(57)【要約】【課題】  この発明は給液管を大径化させずに、複数のノズルヘッドに溶液をほぼ均等に供給できる溶液の塗布装置を提供することにある。【解決手段】  溶液を貯えた給液タンク１２と、この給液タンクに一端が接続され給液タンクに貯えられた溶液が供給される給液管１３と、この給液管にそれぞれ給液バルブ１５を介して並列に接続された複数のノズルヘッド７と、各ノズルヘッドが排液バルブ２１を介して並列に接続され各ノズルヘッド内の気泡抜きを行なうときに上記給液管から上記ノズルヘッドに供給された溶液を排出する排液管２３と、上記基板に溶液を塗布するときに上記供給タンクから上記給液管の一端に供給された溶液の一部を上記排液管に分流する分流バルブ２４と、この分流バルブによって上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる流入バルブ２６とを具備する。【選択図】  図１
2006021197.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に搬送される基板の板面に溶液を塗布する塗布装置において、
上記溶液を貯えた給液部と、
この給液部に一端が接続され給液部に貯えられた溶液が供給される給液管と、
この給液管にそれぞれ給液バルブを介して並列に接続された複数のノズルヘッドと、
各ノズルヘッドが排液バルブを介して並列に接続され各ノズルヘッド内の気泡抜きを行なうときに上記給液管から上記ノズルヘッドに供給された溶液を排出する排液管と、
上記基板に溶液を塗布するときに上記供給部から上記給液管の一端に供給された溶液の一部を上記排液管に分流する分流バルブと、
この分流バルブによって上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる流入バルブと、
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。
【請求項２】
上記排液管には、上記ノズルヘッドから上記排液管に排出される溶液を回収する戻りタンクが接続され、
上記排液管には、上記分流バルブによって上記排液管に分流された溶液が上記戻りタンクに流れるのを阻止する閉鎖バルブが設けられていることを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置。
【請求項３】
供給部から溶液が供給される給液管に複数のノズルヘッドを並列に接続し、各ノズルヘッドから上記基板に溶液を噴射して塗布する溶液の塗布方法において、
各ノズルヘッドから溶液を噴射して基板に塗布するとき、上記給液管の一端と他端とから溶液を供給することを特徴とする溶液の塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はノズルヘッドを用いて溶液を基板に噴射塗布する塗布装置及び塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に配向膜、レジスト、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンスなどの機能性薄膜を形成する成膜プロセスがある。この成膜プロセスでは、上記溶液を塗布するためにインクジェット方式によって溶液を噴射塗布するノズルヘッドを備えた塗布装置が用いられる。
【０００３】
上記塗布装置は、基板を搬送する搬送テーブルを有し、この搬送テーブルの上方には、搬送テーブルの移動方向と交差する方向に沿って複数のノズルヘッドが並設されている。各ノズルヘッドには複数のノズルが穿設されたノズルプレートが設けられ、各ノズルからはノズルヘッドに供給された溶液がピエゾ素子によって加圧されて噴射されるようになっている。
【０００４】
ノズルヘッドの修理交換をしたり、基板に塗布する溶液を種類の異なる溶液に交換する場合などには、ノズルヘッドや配管に残留する溶液を除去し、新たな溶液を供給しなければならない。
【０００５】
新たな溶液が供給された塗布装置を使用する前には、各ノズルヘッドから溶液が均一に噴射されるようにするため、溶液が流れる管路の気泡抜きを行なわなければならない。
【０００６】
具体的には、上記ノズルヘッドに溶液を供給する給液管、この給液管によって溶液が供給されるノズルヘッド内の空間部、さらにノズルヘッドに形成されたノズルの気泡抜きが行なわれる。
【０００７】
気泡抜きを行なう場合、上述した機能性薄膜は非常に高価であるから、ノズルヘッドや給液管に供給された溶液を排液管を用いて回収するようにしている。排液管は、上記ノズルヘッドに上記給液管と並列に接続されている。
【０００８】
ノズルヘッドや給液管の気泡抜きを行なうと、ノズルヘッドに形成された複数のノズルから溶液を基板に向けて均一に噴射することができるようになるから、基板に対する溶液の塗布精度を向上させることができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
