(57)【要約】【課題】ｈ線に高い感度を有し、レジストパターンの解像性に優れたｈ線露光用感光性樹脂組成物、および、これを用いた感光性ドライフィルムを提供することを課題とする。【解決手段】脂環式エポキシ基含有不飽和化合物をカルボキシル基含有アクリル共重合体のカルボキシル基の一部に有するとともに重量平均分子量が１０００〜１０００００であるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）と、少なくとも必須成分として４０５ｎｍ波長光における吸光係数１以上の光重合開始剤（Ｃ１）を含む光重合開始剤（Ｃ）とで感光性樹脂組成物を構成する。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを少なくとも含んでなる感光性樹脂組成物であって、
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物をカルボキシル基含有アクリル共重合体のカルボキシル基の一部に有するとともに重量平均分子量が１０００〜１０００００であり、
前記光重合開始剤（Ｃ）は、少なくとも必須成分として４０５ｎｍ波長光における吸光係数１以上の光重合開始剤（Ｃ１）を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、１００以上であることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記光重合開始剤（Ｃ）は、さらに、前記光重合開始剤（Ｃ１）より４０５ｎｍ波長光に対する吸光特性が低い他の少なくとも一種の光重合開始剤（Ｃ２）を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記光重合開始剤（Ｃ１）は、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記光重合開始剤（Ｃ２）は、トリアジン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、またはこれらの混合物であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記エチレン性不飽和化合物（Ｂ）は、ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートおよび２，２−ビス［４−（（メタ）アクリロキシ・ポリエトキシ）フェニル］プロパンの分子量５００〜２０００の範囲にある群から選択される少なくとも一種であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
少なくとも支持フィルム上に請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物から形成された感光性樹脂層を有することを特徴とする感光性ドライフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性ドライフィルムに関し、特にドライフィルムとしたときに優れた現像性を有するとともに、解像性に優れたレジストパターンを得ることのできる感光性樹脂組成物に関するものであって、特に波長３９０〜４３０ｎｍのレーザー光により直接画像を形成するのに好適な光重合成組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、プリント配線基板の製造において、配線回路パターン形成用のレジストを形成するためにドライフィルムが用いられている。このドライフィルムは、少なくとも支持フィルム上に半乾燥状態の感光性樹脂層を形成してなるものである。
【０００３】
上記感光性樹脂組成物は、必須成分として、ポリマー（樹脂）成分（Ａ）、光重合性のモノマー成分（Ｂ）、および光重合開始剤（Ｃ）とを含有している。上記ドライフィルム用の感光性樹脂組成物としては、例えば、ポリマー（樹脂）成分（Ａ）として、不飽和基を含有しないカルボキシル基含有ポリマーと脂環式エポキシ基含有不飽和化合物をカルボキシル基含有ポリマーに反応させた不飽和基数０．３〜３．５ｍｍｏｌ／ｇの官能性ポリマーを用い、モノマー成分（Ｂ）として、エチレン性不飽和化合物を用い、そして光重合開始剤（Ｃ）として一般的な光重合剤を用いる構成が開示されている（例えば、特許文献１など）。
【０００４】
ところで、感光性樹脂組成物から形成されたレジスト膜をパターン露光するための露光光としては、従来、紫外線が使用されているが、使用する紫外線には、主波長が４３６ｎｍのｇ線、４０５ｎｍのｈ線、および３６５ｎｍのｉ線がある。形成しようとするパターンがより微細であれば、より短波長の露光光が必要になる。
【０００５】
近年、より微細な配線回路が要望されており、ｉ線を用いたパターニングが多くなってきている。それに伴って、ｉ線に対する感光性が高い樹脂組成物が提供されるに至っている。上記特許文献１を始めとする現在提供されている感光性樹脂組成物は、特にｉ線に対する感度が優れている。１９８０年代は比較的高い照度が得られるｇ線が主流となっていたが、前述のように露光光の波長が短い程、より微細なパターンが形成できることから、９０年代以降は一気にｉ線が露光光として用いられるようになっている。そのため、感光特性がｇ線に適した感光性樹脂組成物は数多く開発されており、ｉ線に適した感光特性を有する感光性樹脂組成物も、上記特許文献１にあるように、近年数多く開発されている。
【０００６】
しかしながら、ｉ線露光に用いる水銀ランプは駆動するために投入するエネルギーのほとんどが熱に変わり、非常に効率の悪い光源である。このような理由から、近年、半導体レーザーの短波長化が進んだこととあわせて、エネルギー効率のよいｈ線レーザー露光が注目を浴びており、ｈ線露光の方法および装置については、いくつか提案されている（例えば、特許文献２など）。
【０００７】
ところが、前述のように、ｇ線露光からｉ線露光への技術的推移が一気に進んでしまったために、ｈ線露光に最適な特性を有する感光性樹脂組成物の検討は不十分なままになっている。従って、現状では、ｈ線を露光光として用いた配線回路形成には感光性樹脂組成物として前述の特許文献１に開示のｉ線露光用の感光性樹脂組成物が転用され用いられている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−７６０１４号公報
