(57)【要約】【課題】  異なるリードフレームにめっきを施す際の位置合わせの時間を短縮することができる部分めっき方法を提供する。【解決手段】  同一のスパージャ３４を用いて異なる被めっき物３１に対して部分めっきを施す際の部分めっき方法において、めっきマスク３８の開口部５０およびノズル板４０のノズル４７の位置を、異なる被めっき物２１を支持手段３２に支持させたときのめっき対象領域に合わせためっきマスク３８およびノズル板４０を予め複数作成しておき、異なる被めっき物３１に対して部分めっきを施す際には、予め作成してあった複数のめっきマスク３８およびノズル板４０の中から、部分めっきを施そうとする被めっき物３１に対応するめっきマスク３８およびノズル板４０を選択し、支持手段３２の位置およびスパージャ３４の位置を変更せずに、スパージャ３４に取り付ける。【選択図】        図７
2006152350.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方側が開放されて成る、めっき液が貯留される箱状のスパージャと、
平板状の被めっき物のめっき対象領域に対して開口した開口部が形成され、前記スパージャの一方側の開放端に取り付けられるめっきマスクと、
前記めっきマスクの開口部に向けてめっき液を噴射するノズルが設けられ、前記めっきマスクと前記スパージャの底面との間に取り付けられるノズル板と、
前記被めっき物の平面部分が前記めっきマスクの一方側の面に平行に位置するように、前記被めっき物を支持する支持手段とを具備する部分めっき装置における、同一のスパージャを用いて異なる被めっき物に対して部分めっきを施す際の部分めっき方法において、
前記めっきマスクの前記開口部および前記ノズル板の前記ノズルの位置を、異なる被めっき物を前記支持手段に支持させたときのめっき対象領域に合わせためっきマスクおよびノズル板を予め複数作成しておき、
異なる被めっき物に対して部分めっきを施す際には、
前記予め作成してあった複数のめっきマスクおよびノズル板の中から、部分めっきを施そうとする被めっき物に対応するめっきマスクおよびノズル板を選択し、前記支持手段の位置および前記スパージャの位置を変更せずに、前記スパージャに取り付けることを特徴とする部分めっき方法。
【請求項２】
前記めっきマスクと前記ノズル板とがめっきマスクユニットとして一体となって前記スパージャに脱着可能となるように構成されて成るものを用いることを特徴とする請求項１記載の部分めっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リードフレームやＴＡＢテープ等の帯状部材のめっきに用いる部分めっき装置を用いた部分めっき方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置に用いられるリードフレームは、金属製の帯状部材を加工したものであり、単位リードフレームが該帯状部材に多数連接して形成される。
各単位リードフレームには、半導体素子を搭載するためのステージの部位と、ワイヤボンディングがなされるインナーリード先端部に銀めっき等の部分めっきが施される。
【０００３】
このようなリードフレームに部分めっきを施すためには、部分めっき装置が用いられる。
部分めっき装置を、図９〜図１３に基づいて説明する。
部分めっき装置１０は、スパージャ１１、スパージャ１１内に設けられた整流板１２、スパージャ１１の開放側に設けられたノズル板１３、およびめっきマスク１４とを有している。
【０００４】
また、リードフレーム２１は、図に示すように平面部分が正面を向くように縦置きされ、フィーダ装置２２によって水平方向（図では右方向）に定寸送りされる。フィーダ装置２２は、部分めっき装置１０を挟んでリードフレーム２１の進行方向の前後に配置されている。
各フィーダ装置２２には、リードフレームの上端縁２１ａと下端縁２１ｂのそれぞれに当接して、リードフレーム２１を移動させる上フィーダローラ２３ａおよび下フィーダローラ２３ｂが設けられている。
また、下フィーダローラ２３ｂは移動しないように固定されているが、上フィーダローラ２３ａはフィーダ装置２２に対して上下方向に移動可能であり、幅の異なるリードフレーム２１であっても上フィーダローラ２３ａを移動させることによって保持することができる。
【０００５】
スパージャ１１は、内部にめっき液が貯留される加圧室１４が形成されている箱状の部材である。箱状のスパージャ１１の一方側は開放されており、開放された一方側にノズル板１３とめっきマスク１４が取り付けられる。
