(57)【要約】【課題】  弾性表面波共振片の電極パターンに形成される陽極酸化膜の厚さを一定にするとともに、弾性表面波共振片の共振周波数を一定にする陽極酸化装置および終点検出方法を提供する。【解決手段】  陽極酸化装置１０は、被処理物に形成される陽極酸化膜の厚さに応じて前記被処理物に印加される電圧値を求めるとともに、前記電圧値より陽極酸化を終了する終点電流設定値を求める電源制御部２０と、前記電源制御部２０で求めた値の電圧を陽極酸化槽１２の電解液中に浸漬された前記被処理物に印加するとともに、前記電源制御部２０によって前記被処理物への電源供給が制御される電源部１８と、前記被処理物に供給される電流値を監視するとともに、前記電流値が前記終点電流設定値を下回ったときに陽極酸化の終点と判定する監視部２４とを有する構成である。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物に形成される陽極酸化膜の厚さに応じて前記被処理物に印加される電圧値を求めるとともに、前記電圧値より陽極酸化を終了する終点電流設定値を求める電源制御部と、
前記電源制御部で求めた値の電圧を陽極酸化槽の電解液中に浸漬された前記被処理物に印加するとともに、前記電源制御部によって前記被処理物への電源供給が制御される電源部と、
前記被処理物に供給される電流値を監視するとともに、前記電流値が前記終点電流設定値を下回ったときに陽極酸化の終点と判定する監視部と、
を有することを特徴とする陽極酸化装置。
【請求項２】
前記監視部は、前記電流値が前記終点電流設定値を連続して一定時間下回ったときに前記被処理物の陽極酸化の終了を判定する電源遮断用タイマーを備えたことを特徴とする請求項１に記載の陽極酸化装置。
【請求項３】
前記電源制御部は、前記陽極酸化槽に浸漬される前記被処理物の量に応じた最大電流値を求める最大電流値設定手段を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の陽極酸化装置。
【請求項４】
前記被処理物は弾性表面波共振片であり、
前記電源制御部は、前記弾性表面波共振片の共振周波数と目的周波数とを入力して前記弾性表面波共振片の周波数調整量に応じた周波数調整量を求め、この周波数調整量から前記弾性表面波共振片に形成される陽極酸化膜厚を求める手段を備えた、
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の陽極酸化装置。
【請求項５】
被処理物を電解液に浸漬して前記被処理物の表面を陽極酸化するときの終点検出方法であって、
陽極酸化膜の厚さに応じて決定される前記被処理物への印加電圧値から陽極酸化を終了する終点電流設定値を求め、
前記被処理物に供給される電流値が前記終点電流設定値を連続して下回って一定時間経過したときに陽極酸化を終了する、
ことを特徴とする終点検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は陽極酸化装置および終点検出方法に係り、特に被処理物の陽極酸化装置およびこの陽極酸化装置に用いられる陽極酸化の終点検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
弾性表面波共振片には、圧電基板上にすだれ状電極や反射器の電極パターンが形成され、この電極パターン表面に陽極酸化膜が形成されたものがある。この弾性表面波共振片の電極パターンを陽極酸化することについて開示されたものとして、例えば特許文献１が挙げられる。
【０００３】
