(57)【要約】【課題】粉塵の一部が工区外へ飛散するのを防止し、粉塵の定期的な除去を行う必要が無く、作業者の円滑な出入りを実現する。【解決手段】クリーンルーム１３は、直列に接続された３つの密閉室６と、各密閉室６の下方に配置された箱状の通気ダクト７とを有する。隣接する密閉室６の間に配置された仕切壁９は、上下方向に沿って配置されたファスナ（留め具）１０を有し、該ファスナ１０は、仕切壁９を２つの部位９ａ，９ｂに分離させて開口させる開口状態と、仕切壁９の２つの部位９ａ，９ｂを互いに接合して隣接する密閉室６同士の通気を遮断する閉口状態とに切り替える。通気ダクト７は、密閉室６の床部を構成し、隣接する密閉室６（通気ダクト７）に面する面が開口し、かつその上面４０が密閉室６内に向けて簀の子状に開口する。通気ダクト７内の流路４３には、周囲５から工区４へ向かう空気流が形成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧に維持された工区に接続して使用され、複数の密閉室を備えるクリーンルームであって、
隣接する前記密閉室の間に配置される仕切壁と、前記密閉室の下方に配置される通気ダクトとを備え、
前記仕切壁は、開閉状態が切り替え可能な留め具を有し、
前記通気ダクトは、隣接する前記密閉室に面する部分が開口するとともに、上部が多数の小開口を介して前記密閉室と連通することを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
前記留め具は、ファスナである請求項１に記載のクリーンルーム。
【請求項３】
前記通気ダクトは、前記密閉室と一体化されており、その上面は前記密閉室の床面を構成している請求項１または２に記載のクリーンルーム。
【請求項４】
前記通気ダクトは、その上面を補強する補強部材を有する請求項１ないし３のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項５】
前記通気ダクトは、前記工区へ向かう流れを許容する一方向弁を備える請求項１ないし４のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項６】
前記一方向弁は、隣接する前記密閉室に面する部分に、前記通気ダクトの流路の開度を変更し得るように設置された板状またはシート状の部材で構成されている請求項５に記載のクリーンルーム。
【請求項７】
前記密閉室の少なくとも１つは前記密閉室内へ向けて空気を噴出する空気噴出装置を有する請求項１ないし６のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項８】
前記空気噴出装置は、前記密閉室内の空気を吸引し、該吸引した空気内に存在する粉塵を捕集する粉塵捕集手段を有する請求項７に記載のクリーンルーム。
【請求項９】
前記密閉室は、骨材によって枠組みが形成される請求項１ないし８のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項１０】
前記密閉室を２〜４室有する請求項１ないし９のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項１１】
負圧に維持された工区に接続して使用され、複数の密閉室を備えるクリーンルームであって、
前記密閉室の下方に配置される箱状の通気ダクトを備え、
該通気ダクトは、その上面に前記密閉室と連通する複数の小開口を有し、側面において所望の２面が開口することを特徴とするクリーンルーム。
【請求項１２】
少なくとも１つの前記密閉室の下方に配置された通気ダクトは、ほぼ直角に曲がる流路を形成するものである請求項１１に記載のクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームに関し、特に密閉された工区への作業者などの出入りに使用されるクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、人体などに影響を及ぼす粉塵などが飛散する工区、例えば、カビ除去を行う浴室内、灰除去を行う焼却炉内、もしくは内装材除去を行う建築物内では、粉塵が工区外へ飛散するおそれがあるため、図７に示すように、該工区を間仕切柱７１とビニールシート７２などで囲んで密閉し、該工区内の圧力に対して周囲の圧力を相対的に高圧に維持することにより、該工区内で発生する塵や埃が周囲に漏出するのを防止する工区密閉方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような工区密閉方法では、周囲５を工区４内に対して相対的に高圧にするために、図８に示すように、ビニールシート７２の一部に、ダクト７３を介して排気ポンプ７４が接続される。
