(57)【要約】      （修正有）【課題】高価な機器を使用することなく、かつ簡単な手順により、光ファイバ終端の、光デバイス光学面に対する軸方向位置を決める。【解決手段】光ファイバ移動手段１１と、接触片１２１を光ファイバ２の軸方向に移動させ、接触板片１２２を終端２１に接触させるとともに、光学面３１に接触させる接触板片移動手段１２と、接触板片１２２の、終端２１との接触および光学面３１との接触を検知する接触板片接触検知手段１３と、接触板片１２２が終端２１に接触したときの接触板片１２２の軸方向位置（Ｘ１）と、接触板片１２２が光学面３１に接触したときの接触板片１２２の軸方向位置（Ｘ２）との差を検出し、この差に接触板片１２２の板厚（ＤＸ）を加算することで終端２１と光学面３１との距離を検出する距離検出手段１４とを備える。【選択図】    図１
2006011219.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバの終端と光デバイスの光学面との距離を検出し、当該距離が所定値となるように前記光ファイバを軸方向に移動させて、前記光ファイバの前記終端の、前記光学デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決める光ファイバの位置決め装置であって、
前記光ファイバを把持するブラケットを備え、当該ブラケットを前記光ファイバの軸方向に移動させることにより、前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離を変化させる光ファイバ移動手段と、
前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との間に介在して配置された接触板片を備え、当該接触板片を前記光ファイバの軸方向に移動させ、前記接触板片を前記光ファイバの前記終端に接触させるとともに、前記光デバイスの前記光学面に接触させる接触板片移動手段と、
前記接触板片の、前記光ファイバの前記終端との接触および前記光デバイスの前記光学面との接触を検知する接触板片接触検知手段と、
前記接触板片接触検知手段が前記接触板片と前記光ファイバの前記終端との接触を検知したときの前記接触板片の前記軸方向位置と、前記接触板片接触検知手段が前記接触板片と前記光デバイスの前記光学面との接触を検知したときの前記接触板片の前記軸方向位置との差を検出し、当該検出値に前記接触板片の板厚を加算することで前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離を検出する距離検出手段と、
を備えたことを特徴とする光ファイバの位置決め装置。
【請求項２】
光ファイバの終端と光デバイスの光学面とを接触させた後、前記終端と前記光学面との距離が所定値となるように前記光ファイバを軸方向に移動させて、前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決める光ファイバの位置決め装置であって、
前記光ファイバを把持するとともに歪みまたは衝撃の検知素子として機能するブラケットを備え、当該ブラケットを前記光ファイバの軸方向に移動させることにより、前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離を変化させる光ファイバ移動手段と、
前記ブラケットからの検知信号に基づき前記光ファイバの前記終端の前記光デバイスの前記光学面との接触を検知する光ファイバ接触検知手段と、
を備えたことを特徴とする光ファイバの位置決め装置。
【請求項３】
前記光ファイバが載置されるＶ溝と前記光デバイスを取り付ける取付け部が形成されたステージにおける、前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置の位置決めに使用されることを特徴とする請求項１または２に記載の光ファイバの位置決め装置。
【請求項４】
光ファイバ被覆用のカバー部材を吸着するとともに歪みまたは衝撃の検知素子として機能する吸着部材を備え、前記吸着部材を前記Ｖ溝が形成された前記ステージの表面に垂直な方向に移動させることにより、前記カバー部材と前記光ファイバとの距離を変化させるカバー部材移動手段と、
前記カバー部材と前記光ファイバとの接触を検知するカバー部材接触検知手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の光ファイバの位置決め装置。
【請求項５】
光ファイバの終端と光デバイスの光学面との距離を検出し、当該距離が所定値となるように前記光ファイバを軸方向に移動させて、前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決める光ファイバの位置決め方法であって、
