(57)【要約】 【課題】  円形の研磨パッドを使用し、この研磨パッドを定盤のパッド貼着面に偏心状態に貼着することにより、ワークを研磨パッドからオーバーハングさせながら研磨するのに適した構成の定盤を得る。【解決手段】  定盤１における円形のパッド貼着面７と略同径をなす円形の両面接着シート１３の片面に、この接着シート１３より小径の円形をした研磨パッド１１を、該接着シート１３から外側にはみ出さない範囲内で偏心状態に貼着し、この接着シート１３を定盤１の上記パッド貼着面７に同心状に接着することにより、このパッド貼着面７に上記研磨パッド１１を偏心状態に貼着すると共に、このパッド貼着面７の研磨パッド１１で覆われていないパッド非貼着部１６，１７を上記接着シート１３で覆う。【選択図】        図３
2006068888.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤における円形のパッド貼着面と略同径をなす円形の両面接着シートの片面に、この接着シートより小径の円形をした研磨パッドを、該接着シートから外側にはみ出さない範囲内で偏心状態に貼着し、この接着シートを定盤の上記パッド貼着面に同心状に接着することにより、このパッド貼着面に上記研磨パッドを偏心状態に貼着すると共に、このパッド貼着面の研磨パッドで覆われていないパッド非貼着部を上記接着シートで覆うことを特徴とする定盤の製造方法。
【請求項２】
上記パッド貼着面及び接着シートがそれぞれ円環形をなしていて、各々の中心に互いに略同径をなす定盤内孔及びシート内孔を有し、また、上記研磨パッドも円環形をなしていて、上記シート内孔より大径のパッド内孔を有し、このパッド内孔からシート内孔がはみ出さない範囲内で該研磨パッドを偏心させることを特徴とする請求項１に記載の定盤の製造方法。
【請求項３】
パッド中心に対して偏心したパッド内孔を有する研磨パッドを使用し、この研磨パッドを、上記パッド貼着面を互いに直交するＸ、Ｙ軸で４等分したとき４つの研磨領域におけるパッド面積が全て異なるように偏心させることを特徴とする請求項２に記載の定盤の製造方法。
【請求項４】
研磨パッドを貼着した定盤によって板状ワークを研磨するようにした平面研磨装置において、
上記定盤が、円形のパッド貼着面に両面接着シートを介して円形の研磨パッドを偏心状態に貼着することにより形成され、上記パッド貼着面の研磨パッドで覆われていないパッド非貼着部が上記接着シートで覆われていることを特徴とする平面研磨装置。
【請求項５】
上記パッド貼着面と接着シートと研磨パッドとがそれぞれ円環形をなし、このうち接着シートは、その中心にシート内孔を有すると共に、上記パッド貼着面と略同等の外径寸法及び内径寸法を有していて、該パッド貼着面に同心状に接着されており、また、上記研磨パッドは、上記接着シートより小さい外径寸法と大きい内径寸法とを有していて、該接着シートに偏心状態に貼着されていることを特徴とする請求項４に記載の平面研磨装置。
【請求項６】
板状のワークを保持するキャリヤと、該キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上下の定盤と、これらのキャリヤ及び定盤を駆動する駆動機構とを有する平面研磨装置において、
上記上下の定盤が、円環形をしたパッド貼着面に両面接着シートを介して研磨パッドを貼着することにより形成されていて、少なくとも一方の定盤においては、上記パッド貼着面に該パッド貼着面と略同等の外径寸法及び内径寸法を有する円環形の接着シートが同心状に接着されると共に、この接着シートに該接着シートより小さい外径寸法と大きい内径寸法とを有する円環形の研磨パッドが偏心状態に貼着され、かつ、上記パッド貼着面の研磨パッドで覆われていないパッド非貼着部が上記接着シートで覆われていることを特徴とする平面研磨装置。
【請求項７】
