(57)【要約】【課題】  クリーンルームにおいては、装置の耐震対策が図られていない。【解決手段】  床材（固定用床材２１）を床材固定部材（根太８ａ）に固定し、床材固定部材に固定された床材に地震の際のクリーンルーム内設置装置１の移動を規制する規制部材２２を固定したことを特徴とする。床材が板材により形成され、板材には、板材の上下面を貫通する複数の規制部材固定用ボルト貫通孔と、板材の上下面を貫通する複数の床材固定用ボルト貫通孔とが形成される。【選択図】        図１
2006348654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームの床を形成する床材の上に設置されたクリーンルーム内設置装置の耐震固定方法であって、床材を床材固定部材に固定し、床材固定部材に固定された床材に地震の際のクリーンルーム内設置装置の移動を規制する規制部材を固定したことを特徴とするクリーンルーム内設置装置の耐震固定方法。
【請求項２】
クリーンルームの床を形成する床材の上に設置されたクリーンルーム内設置装置の耐震固定装置であって、床材固定部材に固定された床材と床材に固定された規制部材とを備え、規制部材が地震の際のクリーンルーム内設置装置の移動を規制したことを特徴とするクリーンルーム内設置装置の耐震固定装置。
【請求項３】
床材が板材により形成され、板材には、板材の上下面を貫通する複数の規制部材固定用ボルト貫通孔と、板材の上下面を貫通する複数の床材固定用ボルト貫通孔とが形成されたことを特徴とする請求項２に記載のクリーンルーム内設置装置の耐震固定装置。
【請求項４】
複数の規制部材固定用ボルト貫通孔が碁盤目状に間隔を隔てて形成されたことを特徴とする請求項３に記載のクリーンルーム内設置装置の耐震固定装置。
【請求項５】
床材が四角形の板材により形成され、床材固定用ボルト貫通孔が、互いに対向する少なくとも一対の辺縁部の１つ１つにおいて、辺縁部の両端の角縁部と角縁部以外の少なくとも１つの部位とに設けられたことを特徴とする請求項３又は請求項４に記載のクリーンルーム内設置装置の耐震固定装置。
【請求項６】
クリーンルーム内設置装置が支持脚体により床材の上に設置され、支持脚体が支持脚と支持脚の下端に設けられた鍔状の設置座とにより形成され、設置座の径が設置座の中央に連結された支持脚の径より大きく形成され、規制部材が、床材に固定される固定ベースと、支持脚に接触して地震の際のクリーンルーム内設置装置の水平方向の移動を規制する水平方向移動規制部と、設置座の上方に位置して地震の際のクリーンルーム内設置装置の上下方向の移動を規制する垂直方向移動規制部とを備えたことを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれかに記載のクリーンルーム内設置装置の耐震固定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームの床材の上に設置されたクリーンルーム内設置装置の耐震化に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場や液晶製造工場に設けられるクリーンルームのプロセスエリアには、半導体や液晶の製造、製品の品質検査などに必要な装置であるクリーンルーム内設置装置（以下、「装置」と略す）が複数設けられる。これら装置は高価であり重量がある。つまり、プロセスエリアの床の上には複数の装置が設置され、装置間の設置位置関係が非常に細かな精度で調整されて製品製造検査ラインが構築される。プロセスエリアの床構造は、支柱の上に根太を固定し、根太の上に四角形状の床材を複数敷設して並べた構造である。床材は、空気を流通させる複数の孔を有したいわゆるグレーチング床材である。この床材は、根太の上に載せられるだけの場合もあれば、ボルトにより根太に固定される場合もある（例えば、特許文献１等参照）。しかしながら、装置は固定されていないため、地震の際に装置が移動して正規の位置からずれることによって、製品製造検査ラインを停止せざるをえない状況となったり、ユーティリティエリア（床下エリア）に設けられた設備に損傷を与えたりして、復旧に時間がかかり、莫大な被害をもたらすという問題があった。
