(57)【要約】【課題】オフセット電圧の変動を抑制し、温度特性が改善された加速度センサーを提供することにある。【解決手段】半導体基板の中央部に形成された錘部と、前記錘部の周辺部に形成した枠部と、前記錘部と枠部を接続するビーム部若しくはダイヤフラム部と，前記ビーム部もしくはダイヤフラム部に形成された，印加される加速度に対応した前記ビーム部もしくはダイヤフラム部の撓みを検出する検出素子と，前記ビーム部若しくはダイヤフラム部上に形成され，前記検出素子の検出出力を前記枠部に設けたパッドに導くリードとを有し，更に，前記ビーム部もしくはダイヤフラム上に形成されたリードと少なくとも電気的に独立した複数のドットパターンからなるダミーリードが，前記ビーム部もしくはダイヤフラム上に形成されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の中央部に形成された錘部と、
前記錘部の周辺部に形成した枠部と、
前記錘部と枠部を接続するビーム部若しくはダイヤフラム部と，
前記ビーム部もしくはダイヤフラム部に形成された，印加される加速度に対応した前記ビーム部もしくはダイヤフラム部の撓みを検出する検出素子と，
前記ビーム部若しくはダイヤフラム部上に形成され，前記検出素子の検出出力を前記枠部に設けたパッドに導く配線リードとを有し，更に，
前記ビーム部もしくはダイヤフラム上に形成された配線リードと独立した複数のドットパターンからなるダミーリードが，前記ビーム部もしくはダイヤフラム上に形成されている
ことを特徴とする加速度センサー。
【請求項２】
請求項１において，
前記配線リードとは独立したダミーリードのパターンは、前記配線リードの形成と同一工程で形成したことを特徴とする請求項1記載の加速度センサー。
【請求項３】
請求項１において，
前記ダミーリードの複数のドットパターンが直線上に配置されていることを特徴とする加速度センサー。
【請求項４】
半導体基板の中央部に形成された錘部と、
前記錘部の周辺部に形成した枠部と、
前記錘部と枠部を接続するビーム部若しくはダイヤフラム部と，
前記ビーム部もしくはダイヤフラム部に形成された，印加される加速度に対応した前記ビーム部もしくはダイヤフラム部の撓みを検出するピエゾ抵抗素子とを有し，
前記ピエゾ抵抗素子は，第１の領域と，前記第１の領域より幅の狭い第２の領域を有し，
前記第１の領域が前記錘部とビーム部若しくはダイヤフラム部との境界，又は前記枠部とビーム部若しくはダイヤフラム部との境界を跨ぐ位置に形成され，
前記前記第２の領域が前記ビーム部若しくはダイヤフラム部上に形成されている
ことを特徴とする加速度センサー。
【請求項５】
請求項４において，
前記ピエゾ抵抗素子の第１の領域における前記境界位置は，前記第１の領域の前記錘部又は枠部に位置する領域よりも前記ビーム部若しくはダイヤフラム部に位置する領域の割合が大きくなる様に位置決めされていることを特徴とする加速度センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，加速度センサーに関する。特に温度によるオフセット電圧の変動を抑制した，３軸のそれぞれの加速度を検出可能な加速度センサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車、航空機、玩具、携帯端末等に用いられる加速度検出用の半導体加速度センサーには、ピエゾ抵抗効果、圧電効果、静電容量変化等を利用したものと様々な検出手段を用いたものが開発されている。これらの加速度センサーには、小型で且つ高性能なものが要求されている。
【０００３】
さらに1チップで多軸検出が可能とするセンサーの開発が進み、既に製品化されている。中でも、半導体基板を用いて一般的な半導体技術を使用して製造可能なピエゾ抵抗型の多軸加速度センサーの開発が進んでいる。
【０００４】
一般的な加速度センサーは、錘部とそれを取り囲むように配置した枠部と、枠部と錘部を連結する複数本のビーム部（Beam）で支えたビーム部構造か、薄い膜で錘部を支えているダイヤフラム構造が一般的である。そして，加速度が印加した場合の検出は，ビーム部或いは，ダイヤフラムに生じた撓みを検出素子で検出するものである。
【０００５】
