(57)【要約】【課題】  従来例と比べて、消火の信頼性が高くコスト安な消火システム及び、この消火システムを備えた洗浄装置を提供する。【解決手段】  吸気口を有する筐体１０内で火災が発生した場合に当該火災を消す消火システムを備えた洗浄装置１００であって、筐体１０内での炎を検知する炎検知器と、炎検知器３０が炎を検知した場合に筐体１０内にＣＯ２ガスを供給する消火器と、筐体１０内がクリーンゾーンよりも気圧が高い場合に当該気圧差を受けて図４（Ｃ）の右回りに回転する回転板５０と、右回りに回転する回転板５０が吸気口の開口部１１ａ〜１１ｄを塞いだときに当該回転板５０の右回りの回転を止めるストッパ６４と、を備えたものである。筐体１０内で火災が発生した場合には、クリーンゾーンから筐体１０内へのエアーの流入を防ぎつつ、筐体１０内にＣＯ２ガスを供給することができる。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気口を有する筐体内で火災が発生した場合に当該火災を消す消火システムであって、
前記火災を検知する火災検知手段と、
前記火災検知手段が前記火災を検知した場合に前記筐体内に消火用ガスを供給する消火用ガス供給手段と、
前記筐体内がその外よりも気圧が高い場合に、前記気圧差に伴う前記吸気口を介しての気体の逆流により当該吸気口を塞ぐ一方向へ回転する回転板と、
前記一方向へ回転する前記回転板が前記吸気口を塞いだときに当該回転板の該一方向への回転を止める停止手段と、を備えたことを特徴とする消火システム。
【請求項２】
吸気口を有する筐体内で可燃性の溶剤を使用する洗浄装置であって、請求項１に記載の消火システムを備えたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
前記筐体内を排気する排気手段を備え、
前記回転板は、
前記筐体内がその外よりも気圧が低い場合には当該気圧差を受けて前記一方向とは反対の他方向へ回転し前記吸気口を開放することを特徴とする請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記回転板は、
その回転中心からずれた位置に形成された表裏面間を貫く貫通穴と、
前記筐体内がその外よりも気圧が高い場合には前記回転板を前記一方向へ回転させる方向に回転力が発生するように前記気体を流し、かつ、前記筐体内がその外よりも気圧が低い場合には前記回転板を前記他方向へ回転させる方向に回転力が発生するように前記気体を流す羽根とを有し、
前記停止手段は一対のストッパからなり、
一方の前記ストッパは、前記貫通穴が前記吸気口から逸れたときに前記回転板の前記一方向への回転を止め、
他方の前記ストッパは、前記貫通穴が前記吸気口と重なり合ったときに前記回転板の前記他方向への回転を止めることを特徴とする請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記ストッパは、第１の磁石を有し、
前記第１の磁石と、前記筐体を挟んで当該第１の磁石の反対側に配置される第２の磁石との間に働く吸引力により該筐体に取り付けられることを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記ストッパは、前記回転板の前記一方向への回転によって当該回転板と接触する面に第３の磁石を有し、
前記回転板は、当該回転板の前記一方向への回転によって前記ストッパと接触する面に前記第３の磁石に着くことができる金属又は他の磁石を有することを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記火災検知手段と前記排気手段とにそれぞれ接続される制御部を備え、
前記排気手段は、前記筐体内に接続する排気管と、前記排気管内に設けられたダンパーとを有し、
