(57)【要約】【課題】  可動部を付勢するバネがボビンと干渉することなく、可動部を押し込むことができる接触式変位センサーを提供する。【解決手段】  検出信号を生成する励磁コイル１２と、励磁コイル１２が装着され、軸方向に中空部が形成されたボビン１３と、中空部内に挿入されるコアが一端に形成され、ボビン１３から軸方向に突出された他端に接触子４が形成された可動部と、可動部と同軸に配置されるとともに全体が常に中空部内に収容され、可動部を軸方向に付勢するコイル状のバネ１１により構成される。特に、バネ１１は、中空部の直径とバネ１１の外径との差がバネ１１の内径とコア保持管１４の直径との差よりも小さくなるように構成される。また、可動部は、コアを保持し、バネ１１の先端に当接するコアホルダ部１５と、接触子４が設けられるシャフト部１７と、コアホルダ部１５及びシャフト部１７を折り曲げ可能に連結する連結部１８とからなるように構成される。【選択図】  図２
2006003117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出信号を生成する励磁コイルと、
上記励磁コイルが装着され、軸方向に中空部が形成されたボビンと、
上記中空部内に挿入されるコアが一端に形成され、上記ボビンから軸方向に突出された他端に接触子が形成された可動部と、
上記可動部と同軸に配置されるとともに全体が常に上記中空部内に収容され、上記可動部を軸方向に付勢するコイル状のバネとを備えたことを特徴とする接触式変位センサー。
【請求項２】
上記バネは、中空部の直径と略同一の直径であることを特徴とする請求項１に記載の接触式変位センサー。
【請求項３】
上記バネは、中空部の直径とバネの外径との差がバネの内径と上記可動部におけるコア形成部分の直径との差よりも小さくなるように形成されることを特徴とする請求項１に記載の接触式変位センサー。
【請求項４】
上記可動部は、上記コアを保持し、上記バネの先端に当接するコアホルダ部と、
上記接触子が設けられるシャフト部と、
上記コアホルダ部及び上記シャフト部を折り曲げ可能に連結する連結部とからなることを特徴とする請求項１に記載の接触式変位センサー。
【請求項５】
上記連結部は、弾性を有する接着部材を介して連結することを特徴とする請求項４に記載の接触式変位センサー。
【請求項６】
上記連結部は、弾性部材からなる絶縁カラーであることを特徴とする請求項４に記載の接触式変位センサー。
【請求項７】
上記ボビンが装着される筒状の筐体と、
上記筐体内に形成され、上記シャフト部を摺動可能に保持する軸受けとを備えたことを特徴とする請求項４に記載の接触式変位センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接触式変位センサーに係り、さらに詳しくは、可動部の一端にコアが形成されるとともに他端に接触子が形成され、励磁コイルが装着されたボビン内におけるコアの位置に対応する検出信号を生成する差動トランスなどを用いた接触式変位センサーの改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定対象の変位に追従して変位量をリアルタイムに検出する変位センサーとしては、差動トランスなどを用いる接触式変位センサーがある。接触式変位センサーは、通常、検出信号を生成する励磁コイルが装着されたボビンと、ボビン内に挿入されるコアが一端に形成され、他端に接触子が形成された可動部と、可動部を軸方向に付勢するコイル状のバネからなる。上記バネは、測定対象の変位に追従して接触子が軸方向に押し込まれた際、可動部に復元力を加えるために設けられる。また、いわゆるペンシル型の接触式変位センサーでは、機器の形状をシンプルにして機器をコンパクト化するために、バネが可動部と同軸に配置される。この様な接触式変位センサーでは、ボビン内におけるコアの位置に対応する検出信号が励磁コイルにより生成される。
【０００３】
図７は、従来の接触式変位センサーの外観を示した平面図である。また、図８は、図７の接触式変位センサーにおける要部の詳細を示した図であり、接触子１０５が軸方向に押し込まれた際に、ボビン１０６内に挿入される可動部１０４及びバネ１０９の様子が示されている。この接触式変位センサー１００は、ペンシル型の変位センサーであり、筒状の筐体１０３内にボビン１０６を装着している。ボビン１０６には、検出信号を生成する励磁コイル１０７が装着され、軸方向に中空部１１１が形成されている。励磁コイル１０７により生成された検出信号は、筐体１０３の後端に設けられる表示灯のケース１０２に接続されたケーブル１０１を介してコントローラなどの外部機器へ伝送される。
