(57)【要約】【課題】  偏光軸のばらつきの少ない偏光光を照射して、光配向膜に所望の方向の配向を生じさせることができる光配向用偏光光照射装置を提供すること。  【解決手段】  棒状ランプ２１と樋状集光鏡２２を備え、光出射側にワイヤーグリッド偏光素子１０を備えた光照射部２０から偏光光を光配向膜４１に照射し光配向処理を行なう。光照射部２０を支持する支柱２４は、レール２６に沿って移動し、光照射部２０は搬送される光配向膜に対し直交する軸の周りを回転移動する。光配向膜４１の光配向方向を任意の角度に設定するには、光照射部２０を光配向膜に対し直交する軸の周りを回転移動させる。光照射部全体を回動させるので、ランプ２１の長手方向と偏光素子１０のグリッドの方向の関係は変化せず、偏光軸のばらつきも変化しない。さらに、光配向膜４１に斜めに偏光光を入射させるため光照射部２０を傾けられるように構成してもよい。【選択図】          図１
2006133498.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
線状の光源からの光をワイヤーグリッド偏光素子により偏光して出射する光照射部を備え、該光照射部からの偏光光を、該光照射部に対して相対的に移動する配向膜に照射する光配向用偏光光照射装置であって、
上記光照射部を配向膜に直交する軸の回りに回転させる機構が設けられている
ことを特徴とする光配向用偏光光照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示素子の配向膜や、紫外線硬化型液晶を用いた視野角補償フイルムの配向層などの光配向膜に偏光光を照射して光配向を行なう偏光光照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶パネルの配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などの配向処理に関し、配向膜に所定の波長の偏光光を照射することにより配向を行なう、光配向と呼ばれる技術が採用されるようになってきている。
以下、上記光により配向を行う配向膜や配向層を設けたフィルムのことを総称して光配向膜と呼ぶ。光配向膜は、液晶パネルの大型化と共に大型化しており、それと共に光配向膜に偏光光を照射する偏光光照射装置も大型化している。
上記光配向膜において、例えば視野角補償フィルムは、帯状で長尺のワークであり、配向処理後、所望の長さに切断し使用する。最近は、パネルの大きさに合わせて大きくなり、幅１５００ｍｍのものもある。
【０００３】
近年、このような帯状の長い光配向膜に対して光配向を行うために、棒状ランプとワイヤーグリッドの偏光素子を組み合せた偏光光照射装置が提案されている（例えば特許文献１、特許文献２参照）。
図１５に、線状の光源である棒状ランプとワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせた偏光手段を有する偏光光照射装置の構成例を示す。
高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等の棒状ランプ２１と、ランプ２１からの光を反射する断面が楕円形の樋状集光鏡２２を備えた光照射部２０を、ランプ２１の長手方向が、ワーク４０上に形成された光配向膜４１の幅方向（搬送方向に対して直交方向）になるように配置する。光照射部２０には、ワイヤーグリッド偏光素子１０が設けられている。ワイヤーグリッド偏光素子１０は、ランプ２１の発光長よりやや長い一辺を持つ長方形状で、その長手方向がランプ２１の長手方向に一致するように設けられている。
【０００４】
棒状ランプ２１は、その長手方向が樋状集光鏡２２の長手方向と一致するように、また、断面が楕円形の樋状集光鏡２２の第１焦点位置に一致するように配置され、ワーク４０上に形成された光配向膜４１は、樋状集光鏡２２の第２焦点位置に配置されている。
ワーク４０は例えば長尺の連続ワークであり、送り出しローラＲ１にロール状に巻かれており、送り出しローラＲ１から引き出されて搬送され、光照射部２０の下を通って巻き取りローラＲ２に巻き取られる。
ワーク４０が光照射部の下を搬送されるとき、ワーク４０の光配向膜４１に、ワイヤーグリッド偏光手段１０により偏光された棒状ランプ２１からの光が照射され、光配向処理される。
なお、ワイヤーグリッド偏光素子１０はガラスウエハを基板としてリソグラフィ技術やエッチング技術を利用して作成されるが、蒸着装置、リソグラフィ装置、エッチング装置などの処理装置が処理できる基板の大きさには限界があり、基板から切り出されるワイヤーグリッド偏光素子の大きさにも限界がある。そこで、例えば長さが長い棒状のランプに応じた大きな偏光素子が必要な場合、複数のワイヤーグリッド偏光素子をフレーム内に並べて配置して、上記ランプに対応できる長さのワイヤーグリッド偏光素子ユニットを作成し、この偏光素子ユニットを上記ワイヤーグリッド偏光素子１０として用いてもよい。
