(57)【要約】【課題】  極めて薄いシンウエハーを安全にかつ確実に支持することができると共に容易に出し入れできるようにする。【解決手段】  内部に１枚のシンウエハー４Ａを収納する容器本体２と、当該容器本体２に取り付けられる蓋体３とを備えた枚葉収納容器１である。容器本体２側に位置して蓋体３を底面側から支持する底面支持部材３５と、蓋体３側に位置して上側表面側から支持する表面支持部材３６とを備えた。底面支持部材３５は、シンウエハー４Ａの中央部分を支持する中央支持部３７と、外周部分を支持する外周支持部３８と、径方向外方から支持する周縁支持部３９と、上記中央支持部３７と外周支持部３８とを一体的に結合する環状板部４０を備えた。表面支持部材３６は、シンウエハー４Ａを上側から覆う円盤部４３と、上記底面支持部材３５と共に上記シンウエハー４Ａを挟むようにして支持する当接部４４，４５とを備えた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容易に撓み得る極薄の１枚の薄板を内部に収納する容器本体と、当該容器本体に取り付けられる蓋体とを備えた枚葉収納容器において、
上記容器本体側に位置して上記薄板を底面側から面で支持する底面支持部材と、上記蓋体側に位置して上記薄板を上側表面側から面、線又は点で支持する表面支持部材とを備え、
上記蓋体を閉じることで、上記底面支持部材が上記薄板をその底面側から当接して支持すると共に、上記表面支持部材が上記薄板をその上側表面側から当接して支持することを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の枚葉収納容器において、
上記底面支持部材が、上記薄板の中央部分をその底面側から面で支持する中央支持部と、上記薄板の外周部分をその底面側から面で支持する外周支持部と、上記薄板の周縁に当接して当該薄板を径方向外方から支持する周縁支持部と、上記中央支持部と外周支持部とを一体的に結合する環状板部とを備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の枚葉収納容器において、
上記表面支持部材が、上記底面支持部材に載置された上記薄板の表面に弾性的に当接して当該底面支持部材とで挟むようにして支持する当接部を備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の枚葉収納容器において、
上記表面支持部材が、上記底面支持部材に載置された上記薄板の表面に当接して当該底面支持部材とで挟むようにして支持する当接部と、上記蓋体側に設けられて当該当接部を弾性的に支持する弾性支持部とを備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の枚葉収納容器において、
上記当接部が、上記底面支持部材の外周支持部に対向して設けられ当該外周支持部とで上記薄板を挟むようにして支持する周縁当接部と、上記底面支持部材の中央支持部に対向して設けられ当該中央支持部とで上記薄板を挟むようにして支持する中間当接部とから構成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記底面支持部材の裏面に設けられて、当該底面支持部材が上記容器本体に載置された状態で当該底面支持部材を弾性的に支持するリテーナーを備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項７】
請求項４ないし６のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記表面支持部材の弾性支持部が、その中央部分を上記蓋体の内側面に固定してその外周側を弾性的に撓み得る自由端とし、上記当接部を弾性的に支持することを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項８】
請求項２ないし７のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記底面支持部材の中央支持部が円形状に形成され、上記外周支持部が円環状又は断片的な円環状に形成され、上記周縁支持部が円環状又は断片的な円環状に形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体に、上記底面支持部材に当接して当該底面支持部材の横滑り及び回転を防止する係止片を備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１０】
請求項９に記載の枚葉収納容器において、
上記底面支持部材に、上記容器本体の係止片に当接して当該底面支持部材の横滑り及び回転を防止する位置決め用突起を備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体が、上記薄板を載置する底板部と、当該底板部の周囲に形成された周壁部とを備えると共に、上記底板部が上記周壁部よりも高い位置まで隆起させて形成され、
上記蓋体が、上記容器本体の底板部に載置された上記薄板をその上側から覆う天板部と、当該天板部の周囲に設けられて上記薄板を収納する空間を形成する周壁部とを備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１２】
請求項２ないし１１のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記周縁支持部が、上記薄板の外径よりも若干大きな円周上に配設されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１３】
請求項２ないし１２のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記周縁支持部の当接面が、上記薄板の周縁に沿って湾曲されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記蓋体の内側面に、上記底面支持部材に載置された上記薄板の周縁部を支持する複数のリテーナーを備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１５】
請求項１４に記載の枚葉収納容器において、
上記リテーナーが弾性体で形成されると共に、
上記蓋体の内側面に、上記リテーナーが取り付けられるリテーナー嵌合部を備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１６】
請求項１５に記載の枚葉収納容器において、
上記リテーナーが、上記リテーナー嵌合部に嵌合する基部と、当該基部から上記薄板側に延出して形成され上記薄板の周縁部に当接して当該薄板をその径方向内方及び下方へ弾性的に押圧する撓み片とから構成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１７】
請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体と蓋体とが、ヒンジによって結合され、フックによって固定されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１８】
請求項１７に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体と蓋体との間にシール部材が設けられ、これら容器本体と蓋体とが上記ヒンジによって結合されて上記フックによって固定された状態で内部が気密に封止されることを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項１９】
請求項１７又は１８に記載の枚葉収納容器において、
上記ヒンジで上記容器本体に結合された上記蓋体が、９０度から１８０度の範囲の開き角で上記容器本体から分離されることを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２０】
請求項１ないし１９のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体と蓋体とがほぼ同じ形状に形成され、当該蓋体を閉じた状態で当該蓋体に上側の枚葉収納容器の容器本体が嵌り込んで、複数段に積み重ねることができることを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２１】
