(57)【要約】【課題】  清掃対象物を隅々まで清掃可能なローラ式清掃具を提供する。【解決手段】清掃具１００は、筒状の粘着面を有し、粘着面の少なくとも一方の端部に、粘着面を複数の短冊状粘着片１０２に分割する複数の切り込みが設けられた粘着ローラ１０１と、粘着ローラ１０１を中心軸周りに回転可能に支持する支柱部１０４、軸１０５および支柱連結部１０６と、支柱連結部１０６に接続されたにぎり手部１０７と、を有する。また、粘着ローラ１０１の中心軸方向の端部に短冊状粘着片１０２が位置している。【選択図】  図１
2006149905.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状の粘着面を有し、前記粘着面の少なくとも一方の端部に、前記粘着面を複数の粘着片に分割する複数の切り込みが設けられたローラと、
前記ローラを中心軸周りに回転可能に支持する支持部と、
前記支持部に接続された把持部と、
を有し、
前記ローラの前記中心軸方向の端部に、前記粘着片が位置していることを特徴とする清掃具。
【請求項２】
請求項１に記載の清掃具において、
前記ローラの一の端部が前記支持部により支持されており、
前記ローラの他の端部に前記粘着片が位置していることを特徴とする清掃具。
【請求項３】
請求項１に記載の清掃具において、
前記ローラの少なくとも一方の端部が前記支持部により支持されており、
前記支持部は、前記ローラの中心部を通り、前記中心軸方向に延在する軸部を含み、
前記ローラの、前記支持部が設けられた側の前記端部に、前記粘着片の端部が位置しており、
前記粘着片が、前記軸部の端部よりも前記ローラの外側に位置していることを特徴とする清掃具。
【請求項４】
請求項３に記載の清掃具において、
前記切り込みが前記ローラの両方の端部に設けられていることを特徴とする清掃具。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載の清掃具において、
前記ローラは、粘着シートが筒状に巻回されてなる粘着ロールを有し、
前記粘着面は、前記粘着シートの露出面であることを特徴とする清掃具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粘着ローラ式の清掃具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の粘着ローラ式の清掃具としては、特許文献１に記載のものがある。
図８は、特許文献１に記載の清掃具の構成を示す斜視図である。図８に示した清掃具２００は、概略、清掃部Ａ及び把持部Ｂから構成される。
【０００３】
清掃部Ａは、コア２０４を有する。コア２０４は、載置面２０４ａおよびシート載置部２０４ｂを有する。コア２０４には、切欠部２０１が設けられ、切欠部２０１に挟持片２０２がとりつけられている。また、挟持片２０２の背面２０２ｂ（前面２０２ａに対向する面）にくさび２０３が挿入される。切欠部２０１、挟持片２０２およびくさび２０３により係止部２０６が構成されている。
また、把持部Ｂは、支持部２０７と把持部材２０８により構成されている。
【０００４】
このような構成により、コア２０４に粘着シートを確実に固定し、回転させることができるとされている。
【特許文献１】特開平１１−４７０７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上述した特許文献１に記載の清掃具では、被清掃物を隅々まで確実に清掃するという観点で改善の余地があった。以下、図８に示した清掃具を用いた清掃方法を説明する。
【０００６】
図２は、清掃対象となる作業台１５０の設置面近傍の構成を示す斜視図である。作業台１５０には、設置面１０８の周縁部の近傍に落下止１０９が設けられている。設置面１０８のうち、落下止１０９の直下の領域を、以下、落下止直下領域１１０と呼ぶ。ここでは、図２に示した作業台１５０の設置面１０８を清掃する場合を例に説明する。
【０００７】
図８に示した清掃具を用いて作業台１５０の設置面１０８を清掃する際には、コア２０４に粘着シート等を固定した清掃部Ａを設置面１０８に当接させる。そして、作業者は、清掃具２００の把持部材２０８を手に持ち、清掃部Ａを、コア２０４の中心軸まわりに回転させるように転がして、設置面１０８上の塵埃を清掃部Ａの粘着面に付着させる。
【０００８】