【特許文献２】特開２００４−１９１９３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、ｈ線露光に最適化した感光性樹脂組成物については、未だ十分満足のいくものはなかなか見当たらないというのが現状である。特に、解像度に関しては不十分であることが指摘されている。例えば、現状では、形成されたパターンのアスペクト比は２程度であるが、それ以上のアスペクト比が要望されている。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、その課題は、ｈ線に高い感度を有し、レジストパターンの解像性に優れた感光性樹脂組成物、および、これを用いた感光性ドライフィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、上記課題を解決するため、鋭意研究の結果、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）とエチレン性不飽和化合物（Ｂ）と光重合開始剤（Ｃ）とを少なくとも含んでなる感光性樹脂組成物であって、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）として、重量平均分子量が１０００〜１０００００であり、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物をカルボキシル基含有アクリル共重合体のカルボキシル基の一部に有すアルカリ可溶性樹脂を用いることにより、ｈ線（主波長：４０５ｎｍ）を露光光とした場合の感度とレジストパターンの解像性が格段に向上し得ることを知るに至った。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用に加えて、上記光重合開始剤（Ｃ）として、少なくとも４０５ｎｍ波長光に対して高い吸光特性を有する光重合開始剤（Ｃ１）を必須成分として有する光重合開始剤を用いることにより、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の使用によるｈ線に対する感度の向上およびレジストパターンの解像性の向上を確実なものとし得ることを、知見するに至った。かかる構成によるレジストパターンの解像性の向上は顕著であり、例えば、３０μｍ厚のレジストを形成した場合、ｈ線レーザーによる露光により形成したレジストパターンのアスペクト比は２．７以上の値が得られている。
【００１２】
本発明は、上記知見に基づいてなされたものである。すなわち、本発明に係る感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを少なくとも含んでなる感光性樹脂組成物であって、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物をカルボキシル基含有アクリル共重合体のカルボキシル基の一部に有するとともに重量平均分子量が１０００〜１０００００であり、上記光重合開始剤（Ｃ）は、少なくとも必須成分として４０５ｎｍ波長光における吸光係数１以上の光重合開始剤（Ｃ１）を含むことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の感光性ドライフィルムは、少なくとも支持フィルム上に上記感光性樹脂組成物から形成された感光性樹脂層を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の感光性樹脂組成物を用いることにより、ｈ線に対する感度とレジストパターンの解像性に優れた感光性樹脂層を形成することができる。本発明の感光性樹脂組成物を用いて形成した感光性樹脂層は、ｈ線に対する感度とレジストパターンの解像性が格段に優れる。
【００１５】
また、本発明の感光性ドライフィルムは、ｈ線に対する感度が高く、さらにレジストパターンの解像性に優れる。また、密着性にも優れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明の実施形態について説明する。
前述のように、本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）とを少なくとも含んでなる感光性樹脂組成物であって、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物をカルボキシル基含有アクリル共重合体のカルボキシル基の一部に有するとともに重量平均分子量が１０００〜１０００００であり、上記光重合開始剤（Ｃ）は、少なくとも必須成分として４０５ｎｍ波長光における吸光係数１以上の光重合開始剤（Ｃ１）を含むことを特徴とするものである。
【００１７】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）
本発明の感光性樹脂組成物に使用されるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、脂環式エポキシ基含有不飽和化合物をカルボキシル基含有アクリル共重合体のカルボキシル基の一部に有するとともに、重量平均分子量が１０００〜１０００００である樹脂である。このカルボキシル基含有アクリル共重合体は、エチレン性不飽和酸を必須成分として重合して得られた酸基含有アクリル系樹脂（ａ１）と、エポキシ基とカルボキシル基との間の開環付加反応により形成されるエステル結合を含まない脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）との反応物である。
【００１８】
上記酸基含有アクリル系樹脂（ａ１）としては、（メタ）アクリル酸、２−カルボキシエチル（メタ）アクリレート、２−カルボキシプロピル（メタ）アクリレート、クロトン酸、マレイン酸、フマール酸、イタコン酸、ケイヒ酸、ソルビン酸、プロポオール酸、及びこれらの半エステル類あるいは無水物などのエチレン性不飽和酸を必須成分とし、これらに（メタ）アクリル酸のエステル類、ビニル芳香族化合物、アミド系不飽和化合物、水酸基を含有するアクリレートまたはフタレート、ポリオレフィン系化合物、（メタ）アクリロニトリル、メチルイソプロペニルケトン、酢酸ビニル、酪酸ビニル、ビニルプロピオネート、メタクリロニトリル、イソプレン、クロロプレン、３−ブタジエン、ビニルピバレートなどから選ばれる１種もしくは２種以上の重合性単量体を共重合させた公知の共重合体が用いられる。
