(57)【要約】【課題】  ワークの着脱時間を短縮することが可能なワーク保持方法および保持装置を提供すること。【解決手段】  チャック１０のエゼクタ部１３ノズル１４内には常時加圧空気が流通しており、吸着室１８内はワークをチャックする前から負圧状態となっている。また、ワークをチャックした後には圧力センサ１６の検出する圧力値に基づいてチャック完了を検出する。また、ワークをアンチャックするときには、開閉弁２３が排出口２２を閉じて排気室３１内の圧力を上昇させ、エゼクタ部１３から吸着室１８内に加圧空気を導入する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワーク（２）に対し操作を行なう対ワーク操作工程（Ｃ）の前に、前記ワーク（２）をチャックするチャック工程（Ｂ）と、
前記対ワーク操作工程（Ｃ）の後に、前記ワーク（２）をアンチャックするアンチャック工程（Ｄ）とを備え、
前記チャック工程（Ｂ）では、前記ワーク（２）に接するように吸着室（１８）を配置する配置工程と、ノズル（１４）に加圧ガスを流通して前記ノズル（１４）に連通する前記吸着室（１８）内のガスを吸引し、前記ワーク（２）を吸着するために前記吸着室（１８）内を負圧状態とする負圧状態形成工程とを同時に行なって、前記ワーク（２）をチャックし、
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記吸着室（１８）内の前記負圧状態を解除して、前記ワーク（２）をアンチャックするワークの保持方法であって、
前記配置工程を行なう前に、前記負圧状態形成工程を開始することを特徴とするワークの保持方法。
【請求項２】
前記チャック工程（Ｂ）において前記吸着室（１８）内の負圧が所定圧以下となったときに、前記対ワーク操作工程（Ｃ）に移行することを特徴とする請求項１に記載のワークの保持方法。
【請求項３】
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワークの保持方法。
【請求項４】
ワーク（２）に対し操作を行なう対ワーク操作工程（Ｃ）の前に、前記ワーク（２）をチャックするチャック工程（Ｂ）と、
前記対ワーク操作工程（Ｃ）の後に、前記ワーク（２）をアンチャックするアンチャック工程（Ｄ）とを備え、
前記チャック工程（Ｂ）では、前記ワーク（２）に接するように吸着室（１８）を配置する配置工程と、ノズル（１４）に加圧ガスを流通して前記ノズル（１４）に連通する前記吸着室（１８）内のガスを吸引し、前記ワーク（２）を吸着するために前記吸着室（１８）内を負圧状態とする負圧状態形成工程とを同時に行なって、前記ワーク（２）をチャックし、
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記吸着室（１８）内の負圧状態を解除して、前記ワーク（２）をアンチャックするワークの保持方法であって、
前記チャック工程（Ｂ）において前記吸着室（１８）内の負圧が所定圧以下となったときに、前記対ワーク操作工程（Ｃ）に移行することを特徴とするワークの保持方法。
【請求項５】
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧することを特徴とする請求項４に記載のワークの保持方法。
【請求項６】
ワーク（２）に対し操作を行なう対ワーク操作工程（Ｃ）の前に、前記ワーク（２）をチャックするチャック工程（Ｂ）と、
前記対ワーク操作工程（Ｃ）の後に、前記ワーク（２）をアンチャックするアンチャック工程（Ｄ）とを備え、
前記チャック工程（Ｂ）では、前記ワーク（２）に接するように吸着室（１８）を配置する配置工程と、ノズル（１４）に加圧ガスを流通して前記ノズル（１４）に連通する前記吸着室（１８）内のガスを吸引し、前記ワーク（２）を吸着するために前記吸着室（１８）内を負圧状態とする負圧状態形成工程とを同時に行なって、前記ワーク（２）をチャックし、
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記吸着室（１８）内の負圧状態を解除して、前記ワーク（２）をアンチャックするワークの保持方法であって、
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧することを特徴とするワークの保持方法。
【請求項７】
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記吸着室（１８）内に前記加圧ガスを導入して、前記吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧することを特徴とする請求項３、請求項５、請求項６のいずれか１つに記載のワークの保持方法。
【請求項８】
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記ノズル（１４）より上流側における前記加圧ガスの圧力と前記ノズル（１４）より下流側における前記加圧ガスの圧力とを近似させ、前記ノズル（１４）から前記吸着室（１８）内に前記加圧ガスを導入することを特徴とする請求項７に記載のワークの保持方法。
【請求項９】
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記ノズル（１４）の下流側に設けた前記加圧ガスの排気室（３１）内の圧力を上昇して、前記ノズル（１４）より上流側における前記加圧ガスの圧力と前記ノズル（１４）より下流側における前記加圧ガスの圧力とを近似させることを特徴とする請求項８に記載のワークの保持方法。
【請求項１０】
前記アンチャック工程（Ｄ）では、前記排気室（３１）から外部への前記加圧ガスの排出路（２２、３２）断面積を減少して、前記排気室（３１）内の圧力を上昇させることを特徴とする請求項９に記載のワークの保持方法。
【請求項１１】
前記加圧ガスは清浄化されたガスであり、
前記チャック工程（Ｂ）では、前記ノズル（１４）を通過した後の前記加圧ガスを、前記ワーク（２）を周状に取り囲むように噴出することを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれか１つに記載のワークの保持方法。
【請求項１２】
前記チャック工程（Ｂ）を開始する前には、前記噴出した加圧ガスを、前記吸着室（１８）を介して前記ノズル（１４）に還流することを特徴とする請求項１１に記載のワークの保持方法。
【請求項１３】
前記アンチャック工程（Ｄ）を完了した後には、前記噴出した加圧ガスを、前記吸着室（１８）を介して前記ノズル（１４）に還流することを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載のワークの保持方法。
【請求項１４】
加圧ガスを噴出するノズル（１４）と、
前記ノズル（１４）内と連通するとともに、ワーク（２）をチャックするときに前記ワーク（２）に接するように配置する吸着室（１８）と、
前記ワーク（２）をチャックする以前から、前記ノズル（１４）に前記加圧ガスを供給する加圧ガス供給手段（９０）とを備えることを特徴とするワークの保持装置。
