(57)【要約】      （修正有）【課題】  吸引ラインおよび吸引チャンバの内部を自動的に容易に洗浄することができ、衛生的で、メンテナンスに優れる洗浄機能付き搬送装置を提供すること。【解決手段】  真空ポンプ３０と、吸引チャンバ６と、下部タンク４内に収容してある目的物７０を、吸引チャンバ６へと導く吸引ライン８と、を有する搬送装置２である。吸引ライン８の途中には、下部タンク４と吸引チャンバ６との間の連通を遮断および解放するための吸引ライン弁１０が装着してある。また、吸引チャンバ６内を密閉または大気解放するための密閉制御弁２０が具備してある。洗浄モードが検出された場合に、真空室１２および吸引チャンバ６を減圧して、吸引ライン８の下端開口部から洗浄液を吸引チャンバ６、真空ラインおよび真空室１２内に導き、少なくとも吸引チャンバ６内を洗浄液で満杯にするように、真空制御弁および／または真空ポンプ３０を制御する。【選択図】        図３
2006321632.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸引手段と、
前記吸引手段により内部が減圧されることが可能な真空室と、
前記真空室に連通して内部が減圧されることが可能であると共に、大気圧に解放されることも可能な吸引チャンバと、
前記吸引チャンバ内を密閉または大気解放するための密閉制御弁と、
前記吸引チャンバよりも鉛直方向の下方に位置する下部タンク内に収容してある目的物を、前記吸引チャンバへと導く吸引ラインと、
前記真空室と吸引チャンバとを連通する真空ラインと、
前記真空ラインに装着され、前記真空室と吸引チャンバとの連通を遮断することが可能な真空制御弁と、
洗浄モードか否かを検出するモード検出手段と、
前記モード検出手段にて洗浄モードが検出された場合に、前記真空室および吸引チャンバを減圧して、前記吸引ラインの下端開口部から洗浄液を前記吸引チャンバ、真空ラインおよび真空室内に導き、少なくとも前記吸引チャンバ内を洗浄液で満杯にするように、前記真空制御弁および／または前記吸引手段を制御する制御手段と、を有する洗浄機能付き搬送装置。
【請求項２】
前記吸引ラインの途中に取り付けられ、前記下部タンクと前記吸引チャンバとの間の連通を遮断および解放するための吸引ライン弁をさらに有し、
前記制御手段は、前記吸引チャンバおよび／または真空室の内部が前記洗浄液で満杯になったことを検知し、その時点で、前記吸引手段による減圧を停止すると共に、前記吸引ライン弁を閉じ、所定時間、その閉じた状態を保持することを特徴とする請求項１に記載の洗浄機能付き搬送装置。
【請求項３】
前記モード検出手段にて通常運転モードが検出されている場合に、前記密閉制御弁により前記吸引チャンバの内部が減圧状態から大気解放状態に切り替わる時点から所定時間経過後で、前記吸引ラインの内部に存在する前記目的物の最上位位置が、前記吸引ライン弁を通過した直後に、前記吸引ライン弁を閉じるように、前記制御手段が前記吸引ライン弁に制御信号を送ることを特徴とする請求項２に記載の洗浄機能付き搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば流体中に固形物が分散している目的物を、鉛直方向の上方に位置するチャンバ内に搬送するための搬送装置に係り、さらに詳しくは、洗浄モードの場合には、自動的に内部を洗浄することができる洗浄機能付き搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえばキュウリなどの食品を水洗いした後に、他の場所に移すための搬送装置として、真空ポンプなどで減圧された吸引チャンバと、吸引ライン（吸引配管）とを有する搬送装置が知られている（たとえば下記の特許文献１）。吸引ラインの先端は、吸引チャンバの鉛直方向下方に位置する下部タンク内に配置され、下部タンク内に収容してある水とキュウリとの混合物を、吸引チャンバ内の減圧真空力を用いて、吸引チャンバ内に引き込むようになっている。
【０００３】
従来では、この種の搬送装置には、自動洗浄機能が無いために、吸引ラインおよび吸引チャンバの内部を洗浄するためには、吸引ラインを構成する配管を分解すると共に、吸引チャンバを分解する必要があり、その作業のために多くの時間を必要とし、頻繁に洗浄することができなかった。
