(57)【要約】【課題】  地震発生時に被支持体の横ズレを防止することができるクリーンルームの床面を提供する。【解決手段】  クリーンルームの床面を構成するグレーチング３００であって、グレーチング本体１０の凹部１２内であって、アジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域の周囲にブロック３０が配置される。凹部１２内に配置されたブロック３０の側面３２と、グレーチング本体１０の内壁１５とが立ち上がり面として機能するので、台座５５の水平方向への移動を止めることができる。また、ブロック３０の配置位置の組合せを変えることで、台座５５が配置される領域の位置や大きさを変えることができる。【選択図】  図６
2006152613.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被支持体の脚部が配置される領域の周囲に、その脚部の水平方向への移動を阻止する立ち上がり面を有することを特徴とするクリーンルームの床面。
【請求項２】
当該床面の基準表面からその内部に至る凹部と、
前記凹部内に配置されるプレートとを有し、
前記プレート上に前記立ち上がり面で囲まれた複数の前記領域を有することを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの床面。
【請求項３】
複数の前記プレートを有し、
一の前記プレートが有する前記領域と、他の前記プレートが有する前記領域は、その大きさがそれぞれ異なることを特徴とする請求項２に記載のクリーンルームの床面。
【請求項４】
当該床面の基準表面からその内部に至る凹部と、
前記凹部内に配置されるブロックとを有し、
前記ブロック下から露出した前記凹部の底面が前記領域であることを特徴とする請求項１に記載のクリーンルームの床面。
【請求項５】
前記凹部の底面と前記ブロックの下面とには、それぞれ係合可能な凹凸が設けられていることを特徴とする請求項４に記載のクリーンルームの床面。
【請求項６】
前記ブロックは、互いに分離した複数個のブロックからなることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載のクリーンルームの床面。
【請求項７】
一の前記ブロックと他の前記ブロックとを連結する連結手段と、を有することを特徴とする請求項６に記載のクリーンルームの床面。
【請求項８】
前記領域上にすべり止めを有することを特徴とする請求項１から請求項７の何れか一項に記載のクリーンルームの床面。
【請求項９】
前記床面はグレーチングからなることを特徴とする請求項１から請求項８の何れか一項に記載のクリーンルームの床面。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの床面に関し、特に、クリーンルームの床面上に設置された製造装置等の地震等による横ズレを防止する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩやＴＦＴ等の電子デバイスは、空気中の塵や微粒子を極力排除したクリーンルーム内で製造される。このようなクリーンルームは、その天井と床面とが共に空気を流通できる構造となっており、フィルタを通した清浄なエアーが天井から床面方向に供給される構造（即ち、ダウンフロー構造）となっている。また、空気流通用の貫通穴を多数備えたクリーンルームの床面はグレーチングと呼ばれている（例えば、特許文献１，２参照。）。このようなグレーチング上に、電子デバイスを製造するための装置（以下、「製造装置」という。）が配置される。
【０００３】
ところで、製造装置をグレーチングに固定せずただ置いたままにしておくと、大きな揺れを伴う地震等が発生した場合には、製造装置が倒れてしまう可能性があり、製造装置の近くで作業する者にとって危険である。また、ＣＶＤ装置やエッチング装置等の製造装置には、人体に対して極めて有毒なガスや薬液、引火性ガス等を供給するための配管が多数取り付けられているが、製造装置が転倒してしまうと、配管が壊れてこれらが外へ漏れてしまう危険性もある。そこで、このような危険性を無くすために、製造装置をグレーチングに固定する必要があった。
【０００４】
図１３は、従来行っていた、製造装置９０のグレーチング９９への固定方法を示す概念図である。図１３において、９０は製造装置、９１は製造装置の底面に取り付けられたアジャスタボルト、９３はアジャスタボルトのネジ棒に取り付けられた固定用金具、９５はボルト、９７はナットである。また、９９はグレーチングである。アジャスタボルト９１は、製造装置９０の高さを調整したり、水平にしたりするための調整具である。このアジャスタボルト９１は、通常、１台の製造装置９０に４個以上取り付けられている。また、固定用金具９３の一端はアジャスタボルト９１のネジ棒に固定することが可能となっており、その他端には貫通穴が形成されている。
