(57)【要約】【課題】高周波部品１の検査装置において、高周波部品１における受信ホーン部１２，１３の傾きの有無に関係なく、検査を高精度に行えるようにするとともに、受信ホーン部１２，１３および検査ヘッド４，４の損傷を軽減または防止できるようにする。【解決手段】連結部材５を用いて検査ヘッド４の姿勢変更を許容するようにしているから、仮に高周波部品１の受信ホーン部１２，１３の姿勢が傾いていても、この受信ホーン部１２，１３の拡径開口部１２ｂ，１３ｂに検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２を互いの姿勢を揃えた状態で自動的に嵌入させることが可能になる。【選択図】図１
2006133134.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
二個以上の受信ホーン部を縦置き姿勢でかつ横並びに配置してなる高周波部品を検査する装置であって、
前記高周波部品が載置されるベースおよびこのベース上に略垂直に設置される支持部を有するフレームと、
下端部分が前記各受信ホーン部の上端の各拡径開口部に個別に嵌入された状態でそれぞれ前記各受信ホーン部に所定の検査信号を送信する前記高周波部品の受信ホーン部と同数の検査ヘッドと、
前記支持部に個別に設けられかつ前記各検査ヘッドを個別に吊り下げ支持するとともに当該各検査ヘッドを個別に昇降駆動する前記検査ヘッドと同数の駆動部と、
前記各検査ヘッドと前記各駆動部とを連結したうえで当該各検査ヘッドの姿勢変更を許容する連結部材とを含むことを特徴とする高周波部品の検査装置。
【請求項２】
前記検査ヘッドは、胴部の下端に、前記受信ホーン部の上端の拡径開口部に嵌入される円錐台形状の位置合わせ部を設けた構造であり、前記胴部内に、所定の検査信号を送信する送信ユニットが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の高周波部品の検査装置。
【請求項３】
前記送信ユニットは、衛星から発信されている映像、音声等の微弱電波のうちの特定帯域の電波を受信してこの特定帯域の電波を送信する構成とされていることを特徴とする請求項２に記載の高周波部品の検査装置。
【請求項４】
前記連結部材は、前記検査ヘッド側に係止される部分から前記駆動部に係止される部分までの領域において離隔した二ヶ所にユニバーサルジョイントをそれぞれ介装した構成であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の高周波部品の検査装置。
【請求項５】
前記連結部材は、コイルバネからなり、その一端が前記検査ヘッドに、また、他端が前記駆動部にそれぞれ取り付けられることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の高周波部品の検査装置。
【請求項６】
前記支持部の途中に設けられ、かつ前記各検査ヘッドの下降時にその姿勢を保持したまま下降案内するとともに、前記検査ヘッドの下端部分が受信ホーン部の拡径開口部に嵌入する際に検査ヘッドの姿勢変更の許容量を制限するガイドアングルを備えていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の高周波部品の検査装置。
【請求項７】
前記ガイドアングルは、前記各検査ヘッドの下降時にその姿勢が所定の傾き角度を超えた異常状態において当該各検査ヘッドを前記各受信ホーン部に非接触とさせるよう下降案内することを特徴とする請求項６に記載の高周波部品の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば二個以上の受信ホーン部を有する高周波部品の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の検査装置として、例えば図１４および図１５に示すような構成のものがある。検査対象となる高周波部品８１としては、例えば衛星放送アンテナに用いられるＬＮＢ（Ｌｏｗ  Ｎｏｉｓｅ  Ｂｌｏｃｋ  Ｄｏｗｎ  Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）等、衛星から発信された映像・音声等の微弱電波の中で特定帯域の電波を受信・増幅して各種映像機器に出力するものが挙げられる。この高周波部品８１は、基板８２上に複数個（二個）の受信ホーン部８３，８４を縦置き姿勢でかつ横並びに配置した構成になっている。
【０００３】