以上の動作による設置面１０８の清掃について本発明者が検討したところ、作業台１５０の設置面１０８のうち、落下止直下領域１１０については、図８に示した清掃具２００を用いては清掃ができないことが明らかになった。この理由は、清掃具Ａに挿入された軸（支持部２０７）を落下止１０９に沿って移動させながら清掃する場合、支持部２０７が清掃部Ａの端面から突出しており、その突出部が、落下止１０９に当たるためである。また、清掃部Ａの、軸が突出していない面を落下止１０９にあてながら清掃するとしても、落下止直下領域１１０および落下止直下領域１１０よりも設置面１０８の周縁側の領域には清掃部Ａが到達しないため、清掃することができない。
【０００９】
特に、作業台１５０が半導体ウェハを収納したキャリアやボックスなどを一時的に保管する作業台である場合、ウェハへの塵埃付着を防止するため、設置面の定期的な清掃がなされることがある。ところが、従来型の粘着ローラ式の清掃具では、定期的に清掃を行ったとしても、たとえば、図２における落下止直下領域１１０のように、設置面の端部に清掃具２００が到達せず、端部が清掃できない場合がある。設置面の端部が清掃できない場合、その箇所に塵埃がたまり、キャリアなどを扱う人の動作によって発生する乱れた気流により塵埃が飛散して、ウェハに付着し、半導体装置の歩留まりが低下する懸念がなる。よって、半導体装置の歩留まりを向上させるためには、作業台設置面を隅々まで清掃可能な、従来にない構成の清掃具が必要となる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によれば、
筒状の粘着面を有し、前記粘着面の少なくとも一方の端部に、前記粘着面を複数の粘着片に分割する複数の切り込みが設けられたローラと、
前記ローラを中心軸周りに回転可能に支持する支持部と、
前記支持部に接続された把持部と、
を有し、
前記ローラの前記中心軸方向の端部に、前記粘着片が位置していることを特徴とする清掃具が提供される。
【００１１】
本発明の清掃具においては、ローラの中心軸方向の端部に、粘着片が位置している。このため、ローラの、粘着片が設けられている側の端部から、支持部が突出しないように構成されている。よって、清掃面に障害物が設けられている場合にも、ローラを中心軸まわりに回転させて清掃面を清掃する際に、障害物と清掃面との隙間に粘着片を挿入したり、障害物の表面に粘着片を接触させたりすることにより、塵芥を粘着片に付着させて除去することができる。したがって、簡素な構成で清掃面全体を確実に清掃可能な構成とすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明において、筒状の粘着面の少なくとも一方の端部に、粘着面を複数の粘着片に分割する複数の切り込みが設けられたローラを有し、ローラの中心軸方向の端部に粘着片が位置している構成とすることにより、清掃対象物を隅々まで清掃可能な構成とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様の構成要素には同じ符号を付し、適宜説明を省略する。なお、以下の実施形態においては、半導体ウェハまたはウェハ収納具が設置される作業台を清掃する場合を例に説明するが、以下の実施形態の構成は、こうした作業台以外を清掃する際の清掃具にも適用することができる。
【００１４】
（第一の実施形態）
本実施形態は、粘着ローラがその両端で支持されている構成のローラ式清掃具に関する。図１は、本実施形態に係る清掃具の構成を示す断面図である。
【００１５】
図１に示した清掃具１００は、筒状の粘着面および中空部１０３を有し、粘着面の少なくとも一方の端部に複数の切り込みが設けられたローラ（粘着ローラ１０１）と、粘着ローラ１０１を中心軸周りに回転可能に支持する支持部（軸１０５、支柱部１０４、および支柱連結部１０６）と、支柱連結部１０６に接続された把持部（にぎり手部１０７）と、を有する。
粘着ローラ１０１の少なくとも一方の端部が支柱部１０４〜支柱連結部１０６により支持されている。図１では、粘着ローラ１０１の両方の端部がこれらにより支持されている。
軸１０５は、粘着ローラ１０１の中心部を通り、その中心軸方向に延在している。支柱部１０４と軸１０５とは互いに垂直に配置されている。支柱部１０４は、これに垂直に配置された支柱連結部１０６に接続されている。
