(57)【要約】  【課題】  ダンパー室と共通インク室との対向面積を大きくする。  【解決手段】  インクを吐出するノズル８に連通している圧力室１０と、複数の圧力室１０と連通していると共に複数の突出部８０を有する副マニホールド５ａとを含む流路ユニット４を備えている。突出部８０は、副マニホールド５ａにおいて、流路ユニット４の厚さ方向に沿った内壁面５ｃにおける、流路ユニット４におけるアクチュエータユニット２１との接着面４ｂに平行なアクチュエータユニット２１側の内壁面５ｂに連続した領域から外側に向かって突出している。突出部８０は、副マニホールド５ａの延在方向に沿って千鳥状に配列していると共に、連通孔６８及びアパーチャ１３を介して圧力室１０と連通している。【選択図】  図６
2006062259.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれがノズルに連通していると共に平面に沿って形成された複数の圧力室、複数の前記圧力室に連通していると共に前記平面に平行な一方向に延在している共通インク室、前記共通インク室における前記平面に平行な第１の内壁面の少なくとも一部を構成する第１の薄膜部、前記第１の薄膜部を介して前記共通インク室と隣接する第１のダンパー室、及び、前記圧力室と前記共通インク室と連通している複数の連通通路を含んでいる流路ユニットと、
それぞれが対応する前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与する複数のアクチュエータとを備えており、
前記共通インク室が、前記第１の内壁面と交差する第２の内壁面から外側に向かって突出した突出部を有しており、
前記連通通路の一端が前記突出部において前記共通インク室と連通していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記第２の内壁面が前記第１の内壁面との間で互いに共有する交線を形成し、
前記突出部が、前記第２の内壁面における前記第１の内壁面に連続した領域から外側に向かって突出していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記共通インク室が、前記共通インク室の延在方向に沿って配列された複数の前記突出部を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記共通インク室が、前記第１の内壁面を有する第１のプレート及び当該第１のプレートに隣接し前記第２の内壁面の一部を構成する第２のプレートを加えた複数のプレートが積層して構成されており、
前記突出部が少なくとも前記第２のプレートに形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
それぞれがノズルに連通していると共に平面に沿って形成された複数の圧力室、複数の前記圧力室に連通していると共に前記平面に平行な一方向に延在している共通インク室、前記共通インク室における前記平面に平行な第１の内壁面の少なくとも一部を構成する第１の薄膜部、前記第１の薄膜部を介して前記共通インク室と隣接する第１のダンパー室、及び、前記圧力室と前記共通インク室と連通している複数の連通通路を含んでいる流路ユニットと、
それぞれが対応する前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与する複数のアクチュエータとを備えており、
前記共通インク室が、前記第１の内壁面と交差する第２の内壁面から外側に向かって突出しており、且つ、前記一方向に沿って配列された複数の突出部を有しており、
前記連通通路の一端が前記突出部において前記共通インク室と連通しており、
前記突出部が、前記第２の内壁面における前記第１の内壁面側の端部から反対側の端部に亘って形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
２つの前記第２の内壁面が対向するように配置されていると共に、それぞれの前記第２の内壁面が複数の前記突出部を有しており、
前記共通インク室の平面視において、複数の前記突出部が千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記一方向に直交する前記共通インク室の断面が矩形状を有していることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記突出部と前記連通通路との境界にある連通口が、前記平面と平行であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記共通インク室の平面視において、前記突出部の内壁面が弧を描くように湾曲していることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記流路ユニットが、前記共通インク室における前記第１の内壁面と対向する第３の内壁面を有しており、当該第３の内壁面の少なくとも一部を構成する第２の薄膜部、及び前記第２の薄膜部を介して前記共通インク室と隣接する第２のダンパー室をさらに含んでいることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクを吐出するノズル孔を備えたインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等において、インクタンクから供給されたインクを、共通インク室を介して複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することにより当該圧力室に連通しているノズルからインクを吐出するものである。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、圧電性のセラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータが用いられることがある。アクチュエータが駆動されると、当該アクチュエータに対応する圧力室に圧力が発生する。圧力室に発生した圧力により、圧力室内のインクがノズルから吐出される。このとき、圧力室で発生した圧力の一部が共通インク室に伝播する。共通インク室に伝播した圧力は、これに連通している他の圧力室にさらに伝播してこれに連通するノズルからのインク吐出特性を乱すことがある。
【０００３】
そこで、インクジェットヘッドにおいて、共通インク室（インク貯溜室）に隣接するように形成されたダンパー室を備える技術が知られている（特許文献１参照）。これによると、圧力室から共通インク室に伝播した圧力がダンパー室により減衰されるため、不要な圧力が他の圧力室に伝播しにくくなる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−０３６５３９号公報（図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した技術においては、ダンパー室と共通インク室との対向面積が大きいほど共通インク室内に伝播した圧力を効率よく減衰させることができる。しかしながら、インクジェットプリンタにおいては、高速印字、画像品質向上の要望に基づいてインクジェットヘッドの小型化やノズル及び圧力室の高密度化が進んでいるため、ダンパー室と共通インク室との対向面積を十分に確保することが困難となっている。
