(57)【要約】【課題】  多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、メタルマスクにテンションを掛けた状態で枠状のフレームに固定する枠貼り装置にセットする際に、メタルマスクの開口部の方向を正確に引張り方向に一致させてセットする技術を提供する。【解決手段】  メタルマスク１に形成している多数の開口部と幅方向に同じピッチで形成した複数の線状のマークを備えたガラススケール２５をマーク枠貼り装置１０に設けておき、メタルマスク１をガラススケール２５の上に置き、下方から照明装置２６で照射し、透過光により発生する干渉縞を上方から観測し、その干渉縞が生じないようにメタルマスク１の配置角度を調整する構成とする。【選択図】  図２
2006152411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、該メタルマスクを取り扱うマスク取扱い装置に対してセットする方法であって、前記メタルマスクの多数の開口部と幅方向に同じピッチで且つ開口部と同方向に延びるように形成された多数の線状のマークからなるパターン部を備えたガラススケールをあらかじめ前記マスク取扱い装置に対して前記線状のマークが所定方向となるように位置させておく工程と、前記メタルマスクを前記ガラススケールの上に位置させる工程と、前記ガラススケールとメタルマスクを下方から照明し、透過光により発生する干渉縞を上方から観測し、該干渉縞が生じないように前記メタルマスクの配置角度を調整するメタルマスク角度調整工程を有することを特徴とするメタルマスクセット方法。
【請求項２】
前記マスク取扱い装置が、前記メタルマスクの４辺をそれぞれ複数のクランプで把持し、該メタルマスクにテンションを付加してゆがみやたるみの無い状態とし、その状態で枠状のフレームに固定するマスク枠貼り装置であることを特徴とする請求項１記載のメタルマスクセット方法。
【請求項３】
平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、該メタルマスクを取り扱うマスク取扱い装置に対してセットする装置であって、前記メタルマスクの多数の開口部と幅方向に同じピッチで且つ開口部と同方向に延びるように形成された多数の線からなるパターン部を備え、前記マスク取扱い装置に対して前記線状のマークが所定方向となるように配置されたガラススケールと、該ガラススケールを背面側から照射する照明装置を有することを特徴とするメタルマスクセット装置。
【請求項４】
更に、前記ガラススケール上に配置されたメタルマスクの配置角度を微調整する微調整機構を有することを特徴とする請求項３記載のメタルマスクセット装置。
【請求項５】
前記マスク取扱い装置が、前記メタルマスクの４辺の各々の複数箇所をクランプで把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニットを備えたマスク枠貼り装置であることを特徴とする請求項３又は４記載のメタルマスクセット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、有機ＥＬ素子製造工程で使われる蒸着マスクに使用されるメタルマスクのように、平行に配置された多数の細長い開口部を備えたメタルマスクを、そのメタルマスクを取り扱う装置に対して、開口部が正確に所定の方向となるようにセットする方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機ＥＬ素子製造において真空蒸着が行われており、その蒸着マスクとして、平行に配置された多数の細長い微少な開口部を備えたマスク部を有するメタルマスクが使用されている。そして蒸着に当たってはそのメタルマスクを、前記マスク部よりも大きい開口を備えた剛性の大きい枠状のフレームに磁石等によって取り付けていた。しかしながら、近年、パターニングの微細化が進み、マスク部に形成している開口部が微細になり且つメタルマスクの板厚自体も薄くなってくると、メタルマスクを単に枠状のフレームに磁石等を用いて固定しただけでは、マスク部にゆがみやたるみが生じ、開口部の精度が維持できなくなるという問題が生じた。そこで、本出願人は先に、メタルマスクをフレームに取り付けた状態で、そのメタルマスクをマスク部の開口部の長手方向に引張った状態に保持することの可能なメタルマスクの保持治具を開発した（特許文献１参照）。