(57)【要約】【課題】色成分間飽和照度の格差を減らすカラーフィルタを有する撮像素子及びそれを利用したカラープロセッシング方法を提供する。【解決手段】光学的イメージを電気信号出力に変換するフォトダイオードアレイを含むイメージセンサー部、それぞれのフォトダイオードに対向して配置され、Ｒ、Ｇ及びＣｙの３つの色成分に該当するフィルタエレメントがベイヤパターンで配列されたカラーフィルタ、及び信号出力をカラープロセッシングするカラープロセッシング部を備える撮像素子。【選択図】図３
2006141039.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学的イメージを電気信号出力に変換するフォトダイオードアレイを含むイメージセンサー部と、
前記それぞれのフォトダイオードに対向するように配置され、レッド、グリーン及びシアンの３つの色成分に該当するフィルタエレメントが配列されたカラーフィルタと、
前記信号出力をカラープロセッシングするカラープロセッシング部と、を備えることを特徴とする撮像素子。
【請求項２】
それぞれの前記フォトダイオードは、前記シアン成分に対する飽和出力が感知される白色光の照度での前記レッドまたはグリーンの成分に対する出力を最大飽和出力に設定したことを特徴とする請求項１に記載の撮像素子。
【請求項３】
前記シアン成分に対する飽和出力が感知される前記白色光の照度での前記グリーン成分の出力は、ブルーフィルタエレメントに対する感度を前記グリーンフィルタエレメントに対する感度に比べて１／２倍に設定するとき、前記シアン成分の飽和出力に対して２／３倍であることを特徴とする請求項２に記載の撮像素子。
【請求項４】
前記イメージセンサー部は、アナログ信号である前記電気信号をプログレッシブスキャン方式で検出することを特徴とする請求項１に記載の撮像素子。
【請求項５】
前記イメージセンサー部は、前記電気信号をデジタル信号に変換する変換器をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の撮像素子。
【請求項６】
前記カラープロセッシング部は、前記デジタル信号のうち、前記シアンに対する信号値から前記グリーンに対する信号値を減算してブルーに対する信号値を得た後、前記デジタル信号値をカラープロセッシングしてイメージ信号値とすることを特徴とする請求項１に記載の撮像素子。
【請求項７】
色成分間の感度差を小さくするために、レッド、グリーン及びシアンの３つの色成分に該当するフィルタエレメントがベイヤパターンで配列されたカラーフィルタと、
前記カラーフィルタの下側に導入されたイメージセンサー部と、を備えることを特徴とする撮像素子。
【請求項８】
レッド、グリーン及びシアンの３つの色成分に該当するフィルタエレメントがベイヤパターンで配列されたカラーフィルタによってフィルタリングされた光の照度を検出するステップと、
前記光の照度に基づいて電気信号を出力するステップと、
前記電気信号をアナログ−デジタル変換器でデジタル信号に変換するステップと、
カラープロセッシングのためにカラープロセッサで前記デジタル信号を出力するステップと、を含むことを特徴とするカラープロセッシング方法。
【請求項９】
レッドまたはグリーン画素の飽和出力は、シアン画素の飽和出力が検出される白色光の照度で決定されることを特徴とする請求項８に記載のカラープロセッシング方法。
【請求項１０】
前記シアン画素の飽和出力が検出される白色光の照度での前記グリーン画素の出力は、ブルーフィルタエレメントに対する感度が前記グリーンフィルタエレメントに対する感度の１／２であるとき、シアン画素の飽和出力の約２／３であることを特徴とする請求項９に記載のカラープロセッシング方法。
【請求項１１】
前記カラープロセッサは、前記デジタル信号のうち、前記シアン画素に対する信号値から前記グリーンに対する信号値を減算してブルー画素に対する信号値を得た後、得られた前記デジタル信号値をカラープロセッシングしてイメージ信号値とすることを特徴とする請求項８に記載のカラープロセッシング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子に係り、特に、色成分間の飽和照度の格差を減らすカラーフィルタを有する撮像素子及びそれを利用したカラープロセッシング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
