(57)【要約】【課題】      検査ステージを変位させることにより、左右の視野角検査を可能にすることにある。【解決手段】  検査装置は、表示用パネルを受ける検査ステージと、該検査ステージを支持するベース台と、検査ステージを前記ベース台に対し上下方向へ伸びる第１の軸線の周りに回転させる第１の回転機構と、検査ステージをベース台に対し水平方向へ伸びる第２の軸線の周りに回転させる第２の回転機構とを含む。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示用パネルを受ける検査ステージと、該検査ステージを支持するベース台と、前記検査ステージを前記ベース台に対し上下方向へ伸びる第１の軸線の周りに回転させる第１の回転機構とを含む、表示用パネルの検査装置。
【請求項２】
さらに、前記検査ステージを前記ベース台に対し水平方向へ伸びる第２の軸線の周りに回転させる第２の回転機構を含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記第１の回転機構は前記ベース台に支持されており、前記第２の回転機構は前記第１の回転機構に支持されており、前記検査ステージは前記第１又は第２の回転機構を介して前記ベース台に支持されている、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記ベース台は、フレームに取り付けられる基台と、前記第２の軸線と交差する水平方向に移動可能に支持された移動台と、該移動台を前記基台に対して移動させる移動機構とを備える、請求項２又は３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記第１の回転機構は、前記第１の軸線の周りに回転可能に前記ベース台に配置されたベース部材と、該ベース部材を前記ベース台に対し前記第１の軸線の周りに回転させる第１の駆動源と、前記ベース部材から前記第２の軸線の方向に間隔をおいて立ち上がる一対の支柱であって前記検査ステージを前記第２の軸線の周りに回転可能に支持する支柱とを含む、請求項２、３又は４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記第２の回転機構は、前記検査ステージを前記第２の軸線の周りに回転させるべく一方の前記支柱の上部に支持された第２の駆動源を含む、請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記移動機構は、前記移動台の移動方向へ伸びる状態に前記基台に回転可能に支持されたボールねじと、該ボールねじに螺合されて前記移動台に取り付けられたナットと、前記ボールねじをこれの軸線の周りに回転させる第３の駆動源とを含む、請求項４に記載の検査装置。
【請求項８】
前記検査ステージは、前記第１の回転機構により回転されるステージ本体と、該ステージ本体に配置された支持台と、該支持台に配置された電気的接続装置であって複数の接触子ユニットを備える電気的接続装置とを含み、
前記支持台及び前記電気的接続装置のいずれか一方は、検査すべき表示用パネルを受けるパネル受けを備える、請求項１から７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記ステージ本体は、前記支持台を少なくとも二次元的に移動させる、請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記電気的接続装置は、第１の開口を有する板状の第１のベースと、前記第１のベースに配置された板状の第２のベースと、該第２のベースに配置された複数の接触子ユニットとを含み、
前記第２のベースは、表示用パネルを受けるパネル受けであって前記第１の開口と対向する矩形の第２の開口を形成するパネル受けを備えている、請求項８又は９に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記電気的接続装置は、さらに、前記パネル受けに受けられた表示用パネルの縁部が当接可能に前記第２のベースに配置された複数のストッパピンと、前記パネル受けに受けられた表示用パネルを前記ストッパピンに向けて押圧するように、前記第２のベースに配置された複数のプッシャーとを含む、請求項１０に記載の検査装置。
【請求項１２】
