(57)【要約】【課題】  パターンの膜厚を均一にしつつカスレの発生を少なくすることができるスクリーン印刷版およびスクリーン印刷版の製造方法を提供する。【解決手段】  ペースト通過孔４は、スキージの走行方向に平行な辺21，21’，22，22’を有する長方形状であるとともに一方の主面ｈ側の第１孔部１および他方の主面ｔ側の第２孔部２からなり、第１孔部１および第２孔部２の開口幅は、スキージの走行方向に平行な辺21，21’，22，22’間で第１孔部１より第２孔部２が大きく、スキージの走行方向に直交する辺31，31’，32，32’間で等しいスクリーン印刷版である。ペースト通過孔４の開口部においてスキージが最初に通過する部分での印刷ペーストの広がりは制限されるので、他方の主面ｔ側より吐出するペースト量が周辺部でばらつかなくなり、パターンのカスレの発生を少なくすることができる。【選択図】  図２
2006327064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の主面上のスキージの走行に伴って前記一方の主面からペースト通過孔を通して他方の主面に印刷ペーストを通過させるスクリーン印刷版であって、前記ペースト通過孔は、前記スキージの走行方向に平行な辺を有する長方形状であるとともに前記一方の主面側の第１孔部および前記他方の主面側の第２孔部からなり、前記第１孔部および前記第２孔部の開口幅は、前記スキージの走行方向に平行な辺間で前記第１孔部より前記第２孔部が大きく、前記スキージの走行方向に直交する辺間で等しいことを特徴とするスクリーン印刷版。
【請求項２】
前記第１孔部および前記第２孔部の開口幅は、それぞれ深さ方向で一定であることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷版。
【請求項３】
スクリーン印刷用基材の一方の主面に第１感光性樹脂層を形成する工程と、
前記第１感光性樹脂層に長方形状の第１遮光部を有する第１露光用マスクを通して露光する工程と、
前記第１感光性樹脂層の前記第１遮光部に対応する部位を除去して、平行な一方の辺および平行な他方の辺を有する仮設孔部を設けた第１樹脂層を形成する工程と、
前記仮設孔部を充填しつつ前記第１樹脂層の一方の主面に第２感光性樹脂層を形成する工程と、
前記第２感光性樹脂層の一方の主面に、前記第１遮光部よりも平行な一方の辺間で幅が大きく平行な他方の辺間で幅が小さい長方形状の第２遮光部を有する第２露光用マスクを通して、前記第２遮光部の平行な一方の辺間に前記仮設孔部の平行な一方の辺が位置するとともに、前記第２遮光部の平行な他方の辺が前記仮設孔部の平行な他方の辺間に位置するように位置合わせして露光する工程と、
前記第２感光性樹脂層の前記第２遮光部に対応する部位を除去して第２樹脂層を形成し、前記仮設孔部内に前記仮設孔部の平行な一方の辺および前記第２樹脂層に形成された前記第２遮光部に対応する平行な他方の辺を有する第１孔部を形成するとともに、前記第１樹脂層の一方の主面側の前記第２樹脂層に前記第２遮光部に対応する平行な一方の辺および平行な他方の辺を有する第２孔部を形成して、前記第１孔部および前記第２孔部からなるペースト通過孔を設ける工程と
を具備することを特徴とするスクリーン印刷版の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は積層チップコンデンサ等の電子部品の導体パターン形成工程等に好適なスクリーン印刷版およびその製造方法に関するものである。 
【背景技術】
【０００２】
従来から、積層チップコンデンサ等の電子部品の導体パターン形成工程等にスクリーン印刷が利用されている。
【０００３】
スクリーン印刷に用いる従来の一般的なスクリーン印刷版は、所定の形状に形成されたペースト通過孔を有しており、一方の主面がスキージを走行させる側となり、他方の主面が印刷対象物に接触させる側となる。このスクリーン印刷版において、ペースト通過孔の一方の主面側の孔部の面積を他方の主面側の孔部の面積よりも小さく設定して、スキージが掻き出した印刷ペーストを面積が小さい一方の主面側の孔部を通過させた後で広げながら他方の主面側より吐出させることにより、形成されるパターンの周辺部の印刷ペーストの量を中央部に比べて少なくなるようにしたスクリーン印刷版が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００４】
