(57)【要約】【課題】大型化基板に応力を生じさせる撓みを低減するとともに、基板の撓み状態の変化を抑制し、確実に搬送保持して基板の破損を防止できる搬送保持装置および搬送保持方法を提供する。【解決手段】矩形薄板状の基板１を保持して所定の位置に搬送する搬送保持手段３と、基板１を保持する基板保持手段２とを備え、搬送保持手段３が基板１を所定の撓んだ形状に変化させ、基板保持手段２は基板１の対角状に４箇所あるコーナ部をそれぞれ保持固定する内部角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを有し、かつ、内部角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄの対角距離は基板１の対角長よりも短く形成された構成である。【選択図】図１
2006321575.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形薄板状の基板を保持して所定の位置に搬送する搬送保持手段と、
前記基板を端部において保持する基板保持手段と、
を備え、
前記搬送保持手段が前記基板を所定の撓んだ形状に変化させることを特徴とするディスプレイパネルの製造装置。
【請求項２】
前記基板保持手段は、前記基板の対角状に４箇所あるコーナ部をそれぞれ保持固定する内側角部を有し、かつ、前記内側角部の対角距離は前記基板の対角長よりも短く形成されていることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項３】
前記基板保持手段は、前記基板の長辺側または短辺側のいずれかの端部において前記基板を載置支持したときに前記基板が所定の撓んだ形状の曲面を有した基板載置部と、
前記基板が所定の位置から外れることを防止するストッパと、
を備え、
前記基板載置部の長手方向の投影長は前記基板の撓んだ側の投影長よりも長いか、または等しく形成されていることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項４】
矩形薄板状の基板を保持して所定の位置に搬送する前記搬送保持手段は、前記基板の構成要素を形成しない側の面を吸着保持する保持治具を有し、
前記基板保持手段が前記基板の構成要素を形成する側の面と対向するように配置されていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項５】
前記搬送保持手段に備わる前記保持治具は、アームを固定保持する状態と、可動自在の状態との切り換えが可能な連結部材を有することを特徴とする請求項４に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項６】
前記搬送保持手段に備わる前記保持治具は、前記基板の高さ位置を可変にする複数の高さ位置調整治具を有することを特徴とする請求項４に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項７】
前記基板載置部は、複数個に分割された部材が前記基板の撓んだ側に平行に配置されていることを特徴とする請求項３に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項８】
前記基板載置部は、複数個に分割された部材が交叉して配置されていることを特徴とする請求項３に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項９】
矩形薄板状の基板を支持して所定の位置に搬送する基板支持部材と、
前記基板を保持する基板保持手段と、
を備え、
前記基板支持部材が前記基板を所定の撓んだ形状に変化させることを特徴とするディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１０】
前記基板保持手段は前記基板の対角状に４箇所あるコーナ部をそれぞれ保持固定する内部角部を有し、かつ、前記内部角部の対角距離は前記基板の対角長よりも短く形成されていることを特徴とする請求項９に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１１】
前記基板支持部材は、前記基板の構成要素を形成する側の面を載置支持するように配置されていることを特徴とする請求項９に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１２】
前記基板支持部材は、前記基板の長辺側または短辺側のいずれかに平行な中心線において前記基板の構成要素を形成する側の面を載置支持したときに前記基板が撓んだ状態と略等しい曲面を有していることを特徴とする請求項９に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１３】
前記基板支持部材は、複数個に分割された部材が前記基板の撓んだ側に平行に配置されていることを特徴とする請求項１２に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１４】
前記基板支持部材は、複数個に分割された部材が交叉して配置されていることを特徴とする請求項１２に記載のディスプレイパネルの製造装置。
【請求項１５】
搬送保持手段により矩形薄板状の基板を保持して、前記基板を固定保持する基板保持手段の上方に搬送するステップと、
前記基板の構成要素を形成する側の面を前記基板保持手段に備わるベース部材と対向させて前記基板を降下させるステップと、
前記基板を所定の撓んだ形状に変化させるステップと、
撓んだ前記基板を前記基板保持手段に載置して保持するステップと、
を備えることを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】
矩形薄板状の基板の構成要素を形成する側の面を基板支持部材に載置支持して前記基板を自重により撓ませつつ、基板保持手段の上方に搬送するステップと、
前記基板の構成要素を形成する側の面を前記基板保持手段に備わるベース部材と対向させて前記基板を降下させるステップと、
撓んだ前記基板を前記基板保持手段に載置して保持するステップと、
を備えることを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１７】
前記基板に４箇所あるコーナ部に対応し、かつ、対角距離が前記基板の対角長よりも短く設定して配置された内部角部を有する前記基板保持手段により前記基板を保持することを特徴とする請求項１５または請求項１６に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１８】
