(57)【要約】    【課題】  ランプ（光源部）と反射ミラー（集光ミラー）との相対的な位置合わせを高精度に行うことができる位置調整装置及び位置調整方法を得ること。    【解決手段】  ランプと、該ランプからの光を所定方向に反射する反射部材と、該反射部材で反射された光の一部を通過させる開口部を有する第１のアパーチャと、該第１のアパーチャを通過した光の一部を通過させる開口部を有する第２のアパーチャと、該第２のアパーチャの開口部を通過した光を検出する受光部と、該受光部の検出結果に基づいて、該ランプと前記反射部材との相対的な位置を調整する移動機構と、を備えること。【選択図】  図１
2006003403.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ランプと、該ランプからの光を所定方向に反射する反射部材との相対的な位置を調整する位置調整装置であって、該反射部材で反射された光の一部を通過させる開口部を有する第１のアパーチャ手段と、該第１のアパーチャ手段の開口部を通過した光の一部を通過させる開口部を有する第２のアパーチャ手段と、該第２のアパーチャ手段の開口部を通過した光を検出する受光部と、該受光部の検出結果に基づいて該反射部材とランプとの相対的な位置関係を調整する移動機構と、を備えることを特徴とする位置調整装置。
【請求項２】
前記ランプは２つの電極を有し、該２つの電極間の距離をＡとするとき、
前記受光部で受光する光量が最大光量となるランプの位置から、該ランプを光軸方向にＡ/１０ずらしたとき、該受光部で受光する光量が該最大光量の９５％以下になるように各部材が設定されていることを特徴とする請求項１の位置調整装置。
【請求項３】
前記ランプは２つの電極を有し、該２つの電極間の距離をＡとするとき、
前記受光部で受光する光量が最大光量となるランプの位置から、該ランプを光軸方向にＡ/１０だけずらしたとき、該受光部で受光する光量が該最大光量の９２％以下になるように各部材が設定されていることを特徴とする請求項１の位置調整装置。
【請求項４】
前記反射部材から反射された光束を所定位置に集光する、焦点距離ｆの集光レンズユニットを前記ランプと前記第２アパーチャ手段との間に備えており、
該第２のアパーチャ手段は、該所定の集光位置から該ランプの光軸方向に沿って０．５ｆ以下の範囲内に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項の位置調整装置。
【請求項５】
前記反射部材から反射された光束を所定位置に集光する、集光レンズユニットを前記ランプと前記第２アパーチャ手段との間に備えており、
該第２のアパーチャ手段は該所定の集光位置よりも前記受光器側に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項の位置調整装置。
【請求項６】
前記受光部からの信号を用いて、前記移動機構を駆動制御して、前記ランプと前記反射部材との相対的位置を調整する制御部を有していることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項の位置調整装置。
【請求項７】
前記移動機構により前記ランプを任意の方向に移動させたときに前記受光部で得られる複数の信号を用いて、該移動機構を駆動制御して、該ランプと前記反射部材との相対的位置を調整する制御部を有していることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項の位置調整装置。
【請求項８】
前記ランプに関するランプ情報を記憶する記憶手段を有し、前記移動機構によりランプを移動させたときに前記受光部で得られる信号および該記憶情報手段に記憶されたランプ情報を用いて、該移動機構を駆動制御して、該ランプと該反射部材との相対的な位置を調整する制御部を有していることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項の位置調整装置。
【請求項９】
