(57)【要約】  【課題】  駆動効率に優れる圧電アクチュエータを備えた液体移送装置を提供すること。  【解決手段】  インクジェットヘッドの圧電アクチュエータ３は、圧力室１４を覆い且つ共通電極を兼ねる振動板３０と、この振動板３０の圧力室１４と反対側に配置された圧電層３１と、この圧電層３１の振動板３０と反対側の面において、複数の圧力室１４が配置された平面に直交する方向から見て、複数の圧力室１４の中心部以外の領域である縁部と夫々重なる領域に配置された複数の個別電極３２とを有する。ここで、振動板３０の圧力室１４側の面の、圧力室１４の中央部と重なる領域には凹部４０が形成されており、この凹部４０が形成された部分において振動板３０の剛性が部分的に低下しているため、より低い駆動電圧で振動板３０を大きく変形させることが可能になる。【選択図】  図４
2006321174.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが液体流入口及び液体流出口を有し、且つ、平面に沿って配置された複数の圧力室を含む流路ユニットと、この流路ユニットの一表面に配置され、前記圧力室の容積を変化させてその内部の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、
前記圧電アクチュエータは、
前記圧力室を覆う振動板と、
この振動板の前記圧力室と反対側に配置された圧電層と、
この圧電層の一方の面の、前記平面に直交する方向から見て、前記複数の圧力室の中央部以外の領域である縁部と夫々重なる領域に配置された複数の個別電極、及び、前記圧電層の他方の面に配置された共通電極を有し、
前記振動板の前記圧力室側の面の、前記平面に直交する方向から見て、少なくとも前記圧力室の中央部と重なる領域に、凹部が形成されていることを特徴とする液体移送装置。
【請求項２】
前記複数の圧力室は、それぞれ所定の一方向に長い形状に形成されており、
各圧力室の長手方向の両端部に前記液体流入口及び前記液体流出口が設けられ、
前記凹部の前記長手方向端部が、前記平面に直交する方向から見て、前記液体流入口と前記液体流出口の少なくとも何れか一方と部分的に重なっていることを特徴とする請求項１に記載の液体移送装置。
【請求項３】
前記凹部は、前記液体流入口と前記液体流出口の少なくとも一方に対して、前記長手方向と直交する方向の一方側に偏った状態で重なっていることを特徴とする請求項２に記載の液体移送装置。
【請求項４】
前記凹部は、前記圧力室側ほど広がるテーパー状の断面形状を有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項５】
前記流路ユニットは、前記複数の圧力室と連通する共通液室を有し、
前記凹部は、前記平面に直交する方向から見て、前記圧力室と重なる領域よりも外側の領域まで延びており、
前記凹部の前記圧力室と重なる領域よりも外側まで延びた部分と、前記流路ユニットの一表面との間に、前記共通液室と各圧力室との間において流路面積が部分的に狭くなる絞り流路が形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体移送装置。
【請求項６】
前記流路ユニットは、前記凹部との間に前記絞り流路を形成するとともに、前記圧力室の一側面を画定する隔壁部を備え、
この隔壁部の前記圧力室の一側面を画定する面が、前記振動板から離れるほど前記圧力室側に傾斜していることを特徴とする請求項５に記載の液体移送装置。
【請求項７】
前記個別電極は、前記圧力室の縁部に沿って環状に形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れかに記載の液体移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体に圧力を付与して移送する液体移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクをノズルへ移送して、このノズルから記録用紙等の被噴射体に対して吐出するインクジェットヘッドとしては、種々の構成のものが提案され、あるいは、実用化されている。その中でも、特許文献１に記載のインクジェットヘッドは、ノズルに連通する圧力室が複数形成された流路ユニット（キャビティプレート）と、圧力室の容積を変化させることにより圧力室内のインクにノズルから吐出させるための圧力を付与する圧電アクチュエータとを備えている。
【０００３】
このインクジェットヘッドの圧電アクチュエータは、圧力室を覆うように配設された、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる複数枚の圧電シートと、これら複数枚の圧電シートの間に交互に配置された、個別電極（駆動電極）及び共通電極（コモン電極）とを有する。個別電極と共通電極は、圧電シートの面に直交する方向から見て、圧力室の内側の領域においてその縁部に沿うように環状に形成されている。
【０００４】