各接触子ユニットは、前記パネル受けに受けられた表示用パネルの電極に開放可能に接触される複数の接触子を有する接触子ブロックを備える、請求項１０又は１１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネルを検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルやそれようのガラス基板のような表示用パネルは、これが仕様書通りに作動するか否かの通電試験すなわち検査をされる。
【０００３】
この種の検査装置の１つとして、表示用パネルを受ける検査ステージを水平方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させて、表示用パネルを水平状態と傾斜状態とに選択的におくことができるようにしたものがある（特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−１０８９２１号公報
【０００５】
上記従来の検査装置において、検査ステージは、板状のベースと、このベースの上に組み付けられた支持ステージと、支持ステージの上に取り付けられて表示用パネルを受けるワークテーブルすなわち支持台とを含む。
【０００６】
支持ステージは、支持台を、これに受けた表示用パネルと平行の面内で二次元的に移動させると共に、その表示用パネルに垂直の方向へ移動させ、さらにその表示用パネルに垂直の軸線の周りに角度的に回転させる。これにより、支持台に受けられた表示用パネルが通電用のプローブに対して移動されて位置決められる。
【０００７】
検査装置においては、表示用パネルを左右方向から斜めに観察してその表示用パネルにより表示される画像を目視可能の視野角の検査をすることがある。
【０００８】
しかし、上記のような視野角検査のとき、従来の検査装置では、表示用パネルを通電用のプローブに対して移動することができるにすぎないから、目視点灯検査の場合には、作業者が検査装置に対し左右に移動しなければならないし、ビデオカメラを用いる自動検査の場合には、ビデオカメラを検査ステージに対し左右に移動させなければならない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、検査ステージを変位させることにより、左右の視野角検査を可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る検査装置は、表示用パネルを受ける検査ステージと、該検査ステージを支持するベース台と、前記検査ステージを前記ベース台に対し上下方向へ伸びる第１の軸線の周りに回転させる第１の回転機構とを含む。
【発明の効果】
【００１１】
検査ステージを第１の回転機構により第１の軸線の周りに角度的に回転させると、検査ステージがこれに受けられた表示用パネルと共に左右方向に角度的に回転される。
【００１２】
上記の結果、目視検査の場合には作業者が検査装置に対し左右に移動することなく、また自動検査の場合にはビデオカメラを検査ステージに対し左右に移動させることなく、左右の視野角の検査をすることができる。
【００１３】
検査装置は、さらに、前記検査ステージを前記ベース台に対し水平方向へ伸びる第２の軸線の周りに回転させる第２の回転機構を含むことができる。そのようにすれば、表示用パネルを水平及び斜めのいずれの状態においても検査することができる。また、目視検査の場合には作業者が検査装置に対し上下に移動することなく、また自動検査の場合にはビデオカメラを検査ステージに対し上下に移動させることなく、上下の視野角の検査をすることができる。
【００１４】
前記第１の回転機構は前記ベース台に支持されていてもよく、また前記第２の回転機構は前記第１の回転機構に支持されていてもよく、さらに前記検査ステージは前記第１又は第２の回転機構を介して前記ベース台に支持されていてもよい。そのようにすれば、第２の回転機構をベース台に支持させ、第１の回転機構を第２の回転機構に支持させた場合に比べ、第１の軸線の周りにおける検査ステージの回転範囲が狭くなる。
【００１５】
前記ベース台は、フレームに取り付けられる基台と、前記第２の軸線と交差する水平方向に移動可能に支持された移動台と、該移動台を前記基台に対して移動させる移動機構とを備えることができる。
【００１６】
前記第１の回転機構は、前記第１の軸線の周りに回転可能に前記ベース台に配置されたベース部材と、該ベース部材を前記ベース台に対し前記第１の軸線の周りに回転させる第１の駆動源と、前記ベース部材から前記第２の軸線の方向に間隔をおいて立ち上がる一対の支柱であって前記検査ステージを前記第２の軸線の周りに回転可能に支持する支柱とを含むことができる。
【００１７】
