(57)【要約】【課題】  基板上に設けられた隔壁に囲まれた画素領域にインクを吐出する際に、隔壁の形状を確認後にインクを吐出することで製造時の歩留まりを向上し、製造コストを軽減させる液状体の描画方法、液状体の描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の駆動方法及び電子機器を提供する。【解決手段】  基板上に形成された撥液性を有する隔壁２５５で囲まれた画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂに、液状体５０を吐出し描画する液状体５０の描画装置である。所定の位置の隔壁２５５の形状を検出する検出手段４１と、予め設定した基準を記憶しておく記憶手段４３とを備える。そして、検出手段４１による検出結果と記憶手段４３の基準とを比較して形状が正常であるか否かを判定する比較手段４４を備える。さらに、比較手段４４の結果により判定結果が正常でない場合には、液状体５０の吐出の中止を決定する描画決定手段４５を備える。【選択図】        図１１
2006088091.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された撥液性を有する隔壁で囲まれた画素領域に、液状体を吐出し描画する液状体の描画方法において、
所定の位置における前記隔壁の形状を検出する工程と、
前記形状の検出結果と、予め設定した基準とを比較して前記形状が正常であるか否かを判定する工程と、
前記判定結果が正常である場合には、前記画素領域に液状体を吐出し、前記判定結果が正常でない場合には、前記画素領域に液状体を吐出することを中止する工程と、
を備えたことを特徴とする液状体の描画方法。
【請求項２】
前記画素領域が平面視した状態で矩形状、楕円形状、または長円形状である場合に、前記所定位置を、前記画素領域における長軸の中央部に対応する位置とすることを特徴とする請求項１に記載の液状体の描画方法。
【請求項３】
前記画素領域が平面視した状態で凸多角形である場合に、前記所定位置を、前記画素領域における最も長い辺の中央部に対応する位置とすることを特徴とする請求項１に記載の液状体の描画方法。
【請求項４】
前記判定結果によって液状体の吐出を中止した後、液状体の吐出方法を、先に行った吐出方法に対して変更する工程を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液状体の描画方法。
【請求項５】
前記吐出方法の変更としては、前記画素領域に吐出する液状体の量を少なくすることを特徴とする請求項４に記載の液状体の描画方法。
【請求項６】
前記吐出方法の変更としては、先に吐出した液状体と異なる他の液状体を吐出することを特徴とする請求項４に記載の液状体の描画方法。
【請求項７】
前記他の液状体としては、先に吐出した液状体より黒いことを特徴とする請求項６に記載の液状体の描画方法。
【請求項８】
前記他の液状体としては、先に吐出した液状体より色が薄いことを特徴とする請求項６に記載の液状体の描画方法。
【請求項９】
前記他の液状体としては、先に吐出した液状体より透明度が高いことを特徴とする請求項６に記載の液状体の描画方法。
【請求項１０】
前記他の液状体としては、先に吐出した液状体より粘度が高いことを特徴とする請求項６に記載の液状体の描画方法。
【請求項１１】
前記形状を検出する手段として、光を用いることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の液状体の描画方法。
【請求項１２】
前記光は、前記隔壁の有する撥液性を低下させない波長であることを特徴とする請求項１１に記載の液状体の描画方法。
【請求項１３】
前記光は、レーザー光であることを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載の液状体の描画方法。
【請求項１４】
基板上に形成された撥液性を有する隔壁で囲まれた画素領域に、液滴吐出ヘッドより液状体を吐出し描画する液状体の描画装置において、
前記隔壁の所定の位置における形状を検出する検出手段と、予め設定した基準を記憶しておく記憶手段と、前記検出手段による検出結果と前記記憶手段による基準とを比較して前記形状が正常であるか否かを判定する比較手段と、該比較手段の結果により前記判定結果が正常でない場合に、液状体の吐出の中止を決定する描画決定手段と、
を備えたことを特徴とする液状体の描画装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の液状体の描画装置において、前記液滴吐出ヘッドが前記基板上を相対的に移動する際に、前記検出手段が、この液滴吐出ヘッドに連動して前記基板上を相対的に移動するよう、該液滴吐出ヘッドに直接または間接的に支持されていることを特徴とする液状体の描画装置。
【請求項１６】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の液状体の描画方法を用いたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の電気光学装置の製造方法によって得られる電気光学装置が、液晶表示装置であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１８】
請求項１６に記載の電気光学装置の製造方法によって得られる電気光学装置が、有機ＥＬ装置であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１９】
請求項１７又は請求項１８に記載の電気光学装置の駆動方法において、
前記画素領域への液状体の吐出を中止しまたは吐出方法が変更されている場合に、中止しまたは吐出方法が変更された画素領域の位置データを記憶しておき、記憶した位置データに基づき、該位置データに該当する画素を他の画素と異なるように駆動させることを特徴とする電気光学装置の駆動方法。
【請求項２０】
請求項１７又は請求項１８に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体の描画方法、液状体の描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の駆動方法及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電気光学装置はパーソナルコンピューター用のディスプレーや携帯電話等といった広い用途に用いられている。また、このような電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）、ＦＥＤ（電子放出ディスプレイ）などが知られている。
ところで、電気光学装置の製造においては、工程の簡略化などの理由から液滴吐出法（インクジェット法）が用いられている。例えば、液晶表示装置では、カラーフィルタを製造する際に、液滴吐出法が用いられている。具体的には、撥インク性の隔壁で囲まれた画素領域に、液滴吐出法でＲＧＢ各色のインクを正確に打ち分ける技術が一般に知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２２１３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、カラーフィルタを製造する工程では、インク（液状体）を画素領域に吐出した後、乾燥する。すると、乾燥によって液状体は体積が減少してしまう。よって、画素領域内にインクを吐出する場合には、乾燥した際に膜厚が不十分とならないように前記画素領域に十分な量のインクを吐出する必要がある。
しかし、このように十分量のインクを吐出すると、画素領域からインクがあふれるおそれがある。そこで、隔壁に撥インク性を付与することでインクがあふれるのを防止し、隣の画素領域のインクと混色することを防止している。例えば、隔壁の側縁部が、略直角となっている場合には、インクを画素領域に十分な量のインクを吐出した場合でも、インクは角部を乗り越えることができない。よって、インクが画素領域に保持されることで隣の画素領域に流れ込むことはない。