【０００６】
本発明の主たる目的は、ダンパー室と共通インク室との対向面積を大きくすることができるインクジェットヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００７】
本発明のインクジェットヘッドは、それぞれがノズルに連通していると共に平面に沿って形成された複数の圧力室、複数の前記圧力室に連通していると共に前記平面に平行な一方向に延在している共通インク室、前記共通インク室における前記平面に平行な第１の内壁面の少なくとも一部を構成する第１の薄膜部、前記第１の薄膜部を介して前記共通インク室と隣接する第１のダンパー室、及び、前記圧力室と前記共通インク室と連通している複数の連通通路を含んでいる流路ユニットと、それぞれが対応する前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与する複数のアクチュエータとを備えている。そして、前記共通インク室が、前記第１の内壁面と交差する第２の内壁面から外側に向かって突出した突出部を有している。さらに、前記連通通路の一端が前記突出部において前記共通インク室と連通している。
【０００８】
本発明によると、共通インク室と圧力室とが外側に突出した突出部において連通通路を介して連通するため、第１のダンパー室と共通インク室との対向面積を大きくすることができる。これにより共通インク室内に発生した不要な圧力を第１のダンパー室で効率よく減衰させることができる。
【０００９】
本発明においては、前記第２の内壁面が前記第１の内壁面との間で互いに共有する交線を形成し、前記突出部が、前記第２の内壁面における前記第１の内壁面に連続した領域から外側に向かって突出していることが好ましい。これによると、共通インク室内に滞留した空気が突出部に移動しやすくなるため、滞留した空気を圧力室及びノズルを介して効率よく排出することができる。
【００１０】
また、本発明においては、前記共通インク室が、前記共通インク室の延在方向に沿って配列された複数の前記突出部を有していることが好ましい。これによると、第１のダンパー室における共通インク室と対向する領域をさらに大きくすることができる。
【００１１】
さらに、本発明においては、前記共通インク室が、前記第１の内壁面を有する第１のプレート及び当該第１のプレートに隣接し前記第２の内壁面の一部を構成する第２のプレートを加えた複数のプレートが積層して構成されており、前記突出部が少なくとも前記第２のプレートに形成されていることが好ましい。これによると、流路ユニットの剛性を損なうことがない。また、簡単な構成で突出部を形成することができる。
【００１２】
別の観点において、本発明のインクジェットヘッドは、それぞれがノズルに連通していると共に平面に沿って形成された複数の圧力室、複数の前記圧力室に連通していると共に前記平面に平行な一方向に延在している共通インク室、前記共通インク室における前記平面に平行な第１の内壁面の少なくとも一部を構成する第１の薄膜部、前記第１の薄膜部を介して前記共通インク室と隣接する第１のダンパー室、及び、前記圧力室と前記共通インク室と連通している複数の連通通路を含んでいる流路ユニットと、それぞれが対応する前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与する複数のアクチュエータとを備えている。そして、前記共通インク室が、前記第１の内壁面と交差する第２の内壁面から外側に向かって突出しており、且つ、前記一方向に沿って配列された複数の突出部を有している。さらに、前記連通通路の一端が前記突出部において前記共通インク室と連通している。加えて、前記突出部が、前記第２の内壁面における前記第１の内壁面側の端部から反対側の端部に亘って形成されている。
【００１３】
本発明によると、共通インク室と圧力室とが外側に突出した突出部において連通通路を介して連通するため、第１のダンパー室と共通インク室との対向面積を大きくすることができる。これにより共通インク室内に発生した不要な圧力を第１のダンパー室で効率よく減衰させることができる。また、共通インク室の容積を大きくすることができるため、共通インク室内のインクを効率よく流すことができる。
【００１４】
本発明においては、２つの前記第２の内壁面が対向するように配置されていると共に、それぞれの前記第２の内壁面が複数の前記突出部を有しており、前記共通インク室の平面視において、複数の前記突出部が千鳥状に配置されていることが好ましい。これによると、圧力室やノズルを効率よく配置することができる。また、第１のダンパー室における共通インク室と対向する領域をさらに大きくすることができる。
【００１５】
本発明においては、前記一方向に直交する前記共通インク室の断面が矩形状を有していることが好ましい。これによると、共通インク室を容易に形成することができるため、インクジェットヘッドの製造コストを低減することができる。
【００１６】
また、本発明においては、前記突出部と前記連通通路との境界にある連通口が、前記平面と平行であることが好ましい。これによると、共通インク室内に滞留した空気を、圧力室及びノズルを介してより効率よく排出することができる。
【００１７】
さらに、本発明においては、前記共通インク室の平面視において、前記突出部の内壁面が弧を描くように湾曲していることが好ましい。これによると、突出部におけるインクの流れをスムーズにすることができる。
【００１８】
加えて、本発明においては、前記流路ユニットが、前記共通インク室における前記第１の内壁面と対向する第３の内壁面を有しており、当該第３の内壁面の少なくとも一部を構成する第２の薄膜部、及び前記第２の薄膜部を介して前記共通インク室と隣接する第２のダンパー室をさらに含んでいることが好ましい。これによると、共通インク室内に発生した不要な圧力をより一層効率よく減衰させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。図２は、図１のII−II線における断面図であり、インクジェットヘッドを構成するホルダにヘッド本体が組み付けられた状態を示している。図３は、図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。インクジェットヘッド１は、シリアル式のインクジェットプリンタ（図示略）に用いられて、副走査方向に平行に搬送されてきた用紙に対してマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックの４色のインクを吐出して記録するものである。図１及び図２に示すようにインクジェットヘッド１は、４色のインクをそれぞれ貯溜する４つのインク室３が形成されたインクタンク７１と、このインクタンク７１の下方に配置されたヘッド本体７０と、ヘッド本体７０に貼り付けられた信号伝送基板となるフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）５０とを備えている。
