(57)【要約】【課題】  作業効率が高く、構成が簡単な位置決め装置を提供する。【解決手段】  この位置決め装置では、２つの可動テーブル４，５の移動範囲ＸＡ，ＸＢはオーバラップ部ＸＯを有し、２つの可動テーブル４，５のうちのいずれか１つの可動テーブル４または５がオーバラップ部ＸＯに進入したことに応じて、他の可動テーブル５または４がオーバラップ部ＸＯに進入することを禁止する。したがって、可動テーブル４，５がオーバラップ部ＸＯで衝突することを防止することができ、簡単な構成で作業効率の向上を図ることができる。【選択図】        図１
2006322780.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の可動テーブルを備えた位置決め装置であって、
前記複数の可動テーブルの移動領域はオーバラップ部を有し、
各可動テーブルが前記オーバラップ部に進入しているかどうかを検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基づき、前記複数の可動テーブルのうちのいずれか１つの可動テーブルが前記オーバラップ部に進入したことに応じて、他の可動テーブルが前記オーバラップ部に進入することを禁止する制御手段とを備えた、位置決め装置。
【請求項２】
複数の可動テーブルを備えた位置決め装置であって、
前記複数の可動テーブルの移動領域はオーバラップ部を有し、
前記オーバラップ部は複数の副オーバラップ部に分割され、
それぞれ前記複数の副オーバラップ部に対応して設けられ、各々が、各可動テーブルが対応の副オーバラップ部に進入しているかどうかを検出する複数の検出手段と、
前記複数の検出手段の検出結果に基づき、前記複数の可動テーブルのうちのいずれか１つの可動テーブルが前記複数の副オーバラップ部のうちの１または２以上の副オーバラップ部に進入したことに応じて、他の可動テーブルが前記１または２以上の副オーバラップ部に進入することを禁止する制御手段とを備えた、位置決め装置。
【請求項３】
複数の可動テーブルを備えた位置決め装置であって、
前記複数の可動テーブルの移動領域はオーバラップ部を有し、
それぞれ前記複数の可動テーブルに対応して設けられ、各々が、対応の可動テーブルと他の可動テーブルとの間の距離を検出する検出手段と、
前記検出手段の検出結果に基づき、各可動テーブルと他の可動テーブルとの間の距離が予め定められた距離以下になることを禁止する制御手段とを備えた、位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は位置決め装置に関し、特に、複数の可動テーブルを備えた位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数の可動テーブルを備えた位置決め装置が提案されている。たとえば特許文献１には、Ｘ方向に延在する１対のガイドレールと、１対のガイドレール上をＸ方向に移動する移動体と、移動体上をＹ方向に移動する可動テーブルとをＸ方向に２組並べ、各可動テーブルを２つの移動体間で移動可能に設けた位置決め装置が開示されている（たとえば特許文献１参照）。この位置決め装置によれば、一方の可動テーブルでウエハ交換とアライメントを行いながら、他方の可動テーブルで露光を行なうことができ、作業効率の向上を図ることができる。
【特許文献１】特開２００１−１６０５３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来の位置決め装置では、各可動テーブルを２つの移動体間で移動可能に設けたので、装置構成が極めて複雑になり、装置価格が高くなるという問題があった。
【０００４】
それゆえに、この発明の主たる目的は、作業効率が高く、構成が簡単な位置決め装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明に係る位置決め装置は、複数の可動テーブルを備えた位置決め装置であって、複数の可動テーブルの移動領域はオーバラップ部を有する。この位置決め装置は、各可動テーブルがオーバラップ部に進入しているかどうかを検出する検出手段と、検出手段の検出結果に基づき、複数の可動テーブルのうちのいずれか１つの可動テーブルがオーバラップ部に進入したことに応じて、他の可動テーブルがオーバラップ部に進入することを禁止する制御手段とを備えている。したがって、複数の可動テーブルを１つずつ交代でオーバラップ領域に移動させて所定の処理、加工などを行なうことができるので、簡単な構成で作業効率の向上を図ることができる。また、オーバラップ部には１つの可動テーブルのみが進入できるので、可動テーブル同士が衝突することがない。
【０００６】