前記基板の長辺側または短辺側のいずれかに平行な中心線において前記基板の構成要素を形成する側の面を載置支持したときに前記基板が撓んだ状態と略等しい曲面を有する前記基板支持部材により前記基板を保持することを特徴とする請求項１５または請求項１６に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイパネルの製造装置および製造方法に関し、特にディスプレイパネルの製造にあたって、ディスプレイパネル用の基板に所用の処理を施す際に基板を搬送し、保持する搬送保持装置および搬送保持方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＥＬ装置、ＳＥＤ装置、液晶表示装置やプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰとも記す）装置等ディスプレイパネルを用いるフラットパネルディスプレイ装置は薄型軽量化が可能で低消費電力であることから、大型のテレビジョン受像機や公衆表示用モニタとしての社会的要望が増大し、注目を集めている。特に、希ガス放電による紫外線で蛍光体を励起発光させて画像・映像表示に利用し、視認性に優れるとされるＰＤＰでは、最近、表示領域のサイズが５０インチを超えて８０インチもある大画面のＰＤＰを用いた製品が登場し、将来的に表示領域のサイズが１００インチを超えるさらに大画面のＰＤＰ装置も計画されている。
【０００３】
そして、大表示画面化に伴って、フラットパネルディスプレイ装置に用いられる基板の面積も大型化するが、軽量化の要望のため面積に比例させて基板の厚みを増加させることが難しく、現行の基板の厚み自体はそれ程厚くなっていない。それ故、大型化した基板を搬送あるいは保持する際に基板の両端だけで支持しようとすると基板の中央部分に自重による撓み（たわみ）が発生し、所定の工程における処理に影響して工程トラブルを発生させたり製品精度を低下させたりするばかりでなく、撓みにより基板の投影サイズの縮小が生じ、基板の端部にある保持・支持部から基板が外れて落下し、基板を破損するおそれもある。例えば、液晶表示装置に用いるガラス基板の場合、縦９６０ｍｍ×横１１００ｍｍの大きさであっても厚みは１ｍｍ程度であり、両端で支持すると基板の自重により中央部が撓みにより約８０ｍｍ下がるという実測例もある。
【０００４】
そこで、大型基板を搬送あるいは保持する際の撓みの影響を避けるための各種の提案がなされている。例をいくつか示すと、まず、基板の長手方向の中心線に平行な側の両方の端部とともに基板が撓む中央部に支持ピンを設けた搬送装置や同様な基板固定台を設置した基板積載用ケースが、最も簡単な方法として挙げられる（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。次に、コロやローラを用いる搬送装置において、コロやローラを基板の長手方向の中心線に平行な側の両方の端部だけでなく基板が撓む中央部にも配置して基板表面を水平に保持したり、流動性のある材料を塗布する場合に中央部のコロやローラの径を端部よりも大きくして、破損しない程度に中央部を逆の上側の方向に基板を撓ませて中央部に材料が流れて溜まることを防止したりする方法が考えられている（例えば、特許文献３、特許文献４参照）。また、基板の長手方向の中心線に平行な側の両端部を可動性のない支持・保持部あるいは可動性のあるコロやローラに載置し、撓みの生ずる中央部に液体や気体を下側から噴出または吹き出させて基板を平坦な状態で支持・保持する搬送方法も提案されている（例えば、特許文献５、特許文献６参照）。
【０００５】
さらに、基板自体の撓みの影響を防ぐ方法ではないが、所定の工程における処理の際に基板が熱応力で破損することを防止するために、４枚以上の可撓性を有する帯状板を個別独立に枠状に組み合わせて基板を支持し、帯状板が撓むことで処理における熱応力を吸収する方法も提案されている（例えば、特許文献７参照）。
【特許文献１】特開平１１−１６５８１３号公報
【特許文献２】特開２００４−１０７００６号公報
【特許文献３】特開平９−２０８０７８号公報
【特許文献４】特開２００３−１００５８１号公報
【特許文献５】特開平９−２７８１８１号公報
【特許文献６】特開２０００−５３２４７号公報
【特許文献７】特開平１１−６１３７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した基板が撓む中央部に支持ピンや基板固定台を設置したり、コロやローラを用いて搬送保持したりする等の支持・保持部材を用いる方法においては、基板表面と支持・保持部材が接触することにより傷や汚れが発生し、また、微細なゴミ等の塵埃（ダスト）が付着して表示不良を発生させる原因になって表示画面の品質低下に直接影響するおそれがあるばかりでなく、発生した傷等により基板の破損の可能性が非常に高くなる。これらの問題点に加えて、支持ピン、基板固定台、コロ、ローラ等の支持・保持部材を設けた治具を別に準備作成する必要がある。また、基板を保持するケース等も保持搬送手段を設けることにより、容積が大きくなり、新たな場所の確保も必要になるという問題も生じる。
【０００７】
一方、コロやローラによって基板を搬送する場合は、コロやローラが基板に接触して走行するという根本的な問題、すなわち、コロやローラはコンベアに所定間隔で配置されているため、基板が次のローラに乗り移るときに、ガラス基板のエッジとローラ表面とが擦れてガラス基板の一部が欠けたり、塵埃や静電気が発生したりする等の問題がある。また、所定間隔で配置されたコロやローラにより基板を水平に支持・保持して搬送する場合は、搬送方向対して垂直な方向に基板が凹凸状態に波打って撓むことがある。この撓みにより、基板の端部が垂れ下がって、コロやローラと基板の端面とが衝突することが繰り返され、コロやローラが摩耗してダストを発生させるだけでなく、コロやローラの交換を頻繁に行わなければならないという問題もある。
【０００８】
また、撓みが生ずる基板の中央部に下側から液体や気体（ガス）を吹き出させたり、噴出させたりして支持・保持する方法では、基板に塵埃が付着しないように清浄度の高い液体やガスを使用しなければならないし、液体の場合は基板に付着した液体を洗浄除去する必要もある。したがって、この方法の場合は処理装置の構成が複雑で大がかりになるという問題が生じる。また、基板を非接触で搬送したとしても、基板を常時非接触の状態で支持・保持することはできず、何らかの支持・保持が必要になり、その際に支持部材が直に基板に接触することになるので、上述した内容と同様の問題が生じる。
【０００９】
さらに、上述したような、大型化した基板を搬送保持する際の問題に加えて、基板の撓みに起因する応力の問題がある。以下に基板の撓みについて図９を用いて簡単に説明する。図９は大型基板を保持するときの基板の状態の変化を説明する斜視図である。図９において、基板１を所定の手段、方法により搬送、移送して、基板１の短辺側端部を支持手段２ａ、２ｂ上に載置すると、載置直後の基板１は図９（ａ）に示すような状態にある。このとき、基板の長辺側長さＬ１は支持手段２ａ、２ｂ間のギャップ長Ｌ２に比べて十分大きく（Ｌ１＞Ｌ２）、基板１は支持手段２ａ、２ｂ上で安定的に保持される。しかしながら、大型化した基板１の短辺側端部を支持手段２ａ、２ｂ上に載置し続けると、基板１の自重により、図９（ｂ）に示すように基板１の中央部において矢印Ａで示す方向に撓み始める。この結果、基板１の投影長Ｌ３はＬ１から縮小してゆき、Ｌ１＞Ｌ３＞Ｌ２では、支持手段２ａ、２ｂのエッジ部と基板１の面とが接触して、基板１の面に傷がついたり、汚れが付着したりするといった上述と同様な問題に加えて、撓みにより基板１に応力が発生して基板が割れるおそれがある。撓みがさらに進めば応力も比例して大きくなり、基板１はより割れやすくなる。Ｌ３＜Ｌ２にいたると基板１の端部が支持手段２ａ、２ｂから外れて落下して破損等の問題が発生することは、既に背景技術で説明した。
【００１０】
