(57)【要約】【課題】  機械的強度に優れ、さらに電気特性Ｑmaxが優れた圧電磁器組成物を得る。【解決手段】  Ｐｂα[（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3 …式（１）（式（１）中、０．９５＜α＜１．０１、              ０．０４≦ｘ≦０．１６、              ０．４８≦ｙ≦０．５８、              ０．３２≦ｚ≦０．４２、              ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。  なお、式（１）中、α、ｘ、ｙ及びｚはそれぞれモル比を表す。）で示される主成分を有する焼結体からなり、この焼結体における破断面の５０％以上の領域の破断形態が、粒内破断であることを特徴とする圧電磁器組成物。【選択図】図３
2006213539.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｐｂα[（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3 …式（１）
（式（１）中、０．９５＜α＜１．０１、
０．０４≦ｘ≦０．１６、
０．４８≦ｙ≦０．５８、
０．３２≦ｚ≦０．４２、
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。
なお、式（１）中、α、ｘ、ｙ及びｚはそれぞれモル比を表す。）で示される主成分を有する焼結体からなり、
前記焼結体における破断面の５０％以上の領域の破断形態が、粒内破断であることを特徴とする圧電磁器組成物。
【請求項２】
前記焼結体における破断面の７０％以上の領域の破断形態が、粒内破断であることを特徴とする請求項１に記載の圧電磁器組成物。
【請求項３】
副成分として、Ａｌ及びＳｃから選択される１種又は２種の元素を、当該酸化物換算で０．０１〜１５．０ｗｔ％含有することを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電磁器組成物。
【請求項４】
前記式（１）におけるαが０．９６≦α≦１．００であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電磁器組成物。                                                                            
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レゾネータ等に好適な圧電磁器組成物に関し、特に機械的強度、加えて電気特性を向上した圧電磁器組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在実用化されている圧電磁器組成物のほとんどは、室温付近において正方晶系または菱面体晶系のＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3−ＰｂＴｉＯ3固溶体）系やＰＴ（ＰｂＴｉＯ3）系などのペロブスカイト構造を有する強誘電体から構成されている。また、これらの組成に対してＰｂ（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3やＰｂ（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3等の第三成分を置換し、あるいは様々な副成分を添加することにより、多種多様な要求特性への対応が図られている（例えば特許文献１（特開２０００−１０３６７４号公報）、特許文献２（特開２００３−１２８４６２号公報））。
【０００３】
圧電磁器組成物は電気エネルギと機械エネルギを自由に変換し取り出せる機能を有しており、レゾネータ、フィルタ、アクチュエータ、着火素子あるいは超音波モータなどとして使用されている。例えば、圧電磁器組成物をレゾネータとして使用する場合、電気特性としてのＱmax（Ｑmax＝ｔａｎθ：θは位相角）が大きいことが要求される。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１０３６７４号公報
