(57)【要約】【課題】  小型化が容易なアクチュエータを提供する。【解決手段】筒状の第１の移動体１１の内壁１１ａに、第２の移動体１２及び圧電素子１３の端面１３ａが接しており、圧電素子の端面１３ｂが固定部材に固定されている。第２の移動体１２には第１の移動体１１の内壁１１ａからの摩擦力が作用しており、第１の移動体１１の内壁１１ａには圧電素子１３の端面１３ａからの摩擦力が作用している。圧電素子１３は、圧電性セラミックス１３ｃの左右面に電極１３ｄ，１３ｄが設けられたものである。圧電性セラミックス１３ｃは矢印方向に分極している。【選択図】図２
2006149083.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線移動可能又は回転可能な移動体と、前記移動体に直線駆動力又は回転駆動力を与える駆動体とを有するアクチュエータにおいて、
前記移動体は、第１の移動体及び第２の移動体を有し、前記駆動体は分極方向と交叉する方向に電圧が印加される電気機械エネルギー変換素子であり、この電気機械エネルギー変換素子の前記分極方向と平行な両端面のうち一方の端面が固定部材に固定され、他方の端面が前記第１の移動体の直線移動方向又は回転接線方向に平行な面と接しており、
前記電気機械エネルギー変換素子の前記他方の端面を前記第１の移動体の前記直線移動方向又は回転接線方向の正方向と逆方向に異なる速度で変位させることにより、前記直線移動方向又は回転接線方向に前記第１の移動体を移動させるアクチュエータ。
【請求項２】
直線移動可能又は回転可能な移動体と、前記移動体に直線駆動力又は回転駆動力を与える駆動体とを有するアクチュエータにおいて、
前記移動体は、第１の移動体及び第２の移動体を有し、前記駆動体は分極方向と交叉する方向に電圧が印加される電気機械エネルギー変換素子であり、この電気機械エネルギー変換素子の前記分極方向と平行な両端面のうち一方の端面が固定部材に固定され、他方の端面が前記第１の移動体の直線移動方向又は回転接線方向に平行な面と接しており、
前記電気機械エネルギー変換素子の前記他方の端面を前記第１の移動体の前記直線移動方向又は回転接線方向の正方向と逆方向に異なる速度で変位させることにより、前記直線移動方向又は回転接線方向における、前記第２の移動体の前記第１の移動体に対する相対位置を移動させるアクチュエータ。
【請求項３】
前記第１の移動体の周囲に、前記第１の移動体を前記駆動体に向けて押圧する加圧部材が設けられている請求項１又は２記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は直線移動型及び回転移動型のアクチュエータに係り、特に小型化が容易な直線移動型及び回転移動型のアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１７は特許文献１（特開平５−１０５２９１号公報）に記載されている圧電素子を用いた搬送装置１の概念図である。電圧印加方向に垂直な方向に分極している圧電素子２の両端の電極３ａ，３ｂに電圧Ｖをゆっくりと印加する（図１７（ａ））。これにより、電極３ａ上に置かれた搬送物４は、作用部２ａの変形と共にＹ方向に移動する（図１７（ｂ））。この動作に次いで、電圧の印加を止めて圧電素子２を元の位置に急速にＸ方向に戻す。この時、動摩擦係数は静摩擦係数よりも小さいため、搬送物４は移動した後の位置からは動かず、圧電素子２の作用部２ａの変形のみを元の位置に戻すことができる（図１７（ｃ））。このような一連の動作を繰り返して行うことにより、搬送物４をＹ方向に移動させることが可能となる。
【特許文献１】特開平５−１０５２９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１には、圧電素子２を用いる搬送装置の基本概念が記載されているが、この圧電素子２を用いて、複数種類の搬送物を移動することに関しては記載されていない。