【０００４】
該排気ポンプ７４は、粉塵を除去するフィルタを内蔵し、工区４内の空気を粉塵とともに吸引して工区４内を周囲５より低圧に維持し、かつ内蔵するフィルタにより吸引した空気から粉塵を除去して該空気を周囲５側へ排気する。また、工区４内へ作業者が出入りするための出入口として、出入口用通路７５がビニールシート７２の一部に接続される。
【０００５】
該出入口用通路７５は、直列に接続された３つの室７６を有する。各室７６の間の仕切壁７８には、複数のビニール紐が上下平行に（暖簾状に）配列された出入口７９が設けられ、工区４内の粉塵や作業者から離脱した粉塵が工区外（周囲５）へ飛散するのを防止する。
【０００６】
そして、このような出入口用通路７５では、排気ポンプ７４の排気により工区４内が負圧とされるため、周囲５の空気が各室７６間の出入口７９を通過して、常に工区４内に流れ込んでいる。
【０００７】
しかしながら、このような工区密閉方法では、出入口７９が暖簾状であるため、室７６の密閉が不完全であり、そのため、工区４内の粉塵や作業者から離脱した粉塵の一部が工区外へ飛散する（漏れ出す）という問題がある。
【０００８】
また、作業者から離脱した粉塵は、主に各室７６の床面７７上に落下して溜まるが、その粉塵が工区外へ飛散するのを防止するために、この床面７７上に溜まった粉塵を定期的に除去し清掃する必要があるという問題もある。この清掃作業のために、工区４内での作業を中断したりしなければならない場合があり、工事の遅延にもつながる。
【０００９】
さらには、出入口７９を構成するビニール紐が作業者に接触するなどして作業者の円滑な出入りを阻害するという問題もある。
【００１０】
【特許文献１】特開平１０−２４５９１９号公報（図１０）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、工区内で生じた粉塵の一部が工区外へ飛散するのを防止し、また、粉塵の定期的な除去を行う必要を無くし、さらに、作業者の円滑な出入りを実現することができるクリーンルームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的は、下記（１）〜（１２）の本発明により達成される。
（１）  負圧に維持された工区に接続して使用され、複数の密閉室を備えるクリーンルームであって、
隣接する前記密閉室の間に配置される仕切壁と、前記密閉室の下方に配置される通気ダクトとを備え、
前記仕切壁は、開閉状態が切り替え可能な留め具を有し、
前記通気ダクトは、隣接する前記密閉室に面する部分が開口するとともに、上部が多数の小開口を介して前記密閉室と連通することを特徴とするクリーンルーム。
【００１３】
これにより、作業者が工区へ出入りする際、留め具が仕切壁の開閉状態を適切に切り替え、通気ダクト上部の多数の小開口を介して作業者から離脱した粉塵を工区に向けて戻すので、粉塵の一部が工区外へ飛散するのを防止し、また、密閉室の床に対し粉塵の定期的な除去作業を行う必要を無くし、さらに、作業者の円滑な出入りを実現することができる。
【００１４】
（２）  前記留め具は、ファスナである上記（１）に記載のクリーンルーム。
これにより、開閉操作が簡単であるとともに、閉状態のときには密閉室内を容易に密閉する（空気の漏れ量を少なくする）ことができ、粉塵の一部が工区外へ飛散するのをより確実に防止できる。
【００１５】
（３）  前記通気ダクトは、前記密閉室と一体化されており、その上面は前記密閉室の床面を構成している上記（１）または（２）に記載のクリーンルーム。
【００１６】
これにより、クリーンルームの構造を簡素化することができ、軽量化が図れるとともに、移動、設置（組み立て）、撤去等を容易に行うことができる。
【００１７】
（４）  前記通気ダクトは、その上面を補強する補強部材を有する上記（１）ないし（３）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００１８】
これにより、通気ダクトの上面の強度が向上し、作業者が乗った場合でも変形を確実に防止できる。
【００１９】
（５）  前記通気ダクトは、前記工区へ向かう流れを許容する一方向弁を備える上記（１）ないし（４）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００２０】
これにより、通気ダクトにおいて、すなわち工区から工区外への流れ（逆流）の発生を防止することができ、粉塵の一部が工区外へ飛散するのをより確実に防止できる。