上記検査装置は、上記高周波部品８１の感度（Ｐｏｗｅｒ  Ｇａｉｎ）や雑音指数（Ｎｏｉｓｅ  Ｆｉｇｕｒｅ）等の性能検査を行うものであり、所定のスペック内に有るか否かを判別する。
【０００４】
この検査装置は、ベース９２の所定位置に略垂直に支持部９３を設置してなるフレーム９１と、フレーム９１の支持部９３の上端側に取り付けられる二個のエアーシリンダ９４，９４と、各エアーシリンダ９４，９４の各ピストン９５，９５にそれぞれストロークガイド９６，９６を介して固定される二個の検査ヘッド９７，９７とを有する構成である。
【０００５】
高周波部品８１は、フレーム９１のベース９２上に固定してある載置台９８に不動状に取り付けられる。
【０００６】
検査ヘッド９７は、胴部９９の下端に、受信ホーン部８３，８４の拡径開口部８５，８６に嵌入される円錐台形状の位置合わせ部１００を設けた構成であり、胴部９９内には、衛星から発信されている映像、音声等の微弱電波のうちの特定帯域の電波を受信して、この特定帯域の電波を送信する送信ユニット１０１が設けられている。
【０００７】
この検査装置を用いた検査動作を説明する。
【０００８】
まず、フレーム９１の載置台９８上に検査対象となる高周波部品８１を取り付け、この高周波部品８１に信号処理装置（図示省略）を接続する。なお、載置台９８に高周波部品８１を取り付けると、高周波部品８１の受信ホーン部８３，８４の中心と、エアーシリンダ９４，９４に取り付けてある検査ヘッド９７，９７の中心とが略一致するようになっている。
【０００９】
こうしてから、図１６および図１７に示すように、エアーシリンダ９４，９４で検査ヘッド９７，９７を下降させることによって、この検査ヘッド９７，９７の位置合わせ部１００，１００を高周波部品８１の受信ホーン部８３，８４における上方の拡径開口部８５，８６に嵌入させる。この状態で、検査ヘッド９７，９７から受信ホーン部８３，８４に所定の検査信号を送信することにより、受信ホーン部８３，８４の受信状態を前記信号処理装置（図示省略）で確認する。
【００１０】
このような検査装置に近似した先行技術（特許文献）は、見つからなかったが、このような検査装置において検査ヘッド９７，９７を昇降させる駆動部に類似した構成として、例えば特許文献１に示すようなものがある。
【特許文献１】特開平１０−２６３９４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
一般的に、検査対象となる高周波部品８１は、基板８２の垂直線Ｐに対し受信ホーン部８３（８４）の中心軸線Ｏ１を一致させるように設計されるが、図１４および図１５に仮想線で示すように、製造公差により受信ホーン部８３（８４）が所定角度θ傾いていることがあるとともに、製造公差により受信ホーン部８４（８３）の高さ寸法がばらついていることがある。
【００１２】
このような製造公差による傾きバラツキが存在するにもかかわらず、上記従来例のように検査ヘッド９７，９７の姿勢を固定していると、受信ホーン部８３，８４の中心軸線Ｏ１に対し検査ヘッド９７，９７の中心軸線Ｏ２を同軸上に配置することができない場合がある。また、製造公差による高低バラツキが存在するにもかかわらず、上記従来例のように検査ヘッド９７，９７の昇降ストロークを固定していると、受信ホーン部８３，８４に対し検査ヘッド９７，９７を強く押し付け過ぎたり、あるいは非接触となったりすることがある。
【００１３】
そのような場合には、検査時に良品を不良品と誤判定するおそれがある他、検査ヘッド９７，９７の位置合わせ部１００，１００を受信ホーン部８３，８４の拡径開口部８５，８６に強引に押し付ける形で嵌入してしまうことも考えられ、それによって甚だしい場合には高周波部品８１の受信ホーン部８３，８４と検査ヘッド９７，９７とに過大な負荷を与える等、高周波部品８１の受信ホーン部８３，８４と検査ヘッド９７，９７を損傷するおそれがある。
【００１４】
