(57)【要約】【課題】  例えばＣバンド、Ｘバンド等の小型の加速管でも、管構造の外周全体に均一な電鋳層を形成できる加速管の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】  円筒状のスペーサ１１と有孔円板状のディスク１３を交互に複数個重ね合せ略円筒形状をした管構造３とした後、管構造３の外周に電鋳層１５を形成し一体化する加速管１の製造方法において、管構造３は、その外周面よりも外側に配置された押え棒４５によって軸線方向に押圧保持され、横断面形状における内側が略円形をした電極６７を、管構造３と押え棒４５との間に管構造３と略同一軸線を有するように配置し、管構造３と電極６７とを電鋳液９９に浸漬し、これらの間に電流を流して電鋳を行うことを特徴とする。【選択図】      図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状のスペーサと有孔円板状のディスクを交互に複数個重ね合せ略円筒形状をした管構造とした後、該管構造の外周に電鋳層を形成し一体化する加速管の製造方法において、
前記管構造は、その外周面よりも外側に配置された固定部材によって軸線方向に押圧保持され、
横断面形状における内側が略円形をした電極を、前記管構造と前記固定部材との間に前記管構造と略同一軸線を有するように配置し、
前記管構造と前記電極とを電鋳液に浸漬し、これらの間に電流を流して電鋳を行うことを特徴とする加速管の製造方法。
【請求項２】
前記電極は、軸線方向に沿う切断線により複数個に分割され、前記管構造が前記固定部材によって軸線方向に押圧保持された後に、前記管構造と前記固定部材との間に組み立てられることを特徴とする請求項１に記載の加速管の製造方法。
【請求項３】
円筒状のスペーサと有孔円板状のディスクを交互に複数個重ね合せ略円筒形状をした管構造とした後、該管構造の外周に電鋳層を形成し一体化する加速管の製造装置において、
前記管構造の外周面よりも外側に配置され、前記管構造を軸線方向に押圧保持する固定部材と、
前記管構造と前記固定部材との間に前記管構造と略同一軸線を有するように配置され、横断面形状における内側が略円形をした電極と、
を備えることを特徴とする加速管の製造装置。
【請求項４】
前記電極は、軸線方向に沿う切断線により複数個に分割されていることを特徴とする請求項３に記載の加速管の製造装置。
【請求項５】
前記電極は、前記固定部材に対しそれぞれ軸線方向に摺動可能に取り付けられた一対の保持部材に保持されていることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の加速管の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加速管の製造方法および製造装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
加速管の加速部を構成する管構造は、円筒状のスペーサと有孔円板状のディスクを交互に複数個積み重ねて軸方向に荷重をかけた状態で銅電鋳され、形成される電析物の層すなわち電鋳層によって一体化されている。
この電鋳方法は、例えば非特許文献１に示されている。非特許文献１に示される電鋳方法は、図８に示すように、円筒状のスペーサ１０１と有孔円板状のディスク１０３とを交互に複数個積み重ねて管構造１０５を形成する。そして、管構造１０５の中心軸線部に押え棒１０７を挿通し、両端に配置した押え蓋１０９を介して押え棒１０５の両端をボルトで締め付けることによって軸方向に荷重をかけて電鋳槽１１１の電鋳液１１３に浸漬させる。管構造１０５の周囲に複数のチタン製バスケットに銅製アノードボールを入れた電極１１５を配置し、管構造１０５と電極１１５との間に電流をかけて電鋳を行い、管構造１０５の外周に電鋳層を形成するものである。
【０００３】
従来製造されていた例えばＳバンドの加速管のような外径が８２ｍｍのものでは、ディスク１０３の孔径も大きいので、管構造１０５の中心軸線部に押え棒１０７を挿通することができる。
しかしながら、サイズがより小さいＣバンドあるいはＸバンドの加速管の場合には、ディスク１０３の孔径が小さくなるので、孔の周囲を傷つけずに押え棒１０７を挿通することは困難である。このため、図８に示されるものでは製造ができない。