【００２１】
（６）  前記一方向弁は、隣接する前記密閉室に面する部分に、前記通気ダクトの流路の開度を変更し得るように設置された板状またはシート状の部材で構成されている上記（５）に記載のクリーンルーム。
これにより、前記逆流の発生を防止する効果がより高まる。
【００２２】
（７）  前記密閉室の少なくとも１つは前記密閉室内へ向けて空気を噴出する空気噴出装置を有する上記（１）ないし（６）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００２３】
これにより、作業者に付着した粉塵を該作業者からより確実に離脱させることができる。
【００２４】
（８）  前記空気噴出装置は、前記密閉室内の空気を吸引し、該吸引した空気内に存在する粉塵を捕集する粉塵捕集手段を有する上記（７）に記載のクリーンルーム。
【００２５】
これにより、作業者から離脱した粉塵を工区に向けて戻すだけでなく、空気噴出装置によっても粉塵を捕集するので、粉塵の一部が工区外へ飛散するのをさらに確実に防止できる。
【００２６】
（９）  前記密閉室は、骨材によって枠組みが形成される上記（１）ないし（８）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００２７】
これにより、密閉室を容易に組み立てることができ、また、軽量化が図れ、その結果、クリーンルームの移設（設置、移動、撤去等）を容易に行うことができる。
【００２８】
（１０）  前記密閉室を２〜４室有する上記（１）ないし（９）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００２９】
これにより、工区から工区外まで、適度な距離を確保することができ、無駄なく粉塵の工区外への飛散防止を図ることができる。
【００３０】
（１１）  負圧に維持された工区に接続して使用され、複数の密閉室を備えるクリーンルームであって、
前記密閉室の下方に配置される箱状の通気ダクトを備え、
該通気ダクトは、その上面に前記密閉室と連通する複数の小開口を有し、側面において所望の２面が開口することを特徴とするクリーンルーム。
【００３１】
これにより、通気ダクトは簀の子状の上面（上面の小開口）を介して作業者から離脱した粉塵を工区に向けて戻すので、粉塵の一部が工区外へ飛散するのを防止し、粉塵の定期的な除去を行う必要を無くすことができるだけでなく、吸気通路の所望の面において隣接する密閉室を接続することができ、もってクリーンルームにおける密閉室の配置（レイアウト）を自由自在に行うことができる。
【００３２】
（１２）  少なくとも１つの前記密閉室の下方に配置された通気ダクトは、ほぼ直角に曲がる流路を形成するものである上記（１１）に記載のクリーンルーム。
【００３３】
これにより、工区外の空間の大小等や作業者の出入りのし易さ等に応じ、クリーンルームをスペースの無駄がなく、効率的に配置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明のクリーンルームを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００３５】
＜第１実施形態＞
まず、本発明のクリーンルームの第１実施形態について説明する。
【００３６】
図１は本発明の第１実施形態に係るクリーンルームの斜視図、図２（Ａ）は図１中のＡ−Ａ線断面図、図２（Ｂ）は図１中のＢ−Ｂ線断面図、図３（Ａ）は図１のクリーンルームにおける密閉室の枠組みの概略構成を示す図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）中のＣ−Ｃ線断面図、図４（Ａ）は図３（Ａ）における通気ダクトの上面図、図４（Ｂ）は図３（Ｂ）中のＤ−Ｄ線断面図である。
【００３７】
なお、以下では、説明の都合上、図１および図２（Ａ）の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。また、工区４としては、例えば内装材除去を行う建築物内、カビ除去を行う浴室内、灰除去を行う焼却炉内等が挙げられ、工区外への拡散（飛散）を防止すべきもの（環境、特に人体などに悪影響を及ぼすと考えられるもの）も、これら工区の種類に応じて異なるが、以下の説明では、代表的に、建築物（工区）において内装材除去を行う際に生じる粉塵（埃、塵、微細な粉体等の総称）が工区外へ拡散するのを防止する場合について説明する。
【００３８】
