(57)【要約】【課題】  半導体装置の製造に際して使用するクリーンルーム内の天井側に設けた軌道を走行する搬送台車によるＦＯＵＰの搬送に関し、高速化および安定化することのできる技術を提供する。【解決手段】  被搬送物であるＦＯＵＰ１０を搭載して搬送し、天井側に設けられた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車１であって、ＦＯＵＰ１０はその一部に搬送台車１に固定されるボトムコンベアレール１３の位置決め穴１５を有しており、搬送台車１の一部に位置決め穴１５を固定する治具５ａが設けられ、治具５ａの一部に位置決め穴１５を固定および解除するクランプ機構５が設けられている。【選択図】  図７
2006213154.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を搭載して搬送し、天井側に設けられた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車であって、
前記被搬送物の一部に係合してかつ固定する手段を具備することを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
被搬送物を搭載して搬送するパッシブ型の搬送台車を走行させる軌道を、天井側に有する搬送システムであって、
前記搬送台車が前記被搬送物の一部に係合してかつ固定する手段を具備することを特徴とする搬送システム。
【請求項３】
前記被搬送物はＦＯＵＰであり、
前記被搬送物の一部はボトムコンベアレールの位置決め用穴であることを特徴とする請求項２記載の搬送システム。
【請求項４】
前記被搬送物はＦＯＵＰであり、
前記被搬送物の一部はボトムコンベアレールであることを特徴とする請求項２記載の搬送システム。
【請求項５】
前記被搬送物はＦＯＵＰであり、
前記被搬送物の一部はフロントリテーニングフィーチャであることを特徴とする請求項２記載の搬送システム。
【請求項６】
前記被搬送物はＦＯＵＰであり、
前記被搬送物の一部はセンターリテーニングフィーチャであることを特徴とする請求項２記載の搬送システム。
【請求項７】
前記被搬送物はＦＯＵＰであり、
前記被搬送物の一部はサイドフォークリフトフランジであることを特徴とする請求項２記載の搬送システム。
【請求項８】
天井側に設けた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車に被搬送物を搭載して搬送する搬送工程を有する半導体装置の製造方法であって、
前記搬送台車が前記被搬送物の一部に係合してかつ固定する手段を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送台車およびそれを用いた搬送技術に関し、特に、半導体装置の製造技術に際して使用するクリーンルーム内の天井側に設けた軌道を走行する搬送台車によるＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）の搬送に適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置、液晶等の電子部品の製造は、所定の清浄度が確保されたクリーンルーム内で行われている。このクリーンルーム内では、工程毎に関連処理装置群が配置され、その配置された領域間（以下、「ベイ間」と称する）を、クリーンルームの天井側に設けた軌道によって繋いでいる。例えば、半導体装置の製造工程においては、かかる軌道に沿って自走する搬送台車に、例えばＦＯＵＰなどの被搬送物を搭載して搬送する搬送工程が含まれる。この被搬送物の搬送においては、安定して搬送することはもちろん、搬送能力を向上することが求められている。
【０００３】
特許文献１には、処理装置のロードポートに設けたピンによってＦＯＵＰを支持などすることで、処理装置における処理中のＦＯＵＰの搬送速度を向上させ、かつ安定して搬送できる処理装置に関する記載がある。
【特許文献１】特開２００４−２９６６４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以下に、本発明者が本発明を完成するに際し検討した内容を、図１７〜図１９により説明する。図１７は、本発明者が検討した搬送台車の構成を模式的に示す側面図である。図１８は、図１７で示した搬送台車を模式的に示す上面図である。図１９は、図１７で示した搬送台車に搭載された被搬送物の要部を模式的に示す拡大図である。
【０００５】
半導体装置の製造は、所定の清浄度が確保されたクリーンルーム内で行われ、その天井側では、例えばＦＯＵＰなど被搬送物を搭載して搬送する搬送台車を走行させる軌道が確保される。すなわち、かかる軌道に沿って自走する搬送台車でＦＯＵＰを搬送する天井搬送有軌道システム（以下、「搬送システム」と称する）が構築される。