【特許文献２】特開２００３−１２８４６２号公報
【０００５】
さらに、圧電磁器組成物を搭載した製品は様々な環境下で使用されるため機械的強度も重要な特性の一つとして挙げられる。特にレゾネータは、発振周波数調整のため製造段階でラップ研磨などの加工工程を経るために、機械的強度が高いことが必要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような技術的課題に基づいてなされたもので、機械的強度の高い圧電磁器組成物を提供することを目的とする。さらに本発明は、電気特性Ｑmaxを低下させることなく機械的強度の高い圧電磁器組成物を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、機械的強度向上を目的として検討を行っている過程で、基本組成の一致する圧電磁器組成物であっても、破断形態が異なる場合があることを知見した。この破断形態には、粒界破断と粒内破断の２つの形態が存在する。ここで、圧電磁器組成物を構成する結晶粒の粒界に沿って破断が進行することを、粒界破断という。また、圧電磁器組成物を構成する結晶粒自体が破壊して破断が進行することを、粒内破断という。
そして、粒界破断する圧電磁器組成物に比べて粒内破断する圧電磁器組成物の方が機械的強度に優れることを知見した。しかも、この粒内破断を起こした機械的強度の高い圧電磁器組成物は、優れた電気特性Ｑmaxを得ることができる。
【０００８】
本発明は以上の検討結果を基礎とするものであって、
Ｐｂα[（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3 …式（１）
（式（１）中、０．９５＜α＜１．０１、
０．０４≦ｘ≦０．１６、
０．４８≦ｙ≦０．５８、
０．３２≦ｚ≦０．４２、
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。
なお、式（１）中、α、ｘ、ｙ及びｚはそれぞれモル比を表す。）で示される主成分を有する焼結体からなり、焼結体における破断面の５０％以上の領域の破断形態が、粒内破断であることを特徴とする。本発明において、破断面の７０％以上の領域、さらには９０％以上の領域が粒内破断を示すことが好ましい。
【０００９】
本発明の圧電磁器組成物のように粒内破断を示す焼結体を得るためには、副成分を選択すること、上記式（１）で示される主成分のαを特定することが有効である。焼結体からなる圧電磁器組成物を得る場合、種々の目的に基づいて副成分を添加する。この副成分の種類によって、破断形態を粒内破断とすることができる。具体的には、副成分としてＡｌ及び／又はＳｃから選択される１種又は２種の元素を用いると、破断形態を粒内破断とするのに有効である。この元素は、当該酸化物換算で０．０１〜１５．０ｗｔ％の範囲で含有させることができる。また、上記式（１）において、αを０．９５＜α＜１．０１の範囲にすると破断形態を粒内破断とするのに効果的であり、好ましくは０．９６≦α≦１．００の範囲である。
【発明の効果】
【００１０】
以上説明したように、本発明によれば、機械的強度に優れ、さらに電気特性Ｑmaxが優れた圧電磁器組成物を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
＜破断形態＞
はじめに、本発明の圧電磁器組成物の最たる特徴である破断形態について説明する。
本発明は、破断面の５０％以上の領域の破断形態が粒内破断であることを要求するが、好ましくは破断面の７０％以上の領域、さらに好ましくは９０％以上の領域が粒内破断を示す。
図３〜図５は、後述する実施例１の試料Ｎｏ．４、７及び８の焼結体の破断面をＳＥＭ（Scanning  Electron  Microscopy）で観察した像を示す。図３に示す試料Ｎｏ．４は、破断面のほぼ全ての領域が粒内破断を示した例である。粒内破断をした破断面は、結晶粒を明確に観察することができないために、視覚的に平滑的な表面を有している。図５に示す試料Ｎｏ．８は、破断面のほぼ全ての領域が粒界破断を示した例である。粒界破断をした破断面は、破断した粒界を観察することができる。このように、粒内破断か粒界破断かはその破断面を観察することにより視覚的に識別することができる。
【００１２】