このスクリーン印刷版を用いれば、一般的にスクリーン印刷によって形成された印刷ペーストのパターンは周辺部が盛り上がりやすい傾向にあるためパターンの膜厚を均一にすることは困難であるが、周辺部の盛り上がりが抑えられるのでパターンの膜厚を均一にすることができるというものである。
【特許文献１】特開平６−１４３８５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来のスクリーン印刷版を用いたスクリーン印刷では、スキージが印刷ペーストを掻き出す量が、ペースト通過孔の開口部においてスキージが最初に通過する部分で少なく、スキージが最後に通過する部分で多い。このうちペースト通過孔の開口部においてスキージが最初に通過する部分では、吐出される印刷ペーストの量が少ないことから、印刷ペーストがペースト通過孔の他方の主面側の開口の周辺部まで充分に行き届かないことがあり、パターンのカスレが発生しやすいという問題点があった。
【０００６】
このようなパターンのカスレは、積層チップコンデンサの導体パターンのように長方形状のパターンを形成する場合であれば、スキージの走行方向に直交する辺に発生しやすく、そのような導体パターンが形成された積層チップコンデンサは静電容量値がばらついてしまうという問題点がある。このため、通常は長方形状のパターンに対するスキージの走行方向を長辺と平行に設定してパターンのカスレが発生する部分を少なくしているが、スキージが最初に通過する部分は残っているので、パターンのカスレを完全になくすことは困難である。
【０００７】
なお、長方形状のパターンに対するスキージの走行方向を長辺に対して20〜70度と斜めにした設定は、パターンのカスレを改善することはできるが、この場合であれば使用するスキージが非常に長くなり印刷装置が大型化するので採用することは困難である。
【０００８】
本発明は上記のような従来のスクリーン印刷版における問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、印刷ペーストのパターンの膜厚を均一にしつつパターンのカスレの発生を少なくすることができるスクリーン印刷版およびそのスクリーン印刷版の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のスクリーン印刷版は、一方の主面上のスキージの走行に伴って前記一方の主面からペースト通過孔を通して他方の主面に印刷ペーストを通過させるスクリーン印刷版であって、前記ペースト通過孔は、前記スキージの走行方向に平行な辺を有する長方形状であるとともに前記一方の主面側の第１孔部および前記他方の主面側の第２孔部からなり、前記第１孔部および前記第２孔部の開口幅は、前記スキージの走行方向に平行な辺間で前記第１孔部より前記第２孔部が大きく、前記スキージの走行方向に直交する辺間で等しいことを特徴とするものである。
【００１０】
また本発明のスクリーン印刷版は、上記構成において、前記第１孔部および前記第２孔部の開口幅は、それぞれ深さ方向で一定であることを特徴とするものである。
【００１１】
さらに本発明のスクリーン印刷版の製造方法は、スクリーン印刷用基材の一方の主面に第１感光性樹脂層を形成する工程と、前記第１感光性樹脂層に長方形状の第１遮光部を有する第１露光用マスクを通して露光する工程と、前記第１感光性樹脂層の前記第１遮光部に対応する部位を除去して、平行な一方の辺および平行な他方の辺を有する仮設孔部を設けた第１樹脂層を形成する工程と、前記仮設孔部を充填しつつ前記第１樹脂層の一方の主面に第２感光性樹脂層を形成する工程と、前記第２感光性樹脂層の一方の主面に、前記第１遮光部よりも平行な一方の辺間で幅が大きく平行な他方の辺間で幅が小さい長方形状の第２遮光部を有する第２露光用マスクを通して、前記第２遮光部の平行な一方の辺間に前記仮設孔部の平行な一方の辺が位置するとともに、前記第２遮光部の平行な他方の辺が前記仮設孔部の平行な他方の辺間に位置するように位置合わせして露光する工程と、前記第２感光性樹脂層の前記第２遮光部に対応する部位を除去して第２樹脂層を形成し、前記仮設孔部内に前記仮設孔部の平行な一方の辺および前記第２樹脂層に形成された前記第２遮光部に対応する平行な他方の辺を有