給液管に複数のノズルヘッドを接続すると、給液方向の上流側に位置するノズルヘッドの方が下流側に位置するノズルヘッドよりも溶液が流入し易くなる。そのため、複数のノズルヘッドに溶液を均等に供給することができないということがある。
【００１０】
そこで、給液管の管径を太くし、複数のノズルヘッドに溶液を均等に供給できるようにするということが行なわれている。しかしながら、給液管を太くすると、この給液管に残留する溶液の量も多くなる。
【００１１】
ところで、ノズルヘッドの修理交換をしたり、基板に塗布する溶液を異なる種類の溶液に交換する際などは、給液管に残留する溶液を廃棄することになる。
【００１２】
しかしながら、上述した理由によって給液管の管径を太くすると、給液管に残留する溶液の量が多くなるから、廃棄される溶液の量も多くなり、大幅なコストアップを招くということがある。
【００１３】
しかも、給液管を太くしても、複数のノズルヘッドが給液管に給液方向に沿って順次並列に接続されているため、給液方向上流側のノズルヘッドの方が下流側に位置するノズルヘッドよりも溶液が流れ易いということが避けられない。その結果、複数のノズルヘッドに溶液を均等に供給することができず、それによって基板の幅方向に対して溶液を均一に塗布できないこともある。
【００１４】
この発明は、給液管の管径を太くせずに、この給液管に接続された複数のノズルヘッドに、溶液をほぼ均等に供給することができるようにした溶液の塗布装置及び塗布方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１の発明は、所定方向に搬送される基板の板面に溶液を塗布する塗布装置において、
上記溶液を貯えた給液部と、
この給液部に一端が接続され給液部に貯えられた溶液が供給される給液管と、
この給液管にそれぞれ給液バルブを介して並列に接続された複数のノズルヘッドと、
各ノズルヘッドが排液バルブを介して並列に接続され各ノズルヘッド内の気泡抜きを行なうときに上記給液管から上記ノズルヘッドに供給された溶液を排出する排液管と、
上記基板に溶液を塗布するときに上記供給部から上記給液管の一端に供給された溶液の一部を上記排液管に分流する分流バルブと、
この分流バルブによって上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる流入バルブと、
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
【００１６】
請求項２の発明は、上記排液管には、上記ノズルヘッドから上記排液管に排出される溶液を回収する戻りタンクが接続され、
上記排液管には、上記分流バルブによって上記排液管に分流された溶液が上記戻りタンクに流れるのを阻止する閉鎖バルブが設けられていることを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置にある。
【００１７】
請求項３の発明は、供給部から溶液が供給される給液管に複数のノズルヘッドを並列に接続し、各ノズルヘッドから上記基板に溶液を噴射して塗布する溶液の塗布方法において、
各ノズルヘッドから溶液を噴射して基板に塗布するとき、上記給液管の一端と他端とから溶液を供給することを特徴とする溶液の塗布方法にある。
【００１８】
この発明によれば、ノズルヘッドの気泡抜きに用いる排液管を利用して給液管の一端と他端とから溶液を供給するため、給液管を太くせずに、この給液管に接続された複数のノズルヘッドに溶液をほぼ均等に供給することが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
以上のようにこの発明によれば、基板に溶液を塗布するときには、気泡抜きに用いる排液管を利用することで、給液管の一端と他端との両方から溶液を供給できるようにした。
【００２０】
そのため、給液管や排液管を太くせずに、複数のノズルヘッドに溶液をほぼ均等に供給することが可能となるから、溶液の種類を変える場合などに、廃棄する溶液の量を少なくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態を説明する。
【００２２】
図１はこの発明の一実施の形態に係る溶液の塗布装置の概略的構成を示し、この塗布装置は基板Ｗの搬送装置１を備えている。この搬送装置１はベース２を有し、このベース２の上面の幅方向両端部には、一対のガイドレール３が平行に設けられている。
【００２３】
上記ガイドレール３には搬送テーブル４が移動可能に設けられている。この搬送テーブル４は図示しない駆動機構によって上記ガイドレール３に沿って往復駆動されるようになっている。上記搬送テーブル４の上面には複数の支持ピン５によって上記基板Ｗが支持されている。基板Ｗは、たとえば液晶表示パネル用の矩形状のガラス基板である。なお、基板Ｗは半導体ウエハであってもよい。
