(57)【要約】【課題】  微小光学部品を接着剤で接着する場合に、その接着領域に余剰の接着剤が存在してもその余剰の接着剤が微小光学部品に形成された光学領域に這い上がらないようにする。【解決手段】  基体２の表面の一部に形成されて接着剤５を用いてベース部材６に接着固定される接着面３と、基体２の表面の接着面３以外の少なくとも一面に形成された光学領域４とを有する微小光学部品１において、基体２の表面の一部であって接着面３と光学領域４との間に位置付けられ、接着面３をベース部材６に接着固定するために用いられた接着剤５が基体２の表面に沿って光学領域４に這い上がることを規制する接着剤這い上がり規制領域７を有する。この微小光学部品１を接着剤５を用いてベース部材６に接着固定したとき、接着領域に余剰の接着剤５が存在しても、余剰の接着剤５が基体２の表面に沿って光学領域４に這い上がることを接着剤這い上がり規制領域７によって規制できる。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と、この基体の表面の一部に形成されて接着剤を用いてベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の表面の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品において、
前記基体の表面の一部であって前記接着面と前記光学領域との間に位置付けられ、前記接着面を前記ベース部材に接着固定するために用いられた接着剤が前記基体の表面に沿って前記光学領域に這い上がることを規制する接着剤這い上がり規制領域を有することを特徴とする微小光学部品。
【請求項２】
前記接着剤這い上がり規制領域は、物理的に粗らされた領域であることを特徴とする請求項１記載の微小光学部品。
【請求項３】
前記物理的に粗らされた領域の中心線平均粗さ“Ｒａ”が、０．１μｍ以上であることを特徴とする請求項２記載の微小光学部品。
【請求項４】
前記接着剤這い上がり規制領域は、接着剤をはじくように化学的処理された領域であることを特徴とする請求項１記載の微小光学部品。
【請求項５】
前記接着剤這い上がり規制領域は、接着剤をはじく性質の膜が形成されていることを特徴とする請求項１記載の微小光学部品。
【請求項６】
前記基体を接着剤をはじく性質の材料で形成することにより前記接着剤這い上がり規制領域が形成されていることを特徴とする請求項１記載の微小光学部品。
【請求項７】
基体と、この基体の表面の一部に形成されて接着剤を用いてベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の表面の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品において、
前記基体の表面の一部であって前記接着面と前記光学領域との間に位置付けられ、前記光学領域が形成された面がオーバーハング状態となるように後退した段差部が形成されていることを特徴とする微小光学部品。
【請求項８】
基体と、この基体の表面の一部に形成されて接着剤を用いてベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の表面の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品において、
前記基体の表面の一部であって前記接着面と前記光学領域との間に位置付けられて溝が形成されていることを特徴とする微小光学部品。
【請求項９】
基体と、この基体の表面の一部に形成されて接着剤を用いてベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の表面の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品と、
前記ベース部材に接着固定された前記微小光学部品の周囲に位置付けられ、前記微小光学部品を前記ベース部材に接着固定するために用いられた接着剤であって前記基体の側面に沿って前記光学領域に向けて這い上がる接着剤を捕集する接着剤捕集体と、
を有する微小光学装置。
【請求項１０】
前記接着剤捕集体が前記ベース部材上に位置決め固定され、前記微小光学部品が前記接着剤捕集体に当接されている請求項９記載の微小光学装置。
【請求項１１】
前記接着剤捕集体が前記微小光学部品に固定されている請求項９記載の微小光学装置。
【請求項１２】
前記微小光学部品と前記接着剤捕集体との間に弾性部材が介装されている請求項９ないし１１のいずれか一記載の微小光学装置。
【請求項１３】
基体と、この基体の一面に形成されて接着剤を用いてサブベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品と、
前記サブベース部材に接着固定された前記微小光学部品の周囲に位置付けられ、前記微小光学部品を前記サブベース部材に接着固定するために用いられた接着剤であって前記基体の側面に沿って前記光学領域に向けて這い上がる接着剤を捕集する接着剤捕集体と、
前記微小光学部品と前記接着剤捕集体とが取り付けられたサブベース部材と、
を有する微小光学装置。
【請求項１４】
光源と、
前記光源から出射された光を光記録媒体の記録面に対して集光させるレンズに向けて反射させる請求項１ないし８のいずれか一記載の微小光学部品又は請求項９ないし１３のいずれか一記載の微小光学装置と、
