(57)【要約】【課題】  インクジェットヘッドの位置調整が容易で、かつ短時間で高精度に行うことができ、しかも装置全体寸法と重量が比較的小規模となるカラーフィルタ製造装置を実現する。【解決手段】  Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色に対応する３個のインクジェットヘッド１１を、それぞれが独立駆動可能なＸステージ９上に搭載する。各Ｘステージ９は、リニアモータ可動子を内蔵しており、上記各Ｘステージ９をリニアモータ可動子によって移動させることで、各Ｘステージ９のそれぞれに搭載されるインクジェットヘッド１１を、容易かつ高精度に位置決めすることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個のインクジェットヘッドを、ガラス基板に対して相対的に走査させながらガラス基板にインクを飛着させ、複数色の着色部を備えたカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置において、
上記各インクジェットヘッドが、該インクジェットヘッドと同数の独立移動可能な移動手段に搭載されていることを特徴とするカラーフィルタ製造装置。
【請求項２】
上記移動手段は、リニアモータ可動子によって移動されるものであることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項３】
上記各インクジェットヘッドが、ガラス基板に対して平行な平面内で回転調整可能に固定されていることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項４】
上記各移動手段に干渉防止の移動制限手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項５】
上記各移動手段は、ガラス基板に対して平行な平面内のある１軸方向に移動されるものであり、
上記各移動手段の移動軸方向と上記平面内で直交する他の軸方向には、ガラス基板を移動させることによってインクジェットヘッドとガラス基板とを相対的に走査させるものであることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項６】
上記各移動手段の位置を、ガラススケールによって測長することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項７】
上記各移動手段の位置を、各移動手段と同数のレーザ測長器によって測長することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーテレビ、パーソナルコンピュータのディスプレイ等に用いられるカラー液晶ディスプレイの構成部材であるカラーフィルタをインクジェット方式により製造する製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄型カラーテレビや携帯型パーソナルコンピュータの普及に伴い、カラー液晶ディスプレイの需要が急増している。しかしながら、更なる普及のためにはコストダウンが必要であり、特に部品価格構成比の大きいカラーフィルタのコストダウンは大きな課題となっている。
【０００３】
従来から、カラーフィルタの要求特性を満足しつつ上記の要求に応えるべく、カラーフィルタの製造方法において種々の方法が試みられている。しかしながら、未だすべての要求特性を満足する製造方法は確立されていない。以下に、カラーフィルタの製造方法を幾つか説明する。
【０００４】
第１の方法としては染色法が挙げられる。染色法は、まずガラス基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料層を形成し、これをフォトリソグラフィ工程により所望の形状にパターニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る方法である。この工程を３回繰り返すことにより、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の着色部からなる着色層を形成することができる。
【０００５】
第２の方法は顔料分散法であり、近年最も盛んに採用されている。顔料分散法は、まずガラス基板上に顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニングすることにより単色のパターンを得る方法である。この工程を３回繰り返すことにより、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の着色部からなる着色層を形成することができる。