【０００４】
しかしながら、隔壁は、例えば、光感光性の樹脂を基板（ガラス基板）上に塗布した後、フォトリソグラフィ法を用いることで形成しており、エッチング等の条件によって得られる隔壁の形状が変化してしまう。
例えば、隔壁の側縁部が丸まってなだらかになってしまった場合には、隔壁の撥インク性が高く、インクの接触角が高い場合でも、インクが隣の画素の領域内にまで流れ込んでしまう。よって、隣の画素領域のインクと混液することでカラーフィルタが正確な色を表現できず、不良となってしまう。また、隔壁の角部が丸まっていない場合でも、隔壁上に微小な埃やゴミ等の異物が存在すると、この異物を介してインクが隔壁上から流れ出してしまい、隣の画素のインクと混色による不良を起こしてしまうおそれがある。
【０００５】
したがって、インクを画素領域に吐出する前に隔壁の形状を確認することが好ましい。しかしながら、隔壁の撥インク性を調べるためには、隔壁が形成された基板上にインクを実際に吐出することでしか確認できず、一度インクを吐出した基板は再使用することができない。
また、基板に形成されている全ての隔壁の形状を測定するのは多くの時間がかかってしまい実用的ではない。よって、現在のインクジェット法では、形成された隔壁の状態を検査することなく液滴を吐出し、描画しているため、製造時の歩留まりが低下して製造コストが高くなってしまう問題があった。
【０００６】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、基板上に設けられた隔壁に囲まれた画素領域にインクを吐出する際に、隔壁の形状を確認後にインクを吐出することで製造時の歩留まりを向上し、製造コストを低減する液状体の描画方法、液状体の描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の駆動方法及び電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の液状体の描画方法では、基板上に形成された撥液性を有する隔壁で囲まれた画素領域に、液状体を吐出し描画する液状体の描画方法において、所定の位置における前記隔壁の形状を検出する工程と、前記形状の検出結果と、予め設定した基準とを比較して前記形状が正常であるか否かを判定する工程と、前記判定結果が正常である場合には、前記画素領域に液状体を吐出し、前記判定結果が正常でない場合には、前記画素領域に液状体を吐出することを中止する工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
本発明の液状体の描画方法によれば、隔壁の所定の位置の形状を検出した後、この検出結果と予め設定した基準とを比較することで、画素領域に液状体を吐出する前に隔壁の形状を判定し、例えば隔壁の高さが基準に比べて低い場合や、隔壁の側縁部が丸まってなだらかになっている場合など、隔壁の形状が正常でないと判定されると、液状体の吐出を中止するようにしている。
よって、正常でない形状の隔壁に囲まれた画素領域には液状体を吐出しないので、液状体が画素領域内から溢れて隣の画素領域内の液状体と混液して不良が発生することを防止できる。また、液状体を吐出する前に画素領域を構成する隔壁の形状不良を判定し、この画素領域には液状体を吐出しないので、正常な形状の隔壁からなる画素領域に対してのみ液状体を吐出することができ、製造時の歩留まりを向上させ、製造コストを低減することができる。
また、隔壁の形状を検出する位置を所定の位置に限定することで、隔壁の形状データ量を少なくすることができ、予め設定した基準と比較する際の判定時間を短くすることができる。
【０００９】
また、前記画素領域が平面視した状態で矩形状、楕円形状、または長円形状である場合に、前記所定位置を、前記画素領域における長軸の中央部に対応する位置とすることが好ましい。
画素領域が平面視した状態で矩形状（長方形状）である場合、液状体が最も溢れやすい位置は長方形の長辺（長軸）の中央部となることが実験で確認されている。そこで、この中央部に対応した隔壁の形状を検出することで、画素領域から液状体が溢れるのを効率的に防止することができる。また、画素領域が平面視した状態で楕円形状、長円形状である場合には、曲率の大きい円周又は直線部分の中央部に対応した隔壁の形状を検出することで、前述した長方形状の場合と同様に液状体が溢れるのを効率的に防止することができる。
【００１０】
また、前記画素領域が平面視した状態で凸多角形である場合に、前記所定位置を、前記画素領域における最も長い辺の中央部に対応する位置とすることが好ましい。
このようにすれば、前記の矩形状、楕円形状、長円形状の場合と同様に、画素領域から液状体が溢れるのを効率的に防止することができる。
【００１１】
また、前記判定結果によって液状体の吐出を中止した後、液状体の吐出方法を、先に行った吐出方法に対して変更する工程を備えてもよい。
このようにすれば、画素領域を構成する隔壁の形状に応じて最適な液状体の吐出方法に変更することで、液状体が溢れ出ることに起因する不良の発生をなくして信頼性を向上し、歩留まりを向上することができる。
【００１２】
また、前記吐出方法の変更としては、前記画素領域に吐出する液状体の量を少なくするのが好ましい。
このようにすれば、例えば、通常の液状体の量を画素領域に吐出した場合に液状体が溢れて隣の画素領域の液状体と混液しまう場合に、吐出する液状体の量を少なくすることで画素領域から液状体が溢れることを防止できる。よって、混色による不良が画素領域に発生することを防止して、歩留まりを向上することができる。
【００１３】
また、前記吐出方法の変更としては、先に吐出した液状体と異なる他の液状体を吐出してもよい。
このようにすれば、正常でない隔壁の形状を有する画素領域に対し、この隔壁形状に適した液状体を吐出することで、例えば、液状体が溢れることに起因する不良を防止することができる。
【００１４】
また、前記他の液状体としては、先に吐出した液状体より黒くしてもよい。
例えばカラーフィルタを製造する場合に、吐出された液状体が画素領域から溢れると、隣の画素領域の液状体と混液してしまい不良画素となってしまう。そこで、黒い液状体を吐出することで画素領域を意図的に欠陥画素とし、液状体の混色による色不良の発生を防止する。なお、このとき欠陥画素は黒くなるが、例えば大画面を構成する画素群の中の数箇所が黒くなっても、これが不良画素として視認されることはなく、したがって実用上は問題はない。
【００１５】
また、前記他の液状体としては、先に吐出した液状体より薄くしてもよい。
このようにすれば、例えばカラーフィルタを製造する場合に、薄い液状体を吐出することで液状体が溢れて隣の画素領域の液状体と混ざった時の混色の影響を少なくすることができる。
【００１６】
また、前記他の液状体としては、先に吐出した液状体より透明度が高いものを用いてもよい。
このようにすれば、例えばカラーフィルタを製造する場合に、透明度が高い液状体を吐出することで隣の画素領域の液状体との混色の影響をより小さくすることができる。なお、隔壁の形状が正常でない場合に、液状体を画素領域に吐出しないと後のプロセスに影響するおそれがあるので、透明度が高い液状体を描画することで膜厚と表面状態を整えることができる。
【００１７】
また、前記他の液状体としては、先に吐出した液状体より粘度が高くてもよい。
このようにすれば、吐出する液状体の粘度が高いので、画素領域からの液状体を溢れにくくすることができ、不良の発生を防止して、歩留まりを向上することができる。
【００１８】
また、前記形状を検出する手段として、光を用いることが好ましい。
このようにすれば、例えば、隔壁の表面上で光を反射させて、その反射した光を受光部等で受けることで隔壁の形状を容易に検出することができる。
【００１９】