【００１９】
上記（メタ）アクリル酸のエステル類としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、３−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート、イソミリスチル（メタ）アクリレート、ヘキサデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレートなどを挙げることができる。
【００２０】
上記ビニル芳香族化合物としては、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｏ−クロロスチレン、ｍ−クロロスチレン、ｐ−クロロスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレンなどを挙げることができる。
【００２１】
上記アミド系不飽和化合物としては、例えば、アクリルアミド、メタクリルアミドなどを挙げることができる。
【００２２】
上記水酸基を含有するアクリレートまたはフタレートとしては、例えば、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、２−アクロイロキシエチル−２−ヒドロキシエチルフタレート、２−メタクリロイロキシエチル−２−ヒドロキシプロプルフタレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、エチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、グリレロール（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノ（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレンなどを挙げることができる。
【００２３】
上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）は、１分子中に１個のラジカル重合性の不飽和基と脂環式エポキシ基とを有する化合物であり、例えば、好ましくは３．４−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレートである。
【００２４】
上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、上記酸基含有アクリル系樹脂（ａ１）に由来する酸基の一部と上記脂環式エポキシ基含有不飽和化合物（ａ２）に由来するエポキシ基とを反応させて、上記酸基含有アクリル系樹脂（ａ１）中に不飽和基を導入することにより、製造される。この不飽和基は露光光による硬化に必要な基であるため、この樹脂（ａ１）の酸価は１５以上、好ましくは４０〜５００の範囲である。
【００２５】
上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、好ましくは１０００〜１０００００、より好ましくは、３０００〜７００００、さらに好ましくは、９０００〜３００００である。このアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、前述のように、側鎖に二重結合を有するために、光や熱により硬化可能であり、また、側鎖にカルボン酸を有するためにアルカリ溶液に可溶である。つまり、このアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、それ自体に高い感光性とアルカリ可溶性を有している。樹脂自体が高い感光性を有しているので、１０００〜１０００００の重量平均分子量範囲内でも比較的小さい範囲に分子量を調整することにより、樹脂自体の互いに架橋する割合を高くすることができる。すなわち、露光による硬化の度合いを高くすることができる。本発明においては、前述の特性を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）を用いることによって、露光後の現像性が良好となり、硬化部分と未硬化部分とのコントラストが向上し、その結果、レジストパターンの解像性を向上させることができる。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定することができる。
【００２６】
本発明の感光性樹脂組成物においては、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）以外のバインダー樹脂を特に添加しなくても良好な効果を得ることができるが、本発明の効果を妨げない限りにおいて添加しても構わない。但し、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）に加えて他のバインダー樹脂を本発明の感光性樹脂組成物に添加する場合、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）以外のバインダー樹脂を全樹脂量の２０％以下、好ましくは１０％以下の濃度で添加するのが好ましい。上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）以外のバインダー樹脂の濃度が２０％を超えると解像性が悪くなるためである。
【００２７】
上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）以外のバインダー樹脂としては、（メタ）アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂、フェノールノボラック系樹脂、クレゾールノボラック系樹脂等が挙げられる。アルカリ現像性の点からは（メタ）アクリル系樹脂が好ましい。
【００２８】