【０００４】
この種の搬送装置により搬送される目的物は、常に同じ食品とは限らず、搬送しようとする目的物が変わるごとに、搬送装置の吸引ラインおよび吸引チャンバを分解して洗浄する作業は繁雑であった。
【０００５】
なお、搬送装置の通常運転と同様にして、吸引ラインから洗浄液を吸引チャンバの内部に導くことも考えられるが、その場合には、吸引チャンバの内部を洗浄液で満たすことは困難である。なぜなら、通常運転のモードでは、目的物が、吸引チャンバから真空室内に入り込むことを防止するために、吸引チャンバの内部が目的物で満杯にならないように制御されるからである。そのため、通常運転のモードで、吸引チャンバの内部の体をきれいに清掃することは不可能である。
【特許文献１】特開平６−１２７６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、その目的は、吸引ラインおよび吸引チャンバの内部を自動的に容易に洗浄することができ、衛生的で、メンテナンスに優れる洗浄機能付き搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明に係る洗浄機能付き搬送装置は、
吸引手段と、
前記吸引手段により内部が減圧されることが可能な真空室と、
前記真空室に連通して内部が減圧されることが可能であると共に、大気圧に解放されることも可能な吸引チャンバと、
前記吸引チャンバ内を密閉または大気解放するための密閉制御弁と、
前記吸引チャンバよりも鉛直方向の下方に位置する下部タンク内に収容してある目的物を、前記吸引チャンバへと導く吸引ラインと、
前記真空室と吸引チャンバとを連通する真空ラインと、
前記真空ラインに装着され、前記真空室と吸引チャンバとの連通を遮断することが可能な真空制御弁と、
洗浄モードか否かを検出するモード検出手段と、
前記モード検出手段にて洗浄モードが検出された場合に、前記真空室および吸引チャンバを減圧して、前記吸引ラインの下端開口部から洗浄液を前記吸引チャンバ、真空ラインおよび真空室内に導き、少なくとも前記吸引チャンバ内を洗浄液で満杯にするように、前記真空制御弁および／または前記吸引手段を制御する制御手段と、を有する。
【０００８】
本発明に係る洗浄機能付き搬送装置では、通常運転モード時には、下部タンクから目的物を吸引チャンバの内部に吸引し、その後に、排出口から別の場所へと排出する。その作業を繰り返すことにより、目的物を、下部タンクから別の場所へと搬送する。
【０００９】
搬送作業が終了した場合に、吸引チャンバの内部を洗浄する必要性が生じた場合には、作業者は、内部洗浄の準備をした後で洗浄ボタンを押す。あるいは、搬送装置は、作業時間あるいは搬送回数などをカウントし、それらが所定の閾値を超えた場合に、洗浄アラーム信号を出し、作業者に洗浄の必要性を知らせる。作業者は、内部洗浄の準備をした後で洗浄ボタンを押す。
【００１０】
洗浄ボタンが押されると、搬送装置の制御装置は、洗浄モードを検出し、真空室および吸引チャンバを減圧して、吸引ラインの下端開口部から洗浄液を吸引チャンバ、真空ラインおよび真空室内に導き、少なくとも吸引チャンバ内を洗浄液で満杯にするように、真空制御弁および／または前記吸引手段を制御する。洗浄液は、真空室内に入ってきても良い。好ましくは、真空室の内部までも洗浄液で満杯にした段階で、所定時間、その状態を保持し、内部の洗浄を行う。
【００１１】
その後に、真空室の弁を開けて、洗浄液を外部に排出すれば、洗浄が完了する。この洗浄は複数回行っても良い。また、複数回の洗浄のうちで、洗浄液の種類を変えても良い。なお、本発明において、洗浄液としては、特に限定されず、洗剤などが溶解してある洗浄水に限らず、単なる水も含む。
【００１２】
好ましくは、本発明の洗浄機能付き搬送装置は、
前記吸引ラインの途中に取り付けられ、前記下部タンクと前記吸引チャンバとの間の連通を遮断および解放するための吸引ライン弁をさらに有し、
前記制御手段は、前記吸引チャンバおよび／または真空室の内部が前記洗浄液で満杯になったことを検知し、その時点で、前記吸引手段による減圧を停止すると共に、前記吸引ライン弁を閉じ、所定時間、その閉じた状態を保持する。
【００１３】
