(57)【要約】【課題】大電流通電、小形化が可能であるとともに、調整ナットの横方向耐量が優れ、調整ナットの回転トルクを低減する。【解決手段】  センターピン７を無くし、ヒートパイプ１８と調整ねじ１９との間にリニアベアリング２０を設けるとともに、ヒートパイプ１８と調整ナット１４との間に軸受２２，２３を設け、ベローズ１７の内周側とリニアベアリング２０との間にヒートパイプ１８の他に放熱ガイド２１を設け、かつ可動側端板４及びヒートパイプ１８にベローズ１７の内周側と外気側とを連通する空気孔４ｂ，１８ｂを設ける。【選択図】  図１
2006332388.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、固定側端板の内面に立設した固定電極と、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、可動電極支持板の固定側端板側に固定電極と対向して立設された可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズと、ベローズの内周側において可動側端板の孔に内方に突出して設けられたヒートパイプと、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、ヒートパイプに挿通され、かつ他端側外周に雄ねじ部が設けられるとともに、他端に雌ねじ部が形成された調整ねじと、調整ねじの雌ねじ部と螺合するストップねじと、ヒートパイプの内周側に軸受を介して回転自在に支持されるとともに、調整ねじの雄ねじ部と螺合する雌ねじ部とストップねじの頭部と係合可能な段部とを有する調整ナットと、ベローズの内周側において可動電極支持板に取り付けられ、ヒートパイプの外周を覆う放熱ガイドと、ベローズの内周側と外気側とを連通する空気孔とを備えたことを特徴とする真空可変コンデンサ。
【請求項２】
ヒートパイプの調整ねじとの摺動部にリニアベアリングを設けたことを特徴とする請求項１記載の真空可変コンデンサ。
【請求項３】
絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、固定側端板の内面に立設された固定電極と、固定側端板の内面の中心に立設されたセンターピンと、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、可動電極支持板の固定側端板側に固定電極と対向して立設された可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズと、ベローズの内周側において可動電極支持板に取り付けられ、センターピンと摺動自在に嵌合するとともにセンターピンと絶縁される可動リードと、ベローズの内周側において可動側端板の孔に設けられたねじ受け部と、一端が可動リードに取り付けられるとともに、ねじ受け部に挿通され、かつ外周に雄ねじ部が設けられるとともに、他端に雌ねじ
部が形成された調整ねじと、調整ねじの雌ねじ部と螺合するストップねじと、ねじ受け部に軸受を介して回転自在に支持されるとともに、調整ねじの雄ねじ部と螺合する雌ねじ部とストップねじの頭部と係合可能な段部とを有する調整ナットと、ベローズの外周側において可動電極支持板と可動側端板との間に設けられ、この両者の間を通電する可撓性を有するバイパス通電部とを備えたことを特徴とする真空可変コンデンサ。
【請求項４】
絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、固定側端板の内面に立設した固定電極と、固定側端板の内面の中心に立設されたセンターピンと、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、可動電極支持板の固定側端板側に固定電極と対向して立設された可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズと、ベローズの内周側において可動電極支持板に取り付けられ、センターピンと摺動自在に嵌合するとともにセンターピンと絶縁される可動リードと、ベローズの内周側