(57)【要約】      （修正有）【課題】部品トレイの排出作業の邪魔になるエアホースを廃止し、十分なストロークバッファを考慮した吸着ヘッド及び電子部品実装装置を提供する。【解決手段】エアを供給する供給穴４７を有するヘッドホルダ装置３５に、着脱可能に装着される装着台５１と、端部にエジェクタ５３が設けられた吸引部５５とを有する吸着ヘッドにおいて、前記装着台５１は、突起状の連結部であって前記供給穴４７に連通する連通穴６１が設けられた連結部５９を備え、前記吸引部５５は、前記連結部５９が摺動可能に嵌合し、前記連通穴６１が開口する連結穴６５を備え、該連結穴６５は前記エジェクタ５３に正圧エアを供給する噴出ノズル７３に連通し、前記装着台５１と前記吸引部５５との間には、正圧エアが供給されたときに該装着台５１と該吸引部５５とを離間させる方向に働く力を相殺するバランス装置７７を備えた。【選択図】  図２
2006332486.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エアを供給する供給穴を有するヘッドホルダ装置に、着脱可能に装着される装着台と、エジェクタが設けられた吸引部と、を有する吸着ヘッドにおいて、
前記装着台は、突起状の連結部であって前記供給穴に連通する連通穴が設けられた連結部を備え、
前記吸引部は、前記連結部が摺動可能に嵌合し、前記連通穴が開口する連結穴を備え、該連結穴は前記エジェクタに正圧エアを供給する噴出ノズルに連通し、
前記装着台と前記吸引部との間には、正圧エアが供給されたときに該装着台と該吸引部とを離間させる方向に働く力を相殺するバランス装置を備えたことを特徴とする吸着ヘッド。
【請求項２】
電子部品が実装される基板を搬入して実装される位置に位置決めする基板搬送装置と、
電子部品を収容する多数のポケットが配置された部品トレイを供給する電子部品供給装置と、
前記電子部品供給装置により供給されたトレイの各ポケットに収納された各電子部品を吸着するための部品吸着ヘッドと、該部品吸着ヘッドを着脱可能に装着するとともに前記電子部品を吸着するために前記部品吸着ヘッドに負圧を供給する供給穴が形成されたヘッドホルダ装置とを有し、前記部品吸着ヘッドに吸着された電子部品を前記基板に実装する部品移載装置と、
前記ヘッドホルダ装置に着脱可能に装着され、空になった部品トレイを吸着して排出するトレイ吸着ヘッドとを備えた電子部品実装機において、
前記トレイ吸着ヘッドは、前記ヘッドホルダ装置に着脱可能に装着される装着台と、下部に部品トレイを吸着するエジェクタが設けられた吸引部とを有し、
前記装着台は、下方に延びる突起状の連結部であって前記供給穴に連通する連通穴が設けられた連結部を備え、
前記吸引部は、前記連結部が摺動可能に嵌合し、前記連通穴が開口する連結穴を備え、この連結穴は前記エジェクタに正圧エアを供給する噴出ノズルに連通し、
前記供給穴に負圧エア又は正圧エアを選択的に供給するエア供給装置を備え、
前記装着台と前記吸引部との間には、正圧エアが供給されたときに該装着台に対し該吸引部を下方に押圧する力を相殺するバランス装置を備えことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項３】
請求項２において、前記バランス装置は、前記装着台と前記吸引部の間に設けられたシリンダ装置であって、該シリンダ装置は前記連結穴に連通する連通道を備え、該連結穴に正圧エアが供給されると前記吸引部を下方に押圧する力を相殺する力を生じさせることを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項４】
請求項２又は３において、前記装着台と前記吸引部との間にばね部材を設け、前記装着台と前記吸引部とを離間する方向に付勢することを特徴とする電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被吸着物を吸着して移送するのに使用される吸着ヘッド及び部品供給が終了した空の部品トレイを吸着して排出する部品トレイ排出装置を備えた電子部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