上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は１００以上が好ましく、より好ましくは１００〜１５０の範囲である。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）のガラス転移温度をこの範囲に調整することによって、レジスト硬化性が上がり、レジストパターンの寸法精度が向上するという効果を得ることができる。
【００２９】
エチレン性不飽和化合物（Ｂ）
本発明において使用するエチレン性不飽和化合物（Ｂ）は、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が高いガラス転移温度（Ｔｇ）に設定されることにより、硬化したときの硬度が高くなって寸法精度の向上が得られる反面、基板との密着性が劣ることになるのを防止する役目を果たす。そのために、このエチレン性不飽和化合物（Ｂ）は、柔軟性に優れたモノマー（Ｂ１）を含有することが好ましい。このモノマー（Ｂ１）としては、直鎖状で分子量が５００〜２０００の範囲にあるモノマーが適当である。そのような直鎖状で分子量が５００〜２０００の範囲にあるモノマーとしては、具体的には、ポリアルキレングリコールジ（メタ）アククリレートおよび２，２−ビス［４−（（メタ）アクリロキシ・ポリエトキシ）フェニル］プロパンの分子量５００〜２０００の範囲にある群から選択される少なくとも一種を用いることができる。なお、分子量は、分子式より理論的に導き出すことができる。
【００３０】
上記ポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３１】
上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ・ポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、「ＢＰＥ−５００」（新中村化学工業社製）として、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパンは、「ＢＰＥ１３００」（新中村化学工業社製）として商業的に入手可能で好適に用いられる。
【００３２】
本発明においては、上記モノマー（Ｂ１）の効果を補助するために他の光重合性モノマー（Ｂ２）をさらに用いることが可能である。このような光重合性モノマー（Ｂ２）としては、トリメチロールプロパントリアクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレートが好適であり、その他に下記のような化合物を用いることが可能である。
【００３３】
光重合性モノマー（Ｂ２）成分としては、さらに、例えば、多価アルコール、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ・ポリエトキシ）フェニル）プロパンおよびグリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタンモノマー、ノニルフェニルジオキシレン（メタ）アクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、（メタ）アクリル酸アルキルエステル等を用いることができる。
【００３４】
上記多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレンポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、テトラメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３５】
上記α，β−不飽和カルボン酸としては、例えば、（メタ）アクリル酸等が拳げられる。
【００３６】
上記２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシ・ポリエトキシ）フェニル）プロパンにα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（（メタ）アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。
【００３７】
上記グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシ−２−ヒドロキシ−プロピルオキシ）フェニル等が拳げられる。
【００３８】
上記ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等との付加反応物、トリス［（メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート］ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００３９】
上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００４０】
光重合開始剤（Ｃ）
本発明において使用する光重合開始剤（Ｃ）は、少なくとも必須成分として４０５ｎｍ波長光における吸光係数１以上の光重合開始剤（Ｃ１）を含むことを特徴とする。吸光係数が１未満だと、ｈ線（主波長：４０５ｎｍ）の吸収が低くなり、感光性樹脂層が硬化しないおそれがある。
【００４１】
ここで、吸光係数は、粉体の吸光係数を測定するのに通常用いられる方法を用いて測定することができる。具体的には、吸光係数を測定する粉体をＰＧＭＥ（プロピレングリコールモノメチルエーテル）で希釈することにより希釈液を調整し、紫外分光光度計（商品名：ＵＶ−３１００ＰＣ、島津製作所製）で吸光度を測定する。次いで、（吸光度×希釈液（ｇ））／（粉体（ｇ）×１０００）の計算式を用いることにより吸光係数を求めることができる。このときの吸光係数が２を超えた場合、希釈液を精秤し、さらにＰＧＭＥで希釈することにより、２回希釈液を調整し、（吸光度×希釈液（ｇ）×２回希釈液（ｇ）／粉体（ｇ）×精秤した希釈液（ｇ）×１０００）の計算式をもちいることにより吸光係数を求めることができる。
【００４２】
