(57)【要約】【課題】組み立てを容易かつ短時間に行うことができ、クリーンルームにおける密閉室の配置パターン（レイアウト）を自由に設定することができるクリーンルームを提供すること。【解決手段】工区４に接続して使用されるクリーンルーム１３は、複数の密閉室を連結してなるものである。密閉室には、直線状の流路を形成する第１通気ダクト７を有する第１密閉室６と、ほぼ直角に曲がる流路を形成する第２通気ダクト５０を有する第２密閉室１５とがあり、第１密閉室６と第２密閉室１５のそれぞれの使用個数、連結方向および連結順序を選択することにより、密閉室の配置パターンを例えば図６の（Ａ）〜（Ｉ）で示すような所望の配置パターンに設定することができる。工区４内は、負圧に維持されており、これにより連結された３つの通気ダクト内の流路には、周囲５から工区４へ向かう空気流が形成される。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
工区に接続して使用され、複数の密閉室を連結してなるクリーンルームであって、
直線状の流路を形成する通気ダクトを有する第１密閉室と、ほぼ直角に曲がる流路を形成する通気ダクトを有する第２密閉室とを用意し、
前記第１密閉室と前記第２密閉室のそれぞれの使用個数、連結方向および連結順序を選択することにより、密閉室の配置パターンを所望の配置パターンに設定し得ることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
前記第１密閉室の通気ダクトおよび前記第２密閉室の通気ダクトは、それぞれ、平面視での形状が四角形をなし、
前記第１密閉室の通気ダクトは、流路を介して平行に配置された一対の側壁を有し、前記第２密閉室の通気ダクトは、ほぼ直角に屈曲する側壁を有する請求項１に記載のクリーンルーム。
【請求項３】
隣接する前記密閉室同士の連結は、それらの通気ダクトの端部開口同士が対面するようになされる請求項１または２に記載のクリーンルーム。
【請求項４】
前記通気ダクトは、前記密閉室の下方に設けられている請求項１ないし３のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項５】
前記通気ダクトは、前記密閉室と一体化されており、その上面は前記密閉室の床面を構成している請求項４に記載のクリーンルーム。
【請求項６】
連結される各通気ダクトのうちの少なくとも１つは、その上面に複数の小開口を有し、該小開口を介して前記密閉室と連通している請求項４または５に記載のクリーンルーム。
【請求項７】
前記通気ダクトは、その上面を補強する補強部材を有する請求項４ないし６のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項８】
連結される各通気ダクトの少なくとも１箇所に、前記工区へ向かう流れを許容する一方向弁を設けた請求項１ないし７のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項９】
前記一方向弁は、隣接する前記密閉室に面する部分に、前記通気ダクトの流路の開度を変更し得るように設置された板状またはシート状の部材で構成されている請求項８に記載のクリーンルーム。
【請求項１０】
隣接する前記密閉室の間に配置される仕切壁を有し、該仕切壁は、開閉状態が切り替え可能な留め具を有する請求項１ないし９のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項１１】
連結される各密閉室のうちの少なくとも１つに、当該密閉室内へ向けて空気を噴出する空気噴出装置を設置した請求項１ないし１０のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項１２】
前記空気噴出装置は、前記密閉室内の空気を吸引し、該吸引した空気内に存在する粉塵を捕集する粉塵捕集手段を有する請求項１１に記載のクリーンルーム。
【請求項１３】
前記通気ダクトの２つ側壁の上部にそれぞれ位置する２つの壁面のうちのいずれか一方を選択し、該選択された壁面に前記空気噴出装置が設置される請求項１１または１２に記載のクリーンルーム。
【請求項１４】
前記密閉室は、骨材によって枠組みが形成される請求項１ないし１３のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項１５】
連結される前記密閉室の総数が２〜４室である請求項１ないし１４のいずれかに記載のクリーンルーム。
【請求項１６】
複数の密閉室を連結してクリーンルームを組み立てるクリーンルームの組立方法であって、
直線状の流路を形成する通気ダクトを有する第１密閉室と、ほぼ直角に曲がる流路を形成する通気ダクトを有する第２密閉室とを用意し、
前記第１密閉室と前記第２密閉室のそれぞれの使用個数、連結方向および連結順序を選択することにより、密閉室の配置パターンを所望の配置パターンに設定することを特徴とするクリーンルームの組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームに関し、特に工区への作業者などの出入り通路として使用されるクリーンルームおよびその組立方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、人体などに影響を及ぼす粉塵などが飛散する工区、例えば、カビ除去を行う浴室内、灰除去を行う焼却炉内、もしくは内装材除去を行う建築物内では、粉塵が工区外へ飛散するおそれがあるため、図７に示すように、該工区を間仕切柱７１とビニールシート７２などで囲んで密閉し、該工区内の圧力に対して周囲の圧力を相対的に高圧に維持することにより、該工区内で発生する塵や埃が周囲に漏出するのを防止する工区密閉方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような工区密閉方法では、周囲５を工区４内に対して相対的に高圧にするために、図８に示すように、ビニールシート７２の一部に、ダクト７３を介して排気ポンプ７４が接続される。