【０００５】
ワイヤーグリッド偏光素子については、例えば特許文献３や特許文献４に詳細が示されている。
ワイヤーグリッド偏光素子１の概略の構造を図１６に示す。
図１６（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図であり、同図に示すように、長さが幅よりもはるかに長い複数の直線状の電気導体１０ａ（例えばクロムやアルミニウム等の金属線、以下グリッドと呼ぶ）を、石英ガラスなどの基板１０ｂ上に平行に配置したものである。電気導体１０ａのピッチＰは、入射する光の波長以下、望ましくは１／３以下がよい。
電磁波中に上記偏光素子を挿入すると、グリッド１０ａの長手方向に平行な偏波（偏光）成分は大部分反射され、直交する偏波（偏光）成分は通過する。
ワイヤーグリッド偏光素子の特徴として、偏光光の消光比の入射角度（偏光素子に入射する光の角度）依存性が小さく、棒状ランプから出射する光のような拡散光であっても、入射角度が±４５°の範囲であれば、良好な消光比の偏光光が得られる。
したがって、棒状ランプの長さを、光配向膜の幅に対応させて設け、光配向膜を偏光光照射装置に対して相対的に移動させれば、原理的には１本のランプで、帯状の長い光配向膜の光配向処理を行うことができる。またランプからの光を平行光にするような光学素子も不要になり装置の小型化が可能である。
【特許文献１】特開２００４−１６３８８１号公報
【特許文献２】特開２００４−１４４８８４号公報
【特許文献３】特開２００２−３２８２３４号公報
【特許文献４】特表２００３−５０８８１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
光配向膜の配向方向は、配向膜に照射する偏光光の偏光軸の方向に依存する。基本的には、偏光軸の方法に沿って配向が生じると考えてよい。一方、光配向膜に生じさせる配向方向は、配向膜の用途や種類、製品である液晶パネルの種類、あるいは液晶パネルメーカのデザインルールにより種々異なる。
例えば、前記図１５において、（ａ）ワークの搬送方向に平行な方向の配向方向、（ｂ）ワークの搬送方向に直交する方向の配向方向、（ｃ）斜め４５°方向の配向方向といった配向方向が要求される。したがって、偏光光照射装置としては、出射する偏光光の偏光軸の方向を３６０°回転できるように構成されている必要がある。
偏光軸の方向を変える手段として、上記特許文献２においては、ランプの長手方向に対して、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドが並ぶ方向（角度）を変化させることにより行なうことが提案されている。
【０００７】
しかし、実際にワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向を、ランプの長手方向に対して変化させ、出射する偏光光の特性を測定したところ、グリッドの方向がランプ長手方向に対して傾いている場合、グリッドがランプ長手方向に対して平行、または直交する場合に比べ、偏光軸のばらつきが悪化する（ばらつきが大きくなる）ということがわかった。
偏光軸のばらつきが大きくなると、例えば液晶表示素子（液晶パネル）のコントラストが場所により異なり、ムラとして目に映るという問題が生じる。このため、光照射面における偏光軸のばらつきが±０．１°であることが要求されることもある。
図１７〜図１９に、ランプの長手方向に対するワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向と、光照射領域における偏光軸のばらつきの関係を示す。
図１７〜図１９は、前記図１５に示したように棒状ランプからの光を樋状集光鏡により集光し、ワイヤーグリッド偏光素子を介して光照射面に照射したときの、光照射面におけるランプ長手方向、ランプ断面方向の偏光軸のばらつきを示したものである。同図中の白抜き矢印は偏光軸の方向を示し、白抜きの領域は偏光軸のばらつきが±０．５°以下、ハッチングの領域は偏光軸のばらつきが±０．５°を越えていることを示す。
【０００８】
図１７は、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向が、ランプの長手方向に対し０°（平行）で、ランプ長手方向に対して直交方向の偏光光が照射される場合を示す。
また、図１８は、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向が、ランプの長手方向に対し９０°（直交）であり、ランプ長手方向に対して平行な方向の偏光光が照射される場合を示す。
