(57)【要約】【課題】  板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルター基板を傷、破損から守り、保管、輸送にガラス基板輸送用輸送体を提供する。【解決手段】複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、該支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグと、前記エアバッグ内の圧力を調節する調圧手段を有することを特徴とする基板収納容器。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、該支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグと、前記エアバッグ内の圧力を調節する調圧手段を有することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記調圧手段が、前記エアバッグ内の圧力の変化によって作動する電動ポンプを具備し、前記エアバッグ内の圧力が低下した際、前記電動ポンプにより空気を供給して前記エアバッグ内の調圧を行うことを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記調圧手段が、調圧弁と、振動により駆動して空気を供給する振動駆動ポンプとを有し、前記エアバッグ内の調圧を行うことを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記調圧手段が、前記エアバッグ内の圧力を１平方ｃｍあたり３０ｇｆ〜３００ｇｆに保つことを特徴とする請求項２または請求項３記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記エアバッグと前記積重体との間、及び前記積重体と前記支持台との間のいずれか一方又は双方に、平坦な補強板材を配置したことを特徴とする請求項２または請求項３記載の基板収納容器。
【請求項６】
前記支持台がパレットであり、前記パレットに、前記パレット上に載置された積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第１の蓋体が設けられ、前記第１の蓋体の天板が前記荷重支持板として作用することを特徴とする請求項２または請求項３記載の基板収納容器。
【請求項７】
前記積重体の側面と前記第１の蓋体の側板との間に挿入するクッション材を具備することを特徴とする請求項６記載の基板収納容器。
【請求項８】
基板と合紙とを交互に積み重ねた積重体を請求項１から請求項７のいずれか１項記載の基板収納容器に収納して形成した基板収納体。
【請求項９】
前記合紙が、樹脂の発泡シートであることを特徴とする請求項８記載の基板収納体。
【請求項１０】
前記基板が、機能層を備えたガラス基板であることを特徴とする請求項８又は請求項９記載の基板収納体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイのカラーフィルタや薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等に用いるガラス基板などのように、表面に機能層を備えた基板を運搬、保管等のために収納する収納容器並びにその基板収納容器に基板を収納した基板収納体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタに用いるガラス基板のように、表面に機能層を備えた基板は、その表面で機能層を損傷したり、汚したりすることなく、運搬及び保管することが重要である。そこで、これらの基板の運搬、保管には、基板を１枚ずつ挿入する溝を備えた樹脂製のケースを用いていた。しかしながら、このケースでは、基板間に隙間を生じさせた状態で基板を収納するため、収納効率が悪いという問題があった。そこで、複数のガラス基板と合紙とを交互に重ね、斜め積みパレット上に斜め積みした包装形態（特許文献１参照）、複数のガラス基板とガラス基板の縁部に接触する枠状の離間部材とを交互に重ね、斜め積みパレット上に斜め積みした包装形態（特許文献２参照）、ガラス基板を１個ずつＰＥＴフィルムで密封し、これらを積み重ねる包装形態（特許文献３参照）、ガラス基板を１個ずつ、凹凸加工した内壁を有するラミネートフィルムからなる袋状体で包装し、それをケースに詰める包装形態（特許文献４参照）等が提案されている。
