(57)【要約】  【課題】  永久磁石の偏芯を低減でき、永久磁石の耐破損性を高めることができる回転子を提供する。  【解決手段】  その外周部に凸条２１を有する内筒２と、該内筒２の外周りに遊嵌され、前記内筒２との間で前記永久磁石４を被覆する外筒３と、前記内筒２及び外筒３間に充填され、前記永久磁石４を保持するシリコン系合成樹脂からなる緩衝層５と、前記内筒２の内側に挿脱可能に内嵌され、前記内筒２と一体に回転する支持筒１とを備える構成とした。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石保持筒の周りに複数の永久磁石を配置してなる回転子において、前記磁石保持筒は、内筒と、該内筒の外周りに遊嵌され、前記内筒との間で前記永久磁石を被覆する外筒と、前記内筒及び外筒間で前記永久磁石を保持する緩衝層とを備えていることを特徴とする回転子。
【請求項２】
前記内筒の内側に挿脱可能に内嵌され、前記内筒と一体に回転する支持筒を備えている請求項１記載の回転子。
【請求項３】
内筒の外周部に環状の複数の永久磁石を仮止めする工程と、前記永久磁石の外周りに複数の外筒を遊嵌する工程と、その板厚方向に貫通し、前記内筒及び外筒間の空間に臨む貫通孔を有する環状板を隣合う前記外筒間に配置して該外筒を中心軸線方向へ離隔させる工程と、前記内筒及び外筒間の空間に溶融された緩衝材を供給して緩衝層を形成する工程と、前記環状板を取外す工程とを含むことを特徴とする回転子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電動モータの回転子及びこれの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電動モータは、磁石保持筒及び該磁石保持筒の外周部に配置される永久磁石とを有する回転子と、前記永久磁石の外周りに配置される固定子とを備えている。しかし、電動モータは、回転子が固定子に対して偏芯し易く、また、回転子が固定子に対して傾き易いという問題があり、さらに、永久磁石部の渦電流損失が生じ易く、また、永久磁石部の熱変形によって永久磁石が割れる等の問題があった。
【０００３】
回転子の偏芯、傾きを低減する回転子として、円筒形の永久磁石及び該永久磁石の内側に結合された特殊ゴム製の緩衝層を有する回転子（例えば、特許文献１参照）が知られている。
また、永久磁石部の渦電流損失を低減する回転子として、円筒形の複数の永久磁石間に絶縁層を有する回転子（例えば、特許文献２参照）が知られている。
また、熱破壊を防ぐことができる回転子として、磁石保持筒に円筒形の永久磁石が遊嵌され、該永久磁石がシリコン系接着剤により磁石保持筒に接着された回転子（例えば、特許文献３参照）が知られている。
【特許文献１】特開２００１−３２７１０５号公報
【特許文献２】特開平０８−１６３８０１号公報
【特許文献３】特開平０８−１５４３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１のように構成された回転子にあっては、低速回転で高トルクを必要とし、さらに比較的高温になることが予想される電動パワーステアリング装置の電動モータに採用した場合、熱により永久磁石に割れが発生し易いという問題がある。
【０００５】
また、特許文献２のように構成された回転子にあっては、前記電動パワーステアリング装置の電動モータに採用した場合、熱により回転子が変形し、この変形部により絶縁層が圧迫され、永久磁石に割れが発生し易いという問題がある。
【０００６】
また、特許文献３のように構成された回転子にあっては、円筒形の単一の永久磁石が用いられるため、永久磁石が巨大であり、永久磁石の製作が困難であるという問題がある。
【０００７】