この保持治具を用いると、マスク部の開口部間にある細線部分（無孔部分）を長手方向に引っ張った状態に保持できるので、開口部を直線状に且つ一定ピッチに保持でき、高精細パターニングが可能であるという利点が得られる。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載のメタルマスクは、１枚のメタルマスクに１個のマスク部を形成しているのみであるので、生産性が悪いという問題点があった。生産性を上げるには、１枚のメタルマスクに複数個のマスク部を形成した多面付けメタルマスクを用いればよいが、多面付けメタルマスクでは、単にその両端をつかんで引っ張っただけでは、メタルマスクの全幅を均等に引っ張っても、マスク部と非マスク部とで剛性が異なるため、マスク部にゆがみやたるみが生じ、所望の開口部のパターンが得られず、しかも、各マスク部の位置精度も悪くなるということが判明した。例えば、有機ＥＬ素子製造に用いる蒸着用の多面付けマスクの場合、各マスク部の位置に関して±１０μｍ以下のトータルピッチが求められることがあるが、そのような寸法精度を達成することは困難である。
【０００４】
そこで、この問題を解決すべく検討した結果、図１１（ａ）に示すように、複数のマスク部２を備えたメタルマスク１のメタルマスクの４辺のそれぞれを、複数のクランプ（図示せず）で把持し、各クランプによってメタルマスク１に矢印Ｔで示すようにテンションを加え、かつそのテンションＴを各クランプごとに調整することで、メタルマスク１をゆがみやたるみの無い平坦な状態とし、各マスク部２の開口部を直線状に且つ一定ピッチに保持できることを見出した。また、メタルマスク１にテンションを加えて平坦な状態とし、その状態で枠状のフレームにスポット溶接等によって固定することで、クランプを外した後においてもメタルマスクをテンションが掛けられ平坦となった状態に保持でき、従って、単純な構造のフレームを用いて多面付けマスクをゆがみやたるみの無い状態に保持できることを見出した。そして、これらの知見に基づいて、メタルマスクの４辺の各々の複数箇所をクランプで把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニットを備え、且つその複数のテンションユニットで把持しテンションを付加したメタルマスクを枠状のフレームにスポット溶接する溶接手段を備えたマスク枠貼り装置を開発した。
【０００５】
ところが、このマスク枠貼り装置において、メタルマスク１を４辺のそれぞれに対応して設けている複数のテンションユニットのクランプに保持させる際、図１１（ｂ）に誇張して示すように、メタルマスク１に形成している細長い開口部の方向がクランプによる引張り方向に対して傾斜した方向となってしまうと、メタルマスクにテンションをかけた時にメタルマスクが平行四辺形のように変形してしまい、マスク部２の位置がずれるとか、マスク部２に形成している開口部の方向が傾斜したままで修正できないといった現象を生じ、高精度を達成できないという問題が生じることが判明した。これを防止するには、メタルマスク１のセット時に開口部の方向がクランプによる引張り方向に平行となるように調整すればよいが、メタルマスク１に形成している開口部は、幅が例えば４０〜１００μｍ程度といったきわめて微細なものであり、しかも傾斜は１〜２度といったきわめて微少なものでも許容できないため、この開口部を目視して開口部の方向をクランプによる引張り方向に合わせることは実質上、不可能である。
【０００６】
一般に、シート状のワークを平面的に同じ位置に繰り返しセットするには、位置決めピンを用いるケースが多いので、この位置決めピン方式をメタルマスクに適用することが考えられるが、メタルマスクの場合開口部で金属が無いため、メタルマスク全体での剪断剛性が低く、位置決めピンにメタルマスクを刺す際に平行四辺形に変形してしまうという問題が生じ、満足すべき解決策とは言えない。また、ＣＣＤカメラを用いて、メタルマスクの複数点でアラインメントをとる手法も考えられるが、設備が高価且つ大規模になり、またセットまでに時間がかかるという問題が生じる。