大型の電子部品を供給するには、キャリアテープではテープ内に該大型の電子部品を保持することが困難であるため、部品トレイに並列に並べることによって供給される。そして、電子部品がなくなった部品トレイの排出やプリント基板の種類の交替にあわせて部品トレイを交換するために、部品トレイを移動させることが必要となる。このように、電子部品が部品トレイによって供給される場合、従来、電子部品の移送と部品トレイの移送とはそれぞれ別々の移送装置により行われていた。そのため、電子部品移送装置の構成が複雑となり、コストが高くなるという問題があった。
【０００３】
この問題を解決するため、特許文献１に記載される技術が考えられた。この技術は、同文献の第１３頁  図１に示すように、部品トレイを保持するトレイ吸着ヘッド２００と電子部品を保持する部品吸着ヘッドとを択一的に保持できるホルダ９２及びこのホルダを移動させるホルダ移動装置によって、部品トレイ３４と電子部品とを保持して移送するというものである。この技術では、ヘッドの部分を替えるだけで共通するホルダ９２及び移動装置５８等で部品トレイ３４と電子部品との両方が移送できるので、装置の構成を簡単にすることができる。
【０００４】
また、この技術は部品トレイ３４と電子部品とを負圧で吸引して保持するものであり、部品吸着ヘッドは部品用通路１４６への負圧の供給により電子部品を保持し、圧縮空気の供給により保持を開放するようになっている。一方、トレイ吸着ヘッド２００は、部品用通路１４６から空気供給体２０４に供給される圧縮空気を噴出口２４０から円環状通路２３４の部品トレイ３４側とは反対側の開口近傍に噴出させ、円環状通路２３４と部品トレイ３４との間の空気を吸引し、部品トレイ３４を保持するようになっている。
【特許文献１】特開平６−２９６０９２号公報（第１３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、部品トレイの被吸着面には浅い凹部や低い突起が存在し、部品トレイの厚みもまちまちであり、吸着においてそのような様々な被吸着面又は厚みの部品トレイを吸着するため、トレイ吸着ヘッドにおいて吸着面と直交する方向に緩衝移動するバッファ装置が必要となっている。例えば上記特許文献１ではバッファ装置としてスポンジ２４２が使用されているが、十分な緩衝移動を得ることができなかった。
【０００６】
また、図７及び図８に示すようなストロークバッファ装置１５３を備えたトレイ吸着ヘッド１５５も知られている。これは装着台１５６と吸引部１５８との間がばね部材で離間するように付勢され、部品トレイを吸着するときには装着台１５６に対し吸引部１５８が接近するように緩衝移動する。このトレイ吸着ヘッド１５５が装着されるヘッドホルダ装置１５７は、トレイ吸着ヘッド１５５及び部品吸着ヘッドが装着されるために負圧エアが流通する装着エア流通路１５９と、部品吸着ヘッドが装着されたときに負圧エアが流通する負圧流通路１６１とを備えている。
【０００７】
そして部品吸着ヘッドが装着されたときには、負圧流通路１６１が吸着部１６０下面に開口しているので、吸着部１６０に装着された部品吸着ヘッドの中を通して吸着ノズルに直接連通するようになっている。
【０００８】
一方、トレイ吸着ヘッド１５５には、部品トレイを吸着するエジェクタ１６３に正圧エアを供給する正圧流通路がエアホース１５１として別に設けられていた。ところが、このエアホース１５１がヘッドホルダ装置１５７の円滑な移動の妨げとなったり、吸着する部品トレイに接触したりして、部品トレイの排出時に作業の邪魔になることがあった。
【０００９】
本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされたものであり、装置の構成を簡単にすることができ、被吸着物の排出作業の邪魔になるエアホースを廃止することができ、十分な緩衝移動が可能な吸着ヘッドを提供するとともに、かかる吸着ヘッドを備えた電子部品実装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決するために、請求項１に係る発明の構成上の特徴は、エアを供給する供給穴を有するヘッドホルダ装置に、着脱可能に装着される装着台と、エジェクタが設けられた吸引部と、を有する吸着ヘッドにおいて、前記装着台は、突起状の連結部であって前記供給穴に連通する連通穴が設けられた連結部を備え、前記吸引部は、前記連結部が摺動可能に嵌合し、前記連通穴が開口する連結穴を備え、該連結穴は前記エジェクタに正圧エアを供給する噴出ノズルに連通し、前記装着台と前記吸引部との間には、正圧エアが供給されたときに該装着台と該吸引部とを離間させる方向に働く力を相殺するバランス装置を備えたことである。
