(57)【要約】【課題】  良好かつ均一な水切り、乾燥効果を得ることができる水きり乾燥装置を提供すること。【解決手段】  アルコール類とハロゲン化炭化水素類とからなる第一の溶剤を貯留する水切り槽部４と、ハロゲン化炭化水素類からなる第二の溶剤を貯留するすすぎ乾燥槽部１０と、これら第一の溶剤および第二の溶剤の蒸気を滞留させる蒸気滞留部１６，１７と、前記水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０と前記蒸気滞留部１６，１７とを連通させる連通部２０，２１と、前記水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０と前記蒸気滞留部１６，１７との連通を遮る方向に前記連通部２０，２１内において蒸気の流れを発生させる蒸気流発生手段１５，３２，３４，３５，３６と、を備えることを特徴とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルコール類とハロゲン化炭化水素類とが混合された第一の溶剤に水の付着したワークを浸漬した後、ハロゲン化炭化水素類からなる第二の溶剤を加熱することにより生じた蒸気の中に前記ワークを所定の時間おくことにより、前記ワークの水切り、乾燥を行う水切り乾燥装置において、
前記第一の溶剤を貯留する水切り槽部と、
前記第二の溶剤を貯留するすすぎ乾燥槽部と、
前記水切り槽部に貯留された前記第一の溶剤および前記すすぎ乾燥槽部に貯留された前記第二の溶剤の蒸気を滞留させる蒸気滞留部と、
前記水切り槽部および前記すすぎ乾燥槽部と前記蒸気滞留部とを連通させる連通部と、
前記水切り槽部および前記すすぎ乾燥槽部と前記蒸気滞留部との連通を遮る方向に前記連通部内において蒸気の流れを発生させる蒸気流発生手段と、を備えることを特徴とする水切り乾燥装置。
【請求項２】
前記蒸気流発生手段は、
前記水切り槽部から溢れた前記第一の溶剤と前記すすぎ乾燥槽部から溢れた前記第二の溶剤とこれら溢れた第一の溶剤および第二の溶剤に含まれる水とを、管路を介して取り込み、これら取り込んだ第一の溶剤、第二の溶剤および水からなる水入り混合溶剤から水のみを分離して、前記第一の溶剤および前記第二の溶剤からなる混合溶剤のみを前記水切り槽部に環流させる水分離槽と、
前記連通部に形成された吐出孔および吸入孔と、
この吸入孔に管路を介して連通されたエダクタと、
このエダクタに管路を介して連通された循環ポンプと、を備え、
前記エダクタおよび前記循環ポンプが前記水分離槽に共に連通されるとともに、前記水分離槽が前記吐出孔に管路を介して連通され、
前記循環ポンプを駆動して、前記エダクタによって生じる前記連通部内の気圧差により、前記吐出孔から前記吸入孔に向かう蒸気の流れを発生させることを特徴とする請求項１に記載の水切り乾燥装置。
【請求項３】
前記蒸気滞留部は、前記水切り槽部に対向して配される第一の蒸気滞留部と、前記すすぎ乾燥槽部に対向して配される第二の蒸気滞留部とを備え、
これら第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部のそれぞれに、蒸気を凝縮させる蒸気凝縮手段が設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の水切り乾燥装置。
【請求項４】
前記連通部は、前記水切り槽部と第一の蒸気滞留部とを連通させる水切り用連通部と、前記すすぎ乾燥槽部と第二の蒸気滞留部とを連通させるすすぎ乾燥用連通部と、を備え、
前記蒸気流発生手段は、前記水切り用連通部と前記すすぎ乾燥用連通部とにわたって、蒸気の流れを発生させることを特徴とする請求項３に記載の水切り乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば被洗浄物の脱脂洗浄、リンス工程時に被洗浄物の表面に付着した水を除去する水切り乾燥装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば、電子部品や光学・ガラス部品などの製造過程において、それら部品の洗浄、リンス工程の際に付着した水を除去するための種々の水切り乾燥装置が使用されている。これら水切り乾燥装置の中には、以下のようなものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