【０００５】
グレーチング９９に対する製造装置９０の固定方法は以下の通りである。まず始めに、少なくともアジャスタボルト９１の個数だけ、固定用金具９３を用意する。次に、全てのアジャスタボルト９１のネジ棒に、固定用金具９３の一端をそれぞれ取り付ける。次に、固定用金具９３の他端にある貫通穴をグレーチング９９の貫通穴に重ね合わせる。また、固定用金具９３の貫通穴とグレーチング９９の貫通穴とがうまく重なりあわない場合には、ドリルを用いてグレーチング９９に貫通穴を形成することもある。
【０００６】
そして、作業者は、固定用金具９３側から、固定用金具９３の貫通穴とグレーチング９９の貫通穴とにボルト９５を差し込み、グレーチング９９の裏側に出てきたボルト９５にナット９７をはめて締め付ける。このようにして、固定用金具９３の他端をグレーチング９９に固定する。
【特許文献１】特開平０９−３０２８９４号公報
【特許文献２】特開２００１−１６４６８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図１３に示した従来の固定方法では、ナット９７を締め付けるために、作業者が床下に手を延ばしたり、又は、ナット９７を持って床下に潜り込んだりしなければならず、危険で作業性が悪いという問題があった（問題点１）。
また、固定用金具９３の貫通穴とグレーチング９９の貫通穴とがうまく重なりあわない場合には、ドリルを用いてグレーチング９９にネジ穴を形成しなければならなかった。このため、ネジ穴の形成時にクリーンルーム内のクリーン度が悪化してしまい、振動も発生してしまうという問題があった（問題点２）。
【０００８】
そこで、この発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、地震発生時に被支持体の横ズレを防止することができるクリーンルームの床面の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
〔発明１〕  上記目的を達成するために、発明１のクリーンルームの床面は、被支持体の脚部が配置される領域の周囲に、その脚部の水平方向への移動を阻止する立ち上がり面を有することを特徴とするものである。
このような構成であれば、脚部の水平方向への移動を立ち上がり面で止めることができる。従って、例えば地震発生時に、その揺れによる被支持体の横ズレを防止することができる。従来技術と比べて、例えばアジャスタボルトの台座をクリーンルームの床面に固定するために、作業者が床下に手を延ばしたり、又は、ナットを持って床下に潜り込んだりする必要がなく、安全である。ドリルを用いてグレーチングに貫通穴を形成する必要もないので、クリーンルーム内のクリーン度の悪化を防ぐことができる。
【００１０】
〔発明２〕  発明２のクリーンルームの床面は、発明１のクリーンルームの床面において、当該床面の基準表面からその内部に至る凹部と、前記凹部内に配置されるプレートとを有し、前記プレート上に前記立ち上がり面で囲まれた複数の前記領域を有することを特徴とするものである。ここで、クリーンルームの床面の基準表面とは、当該床面のほぼ全体を占める、所定高さの面のことである。
このような構成であれば、複数の領域の中から被支持体の脚部を実際に配置する領域を選択することができるので、前記脚部の前記領域への配置が容易である。
【００１１】
〔発明３〕  発明３のクリーンルームの床面は、発明２のクリーンルームの床面において、複数の前記プレートを有し、一の前記プレートが有する前記領域と、他の前記プレートが有する前記領域は、その大きさがそれぞれ異なることを特徴とするものである。
このような構成であれば、大きさが異なる複数の領域の中から、被支持体の脚部を配置可能な領域を選択することができる。つまり、大きさの異なる複数種類の脚部に対応可能である。
【００１２】
〔発明４〕  発明４のクリーンルームの床面は、発明１のクリーンルームの床面において、当該床面の基準表面からその内部に至る凹部と、前記凹部内に配置されるブロックとを有し、前記ブロック下から露出した前記凹部の底面が前記領域であることを特徴とするものである。
このような構成であれば、凹部内に配置されたブロックの側面が立ち上がり面として機能する。従って、ブロックの形状や大きさを変えることで、脚部が配置される領域の位置や大きさを変えることができる。
【００１３】