なお、図９においては、基板１の短辺側端部を支持手段２ａ、２ｂ上に載置する例で示したが、基板１の長辺側端部を支持手段２ａ、２ｂ上に載置する場合でも同様である。ただ、基板１の耐応力性は、短辺側端部を支持手段２ａ、２ｂ上に載置する場合に比べて長辺側端部を載置する方が優れている。また、耐応力性は基板１の厚みに依存しており、ＰＤＰにおいては大型化による重量増加を基板の厚みを薄くすることで対応する方向にあるので、基板の厚みを薄くして大型化を図る場合、このような撓みに起因する応力で基板１が破損する問題は重大である。
【００１１】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、大型化した基板の搬送保持するときに発生するダストの発生や汚れの付着を抑制し、また基板に応力を生じさせる撓みを低減するとともに、処理中の基板の撓み状態の変化を抑制することができ、製品に悪影響を及ぼさずに確実に搬送保持して基板を破損から防止して安定かつ確実に所要の処理を施すことができるような良好な搬送保持性を有し、かつ、装置を簡素化して高価な構成にすることなく歩留りや品質をより向上できる基板の搬送保持装置およびその搬送保持方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明のディスプレイパネルの製造装置は、矩形薄板状の基板を保持して所定の位置に搬送する搬送保持手段と、基板を端部において保持する基板保持手段とを備え、搬送保持手段が基板を所定の撓んだ形状に変化させる構成を有している。この構成に加えて、基板保持手段が基板の対角状に４箇所あるコーナ部をそれぞれ保持固定する内側角部を有し、かつ、内側角部の対角距離は基板の対角長よりも短く形成された構成、基板保持手段が基板の長辺側または短辺側のいずれかの端部において基板を載置支持したときに基板が所定の撓んだ形状の曲面を有した基板載置部と、基板が所定の位置から外れることを防止するストッパと、を備え、基板載置部の長手方向の投影長は基板の撓んだ側の投影長よりも長いか、または等しく形成されている構成、また、矩形薄板状の基板を保持して所定の位置に搬送する搬送保持手段は基板の構成要素を形成しない側の面を吸着保持する保持治具を有し、基板保持手段が基板の構成要素を形成する側の面と対向するように配置された構成、また、搬送保持手段に備わる保持治具は、アームを固定保持する状態と、可動自在の状態との切り換えが可能な連結部材を有する構成、また、搬送保持手段に備わる保持治具は、基板の高さ位置を可変にする複数の高さ位置調整治具を有する構成、また、基板載置部が複数個に分割された部材が基板の撓んだ側に平行に配置されている構成、また、基板載置部が、複数個に分割された部材が交叉して配置されている構成を有することもできる。
【００１３】
また、本発明のディスプレイパネルの製造装置は、矩形薄板状の基板を支持して所定の位置に搬送する基板支持部材と、基板を固定保持する基板保持手段とを備え、基板支持部材が基板を所定の撓んだ形状に変化させる構成を有している。この構成のみならず、基板保持手段は基板の対角状に４箇所あるコーナ部をそれぞれ保持固定する内部角部を有し、かつ、内部角部の対角距離は基板の対角長よりも短く形成された構成とともに、基板支持部材が基板の構成要素を形成する側の面を載置支持するように配置された構成、また基板支持部材が基板の長辺側または短辺側のいずれかに平行な中心線において基板の構成要素を形成する側の面を載置支持したときに基板が撓んだ状態と略等しい曲面を有する構成、また、基板支持部材の複数個に分割された部材が基板の撓んだ側に平行に配置されている構成、さらに、基板支持部材が複数個に分割された部材が交叉して配置されている構成であってもよい。
【００１４】
これらの構成により、大型化した基板の搬送保持するときに、基板に応力を生じさせる撓みを低減するとともに、処理中の基板の撓み状態の変化を抑制することができるので、製品に悪影響を及ぼさずに確実に搬送保持して基板を破損から防止して安定かつ確実に所要の処理を施すことができて、簡素な構成の基板の搬送保持装置を提供することが可能になる。
【００１５】
また、上記の目的を達成するために、本発明のディスプレイパネルの製造方法は、搬送保持手段により矩形薄板状の基板を保持して、基板を固定保持する基板保持手段の上方に搬送するステップと、基板の構成要素を形成する側の面を基板保持手段に備わるベース部材と対向させて基板を降下させるステップと、基板を所定の撓んだ形状に変化させるステップと、撓んだ基板を基板保持手段に載置して保持するステップとを備えている。
【００１６】
また、本発明のディスプレイパネルの製造方法は、矩形薄板状の基板の構成要素を形成する側の面を基板支持部材に載置支持して基板を自重により撓ませつつ、基板保持手段の上方に搬送するステップと、基板の構成要素を形成する側の面を基板保持手段に備わるベース部材と対向させて基板を降下させるステップと、基板が撓んだ基板を基板保持手段に載置して保持するステップとを備えているとともに、さらに、本発明の基板の搬送保持方法は、基板に４箇所あるコーナ部に対応し、かつ、対角距離が基板の対角長よりも短く設定して配置された内部角部を有する基板保持手段により基板を保持することや、基板の長辺側または短辺側のいずれかに平行な中心線において基板の構成要素を形成する側の面を載置支持したときに基板が撓んだ状態と略等しい曲面を有する基板支持部材により基板を保持する手順を備えていてもよい。
【００１７】
これらの方法により、大型化した基板の搬送保持するときに発生するダストの発生や汚れの付着を抑制し、また基板に応力を生じさせる撓みを低減し、処理中の基板の撓み状態の変化を抑制することができ、製品に悪影響を及ぼさずに確実に搬送保持して基板を破損から防止して安定かつ確実に所要の処理を施すことができるような良好な搬送保持性を有しているので、装置を簡素化して高価な構成にすることなく歩留りや品質をより向上できる基板の搬送保持方法を提供することができるようになる。
【発明の効果】
【００１８】
以上のように、本発明のディスプレイパネルの製造装置および製造方法によれば、基板を搬送し、支持手段または基板保持手段に安定的に保持・支持することが可能になり、基板の撓みにより発生する応力に起因する破損等の問題も解消できることになって、表示装置の製造に際し、基板に電極等の構成要素を蒸着や吹きつけ塗布により形成するとき基板を保持・支持したまま工程処理を行うことも可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
（実施の形態１）
最初に、本発明の実施の形態１におけるフラットパネルディスプレイ用基板の搬送保持装置および搬送保持方法について図１、図２を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態１における基板保持方法を説明する図であり、図２は本発明の実施の形態１における基板保持部材の形状および配置のほかの例を示す斜視図である。
【００２１】
