(57)【要約】【課題】  欠陥部の修正作業が迅速、容易に行え、欠陥部の修正に使用する材料の無駄な消費や廃棄物の発生を少なくする。【解決手段】  カラーフィルタ２の着色層２ａに、平面視で、着色層２ａの欠陥部Ｅを含んでそれより広い領域にわたって昇華性を有するマスキング剤ｆ２を塗布し、欠陥部Ｅを含む着色層領域のマスキング剤ｆ２をパルス発振レーザ光（第１のレーザ光）Ｌａを照射して除去した後に、該マスキング剤を除去された着色層除去領域Ｋに修正インクｆ１をインクジェット装置によって塗布し、この着色層除去領域Ｋに塗布された修正インクｆ１を連続発振レーザ光（第２のレーザ光）Ｌｂを照射して加熱、硬化させることにより、修正インクｆ１の成膜２ａ１を形成して欠陥部Ｅを修正すると共に、着色層２ａ上の残留マスキング剤ｆ２を加熱昇華させて着色層２ａから除去する。【選択図】      図４
2006011244.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタの着色層に、平面視で、着色層の欠陥部を含んでそれより広い領域にわたって昇華性を有するマスキング剤を塗布し、前記欠陥部を含む着色層領域のマスキング剤をレーザ光を照射して除去した後に、該マスキング剤を除去された着色層除去領域に修正インクを塗布し、この着色層除去領域に塗布された修正インクを硬化させ、前記マスキング剤を加熱昇華させて着色層から除去することにより前記欠陥部を修正することを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項２】
前記修正インクとして熱硬化性を有するインクを使用し、前記着色層除去領域に塗布された修正インクと前記着色層に残留したマスキング剤とにレーザ光を照射して、修正インクを加熱硬化させると共にマスキング剤を昇華させることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項３】
前記修正インクとして紫外線硬化性を有するインクを使用し、前記着色層除去領域に塗布された修正インクを紫外光を照射して硬化させた後、前記着色層に残留したマスキング剤をレーザ光を照射して昇華させることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項４】
前記修正インクをインクジェット装置によってマスキング剤の除去された着色層除去領域に滴下して塗布することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項５】
前記マスキング剤をインクジェット装置によって塗布することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項６】
前記インクジェット装置による修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ光の照射により除去する着色層除去領域の面積とから、該着色層除去領域に対する修正インクの滴下量を求めることを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【請求項７】
前記インクジェット装置による修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、前記基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚と前記インクジェット装置による修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層除去領域の面積を求めることを特徴とする請求項４に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置等におけるカラーフィルタに生じた突起欠陥部や白黒欠陥部等の欠陥部を修正するカラーフィルタの欠陥修正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、カラーフィルタの有機被膜パターン等のエマルジョン層に生じたピンホール、欠損等の白欠陥を修正する欠陥修正方法として、ガラス基材に形成したエマルジョン層に焼き付けられた画像の欠陥部に対し、該欠陥部を含めた周辺に、弱粘着性のフィルムからなる合成樹脂の保護膜層を貼り付け、前記欠陥部に合わせて紫外線レーザ光を保護膜層に照射し、前記欠陥部と共に保護膜層を除去し、この除去した部分に遮光性顔料を塗布した後、欠陥部の遮光性顔料を残して保護膜層を剥離除去することにより、欠陥部を修正する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第２９８９８０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来のカラーフィルタ等の欠陥修正方法では、欠陥部を含めた周辺に塗布した保護膜層を工程の最後に除去するために、粘着テープを保護膜層に貼り付け、該粘着テープを剥がすことにより、保護膜層を粘着テープと一緒にエマルジョン層から剥離するようにしているので、保護膜層が弱粘着性とはいえ、剥離時にエマルジョン層の表面を損傷させないために剥離作業を慎重に行わねばならず、該剥離作業に手間がかかり、作業を迅速に行うことができないと共に、剥離された保護膜層やその表面に塗布された遮光性顔料、粘着テープ等の廃棄物が生じる問題がある。