(57)【要約】  【課題】装置を大型化することなく液晶パネルから液晶を安全に抽出して分解し、無害化する。  【解決手段】液晶パネルＰを減圧加熱器１１０内に配置した後、減圧ポンプ１１３により容器内の圧力を減圧し、液晶パネルＰの液晶封止部を比較的低温で加熱してシール機能を失わせ、液晶を揮発させる。そして、液晶４０の揮発ガスをコンデンサ１１１で冷却・凝集して回収器１１２で回収し、回収した液晶を反応器１５０内に送って超臨界水酸化反応により液晶４０を分解する。これにより、減圧加熱器１１０及び反応器１５０を小型化しつつ、液晶パネルから液晶を安全に抽出し、無害化することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶パネルを収納して減圧状態下で加熱し、前記液晶パネルの液晶封止部を脆弱化させて液晶を揮発させる減圧加熱器と、
前記減圧加熱器で揮発した液晶を冷却して凝縮させる凝縮器と、
前記凝縮器から液晶を回収する回収器と、
前記回収器で回収された液晶を超臨界水酸化反応により分解処理する反応器と、
を備えたことを特徴とする液晶パネルの処理装置。
【請求項２】
前記減圧加熱器を、前記液晶パネルの液晶封止部を集中的に加熱可能に構成したことを特徴とする請求項１記載の液晶パネルの処理装置。
【請求項３】
前記反応器の内部で超臨界水を生成し、この超臨界水での酸化反応により液晶を分解することを特徴とする請求項１又は２記載の液晶パネルの処理装置。
【請求項４】
前記凝縮器を、前記減圧加熱器の内部を減圧する減圧ポンプと前記減圧加熱器との間に配設したことを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液晶パネルの処理装置。
【請求項５】
液晶パネルを減圧状態下で加熱し、前記液晶パネルの液晶封止部を脆弱化させて液晶を揮発させる工程と、
揮発した液晶を冷却・凝縮させて回収する工程と、
回収された液晶を超臨界水酸化反応により分解処理する工程と、
を備えたことを特徴とする液晶パネルの処理方法。
【請求項６】
液晶パネルの液晶封止部を減圧状態下で集中的に加熱し、前記液晶封止部から液晶を揮発させる工程と、
揮発した液晶を冷却・凝縮させて回収する工程と、
回収された液晶を超臨界水酸化反応により分解処理する工程と、
を備えたことを特徴とする液晶パネルの処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルから液晶を抽出し、抽出した液晶を分解する液晶パネルの処理装置及び処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高度情報社会の進展に伴い、少電力駆動及び省スペースという特性から家電製品や情報機器等に使用される液晶パネルの量が増加の一途を辿っている。これに伴い、廃棄された使用済みの情報表示装置や映像表示装置等から取り出された廃液晶パネルの量も急速に増大することが予想され、この廃液晶パネルを安全に処理する技術の確立が極めて重要なものとなっている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、反応炉内に配置した廃液晶パネルを減圧状態で加熱することにより、廃液晶パネルに封止された液晶、及びガラス基板の内・外面に配した固形有機物の一部を揮発させるとともに、固定有機物の残部を炭化させ、ガラス基板や金属類をリサイクル可能に回収する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００４−２３０２２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示の技術は、いわゆる減圧加熱処理の技術を廃液晶パネルの処理に適用したものであり、ガラス基板や金属類をリサイクル可能に回収することを目的として、反応炉の炉内温度を２００〜８００°Ｃと高温にしている。このため、装置が大型化してコスト上昇を招くばかりでなく、高温による液晶の変性に対する配慮が必要となり、結果的に高額な設備投資を要することになる。
【０００５】