本発明は、高周波部品の検査装置において、高周波部品の受信ホーン部の傾きの有無に関係なく、検査を高精度に行えるようにするとともに、受信ホーン部および検査ヘッドの損傷を軽減または防止できるようにすることを目的としている。また、本発明は、高周波部品の検査装置において、高周波部品の受信ホーン部の高さのバラツキの有無に関係なく、検査を高精度に行えるようにするとともに、受信ホーン部および検査ヘッドの損傷を軽減または防止できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係る高周波部品の検査装置は、二個以上の受信ホーン部を縦置き姿勢でかつ横並びに配置してなる高周波部品を検査する装置であって、前記高周波部品が載置されるベースおよびこのベース上に略垂直に設置される支持部を有するフレームと、下端部分が前記各受信ホーン部の上端の各拡径開口部に個別に嵌入された状態でそれぞれ前記各受信ホーン部に所定の検査信号を送信する前記高周波部品の受信ホーン部と同数の検査ヘッドと、前記支持部に個別に設けられかつ前記各検査ヘッドを個別に吊り下げ支持するとともに当該各検査ヘッドを個別に昇降駆動する前記検査ヘッドと同数の駆動部と、前記各検査ヘッドと前記各駆動部とを連結したうえで当該各検査ヘッドの姿勢変更を許容する連結部材とを含むことを特徴としている。
【００１６】
この場合、連結部材によって検査ヘッドの姿勢変更を許容するようになっているから、仮に高周波部品の受信ホーン部の姿勢が傾いていたとしても、この受信ホーン部の拡径開口部に検査ヘッドの下端部分を互いの姿勢を揃えた状態で嵌入させることが可能になる。しかも、その際、受信ホーン部には検査ヘッドの自重がかかる程度で受信ホーン部と検査ヘッドとに無理な負荷がかからずに済む。これにより、検査ヘッドから受信ホーン部に検査信号を適正な条件のもとで入力させることができるので、高周波部品に関する検査の良否を誤判定しにくくなるとともに、受信ホーン部や検査ヘッドの損傷を抑制または防止できるようになる。
【００１７】
好ましくは、前記検査ヘッドは、胴部の下端に、前記受信ホーン部の上端の拡径開口部に嵌入される円錐台形状の位置合わせ部を設けた構造であり、前記胴部内に、所定の検査信号を送信する送信ユニットが設けられたものとされる。
【００１８】
この場合、検査ヘッドの外形形状や構成を具体化しており、検査ヘッドと受信ホーン部との関係を明確にできるようになる。
【００１９】
好ましくは、前記送信ユニットは、衛星から発信されている映像、音声等の微弱電波のうちの特定帯域の電波を受信してこの特定帯域の電波を送信する構成とされる。
【００２０】
この場合、検査信号を具体化しており、検査対象となる高周波部品の使用用途が特定される。
【００２１】
好ましくは、前記連結部材は、前記検査ヘッド側に係止される部分から前記駆動部に係止される部分までの領域において離隔した二ヶ所にユニバーサルジョイントをそれぞれ介装した構成とされる。
【００２２】
この場合、検査ヘッドを比較的簡単かつ円滑に姿勢変更できるようになるうえ、検査ヘッドの昇降ストロークを大きめに設定することによりユニバーサルジョイントの揺動角度が変化して受信ホーン部の高さのバラツキを吸収できるようになる。さらに、連結部材を構成する部品については一般市販品等を流用できるので、コスト低減に有利となる。
【００２３】
好ましくは、前記連結部材は、コイルバネからなり、その一端が前記検査ヘッドに、また、他端が前記駆動部にそれぞれ取り付けられる。
【００２４】
この場合、検査ヘッドを比較的簡単かつ円滑に姿勢変更できるようになるうえ、検査ヘッドの昇降ストロークを大きめに設定することによりコイルバネが伸縮して受信ホーン部の高さのバラツキを吸収できるようになる。さらに、連結部材を構成する部品については一般市販品等を流用できるので、コスト低減に有利となる。
【００２５】
好ましくは、前記支持部の途中に設けられ、かつ前記各検査ヘッドの下降時にその姿勢を保持したまま下降案内するとともに、前記検査ヘッドの下端部分が受信ホーン部の拡径開口部に嵌入する際に検査ヘッドの姿勢変更の許容量を制限するガイドアングルを備えたものとされる。
【００２６】
この場合、連結部材によって検査ヘッドが姿勢変更しうるから、検査ヘッドの姿勢が不安定になる。この点を考慮し、検査ヘッドの下降時にその姿勢を安定に保つようにしている。
【００２７】
好ましくは、前記ガイドアングルは、前記各検査ヘッドの下降時にその姿勢が所定の傾き角度を超えた異常状態において当該各検査ヘッドを前記各受信ホーン部に非接触とさせるよう下降案内するものとされる。
【００２８】
