(57)【要約】【課題】ノズルの噴射液の吐出に異常が発生した場合、これをリアルタイムに検出して、不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するインクジェット印刷装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法、並びに噴射液の噴射方法を提供する。【解決手段】インクジェット印刷装置は、複数のノズル１２５を含む少なくとも１つのヘッド１２０と、各ノズル１２５から噴射液が正常に吐出されているか否かをリアルタイムに検査するノズル監視装置１８０と、ヘッド１２０に噴射液を供給する噴射液供給部１６０とを含む。【選択図】  図１
2006213051.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルを含む少なくとも１つのヘッドと、
前記各ノズルから噴射液が正常に吐出されているか否かをリアルタイムに検査するノズル監視装置と、
前記ヘッドに噴射液を供給する噴射液供給部と、
を含むことを特徴とするインクジェット印刷装置。
【請求項２】
前記ノズル監視装置は、
前記各ノズルに一対に対応する複数の光センサと、
不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するように前記ヘッドを駆動する制御部と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項３】
前記光センサは、
前記ヘッドの一方の側に装着され、前記ノズルから吐出された噴射液の移動経路上に光を照射する発光センサと、
前記ヘッドの他方の側に装着され、前記発光センサから照射された光を感知して、光の強さによって該当ノズルから噴射された噴射液の噴射量及び噴射状態を検査する受光センサと、
を含むことを特徴とする請求項２に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項４】
前記噴射液供給部と前記ヘッドを連結する噴射液供給管をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項５】
前記噴射液が、フラットパネルディスプレイ製造用の配向剤、スペーサ剤、カラーフィルタ溶液、及び電子発光素子溶液のいずれか１つであることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット印刷装置。
【請求項６】
複数のノズルを含む少なくとも１つのヘッドを準備する段階と、
前記各ノズルから噴射液が正常に吐出されているか否かを検査する段階と、
前記ヘッドに噴射液を供給する段階と、
を含むことを特徴とするインクジェット印刷装置を利用した噴射液の噴射方法。
【請求項７】
前記各ノズルから噴射液が正常に吐出されているか否かを検査する段階は、
前記噴射液が被記録材上に吐出される間、噴射液の吐出状態をリアルタイムに観測する段階と、
不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するように制御する段階と、
を含むことを特徴とする請求項６に記載のインクジェット印刷装置を利用した噴射液の噴射方法。
【請求項８】
前記噴射液の吐出状態をリアルタイムに観測する段階は、
前記ヘッドの一方の側に装着され、前記ノズルから吐出された噴射液の移動経路上に光を照射する発光センサと、
前記ヘッドの他方の側に装着され、前記発光センサから照射された光を感知して、光の強さによって該当ノズルから噴射された噴射液の噴射量及び噴射状態を検査する受光センサと、
により行われることを特徴とする請求項７に記載のインクジェット印刷装置を利用した噴射液の噴射方法。
【請求項９】
前記噴射液が、フラットパネルディスプレイ製造用の配向剤、スペーサ剤、カラーフィルタ溶液、及び電子発光素子溶液のいずれか１つであることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット印刷装置を利用した噴射液の噴射方法。
【請求項１０】
前記各ノズルから噴射液が正常に吐出されているか否かを検査する段階で、前記ノズルが開状態であるか閉状態であるかを共に検査することを特徴とする請求項６に記載のインクジェット印刷装置を利用した噴射液の噴射方法。
【請求項１１】
