(57)【要約】【課題】  簡単な機構で、高速に応答することができる平行移動装置及びそれを備えたアクチュエータ、レンズユニット及びカメラを提供する。【解決手段】  この目的を達成するために、本発明の平行移動装置（１１）は、固定側部材（１２）と、可動側部材（１４）と、固定側部材の支持平面部（３１）と可動側部材の支持平面部（３２）の間に配置され、可動側部材を、固定側部材に対して平行に支持する少なくとも３つの球状体（１８）と、これらの球状体を、固定側部材の支持平面部又は可動側部材の支持平面部に吸着する球状体吸着手段（３０）と、を有することを特徴としている。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定側部材と、
可動側部材と、
上記固定側部材の支持平面部と上記可動側部材の支持平面部の間に配置され、上記可動側部材を、上記固定側部材に対して平行に支持する少なくとも３つの球状体と、
これらの球状体を、上記固定側部材の支持平面部又は上記可動側部材の支持平面部に吸着する球状体吸着手段と、
を有することを特徴とする平行移動装置。
【請求項２】
さらに、上記可動側部材を上記固定側部材に吸着させる可動側部材吸着手段を有する請求項１記載の平行移動装置。
【請求項３】
上記球状体が磁力によって吸着されるように構成されており、上記球状体吸着手段は、上記固定側部材又は上記可動側部材に設けられ、上記球状体を吸着する球状体用磁石である請求項１又は請求項２に記載の平行移動装置。
【請求項４】
上記可動側部材吸着手段が、上記固定側部材又は上記可動側部材の何れか一方の部材に設けられた部材用磁石と、上記固定側部材又は上記可動側部材の他方の部材に配置され、又は他方の部材と一体に形成され、上記部材用磁石に吸着される磁性体によって構成されている請求項２又は請求項３に記載の平行移動装置。
【請求項５】
上記可動側部材吸着手段が、上記固定側部材と上記可動側部材を連結し、上記可動側部材を上記固定側部材の方に引き付ける弾性体によって構成されている請求項２又は請求項３に記載の平行移動装置。
【請求項６】
上記球状体が、夫々、所定の円周上に等間隔で配置されており、上記可動側部材吸着手段が上記円周の内側に配置されている請求項２乃至５の何れか１項に記載の平行移動装置。
【請求項７】
固定側部材と、
可動側部材と、
上記固定側部材の支持平面部と上記可動側部材の支持平面部の間に配置され、上記可動側部材を、上記固定側部材に対して平行に支持する少なくとも３つの球状体と、
これらの球状体を、上記固定側部材の支持平面部又は上記可動側部材の支持平面部に吸着する球状体吸着手段と、
上記固定側部材又は上記可動側部材のうちの何れか一方に取り付けられた少なくとも３つの駆動用コイルと、
上記固定側部材又は上記可動側部材のうちの他方の、上記各駆動用コイルに夫々対応する位置に取り付けられた駆動用磁石と、
上記各駆動用コイルに対する上記各駆動用磁石の位置を夫々検出する位置検出手段と、
可動側部材の移動すべき位置を指令する信号に基づいて各駆動用コイルに対するコイル位置指令信号を生成し、このコイル位置指令信号及び上記各位置検出手段によって検出された位置情報に基づいて、上記各駆動用コイルに流す駆動電流を制御する制御手段と、
を有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
レンズ鏡筒と、
このレンズ鏡筒の中に配置された撮像用レンズと、
上記レンズ鏡筒に取り付けられた固定側部材と、
画像安定化用レンズが取り付けられた可動側部材と、
上記固定側部材の支持平面部と上記可動側部材の支持平面部の間に配置され、上記可動側部材を、上記固定側部材に対して平行に支持する少なくとも３つの球状体と、
これらの球状体を、上記固定側部材の支持平面部又は上記可動側部材の支持平面部に吸着する球状体吸着手段と、
上記固定側部材又は上記可動側部材のうちの何れか一方に取り付けられた少なくとも３つの駆動用コイルと、
上記固定側部材又は上記可動側部材のうちの他方の、上記各駆動用コイルに夫々対応する位置に取り付けられた駆動用磁石と、
上記各駆動用コイルに対する上記各駆動用磁石の位置を夫々検出する位置検出手段と、
上記レンズ鏡筒の振動を検出する振動検出手段と、
この振動検出手段によって検出された信号に基づいて、上記画像安定化用レンズを移動させる位置を指令するレンズ位置指令信号を生成するレンズ位置指令信号生成手段と、
このレンズ位置指令信号生成手段によって生成されたレンズ位置指令信号に基づいて各駆動用コイルに対するコイル位置指令信号を生成し、このコイル位置指令信号及び上記各位置検出手段によって検出された位置情報に基づいて、上記各駆動用コイルに流す駆動電流を制御する制御手段と、
を有することを特徴とするレンズユニット。
【請求項９】
請求項８記載のレンズユニットを有するカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平行移動装置及びそれを備えたアクチュエータ、レンズユニット及びカメラに係わり、特に、所定の平面内で任意の方向に移動させることができる平行移動装置及びそれを備えたアクチュエータ、レンズユニット及びカメラに関する。
【背景技術】
【０００２】
特開平３−１８６８２３号公報（特許文献１）には、像ブレを防止する防振装置が記載されている。この防振装置では、レンズ鏡筒の振動を検出し、検出された振動に基づいて、像ブレを起こさないようにフィルムに平行な面内で補正用レンズを駆動している。補正用レンズを所定の平面内で平行移動させる平行移動機構は、この防振装置では、補正レンズを固定した固定枠と、この固定枠を光軸に直交する第１の方向に摺動可能に支持する第１の保持枠と、この第１の保持枠を、光軸及び第１の方向と直交する第２の方向に摺動可能に保持し、レンズ鏡筒に固定された第２の保持枠と、によって構成されている。これら直交する第１及び第２の方向の運動を合成することにより、補正用レンズは、レンズ鏡筒に対してフィルムに平行な面内で任意の方向に並進運動可能に支持される。さらに、この防振装置は、上記の第１の方向、第２の方向に補正用レンズを駆動するための専用のリニアモータを夫々備え、これらのモータによる駆動量を合成することによって、補正用レンズを任意の方向に移動させている。
【０００３】
上記のような、従来の像ブレ防止機能を有するカメラにおいては、何れも、補正用レンズを平行移動可能に支持する平行移動機構は、補正用レンズを一定の方向に摺動可能にガイドする部材と、その方向に補正用レンズを駆動する駆動手段の組み合わせを、直交する２方向に設けることによって補正用レンズを任意の方向に移動させている。
【０００４】
【特許文献１】特開平３−１８６８２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記のように、互いに直交する２つの方向に配置されたガイド手段と、その方向の駆動手段を組み合わせた平行移動装置では、支持機構が複雑になるという問題がある。また、支持機構が複雑になると、平行移動装置の可動部分の質量が大きくなるので、高速な平行移動が難しくなるという問題がある。さらに、従来の平行移動装置では、ガイド手段との間に摺動抵抗が作用するので、平行移動装置を制御する場合の制御性が悪くなるという問題がある。また、直交する２つの方向に配置されたガイド手段を使用したアクチュエータでは、可動部分を、所定の平面内で任意の方向に並進運動させることは可能であるが、可動部分を回転運動させることができないという問題がある。
【０００６】
従って、本発明は、簡単な機構で、高速に応答することができる平行移動装置及びそれを備えたアクチュエータ、レンズユニット及びカメラを提供することを目的としている。
また、本発明は、可動部分を、所定の平面内で任意の方向に並進運動及び回転運動させることができる平行移動装置及びそれを備えたアクチュエータ、レンズユニット及びカメラを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の平行移動装置は、固定側部材と、可動側部材と、固定側部材の支持平面部と可動側部材の支持平面部の間に配置され、可動側部材を、固定側部材に対して平行に支持する少なくとも３つの球状体と、これらの球状体を、固定側部材の支持平面部又は可動側部材の支持平面部に吸着する球状体吸着手段と、を有することを特徴としている。
【０００８】
このように構成された本発明においては、少なくとも３つの球状体が、球状体吸着手段によって、固定側部材の支持平面部又は可動側部材の支持平面部のどちらか一方に吸着される。この吸着された球状体の上に、固定側部材又は可動側部材の他方が配置され、可動側部材が固定側部材に対して平行に支持される。可動側部材が平行移動されると、各球状体は、固定側部材と可動側部材の間に挟持されたまま、固定側部材及び可動側部材の支持平面部上で転がる。
【０００９】
このように構成された本発明によれば、可動側部材が固定側部材に対して平行移動されるとき、主に転がり摩擦が作用するので、簡単な機構で、可動側部材を高速に応答させることができると共に、可動側部材を、固定側部材に平行な平面内で任意の方向に並進運動及び回転運動させることができる。
【００１０】
