(57)【要約】【課題】風速分布の均一性を高めるとともに、より小型化、薄形化、軽量化できるファンフィルターユニットを提供することを目的とする。【解決手段】チャンバー５上部に吸込口１を有し、ファンユニット４をチャンバー５に内蔵し、ファンユニット４の下流側に拡散手段１１およびフィルタ６を配設し、拡散板１１の下面に複数の開口部８と下方に向けた風向ガイド９と、中心部で交差したバッフル１０を備えることにより、吹出風速分布の均一性を高め、小型化、薄形化、軽量化が図れるファンフィルターユニットが得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、このファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記ファンユニットをチャンバーに固定するサポートを備え、前記ファンユニットと前記フィルタの間に箱型の拡散手段を設け、この拡散手段は側面および下面に複数の開口部と複数の風向ガイドを備え、下面の中心部で交差するバッフルを有してなるファンフィルターユニット。
【請求項２】
箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、このファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記ファンユニットと前記フィルタの間に拡散手段を設け、この拡散手段は前記ファンユニットを支持して、前記チャンバーに固定するとともに、拡散手段の側面および下面に複数の開口部と複数の風向ガイドを備え、下面中心部で交差するバッフルを有してなるファンフィルターユニット。
【請求項３】
拡散手段を水平方向の平面形状となし、この拡散手段の下面に複数の開口部と複数の風向ガイドを備えるとともに、下面の中心部で交差するバッフルを有してなる請求項１記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
風向ガイドは開口部と一体の切り起し形状にした請求項１〜３記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
拡散手段にパンチングメタルを使用してなる請求項１〜３記載のファンフィルターユニット。
【請求項６】
サポートにパンチングメタルを使用してなる請求項１または請求項３記載のファンフィルターユニット。
【請求項７】
部分的にパンチングメタルの開口穴の大きさまたは数量を変化させてなる請求項５または請求項６記載のファンフィルターユニット。
【請求項８】
拡散手段の位置を上下に可変できる位置変更手段を有してなる請求項１または請求項３記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットにおいて風速分布の改善のための手段として複数のガイド板や拡散板をチャンバー内に設ける構成としている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−９４４１９号公報（［０００３］〜［００１８］、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のファンフィルターユニットでは、内部で気流同士が衝突する状態が生じ、不安定な気流になることで風速分布の均一化が難しいという課題があり、清浄空気をより均一に供給することが要求されている。
【０００４】
また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、ファンフィルターユニットを小型、薄形化にしないと設置できないという課題があり、容積効率の高いクリーンルームを実現するために、ファンフィルターユニットの小型化、薄形化が要求されている。
【０００５】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、風速分布の均一性を高めるとともに、より小型化、薄形化できるファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、このファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記ファンユニットをチャンバーに固定するサポートを備え、前記ファンユニットと前記フィルタの間に箱型の拡散手段を設け、この拡散手段は側面および下面に複数の開口部と複数の風向ガイドを備え、下面の中心部で交差するバッフルを有したものである。
【０００７】
また、他の手段は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、このファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記ファンユニットと前記フィルタの間に拡散手段をを設け、この拡散手段は前記ファンユニットを支持して、前記チャンバーに固定するとともに、拡散手段の側面および下面に複数の開口部と複数の風向ガイドを備え、下面中心部で交差するバッフルを有したものである。
【０００８】