また、排気等オープンな処理系では、高温での処理、焼却中に有害物質の発生が考えられ、好ましくないことから、液晶パネルの処理系として、クローズドの処理系が望まれる。このクローズドの処理系としては、超臨界水酸化反応を利用した処理系が知られており、有機物を完全に分解することができるが、超臨界水酸化反応を利用した従来のシステムは、液晶パネルそのものを処理対象としているため、同様に、装置が大型化し、且つ高価なものとなっている。
【０００６】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、装置を大型化することなく液晶パネルから液晶を安全に抽出して分解し、無害化することのできる液晶パネルの処理装置及び処理方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明による液晶パネルの処理装置は、液晶パネルを収納して減圧状態下で加熱し、前記液晶パネルの液晶封止部を脆弱化させて液晶を揮発させる減圧加熱器と、前記減圧加熱器で揮発した液晶を冷却して凝縮させる凝縮器と、前記凝縮器から液晶を回収する回収器と、前記回収器で回収された液晶を超臨界水酸化反応により分解処理する反応器とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、減圧加熱器に液晶パネルを収納して減圧状態下で加熱し、液晶パネルの液晶封止部を脆弱化させて液晶を揮発させて抽出した後、抽出した液晶を凝縮器で冷却・凝縮させて回収器で回収し、反応器で超臨界水酸化反応により分解する。液晶の揮発温度は、樹脂材等からなる液晶封止部を脆弱化させる温度より低いことから、減圧加熱器の温度を高温にする必要がなく、また、反応器による処理は、液晶パネルから抽出した液晶のみであることから、反応器も小型のものを使用することができる。従って、装置全体としての小型化によるコスト低減を図りつつ、液晶を安全に処理して無害化することができる。
【０００９】
また、本発明による液晶パネルの処理装置は、前記減圧加熱器を、前記液晶パネルの液晶封止部を集中的に加熱可能に構成したことを特徴としている。このような構成によれば、液晶パネルから液晶を効率的に抽出することができ、減圧加熱器をより小型化すると共に、所要エネルギーを低減してランニングコストの削減に役立てることができる。
【００１０】
また、本発明による液晶パネルの処理装置は、前記反応器の内部で超臨界水を生成し、この超臨界水での酸化反応により液晶を分解することを特徴としている。このような構成によれば、抽出した液晶を完全に分解することが可能となり、確実に無害化することができる。
【００１１】
さらに、本発明による液晶パネルの処理装置は、前記凝縮器を、前記減圧加熱器の内部を減圧する減圧ポンプと前記減圧加熱器との間に配設したことを特徴としている。このような構成によれば、液晶パネルからの揮発ガス中に有害な成分を含む可能性がある場合にも、クローズドの系内で処理することができ、外部への放出を防止することができる。
【００１２】
本発明による液晶パネルの処理方法は、液晶パネルを減圧状態下で加熱し、前記液晶パネルの液晶封止部を脆弱化させて液晶を揮発させる工程と、揮発した液晶を冷却・凝縮させて回収する工程と、回収された液晶を超臨界水酸化反応により分解処理する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
かかる処理方法によれば、液晶パネルを減圧状態下で加熱して液晶封止部を脆弱化させ、液晶を揮発させた後、揮発した液晶を冷却・凝縮させて回収し、回収された液晶を超臨界水酸化反応により分解処理する。液晶の揮発温度は、樹脂材等からなる液晶封止部を脆弱化させる温度より低いことから、減圧状態下での加熱温度を高温にする必要がなく、また、液晶パネルから抽出した液晶のみを超臨界水酸化反応により処理すれば良いことから、工程時間の短縮と装置の小型化によるコスト低減を図りつつ、液晶を安全に処理して無害化することができる。
【００１４】
本発明による液晶パネルの処理方法は、液晶パネルの液晶封止部を減圧状態下で集中的に加熱し、前記液晶封止部から液晶を揮発させる工程と、揮発した液晶を冷却・凝縮させて回収する工程と、回収された液晶を超臨界水酸化反応により分解処理する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
