(57)【要約】【課題】高いＢＥＴ表面積と狭い粒度分布を有する均一な粉末を得ることができ、そしてｋｇ／ｈの範囲の量で製造するのに適した金属酸化物粉末の製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも２０ｍ２／ｇのＢＥＴ表面積を有する金属酸化物粉末を、エーロゾルと酸素とを反応空間中で７００℃より高い反応温度で反応させ、引き続き、得られた粉末を気体状物質から分離することによって製造する方法において、少なくとも１種の出発材料を、それ自体の液体形で又は溶液で、かつ少なくとも１種の噴霧用ガスを、多成分ノズルを用いて噴霧させることによってエーロゾルを生成させ、容量に対するエーロゾルの平均滴径Ｄ３０が３０〜１００μｍであり、かつ１００μｍより大きいエーロゾル小滴の数が全滴数に対して１０％以下であるようにする。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２０ｍ２／ｇのＢＥＴ表面積を有する金属酸化物粉末を、エーロゾルと酸素とを反応空間中で７００℃より高い反応温度で反応させ、引き続き、得られた粉末を気体状物質から分離することによって製造する方法において、
−  少なくとも１種の出発材料を、それ自体の液体形で又は溶液で、かつ少なくとも１種の噴霧用ガスを、多成分ノズルを用いて噴霧させることによってエーロゾルを生成させること、
−  容量に対するエーロゾルの平均滴径Ｄ３０が３０〜１００μｍであること、及び
−  １００μｍより大きいエーロゾル小滴の数が全滴数に対して１０％以下であること
を特徴とする方法。
【請求項２】
小滴の全数に対して、１００μｍより大きい小滴の数が３％〜８％である、請求項１記載の方法。
【請求項３】
２５０μｍより大きい小滴の割合が、＞１００μｍの小滴の数に対して１０％以下である、請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】
容量に対する平均滴径Ｄ３０［μｍ］がエーロゾルの噴霧幅［ｍｍ］に対して以下：
噴霧幅            Ｄ３０
０            １０〜３０
±２０            ２０〜４０
±４０            ３０〜６０
±６０            ５０〜８０
±８０            ８０〜１２０
の依存関係を有する、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
出発材料を含有する溶液の流量が１．５〜２０００ｋｇ／ｈである、請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
溶液中の出発材料の金属含量が２〜４０質量％である、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
出発材料の金属成分が、Ａｌ、Ｃｅ、Ｆｅ、Ｍｇ、Ｉｎ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｙ、Ｚｎ及び／又はＺｒである、請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
出発材料が有機金属化合物である、請求項１から７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
出発材料が有機溶剤中に溶解されている、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
溶液が溶剤として、炭素原子２〜１２個を有する少なくとも１種のカルボン酸を含有する、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
溶液中の炭素原子２〜１２個を有するカルボン酸の含量が６０質量％未満である、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
噴霧用ガスが空気である、請求項１から１１までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１３】
出発材料の溶液の流量／噴霧用ガス量の比率が２〜２５ｋｇ／Ｎｍ３である、請求項１から１２までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１４】