また、他の手段は、拡散手段を水平方向の平面形状となし、この拡散手段の下面に複数の開口部と複数の風向ガイドを備えるとともに、下面の中心部で交差するバッフルを有したものである。
【０００９】
また、他の手段は、風向ガイドとして開口部と一体の切り起し形状にしたものである。
【００１０】
また、他の手段は、拡散手段ににパンチングメタルを使用したものである。
【００１１】
また、他の手段は、サポートにパンチングメタルを使用したものである。
【００１２】
また、他の手段は、部分的にパンチングメタル開口穴の大きさまたは数量を変化させたものである。
【００１３】
また、他の手段は、拡散手段の位置を可変できる位置変更手段を持ったものである。
【００１４】
これらの手段により、風速分布の均一性を高めるとともに、より小型化、薄型化できるファンフィルターユニットが得られる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ファンユニットから吹出された気流を下方のフィルタ面全体に均一に吹き付けることになり、フィルタからの吹出し風速分布の均一化が図れるという効果のあるファンフィルターユニットが得られる。
【００１６】
また、サポートを廃止して拡散手段にファンユニットを支持させることより、構造の簡素化による薄形化が図れるという効果のあるファンフィルターユニットが得られる。
【００１７】
また、拡散手段をチャンバーに内接した大きさで配設することが可能となり、チャンバーの外形寸法を変更した場合においても均一な風速分布を容易に得ることができるとともに、平面形状とすることで薄形化できる効果が得られる。
【００１８】
また、別途風向ガイドを設ける必要がなく、構造の簡素化による低コストと軽量化ができる効果が得られる。
【００１９】
また、気流に対する抵抗を抑えることができる効果が得られる。
【００２０】
また、サポートが気流に与える抵抗を軽減できる効果が得られる。
【００２１】
また、気流の偏りを開口穴の大きさ、数量で調整可能となり、自由度が高く、吹出し風速分布の均一化が図れるという効果が得られる。
【００２２】
また、ファンフィルターユニット設置後においても、状況に応じて吹出し風速分布の均一化を現場で調整できる効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の請求項１記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、このファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記ファンユニットをチャンバーに固定するサポートを備え、前記ファンユニットと前記フィルタの間に箱型の拡散手段を設け、この拡散手段は側面および下面に複数の開口部と複数の風向ガイドを備え、下面の中心部で交差するバッフルを有したものであり、ファンユニットから吹出した横方向に吹出された一部の気流を拡散手段の側面の開口部と風向ガイドにて下方への気流に変え、一部の気流を拡散手段の下面に設けた開口部と風向ガイドでファンユニット下方の中心部へ送り、中心部で交差したバッフルによって下方への吹出し気流に変えて、ファンユニットからの気流をフィルタに均一に吹き付けることができるとともに、拡散手段の下面に風向ガイドとバッフルを一体に設けて、上下方向の厚み寸法を縮小し、ファンフィルターユニットの小型化、薄形化ができるという作用を有する。
【００２４】
また、本発明の請求項２記載の発明は、箱形状のチャンバー上部に吸込口を有し、ファンとモーターからなるファンユニットを前記チャンバーに内蔵し、このファンユニットの吹出側にフィルタを配設し、前記ファンユニットと前記フィルタの間に拡散手段をを設け、この拡散手段は前記ファンユニットを支持して、前記チャンバーに固定するとともに、拡散手段の側面および下面に複数の開口部と複数の風向ガイドを備え、下面中心部で交差するバッフルを有したものであり、拡散手段にファンユニットを固定するサポートを兼用させて部品点数を少なくすることで、ファンフィルターユニットの薄型化ができるという作用を有する。
【００２５】
また、本発明の請求項３記載の発明は、拡散手段を水平方向の平面形状となし、この拡散手段の下面に複数の開口部と複数の風向ガイドを備えるとともに、下面の中心部で交差するバッフルを有したものであり、ファンフィルターユニットの外形寸法を変化させた場合においても常に均一な風速分布が得られるとともに、平面形状とすることで薄型化できるという作用を有する。
【００２６】
また、本発明の請求項４記載の発明は、風向ガイドは開口部と一体の切り起し形状にしたことにより、加工工数を削減し、構造の簡素化による追加部品を省き、軽量化できるという作用を有する。
【００２７】
また、本発明の請求項５記載の発明は、拡散手段にパンチングメタルを使用したものであり、拡散手段全体に開口部を分布させることで気流に与える抵抗を軽減できるという作用を有する。
【００２８】
また、本発明の請求項６記載の発明は、サポートにパンチングメタルを使用したものであり、サポート全体に開口部を分布させることで気流に与える抵抗を軽減できるという作用を有する。
【００２９】
