(57)【要約】【課題】  高純度で酸素含有量が少ない各種の炭化物粉末および工業的規模で効率的なその製造方法を提供すること。【解決手段】  硬質材料用高純度炭化タングステン粉末は、高温の減圧雰囲気下で高純度化された０．５〜６．５μｍの炭化タングステン粉末であって、Ａｌが２ｐｐｍ以下、Ｃａが１ｐｐｍ以下、Ｆｅが５０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下で、Ｏ／比表面積の値が０．１１８以下である。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高温の減圧雰囲気下で高純度化された０．５〜６．５μｍの炭化タングステン粉末であって、Ａｌが２ｐｐｍ以下、Ｃａが１ｐｐｍ以下、Ｆｅが５０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下で、Ｏ／比表面積の値が０．１１８以下であることを特徴とする硬質材料用高純度炭化タングステン粉末。
【請求項２】
高温の減圧雰囲気下で高純度化された０．７〜２．０μｍの炭化チタンおよび炭窒化チタンの混合粉末であって、Ａｌが３５ｐｐｍ以下、Ｃａが３０ｐｐｍ以下、Ｆｅが８０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下で、Ｏ／比表面積の値が０．１９以下であることを特徴とする硬質材料用高純度炭化チタンおよび炭窒化チタン粉末。
【請求項３】
請求項１に記載の硬質材料用高純度炭化タングステン粉末の製造方法であって、タングステン粉末と炭素粉末を均一に混合し、１３００℃から２０００℃の温度で且つ窒素ガス、アルゴンガスおよび真空に脱気後に処理物又は炉材から昇温中に遊離されるガスによって、７から４０ｋＰａの圧力に制御された雰囲気中において熱処理することにより高純度化の効果を得ることを特徴とする硬質材料用高純度炭化タングステン粉末の製造方法。
【請求項４】
請求項２に記載の硬質材料用高純度炭化チタンおよび炭窒化チタン粉末の製造方法であって、酸化チタン粉末と炭素粉末を均一に混合し、１８００℃から２０００℃の温度で且つ２０から４０ｋＰａの圧力に制御された水素ガス、窒素ガス中で保持した後さらに５ｋＰａ以下の圧力で熱処理して脱酸素および高純度化することを特徴とする硬質材料用高純度炭化チタンおよび炭窒化チタン粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削工具、耐摩工具、鉱山工具に用いられる超硬合金、サーメットおよびセラミックス等の硬質材料の原料となる高純度で酸素含有量が少ない各種の炭化物粉末に関する。詳しくは、高純度炭化タングステンおよび高純度炭化チタンおよび炭窒化チタン粉末とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、工具の材料として用いられる超硬合金、サーメットおよびセラミックスなどの硬質焼結材料は、４ａ，５ａ，６ａ族金属の炭化物、窒化物および炭窒化物粉末と鉄族元素とを混合、焼結して製造されている。
【０００３】
この硬質材料の硬度を高めて耐摩耗性を向上させるための炭化物の微細化への提案、強度や靭性を向上するため高純度化の考案、粒子形状を制御して硬さと靭性を改善する提案が次のとおりなされている。
【０００４】
まず、特許文献１には、平均粒径５μｍ以下のタングステン酸化物、同１．０μｍ以下の炭素粉末をＮ２雰囲気中で１３７０〜１７７０Ｋで加熱し、続いてＨ２雰囲気中で１５７０〜１９７０Ｋで加熱し、平均粒径が０．５μｍ以下で、結合炭素が６．００％の超微粒ＷＣ粉末およびその製造方法が開示されている。この技術によればＦｅの含有量４０ｐｐｍの低い値に制御されているが、しかし、その他の不純物および酸素含有量低減に関する技術は示されていない。
【０００５】