【特許文献１】特開２０００−３５１４４９号公報
【特許文献２】特開２０００−２０３６７９号公報
【特許文献３】特開２００３−２３７８３３号公報
【特許文献４】特開平１１−１２０５号公報
【０００３】
しかしながら、これらにはいずれも問題があった。すなわち、特許文献１，２に示すように斜め積みする方法では、ガラス基板を傾斜した受け面に立てかけるようにして斜め積みした後、ガラス基板の高さ方向の１箇所或いは２箇所をバンド等で受け面に押し付けるように締め付けることで固定しているが、その際、ガラス基板の下部領域を受け面に必要な押圧力で押し付け、固定することが困難である。これは、次の理由による。すなわち、ガラス基板を斜め積みした際、各ガラス基板はその下端が斜め積みパレットの載置面に乗った状態で保持されているため、ガラス基板の下部領域を傾斜した受け面に押し付け、固定しようとすると、そのガラス基板の自重によって斜め積みパレットの載置面に強く押し付けられた状態となっているガラス基板下端縁を載置面上で滑らせて動かさなくてはならず、その際の摩擦力が大きいため、ガラス基板の下端縁を動かすことが困難である。ガラス基板のサイズが小さく、荷重が小さい場合か、重ね合わせた枚数が少ない場合には、斜め積みしたガラス基板の適当な位置をバンド等で締め付けることにより、ガラス基板の下部領域は十分に固定されておらず、輸送中の振動などによってガラス基板が動き、損傷を生じることがあった。更に、特許文献２に示す枠状の離間部材を用いた方法では、離間部材の厚さが、５ｍｍ程度と大きく、このため、積載量が少なくなり、しかもガラス基板のサイズが大きい場合には端縁のみを離間部材で拘束した構造ではガラス基板に自重によるたわみを生じ、この点からも損傷を生じることがあった。
【０００４】
特許文献３、４に示すように各ガラス基板を、ＰＥＴフィルムで密封するとか、ラミネートフィルムからなる袋状体で包装する包装形態では、ガラス基板の包装に多大な工数がかかり、包装コストが高くなるという問題がある。また、ＰＥＴフィルムや包装体で包装したガラス基板を、単に積み重ねるか、或いはケースに詰めているのみであるので、運搬中にガラス基板が動くことがあり、その際にガラス基板とそれを包装しているＰＥＴフィルムやラミネートフィルムと擦れ合って、ガラス基板の機能層に損傷を与えるおそれもある。
そこで、本発明者らは先に、エアバッグにより積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させることにより固定して運搬する方法を提案した。しかしながら、この方法は良好な手段でありながら、運搬、保管の条件によっては、積重体に用いた合紙のつぶれ等が生じて、積重体の嵩高さが減少することにより、エアバッグによる押圧力が減少し、運搬中にガラス基板が動いて、ガラス基板の機能層に損傷を与える場合がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたもので、液晶ディスプレイのカラーフィルタや薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等に用いるガラス基板などの基板を、大量に且つコンパクトに収納すると共に、輸送中に動くことがないように拘束でき、輸送、保管中における基板積重体の嵩高さの変化にも対応して、基板を損傷することなく運搬、保管を行うことの可能な収納容器並びにその基板収納容器に基板を収納した構造の基板収納体を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、該支持台に載置された積重体の上面に向かい合うように、前記支持台に連結して設けられる荷重支持板と、前記荷重支持板と前記積重体との間に配置され、前記荷重支持板に支えられて前記積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させるエアバッグと、前記エアバッグ内の圧力を調節する調圧手段を有