すなわち、この水切り乾燥装置は、図４に示すように、ワークの水切りや、すすぎ乾燥が行われる水切り乾燥部１１０を備えている。水切り乾燥部１１０は、アルコール類とハロゲン化炭化水素類とが混合された溶剤を貯留する水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３と、これら水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３の上部に両槽１０２，１０３にわたって設けられた蒸気滞留筒部１０１とを備えている。
【０００３】
水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３には、前記溶剤をそれぞれ加熱するためのヒータ１０９が設置され、また水切り槽部１０２には超音波洗浄を行うための超音波発振器１１１が設けられている。蒸気滞留筒部１０１内は、水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３からの蒸気が滞留して蒸気域１０４が形成されるようになっており、蒸気滞留筒部１０１には、蒸気域１０４の蒸気を凝縮し、水切り槽部１０２に凝縮液を環流させる冷却手段１０５および凝縮液水分離器１０６とが設置されている。
【０００４】
さらに、水切り槽部１０２には、ヒータ１１２を有する加温槽１０７が連通され、この加温槽１０７は、水切り槽部１０２から溢れた、水を含む溶剤を取り込み、この取り込んだ溶剤と水をヒータ１１２によりさらに加熱した後、水分離槽１０８に送り込むようになっている。水分離槽１０８は、送り込まれた溶剤と水から、水を分離し、溶剤のみを水切り槽部１０２および蒸気槽部１０３に環流するようになっている。
【０００５】
このような構成のもと、水切り槽部１０２の溶剤にワークを浸漬することにより、ワークに付着した水が除去される。その後、蒸気槽部１０３内にワークを移動させ、この蒸気槽部１０３内において、蒸気洗浄が行われる。そして、ワークの表面温度が溶剤の沸点に達した後に、蒸気槽部１０３から蒸気域１０４を通してワークが蒸気滞留筒部１０１の外に搬出される。
これによりワーク表面から水が除去されて、その表面が乾燥状態となる。
【特許文献１】特開平８−１１７５０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のような水切り乾燥装置では、水切り槽部１０２や蒸気槽部１０３で発生した蒸気が蒸気滞留筒部１０１に移動する際に、各槽部１０２，１０３で発生した汚れ成分や水がその蒸気によって運ばれて、蒸気域１０４にはそれら汚れ成分や水が含んだものになる。そのため、ワークを蒸気洗浄した後、蒸気槽部１０３から蒸気域１０４を通してワークを搬出するときに、ワーク表面に汚れ成分や水が付着してしまうという問題がある。これによって、水切り、乾燥効果が低下するだけでなく、その処理結果にばらつきが生じてしまう。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、良好かつ均一な水切り、乾燥効果を得ることができる水切り乾燥装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
請求項１に係る発明は、アルコール類とハロゲン化炭化水素類とが混合された第一の溶剤に水の付着したワークを浸漬した後、ハロゲン化炭化水素類からなる第二の溶剤を加熱することにより生じた蒸気の中に前記ワークを所定の時間おくことにより、前記ワークの水切り、乾燥を行う水切り乾燥装置において、前記第一の溶剤を貯留する水切り槽部と、
前記第二の溶剤を貯留するすすぎ乾燥槽部と、前記水切り槽部に貯留された前記第一の溶剤および前記すすぎ乾燥槽部に貯留された前記第二の溶剤の蒸気を滞留させる蒸気滞留部と、前記水切り槽部および前記すすぎ乾燥槽部と前記蒸気滞留部とを連通させる連通部と、前記水切り槽部および前記すすぎ乾燥槽部と前記蒸気滞留部との連通を遮る方向に前記連通部内において蒸気の流れを発生させる蒸気流発生手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