これを解消するために、図９に示されるように、押え棒１０７は管構造１０５の外側に複数本設けられ、管構造１０５をその外側で固定することが提案されている。
【０００４】
【非特許文献１】ＪＡＭＥＳ  Ａ．  ＰＯＰＥ，「ＥＬＥＣＴＲＯＦＯＲＭＩＮＧ  ＯＦ  ＬＩＮＥＡＲ  ＡＣＣＥＬＥＲＡＴＯＲ  ＳＴＲＵＣＴＵＲＥＳ」，”ＰＬＡＴＩＮＧ”，（ＵＳ），ＡＭＥＲＩＣＡＮ  ＥＬＥＣＴＲＯＰＬＡＴＥＲＳ  ＡＮＤ  ＳＵＲＦＡＣＥ  ＦＩＮＩＳＨＥＲＳ  ＳＯＣＩＥＴＹ，１９５７  ＤＥＣＥＭＢＥＲ
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図９に示されるものでは、押え棒１０７は管構造１０５の外径部近傍にあるため、電極１１５から管構造１０５に向かって流れる電解電流１１７は押え棒１０７によって阻害され、陰になる部分では電鋳層の形成が良好に行われない。このため、管構造１０５の外周に均一な電鋳槽が形成できないという問題がある。
これを回避しようとして、例えば押え棒１０７の位置を管構造１０５から遠ざけるのは、管構造１０５を構成するディスク１０３とスペーサ１０１とを精度良く固定することができなくなるので、管構造１０５のシール性や電気的接触に問題がある。また、例えば押え棒１０７の影になる部分を分散させるべく押え棒１０７を管構造１０５に対して相対回転させるのは、機構が複雑になり現実的でない。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑み、例えばＣバンド、Ｘバンド等の小型の加速管でも、管構造の外周全体に均一な電鋳層を形成できる加速管の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
すなわち、本発明にかかる加速管の製造方法は、円筒状のスペーサと有孔円板状のディスクを交互に複数個重ね合せ略円筒形状をした管構造とした後、該管構造の外周に電鋳層を形成し一体化する加速管の製造方法において、前記管構造は、その外周面よりも外側に配置された固定部材によって軸線方向に押圧保持され、横断面形状における内側が略円形をした電極を、前記管構造と前記固定部材との間に前記管構造と略同一軸線を有するように配置し、前記管構造と前記電極とを電鋳液に浸漬し、これらの間に電流を流して電鋳を行うことを特徴とする。
【０００８】
このように、管構造は、その外周面よりも外側に配置された固定部材によって軸線方向に押圧保持されているので、ディスクの孔径が小さく軸線中心に固定部材を配置できない例えばＣバンド、Ｘバンド等の小型のものでも、ディスクとスペーサとを押圧固定できる。
また、横断面形状における内側が略円形をした電極を、管構造と固定部材との間に管構造と略同一軸線を有するように配置し、管構造と電極とを電鋳液に浸漬し、これらの間に電流を流して電鋳を行うので、管構造外周と電極内周とは略同一間隔となり、かつこれらの間には電解電流の流れを阻害する障害物がない状態で電鋳を行うことができる。
このように、管構造外周と電極内周とは略同一間隔となるので、管構造外周には均一強度の電解電流で電鋳が施される。また、管構造外周と電極内周との間には障害物がないので、電解電流が乱れることはない。
したがって、管構造の外周は乱れのない均一強度の電解電流によって電鋳されるので、全体に均一な電鋳層を形成することができる。
【０００９】
本発明にかかる加速管の製造方法では、前記電極は、軸線方向に沿う切断線により複数個に分割され、前記管構造が前記固定部材によって軸線方向に押圧保持された後に、前記管構造と前記固定部材との間に組み立てられることを特徴とする。
【００１０】
このように、管構造が固定部材によって軸線方向に押圧保持された後に、分割された電極を管構造と固定部材との間に組み立てるので、管構造は、電極とは関係なく組立てることができる。このため、十分なシール性および電気的接触を保った管構造の組立てを容易に行うことができる。
【００１１】
本発明にかかる加速管の製造装置は、円筒状のスペーサと有孔円板状のディスクを交互に複数個重ね合せ略円筒形状をした管構造とした後、該管構造の外周に電鋳層を形成し一体化する加速管の製造装置において、前記管構造の外周面よりも外側に配置され、前記管構造を軸線方向に押圧保持する固定部材と、前記管構造と前記固定部材との間に前記管構造と略同一軸線を有するように配置され、横断面形状における内側が略円形をした電極と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