ランプと該ランプからの光を所定方向に反射する反射部材との相対的な位置を調整する位置調整方法であって、該反射部材で反射された光のうち、第１のアパーチャ手段および第２のアパーチャ手段の双方に設けられた開口部を通過した光を受光部で検出し、該受光部の検出結果に基づいて、移動機構により該反射部材とランプとの相対的な位置関係を調整することを特徴とする位置調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置調整装置及び位置調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、液晶プロジェクタ等のような大画面投射型のディスプレイにおいては、投射画面が明るいことが要望されている。一般には、投射画面を大画面にするほど明るくするのが困難となる。投射画面の明るさを決定する要因としては、光源の輝度、光束の集光効率、光の利用効率などがある。投射型ディスプレイに利用される光源には、ハロゲンランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプ、高圧水銀ランプなどがあるが、発光効率の高さと大光量である点などから、最近では高圧水銀ランプが多く利用されてきている。また、液晶プロジェクタは、角度依存性のある光学部品を数多く使用するため、光源（ランプ）から液晶パネルに至る光束が、特に平行光であることが要望されている。このためランプからの放射光を集光して集光効率を高めて平行光として出射するために反射部材として反射ミラー（リフレクター）が多く使われる。
【０００３】
反射ミラーは、液晶パネルまでの距離や液晶パネルと発光部分の大きさを考慮して、球面・放物回転面・楕円回転面など最適な形状に設計される。反射ミラーにはランプが、例えば、図２に示すような状態で固定されている。すなわち、バルブ（光源部）２００１を放物形状の反射ミラー２００２の中央に配置し、その固定部（バルブ支持部）２００５に固定している。反射ミラー２００２の内側の反射鏡を形成する放物面の焦点位置と、バルブ２００１の陰極２００３と陽極２００４との間の発光部２００１ａとが一致するように固定することにより、バルブ２００１からの光束の集光効率を高め反射ミラー２００２からの反射光束を平行光としている。
【０００４】
このようなバルブ２００１と反射ミラー２００２の固定位置関係は集光効率に影響を与える。たとえば高圧水銀ランプは、図２に示すように、陽極２００４と陰極２００３の間でアーク放電を起こさせて発光させるものであるため発光部２００１ａは光学的には線光源となり、その陽極２００４と陰極２００３は常に同じ軸線上にあるとは限らず、ランプそれぞれの線光源の位置にバラツキがある。また、反射ミラー２００２も、反射面の形状誤差から焦点位置にバラツキがある。一方、バルブ２００１の発光部２００１ａが反射ミラー２００２の焦点位置からずれると、集光効率が悪くなり被照射面への照射光の照度が低下したり、被照射面上の照度のムラが大きくなったりする。バルブ２００１と反射ミラー２００２との位置関係のバラツキを考慮すると、バルブ２００１を反射ミラー２００２の内部に固定する際には、非常に微妙な調整が必要になっている。
【０００５】
図３は、特許文献１に開示されているランプを反射ミラーに固定するための調整方法の概略図である。
【０００６】
図３に示すように実際の製品に使用する照明系１０００ａと投射レンズ１００９をそのまま使用し、投射される画面１０１０上での明るさで調整する方法がとられている。図３において１００１はランプで、１００２は反射ミラー、１００３は第一のレンズアレイ、１００４は第二のレンズアレイ、１００５は偏光変換素子、１００６．１００７は照明光学系を構成するレンズ、１００８は液晶ライトバルブが位置するところに設けたアパーチャ、１００９は投射レンズである。
【０００７】
このときの光学的作用を説明する。ランプ１００１から放射した光は反射ミラー１００２で反射集光され、第一のレンズアレイ１００３で複数の光束に分割され、第２のレンズアレイ１００４および偏光変換素子１００５の近傍に複数の第２の光源像を作成する。複数の第２の光源像に集光された光線は偏光変換素子１００５を透過して所定の偏光方向に偏光が揃えられたのち照明光学系１００６、１００７によりアパーチャ１００８上に均一に重層され、均一な照明分布を形成する。アパーチャ１００８上の照明分布は投射レンズ１００９により被照射面１０１０上に拡大投射され、実際の液晶プロジェクタと同様の照明状態を再現する。