図１に示すように、本発明の第１実施形態において、ビニールシート１や間仕切柱（図示せず）等によって密閉された（閉空間が形成された）工区４には、ビニールシート１の一部においてダクト２を介して排気ポンプ３が接続されるとともに、工区４内へ作業者が出入りするための出入口としてのクリーンルーム１３が接続される。
【００３９】
建築物の内装材除去を行う場合、工区４は間仕切柱だけでなく建築物の柱なども活用される。また、工区４を密閉する部材は、ビニールシート１に限られず、気体不通性または粉塵不通性を有する布状物であればよく、さらには布状物に限られず、これら不通性を有する壁状部材であってもよい。
【００４０】
排気ポンプ３は、粉塵を除去するフィルタ（図示せず）を内蔵し、工区４内の空気を工区４内で発生した粉塵とともに吸引して工区４内を周囲（工区外）５に比して低圧（負圧）に維持する。これにより、常に工区４内に空気が入ろうとするため、工区４から粉塵を含む空気が周囲５へ放散されるのを防止することができる。また、排気ポンプ３は、工区４より吸引した空気から粉塵を除去して該空気を周囲５に排気する。これにより、工区４内における空気中の粉塵の濃度を低減することができる。
【００４１】
ダクト２は、例えば蛇腹状をなし、湾曲変形または伸縮自在となっており、排気ポンプ３の移動（設置位置の選択）を可能とする。これにより、排気ポンプ３を所望の任意の位置に設置することができる。なお、図示の構成では、排気ポンプ３およびダクト２は、周囲（工区外）５に設置されているが、これに限らず、工区４内に設置されていてもよい。この場合、排気ポンプ３の排気側がダクト２を介してビニールシート１の一部と接続されることとなる。また、排気ポンプ３を工区４内の所望の位置に設置することにより、粉塵の吸引を効率良く行うことができる。
【００４２】
クリーンルーム１３は、直列に接続された３つの密閉室６と、各密閉室６の下方に配置された箱状の通気ダクト７と、真中の密閉室６の側方に配置されたエアシャワー８とを有する。
【００４３】
密閉室６は、枠部材（フレーム）とビニールシートなどの不通性のシート状物とによってほぼ直方体状に構成された部屋であり、密閉室６内は周囲５から遮断される。また、隣接する密閉室６の間にはビニールシートなどで構成された仕切壁９が配置される。
【００４４】
各仕切壁９は、そのほぼ中央部に、図中上下方向に沿って配置されたファスナ（留め具）１０を有する。該ファスナ１０は、金属または合成樹脂の複数の歯を２本のテープに並べて、該２本のテープの間に金具をすべらせることによって複数の歯を互いに噛み合わせ、もしくは互いに分離させて仕切壁９の左右２つの部位（半体）９ａ，９ｂを開閉する留め具であり、仕切壁９を２つの部位９ａ，９ｂに分離させて図中水平方向に開口させる開口状態と、仕切壁９の２つの部位９ａ，９ｂを互いに接合して当該仕切壁９を挟んで隣接する密閉室６同士の通気を遮断する閉口状態とを切り替える。開口状態では作業者が歩行して通ることができ、閉口状態では、隣接する密閉室６同士が遮断され、作業者が通ることができない。
【００４５】
クリーンルーム１３では、作業者が工区４へ出入りする際、作業者がファスナ１０によって仕切壁９の開閉状態を適切に切り替える。ファスナ１０が閉口状態では、ファスナ１０を介しての粉塵の工区外側への通過はなく、また、作業者が通過するときのみファスナ１０が開口状態とされるため、粉塵の一部が通過するとしてもその量は少量であり、周囲５へ飛散することが防止される。また、ファスナ１０は、その開閉操作を容易、迅速に行うことができるので、作業者の円滑、迅速な出入りを実現することができるとともに、開口状態とされる時間も短時間であるため、粉塵の工区外への拡散をより確実に防止する。そして、ファスナ１０が閉口状態のときは、その密閉性が高い（空気の漏れ量が少ない）ため、粉塵の一部が工区外へ飛散するのをより確実に防止できるとともに、通気ダクト７の通気量を最大限に確保することができ、後述する粉塵を工区４へ戻す機能を十分に発揮することができる。
【００４６】
また、各密閉室６は、図３（Ａ）および（Ｂ）に示すように、例えばアルミニウム、ステンレス鋼等の各種金属材料、各種プラスチック、または木材等で構成される骨部材（枠部材）３１によってフレームが形成され、該フレームにおいてビニールシートなどのシート状物が展長されて密閉室６が構成される。このような構成の密閉室６は、構造が簡易で、軽量であり、設置場所を問わないという利点がある。
【００４７】