検出素子として，ピエゾ抵抗素子をビーム部或いは，ダイヤフラムに形成し，加速度が印加した場合、錘部が上下、左右に振れ、錘部を支えているビーム部若しくダイヤフラム部に応力が加わり，加速度を応力によるビームの撓みに応じたピエゾ抵抗素子の抵抗変化としてとらえることができる。
【０００６】
図1は加速度センサーの主要部であるセンシング部の一構造を説明するための概念図である。図１Ａはセンシング部の斜視図、図１Ｂはセンシング部の平面図、そして、図１Ｃはセンシング部をガラス基板上に載置した状態の断面図である。
【０００７】
図１Ａ、図１Ｂにおいて、加速度センサーのセンシング部を作製するための基板であるSOI基板１０は、枠部１４、後述するプロセスによりSOI基板１０に作り込まれたピエゾ抵抗素子１１、センシング部の可動部である錘部１２、錘部１２と枠部１４を繋ぎ、錘部１２の動きを支えるビーム部１３を有して構成される。さらに、図１Ｃに示すように、ガラス基板１５が、錘部１２の軸方向の一端面に対向するように、ビーム部１３を支持し錘部１２を保持するための枠体１４に固着される。
【０００８】
かかる構成において、可動部である錘部１２が動くと、その動きはビーム部１３の振れや撓みとなりビーム部１３上に設けられたピエゾ抵抗素子１１の抵抗値が変化し、この抵抗値の変化がホイーストン・ブリッジ回路を用いて電気信号出力として検出される。
【０００９】
ここで，図１に示したようにピエゾ抵抗素子を検出素子として用いる構成では、ビーム部１３の撓みをピエゾ抵抗素子の抵抗変化としてとらえるものであり，ピエゾ抵抗素子の抵抗変化を検出するために外部の検出回路とピエゾ抵抗素子とを繋ぐ引き出し配線（リード）を設けることが必要である。
【００１０】
図２は，図１Ｂの平面図を拡大して，ピエゾ抵抗素子と配線リードとの接続関係を一般的な構成として示す図である。
【００１１】
図２において，４本のビーム部１３ａ〜１３ｄ上のそれぞれに検出素子としてピエゾ抵抗素子が形成配置されている。
【００１２】
図２に示す実施例では，ビーム部１３ａ上にピエゾ抵抗素子１１a1,１１a2が，ビーム部１３ｂ上にピエゾ抵抗素子１１b1〜１１b4が，ビーム部１３c上にピエゾ抵抗素子１１ｃ1,１１c2が，ビーム部１３ｄ上にピエゾ抵抗素子１１d1〜１１d4が形成されている。
【００１３】
ビーム部１３ａ上のピエゾ抵抗素子１１a1,１１a2とビーム部１３c上のピエゾ抵抗素子１１c1,１１c2に接続されるリードにパッド１６を通して繋がる外部検出部においてブリッジ回路に接続されて，Ｙ軸方向の加速度が検知される。同様にビーム部１３ｂ上のピエゾ抵抗素子１１b1と１１b2とビーム部１３ｄ上のピエゾ抵抗素子11d3,11d4に接続される配線リードにパッド１６を通して繋がる外部検出部においてブリッジ回路に接続されて，Ｘ軸方向の加速度が検知される。また，ビーム部１３ｂ上のピエゾ抵抗素子１１b3と１１b4とビーム部１３ｄ上のピエゾ抵抗素子11d1,11d2に接続される配線リードにパッド１６を通して繋がる外部検出部においてブリッジ回路に接続されて，Ｚ軸方向の加速度が検知される。
【００１４】
ここで，上記のような加速度センサーにおいて問題となるのが、温度特性に起因するオフセット値の存在である。
【００１５】
すなわち，温度特性に起因する要因として、ピエゾ抵抗素子の温度特性や抵抗ばらつき、配線の内部応力や、熱応力、素子を形成する半導体基板と、それに陽極接合等を用いて接続したガラス基板等の熱膨張係数の違い等、様々な要因が挙げられる。
【００１６】
特に，検出素子（ピエゾ抵抗素子）１１とパッド１６を繋ぐリード（配線）が検出軸（Ｘ軸方向あるいは，Ｙ軸方向）において又は、検出素子（ピエゾ抵抗素子）を中心とする対称とはなっていない場合、配線による膜応力（分布）がビーム部１３ａ〜１３ｄにおいて異なるものとなる。
【００１７】
図３は，かかる様子を理解するために，図２のビーム部１３ａの部分を拡大して示す図である。図４は，図２のビーム部１３ｂの部分を拡大して示す図である。
【００１８】
図３において，ビーム部１３ａ上に形成されるピエゾ抵抗素子１１a1，１１b1を中心とすると，その両側に配置されるリード（配線）が非対称に形成されている。一方，図４において，ビーム部１３ｂ上に形成されるピエゾ抵抗素子１１b1，１１b3及び，１１b2，１１b4との間では，それらの両側に配置されるリード（配線）が非対称に形成されている。
【００１９】