を備える光ピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小光学部品、この微小光学部品を用いた微小光学装置及びこの微小光学部品又はこの微小光学装置を用いた光ピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種装置の小型軽量化が求められており、部品の小型化および高集積化が盛んに研究されている。特に、光通信モジュール、光ディスクの入出力装置である光ピックアップなど光関連装置の組立では、ミクロンオーダーの極めて小さな微小光学部品を接着する必要がある。このような微小光学部品を接着固定する際には、当該微小光学部品の表面のうち光学的に利用する領域（光学領域）を接着剤から保護する必要があり、そのために高度な実装技術が要求される。
【０００３】
つまり、微小光学部品の接着の際には、微少量の接着剤を制御性よく塗布し、余剰の接着剤が当該微小光学部品の表面に沿って光学領域に這い上がらないすることと、接着剤の表面張力で微小光学部品の位置がずれないようにすることとが必要である。特に接着剤が光学領域に這い上がることは、当該微小光学部品の光学機能を満足させるためには確実に防止しなければならない。
【０００４】
一般的には、光学部品を搭載する部材（以下、ベース部材と表現する）に固定する場合、ディスペンサ等の塗布装置で接着剤をベース部材上に滴下し、そこに光学部品を置いて固定する。しかし、ベース部材上に滴下する接着剤の量が多すぎると、接着剤が光学部品の表面に沿って這い上がることにより光学部品の光学領域まで達し、光学機能に影響を及ぼしてしまう。
【０００５】
特に、ベース部材に搭載する光学部品が微小光学部品である場合には、接着面積が非常に小さいため、ディスペンサ等の塗布装置では塗布量のコントロールは困難である。
【０００６】
このような問題を解決する方法として、接着剤をインクジェットでベース部材に塗布する方法や、接着剤を微小光学部品の接着面に塗布する方法が考えられる。つまり、前者は、インクジェットから吐出される接着剤の粒を小さくすれば接着剤の量をコントロールしやすくなることに注目した方法である。後者は、微小光学部品に接着剤を塗布してベース部材に接着すれば、常に接着剤の付着面積は微小光学部品の接着面の面積より大きくなることはなく、接着剤の量をコントロールしやすくなることに注目した方法である。
【０００７】
後者のような微小光学部品の接着面に接着剤を塗布する技術としては、特許文献１、２に開示された発明が知られている。
【０００８】
特許文献１に開示された発明を図２８に基づいて説明する。ディスペンサ１００の吐出ノズル１０１から接着剤１０２が押し出され、この接着剤１０２は、吸着ノズル１０３に吸着されている微小光学部品（チップ部品）１０４の接着面に塗布される。この技術は、１ｍｍ×０．５ｍｍ程度以上の微小光学部品１０４を固定する際に好適に利用することができる。
【０００９】
特許文献２に開示された発明を図２９に基づいて説明する。転写治具１１０は先端側が円錐形をしており、この転写治具１１０の先端へ接着剤１０２を付着させ（図２９（ａ））、コレット１１１等で保持した微小光学部品１０４の接着面を転写治具１１０の先端部に近付け（図２９（ｂ））、転写治具１１０の先端部に付着させた接着剤１０２を微小光学部品１０４の接着面に転写させる（図２９（ｃ））。転写治具１１０の先端部への接着剤１０２の塗布は、ディスペンサ等の塗布装置を用いて滴下させることにより行う。転写治具１１０の先端部に滴下された接着剤１０２は、必要量のみが先端部上に残り、過剰な接着剤１０２は転写治具１１０の先端側の円錐面にそって流れ落ちる。これにより、必要量のみの接着剤１０２を微小光学部品１０４の接着面に塗布することができる。
【００１０】
【特許文献１】特開平７−１４７４８０号公報
【特許文献２】特開２００３−８６９３０公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、特許文献１に開示された発明では、接着剤１０２の供給手段は従来の吐出ノズル１０１を使うディスペンサ１００であり、その吐出量は吐出ノズル１０１の形状に依存するため極微量の吐出は困難である。ディスペンサ１００には最小の吐出ノズル１０１として内径が０．１３ｍｍと小さいものもあるが、吐出ノズル１０１の外形寸法は０．３〜０．４ｍｍ程度である。そして、吐出ノズル１０１から吐出される接着剤１０２は吐出ノズル１０１の外形まで広がる傾向にあるため、取り扱える微小光学部品１０４の大きさには限界がある。
【００１２】
また、特許文献２に開示された発明では、微小光学部品１０４のサイズや形状に応じて転写治具を交換する必要があり、煩雑である。また、転写治具１１０の先端部に接着剤１０２を低下する際における転写治具１１０とディスペンサとの位置合わせ、コレット１１１等で保持した微小光学部品１０４の接着面と転写治具１１０の先端部との位置合わせ等を高精度に行わなければならず、高精度な位置合わせ機構が必要であって高価な装置となる。
【００１３】
本発明の目的は、微小光学部品を接着剤で接着する場合に、その接着領域に余剰の接着剤が存在してもその余剰の接着剤が微小光学部品に形成された光学領域に這い上がらないようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１記載の発明は、基体と、この基体の表面の一部に形成されて接着剤を用いてベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の表面の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品において、前記基体の表面の一部であって前記接着面と前記光学領域との間に位置付けられ、前記接着面を前記ベース部材に接着固定するために用いられた接着剤が前記基体の表面に沿って前記光学領域に這い上がることを規制する接着剤這い上がり規制領域を有することを特徴とする。
【００１５】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の微小光学部品において、前記接着剤這い上がり規制領域は、物理的に粗らされた領域であることを特徴とする。
