(57)【要約】【課題】放熱性の向上、電極端子接続性の向上、製造コストの削減などを図る。【解決手段】液体吐出基板H1100の下には立体配線付き支持部材H1200が配置されている。立体配線付き支持部材H1200はセラミックシートH1201が積層されることで構成されている。立体配線付き支持部材H1200の表面には液体吐出基板H1100へ駆動信号を供給するための表面電極端子H1202が形成されており、側面もしくは裏面には本体から電気信号を受け取るための電極端子が形成されている。これら電極は内部導体配線H1204と導体が充填されたビアH1205とにより、立体配線付き支持部材H1200の内部を引き回すことで接続されている。液体吐出基板H1100と立体配線付き支持基板H1200はバンプH1105により電気的に接合され、さらに、封止剤H1206により封止されている。【選択図】図８
2006321222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を供給する液体供給口と、該液体供給口から供給された液体を吐出するための吐出口と、該液体を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段と、該吐出エネルギー発生手段に電力と駆動信号を供給するための第１の電極端子と、を備えた液体吐出基板と、
前記液体吐出基板を支持する支持面を有し、該支持面に配置され前記第１の電極端子と接続される第２の電極端子と、前記液体吐出基板の前記液体供給口に記録液を供給するための液体供給穴と、を備え、該液体供給穴を形成するための開口部と導体配線及びビアホールとが設けられたシート部材を複数枚積層することで形成された支持部材と、
前記支持部材の内部に前記導体配線と前記ビアホールによって形成され、前記液体吐出基板の支持面の前記第２の電極端子に電気的に繋がる立体電気配線と、を有し、
前記第２の電極端子が設けられた位置は、前記支持部材の前記液体吐出基板の支持面である最表層のシート部材に設けられた前記開口部の外側であり、かつ、前記最表層のシート部材と積層された少なくとも１層以上のシート部材とに支持されている液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記液体吐出ヘッドは、前記支持部材の側面もしくは、前記支持部材における前記液体吐出基板の支持面とは反対側の面に設けられた、前記立体電気配線を介して前記第２の電極端子と導通する外部電極をさらに有する、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記支持部材の前記液体供給穴は、前記支持部材における前記液体吐出基板の支持面から、該支持面とは反対側の面あるいは前記支持部材の側面へ貫通している、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記液体吐出基板の前記第１の電極端子は、前記液体吐出基板における前記支持部材と対向する面に設けられている、請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記第２の電極端子と繋がる前記立体電気配線は、前記支持部材における前記最表層のセラミックシートに設けられた前記開口部の、前記支持面とは反対側への投影面を横断するように配置されている、請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記支持部材における前記液体供給穴が複数形成されており、前記第２の電極端子と繋がる前記立体電気配線がそれぞれの前記液体供給穴の間に形成されている、請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記液体吐出ヘッドは、前記支持部材における前記液体吐出基板の支持面に形成され、前記液体吐出基板における前記支持部材と対向する面が放熱部材を介して接する放熱用導体をさらに有する、請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記液体吐出ヘッドは液体としてインクを吐出するインクジェット記録ヘッドである、請求項１から７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記液体吐出ヘッドは液体としてインクを吐出するインクジェット記録ヘッドであり、記録媒体を搬送する機構を有するインクジェット記録装置に搭載される、請求項１から８のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の記録液（以下、まとめて「インク」と呼ぶ）を吐出して記録動作を行う記録装置、この記録装置に適用される記録ヘッド、あるいは薬液等の液体を吐出する液体吐出へッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置に搭載される記録ヘッドの代表的なインク吐出方式としては、電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式は、電気熱変換素子を液室内に設け、電気熱変換素子に記録信号となる電気パルスを与えることにより記録液に熱エネルギーを与え、そのときの記録液の相変化により生じる記録液の発泡時の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。このようなインクジェット記録ヘッドは、記録液滴を吐出する液体吐出基板と、この液体吐出基板にインクを供給するインク供給系を有している。
【０００３】
液体吐出基板は、複数の電気熱変換素子と液体供給口が形成された素子基板と、この素子基板上に積層され、各電気熱変換素子を包囲する空間と各空間に連通する記録液滴の吐出口とインク供給路を形成する流路形成部材と、を備えている。上記の液体吐出基板は、液体供給穴を有する支持部材に支持され、また液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板の電極リード端子が、液体吐出基板の吐出口側の面に形成された電極と電気的に接続されている。
【０００４】
近年、インクジェット記録装置の価格の低下が著しく、インクジェット記録ヘッドをいかに安く作るかが課題となっている。そのためには、特に液体吐出基板の小型化が効果的である。例えば、液体吐出基板を小型化すると、ウエハ内からの液体吐出基板の取り個数が増加するので、記録ヘッドのコストダウンを図ることができる。
【０００５】
しかし、上記構成の液体吐出基板を小型化していくと、以下のような問題が生じる。
【０００６】
液体吐出基板の小型化を進めた際、液体吐出基板の支持部材との接合領域が減少する一方で電気熱変換素子の数は変わらないため、電気熱変換素子の駆動時に発生する熱が素子基板に蓄熱される傾向が強くなる。その結果、液体の発泡を用いた吐出制御に悪影響が出る虞がある。したがって、その熱を液体吐出基板から効率よく放出するために、支持基板を放熱性の高いものにしなければならない。