前記制御部は、前記火災検知手段による前記火災の検知結果に基づいて前記ダンパーの開度を制御することを特徴とする請求項３から請求項６の何れか一項に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、消火システム及び、洗浄装置に関し、特に、ＩＰＡ等の可燃性の溶剤を使用する筐体内での消火技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の従来技術としては、例えば特許文献１に開示されたものがある。即ち、この特許文献１に係る装置にあっては、洗浄装置内に設けられた熱感知センサが異常を検知した場合には、この洗浄装置につながる排気ダクトが閉じられると共に、洗浄装置の内部に消火剤を噴射するようになっている。このような構成であると、洗浄装置内でＩＰＡ（イソプロピルアルコール）が発火した場合でも、排気ダクトを通して他へ火が回らないようにすることができる。また、他の従来技術として、図８に示すものがある。
【０００３】
図８は、従来例に係る洗浄装置４００の構成例を示す概念図である。図８に示すように、この洗浄装置４００は、筐体４１０と、薬液処理槽４２０と、製品を搬入出するための搬入出口４１６と、炎検知器４３０と、火災時にＣＯ２（二酸化炭素）ガスを噴射する消火器４４０と、エアー供給ライン４９０と、排気管４７０と、この排気管４７０内に取り付けられたオートダンパ４７５と、制御部４８０とを有する。また、図８に示すように、エアー供給ライン４９０にはオートダンパ４９５が取り付けられている。
【０００４】
図８の破線矢印で示すように、この洗浄装置４００内には、クリーンゾーンの極めて清浄な（即ち、パーティクルの極めて少ない）エアーがエアー供給ライン４９０を通して供給される。
このような洗浄装置４００の筐体４１０内で、薬液処理槽４２０に貯められた可燃性の薬液、例えばＩＰＡが発火した場合には、炎検知器４３０から制御部４８０へ炎を検知したことを知らせる信号（即ち、異常信号）が送信される。制御部４８０は、この異常信号を受信すると、消火器４４０を作動させて筐体４１０内にＣＯ２ガスを噴射させる。また、制御部４８０は、この消火器４４０の作動とほぼ同時に、オートダンパ４９５とオートダンパ４７５とを作動させて、エアー供給ライン４９０と排気管４７０とを遮断する。
【特許文献１】特開平８−１１１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記の洗浄装置４００では、制御部４８０とオートダンパ４９５とは電気配線を介して接続されており、制御部４８０から出力される電気信号によってオートダンパ４９５は開閉動作するようになっていた。このため、筐体４１０内で火災が発生した場合には、上記電気配線が断線したりショートしたりして、オートダンパ４９５が閉じられない可能性があった（第１の問題点）。
【０００６】
また、上記の可能性を考慮して、エアー供給ライン４９０に取り付けられるオートダンパ４９５を、ガス圧で閉じるタイプの弁に置き換える方法も検討された。即ち、ＣＯ２噴射用の配管４４５を２つに分岐し、分岐した一方をエアー供給ライン４９０側まで引き延ばし、この引き延ばした配管からのＣＯ２ガスの噴射圧力で弁を閉じるようにする。
このような構成であれば、弁と制御部４８０との間に電気配線がないので、オートダンパ４９５を用いる場合と比べて、火災発生時にエアー供給ライン４９０をより確実に閉じることができる。しかしながら、ＣＯ２ガスの配管長さが増大してしまうので、設備コストが増大してしまうという問題があった（第２の問題点）。
【０００７】
そこで、この発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、従来例と比べて、消火の信頼性が高くコスト安な消火システム及び、この消火システムを備えた洗浄装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