【００１６】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の微小光学部品において、前記物理的に粗らされた領域の中心線平均粗さ“Ｒａ”が、０．１μｍ以上であることを特徴とする。
【００１７】
請求項４記載の発明は、請求項１記載の微小光学部品において、前記接着剤這い上がり規制領域は、接着剤をはじくように化学的処理された領域であることを特徴とする。
【００１８】
請求項５記載の発明は、請求項１記載の微小光学部品において、前記接着剤這い上がり規制領域は、接着剤をはじく性質の膜が形成されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項６記載の発明は、請求項１記載の微小光学部品において、前記基体を接着剤をはじく性質の材料で形成することにより前記接着剤這い上がり規制領域が形成されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項７記載の発明は、基体と、この基体の表面の一部に形成されて接着剤を用いてベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の表面の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品において、前記基体の表面の一部であって前記接着面と前記光学領域との間に位置付けられ、前記光学領域が形成された面がオーバーハング状態となるように後退した段差部が形成されていることを特徴とする。
【００２１】
請求項８記載の発明は、基体と、この基体の表面の一部に形成されて接着剤を用いてベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の表面の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品において、前記基体の表面の一部であって前記接着面と前記光学領域との間に位置付けられて溝が形成されていることを特徴とする。
【００２２】
請求項９記載の発明の微小光学装置は、基体と、この基体の表面の一部に形成されて接着剤を用いてベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の表面の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品と、前記ベース部材に接着固定された前記微小光学部品の周囲に位置付けられ、前記微小光学部品を前記ベース部材に接着固定するために用いられた接着剤であって前記基体の側面に沿って前記光学領域に向けて這い上がる接着剤を捕集する接着剤捕集体と、を有する。
【００２３】
請求項１０記載の発明は、請求項９記載の微小光学装置において、前記接着剤捕集体が前記ベース部材上に位置決め固定され、前記微小光学部品が前記接着剤捕集体に当接されている。
【００２４】
請求項１１記載の発明は、請求項９記載の微小光学装置において、前記接着剤捕集体が前記微小光学部品に固定されている。
【００２５】
請求項１２記載の発明は、請求項９ないし１１のいずれか一記載の微小光学装置において、前記微小光学部品と前記接着剤捕集体との間に弾性部材が介装されている。
【００２６】
請求項１３記載の発明の微小光学装置は、基体と、この基体の一面に形成されて接着剤を用いてサブベース部材に接着固定される接着面と、前記基体の前記接着面以外の少なくとも一面に形成された光学領域とを有する微小光学部品と、前記サブベース部材に接着固定された前記微小光学部品の周囲に位置付けられ、前記微小光学部品を前記サブベース部材に接着固定するために用いられた接着剤であって前記基体の側面に沿って前記光学領域に向けて這い上がる接着剤を捕集する接着剤捕集体と、前記微小光学部品と前記接着剤捕集体とが取り付けられたサブベース部材と、を有する。
【００２７】
請求項１４記載の発明の光ピックアップ装置は、光源と、前記光源から出射された光を光記録媒体の記録面に対して集光させるレンズに向けて反射させる請求項１ないし８のいずれか一記載の微小光学部品又は請求項９ないし１３のいずれか一記載の微小光学装置と、を備える。
【発明の効果】
【００２８】
請求項１記載の発明の微小光学部品によれば、この微小光学部品を接着剤を用いてベース部材に接着固定したときに、その接着領域に余剰の接着剤が存在しても、その余剰の接着剤が基体の表面に沿って光学領域に這い上がることを接着剤這い上がり規制領域によって規制することができる。
【００２９】
請求項２記載の発明の微小光学部品によれば、接着剤這い上がり規制領域は物理的に粗らされた領域であるので、微小光学部品を接着するために用いた接着剤が基体の表面に沿って光学領域に這い上がることを規制することができる。
【００３０】
請求項３記載の発明の微小光学部品によれば、接着剤這い上がり規制領域である物理的に粗らされた領域の中心線平均粗さ“Ｒａ”を０．１μｍ以上とすることにより、微小光学部品を接着するために用いた接着剤が基体の表面に沿って光学領域に這い上がることを規制することができる。
鏡面と判断されるのは“Ｒａ”が０．１μｍ以下であり、粘性の低い液体が濡れ性が良いのは鏡面である。このため、鏡面に少しでも傷があると、そこで濡れ性の連続性が止まる。したがって、“Ｒａ”を０．１μｍ以上とすることにより、接着剤の這い上がりを規制することができる。
【００３１】
請求項４記載の発明の微小光学部品によれば、接着剤這い上がり規制領域は接着剤をはじくように化学的処理された領域であるので、微小光学部品を接着するために用いた接着剤が基体の表面に沿って光学領域に這い上がることを規制することができる。
