(57)【要約】      （修正有）【課題】電鋳法により円筒状の母型に作製されたエンドレスベルトの高能率な離型方法を提供する。【解決手段】円筒状金属母型１の一端の外周面上に設けられた液体噴出口６をマスキング材３にてマスキングした後、マスキング材の一部を含め電析被膜２を形成する。液体供給管５から液体を供給すると、高圧液体が噴射孔６から噴射され、マスキング材の端部に形成された電析被膜を押し上げるように離型し、さらに進入して電析被膜を円筒状金属母型から離型する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状金属母型の側面に電鋳された電析被膜を前記円筒状金属母型から離型してエンドレスベルトを形成するエンドレスベルトの製造装置であって、
前記円筒状金属母型は、液体を前記金属母型から噴出する液体噴出孔と、
前記円筒状金属母型と間隙を介して形成された前記噴出孔を覆う導電性を有するマスキング材とを有するエンドレスベルトの製造装置。
【請求項２】
前記マスキング材がニッケル合金またはステンレス合金で前記電鋳がニッケルまたは,ニッケル合金である請求項１に記載のエンドレスベルトの製造装置。
【請求項３】
前記円筒状金属母型が鉄合金または,ステンレス合金である請求項２に記載のエンドレスベルトの製造装置。
【請求項４】
円筒状金属母型に電鋳された電析被膜を前記円筒状金属母型から離型させるエンドレスベルトの製造方法であって、
で、
前記円筒状金属母型の側面の一端に形成された液体噴出孔を、導電性を有するマスキング材で、前記円筒状金属母型と離間して覆い、更に、前記円筒状金属母型の他端を絶縁性の部材で覆い、
その後、電鋳液に、前記円筒状金属母型の他端を下にして前記マスキング材の一部が電鋳液から露出するように浸漬し、前記円筒状金属母型および前記マスキング材の表面に電析被膜を形成し、
その後、前記円筒状金属母型に設けられた噴出孔を介して液体を電析被膜と円筒状金属母型との界面へ供給することにより前記電析被膜と前記円筒状金属母型との界面に離型被膜を形成し、
その後、前記電析被膜を前記円筒状金属母型から離型することを特徴とするエンドレスベルトの製造方法。
【請求項５】
前記マスキング材は、厚さ１０μｍから２００μｍの範囲であり、少なくとも接合される断面部にて導電性がある円筒状構造部であることを特徴とする請求項１記載のエンドレスベルトの製造装置。
【請求項６】
前記円筒状金属母型は電析被膜を形成する円筒部の片端部外周面上に液体供給用の噴射孔を有することを特徴とする請求項１に記載のエンドレスベルトの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属母型へ電鋳法により形成されたエンドレスベルトを製造するに際して、円筒状金属母型及び円筒状金属母型からの電析被膜の離型法に関するものであり、電子写真装置・静電記録装置等の画像形成装置に用いられる定着ベルト及び、有機感光体等の基体となるベルト基材の製造に係る手段に関する。
【背景技術】
【０００２】
電鋳プロセスにおいて、母型や電鋳金型等に電気メッキにより所定厚みの電析被膜を形成後、母型から電析被膜を離型する方法として離型被膜を形成する方法が主に用いられている。離型被膜の形成方法としてワックスやグリースなどを塗布する機械的処理被膜法や１０％ＮａＯＨ溶液中での陽極電解やクロム酸溶液等の化学処理液により形成する化学的処理被膜法等がある。
【０００３】
しかしこれらの処理被膜法は処理剤の廃液処理コストが高いことや、対環境性が悪く、また被膜精度が低いという問題点がある。化学的処理法では対環境性、被膜精度について改善を施した有機ヨウ素系薬剤によるもの（例えば特許文献１参照）やチオ尿素誘導体からなる薬剤（特許文献２参照）による離型剤等が提案されている。さらに離型被膜形成を完全ドライ方式で形成可能な化学的酸化被膜形成法（例えば特許文献３参照）も提案されている。
【０００４】