において可動側端板の孔に設けられたねじ受け部と、一端が可動リードに取り付けられるとともに、ねじ受け部に挿通され、かつ外周に雄ねじ部が設けられるとともに、他端に雌ねじ部が形成された調整ねじと、調整ねじの雌ねじ部と螺合するストップねじと、ねじ受け部に軸受を介して回転自在に支持されるとともに、調整ねじの雄ねじ部と螺合する雌ねじ部とストップねじの頭部と係合可能な段部とを有する調整ナットと、ベローズの内周側でねじ受け部の外周側において可動側端板に取り付けられたヒートパイプと、ベローズの内周側と外気側とを連通する空気孔とを備えたことを特徴とする真空可変コンデンサ。
【請求項５】
絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、固定側端板の内面に立設した固定電極と、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、可動電極支持板の固定側端板側に固定電極と対向して立設された可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズと、ベローズの内周側において可動側端板の孔に内方に突出して設けられ、摺動ガイドを兼用する導電材からなるヒートパイプと、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、ヒートパイプに摺動自在に挿通され、かつ他端側外周に雄ねじ部が設けられるとともに、他端に雌ねじ部が形成された調整ねじと、ベローズの内周側において可動電極支持板に取り付けられ、ヒートパイプと摺動する導電材から
なる摺動部材と、摺動部材とヒートパイプとの摺動部に設けられた導電材からなる摺動コンタクトと、調整ねじの雌ねじ部と螺合するストップねじと、ヒートパイプの内周側に軸受を介して回転自在に支持されるとともに、調整ねじの雄ねじ部と螺合する雌ねじ部とストップねじの頭部と係合可能な段部とを有する調整ナットと、ベローズの内周側と外気側とを連通する空気孔とを備えたことを特徴とする真空可変コンデンサ。
【請求項６】
絶縁筒を高純度アルミナにより形成したことを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の真空可変コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、大電力発信機の発信回路、半導体製造装置用の高周波電源回路、あるいは誘導加熱装置のタンク回路等に用いられる真空可変コンデンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
真空可変コンデンサの耐電圧・静電容量特性を安定させ、かつ全長の小形化を図ったものとして、特許文献１で提案された真空可変コンデンサがある。このコンデンサと同種のコンデンサについて、図６により説明する。図において、１はセラミックス製の絶縁筒であり、絶縁筒１の一端には固定側端板２を接合するとともに、絶縁筒１の他端には接続筒３を介して可動側端板４を接合し、真空容器５を形成する。固定側端板２の内面側には複数の径が異なる円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2，…，Ｆnを同心状に取り付けて固定電極６を形成する。７は固定側端板２の内面側の中心に固定ガイド８を介して立設されたセンターピンであり、真空容器５内に固定側端板２と対向して配置された可動電極支持板９には固定電極６の円筒状電極板間に非接触で挿出入できるように径が異なる複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2，…，Ｍnを同心状に取り付けて可動電極１０を構成する。
【０００３】
