(57)【要約】      （修正有）【課題】搬送車コントローラでの搬送指令の割付を容易にすると共に、搬送効率を高めることのできる搬送システムを提供する。【解決手段】処理装置１６からの物品の搬送を天井走行車１２ａへ割り付け、処理装置１６への物品の搬送を天井走行車１２ｂに割り付ける。天井走行車１２ｂが先に処理装置１６に到着すると、搬送物品をロードポート２０に面したバッファ棚２２に払い出し、ロードポート２０の物品を荷積みして搬送する。後で到着した天井走行車１２ａは、バッファ棚２２の物品をロードポート２０へ移載する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロードポートを備えた処理装置に沿って走行経路を走行し物品を搬送する搬送車と、搬送車に物品の搬入先を指令する搬送車コントローラとを備えたシステムにおいて、
ロードポート付近にバッファ用の棚を設けると共に、前記コントローラから所定のロードポートへの物品の搬入を指令された搬送車が前記ロードポートへ到着した際に、前記ロードポートが在荷の場合、搬送車が、前記コントローラの管理下で、搬入物品を前記ロードポートの近傍のバッファ用の棚へ荷下ろしすると共に、前記ロードポートの物品を搬出するようにしたことを特徴とする、搬送システム。
【請求項２】
前記搬送車を第１の搬送車とし、前記ロードポートの物品の搬出を前記コントローラから指令されていた第２の搬送車が、前記第１の搬送車よりも遅れて前記ロードポートに到着した際に、前記第１の搬送車がバッファ用の棚に荷下ろしした物品を、前記第２の搬送車が前記ロードポートへ搬入するようにしたことを特徴とする、請求項１の搬送システム。
【請求項３】
搬送車の走行方向に沿った位置がロードポートとバッファ用の棚とで重なるようにして、搬送車がロードポートとバッファ用の棚のいずれにも物品を移載可能な位置に停止し得るようにしたことを特徴とする、請求項１または２の搬送システム。
【請求項４】
搬送車に、物品を垂直方向に移載可能な移載装置と、該移載装置を走行方向の左右に移動させるための手段とを設けたことを特徴とする、請求項１〜３のいずれかの搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、天井走行車や地上走行の有軌道台車、あるいは無人搬送車などを用いた搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
搬送システムでは、搬送車コントローラが、処理装置のロードポートからの物品の搬送と、同じ処理装置のロードポートへの物品の搬送の、２つの搬送要求を受けることがある。例えば処理装置での物品の処理が終了したのでこれを搬出すると共に、次の物品の搬入を要求する場合、このような搬送要求となる。従来はこのような場合に、ロードポートからの物品の搬送を例えば第１の搬送車に指令し、搬出が行われたことを確認した後に、第２の搬送車にロードポートまでの物品の搬送を指令する。このように搬送順序を厳密に守るのは、第２の搬送車が在荷のロードポートに先に到着すると、ロードポートが空荷になるまで走行経路の周回などで待機せねばならず、搬送効率の低下が著しいからである。もちろんこのようにすると、ロードポートが共通する２つの搬送指令では、ロードポートからの物品の搬出をコントローラが確認するまで、ロードポートへの物品の搬送指令を開始できず、搬送が遅れることになる。なお特許文献１は、天井走行車の走行レールの下方にバッファ用の棚を設けることを開示している。
【特許文献１】特許３０６７６５６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、搬送車コントローラでの搬送指令の割付を容易にすると共に、搬送車での搬送効率を改善することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、第１の搬送車が仮置きした物品をロードポートへ移載して、搬送指令を完了させることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、バッファ用の棚と搬送車間の移載を容易にすることにある。