多成分ノズルが、３成分ノズル又は４成分ノズルである、請求項１から１３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１５】
３成分ノズル又は４成分ノズルによって、噴霧用ガスの他に、２種もしくは３種の別個の溶液であって、
−  同一又は異なる出発材料を、
−  同一又は異なる溶剤中に
−  同一又は異なる濃度で
含有する溶液を噴霧する、請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
反応温度が、水素含有燃焼ガスと酸素及び／又は空気との反応により生ずる火炎によって得られる、請求項１から１５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１７】
付加的な二次空気を反応空間中に導入する、請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
λが≧１．５であり、その際、λは、それぞれモル／ｈで、空気並びに場合により噴霧用空気の酸素割合の合計と出発材料並びに水素含有燃焼ガスの合計との商である、請求項１６又は１７記載の方法。
【請求項１９】
請求項１から１８までのいずれか１項記載の方法によって得られる金属酸化物粉末。
【請求項２０】
一次粒子の凝集体の形で主に存在し、かつ該凝集体がセノスフェア構造を有さない、請求項１９記載の金属酸化物粉末。
【請求項２１】
ＢＥＴ表面積が２０〜２００ｍ２／ｇである、請求項１９又は２０記載の金属酸化物粉末。
【請求項２２】
平均一次粒子径が５〜３０ｎｍであり、平均凝集体径が２０〜２００ｎｍである、請求項２０又は２１記載の金属酸化物粉末。
【請求項２３】
＞４５μｍの粗粒の割合が１００ｐｐｍ未満である、請求項２０又は２２記載の金属酸化物粉末。
【請求項２４】
炭素の含量が０．１５質量％未満であり、かつ塩化物、ナトリウム及びカリウムの含量が３００ｐｐｍ未満である、請求項２０から２３までのいずれか１項記載の金属酸化物粉末。
【請求項２５】
ＢＥＴ表面積３０〜９０ｍ２／ｇを有する酸化セリウム粉末である、請求項２０から２４までのいずれか１項記載の金属酸化物粉末。
【請求項２６】
ｐＨ値９〜１１で等電点を有する酸化セリウム粉末である、請求項２０から２５までのいずれか１項記載の金属酸化物粉末。
【請求項２７】
分散液の製造のための、ガラス表面及び金属表面の研磨のための、触媒としての及び触媒担体としての、請求項１９から２５までのいずれか１項記載の金属酸化物粉末の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、噴霧熱分解法による金属酸化物粉末の製造方法に関する。更に本発明は前記方法によって得られた金属酸化物粉末及びその使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＥＰ−Ａ−１１４２８３０号から、有機溶剤中に溶解された有機前駆物質からなるエーロゾルの燃焼によって金属酸化物粉末を得ることは公知である。この場合に、エーロゾルは平均滴径＜１〜５００μｍを有してよい。こうして製造された金属酸化物粉末は、ＢＥＴ表面積１〜６００ｍ２／ｇを有する。しかしながら、該金属酸化物粉末はしばしば広範な一次粒度分布を有するということが欠点である。更に、実施例が示されているものの、そこでは少量の生成物しか得ることができず、これをより多量に転用することができない。
【０００３】
ＷＯ２００４／００５１８４号Ａ１では、溶液から小滴を生成し、これを火炎中で酸化させる金属酸化物の製造方法が特許請求されている。該溶液は、少なくとも１種の出発材料と、溶液全体に対して少なくとも６０％のカルボン酸を溶剤として含有している。平均滴径は０．１〜１００μｍであるが、より小さい小滴が好ましい。この方法での欠点は、より多量の製造には不適であることである。
【０００４】
ＷＯ０１／３６３３２号Ａ１から、酸化セリウムの製造方法が知られている。この方法は、酸化セリウム前駆物質のエーロゾルを７００〜１１００Ｋの高温帯域で燃焼させることを必要とし、その際、エーロゾルの滴径は１００μｍ未満でなければならない。該出願の詳細な説明からは、滴径の影響は明らかにされておらず、実施例においても滴径の値は挙げられていない。更に、この方法では種々の寸法の不均一な酸化セリウム粒子が得られる。
