(57)【要約】【課題】大型ファンフィルターユニット設置に際して狭い作業空間の中を速やかにかつ安全に移動し、所定の場所に接続パッキンを傷めることなく正確に据え付け流ことを目的とする。【解決手段】ファンフィルターユニット６の外周面に受け金具７を複数個配置し、その受け金具７に、上下移動できる支持ボルト１０を介して車輪９付きフレーム１１が取り付けられ、ボルト１０を右に回すことにより車輪９が下がり、ファンフィルターユニット６を所定の場所まで水平移動させることができ、逆に左に回すことにより車輪９に上がり、ファンフィルターユニット６を所定の場所に安全に設置することができる。【選択図】図１
2006068692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターからなるファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルターを配設したファンフィルターユニットと、このファンフィルターユニットを水平移動する移動手段を有し、この移動手段は前記チャンバーの側面に一体に突設した受け金具と、この受け金具に設けられる移動用金具からなり、この移動用金具は車輪を付設したフレームと、このフレームを前記受け金具に対して上下移動可能に支持する可動支持手段を有してなるファンフィルターの移動装置。
【請求項２】
可動支持手段は、受け金具の水平面に設けた固定ナットと、この固定ナットに螺合するとともに、フレームを支持する支持ボルトからなり、この支持ボルトを回転させることにより前記フレームを上下移動可能とした請求項１記載のファンフィルターユニットの移動装置。
【請求項３】
固定ナットに螺合する支持ボルトを緩めて外すことにより、車輪を付設したフレームを受け金具から除去可能とした請求項２記載のファンフィルターユニットの移動装置。
【請求項４】
支持ボルトの首下部を固定ナットのねじ径より細くし、前記支持ボルトをフレーム除去したあとの固定ナットに通すとともに、前記支持ボルトの先端を据付面に結合可能とした請求項３記載のファンフィルターユニットの移動装置。
【請求項５】
受け金具の両側端にフレームの裏側面に面してガイド部を延設し、このガイド部と前記フレームの裏側面の間にわずかな隙間を形成した請求項1記載のファンフィルターユニットの移動装置。
【請求項６】
支持ボルトの頭部に引掛部を形成し、ファンフィルターユニットを吊り下げ可能とした請求項２記載のファンフィルターユニット移動装置。
【請求項７】
フレームの車輪に近接する箇所にねじ穴を設け、このねじ穴に螺合する固定ねじを設け、ファンフィルターユニットの据付時に、前記固定ねじを締め付けて前記車輪をロック可能とした請求項1記載のファンフィルターユニット移動装置。
【請求項８】
フレームに上下方向位置を示す目盛りを設け、この目盛りに対応するカーソルを受け金具に設けてなる請求項1記載のファンフィルターユニット移動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフイルターユニットの移動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のファンフイルターユニットの移動装置は、小型のファンフィルターユニットでは人力に頼り特別な移動装置を必要としないが、大型のファンフィルターユニットを移動する場合は、ファンフィルターユニットにアイボルト等の吊り構造を設ける方法が一般的であり、さらに水平移動のために車輪を設けたものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０−２４６４８１号公報（［０００１］〜［００１９］、図１〜図１０）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のファンフィルターユニットの移動装置では、ファンフィルターユニットにアイボルト等の吊り具を設けワイヤー等で吊り下げるためには、移動空間に大きな作業スペースを要し、移動と設置に大がかりな設備が必要になるという課題があり、できる限り少ないスペースで、軽量小型の設備と道具を用いて、省スペースで効率よく移動および設置できることが要求されている。
【０００４】
さらにファンフィルターユニットを据付け面に設置するとき、クリーン機器として重要な気密用パッキンを作業中に損傷させてしまう場合があるという課題があり、気密用パッキンを損傷させないよう慎重かつ正確に設置作業できることが要求されている。
【０００５】
さらに、車輪を付けた移動装置をファンフィルターユニットの設置後にクリーンルーム内に残しておくと、クリーンルーム内で異物を放出して汚染源になるという課題があり、ファンフィルターユニットの設置後に、車輪などの汚染源を簡単に取り外して撤去できることが要求されている。
