(57)【要約】【課題】  ダンパ部材にシワが発生するのを防止すると共に、ダンパ部材と高剛性の流路形成部材との接合ずれが生じないインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  （Ａ）図に示すように、ダンパ部材１２と流路形成プレート１４とを接合したフラットな積層サブアッセンブリ部材１０を形成する。次いで、（Ｂ）図及び（Ｃ）図に示すように、マスク４２を介して流路形成プレート１４を選択除去し、連通孔１８とインクプール２０を形成する。さらに、（Ｃ）図及び（Ｄ）に示すように、マスク４４を介してダンパ部材１２を選択除去し、連通孔１８と通じるノズル１６を形成する。このような製造方法では、ノズル、インクプールなどを予め形成したダンパ部材と流路形成プレートを接合しないので、ダンパ部材１２にシワが発生するのを防止できると共に、接合ずれも発生しない。【選択図】  図２
2006068999.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室内に充填されたインクに圧力波を作用させて複数のノズルからインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
低剛性のダンパ部材と前記ダンパ部材より高い剛性の第１高剛性部材とを接合した板状の第１フラット複合部材を用い、
前記第１フラット複合部材の一方の側から前記第１高剛性部材を選択除去して、前記圧力室と連通するインク流路を複数形成し、
前記ダンパ部材を選択除去して複数のノズルまたはインク通路を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
圧力室内に充填されたインクに圧力波を作用させて複数のノズルからインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
低剛性のダンパ部材と前記ダンパ部材より高い剛性の第１高剛性部材とを接合し、前記ダンパ部材の前記第１高剛性部材を接合した面と反対側に第２高剛性部材を接合した板状の第２フラット複合部材を用い、
前記第２フラット複合部材の一方の側から前記第１高剛性部材を選択除去して、前記圧力室と連通するインク流路を複数形成し、
前記第２フラット複合部材の他方の側から前記第２高剛性部材を選択除去して複数の段差孔を形成した後、
前記ダンパ部材を選択除去して前記段差孔内に前記ノズルまたはインク通路を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記ダンパ部材が高分子樹脂材料からなることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第１高剛性部材又は前記第２高剛性部材が金属材料からなることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第１高剛性部材と前記ダンパ部材を、又は前記第１高剛性部材と前記ダンパ部材と前記第２高剛性部材を接合して前記第１フラット複合部材又は前記第２フラット複合部材を形成することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力室内に充填されたインクに圧力波を作用させて複数のノズルからインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数のノズルからインク滴を吐出し、用紙等の記録媒体に印字を行うインクジェット記録装置は、小型で安価、静寂性等の種々の利点があり、広く市販されている。
【０００３】
このようなインクジェット記録装置として、例えば、圧力室に隣接させて圧電素子を配設し、圧電素子からの加圧によって圧力室内のインクに圧力波を作用させ、ノズルからインク滴を吐出するピエゾインクジェット方式が採用されている。このピエゾインクジェット方式は、高速印字、高解像度が得られる等の多くの利点を有している。
【０００４】
このピエゾインクジェット方式の記録装置では、圧力室で生じた圧力波の後退成分の反射波が他の圧力室に伝播されるのを防止するため、反射波を吸収するダンパ材が設けられている。このダンパ材は、低剛性のフィルムや薄膜ＳＵＳなどで形成されており、例えば、圧力室又はインク流路となる液室が形成された高剛性の流路形成部材（例えばＳＵＳなど）に接着剤で接合したり、或いは、ダンパ材を接着層として流路形成部材を順次接合するように構成されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−１９１０９号公報（第５頁−第６頁、第１図等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１に記載のインクジェット記録ヘッドでは、圧力室又はインク流路が形成された高剛性の流路形成部材にダンパ材を接合するため、流路形成部材とダンパ材との線膨張差によりダンパ材にシワが発生してしまう。