また陽極酸化装置や陽極酸化の終了方法について開示されたものとして特許文献２が挙げられる。特許文献２には、陽極酸化時に金属膜へ供給される電圧が最大に到達したときにタイマーを起動し、このタイマーの時間が酸化時間設定回路に等しくなったときに陽極酸化を終了することが開示されている。また特許文献２には、陽極酸化時に金属膜へ供給される電圧が最大に到達したときにタイマーを起動し、陽極酸化の電流を測定してこの電流値が設定値以下になったときにタイマーを停止し、タイマーの時間Ｔに倍率Ｎを乗じた時間Ｔ×Ｎを追加酸化することが開示されている。
【特許文献１】特開平４−２６１２０７号公報
【特許文献２】特開平６−３３６６９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
弾性表面波共振片は、電極パターンの質量を増減させることにより質量付加効果や質量減少効果を生じ、共振周波数を調整することが可能である。ところで電極パターンを陽極酸化した場合、陽極酸化膜の厚さによって電極パターンの質量が変わるので、弾性表面波共振片の共振周波数を調整することが可能である。しかしながら陽極酸化膜の厚さは、弾性表面波共振片、すなわち複数の電極パターンが形成された圧電ウエハの状態や陽極酸化の処理条件によってかわる虞がある。
【０００５】
また特許文献２に開示された技術は、タイマーを同一時間動作させて金属膜を陽極酸化しても、タイマーが終了した時点の電流値は陽極酸化の処理毎に異なる場合がある。すなわち基板の状態や陽極酸化の処理条件によって陽極酸化の処理状態がかわるので、タイマーを同一時間動作させても陽極酸化したと判断できる電流値に到達しない場合がある。したがって規定時間が経過しても陽極酸化が終了していない場合が起こる。また電流値モニター時において、電流ノイズ等により瞬間的に電流値が規定値以下に減少すると陽極酸化の終点と判定してしまう場合がある。このため陽極酸化膜の厚さが一定にならず、弾性表面波共振片の共振周波数にばらつきが生じる問題がある。
【０００６】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、弾性表面波共振片の電極パターンに形成される陽極酸化膜の厚さを一定にするとともに、弾性表面波共振片の共振周波数を一定にする陽極酸化装置および終点検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る陽極酸化装置は、被処理物に形成される陽極酸化膜の厚さに応じて前記被処理物に印加される電圧値を求めるとともに、前記電圧値より陽極酸化を終了する終点電流設定値を求める電源制御部と、前記電源制御部で求めた値の電圧を陽極酸化槽の電解液中に浸漬された前記被処理物に印加するとともに、前記電源制御部によって前記被処理物への電源供給が制御される電源部と、前記被処理物に供給される電流値を監視するとともに、前記電流値が前記終点電流設定値を下回ったときに陽極酸化の終点と判定する監視部と、を有することを特徴としている。
【０００８】
被処理物の抵抗値は、被処理物の陽極酸化が進行していくと徐々に大きくなる。このため被処理物に供給される電流は、最初は定電流で供給されるが、その後徐々に小さくなり、陽極酸化が終了するときには電流値の変化がなくなる。本発明に係る陽極酸化装置は、この電流値の変化を利用するものであり、陽極酸化が終了するときの電流値の変化がなくなる点を終点電流設定値として求め、被処理物に供給される電流値が終点電流設定値を下回った場合に陽極酸化を終了するものである。これにより被処理物の陽極酸化を確実に行うことができる。
【０００９】
また前記監視部は、前記電流値が前記終点電流設定値を連続して一定時間下回ったときに前記被処理物の陽極酸化の終了を判定する電源遮断用タイマーを備えたことを特徴としている。電流値が、終点電流設定値をノイズにより一時的に下回った場合には、陽極酸化の終了と判定することはない。したがって陽極酸化装置は所望の終点で陽極酸化を終了できるので、被処理物の陽極酸化を確実に行うことができ、陽極酸化膜の厚さを一定にすることができる。
【００１０】