また、前記光は、前記隔壁の有する撥液性を低下させない波長であることが好ましい。
このようにすれば、隔壁の形状の検出に光を利用いても隔壁の撥液性を低下させることが無く、したがって検出手段として光を採用することができる。
【００２０】
また、前記光がレーザー光であることが好ましい。
このようにすれば、レーザー光は短波長であることから、前述したような隔壁の撥液性を低下させない波長の光のみを隔壁の形状の検出に利用することができる。また、レーザー光は光が照射する範囲が小さいので、ピンポイントでの隔壁の形状を正確に検出することができる。
【００２１】
本発明の液状体の描画装置においては、基板上に形成された撥液性を有する隔壁で囲まれた画素領域に、液滴吐出ヘッドより液状体を吐出し描画する液状体の描画装置において、前記隔壁の所定の位置における形状を検出する検出手段と、予め設定した基準を記憶しておく記憶手段と、前記検出手段による検出結果と前記記憶手段による基準とを比較して前記形状が正常であるか否かを判定する比較手段と、該比較手段の結果により前記判定結果が正常でない場合に、液状体の吐出の中止を決定する描画決定手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
このような液状体の描画装置によれば、検出手段によって隔壁の所定の位置の形状を検出した後、比較部において前記検出結果と記憶手段とが記憶する基準とを比較し、前記隔壁の形状が正常でない場合にこの隔壁によって形成されている画素領域への液状体の吐出を中止することにより、液状体が画素領域から溢れて隣の画素領域の液状体と混液することでの不良の発生を防止できる。また、液状体を吐出する前に画素領域を構成する隔壁の形状が正常でないことを検出して、この画素領域には液状体を吐出しないので、正常な形状の隔壁からなる画素領域に対してのみ液状体を吐出することができ、製造時の歩留まりを向上させ、製造コストを低減することができる。
【００２３】
また、前記液滴吐出ヘッドが前記基板上を相対的に移動する際に、前記検出手段が、この液滴吐出ヘッドに連動して前記基板上を相対的に移動するよう、該液滴吐出ヘッドに直接または間接的に支持されていることが好ましい。
このようにすれば、液滴吐出ヘッドが基板に形成された画素領域上を相対的に移動する際に、前記検出手段が前記液滴吐出ヘッドと連動することで前記画素領域上を相対的に移動するため、画素領域を形成する隔壁の形状を容易かつ確実に検出することができる。
【００２４】
本発明の電気光学装置の製造方法においては、本発明の液状体の描画方法を用いたことを特徴とする。
このような電気光学装置の製造方法によれば、例えば、基準より低い隔壁によって囲まれた画素領域の場合に液状体の量を減らすことで液状体が溢れることを防止するなど、画素領域を構成する隔壁の形状に応じて液状体を吐出することができるので、歩留まりを向上し、製造コストを低減することができる。
【００２５】
また、本発明の電気光学装置の製造方法によって得られる電気光学装置が、液晶表示装置であってもよい。
このようにすれば、例えば、液晶表示装置におけるカラーフィルタを製造する場合に、本発明を採用すれば、正常でない形状を有した隔壁からなる画素領域に液状体を吐出することを防止できる。よって、吐出した液状体が溢れることによって隣の画素領域の液状体と混色するといった不良の発生を防止することで、カラーフィルタの製造時の歩留まりを向上させ、これを備えた液晶表示装置の製造コストを低減し、信頼性を向上できる。
【００２６】
また、本発明の電気光学装置の製造方法によって得られる電気光学装置が、有機ＥＬ表示装置であってもよい。
このようにすれば、例えば、有機ＥＬ表示装置における発光層等の機能層を製造する場合に、本発明を採用すれば、正常でない形状を有する隔壁に囲まれた領域に吐出した液状体が溢れることで不良となることを防止することができる。よって、有機ＥＬ装置の製造時の歩留まりを向上させ、さらに不良を防止した機能層を備えたことで有機ＥＬ表示装置の信頼性を向上できる。
【００２７】
本発明の電気光学装置の駆動方法においては、前記画素領域への液状体の吐出を中止しまたは吐出方法が変更されている場合に、中止しまたは吐出方法が変更された画素領域の位置データを記憶しておき、記憶した位置データに基づき、該位置データに該当する画素を他の画素と異なるように駆動させることを特徴とする。
このような電気光学装置の駆動方法にあっては、前記画素領域への液状体の吐出を中止または吐出方法が変更されている場合に、中止または吐出方法が変更された画素領域の位置データを記憶するようにしているので、中止または吐出方法が変更された画素領域について、中止又は変更内容に基づいてこれに適した駆動方法を採用することで、電気光学装置を確実に駆動することができる。
【００２８】
また、本発明の電子機器は、前記電気光学装置を備えていることが好ましい。
本発明の電子機器においては、製造時における歩留まりを向上し、信頼性の高い電気光学装置を備えているので、信頼性の高いものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明を詳しく説明する。なお、以下の説明において液状体の描画とは、液状体の吐出と非吐出とを組み合わせることで、後述するように基板上に液状体を所望のパターンに配することを意味している。
【００３０】
まず、本発明の液状体描画装置３０について説明する。
図１は、本発明に係る液状体描画装置３０の一例を示す図である。
図１に示すように、液状体描画装置３０は、ベース３１と、基板移動手段３２と、ヘッド移動手段３３と、ヘッドキャリッジ４２とを備えて構成されたものである。前記ベース３１上には、前記基板移動手段３２と、ヘッド移動手段３３とが設置されている。また、液状体を吐出するための液滴吐出ヘッド３４は、前記ヘッドキャリッジ４２に一体に取り付けられることで、後述する前記ヘッド移動手段３３により被処理体となるガラス基板Ｓ上を移動可能となっている。なお、前記液滴吐出ヘッド３４には、吐出する液状体５０を供給されるための液状体供給手段（図示せず）がチューブなどを介して接続されている。また、前記液滴吐出ヘッド３４は、図１中においては模式的に示されており、後述する検出手段については図示が省略されている。
【００３１】
前記基板移動手段３２は、図中Ｙ軸方向に沿って配置されたガイドレール３６を有したものとなっている。この基板移動手段３２は、例えばリニアモータ（図示せず）により、スライダ３７をガイドレール３６、３６に沿って移動させるようになっている。例えば、前記スライダ３７は、ガイドレール３６、３６の長さ方向、すなわち図中Ｙ軸方向に例えば１μｍ単位で移動が可能になっており、このような移動はコンピュータ等からなる制御装置（図示せず）によって制御されるようになっている。また、前記制御装置によって、スライダ３７の位置情報が保持されるようになっている。
スライダ３７上にはステージ３９が固定されており、このステージ３９は、液状体を吐出するためのガラス基板（基板）Ｓを位置決めして、保持するためのものとなっている。すなわち、このステージ３９は、公知の吸着保持手段（図示せず）を有し、この吸着保持手段を作動させることにより、前記ガラス基板Ｓをステージ３９の上に吸着保持するようになっている。
【００３２】
ヘッド移動手段３３は、ベース３１の後部側に立てられた一対の架台３３ａ、３３ａと、これら架台３３ａ、３３ａ上に設けられた走行路３３ｂとを備えてなるもので、この走行路３３ｂを図中Ｘ軸方向、すなわち前記基板移動手段３２の図中Ｙ軸方向と直交する方向に沿って配置されたものである。走行路３３ｂは、架台３３ａ、３３ａ間に渡された保持板３３ｃと、この保持板３３ｃ上に設けられた一対のガイドレール３３ｄ、３３ｄとを有して形成されたもので、ガイドレール３３ｄ、３３ｄの長さ方向に液滴吐出ヘッド３４を設けたヘッドキャリッジ４２を移動可能に保持したものとなっている。