する第１孔部を形成するとともに、前記第１樹脂層の一方の主面側の前記第２樹脂層に前記第２遮光部に対応する平行な一方の辺および平行な他方の辺を有する第２孔部を形成して、前記第１孔部および前記第２孔部からなるペースト通過孔を設ける工程とを具備することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のスクリーン印刷版によれば、ペースト通過孔の第１孔部および第２孔部の開口幅は、スキージの走行方向に平行な辺間で第１孔部より第２孔部が大きいことから、第１孔部を通過した印刷ペーストを広げながら第２孔部より吐出させるので、形成された印刷ペーストのパターンはスキージの走行方向に平行な辺部のペースト量が中央部に比べて少なくなり、周辺部の盛り上がりが抑えられる。他方、ペースト通過孔の第１孔部および第２孔部の開口幅は、スキージの走行方向に直交する辺間で等しいことから、ペースト通過孔の開口部においてスキージが最初に通過する部分での印刷ペーストを第１孔部から第２孔部を通過する間に第２孔部のスキージが最初に通過する辺まで充分に行き届かせることができるので、他方の主面側より吐出するペースト量が周辺部でばらつかなくなる。即ち、本発明のスクリーン印刷版は、周辺部の盛り上がりを抑えてパターンの膜厚を均一にしつつ、スキージの走行方向による吐出するペースト量のばらつきを抑えてカスレの発生を少なくすることができる。
【００１３】
また本発明のスクリーン印刷版によれば、上記構成において、第１孔部および第２孔部の開口幅が、それぞれ深さ方向で一定であるときには、印刷ペーストの流れは開口幅が一定な部分を通過する間に乱れが少なくなるので、それぞれの孔部での印刷ペーストの通過状態を安定させることができる。
【００１４】
さらに本発明のスクリーン印刷版の製造方法によれば、第１遮光部に対応した仮設孔部を有する第１樹脂層を形成しておいて、仮設孔部を充填しつつ第１樹脂層の一方の主面に第２感光性樹脂層を形成し、第２遮光部の平行な一方の辺間に仮設孔部の平行な一方の辺が位置するとともに、第２遮光部の平行な他方の辺が仮設孔部の平行な他方の辺間に位置するように位置合わせして露光することから、第２遮光部の位置合わせに多少のずれがあったとしても、仮設孔部内に仮設孔部の平行な一方の辺および第２樹脂層に形成された第２遮光部に対応する平行な他方の辺を有する第１孔部が形成されるとともに、第１樹脂層の一方の主面側の第２樹脂層に第２遮光部に対応する平行な一方の辺および平行な他方の辺を有する第２孔部が形成される。従って、第１孔部および第２孔部の開口幅がスキージの走行方向に平行な辺間で第１孔部より第２孔部が大きくスキージの走行方向に直交する辺間で等しいペースト通過孔を容易に設けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明のスクリーン印刷版６の実施の形態の一例を示す、一部を下方から見た平面図であり、図２（ａ）は図１のＡ−Ａ’線断面図であり、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ’線断面図である。これらの図に示す本発明のスクリーン印刷版６は、層状に形成された樹脂層３の一部に主面側からみて長方形状をなすペースト通過孔４が設けられている。また、樹脂層３の内部には印刷ペーストを通過させることが可能なメッシュ状のスクリーン印刷用基材５が埋め込まれており、スクリーン印刷用基材５の一部はペースト通過孔４が設けられた領域で露出している。
【００１７】
本発明のスクリーン印刷版６を用いたスクリーン印刷は、一方の主面ｈ上に印刷ペースト（図示せず）を載せるとともに他方の主面ｔ側に印刷対象物（図示せず）を配置しておいて、一方の主面ｈ上にスキージ（図示せず）を押し当てて走行させることにより、スキージの走行に伴って一方の主面ｈからペースト通過孔４を通して他方の主面ｔに印刷ペーストを通過させて、印刷対象物に印刷パターンを形成する工程である。
【００１８】
本発明のスクリーン印刷版６において印刷用マスクの役割を果たす樹脂層３は、感光性樹脂を露光して硬化させることにより形成される。感光性樹脂の材質としては、例えばジアゾ系化合物モノマー、ＰＶＡモノマー、エチレンモノマー、もしくはアクリルモノマー等が用いられる。
【００１９】