【００３２】
請求項５記載の発明の微小光学部品によれば、接着剤這い上がり規制領域は接着剤をはじく性質の膜が形成されているので、微小光学部品を接着するために用いた接着剤が基体の表面に沿って光学領域に這い上がることを規制することができる。
【００３３】
請求項６記載の発明の微小光学部品によれば、接着剤這い上がり規制領域は基体を接着剤をはじく性質の材料で形成することにより形成されているので、微小光学部品を接着するために用いた接着剤が基体の表面に沿って光学領域に這い上がることを規制することができる。
【００３４】
請求項７記載の発明の微小光学部品によれば、微小光学部品を接着するために用いた接着剤が基体の表面に沿って這い上がってきた場合に、その接着剤の這い上がりを段差部の位置で規制することができ、接着剤が光学領域まで這い上がることを規制することができる。
【００３５】
請求項８記載の発明の微小光学部品によれば、微小光学部品を接着するために用いた接着剤が基体の表面に沿って這い上がってきた場合に、その接着剤の這い上がりを溝の位置で規制することができ、接着剤が光学領域まで這い上がることを規制することができる。
【００３６】
請求項９記載の発明の微小光学装置によれば、微小光学部品を接着するために用いた接着剤が基体の表面に沿って這い上がってきた場合に、這い上がった接着剤を接着剤捕集体によって捕集することができ、接着剤が光学領域まで這い上がることを規制することができる。
【００３７】
請求項１０記載の発明の微小光学装置によれば、微小光学部品を接着固定する際の位置決め部材として接着剤捕集体を利用することができ、微小光学部品の位置精度を向上させることができる。
【００３８】
請求項１１記載の発明の微小光学装置によれば、微小光学部品と接着剤捕集体とが固定されることにより外径寸法が大きくなるために取扱いが容易になり、ベース部材に接着固定する作業を容易に行うことができる。
【００３９】
請求項１２記載の発明の微小光学装置によれば、微小光学部品と接着剤捕集体との間が密着され、接着剤の這い上がりを規制する効果を高めることができる。
【００４０】
請求項１３記載の発明の微小光学装置によれば、微小光学部品と接着剤捕集体とがサブベース部材に取り付けられているので、微小光学装置をベース部材に取り付ける作業を容易に行うことができる。
【００４１】
請求項１４記載の発明の光ピックアップ装置によれば、微小光学部品の光学領域にこの微小光学部品を接着するために用いた接着剤が付着することを防止でき、光学領域での光の反射を高精度に行うことができ、光記録媒体に対する読取性能や書込性能を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４２】
本発明の第１の実施の形態を図１ないし図５に基づいて説明する。図１は微小光学部品であるマイクロミラーを示す斜視図、図２はその平面図、図３は図１におけるＡ−Ａ線断面図、図４は光ピックアップ装置を示す平面図、図５はその側面図である。
【００４３】
マイクロミラー１は、０．２５ｍｍ（横）×０．２５ｍｍ（縦）×０．３ｍｍ（高さ）の直方体形状の基体２を有し、この基体２の表面の一面が接着面３とされ、この基体２の表面の接着面３以外の２面に光学領域４が形成されている。基体２の材料としては、ＢＫ７の光学ガラスが用いられている。また、このマイクロミラー１の形状は直方体に限られるものではなく、三角柱、三角錐、四角錐等の形状であってもよい。
【００４４】
接着面３は、接着剤５を用いてベース部材６に接着固定される面である。接着剤５としては、例えば、ＵＶ硬化樹脂型の接着剤が用いられている。
【００４５】
光学領域４は、反射率を上げるために反射膜が形成された鏡面である。反射膜は、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）等を用いて蒸着、スパッタリングで形成されている。又は、反射膜としては、誘電体多層膜を形成してもよい。
【００４６】
基体２における光学領域４が形成されている表面には、この表面の一部であって接着面３と光学領域４との間に位置付けられた接着剤這い上がり規制領域７が形成されている。この接着剤這い上がり規制領域７は、マイクロミラー１をベース部材６に接着固定するために用いられた接着剤５が基体２の表面に沿って光学領域４に這い上がることを規制する領域であり、基体２の表面を物理的に粗すことにより形成されている。基体２の表面を物理的に粗す方法としては、例えば、サンドブラスト法などを使用することができる。物理的に粗された接着剤這い上がり規制領域７の中心線平均粗さ“Ｒａ”は０．１μｍであることが好ましく、本実施の形態では０．５μｍとしている。
【００４７】
このような構成において、このマイクロミラー１を接着剤５を用いてベース部材６に接着固定することにより、図３に示すような状態が得られる。
【００４８】
即ち、基体２の表面における光学領域４が形成されている面における光学領域４と接着面３との間には、接着剤這い上がり規制領域７が形成されているので、接着剤５が基体２の表面に沿って光学領域４に這い上がることが接着剤這い上がり規制領域７によって規制される。これにより、マイクロミラー１の接着固定に用いられた接着剤５の量が接着に必要な最小限の量より多い場合であっても、余剰の接着剤５が光学領域４に付着して光学機能に影響を及ぼすということを防止することができる。
【００４９】
一方、基体２の表面における光学領域４が形成されていない面では、接着剤這い上がり規制領域７も形成されていないため、余剰の接着剤５は基体２の表面を這い上がり、光学領域４が形成されている位置まで這い上がる。
【００５０】