【０００６】
一方、ダンパ材にノズルを形成し、流路形成部材のインク流路に位置合わせして接着するインクジェット記録ヘッドでは、ダンパ材と流路形成部材の積層位置を高精度に調整する必要があり、接合ずれが発生するという問題もある。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ダンパ材のシワの発生や高剛性の流路形成部材との接合ずれを防止できるインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、圧力室内に充填されたインクに圧力波を作用させて複数のノズルからインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、低剛性のダンパ部材と前記ダンパ部材より高い剛性の第１高剛性部材とを接合した板状の第１フラット複合部材を用い、前記第１フラット複合部材の一方の側から前記第１高剛性部材を選択除去して、前記圧力室と連通するインク流路を複数形成し、前記ダンパ部材を選択除去して複数のノズルまたはインク通路を形成することを特徴としている。
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、板状の第１フラット複合部材は低剛性のダンパ部材と第１高剛性部材を接合した２層構造からなり、この第１フラット複合部材の一方の側から高剛性部材を選択除去することで、圧力室と連通する複数のインク流路を形成する。さらに、第１フラット複合部材のダンパ部材を選択除去することで、複数のノズルを形成する。このようにダンパ部材と第１高剛性部材を接合した第１フラット複合部材にインク流路等を形成するので、ダンパ部材にシワが発生するのを防止できると共に、接合時に高精度な位置調整が必要でない。従って、製造工程を効率化できる。
【００１０】
また、請求項１に記載の発明は、ダンパ部材がノズルを共用しないインクジェットヘッド構造部品においても応用が可能である。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、圧力室内に充填されたインクに圧力波を作用させて複数のノズルからインク滴を吐出するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、低剛性のダンパ部材と前記ダンパ部材より高い剛性の第１高剛性部材とを接合し、前記ダンパ部材の前記第１高剛性部材を接合した面と反対側に第２高剛性部材を接合した板状の第２フラット複合部材を用い、前記第２フラット複合部材の一方の側から前記第１高剛性部材を選択除去して、前記圧力室と連通するインク流路を複数形成し、前記第２フラット複合部材の他方の側から前記第２高剛性部材を選択除去して複数の段差孔を形成した後、前記ダンパ部材を選択除去して前記段差孔内に前記ノズルまたはインク通路を形成することを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の発明では、第２フラット複合部材の第１高剛性部材を接合した面と反対側のダンパ部材に第２高剛性部材が接合されており、この第２フラット複合部材の他方の側から第２高剛性部材を選択除去することで、複数の段差孔を形成する。その後、ダンパ部材を選択除去して段差孔内にノズルを形成する。なお、第１高剛性部材には請求項１と同様にインク流路が形成される。このため、接合時に高精度な位置調整が必要でなく、効率良く製造できる。また、段差孔によってノズルの周辺が第２高剛性部材の表面から後退するので、印字時に浮き上がった記録媒体がノズルの周辺に接触するのが防止され、ノズルの周辺の撥水膜などを傷つけることがない。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明は、ダンパ部材がノズルを共用しないインクジェットヘッド構造部品においても応用が可能である。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ダンパ部材が高分子樹脂材料からなることを特徴としている。
