(57)【要約】【課題】  酸素、水蒸気に対するガスバリア性に優れ、透明性、可撓性、耐湿性、耐熱性を有し、かつ製造が容易なガスバリア性積層フィルムを提供することを目的とする。【解決手段】  高分子樹脂組成物からなる基材上に、ポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層を積層し、かつ被覆層の水接触角が３０度以上であり、かつポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層の上に無機薄膜層を積層したことを特徴とするガスバリア性積層フィルム。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
高分子樹脂組成物からなる基材上に、ポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層を積層し、かつ被覆層の水接触角が３０度以上であり、かつポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層の上に無機薄膜層を積層したことを特徴とするガスバリア性積層フィルム。
【請求項２】
請求項１記載のポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層中に、メチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミンが含まれることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。
【請求項３】
請求項２記載の積層フィルムにおいて、メチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミン／ポリビニルアルコール系重合体の重量比が２５／７５〜９０／１０であることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、食品、医薬品等の包装分野に用いられるガスバリア性積層フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
食品、医薬品等に用いられる包装材料は、１）蛋白質、油脂の酸化抑制  ２）味、鮮度の保持  ３）医薬品の効能維持のために、酸素、水蒸気などのガスを遮断する性質、すなわちガスバリア性を備えることが求められている。
【０００３】
そのため、従来からポリビニルアルコール（以下、ＰＶＡとする）、エチレンビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）、或いはポリ塩化ビニリデン樹脂（以下、ＰＶＤＣとする）など一般にガスバリア性が比較的高いと言われる高分子樹脂組成物を積層したフィルムが包装材料として使用されてきた。また、適当な高分子樹脂組成物（単独では、高いガスバリア性を有していない樹脂であっても）のフィルムにＡｌなどの金属を蒸着したものやアルミナ、シリカなどの無機酸化物を蒸着したものも包装材料として一般的に使用され始めている。
【０００４】
ところが、上述のＰＶＡ、ＥＶＯＨ系の高分子樹脂組成物を用いてなるガスバリア性積層フィルムは、温度依存性及び湿度依存性が大きいため、高温又は高湿下においてガスバリア性の低下が見られる。すなわち、煮沸処理やレトルト処理を行うとガスバリア性が著しく低下してしまう。またＰＶＤＣ系の高分子樹脂組成物を用いてなるガスバリア性積層フィルムは、ガスバリア性の湿度依存性は小さいが、酸素バリア性で１０ｍｌ／ｍ2・ｄａｙ・Ｍｐａ以下とする様な高度のガスバリア性を実現することは、困難である。また被膜中に塩素を多量に含むため、焼却処理やリサイクリングなど廃棄物処理の面で問題がある。
【０００５】
さらに、上述の金属を蒸着したフィルムやアルミナ、シリカなどの無機酸化物を蒸着したフィルムは、蒸着物と樹脂フィルムの機械的性質、化学的性質、熱的性質などの物性が非常に異なっていることから、ガスバリア層に用いられる無機物の薄膜が可撓性に欠け、揉みや折り曲げに弱い。また、基材との密着性が悪いため、取り扱いに注意を要し、特に印刷、ラミネート、製袋など包装材料の後加工の際に、クラックを発生しガスバリア性が著しく低下する問題がある。さらに、真空プロセスを用いて形成するため装置が高価であったり、形成工程において局部的に高温となることから、基材に損傷を生じたり、低分子量部或いは可塑剤などの添加剤部などの分解、脱ガスなどを起因とする蒸着層中に欠陥、ピンホール等を発生することがある。
【０００６】