前記ヘッドキャリッジ４２は、リニアモータ（図示せず）等の作動によってガイドレール３３ｄ、３３ｄ上を走行し、このような構成をもとに液滴吐出ヘッド３４はヘッドキャリッジ４２とともに図中Ｘ軸方向に移動するようになっている。また、前記ヘッドキャリッジ４２は、前記スライダ３７と同様にして、後述するコンピュータ等からなる制御装置（図示せず）によって、図中Ｘ軸方向に例えば１μｍ単位で移動が可能になっている。また、前記制御装置によって、ヘッドキャリッジ４２の位置情報が保持されるようになっている。
【００３３】
図２は、ヘッドキャリッジ４２及びこのヘッドキャリッジ４２に取り付けられた液滴吐出ヘッド３４の周辺部分を拡大した側面図である。液滴吐出ヘッド３４は、後述するように図１に示したステージ３９上に保持したガラス基板Ｓの所定の位置（画素領域）に、ＲＧＢ各色に対応した液状体５０Ｒ、５０Ｇ、５０Ｂを吐出するためのヘッドノズル部３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂが形成されている。なお、液状体５０を吐出するためのノズル孔は、図２中では省略している。
【００３４】
前記ヘッドキャリッジ４２には、後述するように被処理体であるガラス基板Ｓの隔壁の形状を検出するための検出手段４１が備えられている。この検出手段４１は、本実施形態ではレーザー光源からのレーザー光を出射するための光出射部４０ａと、その反射光を受光する光受光部４０ｂとからなっている。
なお、レーザー光源はヘッドキャリッジ４２上に形成することなく、ヘッドキャリッジ４２以外の位置に設けておき、例えば光ファイバーやその他光学系の機構を用いることでヘッドキャリッジ４２上の出射部４０ａにまで導き、検出手段４１として利用するようにしてもよい。
【００３５】
また、前記検出手段４１には、コンピュータ等からなる制御装置Ｃが接続されている。この制御装置Ｃには、予め設定した基準を記憶しておくための記憶手段４３と、前記検出手段４１によって検出された隔壁の形状の検出データと前記記憶手段４３に記憶されている基準とを比較して前記隔壁の形状が正常であるか否かを判定するための比較手段４４とが備えられている。さらに、この制御装置Ｃには、前記比較手段４４の結果により前記液状体の吐出を中止を決定するための描画決定手段となる吐出データ演算部４５が設けられている。そして、この吐出データ演算部４５は、液滴吐出ヘッド３４の液状体５０の吐出を制御するためのヘッド制御部４６に電気的接続されたものとなっている。したがって、前記吐出データ演算部４５の演算結果によって、前記ヘッド制御部４６に指令を与え液滴吐出ヘッド３４が液状体５０を吐出するパターンを制御するようになっている。
【００３６】
（液晶表示装置）
次に、本発明の液状体描画装置３０によって製造された電気光学装置である液晶表示装置の構造について説明する。なお、液状体描画装置３０は、液晶表示装置を構成するカラーフィルタ基板２２０にカラーフィルタ層（カラーフィルタ）１２０を形成する工程で採用されている。
図３（ａ）は、液晶表示装置の平面図を示すもので図中符号２００は、液晶表示装置である。なお、図３（ａ）においては、カラーフィルタ基板２２０の一部の図示を省略している。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＨ−Ｈ′線矢視による液晶表示装置２００の側断面図である。
図３（ｂ）に示すように、液晶表示装置２００はＴＦＴアレイ基板２１０とカラーフィルタ基板２２０とシール材２５２とによって形成される空間に、液晶２５０を封入したものである。
【００３７】
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、前記ＴＦＴアレイ基板２１０は、ガラスからなる基板の表面に、各画素のスイッチング素子としての薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を形成したものである。各ＴＦＴのゲート電極からのびる複数の走査線は、基板周縁部に形成された走査線駆動回路２０４に接続されている。また、各ＴＦＴの上方には層間絶縁膜が形成され、その表面に複数のデータ線が形成されている。そして、各ＴＦＴのソースはスルーホールを介してデータ線に接続され、各データ線は基板周縁部に形成されたデータ線駆動回路２０１に接続されている。なお、走査線駆動回路２０４及びデータ線駆動回路２０１を外部に接続するための端子２０２が、基板周縁部に形成されている。さらに、データ線の上方には層間絶縁膜が形成され、その表面に画素電極が形成されている。そして、各ＴＦＴのドレインは、スルーホールを介して画素電極に接続されている。加えて、画素電極の上方には、液晶分子の配向膜が形成されている。
【００３８】
そして、図３（ａ）に示したように、ＴＦＴアレイ基板２１０の画像表示領域を取り囲むように、熱硬化性樹脂等からなるシール材２５２が形成されている。なお、シール材２５２はＴＦＴアレイ基板２１０の全周に形成されている。そして、このシール材２５２の内側には、前述したように液晶２５０が封入されたものとなっている。さらに、このシール材２５２を介して、ＴＦＴアレイ基板２１０とカラーフィルタ基板２２０とが貼り合わされている。これにより、ＴＦＴアレイ基板２１０及びカラーフィルタ基板２２０と、シール材２５２とによって形成される空間内に、液晶２５０が封入される。加えて、ＴＦＴアレイ基板２１０及びカラーフィルタ基板２２０の外側表面に偏光フィルムを形成すれば、液晶表示装置２００が構成される。なお、液晶表示装置２００の画像表示領域には、複数の画素がマトリクス状に形成されている。
【００３９】
図４は、前記カラーフィルタ基板２２０の側断面図である。
図４に示すように、前記カラーフィルタ基板２２０は、ガラス基板Ｓと、このガラス基板Ｓの上に形成された隔壁２５５とを備えている。隔壁２５５に囲まれた各領域には、画素領域１１８（１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂ）が形成されていて、この画素領域１１８には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色のカラーフィルタ層１２０（１２０Ｒ、１２０Ｇ、１２０Ｂ）が形成されている。また、ガラス基板Ｓを平坦化し、且つカラーフィルタ基板２２０を保護するために、前記カラーフィルタ層１２０と隔壁２５５とを覆う保護膜２５６が、ガラス基板Ｓ上に形成されている。
【００４０】
図５は、前記ガラス基板Ｓ上に形成された隔壁２５５の形状を示す平面図である。
図５に示すように、前記画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂは、平面視した状態で長方形状となっていて、各画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂは、本実施形態では従来公知のストライプ型に配置されている。
なお、前記隔壁２５５は、ブラックマトリクスとなっていてもよい。
具体的には、画素領域１８０からなる、カラーフィルタ層１２０Ｒ、１２０Ｇ、１２０Ｂがそれぞれ図５中のＸ軸方向に沿って一列に配置され、さらに、Ｙ軸方向に一定間隔をおいてこの順番で周期的に配置されている。このときのカラーフィルタ層１２０Ｒ同士の間隔はＹ軸方向に沿った一定の間隔ＬＲＹである。カラーフィルタ層１２０Ｇ及びカラーフィルタ層１２０Ｂについても同様にＹ軸方向に沿った一定の間隔ＬＲＹ、ＬＢＹをおいて配置されている。
なお、前記カラーフィルタ層１２０Ｒ、１２０Ｇ、１２０Ｂ及び画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂの配列パターンとしては、ストライプ型の他に、モザイク型、デルタ型、あるいはスクウエア型などを用いてもよい。
【００４１】
次に、図６〜図１２を用いて、前記カラーフィルタ基板２２０の製造方法について説明する。