本発明の平行移動装置において、好ましくは、さらに、可動側部材を固定側部材に吸着させる可動側部材吸着手段を有する。
このように構成された本発明においては、可動側部材が固定側部材に吸着されるので、平行移動装置を任意の方向に向けて使用することができる。
【００１１】
本発明の平行移動装置において、好ましくは、球状体が磁力によって吸着されるように構成されており、球状体吸着手段は、固定側部材又は可動側部材に設けられ、球状体を吸着する球状体用磁石である。
このように構成された本発明においては、球状体を、簡単な構造で安定して吸着させることができる。
【００１２】
本発明の平行移動装置において、好ましくは、可動側部材吸着手段が、固定側部材又は可動側部材の何れか一方の部材に設けられた部材用磁石と、固定側部材又は可動側部材の他方の部材に配置され、又は他方の部材と一体に形成され、部材用磁石に吸着される磁性体によって構成されている。
このように構成された本発明においては、固定側部材又は可動側部材の何れか一方に設けられた部材用磁石と、他方の磁性体の間で及ぼし合う磁力によって、可動側部材が固定側部材に吸着される。
このように構成された本発明によれば、固定側部材と可動側部材が機械的に結合されていないので、固定側部材と可動側部材を容易に組み立て、又は取外すことができる。
【００１３】
本発明の平行移動装置において、好ましくは、可動側部材吸着手段が、固定側部材と可動側部材を連結し、可動側部材を固定側部材の方に引き付ける弾性体によって構成されている。
このように構成された本発明においては、弾性体によって、可動側部材が固定側部材に吸着される。
このように構成された本発明によれば、弾性体を電気伝導体によって構成することにより、弾性体を可動側部材と固定側部材の間で信号を伝達する信号線として利用することができる。
【００１４】
本発明の平行移動装置において、好ましくは、球状体が、夫々、所定の円周上に等間隔で配置されており、可動側部材吸着手段が円周の内側に配置されている。
このように構成された本発明によれば、可動側部材を固定側部材に対して安定して支持することができる。
【００１５】
また、本発明のアクチュエータは、固定側部材と、可動側部材と、固定側部材の支持平面部と可動側部材の支持平面部の間に配置され、可動側部材を、固定側部材に対して平行に支持する少なくとも３つの球状体と、これらの球状体を、固定側部材の支持平面部又は可動側部材の支持平面部に吸着する球状体吸着手段と、固定側部材又は可動側部材のうちの何れか一方に取り付けられた少なくとも３つの駆動用コイルと、固定側部材又は可動側部材のうちの他方の、各駆動用コイルに夫々対応する位置に取り付けられた駆動用磁石と、各駆動用コイルに対する各駆動用磁石の位置を夫々検出する位置検出手段と、可動側部材の移動すべき位置を指令する信号に基づいて各駆動用コイルに対するコイル位置指令信号を生成し、このコイル位置指令信号及び各位置検出手段によって検出された位置情報に基づいて、各駆動用コイルに流す駆動電流を制御する制御手段と、を有することを特徴としている。
【００１６】
さらに、本発明のレンズユニットは、レンズ鏡筒と、このレンズ鏡筒の中に配置された撮像用レンズと、レンズ鏡筒に取り付けられた固定側部材と、画像安定化用レンズが取り付けられた可動側部材と、固定側部材の支持平面部と可動側部材の支持平面部の間に配置され、可動側部材を、固定側部材に対して平行に支持する少なくとも３つの球状体と、これらの球状体を、固定側部材の支持平面部又は可動側部材の支持平面部に吸着する球状体吸着手段と、固定側部材又は可動側部材のうちの何れか一方に取り付けられた少なくとも３つの駆動用コイルと、固定側部材又は可動側部材のうちの他方の、各駆動用コイルに夫々対応する位置に取り付けられた駆動用磁石と、各駆動用コイルに対する各駆動用磁石の位置を夫々検出する位置検出手段と、レンズ鏡筒の振動を検出する振動検出手段と、この振動検出手段によって検出された信号に基づいて、画像安定化用レンズを移動させる位置を指令するレンズ位置指令信号を生成するレンズ位置指令信号生成手段と、このレンズ位置指令信号生成手段によって生成されたレンズ位置指令信号に基づいて各駆動用コイルに対するコイル位置指令信号を生成し、このコイル位置指令信号及び各位置検出手段によって検出された位置情報に基づいて、各駆動用コイルに流す駆動電流を制御する制御手段と、を有することを特徴としている。
【００１７】
また、本発明のカメラは、本発明のレンズユニットを有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、簡単な機構で、高速に応答することができる平行移動装置及びそれを備えたアクチュエータ、レンズユニット及びカメラを提供することができる。
また、本発明によれば、可動部分を、所定の平面内で任意の方向に並進運動及び回転運動させることができる平行移動装置及びそれを備えたアクチュエータ、レンズユニット及びカメラを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
次に、添付図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
まず、図１乃至図１１を参照して、本発明の第１実施形態によるカメラを説明する。図１は本発明の第１実施形態によるカメラの断面図である。
図１に示すように、本発明の第１実施形態のカメラ１は、レンズユニット２と、カメラ本体４と、を有する。レンズユニット２は、レンズ鏡筒６と、このレンズ鏡筒の中に配置された複数の撮像用レンズ８と、画像安定化用レンズ１６を所定の平面内で移動させるアクチュエータ１０と、レンズ鏡筒６の振動を検出する振動検出手段であるジャイロ３４ａ、３４ｂ（図１には３４ａのみ図示）と、を有する。本発明の第１実施形態のカメラ１は、ジャイロ３４ａ、３４ｂによって振動を検出し、検出された振動に基づいてアクチュエータ１０を作動させて画像安定化用レンズ１６を移動させ、カメラ本体４内のフィルム面Ｆに合焦される画像を安定化させている。なお、アクチュエータ１０は、後述するように、平行移動装置１１に駆動手段を設けることによって構成されている。本実施形態においては、ジャイロ３４ａ、３４ｂとして、圧電振動ジャイロを使用している。なお、本実施形態においては、画像安定化用レンズ１６は、１枚のレンズによって構成されているが、画像を安定させるためのレンズは、複数枚のレンズ群であっても良い。本明細書において、画像安定化用レンズとは、画像を安定させるための１枚のレンズ及びレンズ群を含むものとする。
【００２０】
次に、図２乃至図４を参照して、アクチュエータ１０を説明する。図２はアクチュエータ１０の正面部分断面図、図３は図２のＡ−Ａ線側面断面図、図４は上面部分断面図である。なお、図２は、図１におけるフィルム面Ｆ側からアクチュエータ１０を見た図であり、固定板１２を部分的に破断して示した図であるが、ここでは、便宜的にこれを正面図と呼ぶものとする。図２乃至図４に示すように、アクチュエータ１０は、レンズ鏡筒６内に固定された固定側部材である固定板１２、この固定板１２に対して移動可能に支持された可動側部材である移動枠１４、及び、この移動枠１４を支持する球状体である３つのスチールボール１８を備えた平行移動装置１１を有する。さらに、平行移動装置１１は、スチールボール１８を移動枠１４に吸着させる球状体吸着手段である球状体用磁石３０と、スチールボール１８が固定板１２と移動枠１４の間で滑らかに転がるように固定板１２に取り付けられたスチールボール受け３１、及び移動枠１４に取り付けられたスチールボール受け３２を有する。なお、３つのスチールボール１８は可動側部材支持手段を構成し、スチールボール受け３１は固定側部材の支持平面部を構成し、スチールボール受け３２は可動側部材の支持平面部を構成する。
【００２１】
さらに、アクチュエータ１０は、固定板１２に取り付けられた３つの駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃと、移動枠１４の、駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃに夫々対応する位置に取り付けられた３つの駆動用磁石２２と、各駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃの内側に配置された位置検出手段である磁気センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃと、を有する。また、アクチュエータ１０は、駆動用磁石２２の磁力によって移動枠１４を固定板１２に吸着させるために、固定板１２に取り付けられた吸着用ヨーク２６と、駆動用磁石２２の磁力を固定板１２の方に効果的に差し向けるように、駆動用磁石２２の裏側に取り付けられたバックヨーク２８と、を有する。なお、駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、及びこれらに対応する位置に取り付けられた３つの駆動用磁石２２は、移動枠１４を、固定板１２に対して並進運動させ、且つ回転運動させることができる駆動手段を構成する。また、駆動用磁石２２は、移動枠１４を固定板１２に吸着させるための部材用磁石として作用し、吸着用ヨーク２６は、部材用磁石に吸着される磁性体として作用する。