本発明において使用する光重合開始剤（Ｃ１）としては、吸光係数１以上の光重合開始剤であれば特に限定されない。具体的には、例えば、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２，４−ジエチルチオキサントンなどが挙げられる。中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
【００４３】
上記光重合開始剤（Ｃ）は、さらに、上記光重合開始剤（Ｃ１）より４０５ｎｍ波長光に対する吸光特性が低い他の少なくとも一種の光重合開始剤（Ｃ２）を含んでいてもよい。上記光重合開始剤（Ｃ）に、上記光重合開始剤（Ｃ１）より４０５ｎｍ波長光に対する吸光特性が低い光重合開始剤（Ｃ２）を含ませることにより、感光性樹脂組成物の用途等に応じて適宜吸光係数を適宜調整することができる。例えば、感光性樹脂層を形成し、露光光を照射する場合、吸光係数を１〜２０の範囲にすれば感光性樹脂層の底部まで十分に硬化させることができる。
【００４４】
上記光重合開始剤（Ｃ２）としては、トリアジン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、またはこれらの混合物が挙げられる。
【００４５】
本発明に用いることができるトリアジン化合物としては、例えば、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ｎ−プロピル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−クロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−トリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−４'−メトキシフェニル−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−［４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（アセナフト−５−イル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２'，４'−ジクロロフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ｎ−ノニル−４，６−ビス（トリクロルロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（α，α，β−トリクロロエチル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−スチリル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ｐ−メチルスチリル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ｐ−メトキシスチリル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどが挙げられる。中でも２−メチル−４,６ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンが好ましい。低露光量下でも硬化性が良く、レジストパターンの寸法精度が向上するためである。トリアジン化合物は、１種で使用してもよいし、複数種組み合わせて使用してもよい。
【００４６】
本発明に用いることができるヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、２，２'−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４'，５'−テトラフェニル−１，２'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，５，４'，５'−テトラフェニル−１，１'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（ｏ−フルオロフェニル）−４，５，４'，５'−テトラフェニル−１，１'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（ｏ−メトキシフェニル）−４，５，４'，５'−テトラフェニル−１，１'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（ｐ−メトキシフェニル）−４，５，４'，５'−テトラフェニル−１，１'−ビイミダゾール、２，４，２'，４'−ビス［ビ（ｐ−メトキシフェニル）］−５，５'−ジフェニル−１，１'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５，４'，５'−ジフェニル−１，１'−ビイミダゾール、２，２'−ビス（ｐ−メチルチオフェニル）−４，５，４'，５'−ジフェニル−１，１'−ビイミダゾール、ビス（２，４，５−トリフェニル）−１，１'−ビイミダゾール、２．２−ビス（２−クロロフェニル）−４．５．４．５−テトラフェニル−１．２−ビイミダゾールなどが挙げられる。中でも、２．２−ビス（２−クロロフェニル）−４．５．４．５−テトラフェニル−１．２−ビイミダゾールが好ましい。内部硬化性がよくなり、レジストパターンの寸法精度が向上するためである。ヘキサアリールビイミダゾール化合物は、１種で使用してもよいし、複数種組み合わせて使用してもよい。
【００４７】
トリアジン化合物とヘキサアリールビイミダゾール化合物は、混合物として使用した方がより好ましい。配合比は特に制限されないが、好ましくはトリアジン化合物０．０１〜１に対してヘキサアリールビイミダゾール化合物１〜２０である。
【００４８】
上記光重合開始剤（Ｃ１）と上記光重合開始剤（Ｃ２）との配合割合は、用いる光重合開始剤の種類によって異なる。具体的には、例えば、光重合開始剤（Ｃ１）として４，４’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンを使用し、光重合開始剤（Ｃ２）として２．２−ビス（２−クロロフェニル）−４．５．４．５−テトラフェニル−１．２−ビイミダゾールを使用した場合は、Ｃ１／Ｃ２＝０．０１〜５／０．１〜５０、好ましくは０．０２〜２／０．５〜３０、より好ましくは０．０５〜１／１〜２０である。光重合開始剤（Ｃ１）の割合が（Ｃ２）０．１〜５０に対して５を超えると露光光（特に、ｈ線）の吸収が大きくなり、感光性樹脂層を形成し露光光を照射する場合、感光性樹脂層の表面だけが硬化し、底部が硬化しないおそれがある。一方、光重合開始剤（Ｃ１）の割合が（Ｃ２）０．１〜５０に対して０．０１未満だと露光光の吸収が低くなり、感光性樹脂層が硬化しないおそれがある。
