(57)【要約】  【課題】  被噴射体に対してより微細な液滴を噴射することが可能な液滴噴射装置を提供すること。  【解決手段】  インクジェットヘッド１は、インクが貯留されている圧力室１４と、この圧力室１４内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ３と、記録用紙Ｐに対してメイン液滴Ｉａを噴射可能であり、さらに、このメイン液滴Ｉａの噴射動作に伴ってメイン液滴Ｉａよりも体積の小さいサテライト液滴Ｉｂを噴射するノズル孔２０と、ノズル孔２０と記録用紙Ｐとの間であって、ノズル孔２０から噴射されたメイン液滴Ｉａには接触し且つサテライト液滴Ｉｂには接触しない位置に配置され、メイン液滴Ｉａのみを捕捉する突出部２２とを有するため、メイン液滴Ｉａは突出部２２に捕捉され、サテライト液滴Ｉｂだけが記録用紙Ｐに到達する。【選択図】  図５
2006062348.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が貯留されている貯留室と、
この貯留室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段と、
前記貯留室に連通したノズル孔であって、メイン液滴及び前記メイン液滴より体積の小さいサテライト液滴が噴射される出射口を有し、前記出射口から前記メイン液滴とサテライト液滴とを連続的に噴射可能なノズル孔と、
前記ノズル孔と被噴射体との間であって、前記ノズル孔の出射口から噴射された前記メイン液滴に接触し且つ前記サテライト液滴に接触しない位置に配置され、前記メイン液滴のみを捕捉するメイン液滴捕捉部と、
を有することを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
前記ノズル孔の出射口から噴射される前記サテライト液滴の飛翔軌道を前記メイン液滴の飛翔軌道と異なるように調整する飛翔軌道調整手段を有し、前記メイン液滴捕捉部が、前記メイン液滴の飛翔軌道上に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項３】
前記飛翔軌道調整手段は、ノズル孔の出射口に形成された張出部であって、該張出部を除く出射口の中心点から前記張出部までの距離が、前記中心点からその他の部位における距離より大きくなっており、前記張出部を構成する周縁の曲率がその他の部位の曲率よりも大きいことを特徴とする請求項２に記載の液滴噴射装置。
【請求項４】
前記張出部は、少なくとも前記ノズル孔の出射口が開口するインク吐出面において、前記出射口の周縁の一部を該出射口の径方向に切り欠くことにより形成された切欠部であることを特徴とする請求項３に記載の液滴噴射装置。
【請求項５】
前記切欠部が、前記側壁における前記ノズル孔の軸線方向に沿った全長に亘って形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液滴噴射装置。
【請求項６】
前記ノズル孔の出射口が開口するインク吐出面に、一部を除いて撥液膜が形成されており、
前記飛翔軌道調整手段は、前記インク吐出面において前記撥液膜が部分的に形成されていない部分であって、前記ノズル孔の出射口からこのノズル孔の径方向に延在している撥液膜非形成部であることを特徴とする請求項２に記載の液滴噴射装置。
【請求項７】
前記飛翔軌道調整手段は、前記ノズル孔の軸線方向と直交する方向に送風する送風手段であることを特徴とする請求項２に記載の液滴噴射装置。
【請求項８】
前記メイン液滴捕捉部は、その先端部が、前記ノズル孔の軸線方向から見て、前記メイン液滴と部分的に重なっており、且つ、前記サテライト液滴とは重ならない領域に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項９】
前記メイン液滴捕捉部は、その先端部が、前記メイン液滴及び前記サテライト液滴の噴射方向下流側ほど、前記ノズル孔の軸線から離れる方向に傾斜する形状に形成されていることを特徴とする請求項８に記載の液滴噴射装置。
【請求項１０】
前記メイン液滴捕捉部は、前記貯留室に連通していることを特徴とする請求項１〜９の何れかに記載の液滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録用紙や基板等の被噴射体に対して液滴を噴射する液滴噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
記録用紙に対してインクを噴射するインクジェットヘッドにおいては、高画質印字を実現するために、微小なインク滴を噴射する技術が要求されている。また、導電ペーストを噴射して基板上に微細な配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に噴射して高精細ディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に噴射して光導波路等の微小光学デバイスを形成する場合などにも、様々な被噴射体に対して非常に小さな液滴を噴射する技術が求められている。
【０００３】
例えば、インクジェットヘッドにおいては、インクを噴射するノズル孔の径を小さくすることにより、噴射されるインク滴をある程度小さくすることは可能である。また、インク滴をノズル孔から吐出させるアクチュエータに供給される吐出パルス信号を調整することにより、ノズル孔から吐出されるインク滴を任意の大きさに設定することが可能なインクジェット記録装置も提案されている。例えば、特許文献１に記載のインクジェット記録装置は、吐出パルス信号を調整することにより、先にノズル孔から吐出されるメインドット（メイン液滴）と、このメインドットの後に吐出されるサテライトドット（サテライト液滴）の重量を互いに等しくするように構成されており、このインクジェット記録装置によれば、主走査方向の解像度を実質的に倍にすることが可能になっている。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−２８５２２２号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、製造技術の面及びコスト面からノズル孔の径を小さくするにも限界がある。また、前述の特許文献１に記載されたインクジェット記録装置は、メインドットとサテライトドットの大きさをほぼ等しくすることができるものの、吐出パルス信号を調整することによって、ある程度の大きさの径を有するノズル孔から吐出されるメインドットとサテライトドットの両方を共に微小化することは、実際にはほとんど不可能である。そして、このような従来の液滴噴射技術では、より高画質な画像やより高精細な配線パターン等を被噴射体に形成することが困難になってきている。