【請求項１５】
前記吸着室（１８）内の圧力を検出する圧力検出手段（１６）を備えることを特徴とする請求項１４に記載のワークの保持装置。
【請求項１６】
前記吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧する加圧手段（２２、２３）を備えることを特徴とする請求項１４または請求項１５に記載のワークの保持装置。
【請求項１７】
加圧ガスを噴出するノズル（１４）と、
前記ノズル（１４）内と連通するとともに、ワーク（２）をチャックするときに前記ワーク（２）に接するように配置する吸着室（１８）と、
前記ノズル（１４）に前記加圧ガスを供給する加圧ガス供給手段（９０）と、
前記吸着室（１８）内の圧力を検出する圧力検出手段（１６）とを備えることを特徴とするワークの保持装置。
【請求項１８】
前記吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧する加圧手段（２２、２３）を備えることを特徴とする請求項１７に記載のワークの保持装置。
【請求項１９】
加圧ガスを噴出するノズル（１４）と、
前記ノズル（１４）内と連通するとともに、ワーク（２）をチャックするときに前記ワーク（２）に接するように配置する吸着室（１８）と、
前記ノズル（１４）に前記加圧ガスを供給する加圧ガス供給手段（９０）と、
前記吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧する加圧手段（２２、２３）とを備えることを特徴とするワークの保持装置。
【請求項２０】
前記加圧手段（２２、２３）は、前記吸着室（１８）内に前記加圧ガスを導入する加圧ガス導入手段（２２、２３）であることを特徴とする請求項１６、請求項１８、請求項１９のいずれか１つに記載のワークの保持装置。
【請求項２１】
前記加圧ガス導入手段（２２、２３）は、前記ノズル（１４）より上流側における前記加圧ガスの圧力と前記ノズル（１４）より下流側における前記加圧ガスの圧力とを近似させる圧力近似手段（２２、２３）を有することを特徴とする請求項２０に記載のワークの保持装置。
【請求項２２】
前記ノズル（１４）の下流側に設けられ、前記ノズル（１４）を通過した前記加圧ガスが排出される排気室（３１）を備え、
前記圧力近似手段（２２、２３）は、前記排気室（３１）内の圧力を上昇する昇圧手段（２２、２３）であることを特徴とする請求項２１に記載のワークの保持装置。
【請求項２３】
前記排気室（３１）から外部への前記加圧ガスの排出路（２２、３２）の断面積を調節する排出路断面積調節手段（２３）を備え、
前記排出路断面積調節手段（２３）が前記排出路断面積を減少させて前記排気室（３１）内の圧力を上昇することを特徴とする請求項２２に記載のワークの保持装置。
【請求項２４】
前記加圧ガスは清浄化されたガスであり、
前記吸着室（１８）の周囲に開口し、前記ノズル（１４）を通過した前記加圧ガスを前記ワーク（２）を取り囲むように噴出する周状の噴出口（３２）を備えることを特徴とする請求項１４ないし請求項２３のいずれか１つに記載のワークの保持装置。
【請求項２５】
前記吸着室（１８）と前記噴出口（３２）とは、前記吸着室（１８）から前記ワーク（２）が離隔しているときに、前記噴出口（３２）から噴出した前記加圧ガスが前記吸着室（１８）に流れるように配置されていることを特徴とする請求項２４に記載のワークの保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着式のチャックによりワークを保持する方法および保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術として、下記特許文献１に開示されたワークの保持装置がある。このワーク保持装置は吸着式チャック装置であり、加圧ガスを流通するノズルと、ワークであるウェハーをチャック（吸着保持）するための吸着板に設けられた吸着室をなす減圧室と、減圧室とノズルとを連通する連通路とを備えている。
【０００３】
そして、ウェハーをチャックするときには、まず、ウェハー上に吸着板を載せて閉塞された減圧室を形成する。次に、ノズルに加圧ガスを流通し、連通路内のガスを吸引する。これにより、連通路と繋がった減圧室は減圧され、ウェハーを吸着チャックする。
【０００４】
また、ウェハーをアンチャックするときには、ノズルへの加圧ガスの供給を停止し、減圧室の気圧を大気圧と同等にする。これにより、ウェハーの吸着が解除されウェハーをアンチャックするようになっている。
【特許文献１】特開昭６４−５８４８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来技術の保持方法では、ワークをチャックするときには、ワークに接するように吸着室を配置した後、吸着室内を負圧状態とするようになっている。また、ワークをアンチャックするときには、加圧ガスの流通が停止されたノズルから連通路を介して吸着室内に大気が流入し、吸着室内の負圧状態が解除されるようになっている。
【０００６】
したがって、ワークの着脱（チャックおよびアンチャック）には比較的時間を要し、ニーズが大きい着脱時間の短縮に対応し難いという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記点に鑑みてなされたものであり、ワークの着脱時間を短縮することが可能なワーク保持方法および保持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明の保持方法では、
ワーク（２）に対し操作を行なう対ワーク操作工程（Ｃ）の前に、ワーク（２）をチャックするチャック工程（Ｂ）と、
対ワーク操作工程（Ｃ）の後に、ワーク（２）をアンチャックするアンチャック工程（Ｄ）とを備え、
チャック工程（Ｂ）では、ワーク（２）に接するように吸着室（１８）を配置する配置工程と、ノズル（１４）に加圧ガスを流通してノズル（１４）に連通する吸着室（１８）内のガスを吸引し、ワーク（２）を吸着するために吸着室（１８）内を負圧状態とする負圧状態形成工程とを同時に行なって、ワーク（２）をチャックし、
アンチャック工程（Ｄ）では、吸着室（１８）内の負圧状態を解除して、ワーク（２）をアンチャックするワークの保持方法であって、
配置工程を行なう前に、負圧状態形成工程を開始することを特徴としている。
【０００９】
これによると、吸着室（１８）内を負圧状態とする負圧状態形成工程は、チャック工程（Ｂ）が開始される前から行なわれる。したがって、ワーク（２）に接するように吸着室（１８）を配置する配置工程が行なわれチャック工程（Ｂ）が開始されると、速やかに吸着室（１８）がワーク（２）を吸着し、ワーク（２）を保持することができる。
【００１０】
このようにして、チャック工程（Ｂ）に要する時間を短縮し、ワーク（２）の着脱時間を短縮することができる。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明の保持方法では、請求項１に記載の発明の保持方法において、チャック工程（Ｂ）で吸着室（１８）内の負圧が所定圧以下となったときに、対ワーク操作工程（Ｃ）に移行することを特徴としている。