１１は可動電極支持板９の中心に貫通して一体的に設けられた筒状の可動リードであり、可動リード１１はセンターピン７と摺動自在に嵌合する。可動リード１１とセンターピン７とは電気的に絶縁される。又、可動側端板４の中心には孔４ａを設け、この孔４ａの周辺部において可動側端板４の内面側に筒状のヒートパイプ１２を立設し、ヒートパイプ１２の内面には内方に突出した鍔部１２ａを設ける。１３は外周に雄ねじ部１３ａが形成された調整ねじであり、その一端は可動リード１１に嵌合固定され、他端はヒートパイプ１２の鍔部１２ａに挿通される。１４は調整ナットであり、その一端側の内周には調整ねじ１３の雄ねじ部１３ａと螺合する雌ねじ部１４ａを有するとともに、この一端側は鍔部１２ａの下側に軸受１５を介して回転自在に支持される。
【０００４】
調整ねじ１３の他端には雌ねじ部１３ｂが設けられ、雌ねじ部１３ｂにはストップねじ１６が螺合される。又、調整ナット１４には雌ねじ部１４ａと連続してより大径の孔１４ｂが形成され、雌ねじ部１４ａと孔１４ｂとの間には段部１４ｃが形成される。可動リード１１及びヒートパイプ１２の外周側には真空側と大気側とを区分する筒状のベローズ１７が設けられ、その一端は可動電極支持板９に取り付けられ、他端は可動側端板４に取り付けられ、真空容器５内の真空状態が保たれる。
【０００５】
上記構成の真空可変コンデンサにおいて、その最大静電容量値を調整する場合は、まずストップねじ１６を螺入する前に調整ナット１４を若干右に回し（右ねじの場合）、センターピン７の先端と調整ねじ１３の内端が突き当たる最大静電容量の位置より可動リード１１を若干下方に移動させ、定義した最大静電容量値に調整する。この若干の調整量は、真空可変コンデンサの静電容量のバラツキに対応して決まる。
【０００６】
次に、この状態でストップねじ１６をその頭部１６ａが調整ナット１４の段部１４ｃに当接するまで雌ねじ部１３ｂに螺入し、接着剤等で調整ねじ１３に固定する。ストップねじ１６と調整ナット１４とは接着しない。これにより、調整ねじ１３の上昇位置は規制され、この最大静電容量値の位置より調整ナット１４を左に回そうとしてもストップねじ１６の頭部１６ａが段部１４ｃと当接して回らず、調整ねじ１３は上昇しない。
【０００７】
静電容量の調整は、例えば調整ナット１４を右に回すと、調整ねじ１３が下方に移動し、左回転では上方へ移動し、これにより可動電極１０を上下動させ、固定電極６との対向総面積を可変することにより行われる。
【０００８】
真空可変コンデンサは、真空容器５内が真空であるので、調整ねじ１３を常に上方へ押し上げる力が作用し、この力は調整ナット１４にも作用し、鍔部１２ａには面圧が生じ、調整ナット１４の回転に大きな回転トルクを必要とするが、軸受１５を設けたので、この回転トルクを小さくすることができる。なお、従来の真空可変コンデンサは、特許文献２及び特許文献３にも示されている。
【特許文献１】特開平８−９７０８８号公報
【特許文献２】特許第３２６４００４号公報
【特許文献３】特開２００１−２１７１４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
近年、半導体製造装置用の高周波電源の大容量化に伴い、真空可変コンデンサも大電流化が要求されており、そのためには、真空可変コンデンサの内部損失を低減させる必要がある。ここで、真空可変コンデンサの等価回路を簡略化して描くと、図７に示すようになる。Ｃｏは絶縁筒１の静電容量、Ｒｂはベローズ１７の抵抗、Ｃｃはセンターピン７の静電容量、Ｃｅは電極部６，１０の静電容量である。絶縁筒１に流れる電流Ｉｏは２πｆＣｏＶ、絶縁筒１の発熱量ＷｏはＶ×Ｉｏ×ｔａｎδであるから、
Ｗｏ＝２πｆＣｏ×Ｖ2×ｔａｎδ                                （１）
となる。ただし、Ｖは真空可変コンデンサに印加される電圧、ｆはその周波数、ｔａｎδは絶縁筒１の誘電体損失である。又、真空可変コンデンサの全体電流Ｉは全体の静電容量をＣとして２πｆＣＶとなり、センターピン７に流れる電流ＩｃはＩ×Ｃｃ／（Ｃ−Ｃｏ）となる。センターピン７の発熱量Ｗｃは、センターピン７の誘電体損失をｔａｎδとしてＶｃ×Ｉｃ×ｔａｎδであるから、センターピン７への印加電圧Ｖｃ≒Ｖとして、
Ｗｃ＝２πｆＣ×Ｃｃ／（Ｃ−Ｃｏ）×Ｖ2×ｔａｎδ              （２）
となる。従って、高耐圧、低静電容量で使用されるほど、絶縁筒１とセンターピン７の発熱量Ｗｏ，Ｗｃが大きくなり、ｔａｎδを１／１０にすれば、発熱量も１／１０になる。
