(57)【要約】【課題】  複数のインクタンクからのインク供給流路の本数が多く、複雑なインク流路をとる構造を簡易な製造方法で実現できるインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】  タンクホルダー１５００、第２の流路形成部材１６００、第３の流路形成部材１７００によって立体的な流路が形成され、淡シアンのインク流路の一部である水平流路２３０と淡マゼンタのインク流路である水平流路２１１と立体交差している。そしてインクは、第４の垂直流路６４０を通って、パッキン部材１８００から支持プレート１２００、記録素子基板１１００に達し、吐出口から吐出される。【選択図】  図４
2006068944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク滴を吐出するための複数の吐出口列と該吐出口列の各々にインクを供給するための複数のインク供給口とを有する記録素子基板と、
該記録素子基板を支持し、前記記録素子基板の各インク供給口に対応する複数のインク供給口が設けられた支持プレートと、
複数のインクタンクを保持するタンクホルダーと、
前記支持プレートと前記タンクホルダーとの間に配置され、前記複数のインクタンクの各々と当該各インクタンクに対応する前記支持プレートの各インク供給口とを繋ぐインク流路が形成された流路形成部材とを備え、
前記流路形成部材のインク流路が第１階層のインク流路と第２階層のインク流路を含み、前記第１階層のインク流路と前記第２階層のインク流路とが立体交差しているインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記流路形成部材が第１部材と第２部材を重ね合わせて構成されており、
前記第１階層のインク流路は、前記タンクホルダーと前記第１部材との接合部分に形成される、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記第２階層のインク流路は、前記第１部材と前記第２部材との接合部分に形成される水平なインク流路である、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記第１階層のインク流路は、前記タンクホルダーと前記流路形成部材との接合部分に形成され、前記第２階層のインク流路は、前記支持プレートと前記流路形成部材との接合部分に形成されている、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
インク滴を吐出するための複数の吐出口列と該吐出口列の各々にインクを供給するための複数のインク供給口とを有する記録素子基板と、
該記録素子基板を支持し、前記記録素子基板の各インク供給口に対応する複数のインク供給口が設けられた支持プレートと、
複数のインクタンクを保持するタンクホルダーと、
前記支持プレートと前記タンクホルダーとの間に配置され、前記複数のインクタンクの各々と当該各インクタンクに対応する前記支持プレートの各インク供給口とを繋ぐインク流路が形成された流路形成部材とを備え、
前記流路形成部材のインク流路が第１階層のインク流路と第２階層のインク流路で構成され、前記第１階層のインク流路と前記第２階層のインク流路とが立体交差しているインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成部材として第１部材と第２部材から構成されるものを用い、
前記タンクホルダーと前記第１部材を超音波溶着することによって前記第１階層のインク流路を形成し、その後、前記１部材に前記第２部材を超音波溶着することで前記第２階層のインク流路を形成する、インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
インク滴を吐出するための複数の吐出口列と該吐出口列の各々にインクを供給するための複数のインク供給口とを有する記録素子基板と、
該記録素子基板を支持し、前記記録素子基板の各インク供給口に対応する複数のインク供給口が設けられた支持プレートと、
複数のインクタンクを保持するタンクホルダーと、
前記支持プレートと前記タンクホルダーとの間に配置され、前記複数のインクタンクの各々と当該各インクタンクに対応する前記支持プレートの各インク供給口とを繋ぐインク流路が形成された流路形成部材とを備え、