スパージャ１１の加圧室１４の内部には、めっき液を均一にノズル板１３に流すための整流板１２が設けられている。整流板１２は、多数の小孔が穿設された板状の部材である。図面上では整流板１２の小孔は省略して図示している。
【０００６】
スパージャ１１の整流板１２よりも一方側には、めっき液をめっきマスク１４の開口部１６に向けて噴射する複数のノズル１９が設けられたノズル板１３が設けられている。
ノズル板１３は、平面視長方形の板状部材であって、このノズル板１３に複数のノズル１９が設けられて構成されているが、そのノズル１９の配置は、ノズル板１３のセンターＯ（短辺および長辺の中心線ａ，ｂの交点）を基準として配置されている。すなわち、複数のノズル１９は、長方形の短辺の中心線ａ上に配置され、且つ長辺の中心線ｂに対して点対称となるように配置されている。
また、このノズル板１３のノズル突出側には、陽極極板２０が配置されている。
【０００７】
スパージャ１１の一方側の端部には、めっきマスク１４が取り付けられている。めっきマスク１４は、平面視長方形状であって、リードフレームのめっきすべき領域に対応する位置に開口部１６が形成されている。
めっきマスク１４の開口部１６は、めっきマスク１４のセンターＯ（短辺および長辺の中心線ａ，ｂの交点）を基準として配置されている。すなわち、複数の開口部１６は、長方形の短辺の中心線ａ上に配置され、且つ長辺の中心線ｂに対して点対称となるように配置されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
なお、リードフレーム２１は製品ごとに様々な形状を有しており、その製品ごとにめっきマスク１４の開口部１６の形状や位置、ノズル板１３に設けられるノズル１９の位置等が異なる。一方、スパージャ１１は、製品が変わっても共通して用いることができる。
したがって、同じスパージャ１１を利用して異なるリードフレーム２１に対して部分めっきを施すには、スパージャ１１からノズル板１３とめっきマスク１４を取り外し、めっきすべきリードフレーム２１に対応するノズル板１３とめっきマスク１４を取り付ける必要がある。
【０００９】
めっきすべきリードフレーム２１に対応するノズル板１３とめっきマスク１４をスパージャ１１に取り付けた後、めっき対象となるリードフレーム２１をフィーダ装置２２に装着する。
すると、めっきマスク１４の開口部１６の位置と、リードフレーム２１のめっき対象領域とがずれていることがある。
【００１０】
すなわち、リードフレーム２１はフィーダ装置２２によってその下端縁２１ｂが支持されて位置決めがされているので、今までめっきの対象としていたリードフレームから幅ｙが広いリードフレーム２１にめっきを施す場合には、めっきマスク１４の開口部１６の位置がリードフレーム２１の幅ｙに対して下に位置しすぎてしまい、幅狭のリードフレーム２１にめっきを施す場合には、めっきマスク１４の開口部１６の位置がリードフレーム２１の幅ｙに対して上に位置しすぎてしまうので、開口部１６をリードフレーム２１のめっき対象領域に合わせる必要が生じるのである。
【特許文献１】特開２００１−３０３２９７号公報（００２３、図１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従来の部分めっき装置１０においては、異なるリードフレーム２１に部分めっきを施す場合には、めっきマスク１４およびノズル板１３を対応するリードフレーム２１に合わせたものに交換する必要があったが、交換後においてもスパージャ１１に対するめっきマスク１４およびノズル板１３の位置合わせを行なわなくてはならなかった。
かかる位置合わせは、めっきマスク１４およびノズル板１３をスパージャ１１に取り付けているボルト２１，１７の穴位置を複数箇所に予め設けておき、ボルト２１，１７による取り付け位置を変更したりすることで行なわれてきた。
【００１２】
しかし、このようにボルト２１，１７による位置合わせでは、異なるリードフレーム２１にめっきを施す際の位置合わせに大変な手間がかかっており、めっきマスク１４やノズル板１３の交換作業全体が遅延してしまうという課題があった。
【００１３】
また、フィーダ装置２２に対するスパージャ１１全体の位置を変更する方法によっても位置合わせが可能であるが、位置合わせが大がかりになりすぎてしまい、この方法でも位置合わせに手間がかかりすぎるという課題があった。
【００１４】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決すべくなされ、その目的とするところは、異なるリードフレームにめっきを施す際の位置合わせの時間を短縮することができる部分めっき方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は上記目的を達成すべく、以下の構成を備える。