特許文献２には、平均粒径１μｍ以下のタングステン酸化物、同０．５μｍ以下の炭素粉末、並びにＶ，Ｃｒ，ＴａおよびＴｉの炭化物および酸化物粉末のうちの１種または２種以上からなる炭・酸化物を用い１０００〜１６００℃の窒素又はアルゴン雰囲気中で還元処理し、引き続いて１０００〜１６００℃の水素雰囲気中で炭化された、平均粒径で０．５μｍ以下の微細なタングステン系炭化物粉末の製造方法が開示されている。この技術によればＷＣ粉末の粒径が開示されているが、しかし、超硬合金の特性に影響を及ぼす酸素含有量の低減および純度の向上に関する技術は示されていない。
【０００６】
特許文献３には、９９．９質量％以上の純度を有するメタタングステン酸アンモニウムまたはタングステン酸アンモニウム水溶液を９９．９％以上の炭素粉に担持し、９００〜１６００℃の窒素雰囲気で還元処理を施し、９００〜１６００℃の水素雰囲気で炭化処理して０．５μｍ以下の高純度微粒炭化タングステンを製造する方法が開示されている。しかし、超硬合金の特性に影響を及ぼす具体的な不純物元素および酸素低減に関する技術は示されてない。
【０００７】
特許文献４には、酸素含有量が０．２〜０．５％、窒酸素含有量が０．１〜０．３％の９９．９質量％以上の純度を有する六方晶結晶構造の炭化タングステン基超硬合金用炭化タングステン基合金粉末が開示されている。しかし、超硬合金の特性に影響を及ぼす具体的な不純物元素低減に関する技術は示されていない。
【０００８】
特許文献５には、酸化タングステンを水素雰囲気で還元したタングステン粉末と一次粒子径が０．１μｍ以下でかつ二次粒子径が５〜１０μｍの範囲の炭素粉を混合した後９５０〜１２００℃の真空又は非酸化性雰囲気で加熱し、一次粒子径が０．６μｍ以下で、かつ二次粒子径が０．６μｍを超え３５μｍ以下の範囲である二次粒子が粒子全体の７０重量％以上を占めることを特徴とする炭化タングステン粉末が開示されている。この技術によればＷＣ中の不純物元素の硫黄、鉄、アルミニウム、カルシュウムなどは低減することが望ましく、硫黄は切削工具などとして用いた場合に破壊の起点となることから０．００１重量％以下にすることが望ましく、鉄は空孔発生の要因となるため０．０５重量％以下にすることが望ましく、アルミニウムやカルシウムは破壊の起点となることから０．０５重量％以下にすることが望ましいとし、鉄と硫黄の含有量が示されている。しかし、超硬合金の特性に影響を及ぼす酸素低減に関する技術は示されていない。
【０００９】
特許文献６には、金属酸化物と炭素の混合物を１気圧の非還元性雰囲気中で部分炭化混合物とし、化学量論的炭素量に調整した後、第二高温の水素雰囲気下で金属炭化物にする方法が考案され、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化ハフニウム、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステンなどからこれらの炭化物を得る方法が開示されている。酸化タングステンとアセチレンブラックの混合物を回転する坩堝中で１１２０℃のアルゴン気流中で加熱し、回転する坩堝中で１２５０℃の水素−アルゴン気流中で加熱し、０．１〜０．２μｍの高純度ＷＣ粉末を得ているが、しかし、超硬合金の特性に影響を及ぼす他の具体的な不純物元素低減に関する技術は示されていない。
【００１０】
特許文献７には、タングステン粉末又はタングステン前駆体化合物を９００〜９５０℃のＣＯ／ＣＯ２混合ガス中で浸炭し、浸炭後１１５０〜１８００℃で熱処理する炭化タングステンの製造方法が開示されている。この技術によれば、０．２９〜０．４７μｍの超微粒ＷＣ粉末を得て、酸素含有量は調べられているが、しかし、超硬合金の特性に影響を及ぼす他の具体的な不純物元素低減に関する技術は示されていない。
【００１１】
超硬合金の特性は、主にＷＣ粉末の粒径，合金中の炭素量，不純物，Ｃｏ含有量などによって影響される。超硬合金の硬度はＷＣ粉末の粒度およびＣｏ量が減少するほど高くなる。また、超硬合金の強度は主にＷＣ粉末の粒径が減少するほど、粒度分布が狭くなるほど、合金中の炭素量がＷＣ−Ｃｏの２相領域の低炭素になるほど、Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓなどの不純物量が減少するほど、Ｃｏ量が増加するほど高くなる。さらに、超硬合金の靭性はＷＣ結晶が粗くＣｏ量が多いほど高くなることが知られ、その研究の一例は、非特許文献１乃至６に示されている。