することを特徴とする基板収納容器である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の基板収納容器によれば、支持台を水平に配置した状態で、その支持台の支持面上に基板の積重体を、基板を水平とした状態で載置し（或いは支持台上で基板を水平に積み重ねて積重体を形成し）、その積重体の上面全域にエアバッグにより均一な押圧力を作用させることで、その積重体を支持台に押し付け、固定することができ、更に、前記エアバッグに必要に応じてまたは常に空気を供給してエアバッグ内の圧力を調節する調圧手段を有することにより、積重体に用いた合紙の厚みが高温など特殊な輸送環境により減少した場合であっても、必要な押圧力を積重体の上面全域に作用させ続けることができるので、固定が確実で運搬中などに基板が動いて損傷を生じるということがない。
【０００８】
エアバッグを用いることにより、広い面積に容易に均一な押圧力を作用させることができると共にエアバッグに供給する空気圧の調整で容易に押圧力を調整できるという効果が得られる。
【０００９】
複数の基板は水平に積み重ねられており且つその上面全域に均一な押圧力を作用させているので、基板サイズが大きい場合でも、或いは収納枚数が多い場合でも、各基板がその全域において均一な圧力で締め付けられており、このため、固定が確実で運搬中などに基板が動いて損傷を生じるということがない。
【００１０】
また、従来、バンド等によって局部的に締め付ける場合には、局部的に押圧力の大きい部分が生じ、その部分に損傷を生じるおそれがあるが、本発明では基板全域に均一な押圧力を作用させることができるので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板を動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。かくして、本発明の収納容器を用いることにより、大量の且つサイズの大きい基板をコンパクトに収納すると共に、基板に損傷を生じることなく安全に運搬、保管することができ、基板の運搬コストを下げることができる。
【００１１】
なお、本発明において、押圧手段が積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させる構成としているが、請求項の記載における「上面全域」とは、必ずしも厳密な意味での上面全域に限らず、多少は全域より少ない領域であっても、その領域に均一な荷重を加えることによって基板を動かないように拘束できるものであればよく、具体的には、上面全域の８０％程度以上の領域を意味するものとする。
【００１２】
また、前記エアバッグと積重体の間、及び前記積重体と支持台の間のいずれか一方もしくは双方に、平坦な補強板材を配置しておくと、基板をその平坦な補強部材で支持或いは押圧することができ、基板の損傷を一層防止できるといった効果が得られる。
【００１３】
また、前記支持台をパレットにしておくと、フォークリフト等を用いた運搬が容易となる効果が得られる。更に、そのパレットに、パレット上に載置された積重体を包囲するように蓋体を脱着可能に取り付け、その蓋体の天板を前記した荷重支持板として作用させる構成とすると、蓋体で荷重支持板を兼用することで構造を簡単としながら、蓋体によって積重体を覆って、基板に対するごみ、ほこり等の付着を防止できるといった効果が得られる。
【００１４】
また、前記積重体の側面と蓋体の側板との間に挿入するクッション材を備える構成としておくと、そのクッション材によって積重体の動きを更に拘束することができるといった効果が得られる。
【００１５】
また、前記パレットとそれに取り付けられる蓋体で形成される内箱を収納する第２のパレット及び第２の蓋体からなる外箱を有する構成としておくと、その外箱に収納された内箱にごみ、ほこり等が付着されることなく、この内箱を基板を使用する工場内に搬入した際に、工場内にごみ、ほこり等を同伴することがなく、工場内を清潔に保てるという効果が得られる。
【００１６】
