(57)【要約】【課題】  冷却液の入換に伴う管理或いは作業の工数削減、更には冷却液に水道水以外の溶液を使用する際におけるランニングコストの低減を図るとともに、熱交換効率の低下による冷却性能の低下及び無用な電力消費を招く不具合を回避する。【解決手段】  被冷却物Ｘから戻された冷却液Ｌを貯留する冷却液タンク２と、この冷却液タンク２の供給口２ｏから流出する冷却液Ｌを送出する送液ポンプ３と、この送液ポンプ３から吐出する冷却液Ｌを熱交換により冷却して被冷却物Ｘに供給する冷却器４を備え、被冷却物Ｘに冷却液Ｌを循環させることにより当該被冷却物Ｘを冷却する冷却装置１において、冷却液タンク２に、当該冷却液タンク２の内部を照射する一又は二以上の紫外線ランプ５ａ，５ｂを配設する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被冷却物から戻された冷却液を貯留する冷却液タンクと、この冷却液タンクの供給口から流出する冷却液を送出する送液ポンプと、この送液ポンプから吐出する冷却液を熱交換により冷却して前記被冷却物に供給する冷却器を備え、前記被冷却物に冷却液を循環させることにより当該被冷却物を冷却する冷却装置において、前記冷却液タンクに、当該冷却液タンクの内部を照射する一又は二以上の紫外線ランプを配設したことを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
前記冷却液タンクの上端面に位置する上板部にランプホルダを取付けるとともに、このランプホルダに前記紫外線ランプの一端を装着し、かつ前記紫外線ランプを前記上板部から下方に突出させることを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【請求項３】
前記冷却液タンクの内面の全部又は一部を鏡面にすることを特徴とする請求項１又は２記載の冷却装置。
【請求項４】
前記紫外線ランプの点灯状態を他の動作状態に対応して制御する制御系を備えることを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産現場で用いるレーザ加工機や医療現場で用いるＭＲＩ等の被冷却物に冷却液を循環させて当該被冷却物を冷却する冷却装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、レーザ加工機では、加工精度に大きく影響するミラー等の光学部品に対する熱的安定性を確保し、加工品質の低下を回避する必要があるため、使用する冷却装置には、温度変動の少ない高度の冷却精度と、ワークの材質，板厚，加工速度及び加工面粗度等による比較的大きな負荷変動に対しても十分に追従可能な冷却性能が要求され、既に、本出願人も、このような用途に好適な冷却装置を、特開２００３−３２９３５５号公報により提案した。
【０００３】
この冷却装置は、被冷却物から戻された冷却液を貯留する冷却液タンクと、この冷却液タンクの供給口から流出する冷却液を送出する送液ポンプと、この送液ポンプから吐出する冷却液を熱交換により冷却して被冷却物に供給する冷却器を備えるとともに、冷却器から流出した冷却液の温度を温度センサにより検出し、検出した温度に基づいて冷却器による冷却温度を制御する制御系を備えており、凍結温度付近の冷却能力が制限されることなく、冷却性能がより高められる特長を有している。
【特許文献１】特開２００３−３２９３５５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述した従来の冷却装置は、次のような解決すべき課題が存在した。
【０００５】
第一に、被冷却物から戻された冷却液を貯留する冷却液タンクを備えるとともに、この冷却液タンクには、被冷却物での熱交換により温められた冷却液が貯留されるため、冷却液タンク内において、バクテリア等の細菌，藻，カビ，ヌメリ等が発生しやすい。したがって、通常、冷却液の定期的な入換、例えば、一カ月程度を目処とした冷却液の入換が必要になるなど、冷却液の入換に伴う管理や作業を強いられるとともに、冷却液に水道水以外の溶液を使用する場合には、冷却液の入換に伴うランニングコストも無視できない。