【０００４】
可動部１０４の一端には、中空部１１１内に挿入されるコア（磁心）を保持するコア保持管１０８が取り付けられ、ボビン１０６から軸方向に突出させる他端には、測定対象に接触させる接触子１０５が取り付けられている。バネ１０９は、可動部１０４のコア保持管１０８と同軸に配置され、可動部１０４を軸方向に付勢している。また、バネ１０９は、自然の長さ（自然長）がボビン１０６の軸方向の長さよりも長くなっており、一部分をボビン１０６から突出させて中空部１１１内に配置されている。バネ１０９の先端は、可動部１０４に設けられたバネ受け部１１０に当接している。つまり、接触子１０５を介して可動部１０４が押し込まれた際に、バネ１０９がバネ受け部１１０を軸方向に付勢することで測定対象の変位に追従して動作させることができる。
【０００５】
しかしながら、上述した従来の接触式変位センサーでは、可動部１０４が押し込まれた際、ボビン１０６及びバネ受け部１１０間でバネ１０９が蛇行するので、蛇行したバネ１０９がボビン１０６と干渉してしまうという問題があった。ここでいう干渉とは、磨耗や引っ掛かり異音などを伴う接触のことである。このバネ１０９とボビン１０６との干渉によって、可動部１０４が中空部１１１内に進入する際に引っかかりとなり、可動部１０４のスムーズな摺動が妨げられるのみならず、異音が生じたり、ボビン１０６が樹脂からなる場合にあっては、樹脂製ボビンの中空部１１１の入り口周辺が金属性のバネ１０９により削られてしまうという問題があった。また、蛇行したバネ１０９がコア保持管１０８と接触部１１２などにおいて接触することによって、コア保持管１０８に軸方向に垂直な方向（横方向）の力が加わる。この横方向の力が加わることによって、コア保持管１０８にブレが生じるので、変位量の検出値にバラツキが生じてしまうという問題もあった。
【０００６】
可動部を付勢するバネがボビンと干渉するのを防ぐには、バネ全体をボビンの外に設けることが考えられる。すなわち、ボビンとバネ受け部との間にバネを配置し、バネの一端をボビンの端面に当接させ、他端をバネ受け部に当接させるようにすることが考えられる。
【０００７】
図９は、接触式変位センサーにおける要部詳細を示した図であり、ボビン１０６及びバネ受け部１２２の間に配置されるバネ１２１の様子が示されている。ボビン１０６とバネ受け部１２２との間にバネ１２１を配置することによって、バネ１２１がボビン１０６と干渉するのを防ぐことができる。しかし、バネ１２１がボビン及びバネ受け部１２２間に設けられるので、バネ１２１が最も縮んだ状態におけるバネ１２１の長さ、すなわち、バネ１２１の長さにおける最小値だけ、コア保持管１０８の長さが長くなってしまうという問題があった。
【０００８】
一般に、接触式変位センサーでは、可動部の可動範囲内においてバネによる復元力が一定であるのが望ましいとされている。このため、直径及びピッチが同一であれば、自然長がより長いバネ、すなわち、バネ定数（弾性定数）がより小さいバネが用いられる。上述した接触式変位センサーでは、具体的に、自然長が１２０ｍｍであれば、バネ１２１の長さの最小値は２０〜３０ｍｍとなり、この長さ分だけコア保持管１０８の長さ、すなわち、可動部１０４の長さが長くなるので、センサー本体の全長が増大してしまうという問題があった。
【０００９】
また、可動部が押し込まれた際に、ボビン及びバネ受け部間でバネが蛇行するのを防ぐには、バネの直径を狭めることが考えられる。すなわち、バネの直径を小さくしてコア保持管１０８がガイドとなるようにすることが考えられる。
【００１０】
図１０は、接触式変位センサーにおける要部詳細を示した図であり、コア保持管１０８をガイドとするバネ１３１の様子が示されている。コア保持管１０８をガイドとすることによって、バネ１３１がボビン１０６及びバネ受け部１１０間で蛇行するのを防ぐことができる。しかし、バネ１３１の直径が小さいので、ボビン１０６内壁面とバネ１３１との隙間が大きくなり、コア保持管１０８からはみ出したバネ１３１の一部が中空部内において蛇行してしまうという問題があった。蛇行しようとするバネ１３１の一部がコア保持管１０８の先端と接触することによって、コア保持管１０８に横方向の力が加わるので、コア保持管１０８にブレが生じ、変位量の検出値に値飛びなどのバラツキが生じてしまうという問題があった。
【特許文献１】特開２００２−３５７４０４号公報