また、上記問題に対して基材に金属アルコキシドの被膜を形成してなるガスバリア材が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。このガスバリア材は、ある程度の可撓性を有するとともに、液相コーティング法による製造ができるため、コスト的にも安価とすることができる。
【特許文献１】特開昭６２−２９５９３１号公報
【０００７】
しかしながら、上記ガスバリア材は、基材単体の場合に比べて、ガスバリア性の向上が十分ではなく、高度のガスバリア性は実現できていないのが現状である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、酸素、水蒸気に対するガスバリア性に優れ、透明性、可撓性、耐湿性、耐熱性を有し、かつ製造が容易なガスバリア性積層フィルムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のガスバリア性積層フィルムは、高分子樹脂組成物からなる基材上に、ポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層を積層し、かつ被覆層の水接触角が３０度以上であり、かつポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層の上に無機薄膜層を積層したことを特徴とする。
【００１０】
この場合において、ポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層中に、メチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミンが含まれることが好適である。
【００１１】
またこの場合において、ポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層中では、メチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミン、ポリビニルアルコール系重合体からなりメチロールメラミン／ポリビニルアルコール系重合体の重量比が２５／７５〜９０／１０であることが好適である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、酸素バリア性、水蒸気バリア性、透明性、可撓性、耐湿性が非常に優れ、かつ焼却排ガス中にダイオキシン、塩化水素ガスを含まず、環境保全に対して有効なフィルムを経済的に提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明のガスバリア性積層フィルム及びその製造方法の実施の形態を説明する。
［基材層］
本発明で用いる基材層は、例えば、有機高分子を溶融押し出しして、必要に応じ、長手方向及び／又は幅方向に延伸、冷却、熱固定を施したフィルムであり、有機高分子としては、ナイロン４・６、ナイロン６、ナイロン６・６、ナイロン１２などで代表されるポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートなどで代表されるポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテンなどで代表されるポリオレフィンの他、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、全芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリスルホン、ポリスチレン、ポリ乳酸などを挙げることができる。
本発明における基材層は、機械強度、透明性等、所望の目的に応じて任意の膜厚のものを使用することができる。特に限定されないが、通常は５〜２５０μｍであることが推奨され、包装材料として用いる場合は１０〜６０μｍであることが望ましい。
【００１４】
また本発明における基材層は、積層型フィルムであってもよい。積層型フィルムとする場合の積層体の種類、積層数、積層方法等は特に限定されず、目的に応じて公知の方法から任意に選択することができる。
【００１５】
［被覆層］
この様な基材層の少なくとも一方の面に、特定の被覆層が積層される。被覆層としては、高度のガスバリア性を実現するために、ポリビニルアルコール系重合体を必須成分とする。ポリビニルアルコール系重合体の重合度、鹸化度は、目的とするガスバリア性及びコーティング水溶液の粘度などから定められる。重合度については、高くなると、水溶液粘度が高いことやゲル化しやすいことから、コーティングが困難となり、コーティングの作業性から２６００以下が好ましい。鹸化度については、９０％未満では高湿下での十分な酸素ガスバリア性が得られず、９９．７％を超えると水溶液の調整が困難で、ゲル化しやすく、工業生産には向かない。従って、鹸化度は９０〜９９．７％が好ましく、さらに好ましくは９３〜９９％である。