【００１０】
又、真空可変コンデンサは構造上ベローズに電流が流れるが、真空可変コンデンサの大電流化のためにはベローズの通電能力を上げる必要があり、ベローズの大径化を図り、通電面積を増す必要がある。
【００１１】
しかしながら、図６に示した従来の真空可変コンデンサにおいては、摺動部であるセンターピン７の熱損失（摺動摩擦によるものも含む。）による影響、また絶縁筒１の発熱による影響が問題となる可能性があった。又、ベローズ１７は薄肉であり、材質は銅系又はステンレス系にＣｕコーティングしたものであるために、真空可変コンデンサの通電能力はベローズ１７により決定され、ベローズ１７を大径化することにより通電能力は向上するが、真空可変コンデンサの小形化ができなかった。また、真空側と大気側との差圧による自閉力が増加し、調整ナット１４の回転トルクが増加し、調整ナット１４を駆動するモータや制御回路が大形化する問題が生じた。さらに、静電容量の調整は調整ナット１４を回転することにより可能であるが、調整ナット１４に対して径方向の応力が加わると、摺
動部である可動リード１１、固定ガイド８及びセンターピン７の摩擦抵抗が大きくなり、摺動に支障をきたす可能性があった。
【００１２】
この発明は上記のような課題を解決するために成されたものであり、内部損失を低減することができ、大電流通電が可能であるとともに、小形化が可能であり、調整ナットに径方向の応力が働いても摺動に支障がなく、調整ナットの回転トルクを低減することができる真空可変コンデンサを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明の請求項１に係る真空可変コンデンサは、絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、固定側端板の内面に立設した固定電極と、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、可動電極支持板の固定側端板側に固定電極と対向して立設された可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズと、ベローズの内周側において可動側端板の孔に内方に突出して設けられたヒートパイプと、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、ヒートパイプに挿通され、かつ他端側外周に雄ねじ部が設けられるとともに、他端に雌ねじ部が形成された調整ねじと、調整ねじの雌ねじ部と螺合するストップねじと、ヒートパイプの内周側に軸受を介して回転自
在に支持されるとともに、調整ねじの雄ねじ部と螺合する雌ねじ部とストップねじの頭部と係合可能な段部とを有する調整ナットと、ベローズの内周側において可動電極支持板に取り付けられ、ヒートパイプの外周を覆う放熱ガイドと、ベローズの内周側と外気側とを連通する空気孔とを備えたものである。
【００１４】
請求項２に係る真空可変コンデンサは、ヒートパイプの調整ねじとの摺動部にリニアベアリングを設けたものである。
【００１５】
請求項３に係る真空可変コンデンサは、絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、固定側端板の内面に立設された固定電極と、固定側端板の内面の中心に立設されたセンターピンと、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、可動電極支持板の固定側端板側に固定電極と対向して立設された可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズと、ベローズの内周側において可動電極支持板に取り付けられ、センターピンと摺動自在に嵌合するとともにセンターピンと絶縁される可動リードと、ベローズの内周側において可動側端板の孔に設けられたねじ受け部と、一端が可動リードに取り付けられるとともに、ねじ受け部に挿通され、かつ外周に雄ねじ