いずれの場合も、光照射領域の四隅の周辺部を除いて、偏光軸のばらつきが±０．５°以下の領域（白抜きの領域）が広く存在する。
しかし、図１８のように、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向をランプの長手方向に対し直交するように設けた場合のほうが、偏光軸のばらつきが大きい領域が若干広くなる。しかし、両者とも、ランプの直下を見れば、ランプの長さいっぱいに、偏光軸のばらつきが±０．５°以下の領域が延びており、ランプの長さを有効に使って広い幅で光配向処理を行うことができる。
図１９は、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向が、ランプの長手方向に対し４５°の場合を示す。図１７、図１８と図１９を比較すると、照射領域における偏光軸のばらつきの分布の様子が異なることがわかる。
【０００９】
図１９の場合には、偏光軸のばらつきが±０．５°以下の領域が、図１７または図１８に比べて狭くなり、特にランプの長手方向については、ランプ直下であっても、ランプの長さに対して両端の１／３程度領域は、ばらつきが大きく使用できない。したがって、ランプの長さを有効に使うことができず、広い幅の光配向処理ができない。
また、これはまた別の問題であるが、ランプの長手方向に対して偏光素子のグリッドの方向が斜めであると（ランプ長手方向に対してグリッドが直角または平行でないと）、得られる偏光光の偏光軸の方向が、グリッドの角度からずれてしまうという現象も生じる。  例えば、図１９はグリッドの角度はランプ長手方向に対して４５°であるが、偏光軸のばらつきが±０．５°以下の領域における偏光軸の方向は５１．５°〜５２．５°であり、４５°に対して５°以上程度ずれる。
したがって、斜め方向の偏光軸を有する偏光光を照射する場合は、所望の偏光軸の方向を得るためのグリッドの方向を、予備実験や計算により求めておかねばならず、手順が非常に複雑になる。
したがって、ランプ長手方向に対し、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向を変化させる方法では、配向膜に対し、搬送方向に平行な配向方向、または直交する配向方向を生じさせるために使うことはできるが、それ以外の、斜め方向の配向を生じさせるために使うことは難しい。
【００１０】
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、線状の光源とワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせ、幅の広い光配向膜に対して偏光光を照射する偏光光照射装置において、配向膜に所望の方向の配向を生じさせることができるようにし、特に、線状光源の長手方向に対し、斜め方向の配向を生じさせる場合であっても、偏光軸のばらつきの少ない偏光光が照射できるようにした光配向用偏光光照射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明においては、線状の光源からの光をワイヤーグリッド偏光素子により偏光して出射する光照射部を備え、該光照射部からの偏光光を、該光照射部に対して相対的に移動する配向膜に照射する光配向用偏光光照射装置において、線状光線の長手方向と、とワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向の関係が変化しないように、光照射部が帯状の配向膜の搬送方向に対して回転可能とする。
ここで、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向は、偏光軸のばらつきの少ない領域が広く、また、偏光軸方向のずれも生じない、線状光源の長手方向に対し平行または直角方向に固定しておく。そして、配向膜の搬送方向に対し斜め方向の配向を生じさせる際には、偏光光を出射する光照射部を、ワイヤーグリッド偏光素子ごと、所望の配向方向に応じて回転させる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明においては、ワイヤーグリッド偏光素子を含めて光照射部全体を回動させるよう構成したので、線状光源の長手方向に対してワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向は変わらない。したがって、光照射部を回動させても出射する偏光光の偏光軸のばらつきは変化しない。
このための、配向膜の搬送方向に対し、斜め方向であっても、偏光軸のばらつきの少ない偏光光を照射することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は本発明の実施例の偏光光照射装置の構成を示す図である。