〔発明１〕  上記目的を達成するために、発明１の消火システムは、吸気口を有する筐体内で火災が発生した場合に当該火災を消す消火システムであって、前記火災を検知する火災検知手段と、前記火災検知手段が前記火災を検知した場合に前記筐体内に消火用ガスを供給する消火用ガス供給手段と、前記筐体内がその外よりも気圧が高い場合に、前記気圧差に伴う前記吸気口を介しての気体の逆流により当該吸気口を塞ぐ一方向へ回転する回転板と、前記一方向へ回転する前記回転板が前記吸気口を塞いだときに当該回転板の該一方向への回転を止める停止手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００９】
ここで、一方向とは、例えば右回り（右方向）又は左回り（左方向）のことである。また、消火用ガスとは、例えばＣＯ２ガスのことである。
発明１の消火システムによれば、筐体内で火災が発生した場合には、筐体の外から内への気体の流入を防ぎつつ、筐体内に消火用ガスを供給することができる。
従来例と比べて、例えば、エアー供給ラインに取り付けられたオートダンパを開閉動作させるための電気配線が不要であり、この電気配線の断線やショートの心配がないので、消火の信頼性が高い。また、弁を開閉動作させるための配管も不要なので、コスト安である。
このような消火システムは、例えば、ウエーハをＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を用いて洗浄する洗浄装置に適用して極めて好適である。
【００１０】
〔発明２〕  発明２の洗浄装置は、吸気口を有する筐体内で可燃性の溶剤を使用する洗浄装置であって、発明１の消火システムを備えたことを特徴とするものである。
このような構成であれば、発明１の消火システムが応用されるので、筐体内で火災が発生した場合には、筐体の外から内への気体の流入を防ぎつつ、筐体内に消火用ガスを供給することができる。従来例と比べて、消火の信頼性が高く、コスト安である。
〔発明３〕  発明３の洗浄装置は、発明２の洗浄装置において、前記筐体内を排気する排気手段を備え、前記回転板は、前記筐体内がその外よりも気圧が低い場合には当該気圧差を受けて前記一方向とは反対の他方向へ回転し前記吸気口を開放することを特徴とするものである。ここで、一方向が例えば右回り（右方向）の場合には、他方向は左回り（左方向）である。また、一方向が例えば左回り（左方向）の場合には、他方向は右回り（右方向）である。
発明３の洗浄装置によれば、通常時は、筐体の外にある気体を吸気口を通して筐体内に取り込むことができる。
【００１１】
〔発明４〕  発明４の洗浄装置は、発明３の洗浄装置において、前記回転板は、その回転中心からずれた位置に形成された表裏面間を貫く貫通穴と、前記筐体内がその外よりも気圧が高い場合には前記回転板を前記一方向へ回転させる方向に回転力が発生するように前記気体を流し、かつ、前記筐体内がその外よりも気圧が低い場合には前記回転板を前記他方向へ回転させる方向に回転力が発生するように前記気体を流す羽根とを有し、前記停止手段は一対のストッパからなり、一方の前記ストッパは、前記貫通穴が前記吸気口から逸れたときに前記回転板の前記一方向への回転を止め、他方の前記ストッパは、前記貫通穴が前記吸気口と重なり合ったときに前記回転板の前記他方向への回転を止めることを特徴とするものである。
このような構成であれば、筐体内がその外よりも気圧が低い場合には貫通口の下から吸気口を開放し、筐体内がその外よりも気圧が高い場合には回転板で吸気口を塞ぐことができる。
【００１２】
〔発明５〕  発明５の洗浄装置は、発明４の洗浄装置において、前記ストッパは、第１の磁石を有し、前記第１の磁石と、前記筐体を挟んで当該第１の磁石の反対側に配置される第２の磁石との間に働く吸引力により該筐体に取り付けられることを特徴とするものである。
このような構成であれば、ストッパの筐体への取り付け作業が容易である。
【００１３】
〔発明６〕  発明６の洗浄装置は、発明４又は発明５の洗浄装置において、前記ストッパは、前記回転板の前記一方向への回転によって当該回転板と接触する面に第３の磁石を有し、前記回転板は、当該回転板の前記一方向への回転によって前記ストッパと接触する面に前記第３の磁石に着くことができる金属又は他の磁石を有することを特徴とするものである。