【００１２】
非特許文献１乃至６から、前述した工具に求められる要求を満たすために原料炭化物の特性は種々の粒度の品種について、高純度で酸素含有量が少なくなければならないと示されている。
【００１３】
近年、情報機器や電子機器の高機能化、小型・軽量化の要求が強く、これらに使用される部品の加工には高性能で長寿命が求められている。更に切削工具、耐摩工具、鉱山工具に用いられる超硬合金、サーメットおよびセラミックスの原料となる各種の炭化物粉末も高品質化の要求が求められている。
【００１４】
超硬合金の強度は、原料となる炭化物粉末を高純度化することにより高く改善される。さらに、酸素含有量の減少により超硬合金中の炭素含有量が安定化でき品質改善に寄与できる。しかしながら、上述のとおり、原料となる炭化物に微量に残存する不純物を低減し且つ、酸素含有量の少ない各種の炭化物粉末を提供するに至っていないと云う状況にある。
【００１５】
【特許文献１】特許第２６１７１４００号公報
【特許文献２】特許第３０６３３４０号公報
【特許文献３】特開２００３−１１２９１６号公報
【特許文献４】特開２００３−２０６１２３号公報
【特許文献５】特開２００１−７２４０６号公報
【特許文献６】特表平９−５０８８８７号公報
【特許文献７】特表２００２−５２９３６０号公報
【非特許文献１】超硬合金の硬度とＷＣ粒径，Ｃｏ量の関係；Ｊ．Ｇｕｒｌａｎｄ  ａｎｄ  Ｐ．Ｂａｒｄｚｉｌ：Ｊ．Ｍｅｔａｌｓ，７（１９５５），３１１
【非特許文献２】超硬合金の炭素量と強度の関係；鈴木寿，椙山正孝，梅田高照：日本金属学会誌，２８（１９６４），５５
【非特許文献３】超硬合金の炭素量と粉末酸素の関係；三好章義，原昭夫，窪田治夫：粉体および粉末冶金，２４（１９７１），２３
【非特許文献４】超硬合金の破壊靭性とＷＣ・Ｃｏの関係；Ｅ．Ａｌｍｏｎｄ  ａｎｄ  Ｂ．Ｒｏｅｂｕｃｋ：Ｊ．Ｒｅｆ．Ｈａｒｄ  Ｍｅｔａｌｓ，６（１９８７），１３７
【非特許文献５】超硬合金の強度と不純物の関係；Ｗ．Ｓｃｈｕｂｅｒｔ  ａｎｄ  Ｅ．ｋｕｂｅｌ：Ｐｒｏｃ．１２ｔｈ  Ｐｌａｎｓｅｅ  Ｓｅｍｉｎａｒ  ’８９，２，８６９（１９８９）
【非特許文献６】Ｔ．Ｆｕｋａｔｓｕ，Ｋ．Ｋｏｂｏｒｉ  ａｎｄ  Ｍ．Ｕｅｋｉ：Ｊ．Ｒｅｆ．Ｈａｒｄ  Ｍａｔｅｒ．，１０（１９９１），５７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、上述の課題に鑑み、その目的は、高純度で酸素含有量が少ない各種の炭化物粉末等および工業的規模で効率的なその製造方法を提供することにある。
【００１７】
特に、本発明の特別な目的は、炭化物粉末等として、硬質材料用高純度炭化タングステン粉末、及び硬質材料用炭化チタンおよび炭窒化チタン粉末と、それらの製造方法とを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明は以下のとおり構成される。
【００１９】
（１）本発明の硬質材料用高純度炭化タングステン粉末は、高温の減圧雰囲気下で高純度化された０．５〜６．５μｍの炭化タングステン粉末であって、Ａｌが２ｐｐｍ以下、Ｃａが１ｐｐｍ以下、Ｆｅが５０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下で、Ｏ／比表面積の値が０．１１８以下であることを特徴とする。
【００２０】
（２）本発明の硬質材料用炭化チタンおよび炭窒化チタン粉末は、高温の減圧雰囲気下で高純度化された０．７〜２．０μｍの炭化チタンおよび炭窒化チタン粉末であって、Ａｌが３５ｐｐｍ以下、Ｃａが３０ｐｐｍ以下、Ｆｅが８０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下で、Ｏ／比表面積の値が０．１９以下であることを特徴とする。
【００２１】