粘着ローラ１０１は端部において複数の切り込みにより複数の短冊状粘着片１０２に分割されており、短冊状粘着片１０２は粘着ローラ１０１の中心軸方向の端部に位置している。粘着面と短冊状粘着片１０２とは連続一体に形成されている。図１では、切り込みおよび短冊状粘着片１０２が粘着ローラ１０１の両方の端部に設けられている。また、切り込みは粘着ローラ１０１の中心軸に平行に設けられており、複数の短冊状粘着片１０２も中心軸方向を長手方向として、互いに平行に配置されている。
さらに具体的には、粘着ローラ１０１の、支柱部１０４〜支柱連結部１０６が設けられた側の端部に短冊状粘着片１０２の端部が位置しており、短冊状粘着片１０２が、軸１０５の端部よりも粘着ローラ１０１の外側に位置している。つまり、粘着ローラ１０１の端部に、粘着ローラ１０１の切り込み形成領域以外の領域の幅＋軸１０５の突出幅より長い幅まで短冊状粘着片１０２が設けられている。
粘着ローラ１０１は、たとえば粘着シートが筒状に巻回されてなる粘着ロールを有し、粘着面が粘着シートの露出面である構成とする。
また、図１に示したｘおよびｚは、短冊状粘着片１０２の長さであり、ｙは、支柱連結部１０６の下面と粘着ローラ１０１との距離（最短距離）である。図１では、ｘおよびｚが同じ長さである場合を例示しているが、これらの長さが異なる構成としてもよい。
【００１６】
次に、図１に示した清掃具１００を用いて図２に示した作業台１５０を清掃する方法を図３および図４を参照して説明する。図３は図１と同じ方向から見た図であり、図４は、図１のＡ−Ａ’断面に対応する図である。
【００１７】
作業台１５０の設置面１０８を清掃する際には、作業者はにぎり手部１０７を手で把持し、落下止１０９に沿って粘着ローラ１０１を押し当てて中心軸まわりに転がし、設置面１０８上の塵埃を粘着ローラ１０１に付着させてゆく。
【００１８】
このとき、支柱部１０４付近の短冊状粘着片１０２ａ、短冊状粘着片１０２ａａは、支柱部１０４の内側をくぐりながら反対方向に抜けてゆく。なお、清掃具１００では、支柱連結部１０６の下面と粘着ローラ１０１との距離ｙは、短冊状粘着片１０２の長さｘおよびｚよりも長いため、粘着ローラ１０１を回転させた際の短冊状粘着片１０２の支柱連結部１０６への引っかかりが抑制され、支持部１０４付近の短冊状粘着片１０２の移動がさらにスムーズに行われる。また、落下止１０９の直上の短冊状粘着片１０２ｂは、粘着ローラ１０１の回転に伴い、落下止１０９の側面をなでるようにして落下止１０９の直下に配置される。
【００１９】
このような短冊状粘着片１０２の動作によって、粘着ローラ１０１をスムーズに動作させることができる。また、落下止１０９の下方の空間に短冊状粘着片１０２ｃが挿入されるので、落下止直下領域１１０に短冊状粘着片１０２が次々と接触してゆき、落下止直下領域１１０上の塵埃が短冊状粘着片１０２に付着し、落下止直下領域１１０から除去される。以上の動作により、落下止１０９の表面および設置面１０８の落下止直下領域１１０よりも周縁側の領域を清掃することができる。
【００２０】
次に、清掃具１００の効果を説明する。
清掃具１００においては、粘着ローラの端部に、突出する支持部より外の方向に向けて、短冊状粘着片が箒状に設けられている。このため、図２に示した作業台１５０のように、設置面１０８に障害物（落下止１０９）が設けられている場合にも、簡素な構成で設置面１０８の隅々まで確実に清掃することができる。また、作業台１５０のように、粘着ローラ１０１の直径よりも低い落下止１０９を有する場合、落下止１０９の表面、落下止直下領域１１０、さらに落下止直下領域１１０よりも設置面１０８の周縁側の領域についても、短冊状粘着片１０２を接触させて、塵芥を確実に除去することができる。
【００２１】
また、清掃具１００では、軸１０５の端部よりも短冊状粘着片１０２が粘着ローラ１０１の外側に位置しており、粘着ローラ１０１の短冊状粘着片１０２が設けられている側の端部から、軸１０５が突出しないように構成されている。このため、従来技術の項で述べた清掃具（図８）のように、短冊状粘着片１０２を有しない清掃具の粘着ローラの長さより長い面にわたって清掃することができる。さらに具体的には、少なくとも軸１０５よりも低い障害物が設けられている際に、軸１０５の突出部が当たって清掃できなかった領域を清掃することができる。この効果は、図１に示した清掃具１００のように、短冊状粘着片１０２が軸１０５に加えて支柱部１０４よりも粘着ローラ１０１の外側に位置している場合、つまり、粘着ローラ１０１の中心軸方向について、短冊状粘着片１０２の内側の端部からの支柱部１０４および軸１０５の突出部の長さよりもｘおよびｚが大きい場合に顕著に発揮される。
【００２２】