【００２４】
上記搬送テーブル４の上方には、複数、この実施の形態では３つのノズルヘッド７が上記基板Ｗの搬送方向と交差する方向に沿って所定間隔で並設されている。ノズルヘッド７は本体７ａ及びこの本体７ａの下端面に設けられたノズルプレート７ｂを有し、ノズルプレート７ｂには基板Ｗの搬送方向と交差する方向に沿って複数のノズル７ｃが所定間隔で穿設されている。
【００２５】
各ノズルヘッド７には給液装置１１によって上述したように基板Ｗに配向膜、レジスト、カラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンスなどの機能性薄膜を形成する溶液が供給されるようになっている。
【００２６】
上記給液装置１１は給液部としての給液タンク１２を有する。この給液タンク１２には上記溶液Ｌが貯えられている。給液タンク１２に貯えられた溶液Ｌの液面Ｆは、上記ノズルヘッド７のノズルプレート７ｂの下面と同等若しくはわずかに高くなるよう制御される。それによって、給液タンク１２の溶液は、後述するように溶液Ｌの液面とノズルプレート７ｂとの高さの差による圧力で各ノズルヘッド７に供給されるようになっている。
【００２７】
給液タンク１２の底部には給液管１３の一端が接続されている。この給液管１３からは複数のノズルヘッド７と対応する数の給液分岐管１４が所定間隔で分岐されている。各給液分岐管１４は給液バルブ１５を介して各ノズルヘッド７に接続されている。
【００２８】
上記給液タンク１２には窒素などの加圧気体の給気管１６が給気バルブ１７を介して接続されている。給気管１６から給液タンク１２に加圧気体を供給し、この給液タンク１２内の溶液Ｌを加圧すると、溶液は給液管１３から給液分岐管１４に設けられた給液バルブ１５を通ってノズルヘッド７内の空間部（図示せず）に供給可能となっている。
【００２９】
ノズルヘッド７の空間部に供給された溶液は、各ノズル７ｃに対向して設けられたピエゾ素子（図示せず）によって加圧され、インクジェット方式によって上記ノズル７ｃから噴射される。それによって、溶液はノズルヘッド７の下方を搬送される基板Ｗに塗布されることになる。
【００３０】
各ノズルヘッド７にはそれぞれ排液バルブ２１が設けられた排液分岐管２２の一端が接続されている。各排液分岐管２２は、上記給液管１３と並列に配置された排液管２３に接続されている。
【００３１】
上記給液管１３と、上記排液管２３との一端部側の中途部は分岐バルブ２４を有する分岐管２５によって接続されている。上記給液管１３の他端と、上記排液管２３の他端とは、流入バルブ２６を有する連通管２７によって接続されている。つまり、給液管１３と排液管２３との一端側中途部と他端とは、分岐バルブ２４と流入バルブ２６とによって接続され、閉鎖状をなしている。
【００３２】
上記排液管２３の一端、つまり上記分岐管２５が接続された箇所よりも末端は閉鎖バルブ２８を介して戻しタンク２９に接続されている。この戻しタンク２９の底部には戻し管３１の一端が接続されている。この戻し管３１の他端は戻しバルブ３２を介して上記供給タンク１２の底部に接続されている。
【００３３】
それによって、後述するごとく上記各ノズルヘッド７及び給液管１３に溶液Ｌを供給して気泡抜きを行なう際、各ノズルヘッド７に供給された溶液Ｌを上記戻しタンク２９に貯え、必要に応じて上記給液タンク１２へ戻すことができるようになっている。
【００３４】
なお、戻しタンク２９の戻った溶液Ｌは、給液タンク１２に、この給液タンク１２の液面Ｆに応じて供給される。それによって、給液タンク１２の液面Ｆが一定の高さに維持されるようになっている。
【００３５】
つぎに、上記構成の塗布装置を用いて基板Ｗに溶液を塗布する際の手順を図２乃至図４を参照して説明する。
【００３６】
基板Ｗに溶液を塗布する前に、給液管１３と排液管２３との配管系統、ノズルヘッド７内の空間部及びノズル７ｃの気泡抜きが行なわれる。まず、図２に黒く塗りつぶして示すように、給液バルブ１５、排液バルブ２１、分岐バルブ２４及び戻しバルブ３２を閉じ、給気バルブ１７と流入バルブ２６とは開放する。
【００３７】
給気バルブ１７を開放すると、給液タンク１２内に加圧気体が供給され、給液タンク１２内の溶液Ｌが加圧されるから、同図に矢印で示すように、溶液Ｌが給液管１３に供給される。
【００３８】
給液管１３に供給された溶液Ｌは、流入管２７及び流入バルブ２６を通って排液管２３に流れ、この排液管２３の一端部に設けられた閉鎖バルブ２８を通って戻しタンク２９に回収されることになる。このような溶液Ｌの流れによって、給液管１３と排液管２３との気泡抜きが行なわれることになる。
【００３９】