【０００６】
第二に、冷却液の定期的な入換は、通常、ユーザーに任されるため、管理の不徹底或いは２４時間運転等の稼働状況により、実際には、定期的な入換が実行されない場合も少なくない。この場合、細菌，藻，カビ等が冷却器を構成する熱交換器の内壁に付着し、熱交換効率の低下による冷却性能の低下及び無用な電力消費を招く。
【０００７】
本発明は、このような背景技術に存在する課題を解決した冷却装置の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決するため、被冷却物Ｘから戻された冷却液Ｌを貯留する冷却液タンク２と、この冷却液タンク２の供給口２ｏから流出する冷却液Ｌを送出する送液ポンプ３と、この送液ポンプ３から吐出する冷却液Ｌを熱交換により冷却して被冷却物Ｘに供給する冷却器４を備え、被冷却物Ｘに冷却液Ｌを循環させることにより当該被冷却物Ｘを冷却する冷却装置１において、冷却液タンク２に、当該冷却液タンク２の内部を照射する一又は二以上の紫外線ランプ５ａ，５ｂを配設したことを特徴とする。
【０００９】
この場合、発明の好適な態様により、冷却液タンク２の上端面に位置する上板部２ｕにランプホルダ１１ａ，１１ｂを取付けるとともに、このランプホルダ１１ａ，１１ｂに紫外線ランプ５ａ，５ｂの一端を装着し、かつ紫外線ランプ５ａ，５ｂを上板部２ｕから下方に突出させることができる。また、冷却液タンク２の内面２ｗの全部又は一部を鏡面Ｍにすることができる。さらに、紫外線ランプ５ａ，５ｂの点灯状態を他の動作状態に対応して制御する制御系１３を備えることができる。
【発明の効果】
【００１０】
このような構成を有する本発明に係る冷却装置１によれば、次のような顕著な効果を奏する。
【００１１】
（１）  冷却液タンク２内におけるバクテリア等の細菌，藻，カビ，ヌメリ等の発生が抑制されるため、冷却液Ｌの定期的な入換間隔を長くすることができ、冷却液Ｌの入換に伴う管理或いは作業の工数削減を図れるとともに、冷却液Ｌに水道水以外の溶液を使用する際におけるランニングコストの低減を図ることができる。
【００１２】
（２）  冷却液Ｌの定期的な入換が実行されない場合の不具合、即ち、細菌，藻，カビ等が冷却器４を構成する熱交換器の内壁に付着し、熱交換効率の低下による冷却性能の低下及び無用な電力消費を招く不具合を回避することができる。
【００１３】
（３）  好適な態様により、冷却液タンク２の上端面に位置する上板部２ｕにランプホルダ１１ａ，１１ｂを取付けるとともに、このランプホルダ１１ａ，１１ｂに紫外線ランプ５ａ，５ｂの一端を装着し、かつ紫外線ランプ５ａ，５ｂを上板部２ｕから下方に突出させれば、給電系に対する防水性を確保できるとともに、稼働中であっても紫外線ランプ５ａ…の交換が可能となるなど、メンテナンスの容易化を図ることができる。
【００１４】
（４）  好適な態様により、冷却液タンク２の内面２ｗの全部又は一部を鏡面Ｍにすれば、紫外線ランプ５ａ…からの紫外線を冷却液タンク２の隅々まで照射できるとともに、内部全体を満遍なく照射でき、紫外線ランプ５ａ…を設けたことに伴う効果をより高めることができる。
【００１５】
（５）  好適な態様により、紫外線ランプ５ａ…の点灯状態を他の動作状態に対応して制御する制御系１３を備えて構成すれば、消費電力の低減やランプの長寿命化に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明に係る最良の実施形態を挙げ、図面に基づき詳細に説明する。
【００１７】
まず、本実施形態に係る冷却装置１の構成について、図１〜図３を参照して具体的に説明する。
【００１８】
１は本実施形態に係る冷却装置であり、この冷却装置１は、大別して、冷凍サイクル（冷媒回路）３１，冷却液供給部５１及び制御系１３を備える。冷却装置１は、これらを一体化したユニットとして構成し、冷却液Ｌを供給（循環）して冷却を行うレーザ加工機やＭＲＩ等の被冷却物Ｘに接続することができる。