〔発明５〕  発明５のクリーンルームの床面は、発明４のクリーンルームの床面において、前記凹部の底面と前記ブロックの下面とには、それぞれ係合可能な凹凸が設けられていることを特徴とするものである。
このような構成であれば、凹部内に配置されたブロックの水平方向への移動をより強く止めることができる。
【００１４】
〔発明６〕  発明６のクリーンルームの床面は、発明４又は発明５のクリーンルームの床面において、前記ブロックは、互いに分離した複数個のブロックからなることを特徴とするものである。
このような構成であれば、各ブロックの配置の組合せを変えることで、脚部が配置される領域の位置や大きさを変えることができる。
【００１５】
〔発明７〕  発明７のクリーンルームの床面は、発明６のクリーンルームの床面において、一の前記ブロックと他の前記ブロックとを連結する連結手段と、を有することを特徴とするものである。
このような構成であれば、凹部内でブロック同士を互いに離れないようにすることができる。
【００１６】
〔発明８〕  発明８のクリーンルームの床面は、発明１から発明７の何れか一のクリーンルームの床面において、前記領域上にすべり止めを有することを特徴とするものである。
このような構成であれば、クリーンルームの床面に配置された脚部の水平方向への移動を抑制することができる。
【００１７】
〔発明９〕  発明９のクリーンルームの床面は、発明１から発明８の何れか一のクリーンルームの床面において、前記床面はグレーチングからなることを特徴とするものである。
このような構成であれば、クリーンルーム内のエアーを効率良くダウンフローさせることができるので、クリーンルーム内の清浄化に効果的である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照しながら、本発明に係るクリーンルームの床面について説明する。
（１）第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態に係るグレーチング１００の構成例を示す斜視図である。このグレーチング１００は、クリーンルームの床面の一部を構成するものであり、主に、製造装置の脚部が配置される領域に敷設されるものである。ここでは、製造装置の脚部としては、製造装置の底面に取り付けられたアジャスタボルト５０の台座５５を例示する。
【００１９】
このグレーチング１００の外形は平面視で例えば矩形であり、その寸法は例えば縦が５００〜６００[ｍｍ]、横が５００〜６００[ｍｍ]、厚さは最も厚い部分で５０〜６０[ｍｍ]程度である。
図１に示すように、このグレーチング１００は、例えば、その表面から内部に至る複数の凹部５を有する。この凹部５は、製造装置の底面に取り付けられたアジャスタボルト５０の台座５５を配置（収納）するためのものである。この凹部５は、その平面視での形状は、例えば正方形である。また、この凹部５の開口面の縦、横の寸法は、アジャスタボルト５０の台座５５の直径よりもやや大きい程度であり、例えばそれぞれ５０〜６０[ｍｍ]程度である。さらに、この凹部５の深さは、この凹部５内に配置される台座５５の厚さとほぼ同じ、又はそれよりもやや深い程度であり、例えば４０〜５０[ｍｍ]程度である。このグレーチング１００では、このような凹部５が平面視で縦方向、及び横方向に整然と並べられている。
【００２０】
また、図１に示すように、これらの凹部５の底面には、グレーチング１００の表裏面間を貫く貫通穴６がそれぞれ設けられている。この貫通穴６を通って、クリーンルーム内の清浄なエアーは、その床下部分に流れるようになっている。
次に、このグレーチング１００の使用方法について説明する。
まず始めに、予め、クリーンルーム床面のアジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域に、図１に示したグレーチング１００を敷設しておく。グレーチング１００の敷設は、クリーンルームの床下部分で格子状に張り巡らされた梁１３０（例えば、図６参照。）の上にグレーチング１００の周縁部４を固定することにより行う。
【００２１】
次に、製造装置をクリーンルーム内に搬入し、その配置予定位置でジャッキアップする。そして、グレーチング１００に設けられた複数の凹部５の中からアジャスタボルト５０の直下に最も近い位置にある凹部５を選択し、その中にこのアジャスタボルト５０の台座５５が入るように、製造装置の位置又はアジャスタボルト５０の取り付け位置を微調整する。その後、製造装置をジャッキダウンして台座５５をその直下に位置する凹部５内に配置する。
【００２２】