【０００６】
クリーンルームの大規模化に伴い、かかる搬送システムの軌道全長が長くなる傾向にあり、総延長が数キロメートルに及ぶものも決して珍しくない。また、半導体装置が少数多品種化していること、クリーンルーム内に配置された処理装置の稼働率を向上させることなどの理由から、ＦＯＵＰ内に収容される半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と略する）が数枚であっても、ＦＯＵＰを搬送させることもある。このため搬送能力を向上させることは重要であり、搬送能力向上の解決手段の１つとして、搬送台車を高速で走行させることが考えられる。
【０００７】
ところで搬送台車には、被搬送物をロボットで固定する移載機構を有しているアクティブ型搬送台車と、移載機構を有していないパッシブ型搬送台車とがある。パッシブ型搬送台車は、搬送システムの能力、コスト、メンテナンス等においてアクティブ型搬送台車よりも優れているが、単に荷台に被搬送物を乗せた状態で走行しているため、次のような問題がある。
【０００８】
図１７に示すように、パッシブ型の搬送台車１０１は、ウエハを収容したＦＯＵＰ（被搬送物）１０２を搭載する荷台部１０３と、搬送台車１０１の自走機能を構成する走行機構部１０４、及び軌道１０５上を回転する車輪１０６を有している。
【０００９】
さらに図１７および図１８に示すように、搬送台車１０１の荷台部１０３には、搬送時のＦＯＵＰ１０２のずれを防止するガイド１０７が形成されている。また、図１９に示すように、荷台部１０３上には、ＦＯＵＰ１０２を位置決めするための位置決めピン１０８が形成されており、搬送台車１０１がＦＯＵＰ１０２を搬送する時に、その位置決めピン１０８がＦＯＵＰ１０２のボトムコンベアレール１０９の位置決め穴１１０に嵌め込まれることとなる。
【００１０】
このような搬送台車１０１を用いた搬送システムにおいて、軌道１０５上を走行する複数の搬送台車１０１同士が、軌道１０５上で衝突してしまう場合がある。この衝突により、搬送台車１０１に搭載されたＦＯＵＰ１０２がずれる問題が生じる。また、搬送システムの搬送能力向上の解決手段として、搬送台車１０１を高速で走行させた場合、急加速時、急停止時、さらに搬送台車１０１同士の衝突時には、搬送台車１０１に搭載されたＦＯＵＰ１０２がずれる問題、さらには荷台部１０３からＦＯＵＰ１０２が落下してしまう問題が生じる。
【００１１】
これら問題に対して、上述したガイド１０７は、ＦＯＵＰ１０２のずれを防止する機能を有しているものの、ＦＯＵＰ１０２を安定して搬送できる機能を有しているとはいえず、大きな衝撃が搬送台車１０１に加わる衝突などが発生した場合、荷台部１０３からＦＯＵＰ１０２が落下することがある。また、搬送時においてＦＯＵＰ１０２のボトムコンベアレール１０９に形成された位置決め穴１１０に位置決めピン１０８が嵌め込まれるが、単に嵌め込むだけでは、大きな衝撃が搬送台車１０１に加わる衝突などが発生した場合、荷台部１０３からＦＯＵＰ１０２が落下することがある。また、ＦＯＵＰ１０２の落下を防止するために、搬送台車１０１の荷台部１０３に、例えばカバーなどを設けてＦＯＵＰ１０２の落下を防止することが考えられるが、落下する可能性を完全に断ち切っているとはいえない。
【００１２】
本発明の目的は、搬送台車およびそれを用いた搬送技術に関し、特に、半導体装置の製造に際して使用するクリーンルーム内の天井側に設けた軌道を走行する搬送台車によるＦＯＵＰの搬送に関し、高速化および安定化することのできる技術を提供することにある。
【００１３】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１５】
本発明の搬送台車は、被搬送物を搭載して搬送し、天井側に設けられた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車であって、前記被搬送物の一部に係合してかつ固定する手段を具備する。
【００１６】
また、本発明の搬送システムは、被搬送物を搭載して搬送するパッシブ型の搬送台車を走行させる軌道を、天井側に有する搬送システムであって、前記搬送台車が前記被搬送物の一部に係合してかつ固定する手段を具備する。
【００１７】
また、本発明による半導体装置の製造方法は、天井側に設けた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車に被搬送物を搭載して搬送する搬送工程を有する半導体装置の製造方法であって、前記搬送台車が前記被搬送物の一部に係合してかつ固定する手段を具備する。
【発明の効果】