かかる処理方法によれば、液晶パネルの液晶封止部を減圧状態下で集中的に加熱して液晶封止部から液晶を揮発させた後、揮発した液晶を冷却・凝縮させて回収し、回収された液晶を超臨界水酸化反応により分解処理する。液晶の揮発温度は、樹脂材等からなる液晶封止部を脆弱化させる温度より低いことから、減圧状態下での加熱温度を高温にする必要がなく、工程時間の短縮と装置の小型化によるコスト低減を図りつつ、液晶封止部を減圧状態下で集中的に加熱して液晶を効率的に抽出することができ、所要エネルギーを低減してランニングコストの削減に役立てることができると共に、超臨界水酸化反応により液晶を完全に分解することが可能となり、確実に無害化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１〜図５は本発明の実施の一形態に係わり、図１は液晶パネルの構造例を示す説明図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３は液晶パネル処理装置を概念的に示す説明図、図４は水の臨界点を示す状態図、図５は液晶の処理工程を概念的に示す説明図である。
【００１７】
先ず、本発明の処理対象となる液晶パネルの構造の一例について、図１及び図２を用いて説明する。処理対象となる液晶パネルＰは、例えば、液晶パネルや液晶モジュールの生産メーカーから欠陥品として廃棄されたもの、或いはユーザーにおいて廃棄された使用済みの情報表示装置や映像表示装置等から取り出されたものである。尚、ここで示した液晶パネルＰは、ＴＦＴ液晶パネル等の液晶パネルである。
【００１８】
液晶パネルＰは、所定の間隔で対向配置された透明な素子基板１０と透明な対向基板２０とを有している。素子基板１０は、例えば石英基板、ガラス基板、シリコン基板からなり、対向基板２０は、例えばガラス基板や石英基板からなる。一方の素子基板１０は、外側に偏光板１１を配設し、内側に画素を構成する画素電極１２等をマトリクス状に配置し、更に、画素電極１２上に、ポリイミド系の高分子樹脂からなる配向膜１３を積層したものである。また、他方の対向基板２０は、上側に偏光板２１を配設し、下側に表示領域を区画するための遮光膜２２を額縁状に形成し、更に、カラーフィルタ２３、透明対向電極２４、配向膜２５を順に積層したものである。
【００１９】
遮光膜２２の外側の領域には、液晶を封入するためのシール材３０が対向基板２０の輪郭形状に略一致するように配置され、素子基板１０と対向基板２０とを相互に固着している。シール材３０は、例えば、エポキシ樹脂等の樹脂材からなり、素子基板１０の一辺で部分的に開口され、液晶４０を注入するための液晶注入口３１が形成されている。この液晶注入口３１を介して素子基板１０の配向膜１３と対向基板２０の配向膜２５との間の間隙に液晶４０が注入され、液晶注入後に、エポキシ樹脂等の樹脂材からなる封止材３２によって液晶注入口３１が封止されている。
【００２０】
また、素子基板１０のシール材３０の外側の領域には、データ線駆動回路５０及び実装端子５１が素子基板１０の一辺に沿って設けられ、この一辺に隣接する２辺に沿って、走査線駆動回路５２が設けられている。素子基板１０の残る一辺には、画面表示領域の両側に設けられた走査線駆動回路５２間を接続するための複数の配線５３が設けられている。また、対向基板２０のコーナー部の少なくとも１箇所においては、素子基板１０と対向基板２０との間を電気的に導通させるための導通材５４が設けられている。
【００２１】
本発明は、以上のような各種有機物や無機物からなる液晶パネルＰから液晶４０のみを抽出し、抽出した液晶を完全に分解して無害化するものであり、処理対象となる液晶パネルＰを構成する材料を有害な物質に変性させることなく安全に処理し、且つ装置全体の小型化とコスト低減とを図っている。具体的には、処理対象となる液晶パネルＰを減圧状態下で加熱処理して液晶パネルＰから液晶４０を抽出し、この抽出した液晶４０を超臨界水に溶解させて酸化処理することにより、液晶４０を完全に分解して無害化する。
【００２２】