また、この発明に係る他の位置決め装置は、複数の可動テーブルを備えた位置決め装置であって、複数の可動テーブルの移動領域はオーバラップ部を有し、オーバラップ部は複数の副オーバラップ部に分割されている。この位置決め装置は、それぞれ複数の副オーバラップ部に対応して設けられ、各々が、各可動テーブルが対応の副オーバラップ部に進入しているかどうかを検出する複数の検出手段と、複数の検出手段の検出結果に基づき、複数の可動テーブルのうちのいずれか１つの可動テーブルが複数の副オーバラップ部のうちの１または２以上の副オーバラップ部に進入したことに応じて、他の可動テーブルが１または２以上の副オーバラップ部に進入することを禁止する制御手段とを備えている。この場合は、１つの可動テーブルが進入した副オーバラップ部には他の可動テーブルが進入することができないので、可動テーブル同士が衝突することがない。
【０００７】
また、この発明に係るさらに他の位置決め装置は、複数の可動テーブルを備えた位置決め装置であって、複数の可動テーブルの移動領域はオーバラップ部を有する。この位置決め装置は、それぞれ複数の可動テーブルに対応して設けられ、各々が、対応の可動テーブルと他の可動テーブルとの間の距離を検出する検出手段と、検出手段の検出結果に基づき、各可動テーブルと他の可動テーブルとの間の距離が予め定められた距離以下になることを禁止する制御手段とを備えている。この場合は、可動テーブル間の距離が予め定められた距離よりも大きく保たれるので、可動テーブル同士が衝突することがない。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように、この発明に係る位置決め装置では、複数の可動ステージの移動領域がオーバラップ部を有するので、複数の可動テーブルを１つずつ交代でオーバラップ領域に移動させて所定の処理、加工などを行なうことができ、簡単な構成で作業効率の向上を図ることができる。また、可動テーブル同士が衝突することもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
[実施の形態１]
図１は、この発明の実施の形態１による位置決め装置の構成を示す平面図であり、図２はその構成を示すブロック図である。
【００１０】
図１および図２において、この位置決め装置では、長方形の台板１上に２本のガイドレール２，３が平行に設けられ、ガイドレール２，３上には２つの四角形の可動テーブル４，５が移動可能に設けられている。ガイドレール２，３は、図中Ｘ方向に延在している。可動テーブル４，５の各々は、リニアモータ、ボールネジなどからなる駆動部(図示せず)を含む。可動テーブル４，５の各々は、制御部２３によって制御されて図中Ｘ方向に移動する。
【００１１】
図中左側の可動テーブル４の図中下側の１辺の両端部にはそれぞれ図中Ｙ方向に延在するアーム６，７を介してリミットセンサ８，９が設けられ、リミットセンサ８，９の移動軌跡の下方には所定の間隔で２つのドグ１０，１１が台板１表面に設けられている。
【００１２】
可動テーブル４が図中左方向に移動してリミットセンサ８がドグ１０の上方に到達すると、リミットセンサ８がリミット信号を出力する。制御部２３は、リミットセンサ８からリミット信号が出力されている期間は、可動テーブル４が図中左方向に移動することを禁止する。逆に、可動テーブル４が図中右方向に移動してリミットセンサ９がドグ１１の上方に到達すると、リミットセンサ９がリミット信号を出力する。制御部２３は、リミットセンサ９からリミット信号が出力されている期間は、可動テーブル４が図中右方向に移動することを禁止する。したがって、可動テーブル４の移動範囲は２つのドグ１０，１１の間の範囲ＸＡに限定される。
【００１３】
図中右側の可動テーブル５の図中下側の１辺の両端部にはそれぞれ図中Ｙ方向に延在するアーム１２，１３を介してリミットセンサ１４，１５が設けられ、リミットセンサ１４，１５の移動軌跡の下方には所定の間隔で２つのドグ１６，１７が台板１表面に設けられている。アーム１２，１３はアーム６，７よりも長いので、リミットセンサ１４，１５とリミットセンサ８，９は異なる軌跡を通る。
【００１４】
可動テーブル５が図中左方向に移動してリミットセンサ１４がドグ１６の上方に到達すると、リミットセンサ１４がリミット信号を出力する。制御部２３は、リミットセンサ１４からリミット信号が出力されている期間は、可動テーブル５が図中左方向に移動することを禁止する。逆に、可動テーブル５が図中右方向に移動してリミットセンサ１５がドグ１７の上方に到達すると、リミットセンサ１５がリミット信号を出力する。制御部２３は、リミットセンサ１５からリミット信号が出力されている期間は、可動テーブル５が図中右方向に移動することを禁止する。したがって、可動テーブル５の移動範囲は２つのドグ１６，１７の間の範囲ＸＢに限定される。可動テーブル４，５の移動範囲ＸＡ，ＸＢは、台板１の中央部においてオーバラップ部ＸＯを有する。