【００１２】
これによると、吸着室（１８）内がワーク（２）を確実に保持できる所定圧力に到達した場合に、速やかに対ワーク操作工程（Ｃ）に移行することができる。すなわち、チャック工程（Ｂ）を必要以上に継続することなく対ワーク操作工程（Ｃ）に移行することができる。
【００１３】
このようにして、チャック工程（Ｂ）に要する時間を一層短縮し、ワーク（２）の着脱時間を一層短縮することができる。
【００１４】
また、請求項３に記載の発明の保持方法では、請求項１または請求項２に記載の発明の保持方法において、アンチャック工程（Ｄ）では、吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧することを特徴としている。
【００１５】
これによると、吸着室（１８）内の負圧状態を加圧により速やかに解除して、ワーク（２）をアンチャックすることができる。したがって、アンチャック工程（Ｄ）に要する時間を短縮し、ワーク（２）の着脱時間をより一層短縮することができる。
【００１６】
また、請求項４に記載の発明の保持方法では、
ワーク（２）に対し操作を行なう対ワーク操作工程（Ｃ）の前に、ワーク（２）をチャックするチャック工程（Ｂ）と、
対ワーク操作工程（Ｃ）の後に、ワーク（２）をアンチャックするアンチャック工程（Ｄ）とを備え、
チャック工程（Ｂ）では、ワーク（２）に接するように吸着室（１８）を配置する配置工程と、ノズル（１４）に加圧ガスを流通してノズル（１４）に連通する吸着室（１８）内のガスを吸引し、ワーク（２）を吸着するために吸着室（１８）内を負圧状態とする負圧状態形成工程とを同時に行なって、ワーク（２）をチャックし、
アンチャック工程（Ｄ）では、吸着室（１８）内の負圧状態を解除して、ワーク（２）をアンチャックするワークの保持方法であって、
チャック工程（Ｂ）において吸着室（１８）内の負圧が所定圧以下となったときに、対ワーク操作工程（Ｃ）に移行することを特徴としている。
【００１７】
これによると、吸着室（１８）内がワーク（２）を確実に保持できる所定圧力に到達した場合に、速やかに対ワーク操作工程（Ｃ）に移行することができる。すなわち、チャック工程（Ｂ）を必要以上に継続することなく対ワーク操作工程（Ｃ）に移行することができる。
【００１８】
このようにして、チャック工程（Ｂ）に要する時間を短縮し、ワーク（２）の着脱時間を短縮することができる。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明の保持方法では、請求項４に記載の発明の保持方法において、アンチャック工程（Ｄ）では、吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧することを特徴としている。
【００２０】
これによると、吸着室（１８）内の負圧状態を加圧により速やかに解除して、ワーク（２）をアンチャックすることができる。したがって、アンチャック工程（Ｄ）に要する時間を短縮し、ワーク（２）の着脱時間を一層短縮することができる。
【００２１】
また、請求項６に記載の発明の保持方法では、
ワーク（２）に対し操作を行なう対ワーク操作工程（Ｃ）の前に、ワーク（２）をチャックするチャック工程（Ｂ）と、
対ワーク操作工程（Ｃ）の後に、ワーク（２）をアンチャックするアンチャック工程（Ｄ）とを備え、
チャック工程（Ｂ）では、ワーク（２）に接するように吸着室（１８）を配置する配置工程と、ノズル（１４）に加圧ガスを流通してノズル（１４）に連通する吸着室（１８）内のガスを吸引し、ワーク（２）を吸着するために吸着室（１８）内を負圧状態とする負圧状態形成工程とを同時に行なって、前記ワーク（２）をチャックし、
アンチャック工程（Ｄ）では、吸着室（１８）内の負圧状態を解除して、ワーク（２）をアンチャックするワークの保持方法であって、
アンチャック工程（Ｄ）では、吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧することを特徴としている。
【００２２】
これによると、吸着室（１８）内の負圧状態を加圧により速やかに解除して、ワーク（２）をアンチャックすることができる。したがって、アンチャック工程（Ｄ）に要する時間を短縮し、ワーク（２）の着脱時間を短縮することができる。
【００２３】
また、請求項７に記載の発明の保持方法では、アンチャック工程（Ｄ）では、吸着室（１８）内に前記加圧ガスを導入して、吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧することを特徴としている。
【００２４】
これによると、ノズル（１４）に流通するための加圧ガスを利用して吸着室（１８）内を加圧することができる。したがって、吸着室（１８）内の加圧のために、他の高圧ガスを導入する必要がない。
【００２５】
また、請求項８に記載の発明の保持方法では、アンチャック工程（Ｄ）では、ノズル（１４）より上流側における加圧ガスの圧力とノズル（１４）より下流側における加圧ガスの圧力とを近似させ、ノズル（１４）から吸着室（１８）内に加圧ガスを導入することを特徴としている。
【００２６】
これによると、ノズル（１４）の上流側と下流側との圧力を近似させるだけで（圧力差を低減するだけで）、容易に加圧ガスをノズル（１４）から吸着室（１８）内に導入することができる。
【００２７】
また、請求項９に記載の発明の保持方法のように、ノズル（１４）の下流側に設けた加圧ガスの排気室（３１）内の圧力を上昇して、ノズル（１４）より上流側における加圧ガスの圧力とノズル（１４）より下流側における加圧ガスの圧力とを容易に近似させることができる。
【００２８】
また、請求項１０に記載の発明の保持方法のように、排気室（３１）から外部への加圧ガスの排出路（２２、３２）断面積を減少して、排気室（３１）内の圧力を容易に上昇させることができる。
【００２９】
また、請求項１１に記載の発明の保持方法では、
前記加圧ガスは清浄化されたガスであり、
チャック工程（Ｂ）では、ノズル（１４）を通過した後の加圧ガスを、ワーク（２）を周状に取り囲むように噴出することを特徴としている。
【００３０】
これによると、チャック工程（Ｂ）でノズル（１４）を通過する加圧ガスによる吸引作用によりワーク（２）をチャックしているときには、ノズル（１４）を通過した清浄化された加圧ガスはワーク（２）を取り囲むように噴出される。
【００３１】
したがって、チャックされたワーク（２）は清浄化されたガスに囲まれ、ワーク（２）に異物等が付着することを防止することができる。
【００３２】
また、請求項１２に記載の発明の保持方法では、チャック工程（Ｂ）を開始する前には、噴出した加圧ガスを、吸着室（１８）を介してノズル（１４）に還流することを特徴としている。
【００３３】
これによると、ワーク（２）がチャックされる前には、噴出した清浄化されたガスを吸着室（１８）からノズル（１４）に還流するので、噴出されるガスの清浄度を保つことができる。