この発明に係る水切り乾燥装置においては、水切り槽部に貯留された第一の溶剤と、すすぎ乾燥槽部に貯留された第二の溶剤とが蒸発し、それら蒸気が連通部を通って蒸気滞留部に到達することにより蒸気滞留部内に蒸気域が形成される。また、蒸気流発生手段により、連通部においてこの連通を遮る方向に蒸気が流され、その結果連通部に蒸気の流れが発生する。そのため、水切り槽部およびすすぎ乾燥槽部からの蒸気が蒸気滞留部に到達するまでの間に、それらの蒸気は蒸気の流れとなって前記連通を遮る方向に流されるとともに、汚れ成分や水も一緒に流される。そして、流された蒸気の一部がその流れから抜けて蒸気滞留部に到達する。この到達した蒸気は汚れ成分や水を含まないものであり、これにより蒸気滞留部内に、汚れ成分や水の無い蒸気域が形成される。
【００１０】
以上より、水切り槽部およびすすぎ乾燥槽部から蒸気滞留部に向かう蒸気によって運ばれる汚れ成分や水を除去することができ、蒸気滞留部内に蒸気のみによる純粋な蒸気域を形成することができる。そのため、乾燥後のワークを装置から排出するときに、そのワークの表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができる。
【００１１】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の水切り乾燥装置において、前記蒸気流発生手段は、前記水切り槽部から溢れた前記第一の溶剤と前記すすぎ乾燥槽部から溢れた前記第二の溶剤とこれら溢れた第一の溶剤および第二の溶剤に含まれる水とを、管路を介して取り込み、これら取り込んだ第一の溶剤、第二の溶剤および水からなる水入り混合溶剤から水のみを分離して、前記第一の溶剤および前記第二の溶剤からなる混合溶剤のみを前記水切り槽部に環流させる水分離槽と、前記連通部に形成された吐出孔および吸入孔と、この吸入孔に管路を介して連通されたエダクタと、このエダクタに管路を介して連通された循環ポンプと、を備え、前記エダクタおよび前記循環ポンプが前記水分離槽に共に連通されるとともに、前記水分離槽が前記吐出孔に管路を介して連通され、前記循環ポンプを駆動して、前記エダクタによって生じる前記連通部内の気圧差により、前記吐出孔から前記吸入孔に向かう蒸気の流れを発生させることを特徴とする。
【００１２】
この発明に係る水切り乾燥装置においては、循環ポンプを駆動すると、水分離槽に集められ分離された混合溶剤がエダクタを介して水分離槽に循環される。そのため、エダクタにより管路を介して連通部内に気圧差が生じ、吸入孔に吸引力が働く。これにより吐出孔から吸入孔に向けて蒸気の流れが発生する。
以上より、連通部内に蒸気の流れを容易かつ確実に発生させることができる。
【００１３】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２に記載の水切り乾燥装置において、前記蒸気滞留部は、前記水切り槽部に対向して配される第一の蒸気滞留部と、前記すすぎ乾燥槽部に対向して配される第二の蒸気滞留部とを備え、これら第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部のそれぞれに、蒸気を凝縮させる蒸気凝縮手段が設けられていることを特徴とする。
【００１４】
この発明に係る水切り乾燥装置においては、水切り槽部に貯留された第一の溶剤が蒸発して第一の蒸気滞留部に蒸気域が形成され、すすぎ乾燥槽に貯留された第二の溶剤が蒸発して第二の蒸気滞留部に蒸気域が形成される。そして、第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部に設けられた各蒸気凝縮手段により、それぞれの蒸気域の蒸気が凝縮される。
以上より、水切り槽部とすすぎ乾燥槽部とのそれぞれに対向して第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部が別個に設けられ、それら第一および第二の蒸気滞留部のそれぞれに蒸気凝縮手段が設けられていることから、蒸気の捕集効率を向上させ、第一の溶剤および第二の溶剤の消費を抑制することができる。
【００１５】
請求項４に係る発明は、請求項３に記載の水切り乾燥装置において、前記連通部は、前記水切り槽部と第一の蒸気滞留部とを連通させる水切り用連通部と、前記すすぎ乾燥槽部と第二の蒸気滞留部とを連通させるすすぎ乾燥用連通部と、を備え、前記蒸気流発生手段は、前記水切り用連通部と前記すすぎ乾燥用連通部とにわたって、蒸気の流れを発生させることを特徴とする。
【００１６】
この発明に係る水切り乾燥装置においては、蒸気流発生手段により、水切り用連通部とすすぎ乾燥用連通部とにわたって蒸気の流れが発生する。そのため、第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部のそれぞれに、蒸気のみによる純粋な蒸気域が形成される。
