(57)【要約】【課題】半導体ウエハにテープｔを適正に貼着させると共に使い勝手を良好に維持させる。【解決手段】基礎台２の上側に上部構造部１０１を左右向き支点軸１回りの上下揺動可能に装設し、上部構造部１０１は左右各側の前後向き側面板２５を左右向き結合部材１、２６で結合した枠構造体１０１ａを備えると共に起立状態に位置保持可能となされ、且つ、左右の前後向き側面板２５の間には、第１左右向き支持軸体２７ａと、第２左右向き支持軸体２７ｂと、テープ剥離要部５１と、左右向き押圧ローラ４４と、左右向きの送りローラ３９とを備えており、この際、前記第１左右向き支持軸体２７ａ、前記第２左右向き支持軸体２７ｂ及び前記送りローラ３９のそれぞれの左右各端部寄り個所がその対応する側の前記前後向き側面板２５に支持された構成となす。【選択図】図１
2006327820.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基礎台の上側に上部構造部を左右向き支点軸回りの上下揺動可能に装設し、上部構造部は左右各側の前後向き側面板を左右向き結合部材で結合した枠構造体を備えると共に起立状態に位置保持可能となされ、且つ、左右の前後向き側面板の間には、積層テープをロール巻きしたテープロールを回転可能に支持する第１左右向き支持軸体と、積層テープを巻き取る筒心部材を回転可能に支持する第２左右向き支持軸体と、積層テープから粘着テープを剥離させるテープ剥離要部と、テープ剥離要部により剥離された粘着テープを上部構造部が下方揺動され使用状態位置に存在している状態の下での下方へ押圧する左右向き押圧ローラと、前記テープロールから積層テープを引き出す左右向きの送りローラとを備えており、この際、前記第１左右向き支持軸体、前記第２左右向き支持軸体及び前記送りローラのそれぞれの左右各端部寄り個所がその対応する側の前記前後向き側面板に支持されていることを特徴とするウエハテープマウンタ。
【請求項２】
前記基礎台に２本の左右向きガイドローラを前後に近接して上下変位自在に配設すると共に前記ガイドローラのそれぞれを弾性部材の弾力で上方へ付勢されて一定高さ位置に保持された状態となし、且つ、前記上部構造部が水平な使用状態位置に位置されたとき、前記送りローラと前記２本の左右向きガイドローラとが前記積層テープを前記弾性部材の弾力で挟み付けた状態となることを特徴とする請求項１記載のウエハテープマウンタ。
【請求項３】
前記上部構造部を使用状態位置から起立状態位置に上方揺動させたとき、前記上部構造部に支持された前記積層テープは前記上部構造部に支持されたまま、前記基礎台の構成部材に接触しない状態に上昇されることを特徴とする請求項１又２記載のウエハテープマウンタ。
【請求項４】
前記上部構造部が使用状態位置に存在している状態の下で、前から順に前記押圧ローラ、前記テープ剥離要部及び前記送りローラが配置されており、前記第１左右向き支持軸体に保持されたテープロールから引き出された積層テープが、前記テープ剥離要部及び前記送りロールをこの順に通過し、この後、前記第２左右向き支持軸体の筒心部材に到達し巻き取られるように案内され保持される構成を特徴とする請求項１、２又３記載のウエハテープマウンタ。
【請求項５】
前記上部構造部が使用状態位置に位置されたとき、前記テープ剥離要部と前記送りロールとの間に位置した前記積層テープの一部である積層テープ部分が前記テープ剥離要部と前記送りロールとの間に設けられた一対の左右向き案内軸で側面視特定方向へ案内されており、この際、前記送りロールに近い側の前記左右向き案内軸は前記上側構造体に設けられて前記積層テープ部分を上側から押圧し、他方の前記左右向き案内軸は前記基礎台に設けられて前記積層テープ部分を下側から押圧する構成であることを特徴とする請求項４記載のウエハテープマウンタ。
【請求項６】
前記基礎台と関連した位置に、上面にウエハの載置されるテーブルを前後移動可能に設け、この際、前記送りロールに近い側の前記左右向き案内軸は他方の前記左右向き案内軸よりも前記テーブルの上面に近接して配置され、他方の前記左右向き案内軸は前記送りロールに近い側の前記左右向き案内軸よりも高い位置に配置されていることを特徴とする請求項５記載のウエハテープマウンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、半導体ウエハの片面にテープを貼着するものとしたウエハテープマウンタに関し、特にテープの貼着の的確性を向上させることを特徴としている。
【背景技術】
【０００２】  半導体ウエハの片面にテープを貼着するものとしたウエハテープマウンタとして、例えば特許文献１に示されるようなものが存在している。このウエハテープマウンタでは、テープの移動する移動経路をローラなどの細長状の周面案内部材の多数で形成され、これら周面案内部材はその円筒状周面でテープを展開状態のままその円筒状周面の直径方向へ案内するようになされている。そして、これら周面案内部材のそれぞれは一端側を縦向き支持面部に支持され片持ち水平状に保持された状態となされている。【０００３】