請求項１ないし２０のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体と蓋体とがほぼ同じ形状に形成され、これら容器本体と蓋体とを互いに閉じた状態でこれらの合わせ部分が面一になることを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２２】
請求項１ないし２１のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記蓋体又は上記容器本体のいずれか一方又は両方に相手側に対向して設けられ、当該蓋体を当該容器本体に被せるときに、これら蓋体と容器本体とが互いにずれないように案内する蓋体ガイドを備えたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２３】
請求項１ないし２２のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記底面支持部材又は上記表面支持部材の一方又は両方が非帯電性の高分子材料で形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２４】
請求項１ないし２３のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体又は上記蓋体の一方又は両方が非帯電性の高分子材料で形成されると共に、少なくとも上記蓋体が透明高分子材料で形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２５】
請求項１ないし２４のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記蓋体の周縁に、持ち運びのための係止用フランジが設けられたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２６】
請求項１ないし２５のいずれか１項に記載の枚葉収納容器において、
上記容器本体の底板部又は上記蓋体の天板部の一方又は両方が、その中央部の肉厚を周縁部の肉厚よりも厚く形成されたことを特徴とする枚葉収納容器。
【請求項２７】
容易に撓み得る極薄の１枚の薄板を内部に収納する容器本体側に位置して上記薄板を底面側から面で支持する底面支持部材と、
上記容器本体に取り付けられる蓋体側に位置して上記薄板を上側表面側から面、線又は点で支持する表面支持部材とを備え、
上記蓋体を閉じることで、上記底面支持部材が上記薄板をその底面側から当接して支持すると共に、上記表面支持部材が上記薄板をその上側表面側から当接して支持することを特徴とする緩衝支持部材。
【請求項２８】
請求項２７に記載の緩衝支持部材において、
上記底面支持部材が、上記薄板の中央部分をその底面側から面で支持する中央支持部と、上記薄板の外周部分をその底面側から面で支持する外周支持部と、上記薄板の周縁に当接して当該薄板を径方向外方から支持する周縁支持部とを備えたことを特徴とする緩衝支持部材。
【請求項２９】
請求項２７又は２８に記載の緩衝支持部材において、
上記表面支持部材が、上記底面支持部材に載置された上記薄板の表面に弾性的に当接して当該底面支持部材とで挟むようにして支持する当接部を備えたことを特徴とする緩衝支持部材。
【請求項３０】
請求項２７又は２８記載の緩衝支持部材において、
上記表面支持部材が、上記底面支持部材に載置された上記薄板の表面に当接して当該底面支持部材とで挟むようにして支持する当接部と、上記蓋体側に設けられて当該当接部を弾性的に支持する弾性支持部とを備えたことを特徴とする緩衝支持部材。
【請求項３１】
請求項２９又は３０に記載の枚葉収納容器において、
上記当接部が、上記底面支持部材の外周支持部に対向して設けられ当該外周支持部とで上記薄板を挟むようにして支持する周縁当接部と、上記底面支持部材の中央支持部に対向して設けられ当該中央支持部とで上記薄板を挟むようにして支持する中間当接部とから構成されたことを特徴とする緩衝支持部材。
【請求項３２】
請求項２７ないし３１のいずれか１項に記載の緩衝支持部材において、
上記底面支持部材の裏面に設けられて、当該底面支持部材が上記容器本体に載置された状態で当該底面支持部材を弾性的に支持するリテーナーを備えたことを特徴とする緩衝支持部材。
【請求項３３】
請求項２７ないし３２のいずれか１項に記載の緩衝支持部材において、
上記表面支持部材の弾性支持部が、その中央部分を上記蓋体の内側面に固定してその外周側を弾性的に撓み得る自由端とし、上記当接部を弾性的に支持することを特徴とする緩衝支持部材。
【請求項３４】
請求項２７ないし３３のいずれか１項に記載の緩衝支持部材において、
上記底面支持部材の中央支持部が円形状に形成され、上記外周支持部が円環状又は断片的な円環状に形成され、上記周縁支持部が円環状又は断片的な円環状に形成されたことを特徴とする緩衝支持部材。
【請求項３５】
請求項２７ないし３４のいずれか１項に記載の緩衝支持部材において、
上記底面支持部材に、上記容器本体側に当接して当該底面支持部材の横滑り及び回転を防止する位置決め用突起を備えたことを特徴とする緩衝支持部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハー、記憶ディスク、液晶ガラス基板等の薄板を収納して保管、輸送、製造工程等において使用される枚葉収納容器及びそれに用いる緩衝支持部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハー等の薄板を収納して保管、輸送等するための枚葉収納容器は一般に知られている。この枚葉収納容器の一例としては特許文献１に記載のロボット用パッケージがある。このロボット用パッケージでは、ウエハーを収納するコンパートメントを有している。ウエハーは、このコンパートメント内へ挿入されて、保管、輸送等が行われる。
【０００３】
また、浅い皿状の容器本体と蓋体とから構成された枚葉収納容器もある。
【特許文献１】特表平５−５０８７４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上述のようなロボット用パッケージの場合は、ウエハーをコンパートメントに対して出し入れするのが容易でなく、作業性が悪い。
【０００５】
これに対して、浅い皿状の容器本体と蓋体とから構成された枚葉収納容器の場合は、上記ロボット用パッケージよりもウエハーの出し入れが容易になるが、この場合も、ウエハーを上方から取り出す必要がある。皿状の容器本体の場合、収納されたウエハーの周囲に容器本体の壁部があるため、搬送装置の真空ピンセットを横から挿入することはできない。このため、ウエハーを上方から取り出す必要があり、その作業性が悪いという問題点がある。
【０００６】
また、ウエハーが薄くて大型化すると、強度の問題から、ウエハーの周縁部のみを支持して上方へ持ち上げるのは容易でなく、この点でも、作業性が悪いという問題がある。
【０００７】
特に、極めて薄いシリコンウエハーを取り扱う収納容器の場合は、出し入れ作業のみならず、枚葉収納容器内での保持方法も問題になる。即ち、シリコンウエハーの厚みが２５〜４００μｍ程度で大変薄いために、強度が弱くなって紙のように容易に撓んでしまうため、単純にシリコンウエハーの周縁部を支持すると、シリコンウエハーが大きく撓んでしまい、シリコンウエハーの破損や、シリコンウエハーの表面に形成された微細回路の損傷等の問題がある。
【０００８】
このような極めて薄いシリコンウエハーの場合は、通常、その両面を保護フィルムでカバーして取り扱われる。この保護フィルムは、ウエハーの強度を補強すると同時に、取り扱いを容易にしている。しかしながらこの場合も、シリコンウエハーの周縁部を支持すると、上述のようにシリコンウエハーが大きく撓んでしまい、シリコンウエハーの表面に形成された回路が破損する等の問題が生じてしまう。
【０００９】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、上述のような極めて薄いシリコンウエハー（Thin Wafer）を安全に、機密性を保って確実に保持することができると共に容易に出し入れできる枚葉収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、容易に撓み得る極薄の１枚の薄板を内部に収納する容器本体と、当該容器本体に取り付けられる蓋体とを備えた枚葉収納容器において、上記容器本体側に位置して上記薄板を底面側から面で支持する底面支持部材と、上記蓋体側に位置して上記薄板を上側表面側から面、線又は点で支持する表面支持部材とを備え、上記蓋体を閉じることで、上記底面支持部材が上記薄板をその底面側から当接して支持すると共に、上記表面支持部材が上記薄板をその上側表面側から当接して支持することを特徴とする。