【０００４】
該排気ポンプ７４は、粉塵を除去するフィルタを内蔵し、工区４内の空気を粉塵とともに吸引して工区４内を周囲５より低圧に維持し、かつ内蔵するフィルタにより吸引した空気から粉塵を除去して該空気を周囲５側へ排気する。また、工区４内へ作業者が出入りするための出入口として、出入口用通路７５がビニールシート７２の一部に接続される。
【０００５】
該出入口用通路７５は、直列に接続された３つの室７６を有する。各室７６の間の仕切壁７８には、複数のビニール紐が上下平行に（暖簾状に）配列された出入口７９が設けられ、工区４内の粉塵や作業者から離脱した粉塵が工区外（周囲５）へ飛散するのを防止する。
【０００６】
そして、このような出入口用通路７５では、排気ポンプ７４の排気により工区４内が負圧とされるため、周囲５の空気が各室７６間の出入口７９を通過して、常に工区４内に流れ込んでいる。
【０００７】
しかしながら、このような工区密閉方法では、出入口７９が暖簾状であるため、室７６の密閉が不完全であり、そのため、工区４内の粉塵や作業者から離脱した粉塵の一部が工区外へ飛散する（漏れ出す）という問題がある。
【０００８】
また、作業者から離脱した粉塵は、主に各室７６の床面７７上に落下して溜まるが、その粉塵が工区外へ飛散するのを防止するために、この床面７７上に溜まった粉塵を定期的に除去し清掃する必要があるという問題もある。この清掃作業のために、工区４内での作業を中断したりしなければならない場合があり、工事の遅延にもつながる。
【０００９】
さらには、出入口７９を構成するビニール紐が作業者に接触するなどして作業者の円滑な出入りを阻害するという問題もある。
【００１０】
また、出入口用通路７５の形状は、工区４を囲む外壁（ビニールシート７２）に対し垂直に突出した直線状に定められているため、出入口用通路７５を設置するスペースの都合に合致しない場合や、出入りがし難い場合があるという問題がある。
【００１１】
【特許文献１】特開平１０−２４５９１９号公報（図１０）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明の目的は、組み立てを容易かつ短時間に行うことができるとともに、クリーンルームにおける密閉室の配置パターン（レイアウト）を自由に設定することができるクリーンルームおよびその組立方法を提供することにある。
【００１３】
また、本発明の他の目的は、工区内で生じた粉塵の一部が工区外へ飛散するのを防止し、また、粉塵の定期的な除去を行う必要を無くし、さらに、作業者の円滑な出入りを実現することができるクリーンルームおよびその組立方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
このような目的は、下記（１）〜（１６）の本発明により達成される。
（１）  工区に接続して使用され、複数の密閉室を連結してなるクリーンルームであって、
直線状の流路を形成する通気ダクトを有する第１密閉室と、ほぼ直角に曲がる流路を形成する通気ダクトを有する第２密閉室とを用意し、
前記第１密閉室と前記第２密閉室のそれぞれの使用個数、連結方向および連結順序を選択することにより、密閉室の配置パターンを所望の配置パターンに設定し得ることを特徴とするクリーンルーム。
【００１５】
これにより、クリーンルームの組み立てを容易かつ短時間に行うことができるとともに、クリーンルームにおける密閉室の配置パターン（レイアウト）を自由自在に設定することができる。
【００１６】
（２）  前記第１密閉室の通気ダクトおよび前記第２密閉室の通気ダクトは、それぞれ、平面視での形状が四角形をなし、
前記第１密閉室の通気ダクトは、流路を介して平行に配置された一対の側壁を有し、前記第２密閉室の通気ダクトは、ほぼ直角に屈曲する側壁を有する上記（１）に記載のクリーンルーム。
【００１７】
これにより、クリーンルームにおける密閉室の配置（レイアウト）の設計がし易く、しかも、工区外の空間の大小等や作業者の出入りのし易さ等に応じ、クリーンルームをスペースの無駄なく効率的に配置することができる。
【００１８】
（３）  隣接する前記密閉室同士の連結は、それらの通気ダクトの端部開口同士が対面するようになされる上記（１）または（２）に記載のクリーンルーム。
【００１９】
これにより、密閉室の連結作業を容易に行うことができ、誤連結を防止することができる。
【００２０】
（４）  前記通気ダクトは、前記密閉室の下方に設けられている上記（１）ないし（３）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００２１】
これにより、通気ダクトを邪魔にならないように配置することができるとともに、通気ダクトを、密閉室内に存在する粉塵を工区内に戻すことに利用することができる。
【００２２】
（５）  前記通気ダクトは、前記密閉室と一体化されており、その上面は前記密閉室の床面を構成している上記（４）に記載のクリーンルーム。
【００２３】
これにより、クリーンルームの構造を簡素化することができ、軽量化が図れるとともに、移動、設置（組み立て）、撤去等を容易に行うことができる。
【００２４】
（６）  連結される各通気ダクトのうちの少なくとも１つは、その上面に複数の小開口を有し、該小開口を介して前記密閉室と連通している上記（４）または（５）に記載のクリーンルーム。
【００２５】
これにより、密閉室内で作業者から離脱した粉塵が通気ダクトの上面の小開口を介して通気ダクト内に入り、気流とともに工区に向けて戻されるので、粉塵の一部が工区外へ飛散するのを防止し、また、密閉室の床に対し粉塵の定期的な除去作業（清掃作業）を行う必要を無くすことができる。