【００１８】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００１９】
半導体装置等の製造に際して使用するクリーンルーム内の天井側に設けた軌道を走行する搬送台車によるＦＯＵＰの搬送を高速化および安定化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００２１】
（実施の形態１）
まず、本実施の形態で示す搬送システムについて図１により説明する。図１は、本実施の形態における搬送システムの一例を示す構成図である。
【００２２】
本実施の形態で示す搬送システムは、図１に示すように、例えば半導体装置の製造技術に用いられ、所定の清浄度が確保されたクリーンルーム２０内で行われ、その天井側では、例えばＦＯＵＰなどの被搬送物を搭載して搬送するパッシブ型の搬送台車１を走行させる軌道２１が確保される。すなわち、かかる軌道２１に沿って自走する搬送台車１で被搬送物を搬送する搬送システム（天井搬送有軌道システム）が構築される。なお、以下は被搬送物をＦＯＵＰとして説明する。
【００２３】
軌道２１は、クリーンルーム２０内の天井側にループ状に敷設されている。ループ内には、複数の例えば半導体装置の製造工程の各種工程に必要な一連の処理装置を配置した処理装置群Ａ、Ｂ、Ｃが配置されている。各処理装置群Ａ、Ｂ、Ｃ内では、床上を走行する床上搬送台車２２により、各処理装置間の半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と略する）のベイ内搬送が行われている。
【００２４】
例えば、処理装置群Ａでの処理が終了したウエハは、ＦＯＵＰに所要枚数収容された状態で、床上搬送台車２２によりベイ内搬送されて、軌道２１に接続されたストッカ２３ａに棚置きされる。ストッカ２３ａに置かれたＦＯＵＰは、その後搬送台車１に載せられ、次工程の処理を行う処理装置群Ｂに搬送される。ＦＯＵＰは搬送台車１からストッカ２３ｂに棚置きされ、さらに処理装置群Ｂ内の床上搬送台車２２により、各処理装置まで搬送されて、ＦＯＵＰ内からウエハが適宜取り出され所要の処理がウエハに施される。
【００２５】
処理装置群Ｂでの処理が終了したウエハは、ＦＯＵＰに所要枚数収容された状態で、床上搬送台車２２によりベイ内搬送されて、軌道２１に接続されたストッカ２３ｂに棚置きされる。ストッカ２３ｂに置かれたＦＯＵＰは、その後搬送台車１に載せられ、次工程の処理を行う処理装置群Ｃに搬送される。ＦＯＵＰは搬送台車１からストッカ２３ｃに棚置きされ、さらに処理装置群Ｃ内の床上搬送台車２２により、各処理装置まで搬送されて、ＦＯＵＰ内からウエハが適宜取り出され所要の処理がウエハに施される。
【００２６】
次に、本実施の形態で示すパッシブ型の搬送台車の概略について図２および図３により説明する。図２は、本実施の形態における搬送台車１の構成を模式的に示す側面図であり、ＦＯＵＰ１０が搭載された状態を示す。図３は、図２で示した搬送台車１の構成を模式的に示す正面図である。なお、図２および図３に示す搬送台車１の荷台部２には、搬送時のＦＯＵＰ１０のずれを防止するガイドが形成されているが、図示していない。
【００２７】
ここで、本実施の形態では、図２および図３に示すように、ｘ方向をＦＯＵＰ１０に収納された例えばウエハが取り出される方向、ｙ方向を搬送台車１が走行する方向、ｚ方向を軌道面に対して垂直方向としている。なお、以下に示す図中のｘ、ｙ、ｚ方向においても同様である。
【００２８】
図２および図３に示すように、搬送台車１は、１または複数のウエハを収容したＦＯＵＰ１０を搭載する荷台部２と、搬送台車１の自走機能を構成する走行機構部３、及び軌道２１上を回転する車輪４を有している。また、図示はしないが、走行機構部３には、軌道２１に沿って設けられた永久磁石列に対向して、軌道２１に沿って敷設された給電線から非接触で電気の供給を受けて前記永久磁石列との間で推力を発生させるリニアモータが設けられている。かかるリニアモータにより、搬送台車１は自立走行することができるようになっている。よって、車輪４は、搬送台車１を軌道２１上に支持する役目を担うもので、それ自体は、モータ等により駆動する駆動輪には構成されていない。
【００２９】
軌道２１は、図３の正面図に示すように、車輪４が走行する走行面を含む軌道面２１ａの両側に、側壁２１ｂを立ち上げた形状で、全体として略箱型、上方開口の凹形、ダクト形状に形成されている。
【００３０】
ここで、ＦＯＵＰ１０について図４〜図６により説明する。図４は、本実施の形態におけるＦＯＵＰ１０の構成を模式的に示す上面図、図５は、図４で示すＦＯＵＰ１０の構成を模式的に示す側面図、図６は、図４で示すＦＯＵＰ１０の構成を模式的に示す底面図である。なお、本実施の形態で示すＦＯＵＰ１０は、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）の規格に準拠しているものを適用する。