給液管１３と排液管２３との気泡抜きが終わったならば、図３に黒く塗りつぶして示すように分岐バルブ２４、流入バルブ２６及び戻しバルブ３２を閉じ、他のバルブは開いた状態で、給液タンク１２内の溶液Ｌを気体で加圧して給液管１３に供給する。
【００４０】
給液タンク１２から給液管１３に供給された溶液Ｌは、同図に矢印で示すように、この給液管１３と各ノズルヘッド７とを接続した給液分岐管１４に分流し、給液バルブ１５を通ってノズルヘッド７内の空間部に流入する。
【００４１】
ノズルヘッド７内の空間部に流入した溶液Ｌは、このノズルヘッド７内の気泡とともに排液分岐管２２の排液バルブ２１を通って排液管２３に流れ、この排液管２３に設けられた閉鎖バルブ２８を通って戻りタンク２９に戻ることになる。それによって、複数のノズルヘッド７内の空間部の気泡抜きを行なうことができる。
【００４２】
ノズルヘッド７内の空間部はノズル７ｃに連通している。しかしながら、溶液がノズル７ｃから流出する流路抵抗は、溶液がノズルヘッド７内を通って排液管２３に流れる抵抗に比べて十分に大きいから、溶液はノズル７ｃから流出することなく、排液管２３に排出される。
【００４３】
一方、ノズル７ｃの気泡抜きを行なう場合には、図３に示す状態において、各ノズルヘッド７に接続された排液分岐管２２に設けられた排液バルブ２１を閉じる。それによって、ノズルヘッド７内の空間部に供給された溶液は、排液管２３に流れずにノズル７ｃから噴出するから、ノズル７ｃの気泡抜きを行なうことができる。
【００４４】
このようにして塗布装置の各部の気泡抜きを行なったならば、溶液Ｌを基板Ｗに塗布する。その場合、図４に示すように給液バルブ１５、分岐バルブ２４及び流入バルブ２６を開き、黒く塗りつぶした他のバルブは閉じておく。
【００４５】
各バルブの開閉状態を上述したごとく設定したのち、給液タンク１２を図示しないバルブなどの開放手段によって大気に開放すると、給液タンク１２の溶液Ｌは、その液面とノズルヘッド７下面との高さの差による圧力差によって給液管１３に供給される。給液管１３に供給された溶液Ｌは、給液バルブ１５を通って給液管１３の上流側に接続されたノズルヘッド７から下流側に位置するノズルヘッド７に順次流入する。
【００４６】
また、給液管１３に供給された溶液Ｌの一部は、分岐バルブ２４を通って排液管２３に分流し、この排液管２３の他端と給液管１３の下流端とを接続した流入バルブ２６を通って給液管１３の他端に流入する。
【００４７】
そして、排液管２３から給液管１３の下流端（他端）に流入した溶液Ｌは、給液管１３の下流側に接続されたノズルヘッド７から上流側に接続されたノズルヘッド７に順次流入する。
【００４８】
各ノズルヘッド７内に流入した溶液Ｌは、これらノズルヘッド７の下方を搬送テーブル４によって搬送される基板Ｗが通過するときに、所定のタイミングでピエゾ素子が作動することで基板Ｗに向けて噴射され、この基板Ｗの板面に塗布される。
【００４９】
このように、排液管２３を利用することで、給液管１３に接続された複数のノズルヘッド７に対し、この給液管１３の上流側と、下流側との両方から溶液Ｌを供給することができる。
【００５０】
たとえば、ノズルヘッド７が３つ設けられている場合を考えると、給液管１３の最上流に接続されたノズルヘッド７には、給液管１３の上流からだけ溶液Ｌが供給される。給液管１３の最下流に接続されたノズルヘッド７には、排液管２３から給液管１３の下流に流入した溶液Ｌだけが供給される。中央に位置するノズルヘッド７には、給液管１３の上流から流入した溶液Ｌと、下流から流入した溶液Ｌとが供給される。その結果、３つのノズルヘッド７には供給管１３の太さに影響を受けることなく、溶液Ｌがほぼ均等に供給されることになる。
【００５１】
すなわち、給液管１３に接続された複数のノズルヘッド７には、給液管１３に対する接続箇所が上流側或いは下流側のいずれであっても、溶液Ｌをほぼ均等に供給することが可能となる。
【００５２】
このように、給液管１３や排液管２３を大径化せずに、各ノズルヘッド７に溶液Ｌをほぼ均等に供給することができるから、これら給液管１３や排液管２３に残留する溶液Ｌの量を少なくすることができる。
【００５３】
そのため、ノズルヘッド７を修理点検したり、基板Ｗに塗布する溶液Ｌの種類を変える際、上記給液管１３や排液管２３に残留する溶液Ｌの量を少なくすることができるから、廃棄される溶液の量も少なくなり、経済的である。つまり、機能性薄膜を形成する種々の溶液Ｌは非常に高価であるが、その高価な溶液Ｌの廃棄量を少なくし、効率よく使用することができる。
【００５４】
上記一実施の形態では、給液管２３に３つのノズルヘッド７が接続されている場合について説明したが、ノズルヘッド７の数は３つに限られず、複数であればよく、その数は基板Ｗの幅寸法によっても異なる。最近では基板Ｗが大型化する傾向にあるため、数十個のノズルヘッドが並設されることもあり、このようにノズルヘッド７の数が多くなった場合にもこの発明は有効である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】この発明の一実施の形態に係る溶液の塗布装置の概略的構成図。