【００１１】
上記底面支持部材は、上記薄板の中央部分をその底面側から面で支持する中央支持部と、上記薄板の外周部分をその底面側から面で支持する外周支持部と、上記薄板の周縁に当接して当該薄板を径方向外方から支持する周縁支持部と、上記中央支持部と外周支持部とを一体的に結合する環状板部とを備えることが望ましい。上記表面支持部材は、上記底面支持部材に載置された上記薄板の表面に当接して当該底面支持部材とで挟むようにして支持する当接部と、上記蓋体側に設けられて当該当接部を弾性的に支持する弾性支持部とを備えることが望ましい。上記当接部は、上記底面支持部材の外周支持部に対向して設けられ当該外周支持部とで上記薄板を挟むようにして支持する周縁当接部と、上記底面支持部材の中央支持部に対向して設けられ当該中央支持部とで上記薄板を挟むようにして支持する中間当接部とから構成されることが望ましい。
【００１２】
これにより、上記底面支持部材と上記表面支持部材とで、極めて薄いシリコンウエハー等の薄板をその上下から挟むようにして支持する。
【００１３】
具体的には、上記弾性支持部で弾性的に支持された周縁当接部が上記底面支持部材の外周支持部とで上記薄板を挟むようにして支持する。また、弾性支持部で弾性的に支持された中間当接部が上記底面支持部材の中央支持部とで上記薄板を挟むようにして支持する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の枚葉収納容器及びそれに用いる緩衝支持部材によれば、底面支持部材が上記薄板を底面側から支持し、表面支持部材が上記薄板を表面側から支持するため、極めて薄いシリコンウエハー等の薄板を、でも安全に、機密性を保って確実に保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の枚葉収納容器は、大径の半導体ウエハー等の薄板を収納して、保管、輸送等するための容器である。本発明の枚葉収納容器の特徴は、内部に緩衝支持部材を装着した点にある。ここでは、薄板として半導体ウエハーを例に説明する。本発明の枚葉収納容器で扱うウエハーは、厚みが２５〜４００μｍ程度の極めて薄いシンウエハーである。即ち、ウエハーの周縁部を保持すると、容易に撓んで平面状態を維持することが不能な程度に強度がない、極めて薄いシンウエハーである。このため、シンウエハーの周縁部を保持すると、シンウエハーが折れ曲がって損傷したり、その表面に形成した微細回路が損傷したりする。このため、本実施形態に係る枚葉収納容器は、上下両面を保護フィルムでカバーされた極薄のシンウエハーの上側表面及び下側表面にそれぞれ当接してシンウエハーを面で支持するようにしたものである。以下では、まず枚葉収納容器を説明してから、その内部に装着する緩衝支持部材を説明する。なお、以下で説明する枚葉収納容器は、通常の厚さのウエハーを収納する枚葉収納容器である。通常の厚さのウエハーを収納する枚葉収納容器をそのまま使用して極薄のシンウエハーを収納することができる枚葉収納容器を構成した。
【００１６】
枚葉収納容器１は、図２〜４に示すように主に、容器本体２と、蓋体３とから構成され、四隅を丸くした四角形状に形成されている。これら容器本体２及び蓋体３は、非帯電性の透明高分子材料で形成されている。非帯電性にすることで、塵埃等の吸着を防止している。また、透明高分子材料にすることで、内部の状態を確認できるようにしている。なお、容器本体２と蓋体３とは、その両方ともに非帯電性の高分子材料にする場合以外に、いずれか一方のみを非帯電性の高分子材料で形成してもよい。また、両方とも透明高分子材料で形成する場合以外に、蓋体３のみを透明高分子材料で形成してもよい。少なくとも蓋体３を透明高分子材料で形成すれば、内部の状態を確認できる。
【００１７】
容器本体２は、薄板としての１枚の半導体ウエハー４を収納するための部材である。この容器本体２は、図５〜１０に示すように、後述する底面支持部材３５を載置する底板部５と、この底板部５の周囲に形成された周壁部６とから構成されている。
【００１８】
底板部５は、収納された半導体ウエハー４を支持する部分である。この底板部５は、周壁部６よりも高い位置まで隆起させて形成されている。これは、半導体ウエハー４を底板部５の上に載置するとき及び底板部５に載置された半導体ウエハー４を取り出すときに周壁部６が障害にならないようにするためである。即ち、搬送装置の真空ピンセット(図示せず)等に支持された半導体ウエハー４を底板部５に載置した後、この半導体ウエハー４と底板部５との間から真空ピンセット等を横方向に抜き取ったり、底板部５に載置された半導体ウエハー４の横方向からこの半導体ウエハー４の下側へ真空ピンセット等を挿入して持ち上げたりするときに、周壁部６が障害にならないようにするためである。
【００１９】
底板部５の上側面には、薄板支持凸条８と、係止片９とが設けられている。
【００２０】
薄板支持凸条８は、半導体ウエハー４を底板部５との間に隙間を空けた状態で支持するための部材である。薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部に複数本（本実施形態では８本）設けられている。各薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部から中心に向けて放射状に延ばして形成されている。薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部から中心に向けて細くなる、くさび状に形成されている。さらに、薄板支持凸条８の円周方向の断面形状は、半導体ウエハー４との接触部分に向けて細くなるようにほぼ三角形状に形成されている。薄板支持凸条８の断面形状をほぼ三角形状にすることで、半導体ウエハー４の周縁部と点接触するようになっている。なお、この接触部分は、点接触以外に、線接触又は面接触でもよい。薄板支持凸条８の形状、半導体ウエハー４の寸法、要求される強度等を考慮した上で、可能な最小面積で接触するように、薄板支持凸条８の形成を設定する。
【００２１】
これにより、薄板支持凸条８には、半導体ウエハー４に作用する力を均一にして、半導体ウエハー４に均一な保持力を作用させる働きが生じる。これは、次の理由による。まず、薄板支持凸条８は、リテーナー２４と相まって、半導体ウエハー４を底板部５の中心に配置させる機能を備えている。即ち、薄板支持凸条８がくさび状に形成されて傾斜していることで、この薄板支持凸条８に半導体ウエハー４の周縁部が載置されると、この半導体ウエハー４に底板部５の中心方向へ働く力が作用する。また、リテーナー２４によっても、半導体ウエハー４に底板部５の中心方向へ働く力が作用する。リテーナー２４は、半導体ウエハー４の周縁部を下方と径方向内方へ押圧するが、そのうちの下方へ押圧する力が、薄板支持凸条８のくさび状の傾斜部分に載置された半導体ウエハー４の周縁部に作用することで、半導体ウエハー４を底板部５の中心方向へ押圧する力が発生する。さらに、この力は、半導体ウエハー４がリテーナー２４から離れれば弱くなり、近づけば強くなる。リテーナー２４自身が持つ半導体ウエハー４を径方向内方へ押圧する力も同様である。一方、薄板支持凸条８と半導体ウエハー４とは接触面積が小さくて摩擦抵抗も小さいため、半導体ウエハー４は上記押圧力によって容易に移動し得る。このため、半導体ウエハー４はその周囲に複数配設された各リテーナー２４及び薄板支持凸条８によって、押圧力が釣り合う位置に移動する。
【００２２】
この結果、上記リテーナー２４自身と薄板支持凸条８自身とが持つ径方向内方への押圧力、及びリテーナー２４と薄板支持凸条８とが協働して発生する径方向内方への押圧力によって、半導体ウエハー４を底板部５の中心に移動させたところで釣り合って半導体ウエハー４に作用する力を均一にして、半導体ウエハー４に均一な保持力が作用する。このため、薄板支持凸条８には、リテーナー２４と協働することで、半導体ウエハー４に作用する力を均一にして、半導体ウエハー４に均一な保持力を作用させる働きが生じる。