また、前記欠陥部に遮光性顔料を塗布するために、ディスペンサ方式の吐出機構を有する溶液塗布装置を用いているので、遮光性顔料の極微小量の液滴の制御を行うことができず、小さな欠陥部に対して余分な液滴の遮光性顔料を塗布することとなり、該遮光性顔料の無駄な消費を来すと共に、前記廃棄物を余分に出す問題がある。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、欠陥部の修正作業が迅速、容易に行え、前記欠陥部の修正に使用する材料の無駄な消費や廃棄物の発生を少なくすることができるカラーフィルタの欠陥修正方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、前記課題を解決するために、以下の点を特徴としている。
すなわち、請求項１に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、カラーフィルタの着色層に、平面視で、着色層の欠陥部を含んでそれより広い領域にわたって昇華性を有するマスキング剤を塗布し、前記欠陥部を含む着色層領域のマスキング剤をレーザ光を照射して除去した後に、該マスキング剤を除去された着色層除去領域に修正インクを塗布し、この着色層除去領域に塗布された修正インクを硬化させ、前記マスキング剤を加熱昇華させて着色層から除去することにより前記欠陥部を修正することを特徴としている。
【０００６】
この欠陥修正方法においては、検査装置によってカラーフィルタの着色部の欠陥部が検出されると、平面視で該欠陥部を含んでそれより広い領域にマスキング剤が溶液塗布装置によって塗布された後、レーザ加工装置によって前記マスキング剤に第１のレーザ光が照射されて、欠陥部を含む所定の着色層領域におけるマスキング剤が除去される。次に、そのマスキング剤が除去された着色層除去領域に、溶液塗布装置によって前記欠陥部の着色層に対応する色の修正インクが塗布され、この塗布された修正インクに、例えばレーザ加工装置によって第２のレーザ光が照射され、または硬化用の光が照射されると、該修正インクが硬化され、これにより修正インクの薄膜が欠陥部に形成されてカラーフィルタの欠陥部が修正される。また、前記着色層上に残留したマスキング剤は第２のレーザ光で加熱されるか、後工程でマスキング剤が加熱炉等で加熱されることにより、マスキング剤が昇華して着色層上から除去されてカラーフィルタが清浄化される。
【０００７】
請求項２に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記修正インクとして熱硬化性を有するインクを使用し、前記着色層除去領域に塗布された修正インクと前記着色層に残留したマスキング剤とにレーザ光を照射して、修正インクを加熱硬化させると共にマスキング剤を昇華させることを特徴としている。
【０００８】
請求項３に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記修正インクとして紫外線硬化性を有するインクを使用し、前記着色層除去領域に塗布された修正インクを紫外光を照射して硬化させた後、前記着色層に残留したマスキング剤をレーザ光を照射して昇華させることを特徴としている。
【０００９】
請求項４に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記修正インクをインクジェット装置によってマスキング剤の除去された着色層除去領域に滴下して塗布することを特徴としている。
【００１０】
請求項５に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、請求項１〜４のいずれかに記載のカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記マスキング剤をインクジェット装置によって塗布することを特徴としている。
【００１１】
請求項６に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、請求項４に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記インクジェット装置による修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚とレーザ光の照射により除去する着色層除去領域の面積とから、該着色層除去領域に対する修正インクの滴下量を求めることを特徴としている。