好ましくは、前記モード検出手段にて通常運転モードが検出されている場合に、前記密閉制御弁により前記吸引チャンバの内部が減圧状態から大気解放状態に切り替わる時点から所定時間経過後で、前記吸引ラインの内部に存在する前記目的物の最上位位置が、前記吸引ライン弁を通過した直後に、前記吸引ライン弁を閉じるように、前記制御手段が前記吸引ライン弁に制御信号を送る。
【００１４】
通常運転時において、本発明に係る搬送装置では、吸引ラインの内部に存在する目的物の最上位位置が、吸引ライン弁を通過した直後に、吸引ライン弁を閉じる。たとえば目的物として、キュウリなどの食品の固形物と水との混合物である場合には、吸引ラインの内部に存在する混合物の水面は、吸引ラインが大気解放となる直後に、吸引ラインを自重により落下する。そして、その水面が吸引ライン弁を通過した直後に、吸引ライン弁が閉じるので、その吸引ライン内の水面と吸引ライン弁との間の空間は、真空状態となり、それ以上に下に落下することはなくなる。
【００１５】
したがって、吸引ラインの内部に位置する目的物のほとんどは、下部タンク内部に戻されることなく、吸引ラインの内部に止まる。したがって、その後に、吸引チャンバの内部にある目的物を排出し、再度、チャンバの内部を減圧して吸引作業を開始するために、吸引ライン弁を開けると、吸引ライン内に止まっていた目的物は、すぐに、吸引チャンバの内部に引き込まれる。したがって、チャンバ内への吸引および排出を繰り返す際の搬送効率が向上する。また、搬送効率が向上し、搬送時間を短縮できると共に、省エネルギーにも寄与する。
【００１６】
また、本発明では、吸引ラインの内部に存在する目的物の最上位位置が、吸引ライン弁を通過した直後に、吸引ライン弁を閉じるので、搬送対象となる目的物が吸引ラインの弁に挟み込まれることを、効果的に抑制できる。そのため、キュウリなどの食品の挟み込みが無くなり、食品の破損率を低減することができる。また、本発明の搬送装置は、金魚などの生物を水と共に搬送する場合に適している。
【００１７】
さらに、固形物による吸引ラインの詰まりが、ほとんどないために、吸引ラインを構成する配管の分解や洗浄作業を低減することができる。さらにまた、搬送量が安定化すると共に、タンクへの逆流が防止され、タンク内での固形物同士の衝突も低減され、固形物の傷みが少なくなる。また、タンク内での固形物の移動量が少なく、タンク内での固形物が減少しても、逆流が少ないので搬送効率が上がる。さらにまた、吸引ラインを構成する配管の振動が少なくなり、運転の安全性が向上する。
【００１８】
本発明おいて、吸引手段としては、特に限定されないが、真空ポンプ、流体エジェクタなどが例示される。
【００１９】
好ましくは、前記密閉制御弁により前記吸引チャンバの内部が減圧状態から大気解放状態に切り替わる時点から所定時間経過後で、前記吸引ラインの内部に存在する前記目的物の最上位位置が、前記吸引ライン弁を通過する直後のタイミングを、予備実験により確認し、そのタイミングを前記制御手段に記憶させ、そのタイミングで、前記吸引ライン弁を閉じるように、前記吸引ライン弁に制御信号を送る。
【００２０】
このような手段で吸引ライン弁を制御することにより、適切なタイミングで吸引ライン弁を閉じることが可能になり、上記と同様に、搬送対象となる目的物が吸引ラインの弁に挟み込まれることを、効果的に抑制でき、しかも搬送効率が向上する。
【００２１】
本発明の別の態様として、前記密閉制御弁により前記吸引チャンバの内部が減圧状態から大気解放状態に切り替わる時点から所定時間経過後で、前記吸引ラインの内部に存在する前記目的物の最上位位置が、前記吸引ライン弁を通過する直後のタイミングを、位置センサにより計測し、その位置センサで計測されたタイミングで、前記吸引ライン弁を閉じるように、前記吸引ライン弁に制御信号を送るようにしても良い。
【００２２】
このような手段で吸引ライン弁を制御することによっても、上記と同様な作用効果を奏することができる。
【００２３】
好ましくは、前記吸引ライン弁が、前記吸引チャンバの近くに配置してある。このように吸引ライン弁を、吸引チャンバの近くに配置することで、吸引ラインから下部タンク内への逆流を必要最小限にすることができ、搬送効率を向上させることができる。
【００２４】