図１に示すように光照射部２０には、図１５と同様に線状の光源である、高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等の棒状のランプ２１と、ランプ２１からの光を反射する樋状の集光鏡２２が内蔵されている。また光出射側にはワイヤーグリッド偏光素子１０が設けられている。
なお、以下では、線状の光源として棒状ランプを例にして説明するが、近年は、紫外光を放射するＬＥＤやＬＤも実用化されており、このようなＬＥＤまたはＬＤを直線状に並べて配置し線状光源としても良い。なおその場合は、ＬＥＤまたはＬＤを並べる方向がランプの長手方向に相当する。
また、現在光配向膜の材料としては、波長２６０ｎｍ±２０ｎｍの光で配向されるもの、２８０ｎｍ〜３３０ｎｍの光で配向されるもの、３６５ｎｍの光で配向されるものなどが知られており、光源の種類は必要とされる波長に応じて適宜選択する。
ワイヤーグリッド偏光素子１０のグリッド１０ａの方向は、偏光軸のばらつきが少ない、ランプの長手方向に平行、もしくは直交する方向に並べられる。図１においては、グリッド１０ａがランプ２１の長手方向に直交するように配置している。  
【００１４】
光照射部２０のランプ２１の長手方向の両側には、ブロック２３が取り付けられ、このブロック２３を介して支柱２４が取り付けられている。支柱２４は円弧状のレール２６を移動する移動ブロック２５に取り付けられている。移動ブロック２５がレール２６上を移動することで、光照射部２０全体が回転する。
光配向膜４１が形成されたワーク４０は、上記２本の支柱の２４間を搬送される。レール２６は、光配向膜４１の面に平行な平面上に設けられており、光照射部２０は、搬送される光配向膜に対し直交する軸の周りを回転移動する。
上記ワーク４０は、前記図１５に示したロールに巻かれた長尺帯状のワークであってもよいし、また、光配向膜４１が形成された例えば液晶パネルの大きさに整形された矩形状のワークであってもよい。
【００１５】
ワークが矩形状の場合、ワーク４０は図２に示すようにワークステージ４２上に載置され、光照射部２０から偏光光を照射しながらワークステージ４２を同図の矢印方向に移動させて、光配向膜の光配向処理をする。
なお、前記図１５、図２において、ワーク４０の光配向膜４１に偏光光を照射し、光配向処理を行なう際、偏光光を照射しながらワーク４０を連続的に移動させてもよいし、ワークを間欠的に移動させながら偏光光を照射してもよい。
ワークを間欠的に移動させる場合には、例えば、ワーク４０を一定量移動させた後、ワーク４０を停止させて偏光光を照射し、ついで偏光光の照射を停止してワークを一定量移動させた後、ワークを停止させて偏光光を照射する動作を繰り返す。
また、ワークステージ４２を移動させる代わりに、ワーク４０上で光照射部２０を移動させてワーク４０の光配向処理を行ってもよい。
【００１６】
図３を用いて、本実施例の装置を使って光配向処理を行う場合の動作の説明をする。
図３（ａ）の場合、棒状ランプ２１の長手方向は、光配向膜４１の搬送方向に対し直交している。
上記したように、ワイヤーグリッド偏光素子１０からは、グリッドの方向に対し、直交する成分を有する偏光光が出射される。同図の場合、グリッドの方向はランプの長手方向に直交しているので、光出射部からは、ランプの長手方向に平行な偏光軸を有する偏光光が出射する。したがって、配向膜の配向方向は、搬送方向に直交方向になる。
図３（ｂ）は、光照射部２０を図３（ａ）の位置からθ°回転させた場合である。光照射部全体を回動させるので、ランプ２１の長手方向とワイヤーグリッド偏光素子１０のグリッド１０ａの方向の関係は変化しない。したがって偏光軸のばらつきも変化しない。
図３（ｂ）の場合も、図３（ａ）と同様、光出射部２０からは、ランプ２１の長手方向に平行な偏光軸を有する偏光光が出射する。したがって、配向膜の配向方向は、図３（ａ）に対してθ°傾いた配向方向が得られる。
【００１７】
また、ワイヤーグリッド偏光素子１０は、前記したように、グリッド１０ａの方向が、ランプ２１長手方向に対し、平行か直交する方向であれば偏光軸のばらつきの少ない領域が広いので問題なく使用することができる。
したがって、ワイヤーグリッド偏光素子１０を、グリッド１０ａの方向がランプ２１の長手方向に対し、平行または直交方向に切り換えられるようにしておき、また、図４、図５のように、光照射部２０を少なくとも±４５°回転できるようにしておけば、光配向膜に生じさせる配向方向を０〜１８０°の任意の方向に設定できる。
ただし、この場合、光照射部を４５°回転しても、光照射領域が配向膜の全幅を覆うことができるように、棒状ランプは、配向膜の幅に対して少なくとも√（２）倍（１．４倍）以上の長さのものを用いる必要がある。