また、隣接する密閉室６同士の接合（連結固定）は、例えば、フレームに配置されたヒンジ（係合部材）を噛み合わせるとともに、ビニールシート同士をガムテープ等で貼る（養生する）ことにより行うことができる。これにより、密閉室６を容易に組み立てることができるとともに、隣接する密閉室６同士を容易に接合することができ、もってクリーンルーム１３の移設（設置、移動、撤去等）を容易に行うことができる。
【００４８】
３つの密閉室６のうちの１つ（本実施形態では真中の密閉室６）には、その側面（側壁４４の上部の側面）にエアシャワー（空気噴出装置）８が設置される。このエアシャワー８は、密閉室６に対向する面において、密閉室６内に開口する複数の空気噴出口１１と、同じく密閉室６内に開口する空気吸引口１２とを有する。このエアシャワー８は、空気浄化機能を備えている。すなわち、エアシャワー８の内部に、空気吸引口１２から空気噴出口１１へ向けて空気流を発生させる空気循環ポンプ（図示せず）と、空気流中の粉塵を捕集するフィルタ（粉塵捕集手段）（図示せず）とを有する。
【００４９】
エアシャワー８は、工区４から作業者が退出するときに、多量の空気を作業者に吹き付けて作業者の衣服や手足、頭部等に付着した粉塵を離脱、除去するものである。作業者から離れた粉塵が混在する空気は、空気吸引口１２から吸引される。そして、エアシャワー８は、空気吸引口１２から吸引された空気中に混在する粉塵をフィルタによって捕集し、粉塵が捕集されて清浄になった空気を空気噴出口１１から噴出し、作業者に向けて吹き付ける。
【００５０】
このエアシャワー８は、粉塵が混在する空気中から粉塵をフィルタによって除去するので、粉塵の一部が周囲５へ飛散するのをさらに確実に防止することができる。
【００５１】
密閉室６の下部には、通気ダクト（吸気通路）７が設けられている。この通気ダクト７は、水平方向に関する大きさが密閉室６の下面の大きさに対応しており、密閉室６の床部（床面および床下）を構成する。３つの密閉室６が順次連結（接合）されたとき、各密閉室６の通気ダクト７も順次接続され、工区４内へ向かう空気流を形成する一連の吸気流路を構成する。
【００５２】
各通気ダクト７は、平面視で四角形（長方形または正方形）をなし、その対向する一対の辺に側壁４４が設けられ、他の一対の辺は、開口している（図４（Ｂ）参照）。すなわち、隣接する密閉室６（その通気ダクト７）に面する面と、ビニールシート１に面する面と、周囲５に面する面がそれぞれ開口しており、これにより、クリーンルーム１３において、周囲５から工区４へ向けて、連続した直線状の吸気通路が構成される。
【００５３】
各通気ダクト７の上面４０は、密閉室６の床面（作業者が踏む床面）を構成する。各通気ダクト７の上面４０は、密閉室６内に向けて簀の子状に開口し、該開口（多数の小開口）を経て密閉室６内の空気（粉塵を含む）の一部が通気ダクト７内へ引き込まれる。
【００５４】
また、密閉室６内で作業者から離脱した比較的大きい粉塵は、上面４０の多数の小開口より通気ダクト７内に落下する。通気ダクト７内では、工区４内へ向けた気流が形成されているため、通気ダクト７内に落下した粉塵はこの気流に運ばれて工区４内へ戻される。これにより、粉塵の一部が周囲５へ飛散するのを防止でき、さらに、密閉室６において粉塵の定期的な除去を行う必要を無くすことができる。
【００５５】
通気ダクト７の上面４０は、図３（Ｂ）および図４（Ａ）に示すように、複数の例えばアルミパイプのような棒状部材４１が互いに平行に配列されて簀の子状を呈し、四隅のそれぞれに密閉室６の骨部材３１が挿入される骨部材挿入穴（骨部材連結部）４２を有する。なお、通気ダクト７の上面４０を構成する棒状部材４１は、アルミパイプに限られず、例えば、アルミ中実棒、ステンレスパイプ、鉄パイプ、ステンレスまたは鉄の中実棒、プラスチック棒、木材角なども用いることができる。また、上面４０の構造も、簀の子状に限られず、例えば格子状、網目状、板材に多数の貫通孔が形成されたものなどであってもよい。すなわち、上面４０の構造は、通気ダクト７内と密閉室６とが連通する多数の開口が形成されており、作業者が乗っても凹むことがない程度の剛性を有する構造、部材であれば、いかなるものでもよい。
【００５６】
通気ダクト７内には、図４（Ｂ）に示すように、流路４３を囲む一対の側壁４４以外に上面４０を支持する１つの支柱（補強部材）４５が設置される。この支柱４５を設けることにより、上面４０の強度が向上し、作業者が上面４０に乗った場合でも、上面４０の変形を防止する。なお、この支柱４５は、流路４３内では大きい面積を占めるものではないため、周囲５から工区４への空気流を阻害することはない。また、支柱４５の形状や配置は、図示のものに限定されないことは言うまでもない。
【００５７】