【００２３】
薄板支持凸条８は、四角形の底板部５の各辺に２本ずつ設けられている。隣接する２つの薄板支持凸条８の間は、搬送装置の真空ピンセット等よりも広い間隔に設定されている。これにより、搬送装置の真空ピンセットが、隣接する２つの薄板支持凸条８の間を通って半導体ウエハー４の出し入れをするようになっている。なお、薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部に８本設けたが、真空ピンセットの出し入れの邪魔にならない範囲で、７本以下又は９本以上でもよい。さらに、薄板支持凸条８は、底板部５の周縁部近傍に設けたが、真空ピンセットの出し入れの邪魔にならない範囲で、底板部５の全面に設けてもよい。
【００２４】
係止片９は、各薄板支持凸条８に載置された半導体ウエハー４の周縁部に当接して半導体ウエハー４の横滑りを防止するための部材である。係止片９は、薄板支持凸条８の端部に設けられている。係止片９は、薄板支持凸条８に載置された半導体ウエハー４の外径よりも若干大きな円周上の位置に配設されている。さらに、係止片９の当接面は、半導体ウエハー４の周縁に沿って湾曲して形成されている。半導体ウエハー４が横滑りした場合は、この係止片９の湾曲した当接面が半導体ウエハー４の周縁部に当接して横滑りを防止する。さらに、係止片９は、底面支持部材３５の横滑り及び回転を防止する機能も備えている。具体的には、係止片９の基部の台座部９Ａがこの機能を備えている。台座部９Ａは、後述する底面支持部材３５の外周支持部３８の位置決め用突起３８Ｂに当接して底面支持部材３５を位置決めして支持する。位置決め用突起３８Ｂは、１辺に２つずつ、４辺で合計８個設けられ、これらが各台座部９Ａに当接することで、位置決めして支持される。これにより、底面支持部材３５の横滑り及び回転を防止している。
【００２５】
底板部５は、その中央部の肉厚を周縁部の肉厚よりも厚くなるように設定されている。これは、底板部５に要求される強度を保つためであり、要求される強度に応じた肉厚に設定される。肉厚の変化と共に円錐形状等に湾曲させて形成してもよい。例えば、中心位置の最大肉厚を５ｍｍ、周縁部の最小肉厚を２ｍｍとして、その肉厚をなだらかに変化させて底板部５を構成する。このとき、必要に応じて、肉厚の変化と共に円錐形状等に湾曲させて形成する。この構成によって、要求される強度を確保した状態で、底板部５の裏面の補強リブを省略し、凹凸部分を無くして洗浄しやすく液切れのよい形状にしている。即ち、洗浄効率の向上を図っている。
【００２６】
周壁部６は、図９に示すように、底板部５の周縁部から下方へ垂下して形成されている。周壁部６は、２段に段差を設けて構成されている。一段目６Ａの段差の上面には、その全周に亘ってシール溝１２が設けられ、このシール溝１２にシール材１３が取り付けられている。容器本体２に蓋体３を被せることで、蓋体３の周壁部２２の一段目２２Ａにおける段差の下面がシール材１３に当接してこのシール材１３を押し潰し、枚葉収納容器１内を気密に封止するようになっている。この周壁部６の一段目６Ａは、後述する蓋体３の凹状嵌合部（２２Ｂ）に嵌合する凸状嵌合部となっている。
【００２７】
二段目６Ｂは、後述する蓋体３の凸状嵌合部（２２Ａ）に嵌合する凹状嵌合部となっている。二段目６Ｂの段差には、図４〜図７に示すように、ヒンジ嵌合部１５と、フック嵌合部１６が設けられている。ヒンジ嵌合部１５には、蓋体３を容器本体２に対して回動可能に支持する後述のヒンジ１７が嵌合される。このヒンジ嵌合部１５は、後述するヒンジ１７の嵌合片１７Ａとほぼ同じ寸法に形成された凹部によって構成されている。このヒンジ嵌合部１５に、ヒンジ１７の嵌合片１７Ａが嵌合して、きつく結合される。
【００２８】
フック嵌合部１６は、後述するフック１８が嵌合するための凹部である。このフック嵌合部１６と後述する蓋体３のフック嵌合部２９との間にフック１８が嵌合されて蓋体３を容器本体２に固定する。フック嵌合部１６は、フック１８とほぼ同じ寸法に形成された凹部によって構成されている。容器本体２のフック嵌合部１６と蓋体３のフック嵌合部２９とを合わせることで、フック１８とほぼ同じ形状の凹部になるように構成されている。フック嵌合部１６の両側壁には、円柱状の嵌合突起１９が設けられている。この嵌合突起１９は、後述するフック１８の嵌合凹部１８Ｂに嵌合して、容器本体２と蓋体３とを固定する。
【００２９】
ヒンジ１７は、図１１及び図１２に示すように、２つの嵌合片１７Ａ、１７Ｂと、各嵌合片１７Ａ、１７Ｂの間の薄肉部１７Ｃとから構成されている。各嵌合片１７Ａ、１７Ｂは、各ヒンジ嵌合部１５、２８にそれぞれ嵌合して、容器本体２と蓋体３とを互いに連結するための部材である。薄肉部１７Ｃは、摺動部分を無くして塵埃等の発生を抑えて蓋体３を回動可能に支持するための部材である。
【００３０】
ヒンジ１７は、容器本体２に対して蓋体３が９０度〜１８０度の開き角になったところで、蓋体３及び容器本体２から分離でき、また接合できるようになっている。具体的には、蓋体３が容器本体２に対して９０度〜１８０度の開き角で、ヒンジ１７が容器本体２及び蓋体３の各ヒンジ嵌合部１５、２８に対して着脱可能になっている。このヒンジ１７は、破損等した場合は、新しいヒンジ１７に交換する。即ち、ヒンジ１７が破損等した場合は、このヒンジ１７のみの部品交換で済むようにしている。
【００３１】
フック１８は、容器本体２のフック嵌合部１６と蓋体３のフック嵌合部２９とにそれぞれ嵌合して容器本体２と蓋体３とを互いに結合するための部材である。フック１８は、図１３及び図１４に示しように、本体部１８Ａと、嵌合凹部１８Ｂと、取っ手部１８Ｃとから構成されている。本体部１８Ａは、ほぼ四角形板状に形成され、容器本体２のフック嵌合部１６と蓋体３のフック嵌合部２９とで形成される四角形の凹部に嵌合するようになっている。
【００３２】
嵌合凹部１８Ｂは、各フック嵌合部１６、２９の各嵌合突起１９、３０に嵌合して蓋体３を容器本体２側に固定するための部材である。この嵌合凹部１８Ｂは、回動用嵌合凹部１８Ｂ１と、結合用嵌合凹部１８Ｂ２とから構成されている。回動用嵌合凹部１８Ｂ１は、嵌合突起１９、３０に嵌合してフック１８を回動可能に支持するための部分である。この回動用嵌合凹部１８Ｂ１は、その内側面形状を円弧状に形成されると共に、その両端部に回り込み部２０を設けて、嵌合突起１９、３０に嵌合した状態で抜けづらくなっている。これにより、フック１８は容器本体２側に回動可能に取り付けられている。
【００３３】
結合用嵌合凹部１８Ｂ２は、蓋体３を容器本体２に固定するときに嵌合突起１９、３０に嵌合すると共に、蓋体３を開くときに嵌合突起１９、３０から取り外すための部分である。この結合用嵌合凹部１８Ｂ２は、嵌合突起１９、３０に対して容易に嵌合、取り外しができると共に、蓋体３を容器本体２に堅固に固定する必要があるため、外側面（図１３の上側面）にのみ回り込み部２０を設けている。内側面は平坦面状にして、嵌合突起１９、３０の出し入れの際に障害にならないようにしている。これにより、蓋体３が容器本体２に対して開こうとする方向に力が作用すると、嵌合突起１９、３０を回り込み部２０が外側から覆うように支持してフック１８が外れるのを防止する。また、フック１８を嵌合、取り外しする場合は、片方にしか設けられていない回り込み部２０が嵌合突起１９、３０に対して軽い障害になるだけで、軽い力で容易に嵌合、取り外しできるようになっている。
【００３４】
取っ手部１８Ｃは、フック１８を嵌合、取り外しする際に、指で持つ部分である。この取っ手部１８Ｃを指で持って、結合用嵌合凹部１８Ｂ２を嵌合突起１９、３０に嵌合させて、蓋体３を容器本体２に固定したり、結合用嵌合凹部１８Ｂ２を嵌合突起１９、３０から取り外して蓋体３を開いたりする。
【００３５】
なお、フック１８は、その取っ手部１８Ｃを上に向けて取り付けても、下に向けて取り付けてもよい。
【００３６】
蓋体３は、図１５及び図１６に示すように、容器本体２とほぼ同じ形状に形成されている。これにより、枚葉収納容器１を積み重ねたときに、上側の枚葉収納容器１の容器本体２が下側の枚葉収納容器１の蓋体３に嵌り込んで、安定してかつコンパクトに積層できるようになっている。例えば、本実施形態の枚葉収納容器１の一例では、その全高が４１ｍｍのとき、２段積み重ねて７６ｍｍとなった。これに対して、従来の枚葉収納容器では、枚葉収納容器の全高が４９．５ｍｍのとき、２段積み重ねて９０ｍｍであった。これにより、重ねる枚数が増えれば、従来技術に比べて、その積層高さを大幅に低減できる。