【０００８】
ランプ１００１は図４に示すように、ランプ管１１０１内に第一の電極（陰極）１１０２、第二の電極（陽極）１１０３があり、第一の封止部１１０４、第二の封止部１１０５、ランプ固定金具１１０６で構成されている。
【０００９】
前記ランプ１００１の一方の封止部１１０５は図５に示すように反射ミラー１２０２で保持されている。位置微動調整機構１２０１は、直交する３つの方向に移動可能な移動機構を有するメカ機構より成り、前記ランプ１１０１の前記ランプ固定金具がメカ的に保持されており前記反射ミラー１２０２に対する前記ランプ１１０１の位置調整が出来るように構成されている。
【００１０】
従来は、図３において被照射面上１０１０上で光量分布を検知しながら、前記ランプ１１０１を前記位置微動調整機構１２０１で移動して光量が最大となる位置になるように調整を行っている。しかし本調整は照明光学系をそのまま使用する為に、使用状態と同じ敏感度でしか調整できず、また実際の照明光学系で被照射面１０１０上での明るさを検知する方法は、ランプ１００１と反射ミラー１００２の相対位置関係に対して許容範囲が広いので、精度良くランプ１００１の位置調整が出来ない。
【００１１】
次にその理由を説明する。図６に示すように第一のレンズアレイ１００３による２次光源像を偏光変換素子１００５の開口部に対して最大透過率になるようにランプ１００１の位置を調整している。ランプ１００１を反射ミラー１００２の回転中心軸方向に反射ミラー１００２出射側に対して逆方向へ移動すると図７に示すように２次光源像は図中の光源像(点線部)に示す放射状方向に移動する。逆にランプ１００１を反射ミラー１００２の回転中心軸方向に反射ミラー１００２出射側に対して同方向へ移動すると図７に示す光源像は点線に示す放射状方向と逆方向へ移動する。
【００１２】
投射装置が所定の明るさを得るためには２次光源像と偏光変換素子の開口部はほぼ同じような大きさでなくてはならないので、偏光変換素子における開口部のケラレは少なく前記の調整による被照射面上の光量の変化は緩やかである。
【００１３】
現在、ランプ１００１を反射ミラー１００２に固定するとき接着剤の硬化収縮によりランプ１００１の位置が反射ミラー回転中心軸方向に移動する場合がある。そのためランプ１００１を反射ミラー１００２の所定の位置に精度良く調整しなければならないので、調整による光量の変化をより敏感にしたいという要望がある。
【００１４】
これに対して、先の特許文献１には、調整の敏感度を上げる調整方法が開示されている。
図８にその構成を示す。図８は図３と光学系は同じで調整用の集光機構１０１２（部材１００３〜１００６で構成）が上下移動機構１０１３によって上下に可動する機構が付加している。
【００１５】
以下に調整方法を説明する。
ｌ被照射面１０１０での照度を最大にすることを目的とする為に
◎調整用集光機構１０１２を光路上に設定する(図3の状態)
◎位置微動機構１０１１にランプ１００１を装着する
◎被照射面１０１０に光束を当て前記被照射面を観察しながら照度が極大になるように前記位置微動機構１０１１を操作しランプ１０１０の位置を調整する。
ｌｌ被照射面１０１０上での最高照度ポイントが被照射面１０１０上の中心(光軸上)に調整することを目的とする為に
◎調整用集光機構１０１２を光路上に設定する(図３の状態)
◎被照射面１０１０上の最高照度ポイントが被照射面１０１０の中心(光軸上)にくるように、前記位置微動機構１０１１を操作しランプ１００１の位置を調整する。
【００１６】
このように反射ミラー１００２から放射される輝度ムラの大きい輝度分布を被照射面上１０１０で検知することで、ランプ１００２の位置調整を敏感に行っている。
【特許文献１】特開２０００−３４７２９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