【００３１】
図４〜図６に示すように、このＦＯＵＰ１０は、その側面の１つの面に、密閉式収容器であるＦＯＵＰ１０の内部に対してウエハの搬入、搬出を行うための蓋１１を有している。また、ＦＯＵＰ１０は、ＦＯＵＰ１０の上部にフランジ１２を有している。なお、例えば移載機構を有するアクティブ型搬送台車による搬送の場合は、この移載機構のロボットによりフランジ１２が把持されて、アクティブ型搬送台車にＦＯＵＰ１０が固定されることとなる。
【００３２】
また、ＦＯＵＰ１０は、その対向する２つの側面に、ボトムコンベアレール（Bottom Conveyor Rail）１３、サイドフォークリフトフランジ（Side Fork-lift Flange）１４を有している。このボトムコンベアレール１３は、例えば搬送台車１の荷台部２上にＦＯＵＰ１０が配置された場合における位置決め穴１５を有している。また、サイドフォークリフトフランジ１４は、例えばＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）による搬送の場合における位置決め用のＶ溝１６を有している。
【００３３】
また、ＦＯＵＰ１０は、その裏面に、フロントリテーニングフィーチャ（Front Retaining Feature）１７、センターリテーニングフィーチャ（Center Retaining Feature）１８を有している。このフロントリテーニングフィーチャ１７およびセンターリテーニングフィーチャ１８は、例えば処理装置のロードポートにＦＯＵＰ１０が載置された場合に、処理装置が有する搬送機構のピンなどが嵌め込まれてＦＯＵＰ１０を固定するものである。
【００３４】
次に、本実施の形態で示す搬送台車１のクランプ機構５について図７〜図１０により説明する。図７は、図２および図３で示した搬送台車１と、搬送台車１に搭載されたＦＯＵＰ１０との側面要部を模式的に示す拡大図であり、クランプ機構５がＦＯＵＰ１０を固定（固定状態Ｌ）している状態を示す。図８は、図２および図３で示した搬送台車１と、搬送台車１に搭載されたＦＯＵＰ１０との側面要部を模式的に示す拡大図であり、クランプ機構５がＦＯＵＰ１０を解除（解除状態Ｕ）している状態を示す。図９は、クランプ機構５が固定するタイミングを示した説明図である。図１０は、クランプ機構５が解除するタイミングを示した説明図である。
【００３５】
図７に示すように、搬送台車１のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のボトムコンベアレール１３をクランプしている、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０とを固定（固定状態Ｌ）している。本実施の形態では、ピン状の治具５ａが、電動モータにより駆動される回転軸６により先端部が可動するクランプ機構５を有している。この治具５ａが、ＦＯＵＰ１０のボトムコンベアレール１３の位置決め穴１５に嵌め込まれて、治具５ａの先端部が、電動モータにより駆動される回転軸６により自動的に倒れ、ボトムコンベアレール１３を固定することとなる。言い換えると、ＦＯＵＰ１０は、搬送台車１に固定される固定部であるボトムコンベアレール１３の位置決め穴１５を有しており、搬送台車１が治具５ａを有し、その治具５ａの一部にボトムコンベアレール１３の位置決め穴１５を固定するクランプ機構５が設けられていることとなる。
【００３６】
一方、図８に示すように、解除状態のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のボトムコンベアレール１３を固定（クランプ）していない、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０とを解除（解除状態Ｕ）している。本実施の形態では、電動モータにより駆動される回転軸６により先端部が可動するクランプ機構５を用いているため、治具５ａの先端部を電動モータにより駆動される回転軸６にて自動的に起こすことで、ボトムコンベアレール１３を固定から解除することとなる。
【００３７】
ここで、搬送台車１をクランプ機構５により自動的に固定／解除する方法について説明する。例えば、パッシブ型の搬送台車１が、図１で示したストッカ２３ａなどのアクティブ装置と移載を行う場合、図９および図１０に示すように、ＳＥＭＩスタンダードＥ８４（エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインターフェースの仕様）に準拠したシーケンスでインターフェースを取る方法が一般的である。本実施の形態では、このシーケンスでインターフェースを取る方法を利用して、自動的にクランプ機構５を固定／解除している。