そして、この圧電アクチュエータは、圧力室の容積を一旦増加させて圧力室内にインクを引き込んだ後、圧力室の容積を減少させることによりインクに大きな圧力を付与する、いわゆる、引き打ちを容易に行うことができるように構成されている。即ち、共通電極がグランド電位に保持された状態で、個別電極に駆動電圧が印加されると、個別電極と共通電極との間に挟まれた、圧力室の縁部に重なる圧電シートの環状部分がその面に平行な方向に縮む。その結果、複数枚の圧電シートが圧力室と反対側に凸となるように変形し、圧力室内の容積が増加して、圧力室内に負の圧力波が発生する。さらに、この圧力波が圧力室内で正に転じるタイミングで、個別電極への駆動電圧の印加が停止されると、複数枚の圧電シートが元の形状に戻って圧力室内の容積が減少するが、このとき、前述の圧力室の容積増大に伴う圧力波と、圧電シートの復元に伴い生じる圧力波とが合成されて、インクに大きな圧力が付与される。そのため、この圧電アクチュエータは、比較的低い駆動電圧でインクに効率よく圧力を付与することができる。また、インクを吐出するタイミングにおいてのみ個別電極に駆動電圧が印加されて圧電層に電界が作用するため、インクの吐出タイミング以外では圧電層に電界が付与されず、圧電層に分極劣化が生じにくくなることから、アクチュエータの耐久性も高くなる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−１６６４６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、前述の特許文献１に記載されているような圧電アクチュエータにおいて、圧力室と重なる領域（特に、圧力室の中央部と重なり、個別電極が形成されていない領域）における剛性が高いと、圧電シート全体が変形しにくくなり、変形量が小さくなる。その場合には、圧力室内のインクに所定の圧力を付与するために個別電極により高い駆動電圧を印加することになり、圧電アクチュエータの消費電力が大きくなってしまう。従って、圧電アクチュエータの駆動効率をより向上させるためには、駆動電圧を高くすることなく、その変形量を大きくすることが可能な構成が求められる。
【０００７】
本発明の目的は、駆動効率に優れる圧電アクチュエータを備えた液体移送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００８】
第１の発明の液体移送装置は、それぞれが液体流入口及び液体流出口を有し、且つ、平面に沿って配置された複数の圧力室を含む流路ユニットと、この流路ユニットの一表面に配置され、前記圧力室の容積を変化させてその内部の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータとを備え、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室を覆う振動板と、この振動板の前記圧力室と反対側に配置された圧電層と、この圧電層の一方の面の、前記平面に直交する方向から見て、前記複数の圧力室の中央部以外の領域である縁部と夫々重なる領域に配置された複数の個別電極、及び、前記圧電層の他方の面に配置された共通電極を有し、前記振動板の前記圧力室側の面の、前記平面に直交する方向から見て、少なくとも前記圧力室の中央部と重なる領域に、凹部が形成されていることを特徴とするものである。
【０００９】
この液体移送装置において、圧電アクチュエータの個別電極は、圧力室の縁部と重なる領域に配置されている。そのため、個別電極に駆動電圧が印加されると、個別電極と共通電極との間に挟まれた、圧力室の縁部に沿う圧電層の部分がその面に平行な方向に縮む。すると、振動板が圧力室の中心部と重なる部分を頂点として圧力室と反対側に凸となるように変形し、その結果、圧力室の容積が増加して、圧力室内に負の圧力波が発生する。さらに、この圧力波が圧力室内で正に転じるタイミングで、個別電極への駆動電圧の印加が停止されると、振動板が元の形状に戻って圧力室内の容積が減少するが、前述の圧力室の容積増大に伴う圧力波と、振動板の復元に伴い生じる圧力波とが合成され、圧力室内の液体に大きな圧力が付与される。従って、比較的低い駆動電圧で液体に高い圧力を付与することが可能になり、圧電アクチュエータの駆動効率が高くなる。また、液体を移送するタイミングにおいてのみ個別電極が駆動電圧を印加されて圧電層に電界が作用するため、圧電層に分極劣化が生じにくく、耐久性に優れる。
【００１０】
さらに、振動板の圧力室側の面の、圧力室の中央部と重なる領域（個別電極が形成されていない従動領域）に凹部が形成されてその厚さが部分的に薄くなっており、この凹部が形成された部分の振動板の剛性が他の部分よりも低下している。従って、個別電極に駆動電圧が印加されて圧電層が変形したときに、振動板が変形しやすくなるため、その振動板の変形量を大きくすることができ、圧電アクチュエータの駆動効率が向上する。
尚、この第１の発明は、振動板と共通電極とが別部材で構成されている態様だけでなく、振動板が導電性を有し、この振動板の圧力室と反対側の面が共通電極を兼ねている態様をも含む。
【００１１】
第２の発明の液体移送装置は、前記第１の発明において、前記複数の圧力室は、それぞれ所定の一方向に長い形状に形成されており、各圧力室の長手方向の両端部に前記液体流入口及び前記液体流出口が設けられ、前記凹部の前記長手方向端部が、前記平面に直交する方向から見て、前記液体流入口と前記液体流出口の少なくとも何れか一方と部分的に重なっていることを特徴とするものである。この構成では、圧力室内において、液体流入口から凹部を経て液体流出口に至るよどみのない液体の流れが生じるため、圧力室内に気泡が混入したときでも、その気泡が凹部の端部に滞留しにくくなる。
