(57)【要約】【課題】  光学系を確実に保護できると共にランニングコストおよびイニシャルコストを確実に削減できるミニエンバイロメント装置を提供する。【解決手段】  筐体１１と、筐体の内部において光学系２０を設置する空間Ａと光学系を設置しない空間Ｂとを水平方向に分割する仕切り部材１２と、筐体の上面１１Ａに設置され、該上面から筐体の内部の空間Ａおよび空間Ｂに向けて空気を吹き出す送風手段１６Ａ〜１８Ａと、送風手段の空間Ａに向けての吹き出し部分を覆うように装着されたケミカルフィルタ１６Ｃとを備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
前記筐体の内部において光学系を設置する第１空間と光学系を設置しない第２空間とを水平方向に分割する仕切り部材と、
前記筐体の上面に設置され、該上面から前記筐体の内部の前記第１空間および前記第２空間に向けて空気を吹き出す送風手段と、
前記送風手段の前記第１空間に向けての吹き出し部分を覆うように装着されたケミカルフィルタとを備えた
ことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項２】
請求項１に記載のミニエンバイロメント装置において、
前記第１空間に設置される光学系を支持すると共に、前記第２空間に設置される搬送系を支持する定盤をさらに備え、
前記仕切り部材は、前記定盤より前記上面側において前記第１空間と前記第２空間とを水平方向に分割するものであり、且つ、前記搬送系により搬送される物体の通過用の開口部を有し、
前記定盤は、前記仕切り部材と対向する箇所に通気用の開口部を有する
ことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項３】
請求項２に記載のミニエンバイロメント装置において、
前記第１空間および前記第２空間における空気の流れ方向を、前記物体の通過用の開口部を介して前記第１空間側から前記第２空間側へ流れるように設定する設定手段をさらに備えた
ことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項４】
請求項３に記載のミニエンバイロメント装置において、
前記設定手段は、前記第１空間に配置され、前記送風手段からの空気の流れ方向を、前記物体の通過用の開口部の方向に変更する手段である
ことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【請求項５】
請求項３に記載のミニエンバイロメント装置において、
前記設定手段は、前記第１空間の内部圧力Ｐ１と前記第２空間の内部圧力Ｐ２とが「Ｐ１＞Ｐ２」の関係を満足するように、前記内部圧力Ｐ１と前記内部圧力Ｐ２との少なくとも一方を調整する手段である
ことを特徴とするミニエンバイロメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、周囲よりも清浄度の高い局所環境を維持するために用いられるミニエンバイロメント(minienvironment)装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体回路素子や液晶表示素子の製造工程では、クリーンルーム内において、半導体ウエハや液晶基板など（総じて「基板」という）の欠陥や異物などの検査が行われる。また、クリーンルーム内の清浄度を全体的に高くするとコスト増加を招くため、近年、クリーンルーム内にミニエンバイロメント装置を設置し、その筐体の内部で基板の検査を行うことが提案された（例えば特許文献１を参照）。
【０００３】
ミニエンバイロメント装置の筐体の内部には、基板の検査に用いられる光学系や搬送系が共通の空間に設置される。また、筐体の上面には、複数のファンフィルタユニット（ＦＦＵ；FAN FILTER UNIT）が設置される。各々のファンフィルタユニットは、周囲（クリーンルーム内）の空気からゴミや塵などの微小な気体中パーティクルを除去した後、清浄な空気を筐体の内部に導入する。このため、ミニエンバイロメント装置の筐体の内部（基板の検査が行われる局所環境）は、周囲より清浄度が高くなる。ミニエンバイロメント装置を用いることで、クリーンルーム内の清浄度を全体的に高くするより安価に、基板の検査に必要な高い清浄度を実現することができる。