図１（ａ）には基板１を搬送保持手段３により基板保持手段２の上方に移送し、基板保持手段２に載置する前の状態を斜視図で示している。図１（ａ）において、表示装置の製造に用いる基板１の電極等の構成要素を形成しない側の面を搬送保持手段３に備わる吸板等の吸着保持具３０で吸着して保持し、保持・支持する基板保持手段２の上方に基板１を搬送する。このとき基板１は水平に保たれている。搬送保持手段３は図１に６個の吸着保持具３０が基板１を保持するのに十分な剛性備えたアーム５で接続された構成の例を示しているが、本発明の実施の形態１における搬送保持装置の構成はこの例に限定されるものではない。基板保持手段２には直法立体アングル状に形成された少なくとも４個の基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄがそれぞれの内側角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを同一平面上で対角状に対向させ、対角間距離が基板１の対角長さよりも短くなるように配置、固定されている。そして、基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄは図１（ａ）に示すような開口部２３を有するベース部材２２に載置・固定されている。
【００２２】
この状態で基板１を図１（ａ）中に矢印Ａで示した方向に降下させると基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの上部端面上に基板１が載置されるが、基板１の保持はできていない状態にある。基板１を降下させる前に、基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの上部端面よりも高い位置で基板１の長辺を二等分して短辺側に平行になるような位置に丸棒状の基板支持部材４を配置しておき、基板１を降下させていくと、ＢＢ部断面図として図１（ｂ）に示した状態を経て、基板支持部材４は基板１と接触し、基板１を支持するようになる。このとき、搬送保持手段３の吸着保持具３０の吸着を解除すると、基板１は自重により短辺側が下がるように撓み始め、基板１の長辺側の投影サイズが徐々に縮小していく。基板１の投影された対角長が基板保持・支持部材の内側角部における対角間距離よりも短くなると、図１（ｃ）に示すように基板１の各コーナ部が対応する基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの内側角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄに収まるようになる。そして、基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離の設定を変更することにより、基板１の中央部を下方に撓ませ始めた状態にしたり、逆に上方に撓ませてそのまま安定に保持したりするといった制御が可能である。上方に撓ませる場合、撓み量が大きくなり過ぎると基板１を破損させてしまうことがあるので注意が必要になる。
【００２３】
基板保持・支持部材はベース部材２２に固定されていて、基板１の各コーナ部は基板保持・支持部材の内側角部に規制されて動かないので、基板１が図１（ｃ）に示した上側に撓んだ状態を保持して逆方向の下側に撓まないように基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離を設定しておいて、このとき基板支持部材４を取り外せば、基板１は図１（ｄ）に示すように、上側に撓んだ状態で静止して保持されることになる。基板１が上側に撓んだ状態で静止して保持されるときの基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離は、基板１の基板サイズ、厚み、および密度、ヤング率、引っ張り強さ等の材料に固有の物理量を用いて、数値計算に基づくシミュレーションが可能であるが、ここでは実際に製造に用いる基板１を用いて実測により求めて設定した。
【００２４】
上述した方法により、基板１を搬送し、基板保持・支持部材に安定的に保持・支持することが可能になり、基板１の撓みにより発生する応力に起因する破損等の問題も解消できることになる。また表示装置の製造に際し、基板１に電極等の構成要素を蒸着や吹きつけ塗布により形成するとき、図１に示すベース部材２２の中央部に設けた開口部２３を通して、図１（ｄ）に示した状態で支持したまま工程処理を行うことも可能である。
【００２５】
なお、上述した本発明の実施の形態１における基板の搬送保持方法においては、基板１の長辺を二等分して短辺側に平行になるような位置に基板支持部材４を配置する例で説明したが、基板支持部材４を基板１の短辺を二等分して長辺側に平行になるような位置に配置する方法も可能である。
【００２６】
また、基板保持手段２を構成する基板保持・支持部材の数量、形状および配置の方法については、図１に示す例に限定されるものではなく、例えば、図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示したような数量、形状および配置も可能である。なお、図２（ａ）に示したのは、直法立体アングル状に形成された４個の基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄのそれぞれの内側角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを切り欠いた形状であって、それぞれの側辺部で基板１が保持されることになる。また、図２（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示した基板保持手段２を構成する基板保持・支持部材においても、それぞれの内側角部を切り欠いた形状とし、側辺部で基板１を保持するようにした構成も可能である。また、図示はしていないが、基板保持・支持部材を５個以上用いることも可能である。さらに、基板支持部材４の形状は図示した丸棒に限定されることはなく、角棒や帯状の平板を用いることもできる。
【００２７】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２におけるフラットパネルディスプレイ用基板の搬送保持装置および搬送保持方法について図３を用いて説明する。図３は本発明の実施の形態２における基板保持方法を説明する図である。本発明の実施の形態２における基板の搬送保持方法は図１に示した本発明の実施の形態１における基板の搬送保持方法と類似するところがあり、図３中の同じ部材要素には同じ符号を付している。
【００２８】
図３において、図１（ａ）に示した本発明の実施の形態１における基板の搬送保持装置と異なるところは、搬送保持手段３１の構成と基板支持部材４を用いないところである。図１に示した本発明の実施の形態１における基板の搬送保持装置の搬送保持手段３は６個の吸着保持具３０が基板１を保持するのに十分な剛性備えた複数のアーム５で直結接続された構成を有していたが、図３に示した本発明の実施の形態１における基板の搬送保持装置の搬送保持手段３１は、アームが１本のメインアーム５１とメインアーム５１から連結部材６を介して分岐する２本ずつのサブアーム５２、５３からなり、連結部材６はサブアーム５２、５３を固定保持する状態と可動自在の状態への切り換えが可能になって、後述するように搬送保持手段３１に基板支持部材の機能を持たせているところが大きく異なっている。そして、それぞれのアームに接続された吸着保持具３０、および直法立体アングル状に形成された少なくとも４個の基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄがそれぞれの内側角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを同一平面上で対角状に対向させて、対角間距離が基板１の対角長さよりも短くなるように開口部２３を有するベース部材２２に配置、固定されている基板保持手段２の構成については、図１に示した本発明の実施の形態１における基板の搬送保持装置と同じである。
