(57)【要約】【課題】  フィルタ部材毎に多種の枠材を用意する必要がなく、連結のための部材も不要で、組み立て作業も簡易であるフィルタ用フレームを提供する。【解決手段】  底面部と、底面部の両端からそれぞれ同一方向に立設された左右一対の側面部と、底面部の側面部側の面に該底面部の全長にわたり設けられ、かつ、内壁にネジ溝が形成されたレール部とを一体に有するフレーム用枠材を用い、フィルタ部材の一方の辺の長さに対応させて切断して第１の枠材とし、フィルタ部材の他方の辺の長さに対応させて切断し、両端部において両側面部及びレール部をそれぞれ切除して切欠部を形成し、更に底面部にネジ孔を形成して第２の枠材とする。そして、第１の枠材の端部を第２の枠材の切欠部に係合させ、第２の枠材のネジ孔と第１の枠材のレール部とをネジで連結してフィルタ用フレームとする。【選択図】  図３
2006068642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに連結して形成される空間内にフィルタ部材を装着するフィルタ用フレームを形成するための枠材であって、
底面部と、底面部の両端からそれぞれ同一方向に立設された左右一対の側面部と、底面部の側面部側の面に該底面部の全長にわたり設けられ、かつ、内壁にネジ溝が形成されたレール部とを一体に有することを特徴とするフレーム用枠材。
【請求項２】
レール部は、その全長にわたりスリットが形成されていることを特徴とする請求項１記載のフレーム用枠材。
【請求項３】
保持対象となるフィルタ部材の一方の辺に対応する一対の枠材と、他方の辺に対応する一対の枠材とをそれぞれ対向配置し、前記枠材同士をネジで連結して構成されるフィルタ用フレームであって、
請求項１または２に記載のフレーム用枠材を、フィルタ部材の一方の辺の長さに対応させて切断してなる第１の枠材を一対で対向配置し、
請求項１または２に記載のフレーム用枠材を、フィルタ部材の他方の辺の長さに対応させて切断してなり、かつ、両端部において側面部の高さに相当する長さで両側面部及びレール部が切除され、底面部にレール部に対応してネジ孔が形成された切欠部を有する第２の枠材を一対で、第１の枠材と直交するように対向配置するとともに、
第１の枠材の端部を第２の枠材の切欠部に係合させ、第２の枠材のネジ孔と第１の枠材のレール部とがネジで連結してなることを特徴とするフィルタ用フレーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体の製造に用いられるクリーンルームの天井や壁面にフィルタ部材を取り付けるフィルタ用フレーム、並びに前記フィルタ用フレームを形成するための枠材に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体を製造するためのクリーンルームには、天井や壁面等に、ゴミや塵を除去するためのフィルタ部材が装着されている。このフィルタ部材は、その周辺をフィルタ用フレームで保持し（図４参照）、フィルタ用フレームごとクリーンルームの天井や壁面等に装着される。
【０００３】
フィルタ用フレームは、種々の構成のものが知られているが、フィルタ部材の縦辺及び横辺に対応した２対の枠材同士をネジで連結する構成が一般的である（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００４−１３２６２０号公報
【特許文献２】特開２００２−２００４０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、フィルタ部材は、その大きさ、即ち縦辺や横辺の長さが多様であるため、フィルタ用フレームを構成する縦辺用枠材及び横辺用枠材も、それに応じて数多くの種類を用意しなければならない。また、縦辺用枠材と横辺用枠材とを接続用のブラケット等を用いて連結する構成のフィルタ用フレームでは、部品点数が更に増加し、それとともに作業工数も増すようになる。
【０００５】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、フィルタ部材毎に多種の枠材を用意する必要がなく、連結のための部材も不要で、組み立て作業も簡易であるフィルタ用フレームを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は下記のフレーム用枠材及びフィルタ用フレームを提供する。
（１）互いに連結して形成される空間内にフィルタ部材を装着するフィルタ用フレームを形成するための枠材であって、
底面部と、底面部の両端からそれぞれ同一方向に立設された左右一対の側面部と、底面部の側面部側の面に該底面部の全長にわたり設けられ、かつ、内壁にネジ溝が形成されたレール部とを一体に有することを特徴とするフレーム用枠材。
（２）レール部は、その全長にわたりスリットが形成されていることを特徴とする上記（１）記載のフレーム用枠材。
（３）保持対象となるフィルタ部材の一方の辺に対応する一対の枠材と、他方の辺に対応する一対の枠材とをそれぞれ対向配置し、前記枠材同士をネジで連結して構成されるフィルタ用フレームであって、
上記（１）または（２）に記載のフレーム用枠材を、フィルタ部材の一方の辺の長さに対応させて切断してなる第１の枠材を一対で対向配置し、
上記（１）または（２）に記載のフレーム用枠材を、フィルタ部材の他方の辺の長さに対応させて切断してなり、かつ、両端部において側面部の高さに相当する長さで両側面部及びレール部が切除され、底面部にレール部に対応してネジ孔が形成された切欠部を有する第２の枠材を一対で、第１の枠材と直交するように対向配置するとともに、