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、少ない数の圧電素子によって複数種類の移動体を移送させることができ、小型化が容易な直線移動型及び回転移動型のアクチュエータを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、直線移動可能又は回転可能な移動体と、前記移動体に直線駆動力又は回転駆動力を与える駆動体とを有するアクチュエータにおいて、
前記移動体は、第１の移動体及び第２の移動体を有し、前記駆動体は分極方向と交叉する方向に電圧が印加される電気機械エネルギー変換素子であり、この電気機械エネルギー変換素子の前記分極方向と平行な両端面のうち一方の端面が固定部材に固定され、他方の端面が前記第１の移動体の直線移動方向又は回転接線方向に平行な面と接しており、
前記電気機械エネルギー変換素子の前記他方の端面を前記第１の移動体の前記直線移動方向又は回転接線方向の正方向と逆方向に異なる速度で変位させることにより、前記直線移動方向又は回転接線方向に前記第１の移動体を移動させることを特徴とするものである。
【０００５】
本発明に用いられる前記電気機械エネルギー変換素子は例えば圧電素子であり、分極方向と交叉する方向に電圧が印加されるものである。この圧電素子の前記分極方向と平行な両端面のうち一方の端面が固定部材に固定され、他方の端面が前記第１の移動体の直線移動方向又は回転接線方向に平行な面と接しているので、前記圧電素子に電圧を印加すると、この電圧方向と交叉する分極方向にすべり変位が発生して、前記第１の移動体が直線移動又は回転移動する。
【０００６】
本発明では圧電素子のすべり変位を利用するため、前記圧電素子を前記第１の移動体の移動方向に平行な面に設置することができる。このため、アクチュエータ全体の寸法を小さく抑えることが容易になる。
【０００７】
また、本発明では、前記移動体が第１の移動体と第２の移動体を有している。
前記第２の移動体は前記第１の移動体に例えば摩擦力によって支持されている。前記第１の移動体の移動速度が小さく、前記第２の移動体にかかる力が静止摩擦力であるときには前記第２の移動体は前記第１の移動体と共に移動し前記第１の移動体に対する前記第２の移動体の相対位置は移動しない。
【０００８】
あるいは、前記電気機械エネルギー変換素子の前記他方の端面を前記第１の移動体の前記直線移動方向又は回転接線方向の正方向と逆方向に異なる速度で変位させることにより、前記直線移動方向又は回転接線方向における、前記第２の移動体の前記第１の移動体に対する相対位置を移動させることもできる。
【０００９】
前記第１の移動体の前記第２の移動体に対する相対移動速度が大きく、前記第２の移動体にかかる力が動摩擦力であるときには前記第２の移動体は慣性により前記第１の移動体と共に移動しなくなる。このとき、前記第２の移動体は前記第１の移動体に対して相対的に移動することになる。
【００１０】
このように、本発明では、前記第１の移動体を駆動させて、前記第２の移動体の前記第１の移動体上での相対位置を固定したままにしたり、移動させたりすることができる。
【００１１】
前記第１の移動体は前記駆動体からの摩擦力を受けているが、前記第１の移動体の周囲に、前記第１の移動体を前記駆動体に向けて押圧する加圧部材を設けて、前記第１の移動体が前記駆動体から受ける摩擦力を調節できることが好ましい。
【００１２】
これによって、本発明では、前記第１の移動体の前記駆動体に対する相対位置を移動させ、前記第２の移動体の前記第１の移動体に対する相対位置を変化させない移動パターンと、前記第１の移動体の前記駆動体に対する相対位置を移動させず、前記第２の移動体の前記第１の移動体に対する相対位置を変化させる移動パターンの制御が容易になる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では圧電素子のすべり変位を利用するため、前記圧電素子を前記第１の移動体の移動方向に平行な面に設置することができる。このため、アクチュエータ全体の寸法を小さく抑えることが容易になる。