好ましくは、前記下部タンク内の目的物が、固形物と流体との混合物であり、前記吸引配管内における前記目的物の最上位位置が、流体の最上位面である。本発明に係る搬送装置により搬送される目的物は、固形物と流体との混合物である場合に、特に本発明の効果が大きい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は本発明の一実施形態に係る搬送装置の概略構成図、
図２は図１に示す搬送装置の制御装置の通常運転時のフローを示すフローチャート図、
図３は図１に示す搬送装置の具体例を示し、吸い込み状態を示す一部断面概略図、
図４は図１に示す搬送装置の具体例を示し、吐出状態を示す一部断面概略図、
図５は図１に示す搬送装置の制御装置の洗浄運転時のフローを示すフローチャート図、
図６および図７は図１に示す搬送装置の洗浄運転時の状態を示す概略図である。
【００２６】
図１〜図４に示すように、本発明の一実施形態に係る搬送装置２は、下部タンク４に対して、吸引ライン（配管）８を通して連通する吸引チャンバ６を有する。吸引チャンバ６は、下部タンク４に対して鉛直方向の上部に位置する。吸引ライン８の途中には、吸引ライン弁１０が、吸引チャンバ６の近くに配置してある。吸引ライン８の鉛直方向下方側の先端は、下部タンク４の内部で開口し、吸引ライン８の鉛直方向上側基端は、吸引チャンバ６の内部に連通している。
【００２７】
吸引ライン弁１０は、制御装置（制御手段）５０からの制御信号により開平可能な弁であれば、特に限定されないが、気密性に優れたボール弁などの弁で構成されることが好ましい。吸引ライン弁１０の開閉タイミングに関しては、後述する。
【００２８】
吸引チャンバ６の上部には、真空ライン（配管）１４を通して、真空室１２が連通してある。真空ライン１４には、真空制御弁１６が装着してある。真空制御弁１６は、制御装置５０からの制御信号に基づき、吸引チャンバ６と真空室１２との間の連通および遮断を制御している。
【００２９】
真空室１２は、たとえば図３および図４に示すように、吸引チャンバ６を保持するベース３１の下部に形成してある。ベース３１内における真空室１２の上には、水タンク室３６が形成してある。ベース３１の上には、真空ポンプ３０が設置してある。真空ポンプ３０の吸引口３２は、真空室１２に連通している。また、真空ポンプ３０の吐出口３４は水タンク室３６に連通している。真空ポンプ３０には、水タンク室３６の内部に貯留してある水が潤滑流体として循環するようになっている。
【００３０】
真空ポンプ３０は、制御装置５０に接続してあり、制御装置５０により駆動が制御される。制御装置５０からの制御信号により真空ポンプ３０が駆動されると、真空室１２の内部を減圧して真空に近い圧力に設定可能になっている。真空制御弁１６を開けば、真空室１２と吸引チャンバ６とが連通し、吸引チャンバ６の内部も真空に近い圧力まで減圧可能になっている。真空に近い圧力としては、特に限定されないが、好ましくは−７０ｋＰａ以下、さらに好ましくは−８５ｋＰａ以下程度である。
【００３１】
水タンク室３６には、配管３８が接続してあり、水タンク室３６の内部の水を排出および吸入可能になっている。この配管３８には、弁４０が装着してあり、水タンク室３６の内部を外部と適宜に連通可能にしてある。弁４０は、制御装置５０により制御される制御弁であっても良いが、手動により開閉される弁であっても良い。
【００３２】
なお、図１では省略してあるが、図３および図４に示すように、真空室１２にも、配管３８および弁４０と同様な配管４２および弁４４が装着してあっても良い。配管４２は、真空室１２の内部と連通してあり、弁４４を開閉することにより、真空室１２の内部を外部と連通および遮断可能にしてある。
【００３３】
吸引チャンバ６の上部には、真空ライン１４とは別に、あるいは真空ライン１４に連通して、吸引チャンバ６の内部と連通する大気解放ライン（配管）１８が接続してある。大気解放ライン１８には、密閉制御弁２０が接続してある。この密閉制御弁２０は、制御装置５０からの制御信号に基づき開閉され、吸引チャンバ６の内部を、密閉状態あるいは大気解放状態に切り替えることができるようになっている。
【００３４】