【００２２】
さらに、図１に示すように、アクチュエータ１０は、ジャイロ３４ａ、３４ｂによって検出された振動と、磁気センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃによって検出された移動枠１４の位置情報に基づいて、各駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃに流す電流を制御する制御手段であるコントローラ３６を有する。
レンズユニット２は、カメラ本体４に取り付けられ、入射した光をフィルム面Ｆに結像させるように構成されている。
概ね円筒形のレンズ鏡筒６は、内部に複数の撮像用レンズ８を保持しており、一部の撮像用レンズ８を移動させることによりピント調整を可能としている。
【００２３】
アクチュエータ１０は、移動枠１４を、レンズ鏡筒６に固定された固定板１２に対してフィルム面Ｆに平行な平面内で移動させ、これにより移動枠１４に取り付けられた画像安定化用レンズ１６を移動させ、レンズ鏡筒６が振動してもフィルム面Ｆに結像される像が乱れることがないように駆動される。
固定板１２は概ねドーナツ板状の形状を有し、その上に３つの駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃが配置されている。図２に示すように、これら３つの駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、その中心が、レンズユニット２の光軸を中心とする円周上にそれぞれ配置されている。本実施形態においては、駆動用コイル２０ａは光軸の鉛直上方に配置され、駆動用コイル２０ｂは光軸に対して水平方向に配置され、駆動用コイル２０ｃは、駆動用コイル２０ａ及び２０ｂから夫々中心角１３５゜隔てた位置に配置されている。従って、駆動用コイル２０ａと２０ｂの間は中心角９０゜、駆動用コイル２０ｂと２０ｃの間は中心角１３５゜、駆動用コイル２０ｃと２０ａの間は中心角１３５゜隔てられていることになる。また、駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、夫々、その巻線が角の丸い矩形状に巻かれ、この矩形の中心線が円周の半径方向と一致するように配置されている。
【００２４】
移動枠１４は、概ねドーナツ板状の形状を有し、固定板１２と平行に、固定板１２と重なるように配置されている。移動枠１４の中央の開口には、画像安定化用レンズ１６が取り付けられている。移動枠１４上の円周の、各駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃに対応する位置には、長方形の駆動用磁石２２が夫々埋め込まれている。なお、本明細書において、駆動用コイルに対応する位置とは、駆動用コイルによって形成される磁界の影響が実質的に及ぶ位置を意味している。また、駆動用磁石２２の裏側、即ち、各駆動用コイルの反対側には、各駆動用磁石２２の磁束が、固定板１２の方に効率良く差し向けられるように、長方形のバックヨーク２８が夫々取り付けられている。
【００２５】
また、固定板１２の各駆動用コイルの裏側、即ち、移動枠１４の反対側には、長方形の吸着用ヨーク２６が夫々取り付けられている。移動枠１４は、各駆動用磁石２２が、それに対応して取り付けられた吸着用ヨーク２６に及ぼす磁力によって、固定板１２に吸着される。本実施形態においては、駆動用磁石２２の磁力線が、吸着用ヨーク２６に効率良く到達するように、固定板１２を非磁性材料で構成している。
【００２６】
図５（ａ）は、駆動用コイル２０ａ、駆動用磁石２２、バックヨーク２８及び吸着用ヨーク２６の位置関係を示す部分拡大上面図であり、（ｂ）は部分拡大正面図である。図２及び図５（ａ）、（ｂ）に示すように、夫々長方形の形状を有する駆動用磁石２２、バックヨーク２８及び吸着用ヨーク２６は、各長辺、短辺が夫々重なり合うように配置されている。また、駆動用コイル２０ａは、その各辺が、長方形のバックヨーク２８の各長辺、短辺と夫々平行になるように配置されている。さらに、駆動用磁石２２は、その磁気的な中立軸線Ｃが、各駆動用磁石２２が配置されている円周の半径方向に一致するように向けられている。これにより、駆動用磁石２２は、対応する駆動用コイルに電流が流れると、円周の接線方向の駆動力を受ける。他の駆動用コイル２０ｂ、２０ｃについても、同様の位置関係で対応する駆動用磁石２２、バックヨーク２８及び吸着用ヨーク２６が配置されている。なお、本明細書において、磁気的中立軸線Ｃとは、駆動用磁石２２の両端を夫々Ｓ極、Ｎ極としたとき、その中間のＳ極からＮ極に極性が変化する点を連ねた線を言うものとする。従って、本実施形態においては、磁気的中立軸線Ｃは、長方形の駆動用磁石２２の各長辺の中点を通るように位置する。また、図５（ａ）に示すように、駆動用磁石２２は、その厚さ方向にも極性が変化しており、図５（ａ）において左下の角がＳ極、右下がＮ極、左上がＮ極、右上がＳ極になっている。
【００２７】
図２乃至図５に示すように、各駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃの内側には、夫々磁気センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃが配置されている。各磁気センサは、移動枠１４が中立位置にあるとき、その感度中心点Ｓが、各駆動用磁石２２の磁気的中立軸線Ｃ上に位置するように配置されている。本実施形態においては、磁気センサとしてホール素子を使用している。
【００２８】
図６及び図７は、駆動用磁石２２の移動と磁気センサ２４ａから出力される信号との関係を説明する図である。図６に示すように、磁気センサ２４ａの感度中心点Ｓが、駆動用磁石２２の磁気的な中立軸線Ｃ上に位置する場合には、磁気センサ２４ａからの出力信号は０である。移動枠１４と共に駆動用磁石２２が移動し、磁気センサ２４ａの感度中心点が駆動用磁石２２の磁気的中立軸線上から外れると、磁気センサ２４ａの出力信号が変化する。図６に示すように、駆動用磁石２２が磁気的中立軸線Ｃに直交する方向、即ち、Ｘ軸方向に移動すると、磁気センサ２４ａは、正弦波状の信号を発生する。従って、この移動量が微小である場合には、磁気センサ２４ａは、駆動用磁石２２の移動距離にほぼ比例した信号を出力する。本実施形態において、駆動用磁石２２の移動距離が、駆動用磁石２２の長辺の長さの３％程度以内の場合には、磁気センサ２４ａから出力される信号は、磁気センサ２４ａの感度中心点Ｓと駆動用磁石２２の磁気的中立軸線Ｃの間の距離にほぼ比例する。また、本実施形態において、アクチュエータ１０は、各磁気センサの出力が距離にほぼ比例する範囲内で作動する。
【００２９】
図７（ａ）乃至（ｃ）に示すように、磁気センサ２４ａの感度中心点Ｓ上に駆動用磁石２２の磁気的中立軸線Ｃが位置する場合には、図７（ｂ）のように駆動用磁石２２が回転移動した場合、図７（ｃ）のように駆動用磁石２２が磁気的中立軸線Ｃの方向に移動した場合とも、磁気センサ２４ａからの出力信号は０である。また、図７（ｄ）乃至（ｆ）に示すように、駆動用磁石２２の磁気的中立軸線Ｃが磁気センサ２４ａの感度中心点Ｓから外れた場合には、感度中心点Ｓを中心とする磁気的中立軸線Ｃに接する円の半径ｒの大きさに比例した信号が磁気センサ２４ａから出力される。従って、感度中心点Ｓを中心とする磁気的中立軸線Ｃに接する円の半径ｒが同じであれば、図７（ｄ）のように駆動用磁石２２が磁気的中立軸線Ｃに直交する方向に移動した場合、図７（ｅ）のように駆動用磁石２２が並進及び回転移動した場合、図７（ｆ）のように任意の方向に並進移動した場合とも、何れも同じ大きさの信号が磁気センサ２４ａから出力される。
【００３０】
ここでは、磁気センサ２４ａについて説明したが、他の磁気センサ２４ｂ、２４ｃも、それらに対応する駆動用磁石２２との位置関係に基づいて同様の信号を出力する。このため、各磁気センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃによって検出された信号に基づいて、移動枠１４が固定枠１２に対して並進移動及び回転移動した位置を特定することができる。
【００３１】
図２に示すように、３つのスチールボール１８は、固定枠１２の各駆動用コイルを配置した円周よりも外側の円周上に夫々配置されている。３つのスチールボール１８は、夫々、中心角１２０゜の間隔を隔てて配置され、スチールボール１８のうちの１つが、駆動用コイル２０ａと２０ｂの間に位置するように配置されている。図３に示すように、各スチールボール１８は、移動枠１４の、各スチールボール１８に対応する位置に埋め込まれた球状体用磁石３０によって、移動枠１４に吸着されている。各スチールボール１８は球状体用磁石３０によって移動枠１４に吸着され、移動枠１４は駆動用磁石２２によって固定板１２に吸着されるので、各スチールボール１８は固定板１２と移動枠１４の間に挟持されることになる。これにより、移動枠１４は固定板１２に平行な平面上に支持され、各スチールボール１８が挟持されながら転がることによって、移動枠１４の固定板１２に対する任意の方向の並進運動及び回転運動を許容する。
【００３２】
