(57)【要約】【課題】この発明はタクトタイムの短縮化を計ることができるようにしたロボット装置を提供することを目的とする。【解決手段】半導体ウエハＵを受け渡すためのロボット装置において、  取付体１３と、取付体に回転自在に設けられたア−ム体３１と、ア−ム体を回転駆動する駆動源１５と、取付体に設けられア−ム体の回転中心部に位置した固定プ−リ３８と、ア−ム体の両端部に回転自在に設けられた一対の回転プ−リ４１、４２と、各回転プ−リに一端部が取り付けられ回転プ−リとともに回転してワ−クを搬送する一対のフィンガ４７、４８と、固定プ−リと回転プ−リとにわたって設けられ駆動源によってア−ム体を回転させたときに固定プ−リと回転プ−リとの外径寸法比に応じて回転プ−リを回転させるタイミングベルト４３とを具備したことを特徴とする。【選択図】      図１
2006332695.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワ−クを受け渡すためのロボット装置において、
トランスファチャンバの底壁に気密に設けられた取付体と、
この取付体に回転自在に設けられたア−ム体と、
このア−ム体を回転駆動する駆動手段と、
上記取付体に設けられ上記ア−ム体の回転中心部に位置した固定プ−リと、
上記ア−ム体の両端部に回転自在に設けられた一対の回転プ−リと、
各回転プ−リに一端部が取り付けられこの回転プ−リとともに回転して上記ワ−クを搬送する一対のフィンガと、
上記固定プ−リと上記回転プ−リとにわたって設けられ上記駆動手段によって上記ア−ム体を回転させたときに上記固定プ−リと回転プ−リとの外径寸法比に応じて上記一対の回転プ−リを回転させる動力伝達手段を具備し、
上記アーム体は、上記一対の回転プーリと固定プーリとを収容した収容空間を有する中空状に形成されていて、
上記駆動手段は駆動源と、一端がこの駆動源に連結され他端が上記アーム体に連結された駆動軸を有し、
上記駆動軸には一端が上記アーム体の上記収容空間に連通し他端がこの駆動軸の外周面に開放した通孔が形成されていて、
この駆動軸の上記通孔の他端が開放した外周面には上記通孔を介して上記収容空間内を減圧する吸引手段が接続され、
上記アーム体にはその収容空間に外気を導入する導入孔が設けられていることを特徴とするロボット装置。
【請求項２】
上記固定プ−リと上記回転プ−リとの外径寸法比は２：１に設定されていることを特徴とする請求項１記載のロボット装置。
【請求項３】
上記動力伝達手段は、上記一対の回転プーリ及び上記固定プーリに掛け渡されるとともに上記アーム体の回転によって走行させられる無端状のベルトであることを特徴とする請求項１記載のロボット装置。
【請求項４】
上記導入孔には外気を上記収容空間に導入する方向に逆止弁が接続されていることを特徴とする請求項１記載のロボット装置。
【請求項５】
ワ−クを真空中で処理するための処理装置において、
一側に複数の第１の受け渡し口が並列に形成されたトランスファチャンバと、
このトランスファチャンバの第１の受け渡し口にそれぞれ接続されて並設された複数の処理チャンバと、
上記トランスファチャンバ内の上記第１の受け渡し口と対向する位置にそれぞれ設けられ上記トランスファチャンバの外部から未処理のワ−クが供給されるとともに上記処理チャンバで処理されたワ−クが供給されるトランスファテ−ブルと、
各トランスファテ−ブルと各トランスファテーブルと対向する位置に設けられた各第１の受け渡し口との間にそれぞれ設けられトランスファテ−ブルと処理チャンバとの間でワ−クを受け渡す第１のロボット装置と
を具備したことを特徴とする処理装置。
【請求項６】
上記第１のロボット装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする請求項５記載の処理装置。
【請求項７】
隣り合うトランスファテ−ブルの間には、これらのトランスファテーブル間でワ−クを受け渡すための第２のロボット装置が設けられていることを特徴とする請求項５または請求項６記載の処理装置。
【請求項８】
上記トランスファチャンバの上記一側と対向する他側には開閉バルブによって開閉される第２の受け渡し口が形成されていて、
上記開閉バルブは、上記トランスファチャンバの一側と対向する面にＯリングが設けられ上記第２の受け渡し口を開閉する弁体と、この弁体に一端が連結されたアーム体と、このアーム体の他端が連結されアーム体を介して上記弁体を上記第２の受け渡し口に対して接離する方向に直線駆動するとともに、第２の受け渡し口から離れたときに回転駆動する駆動手段とを有することを特徴とする請求項５記載の処理装置。
【請求項９】
上記駆動手段は、シリンダと、このシリンダの軸線方向に移動可能に設けられ空気圧によって上記シリンダの軸線方向に駆動されるとともに上記シリンダから外部に突出した一端に上記アーム体の他端が連結されたピストンロッドと、このピストンロッドの外周面に形成されたガイド溝と、上記シリンダに設けられ上記ガイド溝に係合して設けられ上記ピストンロッドがシリンダ内を軸線方向に駆動されたのに基づきこのピストンロッドを上記ガイド溝の形状に応じて周方向に回転させるガイド軸とを有することを特徴とする請求項８記載の処理装置。
【請求項１０】
上記駆動手段は、シリンダと、このシリンダに軸線方向に移動可能に設けられ空気圧によって軸線方向に駆動されるピストンロッドと、このピストンロッドに一端が回転自在に連結され他端に上記アーム体の他端が連結された連動軸と、この連動軸をスライド自在に支持するとともに内周面にガイド溝が形成された支持体と、上記連動軸に設けられ上記ガイド溝に係合するとともに上記連動軸が上記ピストンロッドと連動して上記シリンダの軸線方向に駆動されたときに上記ガイド溝の形状に応じて上記連動軸を周方向に回転させるカムフォロアとを有することを特徴とする請求項８記載の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はワ−クの受け渡しを行うためのロボット装置およびワ−クを真空中で処理する処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶用ガラス基板や半導体ウエハなどのワ−クに回路パタ−ンを形成する製造工程においては、そのワ−クに対して種々の処理を行うことが要求され、その処理を行うのに真空チャンバが用いられている。
【０００３】
上記ワ−クの処理を効率よく行うために複数の処理チャンバを設置し、各処理チャンバでの処理を同時あるいは順次行う、いわゆるマルチチャンバ方式が知られている。
【０００４】
マルチチャンバ方式でのワ−クの処理は、ロボット装置によって未処理のワ−クを供給部から受け取り、そのワ−クを処理チャンバへ供給する。ワ−クが処理チャンバで処理されたならば、そのワ−クをロボット装置によって処理チャンバから受け取り、つぎの処理チャンバへ受け渡したり、別の処理部へ搬送するなどのことが行われる。
【０００５】
そのため、生産性を向上させるためには、上記ロボット装置の性能としてワ−クの受け取りと供給を迅速に行えることが要求され、さらには小型であることなどが要求されている。
