(57)【要約】【課題】  フィルタ部材の積層数、更には個々のフィルタ部材の厚さの変更に容易に対応でき、管理の簡易化並びにコストの低減が可能なフィルタ用フレームを提供する。【解決手段】  フィルタ部材の平面部と当接する前面壁と、前記前面壁の一方の端縁から収容するフィルタ部材の厚さに対応した高さで立設し、かつ、その先端部分に一方の係止片を有する側面壁とで構成される断面略L字状の枠材同士を連結してなる第１枠体と、フィルタ部材の平面部と当接する前面壁と、前記前面壁の一方の端縁から収容するフィルタ部材の厚さに対応した高さで立設し、かつ、その先端部分に他方の係止片を有する側面壁とで構成される断面略L字状の枠材同士を連結してなる第２枠体とからなり、前記両枠体の何れか一方が他方の内部に摺動受け入れ可能であるとともに、該両枠体は係止片同士を係合させて一体化される。【選択図】  図５
2006068641.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルタ部材を多段に積層した状態で保持するフィルタ用フレームであって、
フィルタ部材の平面部と当接する前面壁と、前記前面壁の一方の端縁から収容するフィルタ部材の厚さに対応した高さで立設し、かつ、その先端部分に一方の係止片を有する側面壁とで構成される断面略L字状の枠材同士を連結してなる第１枠体と、
フィルタ部材の平面部と当接する前面壁と、前記前面壁の一方の端縁から収容するフィルタ部材の厚さに対応した高さで立設し、かつ、その先端部分に他方の係止片を有する側面壁とで構成される断面略L字状の枠材同士を連結してなる第２枠体とからなり、
前記両枠体の何れか一方が他方の内部に摺動受け入れ可能であるとともに、該両枠体は係止片同士を係合させて一体化されることを特徴とするフィルタ用フレーム。
【請求項２】
第１枠体及び第２枠体において、対向する一方の対の枠材が、その側面壁に、内部にネジ溝が形成されたレール部を有し、他方の対の枠材が、その両端部において一方の枠材の側面壁の高さに相当する長さで側面壁が切除され、かつ、前面部にレール部に対応してネジ孔が形成された切欠部を有しており、前記一方の枠材の端部を前記他方の枠材の切欠部に係合させ、他方の枠材のネジ孔と一方の枠材のレール部とがネジで連結されていることを特徴とする請求項１記載のフィルタ用フレーム。
【請求項３】
レール部に、その全長にわたりスリットが形成されていることを特徴とする請求項２記載のフィルタ用フレーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体の製造に用いられるクリーンルームの天井や壁面にフィルタ部材を取り付けるフィルタ用フレーム及びフィルタ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体を製造するためのクリーンルームには、天井や壁面等に、ゴミや塵を除去するためのフィルタ部材が装着されている。このフィルタ部材は、その周辺をフィルタ用フレームで保持し（図５参照）、フィルタ用フレームごとクリーンルームの天井や壁面等に装着される。
【０００３】
フィルタ用フレームは、種々の構成のものが知られているが、フィルタ部材の縦辺及び横辺に対応した２対の枠材同士をネジで連結する構成が一般的である（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００４−１３２６２０号公報
【特許文献２】特開２００２−２００４０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
フィルタ部材は、同種もしくは異種のものを多段に積層した状態で使用されることがあり、その積層数も種々異なる。従来は、フィルタ部材の積層数、更には個々のフィルタ部材の厚さが変更された場合、それに合わせてフィルタ用フレーム全体を交換することによって対応していた。そのため、多種のフィルタ用フレームを作製、あるいは予め用意する必要があり、管理やコスト面で問題があった。
【０００５】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、フィルタ部材の積層数、更には個々のフィルタ部材の厚さの変更に容易に対応でき、管理の簡易化並びにコストの低減が可能なフィルタ用フレームを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は下記のフィルタ用フレームを提供する。
（１）フィルタ部材を多段に積層した状態で保持するフィルタ用フレームであって、
フィルタ部材の平面部と当接する前面壁と、前記前面壁の一方の端縁から収容するフィルタ部材の厚さに対応した高さで立設し、かつ、その先端部分に一方の係止片を有する側面壁とで構成される断面略L字状の枠材同士を連結してなる第１枠体と、
フィルタ部材の平面部と当接する前面壁と、前記前面壁の一方の端縁から収容するフィルタ部材の厚さに対応した高さで立設し、かつ、その先端部分に他方の係止片を有する側面壁とで構成される断面略L字状の枠材同士を連結してなる第２枠体とからなり、