（３）上記（１）の高純度炭化タングステン粉末を製造方法するには、タングステン粉末と炭素粉末を均一に混合し、１３００℃から２０００℃の温度で且つ窒素ガス、アルゴンガスおよび真空に脱気後に処理物又は炉材から昇温中に遊離されるガスによっても、７から４０ｋＰａの圧力に制御された雰囲気中において熱処理することにより高純度化の効果を得ることを特徴とする。
【００２２】
（４）上記（２）の高純度炭化チタンおよび炭窒化チタン粉末の製造方法は、
酸化チタン粉末と炭素粉末を均一に混合し、１８００℃から２０００℃の温度で且つ２０から４０ｋＰａの圧力に制御された水素ガス、窒素ガス中で保持した後さらに５ｋＰａ以下の圧力で熱処理して脱酸素および高純度化することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、従来技術で得られる炭化物に比較して高純度で酸素含有量が少ない優れた炭化物粉末が得られる。また、この炭化物粉末を超硬合金の原料として用いることにより、得られる超硬合金の強度は高純度化により高く改善され、また酸素含有量の減少により超硬合金中の炭素含有量が安定化でき品質改善に寄与できるため、工業的意義は極めて高い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明をさらに詳細に説明する。
【００２５】
本発明の硬質材料用高純度炭化タングステン粉末は、高温の減圧雰囲気下で高純度化された０．５〜６．５μｍの炭化タングステン粉末であって、Ａｌが２ｐｐｍ以下、Ｃａが１ｐｐｍ以下、Ｆｅが５０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下で、Ｏ／比表面積の値が０．１１８以下である。
【００２６】
この高純度炭化タングステン粉末を製造する方法は、タングステン粉末と炭素粉末を均一に混合し、１３００℃から２０００℃の温度で且つ窒素ガス、アルゴンガスおよび真空に脱気後に処理物又は炉材（真空炉を構成するカーボン製の断熱材やヒータ等の炉材との反応ガスや吸着ガス成分）から昇温中に遊離されるガスによって、７から４０ｋＰａの圧力に制御された雰囲気中において熱処理することにより高純度化の効果を得る方法である。
【００２７】
また、本発明の硬質材料用炭化チタンおよび炭窒化チタン混合粉末は、高温の減圧雰囲気下で高純度化された０．７〜２．０μｍの炭化チタンおよび炭窒化チタン粉末であって、Ａｌが３５ｐｐｍ以下、Ｃａが３０ｐｐｍ以下、Ｆｅが８０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下で、Ｏ／比表面積の値が０．１９以下である。
【００２８】
この高純度炭化チタンおよび炭窒化チタン混合粉末の製造方法は、酸化チタン粉末と炭素粉末を均一に混合し、１８００℃から２０００℃の温度で且つ２０から４０ｋＰａの圧力に制御された水素ガス、窒素ガス中で保持した後さらに５ｋＰａ以下の圧力で熱処理して脱酸素および高純度化する方法である。
【００２９】
本発明においては、タングステン粉末や酸化チタンと炭素粉末の混合物は、高温で且つ窒素ガス、アルゴンガスおよび真空に脱気後に処理物又は前述の炉材から昇温中に遊離されるガスの減圧雰囲気中で熱処理することによって、製品となる炭化物に微量残存する不純物を気化・排気し炭化物を高純度化すること、併せて炭化物中に残留する酸素を高温で且つ減圧雰囲気中で炭素と反応させることによってＣＯガスとして排気し、炭化物から脱酸素することが可能となる。
【００３０】
なお、高真空ほど上述の効果は期待できるが、真空中で粉末を加熱した場合は粉末の断熱効果により伝導及び対流による熱伝達が起こり難く、輻射による熱伝達が主体となり均一加熱が困難となり、均一に反応した製品が得られない欠点がある。
【００３１】
さらに、本発明は減圧雰囲気中で加熱することにより輻射、伝導及び対流による熱伝達が可能となり、均一に反応した炭化物を得ることが出来る。
【００３２】