複数の薄膜トランジスタアレイが形成された第１基板とカラーフィルタが形成された第２基板とを準備する段階と、
複数のノズルを含む少なくとも１つのヘッドにより配向剤を供給する段階と、
前記各ノズルから配向剤が正常に吐出されているか否かを検査する段階と、
前記各ノズルから噴射された配向剤を前記第１基板と前記第２基板に塗布して配向膜を形成する段階と、
を含むことを特徴とするインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記各ノズルから配向剤が正常に吐出されているか否かを検査する段階は、
前記各ノズルに一対に対応する複数の光センサと、
不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するように前記ヘッドを駆動する制御部と、
により行われることを特徴とする請求項１１に記載のインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
前記光センサは、
前記ヘッドの一方の側に装着され、前記ノズルから吐出された噴射液の移動経路上に光を照射する発光センサと、
前記ヘッドの他方の側に装着され、前記発光センサから照射された光を感知して、光の強さによって該当ノズルから噴射された噴射液の噴射量及び噴射状態を検査する受光センサと、
を含むことを特徴とする請求項１２に記載のインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】
複数の薄膜トランジスタアレイが形成された第１基板とカラーフィルタが形成された第２基板とを準備する段階と、
複数のノズルを含む少なくとも１つのヘッドにより配向剤を供給する段階と、
前記各ノズルから配向剤が正常に吐出されているか否かを検査する段階と、
前記各ノズルから噴射された配向剤を前記第１基板と前記第２基板に塗布して配向膜を形成する段階と、
前記配向膜上にラビング工程を施す段階と、
前記第１基板と前記第２基板を貼り合わせる段階と、
前記貼り合わせられた第１基板と第２基板の間に液晶層を注入する段階と、
を含むことを特徴とするインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記各ノズルから配向剤が正常に吐出されているか否かを検査する段階は、
前記各ノズルに一対一に対応する複数の光センサと、
不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するように前記ヘッドを駆動する制御部と、
により行われることを特徴とする請求項１４に記載のインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記光センサは、
前記ヘッドの一方の側に装着され、前記ノズルから吐出された噴射液の移動経路上に光を照射する発光センサと、
前記ヘッドの他方の側に装着され、前記発光センサから照射された光を感知して、光の強さによって該当ノズルから噴射された噴射液の噴射量及び噴射状態を検査する受光センサと、
を含むことを特徴とする請求項１５に記載のインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造方法に関し、より詳しくは、噴射液が吐出されないノズルをリアルタイムに検出して、不良ノズルと判定されたノズルの不良を補償できるインクジェット印刷装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法、並びに噴射液の噴射方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現代の情報ディスプレイは、一般にブラウン管と呼ばれる陰極線管（ＣＲＴ）が主流をなしている。しかしながら、ディスプレイの大型化及び高解像度に対する要求が次第に増大するにつれて、重量と体積が非常に大きい陰極線管より、薄型、軽量、高輝度、高効率、高解像度、高速応答特性、長寿命、低駆動電圧、低消費電力、低価格のフラットパネルディスプレイの開発が切実に要求されている。
【０００３】
近年、フラットパネルディスプレイとしては、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＥＬＤ）、電界放出ディスプレイ（ＦＥＤ）、及びプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などがある。