【０００６】
第３の方法としては電着法が挙げられる。電着法は、まずガラス基板上に透明電極をパターニングし、顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１の色を電着する方法である。電着法では、この工程を３回繰り返すことにより、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の着色部からなる着色層を形成し、最後に焼成を行う。
【０００７】
第４の方法は印刷法であり、この方法では、顔料を分散した熱硬化性の樹脂による印刷を３回繰り返すことによってＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色を塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより、着色層を形成する。
【０００８】
上記第１ないし第４の何れの方法においても、着色層の上に保護層を形成するのが一般的である。また、これらの方法に共通する点は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色を着色するために同一の工程を３回繰り返す必要があり、コスト高になることである。また、工程数が多い程、歩留まりが低下するという問題も有している。さらに電着法においては、形成可能なパターン形状が限定されるため、現状の技術ではＴＦＴ型の液晶ディスプレイの構成には適用困難である。また印刷法は解像度が悪いため、ファインピッチのパターン形成には不向きである。
【０００９】
従来の各製造方法における上記のような欠点を補うべく、近年では、インクジェット方式を利用したカラーフィルタの製造方法が検討されている。例えば、特許文献１ないし３等に、その具体例が公開されている。インクジェット方式を利用したカラーフィルタの製造方法は、製造プロセスが簡単で低コストであるという利点がある。インクジェット方式を利用したカラーフィルタの製造においては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各色毎に、複数のノズルを直線状に配列したインクジェットヘッドを備えた製造装置を用い、インクジェットヘッドをガラス基板に対して相対的に走査させながら、複数のノズルよりインクをガラス基板に飛着させ、各色毎に複数の着色部を同時に着色する。
【００１０】
このような製造装置においては、各インクジェットヘッドのノズル位置を高精度に調整し、かつ描画工程においてその位置を保持することが重要となる。そのため、特許文献４には、手動マイクロメータヘッドとくさび機構とを用いた位置調整機構と、ロック機構によるヘッド位置調整機構とが提案されている。また、特許文献５には、前記特許文献４の課題として指摘された、位置決め精度の限界や位置調整時間、あるいは動作時の位置補償の信頼性を改善するために、各インクジェットヘッドのノズル列方向、及び透明基板に対して平行な平面内における回転方向の位置を、弾性変形ガイドと圧電素子等のアクチュエータで調整するようにしたヘッド位置調整機構が開示されている。一方、透明基板は、上下に直行するＸ軸及びＹ軸用リニアモータにより、ヘッド位置調整機構が搭載されたヘッドユニットに対して、相対的に走査できるようになっている。
【特許文献１】特開昭５９−７５２０５号公報（公開日昭和５９年４月２７日）
【特許文献２】特開昭６３−２３５９０１号公報（公開日昭和６３年９月３０日）
【特許文献３】特開平１−２１７３２０号公報（公開日平成１年８月３０日）
【特許文献４】特開平９−４９９２０号公報（公開日平成９年２月１８日）
【特許文献５】特開２００２−２２８８２２号公報（公開日平成１４年８月１４日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記特許文献４における位置調整機構では、弾性変形ガイドと圧電素子との組み合わせを用いた構成となっており、弾性変形を利用しているため、構造が複雑でかつ微小な範囲でしか位置調整が行えない。また、インクジェットヘッドを移動させる装置構成の場合、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）各色毎に、複数のノズルを直線状に配列した３個のインクジェットヘッドを隣接して保持しなくてはならない。このため、位置調整機構全体が大規模なものとなり、連鎖的にカラーフィルタ製造装置全体が、寸法、重量ともに大規模なものになってしまうという問題があった。