前記光ファイバをブラケットに把持させ、前記ブラケットを前記光ファイバの軸方向に移動させることにより、前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との間に間隔を形成する光ファイバ移動ステップと、
前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との間に介在して配置された接触板片を前記光ファイバの軸方向に移動させ、前記接触板片を前記光ファイバの前記終端に接触させるとともに、前記光デバイスの前記光学面に接触させる接触板片移動ステップと、
前記接触板片の、前記光ファイバの前記終端との接触および前記光デバイスの前記光学面との接触を検知する接触検知ステップと、
前記接触検知ステップにより前記接触板片と前記光ファイバの前記終端との接触を検知したときの前記接触板片の前記光ファイバの軸方向位置と、前記接触検知ステップにより前記接触板片と前記光デバイスの前記光学面との接触を検知したときの前記接触板片の前記光ファイバの軸方向位置との差を検出する軸方向位置検出ステップと、
前記軸方向位置検出ステップにより検出した検出値に前記接触板片の板厚を加算することで前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離を検出する距離検出ステップと、
前記距離検出ステップによる前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離が前記所定値でないときは、前記距離が当該所定値に近づくように前記光ファイバ移動ステップにおいて前記ブラケットを移動させた後、前記接触板片移動ステップ、前記接触板片移動ステップ、前記接触検知ステップ、前記距離検出ステップを実行するステップと、
を有することを特徴とする光ファイバの位置決め方法。
【請求項６】
光ファイバの終端と光デバイスの前記光学面との接触を検知し、前記終端と前記光学面との距離が所定値となるように前記光ファイバを軸方向に移動させて、前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決める光ファイバの位置決め方法であって、
前記光ファイバを把持するとともに歪みまたは衝撃の検知素子として機能するブラケットを、前記光ファイバの前記終端が前記光デバイスの前記光学面に接触するように前記光ファイバの軸方向に移動させる光ファイバ移動ステップと、
前記ブラケットからの検知信号に基づき前記光ファイバの前記終端の前記光デバイスの前記光学面との接触を検知する接触検知ステップと、
前記接触検知ステップにより、前記光ファイバの前記終端の前記光デバイスの前記光学面との接触を検知したときは、前記ブラケットを前記光ファイバの前記終端が前記光デバイスの前記光学面から所定距離離れるように移動させ、前記光ファイバの前記終端の軸方向位置を決める光ファイバ位置決めステップと、
を有することを特徴とする光ファイバの位置決め方法。
【請求項７】
前記光ファイバが載置されるＶ溝と前記光デバイスを取り付ける取付け部が形成されたステージにおける、前記光ファイバの前記終端の前記光デバイスの、前記光学面に対する軸方向位置の位置決めに適用されることを特徴とする請求項５または６に記載の光ファイバの位置決め方法。
【請求項８】
前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決める前の工程として、
歪みまたは衝撃の検知素子として機能する吸着部材により光ファイバ被覆用のカバー部材を吸着するカバー部材吸着ステップと、
前記吸着部材を前記Ｖ溝が形成された前記ステージの表面に垂直な方向に移動させることにより、前記カバー部材を前記光ファイバに接触させるカバー部材接触ステップと、
前記吸着部材からの検知信号に基づき前記カバー部材と前記光ファイバとの接触を検知する接触検知ステップと、
前記接触検知ステップにより、前記カバー部材と前記光ファイバとの接触を検知したときは、前記カバー部材を、前記光ファイバから所定距離離れるように移動させるカバー部材位置決めステップと、
を有し、
前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決める後の工程として、
前記カバー部材を前記光ファイバに押接して、前記カバー部材を前記ステージに接着固定するカバー部材接着ステップ、