【０００４】
このようなフラットパネルディスプレイの高性能化及び低価格化のために、製造工程の一環として、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィ工程による感光性ペースト法、及びインクジェット印刷法に関する研究が活発に行われている。
【０００５】
前記スクリーン印刷法においては、表示装置の該当基板上に蒸着しようとするペーストを印刷し、１２０〜１５０℃の温度範囲で乾燥させた後、５５０〜６００℃の温度範囲で焼成して形成する。このようなスクリーン印刷法は、工程が単純であり、安価な装備を使用する簡便な方式であるが、印刷の厚さと幅にバラツキがあるため、高精細表示装置には適していないという欠点があった。
【０００６】
前記フォトリソグラフィ工程による感光性ペースト法においては、まず、表示装置の該当基板上に蒸着しようとする感光性ペーストをスクリーン印刷又はスピンコーティングし、乾燥、露光、及び現像してパターニングした後、樹脂や溶剤を除去するために焼成工程を施すことにより該当蒸着膜を形成する。
【０００７】
このようなフォトリソグラフィ工程による感光性ペースト法は、印刷の厚さと幅の均一性に優れ、３μｍ以下に薄く成膜することができるため、高精細表示装置に適用することができる。
【０００８】
しかしながら、材料が高価であり、材料の損失が多くて、乾燥、露光、及び現像などの製造工程が複雑であると共に、高価な装備を使用しなければならないという欠点があった。
【０００９】
前述したようなスクリーン印刷法と感光性ペースト法の欠点を補完するために、インクジェット印刷法が提案された。前記インクジェット印刷法は、表示装置の該当基板上に蒸着しようとするインク液を加圧してノズルから噴射することにより、所望のパターンでインクを付着させる方法である。
【００１０】
以下、従来のインクジェット印刷装置について図５を参照して説明する。
図５は従来のインクジェット印刷装置により被記録材に噴射液を吐出させる過程を概略的に示す図である。
図５に示すように、従来のインクジェット印刷装置１０は、噴射液５０が充填された噴射液供給部６０と、噴射液供給部６０から外部に噴射液５０を噴射するためのヘッド２０とから構成される。
【００１１】
ここで、インクジェット印刷装置１０は、噴射液５０が印刷される被記録材７０の一部分上に被記録材７０に対応して整列され、このような整列状態で、ヘッド２０から被記録材７０上に噴射液５０が吐出されるようになっている。
【００１２】
また、ヘッド２０には、圧電素子（図示せず）、及び噴射液５０を吐出するノズル２５が形成される。前記圧電素子に電圧が印加されると、物理的な圧力が発生して、噴射液供給部６０とノズル２５間の流路が収縮、弛緩を繰り返す現象が現れることにより、ノズル２５から噴射液５０が吐出される。
【００１３】
しかしながら、このような従来のインクジェット装置においては、ノズルから噴射液が吐出された後、ヘッドの噴射面の表面に噴射液が残存して硬化するという問題があった。即ち、噴射液の吐出が繰り返されることによって、ヘッドの噴射面の表面に噴射液が溜まって固まる。
【００１４】
このような現象は、噴射面上に不要な蓄積物を形成させて、以後に噴射される噴射液が完全な液滴の形を有しないまま流れるようにし、蓄積者が多い場合、ノズルが塞がってしまう結果をもたらすため、印刷の状態が悪くなり、製品の品質が低下するという問題があった。
【００１５】
このような問題を解決するために、周期的にヘッドの噴射面を噴射液と同じ極性を有する溶媒にディッピングしてクリーニングする方法を採択してきた。
【００１６】
しかしながら、このようなクリーニング法は、単に不良ノズルを補修する役割を果たすだけであり、不良ノズルにより印刷品質が低下する現象を根本的に解決することはできなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、このような従来技術の問題を解決するためになされたもので、ノズルの噴射液の吐出に異常が発生した場合、これをリアルタイムに検出して、不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するインクジェット印刷装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法、並びに噴射液の噴射方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記の目的を達成するために、本発明によるインクジェット印刷装置は、複数のノズルを含む少なくとも１つのヘッドと、前記各ノズルから噴射液が正常に吐出されているか否かをリアルタイムに検査するノズル監視装置と、前記ヘッドに噴射液を供給する噴射液供給部とを含むことを特徴とする。
