(57)【要約】      （修正有）【課題】物品側面への保持力を増し、走行時の台車の振動が物品に伝達されるのを効果的に防止する。  【解決手段】天井走行車２の昇降駆動部２２と昇降台２６の間、もしくは、昇降台２６に設けられたチャック２８に粘弾性体３２を含む弾性体３４を設けるとともに、落下防止カバー４０の下部に落下防止片４２を設け、巻き上げ完了後に物品６の下部を支持するようにする。【選択図】図１
2006298535.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行レールに沿って走行すると共に、物品の上部に設けられたフランジを支持するためのチャックを備えた昇降台を、昇降駆動部で吊持材の巻き取り／繰り出しにより昇降させて、地上側のロードポートとの間で物品を受け渡す天井走行車において、
前記昇降台と昇降駆動部との間もしくは前記チャックに弾性体を設けると共に、物品の下部を支持する弾性片を設けたことを特徴とする、天井走行車。
【請求項２】
前記弾性片を物品の下部へ向けて付勢する手段を設けたことを特徴とする、請求項１の天井走行車。
【請求項３】
昇降台と昇降駆動部との間もしくは前記チャックに設ける弾性体を粘弾性体としたことを特徴とする、請求項１の天井走行車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は天井走行車に関し、特に天井走行車で搬送中の物品に対する防振に関する。
【背景技術】
【０００２】
天井走行車はクリーンルームなどで物品を昇降台で保持して搬送し、地上側に設けたロードポートとの間で昇降台を昇降させて物品を受け渡しする。天井走行車で搬送する物品は半導体ウェハーなどであり、物品への防振が必要である。発明者は防振をどの位置で行うかについて検討した。例えば台車とその下部の天井走行車のフレームとの間で防振することや、フレームと昇降駆動部との間で防振することが考えられる。しかしながらこのようにすると、台車とフレームとの取付やフレームと昇降駆動部との取付を変更しなければならない。また昇降駆動部やフレームを台車に対して弾性的に取り付けると、物品の受け渡しの際に昇降駆動部を横送りしたり、昇降駆動部に垂直荷重以外の力が加わると、昇降駆動部が振動する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、走行時の台車の振動が物品に伝達されるのを効果的に防止することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、物品側面への保持力を増して、より効果的に物品の振動を防止することにある。
請求項３の発明での追加の課題は物品の振動を更に効果的に抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、走行レールに沿って走行すると共に、物品の上部に設けられたフランジを支持するためのチャックを備えた昇降台を、昇降駆動部で吊持材の巻き取り／繰り出しにより昇降させて、地上側のロードポートとの間で物品を受け渡す天井走行車において、前記昇降台と昇降駆動部との間もしくは前記チャックに弾性体を設けると共に、物品の下部を支持する弾性片を設けたことを特徴とする。
【０００５】
この明細書において弾性体は粘弾性体を含むものとし、粘弾性体は弾性体の内で内部の粘性が高いため振動エネルギーの吸収に優れたものをいい、粘性により塑性変形する部材をいうのではない。また弾性体は好ましくは昇降駆動部と昇降台との間に設ける。
【０００６】
好ましくは、前記弾性片を物品の下部へ向けて付勢する手段を設ける。
また好ましくは、昇降台と昇降駆動部との間もしくは前記チャックに設ける弾性体を粘弾性体とする。なお物品の下部を支持する弾性片も粘弾性体としても良い。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、昇降駆動部と昇降台の間もしくはチャックに防振用の弾性体を設ける。昇降台は昇降駆動部に吊持材で支持されているので、走行台車側からの振動が吊持材で遮断されて振動が伝わりにくい位置にある。そこで昇降駆動部と昇降台との間に弾性体を設けると、走行台車側から物品へ伝わる振動エネルギーが比較的少ない場所に弾性体を配置し、物品に伝わった振動エネルギーを弾性体で発散させて、物品の振動を効率的に抑制できる。この場合、チャックに弾性体を設けて、昇降台の振動が物品に伝わるのを防止しても良い。また物品の下部を支持する弾性片は、天井走行車側から振動が物品に伝わるのを防止する。さらに天井走行車が走行荷により加減速する時には、慣性力により物品にＨｚオーダーの低周期振動が加わるが、弾性体や弾性片はこの振動も制振する。