この場合、連結部材によって検査ヘッドが姿勢変更しうるから、検査ヘッドの姿勢が大きく傾くおそれがある。仮に、そのような異常状態のまま、検査ヘッドを下降させると、当該検査ヘッドが受信ホーン部の拡径開口部以外の部分に衝突して損傷させるおそれがある。この点を考慮して、このような異常状態において、ガイドアングルは検査ヘッドを受信ホーン部の予定外の部分に干渉させないように作用するので、不慮の事故で受信ホーン部が損傷する心配がなくなる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、検査対象となる高周波部品の受信ホーン部の傾きの有無に関係なく、受信ホーン部の拡径開口部に検査ヘッドの下端部分を、互いの中心軸線を同軸上に揃えた状態でかつ前記両者に無理な負荷を与えることなく、自動的に嵌入させることが可能になる。また、本発明によれば、検査対象となる高周波部品の受信ホーン部の高さのバラツキの有無に関係なく、受信ホーン部の拡径開口部に検査ヘッドの下端部分を、互いの中心軸線を同軸上に揃えた状態でかつ前記両者に無理な負荷を与えることなく、自動的に嵌入させることが可能になる。したがって、検査を高精度に行うことができるとともに、高周波部品の受信ホーン部および検査ヘッドの損傷を軽減または防止できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態を図に示して説明する。
【００３１】
図１から図７を参照して、本発明の一実施形態を説明する。この実施形態の検査装置は、高周波部品１の性能を検査するものである。
【００３２】
検査対象となる高周波部品１としては、例えば衛星放送アンテナに用いられるＬＮＢ（Ｌｏｗ  Ｎｏｉｓｅ  Ｂｌｏｃｋ  Ｄｏｗｎ  Ｃｏｎｖｅｒｔｅｒ）等、衛星から発信された映像・音声等の微弱電波の中で特定帯域の電波を受信・増幅して各種映像機器に出力するものが挙げられる。
【００３３】
この高周波部品１は、図１に示すように、基板１１上に複数個（この実施形態では二個）の受信ホーン部１２，１３を縦置き姿勢でかつ横並びに配置した構成である。受信ホーン部１２，１３は、共に同じ構成であり、胴部１２ａ，１３ａの上端に上方へ向けて漸次拡径する拡径開口部１２ｂ，１３ｂを有している。
【００３４】
なお、上記高周波部品１は、一般的に、基板１１の垂直線Ｐに対し受信ホーン部１２（１３）の中心軸線Ｏ１を一致させるように設計されるが、図２および図３に示すように、製造公差により受信ホーン部１２（１３）が所定角度θ傾いていることがある。
【００３５】
この実施形態での検査装置は、上記高周波部品１の感度（Ｐｏｗｅｒ  Ｇａｉｎ）や雑音指数（Ｎｏｉｓｅ  Ｆｉｇｕｒｅ）等の性能検査を行うものであり、所定のスペック内に有るか否かを判別する。
【００３６】
この検査装置は、フレーム２、駆動部３、検査ヘッド４、連結部材５を少なくとも含む構成である。
【００３７】
なお、駆動部３、検査ヘッド４、連結部材５は、検査対象となる高周波部品１の受信ホーン部１２，１３の数と同数とする。この実施形態では、二つの受信ホーン部１２，１３を有する高周波部品１を検査対象とするので、駆動部３、検査ヘッド４、連結部材５を、それぞれ二つとする。
【００３８】
フレーム２は、矩形状のベース２１の所定位置に略垂直に支持部２２を設置した構成である。ベース２１上には、検査対象となる高周波部品１を位置決めして取り付けるための載置台２３が固定されている。
【００３９】
駆動部３は、この実施形態ではエアーシリンダ等とされる。具体的に、エアーシリンダからなる駆動部３は、支持部２２の上端側に固定されるシリンダボディ３１と、シリンダボディ３１内に進退動作可能に設けられるピストン３２と、シリンダボディ３１に供給する空気の圧力を制御してピストン３２を変位動作させる圧力源（図示省略）とを有する構成である。なお、この駆動部３は、油圧シリンダとすることができる他、例えばモータ等の回転駆動源と回転動力を直線動力に変換する送りねじ等とを用いる機構や、その他のアクチュエータとすることができる。
【００４０】
ピストン３２には、その上下方向の往復動作時の動きをシリンダボディ３１の長手方向に沿って案内するストロークガイド６が取り付けられている。
【００４１】
検査ヘッド４は、連結部材５を介してストロークガイド６に吊り下げられた状態で支持されるものであって、円筒形状の胴部４１の下端に、受信ホーン部１２，１３の拡径開口部１２ｂ，１３ｂに嵌入される円錐台形状の位置合わせ部４２を設け、この胴部４１内に、所定の検査信号を送信する送信ユニット４３を設けた構成である。
【００４２】
位置合わせ部４２は、胴部４１に対し分離可能に連結された別部品であり、検査対象となる高周波部品１の受信ホーン部１２，１３の開口内径寸法に応じて適宜選択的に取り替えられる。なお、胴部４１と位置合わせ部４２とは一体に形成したものであってもよい。
【００４３】
送信ユニット４３は、衛星から発信されている映像、音声等の微弱電波のうちの特定帯域の電波を受信してこの特定帯域の電波を送信するものとされる。
【００４４】