前述したように、液晶パネルＰの液晶４０は、素子基板１０，対向基板２０，シール材３０，配向膜１３，２５等によって形成される密封空間内に封止されている。この密閉空間の液晶封止部を形成する部材（シール材３０、及び液晶注入口３１の封止材３２）は、樹脂材で形成されているが、液晶自体が揮発する温度は、液晶封止部の樹脂が脆弱化する温度より低い。
【００２３】
従って、液晶パネルＰを減圧状態下で加熱し、有害な物質を発生させることなく液晶４０を揮発させるには、液晶封止部を形成するシール材３０や封止材３２を脆弱化させてシール機能を失わせる温度で良く、液晶パネルＰ全体を構成する部材を減圧加熱して分解する場合に比較して低温の処理で済むことから、装置を小型化することができる。また、超臨界水による酸化処理においても、液晶４０のみを処理するため、液晶パネルＰ全体を超臨界水で処理する場合に比較して装置を小型化することができる。結果として、減圧加熱処理及び超臨界水による酸化処理を合わせた装置全体として小型化を図ることができ、コスト低減を図ることができる。
【００２４】
図３は、本発明による液晶パネル処理装置１００を概念的に示すものであり、この液晶パネル処理装置１００は、液晶パネルＰを減圧状態下で加熱する減圧加熱器１１０と、内部で温度及び圧力を高めて超臨界水を発生する反応器１５０とを主とするクローズドの処理系として構成されている。このクローズドの処理系として構成することにより、万一、処理中に有害物質が発生しても、系内で分解処理して無害化することができ、環境への悪影響を防止することができる。
【００２５】
減圧加熱器１１０は、処理対象となる液晶パネルの量や寸法に応じて最適な内部形状及び容量に設定され、減圧状態下で、液晶パネルＰの液晶４０を封止しているシール材３０や液晶注入口３１の封止材３２を集中的に加熱できるように構成されている。これにより、従来と同等或いはより大気圧に近い減圧状態下において、より低い温度で液晶パネルＰから液晶４０を揮発させることができ、有害な物質の生成を防止して安全な処理が可能となる。
【００２６】
減圧加熱器１１０は、例えばステンレス製の容器からなり、加熱用のヒータ１１０ａを備えると共に、容器内を減圧する減圧ポンプ１１３に接続されている。減圧加熱器１１０と減圧ポンプ１１３との間には、減圧加熱器１１０外に排出された揮発ガスを冷却して液晶４０を凝縮・分離させるコンデンサ（凝縮器）１１１が設けられ、このコンデンサ１１１に、凝集した液晶４０を回収する回収器１１２が接続されている。また、減圧ポンプ１１３の排気側には、活性炭フィルタ１１４が介装されている。この活性炭フィルタ１１４は、コンデンサ１１１で液晶４０を分離した後のガス中に有害な微量成分が残留した場合に対処するものであり、液晶４０を分離した後のガスを清浄化して大気に放出する。
【００２７】
尚、コンデンサ１１１は、図３においては、冷却液の循環により減圧加熱器１１０からの揮発ガスを冷却・凝縮する形式として示しているが、これに限定されることなく、実際の温度や圧力、容量、配置等の条件に応じて、最適な形式のコンデンサが選定される。また、コンデンサ１１１及び回収器１１２の配置は、減圧加熱器１１０と減圧ポンプ１１３との間としているが、これは、揮発ガス中の有害な成分を、処理系のより内部で分離することにより、外部への排出を防止するためである。このような成分を、揮発ガスから完全に分離可能であれば、コンデンサ１１１及び回収器１１２は図に示す位置に限定されることなく、減圧ポンプ１１３と活性炭フィルタ１１４との間に設けても良い。
【００２８】
液晶４０を回収する回収器１１２は、バルブ１２０、供給用ポンプ１２１を介して反応器１５０に接続されている。反応器１５０は、例えば、内面に耐蝕処理を施したステンレス製の容器からなり、処理量に応じて必要十分な容量に設定され、加熱用のヒータ１５０ａを備えている。実際には、減圧加熱器１１０で処理する液晶パネルＰのサイズ及び量に対して、抽出される液晶４０は極めて少量であることから、反応器１５０は減圧加熱器１１０よりも小型に形成され、図中に破線で示すように、複数の減圧加熱器１１０から回収した液晶を小型の反応器１５０で処理可能である。
【００２９】