また、固定板１２及び移動枠１４の外周部には、スチールボール１８と当接するように、環状のスチールボール受け３１及び３２が夫々取り付けられている。スチールボール１８が固定板１２と移動枠１４の間に挟持された状態で、移動枠１４が移動すると、各スチールボール１８は、スチールボール受け３１と３２の間で転がる。このため、移動枠１４が固定板１２に対して移動する場合にも、それらの間に摺動摩擦が生じることはない。好ましくは、スチールボール１８とスチールボール受け３１、３２の間の転がり抵抗が小さくなるように、スチールボール受け３１、３２の表面を平滑に形成し、表面硬度の高い材料でスチールボール受け３１及び３２を構成するのが良い。
【００３３】
また、スチールボール受け３２は、球状体用磁石３０の磁束が効果的にスチールボール１８に到達するように非磁性体材料で構成するのが良い。好ましくは、スチールボール受け３１及び３２の厚さは、０．２乃至０．５ｍｍであるのが良い。本実施形態においては、移動枠１４を軽量化するために、スチールボール受け３２を、０．３ｍｍ厚のアルミニウムに無電解ニッケルメッキを施したもので構成している。また、本実施形態においては、スチールボール１８として鋼製の球体を使用しているが、スチールボール１８は必ずしも球体でなくても良い。即ち、アクチュエータ１０の作動中においてスチールボール受け３２と接触する部分が概ね球面の形状を有する形態であればスチールボール１８として使用することができる。なお、本明細書において、このような形態を球状体という。
【００３４】
次に、図８を参照して、アクチュエータ１０の制御を説明する。図８は、コントローラ３６における信号処理を示すブロック図である。図８に示すように、レンズユニット２の振動は、２つのジャイロ３４ａ、３４ｂによって時々刻々検出され、コントローラ３６に内蔵されたレンズ位置指令信号生成手段である演算回路３８ａ、３８ｂに入力される。本実施形態においては、ジャイロ３４ａはレンズユニット２のヨーイング運動の角加速度を、ジャイロ３４ｂはピッチング運動の角加速度を夫々検出するように構成され、配置されている。
【００３５】
演算回路３８ａ、３８ｂは、ジャイロ３４ａ、３４ｂから時々刻々入力される角加速度に基づいて、画像安定化用レンズ１６を移動させるべき位置を時系列で指令するレンズ位置指令信号を生成する。すなわち、演算回路３８ａは、ジャイロ３４ａによって検出されるヨーイング運動の角加速度を２回時間積分し、所定の修正信号を加算することによってレンズ位置指令信号の水平方向成分を生成し、同様に、演算回路３８ｂは、ジャイロ３４ｂによって検出されるピッチング運動の角加速度に基づいてレンズ位置指令信号の鉛直方向成分を生成するように構成されている。このようにして得られたレンズ位置指令信号に従って、画像安定化用レンズ１６を時々刻々移動させることにより、写真撮影の露光中にレンズユニット２が振動した場合にも、カメラ本体４内のフィルム面Ｆに合焦される像は乱れることなく安定化される。
【００３６】
コントローラ３６に内蔵されたコイル位置指令信号生成手段は、演算回路３８ａ、３８ｂによって生成されたレンズ位置指令信号に基づいて、各駆動用コイルに対するコイル位置指令信号を生成するように構成されている。コイル位置指令信号は、画像安定化用レンズ１６をレンズ位置指令信号で指定された位置へ移動させたときの、各駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃとそれに対応した駆動用磁石２２の位置関係を表す信号である。すなわち、各駆動用コイルに対応した駆動用磁石２２が、各駆動用コイルに対するコイル位置指令信号によって指令された位置に移動すると、その結果、画像安定化用レンズ１６は、レンズ位置指令信号によって指令された位置へ移動する。本実施形態においては、駆動用コイル２０ａが光軸の鉛直上方に設けられているので、駆動用コイル２０ａに対するコイル位置指令信号は、演算回路３８ａから出力されるレンズ位置指令信号の水平方向成分と等しくなる。また、駆動用コイル２０ｂは光軸の横方向に設けられているので、駆動用コイル２０ｂに対するコイル位置指令信号は、演算回路３８ｂから出力されるレンズ位置指令信号の鉛直方向成分と等しくなる。さらに、駆動用コイル２０ｃに対するコイル位置指令信号は、レンズ位置指令信号の水平方向成分及び鉛直方向成分に基づいて、コイル位置指令信号生成手段である演算回路４０によって生成される。
【００３７】
一方、磁気センサ２４ａによって測定された、駆動用コイル２０ａに対する駆動用磁石２２の移動量は、磁気センサアンプ４２ａによって所定の倍率に増幅される。差動回路４４ａは、演算回路３８ａから出力されたコイル位置指令信号の水平成分と、磁気センサアンプ４２ａから出力された駆動用コイル２０ａに対する駆動用磁石２２の移動量との差に比例した電流を駆動用コイル２０ａに流す。従って、コイル位置指令信号と磁気センサアンプ４２ａからの出力に差がなくなると、駆動用コイル２０ａには電流が流れなくなり、駆動用磁石２２に作用する駆動力が０になる。
【００３８】
同様に、磁気センサ２４ｂによって測定された、駆動用コイル２０ｂに対する駆動用磁石２２の移動量は、磁気センサアンプ４２ｂによって所定の倍率に増幅される。差動回路４４ｂは、演算回路３８ｂから出力されたコイル位置指令信号の鉛直成分と、磁気センサアンプ４２ｂから出力された駆動用コイル２０ｂに対する駆動用磁石２２の移動量との差に比例した電流を駆動用コイル２０ｂに流す。従って、コイル位置指令信号と磁気センサアンプ４２ｂからの出力に差がなくなると、駆動用コイル２０ｂには電流が流れなくなり、駆動用磁石２２に作用する駆動力が０になる。
【００３９】
また、磁気センサ２４ｃによって測定された、駆動用コイル２０ｃに対する駆動用磁石２２の移動量は、磁気センサアンプ４２ｃによって所定の倍率に増幅される。差動回路４４ｃは、演算回路４０から出力されたコイル位置指令信号と、磁気センサアンプ４２ｃから出力された駆動用コイル２０ｃに対する駆動用磁石２２の移動量との差に比例した電流を駆動用コイル２０ｃに流す。従って、コイル位置指令信号と磁気センサアンプ４２ｃからの出力に差がなくなると、駆動用コイル２０ｃには電流が流れなくなり、駆動用磁石２２に作用する駆動力が０になる。
【００４０】
次に、図９を参照して、移動枠１４を並進運動させる場合のレンズ位置指令信号と、コイル位置指令信号との関係を説明する。図９は、固定板１２上に配置された駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、移動枠１４上に配置された３つの駆動用磁石２２の位置関係を示す図である。まず、３つの駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、その中心点が、点Ｑを原点とする半径Ｒの円周上の点Ｌ、Ｍ、Ｎ上に夫々配置されている。また、各磁気センサ２４ａ、２４ｂ、２４ｃも、その感度中心点Ｓが点Ｌ、Ｍ、Ｎ上に位置するように夫々配置されている。さらに、移動枠１４が中立位置にあるとき、すなわち、画像安定化用レンズ１６の中心が光軸上にある場合には、各駆動用コイルに対応した各駆動用磁石２２の磁気的中立軸線Ｃの中点も、夫々点Ｌ、Ｍ、Ｎ上に位置する。また、点Ｑを原点とする水平軸線をＸ軸、鉛直軸線をＹ軸、Ｘ軸及びＹ軸に対して夫々１３５゜の角をなす軸をＶ軸とすれば、各駆動用磁石２２の磁気的中立軸線Ｃは、夫々Ｘ軸、Ｙ軸、Ｖ軸と重なる位置にある。
【００４１】
ここで、移動枠１４が移動して、画像安定化用レンズ１６の中心点が点Ｑ1に移り、さらに、移動枠１４が点Ｑ1を中心に反時計回りに角θ回転すると、各駆動用磁石２２の磁気的中立軸線Ｃの中点は、点Ｌ1、Ｍ1、Ｎ1に夫々移動する。移動枠１４がこのような位置に移動するためには、駆動用コイル２０ａに対するコイル位置指令信号の大きさは、点Ｌを中心として直線Ｑ1Ｌ1に接する円の半径に、駆動用コイル２０ｂのコイル位置指令信号は、点Ｍを中心として直線Ｑ1Ｍ1に接する円の半径に、駆動用コイル２０ｃのコイル位置指令信号は、点Ｎを中心として直線Ｑ1Ｎ1に接する円の半径に夫々比例する値である必要がある。これらの円の半径を夫々ｒX、ｒY、ｒVとする。
【００４２】
なお、各コイル位置指令信号ｒX、ｒY、ｒVの符号を図９に示すように定める。即ち、点Ｌ1を第１象限に移動させるコイル位置指令信号ｒXを正、第２象限に移動させるコイル位置指令信号ｒXを負と定め、同様に、点Ｍ1を第１象限に移動させるコイル位置指令信号ｒYを正、第４象限に移動させるコイル位置指令信号ｒYを負と定める。また、点Ｎ1をＶ軸の下側に移動させるコイル位置指令信号ｒVを正、Ｖ軸の上側に移動させるコイル位置指令信号ｒVを負と定める。さらに、角度の符号は時計回りを正とする。従って、移動枠１４を中立位置から時計回りに回転させる場合、コイル位置指令信号ｒXは正、コイル位置指令信号ｒYは負、コイル位置指令信号ｒVは負となる。
【００４３】
また、点Ｑ1の座標を（ｊ，ｇ）、点Ｌ1の座標を（ｉ，ｅ）、点Ｎ1の座標を（ｋ，ｈ）とし、Ｖ軸とＹ軸の為す角をαとする。さらに、点Ｍを通り直線Ｑ1Ｌ1に平行な補助線Ａ、及び点Ｌを通り直線Ｑ1Ｍ1に平行な補助線Ｂを引き、補助線Ａと補助線Ｂの交点を点Ｐとする。
【００４４】
ここで、直角三角形ＬＭＰについて正弦定理を適用すると、
