(57)【要約】  簡易な構成でインクの吐出不良を確実に検出する。【課題】【解決手段】  圧電素子１及び圧電素子２に駆動電圧Ｖｃが印加されると、差動増幅回路３は、Ａ点及びＢ点の差動電圧を検出し、この差動電圧を、Ａ／Ｄ変換器４を介して判定回路５に供給する。判定回路５は、差動電圧が閾値未満であるときは圧電素子１も圧電素子２も不良でないと判定し、差動電圧が閾値以上であるときは圧電素子１又は圧電素子２が不良であると判定する。【選択図】  図１
2006088577.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出液を吐出するための複数のノズルと、複数の前記ノズルから吐出する前記吐出液を収容するための複数の吐出液収容部と、前記ノズルから前記吐出液を吐出させるために前記吐出液収容部に圧力を加える複数の圧電素子と、を有するインクジェットヘッドを検査するインクジェットヘッド検査装置であって、
駆動電圧印加手段が各圧電素子に駆動電圧を印加したときに、検査対象となる２つのノズルに対応する各圧電素子について、各々の接地側電極又はその反対側電極の差動電圧を増幅する差動増幅手段と、
前記差動増幅手段により得られた差動電圧に基づいて、前記検査対象となる２つのノズルについて吐出液の吐出不良の有無を判定する判定手段と、
を備えたインクジェットヘッド検査装置。
【請求項２】
前記駆動電圧印加手段と検査対象の一方のノズルの圧電素子とを含んで直列に接続された第１の回路系と、前記駆動電圧印加手段と検査対象の他方のノズルの圧電素子とを含んで直列に接続された第２の回路系と、が並列に配置され、
前記差動増幅手段は、前記第１及び第２の回路系の対称となる箇所の差動電圧を増幅すること
を特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド検査装置。
【請求項３】
前記差動増幅手段は、前記第１及び第２の回路系によって構成されたブリッジ回路の平衡点において差動電圧を増幅すること
を特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド検査装置。
【請求項４】
各圧電素子に対応するように設けられ、駆動電圧印加手段及び各圧電素子に直列に接続された複数のスイッチ素子を更に備え、
前記複数のスイッチ素子のうち検査対象となるノズルに対応するスイッチ素子がオンになること
を特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド検査装置。
【請求項５】
前記スイッチ素子は電界効果トランジスタであり、電気電界効果トランジスタのゲート電圧が不飽和領域に設定されること
を特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッド検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド検査装置に係り、インクジェットヘッドのインク吐出不良の有無を検査するインクジェットヘッド検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリンタには様々なプリンタヘッドがあり、例えば、圧電体素子により圧力室を押圧し、圧力室内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドが知られている。
【０００３】
インクジェットヘッドよりインク滴を吐出させるには、外部駆動電源が、個別電極及び共通電極に電気信号を印加して、圧電体素子を変形させる。圧電素子が変形すると、この変形が振動板を介し圧力室の体積変化となり、圧力室内に満たされるインクへの圧力変化となる。この圧力変化により、インクはノズルからインク滴として吐出する。
【０００４】
インクジェットヘッドのノズル数は、印刷媒体の大判化や高速印刷化が進むに従って、多くなる傾向にある。そして、ノズル数が増える共に、インクの吐出不良を生じるノズルも増加する。