操舵補助用として電動モータが使用される電動パワーステアリング装置の前記電動モータとして、回転子の磁石保持筒が操舵軸の途中に一体的に結合され、減速機構を経ることなく電動モータの回転力を操舵軸に直接伝動するように構成された場合、低速回転で高トルクを必要とするが、電動モータは車室に配置されるため、電動モータを径方向に大きくして高トルクが得られるように構成すると、電動モータの回転子を単純な円柱と見なした場合、一般に円柱のイナーシャ（慣性）は外径Ｄの二乗と質量Ｍに比例し、電動パワーステアリング装置においては外径Ｄの大径化によって慣性項が増大しステアリングホイールの戻り特性などが悪化するので高度な補正制御または補正機構の取付けを要求され、コストが増加し車両側で許容されている体積余裕を超え周辺機器との設置上の干渉を引き起こすため、前記構成を採用できない場合が発生しやすく車体への実装が難しい。大径化時のイナーシャ低減のために中空円筒にした場合、イナーシャは前記中空円筒の外径Ｄの二乗と内径ｄの二乗の和で示され、外径項と内径項とは質量Ｍにそれぞれ比例するので、軸方向長さＬ分だけ内径ｄにて円柱を肉抜きしただけでは回転子自体は軽量化するが、必ずしも円柱時のイナーシャよりも低減できるとは限らない。多くの前記のような場合に対応するためには、電動モータは軸長方向に長くして高トルクを得ることが要求される。
【０００８】
ここで、永久磁石の生成上有する特徴として磁化の配向方向がある。磁化の配向方向とは、磁区と呼ばれる永久磁石内の組成組織が外部からの二次元又は三次元的な着磁磁界を与えられることで所定の磁化方向（一般にＮ極、Ｓ極と呼ばれる磁力の向き）にて磁化されることで決定されるものである。
磁化の配向方向が決定された永久磁石は、その永久磁石の使用者の仕様によって着磁状態もしくは消磁された非着磁状態で出荷される事が多い。
【０００９】
磁化の配向方向が決定された永久磁石は着磁する際に、磁化配向上の性質として磁化し易い方向（以下磁化容易軸と呼び永久磁石の生成上、磁力の向きとほぼ一致する事が多い）と、磁化し難い方向（以下磁化困難軸と呼び永久磁石の生成上、磁力の向きに対して直角方向を指し示す事が多く、これはほぼ永久磁石の積層方向と周方向とに等しい場合が多い）とを考慮する必要がある。
【００１０】
磁化容易軸と磁化困難軸の熱膨張係数は一般的には共に正の値を有するが、ネオジオム−鉄−ボロン系等の希土類系永久磁石では、磁化困難軸が負の値を有するものが多く、永久磁石を積層してモータ軸に隙間なく配設した場合、低温時に永久磁石がモータ軸方向且つ周方向に膨張し、永久磁石の内部に有する残留応力等と永久磁石の軸方向と周方向の配置関係との相乗効果によって破損するという問題がある。
前記ネオジオム−鉄−ボロン系等の希土類系永久磁石をモータ軸に積層する場合には、何らかの方法によって破損を回避するための所定の隙間を作る、或いはモータ軸と永久磁石の膨張収縮に十分に追従できる高い可逆性を有し且つ周辺環境特性（湿気、耐油性、温度、耐塩性など）に対する所定の耐久仕様を満足できる高性能な接着剤と、接着剤としての性能が十分に確保できる必要接着層幅を設ける必要がある。
【００１１】
しかしながら、前記接着層や永久磁石の破損を回避するための所定の隙間を設けることにより、軸長方向長さが長くなるに従い、回転子に複数個配設された永久磁石の外周及びモータ軸又はステアリングシャフトに対する各種幾何交差（同軸度、真円度、円筒度など）をコストなどの諸事情から甘く設定していく必要が生じ、結果的に回転子自体の偏心量が増大するため、前記構成を持つ電動パワーステアリング装置において、脈動トルクの増大や操舵感の悪化が生じるという問題がある。
【００１２】
特に前記周辺環境特性においては、電動パワーステアリング装置に要求される近年の一般的な温度保証範囲は車室内では−４０°Ｃから＋８５°Ｃ程度であるが、実質的な耐久保証上エンジンルーム内に搭載されるものを含め−４０°Ｃから＋１２５°Ｃまでを要求されることが多く、各部品ごとでは最高−５５°Ｃから＋１８０°Ｃ仕様までカバーしなければならない部品も存在し、２００°Ｃ以上の温度変化に超長期間耐え得る必要に迫られる場合がある。
これら事情を踏まえ、高トルクを得るために軸長方向長さを長くすると、回転子の持つ機械的ねじれ量の増大が起こり、運転者の不快感（操舵軸上にばねが介在するような感覚）を増長させるため、回転子全体に或る所定の剛性を保持させながら、前記温度膨張収縮の寸法変化に対する品質面と性能面とコスト面とのバランスを考慮しつつ、電動パワーステアリング装置の操舵感の悪化に対応していく事は大きな設計課題となっている。