【０００４】
さらに、基板の検査に用いられる光学系を保護するために、各ファンフィルタユニットの吹き出し口を覆うようにケミカルフィルタを装着して、周囲の空気から化学物質（有機系ガスやアンモニアガスなど）を除去することも行われている。有機系ガスなどを含む空気が筐体の内部に導入されると、そのガスと光学系を通過する検査光（例えば深紫外光）との化学反応が起こり、レンズ表面の膜を劣化させる恐れがあるからである。
【特許文献１】特開平１１−２３０３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ケミカルフィルタは、非常に高価な消耗部品である。このため、各ファンフィルタユニットの吹き出し口を全てケミカルフィルタで覆うと、ミニエンバイロメント装置のランニングコストが増大してしまう。
さらに、ケミカルフィルタを装着したファンフィルタユニットでは、ケミカルフィルタにより圧力損失が増大するため、送風能力を高めなければならず、大型化するという問題もある。このため、各ファンフィルタユニットの吹き出し口を全てケミカルフィルタで覆うと、ミニエンバイロメント装置のイニシャルコストが増大してしまう。
【０００６】
なお、ケミカルフィルタの装着数を単に減らすと、有機系ガスなどの除去が不十分となり、光学系を十分に保護することができなくなってしまう。
本発明の目的は、光学系を確実に保護できると共にランニングコストおよびイニシャルコストを確実に削減できるミニエンバイロメント装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のミニエンバイロメント装置は、筐体と、前記筐体の内部において光学系を設置する第１空間と光学系を設置しない第２空間とを水平方向に分割する仕切り部材と、前記筐体の上面に設置され、該上面から前記筐体の内部の前記第１空間および前記第２空間に向けて空気を吹き出す送風手段と、前記送風手段の前記第１空間に向けての吹き出し部分を覆うように装着されたケミカルフィルタとを備えたものである。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のミニエンバイロメント装置において、前記第１空間に設置される光学系を支持すると共に、前記第２空間に設置される搬送系を支持する定盤をさらに備え、前記仕切り部材は、前記定盤より前記上面側において前記第１空間と前記第２空間とを水平方向に分割するものであり、且つ、前記搬送系により搬送される物体の通過用の開口部を有し、前記定盤は、前記仕切り部材と対向する箇所に通気用の開口部を有するものである。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のミニエンバイロメント装置において、前記第１空間および前記第２空間における空気の流れ方向を、前記物体の通過用の開口部を介して前記第１空間側から前記第２空間側へ流れるように設定する設定手段をさらに備えたものである。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のミニエンバイロメント装置において、前記設定手段は、前記第１空間に配置され、前記送風手段からの空気の流れ方向を、前記物体の通過用の開口部の方向に変更する手段である。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載のミニエンバイロメント装置において、前記設定手段は、前記第１空間の内部圧力Ｐ１と前記第２空間の内部圧力Ｐ２とが「Ｐ１＞Ｐ２」の関係を満足するように、前記内部圧力Ｐ１と前記内部圧力Ｐ２との少なくとも一方を調整する手段である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のミニエンバイロメント装置によれば、光学系を確実に保護できると共にランニングコストおよびイニシャルコストを確実に削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を用いて本発明の実施形態を詳細に説明する。
