(57)【要約】【課題】  リニアモータを構成するモータコアの歯と歯の間の凹部に予備メッキを施してから歯と歯の間の凹部に埋込部材を充填するようにして、埋込部材の熱膨張の差による隙間が生じても歯に直接空気が触れないようにして歯に発生する錆を抑制或は防止できるモータコアの製造方法を提供する。【解決手段】  モータコアの製造方法は、一定ピッチで形成された歯と歯の間の凹部に非磁性体の埋込部材が形成され、その歯と埋込部材で形成された複合面にメッキを施して形成されたモータコアであって、歯と歯の間の凹部を含めて予備メッキを施す工程、前記予備メッキを施す工程により、前記歯と凹部にメッキが施されたところに、前記凹部に埋込部材を充填する工程、前記埋込部材を充填する工程により凹部に埋込部材が充填された後に、歯の部分が露出するように歯及び埋込部材を研削する研削工程、前記研削工程により歯と埋込部材からなる複合面が研削された後に、その表面を仕上げるためのメッキを施す仕上げメッキ工程、からなる。【選択図】  図１
2006141080.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定ピッチで形成された歯と歯の間の凹部に非磁性体の埋込部材が形成され、その歯と埋込部材で形成された複合面にメッキを施して形成されたモータコアであって、
歯と歯の間の凹部を含めて予備メッキを施す工程、
前記予備メッキを施す工程により、前記歯と凹部にメッキが施されたところに、前記凹部に埋込部材を充填する工程、
前記埋込部材を充填する工程により凹部に埋込部材が充填された後に、歯の部分が露出するように歯及び埋込部材を研削する研削工程、
前記研削工程により歯と埋込部材からなる複合面が研削された後に、その表面を仕上げるためのメッキを施す仕上げメッキ工程、からなるモータコアの製造方法。
【請求項２】
前記埋込部材は樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のモータコアの製造方法。
【請求項３】
一定ピッチで形成された歯と歯の間の凹部に非磁性体の埋込部材を充填した後に、前記歯と埋込部材からなる複合面上にメッキを施して形成されたモータコアであって、
前記埋込部材を充填する前に、前記歯と歯の間の凹部に予備メッキを施したことを特徴とするモータコア。
【請求項４】
前記埋込部材は樹脂であることを特徴とする請求項３に記載のモータコア。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータコアの製造方法及びモータコアに関し、詳しくはモータコアを形成する歯と歯の間の凹部に充填する埋込部材と歯との間に熱膨張による空隙が生じたときでも歯の部分に錆が発生しないようにしたモータコアの製造方法及びモータコアに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術におけるモータコアを備えた位置決め装置は、位置決め対象物を搭載するスライダ部を格子プラテンに対して移動させて、この位置決め対象物の二次元位置を位置決めする装置であり、例えば、プローバなどの半導体製造装置に用いられるＸＹステージが対象となる。
【０００３】
ＸＹステージは、図３、図４及び図５に示すように、格子プラテン１１がＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って一定ピッチで溝が形成されている。図においては簡略化のため一部の歯だけを示している。
このような格子プラテン１１は、平坦面に格子状に溝を切ることによって形成される。この格子プラテン１１は磁性体で構成されている。スライダ部１２は位置決めの対象物が載せられる。
浮揚手段１３は、スライダ部１２を格子プラテン１１上に浮揚させる。スライダ部１２の格子プラテン１１と対向する面にはノズル１４（図４参照）が設けられていて、このノズル１４から浮揚手段１３が圧縮空気を噴出させることによって、浮上力を得ている。スライダ部１２と格子プラテン１１の間をノズル１４から噴出した空気が流れることによって、エアベアリングを構成している。
【０００４】
Ｙ軸モータ１５は、スライダ部１２に搭載され、コアの格子プラテン１１と対向する面にはＹ軸方向に一定ピッチで歯１６が形成されている。このＹ軸モータ１５は、歯１６と格子プラテン１１の歯との間には磁気吸引力を生じさせてスライダ部１２をＹ軸方向に移動させる。コイル１７はモータコア１８に巻かれている。
【０００５】