【特許文献１】特開２００３−６８４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明はかかる状況に鑑みてなされたもので、蒸着用の多面付けマスクのような、平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、マスク枠貼り装置のような、メタルマスクを取り扱う装置にセットする際に、簡単な装置を用いて容易に且つ敏速に、そのメタルマスクを、細長い開口部が所定の方向となるように調整してセットすることを可能とする方法及び装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決すべくなされた本願請求項１に係る発明は、平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、該メタルマスクを取り扱うマスク取扱い装置に対してセットする方法であって、前記メタルマスクの多数の開口部と幅方向に同じピッチで且つ開口部と同方向に延びるように形成された多数の線状のマークからなるパターン部を備えたガラススケールをあらかじめ前記マスク取扱い装置に対して前記線状のマークが所定方向となるように位置させておく工程と、前記メタルマスクを前記ガラススケールの上に位置させる工程と、前記ガラススケールとメタルマスクを下方から照明し、透過光により発生する干渉縞を上方から観測し、該干渉縞が生じないように前記メタルマスクの配置角度を調整するメタルマスク角度調整工程を有することを特徴とするメタルマスクセット方法である。
【０００９】
請求項２に係る発明は、上記請求項１に記載のメタルマスクセット方法において、前記マスク取扱い装置を、前記メタルマスクの４辺をそれぞれ複数のクランプで把持し、該メタルマスクにテンションを付加してゆがみやたるみの無い状態とし、その状態で枠状のフレームに固定するマスク枠貼り装置としたものである。
【００１０】
請求項３に係る発明は、平行に配列された多数の細長い開口部を有するメタルマスクを、該メタルマスクを取り扱うマスク取扱い装置に対してセットする装置であって、前記メタルマスクの多数の開口部と幅方向に同じピッチで且つ開口部と同方向に延びるように形成された多数の線からなるパターン部を備え、前記マスク取扱い装置に対して前記線状のマークが所定方向となるように配置されたガラススケールと、該ガラススケールを背面側から照射する照明装置を有することを特徴とするメタルマスクセット装置である。
【００１１】
請求項４に係る発明は、上記した請求項３に記載のメタルマスクセット装置に、更に前記ガラススケール上に置かれたメタルマスクの配置角度を微調整する微調整機構を設けたものである。
【００１２】
請求項５に係る発明は、上記請求項３又は４に記載のメタルマスクセット装置において、前記マスク取扱い装置を、前記メタルマスクの４辺の各々の複数箇所をクランプで把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニットを備えたマスク枠貼り装置としたものである。
【発明の効果】
【００１３】
上記した本発明の方法及び装置によれば、ガラススケールの上にメタルマスクを位置させ、メタルマスクの多数の開口部とガラススケールの多数のマークが重なった領域に生じる干渉縞を観測し、その干渉縞がなくなるようにメタルマスクの配置角度を調整することで、メタルマスクを、その開口部がガラススケールに形成しているマークと正確に平行となる方向に配置角度を調整でき、しかも干渉縞は微細な開口部とマークとの微細な傾斜によっても大きく且つ明瞭に生じるので、目視によって容易に干渉縞を確認でき、その干渉縞がなくなるようにメタルマスクの配置角度を調整することで容易に且つ敏速に、しかも高精度でメタルマスクの方向を所定の方向に位置決めすることができる。
【００１４】
ここで、マスク取扱い装置としてマスク枠貼り装置を用いれば、メタルマスクに形成したマークの方向をあらかじめ、マスク枠貼り装置でメタルマスクにテンションを付与する方向に一致させておくことで、メタルマスクの開口部の方向を正確にクランプによる引張り方向に一致させてセットすることができ、そのマスク枠貼り装置でメタルマスクをゆがみやたるみのない状態に張ると共に開口部によって形成されるマスク部を高精度で位置決めして、枠状にフレームに固定することができる。
【００１５】
メタルマスクの配置角度の調整は、メタルマスクを手で動かして行っても良いが、ガラススケール上に置かれたメタルマスクの配置角度を微調整する微調整機構を設けておくとこれを用いることで、一層容易に角度調整を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明は、平行に配列された多数の細長い開口部を有する任意のメタルマスクに対して適用可能であるが、特に精密さを要求される有機ＥＬ素子製造用の蒸着用多面付けマスクとして使用するメタルマスクを、マスク枠貼り装置にセットする場合に適用することが好ましい。以下、有機ＥＬ素子製造における蒸着用多面付けマスクとして使用するメタルマスクをマスク枠貼り装置にセットする場合を例にとって本発明の好適な実施の形態を説明する。