【００１２】
請求項７に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、請求項４に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法において、前記インクジェット装置による修正インクの滴下量と、修正インクの滴下領域の面積と、滴下領域に滴下された修正インクの成膜後の膜厚との相関関係を示す基準データを予め求めておき、前記基準データにもとづいて、前記欠陥部がある着色層の設定膜厚と前記インクジェット装置による修正インクの最小可能滴下量の整数倍とから、前記レーザ光の照射により除去する着色層除去領域の面積を求めることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、以下の優れた効果を奏する。
請求項１に係るカラーフィルタの修正方法によれば、昇華性のマスキング剤で囲まれて限定された欠陥部を含む着色層除去領域に修正インクを塗布するので、該修正インクを硬化して形成された成膜によって前記着色層の欠陥部を的確に修正することができると共に、マスキング剤を加熱昇華して着色層から除去することができるので、従来のように、前記マスキング剤を粘着テープ等に貼り付けて着色層から剥離する等の作業が不要である。したがって、カラーフィルタにおける着色層の欠陥部の修正作業を、欠陥部の無い着色層に損傷を生じさせることなく、迅速、容易に行うことができると共に、前記欠陥部の修正に無用な材料を使用しなくて済み、材料の無駄な消費や廃棄物の発生を少なくすることができる。
【００１４】
請求項２に係るカラーフィルタの修正方法によれば、修正インクを加熱硬化させるときに、同時にレーザ光の照射による加熱で着色層上に残ったマスキング剤を昇華して除去させることができるので、別途にマスキング剤の洗浄工程を設ける必要がなく、工程を短縮することができると共に、カラーフィルタの欠陥部の修正作業を一層容易、迅速に行うことができる。
【００１５】
請求項３に係るカラーフィルタの修正方法によれば、修正インクを紫外光によって硬化させた後に、レーザ光の照射による加熱で着色層に残ったマスキング剤を昇華して除去することができるので、別途にマスキング剤の洗浄工程を設ける必要がなく、工程を短縮することができると共に、カラーフィルタの欠陥部の修正作業を一層容易、迅速に行うことができる。
【００１６】
請求項４と請求項５に係るカラーフィルタの修正方法によれば、インクジェット装置によって修正インクとマスキング剤を、それぞれ、所定の塗布領域に無駄なく、適量、円滑に塗布することができる。
【００１７】
請求項６に係るカラーフィルタの修正方法によれば、レーザ光の照射により除去された着色層除去領域の体積に対し、修正インクの滴下量を適切に設定することができ、カラーフィルタの着色層の欠陥部を、それのなかった着色層の膜厚と均等に整合させた修正インクの成膜により修正することができて、その修正不良の発生を確実に防止することができる。
【００１８】
請求項７に係るカラーフィルタの修正方法によれば、カラーフィルタの着色層の欠陥部がピンホールのような非常に小さな直径を有するものであっても、インクジェット装置による最小可能滴下量以上の修正インクを、これに適合させた面積を有する着色層除去領域に過不足無く滴下させることができ、カラーフィルタにおける着色層の修正後の膜厚を、欠陥部のなかった着色層の膜厚に対して均等に整合させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法を実施する欠陥修正装置の一例について図１を参照して説明する。
図１において、１は本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法を実施する欠陥修正装置である。該カラーフィルタの欠陥修正装置１は、カラーフィルタ２をクランプ３ａで移動台３に支持し、駆動モータ４，４の作動で前記移動台３を基台（図示せず）上でＹ軸方向（図１の紙面に垂直な方向）に移動させることにより、該Ｙ軸方向に前記カラーフィルタ２を移動させる基板移動装置５と、前記カラーフィルタ２の着色層の欠陥部を測定する測定装置６と、該測定装置６によって測定された着色層の欠陥部にレーザ光を照射して、該欠陥部を含む着色層（着色層除去領域）を除去するレーザ加工装置７と、前記レーザ加工装置７で除去された着色層除去領域に、該着色層の色と同一色の修正インクｆを滴下するインクジェット装置（溶液塗布装置）８と、修正インクｆが紫外線（以下、単に「ＵＶ」という）硬化性を有する場合に使用する硬化用のＵＶ光照射用光源７０と、前記基板移動装置５、測定装置６、レーザ加工装置７、インクジェット装置８の動作を制御する制御コンピュータ（制御装置）９と、カラーフィルタ２に関する基本情報等を記憶しているホストコンピュータ（制御装置）１０とを備えている。