【００１２】
また、透明基板を移動させる装置構成の場合、透明基板の走査系は、２軸のリニアモータ駆動系が上下に直交する形に構成されるため、２軸の直角度や平行度を高精度に位置調整することは困難であり、特に重量物が移動する構造となるため、荷重移動による走査系の撓みが発生するという問題があった。
【００１３】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、インクジェットヘッドの位置調整が容易で、かつ短時間で高精度に行うことができ、しかも装置全体寸法と重量が比較的小規模となるカラーフィルタ製造装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係るカラーフィルタ製造装置は、上記課題を解決するために、複数個のインクジェットヘッドを、ガラス基板に対して相対的に走査させながらガラス基板にインクを飛着させ、複数色の着色部を備えたカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置において、上記各インクジェットヘッドが、該インクジェットヘッドと同数の独立移動可能な移動手段に搭載されていることを特徴としている。
【００１５】
上記の構成によれば、上記各インクジェットヘッドは、これらのインクジェットヘッドと同数の独立移動可能な移動手段に搭載されている。すなわち、各インクジェットヘッドを独立して移動させることが可能となることから、位置調整機構全体が大規模なものとなることを回避でき、カラーフィルタ製造装置全体が、寸法および重量共に比較的小規模となる。
【００１６】
また、上記カラーフィルタ製造装置においては、上記移動手段は、リニアモータ可動子によって移動されるものであることを特徴としている。
【００１７】
上記の構成によれば、上記各移動手段をリニアモータ可動子によって移動させることで、各移動手段のそれぞれに搭載されるインクジェットヘッドを、容易かつ高精度に位置決めすることができる。
【００１８】
また、上記カラーフィルタ製造装置においては、上記各インクジェットヘッドが、ガラス基板に対して平行な平面内で回転調整可能に固定されていることを特徴としている。
【００１９】
上記の構成によれば、カラーフィルタにおける同色セルの隣接ピッチとインクジェットヘッドのノズル隣接ピッチとが異なる場合に、上記インクジェットヘッドをガラス基板に対して平行な平面内で回転させることで、セルとノズルとの位置調整を行うことができる。これにより、上記カラーフィルタ製造装置において、セル隣接ピッチのそれぞれ異なる複数のサイズのカラーフィルタを製造することができる。
【００２０】
また、上記カラーフィルタ製造装置においては、上記各移動手段に干渉防止の移動制限手段を設けたことを特徴としている。
【００２１】
また、上記カラーフィルタ製造装置においては、上記各移動手段は、ガラス基板に対して平行な平面内のある１軸方向に移動されるものであり、上記各移動手段の移動軸方向と上記平面内で直交する他の軸方向には、ガラス基板を移動させることによってインクジェットヘッドとガラス基板とを相対的に走査させるものであることを特徴としている。
【００２２】
上記の構成によれば、ガラス基板とインクジェットヘッドとの相対位置は、ガラス基板に対して平行な平面内のある１軸方向に対してはインクジェットヘッドを移動させ、この平面内で直交する他の軸方向に対してはガラス基板を移動させることとなる。これにより、インクジェットヘッドの移動機構、ガラス基板の移動機構ともに、１軸方向への移動のみを行えばよいので、その移動機構が大型化及び複雑化することを回避でき、装置の小型化を図ることができる。
【００２３】
また、上記カラーフィルタ製造装置においては、上記各移動手段の位置を、ガラススケールによって測長する、あるいは各移動手段と同数のレーザ測長器によって測長することを特徴としている。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係るカラーフィルタ製造装置は、以上のように、複数個のインクジェットヘッドを、ガラス基板に対して相対的に走査させながらガラス基板にインクを飛着させ、複数色の着色部を備えたカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装置において、上記各インクジェットヘッドが、該インクジェットヘッドと同数の独立移動可能な移動手段に搭載されている構成である。