【特許文献１】ＥＰ−Ａ−１１４２８３０号
【特許文献２】ＷＯ２００４／００５１８４号Ａ１
【特許文献３】ＷＯ０１／３６３３２号Ａ１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の課題は、高いＢＥＴ表面積と狭い粒度分布を有する均一な粉末を得ることができ、そしてｋｇ／ｈの範囲の量で製造するのに適した金属酸化物粉末の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の対象は、少なくとも２０ｍ２／ｇのＢＥＴ表面積を有する金属酸化物粉末を、エーロゾルと酸素とを反応空間中で７００℃より高い反応温度で反応させ、引き続き、得られた粉末を気体状物質から分離することによって製造する方法において、
−  少なくとも１種の出発材料を、それ自体の液体形で又は溶液で、かつ少なくとも１種の噴霧用ガス（Zerstaeubungsgas）を多成分ノズルを用いて噴霧させることによってエーロゾルを生成させること、
−  容量に対するエーロゾルの平均滴径Ｄ３０が３０〜１００μｍであること、及び
−  １００μｍより大きいエーロゾル小滴の数が全滴数に対して１０％以下であること
を特徴とする方法である。
【０００７】
本発明の範囲での金属酸化物粉末は、混合金属酸化物粉末及びドープされた金属酸化物粉末をも含む。
【０００８】
混合金属酸化物粉末とは、混合酸化物成分を一次粒子又は凝集体のレベルで均質混合したと解される粉末と解されるべきである。この場合に、一次粒子は酸素を介して結合されたＭ１−Ｏ−Ｍ２−結合の形の金属成分を示してよい。その他に、個々の酸化物Ｍ１Ｏ、Ｍ２Ｏ、Ｍ３Ｏ、…の領域が一次粒子中に存在してよい。
【０００９】
ドープされた金属酸化物粉末とは、ドープ成分が主に又は専ら金属酸化物格子の格子点に位置すると解されるべきである。ドープ成分は、この場合に、金属形又は酸化物形で存在してよい。ドープされた金属酸化物粉末のための例は、インジウム−スズ酸化物であって、酸化インジウムの格子中の複数の点をスズ原子が占めているものである。
【００１０】
容量に対する平均滴径Ｄ３０は：
【００１１】
【数１】
2006213591.tif 000002
に従って計算される。
【００１２】
出発材料とは、反応条件下に金属酸化物に変換される金属化合物を表す。ドープされた金属酸化物の場合には、ドープ成分の出発材料を金属成分に変換することができる。
【００１３】
本発明による方法では、容量に対する平均滴径Ｄ３０が３０〜１００μｍであり、かつ同時に１０％以下の小滴が完全に１００μｍより大きければ、高表面積を有する金属酸化物粉末を製造することが可能であると判明した。それによって、粉末のＢＥＴ表面積の目立った低下を受けずに、溶液の流量を先行技術に対して高めることができる。本発明による方法により得られる粉末のＢＥＴ表面積は、少なくとも２０ｍ２／ｇ、有利には２０〜２００ｍ２／ｇである。
【００１４】
絶対滴径の測定は、二相ドップラ流速計（dualen Phasen-Doppler-Anemometrie）の原理に従って５Ｗのアルゴンイオン連続波レーザを用いて実施する。
【００１５】
有利な実施態様では、小滴の全数に対する１００μｍより大きい小滴の数は３％〜８％であってよい。
【００１６】
更に、２５０μｍより大きい小滴の割合が＞１００μｍの小滴の数に対して１０％以下である場合に好ましいことがある。
【００１７】
特に、容量に対する平均滴径Ｄ３０がエーロゾルの噴霧幅に対して以下の依存関係を有する実施態様が好ましいことがある：
噴霧幅［ｍｍ］        Ｄ３０［μｍ］
０            １０〜３０
±２０            ２０〜４０
±４０            ３０〜６０
±６０            ５０〜８０
±８０            ８０〜１２０
出発材料を含有する溶液の流量は、有利には１．５〜２０００ｋｇ／ｈ、特に有利には１００〜５００ｋｇ／ｈであってよい。
【００１８】
この場合に、溶液中の出発材料の含量は２〜６０質量％、有利には５〜４０質量％であってよい。
【００１９】