【００２１】
インクタンク７１の内部には、４つのインク室３が主走査方向に並んで形成されており、図２中左方のインク室３からマゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクが順に貯溜されている。これら４つのインク室３は、対応するインクカートリッジ（図示せず）がチューブ４０（図１参照）によってそれぞれ接続されており、インクカートリッジからインク室３に各色のインクが供給されるようになっている。また、図２及び図３に示すようにインクタンク７１が、平面矩形形状の補強板４１に組み付けられている。この補強板４１は、略直方体形状を有するホルダ７２に紫外線型硬化剤４３で固着されている。さらに、この補強板４１には図３に示すように、平面形状が長方形形状の開口部４２が形成されており、この開口部４２内に後述のアクチュエータユニット（圧電アクチュエータ）２１を配置するようにしてヘッド本体７０が接着固定されている。インクタンク７１の下端部には、４つのインク室３にそれぞれ連通する４つのインク導出口３ａが形成されている。一方、補強板４１には、図３に示すように、４つのインク導出口３ａとそれぞれ連なる平面形状が楕円形状の４つの貫通孔４１ａが形成されている。
【００２２】
ヘッド本体７０は、それぞれの色ごとに複数のインク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着されたアクチュエータユニット２１とを含んでいる。流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成であり、これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１はインクタンク７１の下方に配置されている。流路ユニット４の上面には、平面形状が楕円形状の４つのインク供給口４ａ（図４参照）が形成されている。また、図３に示すように補強板４１には、補強板４１に形成された貫通孔４１ａと流路ユニット４に形成されたインク供給口４ａとがそれぞれ連なるようにして流路ユニット４が接着されている。この構成により、インクタンク７１内の４種類のインクが、インクタンク７１に形成された４つのインク導出口３ａ及び補強板４１に形成された４つの貫通孔４１ａを通ってそれぞれに対応する流路ユニット４の４つのインク供給口４ａから流路ユニット４内に供給されている。
【００２３】
また、ヘッド本体７０は、流路ユニット４のインク吐出面７０ａを外部に露出する状態で、補強板４１がホルダ７２の下面に形成された段付き状の開口部７２ａに装着されており、ホルダ７２と流路ユニット４との間はシール剤７３により封止されている。また、ヘッド本体７０の底面は微小径を有する多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出面７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、ＦＰＣ５０が熱硬化性接着剤５６（図８参照）によって固着され、主走査方向の一方に引き出されるとともに、屈曲しながら上方に引き出されている。さらに、このＦＰＣ５０の上面には、ＦＰＣ５０及びアクチュエータユニット２１を保護する保護プレート４４が貼付されている。この保護プレート４４は、アクチュエータユニット２１に生じる温度分布を均一化し、インクの吐出特性をそろえる働きをしている。
【００２４】
アクチュエータユニット２１に固着されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材７４を介してインクタンク７１の側面に沿うように引き出され、このＦＰＣ５０上にドライバＩＣ７５が設置されている。ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ７５から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、電気的に接続されている。
【００２５】
図２において、ホルダ７２のドライバＩＣ７５に対向する側壁には、ドライバＩＣ７５の熱を外部に放散する為の開口部７２ｂが形成されている。さらに、ドライバＩＣ７５とホルダ７２の開口部７２ｂとの間には、略直方体形状のアルミ板からなるヒートシンク７６がドライバＩＣ７５に密着するように配置されている。これらヒートシンク７６及び開口部７２ｂにより、ドライバＩＣ７５で発生した熱を効率的に散逸させることができる。また、開口部７２ｂ内には、ホルダ７２の側壁とヒートシンク７６の隙間を埋めるためのシール剤７７が配置されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。
【００２６】
図４は、ヘッド本体７０の平面図である。図４に示すように、ヘッド本体７０は流路ユニット４の一方向（副走査方向）に延在した矩形平面形状を有している。図４において、流路ユニット４内には、流路ユニット４の長手方向に沿って互いに平行に延在された４つのマニホールド流路５が形成されている。これらマニホールド流路５には、流路ユニット４の４つのインク供給口４ａを通じてインクタンク７１のインク室３からそれぞれインクが供給される。本実施の形態では、図４中上方に示すマニホールド流路５から下方に向かって順にマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックに対応するマニホールド流路５Ｍ、５Ｙ、５Ｃ、５Ｋが形成されている。さらに、後述するように、各マニホールド流路５Ｍ、５Ｙ、５Ｃ、５Ｋは、２本の副マニホールド５ａに分岐している（図５参照）。また、流路ユニット４の上面であって４つのインク供給口４ａを覆う位置には、フィルタ部材４５が配置されている。フィルタ部材４５は、各インク供給口４ａと重なる位置に複数の微小孔が形成されたフィルタ４５ａを有している。こうして、インクタンク７１から流路ユニット４内に供給されるインク内のゴミなどがフィルタ部材４５のフィルタ４５ａによって捕獲される。
【００２７】
流路ユニット４の上面には、平面形状が長方形形状のアクチュエータユニット２１が、インク供給口４ａを避けたほぼ中央部分に接着されている。アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着領域と対応する流路ユニット４の下面は、多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出領域となっている。アクチュエータユニット２１に対向する流路ユニット４の接着領域には、マトリクス状に配列された多数の圧力室１０（図６参照）及び空隙６０（図５参照）が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット２１はすべての圧力室１０及び空隙６０に跨る寸法を有している。
【００２８】