【００１１】
請求項２に係る発明の構成上の特徴は、電子部品が実装される基板を搬入して実装される位置に位置決めする基板搬送装置と、電子部品を収容する多数のポケットが配置された部品トレイを供給する電子部品供給装置と、前記電子部品供給装置により供給されたトレイの各ポケットに収納された各電子部品を吸着するための部品吸着ヘッドと、該部品吸着ヘッドを着脱可能に装着するとともに前記電子部品を吸着するために前記部品吸着ヘッドに負圧を供給する供給穴が形成されたヘッドホルダ装置とを有し、前記部品吸着ヘッドに吸着された電子部品を前記基板に実装する部品移載装置と、前記ヘッドホルダ装置に着脱可能に装着され、空になった部品トレイを吸着して排出するトレイ吸着ヘッドとを備えた電子部品実装機において、前記トレイ吸着ヘッドは、前記ヘッドホルダ装置に着脱可能に装着される装着台と、下部に部品トレイを吸着するエジェクタが設けられた吸引部とを有し、前記装着台は、下方に延びる突起状の連結部であって前記供給穴に連通する連通穴が設けられた連結部を備え、前記吸引部は、前記連結部が摺動可能に嵌合し、前記連通穴が開口する連結穴を備え、この連結穴は前記エジェクタに正圧エアを供給する噴出ノズルに連通し、前記供給穴に負圧エア又は正圧エアを選択的に供給するエア供給装置を備え、前記装着台と前記吸引部との間には、正圧エアが供給されたときに該装着台に対し該吸引部を下方に押圧する力を相殺するバランス装置を備えたことである。
【００１２】
請求項３に係る発明の構成上の特徴は、請求項２において、前記バランス装置は、前記装着台と前記吸引部の間に設けられたシリンダ装置であって、該シリンダ装置は前記連結穴に連通する連通道を備え、該連結穴に正圧エアが供給されると前記吸引部を下方に押圧する力を相殺する力を生じさせることである。
【００１３】
請求項４に係る発明の構成上の特徴は、請求項２又は３において、前記装着台と前記吸引部との間にばね部材を設け、前記装着台と前記吸引部とを離間する方向に付勢することである。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に係る発明においては、ヘッドホルダ装置に設けられた供給穴、連結部に設けられた連通穴及び連通穴が開口する連結穴を通じて噴出ノズルに正圧エアを供給し、被吸着物をエジェクタ（エジェクタ式真空ポンプ）で吸引する。これにより、エジェクタに正圧エアを供給するためのエアホースを省略することができ、従来、作業の邪魔になったエアホースがないので、吸着作業を円滑におこなうことができる。また、吸着ヘッドは連結部と連結穴とが摺動することによって、装着台と吸引部とが相対的に接近離間する。そして、正圧エアが連結穴に供給されると、このエアの圧力により連結穴より連結部を押し出そうとする力が働き、装着台と吸引部とを離間させる方向に働く力となる。このとき、該装着台と該吸引部との間に備えたバランス装置で、この力を相殺することによって、該吸引部を該装着台に小さな力で円滑に接近させることができる。これにより、吸着される被吸着物の厚みのばらつきに対応して、確実に吸着することができる吸着ヘッドを提供することができる。
【００１５】
請求項２に係る発明においては、ヘッドホルダ装置に設けられた供給穴、連結部に設けられた連通穴及び連通穴が開口する連結穴を通じて噴出ノズルに正圧エアを供給し、部品トレイをエジェクタで吸引する。これにより、エジェクタに正圧エアを供給するためのエアホースを省略することができ、作業の邪魔になったエアホースがないので、トレイ排出作業を円滑におこなうことができる。また、トレイ吸着ヘッドは前記連結部と前記連結穴とが摺動することによって、装着台に対して吸引部が上下方向に接近離間する。そして正圧エアが前記連結穴に供給されると、このエアの圧力により連結穴より連結部を押し出そうとする力が働き、前記装着台に対して前記吸引部が下方へ押圧する力を生じる。このとき該装着台と該吸引部との間に備えたバランス装置で、この押圧する力を相殺することによって、該吸引部を該装着台に小さな力で円滑に接近させることができる。これにより、吸着される部品トレイの厚みのばらつきに対応して、確実に吸着することができるトレイ吸着ヘッドを備えた電子部品実装装置を提供することができる。
