(57)【要約】    【課題】確実なカール除去作業を遠隔操作により迅速且つ容易に行なえる、ワイヤ伸線時のカール除去装置を提供する。    【解決手段】所定の線径のワイヤを製造するための円筒形ダイスＡを保持するホルダー１に、前記ダイスＡを伸線されるべきワイヤと同心に回動させる駆動手段６，６a，７，７aと、該駆動手段による前記ダイスの回動角度を表示する表示手段１０とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の線径のワイヤを製造するための円筒形ダイスを保持するホルダーと、前記ダイスを伸線されるべきワイヤと同心に回動させる駆動手段と、該駆動手段による前記ダイスの回動角度を表示する表示手段とを付設してなる、ワイヤ伸線時のカール除去装置。
【請求項２】
所定の線径のワイヤを製造するための円筒形ダイスと、該ダイスを回動可能に保持するホルダーと、前記ダイスの上方移動を抑止するためバネ材を介して保持されたストッパーと、前記ダイスに転接する一対のプーリーと、該一対のプーリーを同一方向に回転させる駆動モーターと、該駆動モーターと前記一対のプーリーを介して回動される前記ダイスの回動角度を表示するダイス角度表示板とを備えたワイヤ伸線時のカール除去装置。
【請求項３】
前記バネ材は板バネまたはスプリングである請求項２に記載のワイヤ伸線時のカール除去装置。
【請求項４】
前記駆動モーターの起動・停止をフットスイッチで行なうようにした請求項２又は３に記載のワイヤ伸線時のカール除去装置。
【請求項５】
前記ワイヤは金ボンディングワイヤである請求項１乃至４の何れかに記載のワイヤ伸線時のカール除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極細のワイヤ、特に半導体チップ等の接続に用いる金ボンディングワイヤの伸線時のカール除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、ワイヤ伸線時におけるワイヤのカールを除去するには、最終線径の最終ダイスを手作業で回転させ、ダイス穴の位置と方向を適宜ずらしつつ最適位置に調整することにより行なっているが、この方法だと、ダイスを回転させる際に、ダイスの位置が毎回ずれてしまうため、ワイヤ交換の度に上記作業を繰り返さなければならない。また、ダイス回転の作業中、金ボンディングワイヤに手や伸線装置の治具が触れてしまい、断線させてしまうという問題がある。
金ボンディングワイヤを製造するに当たり、φ３ｍｍ以上の太さを持つ線材から、ダイスを用いて引き抜き加工を繰り返すことにより、目的の線径（例えば、φ２５μｍ程度）のワイヤを製造する。この最終線径のワイヤは、最終焼鈍の後ボンディングに使用するため、カールやねじれがあると不良品となる。
【０００３】
このような不具合に対し、例えば、特許文献１の開示されているような回転式ダイスによる矯正方法が提案されているが、この技術では、製品に螺旋状の傷をつけてしまい、弊害を生じるといった問題があった。
【特許文献１】特開２００３−０９４１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の手操作によるカール除去作業は、作業者の勘に頼って行なうため、熟練した技術を必要とし、非能率的である。また、ダイスや金ボンディングワイヤと人の手等が接触するため、金ボンディングワイヤを断線させることがり、生産性を低下させる原因となっている。
【０００５】
本発明は、従来技術の有する上記のような問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、確実なカール除去作業を遠隔操作により迅速且つ容易に行なえる、ワイヤ伸線時のカール除去装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明によるワイヤ伸線時のカール除去装置は、所定の線径のワイヤを製造するための円筒形ダイスを保持するホルダーと、前記ダイスを伸線されるべきワイヤと同心に回動させる駆動手段と、該駆動手段による前記ダイスの回動角度を表示する表示手段とを付設してなる。
【０００７】
また、本発明によるワイヤ伸線時のカール除去装置は、所定の線径のワイヤを製造するための円筒形ダイスと、該ダイスを回動可能に保持するホルダーと、前記ダイスの上方移動を抑止するためバネ材を介して保持されたストッパーと、前記ダイスに転接する一対のプーリーと、該一対のプーリーを同一方向に回転させる駆動モーターと、該駆動モーターと前記一対のプーリーを介して回動される前記ダイスの回動角度を表示するダイス角度表示板とを備えている。
【０００８】
本発明によれば、前記バネ材は、好ましくは、板バネまたはスプリングである。
【０００９】
また、本発明によれば、好ましくは、前記駆動モーターの起動・停止をフットスイッチで行なうようになっている。
【００１０】