すなわち、一方側が開放されて成る、めっき液が貯留される箱状のスパージャと、平板状の被めっき物のめっき対象領域に対して開口した開口部が形成され、前記スパージャの一方側の開放端に取り付けられるめっきマスクと、前記めっきマスクの開口部に向けてめっき液を噴射するノズルが設けられ、前記めっきマスクと前記スパージャの底面との間に取り付けられるノズル板と、前記被めっき物の平面部分が前記めっきマスクの一方側の面に平行に位置するように、前記被めっき物を支持する支持手段とを具備する部分めっき装置における、同一のスパージャを用いて異なる被めっき物に対して部分めっきを施す際の部分めっき方法において、前記めっきマスクの前記開口部および前記ノズル板の前記ノズルの位置を、異なる被めっき物を前記支持手段に支持させたときのめっき対象領域に合わせためっきマスクおよびノズル板を予め複数作成しておき、異なる被めっき物に対して部分めっきを施す際には、前記予め作成してあった複数のめっきマスクおよびノズル板の中から、部分めっきを施そうとする被めっき物に対応するめっきマスクおよびノズル板を選択し、前記支持手段の位置および前記スパージャの位置を変更せずに、前記スパージャに取り付けることを特徴としている。
この方法を採用することによって、めっきマスクおよびノズル板をスパージャに取り付けた後の位置合わせを必要としないので（微調整程度は必要と考えられる）、手間をかけずに異なる被めっき物に部分めっきを施すことができる。
【００１６】
また、前記めっきマスクと前記ノズル板とがめっきマスクユニットとして一体となって前記スパージャに脱着可能となるように構成されて成るものを用いることを特徴としてもよい。
このような構成を採用することで、ノズル板とめっきマスクとをそれぞれスパージャに取り付ける必要がなく、一体に構成されているめっきマスクユニットをスパージャに取り付けるだけでよいので、めっきマスクおよびノズル板の交換時の手間をさらに省くことができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明にかかる部分めっき方法によれば、異なる被めっき物に対して同一のスパージャを用いて部分めっきを施す際に、めっきマスクおよびノズル板の交換時の手間を省くことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。まず、本発明の部分めっき方法に用いられる部分めっき装置について説明する。
図１に部分めっき装置の正面図、図２はフィーダ装置の正面図および側面図、図３は部分めっき装置の側面図、図４は部分めっき装置の平面図、図５は部分めっき装置におけるスパージャやめっきマスクユニット等の断面図である。
部分めっき装置３０は、半導体装置に用いるリードフレーム３１に対してめっきを施すための装置である。リードフレーム３１は、図に示すように平面部分が正面を向くように縦置きされ、フィーダ装置３２によって水平方向に定寸送りされる。被めっき物であるリードフレーム３１としては、リールに巻かれた状態のフープ状のものであっても、所定の長さに切断されている短冊状のものであってもどちらでもよい。
【００１９】
フィーダ装置３２は、部分めっき装置３０を挟んでリードフレーム３１の進行方向の前後に配置されている。
従来の技術でも説明したように、各フィーダ装置３２には、リードフレームの上端縁３１ａと下端縁３１ｂのそれぞれに当接して、リードフレーム３１を移動させる上フィーダローラ３３ａおよび下フィーダローラ３３ｂが設けられている。
また、下フィーダローラ３３ｂは移動しないように固定されているが、上フィーダローラ３３ａはフィーダ装置３２に対して上下方向に移動可能であり、幅の異なるリードフレーム３１であっても上フィーダローラ３３ａを移動させることによって保持することができる。このように、リードフレーム３１は、その下端縁３１ｂによって位置決めがなされ、幅の異なるリードフレーム２１を装着した場合であっても、その下端縁３１ｂの位置は変わらない。
【００２０】
部分めっき装置３０は、内部にめっき液が貯留されるスパージャ３４、スパージャ３４の前面に設けられためっきマスクユニット３６、リードフレーム３１を挟んでめっきマスクユニット３６と対向する位置にある裏当て板３７を有している。めっきマスクユニット３６とは、めっきマスク３８とノズル板４０とが一体に構成された部材である。