【００１６】
また、この電子部品実装装置は電子部品を吸着するときには、部品吸着ヘッドを前記トレイ吸着ヘッドが装着されていた同じヘッドホルダ装置に装着することができる。このように、同じヘッドホルダ装置にトレイ吸着ヘッドと部品吸着ヘッドとを選択的に装着することによって、それぞれ別のヘッドホルダ装置や該ヘッドホルダ装置を移動させる別の移動装置を設ける必要がないので、電子部品実装装置の構成を全体として簡単にすることができる。        
【００１７】
請求項３に係る発明においては、シリンダ装置において正圧エアが供給されるとシリンダ装置のピストンが収縮することで、前記吸引部を上方へ引っぱる力を生じさせて前記吸引部を下方へ押圧する力を相殺することができる。        
【００１８】
請求項４に係る発明においては、ばね部材によって離間する方向に付勢されているので、正圧エアが供給されていないときでも、装着台と吸引部とは離間状態で保持され、相互にガタを生じさせない。また、ばね部材を弾発力が異なったものに換えることで、吸引部の下方への押圧力を簡単に変更することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明に係る電子部品実装装置の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。図１は電子部品実装装置を示す全体の概略図であり、図２は電子部品実装装置に使用される吸着ヘッドホルダに装着されたトレイ吸着ヘッドの断面図である。
【００２０】
本実施形態の電子部品実装装置１は、電子部品が実装される基板Ｓを搬入して実装される位置に位置決めする基板搬送装置３と、電子部品が収容された部品トレイ５を供給する電子部品供給装置９と、電子部品供給装置９から供給された電子部品を基板Ｓに実装する部品移載装置１１と、電子部品が取り出されて空になった部品トレイ５を排出する部品トレイ排出装置１５と、これらの装置を制御する図略の制御装置と、管理データを記憶する図略の記憶装置とから構成されている。
【００２１】
基板搬送装置３には搬送方向に延在する一対の横架フレーム１７が設けられ、横架フレーム１７には基板Ｓを載置して搬送するコンベヤベルトが設けられている。基板搬送装置３は図示はしないが、基板Ｓを支持して実装位置まで上昇させる昇降装置と、上昇された位置で基板Ｓを位置決め固定するクランプ装置とを備えている。
【００２２】
電子部品供給装置９は、トレイ供給装置２１を備え、トレイ供給装置２１はキャスタ２３a及び車輪２３bを有する支持部２３により支持されたハウジング２５を有している。ハウジング２５内には複数段の棚が形成されたトレイストッカ２７が設けられ、トレイストッカ２７はハウジング２５内を昇降可能に形成されている。これらの棚はそれぞれ各段毎に識別できるようになっており、各棚毎に部品トレイ５が収納されている。これらの棚から部品トレイ５を引き出すには、トレイストッカ２７を昇降させることによって、引き出すことが必要な部品トレイ５が収納されている棚が取出し位置に位置決めされ、後述するトレイ取出し装置により該部品トレイ５が引き出されるようになっている。これらの部品トレイ５には個別の識別番号が付与されるとともに、それぞれ電子部品を収容する多数のポケットが形成されている。これらのポケットは、例えばます目状に形成され、各ポケットの位置が縦軸の数字及び横軸のアルファベット等で特定できるようになっている。これによって、ポケットの位置と収容される電子部品とが一対一に対応させて管理できる。トレイストッカ２７においても、部品トレイ５を貯留する各棚毎に、部品トレイ５の搬入・搬出が管理データとして前記記憶装置に記録されて、部品トレイ５の貯留状況が管理できるようになっている。部品トレイ５は図示しない長方形上のパレット上に複数枚重ねた状態で保持され、その状態でトレイストッカ２７に収容され、後述するトレイ取出し装置２９によって引き出される場合にも、同状態で部品吸着領域Ｂまで移動するようになっている。各部品トレイ５の高さも前記記憶装置に記録されて、複数枚重ねあわされた場合の部品トレイ５の高さが演算可能になっている。ハウジング２５の図において右側部には略全面にわたって開く片開き扉２８が設けられ、新しい部品トレイ５が搬入される。ハウジング２５の図において左側部には、実装される電子部品を収容した部品トレイ５をトレイストッカ２７内から部品吸着領域Ｂに取り出すトレイ取出し装置２９が設けられている。トレイ取出し装置２９の図において手前側には、電子部品が取り出されて空になった部品トレイ５を集めて排出するための排出箱３１が設けられている。