前記流路形成部材のインク流路が第１階層のインク流路と第２階層のインク流路を含み、前記第１階層のインク流路と前記第２階層のインク流路とが立体交差しているインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成部材として第１部材と第２部材から構成されるものを用い、
前記タンクホルダーと前記第１部材と前記第２部材とをこの順番に重ねるとともに同時に超音波溶着することによって前記第１階層のインク流路及び前記第２階層のインク流路を形成する、インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録用液体（以下、代表してインクを挙げる）を飛翔液滴としてインク吐出口から吐出させ被記録材に付着させることにより記録を行うインクジェット記録ヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
なお、本明細書において、「プリント」または「記録」とは、文字や図形など有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広くプリント媒体上に画像、模様、パターンなどを形成したり、あるいはエッチングなどの加工をも含む。
【０００３】
また、「プリント媒体」とは、一般的なプリント装置で用いられる紙片のみならず、布帛、プラスチックフィルム、金属板、ガラス、セラミックス、木材、皮革など、インクを受容可能な被記録材であり、シート状物体以外の三次元立体、例えば球体や円筒体などもその対象となる。
【０００４】
さらに、「液体」とは、上記「プリント（または記録）」の定義と同様広く解釈されるべきものであり、プリント媒体に付与されることによって、画像、模様、パターンなどの形成、またはプリント媒体のエッチング加工、あるいはインクの処理（例えばプリント媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化）などに供されるものを含む。
【背景技術】
【０００５】
インクジェット記録ヘッドを有する記録装置（以下、インクジェットプリンタと称する）は、いわゆるノンインパクトプリント方式のプリント装置であり、高速なプリントや様々なプリント媒体に対してプリントすることが可能であって、プリント時における騒音がほとんど生じないといった特徴を持つことから、ワードプロセッサやファクシミリあるいは複写機などのプリント機構を担う装置として広く採用されている。
【０００６】
このインクジェット方式の代表的なものとして、インクやプリント媒体に対するインクのプリント性を調整するための処理液（以下、本明細書ではこれを含めて便宜的にインクと呼称する）などの液体、つまりインク滴の吐出エネルギーとして熱エネルギーを発生する電気熱変換素子を用いた方法が知られており、これは微小な吐出口から微小なインク滴を吐出させ、紙などのプリント媒体に対してプリントを行うものである。
【０００７】
一般に、インク滴を形成するための駆動系と、この駆動系に対してインクを供給する供給系とから構成される、電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を加圧室内に設け、電気熱変換素子にプリント信号となる電気パルスを与えることにより加圧室内のインクに熱エネルギーを与え、この時のインクの急激な相変化、つまり気化により生じる気泡圧力をインク滴の吐出に利用したものである。
【０００８】
さらに電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドの場合、電気熱変換素子を配列した基板表面に沿ってインクを吐出させるエッジシューター方式と、電気熱変換素子を配列した基板表面に対して垂直にインクを吐出させるサイドシューター方式とが知られている。
【０００９】
サイドシューター方式のインクジェット記録ヘッドの外観を図１２に示す。ここに示すインクジェット記録ヘッドでは、インクタンク（不図示）として、ブラック、シアン、マゼンタ、イエロー、ライトシアン及びライトマゼンタの各色のインクタンクが用意されている。インクジェットヘッドは、前記各インクタンクを着脱可能に保持するインクタンクホルダー１５００を有し、各インクタンクより供給されたインクを吐出するためのノズルを有する記録素子基板１１００、プリンタ本体からの電気信号を記録素子基板へ伝える電気配線部材１３００等をはじめとする種々の部品が設けられている。
【００１０】