【００２５】
それゆえ、上記各インクジェットヘッドは、各インクジェットヘッドを搭載する移動手段によって独立して移動させることが可能となることから、位置調整機構全体が大規模なものとなることを回避でき、カラーフィルタ製造装置全体が、寸法および重量共に比較的小規模となるといった効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明の一実施形態について図１ないし図８に基づいて説明すると以下の通りである。
【００２７】
本実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置は、インクジェット方式を適用したものであり、各インクジェットヘッドと同数の独立移動可能なリニアモータ可動子を用いて、各インクジェットヘッドのノズル列方向の位置調整を行う。これにより、本発明のカラーフィルタ製造装置では、インクノズルの位置調整が容易であり、かつ短時間で高精度な位置調整が可能となる。
【００２８】
インクジェット方式によるカラーフィルタの製造方法では、ガラス基板上にインクを付与して着色部を形成する。当該方法は、インク自体を硬化して着色部とする方法や、あるいは、インク吸収性を有する樹脂等からなる受容層をガラス基板上に形成し、該受容層にインクを付与して着色することで着色部を形成する方法等に大別されるが、本発明はいずれの方法にも好ましく適用されるものである。
【００２９】
図１及び図２に、本発明のカラーフィルタ製造装置の好ましい一実施形態の平面模式図（図１）及び側面模式図（図２）を示す。図１及び図２において、１は本体定盤、２はカラーフィルタ製造装置本体を恒温恒湿環境に維持するためのサーマルチャンバー、１９はサーマルチャンバー２の上部に配設されたＨＥＰＡ（High Efficiency Particulate Air）フィルタである。
【００３０】
また、本体定盤１の上には、カラーフィルタが形成されるガラス基板をＹ軸方向に移動させるためのＹステージ２３が、本体定盤１との間にＹステージの静圧ガイド３を介して備えられている。また、Ｙステージ２３上にはガラス基板吸着ステージ４が設けられており、該ガラス基板吸着ステージ４上にガラス基板５が吸着配置されている。本体定盤１は、外部振動を遮断するための除振台２０上に設置されている。
【００３１】
２４はＹステージ２３を駆動するためのリニアモータであり、Ｙステージ２３にはリニアモータ２４の可動子（図示せず）が内蔵されている。２６はＹステージ２３を位置決めするためのガラススケールである。６はガラス基板５の目標位置に対する位置ズレ量を測定するための基板アライメントカメラである。
【００３２】
また、本実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置では、Ｙ軸方向へはガラス基板を移動させるが、Ｘ軸方向へはインクジェットヘッドを移動させる。１１はインクジェットヘッドであり、９はインクジェットヘッド１１をＸ軸方向に移動案内するためのＸステージである。
【００３３】
７はＸステージの静圧ガイドであり、２５はＸステージ９を駆動するためのリニアモータである。Ｘステージ９にはリニアモータ２５の可動子（図示せず）が内蔵されている。１０はＸステージ下部に配設された、インクジェットヘッド１１を回転調整するための回転ステージである。８はＸステージ９を位置決めするためのガラススケールであり、Ｘステージの静圧ガイド７の下部に固定されている。
【００３４】
１２はＸステージ９に接続されたケーブル、１３はケーブル１２を固定するケーブル固定板、１４はケーブル固定板１３（Ｘステージ）を移動制限するブレーキである。
【００３５】
尚、Ｘステージ９は三台搭載されており、１台目のＸステージ９にはＲ（赤）色のインクが充填された、複数のノズルを直線状に配列したインクジェットヘッドが取り付けられている。２台目のＸステージ９にはＧ（緑）色、３台目のＸステージ９にはＢ（青）色のインクが充填された、同様のインクジェットヘッドが取り付けられている。本発明に係るカラーフィルタ製造装置におけるインクジェット方式としては、圧電素子を用いたピエゾタイプ、あるいは電気熱変換体を用いたバブルタイプ等のいずれもが使用可能である。
【００３６】
次に、１５はＹステージ２３とは独立してＹ軸方向に移動可能な第１Ｙサブステージである。第１Ｙサブステージ１５には、インクジェットヘッド１１のノズルを観察するためのノズル観察カメラ１６がその上部に搭載されている。また、ノズル観察カメラ１６は、第１Ｙサブステージ１５上でＸ軸方向に移動可能なようになっている。