請求項４の発明での追加の課題は、コンベヤなどを備えない簡単な棚をバッファとして、ロードポートや棚との間で搬送車が簡単に物品を移載できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、ロードポートを備えた処理装置に沿って走行経路を走行し物品を搬送する搬送車と、搬送車に物品の搬入先を指令する搬送車コントローラとを備えたシステムにおいて、ロードポート付近にバッファ用の棚を設けると共に、前記コントローラから所定のロードポートへの物品の搬入を指令された搬送車が前記ロードポートへ到着した際に、前記ロードポートが在荷の場合、搬送車が、前記コントローラの管理下で、搬入物品を前記ロードポートの近傍のバッファ用の棚へ荷下ろしすると共に、前記ロードポートの物品を搬出するようにしたことを特徴とする。
【０００５】
なおバッファ用の棚は、全てのロードポートに対して設ける必要はなく、バッファ用の棚が近傍にあるロードポートに対して、この発明を適用すればよい。さらに複数の物品をバッファ用の棚に仮置きできる場合、搬送車は搬入物品を棚に仮置きすると共に、ロードポートの物品も棚に仮置きし、次いで仮置きした搬入物品をロードポートへ移載し、この後に棚に仮置きしたロードポートからの搬出物品を搬出しても良い。
【０００６】
好ましくは、前記搬送車を第１の搬送車とし、前記ロードポートの物品の搬出を前記コントローラから指令されていた第２の搬送車が、前記第１の搬送車よりも遅れて前記ロードポートに到着した際に、前記第１の搬送車がバッファ用の棚に荷下ろしした物品を、前記第２の搬送車が前記ロードポートへ搬入する。
【０００７】
好ましくは、搬送車の走行方向に沿った位置がロードポートとバッファ用の棚とで重なるようにして、搬送車がロードポートとバッファ用の棚のいずれにも物品を移載可能な位置に停止し得るようにする。
【０００８】
また好ましくは、搬送車に、物品を垂直方向に移載可能な移載装置と、該移載装置を走行方向の左右に移動させるための手段とを設ける。なお搬送車は移載装置を走行方向の左右少なくとも一方に移動できれば良く、双方に移動できる必要はない。
【発明の効果】
【０００９】
この発明では、物品の搬入先のロードポートが在荷の場合、搬送車は周囲のバッファ用の棚に搬入物品を仮置きし、ロードポートから物品を搬出する。このため、ロードポートまでの搬送車の走行は無駄にならず、かつ同じ搬送車でロードポートからの物品の搬出も行えるので、搬送効率が改善する。搬送車コントローラの側からすると、ロードポートの状態を厳密に管理しなくても、搬送指令を割り付けることができるので、搬送指令の割付が容易になる。  
【００１０】
請求項２の発明は、ロードポートからの物品の搬出を要求されていた搬送車を対象とする。この搬送車がロードポート付近に到着すると、バッファ用の棚に仮置きされていた物品をロードポートへ移載する。これによってロードポートからの物品の搬送と、ロードポートへの物品の搬送の２つの指令を、完結させることができる。
【００１１】
請求項３の発明では、バッファ用の棚とロードポートとを、搬送車の走行方向に沿った位置が重なるように配置する。この結果、搬送車は同じ位置で、ロードポートとの間でも棚との間でも物品を移載できる。従ってバッファ用の棚への搬送車の停止制御などが容易になり、また棚とロードポートとの間での移載も容易になる。
【００１２】
請求項４の発明では、搬送車に物品を垂直方向に移載可能な移載装置と、この移載装置を走行方向の左右に移動させるための手段とを設ける。このため、走行経路の左右にバッファ用の棚を設けると、搬送車との間で簡単に物品を移載でき、バッファ用の棚にはコンベヤなどの設備を設けなくても良い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１４】
図１〜図５に、実施例の搬送システム２を示す。実施例では、天井走行車１２を例とするが、これ以外の有軌道台車や無人搬送車などを用いても良い。図１に示すように、天井走行車１２の走行経路は、インターベイルート４とイントラベイルート６とに区分され、インターベイルート４は長距離搬送用の幹線であり、イントラベイルート６は多数の処理装置１６，１８などに設置した、工程毎のループ状のルートである。７は分岐部、８は合流部、１０はショートカットである。搬送システム２では、多数の天井走行車を走行させるが、以下では、処理装置１６のロードポート２０ａからの物品の搬送を指令された天井走行車１２ａと、ロードポート２０ａへの物品の搬送を指令された天井走行車１２ｂの２台の天井走行車とを中心に説明する。