前記第２の回転機構は、前記検査ステージを前記第２の軸線の周りに回転させるべく一方の前記支柱の上部に支持された第２の駆動源を含むことができる。
【００１８】
前記移動機構は、前記移動台の移動方向へ伸びる状態に前記基台に回転可能に支持されたボールねじと、該ボールねじに螺合されて前記移動台に取り付けられたナットと、前記ボールねじをこれの軸線の周りに回転させる第３の駆動源とを含むことができる。
【００１９】
前記検査ステージは、前記第１の回転機構により回転されるステージ本体と、該ステージ本体に配置された支持台と、該支持台に配置された電気的接続装置であって複数の接触子ユニットを備える電気的接続装置とを含むことができ、また前記支持台及び前記電気的接続装置のいずれか一方は、検査すべき表示用パネルを受けるパネル受けを備えることができる。そのようにすれば、電気的接続装置を支持台と共に第１の軸線の周りに角度的に回転させることができる。
【００２０】
前記ステージ本体は、前記支持台を少なくとも二次元的に移動させることができる。
【００２１】
前記電気的接続装置は、第１の開口を有する板状の第１のベースと、前記第１のベースに配置された板状の第２のベースと、該第２のベースに配置された複数の接触子ユニットとを含むことができ、また前記第２のベースは、表示用パネルを受けるパネル受けであって前記第１の開口と対向する矩形の第２の開口を形成するパネル受けを備えていてもよい。
【００２２】
前記電気的接続装置は、さらに、前記パネル受けに受けられた表示用パネルの縁部が当接可能に前記第２のベースに配置された複数のストッパピンと、前記パネル受けに受けられた表示用パネルを前記ストッパピンに向けて押圧するように、前記第２のベースに配置された複数のプッシャーとを含むことができる。そのようにすれば、パネル受けに受けられた表示用パネルが電気的接続装置に対し、容易に位置決められる。
【００２３】
各接触子ユニットは、前記パネル受けに受けられた表示用パネルの電極に開放可能に接触される複数の接触子を有する接触子ブロックを備えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下の説明においては、検査ステージに受けられた表示用パネルの厚さ方向を上下方向又はＺ方向といい、そのパネルに対する接触子の針先の側（パネルの側）を下方といい、そのパネルに平行な水平の直角座標における２つの方向をＸ方向及びＹ方向という。しかし、検査に際しては、そのパネルの厚さ方向を斜め又は横の方向としてもよいし、上下方向を逆にして使用してもよい。
【００２５】
図１〜図６を参照するに、検査装置１０は、後に図７から図１４に示す検査ステージに関連して説明する表示用パネル１２の通電試験（通電検査）に用いられる。表示用パネル１２は、矩形の形状を有しており、また矩形の各辺のいくつかに対応する縁部の各々に複数の電極を備える。
【００２６】
図示の例では、表示用パネル１２は、液晶を封入した液晶表示パネルであり、また隣り合う２つの縁部の各々に複数の電極を対応する縁部の長手方向に間隔をおいて有している。このため、検査装置１０は、液晶表示パネルの点灯検査に用いられる。
【００２７】
図１〜図４を参照するに、検査装置１０は、表示用パネル１２を受ける検査ステージ１４と、検査ステージ１４を支持するベース台１６と、検査ステージ１４をベース台１６に対し上下方向へ伸びる第１の軸線の周りに回転させる第１の回転機構１８と、検査ステージ１４をベース台１６に対し水平方向へ伸びる第２の軸線の周りに回転させる第２の回転機構２０とを含む。
【００２８】
検査ステージ１４は、後に詳細に説明するが、表示用パネル１２を受ける受け領域２２を有している。
【００２９】
ベース台１６は、板状の基台２４を検査装置１０の筐体フレームに取り付け、複数の結合具２５により間隔をおいた状態に結合された板状の一対の移動台２６を基台２４に前記第２の軸線と交差する水平方向に移動可能に支持させ、移動台２６を移動機構２８により基台２４に対して前記第２の軸線と交差する水平方向に移動させる構造とされている。
【００３０】
基台２４は、これの上面に、一対のレール３０を、これらが移動台２６の移動方向と直交する方向（第１の軸線の方向）に間隔をおいて移動台２６の移動方向に伸びるように、取り付けている。
【００３１】
移動台２６は、レール３０と、これらレール３０に移動可能に結合された複数のガイド３２とにより、基台２４に移動可能に結合されている。ガイド３２は下側の移動台２６の下面に取り付けられている。
【００３２】