【００１４】
また、本発明では前記第１の移動体に接している前記駆動体によって、前記第１の移動体の前記駆動体に対する相対位置移動と、前記第２の移動体の前記第１の移動体に対する相対位置移動を制御することができるので、機構を簡易化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は本発明の第１の実施の形態のアクチュエータを示す部分分解斜視図であり、図２は図１の２−２線で切断し、矢印方向から見た断面図、図３は図１に示されたアクチュエータの上面図である。
このアクチュエータ１０は、筒状の第１の移動体１１の内壁１１ａに、第２の移動体１２及び圧電素子（電気機械エネルギー変換素子）１３の端面（他方の端面）１３ａが接しており、圧電素子の端面（一方の端面）１３ｂが固定部材１４に固定されているものである。第２の移動体１２には第１の移動体１１の内壁１１ａからの摩擦力が作用しており、第１の移動体１１の内壁１１ａには圧電素子１３の端面１３ａからの摩擦力が作用している。なお、図３では第２の移動体１２の図示を省略している。
【００１６】
圧電素子１３は、圧電性セラミックス１３ｃの左右面に電極１３ｄ，１３ｄが設けられたものである。圧電性セラミックス１３ｃは図２及び図３に示される矢印方向に分極している。従って、電圧は分極方向と交叉する方向に印加される。なお、圧電素子１３の端面１３ａ，１３ｂは分極方向と平行な端面である。
【００１７】
第１の移動体１１の外側には、第１の移動体１１を圧電素子１１に向けて押圧する加圧部材として、圧電素子１５及び固定部材１６が設けられている。圧電素子１５の分極方向は第１の移動体１１を圧電素子１３に向けて押圧する方向であり、図２に示されるように第１の移動体の外壁１１ｂに垂直な方向である。
【００１８】
第１の移動体１１が圧電素子１３の端面１３ａと平行な方向に直線移動方向する機構を図２、４、５を参照して説明する。
【００１９】
図２の状態から圧電素子１３の電極１３ｄ，１３ｄ間に図７（ａ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なる電圧、例えばのこぎり波電圧を印加する。
【００２０】
最初に電圧はゆっくり立ち上がる（図７の区間（Ｂ））。このとき圧電素子１３はこの電圧方向と交叉する分極方向にすべり変位が発生して、圧電素子１３の端面１３ａの変位と共に第１の移動体が図示上方に直線移動する（図４）。
【００２１】
次に、電圧が急激に降下し（図７の区間（Ｃ））、圧電素子１３は元の形状に急速に復帰する。このときは、第１の移動体１１の内壁１１ａにかかる摩擦力は、圧電素子の端面１３ａからの動摩擦力になり、動摩擦力は静止摩擦力より小さい。その結果、第１の移動体１１は図４の位置からは動かず、圧電素子１３の端面１３ａのみが元の位置にもどる（図５）。このような一連の動作を繰り返すことにより、第１の移動体１１を図示上方向に移動させることができる。
【００２２】
なお、圧電素子１３の電極１３ｄ，１３ｄ間に図７（ｂ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるのこぎり波電圧を印加すると、第１の移動体１１は図示下方に移動する。
【００２３】
本発明では圧電素子のすべり変位を利用するため、圧電素子１３を第１の移動体１１の移動方向に平行な端面１３ａに設置することができる。このため、アクチュエータ１０の図示上下方向寸法を小さく抑えることが容易になる。
【００２４】
第２の移動体１２は第１の移動体１１に摩擦力によって支持されている。第１の移動体１１の移動速度が小さく、第２の移動体１２にかかる力が静止摩擦力であるときには第２の移動体１２は第１の移動体１１と共に移動し第１の移動体１１に対する第２の移動体１２の相対位置は移動しない。図２、図４、図５では第２の移動体１２の第１の移動体１１に対する相対位置は変化していない。
【００２５】