【００２６】
（７）  前記通気ダクトは、その上面を補強する補強部材を有する上記（４）ないし（６）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００２７】
これにより、通気ダクトの上面の強度が向上し、作業者が乗った場合でも変形を確実に防止できる。
【００２８】
（８）  連結される各通気ダクトの少なくとも１箇所に、前記工区へ向かう流れを許容する一方向弁を設けた上記（１）ないし（７）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００２９】
これにより、通気ダクトの流路内において、すなわち工区から工区外への流れ（逆流）の発生を防止することができ、粉塵の一部が工区外へ飛散するのをより確実に防止できる。
【００３０】
（９）  前記一方向弁は、隣接する前記密閉室に面する部分に、前記通気ダクトの流路の開度を変更し得るように設置された板状またはシート状の部材で構成されている上記（８）に記載のクリーンルーム。
これにより、前記逆流の発生を防止する効果がより高まる。
【００３１】
（１０）  隣接する前記密閉室の間に配置される仕切壁を有し、該仕切壁は、開閉状態が切り替え可能な留め具を有する上記（１）ないし（９）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００３２】
これにより、作業者が通過しない際には、密閉室の密閉性を十分に確保し、作業者が工区へ出入りする際には、留め具が仕切壁の開閉状態を適切に切り替え、作業者の容易、円滑な出入りを実現するとともに、粉塵の一部が工区外へ拡散（飛散）するのをより確実に防止することができる。
【００３３】
（１１）  連結される各密閉室のうちの少なくとも１つに、当該密閉室内へ向けて空気を噴出する空気噴出装置を設置した上記（１）ないし（１０）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００３４】
これにより、作業者に付着した粉塵を該作業者からより確実に離脱させることができる。
【００３５】
（１２）  前記空気噴出装置は、前記密閉室内の空気を吸引し、該吸引した空気内に存在する粉塵を捕集する粉塵捕集手段を有する上記（１１）に記載のクリーンルーム。
【００３６】
これにより、作業者から離脱した粉塵を工区に向けて戻すだけでなく、空気噴出装置によっても粉塵を捕集するので、粉塵の一部が工区外へ拡散（飛散）するのをさらに確実に防止できる。
【００３７】
（１３）  前記通気ダクトの２つ側壁の上部にそれぞれ位置する２つの壁面のうちのいずれか一方を選択し、該選択された壁面に前記空気噴出装置が設置される上記（１１）または（１２）に記載のクリーンルーム。
【００３８】
これにより、密閉室の配置パターンのみならず、クリーンルームに対する空気噴出装置の位置をも選択、設定することができ、密閉室および空気噴出装置の総合的な配置パターン（レイアウト）を最適なものに設定することができる。
【００３９】
（１４）  前記密閉室は、骨材によって枠組みが形成される上記（１）ないし（１３）のいずれかに記載のクリーンルーム。
【００４０】
これにより、密閉室（第１および第２密閉室）を容易に組み立てまたは連結することができ、また、軽量化が図れ、その結果、クリーンルームの移設（設置、移動、撤去等）を容易に行うことができる。
【００４１】
（１５）  連結される前記密閉室の総数が２〜４室である上記（１）ないし（１４）のいずれかに記載のクリーンルーム。
これにより、工区から工区外まで、適度な距離を確保することができ、無駄なく粉塵を除去し、工区外への飛散防止を図ることができる。
【００４２】
（１６）  複数の密閉室を連結してクリーンルームを組み立てるクリーンルームの組立方法であって、
直線状の流路を形成する通気ダクトを有する第１密閉室と、ほぼ直角に曲がる流路を形成する通気ダクトを有する第２密閉室とを用意し、
前記第１密閉室と前記第２密閉室のそれぞれの使用個数、連結方向および連結順序を選択することにより、密閉室の配置パターンを所望の配置パターンに設定することを特徴とするクリーンルームの組立方法。
これにより、クリーンルームの組み立てを容易かつ短時間に行うことができるとともに、クリーンルームにおける密閉室の配置パターン（レイアウト）を自由自在に設定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、本発明のクリーンルームおよびその組立方法を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【００４４】
本発明のクリーンルームは、工区に接続して使用され、複数の密閉室（後述する第１密閉室と第２密閉室の合計が複数）を連結してなるものである。第１密閉室および第２密閉室は、それぞれ、その下部に第１通気ダクトおよび第２通気ダクトを有する。これら第１および第２通気ダクトは、平面視での形状が四角形をなしている。そして、第１密閉室の第１通気ダクトは、直線状の流路を形成する通気ダクトであり、第２密閉室の第２通気ダクトは、ほぼ直角に曲がる流路を形成する通気ダクトである。すなわち、第１通気ダクトは、流路を介して平行に配置された一対の側壁を有し、第２通気ダクトは、ほぼ直角に屈曲する側壁（Ｌ字状の側壁）を有する。
【００４５】
本発明のクリーンルームは、第１密閉室と第２密閉室のそれぞれの使用個数、連結方向および連結順序を適宜選択することにより、密閉室の配置パターン（通気ダクトの流路の形状）を所望のパターンに設定し得ることを特徴とする。
【００４６】