【００１９】
また、前記インクジェット印刷装置は、前記噴射液供給部と前記ヘッドを連結する噴射液供給管をさらに含む。
【００２０】
また、前記ノズル監視装置は、前記各ノズルに一対に対応する複数の光センサと、不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するように前記ヘッドを駆動する制御部とを含む。
【００２１】
また、前記噴射液は、液晶表示装置製造用の配向剤又はスペーサ剤であり得る。
【００２２】
また、上記の目的を達成するために、本発明によるインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法は、複数の薄膜トランジスタアレイが形成された第１基板とカラーフィルタが形成された第２基板とを準備する段階と、複数のノズルを含む少なくとも１つのヘッドにより配向剤を供給する段階と、前記各ノズルから配向剤が正常に吐出されているか否かを検査する段階と、前記各ノズルから噴射された配向剤を前記第１基板と前記第２基板に塗布して配向膜を形成する段階とを含むことを特徴とする。
【００２３】
上記の目的を達成するために、本発明によるインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法は、複数の薄膜トランジスタアレイが形成された第１基板とカラーフィルタが形成された第２基板とを準備する段階と、複数のノズルを含む少なくとも１つのヘッドにより配向剤を供給する段階と、前記各ノズルから配向剤が正常に吐出されているか否かを検査する段階と、前記各ノズルから噴射された配向剤を前記第１基板と前記第２基板に塗布して配向膜を形成する段階と、前記配向膜上にラビング工程を施す段階と、前記第１基板と前記第２基板を貼り合わせる段階と、前記貼り合わせられた第１基板と第２基板の間に液晶層を注入する段階とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によるインクジェット印刷装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法は、別途のノズル監視装置を備えて、ノズルの不良をリアルタイムに検出して直ちに補修することにより、工程時間の遅延を最小に短縮し、正常印刷部分と補修部分との異質化を最小に減らし得るという効果がある。
従って、本発明は、ヘッドに不良ノズルが発生しても、印刷品質の低下を防止し、不良ノズルを有するヘッドの使用を可能にする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明によるインクジェット印刷装置について添付の図面を参照して説明する。
【００２６】
図１は本発明によるインクジェット印刷装置の一実施形態及びこれを利用して被記録材に噴射液を吐出させる方法を示す図であり、図２は本発明によるインクジェット印刷装置の正面図であり、図３は本発明によるインクジェット印刷装置の噴射面を示す図である。
【００２７】
図１に示すように、本発明によるインクジェット印刷装置１００は、被記録材１７０に噴射液１５０を直接滴下する少なくとも１つのヘッド１２０と、ヘッド１２０に噴射液１５０を供給する噴射液供給部１６０と、ヘッド１２０と噴射液供給部１６０を機構的に連結し、ヘッド１２０に噴射液１５０を供給する噴射液供給管１６１とを含む。
【００２８】
ここで、ヘッド１２０には、複数のノズル（図示せず）が形成され、前記各ノズルが開状態であるか閉状態であるかによって、被記録材１７０に塗布される噴射液１５０の供給量及び滴下位置が調節される。
【００２９】
また、インクジェット印刷装置１００は、前記各ノズルが正常に動作しているか否かをリアルタイムに検査するノズル監視装置１８０をさらに含む。
【００３０】
また、インクジェット印刷工程は、被記録材１７０が位置するステージ１７０ａ、又はヘッド１２０が移動しながら行われ、ヘッド１２０が通過した被記録材１７０領域に印刷１３０が行われる。このとき、ヘッド１２０又はステージ１０７ａの移動中にヘッド１２０に形成されたノズルの一部を閉鎖することにより、被記録材１７０上に選択的に印刷を行うことができる。