このような構成であれば、凹部５内に配置された台座５５の水平方向への移動を、この凹部５の内壁７で止めることができる。従って、例えば地震の発生時に、その揺れによる製造装置等の横ズレを防止することができる。また、複数個の凹部５の中から台座５５を実際に配置する凹部５を選択することができるので、凹部５内への台座５５の配置が容易である。
【００２３】
従来技術と比べて、例えばアジャスタボルト５０の台座５５をクリーンルームの床面に固定するために、作業者が床下に手を延ばしたり、又は、ナットを持って床下に潜り込んだりする必要がなく、安全である。また、ドリルを用いてグレーチングにネジ穴を形成する必要もないので、ネジ穴の形成に伴うクリーンルーム内のクリーン度の悪化や、振動の発生等もない。
【００２４】
なお、製造装置の底面には複数個のアジャスタボルト５０が取り付けられるが、これらアジャスタボルト５０の取り付けピッチを、グレーチング１００の配置間隔に一致させておくと良い。例えば、グレーチング１００の縦、横の寸法がそれぞれ５００[ｍｍ]の場合には、製造装置の底面にアジャスタボルト５０を５００[ｍｍ]間隔で取り付ける。このような構成であれば、アジャスタボルト５０の台座５５がグレーチング１００の縁部と重なってしまうようなことを防ぐことができる。
【００２５】
この第１実施形態では、製造装置の底面に取り付けられたアジャスタボルト５０の台座５５が本発明の「被支持体の脚部」に対応し、凹部５が本発明の「被支持体の脚部が配置される領域」に対応している。また、凹部５の内壁７が本発明の「立ち上がり面」に対応し、グレーチング１００が本発明の「クリーンルームの床面」に対応している。
（２）第２実施形態
図２は、本発明の第２実施形態に係るグレーチング２００の構成例を示す斜視図である。このグレーチング２００は、第１実施形態で説明したグレーチング１００と同様に、クリーンルームの床面の一部を構成するものであり、主に、アジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域に敷設されるものである。
【００２６】
図２に示すように、このグレーチング２００は、例えばグレーチング本体１０と、４つのプレートＰ１〜Ｐ４とを有する。グレーチング本体１０は、その外形が平面視で例えば矩形であり、その寸法は例えば縦が５００〜６００[ｍｍ]、横が５００〜６００[ｍｍ]、厚さは最も厚い部分で５０〜６０[ｍｍ]程度である。
また、図３に示すように、このグレーチング本体１０は、その表面から内部に至る１個の凹部１２を有する。この凹部１２はプレートを配置（収納）するためのものである。この凹部１２は、その平面視での形状は例えば正方形であり、その縦、横の寸法は、例えばそれぞれ４５０〜５５０[ｍｍ]程度である。また、この凹部１２の深さは、例えば４０〜５０[ｍｍ]程度である。
【００２７】
また、図３に示すように、この凹部１２の底面には、グレーチング本体１０の表裏面間を貫く凹部１３がそれぞれ設けられている。この凹部１３を通って、クリーンルーム内の清浄なエアーは、その床下部分に流れるようになっている。
一方、プレートＰ１〜Ｐ４は、その外形が平面視で例えば矩形であり、その寸法は例えば縦が２２５〜２７５[ｍｍ]、横が２２５〜２７５[ｍｍ]、厚さは最も厚い部分で４０〜５０[ｍｍ]程度である。図２に示すように、このグレーチング２００では、４つのプレートＰ１〜Ｐ４がグレーチング本体１０の凹部１２内にほとんど隙間なく配置されている。４つのプレートＰ１〜Ｐ４は、互いに分離したものであり、それぞれを真上方向に持ち上げることで、グレーチング本体１０から離すことが可能となっている。
【００２８】
また、図２に示すように、これらのプレートＰ１〜Ｐ４は、その表面から内部に至る複数の凹部をそれぞれ有する。この凹部は、製造装置の底面に取り付けられたアジャスタボルトの台座を配置（収納）するためのものである。この凹部の平面視での形状は、例えば正方形である。また、この凹部の開口面の縦、横の寸法は、４つのプレートＰ１〜Ｐ４間でそれぞれ異なる。
【００２９】
例えば、図２に示すように、プレートＰ１では凹部２４の数は４個であり、その開口面の縦、横の寸法はそれぞれ１２５[ｍｍ]程度である。また、プレートＰ２では凹部２５の数は９個であり、その開口面の縦、横の寸法はそれぞれ８０[ｍｍ]程度である。さらに、プレートＰ３では凹部２６の数は１６個であり、その開口面の縦、横の寸法はそれぞれ６０[ｍｍ]程度である。プレートＰ４では凹部２７の数は２５個であり、その開口面の縦、横の寸法はそれぞれ５０[ｍｍ]程度である。
【００３０】
次に、このグレーチング２００の使用方法について説明する。