これらはいずれも離型被膜をあらかじめ母型表面に形成することで離型処理を行う方法で応用範囲は広い、しかしエンドレスベルト部材等のような円筒形状物に対する離型の場合、電析被膜形成時の浴処方及び電析出条件により被膜に発生する応力の影響により金型へ密着がより厳しい状態となり、これらの離型被膜形成法で離型可能なのは添加剤等により応力調整がなされた限定された被膜特性を有するものになっていた。またこの方法の場合は電鋳前の離型被膜形成の処理工程及びその専用設備が必要になる。
【０００５】
一方、エンドレスベルト形態系で離型処理法としては円筒形状の母型からの脱型法として電析被膜形成後、離型処理を容易する為に電鋳後の端面部の剥離切断処理を施したものや（例えば特許文献４参照）、さらに加えて端面処理後に密着している電析被膜内へ圧縮空気を供給することで離型を行う方法等（例えば特許文献５参照）が提案されている。この方法の場合、離型処理前に離型を容易にする為の端面剥離工程が必要であり母型構造が複雑化しコストＵＰ要因となり、また被膜の応力を制御する為に応力減少剤の添加量の制約が必要となり被膜特性として限定されたものになり硬度及び靭性の高い被膜特性を必要とするエンドレスベルトの場合、確実な離型性を得るには限界があり高能率での離型処理が困難となっていた。
【０００６】
一方、円筒状の母型に電析されたニッケル合金系のメッキ被膜を、電磁誘導加熱を利用し、直接メッキ被膜のみを加熱し母型と被膜の熱膨張差を発生させることにより離型する方法（例えば特許文献６参照）が提案されている。この方法の場合加熱制御する為に出力１００ＫＨｚの高周波インバータが適用されているが、通常電波法によりその動作周波数は２０ＫＨｚから１００ＫＨｚまでの範囲に規制されており、効率の面から考えると数十ＫＨｚ程度の動作周波数で動作させることが望ましく、また電信モールス信号等の標準電話信号への影響を避けることを考慮すると４０ＫＨｚ未満がより好ましいとされている。
【０００７】
しかし、離型する被膜の膜厚が薄肉なるほど被膜の固有の特性による発熱表皮深さとの関係から、動作周波数はより高く設定しなければならないので、薄肉エンドレスベルトの場合、動作周波数を下げることは困難となる。また、発熱効率を高める為にメッキ被膜面と加熱体との隙間をできるだけ小さくする必要があり、加熱装置に対し冶具の位置精度を高くする必要があり、治具の寸法精度と製造する際の冶具の位置を精度良く管理する必要があり、製造上での管理が難しくコスト高になるという問題がある。
【０００８】
このように定着ベルト等に用いられるエンドレスベルト形状の部材の製造において、被膜形成時の処方及び電析条件により円筒状母型からの離型性が大きく変化し、離型性の面から作製可能な電析被膜種が限定されており、より耐磨耗性、耐屈曲性の優れた被膜特性を有する薄肉のエンドレスベルトを、環境性を充分考慮した製法で製造することが困難とされていた。
【特許文献１】特許２９３３９８６号明細書
【特許文献２】特開２０００−１２９４８４号公報
【特許文献３】特許２６３２８１２号明細書
【特許文献４】特開２００３−５５７８７号公報
【特許文献５】特開平５−９８４８７号公報
【特許文献６】特開平６−７５４８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで本発明の目的は上記問題点を克服し定着ベルト部材等において、従来の方法では作製が困難とされてきた、より耐熱、耐磨耗、耐屈曲性等の性能向上が可能な広範囲の電析被膜特性を有したベルト部材の作製が可能となる環境性を考慮した簡便で高能率な脱型法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する為、本発明者らは鋭意検討を行った結果、円筒状金属母型に電鋳された電析被膜を前記円筒状金属母型から離型させるエンドレスベルトの製造方法であって、前記円筒状金属母型の側面の一端に形成された液体噴出孔を、導電性を有するマスキング材