【０００５】
吐出不良は、主として、圧電素子の不良や、圧力室へ気泡が混入して圧電素子の変位が圧力室に伝わらないことによって発生する。圧電素子の不良としては、圧電素子の物理的な不良の他に、圧電素子の接続不良がある。また、インクカートリッジの交換時には、流路内に気泡が流入しやすく、流入した気泡が圧力室内に溜まり、吐出不良ノズルが発生し易い。
【０００６】
インクの不吐出は印刷品質を低下させるため、インクの吐出不良を検出することが必要となる。
【０００７】
インクの吐出不良を検出するものとして、特許文献１には、ノズル毎にインピーダンスアナライザを接続して圧電素子の固有振動数を測定することにより、正常な接着状態の場合の固有振動数からずれた振動数を示すものを接着不良と判断することが記載されている。
【０００８】
特許文献２には、記録ヘッド内のインク充填が不十分なために引き起こされるインク流路内の気泡混入を防ぐために、圧電素子の共振点プロファイルを得て、記録ヘッド内のインク充填状態を電気的に検知することが記載されている。
【０００９】
特許文献３には、気泡混入やノズルの目詰まり等による吐出不良を検査するために、圧電素子に所定周波数の測定入力電圧を供給し、上記測定入力電圧と圧電素子駆動後の測定出力電圧とに基づいて、位相のずれや測定出力電圧の大きさを測定し、これらを予め用意したものと比較することにより、ノズルを検査することが記載されている。
【００１０】
特許文献４には、圧電素子の駆動時の共振周波数を測定し、基準となる共振周波数データと測定した共振周波数とを対比し、共振周波数の変化を測定することで、圧電素子の不良発生や圧力室の気泡発生を検知することが記載されている。
【特許文献１】特開平１１−６４１７５号公報
【特許文献２】特開２０００−３１８１８３号公報
【特許文献３】特開２０００−３５５１００号公報
【特許文献４】特開２００４−９５０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、特許文献１に記載された技術は、ノズル毎にインピーダンスアナライザを接続しているために、非常に複雑な構成となり、かつコストがかかってしまう問題がある。また、特許文献２乃至４に記載された技術も、複雑な処理を実行しなければならず、コストを抑えることができない問題があった。
【００１２】
本発明は、上述した課題を解決するために提案されたものであり、簡易な構成でインクジェットヘッドのインクの吐出不良を確実に検出できるインクジェットヘッド検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述した課題を解決するため、本発明に係るインクジェットヘッド検査装置は、吐出液を吐出するための複数のノズルと、複数の前記ノズルから吐出する前記吐出液を収容するための複数の吐出液収容部と、前記ノズルから前記吐出液を吐出させるために前記吐出液収容部に圧力を加える複数の圧電素子と、を有するインクジェットヘッドを検査するインクジェットヘッド検査装置であって、駆動電圧印加手段が各圧電素子に駆動電圧を印加したときに、検査対象となる２つのノズルに対応する各圧電素子について、各々の接地側電極又はその反対側電極の差動電圧を増幅する差動増幅手段と、前記差動増幅手段により得られた差動電圧に基づいて、前記検査対象となる２つのノズルについて吐出液の吐出不良の有無を判定する判定手段と、を備えている。
【００１４】
インクジェットヘッドの圧電素子に駆動電圧が印加されると、圧電素子が振動し、その振動によって、吐出液収容部に収納されていた吐出液がノズルから吐出される。
【００１５】
差動増幅手段は、検査対象となる２つのノズルに対応する各圧電素子の接地側電極又はその反対側電極に接続されており、この差動電圧を増幅して出力する。ここで、各圧電素子は同じインピーダンス特性を有しており、各圧電素子自体が不良でなく、各圧電素子の接続不良もない場合は、差動電圧はゼロ又はゼロ近傍の値になる。しかし、いずれかの圧電素子自体が不良であったり、接続不良があった場合は、差動電圧の大きさはゼロより大きくなる。また、いずれかの圧電素子自体が不良であったり、接続不良があった場合は、その圧電素子に対応するノズルでは、インクの吐出不良が生じる。