【０００６】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ファンフィルターユニットを省スペースかつ短時間で効率よく移動および設置ができ、気密用パッキンを損傷させないよう慎重かつ正確に設置作業ができ、ファンフィルターユニットの設置後に、移動装置を簡単かつ安全に撤去できるファンフィルターユニットの移動装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のファンフィルターユニット移動装置は上記目的を達成するために、ファンとモーターからなるファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルターユニットと、このファンフィルターユニットを水平移動する移動手段を有し、この移動手段は前記チャンバーの側面に一体に突設した受け金具と、この受け金具に設けられる移動用金具からなり、この移動用金具は車輪を付設したフレームと、このフレームを受け金具に対して上下移動可能に支持する可動支持手段を有したものである。
【０００８】
また他の手段は、可動支持手段は、受け金具の水平面に設けた固定ナットと、この固定ナットに螺合するとともに、フレームを支持する支持ボルトからなり、この支持ボルトを回転させることにより前記フレームを上下移動可能としたものである。
【０００９】
これにより、ファンフィルターユニットを省スペースかつ短時間で効率よく移動および設置ができ、気密用パッキンを損傷させないよう慎重かつ正確に設置作業ができる移動装置が得られる。
【００１０】
また、他の手段は、固定ナットに螺合する支持ボルトを緩めて外すことにより、車輪を付設したフレームを受け金具から除去可能としたものである。
【００１１】
これにより、ファンフィルターユニットの設置後に、移動装置を簡単かつ安全に撤去できるという移動装置が得られる。
【００１２】
また、他の手段は、支持ボルトの首下部を固定ナットのねじ径より細くし、前記支持ボルトをフレーム除去したあとの固定ナットに通すとともに、前記支持ボルトの先端を据付面に結合可能としたものである。
【００１３】
これにより、ファンフィルターユニットを省スペースかつ短時間で効率よく設置ができるという移動装置が得られる。
【００１４】
また、他の手段は、受け金具の両側端にフレームの裏側面に面してガイド部を延設し、このガイド部と前記フレームの裏側面の間にわずかな隙間を形成したものである。
【００１５】
これにより、気密用パッキンを損傷させないよう慎重かつ正確に設置作業ができるという移動装置が得られる。
【００１６】
また、他の手段は、支持ボルトの頭部に引掛部を形成し、ファンフィルターユニットを吊り下げ可能としたものである。
【００１７】
これにより、ファンフィルターユニットを省スペースで効率よく設置ができるという移動装置が得られる。
【００１８】
また、他の手段は、フレームの車輪に近接する箇所にねじ穴を設け、このねじ穴に螺合する固定ねじを設け、ファンフィルターユニットの据付時に、前記固定ねじを締め付けて前記車輪をロック可能としたものである。
【００１９】
これにより、気密用パッキンを損傷させないよう慎重かつ正確に設置作業ができるという移動装置が得られる。
【００２０】
また、他の手段は、フレームに上下方向位置を示す目盛りを設け、この目盛りに対応するカーソルを受け金具に設けたものである。
【００２１】
これにより、気密用パッキンを損傷させないよう慎重かつ正確に設置作業ができるという移動装置が得られる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、ファンフィルターユニットを所定の場所まで容易に水平移動し、パッキンを傷めることなく慎重かつ正確に設置できるという効果のあるファンフィルターの移動装置を提供できる。
【００２３】
また、ファンフィルターユニットを所定の位置に設置後、クリーンルームの汚染源となる車輪を速やかに除去できる効果のあるファンフィルターユニットの移動装置を提供できる。
【００２４】