【０００８】
しかしチャックに弾性体を設けると、物品をロードポートから受け取る際に、物品の荷重で弾性体が変形し、チャック上面の高さが変動する。また物品をロードポートへ受け渡しする際に、物品からの荷重がチャックにかからなくなると、弾性体が膨張してチャック上面の高さが変動する。これらのため物品の受け渡しの途中で、チャック上面の高さが変動し、物品の受け渡しの制御がやや複雑になる。      
【０００９】
弾性片を物品の下部へ向けて付勢すると、物品下部を弾性片で支持する力を増すと共に、より効率的に物品の振動を減衰させることができる。例えば天井走行車の走行時の加減速で物品に加わる振動は、弾性片から物品に加わる押圧力が大きい方が、効率的に制振できる。また弾性片が物品下部に弱く接しているよりも、物品下部に向けて付勢されている方が、物品の振動をより確実に抑制できる。
昇降台と昇降駆動部との間もしくは前記チャックに粘弾性体を設けると、粘弾性体が振動エネルギーを吸収し、より効率的に振動を吸収できる。  
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図５に、実施例とその特性を示す。図において２は天井走行車で、クリーンルームなどの天井空間に設けられたレール４に沿って走行し、地上側に設けられた図示しないロードポートとロードポートとの間で、物品６を搬送する。ロードポートは天井走行車２から見た物品の受け渡し設備を意味し、物品６は例えばここでは半導体ウェハーを収容したカセットである。レール４には走行レール８と給電レール１０とがあり、天井走行車２の走行台車１２が走行レール８内を走行し、受電装置１４は給電レール１０内を移動して、図示しないリッツ線などから非接触給電により受電し、これと共にリッツ線などを利用した通信を行う。
【００１２】
天井走行車２のフレーム１６には、横送り部１８が支持され、横送り部１８はθドライブ２０，昇降駆動部２２，昇降台２６を、レール４の横方向に移動させる。横送り部１８を設けることにより、レール４の側部との間でも物品６の受け渡しが可能になり、例えばレール４の側部にバッファを設けて物品６を仮置きできる。θドライブ２０は昇降駆動部２２の向きを水平面内で変化させ、ロードポートやバッファなどとの間の物品の受け渡しに適した向きへ、物品６を回動させる。昇降駆動部２２は吊持材２４の巻き取り／繰り出しにより昇降台２６を昇降させ、その下部にチャック２８を設けて、物品６の上部のフランジ３０を底部から把持する。なお横送り部１８やθドライブ２０を設けず、昇降駆動部２２をフレーム１６に直結してもよい。
【００１３】
昇降台２６の上面もしくは昇降駆動部２２の下側で昇降台２６と接する位置に、粘弾性体３２を設ける。粘弾性体３２は弾性と粘性とを備えた高分子物質で、ここではウレタンのエラストマーを用いるが、材質は任意である。なお図２に示すように、チャック２８の上面のフランジ３０との接触面に、粘弾性体３３を設けても良い。３４は昇降台２６から上部へ突き出したガイドローラ状の弾性体で、３６は昇降駆動部２２に設けたリセスで、粘弾性体３２とフィットする形状にしてある。３８は弾性体３４を受け入れるための係合部で、昇降台２６を巻き上げると、弾性体３４が係合部３８に係合しながら上昇し、この間に昇降台２６の位置決めと制振とを行う。また昇降台２６の上昇の最後の段階で、粘弾性体３２がリセス３６に接触する。昇降台２６を巻き上げると、昇降台２６は昇降駆動部２２に対し吊持材２４や粘弾性体３２，弾性体３４により接触し、これらは何れも剛な接触ではないので、走行台車１２で発生する振動は、昇降台２６には伝わり難い。また粘弾性体３２は内部の粘性によって振動エネルギーを吸収する能力が高いので、単なる弾性体に比べより効率的に防振できる。
【００１４】