を有することを特徴とする請求項５から７の何れかに記載の光ファイバの位置決め方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高価な機器を使用することなく、かつ簡単な手順により、光ファイバの終端の、光デバイスの光学面に対する軸方向位置を決めることができる光ファイバの位置決め装置および位置決め方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ファイバと受光素子，発光素子等の光デバイスとの光学的な接続に際しては、光ファイバの終端（先端）を、光デバイスの光学面（受光面または発光面）に対してミクロンオーダまたはサブミクロンの精度で位置決めしなくてはならない。この位置決めが適正でないと、光学情報の伝達が困難となる。
【０００３】
三次元位置測定器を搭載した非接触型位置決め装置を用いることで高精度のこの位置決めができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、非接触型位置決め装置は、測定ビーム発生機器や測定ビーム受光機器を使用するため、価格が高価となるほか、装置自体が大型化する一方、周辺ハードウェアや周辺ソフトウェアが大規模化するといった問題がある。
【０００５】
また、光ファイバと光デバイスとを実装するに際しては、ステージに形成されたＶ溝に配置された光ファイバにカバー部材（カバーガラス）を載置が行われるが、この載置に際して、光ファイバの終端位置が変動してしまうという問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、高価な機器を使用することなく、かつ簡単な手順により、光ファイバの終端の、光デバイスの光学面に対する軸方向位置を決めることができる光ファイバの位置決め装置および位置決め方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の光ファイバの位置決め装置は、光ファイバの終端と光デバイスの光学面との距離を検出し、当該距離が所定値となるように前記光ファイバを軸方向に移動させて、前記光ファイバの前記終端の、前記光学デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決めるものであって、前記光ファイバを把持するブラケットを備え、当該ブラケットを前記光ファイバの軸方向に移動させることにより、前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離を変化させる光ファイバ移動手段と、前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との間に介在して配置された接触板片を備え、当該接触板片を前記光ファイバの軸方向に移動させ、前記接触板片を前記光ファイバの前記終端に接触させるとともに、前記光デバイスの前記光学面に接触させる接触板片移動手段と、前記接触板片の、前記光ファイバの前記終端との接触および前記光デバイスの前記光学面との接触を検知する接触板片接触検知手段と、前記接触板片接触検知手段が前記接触板片と前記光ファイバの前記終端との接触を検知したときの前記接触板片の前記軸方向位置と、前記接触板片接触検知手段が前記接触板片と前記光デバイスの前記光学面との接触を検知したときの前記接触板片の前記軸方向位置との差を検出し、当該検出値に前記接触板片の板厚を加算することで前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離を検出する距離検出手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の光ファイバの位置決め装置は、光ファイバの終端と光デバイスの光学面とを接触させた後、前記終端と前記光学面との距離が所定値となるように前記光ファイバを軸方向に移動させて、前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決めるものであって、前記光ファイバを把持するとともに歪みまたは衝撃の検知素子として機能するブラケットを備え、当該ブラケットを前記光ファイバの軸方向に移動させることにより、前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離を変化させる光ファイバ移動手段と、前記ブラケットからの検知信号に基づき前記光ファイバの前記終端の前記光デバイスの前記光学面との接触を検知する光ファイバ接触検知手段と、を備えたことをも特徴とする。
【０００９】
本発明の光ファイバの位置決め装置は、前記光ファイバが載置されるＶ溝と前記光デバイスを取り付ける取付け部が形成されたステージにおける、前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置の位置決めに使用することができる。
【００１０】