Ｘ軸モータ１９Ａ、１９Ｂは、スライダ部１２の中心に対して対称な位置にそれぞれ搭載されている。このＸ軸モータ１９Ａ、１９Ｂは、コアの格子プラテン１１と対向する面にはＸ軸方向に一定ピッチで歯２１が形成されている。Ｘ軸モータ１９Ａ、１９Ｂは歯１６と歯１６との間に磁気吸引力を生じさせてスライダ部１２をＸ軸方向に移動させる。コイル１７はモータコア１８に巻かれている。
【０００６】
連結部材２１は、Ｙ軸モータ１５とＸ軸モータ１９Ａ、１９Ｂを連結する。
【０００７】
Ｘ軸モータ１９Ａ、１９Ｂ及びＹ軸モータ１５の格子プラテン１１に対向する面に形成されている一定ピッチで形成されている歯１６は、図４及び図５に示すように、格子プラテン１１と対向する面に溝２２が形成され、ノズル１４が溝２２の中に形成されていて浮揚手段１３（図３参照）から供給された圧縮空気を噴出する。樹脂で形成された埋込部材２３は歯１６と歯１６の間の凹部２４に埋め込まれている。埋込部材２３は非磁性体の材料で構成されており、対向面にコーテイングを施すことによって歯１６と歯１６の凹部２４に埋込部材２３を形成する。
ノズル１４から噴出した圧縮空気は溝２２に沿って流れ、圧縮空気の圧力によりモータコア１８を浮揚させる。埋込部材２３は歯１６の凹部２４に充填されていることで圧縮空気が外に漏れるのを防いでいる。
【０００８】
さて、この格子プラテン１１に対向する面に形成された歯１６と埋込部材２３であるが、図６及び図７に示すように、一定ピッチで形成されている歯１６に対して、その歯１６と歯１６の間の凹部２４に樹脂である埋込部材２３を形成すると共に、モータコアの防塵を施すために、金属の歯１６と樹脂の埋込部材２３とからなる複合面にニッケルメッキ２５を施すことによりモータコア１８の防塵を施す構成になっている。
【特許文献１】特開２０００−６５９７０号公報（第４頁  第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、従来技術で説明した、Ｘ軸モータ及びＹ軸モータの格子プラテンに対向する面においては、図８に示すように、モータコア１８に樹脂を流し込み硬化させるとモータコア１８の歯１６と埋込部材２３の樹脂の間に熱膨張の違いによる隙間２６が発生する。この隙間２６はニッケルメッキ２５が着かないため、この隙間２６から直接歯１６の部分が空気に触れることになり、空気の触れた部分に錆２７が発生するという問題がある。
【００１０】
従って、格子プラテンと対向する面に形成されている一定ピッチの歯を備えるモータコアにおいて、歯と歯の間の凹部に充填する埋込部材と歯との熱膨張の違いがあっても、歯が直接空気に触れないように保護することで歯に発生する錆を防ぐ手法に解決しなければならない課題を有する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本願発明のモータコアの製造方法及びモータコアは、次に示す構成にしたことである。
【００１２】
（１）モータコアの製造方法は、一定ピッチで形成された歯と歯の間の凹部に非磁性体の埋込部材が形成され、その歯と埋込部材で形成された複合面にメッキを施して形成されたモータコアであって、歯と歯の間の凹部を含めて予備メッキを施す工程、前記予備メッキを施す工程により、前記歯と凹部にメッキが施されたところに、前記凹部に埋込部材を充填する工程、前記埋込部材を充填する工程により凹部に埋込部材が充填された後に、歯の部分が露出するように歯及び埋込部材を研削する研削工程、前記研削工程により歯と埋込部材からなる複合面が研削された後に、その表面を仕上げるためのメッキを施す仕上げメッキ工程、からなる。
（２）前記埋込部材は樹脂であることを特徴とする（１）に記載のモータコアの製造方法。
【００１３】
（３）モータコアは、一定ピッチで形成された歯と歯の間の凹部に非磁性体の埋込部材を充填した後に、前記歯と埋込部材からなる複合面上にメッキを施して形成されたモータコアであって、前記埋込部材を充填する前に、前記歯と歯の間の凹部に予備メッキを施したことである。
（４）前記埋込部材は樹脂であることを特徴とする（３）に記載のモータコア。
【発明の効果】
【００１４】
本提案によれば、モータコアの歯と歯の間の凹部に樹脂の埋込部材を充填する際に、歯と凹部を含めて予備のメッキを施すことで、例え埋込部材の熱膨張の違いによる隙間が歯と埋込部材との間に発生しても歯自体は予備のメッキが施されているため、空気に直接ふれることがないため錆の発生を抑制或は防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本願発明に係るモータコアの製造方法及びモータコアの実施形態について、図面を参照して以下説明ずる。