本発明の基板収納体は、基板と合紙とを交互に積み重ねた積重体を請求項１から７のいずれか１項記載の基板収納容器に収納した構成のものであり、この構成により、基板を合紙で保護した状態で収納し、基板に損傷を生じることなく安全に運搬、保管することができる。積重体に用いた合紙の厚みが高温など特殊な輸送環境により減少した場合であっても、運搬、保管中、必要な押圧力を積重体の上面全域に作用させ続けることができ、固定が確実で運搬中などに基板が動いて損傷を生じるということがない。
【００１７】
ここで、前記合紙を樹脂の発泡シートとすると、適度な柔らかさをもつため基板を良好に保護でき、基板の損傷を一層防止できる。
【００１８】
本発明の基板収納体で収納の対象とする基板は任意であるが、機能層を備えたガラス基板とすることが好ましく、これにより、運搬中に損傷を生じやすい機能層を備えたガラス基板を、損傷を生じることなく安全に運搬できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る基板収納容器に基板の積重体を収納して形成した基板収納体の概略断面図であり、図２は、図１の基板収納体の概略斜視図であり、また、図３は、パレットに基板の積重体を載置した状態を示す概略側面図であり、図４は、パレットに基板の積重体を載置した状態を示す概略斜視図である。基板収納体１は、多数の基板を合紙と交互に積み重ねて形成した積重体２を基板収納容器内に収納したものである。
【００２０】
本発明において、収納の対象とする基板３は、液晶ディスプレイのカラーフィルタや薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）等に用いるガラス基板などであり、その代表的な構造を図５に概略的に示す。
【００２１】
図５において、基板３は、ガラス板等の基板本体３ａの片面に、機能層３ｂ（例えば、カラーフィルタ用の基板の場合には、ブラックマトリックス、着色画素、ＩＴＯ電極などを備えた層）を備え、更にその上に、保管、運搬中等における損傷を防止するための保護膜３ｃを形成している。
【００２２】
この保護膜３ｃは容易に形成でき且つ容易に除去可能な材料で作られるものであり、水溶性の樹脂（例えば、ポリビニルアルコール）が用いられることが多い。膜厚としては、１０〜２０μｍ程度が用いられる。通常、機能層３ｂ、保護膜３ｃは、基板本体３ａの周縁の数ｍｍを除いた全領域に形成されている。本明細書では、機能層３ｂ及びその上に保護膜３ｃを形成した領域を有効領域という。      
【００２３】
基板３の平面サイズは、特に限定されず、例えば、幅１８００ｍｍ×長さ２０００ｍｍといった大きいサイズとすることも可能である。また、基板の厚さも制限されるものではないが、０．３〜１．０ｍｍ程度において好適に使用可能である。
【００２４】
基板３を多数枚積み重ね、積重体２を形成する際、各基板３の機能層３ｂ、保護膜３ｃを保護することができるよう、各基板３間に合紙４を挟んでいく。
【００２５】
合紙を挟み込む形態は特に限定されず、少なくとも基板３の有効領域を覆う位置に合紙が存在するようにすればよいが、好ましい形態としては、図６に示すように、基板３よりも長い合紙４Ａを、その両端が基板３よりも外に延び出すように配置する形態、或いは図７に示すように、二つ折りした状態で基板３とほぼ同一サイズとなる合紙４Ｂを、二つ折りした状態で基板３の間に挟み込む形態を挙げることができる。
【００２６】
図６に示す形態では、合紙４Ａの端部が基板３の外側に延び出しているので、合紙を剥がす際には、この延び出している部分をつかめばよく、合紙をつかむための機構を簡単とすることができると共に確実につかむことが可能となる。
【００２７】
また、図７に示す形態では、合紙４Ｂが二つ折りとなっているので、輸送中に基板３の保護膜３ｃ（図５参照）が吸湿してそれに接している合紙の片４Ｂａに接着してしまったとしても、上側の片４Ｂｂは接着しておらず、このため、合紙４Ｂを剥がす際に、上側の片４Ｂｂを吸着パッド等で容易に吸着保持して持ち上げることができ、その一片を、合紙を確実に剥がすことの可能な手段（例えば、ニップロール等）にくわえさせることで、合紙を基板から確実に剥がすことができる。
【００２８】