ランプと反射ミラーとを位置調整するとき、特許文献１に開示されている構成では、被照射面上における輝度のピークが、照明光学系における明るさのピークと被照射面上における最適な光量分布を両立するランプ位置と一致しない。この為、反射ミラーの回転中心軸方向の調整敏感度を充分に上げることはできないという問題がある。
【００１８】
また被照射面上で光量を検知する方法は、調整に必要とするスペースが広くなるという問題がある。
【００１９】
さらに特許文献１に開示されている構成とするとランプの調整を２段階で行うために調整時間が長くなるという問題がある。
【００２０】
本発明は、ランプ（光源部）と反射ミラー（集光ミラー）との相対的な位置合わせを高精度に行うことができる位置調整装置及び位置調整方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明の位置調整装置は、ランプと、該ランプからの光を所定方向に反射する反射部材との相対的な位置を調整する位置調整装置であって、該反射部材で反射された光の一部を通過させる開口部を有する第１のアパーチャ手段と、該第１のアパーチャ手段の開口部を通過した光の一部を通過させる開口部を有する第２のアパーチャ手段と、該第２のアパーチャ手段の開口部を通過した光を検出する受光部と、該受光部の検出結果に基づいて該反射部材とランプとの相対的な位置関係を調整する移動機構と、を備えることを特徴としている。
【００２２】
本発明の位置調整方法は、ランプと該ランプからの光を所定方向に反射する反射部材との相対的な位置を調整する位置調整方法であって、該反射部材で反射された光のうち、第１のアパーチャ手段および第２のアパーチャ手段の双方に設けられた開口部を通過した光を受光部で検出し、該受光部の検出結果に基づいて、移動機構により該反射部材とランプとの相対的な位置関係を調整することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、ランプ（光源部）と反射ミラー（集光ミラー）との相対的な位置合わせを高精度に行うことができる位置調整装置及び位置調整方法を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
【実施例１】
【００２５】
図１は本発明の位置調整装置の実施例１の要部概略図である。
【００２６】
図１は位置調整方法が適用される調整用の光学系である。図１において１０１はランプ（光源）である。１０２は回転放物面鏡からなる反射ミラー（反射部材）であり、ランプ１０１から放射される光を所定の方向に反射している。１０３は集光レンズであり、反射ミラー１０２からの光（平行光束）を所定位置Ｐに集光している。集光レンズ１０３は単一又は複数のレンズより成っている。
【００２７】
１０４は開口部１０４ａを有する第１のアパーチャ、１０５は開口部１０５ａを有する第２のアパーチャである。１０６は第１のアパーチャ１０４の開口部１０４ａと第２のアパーチャ１０５の開口部１０５ａを通過した光線を受光する受光部（検出手段）である。
【００２８】
ランプ１０１の一方の首部は図２と同様の構成になっており、反射ミラー１０２内で保持されている。位置微動調整機構（移動機構）１０７は、直交する３つの方向に移動可能な移動機構より成るメカ機構を有している。ランプ１０１のランプ固定金具がメカ的に固定されており移動機構１０７は反射ミラー１０２に対するランプ１０１の位置調整が出来るように構成されている。
【００２９】
調整手順は位置微動調整機構１０７を操作して、ランプ１０１の位置を微動して、受光部１０６での値（検出値）が最大となるように調整する。本実施例で用いるランプ１０１の発光分布は図９のようである。本方式ではランプ１０１の発光分布を走査することで、ランプ１０１の輝点２０１を検知してランプ１０１の輝点１０１ａを反射ミラー１０２から一定の位置に調整している。
【００３０】
本実施例の位置調整装置は、一方の封止部で保持されたランプ１０１から発光した光を反射ミラー１０２で反射させ、その反射光を所定の光学系１０３〜１０５を介して受光部１０６に光を到達させる。反射ミラー１０２と受光部１０６の間に少なくとも所定の開口部１０４ａ、１０５ａを有する２つのアパーチャ１０４、１０５を入れることにより、ランプ１０１の発光分布を検出することができ、ランプ１０１の輝点１０１ａを検知して、ランプ１０１の位置調整敏感度を上げている。ここでランプ１０１の発光分布とは図９に示すようなランプ１０１の位置と各位置から発する光量の関係を示すもので、図４で示すランプ図の陰極電極１１０２と図９の位置の２０１が共にランプ１０１の輝点位置にほぼ相当する。