【０００６】
本発明の目的は、被噴射体に対してより微細な液滴を噴射することが可能な液滴噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００７】
第１の発明の液滴噴射装置は、液体が貯留されている貯留室と、この貯留室内の液体に圧力を付与する圧力付与手段と、前記貯留室に連通したノズル孔であって、メイン液滴及び前記メイン液滴より体積の小さいサテライト液滴が噴射される出射口を有し、前記出射口から前記メイン液滴とサテライト液滴とを連続的に噴射可能なノズル孔と、前記ノズル孔と被噴射体との間であって、前記ノズル孔の出射口から噴射された前記メイン液滴に接触し且つ前記サテライト液滴に接触しない位置に配置され、前記メイン液滴のみを捕捉するメイン液滴捕捉部と、を有することを特徴とするものである。
【０００８】
この液滴噴射装置において、貯留室内の液体に対して圧力付与手段により圧力が付与されると、貯留室に連通するノズル孔から被噴射体に対して液滴が噴射される。このとき、ノズル孔からは、体積の大きいメイン液滴と当該メイン液滴よりも体積の小さいサテライト液滴とが形成され、これらが連続して噴射される。ここで、ノズル孔と被噴射体の間であって、メイン液滴には接触し且つサテライト液滴には接触しない位置にメイン液滴捕捉部が設けられている。従って、メイン液滴捕捉部により体積の大きなメイン液滴のみを捕捉して、体積の小さなサテライト液滴だけを被噴射体に着弾させることができるため、被噴射体に非常に小さなドットを形成することができる。
【０００９】
第２の発明の液滴噴射装置は、前記第１の発明において、前記ノズル孔から噴射される前記サテライト液滴の飛翔軌道を前記メイン液滴の飛翔軌道と異なるように調整する飛翔軌道調整手段を有し、前記メイン液滴捕捉部が、前記メイン液滴の飛翔軌道上に配置されていることを特徴とするものである。従って、飛翔軌道調整手段により、サテライト液滴の飛翔軌道をメイン液滴の飛翔軌道と異ならせることができ、メイン液滴の飛翔軌道上に配置されたメイン液滴捕捉部によりメイン液滴のみを捕捉して、サテライト液滴だけを被噴射体に着弾させることができる。
【００１０】
第３の発明の液滴噴射装置は、前記第２の発明において、前記飛翔軌道調整手段は、ノズル孔の出射口に形成された張出部であって、該張出部を除く出射口の中心点から前記張出部までの距離が、前記中心点からその他の部位における距離より大きくなっており、前記張出部を構成する周縁の曲率がその他の部位の曲率よりも大きいことを特徴としている。噴射の際、ノズルより突出したインクから、体積の大きなメイン液滴が形成され、前記突出したインクのノズル孔の出射口に近接した部位、即ち基端部は張出部に引っ張られ、この引っ張られた基端部からサテライト液滴分離して形成される。そして、メイン液滴はノズル孔の軸線方向に沿って噴射され、サテライト液滴は前記引っ張られた基端部を起点としてノズル孔の軸線から離れる方向に噴射される。
第４の発明の液滴噴射装置は、前記第３の発明において、前記張出部は、少なくとも前記ノズル孔の出射口が開口するインク吐出面において、前記出射口の周縁の一部を該出射口の径方向に切り欠くことにより形成された切欠部であることを特徴としている。従って、このような簡単な構成により、サテライト液滴の飛翔軌道を簡単にメイン液滴の飛翔軌道と異ならせることができる。
第５の発明の液滴噴射装置は、前記第４の発明において、前記切欠部が、前記側壁における前記ノズル孔の軸線方向に沿った全長に亘って形成されていることを特徴としている。その為、製造コストの面で有利である。具体的には、切欠部は、例えばプレス加工等を用いたり、あるいは、インク吐出面上にマスクパターン等を形成してその上からエキシマレーザーを照射したりすることで、その後の加工処理を必要とすることなく容易に形成することが出来る。
【００１１】
第６の発明の液滴噴射装置は、前記第２の発明において、前記ノズル孔の出射口が形成されたインク吐出面には、一部を除いて撥液膜が形成され、前記飛翔軌道調整手段は、前記インク吐出面において、前記ノズル孔の出射口からこのノズル孔の径方向に延び、前記撥液膜が部分的に形成されていない部分である、撥液膜非形成部であることを特徴とするものである。撥液膜非形成部においては液体の濡れ性が高くなるため、ノズル孔から噴出されるメイン液滴の基端部が撥液膜非形成部に引っ張られ、この部分がメイン液滴から分離してサテライト液滴が形成される。そして、このサテライト液滴は撥液膜非形成部を起点としてノズル孔の軸線から離れる方向に飛翔することになる。従って、このような簡単な構成により、サテライト液滴の飛翔軌道をメイン液滴の飛翔軌道と異ならせることができる。
【００１２】
第７の発明の液滴噴射装置は、前記第２の発明において、前記飛翔軌道調整手段は、前記ノズル孔の軸線方向と直交する方向に送風する送風手段であることを特徴とするものである。メイン液滴とサテライト液滴の重量は異なることから、これら液滴に対してその飛翔方向と直交する方向に風圧が作用したときの、メイン液滴とサテライト液滴の飛翔軌道の変化の度合いが異なるため、サテライト液滴の飛翔軌道をメイン液滴の飛翔軌道と確実に異ならせることができる。また、送風手段の風圧の強さを調整することにより、サテライト液滴の着弾位置を調整することも可能になる。
【００１３】
第８の発明の液滴噴射装置は、前記第１の発明において、前記メイン液滴捕捉部の先端部は、前記ノズル孔の軸線方向から見て、前記メイン液滴と部分的に重なり、且つ、前記サテライト液滴とは重ならない領域に配置されていることを特徴とするものである。従って、メイン液滴とサテライト液滴はともにノズル孔の軸線に沿って噴射される場合でも、体積の大きなメイン液滴はメイン液滴捕捉部により捕捉される一方で、体積の小さなサテライト液滴はメイン液滴捕捉部により捕捉されないため、サテライト液滴のみが被噴射体に到達することになる。
【００１４】
第９の発明の液滴噴射装置は、前記第８の発明において、前記メイン液滴捕捉部の先端部は、前記メイン液滴及び前記サテライト液滴の噴射方向下流側ほど、前記ノズル孔の軸線から離れる方向に傾斜する形状に形成されていることを特徴とするものである。このように、メイン液滴捕捉部の先端部が、液滴の噴射方向下流側ほど、ノズル孔の軸線から離れる方向に傾斜していることから、先にノズル孔から噴射されて、メイン液滴捕捉部の先端に絡んだメイン液滴がノズル孔の軸線から離れる方向に移動するため、メイン液滴が、次に噴射されるサテライト液滴に干渉することがない。