【特許文献１】特開２００２−５７２０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  上記した特許文献１に示すウエハテープマウンタにおいては、周面案内部材のそれぞれが一端側を縦向き支持面部に支持されて片持ち水平状に保持されているため、テープが移動経路を引き移動される過程でその張力が作用して、周面案内部材にテープの張力に起因した曲げ力が付与されたり或いは周面案内部材の自重に起因した曲げ力が付与されて、各周面案内部材に微視的な傾斜が発生し、各周面案内部材のテープ案内方向が厳密に一致しない状態となるのであり、また周面案内部材をなすローラの長期の使用によりその軸受などが前記曲げ力に起因して偏摩耗したときなどにもローラの外周面が微視的に傾斜して同様な事態を生じさせるのであり、この結果、移動経路上を引き移動されるテープはその張力の方向や分布が不均一な状態となり、半導体ウエハに適正に貼着されなくなるのである。【０００５】  本発明は、このような問題点を解決することができると共に使い勝手を良好に維持することのできるウエハテープマウンタを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  上記目的を達成するため、本発明に係るウエハテープマウンタは、請求項１に記載したように、基礎台の上側に上部構造部を左右向き支点軸回りの上下揺動可能に装設し、上部構造部は左右各側の前後向き側面板を左右向き結合部材で結合した枠構造体を備えると共に起立状態に位置保持可能となされ、且つ、左右の前後向き側面板の間には、積層テープをロール巻きしたテープロールを回転可能に支持する第１左右向き支持軸体と、積層テープを巻き取る筒心部材を回転可能に支持する第２左右向き支持軸体と、積層テープから粘着テープを剥離させるテープ剥離要部と、テープ剥離要部で剥離された粘着テープを上部構造部が下方揺動され使用状態位置に存在している状態の下での下方へ押圧する左右向き押圧ローラと、前記テープロールから積層テープを引き出す左右向きの送りローラとを備えており、この際、前記第１左右向き支持軸体、前記第２左右向き支持軸体及び前記送りローラのそれぞれの左右各端部寄り個所がその対応する側の前記前後向き側面板に支持されていることを特徴とするものである。【０００７】  上記発明は次のように具体化するのがよい。
即ち、請求項２に記載したように、前記基礎台に２本の左右向きガイドローラを前後に近接して上下変位自在に配設すると共に前記ガイドローラのそれぞれを弾性部材の弾力で上方へ付勢されて一定高さ位置に保持された状態となし、且つ、前記上部構造部が水平な使用状態位置に位置されたとき、前記送りローラと前記２本の左右向きガイドローとが前記積層テープを前記弾性部材の弾力で挟み付けた状態となる構成となす。【０００８】  また請求項３に記載したように、前記上部構造部を使用状態位置から起立状態位置に上方揺動させたとき、前記上部構造部に支持された前記積層テープは前記上部構造部に支持されたまま、前記基礎台の構成部材に接触しない状態に上昇される構成となす。【０００９】  また請求項４に記載したように、前記上部構造部が使用状態位置に存在している状態の下で、前から順に前記押圧ローラ、前記テープ剥離要部及び前記送りローラが配置されており、前記第１左右向き支持軸体に保持されたテープロールから引き出された積層テープが、前記テープ剥離要部及び前記送りロールをこの順に通過し、この後、前記第２左右向き支持軸体の筒心部材に到達し巻き取られるように案内され保持される構成となす。【００１０】  また請求項５に記載したように、前記上部構造部が使用状態位置に位置されたとき、前記テープ剥離要部と前記送りロールとの間に位置した前記積層テープの一部である積層テープ部分が前記テープ剥離要部と前記送りロールとの間に設けられた一対の左右向き案内軸で側面視特定方向へ案内されており、この際、前記送りロールに近い側の前記左右向き案内軸は前記上側構造体に設けられて前記積層テープ部分を上側から押圧し、他方の前記左右向き案内軸は前記基礎台に設けられて前記積層テープ部分を下側から押圧する構成となす。【００１１】  さらには請求項６に記載したように、前記基礎台と関連した位置に、上面にウエハの載置されるテーブルを前後移動可能に設け、この際、前記送りロールに近い側の前記左右向き案内軸は前記テーブルの上面に近接して配置され、他方の前記左右向き案内軸は前記送りロールに近い側の前記左右向き案内軸よりも高い位置に配置されている構成となす。
【発明の効果】
【００１２】  以上のような本発明によれば次のような効果が得られる。
即ち、
請求項１記載のものによれば、上部構造部が、積層テープをロール巻きしたテープロールを回転可能に支持する第１左右向き支持軸体と、積層テープを巻き取る筒心部材を回転可能に支持する第２左右向き支持軸体と、積層テープから粘着テープを剥離させるテープ剥離要部と、テープ剥離要部で剥離された粘着テープを上部構造部の通常使用状態下で下方へ押圧する左右向き押圧ローラと、前記テープロールから積層テープを引き出す左右向きの送りローラとを備えていることから、