【００３８】
具体的に、クランプ機構５の固定／解除について説明する。搬送台車１と、図１で示したストッカ２３ａなどのアクティブ装置との間でロードシーケンスを行う場合、図９に示すロードシーケンスが行われる。搬送台車１は、本シーケンスの完了をもって、搬送台車１のクランプ機構５を自動的に固定状態にし、ＦＯＵＰ１０を搬送台車１に固定する（図７参照）。また、アンロードシーケンスの場合、図１０に示すアンロードシーケンスが行われる。搬送台車１は、本シーケンスの最初のタイミングで、クランプ機構を自動的に解除状態にし、ＦＯＵＰ１０を搬送台車１の固定から解除する（図８参照）。
【００３９】
したがって、被搬送物であるＦＯＵＰ１０を搭載して搬送し、天井側に設けられた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車１が、ＦＯＵＰ１０の一部であるボトムコンベアレール１３に係合してかつ固定する手段を具備するので、ＦＯＵＰ１０を固定して軌道上を高速・安定走行させることができる。さらに、本実施の形態で示す搬送台車１を用いることで搬送能力を向上することができる。すなわち、搬送システムにおけるＦＯＵＰ１０の搬送を高速化および安定化できる。また、かかる搬送システムを採用した半導体装置の製造方法における製品ＴＡＴを短縮することができ、併せて生産性の向上を図ることができる。
【００４０】
（実施の形態２）
本実施の形態では、ＦＯＵＰが有するボトムコンベアレール自体を固定する搬送台車のクランプ機構について図１１により説明する。図１１は、図２および図３で示した搬送台車１と、搬送台車１に搭載されたＦＯＵＰ１０との側面要部を模式的に示す拡大図であり、クランプ機構５がＦＯＵＰ１０を固定（固定状態Ｌ）および解除（解除状態Ｕ）している状態を示す。なお、前記実施の形態１で示した搬送技術において、本実施の形態で示す搬送台車を適用することができる。
【００４１】
図１１に示すように、搬送台車１のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のボトムコンベアレール１３をクランプしている、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０とを固定（固定状態Ｌ）している。本実施の形態では、ピン状の治具５ｂが、電動モータにより駆動される回転軸６により先端部が可動するクランプ機構５を有している。この治具５ｂの先端部が、電動モータにより駆動される回転軸６により自動的に倒れ、ボトムコンベアレール１３自体を固定することとなる。言い換えると、ＦＯＵＰ１０は、搬送台車１に固定される固定部であるボトムコンベアレール１３を有しており、搬送台車１が治具５ｂを有し、その治具５ｂの一部にボトムコンベアレール１３を固定するクランプ機構５が設けられていることとなる。
【００４２】
一方、図１１には、解除状態のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のボトムコンベアレール１３を固定（クランプ）していない、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０との解除（解除状態Ｕ）も示されている。本実施の形態では、クランプ機構５に、電動モータにより駆動される回転軸６により先端部が可動するクランプ機構５を用いているため、治具５ｂの先端部を電動モータにより駆動される回転軸６にて自動的に起こすことで、ボトムコンベアレール１３を固定から解除することとなる。
【００４３】
なお、搬送台車１をクランプ機構５により自動的に固定／解除する方法は、前記実施の形態１で説明したように、ＳＥＭＩスタンダードＥ８４（エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインターフェースの仕様）に準拠したシーケンスでインターフェースを取る方法を利用して、自動的にクランプ機構５の固定／解除している。
【００４４】
したがって、被搬送物であるＦＯＵＰ１０を搭載して搬送し、天井側に設けられた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車１が、ＦＯＵＰ１０の一部であるボトムコンベアレール１３に係合してかつ固定する手段を具備するので、ＦＯＵＰ１０を固定して軌道上を高速・安定走行させることができる。さらに、本実施の形態で示す搬送台車１を用いることで搬送能力を向上することができる。すなわち、搬送システムにおけるＦＯＵＰ１０の搬送を高速化および安定化できる。また、かかる搬送システムを採用した半導体装置の製造方法における製品ＴＡＴを短縮することができ、併せて生産性の向上を図ることができる。