【００２０】
前記測定装置６は、顕微鏡を通して撮像するＣＣＤカメラ（撮像手段）１１と，照明器１２と、照明光学系１３と、一対のミラー１４，１４と、対物レンズ１５とを備え、前記照明器１２の光で照明光学系１３、ミラー１４，１４および対物レンズ１５を介して前記カラーフィルタ２の表面を照明しながら前記ＣＣＤカメラで観察し、カラーフィルタ２の着色層の欠陥部を検出、測定して該欠陥部の位置、形状、寸法等に関する測定データを前記制御コンピュータ９に送信するようになっている。
【００２１】
また、前記レーザ加工装置７は、レーザ電源１６と、パルス発振レーザ光（第１のレーザ光）Ｌａを発振する第１のレーザ発振器１７ａと、連続発振レーザ光（第２のレーザ光）Ｌｂを発振する第２のレーザ発振器１７ｂと、一対のミラー１８ａ，１８ａと、アパーチャー機構１８ｂを含むレーザ光学系１８とを備え、前記制御コンピュータ９からの指令により、各レーザ発振器１７ａ，１７ｂが切り換えられて動作し、それらから発生されたパルス発振レーザ光Ｌａを、前記アパーチャー機構１８ｂにより整形した後、前記レーザ光学系１８、前記測定装置６と共用される一方のミラー１４および前記対物レンズ１５を通して前記カラーフィルタ２の着色層に照射するようになっている。そして、前記パルス発振レーザ光Ｌａにより前記着色層除去領域を除去する加工を行い、アパーチャー機構１８ｂによる整形を解除し、連続発振レーザ光Ｌｂにより前記着色層除去領域にインクジェット装置８によって滴下された修正インクを加熱、あるいはＵＶ硬化させるようになっている。
【００２２】
なお、アパーチャー機構１８ｂは、図示しないが、一対のスリット板を前記光軸に直交して対向させて、各スリット板の相互間隔を調整することによりスリットの幅を可変にしたスリット機構を、前記レーザ光Ｌの光軸方向に位置をずらして上下に一対配設し、該一対のスリット機構を前記光軸の回りに個別に旋回するように構成され、一対のスリット機構における各スリットが重ね合わせられて形成される正四角形、矩形、平行四辺形からなる任意の大きさの四辺形の開口部をパルス発振レーザ光Ｌａが通過することにより、前記カラーフィルタ２の表面に前記開口部によって定まる平面形状のパルス発振レーザ光Ｌａが照射されるようになっている。
前記対物レンズ１５は、倍率の異なる複数のレンズを切換えて使用できるスライダー式またはレボルバー式となっており、必要に応じて倍率を換えてＣＣＤカメラ１１での測定を可能とすると共に、各レーザ光Ｌａ，Ｌｂのスポットの大きさを変化させることを可能としている。
前記ＵＶ光照射用光源７０からの紫外光は、前記ミラー１８ａとアパーチャー機構１８ｂとの間において光学系１８の光軸上に配置されたハーフミラー１８ｃによって、対物レンズ１５側へ導くか、または前記照明器１２と照明光学系１３との間の光軸上に配置されたハーフミラー１８ｃによって、照明光学系１３、ミラー１４，１４を経て対物レンズ１５側へ導いて、それぞれカラーフィルタ２に照射されるようにすることができるが、前者の方式を採用するのが望ましい。
【００２３】
前記インクジェット装置８は、従来周知のインク吐出機構を有するものであり、インクジェット制御回路１９と、異なる色の修正インクが充填された複数のインクカートリッジ２０ａと、マスキング剤が充填されたマスキング剤カートリッジ２０ｂと、前記インクカートリッジ２０ａに対応して設けた最小可能滴下量が異なる複数の修正インク吐出用のインクジェットヘッド２１ａと、マスキング剤カートリッジ２０ｂに対応して設けたマスキング剤吐出用のインクジェットヘッド２１ｂとを備え、前記制御コンピュータ８からの指令で動作し、インクジェット制御回路１９により吐出量（滴下量）を制御された修正インクｆ１とマスキング剤ｆ２が各インクジェットヘッド２１ａ，２１ｂから前記カラーフィルタ２の前記着色層除去領域と着色層にそれぞれ滴下されるようになっている。
【００２４】
なお、前記インクジェット装置８は複数の溶液用カートリッジを備え、そのうちの一部をインクカートリッジ２０ａとし、他の一部をマスキング剤カートリッジ２０ｂとして、１つの装置で修正インクｆ１とマスキング剤ｆ２の両方をカラーフィルタ２に塗布できるようにしているが、これに限らず、修正インクｆ１の塗布用インクジェット装置とマスキング剤ｆ２の塗布用インクジェット装置とを個別に設けるようにしてもよい。
前記測定装置６とレーザ加工装置７とインクジェット装置８は、門型の支持部材（図示せず）に支持されて前記Ｙ軸方向に直角なＸ軸方向（図１で左右方向）に移動自在の往復台（図示せず）に取り付けられており、前記制御コンピュータ９の指令でＸ軸駆動手段が作動されて前記往復台が移動されると、一緒にＸ軸方向に往復移動するようになっており、また、それぞれ、個別にＸ，Ｙ軸に直行するＺ軸方向（図１で上下方向）に移動調節可能となっている。
【００２５】