【００３１】
説明すると図１０に示すようにランプ１０１の発光部１５０１は有限の大きさを持つ。発光部１５０１のうち反射ミラー１５０２の焦点位置である点Ａから発光された光は反射ミラー１５０２で反射された後平行光となる。しかし、焦点Ａから反射ミラー１５０２の出射側に近い位置Ｂから発光する光は反射ミラー１５０２での反射した後収束する。
【００３２】
また、焦点Ａから反射ミラー１５０２の出射側と逆方向の位置Cから発光する光は反射ミラー１５０２で反射した後発散する。
【００３３】
このように発光する位置により反射ミラー１５０２での反射光の平行度が異なるため、図１１に示すように所定の位置から発光した光（ここでは図１１の位置Ａから発光した光）のみ第１のアパーチャ５０４の開口部５０４ａと第２のアパーチャ５０５の開口部５０５ａを通過して受光部５０６に到達する。これより受光部５０６が最も光量を検知する位置、つまりランプ５０１の輝点が図１１の点Ａの位置となるようにランプを調整することができる。
【００３４】
以上のように本実施例では、反射ミラー（反射部材１０２）で反射された光の一部を開口部１０４ａを有した第１のアパーチャ１０４と開口部１０５ａを有した第２のアパーチャ１０５の双方の開口部を通過した光を受光部１０６で検出し、該受光部１０６の検出結果に基づいて、移動機構１０７により該ランプ１０１と該反射部材１０２との相対的な位置を調整している。
【００３５】
本実施例では、ランプ１０１は２つの電極を有し、該２つの電極間の距離をＡとするとき、受光部１０６で受光する光量が最大光量となるランプ１０１の位置から、該ランプ１０１を光軸方向にＡ/１０ずらしたとき、該受光部１０６で受光する光量が該最大光量の９５％以下になるように、好ましくは９２％以下となるように各部材を設定している。
【００３６】
又、反射ミラー１０２から反射された光束（例えば略平行光束）を所定位置Ｐに集光する、焦点距離ｆの集光レンズユニット１０３が、ランプ１０１と第２アパーチャ１０５との間に配置するとき、該第２アパーチャ１０５は、所定位置Ｐからランプ１０１の光軸方向に沿って（１／２）ｆ以下の範囲内に、配置している。
【００３７】
又、第２アパーチャ１０５は、所定位置Ｐよりも受光器１０６側に配置している。
【００３８】
次に本実施例の具体的な数値例を示す。
【００３９】
ランプ管の中心位置を反射ミラー１０２の根元側から６ｍｍ（ＬＯ＝６ｍｍ）の位置になるような調整を行うために調整光学系１０３〜１０５を次のように設定する。
【００４０】
本実施例ではランプ管の中心に対して、ランプ１０１の輝点は反射ミラー１０２の根元側方向０．３４ｍｍに位置する。反射ミラー１０２を放物形状、集光レンズ１０３の焦点距離f＝１５０ｍｍ、集光レンズ１０３の第二面から第一のアパーチャまでの距離Ｌ１を９０ｍｍ、第一のアパーチャ１０４の開口部１０４ａの径を１８．３ｍｍ、第一のアパーチャ１０４から第二のアパーチャ１０５までの距離Ｌ２を８０ｍｍ、第二のアパーチャ１０５の開口部１０５ａの径を４ｍｍ。この結果反射ミラー１０２から６ｍｍ付近で発光する光線は受光部１０６まで到達するが、その位置から離れた位置から発光された光は第一のアパーチャ１０４ないし第二のアパーチャ１０５で遮光される。
【００４１】
本実施例では反射ミラー１０２の根元から６ｍｍ付近の光線が受光部１０６に到達する調整光学系を組んだが、６ｍｍ位置から反射ミラー１０２の根元側ないし出側から発光された光線を受光部１０６に到達する調整光学系設計も可能である。
【００４２】
本実施例ではランプ管中心に対して、ランプ１０１の輝点１０１ａが反射ミラー根元側方向０．３４ｍｍに位置するが、ランプ１０１の輝点１０１ａが反射ミラー１０２に対してどの位置に存在してもランプ１０１の位置調整は可能である。
【００４３】