上部構造部が上方へ起立された状態に保持されているときに、積層テープが基礎台側には全く接触しないで上部構造部における使用状態時のその移動経路を略略経るように支持された状態となすことができ、また第１左右向き支持軸体、第２左右向き支持軸体、テープ剥離要部、左右向き押圧ローラ及び送りローラが基礎台から離れた状態となってテープを上部構造部におけるその移動経路上に容易に位置させることが可能となり、また基礎台側におけるテープの案内部材は上部構造部の使用状態位置においてテープを上方へ押し上げるもののみで済むものとなるため、起立状態にて積層テープを移動経路に位置された後の上部構造部を左右向き支点軸回りの下方へ揺動させるのみでテープを適正な使用状態になすことができるものである。【００１３】  そして、第１左右向き支持軸体、第２左右向き支持軸体、左右向き押圧ローラ及び送りローラのそれぞれの左右各端部寄り個所がその対応する側の前後向き側面板に支持されていることから、第１左右向き支持軸体、第２左右向き支持軸体、左右向き押圧ローラ及び送りローラのそれぞれはこれにテープの張力が作用しても左右傾斜し難くなって、これら軸体及びローラの全てが正確な左右方向の並行状態を維持されテープをこれに作用した張力の方向、大きさ及び分布を比較的均等に保持させた状態で案内することができるものとなり、また押圧ローラや送りローラの軸受も均等摩耗する傾向が強くなって従来の偏摩耗による傾斜が防止て、先と同様に、テープはこれに作用した張力の方向、大きさ及び分布の比較的均等に保持された状態となり半導体ウエハに適正に貼着されるものとなるのである。【００１４】  また請求項２記載のものによれば、上部構造部を使用状態位置から起立状態位置に上方揺動させたとき、上部構造部に支持された積層テープは上部構造部に支持されたまま、基礎台のガイドローラに接触しない状態に上昇されるものとなすことができ、逆に上部構造部を起立状態位置から使用状態位置に下方揺動させたとき、送りローラと２本の左右向きガイドローとが積層テープを弾性部材の弾力で挟み付けた状態に復帰するものとなる。【００１５】  また請求項３記載のものによれば、上部構造部を使用状態位置から起立状態位置に上方揺動させたとき、上部構造部に支持された積層テープは上部構造部に支持されたまま、基礎台の構成部材に接触しない状態に上昇される構成となしたことから、上部構造部が基礎台に対して積層テープが絡まることなく上方へ移動させることができて、積層テープの交換や、上部構造部と基礎台との間に位置した構成部材の保守が容易に行えるようになる。【００１６】  また請求項４記載のものによれば、上部構造部が使用状態位置に存在している状態の下で、前から順に押圧ローラ、テープ剥離要部及び送りローラが配置されており、第１左右向き支持軸体に保持されたテープロールから引き出された積層テープが、テープ剥離要部及び送りロールをこの順に通過し、この後、第２左右向き支持軸体の筒心部材に到達し巻き取られるように案内され保持される構成となしたことから、
上部構造部が起立状態となさているとき、積層テープは上部構造部において第１左右向き支持軸体、テープ剥離要部、送りローラ及び第２左右向き支持軸体により基礎台側の部材に接触することなく支持されると共に、上部構造部が使用状態位置に位置されているときテープ剥離要部及び送りロールの下側を前側から後側へ引き移動されるものとなすことができ、また押圧ロールがテープ剥離要部の剥離させた粘着テープを、基礎台側で前後移動されるテーブルの上面に固定された半導体ウエハの片面に貼着させるように作動するものとなり、また上部構造部を起立状態となすことにより押圧ロール、テープ剥離要部及び送りローラを基礎台や前記テーブルから比較的大きく上方へ離すことができてこれらの保守を行い易くなすことができる。【００１７】  また請求項５記載のものによれば、上部構造部が使用状態位置に位置されたとき、テープ剥離要部と送りロールとの間に位置した積層テープの一部である積層テープ部分がテープ剥離要部と送りロールとの間に設けられた一対の左右向き案内軸で前後傾斜方向へ案内されており、この際、送りロールに近い側の左右向き案内軸は上側構造体に設けられて積層テープ部分を上側から押圧し、他方の左右向き案内軸は基礎台に設けられて積層テープ部分を下側から押圧する構成となしたことから、一対の左右向き案内軸を設けたにも拘わらず、上部構造部を使用状態位置から起立状態位置に上方揺動させたとき、上部構造部に支持された積層テープが上部構造部に支持されたまま、基礎台の構成部材に接触しない状態に上昇されるものとなり、また上部構造部が使用状態位置に位置されたときに、送りロールに近い側の左右向き案内軸が積層テープを上側から押圧して送りローラによる積層テープへの送り力の付与を有効に行わせるものとなり、また送りロールに遠い側の左右向き案内軸が積層テープを下側から押圧してテープ剥離要部か当該遠い側の左右向き案内軸までの積層テープ部分を上方へ離反させ基礎台側のテーブルの上面に干渉し難くなすことができる。【００１８】  さらには請求項６記載のものによれば、基礎台と関連した位置に、上面にウエハの載置されるテーブルを前後移動可能に設け、この際、送りロールに近い側の左右向き案内軸は他方の左右向き案内軸よりもテーブルの上面高さに近接して配置され、他方の左右向き案内軸は送りロールに近い側の左右向き案内軸よりも高い位置に配置されている構成となしたことから、基礎台、テーブル及び上部構造部からなる全体構造の高さを小さくなすことができるほか、一対の左右向き案内軸が積層テープの移動に適当な抵抗を付与して、送りロールによる積層テープへの送り力を積層テープの全左右方向幅に対し比較的均等に付与することができるのである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】  