【特許文献１】特開２００３−２１３９１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
発明が解決しようとする問題点は、クリーンルームにおいては、装置の耐震対策が図られていないという点である。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明のクリーンルーム内設置装置の耐震固定方法は、床材を床材固定部材に固定し、床材固定部材に固定された床材に地震の際のクリーンルーム内設置装置の移動を規制する規制部材を固定したことを特徴とする。
本発明のクリーンルーム内設置装置の耐震固定装置は、床材固定部材に固定された床材と床材に固定された規制部材とを備え、規制部材が地震の際のクリーンルーム内設置装置の移動を規制したことを特徴とする。床材が板材により形成され、板材には、板材の上下面を貫通する複数の規制部材固定用ボルト貫通孔と、板材の上下面を貫通する複数の床材固定用ボルト貫通孔とが形成されたことや、複数の規制部材固定用ボルト貫通孔床材が碁盤目状に間隔を隔てて形成されたことや、床材が四角形の板材により形成され、床材固定用ボルト貫通孔が、互いに対向する少なくとも一対の辺縁部の１つ１つにおいて、辺縁部の両端の角縁部と角縁部以外の少なくとも１つの部位とに設けられたことや、クリーンルーム内設置装置が支持脚体により床材の上に設置され、支持脚体が支持脚と支持脚の下端に設けられた鍔状の設置座とにより形成され、設置座の径が設置座の中央に連結された支持脚の径より大きく形成され、規制部材が、床材に固定される固定ベースと、支持脚に接触して地震の際のクリーンルーム内設置装置の水平方向の移動を規制する水平方向移動規制部と、設置座の上方に位置して地震の際のクリーンルーム内設置装置の上下方向の移動を規制する垂直方向移動規制部とを備えたことも特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明の耐震固定方法や耐震固定装置によれば、床材固定部材に固定された床材と床材に固定された規制部材とで地震の際のクリーンルーム内設置装置の移動を規制でき、クリーンルーム内設置装置の耐震化を容易に図ることができる。床材が複数の規制部材固定用ボルト貫通孔と複数の床材固定用ボルト貫通孔とを備えるので、複数の規制部材固定用ボルト貫通孔を用いて床材を床材固定部材に固定することで、地震の際にクリーンルーム内設置装置から加わる水平力に対抗でき、また、複数の規制部材固定用ボルト貫通孔を備えるので、床材への規制部材の取付位置の調整も容易となる。複数の規制部材固定用ボルト貫通孔床材が碁盤目状に間隔を隔てて形成された構成としたので、規制部材の位置を細かく調整できる。床材固定用ボルト貫通孔が、互いに対向する少なくとも一対の辺縁部の１つ１つにおいて、辺縁部の両端の角縁部と角縁部以外の少なくとも１つの部位とに設けたことで、規制部材固定用ボルト貫通孔を用いた床材固定部材への床材の固定により、床材の、地震の際にクリーンルーム内設置装置から加わる水平力に対抗する力を大きくできる。また、規制部材の水平方向移動規制部により、地震の際のクリーンルーム内設置装置の水平方向の移動を規制でき、規制部材の垂直方向移動規制部により、地震の際のクリーンルーム内設置装置の上下方向の移動を規制することができて、クリーンルーム内設置装置の確実な耐震化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