【００１５】
請求項３に記載の発明では、ダンパ部材が高分子樹脂材料からなり、変形し易いので、印字時に圧力室からインク流路に伝播される反射波を吸収し、反射波が他の圧力室に伝播されるのをより確実に防止できる。また、ダンパ部材を加工し易いので、所望の位置に複数のノズルを形成できる。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記第１高剛性部材又は前記第２高剛性部材が金属材料からなることを特徴としている。
【００１７】
請求項４に記載の発明では、第１高剛性部材又は第２高剛性部材を金属材料で構成し、ダンパ部材と接合して第１フラット複合部材又は第２フラット複合部材を形成しても、ダンパ部材にシワが発生するのを防止できる。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記第１高剛性部材と前記ダンパ部材を、又は前記第１高剛性部材と前記ダンパ部材と前記第２高剛性部材を接着剤で接合して前記第１フラット複合部材又は前記第２フラット複合部材を形成することを特徴としている。
【００１９】
請求項５に記載の発明では、ダンパ部材と第１高剛性部材、又は第１高剛性部材とダンパ部材と第２高剛性部材を接着剤で接合して第１フラット複合部材又は第２フラット複合部材を形成するので、ダンパ部材にシワが発生するのを防止できる。また、接合時に位置調整が必要でなく、製造効率がよい。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、上記のように構成したので、ダンパ部材のシワの発生や、ダンパ部材と第１高剛性部材、第２高剛性部材との接合ズレを防止することができ、効率良く製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
図１は、本発明の第１実施形態により製造したインクジェット記録ヘッド４０を示す断面図である。
【００２３】
図１に示すように、このインクジェット記録ヘッド４０は、ダンパ部材１２と流路形成プレート１４とが積層された積層サブアッセンブリ部材１０を備えている。また、流路形成プレート１４の上方には、連通孔プレート２２と、圧力室プレート２４と、振動板２６とが位置合わせして積層され、接着剤などの接合手段によって接合されている。
【００２４】
積層サブアッセンブリ部材１０を構成するダンパ部材１２には、インク滴を吐出する複数のノズル１６が形成されている。流路形成プレート１４には、ノズル１６と通じる複数の連通孔１８が形成されている。また、連通孔プレート２２には、複数の連通孔３２が形成されている。これらのノズル１６、連通孔１８、及び連通孔３２は、積層サブアッセンブリ部材１０と連通孔プレート２２が積層された状態で連通し、圧力室プレート２４に形成された圧力室３０に繋がっている。
【００２５】
一方、流路形成プレート１４には、複数のインクプール２０が形成されており、図示しないインク供給孔から供給されたインクが貯留されている。また、連通孔プレート２２には、インクプール２０と連結するように複数の供給孔３４が形成されている。これらのインクプール２０、供給孔３４及び圧力室３０は、流路形成プレート１４と連通孔プレート２２と圧力室プレート２４が積層された状態で連通している。また、振動板２６の上には、圧力室３０の上部に圧力発生手段としての圧電素子２８が取り付けられており、図示しないフレキシブル配線基板から駆動電圧が印加されるように構成されている。
【００２６】
ここで、流路形成プレート１４は、厚さが１０μｍ〜５００μｍの範囲で、ヤング率が１０ＧＰａ以上の高剛性部材からなる。本実施形態では、流路形成プレート１４として、ＳＵＳ３０４ＴＡが用いられている。
【００２７】
ダンパ部材１２は、低剛性で容易に変形可能な部材で構成され、主に高分子化合物（分子量が１０3以上）が用いられる。なお、厚さが２０μｍ以下の薄層金属を用いてもよい。本実施形態では、ダンパ部材１２として、厚さが２５μmのポリイミド樹脂が用いられている。
【００２８】