【００３４】
また、請求項１３に記載の発明の保持方法では、アンチャック工程（Ｄ）を完了した後には、噴出した加圧ガスを、吸着室（１８）を介してノズル（１４）に還流することを特徴としている。
【００３５】
これによると、ワーク（２）がアンチャックされた後には、噴出した清浄化されたガスを吸着室（１８）からノズル（１４）に還流するので、噴出されるガスの清浄度を保つことができる。
【００３６】
また、請求項１４に記載の発明の保持装置では、
加圧ガスを噴出するノズル（１４）と、
ノズル（１４）内と連通するとともに、ワーク（２）をチャックするときにワーク（２）に接するように配置する吸着室（１８）と、
ワーク（２）をチャックする以前から、ノズル（１４）に加圧ガスを供給する加圧ガス供給手段（９０）とを備えることを特徴としている。
【００３７】
これによると、請求項１に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、ワーク（２）に接するように吸着室（１８）を配置したときには、速やかに吸着室（１８）がワーク（２）を吸着し、ワーク（２）を保持することができる。このようにして、ワーク（２）の着脱時間を短縮することができる。
【００３８】
また、請求項１５に記載の発明の保持装置では、請求項１４に記載の発明の保持装置において、吸着室（１８）内の圧力を検出する圧力検出手段（１６）を備えることを特徴としている。
【００３９】
これによると、請求項２に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、吸着室（１８）内がワーク（２）を確実に保持できる所定圧力を圧力検出手段（１６）が検出した場合に、速やかに次工程（Ｃ）に移行することができる。このようにして、ワーク（２）の着脱時間を一層短縮することができる。
【００４０】
また、請求項１６に記載の発明の保持装置では、請求項１４または請求項１５に記載の発明の保持装置において、吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧する加圧手段（２２、２３）を備えることを特徴としている。
【００４１】
これによると、請求項３に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、吸着室（１８）内の負圧状態を加圧手段（２２、２３）により速やかに解除して、ワーク（２）をアンチャックすることができる。したがって、ワーク（２）の着脱時間をより一層短縮することができる。
【００４２】
また、請求項１７に記載の発明の保持装置では、
加圧ガスを噴出するノズル（１４）と、
ノズル（１４）内と連通するとともに、ワーク（２）をチャックするときにワーク（２）に接するように配置する吸着室（１８）と、
ノズル（１４）に加圧ガスを供給する加圧ガス供給手段（９０）と、
吸着室（１８）内の圧力を検出する圧力検出手段（１６）とを備えることを特徴としている。
【００４３】
これによると、請求項４に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、吸着室（１８）内がワーク（２）を確実に保持できる所定圧力を圧力検出手段（１６）が検出した場合に、速やかに次工程（Ｃ）に移行することができる。このようにして、ワーク（２）の着脱時間を短縮することができる。
【００４４】
また、請求項１８に記載の発明の保持装置では、請求項１７に記載の発明の保持装置において、吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧する加圧手段（２２、２３）を備えることを特徴としている。
【００４５】
これによると、請求項５に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、吸着室（１８）内の負圧状態を加圧手段（２２、２３）により速やかに解除して、ワーク（２）をアンチャックすることができる。したがって、ワーク（２）の着脱時間を一層短縮することができる。
【００４６】
また、請求項１９に記載の発明の保持装置では、
加圧ガスを噴出するノズル（１４）と、
ノズル（１４）内と連通するとともに、ワーク（２）をチャックするときにワーク（２）に接するように配置する吸着室（１８）と、
ノズル（１４）に加圧ガスを供給する加圧ガス供給手段（９０）と、
吸着室（１８）内を大気圧以上に加圧する加圧手段（２２、２３）とを備えることを特徴としている。
【００４７】
これによると、請求項６に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、吸着室（１８）内の負圧状態を加圧手段（２２、２３）により速やかに解除して、ワーク（２）をアンチャックすることができる。したがって、ワーク（２）の着脱時間を短縮することができる。
【００４８】
また、請求項２０に記載の発明の保持装置では、加圧手段（２２、２３）は、吸着室（１８）内に前記加圧ガスを導入する加圧ガス導入手段（２２、２３）であることを特徴としている。
【００４９】
これによると、請求項７に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、加圧ガス導入手段（２２、２３）によりノズル（１４）に流通するための加圧ガスを導入して吸着室（１８）内を加圧することができる。すなわち、吸着室（１８）内の加圧のために、他の高圧ガスを導入する必要がない。
【００５０】
また、請求項２１に記載の発明の保持装置では、加圧ガス導入手段（２２、２３）は、ノズル（１４）より上流側における加圧ガスの圧力とノズル（１４）より下流側における加圧ガスの圧力とを近似させる圧力近似手段（２２、２３）を有することを特徴としている。
【００５１】
これによると、請求項８に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、圧力近似手段（２２、２３）によりノズル（１４）の上流側と下流側との圧力を近似させるだけで、容易に加圧ガスをノズル（１４）から吸着室（１８）内に導入することができる。
【００５２】
また、請求項２２に記載の発明の保持装置では、
ノズル（１４）の下流側に設けられ、ノズル（１４）を通過した加圧ガスが排出される排気室（３１）を備え、
圧力近似手段（２２、２３）は、排気室（３１）内の圧力を上昇する昇圧手段（２２、２３）であることを特徴としている。
【００５３】
これによると、請求項９に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、昇圧手段（２２、２３）によりノズル（１４）の下流側に設けた加圧ガスの排気室（３１）内の圧力を上昇して、ノズル（１４）より上流側における加圧ガスの圧力とノズル（１４）より下流側における加圧ガスの圧力とを容易に近似させることができる。
【００５４】
また、請求項２３に記載の発明の保持装置では、
排気室（３１）から外部への加圧ガスの排出路（２２、３２）の断面積を調節する排出路断面積調節手段（２３）を備え、