【００１２】
第３の発明の液体移送装置は、前記第２の発明において、前記凹部は、前記液体流入口と前記液体流出口の少なくとも一方に対して、前記長手方向と直交する方向の一方側に偏った状態で重なっていることを特徴とするものである。この構成によれば、液体流入口から凹部に液体が流れ込む際、あるいは、凹部から液体流出口へ液体が流れ出す際に、渦流が発生しやすくなるため、液体流入口付近または液体流出口付近に気泡が滞留しにくくなる。
【００１３】
第４の発明の液体移送装置は、前記第１〜第３の何れかの発明において、前記凹部は、前記圧力室側ほど広がるテーパー状の断面形状を有することを特徴とするものである。この構成では、凹部の隅部の角度が９０度より大きくなるため、この隅部に気泡が滞留しにくくなる。
【００１４】
第５の発明の液体移送装置は、前記第１〜第４の何れかの発明において、前記流路ユニットは、前記複数の圧力室と連通する共通液室を有し、前記凹部は、前記平面に直交する方向から見て、前記圧力室と重なる領域よりも外側の領域まで延びており、前記凹部の前記圧力室と重なる領域よりも外側まで延びた部分と、前記流路ユニットの一表面との間に、前記共通液室と各圧力室との間において流路面積が部分的に狭くなる絞り流路が形成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
共通液室と各圧力室との間に設けられる絞り流路は、各圧力室で発生した圧力波を共通液室へ伝播しにくくなるように流路を絞るためのものであるが、この絞り流路の流路面積は、圧力室内における圧力波の伝播、ひいては、液体の移送量等に大きな影響を及ぼすため、絞り流路は精度よく形成される必要がある。ここで、絞り流路は、凹部の一部と流路ユニットの一表面との間に形成されることから、振動板に凹部を形成することにより、絞り流路をも同時形成することができることになる。従って、精度よく形成する必要のある絞り流路を、凹部とは別にハーフエッチング等により形成する場合に比べて製造工程を簡略化でき、歩留まりも低下する
【００１６】
第６の発明の液体移送装置は、前記第５の発明において、前記流路ユニットは、前記凹部との間に前記絞り流路を形成するとともに、前記圧力室の一側面を画定する隔壁部を備え、この隔壁部の前記圧力室の一側面を画定する面が、前記振動板から離れるほど前記圧力室側に傾斜していることを特徴とするものである。この構成では、隔壁部と圧力室の底面とで形成される隅部において液体がよどみにくくなるため、この隅部に気泡が滞留しにくくなる。
【００１７】
第７の発明の液体移送装置は、前記第１〜第６の何れかの発明において、前記個別電極は、前記圧力室の縁部に沿って環状に形成されていることを特徴とするものである。この構成では、個別電極が形成された圧力室の縁部に沿う環状の領域において全周にわたって圧電層が変形するため、この圧電層の変形に伴う振動板の変形が大きくなり、圧電アクチュエータの駆動効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の第１実施形態について説明する。本実施形態は、液体移送装置として、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。
まず、インクジェットヘッド１を備えたインクジェットプリンタ１００について簡単に説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、図１の左右方向に移動可能なキャリッジ１０１と、このキャリッジ１０１に設けられて記録用紙Ｐに対してインクを吐出するシリアル式のインクジェットヘッド１と、記録用紙Ｐを図１の前方へ搬送する搬送ローラ１０２等を備えている。インクジェットヘッド１は、キャリッジ１０１と一体的に左右方向（走査方向）へ移動して、その下面のインク吐出面に形成されたノズル２０（図２〜図５参照）の出射口から記録用紙Ｐに対してインクを吐出する。そして、インクジェットヘッド１により記録された記録用紙Ｐは、搬送ローラ１０２により前方（紙送り方向）へ排出される。
【００１９】
次に、インクジェットヘッド１について説明する。図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド１は、内部にインク流路が形成された流路ユニット２と、この流路ユニット２の上面に配置された圧電アクチュエータ３とを有する。
【００２０】
まず、流路ユニット２について説明する。流路ユニット２はキャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及びノズルプレート１３を備えており、これら４枚のプレート１０〜１３が積層状態で接合されている。このうち、キャビティプレート１０、ベースプレート１１及びマニホールドプレート１２は略矩形のステンレス鋼製の板である。そのため、これら３枚のプレート１０〜１２に、後述するマニホールド１７や圧力室１４等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズルプレート１３は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート１２の下面に接着される。あるいは、このノズルプレート１３も、３枚のプレート１０〜１２と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。