部が設けられるとともに、他端に雌ねじ部が形成された調整ねじと、調整ねじの雌ねじ部と螺合するストップねじと、ねじ受け部に軸受を介して回転自在に支持されるとともに、調整ねじの雄ねじ部と螺合する雌ねじ部とストップねじの頭部と係合可能な段部とを有する調整ナットと、ベローズの外周側において可動電極支持板と可動側端板との間に設けられ、この両者の間を通電する可撓性を有するバイパス通電部とを備えたものである。
【００１６】
請求項４に係る真空可変コンデンサは、絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、固定側端板の内面に立設した固定電極と、固定側端板の内面の中心に立設されたセンターピンと、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、可動電極支持板の固定側端板側に固定電極と対向して立設された可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズと、ベローズの内周側において可動電極支持板に取り付けられ、センターピンと摺動自在に嵌合するとともにセンターピンと絶縁される可動リードと、ベローズの内周側において可動側端板の孔に設けられたねじ受け部と、一端が可動リードに取り付けられるとともに、ねじ受け部に挿通され、かつ外周に雄ねじ部
が設けられるとともに、他端に雌ねじ部が形成された調整ねじと、調整ねじの雌ねじ部と螺合するストップねじと、ねじ受け部に軸受を介して回転自在に支持されるとともに、調整ねじの雄ねじ部と螺合する雌ねじ部とストップねじの頭部と係合可能な段部とを有する調整ナットと、ベローズの内周側でねじ受け部の外周側において可動側端板に取り付けられたヒートパイプと、ベローズの内周側と外気側とを連通する空気孔とを備えたものである。
【００１７】
請求項５に係る真空可変コンデンサは、絶縁筒の両端を固定側端板及び可動側端板により閉塞した真空容器と、固定側端板の内面に立設した固定電極と、真空容器内に固定側端板と対向して配置された可動電極支持板と、可動電極支持板の固定側端板側に固定電極と対向して立設された可動電極と、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、他端が可動側端板に取り付けられ、真空側と大気側とを区分する筒状のベローズと、ベローズの内周側において可動側端板の孔に内方に突出して設けられ、摺動ガイドを兼用する導電材からなるヒートパイプと、一端が可動電極支持板に取り付けられるとともに、ヒートパイプに摺動自在に挿通され、かつ他端側外周に雄ねじ部が設けられるとともに、他端に雌ねじ部が形成された調整ねじと、ベローズの内周側において可動電極支持板に取り付けられ、ヒートパイプと摺動する導電材からなる摺動部材と、摺動部材とヒートパイプとの摺動部に設けられた導電材からなる摺動コンタクトと、調整ねじの雌ねじ部と螺合するストップねじと、ヒートパイプの内周側に軸受を介して回転自在に支持されるとともに、調整ねじの雄ねじ部と螺合する雌ねじ部とストップねじの頭部と係合可能な段部とを有する調整ナットと、ベローズの内周側と外気側とを連通する空気孔とを備えたものである。
【００１８】
請求項６に係る真空可変コンデンサは、絶縁筒を高純度アルミナにより形成したものである。
【発明の効果】
【００１９】
以上のようにこの発明の請求項１によれば、センターピンを無くすことにより、センターピンの通電による発熱及び摺動による発熱を無くすことができ、内部損失を低減して通電能力を高めることができる。又、ベローズの内周側と調整ねじの摺動部との間にヒートパイプ及び放熱ガイドを設けるとともに、ベローズの内周側に空気を流入させて冷却するようにしており、ベローズの熱が調整ねじの摺動部へ悪影響を与えないようにすることができ、調整ねじの摺動や調整ナットの回転を円滑に行うことができるとともに、通電能力を高めることができる。さらに、ヒートパイプと調整ナットとの間に軸受を設けており、調整ナットの径方向荷重に対する耐量を向上することができる。
【００２０】