本発明によれば、外周面よりも外側に配置された固定部材によって軸線方向に押圧保持された管構造と、管構造と固定部材との間に略同一軸線を有するように配置され、横断面形状における内側が略円形をした電極と、を電鋳液に浸漬し、これらの間に電流を流して管構造の外周に電鋳層を形成する。
このように、管構造はその外周面よりも外側に配置された固定部材によって軸線方向に押圧保持されるので、ディスクの孔径が小さく軸線中心に固定部材を配置できない例えばＣバンド、Ｘバンド等の小型のものでも、ディスクとスペーサとを押圧固定できる。
また、横断面形状における内側が略円形をした電極を、管構造と固定部材との間に管構造と略同一軸線を有するように配置し、管構造と電極とを電鋳液に浸漬し、これらの間に電流を流して電鋳を行うので、管構造外周と電極内周とは略同一間隔となり、かつこれらの間には電解電流の流れを阻害する障害物がない状態で電鋳を行うことができる。
このように、管構造外周と電極内周とは略同一間隔となるので、管構造外周には均一強度の電解電流で電鋳が施される。また、管構造外周と電極内周との間には障害物がないので、電解電流が乱れることはない。
したがって、管構造の外周は乱れのない均一強度の電解電流によって電鋳されるので、全体に均一な電鋳層を形成することができる。
【００１３】
本発明にかかる加速管の製造装置では、前記電極は、軸線方向に沿う切断線により複数個に分割されていることを特徴とする。
【００１４】
このように、電極は、軸線方向に沿う切断線により複数個に分割されているので、例えば管構造が固定部材によって軸線方向に押圧保持された後に、分割された電極を管構造と固定部材との間に組み立てることができる。このように、管構造は、電極とは関係なく組立てることができるので、十分なシール性および電気的接触を保った管構造の組立てを容易に行うことができる。
【００１５】
本発明にかかる加速管の製造装置では、前記電極は、前記固定部材に対しそれぞれ軸線方向に摺動可能に取り付けられた一対の保持部材に保持されていることを特徴とする。
【００１６】
このように、電極は、固定部材に対しそれぞれ軸線方向に摺動可能に取り付けられた一対の保持部材に保持されているので、一対の保持部材の間隔を変更することにより電極の長手方向の長さの変更に対応することができる。このため、管構造の長さが変化しても電極の長さを変更するだけで対応することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明にかかる加速管の製造方法および製造装置によれば、管構造は、その外周面よりも外側に配置された固定部材によって軸線方向に押圧保持されているので、ディスクの孔径が小さく軸線中心に固定部材を配置できない小型のものでも、ディスクとスペーサとを押圧固定できる。
また、横断面形状における内側が略円形をした電極を、円筒形状の管構造と固定部材との間に管構造と略同一軸線を有するように配置しているので、全体に均一な電鋳層を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態について、図を用いて説明する。
図１は、本発明の加速管の製造方法が対象とする加速管１の主要部分の概略構成を示し、上部が断面を示す部分断面図である。
加速管１には、多数の共振空洞を形成する管構造３と、管構造３に加速用の高周波を導入する入口カプラ５と、高周波を排出する出口カプラ７と、管構造３の外周を覆う外管９とが備えられている。
【００１９】
図２は、電鋳前の管構造３の構成を示す縦断面図、図３は電鋳後の管構造３の構成を示す縦断面図である。
管構造３は、純銅製の中空円筒であるスペーサ１１と、純銅製の有孔円板であるリング１３とが交互に複数積み重ねられ、それらが外側に設けられた電鋳層１５によって一体化されるように構成されている。ディスク１３とスペーサ１１との合せ面は鏡面仕上げが施されている。
スペーサ１１とその前後のディスク１３により共振空洞１７が構成されている。
【００２０】
入口カプラ５は、図示しない例えばエレクトロンのような高周波源と接続され、この高周波源からの高周波を共振空洞１７へ導入するように構成されている。