スクリーン印刷用基材５は、樹脂層３を補強するとともに一方の主面ｈ上に載せた印刷ペーストがスキージの通過前にペースト通過孔４に入り込むことを防止するためのものであり、例えばステンレスメッシュ、ナイロンメッシュ等の強度および耐腐食性が高い細線を平織り加工したメッシュ材が用いられる。また、ニッケル等を電気鋳造法を用いてメッシュ形状に形成したプレート状のメッシュ材を用いることもできる。
【００２０】
本発明のスクリーン印刷版において、ペースト通過孔４は、スキージの走行方向に平行な辺を有する長方形状であるとともに、一方の主面ｈ側の第１孔部１および他方の主面ｔ側の第２孔部２からなっている。
【００２１】
そして、ペースト通過孔４の第１孔部１および第２孔部２の開口幅を、スキージの走行方向に平行な辺21，21’，22，22’間で第１孔部１より第２孔部２を大きくしたことから、第１孔部１を通過した印刷ペーストを広げながら第２孔部２より吐出させるので、形成されたパターンはスキージの走行方向に平行な辺22，22’部のペースト量が中央部に比べて少なくなり、周辺部の盛り上がりが抑えられる。他方で、ペースト通過孔４の第１孔部１および第２孔部２の開口幅を、スキージの走行方向に直交する辺31，31’，32，32’間で等しくしたことから、ペースト通過孔４の開口部においてスキージが最初に通過する部分での印刷ペーストを第１孔部１から第２孔部２を通過する間に第２孔部２のスキージが最初に通過する辺32’まで充分に行き届かせることができるので、他方の主面ｔ側より吐出するペースト量が周辺部でばらつかなくなる。即ち、本発明のスクリーン印刷版６によれば、周辺部の盛り上がりを抑えて印刷ペーストのパターンの膜厚を均一にしつつ、スキージの走行方向による吐出するペースト量のばらつきを抑えてパターンのカスレの発生を少なくすることができる。なお、本発明のスクリーン印刷版６によれば、ペースト通過孔４の開口部においてスキージが最後に通過する部分でも印刷ペーストの広がりが制限されているので、スキージの走行方向を逆向きにしてもスクリーン印刷を行なうことができる。
【００２２】
具体的には、例えば図２（ａ）に示すスキージの走行方向に平行な辺21，22間の距離ｘの値は10〜300μｍに設定することが好ましい。ｘの値が10μｍよりも小さい場合には周辺部の盛り上がりを充分に抑えることができず、またｘの値が300μｍよりも大きい場合には他方の主面ｔ側より吐出するペースト量が周辺部でばらつくので一部にカスレが発生することがある。
【００２３】
また、第１孔部１および第２孔部２の開口部は、それぞれ深さ方向で一定であることから、印刷ペーストの流れは開口幅が一定な部分を通過する間に乱れが少なくなるので、それぞれの孔部でのペーストの通過状態を安定させることができる。換言すれば、ペースト通過孔４は、ペーストの通過方向の断面において全域が第１孔部１に等しい領域と、ペーストの通過方向の断面において全域が第２孔部２に等しい領域とからなる。
【００２４】
本発明のスクリーン印刷版は以下に示す製造方法により製作される。
【００２５】
（工程１）図３（１ａ）はスクリーン印刷用基材５の一部を示す断面図であり、図３（１ｂ）は図３（１ａ）のスクリーン印刷用基材５に第１感光性樹脂層７を形成した図である。本例におけるスクリーン印刷用基材５はステンレスメッシュであり、予めアルミ・ダイキャストフレーム等（図示せず）に接着剤で固着して所定のテンションに設定したものを用いた。そして、上記スクリーン印刷用基材５の一方の主面ｆに、ジアゾ系化合物モノマーに開始剤および溶剤を加えて成る樹脂液を、厚みが均一になるように専用バケットを用いて一方向もしくは往復するように塗布し、乾燥させることにより第１感光性樹脂層７が形成される。このとき、樹脂液をステンレスメッシュ５に塗り込むように塗布すると、樹脂液はステンレスメッシュ５の他方の主面ｒに到達することができる。本例における第１感光性樹脂層７の厚みはステンレスメッシュ５の厚みとほぼ同じか若干厚くなるように設定され、ステンレスメッシュ５が第１感光性樹脂層７内に埋め込まれる。
【００２６】