まず、前記ガラス基板Ｓの全面上にスピンコート法によって感光性樹脂を付着させ、続いてフォトレジスト法及びエッチング法により、図６に示すように前記カラーフィルタ層１２０Ｒ、１２０Ｇ、１２０Ｂに対応する部分すなわち画素領域１１８の樹脂を除去する。前記樹脂としては、例えばウレタン系あるいはアクリル系の光硬化型樹脂が用いられる。
このようにしてパターニングすることにより、平面視した状態で図５に示したような、ガラス基板Ｓ上をマトリックス状に区切る隔壁２５５を形成し、これによって平面視矩形（長方形）状の各画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂを形成する。
【００４２】
次に、前記ガラス基板Ｓを図１に示したように液状体描画装置３０のステージ３９上にセットする。そして、前記液状体５０Ｒ、５０Ｇ、５０Ｂを前記隔壁２５５内に描画する。図７は、液状体５０を隔壁２５５に描画する際の平面視した状態を示している。なお、図７においてはヘッドキャリッジ４２の図示を省略している。
図７に示すように、ガラス基板Ｓを図７中矢印方向に移動させることでヘッドキャリッジ４２に設けられた検出手段４１をガラス基板Ｓに対して相対的に移動させる。これにより、検出手段４１によって画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂを形成する隔壁２５５の所定の位置における形状を検出して、この隔壁２５５における形状データを保持する（工程１）。前記隔壁２５５の形状の具体的な検出方法については、後述する工程３において詳しく説明する。
なお、隔壁２５５の形状を検出する所定の位置とは、予め実験などによって定めた、吐出した液状体が最も溢れやすい位置となっている。
【００４３】
本実施形態においては、各画素領域１１８の形状を前述したように平面視した状態で長方形状としている。また、前記工程１における所定の位置とは、予め実験により求めた位置、すなわち、長方形状の前記画素領域１１８に液状体５０を吐出した場合に液状体が最も溢れやすい位置となる、長方形（矩形）の長辺の中央部に対応する隔壁２５５となっている。このように、最も液状体５０の溢れやすい隔壁２５５の形状を検出することで、検出データ量を少なくするようにしている。
【００４４】
また、ガラス基板Ｓを図７中矢印方向に移動することで、ヘッドキャリッジ４２の動きに連動して前記検出手段４１は、各画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂの長辺の中央部を通る直線上を相対的に移動する。したがって、検出手段４１は隔壁２５５の長辺中央部における形状を容易かつ確実に検出することができ、これによりその走査範囲を大幅に減らすことができるようになっている。なお、前記レーザー光を出射する光出射部４０ａは、複数配置しておいてもよいし、例えば光ファイバーや回折素子等を利用することで一つのレーザー光から分配するようにしてもよい。
なお、ヘッドキャリッジ４２上を前記検出手段４１が独立して移動可能に構成しておくことで、一直線上にない隔壁２５５の形状を検出できるようにしてもよい。
【００４５】
そして、隔壁２５５の形状を検出する際には、図８に示すように、前記出射部４０ａからレーザー光を隔壁２５５上に出射しながら、図８中矢印方向にヘッドキャリッジ４２を移動させる。
すると、前記光出射部４０ａから出射されたレーザー光は、前記隔壁２５５の表面で反射する。このとき、レーザー光は隔壁２５５が備えている撥液性を低下させない波長、例えば、隔壁２５５が備えた撥液性への影響が少ない長波長（例えば、赤外領域）の光となっている。
そして、前記隔壁２５５の表面上で反射された光は、検出手段４１の光受光部４０ｂが受光する。このとき、隔壁２５５の形状を検出する方法として、例えば、出射したレーザー光と、前記隔壁２５５の表面で反射したレーザー光との位相差を干渉計で測る方法や、隔壁２５５の表面に対して、斜めに入射した光の反射光の位置を調べる方法がある。また、光出射部４０ａから出射した光を前記隔壁２５５の面上で焦点をあわせ、この焦点位置を検出することで隔壁２５５の形状を検出することもできる。また、レーザー光の代わりに１μｍ程度の高さが精度よく測定できればインコヒーレント光やその他の非接触な高さ測定方法を用いてもよい。
【００４６】
なお、本実施形態では、画素領域１１８を平面視した状態で長方形状としたが、楕円形状、又は長円形状としてもよい。このとき、前述したような所定の位置とは、前記画素領域１１８が楕円形状又は長円状の場合においても、長方形の場合と同様に、実験により求めた液状体５０が最も溢れやすい位置、具体的には楕円の長軸又は長円の外周円の直線部における中央部に対応する隔壁２５５上とする。
また、例えば、画素領域１１８が平面視した状態で凸多角形の場合にも、隔壁２５５の形状の検出する所定の位置については、前述したように吐出した液状体５０が溢れやすい位置としている。すなわち、前記所定の位置としては、最も長い辺の中央部に対応する隔壁２５５上としている。
【００４７】
隔壁２５５の形状を検出する際は、液状体５０を吐出する画素領域１１８よりも数画素先を行うことが好ましい。その理由として、検出手段４０によって隔壁２５５の形状を検出した直後に液状体５０を画素領域１１８に吐出する場合には、隔壁２５５の形状データを短時間で処理しなければならず、このような処理速度の速い制御装置Ｃは非常に高価であるため製造コスト等の面から実用上有効でないからである。
【００４８】
前記検出手段４０によって検出された隔壁２５５の形状と、記憶手段４３に記憶された基準（予め設定した基準）とを比較することで、検出した隔壁２５５の形状が正常であるか否かを判定する（工程２）。
【００４９】
前述した予め設定した基準とは、吐出した液状体５０が溢れない隔壁２５５の形状を実験などによって求めてデータ化したものである。例えば、隔壁２５５の高さ又は隔壁２５５の表面で反射されるレーザー光の位置データ等と、液状体５０が溢れる吐出量との相関関係を測定しておき、その関係から求め値（範囲）を基準として前記記憶手段４３に保持しておく。
【００５０】
そして、吐出データ演算部４５によって、前記隔壁２５５の形状が正常である場合には、液状体５０を隔壁２５５に囲まれた画素領域１１８に吐出し、前記隔壁２５５の形状が正常でない場合には、吐出を中止する決定をする（工程３）。
【００５１】
ここで、隔壁２５５の形状が正常であるか否かの判定方法について説明する。本実施形態では、前記隔壁２５５の形状は例えば、ヘッドキャリッジ４２又は基板Ｓの移動量の情報と前記検出手段４１で検出した隔壁２５５の高さとから例えば、図９（ａ）に示した形状のように求まる。
このとき、本実施形態では、画素領域１１８の長辺の中央部（所定の位置）での隔壁２５５の高さＺ１、Ｚ２、Ｚ３を求めている。Ｚ１は隔壁２５５の一方の側縁部のガラス基板Ｓ表面上からの高さを示し、Ｚ３は隔壁２５５の他方の側縁部のガラス基板Ｓからの高さを示している。Ｚ２は、前述した位置における隔壁２５５の中央での高さを表している。
【００５２】
図９（ｂ）は、縦軸に許容液状体量を示し、横軸にＺ２の値を示したグラフである。
図９（ｂ）に示すように、本来、Ｚ２の値は設計値の許容範囲内、すなわち最小（ＭＩＮ）から最大（ＭＡＸ）までの範囲内に収まる。しかし、前記隔壁２５５を形成する際のパターニングの条件によって、この許容範囲よりも低い値となることがある。つまり、Ｚ２の値が設計値の範囲での最小（ＭＩＮ）値より低い場合には、隔壁２５５の高さ不足による液状体５０の溢れが生じてしまう（図９（ｂ）中、左側の領域）。また、前記隔壁２５５上にゴミや埃等の異物が付着することでＺ２の値が前記許容範囲での最大（ＭＡＸ）値よりも高くなることがある。隔壁２５５に異物が付着していると、画素領域１１８に液状体５０を吐出した際に吐出した液状体５０が異物を伝わることで、前記画素領域１１８から液状体５０が溢れてしまうことがある（図９（ｂ）中、右側の領域）。このようにＺ２の値が変化することで、前記隔壁２５５によって囲まれた画素領域１１８に吐出可能な液状体許容量が変化してしまう。よって、Ｚ２の値が最小（ＭＩＮ）値〜最大（ＭＡＸ）値の範囲に収まる場合は、隔壁２５５の形状は正常であり、それ以外の値の場合は、前記隔壁２５５の形状は正常でないと判定する。