次に、図２、図４、図６を参照して、第１の移動体１１に対する第２の移動体１２の相対位置を移動させる機構を説明する。
【００２６】
図２の状態から圧電素子１３の電極１３ｄ，１３ｄ間に図７（ａ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるのこぎり波電圧を印加する。
【００２７】
最初に電圧はゆっくり立ち上がる（図７（ａ）の区間Ｂ）。このとき圧電素子１３はこの電圧方向と交叉する分極方向にすべり変位が発生して、圧電素子１３の端面１３ａの変位と共に第１の移動体が図示上方に直線移動する。このとき、第２の移動体１２は第１の移動体１１の内壁１１ａに摩擦力によって固定された状態を維持したまま第１の移動体１１と共に図示上方に直線移動する（図４）。
【００２８】
次に、電圧が急激に降下し（図７ａの区間Ｃ）、圧電素子１３は元の形状に急速に復帰する。このとき、第１の移動体１１の内壁１１ａにかかる摩擦力が静止摩擦力であるようにする。本実施の形態では、第１の移動体１１の外壁１１ｂに接している圧電素子１５の電極１５ｂ，１５ｂ間に電圧を印加して、圧電素子１５を図示左右方向に伸張させる。これによって、第１の移動体１１を中心方向に加圧し、第１の移動体１１が圧電素子１３の端面１３ａから受ける静止摩擦力を大きくしている。
【００２９】
従って、圧電素子１３の復元と共に第１の移動体も元の位置にもどる。ここで、第２の移動体１２にかかる力が動摩擦力になるように、第１の移動体１１の第２の移動体１２に対する相対移動速度を大きくすると、慣性が働いて第２の移動体１２は第１の移動体１１と共に移動しなくなる。このとき、第２の移動体１２は第１の移動体１１に対して相対的に図示上方向に移動することになる（図６）。このような一連の動作を繰り返すことにより、第２の移動体１２を図示上方向に移動させることができる。
【００３０】
なお、圧電素子１３の電極１３ｄ，１３ｄ間に図７（ｂ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるのこぎり波電圧を印加すると、第２の移動体１２は図示下方に移動する。   
【００３１】
このように、第１の移動体１１を駆動させて、第２の移動体１２の第１の移動体１１上での相対位置を固定したままにしたり、移動させたりすることができる。
【００３２】
本実施の形態では第１の移動体１１に接している圧電素子１３によって、第１の移動体１１の圧電素子１３に対する相対位置移動と、第２の移動体１２の第１の移動体１１に対する相対位置移動を制御することができるので、機構を簡易化できる。
【００３３】
加圧部材である圧電素子１５及び固定部材１６が設けられていると、第１の移動体１１の圧電素子１３に対する相対位置を移動させ、第２の移動体１２の第１の移動体１１に対する相対位置を変化させない移動パターンと、第１の移動体１１の圧電素子１３に対する相対位置を移動させず、第２の移動体１２の第１の移動体１１に対する相対位置を変化させる移動パターンの制御が容易になる。
【００３４】
図８は本発明の第２の実施の形態のアクチュエータを示す斜視図であり、図９は図８の９−９線で切断し、矢印方向から見た断面図、図１０は図８に示されたアクチュエータの上面図である。
このアクチュエータ２０では、筒状の第１の移動体２１の内壁２１ａに第２の移動体２２が接しており、第１の移動体の外壁２１ｂに圧電素子（電気機械エネルギー変換素子）２３の端面（他方の端面）２３ａが接している。圧電素子の端面（一方の端面）２３ｂは固定部材２４に固定されている。第２の移動体２２には第１の移動体２１の内壁２１ａからの摩擦力が作用しており、第１の移動体２１の外壁２１ｂには圧電素子２３の端面２３ａからの摩擦力が作用している。
【００３５】
圧電素子２３は、圧電性セラミックス２３ｃの左右面に電極２３ｄ，２３ｄが設けられたものである。圧電性セラミックス２３ｃは図９に示される矢印方向に分極している。従って、電圧は電極分極方向と交叉する方向に印加される。なお、圧電素子２３の端面２３ａ，２３ｂは分極方向と平行な端面である。