図４及び図５は、上述したマイクロミラー１を用いた光ピックアップ装置８である。この光ピックアップ装置８は、マイクロミラー１、レーザ光を出射する光源である半導体レーザ９、１０、半導体レーザ９、１０から出射された後にマイクロミラー１で反射されたレーザ光を光記録媒体（図示せず）上に集光させるレンズ１１、光記録媒体で反射されたレーザ光を受光する受光素子１２、１３、光記録媒体で反射されたレーザ光を受光素子１２、１３に向けて屈曲させるホログラム素子１４等により構成されている。
【００５１】
光ピックアップ装置８にはベース部材６が設けられ、このベース部材６に凹部１５が形成され、この凹部１５内にマイクロミラー１が接着固定されている。
【００５２】
ベース部材６におけるマイクロミラー１を挟んだ両側には半導体レーザ９、１０が対向して配置されている。これらの半導体レーザ９、１０からは異なる波長のレーザ光が取捨され、例えば、半導体レーザ９からはＤＶＤ用の短い波長（６３５ｎｍ又は６５０ｎｍ）のレーザ光が出射され、半導体レーザ１１からはＣＤ用の長い波長（７８０ｎｍ）のレーザ光が出射される。
【００５３】
この光ピックアップ装置８では、接着剤這い上がり規制領域７を形成したマイクロミラー１を用いていることにより、マイクロミラー１の接着固定に用いた接着剤５がマイクロミラー１の光学領域４に這い上がることを規制できる。そして、這い上がった接着剤５が光学領域４に付着することを防止でき、光学領域４での光の反射を高精度に行うことができ、光記録媒体に対する読取性能や書込性能を向上させることができる。
【００５４】
なお、本実施の形態では、微小光学部品としてマイクロミラー１を例に挙げて説明したが、光透過機能を有するプリズム等にも適用することができる。
【００５５】
また、本実施の形態では、接着剤這い上がり規制領域７をマイクロミラー１における光学領域４が形成されている面にのみ形成した場合を例に挙げて説明したが、光学領域４が形成されていない他の面に接着剤這い上がり規制領域７を形成してもよい。
【００５６】
また、本実施の形態の光ピックアップ装置８では、ベース部材６の凹部１５にマイクロミラー１を接着固定した場合を例に挙げて説明したが、後述する第７ないし第９の実施の形態では、マイクロミラー１に代えて微小光学装置を接着固定することにより光ピックアップ装置が形成されるものである。
【００５７】
本発明の第２の実施の形態を図６ないし図８に基づいて説明する。なお、本実施の形態及び以下の実施の形態において、先行して説明した実施の形態と同じ部分は同じ符号で示し、説明も省略する。
【００５８】
本実施の形態の基本的構造は第１の実施の形態と同じであり、本実施の形態と第１の実施の形態との異なる点は、第１の実施の形態ではマイクロミラー１の基体２の表面の一部であって接着面３と光学領域４との間に、物理的に粗すことにより接着剤這い上がり規制領域７を形成しているのに対し、本実施の形態では、微小光学部品であるマイクロミラー１Ａの基体２の表面の一部であって接着面３と光学領域４との間に、接着剤５をはじくように化学的処理された接着剤這い上がり規制領域７Ａを形成している点である。基体２の表面に対する接着剤５をはじくようにする化学的処理としては、例えば、液体によるエッチングが挙げられる。基体２の材料がガラスであればエッチング液はフッ酸を使用でき、基体２の材料がシリコンであればエッチング液としてフッ硝酸を使用できる。基体２の表面をエッチング液で化学反応させ、反応性生物を基体２表面から運び去ることにより基体２の表面を粗すことができる。また、エッチングだけではなく、基体２の材料の表面張力を接着剤５の表面張力よりも小さくするような処理をしてもよい。
【００５９】
このような構成において、このマイクロミラー１Ａを接着剤５を用いてベース部材６に接着固定することにより、図８に示すような状態が得られる。
【００６０】
即ち、基体２の表面における光学領域４が形成されている面における光学領域４と接着面３との間には、接着剤這い上がり規制領域７Ａが形成されているので、接着剤５が基体２の表面に沿って光学領域４に這い上がることが接着剤這い上がり規制領域７Ａによって規制される。これにより、マイクロミラー１Ａの接着固定に用いられた接着剤５の量が接着に必要な最小限の量より多い場合であっても、余剰の接着剤５が光学領域４に付着して光学機能に影響を及ぼすということを防止することができる。
【００６１】
本発明の第３の実施の形態を図９ないし図１１に基づいて説明する。
【００６２】
本実施の形態の基本的構造は第１の実施の形態と同じであり、本実施の形態と第１の実施の形態との異なる点は、第１の実施の形態ではマイクロミラー１の基体２の表面の一部であって接着面３と光学領域４との間に、物理的に粗すことにより接着剤這い上がり規制領域７を形成しているのに対し、本実施の形態では、微小光学部品であるマイクロミラー１Ｂの基体２の表面の一部であって接着面３と光学領域４との間に、接着剤５をはじく性質の膜を形成した接着剤這い上がり規制領域７Ｂを形成している点である。基体２の表面に形成する接着剤をはじく性質の膜の形成としては、例えば、ポリシリコンを成膜してもよく、又は、フッ素系の樹脂をスパッタ成膜や塗布により形成してもよい。
【００６３】
このような構成において、このマイクロミラー１Ｂを接着剤５を用いてベース部材６に接着固定することにより、図１１に示すような状態が得られる。
【００６４】
即ち、基体２の表面における光学領域４が形成されている面における光学領域４と接着面３との間には、接着剤這い上がり規制領域７Ｂが形成されているので、接着剤５が基体２の表面に沿って光学領域４に這い上がることが接着剤這い上がり規制領域７Ｂによって規制される。これにより、マイクロミラー１Ｂの接着固定に用いられた接着剤５の量が接着に必要な最小限の量より多い場合であっても、余剰の接着剤５が光学領域４に付着して光学機能に影響を及ぼすということを防止することができる。
【００６５】