図１乃至図７は本発明の最良の形態１を示し、図１はクリーンルーム内設置装置の耐震固定装置を示し、図２は固定用床材を上から見て示し、図３は規制部材の形状を示し、図４はクリーンルーム内設置装置の耐震固定方法を示し、図５はクリーンルームの概要を示し、図６は床材を上から見て示し、図７は床の構造を示す。
【０００７】
図５を参照し、まず、半導体製造工場や液晶製造工場に設けられるクリーンルーム５０の概要を説明する。クリーンルーム５０は、プロセスエリア（製造工程エリア）６０、ユーティリティエリア（床下エリア）７０、天井エリア８０を備えた３層構造となっている。プロセスエリア６０には、半導体や液晶の製造、製品の品質検査などに必要な装置半導体製造や品質検査などに必要な複数の装置１（クリーンルーム内設置装置）が設けられる。装置１の底面の４つの角縁部（図４参照）には支持脚体５１が設けられており、装置１が支持脚体５１により床材３の上に設置される。支持脚体５１は、設置座５２と支持脚５３とにより形成される。設置座５２は、装置１を床２上に安定に設置させるために鍔状に形成され、支持脚５３の下端に設けられる。支持脚５３は装置１の下面とを連結する。設置座５２の径は支持脚５３の径より大きく、支持脚５３の下端が設置座５２の中央に連結される。設置座５２は上から見た場合に円形や四角形のような形状である。支持脚５３は断面円形や断面四角形のような棒状である。
【０００８】
複数の装置１が設置されるプロセスエリア６０の床２は、床支持構造体４の上に設けられた床材３により形成される。図６に示すように、床材３は、一辺の長さａが５００ｍｍ程度の正四角形で高さ（厚さ）ｈ（図７参照）が４０ｍｍ程度の金属製の板材５により形成され、板材５の正四角形の両面を貫通する複数の空気流通孔６が格子のような桟７で区切られて形成されたり、パンチングにより形成された、グレーチング床材と呼ばれるものである。図５に戻り、床支持構造体４は、床材固定部材８と支持部材９と梁部材９８とで形成される。床材固定部材８は、Ｈ形鋼を用いた根太８ａにより形成される。支持部材９は、ユーティリティエリア７０のスラブ床１０より立設された支柱９ａにより形成される。複数の支柱９ａは、スラブ床１０上において、スラブ床１０に沿った一方向に等間隔を隔てて並ぶように配置されるとともに一方向と直交する方向に等間隔を隔てて並ぶように配置される。即ち、一方向に等間隔を隔てて並ぶように配置された複数の支柱９ａよりなる支柱列が、複数列設けられる。互いに隣合う支柱列と支柱列と間において支柱列と直交する方向に並ぶ支柱９ａと支柱９ａとの間には梁部材９８が掛け渡される。すなわち、複数の梁部材９８が一方向に等間隔を隔てて並ぶように配置される。支柱９ａと梁部材９８とで形成された根太架台９９の上に、一方向に延長する複数の根太８ａが一方向と直交する方向に等間隔を隔てて並ぶように配置され、図外のボルト及びナットや溶接などにより根太架台９９に固定されて床支持構造体４が形成される。図７に示すように、隣合う根太８ａ；８ａ同士の中心線１２と中心線１２との間の間隔Ｈが床材３の一辺の長さａに対応するよう設定される。床材３の両側の辺縁部１３；１３を間隔Ｈを隔てて隣り合う根太８ａと根太８ａとの上に載せるようにして根太８ａの上に床材３を敷設して並べていくことで、装置１の設置される床２が形成される。床材３は、図７のように、根太８ａに固定されずに根太８ａの上に単に敷かれるだけの場合もあるし、図外のボルト及びナットにより根太８ａに固定される場合もある。根太８ａの上端と床材３との間には硬質ゴムのようなパッキン１４を介在させる場合が多い。