なお、前記インクジェット装置８のインクジェットヘッド２１ａによる修正インクｆ１の滴下量と、修正インクｆ１の滴下領域（着色層除去領域に対応）の面積と、該滴下領域に滴下された修正インクが加熱、あるいはＵＶ硬化されて形成された成膜の膜厚との関係を予め実験によって求めたところ、修正インクのｆ１の滴下量３０ｐｌ〜３００ｐｌの範囲で、図２に示すように、修正インクｆ１の滴下量が多いほど成膜の膜厚が大きくなり、滴下領域が広くなるにしたがって前記膜厚が双曲線状の曲線に沿った値で薄くなる相関関係を示す実験データ（以下「基準データ」と称する）が得られた。
前記制御コンピュータ９は、前記修正インクｆ１の滴下量と、滴下領域の面積と、成膜後の膜厚との相関関係を示す前記基準データや各装置５，６，７，８に所要の動作を実行させるシーケンスプログラム等を記憶するＲＯＭ（記憶手段）と、前記測定装置６で得られた測定データ等を記憶するＲＡＭ（記憶手段）と、ＲＯＭ内の前記基準データとＲＡＭ内の前記測定データを読み出して、前記カラーフィルタ２の着色層における欠陥部の着色層除去領域の面積や前記インクジェットヘッド２１ａからの修正インクｆ１の滴下量を演算する演算制御手段と、該演算制御手段の指令で前記ＣＣＤカメラ１１により得られた前記欠陥部の画像や前記測定データを表示する表示器等とを備えている。
【００２６】
次に、前記構成に係るカラーフィルタの欠陥修正装置１の作用と共に、該欠陥修正装置１によって実施する本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法について、図３、図４をも参照して説明する。なお、図４（ａ）〜図４（ｅ）において、上の図はカラーフィルタの断面図、下の図は同平面図である。
前記欠陥修正装置１が作動が開始されると、制御コンピュータ９が、ホストコンピュータ１０からカラーフィルタ２に関する基板情報を入力してそのＲＡＭに記憶する（ステップＳ１）と共に、前記基板移動装置５の駆動モータ４と前記Ｘ軸駆動手段（図示せず）を作動させ、カラーフィルタ２をＹ軸方向へ、測定装置６をＸ軸方向へ移動させて、その顕微鏡の視野内にカラーフィルタ２の着色層２ａの欠陥部Ｅが入るようようにする（ステップＳ２）。これにより、前記顕微鏡を介してＣＣＤカメラ１１で測定された画像データが前記制御コンピュータ９に送られて画像処理が行われ、顕微鏡の視野の中央に前記欠陥部Ｅが位置されるように、カラーフィルタ２と顕微鏡とがＸ、Ｙ軸方向に相対移動される（ステップＳ３）。なお、図４において、２ｂはカラーフィルタ２の基板、２ｃはブラックマトリックスである。
【００２７】
次に、前記対物レンズ１５が高倍率のものに変換されて前記欠陥部Ｅの形状が自動的に認識され（ステップＳ４）、ＣＣＤカメラ１１から得られた測定データ（画像データ）にもとづいて、前記制御コンピュータ９の演算制御手段が、前記欠陥部Ｅを含むＸ、Ｙ軸方向の辺を有する直角四辺形の最小領域を最小の着色層除去領域（加工エリア）Ｋとして、Ｘ、Ｙ軸方向の各辺の寸法ｘ、ｙを算出する（ステップＳ５）（図４（ａ）参照）。
さらに、前記制御コンピュータ９の演算制御手段は、カラーフィルタ２に関する基板情報のうちの着色層２ａの膜厚（設定膜厚）ｔをもとに、該膜厚ｔと前記着色層除去領域Ｋの面積（ｘ・ｙ）とから、着色層除去領域Ｋにおける着色層２ａの体積Ｖｄ（＝ｘ・ｙ・ｔ）を算出する（ステップＳ６）。そして、前記インクジェット装置８を作動させてマスキング剤吐出用のインクジェットヘッド２１ｂを着色層除去領域Ｋの上方に移動、位置決めさせて、該インクジェットヘッド２１ｂから前記体積Ｖｄより十分大きな量のマスキング剤ｆ２を、着色層除去領域Ｋを含む周辺の着色層２ａに及ぶ塗布領域Ａに滴下、塗布させる（ステップＳ７）（図４（ｂ）参照）。
なお、前記塗布領域Ａに塗布されたマスキング剤ｆ２は、図示しないが、適宜照明機構により白色光を照射して、その熱により硬化される。
【００２８】
次に、前記制御コンピュータ９は、前記対物レンズ１５を着色層除去領域Ｋの上方に移動、位置決めさせ、前記レーザ加工装置７によって着色層２ａとその上に塗布されたマスキング剤ｆ２に照射されるパルス発振レーザ光Ｌａが、前記着色層除去領域Ｋに対応するビーム形に整形されるように前記アパーチャー機構１８ｂを作動させる（ステップＳ８）。そして、前記制御コンピュータ９は、前記体積Ｖｄが、前記インクジェット装置８における修正インク吐出用のインクジェットヘッド２１ａからの修正インクｆ１の最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎに、加熱処理により修正インクｆ１が縮小するのを見込んだ係数Ｆを乗算した最小滴下量（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）より大きい（Ｖｄ≧Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）か否かを比較する（ステップＳ９）。前記体積Ｖｄが最小滴下量（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）より大きい場合には、前記制御コンピュータ９からレーザ加工装置７に指令が送られて、前記ステップＳ５において算出された最小の着色層除去領域Ｋの寸法ｘ，ｙで、塗布された前記マスキング剤ｆ２と着色層２ａの欠陥部Ｅの周辺とを同時にパルス発振レーザ光Ｌａの照射により除去する加工が行われる（ステップＳ１０）（図４（ｃ）参照）。