【００３７】
蓋体３は具体的には、天板部２１と周壁部２２と蓋体ガイド２３とから構成されている。天板部２１は、容器本体２の底板部５に載置された半導体ウエハー４をその上側から覆う部材である。天板部２１は、底板部５と同様に、その中央部の肉厚を周縁部の肉厚よりも厚くしている。これは、天板部２１に要求される強度を保つためであり、要求される強度に応じた肉厚に設定されている。これにより、天板部２１の裏面の補強リブを省略して、凹凸部分を無くして洗浄効率の向上を図っている。
【００３８】
蓋体３の天板部２１の内側面には、後述するリテーナー２４が嵌め込まれるリテーナー嵌合部(図示せず)が設けられている。このリテーナー嵌合部は、天板部２１の内側面に８個設けられている。各リテーナー嵌合部は、天板部２１の内側面のうち、容器本体２の底板部５に載置された半導体ウエハー４の周縁部に臨ませて設けられている。
【００３９】
周壁部２２は、天板部２１の周囲から下方へ垂下して形成されている。この周壁部２２は、容器本体２の周壁部６と同様に、２段に段差を設けて構成されている。これにより、蓋体３が容器本体２に被せられた状態で当該容器本体２の底板部５と蓋体３の天板部２１及び周壁部２２とによって半導体ウエハー４を収納する空間が形成されている。一段目２２Ａは、容器本体２の凹状嵌合部（６Ｂ）にその下側から嵌合する凸状嵌合部となっている。二段目２２Ｂは、容器本体２の凸状嵌合部（６Ａ）にその上側から嵌合する凹状嵌合部となっている。
【００４０】
周壁部２２の段差のうち一段目２２Ａの下面には、その全周に亘って当接面が設けられている。この当接面が容器本体２側のシール材１３に当接して枚葉収納容器１内を気密に封止するようになっている。二段目２２Ｂは、その外周面が容器本体２に形成された段差の二段目６Ｂの外周面と面一になるように形成されている。即ち、容器本体２と蓋体３とを互いに閉じた状態（図１参照）でこれらの合わせ部分が面一になるように形成されている。これは、シール材１３を設けずに、面一の合わせ部分にシール用テープを貼る場合があるためである。
【００４１】
蓋体ガイド２３は、蓋体３を容器本体２に被せるときに、これら蓋体３と容器本体２とが互いにずれないように案内するためのガイドである。この蓋体ガイド２３は、蓋体３のフック嵌合部２９の両側から内側へ張り出して形成され、蓋体３が容器本体２に被さったとき、容器本体２の周壁部６に対して僅かな隙間を空けた状態で対向して位置するようになっている。これにより、蓋体ガイド２３は、蓋体３がヒンジ１７を中心に回動して容器本体２に被さったときに、蓋体３がずれた場合に案内する。蓋体３は２つのヒンジ１７で支持されているため通常ずれることはないが、何らかの原因で蓋体３が容器本体２に対してずれた場合に、蓋体ガイド２３が容器本体２の周壁部６に当接して案内する。なお、蓋体ガイド２３は、容器本体２側に設けてもよい。容器本体２及び蓋体３の両側に設けてもよい。
【００４２】
周壁部２２の段差のうち一段目２２Ａの下面には、その全周に亘って当接面が設けられている。この当接面が容器本体２側のシール材１３に当接して枚葉収納容器１内を気密に封止するようになっている。二段目２２Ｂは、その外周面が容器本体２の段差の２段目の外周面と面一になるように形成されている。即ち、容器本体２と蓋体３とを互いに閉じた状態（図２参照）でこれらの合わせ部分が面一になるように形成されている。これは、シール材１３を設けずに、面一の合わせ部分にシール用テープを貼る場合があるためである。
【００４３】
蓋体３のうち、容器本体２のヒンジ嵌合部１５に対向する位置にはヒンジ嵌合部２８が設けられている。ヒンジ嵌合部２８には、蓋体３を容器本体２に対して回動可能に支持するヒンジ１７が嵌合される。このヒンジ嵌合部２８は、ヒンジ嵌合部１５と同様に、ヒンジ１７の嵌合片１７Ａとほぼ同じ寸法に形成された凹部によって構成されている。このヒンジ嵌合部２８に、ヒンジ１７の嵌合片１７Ａが嵌合して、きつく結合される。
【００４４】
蓋体３のうち、容器本体２のフック嵌合部１６に対向する位置にはフック嵌合部２９が設けられている。フック嵌合部２９は、容器本体２のフック嵌合部１６とミラー対象でほぼ同じ構成になっている。このフック嵌合部２９と容器本体２のフック嵌合部１６とが合さることで、フック１８とほぼ同じ寸法及び形状の凹部を構成する。
【００４５】
フック嵌合部２９の両側壁には、容器本体２のフック嵌合部１６の嵌合突起１９と同様の円柱状の嵌合突起３０が設けられている。この嵌合突起３０は、後述するフック１８の嵌合凹部１８Ｂに嵌合して、容器本体２と蓋体３とを固定する。
【００４６】
天板部２１の上側面の周縁には、枚葉収納容器１を持ち運ぶための係止用フランジ３１が設けられている。この係止用フランジ３１は、天板部２１から水平に張り出した板材によって構成されている。係止用フランジ３１は、ヒンジ嵌合部２８及びフック嵌合部２９が位置する方向に対向して２つ設けられている。この係止用フランジ３１は、搬送装置側のアーム部(図示せず)の形状に応じて、その設置位置、形状等が適宜設定される。
【００４７】
リテーナー２４は、底面支持部材３５に載置された半導体ウエハー４の周縁部を支持するための部材である。このリテーナー２４は、弾性を有する合成樹脂で形成されている。リテーナー２４は、図１７及び図１８に示すように、基部２５と、撓み片２６とから構成されている。基部２５は、蓋体３の天板部２１のリテーナー嵌合部に嵌合する部分である。基部２５は、ほぼ四角環状に形成され、そのうちの２つの角部に突起２５Ａを設けてリテーナー嵌合部の形状に合わせている。この基部２５が、突起状のリテーナー嵌合部に嵌合することで、リテーナー２４がリテーナー嵌合部に確実に取り付けられる。リテーナー嵌合部は蓋体３に設けられた四角柱または類似形状の突起形状をしており、この突起を前記四角環状の基部２５に嵌合することによってリテーナー２４を蓋体３に取り付けることができる。
【００４８】
撓み片２６は、半導体ウエハー４に当接して支持するための部分である。撓み片２６は、基部２５から半導体ウエハー４側に延出して形成されている。撓み片２６は、基端片部２６Ａと、先端片部２６Ｂと、薄肉部２６Ｃとから構成されている。撓み片２６は、弾性を有する合成樹脂で形成されているため、基端片部２６Ａと先端片部２６Ｂも撓むが、特に薄肉部２６Ｃがよく撓み、この薄肉部２６Ｃを中心にして、基端片部２６Ａと先端片部２６Ｂとが撓んで、半導体ウエハー４を弾性的に支持している。さらに、先端片部２６Ｂは基端片部２６Ａに対して傾斜させて形成されているため、この先端片部２６Ｂが半導体ウエハー４の周縁部に当接すると、この先端片部２６Ｂが半導体ウエハー４をその径方向内方及び下方へ弾性的に押圧するようになっている。
【００４９】
次に、緩衝支持部材３４について説明する。この緩衝支持部材３４は、上述した枚葉収納容器１の容器本体２に載置するだけで使用することができるようにしたものである。緩衝支持部材３４は、底面支持部材３５と表面支持部材３６とから構成されている。
【００５０】
底面支持部材３５は、容器本体２側に位置してシンウエハーを底面側から支持するための部材である。この底面支持部材３５は、容器本体２の底板部５に載置される。底面支持部材３５は、図１９〜２２に示すように、シンウエハー４Ａ（図１参照）の中央部分をその底面側から支持する中央支持部３７と、シンウエハー４Ａの外周部分をその底面側から支持する外周支持部３８と、シンウエハー４Ａの周縁に当接してシンウエハー４Ａを径方向外方から支持する周縁支持部３９と、中央支持部３７及び外周支持部３８の間でこれらを一体的に支持する環状板部４０とから構成されている。底面支持部材３５は非帯電性の高分子材料で形成されている。
【００５１】
中央支持部３７は、底面支持部材３５の中央部を円盤状に隆起させて形成され、シンウエハー４Ａの中央部を支持する。
【００５２】