【特許文献２】特開２００１−１８８００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述した通り、従来の接触式変位センサーでは、可動部が押し込まれる際、ボビン及びバネ受け部間でバネが蛇行してボビンと干渉するという問題があった。また、蛇行したバネがコア保持管と接触することによって、コア保持管にブレが生じて変位量の検出値にバラツキが生じるという問題があった。
【００１２】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、可動部を付勢するバネがボビンと干渉することなく、可動部を押し込むことができる接触式変位センサーを提供することを目的とする。特に、ボビン外でバネが蛇行するのを防止し、変位量の検出値にバラツキが生じるのを抑制させた接触式変位センサーを提供することを目的としている。
【００１３】
また、センサー本体の全長が増大することなく、バネとボビンの干渉を防止することができる接触式変位センサーを提供することを目的としている。また、ボビン内においてバネが蛇行するのを抑制させた接触式変位センサーを提供することを目的としている。
【００１４】
また、本発明の他の目的は、センサー本体の組み立て時において各部に無理な力がかかるのを抑制させた接触式変位センサーを提供することにある。特に、筒状の筐体の対向する側からボビン及び可動部を組み込む際に、可動部の先端部がボビンの内壁面に干渉するのを抑制させた接触式変位センサーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明による接触式変位センサーは、検出信号を生成する励磁コイルと、上記励磁コイルが装着され、軸方向に中空部が形成されたボビンと、上記中空部内に挿入されるコアが一端に形成され、上記ボビンから軸方向に突出された他端に接触子が形成された可動部と、上記可動部と同軸に配置されるとともに全体が常に上記中空部内に収容され、上記可動部を軸方向に付勢するコイル状のバネにより構成される。
【００１６】
本発明による接触式変位センサーは、上記構成に加え、上記バネが、中空部の直径と略同一の直径であるように構成される。
【００１７】
本発明による接触式変位センサーは、上記構成に加え、上記バネが、中空部の直径とバネの外径との差がバネの内径と上記可動部におけるコア形成部分の直径との差よりも小さくなるように構成される。
【００１８】
また、本発明による接触式変位センサーは、上記構成に加え、上記可動部が、上記コアを保持し、上記バネの先端に当接するコアホルダ部と、上記接触子が設けられるシャフト部と、上記コアホルダ部及び上記シャフト部を折り曲げ可能に連結する連結部とからなるように構成される。
【００１９】
特に、上記連結部は、弾性を有する接着部材を介して連結するように構成される。また、上記ボビンが装着される筒状の筐体と、上記筐体内に形成され、上記シャフト部を摺動可能に保持する軸受けとを備えて構成される。
【発明の効果】
【００２０】
本発明による接触式変位センサーによれば、可動部を軸方向に付勢するバネがその全体をボビンの中空部内に収容して配置されるので、ボビン外においてバネが蛇行するのを防止することができる。従って、バネがボビンと干渉することなく、可動部のコアを中空部内に押し込むことができる。すなわち、磨耗や引っ掛かり異音などを伴う接触を生じることなく、コアを中空部内に押し込むことができる。また、バネの全体がボビン内に収容されるので、センサー本体の全長が増大することなく、バネとボビンの干渉を防止することができる。
【００２１】
特に、中空部の直径とバネの外径との差がバネの内径と上記可動部におけるコア形成部分の直径との差よりも小さいので、ボビン内においてバネが蛇行するのを効果的に抑制することができる。従って、バネの蛇行によって可動部のコア形成部分に横方向の力がかかるのを防ぐことができるので、変位量の検出値にバラツキが生じるのを抑制させることができる。
【００２２】
また、バネの先端に当接するコアホルダ部及びシャフト部を折り曲げ可能に連結したので、センサー本体の組み立て時において各部に無理な力がかかるのを抑制させることができる。特に、筒状の筐体内にシャフト部を摺動可能に保持する軸受けが形成される場合、軸受けなどを筐体内に組み込む際に生じる組み立て誤差を連結部に吸収させることができるので、可動部のコアホルダ部が中空部の内壁面に干渉するのを効果的に抑制させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１による接触式変位センサーを含む変位計測装置の一例を示した外観斜視図であり、測定対象Ａの変位に追従する可動部３の変位に基づいて検出信号を生成する接触式変位センサー２及びコントローラ７の様子が示されている。この変位計測装置１は、接触式変位センサー２及びコントローラ７からなり、測定対象Ａの変位に追従して変位量をリアルタイムに検出する動作を行っている。