【００２９】
前記マスキング剤ｆ２としては、カラーフィルタ２の耐熱温度より低い温度で昇華できる材料、例えばパラジクロベンゼン等を使用することができる。また、前記マスキング剤ｆ２の除去加工時にパルス発振レーザ光Ｌａを吸収し易くするために、マスキング剤ｆ２の材料にパルス発振レーザ光Ｌａの波長を吸収する染料を加えて不透明度を適宜に調節して、有色不透明な色材料とするのが望ましい。前記マスキング剤ｆ２の透明性が高いと、例えば、前記整形加工を行わずに着色層とその上に塗布されたマスキング剤とを同時に着色層除去領域Ｋを除去する加工を行う場合、パルス発振レーザ光Ｌａをマスキング剤ｆ２に照射した際、マスキング剤ｆ２でパルス発振レーザ光Ｌａが吸収されず、マスキング剤の下に存在する有色であるカラーフィルタが先に加工されてしまい、塗布されたマスキング剤ｆ２に前記着色層除去領域Ｋに対応する所定の加工穴Ｋ１が良好に形成されない。  
【００３０】
次いで、前記インクジェット装置８のインクジェットヘッド２１ａから最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎで熱硬化性を有する修正インクｆ１を前記着色層除去領域Ｋに滴下する場合には、滴下回数の演算（Ｖｄ／Ｖｉｊｍｉｎ）を行って、修正インクｆ１の滴下回数を求めて、求めた滴下回数だけ前記修正インクｆを着色層除去領域Ｋに滴下する（ステップＳ１１）（図４（ｄ）参照）。この場合、滴下回数の計算値が端数になったときは、該計算値に近い正の整数（ゼロを除く）の滴下回数が選択される。また、前記インクジェットヘッド２１ａに体積Ｖｄに相当する量の滴下量を一度に滴下できる容量の基準データがあれば、もしくは、最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎの正の整数倍量を滴下できる容量の基準データの複数個（前記演算で得られた滴下回数より少ない数）を加算することにより前記体積Ｖｄに相当する滴下量を滴下できる基準データがあれば、前記インクジェット制御回路１９によって滴下量を前記体積Ｖｄに合うように制御して１回だけ、もしくは前記加算数だけを滴下するようにすると、前記欠陥部Ｅの修正処理時間を短縮できて好ましい。
【００３１】
前記ステップＳ９において、前記体積Ｖｄが最小滴下量（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）に満たない場合には、前記制御コンピュータ９の演算制御手段は、前記インクジェットヘッド２１ａからの最小滴下量（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ）を前記膜厚ｔで除算（Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ／ｔ）して、着色層２ａの除去すべき着色層除去領域Ｋの面積（ｘ’・ｙ’＝Ｖｉｊｍｉｎ×Ｆ／ｔ）を演算し、ｘ’≧ｘ、ｙ’≧ｙを条件として、着色層除去領域Ｋの寸法ｘ’、ｙ’を逆算した後、これらの寸法ｘ’、ｙ’にもとづいて、着色層２ａの着色層除去領域Ｋに対応する部分のマスキング剤ｆ２を、レーザ加工装置７のパルス発振レーザ光Ｌａの照射により除去加工する（ステップＳ１２）。しかる後に、演算（ｘ’・ｙ’・ｔ／Ｖｉｊｍｉｎ）を行って、ステップＳ１１の場合と同様に、修正インクｆ１の前記最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎによる滴下回数を求めて、求めた滴下回数だけ前記修正インクｆ１を着色層除去領域Ｋに滴下する（ステップＳ１３）。
【００３２】
なお、前記演算において、滴下回数が端数になったときは、その端数分の滴下量はインクジェットヘッド２１ａから得られないので、計算上の滴下回数に近い正の整数倍（最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎの正の整数（ゼロを除く）倍）の滴下回数が得られるように、前記着色層除去領域Ｋの面積（ｘ’・ｙ’）から割り出して着色層除去領域Ｋの加工をし直してから修正インクｆ１を滴下することも可能である。この場合も、体積（ｘ’・ｙ’・ｔ）に相当する量の滴下量の基準データ、もしくは、最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎの正の整数倍量を滴下できる容量の基準データの複数個（前記演算で得られた滴下回数より少ない数）を加算することにより前記体積Ｖｄに相当する滴下量を滴下できる基準データがあれば、前記インクジェット制御回路１９によって滴下量を前記体積（ｘ’・ｙ’・ｔ）に合うように制御して１回だけ、もしくは前記加算数だけを滴下するようにすると、前記欠陥部Ｅの修正処理時間を短縮できて好ましい。