破断形態は、破断面の全領域が粒内破断又は破断面の全領域が粒界破断の場合に限らず、図４に示す試料Ｎｏ．７のように、粒内破断と粒界破断とが混在する場合もある。この場合、破断面の所定面積における粒界破断の領域又は粒内破断の領域の面積率を求める。図３の例は粒内破断の面積率が１００％、また図５の例は粒界破断の面積率が１００％となる。図４の例は、本発明者らの測定によると、面積率で６５％が粒内破断を示している。本発明における粒界破断又は粒内破断の面積率は、破断面の３０×３０μｍの面積について少なくとも３視野観察し、その平均で特定するものとする。
【００１３】
＜化学組成＞
次に、本発明による圧電磁器組成物の組成について説明する。
本発明の圧電磁器組成物は、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｍｎ、Ｎｂを主成分とするペロブスカイト化合物を含み、以下の式（１）で示される主成分を有する。ここでいう化学組成は焼結後における組成をいう。
【００１４】
Ｐｂα[（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3 …式（１）
式（１）中、０．９５＜α＜１．０１、
０．０４≦ｘ≦０．１６、
０．４８≦ｙ≦０．５８、
０．３２≦ｚ≦０．４２、
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。
なお、式（１）中、α、ｘ、ｙ及びｚはそれぞれモル比を表す。
【００１５】
次に、式（１）中におけるα、ｘ、ｙ及びｚの限定理由を説明する。
Ｐｂ量を示すαは、０．９５＜α＜１．０１の範囲とする。αが０．９５以下では、緻密な焼結体を得ることが困難となる。一方、αが１．０１以上になると、破断の形態が粒界破断となり、機械的強度を向上することが困難となる。よって、αは、０．９５＜α＜１．０１の範囲とする。αは、０．９６≦α≦１．００とすることが好ましく、０．９８≦α≦１．００とすることがより好ましい。
【００１６】
Ｍｎ量及びＮｂ量を示すｘは、０．０４≦ｘ≦０．１６の範囲とすることが好ましい。ｘが０．０４未満では、電気特性Ｑmaxが小さくなる。一方、ｘが０．１６を超えると、良好な耐熱性を得ることができなくなる。よって、ｘは、０．０４≦ｘ≦０．１６の範囲とする。ｘは、０．０５≦ｘ≦０．１４とすることが好ましく、０．０６≦ｘ≦０．１１とすることがより好ましい。
【００１７】
Ｔｉ量を示すｙは、０．４８≦ｙ≦０．５８の範囲とする。ｙが０．４８未満では、良好な耐熱性を得ることができない。一方、ｙが０．５８を超えると良好な温度特性を得ることが困難になる。よって、ｙは、０．４８≦ｙ≦０．５８の範囲とする。ｙは、０．４９≦ｙ≦０．５７とすることが好ましく、０．５０≦ｙ≦０．５５とすることがより好ましい。
【００１８】
Ｚｒ量を示すｚは、０．３２≦ｚ≦０．４２の範囲とする。ｚが０．３２未満又は０．４２を超えると良好な温度特性が得られなくなる。よって、ｚは、０．３２≦ｚ≦０．４２の範囲とする。ｚは、０．３３≦ｚ≦０．４２とすることが好ましく、０．３４≦ｚ≦０．４０とすることがより好ましい。
【００１９】
以上の主成分を有する本発明による圧電磁器組成物は、副成分としてＡｌ及びＳｃから選択される１種又は２種の元素を含有することが好ましい。この２つの元素は、破断形態を粒内破断にするのに効果的な元素である。また、この２つの元素は、電気特性Ｑmaxに優れる圧電磁器組成物を得る上でも有効である。この２つの元素は、式（１）のＰｂα[（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3に対して当該元素の酸化物換算で０．０１〜１５．０ｗｔ％、好ましくは０．０５〜５．００ｗｔ％、さらに好ましくは０．２０〜１．５０ｗｔ％とする。この２つの元素の酸化物とは、一般的にＡｌ2Ｏ3、Ｓｃ2Ｏ3である。なお、副成分としてはＡｌを用いるのが最も好ましい。
【００２０】
本発明による圧電磁器組成物に副成分としてＳｉＯ2を含有させてもよい。ＳｉＯ2は焼結体の強度を向上させる上で有効であるとともに、その添加量を多くすると破断形態を粒内破断にするのに有効である。ＳｉＯ2を添加する場合において、好ましいＳｉＯ2量は、式（１）のＰｂα[（Ｍｎ1/3Ｎｂ2/3）xＴｉyＺｒz]Ｏ3に対して０．００５〜０．１５ｗｔ％、より好ましいＳｉＯ2量は０．０１〜０．１２ｗｔ％、さらに好ましいＳｉＯ2量は０．０１〜０．１０ｗｔ％である。