【０００７】
また、液体吐出基板が小型化することにより、電力と駆動信号を供給するための電極端子の接続部のサイズやピッチも小さくなり、接続性の確保が難しくなる。したがって、従来の液体吐出基板のように電力と駆動信号を供給するための電極端子が接続される電極を基板表面に形成することが困難になる。
【０００８】
電気接続性の問題を解決するための記録ヘッドの従来例としては、吐出口のある面とは反対側の面に電気的な接続電極があるプリントヘッドが特許文献１に開示されている。
【０００９】
図２６は、特許文献１に記載されたインクジェットプリントヘッドの電気接続構成を示すプリントヘッドダイと支持基板を含んだ一部分の断面図である。
【００１０】
図２６を参照すると、支持基板２２０に複数のプリントヘッド２１８が装着されている。プリントヘッド２１８は、ノズル開口部２３８が形成された面の裏面側に電気的な接続を行うための電極２８４とインク供給口２４２が形成されている。プリントヘッド２１８を保持するための支持基板２２０は第一の表面２７０及び第二の表面２７２に電気配線が施されている。そして、支持基板２２０の第１の表面２７０側においてはんだバンプによりプリントヘッド２１８が電気的に接続され搭載される。また論理回路（不図示）と駆動回路２３０は、支持基板２２０の第１の表面の反対側の第２の表面２７２に搭載される。
【００１１】
また、液体吐出基板を支持する支持基板の従来例として、特許文献２に、複数の液体吐出基板同士を正確に整列させることを目的としたキャリアが開示されている。このキャリアは、複数の層からなる基板と、該基板上に積層され、液体吐出基板を搭載する搭載層とを備え、搭載層の、基板とは反対側の面を平坦化することにより目的を達成させられるものである。このようなキャリアと呼ばれる支持基板を構成する搭載層には開口部が形成されており、この開口部は、搭載層に搭載された液体吐出基板のインク供給口と連通している。さらに、搭載層が配置された基板には、基板の各層を貫く開口部が形成されており、この開口部はインク流路として搭載層の開口部と連通している。また、液体吐出基板に電気信号を供給するために、キャリアにはキャリア裏面から表面へ基板の各層を貫いて延びる導電経路が形成されている。キャリア表面には、この導電経路の端部となる電極パッドが形成されている。そして、電極パッドと、液体吐出基板の吐出口がある側の面に形成された電極とがワイヤボンドのリード線で電気接続されている。
【特許文献１】特開平１１−１９２７０５号公報
【特許文献２】特開２００２−８６７４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、特許文献１に開示されているプリントヘッド（液体吐出基板）と支持基板の構成では、以下のような課題がある。
【００１３】
液体吐出基板を支持する支持基板が一層の基板からなるため熱容量が小さいので、液体吐出基板の電気熱変換素子の駆動時に発生する熱を支持基板側へ効率よく吸収することができない。つまり、放熱性が低いという課題がある。
【００１４】
さらに、図２６に示すように液体吐出基板の裏面電極にはんだバンプを設け、液体吐出基板を支持基板の上面に所定の荷重でバンプ接続する際、支持部材の変形や電極端子の接続不良が生じるという課題もある。すなわち、図２６を参照すると、プリントヘッドはその支持基板２２０に対向した面にインク供給口２４２を開口し、インク供給口２４２の開口端部に形成された裏面電極２８４に半田バンプが配置されている。一方、支持基板２２０には、プリントヘッドのインク供給口２４２と連通する開口部が形成され、この開口部の端部に半田バンプが接続される電極が形成されている。この支持基板２２０の、半田バンプが接続される開口端部の下側は支持されていないので、バンプ接続時に変形しやすい。その結果、半田バンプの接続性が低下する。
【００１５】
特に、支持基板にその表面から裏面を貫通する貫通電極を設ける場合、長い貫通電極を形成することは製造コストを向上させてしまうため、その支持基板の厚みは薄くするのが一般的である。このため、特許文献１に開示されるように支持基板の、半田バンプが接続される部位の下側が全く支えの無い構造になっていると、液体吐出基板接続時の支え強度が不足し、支持部材の変形や電極端子の接続不良が生じる。
【００１６】
また、特許文献２に開示されている記録ヘッドの構成では、液体吐出基板の吐出口がある側の面に形成された電極と、支持基板の液体吐出基板が搭載された面の電極パッドとがワイヤボンドのリード線で電気接続されている。このため、液体吐出基板の小型化が進み、電極ピッチが狭くなると、リード線では電極同士の接続が困難になる。さらに特許文献２では、支持基板の構成において放熱性を向上させる観点は述べられていない。
【００１７】
本発明の目的は、上記のインクジェット記録ヘッドの小型化に伴う課題に鑑み、放熱性の向上、電極端子接続性の向上、製造コストの削減などを図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明の液体吐出ヘッドは、記録液を吐出する液体吐出基板と、これを支持する支持部材と、支持部材内部に形成された立体電気配線とを有するものである。
【００１９】
液体吐出基板は、記録液を供給する液体供給口と、該液体供給口から供給された記録液を吐出するための吐出口と、該記録液を吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段を備える。さらに、該吐出エネルギー発生手段に電力と駆動信号を供給するための第１の電極端子を備えている。
【００２０】
支持部材は、液体吐出基板を支持する支持面を有し、該支持面に配置され前記第１の電極端子と接続される第２の電極端子と、前記液体吐出基板の前記液体供給口に記録液を供給するための液体供給穴とを備えている。さらに、支持部材は、該液体供給穴を形成するための開口部と導体配線及びビアホールとが設けられたセラミックシートを複数枚積層することで形成されている。
【００２１】
立体電気配線は、前記導体配線と前記ビアホールによって形成され、前記液体吐出基板の支持面の前記第２の電極端子に電気的に繋がっている。
【００２２】
さらに、前記第２の電極端子が設けられた位置は、前記支持部材の前記液体吐出基板の支持面である最表層のシート部材に設けられた前記開口部の外側である。その上、前記第２の電極端子は、前記最表層のシート部材と積層された少なくとも１層以上のシート部材とに支持されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、インクジェット記録ヘッドの小型化に際して、放熱性の向上、電極端子接続性の向上、製造コストの削減などを図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２５】