【００３３】
前記カラーフィルタ２の着色層２ａの着色層除去領域Ｋに修正インクｆ１が滴下されると、滴下された修正インクｆ１は、着色層除去領域Ｋの全面に広がり、かつ着色層２ａに塗布されたマスキング剤ｆ２に形成された前記加工穴Ｋ１の内側において着色層２ａの表面より盛り上がって基板２上に塗布された状態となる。この後、その塗布された修正インクｆ１に対して、前記レーザ加工装置７（インク硬化装置）によって連続発振レーザ光Ｌｂが照射され、該連続発振レーザ光Ｌｂにより修正インクｆ１が加熱、硬化（焼成）される。これにより、前記修正インクｆ１が縮小されて欠陥部Ｅのなかった正常な着色層２ａに整合された厚さの、着色層２ａと同色の修正インクの成膜２ａ１が形成され、欠陥修正装置１によるカラーフィルタ２における欠陥部Ｅの修正処理が完了する（図４（ｅ）参照）。
なお、前記着色層除去領域Ｋの着色層２ａに塗布された修正インクｆ１を加熱硬化させる際には、アパーチャー機構１８ｂによる整形を解除し、また、前記対物レンズ１５の倍率が下げられて連続発振レーザ光Ｌｂの照射範囲が拡大されるので、着色層２ａ上に塗布されたまま残留しているマスキング剤ｆ２の範囲全体に連続発振レーザ光Ｌｂが照射され、前記残留マスキング剤ｆ２が連続発振レーザ光Ｌｂにより加熱されて昇華し、着色層２ａから完全に除去され、これにより、カラーフィルタ２を清浄化が行われる。
【００３４】
前記実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法は、カラーフィルタ２の着色層２ａに、平面視で、着色層２ａの欠陥部Ｅを含んでそれより広い領域にわたって昇華性を有するマスキング剤ｆ２をインクジェット装置８で塗布し、前記欠陥部Ｅを含む着色層領域Ｋとそれに対応するマスキング剤ｆ２をレーザ加工装置７のパルス発振レーザ光Ｌａを照射して除去した後に、該マスキング剤ｆ２を除去された着色層除去領域Ｋにインクジェット装置８によって修正インクｆ１を滴下して塗布し、この着色層除去領域Ｋに塗布された修正インクｆ１をレーザ加工装置７からの連続発振レーザ光Ｌｂの照射による加熱で硬化させると共に、前記連続発振レーザ光Ｌｂの照射により前記マスキング剤ｆ２を加熱昇華させて着色層２ａから除去することにより前記欠陥部Ｅを修正するように構成されている。
【００３５】
したがって、前記実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、昇華性のマスキング剤ｆ２の加工穴Ｋ１で囲まれて限定された欠陥部Ｅを含む着色層除去領域Ｋに修正インクｆ１を塗布するので、該修正インクｆ１を硬化して形成された成膜２ａ１によって前記着色層２ａの欠陥部Ｅを的確に修正することができると共に、着色層２ａ上に残留したマスキング剤ｆ２を加熱昇華して着色層２ａから除去することができるので、従来のように、前記マスキング剤ｆ２を粘着テープ等に貼り付けて着色層２ａから剥離する等の作業が不要である。このため、カラーフィルタ２における着色層２ａの欠陥部Ｅの修正作業を、欠陥部Ｅの無い着色層２ａに損傷を生じさせることなく、迅速、容易に行うことができると共に、前記欠陥部Ｅの修正に無用な材料を使用しなくて済み、廃棄物の発生を少なくすることができる。
また、修正インクｆ１の加熱、硬化と同時に着色層２ａ上に残留したマスキング剤ｆ２を昇華して除去させることができるので、別途に残留マスキング剤ｆ２の洗浄工程を設ける必要がなく、工程を短縮することができると共に、カラーフィルタ２の欠陥部Ｅの修正作業を一層容易、迅速に行うことができる。
さらに、前記インクジェット装置８によって修正インクｆ１とマスキング剤ｆ２を、それぞれ、所定の塗布領域に無駄なく、適量、円滑に塗布することができる。
【００３６】
また、前記実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、前記インクジェット装置８からのインクジェットヘッド２１ａによる修正インクｆ１の滴下量（体積）Ｖｄと、修正インクｆ１の滴下領域の面積（ｘ・ｙ）と、滴下領域に滴下された修正インクｆ１の成膜２ａ１を形成した後の膜厚ｔとの相関関係を示す基準データを予め求めておき、該基準データにもとづいて、前記欠陥部Ｅがある着色層２ａの設定膜厚ｔとレーザ光Ｌの照射により除去する着色層２ａの着色層除去領域Ｋの面積（ｘ・ｙ）とから、該着色層除去領域Ｋに対する修正インクｆ１の滴下量Ｖｄを求めるようにしたので、レーザ加工装置７からの連続発振レーザ光Ｌｂにより除止された着色層の着色層除去領域Ｋの体積（ｘ・ｙ・ｔ）に対し、修正インクｆ１の滴下量Ｖｄを適切に設定することができ、カラーフィルタ２の着色層２ａの欠陥部Ｅを、それの無かった着色層２ａの膜厚ｔと均等に整合させた修正インクの成膜２ａ１により修正することができて、修正不良の発生を確実に防止することができる。