また、清掃具１００においては、支柱部１０４〜支柱連結部１０６より構成されるコの字状の形状の支持部材によって粘着ローラ１０１が支持されており、コの字の先端が粘着ローラ１０１の中空部１０３中に挿入されている。このため、粘着ローラ１０１をさらに安定的に支持するとともに、粘着ローラ１０１の円筒面を円滑に回転動作させることができる。
【００２３】
清掃具１００は、落下止の障害物が設けられた作業台についても隅々まで確実に清掃することが可能であるため、たとえば半導体装置の製造ラインのように、高水準の清浄度が要求される領域に好適に用いることができる。さらに具体的には、半導体ウェハまたはその収容物が設置される作業台等の清掃に用いることができる。
【００２４】
なお、図１では、粘着ローラ１０１の両側に別々の軸１０５が挿入されている構成を例示したが、中空部１０３中を一本の軸１０５が挿通しており、その両端に支柱部１０４が接続されている構成とすることもできる。
【００２５】
以下の実施形態においては、第一の実施形態と異なる点を中心に説明する。
（第二の実施形態）
第一の実施形態に示した清掃具１００（図１）では、粘着ローラ１０１の中空部１０３に両側から軸１０５が挿入され、軸１０５に接続された支柱部１０４および支柱連結部１０６によって支持されていたが、粘着ローラ１０１がその片側で支持された構成とすることもできる。
【００２６】
図５は、本実施形態の清掃具の構成を示す断面図である。図５は、図１と同じ方向から見た図である。図５に示した清掃具１２０の基本構成には、図１に示した清掃具１００の構成を適用することができるが、図５に示した清掃具１２０においては、中空部１０３中に、中空部１０３のほぼ全体にわたって延在する軸１１３が挿入されており、軸１１３の一方の端部に支柱部１１２が接続されている点が異なる。
支柱部１１２と軸１１３とは垂直に配置されている。支柱部１１２は、これに垂直に配置された支柱連結部１１１に接続されている。
また、第一の実施形態においては、支柱連結部１０６が粘着ローラ１０１の長さ方向全体にわたって設けられていたのに対し、本実施形態では、支柱連結部１１１が粘着ローラ１０１の長さの約半分程度の長さとなっており、その端部でにぎり手部１０７に接続されている。
【００２７】
清掃具１２０においても、粘着ローラ１０１の両側に切り込みが設けられ、複数の短冊状粘着片１０２に分割されている。また、清掃具１２０においても、ｘおよびｚは、粘着ローラ１０１の中心軸方向の短冊状粘着片１０２の長さを示し、ｙは支柱連結部１１１の下面と粘着ローラ１０１との距離（最短距離）を示している。
【００２８】
次に、図５に示した清掃具１２０を用いて図２に示した作業台１５０を清掃する方法を図６を参照して説明する。図６は、図５と同じ方向から見た図である。本実施形態においても、作業台１５０を清掃する際には、作業者はにぎり手部１０７を手で把持し、落下止１０９に沿って粘着ローラ１０１を押して軸１１３周りに転がし、設置面１０８上の塵芥を粘着ローラ１０１に付着させてゆく。
【００２９】
このとき、支柱部１１２付近の短冊状粘着片１０２ａａは、支柱部１１２の内側をくぐりながら反対方向に抜けていく。なお、図５および図６に示した清掃具では、支柱連結部１１１の下面と粘着ローラ１０１との距離ｙは、短冊状粘着片１０２の長さｘおよびｚより長くなっている。このため、支持部１１２付近で短冊状粘着片１０２がひっかかることなく、回転動作がさらにスムーズに行われる。また、落下止１０９の直上の短冊状粘着片１０２ｄは、粘着ローラ１０１の回転に伴い、落下止１０９の側面をなでるようにして落下止１０９の直下に配置される。
【００３０】
このような短冊状粘着片１０２の動作によって、粘着ローラ１０１をスムーズに動作させることができる。また、落下止１０９の下方の空間に短冊状粘着片１０２ｅが挿入されるので、落下止直下領域１１０に短冊状粘着片１０２が次々と接触してゆき、落下止直下領域１１０上の塵埃が短冊状粘着片１０２に付着し、落下止直下領域１１０から除去される。以上の動作により、落下止直下領域１１０を清掃することができる。
【００３１】
本実施形態の清掃具１２０においても、第一の実施形態と同様の効果が得られる。さらに、清掃具１２０では、粘着ローラ１０１の一方の端部側では軸１１３が突出しておらず、また支柱部１１２により支持されていないため、清掃の際に、落下止１０９側に軸１１３の突出部が位置しないようにすることができる。そして、支柱部１１２が設けられていない側の粘着ローラ１０１の端部を用いて落下止１０９の近傍を清掃することにより、落下止１０９と軸１１３または支柱部１１２とを接触させない状態で清掃することができるため、落下止１０９と突出部との擦れによる新たな塵埃の発生を防止できる。よって、作業台１５０の設置面１０８および落下止１０９の表面全体をより一層確実に清掃することができる。