また前記電源制御部は、前記陽極酸化槽に浸漬される前記被処理物の量に応じた最大電流値を求める最大電流値設定手段を備えたことを特徴としている。これにより被処理物の量に応じた電流値（電流密度）を供給できるので、被処理物に一定の厚さの陽極酸化膜を形成することができる。
【００１１】
また前記被処理物は弾性表面波共振片であり、前記電源制御部は、前記弾性表面波共振片の共振周波数と目的周波数とを入力して前記弾性表面波共振片の周波数調整量に応じた周波数調整量を求め、この周波数調整量から前記弾性表面波共振片に形成される陽極酸化膜厚を求める手段を備えた、ことを特徴としている。これにより弾性表面波共振片の共振周波数（計測周波数）および目的周波数を入力すれば、電源制御部で陽極酸化に必要な演算・制御を行うので、弾性表面波共振片の電極パターンを自動で陽極酸化することができる。また電極パターンに形成される陽極酸化膜厚は一定なので、共振周波数にばらつきのない弾性表面波共振片が得られる。
【００１２】
また本発明に係る終点検出方法は、被処理物を電解液に浸漬して前記被処理物の表面を陽極酸化するときの終点検出方法であって、陽極酸化膜の厚さに応じて決定される前記被処理物への印加電圧値から陽極酸化を終了する終点電流設定値を求め、前記被処理物に供給される電流値が前記終点電流設定値を連続して下回って一定時間経過したときに陽極酸化を終了する、ことを特徴としている。これにより被処理物の陽極酸化を確実に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明に係る陽極酸化装置および終点検出方法の好ましい実施の形態について説明する。以下に説明する実施形態では、被処理物として圧電ウエハに形成された弾性表面波（ＳＡＷ）共振片の電極パターンを用いる形態について説明する。図１に陽極酸化装置の説明図を示す。陽極酸化装置１０は、主に、圧電ウエハ表面に形成された電極パターンを陽極酸化する陽極酸化槽１２と、この陽極酸化槽１２に設けられた通電用クリップ１４および対向電極１６に接続する電源部１８と、この電源部１８を制御する電源制御部２０と、この電源制御部２０へのデータの入力部２２と、通電用クリップ１４に供給される電流値の監視部２４とから構成されている。
【００１４】
前記陽極酸化槽１２は、複数の圧電ウエハ３０を収容するウエハスタンド２６が入れられる大きさを有し、その内部に電解液２８が貯留されている。この電解液２８は陽極酸化を行えるものであればよく、例えばリン酸アンモニウム系電解液２８が用いられる。また陽極酸化槽１２には、圧電ウエハ３０に形成されたＳＡＷ共振片の電極パターンと接続する通電用クリップ１４と、前記電解液２８に浸された対向電極１６とが設けられている。そして通電用クリップ１４は電源部１８のプラス端子（＋）に接続され、対向電極１６は電極部のマイナス端子（−）に接続されている。
【００１５】
前記電源制御部２０は電源部１８に接続されている。この電源制御部２０は電圧値設定手段３２、周波数−電圧演算手段３４、終点検出電流値設定手段３６、最大電流値設定手段３８、電源部起動設定手段４０および電源部遮断設定手段４２を有している。前記電圧値設定手段３２には、圧電ウエハ３０に形成された複数のＳＡＷ共振片のうち、サンプルとなるＳＡＷ共振片の共振周波数を計測した値（計測周波数）と、ＳＡＷ共振片の目的周波数とが入力される。この計測周波数および目的周波数は入力部２２から入力される。ここで目的周波数とは、ＳＡＷ共振片に要求される共振周波数のことをいう。そして電圧値設定手段３２は、計測周波数と目的周波数とから周波数調整量を求めるものである。
【００１６】