で、前記円筒状金属母型と離間して覆い、更に、前記円筒状金属母型の他端を絶縁性の部材で覆い、その後、電鋳液に、前記円筒状金属母型の他端を下にして前記マスキング材の一部が電鋳液から露出するように浸漬し、前記円筒状金属母型および前記マスキング材の表面に電析被膜を形成し、その後、前記円筒状金属母型に設けられた噴出孔を介して液体を電析被膜と円筒状金属母型との界面へ供給することにより前記電析被膜と前記円筒状金属母型との界面に離型被膜を形成し、その後、前記電析被膜を前記円筒状金属母型から離型を高能率で可能になる手法を見出しことにより本発明に至った。
【００１１】
更に、本発明は、円筒状金属母型の側面に電鋳された電析被膜を前記円筒状金属母型から離型してエンドレスベルトを形成するエンドレスベルトの製造装置であって、前記円筒状金属母型は、液体を前記金属母型から噴出する液体噴出孔と、前記円筒状金属母型と間隙を介して形成された前記噴出孔を覆う導電性を有するマスキング材とを有するエンドレスベルトの製造装置により製造することができる。
【発明の効果】
【００１２】
従来の母型からの離型方法では、離型が困難とされた高硬度、高強度領域での被膜特性を有したベルトの離型が本発明により可能になり、定着ベルト等に要求されている、より高耐久性、耐磨耗性に優れて被膜特性を有する基材から広範囲での被膜特性を有したエンドレスベルト基材の提供が可能となった。
【００１３】
本発明による離型方法は硬度及び強度が高く、熱膨張係数が小さく、母型への密着へ強い応力をうけているエンドレスベルトの離型法として最も大きなメリットが発揮されるがこうした本発明は一般的な金型の離型法にも応用可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の第１の実施形態を、図面を用いて説明する。
【００１５】
図１は、第１の実施形態の離型法の一例を示すものであり、円筒状金属性母型１に用いてマスキング材３を取り付け後に電析被膜２を形成した状態を示すものである。図１において円筒状金属性母型１の一端の外周面状に設けられた液体噴出孔６をマスキング材３にてあらかじめマスキングを施したのち、電鋳法によりマスキング材３の一部を含め（図２Ａ部詳細参照）所定厚みの電析被膜２が形成されている。マスキング材３と円筒状金属製母型１との間には間隙が形成されている。
【００１６】
電析皮膜２を形成する際は、円筒状金属性母型１の他端は絶縁リング４により電析被膜２の形成が防止されている。
【００１７】
電析被膜２を円筒状金属性母型１から離型する際には、絶縁リング４を外し、液体供給管５へ液体を液体供給部（不図示）から供給する。液体供給管５から供給された液体は、噴射孔６から噴射され、噴射孔６から噴射された液体は、円筒状金属母型とマスキング材３との間隙からマスキング材３の端部の電析皮膜２に到達する。
【００１８】
図２は図１のＡ部の拡大図で、矢印は液体の流れる方向を示している。マスキング材３の端部に形成された電析皮膜２は、液体の圧力により円筒状金属母型１押し上げられるように離型され、液体は電析皮膜２の離型部から更に進入し、電析皮膜２は円筒状金属母型から離型される。電析皮膜２と円筒状金属母型１とは間に液体を狭持した状態になるので、円筒状金属母型１から離型された電析被膜２が円筒状金属母型１から分離することができる。
【００１９】
離型後マスキング材を含めた両端部の不要部をカットすることでエンドレスベルトとしての基材が作製される。
【００２０】
つまり、本発明は、円筒状金属性母型１の表面に電鋳法により形成されたエンドレスベルトを母型から離型する際に、円筒状金属性母型１の外周面上に液体を噴射する噴出孔６を有した母型を用い、噴出孔６上に噴射孔６を覆うように円筒状のマスキンング材３を形成後、所定の電析被膜２を形成する。円筒状金属性母型１の内面より噴出孔６を介して液体を噴射供給することにより円筒状金属性母型１と形成された電析被膜２との界面に薄膜液体による離型被膜を形成することにより母型からの離型を行うものである（以下、ウォータジェット法と称する）。