このような，ビーム部１３ａ，１３ｂ上の配線リードの非対象配置により，各ピエゾ抵抗素子の近傍では膜応力バランスが微妙に異なり、抵抗値にもズレが生じる。したがって、結果としてブリッジ回路の抵抗バランスがくずれ、オフセット電圧が増加する。また、配線に用いている純Alや、Al合金（Al-Si, Al-Cu等）の熱応力に関しても、同様にオフセット電圧が増加する。
【００２０】
そのため、かかる問題の解決のために種々の提案がされている。
【００２１】
第１の例として，特許文献１に示される発明では，配線抵抗とは別にダミーの配線を形成し，ビーム部上の配線パターンを検出軸と検出軸に垂直な方向に対して対称となるようにしている。
【００２２】
第２の例として，特許文献２に示される発明は，Ｚ軸方向の加速度を検出するための，ビーム部上に配置されるピエゾ抵抗素子の当該配置位置を応力の集中する点から離す方法であり，１本のビーム部上にビーム部の軸方向に配置した２つのピエゾ抵抗素子の間隔を広げたり、狭めたりして出力を調整する方法を取っている。
【００２３】
また、第３の例として，特許文献３では、別の観点からSi基板と陽極接合したガラス基板との熱膨張係数の違いによる温度特性への影響を問題とし，この影響を減らすために，溝をガラス基板に形成して熱膨張係数の違いにより発生する応力を吸収または軽減させている。
【特許文献１】特開2003-92413号公報
【特許文献２】特開2003-279592号公報
【特許文献３】特開平11-311631号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
上記の特許文献１，２に記載されるダミー配線を設ける方法やピエゾ抵抗素子位置を応力の集中する点から離す方法によっては、ダミー配線を設ける際に、配線とは異なる材料を用いなければ工程が増えることはない。したがって，生産性、コストの面で従来工程に比べて悪化することはない。
【００２５】
しかし，特許文献１に記載されるダミー配線を設ける場合、対称性を考慮して配置しなくてはならず、例えば、ビーム部の幅寸法を決める時に、ダミー配線の幅と引き出し線（配線リード）との間隔分のスペースが必要となり、ビーム部幅を細くすることが難しくなる。
【００２６】
また、特許文献２に記載されるピエゾ抵抗位置のシフトに関しても、ピエゾ抵抗素子の間隔を狭くする場合は，ピエゾ抵抗素子形状を変えないとビーム部長を短くすることが難しい。逆にビーム部長を長くすることはできるが、長すぎると製造バラツキが大きくなり、望ましくない。さらに、ビーム部長を変えると、ビーム部等の膜応力に対する変形量も変わる。このため、その都度、膜応力の厚さや成膜方法（条件）を変える必要が生じる。
【００２７】
さらに，ピエゾ抵抗素子１１を枠部１４側、錘部１２側の方向にシフトさせ，ピエゾ抵抗素子の間隔を広げた場合（ビームの中心に対して外側の方向にシフト），枠部１４上の配線をピエゾ抵抗素子のシフト量分，そのまま外側にシフトさせることは枠部の配線レイアウトの変更を伴う。この時，枠サイズが固定の場合，配線を引き回すスペースが制限され，配線の変更が困難となる。また、配線を引き回すことのできるスペースが制限されるということは、枠部を小さくすることが難しくなり、小型化の面でも難しくなる。
【００２８】
また，特許文献３に記載の発明による半導体基板で作製した素子もしくはガラス基板に応力緩和のための溝を形成する方法では、陽極接合用ガラス基板に溝を掘る工程が追加される為にコスト高は避けられない。
【００２９】
したがって，本発明の目的はかかる点に鑑みて，上記特許文献１乃至３に記載の発明における問題を解決し，オフセット電圧の変動を抑制し、温度特性が改善された加速度センサーを提供することにある。
【００３０】
さらに，本発明の目的は、上記のような問題点を改善するために素子寸法、製造条件等を大きく変えることなく、設計自由度を確保しつつ、温度特性、特にオフセット電圧の温度特性を改善した加速度センサーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