【００２４】
本実施の形態による接触式変位センサー２は、ペンシル型の変位センサーであり、一方の端部は、先端に接触子４が形成された可動部３となっている。接触式変位センサー２では、可動部３の軸方向の位置に対応する検出信号の生成が行われる。接触式変位センサー２及びコントローラ７は、ケーブル６により電気的に接続されており、コントローラ７から変位センサー２へ駆動用の交流電源が供給されるとともに、当該変位センサー２により生成された検出信号がコントローラ７に伝送される。接触式変位センサー２の他方の端部には、表示灯が設けられ、その表示灯ケース５にケーブル６が接続されている。
【００２５】
例えば、測定対象Ａとして半導体素子による基板面上の凹凸などの高低差を計測する場合、接触式変位センサー２は、接触子４を当該基板面に当接させて基板面に対し垂直に配置される。このとき、変位センサー２を基板面に沿って移動させると、可動部３が基板面の高低差に応じて軸方向に伸縮する。この高低差による変位量が検出信号として出力される。
【００２６】
コントローラ７には、表示部８、電源スイッチ９及びリセットスイッチ１０が設けられており、リセット時からの変位量が表示部８にリアルタイムに表示される。
【００２７】
図２は、図１の変位計測装置における要部詳細の一例を示した図であり、ケーブル６に接続される接触式変位センサー２の断面の様子が示されている。接触式変位センサー２は、表示灯ケース５を取り付ける取付部２４と、励磁コイル１２を装着するためのボビン１３と、コアホルダ部１５、シャフト部１７及び連結部１８からなる可動部と、可動部を軸方向に付勢するためのコイル状のバネ１１と、シャフト部１７を摺動可能に保持するための軸受け部２０と、円筒状の筐体２３により構成される。
【００２８】
取付部２４は、樹脂からなる円柱状の部材であり、端面に表示灯ケース５を取り付けるための係合孔が設けられている。また、取付部２４は、筐体２３の一端に係合するようになっている。
【００２９】
ボビン１３は、絶縁性を有する樹脂からなる円柱状の巻き線保持部材であり、例えば、２つの独立した励磁コイル１２が同軸に装着される。ボビン１３には、コア（磁心）を挿入するための中空部が軸方向に形成されている。コアの中空部内における位置に対応する検出信号が励磁コイルにより生成される。ボビン１３及び取付部２４は、円筒状のシールド部材２２や絶縁部材とともに、筐体２３の一端側から筐体２３に装着される。なお、取付部２４及びボビン１３は、一体成形されるようなものであっても良い。
【００３０】
コアホルダ部１５は、コアを軸方向に平行に保持する樹脂製の保持部材であり、中空部内に進入可能となっている。上記コアは、アモルファス合金や鉄などの磁性体からなり、コアホルダ部１５先端のコア保持管１４内に装着されている。つまり、このコア保持管１４におけるコア保持部分が可動部におけるコア形成部分となっている。コア保持管１４は、金属からなる。また、コアホルダ部１５には、バネ１１の先端に当接するバネ受け部１６が設けられている。バネ受け部１６の直径は、バネ１１の外径と同一となっている。なお、コアホルダ部１５は、その全体が金属製であっても良い。
【００３１】
シャフト部１７は、先端に接触子４が設けられたロッド状の金属製部材である。連結部１８は、コアホルダ部１５及びシャフト部１７を折り曲げ可能に連結する連結部材である。この連結部１８は、可動部を筐体２３の他端側からボビン１３内に組み込む際に、各部に無理な力がかかるのを抑制させる関節として動作する。ここでは、連結部１８が絶縁性を有する樹脂からなる１つの独立した部材であるものとし、シャフト部１７及びコアホルダ部１５のいずれか一方または両方が弾性を有する接着部材を介して連結部１８に接続されるものとする。具体的には、軸方向に平行な平面による切断面がＨ型形状となる絶縁カラーを用いることができる。
【００３２】
軸受け部２０は、ボールベアリング２１及びベアリングホルダからなり、シャフト部１７を軸方向に平行に保持する。軸受け部２０は、筐体２３の他端に取り付けられる。シャフト部１７にピン止めされたストッパー１９が軸受け部２０の内側に当接することによって、可動部が所定の可動範囲を超えて軸受け部２０外に飛び出るのを防止している。