（実施形態１）
図１は本発明の実施形態１の記録ヘッドを示す外観斜視図である。図２は図１の記録ヘッドに使用される液体吐出基板の概略斜視図であり、図３は図２の液体吐出基板を部分的に拡大した斜視図である。図４は図１の立体配線付き支持部材（セラミックグリーンシート法により立体電気配線が形成された支持部材）の外観傾斜図である。図５は図４の立体配線付き支持部材上に図２の液体吐出基板が載置された状態の外観傾斜図である。
【００２６】
図６は図５のＡ−Ａ’断面を示す模式図であり、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ駆動電力を供給する電極近傍における断面図である。図７は図５のＢ−Ｂ’断面を示す模式図であり、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図を示している。図８は図５のＣ−Ｃ’断面を示す模式図であり、液体吐出基板の長手方向における立体配線支持部材の断面図である。
【００２７】
本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、図１〜図８に示すように、立体配線付き支持部材H1200と、その立体配線付き支持部材H1200の上に載置された（マウントされた）液体吐出基板H1100とを備える。さらに記録ヘッドは、立体配線付き支持部材H1200の液体吐出基板H1100とは反対側に接着剤H1301で接合されている記録液供給部材H1300を備えている。
【００２８】
この記録ヘッドは、インクジェット記録装置本体に搭載されているキャリッジ（不図示）に設けられた位置決め手段及び電気的接点によって固定支持される。また、キャリッジは記録用紙の搬送方向と交差する方向に移動自在となっている。さらに、記録ヘッドにはインクタンク（不図示）が着脱自在に取り付けられている。このため、インクタンク内のインクが無くなると新しいタンクに交換することができる。
【００２９】
液体吐出基板H1100の表面には図２、図３に示すようにインク等の記録液を吐出するための吐出口H1107が開口しており、吐出口H1107が複数列をなすことで、吐出口列H1108を形成している。液体吐出基板H1100の裏面側には記録液を供給するための液体供給口H1102が、吐出口列H1108の長さとほぼ等しい長さで開口している。液体供給口H1102からの記録液は発泡室H1109（液室）に入り一時的に貯留され、吐出エネルギー発生手段である電気熱変換素子H1103によって、発泡室H1109内の記録液が発泡し、吐出口H1107から記録液の吐出が行われることとなる。また、液体吐出基板H1100の端部には電気熱変換素子H1103等に電気的な信号を送るための複数の電極H1104が形成されている。電極H1104からは、液体吐出基板H1100を貫通する不図示の貫通配線を介して、液体吐出基板H1100の裏面側に形成された裏面電極端子H1111（図６）へと配線がつながっている。
【００３０】
液体吐出基板H1100の下には立体配線付き支持部材H1200が配置されている。立体配線付き支持部材H1200は、図６〜図８に示すように、セラミックシートH1201が積層されることで構成されている。立体配線付き支持部材H1200の表面には液体吐出基板H1100へ駆動信号を供給するための表面電極端子H1202が形成されており、側面には本体から電気信号を受け取るための側面電極端子H1203が形成されている（図４）。また、これら電極は内部導体配線H1204と導体が充填されたビアH1205とにより、立体配線付き支持部材H1200の内部を引き回すことで接続されている。液体吐出基板H1100と立体配線付き支持基板H1200はバンプH1105により電気的に接合され、さらに、封止剤H1206（あるいは接着剤）により封止されており、電気接合部を記録液による腐食や耐衝撃などから保護している。
【００３１】
また、図７，図８に示すように、立体配線付き支持部材H1200には表面から裏面まで貫通した液体供給口H1207が形成されている。立体配線付き支持部材H1200と接合される記録液供給部材H1300にも液体供給口H1302が形成されている。これにより、それぞれの部材の液体供給口が接合され連通することで、インクタンク（不図示）から供給される記録液がフィルタ（不図示）を介して記録液供給部材H1300に入る。その後、記録液は、液体供給口H1302を通って立体配線付き支持部材H1200の液体供給口H1207に入る。さらに、液体吐出基板H1100の液体供給口H1102と順に通ることで、液体吐出基板H1100の発泡室H1109に記録液が供給される。
【００３２】
このような本実施形態の液体吐出基板H1100は、約２００μｍの薄いシリコン基板H1110の表面に約２０μｍ〜数十μｍの高さの樹脂からなる吐出口H1108や発泡室H1102を有するへッド構造物が形成され、支持部材H1200に取り付けられている。そして、この支持部材H1200は、液体吐出基板H1100を、厚さ約０．１ｍｍ〜０．２ｍｍのセラミックシートH1201の積層構造の表面に、液体吐出基板H1100を電気的導通とインク供給とが可能な状態で支持している。ここで、表面電極端子H1202は、支持部材H1200の液体吐出基板H1100の支持面である最表層のセラミックシートに設けられた液体供給口H1302の外側に位置している。さらに、表面電極端子H1202は、最表層のセラミックシートH1201およびそのセラミックシートH1201の下に他の積層された少なくとも１層以上のセラミックシートH1201に設けられた液体供給口H1302の外側に位置するように配置されている。これにより、貫通電極用のビアH1205の形成を容易にするために用いられる薄いセラミックシートH1205が２層以上の部位で、支持基板H1200と液体吐出基板H1100との電気接続部を支持する構造となっている。そのため、支持部材H1200に液体吐出基板H1100を取り付ける際に、液体吐出基板側表面電極端子H1111と支持基板側表面電極端子H1202との接続部に作用する荷重をセラミックシートH1205の積層構造で支持することができる。
【００３３】
図６〜図８に示す立体配線付き支持部材H1200における液体吐出基板H1100と接する部分の表面電極端子H1202およびバンプH1105は、電気的な信号を送るのに用いても良い。また、これらは液体吐出基板H1100が吐出により発生する熱を立体配線付き支持部材へ逃がす放熱目的で使用しても良い。
【００３４】
立体配線付き支持部材H1200として用いるセラミックスの材料としては、記録液に対して化学的に安定なものであればよい。さらに、液体吐出基板H1100が吐出により発生する熱を放出できることができればなお良い。そのようなものとしてアルミナ、窒化アルミニウム、ムライト、低温焼成セラミックス（ＬＴＣＣ）などがあげられる。立体配線付き支持部材H1200に用いる配線材料としては、先に記述したセラミックスと密着性があるものであれば良い。例えば、W、Mo、Pt、Au、Ag、Cu、Pt-Pdなどが挙げられる。