また、支持ボルトはファンフィルターユニットの水平移動時に所定高さを保持し、据付時に気密用パッキンを損傷させないようゆっくり載置でき、さらに先端を据付面へ結合してファンフィルターユニットを固定でき、支持ボルトの頭部に設けた引掛部で吊り下げることができ、省スペースで部品点数を抑えて設置できるファンフィルターユニットの移動装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターからなるファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側に塵埃除去フィルタを配設したファンフィルターユニットと、このファンフィルターユニットを水平移動する移動手段を有し、この移動手段は前記チャンバーの側面に一体に突設した受け金具と、この受け金具に設けられる移動用金具からなり、この移動用金具は車輪を付設したフレームと、このフレームを受け金具に対して上下移動可能に支持する可動支持手段を有したものであり、少ない運搬スペースでファンフィルターユニットを設置すべき所定の場所まで水平移動を行い、さらに可動支持手段により徐々に下降させて確実に据付できるという作用を有する。
【００２６】
また、本発明の請求項２記載の発明は、可動支持手段は、受け金具の水平面に設けた固定ナットと、この固定ナットに螺合するとともに、フレームを支持する支持ボルトからなり、この支持ボルトを回転させることにより前記フレームを上下移動可能としたものであり、支持ボルトを緩めることで受け金具が相対的に少しずつ下降し、受け金具の下降に伴いファンフィルターユニットを所定の場所に慎重に降ろすことができるという作用を有する。
【００２７】
また、本発明の請求項３記載の発明は、固定ナットに螺合する支持ボルトを緩めて外すことにより、車輪を付設したフレームを受け金具から除去可能としたもので、据付が完了したときに、支持ボルトをさらに緩めて外すことにより、受け金具から車輪を付設したフレームを分離でき、クリーンルーム外へ撤去できるという作用を有する。
【００２８】
また、本発明の請求項４記載の発明は、支持ボルトの首下部を固定ナットのねじ径より細くし、前記支持ボルトをフレーム除去したあとの固定ナットに通すとともに、前記支持ボルトの先端を据付面に結合可能としたもので、支持ボルトはファンフィルターユニット移動時の高さを保持し、据付時に徐々に下降移動させ、さらに据付面へ固定するという複数の機能を発揮するという作用を有する。
【００２９】
また、本発明の請求項５記載の発明は、受け金具の両側端にフレームの裏側面に面してガイド部を延設し、このガイド部と前記フレームの裏側面の間にわずかな隙間を形成したもので、ファンフィルターユニットの水平移動時や据付時のフレームを上下動するときに、フレームがわずかに傾いても、受け金具のガイド部がフレームの裏側面に当接して正しい姿勢を維持することができるという作用を有する。
【００３０】
また、本発明の請求項６記載の発明は、支持ボルトの頭部に引掛部を形成し、ファンフィルターユニットを吊り下げ可能としたもので、吊り下げ用の金具を別途設けることなく、支持ボルト頭部に設けた引掛部を利用することにより、ワイヤによりファンフィルターユニットを吊り下げできるという作用を有する。
【００３１】
また、本発明の請求項７記載の発明は、フレームの車輪に近接する箇所にねじ穴を設け、このねじ穴に螺合する固定ねじを設け、ファンフィルターユニットの据付時に、前記固定ねじを締め付けて前記車輪をロック可能としたもので、据付におけるフレームの下降時に、固定ねじは車輪が回転しないよう圧接して、ファンフィルターユニットの水平移動を阻止するという作用を有する。
【００３２】
また、本発明の請求項８記載の発明は、フレームに上下方向位置を示す目盛りを設け、この目盛りに対応するカーソルを受け金具に設けたもので、据付におけるフレームの下降時に、複数対のフレームの下降移動が目視確認できるという作用を有する。
【００３３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３４】
（実施の形態１）
図１に示すようにファン１とモーター２からなるファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、チャンバー４の下流側に塵埃除去フィルタ５を配設してファンフィルターユニット６が形成されている。チャンバー４の両側面に複数対の受け金具７を水平方向に突設し、受け金具７の上面に固定ナット１２が溶接されており、この固定ナット１２に支持ボルト１０が着脱可能に螺合して取り付けられる。支持ボルト１０の上部は、水平移動用の車輪９を下端に設けたロ字形状のフレーム１１上部に設けた開口部（図示せず）に回動自在に挟持されている。支持ボルト１０を受け金具７の固定ナット１２にねじ込むことにより、フレーム１１内を受け金具７が上昇する。すなわち受け金具７に対してフレーム１１が次第に下がり、受け金具７の下端部に設けた車輪９が接地するまで下がると、相対的にファンフィルターユニット６が持ち上がることになる。
【００３５】