移動機構２８は、ボールねじ３４をこれが移動台２６の移動方向へ伸びる状態に基台２４に回転可能に支持させ、ボールねじ３４に螺合されたナット３６を移動台２６の下面に取り付けている。
【００３３】
ボールねじ３４は、これの長手方向における両端部において、基台２４からボールねじ３６の長手方向に間隔をおいて立ち上がる一対の支持片３８により、基台２４に回転可能に支持さされており、また一方の支持片３８に取り付けられた電動機のような駆動源４０により、自身の軸線の周りに回転される。
【００３４】
第１の回転機構１８は、前記第１の軸線の周りに回転可能に上側の移動台２６に配置された板状のベース部材４２と、ベース部材４２から前記第２の軸線の方向に間隔をおいて立ち上がる一対の支柱４４と、ベース部材４２を支柱４４と共に移動台２６に対し前記第１の軸線の周りに回転させる電動機のような駆動源４６とを含む。
【００３５】
ベース部材４２は軸部材４８により移動台２６に回転可能に支持されており、支柱４４はベース部材４２に移動不能に取り付けられている。駆動源４６は、ベース部材４２の下側に取り付けられており、また軸部材４８を介してベース部材４２を前記第１の軸線の周りに回転させる。
【００３６】
検査ステージ１４は、これの前記第１の軸線方向における各端部から外方に突出する一対の枢軸５０により両支柱４４の上端部に回転可能に支持されている。駆動源４６は、一方の枢軸５０を介して検査ステージ１４を前記台１の軸線の周りに回転させる。
【００３７】
第２の回転機構２０は、一方の枢軸５０を介して検査ステージ１４を前記第２の軸線の周りに回転させるように一方の支柱４４の上部に支持されており、また電動機のような駆動源を含む。
【００３８】
検査装置１０において、検査ステージ１４を第１の回転機構１８により第１の軸線の周りに角度的に回転させると、検査ステージ１４が、図４、図５又は図６に示すように、正面向きの状態、斜め右向きの状態又は斜め左向きの状態に回転される。このため、それらいずれの状態においても、パネル１２の点灯検査をすることができるし、パネル１２の受け渡しをすることができる。
【００３９】
上記の結果、目視検査の場合には作業者が検査装置に対し左右に移動することなく、また自動検査の場合にはビデオカメラを検査ステージに対し左右に移動させることなく、左右の視野角の検査をすることができる。また、斜め右向きの角度及び斜め左向きの角度は、いずれも、目的に応じて選択することができる。
【００４０】
また、検査装置１０において、検査ステージ１４を第２の回転機構２０により第２の軸線の周りに角度的に回転させると、検査ステージ１４が、図２、図３又は図４に示すように、上向きの状態、斜め上又下向きの状態若しくは正面向きの状態に回転される。このため、それらいずれの状態においても、パネル１２の点灯検査をすることができるし、パネル１２の受け渡しをすることができる。また、斜め上又下向きの角度は、いずれも、目的に応じて選択することができる。
【００４１】
上記の結果、目視検査の場合には作業者が検査装置に対し上下に移動することなく、また自動検査の場合にはビデオカメラを検査ステージに対し上下に移動させることなく、上下の視野角の検査をすることができる。
【００４２】
さらに、検査装置１０によれば、第１及び第２の回転機構１８及び２０を作動させて、検査ステージ１４を、第１の軸線の周りにおける正面向き、斜め右向き及び斜め左向きと、第２の軸線の周りにおける上向き、斜め又は下向き及び正面向きとを任意に組み合わせた状態におくことができる。
【００４３】
図４〜図１４を参照して、検査ステージの実施例について説明する。
【００４４】
検査ステージ１４は、支持台１１６をステージ本体１１８の上に取り付け、支持台１１６にバックライトユニット１２０を配置し、電気的接続装置１１０を支持台１１６に支持している。
【００４５】
支持台１１６は、矩形の板の形状を有する支持ベース１２２と矩形の板の形状を有する受けベース１２４とを、これらが上下方向に間隔をおいて平行する状態に、複数の支柱１２６により組み付けている。
【００４６】
受けベース１２４は、これの中央領域を厚さ方向に貫通する開口１２８により、枠状に形成されている。これにより、開口１２８を介して上方に開放する空間が支持台１１６に形成されている。
【００４７】
ステージ本体１１８は、支持台１１６を、Ｘ、Ｙ及びＺの三方向に（三次元的に）変位させると共に、Ｚ方向に伸びるθ軸線の周りに角度的に回転させる。
【００４８】
バックライトユニット１２０は、白色電球や白色蛍光灯のような複数のバックライト１３０を上方に開放する収納容器１３２に収容している（図１０参照）。収納容器１３２は、支持台１１６の上記空間に配置されて、支持ベース１２２に取り付けられている。