【００３３】
シャフト部１７において軸受け部２０から軸方向に突出する部分には、蛇腹状のダストブーツ２５が設けられており、水や塵埃などが筐体２３内に浸入するのを防止している。
【００３４】
バネ１１は、コア保持管１４と同軸に配置され、その全体が中空部内に収容されている。すなわち、バネ１１は、コアホルダ部１５を中空部内に押し込んでバネ１１を最も収縮させた状態から、バネを伸張させストッパー１９が軸受け部２０に当接した状態までの間、常に中空部内にあり、ボビン１３外に露出しないようになっている。これにより、ボビン１３外においてバネ１１が蛇行するのを防止することができる。従って、バネ１１がボビン１３と干渉することなく、可動部のコアを中空部内に押し込むことができる。すなわち、磨耗や引っ掛かり異音などを伴う接触を生じることなく、コアを中空部内に押し込むことができる。また、バネ１１の全体がボビン１３内に収容されるので、センサー本体の全長が増大することなく、バネ１１とボビン１３の干渉を効果的に防止することができる。
【００３５】
また、バネ１１は、中空部の直径とバネ１１の外径との差がバネ１１の内径とコア保持管１４の直径との差よりも小さくなるように形成される。すなわち、中空部の壁面とバネ１１の外周面との間隔は、バネ１１の内周面とコア保持管１４の周面との間隔よりも小さくなっている。ここでは、バネ１１の直径（外径）が中空部の直径と略同一となっている。これにより、中空部壁面をバネ１１が伸縮する際のガイドとすることができるので、中空部内においてバネ１１が蛇行したり、座屈するのを防止することができる。特に、コア保持管１４の先端よりも先の中空部内におけるバネ１１の蛇行及び座屈が防止されるので、可動部を押し込む際にバネ１１によってコア保持管１４に軸方向に垂直な方向（横方向）の力がかかるのを効果的に防ぐことができる。
【００３６】
図３（ａ）及び（ｂ）は、図２の接触式変位センサーにおける動作例を示した断面図であり、図３（ａ）には、可動部がバネ１１によってボビン１３から押し出された状態が示され、図３（ｂ）には、可動部をボビン１３内に押し込んだ状態が示されている。可動部がバネ１１によってボビン１３から押し出された状態では、バネ受け部１６が中空部の入り口付近に位置するようになっている。このとき、コアの位置は、一方の励磁コイル側、すなわち、中空部の入り口側となっている。一方、可動部をボビン１３内に押し込んだ状態では、バネ受け部１６が中空部の中央まで進入するようになっている。このとき、コアの位置は、他方の励磁コイル側、すなわち、中空部の入り口と反対側となっている。
【００３７】
一般に、コイル状のバネは、軸方向に沿って押し縮めた際、外径が膨らむ。このことを考慮して、伸張時におけるバネ１１の外径は、中空部の直径よりも小さくなるように形成されている。具体的には、中空部の直径が５ｍｍである場合、バネ１１の自然長における外径は４．８ｍｍとなっている。この場合、バネ１１に蛇行が生じたとしても、５−４．８＝０．２ｍｍ以内に収めることができる。
【００３８】
また、一般に、各励磁コイル１２のインダクタンスは、中空部内におけるコアの位置に応じて変化する。このことを利用して、中空部内におけるコアの位置に対応する検出信号の生成が行われる。例えば、各励磁コイル１２には、逆位相の交流が供給され、生成される信号の振幅と位相からコアの位置が検出される。
【００３９】
図４は、図２の接触式変位センサーにおける要部詳細の一例を示した回路図であり、励磁コイル１２及びコアからなる差動トランスが示されている。各励磁コイル１２のインダクタンスＬ１及びＬ２は、中空部内におけるコアの軸方向の位置に応じて変化する。端子Ｂ及びＤに逆位相の交流を供給すると、インダクタンスの比に応じた信号が端子Ｃに生成される。この信号の振幅と位相からコアの位置を判別することができる。
【００４０】
図５は、図２の接触式変位センサーにおける要部詳細を分解して示した図である。ボビン１３及びバネ１１は、筐体２３の一端側から筐体２３内に装着される。一方、シャフト部１７が軸受け部２０に挿入された可動部は、筐体２３の他端側から筐体２３内に装着される。軸受け部２０は、筐体２３端部に固定される。ストッパー１９の軸受け部２０側には、ストッパー１９が軸受け部２０に当接する際の衝撃を和らげるために、ゴムなどの弾性部材からなるＯリング３１が設けられている。
【００４１】
図６は、図２の接触式変位センサーにおける要部詳細を示した断面図であり、コアホルダ部１５及びシャフト部１７を折り曲げ可能に連結する連結部１８の様子が示されている。コアホルダ部１５及びシャフト部１７は、連結部１８により折り曲げ可能に連結される。