なお、以下の説明中、単に「密閉室」と言うときは、第１密閉室と第２密閉室の総称を指すか、あるいは第１密閉室と第２密閉室の区別なくいずれでもよい場合を指し、単に「通気ダクト」と言うときは、第１通気ダクトと第２通気ダクトの総称を指すか、あるいは第１通気ダクトと第２通気ダクトの区別なくいずれでもよい場合を指すものとする。
【００４７】
図６（Ａ）〜（Ｉ）は、連結する密閉室の総数を３とした場合のクリーンルームにおける第１密閉室および第２密閉室の組み合せとその配置の例を示す図である。なお、密閉室の配置パターンは、図示のものに限定されないことは言うまでもない。
【００４８】
図６（Ａ）は、３つの第１密閉室６（第１通気ダクト７）を直列（一列）に配置した場合であり、クリーンルームを工区４の隔壁（ビニールシート１）から垂直に延長したものである。
【００４９】
図６（Ｂ）は、２つの第１密閉室６（第１通気ダクト７）の間に１つの第２密閉室１５（第２通気ダクト５０）を配置した場合であり、クリーンルーム１３の工区４からの突出量を抑えつつ、作業者の出入口の方向を直角に曲げることができる。
【００５０】
図６（Ｃ）は、１つの第１密閉室６（第１通気ダクト７）と、これに続けて２つの第２密閉室１５（第２通気ダクト５０）を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を変更せずに、クリーンルーム１３の工区４からの突出量を抑えることができる。
【００５１】
図６（Ｄ）は、１つの第２密閉室１５（第２通気ダクト５０）と、これに続けて２つの第１密閉室６（第１通気ダクト７）を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を直角に曲げる（工区４のビニールシート１に沿って出入ができる）とともに、クリーンルーム１３の工区４からの突出量を極力抑えることができる。
【００５２】
図６（Ｅ）は、２つの第２密閉室１５（第２通気ダクト５０）に続けて１つの第１密閉室６（第１通気ダクト７）を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を変更せずに、クリーンルーム１３の工区４からの突出量を抑えることができる。
【００５３】
図６（Ｆ）は、３つの第２密閉室１５（第２通気ダクト５０）を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を直角に曲げるとともに、クリーンルーム１３の工区４からの突出量を抑えることができる。
【００５４】
図６（Ｇ）は、２つの第２密閉室１５（第２通気ダクト５０）の間に１つの第１密閉室６（第１通気ダクト７）を配置した場合であり、作業者の出入口の方向を変更せずに、クリーンルーム１３の工区４からの突出量を極力抑えることができる。
【００５５】
図６（Ｈ）は、図６（Ｂ）の配置において、真中の第２密閉室１５（第２通気ダクト５０）の連結方向を逆にした場合であり、図６（Ｂ）の配置に対し、作業者の出入口の方向を反対方向に直角に曲げるたものである。
【００５６】
図６（Ｉ）は、図６（Ｃ）の配置において、工区４から３つ目の第２密閉室１５（第２通気ダクト５０）の連結方向を逆にした場合であり、図６（Ｃ）の配置に対し、作業者の出入口の方向を工区４側に向けたものである。
【００５７】
図６（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｅ）、（Ｆ）、（Ｈ）、（Ｉ）は、いずれも、３つの密閉室がＬ字状に配置されているが、これらのうち図６（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｈ）、（Ｉ）は、Ｌ字の内側に形成される密閉室１つ分の空間が工区４に隣接した位置にあり、図６（Ｅ）、（Ｆ）は、２つの密閉室が工区４に隣接し、Ｌ字の内側に形成される密閉室１つ分の空間が工区４から密閉室１つ分離れた位置にあるような配置パターンとなる。
【００５８】
以下、代表的に、図６（Ａ）の配置のクリーンルーム１３について、図１〜図４を参照しつつ説明する。図１は本発明のクリーンルーム（図６（Ａ）の配置）の実施形態の斜視図、図２（Ａ）は図１中のＡ−Ａ線断面図、図２（Ｂ）は図１中のＢ−Ｂ線断面図、図３（Ａ）は密閉室の枠組み（フレーム）の概略構成を示す図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）中のＣ−Ｃ線断面図、図４（Ａ）は図３（Ａ）における通気ダクトの上面図、図４（Ｂ）は図３（Ｂ）中のＤ−Ｄ線断面図である。
【００５９】
なお、以下では、説明の都合上、図１および図２（Ａ）の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。また、工区４としては、例えば内装材除去を行う建築物内、カビ除去を行う浴室内、灰除去を行う焼却炉内等が挙げられ、工区外への拡散（飛散）を防止すべきもの（環境、特に人体などに悪影響を及ぼすと考えられるもの）も、これら工区の種類に応じて異なるが、以下の説明では、代表的に、建築物（工区）において内装材除去を行う際に生じる粉塵（埃、塵、微細な粉体等の総称）が工区外へ拡散するのを防止する場合について説明する。
【００６０】
図１に示すように、ビニールシート１や間仕切柱（図示せず）等によって密閉された（閉空間が形成された）工区４には、ビニールシート１の一部においてダクト２を介して排気ポンプ３が接続されるとともに、工区４内へ作業者が出入りするための出入口として、本発明のクリーンルーム１３が接続される。
【００６１】
建築物の内装材除去を行う場合、工区４は間仕切柱だけでなく建築物の柱なども活用される。また、工区４を密閉する部材は、ビニールシート１に限られず、気体不通性または粉塵不通性を有する布状物であればよく、さらには布状物に限られず、これら不通性を有する壁状部材であってもよい。