【００１６】
また、本発明に使用するポリビニルアルコール系重合体には、エチレンを含有したポリビニルアルコール系重合体、シラノール基を含有したポリビニルアルコール系重合体など、各種共重合また変性したポリビニルアルコール系重合体も単独使用または併用できる。中でもエチレンを含有したポリビニルアルコール重合体を１重量％以上含むことが好ましい。エチレンを含有したポリビニルアルコール系重合体を含むことで、塗膜の透明性が改善されるだけでなく、製膜延伸時に塗布する場合には塗膜の延展性を付与できる。エチレンを含有するポリビニルアルコール系重合体が１％未満であれば、透明性が悪く、製膜延伸時に塗布する場合には、塗膜が割れる現象がおきてしまう。
【００１７】
この様なポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層の水接触角は、無機薄膜層積層後の水蒸気バリア性発現の点から３０度以上である必要がある。ポリビニルアルコール系重合体の水接触角が３０度未満である場合には、十分な水蒸気バリア性が得られない。水接触角を上げる方法として、ポリビニルアルコール樹脂の水酸基に、ポリビニルアルコール樹脂よりも親水性が低い物質を単純に混合するか、混合して反応させる方法が用いられる。中でも増膜性の点から、メチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミンを、ポリビニルアルコール系重合体に混合し、反応させる方法が好ましい。この様な場合、反応温度を高くしたり、触媒添加することで反応性高めることが、水接触角を上げるのに有効である。
【００１８】
その様なメチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミンはトリアジン環に結合している３個のアミノ基の水素原子の少なくとも一部がメチロール基で置換されており、該メチロール基の数は一般に３〜６個であり、該メチロール基の一部または全部がアルキルエーテル化されているものである。アルキルエーテル化メチロールメラミンのアルキル部分は炭素数１〜６個、好ましくは１〜３個有する直鎖状または分岐鎖である。例えばメチル、エチル、ｎ−またはｉｓｏ−プロピル、ｎ−、ｉｓｏ−、またはｔｅｒｔ−ブチル等である。具体的に本発明に用いられるメチロールメラミンを例示すれば、ヘキサキスメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンペンタメチルエーテル、ヘキサメチロールメラミンテトラメチルエーテル、ペンタメチロールメラミンペンタメチルエーテル、ペンタメチロールメラミンテトラメチルエーテル、ペンタメチロールメラミントリメチルエーテル、テトラメチロールメラミンテトラメチルエーテル、テトラメチロールメラミントリメチルエーテル、トリメチロールメラミントリメチルエーテル、トリメチロールメラミンジメチルエーテル等が挙げられるが、ポリビニルアルコール系重合体との相溶性の点から、トリメチロールメラミントリメチルエーテル、トリメチロールメラミンジメチルエーテルが好ましく用いられる。なお該メチロールメラミンは２量体などの縮合体を一部含んでも良い。
【００１９】
本発明においては、メチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミン／ポリビニルアルコール系重合体の重量比は任意に選択できるが、ガスバリア性の点から、好ましくは２５／７５〜９０／１０、更に好ましくは３０／７０〜９０／１０であり、特に好ましくは４０／６０〜８０／２０である。この比が２５／７０より小さかったり、９０／１０より大きかったりすると、目的の酸素バリア性、水蒸気バリア性が十分に発現しなくなってしまう。
【００２０】
本発明における被覆層においては、ポリアルキレングリコール系界面活性剤がポリビニルアルコール系重合体に対して０．０１〜５重量％混合されていることが好ましい。ポリアルキレングリコール系界面活性剤を混合させることで、コート欠点が少ないフィルムが得られ、ガスバリア性も向上する。ポリアルキレングリコール系界面活性剤の混合量が０．０１％未満であると、熱可塑性樹脂フィルムへの濡れ性が不十分であり、コート欠点が多いフィルムになる。一方、ポリアルキレングリコール系界面活性剤の混合量が５重量％を越える場合には、被覆層の親水性が高くなり、高湿下での酸素バリアー性が悪くなる弊害がある。
【００２１】