まず始めに、予め、クリーンルーム床面のアジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域に、図２に示したグレーチング本体１０を敷設しておく。グレーチング本体１０の敷設は、クリーンルームの床下部分で格子状に張り巡らされた梁１３０（例えば、図６参照。）の上にグレーチング本体１０の周縁部１４を固定することにより行う。
【００３１】
次に、製造装置をクリーンルーム内に搬入し、その配置予定位置でジャッキアップする。そして、大きさの異なる複数種類の凹部２４〜２７の中から、アジャスタボルト５０の台座５５の配置に最も適した大きさの凹部を選択する。ここでは、図４に示すように、大きさが異なる４種類の凹部２４〜２７のうち、凹部２４だけがアジャスタボルト５０の台座５５を収容可能な大きさである場合を想定する。そのため、ここでは凹部２４を選択する。
【００３２】
次に、図４においてグレーチング本体１０の凹部１２内に配置された４つのプレートＰ１〜Ｐ４を必要に応じて入れ替えして、製造装置底面に取り付けられたアジャスタボルト５０の直下にプレートＰ１を配置する。そして、プレートＰ１が有する４個の凹部２４の中から台座５５の直下に最も近い位置にある凹部２４を選択し、その中に台座５５が入るように、製造装置の位置又はアジャスタボルト５０の取り付け位置を微調整する。その後、製造装置をジャッキダウンして台座５５をその直下の凹部２４内に配置する。
【００３３】
このような構成であれば、第１実施形態と同様に、凹部２４内に配置された台座５５の水平方向への移動を、この凹部２４の内壁２９で止めることができる。従って、例えば地震の発生時に、その揺れによる製造装置等の横ズレを防止することができる。また、４個の凹部２４の中から台座５５を実際に配置する凹部２４を選択することができるので、凹部２４内への台座５５の配置が容易である。
【００３４】
さらに、大きさの異なる複数種類の凹部２４〜２７の中から台座５５を配置可能な凹部を選択することができる。つまり、このグレーチング２００は、大きさの異なる複数種類の台座５５に対応可能である。
この第２実施形態では、グレーチング本体１０の凹部１２が本発明の「床面の表面からその内部に至る凹部」に対応し、プレートＰ１〜Ｐ４が本発明の「プレート」に対応している。また、これらのプレートＰ１〜Ｐ４がそれぞれ有する凹部２４〜２７が本発明の「立ち上がり面で囲まれた複数の領域」に対応し、内壁２９が本発明の「立ち上がり面」に対応している。さらに、グレーチング２００が本発明の「クリーンルームの床面」に対応している。
（３）第３実施形態
図５（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の第３実施形態に係るグレーチング３００の構成例を示す平面図と、Ａ−Ａ´矢視断面図である。このグレーチング３００は、第１，２実施形態で説明したグレーチング１００，２００と同様に、クリーンルームの床面の一部を構成するものであり、主に、アジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域に敷設されるものである。図５（Ａ）及び（Ｂ）において、図３と同一の構成を有する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３５】
図５（Ａ）に示すように、このグレーチング３００は、グレーチング本体１０と、例えば８個のブロック３０とを有する。ブロック３０の平面視での形状は例えば矩形であり、断面視での形状は図５（Ｂ）に示すようにコの字型である。このブロック３０には、上面の周縁に沿って４つの側面３２が設けられており、これら４つの側面３２は全て上面から下方向に垂直に延びている。そして、これら側面３２の下方向の端部によって、ブロック３０はグレーチング本体１０上で支持されている。
【００３６】
これらブロック３０の形状及び大きさは全て同じであり、図５（Ａ）において、ブロック３０の上面の寸法は、例えば縦が１５０〜１８０[ｍｍ]、横が１５０〜１８０[ｍｍ]である。また、高さは４０〜５０[ｍｍ]程度である。
また、このグレーチング３００では、８個のブロック３０がグレーチング本体１０の凹部１２内であって、アジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域以外の領域上にほとんど隙間なく配置されている。これらのブロック３０は、互いに分離したものであり、それぞれを真上方向に持ち上げることで、持ち上げたブロック３０をグレーチング本体１０から離すことが可能となっている。
【００３７】
また、図５（Ａ）に示すように、ブロック３０の上面には、その表裏面間を貫く貫通穴３１が設けられている。クリーンルーム内の清浄なエアーは、このブロック３０上面の貫通穴３１と、グレーチング本体１０の表裏面間を貫く凹部１３（図３参照。）とを通って、グレーチング３００の床下部分に流れるようになっている。