【０００６】
従来、このようなマルチチャンバ方式に用いられるロボット装置としては、特許文献１に示される先行技術がある。この特許文献１に示されたロボット装置は、回転駆動される胴体を有し、この胴体には複数のア−ムが伸縮自在に連設されてなる一対のフィンガが左右対称に設けられている。
【０００７】
したがって、一方のフィンガの先端ア−ムに未処理のワ−クを保持させた状態で、他方のフィンガのア−ムを処理チャンバ内へ伸張させて処理済みのワ−クを取り出したならば、一方のフィンガを処理チャンバ内へ伸張させ、未処理のワ−クを処理チャンバへ供給する。
【０００８】
ついで、各フィンガのア−ムを縮小させた状態で、胴体を所定角度回動させ、他方のフィンガに保持された処理済みのワ−クを所定の箇所に受け渡し、一方のフィンガには未処理のワ−クを供給し、その状態で処理が終了するまで待機させ、終了後に同じ動作を繰り返すようにしている。
【０００９】
このようなロボット装置によれば、２つのフィンガの一方は未処理のワ−クを保持した状態で待機しているから、受け渡し時に未処理のワークを供給する場合に比べてワ−クの受け渡し時間を短縮することができる。
【００１０】
しかしながら、ワ−クの受け渡し時間を短縮するために２つのフィンガを備えるようにしている。つまり、実質的には２つのロボット装置によって作業を行うことで、タクトタイムの短縮化を計るようにしている。そのため、ロボット装置が大型化するばかりか、各フィンガを別々の駆動源で駆動しているから、コストも高くなるということがあった。
【００１１】
さらに、１台のロボット装置でワ−クの受け渡しを行う場合に比べれば、タクトタイムを短縮することはできるものの、各フィンガの動きは、ア−ムを縮小させて待機し、ワ−クを受け取るときには伸張させ、受け取り後は再び縮小させるようになっている。その状態で、受け取ったワ−クを所定の部位に受け渡すためには胴体を所定角度回転させなければならない。つまり、フィンガは、ア−ムの伸張や縮小、さらには所定方向への方向変換の各動作を別々（順次）に行わなければならないため、タクトタイムを大幅に短縮するということができなかった。
【００１２】
一方、マルチチャンバ方式によってワ−クを処理する場合、複数の処理チャンバやロ−ドロックチャンバがロボット装置を中心にして周方向に所定間隔で配置されている。つまり、従来のロボット装置は上記公報に示されているように、胴体を回転させてフィンガの方向を変える構成であるため、複数の処理チャンバをロボット装置の周囲に周方向に所定間隔で配置するということが行われていた。
【００１３】
そのため、処理チャンバを周方向に所定の間隔で配置しなければならない構造上、隣り合う処理チャンバ間に無駄なスペ−スが生じるから、全体の配置スペ−スが大きくなるということがあったり、ワ−クを処理チャンバ間で移動させるのにロボットのフィンガを所定方向へ回転させなければならないから、それに時間が掛り、全体のタクトタイムが長くなるなどのことがあった。
【特許文献１】特開平８−２７４１４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
このように、従来のロボット装置は、ワ−クの受け渡し時間を短縮化するために実質的に２つのロボット装置を用いるようにしているから、大型化やコスト高を招くということがあった。しかも、２つのロボット装置を用いることで、ワ−クの受け渡し時間をある程度は短縮することができても、そのロボット装置は種々の動作を順次行う構成であるから、タクトタイムを短縮することができないということがあった。
【００１５】
また、マルチチャンバ方式によってワ−クを処理する場合、複数の処理チャンバはロボット装置を中心にして周方向に所定間隔で配置するようにしているから、隣り合う処理チャンバ間に無駄なスペ−スが生じ、全体のスペ−スが大きくなるということがあったり、ワ−クを処理チャンバ間で移動させる場合、その移動を迅速に行うことができないなどのことがあった。
【００１６】
この発明の目的は、大型化やコスト高を招くことなく、タクトタイムを短縮することができるようにしたロボット装置を提供することにある。
【００１７】
この発明の目的は、無駄なスペ−スが生じることなく、複数の処理チャンバを配置できるようにした処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
請求項１の発明は、ワ−クを受け渡すためのロボット装置において、
トランスファチャンバの底壁に気密に設けられた取付体と、
この取付体に回転自在に設けられたア−ム体と、
このア−ム体を回転駆動する駆動手段と、
上記取付体に設けられ上記ア−ム体の回転中心部に位置した固定プ−リと、
上記ア−ム体の両端部に回転自在に設けられた一対の回転プ−リと、
各回転プ−リに一端部が取り付けられこの回転プ−リとともに回転して上記ワ−クを搬送する一対のフィンガと、
上記固定プ−リと上記回転プ−リとにわたって設けられ上記駆動手段によって上記ア−ム体を回転させたときに上記固定プ−リと回転プ−リとの外径寸法比に応じて上記一対の回転プ−リを回転させる動力伝達手段を具備し、
上記アーム体は、上記一対の回転プーリと固定プーリとを収容した収容空間を有する中空状に形成されていて、
上記駆動手段は駆動源と、一端がこの駆動源に連結され他端が上記アーム体に連結された駆動軸を有し、
上記駆動軸には一端が上記アーム体の上記収容空間に連通し他端がこの駆動軸の外周面に開放した通孔が形成されていて、
この駆動軸の上記通孔の他端が開放した外周面には上記通孔を介して上記収容空間内を減圧する吸引手段が接続され、
上記アーム体にはその収容空間に外気を導入する導入孔が設けられていることを特徴とする。
【００１９】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、上記固定プ−リと上記回転プ−リとの外径寸法比は２：１に設定されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項３の発明は、請求項１の発明において、上記動力伝達手段は、上記一対の回転プーリ及び上記固定プーリに掛け渡されるとともに上記アーム体の回転によって走行させられる無端状のベルトであることを特徴とする。
【００２１】
請求項４の発明は、請求項１の発明において、上記導入孔には外気を上記収容空間に導入する方向に逆止弁が接続されていることを特徴とする。
【００２２】
請求項５の発明は、ワ−クを真空中で処理するための処理装置において、
一側に複数の第１の受け渡し口が並列に形成されたトランスファチャンバと、
このトランスファチャンバの第１の受け渡し口にそれぞれ接続されて並設された複数の処理チャンバと、
上記トランスファチャンバ内の上記第１の受け渡し口と対向する位置にそれぞれ設けられ上記トランスファチャンバの外部から未処理のワ−クが供給されるとともに上記処理チャンバで処理されたワ−クが供給されるトランスファテ−ブルと、
各トランスファテ−ブルと各トランスファテーブルと対向する位置に設けられた各第１の受け渡し口との間にそれぞれ設けられトランスファテ−ブルと処理チャンバとの間でワ−クを受け渡す第１のロボット装置と