連結部材５は、基端リンク５１と中間リンク５２とを連結する第１ユニバーサルジョイント５３と、中間リンク５２と自由端リンク５４とを連結する第２ユニバーサルジョイント５５とを有する構成である。このユニバーサルジョイント５３，５５は、例えば十字軸継手とされるが、その他の自在継手を利用することもできる。
【００４５】
この実施形態の検査装置では、支持部２２の途中に二つのガイドアングル７，７が設けられている。このガイドアングル７も、検査対象となる高周波部品１の受信ホーン部１２，１３の数と同数用いられる。
【００４６】
ガイドアングル７，７は、各検査ヘッド４，４を下降させる際にその姿勢が所定の傾き角度以下の適正状態においてその姿勢を保持したまま下降案内する一方で、例えば図６および図７に示すように、所定の傾き角度を超えた異常状態において各検査ヘッド４，４を各受信ホーン部１２，１３に非接触とさせるよう下降案内するものである。
【００４７】
具体的に、ガイドアングル７，７は、検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２が挿通される通孔７１，７１を有している。この通孔７１，７１の内径寸法ｒは、検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２の最大外径部の外径寸法Ｒよりも大きく設定されている。この通孔７１，７１の内径部と検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２の最大外径部との間の隙間は、検査ヘッド４，４の姿勢変更許容量を制限するために設けられており、検査ヘッド４，４の姿勢変更許容量を考慮して適宜に設定することができる。
【００４８】
このような構成の検査装置による検査の手順について説明する。
【００４９】
まず、検査対象となる高周波部品１をフレーム２の載置台２３上取り付ける。なお、載置台２３に高周波部品１を取り付けると、高周波部品１の受信ホーン部１２，１３の中心と、駆動部３，３に吊り下げ支持してある検査ヘッド４，４の中心とが略一致するようになっている。
【００５０】
このようにセットした高周波部品１に、信号処理装置（図示省略）を接続する。なお、前記の信号処理装置（図示省略）は、例えば信号波形を表示するモニターであってもよいし、また、受信ホーン部１２，１３の出力信号を基準信号と対比して評価する機能を持たせたものであってもよい。
【００５１】
次に、検査対象となる高周波部品１に対応した二つの検査ヘッド４，４を用意して、ストロークガイド６，６に吊り下げている連結部材５，５に取り付ける。
【００５２】
この後、図４および図５に示すように、駆動部３，３を駆動して各検査ヘッド４，４を同時に下降させることにより、両検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２を二つのガイドアングル７，７の通孔７１，７１内に挿通させるとともに、両検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２を高周波部品１の二つの受信ホーン部１２，１３の各拡径開口部１２ｂ，１３ｂへ向けて嵌入させる。
【００５３】
これにより、両受信ホーン部１２，１３の各拡径開口部１２ｂ，１３ｂのテーパー状内面と、両検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２のテーパー状外面との調心作用でもって、両受信ホーン部１２，１３の中心軸線Ｏ１に対し両検査ヘッド４，４の中心軸線Ｏ２が略同軸上に自動的に配置されることになる。
【００５４】
但し、図２および図３に仮想線で示すように、例えば高周波部品１の受信ホーン部１２（１３）の中心軸線Ｏ１が基板１１の垂直線Ｐに対し所定角度θ傾いていたとしても、上記検査装置では、検査ヘッド４の位置合わせ部４２を受信ホーン部１２（１３）の拡径開口部１２ｂ（１３ｂ）に嵌入させることによって、検査ヘッド４を姿勢変更自在に支持している連結部材５が検査ヘッド４の下降に応じて揺動し、検査ヘッド４の中心軸線Ｏ２を受信ホーン部１２（１３）の中心軸線Ｏ１に対し同軸上に配置するように検査ヘッド４の姿勢が自動的に補正されるようになる。
【００５５】
また、図２および図３に仮想線で示すように、例えば高周波部品１の受信ホーン部１３（１２）の高さ寸法がばらついていたとしても、次のようにして吸収される。この場合、検査ヘッド４の昇降ストローク量を、受信ホーン部１３（１２）の高さ寸法の実験上の最下値の場合よりも大きくするように設定する。
【００５６】