【００１９】
冷凍サイクル３１は、図１に示すように、冷却器４と、この冷却器４に接続した冷凍サイクル本体３３を備え、この冷凍サイクル本体３３は、コンプレッサ３２及びこのコンプレッサ３２を除く冷凍サイクル構成部３４を備える。図２に、冷凍サイクル３１の一例を示す。この冷凍サイクル３１は、上述したコンプレッサ３２及び冷却器４をはじめ、冷凍サイクル構成部３４として、凝縮器３５，冷媒ドライヤ３６，電子膨張弁３７及びアキュムレータ３８を備え、これらにより冷媒が循環する冷媒回路を構成する。また、電子膨張弁３７の冷媒流出側とコンプレッサ３２の冷媒吐出側は、ホットガスバイパス回路（容量制御用電磁弁）３９により接続する。
【００２０】
このような冷凍サイクル３１は、公知の冷凍サイクルを用いることができる。その他、図２において、４２はコンプレッサ３２に吸入される冷媒の吸入圧力を検出する吸入圧力センサ、４３はコンプレッサ３２に吸入される冷媒の温度を検出する温度センサ、４４はコンプレッサ３２から吐出する冷媒の吐出圧力を検出する吐出圧力センサ、４５はコンプレッサ３２から吐出する冷媒の温度を検出する温度センサをそれぞれ示し、これらのセンサは、主に異常検出に用いられる。また、４６は凝縮器３５を空冷する空冷ファン、４７はこの空冷ファン４６に接続したインバータ回路、４８は凝縮器３５の下流側に接続した高圧スイッチをそれぞれ示す。
【００２１】
冷却液供給部５１は冷却液Ｌを貯留する冷却液タンク２を備え、この冷却液タンク２から被冷却物Ｘに対して冷却液Ｌが供給されるとともに、この冷却液タンク２に被冷却物Ｘからの冷却液Ｌが戻される。したがって、冷却液タンク２は、被冷却物Ｘに対して冷却液Ｌを供給するための供給口２ｏと、被冷却物Ｘから冷却液Ｌが戻される戻り口２ｉを有するとともに、上部に設けた給液部５２と底部に設けたドレン部５３を有する。また、５４は液面計、５５はフロートスイッチをそれぞれ示す。
【００２２】
さらに、この冷却液タンク２には、当該冷却液タンク２の内部を照射する二本の紫外線ランプ（ＵＶランプ）５ａ，５ｂを配設する。この場合、冷却液タンク２の上端面に位置する上板部２ｕにランプホルダ１１ａ，１１ｂを取付けるとともに、このランプホルダ１１ａ，１１ｂに紫外線ランプ５ａ，５ｂの一端を装着し、かつ紫外線ランプ５ａ，５ｂを上板部２ｕから下方に突出させる。例示の冷却液タンク２は、上端開口を開閉する蓋部２１を備えるため、上板部２ｕは、この蓋部２１を利用する。
【００２３】
図３に、一方の紫外線ランプ５ａ（５ｂも同じ）の取付構造を示す。同図に示すように、まず、蓋部２１の所定位置に取付孔２１ｓを形成し、この取付孔２１ｓに、円筒形をなすランプホルダ１１ａのソケット部２２を上から挿入し、ソケット部２２の上端に一体形成した広幅のフランジ部２３を、複数組のボルト・ナット２４…等を用いて蓋部２１に固定する。このソケット部２２の内周面にはネジ孔部２５を設けてある。一方、紫外線ランプ５ａは、細長い丸棒状をなし、一端（上端）には、ネジ部２６及びこのネジ部２６の上端に広幅に形成した係止端部２７を一体に有する。
【００２４】
これにより、紫外線ランプ５ａは、ランプホルダ１１ａに対して蓋部２１を着脱（開閉）することなく取付け又は取外しすることができる。この場合、紫外線ランプ５ａをランプホルダ１１ａに装着するには、紫外線ランプ５ａをソケット部２２に対して上から挿入し、ネジ部２６をネジ孔部２５に螺着するとともに、係止端部２７がソケット部２２の上端に当接するまで締め込めばよい。よって、紫外線ランプ５ａは、蓋部２１（上板部２ｕ）の内面から下方に突出するため、給電系に対する防水性を確保できるとともに、稼働中であっても紫外線ランプ５ａ…の交換が可能になるなど、メンテナンスの容易化を図ることができる。
【００２５】
ところで、紫外線は、殺菌効果のあることが知られており、食品分野等では殺菌を目的とした紫外線ランプが用いられている。しかし、冷却装置１における冷却液タンク２の冷却液Ｌに発生する不具合、即ち、冷却液Ｌの定期的な入換が実行されず、細菌，藻，カビ等が冷却器４を構成する熱交換器の内壁に付着し、熱交換効率の低下による冷却性能の低下及び無用な電力消費を招く不具合を回避できるか否かは未知である。そこで、その有効性を確認するための試験を行った。