図５は、図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。流路ユニット４には、複数の圧力室１０がマニホールド流路５（副マニホールド５ａ）と平行に配列された１６本の圧力室列１１と、多数の空隙６０が圧力室列１１と平行に配列された４本の空隙列６１とが形成されている。１６本の圧力室列１１は、隣接して形成された４本の空隙列６１の集団によって、１２本の集団と４本の集団とに隔てられている。図５に示すように、圧力室１０及び空隙６０は平面形状及びサイズが同じである。多数の圧力室１０及び空隙６０は、両者を区別のないものと考えたときに、流路ユニット４において１つの配列パターンが形成されるように規則的に配列されている。
【００２９】
マニホールド流路５Ｍ、５Ｙ、５Ｃ、５Ｋはそれぞれ圧力室列１１と平行に延在している２本の副マニホールド５ａに分岐している。副マニホールド５ａは、平面視における幅方向の両内壁面５ｂ、５ｃから外側に向かって突出していると共に、延在方向に沿って千鳥状に配列されている多数の突出部８０を備えている。後述するように、各突出部８０は１つの圧力室１０に対応しており、突出部８０と圧力室１０とがアパーチャ１３及び連通孔６８を介して連通している。また、流路ユニット４の平面視において、突出部８０の内壁面が弧を描くように湾曲している。本実施の形態では、図６に示すように、連通孔６８と突出部８０とは、副マニホールド５ａから一番離れた位置でそれぞれの内壁面が一致するように配設されている。また、突出部８０が曲面状内壁面を有していることより、例えば、気泡が副マニホールド５ａ中に流入するようなことがあっても、突出部８０のような凹部に入り込みやすい気泡は、容易に連通孔６８を介して外部に排出される。
【００３０】
流路ユニット４に形成された圧力室１０は、角部にアールが施された略菱形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向（主走査方向）に平行である。各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチャ１３を介して副マニホールド５ａに連通している。これにより、各副マニホールド５ａには、ノズル８に連通して圧力室１０毎に形成された多数の個別インク流路７（図６参照）が接続されている。図５には、図面を分かりやすくするために流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０、空隙６０、アパーチャ１３及びノズル８等を実線で描いている。
【００３１】
図６は、個別インク流路７を示す断面図であり、図５に示すVI−VI線に沿った断面図である。図７は、図６に示すVII−VII線に沿って副マニホールド５ａの延在方向に切断した断面図である。図６から分かるように、各ノズル８は、圧力室１０、アパーチャ（すなわち絞り）１３及び連通孔６８（アパーチャ１３及び連通孔６８で連通通路を構成）を介して副マニホールド５ａと連通している。副マニホールド５ａは矩形断面形状を有していると共に、突出部８０を有している。すなわち、副マニホールド５ａは、流路ユニット４とアクチュエータユニット２１との接着面(平面）４ｂに平行に配設された一対の内壁面(第１の内壁面)５ｂと、この内壁面５ｂと交差する一対の内壁面(第２の内壁面)５ｃとを有している。なお、本実施の形態では、内壁面５ｃは、流路ユニット４の厚さ方向に沿って配設されている。さらに、突出部８０は、内壁面５ｃにおける、内壁面５ｂに連続した領域から外側に内かって突出している。そのため、突出部８０は、副マニホールド５ａにおいて、重力方向最上部の側壁(内壁面５ｃ)からほぼ水平方向に突出するように形成されている。そして、突出部８０は、アクチュエータユニット２１側に形成されている連通口６９を介して連通孔６８と連通している。連通孔６８はさらにアパーチャ１３に連通している。連通口６９は、流路ユニット４の接着面４ｂと平行になるように形成されている。そして、副マニホールド５ａの突出部８０の連通口６９から連通孔６８、アパーチャ１３、及び圧力室１０を経てノズル８に至る１つの流路が構成されている。このようにして、ヘッド本体７０には、個別インク流路７が圧力室１０ごとに形成されている。
【００３２】
また、副マニホールド５ａの内壁面５ｂの一部を構成する上部薄膜部（第１の薄膜部）８１ａを介して副マニホールド５ａに隣接するように上部ダンパー室（第１のダンパー室）８１が形成されている。図７に示すように、上部ダンパー室８１は副マニホールド５ａに沿って一方向に延在している。また、上部ダンパー室８１の幅方向の両側には連通孔６８が千鳥状に配列されている。なお、本実施の形態では、上部薄膜部８１ａにより形成される上部ダンパー室８１と、連通孔６８とが連通してしまうことを防ぐために、両者問は所定の間隙を介する必要がある。そのため、連通孔６８の配設位置に対応して、一部が上部薄膜部８１ａの幅を狭くするように突出している。その分、上部ダンパー室８１が狭くなっている。もちろん、要求される個別インク流路７の配設密度との兼ね合いではあるが、より大きなダンパー効果を得るという観点からは、上部ダンパー室８１を副マニホールド５ａの平面視と同程度の面積とすることが有効である。この場合、例えば、突出部８０の突出量を本実施の形態よりも大きくすればよい。さらに、上部薄膜部８１ａに対向する内壁面（第３の内壁面）の一部を構成する下部薄膜部（第２の薄膜部）８２ａを介して副マニホールド５ａに隣接するように下部ダンパー室（第２のダンパー室）８２が形成されている。下部ダンパー室８２も上部ダンパー室８１と同じように、副マニホールド５ａに沿って一方向に延在している。また、下部ダンパー室８２は、平面視において、副マニホールド５ａと相似形状でほぼ同じ面積に形成されている。したがって、上部ダンパー室８１及び下部ダンパー室８２は、副マニホールド５ａを挟んで互いに対向するように配置されている。
【００３３】
ヘッド本体７０は、図６に示すように、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、上部ダンパープレート（第１のプレート）６６、マニホールドプレート（第２のプレート）２６、２７〜２９、下部ダンパープレート６７、及びノズルプレート３０の合計１２枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた１１枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。
【００３４】
アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート３１〜３４（図８参照）の積層体である。そのうちの最上層だけが電界印加時に活性部となる部分を有する層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り３層が活性部を有しない非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０及び空隙６０を構成する菱形の孔が、アクチュエータユニット２１の貼付範囲（接着領域）内に多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１３との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００３５】
アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３と連通する連通孔６８の一部となる孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００３６】
上部ダンパープレート６６は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３と連通する連通孔６８の一部となる孔、圧力室１０からノズル８への連絡孔、及び上部ダンパー室８１の一部となる凹部がそれぞれ設けられた金属プレートである。つまり、サプライプレート２５、及び上部ダンパープレート６６の孔により連通孔６８が形成される。また、上部ダンパー室８１の一部となる凹部の底部は上部薄膜部８１ａとなる。
【００３７】
マニホールドプレート２６〜２９は、副マニホールド５ａの一部となる孔と、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔とが設けられた金属プレートである。なお、マニホールドプレート２６の副マニホールド５ａの一部となる孔には、突出部８０となる部分が含まれている。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。下部ダンパープレート６７は、下部ダンパー室８２の一部となる凹部がそれぞれ設けられた金属プレートである。下部ダンパー室８２となる凹部の底部は下部薄膜部８２ａとなる。
【００３８】
これら１２枚のシート２１〜３０、６６、６７は、図６に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路７は、副マニホールド５ａから連通孔６８を通って上方へ向かい、アパーチャ１３において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１３から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。
【００３９】
図６から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１３とは異なるレベルに設けられている。これにより、図５に示すように、流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１３を、当該圧力室に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。
【００４０】
図５に戻って、各圧力室１０は、その長い対角線の一端においてノズル８に連通していると共に、長い対角線の他端においてアパーチャ１３を介して副マニホールド５ａに連通している。後述するように、アクチュエータユニット２１上には、平面形状がほぼ菱形で圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５（図８参照）が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図５には、図面を簡略にするために、複数の個別電極３５のうちの１つだけを描いている。
【００４１】
また、キャビティプレート２２に形成された複数の空隙６０は、キャビティプレート２２に形成された圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する孔がアクチュエータユニット２１及びベースプレート２３によって塞がれることによって画定されている。そのため、空隙６０にはインク流路が接続されておらず、複数の空隙６０はインクで満たされることがない。複数の空隙６０は、配列方向Ａ（副走査方向）及び配列方向Ｂの２方向に千鳥状配列パターンでマトリクス状に隣接配置されている。複数の空隙６０は、互いに平行な４列の空隙列６１を形成しており、それら４列の空隙列６１によって空隙群６２が構成されている。この空隙群６２を挟むようにして複数の圧力室１０が流路ユニット４に形成されている。
【００４２】
なお、本実施の形態では、圧力室１０も空隙６０もその形状、サイズ、配置状態に区別なく形成されている。そして、全体的には、圧力室１０と空隙６０とが、配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向に千鳥状配列パターンでマトリクス状に隣接配置されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向、すなわち流路ユニット４の延在方向であって、圧力室１０の短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす圧力室１０の一斜辺方向である。
【００４３】
マトリクス状に配置された多数の圧力室１０は、図５に示す配列方向Ａに沿って、複数の圧力室列１１を形成している。複数の圧力室列１１は、第３の方向から見て、各マニホールド流路５との相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の幅方向における一方から他方（図５中下方から上方）に向けて、１１ａ→１１ｃ→１１ｂ→１１ｄ→１１ａ→１１ｃ→１１ｂ→１１ｄ→・・という順番で周期的に４個ずつ配置されている。なお、これら周期的に４個ずつ配置された第１〜第４の圧力室列毎に４つの圧力室群１２が形成されており、各圧力室群１２の圧力室１０が各マニホールド流路５とそれぞれアパーチャ１３を介して連通している。つまり、各圧力室群１２は各マニホールド流路５毎に形成されているため、４色のインクに対応するように圧力室群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋに分けられる。これら４つの圧力室群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋのそれぞれに属する圧力室１０がアクチュエータユニット２１によって容積変化されることで４色のインクを各圧力室群１２と連通したノズル８から吐出することが可能になる。また、各圧力室群１２において、これに対応するノズル８の走査方向の射影が互いに重ならないようになっている。例えば、本実施の形態では、ノズル８は１５０ｄｐｉの解像度による印字を可能とするため、各圧力室群１２におけるノズル８の走査方向の射影が３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔されている。
【００４４】
圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び圧力室列１１ｃを構成する圧力室１０ｃは同じ副マニホールド５ａに連通している。また、圧力室列１１ｂを構成する圧力室１０ｂ及び圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄは同じ副マニホールド５ａに連通している。そして、各圧力室１０は、副マニホールド５ａにおける幅方向の一方の内壁面５ｃから突出している突出部８０にアパーチャ１３及び連通孔６８を介して連通していると共に、他方の内壁面５ｃの外側に配置されているノズル８に連通している。また、ノズル８は、平面視において、他の副マニホールド５ａの突出部８０同士の間に配置されている。
【００４５】
次に、アクチュエータユニット２１及びＦＰＣ５０の構成について説明する。アクチュエータユニット２１上には、圧力室１０と同じ配列パターンで多数の個別電極３５がマトリクス状に配置されている。各個別電極３５は、平面視において圧力室１０と対向する位置に配置されている。このように複数の圧力室１０及び個別電極３５が規則正しく配置されていることで、設計が容易になる。
【００４６】
図８は、アクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。なお、図８には、図面を分かりやすくするためにＦＰＣ５０内にあって破線で描くべき端子部４８ａ及び配線４８ｂなどを実線で描いている。図８（ａ）、（ｂ）に示すように、個別電極３５は圧力室１０と対向する位置に配置されており、平面視において圧力室１０の平面領域内に形成された主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ圧力室１０の平面領域外に形成された補助電極領域３５ｂとから構成されている。
【００４７】
図８（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度に形成された４枚の圧電シート３１〜３４を含んでいる。これら圧電シート３１〜３４は、ヘッド本体７０内のインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０及び空隙６０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート３１〜３４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００４８】
最上層の圧電シート３１上に形成された個別電極３５の主電極領域３５ａは、図８（ｂ）に示すように、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の主電極領域３５ａにおける図８（ｂ）中左側の一鋭角部は、圧力室１０の一鋭角部と重なる領域に延出され、補助電極領域３５ｂとつながっている。補助電極領域３５ｂの先端には、個別電極３５と電気的に接続された円形のランド部３６が設けられている。このランド部３６は、後述の接合部となる端子部４８ａと電気的に接続される端子となっている。図８（ｂ）に示すように、ランド部３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向しており、その直径が約０．３ｍｍ、厚さは約１０μｍとなっている。ランド部３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図８（ａ）に示すように、補助電極領域３５ｂにおける表面上に形成されている。
【００４９】
最上層の圧電シート３１とその下側の圧電シート３２との間には、圧電シート３１と同じ外形及び略２μｍの厚みを有する共通電極３７が介在している。個別電極３５及び共通電極３７は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。
【００５０】
共通電極３７は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３７は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。
【００５１】
図８（ａ）に示すようにＦＰＣ５０は、ベースフィルム（フレキシブル層）４６と、ベースフィルム４６の下面（ヘッド本体７０に対向する面）に形成された導体パターン４７とを有している。ベースフィルム４６は、可撓性及び絶縁性を有したポリイミド樹脂フィルム等からなる。また、導体パターン４７は銅箔から形成されている。
【００５２】
導体パターン４７は、ベースフィルム４６のランド部３６と対向する位置に形成された複数の端子部４８ａと、各端子部４８ａの下端中央からＦＰＣ５０の基端側に向かって引き出された配線４８ｂとを有している。端子部４８ａは、円形平面形状に形成されている。なお、端子部４８ａの表面には、端子部４８ａの酸化防止とランド部３６に対する確実な導通を確保するために金メッキ（不図示）が施されている。
【００５３】
複数の配線４８ｂは、ＦＰＣ５０の基端側においてドライバＩＣ７５とそれぞれ接続されている。ベースフィルム４６において、ランド部３６に対向する領域の一部は、ランド部３６の中心に向かって突出する凸部５１が形成されている。端子部４８ａに、凸部５１に対向するように、端子部４８ａの中央部分からランド部３６の中心に向かって突出した突出部５５が形成されている。
【００５４】
突出部５５の周囲には、非導電性材料からなるエポキシ系の熱硬化性接着剤５６が配置されており、その熱硬化性接着剤５６の硬化に伴う収縮力によって突出部５５の先端が、ランド部３６の表面と接触して押しつぶされたようになっている。これによって端子部４８ａとランド部３６とが電気的に接続された状態となる。このような構成により、ＦＰＣ５０はドライバＩＣ７５からの駆動信号を配線４８ｂ及び端子部４８ａを介して個別電極３５にそれぞれ伝送することが可能になる。つまり、複数の個別電極３５の夫々が、ＦＰＣ５０における独立した端子部４８ａ及び配線４８ｂを介してドライバＩＣ７５に接続される。これにより、圧力室１０毎にインクの吐出制御をすることが可能になる。
【００５５】
次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート３１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート３１を活性部が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート３２〜３４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を接地電位に対して正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート３１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性部として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。
【００５６】