次に、このグレーチング３００の使用方法について説明する。
【００３８】
まず始めに、図６に示すように、予め、クリーンルーム床面のアジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域にグレーチング本体１０を敷設しておく。グレーチング本体１０の敷設は、クリーンルームの床下部分で格子状に張り巡らされた梁１３０の上にグレーチング本体１０の周縁部１４を固定することにより行う。
ここで、図６において、グレーチング３００の周囲に敷設された他のグレーチング９９は、例えば周知構造のグレーチング９９である。この実施形態では、凹部１２内に配置されたブロック３０の上面と、グレーチング本体１０の周縁部１４の上面とが、他のグレーチング９９の表面とそれぞれ同じ高さとなるように（即ち、基準表面と同じ高さとなるように）、ブロック３０の高さと周縁部１４の高さとがそれぞれ調整されている。
【００３９】
次に、製造装置をクリーンルーム内に搬入し、その配置予定位置でジャッキアップする。そして、グレーチング本体１０の凹部１２内であって、アジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域以外の領域上に８個のブロック３０を配置する。
次に、ブロック３０の側面３２と、グレーチング本体１０の凹部１２の内壁１５とで囲まれた領域上に、アジャスタボルト５０の台座５５が配置されるように、製造装置の位置又はアジャスタボルト５０の取り付け位置を微調整する。その後、製造装置をジャッキダウンして台座５５をその直下に位置する領域上に配置する。
【００４０】
このような構成であれば、凹部１２の内壁１５と、ブロック３０の側面３２とが立ち上がり面として機能する。従って、凹部１２内に配置された台座５５の水平方向への移動をブロック３０の側面３２と凹部１２の内壁１５とで止めることができる。これにより、例えば地震の発生時に、その揺れによる製造装置等の横ズレを防止することができる。
また、グレーチング本体１０の凹部１２内で、ブロック３０の配置の組合せを変えることで、アジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域の位置を変えることができる。これにより、グレーチング本体１０の凹部１２内への台座５５の配置が容易である。
【００４１】
この第３実施形態では、ブロック３０下から露出した凹部１２の底面が「被支持体の脚部が配置される領域」に対応し、グレーチング３００が本発明の「クリーンルームの床面」に対応している。
なお、図６では、グレーチング本体１０を、その周縁部１４の無い平らな板としても良い。具体的には、図７に示すように、グレーチング本体１０´の上面と、このグレーチング本体１０´を取り囲む他のグレーチング９９の側面９９ａとで、台座５５とブロック３０とを配置（収納）するための凹部１２´を形成しても良い。このような構成であれば、他のグレーチング９９の側面９９ａと、ブロック３０の側面３２とが立ち上がり面として機能する。
【００４２】
また、この第３実施形態では、グレーチング本体１０の凹部１２内に８個のブロック３０を配置する場合について説明したが、ブロック３０の個数は複数個に限られることはない。例えば、図８に示すように、アジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域以外の領域上に１個のブロック３０´を配置しても良い。このような構成であれば、図８の破線矢印で示すように、凹部１２内に配置されたブロック３０´を真上方向に持ち上げ、持ち上げたブロック３０´を凹部１２の中心を通る鉛直線を軸に９０°ずつ回転させることで、台座５５が配置される領域の位置を変えることができる。
（４）第４実施形態
図９は、本発明の第４実施形態に係るグレーチング４００の構成例を示す平面図である。図９において、図５（Ａ）及び（Ｂ）に示したグレーチング３００（第３実施形態）と構成上異なる点は、ブロックの大きさにバリエーションを持たせた点である。その他の構成は、第３実施形態と同じである。従って、図９において、図５（Ａ）及び（Ｂ）と同一の構成を有する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４３】
図９に示すように、このグレーチング４００は、グレーチング本体１０と、サイズの大きいブロック（以下、「大ブロック」という。）３０と、サイズの小さいブロック（以下、「小ブロック」という。）４０とを有する。例えば、大ブロックの個数は５個であり、小ブロックの個数は４８個である。