【００２１】
図２〜図５に示すように、キャビティプレート１０には、平面に沿って配列された複数の圧力室１４が形成されており、これら複数の圧力室１４は、後述の振動板３０側（図４、図５の上方）へ開口している。また、複数の圧力室１４は、紙送り方向（図２の上下方向）に２列に配列されている。各圧力室１４は、平面視で走査方向（図２の左右方向）に長い、略楕円形状に形成されている。図３、図４に示すように、圧力室１４は、ともに円形の平面形状を有するインク流入口１４ａ（液体流入口）とインク流出口１４ｂ（液体流出口）とを有し、これらインク流入口１４ａ及びインク流出口１４ｂは圧力室１４の長手方向両端部に夫々配置されている。
【００２２】
図３、図４に示すように、ベースプレート１１の、平面視で圧力室１４の両端部（インク流入口１４ａ及びインク流出口１４ｂ）と重なる位置には、夫々連通孔１５，１６が形成されている。また、マニホールドプレート１２には、紙送り方向（図２の上下方向）に延びるマニホールド１７が形成されている。図２〜図４に示すように、マニホールド１７は、平面視で、左側に配列された圧力室１４の左半分、及び、右側に配列された圧力室１４の右半分と夫々重なるように配置されている。そして、このマニホールド１７は、後述の振動板３０に形成されたインク供給口１８が接続されており、インクタンク（図示省略）からインク供給口１８を介してインクが供給される。また、マニホールドプレート１２の、平面視で複数の圧力室１４のマニホールド１７と反対側の端部と重なる位置には、夫々、複数の連通孔１６に連なる複数の連通孔１９も形成されている。さらに、ノズルプレート１３の、平面視で複数の連通孔１９に夫々重なる位置には、複数のノズル２０が夫々形成されている。これらのノズル２０は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂の基板にエキシマレーザー加工を施すことにより形成される。
【００２３】
そして、図４に示すように、マニホールド１７は連通孔１５を介して圧力室１４のインク流入口１４ａに連通し、さらに、圧力室１４のインク流出口１４ｂは、連通孔１６，１９を介してノズル２０に連通している。このように、流路ユニット２内には、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル２０に至る個別インク流路２１が形成されている。
【００２４】
次に、圧電アクチュエータ３について説明する。
図２〜図５に示すように、圧電アクチュエータ３は、流路ユニット２の上面に配置された導電性を有する振動板３０と、この振動板３０の上面（圧力室１４と反対側の面）に形成された圧電層３１と、この圧電層３１の上面において、複数の圧力室１４に夫々対応して形成された複数の個別電極３２とを備えている。
【００２５】
振動板３０は、金属材料（例えば、ステンレス鋼等の鉄系合金、ニッケル合金、アルミニウム合金、あるいは、チタン合金等）からなる、平面視で略矩形状の板であり、この振動板３０は、複数の圧力室１４を覆うようにキャビティプレート１０に接合されている。また、この振動板３０は、圧電層３１の下面側に配置されて個別電極３２と振動板３０との間の圧電層３１に電界を作用させる共通電極を兼ねており、振動板３０は常にグランド電位に保持された状態となっている。
【００２６】
ここで、図３〜図５に示すように、振動板３０の下面（圧力室１４側の面）の、平面視で圧力室１４の中央部と重なる領域には、圧力室１４よりも一回り小さい楕円形の凹部４０が形成されている。そして、この凹部４０が形成された領域においては、振動板３０の厚さが他の部分よりも薄くなっており、振動板３０の剛性が部分的に低下している。この凹部４０は、ハーフエッチングやプレス加工等の種々の加工方法を用いて形成することができる。この凹部４０については、その作用及び効果と合わせて、後ほどさらに詳しく説明する。
【００２７】
圧電層３１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなり、振動板３０の上面において、複数の圧力室１４を全面的に覆うように形成されている。この圧電層３１は、例えば、圧電材料の粒子を基材の一表面に噴射して堆積させるエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）により形成することができる。また、スパッタ法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、ゾル・ゲル法、水熱合成法等の、他の既知の方法で圧電層３１を形成することもできる。あるいは、ＰＺＴのグリーンシートを焼成することにより生成された圧電シートを所定の大きさに切断し、この切断された圧電シートを振動板３０に貼り付けることにより圧電層３１を形成してもよい。
【００２８】