を具備したことを特徴とする。
【００２３】
請求項６の発明は、請求項５の発明において、上記第１のロボット装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする。
【００２４】
請求項７の発明は、請求項５の発明において、隣り合うトランスファテ−ブルの間には、これらのトランスファテーブル間でワ−クを受け渡すための第２のロボット装置が設けられていることを特徴とする。
【００２５】
請求項８の発明は、請求項５の発明において、上記トランスファチャンバの上記一側と対向する他側には開閉バルブによって開閉される第２の受け渡し口が形成されていて、
上記開閉バルブは、上記トランスファチャンバの一側と対向する面にＯリングが設けられ上記第２の受け渡し口を開閉する弁体と、この弁体に一端が連結されたアーム体と、このアーム体の他端が連結されアーム体を介して上記弁体を上記第２の受け渡し口に対して接離する方向に直線駆動するとともに、第２の受け渡し口から離れたときに回転駆動する駆動手段とを有することを特徴とする。
【００２６】
請求項９の発明は、請求項８の発明において、上記駆動手段は、シリンダと、このシリンダの軸線方向に移動可能に設けられ空気圧によって上記シリンダの軸線方向に駆動されるとともに上記シリンダから外部に突出した一端に上記アーム体の他端が連結されたピストンロッドと、このピストンロッドの外周面に形成されたガイド溝と、上記シリンダに設けられ上記ガイド溝に係合して設けられ上記ピストンロッドがシリンダ内を軸線方向に駆動されたのに基づきこのピストンロッドを上記ガイド溝の形状に応じて周方向に回転させるガイド軸とを有することを特徴とする。
【００２７】
請求項１０の発明は、請求項８の発明において、上記駆動手段は、シリンダと、このシリンダに軸線方向に移動可能に設けられ空気圧によって軸線方向に駆動されるピストンロッドと、このピストンロッドに一端が回転自在に連結され他端に上記アーム体の他端が連結された連動軸と、この連動軸をスライド自在に支持するとともに内周面にガイド溝が形成された支持体と、上記連動軸に設けられ上記ガイド溝に係合するとともに上記連動軸が上記ピストンロッドと連動して上記シリンダの軸線方向に駆動されたときに上記ガイド溝の形状に応じて上記連動軸を周方向に回転させるカムフォロアとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２８】
請求項１の発明によれば、ア−ム体を回転させることで、このア−ム体に対して相対的に回転する固定プ−リの回転が一対の回転プ−リに伝達されるから、この回転プ−リに設けられたフィンガをア−ム体に対して伸長方向や縮小方向に回転させることができる。
【００２９】
そのため、ア−ム体を回転させてフィンガを方向変換する動作と同時に、フィンガをア−ム体に対して回転させて伸縮させるということが行えるから、ワ−クの受け渡しに要するタクトタイムを短縮化することができる。
【００３０】
請求項２の発明によれば、固定プ−リと回転プ−リとの外径寸法比を２：１に設定することで、ア−ム体の回転角度に対してフィンガを２倍の角度で回転させることができるようにした。
【００３１】
そのため、一対のフィンガを、ア−ム体の回転角度に応じてア−ム体に重なり合う状態と、ア−ム体の長手方向両端から延長線上に突出する状態とに位置決めできるから、一対のフィンガをア−ム体の延長線上に突出する状態に位置決めすることで、一方のフィンガに未処理のワ−クを受け渡し、他方のフィンガに処理済みのワ−クを受け渡す作業を同時に行える。
【００３２】
しかも、一対のフィンガがア−ム体の延長線上に突出する状態からア−ム体を回転させると、上記一対のフィンガはア−ム体に重合する方向に回転するから、ア−ム体の回転スペ−スを小さくすることができる。
【００３３】
請求項３の発明によれば、回転プ−リと固定プ−リとに無端状のベルトを掛け渡すことで、取付体の回転に回転プーリを連動させるようにした。
【００３４】
そのため、簡単な構成で上記アーム体の回転に基づき上記回転プーリを回転させることができる。
【００３５】
請求項４の発明によれば、回転プーリと固定プーリとが収容されたアーム体内の収容空間を吸引手段で減圧するようにした。
【００３６】
そのため、アーム体内で発生する塵埃が外部に飛散してワークに付着するのを防止することができる。
【００３７】
請求項５の発明によれば、トランスファチャンバに対して複数の処理チャンバを並列に接続するようにした。
【００３８】
そのため、トランスファチャンバと複数の処理チャンバとからなる処理装置の配置スペ−スを小さくすることが可能となる。
【００３９】
請求項６の発明によれば、請求項５の処理装置に第１のロボット装置として請求項１のロボット装置を用いるようにした。
【００４０】
そのため、ワ−クの受け渡しを処理チャンバとトランスファテ−ブルに対して同時に行うことができるから、タクトタイムを短くすることができ、しかも処理チャンバ、トランスファテ−ブルおよび第１のロボット装置を一列に配置できるから、そのことによっても複数の処理チャンバを並設して全体の配置スペ−スを小さくすることができるということがある。
【００４１】
請求項７の発明によれば、隣り合うトランスファテ−ブル間に、これらのトランスファテ−ブル間でワ−クを受け渡すことができる第２のロボット装置を設けるようにした。
【００４２】
そのため、第２のロボット装置と第１のロボット装置とを併用することで、ワ−クを一対のトランスファテ−ブルを介して隣り合う処理チャンバ間で受け渡すことができるから、ワ−クを複数の処理チャンバで順次処理することが可能となる。
【００４３】
請求項８の発明によれば、トランスファチャンバに形成された第２の受け渡し口を開閉する弁体を、上記第２の受け渡し口に対して接離する方向に直線駆動するとともにこの接離する方向を中心にして回転駆動するようにした。
【００４４】
そのため、直線運動と回転運動との組み合わせによって上記弁体をトランスファチャンバに対して摺接させることなく開閉することができるから、上記弁体が早期に損耗するのを防止でき、しかも弁体には１つのシリンダによって２つの運動を与えることができるため、構成の簡略化や小型化を計ることができる。
【００４５】
請求項９の発明によれば、ピストンロッドにガイド溝を形成し、このガイド溝にガイド軸を係合させることで、上記ピストンロッドを直線運動させながら回転運動させ、この運動にピストンロッドに連結された弁体を連動させるようにした。
【００４６】
そのため、弁体には１つのシリンダによって２つの運動を与えることができるから、構成の簡略化や小型化を計ることができる。
【００４７】
請求項１０の発明によれば、ピストンロッドの軸方向の動きに連動軸を連動させ、この連動軸に設けられたカムフォロアを上記連動軸を支持した支持体に形成されたガイド溝に係合させることで、この連動軸に連結された弁体を直線運動及び回転運動させるようにした。
【００４８】