請求項２によれば、ヒートパイプの調整ねじとの摺動部にリニアベアリングを設けており、調整ねじの摺動トルクを低減することができるとともに、調整ナットの回転トルクも低減することができる。又、ベローズとリニアベアリングとの間にベローズの熱を遮蔽するためのヒートパイプや放熱ガイドが設けられるとともに、ベローズの冷却のための空気孔が設けられており、リニアベアリングがベローズの放熱の影響を受け難くなり、調整ねじの摺動や調整ナットの回転を円滑に行うことができる。
【００２１】
請求項３によれば、ベローズの外周にバイパス通電部を設け、固定側と可動側の通電はこのバイパス通電部により行っており、大電流通電が可能となる。又、ベローズは小径化することは可能で、真空可変コンデンサの小形化が可能である。さらに、ベローズの小径化により真空側と大気側の差圧が小さくなって自閉力が小さくなり、調整ナットの回転トルクも小さくなる。
【００２２】
請求項４によれば、ベローズの内周側と外気側とを連通する空気孔を設けるとともに、ベローズの内周側とねじ受け部との間にヒートパイプを設けており、ベローズを冷却して通電能力を高めるとともに、ヒートパイプの内周側の摺動部や回転部へのベローズの熱の影響を低減することができ、摺動や回転を円滑に行うことができる。
【００２３】
請求項５によれば、センターピンを無くしたので、その発熱が生じない。このため、内部損失が低減され、通電能力を向上することができる。又、通電が摺動部材、摺動コンタクト及びヒートパイプを介して行われるので、通電をベローズにより行う場合より大電流化が可能であり、小形化も可能である。また、ヒートパイプが摺動ガイドの機能を有し、ヒートパイプと調整ナットとの間に軸受を設けたので、調整ナットに横方向の荷重が加わっても調整ナットの回転や調整ねじの摺動に支障を生じない。さらに、ベローズの内周側に外気を導入するとともに、摺動部や回転部の外周側にヒートパイプを設けたので、ベローズを冷却して通電能力を高めるとともに、摺動部や回転部へのベローズの熱の影響を低減し、摺動や回転を円滑に行うことができる。
【００２４】
請求項６によれば、絶縁筒を高純度アルミナにより形成したので、誘電体損失が小さくなり、絶縁筒の発熱が低減され、内部損失の低減により通電能力を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
実施最良形態１
以下、この発明の実施の形態を図面とともに説明する。図１はこの発明の実施最良形態１による真空可変コンデンサの断面図を示し、センターピン等は設けられていない。可動側端板４の中心には孔４ａが設けられ、孔４ａには筒状のヒートパイプ１８が挿入され、ヒートパイプ１８のフランジ部１８ａは端板４の外面に取り付けられる。１９は上端が可動電極支持板９に取り付けられた調整ねじであり、調整ねじ１９はヒートパイプ１８に挿通され、かつ他端側外周に雄ねじ部１９ａが設けられる。ヒートパイプ１８の内周には調整ねじ１９を軸方向に摺動するリニアベアリング２０を設ける。又、可動電極支持板９の可動電極１０の反対側には、ベローズ１７の内周側とヒートパイプ１８との間を遮蔽する放熱ガイド２１の上端を取り付ける。また、可動側端板４及びヒートパイプ１８のフラン
ジ部１８ａにはベローズ１７の内周側と外気側とを連通する空気孔４ｂ，１８ｂを設ける。
【００２６】
調整ナット１４には調整ねじ１９の雄ねじ部１９ａと螺合する雌ねじ部１４ａが設けられるとともに、雌ねじ部１４ａより大径の孔１４ｂが設けられ、雌ねじ部１４ａと孔１４ｂとの間にはストップねじ１６の頭部１６ａが係合可能な段部１４ｃが形成される。また、ヒートパイプ１８と調整ナット１４との間には軸受２２，２３が設けられ、調整ねじ１９の下端には雌ねじ部１９ｂが設けられ、雌ねじ部１９ｂにはストップねじ１６が螺合される。その他の構成は従来と同様である。
【００２７】
上記構成において、最大静電容量値の調整は従来と同様である。静電容量の調整は、調整ナット１４を回転し、調整ねじ１９及び可動電極支持板９を上下動させ、可動電極１０を上下動させることにより行う。
【００２８】