【００１４】
このような構成であれば、第３の磁石と金属、又は、第３の磁石と他の磁石はそれぞれ引き付け合うので、回転板が他方向へ回転してストッパと一旦接触した後（即ち、吸気口を一旦塞いだ後）は、筐体内がその外よりも気圧が低くなっても、回転板は一方向には回転しない。従って、筐体内の気密性を高く維持することができ、筐体内をより確実に消火することができる。
【００１５】
〔発明７〕  発明７の洗浄装置は、発明３から発明６の何れか一の洗浄装置において、前記火災検知手段と前記排気手段とにそれぞれ接続される制御部を備え、前記排気手段は、前記筐体内に接続する排気管と、前記排気管内に設けられたダンパーとを有し、前記制御部は、前記火災検知手段による前記火災の検知結果に基づいて前記ダンパーの開度を制御することを特徴とするものである。
【００１６】
このような構成であれば、筐体内で火災が発生したときにダンパーの開度を小さくすることができ、筐体内の気密性を高めることができる。従って、筐体内を効率良く消火することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る消火システム及び、洗浄装置について説明する。
（１）第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態に係る洗浄装置１００の構成例を示す概念図である。図１に示す洗浄装置１００は、例えばレジストが塗布されたウエーハを剥離液で剥離後、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を用いて洗浄し、レジストを剥離する装置である。
【００１８】
図１に示すように、この洗浄装置１００は、筐体１０と、薬液処理槽２０と、炎検知器３０と、消火器４０と、筐体１０の吸気口１１及びその周辺部分に取り付けられた回転板５０と、ストッパ６２及び６４（図４（Ｃ）参照。）と、排気管７０と、オートダンパ７５と、制御部８０等を有する。筐体１０の前面には、吸気口１１と、ウエーハの搬入出を行うための搬入出口１６とが設けられている。
【００１９】
図２は、吸気口１１の構成例を示す図である。図２に示すように、この吸気口１１は、例えば４つの貫通した開口部１１ａ〜１１ｄで構成されている。これらの開口部１１ａ〜１１ｄの平面視での形状は、例えば扇形である。また、これら４つの開口部１１ａ〜１１ｄは、その扇型の頂点をそれぞれある一点に向けて、例えば９０°ずつ回転した状態で配置されている。この４つの扇形の頂点が向けられた一点（即ち、吸気口１１の中心）に、回転軸を通すための開口部１２が設けられている。
【００２０】
図１に示すように、この吸気口１１は、筐体１０のクリーンゾーンに臨む側面に直接設けられている。また、この洗浄装置１００の筐体１０には、これ以外の吸気口（例えば、従来例で示したようなエアー供給ライン４９０）は設けられていない。
図１に示すように、薬液処理槽２０は、レジストが塗布されたウエーハを収容して洗浄するためのものである。この薬液処理槽２０には、可燃性のＩＰＡを貯められる。
【００２１】
炎検知器３０は、例えば赤外線センサによって、筐体１０内での炎（即ち、火災）の有無を検知するものである。この炎検知器３０のセンサ部分は筐体１０内に取り付けられている。
消火器４０は、ＣＯ２ガスを圧縮した状態で保管するボンベである。図１に示すように、この消火器４０と筐体１０内との間は配管４２で接続されている。筐体１０内で火災が発生した場合には、この消火器４０から配管４２を通って筐体１０内にＣＯ２ガスが供給される。ＣＯ２ガスの供給によって、筐体１０内はいわゆる酸欠状態となり、火災を消すことができる。
【００２２】
また、回転板５０は、吸気口１１及びその周辺部分と重なり合うようにして筐体１０前面の内側に取り付けられている。