出発材料の金属成分は、有利には、Ａｌ、Ｃｅ、Ｆｅ、Ｍｇ、Ｉｎ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｙ、Ｚｎ及び／又はＺｒであってよい。本発明の範囲では、二酸化ケイ素は金属酸化物と見なされるべきである。Ａｌ、Ｃｅ又はＺｎを含有する出発材料が好ましいことがある。
【００２０】
種々の金属成分を有する出発材料を使用する場合に、混合金属酸化物粉末が得られる。この場合に、規定の出発材料の割合に、従って混合金属酸化物粉末中の相応の金属酸化物成分の割合に制限はない。
【００２１】
出発材料は、有機金属的性質及び／又は無機的性質であってよく、その際、有機金属化合物が好ましいことがある。無機の出発材料の例は、特に金属塩化物及び金属硝酸塩であってよい。有機金属化合物としては、特に金属アルコレート及び／又は金属カルボン酸塩を使用してよい。アルコレートとしては、有利にはエチレート、ｎ−プロピレート、イソプロピレート、ｎ−ブチレート及び／又はｔ−ブチレートを使用してよい。カルボン酸塩としては、酢酸、プロピオン酸、ブタン酸、ヘキサン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、オクタン酸、２−エチル−ヘキサン酸、吉草酸、カプリン酸及び／又はラウリン酸の基礎となる化合物を使用してよい。特に有利には２−エチルヘキサン酸塩及び／又はラウリン酸塩を使用してよい。
【００２２】
無機出発化合物は、有利には水中に溶解されて、有機金属出発材料は、有利には有機溶剤中に溶解されて存在してよい。
【００２３】
有機溶剤もしくは有機溶剤混合物の成分としては、有利にはアルコール、例えばメタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール又はｔ−ブタノール、ジオール、例えばエタンジオール、ペンタンジオール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、ジアルキルエーテル、例えばジエチルエーテル、ｔ−ブチルメチルエーテル又はテトラヒドロフラン、Ｃ１〜Ｃ１２−カルボン酸、例えば酢酸、プロピオン酸、ブタン酸、ヘキサン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、オクタン酸、２−エチルヘキサン酸、吉草酸、カプリン酸、ラウリン酸であってよい。更に酢酸エチルエステル、ベンゼン、トルエン、ナフサ及び／又はベンジンであってよい。有利には、Ｃ２〜Ｃ１２−カルボン酸、特に２−エチルヘキサン酸及び／又はラウリン酸を含有する溶液を使用してよい。
【００２４】
有利には、溶液中のＣ２〜Ｃ１２−カルボン酸の含量は、溶液の全量に対して、６０質量％未満、特に有利には４０質量％未満である。
【００２５】
特に有利な実施態様では、出発材料の溶液は、同時にカルボン酸塩及びその基礎となるカルボン酸及び／又はアルコレート及びその基礎となるアルコールを含有する。特に出発材料として、２−エチルヘキサン酸を含有する溶剤混合物中で２−エチルヘキサン酸塩を使用してよい。
【００２６】
噴霧用ガスとしては、本発明による方法では、反応性ガス、例えば空気、酸素富化された空気及び／又は不活性ガス、例えば窒素を使用してよい。一般に空気が噴霧用ガスとして使用される。
【００２７】
噴霧用ガスの量については、本発明による方法では、出発材料の溶液の流量／噴霧用ガス量の比が、有利には２〜２５ｋｇ／Ｎｍ３、特に有利には５〜１０ｋｇ／Ｎｍ３である。
【００２８】
多成分ノズルとしては、本発明による方法のためには、特に３成分ノズル又は４成分ノズルが適している。
【００２９】
３成分ノズル又は４成分ノズルを使用する場合には、噴霧用ガスの他に、２種もしくは３種の別個の溶液であって、
−  同一又は異なる出発材料を、
−  同一又は異なる溶剤中に
−  同一又は異なる濃度で
含有する溶液を噴霧することができる。
【００３０】
こうして、例えば異なる濃度の出発材料を有する２種の溶液を同時に同一の溶剤又は溶剤混合物で噴霧することができる。それによって、エーロゾル小滴は種々の寸法で得られる。
【００３１】
更に、例えば噴霧用ガスを２つのノズルを介して供給できるか、又は異なる噴霧用ガス、例えば空気又は水蒸気を使用できる。
【００３２】
異なる出発材料の別個の溶液を、混合酸化物粉末の製造のために使用できる。
【００３３】