【００５３】
また、図９（ｃ）は、縦軸に許容液状体量を示し、横軸にＺ２−Ｚ３（またはＺ２−Ｚ１）の値を示したグラフである。ここで、Ｚ２−Ｚ３（Ｚ２−Ｚ１）の値においても、前述した図９（ｂ）のグラフの場合と同様に、設計値の許容範囲すなわち最小（ＭＩＮ）値〜最大（ＭＡＸ）の範囲が存在する。
Ｚ２−Ｚ３（Ｚ２−Ｚ１）の値は隔壁２５５の側縁部の丸みの程度を示し、Ｚ２−Ｚ３（Ｚ２−Ｚ１）＞ＭＡＸの領域は例えば図１０（ａ）に示すように隔壁２５５の角部が丸まった状態を示している。図１０（ａ）に示した隔壁２５５の状態では、画素領域１１８内に吐出した液状体５０が溢れやすくなっていることが実験によって確認されている（図９（ｃ）中、右側の領域）。
【００５４】
Ｚ２−Ｚ３＝０（またはＺ２−Ｚ１＝０）またはその近傍、つまり設計値の許容範囲内では、図１０（ｂ）に示すように隔壁２５５の側縁部が略直角に形成された状態となっている。
特に、ＭＩＮ＜Ｚ２−Ｚ３＜０の領域では、隔壁２５５の側縁部の高さＺ３（Ｚ１）が隔壁２５５の中央部の高さＺ２に比べて高いので、隔壁２５５の中央部がへこみ、側縁部が尖った状態となり、これによって液状体５０の溢れが確実に防止されるようになる。よって、画素領域１８８に液状体５０を最も多く吐出することができる。ただし、Ｚ２の値が許容範囲内であるにも関わらずＺ２−Ｚ３（Ｚ２−Ｚ１）の値が最小値（ＭＩＮ）に比べて小さい場合には、異物が隔壁２５５に付着している場合と考えられる。すなわち、隔壁２５５に異物が付着していると、前述したように画素領域１１８に液状体５０を吐出した際、吐出した液状体５０が異物を伝わることで、前記画素領域１１８から液状体５０が溢れてしまう（図９（ｃ）中、左側の領域）。実際には液状体５０はＺ２とＺ３（Ｚ１）の２変数関数（詳細については省略する）となっている。
よって、Ｚ２−Ｚ３（Ｚ２−Ｚ１）の値が最小（ＭＩＮ）値〜最大（ＭＡＸ）値の範囲に収まる場合には、隔壁２５５の形状は正常であり、それ以外の値の場合には、前記隔壁２５５の形状は正常でないと判定する。
【００５５】
前記吐出データ演算部４５は、前記検出手段４１によって検出した隔壁２５５の形状による図９（ａ）のＺ１、Ｚ２、Ｚ３の値と、図９（ｂ）、（ｃ）のグラフとを対応させることで、すなわちグラフから求められた許容範囲と比較することで、前記隔壁２５５の形状が正常であるか否かを判定する。
例えば、前記吐出データ演算部４５は、前記検出手段４１によって検出した隔壁２５５のＺ２、Ｚ２−Ｚ３（Ｚ２−Ｚ１）の値が図９（ｂ）、（ｃ）のグラフに示した設計値の範囲（最小値〜最大値）を２つとも満たす場合、隔壁２５５の形状が正常であると判断する。そして、正常な形状の隔壁２５５からなる画素領域１８８に対し通常の吐出パターンにより液状体５０の吐出を行うようにする。
また、前記吐出データ演算部４５は、前記隔壁２５５のＺ２、Ｚ２−Ｚ３（Ｚ２−Ｚ１）の値が、図９（ｂ）、（ｃ）のグラフに示した設計値の範囲を２つとも満たさない場合には、隔壁２５５の形状が正常でないと判断する。具体的には、隔壁２５５の高さＺ２が図９（ｂ）のグラフの最小（ＭＩＮ）値より小さい場合に、隔壁２５５の形状は正常でないとされる。そして、正常でない形状の隔壁２５５からなる画素領域１８８に対し通常の液状体５０の吐出パターンを中止した後、先の吐出パターンを変更するようにする。
【００５６】
液状体５０の吐出パターンの変更としては、例えば、画素領域１１８から液状体５０の溢れを防止する場合には、吐出する液状体５０の量を少なくすることで対応する。液状体５０の量を少なくする方法としては、例えば、液滴吐出ヘッド３４の各ノズルから吐出する液状体５０の量を減らしたり、前記液滴吐出ヘッド３４の液状体５０を吐出するノズルの数を減らすことで行うことができる。
【００５７】
また、他の液状体５０の吐出方法の変更としては、先に吐出した液状体５０と異なる液状体６０を吐出する。なお、前記液状体６０は、例えば液滴吐出装置３０が備えた液状体供給手段（図示せず）から供給され、そして吐出される。
前記液状体６０としては、例えば、先に吐出した液状体５０に比べて黒い液状体６０ａを吐出する。黒い液状体６０ａを吐出することで画素領域１１８を意図的に欠陥画素とし、液状体６０ａの混色による色不良の発生を防止する。なお、このとき欠陥画素は黒くなるが、例えば大画面を構成する画素群の中の数箇所が黒くなっても、これが不良画素として視認されることはなく、したがって実用上は問題はない。
【００５８】
また、先に吐出した液状体５０より薄い色の液状体６０ｂを吐出する方法も考えられる。前記液状体６０ｂを吐出することで、仮に隣の画素領域１１８の液状体５０と混色した場合でも混色の影響は小さくできる。
また、先に吐出していた液状体５０より透明な液状体６０ｃを吐出することで前記液状体６０ｂの場合と同様に隣の画素領域１１８の液状体５０と混色した際の影響を小さくしたり、画素領域１１８に液状体５０を吐出しないことによるカラーフィルタ基板２２０の製造プロセスに影響を及ぼすことを防止するようにするようにしてもよい。
【００５９】
また、先に吐出していた液状体５０より高粘度の液状体６０ｄを吐出する方法も考えられる。
前記液状体６０ｄは、隔壁２５５上で先に吐出した液状体５０に比べて高粘度であるので、画素領域１１８から溢れにくくなる。なお、前記液状体６０ｄによって、全部の画素領域１１８に吐出すると生産性、メンテナンス性、画素周辺部の濡れ広がり性などの課題が発生するため、隔壁２５５の形状から不良画素となるおそれのある画素領域１１８にのみ吐出するのが好ましい。
【００６０】
また、本実施形態においては、前記隔壁２５５の形状データを測定する際には、Ｚ１、Ｚ２、Ｚ３の３点で測定を行ったが、測定する箇所を増やすことで精度を向上するようにしてもよい。例えば、測定箇所を必要以上に増加させると、測定データの処理量が増加してしまうので２〜５点程度が好ましい。
【００６１】
そして、前記吐出データ演算部４５による決定に基づいて、ヘッド制御部４６を介して前記液滴吐出ヘッド３４を駆動して図１１に示すように液状体５０を描画する（工程４）。
【００６２】
図１１に示すように、液滴吐出ヘッド３４に設けられたＲＧＢ各色を吐出するためのヘッドノズル部３４Ｒ、３４Ｇ、３４Ｂから、各画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂの色の対応する位置に液状体５０Ｒ、５０Ｇ、５０Ｂを吐出していく。なお、図１１においては、前記ヘッドノズル部３４Ｇから画素領域１１８Ｇに緑（Ｇ）の液状体５０Ｇを吐出する状態を示している。
前記画素領域１１８Ｇに液状体５０Ｇを吐出した後、隣の画素領域１１８Ｂに青（Ｂ）の液状体５０Ｂを吐出する。以下、同様にしてガラス基板Ｓ上に規則的に形成された画素領域１１８Ｒ、１１８Ｇ、１１８Ｂに液状体５０Ｒ、５０Ｇ、５０Ｂを吐出していくことで、必要とされるすべての画素領域１１８に液状体５０を吐出していく。なお、吐出する液状体５０の量は後述するように、後述する加熱工程における液状体５０の体積減少を考慮して十分な量とするのが好ましい。
なお、図１１において、次に吐出が行われる画素領域１１８Ｂを形成する隔壁２５５の形状が正常でない場合には、前述したように液状体５０の吐出パターンを変更することで画素領域１８８からの液状体５０の溢れを防止することができる。
【００６３】
また、別の方法として、吐出データ演算部４５によって隔壁２５５の形状が正常でないと判定された場合に、正常でない隔壁２５５に囲まれて形成される画素領域１１８の位置データを保持しておき、この画素領域１１８には液状体５０を吐出しない。そして、別の工程において、前記の正常でない画素領域１１８に液状体５０を吐出するようにしてもよい。例えば、隔壁２５５に異物が付着している場合には、異物を除去した後に前記隔壁２５５内に液状体５０を吐出することようにしてもよい。