この様なポリアルキレングリコール系界面活性剤としては、高級アルコールエチレンオキサイド付加物、アルキルフェノールエチレンオキサイド付加物、脂肪酸エチレンオキサイド付加物、多価アルコール脂肪酸エステルエチレンオキサイド付加物、高級アルキルアミンエチレンオキサイド付加物、脂肪酸アミドエチレンオキサイド付加物、油脂のエチレンオキサイド付加物、ポリプロピレングリコールエチレンオキサイド付加物などが挙げられる。中でも、酸素ガスバリア性を低下させない点で、高級アルコールエチレンオキサイド付加物、アルキルフェノールエチレンオキサイド付加物、ポリプロピレングリコールエチレンオキサイド付加物が好ましい。またしばしば、これらの親水性を示す指標として、ＨＬＢ（Ｈｙｄｒｏｐｈｉｌｅ−Ｌｉｐｏｐｈｉｌｅ  Ｂａｌａｎｃｅ）が用いられるが、ＨＬＢはポリビニルアルコール系樹脂との相溶性、増膜性の点から、１０〜１７のものが好ましい
【００２２】
本発明に用いられるメチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミン、ポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層は、通常溶媒を用いてコーティングすることで形成される。コーティング液の溶媒としては、溶解性の点から、水１００％または水／低級アルコール混合溶媒を用いることが好ましい。低級アルコールとは炭素数１〜３の直鎖または分岐鎖の脂肪族基を有するアルコール性化合物であり、具体例で示せばメタノール、エタノール、エチレングリコール、ｎ−またはｉｓｏ−プロピルアルコールが挙げられる。特にｉｓｏ−プロピルアルコールが好ましい。本発明のコーティング液の全固形分濃度は２〜３５％、通常５〜３０％が好ましい。
【００２３】
また本発明においては、コーティング液中には、生産性を高めるため、または本発明における水接触角を効果的に上げるため、硬化反応を促進する触媒が含まれていても良い。触媒としては、カルボキシル基、スルホン酸基などの様な酸性基を含みそれ自体酸性であるもの及び／または酸のアミン塩、アンモニウム塩の様にアミンやアンモニウムを解離することで酸性になる潜在的なものなどを使用することができる。これにより、反応が促進され、生産性を高めることが可能である。使い方としては、コーティング液中で、メチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミン、ポリビニルアルコール系重合体に配合することで使用される。
【００２４】
具体的に例示すると、ベンゼンスルホン酸、そのアミン塩及びそのアンモニウム塩、ナフタレンスルホン酸誘導体、そのアミン塩及びそのアンモニウム塩、りん酸、そのアミン塩及びそのアンモニウム塩などの酸性触媒が挙げられる。  具体的には、ドデシルベンゼンスルホン酸及びそのアミン塩、アンモニウム塩、ジノニルナフタレンスルホン酸及びそのアミン塩、アンモニウム塩、ｐ−トルエンスルホン酸及びそのアミン塩、アンモニウム塩、りん酸及びそのアミン塩、りん酸二水素アンモニウム、りん酸一水素アンモニウム、キャタリスト５００（三井サイアナミド製）キャタリスト６００（同）、キャタリスト４０４０（同）等の酸性触媒を挙げることができる。また、塩化マグネシウムなどの中性触媒も使用することができるが、反応性の点から、酸性触媒であることが好ましい。
【００２５】
更に必要であれば、本被覆層中に、静電防止剤や滑り剤、アンチブロッキング剤などの公知の無機、有機の各種添加剤を加えることは本発明の目的を阻害しない限り任意である。
【００２６】
［被覆方法］
この様に、メチロール基の一部あるいは全てがアルキルエーテル化されているメチロールメラミン、ポリビニルアルコール系重合体を必須成分とした被覆層が基材上に形成される。被覆層を基材上に形成する方法としては、通常前述した様に水系溶液を基材にコーティングする方法が採られる。コーティングの方法は限定するものではないが、使用するコーティング液の塗布量と粘度により、最適な方法を選択すればよい。バーコーティング法、リバースロールコーティング法、ロールナイフコーティング法、ダイコーティング法などを採用すればよい。
【００２７】
コーティング時の乾燥、熱処理の条件は塗布厚み、装置の条件にもよるが、乾燥工程を設けずに直ちに直角方向の延伸工程に送入し、延伸工程の予熱ゾーンあるいは延伸ゾーンで乾燥させることが好ましい。このような場合、通常５０〜２５０℃程度で行う。なお、必要であれば、酸素ガスバリア層を形成させる前に基材フィルムにコロナ放電処理、その他の表面活性化処理や公知のアンカー処理剤を用いてアンカー処理を施してもよい。