【００１５】
１４はストッカーで、例えばインターベイルート４とイントラベイルート６との境界などに配置され、１６，１８はイントラベイルート６に沿って配置された複数の処理装置の例である。２０は処理装置１６，１８やストッカー１４に設けたロードポートで、２２はロードポート２０と同じ停止位置で物品を移載できるバッファ棚である。これ以外にバッファ棚２３として、特許文献１に記載のように、イントラベイルート６の走行レールの下方に設けたものを用いても良い。図１の鎖線２４は、処理装置１６，１８等を制御する製造コントローラの管理範囲を示し、これ以外の部分が物流コントローラの管理下にある。なお搬送対象の物品は半導体基板や液晶基板などとし、処理装置１６，１８はこれらの加工装置のみならず、検査装置なども含むものとする。
【００１６】
図２に天井走行車１２とバッファ用の棚２２の構成を示すと、２８は走行レールで、クリーンルームの天井などにより支持され、天井走行車１２は走行駆動部３０を備えて、走行レール２８に沿って走行する。また給電部３２で、走行レール２８側から非接触給電を受けると共に、搬送車コントローラなどとの通信を行う。天井走行車１２の自律制御を重視する場合、天井走行車と走行車コントローラ間の通信を、他の天井走行車が傍受して、どの天井走行車にどの搬送指令が割り付けられているかを記憶するようにしても良い。
【００１７】
３４は横移動部で、昇降駆動部３６や昇降台３８並びに昇降台３８で支持されたカセット４０を、走行レール２８の左右方向に移動させる。この移動は左右少なくとも１方向に行えれば良く、実施例では例えば走行レール２８から見て、処理装置１６の反対側へ横移動できるようにする。昇降駆動部３６は、ベルトやワイヤロープなどの繰り出しと巻き取りにより、昇降台３８を昇降させる。また搬送対象のカセット４０は半導体基板や液晶基板などを収容したカセットである。
【００１８】
４２は保護カバーで、走行中のカセット４０の落下を防止し、４４〜４６は在荷センサで、在荷センサ４４は棚２２上の物品の有無を検出し、在荷センサ４５はロードポート２０上の物品の有無を検出する。在荷センサ４６は走行レール２８から見て、処理装置１６側にバッファ用の棚を設ける際に用いるセンサで、設けなくても良い。天井走行車１２にはこれ以外に、ロードポート２０との間で通信を行うための通信部を設ける。このような通信部を備えない場合、搬送車コントローラを介して、ロードポート側と通信する。
【００１９】
５０は棚２２での物品の載置面で、天井走行車１２がカセット４０を搬送する際の、カセット４０の底面よりもやや低い高さ、例えば１〜３０ｃｍ程度低い高さとする。バッファ棚２２は支柱５２により例えば天井から吊り下げる。棚２２にはコンベヤや在荷センサなどのセンサは設けないが、これらを設けても良い。また棚２２は、ロードポート２０と１：１に対応させて設けても良く、あるいは複数物品を収容できる長い棚をバッファ用の棚として、複数のロードポートに対して１つの棚を設けても良い。処理装置１６側の５４は扉で、ロードポート２０と処理装置１６の内部との間の扉である。さらにロードポート２０には図示しないコンベヤなどを設けて、扉５４を経由し、処理装置１６の内部との間で物品を移動できるようにする。
【００２０】
図３に、搬送システム２の制御系を示すと、６０は物流コントローラで、搬送車コントローラ６２やストッカーコントローラ６４を管理し、最上位コントローラ６６から製造コントローラ６８側の搬送要求を受信すると共に、搬送結果を最上位コントローラ６６を介して製造コントローラ６８側へ通知する。搬送車コントローラ６２は天井走行車などの搬送車を制御し、ストッカーコントローラ６４はストッカー１４を制御する。なおバッファ用の棚２２，２３の管理は、搬送車コントローラ６２で行うものとする。
【００２１】