【００１５】
また、図中左側の可動テーブル４の図中上側の１辺の図中右端部には図中Ｙ方向に延在するアーム１８を介して衝突防止センサ１９が設けられ、衝突防止センサ１９の移動軌跡の下方にはオーバラップ部ＸＯ全域に亘ってドグ２０が台板１表面に設けられている。図中右側の可動テーブル５の図中上側の１辺の図中左端部には図中Ｙ方向に延在するアーム２１を介して衝突防止センサ２２が設けられている。アーム１８と２１は同じ長さであるので、衝突防止センサ１９と２２は同じ軌跡を通る。
【００１６】
制御部２３は、外部信号に従って可動テーブル４，５を制御する。可動テーブル４が図中右方向に移動して衝突防止センサ１９がドグ２０の上方に到達すると、衝突防止センサ１９が衝突防止信号を出力する。制御部２３は、衝突防止センサ１９から衝突防止信号が出力されている期間は、可動テーブル５がオーバラップ部ＸＯに進入することを禁止する。逆に、可動テーブル５が図中左方向に移動して衝突防止センサ２２がドグ２０の上方に到達すると、衝突防止センサ２２が衝突防止信号を出力する。制御部２３は、衝突防止センサ２２から衝突防止信号が出力されている期間は、可動テーブル４がオーバラップ部ＸＯに進入することを禁止する。したがって、可動テーブル４と５がオーバラップ部ＸＯで衝突することが防止される。
【００１７】
この実施の形態１では、２つの可動テーブル４，５を交互にオーバラップ部ＸＯに移動させて所定の処理、加工などを行なうことができるので、簡単な構成で作業効率の向上を図ることができる。また、オーバラップ部ＸＯには１つの可動テーブル４または５のみが進入できるので、可動テーブル４，５同士が衝突することがない。
【００１８】
[実施の形態２]
図３は、この発明の実施の形態２による位置決め装置の構成を示す平面図であり、図４はその構成を示すブロック図である。
【００１９】
図３および図４を参照して、この位置決め装置が図１および図２の位置決め装置と異なる点は、オーバラップ部ＸＯが左右２つの副オーバラップ部ＸＯＡ，ＸＯＢに分割され、アーム１８，２１、衝突防止センサ１９，２２およびドグ２０がアーム３０，３５、衝突防止センサ３１，３２，３６，３７およびドグ３３，３４で置換されている点である。
【００２０】
アーム３０は、図中左側の可動テーブル４の図中上側の１辺の図中右端部に図中Ｙ方向に延在するように設けられる。衝突防止センサ３１，３２は、それぞれアーム３０の中央部および先端部に設けられる。ドグ３３は、衝突防止センサ３１の移動軌跡の下方に副オーバラップ部ＸＯＡ全域に亘って台板１表面に設けられる。ドグ３４は、衝突防止センサ３２の移動軌跡の下方に副オーバラップ部ＸＯＢ全域に亘って台板１表面に設けられる。アーム３５は、図中右側の可動テーブル５の図中上側の１辺の図中左端部に図中Ｙ方向に延在するように設けられる。衝突防止センサ３６，３７は、それぞれアーム３５の中央部および先端部に設けられる。衝突防止センサ３１と３６，３２と３７はそれぞれ同じ軌跡を通る。
【００２１】
制御部２３は、外部信号に従って可動テーブル４，５を制御する。可動テーブル４が図中右方向に移動して衝突防止センサ３１がドグ３３の上方に到達すると、衝突防止センサ３１が衝突防止信号を出力する。制御部２３は、衝突防止センサ３１から衝突防止信号が出力されている期間は、可動テーブル５がオーバラップ部ＸＯＡに進入することを禁止する。このとき、可動テーブル５はオーバラップ部ＸＯＢに進入することは可能である。可動テーブル４がさらに図中右方向に移動して衝突防止センサ３２がドグ３４の上方に到達すると、衝突防止センサ３２が衝突防止信号を出力する。制御部２３は、衝突防止センサ３２から衝突防止信号が出力されている期間は、可動テーブル５が副オーバラップ部ＸＯＡ，ＸＯＢに進入することを禁止する。
【００２２】
また、可動テーブル５が図中左方向に移動して衝突防止センサ３７がドグ３４の上方に到達すると、衝突防止センサ３７が衝突防止信号を出力する。制御部２３は、衝突防止センサ３７から衝突防止信号が出力されている期間は、可動テーブル４がオーバラップ部ＸＯＢに進入することを禁止する。このとき、可動テーブル４はオーバラップ部ＸＯＡに進入することは可能である。可動テーブル５がさらに図中左方向に移動して衝突防止センサ３６がドグ３３の上方に到達すると、衝突防止センサ３６が衝突防止信号を出力する。制御部２３は、衝突防止センサ３６から衝突防止信号が出力されている期間は、可動テーブル４が副オーバラップ部ＸＯＡ，ＸＯＢに進入することを禁止する。したがって、可動テーブル４と５が副オーバラップ部ＸＯＡ，ＸＯＢで衝突することが防止される。
【００２３】