そのため、弁体には１つのシリンダによって２つの運動を与えることができるから、構成の簡略化や小型化を計ることができ、しかもピストンロッドは直線運動させるだけで、連動軸を直線運動及び回転運動させることができるため、ピストンロッドを直接回転運動させる場合に比べて耐摩耗性や剛性などの向上を計ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００５０】
図１乃至図１８はこの発明の第１の実施の形態で、図５に示す処理装置は内部が減圧されるトランスファチャンバ１を有する。このトランスファチャンバ１の一側壁には複数、この実施の形態では２つの第１の受け渡し口２が並列に形成されていて、各受け渡し口２には第１の処理チャンバ３ａと第２の処理チャンバ３ｂとがその内部空間を連通させて接続されている。つまり、第１の処理チャンバ３ａと第２の処理チャンバ３ｂとはトランスファチャンバ１の一側壁外面に並設されている。
【００５１】
なお、各第１の受け渡し口２はそれぞれ内部バルブ４によって開閉されるようになっている。
【００５２】
上記トランスファチャンバ１内には、一方の第１の受け渡し口２と対向する位置に第１のトランスファテ−ブル５ａが設けられ、他方の第１の受け渡し口２と対向する位置に第２のトランスファテ−ブル５ｂが設けられている。一対のトランスファテ−ブル５ａ、５ｂは上下駆動されるとともに、各テ−ブルの盤面の中央部分にはそれぞれ上下駆動される３本の押上げピン６が設けられている。
【００５３】
各押上げピン６は通常下降位置にあり、トランスファテ−ブル５ａ、５ｂ上に後述するように供給されたワ−クとしての半導体ウエハＵを受け渡すときに、上記押上げピン６が上昇駆動される。それによって、半導体ウエハＵはトランスファテ−ブル５ａ、５ｂの盤面から所定寸法上昇させられるようになっている。
【００５４】
上記トランスファチャンバ１の上部壁の、上記第１、第２のトランスファテ−ブル５ａ，５ｂに対向する部分には、図６と図７に示すようにトランスファチャンバ１の内部空間に連通するロ−ドロックチャンバ７が形成されている。
【００５５】
各ロ−ドロックチャンバ７は上記各トランスファテ−ブル５ａ，５ｂが上昇方向に駆動されることで、このテ−ブル５ａ，５ｂによってトランスファチャンバ１の内部空間と気密に隔別されるようになっている。さらに、上記ロ−ドロックチャンバ７の一側壁には第２の受け渡し口８が形成され、この受け渡し口８は開閉バルブ９によって開閉されるようになっている。
【００５６】
上記開閉バルブ９は、図８に示すように上記第２の受け渡し口８の開口面積よりも大きな面積を有する矩形状をなした帯板状の弁体１０１を備えている。この弁体１０１の上記ロードロックチャンバ７の外壁面に接合する一側面には図示しない環状のアリ溝が形成され、このアリ溝にはＯリング１０２が径方向の一部を一側面から突出させて脱落しないよう取着されている。
【００５７】
上記弁体１０１の他側面の長手方向中途部には帯状のアーム体１０３の一端部が取付板１０３ａを介在させて連結固定されている。このアーム体１０３は上記ロードロックチャンバ７の側方に配置された駆動手段１０４によって駆動されるようになっている。なお、アーム体１０３と弁体１０１だけでも、同様の機能が果たせれば取付板１０３ａがなくてもよい。
【００５８】
上記駆動手段１０４は図９に示すようにシリンダ１０５を備えている。このシリンダ１０５内には外周面にピストンパッキン１０６が設けられたピストン１０７がスライド自在に収容されている。このピストン１０７にはピストンロッド１０８の一端が連結固定されている。
【００５９】
上記ピストンロッド１０８の他端側は上記シリンダ１０５の一端側の開口部に取着された筒状のロッドカバー１０９に通されて外部に突出している。このロッドカバー１０９の内周面にはロッドパッキン１１０が設けられ、このロッドカバー１０９と上記ピストンロッド１０８との間の気密を維持している。
【００６０】
上記ピストンロッド１０８の上記シリンダ１０５内に位置する部分の外周面にはガイド溝１１１が形成されている。図１０はガイド溝１１１の展開図で、このガイド溝１１１はピストンロッド１０８の軸線に平行な直線部１１１ａと、この直線部１１１ａの一端に連続し上記ピストンロッド１０８の周方向に沿う傾斜部１１１ｂとからなる。
【００６１】
上記シリンダ１０５には上記ガイド溝１１１に係合するガイド軸１１２が気密に捩じ込まれている。したがって、ピストンロッド１０８は上記ガイド溝１１１がガイド軸１１２にガイドされて駆動されるようになっている。
【００６２】
上記シリンダ１０５には上記ピストン１０７の一側面側と他側面側に対して圧縮空気を供給排出する第１のポート１１３と第２のポート１１４が形成されている。各ポート１１３，１１４は流路１１３ａ，１１４ａを介してシリンダ１０５の内部に連通している。
【００６３】
図９に示すようにピストン１０７が後退限の位置において、第１のポート１１３から圧縮空気が供給されると、その圧縮空気は流路１１３ａからシリンダ１０５の内底部に形成された環状溝１１５に流入する。したがって、上記ピストン１０７は同図に矢印Ｘで示す前進方向へ駆動される。
【００６４】
上記ピストン１０７が前進限まで駆動された状態において、第２のポート１１４から圧縮空気が供給されると、上記ピストン１０７は矢印Ｘとは逆方向である後退方向へ駆動される。
【００６５】
ピストン１０７の動きにはピストンロッド１０８が連動する。上記ピストン１０７が後退限から矢印Ｘ方向へ駆動されると、ガイド軸１１２がガイド溝１１１の直線部１１１ａを経て傾斜部１１１ｂへ至る。したがって、ピストンロッド１０８は、ガイド軸１１２がガイド溝１１１の直線部１１１ａを移動するときには直線駆動され、傾斜部１１１ｂを移動するときには回転駆動も直線運動に付加される。上記ピストンロッド１０８には上記アーム体１０３の他端が継手１１６を介して接続される。
【００６６】
したがって、上記ピストンロッド１０８にアーム体１０３を介して連結された弁体１０１は上記ピストンロッド１０８の動きに連動するようになっている。なお、図８中１１８は吸引管１１７が接続されたダストカバーで、このダストカバー１１８は上記ロッドカバー１０９を覆い、この部分で発生する塵埃を排出するようになっている。
【００６７】
図１１（ａ），（ｂ）及び図１２（ｃ）〜（ｅ）に上記ピストンロッド１０８の動きに連動する弁体１０１の動きを示す。つまり、図１１（ａ）はピストン１０７が後退限の状態で、この状態では弁体１０１はロードロックチャンバ７の第２の受け渡し口８を気密に閉塞している。上記ピストン１０７が後退限からピストンロッド１０８がガイド溝１１１の直線部１１１ａによって直線駆動されている間は、図１１（ｂ）に示すように上記弁体１０１が上記第２の受け渡し口８から平行に離反する方向へ駆動される。
【００６８】
上記ピストンロッド１０８がガイド溝１１１の傾斜部１１１ｂによって回転されながら前進限まで駆動されると、上記弁体１０１は図１２（ｃ），（ｄ），（ｅ）に示すように下方向へ回動し、上記第２の受け渡し口８の前方から退避することになる。したがって、上記第２の受け渡し口８を介してロードロックチャンバ７に対し半導体ウエハＵを出し入れすることが可能となる。
【００６９】