撮像素子は、光学的イメージを電気信号に変換する素子として理解されうる。このような撮像素子は、光学的イメージをアナログ電気信号に変換し、更にアナログ電気信号をデジタル電気信号に変換して、光学的イメージに対するデジタルデータイメージ信号として提供するのに利用されている。例えば、デジタルカメラで光学的イメージを感知してデジタルデータとして提供するのに、このような撮像素子が利用されている。
【０００３】
このような撮像素子は、光学的イメージを電気信号に変換するイメージセンサーを備えており、イメージセンサーに入射される光を色別にフィルタリングするカラーフィルタを備えている。イメージセンサーは、入射される光の照度を感知して光の照度による電気信号を生成させるフォトダイオードを備えている。このようなフォトダイオードを備えるイメージセンサーは、例えば、ＣＭＯＳイメージセンサーとして理解されうる。イメージセンサーの代表的な他の例は、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）である。
【０００４】
このようなフォトダイオードを備えてそれぞれの画素単位が構成され、このような画素単位が複数個反復されてイメージセンサーが構成される。画素単位は、レッド（Ｒ：Ｒｅｄ）、グリーン（Ｇ：Ｇｒｅｅｎ）及びブルー（Ｂ：Ｂｌｕｅ）またはシアン（Ｃｙ：Ｃｙａｎ）画素で表現されうる。このような画素は、それぞれカラーフィルタエレメントを備えると理解されうる。
【０００５】
カラーフィルタは、３種類のフィルタエレメントがモザイク状に配列されて構成されるが、このようなモザイク形態は、ベイヤパターンで構成されている。このようなベイヤパターンは、ベイヤらによる特許文献１に開示されている。典型的なベイヤパターンは、Ｒ、Ｇ及びＢの３つのフィルタエレメントが配列されている。
【０００６】
図１は、典型的なベイヤパターンのカラーフィルタを説明するために概略的に示す図面である。
【０００７】
図１を参照すれば、典型的なベイヤパターンのカラーフィルタは、Ｒ、Ｇ、Ｂの３つのフィルタエレメントが配列された形態で構成される。このとき、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれのカラーフィルタエレメントの下側には、イメージセンサーの単位画素のフォトダイオードがそれぞれ配置されて、このようなカラーフィルタエレメントによってフィルタリングされてフォトダイオードに入射する光の照度を感知する。
【０００８】
それぞれのフォトダイオードは、感知された光の照度によるアナログ電気信号を発生させ、このようなアナログ電気信号をカラープロセッシングしてイメージについてのデジタルデータを得る。フォトダイオードアレイで得られるアナログ電気信号は、Ａ／Ｄ（Ａｎａｌｏｇ／Ｄｉｇｉｔａｌ）変換器によってデジタル電気信号に変換され、このようなデジタル電気信号をカラープロセッシングしてイメージについてのデジタルデータが得られる。
【０００９】
しかし、このようなＲ、Ｇ、Ｂのベイヤパターンのカラーフィルタを使用するとき、Ｂを感知するフォトダイオードの出力信号がＲやＧを感知するフォトダイオードに比べて非常に低く検出される。すなわち、白色光源の照度を高めつつ、各色に該当するフォトダイオードの信号出力を測定すれば、Ｂに対する感度が相対的に非常に低く検出される。
【００１０】
図２は、各色に対するフォトダイオードの信号出力を説明するために概略的に示すグラフである。
【００１１】
図２を参照すれば、白色光源の照度を高めつつ、各色に該当するフォトダイオードの信号出力を測定すれば、Ｂカラーフィルタからの光に対するフォトダイオードの感度がＧやＲに対するフォトダイオードの感度に比べてほぼ半分と検出される。この場合、ＲやＧに対する出力が飽和される照度以上では、Ｒ及びＧに対する信号出力がそれ以上増加しないので、このような信号出力に該当する照度以上での信号出力は、信号として使用できなくなる。したがって、Ｂの最大信号出力がＧあるいはＲのほぼ半分となる。