【００１５】
第１０の発明の液滴噴射装置は、前記第１〜第９の何れかの発明において、前記メイン液滴捕捉部は、前記貯留室に連通していることを特徴とするものである。従って、捕捉されたメイン液滴を貯留室に戻すことができるため、インクを無駄なく使用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
まず、本発明の第１実施形態について説明する。この第１実施形態は、液滴噴射装置として、記録用紙にインクを噴射するシリアル式のインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。
本実施形態のインクジェットヘッド１を備えたインクジェットプリンタ１００について簡単に説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１００は、図１の左右方向（走査方向）に移動可能なキャリッジ１０１と、このキャリッジ１０１に設けられて記録用紙Ｐ（被噴射体）に対してインクを噴射するインクジェットヘッド１と、記録用紙Ｐを図１の前方へ搬送する搬送ローラ１０２等を備えている。インクジェットヘッド１は、キャリッジ１０１と一体的に左右方向（走査方向）へ移動して、その下面のインク吐出面５に形成されたノズル孔の出射口から記録用紙Ｐに対してインクを噴射する。そして、インクジェットヘッド１により記録された記録用紙Ｐは、搬送ローラ１０２により前方（紙送り方向）へ排出される。
【００１７】
次に、インクジェットヘッド１について詳細に説明する。図２はインクジェットヘッド１の部分平面図、図３は図２のIII-III線断面図である。
図２、図３に示すように、インクジェットヘッド１は、内部に圧力室１４を含む個別インク流路が形成された流路ユニット２と、この流路ユニット２の上面に積層された圧電アクチュエータ３とを備えている。
【００１８】
まず、流路ユニット２について説明する。図３に示すように、流路ユニット２はキャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及びノズル孔プレート１３を備えており、これら４枚のプレート１０〜１３が積層状態で接着されている。このうち、キャビティプレート１０、ベースプレート１１及びマニホールドプレート１２はステンレス鋼製の板であり、これら３枚のプレート１０〜１２に、後述するマニホールド１７や圧力室１４等のインク流路をエッチングにより容易に形成することができるようになっている。また、ノズル孔プレート１３は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂材料により形成され、マニホールドプレート１２の下面に接着される。あるいは、このノズル孔プレート１３も、３枚のプレート１０〜１２と同様にステンレス鋼等の金属材料で形成されていてもよい。
【００１９】
図２に示すように、キャビティプレート１０には、平面に沿って配列された複数の圧力室１４（貯留室）が形成されている。これら複数の圧力室１４は、流路ユニット２の表面（後述の振動板３０が接合されるキャビティプレート１０の上面）において開口している。尚、図２には、複数の圧力室１４のうちの一部（８つ）が示されている。各圧力室１４は、平面視で略楕円形状に形成されており、その長軸方向が左右方向（走査方向）となるように配置されている。
【００２０】
ベースプレート１１の平面視で圧力室１４の長軸方向両端部に重なる位置には、夫々連通孔１５，１６が形成されている。また、マニホールドプレート１２には、紙送り方向（図２の上下方向）に延び、平面視で圧力室１４の図２における右半分と重なるマニホールド１７が形成されている。このマニホールド１７には、図示外のインクタンクからインクが供給される。また、平面視で圧力室１４の図２における左端部と重なる位置には、連通孔１９も形成されている。
【００２１】
ノズル孔プレート１３には、平面視で複数の圧力室１４の左端部に重なる位置に、複数のノズル孔２０が夫々形成されている。ノズル孔２０は、例えば、ポリイミド等の高分子合成樹脂の基板にエキシマレーザー加工を施すことにより形成される。このノズル孔２０は、水平断面形状が略円形で且つ鉛直断面形状が先細りのテーパー状に形成されている。図４（ａ），（ｂ）に示すように、ノズル孔プレート１３に形成されたノズル孔２０の周縁、即ちノズル孔２０を画定する側壁に、出射口２４の径方向（図３の左方）に切り欠くことにより形成された切欠部２１が形成されている。切欠部２１は、ノズル孔２０の下端から上端まで連続的に、即ち、ノズル孔２０を画定する側壁におけるノズル孔２０の軸線方向に沿った全長に亘って、形成されている。したがって、ノズル孔プレート１３の上面、即ちマニホールドプレート１２に接着される面、及び、ノズル孔プレート１３の下面、即ちインク吐出面５における切欠部２１を含むノズル孔２０の開口は、共に、円形形状の縁部から部分的に出射口２４の径方向外側（図３、図４（ａ）、（ｂ）における左方）へとノズル孔２０の軸線Ｌから離れるように膨らんだ形状に形成されている。尚、インク吐出面５の全域には、図３及び図４（ａ）に示すように、出射口２４付近におけるインクの濡れを防止する為の高い撥液性を有する撥液膜２５が形成されている。
【００２２】
また、ノズル孔プレート１３の下部には、ノズル孔プレート１３のマニホールド１７が形成された位置から下方へ延び、さらに、図３の右方からノズル孔２０の下側の位置まで左方に水平に延びる、断面Ｌ字形の突出部２２が設けられている。この突出部２２の内部には、マニホールド１７に連通するインク流路２３が形成されている。また、この突出部２２の先端部２２ａは、ノズル孔２０の出射口２４の略真下（軸線Ｌの位置）に位置しており、さらに、その下側部分が上側部分よりもノズル孔２０の下方へ水平にせり出した形状に形成されている。この突出部２２については後ほどさらに詳述する。
【００２３】
そして、図３に示すように、マニホールド１７は連通孔１５を介して圧力室１４に連通し、さらに、圧力室１４は、連通孔１６，１９を介してノズル孔２０に連通している。このように、流路ユニット２内には、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル孔２０に至る個別インク流路が形成されている。
【００２４】