2006149105.tif 000003
となる。従って、
2006149105.tif 000004
2006149105.tif 000005
の関係が成り立つ。また、座標ｅ、ｇ、ｈ、ｉ、ｊ、ｋを、Ｒ、ｒX、ｒY、ｒV、θ、αで表すと、幾何学的関係及び数式３より、
2006149105.tif 000006
が得られる。さらに、座標（ｋ，ｇ）、（ｊ，ｇ）、（ｋ，ｈ）を頂点とする直角三角形について、下記の関係が成り立つ。
2006149105.tif 000007
【００４５】
数式５の関係を展開して整理すると、
2006149105.tif 000008
の関係が得られる。さらに、移動枠１４が並進運動する場合には、θ＝０であるから数式６は、
2006149105.tif 000009
となる。また、本実施形態においては、α＝４５゜であるから、数式７の関係は、
2006149105.tif 000010
と簡略化される。従って、本実施形態においては、レンズ位置指令信号によって画像安定化用レンズ１６の中心を座標（ｊ，ｇ）に並進運動させる場合、駆動用コイル２０ａに対しては座標ｊの大きさに比例したコイル位置指令信号ｒXを与え、駆動用コイル２０ｂに対しては座標ｇの大きさに比例したコイル位置指令信号ｒYを与え、駆動用コイル２０ｃに対しては数式８によってコイル位置指令信号ｒVを計算して与える。
【００４６】
なお、コイル位置指令信号ｒXは図８の演算回路３８ａの出力信号に、コイル位置指令信号ｒYは演算回路３８ｂの出力信号に対応している。また、コイル位置指令信号ｒVは、数式８と等価な計算を行う演算回路４０の出力信号に対応している。
次に、図１０を参照して、移動枠１４を回転運動させる場合のレンズ位置指令信号と、コイル位置指令信号との関係を説明する。図１０は、移動枠１４が並進運動及び回転運動した場合のコイル位置指令信号を説明する図である。図１０に示すように、まず、移動枠１４が並進移動されることにより、これに取り付けられた画像安定化用レンズ１６の中心が、点Ｑから点Ｑ2に移動されると、移動枠１４に取り付けられた駆動用磁石２２は、点Ｌ、Ｍ、Ｎから、点Ｌ2、Ｍ2、Ｎ2に夫々移動される。この並進運動に対するコイル位置指令信号をｒX、ｒY、ｒVとする。これらのコイル位置指令信号の大きさは、上述した数式８等によって求めることができる。ここでは、移動枠１４が、点Ｑ2を中心に角度η反時計回りに回転された場合のコイル位置指令信号ｒXη、ｒYη、ｒVηを計算する。
【００４７】
まず、図９の場合と同様に、点Ｑ2の座標を（ｊ，ｇ）、直線Ｑ2Ｎ2とＮを中心とする半径ｒVの円の接点の座標を（ｋ，ｈ）とし、数式４のθに０を代入すると、
2006149105.tif 000011
の関係が得られる。
【００４８】
次に、移動枠１４が、点Ｑ2を中心に角度η反時計回りに回転されると、点Ｌ2、Ｍ2、Ｎ2は点Ｌ3、Ｍ3、Ｎ3に夫々移動される。また、線分Ｑ2Ｌ2とＱ2Ｌの為す角をβ、線分Ｑ2Ｍ2とＱ2Ｍの為す角をδ、線分Ｑ2Ｎ2とＱ2Ｎの為す角をγとする。さらに、線分Ｑ2Ｌの長さをＵ、線分Ｑ2Ｍの長さをＷ、線分Ｑ2Ｎの長さをＶとする。ここで、コイル位置指令信号ｒXη、ｒYη、ｒVηの大きさは、点Ｌ、Ｍ、Ｎを中心として、直線Ｑ2Ｌ3、Ｑ2Ｍ3、Ｑ2Ｎ3と接する円の半径に夫々等しいので、
2006149105.tif 000012
の関係が成り立つ。
【００４９】
また、ｓｉｎβ、ｃｏｓβ等は、幾何学的関係から、次のように表すことができる。
2006149105.tif 000013
さらに、数式１１の関係を数式１０に代入して、β、γ、δ等を消去すると、
2006149105.tif 000014
の関係が得られる。従って、画像安定化用レンズ１６の中心を座標（ｊ，ｇ）に並進運動させ、さらに、その点を中心に反時計回りに角度η回転運動させた位置に移動枠１４を移動させるためには、まず、数式８及び９によってｒX、ｒY、ｒVを計算し、次に、その値を数式１２に代入することによってコイル位置指令信号ｒXη、ｒYη、ｒVηを計算し、これらを各駆動用コイルに与えればよい。
【００５０】
また、移動枠１４を並進運動させずに、点Ｑを中心に反時計回りに角度η回転運動させる場合には、数式１２のｒX、ｒY、ｒVに０を代入した
2006149105.tif 000015
によってコイル位置指令信号ｒXη、ｒYη、ｒVηを計算すればよい。
【００５１】
次に、図１１を参照して、コントローラ３６の具体的な回路の一例を説明する。図１１は、駆動用コイル２０ａに流す電流を制御する回路の一例を示す。なお、図１１の回路では、各オペアンプを作動させるための電源供給ライン等の付属的な回路は省略されている。まず、図１１に示すように、電源電圧＋Ｖｃｃとアース電位ＧＮＤの間に電気抵抗Ｒ７及びＲ８が直列に接続される。さらに、オペアンプＯＰ４のプラス入力端子が、電気抵抗Ｒ７とＲ８の間に接続される。また、オペアンプＯＰ４のマイナス入力端子は、オペアンプＯＰ４の出力端子に接続されている。これにより、オペアンプＯＰ４の出力端子の電圧は、電気抵抗Ｒ７及びＲ８によって、電源電圧＋Ｖｃｃとアース電位ＧＮＤの間の基準電圧ＶREFに設定され、維持される。
【００５２】
一方、磁気センサ２４ａの１番端子と２番端子の間には、電源電圧＋Ｖｃｃが印加される。また、磁気センサ２４ａの３番端子は、基準電圧ＶREFに接続されている。これにより磁気センサ２４ａに作用する磁気が変化すると、磁気センサ２４ａの４番端子の電圧が＋ＶｃｃとＧＮＤの間で変化する。
磁気センサ２４ａの４番端子は、可変抵抗ＶＲ２を介してオペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に接続されており、可変抵抗ＶＲ２を調整することによって磁気センサ２４ａの出力のゲインが調整される。また、可変抵抗ＶＲ１の両固定端子が、＋Ｖｃｃ及びＧＮＤに夫々接続されている。可変抵抗ＶＲ１の可動端子は電気抵抗Ｒ１を介して、オペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に接続されている。可変抵抗ＶＲ１を調整することによって、オペアンプＯＰ１の出力のオフセット電圧が調整される。また、オペアンプＯＰ１のプラス入力端子は、基準電圧ＶREFに接続されている。オペアンプＯＰ１の出力端子は、電気抵抗Ｒ２を介して、オペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に接続されている。
【００５３】
駆動用コイル２０ａに対するコイル位置指令信号を出力する演算回路３８ａはオペアンプＯＰ３のプラス入力端子に接続されている。オペアンプＯＰ３の出力端子は、オペアンプＯＰ３のマイナス入力端子に接続されている。従って、オペアンプＯＰ３は、コイル位置指令信号のバッファアンプとして作用する。
【００５４】
オペアンプＯＰ１の出力端子は、電気抵抗Ｒ３を介して、オペアンプＯＰ２のマイナス入力端子に接続されている。また、オペアンプＯＰ３の出力端子は、電気抵抗Ｒ４を介して、オペアンプＯＰ２のプラス入力端子に接続されている。このため、磁気センサ２４ａの出力とコイル位置指令信号の差がオペアンプＯＰ２の出力端子から出力される。また、オペアンプＯＰ２のプラス入力端子は、電気抵抗Ｒ５を介して基準電圧ＶREFに接続され、オペアンプＯＰ２の出力端子は電気抵抗Ｒ６を介してオペアンプＯＰ２のマイナス入力端子に接続されている。これらの電気抵抗Ｒ５、Ｒ６によってマイナス側及びプラス側のゲインが設定される。
【００５５】
オペアンプＯＰ２の出力端子は、駆動用コイル２０ａの一端に接続され、駆動用コイル２０ａの他端は基準電圧ＶREFに接続される。従って、駆動用コイル２０ａには、オペアンプＯＰ２の出力と基準電圧ＶREFの電位差に応じた電流が流れる。駆動用コイル２０ａに電流が流れると磁界が発生し、駆動用磁石２２に磁力を作用させ、駆動用磁石２２を移動させる。この磁力は、駆動用磁石２２がコイル位置指令信号で指令された位置に近づく方向に作用する。駆動用磁石２２が移動されると、磁気センサ２４ａの４番端子から出力される電圧が変化する。駆動用磁石２２がコイル位置指令信号で指令された位置まで移動すると、オペアンプＯＰ２のプラス入力端子及びマイナス入力端子に入力される電圧が等しくなり、駆動用コイル２０ａには電流が流れなくなる。
【００５６】
上述した、図１１のオペアンプＯＰ１は、図８の磁気センサアンプ４２ａに対応し、オペアンプＯＰ２は、差動回路４４ａに対応している。また、図１１では、駆動用コイル２０ａに流す電流を制御する回路について説明したが、駆動用コイル２０ｂに流す電流も全く同様の回路で制御することができる。また、駆動用コイル２０ｃに流す電流も同様の回路で制御することができるが、この場合には、演算回路４０の出力が、オペアンプＯＰ３のプラス入力端子に接続される。なお、演算回路４０は、オペアンプＯＰ２と同様の差動回路、及びその出力を（１／２）1/2に分圧する電気抵抗等で構成することができる。
【００５７】