以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明に係るウエハテープマウンタの側面視断面図、図２は前記ウエハテープマウンタの正面図、図３は前記ウエハテープマウンタの平面図、図４は前記ウエハテープマウンタの上部構造を省略した平面図、図５は前記ウエハテープマウンタの斜め前から見た図、図６は前記上部構造部を起立させた状態を斜め前から見た図、図７は前記上部構造部を起立させた状態を斜め後から見た図、図８は前記ウエハテープマウンタのテープ剥離要部などを示す側面図、図９は前記テープ剥離要部の取付ベースを示しＡは正面図でＢは底面図でＣは側面図、図１０は前記テープ剥離要部の剥離用プレートを示すもので案内縁の曲がりを誇張して表現した平面視説明図、図１１は前記テープ剥離要部のテープ押さえを示しＡは平面図でＢは側面図、図１２は前記剥離用プレートによりリリーステープから粘着テープを剥離させている状態を示す説明図である。なお、図中ｘ１は前後方向を示し、ｘ２は左右方向を示す。【００２０】  これら図１〜図７において、１００は下部構造部であり、１０１は下部構造部１００に対し左右向き支点軸１を介して揺動可能に支持された上部構造部である。【００２１】  下部構造部１００は適宜な支持面上に載置される方形体状の基礎台２を備えており、該基礎台２の上面には、図４に示すように、左右向き支点軸１の各端部を転がり軸受を介して回動変位自在に支持する軸支持部材３、３が起立状に固定されると共に、軸支持部材３、３の前側ｘ１０に前後一対からなる左右向きのガイドローラ４、４が装設され、これらガイドローラ４、４の左右端部前側のそれぞれの箇所に溝形ガイド部５、５が固設されると共に、これら溝形ガイド部５、５の間となる基礎台２上にナット体６が固設されている。【００２２】  各ガイドローラ４の左右各端部は図１及び図６に示すようにその対応する上側支持板７に軸着されており、各上側支持板７はその対応する左右各位置の基礎台２箇所に固定された下側支持板８に支持されている。各下側支持板８は基礎台２の上面に固定されており、各下側支持板８はこれに対応する２つの上側支持板７、７のそれぞれを案内機構９を介して上下変位自在に支持し且つ各上側支持板７に対応したスプリング１０の弾力に抗して幾分の下降変位の許容された状態に支持している。【００２３】  前側ｘ１０のガイドローラ４の左右端部を支持した左右一対の上側支持板７、７のそれぞれの前縁からブラケット１１が前張り出し状に設けてあり、これらブラケット１１、１１の先端部間に直状案内軸１２が架設されている。またナット体６の近傍には非接触式のテープ存在センサ１３（図４参照）が基礎台２に支持された状態に設けられている。【００２４】  基礎台２の上面上には図２及び図４に示すようにテーブル１４が配置してあり、該テーブル１４の下面の左右各側に前後方向ｘ１の直条部材１５が固定されていて、これら直条部材１５、１５のそれぞれがその対応する溝形ガイド部５、５の溝に前後摺動自在に嵌合されており、これら溝形ガイド部５、５及び直条部材１５、１５はテーブル１４を基礎台２に対し前後移動自在に保持している。【００２５】  テーブル１４の下面前部には支持板１６が左右向きの垂直状に固設してあり、該支持板１６に固定された軸受部材１７を介して前後向きネジ軸１８が回転のみ自在に装着されており、前後向きネジ軸１８の後部がナット体６の前後方向ｘ１のネジ孔に螺合されている。また支持板１６にはステッピングモータ１９が前後向きｘ１に固設されており、該ステッピングモータ１９の出力軸に固定された歯付プーリ２０と、前後向きネジ軸１８の前端に固定された歯付プーリ２１との間に歯付ベルト２２が掛け回されている。従って、ステッピングモータ１９の出力軸が回転することで、前後向きネジ軸１８が回転され、該回転により前後向きネジ軸１８とナット体６との間にネジ送り作用が生成され、該ネジ送り作用により、テーブル１４は図１中に実線で示す収納位置ｐ１と図１中に仮想線で示す張り出し位置ｐ２との間で前後移動される。【００２６】  テーブル１４の上面の中央部には図１に示すように円形孔１４ａが形成されており、該円形孔１４ａの内方に円形板２３が上下移動可能に嵌挿されると共に、円形板２３と円形孔１４ａの底面との間に円形板２３を上方へ付勢するスプリング２４が設けられている。該円形板２３は自由状態ではスプリング２４、２４の弾力で図示の高さに安定的に保持され、特定大きさ以上の下向き力を付与されたときスプリング２４、２４の弾力に抗して押し下げられるものとなされている。【００２７】  そして円形板２３の上面と、テーブル１４の上面でしかも円形板２３の周囲近傍をなす環状範囲とには、図示しない複数の空気吸引孔が形成されており、円形板２３の空気吸引孔は円形板２３上に載置された半導体ウエハの下面に真空圧を付与して半導体ウエハを吸引固定するためのものであり、またテーブル１４の上面の前記環状範囲の空気吸引孔は該環状範囲に載置されたリングフレームｇの下面に真空圧を付与して該リングフレームｇを吸引固定するためのものである。【００２８】  一方、上部構造部１０１は、図５に示すように、後端部を左右向き支点軸１回りの揺動変位自在に支持された一体状の方形枠体１０１ａを備えており、該方形枠体１０１ａは左右一対の前後向き側面板２５、２５と、これら側面板２５、２５の先端部間を結合した左右向き結合部材２６と、これら前後向き側面板２５、２５の後端部間を結合した左右向き結合部材としての左右向き支点軸１とからなっている。