また、本発明によれば、好ましくは、前記ワイヤは金ボンディングワイヤである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ワイヤーに接触することなくカールを容易に除去し、カール除去作業に伴う断線を確実に防止することができ、且つ、作業性の向上が期待できる、ワイヤー伸線時のカール除去装置を提供することができる。また、本発明によれば、製品であるワイヤーに螺旋状の傷を付けてしまうというような弊害もなく、高品質の金ボンディングワイヤーを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図示した実施例に基づき本発明を説明する。
図１は、本発明に係るワイヤー伸線時のカール除去装置の一実施例の斜視図である。図中、Ａは円筒形の最終ダイス、１はダイスＡの外径よりも約１μｍ大きい幅のダイス収納部１aを有するダイスホルダー、２，３はダイスホルダー１の上側に対向配置されていてダイス収納部１aに収納されたダイスＡの上方移動を抑止するためバネ材２a，３aを介して固定の支持部材４，５にそれぞれ取り付けられた一対のストッパー、６，７はダイスホルダー１の下側に互いに対向配置されていて駆動モーター６a，７aにより同一方向へ回転され得るダイスＡに転接する一対のプーリー、８は駆動モーター６a，７aの給電端子と電源９との間に接続されていて駆動モーター６a，７aのオン-オフを制御するフットスイッチ、１０はプーリー６，７の回転角度即ちダイスＡの回動角度を表示し得るダイス角度表示器、Ｗは伸線されるワイヤーである。
【００１３】
バネ材２a，３aは、適当な弾性を有する板バネまたはコイルバネからなり、一対のストッパー２，３の先端部はダイスＡに線接触している。また、駆動モーター６a，７aはパルスモーターまたはステップモーターであって良く、ダイス角度表示器は、例えばエンコーダー等を用いてモーター６a，７aまたはプーリ６，７の回転量を検出し演算して、ダイスＡの基準位置からの回動角度を数値で表示し得るように構成されている。プーリ６，７の表面の材質は、ゴムなど弾性があり摩擦抵抗の高いものが望ましい。
【００１４】
例えば、金ボンディングワイヤーは、金原料を溶解鋳造することにより鋳塊を作成し、この鋳塊を溝ロールで圧延し、ダイス引き抜き加工を順次行なって、最終線径を有する最終ダイスＡから引き抜くことにより、製造される。最終ダイスＡは、引き抜き加工時間の経過と共に金ボンディングワイヤーとの接触面が磨耗して形状が変化するが、この変化により通線する最終ダイス位置が変化し、そのためカールが発生する。このため、最終ダイスを通線方向からみてθ方向へ回動させ（図１参照）、位置調整することが必要となる。また、最終ダイスは作業単位毎に取り外しするので、毎回ダイス角度を把握しておくことが必要となる。
【００１５】
図１において、フットスイッチ８を踏んでオンにすると、例えば、駆動モーター６a，７aは時計方向へ同一量回転し、ダイスＡは矢印方向（反時計方向）へθ°回動する。そして、フットスイッチ８を離してオフにすると、ダイスＡはその位置に停止し、ダイス角度表示器１０には、基準位置からのダイスＡの回動角度θが表示される。ダイスＡの回動中、ホルダー１はダイスＡのＸ方向への移動を防止し、ストッパー２，３はダイスＡのＹ方向への移動を防止する。このようにして、フットスイッチ８の操作により、ダイスＡを確実且つ容易に高精度で遠隔操作することができる。
【００１６】
以下、実施例を説明する。
金原料を使い、溶解鋳造により鋳塊を作成した。この鋳塊を、溝ロール圧延し、ダイス引き抜き加工を順次行ない、最終線径２５μｍの金ボンディングワイヤーとした。最終線径である２５μｍのダイスを回転させ、カール除去した時の作業時間およびカール除去作業時に金ボンディングワイヤーを断線させた回数を測定した結果を下表に示す。この表から明らかなように、本発明装置を用いた場合は、
金ボンディングワイヤーの断線はなく、カール除去平均時間は従来方法に比べて８０％程度低減させることができた。
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【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係るワイヤー伸線時のカール除去装置の一実施例の斜視図である。
【符号の説明】
【００１８】
１                      ダイスホルダー
１a                     ダイス収納部
２、３                  ストッパー
２a、３a                バネ材
４、５                  支持部材
６，７                  プーリー
８                      フットスイッチ
９                      電源
１０                    ダイス角度表示器
Ａ                      ダイス
Ｗ                      伸線されるワイヤー
【図１】
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