【００２１】
＜製造方法＞
次に、本発明による圧電磁器組成物の好ましい製造方法について、その工程順に説明する。
（原料粉末、秤量）
主成分の原料として、酸化物または加熱により酸化物となる化合物の粉末を用いる。具体的にはＰｂＯ粉末、ＴｉＯ2粉末、ＺｒＯ2粉末、ＭｎＣＯ3粉末、Ｎｂ2Ｏ5粉末等を用いることができる。原料粉末は式（１）の組成となるように、それぞれ秤量する。
【００２２】
次に、秤量された各粉末の総重量に対して、副成分としてＡｌ及びＳｃから選択される１種又は２種の元素の酸化物粉末を上記した量だけ添加する。副成分の原料粉末としてはＡｌ2Ｏ3粉末、Ｓｃ2Ｏ3粉末を用いることができる。これら副成分に加え、ＳｉＯ2を含有させる場合には、さらにＳｉＯ2粉末を準備する。各原料粉末の平均粒径は０．１〜３．０μｍの範囲で適宜選択すればよい。
なお、上述した原料粉末に限らず、２種以上の金属を含む複合酸化物の粉末を原料粉末としてもよい。
【００２３】
（仮焼）
主成分及び副成分の原料粉末を湿式混合した後、７００〜９５０℃の範囲内で所定時間保持する仮焼を行う。このときの雰囲気はＮ2又は大気とすればよい。仮焼の保持時間は０．５〜５時間の範囲で適宜選択すればよい。
なお、主成分の原料粉末と副成分の原料粉末を混合した後に、両者をともに仮焼に供する場合について示したが、副成分の原料粉末を添加するタイミングは上述したものに限定されるものではない。例えば、まず主成分の粉末のみを秤量、混合、仮焼及び粉砕する。そして、仮焼粉砕後に得られた主成分の粉末に、副成分の原料粉末を所定量添加し混合するようにしてもよい。
【００２４】
（造粒・成形）
粉砕粉末は、後の成形工程を円滑に実行するために顆粒に造粒される。この際、粉砕粉末に適当なバインダ、例えばポリビニルアルコール（ＰＶＡ）を少量添加し、かつこれらを十分に混合し、その後３５０μｍのメッシュを通過させて整粒することにより造粒粉末を得る。次いで、造粒粉末を２００〜３００ＭＰａの圧力で加圧成形し、所望の形状の成形体を得る。
【００２５】
（焼成）
成形時に添加したバインダを除去した後、１１００〜１２５０℃の範囲内で所定時間成形体を加熱保持し焼結体を得る。このときの雰囲気はＮ2又は大気とすればよい。加熱保持時間は０．５〜４時間の範囲で適宜選択すればよい。
【００２６】
（分極処理）
焼結体に分極処理用の電極を形成した後、分極処理を行う。分極処理は、５０〜３００℃の温度で、１．０〜２．０Ｅｃ（Ｅｃは抗電界）の電界を焼結体に対して０．５〜３０分間印加する。
分極処理温度が５０℃未満になると、Ｅｃが高くなるため分極電圧が高くなり、分極が困難になる。一方、分極処理温度が３００℃を超えると、絶縁オイルの絶縁性が著しく低下するため分極が困難となる。よって、分極処理温度は５０〜３００℃とする。好ましい分極処理温度は６０〜２５０℃、より好ましい分極処理温度は８０〜２００℃である。
また、印加する電界が１．０Ｅｃを下回ると分極が進行しない。一方、印加する電界が２．０Ｅｃを超えると実電圧が高くなって焼結体がブレークしやすくなり、圧電磁器組成物の作製が困難となる。よって、分極処理の際に印加する電界は１．０〜２．０Ｅｃとする。好ましい印加電界は１．１〜１．８Ｅｃ、より好ましい印加電界は１．２〜１．６Ｅｃである。
【００２７】
分極処理時間が０．５分未満となると、分極が不十分となって十分な特性を得ることができない。一方、分極処理時間が３０分を超えると分極処理に要する時間が長くなり、生産効率が劣る。よって、分極処理時間は０．５〜３０分とする。好ましい分極処理時間は０．７〜２０分、より好ましい分極処理時間は０．９〜１５分である。
分極処理は、上述した温度に加熱された絶縁オイル、例えばシリコンオイル浴中で行う。なお、分極方向は所望の振動モードに応じて決定する。ここで、振動モードを厚みすべり振動としたい場合には、分極方向を図１（ａ）に示した方向とする。厚みすべり振動とは、図１（ｂ）に示すような振動である。
【００２８】
圧電磁器組成物は、所望の厚さまで研磨された後、振動電極が形成される。次いで、ダイシングソー等で所望の形状に切断された後、圧電素子として機能することとなる。