左右の前後向き側面板２５、２５のそれぞれの上部には、積層テープｔをロール状に巻いてなるテープロールｔ１を固定状に支持するものである支持軸体２７ａの各端面を支持軸体２７ａに設けられた２つの係止突起２８、２８を介して脱着可能に保持するものとなされた円盤体２９ａが回転可能に軸着されている。この際、積層テープｔは図１３に示すように略円形の粘着テープａを重合貼着されたリリーステープｂからなっており、その作成は、リリーステープｂにこれと同一形状の未切断粘着テープを接着しておき、この状態の下で未切断粘着テープに切断線ａ１を切り込み、略円形の粘着テープａと、不使用粘着テープａ２とに分離させるように行われる。そして、これら円盤体２９ａ、２９ａの後側となる左右の前後向き側面板２５、２５のそれぞれの上部には、粘着テープａの剥離された積層テープｔをロール状に巻き取る筒芯部材を支持するものである支持軸体２７ｂの各端面を支持軸体２７ｂに設けられた２つの係止突起２８、２８を介して脱着可能に保持するものとなされた円盤体２９ｂが回転可能に軸着されている。そして、正面視左側の前後向き側面板２５に装着された前後２つの円盤体２９ａ、２９ｂの各回転中心軸３０ａ、３０ｂは前後向き側面板２５に回転自在に貫挿されており、正面視左側の前後向き側面板２５の左側に位置された各回転中心軸３０ａ、３０ｂに歯付プーリ３１ａ、３１ｂ（図１参照）が固定されている。【００２９】  正面視左側の前後向き側面板２５の左側には図４に示すように該前後向き側面板２５と同体状に前後方向ｘ１に沿う支持板３２が起立状に固設されており、該支持板３２に前側ｘ１０から順に供給側サーボモータ３３、送り用ステッピングモータ３４及び巻取側サーボモータ３５が固定されている。そして供給側サーボモータ３３及び巻取側サーボモータ３５のそれぞれの出力軸に歯付プーリ３６、３７が固定され、図１に示すように、歯付プーリ３６と歯付プーリ３０ａとに歯付ベルト３８ａを掛け回すと共に、歯付プーリ３７と歯付プーリ３０ｂとに歯付ベルト３８ｂを掛け回してある。【００３０】  図４に示すように、左右の前後向き側面板２５、２５間で一対のガイドロール４、４に対応した位置には左右向きの送りロール３９が各端部寄り位置を左右の前後向き側面板２５、２５に支持されて回転可能に装設されており、該送りロール３９の左端と送り用ステッッピングモータ３４の出力軸とが結合部材４０を介して連結されている。【００３１】  そして図１に示すように、左右の前後向き側面板２５、２５間でテープロールｔ１を支持する円盤体２９ａ、２９ａの斜め下側には粘着テープａの重合接着された積層テープｔを案内する直状案内軸４１が架橋状に固定してあり、また左右の前後向き側面板２５、２５間で粘着テープａの剥離された積層テープｔをロール状に巻き取る筒芯部材を支持する円盤体２９ｂ、２９ｂの斜め下側には粘着テープａの剥離されたリリーステープｂを案内する直状案内軸４２が架橋状に固定してあり、さらには左右の前後向き側面板２５、２５間で基礎台２に支持された直状案内軸１２の直後には粘着テープａの剥離されたリリーステープｂを案内する直状案内軸４３が架橋状に固定されている。【００３２】  また図１〜図３に示すように左右向き結合部材２６の前面側には押圧ローラ４４と、該押圧ローラ４４の上下駆動手段４５とが設けられている。押圧ローラ４４は周面部をゴムなどの弾性材で形成され、その回転中心軸を正面視門形の支持部材４６を介して回転自在に支持されている。上下駆動手段４５は左右向き結合部材２６の前面に固定された空気圧シリンダ装置４７の出力ロッドの下端を左右向き支持板４８に結合させると共に、左右向き支持板４８の左右各側部に固定された案内筒４８ａとこれに上下摺動自在に案内され支持部材４６に固定された被案内棒４６ａとからなる上下案内手段に支持部材４６を上下変位のみ自在に案内させるほか、スプリング５０の弾力に抗する特定距離の上方変位を許容された構成となされている。【００３３】  一方、左右向き結合部材２６の後面側には粘着テープ剥離要部５１と、該要部の上下駆動手段５２とが設けられている。。【００３４】  粘着テープ剥離要部５１は、図８に示すように、正面視門形の支持部材５４と、この支持部材５４の左右の側板部５４ａの下部間に架橋状に固定された取付ベース５５と、該取付ベース５５に固定され均等厚となされた四角状の平板体５６と、この支持部材５４の左右の側板部５４ａ、５４ａに架橋状に固定されたテープ押さえ５７からなっている。【００３５】  取付ベース５５は図９に示すように前側ｘ１０を開放された平面視コ字形となされ、左右側辺部５５ａ、５５ａの下面の前部に均等厚の平板体からなる剥離用プレート５６をこれの左右両端の支持された状態で水平状に固定されるものとなされている。そして、剥離用プレート５６は厚さを凡そ数ｍｍ（好ましくは凡そ１ｍｍ）程度となされており、また剥離用プレート５６の前端縁である案内縁５６ａの側面視形状はその曲率半径を平板体厚さの半分長さとなされた円弧状となされており、さらに案内縁５６ａの平面視形状は図１０に示すように幅方向をなす左右向方向ｘ２長さの中央部を前側ｘ１０へ僅かに突出させた平面視円弧状となされており、この際の突出量δ１は幅方向の長さＬの数百分の１程度となされるのであり、具体的には案内縁５６ａの幅方向長さＬが凡そ３００ｍｍであるとき、突出量δ１は凡そ０．