上記ピストンロッド１０８を前進限から後退限まで駆動すれば、上記弁体１０１は先程とは逆に動作して上記第２の受け渡し口８を気密に閉塞することになる。
【００７０】
このように、弁体１０１を直線運動および回転運動させることで、第２の受け渡し口８を開閉させるようにしたことで、開放時及び閉塞時に上記弁体１０１に設けられたＯリング１０２がロードロックチャンバ７の壁面に擦られることがないから、早期に損傷するのを防ぐことができる。
【００７１】
また、上記弁体１０１の上下方向及び前後方向の駆動を１つのシリンダ１０５からなる駆動手段１０４によって行うことができるから、構成の簡略化や小型化を図ることができる。
【００７２】
上記トランスファチャンバ１内の各第１の受け渡し口２と各トランスファテ−ブル５ａ、５ｂの間にはそれぞれ第１のロボット装置１１が配置されている。この第１のロボット装置１１は図１に示すように上記トランスファチャンバ１の底壁に形成された取付孔１ａにＯリング１２を介して気密に嵌入固定された取付体１３を有する。この取付体１３の下面側には連結ロッド１４によって駆動源１５が取り付けられている。この駆動源１５はモ−タ１５ａと減速機１５ｂとが一体化されてなる。
【００７３】
上記駆動源１５の出力軸１６には駆動軸１７がカップリング１８を介して接続されている。この駆動軸１７は、上記取付体１３に穿設された通孔１９に軸受２１によって回転自在に支持され、先端部を上記トランスファチャンバ１内に突出させている。なお、駆動軸１７は上端側に向かうにつれて段階的に大径に形成されている。
【００７４】
駆動軸１７のトランスファチャンバ１内に突出した先端部は、押え部材２２に形成された通孔２３に回転自在かつ気密に挿通されている。この押え部材２２の下部にはフランジ２４が形成され、このフランジ２４は上記取付体１３の上面に接合されてねじ２５によって固定されている。
【００７５】
上記駆動軸１７の上記押え部材２２の通孔２３から突出した先端にはア−ム体３１の長手方向中央部が連結固定されている。つまり、ア−ム体３１は下ケ−ス３２と上ケ−ス３３とを接合してなり、これらの接合面間には収納空間３４が形成されている。
【００７６】
下ケ−ス３２の中央部分には通孔３５が穿設され、この通孔３５には上記押え部材２２の上端部が軸受３５ａによって回転自在に支持されている。上記押え部材２２に支持された上記駆動軸１７の先端部は上記収納空間３４に突出している。そして、駆動軸１７の先端面は上ケ−ス３３の内面に接合され、この接合部分がねじ３６によって固定されている。
【００７７】
上記収納空間３４に突出した押え部材２２の先端部には固定プ−リ３８が取り付け固定されている。つまり、固定プ−リ３８はア−ム体３１の長手方向中央部に位置している。
【００７８】
上記収納空間３４の長手方向一端部内には第１の回転プ−リ４１が回転自在に設けられ、他端部内には第２の回転プ−リ４２が回転自在に設けられている。一対の回転プ−リ４１、４２と固定プ−リ３８とには動力伝達手段としての無端状のタイミングベルト４３が掛け渡されている。固定プ−リ３８と各回転プ−リ４１、４２との間にはそれぞれ調整板４４に取り付けられた一対のテンションロ−ラ４５が所定の間隔で設けられている。上記調整板４４はア−ム体３１の長手方向に沿って位置調整できる。それによって、上記一対のテンションロ−ラ４５により上記タイミングベルト４３のテンションを調整できるようになっている。
【００７９】
上記固定プ−リ３８と回転プ−リ４１、４２との歯数比（外径寸法比）は２対１に設定されている。それによって、固定プ−リ３８と回転プ−リ４１、４２とが後述するように相対的に回転する場合、これらの回転比は２対１となる。
【００８０】
各回転プ−リ４１、４２の上面には取付軸４１ａ、４２ａが突設されている。各取付軸４１ａ、４２ａは上ケ−ス３３から外部へ突出している。第１の回転プ−リ４１の取付軸４１ａには第１のフィンガ４７が取り付けられ、第２の回転プ−リ４２の取付軸４２ａには第２のフィンガ４８が取り付けられている。
【００８１】
第１の回転プ−リ４１の取付軸４１ａは第２の回転プ−リ４２の取付軸４２ａよりも短く設定されている。それによって、第１のフィンガ４７は第２のフィンガ４８よりも高さ位置が低くなっている。
【００８２】
第１のフィンガ４７と第２のフィンガ４８との高さ位置を違えたことで、各フィンガ４７、４８が図４に示すようにア−ム体３１の長手方向の延長線上に位置する状態から９０度回転して図５に示すようにア−ム体３１上に位置しても、これらフィンガ４７、４８はぶつからずに、上下方向に所定間隔で離間対向位置することになる。
【００８３】
なお、図２に示すように上記ア−ム体３１の上ケ−ス３３には一対の蓋板４９が開閉自在に設けられ、この蓋板４９を取り外すことで、収納空間３４を点検できるようになっている。
【００８４】
図１及び図１３に示すように、上記駆動軸１７には、その軸方向に沿って通孔６１が形成されている。上記駆動軸１７の外周面の上記通孔６１の下端部に対応する部分には周回溝６２が形成されている。この周回溝６２と上記通孔６１とは駆動軸１７の径方向に沿って形成された下部開放孔６３によって連通している。上記通孔６１の上端は駆動軸１７の上端面に開放し、この上端面には径方向に上部開放溝６４が形成されている。この上部開放溝６４によって上記通孔６１がアーム体３１の収容空間３４に連通している。
【００８５】
なお、この実施の形態では、下部開放孔６３と上部開放溝６４を複数形成したが、これらは１つであっても差し支えない。
【００８６】
上記駆動軸１７の周回溝６２の部分には円筒状のハウジング６５が回転自在かつＯリング６６を介して気密に設けられている。このハウジング６５には上記周回溝６２に連通した吸引孔６７が形成されている。この吸引孔６７には吸引ポンプ６８の吸引側が吸引チューブ６９を介して接続されている。吸引ポンプ６８からの排出空気は排気チューブ７１によって所望の個所、たとえばロボット装置１１が配設されたトランスファチャンバ1の外部に排出されるようになっている。
【００８７】
なお、上記ハウジング６５は連結部材６５ａによって上記連結ロッド１４に連結固定されている。
【００８８】
図３に示すように、上記アーム体３１の側部にはその収容空間３４を外部に連通させる導入孔７２が形成されている。この導入孔７２には逆止弁７３が外気を収容空間３４に導入することができる方向で接続されている。
【００８９】
したがって、上記吸引ポンプ６８が作動して収容空間３４が減圧されると、逆支弁７３から収容空間３４に外気が導入され、上記通孔６１を通じて排気チューブ７１からトランスファチャンバ1の外部に排出されるようになっている。
【００９０】
それによって、ロボット装置１１が作動することで固定プーリ３８、回転プーリ４２あるいはテンションローラ４５がタイミングベルト４３と摺動して発生する塵埃や上記回転プーリ４２の回転部分から発生する塵埃がアーム体３１の収容空間３４からトランスファチャンバ1内に流出するのが防止されるようになっている。
【００９１】