【００４９】
電気的接続装置１１０は、受けベース１２４の上に取り付けられる矩形の板状をした取り付けベース１３４と、取り付けベース１３４の上に矩形に配置された４つのプローブベース１３６と、隣り合う２つのプローブベース１３６に配置された複数の接触子ユニット１３８とを含む。
【００５０】
図１０に示すように、取り付けベース１３４は、受けベース１２４の開口１２８と相似の矩形の開口１４０を中央に有している。開口１４０は取り付けベース１３４の厚さ方向に貫通している。
【００５１】
図７から図１０に示すように、プローブベース１３６は、長い板の形状を有しており、また表示用パネル１２を受けるパネル受け１４２を上部に備えている。パネル受け１４２は、矩形の断面形状を有するいわゆる角柱状をした長尺部材の形をしており、また対応するプローブベース１３６の幅方向における一端部を対応するプローブベース１３６の長手方向に伸びている。
【００５２】
プローブベース１３６は、４つのプローブベース及び４つのパネル受け１４２が開口１４０と対向する開口１４４を共同して形成するように、取り付けベース１３４に載置されている。開口１４４は、開口１２８及び１４０と相似の矩形の形状を有する。
【００５３】
電気的接続装置１１０として組み立てられた状態において、パネル受け１４２の開口１４４側の縁部は、開口１４４を共同して形成する縁部として作用する。開口１２８及び１４０は同じ大きさを有するが、開口１４４は開口１２８及び１４０より小さい。
【００５４】
開口１４４は、パネル受け１４２に支持された光拡散板１４６により閉鎖されている。光拡散板１４６は、バックライト１３０からの光を拡散させて表示用パネル１２の背面に照射する。
【００５５】
電気的接続装置１１０は、プローブベース１３６及び取り付けベース１３４をそれらの上方側から貫通して受けベース１２４に螺合された複数のねじ１４８により、開口１４０及び１４４が開口１２８と対向するように、受けベース１２４の上に取り外し可能に取り付けられている。
【００５６】
電気的接続装置１１０は、受けベース１２４、取り付けベース１３４及びプローブベース１３６に差し込まれた複数の位置決めピン１５０により、受けベース１２４に相対的位置決めをされている。それら位置決めピン１５０は、受けベース１２４、取り付けベース１３４及びプローブベース１３６のいずれか１つに固定されている。
【００５７】
隣り合う２つのプローブベース１３６のそれぞれは、表示用パネル１２の縁部が当接可能の複数のストッパピン１５２を取り付けている。隣り合う他の２つのプローブベース１３６のそれぞれは、表示用パネル１２を対向するストッパピン１５２に向けて押す１以上のプッシャー１５４が取り付けている。
【００５８】
図示の例では、隣り合う２つのプローブベース１３６の各パネル受け１４２に２つのストッパピン１５２がパネル受け１４２の長手方向に間隔をおいて取り付けられており、隣り合う他の２つのプローブベース１３６のそれぞれに１つのプッシャー１５４が取り付けられている。
【００５９】
各ストッパピン１５２は、これが対応するパネル受け１４２から上方へ突出する状態に、対応するパネル受け１４２に取り付けられている。これにより、表示用パネル１２の縁部は、表示用パネル１２がプッシャー１５４により押されることにより、ストッパピン１５２に当接される。
【００６０】
各プッシャー１５４は、図１４（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）に示す例では、ソレノイド機構やシリンダ機構のように往復運動をするプッシュ機構１５６と、プッシュ機構１５６により表示用パネル１２に対して往復移動されるプッシュ片１５８とを備えており、プッシュ機構１５６においてプローブベース１３６に取り付けられている。
【００６１】
プッシュ機構１５６は、その出力軸１５７の移動方向が左右方向となるように、プローブベース１３６に取り付けられており、また上下方向へ伸びる支持ピン１６１を出力軸１５７の先端に取り付け、支持ピン１６１の上端にプッシュ片１５８を取り付けている。
【００６２】
各プッシャー１５４は、プッシュ片１５８が表示用パネル１２に向けて前進されることにより、その表示用パネル１２をストッパピン１５２に向けて押圧し、それによりストッパピン１５２と共同して表示用パネル１２を把持する。
【００６３】