【００１７】
図１は本発明の実施の形態に係るメタルマスクセット装置を備えたマスク枠貼り装置の主要部分の概略斜視図、図２はマスク枠貼り装置を、一部を断面で示す概略側面図、図３はそのマスク枠貼り装置に設けているテンションユニットの概略側面図、図４はマスク枠貼り装置に設けている複数のテンションユニット及びそれに保持されているメタルマスクを示す概略平面図、図５は他の実施の形態に係るメタルマスクセット装置を備えたマスク枠貼り装置を、一部を断面で示す概略側面図、図６は、マスク枠貼り装置で取り扱うメタルマスク及びそれを固定する枠状のフレームを示す概略斜視図、図７はフレームにメタルマスクを固定して形成した蒸着マスク装置の概略斜視図、図８はメタルマスクとガラススケールを示す概略斜視図、図９（ａ）はメタルマスクに形成している開口部を拡大して示す概略平面図、（ｂ）はガラススケールに形成しているマークを拡大して示す概略平面図、図１０（ａ）はメタルマスクのマスク部に形成している多数の開口部を示す概略平面図、（ｂ）、（ｃ）はマスク部の下に配置したガラススケールのマークとメタルマスクの開口部とが傾斜していた時にマスク部に生じる干渉縞を示す概略平面図である。
【００１８】
図６において、１は蒸着マスクとして使用する直角四辺形状のメタルマスクであり、複数のマスク部２を縦横に並べて形成している。各マスク部２は、蒸着を許容する多数の微少な細長い開口部を備えている。各マスク部２における開口部の形状、配列は任意であり、例えば、細長いスリット状の開口部を平行に並べたもの、細長い矩形状（スロット状）の開口部を縦方向に並べると共に平行にも並べたもの等を挙げることができる。３はメタルマスク１を取り付けるための剛性の大きい枠状のフレームであり、メタルマスク１の多数のマスク部２を形成した領域（有効領域という）を包含する大きさの開口４を備えている。メタルマスク１は、フレーム３よりも縦横両方向ともに大きいサイズに作られており、フレーム３の外周縁にほぼ対応する位置に、折り曲げることで容易に切断可能な易切断線５を形成している。なお、易切断線５は、メタルマスク１に加える引張力には耐え得る強度を備えたものである。メタルマスク１の厚さ、マスク部２の寸法、それに形成した開口部の寸法等は特に限定するものではないが、代表的なものとして、メタルマスク１の厚さは３０〜２００μｍ、マスク部２の寸法は長さが５０〜７０ｍｍ、幅が３０〜５０ｍｍ、開口部の幅が４０〜１００μｍ、開口部間の無孔部分の幅が８０〜２００μｍ等を例示できる。
【００１９】
図１〜図４において、全体を参照符号１０で示すマスク枠貼り装置は、支持台１１と、その支持台１１に、メタルマスク１の４辺の各々の複数箇所を把持してテンションを加えることができるように配置された複数のテンションユニット１３を備えている。
【００２０】
各テンションユニット１３は、図３に拡大して示すように、ベース部材１５と、そのベース部材１５に直動案内１６を介して移動可能に保持されたクランプ１７と、クランプ１７を往復動させる駆動手段１８等を備えている。ここで、駆動手段１８にはエアシリンダが用いられているが、エアシリンダに代えて、油圧シリンダ、サーボモータ等を用いてもよい。クランプ１７は、固定爪１７ａと、可動爪１７ｂと、可動爪１７ｂを固定爪１７ａに強く押し付けて両者の間にメタルマスク１を把持するよう可動爪１７ｂを旋回させ且つ閉位置に保持するトグル機構及びエアシリンダ（共に図示せず）等を備えている。各テンションユニット１３は、図４から良く分かるように、メタルマスク１の各辺をそれぞれ複数のテンションユニット１３で把持してその辺に直角方向にテンションを加えることができるように配置されている。更に、メタルマスク１の各辺を把持するように配置されている複数のテンションユニット１３のクランプ１７は、メタルマスク１のマスク部２と非マスク部に合わせて配置されており、従って、メタルマスク１のマスク部２を形成した縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域と、マスク部の無い縦方向に延びる領域及び横方向に延びる領域とを、すなわち剛性の異なる領域を、それぞれ別個のクランプ１７で引っ張ってテンションを付与することが可能である。
【００２１】