以上より、第一の蒸気滞留部を通してワークを装置内に搬入する場合に、ワーク表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができ、ワークの水切り、乾燥効果を向上させることができる。また、水切り用連通部とすすぎ乾燥用連通部とにわたって蒸気の流れを発生させることから、第一の蒸気滞留部および第二の蒸気滞留部に向かう汚れ成分や水を効率よく除去することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、蒸気域を通して乾燥後のワークを装置外へ排出するときに、そのワークの表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができ、ワークの水切り、乾燥をより効果的かつ均一に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（実施例）
以下、本発明の実施例における水切り乾燥装置について、図面を参照して説明する。
図１は、水切り乾燥装置にワークを搬入し、水切り、乾燥後にワークを搬出する様子を示した図であり、符号１は水切り乾燥装置、符号Ｗはワークを示したものである。
水切り乾燥装置１は、ワークＷの水切りが行われる水切り部２と、すすぎや乾燥が行われるすすぎ乾燥部３とを備えている。
【００１９】
水切り部２は、アルコールとフルオロカーボンとからなる第一の溶剤（例えば、バートレールＸ−Ｅ１０、三井・デュポンフロロケミカル社製）を貯留する水切り槽部４を備えており、この水切り槽部４には、前記第一の溶剤を過熱するためのヒータ５と、超音波洗浄により水切りを効率よく行うための超音波発振器６とが設けられている。また、水切り槽部４の底部には管路７の一端が設けられており、この管路７の他端は、ポンプ８およびフィルタ９を介して、水切り槽部４の上部に取り付けられている。これにより、ポンプ８を駆動すると、水切り槽部４の底部から取り込んだ第一の溶剤が水切り槽部４に貯留する第一の溶剤の液面に向けて管路７の他端から吐き出されるようになっている。
【００２０】
また、前記すすぎ乾燥部３は、フルオロカーボンからなる第二の溶剤（例えば、バートレールＸＥ、三井・デュポンフロロケミカル社製）を貯留するすすぎ乾燥槽部１０とヒータ５と超音波発振器６とを備えており、ポンプ８を駆動すると、すすぎ乾燥槽部１０の底部から取り込んだ第二の溶剤がすすぎ乾燥槽部１０に貯留する第二の溶剤の液面に向けて管路７の他端から吐き出されるようになっている。
【００２１】
さらに水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０は、水が含まれる水入り混合溶剤を水と混合溶剤とに分離させる溢水用水分離槽（蒸気流発生手段、水分離槽）１５に、管路７を介して連通されている。
ここで、第一の溶剤と第二の溶剤とが混合された溶剤を単に混合溶剤といい、この混合溶剤に水が加えられた溶剤を水入り混合溶剤というものとする。但し、本実施例においては、第一の溶剤はアルコールとフルオロカーボンとからなり、第二の溶剤はフルオロカーボンからなるので、これらが混合された混合溶剤はアルコールとフルオロカーボンとからなり、結局第一の溶剤と同じ成分となる。
【００２２】
そして、水切り槽部４の液面に溜まった、水を含む第一の溶剤が溢れだすと、その水を含む第一の溶剤が管路７を介して溢水用水分離槽１５に集められるようになっている。同様にして、すすぎ乾燥槽部１０の液面に溜まった、水を含む第二の溶剤が溢れだすと、その水を含む第二の溶剤が溢水用水分離槽１５に集められるようになっている。そして、この溢水用水分離槽１５の中で、第一の溶剤と第二の溶剤と水とが混合され、水入り混合溶剤になるようになっている。溢水用水分離槽１５は、その水入り混合溶剤を水と混合溶剤とに分離し、混合溶剤のみを水切り槽部４に環流させるようになっている。
【００２３】