外周支持部３８は、シンウエハー４Ａの外周部分を一定幅で支持している。この外周支持部３８は、断片的な円環状に形成されている。具体的には、円環状を４つに分割して構成されている。即ち、外周支持部３８は、４つの各支持片３８Ａで構成されている。各支持片３８Ａの間隔は、底板部５上の隣接する薄板支持凸条８の間隔よりも広く設定されている。これにより、底面支持部材３５を容器本体２の底板部５に載置したときに、外周支持部３８の各支持片３８Ａの間に上記薄板支持凸条８が位置するようになっている。外周支持部３８の各支持片３８Ａの外側両端部には、底板部５の台座部９Ａに当接して底面支持部材３５の位置決めをして横滑り及び回転を防止する位置決め用突起３８Ｂが設けられている。これにより、底面支持部材３５は、容器本体２の底板部５の４辺に２つずつ設けられた台座部９Ａに、各支持片３８Ａの位置決め用突起３８Ｂがそれぞれ当接して、底面支持部材３５を容器本体２に対して正確に位置決めされるようになっている。これと同時に、８個の台座部９Ａに８個の位置決め用突起３８Ｂがそれぞれ当接して支持されることで、底面支持部材３５の横滑りと回転が防止されるようになっている。
【００５３】
周縁支持部３９は、各外周支持部３８の外側に位置して一体的に取り付けられている。これにより、周縁支持部３９は、外周支持部３８に載置されたシンウエハー４Ａを径方向外方から支持するようになっている。周縁支持部３９は、シンウエハー４Ａの外径よりも若干大きな円周上に配設されている。周縁支持部３９の当接面は、シンウエハー４Ａの周縁に沿って湾曲して形成されている。周縁支持部３９の平面形状はほぼ三角形状に形成され、容器本体２の底板部５の四隅に整合するようになっている。
【００５４】
環状板部４０は、中央支持部３７と外周支持部３８とを一体的に結合するための部分である。この環状板部４０は、中央支持部３７及び外周支持部３８よりも１段下げて形成され、中央支持部３７及び外周支持部３８に載置されたシンウエハー４Ａとの間に空間４１（図１参照）を確保している。この空間４１は、真空ピンセット等を横方向から出し入れするための空間である。
【００５５】
底面支持部材３５の裏面には、底面支持部材３５を弾性的に支持するためのリテーナー２４が設けられている。底面支持部材３５のうち中央支持部３７の裏面に４つ、外周支持部３８の各支持片３８Ａに１つずつのリテーナー嵌合部(図示せず)が設けられ、これらのリテーナー嵌合部にリテーナー２４がそれぞれ取り付けられている。リテーナー２４は、上記蓋体３の内側面に設けられたリテーナー２４と同じものである。このリテーナー２４により、底面支持部材３５が容器本体２の底板部５に載置されると、リテーナー２４の撓み片２６が底板部５に接触して撓んで、底面支持部材３５を底板部５に弾性的に支持している。これにより、シンウエハー４Ａは、底面支持部材３５と表面支持部材３６とで挟まれた状態で、底面支持部材３５の各リテーナー２４と、表面支持部材３６の円盤部４３と、蓋体３のリテーナー２４とで、容器本体２及び蓋体３に対して弾性的に浮かせた状態で支持され、外部からの衝撃を吸収するようになっている。また、シンウエハー４Ａの径方向も蓋体３側のリテーナー２４で弾性的に支持され、外部からの衝撃を吸収するようになっている。
【００５６】
表面支持部材３６は、蓋体３側に取り付けられてシンウエハー４Ａをその表面側から支持するための部材である。この表面支持部材３６は、図１及び図２３に示しように、円盤部４３と、周縁当接部４４と、中間当接部４５とから構成されている。
【００５７】
円盤部４３は、シンウエハー４Ａをその上側から覆って周縁当接部４４及び中間当接部４５を弾性的に支持する弾性支持部である。この円盤部４３は、その中央部分が蓋体３の内側面に固定されて、外周側が弾性的に撓み得る自由端となっている。周縁当接部４４及び中間当接部４５は、弾性的に撓み得る外周側に設けられている。
【００５８】
周縁当接部４４は、シンウエハー４Ａをその周縁側で支持するための部分である。周縁当接部４４は、円盤部４３の周縁部に下方へ向けて設けられている。これにより、周縁当接部４４は、底面支持部材３５の外周支持部３８に対向して設けられている。そして、これら周縁当接部４４と外周支持部３８とでシンウエハー４Ａを挟むようにして支持するようになっている（図１参照）。
【００５９】
中間当接部４５は、シンウエハー４Ａをその中間位置で支持するための部分である。中間当接部４５は、円盤部４３の中間位置に下方へ向けて設けられている。これにより、中間当接部４５は、底面支持部材３５の中央支持部３７に対向して設けられている。そして、これら中間当接部４５と中央支持部３７とでシンウエハー４Ａを挟むようにして支持するようになっている（図１参照）。
【００６０】
以上のように構成された枚葉収納容器１は、次のようにして使用される。
【００６１】
シンウエハー４Ａを収納するときは、半導体ウエハー搬送装置の載置台(図示せず)に枚葉収納容器１が設置されて、フック１８が外されて蓋体３が開かれる。このとき、容器本体２の底板部５上には、底面支持部材３５が載置される。底面支持部材３５は、容器本体２の底板部５に載置することで、その位置決め用突起３８Ｂが底板部５上の台座部９Ａに当接して正確に位置決めされて支持される。また、蓋体３の内側面には、表面支持部材３６が取り付けられている。
【００６２】
この状態で、搬送装置の真空ピンセットがシンウエハー４Ａを支持して底板部５の直上まで移動される。次いで、真空ピンセットが降ろされて、シンウエハー４Ａが底面支持部材３５の中央支持部３７と外周支持部３８の上側面に載置される。この状態で、シンウエハー４Ａと底面支持部材３５との間には真空ピンセットよりも広い空間４１が確保され、周壁部６よりも高い位置まで隆起させた底板部５と相まって、真空ピンセットはシンウエハー４Ａに接触することなく、そのまま横方向に引き出される。次いで、蓋体３が閉じられて、フック１８が取り付けられる。
【００６３】
このとき、枚葉収納容器１内では、蓋体３の内側面の表面支持部材３６がシンウエハー４Ａの上側面を覆って、表面支持部材３６の周縁当接部４４及び中間当接部４５がシンウエハー４Ａの上側表面に当接する。
【００６４】
周縁当接部４４の当接部分の下側には底面支持部材３５の外周支持部３８が位置しており、これら周縁当接部４４と外周支持部３８とでシンウエハー４Ａを上下両側面から挟んで支持する。中間当接部４５の当接部分の下側には底面支持部材３５の中央支持部３７が位置しており、これら中間当接部４５と中央支持部３７とでシンウエハー４Ａを上下両側面から挟んで支持する。さらにこのとき、周縁当接部４４及び中間当接部４５は円盤部４３で、中央支持部３７及び外周支持部３８はリテーナー２４で、シンウエハー４Ａの周縁部は蓋体３側のリテーナー２４でそれぞれ弾性的に支持されているため、シンウエハー４Ａは容器本体２及び蓋体３に対して弾性的に浮いた状態で支持されて、過度の力を加えることなく適度な力で確実に支持されている。
【００６５】
このとき、枚葉収納容器１の内部は、シール材１３によって密封されている。なお、場合によっては、シール材１３を設けずに、容器本体２と蓋体３とを互いに閉じた状態で面一になるこれらの合わせ部分にテープを巻いて封止することもある。
【００６６】
この状態で、フランジ部３１を搬送装置のアーム部で結合して枚葉収納容器１を持ち上げ、搬送する。
【００６７】
枚葉収納容器１内のシンウエハー４Ａを取り出すときは、フック１８を外して蓋体３を開き、真空ピンセットを容器本体２の横方向から空間４１に挿入してシンウエハー４Ａの下側に位置させた状態で上げて、シンウエハー４Ａを持ち上げ、移動させる。
【００６８】
枚葉収納容器１を洗浄するときは、フック１８を容器本体２及び蓋体３の両方から取り外し、ヒンジ１７を容器本体２と蓋体３とから抜き取って外す。さらに、リテーナー２４、底面支持部材３５、表面支持部材３６及びシール材１３も取り外す。
【００６９】
次いで、これらを個別に洗浄して乾燥させた後、ヒンジ１７、フック１８等を取り付ける。
【００７０】
以上のように、枚葉収納容器１によれば、次のような効果を奏する。
【００７１】
（１）  容器本体２側に位置してシンウエハー４Ａを底面側から面で支持する底面支持部材３５と、蓋体３側に位置してシンウエハー４Ａを上側表面側から支持する表面支持部材３６とを備えたので、極めて薄いシンウエハー４Ａをその上下から挟むようにして安全にかつ確実に支持することができる。
【００７２】
（２）  底面支持部材３５が、シンウエハー４Ａの中央部分をその底面側から面で支持する中央支持部３７と、シンウエハー４Ａの外周部分をその底面側から面で支持する外周支持部３８と、シンウエハー４Ａの周縁に当接してシンウエハー４Ａを径方向外方から支持する周縁支持部３９と、中央支持部３７と外周支持部３８とを一体的に結合する環状板部４０とを備えたので、これら中央支持部３７、外周支持部３８及び周縁支持部３９でシンウエハー４Ａをその中央部、外周部及び周縁部から確実に支持することができると共に、シンウエハー４Ａの下側に、真空ピンセット等のシンウエハー４Ａの支持手段を出し入れするための空間４１を確保することができる。