次に、圧電アクチュエータ３について説明する。図２、図３に示すように、圧電アクチュエータ３は、流路ユニット２の表面に配置された導電性を有する振動板３０と、この振動板３０の表面に複数の圧力室１４に跨って連続的に形成された圧電層３１と、この圧電層３１の表面に複数の圧力室１４に夫々対応して形成された複数の個別電極３２とを備えている。この圧電アクチュエータ３は、圧力室１４の容積を変化させることにより圧力室１４内のインクに圧力を付加する機能を有し、本願発明の圧力付与手段に相当する。
【００２５】
振動板３０は、平面視で略矩形状のステンレス鋼製の板であり、複数の圧力室１４の開口を塞ぐ状態でキャビティプレート１０の上面に積層された状態で接合されている。また、この振動板３０は、複数の個別電極３２に対向して個別電極３２と振動板３０との間の圧電層３１に電界を作用させる共通電極を兼ねている。
【００２６】
振動板３０の表面には、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電層３１が形成されている。この圧電層３１は、複数の圧力室１４に跨って連続的に形成されている。この圧電層３１は、例えば、超微粒子材料を高速で衝突させて堆積させるエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）を用いて形成できる。その他、ゾルゲル法、スパッタ法、水熱合成法、あるいは、ＣＶＤ（化学蒸着）法を用いることもできる。さらに、ＰＺＴのグリーンシートを焼成することにより得られた圧電シートを振動板３０の表面に貼り付けて圧電層３１を形成することもできる。
【００２７】
圧電層３１の表面には、金，Ｐｔなどの導線性材料からなり、圧力室１４よりも一回り小さい楕円形の平面形状を有する複数の個別電極３２が形成されている。これら個別電極３２は、平面視で対応する圧力室１４の中央部に重なる位置に夫々形成されている。また、個別電極３２は金などの導電性材料からなる。さらに、圧電層３１の表面において、複数の個別電極３２の一端部（図２における右端部）からは、夫々、個別電極３２の長軸方向に平行に複数の配線部３５が延びている。これら複数の配線部３５には、複数の個別電極３２に対して選択的に駆動電圧を供給するドライバＩＣ（図示省略）が電気的に接続されている。
【００２８】
次に、圧電アクチュエータ３の作用について説明する。
複数の個別電極３２に対してドライバＩＣから選択的に駆動電圧が供給されると、駆動電圧が供給された圧電層３１上側の個別電極３２とグランド電位に保持されている圧電層３１下側の共通電極としての振動板３０の電位が異なる状態となり、個別電極３２と振動板３０の間に挟まれた圧電層３１の部分に上下方向の電界が生じる。すると、駆動電圧が印加された個別電極３２の直下の圧電層３１の部分が分極方向である上下方向と直交する水平方向に収縮する。このとき、この圧電層３１の収縮に伴って振動板３０が圧力室１４側に凸となるように変形するため、圧力室１４内の容積が減少して圧力室１４内のインクに圧力が付与され、圧力室１４に連通するノズル孔２０からインクが噴射される。
【００２９】
このノズル孔２０からのインク滴の噴出動作について、図５を参照してさらに説明する。図５（ａ）のようにノズル孔２０の出射口２４付近にメニスカスが形成された状態から、圧電アクチュエータ３により圧力室内１４のインクに圧力が付与されると、図５（ｂ）に示すように、ノズル孔２０の出射口２４からインクが突出する。当該突出したインクはノズル孔２０と接続されており、突出したインクにおけるノズル孔２０の出射口２４に近接した部分、即ち基端部Ｉｔが液滴の噴射方向と反対方向（図５（ａ）〜（ｅ）における上方向）に引っ張られると、基端部Ｉｔ以外の部分が分離してメイン液滴Ｉａとして（図５（ｃ）参照）、基端部Ｉｔがサテライト液滴Ｉｂとして（図５（ｄ）参照）、それらの液滴が連続的に噴射される。メイン液滴Ｉａの体積は、例えば、数ｐｌ程度であり、一方のサテライト液滴Ｉｂの体積は、例えば、２〜５００fｌ（フェノム・リットル）程度である。
【００３０】
メイン液滴Ｉａは、ノズル孔２０の軸線Ｌに沿って下方に飛翔する。ここで、図３、図４に示したように、ノズル孔プレート１３の下部には突出部２２が設けられており、この突出部２２は図３の右方からノズル孔２０の略真下まで張り出している。また、突出部２２の先端部２２ａの下側部分は、ノズル孔２０の軸線Ｌを超える位置まで、その上側部分に対してさらに水平にせり出した形状に形成されている。従って、ノズル孔２０の軸線Ｌに沿って飛翔するメイン液滴Ｉａは、突出部２２の先端部２２ａに確実に捕捉され、記録用紙Ｐに到達することはない。尚、この突出部２２が本願発明のメイン液滴捕捉部に相当する。
【００３１】
サテライト液滴Ｉｂは、切欠部２１の存在のため、メイン液滴Ｉａとは異なり、軸線Ｌから離れるように軸線Ｌに対して傾斜した方向に沿って飛翔する（図５（ｄ）参照）。詳細には、図５(ｃ)に示すように、メイン液滴Ｉａの基端部Ｉｔが切欠部２１内へと引き寄せられ、メイン液滴Ｉａの噴射後にこの基端部Ｉｔにより分離・形成されたサテライト液滴Ｉｂは、図５(ｄ)に示すように切欠部２１を起点として飛翔する。さらに、切欠部２１がノズル孔２０の軸線Ｌに対して突出部２２とは反対側に形成されているため、サテライト液滴Ｉｂは突出部２２から離れる方向に飛翔する。
したがって、メイン液滴Ｉａの飛翔軌道及びサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道は互いに異なり、メイン液滴Ｉａが突出部２２の先端２２ａに補足される一方、サテライト液滴Ｉｂは先端２２ａから離れる方向に飛翔し、図５（ｅ）に示すように、突出部２２の先端部２２ａに捕捉されることなく記録用紙Ｐに到達する。
【００３２】
ここで、以上の第１実施形態の具体的な実施例について説明する。この実施例において、圧力室１４の寸法は、深さ５０μｍ、幅（短軸方向寸法）２５０μｍ、長さ（長軸方向寸法）２．５ｍｍである。また、ノズル孔２０の出射径は２０μｍであり、このノズル孔２０に形成された切欠部２１の幅及び深さは共に４μｍである。さらに、インクは、水系染料インクを用い、その粘度は３．０ｃＰ、表面張力は３９ｍＮ／ｍである。この条件下でノズル孔２０からインクを噴射させたときの、メイン液滴Ｉａ及びサテライト液滴Ｉｂの計測結果を表１に示す。
【００３３】
【表１】
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【００３４】
表１に示すように、メイン液滴Ｉａに対して体積が非常に小さいサテライト液滴Ｉｂの飛翔方向は軸線Ｌからずれているため、ノズル孔２０の出射口２４の直下の突出部２２により、メイン液滴Ｉａのみを捕捉し、サテライト液滴Ｉｂだけを記録用紙Ｐに着弾する。