これらの中で、小ブロック４０は、例えば直方体である。小ブロック４０の上面の縦、横の寸法は、大ブロック３０の例えば１／４程度であり、縦が１２〜１５[ｍｍ]程度、横が１２〜１５[ｍｍ]程度である。また、その高さは大ブロック３０と同じであり、４０〜５０[ｍｍ]程度である。このグレーチング４００では、５個の大ブロック３０と４８個の小ブロック４０とが、グレーチング本体１０の凹部１２（図３参照。）内であって、アジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域以外の領域上にほとんど隙間なく配置されている。
【００４４】
これら大ブロック３０及び小ブロック４０は、互いに分離したものであり、それぞれを真上方向に持ち上げることで、持ち上げたブロックをグレーチング本体１０から離すことが可能となっている。
次に、このグレーチングの使用方法について説明する。
まず始めに、予め、クリーンルーム床面のアジャスタボルト５０の台座５５が配置される領域に、図９に示したグレーチング本体１０を敷設しておく。グレーチング本体１０の敷設は、クリーンルームの床下部分で格子状に張り巡らされた梁１３０（例えば、図６参照。）の上にグレーチング本体１０の周縁部１４を固定することにより行う。
【００４５】
次に、製造装置をクリーンルーム内に搬入し、その配置予定位置でジャッキアップする。そして、製造装置をジャッキダウンしてアジャスタボルト５０の台座５５をその直下の凹部１２内に配置する。その後、この凹部１２内であって、台座５５が配置された以外の領域上に大ブロック３０と、小ブロック４０とを配置する。つまり、台座５５が配置された後の凹部１２内を、大ブロック３０と小ブロック４０とで隙間なく埋込んでいく。
【００４６】
このように、本発明の第４実施形態に係るグレーチング４００によれば、台座５５が配置される領域の位置や大きさを小ブロック４０で細かく調整することができる。従って、第３実施形態と比べて、凹部１２内への台座５５の配置がさらに容易である。この第４実施形態では、大ブロック３０と小ブロック４０との両方が本発明の「ブロック」に対応し、グレーチング４００が本発明の「クリーンルームの床面」に対応している。
【００４７】
なお、この第４実施形態では、図９に示したように、小ブロック４０の縦、横の寸法は、大ブロック３０の縦、横の１／４程度である場合について説明したが、上記の寸法比はこれに限られることはない。例えば、上記の寸法比は、１／５でも、１／１０でも良い。分母が大きくなるほど、小ブロック４０の個数は増えてしまうが、その一方で、台座５５が配置される領域の位置や大きさをさらに細かく調整することができる。
（５）第５実施形態
図１０（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の第５実施形態に係るグレーチング５００の構成例を示す平面図と、Ｂ−Ｂ´矢視断面図である。図１０（Ａ）及び（Ｂ）において、図５（Ａ）及び（Ｂ）に示したグレーチング３００（第３実施形態）と構成上異なる点は、隣接するブロック同士を連結する連結手段を持たせた点である。その他の構成は、第３実施形態と同じである。従って、図１０（Ａ）及び（Ｂ）において、図５（Ａ）及び（Ｂ）と同一の構成を有する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４８】
図１０（Ａ）に示すように、このグレーチング５００は、グレーチング本体１０と、例えば８個のブロック３０´´と、連結金具６０とを有する。
これらの中で、各ブロック３０´´には、その上面の周縁部にそれぞれ開口部３５が形成されている。これらの開口部３５は、各ブロック３０´´をグレーチング本体１０の凹部１２内に配置した際に一定の距離を持って隣り合うようにそれぞれ形成されている。各ブロック３０´´の外形及びその大きさは、第３実施形態で説明したブロック３０と同じである。また、これらのブロック３０´´には、その表裏面間を貫く貫通穴（図示せず）が設けられている。
【００４９】
一方、図１０（Ｂ）に示すように、連結金具６０は、上記開口部３５間の距離と等距離の長手部分を有し、その長手部分に繋がる両端部分は、それぞれ一方向に直角に曲がっている。図１０に示すように、このグレーチングでは、各ブロック３０´´の隣り合う開口部３５に、１個の連結金具６０の両端部をそれぞれ差し込むことで、隣接するブロック３０´´同士を連結するようになっている。
【００５０】
また、図１０（Ｂ）に示すように、各ブロック３０´´には、連結金具６０の両端部を隣り合う一対の開口部３５にそれぞれ差し込んだときに、その長手部分を収納する溝部３６も形成されている。