【００１６】
そこで、判定手段は、差動増幅手段により得られた差動電圧に基づいて、検査対象となる２つのノズルについて吐出液の吐出不良の有無を判定できる。
【００１７】
以上のように、本発明に係るインクジェットヘッド検査装置は、検査対象となる２つのノズルに対応する各圧電素子について、各々の接地側電極又はその反対側電極の差動電圧を増幅し、得られた差動電圧に基づいて検査対象となる２つのノズルについて吐出液の吐出不良の有無を判定することにより、簡易な構成でインクジェットヘッドのインクの吐出不良を検出することができる。
【００１８】
前記インクジェットヘッド検査装置では、前記駆動電圧印加手段と検査対象の一方のノズルの圧電素子とを含んで直列に接続された第１の回路系と、前記駆動電圧印加手段と検査対象の他方のノズルの圧電素子とを含んで直列に接続された第２の回路系と、が並列に配置されたときに、差動増幅手段は、前記第１及び第２の回路系の対称となる箇所の差動電圧を増幅してもよい。
【００１９】
さらに、前記差動増幅手段は、前記第１及び第２の回路系によって構成されたブリッジ回路の平衡点において差動電圧を増幅してもよい。これにより、ブリッジ回路の平衡が崩れか否かによって、インクの吐出不良があるか否かを検査することができる。
【００２０】
また、前記インクジェットヘッド検査装置は、各圧電素子に対応するように設けられ、駆動電圧印加手段及び各圧電素子に直列に接続された複数のスイッチ素子を更に備えてもよく、このとき、前記複数のスイッチ素子のうち検査対象となるノズルに対応するスイッチ素子がオンになるようにしてもよい。これにより、オンにするスイッチ素子を連続的に切り換えることにより、検査対象となるノズルを連続的に切り換えることができる。
【００２１】
前記インクジェットヘッド検査装置において、前記スイッチ素子として電界効果トランジスタを用いて、電気電界効果トランジスタのゲート電圧を不飽和領域に設定してもよい。これにより、回路内の抵抗の数を削減することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係るインクジェットヘッド検査装置は、検査対象となる２つのノズルに対応する各圧電素子について、各々の接地側電極又はその反対側電極の差動電圧を増幅し、得られた差動電圧に基づいて検査対象となる２つのノズルについて吐出液の吐出不良の有無を判定することにより、簡易な構成でインクジェットヘッドのインクの吐出不良を確実に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２４】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッド検査装置の回路構成を示す図である。
【００２５】
上記インクジェットヘッド検査装置は、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドのノズルにそれぞれ対応して設けられた圧電素子１、２と、圧電素子１、２の各電極における差動電圧（＞０）を増幅して出力する差動増幅回路３と、差動電圧をアナログ／ディジタル変換するＡ／Ｄ変換器４と、ディジタル信号に変換された差動電圧に基づいて検査対象となるノズルについて吐出不良であるか否かを判定する判定回路５とを備えている。
【００２６】
なお、インクジェットヘッドの圧電素子は多数あるが、本実施形態では、検査対象となるノズルの圧電素子１、２を例に挙げて説明する。
【００２７】
図２は、インクジェットヘッド１００の構成を示す図である。インクジェットヘッド１００は複数のノズルからそれぞれインクを吐出する構成になっているが、ここでは圧電素子１に対応するノズルを例に挙げて説明する。