【００３１】
このようなインクジェット印刷装置１００は、フラットパネルディスプレイの製造に適用することができるが、例えば、液晶表示装置の配向剤の印刷、スペーサ剤の塗布、カラーフィルタ溶液の塗布、及び電子発光素子溶液の塗布などに適用することができる。
【００３２】
インクジェット印刷装置１００のヘッド部は、被記録材１７０の大きさによって噴射液１５０の滴下面積を自由に調節できるように複数のノズルを有する、少なくとも１つのヘッド１２０で構成される。即ち、被記録材１７０が大型化するにつれてヘッド１２０又はノズルの数を増加させて、被記録材１７０の大型化に容易に対処し、印刷工程時間を調節することができる。
【００３３】
また、インクジェット印刷装置１００は、別途のノズル監視装置１８０を備えることにより、ノズル別に、噴射液１５０の吐出量と、ノズルが開状態であるか閉状態であるかをリアルタイムに検査する。その検査の結果、不良ノズルと判定されたノズルは正常ノズルに代替して、前記不良ノズルによる不良印刷領域に噴射液１５０の再噴射が行われるようにする。
【００３４】
図１に示すように、本実施形態によるインクジェット印刷装置１００のノズル監視装置１８０は、ヘッド１２０を構成する各ノズルに一対に対応する複数の光センサ１８０ａ、１８０ｂと、不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するようにヘッド１２０を駆動する制御部１８０ｃとを含む。
【００３５】
より詳しくは、ノズル監視装置１８０は、ヘッド１２０の一方の側に装着され、ノズルから吐出された噴射液の移動経路上に光を照射する発光センサ１８０ａと、ヘッド１２０の他方の側に装着され、発光センサ１８０ａから照射された光を感知して、光の強さによって該当ノズルから噴射された噴射液の噴射量及び噴射状態を検査し、その結果をデータに変換する受光センサ１８０ｂと、前記データを受信して不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するようにヘッド１２０に信号を送る制御部１８０ｃとを含む。
【００３６】
また、図２及び図３に示すように、ノズル監視装置１８０の光センサ１８０ａ、１８０ｂは、それぞれヘッド１２０に一対に対応するように装着され、全てのヘッド１２０における噴射液１５０の吐出状態を同時に検査することができる。特に、受光センサ１８０ｂは、ヘッド１２０を構成する各ノズル１２５を検査できるように、ノズル１２５別に対応する複数の光感知領域１８０ｄを備える。
【００３７】
ここで、発光センサ１８０ａは、ノズル１２５から吐出された噴射液１５０の移動経路上に光１９０を照射するが、該当ノズル１２５から噴射液１５０が吐出されているか否か、及び噴射液１５０の吐出量によって、受光センサ１８０ｂに届く光１９０ａの強さが異なってくる。
【００３８】
即ち、照射された光１９０が噴射液１５０に当たるとその表面で相当量が反射又は吸収されるため、噴射液１５０の吐出が発生する場合、光感知領域１８０ｄに届く光１９０ａの強さが減少し、これにより、噴射液１５０が正常に滴下されていることが分かる。
【００３９】
それに対して、特定ノズル１２５が異物などにより塞がった場合、特定ノズル１２５に対応する光感知領域１８０ｄが所定の強さの光１９０を連続的に受光し、これにより、ノズル１２５の閉塞によって噴射液１５０が正常に吐出されていないことが分かる。
【００４０】
また、受光センサ１８０ｂは、前述した検査の結果をデータに変換して制御部１８０ｃに送信し、制御部１８０ｃは、受信されたデータに基づいて不良ノズル１２５を判別し、不良ノズル１２５を隣接する正常ノズル１２５に代替して不良印刷領域に再噴射を行うようにヘッド１２０を駆動する。
【００４１】
一方、光センサ１８０ａ、１８０ｂは、ヘッド１２０が移動することによって流動的に対処できるため、噴射液１５０が被記録材１７０上に吐出される間、噴射液１５０の吐出状態をリアルタイムに観測することができる。
【００４２】
従って、従来のような、印刷工程完了後に被記録材の不良検査を別途に行う工程を省略することができ、リアルタイムに不良を把握することにより不良印刷領域の迅速な補修が可能である。
【００４３】