図５に戻り、ユーティリティエリア７０には、図外の電気・特殊ガス・純水・排気管などのユーティリティに関する設備が設けられる。プロセスエリア６０の天井も有孔天井１５となっている。天井エリア８０には、空調機１７と外調器１６とが設けられる。プロセスエリア６０の横には空気循環エリア９０が設けられる。空調機１７より送り出された空気は、矢示Ｒのようにプロセスエリア６０、ユーティリティエリア７０、空気循環エリア９０を経由して天井エリア８０に戻り、空調機１７に取付けられた図外の空気洗浄フィルタで浄化されて、プロセスエリア６０に再び供給される。すなわち、空気が、空気洗浄フィルタで浄化されて、プロセスエリア６０、ユーティリティエリア７０、空気循環エリア９０、天井エリア８０を循環することで、クリーンルーム５０のクリーン度が維持される。
【０００９】
図１を参照し、装置１の耐震固定装置２０を説明する。耐震固定装置２０は、固定用床材２１と規制部材２２とで形成される。図２に示すように、固定用床材２１は、一辺の長さａが５００〜６００ｍｍ程度の正四角形で高さ（厚さ）ｈが４０ｍｍ程度の金属製の板材２３により形成され、板材２３の正四角形の両面を貫通する複数の規制部材固定用ボルト貫通孔２４が正四角形の面において碁盤目状に間隔を隔てて形成される。また、板材２３の正四角形の４つ角縁部２５及び４つの辺縁部２６において板材５の正四角形の両面を貫通する複数の床材固定用ボルト貫通孔２７を備える。尚、図２においては、ボルト貫通孔２４とボルト貫通孔２７とを区別するためにボルト貫通孔２４を黒丸で図示している。４つ角縁部２５にはそれぞれボルト貫通孔２７が形成され、１つ１つの辺縁部２６においては、辺縁部２６の両端の２つの角縁部２５に形成された２つのボルト貫通孔２７を含めて４つのボルト貫通孔２７が間隔を隔てて形成される。すなわち、固定用床材２１の正四角形の周縁部２８においては、１２個のボルト貫通孔２７が間隔を隔てて設けられる。尚、１つ１つの辺縁部２６において２つの角縁部２５のそれぞれにボルト貫通孔２７を設けるとともに２つの角縁部２５；２５間の中間点に１つだけボルト貫通孔２７を設けてよい。すなわち、周縁部２８において８個のボルト貫通孔２７が等間隔を隔てて設けられた固定用床材２１を用いてもよい。つまり、固定用床材２１と床材３との異なる点は、固定用床材２１が、複数の規制部材固定用ボルト貫通孔２４を碁盤目状に間隔を隔てて備えるとともに１つ１つの辺縁部２６に３つ以上の複数の床材固定用ボルト貫通孔２７を備え、かつ、板材２３の正四角形の両面と平行に沿った方向の力、即ち、地震時の水平力に対する強度Ｆの高い構造に形成されていることである。例えば、床材３を形成している材料より強度の高い材料を用いて形成されたり、規制部材固定用のボルト貫通孔２４を形成する間隔である碁盤目の間隔を大きくしてボルト貫通孔２４の数を少なくした固定用床材２１を用いる。また、固定用床材２１は、１つ１つの辺縁部２６に３つ以上のボルト貫通孔２７を備え、互いに対向する一対の辺縁部２６；２６おける６つ以上のボルト貫通孔２７のすべてを使用して６組以上のボルト及びナットにより固定用床材２１を根太８ａに固定することにより、固定用床材２１の強度Ｆを大きくできる。つまり、床材固定用ボルト貫通孔２７が、互いに対向する少なくとも一対の辺縁部２６；２６の１つ１つにおいて、辺縁部２６の両端の角縁部２５；２５と角縁部２５以外の少なくとも１つの部位とに設けられた構成とする。そして、固定用床材２１に設けられた床材固定用ボルト貫通孔２７を全て利用して固定用床材２１を根太８ａに固定することで、固定用床材２１の強度Ｆを大きくでき、地震の際に装置１から加わる水平力に対する対抗力の高い固定用床材２１とできる。図６の床材３の辺縁部３０に３つ以上のボルト貫通孔２７を形成し、床材３の複数の空気流通孔６を複数の規制部材固定用ボルト貫通孔２４として利用すれば、辺縁部３０にボルト貫通孔２７を追加形成した床材３を固定用床材２１として使用することも可能である。