本発明の光ファイバの位置決め装置では、光ファイバ被覆用のカバー部材を吸着するとともに歪みまたは衝撃の検知素子として機能する吸着部材を備え、前記吸着部材を前記Ｖ溝が形成された前記ステージの表面に垂直な方向に移動させることにより、前記カバー部材と前記光ファイバとの距離を変化させるカバー部材移動手段と、前記カバー部材と前記光ファイバとの接触を検知するカバー部材接触検知手段とを備えることができる。
【００１１】
本発明の光ファイバの位置決め方法は、光ファイバの終端と光デバイスの光学面との距離を検出し、当該距離が所定値となるように前記光ファイバを軸方向に移動させて、前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決めるものであって、前記光ファイバをブラケットに把持させ、前記ブラケットを前記光ファイバの軸方向に移動させることにより、前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との間に間隔を形成する光ファイバ移動ステップと、前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との間に介在して配置された接触板片を前記光ファイバの軸方向に移動させ、前記接触板片を前記光ファイバの前記終端に接触させるとともに、前記光デバイスの前記光学面に接触させる接触板片移動ステップと、前記接触板片の、前記光ファイバの前記終端との接触および前記光デバイスの前記光学面との接触を検知する接触検知ステップと、前記接触検知ステップにより前記接触板片と前記光ファイバの前記終端との接触を検知したときの前記接触板片の前記光ファイバの軸方向位置と、前記接触検知ステップにより前記接触板片と前記光デバイスの前記光学面との接触を検知したときの前記接触板片の前記光ファイバの軸方向位置との差を検出する軸方向位置検出ステップと、前記軸方向位置検出ステップにより検出した検出値に前記接触板片の板厚を加算することで前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離を検出する距離検出ステップと、前記距離検出ステップによる前記光ファイバの前記終端と前記光デバイスの前記光学面との距離が前記所定値でないときは、前記距離が当該所定値に近づくように前記光ファイバ移動ステップにおいて前記ブラケットを移動させた後、前記接触板片移動ステップ、前記接触板片移動ステップ、前記接触検知ステップ、前記距離検出ステップを実行するステップと、を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の光ファイバの位置決め方法は、光ファイバの終端と光デバイスの光学面との接触を検知し、前記終端と前記光学面との距離が所定値となるように前記光ファイバを軸方向に移動させて、前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決めるものであって、前記光ファイバを把持するとともに歪みまたは衝撃の検知素子として機能するブラケットを、前記光ファイバの前記終端が前記光デバイスの前記光学面に接触するように前記光ファイバの軸方向に移動させる光ファイバ移動ステップと、前記ブラケットからの検知信号に基づき前記光ファイバの前記終端の前記光デバイスの前記光学面との接触を検知する接触検知ステップと、前記接触検知ステップにより、前記光ファイバの前記終端の前記光デバイスの前記光学面との接触を検知したときは、前記ブラケットを前記光ファイバの前記終端が前記光デバイスの前記光学面から所定距離離れるように移動させ、前記光ファイバの前記終端の軸方向位置を決める光ファイバ位置決めステップと、を有することをも特徴とする。
【００１３】
本発明の光ファイバの位置決め方法は、前記光ファイバが載置されるＶ溝と前記光デバイスを取り付ける取付け部が形成されたステージにおける、前記光ファイバの前記終端の前記光デバイスの、前記光学面に対する軸方向位置の位置決めに適用することができる。
【００１４】
本発明の光ファイバの位置決め方法では、前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決める前の工程として、
歪みまたは衝撃の検知素子として機能する吸着部材により光ファイバ被覆用のカバー部材を吸着するカバー部材吸着ステップと、前記吸着部材を前記Ｖ溝が形成された前記ステージの表面に垂直な方向に移動させることにより、前記カバー部材を前記光ファイバに接触させるカバー部材接触ステップと、前記吸着部材からの検知信号に基づき前記カバー部材と前記光ファイバとの接触を検知する接触検知ステップと、前記接触検知ステップにより、前記カバー部材と前記光ファイバとの接触を検知したときは、前記カバー部材を、前記光ファイバから所定微細距離離れるように移動させるカバー部材位置決めステップと、を有し、