【００３５】
立体配線付き支持部材H1200の裏面電極端子H1111と液体吐出基板H1100の表面電極端子H1202との電気接合部は封止剤（あるいは接着剤）H1206により封止されており、液体供給口H1207からの記録液と完全に隔絶されている。また、液体吐出基板H1100の液体供給口H1102の外周は封止剤H1206により、完全に密閉されており、液体吐出基板H1100の外部と隔絶されていて、記録液の外部への不要なリークを防止している。
【００３６】
また、本実施形態において、液体吐出基板H1100の裏面電極端子H1111と立体配線付き支持部材の表面電極端子H1202との接合は、金バンプのような金属バンプによる接合を用いることができる。あるいは、導電性接着剤による接合や熱硬化性接着剤により電極同士を互いに圧接する方法を用いても良い。また熱硬化性接着剤が導電粒子を含んでいても構わない。
【００３７】
なお、本実施形態では、１個の記録ヘッドあたり、１個の液体吐出基板が搭載される構成であり、液体吐出基板の吐出口列は１組である。そのため、液体吐出基板１個では単色の記録しかできないが、液体吐出基板を複数個用いるように構成することで、多色記録が可能となる（下記の実施形態１２を参照）。多数個の液体吐出基板が搭載されるほど、発生する熱量が増えるため、立体配線付き基板に実装された記録ヘッドは従来例よりも、より放熱性が有利である。
【００３８】
（実施形態２）
図９は、本発明の記録ヘッドの実施形態２を示し、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ駆動電力を供給する電極近傍における断面図である。なお、図９は図５のＡ−Ａ’断面に対応している。
【００３９】
上述した実施形態１では、立体配線付き支持部材H1200の表面に表面電極端子H1202を形成し、さらに立体配線付き支持部材H1200の側面には記録装置本体から電気信号を受け取るための側面電極端子H1203を形成する構成を示した。さらに、これらの電極同士を、立体配線付き支持部材H1200の内部に引き回まわされた内部導体配線H1204とビアH1205とにより接続する構成を示した。
【００４０】
この構成以外に、図９に示すように、記録装置本体と接合される駆動信号入力用の端子を、立体配線付き支持部材H1200における液体吐出基板の搭載面とは反対側の面に裏面電極端子H1208として配置することも可能である。このようにすることで、立体配線付き支持部材H1200と記録装置本体とを接合する為のパッド面積を大きく取ることが可能となり、接合信頼性が高まり、また、接合方法が容易となる。
【００４１】
（実施形態３）
図１０は、本発明の記録ヘッドの実施形態３を示し、液体吐出基板の長手方向における立体配線支持部材の断面図である。この図は図５のＣ−Ｃ’断面に対応している。
【００４２】
上述した実施形態１では図８のように立体配線付き支持部材H1200の液体供給口H1207の開口面積が深さ方向に関して同じである構成を示した。
【００４３】
この構成以外に、図１０に示すように、液体吐出基板H1100へ記録液を供給するための立体配線付き支持部材H1200内にある表面から裏面まで貫通した液体供給口H1207の開口面積を深さ方向において変化させることも可能である。図１０の断面図を参照すると、液体供給口H1207は階段状に形成されている。これは、セラミックシートH1201ごとの開口面積を変えることで形成することができる。特に本実施形態では、立体配線付き支持部材H1200の最表層のセラミックシートH1201より下層に行くほど液体供給口H1207の開口幅が狭くなっている。
【００４４】
（実施形態４）
図１１は、本発明の記録ヘッドの実施形態４を示し、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図である。この図は図５のＢ−Ｂ’断面に対応している。
【００４５】
上述した実施形態３の他に、図１１に示すように、立体配線付き支持部材H1200において、液体吐出基板H1100と接する最表層のセラミックシートH1201に形成された、液体供給口H1207の一部分に相当する開口部のみを正確に形成しても良い。つまり、その最表層より下側の複数のセラミックシートH1201の開口部を、その正確に形成された開口部の幅よりも大きく形成することも可能である。このようにすることで記録液の流動性が向上し、正確に液体吐出基板H1100へ記録液を供給することが可能となる。
【００４６】
次に、本実施形態の特徴について述べる。
【００４７】
図１１に示すように、立体配線付き支持部材H1200の最上層のセラミックシートH1201、すなわち液体吐出基板H1100の支持面を第１層H1211とする。第１層H1211の液体供給口は、液体吐出基板H1100の複数の裏面電極端子H1111とこれに対応する支持基板の表面電極端子H1202がバンプH1105により接続された部分（以下、電極端子接続部）で囲まれる範囲よりも内側に形成されている。図１１の断面では、第１層H1211の液体供給口幅W１は、電極端子接続部間距離W３より小さい。
【００４８】
また、第１層H1211に隣接する第２層H1212の液体供給口の開口端は、第１層H1211の液体供給口よりも外側に形成されているが、複数の電極端子接続部で囲まれる領域よりは内側に形成されている。図１１の断面では、第２層H1212の液体供給口幅W２は第１層H1211の液体供給口幅W１より大きく、かつ、電極端子接続部間距離W３より小さい。
【００４９】
また、第２層H1212より下層の第３層H1213以降の液体供給口も、第２層H1212の液体供給口と同じ開口幅で形成されている。
【００５０】
このように、液体吐出基板支持面である第１層H1211の液体供給口の開口端を電極端子接続部で囲まれた領域よりも内側に形成することで、封止剤H1206で電極端子接続部を保護できる領域を広くとることができる。このため、液体吐出基板が小型化しても、記録液からの電極端子接続部の保護信頼性を向上することができる。
【００５１】
また、液体吐出基板支持面である第１層H1211の液体供給口よりも下層の液体供給口の開口端を外側に形成して下層の液体供給口幅を大きくすることで、液体供給口の穴加工性を容易にし、製造コストの削減を図れる。また、下層の液体供給口幅を大きくすると液体供給口を通る記録液の流抵抗を低減させることができ、記録液の供給性能を向上させることができる。特に液体吐出基板が小型化した場合は、大きな効果が得られる。
【００５２】
さらに、電極端子接続部は、第１層及び第２層より下層の液体供給口よりも外側に配置されている。これにより、電極端子接続部の下には、支持部材の全層が配置されることとなるため、支持部材のバンプ接続面の平坦性が確保され、電極端子同士を接続する際の接続性が向上する。この特徴は図７，図８の形態、図１０の形態など、他の実施形態にも言えることである。