【００２６】
図４及び図５は、冷却液タンク２に冷却液Ｌを収容し、時間経過における冷却液Ｌの導電率〔μｓ〕を測定するとともに、１ミリリットル当たりの細菌数〔個／ｍｌ〕を観察した。冷却液Ｌは、不純物のできるだけ少ない純水を使用した。この純水の試験開始時における導電率は４〔μｓ〕である。試験期間はほぼ１年間である。また、冷却液Ｌの温度は、２５±２．５〔℃〕を設定し、無負荷の状態でコンプレッサ３２のＯＮ−ＯＦＦ制御を行った。
【００２７】
この結果、図５に示すように、試験開始後、ほぼ５ケ月目となる３５５２時間経過時点（中間時点）における導電率は、１４．７〔μｓ〕であったが細菌は確認されなかった。また、試験開始後、ほぼ１年目となる８７６０時間経過時点における導電率は、１５．２〔μｓ〕であったが細菌は確認されなかった。さらに、導電率の増加（冷却液Ｌの劣化）は、最大でも１７．２〔μｓ〕程度であり、図４に示す導電率の経時変化特性Ｐから明らかなように、試験期間中、導電率は大きく増加することなく、１０〜２０〔μｓ〕の範囲でほぼ安定に推移し、細菌の発生も確認されなかった。
【００２８】
図６は、冷却液タンク２の内部における冷却液Ｌの劣化現象を観察した結果を示している。この試験では、紫外線ランプ（ＵＶランプ）５ａ…を配設した本発明の形態を用いた場合と、紫外線ランプ（ＵＶランプ）を用いない従来の形態の場合を示している。この結果から明らかなように、１１ケ月経過時点で冷却液タンク２の冷却液Ｌを観察した結果、紫外線ランプ５ａ…を設けた場合には、ヌメリ，カビ，細菌のいずれも認められなかった。しかし、紫外線ランプの無い場合には、ヌメリ，カビ，細菌のいずれも発生が認められた。特に、紫外線ランプの無い場合、ヌメリは、２ケ月目ごろから発生が見られ、また、１１ケ月経過時点における細菌数は数百個に達していた。
【００２９】
よって、このような試験により、冷却液タンク２に紫外線ランプ５ａ…を配設することは、この種の冷却装置１における冷却液タンク２内に貯留される冷却液Ｌの劣化及び細菌の発生を有効に抑制可能であることを確認できた。
【００３０】
一方、冷却液タンク２の内面２ｗは鏡面Ｍに仕上げる。鏡面Ｍにするには、別途形成した鏡面板を内面２ｗに貼付けてもよいし、ステンレス板等により形成した冷却液タンク２の内面２ｗを鏡面仕上げしてもよい。これにより、紫外線ランプ５ａ…からの紫外線を冷却液タンク２の隅々まで照射することができるとともに、内部全体を満遍なく照射でき、紫外線ランプ５ａ…を設けたことに伴う効果をより高めることができる。なお、冷却液タンク２の内面２ｗとは、蓋部２１の内面も含まれる。また、鏡面Ｍは、冷却液タンク２の内面２ｗの全部に設けることが理想的であるが一部であってもよい。一部であってもできるだけ多面積を確保することが望ましい。
【００３１】
他方、冷却液タンク２の供給口２ｏには、この供給口２ｏから流出する冷却液Ｌを送出する送液ポンプ３を接続するとともに、この送液ポンプ３の吐出側には、上述した冷却器４を接続する。冷却器４には、例えば、プレート形熱交換器を用いることができる。この冷却器４により、送液ポンプ３から送出される冷却液Ｌと冷凍サイクル３１における冷却された冷媒間の熱交換が行われ、冷却液Ｌは冷媒によって冷却される。さらに、冷却器４における冷却液Ｌの流出側は、送液管Ｐｓを介して被冷却物Ｘの冷却液入口Ｘｉに接続する。一方、冷却液タンク２の戻り口２ｉは、送液管Ｐｒを介して被冷却物Ｘの冷却液出口Ｘｏに接続する。また、送液管Ｐｒと送液管Ｐｓ間には、バイパスバルブ５６を接続するとともに、送液ポンプ３の下流側には、この送液ポンプ３から吐出される冷却液Ｌの液圧を検出する液圧計５７を接続する。
【００３２】