前記光ファイバの前記終端の、前記光デバイスの前記光学面に対する軸方向位置を決める後の工程として、前記カバー部材を前記光ファイバに押接して、前記カバー部材を前記ステージに接着固定するカバー部材接着ステップ、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、高価な機器を使用することなく、かつ簡単な手順により、光ファイバの終端の、光デバイスの光学面に対する軸方向位置を決めることができる。
【００１６】
本発明では、光ファイバの位置決めに際して、カバー部材を光ファイバから微細距離離れるように設けることができるので、光ファイバがステージ上でたるむことなく、Ｖ溝に沿って移動できるので、精密な位置決めができる。また、光ファイバの終端の位置を決めた後に当該光ファイバをカバー部材で押圧させた場合であっても、光ファイバにるみがないので、一度決めた光ファイバの終端位置が変動してしまうこともない。
【００１７】
本発明では、光ファイバの位置決めに際して、カバー部材を歪みまたは衝撃の検知素子として機能する吸着部材により移動させて、光ファイバから微細距離離れるようにしたので、カバー部材の移動機構を小サイズ化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１から図３により、本発明の光ファイバの位置決め装置および位置決め方法の一実施形態を説明する。
【００１９】
図１は本実施形態の光ファイバの位置決め装置を示す側面説明図である。図１の位置決め装置１Ａは、光ファイバ２の終端２１と、光デバイス３の光学面３１との距離Lを検出し、距離Lが所定値となるように光ファイバ２を軸方向（Ｘ方向）に移動させて、終端２１の光学面３１に対する軸方向位置（Ｘ座標）を決めるものであり、光ファイバ２が載置されるＶ溝５１と光デバイス３を取り付ける取付け部が形成されたステージ６における、光ファイバ２の終端２１の、光デバイス３の光学面３１に対する軸方向位置（Ｘ座標）の位置決めに適用される。
【００２０】
図１において、位置決め装置１Ａは、光ファイバ移動手段１１と、接触板片移動手段１２と、接触板片接触検知手段１３と、距離検出手段１４と、カバー部材移動手段１５と、カバー部材接触検知手段１６とを備えている。
【００２１】
光ファイバ移動手段１１は、光ファイバドライバ１１１と、光ファイバ２を把持するブラケット１１２を備えており、光ファイバドライバ１１１は、ブラケット１１２を光ファイバ２の軸方向（Ｘ方向）に移動させることにより、光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との距離を変化させることができる。また、図１ではブラケット１１２は光ファイバドライバ１１１の移動子１１３に取り付けられている。なお、光ファイバドライバ１１１は、マイクロメータ方式機構、送りネジ機構、ピエゾ素子機構、またはこれらの組み合わせ機構により構成することができる。
【００２２】
接触板片移動手段１２は、接触板片ドライバ１２１と、光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との間に介在して配置された接触板片１２２を備え、接触板片ドライバ１２１は、接触板片１２２を光ファイバ２の軸方向（Ｘ方向）に移動させ、接触板片１２２を光ファイバ２の終端２１に接触させるとともに、光デバイス３の光学面３１に接触させることができる。図１では、接触板片１２２は、圧電材により構成されており、生じた歪みは後述する接触検知回路１３１により検出される。また、図１では接触板片１２２はブラケット１２３により接触板片ドライバ１２１の移動子１２４に取り付けられている。なお、接触板片ドライバ１２１は、マイクロメータ方式機構、送りネジ機構、ピエゾ素子機構、またはこれらの組み合わせ機構により構成することができる。
【００２３】
接触板片接触検知手段１３は、接触検知回路１３１と接触板片１２２に接続された配線１３２とからなり、接触検知回路１３１は接触板片１２２からの信号に基づき、光ファイバ２の終端２１との接触および光デバイス３の光学面３１との接触を検知することができる。
【００２４】