【００５３】
（実施形態５）
図１２は本発明の記録ヘッドの実施形態５を示す図であり、立体配線付き支持部材の液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図を示している。この図は図５のＢ−Ｂ’断面に対応している。
【００５４】
上述した実施形態４では、立体配線付き支持部材の最上層のグリーンシートH1201、すなわち液体吐出基板支持面である第１層H1211の液体供給口のみの開口幅を小さくし、その下層の開口幅は大きくする構成を示した。
【００５５】
これに対し、本実施形態では、第１層H1211と隣接する第２層H1212の液体供給口も第１層H1211と同じ大きさにしている。
【００５６】
実施形態４では、支持部材H1200の第１層H1211のセラミックシートの厚みを薄くしなければならない場合、第１層H1211の液体供給口の開口端部が第２層H1212の液体供給口の開口部内側に出っ張っている部分が、下へ垂れ込むことがある。これは、支持部材の製造工程中に発生する現象である。この垂れ込みにより、封止剤H1206による封止処理がうまく出来ずに、液体供給口内に封止剤が流れ込むなどの不具合が発生する場合がある。
【００５７】
したがって、本実施形態のように、最上層から２層分の液体供給口の開口幅を同じ大きさにすることで、この部分の剛性が上がり、垂れ込みを無くすことができる。本実施形態では、２層分としているが、層数を増やしても良い。セラミックシートの厚みより剛性が決まるため、封止に影響のない垂れ込み量を決め、これらより穴幅を小さくする層数を決めれば良い。
【００５８】
また、本実施形態の場合も電極端子接続部の下には、支持部材の全層が配置されることとなるため、支持部材のバンプ接続面の平坦性が確保され、電極端子同士を接続する際の接続性が向上する。
【００５９】
（実施形態６）
図１３は本発明の記録ヘッドの実施形態６を示す図であり、立体配線付き支持部材の液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図を示している。
【００６０】
上述した実施形態４、５では、立体配線付き支持部材の最上層から数層分の液体供給口の開口幅を小さくし、それより下層の液体供給口の開口幅を大きくする構成を示した。そして、下層部分の液体供給口の開口幅は全て、電極端子接続部間の距離よりも小さくなっている構成であった。
【００６１】
これに対し、本実施形態では、最上層２層分の液体供給口幅Ｗ１を小さくし（１層分、あるいは数層分でも構わない）、これに隣接する１層のみの液体供給口幅をＷ２として、電極端子接続部間の距離Ｗ３よりも小さくしている。そして、これより下層部分の液体供給口幅は、距離Ｗ３よりも大きくしている。
【００６２】
つまり、液体吐出基板H1100の裏面電極端子H1111と支持基板の表面電極端子H1202をバンプH1105により接続するとき、電極端子の接続性が確保できればよい。したがって、必ずしも最上層より下層部分全ての液体供給口幅を電極端子接続部間の距離よりも小さくする必要がない。本実施形態では、最上層２層分と隣接する１層のみの液体供給口幅をＷ２としているが、支持部材のバンプ接続面の平坦性によって、何層にするかは決めれば良い。
【００６３】
本実施形態によれば、上述した実施形態４、５と比べ、下層部分の液体供給口幅をさらに大きくすることができるため、支持部材の液体供給口の穴加工性がより容易となり、製造コストの削減を図れる。また、記録液の供給性能もより向上させることができる。
【００６４】
（実施形態７）
図１４は、本発明の記録ヘッドの実施形態７として、立体配線付き支持部材に形成される液体供給口を示す外観斜視図である。
【００６５】
上述した各実施形態では、立体配線付き支持部材H1200内にある液体供給口H1207が立体配線付き支持部材H1200の表面から裏面へと貫通している構成を示した。
【００６６】
これに対し、本実施形態では、立体配線付き支持部材H1200内にある液体供給口H1207は、図１４に示すように、立体配線付き支持部材H1200の表面から側面へ貫通している。これにより、記録液の流路方向を変えることが可能である。また、液体吐出基板H1100とインク供給部材H1300の位置関係を変えることが可能となり、設計上、自由度を増すことができる。
【００６７】
（実施形態８）
図１５は、本発明の記録ヘッドの実施形態８として、立体配線付き支持部材に形成される放熱部材を示す外観斜視図である。
【００６８】
上述した各実施形態では、立体配線付き支持部材H1200の液体吐出基板実装面に、液体吐出基板H1100の表面または裏面に設けられた電極端子と電気接合する表面電極端子H1202を配置する構成を示した。特に、実施形態１において、液体吐出基板H1100の裏面に設けられた裏面電極端子H1111と立体配線付き支持部材H1200の表面電極端子H1202とを電気接合することを述べた。そして、この電気接合部は電気的な信号を送るばかりでなく、液体吐出基板H1100が吐出により発生する熱を立体配線付き支持部材へ放熱する目的にも用いることを述べた。
【００６９】
このような放熱目的の、立体配線付き支持部材H1200の表面電極端子H1202は、実施形態１のように一つ一つが独立した形（図４、図１４参照）ではなく、図１５に示すように、全てが連続に繋がった放熱パターンH1209とすることも可能である。
【００７０】
（実施形態９）
図１６は、本発明の記録ヘッドの実施形態９を示し、液体吐出基板の長手方向における立体配線付き支持部材の断面図である。この図は図５のＣ−Ｃ’断面に対応している。図１７は、図１６のＤ−Ｄ’断面を示している。
【００７１】
本実施形態では、図１６に示すように、立体配線付き支持部材H1200の最上層のセラミックシートH1201より下層に行くほど液体供給口H1207の開口幅が狭くなっている。この形態は図１０に示す実施形態３と同様である。
【００７２】
図１７はこのようなテーパー状の液体供給口H1207の端部付近の断面を示している。この図に示す場所においては最上層である第１層H1211と第２層H1212のセラミックシートH1201には液体供給口H1207の開口が形成されているが、それより下層のセラミックシートH1201には液体供給口H1207の開口が形成されていない。そのため本実施形態では、第２層H1212より下層のセラミックシートH1201間に内部導体配線H1204が、上層の液体供給口の投影面を横断するように形成されている。つまり、第１層H1211と第２層H1212のセラミックシートH1201に形成された液体供給口H1207の開口部の下を通って、液体供給口H1207の対岸の一方から他方へ（図１６の紙面に直角な方向）内部導体配線H1204を引き回すことができる。
【００７３】