【００２３】
部品移載装置１１は図１、図６に示すように、図示しない移動台に取り付けられる支持ベース３３と、この支持ベース３３にＸ方向及びＹ方向と直角なＺ方向に案内支持されてボールねじを介してサーボモータにより昇降するヘッドホルダ装置３５とヘッドホルダ装置３５に着脱可能に装着される部品吸着ヘッド３７から構成される。部品吸着ヘッド３７には電子部品を吸着保持する吸着ノズル３９が設けられている。また、ヘッドホルダ装置３５は、図６に示すように、管状の支持本体部４１と下面が平面状の吸着部４３とから構成されている。支持本体部４１は二重構造の管状で外側の管は負圧エアが供給される負圧エア流通路としての吸着穴４５であり、この吸着穴４５は吸着部４３の下面に開口し、図５に示すように、吸着穴４５に供給される負圧エアによって部品吸着ヘッド３７と後述するトレイ吸着ヘッドとが選択的に装着される。支持本体部４１の内側の管は正圧エア又は負圧エアが供給されるエア流通路としての供給穴４７であり、この供給穴４７は吸着部４３の下面中央に開口している。供給穴４７は図略のエア供給装置と連通し、前記制御装置によって制御された図略の電磁弁によって、正圧エアと負圧エアとが切替えられて供給されるようになっている。供給穴４７は部品吸着ヘッド３７の吸着ノズル３９に連通し、部品吸着ヘッド３７が装着されているときには、供給穴４７には負圧が供給されて電子部品を吸着する。前記吸着穴４５及び供給穴４７にエアを供給する空気圧回路には図略の真空破壊装置が設けられ、吸着された電子部品等を速やかに離脱することができるようになっている。
【００２４】
トレイ吸着ヘッド４９は図２、図３及び図４に示すように、ヘッドホルダ装置３５に装着される円盤状の装着台５１と下部にエジェクタ５３を備えた吸引部５５とから構成されている。装着台５１の上面にはシールシート５７が貼着され、装着台５１がヘッドホルダ装置３５に装着されると、シールシート５７は前記ヘッドホルダ装置３５の吸着部４３の下面に押圧されて装着台５１の上面と吸着部４３の下面とをシールするようになっている。装着台５１の下面には下方に延びる突起状の連結部５９が設けられ、連結部５９には装着台５１の上面から連結部５９の下端まで貫通するとともに前記供給穴４７に連通する連通穴６１が設けられている。装着台５１には後述するシリンダのピストン部を係止するピストン係止穴と一対のガイド係止穴とが、装着台５１の上面から下面を貫通して設けられている。これらのピストン係止穴及びガイド係止穴は連通穴６１と平行に設けられている。装着台５１の下面には前記連結部５９を囲むように環状溝が刻設されている。
【００２５】
吸引部５５の上面には連結部５９が嵌合する連結穴６５が設けられ、連結穴６５の開口部近傍の内壁には環状シール部材６７が付設される環状シール溝が周設されている。連結穴６５には連結部５９の連通穴６１が開口し、連結穴６５と供給穴４７とが連通するようになっている。連結穴６５の底部はエジェクタ５３の環状通気路７１に連通し、環状通気路７１には図２において右側に噴出する複数本の噴出ノズル７３が開口している。連結穴６５の下部内壁には後述するシリンダ装置に連通する連通道７５が開口している。吸引部５５の上面には連結穴６５を囲むように環状ばね保持溝が周設され、前記環状溝との間で螺旋状のばね部材８１を保持するようになっている。このばね部材８１は装着台５１と吸引部５５とを離間する方向に付勢するように構成されている。
【００２６】
連結穴６５の脇には連結穴６５と軸線方向が平行にバランス装置としてのシリンダ装置７７が設けられている。シリンダ装置７７はシリンダ本体８３とピストン部８５とからなり、シリンダ本体８３は連結穴６５に並設されたシリンダ装着穴８７に嵌着されている。シリンダ本体８３とシリンダ装着穴８７との間にはシール材８９が設けられ、シリンダ本体８３とシリンダ装着穴８７とは抜止め部材９１によって相対移動不能に固着されている。ピストン部８５は装着台５１のピストン係止穴６３にねじ部材９３によって螺着され、装着台５１の下面から下方に突設されるとともにシリンダ本体８３の摺動穴９０に摺動可能に嵌合されている。