本実施例では放物形状の反射ミラー１０２を用いているが、楕円形状ミラーと凹レンズの組み合わせも可能である。また本実施例と同様な焦点位置Ｐに結像するような、反射ミラー１０２と複数のレンズの組み合わせも可能である。
【００４４】
本実施例ではアパーチャを集光レンズ１０３と受光部１０６の間に２つ設置したが、反射ミラー１０２と受光部１０６の間に３つ以上のアパーチャの設置でも可能である。また所定の位置から発光した光のみ受光部１０６に伝えるという作用を持てば1つのアパーチャでも可能である。
【００４５】
本実施例では円形の開口部より成るアパーチャを設置したが、開口部の形状は、楕円形状、矩形形状など様々な形状でも可能である。
【００４６】
尚、本実施例及び以下の実施例では、ランプを移動させる代わりに、反射部材（反射ミラー）１０２を移動させても良く、又、双方を移動させても良い。
【００４７】
図１２は、本発明の位置調整装置の実施例２の要部概略図である。
【００４８】
図１２において３０１はランプである。３０２は回転放物面鏡からなりランプ３０１から放射される光を所定の方向に反射される反射ミラー（リフレクター）、３０３は集光レンズ、３０４は第１のアパーチャ、３０５は第２のアパーチャ、３０６は第２のアパーチャ３０５の開口部３０５ａを通過した光を受光する受光部である。ランプ３０１の一方の首部は図１２に示すように反射ミラー３０２内で保持されている。位置微動調整機構３０７は直交する３つの方向に移動可能な移動機構より成るメカ機構を有し、ランプ３０１の位置を調整している。ランプ３０１のランプ固定金具がメカ的に固定されており反射ミラー３０２に対するランプ３０１の位置調整が出来るように構成されている。
【００４９】
本実施例は受光部３０６で得られる情報を信号として制御機構３０８に送り、制御機構３０８から位置微動調整機構３０７に設けてあるサーボ機構に信号を送りランプ３０１の位置調整の自動化を行っている。図１３に本実施例に係る位置調整を為のフローチャートを示す。
【００５０】
次に図１３のフローチャートの説明をする。
【００５１】
ステップ（１）位置微動調整機構３０７でランプ３０１をＸ方向に移動して受光部３０６が最も光を感知する位置で止める。位置微動調整機構３０７の方向は図１４に示すようにＸ、Ｙ、Ｚ方向である。
【００５２】
ステップ（２）位置微動調整機構３０７でランプ３０１をＹ方向に移動して受光部３０６が最も光を感知する位置で止める。
【００５３】
ステップ（３）位置微動調整機構３０７でランプ３０１をＺ方向に移動して受光部３０６が最も光を感知する位置で止める。
【００５４】
ステップ（４）再び位置微動調整機構３０７でランプ３０１をＸ方向に移動して受光部３０６が最も光を感知する位置で止める。
ステップ（５）再び位置微動調整機構３０７でランプ３０１をＹ方向に移動して受光部３０６が最も光を感知する位置で止める。
【００５５】
ステップ（６）位置微動調整機構３０７でランプ３０１をＺ方向に移動して受光部３０６が最も光を感知する位置で止める。
【００５６】
ステップ（６）´ステップ（４）（５）（６）で所定量以上動かした場合に再度ステップ（４）に戻る
ステップ（７）ランプ位置調整を終了して固着を行う
本実施例は位置調整の順序が違っていても精密な位置調整の自動化を行うことが可能である。
【００５７】
以上のように、本実施例では、移動機構３０７により、ランプ３０１を任意の方向に移動させたときの受光部３０６で得られる複数の信号を用いて、制御部３０８は、移動機構３０７を駆動制御して、ランプ３０１と反射部材３０２との相対的位置を調整している。
【００５８】
図１５は本発明の位置調整装置の実施例３の要部概略図である。
【００５９】
図１５において４０１はランプ（光源）である。４０２は回転放物面鏡からなりランプ４０１から放射される光を所定の方向に反射される反射ミラー(リフレクター)である。４０３は集光レンズ、４０４は第１のアパーチャ、４０５は第２のアパーチャである。４０６は第２のアパーチャ４０５の開口部４０５ａを通過した光を受光する受光部である。４０８は受光部４０６で得られたの情報を信号で受信する制御機構である。位置微動調整機構４０７には制御機構４０８から信号を受信し、その信号によってランプ４０１を移動させるサーボ機構が設けてある。