本実施形態のミニエンバイロメント装置１０は、図１の縦断面図と、図２の上面図(ａ),横断面図(ｂ)と、図３の縦断面図に示す通り、筐体１１と、仕切り板１２と、定盤１３と、圧力調整機構１４,１５と、複数のファンフィルタユニット１６〜１９とで構成される。仕切り板１２と定盤１３と圧力調整機構１４,１５は筐体１１の内部に設置され、ファンフィルタユニット１６〜１９は筐体１１の上面１１Ａに設置される。筐体１１の下面１１Ｂには、不図示の通気口が形成されている。
【００１３】
筐体１１の内部は、基板（半導体ウエハや液晶基板など）の検査が行われる局所環境であり、周囲（クリーンルーム内）より清浄度が高くなっている。この筐体１１の内部には、基板の検査に用いられる光学系２０や搬送系(不図示)が設置される。また、筐体１１の内部は、縦方向の仕切り板１２と水平方向の定盤１３とにより３つの空間Ａ,Ｂ,Ｃに分割されている（図２(ｂ)も参照）。
【００１４】
仕切り板１２は、定盤１３より上面１１Ａ側において、光学系２０を設置する空間Ａと光学系を設置しない空間Ｂとを水平方向に分割する板状の部材である。空間Ｂには光学系ではなく搬送系(不図示)が設置される。また、仕切り板１２には、搬送系により搬送される基板の通過用の開口部１２Ａが設けられている。検査対象の基板は、開口部１２Ａを介して空間Ｂから空間Ａに搬送され、空間Ａでの光学系２０による検査が終了すると、開口部１２Ａを介して空間Ａから空間Ｂに回収される。
【００１５】
定盤１３は、空間Ａに設置される光学系２０を支持すると共に、空間Ｂに設置される搬送系(不図示)を支持する板状の部材である。定盤１３より上面１１Ａ側は上記の空間Ａと空間Ｂとに分割され、定盤１３より下面１１Ｂ側は１つの空間Ｃとなっている。この空間Ｃは、例えばコンピュータなどを設置するために用いられる。
定盤１３には、仕切り部材１２と対向する箇所に、通気用の開口部１３Ａ（図２(ｂ)も参照）が設けられている。開口部１３Ａは、１個の大きな穴でも良いし、多数の小さな穴（例えば丸形,正方形,長方形,長穴形状など）を所定の間隔で連続的に配置した構成でも良い。また、定盤１３と同じ水平面内には圧力調整機構１４,１５が設けられている。
【００１６】
圧力調整機構１４,１５は、図４の上面図(ａ),側面図(ｂ)に示す通り、下側の固定板３１と、上側のスライド板３２と、締結用ナット３３によりスライド板３２に固定された摘み３４と、摘み抜け止め用ナット３５とで構成される。摘み３４の軸は固定板３１の長穴３６を介してスライド板３２に固定され、長穴３６の長手方向に沿ってスライド可能である。固定板３１とスライド板３２との各々には多数の通気口３１Ａ,３２Ａが形成され、摘み３４と共にスライド板３２を固定板３１に対してスライドさせることで、通気口３１Ａ,３２Ａの重なり面積を拡大／縮小することができる。通気口３１Ａ,３２Ａの重なり部分が実際の通気口として機能する。
【００１７】
ファンフィルタユニット１６〜１９は、筐体１１の上面１１Ａに設置され、周囲（クリーンルーム内）の空気からゴミや塵などの微小な気体中パーティクルを除去した後、清浄な空気を筐体１１の内部に導入する機構である。ファンフィルタユニット１６〜１９のうち、１つ（図１,図２(ａ)の右側）のファンフィルタユニット１６は、筐体１１の内部の空間Ａに向けて清浄な空気を導入する。また、残りの３つのファンフィルタユニット１７〜１９は、筐体１１の内部の空間Ｂに向けて清浄な空気を導入する。
【００１８】
全てのファンフィルタユニット１６〜１９には、各々、筐体１１の上面１１Ａから筐体１１の内部（空間Ａ,空間Ｂ）に向けて空気を吹き出すダウンフローの送風手段として、ファン１６Ａ〜１９Ａが設けられる。さらに、全てのファンフィルタユニット１６〜１９には、各々、吹き出し口を覆うように発塵防止用のＵＬＰＡフィルタ(Ultra Low Penetoration Air Filter)１６Ｂ〜１９Ｂが装着される。なお、ファンフィルタユニット１９のファン１９ＡとＵＬＰＡフィルタ１９Ｂは図示省略した。