上記構成の第１のロボット装置１１によると、駆動源１５を作動させて駆動軸１７を回転させると、その回転にア−ム体３１が連動する。図３において、ア−ム体３１が矢印Ａ方向に回転すると、固定プ−リ３８は回転しないから、タイミングベルト４３は矢印Ｂ方向に走行する。それによって、一対の回転プ−リ４１、４２は矢印Ｃ方向に回転するから、この回転に一対のフィンガ４７、４８が連動する。
【００９２】
一対のフィンガ４７、４８がア−ム体３１上で上下方向に離間して重合位置した状態を、このア−ム体３１の回転角度が０度の状態とする。ア−ム体３１を回転角度０度から矢印Ａ方向へ９０度回転させれば、一対のフィンガ４７、４８は１８０度回転するから、ア−ム体３１の長手方向延長線上に位置することになる。つまり、一対のフィンガ４７、４８はア−ム体３１の両端から突出し、ア−ム体３１と一直線となる。
【００９３】
一方、上記トランスファチャンバ１内の上記第１のトランスファテ−ブル５ａと第２のトランスファテ−ブル５ｂとの間には、図５に示すように第２のロボット装置５１が配設されている。この第２のロボット装置５１は、図５に示すように基部５２を有し、この基部５２から突設された駆動軸５３にフィンガ５４の基端部が連結されている。このフィンガ５４は図５に矢印で示す範囲、つまり、第１のトランスファテ−ブル５ａ上に位置する状態と、第２のトランスファテ−ブル５ｂ上に位置する状態との間で回転駆動されるようになっている。
【００９４】
なお、フィンガ５４の高さは、トランスファテ−ブル５ａ、５ｂの上面よりも高く、第１のロボット装置１１の第１のフィンガ４７よりも低い位置に設定されている。それによって、トランスファテ−ブル５ａ、５ｂ上に第１のフィンガ４７が位置する状態で、このテ−ブル５ａ、５ｂと第１のフィンガ４７との間に入り込むことができるようになっている。
【００９５】
つぎに、上記構成の処理装置によって半導体ウエハＵを処理する場合について図１４乃至図１８を参照して説明する。図１４（ａ）は待機状態であり、この待機状態においては第１のトランスファテ−ブル５ａは下降しており、一対の第１のロボット装置１１は各ア−ム体３１が０度の回転角度にある。さらに、第２のロボット装置５１はフィンガ５４を一対のトランスファテ−ブル５ａ、５ｂの中間に位置させている。
【００９６】
このような状態で、まず図１４（ｂ）に示すように第１のトランスファテ−ブル５ａが上昇駆動されて図６に示すように一方のロ−ドロックチャンバ７を密閉すると、開閉バルブ９が作動して第２の受け渡し口８を開放し、この第２の受け渡し口８から第１のトランスファテ−ブル５ａ上に未処理の半導体ウエハＵ１が供給される。半導体ウエハＵ１が供給されると、押上げピン６が上昇駆動され、開閉バルブ９が作動し、第２の受け渡し口８を気密に閉塞する。
【００９７】
つぎに、図１４（ｃ）に示すように上記第１のトランスファテ−ブル５ａは下降する。これにより、半導体ウエハＵ１が第１のトランスファテ−ブル５ａの上面から浮いた状態で保持される。
【００９８】
ついで、図１５（ｄ）に示すように第１のトランスファテ−ブル５ａ側に配置された第１のロボット装置１１のア−ム体３１を０度の状態から９０度の状態に回転駆動する。それと同時に、第１の処理チャンバ３ａ側の内部バルブ４を作動させ、第１の受け渡し口２を開放する。
【００９９】
ア−ム体３１の回転によって一対のフィンガ４７、４８はア−ム体３１の回転速度の２倍の回転速度で回転する。それによって、ア−ム体３１が９０度回転すると、一対のフィンガ４７、４８は１８０度回転するから、第１のフィンガ４７は第１のトランスファテ−ブル５ａ上で持ち上げられて保持されている半導体ウエハＵ１の下面に入り込み、第２のフィンガ４８は受け渡し口２から第１の処理チャンバ３ａ内に入り込む。第１のフィンガ４７が半導体ウエハＵ１の下側に入り込むと、押上げピン６が下降して半導体ウエハＵ１が第１のフィンガ４７に受け渡される。
【０１００】
ついで、図１５（ｅ）に示すように、ア−ム体３１を図１５（ｄ）に示す状態から１８０度回転させる。それによって、半導体ウエハＵ１を保持した第１のフィンガ４７が第１の処理チャンバ３ａに入り込むから、未処理の半導体ウエハＵ１が第１の処理チャンバ３ａに受け渡される。
【０１０１】
図１５（ｅ）に示す工程において、ア−ム体３１を１８０度回転させると、一対のフィンガ４７，４８は３６０度回転するから、その回転の途中でア−ム体３１の上面で行き違うが、これらフィンガ４７，４８は異なる高さに設定されているため、ぶつかることがない。
【０１０２】
半導体ウエハＵ１を第１の処理チャンバ３ａに受け渡した後、図１５（ｆ）に示すようにア−ム体３１は回転角度が０度の状態となる。つまり、ア−ム体３１は初期状態となる。
【０１０３】
半導体ウエハＵ１が第１の処理チャンバ３ａで処理されている間に、第１のトランスファテ−ブル５ａ上にはつぎの未処理の半導体ウエハＵ２が供給される。この状態を図１６（ｇ）に示す。
【０１０４】
半導体ウエハＵ１の処理が終了すると、図１６（ｈ）に示すように第１のトランスファテ−ブル５ａの押上げピン６が上昇駆動されて半導体ウエハＵ２が持ち上げられ、図１６（ｉ）に示すようにア−ム体３１が９０度回転駆動される。それによって、第１のフィンガ４７が第１のトランスファテ−ブル５ａ上の半導体ウエハＵ２を受け取り、第２のフィンガ４８が第１の処理チャンバ３ａ内に入り込んで、ここで処理された半導体ウエハＵ１を受け取る。
【０１０５】
それぞれのフィンガ４７、４８が半導体ウエハＵ１，Ｕ２を受け取ると、図１７（ｊ）に示すようにア−ム体３１が１８０度回転するのに基づき、第２のロボット装置５１のフィンガ５４が第１のトランスファテ−ブル５ａ上へ回転し、第２のフィンガ４８の下側に位置する。
【０１０６】
その状態で第１のトランスファテ−ブル５ａの押上げピン６が上昇し、第２のフィンガ４８に保持された処理ずみの半導体ウエハＵ１が第１のトランスファテ−ブル５ａに受け渡される。また、第１のフィンガ４７に保持された未処理の半導体ウエハＵ２は第１の処理チャンバ３ａに受け渡される。
【０１０７】
ついで、図１７（ｋ）に示すように第１のロボット装置１１のア−ム体３１が０度の角度に回転されるとともに、第１のトランスファテ−ブル５ａの押上げピン６が下降して半導体ウエハＵ１が第２のロボット装置５１のフィンガ５４に受け渡される。
【０１０８】
半導体ウエハＵ１を受け取ると、図１７（ｌ）に示すようにフィンガ５４は第２のトランスファテ−ブル５ｂ上へ回動し、ついでこのテ−ブル５ｂの押上げピン６が上昇して半導体ウエハＵ１が受け渡される。
【０１０９】
ついで、図１８（ｍ）に示すように第２のトランスファテ−ブル５ｂ側、つまり第２の処理チャンバ３ｂ側の第１のロボット装置１１のア−ム体３１が０度の状態から９０度回転し、その第１のフィンガ４７が半導体ウエハＵ１の下側と第２のロボット装置５１のフィンガ５４の上側との間に入り込む。そして、押上げピン６が下降することで、第１の処理チャンバ３ａで処理された半導体ウエハＵ１が第１のフィンガ４７に受け渡される。
【０１１０】
第１のフィンガ４７が半導体ウエハＵ１を受け取ると、図１８（ｎ）に示すようにア−ム体３１が１８０度回転する。この回転に基づき第２の処理チャンバ３ｂに連通する第１の受け渡し口２が開放される。それによって、半導体ウエハＵ１を保持した第１のフィンガ４７が第２の処理チャンバ３ｂ内に入り込むから、第１の処理チャンバ３ａで処理された半導体ウエハＵ１が第２の処理チャンバ３ｂに受け渡される。