【００６０】
本実施例は、反射ミラー４０２の光軸方向ないしそれに垂直方向にランプ４０１を移動した時に見られる、受光部４０６で検出される明るさのデータを記憶する記憶手段４０９を持ち、記憶手段４０９からアーク長などのランプ情報を解析し、その解析結果に基づいてランプ４０１の位置調整をしている。例えば図１６に示す光量ピーク(９０１、９０２)が２つあるランプでは、その中央部９０３を反射ミラー４０２から所定の距離に調整している。
【００６１】
次に本実施例の調整フローチャートを図１７に示す。
【００６２】
次に図１７のフローチャートの説明をする。
【００６３】
ステップ（１）〜（６）´までは実施例２の図３に示したフローチャートと同様である。
【００６４】
ステップ（７）位置微動調整機構４０７でランプ４０１をＺ方向に走査して受光部４０６が感知した光量を記憶手段４０９に伝える。本実施例で使用しているランプ４０１は図１６に示す発光光量のピークが２つあるため、受光部４０６からは図１８に示すようなデータが記憶手段４０９に伝えられる。図１８中のピーク値８０１、８０２は図１６中の光量ピーク９０１、９０２に対応する。
【００６５】
ステップ（８）受光部４０６に伝わったデータからランプ４０１の解析を行い制御機構４０８に指示を行う。
【００６６】
本実施例ではピークの中心(図１６のピーク値９０３)を反射ミラー４０２から所定の距離に移動するよう指示を行う。
【００６７】
ステップ（９）制御機構４０８からサーボ機構に信号等を送りランプ４０１の位置合わせを行う。
【００６８】
ステップ（１０）位置調整を終了して固着を行う。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施例１の要部概略図
【図２】図１における反射ミラーにランプが固定した概略図
【図３】従来のランプ位置合わせに用いる光学系の説明図
【図４】ランプの説明図
【図５】ランプを保持する機構の説明図
【図６】図３における２次光源像分布の説明図
【図７】図３においてランプを反射ミラー回転中心軸方向に移動したときの２次光源像分布の挙動を示す説明図
【図８】従来のランプ位置調整装置の光学系の説明図
【図９】ランプの発光分布を示す説明図
【図１０】ランプの異なる位置から発光した光の反射ミラーでの反射後の光路説明図
【図１１】図１０において発光した位置によって、アパーチャで遮光される光、照度センサーまで到達する光に分かれる事を示す説明図
【図１２】本発明の位置調整装置の実施例２の要部概略図
【図１３】本発明の実施例２の位置自動調整のフローチャート
【図１４】ランプ位置合わせ自動化の際のＸ．Ｙ．Ｚ方向を示す説明図
【図１５】本発明の位置調整装置の実施例３の要部概略図
【図１６】交流電源用ランプの発光分布の説明図
【図１７】本発明の実施例３の位置自動調整のフローチャート
【図１８】２つのピークのあるランプを位置自動調整で検知した結果を示す説明図
【符号の説明】
【００７０】
１０１ランプ
１０２反射ミラー
１０３集光レンズ
１０４アパーチャ
１０５アパーチャ
１０６照度センサー
１０７位置微動調整機構
２０１輝点位置
３０１ランプ
３０２反射ミラー
３０３集光レンズ
３０４アパーチャ
３０５アパーチャ
３０６照度センサー
３０７位置微動調整機構
３０８制御機構
４０１ランプ
４０２反射ミラー
４０３集光レンズ
４０４アパーチャ
４０５アパーチャ
４０６照度センサー
４０７位置微動調整機構
４０８制御機構
４０９記憶機構
【図１】
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【図４】
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【図７】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１５】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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