(57)【要約】【課題】  チップの小型化に伴う吸着穴の小径化に対応することができるチップ吸着部構造を提供する。【解決手段】  発光素子１２下部に接続部１３を介してファイバセンサ１４を設ける。ファイバセンサ１４は、発光素子１２からの光２３をヘッド２１で集光して光ファイバ２２の先端に導く。ヘッド２１より延出した光ファイバ２２をボールスプライン３４の軸部３５に挿通し、コレットホルダ４１に取り付けられたコレット５１に接続する。これにより、コレットホルダ４１に供給された負圧をコレット５１の吸着穴に供給してチップを吸着できるように構成するとともに、光ファイバ２２によって導かれた光を吸着穴を介して外部に投光できるように構成する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光素子からの光がコレットに設けられた吸着穴より投光されるチップ吸着部構造において、
前記発光素子と前記コレットとの間に、前記発光素子からの光を前記吸着穴に導く光ファイバを設けたことを特徴とするチップ吸着部構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップをピックアップするコレットを備えたチップ吸着部構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チップをボンディングするボンディング装置には、ウエハシート上のチップをボンディングポイントへ移送してボンディングするボンディングヘッドが設けられている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
このボンディングヘッドとしては、例えば図４に示すボンディングヘッド７０１が挙げられ、該ボンディングヘッド７０１の先端には、コレットホルダ７０２が回転自在に支持されている。該コレットホルダ７０２の下端部には、チップを吸着するコレット７０３が取り付けられており、該コレット７０３下端の吸着穴７０４に供給された負圧によってチップを吸着して保持できるように構成されている。
【０００４】
前記コレットホルダ７０２の上端部には、発光素子７１１が設けられており、該発光素子７１１からの光７１２を前記コレット７０３の吸着穴７０４を介して投光できるように構成されている。このコレットホルダ７０２が通過する通過経路上には、受光部７１３が設けられており、該受光部７１３には、前記発光素子７１１からの光７１２を受光する受光素子７１４が設けられている。
【０００５】
これにより、前記受光部７１３上を通過するコレット７０３にチップが吸着されている場合には、前記発光素子７１１から前記受光素子７１４への光７１２が遮断される一方、前記コレット７０３にチップが吸着されていない場合には、前記発光素子７１１からの光７１２が前記受光素子７１４で受光され、チップのピックアップミスを検出できるように構成されている。
【特許文献１】特開平６−２８３５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年においては、チップの小型化が図られており、これに伴ってコレット７０３の吸着穴７０４も小径化されている。
【０００７】
すると、発光素子７１１と吸着穴７０４との光軸ずれにより光７１２が通過し難くなり、チップのピックアップミスを判定できなくなるという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、チップの小型化に伴う吸着穴の小径化に対応することができるチップ吸着部構造を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために本発明のチップ吸着部構造にあっては、発光素子からの光がコレットに設けられた吸着穴より投光されるチップ吸着部構造において、前記発光素子と前記コレットとの間に、前記発光素子からの光を前記吸着穴に導く光ファイバを設けた。
【００１０】
すなわち、発光素子からの光は、当該発光素子とコレットとの間に設けられた光ファイバを介して、前記コレットに設けられた吸着穴に導かれる。
【発明の効果】
【００１１】
以上説明したように本発明のチップ吸着部構造にあっては、発光素子からの光を、当該発光素子とコレットとの間に設けられた光ファイバを介して、前記コレットに設けられた吸着穴へ確実に導くことができる。このため、チップの小型化に伴ってコレットの吸着穴が小径化された場合であっても、前記発光素子からの光を、前記吸着穴を介して確実に外部に投光することができる。
【００１２】
したがって、前記吸着穴の小径化に伴って前記光が通過し難くなる従来と比較して、前記吸着穴を通過する光を利用したチップのピックアップミス判定を、前記吸着穴が小径化された場合であっても行うことができる。
【００１３】
そして、前記発光素子からの光を光ファイバで導くため、当該発光素子の位置合わせが不要となる。これにより、組立作業が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるチップ吸着部構造を備えたボンディングヘッド１を示す図であり、該ボンディングヘッド１は、ウェハシート上のチップをワークに移送してボンディングするボンディング装置に設けられている。