なお、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向を切り換えるには、グリッドの方向が９０°異なるワイヤーグリッド偏光素子１０を２種類準備しておき、これを交換するようにすればよい。また、前記したように、複数のワイヤーグリッド偏光素子をフレーム内に並べて配置した偏光素子ユニットを用いる場合には、各偏光素子１０を正方形状に形成し、図６（ａ）（ｂ）に示すように、フレーム１１の中で偏光素子１０を９０°回転するようにすれば良い。
【００１８】
次に、光照射部２０を光配向膜に対し直交する軸の周りを回転移動させる、他の構成例について説明する。
図７は、図１に示した構成の変形例である。図１の構成では、レール２６とレール２６に沿って移動するブロック２５を、搬送される光配向膜より下に設けたが、図７においては、レール２６が支柱２４によって固定され、レール２６を移動する移動ブロック２５が光照射部２０に取り付けられる。
図８は他の構成例であり、光照射部２０を回転軸受を介して支柱に取り付け、回転可能とした構成を示す図である。同図（ａ）は、光照射部２０を光配向膜４１に垂直な方向から見た図、（ｂ）は、光照射部２０を光配向膜に平行な方向から見た図である。
この例では、光照射部２０の上部中央に回転軸受２７を設け、該回転軸受２７を介して上から支柱２４で光照射部２０を吊り下げたものである。
光照射部２０は、回転軸受２７により光配向膜４１に対し直交する軸の周りを回転移動する。光照射部２０は、回転後、所望の位置で固定される。光照射部２０を固定する機構は図には示していないが、適宜設ける。
【００１９】
図９は、光照射部の一方の端を回転軸にして回転可能とした構成を示す図である。同図（ａ）は、光照射部２０を光配向膜４１に垂直な方向から見た図、（ｂ）は、光照射部２０を光配向膜に平行な方向から見た図である。
光照射部２０は両端をそれぞれ支柱２４により支持されるが、一方の端においては、回転軸受２８ａを介して取り付け、回転自在とする。
もう一方の端においても、支柱２４とは回転軸受２８ｂを介して取り付けられるが、回転軸受２８ｂと光照射部２０との間に、伸縮が自在のシリンダ３０を取り付ける。また、支柱２４は、移動子２９を介し、直線のレール３１に取り付ける。
直線のレール３１上を移動子２９が移動すると、光照射部２０は、反対側の端の支柱２４を回転軸として回転する。回転により支柱２４に対する光照射部２０の位置が変化するが、その変化分は、シリンダ３０の伸縮により吸収する。
【００２０】
上記、実施例はいずれも、光照射部からの偏光光が、光配向膜に対して基本的に垂直に入射する構成である。これに対し、図１０に示すように光配向膜に対し、偏光光を斜めに入射させることが求められる場合がある。これは、例えば、液晶を光配向膜に対して所定の角度（プレチルト角という）立ち上げるために行われる。
図１１に、光配向膜に対して、偏光軸の方向を回転させることができ、かつ、斜めに入射させることができる偏光光照射装置を示す。
図１に示した装置において、光照射部２０と支柱２４をつなぐブロック２３に対し、光照射部２０を回転軸受３２により回転自在に取り付ける。回転軸受けの軸３２ａは、光照射部２０に設けられたランプの長手方向の中心軸と略一致しており、光照射部２０は軸３２ａを中心に同図の矢印方向に回転する。
これにより、光配向膜４１の面に平行な軸を中心として、光照射部２０を回転（揺動）させることができる。また、光照射部２０を傾けた状態に保持させるための固定手段を適宜設ける。
そして、偏光光を斜めに照射したい場合は、光照射部２０をブロック２３に設けた回転軸受３２により、光配向膜４１と平行な軸の回りに揺動移動させ、光軸が所望の角度になるように調整する。
【００２１】
ここで、図１１に示すように、光照射部を傾けて斜めに入射させる場合、上記回転軸受の位置が移動しないと、光配向膜４１に対して偏光光を垂直に入射させる場合と、斜めに入射させる場合とでは、ランプから光配向膜４１までの距離が変化する。すなわち、垂直に偏光光を入射させる場合に比べ、斜めに入射させた場合のほうが、光照射部から光配向膜４１までの距離が長くなる。
そこで、光照射部を傾けて光を斜めに入射させても、距離の変化がないように以下の構成にすることが考えられる。
（ａ）図１２（ａ）に示すように、光照射部２０を振り子のように傾け、光照射部のランプ２１の中心が光照射面を中心とする円弧上を移動するように構成する。
（ｂ）図１２（ｂ）に示すように、光照射部２０を傾けたとき、ランプ２１と光照射面の距離が等しくなるように、光配向膜４１の搬送面を光照射部２０に近づける。
（ｃ）図１２（ｃ）に示すように、光照射部２０を傾けたとき、ランプ２１と光照射面の距離が等しくなるように、光照射部２０を光配向膜４１に近づける。
【００２２】