排出路断面積調節手段（２３）が排出路断面積を減少させて排気室（３１）内の圧力を上昇することを特徴としている。
【００５５】
これによると、請求項１０に記載の発明の保持方法を行なうことができる。すなわち、排出路断面積調節手段（２３）により排気室（３１）から外部への加圧ガスの排出路（２２、３２）断面積を減少して、排気室（３１）内の圧力を容易に上昇させることができる。
【００５６】
また、請求項２４に記載の発明の保持装置では、
前記加圧ガスは清浄化されたガスであり、
吸着室（１８）の周囲に開口し、ノズル（１４）を通過した加圧ガスを、ワーク（２）を取り囲むように噴出する周状の噴出口（３２）を備えることを特徴としている。
【００５７】
これによると、請求項１１に記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、ノズル（１４）を通過する加圧ガスによる吸引作用によりワーク（２）をチャックしているときには、ノズル（１４）を通過した清浄化された加圧ガスは周状の噴出口（３２）からワーク（２）を取り囲むように噴出される。このようにして、チャックされたワーク（２）を清浄化されたガスによって囲み、ワーク（２）に異物等が付着することを防止することができる。
【００５８】
また、請求項２５に記載の発明の保持装置では、吸着室（１８）と噴出口（３２）とは、吸着室（１８）からワーク（２）が離隔しているときに、噴出口（３２）から噴出した加圧ガスが吸着室（１８）に流れるように配置されていることを特徴としている。
【００５９】
これによると、請求項１２および請求項１３の少なくともいずれかに記載の発明の保持方法を行なうことができる。したがって、ワーク（２）がチャックされていないときには、噴出口（３２）から噴出した清浄化されたガスを吸着室（１８）からノズル（１４）に還流するので、噴出口（３２）から噴出されるガスの清浄度を保つことができる。
【００６０】
なお、上記各手段に付した括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６１】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
【００６２】
図１は、本発明を適用した一実施形態におけるワーク保持装置である吸着式のチャック１０の概略構成を示す図であり、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は下面図である。また、図２は、チャック１０を利用したワーク２搬送装置１の概略構成図である。
【００６３】
図１（ａ）に示すように、本実施形態のチャック１０は、主要部をなすブロック体１１と、ブロック体１１の外周部に配置されたカバー２１とにより構成されている。
【００６４】
ブロック体１１の内部には、後述する加圧ガス供給手段（図２のコンプレッサ９０参照）からの加圧ガス（本例では加圧空気）を導入するための導入通路１２が設けられている。導入通路１２上流端の導入口１２ａは、ブロック体１１の上面部に開口しており、加圧ガスを導くための導管９２が接続している。
【００６５】
ブロック体１１の略中央部には、１次ノズルである加速ノズル１４ａと２次ノズル１４ｂとからなるノズル１４が図示左右方向に穿設されている。加速ノズル１４ａは、上流端が導入通路１２の下流端に接続するとともに、導入通路１２より通路断面積を小さく形成されている。
【００６６】
また、２次ノズル１４ｂは、加速ノズル１４ａと中心軸を略同一として形成され、上流側（図示右方の加速ノズル１４ａ側）より下流側に向けて通路断面の直径が連続的に増大するように穿設されている。
【００６７】
ブロック体１１の下面は、ワークをチャックするためのチャック面１７となっている。チャック面１７には環状突起部１７ａに取り囲まれた凹状の吸着室１８が形成されている。この吸着室１８とノズル１４（加速ノズル１４ａと２次ノズル１４ｂとの間の部位）とは連通路１５により連通している。
【００６８】
加速ノズル１４ａおよび２次ノズル１４ｂからなるノズル１４と、加速ノズル１４ａと２次ノズル１４ｂとの間に接続した連通路１５とにより、エゼクタ部（エゼクタ機構）１３を構成している。エゼクタ部１３は、ノズル１４を通過する高速のガス流により連通路１５内のガスを吸引するようになっている。
【００６９】
連通路１５の図示上端部（吸着室１８側とは反対側の端部）には、連通路１５を介して吸着室１８内の圧力を検出するための圧力検出手段である圧力センサ１６が配設されている。
【００７０】
本実施形態の圧力センサ１６は、小型の半導体圧力センサであり、ブロック体１１内に埋設されている。そして、この圧力センサ１６は、吸着室１８内の圧力情報を後述する制御装置１００に出力するようになっている。
【００７１】
ブロック体１１の外周部には、上端部をブロック体１１に接続された筒状のカバー２１が設けられている。
【００７２】
ブロック体１１は、図示上下方向の略中央部に全周に亘って括れ形状部（周状凹部）が形成されており、前述したノズル１４の２次ノズル１４ｂの下流端は、この括れ形状部に開口している。すなわち、ブロック体１１とカバー２１との間には周状の空間が形成されており、この空間はノズル１４から排出されるガスの排気室３１となっている。
【００７３】
排気室３１の図示下方側においてブロック体１１とカバー２１とは隙間部を形成するように離設されており、この隙間部が排気室３１から外部へのガスの噴出口３２となっている。
【００７４】
図１（ｂ）に示すように、ブロック体１１チャック面１７は、本実施形態のワーク２（図２参照）形状に対応して略同一寸法の矩形状に形成されており、カバー２１はチャック面１７より一回り大きい矩形状をなしている。これにより、噴出口３２も矩形周状に形成され、チャック面１７にワーク２をチャックしたときのワーク２外周面に沿ってガスを噴出するようになっている。
【００７５】
図１（ａ）に示すように、カバー２１の図示右上部には、排気室３１内のガスを排出するための排出口２２が形成されている。そして、カバー２１の外側には、この排出口２２を開閉する開閉手段としての開閉弁２３が設けられている。
【００７６】
排出口２２と噴出口３２とが、排気室３１から外部へ加圧ガスを排出するための本実施形態における排出路であり、開閉弁２３は排出路断面積を調節する排出路断面積調節手段である。
【００７７】
図２に示すように、搬送装置１は、例えばパレット３上に載置されたワーク２を加温等を行なう処理プレート４上に移動するものであって、前述したチャック１０を上下動するシリンダ装置５と水平動（図示左右動）するシリンダ装置６とを備えている。
【００７８】
フレキシブル性を有するチューブ体からなる導管９２の一端はチャック１０に接続され、導管９２の他端は加圧ガス供給手段であるコンプレッサ９０に接続されている。コンプレッサ９０の加圧ガス吐出経路中には、加圧ガス（本例では加圧空気）中から異物等を除去するフィルタ部材９１が配設されており、チャック１０には清浄化されたガス（空気）が供給されるようになっている。
【００７９】