また、部分めっき装置３０には、めっきマスクユニット３６と裏当て板３７をスパージャ３４に取り付けるために、２台のクランプ装置４３が設けられている。
【００２１】
以下、上述した各構成要素について説明する。
スパージャ３４は、内部にめっき液が貯留される箱状の部材であり、一方側が開放されている。スパージャ３４の他方側（底部）にはめっき液が供給される供給孔４１が形成されており、図示しないポンプによってポンプアップされためっき液が供給孔４１を介して加圧室４２内に流入可能となっている。
【００２２】
スパージャ３４の内壁面は一方側に向けて階段状に内径が広がるような段差４４，５１が形成されており、底部に最も近い位置の段差４４に整流板４６が取り付けられている。整流板４６とスパージャ３４の底部との間の空間がめっき液の加圧室４２となる。整流板４６には多数の小孔が形成されており、後述するノズル板４０の複数のノズル４７に均一にめっき液が行き渡るように設けられている。なお、図面では整流板４６の小孔は省略して図示している。
【００２３】
図５に示すように、めっきマスクユニット３６は、ノズル板４０とめっきマスク３８とが複数本のカラー４９によって連結されて成る。カラー４９は、所定長さの棒状の部材であって、ノズル板４０とめっきマスク３８の間に立設され、双方をネジ止めによって連結して固定している。
めっきマスクユニット３６は、ノズル板４０の端部がスパージャ３４の内壁面の段差５１に位置し、めっきマスク３８の端部がスパージャ３４の一方側の端面５２に位置するようにスパージャ３４に取り付けられる。
【００２４】
めっきマスクユニット３６を構成するノズル板４０は、めっき液をめっきマスク３８の開口部５０に向けて噴射するために複数のノズル４７，４７・・が設けられている。また、ノズル板４０のめっきマスク側の面は陽極極板５４が配置されている。
めっきマスク３８は、複数の開口部５０，５０・・が形成されている。
【００２５】
めっきマスクユニット３６における、ノズル板４０のノズル４７の位置およびめっきマスク３８の開口部５０の位置は、各リードフレーム３１がフィーダ装置３２によって下端縁が支持された場合、めっきマスクユニット３６をスパージャ３４に取り付けた際のめっき領域に対応する位置に設けられている。
【００２６】
具体的には、図６および図７に示すように、開口部５０の位置およびノズル４７の位置は、幅広のリードフレーム３１に対してはめっきマスクユニット３６のセンターＯ（短辺および長辺の中心線ａ，ｂの交点）に対して上方に位置するように設けられ、幅狭のリードフレーム３１に対してはめっきマスクユニット３６のセンターＯに対して下方に位置するように設けられる。
また、図８に示すように、リードフレーム３１自体の長さや、単位リードフレーム同士の間隔もリードフレーム３１ごとに異なっているので、開口部５０の位置およびノズル４７の位置が、めっきマスクユニット３６のセンターＯからリードフレーム３１の送り方向の前後に位置するように設けられていてもよい。
【００２７】
上述したようなめっきマスクユニット３６は、異なるリードフレームごとに合わせて予め作成しておく。
そして、異なるリードフレームに部分めっきを施す際には、対応するめっきマスクユニット３６に交換することで、スパージャ３４の位置およびフィーダ装置３２の位置を変えずに、且つめっきマスク３８やノズル板４０の位置あわせをしなくとも、同一のスパージャ３４を用いて異なるめっきマスクに対して部分めっきを施すことができる。
【００２８】
次に、クランプ装置について説明する。
クランプ装置４３は、側面からみると各構成部材が四角形状に連結するように構成されており、四角形の辺のうちの少なくとも一辺が開放可能となるように設けられている。
具体的には、クランプ装置４３は、裏当て板３７の表面に当接するように設けられた背板５６と、背板５６からスパージャ３４方向に延びる下部支持部材５８と、下部支持部材５８のスパージャ３４方向側端部から上方に向けて延びる底面支持部材６０と、底面支持部材６０の上端部から背板５６方向に延びる回動部材６２と、底面支持部材６０からスパージャ３４方向に延びてスパージャ３４の底面を押圧する押え部６４を有するトグルクランプ６６とから構成される。
【００２９】
クランプ装置４３の構成要素のうち、背板５６と下部支持部材５８とはそれぞれ互いに可動しないように強固に固定されているが、回動部材６２は底面支持部材６０の上端部に設けられた回動軸６９を中心に鉛直面内で回動可能に設けられている。また、底面支持部材６０は、下部支持部材５８の底面側端部に設けられた回動軸６１を中心に鉛直面内で回動可能に設けられている。