複数のテンションユニット１３にそれぞれ設けられている駆動手段１８には、メタルマスク１に付与するテンションを個々に調整できるよう、その駆動手段による駆動力を個々に調整する調整手段（図示せず）が設けられている。更に具体的には、駆動手段１８を構成するエアシリンダにはエア供給配管が接続されており、そのエア供給配管に、各エアシリンダへの供給圧力を個々に調整可能なレギュレータが調整手段として設けられている。なお、全部のテンションユニット１３の駆動手段（エアシリンダ）１８を同時に作動させることができるよう、これらのエアシリンダに連結されているエア供給配管には共通の開閉弁を介してエアが供給されるようになっており、且つ各エアシリンダの作動タイミングを調整することができるよう各エアシリンダへのエア供給配管にスピードコントローラも設けられている。
【００２２】
図２、図３において、テンションユニット１３のベース部材１５には、フレーム３を支持するフレーム支え２０が設けられている。このフレーム支え２０は、その上にフレーム３を乗せることで、フレーム３を水平面内の所定位置に位置決めすると共にフレーム３の上面が、クランプ１７に把持されてテンションを付与されているメタルマスク１にほぼ接する位置となるように上下方向にも位置決めできるように配置されている。
【００２３】
図２において、２３は、メタルマスク１を、その開口部が所定の方向を向いた状態に調整して複数のクランプ１７に把持させるためのメタルマスクセット装置である。このメタルマスクセット装置２３は、支持台１１上に設けられたマスク置き台２４と、その上に保持されたガラススケール２５と、ガラススケール２５の背面（下面）を照明する照明装置２６と、微調整機構２７（図１、図４参照）等を備えている。
【００２４】
ガラススケール２５は、図８から良く分かるように、ガラス板等の透明な板材に、メタルマスク１の各マスク部２に対応させて、多数の平行に形成された線状のマーク３１からなるパターン部３０を形成したものである。各パターン部３０に形成した多数のマーク３１は、その上にメタルマスク１のマスク部２の多数の開口部を重ね合わせ、下から照明して上から見た時に、マーク３１と開口部とが傾斜していた場合に干渉縞が現れるようなパターンで設けたものである。ガラススケール２５に形成するマーク３１の好適な形状、配置としては、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、メタルマスク１のマスク部２に形成している開口部３３と同一ピッチで且つ同一形状、寸法に形成したマーク３１を挙げることができる。なお、本発明に使用しうるマーク３１の形状、配置は、図９（ｂ）に示すものに限らず、干渉縞が現れるものであれば、適宜変更可能であり、例えば、長手方向には、開口部３３と同じ長さ、同じピッチで配列したものに限らず、異なる長さのものでも良いし、更には、連続した形態のものでもよい。また、マーク３１の幅も開口部３３の幅に必ずしも正確に一致させておく必要はなく、干渉縞が現れるものであれば多少異なる幅のもの（例えば、開口部の幅に対して±２０％程度異なる幅のもの）を用いても良い。要するに、ガラススケール２５に形成するマーク３１は、メタルマスク１の開口部３３と幅方向に同じピッチで且つ開口部３３と同方向に延びるように形成した線状のマークであればよい。
【００２５】
ガラススケール２５に形成するパターン部３０は、図８に示す実施の形態のように、メタルマスク１に形成している全てのマスク部２に対応させて設けておくことが、任意の位置のマスク部２について、開口部がクランプによる引張り方向に平行となっているか否かを検査できるので好ましいが、これに限らず、ガラススケール２５の所望の領域のみにパターン部３０を形成するようにしてもよい。メタルマスク１の開口部の配置角度の調整に際しては、全部のマスク部２について調整を行わなくても、１箇所乃至２箇所のマスク部２について角度調整を行うことで、メタルマスク１を所望の方向に向けることができるので、少なくとも１箇所にパターン部３０を形成しておけばよい。また、パターン部３０に形成するマーク３１は、対応するマスク部２の全域に形成する必要はなく、目視可能な干渉縞を発生させることができる範囲に形成すればよい。
【００２６】