【００７３】
（３）  表面支持部材３６が、底面支持部材３５に載置されたシンウエハー４Ａの表面に弾性的に当接して底面支持部材３５とで上下から挟むようにして支持する当接部４４、４５を備えたので、撓みやすい極薄のシンウエハー４Ａを弾性的にかつ確実に支持することができる。
【００７４】
また、上記当接部４４、４５と共に、蓋体３側に設けられて当接部４４、４５を弾性的に支持する弾性支持部としての円盤部４３とを備えたので、シンウエハー４Ａに当接された当接部４４、４５を円盤部４３が弾性的に支持して、撓みやすい極薄のシンウエハー４Ａを確実に支持することができる。
【００７５】
（４）  さらに、当接部を、底面支持部材３５の外周支持部３８に対向して設けられこの外周支持部３８とでシンウエハー４Ａを挟むようにして支持する周縁当接部４４と、上記底面支持部材３５の中央支持部３７に対向して設けられこの中央支持部３７とでシンウエハー４Ａを挟むようにして支持する中間当接部４５とから構成したので、極薄のシンウエハー４Ａを、その周縁部と中間部とで支持して、撓みやすい極薄のシンウエハー４Ａを確実に支持することができる。
【００７６】
（５）  底面支持部材３５の裏面に設けられて底面支持部材３５が容器本体２の底板部５に載置された状態で底面支持部材３５を弾性的に支持するリテーナー２４を備えたので、このリテーナー２４が直接的には底面支持部材３５を、間接的には底面支持部材３５に載置されたシンウエハー４Ａを弾性的に支持することができる。
【００７７】
（６）  表面支持部材３６の円盤部４３が、その中央部分を蓋体３の内側面に固定してその外周側を弾性的に撓み得る自由端とし、周縁当接部４４及び中間当接部４５を弾性的に支持するようにしたので、シンウエハー４Ａを弾性的に支持することができる。これにより、シンウエハー４Ａは、その下側から底面支持部材３５によって弾性的に支持され、その上側から表面支持部材３６によって弾性的に支持されるため、シンウエハー４Ａを上下から挟んで、容器本体２及び蓋体３に対して弾性的に浮いた状態で確実に支持することができるようになる。
【００７８】
この結果、薄型で大径のシンウエハー４Ａを安全にかつ確実に支持することができるようになる。
【００７９】
（７）  底面支持部材３５の中央支持部３７が円形状に形成され、外周支持部３８が断片的な円環状に形成され、周縁支持部３９が断片的な円環状に形成されたので、シンウエハー４Ａの下側の中央部及び外周部と、周縁部とを支持することができる。この結果、薄型で大径のシンウエハー４Ａを安全にかつ確実に支持することができるようになる。
【００８０】
（８）  容器本体２に、底面支持部材３５に当接してこの底面支持部材３５の横滑り及び回転を防止する係止片９（台座部９Ａ）を備えると共に、底面支持部材３５に、容器本体２の係止片９（台座部９Ａ）に当接して底面支持部材３５の横滑り及び回転を防止する位置決め用突起３８Ｂを備えたので、底面支持部材３５が容器本体２に載置さするだけで、底面支持部材３５が位置決めして支持されると共に、位置決め用突起３８Ｂが各係止片９（台座部９Ａ）に当接して、底面支持部材３５の横滑り及び回転を防止することができる。
【００８１】
（９）  容器本体２の底板部５を周壁部６よりも高い位置まで隆起させて形成したので、底面支持部材３５の空間４１と相まって、真空ピンセット等のシンウエハー４Ａの支持手段を、容器本体２の横方向からシンウエハー４Ａの下側に挿入することができるようになる。この結果、枚葉収納容器１の収納されたシンウエハー４Ａを容易に出し入れすることができるようになる。
【００８２】
（１０）  周縁支持部３９が、底面支持部材３５に載置されたシンウエハー４Ａの外径よりも若干大きな円周上に複数配設されたので、シンウエハー４Ａが容器本体２の中心位置と整合した状態で載置されているときには、シンウエハー４Ａと係止片９とは互いに接触せず、シンウエハー４Ａがずれたときに係止片９がシンウエハー４Ａの周縁部に接触してシンウエハー４Ａのずれを防止することができる。
【００８３】
（１１）  周縁支持部３９の当接面が、シンウエハー４Ａの周縁に沿って湾曲されたため、シンウエハー４Ａが急激にずれて係止片９とシンウエハー４Ａとが激しく接触しても、湾曲した係止片９の当接面がシンウエハー４Ａの周縁と広い範囲で接触して、安全に支持する。
【００８４】
（１２）  蓋体３の内側面に、底面支持部材３５に載置されたシンウエハー４Ａの周縁部を支持する複数のリテーナー２４を備えたので、容器本体２に蓋体３を被せた状態で、底面支持部材３５に載置されたシンウエハー４Ａをその周縁から支持して、横滑りを防止することができる。
【００８５】
（１３）  リテーナー２４が弾性体で形成されると共に、蓋体３の天板部２１の内側面にリテーナー２４が取り付けられるリテーナー嵌合部を備えたので、枚葉収納容器１を使用する際にリテーナー２４をリテーナー嵌合部に取り付け、洗浄する際にはリテーナー２４をリテーナー嵌合部から取り外して、洗浄効率を向上させている。
【００８６】
（１４）  リテーナー２４が、リテーナー嵌合部に嵌合する基部２５と、基部２５からシンウエハー４Ａ側に延出して形成されシンウエハー４Ａの周縁部に当接してシンウエハー４Ａをその径方向内方及び下方へ弾性的に押圧する撓み片２６とから構成されたので、底面支持部材３５に載置されたシンウエハー４Ａを、上記撓み片２６でその径方向内方及び下方へ弾性的にかつ安定して、押圧支持することができる。さらに、底面支持部材３５の下側に設けられたリテーナー２４が、底面支持部材３５を容器本体２の底板部５に対して弾性的に支持することができる。
【００８７】
（１５）  容器本体２と蓋体３とが、ヒンジ１７によって結合され、フック１８によって固定されたので、蓋体３を容器本体２に容易に固定することができると共に容易に開くことができるようになる。
【００８８】
（１６）  容器本体２と蓋体３との間にシール材１３が設けられ、これら容器本体２と蓋体３とがヒンジ１７によって結合されてフック１８によって固定された状態で内部が気密に封止されるため、シンウエハー４Ａが収納された状態で、蓋体３を容器本体２に被せて固定するだけで、シンウエハー４Ａを容易にかつ確実に気密状態に保持できる。
【００８９】
（１７）  ヒンジ１７で容器本体２に結合された蓋体３が、９０度から１８０度の開き角で容器本体２から分離されるため、洗浄作業の場合に、蓋体３を容易に取り外して洗浄することができる。これにより、洗浄作業性が向上する。
【００９０】
（１８）  容器本体２と蓋体３とがほぼ同じ形状に形成され、蓋体３を閉じた状態でこの蓋体３に上側の枚葉収納容器１の容器本体２が嵌り込んで、複数段に積み重ねることができるようにしたので、複数の枚葉収納容器１を容易にかつ安定して積み重ねることができる。さらに、下側の枚葉収納容器１の蓋体３に上側の枚葉収納容器１の容器本体２が嵌り込んで積み重ねるため、その積層高さがあまり高くならないで、コンパクトに積みかねることができる。
【００９１】
（１９）  容器本体２と蓋体３とがほぼ同じ形状に形成され、これら容器本体２と蓋体３とを互いに閉じた状態でこれらの合わせ部分が面一になるようにしたので、この合わせ部分にテープを巻くことで枚葉収納容器１内を封止することができる。
【００９２】
（２０）  蓋体３に、容器本体２に対向して蓋体ガイド２３を設けたので、この蓋体ガイド２３が、蓋体３を容器本体２に被せるときに、これら蓋体３と容器本体２とが互いにずれないように案内して、安全にかつ正確に蓋体３を閉じることができる。これにより、蓋体３側のリテーナー２４が容器本体２側のシンウエハー４Ａの周縁部に確実に当接してシンウエハー４Ａを支持することができる。
【００９３】
（２１）  容器本体２又は蓋体３の一方又は両方が非帯電性の高分子材料で形成されたので、塵埃等を吸着してシンウエハー４Ａが汚染されるのを防止することができる。さらに、少なくとも蓋体３が透明高分子材料で形成されたので、シンウエハー４Ａが収納された枚葉収納容器１の内部状態を確認することができる。
【００９４】
また、底面支持部材３８及び表面支持部材３６の両方を非帯電性の高分子材料で形成したので、塵埃等を吸着してシンウエハー４Ａが汚染されるのを防止することができる。
【００９５】