距離検出手段１４は、軸方向位置検出部１４１と加算部１４２とを備えており、軸方向位置検出部１４１は、接触検知回路１３１が接触板片１２２と光ファイバ２の終端２１との接触を検知したときの接触板片１２２の光ファイバ２の軸方向位置（Ｘ１）と、接触検知回路１３２が接触板片１２２と光デバイス２の光学面２１との接触を検知したときの接触板片１２２の光ファイバ２の軸方向位置（Ｘ２：ただし、Ｘ２＞Ｘ１）との差（Ｘ２−Ｘ１）を検出することができ、加算部１４２はこの検出値に接触板片１２２の板厚（ＤＸ）を加算することで光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との距離Ｌ（Ｘ２−Ｘ１＋ＤＸ）を検出することができる。なお、軸方向位置検出部１４１および加算部１４２は、図示しないＣＰＵの演算処理機能によりソフト的に実現することもできる。
【００２５】
カバー部材移動手段１５は、カバー部材ドライバ１５１と吸着部材１５２とを備えており、吸着部材１５２は、光ファイバ２の被覆用のカバー部材４を吸着するとともに歪みまたは衝撃の検知素子として機能し、カバー部材ドライバ１５１は吸着部材１５２をＶ溝５１が形成されたステージ５の表面に垂直な方向（Ｚ方向）に移動させることにより、カバー部材４と光ファイバ２との距離を変化させることができる。図１では、吸着部材１５２は、圧電材により構成されており、生じた歪みは後述する接触検知回路１６１により検出される。また、吸着部材１５２は円筒形状をなし、ブラケット１５３により接触板片ドライバ１２１の移動子１５４に取り付けられている。図１では、カバー部材移動手段１５は、真空ポンプ１５５を備えており、吸着部材１５２の円筒の中空部から真空引きを行うことにより、カバー部材４を吸着することができる。なお、カバー部材ドライバ１５１は、マイクロメータ方式機構、送りネジ機構、ピエゾ素子機構、またはこれらの組み合わせ機構により構成することができる。
【００２６】
カバー部材接触検知手段１６は、接触検知回路１６１と吸着部材１５２に接続された配線１６２とからなり、接触検知回路１６１は吸着部材１５２からの信号に基づき、カバー部材４と光ファイバ２との接触を検知することができる。
【００２７】
図１には表示装置６１と操作装置６２とが示されており、表示装置６１は、距離検出手段１４の加算部１４２からの加算結果（光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との距離Ｌ）、カバー部材接触検知手段１６の接触検知回路１６１からの検出結果（カバー部材４と光ファイバ２との接触）を表示することができ、ユーザはこの表示を見て、操作装置６２を用いて光ファイバ移動手段１１の光ファイバドライバ１１１を駆動し、接触板片移動手段１２の接触板片ドライバ１２１を駆動し、カバー部材移動手段１５のカバー部材ドライバ１５１および真空ポンプ１５５を駆動することができる。
【００２８】
位置決め装置１Ａの平面図を図２（Ａ）に示し、図２（Ａ）におけるＪ−Ｊ矢視断面図を図２（Ｂ）に示し、斜視図を図２（Ｃ）に示す。なお、図１は図２（Ａ）におけるＫ方向から見た位置決め装置１Ａの側面説明図である。
【００２９】
図２（Ａ）〜（Ｃ）では、ブラケット１１２，１２３，１５３、移動子１１３，１２４，１５４、および光ファイバドライバ１１１、接触板片ドライバ１２１、カバー部材ドライバ１５１、接触検出回路１３１，１６１、真空ポンプ１５５等の周辺回路の図示は省略してある。なお、図２（Ｃ）では光ファイバ２の図示も省略してある。
【００３０】
以下、図１に示した位置決め装置１Ａを用いた本発明の光ファイバの位置決め方法を図３のフローチャートにより説明する。
【００３１】
図３のフローチャートは、光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との距離Ｌを検出し、距離Ｌが所定値Ｌ０（たとえば、１０μｍ）となるように光ファイバ２を軸方向（Ｘ方向）に移動させて、光ファイバ２の終端２３の、光デバイス２の光学面３１に対する軸方向位置（Ｘ座標）を決める光ファイバの位置決め方法を示している。
【００３２】
まず、光ファイバ２の終端２１の、光デバイス３の光学面３１に対する軸方向位置（Ｘ座標）を決める前に、ステップＳ１０１〜Ｓ１０４を実行する。
【００３３】
カバー部材吸着ステップＳ１０１では、歪みまたは衝撃の検知素子として機能する吸着部材１５２により光ファイバ被覆用のカバー部材４を吸着する。
【００３４】
カバー部材接触ステップＳ１０２では、吸着部材１５２をＶ溝５１が形成されたステージ５の表面に垂直な方向（Ｚ方向）に移動させることにより、カバー部材４を光ファイバ２に接触させる。
【００３５】
接触検知ステップＳ１０３では、検知素子としての吸着部材１５２からの検知信号に基づきカバー部材４と光ファイバ２との接触を検知する。
【００３６】
カバー部材位置決めステップＳ１０４では、接触検知ステップ１０３により、カバー部材４と光ファイバ２との接触を検知したときは、カバー部材４を、光ファイバ２から所定微細距離（たとえば、１μｍ）離れるように移動させる。
【００３７】