このようなインクジェット記録ヘッド４０では、インクプール２０から供給孔３４、圧力室３０、連通孔３２、連通孔１８及びノズル１６へと連続するインクの通路が形成されており、インク供給孔（図示省略）から供給されインクプール２０に貯留されたインクは、供給孔３４を経て圧力室３０内に充填される。そして、圧電素子２８にフレキシブル配線基板（図示省略）から駆動電圧が印加されると、圧電素子２８とともに振動板２６が図１中の矢印Ａ方向にたわみ変形して圧力室３０を圧縮させる。これによって、圧力室３０に体積変化が生じ、圧力室３０内に圧力波が発生する。この圧力波の作用によってインクが運動し、ノズル１６から外部へインク滴が吐出される。その際、圧力室３０からの反射波が供給孔３４を経てインクプール２０に伝播されるが、ダンパ部材１２が矢印Ｂ方向に変形することで反射波を吸収し、他の圧力室３０に反射波が伝播されるのを防止することができる。
【００２９】
次に、本発明の第１実施形態であるインクジェット記録ヘッド４０の製造方法について説明する。
【００３０】
図２（Ａ）に示すように、ノズル１６を形成する前の板状のダンパ部材１２と、板状の流路形成プレート１４とを接合して本発明の第１フラット複合部材である２層構造の積層サブアッセンブリ部材１０を形成する。ポリイミド樹脂からなるダンパ部材１２とＳＵＳからなる流路形成プレート１４とは、例えば接着剤により接合する。孔の空いていない２枚のダンパ部材１２と流路形成プレート１４とをはり合わせることで、ハンドリングの悪さや線膨張差によりダンパ部材１２にシワが入るのを防止できる。
【００３１】
ダンパ部材１２と流路形成プレート１４とを接合する接着剤としては、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂が用いられる。熱可塑性樹脂としては、ポリイミド、ポリアセタール、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレン等が挙げられる。また、熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ケイ素樹脂等が挙げられる。本実施形態では、熱可塑性樹脂のポリイミドが使用される。さらに、接着剤の塗布厚は、密着性を考慮すると５μｍが適当とされる。また、ポリイミドワニス等によりダンパ部材１２と流路形成プレート１４を接着剤を用いずに接合する場合や、熱融着型のポリイミドフィルムをダンパ部材１２とし、流路形成プレート１４と直接接合を行なう場合もある。
【００３２】
図２（Ｂ）に示すように、流路形成プレート１４の表面にレジスト層４４を形成し、所定のパターン４２ａ，４２ｂが形成されたマスク４２を介してレジスト層４４を露光する。そして、露光された部分のレジスト層４４を除去し、エッチングにより流路形成プレート１４の選択除去を行う。本実施形態では、第二酸化鉄によるＳＵＳ材のエッチングを用いている。これにより、図２（Ｃ）に示すように、流路形成プレート１４に複数の連通孔１８及びインクプール２０が形成される。なお、選択除去手段としては、エッチングの他、レーザ加工、機械加工等を用いてもよい。
【００３３】
さらに、図２（Ｄ）に示すように、エキシマーレーザ４６によりダンパ部材１２のレーザー加工を行い、ノズル１６を穿設する。ノズル１６の直径は約２５μｍに設定されている。ダンパ部材１２の選択除去手段としては、レーザ加工の他、ウエットエッチング、ドライエッチング等が用いられる。これにより、図２（Ｅ）に示すように、ダンパ部材１２の所定の位置に複数のノズル１６を有する積層サブアッセンブリ部材１０が完成する。
【００３４】
その後、図１に示すように、流路形成プレート１４の上方に、連通孔プレート２２と、圧力室プレート２４とを接合し、圧力室プレート２４の開口を覆うように振動板２６を接着剤により接合する。さらに、圧力室プレート２４の圧力室３０の上部に圧電素子２８を接合する。
【００３５】
上記のようなインクジェット記録ヘッド４０の製造方法では、フラットなダンパ部材１２と流路形成プレート１４とを接合した積層サブアッセンブリ部材１０から選択的に連通孔１８とインクプール２０、及びノズル１６を除去するので、ダンパ部材１２にシワが発生するのを防止できる。また、ダンパ部材１２と流路形成プレート１４との接合時の位置調整が必要でなく、接合ズレなどの不具合が発生しない。また、流路形成プレート１４にエッチングにより連通孔１８とインクプール２０とを多数個形成するので、検査工数の削減が可能であり、製造工程を効率化できる。さらに、インクプール２０に接するダンパ部材１２にノズル１６を形成するので、ダンパ部材１２をノズルプレートと兼用することができ、コストを低減できる。
【００３６】
またダンパ部材がノズルを共用しないインクジェットヘッド構造部品においても応用が可能である。
【００３７】
次に、本発明の第２実施形態について図面に基づいて説明する。