（２２）  蓋体３の周縁に、持ち運びのための係止用フランジ３１が設けられたので、枚葉収納容器１を搬送する場合に、搬送装置のアーム部で係止用フランジ３１を掴んで容易に搬送することができる。
【００９６】
（２３）  容器本体２の底板部５又は蓋体３の天板部２１の一方又は両方が、その中央部の肉厚を周縁部の肉厚よりも厚く形成されたので、補強リブを設ける必要が無くなり、凹凸部分を無くしている。この結果、容器本体２及び蓋体３が洗浄しやすく液切れのよい形状になり、洗浄効率の向上を図ることができる。
【００９７】
［変形例］
上記実施形態では、通常の厚さのウエハーを収納できる枚葉収納容器をそのまま用いて、その底面支持部材３５を容器本体２の底板部５に載置したが、底面支持部材３５を容器本体２の底板部５に固定してもよい。一体的に取り付けてもよい。また、表面支持部材３６は蓋体３の裏面に着脱可能に取り付けても、固定してもよい。洗浄を考慮すれば、表面支持部材３６は蓋体３の裏面に着脱可能に取り付けられるのが望ましいが、洗浄を考慮する必要が内場合は、固定してもよい。
【００９８】
上記実施形態では、緩衝支持部材３４の円盤部４３に、周縁当接部４４と中間当接部４５の２つの当接部を設けたが、必要に応じて１つ又は３つ以上でもよい。この場合、底面支持部材３５の中央支持部３７及び外周支持部３８は、当接部に合わせた対向位置に設けられる。
【００９９】
また、周縁当接部４４及び中間当接部４５は円環状に形成したが、断片的な円環状でもよい。また、他の形状でも良い。さらに、周縁当接部４４及び中間当接部４５はウエハーに線接触するが、点接触又は面接触するように構成してもよい。シンウエハー４Ａをその上側面から安全にかつ確実に支持できる配列であればよい。この場合、シンウエハー４Ａを均等にほぼ均等に支持できる配列にすることが望ましい。このとき、底面支持部材３５側の中央支持部３７等も当接部に合わせて形成される。
【０１００】
これらの場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【０１０１】
さらに、上記実施形態では、底面支持部材３５の中央支持部３７を円形状に形成し、外周支持部３８を断片的な円環状に形成し、周縁支持部３９を断片的な円環状に形成したが、シンウエハー４Ａを全体的に均等に支持できる形状であれば、円環状でも断片的な円環状でもよい。間隔を空けて配列した突起等の他の形状でもよい。表面支持部材３６の形状も考慮して形成する。
【０１０２】
この場合も、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【０１０３】
上記実施形態では、周縁当接部４４と中間当接部４５を弾性的に支持する弾性支持部として、円盤部４３を設けたが、円盤状に限る必要はない。周縁当接部４４と中間当接部４５を弾性的に支持することができる構成であればよく、周縁当接部４４と中間当接部４５に合わせて構成する。例えば、周縁当接部４４と中間当接部４５をウエハーに点接触する突起で構成する場合は、各突起を支持する棒状部材を点対称にかつ放射状に多数配設した構成になる。
【０１０４】
上記実施形態では、底面支持部材３８及び表面支持部材３６の両方を非帯電性の高分子材料で形成したが、これらのいずれか一方だけを非帯電性の高分子材料で形成してもよい。塵埃等を吸着してシンウエハー４Ａが汚染されるのを防止できる態様であればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の緩衝支持部材を示す要部断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器を断面状態で示す斜視図である。
【図３】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器をフック側から示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器をヒンジ側から示す斜視図である。
【図５】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体を示す斜視図である。
【図６】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体の要部を示す正面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体を裏面から示す斜視図である。
【図８】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体に半導体ウエハーを載置した状態を示す斜視図である。
【図９】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体に半導体ウエハーを載置した状態を断面状態で示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の容器本体の要部を示す拡大斜視図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のヒンジを正面側から示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のヒンジを裏面側から示す斜視図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のフックを正面側から示す斜視図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のフックを裏面側から示す斜視図である。
【図１５】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の蓋体を上側から示す斜視図である。
【図１６】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の蓋体を下側から示す斜視図である。
【図１７】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のリテーナーを上側から示す斜視図である。
【図１８】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器のリテーナーを下側から示す斜視図である。
【図１９】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の底面支持部材を上側から示す斜視図である。
【図２０】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の底面支持部材を下側から示す斜視図である。
【図２１】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の底面支持部材を示す平面図である。
【図２２】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の底面支持部材を示す底面図である。
【図２３】本発明の実施形態に係る枚葉収納容器の表面支持部材を下側から示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１０６】
１：枚葉収納容器、２：容器本体、３：蓋体、４：半導体ウエハー、５：底板部、６：周壁部、８：薄板支持凸条、９：係止片、１２：シール溝、１３：シール材、１５：ヒンジ嵌合部、１６、２９：フック嵌合部、１７：ヒンジ、１７Ａ、１７Ｂ：嵌合片、１７Ｃ：薄肉部、１８：フック、１８Ａ：本体部、１８Ｂ：嵌合凹部、１８Ｂ１：回動用嵌合凹部、１８Ｂ２：結合用嵌合凹部、１８Ｃ：取っ手部、１９、３０：嵌合突起、２０：回り込み部、２１：天板部、２２：周壁部、２３：蓋体ガイド、２４：リテーナー、２５：基部、２５Ａ：突起、２６：撓み片、２６Ａ：基端片部、２６Ｂ：先端片部、２６Ｃ：薄肉部、２８：ヒンジ嵌合部、２９：フック嵌合部、３１：係止用フランジ、３４：緩衝支持部材、３５：底面支持部材、３６：表面支持部材、３７：中央支持部、３８：外周支持部、３８Ａ：支持片、３８Ｂ：位置決め用突起、３９：周縁支持部、４０：環状板部、４１：空間、４３：円盤部、４４：周縁当接部、４５：中間当接部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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