前述したように、本発明によるインクジェット印刷装置は、インクジェット印刷装置を構成する各ヘッドにノズル監視装置を備えることにより、ノズルの異常をリアルタイムに確認して不良印刷領域に直ちに再噴射を行う。
【００４４】
従って、正常に印刷された領域と噴射液が再噴射された領域との印刷状態が異質化することを最小化する。
【００４５】
本発明によるノズル監視装置は、該当ノズルの下部、即ち、噴射液移動経路を通過して光センサに感知される光の強さにより噴射液が吐出されているか否かを確認することができる。
【００４６】
以下、このように構成された本発明によるインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法について説明する。ここでは、前述した噴射液として配向剤を使用した場合の液晶表示装置の製造方法について説明する。
【００４７】
図４は本発明によるインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するための工程フローチャートである。
図には示していないが、本発明による液晶表示装置の製造工程は、下部基板に駆動素子を形成する駆動素子アレイ工程と、上部基板にカラーフィルタを形成するカラーフィルタ工程と、セル工程とに大別される。
【００４８】
図４に示すように、駆動素子アレイ工程により、下部基板上に配列されて画素領域を定義する複数のゲートライン及び複数のデータラインを形成し、前記各画素領域に前記ゲートライン及び前記データラインに接続される駆動素子である薄膜トランジスタを形成し（Ｓ１０１）、前記薄膜トランジスタに接続されて、該薄膜トランジスタを介して信号が供給されることによって液晶層を駆動する画素電極を形成する。
【００４９】
また、カラーフィルタ工程により、上部基板に、カラーを実現するＲ、Ｇ、Ｂのカラーフィルタ層及び共通電極を形成する（Ｓ１０４）。
【００５０】
次に、前記上部基板及び前記下部基板にそれぞれ配向剤を塗布して配向膜を形成した後、前記上部基板と前記下部基板の間に形成される液晶層の液晶分子に配向規制力又は表面固定力（即ち、プレチルト角及び配向方向）を提供するために、前記配向膜をラビングする（Ｓ１０２、Ｓ１０５）。
【００５１】
後続工程を説明する前に、以下、前記配向剤を塗布して配向膜を形成するための、インクジェット印刷装置を利用した印刷工程について図１〜図３を参照して説明する。
【００５２】
図１を参照すると、本発明によるインクジェット印刷工程は、被記録材１７０が位置するステージ１７０ａ、又はヘッド１２０が移動しながら行われ、ヘッド１２０が通過した被記録材１７０領域に印刷１３０が行われる。このとき、ヘッド１２０又はステージ１０７ａの移動中にヘッド１２０に形成されたノズルの一部を閉鎖することにより、被記録材１７０上に選択的に印刷を行うことができる。
【００５３】
また、インクジェット印刷装置１００のヘッド部は、被記録材１７０の大きさによって配向剤１５０の滴下面積を自由に調節できるように複数のノズルを有する、少なくとも１つのヘッド１２０で構成される。即ち、被記録材１７０が大型化するにつれてヘッド１２０又はノズルの数を増加させて、被記録材１７０の大型化に容易に対処し、印刷工程時間を調節することができる。
【００５４】
また、インクジェット印刷装置１００は、別途のノズル監視装置１８０を備えることにより、ノズル別に、配向剤１５０の吐出量と、ノズルが開状態であるか閉状態であるかをリアルタイムに検査する。その検査の結果、不良ノズルと判定されたノズルは正常ノズルに代替して、前記不良ノズルによる不良印刷領域に配向剤１５０の再噴射が行われるようにする。
【００５５】
ノズル監視装置１８０は、ヘッド１２０を構成する各ノズルに一対に対応する複数の光センサ１８０ａ、１８０ｂと、不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するようにヘッド１２０を駆動する制御部１８０ｃとを含む。
【００５６】
より詳しくは、ノズル監視装置１８０は、ヘッド１２０の一方の側に装着され、ノズルから吐出された配向剤の移動経路上に光を照射する発光センサ１８０ａと、ヘッド１２０の他方の側に装着され、発光センサ１８０ａから照射された光を感知して、光の強さによって該当ノズルから噴射された配向剤の噴射量及び噴射状態を検査し、その結果をデータに変換する受光センサ１８０ｂと、前記データを受信して不良ノズルと判定されたノズルを正常ノズルに代替して印刷するようにヘッド１２０に信号を送る制御部１８０ｃとを含む。