本発明における圧電磁器組成物は、レゾネータ、フィルタ、共振子、アクチュエータ、着火素子あるいは超音波モータ等の圧電素子の材料として好適に用いられる。
【実施例１】
【００２９】
主成分の出発原料として、酸化鉛（ＰｂＯ）粉末、酸化チタン（ＴｉＯ2）粉末、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）粉末、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ3）粉末、酸化ニオブ（Ｎｂ2Ｏ5）粉末を準備した。また、副成分の出発原料として、酸化シリコン（ＳｉＯ2）粉末、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）粉末、酸化スカンジウム（Ｓｃ2Ｏ3）粉末、炭酸マンガン（ＭｎＣＯ3）粉末及び酸化クロム（Ｃｒ2Ｏ3）粉末を準備した。この原料粉末を表１に示す組成となるように秤量し、純水中、ボールミル（ＺｒＯ2ボール使用）を用いて１０時間の湿式混合を行った。得られたスラリーを十分に乾燥させた後、プレス成形した。その後、大気中、８００〜９５０℃で２時間保持する仮焼を行った。仮焼体が平均粒径０．７μｍになるまでボールミルにより微粉砕した後、微粉砕粉末を乾燥させた。乾燥させた微粉砕粉末に、バインダとしてＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を適量加え、造粒した。１軸プレス成形機を用いて造粒粉末を２４５ＭＰａの圧力で成形した。得られた成形体に対して脱バインダ処理を行った後、大気中、１１５０〜１２５０℃で２時間保持する焼成を行って焼結体（試料）を得た。
【００３０】
以上で得られた焼結体について、３点曲げ強さ（σb3）の測定を行った。測定方法は以下の通りである。
焼結体試料の両面をラップ盤で厚み０．３２ｍｍに平面加工した後にダイシングソーで縦×横＝７．２ｍｍ×２．５ｍｍに切断加工した測定試料を用いた。測定は、ＩＮＳＴＲＯＮ社製強度試験器（モデル５５４３）を用いた。そして、３点曲げ強さ（σb3）は、ＪＩＳ Ｒ １６０１に従い、下記（２）式より算出した。その結果を表１に示す。
【００３１】
σb3＝Ｌ3（Ｐ2−Ｐ1）／４ｗｔ3（ｙb2−ｙb1）…（２）
Ｐ：荷重（Ｎ）、
Ｌ：支持ロール間距離（ｍ）、
ｗ：試験片の幅（ｍ）、
ｔ：試験片の厚さ(ｍ)、
ｙb：荷重点の正味の変位量（ｍ）
【００３２】
また、３点曲げ強さを測定した試料の破断面をＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で観察して、破断形態を特定した。その結果を表１に併せて示す。なお、ＳＥＭ観察による破断形態の特定は、上述した基準に基づいて行った。つまり、破断面の５０％以上の領域の破断形態が粒内破断の試料を「粒内破断」と認定し、破断面の５０％以上の領域の破断形態が粒界破断の試料を「粒界破断」と認定した。その結果を表１に示す。なお、表１の「粒内破断」の欄の数値は、粒内破断を示している領域の面積率（％）を示している。
【００３３】
次に、電気特性Ｑmaxを測定した。測定結果を表１に示す。なお、測定は以下に従った。
試料の両面をラップ盤で厚み０．５ｍｍに平面加工した後に、ダイシングソーで縦×横＝１５ｍｍ×５．０ｍｍに切断加工し、その両端部(５．０ｍｍ方向)に分極用の仮電極を形成した。その後、温度１５０℃のシリコンオイル槽中で３ｋＶ／ｍｍの電界を１５分間印加する分極処理を行った。なお、分極方向は図１（ａ）に示した方向とした。その後、仮電極を除去した。なお、仮電極除去後の試料のサイズは縦１５ｍｍ×横４．０ｍｍ×厚さ０．５ｍｍである。再度ラップ盤でおよそ厚さ０．３ｍｍまで研磨し、真空蒸着装置を用いて図２に示すように試験片１の表裏両面（研磨された両面）に振動電極２を形成した。振動電極２は厚さ０．０１μｍのＣｒ下地層と厚さ２μｍのＡｇとから構成される。なお、振動電極２の重なりは１．５ｍｍとした。
【００３４】
続いて、以上の試験片１から縦４ｍｍ×横０．７ｍｍ×厚さ０．３ｍｍの圧電素子を切り出して電気特性Ｑmaxの測定用試料とした。電気特性Ｑmaxの測定にはインピーダンスアナライザ（アジレントテクノロジー社製４２９４Ａ）を使用し、４ＭＨｚ付近で測定した。電気特性Ｑmaxは共振周波数ｆｒと反共振周波数ｆａの間でのＱ（＝ｔａｎθ,θ:位相角(ｄｅｇ))の最大値を表し、レゾネータとして重要な特性の一つであり、電気特性Ｑmaxが大きいほど低電圧駆動に寄与する。
