案内溝７０が上下方向に形成され、一方、内底面には、左右の長孔６９を中心に含む、２枚の左右のスリット板５３Ｃを案内する案内溝７１が左右方向に形成されている。リンク６６には、両端に貫通孔７２が形成されている。なお、有底円筒状部材６５は、その直径がハウジング５１の大径部の内径より僅かに小径に形成されている。また、リンク６６の両端の貫通孔７２の間隔は、底部６７の上の長孔６９の上部と右（又は左）の長孔６９の内側との間の間隔にほぼ等しく形成されている。
【００３８】
上記構成の図５、６の荷電粒子ビーム用コリメータは、次のようにして組立てられる。まず、マイクロメータヘッド５９のスピンドル５８の先端をスリット板５３Ａの軸部６１の穴に嵌合させ抜け止め用ビス７３で固定すると共にハウジング５１の貫通孔５７にＯリングを介在せしめて挿入するとともに、マイクロメータヘッド５９の先端を、ハウジング５１の貫通孔５７の開口面に接続治具６０を介在せしめて取付ける。
【００３９】
一方、有底円筒状部材６５には、案内溝７１に２枚の左右のスリット板５３Ｃをそれぞれ嵌め入れるとともに、反案内溝７１側の面とスリット板５３Ｃの背面とのそれぞれに１枚ずつリンク６６を配し、スリット板５３Ｃの貫通孔６３、有底円筒状部材６５の長孔６９及び表裏に配した２枚のリンク６６の貫通孔７２にボルト７４を通し、ナット７５によりリンク６６を回動可能に取付ける。そして更に、案内溝７０にスリット板５３Ｂを嵌め入れるとともに、反案内溝７０側の面とスリット板５３Ｂの背面とのそれぞれに、前記左右の表裏に配したリンク６６のうち左右の表裏の１枚ずつのリンク６６を表裏で重ね合せ、スリット板５３Ｂの貫通孔６３、有底円筒状部材６５の長孔６９及び表裏の１枚ずつのリンク６６の貫通孔７２にボルト７４を通し、ナット７５によりリンク６６を回動可能に取付ける。
【００４０】
このように取付けた上で、有底円筒状部材６５をハウジング５１の大径部側に挿入し、案内溝７０に上記スピンドル５８の先端に取付けたスリット板５３Ａを嵌め入れるとともに、反案内溝７０側の面とスリット板５３Ａの背面とのそれぞれに、前記左右の表裏に配したリンク６６のうち残りの表裏の１枚ずつのリンク６６を表裏で重ね合せ、スリット板５３Ａの貫通孔６３、有底円筒状部材６５の長孔６９及び表裏の１枚ずつのリンク６６の貫通孔７２にボルト７４を通し、ナット７５によりリンク６６を回動可能に取付けて組立てる。なお、符号７６は有底円筒状部材６５のハウジング５１内での固定用ビスである。
【００４１】
上記のように構成された図５、６の荷電粒子ビーム用コリメータでは、マイクロメータヘッド５９のスピンドル５８を、後退した位置（図５、６の状態）から所望距離進入させることにより、その進入距離に応じてスリット板５３Ａは下方に、スリット板５３Ｂと５３Ｃは連動機構５４（有底円筒状部材６５と４枚のリンク６６）を介して上方と左右方向とにそれぞれ同距離だけ移動するので、１つの直進駆動機器２（マイクロメータヘッド５９）によって、上下のスリット板５３Ａとスリット板５３Ｂ及び左右の２枚のスリット板５３Ｃのそれぞれの間のビームの通過孔の大きさを変更することができる。従って、４枚のスリット板５３Ａ〜５３Ｃのそれぞれに直進駆動機器２（マイクロメータヘッド５９）を設けた構造の荷電粒子ビーム用コリメータに比べて設置スペースが小さくても設置が可能である他、試料分析装置やイオン・電子照射装置自体をコンパクトに構成できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係る荷電粒子ビーム用コリメータの全体説明図であって、ａは正面図、ｂは一部断面視側面図である。
【図２】図１のハウジングを除いて示す要部拡大説明図であって、ａは正面図、ｂはａのＡ−Ａ断面図、ｃはａのＢ−Ｂ断面図である。
【図３】本発明に係る別の実施形態の荷電粒子ビーム用コリメータの全体説明図であって、ａは正面図、ｂは一部断面視側面図である。
【図４】本発明に係る別の実施形態の荷電粒子ビーム用コリメータの全体説明図であって、ａは正面図、ｂは一部断面視側面図である。
【図５】本発明に係る別の実施形態の荷電粒子ビーム用コリメータの全体説明図であって、ａは正面図、ｂは一部断面視側面図である。
【図６】図５ａの背面図である。
【図７】本発明に係る左右方向のスリット板の説明図であって、ａは平面図、ｂは正面図、ｃは左右２枚を重ね合せた状態図である。
【符号の説明】
【００４３】
１：ハウジング          ２：直進駆動機器
３、３Ａ、３Ｂ：スリット板                      ４：連動機構
５：肉厚部              ６：ダクト              ７：フランジ
８、９：貫通孔        １０：接続用フランジ    １１：接続管
１２：スピンドル        １３：直線導入機        １４：シリンダ
１５：フランジ          １６：軸部              １７：貫通孔
１８：円形ガイド板      １９：リンク            ２０：丸孔
２１：長孔              ２２：案内溝            ２３：貫通孔
２４：抜け止め用ビス    ２５：ボルト            ２６：ナット
３１：ハウジング        ３２、３２Ａ、３２Ｂ：スリット板
３３：連動機構          ３４：通過孔            ３５：板壁
３６：肉厚部            ３７、３８：貫通孔      ３９：ピニオン
４０：ラックガイド      ４１：軸部材
４２、４２Ａ、４２Ｂ：ラック
５１：ハウジング        ５２：直進駆動機器
５３、５３Ａ〜５３Ｃ：スリット板                ５４：連動機構
５５：肉厚部            ５６、５７：貫通孔      ５８：スピンドル
５９：マイクロメータヘッド                      ６０：接続治具
６１：軸部              ６２、６３：貫通孔      ６４：凹形状の切欠き部
６５：有底円筒状部材    ６６：リンク            ６７：円形の底部
６８：丸孔              ６９：長孔              ７０、７１：案内溝
７２：貫通孔            ７３：抜け止め用ビス    ７４：ボルト
７５：ナット            ７６：固定用ビス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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