５ｍｍ程度となされる。【００３６】  テープ押さえ５７は、図１１に示すように、略平板体となされ前部５７ａの幅が後部５７ｂの幅よりも小さくなされ前部５７ａの上下面を後部５７ｂから前方へ向かうに伴って漸次近接させ前部５７ａの先端縁５７ｃを側面視凸形の円弧状となされ且つ幅方向へ直状となされている。この際、先端縁５７ｃの断面形状は例えば２ｍｍ〜３ｍｍ程度の曲率半径の円弧状となされる。テープ押さえ５７は支持部材５４に前後傾斜の変更調整可能に固定するのであり、後部５７ｂは支持部材５４の左右の側面板５４ａ、５４ａの間に架橋状に固定し、前部５７ａは取付ベース５５の左右の側辺部５５ａ、５５ａの間に位置させる。そして、先端縁５７ｃは剥離用プレート５６の上面上で該上面から数ｍｍ（好ましくは１ｍｍ）以内の高さに位置させ剥離プレート５６の幅方向に合致させる。【００３７】  そして、上下駆動手段５２は、左右向き結合部材２６の前面に固定された空気圧シリンダ装置５８の出力ロッドの下端を支持部材５４に結合させると共に、左右向き結合部材２６に固定された案内筒５９とこれに上下摺動自在に案内される被案内棒６０とからなる上下案内手段に支持部材５４を上下変位のみ自在に案内させた構成となされている。【００３８】  図５中、６１は上部構造部１０１を揺動変位させるためのハンドルで左右向き結合部材２６に固定されており、６２は上部構造部１０１が図５に示すように水平となされた使用状態位置にあるときにこの水平位置を安定的に保持するように作動する図示しないロック機構によるロック状態を解除するための解除ハンドルで、これを上方へ操作するとロック状態が解除されて上部構造部１０１は基礎台部１００に対して左右向き支点軸１回りの揺動可能な状態となる。前記ロック機構は解除ハンドル６２の自由状態の下で上部構造部１０１を使用状態位置に位置させることで自動的にロック状態となるものである。
そして、ｓ１はテーブル開閉スイッチ、ｓ２は粘着テープの貼着作業の開始スイッチである。【００３９】  次に上記したウエハテープマウンタの使用例及び作用について説明する。
先ず、テープロールｔ１を支持軸体２７ａに外嵌固定し、該支持軸体２７ａを前側ｘ１０の一対の円盤体２９ａ、２９ａに装着する。次に上部構造部１０１を図６及び図７に示すように起立状に揺動変位させてその起立姿勢を維持させた状態の下で、テープロールｔ１の積層テープｔを適当長さだけ引き出す。この際、サーボモータ３３には電流が流れていないため、サーボモータ３３は積層テープｔの引き出しに連動して空転し、積層テープｔは円滑に引き出される。【００４０】  次に、このように引き出した積層テープｔを左右方向ｘ２へ展開した状態で、左右向き案内軸４１の周面の使用状態位置での上側を経るように導き、続いてテープ押さえ５７と剥離プレート５６との間を通過させ、続いて剥離プレート５６の使用状態位置での上面側から剥離プレート５６の案内縁５６ａに掛け回し剥離プレート５６の下面側に位置させて、凡そ１８０度の折曲状態となし、続いて左右向き案内軸４３の周面の使用状態位置での下側、送りロール３９の周面の使用状態位置での下側、そして左右向き案内軸４２の周面の使用状態位置での下側をこの順に通過させる。【００４１】  そして上部構造部１０１の使用状態位置で一対の円盤体２９ａ、２９ａの後側にある左右一対の円盤体２９ｂ、２９ｂに支持軸体２７ｂを固定し、該支持軸体２７ｂに積層テープｔの先端を止着し、該支持軸体２７ｂを手回しにより回転させてその周面に積層テープｔを固定状に巻き付けた状態とする。これにより積層テープｔは上部構造部１０１におけるその使用状態でのテープ移動経路に近似した位置に配置されて基礎台２側の構成部材に接触することなく支持された状態となる。【００４２】  この後、上部構造部１０１を左右向き支持軸１回りの下方へ揺動させて図１及び図５に示す使用状態位置に位置させる。このとき図示しないロック手段が上部構造部１０１のそのときの位置を安定的に保持する。そして上部構造部１０１の使用状態位置では、前後一対のガイドロール４、４の周面が送りロール３９の周面との間に積層テープｔをスプリング１０、１０の弾力を介して挟み付けた状態となる。【００４３】  この際、基礎台部１００側の左右向き案内軸１２は剥離プレート５６から上部構造部１０１側の左右向き案内軸４３に至る積層テープｔ部分を左右向き案内軸４３の前近傍位置で下側から押し上げた状態になると共に、左右向き案内軸４３は左右向き案内軸１２から送りロール３９に至る積層テープｔ部分を上側から押し下げる状態となる。そして、左右向き案内軸４３はテーブル１４の上面高さの近傍に位置され、左右向き案内軸４３は左右向き案内軸１２よりも高く位置される。【００４４】  これにより剥離プレート５６から上部構造部１０１側の左右向き案内軸４３に至る積層テープｔ部分はテーブルの上面と干渉し難くなり、また左右向き案内軸１２から送りロール３９に至る積層テープｔ部分はガイドレール４との相対位置を変化されて送りロール３９による送り力を安定的に付与されるようになるのであり、また左右向き案内軸１２及び左右向き案内軸４３は積層テープｔの移動に対し積層テープｔの全幅個所に均等な抵抗を付与して、送りローラ３９が積層テープｔに同じ大きさ及び方向の張力を均等に付与する上で��与する。