図３（Ａ）及び（Ｂ）は、回転板５０の構成例を示す平面図と、Ａ−Ａ´矢視断面図である。図３（Ａ）に示すように、この回転板５０の平面視での外周の形状は円形である。この回転板５０には、例えば４つの貫通穴５２ａ〜５２ｄが形成されている。これらの貫通穴５２ａ〜５２ｄの平面視での形状は、例えば扇形である。
【００２３】
また、これら４つの貫通穴５２ａ〜５２ｂには、その扇型の頂点をそれぞれある一点に向けて、例えば９０°ずつ回転した状態で配置されている。この４つの扇形の頂点が向けられた一点（即ち、回転板５０の中心）に、回転軸を通すための開口部５４が設けられている。
また、図３（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、この回転板５０の４つの貫通穴５２ａ〜５２ｄの周縁には、例えば右肩上りの羽根５６ａ〜５６ｄがそれぞれ取り付けられている。これらの羽根５６ａ〜５６ｄは、例えば、図３（Ａ）において紙面の表面から裏面に向けて気体が流れるときには、開口部５４を中心に、回転板５０を図３（Ａ）の右回りに回転させる。また、図３（Ａ）において紙面の裏面から表面に向けて気体が流れるときには、開口部５４を中心に、回転板５０を左回り（左方向）に回転させる。
【００２４】
図４（Ａ）〜（Ｃ）は、回転板５０と吸気口１１との重なり状態を示す図である。図４（Ａ）は、吸気口１１及びその周辺部分を筐体１０の外側から見た図である。また、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）におけるＢ−Ｂ´矢視断面図である。さらに、図４（Ｃ）は、吸気口１１及びその周辺部分を筐体１０の内側から見た図である。また、図４（Ａ）及び図４（Ｃ）において、ハッチング部分は、吸気口１１の開口部１１ａ〜１１ｄと、回転板５０の貫通穴５６ａ〜５６ｄとがそれぞれ重なり合った部分を示している。
【００２５】
図４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、回転板５０は、その中心を吸気口１１の中心と重ね合わせた状態で、かつ、筐体１０の内側の面に密着した状態で取り付けられている。この取り付けは、図４（Ａ）に示すように、回転軸６６によってなされており、回転板５０はその中心部を中心に回転可能（即ち、自転可能）となっている。
また、図４（Ｃ）に示すように、回転板５０の周縁には、係止部５８が取り付けられている。さらに、この係止部５８を挟んでその両側の筐体１０内側には、一対のストッパ６２及び６４が取り付けられている。図４（Ｂ）に示すように、これら一対のストッパ６２及び６４は、それらの一端が筐体１０の内側表面から突出しており、係止部５８の可動範囲を画定している。また、ストッパ６２及び６４の他端は、固定金具６９によって筐体１０に固定されている。
【００２６】
図４（Ｃ）に示すように、この洗浄装置１００では、回転板５０の係止部５８がストッパ６２と接触した状態では、回転板５０の貫通穴は吸気口１１の少なくとも一部と重なり合い、かつ、回転板５０が右回り（右方向）に回転して、その係止部５８がストッパ６４と接触した状態では、回転板５０の貫通穴は吸気口１１から逸れるように、ストッパ６２及び６４の取り付け位置が調整されている。このような回転板５０及び係止部５８、並びにストッパは、例えば塩化ビニル等で構成されている。
【００２７】
なお、図４（Ｂ）に示すように、固定金具６９はボルトとナットとによって筐体１０に固定されているので、そのままでは、ボルトをはめ込んだ開口部を通してエアー等がリークしてしまう可能性がある。そこで、この洗浄装置１００では、筐体１０の外側にリーク防止用のカバー１９を取り付けて固定用金具６９を覆っている。
図１に戻って、排気管７０は、筐体１０内を排気するための配管である。この排気管７０は、その一端は筐体１０内に接続し、他端は図示しない工場の排気系に接続している。図１に示すように、この排気管７０内にはオートダンパ７５が設けられており、排気管を開閉することが可能となっている。
【００２８】