【００６２】
排気ポンプ３は、粉塵を除去するフィルタ（図示せず）を内蔵し、工区４内の空気を工区４内で発生した粉塵とともに吸引して工区４内を周囲（工区外）５に比して低圧（負圧）に維持する。これにより、常に工区４内に空気が入ろうとするため、工区４から粉塵を含む空気が周囲５へ放散されるのを防止することができる。また、排気ポンプ３は、工区４より吸引した空気から粉塵を除去して該空気を周囲５に排気する。これにより、工区４内における空気中の粉塵の濃度を低減することができる。
【００６３】
ダクト２は、例えば蛇腹状をなし、湾曲変形または伸縮自在となっており、排気ポンプ３の移動（設置位置の選択）を可能とする。これにより、排気ポンプ３を所望の任意の位置に設置することができる。なお、図示の構成では、排気ポンプ３およびダクト２は、周囲（工区外）５に設置されているが、これに限らず、工区４内に設置されていてもよい。この場合、排気ポンプ３の排気側がダクト２を介してビニールシート１の一部と接続されることとなる。また、排気ポンプ３を工区４内の所望の位置に設置することにより、粉塵の吸引を効率良く行うことができる。
【００６４】
クリーンルーム１３は、直列（一列）に接続された３つの第１密閉室６と、各第１密閉室６の下方に配置された箱状の第１通気ダクト７と、真中の第１密閉室６の側方に配置されたエアシャワー８とを有する。
【００６５】
第１密閉室６は、枠部材（フレーム）とビニールシートなどの不通性のシート状物とによってほぼ直方体状に構成された部屋であり、第１密閉室６内は周囲５から遮断される。また、隣接する密閉室間（第１密閉室６間）には、ビニールシートなどで構成された仕切壁９が配置される。
【００６６】
各仕切壁９は、そのほぼ中央部に、図中上下方向に沿って配置されたファスナ（留め具）１０を有する。該ファスナ１０は、金属または合成樹脂の複数の歯を２本のテープに並べて、該２本のテープの間に金具をすべらせることによって複数の歯を互いに噛み合わせ、もしくは互いに分離させて仕切壁９の左右２つの部位（半体）９ａ，９ｂを開閉する留め具であり、仕切壁９を２つの部位９ａ，９ｂに分離させて図中水平方向に開口させる開口状態と、仕切壁９の２つの部位９ａ，９ｂを互いに接合して当該仕切壁９を挟んで隣接する第１密閉室６同士の通気を遮断する閉口状態とを切り替える。開口状態では作業者が歩行して通ることができ、閉口状態では、隣接する第１密閉室６同士が遮断され、作業者が通ることができない。
【００６７】
クリーンルーム１３では、作業者が工区４へ出入りする際、作業者がファスナ１０によって仕切壁９の開閉状態を適切に切り替える。ファスナ１０が閉口状態では、ファスナ１０を介しての粉塵の工区外側への通過はなく、また、作業者が通過するときのみファスナ１０が開口状態とされるため、粉塵の一部が通過するとしてもその量は少量であり、周囲５へ飛散することが防止される。また、ファスナ１０は、その開閉操作を容易、迅速に行うことができるので、作業者の円滑、迅速な出入りを実現することができるとともに、開口状態とされる時間も短時間であるため、粉塵の工区外への拡散をより確実に防止する。そして、ファスナ１０が閉口状態のときは、その密閉性が高い（空気の漏れ量が少ない）ため、粉塵の一部が工区外へ飛散するのをより確実に防止できるとともに、第１通気ダクト７の通気量を最大限に確保することができ、後述する粉塵を工区４へ戻す機能を十分に発揮することができる。
【００６８】
また、各第１密閉室６は、図３（Ａ）および（Ｂ）に示すように、例えばアルミニウム、ステンレス鋼等の各種金属材料、各種プラスチック、または木材等で構成される骨部材（枠部材）３１によってフレームが形成され、該フレームにおいてビニールシートなどのシート状物が展長されて第１密閉室６が構成される。このような構成の第１密閉室６は、構造が簡易で、軽量であり、設置場所を問わないという利点がある。
【００６９】
また、隣接する第１密閉室６同士（密閉室同士）の接合（連結固定）は、例えば、フレームに配置されたヒンジ（係合部材）を噛み合わせるとともに、ビニールシート同士をガムテープ等で貼る（養生する）ことにより行うことができる。これにより、第１密閉室６を容易に組み立てることができるとともに、隣接する第１密閉室６同士を容易に接合することができ、もってクリーンルーム１３の移設（設置、移動、撤去等）を容易に行うことができる。なお、第１密閉室６と第２密閉室１５とを接合（連結固定）する場合や第２密閉室１５同士を接合（連結固定）する場合も、前記と同様の操作を行えばよく、密閉室のレイアウトによりクリーンルームの組み立ての基本的な方法や難易度が変わることはないことも本発明の利点である。
【００７０】
３つの第１密閉室６のうちの１つ（本実施形態では真中の第１密閉室６）には、そのいずれか一方の側面（側壁４４の上部の側面）にエアシャワー（空気噴出装置）８が設置される。このエアシャワー８は、第１密閉室６に対向する面において、第１密閉室６内に開口する複数の空気噴出口１１と、同じく第１密閉室６内に開口する空気吸引口１２とを有する。このエアシャワー８は、空気浄化機能を備えている。すなわち、エアシャワー８の内部に、空気吸引口１２から空気噴出口１１へ向けて空気流を発生させる空気循環ポンプ（図示せず）と、空気流中の粉塵を捕集するフィルタ（粉塵捕集手段）（図示せず）とを有する。
【００７１】
エアシャワー８は、工区４から作業者が退出するときに、多量の空気を作業者に吹き付けて作業者の衣服や手足、頭部等に付着した粉塵を離脱、除去するものである。作業者から離れた粉塵が混在する空気は、空気吸引口１２から吸引される。そして、エアシャワー８は、空気吸引口１２から吸引された空気中に混在する粉塵をフィルタによって捕集し、粉塵が捕集されて清浄になった空気を空気噴出口１１から噴出し、作業者に向けて吹き付ける。