【０１１１】
半導体ウエハＵ１を第２の処理チャンバ３ｂに受け渡すと、ア−ム体３１は図１８（ｏ）に示すように９０度回転して待機状態となる。その間に、半導体ウエハＵ１は第２の処理チャンバ３ｂでさらに処理されることになる。
【０１１２】
半導体ウエハＵ１が第２の処理チャンバ３ｂで処理され終わると、第２の処理チャンバ３ｂ側の第１のロボット装置１１によって取り出されて第２のトランスファテ−ブル５ｂへ渡される。
【０１１３】
半導体ウエハＵ１が第２のトランスファテ−ブル５ｂに受け渡されると、このテ−ブル５ｂがロ−ドロックチャンバ７を密閉する状態に上昇する。ついで、開閉バルブ９が駆動されて第２の受け渡し口８が開放され、この第２の受け渡し口８から半導体ウエハＵ１が外部に搬出されることになる。
【０１１４】
このような処理装置によれば、上述したように第１のロボット装置１１はア−ム体３１の回転による方向変換と同時に一対のフィンガ４７、４８が回転、つまりア−ム体３１に対して回転して伸縮する。
【０１１５】
そのため、半導体ウエハＵを所定の部位から受け取り、所定の部位へ受け渡す場合のタクトタイムを短縮することができる。
【０１１６】
ア−ム体３１と一対のフィンガ４７、４８との回転比は１：２に設定されている。そのため、ア−ム体３１の回転角度が０度のときに、一対のフィンガ４７、４８がア−ム体３１上に重合するよう位置決めすれば、ア−ム体３１を９０度回転させれば、一対のフィンガ４７、４８をア−ム体３１の長手方向の延長線上にア−ム体３１と一直線となるよう位置させることができる。その状態からア−ム体３１を１８０度回転させると、一対のフィンガ４７、４８の位置を逆にしてこれらフィンガ４７、４８をア−ム体３１の長手方向の延長線上に位置させることができる。
【０１１７】
したがって、一対のフィンガ４７、４８のどちらか一方で半導体ウエハＵを所定の部位から受け取り、他方で所定の部位へ受け渡すことができる。
【０１１８】
しかも、一対のフィンガ４７、４８がア−ム体３１の長手方向の延長線上に位置する状態から上記ア−ム体３１を回転角度が０度になる方向へ回転させると、上記フィンガ４７、４８はア−ム体３１に重合する方向に回転するから、ア−ム体３１を回転させるときに要する回転半径を小さくすることができる。
【０１１９】
一方、トランスファチャンバ１には２つの受渡し口２を並設し、これら受け渡し口２にそれぞれ処理チャンバ３ａ、３ｂを連通させて配置した。つまり、２つの処理チャンバ３ａ、３ｂを並設するようにした。
【０１２０】
そのため、従来のようにロボット装置を中心にして複数の処理チャンバを周方向に所定間隔で配置する場合に比べて全体の配置スペ−スを小さくすることができる。
【０１２１】
しかも、各処理チャンバ３ａ、３ｂと各トランスファテ−ブル５ａ、５ｂとの間にそれぞれ第１のロボット装置１１を配置した。それによって、各トランスファテ−ブル５ａ、５ｂに対する半導体ウエハＵの受け渡しと、各処理チャンバ３ａ、３ｂに対する半導体ウエハＵの受け渡しとを同期させて行うことができるから、タクトタイムを短縮することができる。
【０１２２】
さらに、一対のトランスファテ−ブル５ａ、５ｂの間に第２のロボット装置５１を配置し、これらテ−ブル５ａ、５ｂ間で半導体ウエハＵを受け渡すことができるようにした。そのため、第１の処理チャンバ３ａで処理された半導体ウエハＵを第１、第２のトランスファテ−ブル５ａ、５ｂを介して第２の処理チャンバ３ｂへ供給することができるから、半導体ウエハＵに２つの処理を連続して行うことが可能となる。
【０１２３】
上記第１の実施の形態では一対のトランスファテ−ブル５ａ、５ｂの間に第２のロボット装置５１を配置し、第１の処理チャンバ３ａで処理された半導体ウエハＵをさらに第２の処理チャンバ３ｂで処理する場合について説明したが、半導体ウエハＵに２つの処理を連続して行う必要がない場合には、第１の処理チャンバ３ａ側と第２の処理チャンバ３ｂ側とを並列に使用すればよい。
【０１２４】
また、並設される処理チャンバの数は２つに限定されず、３つ以上であってもよい。
【０１２５】
さらに、第１のロボット装置１１において、図示しないが固定プ−リ３８を上下二段のプ−リ部に形成し、一方のプ−リ部と一方の回転プ−リ４１とに無端状の第１のタイミングベルトを掛け渡し、他方のプ−リ部と他方の回転プ−リ４２とに無端状の第２のタイミングベルトを掛け渡すようにしても、ア−ム体３１を回転させることで一対の回転プ−リ４１、４２を回転させることができる。
【０１２６】
図１９乃至図２１はこの発明の第２の実施の形態を示す。この第２の実施の形態は開閉バルブ９を駆動する駆動手段の変形例で、この駆動手段１０４Ａは図１９に示すようにシリンダ１３１を有する。このシリンダ１３１は空気圧によって直線駆動されるピストンロッド１３２を有し、このピストンロッド１３２の上記シリンダ１３１から突出した一端部には連結部材１３３の一端部が取り付けられている。
【０１２７】
上記シリンダ１３１の下方には支持体１３４が配置されている。この支持体１３４には挿通孔１３５が軸方向に貫通して形成されている。この挿通孔１３５には連動軸１３６が上記挿通孔１３５の軸方向両端部に設けられたブッシュ１３７によって回転自在かつ軸方向にスライド自在に支持されている。
【０１２８】
上記連動軸１３６は、一端部が上記連結部材１３３の他端部に軸受１３７を介して回転自在に連結され、他端部には開閉バルブ９の弁体１０１とアーム体１０３との一端部が連結されている。
【０１２９】
上記連動軸１３６の上記支持体１３４内に位置する中途部の外周面には図２０に示すようにカムフォロア１３８が回転自在に設けられている。このカムフォロア１３８は上記支持体１３４の周壁を厚さ方向に貫通して形成されたカム溝１３９に転動自在に係合している。
【０１３０】
図２１は上記支持体１３４の側面図で、上記カム溝１３９は傾斜部１３９ａの両端部にそれぞれ所定長さの直線部１３９ｂが形成されてなる。したがって、上記ピストンロッド１３２が駆動され、その動きに連動軸１３６が連動すると、カムフォロア１３８がカム溝１３９に沿って転動する。
【０１３１】
それによって、上記連動軸１３６は直線運動と回転運動をし、その運動にアーム体１０３を介して弁体１０１を連動させることになるから、この弁体１０１によって第２の受け渡し口８が開閉されることになる。なお、カム溝１３９は第１の実施の形態に示す形状であってもよい。
【０１３２】
この実施の形態では、ピストンロッド１３２の直線運動に連動軸１３６を連動させるとともに、この連動軸を支持した支持体１３４にカム溝１３９を形成し、このカム溝１３９に上記連動軸１３６に設けられたカムフォロア１３８を係合させるようにした。
【０１３３】
そのため、上記第１の実施の形態のようにピストンロッド１３２にカム溝１３９を形成せずにすむから、ピストンロッド１３２の剛性を低下させることがなく、しかも回転自在に支持された連動軸１３６を回転させるようにしたため、ピストンロッド１３２を回転させる場合に比べてその回転、つまり弁体１０１の回転を円滑に行うことが可能となる。