【００２９】
図３（ａ）には基板１を搬送保持手段３１により基板保持手段２の上方に移送し、基板保持手段２に載置する前の状態を斜視図で示している。図３（ａ）において、表示装置の製造に用いる基板１の電極等の構成要素を形成しない側の面を搬送保持手段３１に備わる吸盤等の吸着保持具３０で吸着して保持し、保持・支持する基板保持手段２の上方に基板１を搬送する。このとき連結部材６はサブアーム５２、５３を固定保持する状態にあり、基板１は水平に保たれている。
【００３０】
この状態で基板１を図３（ａ）中に矢印Ｃで示した方向に降下させると基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの上部端面上に基板１が載置されるが、基板１の保持はできていない状態にある。基板１を降下させる前に、サブアーム５２、５３を固定保持している連結部材６の状態を可動自在の状態へ切り換えると、ＢＢ部断面図として図３（ｂ）に示した状態を経て、基板１は自重により短辺側が下がるように矢印Ｃで示す方向に撓み始め、基板１の長辺側の投影サイズが徐々に縮小していく。したがって、本発明の実施の形態２における搬送保持手段３１は前述した実施の形態１における基板支持部材の機能を有しているといえる。このようにして、基板１の投影された対角長が基板保持・支持部材の内側角部における対角間距離よりも短くなると、図３（ｃ）に示すように基板１の各コーナ部が対応する基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの内側角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄに収まるようになる。ここで、基板１を降下させると、基板支持部材４は基板１と接触し、基板１を支持するようになる。そして、基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離の設定を変更することにより、基板１の中央部を下方に撓ませ始めた状態にしたり、逆に上方に撓ませてそのまま安定に保持したりするといった制御が可能である。上方に撓ませる場合、撓み量が大きくなり過ぎると基板１を破損させてしまうことがあるので注意が必要になる。
【００３１】
基板保持・支持部材はベース部材２２に固定されていて、基板１の各コーナ部は基板保持・支持部材の内側角部に規制されて動かないので、基板１が図３（ｃ）に示した上側に撓んだ状態を保持して逆方向の下側に撓まないように基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離を設定しておいて、このとき搬送保持手段３１を取り外せば、基板１は図３（ｄ）に示すように、上側に撓んだ状態で静止して保持されることになる。基板１が上側に撓んだ状態で静止して保持されるときの基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離は、基板１の基板サイズ、厚み、および密度、ヤング率、引っ張り強さ等の材料に固有の物理量を用いて、数値計算に基づくシミュレーションが可能であるが、ここでは実際に製造に用いる基板１を用いて実測により求めて設定した。
【００３２】
上述した方法により、基板１を搬送し、基板保持・支持部材に安定的に保持・支持することが可能になり、基板１の撓みにより発生する応力に起因する破損等の問題も解消できることになる。また表示装置の製造に際し、基板１に電極等の構成要素を蒸着や吹きつけ塗布により形成するとき、図１に示すベース部材２２の中央部に設けた開口部２３を通して、図３（ｄ）に示した状態で支持したまま工程処理を行うことも可能である。
【００３３】
なお、上述した本発明の実施の形態２における基板の搬送保持方法においては、基板１の長辺に平行な辺側が撓む例で説明したが、短辺側に平行な辺側が撓むように搬送保持手段３１の吸着保持具３０を配置する構成も可能である。
【００３４】
また、基板保持手段２を構成する基板保持・支持部材の数量、形状および配置の方法については、図３に示す例に限定されるものではなく、例えば、実施の形態１の説明において図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示したような数量、形状および配置が可能であることは、本発明の実施の形態２におけるフラットパネルディスプレイ用基板の搬送保持装置および搬送保持方法においても同じである。
【００３５】
（実施の形態３）
続いて、本発明の実施の形態３におけるフラットパネルディスプレイ用基板の搬送保持装置および搬送保持方法について図４、図５を用いて説明する。図４は本発明の実施の形態３における基板保持方法を説明する図、図５は本発明の実施の形態３における別の基板保持方法を説明する図である。本発明の実施の形態３における基板の搬送保持方法は図３に示した本発明の実施の形態２における基板の搬送保持方法と類似するところがあり、図４、図５中の同じ部材要素には同じ符号を付している。
【００３６】
図４において、図３（ａ）に示した本発明の実施の形態２における基板の搬送保持装置と異なるところは、搬送保持手段３２の構成である。図４に示した本発明の実施の形態３における基板の搬送保持装置の搬送保持手段３２は、アームが剛性を有する１本のメインアーム５１とメインアーム５１から分岐する２本ずつの可撓性を有するサブアーム５４、５５からなり、吸着保持具３０とのアームとの接続部付近に固定された６個の高さ位置調整治具７を備え、高さ位置調整治具７は矢印Ｄで示した方向に吸着保持具３０、すなわち基板１の高さ位置が可変になっているところが異なっている。しかし、搬送保持手段３２に基板支持部材の機能を持たせているところは同じであり、直法立体アングル状に形成された少なくとも４個の基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄがそれぞれの内側角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを同一平面上で対角状に対向させて、対角間距離が基板１の対角長さよりも短くなるように開口部２３を有するベース部材２２に配置、固定されている基板保持手段２の構成については、図３に示した本発明の実施の形態２における基板の搬送保持装置と同じである。
【００３７】
図４（ａ）には基板１を搬送保持手段３２により基板保持手段２の上方に移送し、基板保持手段２に載置する前の状態を斜視図で示している。図４（ａ）において、表示装置の製造に用いる基板１の電極等の構成要素を形成しない側の面を搬送保持手段３２に備わる吸盤等の吸着保持具３０で吸着して保持し、保持・支持する基板保持手段２の上方に基板１を搬送する。このとき６個の高さ位置調整治具７は吸着保持具３０を同じ高さ位置に設定された状態にあり、基板１は水平に保たれている。
【００３８】