【００４９】
本発明の感光性樹脂組成物は、本発明の効果を妨げない限りにおいて、さらに上述した以外の光重合開始剤を含んでいてもよい。そのような光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、Ｎ，Ｎ’−テトラエチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−４’−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１，２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフホリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン；２−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、１，２−ベンズアントラキノン、２，３−ベンズアントラキノン、２−フェニルアントラキノン、２，３−ジフェニルアントラキノン、１−クロロアントラキノン、２−メチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン、９，１０−フェナンタラキノン、２−メチル１，４−ナフトキノン、２，３−ジメチルアントラキノン等のキノン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物；ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体；２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体；９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９’−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体；Ｎ−フェニルグリシン、クマリン系化合物などが挙げられる。
【００５０】
その他の成分
本発明では上記成分の他に粘度調整などの目的のために必要に応じて、アルコール類、ケトン類、酢酸エステル類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類、石油系溶剤などの希釈用の有機溶剤を適宜加えることができる。
【００５１】
上記希釈用の有機溶剤としては、例えば、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ベンゼン、トルエン、キシレン、ベンジルアルコール、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、２−メトキシブチルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、４−メトキシブチルアセテート、２−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−エチル−３−メトキシブチルアセテート、２−エトキシブチルアセテート、４−エトキシブチルアセテート、４−プロポキシブチルアセテート、２−メトキシペンチルアセテート、３−メトキシペンチルアセテート、４−メトキシペンチルアセテート、２−メチル−３−メトキシペンチルアセテート、３−メチル−３−メトキシペンチルアセテート、３−メチル−４−メトキシペンチルアセテート、４−メチル−４−メトキシペンチルアセテート、メチルラクテート、エチルラクケート、メチルアセテート、エチルアセテート、プロピルアセテート、ブチルアセテート、プロピレンブリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、メチルプロピオネート、エチルプロピオネート、安息香酸メチル、安息香酸エチル、安息香酸プロピル、安息香酸ブチル、メチルブチレート、エチルブチレート、プロピルブチレート等のほか、「スワゾール」（丸善石油化学（株）製）、「ソルベッツ」（東燃石油化学（株）製）等の製品名で入手可能な石油系溶剤等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００５２】
また、そのほか着色染料、密着性付与剤、可塑剤、酸化防止剤、熱重合禁止剤、表面張力改質剤、安定剤、連鎖移動剤、消泡剤、難燃剤などの添加剤を適宜添加することができる。
【００５３】
本発明の感光性樹脂組成物におけるアルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、エチレン性不飽和化合物（Ｂ）と、光重合開始剤（Ｃ）との配合比は、以下の通りである。エチレン性不飽和化合物（Ｂ）の配合量は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００質量部に対して、３０〜２００質量部、好ましくは３０〜１５０質量部、より好ましくは３０〜１００質量部である。３０質量部未満だと硬化不足により密着不良となり、逆に２００質量部を超えるとドライフィルム端面からのレジスト成分の染み出しや剥離性の悪化を生じる。
【００５４】
光重合開始剤（Ｃ）の配合量は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）１００質量部に対して、０．１〜５０質量部、好ましくは０．５〜３０質量部、より好ましくは１〜２０質量部である。０．１質量部未満だと感度が低くなり、実用性に乏しい。逆に２０質量部を超えると密着性が低下するという問題を生じる。
【００５５】
感光性ドライフィルム
次に、本発明の感光性ドライフィルムについて説明する。本発明の感光性ドライフィルムは、少なくとも支持フィルム上に上記感光性樹脂組成物から形成された感光性樹脂層を設けたものである。その使用にあたっては、被加工体の上に露出した感光性樹脂層を重ねた後、感光性樹脂層から支持フィルムを剥離することによって、被加工体上に感光性樹脂層を容易に設けることができる。