図２において、ガラススケール２５は、複数のテンションユニット１３に囲まれた領域内に且つその複数のテンションユニット１３のクランプ１７にメタルマスク１を取り付ける際にそのメタルマスク１を支えることができるように配置されている。ただし、ガラススケール２５の配置高さは、メタルマスク１を複数のテンションユニット１３のクランプ１７に把持させ且つそのクランプ１７でテンションを付与して平坦な状態とした時には、その平坦な状態に張られた状態のメタルマスク１に対して、非接触ではあるが極めて近接した位置となるように定められている。また、ガラススケール２５の設置方向は、それに形成しているマーク３１の方向が、テンションユニット１３による引張り方向に正確に一致するように、ガラススケール２５の設置の際に、測長機等を用いて精密に測定し且つ調整することで定められている。ここで、ガラススケール２５の配置高さを、テンションを付与して平坦とした状態のメタルマスク１に対して非接触となるように定めたのは、メタルマスク１にテンションを付与した時に両者が擦れ合って傷が付くのを防止するためであり、近接配置したのは、ガラススケール２５の上にメタルマスク１を乗せ、配置角度を調整した後、クランプ１７に保持させる際にメタルマスク１があまり移動しないようにするためである。クランプ１７でテンションを付与して張った状態のメタルマスク１とガラススケール２５との間隔は５０〜２００μｍ程度に、好ましくは５０〜１００μｍ程度に設定しておく。なお、ガラススケール２５をあらかじめ図２に示す位置に固定しておく代わりに、適当な昇降手段に保持させておき、メタルマスク１にテンションを付与する時にはガラススケール２５を下方に待機させ、メタルマスク１の配置角度を調整してクランプ１７に保持させる動作を行う際には、ガラススケール２５をその動作に適した位置に上昇させるようにしてもよい。また、後述するように、ガラススケール２５の上にメタルマスク１を乗せて角度調整を行う際に、ガラススケール２５とメタルマスク１が擦れ合うことがあるので、ガラススケール２５の上面には耐摩耗性やメタルマスクへの損傷防止用のコーティングを施しておくことが望ましい。
【００２７】
図１、図４において、微調整機構２７は、ベース３５とそのベース３５にねじ係合した調整ねじ３６を備えており、その調整ねじ３６の先端で、ガラススケール２５上に置かれたメタルマスク１の一つの角の近傍を押すことができる位置に配置されている。この構成により、調整ねじ３６を回すことで、調整ねじ３６の先端を前進させ、メタルマスク１を押してメタルマスク１を微少角度旋回させることができる。なお、図面の実施の形態では、微調整機構２７を１個設け、メタルマスク１を１方向のみに旋回させる構成としているが、必要に応じ、更にメタルマスク１を反対方向に旋回させる微調整機構を設けても良い。また、図示は省略しているが、メタルマスク１をフレーム３にスポット溶接するためのレーザ溶接装置も設けられている。
【００２８】
次に、上記構成のメタルマスクセット装置２３によるメタルマスクセット動作並びにマスク枠貼り装置１０によるメタルマスク枠貼り動作を説明する。まず、複数のテンションユニット１３のフレーム支え２０にフレーム３を保持させ、次いで、複数のテンションユニット１３のクランプ１７を開いた状態で、ガラススケール２５、フレーム３及びクランプ１７の固定爪１７ａの上にメタルマスク１を乗せる。この際、位置決めピン（図示せず）を用いてフレーム３に対してメタルマスク１のおおよその位置を位置決めしておく。次に、照明装置２６を点灯して適当な位置のマスク部２を目視する。この時、メタルマスク１のマスク部２の開口部３３が図１０（ａ）に示すように上下方向に延びるように配置されているとした場合、そのマスク部２の開口部がその下のガラススケール２５に形成しているマークに対して傾斜していると、図１０（ｂ）、（ｃ）に示すように、透過光による干渉縞が、開口部の長手方向に対して直角方向に延びるように現れる。そして、この干渉縞の間隔は開口部とマークの傾斜角が小さくなるほど大きくなる。そこで、例えば、図１０（ｂ）に示すような干渉縞が生じていた場合には、微調整機構２７の調整ねじ３６を回し、その調整ねじ３６の先端でメタルマスク１の角部近傍を押してメタルマスク１を微少量ずつ旋回させ、干渉縞の間隔が広がり、ついには干渉縞が消えて全体の濃度が均一となるまでメタルマスク１を旋回させる。なお、調整ねじ３６の先端でメタルマスク１の角部近傍を押してメタルマスク１を旋回させた際、干渉縞の間隔が狭まる場合には、傾斜角度が拡大しているので、一旦調整ねじ３６を逆回転させて引き戻し、メタルマスク１を手で逆方向に旋回させ、その後、再度調整ねじ３６による調整を行えばよい。
【００２９】
以上のようにして、メタルマスク１を干渉縞が無くなる配置角度まで旋回させると、メタルマスク１の開口部はガラススケール２５のマーク３１に正確に平行となり、従って、開口部はテンションユニット１３による引張り方向に正確に平行となる。以上で、メタルマスク１の角度調整作業が終了する。