【００１３】
以上により電動モータの軸長方向長さが長くなるに従って回転子の永久磁石及び回転子の製作が難しくなり、また、熱変形により永久磁石が割れ易くなるという問題がある。
【００１４】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、回転子の偏芯を低減でき、永久磁石の耐破損性を高めることができる回転子を提供することを目的とし、また、回転子の剛性を所定量保持しながら軸長方向長さが比較的長い回転子を容易に製造することができる製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
第１発明に係る回転子は、磁石保持筒の周りに複数の永久磁石を配置してなる回転子において、前記磁石保持筒は、内筒と、該内筒の外周りに遊嵌され、前記内筒との間で前記永久磁石を被覆する外筒と、前記内筒及び外筒間で前記永久磁石を保持する緩衝層とを備えていることを特徴とする。
【００１６】
第２発明に係る回転子は、第１発明において、前記内筒の内側に挿脱可能に内嵌され、前記内筒と一体に回転する支持筒を備えていることを特徴とする。
【００１７】
第３発明に係る回転子の製造方法は、内筒の外周部に環状の複数の永久磁石を仮止めする工程と、前記永久磁石の外周りに複数の外筒を遊嵌する工程と、その板厚方向に貫通し、前記内筒及び外筒間の空間に臨む貫通孔を有する環状板を隣合う前記外筒間に配置して該外筒を中心軸線方向へ離隔させる工程と、前記内筒及び外筒間の空間に溶融された緩衝材を供給して緩衝層を形成する工程と、前記環状板を取外す工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
第１発明によれば、永久磁石は内筒及び外筒間に配置され、内筒及び外筒間で緩衝層により保持されているため、永久磁石の偏芯を低減でき、永久磁石の耐破損性を高めることができ、さらに、熱による永久磁石の破損を低減できる。しかも、複数の永久磁石は内筒、外筒及び緩衝層と一体に形成されているため、電動モータへの組込みを簡易に行うことができる。
【００１９】
第２発明によれば、永久磁石を備える内筒を支持筒に対して挿脱することができるため、永久磁石部分の交換を簡易にでき、支持筒は内筒を支持する事ができれば良いため、支持筒の形状に回転子構造が依存しなくなり、支持筒に衝撃吸収機構を設けるなどの従来の回転子構造では与える事が難しかった高い設計自由度を支持筒に付与できる。
【００２０】
第３発明によれば、永久磁石及び外筒を複数とし、この永久磁石及び外筒を一つの内筒と一体にできるため、軸長方向長さが比較的長い回転子を容易に製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。
実施の形態１
図１は本発明に係る回転子の構成を示す模式的斜視図、図２は図１のII−II線の拡大断面図、図３は図１の III−III 線の拡大断面図、図４の(a) ，(b) は永久磁石の斜視図である。
【００２２】
回転子は円筒形の支持筒１と、該支持筒１に挿離可能に外嵌される金属製の内筒２と、該内筒２の外周りに遊嵌される金属製の外筒３と、内筒２及び外筒３間に配置される複数の永久磁石４と、該永久磁石４を内筒２及び外筒３間で保持する緩衝層５とを備える。
【００２３】
内筒２はアルミニウム等の金属製のパイプからなり、中心軸線方向へ離隔した複数の位置から径方向外側へ突出する環状の凸条２１が成形されている。
【００２４】
永久磁石４は図４の(a) のように湾曲した略直方体をなしているが、その他、(b) のように非湾曲の略直方体をなす形状であってもよく、その形状は特に制限されない。この永久磁石４の一面に凸条２１に係合する溝４１が設けられており、各凸条２１に沿って内筒２の複数の周方向位置に配置され、溝４１が凸条２１と係合することにより永久磁石４の内筒２に対する位置が決められるように構成されている。周方向位置の永久磁石４間には第１の非永久磁石部ａを有し、中心軸線方向位置の永久磁石４間には第２の非永久磁石部ｂを有する。