【００３２】
（第三の実施形態）
以上の実施形態においては、粘着ローラ１０１の両側に切り込みおよび短冊状粘着片１０２が設けられている構成を例に説明したが、短冊状粘着片１０２は、粘着ローラ１０１の少なくとも一方の端部に設けられていればよい。また、以上においては、にぎり手部１０７が粘着ローラ１０１の円筒面の側方に配置されている構成を例に説明したが、にぎり手部１０７が粘着ローラ１０１の端面の側方に配置されていてもよい。
【００３３】
図７は、本実施形態の清掃具の構成を示す断面図である。図７は、図１および図５と同じ方向から見た図である。
図７に示した清掃具は、粘着ローラ１０１の一の端部が軸１１３により支持されており、粘着ローラ１０１の他の端部に短冊状粘着片１０２が位置している。
【００３４】
さらに具体的には、図７に示した清掃具の基本構成としては、第二の実施形態に記載の清掃具１２０の構成を適用することができる。図７では、図５における支柱部１１２および支柱連結部１１１が設けられておらず、軸１１３が中空部１０３から粘着ローラ１０１の外部にわたって延在し、軸１１３の端部ににぎり手部１０７が接続された構成となっている。
【００３５】
図７に示した清掃具においても、以上の実施形態と同様の効果が得られる。また、図７に示した構成とすることにより、清掃具全体の構成をより一層簡素化することができる。
【００３６】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。 
【００３７】
たとえば、以上の実施形態では、コの字状または一直線状の支持部材により粘着ローラ１０１が支持されている構成を例示したが、粘着ローラ１０１を中心軸まわりに回転可能に支持することができれば、支持部材の形状はこれらには限られない。
【００３８】
また、以上の実施形態では、粘着ローラ１０１の端部に、その中心軸に平行な複数の切り込みが設けられている構成を例示したが、切り込みの形状や形成方向は、他の態様とすることもできる。たとえば、互いに平行で粘着ローラ１０１の中心軸に対して斜めの方向に切り込みを設けてもよい。また、粘着ローラ１０１の端部に、切り込みにかえて、粘着ローラ１０１の端部を複数の短冊状粘着片１０２に分割する切欠部を設けてもよい。以上の実施形態で示した切り込みを有する構成とすることにより、短冊状粘着片１０２全体の面積を増加させることができるので、より一層効果的に清掃を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施形態に係る清掃具の構成を示す断面図である。
【図２】作業台の設置面近傍の構成を示す斜視図である。
【図３】図１の清掃具を用いた清掃動作を説明する図である。
【図４】図１の清掃具を用いた清掃動作を説明する図である。
【図５】本実施形態に係る清掃具の構成を示す断面図である。
【図６】図５の清掃具を用いた清掃動作を説明する図である。
【図７】本実施形態に係る清掃具の構成を示す断面図である。
【図８】従来の清掃具の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４０】
１００  清掃具
１０１  粘着ローラ
１０２  短冊状粘着片
１０２ａ  短冊状粘着片
１０２ａａ  短冊状粘着片
１０２ｂ  短冊状粘着片
１０２ｃ  短冊状粘着片
１０２ｄ  短冊状粘着片
１０２ｅ  短冊状粘着片
１０３  中空部
１０４  支柱部
１０５  軸
１０６  支柱連結部
１０７  にぎり手部
１０８  設置面
１０９  落下止
１１０  落下止直下領域
１１１  支柱連結部
１１２  支柱部
１１３  軸
１２０  清掃具
１５０  作業台
【図１】
2006149905.tif 000003
【図２】
2006149905.tif 000004
【図３】
2006149905.tif 000005
【図４】
2006149905.tif 000006
【図５】
2006149905.tif 000007
【図６】
2006149905.tif 000008
【図７】
2006149905.tif 000009
【図８】
2006149905.tif 000010