このような形態によれば、支持面に載置される液体吐出基板H1100に記録液を供給する液体供給口H1207を従来技術の様に迂回して引き回す必要が無いため、支持部材の上面から見た表面積を小さくすることに効果的である。したがって、記録ヘッドの小型化が図れる。
【００７４】
（実施形態１０）
図１８は本発明の記録ヘッドの実施形態１０を示し、液体吐出基板の長手方向における立体配線付き支持部材の断面図である。この図は図５のＣ−Ｃ’断面に対応している。
【００７５】
上述した実施形態９では、支持部材H1200の液体供給口H1207が、液体吐出基板H1100の支持面から離れるほど細くなるテーパー形状である構成を示した。そして、上層のセラミックシートH1201に形成された液体供給口の下側を横切るように内部導体配線H1204を配置する方法を示した。
【００７６】
この方法のほかに、図１８に示すように支持部材H1200の液体供給口H1207中にセラミックシートで梁構造を形成し、その梁内部を通って内部導体配線H1204が液体供給口H1207を横断する構成も可能である。図１８では梁１つの構成を示したが、梁は複数形成することも容易であり、支持部材H１200内部の電気配線の配線自由度が増す。
【００７７】
（実施形態１１）
図１９は本発明の記録ヘッドの実施形態１１を示し、液体吐出基板の長手方向における立体配線付き支持部材の断面図である。この図は図５のＣ−Ｃ’断面に対応している。
【００７８】
上述した実施形態９，１０では、支持部材H1200の液体供給口H1207がテーパー形状である構成を示した。これに対し、本実施形態の図１９に示すように、支持部材H1200の液体供給口H1207の開口部を、最上層から２層目のセラミックシートH1201より下から細くし、電気配線を最大限に引き回せる領域を確保することも好適である。
【００７９】
以上説明した実施形態９〜１１によれば、下記の効果が得られる。すなわち、支持部材の内部に形成される電気配線が支持部材最表面の液体供給口の投影面の内側に配置できるため、電気配線を全て液体供給口投影面の外側に形成する構成に比べて、支持部材の上面から見た面積を大幅に小さく出来る。すなわち、記録ヘッドの小型化が図れる。
【００８０】
（実施形態１２）
図２０は本発明の実施形態１２の記録ヘッドの要部を示す平面模式図であり、図２１は図２０のＦ−Ｆ’断面の模式図である。図２２は図３に示した液体吐出基板の裏側を見た斜視図である。
【００８１】
上述した実施形態では、１個の記録ヘッド当たり、１個の液体吐出基板を搭載する構成を示したが、本実施形態の記録ヘッドは、１個の記録ヘッド当たり、複数個の液体吐出基板が搭載される構成であり、１個の記録ヘッドで多色記録が可能である。またインクタンクも、多色記録のために、複数個のインクタンクを１個の記録ヘッドに搭載する構成となる。本実施形態の記録ヘッドでは図２０に示すとおり４個の液体吐出基板H1100が搭載可能である。
【００８２】
図２０、図２１に示すように、破線で示す液体吐出基板H1100の下には、立体配線付き支持部材（積層セラミック基板）H1200が配置されている。そして、立体配線付き支持部材H1200の、液体吐出基板H1100を搭載する側の面に形成された電極端子H1202に、エレキバンプH1105が配置されている。
【００８３】
一方、液体吐出基板H1100の裏面には、図２２に示すように、液体吐出基板H1100の表面側の電気回路（電気熱変換素子など）に電気的な信号を送るための複数の裏面電極端子H1111が形成されている。裏面電極端子H1111からは、液体吐出基板を貫通する不図示の貫通配線が設けられ、液体吐出基板H1100の表面側の電気回路へと配線がつながっている。
【００８４】
さらに、図２０のエレキバンプH1105と図２２の裏面電極端子H1111とが接合することで、電気的接続がなされ、記録液を吐出するのに必要な電力や電気的信号が立体配線付き支持部材H1200から液体吐出基板H1100へ供給される。このエレキバンプH1105による電気接続部は封止剤（あるいは接着剤）H1311により封止されており、電気接続部を、記録液による腐食や、外部衝撃などから保護している。
【００８５】
また、図２２において、液体吐出基板H1100の裏面のハッチングで示す部分は、放熱バンプ接合部H1125である。この部分には、液体吐出基板H1100の熱を放熱用導体層（金属箔）H1309を介して、立体配線付き支持部材H1200に伝熱するための放熱バンプH1310が形成される。放熱バンプH1310は、熱的伝達を行う目的で形成され、実質、電気的な接続は行われない。ただし、電気的なグランド配線として兼用してもよい。
【００８６】
さらに、放熱用導体層H1309は、液体吐出基板H1100の立体配線付き支持部材H1200への投影面積よりも広くなっている。これにより、液体吐出基板H1100からの発熱を放熱用導体層H1309上で広げることができ、放熱特性の良い記録ヘッドが構成できる。放熱バンプH1310は、上述したように、図２２に示す液体吐出基板H1100の放熱バンプ接合部H1125に対応するよう形成されたものである。本実施形態では、放熱バンプとしているが、バンプに限ることはなく、ハンダや、導電ペーストなど、熱伝導性の良い材料であれば用いることができる。また、液体吐出基板H1100の裏面にメッキバンプの形態で形成しても良い。また、本実施形態では、１つの液体吐出基板当たり、数１０個〜数１００個程度の放熱バンプ数で、１個のバンプ径はφ数１０μm〜数１００μmに設定している。しかし、放熱バンプの数は、これに限ることはなく、液体吐出基板の発熱量、要求される放熱特性、１つのバンプ当たりの接触面積（バンプ径）などにより、自由に設定可能である。
【００８７】
液体吐出基板H1100の裏面電極端子H1111と立体配線付き支持部材H1200の電極端子H1202との接合も、本実施形態では、エレキバンプH1105による接合の形態を示している。しかし、導電性接着剤による接合や熱硬化性接着剤により電極同士を互いに圧接する方法を用いても良い。また熱硬化性接着剤が導電粒子を含んでいても構わない。
【００８８】
立体配線付き支持部材H1200の素材としては、本実施形態ではアルミナ（Al2O3）を用いており、厚さは、積層構造全体として０．５〜１０ｍｍ程度である。しかし、素材は、アルミナに限ることはなく、記録素子基板の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ熱伝導率の良い材料で作られてもよい。例えば、シリコン（Si）、窒化アルミニウム（AlN）、ジルコニア、窒化珪素（Si3N4）、炭化珪素（SiC）などのいずれであっても良い。また、立体配線付き支持部材H1200の内部配線導体H1204の材料としては、銀（Ag）、銅（Cu）、モリブデン（Mo）、タングステン（W）、金（Au）などを使用すれば良い。
【００８９】
さらに、本実施形態の特徴について図を用いて詳述する。
【００９０】