そして、まず、受信ホーン部１３（１２）の高さ寸法が基準の場合および基準よりも高い場合には、検査ヘッド４の位置合わせ部４２が受信ホーン部１３（１２）の拡径開口部１３ｂ（１２ｂ）に嵌入したときに、駆動部３のピストン３２が下降し続けるにもかかわらず、検査ヘッド４，４の下降が停止され、その分、各ユニバーサルジョイント５３，５５の屈曲角度が大きくなって前記高さ寸法のばらつきを吸収する。
【００５７】
一方、受信ホーン部１３（１２）の高さ寸法が基準よりも低い場合には、検査ヘッド４の位置合わせ部４２が受信ホーン部１３（１２）の拡径開口部１３ｂ（１２ｂ）に嵌入したときに、駆動部３のピストン３２が僅かに遅れて停止するので、各ユニバーサルジョイント５３，５５が僅かに屈曲して前記高さ寸法のばらつきを吸収する。
【００５８】
このように受信ホーン部１２，１３の拡径開口部１２ｂ，１３ｂに検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２を嵌入させた状態では、受信ホーン部１２，１３には検査ヘッド４，４の自重がかかる程度で、受信ホーン部１２，１３と検査ヘッド４，４とに無理な負荷がかからない。
【００５９】
以上説明した検査装置によれば、連結部材５によって検査ヘッド４の姿勢変更を許容するようにしているから、仮に高周波部品１の受信ホーン部１２，１３の姿勢が傾いていたとしても、また、受信ホーン部１２，１３の高さ寸法がばらついていたとしても、この受信ホーン部１２，１３の拡径開口部１２ｂ，１３ｂに検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２を互いの姿勢を揃えた状態で自動的に嵌入させることが可能になる。これにより、検査ヘッド４，４から受信ホーン部１２，１３に検査信号を適正な条件のもとで入力させることができるので、高周波部品に関する検査の良否を誤判定しにくくなる。
【００６０】
しかも、受信ホーン部１２，１３の拡径開口部１２ｂ，１３ｂに検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２を嵌入させた状態では、受信ホーン部１２，１３には検査ヘッド４，４の自重がかかる程度で受信ホーン部１２，１３と検査ヘッド４，４とに無理な負荷がかからずに済む。これにより、受信ホーン部１２，１３や検査ヘッド４，４の損傷を抑制または防止できるようになるので、検査した高周波部品１についての品質低下を回避できるとともに、検査ヘッド４，４についての交換頻度を低減するうえで有利となる。
【００６１】
以下、本発明の他の実施形態を説明する。
【００６２】
（１）上記実施形態において、ガイドアングル７を用いない構成とすることができる。この場合、部品点数が少なくなってコスト面において有利である。但し、万一、図８に示すように、検査ヘッド４の姿勢が所定の傾き角度を超えた異常状態になっている場合には、図９に示すように、各検査ヘッド４，４を各受信ホーン部１２，１３に非接触とさせるよう下降案内することができなくなる。
【００６３】
（２）上記連結部材５は、例えば図１０から図１３に示すように、円筒コイルバネとすることができる。この円筒コイルバネからなる連結部材５の上端は、ストロークガイド６の所定位置に吊り下げられた状態で着脱可能に係止され、また、下端は、検査ヘッド４の胴部４１の上端に着脱可能に係止される。
【００６４】
このように連結部材５として円筒コイルバネを用いる場合、各検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２を各受信ホーン部１２，１３の拡径開口部１２ｂ，１３ｂに嵌入当接させたときに、若干圧縮した状態になるように駆動部３による昇降ストローク量を設定している。
【００６５】
この場合も、上記実施形態と略同様に、高周波部品１の両受信ホーン部１２，１３の中心軸線Ｏ１が基板１１の垂直線Ｐに対し所定角度θ傾いていたとしても、また、受信ホーン部１２，１３の高さ寸法がばらついていたとしても、各検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２を各受信ホーン部１２，１３の拡径開口部１２ｂ，１３ｂに嵌入させることによって、各検査ヘッド４，４を姿勢変更自在に支持している円筒コイルバネからなる連結部材５が各検査ヘッド４，４の下降に応じて撓み、各検査ヘッド４，４の中心軸線Ｏ２を各受信ホーン部１２，１３の中心軸線Ｏ１に対し同軸上に配置するように各検査ヘッド４，４の姿勢が自動的に補正されるようになる。