個別電極３２はその中央部に穴３２ａを有し、平面視で（複数の圧力室１４が配置された平面と直交する方向から見て）、圧力室１４の中央部以外の領域である縁部と重なる領域において、この縁部に沿った環状に形成されている。尚、個別電極３２は、導電性材料（例えば、金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタン等）で形成されている。さらに、図２〜図４に示すように、複数の個別電極３２の一端部からは、夫々複数の端子部３５が走査方向（図２の左右方向）に延びている。そして、これら複数の端子部３５には、フレキシブルプリント配線板（Flexible Printed Circuit：ＦＰＣ）等の可撓性を有する配線部材（図示省略）を介して、ドライバＩＣ３７が接続されており、このドライバＩＣ３７から複数の端子部３５を介して複数の個別電極３２に対して選択的に駆動電圧が印加される。尚、個別電極３２及び端子部３５は、スクリーン印刷、スパッタ法、あるいは、蒸着法等により形成することができる。
【００２９】
次に、インク吐出時における圧電アクチュエータ３の作用について説明する。
複数の個別電極３２に対してドライバＩＣ３７から選択的に駆動電圧が印加されると、駆動電圧が印加された圧電層３１上側の個別電極３２とグランド電位に保持されている圧電層３１下側の共通電極としての振動板３０の電位が異なる状態となり、個別電極３２と振動板３０の間に挟まれた、圧電層３１の圧力室１４の縁部に沿う環状部分にその厚み方向の電界が生じる。このとき、圧電層３１の分極方向と電界の方向とが同じ場合には、圧電層３１がその分極方向である厚み方向に伸びて、分極方向と直交する方向である、圧電層３１の面と平行な方向に収縮する。
【００３０】
ここで、前述したように、個別電極３２は、圧電層３１の圧力室１４の縁部と重なる環状の領域に形成されているため、図６に示すように、圧電アクチュエータ３の、圧力室１４の縁部に沿う環状の領域が、圧電層３１が自発的に変形する駆動領域Ａ１（活性領域）となり、圧力室１４の中央部と重なる領域が、駆動領域Ａ１の圧電層３１の変形に伴って変形する従動領域Ａ２（非活性領域）となる。また、圧力室１４の外側の、振動板３０がキャビティプレート１０に接合された領域は、振動板３０の変形が拘束された被拘束領域Ａ３となる。そして、図６における両側に位置する駆動領域Ａ１の圧電層３１は面と平行な方向に収縮する一方で、この駆動領域Ａ１における振動板３０は面と平行な方向に収縮しないことから、駆動領域Ａ１の間に挟まれた従動領域Ａ２の圧電層３１及び振動板３０が変形し、振動板３０は従動領域Ａ２の中央を頂点として圧力室１４と反対側に凸となるように変形する（フニモルフ変形）。すると、圧力室１４内の容積が増大して、圧力室１４内に負の圧力波が発生する。
【００３１】
従来から知られているように、この圧力室１４の容積増大に伴う圧力波が圧力室１４の長手方向に片道伝播する時間が経過したときに、圧力室１４内の圧力は正に転じる。そこで、ドライバＩＣ３７は、この圧力室１４内の圧力が正に転じるタイミングで、このドライバＩＣ３７による個別電極３２への駆動電圧の印加を停止する。すると、個別電極３２の電位がグランド電位になり、振動板３０が元の形状に戻って圧力室１４内の容積が減少するが、このとき、前述の圧力室１４の容積増大に伴う圧力波と、振動板３０の復元に伴い生じる圧力波とが合成されるため、圧力室１４内のインクに大きな圧力が付与されて、インクがノズル２０から吐出される。従って、低い駆動電圧でインクに高い圧力を付与することが可能になり、圧電アクチュエータ３の駆動効率が高くなる。また、インクを吐出するタイミングにおいてのみ個別電極３２に駆動電圧を印加して圧電層３１に電界を作用させるため、圧電層３１に分極劣化が生じにくく、耐久性に優れる。
【００３２】
尚、個別電極３２は、圧力室１４の縁部に沿って環状に形成されており、個別電極３２が形成された圧力室１４の縁部に沿う環状領域の全周にわたって圧電層３１が変形する。そのため、圧力室１４の縁部の一部にのみ個別電極３２が形成されている場合に比べて、圧電層３１の変形に伴う振動板３０の変形量は大きくなる。
【００３３】
ここで、当然のことであるが、振動板３０の変形量が大きいほど、低い駆動電圧でインクに高い圧力を付与することが可能になり、圧電アクチュエータ３の駆動効率は高くなる。そして、振動板３０の変形量を大きくするには、個別電極３２が形成されていない従動領域Ａ２における振動板３０の剛性をできるだけ低くすることが効果的である。そこで、この第１実施形態のインクジェットヘッド１においては、図２〜図６に示すように、振動板３０の下面（圧力室１４側の面）の、圧力室１４の中央部と重なる領域（個別電極３２の穴３２ａに対向する領域）に、圧力室１４よりも一回り小さい楕円形状の凹部４０が形成されている。つまり、圧力室１４の中央部と重なる従動領域Ａ２において、振動板３０の厚さが他の部分に比べて薄くなっている。ここで、板材の曲げ剛性は板厚の３乗に比例するため、凹部４０が形成された部分の振動板３０の剛性は、凹部４０が形成されていない他の部分に比べてかなり小さくなる。従って、個別電極３２に駆動電圧が印加されて圧電層３１の駆動領域Ａ１の部分が変形したときに、振動板３０の従動領域Ａ２の部分がより変形しやすくなるため、より低い駆動電圧でインクに高い圧力を付与することができ、圧電アクチュエータ３の駆動効率が向上する。また、駆動電圧を低くすることにより、個別電極３２に駆動電圧を供給するドライバＩＣ３７やＦＰＣ等の電装系統のコストを低減することも可能になる。さらに、凹部４０が形成された部分の振動板３０の剛性が、凹部４０が形成されていない部分の剛性よりも小さくなることによって、これらの剛性が同じである場合に比べて、凹部４０が形成された部分の変形が、凹部４０が形成されずにキャビティプレート１０に接合された部分に伝わりにくくなる。したがって、振動板３０の変形が隣接する圧力室１４に対応する部分まで伝わることを抑制し、クロストークを低減させることができる。