図１３は、図１２のインクジェット記録ヘッドを記録素子基板１１００の吐出方向から見たときの平面図を示す。記録素子基板１１００は、Si基板の片面にインクを吐出するための複数の記録素子と、各記録素子に電力を供給するためAｌ等の電気配線とが成膜技術により形成され、この記録素子に対応した複数のインク流路と複数の吐出口とがフォトリソ技術により形成されると共に、複数のインク流路にインクを供給するための共通液室が裏面に開口するように形成されたものである。特に、図１３に示すインクジェット記録ヘッドは、２色分の吐出口列が形成されている記録素子基板１１００ａ，１１００ｂ，１１００ｃを高い精度で実装したインクジェット記録ヘッドである。各記録素子基板は、写真調の高画質なカラー記録を可能とするため、前記の共通液室１２３０の両側に吐出口１２２０が形成されており、合わせて１２００ｄｐｉ（dot per inch）の吐出口列（ノズル列ともいう）となる。また、記録ヘッドから吐出されるインク滴の大きさは、４plで写真調の画質を実現することができ、これに伴い、吐出口径はφ１６μｍ程度の著しく小径のものとなる。なお、図に示す記録素子基板１１００ａはブラックインクとシアンインクを吐出する吐出口列１２４０Ｂｋ、１２４１Ｃを有し、記録素子基板１１００ｂはマゼンタインクとイエローインクを吐出する吐出口列１２４２Ｍ、１２４３Ｙを有し、記録素子基板１１００ｃはライトシアンインクとライトマゼンタインクを吐出する吐出口列１２４４ＬＣ、１２４５ＬＭを有する。
【００１１】
電気配線部材１３００の電極端子（不図示）と記録素子基板１２１０ａ，１２１０ｂ，１２１０ｃの各々の端部の電極（不図示）とは、インナーリードボンディングにより電気接続され、電極封止材１３１０により絶縁封止される。
【００１２】
図１４は、特許文献１に記載された他のインクジェット記録ヘッドを記録素子基板１１００の吐出方向から見たときの平面図を示す。一枚のＳｉ基板に５色分の共通液室１１３０の開口が形成され、吐出口列１１５０Ｃ、１１５１Ｍ、１１５２Ｙ、１１５３Ｍ、１１５４Ｃが共通液室１１３０の長手方向に沿って配置される。吐出インクの色配置としては、吐出口列１１５０がシアン、吐出口列１１５１がマゼンタ、吐出口列１１５２がイエロー、吐出口列１１５３がマゼンタ、吐出口列１１５４がシアンに対応しており、イエローを中心に左右対称の色配置である。このように左右対称の色配置にすることで、往路、復路のどちらで印刷する場合も記録媒体上への色の重ね合せが同じになるので、高速印刷である往復印刷を行っても色むらのない印刷を実現できる。
【特許文献１】特開２００１―１７１１１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
写真調の画質を得るために、図１３のインクジェット記録ヘッドのような４ｐｌの吐出量では淡インクによりハイライト色領域での粒状感低減が必要である。また、写真画に用いられる記録媒体は全般的にインク吸収速度が遅いので、記録媒体上でのインク溢れが発生し易いことや、インクジェット記録ヘッドから飛翔する液滴の記録媒体上での着弾ズレの問題から複数の走査により画像を形成するマルチスキャン印刷が用いられる。しかし、図１３のインクジェット記録ヘッドによる往復の印刷では色の重ね合せの順序が異なるために、１スキャン印刷は元より、マルチスキャン印刷においても色むらが発生し易いという問題点があり、スキャン数を４スキャン以上にするか、片方向（往方向か復方向かのどちらか）印刷として対策を行っていた。そのために、印刷速度が犠牲となっていた。
【００１４】
そこで、図１４に示す左右対称の色配置が有効であるが、これを６色にした場合には、共通液室が１１箇所に増えるために、記録素子基板から６色インクタンクまでのインク流路の本数も１１から６に変化する複雑なものとなる。そのため、従来のインクタンクホルダー１５００に形成された水平インク流路形成面に１つのインク流路形成部材を接合させてインク流路を形成する方法では前記の複雑な流路を得ることは困難であった。
【００１５】
本発明の目的は、インク流路の本数の多い、しかも流路途中での分岐があるような複雑なインク流路を、簡易な方法で実現できる構成のインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するための、本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク滴を吐出するための複数の吐出口列と該吐出口列の各々にインクを供給するための複数のインク供給口とを有する記録素子基板と、該記録素子基板を支持し、前記記録素子基板の各インク供給口に対応する複数のインク供給口が設けられた支持プレートと、複数のインクタンクを保持するタンクホルダーと、前記支持プレートと前記タンクホルダーとの間に配置され、前記複数のインクタンクの各々と当該各インクタンクに対応する前記支持プレートの各インク供給口とを繋ぐインク流路が形成された流路形成部材とを備えている。そして、前記流路形成部材のインク流路が第１階層のインク流路と第２階層のインク流路を含み、前記第１階層のインク流路と前記第２階層のインク流路とが立体交差している。