【００２８】
インクジェットヘッド１００は、インク収容部１０１、導管１０２、ノズル１０３、振動板１０５、圧電素子１等を有している。インク収容部１０１には、たとえばシアン、マゼンタもしくはイエローのいずれかの色からなるインク原液（吐出液）１０４が収容されている。インク収容部１０１は、導管（インク供給路）１０２を介してノズル１０３と接続されている。
【００２９】
導管１０２の下側には圧電素子１が振動板１０５を介して配置されている。圧電素子１は、駆動電圧Ｖｃの供給によって矢印Ａ方向に変位して、インク収容部１０１に対して圧力を加えノズル１０３からインク１０４を吐出させる。したがって、圧電素子１が不良になると、圧電素子１は振動板１０５を振動させることができなくなり、ノズル１０３からインクが吐出されなくなる。
【００３０】
また図１に示すように、上記圧電素子１は抵抗Ｒ１と直列に接続され、圧電素子２は抵抗Ｒ２と直列に接続されている。これら２つの直列回路は、並列に接続されている。
【００３１】
図示しない駆動電圧源で発生した駆動電圧Ｖｃは、抵抗Ｒ１を介して、圧電素子１の一方側の電極に印加される。なお、圧電素子１の他方側の電極は接地されている。また、上記駆動電圧源で発生した駆動電圧Ｖｃは、抵抗Ｒ２を介して、圧電素子２の一方側の電極に印加される。圧電素子２の他方側の電極は接地されている。
【００３２】
また、インクジェットヘッド１００の各ノズルは全て等しく構成されており、抵抗Ｒ１及びＲ２の抵抗値、圧電素子１及び２のインピーダンス特性もそれぞれ同じ値になっている。このため、抵抗Ｒ１及び圧電素子１と、抵抗Ｒ２及び圧電素子２とは、それぞれ合成インピーダンスが等しく、並列回路を構成している。
【００３３】
差動増幅回路３の一方の入力端子は、抵抗Ｒ１と圧電素子１の接続箇所であるＡ点に接続されている。差動増幅回路３の他方の入力端子は、抵抗Ｒ２と圧電素子２の接続箇所であるＢ点に接続されている。
【００３４】
したがって、差動増幅回路３は、抵抗Ｒ１、圧電素子１、圧電素子２、及び抵抗Ｒ２で構成されるブリッジ回路において対称となる中点（平衡点）の差動電圧を出力するようになっている。そして、差動増幅回路３の出力端子は、Ａ／Ｄ変換器４を介して、判定回路５に接続されている。
【００３５】
上記のように構成されたインクジェットヘッド検査装置では、圧電素子１及び圧電素子２に駆動電圧Ｖｃが印加されると、差動増幅回路３は、Ａ点及びＢ点の差動電圧を検出し、この差動電圧を、Ａ／Ｄ変換器４を介して判定回路５に供給する。
【００３６】
判定回路５は、差動電圧が閾値以上であるか否かを判定する。ここで、圧電素子１と圧電素子２がいずれも正常であるときは、差動電圧はほぼゼロになり閾値未満になる。しかし、圧電素子１と圧電素子２のいずれかが不良であるときは、ブリッジ回路の平衡が崩れ、差動電圧が大きくなって閾値以上になってしまう。
【００３７】
そこで、判定回路５は、差動電圧が閾値未満であるときは圧電素子１も圧電素子２も不良でないと判定し、差動電圧が閾値以上であるときは圧電素子１又は圧電素子２が不良であると判定する。
【００３８】
以上のように、インクジェットヘッド検査装置は、圧電素子を各々含んだ回路系を配列に配置した並列回路において対称となる中点の差動電圧を検出し、差動電圧が閾値以上になったときに、圧電素子のいずれがか不良であり、その圧電素子に対応するノズルの吐出不良を検出することができる。
【００３９】
なお、本発明の第１の実施形態に係るインクジェットヘッド検査装置は、図１に示す構成に限定されず、次のような構成であってもよい。なお、図１と同一の回路には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４０】
［他の回路構成例１］
図３は、インクジェットヘッド検査装置の他の回路構成１を示す図である。
【００４１】