本発明による方法で必要な７００℃より高い反応温度は、有利には水素含有燃焼ガスと場合により酸素富化された（一次）空気との反応により生ずる火炎によって得ることができる。好適な燃焼ガスは、水素、メタン、エタン、プロパン、ブタン及び／又は天然ガスであってよく、その際、水素が特に好ましい。反応温度は、火炎の０．５ｍ下方に生ずる温度として定義される。
【００３４】
更に、付加的な二次空気を反応空間に導入する場合に好ましいことがある。一般に、二次空気の量は、二次空気と一次空気との比が０．１〜１０であるようにする。
【００３５】
λが１．５以上である場合に特に好ましく、その際、λは、それぞれモル／ｈで、使用される空気（一次空気、二次空気及び噴霧用空気）中の酸素含量の合計を出発材料と水素含有燃焼ガスとの合計によって除算した商である。殊に有利には２＜λ＜５であってよい。
【００３６】
反応混合物からの粉末の分離前に、一般に冷却工程がある。この工程は、直接的に、例えば急冷ガスによって、又は間接的に、例えば外部冷却によって実現できる。
【００３７】
本発明の更なる対象は、本発明による方法により得られる金属酸化物粉末である。この場合に、金属酸化物粉末は、出発材料及び／又は方法に左右される不純物を含有してよい。アニーリングされた金属酸化物粉末の純度は、少なくとも９８質量％、一般に少なくとも９９質量％である。少なくとも９９．８質量％の含量が特に有利なことがある。
【００３８】
一般に、金属酸化物粉末は、主に又は専ら、一次粒子の凝集体の形で存在し、その際、凝集体はセノスフェア構造を有する。本発明の範囲でのセノスフェア構造とは、０．１〜２０μｍの寸法を有し、壁厚０．１〜２μｍを有するほぼ中空球状であることを意味する。主にとは、ＴＥＭ像が１０％以下の割合で個別の凝集していない粒子を示すことを表す。
【００３９】
金属酸化物粉末は、有利には３０〜２００ｍ２／ｇのＢＥＴ表面積を有してよい。
【００４０】
本発明による金属酸化物粉末における＞４５μｍの粗粒の含量は、有利には１００ｐｐｍ未満、特に有利には５０ｐｐｍ未満である。
【００４１】
本発明による金属酸化物粉末は、有利には、０．１５質量％未満の炭素含量を有し、そして３００ｐｐｍ未満の塩化物、ナトリウム及びカリウムの含量を有する。
【００４２】
本発明による金属酸化物粉末は、有利には３０〜９０ｍ２／ｇのＢＥＴ表面積を有する酸化セリウム粉末であってよい。
【００４３】
更に、本発明による金属酸化物粉末は、ｐＨ値９〜１１に等電点が存在する酸化セリウム粉末であってよい。
【００４４】
本発明による酸化セリウム粉末は、２時間の時間にわたって温度９００℃で空気にさらすと、３５ｍ２／ｇ以下のＢＥＴ表面積を有することがある。
【００４５】
酸化セリウム粉末の平均一次粒子径は、有利には５〜２０ｎｍ、特に有利には８〜１４ｎｍであってよい。
【００４６】
酸化セリウムの平均凝集体径は２０〜１００ｎｍ、特に有利には３０〜７０ｎｍであってよい。
【００４７】
本発明の更なる対象は、分散液の製造のため、ガラス表面及び金属表面の研磨のため、触媒として及び触媒担体としての、本発明による金属酸化物粉末の使用である。
【実施例】
【００４８】
比表面積は、ＤＩＮ６６１３１に従って測定する。
【００４９】
ＴＥＭ像は、日立社製のＨ−７５０００−２型のＴＥＭ機器を用いて得られる。ＴＥＭ機器のＣＣＤカメラを用いて、引き続きの画像分析によって、それぞれ約２０００個の凝集体を一次粒子径と凝集体径に関して評価する。これらの粉末はこのために、イソプロパノール／水中に分散させる（１分間、超音波プロセッサＵＰ１００Ｈ、Dr. Hielscher GmbH社、１００Ｗ）。
【００５０】
４５μｍより大きい粒子の含量は、ＤＩＮ ＥＮ ＩＳＯ７８７のパート１８に従って測定する。
【００５１】
ゼータ電位は、ｐＨ範囲３〜１２で動電音響増幅（ＥＳＡ）を用いて測定する。このために、１％の酸化セリウムを含有する懸濁液を製造する。分散は、超音波棒（４００Ｗ）を用いて実施する。懸濁液をマグネットスターラで撹拌し、そして蠕動ポンプを介してＭａｔｅｃ社製のＥＳＡ−８０００機器のＰＰＬ−８０センサを通じて圧送する。出発ｐＨ値から開始して、５モラーのＮａＯＨを用いた電位差滴定をｐＨ１２まで行う。ｐＨ４までの逆滴定は５モラーのＨＮＯ３で実施する。その評価は、ヴァージョンｐｃａｖａ５．９４の機器ソフトウェアで実施する。
【００５２】
【数２】
2006213591.tif 000003
【００５３】