【００４５】
（実施の形態３）
本実施の形態では、ＦＯＵＰが有するフロントリテーニングフィーチャを固定する搬送台車のクランプ機構について図１２および図１３により説明する。図１２は、図２および図３で示した搬送台車１と、搬送台車１に搭載されたＦＯＵＰ１０との側面要部を模式的に示す拡大図であり、クランプ機構５が固定（固定状態Ｌ）および解除（解除状態Ｕ）している状態を透視して示す。図１３は、図１２に示すＦＯＵＰ１０の底面要部を模式的に示す拡大図であり、クランプ機構５がＦＯＵＰ１０を固定（固定状態Ｌ）および解除（解除状態Ｕ）している状態を透視して示す。
【００４６】
図１２および図１３に示すように、搬送台車１のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のフロントリテーニングフィーチャ１７をクランプしている、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０とを固定（固定状態Ｌ）している。本実施の形態では、クランプ機構５に、電動モータにより駆動される回転軸６により固定／解除することができる治具５ｃを用いる。この治具５ｃが、電動モータにより駆動される回転軸６により自動的に可動し、フロントリテーニングフィーチャ１７を固定することとなる。言い換えると、ＦＯＵＰ１０は、搬送台車１に固定される固定部であるフロントリテーニングフィーチャ１７を有しており、搬送台車１がフロントリテーニングフィーチャ１７を固定するクランプ機構５である治具５ｃを有していることとなる。
【００４７】
一方、図１２および図１３には、解除状態のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のフロントリテーニングフィーチャ１７を固定（クランプ）していない、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０とを解除（解除状態Ｕ）する状態も示されている。本実施の形態では、フック状の治具５ｃが、電動モータにより駆動される回転軸６により可動するクランプ機構５を有している。このクランプ機構５を電動モータにより駆動される回転軸６にて自動的に可動させることで、フロントリテーニングフィーチャ１７を固定から解除することとなる。
【００４８】
なお、搬送台車１をクランプ機構５により自動的に固定／解除する方法は、前記実施の形態１で説明したように、ＳＥＭＩスタンダードＥ８４（エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインターフェースの仕様）に準拠したシーケンスでインターフェースを取る方法を利用して、自動的にクランプ機構５の固定／解除している。
【００４９】
したがって、被搬送物であるＦＯＵＰ１０を搭載して搬送し、天井側に設けられた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車１が、ＦＯＵＰ１０の一部であるフロントリテーニングフィーチャ１７に係合してかつ固定する手段を具備するので、ＦＯＵＰ１０を固定して軌道上を高速・安定走行させることができる。さらに、本実施の形態で示す搬送台車１を用いることで搬送能力を向上することができる。すなわち、搬送システムにおけるＦＯＵＰ１０の搬送を高速化および安定化できる。また、かかる搬送システムを採用した半導体装置の製造方法における製品ＴＡＴを短縮することができ、併せて生産性の向上を図ることができる。
【００５０】
（実施の形態４）
本実施の形態では、ＦＯＵＰが有するセンターリテーニングフィーチャを固定する搬送台車のクランプ機構について図１４および図１５により説明する。図１４は、図２および図３で示した搬送台車１と、搬送台車１に搭載されたＦＯＵＰ１０との側面要部を模式的に示す拡大図であり、クランプ機構５が固定（固定状態Ｌ）／解除（解除状態Ｕ）している状態を透視して示す。図１５は、図１４に示すＦＯＵＰ１０の底面要部を模式的に示す拡大図であり、クランプ機構５がＦＯＵＰ１０を固定（固定状態Ｌ）している状態を透視して示す。
【００５１】
図１４および図１５に示すように、搬送台車１のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のセンターリテーニングフィーチャ１８をクランプしている、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０とを固定（固定状態Ｌ）している。本実施の形態では、フック状の治具５ｄが、電動モータにより駆動される回転軸６により固定／解除するクランプ機構５を有している。この治具５ｄが、電動モータにより駆動される回転軸６により自動的に可動し、センターリテーニングフィーチャ１８を固定することとなる。言い換えると、ＦＯＵＰ１０は、搬送台車１に固定される固定部であるセンターリテーニングフィーチャ１８を有しており、搬送台車１が治具５ｄを有し、その治具５ｄの一部にセンターリテーニングフィーチャ１８を固定するクランプ機構５が設けられていることとなる。