本発明の第４の実施の形態を図１２ないし図１４に基づいて説明する。
【００６６】
本実施の形態のマイクロミラー１Ｃは、基体２が、接着剤５をはじく性質の材料、例えば、結晶シリコン等で形成されている。そして、基体２における光学領域４が形成されている表面には、この表面の一部であって接着面３と光学領域４との間に位置付けられた接着剤這い上がり規制領域７Ｃが形成されている。この接着剤這い上がり規制領域７Ｃは、接着剤５をはじく性質を有する基材を露出したものであり、特別な処理が施されているものではない。なお、このマイクロミラー１Ｃでは、基体２の表面における光学領域４が形成されていない面の全体も、接着剤５の這い上がりを規制する接着剤這い上がり規制領域７Ｃとされている。
【００６７】
なお、基体２の接着面３はダイシングソーの粗い切断面とすることにより、接着剤５を用いたベース部材６への接着が可能とされている。
【００６８】
このような構成において、このマイクロミラー１Ｃを接着剤５を用いてベース部材６に接着固定することにより、図１４に示すような状態が得られる。
【００６９】
即ち、基体２の表面における光学領域４が形成されている面における光学領域４と接着面３との間、及び、基体２の表面における光学領域４が形成されていない面の全体が、接着剤這い上がり規制領域７Ｃとされているので、接着剤５は基体２の表面の全域において接着剤５の這い上がりが規制される。これにより、マイクロミラー１Ｃの接着固定に用いられた接着剤５の量が接着に必要な最小限の量より多い場合であっても、余剰の接着剤５が光学領域４に付着して光学機能に影響を及ぼすということを防止することができる。
【００７０】
本発明の第５の実施の形態を図１５ないし図１７に基づいて説明する。
【００７１】
本実施の形態のマイクロミラー１Ｄは、０．２５ｍｍ（横）×０．２５ｍｍ（縦）×０．３ｍｍ（高さ）の直方体形状の基体２を有し、この基体２の表面の一面が接着面３とされ、この基体２の表面の接着面３以外の２面に光学領域４が形成されている。基体２の材料としては、ＢＫ７の光学ガラスが用いられている。
【００７２】
接着面３は、接着剤５を用いてベース部材６に接着固定される面である。接着剤５としては、例えば、ＵＶ硬化樹脂型の接着剤が用いられている。
【００７３】
光学領域４は、反射率を上げるために反射膜が形成された鏡面である。反射膜は、金（Ａｕ）を用いて蒸着、スパッタリングで形成されている。
【００７４】
基体２の表面の一部であって光学領域４が形成されている面には、接着面３と光学領域４との間に位置付けられた段差部１６が形成されている。この段差部１６は、光学領域４が形成された面がオーバーハング状態となるように後退して形成され、その上端部が接着面３と平行に形成されている。
【００７５】
このような構成において、このマイクロミラー１Ｄを接着剤５を用いてベース部材６に接着固定することにより、図１７に示すような状態が得られる。
【００７６】
即ち、マイクロミラー１Ｄをベース部材６に接着するために用いた接着剤５のうちの余剰な接着剤５は、マイクロミラー1Ｄの表面であってベース部材６に接触している部分からマイクロミラー１Ｄの表面に這い上がる。しかし、光学領域４が形成されている面の下方から這い上がった接着剤５は、図１７に示すように段差部１６の上端部まで達するとそれ以上這い上がることが規制され、接着剤５が光学領域４まで這い上がることを規制することができる。これにより、マイクロミラー１Ｄの接着固定に用いられた接着剤５の量が接着に必要な最小限の量より多い場合であっても、余剰の接着剤５が光学領域４に付着して光学機能に影響を及ぼすということを防止することができる。
【００７７】
本発明の第６の実施の形態を図１８ないし図２０に基づいて説明する。
【００７８】
本実施の形態のマイクロミラー１Ｅは、０．２５ｍｍ（横）×０．２５ｍｍ（縦）×０．３ｍｍ（高さ）の直方体形状の基体２を有し、この基体２の表面の一面が接着面３とされ、この基体２の表面の接着面３以外の２面に光学領域４が形成されている。基体２の材料としては、ＢＫ７の光学ガラスが用いられている。
【００７９】
接着面３は、接着剤５を用いてベース部材６に接着固定される面である。接着剤５としては、例えば、ＵＶ硬化樹脂型の接着剤が用いられている。
【００８０】
光学領域４は、反射率を上げるために反射膜が形成された鏡面である。反射膜は、金（Ａｕ）を用いて蒸着、スパッタリングで形成されている。
【００８１】
基体２の表面の一部であって光学領域４が形成されている面には、接着面３と光学領域４との間に位置付けられた溝１７が形成されている。この溝１７は、接着面３と平行に延出する向きに形成されている。
【００８２】
このような構成において、このマイクロミラー１Ｅを接着剤５を用いてベース部材６に接着固定することにより、図２０に示すような状態が得られる。
【００８３】
即ち、マイクロミラー１Ｅをベース部材６に接着するために用いた接着剤５のうちの余剰な接着剤５は、マイクロミラー1Ｅの表面であってベース部材６に接触している部分からマイクロミラー１Ｅの表面に這い上がる。しかし、光学領域４が形成されている面の下方から這い上がった接着剤５は、図２０に示すように溝１７に入り込み、溝１７を越えて光学領域４まで這い上がることが規制される。これにより、マイクロミラー１Ｅの接着固定に用いられた接着剤５の量が接着に必要な最小限の量より多い場合であっても、余剰の接着剤５が光学領域４に付着して光学機能に影響を及ぼすということを防止することができる。
【００８４】
本発明の第７の実施の形態を図２１ないし図２３に基づいて説明する。
【００８５】
本実施の形態では、ベース部材６に接着固定された微小光学部品であるマイクロミラー１Ｆの光学領域４に接着剤５が這い上がることを規制する部材として接着剤捕集体２０が用いられており、この接着剤捕集体２０と微小光学部品であるマイクロミラー１Ｆとにより微小光学装置２１が形成されている。