【００３４】
また、この凹部４０は、振動板３０の下面（圧力室１４側の面）に形成されているため、振動板３０の上面は凹凸のない平面状になっている。そのため、振動板３０の上面に、ＡＤ法等を用いて圧電層３１を形成したときに、この圧電層３１の上面に凹凸が生じにくくなる。つまり、凹凸の少ない圧電層３１の上面に個別電極３２を形成するため、個別電極３２の形成が容易になるという効果も得られる。
【００３５】
また、図３、図４に示すように、振動板３０に形成された楕円形の凹部４０の長手方向両端部は、平面視で、円形のインク流入口１４ａ及びインク流出口１４ｂの略中央部と重なる領域まで夫々延びて、これらと部分的に重なっている。従って、圧力室１４内に、その長手方向に沿ってインク流入口１４ａから凹部４０を経てインク流出口１４ｂに至る、よどみのないインクの流れが生じるため、インクカートリッジを交換したときなどにインクに混入した気泡が圧力室１４内に侵入しても、凹部４０の両端の隅部に気泡が滞留しにくい。凹部４０の長手方向両端部の隅部は、凹部４０内でインクの速度が最も低下する位置であるため、一旦これらの位置に到達した気泡は、その位置から移動しにくくなって停留するのであるが、本実施の形態においては、インクの流れに含まれる気泡がこれらの位置に到達しにくくなっている。すなわち、インク流入口１４ａにはマニホールド１７から圧力室１４に向かうインクの流れが生じ、インク流出口１４ｂには圧力室１４からノズル２０に向かうインクの流れが生じるのであるが、これらのインクの流れは、圧力室１４内におけるインクの流れよりも急速であることから、インク流入口１４ａ及びインク流出口１４ｂの内部に位置する気泡は、これらの急速な流れに引きずられることによって、凹部４０の長手方向両端部の隅部に到達することなく流出されるのである。なお、凹部４０の長手方向両端部は、インク流入口１４ａ及びインク流出口１４ｂの圧力室１４の中心部の端部からこれらの略中心までの範囲内に位置するのが望ましい。また、図４、図５に示すように、凹部４０は、圧力室１４側（下側）ほど広がるテーパー状の断面形状を有する。つまり、凹部４０の隅部の角度が９０度より大きくなっているため、気泡が凹部４０の隅部に滞留しにくい。尚、凹部４０のテーパー角度は、例えば、エッチング速度等の加工条件を調整することにより、所望の角度にすることができる。
【００３６】
このように、凹部４０の両端部や隅部に気泡が滞留しにくくなっているため、圧電アクチュエータ３により圧力室１４内のインクに付与される圧力の一部が気泡により吸収されて、ノズル２０から吐出されるインクの液滴速度や液滴体積が小さくなるなどの悪影響が生じるのが極力防止される。
【００３７】
次に、前記第１実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記第１実施形態とほぼ同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
１］図７に示すように、凹部４０Ａの両端部における幅がその中央部における幅に比べて狭くなっており、幅が部分的に狭くなったこれら両端部が、平面視でインク流入口１４ａ及びインク流出口１４ｂとそれぞれ重なっていてもよい（変更形態１）。図３に示した形態では、個別電極３２が形成された駆動領域Ａ１の一部分に凹部４０が重なるように形成されていたが、本変更形態によれば、図３に示した形態と比べて、個別電極３２が形成された駆動領域Ａ１内における、振動板３０の凹部４０Ａが形成された領域が占める割合を少なくすることができる。本発明の圧電アクチュエータ３に採用されるユニモルフ変形は、その変形効率が、駆動領域Ａ１内における圧電層３１と振動板３０との剛性の比に依存するものであるため、変形効率を最適化するように振動板３０の厚みを決定した場合には、凹部４０の駆動領域Ａ１に対する重なりが変形効率を劣化させるように作用していたが、本変変更形態においては、凹部４０Ａの駆動領域Ａ１に重なる部分を小さくすることができるので、良好な変形効率を維持することができる。
【００３８】
２］さらに、図８に示すように、凹部４０Ｂの、幅が部分的に狭くなった両端部が、インク流入口１４ａ及びインク流出口１４ｂに対して、それぞれ圧力室１４の長手方向と直交する方向の一方側（図８における上方又は下方）に偏った状態で、これらインク流入口１４ａ及びインク流出口１４ｂと部分的に重なるように配置されていてもよい（変更形態２）。インク流入口１４ａとインク流出口１４ｂは、圧力室１４の両端部に配置されており、さらに、これらインク流入口１４ａ及びインク流出口１４ｂにおいてはインクの流れ方向がほぼ直角的に変化している（図４参照）ことから、局所的にインクの流速が遅くなるよどみ点が生じやすく、圧力室１４内に侵入した気泡はインク流入口１４ａやインク流出口１４ｂ付近に滞留しやすい。しかし、この変更形態２の構成によれば、インク流入口１４ａからインクが凹部４０Ｂへ流れる際、あるいは、凹部４０Ｂからインク流出口１４ｂへインクが流れる際に、渦流が発生しやすくなるため、前述の変更形態１（図７参照）に比べて、インク流入口１４ａ付近やインク流出口１４ｂ付近の流速が高まり、気泡が滞留しにくくなる。