【００１７】
また、上記のインクジェット記録ヘッドを製造する場合は、前記流路形成部材は第１部材と第２部材から構成されるものを用い、前記タンクホルダーと前記第１部材を超音波溶着することによって前記第１階層のインク流路を形成し、その後、前記１部材に前記第２部材を超音波溶着することで前記第２階層のインク流路を形成する。あるいは、前記タンクホルダーと前記第１部材と前記第２部材とをこの順番に重ねるとともに同時に超音波溶着することによって前記第１階層のインク流路及び前記第２階層のインク流路を形成する。
【００１８】
このように本発明では、タンクホルダーと、流路形成部材を構成する第１部材と第２部材とを互いに接合するという簡易な製造方法で、タンクホルダーに保持された各インクタンクと当該各インクタンクに対応する記録素子基板の各インク供給口とを繋ぐインク流路を、立体交差する第１階層と第２階層のインク流路にすることが可能である。したがって、例えば記録素子基板から６色インクタンクまでのインク流路の本数も１１から６に変化するような複雑なインク流路も簡易に形成することが可能である。
【発明の効果】
【００１９】
以上のように本発明によれば、インク流路の本数の多い、しかも流路途中での分岐があるような複雑なインク流路であっても、当該インク流路を簡易な製造方法で実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２１】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態によるインクジェット記録ヘッドの分解斜視図に示す。インクジェット記録ヘッドは、記録素子基板１１００、支持プレート１２００、電気配線基板１３００、インクタンクからの第１のインク流路を形成するタンクホルダー１５００、第２の流路形成部材１６００、第３の流路形成部材１７００、フィルター２０００、シールゴム２１００、および、パッキン部材１８００から構成されている。
【００２２】
記録素子基板１１００は、Ｓｉ基板の片面にインクを吐出するための複数の記録素子（電気熱変換素子）と、各記録素子に電力を供給するＡｌ等の電気配線とが成膜技術により形成され、この記録素子に対応した複数のインク流路と複数の吐出口とがフォトリソグラフィ技術により形成されると共に、複数のインク流路にインクを供給するためのインク供給口が裏面に開口するように形成されたものである。また、記録素子基板１１００は、支持プレート（支持部材）１２００に接着固定されており、支持プレート１２００には、記録素子基板１１００の各々のインク供給口に対応してインクを供給するためのインク供給口が複数形成されている。さらに、支持プレート１２００には、電気配線基板１３００が記録素子基板１１００に対して電気的に接続されるよう保持されている。この電気配線基板１３００は、記録素子基板１１００にインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、記録素子基板１１００に対応する電気配線と、この電気配線端部に位置し記録装置本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子１３２０とを有しており、外部信号入力端子１３０１は、タンクホルダー１５００の背面１５１０に位置決め固定されている。
【００２３】
一方、インクタンク（不図示）を着脱可能に保持するタンクホルダー１５００のインク流路形成面１５２０には、第１部材と第２部材を重ねて構成される流路形成部材が固定される。当該第１部材である第２の流路形成部材１６００がインク流路形成面１５２０に超音波溶着により固定され、更に、当該第２部材である第３の流路形成部材１７００が第２の流路形成部材１６００に超音波溶着により固定される。このように、インクタンクから支持プレート１２００に亘るインク流路は、タンクホルダー１５００と第２の流路形成部材１６００と第３の流路形成部材１７００により形成される。また、インクタンクと係合する部分にはフィルター２０００が設けられており、外部からの塵埃の侵入を防止し得るようになっている。また、インクタンクとの係合部にはシールゴム２１００が装着され、係合部からのインクの蒸発を防止し得るようになっている。