プッシュ片１５８が表示用パネル１２に対し後退されると、各プッシャー１５４は、ストッパピン１５２と共同による表示用パネル１２の把持を解除する。
【００６４】
プッシャー１５４が配置されたプローブベース１３６のパネル受け１４２は、プッシャー１５４の先端側の部分を受け入れる凹欠部１５９を有している。
【００６５】
凹欠部１５９は、プッシュ機構１５６の側に開放して上下方向へ伸びる溝であり、またプッシュ片１５８がプッシュ機構１５６により前進されたとき、支持ピン１６１を受け入れる。
【００６６】
プッシャー１５４は、プッシュ片１５８を正確かつ確実に移動させるガイドを備えていてもよい。また、他のタイプのプッシャーを用いてもよい。
【００６７】
各接触子ユニット１３８は、図１１から図１３に示すように、ねじによりプローブベース１３６に取り付けられたベース板１６０と、パネル受け１４２に対し前進及び後退可能にベース板１６０に載置された第１の移動ブロック１６２と、パネル受け１４２に受けられた表示用パネル１２に対して傾斜する方向へ移動可能に第１の移動ブロック１６２に配置された第２の移動ブロック１６４と、第２の移動ブロック１６４に支持された接触子ブロック１６６とを含む。
【００６８】
第１の移動ブロック１６２の移動方向はパネル受け１４２に受けられた表示用パネル１２と平行の第１の方向であり、第２の移動ブロック１６４の移動方向はその表示用パネル１２に対し傾斜して斜め上下方向へ伸びる第２の方向である。
【００６９】
ベース板１６０は、これの上にガイドレール１６８をこれがＸ又はＹ方向へ伸びる状態に取り付け、ガイド１７０をガイドレール１６８に滑動可能に嵌合させ、ガイド１７０に第１の移動ブロック１６２を支持させている。
【００７０】
ベース板１６０には、２組のストッパ１７４、１７６が第１の移動ブロック１６２の移動方向に間隔をおいた状態に取り付けられている。ストッパ１７４、１７６は、図示の例では、ベース板１６０に直立に取り付けられており、またストッパ１７４、１７６の組毎に第１の移動ブロック１６２を間にして第１の移動ブロック１６２の移動方向と直交する方向に間隔をおいている。
【００７１】
第１の移動ブロック１６２は、図示しない駆動機構により、後に説明する接触子１７２が表示用パネル１２の電極に接触する前進位置と、接触子１７２が表示用パネル１２から離されて後退する待機位置すなわち後退位置とに移動される。
【００７２】
上記のような移動機構として、ジャッキ式の駆動機構、ソレノイド駆動機構等、第１の方向における第１の移動ブロック１６２の位置を調整可能のものを用いることができる。
【００７３】
第１の移動ブロック１６２は、これが前進位置に前進したときに、ストッパ１７４に当接して第１の移動ブロック１６２の前進を制限する制限ブロック１７８を各側部に備えている。
【００７４】
第２の移動ブロック１６４は、これが第１の移動ブロック１６２と共に前進したときに、ストッパ１７６に当接する２組の回転体１８０を備えている。各組の回転体１８０は、第２の移動ブロック１６４から第１の移動ブロック１６２の側方を第２の移動ブロック１６４が後退する方向へ伸びるストッパアーム１８２の後端部に、水平方向へ伸びる軸線の周りに回転可能に取り付けられている。
【００７５】
第１の移動ブロック１６２が前進位置及び後退位置に移動されたことを、それぞれ、ベース板１６０に配置されたセンサ（図示せず）で検出してもよい。
【００７６】
第１の移動ブロック１６２の先端面（すなわち、パネル受け１４２側の面）は、パネル受け１４２側ほどパネル受け１４２から上方に離れるように、表示用パネル１２に対し傾斜した斜め下向きの傾斜面１８４とされている。第１の移動ブロック１６２は、傾斜面１８４に沿って斜め上下方向に伸びるガイドレール１８６を傾斜面１８４に取り付けている。
【００７７】
第２の移動ブロック１６４は、ガイドレール１８６に移動可能に嵌合されたガイド８８により、第１の移動ブロック１６２に組み付けられている。ストッパアーム１８２は、第２の移動ブロック１６２にねじ止めされている。
【００７８】
各組の回転体１８０は、ストッパ１７６に接触して回転しつつ傾斜面１８４の傾斜方向に移動するように、上下方向に間隔をおいている。各回転体１８０は、図示の例では、ストッパアーム１８２に装着されたローラであるが、ボールのような他の部材であってもよい。
【００７９】
第１の移動ブロック１６２は、さらに、傾斜面１８４に傾斜面１８４と直角に取り付けられた支持部１９０と、支持部１９０から傾斜面１８４と平行に斜め上方に伸びるロッド１９２とを備える。
【００８０】