出口カプラ７は、多数の共振空洞１７を通ってきた高周波を導出するものであり、その導出側に高周波を吸収し熱に変換するダミーロード１９が設けられている。
外管９と管構造３との間に形成された空間は、冷却水通路２１を構成している。冷却水通路２１を通る冷却水によって管構造３を一定温度に維持するようにしている。これにより、共振空洞の容積を一定に保ち、共振周波数が変動しないようにしている。
【００２１】
このように構成された加速管１では、高周波源からの高周波が入口カプラ５から導入され、各共振空洞１７に加速電場が形成される。この加速電場によって電子入口２３から投入される電子等のビームは順次加速されて電子出口２５から放出される。
【００２２】
次に、本実施形態にかかる加速管の製造装置３０について、図４〜図７により説明する。本実施形態にかかる製造装置３０は、高周波の周波数がＣバンド（４〜８ＧＨｚ）に入るＣバンド加速管を製造するものである。
なお、この加速管１の管構造３は、直径が約５０ｍｍで、高さが約１ｍの円筒形状をしている。各図面では構造を解りやすくするため、長さ方向についてはスペーサ１１およびディスク１３の大部分を省略して示している。
図４は、製造装置３０の全体構成を示す斜視図である。図５は、図４のＸ−Ｘ断面図である。図６は、図５のＹ−Ｙ断面図である。図７は、電極の斜視図である。
製造装置３０には、管構造保持部３１と、電極部３３とが備えられている。
【００２３】
管構造保持部３１には、管構造３の上部を保持する上ブロック３７と、管構造３の下部を保持する下ブロック３９と、上ブロック３７の上部に設けられた上押え蓋４１と、下ブロック３９の下部に設けられた下押え蓋４３と、上押え蓋４１と下押え蓋４３とを連結する押え棒４５とが備えられている。
上ブロック３７は、管構造３と大略同一径を有する略円筒形状をしている。上ブロック３７の管構造３側には、管構造３との係合部４７が設けられている。上ブロック３７の管構造３に対し反対側には、突起部４９が設けられている。
下ブロック３９は、管構造３と大略同一径を有する略円筒形状をしている。下ブロック３９の管構造３側には、管構造３との係合部５１が設けられている。下ブロック３９の管構造３に対し反対側には、突起部５３が設けられている。
【００２４】
上押え蓋４１および下押え蓋４３は、それぞれ略円筒形状をしている。その大きさは、例えば、直径が２００ｍｍで、高さが２５ｍｍである。なお、上押え蓋４１および下押え蓋４３は、管構造３の外周面より外側に延設されていればよく、その形状は円筒形状でなくても、例えば任意の多角柱形状、楕円柱形状等種々の形状とできる。
上押え蓋４１の上ブロック３７側には、上ブロック３７の突起部４９と係合する凹部５５が設けられている。
下押え蓋４３の下ブロック３９側には、下ブロック３９の突起部５３と係合する凹部５７が設けられている。
【００２５】
押え棒４５は、上押え蓋４１および下押え蓋４３をその軸線方向に貫通して設けられている。押え棒４５の両端部分には、それぞれねじ５９が施されており、ねじ５９にナット６１が螺合されている。
押え棒４５は、その中心軸線が上押え蓋４１および下押え蓋４３の中心軸線から半径７５ｍｍの円周上に位置するように、均等間隔空けて４本設けられている。
押え棒４５の一本には、陰極端子が接続されている。
なお、押え棒４５は、面圧を与えるものなので、少なくとも３本以上は必要である。
下押え蓋４３には、上部に複数の孔が設けられた空気孔盤６３が下ブロック３９の下部を覆うように設けられている。空気孔盤６３の内部空間は、空気供給管６５と接続されている。
【００２６】
電極部３３には、電極６７と、電極６７を保持する電極保持部６９とが備えられている。
電極６７は、図７に示す分割電極７１が４個組み合わされて略中空円筒形状に構成されている。
分割電極７１には、それぞれ中空円筒形状を軸線に沿った切断線により四分割された形状をしたチタン製のホルダ７３と含リン銅製の電極板７５とが設けられている。電極板７５は、チタン製のボルト７９によってホルダ７３に固定されている。
ホルダ７３の軸線方向に直交する方向にある両端部には、同部の接線方向に直交する方向に突起し、軸線方向へ延設されたフランジ７７が設けられている。
フランジ７７には、孔８１が軸線方向の両端部付近と中央付近に設けられている。それぞれ隣接する分割電極７１のフランジ７７同士を孔８１に挿通されるボルト８３によって連結することにより電極６７が組み立てられる。