このような構成であれば、グレーチング本体１０の凹部１２内で、ブロック３０´´同士を互いに離れないようにすることができる。また、連結金具６０のブロック３０´´表面からの突出を無くすことができるので、例えば作業者の連結金具６０への躓き等も防止することができる。この第５実施形態では、連結金具６０と、開口部３５とが本発明の「連結手段」に対応し、グレーチング５００が本発明の「クリーンルームの床面」に対応している。
（６）第６実施形態
図１１は、第６実施形態に係るグレーチング６００の構成例を示す断面図である。図１１において、図５（Ａ）及び（Ｂ）に示したグレーチング３００（第３実施形態）と構成上異なる点は、ブロックの下側と、グレーチング本体の凹部底面とにそれぞれ係合可能な凹凸が設けられている点である。その他の構成は、第３実施形態と同じである。
【００５１】
図１１に示すように、このグレーチング６００は、グレーチング本体１０´と、１個又は２個以上のブロック７０とを有する。
これらの中で、ブロック７０下側の全面には断面視で凹凸状の下面が設けられている。
また、凹部１２´の底面も、その断面視での形状は凹凸状である。そして、このグレーチング６００では、図１１に示すように、ブロック７０の下面の凹凸と、凹部１２´底面の凹凸とが噛み合う（係合しあう）ようになっている。
【００５２】
このような構成であれば、上記噛み合った凹凸がブロック７０の水平方向に加わる力に対して抵抗として補助的に働くので、凹部１２´内に配置されたブロック７０の水平方向への移動をより強く防止することができる。この第６実施形態では、グレーチング６００が本発明の「クリーンルームの床面」に対応している。
なお、上記第１〜第６実施形態では、アジャスタボルト５０の台座５５をグレーチング上に直接配置する場合について説明した。しかしながら、例えば、図５（Ｂ）において、凹部１２内の台座５５が配置される領域上に薄いゴム板（すべり止めの一例）を載せ、このゴム板の上に台座５５を載せても良い。このような構成であれば、台座５５の水平方向への移動をゴム板で抑制することができる。従って、例えば地震発生時に、台座５５がブロック３０に加わる水平方向の力を弱めることが可能である。
【００５３】
また、上記第１〜第６実施形態では、例えば地震発生時に台座５５の横ズレを防止することができるが、台座５５の真上方向への移動（即ち、飛び上がり）は防ぐことができない。そこで、例えば、図１２に示すように、グレーチング本体１０の凹部１２内に、アジャスタボルト５０の台座５５とブロック３０とを配置した後で、台座５５の少なくとも一部とブロック３００とを例えばステンレス製の板８０で覆う。そして、これらを覆ったステンレス製の板８０をグレーチング本体１０の周縁部１４上に固定すると良い。この固定は、例えばネジを用いて行う。
【００５４】
このような構成であれば、台座５５の横ズレだけでなく、真上方向への移動も防ぐことができるので、製造装置の転倒防止に極めて効果的である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】第１実施形態に係るグレーチング１００の構成例を示す図。
【図２】第２実施形態に係るグレーチング２００の構成例を示す図。
【図３】グレーチング本体１０の構成例を示す図。
【図４】グレーチング２００への台座５５の配置例を示す図。
【図５】第３実施形態に係るグレーチング３００の構成例を示す図。
【図６】グレーチング３００の梁１３０への固定例を示す図。
【図７】グレーチング３００の他の構成例（その１）を示す図。
【図８】グレーチング３００の他の構成例（その２）を示す図。
【図９】第４実施形態に係るグレーチング４００の構成例を示す図。
【図１０】第５実施形態に係るグレーチング５００の構成例を示す図。
【図１１】第６実施形態に係るグレーチング６００の構成例を示す図。
【図１２】台座５５の固定方法の一例を示す図。
【図１３】従来例に係る製造装置９０のグレーチング９９への固定方法を示す図。
【符号の説明】
【００５６】
４，１４  周縁部、５，１２，１２´、２４〜２７  凹部、６，１３，１０，１０´  グレーチング本体、３１  貫通穴、７，１５，２９  内壁、３０，３０´，３０´´，７０  （大）ブロック、３２，９９ａ  側面、３５  開口部、３６  溝部、４０  小ブロック、５０  アジャスタボルト、５５  台座、６０  連結金具、８０  ステンレス製の板、１００，２００，３００，４００，５００，６００  グレーチング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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