また、制御部８０は、有線又は無線等を介して、炎検知器３０と、消火器４０と、オートダンパ７５とにそれぞれ接続している。この制御部８０は、炎検知器３０の検知結果に基づいて、消火器４０からＣＯ２ガスを噴射させたり、オートダンパ７５の開度を調整したりするものである。この制御部８０は、例えばロジックＩＣと、メモリＩＣ等から構成されている。
【００２９】
図１に示すように、このような洗浄装置１００は、筐体１０がパワーゾーンに配置される。また、筐体１０の吸気口１１や搬入出口１６が配置された前面は、クリーンゾーンに面している。ここで、クリーンゾーンとは、クリーンルームの中でも特にクリーン度が高い区画のことである。また、パワーゾーンとは、ガスや薬液の供給管や排管が布設されている区画のことであり、クリーンゾーンよりもクリーン度がやや劣る区画のことである。
【００３０】
この洗浄装置１００では、通常、排気管７０からの排気によって筐体１０内がクリーンゾーンよりもやや減圧状態となっている。
このため、図４（Ｃ）に示すように、回転板５０の係止部５８は左側のストッパ６２に接触し、回転板５０の貫通穴５２ａ〜５２ｃは、それぞれ吸気口１１の開口部１１ａ〜１１ｄとそれぞれ一部が重なり合っている。このような構成により、洗浄装置１００の筐体１０内には、クリーンゾーンの清浄なエアーが吸気口１１と回転板５０の貫通穴とを通って絶えず流れ込むようになっている。
【００３１】
次に、図１に示した洗浄装置１００において、その筐体１０内で火災が発生した場合の消火方法について説明する。ここでは、薬液処理槽２０に貯められたＩＰＡから発火した場合を想定する。
まず始めに、薬液処理槽２０に貯められたＩＰＡからの発火を炎検知器３０が検知する。すると、この炎検知器３０から制御部８０に、炎を検知したことを知らせる信号（即ち、異常信号）が送信される。制御部８０は、この異常信号を受信すると、消火器４０にＣＯ２ガスの噴射を指示する信号を送信する。また、この消火器４０への信号の送信と同時に又は前後して、制御部８０はオートダンパ７５にその開度を０にすることを指示する信号を送信する。
【００３２】
これにより、筐体１０内には大量のＣＯ２ガスが供給される。また、排気管７０はオートダンパ７５によって閉じられるので、筐体１０内へのＣＯ２ガスの供給量が一定量を超えると、筐体１０内の気圧はクリーンゾーンよりも高くなる。
このような気圧の上昇により、図４（Ｃ）において、筐体１０内から吸気口１１を通ってクリーンゾーン側へＣＯ２ガスは一旦流れる。そして、このＣＯ２ガスの逆流によって、回転板５０の羽根５６ａ〜５６ｄは右方向に押され、回転板５０は右回りに回転する。その後、回転板５０の係止部５８が右側のストッパ６４に接触して、その回転動作が止められる。
【００３３】
係止部５８がストッパ６４に接触した状態では、筐体１０の前面にある吸気口１１は回転板５０によって塞がれている。これにより、クリーンゾーンから筐体１０内へのエアーの流入は止められる。また、筐体１０内にはＣＯ２ガスで満たされることとなるので、筐体１０内はいわゆる酸欠状態となり、筐体１０内の火災は速やかに消火される。
このように、本発明の第１実施形態に係る洗浄装置１００によれば、通常時は、クリーンゾーンの清浄なエアーを吸気口１１等を通して筐体１０内に取り込むことができる。また、筐体１０内で火災が発生した場合には、クリーンゾーンから筐体１０内へのエアーの流入を防ぎ、かつ、排気管７０を閉じた状態で、筐体１０内にＣＯ２ガスを供給することができる。従って、筐体１０内を効率良く消火することができる。
【００３４】
また、消火の効率だけでなく、筐体１０内から吸気口１１を通してクリーンゾーン側へ炎が出ることを防ぐことができ、かつ、筐体１０内から排気管７０を通してパワーゾーン側へ炎が出ることを防ぐことができるので、延焼の防止にも効果的である。