制御手段である制御装置１００は、チャック１０内の圧力センサ１６（図１参照）からの圧力情報、シリンダ装置５、６からの位置情報等に基づいて、シリンダ装置５、６を作動してチャック１０位置を制御する信号や開閉弁２３の図示しない駆動手段を制御する信号等を出力するようになっている。
【００８０】
なお、本実施形態のワーク２は、例えば加速度センサチップを実装した微小ワーク（チャックされる面の寸法が約７ｍｍ×４ｍｍ）であり、０．５μｍの異物が付着しても誤動作を起こす可能性があるため、搬送装置１全体がクラス１００以上の清浄度を有するクリーンルーム内に配置されている。
【００８１】
次に、上記構成に基づき本実施形態の搬送装置１のチャック１０の作動について説明する。
【００８２】
図３は、チャック１０がワーク２をチャックする前の状態を示す図であり、図４は、チャック１０がワーク２をチャックしたチャック工程を示す図である。また、図５は、チャックしたワーク２を移動する移動工程（本発明における対ワーク操作工程に相当）を示す図であり、図６は、チャック１０がワーク２をアンチャックしたアンチャック工程を示す図である。
【００８３】
図７（ａ）は、図３〜図６に示す４工程におけるチャック１０の導入通路１２内の圧力（細実線）、排気室３１内の圧力（破線）、および吸着室１８内の圧力（太実線、圧力センサ１６検出圧力）の変化を示すグラフである。
【００８４】
図７（ａ）に示すように、チャック１０の導入通路１２内にはコンプレッサ９０側より略一定の圧力（約２５０ｋＰａ）が印加され、常時清浄化された加圧空気が供給されるようになっている。
【００８５】
図３に示すように、チャック１０がワーク２をチャックする前には（チャック前工程Ａでは）、導入口１２ａから導入通路１２内に導入された加圧空気は、エゼクタ部１３のノズル１４を通過するときに、連通路１５を介して吸着室１８内の空気を吸引する。このとき、チャック面１７にワーク２が接する状態とはなっていないが、吸着室１８内は若干負圧（約−１０ｋＰａ）となる。
【００８６】
ノズル１４を通過した加圧空気は吸着室１８内から流入した空気を伴なって排気室３１内に排気される。これにより、排気室３１内は若干正圧（約１０〜２０ｋＰａ）となる。この圧力により、排気室３１内の空気は、開閉弁２３が開く排出口２２から排出されるとともに、噴出口３２からカーテン状に噴出される。
【００８７】
噴出口３２から噴出された空気は、一部が図示する２本の一点鎖線の間の領域をワーク２方向に向かって流れるとともに、残部は若干負圧となっている吸着室１８に向かって流れ、吸着室１８から連通路１５を介してノズル１４に還流する。
【００８８】
すなわち、噴出口３２から噴出した清浄化された空気の一部は、吸着室１８→連通路１５→ノズル１４（２次ノズル１４ｂ）→排気室３１→噴出口３２の経路を循環する。したがって、一点鎖線より外側の領域に浮遊する異物があったとしても、この異物を吸引することはない。このようにして、ワーク２チャック前には、チャック面１７とワーク２との間の空間を清浄な状態に保つことができる。
【００８９】
制御装置１００がシリンダ装置５を駆動して、図３に示す状態からチャック１０を下降させ、チャック面１７の環状突起部１７ａにワーク２が当接すると、図４に示すチャック工程Ｂに移行する。チャック前工程Ａから、吸着室１８内を負圧状態とする本発明で言うところの負圧状態形成工程が行なわれており、ワーク２に接するように吸着室１８を配置する本発明で言うところの配置工程を行なったところで、チャック工程Ｂに移行したことになる。
【００９０】
チャック工程Ｂに移行すると、噴出口３２から噴出した空気の吸着室１８への流れ込みが停止されるので、エゼクタ部１３の吸引作用により、図７（ａ）に示すように、吸着室１８内の圧力は低下していく（負圧が増大していく）。この吸着室１８内の負圧と外部の大気圧との圧力差によりワーク２はチャック１０のチャック面１７にチャック（吸着保持）される。
【００９１】
エゼクタ部１３のノズル１４を通過して排気室３１に排気された加圧空気は、開閉弁２３が開く排出口２２から排出されるとともに、噴出口３２からカーテン状に噴出される。
【００９２】
噴出口３２から噴出された空気は、ワーク２の側方の全域を取り囲むように流れ（一点鎖線の間の領域を流れ）、ワーク２周囲の空間を清浄な状態に保つことができる。
【００９３】
このように、ワーク２をチャック１０のチャック面１７にチャックしたら、図５に示す移動工程Ｃに移行する。
【００９４】
ここで、本実施形態のチャック１０では、導入通路１２内に供給される加圧空気の圧力が約２５０ｋＰａであり、開閉弁２３により開かれた排出口２２と噴出口３２とから加圧空気が外部に排出されているときには、エゼクタ部１３の吸引作用により吸着室１８内は約−４０ｋＰａにまで到達する。
【００９５】
前述したように、チャック１０には、吸着室１８内の圧力を検出する圧力センサ１６が設けられている。そして、制御装置１００は、圧力センサ１６の検出する負圧が所定圧以下となったときに、シリンダ装置５、６に作動信号を出力して移動工程Ｃを実行する。
【００９６】
制御装置１００がチャック工程Ｂから移動工程Ｃへの移行タイミングを判定する前記所定圧は、ワーク２の重量や移動工程Ｃにおいて発生する応力に基づいて設定されるものである。すなわち、吸着室１８内が前記所定圧以下の負圧となればワーク２を安定して保持しつつ移動することができる。
【００９７】
そこで、制御装置１００は、例えば設定所定圧が−３０ｋＰａである場合には、圧力センサ１６が検出する負圧が−３０ｋＰａに到達した時点で、吸着室１８内が−４０ｋＰａに到達するのを待つことなく、チャック工程Ｂから移動工程Ｃに移行させる。
【００９８】
移動工程Ｃを実行中は、エゼクタ部１３の吸引作用により、図７（ａ）に示すように、吸着室１８内の圧力は略一定の負圧状態を維持し、この吸着室１８内の負圧と外部の大気圧との圧力差によりワーク２はチャック１０のチャック面１７に吸着保持される。
【００９９】
エゼクタ部１３のノズル１４を通過して排気室３１に排気された加圧空気は、開閉弁２３が開く排出口２２から排出されるとともに、噴出口３２からカーテン状に噴出される。
【０１００】
噴出口３２から噴出された空気は、ワーク２の側方から下面側の全域を取り囲むように流れ（一点鎖線の間の領域を流れ）、ワーク２周囲の空間を清浄な状態に保つことができる。
【０１０１】
このように、ワーク２をチャック１０のチャック面１７に吸着保持しつつ、図２に示す処理プレート４上まで移動したら、図６に示すアンチャック工程Ｄに移行する。
【０１０２】
具体的には、制御装置１００が開閉弁２３の図示しない駆動手段に信号を出力し、図６に示すように、開閉弁２３により排出口２２を閉塞する。
【０１０３】
排出口２２が閉塞されると、排気室３１から外部への排出路が噴出口３２のみとなる。これにより、導入通路１２に導入されエゼクタ部１３のノズル１４を通過して排気室３１に排気された加圧空気は排気室３１内の圧力を上昇させる。
【０１０４】
この排気室３１内の昇圧により、排気室３１内の圧力は導入通路１２内の圧力に近づく（排気室３１内と導入通路１２内との圧力差が低減される）。本実施形態のチャック１０では、図７（ａ）に示すように、排気室３１内の圧力は速やかに約１００ｋＰａにまで上昇する。