第２の移動ブロック１６４は、ロッド１９２をこれの上部から受け入れる穴１９４を備えており、またロッド１９２に配置された圧縮コイルばねのような弾性体１９６により、第１の移動ブロック１６２から離れるように第２の方向へ付勢されている。
【００８１】
各接触子１７２は、ポゴピンタイプ又はスプリングピンタイプのプローブであり、接触子ブロック１６６を貫通して伸びている。接触子１７２は、表示用パネル１２の電極の配列と同じ配列に配置されており、また接触子ブロック１６６に組み付けられた配線基板（図示せず）と、この配線基板に組み付けられたコネクタ（図示せず）と、このコネクタに接続されたフレキシブル印刷配線板（図示せず）とを介して、検査装置の電気回路に電気的に接続される。
【００８２】
接触子１７２の先端と表示用パネル１２との平行度や高さ位置は、接触子ユニット１３８毎に調整することができる。このため、そのような平行度や高さ位置の調整作業が容易になり、表示用パネル１２と接触子１７２との間にコンタクトずれが生じるおそれが低減される。
【００８３】
次に、図１４を参照して、検査装置の動作を説明する。
【００８４】
待機時、第１の移動ブロック１６２は、図１４（Ａ）に示すように、パネル受け１４２から第１の方向へ離れた待機位置に後退されている。このため、第２の移動ブロック１６４は、パネル受け１４２上の表示用パネル１２から後退されていると共に、弾性体１９６により斜め上方に付勢されて表示用パネル１２から上方に離されている。
【００８５】
待機状態においては、第１及び第２の移動ブロック１６２，６４並びに接触子ブロック７４がパネル受け１４２への表示用パネル１２の配置領域からＸ方向又はＹ方向に離されているから、表示用パネル１２をパネル受け１４２に対し容易に着脱することができる。
【００８６】
プッシャー２２は、表示用パネル１２をパネル受け１４２に対し着脱するとき、プッシュ片１５８を、パネル受け１４２からＸ方向又はＹ方向に離すように、後退させている。
【００８７】
上記状態において、表示用パネル１２がパネル受け１４２に載せられると、プッシャー２２は、プッシュ片１５８を表示用パネル１２に向けて前進させる。これにより、パネル受け１４２上の表示用パネル１２は、ストッパピン１５２に押されて、パネル受け１４２に対して所定の状態に位置決めされる。このため、パネル受け１４２に受けられた表示用パネル１２を電気的接続装置１１０に対し容易に位置決めることができる。
【００８８】
プッシャー２２のプッシュ片１５８が前進されたとき、プッシャー２２の支持ピン６０はパネル受け１４２の凹欠部６２に受け入れられる。このため、パネル受け１４２が存在するにもかかわらず、プッシュ片１５８の移動範囲は小さくてよい。
【００８９】
検査時、第１の移動ブロック１６２が駆動機構（図示せず）によりパネル受け１４２に向けて前進される。図１４（Ｂ）に示すように、第１の移動ブロック１６２の前進の終期に、第２の移動ブロック１６４の回転体１８０がストッパ１７６に接触する。これにより、第２の移動ブロック１６４の前進が阻止され、その状態で第１の移動ブロック１６２がさらに前進される。
【００９０】
第１の移動ブロック１６２のさらなる前進により、第２の移動ブロック１６４が弾性体１９６の付勢力に抗して第１の移動ブロック１６２に対し第２の方向に後退される。このとき、第２の移動ブロック１６４は、第１の移動ブロック１６２がパネル受け１４２に接近すればするほど接触子ブロック１６６が表示用パネル１２側に変位するように下降される。このとき、回転体１８０は、ストッパ１７６に接触して回転しつつ下降する。
【００９１】
図１０（Ｃ）に示すように、第１の移動ブロック１６２が前進位置まで前進されると、制限ブロック１７８がストッパ１７４に当接することにより、停止される。これにより、第２の移動ブロック１６４及び接触子ブロック１６６は、接触子１７２が表示用パネル１２の電極に押圧された状態で、下降を停止される。
【００９２】
上記状態で、表示用パネル１２に通電されて、点灯検査が行われる。検査が終了すると、電気的接続装置１１０は、上記と逆に動作して、図１４（Ａ）に示す状態に戻る。この状態において、表示用パネルの１２交換が行われる。
【００９３】
点灯検査時、光拡散板１４６がパネル受け１４２に取り付けらているから、検査すべき表示用パネル１２が光拡散板１４６の近くに受けられ、その結果光拡散板１４６で拡散された光が表示用パネル１２に効果的に照射される。
【００９４】
第１の移動ブロック１６２の前進終期及び後退開始時、第１の移動ブロック１６２の移動路を間にした二組の回転体１８０が組毎にストッパ１７６の２箇所に接触しつつ回転移動するから、第２の方向への第２の移動ブロック１６４の移動が、安定し、円滑になる。