【００１０】
図３を参照し、規制部材２２を説明する。規制部材２２は、固定ベース３１、立上がり部３２、連結部３３、立下り部３４、水平方向移動規制部３５、垂直方向移動規制部３６を備える。例えば、四角形の固定ベース３１、固定ベース３１の一辺より垂直に立ち上がる立上がり部３２、立上がり部３２の上端より固定ベース３１のある側とは反対側に延長して固定ベース３１と平行な連結部３３、連結部３３の先端より垂直に立ち下がる立下り部３４を備え、立下り部３４の固定ベース３１から遠い面が、装置１の支持脚５３と接触して装置１の水平方向の移動を規制する水平方向移動規制部３５を形成する。立下り部３４の下端面が、装置１の設置座５２の上方に位置して装置１の垂直方向の移動を規制する垂直方向移動規制部３６を形成する。固定ベース３１には、固定用床材２１に形成された規制部材固定用のボルト貫通孔２４の形成ピッチである碁盤目間隔に対応した間隔で４つのボルト貫通孔３７が形成される。
【００１１】
耐震固定装置２０を用いた装置１の耐震固定方法を図４及び図１に基づいて説明する。図４（ａ）のように既存の床２の上に設置されている装置１の４つの支持脚の１つ１つに一番近くて、かつ、装置１の下に位置していない床材３（図で斜線を付した床材３）を取り外して、図４（ｂ）のように、固定用床材２１と入れ替え、当該固定用床材２１を、図１のように、ボルト４０及びナット４１により根太８ａに固定する。この場合、既にパッキン１４と根太８ａとに床材固定用のボルト貫通孔が形成されている場合にはそのボルト貫通孔を利用して固定用床材２１と根太８ａとをボルト４０及びナット４１で固定する。つまり、固定用床材２１のボルト貫通孔２７とパッキン１４と根太８ａとに形成されたボルト貫通孔とに上方からボルト４０を挿入して根太８ａのボルト貫通孔３７より下方に突出させたボルト４０にナット４１を締結する。パッキン１４と根太８ａとに固定用のボルト貫通孔が形成されていない場合には、パッキン１４と根太８ａとの固定用床材のボルト貫通孔に対応する部位にボルト貫通孔を形成し、これら形成したボルト貫通孔を利用して固定用床材２１と根太８ａとをボルト４０及びナット４１で固定する。
【００１２】
次に、根太８ａに固定した固定用床材２１に規制部材２２をボルト４２及びナット４３で固定する。即ち、固定用床材２１のボルト貫通孔２４と規制部材２２の固定ベース３１に形成されたボルト貫通孔３７とを合わせ、ボルト貫通孔２４；３７に上方からボルト４２を挿入してボルト貫通孔３７より下方に突出させたボルト４２にナット４３を締結する（図１参照）。図４（ｃ）で説明すると、図の上に位置する支持脚５３に水平方向移動規制部３５が接触するように規制部材２２を図の上に位置する固定用床材２１に固定する。図の下に位置する支持脚５３に水平方向移動規制部３５が接触するように規制部材２２を図の下に位置する固定用床材２１に固定する。図の左に位置する支持脚５３に水平方向移動規制部３５が接触するように規制部材２２を図の左に位置する固定用床材２１に固定する。図の右に位置する支持脚５３に水平方向移動規制部３５が接触するように規制部材２２を図の右に位置する固定用床材２１に固定する。尚、固定用床材２１のボルト貫通孔２７の上部に図１に示すようなボルト頭収納凹部４５を設ければ、固定ベース３１の取付に際してボルト４０の頭が邪魔にならず、固定用床材２１の上面における固定ベース３１の取付可能な部位を広くできて好ましい。
【００１３】