以上述べたように、第１実施形態のインクジェットヘッド１によると、圧力室１４内のインクに対して圧電アクチュエータ３により圧力が付与されると、圧力室１４に連通するノズル孔２０から液滴が噴射される。ノズル孔２０からは、まず体積の大きいメイン液滴Ｉａが噴射され、メイン液滴Ｉａに続いて、メイン液滴Ｉａよりも体積の小さいサテライト液滴Ｉｂが噴射される。ここで、ノズル孔２０と記録用紙Ｐとの間であってメイン液滴Ｉａに接触し且つサテライト液滴Ｉｂには接触しない位置に、突出部２２が設けられている。メイン液滴Ｉａは突出部２２により捕捉されるので、記録用紙Ｐに対して体積の小さなサテライト液滴Ｉｂのみを噴射することが可能であり、これにより記録用紙Ｐに微小なドットを形成することが出来る。
【００３５】
ノズル孔プレート１３に形成された切欠部２１により、サテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をメイン液滴Ｉａの飛翔軌道と異ならせることにより、より確実に、突出部２２にメイン液滴Ｉａを捕捉させ且つサテライト液滴Ｉｂのみを記録用紙Ｐに到達させることが出来る。
さらに、ノズル孔２０を画定する側壁に切欠部２１を形成するという簡単な構成によってサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をメイン液滴Ｉａの飛翔軌道と異なる軌道とすることができるので、製造コストの面で有利である。
切欠部２１は、ノズル孔２０を画定する側壁におけるノズル孔２０の軸線方向に沿った全長に亘って形成されていることから、製造上有利である。詳細には、切欠部２１は、例えばプレス加工等を用いたり、あるいは、ノズル孔プレート１３上にマスクパターン等を形成してその上からエキシマレーザーを照射したりすることで、その後の加工処理を必要とすることなく容易に形成することが出来る。
しかも図３に示すように、この第１実施形態のインクジェットヘッド１では、メイン液滴Ｉａを捕捉する突出部２２の内部に形成されたインク流路２３は、マニホールド１７を介して圧力室１４に連通している。そのため、インクを噴出した後にマニホールド１７から圧力室１４へインクが供給されるときに、突出部２２に捕捉されたメイン液滴Ｉａを形成していたインクは、突出部２２内のインク流路２３及びマニホールド１７を介して圧力室１４へ流れ、再びノズル孔２０から噴出されるため、インクを無駄なく使用することができる。
【００３６】
尚、サテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をメイン液滴Ｉａの飛翔軌道と異ならせるための、ノズル孔の形状は、前記第１実施形態のものに限られない。例えば、切欠部２１がノズル孔の下端から上端まで連続的に切欠状に形成されている必要はなく、図６（ａ）、（ｂ）に示す切欠部２１Ａのようにノズル孔２０Ａの下端のインク吐出面５Ａに開口する出射口２４Ａの周縁から上方に向けて漸進的に小さくなり、ノズル孔プレート１３Ａの上面には形成されなくても良い。つまり切欠部は、少なくともノズル孔の出射口が形成されたインク吐出面（ノズル孔プレートの下面）において、ノズル孔の出射口周縁に形成されていれば良く、図示されたもの意外の様々な形状であってよい。
更に、第１の実施形態の第２の変形形態として、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、ノズル孔プレート１３Ｂに卵形状の周縁を有する出射口２４Ｂを備えたノズル孔２０Ｂが形成されたものであっても良い。この実施形態においても、同様に、出射口２４Ｂから噴射されるサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をメイン液滴Ｉａの飛翔軌道と異なる軌道とすることができる。出射口２４Ｂの形状は、真円形状１２４と当該真円形状１２４の一部分（本実施形態では、特に、真円形状１２４の半分（０〜１８０°）の領域）を外に膨らませた部位（膨出部）２２４とを合成したような形状となっている。尚、前記膨出部２２４の頂点２２４ａは真円形状１２４の曲率よりも大きい曲率を有するように形成されている。
【００３７】
図４（ａ），（ｂ）及び図６（ａ），（ｂ）に示されるような、側壁に切欠部２１，２１Ａが形成された上記ノズル孔２０，２０Ａも、図７（ａ），（ｂ）に示される本変形形態にあるような、卵形状の周縁を有する出射口２４Ｂを備えたノズル孔２０Ｂも、以下に示す共通点を有している。
（１）ノズル孔の出射口には、その周縁に形成された張出部（具体的には、切欠部や膨出部が対応）を有しており、（２）その張出部は、張出部を除く出射口の中心点からの距離が、その他の部位における前記中心点からの距離より大きくなっており、（３）前記張出部を構成する周縁の曲率がその他の部位の曲率よりも大きくなっている。尚、前記「張出部を除く出射口の中心点」とは、切欠部２１，２１Ａが形成されたノズル孔２０，２０Ａにおいてはノズル孔２０，２０Ａの「軸線Ｌ」が対応し、卵形上の周縁を有する出射口２４Ｂを備えたノズル孔２０Ｂにおいては、「真円形状１２４の中心Ｏ」が対応する。また、「その他の部位」とは、前記ノズル孔２０，２０Ａ、２０Ｂのいずれにおいても、その内部で真円形状を成す部位が対応する。
上に挙げた条件を満たせば、サテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をメイン液滴Ｉａの飛翔軌道と異なる軌道とすることができる。つまり、インク吐出面（ノズル孔プレートの下面）に形成されたノズル孔の出射口周縁の形状により、サテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をメイン液滴Ｉａの飛翔軌道と異なる軌道とすることができればよいのであり、図４、６，７に図示されたもの意外の様々な形状であってもよい。
【００３８】