【００８６】
マイクロミラー１Ｆは、０．２５ｍｍ（横）×０．２５ｍｍ（縦）×０．３ｍｍ（高さ）の直方体形状の基体２を有し、この基体２の表面の一面が接着面３とされ、この基体２の表面の接着面３以外の２面に光学領域４が形成されている。基体２の材料としては、ＢＫ７の光学ガラスが用いられている。
【００８７】
接着面３は、接着剤５を用いてベース部材６に接着固定される面である。接着剤５としては、例えば、ＵＶ硬化樹脂型の接着剤が用いられている。
【００８８】
光学領域４は、反射率を上げるために反射膜が形成された鏡面である。反射膜は、金（Ａｕ）を用いて蒸着、スパッタリングで形成されている。
【００８９】
接着剤捕集体２０は、マイクロミラー１Ｆをベース部材６に接着固定するために用いた接着剤５がマイクロミラー１Ｆの表面に沿って光学領域４に向けて這い上がる接着剤５を捕集する部材であり、ベース部材６上に接着固定されている。
【００９０】
接着剤捕集体２０は、ベース部材６に接着固定される接着面２２と、マイクロミラー１Ｆにおける光学領域４が形成された面における接着面３と光学領域４との間の部分に当接される当接面２３とを有し、接着剤捕集体２０の内周側には捕集した接着剤５を貯溜するための凹部２４が形成されている。
【００９１】
ベース部材６上への接着剤捕集体２０とマイクロミラー１Ｆとの接着固定は、先に接着剤捕集体２０を接着固定し、固定された接着剤捕集体２０にマイクロミラー１Ｆを当接させてマイクロミラー１Ｆを接着固定する。
【００９２】
このような構成において、この微小光学装置２１（マイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０）をベース部材６に接着固定することにより、図２０に示すような状態が得られる。
【００９３】
即ち、マイクロミラー１Ｆをベース部材６に接着するために用いた接着剤５のうちの余剰な接着剤５は、マイクロミラー１Ｆの表面であってベース部材６に接触している部分からマイクロミラー１Ｆの表面に這い上がる。しかし、光学領域４が形成されている面の下方から這い上がった接着剤５は、図２３に示すように接着剤捕集体２０の当接面２３の位置まで上昇した後、接着剤捕集体２０の凹部２４内に貯溜される。これにより、マイクロミラー１Ｆの表面における光学領域４が形成された面を這い上がった接着剤５は、当接面２３を越えてそれ以上光学領域４側に這い上がることが規制される。このため、マイクロミラー１Ｆの接着固定に用いられた接着剤５の量が接着に必要な最小限の量より多い場合であっても、余剰の接着剤５が光学領域４に付着して光学機能に影響を及ぼすということを防止することができる。
【００９４】
また、本実施の形態では、マイクロミラー１Ｆを接着固定する際の位置決め部材として接着剤捕集体２０を利用することができるので、マイクロミラー１Ｆの位置精度を向上させることができる。
【００９５】
なお、マイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０との位置関係を、図２４に示すように、接着剤捕集体２０におけるマイクロミラー１Ｆの表面に対向する対向面２５と、マイクロミラー１Ｆの表面との間に微小な隙間２６を設けるように設定してもよい。この場合には、マイクロミラー１Ｆの表面を這い上がった接着剤５を、凹部２４と隙間２６とに捕集することができる。
【００９６】
また、図２５に示すように、接着剤捕集体２０におけるマイクロミラー１Ｆの表面に対向する面にゴムなどの弾性部材２７を貼付け、この弾性部材２７をマイクロミラー１Ｆの表面に当接させるようにしてもよい。マイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０との間に弾性部材２７を介装することにより、マイクロミラー１Ｆの表面と接着剤捕集体２０との間が密着され、接着剤５の這い上がりを規制する効果を高めることができる。
【００９７】
本発明の第８の実施の形態を図２６に基づいて説明する。
【００９８】
本実施の形態の微小光学装置２１Ａは、マイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０とが予め固定されている。
【００９９】
したがって、マイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０とを固定して形成された微小光学装置２１Ａをベース部材６上に接着固定することができ、この微小光学装置２１Ａの外径寸法がマイクロミラー１Ｆ単独の場合に比べて大きくなるので、真空吸着以外のハンドリング方法を使用することができ、ベース部材６に接着固定する作業を容易に行うことができる。
【０１００】
本発明の第９の実施の形態を図２７に基づいて説明する。
【０１０１】
本実施の形態の微小光学装置２１Ｂは、サブベース部材２８にマイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０とを接着固定することにより形成されている。サブベース部材２８とは、マイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０とを接着固定可能な表面積を有する部材であって、マイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０とをサブベース部材２８に接着固定することにより形成された微小光学装置２１Ｂは、ベース部材６に接着等の手段で固定される。
【０１０２】