【００１２】
一方、このようなＢに対する感度低下を克服するために、画素の飽和信号は、それぞれのＲ、Ｇ、Ｂのフィルタエレメントに対して同一に設計する場合を考慮してもよい。それにも拘わらず、図２に示したように、Ｂに対する出力感度がＲやＧに対してほぼ半分に過ぎないので、色成分間の感度差によって、実際使用できる飽和信号には、差が生じる。飽和信号を電子数に換算した数Ｎで表現すれば、ショットノイズは、Ｎの自乗根となり、これにより、最大信号対ノイズ比（Ｓ／Ｎ：Ｓｉｇｎａｌ ｔｏ Ｎｏｉｓｅ）は、１０ ｌｏｇＮとなる。すなわち、信号として使われる飽和信号電子数に最大Ｓ／Ｎが直接関係する。色間の感度を合わせるためにＢの出力信号を２倍増幅して使用しても、電子数単位が変わらないので、Ｓ／Ｎは同一に維持される。
【００１３】
もし、画素チャンネル別のノイズフロアーが一定であり、Ｂの感度をＲ及びＧの１／２と仮定すれば、図１に示されたようなＲ、Ｇ、Ｂカラーフィルタは、前述したように、白色に対するＢの飽和出力は、Ｇ及びＲの飽和出力の１／２となる。これにより、ダイナミック範囲限界は、Ｂによって制限される。イメージセンサーのダイナミック範囲限界が狭くなるので、Ｓ／Ｎの改善のためには、Ｂに対する感度を高める方法が要求されている。
【特許文献１】米国特許第３９７１０６５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明が解決しようとする課題は、白色光に対する各色成分間の感度比率の偏差を減らしてＳ／Ｎを改善できるカラーフィルタを有する撮像素子及びそれを利用したカラープロセッシング方法を提示することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記撮像素子は、光学的イメージを電気信号出力に変換するフォトダイオードアレイを含むイメージセンサー部、前記それぞれのフォトダイオードに対向して配置され、Ｒ、Ｇ及びＣｙの３つの色成分に該当するフィルタエレメントが配列されたカラーフィルタ、及び前記信号出力をカラープロセッシングするカラープロセッシング部を備えて構成される。
【００１６】
それぞれの前記フォトダイオードは、前記Ｃｙ成分に対する飽和出力が感知される白色光の照度での前記ＲまたはＧの成分に対する出力を最大飽和出力と設定されたものでありうる。
【００１７】
前記Ｃｙ成分に対する飽和出力が感知される前記白色光の照度での前記Ｇ成分の出力は、Ｂフィルタエレメントに対する感度を前記グリーンフィルタエレメントに対する感度に比べて１／２倍に設定するとき、前記Ｃｙ成分の飽和出力に対して２／３倍でありうる。
【００１８】
前記イメージセンサー部は、アナログ信号である前記電気信号をプログレッシブスキャン方式で検出し、前記電気信号をデジタル信号に変換する変換器をさらに備えうる。
【００１９】
前記カラープロセッシング部は、前記デジタル信号のうち、前記Ｃｙに対する信号値から前記Ｇに対する信号値を減算してＢに対する信号値を得た後、前記デジタル信号値をカラープロセッシングしてイメージ信号値とするものでありうる。
【００２０】
また、前記撮像素子は、色成分間の感度差を小さくするために、Ｒ、Ｇ及びＣｙの３つの色成分に該当するフィルタエレメントがベイヤパターンで配列されたカラーフィルタ、及び前記カラーフィルタの下側に導入されたイメージセンサー部を備えて構成されうる。
【００２１】
また、前記カラープロセッシング方法は、Ｒ、Ｇ及びＣｙの３つの色成分に該当するフィルタエレメントがベイヤパターンで配列されたカラーフィルタによってフィルタリングされた光の照度を検出するステップ、前記光の照度に基づいて電気信号を出力するステップ、前記電気信号をＡ／Ｄ変換器でデジタル信号に変換するステップ、及びカラープロセッシングのためにカラープロセッサで前記デジタル信号を出力するステップを含んでいる。
【００２２】