また、ノズル孔を画定する側壁に切欠部を形成せず、その他の方法により、サテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をメイン液滴Ｉａの飛翔軌道と異ならせても良い。例えば、図８（ａ）、（ｂ）に示すように、ノズル孔２０Ｂは、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示す第１の実施形態のノズル孔２０と同様にその水平断面形状が円形で且つ鉛直断面形状が先細りのテーパー状であるが、第１の実施の形態とは異なり、ノズル孔２０Ｂを画定する側壁に切欠部２１が形成されておらず、インク吐出面５Ｂに、撥液膜２５が部分的に形成されていない撥液膜非形成部４０が設けられている。撥液膜非形成部４０は、図８(ｂ)に示すように、先細形状であって、ノズル孔２０Ｂの出射口２４Ｂから当該出射口２４Ｂの径方向に延在している。撥液膜非形成部４０を設けるには、インク吐出面５Ｂの全面に撥液膜２５を形成してから撥液膜２５を部分的に除去するようにしても良いし、レジスト法等を用いて撥液膜非形成部４０以外の領域のみに撥液膜２５を形成するようにしても良い。撥液膜非形成部４０のインクの濡れ性は撥液膜２５が形成された部分よりも高くなるため、メイン液滴Ｉａがノズル孔２０Ｂから噴射されるときに、その基端部Ｉｔが撥液膜非形成部４０に引き寄せられる。そして、この基端部Ｉｔがメイン液滴Ｉａから分離して形成されたサテライト液滴Ｉｂは撥液膜非形成部４０を起点に軸線Ｌから離れるように軸線Ｌに対して傾斜した方向に沿って飛翔する。従って、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示す例では、この撥液膜非形成部４０を設けるという簡単な構成によって、サテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をメイン液滴Ｉａの飛翔軌道と異ならせることができるため、構成が簡単なものとなり、製造コストの面で有利である。
【００３９】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。但し、前記第１実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
図９に示すように、第２実施形態のインクジェットヘッド５１は、流路ユニット５２と圧電アクチュエータ３とを備えている。流路ユニット５２は、キャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２及びノズル孔プレート６３が順に積層された構造を有し、これら４枚のプレート１０，１１，１２，６３により、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル孔７０に至る個別インク流路が形成されている。前記４枚のプレートのうちノズル孔プレート６３のみが第１実施形態のものと異なる。また、圧電アクチュエータ３は、前記第１実施形態と同様に、振動板３０、圧電層３１及び個別電極３２等で構成されたものであり、その説明は省略する。
【００４０】
図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、ノズル孔プレート６３に形成されたノズル孔７０は、その軸線Ｌは上下方向に延び、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示す第１の実施形態のノズル孔２０と同様にその水平断面形状が円形で且つ鉛直断面形状が先細りのテーパー状であるが、第１の実施の形態とは異なり、ノズル孔２０Ｂを画定する側壁に切欠部２１が形成されていない。尚、このノズル孔７０の出射口７４が形成されたインク吐出面５５（ノズル孔プレート６３の下面）には撥液膜２５が形成されている。
【００４１】
ノズル孔プレート６３の下部には、ノズル孔プレート６３のマニホールド１７が形成された位置から下方へ延び、さらに、図９の右方からノズル孔７０の下側の位置まで左方に水平に延びる、断面Ｌ字形の突出部７２が設けられている。この突出部７２の内部には、マニホールド１７に連通するインク流路７３が形成されている。但し、第１実施形態の突出部２２と異なり、突出部７２の先端部７２ａは、インクの噴射方向である下方ほどノズル孔７０の軸線Ｌから離れる方向に傾斜する形状に形成されている。さらに、図１０（ｂ）に示すように、この突出部７２の先端部７２ａは、下方（ノズル孔７０の軸線方向）から見て、その中心が、ノズル孔７０の軸線Ｌと一致した状態で飛翔するメイン液滴Ｉａと部分的に重なっており、さらに、その中心がノズル孔７０の軸線Ｌと一致した状態で飛翔するサテライト液滴Ｉｂとは重ならない領域に配置されている。即ち、突出部７２の先端部７２ａは、ノズル孔７０の軸線Ｌが通らない領域に位置している。このような配置は、サテライト液滴Ｉｂの体積がメイン液滴Ｉａの体積よりも非常に小さく（例えば、数十分の一以下）、液滴径も小さくなることから実現可能である。
【００４２】
ノズル孔７０からのインク滴の噴射について、図１１を参照して説明する。図１１（ａ）に示すように、ノズル孔７０の出射口７４付近にメニスカスが形成された状態から、圧電アクチュエータ３により圧力室１４内のインクに圧力が付与されると、図１１（ｂ）に示すように、まず、ノズル孔７０から、体積が比較的大きいメイン液滴Ｉａが、ノズル孔７０の軸線Ｌに沿って下方へ噴射される。このとき、メイン液滴Ｉａのノズル孔７０側の基端部Ｉｔがノズル孔７０側へ引っ張られる。そして、図１１（ｃ）に示すように、基端部Ｉｔがメイン液滴Ｉａから分離してサテライト液滴Ｉｂが形成され、このサテライト液滴Ｉｂはメイン液滴Ｉａと同じくノズル孔７０の軸線Ｌに沿って下方へ飛翔する。つまり、本実施形態では第１実施形態のように切欠部２１が形成されていないため、サテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道は軸線Ｌに対して傾斜せず軸線Ｌと平行になる。したがって、メイン液滴Ｉａ及びサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道は同じである。
【００４３】
メイン液滴Ｉａ及びサテライト液滴Ｉｂは、つまり、飛翔軌道が同じであるものの径が異なる。本実施形態では、上述の通り、ノズル孔７０の直下には突出部７２の先端部７２ａが位置しているが、この突出部７２の先端部７２ａは、ノズル孔７０の軸線Ｌに沿って飛翔する体積の大きいメイン液滴Ｉａと部分的に重なる領域であって、ノズル孔７０の軸線Ｌに沿って飛翔する体積の小さいサテライト液滴Ｉｂとは重ならない領域に配置されている。そのため、図１１（ｃ）に示すように、メイン液滴Ｉａは突出部７２の先端部７２ａに捕捉され、記録用紙Ｐに到達することはない。一方、図１１（ｄ）及び図１１（ｅ）に示すように、サテライト液滴Ｉｂは突出部７２の先端部７２ａに捕捉されることなく記録用紙Ｐに到達する。
【００４４】
さらに、突出部７２の先端部７２ａは、インクの噴射方向である下方ほどノズル孔７０の軸線Ｌから離れる方向に傾斜する形状に形成されている。そのため、ノズル孔７０から噴射されて、突出部７２の先端部７２ａに絡むようにして捕捉されたメイン液滴Ｉａが先端７２Ａの上側から下側へとつたってノズル孔７０の軸線Ｌから離れる方向に移動するため、次に噴射されたサテライト液滴Ｉｂがメイン液滴Ｉａと干渉されることはない。