合紙４Ａ、４Ｂに用いる材料は、基板３を保護しうるものであれば任意であり、紙、樹脂シート等が用いられる。特に好ましい材料としては、独立気泡を有する樹脂の発泡シート、例えば、株式会社ＪＳＰ製の商品名「ミラマット」を挙げることができる。独立気泡を有する樹脂の発泡シートは、適度なやわらかさを有するので、基板表面の機能層３ｂの保護が確実であり、且つ通気性がないので保護膜３ｃが吸湿することを防止できる。合紙４Ａ、４Ｂの厚さは、あまり薄いと保護効果が低下し、一方あまり厚いとコスト高となると共に嵩張るという欠点を生じるので、これらを考慮して、０．２５〜１ｍｍ程度に選定することが好ましい。
【００２９】
図１〜４において、基板収納容器１０は、積重体２を収納する内箱と、その内箱を収納する外箱を備えた二重構造となっている。内箱は、積重体２を支持する支持面１１ａを備えた支持台を構成するパレット１１と、パレット１１上に載置された積重体２を包囲するように、前記パレット１１に脱着可能に取り付けられる蓋体１３を備えている。
【００３０】
ここで、パレット１１の支持面１１ａは、積重体２を、基板３が支持面１１ａに対して平行となる状態で支持可能なよう、基板３の面積より大きい面積に作られている。蓋体１３は、パレット１１に取り付けた状態で支持面１１ａに平行となる天板１３ａと、支持面１１ａに垂直となる４面の側板１３ｂを備えている。
【００３１】
この蓋体１３を、パレット１１に対する所定位置に位置決めするため、パレット１１の上面の複数箇所に、蓋体１３の側板１３ｂの内面に嵌合する突起１１ｂが形成されている。なお、パレット１１に対して蓋体１３の位置決めする手段は突起１１ｂを用いたものに限らず、適宜変更可能である。
【００３２】
蓋体１３の天板１３ａは、後述するように、エアバッグ９によって積重体２の上面に押圧力を作用させた際の反力を支持する荷重支持板として作用するものであり、蓋体１３はその反力に耐えうる剛性を備えた構造としている。
【００３３】
また、蓋体１３は、パレット１１に対してその反力を支えうる強度を備えた連結手段で連結されるようになっている。本実施形態では、蓋体１３をパレット１１に対して必要な強度で連結できるため、複数のパチン錠１２を用いている。パチン錠１２はワンタッチで開閉できるので、作業性がよいと共に大きい引張力に耐えることができる。なお、蓋体１３をパレット１１に連結する連結手段はパチン錠に限らず、ボルト、ナットを用いたもの、連結ピンを用いたもの等任意である。
【００３４】
パレット１１の支持面１１ａ上には、平面精度の高い補強板材５が置かれ、その上に積重体２が載置されている。そして、積重体２の上には表面精度の高い補強板材７が置かれ、その上にエアバッグ９が配置されている。このエアバッグ９は、その内部に加圧エアを供給することにより膨らみ、上面位置が蓋体１３の天板（荷重支持板）１３ａで拘束されることにより、積重体２の上面全域を補強板材７を介して均一に押圧できるように配置されている。
【００３５】
従って、このエアバッグ９とそれを支える天板１３等は、積重体２の上面全域に、均一な押圧力を作用させ、該積重体を支持台に押し付け、固定する押圧手段を構成する。
【００３６】
また、エアバッグ９には、蓋体１３の外側に延び出すようにエア供給用チューブ１５及び圧力スイッチ２１を連結するためのチューブ１７が連結されており、チューブ１５の先端には弁２５が取り付けられ、チューブ１７の先端には圧力スイッチ２１が取り付けられている。
【００３７】
天板１３の上部に、エアバック９の調圧手段として、圧力スイッチ２１に連結された電動ポンプ１９がチューブ１５に連結して配置される。圧力スイッチ２１は、エアバック９内の空気の圧力を測定し、この圧力が所定の値を下回った時、電動ポンプ１９が作動し、チューブ１５よりエアが供給され、エアバック９内の空気の圧力を一定に保つ。
【００３８】
エアバック９内の空気の圧力は、１平方ｃｍあたり３０ｇｆ〜３００ｇｆにすることが好ましい。圧力が高すぎると、基板に必要以上の押圧力が加わるので好ましくなく、圧力が低すぎると、基板がずれる場合があるので好ましくない。
【００３９】
積重体２の上下に配置される補強板材５、７は積重体２の基板を極力、平坦な状態で支持或いは押圧することができるよう設けたものである。補強板材５、７としては、平面精度に優れた軽量な板材が用いられ、具体的には、ハニカムパネル或いは発泡体をコアとしＦＲＰ板をスキンとした積層板等を用いることが好ましい。
【００４０】