この実施の形態２では、実施の形態１と同じ効果が得られる他、可動テーブル４，５の移動範囲が副オーバラップ部ＸＯＡまたはＸＯＢ分だけ広くなる。
【００２４】
なお、この実施の形態２では、オーバラップ部ＸＯを２つの副オーバラップ部ＸＯＡ，ＸＯＢに分割したが、３つ以上の副オーバラップ部に分割してもよい。また、多数の副オーバラップ部に分割した場合は、可動テーブル４，５が進入している副オーバラップ部を検出することにより、可動テーブル４，５間の距離をある程度推測することができるので、その距離に応じて可動テーブル４，５の適切な移動速度を設定し、可動テーブル４，５同士の衝突を防止することもできる。
【００２５】
[実施の形態３]
図５は、この発明の実施の形態３による位置決め装置の構成を示す平面図であり、図６はその構成を示すブロック図である。
【００２６】
図５および図６を参照して、この位置決め装置が図１および図２の位置決め装置と異なる点は、衝突防止センサ１９およびドグ２０が除去され、アーム１８の先端部に所定長さのドグ４０が設けられている点である。ドグ４０は図中右方向を向けて、かつ台板１に水平に設けられている。ドグ４０は、衝突防止センサ２２の移動軌跡の下方に設けられる。
【００２７】
制御部２３は、外部信号に従って可動テーブル４，５を制御する。可動テーブル４と５が近づいて衝突防止センサ２２がドグ４０の上方に到達すると、衝突防止センサ２２が衝突防止信号を出力する。制御部２３は、衝突防止センサ２２から衝突防止信号が出力されている期間は、可動テーブル４と５がさらに接近するような可動テーブル４，５の移動を禁止する。このとき、可動テーブル４と５がともに同じ方向に移動することは可能である。また、可動テーブル４と５が離れる方向に移動することは可能である。したがって、可動テーブル４と５がオーバラップ部ＸＯで衝突することが防止される。
【００２８】
この実施の形態３では、実施の形態１と同じ効果が得られる他、衝突防止センサの数が少なくて済む。
【００２９】
なお、図７に示すように、可動テーブル４，５の現在位置を測定する位置測定装置（リニアスケール、ロータリエンコーダなど）４１，４２を設け、リミットセンサ８，９，１４，１５を使用せずに可動テーブル４，５の現在位置から仮想的に移動範囲ＸＡ，ＸＢ、オーバーラップ部ＸＯ、副オーバラップ部ＸＯＡ，ＸＯＢを作ることも可能である。その場合、実施の形態１，２のように可動テーブル４，５の移動を制限することも可能であるが、単に可動テーブル４，５間の距離を計算して衝突を防止するように制御することもできる。また、可動テーブル４，５間の距離に応じて適切な移動速度を設定し、衝突を防止することもできる。また、可動テーブル４，５間の距離に応じて適切な移動速度を設定する方法と、実施の形態１〜３を組合わせてもよい。
【００３０】
また、可動テーブルを３個以上設けてもよい。その場合の制御方法は上記位置決め方法から容易に類推できるので、その説明は繰り返さない。
【００３１】
また、複数の可動テーブルは必ずしも同一直線上に配置される必要はない。たとえばそれぞれの可動テーブルの軌道が直交したものでも同様に制御することができる。
【００３２】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】この発明の実施の形態１による位置決め装置の構成を示す平面図である。
【図２】図１に示した位置決め装置の構成を示すブロック図である。
【図３】この発明の実施の形態２による位置決め装置の構成を示す平面図である。
【図４】図３に示した位置決め装置の構成を示すブロック図である。
【図５】この発明の実施の形態３による位置決め装置の構成を示す平面図である。
【図６】図５に示した位置決め装置の構成を示すブロック図である。
【図７】実施の形態１〜３の変更例を示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  台板、２，３  ガイドレール、４，５  可動テーブル、６，７，１２，１３，１８，２１，３０，３５  アーム、８，９，１４，１５  リミットセンサ、１０，１１，１６，１７，２０，３３，３４，４０  ドグ、１９，２２，３１，３２，３６，３７  衝突防止センサ、２３  制御部、ＸＡ，ＸＢ  移動範囲、ＸＯ  オーバラップ部、ＸＯＡ，ＸＯＢ  副オーバラップ部、４１，４２  位置計測装置。
【図１】
2006322780.tif 000003
【図２】
2006322780.tif 000004
【図３】
2006322780.tif 000005
【図４】
2006322780.tif 000006
【図５】
2006322780.tif 000007
【図６】
2006322780.tif 000008
【図７】
2006322780.tif 000009