【００４５】
この第２実施形態の具体的な実施例について説明する。この実施例において、圧力室１４の寸法は、深さ５０μｍ、幅（短軸方向寸法）２５０μｍ、長さ（長軸方向寸法）２．５ｍｍであり、ノズル孔７０の出射径は２０μｍである。また、インクは、水系染料インクを用い、その粘度は３．０ｃＰ、表面張力は３９ｍＮ／ｍである。この条件下でノズル孔７０からインクを噴射させたときの、メイン液滴Ｉａ及びサテライト液滴Ｉｂの計測結果を表２に示す。
【００４６】
【表２】
2006062348.tif 000004
【００４７】
表２に示すように、メイン液滴Ｉａとサテライト液滴Ｉｂは共にノズル孔７０の軸線Ｌに沿って飛翔するが、サテライト液滴Ｉｂの液滴径はメイン液滴Ｉａの液滴径の１／３以下であるため、ノズル孔７０の出射口７４の直下の突出部７２により、メイン液滴Ｉａのみを捕捉し、サテライト液滴Ｉｂは捕捉されない。そして、サテライト液滴Ｉｂだけを記録用紙Ｐに着弾させることが可能になる。
【００４８】
尚、突出部７２の先端部７２ａの位置は、サテライト液滴Ｉｂからできるだけ離れ、メイン液滴Ｉａにわずかに接触するように設定されていることが好ましい。そのためには、メイン液滴Ｉａとサテライト液滴Ｉｂの噴射を観測し、それらの液滴径を予め計測した上で、先端部７２ａの位置を決定することが望ましい。
【００４９】
以上に述べたように、この第２実施形態のインクジェットヘッド５１によれば、前記第１実施形態と同様に、体積の小さなサテライト液滴Ｉｂだけを記録用紙Ｐに着弾させて、記録用紙Ｐに非常に小さなドットを形成することができる。また、出射口７４に前記第１実施形態の切欠部２１（図４参照）等が形成されていないため、ノズル孔７０からインクを安定的に噴射することができ、印字品質をより向上させることが可能になる。
【００５０】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。但し、前記第１実施形態あるいは第２実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００５１】
図１２に示すように、第３実施形態のインクジェットヘッド８１は、流路ユニット５２と圧電アクチュエータ３とを備えている。流路ユニットは前記第２実施形態と同様に、４枚のプレート１０，１１，１２，６３が順に積層された構造を有し、これら４枚のプレート１０，１１，１２，６３により、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル孔７０に至る個別インク流路が形成されている。また、ノズル孔プレート６３の下方に設けられた突出部２２は第１実施形態のものと同じである。圧電アクチュエータ３は、前記第１、第２実施形態と同様に、振動板３０、圧電層３１及び個別電極３２等で構成されたものであり、その説明は省略する。
【００５２】
本実施形態では、流路ユニット５２の下側には、送風機８２に接続された送風チューブ８３（送風手段）が設けられており、この送風チューブ８３の先端部はノズル孔プレート６３と突出部２２の間において、ノズル孔７０の方向に向いた状態で配設されている。そして、ノズル孔７０から噴出されるインク滴に向けて送風チューブ８３から空気が送られるようになっている。
【００５３】
ノズル孔７０からのインク滴の噴射について、図１３（ａ）〜図１３（ｅ）を参照して説明する。図１３（ａ）に示すように、ノズル孔７０の出射口７４付近にメニスカスが形成された状態から、圧電アクチュエータ３により圧力室１４内のインクに圧力が付与されると、図５（ｂ）に示したのと同様にノズル孔７０の出射口７４からインクが突出する。そして、図１３（ｂ）に示すように、基端部Ｉｔが液滴の噴射方向と反対方向（ノズル孔７０側、即ち、図１３（ａ）〜（ｅ）における上方向）に引っ張られると、基端部Ｉｔ以外の部分が分離して、体積が比較的大きいメイン液滴Ｉａとして噴射され、その後、図１３（ｃ）に示すように、基端部Ｉｔがサテライト液滴Ｉｂとして噴射される。メイン液滴Ｉａ及びサテライト液滴Ｉｂは、共にノズル孔７０の軸線Ｌに沿って下方に飛翔する。つまり、本実施形態では第１実施形態のように切欠部２１が形成されていないため、サテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道は軸線Ｌに対して傾斜せず軸線Ｌと平行になる。したがって、メイン液滴Ｉａ及びサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道は同じである。
【００５４】
ここで、ノズル孔７０から噴出されたメイン液滴Ｉａ及びサテライト液滴Ｉｂには、夫々送風チューブ８３から送り出された空気の風圧が図１３の右方から作用し、メイン液滴Ｉａとサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道が夫々変化する。ところで、メイン液滴Ｉａとサテライト液滴Ｉｂの直径は異なることから、直径の２乗に比例する空気抵抗と直径の３乗に比例する慣性の影響により、メイン液滴Ｉａとサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道の変化の度合いは異なる。即ち、直径の大きなメイン液滴Ｉａは飛翔軌道の変化の度合いが小さく、ノズル孔７０の軸線Ｌにほぼ沿って飛翔するのに対し、直径の小さなサテライト液滴Ｉｂは飛翔軌道の変化の度合いが大きく、ノズル孔７０の軸線Ｌから大きくずれた飛翔軌道で飛翔する。
そのため、図１３（ｄ）に示すように、メイン液滴Ｉａは、ノズル孔７０の直下に位置する突出部２２の先端部２２ａに捕捉されるが、サテライト液滴Ｉｂは、右方からの風により飛翔軌道が左方へずれるため、突出部２２に捕捉されることなく記録用紙Ｐに到達する。
【００５５】
ここで、第３実施形態の具体的な実施例について説明する。本実施例において、圧力室１４の寸法は、深さ５０μｍ、幅（短軸方向寸法）２５０μｍ、長さ（長軸方向寸法）２．５ｍｍであり、ノズル孔７０の出射径は２０μｍである。また、インクは、水系染料インクを用い、その粘度は３．０ｃＰ、表面張力は３９ｍＮ／ｍである。この条件下でノズル孔７０からインクを噴射させたときの、メイン液滴Ｉａ及びサテライト液滴Ｉｂの計測結果を表３に示す。
【００５６】
【表３】
2006062348.tif 000005
【００５７】