回動部材６２の先端部７０は、背板５６の表面側を引っ掛けるように鉤状に形成されており、この鉤状の先端部７０が背板５６の表面側に掛けられることによって、背板５６と押え部６４との間に、裏当て板３７とめっきマスクユニット３６とスパージャ３４とが挟み込まれる。
【００３０】
なお、回動部材６２の下面と、めっきマスクユニット３６の上面との間には隙間が形成されているが、この隙間を埋めるために、めっきマスクユニット３６の上部には上当て部材６３が配置されている。
同様に、下部支持部材５８の上面と、めっきマスクユニット３６の下面との間の隙間を埋めるために、めっきマスクユニット３６の下部には下当て部材６５が配置されている。
【００３１】
トグルクランプの構成および動作を、図３と図４に基づいて説明する。
トグルクランプ６６は、鉛直面内で鉛直下向きと鉛直上向きとの間で回動可能に設けられた操作ハンドル７２と、操作ハンドル７２とリンク機構７３を介して水平方向に移動可能に設けられたロッド６４とを有しており、底面支持部材６０に設けられたトグルクランプ取り付け板８０に取り付けられている。
なお、このロッド６４が、上述した押え部６４に該当する。
【００３２】
トグルクランプ取り付け板８０には、ロッド６４の中途部を保持する筒状の軸受部７８が固定されている。軸受部７８は、ロッド６４をスパージャ３４方向に突出入自在となるように保持している。
軸受部７８には、２枚の側板７９，７９が、スパージャ３４と反対方向に突出するように設けられており、側板７９，７９の間に操作ハンドル７２の回動軸７４が設けられる。このようにして操作ハンドル７２は、側板７９，７９に対して回動自在に固定される。
【００３３】
リンク機構７３は、操作ハンドル７２自体の回動軸７４と、操作ハンドル７２の延出方向とはほぼ直交する方向にのびたリンク部７５と、リンク部７５の先端部に回動軸７６を介してリンク部７５に対して回動可能に取り付けられた第２リンク部７７とから構成されている。第２リンク部７７の先端部は、回動軸８５を介してロッド６４の後端部と連結されている。
【００３４】
このようなトグルクランプ６６において、操作ハンドル７２を鉛直上向きに回動させることによって、リンク機構７３のリンク部７５は図面上で時計回りに回動して第２リンク部７７を介してロッド６４をスパージャ３４から離れる方向に移動させる。
また、操作ハンドル７２を鉛直下向きに回動させることによって、リンク機構７３のリンク部７５は図面上で反時計回りに回動して第２リンク部７７を介してロッド６４をスパージャ３４方向に移動させる。
【００３５】
そして、操作ハンドル７２が鉛直下向きに位置したところで、ロッド６４の先端部が適度な押圧力でスパージャ３４の底面を押圧することができる。また、操作ハンドル７２を鉛直下向きに位置させたときに、操作ハンドル７２が反時計回りに戻ってしまうことを防止するために、操作ハンドル７２の戻り防止用のストッパー機構を設けるとよい（図示せず）。
【００３６】
上述してきた構成の部分めっき装置を用い、異なる被めっき物に部分めっきを施す部分めっき方法について説明する。
まず、作業者は、トグルクランプ６６の操作ハンドル７２を鉛直上向きに回動させ、押え部６４がスパージャ３４を押圧している力を緩める。すると、背板５６に引っ掛けられていた回動部材６２が緩み、回動可能となる。作業者は回動部材６２を回動させて鉤状の先端部７０を背板５６から外す。
【００３７】
すると、トグルクランプ６６によって締付けられて固定されていた、スパージャ３４とめっきマスクユニット３６との締付けが緩み、めっきマスクユニット３６はスパージャ３４から取り外し可能な状態となる。
作業者は、上当て部材６３、めっきマスクユニット３６、下当て部材６５をスパージャ３４から取り外す。そして、作業者は、めっき対象となるリードフレーム３１のめっき対象領域に対応するように予め開口部５０とノズル４７の位置を、めっきマスクユニット３６のセンターの位置からずらして配置しためっきマスクユニット３６を選択し、スパージャ３４の開放側の前面に配置し、上当て部材６３と下当て部材６５も新たなめっきマスクユニット３６の上面および下面に配置する。
【００３８】
作業者は、回動部材６２を回動させて鉤状の先端部７０を背板５６の上端部に引っ掛ける。
次いで作業者は、トグルクランプ６６の操作ハンドル７２を鉛直下向きに回動させ、押え部６４をスパージャ３４方向に押し込む。すると、押え部６４がスパージャ３４の底面を押圧し、スパージャ３４とめっきマスクユニット３６と裏当て板３７は、トグルクランプ６６の押え部６４と背板５６との間で強固に締付けられる。