【００５２】
一方、図１５には、解除状態のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のセンターリテーニングフィーチャ１８を固定（クランプ）していない、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０とを解除（解除状態Ｕ）する状態も示されている。本実施の形態では、電動モータにより駆動される回転軸６により可動するクランプ機構５を用いているため、治具５ｄを電動モータにより駆動される回転軸６にて自動的に可動させることで、センターリテーニングフィーチャ１８を固定から解除することとなる。
【００５３】
なお、搬送台車１をクランプ機構５により自動的に固定／解除する方法は、前記実施の形態１で説明したように、ＳＥＭＩスタンダードＥ８４（エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインターフェースの仕様）に準拠したシーケンスでインターフェースを取る方法を利用して、自動的にクランプ機構５を固定／解除している。
【００５４】
したがって、被搬送物であるＦＯＵＰ１０を搭載して搬送し、天井側に設けられた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車１が、ＦＯＵＰ１０の一部であるセンターリテーニングフィーチャ１８に係合してかつ固定する手段を具備するので、ＦＯＵＰ１０を固定して軌道上を高速・安定走行させることができる。さらに、本実施の形態で示す搬送台車１を用いることで搬送能力を向上することができる。すなわち、搬送システムにおけるＦＯＵＰ１０の搬送を高速化および安定化できる。また、かかる搬送システムを採用した半導体装置の製造方法における製品ＴＡＴを短縮することができ、併せて生産性の向上を図ることができる。
【００５５】
（実施の形態５）
本実施の形態では、ＦＯＵＰが有するサイドフォークフランジを固定する搬送台車のクランプ機構について図１６により説明する。図１６は、図２および図３で示した搬送台車１と、搬送台車１に搭載されたＦＯＵＰ１０との側面要部を模式的に示す拡大図であり、クランプ機構５が固定（固定状態Ｌ）／解除（解除状態Ｕ）している状態を示す。
【００５６】
図１６に示すように、搬送台車１のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のサイドフォークリフトフランジ１４をクランプしている、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０とを固定（固定状態Ｌ）している。本実施の形態では、電動モータにより駆動される回転軸６により先端部が可動するクランプ機構５を備えたピン状の治具５ｅを用いる。この治具５ｅの先端部が、電動モータにより駆動される回転軸６により自動的に倒れ、サイドフォークリフトフランジ１４自体を固定することとなる。言い換えると、ＦＯＵＰ１０は、搬送台車１に固定される固定部であるサイドフォークリフトフランジ１４を有しており、搬送台車１が治具５ｅを有し、その治具５ｅの一部にサイドフォークリフトフランジ１４を固定するクランプ機構５が設けられていることとなる。
【００５７】
一方、図１６には、解除状態のクランプ機構５が、ＦＯＵＰ１０のサイドフォークリフトフランジ１４を固定（クランプ）していない、すなわち搬送台車１とＦＯＵＰ１０との解除（解除状態Ｕ）も示されている。本実施の形態では、電動モータにより駆動される回転軸６により先端部が可動するクランプ機構５を用いているため、治具５ｅの先端部を電動モータにより駆動される回転軸６にて自動的に起こすことで、サイドフォークリフトフランジ１４を固定から解除することとなる。
【００５８】
なお、搬送台車１をクランプ機構５により自動的に固定／解除する方法は、前記実施の形態１で説明したように、ＳＥＭＩスタンダードＥ８４（エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインターフェースの仕様）に準拠したシーケンスでインターフェースを取る方法を利用して、自動的にクランプ機構５を固定／解除している。
【００５９】