【００３７】
１７はＹステージ２３とは独立してＹ軸方向に移動可能な第２Ｙサブステージである。第２Ｙサブステージ１７には、インクジェットヘッド１１の洗浄やキャッピングを行うメンテナンスユニット１８がその上部に搭載されている。
【００３８】
尚、図３に示すカラーフィルタ製造装置は、図１及び図２の構成のうち、Ｘステージ９、Ｙステージ２３、第１Ｙサブステージ１５、および第２Ｙサブステージ１７の位置調整機構を異ならせた変形例を示すものである。すなわち、図３に示すカラーフィルタ製造装置では、ガラススケール７の代わりに、レーザ測長器２１と各Ｘステージ９に設けられた反射ミラー２２とを用いて、各Ｘステージ９のＸ軸方向の位置を検出するようになっている。また、ガラススケール２６の代わりに、Ｙステージ２３についてはレーザ測長器２７０と反射ミラー２８０とを用いて、第１Ｙサブステージ１５についてはレーザ測長器２７１と反射ミラー２８１とを用いて、第２Ｙサブステージ１７についてはレーザ測長器２７２と反射ミラー２８２とを用いて、そのＹ軸方向の位置を検出するようになっている。
【００３９】
次に、上記カラーフィルタ製造装置によるカラーフィルタの製造工程を説明する。
【００４０】
〔ガラス基板アライメント工程〕
先ず、カラーフィルタが形成されるガラス基板５を、ロボット（図示せず）等によりガラス基板吸着ステージ４上に搬入し、該ガラス基板吸着ステージ４に吸着させる。その後、Ｙステージ２３により、ガラス基板５を予め記憶されている目標位置まで移動させる。次に、基板アライメントカメラ６により、ガラス基板５上に配置されているアライメントマークを観察し、目標位置に対する位置ズレ量を測定する。この位置ズレ量を、ガラス基板基板吸着ステージ４を移動することにより位置補正し、目標位置にガラス基板５をアライメントする。
【００４１】
〔描画工程〕
先ず、搬入されたガラス基板５に描画するカラーフィルタのセルサイズに応じて、インクジェットヘッド１１の位置調整を行う。以下、インクジェットヘッド１１の位置調整について、図４、図５、及び図６を参照して詳細に説明する。
【００４２】
図４は、カラーフィルタにおけるＲ（赤）色の着色部を描画する場合を示している。カラーフィルタは、図４に示すようなセル構造を有しており、Ｒ（赤）色セル５０のＸ軸方向の隣接ピッチはＤ１である。一方、インクジェットヘッド１１０にはＲ（赤）色インクが充填されており、該インクジェットヘッド１１０におけるノズル１１１の隣接ピッチはＤ０である。
【００４３】
上記カラーフィルタ製造装置が、単一サイズのカラーフィルタを製造するものとして設計されるのであれば、Ｒ（赤）色セル隣接ピッチＤ１＝ノズル隣接ピッチＤ０となるようにノズル隣接ピッチＤ０を設定すればよい。しかしながら、一般的には、カラーフィルタ製造装置は、セル隣接ピッチのそれぞれ異なる複数のサイズのカラーフィルタを製造することが要求される。このため、上記カラーフィルタ製造装置において、通常は、Ｒ（赤）色セル隣接ピッチＤ１≠ノズル隣接ピッチＤ０である。Ｄ１≠Ｄ０である場合には、Ｄ０×ＣＯＳθ＝Ｄ１となるようにインクジェットヘッド１１０を回転ステージ１０を駆動して角度θ分だけ傾ける。ここで、θはＸ軸とノズル１１１の列方向中心線１１２の成す角である。
【００４４】
インクジェットヘッド１１０における角度位置調整が終了すると、インクジェットヘッド１１０を搭載したＸステージ９を駆動することによってＸ軸方向に移動し、ノズル１１１のＸ軸方向の中心とＲ（赤）色セル５０のＸ軸方向の中心とが一致するように位置調整する。
【００４５】
すなわち、ガラス基板５の位置は前述のように基板アライメントカメラ６により位置調整されるので、さらにノズル１１１をノズル観察カメラ１６にて位置調整し、基板アライメントカメラ６により観察される座標とノズル観察カメラ１６により観察される座標とを一致させることにより、ガラス基板５とノズル１１１との位置調整を行う。
【００４６】
同様に、図５はカラーフィルタにおけるＧ（緑）色の着色部を描画する場合を示しており、図６はカラーフィルタにおけるＢ（青）色の着色部を描画する場合を示している。すなわち、インクジェットヘッド１１３にはＧ（緑）色インクが充填されており、インクジェットヘッド１１６にはＢ（青）色インクが充填されている。また、Ｇ（緑）色セル５１の隣接ピッチ、およびＢ（青）色セル５２の隣接ピッチは、共に、Ｒ（赤）色セル隣接ピッチと同じくＤ１となっている。ノズル１１４およびノズル１１７の位置調整は、Ｒ（赤）色のカラーフィルタを描画する場合と同様に行われる。また、インクジェットヘッド１１３におけるノズル１１４は、Ｒ（赤）色セル５０との隣接ピッチＤ２分だけオフセットしており、インクジェットヘッド１１６におけるノズル１１７は、Ｒ（赤）色セル５０との隣接ピッチＤ２×２分だけオフセットしている。