また、本発明の請求項７記載の発明は、部分的にパンチングメタルの開口穴の大きさまたは数量を変化させたものであり、自由度の高い風速分布の調整ができるという作用を有する。
【００３０】
また、本発明の請求項８記載の発明は、拡散板手段の位置を上下に可変できる位置変更手段を有したものであり、ファンフィルターユニットの設置後において、拡散手段を上下方向に移動させることにより、フィルタからの吹出し風速分布の均一化が図れるよう、状況に応じて現場で調整できるという作用を有する。
【００３１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３２】
（実施の形態１）
図１〜図３に示すようにターボ型ファン２とモーター３からなるファンユニット４を箱形状のチャンバー５に内蔵し、ファンユニット４の吹出側となる下方にフィルタ６を設け、サポート７によりファンユニット４をチャンバー５に固定している。チャンバー５内のファンユニット４とフィルタ６の間に、上方が開放された箱形状の拡散板１１を挿入し、拡散板１１の側面および下面には横長の開口部８を中心に向かうほど短くなるように平行に配列し、各々の開口部８に隣接して風向ガイド９を傾斜して設け、気流をチャンバー５の中心方向に案内している。また、拡散板１１の下面には対角を結び交差する帯状のバッフル１０が垂設されている。                                                      
【００３３】
上記構成において、ファンユニット４から吹出された気流の一部は拡散板１１の側面の開口部８、風向ガイド９により、フィルタ６の外周部分に吹き付けられる。また、それ以外の気流は拡散板１１の下面の開口部８、風向ガイド９により内向きに吹出され、その一部は交差したバッフル１０に沿ってフィルタ６の中心部まで送られる。この時、図３に示すように中心部で交差したバッフル１０によって、風路は中心部に向かって狭まっており、気流はその抵抗により部分的に下方への気流を生じながらフィルタ６に吹き付けられ、風速分布の均一化ができるものである。
【００３４】
また、拡散板１１の下面には、開口部８に近接して風向ガイド９を突設するとともに、下面の対角を結ぶ交差するバッフル１０を同一面に一体的に垂設しているので、風速均一化を図る部品の設置スペースを最小限に抑えることができ、拡散板１１とフィルタ６の間隔を短縮することにより、チャンバー５を小型化、薄形化することができる。
【００３５】
（実施の形態２）
図３および図４に示すように拡散板１１はファンユニット４を直接支持するとともに、その側面と下面に複数の開口部８と風向ガイド９を有し、また、拡散板１１の下面に対角を結び中心部で交差する帯状のバッフル１０が固定されている。                      
【００３６】
上記構成において、拡散板１１はその下面にバッフル１０が対角線上に固定され、さらにバッフル１０の間を複数の風向ガイド９が併設されているので、平板状の拡散板１１は充分に補強され、振動やたわみを生じない構造となっている。これにより拡散板１１はファンユニット４を支持するだけの強度が確保でき、サポート部品を省いて拡散板１１にファンユニット４を直接支持させることができる。したがって部品点数の削減と構造の簡素化ができ、チャンバー５を薄形化することができる。
【００３７】
また、ファンユニット４から吹き出された気流は、風路を遮る障害物となるサポート部品が省かれているので、抵抗が少なく均等に拡散しやすくなり、拡散板１１の開口部８、風向ガイド９を通過して、一部はバッフル１０により中心部まで案内されて風速分布が均一化され、フィルタ６へと吹き出されるものである。
【００３８】
（実施の形態３）
図５に示すように、チャンバー５内のファンユニット４とフィルタ６の間に平面形状の拡散板１１Ａを配置している。拡散板１１Ａは複数の開口部８を有し、開口部８に近接して設けた風向ガイド９と交差して設けたバッフル１０を下面に一体的に有している。チャンバー５の上側面にはスペース５ａが形成され、ファンユニット４の吹出し気流を方向転換させるための空間としている。
【００３９】
上記構成において、拡散板１１Ａを平面形状とすることにより、拡散板１１Ａの加工工数が減少して、安価に製造することができるとともに、ファンユニット４から吹出された気流は、チャンバー５の上側面のスペース５ａを有効に利用して、方向転換が円滑となり、フィルタ６の端部における風速分布を均一化することができる。
【００４０】
また、チャンバー５の外形寸法を変更するような設計変更に対しても拡散手段１１をチャンバー５に内接するように寸法変更するだけで、風速分布の均一化を図ることができる。
【００４１】
（実施の形態４）
図６に示すように拡散板１１は風向ガイド９と開口部８と一体の切り起し形状とし、バッフル１０を付設している。
【００４２】
上記構成において拡散板１１の風向ガイド９は開口部８と一体の切り起し形状としたことにより、部品点数を削減することができるとともに、開口部８と風向ガイド９の形成が同時に行え、さらに拡散板１１の重量を抑えて軽量化できる。従って拡散板１１の構造を簡素化してファンフィルターユニットの低コスト化と軽量化ができるものである。
【００４３】