【００４２】
特に、シャフト部１７は、絶縁カラーからなる連結部１８に弾性接着剤３２を用いて接着される。これにより、センサー本体の組み立て時において各部に無理な力がかかるのを抑制させることができる。すなわち、軸受け部２０などを筐体２３内に組み込む際に生じる組み立て誤差を連結部１８に吸収させることができるので、コアホルダ部１５の先端部、特に、バネ受け部１６が中空部の入り口や内壁面に干渉するのを効果的に抑制させることができる。
【００４３】
具体的には、連結部（絶縁カラー）１８の内径が４．５ｍｍである場合、シャフト部１７の直径は４．０ｍｍとなっており、連結部１８は、４．５−４．０＝０．５ｍｍ程度の横方向のずれを吸収することができる。つまり、この連結部１８は、可動部を筐体２３の他端側からボビン１３内に組み込む際に、シャフト部１７やバネ受け部１６に無理な力がかかるのを抑制させる関節として動作する。これにより、要求される組み立て精度を低減することができるので、センサー本体の組み立てが容易となる。
【００４４】
本実施の形態によれば、ボビン１３外においてバネ１１が蛇行するのを防止することができるので、バネ１１がボビン１３と干渉することなく、可動部のコアを中空部内に押し込むことができる。また、バネ１１の全体がボビン１３内に収容されるので、センサー本体の全長が増大することなく、バネ１１とボビン１３の干渉を防止することができる。
【００４５】
また、バネ１１の蛇行によってコアに横方向の力がかかるのを防ぐことができるので、変位量の検出値にバラツキが生じるのを抑制させることができる。
【００４６】
なお、本実施の形態では、コアホルダ部１５及びシャフト部１７が弾性接着剤３２を介して連結される場合の例について説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、折り曲げ可能に連結するものであれば他の連結手段を用いても良い。例えば、絶縁カラーなどの連結部材自体が弾性を有するようなものであっても良い。また、自在継ぎ手のようにメカニカルに構成されるものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態１による接触式変位センサーを含む変位計測装置の一例を示した外観斜視図である。
【図２】図１の変位計測装置における要部詳細の一例を示した図である。
【図３】図２の接触式変位センサーにおける動作例を示した断面図である。
【図４】図２の接触式変位センサーにおける要部詳細の一例を示した回路図であり、励磁コイル１２及びコアからなる差動トランスが示されている。
【図５】図２の接触式変位センサーにおける要部詳細を分解して示した図である。
【図６】図２の接触式変位センサーにおける要部詳細を示した断面図であり、コアホルダ部１５及びシャフト部１７を折り曲げ可能に連結する連結部１８の様子が示されている。
【図７】従来の接触式変位センサーの外観を示した平面図である。
【図８】図７の接触式変位センサーにおける要部の詳細を示した図である。
【図９】接触式変位センサーにおける要部詳細を示した図である。
【図１０】接触式変位センサーにおける要部詳細を示した図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  変位計測装置
２  接触式変位センサー
３  可動部
４  接触子
５  表示灯ケース
６  ケーブル
７  コントローラ
８  表示部
９  電源スイッチ
１０  リセットスイッチ
１１  バネ
１２  励磁コイル
１３  ボビン
１４  コア保持管
１５  コアホルダ部
１６  バネ受け部
１７  シャフト部
１８  連結部
１９  ストッパー
２０  軸受け部
２１  ボールベアリング
２２  シールド部材
２３  筐体
２４  取付部
２５  ダストブーツ
３１  Ｏリング
３２  弾性接着剤
【図１】
2006003117.tif 000003
【図２】
2006003117.tif 000004
【図３】
2006003117.tif 000005
【図４】
2006003117.tif 000006
【図５】
2006003117.tif 000007
【図６】
2006003117.tif 000008
【図７】
2006003117.tif 000009
【図８】
2006003117.tif 000010
【図９】
2006003117.tif 000011
【図１０】
2006003117.tif 000012