【００２４】
さらに、前述のようにタンクホルダー１５００、第２の流路形成部材１６００、第３の流路形成部材１７００、フィルター２０００及びシールゴム２１００から構成されるタンクホルダー部と、記録素子基板１１００、支持プレート１２００、電気配線基板１３００から構成される記録素子部とを、パッキン部材１８００を介して結合することにより、インクジェット記録ヘッドを構成している。
【００２５】
図２は、本発明の第１の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのインク流路（タンクホルダー１５００と第２の流路形成部材と第３の流路形成部材とで形成されるインク流路）を示す模式図である。
【００２６】
インクタンク（不図示）からのインクはフィルター２０００を通ってインクジェット記録ヘッド内に入り、Bk、淡マゼンタ（LM）、イエロー（Y）、淡シアン（LC）、マゼンタ（M）、シアン（C）の第１の垂直流路１００，１１０，１２０，１３０，１４０，１５０から、タンクホルダー１５００と第２の流路形成部材１６００で形成されるBk、淡マゼンタ、イエロー、淡シアン、マゼンタ、シアンの水平流路２００，２１０，２２０，２３０，２４０，２５０に達する。水平流路２００，２１０，２２０，２４０は、第２の垂直流路３００，３１０，３２０，３４０を介して、第２の流路形成部材１６００と第３の流路形成部材１７００で形成される２階層目の水平流路（破線で示す）４００，４１０，４２０，４４０と接続され、１階層目の水平流路と立体交差する。２階層目の水平流路４００，４１０，４２０，４４０は、第３の垂直流路５００，５１０，５２０，５４０を介して、再び１階層目の水平流路２０１，２１１，２２１，２４１に接続される。
【００２７】
そして、イエローに対応する水平流路２２１は第４の垂直流路６２０に接続される。ブラックに対応する水平流路２０１は分岐していて第４の垂直流路６００，６０１と接続される。淡マゼンタに対応する水平流路２１１は分岐していて第４の垂直流路６１０，６１１と接続される。マゼンタに対応する水平流路２４１は分岐していて第４の垂直流路６４０，６４１と接続される。淡シアンに対応する水平流路２３０は分岐して第４の垂直流路６３０，６３１と接続される。シアンに対応する水平流路２５０は分岐して第４の垂直流路６５０，６５１と接続される。
【００２８】
ここで、図３に示す記録素子基板は、中央のイエローの吐出口列７２０Ｙを中心とする対称のノズル列配置であり、イエローの吐出口列７２０Ｙを挟むようにして内側から外側へ、ブラックの吐出口列７００Ｂｋ，７０１Ｂｋ、次に淡マゼンタの吐出口列７１０ＬＭ，７１１ＬＭ、次にマゼンタの吐出口列７４０Ｍ，７４１Ｍ、次に淡シアンの吐出口列７３０ＬＣ，７３１ＬＣ、次にシアンの吐出口列７５０Ｃ，７５１Ｃと配置されるため、図２の水平流路２０１、２１１、２４１、２３０、２５０が分岐する構成となる。
【００２９】
したがって、第４の垂直流路６２０が、イエローの吐出口列７２０Ｙに対応するインク供給口１１３０に接続され、第４の垂直流路６００，６０１が、ブラックの吐出口列７００Ｂｋ，７０１Ｂｋの各々に対応するインク供給口１１３０に接続され、第４の垂直流路６１０，６１１が、淡マゼンタの吐出口列７１０ＬＭ，７１１ＬＭの各々に対応するインク供給口１１３０に接続され、第４の垂直流路６４０，６４１が、マゼンタの吐出口列７４０Ｍ，７４１Ｍの各々に対応するインク供給口１１３０に接続され、第４の垂直流路６３０，６３１が、淡シアンの吐出口列７３０ＬＣ，７３１ＬＣの各々に対応するインク供給口１１３０に接続され、第４の垂直流路６５０，６５１が、シアンの吐出口列７５０Ｃ，７５１Ｃの各々に対応するインク供給口１１３０に接続されている。
【００３０】
上記のような各吐出口列（ノズル列）は、インク供給口１１３０の長手方向に沿って供給口の両側に配置することによって形成されている。封止材１３１０は、記録素子基板１１００と電気配線部材１３００の電気接続部を保護するものである。
【００３１】
図４は、図２のイエローのインク流路に沿った縦断面を示す模式図である。タンクホルダー１５００、第２の流路形成部材１６００、第３の流路形成部材１７００によって立体的な流路が形成され、淡シアンのインク流路の一部である水平流路２３０と淡マゼンタのインク流路である水平流路２１１と立体交差している。そしてインクは、第４の垂直流路６４０を通って、パッキン部材１８００から支持プレート１２００、記録素子基板１１００に達し、吐出口から吐出される。