上記研磨パッドがパッド中心に対して偏心したパッド内孔を有していて、定盤のパッド貼着面を互いに直交するＸ、Ｙ軸で４等分したとき４つの研磨領域におけるパッド面積が全て異なるように偏心していることを特徴とする請求項５又は６に記載の平面研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高精度な平行度及び平坦度を必要とするワークを研磨するための定盤を製造する方法と、この定盤を備えた平面研磨装置とに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ、フォトマスク等に用いられるガラスウエハやセラミックスウエハなどの薄板状をしたワークの表面を研磨加工する場合、ラッピング装置やポリッシング装置等の平面研磨装置が使用される。この平面研磨装置は、一般に、円環形をしたパッド貼着面に研磨パッドを貼着した上下の定盤と、下定盤の中央に位置するサンギアと、該下定盤の外周を取り囲むように位置するインターナルギアと、上記下定盤上に位置してこれら両ギアに噛合する複数のキャリヤとを有し、各キャリヤのワーク保持孔内にワークを嵌合、保持させ、上記サンギアを回転させるか又はサンギアとインターナルギアの両方を回転させて各キャリヤをサンギアの回りで自転及び公転させると共に、研磨液を供給しながら、回転する上下の定盤で上記ワークの表裏面を研磨加工するものである。このとき、上記キャリヤに保持されたワークは、該キャリヤの自転に伴って該キャリヤの中心の回りを回転すると共に、該キャリヤの公転に伴ってサンギアの回りを回転し、回転する上下の定盤の研磨パッドに押し付けられて研磨されることになる。
【０００３】
ところが、このような平面研磨装置においては、次のような問題がある。即ち、上記キャリヤが自転するとき、その回転速度は中心側より外周側の方が大きいため、このキャリヤに保持されたワークも、キャリヤの中心側に位置する部分の回転速度がキャリヤの外周側に位置する部分の回転速度よりも大きくなる。また、上記定盤即ち研磨パッドの回転速度も、中心側より外周側の方が大きい。このため、これらのワーク及び研磨パッドの回転速度差が原因となってワークの研磨量に部分的な差が生じ、平坦度が低下するという問題である。ワークがキャリヤのワーク保持内で自転するとそれによる影響も受けるため、通常は、ワークの外周側ほど研磨量が多くなり易い。しかも、研磨時にはワークによって研磨パッドが弾性的に圧縮され、その圧縮変形に伴う押圧力がワークに作用することになるが、その押圧力はワークの中心部より外周部の方が大きいため、外周部ほど多く研磨されることになり、このこともワークの平坦度が低下する大きな原因の一つになっている。
【０００４】
そこで、このような問題を解決してワークの平坦度を高めるための技術が、特許文献１に開示されている。この技術は、定盤のパッド貼着面に特殊な形状をした研磨パッド（研磨布）を貼着することにより、ワークがこの研磨パッドの研磨作用領域から部分的にはみ出しながら（オーバーハングしながら）研磨されるようにし、それによってワーク全体の研磨量を平均化させるというものである。そして、このような研磨に適した研磨パッドの例として、肉厚の薄い環状部分を外周に備えた円形の研磨パッドや、正六角形をした研磨パッド、楕円形の研磨パッド、外周を波形あるいは鋸歯状にカットした研磨パッドなどが示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２４６６２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したように特殊な形状をした研磨パッドを定盤に貼着する方法は、この研磨パッドの製造や定盤に対する貼着を難しくするなど、別の新たな問題を生じる。例えば、肉厚の薄い環状部分を外周に備えた円形の研磨パッドの場合には、１枚の研磨パッドの肉厚を内側と外側で違えることにより、研磨時にパッドの内外で互いに異なる大きさの押圧力が得られるように設計しなければならないため、製造に技術を要し、この研磨パッドを定盤に貼着するに当たって加圧力を加える場合にも、肉厚の違う部分に均等な加圧力を加えて全体を確実に貼着しなければならないため、技術と手数を要する。また、その他の非円形の研磨パッド、即ち、正六角形や楕円形あるいは外周が波形や鋸歯状にカットされた研磨パッドの場合には、その加工が煩雑であるばかりでなく、それを定盤における円形のパッド貼着面に貼着すると、該パッド貼着面の研磨パッドで覆われていないパッド非貼着部が外部に露出するため、この露出部分が研磨液によって錆び易く、錆によるスクラッチの発生や金属汚染の発生といった問題がある。