補強板材５、７は積重体２の全面を支持或いは押圧できるよう、基板３と同一もしくはそれよりも大きい面積のものが用いられる。補強部材５、７の平面精度としては、表面粗さは、１００μｍＲｍａｘ程度以下、平面度は、最小曲率半径が７００ｍ程度とすることが好ましい。
【００４１】
パレット１１及び蓋体１３で構成される内箱を収納する外箱は、第２のパレット２７とこれに脱着可能な蓋体２９で形成されている。蓋体２９は箱状で、パチン錠１２によってパレット２７に脱着可能である。尚、図示は省略しているが、外箱のパレット２７には、内箱のパレット１１を所定位置に位置決めして固定するための手段が設けられている。
【００４２】
次に、この収納容器１０に積重体２を収納する方法を説明する。図３，図４に示すように、パレット１１上に補強板材５を乗せ、次いでその上に基板３と合紙とを交互に積み重ねて積重体２を形成する。なお、別の場所で積重体２を形成しておき、それをパレット１１上に載置するように変更してもよい。パレット１１上に積重体２を載置した後は、その上に補強部材７及びエアバッグ９を乗せ、その上から蓋体１３をかぶせ、蓋体１３をパレット１１に固定する。
【００４３】
その後、天板１３ａの上部に、調圧手段である、圧力スイッチ２１、電動ポンプ１９等を設置する。エアバッグ９に連結されているエア供給用チューブ１５にコンプレッサ等の加圧エア供給装置（図示せず）を連結して、エアバック９に加圧エアを供給する。エアバッグ９に所望圧力の加圧エアを供給した後は、弁２５を閉じ、加圧エア供給装置を取り外す。これにより、エアバッグ９が膨らんで、積重体２の上面を補強板材１６を介して押圧し、積重体２をパレット１１に押し付けて固定する。
【００４４】
この際、エアバッグ９が積重体２の上面全域に均一な押圧力を作用させるので、基板サイズが大きい場合でも、また収納枚数が多いばあいでも、各基板３をその全域において均一な圧力で締め付けて固定することができ、運搬中などに基板が動いて損傷を生じることがない。
【００４５】
また、エアバッグ９は、基板全面に均一な押圧力を作用させているので、単位面積当たりの押圧力を小さく設定しても、基板が動かないように拘束でき、この点からも基板の損傷を防止できる。エアバッグ９の押圧力は、そのエアバッグ９に供給するエア圧力を調整することで、所望の値に調整できる。なお、積重体２の高さが不足し、エアバッグ９で積重体２に押圧力を付与できない場合には、補強板材７とエアバッグ９との間に適当なスペーサを挿入しておけばよい。
【００４６】
その後、全体に第２のパレット２７と蓋体２９で形成される外箱内に収納し、その状態で所望の場所に運搬、保管する。
【００４７】
以上のようにして、この収納容器を用いることで、大きいサイズの基板３を多数枚積み重ねて形成した積重体２を、基板３を損傷することなく安全に運搬することができる。なお、収納容器１０に基板を収納する際には、パレット１１を水平状態とし、基板を水平にした状態で積み重ねていくが、形成した収納体１を運搬する際には、パレット１１を水平状態に保つ場合に限らず、必要に応じ、パレット１１を傾斜させるとか、垂直に立ててもよい。この場合でも、基板３が全面に渡って均一な圧力で締め付けられ、パレット１１に押し付けられているので、基板３が動くことはなく、基板３に損傷を生じることなく安全に運搬することができる。
【００４８】
開梱に当たっては、外側の蓋体２９を外し、その中に収納されていた内箱（パレット１１、蓋体１３等）を取り出し、所望の場所に搬入する。この際、内箱は外箱で覆われていたため、ごみ、ほこり等が付着しておらず、このため、基板を使用する工場内等の清浄さを要求される場所に内箱を搬入してもトラブルを生じることがない。次に、エアバッグ９の空気を抜いた後、蓋体１３を電動ポンプ１９等と共に、パレット１１から取り外し、エアバッグ９、補強板材７を取り外した後、積重体２の上面側から基板３、合紙４を交互に取り出せばよい。
【００４９】
本実施の形態によれば、基板を運搬、保管の際、エアバッグ９は、調圧手段である圧力スイッチ２１、電動ポンプ１９により、加圧エアが所定の圧力で封入された状態に保たれるため、合紙４のつぶれ等により、積重体の嵩高さが低くなっても、エアバッグ９が積重体２の上面に均一な押圧力を作用させ続けることができ、基板３がずれて損傷を生じるということがない。