【００３２】
図５及び図６は、本発明のインクジェット記録ヘッドの立体交差インク流路の形成工程を示す断面図である。図５は、タンクホルダー１５００と第２の流路形成部材１６００の組み立て工程を示す。タンクホルダー１５００には、溝１５１０が設けられ、その溝１５１０に第２の流路形成部材１６００の溶着リブ１６１０が位置決めされた後に、超音波溶着ホーン７０００により、超音波振動と圧力をかけることで溶着する。この時の溶着バリが流路形成部分１５２０と流路形成部分１６２０でなる１階層目の水平流路にはみ出ないようにするために、上記の溝１５１０を設けてある。第２の流路形成部材１６００の第３の流路形成部材１７００との接合面には、溶着バリのための溝１６３０が設けられ、２階層目の水平流路の流路形成部分１６４０は、超音波接合時に傷つかないように超音波ホーンが当る面１６５０（二点鎖線で示す。）よりも一段低くなっている。図６は、第２の流路形成部材１６００と第３の流路形成部材１７００の組み立て工程を示す。第３の流路形成部材１７００の溶着リブ１７１０が上記の溝１６３０に位置決めされた後に、超音波溶着ホーン７０００により、超音波振動と圧力をかけて溶着することで、流路形成部分１６４０と流路形成部分１７２０でなる２階層目の水平流路を形成する。
【００３３】
図７及び図８は、本発明のインクジェット記録ヘッドの立体交差インク流路の他の形成工程を示す断面図である。
【００３４】
図７は、タンクホルダー１５００と第２の流路形成部材１６００と第３の流路形成部材１７００を一度に組み立てる工程を示す。タンクホルダー１５００には、溝１５１０が設けられ、その溝１５１０に第２の流路形成部材１６００の溶着リブ１６１０が位置決めされる。また、第２の流路形成部材１６００の第３の流路形成部材１７００との接合面には、溝１６３０が設けられ、その溝１６３０に第３の流路形成部材１７００の溶着リブ１７１０が位置決めされる。その後に、超音波溶着ホーン７０００により、超音波振動と圧力をかけることで、タンクホルダー１５００と第２の流路形成部材１６００と第３の流路形成部材１７００を一度に超音波溶着で組み立てる。この時の溶着バリが１階層目および２階層目の水平流路にはみ出ないようにするために、上記の溝１５１０および溝１６３０が設けられている。図８は、タンクホルダー１５００と第２の流路形成部材１６００と第３の流路形成部材１７００を一度に組み立てる工程の他の例を示す。タンクホルダー１５００には、溝１５１０が設けられ、その溝１５１０に第２の流路形成部材１６００の溶着リブ１６１０が位置決めされる。また、第２の流路形成部材１６００の第３の流路形成部材１７００との接合面には、溶着リブ１６５０が設けられ、その溶着リブ１６５０に第３の流路形成部材１７００の溝１７３０が位置決めされる。その後に、超音波溶着ホーン７０００により、超音波振動と圧力をかけることで、タンクホルダー１５００と第２の流路形成部材１６００と第３の流路形成部材１７００を一度に超音波溶着で組み立てる。この時の溶着バリが１階層目および２階層目の水平流路にはみ出ないようにするために、上記の溝１５１０および溝１７３０が設けられる。
【００３５】
（第２の実施形態）
図９は、本発明の第２の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのインク流路（タンクホルダーと第２の流路形成部材と第３の流路形成部材とで形成されるインク流路）を示す模式図である。図１０は、図９のイエロー部でのインク流路の断面を示す模式図である。
【００３６】
インクタンクからのイエローインクはフィルター２０００からインクジェット記録ヘッド内に入る。イエロー（Ｙ）の第１の垂直流路１２０は上下の開口にそれぞれフィルター２０００，２０１０が備えられており、フィルターが付いた開口穴の内側はテーパー形状となっており、インクのスムーズな流れを形成している。
【００３７】
また、第２の流路形成部材１６００に形成され、第２のフィルター２０１０が当接する縁部を有する開口穴もテーパー形状とし、インクのスムーズ流れを形成している。そして、２階層目の水平流路４２０にイエローインクは導かれる。その後は、図２と同様の経路で記録素子部へとインクは供給される。
【００３８】