ここで、サブベース部材２８へのマイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０とを接着固定は、第７の実施の形態で説明したように、最初に接着剤捕集体２０を接着してこの接着剤捕集体２０を位置決め部材として利用してマイクロミラー１Ｆを接着固定してもよい。又は、第８の実施の形態で説明したように、マイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０とが予め固定した後にサブベース部材２８に接着固定してもよい。
【０１０３】
このような構成において、微小光学装置２１Ｂはマイクロミラー１Ｆと接着剤捕集体２０とをサブベース部材２８に取り付けることにより形成されているので、この微小光学装置２１Ｂをベース部材６に取り付ける作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】本発明の第１の実施の形態のマイクロミラーを示す斜視図である。
【図２】その平面図である。
【図３】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図４】光ピックアップ装置を示す平面図である。
【図５】その側面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態のマイクロミラーを示す斜視図である。
【図７】その平面図である。
【図８】図６におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態のマイクロミラーを示す斜視図である。
【図１０】その平面図である。
【図１１】図９におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図１２】本発明の第４の実施の形態のマイクロミラーを示す斜視図である。
【図１３】その平面図である。
【図１４】図１２におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図１５】本発明の第５の実施の形態のマイクロミラーを示す斜視図である。
【図１６】その平面図である。
【図１７】図１５におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図１８】本発明の第６の実施の形態のマイクロミラーを示す斜視図である。
【図１９】その平面図である。
【図２０】図１８におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図２１】本発明の第７の実施の形態の微小光学装置を示す斜視図である。
【図２２】その平面図である。
【図２３】図２１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図２４】第７の実施の形態の変形例を示す断面図である。
【図２５】第７の実施の形態の他の変形例を示す断面図である。
【図２６】本発明の第８の実施の形態の微小光学装置を示す斜視図である。
【図２７】本発明の第９の実施の形態の微小光学装置を示す斜視図である。
【図２８】従来例を示す斜視図である。
【図２９】他の従来例を示す正面図である。
【符号の説明】
【０１０５】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ  微小光学部品
２      基体
３      接着面
４      光学領域
５      接着剤
６      ベース部材
７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ  接着剤這い上がり規制領域
８      光ピックアップ装置
９、１０  光源
１１      レンズ
１６      段差部
１７      溝
２０      接着剤捕集体
２１、２１Ａ、２１Ｂ  微小光学装置
２７      弾性部材
２８      サブベース部材
【図１】
2006011248.tif 000003
【図２】
2006011248.tif 000004
【図３】
2006011248.tif 000005
【図４】
2006011248.tif 000006
【図５】
2006011248.tif 000007
【図６】
2006011248.tif 000008
【図７】
2006011248.tif 000009
【図８】
2006011248.tif 000010
【図９】
2006011248.tif 000011
【図１０】
2006011248.tif 000012
【図１１】
2006011248.tif 000013
【図１２】
2006011248.tif 000014
【図１３】
2006011248.tif 000015
【図１４】
2006011248.tif 000016
【図１５】
2006011248.tif 000017
【図１６】
2006011248.tif 000018
【図１７】
2006011248.tif 000019
【図１８】
2006011248.tif 000020
【図１９】
2006011248.tif 000021
【図２０】
2006011248.tif 000022
【図２１】
2006011248.tif 000023
【図２２】
2006011248.tif 000024
【図２３】
2006011248.tif 000025
【図２４】
2006011248.tif 000026
【図２５】
2006011248.tif 000027
【図２６】
2006011248.tif 000028
【図２７】
2006011248.tif 000029
【図２８】
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【図２９】
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