【００７２】
このエアシャワー８は、粉塵が混在する空気中から粉塵をフィルタによって除去するので、粉塵の一部が周囲５へ飛散するのをさらに確実に防止することができる。
【００７３】
なお、エアシャワー８を第１密閉室６の左右どちらの側面に設置するかは、諸条件を考慮して、前述した図６の密閉室のレイアウトの選択とともに、任意に選択することができる。
【００７４】
第１密閉室６の下部には、通気ダクト（吸気通路）７が設けられている。この第１通気ダクト７は、水平方向に関する大きさが第１密閉室６の下面の大きさに対応しており、第１密閉室６の床部（床面および床下）を構成する。３つの第１密閉室６が順次連結（接合）されたとき、各第１密閉室６の第１通気ダクト７も順次接続され、工区４内へ向かう空気流を形成する一連の吸気流路を構成する。隣接する密閉室同士（第１密閉室６同士）の連結は、それらの通気ダクト（第１通気ダクト７）の端部開口同士が対面（合致）するようになされる。
【００７５】
各第１通気ダクト７は、平面視で四角形（長方形または正方形）をなし、その対向する一対の辺に側壁４４が設けられ、他の一対の辺は、開口している（図４（Ｂ）参照）。すなわち、隣接する第１密閉室６（その第１通気ダクト７）に面する面と、ビニールシート１に面する面と、周囲５に面する面がそれぞれ開口しており、これにより、クリーンルーム１３において、周囲５から工区４へ向けて、連続した直線状の吸気通路が構成される。
【００７６】
各第１通気ダクト７の上面４０は、第１密閉室６の床面（作業者が踏む床面）を構成する。各第１通気ダクト７の上面４０は、第１密閉室６内に向けて簀の子状に開口し、該開口（多数の小開口）を経て第１密閉室６内の空気（粉塵を含む）の一部が第１通気ダクト７内へ引き込まれる。
【００７７】
また、第１密閉室６内で作業者から離脱した比較的大きい粉塵は、上面４０の多数の小開口より第１通気ダクト７内に落下する。第１通気ダクト７内では、工区４内へ向けた気流が形成されているため、第１通気ダクト７内に落下した粉塵はこの気流に運ばれて工区４内へ戻される。これにより、粉塵の一部が周囲５へ飛散するのを防止でき、さらに、第１密閉室６において粉塵の定期的な除去を行う必要を無くすことができる。
【００７８】
第１通気ダクト７の上面４０は、図３（Ｂ）および図４（Ａ）に示すように、複数の例えばアルミパイプのような棒状部材４１が互いに平行に配列されて簀の子状を呈し、四隅のそれぞれに第１密閉室６の骨部材３１が挿入される骨部材挿入穴（骨部材連結部）４２を有する。なお、第１通気ダクト７の上面４０を構成する棒状部材４１は、アルミパイプに限られず、例えば、アルミ中実棒、ステンレスパイプ、鉄パイプ、ステンレスまたは鉄の中実棒、プラスチック棒、木材角なども用いることができる。また、上面４０の構造も、簀の子状に限られず、例えば格子状、網目状、板材に多数の貫通孔が形成されたものなどであってもよい。すなわち、上面４０の構造は、第１通気ダクト７内と第１密閉室６とが連通する多数の開口が形成されており、作業者が乗っても凹むことがない程度の剛性を有する構造、部材であれば、いかなるものでもよい。
【００７９】
第１通気ダクト７内には、図４（Ｂ）に示すように、流路４３を囲む一対の側壁４４以外に上面４０を支持する１つの支柱（補強部材）４５が設置される。この支柱４５を設けることにより、上面４０の強度が向上し、作業者が上面４０に乗った場合でも、上面４０の変形を防止する。なお、この支柱４５は、流路４３内では大きい面積を占めるものではないため、周囲５から工区４への空気流を阻害することはない。また、支柱４５の形状や配置は、図示のものに限定されないことは言うまでもない。
【００８０】
なお、図３（Ｂ）および図４（Ｂ）に示すように、第１通気ダクト７は、その流路４３の下面を塞ぐ下板４６を有しているが、本発明では、この下板４６は、必ずしも設けなくてもよく、この場合には、クリーンルーム１３を載置する床面が下板４６と同様の機能を果たす。このことは、第２通気ダクト５０についても同様である。
【００８１】
図２（Ａ）に示すように、連通する３つの通気ダクト（第１通気ダクト７）は、工区４へ向かう流れを許容する一方向弁２１を備える。すなわち、連結された３つの第１通気ダクト７の好ましくは周囲５に開口する部分および／または工区４に開口する部分（またはその近傍）に、工区４へ向かう流れを許容し、工区４から周囲５への空気流の逆流を防止または抑制する一方向弁２１が設置されている。
【００８２】
一方向弁２１は、第１通気ダクト７の流路４３の横断面（開口部）の大きさとほぼ等しい大きさの板状部材（またはシート状部材）が蝶番２２を介して上面４０に対し回動自在に設置されており、板状部材の回動角度により流路４３の開度を変更（調整）する。一方向弁２１は、図２（Ａ）中の鉛直方向の状態から左側（時計回り）には回動することができるが、図示しないストッパにより右側（反時計回り）には回動することができない。
【００８３】
一方向弁２１では、周囲５から工区４への空気の流れが生じたとき、これに伴って板状部材が図２（Ａ）中の左側（時計回り）に回動し、該空気の流通を許容するが、工区４から周囲５への空気の流れ（逆流）が生じようとしたときには、板状部材はストッパにより右側（反時計回り）には回動できないので、図２（Ａ）中の鉛直方向の状態、すなわち流路４３を塞いだ状態となり、該逆流を防止する。
【００８４】
なお、一方向弁２１は、板状部材（またはシート状部材）が第１通気ダクト７の下面に蝶番を介して回動自在に設置された構成でもよい。但し、この場合には、板状部材を第１通気ダクト７の下面に対して垂直に立設させるように付勢するバネなどを備える必要があるため、クリーンルーム１３の製造コストの観点からは、板状部材を上面４０に接合するのが好ましい。
【００８５】