このとき、ＲまたはＧ画素の飽和出力は、シアン画素の飽和出力が検出される白色光の照度で決定されうる。
【００２３】
前記シアン画素の飽和出力が検出される白色光の照度での前記グリーン画素の出力は、ブルーフィルタエレメントに対する感度が前記グリーンフィルタエレメントに対する感度の１／２であるとき、シアン画素の飽和出力の約２／３でありうる。
前記カラープロセッサは、前記デジタル信号のうち、前記Ｃｙ画素に対する信号値から前記Ｇに対する信号値を減算してＢ画素に対する信号値を得た後、得られた前記デジタル信号値をカラープロセッシングしてイメージ信号値とすることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、ベイヤパターンのカラーフィルタ配列でＣｙ、Ｇ、Ｒ色成分のカラーフィルタを使用して各成分間の感度比率を１.５以内にできる。これにより、イメージセンサーのダイナミックレンジを拡大できる。また、Ｓ／Ｎを改善できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。しかし、本発明の実施形態は、色々な他の形態に変形され、本発明の範囲が後述する実施形態によって限定されると解釈されてはならず、当業者に本発明をさらに完全に説明するために提供されると解釈されることが望ましい。
【００２６】
本発明の実施形態では、Ｃｙ色成分のフィルタエレメントを使用して、Ｒ、Ｇ、Ｃｙの３種類のフィルタエレメントがベイヤパターン配列によってモザイク状に配列されるカラーフィルタを提示する。
【００２７】
Ｃｙフィルタエレメントからの光を感知するフォトダイオードの感度は、実質的にＧフィルタエレメントに対する感度＋Ｂフィルタエレメントに対する感度として解釈されうるので、Ｇフィルタエレメントに対する感度と対比して約１.５倍ほどの感度を有する。したがって、このようなＣｙの感度を基準として飽和照度を決定すれば、Ｇ画素は、シアン画素に対して、すなわち、飽和照度に対して２／３の飽和信号出力を有する。
【００２８】
画素の最大飽和電子をＮとすれば、従来の場合、最小飽和信号出力は、Ｂ画素に依存し、Ｎ／２となる。これに比べて、本発明の場合、最小飽和信号出力は、Ｇ画素に依存し、２Ｎ／３となる。したがって、最大Ｓ／Ｎ面で１０ ｌｏｇ（４／３）＝１.２５ｄＢの利得がある。また、Ｂ画素に対する色成分の抽出は、Ｃｙ−Ｇで行われうる。これにより、色信号処理、すなわち、カラープロセッシングで、このようなＢの色成分に対する値を抽出する過程をあらかじめさらに行えば、結局、従来の場合と同様に、Ｒ、Ｇ、Ｂに対する色信号処理が可能である。
【００２９】
一方、Ｃｙのフィルタエレメントの透過率やスペクトルを調整すれば、Ｃｙフィルタエレメントの光に対する感度は、Ｇカラーフィルタエレメントに対する感度と同等に合わせることが可能である。このような場合、最大Ｓ／Ｎ確保が可能である。この場合、Ｒ、Ｇ、Ｂの色信号処理のためには、変化した透過率及びスペクトルを考慮してＢに対する信号を感知されたＣｙに対する出力からあらかじめ抽出することが要求される。
【００３０】
図３は、本発明の実施形態によるベイヤパターンで配列されたカラーフィルタを説明するために概略的に示す図面である。
【００３１】
図３を参照すれば、本発明の実施形態によるベイヤパターンのカラーフィルタは、Ｒ、Ｇ、Ｃｙの３つのフィルタエレメントが配列された形態で構成される。このとき、それぞれのフィルタエレメントの配列は、ベイヤパターンの配列による。すなわち、ＢのフィルタエレメントをＣｙのフィルタエレメントが代替した形態でＲ、Ｇ、Ｃｙの３つのフィルタエレメントが配列されてカラーフィルタを構成する。このとき、Ｒ、Ｇ、Ｃｙフィルタエレメントを有するＲ、Ｇ、Ｃｙ画素のそれぞれの色成分間の感度比率が１.５以内、望ましくは、約４０％の偏差以内になるように誘導できる。
【００３２】
図４は、本発明の実施形態による撮像素子を説明するために概略的に示す図面である。
【００３３】