【００３５】
【表１】
2006213539.tif 000003
【００３６】
表１に示す結果より、以下のことが判明した。
破断形態が粒内破断の焼結体は、破断形態が粒界破断の焼結体に比べて３点曲げ強さの値が大きく、機械的強度に優れていることがわかる。つまり、粒界破断を起こしている焼結体の３点曲げ強さは１５０Ｎ／ｍｍ2が上限であるのに対して、粒内破断を起こしている焼結体は１６０Ｎ／ｍｍ2以上の３点曲げ強さを示し、２００Ｎ／ｍｍ2を超える３点曲げ強さを得るものもある。
試料Ｎｏ．１〜３より、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）及び酸化スカンジウム（Ｓｃ2Ｏ3）は、破断形態を粒内破断とするのに効果的な物質である。加えて、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）及び酸化スカンジウム（Ｓｃ2Ｏ3）は、電気特性Ｑmaxの向上の点でも好ましい物質である。
【００３７】
試料Ｎｏ．４〜６より、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）の添加量が増えると３点曲げ強さが向上しかつ電気特性Ｑmaxも向上する。また、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）は、１．０ｗｔ％を超える範囲まで添加することが可能である。
試料Ｎｏ．７及び８より、酸化シリコン（ＳｉＯ2）も添加量を０．０６ｗｔ％と多くすれば、焼結体の破断形態を粒内破断とすることができる。しかも、この粒内破断を起こした焼結体は電気特性Ｑmaxも１００を超えている。
【００３８】
試料Ｎｏ．９〜１２より、主成分の組成を示す式（１）中のαの値も破断形態に影響を与えることがわかる。つまり、αが０．９５０を超え、１．０１０未満の範囲とすることにより、粒内破断を起しやすくなる。
試料Ｎｏ．１３〜１５、さらに試料Ｎｏ．４〜６より、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）を副成分として添加すると粒内破断を起こし、かつ３点曲げ強さが２００Ｎ／ｍｍ2を超えており、機械的強度向上に好適な物質である。しかも、試料Ｎｏ．１３〜１５は、電気特性Ｑmaxも高い。
【実施例２】
【００３９】
実施例１と同様の主成分及び副成分の原料粉末を準備し、実施例１と同様に圧電磁器組成物である焼結体試料を作製した。得られた焼結体について、実施例１と同様に３点曲げ強度、破断形態の特定及び電気特性Ｑmaxを測定した。その結果を表２に示す。
【００４０】
【表２】
2006213539.tif 000004
【００４１】
表２に示すように、いずれの焼結体も破断形態が粒内破断を示し、３点曲げ強さも１７５Ｎ／ｍｍ2を超えている。
また、３点曲げ強さは、主成分の組成を示す式（１）のαが０．９９５の場合に最も強くなる。これに対して、電気特性Ｑmaxは、αが小さいほど高い値を示している。したがって、実際の製造にあたっては、要求される特性に以上の測定結果を照らし合わせて組成を特定する必要がある。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】分極方向を説明するための図である。
【図２】上下両面に振動電極が形成された状態の試験片の断面図である。
【図３】試料Ｎｏ．４の焼結体の破断面をＳＥＭで観察した像を示す。
【図４】試料Ｎｏ．７の焼結体の破断面をＳＥＭで観察した像を示す。
【図５】試料Ｎｏ．８の焼結体の破断面をＳＥＭで観察した像を示す。
【符号の説明】
【００４３】
１…試験片、２…振動電極
【図１】
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【図２】
2006213539.tif 000006
【図３】
2006213539.tif 000007
【図４】
2006213539.tif 000008
【図５】
2006213539.tif 000009