【００２１】
電鋳法で形成する電析被膜の材質はＮｉ、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｃｏ合金等があるが、その他、例えば鉄、またはその合金、銅またはその合金、コバルト、または,その合金、タングステン合金、微粒子分散金属などがある。
【００２２】
本発明では液体噴出構造を有する円筒状金属性母型１の表面の液体噴出孔部にあらかじめ導電性を有するマスキング材３で覆っておく。マスキング材３は後で行われる離型時の液体噴出経路を確保する為の補助材として用いられ電析被膜形成時にマスキング部の一部と同時に電鋳することにより連続したエンドレスベルトが形成される。
【００２３】
電析被膜２の厚さはベルトの形態として約１０〜２００μｍが適用範囲である。
【００２４】
本発明におけるマスキング材は、円筒状金属母型に嵌め合いするので、円筒状金属母型と相似形をしていることが好ましく、寸法については、円筒状母型よりも若干大きめである必要がある。
【００２５】
円筒状金属母型よりも大きすぎると円筒状金属母型とマスキング材との間隙が大きくなりすぎ、電析後の接合部の均一性を確保できなくなる場合があるので、間隙が０．０２ｍｍ以下であることが好ましく、間隙が狭すぎると円筒状金属母型との勘合が困難になるので、０．０１ｍｍ以上であることが好ましい。
【００２６】
マスキング材の厚さは、電析被膜の膜厚の１０μｍ〜２００μｍであることが好ましい。マスキング材の膜厚が薄すぎると取り付けの時の作業性悪くなり、また厚すぎると後加工の端面加工が困難になる場合がある。
【００２７】
マスキング材質については、電析被膜との密着性を確保する必要があり、電析皮膜が、Ｎｉ、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ、Ｎｉ−Ｆｅ−Ｃｏ合金等である場合は、ニッケル、ニッケル合金あるいはＦｅ−Ｃｒ−Ｎi系のステンレス合金（ＳＵＳ）材等が好ましい。
【００２８】
本実施形態では、少なくとも、電析出被膜との接合部となる断面部において導電性が有る形態であることが好ましい。これは液体噴出孔からマスキング材を介して母型と電析された被膜界面へ高圧液体を供給する為、マスキング材の断面部と電析被膜とは完全な接合状態を確保する必要がある。マスキング材の幅については噴射孔がマスクキングされ、且つ電析被膜を形成が容易であれば特に限定されるものではないが、作業性と噴射液の回り込み等を考えると、１０ｍｍ以上が好ましい。上限は、広すぎると装置が大きくなる、あるいは、不要な電析皮膜をマスキング材に電析させることになるので、５０ｍｍ以下であることが好ましい。
【００２９】
電析皮膜は、少なくともマスキング部材の端部で密着していれば良いので、マスキング部材の端部が上述の材料で構成されていればよい事は言うまでもない。
【００３０】
マスキング材の材質は、電鋳する被膜材質と材料特性が近いものが、密着性を確保するうえで好ましく、例えばニッケル及びニッケル合金、鉄系の電鋳被膜には、ニッケル及び、Ni合金、ステンレス合金等が好ましく、銅合金系には銅、リン青銅等が好ましい。
【００３１】
取り付け位置は噴射液がバランスよく電析被膜面を供給されるよう噴射孔に対してマスキング材の中心位置になることが好ましい。
【００３２】