【００２５】
緩衝層５は伸長性を有し、耐熱性等に優れたシリコン系の合成樹脂材からなり、溶融している状態で内筒２及び外筒３間の空間に充填され、固化することにより永久磁石４を包み込み、該永久磁石４を緩衝的に保持するように形成されている。
【００２６】
外筒３はアルミニウム等の金属製のパイプからなり、凸条２１に沿って複数の周方向位置に配置された永久磁石４の外周りに遊嵌される大きさに形成され、内筒２との間で永久磁石４を被覆しており、第１及び第２の非永久磁石部ａ，ｂと対応する箇所が凹条にカシメられ、永久磁石４の位置ずれを防いでいる。
【００２７】
以上のように構成された回転子の製造は、立設された円柱形治具に内筒２を嵌入し、該内筒２の外周りに外筒３を遊嵌し、内筒２及び外筒３間に複数の永久磁石４を挿入し、該永久磁石４の溝４１を内筒２の凸条２１に係合させることにより、永久磁石４の位置を決め、次に内筒２及び外筒３間の空間に溶融したシリコン系の合成樹脂材を充填し、この合成樹脂材が固化することにより緩衝層５が形成され、該緩衝層５が各永久磁石４を保持している。そして、外筒３における第１及び第２の非永久磁石部ａ，ｂと対応する箇所が凹条にカシメられ、永久磁石４の位置ずれを防いでおり、内筒２、複数の永久磁石４、緩衝層５及び外筒３が一体化している。このように永久磁石部分は一体化しているため、電動モータへの組付けを簡易に行うことができる。しかも、永久磁石４は同芯となる内筒２及び外筒３間に緩衝層５により保持されているため、永久磁石４の偏芯を低減でき、永久磁石４の耐破損性等を高めることができ、さらに、永久磁石４は伸長性を有し、耐熱性に優れたシリコン系の合成樹脂材からなる緩衝層５が保持しているため、熱による永久磁石４の破損を防ぐことができる。
【００２８】
図５は本発明に係る回転子を有する電動モータが組み込まれた電動パワーステアリング装置の構成を示す模式図である。以上のように製造された永久磁石４の組体は磁性を有する支持筒１に挿脱可能に外嵌固定され、回転子となる。この回転子は例えば電動パワーステアリング装置における操舵軸１０の途中に支持筒１が一体的に結合される。尚、図５において、１１は操舵軸１０の上端に連なるステアリングホイール、１２は回転子を回転自在に支持したモータハウジング、１３はモータハウジング１２の内側に固定された固定子、１４は操舵軸１０の下端に自在軸継手を介して連動連結された中間軸、１５は中間軸の下端に連動連結された伝動軸が有するピニオン、１６はピニオン１５に噛合するラック歯を有するラック軸である。
【００２９】
実施の形態２
図６は実施の形態２の構成を示す模式的斜視図である。この回転子は実施の形態１のように内筒２の複数の中心軸線方向位置に配置される永久磁石４の周方向位置を等しくする代わりに、中心軸線方向位置に配置される永久磁石４の周方向位置を交互に変え（図６参照）、第１の非永久磁石部ａ、ひいては外筒３のカシメ部を交互に変えたものであり、縦断側面の形状及び横断平面の形状は図２、図３と同様であり、実施の形態１と同様に製造される。
その他の構成及び作用は実施の形態１と同様であるため、同様の構成については同じ符号を付し、その詳細な説明及び作用効果の説明を省略する。
【００３０】
実施の形態３
図７は実施の形態３の構成を示す模式的斜視図、図８は内筒２の斜視図、図９は永久磁石４の斜視図である。この回転子は実施の形態１、２のように略直方体をなす永久磁石４を用いる代わりに、円筒形をなす複数の永久磁石４を内筒２及び外筒３間で緩衝層５により保持したものである。
【００３１】
実施の形態３において、アルミニウム等の金属製のパイプからなる内筒２は、両端に亘って径方向外側へ突出する螺旋の凸条２２が成形されている。
【００３２】
永久磁石４は内筒２より若干大径とした円筒形をなし、内周面に螺旋の凸条２２に係合する螺旋の溝４２が両端に亘って設けられており、凸条２２に沿って内筒２の複数の中心軸線方向位置に配置され、溝４２が凸条２２と係合することにより永久磁石４の内筒２に対する位置が決められ、永久磁石４間に第３の非永久磁石部ｃができるように構成されている。