第１の枠材の端部を第２の枠材の切欠部に係合させ、第２の枠材のネジ孔と第１の枠材のレール部とがネジで連結してなることを特徴とするフィルタ用フレーム。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、同一のフレーム用枠材を、目的とするフィルタ部材の縦辺及び横辺の長さに合わせて切断し、一方をそのまま使用し、他方に切欠部を形成すればよく、部材が共通化されるため、従来のようにフィルタ部材毎に縦辺用枠材及び横辺用枠材を用意する必要がない。また、組み立てに際して、ブラケット等の別の接続部材が不要で、組み立て作業も簡易となる。これらの効果により、コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【０００９】
（フレーム用枠材）
図１（Ａ）は本発明に係るフレーム用枠材を示す側面図、図１（Ｂ）はその正面（端面）図である。フレーム用枠材１１Ａは、例えばアルミニウム等により長尺の棒状部材として形成されているもので、底面部２１の両側からそれぞれ同方向に略直角に、所定の高さ（Ｈ）で左右一対の側面部２２が立設して断面略コ字状を呈する基部３０が形成され、更に底面部２１の側面部２２が形成された側の面には、全長にわたり略パイプ状のレール部２３が付設されている。
【００１０】
レール部２３は、その内壁にネジ溝１４が形成されている。また、周面の一部に長さ方向に沿って連続したスリット１５が形成されてもよい。尚、レール部２３は、図の例では２本形成されているが、基部３０の幅等、構造によっては１本、あるいは３本以上でも構わない。
【００１１】
上記のフレーム用枠材１１Ａは、押出成形により基部３０及びレール部２３に相当するパイプ状物を一体に成形し、所定長さに切断した後、パイプ状物の内壁にネジ溝１５を形成し、必要によりスリット１５を形成することによりレール部２３を形成すればよく、当業者であれば容易に作製することができる。
【００１２】
（フィルタ用フレーム）
本発明のフィルタ用フレームは、平面形状が四角形状のフィルタ部材を保持するものであり、保持対象のフィルタ部材の縦辺に相当する一対の縦辺用枠材と、横辺に相当する一対の横辺用枠材とをそれぞれ対向配置し、これら枠材同士をネジで連結して構成される（図４参照）。そして、図１に示したフレーム用枠材１１Ａを、フィルタ部材の一方の辺（ここでは縦辺）の長さに合わせて切断し、それをそのまま縦辺用枠材として使用する。
【００１３】
一方、フィルタ部材の他方の辺（ここでは横辺）を保持する横辺用枠材は、図２に示す構造を有する。尚、図２（Ａ）はその側面図、図２（Ｂ）は正面（端面）図、図２（Ｃ）は基部の内部を示す上面図である。図示されるように、横辺用枠材１１Ｂは、図１に示したフレーム用枠材を、保持対象となるフィルタ部材の横辺の長さに合わせて切断し、更にその両端の一部を切除して切欠部３１を形成したものである。
【００１４】
切除部分を図中一点鎖線で示すが、側面部２２，２２の両端２２ａ，２２ａ及びレール部２３，２３の両端２３ａ，２３ａを、縦辺用枠材１１Ａの高さ（Ｈ）分だけ切除され、切欠部３１が形成される。また、この切欠部３１において、底面部２１はそのまま残り、残った平板部２１ａには、縦辺用枠体１１Ａのレール部２３，２３に対応してネジ孔１６，１６が形成される。
【００１５】
上記の縦辺用枠材１１Ａと横辺用枠材１１Ｂとを用いてフィルタ用フレームとするには、図３に部分的に拡大して示すように、縦辺用枠材１１Ａと横辺用枠材１１Ｂとを直交配置し、横辺用枠材１１Ｂの切欠部３１と縦辺用枠材１１Ａの端部とを係合させる。これにより、切欠部３１において、縦辺用枠材１１Ａの端面２４ａと横辺用枠材１１Ｂの平板部２１ａとが当接し、縦辺用枠材１１Ａの側面部２２の下面２４ｂと横辺用枠材１１Ｂの側面部２２の切除端面２５とが当接して、縦辺用枠材１１Ａの平板部２１ａが縦辺用枠材１１Ａの端面２４ａの全体を覆って閉じた状態となる。それとともに、縦辺用枠材１１Ａのレール部２３と、横辺用枠材１１Ｂのネジ孔１６とが位置合わせてされる。そして、ネジ１３を横辺用枠材１１Ｂのネジ孔１６を通じて縦辺用枠材１１Ａのレール部２３のネジ溝１４に螺合させて締め付けることにより、縦辺用枠材１１Ａと横辺用枠材１１Ｂとが連結される。
【００１６】
尚、横辺用枠材１１Ｂのネジ孔１６が本来の位置から外れて、即ち上記の組み付け状態において縦辺用枠材１１Ａのレール部２３と一致しない位置に形成されることがあるが、レール部２３にスリット１５が形成されていると、この位置ズレを許容してネジ止めすることが可能になる。
【００１７】
図４は、フィルタ部材１０に本発明のフィルタ用フレーム１１を装着した状態を示す外観図であるが、図３に示す連結は図中のＡ〜Ｄに示す４箇所で同様に行われる。尚、フィルタ部材１０は、縦辺用枠材１１Ａ及び横辺用枠材１１Ｂのそれぞれの側面部で保持される。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のフレーム用枠材、並びに本発明のフィルタ用フレームの縦辺用枠材を示す図であり、（Ａ）はその側面図、（Ｂ）はその正面図である。
【図２】本発明のフィルタ用フレームの横辺用枠材を示す図であり、（Ａ）はその側面図、（Ｂ）はその正面図、（Ｃ）はその上面図である。
【図３】本発明のフィルタ用フレームの組み立て手順を説明する要部分解斜視図である。
【図４】本発明のフィルタ用フレームの組み立て状態を示す概略外観図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０    フィルタ部材
１１    フィルタ用フレーム
１１Ａ  縦辺用枠材
１１Ｂ  横辺用枠材
１３    ネジ
１４    ネジ溝
１６    ネジ孔
２１    底面部
２１ａ  平板部
２２    側面部
２２ａ  切除部
２３    レール部
２３ａ  切除部
３１    切欠部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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