また周波数−電圧演算手段３４は電圧値設定手段３２で求められた周波数調整量から陽極酸化時の印加電圧値を求めるものである。この印加電圧値は圧電ウエハ３０の電極パターンに印加される最大の電圧値（設定電圧）である。図２に陽極酸化膜厚と陽極酸化電圧との関係を示す。電極パターンに形成される陽極酸化膜の厚さは、図２に示すように、電極パターンに印加される電圧（陽極酸化電圧）と比例関係にある。この比例定数は電解液２８の種類によって異なる。したがってこの比例関係は、電解液２８の種類毎に予め計算や試験をして求めておけばよい。なお電解液２８にリン酸アンモニウム系を用いた場合、陽極酸化電圧と陽極酸化膜厚との相関は１Ｖあたり１．３ｎｍの陽極酸化膜が形成される。そしてＳＡＷ共振片の共振周波数は、電極パターンの質量によって調整することが可能である。したがって周波数−電圧演算手段３４は、周波数調整量に応じた陽極酸化膜の厚さを求め、この膜厚から電極パターンに印加される電圧値を求めている。なお周波数−電圧演算手段３４に複数種の電解液２８の比例関係を記憶させておき、入力部２２から電解液２８の種類を入力することにより、電解液２８の種類に応じた印加電圧値を求めることも可能である。また終点検出電流値設定手段３６は、周波数−電圧演算手段３４で求められた印加電圧値より終点電流設定値を求めるものである。この終点電流設定値は監視部２４の電流値監視手段４４に出力される。
【００１７】
また最大電流値設定手段３８は入力部２２に接続され、陽極酸化槽１２に浸漬される圧電ウエハ３０の枚数が入力される。そして最大電流値設定手段３８は、陽極酸化槽１２に浸漬される圧電ウエハ３０の枚数に応じた陽極酸化に最適な最大電流値を求めるものである。なお最大電流値は、電流密度を常に一定にする必要があるため、圧電ウエハ３０の枚数に応じて変更する必要がある。
【００１８】
また電源部起動設定手段４０は、周波数−電圧演算手段３４で求められた印加電圧値と、最大電流値設定手段３８で求められた最大電流値とに基づいた電圧および電流を圧電ウエハ３０に供給するよう電源部１８を動作させるものであり、電源部起動設定手段４０の後段に電源部１８が接続されている。また電源部遮断設定手段４２の前段は監視部２４に接続され、電源部遮断設定手段４２の後段は電源部１８に接続されている。そして電源部遮断設定手段４２は、監視部２４から入力される信号に基づいて電源部１８の動作を停止させるものである。
【００１９】
前記監視部２４は電流値監視手段４４および電源遮断用タイマー４６を有し、電流値監視手段４４と電源遮断用タイマー４６との間で信号を相互に送受信する構成である。電流値監視手段４４は、陽極酸化槽１２に設けられた通電用クリップ１４に接続され、通電用クリップ１４を介して電源部１８から圧電ウエハ３０に供給される電流値を監視するものである。この電流値監視手段４４は電源制御部２０に接続されている。また電源遮断用タイマー４６は、電流値監視手段４４で監視している電流値が終点電流設定値を下回ったときに下回った時点から一定時間を計測し、一定時間が経過した後にタイマーを完了し、完了した信号を電源制御部２０に出力するものである。
【００２０】
次に、ＳＡＷ共振片の製造方法および陽極酸化装置１０の終点検出方法について説明する。図３にＳＡＷ共振片の製造方法のフローを示す。まず圧電材料からなる圧電ウエハ３０は洗浄される（Ｓ１００）。その後、アルミニウム（Ａｌ）またはＡｌ合金等の金属がスパッタ等の成膜法により圧電ウエハ３０上に成膜されて、電極膜が形成される（Ｓ１０２）。そして、この電極膜上にポジ型フォトレジストが塗布される（Ｓ１０４）。なお実施の形態によっては、ネガ型フォトレジストを用いてもよい。次に、ＳＡＷ共振片の電極パターンが形成されたフォトマスクを介してフォトレジストに紫外線を照射（露光）する（Ｓ１０６）。これによりレジスト膜は、紫外線を照射された部分が変質し、現像液に溶解する性質となる。そしてレジスト膜の表面を現像液に接触させ、フォトマスクのパターンをレジスト膜に転写する現像を行う（Ｓ１０８）。これにより電極膜上にレジストパターンが形成される。なお露光装置にステッパーを用いると、レチクルに描画された電極パターンを高精度にレジスト膜へ転写できる。次に、レジストパターンをマスクとして電極膜をエッチングしたのち（Ｓ１１０）、レジストパターンを剥離して圧電ウエハ３０から除去する（Ｓ１１２）。これにより圧電ウエハ３０表面にＡｌまたはＡｌ合金からなる電極パターンが形成される。