【００３８】
図３は、本発明の第２実施形態により製造したインクジェット記録ヘッド７０を示す断面図である。なお、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００３９】
このインクジェット記録ヘッド７０は、図３に示すように、段差孔形成プレート５４とダンパ部材５２と流路形成プレート１４とが順に積層された積層サブアッセンブリ部材５０を備えている。
【００４０】
ダンパ部材５２には、インク滴を吐出する複数のノズル１６が形成されている。段差孔形成プレート５４には、各ノズル１６の周囲に段差孔５６を備えている。この段差孔５６によって、ノズル１６の周辺が段差孔形成プレート５４の表面から後退した形状となっている。また、各インクプール２０の位置と対応する段差孔形成プレート５４には、開孔５８が形成されている。このような開孔５８を形成するのは、ダンパ部材５２を容易に変形できるようにし、印字時に圧力室３０からインクプール２０に伝播される反射波をダンパ部材５２で吸収するためである。
【００４１】
ここで、ダンパ部材５２は、低剛性で容易に変形可能な部材で構成され、主に高分子化合物（分子量が１０3以上）が用いられる。本実施形態では、ダンパ部材５２として、厚さが２５μmのポリイミド樹脂が用いられている。
【００４２】
段差孔形成プレート５４は、厚さが１０μｍ〜５００μｍの範囲で、ヤング率が１０ＧＰａ以上の高剛性部材からなる。本実施形態では、段差孔形成プレート５４として、ＳＵＳ３０４ＴＡが用いられている。また、ノズル１６の直径は約２５μｍ、段差孔５６の直径は５０μｍ〜３００μｍに設定されている。
【００４３】
このようなインクジェット記録ヘッド７０では、ノズル１６の周囲に段差孔５６が形成されているので、印字時に記録媒体Ｐが浮き上がってインクジェット記録ヘッド７０の表面に接触しても、ノズル１６の周辺の撥水膜（図示せず）などを損傷させることがない。また、インクプール２０と対応する段差孔形成プレート５４に開孔５８が形成されているので、ダンパ部材５２が容易に変形し、印字時に圧力室３０からインクプール２０に伝播される反射波を吸収することができ、他の圧力室３０に反射波が伝播されるのを防止できる。
【００４４】
次に、本発明の第２実施形態であるインクジェット記録ヘッド７０の製造方法について説明する。
【００４５】
図４（Ａ）に示すように、段差孔５６及び開孔５８を形成する前の板状の段差孔形成プレート５４と、ノズル１６を形成する前の板状のダンパ部材５２と、板状の流路形成プレート１４とを順次接合して３層構造の積層サブアッセンブリ部材５０を形成する。孔の空いていない３枚の段差孔形成プレート５４とダンパ部材５２と流路形成プレート１４とを、例えば接着剤により接合することで、ハンドリングの悪さや各部材の線膨張差によりダンパ部材５２にシワが入るのを防止できる。
【００４６】
図４（Ｂ）に示すように、積層サブアッセンブリ部材５０の上面にレジスト層４４を形成し、所定のパターン４２ａ，４２ｂが形成されたマスク４２を介して流路形成プレート１４を露光する。さらに、積層サブアッセンブリ部材５０の下面にレジスト層６４を形成し、図中下方部から所定のパターン６２ａ，６２ｂが形成されたマスク６２を介して段差孔形成プレート５４を露光する。そして、露光された部分のレジスト層４４、６４を除去し、エッチングにより流路形成プレート１４及び段差孔形成プレート５４の選択除去を行う。本実施形態では、第二酸化鉄によるＳＵＳ材のエッチングを用いている。これにより、図４（Ｃ）に示すように、流路形成プレート１４の所定の位置に複数の連通孔１８及びインクプール２０が形成され、段差孔形成プレート５４の所定の位置に複数の開孔５８及び段差孔５６が形成される。なお、選択除去手段としては、エッチングの他、レーザ加工、機械加工等を用いてもよい。
【００４７】
さらに、図４（Ｄ）に示すように、エキシマーレーザ４６によりダンパ部材１２のレーザー加工を行い、段差孔５６内にノズル１６を穿設する。これにより、図４（Ｅ）に示すように、複数の段差孔５６内にノズル１６を有する積層サブアッセンブリ部材５０が完成する。
【００４８】
このようなインクジェット記録ヘッド７０の製造方法では、フラットな段差孔形成プレート５４とダンパ部材５２と流路形成プレート１４とを接合した３層構造の積層サブアッセンブリ部材５０から選択的に連通孔１８、インクプール２０、段差孔５６、開孔５８、及びノズル１６を除去するので、ダンパ部材５２にシワが発生するのを防止できると共に、効率良く製造できる。また、段差孔形成プレート５４とダンパ部材５２と流路形成プレート１４との接合時の位置調整が必要でなく、接合ズレなどの不具合が発生しない。また、段差孔形成プレート５４にエッチングにより段差孔５６と開孔５８を多数個形成するので、検査工数の削減が可能であり、製造工程を効率化できる。