【００２７】
電極保持部６９は、それぞれ隣り合う押え棒４５の間に設けられている。各電極保持部６９には、管構造３の軸線方向に延設された一対の案内棒８５，８６と、一対の案内棒８５，８６に摺動可能に取り付けられた一対の保持部材８７，８８とが備えられている。
案内棒８５，８６は、上押え蓋４１および下押え蓋４３をその軸線方向に貫通して設けられている。案内棒８５，８６の両端部分は、それぞれナット９３によって止められている。
案内棒８５，８６の中心軸線は、上押え蓋４１および下押え蓋４３の中心軸線から半径７５ｍｍの円周上に設けられている。
【００２８】
保持部材８７，８８は、電気絶縁性を有する塩化ビニル製であり、略直方体形状をしている。
保持部材８７，８８には、対向する面に突出部８９，９０が設けられている。突出部８９，９０には、電極６７側にボルト８３取付け用の孔が設けられた取付板９１，９２が固定されている。
取付板９１，９２の孔を、フランジ７７の軸線方向の両端部付近の孔８１位置に一致させて、取付板９１，９２とフランジ７７とをボルト８３によって固定する。このようにして電極６７を電極保持部６９に取り付けることができる。
この時、電極板７１の内面と管構造３の外周面との間隔は３４ｍｍであり、押え棒４５および電極保持部６９よりも管構造３に近い位置にあることになる。
保持部材８７，８８は、止めねじ９５を締めることにより案内棒８５，８６に固定することができる。
一個の取付板９１には、陽極端子が接続されるブスバー９７が取り付けられている。
【００２９】
以上、説明した加速管の製造装置３０を用いた加速管の製造について説明する。
まず、複数のスペーサ１１とディスク１３とを図２に示されるように、交互に積み重ねて管構造３を形成する。
この管構造３は、電極部３３を取り除いた状態の製造装置３０に搬入される。そして、管構造３を押え棒４５の間を通過させ、上ブロック３７と下ブロック３９との間に配置させる。
この状態で、各押え棒４５のナット６１を締付力が不均衡にならないように調整しつつ締め付け、管構造３に軸線方向の荷重をかける。
これにより、スペーサ１１とディスク１３との合せ面は鏡面仕上げしているので、電鋳時の液密性が確保される。
【００３０】
このように、管構造３はその外周面よりも外側に配置された押え棒４５によって軸線方向に押圧保持されるので、ディスク１３の孔径が小さく軸線中心に押え棒４５を配置できない例えばＣバンド、Ｘバンド等の小型のものでも、ディスク１３とスペーサ１１とを押圧固定でき、電鋳作業を実施することができる。
【００３１】
次いで、電極部３３の組み立てを行う。
まず、電極保持部６９を取り付ける。
案内棒８５，８６を、中途に保持部材８７，８８を装着しつつ、上押え蓋４１および下押え蓋４３に挿通させ、ナット９３を締めて固定する。
次いで、保持部材８７，８８を電極が配置される位置の上下端近傍位置に移動し、止めねじ９５を締めて案内棒８５，８６に固定する。
その後、２個の分割電極７１を順次押え棒４５および案内棒８５，８６の間を挿通させてこれらの内側に搬入する。
【００３２】
そして、２個の分割電極７１の隣り合うフランジ７７を合せ、軸線方向中央部にある孔８１にボルト８３を装着してフランジ７７同士を仮結合する。
仮結合した２個の分割電極７１を持上げ隣接するフランジ７７の両端部付近にある孔８１と保持部材８７，８８の取付板９１，９２の孔とを一致させ、これらをボルト８３によって結合する。この時、止めねじ９５を緩めて保持部材８７，８８の軸線方向位置を微調整することができる。
次いで、３個目の分割電極７１を押え棒４５および案内棒８５，８６の間を挿通させてこれらの内側に搬入し、そのフランジ７７の孔８１が前述の２個の分割電極７１の一端側のフランジ７７の孔８１に一致するように配置する。そして、フランジ７７同士およびその位置に配置された保持部材８７，８８をボルト８３で結合する。
４個目の分割電極７１も同様にして合体させ、略円筒形状の電極６７を形成する。
【００３３】
このように、電極６７は、押え棒４５を含む管構造保持部によって軸線方向に押圧保持された後に、分割電極７１を管構造３と押え棒４５との間に搬入して組み立てることができる。このように、管構造３は、電極６７とは関係なく組立てることができるので、十分なシール性および電気的接触を保った管構造３の組立てを容易に行うことができる。
【００３４】