図４に、搬送車コントローラ６２の構成を示すと、搬送車管理ファイル７０は、天井走行車の状態を管理し、例えば搬送指令を割付済み、待機中、異常などの状態と、割り付けた搬送指令のＩＤなどを記憶する。バッファ管理ファイル７２はバッファ用の棚２２，２３の状態を管理し、例えば各バッファ用の棚のレコード７６として、棚の番地、在荷／空荷の区別、在荷の場合の荷のＩＤと行き先データ（TOデータ）などを記憶する。搬送指令管理ファイル７４は、物流コントローラ６０から指令された搬送指令と、その実行状況とを記憶し、実施例のように搬送指令の実行中にその内容を変更する場合、変更前の搬送指令とリンクさせて、変更後の搬送指令７８，８０を記憶する。例えば搬送指令７８は、ロードポートＡからロードポートＢへの物品の搬送（ＩＤで搬送物品を特定）を、搬送車１から搬送車２へ変更したことを記述している。搬送指令８０では、バッファ用の棚からロードポートへの物品の搬送が未実行なので、これを搬送指令として記述し、荷のＩＤとこの搬送指令を割り付ける搬送車（搬送車１）とを記述している。
【００２２】
図１に戻り、処理装置１６のロードポート２０ａからの物品の搬送と、ストッカー１４からロードポート２０ａへの物品の搬送の、２つの搬送指令を実行するものとして、実施例の動作を説明する。また天井走行車１２ａには、ロードポート２０ａから適宜の処理装置やストッカーへの物品の搬送を割り付け、天井走行車１２ｂにはストッカー１４からロードポート２０への物品の搬送を割り付けるものとする。
【００２３】
従来では、天井走行車１２ｂがロードポート２０ａに荷下ろしできず、イントラベイルート６を周回してロードポート２０ａが空になるのを待つ、などの事態を防止するため、天井走行車１２ａに最初にロードポート２０ａからの物品の搬送を指令する。そして天井走行車１２ａからロードポート２０ａで物品を荷積みしたとの報告を受けると、初めて天井走行車１２ｂにストッカー１４からロードポート２０ａへの搬送を指令する。このような搬送制御が非効率なことは明らかである。
【００２４】
これに対して実施例では、ロードポート２０ａからの物品の搬出が完了したとの報告を待たずに、天井走行車１２ｂにストッカー１４からロードポート２０ａへの搬送を指令する。極端な場合、天井走行車１２ａと天井走行車１２ｂに同時に搬送を指令しても良い。このため搬送車コントローラでの搬送指令の割付が容易になる。
【００２５】
図５は、最初の搬送車（搬送車１）にストッカーから処理装置Ａへの搬送を指令し、次の搬送車（搬送車２）に処理装置Ａから処理装置Ｂへの搬送を指令した際の処理を示している。搬送車１は処理装置Ａへ走行し、ロードポートが在荷か空荷かをチェックする。空荷の場合、搬送車２が既にロードポートから荷積みを行ったためで、搬送車１はロードポートに物品を荷下ろしすれば、搬送指令を完了できる。ロードポートが在荷の場合、バッファが在荷か空荷かをチェックし、バッファも在荷の場合、コントローラと通信し、その指示に従って、最寄りの他のバッファに物品を仮置きする、あるいはイントラベイルートを周回して待機するなどの処理を行う。ロードポートが在荷でバッファが空荷の場合もコントローラと通信し、その旨をコントローラに報告し、その指示に従ってバッファへ荷下ろしし、ロードポートから物品をピックアップする。バッファへ物品を荷下ろしした旨と、処理装置Ａまでの搬送指令のＩＤもしくはその搬送指令の物品のＩＤなどを搬送車コントローラに通知し、搬送車コントローラからはロードポートからピックアップした物品の搬入先と物品のＩＤなどの搬送指令を受信する。そして指定された搬入先Ｂへ走行して荷下ろしすると、図５のジョブが終了する。
【００２６】
搬送車２の側では処理装置Ａへ走行し、ロードポートが在荷であれば物品をピックアップして、処理装置Ｂへと搬送する。ロードポートが空荷の場合、バッファが在荷か空荷かをチェックし、バッファも空荷であればコントローラの指示に従う。バッファが在荷の場合、コントローラからその物品の搬入先と物品のＩＤなどを受信し、多くの場合、搬入先はバッファに面したロードポートである。そこでバッファの物品を処理装置Ａのロードポートへ移載すると、図５のジョブが完了する。なお搬送車は、適宜の処理を実行する毎、実行結果をコントローラに通知するものとする。
【００２７】
以上のように、搬送車１は、処理装置Ａへの物品の搬送指令を、バッファへの物品の搬送指令に変更して実行し、本来搬送車２に割り付けられていた処理装置ＡからＢへの物品の搬送を実行する。次に搬送車２は、処理装置ＡからＢへの物品の搬送指令をキャンセルされたものとし、代わってバッファから処理装置Ａのロードポートへの物品の搬送を実行する。このようにして、搬送車１，２の到着順序を特に意識しなくても、同じロードポートからの物品の搬送と、このロードポートへの物品の搬入とを効率的に実行できる。