【００４９】
また第１実施形態と同様に、ダンパ部材がノズルを共用しないインクジェットヘッド構造部品においても応用が可能である。
【００５０】
次に、本発明の第３実施形態について図面に基づいて説明する。
【００５１】
図５は、本発明の第３実施形態により製造したインクジェット記録ヘッド１００を示す断面図である。なお、第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。
【００５２】
このインクジェット記録ヘッド１００は、図５に示すように、ダンパ部材８２と流路形成プレート１４とが積層された積層サブアッセンブリ部材８０を備えている。ダンパ部材８２には、複数の連通孔１８と連続したインク通路８４が形成されている。ダンパ部材８２は、低剛性で容易に変形可能な部材で構成され、本実施形態では、厚さが２５μmのポリイミド樹脂が用いられている。
【００５３】
積層サブアッセンブリ部材８０を構成するダンパ部材８２の下部には、連通孔プレート８６と、ノズルプレート８８とが位置合わせして積層され、接着剤などの接合手段によって接合されている。連通孔プレート８６には、インク通路８４と連続した連通孔９０が形成され、さらに、インクプール２０とダンパ部材８２を介して対向する位置に空洞部となる開口９２が形成されている。この開口９２によりダンパ部材８２が容易に変形可能となる。また、ノズルプレート８８には、連通孔９０と連通するノズル９４が形成されている。
【００５４】
このようなインクジェット記録ヘッド１００は、第１実施形態の製造方法（図２参照）と同様に、インク通路８４等を形成する前のフラットなダンパ部材８２と流路形成プレート１４とを積層した２層構造の積層サブアッセンブリ部材（図示省略）を用いて製造できる。すなわち、２層構造の積層サブアッセンブリ部材（図示省略）から、流路形成プレート１４の連通孔１８とインクプール２０を選択除去し、ダンパ部材８２のインク通路８４を選択除去することで製造できる。これにより、ダンパ部材８２にシワが発生せず、接合ズレなども防止される。
【００５５】
以上のような実施形態で説明したインクジェット記録ヘッド４０、７０、１００は、記録媒体Ｐ上へ画像（文字を含む）を記録するものであったが、これに限定されるものではない。すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりする等、工業用的に用いられる液滴噴射装置全般に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造したインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造したインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造したインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０   積層サブアッセンブリ部材（第１フラット複合部材）
１２   ダンパ部材
１４   流路形成プレート（第１高剛性部材）
１６   ノズル
１８   連通孔
２０   インクプール
２２   連通孔プレート
２４   圧力室プレート
２６   振動板
２８   圧電素子
３０   圧力室
３２   連通孔
３４   供給孔
４０   インクジェット記録ヘッド
５０   積層サブアッセンブリ部材（第２フラット複合部材）
５２   ダンパ部材
５４   段差孔形成プレート（第２高剛性部材）
５６   段差孔
５８   開孔
７０   インクジェット記録ヘッド
８０   積層サブアッセンブリ部材
８２   ダンパ部材
８４   インク通路
８６   連通孔プレート
８８   ノズルプレート
９０   連通孔
９２   開口
９４   ノズル
１００ インクジェット記録ヘッド
【図１】
2006068999.tif 000003
【図２】
2006068999.tif 000004
【図３】
2006068999.tif 000005
【図４】
2006068999.tif 000006
【図５】
2006068999.tif 000007