圧電素子１の一方の電極は接地され、他方の電極は抵抗Ｒ１を介してＦＥＴ（電界効果トランジスタ：Ｆｉｅｌｄ  Ｅｆｆｅｃｔ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）１１のソースに接続されている。ＦＥＴ１１のドレインには、駆動電圧Ｖｃが印加されている。圧電素子２の一方の電極は接地され、他方の電極は抵抗Ｒ２を介してＦＥＴ１２のソースに接続されている。ＦＥＴ１２のドレインには、駆動電圧Ｖｃが印加されている。
【００４２】
差動増幅回路３の一方の入力端子は、抵抗Ｒ１とＦＥＴ１１の接続箇所であるＡ１点に接続されている。差動増幅回路３の他方の入力端子は、抵抗Ｒ２とＦＥＴ１２の接続箇所であるＢ１点に接続されている。なお、ＦＥＴ１１とＦＥＴ１２のオン抵抗は等しいとする。このため、Ａ１点及びＢ１点は、ＦＥＴ１１、抵抗Ｒ１及び圧電素子１の直列回路と、ＦＥＴ１２、抵抗Ｒ２及び圧電素子２の直列回路と、を並列に接続した並列回路において対称となる中点に相当する。
【００４３】
差動増幅回路３は、ＦＥＴ１１及びＦＥＴ１２が共にオンになったときに、Ａ１点及びＢ１点の差動電圧を検出し、この差動電圧を、Ａ／Ｄ変換器４を介して判定回路５に供給する。
【００４４】
このため、判定回路５は、差動電圧が閾値未満であるときは圧電素子１も圧電素子２も不良でないと判定し、差動電圧が閾値以上であるときは圧電素子１又は圧電素子２が不良であると判定することができる。
【００４５】
なお、差動増幅回路３は、抵抗Ｒ１と圧電素子１の接続箇所であるＡ２点と、抵抗Ｒ２と圧電素子２の接続箇所であるＢ２点との差動電圧を検出してもよい。また、オンにする２つのＦＥＴを連続的に切り換えることによって、検査対象となるノズルを連続的に切り換えてもよい。
【００４６】
［他の回路構成例２］
図４は、インクジェットヘッド検査装置の他の回路構成２を示す図である。このインクジェットヘッド検査装置は、図３に示した回路において、抵抗Ｒ１と圧電素子１を逆に配置し、抵抗Ｒ２と圧電素子２を逆に配置したものである。
【００４７】
Ａ３点及びＢ３点は、ＦＥＴ１１、圧電素子１及びＦＥＴ１１の直列回路と、ＦＥＴ１２、圧電素子２及び抵抗Ｒ２の直列回路と、を並列に接続した並列回路において対称となる中点に相当する。
【００４８】
このため、判定回路５は、差動電圧が閾値未満であるときは圧電素子１も圧電素子２も不良でないと判定し、差動電圧が閾値以上であるときは圧電素子１又は圧電素子２が不良であると判定することができる。
【００４９】
なお、差動増幅回路３は、抵抗Ｒ１と圧電素子１の接続箇所であるＡ４点と、抵抗Ｒ２と圧電素子２の接続箇所であるＢ４点との差動電圧を検出してもよい。
【００５０】
［他の構成例３］
図５は、インクジェットヘッド検査装置の他の回路構成３を示す図である。
【００５１】
圧電素子１の一方の電極は接地され、他方の電極はＦＥＴ１１のソースに接続されている。ＦＥＴ１１のドレインには、抵抗Ｒ１を介して、駆動電圧Ｖｃが印加されている。圧電素子２の一方の電極は接地され、他方の電極はＦＥＴ１２のソースに接続されている。ＦＥＴ１２のドレインには、抵抗Ｒ２を介して、駆動電圧Ｖｃが印加されている。
【００５２】
差動増幅回路３の一方の入力端子は、抵抗Ｒ１とＦＥＴ１１の接続箇所であるＡ５点に接続されている。差動増幅回路３の他方の入力端子は、抵抗Ｒ２とＦＥＴ１２の接続箇所であるＢ５点に接続されている。Ａ５点及びＢ５点は、抵抗Ｒ１、ＦＥＴ１１及び圧電素子１の直列回路と、抵抗Ｒ２、ＦＥＴ１２及び圧電素子２の直列回路と、を並列に接続した並列回路において対称となる中点に相当する。
【００５３】
差動増幅回路３は、ＦＥＴ１１及びＦＥＴ１２が共にオンになったときに、Ａ１点及びＢ１点の差動電圧を検出し、この差動電圧を、Ａ／Ｄ変換器４を介して判定回路５に供給する。
【００５４】
このため、判定回路５は、差動電圧が閾値未満であるときは圧電素子１も圧電素子２も不良でないと判定し、差動電圧が閾値以上であるときは圧電素子１又は圧電素子２が不良であると判定することができる。
【００５５】