制御系１３は、コンピュータ処理機能を有する制御部６１を備え、この制御部６１に、送液管Ｐｓに付設して冷却器４から流出した冷却液Ｌの温度を検出する温度センサ６２及び前述したコンプレッサ３２に備えるインバータ回路６３を接続するとともに、各紫外線ランプ５ａ，５ｂから導出する給電ケーブル２８ａ，２８ｂを接続する。
【００３３】
これにより、制御部６１は、温度センサ６２により検出した温度（液温）の検出結果に基づく制御信号を生成し、この制御信号をインバータ回路６３に付与することにより、コンプレッサ３２をフィードバック制御する。この場合、コンプレッサ３２の回転周波数は、インバータ回路６３により連続可変制御（インバータ制御）される。また、各紫外線ランプ５ａ，５ｂは、その点灯状態が他の動作状態に対応して制御可能である。他の動作状態とは、送液ポンプ３やコンプレッサ３２等の運転状態を指す。各紫外線ランプ５ａ，５ｂは、他の動作状態に係わりなく、常時点灯させておくこともできるが、例えば、送液ポンプ３の停止中にのみ紫外線ランプ５ａ，５ｂを点灯し、送液ポンプ３の運転中は、紫外線ランプ５ａ，５ｂの一方又は両方を消灯したり間欠点灯するなどの制御を行うことができる。一般に、水の場合、流れているときは劣化が抑えられ、滞留しているときに劣化が進行することが知られている。したがって、送液ポンプ３の運転により冷却液Ｌが流れているときは、紫外線ランプ５ａ…の全部又は一部を消灯したり間欠点灯すれば、消費電力の低減やランプの長寿命化に寄与することができる。
【００３４】
次に、本実施形態に係る冷却装置１の動作及び作用について、図１〜図６を参照して説明する。
【００３５】
まず、図１に示すように、冷却液タンク２には、冷却液（冷却水等）Ｌが収容される。そして、送液ポンプ３を作動させれば、冷却液タンク２の冷却液Ｌは、供給口２ｏから送液ポンプ３により送り出され、冷却器４に供給される。冷却器４では、供給された冷却液Ｌと冷凍サイクル３１における冷却された冷媒間の熱交換が行われ、冷却液Ｌは冷媒により冷却される。また、冷却器４により冷却された冷却液Ｌは、送液管Ｐｓ及び冷却液入口Ｘｉを介して被冷却物Ｘに供給され、被冷却物Ｘに対する冷却が行われる。さらに、被冷却物Ｘの冷却（熱交換）によって温められた冷却液Ｌは、冷却液出口Ｘｏ及び送液管Ｐｒを通って冷却液タンク２の戻り口２ｉに戻され、冷却液タンク２にそのまま貯留される。なお、図１中、矢印Ｆは冷却液Ｌの液流方向を示す。
【００３６】
一方、冷却器４から流出した冷却液Ｌの温度は、温度センサ６２により検出され、この検出結果は制御部６１に付与される。制御部６１では、検出された冷却液Ｌの温度に基づいて制御信号が生成され、この制御信号がインバータ回路６３に付与されることにより、コンプレッサ３２に対するインバータ制御が行われる。即ち、今、比較的安定に行われている温度制御状態において、冷却液Ｌの温度（負荷）が高くなった場合、制御部６１はインバータ回路６３に付与する制御信号により、コンプレッサ３２の回転周波数を高くする制御を行うとともに、冷却液Ｌの温度（負荷）が低くなった場合、制御部６１はインバータ回路６３に付与する制御信号により、コンプレッサ３２の回転周波数を低くする制御を行う。これにより、冷却液Ｌの温度が設定値（目標値）になるように、冷却液Ｌの温度に対するフィードバック制御が行われる。なお、この場合、コンプレッサ３２を制御できる回転周波数の範囲は予め設定されており、この範囲を超えた場合には、コンプレッサ３２による制御が限界となるため、ホットガスバイパス回路３９を開閉制御し、或いはコンプレッサ３２のオン／オフ（作動／停止）制御するなどの追加的制御を行う。
【００３７】
なお、空冷ファン４６に接続したインバータ回路４７は、凝縮器３５の下流側における冷媒圧力が高くなれば、空冷ファン４６の回転周波数を上昇させ、冷媒圧力が低くなれば、空冷ファン４６の回転周波数を低下させるインバータ制御を行う。また、電子膨張弁３７は、冷却器４の流出側における冷媒温度が高くなれば、開く方向に制御され、冷媒温度が低くなれば、閉じる方向に制御される。
【００３８】