なお、図３（Ｂ）および図４（Ｂ）に示すように、通気ダクト７は、その流路４３の下面を塞ぐ下板４６を有しているが、本発明では、この下板４６は、必ずしも設けなくてもよく、この場合には、クリーンルーム１３を載置する床面が下板４６と同様の機能を果たす。このことは、後述する通気ダクト５０についても同様である。
【００５８】
図２（Ａ）に示すように、連通する３つの通気ダクト７は、工区４へ向かう流れを許容する一方向弁２１を備える。すなわち、連結された３つの通気ダクト７の周囲５に開口する部分および／または工区４に開口する部分（またはその近傍）に、工区４へ向かう流れを許容し、工区４から周囲５への空気流の逆流を防止または抑制する一方向弁２１が設置されている。
【００５９】
一方向弁２１は、通気ダクト７の流路４３の横断面（開口部）の大きさとほぼ等しい大きさの板状部材（またはシート状部材）が蝶番２２を介して上面４０に対し回動自在に設置されており、板状部材の回動角度により流路４３の開度を変更（調整）する。一方向弁２１は、図２（Ａ）中の鉛直方向の状態から左側（時計回り）には回動することができるが、図示しないストッパにより右側（反時計回り）には回動することができない。
【００６０】
一方向弁２１では、周囲５から工区４への空気の流れが生じたとき、これに伴って板状部材が図２（Ａ）中の左側（時計回り）に回動し、該空気の流通を許容するが、工区４から周囲５への空気の流れ（逆流）が生じようとしたときには、板状部材はストッパにより右側（反時計回り）には回動できないので、図２（Ａ）中の鉛直方向の状態、すなわち流路４３を塞いだ状態となり、該逆流を防止する。
【００６１】
なお、一方向弁２１は、板状部材（またはシート状部材）が通気ダクト７の下面に蝶番を介して回動自在に設置された構成でもよい。但し、この場合には、板状部材を通気ダクト７の下面に対して垂直に立設させるように付勢するバネなどを備える必要があるため、クリーンルーム１３の製造コストの観点からは、板状部材を上面４０に接合するのが好ましい。
【００６２】
また、一方向弁２１は、例えばゴム（弾性材料）製の板状部材で構成され、該板部材の弾性変形により開閉するような構成のものや、例えば可撓性を有する樹脂製のシート状部材で構成され、該シート状部材の変形により開閉するような構成のものでもよい。なお、このような一方向弁２１の構造、設置数、設置箇所は、図示のものに限定されないことは言うまでもない。
【００６３】
また、通気ダクト７の上面４０において骨部材挿入穴４２に骨部材３１が挿入されて通気ダクト７と密閉室６とは一体化される。これにより、密閉室６および通気ダクト７の移動、設置（組み立て）、撤去、引いてはクリーンルーム１３の移動・設置（組み立て）、撤去が容易に行える。
【００６４】
なお、図１のクリーンルーム１３では、図２（Ｂ）に示すように、各通気ダクト７の上面４０が簀の子状に形成されるが、密閉室６に対向する全ての上面４０が簀の子状に形成される必要はなく、３つの上面４０のうち少なくとも１つが簀の子状に形成（小開口が形成）され、残りの上面４０は閉鎖（例えば、開口を有さない平板で構成）されていてもよい。この場合、エアシャワー８が設置された密閉室６または該密閉室６より工区４側にある密閉室６に対向する上面４０が簀の子状に形成（小開口が形成）されることが好ましい。工区４に近いほど、作業者から落下し蓄積される粉塵の量が多くなる傾向があるので、比較的工区４に近い部分で粉塵を工区４内に戻すことが有効であるとともに、エアシャワー８により作業者から落下した粉塵も上面４０の開口を経て通気ダクト７内に戻され、効率良く粉塵を工区４内に戻すことができるからである。
【００６５】
３つの密閉室６のうち、例えば最も周囲５側の密閉室６の上面４０を、前記平板等で構成された開口を有さない上面とすることができる。このような開口を有さない上面４０には、例えば粉塵を吸着する粘着シートのような粉塵捕捉手段を別途配置してもよい。
【００６６】
また、図１のクリーンルーム１３では、図１および図２（Ａ）に示すように３つの密閉室６を有するが、密閉室６の数はこれに限られず、少なくとも１つであればよい。但し、粉塵の周囲５への飛散防止の観点からはクリーンルーム１３を構成する密閉室６の数は、工区４から周囲５まである程度の距離を稼ぐために、２〜６室程度、特に２〜４室程度であるのが好ましい。
【００６７】
＜第２実施形態＞
次に、本発明のクリーンルームの第２実施形態について説明する。以下、第２実施形態のクリーンルームについて、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【００６８】