さらに、回転板５０は回転軸によって回転可能に支持されるのでその摺動は滑らかである。また、係止部５８の可動範囲（即ち、回転板５０の回転可能な範囲）は一対のストッパ６２及び６４で画定されている。従って、吸気口１１の開度調整が容易である。さらに、回転板５０は塩化ビニル等の撓みの少ない部材で構成されているので、回転板５０の筐体１０に対する取り付け位置の自由度は高い。
【００３５】
例えば、この第１実施形態では、回転板５０を、吸気口１１及びその周辺部分と重なり合うようにして筐体１０前面の内側に取り付ける場合について説明した。しかしながら、
回転板５０の取り付け位置は筐体１０の内側に限られることはない。例えば、回転板５０を、吸気口１１及びその周辺部分と重なり合うようにして筐体１０前面の外側に取り付けても良い。また、吸気口１１の位置も筐体１０前面に限られることはない。
【００３６】
例えば、図５に示すように、筐体１０の上面の一部がクリーンゾーンに張出している場合には、この筐体１０上面の張出した部分に吸気口１１を設けても良い。その場合には、図５に示すように、回転板５０を、吸気口１１及びその周辺部分と重なり合うようにして筐体１０上面の内側（又は、外側）に取り付ける。
このような構成でも、図１に示した洗浄装置１００と同様に、通常時は、クリーンゾーンの清浄なエアーを吸気口１１等を通して筐体１０内に取り込むことができる。また、筐体１０内で火災が発生した場合には、クリーンゾーンから筐体１０内へのエアーの流入を防ぐことができる。
【００３７】
また、この洗浄装置１００によれば、従来例と比べて、例えば、エアー供給ラインに取り付けられたオートダンパを開閉動作させるための電気配線が不要であり、この電気配線の断線やショートの心配がないので、消火の信頼性が高い。また、弁を開閉動作させるための配管も不要なので、コスト安である。
さらに、本発明の第１実施形態に係る消火システムは、吸気口１１を有する筐体１０内で火災が発生した場合に当該火災を消すシステムであって、図１に示したように、筐体１０内での炎（即ち、火災）の有無を検知する炎検知器１１と、炎検知器１１が火災を検知した場合に筐体１０内にＣＯ２ガスを供給する消火器４０と、筐体１０内がその外よりも気圧が高い場合に当該気圧差を受けて例えば右回りへ回転し吸気口１１を塞ぐ回転板５０と、この右回りに回転する回転板５０が吸気口１１を塞いだときに、この回転板５０の右回りの回転を止める一対のストッパ６２及び６４（図４（Ｃ）参照。）と、を有するものである。
【００３８】
このような構成であれば、筐体１０内で火災が発生した場合には、筐体１０の外から内へのエアーの流入を防ぎつつ、この筐体１０内にＣＯ２ガスを供給することができる。従来例と比べて、例えば、エアー供給ラインに取り付けられたオートダンパを開閉動作させるための電気配線が不要であり、この電気配線の断線やショートの心配がないので、消火の信頼性が高い。また、弁を開閉動作させるための配管も不要なので、コスト安である。
【００３９】
この第１実施形態では、炎検知器３０が本発明の「火災検知手段」に対応し、消火器４０が本発明の「消火用ガス供給手段」に対応している。また、ストッパ６２及び６４と、係止部６２とが、本発明の「停止手段」に対応し、排気管７０とオートダンパ７５とが本発明の「排気手段」に対応している。さらに、ＩＰＡが本発明の「可燃性の溶剤」に対応している。また、図４（Ｃ）の右回り（右方向）が本発明の「一方向」に対応し、図４（Ｃ）の左回り（左方向）が本発明の「他方向」に対応している。
（２）第２実施形態
図６（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の第２実施形態に係る洗浄装置２００のストッパ２６２及び２６４の構成例を示す図である。
【００４０】
図６（Ａ）〜（Ｃ）に示す洗浄装置２００において、第１実施形態で説明した洗浄装置１００と異なる点は、ストッパの構成材料と、その筐体１０に対する取り付け方法だけである。従って、図６（Ａ）〜（Ｃ）において、図４（Ａ）〜（Ｃ）と同一の構成を有する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