上記の課題を達成する本発明に従う加速度センサーの第１の態様は，半導体基板の中央部に形成された錘部と、前記錘部の周辺部に形成した枠部と、前記錘部と枠部を接続するビーム部若しくはダイヤフラム部と，前記ビーム部もしくはダイヤフラム部に形成された，印加される加速度に対応した前記ビーム部もしくはダイヤフラム部の撓みを検出する検出素子と，前記ビーム部若しくはダイヤフラム部上に形成され，前記検出素子の検出出力を前記枠部に設けたパッドに導く配線リードとを有し，更に，前記ビーム部もしくはダイヤフラム上に形成された配線リードと独立した複数のドットパターンからなるダミーリードが，前記ビーム部もしくはダイヤフラム上に形成されていることを特徴とする。
【００３２】
上記の課題を達成する本発明に従う加速度センサーの第２の態様は，第１の態様において，前記配線リードとは独立したダミーリードのパターンは、前記配線リードの形成と同一工程で形成したことを特徴とする。
【００３３】
上記の課題を達成する本発明に従う加速度センサーの第３の態様は，第１の態様において，前記ダミーリードの複数のドットパターンが直線上に配置されていることを特徴とする。
【００３４】
上記の課題を達成する本発明に従う加速度センサーの第４の態様は，半導体基板の中央部に形成された錘部と，前記錘部の周辺部に形成した枠部と、前記錘部と枠部を接続するビーム部若しくはダイヤフラム部と，前記ビーム部もしくはダイヤフラム部に形成された，印加される加速度に対応した前記ビーム部もしくはダイヤフラム部の撓みを検出するピエゾ抵抗素子とを有し，前記ピエゾ抵抗素子は，第１の領域と，前記第１の領域より幅の狭い第２の領域を有し，前記第１の領域が前記錘部とビーム部若しくはダイヤフラム部との境界，又は前記枠部とビーム部若しくはダイヤフラム部との境界を跨ぐ位置に形成され，前記前記第２の領域が前記ビーム部若しくはダイヤフラム部上に形成されていることを特徴とする。
【００３５】
上記の課題を達成する本発明に従う加速度センサーの第５の態様は，第４の態様において，前記ピエゾ抵抗素子の第１の領域における前記境界位置は，前記第１の領域の前記錘部又は枠部に位置する領域よりも前記ビーム部若しくはダイヤフラム部に位置する領域の割合が大きくなる様に位置決めされていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３６】
本発明により，オフセットドリフトの温度特性の優れた加速度センサーを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下に，本発明の実施例を図面に従い説明する。なお，図面に示される実施例は，本発明の説明のためのものであり，本発明の技術的範囲がこれらに限定されるものではない。
【００３８】
［第１の実施例］
図５は，本発明の第１の実施例を説明する図であり、図５Ａは図２に対応する平面図である。また、図５Ｂは，図５Ａの太線で囲ったビーム部１３ｂの部分の拡大図である。図５において，図２と参照番号を同じにする部位は，同様のものを指している。
【００３９】
本実施例の特徴は、各ビーム部上にピエゾ抵抗素子１１a1-１１a2，１１b1-１１b4，１１c1-１１c2，１１d1-１１d4に対し、これらと接続したリード，及びダミーのリード１７ａ，リード１７ｂ，リード１７ｃ，リード１７ｄが設けられている点にある。
【００４０】
さらに，ビーム部１３ａとビーム部１３ｄとを繋ぐ配線リード１８ａ，ビーム部１３ｂとビーム部１３ｃとを繋ぐ配線リード１８ｂとバランスするために，ビーム部１３ａとビーム部１３ｂとの間にダミーのリード１８a1，ビーム部１３ｃとビーム部１３ｄとの間にダミーのリード１８b1が形成されている。
【００４１】
特に，本発明において，これらのダミーのリードは，図５Ｂに拡大して示すように複数のドット状を成している。そして，ドット状のために，ドット間隔，各ドットの長さ，及びドット数を調整することによりダミーリードの等価的な長さを調整することが可能である。
【００４２】
例えば，ダミーリードを説明する図６に示されるように，必要とするダミーリードのパターン長が２６０μｍである時（図６Ｂ参照），このままビーム部上に形成する場合は，ビーム部上に偏在する即ち，錘部１２側，中央部あるいは，枠部１４側のいずれかの方向に偏って配置せざるを得ない。かかる場合は，ビーム部の歪みとなって現れる可能性が大きい。
【００４３】
これに対し，本発明では，図６Ａに示されるように，リードパターン長が２６０μｍのダミーリードを，複数のＬ１のドットパターンに分割し間隔を空けて，ビーム部上に均等に配置することができる。これによりビーム部上にダミーリードが偏在することを避けることができる。