一方、上述したように、冷却液タンク２には、被冷却物Ｘでの熱交換により温められた冷却液Ｌが一旦貯留される。したがって、冷却液Ｌが冷却液タンク２内で長時間（長期間）滞留した場合、冷却液タンク２内において、バクテリア等の細菌，藻，カビ，ヌメリ等が発生しやすくなる。本実施形態では、冷却液タンク２に配設した紫外線ランプ５ａ，５ｂが点灯し、冷却液タンク２内における冷却液Ｌに対して鏡面Ｍを介して紫外線が照射される。
【００３９】
この場合、紫外線ランプ５ａ…は、冷却装置１本体の運転状態に係わらず、常時点灯させておくことが最も望ましいが、前述したように、一般に、水の場合、流れているときは劣化が抑えられ、滞留しているときに劣化が進行するため、制御系１３における制御部６１により紫外線ランプ５ａ…の点灯状態を制御することもできる。例えば、前述したように、送液ポンプ３の停止中にのみ紫外線ランプ５ａ，５ｂを点灯し、送液ポンプ３の運転中は、紫外線ランプ５ａ，５ｂの一方又は両方を消灯したり間欠点灯するなどの制御を行うことができる。
【００４０】
よって、このような本実施形態に係る冷却装置１によれば、冷却液タンク２内におけるバクテリア等の細菌，藻，カビ，ヌメリ等の発生が抑制されるため、冷却液Ｌの定期的な入換間隔を長くすることができ、冷却液Ｌの入換に伴う管理や作業の工数削減を図れるとともに、冷却液Ｌに水道水以外の溶液を使用する際におけるランニングコストの低減を図ることができる。また、冷却液Ｌの定期的な入換が実行されない場合の不具合、即ち、細菌，藻，カビ等が冷却器４を構成する熱交換器の内壁に付着し、熱交換効率の低下による冷却性能の低下及び無用な電力消費を招く不具合を有効に回避することが可能となる。
【００４１】
以上、最良の実施形態について詳細に説明したが、本発明は、このような実施形態に限定されるものではなく、細部の構成，形状，数量，手法等において、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更，追加，削除することができる。例えば、冷却液Ｌは、冷却水をはじめ混合溶液等の各種液体を用いることができる。また、紫外線ランプ５ａ…の取付本数として二本を例示したが、一本でもよいし三本以上であってもよい。さらに、紫外線ランプ５ａ…の取付位置や取付構造も例示に限定されるものではない。一方、冷却装置１における冷却液タンク２以外の構成も任意である。例えば、冷却手段として冷凍サイクル３１を例示したが、ペルチェ素子等のサーモモジュールを利用した冷却手段であってもよい。なお、被冷却装置Ｍは、前述したレーザ加工機等の産業機器，ＭＲＩ等の医療機器，電子顕微鏡等の光学機器をはじめ、冷却装置１を接続可能な各種の被冷却装置Ｍを適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の最良の実施形態に係る冷却装置の回路構成図、
【図２】同冷却装置における冷凍サイクルの回路構成図、
【図３】同冷却装置における紫外線ランプの取付構造を明示する断面側面図、
【図４】同冷却装置における紫外線ランプの有効性を確認するための試験結果を示す経過時間に対する導電率の経時変化特性図、
【図５】同冷却装置における紫外線ランプの有効性を確認するための試験結果を示すデータ表、
【図６】同冷却装置における紫外線ランプの有効性を確認するための試験結果を示すデータ表、
【符号の説明】
【００４３】
１    冷却装置
２    冷却液タンク
２ｏ  冷却液タンクの供給口
２ｕ  冷却液タンクの上板部
２ｗ  冷却液タンクの内面
３    送液ポンプ
４    冷却器
５ａ  紫外線ランプ
５ｂ  紫外線ランプ
１１ａ  ランプホルダ
１１ｂ  ランプホルダ
１３  制御系
Ｍ    鏡面
Ｘ    被冷却物
Ｌ    冷却液
【図１】
2006322658.tif 000003
【図２】
2006322658.tif 000004
【図３】
2006322658.tif 000005
【図４】
2006322658.tif 000006
【図５】
2006322658.tif 000007
【図６】
2006322658.tif 000008