図４を参照すれば、本発明の実施形態による撮像素子は、光学的イメージを電気信号出力に変換するイメージセンサー部１０を備えて構成される。イメージセンサー部１０は、入射される光量によって電気的な信号出力を提供するフォトダイオード１１を備え、このようなフォトダイオード１１が、複数個配列されて光学的イメージを電気信号に変換する。このとき、電気信号は、イメージセンサー部１０に備えられたＡ/Ｄ変換器（図示せず）によってデジタルデータ信号に変換されて色信号を処理するカラープロセッシング部３０に伝えられる。このとき、撮像素子は、プログレッシブスキャン駆動方式で駆動される。すなわち、このようなフォトダイオード１１で感知された信号は、順次にカラープロセッシング部３０に伝達されて色信号処理（またはカラープロセッシング）されてイメージデジタルデータ信号として出力される。
【００３４】
イメージセンサー部１０のフォトダイオード１１にＲ、Ｇ、Ｃｙそれぞれのフィルタエレメントが対向するように、カラーフィルタ２０は、イメージセンサー部１０の上側に導入される。Ｒ、Ｇ、Ｃｙそれぞれのフィルタエレメントそれぞれの下側に単位画素のフォトダイオード１１がそれぞれ配置される。このようなフィルタエレメントによってフィルタリングされて、フォトダイオード１１に入射する光の照度をフォトダイオード１１は感知する。
【００３５】
本発明の実施形態では、Ｂの代りに、Ｃｙのフィルタエレメントを使用するので、Ｃｙに対する出力信号を直接利用してカラープロセッシングしてイメージを構成できない。Ｒ、Ｇ、Ｂの３つの色成分を利用してカラープロセッシングを通じてイメージを構成するので、カラープロセッシングする過程でＢに対する信号値を抽出する過程がさらに行われる。Ｂに対する色成分の抽出は、Ｃｙ−Ｇで行われうる。これにより、色信号処理、すなわち、カラープロセッシングで、このようなＢの色成分に対する値を抽出する過程をあらかじめさらに行えば、結局、従来の場合と同様に、Ｒ、Ｇ、Ｂに対する色信号処理が可能である。
【００３６】
一方、Ｃｙに対する感度とＧに対する感度とを同等に合わせるために、Ｃｙのフィルタエレメントの透過率やスペクトルを調整できる。このような場合、最大Ｓ／Ｎ確保が可能である。この場合、Ｒ、Ｇ、Ｂの色信号処理のためには、Ｂに対する信号を感知されたＣｙに対する出力から抽出するとき、このような変化した透過率及びスペクトルを考慮せねばならない。
【００３７】
図５は、本発明の実施形態によるカラーフィルタの各色成分に対するフォトダイオードの信号出力を説明するために概略的に示すグラフである。
【００３８】
図５を参照すれば、白色光源の照度を高めつつ、各色に該当するフォトダイオードの信号出力を測定すれば、Ｃｙに対する感度が相対的に低い照度で飽和された値として検出される。
【００３９】
Ｃｙは、実質的にＧ＋Ｂと解釈されうる。したがって、Ｇフィルタエレメントに対する感度に対比して約１.５倍ほどの感度がＣｙフィルタエレメントからの光に対するフォトダイオードの感度で得られる。したがって、このようなＣｙの感度を基準として飽和照度を決定すれば、ＧまたはＲは、ＧとＲに対する飽和出力が同等であると仮定する場合、図５に示したように、飽和照度に対して約２／３の飽和信号出力を有する。したがって、最大Ｓ／Ｎ面で１０ ｌｏｇ（４／３）＝１.２５ｄＢの利得がある。これは、図２に示した従来の場合に比べて、Ｓ／Ｎを大きく改善できるということを意味する。
【００４０】
Ｂは、相対的に短波長であるので、フォトダイオード（図４の１１）の半導体基板のｐ型ウェル内に光励起電子を蓄積するｎドーピング層上に導入されているｐ＋ドーピング層で相対的に多く吸収されて、実質的に光を感知する領域であるｎドーピング層には相対的に少ししか到達しない。このとき、このような表面に隣接して導入されるｐ＋ドーピング層は、実質的に熱生成を抑制するために導入されるが、このような形態のフォトダイオードは、ホール蓄積ダイオードセンサーまたは表面遮蔽ダイオードまたは表面固定ダイオードと呼ばれている。このようなｐ＋ドーピング層に吸収されたＢの波長は、電子ホールの再結合を誘導して実質的にフォトダイオードに感知されない効果を発生させる。これにより、フォトダイオード１１でＢに対する感度または信号出力は、相対的に低下する。本発明の実施形態では、Ｂのフィルタエレメントの代りに、Ｃｙのフィルタエレメントを配置させることによって、このような問題を解消できる。