次に、図１及び８を参照して、本発明の第１実施形態によるカメラ１の作用を説明する。まず、カメラ１の手ブレ防止機能の起動スイッチ（図示せず）をＯＮにすることにより、レンズユニット２に備えられたアクチュエータ１０が作動される。レンズユニット２に取り付けられたジャイロ３４ａ、３４ｂは、所定周波数帯域の振動を時々刻々検出し、コントローラ３６に内蔵された演算回路３８ａ、３８ｂに出力する。ジャイロ３４ａはレンズユニット２のヨーイング方向の角加速度の信号を演算回路３８ａに出力し、ジャイロ３４ｂはピッチング方向の角加速度の信号を演算回路３８ｂに出力する。演算回路３８ａは、入力された角加速度信号を時間で２回積分して、ヨーイング角度を算出し、これに所定の修正信号を加えて水平方向のレンズ位置指令信号を生成する。同様に、演算回路３８ｂは、入力された角加速度信号を時間で２回積分して、ピッチング角度を算出し、これに所定の修正信号を加えて鉛直方向のレンズ位置指令信号を生成する。演算回路３８ａ、３８ｂによって時系列で出力されるレンズ位置指令信号によって指令される位置に、画像安定化用レンズ１６を時々刻々移動させることによって、カメラ本体４のフィルム面Ｆに合焦される像が安定化される。
【００５８】
演算回路３８ａによって出力された水平方向のレンズ位置指令信号は、駆動用コイル２０ａに対するコイル位置指令信号ｒXとして作動回路４４ａに入力される。同様に、演算回路３８ｂによって出力された鉛直方向のレンズ位置指令信号は、駆動用コイル２０ｂに対するコイル位置指令信号ｒYとして作動回路４４ｂに入力される。また、演算回路３８ａ、３８ｂの出力は、演算回路４０に入力され、数式８で表される演算により、駆動用コイル２０ｃに対するコイル位置指令信号ｒVが生成される。
【００５９】
一方、駆動用コイル２０ａの内側に配置された磁気センサ２４ａは磁気センサアンプ４２ａに、駆動用コイル２０ｂの内側の磁気センサ２４ｂは磁気センサアンプ４２ｂに、駆動用コイル２０ｃの内側の磁気センサ２４ｃは磁気センサアンプ４２ｃに検出信号を出力する。磁気センサアンプ４２ａ、４２ｂ、４２ｃで夫々増幅された磁気センサの検出信号は、作動回路４４ａ、４４ｂ、４４ｃに夫々入力される。
【００６０】
作動回路４４ａ、４４ｂ、４４ｃは、入力された各磁気センサの検出信号と、コイル位置指令信号ｒX、ｒY、ｒVの差に応じた電圧を夫々発生し、この電圧に比例した電流を駆動用コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃに流す。各駆動用コイルに電流が流れると電流に比例した磁界が発生する。この磁界により各駆動用コイルに対応して配置された各駆動用磁石２２は夫々、コイル位置指令信号ｒX、ｒY、ｒVによって指定された位置に近づく方向の駆動力を受ける。各駆動用磁石２２が駆動力を受けると、移動枠１４と固定板１２の間に挟持されているスチールボール１８が転動し、駆動用磁石２２が取り付けられた移動枠１４を同一平面内で滑らかに移動させる。このとき、スチールボール１８は、スチールボール受け３１及び３２の上を転がるので、移動枠１４の移動に対する抵抗力は転がり抵抗のみであり、摺動抵抗が作用しないので、移動枠１４は小さな駆動力で滑らかに移動される。また、スチールボール１８、及びスチールボール受け３１、３２は、表面硬度が高い材料で構成されているので、スチールボール１８とスチールボール受け３１及び３２の間の転がり抵抗は特に小さくなる。
駆動用磁石２２が、この駆動力によってコイル位置指令信号により指定された位置に到達すると、コイル位置指令信号と磁気センサの検出信号が一致するので作動回路の出力は０となり、駆動力も０になる。また、外乱、又は、コイル位置指令信号の変化等により、各駆動用磁石２２がコイル位置指令信号により指定された位置から外れると、再び各駆動用コイルに電流が流され、各駆動用磁石２２はコイル位置指令信号によって指定された位置に戻される。
【００６１】
以上の作用が時々刻々繰り返されることにより、各駆動用磁石２２を有する移動枠１４に取り付けられた画像安定化用レンズ１６が、レンズ位置指令信号に追従するように移動される。これにより、カメラ本体４のフィルム面Ｆに合焦される像が安定化される。
【００６２】
本発明の第１実施形態によるカメラでは、直交する２方向のガイドを使用することなく、画像安定化用のアクチュエータの移動枠を任意の方向に移動させることができるので、アクチュエータを簡単な機構で構成することができる。また、本発明の第１実施形態によるカメラにおいては、画像安定化用のアクチュエータの移動枠を所定の平面内で任意の方向に並進運動及び回転運動させることができる。
【００６３】
また、本発明の第１実施形態によるカメラでは、アクチュエータに備えられた平行移動装置の移動枠がスチールボールによって支持されているので、移動枠の移動に対して摺動抵抗が実質的に作用せず、移動枠を小さな駆動力で滑らかに移動させることができる。さらに、機構を簡略化することにより、平行移動装置の移動枠を軽量化することができ、移動枠を小さな駆動力で移動させることができるので、高速な応答が可能なアクチュエータを構成することができる。
【００６４】
以上、本発明の第１実施形態を説明したが、上述した実施形態に種々の変更を加えることができる。特に、上述した第１実施形態では、本発明をフィルムカメラに適用していたが、本発明は、デジタルカメラ、ビデオカメラ等、静止画又は動画撮像用の任意のカメラに適用することができる。また、本発明を、これらのカメラのカメラ本体と共に使用されるレンズユニットに適用することもできる。さらに、本発明は、カメラの画像安定化用レンズの駆動用の他、ＸＹステージ等の任意の平行移動機構に適用することができる。
【００６５】
また、上述した第１実施形態においては、スチールボールが、移動枠に取り付けられた球状体用磁石によって移動枠に吸着されていたが、球状体用磁石を固定板に取り付け、スチールボールが固定板に吸着されるように構成することもできる。
さらに、上述した第１実施形態においては、球状体であるスチールボールが磁力によって移動枠に吸着されていたが、球状体が、例えば、静電気力等の他の力によって移動枠又は固定板に吸着されるように構成することもできる。
また、上述した第１実施形態においては、移動枠は固定板に対して、３つの球状体であるスチールボールによって支持されていたが、４つ以上の球状体によって移動枠を支持しても良い。
【００６６】
また、上述した第１実施形態においては、固定側部材に駆動用コイルが取り付けられ、可動側部材に駆動用磁石が取り付けられていたが、固定側部材に駆動用磁石を、可動側部材に駆動用コイルを取り付けることもできる。さらに、上述した第１実施形態においては、駆動用コイルと駆動用磁石が３組使用されていたが、４組以上の駆動用コイルと駆動用磁石を使用することもできる。また、上述した第１実施形態においては、駆動用磁石として永久磁石を使用しているが、駆動用磁石として電磁石を使用することもできる。
【００６７】
さらに、上述した第１実施形態においては、位置検出手段として、駆動用磁石の磁気を検出してその位置を測定する磁気センサを使用しているが、各駆動用コイルに対する各駆動用磁石の位置を検出する磁気センサ以外の任意の位置検出用センサを位置検出手段として使用することができる。
【００６８】
さらに、上述した第１実施形態においては、駆動用コイル２４ａと２４ｂの間の中心角が９０度、駆動用コイル２４ｃと駆動用コイル２４ａ及び２４ｂの間の中心角が１３５度となるように駆動用コイルを配置しているが、駆動用コイル２４ｂと２４ｃの間の中心角が（９０＋α）度、０≦α≦９０となるように、駆動用コイル２４ｃを配置しても良い。この場合には、駆動用コイル２４ｃに対するコイル位置指令信号は、数式７によって計算することができる。或いは、駆動用コイル２４ａと２４ｂの間の中心角は９０度でなくても良く、３つの駆動用コイルの間の中心角を夫々１２０゜にする等、各駆動用コイルの間の中心角を、９０度以上１８０度以下の任意の角度にすることもできる。
【００６９】
また、上述した第１実施形態においては、駆動用磁石の磁気的中立軸線は、全て半径方向に向けられていたが、各駆動用磁石の磁気的中立軸線は、任意の方向に向けることができる。好ましくは、少なくとも１つの駆動用磁石の磁気的中立軸線を、ほぼ半径方向に向けて配置するのが良い。
【００７０】
図１２は、上述した本発明の第１実施形態において、駆動用コイル２４ａ及び２４ｂに対応する駆動用磁石２２の磁気的中立軸線を、点Ｑを中心とする円の接線方向に向け、駆動用コイル２４ｃに対応する駆動用磁石２２の磁気的中立軸線を半径方向に向けた変形例を示す。なお、図示を省略しているが、駆動用コイル２４ａは点Ｌに、駆動用コイル２４ｂは点Ｍに、駆動用コイル２４ｃは点Ｎに夫々配置されている。この例では、点Ｌに配置された駆動用コイル２４ａに対するコイル位置指令信号ｒX、点Ｍに配置された駆動用コイル２４ｂに対するコイル位置指令信号ｒy、点Ｎに配置された駆動用コイル２４ｃに対するコイル位置指令信号ｒVが与えられている。この指令信号によって、移動枠１４の中立位置において、点Ｌ、Ｍ、Ｎ上に位置していた各駆動用磁石２２の磁気的中立軸線の中点は、点Ｌ4、Ｍ4、Ｎ4に夫々移動され、画像安定化用レンズ１６の中心点は、点Ｑから点Ｑ3に移動される。
【００７１】