【００３３】
アルミニウム等の金属製のパイプからなる外筒３は、第３の非永久磁石部ｃと対応する箇所が凹条にカシメられ、永久磁石４の位置ずれを防いでいる。
【００３４】
実施の形態３のように構成された回転子の製造は、立設された円柱形治具に内筒２を嵌入し、該内筒２の外側に複数の永久磁石４を挿嵌する。この永久磁石４は溝４２を凸条２２に係合させて回すことにより凸条２２に沿って挿嵌することができ、第３の非永久磁石部ｃの間隔で停止させる。次に永久磁石４の外周りに外筒３を遊嵌し、内筒２及び外筒３間の空間に溶融したシリコン系の前記合成樹脂材を充填し、この合成樹脂材が固化することにより緩衝層５が形成され、該緩衝層５が各永久磁石４を緩衝的に保持している。そして、外筒３における第３の非永久磁石部ｃと対応する箇所が凹条にカシメられ、永久磁石４の位置ずれを防いでおり、内筒２、複数の永久磁石４、緩衝層５及び外筒３が一体化している。  その他の構成及び作用は実施の形態１と同様であるため、同様の構成については同じ符号を付し、その詳細な説明及び作用効果の説明を省略する。
【００３５】
実施の形態４
図１０は実施の形態４の構成を示す模式的斜視図、図１１は図１０のXI−XI線の拡大断面図、図１２は図１０の XII−XII 線の拡大断面図、図１３は環状板の平面図である。この回転子は実施の形態１、２のように直方体をなす永久磁石４を用いる代わりに、円筒形をなす複数の永久磁石４を内筒２及び複数の外筒３間で緩衝層５により保持したものである。
【００３６】
実施の形態４において、アルミニウム等の金属製のパイプからなる内筒２の外周部には、中心軸線方向へ離隔した複数の位置に接着剤が塗布されている。
【００３７】
永久磁石４は内筒２より若干大径とした円筒形をなし、内筒２の外周りに挿嵌し、前記接着剤により仮止めされる。
【００３８】
外筒３は永久磁石４とほぼ等しい長さに形成されており、各外筒３及び各永久磁石４間に環状板６を配置し、各外筒３及び各永久磁石４を内筒２の中心軸線方向へ離隔させている。
【００３９】
環状板６は、内筒２とほぼ同径の内径を有し、外筒３より大径の外径を有する円板からなり、周方向の一部にスリット６１が設けられており、該スリット６１により拡径可能に構成されている。また、複数の周方向位置に、その板厚方向に貫通し、永久磁石４及び外筒３間の第１の空間に臨む貫通孔６２ａと、永久磁石４及び内筒２間の第２の空間に臨む貫通孔６２ｂとが設けられている。
【００４０】
実施の形態４のように構成された回転子の製造は、立設された円柱形治具に、外周部に接着剤が塗布されている内筒２を嵌入し、該内筒２の外側に永久磁石４を挿嵌し、該永久磁石４を前記接着剤により内筒２に仮止めし、該永久磁石４の外周りに外筒３を遊嵌し、さらに、内筒２の外側に環状板６を挿嵌する。そして、永久磁石４、外筒３及び環状板６を順次挿嵌する。この場合、隣合う永久磁石４間及び隣合う外筒３間に環状板６が介在され、環状板６の外径側の貫通孔６２ａが永久磁石４及び外筒３間の第１の空間に臨み、各永久磁石４及び各外筒３間の第１の空間は外径側の貫通孔６２ａにより連通する。同様に、環状板６の内径側の貫通孔６２ｂが永久磁石４及び内筒２間の第２の空間に臨み、この第２の空間は内径側の貫通孔６２ｂにより連通する。次に、内筒２及び永久磁石４間の第２の空間と、永久磁石４及び外筒３間の第１の空間とに溶融したシリコン系の前記合成樹脂材を充填する。第２の空間に供給される合成樹脂材は環状板６の内径側の貫通孔６２ｂを通過し、仮止め用の接着剤間を経てそれぞれの第２の空間に充填され、また、第１の空間に供給される合成樹脂材は環状板６の外径側の貫通孔６２ａを経てそれぞれの第１の空間に充填される。充填された合成樹脂材が固化することにより緩衝層５が形成され、該緩衝層５が各永久磁石４及び各外筒３を保持する。次に、各環状板６を径方向外方へ引張り、環状板６を破壊させて取外すことにより内筒２、複数の永久磁石４、緩衝層５及び複数の外筒３が一体化しており、永久磁石４間及び外筒３間に環状溝が形成されている。
その他の構成及び作用は実施の形態１と同様であるため、同様の構成については同じ符号を付し、その詳細な説明及び作用効果の説明を省略する。