ピストン部８５の先端部外周には環状外周溝が設けられ、この環状外周溝には環状先端シール部材９７が設けられてシリンダ本体８３の内周壁との間をシールしている。摺動穴９０の開口近傍には開口部シール部材９９が設けられ、ピストン部８５の外周壁との間をシールしている。これらの環状先端シール部材９７と開口部シール部材９９と摺動穴９０の内周壁とピストン部８５の外周壁とにより気密室１０１が形成されている。この気密室１０１には前記連通道７５が開口し、気密室１０１と前記連結穴６５とが連通するように構成されている。連結穴６５に正圧エアが供給されると連通する気密室１０１にも正圧エアが供給され、気密室１０１は膨張して前記ピストン部８をシリンダ本体８３に引き込むようになっている。
【００２７】
図４に示すように、吸引部５５の前記連結穴６５の両側には一対のガイド部９８が設けられ、ガイド部９８にはそれぞれガイド穴９６が貫設されている。ガイド穴９６には下端に抜止めストッパ１００を有するガイド軸１０２が摺動可能に嵌合され、ガイド軸１０２先端は前記ガイド係止穴にねじ部材９３によって羅着されている。これらのガイド穴９６には例えばボールブッシュ１０４が配設され、ボールブッシュ１０４によってガイド軸１０２が滑らかに摺動するようになっている。
【００２８】
エジェクタ５３は前記吸引部５５の下部に配され、吹出し部１０３と吸引室１０５と吸着保持部１０７とから構成される。吹出し部１０３は前記噴出ノズル７３が上流側で開口して噴出されるエアの流速を早める絞り部１０９を有し、絞り部１０９より更に下流側にある吹出し口１１１からエアを吹き出すようになっている。吹出し部１０３の吹出し口１１１近傍には下方へのエアの吹出しを規制する風除け板１１３が設けられている。吸引室１０５は吹出し部１０３の上流側にあって、噴出ノズル７３の噴出によるエアの流れによって負圧を生じさせ、吹出し部１０３の反対側にある吸着保持部１０７よりエアを吸引するようになっている。吸着保持部１０７は下方に開放した吸引口１１５を有し、吸引口１１５には吸着板１１７がボルトにより固着されている。吸着板１１７の下面には例えばスポンジ材の緩衝板１１９が付設されている。
【００２９】
このトレイ吸着ヘッド４９及び前記部品吸着ヘッド３７は、使用されていないときには前記トレイ取出し装置２９の脇に配置された図略の載置台に載置されている。必要なときには、制御装置に制御されてヘッドホルダ装置３５が該載置台まで移動し、ヘッドホルダ装置３５に必要なヘッド３７,４９が選択的に装着されて使用できるようになっている。
【００３０】
次に、上記のように構成された電子部品実装装置１の動作について、以下に説明する。まず、電子部品が実装される基板Ｓは、前記制御装置に制御された基板搬送装置３によって所定位置まで搬入され、その位置で図略のクランプ装置によって位置決め固定される。
【００３１】
実装される電子部品については、前記管理データにより基板Ｓの実装に必要な電子部品が収容された部品トレイ５が特定され、制御装置によってトレイストッカ２７が昇降され、必要な電子部品が収容された部品トレイ５が載置されたパレットが取出し位置の高さに位置決めされる。そして、トレイ取出し装置２９によって該パレットに載置された状態で部品トレイ５が部品吸着領域Ｂに引き出される。この間、ヘッドホルダ装置３５には予め部品吸着ヘッド３７が装着され、ヘッドホルダ装置３５の供給穴４７には負圧が供給できるようになっている。
【００３２】
次に、移動台及び支持ベース３３が移動して、ヘッドホルダ装置３５及び部品吸着ヘッド３７を前記部品吸着領域Ｂに引き出された部品トレイ５まで移動させ、吸着ノズル３９により必要な電子部品が吸着されて実装位置に位置決めされた基板Ｓに実装される。
【００３３】
このように部品トレイ５より電子部品が継続して取り出されて実装される。そして、管理データとして入力される部品トレイ５のポケット位置に対応した電子部品の取り出し記録より、すべての電子部品が取り出されて部品トレイ５が空になったと判断される場合は、空の部品トレイ５は部品吸着領域Ｂから排出される。
【００３４】
空の部品トレイ５の排出においては、まず、部品吸着ヘッド３７及びヘッドホルダ装置３５を図略の前記載置台まで移動させ、負圧流通路である吸着穴４５に前記真空破壊装置を作動させて、ヘッドホルダ装置３５から部品吸着ヘッド３７を離脱させる。
【００３５】