吸引チャンバ６の下方には、排出口６０が接続してある。排出口６０の途中には、排出制御弁６２が接続してある。排出制御弁６２は、制御装置５０からの制御信号に基づき開閉される。排出制御弁６２が開くことで、吸引チャンバ６の内部に吸引されて一時的に貯留された目的物７０は、排出口６０を通して、外部に排出される。
【００３５】
下部タンク４の内部に貯留してある目的物７０としては、特に限定されず、流体単独、流体と固形物の混合物、スラリーなどの粘性流体などが例示されるが、本実施形態では、図３および図４に示すように、キュウリなどの固形物７２と、水などの流体７４との混合物である。
【００３６】
図１に示す制御装置５０は、たとえば図２および図５に示すように搬送装置２を制御する。まず、図５に示すステップＳ１０（モード検出手段）にて、洗浄モードか通常運転モードかを判断する。図５に示すステップＳ１０にて通常運転モードが検出された場合には、次に、図２に示すステップＳ１にて、制御装置５０は、吸引チャンバ６の内部を減圧するための指示が出されているかを検出し、検出されている場合には、真空ポンプ３０を駆動して、真空室１２を減圧して真空に近い圧力にする。真空室１２が減圧された状態で、真空制御弁１６を開き、真空ライン１４を通して、吸引チャンバ６の内部を減圧して真空に近い圧力にする。なお、この状態では、弁１０，２０および６２は、全て閉じてあり、吸引チャンバ６の内部は密閉されている。
【００３７】
吸引チャンバ６の内部が十分に減圧された段階で、次に、図２に示すステップＳ２にて、制御装置５０から吸引ライン弁１０へ制御信号を送り、弁１０を開く。すると、図３に示すように、下部タンク４の内部にある目的物７０としての固形物７２と流体７４は共に、吸引ライン８を通して、重力に逆らう圧力差により、吸引チャンバ６の内部に吸い込まれる。
【００３８】
次に、図２に示すステップＳ３では、吸引チャンバ６の内部の減圧状態を終了させるか否かを判断し、終了させる場合には、ステップＳ４へ行き、終了させない場合には、ステップＳ２を繰り返す。ステップＳ３において、減圧終了か否かの判断は、たとえば吸引ライン弁１０を開いてからどれくらいの時間が経過したかで判断する。吸引チャンバ６の内部が目的物７０で満杯になるまでの時間は、予め実験などにより予測することができるので、その時間の前の所定時間を計測し、その所定時間が経過した場合には、減圧終了と判断する。
【００３９】
あるいは、吸引チャンバ６の内部に水位センサなどを装着しておき、吸引チャンバ６の内部が目的物で満杯になる直前の位置を検出し、そのタイミングを、減圧終了のタイミングとしても良い。
【００４０】
ステップＳ３にて減圧終了と判断した場合には、ステップＳ４へ行く。ステップＳ４では、吸引チャンバ６の内部を大気解放状態とする。具体的には、まず、真空制御弁１６を閉じる。真空制御弁１６を閉じることにより、吸引チャンバ６の内部の減圧が終了する。ただし、その後も、少しの間、慣性力により、吸引ライン８を通しての吸引が継続される。
【００４１】
真空制御弁１６を閉じた後、その直後、あるいは、たとえば０．５〜１秒後の所定時間経過後に、制御装置５０から制御信号を送り、密閉制御弁２０を開き、吸引チャンバ６の内部を大気解放状態とする。密閉制御弁２０を開くと、吸引チャンバ６の内部は大気解放状態となり、排出制御弁６２を開くことにより、チャンバ６の内部に一時的に貯留してある目的物７０は、その重力により、排出口６０を通して外部に排出することが可能になる。排出口６０の下に、ザルなどの篩いを設置しておけば、目的物７０のうちの固形物７２と流体との分離が可能である。
【００４２】
また、密閉制御弁２０を開くと、吸引チャンバ６の内部は大気解放状態となり、吸引ライン８の内部では、目的物７０は、その重力により、下部タンク８の内部に戻ろう（逆流）とする。
【００４３】
本実施形態では、図２に示すように、ステップＳ５にて、吸引ライン８の内部における目的物７０の最上位位置である水面位置をＰとした場合に、ステップＳ６にて、その水面位置Ｐが吸引ライン弁１０を通過したか否かを判断する。その水面位置Ｐが吸引ライン弁１０を通過したか否かの判断は、たとえば次のようにして行う。すなわち、密閉制御弁２０を開いた時点から時間を計測し、どのタイミングで、吸引ライン８の内部に存在する目的物７０の最上位水面位置Ｐが、吸引ライン弁１０を通過するかを、予備実験により確認し、その経過時間を、基準時間として制御装置５０に記憶させる。基準時間は、吸引ライン８を構成する配管の内径や、吸引ライン弁１０と吸引チャンバ６との間の距離などに応じて変化するが、一般には、０．５〜２秒程度である。