ここで、超硬合金の強度は、Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓなどの不純物量が減少すればするほど高くなることが前述の文献から明らかであり、Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓの含有量を炭化タングステンの純度を従来の超硬合金に出現する欠陥濃度より減少できる低濃度に限定した。
【００３３】
７から４０ｋＰａ圧力範囲は１３００℃から２０００℃の範囲において輻射、伝導及び対流による熱伝達により均一に加熱することでＷをＷＣに反応することができる雰囲気ガスの圧力範囲として限定した。
【００３４】
超硬合金およびサーメットの強度はＡｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓなどの不純物量が減少するほど高くなる前述の文献から明らかであり、Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓの含有量を炭化タングステンの純度を従来の超硬合金に出現する欠陥濃度より減少できる低濃度に限定した。
【００３５】
２０から４０ｋＰａの圧力範囲は１８００℃から２０００℃の範囲において輻射、伝導及び対流による熱伝達により均一に加熱することでＴｉＯ２からＴｉＣへの吸熱反応熱が供給できる雰囲気ガスの圧力範囲として限定した。加熱の最終部分の５ｋＰａ以下の圧力は残留する不純物の気化による除去および残留酸素を高温の真空雰囲気中で炭素と反応させることによりＣＯガスとして排気することにより炭化物の脱酸素することができる圧力範囲として限定した。
【００３６】
それでは、本発明の炭化物粉末の実施の形態を具体的に説明する。
【００３７】
先ず、表１に示すＦｉｓｈｅｒ  Ｓｕｂ−ｓｉｅｖｅ  Ｓｉｚｅｒ法（ＦＳＳＳ法）で測定した０．５μｍから６．２μｍの種々の平均粒径のＷ粉末と平均粒径が０．５μｍで純度が９９．９％以上の炭素粉末を均一に混合し、下記表１に示す１３００℃から２０００℃で炭化処理した。
【表１】
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【００３８】
雰囲気ガスとして窒素ガスおよびアルゴンガスをバッチ式の熱処理炉に導入し、熱処理炉の排気ポンプを制御して圧力を７から４０ｋＰａの圧力に６０分保持し、約２〜４時間かけて表１に示す１３００℃から２０００℃のそれぞれの温度まで
昇温し６０分保持し炭化した。
【００３９】
雰囲気圧力は導入ガスの流量と排気ポンプのバランスで制御し（試料Ｎｏ．１〜９）、また真空に脱気後に処理物又は前述の炉材から昇温中に遊離されるガスによっても圧力制御することが出来る（試料Ｎｏ．１０〜１３）。
【００４０】
上記の所定の保持温度における制御圧力を２段階で処理することも可能で、試料Ｎｏ．１，７，１２はそれぞれの圧力で３０分処理することにより、熱伝達の良い高い圧力で被処理物を均一の温度に加熱した後、低い圧力で脱酸素および不純物の低下効果を高める処理をすることも出来る。
【００４１】
炭化処理した生成物を衝撃粉砕機で粉砕した後、それぞれのＷＣ粉末に対して表１の特性を次の方法により測定した。全炭素はＬＥＣＯ社製ＷＲ１１２の熱伝導度法により、遊離炭素は混酸不溶解分の炭素を全炭素と同じ方法により、比
表面積はユアサアイオニックス株式会社製ＭＯＮＯＳＯＲＢ  ＭＳ−１８型のガス吸着法により、粒度はＦＳＳＳ法により、Ａｌ，Ｃａ，ＦｅはＩＣＰ法により、Ｓは堀場製作所製の管状電気炉燃焼−赤外線吸収法により、酸素量はＬＥＣＯ社製ＴＣ１３６の赤外線吸収法により測定した。酸素含有量（Ｏ）は粒度により表面酸化の変化を大きく受けるためＯ／比表面積の値で比較評価した。
【００４２】
本発明の炭化タングステン（ＷＣ）の全炭素量はＷＣの化学量論的結合炭素の６．１３％付近にＷ粉末と炭素粉末の配合比率で調整した。遊離炭素は０．０５％以下で化学量論的にＷとＣが結合したＷＣが得られた。ＷＣ粉末の粒度は主に原料のＷ粉末の粒度に依存し、ＷからＷＣへの密度の減少により若干粗くなった。比表面積は微粒粉末ほど大きな値を示した。Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓは何れの条件でも炭化工程の純化効果により良好な低い値が得られ、Ａｌが２ｐｐｍ以下、Ｃａが１ｐｐｍ以下、Ｆｅが５０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下の高純度が得られた。