【００６６】
しかも、その際、各検査ヘッド４，４と各受信ホーン部１２，１３とに対し、無理な負荷がかからない点も上記実施形態と同様である。なお、この例では、円筒コイルバネからなる連結部材５の圧縮による弾性復元力によって各検査ヘッド４，４の位置合わせ部４２，４２が各受信ホーン部１２，１３の拡径開口部１２ｂ，１３ｂに弾性的に押し付けられることになるので、検査ヘッド４，４の自動調心作用が向上する。
【００６７】
さらに、連結部材５は、図示していないが、各種のコイルバネの複数個を適宜に組み合わせた構成とすることもできる。
【００６８】
（３）上記実施形態において、図示していないが、フレーム２のベース２１上に固定状態で設置している載置台２３については、検査ヘッド４の真下位置から外れた位置へ移動可能に設置することができる。この場合、載置台２３を手前あるいは横に引き出した状態で高周波部品１の取り付け、取り外しを行うことができるようになり、その作業が簡単に行えるようになる点で有利となる。
【００６９】
（４）上記実施形態において、図示していないが、フレーム２のベース２１上に、Ｘ−Ｙテーブルを設置してもよい。このＸ−Ｙテーブルは、Ｘ軸方向に直線変位可能なＸテーブルと、このＸテーブル上にＸ軸に対し直交するＹ軸方向に直線変位可能に配置されるＹテーブルとを有する一般的に公知の構成のものを用いることができる。この場合、Ｙテーブル上に検査対象となる高周波部品１を固定状態で搭載すればよく、上記（３）と同様に、載置台２３を手前あるいは横に引き出した状態で高周波部品１の着脱を行えるようになるとともに、高周波部品１を検査ヘッド４に対し、高精度に位置合わせできるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明に係る検査装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の検査装置の側面図である。
【図３】図１の検査装置の正面図である。
【図４】図２において検査ヘッドを下降した状態を示す側面図である。
【図５】図３において検査ヘッドを下降した状態を示す正面図である。
【図６】図２において検査ヘッドが傾いている状態を示す側面図である。
【図７】図６の状態から検査ヘッドを下降した状態を示す側面図である。
【図８】図６においてガイドアングルを無くした場合を示す側面図である。
【図９】図８の状態から検査ヘッドを下降した状態を示す側面図である。
【図１０】本発明に係る検査装置の他の実施形態で、図２に対応する側面図である。
【図１１】図１０の検査装置で、図３に対応する正面図である。
【図１２】図１０において検査ヘッドを下降した状態を示す側面図である。
【図１３】図１１において検査ヘッドを下降した状態を示す正面図である。
【図１４】従来例に係る検査装置を示す側面図である。
【図１５】図１４の検査装置の正面図である。
【図１６】図１４において検査ヘッドを下降した状態を示す側面図である。
【図１７】図１５において検査ヘッドを下降した状態を示す正面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１      高周波部品
１１      基板
１２，１３      受信ホーン部
１２ｂ，１３ｂ    拡径開口部
２      フレーム
２１      ベース
２２      支持部
３      駆動部（エアーシリンダ）
４      検査ヘッド
４１      胴部
４２      位置合わせ部
４３      送信ユニット
５      連結部材
【図１】
2006133134.tif 000003
【図２】
2006133134.tif 000004
【図３】
2006133134.tif 000005
【図４】
2006133134.tif 000006
【図５】
2006133134.tif 000007
【図６】
2006133134.tif 000008
【図７】
2006133134.tif 000009
【図８】
2006133134.tif 000010
【図９】
2006133134.tif 000011
【図１０】
2006133134.tif 000012
【図１１】
2006133134.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
2006133134.tif 000018
【図１７】
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