前記両枠体の何れか一方が他方の内部に摺動受け入れ可能であるとともに、該両枠体は係止片同士を係合させて一体化されることを特徴とするフィルタ用フレーム。
（２）第１枠体及び第２枠体において、対向する一方の対の枠材が、その側面壁に、内部にネジ溝が形成されたレール部を有し、他方の対の枠材が、その両端部において一方の枠材の側面壁の高さに相当する長さで側面壁が切除され、かつ、前面部にレール部に対応してネジ孔が形成された切欠部を有しており、前記一方の枠材の端部を前記他方の枠材の切欠部に係合させ、他方の枠材のネジ孔と一方の枠材のレール部とがネジで連結されていることを特徴とする上記（１）記載のフィルタ用フレーム。
（３）レール部に、その全長にわたりスリットが形成されていることを特徴とする上記（２）記載のフィルタ用フレーム。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のフィルタ用フレームは、第１枠体及び第２枠体のそれぞれにフィルタ部材を収容して一体化する構成であり、例えば、一方のフィルタ部材の厚さが変更された場合や、一方のフィルタ部材を積層する場合でも、他方の枠体はそのまま使用でき、従来のようにフレーム全体を変更する場合に比べて対応が容易になる。そのため、作製もしくは用意しておく枠体の種類を少なくすることができ、管理やコスト面において有利になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【０００９】
図１は本発明のフィルタ用フレームを構成する一方の枠体（第１枠体）１３を示す分解斜視図であり、図２はその組み付け状態を示す斜視図である。図示されるように、第１枠体１３は、収容するフィルタ部材の縦辺に対応する長さの縦辺用枠材１５Ａを一対で対向配置し、フィルタ部材の横辺に対応する長さの横辺用枠材１５Ｂを一対で対向配置し、端部同士をネジ１６で連結して概略四角筒状に組み立てられている。
【００１０】
縦辺用枠材１５Ａは、前面壁１７と、前面壁１７の一端縁から略直角に立設する側面壁１８とを一体に有する断面が概略Ｌ字状の長尺部材である。また、側面壁１８の前面壁１７が突出している側の面（以下、内面）には、その先端部分に、全長にわたって係止爪部１９が形成されている。係止爪部１９は、先端から前面壁１７に向かって漸次突出量が大きくなる傾斜面として作られ、前面壁１７側に所定長進んだ位置にて側面壁１８の内面と略直角な面をなす係止面１９ａが形成されている。更に、側面壁１８の内面側には、前面壁１７からフィルタ部材の厚さに対応する距離離間した位置に、全長にわたり略パイプ状のレール部２０が付設されている。レール部２０は、内部にネジ溝２１が形成されており、更に、周面の一部に長さ方向に沿って連続したスリット２２が形成されてもよい。
【００１１】
横辺用枠材１５Ｂは縦辺用枠材１５Ａと同様の断面略Ｌ字状の長尺部材であり、その側面壁２６は縦辺用枠材１５Ａの側面壁１８と同じ高さに形成され、先端部分には全長にわたって縦辺用枠材１５Ａと同形の係止爪部２７が形成されている。また、前面壁２５の両端は、縦辺用枠材１５Ａの前面壁１７の長さと一致して切除されて切欠部２３，２３が形成されている。この切欠部２３には縦辺用枠材１５Ａの端部が係合され、側面壁２６には、係合時において縦辺用枠材１５Ａのレール部材２０のネジ溝２１に対応する位置にネジ孔２４が形成されている。尚、横辺用枠材１５Ｂのネジ孔２４が本来の位置から外れて、即ち縦辺用枠材１５Ａのレール部２０と一致しない位置に形成されることがあるが、レール部２０にスリット２２が形成されていると、この位置ズレを許容してネジ止めすることが可能になる。
【００１２】
尚、上記の縦辺用枠材１５Ａは、押出成形により前面壁１７、側面壁１８及びレール部２０に相当するパイプ状物を一体に成形し、所定長さに切断した後、パイプ状物の内壁にネジ溝２１を形成し、必要によりスリット２２を形成してレール部２０を形成すればよい。また、横辺用枠材１５Ｂも、前面壁２５及び側面壁２６を一体に成形し、所定長さに切断した後、切欠部２３及びネジ孔２４を形成すればよい。
【００１３】
第１枠体１３は上記のように構成され、フィルタ部材は縦辺用枠材１５Ａの前面壁１７とレール部２０とで挟持されて収容される（図６、図７参照）。
【００１４】
次に、第２枠体について説明する。図３は第２枠体１４を示す分解斜視図であり、図４はその組み付け状態を示す斜視図である。図示されるように、第２枠体１４は、第１枠体１３の縦辺用枠材１５Ａの長さよりも若干短い縦辺用枠材３５Ａを一対で対向配置し、第１枠体１３の横辺用枠体１５Ｂの長さよりも若干短い横辺用枠材３５Ｂを一対で対向配置し、端部同士をネジ３６で連結して概略四角筒状に組み立てられている。
【００１５】
横辺用枠材３５Ｂは、前面壁３７と、前面壁３７の一端縁から略直角に立設する側面壁３８とを一体に有する断面が概略Ｌ字状の長尺部材であり、側面壁３８の前面壁３７が突出している側の面（以下、内面）には、側面壁３８の先端からフィルタ部材の厚さに対応する距離離間した位置に、全長にわたり略パイプ状のレール部４０が付設されている。レール部４０は、内部にネジ溝４１が形成されており、更には、周面の一部に長さ方向に沿って連続したスリット４２が形成されてもよい。更に、側面壁３８の先端部には、第１枠体の横辺用枠材１５Ｂの係止爪部２７と互いに係合し合う係止爪部３９が形成されている。この係止爪部３９は、側面壁３８の先端から所定の位置にて肉厚方向に垂直に切り込みが形成され、更にこの切り込みを起点として第１枠体の横辺用枠材１５Ｂの傾斜面に対応する傾斜面を形成して構成されている。尚、切り込みの端面が、第１枠体の横辺用枠材１５Ｂの係止爪部２７の係止面２７ａと係合する係止面３９ａとなる。