【００１９】
また、空間Ａの上部の１つ（図１,図２(ａ)の右側）のファンフィルタユニット１６には、空間Ａに設置された光学系２０を保護するために、その吹き出し口を覆うようにケミカルフィルタ１６Ｃが装着される。ケミカルフィルタ１６Ｃは、有機系ガスを除去するフィルタと、アルカリ性ガス（例えばアンモニアガス）を除去するフィルタと、酸性ガスを除去するフィルタとの組み合わせからなり、ファン１６ＡとＵＬＰＡフィルタ１６Ｂとの間に配置される。なお、酸性ガスを除去するフィルタは省略しても構わない。
【００２０】
このように、本実施形態のミニエンバイロメント装置１０では、全てのファンフィルタユニット１６〜１９の吹き出し口にケミカルフィルタを装着するのではなく、１つのファンフィルタユニット１６の吹き出し口のみにケミカルフィルタ１６Ｃを装着している。すなわち、全てのファンフィルタユニット１６〜１９の吹き出し口のうち一部分を覆うと共に、少なくとも空間Ａに向けての吹き出し部分（ファンフィルタユニット１６の吹き出し口）を覆うように、ケミカルフィルタ１６Ｃを装着している。
【００２１】
したがって、筐体１１の内部のうち空間Ａには、ＵＬＰＡフィルタ１６Ｂによりゴミや塵などの微小な気体中パーティクルが除去され、且つ、ケミカルフィルタ１６Ｃにより化学物質（有機系ガスやアンモニアガスなど）が除去された清浄な空気が、ファン１６Ａにより吹き出される。この空気は、有機系ガスを含まないため、空間Ａに設置された光学系２０を劣化させる恐れがない。
【００２２】
一方、空間Ｂには、ＵＬＰＡフィルタ１７Ｂ〜１９Ｂによりゴミや塵などの微小な気体中パーティクルが除去された清浄な空気が、ファン１７Ａ〜１９Ａにより吹き出される。この空気は、有機系ガスを含むため、仮に空間Ａまで広がってしまうと、そのガスと光学系２０を通過する検査光（例えば深紫外光）との化学反応が起こり、レンズ表面の膜を劣化させる恐れがある。
【００２３】
空間Ａに吹き出された空気（有機系ガスを含まない空気）と、空間Ｂに吹き出された空気（有機系ガスを含む空気）とは、各々、下方に向かって流れ（ダウンフロー）、定盤１３の通気用の開口部１３Ａと、圧力調整機構１４,１５の通気口（図４(ａ)の通気口３１Ａ,３２Ａの重なり部分）を介して、定盤１３より下面１１Ｂ側の空間Ｃに到達する。そして、さらに下方に向かって流れ、下面１１Ｂの通気口(不図示)を介して、筐体１１の外部（クリーンルーム内）に排気される。なお、図１の矢印は、空気の流れを表している。
【００２４】
このような空気の流れの中で、空間Ｂに吹き出された空気（有機系ガスを含む空気）が、下面１１Ｂ側の空間Ｃだけではなく、光学系２０の設置された空間Ａにも広がってしまう可能性はある。上記の通り、空間Ａと空間Ｂとを分割している仕切り板１２には、基板の通過用の開口部１２Ａが設けられ、この開口部１２Ａを介して空間Ａと空間Ｂとが繋がっているからである。
【００２５】
しかし、本実施形態のミニエンバイロメント装置１０では、仕切り板１２の真下（定盤１３のうち仕切り板１２と対向する箇所）に通気用の開口部１３Ａ（図２(ｂ)も参照）を設けたことにより、仕切り板１２に沿って下方に流れる空気を乱すことなくスムーズに空間Ｃまで導くことができる。
したがって、仕切り板１２の開口部１２Ａを介して空間Ａと空間Ｂとが繋がっている場合でも、空間Ｂに吹き出された空気（有機系ガスを含む空気）が、開口部１２Ａを介して、光学系２０の設置された空間Ａに広がることは殆どないと考えられる。その結果、空間Ａを有機系ガスのない空気（ファンフィルタユニット１６からの空気）によって満たすことができる。
【００２６】
さらに、本実施形態のミニエンバイロメント装置１０では、定盤１３と同じ水平面内に圧力調整機構１４,１５を設け、空間Ａの内部圧力Ｐ１と空間Ｂの内部圧力Ｐ２との少なくとも一方を調整可能とした。内部圧力とは、筐体１１の外部との差圧に相当する。空間Ａの内部圧力Ｐ１の調整は、圧力調整機構１５の通気口（図４(ａ)の通気口３１Ａ,３２Ａの重なり部分）の面積を拡大／縮小することにより行われる。同様に、空間Ｂの内部圧力Ｐ２の調整は、圧力調整機構１４の通気口（図４(ａ)の通気口３１Ａ,３２Ａの重なり部分）の面積を拡大／縮小することにより行われる。