【００４５】  次にテーブル開閉スイッチｓ１を操作してステッピングモータ１９を作動させ、テーブル１４を図１に示すような張り出し位置ｐ１に移動させる。このような張り出し状態の下で、作業者は半導体ウエハを円形板２３の上面に載置すると共に、テーブル１４の上面で円形板２３回りの環状範囲に、図３中に仮想線で示すようにリングフレームｇを載置する。【００４６】  この後、テーブル開閉スイッチｓ１を操作してステッピングモータ１９を先と逆向きへ作動させ、テーブル１４を図５に示すような収納位置に移動させる。テーブル開閉スイッチｓ１を操作したことに関連して、半導体ウエハやリングフレームｇの下面に図示しない空気吸引孔を通じて真空圧が付与され、半導体ウエハは円形板２３の上面に吸着固定され、リングフレームｇはテーブル１４の上面に吸着固定された状態となる。【００４７】  次に粘着テープ貼着作業の開始スイッチｓ２を操作するのであり、これによりサーボモータ３３、３５及びステッピングモータ３４が図示しない制御部の制御作動により自動的に作動される。
ステッピングモータ３４の作動により送りロール３９が回転駆動され、テープロールｔ１の積層テープｔに送り力を付与して後方へ引っ張り移動させる。このときサーボモータ３３はテープロールｔ１に図１中で左回り方向へ向かう回転力を付与し、テープロールｔ１から送りロール３９に至る範囲の積層テープｔに適当な張力を付与した状態となり、またサーボモータ３５は支持軸体２７ｂに固定された筒芯部材に図１中で左回り方向へ向かう回転力を付与し、テープロールｔ１から前記筒芯部材に至る範囲の積層テープｔに適当な張力を付与した状態となる。【００４８】  このような積層テープｔの送り移動中、粘着テープａは緊張状態となってテープ押さえ５７の先端縁５７ｃで押さえられるため、均等厚の剥離用プレート５６の案内縁５６ａ回りへ凡そ１８０度折り曲げられた状態なる。この状態で、図１４に示すリリーステープｂに重合接着された粘着テープａの先端箇所ｐ３が案内縁５６ａに到達した後は、リリーステープｂの送り移動に伴って先端箇所ｐ３から漸次に剥離され、図１２に示すように略水平状に前方へ張り出されていくようになる。そして、粘着テープａが案内縁５６ａの前方へ数ｍｍ張り出したとき、この張り出し部をテープ存在センサ１３が検出し、これに関連してステッピングモータ３４が自動的に停止される。【００４９】  この際、テープ押さえ５７の先端縁５７ｃが案内縁５６ａの近傍に位置するため、先端縁５７ｃから案内縁５６ａまでの積層テープｔが安定した水平姿勢に保持されるようになり、このことが粘着テープａの剥離を的確に行わせるものとなる。
また剥離用プレート５６が均等厚の平板体であることが、積層テープｔを大きな曲率で凡そ１８０度折り曲げることを可能になして粘着テープａの剥離を的確に行わせるものとなり、また均等厚の平板体５６をテーブル１４の上面に近接させた上で均等厚の平板体５６の上面上の積層テープｔをほぼ水平状になして、粘着テープａの剥離過程で該粘着テープａをテーブル１４上面に近接した位置で略水平方向の前方へ張り出させるものとなる。
また剥離用プレート５６が幅方向の中央部を前側ｘ１０へ凸状の平面視円弧状となしてあることが、積層テープｔの幅中央に剥離作用上の効果的な緊張力を付与すると共に粘着テープａの左右方向両端部（図１２中に斜線で示す部分ｐ４、ｐ４）をその幅中央部よりも先行して剥離させるものとなって、粘着テープａの剥離を的確に行わせるものとなる。【００５０】  ところで、積層テープｔの送り移動中、粘着テープａの先端箇所ｐ３が剥離用プレート５６の案内縁５６ａを過ぎても該先端箇所ｐ３が剥離されないときは、この粘着テープａの先端箇所ｐ３が剥離されないまま案内縁５６ａを特定距離（例えば数ｍｍ）だけ過ぎたことを検出させる。該検出は、テープ存在センサ１３の検出信号と、積層テープｔの送り時間若しくは送り距離を測定するか或いは粘着テープａの存在位置を測定する図示しない適宜な測定器の測定情報とに基づいて行うことができる。【００５１】  この検出に関連してステッピングモータ３４が逆向きへ回転作動されて、積層テープｔはサーボモータ３３の回転力で前記特定距離よりも少し長い距離だけテープロールｔ１に巻き戻される。次に再び既述のように、ステッピングモータ３４が正側へ回転作動されて、積層テープｔ１が引っ張り移動され、粘着テープａの再度の剥離処理が行われる。
この剥離処理においても粘着テープａの先端箇所ｐ３が剥離されないときは再び既述のように積層テープｔが巻き戻され、再々度、粘着テープａの剥離処理が行われる。【００５２】  このような粘着テープａの剥離処理の行われる回数は任意に定めることができるのであり、予め定めた回数だけ剥離処理が行われても、なお粘着テープａが剥離されないときは異常状態と判断されて、ステッピングモータ３４のその後の送り作動は停止される。【００５３】  上記のような作動により、粘着テープａが案内縁５６ａの前方へ数ｍｍ張り出したとき、ステッピングモータ３４が一時停止するのであり、この一時停止に関連して、ステッピングモータ１９が作動し、テーブル１４が前方へ送り移動される。【００５４】  テーブル１４が、張り出された粘着テープａに対応する位置に到達した時点で、粘着テープ剥離要部５１が上下駆動手段５２で降下作動され、剥離用プレート５６はテーブル１４の上面に略平行状態に保持され近接した状態となる。