【００３９】
３］図９に示すように、凹部４０Ｃが、個別電極３２が形成されていない圧力室１４の中央部と重なる領域から、個別電極３２が形成されている領域まで延びるように形成されていてもよい（変更形態３）。
【００４０】
４］図１０、図１１に示すように、振動板３０Ｄに形成された凹部４０Ｄが、圧力室１４の縁まで延びて、前記第１実施形態の凹部４０（図４、図５参照）よりも傾斜（テーパー角度）の緩いテーパー状に形成されていてもよい（変更形態４）。この構成では、凹部４０Ｄの隅部の角度が大きくなり、さらに気泡が滞留しにくくなる。
【００４１】
５］前記第１実施形態の圧電アクチュエータ３のように、振動板３０が共通電極を兼ねている必要は必ずしもなく、図１２に示すように、共通電極３４が振動板３０とは別に設けられていてもよい（変更形態５）。但し、振動板３０が金属板である場合には、振動板３０と共通電極３４との間が、セラミックス材料や合成樹脂材料等からなる絶縁材料層により絶縁されている必要がある。一方、振動板３０が絶縁材料からなる場合には、この振動板３０の上面に直接共通電極３４が形成される。
【００４２】
６］凹部が、インク流入口１４ａとインク流出口１４ｂの両方と重なっている必要は必ずしもなく、何れか一方と重なっている場合でも良好な気泡排出効果が得られる。
【００４３】
７］圧力室の形状は、楕円形状（長円形状）に限られるものではない。例えば、圧力室が菱形や矩形のような一方向に長い形状である場合には、前記第１実施形態と同様に本発明を適用できる。さらに、圧力室が一方向に長い形状である必要も特になく、例えば、圧力室が円形や正方形等である場合にも本発明を適用することは可能である。
【００４４】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。この第２実施形態は、インクジェットヘッドに本発明を適用した別の一例である。
図１３〜図１５に示すように、第２実施形態のインクジェットヘッド５１は、複数の圧力室６４を含むインク流路が形成された流路ユニット５２と、この流路ユニット５２の上面に配置された圧電アクチュエータ５３とを備えている。
【００４５】
図１５に示すように、流路ユニット５２は、キャビティプレート６０、マニホールドプレート６１、及び、ノズルプレート６２の３枚のプレートを備えており、これら３枚のプレートは積層状態で接合されている。キャビティプレート６０及びマニホールドプレート６１は、ステンレス鋼などの金属材料からなるプレートである。また、ノズルプレート６２は、ポリイミドなどの合成樹脂材料からなるプレートであってもよいし、あるいは、キャビティプレート６０やマニホールドプレート６１と同じく、金属材料からなるプレートであってもよい。
【００４６】
キャビティプレート６０には、平面に沿って配列された複数の圧力室６４が形成されている。各圧力室６４は、走査方向（図１３の左右方向）に長い略楕円形の平面形状を有する。また、このキャビティプレート６０及びその下のマニホールドプレート６１の、複数の圧力室６４の長手方向一端部（図１３、図１４では右端部）に近接する位置には、紙送り方向（図１３の上下方向）に延びるマニホールド６７（共通液室）が形成されている。複数の圧力室６４とマニホールド６７は、圧力室６４の一側面（図１３，図１４の右側面）を画定する隔壁部６６により仕切られた状態で、隣接して配置されている。また、図１５に示すように、圧力室６４の一端（図１５における右端）の縁と後述の振動板８０との間にはインク流入口６４ａが形成され、圧力室６４の他端部（図１５における左端部）にはインク流出口６４ｂが設けられている。さらに、隔壁部６６と振動板８０との間には圧力室６４とマニホールド６７とを連通させる絞り流路６８が形成されている。尚、隔壁部６６の、圧力室６４の図１５における右側面を画定する面６６ａは、振動板８０から離れるにつれて圧力室６４の内側に傾斜するように形成されている。つまり、この面６６ａは、圧力室６４の底面６４ｃ（振動板８０と反対側の面）に対して９０度を超える角度（例えば、１２０度）をなす傾斜面となっている。従って、絞り流路６８を介して圧力室６４内に流入したインクが、隔壁部６６の面６６ａと圧力室６４の底面６４ｃとの間の隅部によどみにくくなり、この隅部に気泡が滞留しにくい。また、マニホールドプレート６１の、各圧力室６４の図１３，図１４における左端部（インク流出口６４ｂ）と平面視で重なる位置には連通孔６９が形成されている。さらに、ノズルプレート６２の各連通孔６９の中央部と平面視で重なる位置にはノズル７０が形成されている。
【００４７】
そして、図１５に示すように、マニホールド６７が、絞り流路６８を介して圧力室６４のインク流入口６４ａに連通しており、さらに、圧力室６４のインク流出口６４ｂは、連通孔６９を介してノズル７０に連通している。
【００４８】