また、本形態においては、反応器１５０は、内部で温度及び圧力を高めて超臨界水を発生させ、超臨界状態での酸化反応によって液晶４０を分解・無害化するようにしている。すなわち、図４に示す水の相挙動において、例えば、図中に破線で示すように大気圧下で温度を上げていくと、融点である０°Ｃを境に固体から液体の状態に移行し、沸点である１００°Ｃを越えると気体（水蒸気）となる。沸点を横切る気液平衡線上の温度・圧力では、気体と液体が両方同時に存在することになるが、温度・圧力を高めて気液平衡線を右上にたどると、温度が３７４°Ｃ、圧力が２２．１ＭＰａの点で臨界点となり、これを超えた領域が超臨界領域となる。
【００３０】
超臨界水は、温度と圧力とが、それぞれ、臨界温度（３７４°Ｃ）、臨界圧力（２２．１ＭＰａ）を越えた状態にある水であり、通常の水では溶け難い有機物を容易に溶解することができ、また、酸素とも均一に良く混ざる。超臨界水による液晶の分解は、この超臨界状態を燃焼（酸化反応）の場とするものであり、大きな反応速度で溶解物質（液晶）を完全燃焼させることができる。
【００３１】
従って、液晶の完全分解処理は、超臨界領域で行うことが最も望ましいと言えるが、液晶を形成する有機物の組成、この有機物を溶解する溶媒としての物性、水中での酸化反応の反応速度や熱エネルギーの持続性等の条件によっては、超臨界領域の図中左側に存在する亜臨界領域においても、液晶を分解・無害化することが可能である。この亜臨界領域における分解処理が可能であれば、所要エネルギーの点で有利であり、ランニングコストの削減に役立つものとなる。
【００３２】
図３に戻って説明すると、超臨界水を発生する本形態の反応器１５０には、超純水を供給する水供給源１２２がヒータ１２３及び高圧ポンプ１２４を介して接続されると共に、酸素供給源１２５がヒータ１２６及び高圧ポンプ１２７を介して接続されている。更に、反応器１５０には、反応促進薬品を入れる薬品タンク１２８がバルブ１２９及びポンプ１３０を介して接続されている。反応器１５０の下部には、排出用の配管が設けられ、この配管に、冷却器１３１及び減圧バルブ１３２が設置され、その下流には、気水分離器１３３が設置されている。冷却器１３１には、冷却液が流される。
【００３３】
減圧加熱器１１０及び反応器１５０を中心とする閉処理系内の温度、圧力、溶液・ガスの濃度や成分等の状態は、例えば、ヒータ１１０ａ，１５０ａや系内の温度を検出する複数の温度センサ、圧力センサ、有機ＩＲ（赤外線分析）法、分光測定法、レーザ誘起ブレークダウン法等を用いた観測装置を介してモニタされる。この系内の状態のモニタ信号は、図示しない制御装置に入力され、各ヒータ１１０ａ，１５０ａ、各ポンプ１１３，１２１，１２４，１２７，１３０、及び各バルブ１２０，１２９，１３２を介して系内の状態が最適に制御される。
【００３４】
次に、以上の液晶パネル処理装置１００を用いた廃液晶パネルの処理工程の例について、図５を用いて説明する。
【００３５】
複数の液晶パネルＰを減圧加熱器１１０内に配置した後、減圧ポンプ１１３により容器内の圧力を減圧し、ヒータ１１０ａにより、液晶パネルＰから液晶４０のみを抽出可能な温度まで上昇させる（工程Ｓ１）。液晶パネルＰは、素子基板１０，対向基板２０，シール材３０、配向膜１３，２５等によって形成される密封空間内にあるが、液晶自体を有害な物質に変性させることなく揮発させる温度は、密閉空間の液晶封止部を形成する部材が脆弱化する温度より低いことから、液晶封止部を効率的に加熱して、密閉空間のシール機能を失わせせれば良い。
【００３６】
この密閉空間のシール機能を失わせる条件は、処理時問にもよるが、例えば、減圧加熱器１１０内の圧力を０．０１〜１０ｋＰａの範囲とした場合、樹脂材料からなるシール材３０，特に液晶注入口３１を封止している封止材３２を集中的に加熱することにより、容器内の温度を１２０〜１５０°Ｃ程度以下に抑え、シール部界面の接合力を低下させて液晶４０を変質させることなく揮発させ、液晶パネルＰから液晶４０を抽出する（工程Ｓ２）。シール材３０や封止材３２に対する加熱は、例えば、シール材３０や封止材３２と容器内の金属部分との接触面積を増やす等して行い、樹脂部分を集中的に加熱することで、容器内温度をいたずらに上昇させることなく効率的な加熱を行うことができる。
【００３７】