このようにして、めっきマスクユニット３６はスパージャ３４に取り付けられる。
【００３９】
めっきマスクユニット３６の取り付け後、フィーダ装置３２の上フィーダローラ３３ａの位置をリードフレーム３１の幅に合わせ、フィーダ装置３２にリードフレーム３１をセットして部分めっきを実行する。
このように、めっきマスクユニット３６をスパージャ３４に取り付けた後、リードフレーム３１に対する開口部５０やノズル４７の位置合わせを行なわなくとも良いので、異なるリードフレーム３１に部分めっきを施す際のめっきマスクやノズル板の交換の時間短縮を図ることができる。
【００４０】
なお、上述した実施形態では、めっきマスク３８とノズル板４０とを一体に構成しためっきマスクユニット３６をスパージャ３４に取り付ける場合についてのみ説明したが、めっきマスク３８とノズル板４０とをそれぞれ別個にスパージャ３４に取り付ける構成であってもよい。
【００４１】
また、クランプ装置４３としてトグルクランプ６６を用いた機構について説明したが、この形態に限定するものではなく、押え部６４をねじ込み式にして押え部６４をスパージャ３４方向にねじ込むことにより、スパージャ３４とめっきマスクユニット３６とを押え部６４と背板５６との間で挟み込んで取り付けるようにしてもよく、シリンダー等のアクチュエータを用いてスパージャ３４にめっきマスクユニット３６を取り付けるようにしてもよい。
【００４２】
以上本発明につき好適な実施例を挙げて種々説明したが、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、発明の精神を逸脱しない範囲内で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】部分めっき装置の正面図である。
【図２】フィーダ装置の側面図および正面図である。
【図３】部分めっき装置の側面図である。
【図４】部分めっき装置の平面図である。
【図５】部分めっき装置の断面図である。
【図６】幅広のリードフレームに合わせて開口部およびノズルの位置をめっきマスクユニットのセンターに対して上方に位置させた場合を説明する説明図である。
【図７】幅狭のリードフレームに合わせて開口部およびノズルの位置をめっきマスクユニットのセンターに対して下方に位置させた場合を説明する説明図である。
【図８】開口部およびノズルの位置をめっきマスクユニットのセンターに対して前方に位置させた場合を説明する説明図である。
【図９】従来技術で説明した部分めっき装置の正面図である。
【図１０】図９におけるフィーダ装置の側面図および正面図である。
【図１１】従来技術で説明した部分めっき装置の断面図である。
【図１２】従来技術で説明しためっきマスクの正面図である。
【図１３】従来技術で説明したノズル板の正面図である。
【符号の説明】
【００４４】
３０   部分めっき装置
３１   リードフレーム
３２   フィーダ装置
３３ａ 上フィーダローラ
３３ｂ 下フィーダローラ
３４   スパージャ
３６   めっきマスクユニット
３７   裏当て板
３８   めっきマスク
４０   ノズル板
４１   供給孔
４２   加圧室
４３   クランプ装置
４４，５１    段差
４６   整流板
４７   ノズル
４９   カラー
５０   開口部
５２   端面
５４   陽極極板
５６   背板
５８   下部支持部材
６０   底面支持部材
６２   回動部材
６３   上当て部材
６４   ロッド
６４   押え部
６５   下当て部材
６６   トグルクランプ
６９，７４，７６     回動軸
７０   先端部
７２   操作ハンドル
７３   リンク機構
７５   リンク部
７７   第２リンク部
７８   軸受部
７９   側板
８０   板
８５   回動軸
【図１】
2006152350.tif 000003
【図２】
2006152350.tif 000004
【図３】
2006152350.tif 000005
【図４】
2006152350.tif 000006
【図５】
2006152350.tif 000007
【図６】
2006152350.tif 000008
【図７】
2006152350.tif 000009
【図８】
2006152350.tif 000010
【図９】
2006152350.tif 000011
【図１０】
2006152350.tif 000012
【図１１】
2006152350.tif 000013
【図１２】
2006152350.tif 000014
【図１３】
2006152350.tif 000015