なお、この変形例では、レンズ位置指令信号の水平方向成分に対応するコイル位置指令信号ｒXが点Ｍに配置された駆動用コイル２４ｂに与えられ、鉛直方向成分に対応するコイル位置指令信号ｒYが点Ｌに配置された駆動用コイル２４ａに与えられる。また、図１２の例において、コイル位置指令信号ｒX、ｒYを数式８に代入し、求められたコイル位置指令信号ｒVを駆動用コイル２４ｃに与えると、点ＱはＸ軸方向に−ｒX、Ｙ軸方向にｒY並進移動される。
【００７２】
次に、図１３を参照して、本発明の第１実施形態の更なる変形例を説明する。この変形例のアクチュエータ４５は、移動枠１４の制御を行わないとき、移動枠１４を固定板１２に対して係止するための係止機構を有する点が、上述した第１実施形態とは異なる。
図１３に示すように、本変形例のアクチュエータ４５では、移動枠１４の外周に３つの係合突起１４ａが形成されている。また、固定板１２には、移動枠１４を取り囲むように配置された環状部材４６が取り付けられており、この環状部材４６の内周部には、係合突起１４ａと夫々係合するように形成された３つの係合部４６ａが設けられている。さらに、移動枠１４の外周には、３つの可動側保持用磁石４８が取り付けられている。また、環状部材４６の内周部の可動側保持用磁石４８に夫々対応する位置には、可動側保持用磁石４８と磁力を及ぼしあうように位置決めされた３つの固定側保持用磁石５０が夫々取り付けられている。さらに、手動係止用部材５２が、環状部材４６の外側から半径方向内方に向けて延びるように、環状部材４６の円周方向に移動可能に設けられている。この手動係止用部材５２の先端には、Ｕ字型の凹部５２ａが形成されている。移動枠１４の外周には、Ｕ字型の凹部５２ａの中に受け入れられ、手動係止用部材５２と係合するように、係合ピン５４が取り付けられている。
【００７３】
次に、アクチュエータ４５の作用を説明する。まず、アクチュエータ４５の移動枠１４を、図１３において反時計回りに回転駆動することにより、移動枠１４外周の係合突起１４ａが環状部材４６の係合部４６ａに夫々係合し、移動枠１４が固定板１２に対して係止される。また、移動枠１４に設けられた可動側保持用磁石４８と、環状部材４６の固定側保持用磁石５０は、図１３に示す状態では、殆ど磁力を及ぼしあうことはない。移動枠１４が反時計回りに回転駆動され、可動側保持用磁石４８が固定側保持用磁石５０に近づくと、固定側保持用磁石５０は、移動枠１４を時計回りに回転させる方向の磁力を、移動枠１４に及ぼす。この磁力に抗して、移動枠１４が反時計回りにさらに回転駆動され、可動側保持用磁石４８が固定側保持用磁石５０を通り過ぎると、固定側保持用磁石５０は、移動枠１４を反時計回りに回転させる方向の磁力を、移動枠１４に及ぼす。この磁力により、係合突起１４ａは係合部４６ａに押し付けられ、係合突起１４ａと係合部４６ａの係合状態が保持される。これにより、アクチュエータ４５の電源が切られた状態でも、係合突起１４ａと係合部４６ａの係合状態が保持され、移動枠１４が固定板１２に対して係止される。
【００７４】
また、手動係止用部材５２を、図１３において反時計回りに手動で回転移動させると、移動枠１４の係合ピン５４がＵ字型の凹部５２ａと係合して、移動枠１４も反時計回りに回転移動される。これにより、係合突起１４ａと係合部４６ａが、手動で係合される。逆に、手動係止用部材５２を、図１３において時計回りに手動で回転移動させると、移動枠１４が時計回りに回転移動され、係合突起１４ａと係合部４６ａの係合状態が解除される。
本実施形態のアクチュエータは、移動枠を回転移動させることもできるので、本変形例のような係止機構を容易に実現することができる。
【００７５】
次に、図１４乃至１６を参照して、本発明の第２実施形態による平行移動装置を説明する。本発明の第２実施形態による平行移動装置は、概ね、第１実施形態のカメラに使用されていたアクチュエータの駆動手段を除いたものに相当する。従って、ここでは、本発明の第２実施形態の第１実施形態とは異なる部分のみを説明し、同様の部分には同一の符号を付して説明を省略する。
図１４は平行移動装置１００の正面部分断面図、図１５は側面断面図、図１６は背面図である。なお、図１４は、固定板１１２の側から平行移動装置１００を見た図であり、固定板１１２を部分的に破断して示した図であるが、ここでは、便宜的にこれを正面図と呼ぶものとする。
【００７６】
図１４乃至図１６に示すように、平行移動装置１００は、固定側部材である固定板１１２と、この固定板１１２に対して移動可能に支持された可動側部材である移動枠１１４と、この移動枠１１４を支持する球状体である３つのスチールボール１８と、を有する。また、移動枠１１４の中央には画像安定化用レンズ１６が取り付けられている。さらに、平行移動装置１００は、スチールボール１８を吸着させる球状体用磁石３０と、固定板１１２に取り付けられたスチールボール受け３１と、移動枠１１４に取り付けられたスチールボール受け３２を有する。また、平行移動装置１００は、移動枠１１４に取り付けられた３つの部材用磁石１２２と、固定板１１２の、部材用磁石１２２に夫々対応する位置に取り付けられた３つの吸着用ヨーク１２６と、部材用磁石１２２の磁束を吸着用ヨーク１２６に差し向けるために、部材用磁石１２２の背面に夫々取り付けられた３つのバックヨーク１２８と、を有する。部材用磁石１２２、吸着用ヨーク１２６、及びバックヨーク１２８は、可動側部材吸着手段を構成する。
【００７７】
部材用磁石１２２、吸着用ヨーク１２６、及びバックヨーク１２８は、固定板１１２及び移動枠１１４上の第１の円周上に、中心角１２０゜の間隔で夫々配置されている。また、部材用磁石１２２、吸着用ヨーク１２６、及びバックヨーク１２８は、概ね同一の寸法、形状を有する長方形板状であり、その長辺が第１の円周の接線に平行になるように位置決めされている。図１５に示すように、各部材用磁石１２２、吸着用ヨーク１２６、及びバックヨーク１２８は、夫々重なり合うように配置されているので、バックヨーク１２８によって、部材用磁石１２２の磁束が対応する吸着用ヨーク１２６に差し向けられ、移動枠１１４が固定板１１２に吸着される。
【００７８】
また、３つの球状体用磁石３０は、第１の円周よりも外側の第２の円周上に中心角１２０゜の間隔で、移動枠１１４上に夫々配置されている。さらに、図１６に示すように、３つの球状体用磁石３０は、等間隔に配置された部材用磁石１２２等の間に、即ち、部材用磁石１２２等と中心角を６０゜隔てた位置に夫々配置される。３つのスチールボール１８は、各球状体用磁石３０に吸着され、各球状体用磁石３０と同様の位置に位置決めされる。また、各スチールボール１８は各球状体用磁石３０によって移動枠１１４に吸着され、移動枠１１４は部材用磁石１２２の磁束によって固定板１１２に吸着されるので、各スチールボール１８は移動枠１１４と固定板１１２の間に挟持される。
【００７９】
本発明の第２実施形態による平行移動装置を使用する際には、任意の駆動手段によって移動枠１１４に駆動力を作用させ、移動枠１１４を固定板１１２に対して平行な平面内で移動させる。この際、移動枠１１４は、スチールボール１８がスチールボール受け３１、３２の上で転がることによって固定板１１２に対して移動される。移動枠１１４は３つのスチールボール１８によって支持されているので、移動枠１１４には、スチールボール１８の僅かな転がり抵抗が作用するだけで、摺動抵抗は殆ど作用しない。
【００８０】
本発明の第２実施形態による平行移動装置によれば、移動枠の移動に対する摺動抵抗が作用しないので、小さな駆動力で移動枠を移動させることができる。
【００８１】
次に、図１７乃至１９を参照して、本発明の第３実施形態によるアクチュエータを説明する。本発明の第３実施形態による平行移動装置は、概ね、第１実施形態のカメラに使用されていたアクチュエータに相当し、弾性部材の弾性により移動枠を固定板に吸着している点が、第１実施形態とは異なる。従って、ここでは、本発明の第３実施形態の第１実施形態とは異なる部分のみを説明し、同様の部分には同一の符号を付して説明を省略する。
【００８２】
図１７はアクチュエータ２００の正面部分断面図、図１８は側面断面図、図１９は背面図である。なお、図１７は、固定板２１２の側からアクチュエータ２００を見た図であり、固定板２１２を部分的に破断して示した図であるが、ここでは、便宜的にこれを正面図と呼ぶものとする。
【００８３】
図１７乃至図１９に示すように、アクチュエータ２００は、固定側部材である固定板２１２と、画像安定化用レンズ１６が取り付けられた可動側部材である移動枠２１４と、球状体である３つのスチールボール１８と、を有する。さらに、アクチュエータ２００は、球状体吸着手段である球状体用磁石３０と、固定板１２に取り付けられたスチールボール受け３１と、移動枠２１４に取り付けられたスチールボール受け３２を有する。なお、３つのスチールボール１８は可動側部材支持手段を構成し、スチールボール受け３１は固定側部材の支持平面部を構成し、スチールボール受け３２は可動側部材の支持平面部を構成する。
【００８４】
さらに、アクチュエータ２００は、固定板２１２に取り付けられた３つの駆動用コイル２２０ａ、２２０ｂ、２２０ｃ（２２０ｃは図示せず）と、移動枠２１４の、各駆動用コイルに夫々対応する位置に取り付けられた３つの駆動用磁石２２２（２つのみ図示）と、各駆動用コイルの内側に配置された位置検出手段である磁気センサ２２４ａ、２２４ｂ、２２４ｃ（２２４ｃは図示せず）と、を有する。また、アクチュエータ２００は、各駆動用磁石２２２の磁力を固定板２１２の方に効果的に差し向けるように、駆動用磁石２２２の裏側に夫々取り付けられたバックヨーク２２８と、を有する。なお、各駆動用コイル及び各駆動用磁石は、移動枠２１４を、固定板２１２に対して並進運動させ、且つ回転運動させることができる駆動手段を構成する。