（工程２）図３（２ａ）および（２ｂ）に示すように、第１露光用マスク９を通して第１感光性樹脂層７を露光する。第１露光用マスク９は、長方形状の第１遮光部13を有しており、プラスチックやガラス等の光透過性の高い材料が用いて板状もしくはフィルム状に形成されたものである。なお、図３（２ａ）は第１遮光部13の短辺に平行な断面図であり、図３（２ｂ）は第１遮光部13の長辺に平行な断面図である。具体的には、第１露光用マスク９を第１感光性樹脂層７に密着させておいて、例えば400ｍＪ／ｃｍ2の光量の紫外線を用いて露光を行ない、露光した後に、密着させた第１露光マスク９を第１感光性樹脂層７から取り外す。
【００２７】
（工程３）図３（３ａ）および図３（３ｂ）は、図３（２ａ）および（２ｂ）からそれぞれ第１感光性樹脂層７の第１遮光部13に対応する部位を除去して、仮設孔部11ａを設けた第１樹脂層11を形成した図である。第１遮光部13に対応する部位は、未硬化状態なので例えば純水に一定時間浸して揺動させることにより除去することができる。また、硬化部分はＩＰＡで洗浄して20〜40℃の温風で乾燥させる。そして形成された仮設孔部11ａは、平行な一方の辺41，41’および平行な他方の辺42，42’を有したものとなる。
【００２８】
（工程４）図３（４ａ）および図３（４ｂ）は、図３（３ａ）および図３（３ｂ）の仮設孔部11aを充填しつつ第１樹脂層11の一方の主面ｓにそれぞれ第２感光性樹脂層８を形成した図である。第２感光性樹脂層８は、上記工程１と同様の方法を用いて樹脂液を塗布し、乾燥させることにより形成される。なお、第２感光性樹脂層８を形成する樹脂液として、第１感光性樹脂層７に用いた樹脂液を用いておけば、第１樹脂層11と後述する第２樹脂層12との接合性がよく、また熱膨張係数等の物理的な性質が同じになるので、スクリーン印刷版の信頼性を高くすることができる。
【００２９】
（工程５）図３（５ａ）および（５ｂ）は、図３（４ａ）および図３（４ｂ）の第２感光性樹脂層８の一方の主面に、それぞれ第２露光用マスク10を通して露光する工程を示す図である。第２露光用マスク10は、第１遮光部13よりも平行な一方の辺61，61’間で幅が大きく平行な他方の辺62，62’間で幅が小さい長方形状の第２遮光部14を有しており、露光するときには第２感光性樹脂層８の一方の主面ｐに、第２遮光部14の平行な一方の辺61，61’間に仮設孔部11ａの平行な一方の辺41，41’が位置するとともに、第２遮光部14の平行な他方の辺62，62’が仮設孔部11ａの平行な他方の辺42，42’間に位置するように位置合わせして密着させておく。
【００３０】
（工程６）図３（６ａ）および（６ｂ）は、図３（５ａ）および（５ｂ）からそれぞれ第２感光性樹脂層８の第２遮光部14に対応する部位を除去して第２樹脂層を形成する工程を示す図である。第２遮光部14に対応する部位は未硬化状態であり、上記工程３と同様の方法を用いて除去・乾燥することによりペースト通過孔４が設けられた第２樹脂層12が形成される。ペースト通過孔４は、仮設孔部11ａ内に仮設孔部11ａの平行な一方の辺41（21），41’（21’）および第２樹脂層12に形成された第２遮光部14に対応する平行な他方の辺31，31’を有する第１孔部１が形成されるとともに、第１樹脂層11の一方の主面側の第２樹脂層12に第２遮光部14に対応する平行な一方の辺22，22’および平行な他方の辺32，32’を有する第２孔部２が形成される。
【００３１】
このようにして、第１樹脂層11および第２樹脂層12から構成される層状に形成された樹脂層３と、樹脂層３の一部に設けられ一方の主面ｈ側の第１孔部１および他方の主面ｔ側の第２孔部２からなるペースト通過孔４と、一部がペースト通過孔４が設けられた領域で露出するようにして樹脂層３の内部に埋め込まれたスクリーン印刷用基材５とを備えた本発明のスクリーン印刷版６が完成する。
【００３２】
本発明のスクリーン印刷版６の製造方法によれば、工程５のときに、第１遮光部13に対応した仮設孔部11ａを有する第１樹脂層11を形成しておいて、仮設孔部11ａを充填しつつ第１樹脂層11の一方の主面に第２感光性樹脂層８を形成し、第２遮光部14の平行な一方の辺61，61’間に仮設孔部11ａの平行な一方の辺41，41’が位置するとともに、第２遮光部14の平行な他方の辺62，62’が仮設孔部11ａの平行な他方の辺42，42’間に位置するように位置合わせして露光することから、第２遮光部14の位置合わせに多少のずれがあったとしても、工程６においては、仮設孔部11ａ内に仮設孔部11ａの平行な一方の辺41（21），41’（21’）および第２樹脂層12に形成された第２遮光部14に対応する平行な他方の辺31，31’を有する第１孔部１が形成されるとともに、第１樹脂層11の一方の主面ｓ側の第２樹脂層12に第２遮光部14に対応する平行な一方の辺22，22’および平行な他方の辺32，32’を有する第２孔部２が形成される。従って、第１孔部１および第２孔部２の開口幅がスキージの走行方向に平行な辺21，21’，22，22’間で第１孔部１より第２孔部２が大きく、スキージの走行方向に直交する辺31，31’，32，32’間で等しいペースト通過孔４を容易に設けることができる。