本実施の形態では、圧電シート３１において個別電極３５と共通電極３７とによって挟まれた部分は、電界が印加されると圧電効果によって歪みを発生する活性部として働く。一方、圧電シート３１の下方にある３枚の圧電シート３２〜３４は、外部から電界が印加されることが無く、そのために活性部としてほとんど機能しない。したがって、圧電シート３１において主に主電極領域３５ａと共通電極３７とによって挟まれた部分が、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。
【００５７】
一方、圧電シート３２〜３４は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート３１と下層の圧電シート３２〜３４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート３１〜３４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図８（ａ）に示したように、圧電シート３１〜３４で構成されたアクチュエータユニット２１の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート）２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート３１〜３４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３７と同じ電位に戻すと、圧電シート３１〜３４は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド流路５側から吸い込む。
【００５８】
なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３７と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３７と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３７と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３７とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート３１〜３４が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクがマニホールド流路５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３７と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート３１〜３４が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。こうして、ノズル８からインクが吐出されると共に、インクジェットヘッド１が適宜、主走査方向に移動され用紙に所望画像が印刷される。
【００５９】
以上説明した第１の実施の形態によると、副マニホールド５ａと圧力室１０とが副マニホールド５ａの外側に向かって突出している突出部８０において連通するため、上部ダンパー室８１における副マニホールド５ａと対向する領域を大きくすることができる。これにより、副マニホールド５ａ内に発生した不要な圧力を上部ダンパー室８１で効率よく減衰させることができる。
【００６０】
また、突出部８０が、副マニホールド５ａの内壁面５ｃにおける、内壁面５ｂに連続した領域から外側に向かって突出しているため、副マニホールド５ａ内に滞留した空気が突出部８０に移動しやすくなる。これにより、滞留した空気を圧力室１０及びノズル８を介して効率よく排出することができる。
【００６１】
さらに、マニホールドプレート２６の孔が突出部８０を形成するため、流路ユニット４の剛性を損なうことがない。また、簡単な構成で突出部８０を形成することができる。
【００６２】
加えて、突出部８０が、副マニホールド５ａの延在方向に沿って千鳥状に配列されているため、圧力室やノズルを効率よく配置することができる。また、上部ダンパー室８１における副マニホールド５ａと対向する領域をより大きくすることができる。
【００６３】
また、副マニホールド５ａの断面が矩形状を有しているため、副マニホールド５ａを容易に形成することができる。これにより、インクジェットヘッド１の製造コストを低減することができる。
【００６４】
さらに、連通口６９が流路ユニット４におけるアクチュエータユニット２１との接着面４ｂと平行になるように形成されているため、副マニホールド５ａ内に滞留した空気を圧力室１０及びノズル８を介してより効率よく排出することができる。
【００６５】
加えて、流路ユニット４の平面視において、突出部８０の内壁面が弧を描くように湾曲しているため、突出部８０におけるインクの流れをスムーズにすることができる。
【００６６】
また、流路ユニット４が第２ダンパー室を備えているため、副マニホールド５ａ内に発生した不要な圧力をより一層効率よく減衰させることができる。
【００６７】
＜第２の実施の形態＞
次に、本発明に係る第２の実施の形態のインクジェットヘッドについて図９を参照しつつ説明する。尚、第１の実施の形態のインクジェットヘッド１と同一の部材については第１の実施の形態と同一の符号を付してその説明を省略する。図９は、第２の実施の形態であるインクジェットヘッドが備えているヘッド本体１７０の流路ユニット１０４における個別インク流路を示す断面図である（図５に示すVI−VI線に沿った断面図に相当）。
【００６８】
図９から分かるように、各ノズル８は、圧力室１０、アパーチャ１３及び連通孔６８（アパーチャ１３及び連通孔６８で連通通路を構成）を介して副マニホールド１０５ａと連通している。副マニホールド１０５ａは矩形断面形状を有していると共に、突出部１８０を有している。すなわち、副マニホールド１０５ａは、流路ユニット１０４とアクチュエータユニット２１との接着面(平面）１０４ｂに平行に配設された一対の内壁面（第１の内壁面）１０５ｂと、この内壁面１０５ｂと交差する一対の内壁面（第２の内壁面）１０５ｃとを有している。なお、本実施の形態では、内壁面１０５ｃにおいて、突出部１８０が、内壁面５ｃの内壁面１０５ｂに連続した領域から外側に向かって突出しているが、アクチュエータユニット２１側の端部から反対側の端部に亘って突出している点に特徴がある。そして、突出部１８０は、アクチュエータユニット２１側に形成されている連通口６９を介して連通孔６８と連通している。また連通口６９は、流路ユニット１０４の平面と平行になるように形成されている。そして、副マニホールド１０５ａの突出部１８０の連通口６９から連通孔６８、アパーチャ１３、圧力室１０を経てノズル８に至る１つの流路が構成されている。このようにして、ヘッド本体１７０には、個別インク流路７が圧力室１０ごとに形成されている。
【００６９】
ヘッド本体１７０は、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、上部ダンパープレート（第１のプレート）６６、マニホールドプレート（第２のプレート）２６、１２７〜１２９、下部ダンパープレート６７、及びノズルプレート３０の合計１２枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた１１枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。