図２３は、図２０の記録ヘッドの立体配線付き支持部材H1200のみを示す平面模式図であってオーバーコート層を除いた図であり、図２４は図２３のＧ−Ｇ’断面の模式図である。
【００９１】
図２３，図２４に示すように、立体配線付き支持部材H1200の液体吐出基板搭載面の導体層は、電極端子H1202と不図示のスルーホールと放熱用導体層H1309のみである。これら以外の部分には、導体層が形成されていないため、配線の凹凸がなく平坦性が確保されており、この部分にオーバーコート層H1301を形成しても、凹凸が発生せず平坦性が確保される。よって、この領域部分で、記録装置本体のゴム製のキャップ部材でキャッピングを実施しても、リークすることなく、キャップが立体配線付き支持部材H1200と密着する。その結果、クリーニング時の吸引不良や、待機時の保湿不良などが発生しない、安定したキャッピングが可能な記録ヘッドを構成することができる。
【００９２】
また、液体吐出基板H1100の液体供給口H1102と連通する貫通穴H1301の周囲のみに電極端子H1202や放熱用導電層H1309が形成されているだけで、それ以外には引き回し用の配線が形成されていない。このため、例えオーバーコート層H1301にピンホールがあっても、ワイピング動作で付着したインクによる電気的ショートや配線層の腐食を引き起こすことのない記録ヘッドを構成することができる。もし、液体吐出基板H1100と立体配線付き支持部材H1200との間の接着剤もしくは封止剤H1311にて、電極端子H1202や放熱用導電層H1309を全て覆うことができれば、オーバーコート層自体が不要となる。
【００９３】
なお、本発明では、液体吐出基板Ｈ1100の表面側の電気熱変換素子などの電気回路が、液体吐出基板Ｈ1100を貫通する不図示の貫通電極により裏面電極端子H1111に繋がっている。そして、液体吐出基板Ｈ1100の裏面電極端子H1111が、立体配線付き支持部材H1200の液体吐出基板搭載面にある電極端子H1202とエレキバンプH1105により電気接続されている。さらに、電極端子H1202から引き出された配線はすぐに電極端子近傍で形成された不図示のスルーホールにより、支持部材H1200の内層に形成された内部導体配線H1204にて引き回される。内部導体配線H1204は電極端子H1202周辺の真下に限らず、図２１に示すように、液体吐出基板へ記録液を供給するための貫通穴Ｈ1301同士の間にも形成される。
【００９４】
このようにして液体吐出基板Ｈ1100の表面側の電気回路の配線を液体吐出基板Ｈ1100の裏側の支持部材H1200内にて引き回すことで、液体吐出基板の表面で引き回す配線が減るので、記録ヘッドの小型化が図れる。
【００９５】
また、放熱用導体層H1309は貫通穴H1301の周囲を取り囲むように形成されているため、液体吐出基板H1100の発熱を効率よく、立体配線付き支持部材H1200に伝達することが可能であり、放熱特性にも優れた記録ヘッドが構成できる。
【００９６】
以上説明した本実施形態の構成により、安定したキャッピングが可能であり、耐インク信頼性が確保できる小型の記録ヘッドを提供できる。
【００９７】
また、本実施形態では、単一の液体供給口を有する液体吐出基板H1100を複数個、立体配線付き支持部材H1200に搭載する構成を示した。この構成の場合は、より高画質の記録を可能にするために、各液体吐出基板間の吐出口の相対位置精度を非常に高くする必要がある。したがって、本発明の液体吐出基板は一つの液体吐出基板H1100に各色の吐出口列と液体供給口が予め作り込まれたものであってもよい。このような複数の液体供給口を有する液体吐出基板においても、上述した各実施形態を適用し、同様の効果を得ることができる。
【００９８】
以上説明した本発明の実施形態１〜１２により下記の効果が得られる。
【００９９】
１）放熱性の向上
立体配線付き支持部材はセラミックシート積層間にセラミックスよりも熱容量の大きい金属のパターンを何層も形成することができるため、立体配線付き支持部材自身の熱容量を向上させることができる。それにより液体吐出基板から発生する熱をより早く吸収することが可能となり、放熱性を向上させることができる。
【０１００】
２）電極端子接続性の向上
液体吐出基板の裏面電極端子H1111と支持部材の表面電極端子H1202がバンプにより接続された部分（電極端子接続部）が、支持部材の少なくとも第１層H1211および第２層H1212の液体供給口よりも外側に配置されている。このため、支持部材のバンプ接続面の平坦性を確保できるので、電極端子の接続性が向上する。
【０１０１】
３）製造コストの削減
立体配線付き支持部材はセラミックグリーンシート積層法にて作製するため、小型化した液体吐出基板のサイズにあった液体供給口を持つ支持部材を比較的安価かつ簡便な方法で実現できる。また、立体配線付き基板は液体吐出基板へ駆動電力および信号を供給する部品と液体吐出基板の支持部材との両方を兼ねている。このため、従来のように液体吐出基板と電気接続され、駆動電力および信号を供給する電気配線基板が不要となる。これは、部品点数の削減および、部品接続工程の削減の観点から、記録ヘッドの製造コスト削減ができる。
【０１０２】
４）記録液供給性能の維持
液体吐出基板が小型化することで、支持基板においても、小型化された液体吐出基板に見合う液体供給口を形成する必要がある。液体供給口幅が細くなると、そこを流れる記録液の流抵抗が上昇し、記録液供給性能が低下する。本発明の立体配線付き支持部材はセラミックシートを積層したものであるため、液体吐出基板を搭載する最上層のセラミックシートだけに、小型化された液体吐出基板の液体供給口H1102に合う液体供給口を形成すればよい。そして、最上層のセラミックシートより下層の液体供給口幅を大きくすることで、支持部材の液体供給口を通る記録液の流抵抗を低減し、記録液供給性能が向上させることができる。
【０１０３】
５）記録液からの電気配線保護信頼性の向上
立体配線付き支持部材に使用されるセラミックス（例えばアルミナ）は化学的に非常に安定であり、配線を緻密なそのセラミックス内に形成することができる。このため、配線への記録液のアタックの可能性が無く、液体供給口が電気配線と近接することで封止材の保護領域が減少しても、耐食性、耐湿性ともより優れる。このような優れた性能に加え、支持部材の液体吐出基板支持面の液体供給口が電極端子接続部よりも内側に形成されているため、封止材の保護領域を広くすることができ、記録液からの電気配線保護信頼性を向上できる。
【０１０４】
６）液体吐出基板と支持部材との良好な電気的接続