この状態で基板１を図４（ａ）中に矢印Ａで示した方向に降下させると基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの上部端面上に基板１が載置されるが、基板１の保持はできていない状態にある。基板１を降下させる前に、基板１のコーナ部４箇所にある高さ位置調整治具７の固定状態を解除すると、ＢＢ部断面図として図４（ｂ）に示した状態を経て、基板１は自重により短辺側が下がるように矢印Ｃで示す方向に撓み始め、基板１の長辺側の投影サイズが徐々に縮小していく。したがって、本発明の実施の形態３における搬送保持手段３２の高さ位置調整治具７は前述した実施の形態２における連結部材６、すなわち実施の形態１における基板支持部材の機能を有しているといえる。基板１の投影された対角長が基板保持・支持部材の内側角部における対角間距離よりも短くなると、図４（ｃ）に示すように基板１の各コーナ部が対応する基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの内側角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄに収まるようになる。ここで、基板１を降下させると、基板支持部材４は基板１と接触し、基板１を支持するようになる。そして、基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離の設定を変更することにより、基板１の中央部を下方に撓ませ始めた状態にしたり、逆に上方に撓ませてそのまま安定に保持したりするといった制御が可能である。上方に撓ませる場合、撓み量が大きくなり過ぎると基板１を破損させてしまうことがあるので注意が必要になる。
【００３９】
基板保持・支持部材はベース部材２２に固定されていて、基板１の各コーナ部は基板保持・支持部材の内側角部に規制されて動かないので、基板１が図４（ｃ）に示した上側に撓んだ状態を保持して逆方向の下側に撓まないように基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離を設定しておいて、このとき搬送保持手段３２を取り外せば、基板１は図４（ｄ）に示すように、上側に撓んだ状態で静止して保持されることになる。基板１が上側に撓んだ状態で静止して保持されるときの基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離は、基板１の基板サイズ、厚み、および密度、ヤング率、引っ張り強さ等の材料に固有の物理量を用いて、数値計算に基づくシミュレーションが可能であるが、ここでは実際に製造に用いる基板１を用いて実測により求めて設定した。
【００４０】
なお、上記説明では図４（ｃ）において、基板１のコーナ部４箇所にある高さ位置調整治具７の固定状態を解除し、基板１の自重で高さ位置調整治具７を伸長させ矢印Ｃ方向に撓ませるとして説明したが、側縁部付近の２箇所に設置された高さ位置調整治具７の固定状態を解除して、側縁部付近の２箇所の高さ位置調整治具７を矢印Ｃとは逆方向に伸長させて、基板１を同様な形状に撓ませることもできる。
【００４１】
また、本発明の実施の形態３におけるフラットパネルディスプレイ用基板の搬送保持装置の図４に示した搬送保持手段３２の構成において、高さ位置調整治具７を図５に示すような、基板１のコーナ部付近の４箇所に設置された治具を、例えばばねのような弾性部材を備える高さ位置調整治具７２と側縁部付近の２箇所に設置された治具を非伸縮性材料からなる高さ固定治具７１にと置き換えることも可能である。この構成の搬送保持手段３２であっても、基板１のコーナ部４箇所にある高さ位置調整治具７２の固定状態を解除して、ＢＢ部断面図として図５（ｂ）に示した状態を経て、基板１を自重により短辺側が下がるように矢印Ｃで示す方向に撓ませ、基板１の投影された対角長が基板保持・支持部材の内側角部における対角間距離よりも短くなった段階で、図４（ｃ）に示すように基板１の各コーナ部を対応する基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの内側角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄに収め、基板１を支持させることができる。そして、図５に示した構成において、基板１のコーナ部４箇所を高さ固定治具７１とし、基板１の側縁部付近の２箇所を高さ位置調整治具７２とし、側縁部付近の２箇所に設置された高さ位置調整治具７２の固定状態を解除して、側縁部付近の２箇所の高さ位置調整治具７１を矢印Ｃとは逆方向に伸長させて、基板１を同様な形状に撓ませることも可能である。
【００４２】
上述した方法により、基板１を搬送し、基板保持・支持部材に安定的に保持・支持することが可能になり、基板１の撓みにより発生する応力に起因する破損等の問題も解消できることになる。また表示装置の製造に際し、基板１に電極等の構成要素を蒸着や吹きつけ塗布により形成するとき、図１に示すベース部材２２の中央部に設けた開口部２３を通して、図４（ｄ）に示した状態で支持したまま工程処理を行うことも可能である。
【００４３】
なお、上述した本発明の実施の形態２における基板の搬送保持方法においては、基板１の長辺に平行な辺側が撓む例で説明したが、短辺側に平行な辺側が撓むように搬送保持手段３２の吸着保持具３０を配置する構成も可能である。
【００４４】
また、基板保持手段２を構成する基板保持・支持部材の数量、形状および配置の方法については、図４および図５に示す例に限定されるものではなく、例えば、実施の形態１の説明において図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示したような数量、形状および配置が可能であることは、本発明の実施の形態３におけるフラットパネルディスプレイ用基板の搬送保持装置および搬送保持方法においても同じである。
【００４５】
（実施の形態４）
続いて、本発明の実施の形態４におけるフラットパネルディスプレイ用基板の搬送保持装置および搬送保持方法について図６を用いて説明する。図６は本発明の実施の形態４における基板保持方法を説明する図である。本発明の実施の形態４における基板の搬送保持方法は図１に示した本発明の実施の形態１における基板の搬送保持方法と類似するところがあり、図６中の同じ部材要素には同じ符号を付している。
【００４６】
図６（ａ）は基板１を基板保持手段２の上方に移送し、基板保持手段２に載置する前の状態を斜視図で示し、図６（ｂ）は側面図で示している。本発明の実施の形態４における基板１の搬送保持方法では、基板１の電極等の構成要素を形成しない側の面を、基板１が保持・支持されるときの撓んだ状態と略等しい曲面を有する基板支持部材４０を用いて基板保持手段２上に移送（搬送）移送するところが図１に示した実施の形態１における基板の搬送保持方法とは異なっている。なお、基板支持部材４０の基板１が撓む側の投影長さは基板１の撓んだ側の投影長さより小さくなるよう形成されている。また、基板保持手段２には直法立体アングル状に形成された少なくとも４個の基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄがそれぞれの内側角部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを同一平面上で対角状に対向させ、対角間距離が基板１の対角長さよりも短くなるように配置、固定され、そして、基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄは図６（ａ）に示すような開口部２３を有するベース部材２２に載置・固定されているところは実施の形態１と同じである。