【０１０５】
このように排気室３１内の圧力と導入通路１２内の圧力とが近似すると、換言すれば、エゼクタ部１３のノズル１４の上流側の圧力と下流側の圧力とが近似すると、エゼクタ部１３の吸引作用が著しく減少する。この吸引作用の減少に伴ない、ノズル１４を流れる加圧空気が連通路１５内に進入し、吸着室１８内に噴出する。
【０１０６】
これにより、図７（ａ）に示すように、吸着室１８内は速やかに大気圧以上の圧力（正圧）となる。吸着室１８内が大気圧以上に加圧されると、吸着室１８内の圧力と外部の大気圧との圧力差により、ワーク２はチャック１０のチャック面１７から速やかにアンチャック（脱離）され、処理プレート４上に載置される。
【０１０７】
本実施形態のチャック１０では、開閉弁２３により排出口２２を閉塞しない限り、吸着室１８内の負圧状態が解除されないように、排出口２２および噴出口３２の開口面積を設定している。
【０１０８】
エゼクタ部１３のノズル１４を通過した加圧空気は、一部が排気室３１を介して噴出口３２からカーテン状に噴出される。また、残部は連通路１５を介して吸着室１８から噴出される。
【０１０９】
両経路から外部に噴出された空気は、ワーク２の上面から側方の全域を取り囲むように流れ（一点鎖線の間の領域を流れ）、チャック面１７とワーク２との間の空間を清浄な状態に保つことができる。
【０１１０】
ここで、図７（ａ）には図示していないが、ワーク２のアンチャック工程Ｄを完了したら、次のチャック工程Ｂに備えて排出口２２を開口するものであってもよい。アンチャック工程Ｄが完了した状態で排出口２２を開口しても、図３に示した状態と同様に、噴出口３２から噴出された空気は、一部が下方側に流れるとともに、残部は吸着室１８に向かって流れノズル１４に還流する。これにより、ワーク２アンチャック後においても、チャック面１７とワーク２との間の空間を清浄な状態に保つことができる。
【０１１１】
排出路断面積調節手段を構成する排出口２２と開閉弁２３とからなる構成は、排気室３１内の圧力を上昇させる昇圧手段であると言うことができ、ノズル１４より上流側における加圧空気の圧力とノズル１４より下流側における加圧空気の圧力とを近似させる圧力近似手段（圧力差低減手段）であると言うこともできる。
【０１１２】
また、排出口２２と開閉弁２３とからなる構成は、吸着室１８内に加圧ガスを導入する加圧ガス導入手段であると言うこともでき、吸着室１８内を大気圧以上に加圧する加圧手段であると言うこともできる。
【０１１３】
上述の構成および作動によれば、チャック工程Ｂにおいてワーク２に接するように吸着室１８を配置する前から、エゼクタ部１３のノズル１４に加圧空気を流通して吸着室１８内を負圧状態としている。したがって、ワーク２に接するように吸着室１８を配置すると、速やかに吸着室１８がワーク２を吸着し、ワーク２をチャックすることができる。
【０１１４】
また、チャック工程Ｂにおける吸着室１８内の負圧が、次工程である移動工程（搬送工程）Ｃでのワーク保持に耐えられる所定圧以下となったときに、移動工程Ｃに移行している。したがって、チャック工程Ｂを必要以上に継続することなく移動工程Ｃに移行することができる。
【０１１５】
また、吸着室１８内の圧力を検出する小型圧力センサ１６を、吸着室１８に近い連通路１５の端部に設けているので、圧力検出応答性が良好であり、精度よく圧力を検出することができる。
【０１１６】
また、アンチャック工程Ｄでは、吸着室１８内を大気圧以上に加圧して、吸着室１８内の負圧状態を速やかに解除し、ワーク２をアンチャックしている。
【０１１７】
これらにより、チャック工程Ｂやアンチャック工程Ｄに要する時間を短縮し、チャック１０によるワーク２の着脱時間を確実に短縮することができる。
【０１１８】
図７（ｂ）は、従来技術によりワークの保持を行なったときの各部の圧力変化の例を、本実施形態と対応するように示したグラフである。
【０１１９】
従来秘術では、ワークをチャックするときには、ワークに接するように吸着室を配置した後、ノズルに加圧ガスを流通し吸着室内を負圧状態としている。また、ワークをアンチャックするときには、加圧ガスの流通を停止したノズルから連通路を介して吸着室内に大気を流入させ、吸着室内の負圧状態を解除している。
【０１２０】
したがって、チャック工程およびアンチャック工程に長い時間（例えば、それぞれ約１秒程度）を要していた。
【０１２１】
これに対し、本発明を適用した本実施形態によれば、チャック工程およびアンチャック工程に要する時間を、従来の１／１０〜１／２０（例えば、それぞれ約０．０５〜０．１秒）に低減できることを本発明者らは確認している。
【０１２２】
また、従来から、吸着室内を真空ポンプ等の負圧源により負圧状態とする所謂バキュームチャックも用いられている。
【０１２３】
しかし、このチャック方式は、ワークチャック時、および搬送時に、ワーク周りの空気を吸い込み続けるため、真空配管中にワーク周囲の異物が堆積し易い。また、ワークを所定位置に移動後アンチャックするためには、真空配管内を大気圧に開放し、ワークをチャック面から外すために高圧ガスを供給する必要がある。そうすると、配管中に堆積した異物が高圧ガスでワークに吹き付けられてしまう。
【０１２４】
このような、チャック、アンチャック工程を繰り返すことにより、クラス１００の環境で組み付け作業を行っても、異物がワークに付着する場合があるという問題があった。更に、微細なワークの搬送を行う場合でも、チャック面に設けた吸着室を上回る体積を有する真空配管容積を減圧するためにチャック時間が掛かるという問題があった。
【０１２５】
これに対し、本発明を適用した本実施形態によれば、ワークへの異物の付着を確実に防止しつつ、チャック、アンチャックに要する時間を大幅に短縮することが可能である。
【０１２６】
また、アンチャック工程Ｄでは、排出口２２を閉塞するという簡単な動作により、排気室３１から外部への加圧空気の排出路断面積を減少して排気室３１内を昇圧し、ノズル１４の上下流の圧力差を低減させている。
【０１２７】
これにより、ノズル１４を流通する加圧空気の流量を低下させ、エゼクタ部１３の吸引力を低減させて、ノズル１４から吸着室１８内に加圧空気を導入することで、吸着室１８内を大気圧以上に加圧することができる。
【０１２８】
これによると、ノズル１４に流通する加圧空気を利用して吸着室１８内を加圧することができる。したがって、吸着室１８内の加圧のために、他の高圧ガスを導入する構成を設ける必要がなく、チャック１０を小型化することができる。また、加圧空気の供給および供給停止を切り替える必要もない。
【０１２９】
また、チャック１０がチャック面１７にワーク２を保持しているときには、清浄化された加圧空気を噴出口３２からワーク２を取り囲むように噴出させて、ワーク２に異物等が付着することを防止することができる。
【０１３０】
また、チャック１０のチャック面１７とワーク２とが離れているときには、清浄化された加圧空気を噴出口３２からワーク２の周囲に向けて噴出させるとともに、噴出した清浄化された空気の一部を吸着室１８を介して還流させ、噴出口３２から噴出されるガスの清浄度を保つことができる。