（実施の形態５）
図７および図８に示すように拡散板１１Ｂの基材としてパンチングメタルを加工して使用し、その下面に風向ガイド９、バッフル１０を一体に設けた構成としている。
【００４４】
なお、図７に示すものは、サポート７にファンユニット４を支持させ、その下流側に拡散板１１Ｂを配置したものであり、図８に示すものは拡散板１１Ｂにファンユニット４を直接支持させるものである。
【００４５】
上記構成において拡散板１１Ｂの開口部はパンチングメタルに設けられた丸穴で構成され、拡散板１１Ｂ全体に広く分布された丸穴を気流が通ることにより、風速分布が均一化されるとともに、気流に対する通風抵抗を抑えることができる。
【００４６】
また、一般の鋼板を基材とした場合に比べて、パンチングメタルは開口部を形成する必要がなく、加工工数を削減することができる。
【００４７】
（実施の形態６）
図１、図５に示すようにファンユニット４を支持するサポート７の基材にパンチングメタルを使用し、通風抵抗を低減している。
【００４８】
また、サポートの基材にパンチングメタルを使用するとともに、拡散板の基材にもパンチングメタルを使用する場合は（図示せず）、通風抵抗をより少なくした構成となる。
【００４９】
上記構成により、気流に対しサポート７自体の通風抵抗を低減してフィルタ６へ通風しやすくできるとともに、拡散板もパンチングメタルとする場合には、さらに風速分布の均一化を図ることができる。
【００５０】
（実施の形態７）
図９に示すように拡散板１１Ｃにパンチングメタルを使用し、そのパンチングメタルの開口穴の数量を中央側が多くなるよう変化させ、風向ガイド９、バッフル１０を一体に設けている。
【００５１】
上記構成において、気流を抑える範囲はパンチングメタルの開口穴の数量を減らし、気流を導く範囲はパンチングメタルの開口穴の数量を増やすなどの自由度の高い調整ができる。
【００５２】
なお、本実施の形態では、パンチングメタルの開口穴の数量を変化させているが、開口穴の大きさを変化させて調整するようにしてしてもよい。また、サポートを使用する場合は、サポートにパンチングメタルを使用し、その開口穴の数量や大きさを変化させるようにしてもよい。
【００５３】
（実施の形態８）
図１０に示すようにチャンバー５は天面角部の複数箇所に雌ねじ１３を有し、拡散板１１は雌ねじ１３に相対する位置に軸受け１４を設け、調整ボルト１２により軸受け１４と雌ねじ１３とを連結し、調整ボルト１２を回動することで拡散板１１を上下稼働に支持している。また、調整ボルト１２の頭部をチャンバー５の天面上に突出して設け、チャンバー５を設置後も回動操作できるようにしている。
【００５４】
上記構成により、調整ボルト１２の頭部を回すことで、拡散板１１の上下移動がファンフィルターユニットの外側より可能となり、ファン２と拡散板１１の間隙ａを可変させることで、ファンフィルターユニット設置後においても風速分布の調整が容易にでき、設置現場で最適な風速状態に調整することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
風速分布の均一性を確保しつつ、小型化、薄形化、軽量化を図ることにより、ファンフィルターユニットを省スペースで設置可能となり、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とし、設置スペースの限定されたクリーンルームや製造装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施の形態１および６のファンフィルターユニットの縦断面図
【図２】本発明の実施の形態１のチャンバーの下面外観図
【図３】本発明の実施の形態１および２の中心付近の気流を示す要部外観図
【図４】本発明の実施の形態２のファンフィルターユニットの縦断面図
【図５】本発明の実施の形態３および６のファンフィルターユニットの縦断面図
【図６】本発明の実施の形態４のチャンバーの下面外観図
【図７】本発明の実施の形態５のチャンバーの下面外観図
【図８】本発明の実施の形態５の他のチャンバーの下面外観図
【図９】本発明の実施の形態７のチャンバーの下面外観図
【図１０】本発明の実施の形態８のファンフィルターユニットの縦断面図
【符号の説明】
【００５７】
１      吸込口
２      ファン
３      モーター
４      ファンユニット
５      チャンバー
６      フィルタ
７      サポート
８      開口部
９      風向ガイド
１０    バッフル
１１    拡散板（拡散手段）
１１Ａ  拡散板（拡散手段）
１１Ｂ  拡散板（拡散手段）
１１Ｃ  拡散板（拡散手段）
１２    調整ボルト（位置調整手段）
１３    雌ねじ（位置調整手段）
１４    軸受け（位置調整手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2006068676.tif 000010
【図９】
2006068676.tif 000011
【図１０】
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