したがって、被搬送物であるＦＯＵＰ１０を搭載して搬送し、天井側に設けられた軌道を走行するパッシブ型の搬送台車１が、ＦＯＵＰ１０の一部であるサイドフォークフランジ１４に係合してかつ固定する手段を具備するので、ＦＯＵＰ１０を固定して軌道上を高速・安定走行させることができる。さらに、本実施の形態で示す搬送台車１を用いることで搬送能力を向上することができる。すなわち、搬送システムにおけるＦＯＵＰ１０の搬送を高速化および安定化できる。また、かかる搬送システムを採用した半導体装置の製造方法における製品ＴＡＴを短縮することができ、併せて生産性の向上を図ることができる。
【００６０】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６１】
例えば、前記実施の形態では、被搬送物としてＦＯＵＰを適用した場合について説明したが、レチクルパッド、またはＳＭＩＦ（Standard of Mechanical Interface）パッドにも適用することができる。
【００６２】
また、例えば、前記実施の形態では、搬送台車を半導体装置の製造技術に適用した場合について説明したが、液晶装置、光ディスク装置の製造技術にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、搬送台車およびそれを用いた搬送技術による製造業一般に幅広く利用可能あり、特に半導体装置の製造業に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施の形態における搬送システムの一例を示す構成図である。
【図２】本発明の実施の形態における搬送台車の構成を模式的に示す側面図である。
【図３】図２で示した搬送台車の構成を模式的に示す正面図である。
【図４】本発明の実施の形態におけるＦＯＵＰの構成を模式的に示す上面図である。
【図５】図４で示すＦＯＵＰの構成を模式的に示す側面図である。
【図６】図４で示すＦＯＵＰの構成を模式的に示す底面図である。
【図７】本実施の形態１における搬送台車と、その搬送台車に搭載されたＦＯＵＰとの側面要部を模式的に示す拡大図である。
【図８】本実施の形態１における搬送台車と、その搬送台車に搭載されたＦＯＵＰとの側面要部を模式的に示す拡大図である。
【図９】本発明の実施の形態におけるクランプ機構が固定するタイミングを示した説明図である。
【図１０】本発明の実施の形態におけるクランプ機構が解除するタイミングを示した説明図である。
【図１１】本実施の形態２における搬送台車と、搬送台車に搭載されたＦＯＵＰとの側面要部を模式的に示す拡大図である。
【図１２】本実施の形態３における搬送台車と、搬送台車に搭載されたＦＯＵＰとの側面要部を模式的に示す拡大図である。
【図１３】図１２に示すＦＯＵＰの底面要部を模式的に示す拡大図である。
【図１４】本実施の形態４における搬送台車と、搬送台車に搭載されたＦＯＵＰとの側面要部を模式的に示す拡大図である。
【図１５】図１４に示すＦＯＵＰの底面要部を模式的に示す拡大図である。
【図１６】本実施の形態５における搬送台車と、搬送台車に搭載されたＦＯＵＰとの側面要部を模式的に示す拡大図である。
【図１７】本発明者が検討した搬送台車の構成を模式的に示す側面図である。
【図１８】図１７で示した搬送台車を模式的に示す上面図である。
【図１９】図１７で示した搬送台車に搭載された被搬送物の要部を模式的に示す拡大図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  搬送台車
２  荷台部
３  走行機構部
４  車輪
５  クランプ機構
５ａ  治具
５ｂ  治具
５ｃ  治具
５ｄ  治具
５ｅ  治具
６  電動モータにより駆動される回転軸
７  クランプ機構
１０  ＦＯＵＰ（被搬送物）
１１  蓋
１２  フランジ
１３  ボトムコンベアレール
１４  サイドフォークリフトフランジ
１５  位置決め穴
１６  Ｖ溝
１７  フロントリテーニングフィーチャ
１８  センターリテーニングフィーチャ
２０  クリーンルーム
２１  軌道
２１ａ  軌道面
２１ｂ  側壁
２２  床上搬送台車
２３ａ  ストッカ
２３ｂ  ストッカ
２３ｃ  ストッカ
１０１  搬送台車
１０２  ＦＯＵＰ（被搬送物）
１０３  荷台部
１０４  走行機構部
１０５  軌道
１０６  車輪
１０７  ガイド
１０８  位置決めピン
１０９  ボトムコンベアレール
１１０  位置決め穴
Ａ  処理装置群
Ｂ  処理装置群
Ｃ  処理装置群
Ｌ  固定状態
Ｕ  解除状態
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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