【００４７】
図６（ａ）、図６（ｂ）に示した状態で基板１を矢印Ａで示した方向に降下させていくが、基板１は保持・支持されるときの撓んだ状態と略等しい曲面を有する基板支持部材４０で支持されており、基板１の投影された対角長が基板保持・支持部材の内側角部における対角間距離よりも短く、図６（ｃ）に示すように基板１の各コーナ部が対応する基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの内側角部に収まるようになっているので、基板保持・支持部材の内側角部に基板１の各コーナ部を載置させることができる。基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄはベース部材２２に固定されていて、基板保持手段２に載置された基板１の各コーナ部は基板保持・支持部材の内側角部に規制されて動かない。
【００４８】
このとき、実施の形態１の基板保持方法の説明と同様に、基板１が図６（ｃ）に示した上側に撓んだ状態を保持して逆方向の下側に撓まないように、基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離を設定しておいて、基板支持部材４０を取り外すと、基板１は図６（ｄ）に示すように、上側に撓んだ状態で静止して保持されることになる。基板１が上側に撓んだ状態で静止して保持されるときの基板保持・支持部材の内側角部の対角間距離は実際に製造に用いる基板１を用いて実測により求めて設定しているところは、実施の形態１における搬送保持方法の場合と同様である。
【００４９】
上述した方法により、基板１を搬送し、基板保持・支持部材に安定的に保持・支持することが可能になり、基板１の撓みにより発生する応力に起因する破損等の問題も解消できることになる。また表示装置の製造に際し、基板１に電極等の構成要素を蒸着や吹きつけ塗布により形成するとき、図６に示すベース部材２２の中央部に設けた開口部２３を通して、図６（ｄ）に示した状態で支持したまま工程処理を行うことも可能である。
【００５０】
基板支持部材４０は基板１を保持・支持するときの撓んだ状態と略等しい曲面を有するとしたが、この曲面は前述したように基板１の基板サイズ、厚み、および密度、ヤング率、引っ張り強さ等の材料に固有の物理量を用いて、理論計算あるいはシミュレーションにより求めることも可能であるが、本発明の実施の形態４における基板保持方法では、実際に製造に用いる基板１を撓ませて保持支持した状態で実測により求めて略等しい曲面を有する基板支持部材４０を形成した。そして、基板支持部材４０は、例えば樹脂、金属やセラミック等の材料を用いて形成することができる。
【００５１】
基板１を保持支持するのに最適な撓み状態の曲面を有する基板支持部材４０を用いるので、基板支持部材４０の上に基板１を載置して基板保持手段２の上に搬送し、保持支持までの手順を進めることが可能になる。このため、基板の搬送や支持の時間が長くなっても基板１が余分に撓むことがなく、基板１が大きく撓むことにより生ずる悪影響を抑えることができる。
【００５２】
また、図６（ａ）には基板支持部材４０を１個の部材として示しているが、本発明の実施の形態４においてはこれに限定されるものではなく、基板支持部材４０を複数の部材に分割して用いることができる。例えば、撓んで曲がった２個の細長い部材に分割した基板支持部材４０とし、それぞれ両端部側に配置して用いてもよい。
【００５３】
以上説明したように、本発明の実施の形態４における基板保持方法により、基板１を搬送し、基板保持・支持部材に安定的に保持・支持することが可能になり、基板１の撓みにより発生する応力に起因する破損等の問題も解消できることになる。また表示装置の製造に際し、基板１に電極等の構成要素を蒸着や吹きつけ塗布により形成するとき、図６に示すベース部材２２の中央部に設けた開口部２３を通して、図６（ｄ）に示した状態で支持したまま各工程の処理を行うことも可能である。
【００５４】
なお、上述した本発明の実施の形態４における基板の搬送保持方法においては、基板１の長辺側に平行になるような位置に基板支持部材４０を配置する例で説明したが、基板支持部材４０を基板１の短辺側に平行になるような位置に配置する方法も可能である。ただし、いずれの場合でも、基板支持部材４０の基板１が撓む側の投影長さは基板１の撓んだ側の投影長さより小さくなるように形成されている必要がある。
【００５５】
また、基板保持手段２を構成する基板保持・支持部材の数量、形状および配置の方法については、図６に示す例に限定されるものではなく、例えば、図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示したような数量、形状および配置も可能である。また、図示していないが、基板保持・支持部材を５個以上用いることも可能である。
【００５６】
さらに、上記説明においては吸盤等の吸着保持具を備えた搬送保持手段を使用せず、最初から基板１の電極等の構成要素を形成しない側の面を保持・支持するときの基板１が撓んだ状態と略等しい曲面を有する基板支持部材４０で支持して基板保持手段２上に移送（搬送）するとしたが、図１に示したような搬送保持手段３の吸着保持具３０を用いて基板１を基板保持手段２上に移送（搬送）し、基板支持部材４０の上に載置し、直ちに吸着保持具３０を取り外して、図６を用いて説明した手順で基板１を基板保持・支持部材に保持・支持することも可能である。
【００５７】
（実施の形態５）
引き続き、本発明の実施の形態５におけるフラットパネルディスプレイ用基板の保持装置および保持方法について図７、図８を用いて説明する。これまで実施の形態１〜実施の形態４では基板を搬送した上で、基板保持手段２に基板１を保持支持する装置と方法を説明したが、本発明の実施の形態５においては搬送装置、搬送方法については、本発明の実施の形態１〜実施の形態４において説明した基板支持部材４および搬送保持手段３、３１、３２を同様に利用することができるので、重複を避けるため説明を省略し、基板１を保持装置を用いて保持する方法についてのみ説明する。ここで、図７は本発明の実施の形態５における基板保持方法を説明する図であり、図８は本発明の実施の形態５における別の基板保持方法を説明する図である。
【００５８】