【００４３】
図１は炭化タングステン（ＷＣ）粉末の酸素含有量（Ｏ）と比表面積の関係を示す図である。
【００４４】
本発明のＷＣは比較品に比べてＷＣ結晶内および表面酸化の酸素が少なく、Ｏ／比表面積の値は０．１１８以下の低い値が得られた。一方、比較品は本発明と同じＷ粉末と炭素粉末を使用して大気圧の水素および３ｋＰａ以下の真空雰囲気中で、本発明と同じ炭素量に調整し、同じ温度条件で炭化処理した。大気圧の水素中で処理したものの遊離炭素は低く良好である。
【００４５】
真空雰囲気中で処理したものは熱が十分に伝達されないため不均一の温度分布となり遊離炭素が高く、未反応の炭素が残存して結合不十分の状態となった。Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓは水素および真空雰囲気の何れの条件も炭化処理工程での純化効果は得られず高い値となった。比較品のＯはＷＣ結晶内および表面酸化の酸素が多く、Ｏ／比表面積の値は高い値となった。
【００４６】
さらに、本発明のチタンの炭化物（ＴｉＣ）および炭窒化物（ＴｉＣＮ）について説明する。
【００４７】
ＦＳＳＳ法で測定した平均粒径が０．５μｍのＴｉＯ２と平均粒径が０．５μｍで純度が９９．９％以上の炭素粉末を均一に混合し、１８００℃から２０００℃で炭化および炭窒化処理した。雰囲気ガスとしてＴｉＣは水素ガス、ＴｉＣＮは窒素ガスをバッチ式の熱処理炉に導入し、この熱処理炉の排気ポンプを制御して圧力を２０から４０ｋＰａの圧力に保持し約２〜４時間かけて下記表２に示す１８００℃から２０００℃のそれぞれの温度まで昇温し６０分保持し炭化した。
【００４８】
さらに前記温度で雰囲気圧力を５ｋＰａ以下の圧力で６０分保持して脱酸素および高純度化した。
【００４９】
炭化又は炭窒化処理した生成物を衝撃粉砕機で粉砕した後、得られたＴｉＣおよびＴｉＣＮ粉末に対して表２の特性を次の方法により測定した。
【００５０】
全炭素はＬＥＣＯ社製ＷＲ１１２の熱伝導度法により、遊離炭素は混酸不溶解分の炭素を全炭素と同じ方法により、比表面積はユアサアイオニックス株式会社製ＭＯＮＯＳＯＲＢ  ＭＳ−１８型のガス吸着法により、粒度はＦＳＳＳ法により、Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅは、ＩＣＰ法により、Ｓは堀場製作所製の管状電気炉燃焼−赤外線吸収法により、酸素および窒素はＬＥＣＯ社製ＴＣ１３６の赤外線吸収法により測定した。酸素含有量（Ｏ）は粒度により表面酸化の変化を大きく受けるためＯ／比表面積の値で比較評価した。
【００５１】
本発明のＴｉＣの全炭素量は、１９．３％付近にＴｉＯ２と炭素粉末の配合比率で調整した。ＴｉＣＮのＮは約１１．３％以下になるように全炭素を約９．８％に調整し、雰囲気ガスの窒素により供給した。比表面積は炭化温度が高くなるに従って粗粒化により減少した。Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓは、何れの条件でも炭化工程の純化効果により良好な値が得られ、Ａｌが３５ｐｐｍ以下、Ｃａが３０ｐｐｍ以下、Ｆｅが８０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下の高純度が得られた。
【００５２】
図２は（Ｏ）と比表面積の関係を示す図である。
【００５３】
本発明のＷＣは比較品に比べてＴｉＣおよびＴｉＣＮ結晶内および表面酸化の酸素が少なく、Ｏ／比表面積の値は０．１９以下の値が得られた。
【００５４】
一方、比較品は本発明と同じＴｉＯ２粉末と炭素粉末を使用し、ＴｉＣは大気圧の水素中で、ＴｉＣＮは大気圧の窒素中で、本発明と同じ炭素量に調整し、同じ温度条件で炭化および炭窒化処理した。Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓについて大気圧の水素および窒素で処理したものは純化効果が十分得られず高い値となった。