【００５７】
また、ノズル監視装置１８０の光センサ１８０ａ、１８０ｂは、それぞれヘッド１２０に一対に対応するように装着され、全てのヘッド１２０における配向剤１５０の吐出状態を同時に検査することができる。特に、受光センサ１８０ｂは、ヘッド１２０を構成する各ノズル１２５を検査できるように、ノズル１２５別に対応する複数の光感知領域１８０ｄを備える。
【００５８】
また、図２及び図３を参照すると、発光センサ１８０ａは、ノズル１２５から吐出された配向剤１５０の移動経路上に光１９０を照射するが、該当ノズル１２５から配向剤１５０が吐出されているか否か、及び配向剤１５０の吐出量によって、受光センサ１８０ｂに届く光１９０ａの強さが異なってくる。
【００５９】
即ち、照射された光１９０が配向剤１５０に当たるとその表面で相当量が反射又は吸収されるため、配向剤１５０の吐出が発生する場合、光感知領域１８０ｄに届く光１９０ａの強さが減少し、これにより、配向剤１５０が正常に滴下されていることが分かる。
【００６０】
それに対して、特定ノズル１２５が異物などにより塞がった場合、特定ノズル１２５に対応する光感知領域１８０ｄが所定の強さの光１９０を連続的に受光し、これにより、ノズル１２５の閉塞によって配向剤１５０が正常に吐出されていないことが分かる。
【００６１】
また、受光センサ１８０ｂは、前述した検査の結果をデータに変換して制御部１８０ｃに送信し、制御部１８０ｃは、受信されたデータに基づいて不良ノズル１２５を判別し、不良ノズル１２５を隣接する正常ノズル１２５に代替して不良印刷領域に再噴射を行うようにヘッド１２０を駆動する。
【００６２】
一方、光センサ１８０ａ、１８０ｂは、ヘッド１２０が移動することによって流動的に対処できるため、配向剤１５０が被記録材１７０上に吐出される間、配向剤１５０の吐出状態をリアルタイムに観測することができる。
【００６３】
また、各ヘッド１２０に備えられたノズル監視装置１８０により、ノズルの異常をリアルタイムに確認して不良印刷領域に直ちに再噴射を行う。  このようにインクジェット印刷工程を完了した後にラビング工程を施す。
【００６４】
その後、図４に示すように、前記下部基板にセルギャップを一定に維持するためのスペーサを散布し、前記上部基板の外郭部にシール材を塗布した後、前記下部基板と前記上部基板に圧力を加えて貼り合わせる（Ｓ１０３、Ｓ１０６、Ｓ１０７）。
【００６５】
一方、前記下部基板及び前記上部基板は、大面積のガラス基板からなり、大面積のガラス基板に複数のパネル領域が形成され、前記パネル領域のそれぞれに駆動素子である薄膜トランジスタ及びカラーフィルタ層が形成されるため、個々の液晶パネルを製作するために、前記ガラス基板を切断、及び加工する（Ｓ１０８）。
【００６６】
その後、前記加工された個々の液晶パネルに液晶注入口から液晶を注入し、該液晶注入口を封止して液晶層を形成した後、各液晶パネルを検査することにより、液晶表示装置を製作する。（Ｓ１０９、Ｓ１１０）。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明によるインクジェット印刷装置の一実施形態及びこれを利用して被記録材に噴射液を吐出させる方法を示す図である。
【図２】本発明によるインクジェット印刷装置の正面図である。
【図３】本発明によるインクジェット印刷装置の噴射面を示す図である。
【図４】本発明によるインクジェット印刷装置を利用した液晶表示装置の製造方法を説明するための工程フローチャートである。
【図５】従来のインクジェット印刷装置の側面を示す図である。
【符号の説明】
【００６８】
１０、１００  インクジェット印刷装置
２０、１２０  ヘッド
２５、１２５  ノズル
５０、１５０  噴射液
６０、１６０  噴射液供給部
７０、１７０  被記録材
１８０  ノズル監視装置
１８０ａ  発光センサ
１８０ｂ  受光センサ
１８０ｃ  制御部
１８０ｄ  光感知領域
【図１】
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【図２】
2006213051.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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