【００４７】
以上の状態で、ノズル１１１からはＲ（赤）色インク、ノズル１１４からはＧ（緑）色インク、ノズル１１７からはＢ（青）色インクをガラス基板５に飛着させ、カラーフィルタのセル５０、５１、５２を描画し、着色部を形成する。
【００４８】
セルの描画は、Ｙステージ２３によってガラス基板５を往路走査しながら行い、それが完了したら３台のＸステージ９を各インクジェットヘッド長さだけＸ軸方向に移動して復路走査を行う。これをガラス基板５全域に亘り、繰り返し行うことによってカラーフィルタを製造する。また製造されるカラーフィルタには様々なサイズがあり、通常はガラス基板５から複数枚数のカラーフィルタを製造することから、レイアウト寸法が分かっていれば配置の如何によらずどのようなサイズ、ピッチのカラーフィルタにも対応することができる。
【００４９】
〔メンテナンス工程〕
ガラス基板５にセルを描画した後や長時間停止する前後等には、インクジェットヘッド１１のメンテナンスを行う必要がある。このようなメンテナンスを行う場合には、第２Ｙサブステージ１７をリニアモータ２６によってインクジェットヘッド１１直下に移動し、次にメンテナンスユニット１８上に３個のインクジェットヘッド１１がそれぞれ位置するように３個のＸステージ９をそれぞれ移動する。この状態でメンテナンスユニット１８により、インクジェットヘッド１１の洗浄やキャッピングを行う。
【００５０】
次に、図７を用いて、３個のＸステージ９の干渉防止について説明する。１２０、１２１、１２２はケーブル、１３０、１３１、１３２はこれらのケーブルを固定するためのケーブル固定板、１４０、１４１、１４２はこれらのケーブル固定板を移動制限するためのブレーキである。３台のＸステージ９はお互いに衝突干渉しないように一定の距離を開けて駆動するようにプログラムされている。また、ケーブル１２０、１２１、１２２及びケーブル固定板１３０、１３１、１３２についても、お互いに衝突干渉しないように一定の距離を開けて駆動するように配設されている。
【００５１】
Ｘステージ９は静圧ガイド７によって案内されており、リニアモータ２５とガラススケール８によって、サーボＯＮの状態（駆動制御状態）になっている時は位置保持される、しかしながら、電源を遮断する場合等でサーボＯＦＦの状態（駆動制御不能状態）になった時には、ケーブル１２０、１２１、１２２の弾性等により自由に移動し、お互いが衝突干渉する可能性がある。
【００５２】
このような衝突干渉を防止する方法としては、まず静圧（この場合は空気）を切り、浮上していたＸステージ９が静圧ガイド７に着地した段階でサーボＯＦＦにすればよい。但し、この場合には、着地が完了した段階でサーボＯＦＦするまでの間は、静圧ガイド７上でＸステージ９が量子化誤差に相当する微小量を移動することになり、Ｘステージ９及び静圧ガイド７の接触面の摩耗が懸念される。
【００５３】
これに対し、本実施の形態に係るカラーフィルタ製造装置では、所定の位置においてブレーキ１４０、１４１、１４２によってケーブル固定板１３０、１３１、１３２を固定し、その後サーボＯＦＦし、次いで静圧を切るようにしている。この方法においては、Ｘステージ９及び静圧ガイド７の接触面が摩耗することはない。
【００５４】
次に、図３に示すカラーフィルタ製造装置の構成において、レーザ測長器を用いた３台のＸステージ９の位置調整について図８を用いて説明する。２１０、２１１、２１２はＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色に対応するレーザ測長器、２２０、２２１、２２２はそのそれぞれに対応した反射ミラーである。３台のＸステージ９には、反射ミラー２２０、２２１、２２２が光軸干渉しないように高さをずらして配設してある。図示のようにレーザ測長器２１０、２１１、２１２を配設することにより、３台のＸステージ９が独立して位置調整可能になる。また、図３では、レーザ測長器及び反射ミラーをＺ軸方向にすらして配置しているが、これに代えて、レーザ測長器及び反射ミラーを紙面奥行き方向（Ｙ軸方向）にずらしてもよく、同様の効果が得られることは明らかである。
【００５５】