以上により、地震の際の装置１の水平方向の移動が規制される。すなわち、図４（ｃ）の上下の規制部材２２；２２で装置１の矢印Ａで示す方向の動きが規制され、図４（ｃ）の左右の規制部材２２；２２で装置１の矢印Ｂで示す方向の動きが規制される。よって、装置１が、矢印Ａで示す方向とこの方向と直交する矢印Ｂで示す方向の２方向の動きを規制されるので、地震の際の装置１の水平方向の移動が規制される。
【００１４】
尚、水平方向移動規制部３５と支持脚５３との間に隙間が生じる場合には図外の適当なパッキンを介在させて隙間を埋めるようにする。地震の際の装置１の移動を規制するためには、パッキンとしては金属のような剛体が良いが、硬質ゴムのような硬い弾性体を用いれば、規制部材２２の固定ベース３１の取り付け位置の微調整が容易となり、施工性が良い。また、固定ベース３１に設けるボルト貫通孔を図３の想像線で示すような水平方向移動規制部３５の方向に長い長孔３７Ｚとすれば、パッキンを用いることなく、支持脚５３に水平方向移動規制部３５を接触させるための調整が容易となる。
【００１５】
また、規制部材２２の垂直方向移動規制部３６が支持脚体５１の設置座５２の上面の上に位置するので、垂直方向移動規制部３６により、地震の際の装置１の上下方向の動きが規制される。
【００１６】
実施の形態１によれば、耐震固定装置２０の固定用床材２１と規制部材２２とにより、地震の際の装置１の水平方向及び上下方向への移動を規制でき、装置１の耐震化を容易に図ることができる。
【００１７】
また、複数の規制部材固定用ボルト貫通孔２４が固定用床材２１に碁盤目状に間隔を隔てて形成された構成を備えたことにより、長孔３７Ｚを設けた固定ベース３１や、後述の実施の形態２のような固定ベース３１を採用して、規制部材２２の位置を細かく調整でき、水平方向移動規制部３５を支持脚５３に接触させるための調整が容易となる。
【００１８】
実施の形態２
図８を参照し、規制部材２２の固定ベース３１の別例を説明する。固定ベース３１に形成した４つのボルト貫通孔３７の位置の１つに、固定の回転中心となる基準ボルト貫通孔６１を設け、その他の３つのボルト貫通孔３７の位置には、基準ボルト貫通孔６１を円中心とする円弧の一部をなす長孔よりなる位置調整用ボルト貫通孔６２；６２；６３を設けた規制部材２２を用いてよい。すなわち、碁盤目間隔で隣り合うボルト貫通孔２４；２４の間隔（ピッチ）に対応する長さを半径ｒ１として基準ボルト貫通孔６１を円中心とした円弧Ｒ１の一部をなす位置に形成される位置調整用ボルト貫通孔６２；６２と、碁盤目の対向角の位置で隣り合うボルト貫通孔２４；２４の間隔（ピッチ）に対応する長さを半径ｒ２として基準ボルト貫通孔６１を円中心とした円弧Ｒ２の一部をなす位置に形成される位置調整用ボルト貫通孔６３を備える。このような固定ベース３１を備えた規制部材２２によれば、固定用床材２１への取付に際し、規制部材２２の取付角度を自由に設定できる。また、規制部材２２の位置調整の際に基準ボルト貫通孔６２にボルト４２を差し込んで仮止めした状態で当該ボルト４２を回転中心軸として固定ベース３１を回転させることによって、水平方向移動規制部３５を支持脚５３に接触させるための調整が容易となる。
【００１９】
実施の形態３
図９を参照し、規制部材２２の別例を説明する。この規制部材２２は、二方向の位置微調整機構７１；７２と装置１の支持脚５３を把持する凹部７４を有した形態の規制体７３とを備える。固定ベース７５、立上り部７６、連結部７７からなる固定部７８と、水平方向移動規制部７３ａ及び垂直方向移動規制部７３ｂを形成する凹部７４を有した規制体７３とを分割して構成する。規制体７３の連結部８１には、規制体７３の位置を床２の上面に沿った一の方向（Ｘ方向）において微調整可能とするための長孔８２が形成され、固定部７８の連結部７７には、ボルト８３の径に合わせた図外のボルト貫通孔が形成される。固定部７８の固定ベース７５には、規制体７３の位置を床２の上面に沿った一の方向と直交する方向（Ｙ方向）において微調整可能とするための長孔８４が形成される。