しかも、規則性のある内外周形状を備えた研磨パッドを定盤に同心状に貼着すると、研磨時にワークと研磨パッドとが同じパターンでの接触を繰り返すため、ワーク表面における研磨量の不均一化（面ダレ）の問題はどうしても解消することができない。
【０００７】
本発明の目的は、シンプルな形状である円形の研磨パッドを使用し、この研磨パッドを定盤のパッド貼着面に特殊な態様で貼着することにより、ワークを研磨パッドからオーバーハングさせながら研磨するのに適した定盤を簡単に得られるようにすると共に、ワーク全体における研磨量の不均一化を確実に解消できるようにすることにある。
また、本発明の他の目的は、上述した技術的手段により得られた定盤を有する平面研磨装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明によれば、定盤における円形のパッド貼着面と略同径をなす円形の両面接着シートの片面に、この接着シートより小径の円形をした研磨パッドを、該接着シートから外側にはみ出さない範囲内で偏心状態に貼着し、この接着シートを定盤の上記パッド貼着面に同心状に接着することにより、このパッド貼着面に上記研磨パッドを偏心状態に貼着すると共に、このパッド貼着面の研磨パッドで覆われていないパッド非貼着部を上記接着シートで覆うことを特徴とする定盤の製造方法が提供される。
【０００９】
本発明においては、上記パッド貼着面及び接着シートがそれぞれ円環形をなしていて、各々の中心に互いに略同径をなす定盤内孔及びシート内孔を有し、また、上記研磨パッドも円環形をなしていて、上記シート内孔より大径のパッド内孔を有し、このパッド内孔からシート内孔がはみ出さない範囲内で該研磨パッドを偏心させることが望ましい。
【００１０】
本発明において好ましくは、パッド中心に対して偏心したパッド内孔を有する研磨パッドを使用し、この研磨パッドを、上記パッド貼着面を互いに直交するＸ、Ｙ軸で４等分したとき４つの研磨領域におけるパッド面積が全て異なるように偏心させることである。
【００１１】
また、本発明によれば、研磨パッドを貼着した定盤によって板状ワークを研磨するようにした平面研磨装置において、上記定盤が、円形のパッド貼着面に両面接着シートを介して円形の研磨パッドを偏心状態に貼着することにより形成され、上記パッド貼着面の研磨パッドで覆われていないパッド非貼着部が上記接着シートで覆われていることを特徴とする平面研磨装置が提供される。
【００１２】
本発明においては、上記パッド貼着面と接着シートと研磨パッドとがそれぞれ円環形をなし、このうち接着シートは、その中心にシート内孔を有すると共に、上記パッド貼着面と略同等の外径寸法及び内径寸法を有していて、該パッド貼着面に同心状に接着されており、また、上記研磨パッドは、上記接着シートより小さい外径寸法と大きい内径寸法とを有していて、上記接着シートに偏心状態に貼着されていることが望ましい。
【００１３】
更に、本発明によれば、板状のワークを保持するキャリヤと、該キャリヤに保持されたワークを両側から挟んで研磨する上下の定盤と、これらのキャリヤ及び定盤を駆動する駆動機構とを有する平面研磨装置において、上記上下の定盤が、円環形をしたパッド貼着面に両面接着シートを介して研磨パッドを貼着することにより形成されていて、少なくとも一方の定盤においては、上記パッド貼着面に該パッド貼着面と略同等の外径寸法及び内径寸法を有する円環形の接着シートが同心状に接着されると共に、この接着シートに該接着シートより小さい外径寸法と大きい内径寸法とを有する円環形の研磨パッドが偏心状態に貼着され、かつ、上記パッド貼着面の研磨パッドで覆われていないパッド非貼着部が上記接着シートで覆われていることを特徴とする平面研磨装置が提供される。
【００１４】