【０１３４】
図２２はこの発明の第３の実施の形態で、この実施の形態は開閉バルブ９を駆動する構造の変形例である。なお、第１の実施の形態と同一部分には同一記号を付して説明を省略する。
【０１３５】
すなわち、弁体１０１が連結されるアーム体１０３Ａは、第１の実施の形態よりも長尺に形成され、その中途部が駆動手段１０４のピストンロッド（図２２には図示されていない）に連結されている。このアーム体１０３Ａの一端部には弁体１０１が取付板１０３ａを介して取り付けられ、他端部は上記弁体１０１が第２の受け渡し口９を閉塞した状態で、駆動手段１０４の側方に配置されたダミーロード１４１に当接するようになっている。なお、この他端部の当接面には弁体１０１に取着されるＯリング１０２と断面形状が同じ径のＯリング１４２が設けられている。つまり、アーム体１０３Ａの他端部は、弁体１０１が第２の受け渡し口８を閉塞する条件に近い条件でダミーロード１４１に当接するようになっている。
【０１３６】
このように、アーム体１０３Ａの他端部をダミーロード１４１に当接させるようにしたことで、弁体１０１をロードロックチャンバ７に当接させて第２の受け渡し口８を閉塞した状態において、その当接によってアーム体１０３Ａの他端部に生じる反力が上記ダミーロード１４１によって吸収される。それによって、上記アーム体１０３Ａの一端部側が反るのが阻止されるから、弁体１０１による第２の受け渡し口８の密閉状態が損なわれるのが防止される。
【０１３７】
図２３はこの発明の第４の実施の形態で、この実施の形態は２つのロードロックチャンバ７が並設されている場合に有効な構成である。つまり、一対のロードロックチャンバ７の間に１つの駆動手段１０４を配置する。この駆動手段１０４のピストンロッド（図２３には図示されていない）にはアーム体１０３Ｂの中途部が連結固定されている。このアーム体１０３Ｂには取付板１０３ｂを介して、２つのロードロックチャンバ７の２つの第２の受け渡し口８を同時に閉塞できる長さ寸法に形成された弁体１０１Ａが取り付けられている。つまり、弁体１０１Ａはその長手方向一端側が一方の第２の受け渡し口８を閉塞し、他端側が他方の第２の受け渡し口８を閉塞するようになっている。
【０１３８】
したがって、一対の第２の受け渡し口８が閉塞された状態において、弁体１０１Ａの一端側と他端側とには逆方向の反力が発生するから、この弁体１０１Ａの一端側と他端側とによる第２の受け渡し口8の閉塞状態が損なわれるのが防止されるようになっている。
【０１３９】
図２４はこの発明の第５の実施の形態で、この実施の形態は駆動手段１０４のピストンロッド１０８に一端が連結されたアーム体１０３Ｃの他端部にばね作用を呈する切り欠きばね部１５１を形成する。このアーム体１０３Ｃの他端部にはばね作用を呈する帯状連結部材１５２の一端部の一側面に形成された第1の凸部１５３ａを連結固定する。上記帯状連結部材１５２の他端部の他側面には第２の凸部１５３ｂが形成され、この第2の凸部１５３ｂに弁体１０１の中途部が連結固定されている。
【０１４０】
上記弁体１０１のロードロックチャンバ７に接合する一側面にはアリ溝１５４が環状に形成され、このアリ溝１５４にはＯリング１０２が脱落しないように保持されている。
【０１４１】
上記切り欠きばね部１５１、帯状連結部材１５２及び弁体１０１の長手方向の中心Ｃは一致するように位置決めされ、上記帯状連結部材１５２の他端部は上記弁体１０１の長手方向中心部より一端側（ピストンロッド１０８側）にずれた位置に連結されている。
【０１４２】
このような構成によれば、上記弁体１０１がロードロックチャンバ７の外壁に押し当てられて第２の受け渡し口８を閉塞すると、弁体１０１からの反力が帯状連結部材１５２とアーム体１０３Ｃとに伝達される。
【０１４３】
帯状連結部材１５２とアーム体１０３Ｃとに加わる反力は等しく、各々のばね定数が等しいとき、帯状連結部材１５２とアーム体１０３Ｃの反り（変形）は等しくなる。これによって、反力による弁体１０１の閉塞口に対する平行度が保たれ、上記弁体１０１が反って第２の受け渡し口８の閉塞状態が損なわれるのが防止される。
【０１４４】
この第５の実施の形態において、アーム体１０３Ｃの端部に切り欠きばね部１５１を形成したが、アーム体１０３Ｃをばね鋼板で形成することで、全長にわたってばね作用を持たせるようにしてもよい。つまり、アーム体１０３Ｃには、その少なくとも帯状連結部材１５２が連結される端部側にばね作用を有する構成であればよい。しかも、アーム体１０３Ｃに切り欠きばね部１５１を一体形成したことで、通常のフローティング機構のように摺動部分がないから、ゴミなどのパーティクルの発生のないフローティング機構を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０１４５】
【図１】この発明の一実施の形態を示す第１のロボット装置の一部断面した正面図。
【図２】同じくア−ム体の平面図。
【図３】同じくア−ム体の上ケ−スを除去して内部構造を示した平面図。
【図４】同じく第１のロボット装置の斜視図。
【図５】同じく処理装置のロードロックチャンバの部分を除去した概略的構成を示す斜視図。
【図６】同じくトランスファチャンバの縦断面図。
【図７】同じくトランスファチャンバの外観を示す斜視図。
【図８】同じく開閉バルブの分解斜視図。
【図９】同じく駆動手段であるシリンダの縦断面図。
【図１０】同じくピストンロッドに形成されたガイド溝の展開図。
【図１１】（ａ），（ｂ）は開閉バルブの動作を示す斜視図。
【図１２】（ｃ）〜（ｅ）は開閉バルブの動作を示す斜視図。
【図１３】同じくロボット装置の駆動軸に形成された通孔を説明する断面図。
【図１４】（ａ）〜（ｃ）は同じく処理装置の動作の説明図。
【図１５】（ｄ）〜（ｆ）は同じく処理装置の動作の説明図。
【図１６】（ｇ）〜（ｉ）は同じく処理装置の動作の説明図。
【図１７】（ｊ）〜（ｌ）は同じく処理装置の動作の説明図。
【図１８】（ｍ）〜（ｏ）は同じく処理装置の動作の説明図。
【図１９】この発明の第２の実施の形態を示す開閉バルブの駆動手段の断面図。
【図２０】同じく支持体の断面図。
【図２１】同じく支持体に形成されたカム溝を展開して示す支持体の側面図。
【図２２】この発明の第３の実施の形態を示すロードロックチャンバの斜視図。
【図２３】この発明の第４の実施の形態を示すロードロックチャンバの斜視図。
【図２４】この発明の第５の実施の形態の弁体の駆動手段の概略的構成を示す平面図。
【符号の説明】
【０１４６】
１…トランスファチャンバ、２…受渡し口、３ａ、３ｂ…処理チャンバ、５ａ、５ｂ…トランスファテ−ブル、１１…第１のロボット装置、１３…取付体、１５…駆動源（駆動手段）、３１…ア−ム体、３８…固定プ−リ、４１、４２…回転プ−リ、４３…タイミングベルト（動力伝達手段）、４７、４８…フィンガ、５１…第２のロボット装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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