次に、トレイ吸着ヘッド４９が載置された図略の載置台までヘッドホルダ装置３５を移動させ、前記吸着穴４５に負圧エアを供給することによって、トレイ吸着ヘッド４９をヘッドホルダ装置３５に装着させる。
【００３６】
次に、トレイ吸着ヘッド４９が装着されたヘッドホルダ装置３５を部品吸着領域Ｂに載置された空になった部品トレイ５まで移動させる。その際トレイ吸着ヘッド４９が吸着する部品トレイ５の略中央に移動し、複数枚重ねられた最上部にある空の部品トレイ５の高さ位置にトレイ吸着ヘッド４９が位置合わせされて下降する。そして、トレイ吸着ヘッド４９の吸引口１１５を部品トレイ５の上面に接触させる。
【００３７】
次に、前記電磁弁を切替えて供給穴４７に正圧エアを供給する。正圧エアが供給穴４７に供給されると、供給穴４７に連通する連結穴６１に正圧エアが供給され、更に環状通気路７１に正圧エアが供給されることとなる。環状通気路７１に供給された正圧エアはエジェクタ５３の噴出ノズル７３から吹出し口１１１に向かって噴出し、下面の吸引口１１５から吸引して空の部品トレイ５を吸着する。
【００３８】
このとき、正圧エアによって連結穴６１より連結部５９を押し出そうとする力が働き、装着台５１に対して吸引部５５を下方へ押し下げる力が生じる。一方、バランス装置としてのシリンダ装置７７にも連通道７５を通じて気密室１０１に正圧エアが供給される。そして、ピストン部８５をシリンダ本体８３に引き込む力が働き、装着台５１に対して吸引部５５を上方へ引っぱる力が生じて前記押し下げる力を相殺する。そのため、小さな力で吸引部５５を装着台５１に円滑に接近させることができ、かかる吸引部５５の緩衝移動によって複数種類の部品トレイ５による厚みのばらつきを吸収して確実に吸着することができる。また、緩衝板１１９によって部品トレイ５の上面形状に倣って接着するのでより確実に吸着される。
【００３９】
次に、部品トレイ５が吸着した状態でトレイ吸着ヘッド４９を上昇させる。そして、ヘッドホルダ装置３５を移動させることによって、空の部品トレイ５を、トレイ取出し装置２９の脇に設けられた排出箱３１の上方に移送する。そして、トレイ吸着ヘッド４９による吸引が前記真空破壊装置の作動によって停止されて、空の部品トレイ５は排出箱３１に収納される。
【００４０】
なお、部品トレイ５に、取り出されずに収容されている電子部品が存在する場合には、前記トレイ取出し装置２９を逆転操作等させることによってトレイストッカ２７の先に貯留されていた場所に戻される。そして、別の部品トレイ５が必要な場合には、同様に、トレイストッカ２７とトレイ取出し装置２９とが操作されて新たな部品トレイ５が部品吸着領域Ｂに引き出され、必要な電子部品が吸着ノズル３９で吸着されて基板Ｓに実装される。
【００４１】
なお、本実施形態では、電子部品実装装置において空の部品トレイを吸着するものとしたが、請求項１記載の吸着ヘッドはこれに限定されるものではなく、様々な被吸着物を吸着することができる。
【００４２】
また、本実施形態においてバランス装置としてシリンダ装置を使用したが、これに限定されるものではなく、例えば装着台と吸引部とを接近する方向に付勢するようにばね材、ゴム材等の弾性材料を装着台と吸引部との間に設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明に係る電子部品実装装置の概略図。
【図２】ヘッドホルダ装置にトレイ吸着ヘッドが装着された断面図。
【図３】トレイ吸着ヘッドの正面側からの断面図。
【図４】トレイ吸着ヘッドの側面側からの断面図。
【図５】エアの供給を示す空気圧回路の略図。
【図６】ヘッドホルダ装置に部品吸着ヘッドが装着された断面図。
【図７】従来例の斜視図。
【図８】従来例の断面図。
【符号の説明】
【００４４】
１…電子部品実装装置、３…基板搬送装置、５…部品トレイ、９…電子部品供給装置、１１…部品移載装置、３５…ヘッドホルダ装置、３７…部品吸着ヘッド、４７…供給穴、４９…トレイ吸着ヘッド、５１…装着台、５３…エジェクタ、５５…吸引部、５９…連結部、６１…連通穴、６５…連結穴、７３…噴出ノズル、７５…連通道、７７…シリンダ装置、８１…ばね部材、Ｓ…基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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