本発明において好ましくは、上記研磨パッドがパッド中心に対して偏心したパッド内孔を有していて、定盤のパッド貼着面を互いに直交するＸ、Ｙ軸で４等分したとき４つの研磨領域におけるパッド面積が全て異なるように偏心していることである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、シンプルな形状である円形の研磨パッドを使用し、この研磨パッドをパッド貼着面に偏心させて取り付けるという簡単な技術的手段により、ワークを該研磨パッドからオーバーハングさせながら研磨するのに適した構成の定盤を簡単かつ確実に得ることができる。しかも、上記パッド貼着面の研磨パッドで覆われていないパッド非貼着部が接着シートで覆われているため、研磨液との接触が遮断されて錆びが防止され、錆によるスクラッチの発生や金属汚染の発生といった問題が解消される。また、研磨時にワークと研磨パッドとが同じパターンでの接触を繰り返したり同じ加工軌跡をたどるといったようなことがないため、ワーク全体の研磨量が平均化し、その平坦度及び平行度は確実に高められることになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、半導体ウエハ、フォトマスク等に用いられるガラスウエハ、セラミックスウエハなどの薄板状をしたワークの表面を研磨加工するための平面研磨装置、特に、該ワークＷの両面を研磨するための両面研磨装置の要部の断面を概略的に示すもので、ラッピング装置やポリッシング装置等によって代表されるものである。
【００１７】
上記平面研磨装置は、図２〜図４からも分かるように、同軸上に位置する円環形の上下の定盤１，２と、下定盤２の中央に位置するサンギア３と、該下定盤２の外周を取り囲むように位置するインターナルギア４と、下定盤２上にほぼ等間隔に配置されて上記両ギア３，４に噛合する複数のキャリヤ５とを有していて、上記両定盤１，２と、両ギア３，４のうち少なくともサンギア３とが、図示しない伝動機構を介して駆動装置に連結され、必要な方向に必要な速度で回転駆動されるようになっている。また、上定盤１は昇降自在となっていて、ワークＷの研磨時に下降して該ワークＷの上面に当接する。更に、上記上定盤１及び下定盤２は円環形をしていて、その下面又は上面に円環形をしたパッド貼着面７及び８を有し、これらのパッド貼着面７，８にそれぞれ、全体としてほぼ均一厚さを有する研磨パッド１１，１２が、液不透過性の両面接着シート１３，１４を介して貼着されている。この研磨パッド１１，１２としては、例えば硬質ウレタン製あるいは硬質不織布製のものを使用することができる。
【００１８】
そして、上記各キャリヤ５に形成されている複数のワーク保持孔５ａ内にそれぞれ円板形のワークＷを嵌合、保持させ、上記サンギア３を回転させるか又はサンギア３とインターナルギア４の両方を回転させることにより、上記各キャリヤ５をサンギア３の回りで自転及び公転させながら、上下両定盤１，２の間に研磨液を供給し、回転するこれらの定盤１，２の研磨パッド１１，１２で上記ワークＷの表裏面を研磨加工するものである。このとき、上記キャリヤ５に保持されたワークＷは、該キャリヤ５の自転に伴って該キャリヤ５の中心の回りを回転すると共に、該キャリヤ５の公転に伴ってサンギア３の回りを回転し、上下の定盤１，２の研磨パッド１１，１２に押し付けられて研磨されることになる。また、ワークＷが円板形をしている場合、研磨時に該ワークＷがワーク保持孔内で自転する場合もある。なお、図ではキャリヤ５及びワークＷの厚さは誇張して描かれている。
【００１９】
ここで、上記上下の定盤１，２のうち、下定盤２は、そのパッド貼着面８全体に研磨パッド１２が貼着されているが、上定盤１は、そのパッド貼着面７の一部だけに研磨パッド１１が貼着され、該パッド貼着面７の研磨パッド１１で覆われていないパッド非貼着部は両面接着シート１３で覆われている。以下、これらの定盤１，２の具体的構成について詳述する。
【００２０】
先ず、上記下定盤２について説明すると、図１、図２及び図４から分かるように、この下定盤２における円環状の上記パッド貼着面８には、円環状の上記両面接着シート１４を介して円環状の研磨パッド１２が貼着されている。これらの研磨パッド１２及び接着シート１４は、中央部にパッド内孔１２ａ及びシート内孔１４ａをそれぞれ同心状に備えたもので、互いに同等の外径寸法及び内径寸法を有すると共に、上記パッド貼着面８に対してもほぼ同等の外径寸法及び内径寸法を有するように形成されている。図中８ａは、上記パッド貼着面８の中央に同心状に形成された定盤内孔を示している。