【００４４】
図７，図８は，第１の実施例の効果を説明する図である。図７は，図５Ｂを再掲して示す図である。図８は，ビーム部１３ｂに形成されたダミーのリード１７ｂの形態を変えたときのＺ軸センサーのオフセットドリフト特性を示す図である。
【００４５】
図８において，特性Ａは，図７に示すように，ビーム部１３ｂ上にパターン長２６０μｍを，複数の長さＬ１のドットパターンに分割し，分散配置した実施例である。
【００４６】
特性Ｂは，図６Ｂに示す様にパターン長２６０μｍを分割せずにビーム部１３ｂ上に配置した例である。特性Ｃは，ダミーパターンを形成しない場合の特性である。
【００４７】
いずれの特性も，温度２５℃を基準にして温度を変化したときのオフセットドリフト（ｍＶ）をプロットしたものである。
【００４８】
この図８から，ダミーリードをそれぞれの長さがＬ１の複数のドットパターンに分割し，分散配置した本発明の実施例が比較例に対し，温度特性が良好であることが理解できる。
【００４９】
上記の様に，第１の実施例において，ピエゾ抵抗素子の配置により、完全なパターンの対称は難しいが、図８に示したように完全に対称にしなくともビーム部やダイヤフラムに加わる膜応力の分布を均一とする様に改善され、その結果、温度特性が改善されることが理解できる。
【００５０】
ここで，前記複数のドットによるダミーリードの形成は，配線リードの形成と同一行程で形成することが可能である。
【００５１】
さらに，上記第１の実施例において検出素子として専らピエゾ抵抗素子を用いる例を説明した。しかし，本発明の第１の実施例はこれに限定されず，検出素子として、例えば，圧電素子を用いたものや，検出方法として静電容量の変化を利用したものによっても同様に適用可能である。
【００５２】
［第２の実施例］
図９は，本発明の第２の実施例を説明する図である。この第２の実施例は，加速度センサーの温度特性の改善という意味において，前記第１の実施例と独立に実施することもまた，第１の実施例の構成を有することを前提として以下に説明する第２の実施例特徴を単独で備える様に構成することも可能である。
【００５３】
この第２の実施例の特徴は，検出素子であるピエゾ抵抗素子を第１の領域と第２の領域を有する構成とし，応力の集中する錘部１２とビーム部１３の境界もしくは枠部１４とビーム部１３の境界上に跨る様に，第１のピエゾ抵抗素子領域を配置することにある。さらに，第１のピエゾ抵抗素子領域の幅を，他の第２のピエゾ抵抗素子領域の幅より大きい形状とする。これにより，第１のピエゾ抵抗素子領域部分の抵抗値を小さくすることができる。
【００５４】
すなわち，応力の集中する錘部１２とビーム部１３の境界もしくは枠部１４とビーム部１３の境界近傍での感度を低くすることができる。したがって，この第１のピエゾ抵抗素子領域部分での感度は下がるものの、温度による変動幅が減り、結果として，ピエゾ抵抗素子全体における温度特性が改善される。
【００５５】
図９に示す実施例では，第１の領域１１Ａは，丸で囲んだように，枠部１４とビーム部１３の境界１９を跨る様に位置している。なお，図９に示すようにピエゾ抵抗素子は，アルミ配線２０によりリードに接続されている。Ｚ軸方向加速度を検知するピエゾ抵抗素子１１b4について第１の領域１１Ａと第２の領域１１Ｂを有するようにし，第１の領域１１Ａは，第２の領域１１Ｂよりも広い幅を有している（図９Ｂ参照）。
【００５６】
図１０は，図９に示す実施例における応力分布を示している。応力ピーク点Ｐを１として規格化して示す図である。
【００５７】
図１０Ａに示す様に応力のピークＰは，枠部１４とビーム部１３の境界１９で最大となっている。かかる応力が最大となる領域で，ピエゾ抵抗素子１１b4は幅の広い第１の領域１１Ａを形成している。したがって，この第１の領域部分１１Ａの抵抗値が下がり，結果として，ピエゾ抵抗素子全体における感度の温度変化による変動幅が減少し，温度特性が改善される。
【００５８】
図１１は，かかる第２の実施例の具体例として，ビーム部１３b上のピエゾ抵抗素子１１b3を第１の領域と第２の領域を有する様に構成した例である。そして，ピエゾ抵抗素子１１b3の第１の領域１１Ａは，錘部１２とビーム部１３の境界１９を跨るように配置形成される。
【００５９】