また、一方向弁２１は、例えばゴム（弾性材料）製の板部材で構成され、該板部材の弾性変形により開閉するような構成のものや、例えば可撓性を有する樹脂製のシート状部材で構成され、該シート状部材の変形により開閉するような構成のものでもよい。なお、このような一方向弁２１の構造、設置数、設置箇所は、図示のものに限定されないことは言うまでもない。
【００８６】
また、第１通気ダクト７の上面４０において骨部材挿入穴４２に骨部材３１が挿入されて第１通気ダクト７と第１密閉室６とは一体化される。これにより、第１密閉室６および第１通気ダクト７の移動、設置（組み立て）、撤去、引いてはクリーンルーム１３の移動・設置（組み立て）、撤去が容易に行える。
【００８７】
なお、図１のクリーンルーム１３では、図２（Ｂ）に示すように、各第１通気ダクト７の上面４０が簀の子状に形成されるが、第１密閉室６に対向する全ての上面４０が簀の子状に形成される必要はなく、３つの上面４０のうち少なくとも１つが簀の子状に形成（小開口が形成）され、残りの上面４０は閉鎖（例えば、開口を有さない平板で構成）されていてもよい。この場合、エアシャワー８が設置された密閉室（第１密閉室６）または該密閉室より工区４側にある密閉室に対向する上面４０が簀の子状に形成（小開口が形成）されることが好ましい。工区４に近いほど、作業者から落下し蓄積される粉塵の量が多くなる傾向があるので、比較的工区４に近い部分で粉塵を工区４内に戻すことが有効であるとともに、エアシャワー８により作業者から落下した粉塵も上面４０の開口を経て通気ダクト７内に戻され、効率良く粉塵を工区４内に戻すことができるからである。
【００８８】
３つの密閉室６のうち、例えば最も周囲５側の第１密閉室６の上面４０を、前記平板等で構成された開口を有さない上面とすることができる。このような開口を有さない上面４０には、例えば粉塵を吸着する粘着シートのような粉塵捕捉手段を別途配置してもよい。
【００８９】
本発明のクリーンルーム１３では、密閉室の総数は３室に限らず、２室または４室以上であってもよい。但し、粉塵の周囲５への飛散防止の観点からはクリーンルーム１３を構成する密閉室の数は、工区４から周囲５まである程度の距離を稼ぐために、２〜６室程度、特に２〜４室程度であるのが好ましい。
【００９０】
次に、第２密閉室１５および第２通気ダクト５０について説明するが、前述した第１密閉室６および第１通気ダクト７と同様の事項（構成、効果等）についてはその説明を省略し、主に相違点を中心に説明する。
【００９１】
図５（Ａ）は、第２密閉室の下部に設置される第２通気ダクトの上面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の第２通気ダクトにおける流路の概略構成を示す断面図である。
【００９２】
第２通気ダクト５０の上面５１は、第２密閉室１５の床面を構成し、多数の小開口を有するが、作業者が乗っても変形しない程度の強度を有する。図５（Ａ）に示すように、第２通気ダクト５０の上面５１は、複数の例えばアルミパイプのような棒状部材５２が互いに平行に配列されて簀の子状を呈し、四隅のそれぞれに第１密閉室６の骨部材３１が挿入される骨部材挿入穴４２を有すること、および第２通気ダクト５０の上面５１を構成する棒状部材は、アルミパイプに限られないことは、前記第１通気ダクト７と同様である。
【００９３】
第２通気ダクト５０には、図５（Ｂ）に示すように、４つの側面のうち隣接する２つの側面にのみ側壁５３が配置され、これらの側壁５３に対向する面はそれぞれ開口している。すなわち、第１通気ダクト７では２つの側壁４４が流路４３を介して平行に配置されているのに対し、第２通気ダクト５０は、２つの側壁５３がＬ字状（直角）に連結して配置されている。これにより、第２通気ダクト５０内では、ほぼ直角に曲がる流路５５が形成され、周囲５から工区４へ向かう空気流を、図５（Ｂ）中の矢印で示すように直角方向に向きを変えることができる。
【００９４】
第２通気ダクト５０と組み合わされる（一体化される）第２密閉室１５は、ファスナ１０を有する仕切壁９が第２通気ダクト５０の開口（端部開口）に対応する側面に配置される。従って、仕切壁９同士も直角に配置されることとなる。
【００９５】
また、第２通気ダクト５０の上部の第２密閉室１５に前記エアシャワー８を配置する場合、側壁５３の上部に位置する第２密閉室１５の側面に設置される。この場合も、エアシャワー８を第２密閉室１５の直交する側面のうちのどちらの側面に設置するかは、諸条件を考慮して、前述した図６の密閉室のレイアウトの選択とともに、任意に選択することができる。
【００９６】
なお、第２通気ダクト５０では、図５（Ｂ）に示すように、２本のメンバ５４が流路５５の上方に交差した状態で配置される。両メンバ（補強部材）５４は、第２通気ダクト５０の上面５１を下側から支持するものであり、上面５１を補強する機能を有する。なお、このメンバ５４は、流路５５の上方に配置されるため、周囲５から工区４への空気流を妨げることがない。
【００９７】
本発明では、第１通気ダクト７と第２通気ダクト５０のうちのいずれか一方または双方を適宜数用い、かつこれらの連結方向および連結順序を適宜選択しつつこれらを連結し、さらにエアシャワー８の設置箇所を選択して設置することにより、密閉室およびエアシャワー８の配置パターン（レイアウト）を所望の配置パターンに設定したクリーンルームとすることができる。このような密閉室等の配置パターン（レイアウト）の決定は、例えば、作業現場の空間の余裕、工区への出入口の位置および／または方向（進入方向）、その他必要な諸条件などのうちの１または２以上を考慮して行うことができる。特に、この決定には、そのレイアウトを選択したときの前述したような利点を考慮するのが好ましい。
【００９８】