以上のように、本発明の特徴は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色に対応する３個のインクジェットヘッドのノズルにおいて、Ｘ軸方向の位置調整が容易かつ高精度に行うことができ、しかも装置全体における寸法および重量を比較的小規模にできる点にある。
【００５６】
すなわち、３個のインクジェットヘッド１１０、１１３、１１６は、リニアモータ２５の可動子が内蔵された３台のＸステージ９に搭載されているため、ガラススケール７あるいはレーザ測長器２１の分解能（通常は１μｍ以下）で容易かつ高精度に位置決めすることができる。
【００５７】
また、各インクジェットヘッド１１０、１１３、１１６は、これらのインクジェットヘッドと同数の独立移動可能なリニアモータ可動子に独立固定されたＸステージ９に搭載されている。このため、各インクジェットヘッドを独立して移動させることが可能となることから、位置調整機構全体が大規模なものとなることを回避でき、カラーフィルタ製造装置全体を、寸法および重量共に比較的小規模にできる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施形態を示すものであり、カラーフィルタ製造装置の構成を示す平面図である。
【図２】図１に示すカラーフィルタ製造装置のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１に示すカラーフィルタ製造装置の変形例を示すものであり、カラーフィルタ製造装置の構成を示す平面図である。
【図４】上記カラーフィルタ製造装置におけるインクジェットヘッドとガラス基板上に形成されるカラーフィルタのセル（Ｒ（赤）色セル）との関係を示す平面図である。
【図５】上記カラーフィルタ製造装置におけるインクジェットヘッドとガラス基板上に形成されるカラーフィルタのセル（Ｇ（緑）色セル）との関係を示す平面図である。
【図６】上記カラーフィルタ製造装置におけるインクジェットヘッドとガラス基板上に形成されるカラーフィルタのセル（Ｂ（青）色セル）との関係を示す平面図である。
【図７】図１に示すカラーフィルタ製造装置のＢ−Ｂ断面図である。
【図８】図３に示すカラーフィルタ製造装置のＣ−Ｃ断面図である。
【符号の説明】
【００５９】
５                ガラス基板
８                Ｘステージを位置決めするためのガラススケール
９                Ｘステージ（移動手段）
１０              回転ステージ
１１              インクジェットヘッド
１４              ブレーキ（移動制限手段）
２１              レーザ測長器
２２              反射ミラー
２３              Ｙステージ
２４              Ｙステージを駆動するためのリニアモータ
２５              Ｘステージを駆動するためのリニアモータ
２６              Ｙステージを位置決めするためのガラススケール
５０              Ｒ（赤）色セル（着色部）
５１              Ｇ（緑）色セル（着色部）
５２              Ｂ（青）色セル（着色部）
１１０            Ｒ（赤）色インクが充填されたインクジェットヘッド
１１１            インクジェットヘッド１１０のノズル
１１３            Ｇ（緑）色インクが充填されたインクジェットヘッド
１１４            インクジェットヘッド１１３のノズル
１１６            Ｂ（青）色インクが充填されたインクジェットヘッド
１１７            インクジェットヘッド１１６のノズル
１４０〜１４２    ブレーキ（移動制限手段）
２１０〜２１２    Ｘ軸用レーザ測長器
２２０〜２２２    Ｘ軸用反射ミラー
２７０〜２７２    Ｙ軸用レーザ測長器
２８０〜２８２    Ｙ軸用反射ミラー
【図１】
2006133396.tif 000003
【図２】
2006133396.tif 000004
【図３】
2006133396.tif 000005
【図４】
2006133396.tif 000006
【図５】
2006133396.tif 000007
【図６】
2006133396.tif 000008
【図７】
2006133396.tif 000009
【図８】
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