図１３及び図１５に示すように、圧電アクチュエータ５３は、流路ユニット５２の上面に配置された振動板８０と、この振動板８０の上面（圧力室６４と反対側の面）に形成された圧電層８１と、この圧電層８１の上面に複数の圧力室６４に夫々対応して環状に形成された複数の個別電極８２とを備えている。圧電層８１及び個別電極８２は、前記第１実施形態の圧電層３１及び個別電極３２（図３〜図６参照）と略同様の構成を有するものであり、その説明は省略する。
【００４９】
振動板８０は、複数の圧力室６４を覆うようにキャビティプレート６０に接合されている。ここで、振動板８０の下面（圧力室６４と反対側の面）の、平面視で圧力室６４の中央部と重なる領域には、圧力室６４の長手方向に延びる凹部９０が形成されている。そして、この凹部９０が形成された部分において振動板８０の剛性が部分的に低下して、振動板８０が変形しやすくなっているため、低い駆動電圧で振動板８０を大きく変形させることが可能である。
【００５０】
また、凹部９０の一端部（図１３及び図１５における左端部）は、平面視で、圧力室６４のインク流出口６４ｂの略中央部まで延びて部分的に重なっている。そのため、凹部９０からインク流出口６４ｂへインクがよどみなく流れることになり、圧力室６４内に気泡が侵入したときでも、この気泡がインク流出口６４ｂ付近に滞留しにくくなる。
【００５１】
さらに、振動板８０の下面に形成された凹部９０は、圧力室６４よりもさらに外側（図１３〜図１５における右方）に位置するマニホールド６７の幅方向（図１３の左右方向）略中央部まで延びている。そして、図１５に示すように、この凹部９０と圧力室６４の端部（図１５の右端部）との間にインク流入口６４ａが形成され、さらに、凹部９０の圧力室６４と重なる領域よりも外側まで延びた部分と隔壁部６６の上面との間には絞り流路６８が形成されている。この絞り流路６８の流路高さは凹部９０の深さに等しく、その流路面積は圧力室６４とマニホールド６７に比べて十分狭くなっている。そして、圧力室６４とマニホールド６７との間で部分的に流路面積が狭くなった絞り流路６８により、振動板８０が変形（振動）したときに圧力室６４で発生する圧力波がマニホールド６７へ伝播しにくくなるようになっている。
【００５２】
ところで、絞り流路６８の流路面積は、圧力室６４内における圧力波の伝播に影響し、ひいては、ノズル７０から吐出されるインクの液滴速度や液滴体積等、インク吐出特性に大きく影響を及ぼすことから、絞り流路６８はかなり精度よく形成されている必要がある。しかし、この第２実施形態のインクジェットヘッド５１においては、振動板８０の下面に形成された凹部９０の一部とキャビティプレート６０（流路ユニット５２）の隔壁部６６の上面との間に絞り流路６８が形成されることから、振動板８０に凹部９０を精度よく形成するだけで、絞り流路６８も同時に精度よく形成されることになる。従って、絞り流路６８を凹部９０とは別にハーフエッチング等により形成する場合に比べてインクジェットヘッド５１の製造工程を簡略化でき、歩留まりも向上する。
【００５３】
以上、本発明をインクジェットヘッドに適用した形態について第１実施形態及び第２実施形態を例に挙げて説明したが、本発明を適用可能な形態はこれら第１実施形態及び第２実施形態に限られるものではない。例えば、インク以外の液体を移送する種々の液体移送装置に本発明を適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２の一部拡大図である。
【図４】図３のIV-IV線断面図である。
【図５】図３のV-V線断面図である。
【図６】アクチュエータ駆動時における振動板の変形状態を示す図である。
【図７】変更形態１のインクジェットヘッドの拡大平面図である。
【図８】変更形態２のインクジェットヘッドの拡大平面図である。
【図９】変更形態３のインクジェットヘッドの拡大平面図である。
【図１０】変更形態４の図４相当の断面図である。
【図１１】変更形態４の図５相当の断面図である。
【図１２】変更形態５の図４相当の断面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドの拡大平面図である。
【図１４】流路ユニットの拡大平面図である。
【図１５】図１３のXV-XV線断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  インクジェットヘッド
２  流路ユニット
３  圧電アクチュエータ
１４  圧力室
１４ａ  インク流入口
１４ｂ  インク流出口
２０  ノズル
３０，３０Ｄ  振動板
３１  圧電層
３２  個別電極
３４  共通電極
４０，４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ，４０Ｄ  凹部
５１  インクジェットヘッド
５２  流路ユニット
５３  圧電アクチュエータ
６４ａ  インク流入口
６４ｂ  インク流出口
６４  圧力室
６６  隔壁部
６７  マニホールド
６８  絞り流路
７０  ノズル
８０  振動板
８１  圧電層
８２  個別電極
９０  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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