【００４１】
実施の形態５
図１４は実施の形態５の構成を示す模式的斜視図である。この回転子は実施の形態１のように外筒３における第１の非永久磁石部ａと対応する箇所が凹条にカシメられた構成とする代わりに、実施の形態５の環状板６を用い、緩衝層５を形成した後、環状板６を径方向外方へ引張り、環状板６を破壊させて取外すことにより第１の非永久磁石部ａ（永久磁石４間）に環状溝ｄができるように構成したものである。
【００４２】
実施の形態５において、内筒２、永久磁石４は実施の形態１のものを用い、外筒３及び環状板６は実施の形態４のものを用い、内筒２及び外筒３間の空間に溶融したシリコン系の合成樹脂材を充填し、この合成樹脂材が固化することにより緩衝層５が形成され、該緩衝層５が各永久磁石４を保持している。そして、外筒３における第２の非永久磁石部ｂと対応する箇所が凹条にカシメられ、永久磁石４の位置ずれを防いでおり、さらに、各環状板６を径方向外方へ引張り、環状板６を破壊させて取外すことにより内筒２、複数の永久磁石４、緩衝層５及び複数の外筒３が一体化しており、永久磁石４間及び外筒３間に環状溝ｄが形成されている。
その他の構成及び作用は実施の形態１、４と同様であるため、同様の構成については同じ符号を付し、その詳細な説明及び作用効果の説明を省略する。
【００４３】
尚、以上説明した実施の形態の回転子は、支持筒１を備える構成としたが、その他、支持筒１をなくし、内筒２、外筒３、永久磁石４及び緩衝層５を有する構成としてもよい。
また、以上説明した実施の形態では内筒２及び外筒３間に中心軸線方向に複数の永久磁石４が配置された構成としたが、その他、内筒２の中心軸線方向に配置される永久磁石４は一つであってもよい。
また、本発明に係る回転子はブラシレス型の電動モータに組み込まれるが、その他、ブラシ型の電動モータに組み込まれてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係る回転子の構成を示す模式的斜視図である。
【図２】図１のII−II線の拡大断面図である。
【図３】図１のIII −III 線の拡大断面図である。
【図４】本発明に係る回転子の永久磁石の斜視図である。
【図５】本発明に係る回転子を有する電動モータが組込まれた電動パワーステアリング装置の構成を示す模式図である。
【図６】本発明に係る回転子の実施の形態２の構成を示す模式的斜視図である。
【図７】本発明に係る回転子の実施の形態３の構成を示す模式的斜視図である。
【図８】本発明に係る回転子の内筒の斜視図である。
【図９】本発明に係る回転子の永久磁石の斜視図である。
【図１０】本発明に係る回転子の実施の形態４の構成を示す模式的斜視図である。
【図１１】図１０のXI−XI線の拡大断面図である。
【図１２】図１０のXII −XII 線の拡大断面図である。
【図１３】本発明に係る回転子の環状板の平面図である。
【図１４】本発明に係る回転子の実施の形態５の構成を示す模式的斜視図である。
【符号の説明】
【００４５】
１    支持筒
２    内筒（磁石保持筒）
３    外筒（磁石保持筒）
４    永久磁石
５    緩衝層
６    環状板
６２ａ，６２ｂ  貫通孔
【図１】
2006109676.tif 000003
【図２】
2006109676.tif 000004
【図３】
2006109676.tif 000005
【図４】
2006109676.tif 000006
【図５】
2006109676.tif 000007
【図６】
2006109676.tif 000008
【図７】
2006109676.tif 000009
【図８】
2006109676.tif 000010
【図９】
2006109676.tif 000011
【図１０】
2006109676.tif 000012
【図１１】
2006109676.tif 000013
【図１２】
2006109676.tif 000014
【図１３】
2006109676.tif 000015
【図１４】
2006109676.tif 000016