以上のステップを実行した後に、ステップＳ１０５〜Ｓ１１１を実行する。
光ファイバ移動ステップＳ１０５では、光ファイバ２をブラケット１１２に把持させ、ブラケット１１２を光ファイバ２の軸方向（Ｘ方向）に移動させることにより、光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との間に間隔（距離Ｌ）を形成する。
【００３８】
接触板片移動ステップＳ１０６では、光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１とのと間に介在して配置された接触板片１２２を光ファイバ２の軸方向（Ｘ方向）に移動させ、接触板片１２２を光ファイバ２の終端２１に接触させるとともに、光デバイス３の光学面３１に接触させる。
【００３９】
接触検知ステップＳ１０７では、接触板片１２２の、光ファイバ２の終端２１との接触および光デバイス２の光学面２１との接触を検知する。
【００４０】
軸方向位置検出ステップＳ１０８では、接触検知ステップＳ１０７により接触板片１２２と光ファイバ２の終端２１との接触を検知したときの接触板片１２２の光ファイバ２の軸方向位置（Ｘ１）と、接触検知ステップＳ１０７により接触板片１２２と光デバイス３の光学面３１との接触を検知したときの接触板片１２２の光ファイバ２の軸方向位置との差を検出し、距離検出ステップＳ１０９ではこの検出値に接触板片１２２の板厚（ＤＸ）を加算することで光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との距離を検出する。
【００４１】
ついで、距離検出ステップＳ１０９による光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との距離Ｌが所定値Ｌ０（上述したように、たとえば１０μｍ：ただし、９．５μｍ以上１０．５μｍ未満等の幅を持たせることができる）でないときは（Ｓ１１０の「ＮＯ」）、距離Ｌが所定値Ｌ０に近づくように光ファイバ移動ステップＳ１０５においてブラケット１１２を移動させた後、接触板片移動ステップＳ１０６、前記接触板片移動ステップＳ１０７、接触検知ステップＳ１０７、距離検出ステップＳ１０８を繰り返し実行する。
【００４２】
距離検出ステップＳ１０９による光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との距離Ｌが所定値Ｌ０となったとき（Ｓ１１０の「ＮＯ」）は、接着固定ステップＳ１１１を実行する。接着固定ステップＳ１１１では、カバー部材４を光ファイバ２に押接して、カバー部材４をステージ５に接着剤等により接着固定する。
【００４３】
図４および図５により、本発明の光ファイバの位置決め装置および位置決め方法の他の実施形態を説明する。
【００４４】
図４は本実施形態の光ファイバの位置決め装置を示す側面説明図である。図４の位置決め装置１Ｂは、光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１とを接触させた後、終端２１と光学面３１との距離が所定値となるように光ファイバ２を軸方向に移動させて、光ファイバ２の終端２１の、光デバイス３の光学面３１に対する軸方向位置を決めるものであり、光ファイバ２が載置されるＶ溝５１と光デバイス３を取り付ける取付け部が形成されたステージ５における、光ファイバ２の終端２１の、光デバイス３の光学面３１に対する軸方向位置（Ｘ座標）の位置決めに適用される。
【００４５】
図４において、位置決め装置１Ｂは、カバー部材移動手段１５と、カバー部材接触検知手段１６と、光ファイバ移動手段１７と、光ファイバ接触検知手段１８とを備えている。
【００４６】
カバー部材移動手段１５およびカバー部材接触検知手段１６は、図１において述べたカバー部材移動手段１５およびカバー部材接触検知手段１６と同じである。
【００４７】
光ファイバ移動手段１７は、光ファイバドライバ１７１と、光ファイバ２を把持するとともに歪みまたは衝撃の検知素子として機能するブラケット１７２とを備えており、ブラケット１７２を光ファイバ２の軸方向（Ｘ方向）に移動させることにより、光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との距離を変化させることができる。図４では、ブラケット１７２は、圧電材により構成されており、生じた歪みは後述する接触検知回路１７１により検出される。また、図４ではブラケット１７２は、光ファイバドライバ１７１の移動子１７３に取り付けられている。なお、光ファイバドライバ１７１は、マイクロメータ方式機構、送りネジ機構、ピエゾ素子機構、またはこれらの組み合わせ機構により構成することができる。
【００４８】