本発明の実施の形態５における保持装置となる基板保持手段２に基板１を載置して基板を保持・支持する状態を斜視図で示した図７（ａ）、および側面図で示した図７（ｂ）において、基板保持手段２はベース部材に相当する下部部材８２、ストッパ５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄおよび基板載置部４１ａ、４１ｂが一体に形成されている。下部部材８２は基板保持手段２に必要なストッパ５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄおよび基板載置部４１ａ、４１ｂを積載形成するためのベース部材であり、平板状あるいは、開口部２３となる角状の内孔を抜いて枠状または額縁状（ベゼル状）に形成されている。そして、下部部材８２で基板１が載置される部分の面積は基板１の表面積より大きく設定している。ストッパ５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄは外観的に図１、図２、図３、図４、図５、図６に示した基板保持・支持部材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに相当するが、その内側角部５１ａ、５１ｂ、５１ｃ、５１ｄは基板１のコーナ部を規制保持するためではなく、基板１が基板保持手段２から外れて落下しないようにするための単なるストッパの機能を有している。また、基板載置部４１は実施の形態４で説明した基板支持部材４０と外観的に似た形状を有している。すなわち、基板１を保持・支持する部分の形状が、実際に基板１を保持・支持するときの撓んだ状態と略等しい曲面を有している。ただし、実施の形態４で説明した基板支持部材４０の基板１が撓む側の投影長さは基板１の撓んだ側の投影長さより小さく設定していたのに対し、基板載置部４１ａ、４１ｂでは基板１が撓む側の投影長さを基板１の撓んだ側の投影長さと等しいか、または大きくなるように形成している。
【００５９】
上述した本発明の実施の形態５における保持装置となる基板保持手段２では、基板１が載置される部分の面積を基板１の表面積より大きく設定した下部部材８２に、基板１が撓む側の投影長さを基板１の撓んだ側の投影長さと等しいか、または大きく形成した基板載置部４１ａ、４１ｂを配置しているので、基板１が基板１の撓みにより発生する応力に起因する破損等が生ずることのない最適な撓み状態で基板載置部４１ａ、４１ｂに載置されて、下部部材８２や、ストッパ５０ａ、５０ｂ、５０ｃ、５０ｄに接触することなく安定に保持・支持されることになる。
【００６０】
また、本発明の実施の形態５における保持装置となる基板保持手段２に備わる基板載置部４１ａ、４１ｂの形状は図７に示した形状に限定されるものではなく、別の形状も可能である。図８（ａ）に斜視図で示したように、板状ではなくブロック状の形状に形成した基板載置部４１、４２ａを用いることが可能である。このとき、基板１を保持・支持する部分の形状が、実際に基板１を保持・支持するときの撓んだ状態と略等しい曲面を有し、基板１が撓む側の投影長さを基板１の撓んだ側の投影長さと等しいか、または大きくなるように形成しているところは図７における基板載置部４１ａ、４１ｂと同様である。
【００６１】
さらに、図８（ｂ）、図８（ｃ）にそれぞれ斜視図、側面図で示すように、基板載置部４２ａ、４２ｂを細かいブロックに分割してその一部のみを用いて複数個で構成することも可能である。図８（ｂ）、図８（ｃ）では、基板載置部４１、基板載置部４２ａをそれぞれ５個ずつの基板載置部ブロック４３ａ、４３ｂ、４３ｃ、４３ｄ、４３ｅおよび基板載置部ブロック４３ｆ、４３ｇ、４３ｈ、４３ｉ、４３ｊで構成している。このとき、それぞれのブロックの頂部は基板１を保持・支持するときの撓んだ状態と略等しい曲面に対応しており、図８（ａ）に示した基板載置部４２ａ、４２ｂと同等の機能を有している。なお、図８（ｂ）、図８（ｃ）では、５個の基板載置部ブロックを用いた例を示しているが、５個に限定されるものではない。
【００６２】
以上説明したように、本発明の実施の形態５における基板保持方法により、基板を基板保持手段が備える基板載置部に安定的に保持・支持することが可能になり、基板の撓みにより発生する応力に起因する破損等の問題も解消できることになる。
【００６３】
なお、本発明の実施の形態５における保持装置となる基板保持手段に備わる基板載置部は撓んで曲がった両端部側に２個または２群の部材に分割した構成の例を図７に示して説明したが、３個または３群以上からなる部材に分割した構成も可能であるし、逆に２個または２つの群の部材を大きい１個または１群の部材にまとめた構成も可能である。
【００６４】
また、上述した本発明の実施の形態５における基板の保持・支持方法においては、基板載置部を基板１の長辺側に平行になるような位置に配置する例で説明したが、基板載置部を基板の短側に平行になるような位置に配置する方法も可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明にかかるフラットパネルディスプレイ用基板の搬送保持装置および搬送保持方法は、大型化した基板の搬送保持するときに発生するダストの発生および汚れの付着を抑制し、また基板に応力を生じさせる撓みを低減するとともに、処理中の基板の撓み状態の変化を抑制することができ、製品に悪影響を及ぼさずに確実に搬送保持して基板を破損を防止して安定かつ確実に所要の処理を施すことができるので、液晶、ＰＤＰ、ＥＬ等のフラットパネルディスプレイの製造装置等の用途に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の実施の形態１における基板保持方法を説明する図
【図２】本発明の実施の形態１における基板保持部材の形状および配置のほかの例を示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態２における基板保持方法を説明する図
【図４】本発明の実施の形態３における基板保持方法を説明する図
【図５】本発明の実施の形態３における別の基板保持方法を説明する図
【図６】本発明の実施の形態４における基板保持方法を説明する図
【図７】本発明の実施の形態５における基板保持方法を説明する図
【図８】本発明の実施の形態５における別の基板保持方法を説明する図
【図９】大型基板を保持するときの基板の状態の変化を説明する斜視図
【符号の説明】
【００６７】
１    基板
２    基板保持手段
２ａ，２ｂ    支持手段
３，３１，３２    搬送保持手段
４，４０    基板支持部材
５    アーム
６    連結部材
７，７２    高さ位置調整治具
２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ    基板保持・支持部材
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄ    内側角部
２２    ベース部材
２３    開口部
３０    吸着保持具
４１ａ，４１ｂ，４２ａ，４２ｂ    基板載置部
４３ａ，４３ｂ，４３ｃ，４３ｄ，４３ｅ、４３ｆ，４３ｇ，４３ｈ，４３ｉ，４３ｊ    基板載置部ブロック
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ    ストッパ
５１    メインアーム
５２，５３，５４，５５    サブアーム
７１    高さ固定治具
８２    下部部材
【図１】
2006321575.tif 000003
【図２】
2006321575.tif 000004
【図３】
2006321575.tif 000005
【図４】
2006321575.tif 000006
【図５】
2006321575.tif 000007
【図６】
2006321575.tif 000008
【図７】
2006321575.tif 000009
【図８】
2006321575.tif 000010
【図９】
2006321575.tif 000011