【００２７】
そして、圧力調整機構１４,１５の各々の通気口を個別に拡大／縮小して、空間Ａでの「定盤１３と同じ水平面内における開口面積÷ファンフィルタユニット１６の吹き出し口の面積」が、空間Ｂでの「定盤１３と同じ水平面内における開口面積÷ファンフィルタユニット１７〜１９の吹き出し口の全面積」より小さくなるように設定する。
圧力調整機構１４,１５の各々の通気口を上記のように設定すると、空間Ａの内部圧力Ｐ１と空間Ｂの内部圧力Ｐ２とが「Ｐ１＞Ｐ２」の関係を満足することになる。このため、空間Ａおよび空間Ｂにおける空気の流れ方向を、仕切り板１２の開口部１２Ａを介して空間Ａ側から空間Ｂ側へ流れるように設定することができる。空間Ａの中では、光学系２０の対物レンズ２０Ａ（図３）の下方が通風路となり、図１の右から左に空気が流れる。
【００２８】
つまり、空間Ａに吹き出された空気（有機系ガスを含まない空気）は、常に、定盤１３の開口部１３Ａと圧力調整機構１５の通気口を介して空間Ｃに流れると共に、仕切り板１２の開口部１２Ａを介して空間Ｂにも流れることになる。したがって、空間Ｂに吹き出された空気（有機系ガスを含む空気）が、開口部１２Ａを介して空間Ａに広がることは殆どない。その結果、空間Ａを有機系ガスのない空気（ファンフィルタユニット１６からの空気）によって安定的に満たすことができる。
【００２９】
なお、空間Ａでの「定盤１３と同じ水平面内における開口面積÷ファンフィルタユニット１６の吹き出し口の面積」と、空間Ｂでの「定盤１３と同じ水平面内における開口面積÷ファンフィルタユニット１７〜１９の吹き出し口の全面積」とが、共に「１」より小さいため、空間Ａの内部圧力Ｐ１と空間Ｂの内部圧力Ｐ２は、空間Ｃの内部圧力より高く維持される。このため、空間Ｃの空気が逆流して空間Ａと空間Ｂに流れ込むことはない。ちなみに、空間Ｃの空気には、空間Ａと空間Ｂからの空気だけでなく、筐体１１の外部（クリーンルーム内）からの空気も混じっている。
【００３０】
上記のように、本実施形態のミニエンバイロメント装置１０では、光学系を設置しない(搬送系を設置する)空間Ｂのファンフィルタユニット１７〜１９においてケミカルフィルタの装着を省略し、光学系２０を設置する空間Ａのファンフィルタユニット１６のみにケミカルフィルタ１６Ｃを装着したので、ケミカルフィルタの少数化により、ランニングコストおよびイニシャルコストを確実に削減することができる。
【００３１】
さらに、光学系を設置しない(搬送系を設置する)空間Ｂと光学系２０を設置する空間Ａとを仕切り板１２により分割し、光学系２０を設置する空間Ａのファンフィルタユニット１６にケミカルフィルタ１６Ｃを装着し、空間Ｂの空気（有機系ガスを含む空気）が仕切り板１２の開口部１２Ａを介して空間Ａに広がらないようにしたので、空間Ａを有機系ガスのない空気（ファンフィルタユニット１６からの空気）によって満たすことができる。したがって、光学系２０は、常に有機系ガスを含まない空気（ケミカル対応の空気）中に存在することになる。その結果、光学系２０を確実に保護することができる。
（変形例）
なお、上記した実施形態では、定盤１３と同じ水平面内に圧力調整機構１４,１５を設け、この圧力調整機構１４,１５により、開口部１２Ａを介して空間Ａ側から空間Ｂ側に空気が流れるようにしたが、本発明はこれに限定されない。
【００３２】
例えば、空間Ａの圧力調整機構１５を省略し、その代わりに図５のような風向き変更手段４１,４２を設けても良い。風向き変更手段４１,４２は、共に、空間Ａに配置され、ファンフィルタユニット１６からの空気の流れ方向（風向き）を強制的に開口部１２Ａの方向に変更するものである。風向き変更手段４１は、ファン４１Ａと、その吹き出し口に装着された発塵防止用のＵＬＰＡフィルタ４１Ｂとで構成される。風向き変更手段４２は、板部材（例えば板金）であり、反射を利用して風向きを変更する。
【００３３】
また、風向き変更手段４１,４２の双方を設ける必要はなく、何れか一方のみを空間Ａに配置しても、同様の効果を得ることができる。風向き変更手段４１の配置方向（空気を吹き出す方向）は、斜め下向きに限らず、横向きでも良い。