さらに、本実施例における水切り乾燥装置１においては、水切り槽部４に対向して水切り用蒸気滞留筒部（蒸気滞留部、第１の蒸気滞留部）１６が配されており、すすぎ乾燥槽部１０に対向してすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部（蒸気滞留部、第２の蒸気滞留部）１７が設けられている。そして、水切り槽部４と水切り用蒸気滞留筒部１６とは水切り用連通部２０を介して連通されており、すすぎ乾燥槽部１０とすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７とはすすぎ乾燥用連通部２１を介して連通されている。これにより、各槽部４，１０に貯留された第一の溶剤および第二の溶剤のそれぞれから蒸発した蒸気は、各連通部２０，２１を通って、各蒸気滞留筒部１６，１７内に到達し、各蒸気滞留筒部１６，１７内にそれぞれ蒸気域２３ａ，２３ｂを形成するようになっている。
【００２４】
水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７の上部は開放されており、不図示の搬送装置によって、それら開放部１６ａ，１７ａを介してワークＷの搬出入が行われるようになっている。また、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７の内壁面には、図１から図３に示すように、その内周を巡るようにそれぞれ冷却装置（蒸気凝縮手段）２４が設けられている。そしてこれら冷却装置２４の下部には、冷却された凝縮液を取り込む堰２５がそれぞれ設けられている。これら堰２５は、凝縮液と水とを分離する凝縮用水分離槽２６に管路７を介して連通されている。これにより、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７に滞留する蒸気が、それぞれ冷却装置２４によって冷却されることにより凝縮し、これら凝縮液が堰２５によって取り込まれ、凝縮用水分離槽２６に送られるようになっている。そして、凝縮用水分離槽２６は、送られた凝縮液を水と凝縮液とに分離し、凝縮液のみをすすぎ乾燥槽部１０内に環流するようになっている。
【００２５】
さらに、水切り用連通部２０とすすぎ乾燥用連通部２１とは連通路３０を介して連通されており、この連通路３０を介して、搬送装置により水切り部２からすすぎ乾燥部３へとワークＷを搬送するようになっている。また、水切り用連通部２０には、連通路３０と対向する位置に凝縮器３１が設けられており、この凝縮器３１の近傍に吸入孔（蒸気流発生手段）３２が形成されている。吸入孔３２は管路７を介してエダクタ（蒸気流発生手段）３４の吸入ポート３４ａに連通されており、エダクタ３４の出力ポート３４ｂは前記溢水用水分離槽１５に管路７を介して連通されている。またエダクタ３４の入力ポート３４ｃは、フィルタ９および循環ポンプ（蒸気流発生手段）３５を介して、溢水用水分離槽１５の底部に連通されている。
【００２６】
さらに、すすぎ乾燥用連通部２１には、連通路３０に対向する位置に吐出孔（蒸気流発生手段）３６が形成されており、この吐出孔３６は管路を介して溢水用水分離槽１５に連通されている。
このような構成のもと、循環ポンプ３５を駆動すると、溢水用水分離槽１５の底部から、分離された混合溶剤が取り込まれるとともに、この取り込まれた混合溶剤がフィルタ９、入力ポート３４ｃおよび出力ポート３４ｂを通って、溢水用水分離槽１５に環流されるようになっている。そして、これによりエダクタ３４内の気圧が変化し、吸入ポート３４ａから空気が吸い込まれ、これによって管路７を介して吸入孔３２から空気が吸い込まれ、水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０からの蒸気が、吐出孔３６から吸入孔３２に向かって流されるようになっている。
【００２７】
次に、このように構成された本実施例における水切り乾燥装置１の作用について説明する。
水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０に第一の溶剤および第二の溶剤がそれぞれ貯留された状態でヒータ５を駆動すると、第一の溶剤および第二の溶剤が所定の温度になるまで加熱され、これにより第一の溶剤および第二の溶剤が蒸発し始める。そして、これら蒸気は、後述するように蒸気の流れとなって吸入孔３２に向けて流されるが、この流れから抜け出た蒸気が、水きり用蒸気滞留筒部１６とすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７とにそれぞれ蒸気域２３ａ，２３ｂを形成する。
【００２８】