【００３６】
固定部材２４の外側には、圧電素子２３を第１の移動体２１に向けて押圧する加圧部材として、圧電素子２５及び固定部材２６が設けられている。圧電素子２５の分極方向は第１の移動体２１を圧電素子２３に向けて押圧する方向であり、図９に示されるように第１の移動体の外壁２１ｂに垂直な方向である。
【００３７】
圧電素子２３の電極２３ｄ，２３ｄ間に図７（ａ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるのこぎり波電圧を印加する。
【００３８】
最初に電圧はゆっくり立ち上がる（図７の区間（Ｂ））。このとき圧電素子２３はこの電圧方向と交叉する分極方向にすべり変位が発生して、圧電素子２３の端面２３ａの変位と共に第１の移動体が図示上方に直線移動する。
【００３９】
次に、電圧が急激に降下し（図７の区間（Ｃ））、圧電素子２３は元の形状に急速に復帰する。このときは、第１の移動体２１の外壁２１ｂにかかる摩擦力は、圧電素子の端面２３ａからの動摩擦力になり、動摩擦力は静止摩擦力より小さい。その結果、第１の移動体２１は動かず、圧電素子２３の端面２３ａのみが元の位置にもどる。このような一連の動作を繰り返すことにより、第１の移動体２１を図示上方向に移動させることができる。
【００４０】
なお、圧電素子２３の電極２３ｄ，２３ｄ間に図７（ｂ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるのこぎり波電圧を印加すると、第１の移動体２１は図示下方に移動する。
【００４１】
本発明では圧電素子のすべり変位を利用するため、圧電素子２３を第１の移動体２１の移動方向に平行な端面２３ａに設置することができる。このため、アクチュエータ１０の図示上下方向寸法を小さく抑えることが容易になる。
【００４２】
第２の移動体２２は第１の移動体２１に摩擦力によって支持されている。第１の移動体２１の移動速度が小さく、第２の移動体２２にかかる力が静止摩擦力であるときには第２の移動体２２は第１の移動体２１と共に移動し第１の移動体２１に対する第２の移動体２２の相対位置は移動しない。
【００４３】
ただし、図１ないし図３に示されたアクチュエータと同様に、第２の移動体２２を第１の移動体２１に対して相対的に移動させることが可能である。
【００４４】
第１の移動体２１の外壁２１ｂに接している圧電素子２５の電極２５ｂ，２５ｂ間に電圧を印加して、圧電素子２５を図示左右方向に伸張させることによって、圧電素子２３を中心方向に加圧し、第１の移動体２１が圧電素子２３の端面２３ａから受ける静止摩擦力を大きくする。この状態で圧電素子２３を駆動させて第１の移動体２１を図示上方向に移動させる。
【００４５】
ここで、第１の移動体２１を上方向に動かすときには、第２の移動体２２が第１の移動体２１に支持された状態で一緒に図示上方向に移動するようにゆっくりした速度で動かす。反対に第１の移動体２１を下方向に動かすときには、第２の移動体２２にかかる力が動摩擦力になるように、第１の移動体２１の第２の移動体２２に対する相対移動速度を大きくする。すると、慣性が働いて第２の移動体２２は第１の移動体２１と共に移動しなくなる。このとき、第２の移動体２２は第１の移動体２１に対して相対的に図示上方向に移動することになる。このような一連の動作を繰り返すことにより、第２の移動体２２を図示上方向に移動させることができる。
【００４６】
なお、圧電素子２３の電極２３ｄ，２３ｄ間に図７（ｂ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるのこぎり波電圧を印加すると、第２の移動体２２は図示下方に移動する。   
【００４７】
このように、第１の移動体２１を駆動させて、第２の移動体２２の第１の移動体２１上での相対位置を固定したままにしたり、移動させたりすることができる。
【００４８】