【００２８】
なお、本実施例では、搬送車２が処理装置Ａに到着し、ロードポートが空荷でバッファが在荷であることをコントローラに報告するのを受けて、バッファから処理装置Ａのロードポートへの物品の搬送指令を、コントローラから搬送車２に割り付け直すようにしている。しかしながら、コントローラは、搬送車１からの報告により、搬送車２がロードポートに到着する前に、バッファへ搬送車１が物品を荷下ろしし、ロードポートの物品をピックアップして搬出したことを確認済みであるため、搬送車２からの問い合わせを待つことなく搬送指令を割り付け直すようにしても良い。例えば搬送車１からの報告を受けた後に、コントローラが搬送車２と通信して、搬送車２に割り付け済みの本来の搬送指令をキャンセルすると共に、バッファから処理装置Ａのロードポートへの物品の搬送指令を割り付けると、通信が効率的になる。
【００２９】
なお１つのロードポートの付近に複数のバッファ用の棚がある場合、図５の搬送車１は第１の棚に物品を仮置きした後、ロードポート上の物品を第２の棚に仮置きする。そして第１の棚の物品をロードポートへ荷下ろしして、バッファからロードポートへの物品の搬送を完了しても良い。次いで第２の棚から物品を搬出すると、図５の搬送車１，２のジョブは完全に処理されたことになり、搬送車２をこの時点で別の搬送指令に割り付けることができる。
【００３０】
図２に戻り、バッファ用の棚２２はロードポート２０と走行レール２８の走行方向に沿った位置がほぼ一致している。言い換えるとロードポート２０へ物品を移載するための停止位置に停止した天井走行車１２が、走行することなく物品を移載できる位置にバッファ用の棚２２を設けている。このため同じ停止位置で天井走行車１２は棚２２ともロードポート２０とも物品を移載できる。従って天井走行車１２の棚２２への停止制御は、ロードポート２０への停止制御のデータをそのまま兼用すればよい。天井走行車１２は、横移動部３４を用いることにより、同じ位置でロードポート２０とも棚２２とも物品を移載できるので、物品の移載作業が簡単である。また横移動部３４を備えるので、バッファ２２側にはコンベヤなどの設備は設ける必要がない。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施例の搬送システムのレイアウトの概要を示す平面図
【図２】実施例で用いた天井走行車とロードポート及びバッファとの位置関係を示す要部正面図
【図３】実施例での制御系を示すブロック図
【図４】実施例での搬送車コントローラの構成を示すブロック図
【図５】実施例での搬送車の制御アルゴリズムを示すフローチャート
【符号の説明】
【００３２】
２          搬送システム
４          インターベイルート
６          イントラベイルート
７          分岐部
８          合流部
１０        ショートカット
１２        天井走行車
１４        ストッカー
１６，１８  処理装置
２０        ロードポート
２２，２３  バッファ棚
２４        管理範囲
２８        走行レール
３０        走行駆動部
３２        給電部
３４        横移動部
３６        昇降駆動部
３８        昇降台
４０        カセット
４２        保護カバー
４４〜４６  在荷センサ
５０        載置面
５２        支柱
５４        扉
６０        物流コントローラ
６２        搬送車コントローラ
６４        ストッカーコントローラ
６６        最上位コントローラ
６８        製造コントローラ
７０        搬送車管理ファイル
７２        バッファ管理ファイル
７４        搬送指令管理ファイル
７６        バッファのレコード
７８，８０  変更後の搬送指令        
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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