本発明における高圧液体とは、界面への浸透性の点から表面張力が１００ｍＮ／ｍ以下のものが好ましく、シリコーンオイル（ＴＳＦ４５１−１００）：２０．９ｍＮ／ｍ、トルエン：２８．４ｍＮ／ｍ、鉱油：２９．７ｍＮ／ｍ、グリセリン：６３．１ｍＮ／ｍ、純水：７２．０ｍＮ／ｍ（界面活性剤を微量混入すると２０〜３０ｍＮ／ｍ）等の液体を用いることが可能であるが、取り扱いが簡便で対環境性の面から純水が好ましい。純水に混入する界面活性剤としては、脂肪酸ナトリウム、脂肪酸カリウム、アルファスルホ脂肪酸エステルナトリウム、直鎖アルキルベンゼン系の直鎖アルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム等、高級アルコール系のアルキル硫酸エステルナトリウム、アルキルエーテル硫酸エステルナトリウム、アルファオレフィンスルホン酸ナトリウム、アルキルスルホン酸ナトリウム等の陰イオン界面活性剤、しょ糖脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル等の陽イオン界面活性剤、アルキルアミノ脂肪酸ナトリウム、アルキルベタイン、アルキルアミンオキシド等の両性界面活性剤、および、アルキルトリメチルアンモニウム塩、ジアルキルジメチルアンモニウム塩等の非イオン界面活性剤を用いることができる。
【００３３】
噴射時の圧力は離型する電析被膜の材質、厚みにより異なるが、圧力が弱すぎると離型する為の離型被膜の形成が不十分となり効果が小さく、また圧力が高すぎると電析被膜裂けが発生する為、適時噴射圧の最適化調整を行う必要があり、噴射圧力を最適化することで広範囲の寸法形状及び材質の被膜の離型に対応可能となる。
【００３４】
噴射孔は、噴射液が均一に母型と被膜との界面へ供給されるように外周面の同心円上に設けることが好ましい。この時の噴射孔の角度は電析された被膜側へ積極的に供給されるような傾斜角を有した噴射孔であってもよい。
【実施例】
【００３５】
以下本発明を実施例によりさらに具体的に説明する。但し本発明は係る実施例のみに限定されるものではない。
【００３６】
まず、離型するベルトとして長さ３５０ｍｍ、内径２４ｍｍ、厚み３０μｍの電鋳ニッケル及び電鋳ニッケル−鉄合金からなる２種類のエンドレスベルトを下記の条件で作製した。作成されたエンドレスベルトの被膜特性は、下記の特性であった。
【００３７】
材質はステンレス合金で、寸法は、直径２４ｍｍ、長さ４５０ｍｍの円筒状金属製母型を使用した。円筒状金属製母型は、一端から１８０ｍｍの同心円上に、φ１ｍｍで均等の間隔で８個の噴出孔が形成されている。
【００３８】
マスキング材は、円筒状ニッケル材で、厚み３０μｍ、幅２０ｍｍ、内径寸法が母型対してプラス０．０１５μｍ公差であるものを使用しマスキング位置を噴射孔部中心とマスキング材と幅中心一致するようセットし、電鋳後の被膜がマスキング材の中心位置まで形成されるように電鋳浴槽内にセットし、所定厚みのエンドレスベルトを作製した後、液体噴流圧０．８〜１．６Ｍｐａの条件で離型した。なお、ここでの,噴流圧とは,噴流ノズルからの吐出圧力である。
【００３９】
離型性の比較例として、電鋳後に離型性を確保する為に両端面部の一部を、剥離処理をしたものと、しないものについてそれぞれ組み合わせたものを下記電鋳条件にて同様に作製し、１０℃の純水液槽での浸漬処理後の離型性について評価した。評価は、すべて各条件で、５本ベルトを試作した。
【００４０】
＜電鋳ニッケル−鉄合金ベルトの電鋳条件＞
硫酸ニッケル（１４０ｇ／ｌ）、
硫酸第一鉄（７ｇ／ｌ）、
ホウ酸（３０ｇ／ｌ）、
塩化ナトリウム（２５ｇ／ｌ）、
サッカリンナトリウム（０．３ｇ／ｌ）、
ラウリル硫酸ナトリウム（０．０２ｇ／ｌ）
浴温度４０℃、
ＰＨ  ２．７５
電流密度１．７Ａ／ｄｍ２
＜電鋳ニッケル−鉄合金ベルト被膜特性＞
硬度  Ｈｖ（０．１ｋｇ）５００〜６００
引っ張り強度  １５００〜２１００ＭＰＡ
＜電鋳ニッケルベルトの電鋳条件＞
スルファミン酸ニッケル四水塩（４５０ｇ／ｌ）、
塩化ニッケル１０ｇ／ｌ）
硼酸（４０ｇ／ｌ）
サッカリン（０．０５〜０．１ｇ／ｌ）、
２−ブチン１、４ジオール（０．３〜０．５ｇ／ｌ  ）
ピット防止剤
浴温５０℃、
ＰＨ  ４
電流密度  ７Ａ／ｄｍ２
＜電鋳ニッケルベルト被膜特性＞
硬度  Ｈｖ（０．１ｋｇ）２５０〜４００
引っ張り強度  ８００〜１２００ＭＰａ
（実施例１〜２）