【００２１】
図４に電極パターンを形成した圧電ウエハ３０の説明図を示す。なお図４では電極パターン４８を簡略して記載しており、１つの四角がＳＡＷ共振片の電極パターン４８を示している。また黒く塗りつぶしたものは、ＳＡＷ共振片の共振周波数を測定するためのサンプル５０を示している。そして各サンプル５０で共振周波数が測定される（Ｓ１１４）。この測定された共振周波数は平均化されて、圧電ウエハ３０に形成されたＳＡＷ共振片の計測周波数となる。なお前記サンプル５０の数は４つに限定されることはない。また前記サンプル５０の位置は、圧電ウエハ３０に形成されたＳＡＷ共振片の計測周波数を求めるのに適した位置に設ければよく、例えば圧電ウエハ３０の中心部に対して上下左右のほぼ対象となる位置に設ければよい。
【００２２】
そしてＳＡＷ共振片の共振周波数は数式１に定義することができる。
【数１】
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ここでｆは共振周波数、ｖは弾性表面波の伝搬速度、λは弾性表面波の波長である。弾性表面波の波長はすだれ状電極の電極ピッチに依存するため、ＳＡＷ共振片の製造工程において波長を変化させて共振周波数を調整することは困難である。一方、弾性表面波の伝搬速度は圧電材料により決定されるが、電極パターン４８の質量を増減させることによる質量付加効果や質量減少効果により、周波数調整することが可能である。電極パターン４８の陽極酸化は、ＳＡＷデバイスにおいて一般的に、隣り合うすだれ状電極間の短絡を防止するために電極表面に絶縁膜を形成する目的で形成される場合が多い。そして電極パターン４８の表面を酸素と結合させて得られる質量付加効果により、ＳＡＷ共振片の共振周波数は低くなる方向へシフトする。共振周波数はＳＡＷ共振片を製造する上で最も重要な特性なので、このような周波数変動を精度よく管理する必要がある。
【００２３】
この原理を利用してＳＡＷ共振片の共振周波数が調整される。すなわち電圧値設定手段３２にＳ１１４で測定した共振周波数（計測周波数）と目的周波数とが入力され、周波数調整量が算出される。そして周波数−電圧演算手段３４は、周波数調整量に基づいて圧電ウエハ３０への印加電圧を求める。終点検出電流値設定手段３６は、陽極酸化の終了基準となる終点電流設定値を印加電圧に基づいて求める。また最大電流値設定手段３８は、入力部２２から入力された陽極酸化される圧電ウエハ３０の枚数に応じて最大電流値を求める。この最大電流値（設定電流）は、例えば４インチの圧電ウエハ１枚につき０．１〜１００ｍＡが最適となる。そして電源部起動設定手段４０は、求められた印加電圧値および最大電流値を陽極酸化槽１２の通電用クリップ１４および対向電極１６に供給するよう電源部１８を動作させる。すると圧電ウエハ３０に形成された電極パターン４８と対向電極１６との間に、電解液２８を介して最大電流が流れて電極パターン４８の表面が陽極酸化される（Ｓ１１６）。
【００２４】
図５に印加電圧および電流と処理時間との関係を示す。陽極酸化の開始直後は、圧電ウエハ３０に形成した電極パターン４８の抵抗値が小さいため、設定した電流値（電流密度）による定電流処理が行われる。そして電極パターン４８の陽極酸化が進行するに連れて電極パターン４８の抵抗値が大きくなる。このため電極パターン４８に印加される電圧値は陽極酸化の開始直後から徐々に大きくなり、設定電圧に到達する。電圧値が設定電圧に到達した後は定電圧処理となり、電流値は徐々に減少する。なお電源部１８から圧電ウエハ３０に供給される電流値は電流値監視手段４４により監視（計測）されている。