光ファイバ接触検知手段１８は、接触検知回路１８１とブラケット１７２に接続された配線１８２とからなり、接触検知回路１８１はブラケット１７２からの信号に基づき、光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との接触を検知することができる。
【００４９】
図４には、表示装置６１と操作装置６２とが示されており、表示装置６１は、カバー部材接触検知手段１６の接触検知回路１６１からの検出結果（カバー部材４と光ファイバ２との接触）、および接触検知回路１８１はからの検出結果（光ファイバ２の終端２１と光デバイス３の光学面３１との接触）を表示することができ、ユーザはこの表示を見て、操作装置６２を用いてカバー部材移動手段１５のカバー部材ドライバ１５１および真空ポンプ１５５を駆動し、光ファイバ移動手段１７の光ファイバドライバ１７１を駆動することができる。
【００５０】
以下、図４に示した位置決め装置１Ｂを用いた本発明の光ファイバの位置決め方法を図５のフローチャートにより説明する。
【００５１】
図５のフローチャートは、光ファイバの終端と光デバイスの光学面との接触を検知し、前記終端２１と前記光学面３１との距離が所定値となるように光ファイバ２を軸方向（Ｘ方向）に移動させて、光ファイバ２の終端２１の、光デバイス３の光学面３１に対する軸方向位置（Ｘ座標）を決める光ファイバ２の位置決め方法を示している。
【００５２】
まず、光ファイバ２の終端２１の、光デバイス３の光学面３１に対する軸方向位置（Ｘ座標）を決める前に、ステップＳ２０１〜Ｓ２０４を実行する。
ステップＳ２０１〜Ｓ２０４の処理は、図３において説明したステップＳ１０１〜Ｓ１０４と同じであるので、説明は省略する。
【００５３】
以上のステップを実行した後に、ステップＳ２０５〜Ｓ２０８を実行する。
光ファイバ移動ステップＳ２０５では、光ファイバ２を把持するとともに歪みまたは衝撃の検知素子として機能するブラケット１７１を、光ファイバ２の終端２１が光デバイス２の光学面２１に接触するように光ファイバ２の軸方向（Ｘ方向）に移動させる。
【００５４】
接触検知ステップＳ２０６では、検知素子としてのブラケット１７１からの検知信号に基づき光ファイバ２の終端２１の光デバイス３の光学面３１との接触を検知する。
【００５５】
光ファイバ位置決めステップＳ２０７では、接触検知ステップＳ２０６により、光ファイバ２の終端２１の光デバイス２の光学面２１との接触を検知したときは、ブラケット１７１を、光ファイバ２の終端２１が光デバイス３の光学面３１から所定距離Ｌ０（たとえば、１０μｍ）離れるように移動させ、光ファイバ２の終端２１の軸方向位置を決める。
【００５６】
この後、接着固定ステップＳ２０８を実行する。接着固定ステップＳ２０８では、カバー部材４を光ファイバ２に押接して、カバー部材４をステージ５に接着剤等により接着固定する。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の一実施形態にかかる光ファイバの位置決め装置を示す側面説明図。
【図２】（Ａ）は位置決め装置の平面図、（Ｂ）は（Ａ）におけるＪ−Ｊ矢視の断面図、（Ｃ）は位置決め装置の斜視図。
【図３】図１に示した位置決め装置を用いた本発明の光ファイバの位置決め方法を示すフローチャート。
【図４】本発明の他の実施形態における光ファイバの位置決め装置を示す側面説明図。
【図５】図４に示した位置決め装置を用いた本発明の光ファイバの位置決め方法を示すフローチャート。
【符号の説明】
【００５８】
１Ａ，１Ｂ  位置決め装置
２  光ファイバ
３  光デバイス
４  カバー部材
５  ステージ
１１  光ファイバ移動手段
１２  接触板片移動手段
１３  接触板片接触検知手段
１４  距離検出手段
１５  カバー部材移動手段
１６  カバー部材接触検知手段
１７  光ファイバ移動手段
１８  光ファイバ接触検知手段
２１  終端
３１  光学面
５１  Ｖ溝
６１  表示装置
６２  操作装置
１１１，１７１  光ファイバドライバ
１１２，１２３，１５３，１７２  ブラケット
１１３，１２４，１５４，１７３  移動子
１２１  接触板片ドライバ
１２２  接触板片
１３１，１６１，１８１  接触検知回路
１３２，１６２，１８２  配線
１４１  軸方向位置検出部
１４２  加算部
１５１  カバー部材ドライバ
１５２  吸着部材
１５４，１５５  真空ポンプ
【図３】
2006011219.tif 000003
【図５】
2006011219.tif 000004
【図１】
2006011219.tif 000005
【図２】
2006011219.tif 000006
【図４】
2006011219.tif 000007