【０１３１】
これにより、チャック１０がワーク２を保持していない場合であっても、ワーク２に異物等が付着することを防止することができる。
【０１３２】
また、本実施形態のチャック１０は、微小なワーク２に対応して比較的小さい吸着室１８を採用しており、吸引すべき容積が小さいためエゼクタ部１３のノズル１４も１つとしていた。すなわち、ノズル１４（２次ノズル１４ｂ）の排気室３１への出口は１つであった。
【０１３３】
そこで、本実施形態では、排気室３１の周方向の断面積を比較的大きく確保し、噴出口３２からの空気噴出抵抗に対し、排気室３１内の周方向への空気流通抵抗を小さくしている。これにより、ノズル１４が１つの場合であっても、周状の噴出口３２から略均一に清浄化した空気を噴出することが可能となっている。
【０１３４】
（他の実施形態）
上記一実施形態では、ワーク着脱時間短縮のために、チャック工程の前から吸着室１８内に負圧状態を形成し、チャック工程において吸着室１８内が所定圧以下になったときに移動工程に移行し、アンチャック工程で吸着室１８内を大気圧以上に加圧していたが、これらを全て採用するものでなく、少なくともいずれかを採用するものであれば、ワークの着脱時間を短縮する効果を得ることができる。
【０１３５】
また、上記一実施形態では、アンチャック工程において吸着室１８内を大気圧以上に加圧するために、開閉弁２３を作動して排出口２２を閉塞して、排気室３１内の圧力を上昇していたが、これに限定されるものではない。排気室３１からの加圧ガス排出路の断面積を低減する他の方法を採用して、排気室３１内の圧力を上昇するものであってもよい。
【０１３６】
例えば、図８に示すように、アンチャック工程を行なう位置に対応して設けられた閉塞部材（本例では処理プレート４から立設した固定部材）２３Ａにより排出口２３を閉塞するものであってもよい。
【０１３７】
また、図９に示すように、排出口２３を設けず、アンチャック工程を行なう位置に対応して設けられた閉塞部材（本例では処理プレート４から立設した周状壁部材）２３Ｂにより噴出口３２の一部あるいは全部を閉塞するものであってもよい。
【０１３８】
また、アンチャック工程において吸着室１８内を大気圧以上に加圧するために、コンプレッサ９０からの加圧ガスもしくは別系統からの加圧ガスを、排気室３１内に直接導入して、排気室３１内を昇圧するものであってもよい。
【０１３９】
また、コンプレッサ９０から供給される加圧ガスの圧力を、アンチャック時のみ昇圧してノズル１４の上流側圧力と下流側圧力とを近づけることも可能である。
【０１４０】
また、コンプレッサ９０からの加圧ガスもしくは別系統からの加圧ガスを吸着室１８内に直接導入して、吸着室１８内を大気圧以上に加圧するものであってもよい。
【０１４１】
また、噴出口３２から噴出するエアカーテンが不要であれば、カバーを設けず（排気室を形成せず）、アンチャック時にノズル１４（２次ノズル１４ｂ）の出口面積を低減して、吸着室１８内に加圧ガスを導入するものであってもよい。
【０１４２】
また、上記一実施形態では、チャック１０の１つに吸着室１８で１つのワーク２をチャックするものであったが、これに限定されるものではない。
【０１４３】
例えば、図１０に示すように、吸着室１８を複数備えたチャック１０Ａを採用し、それぞれの吸着室１８にワーク２をチャックするものであってもよい。この例によれば、複数の吸着室１８に対応した複数のエゼクタ部１３に共通の導入通路１２Ａから加圧ガスを供給することができる。
【０１４４】
また、複数のワーク２を同時にチャックできるとともに、複数の吸着室１８に対する共通の排出口２２の開閉制御により、複数のワーク２を同時にアンチャックすることができる。なお、本例においては、一部の吸着室１８だけにワーク２をチャックすることも可能である。
【０１４５】
また、図１０に例示するチャック１０Ａにおいて、各エゼクタ部１３の出口側の圧力を個別に昇圧できる構成を採用すれば、複数のワーク２のそれぞれのアンチャックのタイミングをずらすことも可能である。
【０１４６】
また、図１１に示すように、複数のチャック１０により１つの比較的大きなワーク（例えば、ウェハやガラス基板等）２Ａを保持するものであってもよい。
【０１４７】
また、上記一実施形態では、チャック１０は、ブロック体１１とカバー２１との２つの部材で構成していたが、１つもしくは３つ以上の部材で構成するものであってもよい。
【０１４８】
また、上記一実施形態では、エゼクタ部１３のノズル１４に加圧ガスを供給して吸着室１８内を減圧する（負圧状態とする）ものであったが、吸着室１８内に所望の負圧状態が形成できるのであれば、エゼクタ機構ではなく所謂アスピレータ機構を採用して吸着室内のガスを吸引するものであってもよい。
【０１４９】
また、上記一実施形態では、対ワーク操作工程はワークを移動する移動工程（搬送工程）であったが、これに限定されるものではない。例えば、対ワーク操作工程が、ワークに処理や加工を施す工程であったり、ワークを検査する工程であっても、その前後のチャック工程、アンチャック工程に本発明を適用して有効である。
【図面の簡単な説明】
【０１５０】
【図１】本発明を適用した一実施形態におけるワーク保持装置である吸着式のチャック１０の概略構成を示す図であり、（ａ）は縦断面図、（ｂ）は下面図である。
【図２】チャック１０を利用したワーク２搬送装置１の概略構成図である。
【図３】チャック１０がワーク２をチャックする前の状態（チャック前工程Ａ）を示す図である。
【図４】チャック工程Ｂを示す図である。
【図５】移動工程Ｃを示す図である。
【図６】アンチャック工程Ｄを示す図である。
【図７】（ａ）は、一実施形態のチャック１０の各部の圧力変化を示すグラフであり、（ｂ）は従来のチャック各部の圧力変化を示すグラフである。
【図８】他の実施形態におけるアンチャック工程を示す図である。
【図９】他の実施形態におけるアンチャック工程を示す図である。
【図１０】他の実施形態におけるチャックを示す図である。
【図１１】他の実施形態におけるチャックを示す図である。
【符号の説明】
【０１５１】
２  ワーク
１０  チャック（保持装置）
１２  導入通路
１３  エゼクタ部（エゼクタ）
１４  ノズル
１６  圧力センサ（圧力検出手段）
１８  吸着室（減圧室）
２１  カバー
２２  排出口（排出路の一部、加圧手段の一部、加圧ガス導入手段の一部、圧力近似手段の一部、昇圧手段の一部）
２３  開閉弁（排出口の開閉手段、加圧手段の一部、加圧ガス導入手段の一部、圧力近似手段の一部、昇圧手段の一部）
３１  排気室
３２  噴出口（排出路の一部）
９０  コンプレッサ（加圧ガス供給手段）
Ｂ  チャック工程
Ｃ  移動工程（対ワーク操作工程）
Ｄ  アンチャック工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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