【実施例１】
【００１６】
本願発明のモータコアの製造方法を具現化するための装置は、図３を参照した従来技術で説明したものと同様であり、磁性体で形成され、格子状に作成した平坦面の格子プラテン上を移動するスライダ部におけるＸ軸モータ及びＹ軸モータに形成されているモータコアに改良を加えたものである。
【００１７】
この格子プラテンに対向する面に形成された歯と埋込部材は、図１に示すように、歯１６と埋込部材２３との熱膨張による隙間２６が発生することを前提としてモータコア１８の歯１６の部分に発生する錆を防止するために、防塵用のニッケルメッキ（本メッキ）２５とは別に、埋込部材２３を形成する前に歯１６と歯１６の間の凹部２４も含めて予備のメッキ２８をして歯１６全体にメッキ２８を施してから、埋込部材２３を充填した後に金属の歯１６と樹脂の埋込部材２３の複合面にニッケルメッキ（本メッキ）２５を施すようにして形成されている。
このようにすると、埋込部材２３と歯１６との間が熱膨張の違いにより隙間２６が生じても、歯１６の側壁面には予備のメッキ２８が施されているから、空気に触れることなく錆の発生を防止できるのである。
【００１８】
このようなモータコアの製造について、図２を参照して以下説明する。
（１）先ず、図２（Ａ）に示すように、一定ピッチで形成された歯１６と歯１６の間の凹部２４も含めて予備のメッキ２８を施す。
（２）次に、図２（Ｂ）に示すように、歯１６と凹部２４に予備のメッキ２８が施されたところに、凹部２４に非磁性体で樹脂である埋込部材２３を充填して硬化させる。
（３）そして、図２（Ｃ）に示すように、凹部２４に埋込部材２３が充填され、硬化した後に、歯１６の部分が露出するように歯１６及び埋込部材２３を研削する。
（４）次に、図２（Ｄ）に示すように、歯１６と埋込部材２３からなる複合面が研削された後に、その表面を仕上げるためのメッキ（本メッキでニッケルメッキ２５）を施す。
このようにして、最後に防塵用のニッケルメッキ２５を施して完成するが、樹脂の埋込部材２３が硬化すると熱膨張の差により、歯１６と埋込部材２３との間には隙間２６が生じることになる。しかし、例え、隙間２６が生じても歯１６には予備のメッキ２８が施されているからその隙間２６から空気が直接歯に触れない構造となり、結果として歯１６に発生する錆を抑制或は防止することができるのである。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
モータコアの歯と歯の間の凹部に予備メッキを施してから歯と歯の間の凹部に埋込部材を充填するようにして、埋込部材の熱膨張の差による隙間が生じても歯に直接空気が触れないようにして歯に発生する錆を抑制或は防止できるモータコアの製造方法及びモータコアを提供する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本願発明のモータコアの製造方法で作成されたモータコアの部分拡大図である。
【図２】同、モータコアの製造方法を順次説明した説明図である。
【図３】モータコアを搭載したＸＹステージを示した説明図である。
【図４】従来技術におけるモータコアの歯の部分拡大図である。
【図５】同、図４におけるモータコアの歯の部分のＡ-Ａ’線断面図である。
【図６】従来技術におけるモータコアの歯の部分にメッキを施した様子を示す説明図である。
【図７】同、図６におけるモータコアの歯の部分の断面図である。
【図８】同、図６におけるモータコアの歯の部分の断面図である。
【符号の説明】
【００２１】
１１      格子プラテン
１２      スライダ部
１３      浮揚手段
１４      ノズル
１５      Ｙ軸モータ
１６      歯
１７      コイル
１８      モータコア
１９Ａ    Ｘ軸モータ
１９Ｂ    Ｙ軸モータ
２１      連結部材
２２      溝
２３      埋込部材
２４      凹部
２５      ニッケルメッキ（本メッキ）
２６      隙間
２７      錆
２８      メッキ（予備のメッキ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2006141080.tif 000009
【図８】
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