次に押圧ローラ４４が上下駆動手段４７により降下作動されて、案内縁５６ａの前方へ数ｍｍ張り出された粘着テープａの先端箇所ｐ３をリングフレームｇの上面の最前方箇所にスプリング５０の弾力を介して押圧する。押圧ローラ４４の降下作動時点以降では、ステッピングモータ３４が、テーブル１４の前方への送り移動に関連して回転作動され、案内縁５６ａの前方へ数ｍｍ張り出した状態の粘着テープａはテーブル１４の前方移動と同一速度でリリーステープｂから剥離されつつ前方への張り出しを進行され、押圧ローラ４４がこのように漸次に張り出される粘着テープａを順次に且つ連続的に押圧して、粘着テープａをこれの下面の接着剤層を介してリングフレームｇ及び半導体ウエハの背面（図１中では上面）に貼り付けていく。【００５５】  この貼り付け処理の過程で、押圧ローラ４４の真下に半導体ウエハが位置したときには、リングフレームｇの上面と半導体ウエハの上面との高さが幾分相違していても、その相違量に応じて、円形板２３がスプリング２４の弾力により上下変位され、粘着テープａは押圧ローラ４４によりリングフレームｇのみならず半導体ウエハの背面に均質状態に貼付されるものとなる。【００５６】  このように貼付される単一の粘着テープａがリリーステープｂから完全に剥離され、その全体をリングフレームｇ及び半導体ウエハに貼着されて、テーブル１４が図１に示すような完全な張り出し状態となったとき、サーボモータ３３、３５やステッピングモータ１９、３４などの作動は自動的に停止されると共に、半導体ウエハやリングフレームｇに付与された真空圧も解除される。
この後、作業者は粘着テープａの貼着作業の終了した図１４に示す処理済み品（リングフレームｇ、半導体ウエハ、粘着テープａ）をテーブル１４上から取り外す。【００５７】  以後も続けて粘着テープ貼着作業を行う場合には、次に貼着処理するリングフレームｇ及び半導体ウエハを既述と同様にテーブル１４上に載置し、テーブル開閉スイッチｓ１を操作する。そして、テーブル１４が収納位置ｐ２に到達した後、再び、粘着テープ貼着作業の開始スイッチｓ２を入り操作する。これにより先と同様な処理済み品が得られる。以後は既述した処理を繰り返し実施する。
一方、テーブル１４上から処理済み品を取り外した後、粘着テープの貼着作業を終了するときは、テーブル１４上にリングフレームｇや半導体ウエハを載置することなくテーブル開閉スイッチｓ１を操作する。これによりテーブル１４は収納位置ｐ２に到達し、各部は停止状態となる。【００５８】  上記のような作動において積層テープｔを案内する部材である第１左右向き支持軸体２７ａ、第２左右向き支持軸体２７ｂ、送りローラ３９、ガイドローラ４、剥離プレート５９及び左右向き案内軸１２、４１、４２、４３は何れも左右の前後向き側面板２５、２５を介してそれらの両端部寄り位置を支持されるため、たとえ積層テープｔに張力が作用してもそれぞれの微視的な左右傾斜は効果的に抑制されるのであり、また送りローラ３９、ガイドローラ４、４、第１左右向き支持軸体２７ａ及び第２左右向き支持軸体２７ｂはこれらの各軸受の偏摩耗を防止されて、その微視的な左右傾斜が防止される。したがって積層テープｔは送りローラ３９により偏りなく引き移動され半導体ウエハ及びリングフレームｇのそれぞれの片面にその張力が均等に分布された状態で貼着されるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明に係る粘着テープ剥離装置を具備したウエハテープマウンタの側面視断面図である。
【図２】前記ウエハテープマウンタの正面図である。
【図３】前記ウエハテープマウンタの平面図である。
【図４】前記ウエハテープマウンタの上部構造を省略した平面図である。
【図５】前記ウエハテープマウンタの斜め前から見た図である。
【図６】前記ウエハテープマウンタの上部構造部を起立させた状態を斜め前から見た図である。
【図７】前記ウエハテープマウンタの上部構造部を起立させた状態を斜め後から見た図である。
【図８】粘着テープ剥離要部などを示す側面図である。
【図９】取付ベースを示しＡは正面図でＢは底面図でＣは側面図である。
【図１０】剥離用プレートを示すもので案内縁の曲がりを誇張して表現した平面視説明図である。
【図１１】テープ押さえを示しＡは平面図でＢは側面図である。
【図１２】剥離用プレートでリリーステープから粘着テープを剥離させている状態を示す説明図である。
【図１３】リリーステープに粘着テープを重合接着した積層テープを示す図である。
【図１４】粘着テープを半導体ウエハ及びリングフレームの背面に貼着してなる処理済み品を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】１  左右向き支点軸
２  基礎台
４  ガイドローラ
１２  左右向き案内軸
２５  前後向き側面板
２６  左右向き結合部材
２７ａ  第１左右向き支持軸体
２７ｂ  第２左右向き支持軸体
３９  送りローラ
４３  左右向き案内軸
４４  左右向き押圧ローラ
５１  テープ剥離要部
１０１  上部構造部
１０１ａ  枠構造体
ｔ  積層テープ
ｔ１  テープロール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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