実施最良形態１においては、センターピンを無くすことにより、センターピンの通電による発熱及び摺動による発熱を無くし、内部損失を低減して通電能力を向上することができる。又、固定側のヒートパイプ１８と可動側の調整ねじ１９との間に摺動部としてのリニアベアリング２０を設けるとともに、ヒートパイプ１８と調整ナット１４との間に軸受２２，２３を設けており、調整ナット１４の径方向荷重に対する耐量を向上することができるとともに、摺動トルクを低減することができ、調整ナット１４の回転トルクも低減することができる。さらに、ベローズ１７の内周側とリニアベアリング２０との間にヒートパイプ１８及び放熱ガイド２１を設け、かつ可動側端板４及びヒートパイプ１８にベローズ１７の放熱のための空気孔４ｂ，１８ｂを設けており、ベローズ１７の発熱によりリニ
アベアリング（摺動部）２０等に悪影響を与えず、調整ねじ１９の摺動や調整ナット１４の回転に悪影響を与えず、又、ベローズ１７の冷却効率を高めることにより、通電能力を高めることも可能である。
【００２９】
なお、実施最良形態１では、固定側端板４及びヒートパイプ１８に空気孔４ｂ，１８ｂを設けたが、ベローズ１７の内周側と外気とを連通可能であれば、空気孔は可動側端板４のみ、またはヒートパイプ１８のみに設けてもよい。
【００３０】
実施最良形態２
図２は実施最良形態２による真空可変コンデンサの断面図を示し、２４はベローズ１７の内周側において可動側端板４の孔４ａの内面側周辺部に立設されたねじ受け部であり、上端が可動リード１１に取り付けられた調整ねじ１３はねじ受け部２４に挿通される。又、ねじ受け部２４には軸受１５を介して調整ナット１４の上端が回転自在に支持される。また、真空容器５内のベローズ１７の外周側において、可動電極支持板９と可動側端板４との間にこの両者の間を通電するバイパス通電部２５が設けられる。バイパス通電部２５は、可動電極支持板９に取り付けられた筒状導体部２５ａと、可動側端板４に取り付けられた筒状導体部２５ｂと、この両者を連結する可撓性のある可撓性導体部２５ｃとからなり、バイパス通電部２５は電気導電率が良い銅により形成される。又、可動側端板４の外
面側には補強板２６が取り付けられ、補強板２６の中心には挿通孔２６ａが設けられ、挿通孔２６ａには調整ナット１４等が挿通される。その他の構成は従来と同様である。
【００３１】
実施最良形態２においても、調整ナット１４の回転によって調整ねじ１３及び可動リード１１を介して可動電極１０を上下動し、静電容量を調整する。
【００３２】
実施最良形態２においては、ベローズ１７の外周にバイパス通電部２５を設けており、固定側と可動側の通電はこのバイパス通電部２５により行われるので、大電流通電が可能である。又、ベローズ１７は真空側と大気側とを区分するためだけに設けられ、小径化することができる。このため、真空可変コンデンサの大形化は生じず、また真空側と大気側との差圧から生じる自閉力も小さくなり、調整ナット１４の回転トルクを小さくすることができる。
【００３３】
なお、バイパス通電部２５を銅により形成したが、電気導電率の良い銀により形成してもよく、またステンレスに銅をコーティングしたもの、あるいはステンレスに銀をコーティングしたものにより形成してもよい。
【００３４】
実施最良形態３
図３は実施最良形態３による真空可変コンデンサの断面図を示し、２４はベローズ１７の内周側において可動側端板４の孔４ａに嵌合されたねじ受け部であり、ねじ受け部２４は軸受１５を介して調整ナット１４の上端を回転自在に支持する。２７はベローズ１７の内周側でねじ受け部２４の外周側において可動側端板４の内面に立設されたヒートパイプである。また、可動側端板４及び補強板２６にはベローズ１７の内周側と外気側とを連通する空気孔４ｂ，２６ｂを設ける。その他の構成は従来及び上記各実施最良形態と同様である。
【００３５】
実施最良形態３においては、ベローズ１７の内周側と外気側とを連通する空気孔４ｂ，２６ｂを設けたので、通電により発熱するベローズ１７の冷却効果が上昇し、大電流化が可能となる。又、ヒートパイプ２７を設けたので、その内周側の部材をベローズ１７の熱から保護することができ、これによっても大電流化が可能である。
【００３６】
実施最良形態４