【００５６】
本発明の感光性ドライフィルムを使用することにより、被加工体の上に直接感光性樹脂組成物を塗布して感光性樹脂層を形成する場合と比較して、膜厚均一性および表面平滑性の良好な層を形成することができる。
【００５７】
本発明の感光性ドライフィルムの製造に使用する支持フィルムとしては、支持フィルム上に製膜された感光性樹脂層を支持フィルムから容易に剥離することができ、各層をガラス等の被処理面上に転写できる離型フィルムであれば特に限定なく使用でき、例えば膜厚１５〜１２５μｍのポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリ塩化ビニルなどの合成樹脂フィルムからなる可撓性フィルムが挙げられる。上記支持フィルムには必要に応じて、転写が容易となるように離型処理されていることが好ましい。
【００５８】
支持フィルム上に感光性樹脂層を形成するに際しては、本発明の感光性樹脂組成物を調整し、アプリケーター、バーコーター、ワイヤーバーコーター、ロールコーター、カーテンフローコーターなどを用いて、支持フィルム上に乾燥膜厚が１０〜１００μｍとなるよう本発明の感光性樹脂組成物を塗布する。特にロールコーターは、膜厚の均一性に優れ、かつ厚さの厚い膜が効率よく形成できるため好ましい。
【００５９】
本発明の感光性ドライフィルムは、感光性樹脂層の上にさらに保護フィルムを設けてもよい。保護フィルムにより保護されることにより貯蔵、搬送、および取り扱いが容易となる。また、予め製造しておき、使用期限はあるものの所定期間を貯蔵しておくことができる。従って、配線回路を有するデバイスの製造に際し、即座に使用することができ、配線回路形成工程を効率化することができる。この保護フィルムとしては、シリコーンをコーティングまたは焼き付けした厚さ１５〜１２５μｍ程度のポリエチレンテレフタレートフイルム、ポリプロピレンフイルム、ポリエチレンフィルムなどが好適である。
【００６０】
次に、本発明の感光性ドライフィルムの使用方法について説明する。まず、被加工体の上に露出した感光性樹脂層を重ねて、支持フィルム上から加熱ローラを移動させることにより、感光性樹脂層を被加工体の表面に熱圧着させる。
【００６１】
ドライフィルムに保護フィルムを設けてある場合には、ドライフィルムから保護フィルムを剥離し、被加工体の上に露出した感光性樹脂層を重ねて、支持フィルム上から加熱ローラを移動させることにより、感光性樹脂層を被加工体の表面に熱圧着させる。感光性ドライフィルムから剥離した保護フィルムは、順次巻き取りローラでロール状に巻き取って保存すれば再利用が可能である。
【００６２】
被加工体としては、電解銅箔基板、無電解銅めっき基板、スパッタ銅箔基板、ガラス基板が挙げられる。被加工体が電解銅箔基板の場合、熱圧着は、電解銅箔基板の表面温度を８０〜１４０℃に加熱し、ロール圧１〜５ｋｇ／ｃｍ2、移動速度０．１〜１０．０ｍ／分の範囲で行うのがよい。上記電解銅箔基板は予熱されていてもよく、予熱温度としては例えば４０〜１００℃の範囲が選択される。
【００６３】
次いで、所定のマスクパターンを備えるマスクを密着させ、しかる後、マスクを介して露光、あるいは直接描画露光することにより、感光性樹脂層を選択的に露光させる。
【００６４】
この露光には、ｈ線、エキシマレーザ、Ｘ線、電子線等を用いることができる。また、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、アーク灯、キセノンランプ等を用いて紫外線を照射することもできる。
【００６５】
ｈ線露光装置は、特に限定されないが、例えばボールセミコンダクター社、ペンタックス社、日立ビアメカニクス社製等のｈ線露光装置を用いることができる。本発明に係る感光性ドライフィルムは、ｈ線露光装置のなかでも、ＬＤＩ露光装置に用いて好適である。
【００６６】
本発明に係る感光性ドライフィルムを用いると、被加工体との密着性がよく、高感度であり、また作業性もよい。この露光処理後、マスクと支持フィルムを取り去り、現像を行って感光性樹脂層の未露光部を選択的に除去し、露光部の感光性樹脂層が残留したパターンを形成する。
【００６７】
現像に用いる現像液としては、アルカリ現像液、すなわちリチウム、ナトリウム、カリウム等アルカリ金属の水酸化物、炭酸塩、重炭酸塩、リン酸塩、ピロリン酸塩；ベンジルアミン、ブチルアミン等の第１級アミン；ジメチルアミン、ジベンジルアミン、ジエタノールアミン等の第２級アミン；トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の第３級アミン；モルホリン、ピペラジン、ピリジン等の環状アミン；エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン等のポリアミン；テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルフェニルベンジルアンモニウムヒドロキシド等のアンモニウムヒドロキシド類；トリメチルスルホニウムヒドロキシド、ジエチルメチルスルホニウムヒドロキシド、ジメチルベンジルスルホニウムヒドロキシド等のスルホニウムヒドロキシド類からなる水溶液；その他、コリン、ケイ酸塩含有緩衝液等の汎用のアルカリ現像液や有機溶剤、すなわちアセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルイソアミルケトン、２−ヘプタノン等のケトン類；エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、エチレングリコールモノアセテート、プロピレングリコールモノアセテート、ジエチレングリコールモノアセテート、あるいはこれらのモノメチルエーテル、モノエチルエーテル、モノプロピルエーテル、モノブチルエーテルまたはモノフェニルエーテル等の多価アルコール類およびその誘導体；乳酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル等のエステル類を用いることができる。
【００６８】