上記構成において、図２（ａ）に示すように、４本の支持ボルト１０を右に回すことにより、ファンフィルターユニット６より下方に全ての車輪９を突き出すことができ、ファンフィルターユニット６は車輪９により支持され水平移動できる状態となる。
【００３６】
次に図２（ｂ）に示すように、ファンフィルターユニット６を据付面上まで水平移動した状態で、支持ボルト１０を左に回すことにより、フレーム１１が上方向に移動し、相対的にファンフィルターユニット６が据付面１３に近づき、そのままゆっくりと据付面１３に載置することができる。このとき複数の支持ボルト１０を調整しつつファンフィルターユニット６を水平状態を保ちながら降ろしていくことにより、シール性を保つパッキン５ａを傷つけることなく、安全かつ確実に設置することができる。
【００３７】
さらに支持ボルト１０を右に回して固定ナット１２から外すことにより、車輪９付のフレーム１１を外すことができ、汚染源となりうる車輪９をクリーンルーム外に出して保管することができる。
【００３８】
ここでファンフィルターユニット６をクリーンルーム内のクリーンブース据付面１３に取り付ける手順を説明すると、図３（ａ）（ｂ）に示すように、ファンフィルターユニット６をリフター１４のような昇降機を用いてクリーンブースの天面高さまで持ち上げ、水平移動して所定の据付面１３上に配置することができる。この後は図２（ａ）に示したように、支持ボルト１０を緩めることで、ファンフィルターユニット６を安全に降ろして設置作業を行うことができる。
【００３９】
このように、支持ボルト１０の操作で車輪９を下方に突き出してファンフィルターユニット６を据付面１３まで容易に水平移動することができ、またファンフィルターユニット６を据付面１３に安全かつ確実に設置して塵埃除去フィルタ５の下面に設けたパッキン５ａを傷つけることを防止し、さらに汚染源となる車輪９付のフレーム１１を外して、クリーンルーム外に撤去することができる。
【００４０】
（実施の形態２）
図４（ａ）（ｂ）に示すように、支持ボルト１０の首下部１０ａの長さを受け金具７の板厚と固定ナット１２の厚みを加えた寸法より大とし、首下部１０ａの太さを固定ナット１２の内径より細くしている。また支持ボルト１０の首下部１０ａより先端までのねじ部１０ｂの長さを、受け金具７からファンフィルターユニット６下端面までの長さより大としている。
【００４１】
上記構成において、ファンフィルターユニット６の据付作業時は、支持ボルト１０を緩めて車輪９を引き上げ、ファンフィルターユニット６が据付面１３に載置される。
【００４２】
次に、支持ボルト１０を受け金具７から外すことで車輪９つきフレーム１１を分離し、さらに支持ボルト１０のみを受け金具７に最後までねじ込むことで、ねじ部１０ｂの先端が据付面１３に螺合するとともに、支持ボルト１０の頭部１０ｃが固定ナット１２の表面を押圧することにより、ファンフィルターユニット６を据付面１３に固定することができる。このとき、支持ボルト１０の首下部１０ａは固定ナット１２に螺合することなく、回動が自由な形状となっている。
【００４３】
このように、車輪９つきフレーム１１を分離した後に、車輪９を固定する支持ボルト１０と受け金具７を用いて、ファンフィルターユニット６を据付面１３に固定できることにより、使用する部品数を増やすことなく、移動用部品を再利用して、短時間でファンフィルターユニット６の据付を行うことができる。
【００４４】
（実施の形態３）
図５に示すように、受け金具７の両側を上方に曲げたガイド部７ａを形成し、フレーム１１の内側面との間にわずかな隙間を形成している。また、受け金具７の両側にガイド部７ａを形成することで、受け金具７は強度が増し、フレーム１１を安定して支持することができるようにしている。
【００４５】
上記構成において、支持ボルト１０を操作してフレーム１１を上下移動するときに、フレーム１１は受け金具７のガイド部７ａに近接した位置にあるため、フレーム１１が一時的に変形しても、ガイド部７ａに当接して元の姿勢を保つことができるので、フレーム１１に支持されるファンフィルターユニット６を、精度高く垂直方向に動かすことができ、安全な据付作業ができるとともに、正確な位置に設置することができる。
【００４６】
（実施の形態４）
図６に示すように、受け金具７に螺合する支持ボルト１０の上端部に、丸穴を有した引掛部１５を一体に形成している。受け金具７はファンフィルターユニット６の中心に対して４カ所以上の対象位置に設けられ、上から吊りフック１６を懸けて吊り下げ移動するときに、重心を保ちながら運搬ができるようにしている。
【００４７】
また、引掛部１５に工具等を差し込むことにより、支持ボルト１０の回動操作をしやすくしている。
【００４８】