図４は実施最良形態４による真空可変コンデンサの断面図、図５（ａ），（ｂ）は同じく摺動コンタクトの部分平面図及び部分展開斜視図を示し、センターピン７は設けられていない。絶縁筒３０はセラミックスにより形成されるが、特に誘電体損失（ｔａｎδ）が少ない高純度アルミナにより形成する。具体的には、通常、純度９２％のアルミナを用いるのに対して、高純度アルミナは純度９９．５％以上である。２８はベローズ１７の内周側において可動側端板４の孔４ａの周辺部の外面側にフランジ部２８ａが取り付けられ、真空容器５の内方に突出して形成されたヒートパイプであり、ヒートパイプ２８は導電材からなり、また摺動ガイドとしても機能する。２９は上端が可動電極支持板９に取り付けられるとともに、ヒートパイプ２８に摺動自在に挿通された調整ねじであり、下端側外周には雄ねじ部２９ａが設けられるとともに、下端に雌ねじ部２９ｂが設けられる。
【００３７】
３１はベローズ１７の内周側において上端が可動電極支持板９に取り付けられた筒状の摺動部材であり、摺動部材３１は銅等の導電材からなり、ヒートパイプ２８と摺動する。ヒートパイプ２８の摺動部材３１との摺動部には銅等からなる摺動コンタクト３２が設けられている。調整ねじ２９の雌ねじ部２９ｂにはストップねじ１６が螺合され、調整ナット１４はヒートパイプ２８の内周側に軸受２２，２３を介して回転自在に支持される。調整ナット１４は調整ねじ２９の雄ねじ部２９ａと螺合する雌ねじ部１４ａを有するとともに、ストップねじ１６の頭部１６ａと係合可能な段部１４ｃを有する。また、可動側端板４及びヒートパイプ２８のフランジ部２８ａには、ベローズ１７の内周側と外気側とを連通する空気孔４ｂ，２８ｂが設けられる。
【００３８】
実施最良形態４においては、センターピンが設けられないので、その通電による発熱及びその摺動摩擦による発熱が生じず、また絶縁筒３０は高純度アルミナにより形成され、誘電体損失が小さいので、発熱が低減される。従って、内部損失が低減され、通電能力を向上することができる。又、固定側と可動側の通電が摺動部材３１、摺動コンタクト３２及びヒートパイプ２８を介して行われるので、通電をベローズ１７によって行っていた場合より大電流化が可能であり、ベローズ１７の小径化も可能となり、小形化も可能となる。又、ヒートパイプ２８が摺動ガイドとしての機能を有するとともに、ヒートパイプ２８と調整ナット１４との間に軸受２２，２３を設けたので、調整ナット１４に横方向の荷重が加わっても、調整ナット１４の回転や調整ねじ２９の摺動に支障を生じない。さらに、
空気孔４ｂ、２８ｂを設けたことによりベローズ１７の冷却効果を高めるとともに、ヒートパイプ２８を設けたことによりベローズ１７の熱による摺動部への悪影響を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】この発明の実施最良形態１による真空可変コンデンサの断面図である。
【図２】この発明の実施最良形態２による真空可変コンデンサの断面図である。
【図３】実施最良形態３による真空可変コンデンサの断面図である。
【図４】実施最良形態４による真空可変コンデンサの断面図である。
【図５】実施最良形態４による摺動コンタクトの部分平面図及び部分展開斜視図である。
【図６】従来の真空可変コンデンサの断面図である。
【図７】従来の真空可変コンデンサの等価回路である。
【符号の説明】
【００４０】
１，３０…絶縁筒
２…固定側端板
４…可動側端板
４ａ…孔
４ｂ，１８ｂ，２６ｂ，２８ｂ…空気孔
５…真空容器
６…固定電極
７…センターピン
９…可動電極支持板
１０…可動電極
１１…可動リード
１３，１９，２９…調整ねじ
１３ａ，１９ａ，２９ａ…雄ねじ部
１３ｂ，１４ａ，１９ｂ、２９ｂ…雌ねじ部
１４…調整ナット
１４ｃ…段部
１５，２２，２３…軸受
１６…ストップねじ
１６ａ…頭部
１７…ベローズ
１８，２７，２８…ヒートパイプ
２０…リニアベアリング
２１…放熱ガイド
２４…ねじ受け部
２５…バイパス通電部
２６…補強板
３１…摺動部材
３２…摺動コンタクト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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