すなわち、減圧加熱器１１０内の温度を、２００〜８００°Ｃといったように、液晶４０のみならずシール材３０や配向膜１３，２５等の有機物を揮発・炭化させる従来の処理温度まで高温にする必要がなく、有害な物質の発生を防止して、液晶４０のみを安全に抽出することができる。これにより、処理温度の低下による装置の小型化や耐久性の向上を図ることができ、結果的に、コスト低減を図ることができる。
【００３８】
減圧加熱器１１０内で揮発させた液晶４０の揮発ガスは、減圧ポンプ１１３により減圧加熱器１１０内から排出され、コンデンサ１１１で冷却・凝集され、回収器１１２に、液化した元の状態の液晶４０として回収される（工程Ｓ３）。このとき、液晶４０の揮発ガスを凝集・分離した後のガスは、活性炭フィルタ１１４で清浄化されて無害化され、大気に放散される。
【００３９】
次に、回収器１１２に回収した液晶４０は、供給用ポンプ１２１により反応器１５０内に送られ、超臨界水による液晶４０の処理が行われる（工程Ｓ４）。この液晶４０の超臨界水処理は、減圧加熱器１１０及びコンデンサ１１１による液晶４０の抽出・回収に続く連続プロセス、或は液晶４０の所定量の回収を待っての後段プロセスとして実行される。反応器１５０内には、比抵抗１０ＭΩ以上の超純水と酸素とが、それぞれ、ヒータ１２３，１２６により加熱されつつ、高圧ポンプ１２４，１２７により圧送され、ヒータ１５０ａにより加熱されて容器内が超臨界状態（温度３７４°Ｃ、圧力２２．１ＭＰａ以上）に制御される。
【００４０】
この超臨界状態においては、超臨界水を溶媒として酸素と有機物である液晶４０とが溶解され、薬品タンク１２８からからポンプ１３０により反応器１５０内に反応促進剤を投入することにより、超臨界水中での液晶４０の燃焼（酸化反応）が促進される。液晶４０の酸化反応促進薬品としては過酸化水素水を用い、この過酸化水素水の濃度を、酸化反応の速度や反応熱の発生の関係を考慮して制御する。この超臨界水酸化反応により、有害な物質を発生することもなく液晶４０が酸化され、二酸化炭素（ＣＯ2）と水（Ｈ2Ｏ）とに完全分解される（工程Ｓ５）。
【００４１】
超臨界水酸化反応による液晶４０の酸化・分解プロセスの終了は、例えば、超臨界水中の酸素濃度測定による酸素濃度の減少量、或いは、前述のレーザ誘起ブレークダウン法等によるリアルタイム計測によって判断される。そして、超臨界水中で液晶４０が完全に分解されると、一旦、反応器１５０の加圧及び加熱を停止すると共に薬品タンク１２８からの過酸化水素水の投入を停止し、減圧バルブ１３２を開けて冷却器１３１に処理水を流し、水温を低下させつつ気水分離器１３３により排ガスと水に分離し（工程Ｓ６）、外部に排出する。
【００４２】
以上のように、液晶パネルを減圧状態下で加熱し、液晶パネルの液晶封止部を脆弱化させて液晶を揮発させて抽出した後、抽出した液晶を冷却・凝縮させて回収し、反応器で超臨界水酸化反応により分解するので、液晶パネル全体を構成する部材を減圧加熱して分解する場合に比較して低温の処理で済み、また、超臨界水による酸化処理も液晶のみの処理で済む。これにより、装置全体の小型化や処理時間の短縮によるコスト低減を図りつつ、液晶を安全に処理して無害化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】液晶パネルの構造例を示す説明図
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図
【図３】液晶パネル処理装置を概念的に示す説明図
【図４】水の臨界点を示す状態図
【図５】液晶の処理工程を概念的に示す説明図
【符号の説明】
【００４４】
Ｐ  液晶パネル
４０  液晶
１００  液晶パネル処理装置
１１０  減圧加熱器
１１１  コンデンサ（凝縮器）
１１２  回収器
１１３  減圧ポンプ
１５０  反応器
【図１】
2006068578.tif 000003
【図２】
2006068578.tif 000004
【図３】
2006068578.tif 000005
【図４】
2006068578.tif 000006
【図５】
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