そして、保持部材８７，８８の一個の取付板９１に、陽極端子が接続されるブスバー９７を取り付ける。一本の押え棒４５に、陰極端子を接続する。
その後、電鋳層の電析を必要とする部分以外には、電析しないように必要なマスキングを施す。
この状態で、製造装置３０を電鋳液９９に浸漬させ、電鋳作業に入る。
【００３５】
電鋳液としては、例えば硫酸72 g/L、硫酸銅216 g/Lから成る酸性硫酸銅無添加浴を用い、浴温度26℃のもと、正転20秒−反転4秒の周期的極性反転通電（ＰＲ通電）を行った。
また、電流は１７Ａで一定に負荷した。電鋳開始時の電流密度は約７．５Ａ／ｄｍ２である。
電鋳作業中、空気供給管６５から供給された空気が、空気孔盤６３に設けられた孔から電鋳液中に供給され、電鋳液はこの空気によって攪拌される。
この条件で、７日間電鋳を行ったところ、約６ｍｍの厚さの電鋳層１５が得られた。
その後、外表面を機械加工仕上げして、余分な電鋳層１５を取り除き、表面を整形して管構造３を完成させる。
【００３６】
本実施形態では、横断面形状における内側が略円形をした電極６７を、管構造３と押え棒４５との間に管構造３と略同一軸線を有するように配置し、管構造３と電極６７とを電鋳液９９に浸漬し、これらの間に電流を流して電鋳を行うので、管構造３の外周と電極６７の内周とは略同一間隔となり、かつこれらの間には電解電流の流れを阻害する障害物がない状態で電鋳を行うことができる。
このように、管構造３の外周と電極６７の内周とは略同一間隔となるので、管構造３の外周には均一強度の電解電流で電鋳が施される。また、管構造３の外周と電極６７の内周との間には障害物がないので、電解電流が乱れることはない。
したがって、管構造３の外周は乱れのない均一強度の電解電流によって電鋳されるので、全体に均一な電鋳層を形成することができる。
【００３７】
また、本実施形態では、電極６７は、上押え蓋４１および下押え蓋４３に取りつけられた案内棒８５，８６にそれぞれ軸線方向に摺動可能に取り付けられた一対の保持部材８７，８８に保持されているので、一対の保持部材８７，８８の間隔を変更することにより電極６７の長手方向の長さの変更に対応することができる。このため、管構造３の長さが変化しても電極６７の長さを変更するだけで対応することができる。
【００３８】
なお、本実施形態では、管構造３を管構造保持部３１に装着した後、分割された分割電極７１を内部に搬入して電極を組み立てるようにしているが、本発明はこれに限定されるものではない。
例えば、上押え蓋４１あるいは下押え蓋４３を大きく動き得るように構成し、先に電極を形成し、その中に管構造３を装着するようにしてもよい。また、この場合、電極は一体構造としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施形態で製造した加速管の部分縦断面図である。
【図２】電鋳前の管構造を示す縦断面図である。
【図３】電鋳後の管構造をを示す縦断面図である。
【図４】本発明の一実施形態の製造装置の概略構成を示す斜視図である。
【図５】図４のＸ−Ｘ断面図である。
【図６】図５のＹ−Ｙ断面図である。
【図７】本発明の一実施形態の分割電極を示す斜視図である。
【図８】従来の電鋳装置を示す正面図である。
【図９】従来の他の電鋳装置を示す正面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  加速管
３  管構造
１１  スペーサ
１３  ディスク
１５  電鋳層
３０  製造装置
４５  押え棒
６７  電極
７１  分割電極
８７，８８  保持部材
９９  電鋳液
【図１】
2006063407.tif 000003
【図２】
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【図３】
2006063407.tif 000005
【図４】
2006063407.tif 000006
【図５】
2006063407.tif 000007
【図６】
2006063407.tif 000008
【図７】
2006063407.tif 000009
【図８】
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【図９】
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