【００３０】
次に、角度調整を終わったメタルマスク１の４辺を複数のテンションユニット１３のクランプ１７で把持させる。この状態が図４に示す状態である。次に、各クランプ１７に連結している駆動手段（エアシリンダ）１８に加圧エアを送って各クランプ１７をメタルマスク１から離れる方向に移動させ、メタルマスク１に多数のクランプによって縦横両方向にテンションを加え、メタルマスク１を張った状態とし、且つ、複数のテンションユニット１３によるテンションを調整して、メタルマスク１がゆがみやたるみのない平坦な状態で且つマスク部２の開口部が平行に引き揃えられた状態となるようにする。
【００３１】
その後は、メタルマスク１にテンションを加えた状態で、レーザ溶接装置（図示せず）によってメタルマスク１をフレーム３にスポット溶接（図４の符号４０参照）し、固定する。その後、メタルマスク１をクランプ１７から外し、メタルマスク１の周縁部分を易切断線５を利用して除去する。以上により、図７に示すように、フレーム３にメタルマスク１を固定した構成の蒸着マスク装置８を製造できる。
【００３２】
得られた蒸着マスク装置８では、メタルマスク１がゆがみやたるみの無い状態で且つマスク部２の開口部が正確に所定の方向に平行に揃った状態に保たれており、且つ各マスク部の位置も所定の寸法精度内に保たれている。かくして、この蒸着マスク装置８を用いて蒸着を行うことにより、微細なパターンの蒸着を多面付けで正確に行うことができる。
【００３３】
なお、上記した実施の形態では、マスク置き台２４の側方に照明装置２６を設けているが、本発明はこの構成に限らず、図５に示すように、ガラススケール２５の全面の下に照明装置２６Ａを設け、ガラススケール２５全面を照明する構成としてもよい。
【００３４】
以上に本発明の好適な実施の形態を説明したが、本発明はこの実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載の範囲内で適宜変更可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態に係るメタルマスクセット装置を備えたマスク枠貼り装置の主要部分の概略斜視図
【図２】マスク枠貼り装置を、一部を断面で示す概略側面図
【図３】図２のマスク枠貼り装置に設けているテンションユニットの概略側面図
【図４】図２のマスク枠貼り装置に設けている複数のテンションユニット及びそれに保持されているメタルマスクを示す概略平面図
【図５】他の実施の形態に係るメタルマスクセット装置を備えたマスク枠貼り装置を、一部を断面で示す概略側面図
【図６】図１に示すマスク枠貼り装置で取り扱うメタルマスク及びそれを固定する枠状のフレームを示す概略斜視図
【図７】フレームにメタルマスクを固定して形成した蒸着マスク装置の概略斜視図
【図８】メタルマスクとガラススケールを示す概略斜視図
【図９】（ａ）はメタルマスクに形成している開口部を拡大して示す概略平面図、（ｂ）はガラススケールに形成しているマークを拡大して示す概略平面図
【図１０】（ａ）はメタルマスクのマスク部を示す概略平面図、（ｂ）、（ｃ）はマスク部の下に配置したガラススケールのマークとメタルマスクの開口部とが傾斜していた時にマスク部に生じる干渉縞を示す概略平面図
【図１１】（ａ）はメタルマスクの４辺にテンションを加える状態を示す概略平面図、（ｂ）はメタルマスクが引張り方向に対して傾斜してセットされた状態を誇張して示す概略平面図
【符号の説明】
【００３６】
１  メタルマスク
２  マスク部
３  フレーム
４  開口
５  易切断線
８  蒸着マスク装置
１０  マスク枠貼り装置
１１  支持台
１３  テンションユニット
１５  ベース部材
１６  直動案内
１７  クランプ
１７ａ  固定爪
１７ｂ  可動爪
１８  駆動手段（エアシリンダ）
２０  フレーム支え
２３  メタルマスクセット装置
２４  マスク置き台
２５  ガラススケール
２６、２６Ａ  照明装置
２７  微調整機構
３０  パターン部
３１  マーク
３３  開口部
３５  ベース
３６  調整ねじ
４０  スポット溶接部
【図１】
2006152411.tif 000003
【図２】
2006152411.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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