さらに、図５のように風向き変更手段４１,４２と圧力調整機構１５とを組み合わせる場合に限らず、風向き変更手段４１,４２の少なくとも一方のみを設けた場合にも、本発明を適用することができる。圧力調整機構１５を省略する場合には、圧力調整機構１５の分だけ定盤１３を延在させることが好ましい。ただし、定盤１３の開口部１３Ａは確保しておくことが好ましい。
【００３４】
また、上記した実施形態では、図４のスライド板３２を固定板３１に対してスライドさせることで、通気口３１Ａ,３２Ａの重なり部分の面積を拡大／縮小し、空間Ａと空間Ｂの内部圧力Ｐ１,Ｐ２を調整したが、本発明はこれに限定されない。スライド構造に限らずブラインド構造の圧力調整機構を用いてもよい。空間Ａのファンフィルタユニット１６からの吹き出し速度と空間Ｂのファンフィルタユニット１７〜１９からの吹き出し速度の調整（風の強弱）により、空間Ａと空間Ｂの内部圧力Ｐ１,Ｐ２を調整してもよい。
【００３５】
さらに、上記した実施形態では、圧力調整や風向き変更により、仕切り板１２の開口部１２Ａを介して空間Ａ側から空間Ｂ側へ空気が流れるように設定したが、本発明はこれに限定されない。圧力調整や風向き変更を行わない場合にも、同様の効果を得ることができる。つまり、仕切り板１２の真下（定盤１３のうち仕切り板１２と対向する箇所）に通気用の開口部１３Ａ（図２(ｂ)も参照）を設けたので、仕切り板１２に沿って下方に流れる空気を乱すことなくスムーズに空間Ｃまで導くことができ、空間Ｂの空気（有機系ガスを含む空気）が開口部１２Ａを介して、光学系２０の設置された空間Ａに広がることは殆どない。このため、空間Ａを有機系ガスのない空気によって満たすことができ、光学系２０を確実に保護できる。
【００３６】
また、上記した実施形態では、空間Ａの１つのファンフィルタユニット１６にケミカルフィルタ１６Ｃを装着したが、本発明はこれに限定されない。空間Ａに複数のファンフィルタユニットが設置される場合には、その全てにケミカルフィルタを装着することが必要になる。また、１つ以上のファンフィルタユニットが空間Ａと空間Ｂにまたがって設置される場合は、そのファンフィルタユニットの吹き出し口を分割して、少なくとも空間Ａに向けての吹き出し部分を覆うようにケミカルフィルタを装着すればよい。
【００３７】
さらに、ＵＬＰＡフィルタに代えてＨＥＰＡ(High Efficiency Particulate Air Filter)フィルタなどの高性能集塵フィルタを装着した場合にも本発明を適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】ミニエンバイロメント装置１０の縦断面図である。
【図２】ミニエンバイロメント装置１０の上面図(ａ)および横断面図(ｂ)である。
【図３】ミニエンバイロメント装置１０の空間Ａの縦断面図である。
【図４】圧力調整機構１４,１５の構成を示す上面図(ａ)および側面拡大図(ｂ)である。
【図５】風向き変更手段４１,４２を備えた変形例のミニエンバイロメント装置の縦断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１０  ミニエンバイロメント装置
１１  筐体
１２  仕切り板
１２Ａ  基板の通過用の開口部
１３  定盤
１３Ａ  通気用の開口部
１４，１５  圧力調整機構
１６，１７，１８，１９  ファンフィルタユニット
１６Ａ，１７Ａ，１８Ａ，４１Ａ  ファン
１６Ｂ，１７Ｂ，１８Ｂ，４１Ｂ  ＵＬＰＡフィルタ
１６Ｃ  ケミカルフィルタ
２０  光学系
２０Ａ  対物レンズ
３１  固定板
３１Ａ，３２Ａ  通気口
３２  スライド板
４１，４２  風向き変更手段
【図１】
2006054361.tif 000003
【図２】
2006054361.tif 000004
【図３】
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【図４】
2006054361.tif 000006
【図５】
2006054361.tif 000007