図１１において，図１１Ｂに拡大して示すように，ピエゾ抵抗素子１１b3の第１の領域１１Ａは，錘部１２とビーム部１３bの境界１９を跨るように形成されている。
【００６０】
すなわち，ピエゾ抵抗素子１１b3の第１の領域１１Ａは，境界１９を基準にして錘部１２側に所定長さ（実施例として２５μｍ：−２５μｍと表示）を有し，アルミ配線２０により枠部１４上の図示しないリードに接続される。
【００６１】
さらに，ピエゾ抵抗素子１１b3の第１の領域１１Ａは，境界１９を基準にしてピエゾ抵抗素子１１b3の第２の領域１１Ｂ側にオフセット(offset)量の部分を有している。
【００６２】
したがって，図１１において，第１の領域１１Ａの長さは，境界１９を基準にして錘部１２側の所定長さと第２の領域側に伸びたオフセット量を加えたものである。
【００６３】
今，境界１９を基準にして錘部１２側の所定長さを（-２５μｍ）とし，幅を１０μｍとして，第２の領域側（実施例として幅は７μｍ）に伸びたオフセット量を変えて測定した結果が図１２に示される。
【００６４】
図１２は，図１１に示す構成において，ビーム１３ｂに形成されたピエゾ抵抗素子１１b3の第１の領域１１Ａが第２の領域１１Ｂに伸びるオフセット量を変えたときの各温度におけるＺ軸オフセットドリフト（ｍＶ）を示すものである。
【００６５】
図１２において，測定例aは，オフセット量を−２５μｍとした例であり，即ち，この場合は，第１の領域１１Ａは存在せず，ピエゾ抵抗素子１１b3の幅は均一であり，従来例と同様である。
【００６６】
測定例ｂ〜ｄは，それぞれオフセット量を＋５，＋１５，＋２５μｍとした例である。図１２から容易に理解できる様に，温度２５℃を基準として温度を変化する時オフセット量が小さいほどＺ軸オフセットドリフトの温度変動が大きいことが理解できる。すなわち，第１の領域１１Ａを境界１９を基準として，第２の領域１１Ｂに伸びる領域を大きくすることにより，より好ましい温度変動が得られることが理解できる。
【００６７】
なお，上記第２の実施例説明において，Ｚ軸オフセットドリフトに関し説明したが，Ｘ軸，Ｙ軸についても同様に，ピエゾ抵抗素子に第１の領域及び第２の領域を設けてオフセットドリフトを調整可能であることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
上記実施例に従い本発明を説明したように，本発明により簡単な構成でオフセットドリフトの温度特性の優れた加速度センサーを提供することができるので，コストパフォーマンスに優れ，且つ信頼性が向上した加速度センサーが提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】加速度センサーの主要部であるセンシング部の一構造を説明するための概念図である。
【図２】図１Ｂの平面図を拡大して，ピエゾ抵抗素子とリードとの接続関係を一般的な構成として示す図である。
【図３】図２のビーム部１３ａの部分を拡大して示す図である。
【図４】図２のビーム部１３ｂの部分を拡大して示す図である。
【図５】本発明の第１の実施例を説明する図である。
【図６】ダミーのリードを説明する図である。
【図７】図５Ｂを再掲して示す図である。
【図８】ビーム部１３ｂに形成されたダミーのリード１７ｂの形態を変えたときのＺ軸センサのオフセットドリフト特性を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施例を説明する図である。
【図１０】図９に示す実施例における応力分布を示している。
【図１１】第２の実施例として，ビーム部１３b上のピエゾ抵抗素子１１b3を第１の領域と第２の領域を有する様に構成した例である。
【図１２】図１１の構成において，第１の領域が第２の領域に伸びるオフセット量を変えたときの各温度におけるＺ軸オフセットドリフト（ｍＶ）を示すものである。
【符号の説明】
【００７０】
１１  検出素子
11a1,11a2,11b1〜11b4,11c1,11c2,11d1〜11d4 ピエゾ抵抗素子
１２  錘部
１３ａ〜１３ｄ  ビーム部
１４  枠部
１５  ガラス基板
１６  パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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