【００３７】
さらに、実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、前記相関データにもとづいて、前記欠陥部Ｅがある着色層２ａの設定膜厚ｔと前記インクジェットヘッド２１２１ａのインクジェットによる修正インクｆ１の最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎの整数倍とから、前記連続発振レーザ光Ｌｂの照射により除去する着色層２ａの着色層除去領域Ｋの面積（ｘ’・ｙ’）を求めるようにしたので、前記カラーフィルタ２の着色層２ａの欠陥部Ｅがピンホールのような非常に小さな直径を有するものであっても、前記インクジェット装置８のインクジェットヘッド２１ａによる最小可能滴下量Ｖｉｊｍｉｎ以上の修正インクｆ１を、これに適合させた面積を有する着色層除去領域Ｋにほぼ過不足無く滴下させることができ、カラーフィルタ２における着色層２ａの修正後の膜厚を、欠陥部Ｅがなかった着色層２ａの膜厚ｔに対して均等に整合させることができる。
【００３８】
なお、前記実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法においては、前記レーザ加工装置７をインク硬化装置として使用し、それから発生される連続発振レーザ光Ｌｂを前記着色層除去領域Ｋに塗布された修正インクｆ１に照射して該修正インクｆ１を加熱、硬化させるようにしたが、これに限らず、前記欠陥修正装置１内の前記インクジェット装置８の近く、もしくはその対向側のカラーフィルタ２の下面側に配置したランプ加熱手段でカラーフィルタ２の前記着色層除去領域Ｋに塗布された修正インクｆ１を加熱、硬化させるもの、または欠陥修正装置１とは別に設置された加熱炉内のヒータで、欠陥修正装置１による処理の後工程において前記着色層除去領域Ｋに塗布された修正インクｆ１を加熱、硬化させるようにすることができる。
【００３９】
また、前記欠陥部Ｅを修正する修正インクｆ１として熱硬化性インクを使用したが、これに代えて紫外線硬化性インクを使用し、前記着色層除去領域Ｋに塗布された紫外線硬化性インクを、前記ＵＶ光照射用光源７０からの紫外光の照射により硬化させるようにしてもよい。
また、前記実施の形態に係るカラーフィルタの欠陥修正方法においては、溶液塗布装置としてインクジェット装置８を用いて修正インクｆ１を着色層除去領域Ｋに、マスキング剤ｆ２を前記着色層除去領域Ｋを含む着色層２ａ上にそれぞれ塗布するようにしたが、これに限らず、前記欠陥部Ｅが比較的大きい場合には、着色層除去領域Ｋもそれに合わせて大きく加工されるので、ディスペンサ方式の吐出機構を有する溶液塗布装置を使用して能率良く塗布するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの修正方法を実施する欠陥修正装置の一例を示すブロック図である。
【図２】カラーフィルタの着色層におけるレーザ加工エリアの面積と修正インクの成膜後の膜厚と修正インクの滴下量との相関関係を示す線図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの修正方法を示すフロー図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係るカラーフィルタの修正方法の作業工程を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  欠陥修正装置
２  カラーフィルタ
３  移動台
５  基板移動装置
６  測定装置
７  レーザ加工装置
８  インクジェット装置
９  制御コンピュータ（制御装置）
１０  ホストコンピュータ（制御装置）
１１  ＣＣＤカメラ（撮像手段）
１２  照明器
１５  対物レンズ
１７ａ，１７ｂ  レーザ発振器
１９  インクジェット制御回路
２０ａ  インクカートリッジ
２０ｂ  マスキング剤カートリッジ
２１ａ，２１ｂ  インクジェットヘッド
Ｅ  欠陥部
Ｋ  着色層除去領域（加工エリア）
Ｌａ  パルス発振レーザ（第１のレーザ光）
Ｌｂ  連続発振レーザ（第２のレーザ光）
ｆ１  修正インク
ｆ２  マスキング剤
ｘ  着色層除去領域のＸ軸方向の寸法
ｙ  着色層除去領域のＹ軸方向の寸法
【図１】
2006011244.tif 000003
【図２】
2006011244.tif 000004
【図３】
2006011244.tif 000005
【図４】
2006011244.tif 000006