【００２５】
電流値監視手段４４は、監視している電流値と終点検出電流値設定手段３６で求められた終点電流設定値とを比較している。そして終点電流設定値が、例えば１００μＡに設定されていた場合、電流値監視手段４４で監視している電流値が１００μＡを下回ると電源遮断用タイマー４６が起動して予め設定されている時間をカウントする。そして電源遮断用タイマー４６に設定されている一定時間が経過するまでに、電流値監視手段４４で監視している電流値が１００μＡ（終点電流設定値）を上回らなければ、カウントが終了した時点で電源遮断用タイマー４６から電源遮断設定手段へ信号が出力される。この信号は、圧電ウエハ３０に供給される電流値が終点電流設定値を下回ったことを示すものであればよい。また電源遮断用タイマー４６に設定されている一定時間が経過するまでに、電流値監視手段４４で監視している電流値が１００μＡ（終点電流設定値）を上回った場合、電源遮断用タイマー４６のカウントはリセットされる。
【００２６】
電流値監視手段４４で電流値を監視すると、ノイズや電極パターン４８の断線等により、電流値が一時的に低くなる場合がある。このとき電流値が終点電流設定値を下回ると、監視部２４に電流値監視手段４４のみが設けられている場合、電流値監視手段４４は陽極酸化の終点と誤判定する虞がある。しかし本実施形態に係る陽極酸化装置１０は、監視部２４に電源遮断用タイマー４６が設けられているので、電流値が終点電流設定値を一時的に下回っても、陽極酸化の終点と誤判定することはない。
【００２７】
そして電源遮断用タイマー４６から信号を入力した電源部遮断設定手段４２は電源部１８を停止させる。これにより陽極酸化が終了する。図６に電極パターン４８の一部を拡大した断面図を示す。圧電ウエハ３０上に形成された電極パターン４８の表面および側面には、陽極酸化膜５１が形成される。
【００２８】
なお陽極酸化は複数回に分けて行うこともできる。すなわち、まず１回目の周波数測定をした後に印加電圧および終点電流設定値等を設定して陽極酸化を行い、その後２回目の周波数測定をした後に印加電圧および終点電流設定値等を設定して陽極酸化すればよい。そして１回目と２回目とを併せて、ＳＡＷ共振片の目標周波数となるように陽極酸化を行えばよい。これは１回目に測定した計測周波数から２回目終了後の目標周波数まで共振周波数を変化させるときの陽極酸化する量を１００％とすると、例えば１回目に８０％まで陽極酸化した後、２回目に２０％の陽極酸化を行えばよい。また周波数測定をした後に１回目の陽極酸化を行い、その後周波数測定を行うことなく２回目の陽極酸化を行うこともできる。なお陽極酸化を行う回数は２回に限定されることはなく、３回以上陽極酸化を行ってもよい。このように陽極酸化を複数回に分けて行うと、圧電ウエハ３０内におけるＳＡＷ共振片の共振周波数のばらつきを小さくすることができる。
【００２９】
陽極酸化が終了した後、圧電ウエハ３０に形成されたＳＡＷ共振片のサンプル５０を用いて共振周波数を測定する（Ｓ１１８）。その後、圧電ウエハ３０はダイシングされて、個々のＳＡＷ共振片にチップ切断される（Ｓ１２０）。そして切断されたチップの検査が行われる（Ｓ１２２）。
【００３０】
このように陽極酸化装置１０および陽極酸化装置１０に用いられる終点検出方法は、圧電ウエハ３０に供給される電流値と終点電流設定値とを比較し、電流値が終点電流設定値を一定時間連続して下回ったときに陽極酸化の終点と判断するので、ノイズや電極パターン４８の断線による電流値の誤検出を防止できる。したがって陽極酸化装置１０は、陽極酸化膜の厚さを一定にできるので、安定した共振周波数のＳＡＷ共振片を製造でき、ＳＡＷ共振片の信頼性を向上できる。
【００３１】