表３に示すように、メイン液滴Ｉａとサテライト液滴Ｉｂは共にノズル孔７０の軸線Ｌからずれて飛翔するが、重量の大きなメイン液滴Ｉａよりも重量の小さなサテライト液滴Ｉｂの方が、軸線Ｌからのずれが大きい。従って、ノズル孔７０の出射口７４の直下の突出部２２により、メイン液滴Ｉａのみを捕捉し、サテライト液滴Ｉｂのみを記録用紙Ｐに着弾させることが可能になる。
【００５８】
以上に述べたように、第３実施形態のインクジェットヘッド８１によれば、前記第１、第２実施形態と同様に、体積の小さなサテライト液滴Ｉｂだけを記録用紙Ｐに着弾させて、記録用紙Ｐに非常に小さなドットを形成することができる。
また、本実施形態では、風圧によりサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をメイン液滴Ｉａの飛翔軌道と確実に異ならせることができる。さらに、送風チューブ８３からの空気の風圧の強さを調整することにより、サテライト液滴Ｉｂの着弾位置を調整することも可能である。
【００５９】
第３実施形態においては、送風チューブ８３から送風された空気以外の、ノズル孔７０周辺に滞留した空気の影響によりノズル孔７０から噴出されたインク滴の飛翔軌道が変化してしまうのを極力防止するために、メイン液滴Ｉａとサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道を含むノズル孔７０の周辺の空間を減圧しておくことが好ましい。例えば、インクジェットプリンタ１００の筐体内にノズル孔７０の周辺の空間を減圧するポンプが設けられていてもよい。尚、前述の第１実施形態及び第２実施形態においても、軽量なサテライト液滴Ｉｂが空気抵抗によって減速して、その着弾制度が低下してしまうのを防ぐために、ノズル孔７０の周辺の空間を減圧しておくことが好ましい。
第３実施形態では送風機８２を用いてメイン液滴Ｉａとサテライト液滴Ｉｂの飛翔軌道をそれぞれ変化させているが、これに限定されない。例えば、液滴Ｉａ，Ｉｂの飛翔領域に電界を印加することにより、ノズル孔７０から噴射されてきた帯電したメイン液滴Ｉａ及びサテライト液滴Ｉｂそれぞれに電気的引力を作用させ、これらの飛翔軌道をそれぞれ変化させても良い。その他様々な方法によって液滴Ｉａ，Ｉｂの飛翔軌道をそれぞれ変化させ、メイン液滴Ｉａが突出部の先端に捕捉され、且つ、サテライト液滴Ｉｂが突出部に捕捉されることなく記録用紙Ｐに到達するように調整しても良い。
【００６０】
以上説明した前記第１〜第３実施形態は、シリアル式のインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、記録用紙の幅方向に長いライン式のインクジェットヘッドに本発明を適用することもできる。また、プリンタに限定されず、インクジェット式のファクシミリやコピー機に含まれるインクジェットヘッドにも本発明を適用可能である。
【００６１】
また本発明は、インクジェットヘッド以外の液滴噴射装置にも適用可能である。例えば、導電ペーストを噴射して基板上に微細な配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に噴射して高精細ディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に噴射して光導波路等の微小光学デバイスを形成する場合にも、非常に小さな液滴を噴射する、種々の液滴噴射装置に本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッドの部分拡大平面図である。
【図３】図２のIII-III線断面図である。
【図４】ノズル孔周辺の部分拡大図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は下方から見た図を夫々示す。
【図５】ノズル孔からのインク滴の噴出動作を説明する説明図であり、（ａ）はインク噴出前の状態、（ｂ）はインク噴出開始時の状態、（ｃ）は基端部が分離する直前の状態、（ｄ）はメイン液滴が捕捉されたときの状態、（ｅ）はサテライト液滴が着弾したときの状態を夫々示す。
【図６】第１実施形態の第１の変更形態に係るノズル孔周辺の部分拡大図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は下方から見た図を夫々示す。
【図７】第１実施形態の第２の変更形態に係るノズル孔周辺の部分拡大図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は下方から見た図を夫々示す。
【図８】第１実施形態の第３の変更形態に係るノズル孔周辺の部分拡大図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は下方から見た図を夫々示す。
【図９】第２実施形態のインクジェットヘッドの図３相当の断面図である。
【図１０】ノズル孔周辺の部分拡大図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は下方から見た図を夫々示す。
【図１１】ノズル孔からのインク滴の噴出動作を説明する説明図であり、（ａ）はインク噴出前の状態、（ｂ）はインク噴出開始時の状態、（ｃ）は基端部が分離した直後の状態、（ｄ）はメイン液滴が捕捉されたときの状態、（ｅ）はサテライト液滴が着弾したときの状態を夫々示す。
【図１２】第３実施形態のインクジェットヘッドの図３相当の断面図である。
【図１３】ノズル孔からのインク滴の噴出動作を説明する説明図であり、（ａ）はインク噴出前の状態、（ｂ）はインク噴出開始時の状態、（ｃ）は基端部が分離した直後の状態、（ｄ）はメイン液滴が捕捉されたときの状態、（ｅ）はサテライト液滴が着弾したときの状態を夫々示す。
【符号の説明】
【００６３】
Ｉａ  メイン液滴
Ｉｂ  サテライト液滴
Ｐ  記録用紙
１  インクジェットヘッド
２  流路ユニット
３  圧電アクチュエータ
５，５Ａ，５Ｂ  インク吐出面
１４  圧力室
２０，２０Ａ，２０Ｂ  ノズル孔
２１，２１Ａ  切欠部
２２ａ  先端部
２２  突出部
２４，２４Ａ，２４Ｂ  出射口
２５  撥液膜
４０  撥液膜非形成部
５１  インクジェットヘッド
５２  流路ユニット
５５  インク吐出面
７０  ノズル孔
７２  突出部
７２ａ  先端部
７４  出射口
８１  インクジェットヘッド
８３  送風チューブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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