天井走行車２の例えば前後双方に落下防止カバー４０，４０があり、その底部に落下防止片４２を設け、図１のように物品６の昇降時には、落下防止片４２はカバー４０の下部に隠れ、物品６の巻き上げが完了すると、図１の位置から回動して物品６の下部を支持する。図３に落下防止片４２の出退機構を示すと、４４は駆動ギアで、図示しないモータにより回動し、一対のアーム４５，４５を取り付けてある。アーム４５，４５の他端には、ギア４６，４６を設け、その軸を落下防止カバー４０側で軸受けする。落下防止片４２はギア４６と共に回動するので、例えば図３の位置からギア４４が時計回りに回動すると、落下防止片４２は落下防止カバー４０の底部に隠れる。４８は落下防止片４２に設けた段差で、この部分で落下防止片４２の高さが低くなり、５０は回動軸で、５２はアームであり、その先端にウレタンゴムなどを用いた弾性ローラ５４を設ける。５６はバネで段差４８で一端を支持されて、アーム５２を図３の白抜き矢印の向きに付勢し、５８はストッパで、アーム５２が必要以上に回動するのを防止する。
【００１５】
実施例の動作を示す。昇降台２６の昇降時には物品６と落下防止片４２との接触は断たれ、昇降台２６は吊持材２４により支持されている。昇降台２６を上昇させると、弾性体３４が係合部３８で位置決めされることにより、上昇時の昇降台２６や物品６の振動を打ち消し、次いで粘弾性体３２をリセス３６に押し付けて制振する。物品６の上昇が完了すると落下防止片４２を図３の状態へ進出させて、バネ５６により弾性ローラ５４を物品６の下部の側壁に押し付ける。これにより、粘弾性体３２と物品６の下部合計４個所の弾性ローラ５４により物品６を制振する。
【００１６】
天井走行車２の走行を開始すると、加速による力が物品６に加わるが、これによる振動を粘弾性体３２や弾性ローラ５４並びに弾性体３４で吸収する。そして天井走行車２の走行時に走行台車１２などで生じる種々の振動は、粘弾性体３２並びに弾性ローラ５４で吸収する。この時、弾性ローラ５４はバネ５６で物品６の下部に押し付けられているので、物品６の振動はより効率的に抑制される。走行台車１２を停止させる場合、減速による力が物品６に加わるが、この力も同様に粘弾性体３２や弾性ローラ５４，弾性体３４で吸収する。
【００１７】
図４，図５に、実施例の天井走行車と、粘弾性体３２や弾性ローラ５４を設けない従来例の天井走行車との比較を示す。なお従来例では弾性ローラ５４や弾性体３４に代えて、単なるローラを取り付けている。物品６にＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向の各方向について加速度センサを設け、所定の区間を走行させて物品６に働く最大加速度を求めた。図４は直線走行での加速度を示し、図５はカーブ区間での加速度を示す。図４，図５から明らかなように、実施例ではＸＹＺの各方向とも物品に加わる振動を小さくできた。また従来例では１.０Ｇ（Ｇは重力加速度）程度の振動が加わることがあるが、実施例では最大でも０.６Ｇ程度で、物品への衝撃を充分に小さくできた。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例の天井走行車の側面図
【図２】実施例の天井走行車の昇降台の昇降駆動部への取付を拡大して示す部分側面図
【図３】実施例の天井走行車での物品の側面支持部の構造を示す平面図
【図４】実施例と従来例での直線走行時の物品のＸＹＺの各方向への加速度を示す特性図
【図５】実施例と従来例でのカーブ走行時の物品のＸＹＺの各方向への加速度を示す特性図
【符号の説明】
【００１９】
２          天井走行車
４          レール
６          物品
８          走行レール
１０        給電レール
１２        走行台車
１４        受電装置
１６        フレーム
１８        横送り部
２０        θドライブ
２２        昇降駆動部
２４        吊持材
２６        昇降台
２８        チャック
３０        フランジ
３２，３３  粘弾性体
３４        弾性体
３６        リセス
３８        係合部
４０        落下防止カバー
４２        落下防止片
４４，４６  ギア
４５        アーム
４８        段差
５０        回動軸
５２        アーム
５４        弾性ローラ
５６        バネ
５８        ストッパ      
【図１】
2006298535.tif 000003
【図２】
2006298535.tif 000004
【図３】
2006298535.tif 000005
【図４】
2006298535.tif 000006
【図５】
2006298535.tif 000007