【００５０】
なお、上記実施形態では、積重体２内の基板３の固定に、積重体２の上面に配置したエアバッグ９による押圧力のみを利用しているが、必要に応じ、積重体２の側面と蓋体１３の側板１３ｂの間に適当なクッション材を配置することも可能である。
図８は、その場合の実施形態に係る基板収納体３１を示すものであり、この実施形態では、積重体２の側面と蓋体１３の側板１３ｂの間にクッション材としてエアバッグ３３を挿入し、且つ加圧エアを封入して積重体２の側面を拘束している。この構成により、運搬中における基板３のずれを一層確実に防止できる。
【００５１】
次に、第２の実施形態に係る基板収納体について説明する。
図９は、第２の実施形態に係る基板収納体４１の概略断面図を示す。図９において、第１の実施の形態で説明した構成要素と同一の機能のものは、同一の番号を付し、詳細な説明は省略する。
【００５２】
エアバッグ９には、蓋体１３の外側に延び出すようにエア供給用チューブ４３及び調圧弁５３を連結するためのチューブ４５が連結されており、チューブ４３の先端には弁２４が、チューブ４５の先端には調圧弁５３が、取り付けられている。
【００５３】
また、エアバッグの調圧手段として、調圧弁５３と、チューブ４３に連結して振動駆動ポンプ４７が天板１３ａの上部に設けられる。振動駆動ポンプ４７は、振動により駆動すればよく、形状を限定するものではないが、図９においては、バネ４９に支えられて重り５１を配し、重５１の下部にチューブ４３に連結したダイヤフラムポンプ５３を設ける。運搬時等の振動により、バネ４９に支えられた重り５１は上下に揺れ、ポンプ４３によりエアバッグ９内にエアを供給する。また、調圧弁５３により、エアバッグ９内を一定の圧力に保つ。
【００５４】
エアバック９内の空気の圧力は、１平方ｃｍあたり３０ｇｆ〜３００ｇｆに調圧することが好ましい。圧力が高すぎると、基板に必要以上の押圧力が加わるので好ましくなく、圧力が低すぎると、基板がずれる場合があるので好ましくない。
【００５５】
本実施の形態によれば、基板を運搬、保管の際、エアバッグ９は、調圧手段である調圧弁５３、振動駆動ポンプ４７により、加圧エアが所定の圧力で封入された状態に保たれるため、合紙４のつぶれ等により、積重体の嵩高さが低くなっても、エアバッグ９が積重体２の上面に均一な押圧力を作用させ続けることができ、基板３がずれて損傷を生じるということがない。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】基板収納体の概略断面図である。
【図２】基板収納体の概略斜視図である。
【図３】パレットに基板の積重体を載置した状態を示す概略側面図である。
【図４】パレットに基板の積重体を載置した状態を示す概略斜視図である。
【図５】基板の断面構造を説明する概略断面図である。
【図６】積重体の一例を示す概略断面図である。
【図７】積重体の一例を示す概略断面図である。
【図８】第２の実施形態に係る基板収納体の概略断面図である。
【図９】第３の実施形態に係る基板収納体の概略断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１………基板収納体
２………積重体
３………基板
３ａ………基板本体
３ｂ………機能層
３ｃ………保護膜
４………合紙
５………補強板材
７………補強板材
９………エアバッグ
１１………パレット
１１ａ………支持面
１１ｂ………突起
１２………パチン錠
１３………第１の蓋体
１３ａ………天板
１３ｂ………側板
１５………チューブ
１７………チューブ
１９………電動ポンプ
１９ａ………電動機
２１………圧力スイッチ
２３………電池
２５………弁
２７………パレット
２９………第２の蓋体
３１………基板収納体
３３………エアバッグ
４１………基板収納体
４３………チューブ
４５………チューブ
４７………振動駆動ポンプ
４９………バネ
５１………重り
５３………ダイヤフラムポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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