作業現場の空間の余裕と、工区への出入口の位置および方向を考慮する場合、次のようなパターンからの選択が可能である。例えば、図６（Ｂ）と（Ｃ）と（Ｉ）を比較した場合、これら３つのクリーンルーム１３は、形状は同じ（前述したＬ字内側の密閉室１つ分の空間の位置も同じ）であるが、出入口の位置および方向がそれぞれ異なっている。この関係は、図６（Ｄ）と（Ｇ）でも同様である。また、図６（Ｂ）と（Ｆ）を比較した場合、クリーンルーム１３の出入口の位置および方向は同じであるが、クリーンルーム１３の形状（クリーンルーム１３の占める設置空間の形状）が異なっている。この関係は、図６（Ｃ）と（Ｅ）でも同様である。
【００９９】
なお、本発明のクリーンルーム１３では、３つのうちの真中の密閉室（４つ以上の密閉室が連結されている場合には、その両端以外の密閉室）にエアシャワー８が設置されるのが好ましいが、その他の密閉室（連結された密閉室のうちの両端に位置する密閉室）にエアシャワー８が設置されてもよい。
【０１００】
以上、本発明のクリーンルームおよびその組立方法を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、クリーンルームを構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【０１０１】
また、上述したクリーンルームでは、各密閉室の下部に通気ダクトが配置されているが、密閉室に対する通気ダクトの設置位置は、これに限らず、例えば密閉室の上部（天井部）に通気ダクトが配置されていてもよい。
【０１０２】
また、各通気ダクトの上面は、小開口を有さない平板状の床板で構成されていてもよく、この場合には、該床板上に粉塵を吸着する粘着シートを配置することができる。このような構成とした場合には、作業者から分離・落下した粉塵を粘着シートによって捕集することにより、粉塵の一部が工区外へ飛散するのを防止できるとともに、粘着シートを定期的に交換することにより、粉塵の定期的な除去を行う必要を無くすことができる。
【０１０３】
また、連結された通気ダクトの少なくとも一部に、複数に分岐する分岐流路を有していてもよい。また、本発明は、半導体工場や手術室、集中治療室（ＩＣＵ）等の工区に設置されるクリーンルームにも適用することができ、この場合には、工区内を陽圧にすることにより工区内への粉塵の侵入を防止することとなる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明のクリーンルームの実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１のクリーンルームの断面図であり、図２（Ａ）は図１中のＡ−Ａ線断面図であり、図２（Ｂ）は図１中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図３】図１のクリーンルームにおける密閉室の概略構成を示す図であり、図３（Ａ）は密閉室の枠組みの概略構成を示す斜視図であり、図３（Ｂ）は図３（Ａ）中のＣ−Ｃ線断面図である。
【図４】図３における通気ダクトを示す図であり、図４（Ａ）は通気ダクトの上面図であり、図４（Ｂ）は図３（Ｂ）中のＤ−Ｄ線断面図である。
【図５】本発明のクリーンルームにおける通気ダクトを示す図であり、図５（Ａ）は、第２密閉室の下部に設置される第２通気ダクトの上面図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の第２通気ダクトにおける流路の概略構成を示す断面図である。
【図６】本発明のクリーンルームにおける密閉室の配置パターンの例を示す図であり、図６（Ａ）〜（Ｉ）は、連結する密閉室の総数を３とした場合のクリーンルームにおける第１密閉室および第２密閉室の組み合せとその配置の例を示す図である。
【図７】従来の工区とその周囲の状態を示す図である。
【図８】従来の工区への出入口用通路の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１            ビニールシート
２            ダクト
３            排気ポンプ
４            工区
５            周囲（工区外）
６            第１密閉室
７            第１通気ダクト
８            エアシャワー
９            仕切壁
９ａ，９ｂ    部位（半体）
１０          ファスナ（留め具）
１１          空気噴出口
１２          空気吸引口
１３          クリーンルーム
１５          第２密閉室
２１          一方向弁
２２          蝶番
３１          骨部材
４０，５１    上面
４１，５２    棒状部材
４２          骨部材挿入穴
４３，５５    流路
４４，５３    側壁
４５          支柱
４６          下板
５０          第２通気ダクト
５４          メンバ
７１          間仕切柱
７２          ビニールシート
７３          ダクト
７４          排気ポンプ
７５          出入口用通路
７６          室
７７          床面
７８          仕切壁
７９          出入口
【図１】
2006063640.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006063640.tif 000008
【図７】
2006063640.tif 000009
【図８】
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