【００２１】
そして、上記接着シート１４及び研磨パッド１２を定盤のパッド貼着面８に同心状に貼着することにより、このパッド貼着面８全体に研磨パッド１２が貼着されている。実際に研磨パッド１２を貼着する場合には、先ず、この研磨パッド１２を両面接着シート１４の片面に同心状に貼着し、そのあとこの接着シート１４を、上記パッド貼着面８にローラーにより圧接するなどの方法（ロールプレス）を利用して同心状に貼着するのが望ましく、これにより、該研磨パッド１２を定盤全面に均一な貼着力で簡単かつ確実に貼着することができる。
【００２２】
次に、上記上定盤１について説明すると、図１、図３及び図４から分かるように、この上定盤１における円環状をしたパッド貼着面７には、円環状をした液不透過性の両面接着シート１３を介して円環状の研磨パッド１１が偏心状態に貼着されている。図中７ａは、上記パッド貼着面７の中央に同心状に形成された定盤内孔を示している。
【００２３】
上記接着シート１３は、その中央部にシート内孔１３ａを同心状に備えていて、上記パッド貼着面７とほぼ同等の外径寸法及び内径寸法を有するように形成され、該パッド貼着面７に中心Ｏ１を共有した状態で同心状に貼着されている。図３においてＯ２は研磨パッド１１の中心を示している。
【００２４】
一方、上記研磨パッド１１は、その中央部にパッド内孔１１ａを同心状に備えていて、その外径寸法Ｐｏは上記接着シート１３の外径寸法Ｓｏより小さく、内径寸法Ｐｉ即ちパッド内孔１１ａの孔径は、接着シート１３の内径寸法Ｓｉ即ちシート内孔１３ａの孔径より大きく形成されている。そして、この研磨パッド１１が、上記接着シート１３に、該接着シート１３の外側にはみ出すことなく、かつ、シート内孔１３ａがパッド内孔１１ａの外側にはみ出さないように偏心した状態に接着されることにより、上記パッド貼着面７に偏心状態に貼着されている。このとき、このパッド貼着面７の外周側及び内周側には、上記研磨パッド１１で覆われていない不均一幅のリング状をしたパッド非貼着部１６，１７がそれぞれ形成されるが、これらのパッド非貼着部１６，１７は上記接着シート１３で完全に覆われているため、その部分でパッド貼着面７が外部に露出することはない。
【００２５】
上記外周側のパッド非貼着部１６及び内周側のパッド非貼着部１７は、それぞれ、上記パッド貼着面７の中心Ｏ１と研磨パッド１１の中心Ｏ２とを通る直線Ｌに対して対称形をなしていて、この直線Ｌ上の上記中心Ｏ１に対して互いに反対側の位置に最大幅Ｍｄ及びＮｄと最小幅Ｍｓ及びＮｓとを有し、上記直線Ｌを挟んで相対する半円環形の部分は、その幅が上記最大幅Ｍｄ及びＮｄと最小幅Ｍｓ及びＮｓとの間で滑らかに変化している。上記パッド非貼着部１６，１７の幅は、研磨パッド１１の偏心量に応じて変化する。この研磨パッド１１の好ましい偏心量は、定盤１の大きさや、キャリヤ５に保持されるワークＷの数、大きさ、オーバーハング量などの研磨条件によって異なるため、一概には言えないが、一般的には、外周側のパッド非貼着部１６における最大幅Ｍｄと最小幅Ｍｓの比、及び、内周側のパッド非貼着部１７の最大幅Ｎｄと最小幅Ｎｓとの比が、それぞれ、２：１程度であることが望ましい。
【００２６】
上記研磨パッド１１を実際に定盤１に貼着する作業は、図５に示すような手順で行うことができる。即ち、同図（ａ）に示すような円環形の両面接着シート１３と、同図（ｂ）に示すような円環形の研磨パッド１１とを用意する。上記接着シート１３の表裏面には、当然のことながら接着剤が塗布されていて、それぞれ剥離紙で覆われているが、それらの図示は省略されている。そして先ず、同図（ｃ）に示すように、上記接着シート１３の表面側の剥離紙を剥がし、そこに研磨パッド１１を偏心状態に貼着する。この貼着では、ロールプレスによって研磨パッド１１と接着シート１３とに両側から均等な加圧力を加えるようにすることが望ましい。次に、同図（ｄ）に示すように、上記接着シート１３の裏面の剥離紙を剥がし、この接着シート１３を定盤のパッド貼着面７に同心状に接着する。この場合にも、ロールプレス等の加圧手段を利用して研磨パッド１１及び接着シート１３全体に均等な加圧力を加えながら貼着するのが望ましい。これにより、定盤のパッド貼着面７に研磨パッド１１が偏心状態に貼着され、該パッド貼着面７の研磨パッド１１で覆われていないパッド非貼着部１６，１７が接着シート１３で覆われることになる。