上記構成において、クリーンルームに既設の運搬用クレーンがある場合は、支持ボルト１０に設けた引掛部１５にクレーンの吊りフック１６を掛けて、容易にクリーンブースの上まで運搬することができ、ファンフィルターユニット６に吊り下げ用部品を別途取り付ける必要はなく、部品点数を減らすことができる。
【００４９】
また、ファンフィルターユニット６がクリーンブースに載置された後は、支持ボルト１０を回動する操作時に、引掛部１５に工具等を差し込むことにより、支持ボルト１０の回動操作が容易になり、据付作業を効率よく行うことができる。
【００５０】
（実施の形態５）
図７に示すように、フレーム１１の下端部には車輪９が付設され、この車輪９に近接する支持金具部分にねじ穴１７を設け、このねじ穴１７に固定ねじ１８を取り付けている。固定ねじ１８の先端が車輪９に当接可能に設け、固定ねじ１８を締め付けることにより車輪９をロックできるようになっている。
【００５１】
上記構成において、支持ボルト１０の回動によりファンフィルターユニット６を据付面に降ろすとき、固定ねじ１８を締め付けることにより、車輪９をロックして移動を阻止し、ファンフィルターユニット６の下面に設けたパッキン５ａを損傷することなく、正確な位置に設置することができる。
【００５２】
（実施の形態６）
図８に示すように、ファンフィルターユニット６に取り付けられた複数のフレーム１１に上下方向の目盛り１９を設けている。また受け金具７を水平方向に延設し、フレーム１１の目盛り１９の側方に受け金具７の先端部を露出させ、この先端部にカーソル２０を設けている。支持ボルト１０によりフレーム１１を上下させたとき、目盛り１９に対するカーソル２０の指示により、フレーム１１と受け金具７の相対的な位置が目視確認できるようになっている。
【００５３】
上記構成において、支持ボルト１０を右方向に回転すると、フレーム１１に設けた目盛り１９に対して受け金具７のカーソル２０が下がり、また支持ボルト１０を左方向に回転すると、受け金具７のカーソル２０が上がる。カーソル２０が指示する目盛り１９の数値を合わせるように、全てのフレーム１１の支持ボルト１０を回転調整することにより、ファンフィルターユニット６の水平バランスを保ちながら安全に据付作業を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
大型ファンフィルターユニットを設備の据付面に設置しようとする場合、本発明のファンフィルターユニットの移動装置を具備することにより、少ない搬入スペースで簡便にかつ安全に施工することができ、クリーンルーム内設置への大型ファンフィルターユニット搬入および設置の用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットの移動装置の正面図
【図２】（ａ）同移動時の状態を示す側面拡大図（ｂ）同据付時の状態を示す側面拡大図（ｃ）同受け金具のみの状態を示す側面拡大図
【図３】（ａ）同据付時の移動状態を示す拡大図（ｂ）同据付時の設置状態を示す拡大図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態２のファンフィルターユニットの移動装置の据付前の側面拡大図（ｂ）同据付後の側面拡大図
【図５】本発明の実施の形態３のファンフィルターユニットの移動装置の受け金具を示す構成図
【図６】本発明の実施の形態４のファンフィルターユニットの移動装置の引掛部を示す要部正面図
【図７】本発明の実施の形態５のファンフィルターユニットの移動装置の固定ねじの取付説明図
【図８】本発明の実施の形態６のファンフィルターユニットの移動装置の要部外観斜視図
【符号の説明】
【００５６】
１      ファン
２      モーター
３      ファンユニット
４      チャンバー
５      塵埃除去フィルタ
５ａ    パッキン
６      ファンフィルターユニット
７      受け金具（移動手段、可動支持手段）
７ａ    ガイド部
９      車輪（移動用金具）
１０    支持ボルト（移動用金具、可動支持手段）
１０ａ  首下部
１０ｂ  ねじ部
１０ｃ  頭部
１１    フレーム（移動用金具）
１２    固定ナット（可動支持手段）
１３    据付面
１５    引掛部
１７    ねじ穴
１８    固定ねじ
１９    目盛り
２０    カーソル
【図１】
2006068692.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006068692.tif 000008
【図７】
2006068692.tif 000009
【図８】
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