第１のフィルター２０００は、インクタンク（インク供給口に繊維またはスポンジなどからなる圧接体を具えたインクタンク）からのインクを導き出すために設けられ、ある程度目が粗いものである。第２のフィルター２０１０は、吐出口よりも大きいゴミをトラップするためのに設けたものである。吐出量が４ｐｌで１５μｍ、２ｐｌで１０μｍのゴミをトラップする必要があり、トラップするゴミが小さくなるほどフィルターの目が小さくなり、単位面積当りの流体抵抗は大きくなる。その対策としてフィルター面積を大きくすることが必要であるが、第１のフィルターを大きくすることは、インクタンクが大きくなり、その結果、インクジェット記録ヘッド、更にはインクジェット記録装置の大型化につながるので、本実施形態のようなフィルター構成が有効である。
【００３９】
（第３の実施形態）
図１１は、本発明の第３の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのインク流路を説明するため、図２のイエローのインク流路に沿った断面を示す模式図である。
【００４０】
本実施形態の特徴は、図４に示した第３の流路形成部材１７００を支持プレート１２００によって兼用する構成である。２階層目の水平流路４２０は、第２の流路形成部材１６００の、タンクホルダー１５００とは反対側面に形成された溝と支持プレート１２００の裏面とによって形成され、パッキン部材１８１０により水平流路４２０の密閉性が確保される。また、不図示であるが、支持プレート１２００の、第２の流路形成部材１６００と接する面に溝を設けることで、２階層目の水平流路４２０を形成しても良い。インク流路を密閉する手段は、ゴムなどのパッキン部材に代えて樹脂などの封止材を用いても良い。
【００４１】
以上、各実施形態にて説明したように、本発明の構成により、６色対象ヘッドのようなインク流路が１１もあり、しかも途中分岐があるような複雑なインク流路も形成することが可能となった。しかも、安価で、簡易な製造方法で実現できる。また、インクジェット記録ヘッドを大型化せずにフィルター面積を大きくすることが可能であり、4ｐｌから2ｐｌへの小液滴化における、フィルター部の流抵抗の拡大を改善できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１の実施形態によるインクジェット記録ヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのインク流路を示す模式図である。
【図３】本発明の第１の実施形態によるインクジェット記録ヘッドの記録素子部を示す平面図である。
【図４】図２のイエローのインク流路に沿った縦断面を示す模式図である。
【図５】本発明のインクジェット記録ヘッドの立体交叉インク流路の形成工程を示し、タンクホルダーと第２の流路形成部材の組み立て工程を示す断面図である。
【図６】本発明のインクジェット記録ヘッドの立体交差インク流路の形成工程を示し、第２の流路形成部材と第３の流路形成部材の組み立て工程を示す断面図である。
【図７】本発明のインクジェット記録ヘッドの立体交差インク流路の他の形成工程を示し、タンクホルダーと第２の流路形成部材と第３の流路形成部材を一度に組み立てる工程を示す断面図である。
【図８】本発明のインクジェット記録ヘッドの立体交差インク流路の他の形成工程を示し、タンクホルダーと第２の流路形成部材と第３の流路形成部材を一度に組み立てる工程の他の例を示す断面図である。
【図９】本発明の第２の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのインク流路を示す模式図である。
【図１０】図９のイエロー部でのインク流路の断面を示す模式図である。
【図１１】本発明の第３の実施形態によるインクジェット記録ヘッドのインク流路を説明するため、図２のイエローのインク流路に沿った断面を示す模式図である。
【図１２】従来のインクジェット記録ヘッドの外観斜視図である。
【図１３】従来のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の平面図である。
【図１４】従来のインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の平面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１１００    記録素子基板
１２００    支持プレート
１３００    電気配線部材
１５００    タンクホルダー
１６００    第２の流路形成部材
１７００    第３の流路形成部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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