【００４１】
本発明の実施形態では、このように、Ｃｙのフィルタエレメントを配置することによって、ダイナミックレンジ限界を拡大する効果が得られて、Ｓ/Ｎの改善が実現される。
【００４２】
図６は、Ｂカラーフィルタに対するフォトダイオードの感度によるダイナミックレンジ限界への制限を説明するために概略的に示すグラフである。図７は、本発明の実施形態によるダイナミックレンジ限界の拡大効果を説明するために概略的に示すグラフである。
【００４３】
図６を参照すれば、画素チャンネル別のノイズフロアーが一定であり、Ｂカラーフィルタに対する光感度をＲ及びＧカラーフィルタに対する光感度の１／２と仮定すれば、従来の場合、白色に対するＢの飽和出力がＧ及びＲの飽和出力照度でＧ及びＲの飽和出力の１／２に制限されるので、実質的なダイナミックレンジ限界は、Ｇ及びＲに対する飽和出力地点の照度でのＢに対する信号出力値ａに依存する。Ｇ及びＲに対する飽和出力地点の照度でのＢに対する信号出力値ａは、１／２飽和出力値であるので、ダイナミックレンジ限界は、（飽和出力値／２）／（ノイズフロアー）となる。このように、ダイナミックレンジ限界は、相対的に狭くなる。
【００４４】
図７を参照すれば、本発明の実施形態の場合、白色光に対するＣｙの飽和出力がＧ＋Ｂ＝３／２Ｇであるので、白色に対するＲ、Ｇの飽和出力は、Ｃｙの飽和出力照度でＣｙの飽和出力の２／３に制限される。したがって、実質的なダイナミックレンジ限界は、Ｃｙに対する飽和出力地点の照度でのＧに対する信号出力値ｂに依存する。Ｃｙに対する飽和出力地点の照度でのＧ（またはＲ）に対する信号出力値ｂは、２／３飽和出力値であるので、すなわち、ダイナミックレンジ限界は（飽和出力値×２／３）／（ノイズフロアー）となる。このように、ダイナミックレンジ限界は、相対的に拡大される。従来の場合に比べて、約１.３３倍ほどさらにダイナミックレンジは拡大される。
【００４５】
以上、本発明を具体的な実施形態を通じて詳細に説明したが、本発明は、これに限定されず、本発明の技術的思想内で当業者によってその変形や改良が可能であるということが明白である。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、デジタルカメラのような光学的イメージをデジタルイメージとして提供するデジタル撮像素子を具現するのに利用されうる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】典型的なベイヤパターンのカラーフィルタを説明するために概略的に示した図面である。
【図２】典型的なベイヤパターンのカラーフィルタで各色に対するフォトダイオードの信号出力を説明するために概略的に示すグラフである。
【図３】本発明の実施形態によるベイヤパターンで配列されたカラーフィルタを説明するために概略的に示す図面である。
【図４】本発明の実施形態による撮像素子を説明するために概略的に示す図面である。
【図５】本発明の実施形態によるカラーフィルタの各色成分に対するフォトダイオードの信号出力を説明するために概略的に示すグラフである。
【図６】Ｂに対する感度によるダイナミックレンジ限界への制限を説明するために概略的に示すグラフである。
【図７】本発明の実施形態によるダイナミックレンジ限界の拡大効果を説明するために概略的に示すグラフである。
【符号の説明】
【００４８】
１０    イメージセンサー部
１１    フォトダイオード
２０    カラーフィルタ
３０    カラープロセッシング部
【図４】
2006141039.tif 000003
【図１】
2006141039.tif 000004
【図２】
2006141039.tif 000005
【図３】
2006141039.tif 000006
【図５】
2006141039.tif 000007
【図６】
2006141039.tif 000008
【図７】
2006141039.tif 000009