図１３は、上記図１２（ｃ）で説明した光照射部を傾けたとき、光照射部を光配向膜に近づけることが出来るようにした装置の構成例を示す図である。
前記図１１において、光照射部２０を支持する２本の支柱２４を、伸び縮みするシリンダ状に構成し、光照射部２０を、同図の上下方向に移動可能とする。
これにより、光照射部２０を傾けたとき、支柱２４を短くして光照射部２０を光配向膜４１に近づけて、光照射部２０と光配向膜４１の距離が一定になるように調整することができる。また、移動ブロック２５がレール２６上を移動することで、光配向膜４１の面に平行な軸を中心として、光照射部２０を回転（揺動）させることができる。
【００２３】
図１４は、上記図１２（ａ）で説明した光照射部２０を振り子のように傾ける場合の装置の構成例を示す図である。
光照射部２０は、関節部３３を有する２本の支柱２４により支持される。関節部３３の回転軸３３ａは、光配向膜４１の面に略一致しており、光照射部２０は、この回転軸３３ａを中心とした円弧上を揺動する。
図１４（ａ）に示すように、光照射部２０を直立させることで光配向膜４１に対して偏光光を垂直に入射させることができる。また、図１４（ｂ）に示すように光照射部２０を傾けることで、光配向膜４１に斜めから偏光光を照射することができる。
光照射部２０は、上記回転軸２６ａを軸として回転するので、光照射部２０をどのような角度に傾けても、光照射部２０と光配向膜４１との距離は変化しない。また、移動ブロック２５がレール２６上を移動することで、光配向膜４１の面に平行な軸を中心として、光照射部２０を回転（揺動）させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施例の偏光光照射装置の構成を示す図である。
【図２】長尺帯状でないワークに偏光光を照射する場合の偏光光照射装置の構成例を示す図である。
【図３】図１の実施例に示した偏光光照射装置を使って光配向処理を行なう場合の動作を説明する図である。
【図４】光照射部を最大±４５°傾けることで、光配向膜の配向方向を任意の方向に設定できることを説明する図（１）である。
【図５】光照射部を最大±４５°傾けることで、光配向膜の配向方向を任意の方向に設定できることを説明する図（２）である。
【図６】フレーム内に偏光素子を並べて配置した偏光素子ユニットにおけるグリッドの方向の切り換えを説明する図である。
【図７】光照射部を回転移動させる他の構成例（１）を示す図である。
【図８】光照射部を回転移動させる他の構成例（２）を示す図である。
【図９】光照射部を回転移動させる他の構成例（３）を示す図である。
【図１０】光配向膜に対して、光照射部を傾けて偏光光を斜めに入射させる場合を示す図である。
【図１１】光配向膜に対して、偏光軸の方向を回転させる、かつ斜めに入射させることができる偏光光照射装置の構成例を示す図である。
【図１２】光照射部を傾けて光を斜めに入射させてもランプと光配向膜との距離の変化がないようにした装置の構成例を示す図である。
【図１３】光照射部と光配向膜の距離を可変にした装置の構成例を示す図である。
【図１４】光照射部を振り子のように傾ける装置の構成例を示す図である。
【図１５】線状の光源である棒状ランプとワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせた偏光手段を有する偏光光照射装置の構成例を示す図である。
【図１６】ワイヤーグリッド偏光素子の概略の構造を示す図である。
【図１７】ランプの長手方向に対する偏光軸の方向と、光照射領域における偏光軸のばらつきの関係を示す図（グリッドの方向がランプの長手方向に対し平行の場合）である。
【図１８】ランプの長手方向に対する偏光軸の方向と、光照射領域における偏光軸のばらつきの関係を示す図（グリッドの方向がランプの長手方向に対し直交する場合）である。
【図１９】ランプの長手方向に対する偏光軸の方向と、光照射領域における偏光軸のばらつきの関係を示す図（グリッドの方向がランプの長手方向に対し４５°の場合）である。
【符号の説明】
【００２５】
１０    ワイヤーグリッド偏光素子
２０    光照射部
２１    棒状ランプ
２２    樋状集光鏡
２３    ブロック
２４    支柱
２５    移動ブロック
２６    レール
２７    回転軸受
２８ａ，２８ｂ  回転軸受
２９    移動子
３０    シリンダ
３１    レール
３２    回転軸受
３３    間接部
４０    ワーク
４１    光配向膜
４２    ワークステージ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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