そして、不図示の搬送装置によって、水切り用蒸気滞留筒部１６の開放部１６ａから蒸気域２３ａを介してワークＷが水切り部２の中に搬入されて、水切り槽部４内の略４０℃の第一の溶剤に浸漬される。これによりワークＷの表面に付着した水が除去される。その後、不図示の搬送装置によって、ワークＷが、水切り槽部４の第一の溶剤の中から引き上げられ、連通路３０を通されて、すすぎ乾燥部３内に移動させられる。そして、ワークＷは、すすぎ乾燥槽部１０内の略４８℃の第二の溶剤に浸漬される。これにより、ワークＷの洗浄やすすぎが行われる。
【００２９】
水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０内に貯留された第一の溶剤および第二の溶剤にワークＷを浸漬すると、それら第一の溶剤および第二の溶剤に水が混入する。この水は第一の溶剤および第二の溶剤内でそれぞれ浮上し、ワークＷを浸漬することにより第一の溶剤および第二の溶剤とともに各槽部４，１０から溢れ出る。これら溢れ出た第一の溶剤と第二の溶剤と水とは、管路７を介して溢水用水分離槽１５に送られ、水入り混合溶剤となる。そして、それぞれの比重差を利用して混合溶剤と水とに分離されて、混合溶剤のみが水切り槽部４に環流される。
【００３０】
さらに、上記のようにワークＷのすすぎが行われると、ワークＷは、不図示の搬送装置により移動させられ、蒸気域２３ｂ内で所定の時間保持される。これにより、ワークＷの乾燥が行われ、この乾燥が終わると、すすぎ乾燥槽用蒸気滞留筒部１７の開放部１７ａから搬出される。
これら一連の処理が繰り返され、新たなワークＷの水切り、乾燥が順次行われる。
【００３１】
ここで、水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０からの蒸気は、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７に向かう際に、水切り部２およびすすぎ乾燥部３内で発生した汚れ成分や水を一緒に運んでしまい、各蒸気域２３ａ，２３ｂ内にこれら汚れ成分や水が滞留してしまう。しかし、本実施例における水切り乾燥装置１においては、以下のようにして、蒸気のみの純粋な蒸気域２３ａ，２３ｂが形成される。
【００３２】
すなわち、循環ポンプ３５を駆動すると、溢水用水分離槽１５の底部から混合溶剤が取り込まれ、この取り込まれた混合溶剤が、フィルタ９、入力ポート３４ｃおよび出力ポート３４ｂを通って、溢水用水分離槽１５内に環流される。すると、エダクタ３４内の気圧が変化し、吸入ポート３４ａにつながれた管路７の空気が吸入ポート３４ａ内に吸い込まれる。そのため、その管路７と吸入孔３２を介して、水切り用連通部２０およびすすぎ乾燥用連通部２１内に気圧差が生じ、吸入孔３２から両連通部２０，２１の空気が吸い込まれる。それとともに、吐出孔３６からすすぎ乾燥用連通部２１内に空気が吐き出される。これにより、水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０内の第一の溶剤および第二の溶剤からの蒸気が、水切り用連通部２０およびすすぎ乾燥用連通部２１内において、吐出孔３６から連通路３０を介して吸入孔３２に向けて移動させられる。つまり、吐出孔３６から連通路３０を介して吸入孔３２にわたる蒸気の流れが生じる。
【００３３】
そのため、この蒸気の流れにより、前記汚れ成分や水も吸入孔３２に向けて移動させられる。そして、吸入孔３２に流された蒸気は、凝縮器３１によって凝縮され、この凝縮液が水切り槽部４およびすすぎ乾燥槽部１０内に環流される。
【００３４】
さらに、両連通部２０，２１内において流された蒸気の一部は、その流れから抜け出し、水切り用蒸気滞留筒部１６またはすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７内に到達して、そこに蒸気域２３ａ，２３ｂをそれぞれ形成する。これにより、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７内には、汚れ成分や水を含まない蒸気のみによる純粋な蒸気域２３ａ，２３ｂが形成される。
【００３５】
そして、これら水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７内に滞留した蒸気は、それぞれに設けられた冷却装置２４によって冷却されることにより凝縮し、これら凝縮液が堰２５によって取り込まれ、凝縮用水分離槽２６に送られる。そして、この送られた凝縮液は、凝縮用水分離槽２６により、水と凝縮液とに分離され、凝縮液のみがすすぎ乾燥槽部１０内に環流される。