【００７０】
アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、上部ダンパープレート６６、下部ダンパープレート６７、及びノズルプレート３０は、第１の実施の形態と同様であるため詳細な説明を省略する。
【００７１】
マニホールドプレート２６、１２７〜１２９は、突出部１８０となる部分を含んでいる副マニホールド５ａの一部となる孔と、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔とが設けられた金属プレートである。
【００７２】
これら１２枚のシート２１〜３０、６６、６７は、図６に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路７は、副マニホールド１０５ａから連通孔６８を通って上方へ向かい、アパーチャ１３において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１３から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。
【００７３】
以上説明した第２の実施の形態によると、副マニホールド５ａと圧力室１０とが突出部１８０において連通するため、簡単な構成で上部ダンパー室８１における副マニホールド１０５ａと対向する領域を大きくすることができる。また、副マニホールド１０５ａ内の容積を大きくすることができるため、副マニホールド１０５ａ内のインクをさらに効率よく流すことができる。
【００７４】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述した第１及び第２の実施の形態においては、突出部８０、１８０は、副マニホールド５ａ、１０５ａの内壁面５ｃ、１０５ｃにおける、内壁面５ｂ、１０５ｂに連続した領域の外側に向かって突出する構成であるが、このような構成に限定されるものではなく、突出部が、副マニホールドの流路ユニットの厚さ方向に沿った内壁面の任意の位置から突出する構成でもよい。
【００７５】
また、上述した第１の実施の形態においては、平面視のおいて、複数の突出部８０が千鳥状に配置される構成であるが、突出部は任意の位置で突出するように配置されてもよい。例えば、複数の突出部が互いに対向して突出するように配置されてもよい。また、突出部が１つであってもよい。なお、突出部が１つのときに、副マニホールドの延在方向に沿って突出部を長く形成することにより、副マニホールドの容量を大きくしてインクの流れをスムーズにすることができる。
【００７６】
さらに、上述した第１及び第２の実施の形態においては、副マニホールド５ａ、１０５ａが矩形状の断面を有する構成であるが、副マニホールド５ａ、１０５ａの断面形状は台形や６角形など任意のものであってよい。
【００７７】
加えて、上述した第１及び第２の実施の形態においては、連通口６９が流路ユニット４、１０４におけるアクチュエータユニット２１との接着面４ｂ、１０４ｂと平行となる構成であるが、連通口は任意の向きで構成されてよい。例えば、流路ユニットにおけるアクチュエータユニットとの接着面に対して垂直になるように構成されてもよい。
【００７８】
また、上述した第１及び第２の実施の形態においては、突出部８０、１８０の内壁面が湾曲する構成であるが、突出部の内壁面が湾曲しない構成でもよい。
【００７９】
さらに、上述した第１及び第２の実施の形態においては、下部ダンパー室８２を備える構成であるが、下部ダンパー室８２を備えない構成でもよい。
【００８０】
上述した第１及び第２の実施の形態においては、４色対応のインクジェットヘッド１について説明したが、各副マニホールドに異なる種類のインクを供給して８色対応のインクジェットヘッドにしてもよいし、全ての副マニホールドに同じ種類のインクを供給して単色対応のインクジェットヘッドにしてもよい。
【００８１】
さらに、上述した第１及び第２実施の形態においては、共通インク室となるマニホールド流路が４つ形成されているが、それ以上設けられていてもよい。また、各マニホールド流路が２つの副マニホールドに分岐する構成であるが、副マニホールドに分岐しなくてもよいし、３つ以上の副マニホールドに分岐してもよい。
【００８２】
また、上述した第１及び第２実施の形態におけるインクジェットヘッドは、シリアルタイプのインクジェットプリンタに適用されるものであるが、ラインタイプのインクジェットヘッドプリンタに適用されるインクジェットヘッドにも適用可能である。また、インクジェットヘッドは圧電方式のアクチュエータユニットによって駆動され、インクがノズルから吐出されるが、ＦＰＣから送られた信号によって各圧力室内のインクを加熱し、圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与する方式のインクジェットヘッドであっても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図２】図１のII−II線における断面図である。
【図３】図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。
【図４】図２に示すヘッド本体の平面図である。
【図５】図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図６】図５のVI−VI線に沿った断面図である。
【図７】図５のVII−VII線に沿った断面図である。
【図８】図６のアクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。
【図９】第２の実施の形態であるインクジェットヘッドが備えているヘッド本体の流路ユニットにおける個別インク流路を示す断面図である。
【符号の説明】
【００８４】
１  インクジェットヘッド
４  流路ユニット
４ｂ  接着面
５  マニホールド流路
５ａ  副マニホールド
５ｂ、５ｃ  内壁面
１３  アパーチャ
２１  アクチュエータユニット
３１〜３４  圧電シート
３５  個別電極
３６  ランド部
３７  共通電極
５０  ＦＰＣ
６９  連通口
８０  突出部
８１  上部ダンパー室
８１ａ  上部薄膜部
８２  下部ダンパー室
８２ａ  下部薄膜部
【図１】
2006062259.tif 000003
【図２】
2006062259.tif 000004
【図３】
2006062259.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006062259.tif 000009
【図８】
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【図９】
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