本発明の被覆層の厚みは、基材層によって異なるが、ガスバリア性を発揮させる最小限の厚みがよく、通常は乾燥厚みで１μｍ以下であることが、透明性、取り扱い性、経済性の点で好ましい。
【００２８】
［無機薄膜層］
このような被覆層を積層したものに、さらにその上に無機薄膜層を積層することが必要である。アルミニウム、チタンなどの金属、珪素、アルミニウム、チタン、ジルコニウム、錫、マグネシウムなどの酸化物、窒化物、弗化物の単体、或いはそれらの複合物を、真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマ気相成長法（ＣＶＤ法）などの真空プロセス、ゾルゲル法などのウェットプロセスにより形成される。中でも、本発明の目的とするガスバリア性、経済性の点から、アルミナ、シリカの複合物を真空蒸着させる方法が好ましい。
【００２９】
［ヒートシール性樹脂層］
本発明のガスバリア性積層フィルムは、通常包装材料として使用するため、無機薄膜層上にシーラントと呼ばれるヒートシール性樹脂層が形成される。ヒートシール性樹脂層の形成は、通常押出しラミネート法あるいはドライラミネート法によりなされる。ヒートシール性樹脂層を形成する熱可塑性重合体としては、シーラント接着性が十分に発現できるものであればよく、ＨＤＰＥ、ＬＤＰＥ、ＬＬＤＰＥなどのポリエチレン樹脂類、ＰＰ樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−αオレフィンランダム共重合体、アイオノマー樹脂などを使用できる。
【実施例】
【００３０】
以下、実施例によって本発明を詳細に説明する。なお、各実施例で得られたフィルム特性は以下の方法により測定、評価した。
１）酸素バリア性の測定
作製したフィルムの酸素透過度につき、８５％ＲＨの条件で、酸素透過率測定装置（モダンコントロールズ社製ＯＸ−ＴＲＡＮ１００）を用いて測定した。
２）水蒸気バリア性の測定
作製したフィルムの水蒸気透過度につき、４０℃、９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機（ＰＡＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ）を用いて測定した。
【００３１】
（実施例１）
［コート液の製造］
水３９．６ｋｇを攪拌しながら、無変性のポリビニルアルコール重合体（鹸化度９８．５ｍｏｌ％、重合度５００）４．８６ｋｇ、エチレン成分含有のポリビニルアルコール重合体（エチレン含量５ｍｏｌ％、鹸化度９８．５ｍｏｌ％、重合度５００）０．５４ｋｇを徐々に投入した。次に９０℃まで加熱、完全にポリビニルアルコール重合体を溶解した。その後２５℃まで冷却を行い、ポリビニルアルコール重合体の１２％水溶液を調製した。次にこのポリビニルアルコール重合体水溶液  ４５ｋｇ、メラミン系化合物  サイメル３２７（三井サイテック製、７７％液）１６．４ｋｇ、水３１．６ｋｇ、イソプロピルアルコール７．０ｋｇ、りん酸２０％水溶液１．８ｋｇ、モノエタノールアミン２０％水溶液１．１２ｋｇ（りん酸はポリビニルアルコール重合体とメラミン系化合物の固形分総量に対して２％。モノエタノールアミンはりん酸に対して１／３当量。）ポリアルキレングリコール系界面活性剤  ノイゲンＥＡ１１０  ０．０１８ｋｇ（第一工業製薬製、ＨＬＢ１１、０．１％対被覆層）を順に混合し、固形分濃度１８％のコート液を調製した。（メラミン系化合物／ポリビニルアルコール重合体は５０／５０重量比率）
［被覆フィルムの製造］
極限粘度０．６２（３０℃、フェノール／テトラクロロエタン＝６０／４０）、シリカ７００ｐｐｍのＰＥＴを予備結晶化後、本乾燥し、Ｔダイを有する押出し機を用いて２８０℃で押出し、表面温度４０℃のドラム上で急冷固化して無定形シートを得た。次に得られたシートを加熱ロールと冷却ロールの間で縦方向に１００℃で４．０倍延伸を行った。一方、上記のメラミン系化合物／ポリビニルアルコール系重合体  固形分濃度１８％液については、液をフィルム表面へ吐出するファウンテンがつながった温調タンクに投入し、攪拌しながら、２５℃に制御した。３０μ孔のポリプロピレン製カプセルフィルターを通して異物を濾別したクリーンな液を、吐出量  ０．０２８ｍ3／分の条件で、得られた一軸延伸フィルムの片面に、ファウンテンを接面し、液をコートした。その後、１４ｍｍ直径の平滑なバーを液面につけ、コート液をかきとり、延伸後のコート厚みが０．１５μｍとなる様にコートを行った。コート速度は１５０ｍ／分である。コート性に関連するバーの回転数については、フィルムの進行方向と同方向で６０ｒｐｍとした。次に、乾燥ゾーン（テンター）にフィルムを導き、予熱温度１００℃で、溶媒を揮発、乾燥し、乾燥後の被覆層の水分率を１．０％に調整した。そして、１２０℃の温度で４．０倍横方向に延伸し、６％の横方向の弛緩を行いながら、２２５℃の温度で熱固定処理を行った。このときのフィルムに吹き付ける熱風の風速は１５ｍ／秒、乾燥ゾーンの排気量は４８０ｍ3／分とした。