通常、ＦＥＴ１１及びＦＥＴ１２のゲート電圧は、飽和領域で用いられる。但し、ＦＥＴ１１及びＦＥＴ１２のゲート電圧を不飽和領域で用いれば、図５に示す抵抗Ｒ１及びＲ２を省略できる。
【００５６】
図６は、インクジェットヘッド検査装置の他の回路構成４を示す図である。上記のように、図５に示すＦＥＴ１１及びＦＥＴ１２のゲート電圧を不飽和領域で用いることによって、抵抗Ｒ１及び抵抗Ｒ２を省略しつつもそれがあるのと同様の効果が得られるので、図６に示す回路を構成することができる。
【００５７】
［第２の実施形態］
つぎに、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同一の回路には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００５８】
図７は、本発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッド検査装置の回路構成図である。上記インクジェットヘッド検査装置は、４つの圧電素子５１〜５４の中から任意の２つ圧電素子を選択して、検査するものである。
【００５９】
インクジェットヘッド検査装置は、駆動電圧の波形を発生する波形発生器２０、６０と、検査対象であると共に駆動電圧の供給先となる圧電素子を選択するとスイッチ回路４０、８０と、圧電素子５１〜５４の一方側の電極における差動電圧を増幅して出力する差動増幅回路３と、差動電圧をアナログ／ディジタル変換するＡ／Ｄ変換器４と、ディジタル信号に変換された差動電圧に基づいて検査対象となるノズルについて吐出不良であるか否かを判定する判定回路５とを備えている。
【００６０】
波形発生器２０及び波形発生器６０は、インクジェットプリンタのプリント時では、インクジェットヘッドを駆動させるためにそれぞれ異なる周波数の駆動電圧を発生し、インクジェットヘッド検査時では、同一周波数の駆動電圧を発生する。
【００６１】
抵抗３１の一端側は、波形発生器２０及びＦＥＴ３２のドレインに接続されている。抵抗３１の他端側は、ＦＥＴ３２のソース、スイッチ回路４０内のＦＥＴ４１、４２、４３、４４の各ドレインに接続されている。抵抗７１の一端側は、波形発生器６０及びＦＥＴ７２のドレインに接続されている。抵抗７１の他端側は、ＦＥＴ７２のソース、スイッチ回路８０内のＦＥＴ８１、８２、８３、８４の各ドレインに接続されている。
【００６２】
ＦＥＴ３２及びＦＥＴ７２は、インクジェットプリンタのプリント時にオンになって、抵抗３１及び抵抗７１をショートして、電圧降下を回避している。また、ＦＥＴ３２及びＦＥＴ７２は、インクジェットヘッド検査時にオフになる。
【００６３】
圧電素子５１の一方の電極はＦＥＴ４１及びＦＥＴ８１の各ソースに接続されており、その他方の電極は接地されている。圧電素子５２の一方の電極はＦＥＴ４２及びＦＥＴ８２の各ソースに接続されており、その他方の電極は接地されている。圧電素子５３の一方の電極はＦＥＴ４３及びＦＥＴ８３の各ソースに接続されており、その他方の電極は接地されている。圧電素子５４の一方の電極はＦＥＴ４４及びＦＥＴ８４の各ソースに接続されており、その他方の電極は接地されている。
【００６４】
これにより、スイッチ回路４０及びスイッチ回路８０は、圧電素子５１〜５４のいずれかを選択して駆動電圧を印加できるようになっている。但し、スイッチ回路４０及びスイッチ回路８０は、インクジェットヘッド検査時では、同一の圧電素子を選択しないものとする。
【００６５】
差動増幅回路３の一方の入力端子はＦＥＴ３２のソース（Ａ６点）に接続され、その他方の入力端子はＦＥＴ７２のソース（Ｂ６点）に接続されている。そして、差動増幅回路３の出力端子は、Ａ／Ｄ変換器４を介して、判定回路５に接続されている。
【００６６】
以上のように構成されたインクジェットヘッド検査装置は、圧電素子５１〜５４の中から任意の２つの圧電素子を比較して検査する。インクジェットヘッド検査装置は、例えば圧電素子５１と圧電素子５２を比較して検査する場合、スイッチ回路４０のＦＥＴ４１とスイッチ回路８０のＦＥＴ８２をオンにすればよい。