【００５５】
比較品のＯはＴｉＣおよびＴｉＣＮ結晶内および表面酸化の酸素が多く、Ｏ／比表面積の値は高い値となった。さらに、本発明のチタンの炭化物（ＴｉＣ）および炭窒化物（ＴｉＣＮ）についての説明する。ＦＳＳＳ法で測定した平均粒径が０．５μｍのＴｉＯ２と平均粒径が０．５μｍで純度が９９．９％以上の炭素粉末を均一に混合し、１８００℃から２０００℃の温度で炭化および炭窒化処理した。雰囲気ガスとしてＴｉＣは水素ガス、ＴｉＣＮは窒素ガスをバッチ式の熱処理炉に導入し、この熱処理炉の排気ポンプを制御して圧力を２０から４０ｋＰａの圧力に保持し約２〜４時間かけて下記表２に示す１８００℃から２０００℃の温度に昇温し６０分保持し炭化した。さらに所定温度で雰囲気圧力を５ｋＰａ以下の圧力で６０分保持して脱酸素および高純度化した。
【００５６】
炭化又は炭窒化処理した生成物を衝撃粉砕機で粉砕した後、得られたＴｉＣおよびＴｉＣＮ粉末に対して表２の特性を次の方法により測定した。全炭素はＬＥＣＯ社製ＷＲ１１２の熱伝導度法により、粒度は遊離炭素は混酸不溶解分の炭素を全炭素と同じ方法により、比表面積はユアサアイオニックス株式会社製ＭＯＮＯＳＯＲＢ  ＭＳ−１８型のガス吸着法により、粒度はＦＳＳＳ法により、Ａｌ，Ｃａ，ＦｅはＩＣＰ法により、Ｓは堀場製作所製の管状電気炉燃焼−赤外線吸収法により、酸素および窒素はＬＥＣＯ社製ＴＣ１３６の赤外線吸収法により測定した。Ｏ含有量は粒度により表面酸化の変化を大きく受けるためＯ／比表面積の値で比較評価した。
【表２】
2006298681.tif 000004
【００５７】
本発明のＴｉＣの全炭素量は１９．３％付近にＴｉＯ２と炭素粉末の配合比率で調整した。ＴｉＣＮのＮは約１１．３％以下になるように全炭素を約９．８％に調整し、雰囲気ガスの窒素により供給した。比表面積は炭化温度が高くなるに従って粗粒化により減少した。Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓは何れの条件でも炭化工程の純化効果によ良好な低い値が得られ、Ａｌが３５ｐｐｍ以下、Ｃａが３０ｐｐｍ以下、Ｆｅが８０ｐｐｍ以下、Ｓが５ｐｐｍ以下の高純度が得られた。
【００５８】
図２は炭化チタン（ＴｉＣ）および炭窒化チタン（ＴｉＣＮ）混合粉末の酸素含有量（Ｏ）と比表面積の関係を示す図である。
【００５９】
本発明のＴｉＣ及びＴｉＣＮは比較品に比べてＴｉＣおよびＴｉＣＮ結晶内および表面酸化の酸素が少なく、Ｏ／比表面積の値は０．１９以下の低い値が得られた。
【００６０】
一方、比較品は本発明と同じＴｉＯ２粉末と炭素粉末を使用し、ＴｉＣは大気圧の水素中で、ＴｉＣＮは大気圧の窒素中で、本発明と同じ炭素量に調整し、同じ温度条件で炭化および炭窒化処理した。Ａｌ，Ｃａ，Ｆｅ，Ｓについて大気圧の水素および窒素で処理したものは純化効果が十分得られず高い値となった。比較品のＯはＴｉＣおよびＴｉＣＮ結晶内および表面酸化の酸素が多く、Ｏ／比表面積の値は高い値となった。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
本発明に係る炭化タングステン粉末または炭化チタン及び炭窒化物チタン粉末は、切削工具、耐摩工具、鉱山工具に用いられる超硬合金、サーメットおよびセラミックス等の硬質材料の原料として最適である。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】炭化タングステン粉末の酸素含有量（Ｏ）と比表面積の関係を示す図である。
【図２】炭化チタン及び炭窒化チタン混合粉末の酸素含有量（Ｏ）と比表面積の関係を示す図である。
【図１】
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【図２】
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