本発明の感光性ドライフィルムは現像性に優れるため、微細なパターンであっても良好な残留感光性樹脂層（ホトレジストパターン）を得ることができる。
【００６９】
次いで、パターン化された残留感光性樹脂層（ホトレジストパターン）をマスクとして、基板をエッチング、あるいはホトレジストパターン非形成部にめっき処理すること等により、金属配線パターンを形成する。
【００７０】
この後、ホトレジストパターンは、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、あるいは有機アミン類等のｐＨ１２〜１４程度の水溶液により剥離除去される。
【実施例】
【００７１】
以下、本発明の実施例を示し、本発明について更に詳細に説明するが、それらの実施例は本発明を好適に説明する例示にすぎず、本発明をなんら限定するものではない。
【００７２】
（実施例１）
下記組成により化合物を攪拌混合して感光性樹脂組成物を調整した。
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂
「サイクロマーＰ  ＡＣＡ２００Ｍ」（商品名、ダイセル化学工業社製、分子量約１５０００、Ｔｇ１３７）・・・１００質量部（固形分換算）
（Ｂ）エチレン性不飽和化合物
（Ｂ１）
２，２−ビス［４−（メトクロキシ・ポリエトキシ）フェニル］プロパン「ＢＰＥ１３００」（商品名、新中村化学社製、分子量１６８４、下記一般式（１）で表され、一般式（１）中、ｍ+ｎ＝３０の化合物）・・・３０質量部
２，２−ビス［４−（メトクロキシ・ポリエトキシ）フェニル］プロパン「ＢＰＥ５００」（商品名、新中村化学社製、分子量８０４、下記一般式（１）で表され、一般式（１）中、ｍ+ｎ＝１０の化合物）・・・３０質量部
【００７３】
【化１】
2006133378.tif 000002
【００７４】
（Ｂ２）
トリメチロールプロパントリアクリレート「Ｍ−３０９」（商品名、東亜合成社製）・・・２０質量部
ポリエチレングリコールジメタクリレート「ＮＫエステル４Ｇ」（商品名、新中村化学社製）・・・１０質量部
（Ｃ）光重合開始剤
（Ｃ１）４.４−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン「ＥＡＢ−Ｆ」（商品名、保土ヶ谷化学社製）・・・０．３０質量部
（Ｃ２）２．２−ビス（２−クロロフェニル）−４．５．４．５−テトラフェニル−１．２−ビイミダゾール「Ｂ−ＣＩＭ」（商品名、保土ヶ谷化学社製）・・・４．００質量部
（Ｄ）その他の成分
・発色剤・開始剤
トリス（４−ジメチルアミノフェニル）メタン「Ａ−ＤＭＡ」（商品名、保土ヶ谷化学社製）・・・０．３０質量部
【００７５】
感光性樹脂組成物の溶液を、ＰＥＴフィルム（１６μｍ厚）「ＦＢ６０」（商品名、東レ社製）上に均一に塗布し、８０℃のバッチ式温風乾燥機で約１０分間乾燥した後、保護フィルム「ＧＦ８１６」（商品名、タマポリ社製）をそれぞれラミネートし、感光性ドライフィルムを得た。感光性樹脂層の乾燥後の膜厚は３０μｍであった。
【００７６】
銅厚１８μｍ、板厚０．５ｍｍの銅張積層板を１０質量％ＳＰＳ（過硫酸ナトリウム）に３分間（２５℃）浸漬し、その後水洗、乾燥し、得られた銅張積層板上に、上記各感光性ドライフィルムの保護フィルムを剥離しながら、ロール温度１０５℃、ロールシリンダー圧力３ｋｇ／ｃｍ2、速度１ｍ／ｍｉｎでラミネートした。
【００７７】
次いで、このようにして得られた積層板のＰＥＴフィルム上にパターンマスク〔ライン／スペース＝１／１（各々８、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１８、２０μｍ）〕を置き、ｈ線露光機「ＬＡＢ−Ａ２Ｔ」（商品名、ボールセミコンダクター社製）を使用して、レーザーパワー３００ｍＷで露光（露光スピード：１．３ｍｍ／秒）を行った。その後１質量％炭酸ソーダ水溶液（３０℃）にて２０秒間スプレー現像（スプレー圧力１．２ｋｇ／ｃｍ2）し、パターンを形成した。
【００７８】
その結果、解像性および密着性が良好なパターンの最小寸法は、１１μｍであった。また、アスペクト比は、２．７以上であった。さらに、露光スピード１．８ｍｍ／秒の低露光量で露光した場合の、パターンの最小寸法は１３μｍで、アスペクト比は２．３であった。
【００７９】
（実施例２）
（Ｃ）光重合開始剤として、さらに２−メチル−４,６ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン「トリアジンメチル」（アクゾノ・ベル社製）を０．１質量部加えた以外は、実施例１と同様にして感光性ドライフィルムを得、パターンを形成した。
【００８０】
その結果、解像性および密着性の良好なパターンの最小寸法は、１１μｍであった。また、アスペクト比は、２．７μｍ以上であった。さらに、露光スピード１．８ｍｍ／秒の低露光量で露光した場合の、パターンの最小寸法は１１μｍで、アスペクト比は２．７以上であった。
【００８１】
（比較例１）
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル酸メチル／メタクリル酸／スチレン共重合体（質量比４５／３０／２５、重量平均分子量７万、４０％メチルエチルケトン溶液）を固形分換算で１００質量部用いた以外は、実施例１と同様にして感光性ドライフィルムを得、銅張積層板上にラミネートした。
【００８２】
次いで、このようにして得られた積層板のＰＥＴフィルム上にパターンマスク〔ライン／スペース＝１／１（各々８、１０、１１、１２、１３、１４、１５、１８、２０μｍ）〕を置き、ｈ線露光機「ＬＡＢ−Ａ２Ｔ」（商品名、ボールセミコンダクター社製）を使用して、レーザーパワー３００ｍＷで露光（露光スピード：０．５ｍｍ／秒）を行った。その後、実施例１と同様の方法で現像し、パターンを形成した。
【００８３】
その結果、解像性および密着性が良好なパターンの最小寸法は２０μｍ、アスペクト比は１．５であり、微細なパターンを形成することはできなかった。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
以上のように、本発明の感光性樹脂組成物および感光性ドライフィルムは、ｈ線に高い感度を有し、レジストパターンの解像性に優れるので、ｈ線露光を用いた配線回路の形成に有用である。