長孔８４とボルト８６とボルト８６の径に合わせた図外のボルト貫通孔と図外のナット８７とにより、位置微調整機構７１が形成される。長孔８２とボルト８３とボルト８３の径に合わせた図外のボルト貫通孔とナット８７とにより、位置微調整機構７２が形成される。ボルト８６及び図外のナットで固定用床材２１に固定される固定ベース３１の位置を長孔８４により調整でき、ボルト８６及びナット８７で連結部７７に固定される規制体７３の位置を長孔８２により調整できる。すなわち、規制体７３の位置を床２の上面に沿った直交する二方向（図９のＸＹ方向）において微調整可能としたので、規制体７３の凹部７４で支持脚５３を把持することによって地震の際の装置１の水平方向及び上下方向への移動を規制できる。規制体７３の凹部７４の形状は、上から見て図９に示すような三角形状の凹部であってもよいし、あるいは、弧形状や、四角形状や、多角形状の凹部であっても良い。凹部７４の形状を図９のような三角形状の凹部とすれば、例えば断面丸状や断面角状の支持脚を凹部７４で確実に把持でき、また、断面丸状や断面角状の支持脚の径に大小の幅があったとしても凹部７４で支持脚を確実に把持できるので好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００２０】
根太８ａのような固定部材８は図２のように平行に並べる以外に、格子桟状に設けてもよい。このようにすれば、図２で示した固定用床材２１に設けた１２個のボルト貫通孔２７を全て使用して固定用床材２１を固定部材８に固定できるので、固定用床材２１の強度Ｆを大きくできる。支持部材９を格子桟状に形成して、支持部材９の上に固定部材８を設けても良い。
床材３の空気流通孔６が規制部材２２を床材３に取り付けるためのボルト貫通孔として使用可能であれば、床材３と固定用床材２１とを入れ替えることなく、根太８ａのような固定部材８に固定されている床材３に規制部材２２を固定することで装置１の耐震化を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】クリーンルーム内設置装置の耐震固定装置を示す断面図（最良の形態１）。
【図２】固定用床材を上から見た図（最良の形態１）。
【図３】規制部材を示す斜視図（最良の形態１）。
【図４】クリーンルーム内設置装置の耐震固定方法を示す図（最良の形態１）。
【図５】クリーンルームの概要を示す図（最良の形態１）。
【図６】床材を上から見た図（最良の形態１）。
【図７】床の構造を示す断面図（最良の形態１）。
【図８】規制部材の固定ベースの別例を示す図（最良の形態２）。
【図９】規制部材の別例を示す斜視図（最良の形態３）。
【符号の説明】
【００２２】
１  クリーンルーム内設置装置、２  床、３  床材、
８ａ  根太（床材固定部材）、２０  耐震固定装置、２１  固定用床材、
２２  規制部材、２３  板材、２４  規制部材固定用ボルト貫通孔、
２５  角縁部、２６  辺縁部、
２７  床材固定用ボルト貫通孔、３１  固定ベース、３５  水平方向移動規制部、３６  垂直方向移動規制部、５０  クリーンルーム、５１  支持脚体、
５２  設置座、５３  支持脚。
【図１】
2006348654.tif 000003
【図２】
2006348654.tif 000004
【図３】
2006348654.tif 000005
【図４】
2006348654.tif 000006
【図５】
2006348654.tif 000007
【図６】
2006348654.tif 000008
【図７】
2006348654.tif 000009
【図８】
2006348654.tif 000010
【図９】
2006348654.tif 000011