【００６７】
図８は、ＦＥＴ４１とＦＥＴ８２がオンになったときのインクジェットヘッド検査装置の要部回路構成図である。同図に示すように、波形発生器２０に接続されているＡ系は、抵抗３１、ＦＥＴ４１、及び圧電素子５１が直列に接続されたものである。波形発生器６０に接続されているＢ系は、抵抗７１、ＦＥＴ８２、及び圧電素子５２が直列に接続されたものである。したがって、Ａ６点及びＢ６点は、Ａ系及びＢ系の対称となる中点に相当する。
【００６８】
そして、ＦＥＴ３２及びＦＥＴ７２がオフになると、圧電素子５１及び圧電素子５２には、同一周波数の駆動電圧が印加される。差動増幅回路３は、Ａ６点及びＢ６点の差動電圧を出力し、この差動電圧を、Ａ／Ｄ変換器４を介して判定回路５に供給する。この結果、判定回路５は、差動電圧が閾値未満であるときは圧電素子５１も圧電素子５２も共に不良でないと判定し、差動電圧が閾値以上であるときは圧電素子５１又は圧電素子５２が不良であると判定することができる。
【００６９】
以上のように、本発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッド検査装置は、圧電素子を各々含んだＡ系及びＢ系の中点の差動電圧を検出し、差動電圧が閾値以上になったときに、圧電素子のいずれがか不良であり、その圧電素子に対応するノズルの吐出不良を検出することができる。
【００７０】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された範囲内で設計上の変更をされたものにも適用可能であるのは勿論である。例えば、第１及び第２の実施形態ではオン又はオフを行うスイッチ素子としてＦＥＴを例に挙げて説明したが、トランジスタであってもよく、特に限定されるものではない。
【００７１】
また、第１及び第２の実施形態では、インクジェットヘッド検査装置は、２つのノズルを比較することで吐出不良があるか否かを検査したが、複数のノズルを順次比較して検査し、多数決により吐出不良のノズルを検出してもよい。
【００７２】
さらに、第１及び第２の実施形態では、差動増幅回路３は、差動電圧を直接Ａ／Ｄ変換器４に供給したが、差動電圧をレベルシフトした後Ａ／Ｄ変換器４に供給してもよいし、差動電圧を整流してからＡ／Ｄ変換器４に供給してもよい。
【００７３】
また、差動増幅回路３への入力が同じ場合は、判定回路５は圧電素子が両方正常と判定してもよいし、両方不良と判定してもよい。なお、Ａ／Ｄ変換器４及び判定回路５の代わりに、アナログコンパレータを用いて判定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェットヘッド検査装置の回路構成を示す図である。
【図２】インクジェットヘッドの構成を示す図である。
【図３】インクジェットヘッド検査装置の他の回路構成を示す図である。
【図４】インクジェットヘッド検査装置の他の回路構成を示す図である。
【図５】インクジェットヘッド検査装置の他の回路構成を示す図である。
【図６】インクジェットヘッド検査装置の他の回路構成を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るインクジェットヘッド検査装置の回路構成図である。
【図８】インクジェットヘッド検査装置の要部回路構成図である。
【符号の説明】
【００７５】
１，２，５１，５２，５３，５４  圧電素子
３  差動増幅回路
４  Ａ／Ｄ変換器
５  判定回路
１１，１２，３２，４１，４２，４３，４４，７２，８１，８２，８３，８４  ＦＥＴ
２０，６０  波形発生器
４０，８０  スイッチ回路
Ｒ１，Ｒ２，３１，７１  抵抗
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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