【００２７】
上述した構成を有する上下の定盤１，２でワークＷを研磨する場合、該ワークＷは、下定盤２の研磨パッド１１に対して内周側にも外周側にもオーバーハングすることなくほぼ全面的に接触するが、上定盤１の偏心した研磨パッド１１に対しては、該研磨パッド１１の内周側及び外周側に部分的にオーバーハングしながら接触し、研磨されることになる。そして、このようにオーバーハングするワーク外周部分では、該ワークＷが下定盤２の研磨パッド１１にだけ接触しているためそれに作用する押圧力は軽減されることとなり、この結果、ワークＷの外周部分の研磨量が抑えられて全体の研磨量が平均化され、平坦度が向上することになる。特に、円環状の研磨パッド１１を偏心させたことにより、研磨位置によってワークＷのオーバーハング量が常に異なり、キャリヤ５及びワークＷが最初の位置（初期位置）に戻ってくる間は同じ加工軌跡をたどらないため、研磨パッド面を均一に使用でき、各ワークＷが均等に研磨されることになる。
【００２８】
また、上記上定盤１の内外周に形成されたパッド非貼着部１６，１７は、液不透過性の上記接着シート１３で完全に覆われていて、外部に露出していないため、このパッド非貼着部１６，１７に研磨液が流れ込んでもパッド貼着面７が研磨液と直接接触することはない。このため、パッド貼着面７に錆が発生することがなく、錆によるスクラッチの発生や金属汚染の発生といった問題が防止される。
【００２９】
なお、上記上定盤１は、図５（ａ）〜（ｄ）に示すような方法によることなく、互いに同じ外径寸法及び内径寸法を有する円環形の両面接着シートと研磨パッドとを使用し、それらを同心状に貼着して定盤に同心状に貼着したあと、カッターで研磨パッドの外周の一部と内周の一部とを、パッド全体が偏心した形になるように切除することによっても形成することができる。しかしながら、このような方法で上定盤を形成した場合には、上記接着シートにおける研磨パッドの内外周の位置にカッターによる切れ目が入るのが避けられないため、この切れ目から研磨液が浸透して定盤のパッド貼着面に接触し、錆びが発生し易くなる。
これに対し、上記実施例の上定盤１における接着シート１３は、研磨パッド１１の内外周の位置にもその他の位置にもカッターによる切れ目やその他の孔等を全く有することなく、全体が１枚のシートとして完全に連なっているため、研磨液が浸透して定盤のパッド貼着面に接触することはない。
【００３０】
また、研磨時に上記ワークＷを保持する各キャリヤ５は、下定盤２における研磨パッド１１上に置かれた状態で自転及び公転する。従って、非常に薄いワークＷを研磨するために薄肉のキャリヤ５を使用する場合、下定盤２が上定盤１と同様に構成されることによって偏心した研磨パッドを有していると、該キャリヤ５が研磨パッドから外方にはみ出す量（オーバーハングする量）も多くなるため、はみ出した部分でそれが下方に変形し、該キャリヤ５が振動したりばたついたりすることにより、ワークＷが該キャリヤ５から飛び出して研磨できなくなったり、スクラッチが発生したりするだけでなく、キャリヤ５の破損につながるケースも発生する。しかし、図示した実施例の場合には、下定盤２のパッド貼着面８全体に研磨パッド１２が貼着されているため、薄いキャリヤ５を使用してもこのような問題は生じない。
【００３１】
図６には、偏心パッドを備えた上定盤の異種例が示されている。この異種例の上定盤１Ａが図１〜図５に示す標準例の上定盤１と異なる点は、標準例の上定盤１においては、研磨パッド１１の中央にパッド内孔１１ａが同心状に設けられているのに対し、上記異種例の上定盤１Ａでは、パッド内孔１１ａが研磨パッド１１の中心からずれた位置に偏心状態に設けられていて、この研磨パッド１１が、パッド貼着面７（接着シート１３）に、研磨パッド１１の中心Ｏ２とパッド内孔１１ａの中心Ｏ３とがパッド貼着面７の中心Ｏ１を通る一つの直線上に同時に位置することのないように、偏心させて取り付けられているという点である。換言すれば、上定盤のパッド貼着面７を互いに直交するＸ、Ｙ軸で４等分したとき４つの研磨領域７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｄにおけるパッド面積が全て異なるように、上記研磨パッド１１が貼着されている。