第２実施形態のクリーンルーム６０は、通気ダクトの構造および３つの密閉室の配置が直線状に限られない点で第１実施形態と異なる。図５（Ａ）は、第２実施形態のクリーンルームにおける通気ダクトの上面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の通気ダクトにおける流路の概略構成を示す断面図である。
【００６９】
通気ダクト５０の上面５１は、密閉室の床面を構成し、多数の小開口を有するが、作業者が乗っても変形しない程度の強度を有する。図５（Ａ）に示すように、通気ダクト５０の上面５１は、複数の例えばアルミパイプのような棒状部材５２が互いに平行に配列されて簀の子状を呈し、四隅のそれぞれに密閉室６の骨部材３１が挿入される骨部材挿入穴４２を有すること、および通気ダクト５０の上面５１を構成する棒状部材は、アルミパイプに限られないことは、第１実施形態と同様である。
【００７０】
通気ダクト５０内には、図５（Ｂ）に示すように、４つの側面のうち隣接する２つの側面にのみ側壁５３が配置され、これらの側壁５３に対向する面はそれぞれ開口している。すなわち、第１実施形態の通気ダクト７が２つの側壁４４が流路４３を介して平行に配置されているのに対し、第２実施形態の通気ダクト５０は、２つの側壁５３がＬ字状（直角）に連結して配置されている。これにより、通気ダクト５０内では、ほぼ直角に曲がる流路５５が形成され、周囲５から工区４へ向かう空気流を、図５（Ｂ）中の矢印で示すように直角方向に向きを変えることができる。また、通気ダクト５０と組み合わされる（一体化される）密閉室６では、第１実施形態と同様のファスナ１０を有する仕切壁９は、通気ダクト５０の開口に対応する側面に配置される。従って、仕切壁９同士も直角に配置されることとなる。
【００７１】
また、通気ダクト５０の上部の密閉室６に前記エアシャワー８を配置する場合、側壁５３の上部に位置する密閉室６の側面に設置される。
【００７２】
なお、通気ダクト５０では、図５（Ｂ）に示すように、２本のメンバ５４が流路５５の上方に交差した状態で配置される。両メンバ（補強部材）５４は、通気ダクト５０の上面５１を下側から支持するものであり、上面５１を補強する機能を有する。なお、このメンバ５４は、流路５５の上方に配置されるため、周囲５から工区４への空気流を妨げることがない。
【００７３】
第２実施形態のクリーンルーム６０では、第１実施形態における通気ダクト７と、上述した通気ダクト５０のうちのいずれか一方または双方を適宜数用いることにより、密閉室および通気ダクトの所望の面を隣接する密閉室６と接続することができ、もってクリーンルーム６０における密閉室６の配置（レイアウト）を自由自在に行うことができる。
【００７４】
図６（Ａ）〜（Ｇ）は、第２実施形態のクリーンルーム６０における密閉室の組合せとその配置例を示す図である。
【００７５】
図６（Ａ）は、３つの通気ダクト７を有する場合であり、第１実施形態のクリーンルーム１３と同じ構成である。
【００７６】
図６（Ｂ）は、２つの通気ダクト７の間に通気ダクト５０を配置した場合であり、クリーンルーム６０の工区４からの突出量を抑えつつ、作業者の出入口の方向を直角に曲げることができる。
【００７７】
図６（Ｃ）は、１つの通気ダクト７と、該１つの通気ダクト７に続けて２つの通気ダクト５０を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を変更せずに、クリーンルーム６０の工区４からの突出量を抑えることができる。
【００７８】
図６（Ｄ）は、１つの通気ダクト５０と、該１つの通気ダクト５０に続けて２つの通気ダクト７を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を直角に曲げるとともに、クリーンルーム６０の工区４からの突出量を極力抑えることができる。
【００７９】
図６（Ｅ）は、２つの通気ダクト５０に続けて１つの通気ダクト７を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を変更せずに、クリーンルーム６０の工区４からの突出量を抑えることができる。
【００８０】
図６（Ｆ）は、３つの通気ダクト５０を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を直角に曲げるとともに、クリーンルーム６０の工区４からの突出量を抑えることができる。
【００８１】
図６（Ｇ）は、２つの通気ダクト５０の間に通気ダクト７を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を変更せずに、クリーンルーム６０の工区４からの突出量を極力抑えることができる。