また、前記別の工程として、前記画素領域１１８に対して前述したように先に吐出していた液状体５０と異なる液状体６０を吐出するようにしてもよい。
【００６４】
このようにしてガラス基板Ｓ上の全ての画素領域１１８に液滴２５４を充填したら、ヒータ（図示せず）を用いてガラス基板Ｓが所定の温度（例えば７０℃程度）となるように加熱処理する。この加熱処理により、図１２（ａ）に示すように、液状体５０の溶媒が蒸発して液状体５０の体積が減少する。このとき、体積の減少が大きい場合には、カラーフィルタ層１２０として十分な膜厚が得られるまで、液滴吐出工程と加熱工程とを繰り返す。この処理により、液状体５０に含まれる溶媒が蒸発して、最終的に液状体５０に含まれる固形分のみが残留して膜化し、図１２（ａ）に示したようなカラーフィルタ層１２０となる。次いで、ガラス基板Ｓを平坦化し、且つカラーフィルタ層１２０を保護するために、図１２（ｂ）に示すようにカラーフィルタ層１２０や隔壁２５５を覆ってガラス基板Ｓ上に保護膜２５６を形成する。この保護膜２５６の形成にあたっては、カラーフィルタ層１２０の形成方法と同様に、液滴吐出法により行うことができる。また、液滴吐出法の代わりに、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法などの方法を用いてもよい。以上の工程によりカラーフィルタ基板２２０が得られる。
【００６５】
なお、前述したように画素領域１１８への液状体５０の吐出パターンを変更したり、吐出する液状体５０を変更してカラーフィルタ層１２０を形成した場合には、このカラーフィルタ層１２０の位置情報を保持するようにしておく。
そして、前記カラーフィルタ層１２０を備えた液晶表示装置２００を駆動する際に、前述した位置に基づくカラーフィルタ層１２０からなる画素部分の表示データに補正を加えて他の画素部分と異なる駆動方法を行う。具体的には、色の薄い液状体５０を画素領域１１８に吐出してカラーフィルタ層１２０を形成した場合、そのカラーフィルタ層１２０からなる画素部分に印加する電圧を上げることによって、前記カラーフィルタ層１２０の欠陥を目立たないようにする駆動方法を採用することができる。
【００６６】
本発明の液状体５０の描画方法によれば、隔壁２５５の所定の位置の形状を検出した後、この検出結果と予め設定した基準とを比較することで、画素領域１１８に液状体５０を吐出する前に隔壁２５５の形状を判定し、例えば隔壁２５５の高さが基準に比べて低い場合や、隔壁２５５の側縁部が丸まってなだらかになっている場合など、隔壁２５５の形状が正常でないと判定されると、液状体５０の吐出を中止するようになっている。
よって、正常でない形状の隔壁２５５に囲まれた画素領域１１８には液状体５０を吐出しないので、液状体５０が画素領域１１８内から溢れて隣の画素領域１１８内の液状体５０と混液して不良が発生することを防止できる。また、液状体５０を吐出する前に画素領域１１８を構成する隔壁２５５の形状不良を判定し、この画素領域１１８には液状体５０を吐出しないので、正常な形状の隔壁５０からなる画素領域１１８に対してのみ液状体５０を吐出することができ、製造時の歩留まりを向上させ、製造コストを低減することができる。
また、隔壁２５５の形状を検出する位置を所定の位置に限定することで、隔壁２５５の形状データ量を少なくすることができ、予め設定した基準と比較する際の判定時間を短くすることができる。
【００６７】
また、画素領域１１８が平面視した状態で矩形状（長方形状）である場合、前述したように液状体５０が最も溢れやすい位置は長方形の長辺（長軸）の中央部となることが実験で確認されている。そこで、この中央部に対応した隔壁２５５の形状を検出することで、画素領域１１８から液状体５０が溢れるのを効率的に防止することができる。また、画素領域１１８が平面視した状態で楕円形状、長円形状である場合には、曲率の大きい円周又は直線部分の中央部に対応した隔壁２５５の形状を検出することで、前述した長方形状の場合と同様に液状体５０が溢れるのを効率的に防止することができる。
【００６８】
また、前記画素領域１１８が平面視した状態で凸多角形である場合に、前記所定位置を、前記画素領域１１８における最も長い辺の中央部に対応する位置としたので、前述した矩形状、楕円形状、長円形状の場合と同様に、画素領域１１８から液状体５０が溢れるのを効率的に防止することができる。
【００６９】
また、前記判定結果によって液状体５０の吐出を中止した後、画素領域１１８を構成する隔壁２５５の形状に応じて最適な液状体５０の吐出方法に変更することで、液状体５０が溢れ出ることに起因する画素領域１１８の不良の発生をなくして信頼性を向上し、歩留まりを向上することができる。
【００７０】
また、通常の液状体５０の量を画素領域１１８に吐出した場合に液状体５０が溢れて隣の画素領域１１８の液状体５０と混液しまう場合に、吐出方法の変更として吐出する液状体５０の量を少なくすることで画素領域１１８から液状体５０が溢れることを防止できる。よって、混色による不良が画素領域１１８に発生することを防止して、歩留まりを向上することができる。
【００７１】
正常でない隔壁２５５の形状を有する画素領域１１８に対し、先に吐出していた液状体５０と異なる液状体６０を吐出することで画素領域１１８の不良の発生を防止できる。
カラーフィルタ層１２０を製造する場合に、吐出する液状体５０が画素領域１１８から溢れると、隣の画素領域１１８の液状体５０と混液してしまい不良画素となってしまう。そこで、先に吐出していた液状体５０と異なる黒い液状体６０ａを吐出することで画素領域１１８を意図的に欠陥画素とし、液状体５０の混色による色不良の発生を防止する。なお、このとき欠陥画素は黒くなるが、例えば大画面を構成する画素群の中の数箇所が黒くなっても、これが不良画素として視認されることはなく、したがって実用上は問題はない。
また、先に吐出していた液状体５０と異なる薄い液状体６０ｂを吐出することで液状体６０ｂが溢れて隣の画素領域の液状体５０と混ざった時の混色の影響を少なくすることができる。
また、先に吐出していた液状体５０と比較して透明度が高い液状体６０ｃを吐出することで隣の画素領域１１８の液状体６０ｃとの混色の影響をより小さくすることができる。なお、隔壁１１８の形状が正常でない場合に、画素領域１１８に液状体５０を吐出しないと後の製造プロセスに影響するおそれがあるので、透明な液状体６０ｃを描画することで膜厚と表面状態を整えることができる。
また、粘度の高い液状体６０ｄを吐出することで、画素領域１１８からの液状体６０ｄを溢れにくくすることができ、不良の発生を防止して、歩留まりを向上することができる。
【００７２】
また、隔壁２５５の形状を検出する手段として、光を用いるので、隔壁２５５の表面上で光を反射させて、その反射した光を受光部４０ａ等で受けることで隔壁２５５の形状を容易に検出することができる。
この光は隔壁２５５の有する撥液性を低下させない波長であるので、隔壁２５５の材料として、ウレタン系の感光性樹脂を用いた場合に、隔壁２５５の形状の検出に光を利用しても隔壁２５５の撥液性を低下させることが無い。
また、光としてレーザー光を用いたので、レーザー光は短波長であることから、前述したような隔壁２５５の撥液性を低下させない波長の光のみを隔壁２５５の形状の検出に利用することができる。また、レーザー光は光が照射する範囲が小さいので、ピンポイントでの隔壁２５５の形状を正確に検出することができる。
【００７３】
本発明の液状体描画装置３０は、検出手段４０によって隔壁２５５の所定の位置の形状を検出した後、比較手段４４において前記検出結果と記憶手段４３とが記憶する基準とを比較し、前記隔壁２５５の形状が正常でない場合にこの隔壁２５５によって形成されている画素領域１１８への液状体５０の吐出を中止することにより、液状体５０が画素領域１１８から溢れて隣の画素領域１８８の液状体５０と混液することでの不良の発生を防止できる。また、液状体５０を吐出する前に画素領域１１８を構成する隔壁２５５の形状が正常でないことを検出して、この画素領域１１８には液状体５０を吐出しないので、正常な形状の隔壁２５５からなる画素領域１１８に対してのみ液状体５０を吐出することができ、製造時の歩留まりを向上させ、製造コストを低減することができる。