また作業者が計測周波数、目的周波数、陽極酸化槽１２に浸漬される圧電ウエハ３０の枚数および電解液２８の種類を陽極酸化装置１０に入力するだけで、陽極酸化装置１０は陽極酸化に必要な演算、陽極酸化の制御およびＳＡＷ共振片の周波数調整を自動で処理できるので、作業者の設定値の入力ミスによる工程不良を無くすことができる。したがってＳＡＷ共振片の製造コストを低減できる。
【００３２】
図７にＳＡＷデバイスの説明図を示す。図７（ａ）はＳＡＷ共振片の平面図、図７（ｂ）はＳＡＷ共振子の断面図である。上述した陽極酸化装置１０および終点検出方法を用いて形成されたＳＡＷデバイスについて説明する。図７（ａ）に示すＳＡＷ共振片５２は、圧電材料からなる基板５４上にすだれ状電極（ＩＤＴ）５６を有し、このＩＤＴ５６の両端に反射器５８を設けた構成である。そしてＩＤＴ５６には、ワイヤボンディングやフリップチップボンディングが施されるパッド６０が引出し電極６２を介して接続されている。また入力電極および出力電極となるＩＤＴを圧電基板上設けてＳＡＷフィルタを形成することもできる。また上述したＳＡＷ共振片５２をパッケージ６４に実装してＳＡＷ共振子６８とすることもできる（図７（ｂ）参照）。またＳＡＷ共振片と、このＳＡＷ共振片を共振させる回路とをパッケージに実装してＳＡＷ発振器とすることもできる。また物体の角速度を検出するＳＡＷジャイロを形成することもできる。
【００３３】
また陽極酸化装置１０および終点検出方法が用いられるのは、ＳＡＷ共振片等のＳＡＷデバイスの製造に限定されることはなく、陽極酸化が施される他の電子部品等の製造に用いることもできる。
【００３４】
なお本実施形態に係る陽極酸化装置１０には次の機能を付加してもよい。すなわち電源制御部２０に記憶手段を設け、この記憶手段に入力部２２から電源制御部２０へ入力された計測周波数や目的周波数等のデータ、求められた終点電流設定値や印加電圧値および監視部２４で計測された電流値を保存することもできる。この記憶手段には、最良の陽極酸化の結果が得られた処理のみ保存させることもできる。そしてＳＡＷ共振片の陽極酸化処理は同じ共振周波数等の設定を繰り返す作業である。このため記憶手段に保存された処理と同じ設定を繰り返すときは、記憶手段に保存された最良の処理結果を読み出して、これと同じ処理を行えばよい。このようにすると陽極酸化の処理が行われているときに、監視部２４で計測している電流値にノイズが入り込んで記憶手段に保存されている処理結果の電流値と異なった場合でも、電源制御部２０は処理結果の電流値と処理が行われている電流値と異なったときにはノイズのためと判断し、そのまま陽極酸化を続けることができる。したがってノイズによる終点検出の誤判定がなくなり、一定な厚さの陽極酸化膜が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】陽極酸化装置の説明図である。
【図２】陽極酸化膜厚と陽極酸化電圧との関係を示す図である。
【図３】ＳＡＷ共振片の製造方法のフローである。
【図４】電極パターンを形成した圧電ウエハの説明図である。
【図５】印加電圧および電流と処理時間との関係を示す図である。
【図６】電極パターンの一部を拡大した断面図である。
【図７】ＳＡＷデバイスの説明図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０………陽極酸化装置、１２………陽極酸化槽、１８………電源部、２０………電源制御部、２２………入力部、２４………監視部、３２………電圧値設定手段、３４………周波数−電圧演算手段、３６………終点検出電流値設定手段、３８………最大電流値設定手段、４０………電源部起動設定手段、４２………電源部遮断設定手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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