【００４４】
そして、密閉制御弁２０を開いた時点からの時間を計測し、その計測時間が所定の基準時間以上になった時点で、吸引ライン８の内部に存在する目的物７０の最上位水面位置Ｐが、吸引ライン弁１０を通過する時点と判断し（ステップＳ６）、そのタイミングで、吸引ライン弁１０を閉じる（ステップＳ７）。
【００４５】
その結果、本実施形態に係る搬送装置２では、図４に示すように、吸引ライン８の内部に存在する目的物７０の最上位水面位置Ｐが、自重により、吸引ライン弁１０を通過した直後に、吸引ライン弁１０を閉じることが可能になる。そのため、その吸引ライン８内の水面位置Ｐと吸引ライン弁１０との間の空間は、真空状態となり、水面位置Ｐは、それ以上に下に落下することはなくなる。
【００４６】
したがって、吸引ライン８の内部に位置する目的物７０のほとんどは、下部タンク４の内部に戻されることなく、吸引ライン８の内部に止まる。したがって、その後に、吸引チャンバ６の内部にある目的物７０を排出し、再度、チャンバ６の内部を減圧して吸引作業を開始するために、吸引ライン弁１０を開けると、吸引ライン８内に止まっていた目的物７０は、すぐに、吸引チャンバ６の内部に引き込まれる。したがって、チャンバ６内への吸引および排出を繰り返す際の搬送効率が向上する。また、搬送効率が向上し、搬送時間を短縮できると共に、省エネルギーにも寄与する。
【００４７】
また、本実施形態では、吸引ライン８の内部に存在する目的物７０の最上位の水面位置Ｐが、吸引ライン弁１０を通過した直後に、吸引ライン弁１０を閉じるので、搬送対象となる目的物７０の固形物７２が吸引ライン弁１０に挟み込まれることを、効果的に抑制できる。そのため、キュウリなどの食品からなる固形物７２の挟み込みが無くなり、食品の破損率を低減することができる。また、本実施形態の搬送装置２は、金魚などの生物を水と共に搬送する場合にも適している。
【００４８】
さらに、固形物７２による吸引ライン８の詰まりが、ほとんどないために、吸引ライン８を構成する配管の分解や洗浄作業を低減することができる。さらにまた、搬送量が安定化すると共に、タンク４への逆流が防止され、タンク４内での固形物同士の衝突も低減され、固形物７２の傷みが少なくなる。また、タンク４内での固形物７２の移動量が少なく、タンク４内での固形物７２が減少しても、逆流が少ないので搬送効率が上がる。さらにまた、吸引ライン８を構成する配管の振動が少なくなり、運転の安全性が向上する。
【００４９】
次に、図５に示すステップＳ１０にて、洗浄モードが検出された場合について説明する。洗浄モードが検出された場合としては、図３および図４に示す制御装置５０における洗浄ボタンが作業者により押されている場合である。作業者は、洗浄ボタンを押す前に、図６および図７に示すように、下部タンク４を、洗浄用タンク４ａに置き換える。
【００５０】
洗浄用タンク４ａには、洗浄液８０が貯留してある。洗浄液８０は、洗剤が溶解してある洗浄用水、あるいはただの水であっても良い。洗浄用タンク４ａの内部に貯留してある洗浄液８０の内部に、吸引ライン８の下端開口部が位置するように、吸引ライン８をセッティングする。
【００５１】
その後、図５に示すステップＳ１１では、吸引チャンバ６内の減圧指示を出し、その後に、ステップＳ１２にて吸引ライン弁１０を開く。このステップＳ１１およびステップＳ１２の動作は、図２に示すステップＳ１およびステップＳ２の動作と同様であるが、図５に示すステップＳ１３以降の動作が、図２に示す通常運転時の動作と異なる。
【００５２】
すなわち、ステップＳ１３では、真空室１２の内部にまで洗浄液が入り込んでいるか否かを判断し、真空室１２の内部にまで洗浄液が入り込むまでは、真空チャンバ６の減圧指示を出し続ける。すなわち、吸引ライン弁１０および真空制御弁１６を開け続けると共に、真空ポンプ３０を運転し続ける。
【００５３】