【００８２】
なお、上記各クリーンルーム６０では、真中の密閉室６にエアシャワー８が設置されるのが好ましいが、その他の密閉室６に設置されてもよい。
【００８３】
このような第２実施形態では、作業現場の空間の余裕やその他必要な条件に応じて、通気ダクト７および通気ダクト５０を適切に組み合わせ、最適なレイアウトのクリーンルーム６０を構築することができる。また、クリーンルーム６０においても、密閉室６の数は３つに限定されないことは言うまでもない。
【００８４】
以上、本発明のクリーンルームを図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、クリーンルームを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。例えば、連結された通気ダクトの少なくとも一部に、複数に分岐する分岐流路を有していてもよい。
【００８５】
また、上述したクリーンルームでは、密閉室６の下部に通気ダクトが配置されているが、これに代えて粉塵を吸着する粘着シート等を配置してもよい。この場合、作業者から分離・落下した粉塵を粘着シートによって捕捉することにより、粉塵の一部が工区外へ飛散するのを防止できるとともに、粘着シートを定期的に交換することにより、粉塵の定期的な除去を行う必要を無くすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の第１実施形態に係るクリーンルームの斜視図である。
【図２】図１のクリーンルームの断面図であり、図２（Ａ）は図１中のＡ−Ａ線断面図であり、図２（Ｂ）は図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図３】図１のクリーンルームにおける密閉室の概略構成を示す図であり、図３（Ａ）は密閉室の枠組みの概略構成を示す斜視図であり、図３（Ｂ）は図３（Ａ）中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図４】図３における通気ダクトを示す図であり、図４（Ａ）は通気ダクトの上面図であり、図４（Ｂ）は図３（Ｂ）中のＤ−Ｄ線断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係るクリーンルームにおける通気ダクトを示す図であり、図５（Ａ）は通気ダクトの上面図であり、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の通気ダクトにおける流路の概略構成を示す断面図である。
【図６】第２実施形態のクリーンルームにおける密閉室の組み合せとその配置を示す図であり、図６（Ａ）ないし（Ｇ）は各実施例を示す図である。
【図７】従来の工区とその周囲の状態を示す図である。
【図８】従来の工区への出入口用通路の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８７】
１            ビニールシート
２            ダクト
３            排気ポンプ
４            工区
５            周囲（工区外）
６            密閉室
７，５０      通気ダクト
８            エアシャワー
９            仕切壁
９ａ，９ｂ    部位（半体）
１０          ファスナ（留め具）
１１          空気噴出口
１２          空気吸引口
１３，６０    クリーンルーム
２１          一方向弁
２２          蝶番
３１          骨部材
４０，５１    上面
４１，５２    棒状部材
４２          骨部材挿入穴
４３，５５    流路
４４，５３    側壁
４５          支柱
４６          下板
５４          メンバ
７１          間仕切柱
７２          ビニールシート
７３          ダクト
７４          排気ポンプ
７５          出入口用通路
７６          室
７７          床面
７８          仕切壁
７９          出入口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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