【００３３】
具体的な実施例として、第２孔部２の形状を600×300μｍの長方形とし、図２（ａ）に示すスキージの走行方向に平行な辺21，22間の距離ｘの値をそれぞれ０，10，20，40，60，80，100，200，300および400μｍに設定した本発明のスクリーン印刷版を用いて、ニッケル粉末，エチルセルロースおよびターピネオールからなるペーストを100ポイズの粘度に設定してスクリーン印刷テストを行なった。
【００３４】
テストに用いたスクリーン印刷版６は、スクリーン印刷用基材５として、線径が18μｍのステンレス鋼線を平織り加工し、開口率を42％、透過体積を17ｃｍ３／ｍ２に設定した500番メッシュを用いた。このスクリーン印刷用基材５を、テンションが0.28ｍｍの条件で450×450ｍｍのアルミ・ダイキャストフレームに接着剤で固定し、スクリーン印刷用基材５を埋め込むように厚み30μｍの第１感光性樹脂層７を形成して露光することにより仮設孔部11ａが設けられた第１樹脂層11を形成した後、第１樹脂層の表面に厚み３μｍの第２感光性樹脂層８を形成して露光することにより、ペースト通過孔４が設けられた第２樹脂層12を形成してスクリーン印刷版６を製造した。第１感光性樹脂層７および第２感光性樹脂層８としてはジアゾ化合物モノマーを用いた。
【００３５】
上記テストの結果、ｘの値が０μｍのときには周辺部が盛り上がり、ｘが400μｍのときには印刷ペーストのパターンの周辺部に印刷ペーストのカスレが発生した。そしてｘの値が10〜300μｍのときには、周辺部の盛り上がりがなく、カスレも発生しなかった。
【００３６】
なお、本発明は上述した実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【００３７】
例えば、上述した実施の形態の例においては、スクリーン印刷用基材５が第１樹脂層11内に埋め込まれているが、スクリーン印刷用基材５はなくても構わない。この場合のスクリーン印刷版６の製造方法においては、第１感光性樹脂層７を形成した後に、工程４の前にスクリーン印刷用基材５を第１感光性樹脂層７から分離させるような補助工程を採用するとよい。なお、スクリーン印刷用基材５を第１感光性樹脂層７から分離させる補助工程は、工程２で露光する前で行なっても、工程３で露光した後で行なっても構わない。このような製造方法に用いるスクリーン印刷用基材５は、分離を容易にするために表面が平滑な板材を用いるとよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明のスクリーン印刷版の実施の形態の一例を示す、一部を下方から見た平面図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は、それぞれ図１に示すスクリーン印刷版のＡ−Ａ’線およびＢ−Ｂ’線断面図である。
【図３】（１ａ）、（１ｂ）、（２ａ）、（２ｂ）、（３ａ）、（３ｂ）、（４ａ）、（４ｂ）、（５ａ）、（５ｂ）、（６ａ）および（６ｂ）は、それぞれ本発明のスクリーン印刷版の製造方法を示す各工程毎の断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１・・・第１孔部
２・・・第２孔部
３・・・樹脂層
４・・・ペースト通過孔
５・・・スクリーンメッシュ
６・・・スクリーン印刷版
７・・・第１感光性樹脂層
８・・・第２感光性樹脂層
９・・・第１露光用マスク
10・・・第２露光用マスク
11・・・第１樹脂層
11ａ・・・仮設孔部
12・・・第２樹脂層
13・・・第１遮光部
14・・・第２遮光部
【図１】
2006327064.tif 000003
【図２】
2006327064.tif 000004
【図３】
2006327064.tif 000005