【図２】給液管と排液管との空気抜きを行なうときの説明図。
【図３】ノズルヘッドの空気抜きを行なうときの説明図。
【図４】基板に溶液を塗布するときの説明図。
【符号の説明】
【００５６】
７…ノズルヘッド
１２…給液タンク（給液部）
１３…給液管
２３…排液管
２４…分岐バルブ
２６…流入バルブ
【図１】
2006021197.tif 000003
【図２】
2006021197.tif 000004
【図３】
2006021197.tif 000005
【図４】
2006021197.tif 000006
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月18日(2005.8.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶液を噴射させるノズルを備えたノズルヘッドを用いて基板の板面に上記溶液を塗布する溶液の塗布装置において、
上記溶液を貯える給液部と、
この給液部に一端が接続され上記ノズルヘッドに上記溶液を供給するための給液管と、
上記ノズルヘッドから溶液を排出するための排液管と、
上記給液管と上記排液管とを接続する分岐管と、
この分岐管に設けられ、上記基板に溶液を塗布するときに上記給液管に供給された溶液を上記分岐管を介して上記排液管に分流させる分流バルブと、
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。
【請求項２】
上記排出管には、閉鎖バルブが設けられ、上記分流バルブによって上記排液管に分流された溶液が排出されるのを阻止可能としたことを特徴とする請求項１記載の溶液の塗布装置。
【請求項３】
上記ノズルヘッドは、上記ノズルを複数備えることを特徴とする請求項１または２記載の溶液の塗布装置。
【請求項４】
上記ノズルヘッドは、複数設けられ、
これらのノズルヘッドは、上記給液管と上記排液管とに並列に接続されることを特徴とする請求項１〜３いずれかに記載の溶液の塗布装置。
【請求項５】
上記分岐管を介して上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる連通管と、
この連通管に設けられた流入バルブと、
が設けられていることを特徴とする請求項４記載の溶液の塗布装置。
【請求項６】
溶液を噴射させる複数のノズルを有し、供給部から溶液が供給される給液管と供給された溶液を排出する排液管とが接続されたノズルヘッドを用いて基板の板面に上記溶液を塗布する溶液の塗布方法において、
上記ノズルから溶液を噴射して基板に塗布するとき、上記供給管と上記排液管とから溶液を上記ノズルヘッドに供給することを特徴とする溶液の塗布方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明は、溶液を噴射させるノズルを備えたノズルヘッドを用いて基板の板面に上記溶液を塗布する溶液の塗布装置において、上記溶液を貯える給液部と、この給液部に一端が接続され上記ノズルヘッドに上記溶液を供給するための給液管と、上記ノズルヘッドから溶液を排出するための排液管と、上記給液管と上記排液管とを接続する分岐管と、この分岐管に設けられ、上記基板に溶液を塗布するときに上記給液管に供給された溶液を上記分岐管を介して上記排液管に分流させる分流バルブと、を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。なお、上記排出管には、閉鎖バルブが設けられ、上記分流バルブによって上記排液管に分流された溶液が排出されるのを阻止可能とすることが好ましい。また、上記ノズルヘッドは、上記ノズルを複数備えることが好ましい。さらに、上記ノズルヘッドは、複数設けられ、これらのノズルヘッドは、上記給液管と上記排液管とに並列に接続されることが好ましい。さらにまた、上記分岐管を介して上記排液管に分流された溶液を上記給液管の他端から流入させる連通管と、この連通管に設けられた流入バルブと、が設けられていることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
本発明は、溶液を噴射させる複数のノズルを有し、供給部から溶液が供給される給液管と供給された溶液を排出する排液管とが接続されたノズルヘッドを用いて基板の板面に上記溶液を塗布する溶液の塗布方法において、上記ノズルから溶液を噴射して基板に塗布するとき、上記供給管と上記排液管とから溶液を上記ノズルヘッドに供給することを特徴とする溶液の塗布方法にある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】