【００３２】
上定盤１をこの異種例のように構成することにより、研磨時にワークＷが研磨パッド１１からオーバーハングする量及び姿勢がどの研磨位置においても同じにならないため、換言すれば、ワークＷと研磨パッド１１とが同じ加工軌跡をたどらないため、該ワークＷの研磨量は全面にわたってより均等化され、平坦度が一層高められることになる。
【００３３】
なお、図示した実施例では、上定盤１だけが偏心した研磨パッドを有するように構成されているが、上記キャリヤ５として比較的厚肉でオーバーハングによる変形を生じにくいものを使用する場合には、上定盤１の代わりに下定盤２をそのように構成するか、あるいは、上下の両定盤１，２を偏心した研磨パッドを有するように構成することもできる。
【００３４】
また、このように上定盤１と下定盤２の両方を偏心パッドを有するように構成する場合には、それらを何れも図１〜図５に示す上記標準例の定盤１のように構成しても、図６に示す異種例の定盤１Ａのように構成しても良く、あるいは、上下何れか一方の定盤を標準例のように構成し、他方の定盤を異種例のように構成しても良い。また、両定盤１，２を何れも上記標準例又は異種例のように構成する場合には、それらを全く同じ構成にしても良いが、研磨条件等に応じて研磨パッドの外径寸法や内径寸法あるいは偏心量等を互いに違えることもできる。
【００３５】
なお、図示した実施例では、ワークの両面を研磨する両面研磨装置が示されているが、本発明は、ワークの片面を研磨する片面研磨装置にも適用することができる。この片面研磨装置は、一般に、上面のパッド貼着面に研磨パッドが貼着された１つの定盤と、複数のプレッシャプレートとを有していて、これらのプレッシャプレートでワークを回転する定盤の上記研磨パッドに押し付けて研磨するように構成されている。この片面研磨装置においては、機種によって定盤のパッド貼着面が円環状をしている場合と、単に円形をしている場合とがあり、円環状をしている場合には、上記図３又は図６に示すように、パッド貼着面に円環形の両面接着シートを介して円環形の研磨パッドが偏心状態に貼着されるが、円形をしている場合には、円形の両面接着シートを介して円形の研磨パッド１１が偏心状態に貼着される。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に係る平面研磨装置を概略的に示す要部断面図である。
【図２】図１の平面研磨装置の上定盤１を取り除いた状態の平面図である。
【図３】図１の平面研磨装置における上定盤１の下面図である。
【図４】図１の要部拡大図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）は、定盤に研磨パッド１１を貼着する作業手順を説明するための平面的な工程図である。。
【図６】定盤の異種例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１      上定盤
２      下定盤
３      サンギア
４      インターナルギア
５      キャリヤ
７，８      パッド貼着面
７ａ，８ａ      定盤内孔
７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ      研磨領域
１１，１２      研磨パッド
１１ａ，１２ａ      パッド内孔
１３，１４      接着シート
１３ａ，１４ａ      シート内孔
１６，１７      パッド非貼着部
【図１】
2006068888.tif 000003
【図２】
2006068888.tif 000004
【図３】
2006068888.tif 000005
【図４】
2006068888.tif 000006
【図５】
2006068888.tif 000007
【図６】
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