【００１５】
前記ボンディングヘッド１に設けられた保持部１１には、図２にも示すように、発光ダイオードで構成された発光素子１２が設けられており、該発光素子１２の下部には、円筒形状の接続部１３を介して、ファイバセンサ１４が設けられている。
【００１６】
該ファイバセンサ１４は、図２にも示すように、ヘッド２１と該ヘッド２１より延出した光ファイバ２２とからなり、前記発光素子１２からの光２３を（図１参照）、前記ヘッド２１で集光するとともに、前記光ファイバ２２によって当該光ファイバ２２の先端に導くように構成されている。
【００１７】
前記ファイバセンサ１４の前記ヘッド２１は、その大径部３１が前記接続部１３に形成された上段ねじ部３２に螺合した状態で固定されており、前記ヘッド２１下部の小径部３３には、ボールスプライン３４の軸部３５上端部が外嵌するように構成されている。これにより、この軸部３５は、前記接続部１３の下段ねじ部３６に螺入された状態で、前記ヘッド２１の前記小径部３３に外嵌するように構成されており、前記ヘッド２１より延出した前記光ファイバ２２が前記ボールスプライン３４の前記軸部３５を挿通するように構成されている。
【００１８】
この軸部３５の下端部には、円筒形状のコレットホルダ４１が固定されており、前記ファイバセンサ１４の前記光ファイバ２２先端部が、当該コレットホルダ４１より下方へ延出するように構成されている。
【００１９】
該コレットホルダ４１には、図３の（ａ）にも示すように、チップ４５をピックアップするコレット５１が交換可能に取り付けられている。該コレット５１は、図３の（ａ）に示すように、前記コレットホルダ４１に挿入された状態で固定される首部５２と、該首部５２の先端に設けられた頭部５３とからなり、該頭部５３は、下方へ向かうに従って縮径するテーパー状に形成されている。
【００２０】
前記頭部５３の基端側には、図３の（ｂ）にも示すように、前記光ファイバ２２の先端部が挿入される挿入穴６１が設けられており、該挿入穴６１は、前記光ファイバ２２が内嵌する円形の内嵌穴６２と、該内嵌穴６２の円周上に形成された逃げ穴６３とによって構成されている。該逃げ穴６３は、前記内嵌穴６２の前記円周上に等間隔をおいた三カ所に形成された円形穴からなり、前記内嵌穴６２の周壁には、円弧状の溝が全長に渡って形成されている。
【００２１】
これにより、前記挿入穴６１に前記光ファイバ２２を挿入した状態において、前記内嵌穴６２の壁面が、前記光ファイバ２２の中心軸Ｃを当該挿入穴６１の中心軸にガイドするガイド面７１を構成しており、前記光ファイバ２２の外周部には、前記逃げ穴６３が形成する溝が全長に渡って形成されるように構成されている。
【００２２】
前記挿入穴６１の下部には、内径寸法が下方へ向かうに従って縮径する縮径穴８１が形成されており、該縮径穴８１の下端には、細孔からなる吸着穴８２が設けられている。該吸着穴８２は、前記挿入穴６１の中心軸Ｃ上に形成されており、前記頭部５３の端面に開口している。これにより、前記コレットホルダ４１に供給された負圧を前記逃げ穴６３及び前記縮径穴８１を介して前記吸着穴８２の開口端に供給することで、当該吸着穴８２に生じる負圧によってチップ４５を吸着できるように構成されており、前記光ファイバ２２によって導かれた光２３を、前記吸着穴８２を介して外部に投光できるように構成されている。
【００２３】
以上の構成にかかる本実施の形態において、発光素子１２からの光２３を、当該発光素子１２と前記コレット５１との間に設けられたファイバセンサ１４の光ファイバ２２を介して、前記コレット５１先端に開口した吸着穴８２の中心軸Ｃに導くことができる。
【００２４】
このため、チップ４５の小型化に伴ってコレット５１の吸着穴８２が小径化された場合であっても、前記発光素子１２からの光２３を、前記吸着穴８２を介して確実に外部に投光することができる。
【００２５】
したがって、前記吸着穴８２の小径化に伴って前記光２３が通過し難くなる従来と比較して、前記吸着穴８２を通過する光２３を利用したチップ４５のピックアップミス判定を、前記吸着穴８２が小径化された場合であっても確実に行うことができる。
【００２６】
そして、前記発光素子１２からの光２３を光ファイバ２２で導くため、当該発光素子１２の位置合わせが不要となる。これにより、組立作業が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施の形態を示す断面図である。
【図２】同実施の形態の分解斜視図である。
【図３】（ａ）は、同実施の形態のコレットを示す断面図であり、（ｂ）は、コレットを示す図である。
【図４】従来のボンディングヘッドを示す断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１２    発光素子
１４    ファイバセンサ
２２    光ファイバ
２３    光
４１    コレットホルダ
４５    チップ
５１    コレット
８２    吸着穴
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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