図６（Ａ）は、吸気口１１及びその周辺部分を筐体１０の外側から見た図である。また、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）におけるＣ−Ｃ´矢視断面図である。さらに、図６（Ｃ）は、吸気口１１及びその周辺部分を筐体１０の内側から見た図である。図６（Ａ）及び図６（Ｃ）において、ハッチング部分は、吸気口１１の開口部１１ａ〜１１ｄ及び回転板５０の貫通穴５２ａ〜５２ｄとが重なり合った部分を示している。
【００４１】
図６（Ｂ）及び（Ｃ）に示す一対のストッパ２６２及び２６４は、その両方ともが例えば磁石からなる。また、これらストッパ２６２及び２６４の筐体１０を挟んだ反対側には、一対の磁石２８２及び２８４が配置されている。この洗浄装置２００では、これら一対の磁石２８２及び２８４によって、一対のストッパ２６２及び２８４が引き寄せられて筐体１０に固定されている。
【００４２】
このような構成であれば、ストッパ２８２及び２６４の筐体１０への取り付け作業が容易である。また、固定金具を筐体１０に取り付けるための開口部を形成する必要がないので、リーク防止用のカバーは不要である。
この第２実施形態では、ストッパ２６２及び２６４が本発明の「第１の磁石」に対応し、磁石２８２及び２８４が本発明の「第２の磁石」に対応している。
（３）第３実施形態
図７は、本発明の第３実施形態に係る洗浄装置３００の係止部３５８の構成例を示す図である。図７に示す洗浄装置３００において、第２実施形態で説明した洗浄装置２００と異なる点は、係止部の構成だけである。従って、図７において、図６（Ｃ）と同一の構成を有する部分には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００４３】
図７に示すように、この洗浄装置３００では、回転板５０が右回りに回転して吸気口１１の開口部１１ａ〜１１ｄを塞いだときにストッパ２６４と接触する係止部３５８の右側の面には、例えば金属板Ｍが取り付けられている。また、係止部３５８のその他の部分は、例えば塩化ビニル等の非金属で構成されている。
このような構成であれば、回転板５０が右回りへ回転して吸気口１１の開口部１１ａ〜１１ｄを一旦塞いだ後は、筐体１０内がクリーンゾーンよりも気圧が低くなっても、回転板５０は左回りには回転しない。従って、筐体１０内の気密性を高く維持することができ、筐体１０内をより確実に消火することができる。この第３実施形態では、ストッパ２６４が本発明の「第３の磁石」に対応している。
【００４４】
なお、係止部３５８の右側の面には、金属板Ｍではなく、ストッパ２６４と引き寄せ合う他の磁石を取り付けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】第１実施形態に係る洗浄装置１００の構成例を示す図。
【図２】吸気口１１の構成例を示す図。
【図３】回転板５０の構成例を示す図。
【図４】回転板５０と吸気口１１との重なり状態を示す図。
【図５】洗浄装置１００の他の構成例を示す図。
【図６】第２実施形態に係る洗浄装置２００のストッパ２６２及び２６４の構成例を示す図。
【図７】第３実施形態に係る洗浄装置３００の係止部３５８の構成例を示す図。
【図８】従来例に係る洗浄装置４００の構成例を示す図。
【符号の説明】
【００４６】
１０  筐体、１１  吸気口、１１ａ〜１１ｄ  （吸気口の）開口部、１６  搬入出口、２０  薬液処理槽、３０  炎検知器、４０  消火器、５０  回転板、５２ａ〜５２ｄ  （回転板の）貫通穴、５６ａ〜５６ｄ  （回転板の）羽根、５８，３５８  係止部、６２，６４，２６２，２６４  ストッパ、７０  排気管、７５  オートダンパ、８０  制御部、１００，２００，３００  洗浄装置、Ｍ  金属板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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