その後冷却し、両縁部を裁断除去することによって、厚さ１２μｍのニ軸延伸ポリエステルフィルムを１０００ｍ以上に亘って連続的に製膜してミルロールを作製した。得られたミルロールについて、幅４００ｍｍ、長さ１０００ｍにスリットして、３インチ紙管に巻き取り、本発明の被覆層を有するフィルムロールを得た。
［蒸着フィルムの製造］
次にこのフィルムロールを用いて、フィルムの被覆面側に、各種の金属あるいは金属酸化物を蒸着した。
ａ）アルミニウム蒸着
蒸着源として、８〜１０ｍｍ程度の大きさの粒子状のアルミニウム（純度９９．９％）を用い、上記の如く得られたフィルムロールの被覆層面側に、電子ビーム蒸着法により、アルミニウム薄膜を形成した。加熱源として、電子銃（以下、ＥＢ銃という）を用い、エミッション電流を０．５Ａとした。フィルム送り速度を１３０ｍ／分とし、５０ｎｍ厚の膜を作った。また、蒸着時の圧力を、１×１０-2Ｐａに調整した。また、蒸着時のフィルムを冷却するためのロールの温度を−１０℃に調整した。
ｂ）酸化アルミニウム蒸着
蒸着源として、３〜５ｍｍ程度の大きさの粒子状のＡｌ2Ｏ3（純度９９．９％）を用い、上記の如く得られたフィルムロールの被覆層面側に、電子ビーム蒸着法により、酸化アルミニウム薄膜を形成した。加熱源として、ＥＢ銃を用い、エミッション電流を１．３Ａとした。フィルム送り速度を１３０ｍ／分とし、２０ｎｍ厚の膜を作った。また、蒸着時の圧力を、１×１０-2Ｐａに調整した。また、蒸着時のフィルムを冷却するためのロールの温度を−１０℃に調整した。
ｃ）酸化ケイ素蒸着
蒸着源として、３〜５ｍｍ程度の大きさの粒子状のＳｉ（純度９９．９９％）とＳｉＯ2（純度９９．９％）を用い、上記の如く得られたフィルムロールの被覆層面側に、電子ビーム蒸着法により、酸化ケイ素薄膜を形成した。蒸着材料は混合せずに、２つに区切って投入した。加熱源として、ＥＢ銃を用い、ＳｉとＳｉＯ2のそれぞれを時分割で加熱した。そのときのＥＢ銃のエミッション電流を０．８Ａとし、ＳｉとＳｉＯ2との組成比が１：９となるように、各材料を加熱した。フィルム送り速度を１３０ｍ／分とし、２０ｎｍ厚の膜を作った。また、蒸着時の圧力を、１×１０-2Ｐａに調整した。また、蒸着時のフィルムを冷却するためのロールの温度を−１０℃に調整した。
ｄ）複合蒸着
蒸着源として、３〜５ｍｍ程度の大きさの粒子状のＳｉＯ2（純度９９．９９％）とＡｌ2Ｏ3（純度９９．９％）を用い、上記の如く得られたフィルムロールの被覆層面側に、電子ビーム蒸着法により、酸化アルミニウムと二酸化ケイ素との混合薄膜の形成を行った。蒸着材料は、混合せずに、２つに区切って投入した。加熱源として、ＥＢ銃を用い、ＡＬ2Ｏ3とＳｉＯ2のそれぞれを時分割で加熱した。そのときのＥＢ銃のエミッション電流を１．２Ａとし、ＡＬ2Ｏ3とＳｉＯ2との組成比が４５：５５となるように、各材料を加熱した。フィルム送り速度を１３０ｍ／ｍｉｎとし、２０ｎｍ厚の膜を作った。また、蒸着時の圧力を、１×１０-2Ｐａに調整した。また、蒸着時のフィルムを冷却するためのロールの温度を−１０℃に調整した。
［ラミネート］
次に、フィルムの蒸着面にポリウレタン系接着剤（東洋モートン株式会社製，ＴＭ−５９０／ＣＡＴ５６）を約３μｍ塗布し、８０℃で熱処理した後、低密度ポリエチレンフィルム（東洋紡績製  Ｌ６１０２    厚み４０μｍ）を８０℃に加熱した金属ロール上で４９０ｋＰａのニップ圧力でドライラミネートし、ラミネートフィルムを得た。
【００３２】
［評価］
このフィルムにつき、８５％ＲＨ酸素透過度と水蒸気透過度を測定した。結果を表１に示す。
【００３３】
（実施例２〜９、比較例１〜２）
コーティング液及び／または製膜時の熱処理温度を表１に示したように変更した以外は、実施例１と同様の手順でサンプル作製、評価を行なった。結果を表１に示す。
【００３４】
【表１】
2006321196.tif 000002
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明により、酸素バリア性、水蒸気バリア性、透明性、可撓性、耐湿性、耐熱性が非常に優れ、かつ焼却排ガス中にダイオキシン、塩化水素ガスを含まず、近年問題とされている環境保全に対して有効である各種包装用ガスバリア性フィルムを提供できる。