【００７４】
また、液滴吐出ヘッド３４が前記画素領域１１８上を移動する際に、前記検出手段４１が前記液滴吐出ヘッド３４と連動して相対的に移動するので、画素領域１１８を形成する隔壁２５５の形状を検出し、その検出結果に応じて画素領域１１８に液状体５０を吐出したり、吐出を中止することで液状体５０を描画することができる。
【００７５】
本発明の電気光学装置は、画素領域１１８を構成する隔壁２５５の形状に応じて液状体５０を吐出して形成されることで、歩留まりを向上し、製造コストを低減したものとなる。
本発明の液晶表示装置２００は、正常でない形状を有した隔壁２５５からなる画素領域１１８に対しても液状体５０の吐出パターンを変更することで、吐出した液状体５０が隔壁２５５から溢れることによる不良の発生を防止したカラーフィルタ１２０を備えるので、製造コストが低減し、信頼性が向上したものとなる。
【００７６】
本発明の液晶表示装置２００を駆動方法は、前記画素領域１１８への液状体５０の吐出を中止または吐出方法が変更されている場合に、中止または吐出方法が変更された画素領域１１８の位置データを記憶するようにしているので、この画素領域１１８について、中止又は吐出方法の変更内容に基づいてこれに適した駆動方法を採用することで、液晶表示装置２００を確実に駆動することができる。
【００７７】
なお、本実施形態では、全ての画素領域１１８に液状体５０を吐出し、乾燥させることでカラーフィルタ基板２２０を形成したが、隔壁２５５の形状が正常でない場合には、この隔壁２５５からなる画素領域１１８に液状体５０を吐出しないで、一旦他の画素領域１１８に吐出した液状体５０を乾燥した後、液状体５０を吐出しなかった画素領域１１８に対して液状体５０を吐出するようにしてもよい。そして、画素領域１１８の液状体５０をレーザアニール等を用いることで局所的に乾燥または焼成することでカラーフィルタ基板２２０を形成するようにしてもよい。
【００７８】
次に、第２の実施形態として、本発明の液状体描画装置３０を有機ＥＬ装置３０１の製造に適応した場合について説明する。
図１３は、前記液状体描画装置３０によって一部の構成要素が製造された有機ＥＬ装置３０１の側断面図であり、まずこの有機ＥＬ装置３０１の概略構成を説明する。
図１３に示すようにこの有機ＥＬ装置３０１は、基板３１１と回路素子部３２１と画素電極３３１と隔壁３４１と発光素子３５１と陰極３６１（対向電極）、および封止基板３７１とから構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列している。そして、各画素電極３３１間には隔壁３４１が格子状に形成されており、隔壁３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、隔壁３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には封止用基板３７１が積層されている。
【００７９】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、隔壁３４１を形成する隔壁形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、前記発光素子３５１を形成する発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を前記陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
【００８０】
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入層３５２および発光層３５３を形成することにより発光素子３５１を形成するもので、正孔注入層形成工程と発光層形成工程とを具備している。本実施形態においては、前記正孔注入層形成工程と前記発光層形成工程とを、本発明の液状体描画装置３０を用いて行った。
具体的には、正孔注入層形成工程は、隔壁３４１により生じた凹部開口３４４に正孔注入層３５２を形成するための第１組成物（液状体）を各画素電極３３１上に吐出する第１吐出工程と、吐出された第１組成物を乾燥させて正孔注入層３５２を形成する第１乾燥工程である。また、発光層形成工程は、発光層３５３を形成するための第２組成物（液状体）を正孔注入層３５２の上に吐出する第２吐出工程と、吐出された第２組成物を乾燥させて発光層３５３を形成する第２乾燥工程とを有している。
【００８１】
この有機ＥＬ装置３０１の製造においても、正孔注入層３５２や発光層３５３などの各膜パターンの形成の際に、前記隔壁３４１の形状が正常であるか否かを判定して、この隔壁３４１の形状に応じて正孔注入層３５２や発光層３５３を構成するための第１組成物又は第２組成物を吐出するので、前記隔壁３４１から第１組成物又は第２組成物が溢れることによる不良を防止することができる。よって、膜パターンとして得られる正孔注入層３５２や発光層３５３の不良を防止することで、前記有機ＥＬ装置３０１の製造時の歩留まりを向上して、製造コストを抑えることができる。したがって、正孔注入層３５２や発光層３５３が高精度なパターンで形成することにより、発光特性が良好な有機ＥＬ装置３０１を製造することができる。なお、発光素子３５１への液状体の吐出を中止したり、吐出パターンを変更した場合には、その発光素子３５１に対する駆動方法を変更して有機ＥＬ装置を確実に駆動するようにしてもよい。
【００８２】
また、本発明の電子機器は、電気光学装置として前記液晶表示装置２００又は有機ＥＬ装置３０１を備えたものである。
図１４は、電子機器として、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１４において、携帯電話本体６００は、例えば液晶表示装置２００や有機ＥＬ装置３０１等からなる表示部６０１を備えている。
本発明の電子機器によれば、歩留まりを向上した電気光学装置を備えているので、これを備えた電子機器の信頼性が高いものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の液状体描画装置の斜面図。
【図２】ヘッドキャリッジの側面図。
【図３】(ａ)は、液晶表示装置の平面図、（ｂ）は、液晶表示装置の側断面図。
【図４】カラーフィルタの構成を説明する側面図。
【図５】隔壁のパターンを示す平面図。
【図６】ガラス基板上に形成された隔壁の側面図。
【図７】隔壁形状の検出工程を説明する平面図。
【図８】隔壁形状の検出工程を説明する側面図。
【図９】（ａ）〜（ｃ）は、隔壁の形状判定方法を説明するグラフ。
【図１０】（ａ）は正常でない隔壁形状、（ｂ）は正常な隔壁の形状を示す図。
【図１１】カラーフィルタ製造時の液状体の吐出工程説明図。
【図１２】（ａ）、（ｂ）は、カラーフィルタの製造工程の説明図。
【図１３】本実施形態の電気光学装置の製造方法によって得られる有機ＥＬ装置。
【図１４】電気光学装置を備えた電子機器である携帯電話。
【符号の説明】
【００８４】
３０…液状体描画装置、３４…液滴吐出ヘッド、４１…検出手段、４２…ヘッドキャリッジ、４３…記憶手段、４４…比較手段、４５…吐出データ演算部(描画決定手段)、５０…液状体、６０…液状体、１１８…画素領域、１２０…カラーフィルタ層（カラーフィルタ）、２００…液晶表示装置（電気光学装置）、２２０…カラーフィルタ基板、３０１…有機ＥＬ装置（電気光学装置）、２５５…隔壁、６００…携帯電話（電子機器）、Ｓ…ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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