【００９５】
上記のように検査装置１０においては、パネル受け１４２を移動させることなく、表示用パネル１２をパネル受け１４２に対し着脱することができるし、第１の移動ブロック１６２をＸ方向又はＹ方向に移動させるだけで、接触子１７２をこれが表示用パネル１２に接触する位置と表示用パネル１２から離れる位置とに変位させることができる。それらの結果、表示用パネル１２をパネル受け１４２に対して着脱する時間が短縮する。
【００９６】
検査すべき表示用パネルを大きさにおいて異なる他の表示用基板に変更するとき、電気的接続装置１１０は、新たな表示用パネル１２に適合するものに変更される。したがって、検査ステージ１４を交換することなく、異なる大きさの表示用パネルの検査が可能になる。また、パネル受け１４２は、既に述べた受け領域２２を形成している。
【００９７】
電気的接続装置１１０は、接触子ユニット１３８をプローブベース１３６に取り付け、プローブベース１３６を取り付けベース１３４に取り付けて、予め完成した電気的接続装置に組み立てておき、大きさが異なる表示用パネルを検査するときは、電気的接続装置を組み立てられた状態で交換するだけでよいから、交換作業がより容易になる。
【産業上の利用可能性】
【００９８】
電気的接続装置は、上記のように交換可能のものである必要はなく、プローブベース１３６を取り付けベース１３４に対しＸ方向及びＹ方向に移動させることにより検査すべき表示用パネルの大きさに適合させてもよく、また交換不能のもの、例えば単一の種類の表示用パネル専用のものであってもよい。
【００９９】
本発明は、液晶表示パネルのみならず、それようのガラス基板、有機ＥＬ等、他の表示用パネルの検査装置にも適用することができる。
【０１００】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】本発明に係る検査装置の一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１に示す検査装置の側面図であって検査ステージを上向きにした状態で示す。
【図３】図１に示す検査装置の側面図であって検査ステージを斜め上向きにした状態で示す。
【図４】図１に示す検査装置の平面図であって検査ステージを正面向きにした状態で示す。
【図５】図１に示す検査装置の側面図であって検査ステージを斜め左向きにした状態で示す。
【図６】図１に示す検査装置の側面図であって検査ステージを斜め右向きにした状態で示す。
【図７】電気的接続装置の一実施例を示す斜視図である。
【図８】図７に示す電気的接続装置の平面図である。
【図９】図７に示す電気的接続装置の正面図である。
【図１０】図８における１０−１０線に沿って得た断面図である。
【図１１】接触子ユニットの一実施例を示す斜視図である。
【図１２】図１１に示す接触子ユニットの平面図である。
【図１３】図１１における１１−１１線に沿って得た断面図である。
【図１４】接触子ユニットの動作を説明するための図であって、（Ａ）は第１の移動ブロックが後退位置にあるときの図、（Ｂ）は第１の移動ブロックが前進終了時期及び後退開始時期にあるときの図、（Ｃ）は第１の移動ブロックが前進位置にあるときの図である。
【符号の説明】
【０１０２】
１０  検査装置
１２  表示用パネル
１４  検査ステージ
１６  ベース台
１８  第１の回転機構
２０  第２の回転機構
２２  受け領域
２４  基台
２６  移動台
２８  移動機構
３４  ボールねじ
３６  ナット
４０  移動機構の駆動源
４２  ベース部材
４４  支柱
４６  第１の回転機構の駆動源
５０  枢軸
１１０  電気的接続装置
１１６  支持台
１１８  ステージ本体
１２０  バックライトユニット
１３４  取り付けベース（第１のベース）
１３６  プローブベース（第２のベース）
１３８  接触子ユニット
１４０、４４  開口
１４２  パネル受け
１４６  光拡散板
１５０  位置決めピン
１５２  ストッパピン
１５４  プッシャー
１６０  ベース板
１６２  第１の移動ブロック
１６４  第２の移動ブロック
１６６  接触子ブロック
１６８  ガイドレール
１７０  ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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