【００８５】
図１７に示すように、３つのスチールボール１８は、固定枠２１２の各駆動用コイルを配置した円周よりも外側の円周上に夫々配置されている。３つのスチールボール１８は、夫々、中心角１２０゜の間隔を隔てて配置され、各スチールボール１８は、各駆動用コイルの間に位置するように配置されている。図１８に示すように、各スチールボール１８は、移動枠２１４の、各スチールボール１８に対応する位置に埋め込まれた球状体用磁石３０によって、移動枠２１４に吸着されている。各スチールボール１８は固定板２１２と移動枠２１４の間に挟持される。これにより、移動枠２１４は固定板２１２に平行な平面上に支持され、各スチールボール１８が挟持されながら転がることによって、移動枠２１４の固定板２１２に対する任意の方向の並進運動及び回転運動を許容する。
【００８６】
また、固定板２１２及び移動枠２１４の外周部には、スチールボール１８と当接するように、環状のスチールボール受け３１及び３２が夫々取り付けられている。スチールボール１８が固定板２１２と移動枠１４の間に挟持された状態で、移動枠２１４が移動すると、各スチールボール１８は、スチールボール受け３１と３２の間で転がる。このため、移動枠２１４が固定板２１２に対して移動する場合にも、それらの間に摺動摩擦が生じることはない。
【００８７】
固定板２１２は概ねドーナツ型の円板状であり、これと同心円上に概ねドーナツ型の固定板側基板２３０が取り付けられている。同様に、移動枠２１４も概ねドーナツ型の円板状であり、同心円上に概ねドーナツ型の移動枠側基板２３４が取り付けられている。図１８に示すように、固定板２１２及び移動枠２１４の第１の円周上には、中心角１２０゜の間隔で３つの貫通穴２１２ａ及び２１４ａが夫々設けられており、各貫通穴２１２ａ及び２１４ａの位置は夫々整合している。各貫通穴２１２ａ及び２１４ａの中には、弾性体であるバネ２３２が夫々配置されている。
【００８８】
各バネ２３２の一端はバネの軸線方向に直線状に延び、他端にはフックが形成されている。各バネ２３２の直線状の端部は、固定板側基板２３０の各貫通穴２１２ａに対応した位置に空けられた小孔に通され、固定板側基板２３０に半田付けされている。一方、各バネ２３２のフックが形成された端部は、移動枠側基板２３４の各貫通穴２１４ａに対応した位置に形成された爪部２３４ａに引っ掛けられ、移動枠側基板２３４に半田付けされる。各バネ２３２のフックは、引き伸ばされた状態で爪部２３４ａに引っ掛けられるので、移動枠２１４は、各バネ２３２の弾性力によって固定板２１２の方に引っ張られて、吸着される。これにより、各スチールボール１８は、固定板２１２と移動枠２１４の間に挟持される。また、貫通穴２１２ａ及び２１４ａは、実使用の範囲で移動枠２１４が固定板２１２に対して平行移動したとき、バネ２３２が貫通穴２１２ａ及び２１４ａの内壁に接触することがないように、十分な大きさに形成されている。さらに、移動枠２１４に取り付けられた移動枠側基板２３４と、固定板２１２に取り付けられた固定板側基板２３０はバネ２３２によって連結されているので、このバネ２３２を、固定板側基板２３０と移動枠側基板２３４の間で電気信号を伝導するための導体として利用することもできる。
【００８９】
本発明の第３実施形態のアクチュエータ２００の作用は、移動枠２１４がバネ２３２によって固定板２１２に吸着される点以外は、本発明の第１実施形態に使用されていたアクチュエータ１０と同様であるので説明を省略する。
【００９０】
本発明の第３実施形態によるアクチュエータによれば、移動枠の移動に対する摺動抵抗が作用しないので、小さな駆動力で移動枠を移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の第１実施形態によるカメラの断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態によるカメラに使用されているアクチュエータの一部を破断して示した正面部分断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態によるカメラに使用されているアクチュエータの、図２のＡ−Ａ線側面断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるカメラに使用されているアクチュエータの上面部分断面図である。
【図５】（ａ）駆動用コイル、駆動用磁石、バックヨーク及び吸着用ヨークの位置関係を示す部分拡大上面図、及び（ｂ）部分拡大正面図である。
【図６】駆動用磁石の移動と磁気センサから出力される信号との関係を示す図である。
【図７】駆動用磁石の移動と磁気センサから出力される信号との関係を示す図である。
【図８】コントローラにおける信号処理を示すブロック図である。
【図９】固定板上に配置された駆動用コイル、移動枠上に配置された３つの駆動用磁石の位置関係を示す図である。
【図１０】移動枠が並進運動及び回転運動した場合のコイル位置指令信号を説明する図である。
【図１１】駆動用コイルに流す電流を制御する回路の一例を示す回路図である。
【図１２】本発明の第１実施形態におけるアクチュエータの変形例を示す図である。
【図１３】本発明の第１実施形態におけるアクチュエータの更なる変形例を示す図である。
【図１４】本発明の第２実施形態による平行移動装置の一部を破断して示した正面部分断面図である。
【図１５】本発明の第２実施形態による平行移動装置の側面断面図である。
【図１６】本発明の第２実施形態による平行移動装置の背面図である。
【図１７】本発明の第３実施形態によるアクチュエータの一部を破断して示した正面部分断面図である。
【図１８】本発明の第３実施形態によるアクチュエータの側面断面図である。
【図１９】本発明の第３実施形態によるアクチュエータの背面図である。
【符号の説明】
【００９２】
１      カメラ
２      レンズユニット
４      カメラ本体
６      レンズ鏡筒
８      撮像用レンズ
１０    アクチュエータ
１１    平行移動装置
１２    固定板
１４    移動枠
１６    画像安定化用レンズ
１８    スチールボール
２０ａ  駆動用コイル
２０ｂ  駆動用コイル
２０ｃ  駆動用コイル
２２    駆動用磁石
２４ａ  磁気センサ
２４ｂ  磁気センサ
２４ｃ  磁気センサ
２６    吸着用ヨーク
２８    バックヨーク
３０    球状体用磁石
３１    スチールボール受け
３２    スチールボール受け
３４ａ  ジャイロ
３４ｂ  ジャイロ
３６    コントローラ
３８ａ  演算回路
３８ｂ  演算回路
４０    演算回路
４２ａ  磁気センサアンプ
４２ｂ  磁気センサアンプ
４２ｃ  磁気センサアンプ
４４ａ  差動回路
４４ｂ  差動回路
４４ｃ  差動回路
４５    本発明の第１実施形態の変形例のアクチュエータ
４６    環状部材
４６ａ  係合部
４８    可動側保持用磁石
５０    固定側保持用磁石
５２    手動係止用部材
５２ａ  Ｕ字型の凹部
５４    係合ピン
１００    平行移動装置
１１２    固定板
１１４    移動枠
１２２    部材用磁石
１２６    吸着用ヨーク
１２８    バックヨーク
２００    アクチュエータ
２１２    固定板
２１４    移動枠
２２０ａ  駆動用コイル
２２０ｂ  駆動用コイル
２２０ｃ  駆動用コイル
２２２    駆動用磁石
２２４ａ  磁気センサ
２２４ｂ  磁気センサ
２２４ｃ  磁気センサ
２２８    バックヨーク
２３０    固定板側基板
２３２    バネ
２３４    移動枠側基板
【図１】
2006149105.tif 000016
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006149105.tif 000021
【図７】
2006149105.tif 000022
【図８】
2006149105.tif 000023
【図９】
2006149105.tif 000024
【図１０】
2006149105.tif 000025
【図１１】
2006149105.tif 000026
【図１２】
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【図１３】
2006149105.tif 000028
【図１４】
2006149105.tif 000029
【図１５】
2006149105.tif 000030
【図１６】
2006149105.tif 000031
【図１７】
2006149105.tif 000032
【図１８】
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【図１９】
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