本実施の形態では第１の移動体２１に接している圧電素子２３によって、第１の移動体２１の圧電素子２３に対する相対位置移動と、第２の移動体２２の第１の移動体２１に対する相対位置移動を制御することができるので、機構を簡易化できる。
【００４９】
加圧部材である圧電素子２５及び固定部材２６が設けられていると、第１の移動体２１の圧電素子２３に対する相対位置を移動させ、第２の移動体２２の第１の移動体２１に対する相対位置を変化させない移動パターンと、第１の移動体２１の圧電素子２３に対する相対位置を移動させず、第２の移動体２２の第１の移動体２１に対する相対位置を変化させる移動パターンの制御が容易になる。
【００５０】
図１ないし図１０では、第１の移動体１１、２１が図示上下方向に移動する。
ここで、圧電素子１３、２３の分極方向を図１１、図１２の矢印方向に示すように、第１の移動体１１、２１の円周に沿った方向にすると、圧電素子１３、２３に図７（ａ）、（ｂ）に示すのこぎり波電圧を印加することによって、第１の移動体１１、２１を円周方向に回転運動させることができる。
【００５１】
また、図１３、図１４に示すように、複数個の圧電素子１３、２３のうち一部の分極方向を第１の移動体１１、２１の円周に沿った方向にし、他を第１の移動体１３、２３の上方向（図示Ｚ方向）にすると、圧電素子１３、２３に図７（ａ）、（ｂ）に示すのこぎり波電圧を適宜印加することによって、第１の移動体１１、２１を、上下方向に直進運動させたり、円周方向に回転運動させたり、または、らせん運動させることができる。
【００５２】
図１５は本発明の他の実施の形態のアクチュエータを示す上面図であり、図１６は図１５に示されたアクチュエータを１６−１６線で切断して矢印方向から見た断面図である。
【００５３】
このアクチュエータ３０は、筒状の第１の移動体３１の内壁３１ａに第２の移動体３２が接しており。第１の移動体３１の外壁３１ｂに圧電素子（電気機械エネルギー変換素子）３５の端面（他方の端面）３５ａが接しているものである。圧電素子３５の端面（一方の端面）３５ｂは固定部材３６に固定されている。第２の移動体３２には第１の移動体３１の内壁３１ａからの摩擦力が作用しており、第１の移動体３１の外壁３１ｂには圧電素子３５の端面３５ａからの摩擦力が作用している
また、第１の移動体３１の内壁３１ａに圧電素子（電気機械エネルギー変換素子）３３の端面（他方の端面）３３ａが接しており、圧電素子３３の端面（一方の端面）３３ｂは固定部材３４に固定されている。第１の移動体３１の内壁３１ａには圧電素子３３の端面３３ａからの摩擦力が作用している。
【００５４】
なお、図１５では第２の移動体３２の図示を省略している。
圧電素子３５は、圧電性セラミックス３５ｃの左右面に電極３５ｄ，３５ｄが設けられたものである。圧電性セラミックス３５ｃは図９に示される矢印方向に分極している。圧電素子３３は、圧電性セラミックス３３ｃの左右面に電極３３ｄ，３３ｄが設けられたものである。圧電性セラミックス３３ｃ、３５ｃは図１５、図１６に示される矢印方向に分極している従って、電圧は分極方向と交叉する方向に印加される。
【００５５】
固定部材３６の外側には、圧電素子３５を第１の移動体３１に向けて押圧する加圧部材として、圧電素子３７及び固定部材３８が設けられている。圧電素子３７の分極方向は圧電素子３５を第１の移動体３１に向けて押圧する方向であり、図１５に示されるように第１の移動体の外壁３１ｂに垂直な方向である。
【００５６】
圧電素子３５の電極３５ｄ，３５ｄ間に図７（ａ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるのこぎり波電圧を印加することにより、第１の移動体３１を図１６の図示上下方向に移動させることができる。
【００５７】
また、図１ないし図３に示されたアクチュエータと同様に、第２の移動体３２を第１の移動体３１に対して相対的に移動させることが可能である。
【００５８】