【００３６】
以上より、本実施例における水切り乾燥装置１によれば、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７内に蒸気のみによる純粋な蒸気域２３ａ，２３ｂが形成されることから、乾燥後のワークＷを蒸気域２３ｂから排出するときに、ワークＷの表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができる。そのため、ワークＷの水切り、乾燥をより効果的に行うことができ、その処理結果を均一にすることができる。
また、循環ポンプ３５を駆動して、エダクタ３４により生じる気圧差を利用して、吐出孔３６から吸入孔３２に向かう蒸気の流れを生じさせているため、水切り用連通部２０およびすすぎ乾燥用連通部２１内において、蒸気の流れを容易かつ確実に発生させることができる。
【００３７】
また、水切り槽部４とすすぎ乾燥槽部１０とのそれぞれに対向して水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７が別個に設けられ、それら水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７のそれぞれに冷却装置２４が設けられていることから、蒸気の捕集効率を向上させることができる。そのため、第一の溶剤および第二の溶剤の消費を抑制することができる。
【００３８】
さらに、蒸気域２３ａにも汚れ成分や水が含まれていないことから、水切り用蒸気滞留筒部１６の開放部１６ａから蒸気域２３ａを通してワークＷを水切り部２内に搬入するときに、ワークＷの表面に汚れ成分や水が付着するのを防止することができ、水切り、乾燥効果を向上させることができる。
また、水切り用連通部２０とすすぎ乾燥用連通部２１とにわたって蒸気の流れを発生させることから、水切り用蒸気滞留筒部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留筒部１７に向かう汚れ成分や水を効率よく除去することができる。
【００３９】
なお、本実施例においては、水切り用連通部２０およびすすぎ乾燥用連通部２１にわたって蒸気が流れるとしたが、これに限ることはなく、少なくともすすぎ乾燥用連通部２１内に蒸気を流すようにすればよい。ただし、両連通部２０，２１にわたって蒸気を流した方が良いのは上述の通りである。
また、水切り用蒸気滞留部１６およびすすぎ乾燥用蒸気滞留部１７をそれぞれ別個に備えるとしたが、水切り槽部４とすすぎ乾燥槽部１０とにわたった一つの蒸気滞留部であってもよい。但し、別個に設けたほうが、蒸気の捕集効率などの点で好ましいのは上述した通りである。
【００４０】
さらに、混合溶剤をフルオロカーボンとしたが、これに限ることはなく、他のハロゲン化炭化水素類であってもよい。
また、超音波洗浄としたが、これに限ることはなく、揺動洗浄、噴流洗浄またはこれらの組み合わせによるものであってもよい。
なお、本発明の技術範囲は上記の実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係る水切り乾燥装置の実施例を示す説明図である。
【図２】同実施例における水切り部の側面図である。
【図３】同実施例におけるすすぎ乾燥部の側面図である。
【図４】従来例における水切り乾燥装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４２】
１    水切り乾燥装置
４    水切り槽部
７    管路
１０  すすぎ乾燥槽部
１５  溢水用水分離槽（蒸気流発生手段、水分離槽）
１６  水切り用蒸気滞留筒部（蒸気滞留部、第１の蒸気滞留部）
１７  すすぎ乾燥用蒸気滞留筒部（蒸気滞留部、第２の蒸気滞留部）
２０  水切り用連通部
２１  すすぎ乾燥用連通部
２４  冷却装置（蒸気凝縮手段）
３２  吸入孔（蒸気流発生手段）
３４  エダクタ（蒸気流発生手段）
３５  循環ポンプ（蒸気流発生手段）
３６  吐出孔（蒸気流発生手段）
Ｗ    ワーク
【図１】
2006021135.tif 000003
【図２】
2006021135.tif 000004
【図３】
2006021135.tif 000005
【図４】
2006021135.tif 000006