本発明による方法により作製した電鋳ニッケルのエンドレスベルトをウォータジェット法で離型を行った結果、吐出圧力０．８Ｍｐａ時はやや抵抗があったが、吐出圧力１．０Ｍｐａで実施後は全く抵抗なく離型ができることが確認された。
【００４１】
（実施例３〜４）
本発明による方法により作製した電鋳ニッケル−鉄合金のエンドレスベルトをウォータジェット法で離型を行った結果、液体供給圧力１．４Ｍｐａではやや抵抗があったが離型が可能であり、吐出圧力１．６Ｍｐａで実施後は全く抵抗なく離型できることが確認された。
【００４２】
（実施例５）
実施例の条件で電析被膜厚みを１０μｍ、１００μm、２００μｍにして作製した。電鋳ニッケル及び電鋳ニッケル−鉄合金のエンドレスベルトをウォータジェット法にて離型を行った結果,何れもノズルからの噴流圧を調整することで離型が可能であった。
【００４３】
（実施例６）
実施例の条件でマスキング材の厚みを１０μ、１００μm、２００μｍにして作製した電鋳ニッケル及び電鋳ニッケル−鉄合金のエンドレスベルトをウォータジェット法にて離型を行った結果、問題なく離型が可能であった。
【００４４】
（比較例１〜２）
電鋳ニッケルのエンドレスベルトを作製し母型からの離型前に電鋳被膜両端面の一部を剥離処理したものと、剥離処理しないものとを、従来の純水液による浸漬処理による離型を行った結果、端面剥離処理を施したものは離型が可能であったが、端面離型処理をしないものについては離型時の抵抗が高く離型できなかった。
【００４５】
（比較例３〜４）
電鋳ニッケル−鉄合金のエンドレスベルトを作製し母型からの離型前に電鋳被膜両端面の一部を剥離処理したものと、剥離処理しないものとを、従来の純水液による浸漬処理による離型を行った結果、端面剥離処理の有無に関係なく全く離型不可能であった。
【００４６】
（比較例５）
実施例の条件で電析被膜厚みを８μｍ、２１０、２５０μｍにして作製した。
電鋳ニッケル及び電鋳ニッケル−鉄合金のエンドレスベルトをウォータジェット法にて離型を行った結果,膜厚が薄い８μｍ品は一部電析被膜の破れが発生し、
膜厚が厚い２１０μｍ、２５０μｍ品は、離型時に抵抗が著しく大きくなり
離型が困難であった。
【００４７】
（比較例６）
実施例の条件でマスキング材の厚みを５μｍ、８μｍ、２１０μｍ、３００μｍにして作製した電鋳ニッケル及び電鋳ニッケル−鉄合金のエンドレスベルトをウォータジェット法にて離型を行った結果、マスキング材の厚みが５μｍ、８μｍと極度に薄いものは、変形しやすく、マスキンングのはめあいの作業性がわるくなり、また,剛性低下により噴流時の液体の逃げが多くなり,離型効率の低下現象が見られた。逆に厚みが２１０μｍ、３００μｍと厚いものは、離型そのものは、問題はないが、離型後の端面加工処理が困難であった。
【００４８】
【表１】
2006213960.tif 000003
【００４９】
＜離型性判定基準＞
○：所定の時間で抵抗なく完全に離型
△：途中で抵抗あるが離型可能
×：離型不可
以上の結果からも本発明の母型を用いてのウォータジェット法による離型法は、従来の電鋳後の離型性を容易にする為の端面部剥離処理を必要なしに、電鋳ニッケルによるエンドレスベルト及び、従来法では離型が困難とされていた、硬度が高く、弾性変形がしにくい電鋳ニッケル−鉄合金等によるエンドレスベルトの離型が可能であることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】母型及びエンドレスベルトの離型法を示す構成図例である。
【図２】円筒状マスキング材を含めエンドレスベルトを形成した状態を示す断面形状及び液体噴射孔との位置関係を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  母型
２  エンドレスベルト（電析被膜）
３  円筒状マスキング材
４  絶縁リング
５  液体噴出孔
【図１】
2006213960.tif 000004
【図２】
2006213960.tif 000005