平均粒径は、動的光散乱によって測定する（Ｈｏｒｉｂａ ＬＢ５００）。
【００５４】
出発材料
溶液Ａ：４２質量％のエチルヘキサン酸セリウム（ＩＩＩ）、２５質量％の２−エチルヘキサン酸、４質量％の２−メチル−２，４−ペンタンジオール、ナフサ２９質量％
溶液Ｂ：３０質量％の酢酸セリウム（ＩＩＩ）水和物、５０質量％の酢酸、２０質量％のラウリン酸
溶液Ｃ：２４．４質量％のエチルヘキサン酸ジルコニウム（ＩＩＩ）、０．３０質量％のエチルヘキサン酸ハフニウム（ＩＩＩ）、３９．６質量％の２−エチルヘキサン酸、３．５質量％の２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール、３２．２質量％の石油ベンジン
実施例１：
部分流Ｉ：２００ｋｇ／ｈの溶液Ａ、ＩＩ：５０ｋｇ／ｈの溶液Ａ及びＩＩＩ：１７．３Ｎｍ３の噴霧用空気から、３成分ノズル（Ｓｃｈｌｉｃｋ社、モデル０／４Ｓ４１）によってエーロゾルを生成させ、これを反応空間に噴霧する。その反応空間で、水素（４０Ｎｍ３／ｈ）及び一次空気（１８００Ｎｍ３／ｈ）から酸水素炎を燃やし、そこでエーロゾルを反応させる。付加的に二次空気（３２００Ｎｍ３／ｈ）を反応空間に導入する。冷却後に、酸化セリウム粉末をフィルタ上で気体状物質から分離する。反応空間中の反応混合物の滞留時間は、０．９秒である。火炎の０．５ｍ下方の温度は１１００℃である。
【００５５】
実施例２〜４は、実施例１と同様に実施する。この場合に、部分流ＩとＩＩは同じままであるが、部分流ＩＩＩは流量及び圧力を高める。
【００５６】
実施例５は実施例１と同様に実施されるが、溶液Ａの代わりに部分流ＩＩについて溶液Ｂを使用する。
【００５７】
実施例６は実施例１と同様に実施されるが、溶液Ａの代わりに溶液Ｃを使用する。
【００５８】
実施例７は実施例１と同様に実施されるが、その際、部分流Ｉは溶液Ａからなり、部分流ＩＩは溶液Ｃからなる。
【００５９】
第１表は、エーロゾル生成に必須のパラメータを示し、第２表は火炎に必須のパラメータを示している。
【００６０】
第３表は、得られた粉末の分析値を示している。
【００６１】
第４表は、実施例１〜４の＞１００μｍの小滴の全ての小滴分布を割合で示している。
【００６２】
図１は、ｍ２／ｇでのＢＥＴ表面積（ａ）及び＞４５μｍの粒子（ｂ）が＞１００μｍの小滴の割合に対して依存関係があることを示している。図１は＞１００μｍの小滴の割合がＢＥＴ表面積と＞４５μｍの粗粒とに対して関連があることを示している。本発明による方法は、高いＢＥＴ表面積及び低い粗粒割合を有する多量の金属酸化物粉末の製造を可能にし、その際、ＢＥＴ表面積と粗粒割合は＞１００μｍの小滴の割合によって調整できる。
【００６３】
図２は、実施例１〜４からの粉末のＤ３０滴径［μｍ］を示し、これは噴霧幅［ｍｍ］と依存関係にある。この場合に、Ｄ３０値は１８０μｍの両縁部まで得られている。それでもなお、本発明による方法では、微細な金属酸化物粉末を製造できる。
【００６４】
実施例１〜５の酸化セリウム粉末は、驚くべきことに、ｐＨ９〜１１で等電点を有する。通常は、酸化セリウムの等電点は６．５〜７．５である。本発明による酸化セリウム粉末でのより高い等電点は、７〜８．５のｐＨ値で安定な分散液の製造を可能にする。かかる分散液は、特にＳｉＯ２表面の研磨のために適している。
【００６５】
第１表：エーロゾル生成
【００６６】
【表１】
2006213591.tif 000004
【００６７】
第２表：火炎パラメータ
【００６８】
【表２】
2006213591.tif 000005
【００６９】
第３表：得られた粉末の分析値
【００７０】
【表３】
2006213591.tif 000006
【００７１】
第４表：全ての＞１００μｍの小滴の％での小滴分布
【００７２】
【表４】
2006213591.tif 000007
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】図１は、ｍ２／ｇでのＢＥＴ表面積（ａ）及び＞４５μｍの粒子（ｂ）が＞１００μｍの小滴の割合に対して依存関係があることを示している
【図２】図２は、実施例１〜４からの粉末のＤ３０滴径［μｍ］を示し、これは噴霧幅［ｍｍ］と依存関係にある
【図１】
2006213591.tif 000008
【図２】
2006213591.tif 000009