ステップＳ１３にて、真空室１２の内部にまで洗浄液が入り込み始めた時点とは、吸引チャンバ６の内部が洗浄液で満杯になった時点である。その時点で、図５に示すステップＳ１４に行き、減圧指示解除を行っても良いが、本実施形態では、図７に示すように、真空室１２も洗浄液で満杯になった時点で、ステップＳ１４に行き、減圧指示解除を行う。
【００５４】
真空室１２の内部にまで洗浄液が入り込み始めた時点でステップＳ１４に行く場合には、その時点で、真空制御弁１６を閉じて、吸引チャンバ６の内部洗浄のみを行う。また、図７に示すように、真空室１２も洗浄液で満杯になった時点で、ステップＳ１４に行き、減圧指示解除を行う場合には、真空制御弁１６は、開けたままで、真空ポンプ３０の駆動のみを停止する。その前後に、吸引ライン弁１０は閉じる。
【００５５】
なお、真空室１２の内部にまで洗浄液が入り込み始めた時点、あるいは真空室１２も洗浄液で満杯になった時点の検出は、水位センサなどで行っても良いが、吸引ライン弁１０が開いてからの時間で検出することが容易である。真空室１２も洗浄液で満杯になると、洗浄液は、吸引口３２を通して、真空ポンプ３０へ吸引されるが、その洗浄液は、水タンク室３６へ吐出される。
【００５６】
その後、図５に示すステップＳ１５では、吸引ライン弁１０が閉じてからの時間を検出し、所定時間の範囲内であれば、吸引チャンバ６および真空室１２の内部が洗浄液で満杯になっている状態を保持し、これらの内部の洗浄を行う。ステップＳ１５における所定時間とは、特に限定されないが、好ましくは３〜６０分程度である。
【００５７】
ステップＳ１５にて、洗浄のために十分な所定時間が経過したら、ステップ１６へ行き、洗浄液の排出を行う。洗浄液の排出工程では、全ての弁１０，１６，２０，４０，４４および６２を開き、装置内部の洗浄液を全て排出する。
【００５８】
次に、洗浄液の種類を変えて、あるいは洗浄液を水に変えて、ステップＳ１０からＳ１６の洗浄工程を、再度繰り返しても良い。
【００５９】
本実施形態の搬送装置２では、自動洗浄機能がついているので、吸引ライン８を構成する配管を、洗浄のために分解する必要がないと共に、チャンバ６を分解する必要もない。そのため、洗浄作業が極めて容易になり、その作業の省力化が図れる。また、容易に洗浄が行えることから、洗浄回数が増え、衛生的である。
【００６０】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【００６１】
たとえば、図２に示すステップＳ５およびＳ６において、吸引ライン８の内部に存在する目的物７０の最上位水面位置Ｐが、吸引ライン弁１０を通過するタイミングを、水面位置検出センサなどで検出し、その検出されたタイミングで、吸引ライン弁１０を閉じても良い。この実施形態の場合には、密閉制御弁２０を開いた時点から時間を計測し、どのタイミングで、吸引ライン８の内部に存在する目的物７０の最上位水面位置Ｐが、吸引ライン弁１０を通過するかを、予備実験により確認する作業が不要となる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】図１は本発明の一実施形態に係る搬送装置の概略構成図である。
【図２】図２は図１に示す搬送装置の制御装置のフローを示すフローチャート図である。
【図３】図３は図１に示す搬送装置の具体例を示し、吸い込み状態を示す一部断面概略図である。
【図４】図４は図１に示す搬送装置の具体例を示し、吐出状態を示す一部断面概略図である。
【図５】図５は図１に示す搬送装置の制御装置の洗浄運転時のフローを示すフローチャート図である。
【図６】図６は図１に示す搬送装置の洗浄運転時の状態を示す概略図である。
【図７】図７は図６の続きの工程を示す概略図である。
【符号の説明】
【００６３】
２…  搬送装置
４…  下部タンク
４ａ…  洗浄用タンク
６…  吸引チャンバ
８…  吸引ライン
１０…  吸引ライン弁
１２…  真空室
１４…  真空ライン
１６…  真空制御弁
１８…  大気解放ライン
２０…  密閉制御弁
３０…  真空ポンプ
５０…  制御装置（制御手段）
６０…  排出口
６２…  排出制御弁
８０…  洗浄液
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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