表面電極端子は、支持部材の液体吐出基板の支持面である最表層のセラミックシートに設けられた液体供給口の外側に位置している。さらに、支持部材の支持面の表面電極端子は、最表層のセラミックシートおよびそのセラミックシートの下に他の積層された少なくとも１層以上のセラミックシートに設けられた液体供給口の外側に位置するように配置されている。これにより、貫通電極用のビアの形成を容易にするために用いられる薄いセラミックシートが２層以上の部位で、支持基板と液体吐出基板との電気接続部を支持する構造となっている。そのため、本発明によると、支持部材に液体吐出基板を取り付ける際に、液体吐出基板側裏面電極端子と支持基板側表面電極端子との接続部に作用する荷重をセラミックシートの積層構造で支えることができる。
【０１０５】
（実施形態１３）
次に、本発明の実施形態１３として、上述したような実施形態１〜１２の記録ヘッドを搭載可能な液体吐出記録装置について説明する。図２５は、本発明のインクジェット記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明図である。
【０１０６】
図２５に示す記録装置において、上述した実施形態による記録ヘッドＨ1001がキャリッジ１０２に位置決めして交換可能に搭載されている。キャリッジ１０２には、記録ヘッドＨ1001上の電気接続部を介して各吐出口列に駆動信号等を伝達するための電気接続部（不図示）が設けられている。
【０１０７】
キャリッジ１０２は、主走査方向に延在して装置本体に設置されたガイドシャフト１０３に沿って往復移動可能に案内支持されている。
【０１０８】
キャリッジのホームポジションには、記録ヘッドＨ1001のインク吐出口が形成された前面を塞ぐキャップ（不図示）が配置される。キャップは記録ヘッドＨ1001のインク吐出性能維持回復のための吸引回復を行うために用いられる。キャップの近傍には、液体吐出基板H1100のインク吐出口が開口した面を摺擦してそこに付着しているインク等を除去するためのクリーニングブレード（不図示）が設けられている。
【０１０９】
記録用紙やプラスチック薄板等の記録媒体１０８は、オートシートフィーダ（以後ＡＳＦ）１３２から一枚ずつ分離給紙され、記録ヘッドＨ1001の吐出口面と対向する位置（記録位置）を通って搬送（副走査）される。
【０１１０】
なお、記録媒体８は、記録位置において、その裏面をプラテン（不図示）により支持されている。この場合、キャリッジ１０２に搭載された記録ヘッドＨ1001は、それらの吐出口面がキャリッジ１０２から下方へ突出して上流側及び下流側にある２組の搬送ローラ対の間で記録媒体１０８と平行になるように保持されている。
【０１１１】
記録ヘッドＨ1001は、各吐出口列における吐出口の並び方向が上述したキャリッジ１０２の走査方向に対して交差する方向になるようにキャリッジ１０２に搭載されており、これらの吐出口列から液体を吐出して記録を行う。
【０１１２】
上述の実施形態では、熱エネルギーを利用してインクを吐出するために、熱エネルギーを発生する電気熱変換素子を備えていたが、もちろん本発明は、振動素子によってインクを吐出する等、その他の吐出方式を適用したものであってもよい。
【０１１３】
なお、本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明の実施形態１の記録ヘッドを示す外観斜視図である。
【図２】図１の記録ヘッドに使用される液体吐出基板の概略斜視図である。
【図３】図２の液体吐出基板を部分的に拡大した斜視図である。
【図４】図１の立体配線付き支持部材の外観傾斜図である。
【図５】図４の立体配線付き支持部材上に図２の液体吐出基板が載置された状態の外観傾斜図である。
【図６】図５のＡ−Ａ’断面を示す模式図であり、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ駆動電力を供給する電極近傍における断面図である。
【図７】図５のＢ−Ｂ’断面を示す模式図であり、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図を示している。
【図８】図５のＣ−Ｃ’断面を示す模式図であり、液体吐出基板の長手方向における立体配線支持部材の断面図である。
【図９】本発明の記録ヘッドの実施形態２を示し、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ駆動電力を供給する電極近傍における断面図である。
【図１０】本発明の記録ヘッドの実施形態３を示し、液体吐出基板の長手方向における立体配線支持部材の断面図である。
【図１１】本発明の記録ヘッドの実施形態４を示し、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図である。
【図１２】本発明の記録ヘッドの実施形態５を示し、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図である。
【図１３】本発明の記録ヘッドの実施形態６を示し、立体配線付き支持部材の、液体吐出基板へ記録液を供給する液体供給口近傍における断面図である。
【図１４】本発明の記録ヘッドの実施形態７として、立体配線付き支持部材に形成される液体供給口を示す外観斜視図である。
【図１５】本発明の記録ヘッドの実施形態８として、立体配線付き支持部材に形成される放熱部材を示す外観斜視図である。
【図１６】本発明の記録ヘッドの実施形態９を示し、液体吐出基板の長手方向における立体配線支持部材の断面図である。
【図１７】図１６のＤ−Ｄ’断面図である。
【図１８】本発明の記録ヘッドの実施形態１０を示し、液体吐出基板の長手方向における立体配線支持部材の断面図である。
【図１９】本発明の記録ヘッドの実施形態１１を示し、液体吐出基板の長手方向における立体配線支持部材の断面図である。
【図２０】本発明の実施形態１２の記録ヘッドの要部を示す平面模式図である。
【図２１】図２０のＦ−Ｆ’断面の模式図である。
【図２２】図３に示した液体吐出基板の裏側を見た斜視図である。
【図２３】図２０の記録ヘッドの立体配線付き支持部材のみを示す平面模式図であってオーバーコート層を除いた図である。
【図２４】図２３のＧ−Ｇ’断面の模式図である。
【図２５】本発明のインクジェット記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明図である。
【図２６】従来の記録ヘッドの構成を示す模式断面図である。
【符号の説明】
【０１１５】
H1100  液体吐出基板
H1102  液体供給口
H1103  電気熱変換素子
H1105  バンプ（エレキバンプ）
H1107  吐出口
H1108  吐出口列
H1109  発泡室
H1111  裏面電極端子
H1200  立体配線付き支持部材
H1201  セラミックシート
H1202  表面電極端子
H1203  側面電極端子
H1204  内部導体配線
H1205  ビア
H1206  封止剤
H1207  液体供給口
H1208  裏面電極端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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