【００１６】
縦辺用枠材３５Ａは横辺用枠材３５Ｂと同様の断面が概略Ｌ字状の長尺部材であり、その側面壁４６は横辺用枠材３５Ｂの側面壁３８と同じ高さに形成され、先端部分には全長にわたって第１枠体１３の縦辺用枠材１５Ａの係止爪部１９と互いに係合し合う係止爪部４７が形成されている。この係止爪部４７は、側面壁４６の先端から所定の位置にて肉厚方向に垂直に切り込みが形成され、更にこの切り込みを起点として第１枠体１３の縦辺用枠材１５Ａの傾斜面に対応する傾斜面を形成して構成されている。尚、切り込みの端面が、第１枠体１３の縦辺用枠材１５Ａの係止爪部１９の係止面１９ａと係合する係止面４７ａとなる。また、前面壁４５の両端は、横辺用枠材３５Ｂの前面壁３７の長さと一致して切除されて切欠部４３，４３が形成されている。この切欠部４３には横辺用枠材３５Ｂの端部が係合され、側面壁４６には、係合時において横辺用枠材３５Ｂのレール部材４０のネジ溝４１に対応する位置にネジ孔４４が形成されている。尚、縦辺用枠材３５Ａのネジ孔４４が本来の位置から外れて、即ち横辺用枠材３５Ｂのレール部４０と一致しない位置に形成されることがあるが、レール部４０にスリット４２が形成されていると、この位置ズレを許容してネジ止めすることが可能になる。
【００１７】
尚、上記の横辺用枠材３５Ｂは、押出成形により前面壁３７、側面壁３８及びレール部４０に相当するパイプ状物を一体に成形し、所定長さに切断した後、パイプ状物の内壁にネジ溝４１を形成し、必要によりスリット４２を形成してレール部４０を形成すればよい。また、縦辺用枠材３５Ａも、前面壁４５及び側面壁４６を一体に成形し、所定長さに切断した後、切欠部４３及びネジ孔４４を形成すればよい。
【００１８】
第２枠体１４は上記のように構成され、フィルタ部材は横辺用枠材３５Ｂのレール部４０で支持されて収容される（図６、図７参照）。
【００１９】
このように形成された第１枠体１３及び第２枠体１４は、図５〜図７に示すように、第１枠体１３を第２枠体１４に被せるようにして一体化され、本発明のフィルタ用フレーム１０が完成する。その際、第１枠体１３の係止爪部２７と、第２枠体１４の係止爪部４７とが係合してガタツキや分離（抜け）が防止される。
【００２０】
尚、図示されるフィルタ用フレーム１０は、第１枠体１３に単一のフィルタ部材１２Ａを、また第２枠体１４に単一のフィルタ部材１２Ｂをそれぞれ収容した状態を示してあるが、収容するフィルタ部材が複数に変更された場合は、それぞれの枠体１３，１４において側面壁の長さを変えるだけでよい。また、フィルタ部材の厚さが変更された場合にも、同様にそれぞれの枠体１３，１４において側面壁の長さを変えるだけでよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のフィルタ用フレームの第１枠体を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示す第１枠体の組み付け状態を示す斜視図である。
【図３】本発明のフィルタ用フレームの第２枠体を示す分解斜視図である。
【図４】図３に示す第２枠体の組み付け状態を示す斜視図である。
【図５】第１枠体と第２枠体とを一体化した状態を示す斜視図である。
【図６】図５のＡＡ断面図である。
【図７】図５のＢＢ断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０      フィルタ用フレーム
１２Ａ    フィルタ部材
１２Ｂ    フィルタ部材
１３      第１枠体
１４      第２枠体
１５Ａ    縦辺用枠材
１５Ｂ    横辺用枠材
１６      ネジ
１７      前面壁
１８      側面壁
１９      係止爪部
１９ａ    係止面  
２０      レール部材
２１      ネジ溝
２２      スリット
２３      切欠部
２４      ネジ孔
２５      前面壁
２６      側面壁
２７      係止爪部
２７ａ    係止面
３５Ａ    縦辺用枠材
３５Ｂ    横辺用枠材
３６      ネジ
３７      前面壁
３８      側面壁
３９      係止爪部
４０      レール部材
４１      ネジ溝
４２      スリット
４３      切欠部
４４      ネジ孔
４５      前面壁
４６      側面壁
４７      係止爪部
４７ａ    係止面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2006068641.tif 000008
【図７】
2006068641.tif 000009