第１の移動体３１の外壁３１ｂに接している圧電素子３７の電極３７ｂ，３７ｂ間に電圧を印加して、圧電素子３７を図示左右方向に伸張させることによって、圧電素子３５を中心方向に加圧し、第１の移動体３１が圧電素子３５の端面３５ａから受ける静止摩擦力を大きくする。この状態で圧電素子３５を駆動させて第１の移動体３１を図示上方向に移動させる。
【００５９】
ここで、第１の移動体３１を上方向に動かすときには、第２の移動体３２が第１の移動体３１に支持された状態で一緒に図示上方向に移動するようにゆっくりした速度で動かす。反対に第１の移動体３１を下方向に動かすときには、第２の移動体３２にかかる力が動摩擦力になるように、第１の移動体３１の第２の移動体３２に対する相対移動速度を大きくする。すると、慣性が働いて第２の移動体３２は第１の移動体３１と共に移動しなくなる。このとき、第２の移動体３２は第１の移動体３１に対して相対的に図示上方向に移動することになる。このような一連の動作を繰り返すことにより、第２の移動体３２を図示上方向に移動させることができる。
【００６０】
なお、圧電素子３５の電極３５ｄ，３５ｄ間に図７（ｂ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるのこぎり波電圧を印加すると、第２の移動体３２は図示下方に移動する。   
【００６１】
このように、第１の移動体３１を駆動させて、第２の移動体３２の第１の移動体３１上での相対位置を固定したままにしたり、移動させたりすることができる。
【００６２】
また、圧電素子３３の電極３３ｄ，３３ｄ間に図７（ａ）、（ｂ）に示されるような立ち上がり速度と立ち下がり速度が異なるのこぎり波電圧を印加することにより、第１の移動体３１を円周方向に回転させることができる。
【００６３】
さらに、圧電素子３３と圧電素子３５を同時に駆動することにより、第１の移動体３１を螺旋運動させることができる。
【００６４】
なお、本発明のアクチュエータはカメラのオートフォーカス装置などに用いることが可能である。例えば、第１の移動体を筐体とし、第２の移動体をレンズ体としてズーミングやピント合わせを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１の実施の形態のアクチュエータを示す分解斜視図、
【図２】図１に示されたアクチュエータの断面図、
【図３】図１に示されたアクチュエータの上面図、
【図４】図１に示されたアクチュエータの断面図、
【図５】図１に示されたアクチュエータの断面図、
【図６】図１に示されたアクチュエータの断面図、
【図７】（ａ）本発明のアクチュエータに印加される電圧波形の一例を示すグラフ、（ｂ）本発明のアクチュエータに印加される電圧波形の一例を示すグラフ、
【図８】本発明の第２の実施の形態のアクチュエータを示す斜視図、
【図９】図８に示されたアクチュエータの断面図、
【図１０】図８に示されたアクチュエータの上面図、
【図１１】本発明の第３の実施の形態のアクチュエータを示す上面図、
【図１２】本発明の第４の実施の形態のアクチュエータを示す上面図、
【図１３】本発明の第５の実施の形態のアクチュエータを示す上面図、
【図１４】本発明の第６の実施の形態のアクチュエータを示す上面図、
【図１５】本発明の第７の実施の形態のアクチュエータを示す上面図、
【図１６】本発明の第７の実施の形態のアクチュエータを示す断面図、
【図１７】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）すべり変位型の圧電素子を用いた搬送装置の動作状態を示す概念図、
【符号の説明】
【００６６】
１１、２１、３１ 第１の移動体
１２、２２、３２ 第２の移動体
１３、２３、３３  圧電素子
１４、２４、３４  固定部材
１５、２５、３５  圧電素子
１６、２６、３６  固定部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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